(57)【要約】【課題】  水晶発振器の出力周波数の変動に基づいて外部の磁界強度を精度よく検出／測定することができる磁気センサ及び測定器を提供する。【解決手段】  水晶振動子Ｘ１、トランジスタＱ１、負荷容量回路１１を備えた水晶発振器で構成され、トランジスタＱ１のベースを接地する直列接続のコンデンサＣ１，Ｃ２の間の点と、トランジスタＱ１のエミッタとを接続する線上に、外部の磁界強度に応じてインダクタンスが変化するコイルＬ１を備え、トランジスタＱ１のエミッタに接続された出力端子から、外部の磁界強度に応じて変動する周波数信号を出力する磁気センサであり、当該磁気センサと磁界強度測定部とを備えた測定器である。【選択図】        図１
2014209080.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部の磁界強度を検出する磁気センサであって、
水晶振動子と、前記水晶振動子の出力を増幅するトランジスタと、前記水晶振動子の発振周波数を調整する負荷容量回路とを備え、
前記トランジスタのベースが、前記水晶振動子に接続されると共に、直列接続の第１のコンデンサ及び第２のコンデンサを介して接地され、
前記第１及び第２のコンデンサの間の点と、前記トランジスタのエミッタとの間に、外部の磁界強度に応じてインダクタが変化する第１のコイルが接続されており、
前記トランジスタのエミッタに接続された出力端子から、外部の磁界強度に応じて変動する周波数信号を出力することを特徴とする磁気センサ。
【請求項２】
外部の磁界強度を検出する磁気センサであって、
水晶振動子と、前記水晶振動子の出力を増幅するトランジスタと、前記水晶振動子の発振周波数を調整する負荷容量回路とを備え、
前記トランジスタのベースが、前記水晶振動子に接続されると共に、直列接続の第１のコンデンサ及び第２のコンデンサを介して接地され、
前記水晶振動子と前記負荷容量回路との間に、外部の磁界強度に応じてインダクタが変化する第２のコイルが接続されており、
前記トランジスタのエミッタに接続された出力端子から、外部の磁界強度に応じて変動する周波数信号を出力することを特徴とする磁気センサ。
【請求項３】
恒温槽付水晶発振器であることを特徴とする請求項１又は２記載の磁気センサ。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか記載の磁気センサと、前記磁気センサから出力される周波数信号を入力して外部の磁界強度を示す値を出力する磁界強度測定部とを備え、
前記磁界強度測定部が、前記磁気センサが外部の磁界の影響を受けない状態で出力する周波数信号の周波数を基準周波数の値として記憶すると共に、前記基準周波数からの偏差とそれに対応する外部の磁界強度の組を複数記憶する変換テーブルを備えた記憶部と、
入力された信号の周波数を測定する周波数測定部と、
前記測定された周波数の値と前記基準周波数の値とを比較して、前記基準周波数からの偏差を求め、前記変換テーブルを参照して、前記偏差に対応する外部の磁界強度の値を読み出して出力する制御部とを有することを特徴とすることを特徴とする測定器。
【請求項５】
磁気センサが、金属ケースによってシールドされない状態で磁界強度測定部に接続されていることを特徴とする請求項４記載の測定器。
【請求項６】
偏差が、測定された周波数の値と基準周波数の値との差分、又は前記差分の前記基準周波数に対する割合であることを特徴とする請求項４又は５記載の測定器。
【請求項７】
外部の磁界強度を検出する磁気センサであって、
水晶振動子と、前記水晶振動子の出力を増幅するトランジスタと、前記水晶振動子の発振周波数を調整する負荷容量回路とを備え、
前記トランジスタのベースが、前記水晶振動子に接続されると共に、直列接続の第１のコンデンサ及び第２のコンデンサを介して接地され、
前記水晶振動子と前記負荷容量回路との間又は前記水晶振動子と前記トランジスタとの間に、外部の磁界強度に応じてインダクタが変化する並列接続の複数のコイルと、前記複数のコイルのいずれかを前記水晶振動子に接続するスイッチとが設けられ、
前記複数のコイルは、水平面内で互いに軸が異なる方向を向くよう配置されており、
前記トランジスタのエミッタに接続された出力端子から、外部の磁界強度に応じて変動する周波数信号を出力することを特徴とする磁気センサ。
【請求項８】
水晶振動子、トランジスタ、負荷容量回路を搭載する基板が、突出部を備えた凸型基板であり、
複数のコイルが、前記突出部に配置されていることを特徴とする請求項７記載の磁気センサ。
【請求項９】
コイルは３個であり、軸が、それぞれ正面、右斜め方向、左斜め方向を向いていることを特徴とする請求項７又は８記載の磁気センサ。
【請求項１０】
請求項７乃至９のいずれか記載の磁気センサと、前記磁気センサから出力される周波数信号を入力して、角度に応じた外部の磁界強度を示す方向別磁界強度の値を出力する磁界強度測定部とを備え、
前記磁界強度測定部が、前記磁気センサが外部の磁界の影響を受けない状態で出力する周波数信号の周波数を基準周波数の値として記憶すると共に、前記基準周波数からの偏差とそれに対応する外部の磁界強度の組を複数記憶する変換テーブルを備えた記憶部と、
入力された信号の周波数を測定する周波数測定部と、
前記測定された周波数の値と前記基準周波数の値とを比較して、前記基準周波数からの偏差を求め、前記変換テーブルを参照して、前記偏差に対応する外部の磁界強度の値を読み出して出力する制御部とを有し、
前記制御部が、前記磁気センサにおけるスイッチの接続先のコイルを定期的に切り替える切替指示を出力し、接続されたコイルを用いた周波数信号によって磁界強度を測定し、複数の角度について、各コイルに基づく磁界強度の値を各々の角度に応じた重み付けで合成して、前記複数の角度における方向別磁界強度の値を算出して出力することを特徴とする測定器。
【請求項１１】
記憶部が、角度に対応して、各コイルを用いた磁界強度に対する重み付けの係数を記憶する重み付けテーブルを備えたことを特徴とする請求項１０記載の測定器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶発振器を利用した磁気センサ及び測定器に係り、特に外部の磁界強度を精度よく検出／測定することができる磁気センサ及び測定器に関する。
【背景技術】
【０００２】
［先行技術の説明］
従来、磁気センサとしては、電圧を利用して磁界強度を検出するものがあった。
また、水晶発振器は、外部から磁界が印加されることにより、発振器筐体や内部部品が磁化され、発振回路のインダクタンスが磁界強度に応じて変化し、それに伴って出力周波数が変化する。
【０００３】
［関連技術］
尚、磁気センサに関する技術としては、特開平０４−２４２１８３号公報「磁気センサ」（株式会社村田製作所、特許文献１）、特開２０００−６５９０８号公報「磁気センサ及び磁気検出システム」（日本ビクター株式会社、特許文献２）がある。
【０００４】
特許文献１には、強磁性体材料を振動体の一部とする圧電振動子を備え、当該圧電振動子の共振周波数、反共振周波数、共振抵抗、反共振抵抗等の特性を測定することによって、磁界の強さを測定する磁気センサが記載されている。
【０００５】
また、特許文献２には、外部磁場に対して極反転しない磁石と、磁石に加わる磁場強度を力学的な力として検出する圧電素子とを備え、出力周波数の変化に基づいて磁場検出感度の温度依存性を低減し、検出出力の直線性を向上させる磁気センサ及び磁気検出システムが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０４−２４２１８３号公報
【特許文献２】特開２０００−６５９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の電圧で磁界強度を検出する磁気センサは、ノイズの影響を受けやすく、検出精度が高くないという問題点があった。
【０００８】
尚、特許文献１及び特許文献２には、水晶発振器内のインダクタンスの変化量に応じた出力周波数の変動に基づいて外部の磁界強度を検出することは記載されていない。
【０００９】
本発明は上記実状に鑑みて為されたもので、水晶発振器の出力周波数の変動に基づいて外部の磁界強度を精度よく検出／測定することができる磁気センサ及び測定器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、外部の磁界強度を検出する磁気センサであって、水晶振動子と、水晶振動子の出力を増幅するトランジスタと、水晶振動子の発振周波数を調整する負荷容量回路とを備え、トランジスタのベースが、水晶振動子に接続されると共に、直列接続の第１のコンデンサ及び第２のコンデンサを介して接地され、第１及び第２のコンデンサの間の点と、トランジスタのエミッタとの間に、外部の磁界強度に応じてインダクタが変化する第１のコイルが接続されており、トランジスタのエミッタに接続された出力端子から、外部の磁界強度に応じて変動する周波数信号を出力することを特徴としている。
【００１１】
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、外部の磁界強度を検出する磁気センサであって、水晶振動子と、水晶振動子の出力を増幅するトランジスタと、水晶振動子の発振周波数を調整する負荷容量回路とを備え、トランジスタのベースが、水晶振動子に接続されると共に、直列接続の第１のコンデンサ及び第２のコンデンサを介して接地され、水晶振動子と負荷容量回路との間に、外部の磁界強度に応じてインダクタが変化する第２のコイルが接続されており、トランジスタのエミッタに接続された出力端子から、外部の磁界強度に応じて変動する周波数信号を出力することを特徴としている。
【００１２】
また、本発明は、上記磁気センサにおいて、恒温槽付水晶発振器であることを特徴としている。
【００１３】
また、本発明は、上記磁気センサと、磁気センサから出力される周波数信号を入力して外部の磁界強度を示す値を出力する磁界強度測定部とを備えた測定器であって、磁界強度測定部は、磁気センサが外部の磁界の影響を受けない状態で出力する周波数信号の周波数を基準周波数の値として記憶すると共に、基準周波数からの偏差とそれに対応する外部の磁界強度の組を複数記憶する変換テーブルを備えた記憶部と、入力された信号の周波数を測定する周波数測定部と、測定された周波数の値と前記基準周波数の値とを比較して、基準周波数からの偏差を求め、変換テーブルを参照して、偏差に対応する外部の磁界強度の値を読み出して出力する制御部とを有することを特徴としている。
【００１４】
また、本発明は、上記測定器において、磁気センサが、金属ケースによってシールドされない状態で磁界強度測定部に接続されていることを特徴としている。
【００１５】
また、本発明は、上記測定器において、偏差が、測定された周波数の値と基準周波数の値との差分、又は前記差分の前記基準周波数に対する割合であることを特徴としている。
【００１６】
また、本発明は、外部の磁界強度を検出する磁気センサであって、水晶振動子と、水晶振動子の出力を増幅するトランジスタと、水晶振動子の発振周波数を調整する負荷容量回路とを備え、トランジスタのベースが、水晶振動子に接続されると共に、直列接続の第１のコンデンサ及び第２のコンデンサを介して接地され、水晶振動子と負荷容量回路との間又は水晶振動子とトランジスタとの間に、外部の磁界強度に応じてインダクタが変化する並列接続の複数のコイルと、複数のコイルのいずれかを水晶振動子に接続するスイッチとが設けられ、複数のコイルは、水平面内で互いに軸が異なる方向を向くよう配置されており、トランジスタのエミッタに接続された出力端子から、外部の磁界強度に応じて変動する周波数信号を出力することを特徴としている。
【００１７】
また、本発明は、上記磁気センサにおいて、水晶振動子、トランジスタ、負荷容量回路を搭載する基板が、突出部を備えた凸型基板であり、複数のコイルが、突出部に配置されていることを特徴としている。
【００１８】
また、本発明は、上記磁気センサにおいて、コイルは３個であり、軸が、それぞれ正面、右斜め方向、左斜め方向を向いていることを特徴としている。
【００１９】
また、本発明は、上記のいずれか記載の磁気センサと、磁気センサから出力される周波数信号を入力して、角度に応じた外部の磁界強度を示す方向別磁界強度の値を出力する磁界強度測定部とを備えた測定器であって、磁界強度測定部が、磁気センサが外部の磁界の影響を受けない状態で出力する周波数信号の周波数を基準周波数の値として記憶すると共に、基準周波数からの偏差とそれに対応する外部の磁界強度の組を複数記憶する変換テーブルを備えた記憶部と、入力された信号の周波数を測定する周波数測定部と、測定された周波数の値と前記基準周波数の値とを比較して、前記基準周波数からの偏差を求め、変換テーブルを参照して、偏差に対応する外部の磁界強度の値を読み出して出力する制御部とを有し、制御部が、磁気センサにおけるスイッチの接続先のコイルを定期的に切り替える切替指示を出力し、接続されたコイルを用いた周波数信号によって磁界強度を測定し、複数の角度について、各コイルに基づく磁界強度の値を各々の角度に応じた重み付けで合成して、前記複数の角度における方向別磁界強度の値を算出して出力することを特徴としている。
【００２０】
また、本発明は、上記測定器において、記憶部が、角度に対応して、各コイルを用いた磁界強度に対する重み付けの係数を記憶する重み付けテーブルを備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、外部の磁界強度を検出する磁気センサであって、水晶振動子と、水晶振動子の出力を増幅するトランジスタと、水晶振動子の発振周波数を調整する負荷容量回路とを備え、トランジスタのベースが、水晶振動子に接続されると共に、直列接続の第１のコンデンサ及び第２のコンデンサを介して接地され、第１及び第２のコンデンサの間の点と、トランジスタのエミッタとの間に、外部の磁界強度に応じてインダクタが変化する第１のコイルが接続されており、トランジスタのエミッタに接続された出力端子から、外部の磁界強度に応じて変動する周波数信号を出力する磁気センサとしているので、磁界強度を精度よく反映した周波数信号を出力でき、外部の磁界強度を高精度に検出することができる効果がある。
【００２２】
また、本発明によれば、外部の磁界強度を検出する磁気センサであって、水晶振動子と、水晶振動子の出力を増幅するトランジスタと、水晶振動子の発振周波数を調整する負荷容量回路とを備え、トランジスタのベースが、水晶振動子に接続されると共に、直列接続の第１のコンデンサ及び第２のコンデンサを介して接地され、水晶振動子と負荷容量回路との間に、外部の磁界強度に応じてインダクタが変化する第２のコイルが接続されており、トランジスタのエミッタに接続された出力端子から、外部の磁界強度に応じて変動する周波数信号を出力する磁気センサとしているので、磁界強度を精度よく反映した周波数信号を出力でき、外部の磁界強度を高精度に検出することができる効果がある。
【００２３】
また、本発明によれば、恒温槽付水晶発振器である上記磁気センサとしているので、広い温度範囲において高精度に外部の磁界強度を検出することができる効果がある。
【００２４】
本発明によれば、上記磁気センサと、磁気センサから出力される周波数信号を入力して外部の磁界強度を示す値を出力する磁界強度測定部とを備え、磁界強度測定部は、磁気センサが外部の磁界の影響を受けない状態で出力する周波数信号の周波数を基準周波数の値として記憶すると共に、基準周波数からの偏差とそれに対応する外部の磁界強度の組を複数記憶する変換テーブルを備えた記憶部と、入力された信号の周波数を測定する周波数測定部と、測定された周波数の値と前記基準周波数の値とを比較して、基準周波数からの偏差を求め、変換テーブルを参照して、偏差に対応する外部の磁界強度の値を読み出して出力する制御部とを有する測定器としているので、上記磁気センサからの外部の磁界強度を高精度に反映した出力信号に基づいて、外部の磁界強度を精度よく測定してその値を出力することができる効果がある。
【００２５】
また、本発明によれば、磁気センサが、金属ケースによってシールドされない状態で磁界強度測定部に接続されている上記測定器としているので、外部の磁界の影響を受け易くして、検出感度を向上させることができる効果がある。
【００２６】
また、本発明によれば、外部の磁界強度を検出する磁気センサであって、水晶振動子と、水晶振動子の出力を増幅するトランジスタと、水晶振動子の発振周波数を調整する負荷容量回路とを備え、トランジスタのベースが、水晶振動子に接続されると共に、直列接続の第１のコンデンサ及び第２のコンデンサを介して接地され、水晶振動子と負荷容量回路との間又は水晶振動子とトランジスタとの間に、外部の磁界強度に応じてインダクタが変化する並列接続の複数のコイルと、複数のコイルのいずれかを水晶振動子に接続するスイッチとが設けられ、複数のコイルは、水平面内で互いに軸が異なる方向を向くよう配置されており、トランジスタのエミッタに接続された出力端子から、外部の磁界強度に応じて変動する周波数信号を出力する磁気センサとしているので、方向別の磁界強度を精度よく反映した周波数信号を出力でき、方向別の磁界強度を高精度に検出することができる効果がある。
【００２７】
また、本発明によれば、水晶振動子、トランジスタ、負荷容量回路を搭載する基板が、突出部を備えた凸型基板であり、複数のコイルが、突出部に配置されている上記磁気センサとしているので、コイルを他の電子部品からできるだけ離して搭載して、他の電子部品による影響を低減し、磁界強度の検出精度を向上させることができる効果がある。
【００２８】
また、本発明によれば、上記のいずれか記載の磁気センサと、磁気センサから出力される周波数信号を入力して、角度に応じた外部の磁界強度を示す方向別磁界強度の値を出力する磁界強度測定部とを備え、磁界強度測定部が、磁気センサが外部の磁界の影響を受けない状態で出力する周波数信号の周波数を基準周波数の値として記憶すると共に、基準周波数からの偏差とそれに対応する外部の磁界強度の組を複数記憶する変換テーブルを備えた記憶部と、入力された信号の周波数を測定する周波数測定部と、測定された周波数の値と前記基準周波数の値とを比較して、前記基準周波数からの偏差を求め、変換テーブルを参照して、偏差に対応する外部の磁界強度の値を読み出して出力する制御部とを有し、制御部が、磁気センサにおけるスイッチの接続先のコイルを定期的に切り替える切替指示を出力し、接続されたコイルを用いた周波数信号によって磁界強度を測定し、複数の角度について、各コイルに基づく磁界強度の値を各々の角度に応じた重み付けで合成して、前記複数の角度における方向別磁界強度の値を算出して出力する測定器としているので、オペレータは、複数の方向の方向別磁界強度を比較して、どの方向からの磁界が強いかを判断することができ、磁気の発生源を容易に特定することができる効果がある。
【００２９】
また、本発明によれば、記憶部が、角度に対応して、各コイルを用いた磁界強度に対する重み付けの係数を記憶する重み付けテーブルを備えた上記測定器としているので、方向別磁界強度を算出する処理を容易にすることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施の形態に係る磁気センサを備えた測定器の構成図である。
【図２】磁界強度測定部の構成ブロック図である。
【図３】別の磁気センサを用いた測定器の構成図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る磁気センサの概略構成図である。
【図５】第２の実施の形態に係る測定器の構成を示す回路図である。
【図６】重み付けテーブルの一例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
［実施の形態の概要］
本発明の実施の形態に係る磁気センサは、水晶振動子と、水晶振動子の出力を増幅する発振用トランジスタと、水晶振動子の発振周波数を調整する負荷容量回路とを備え、トランジスタのベースが、直列に接続された２つのコンデンサを介して接地され、当該２つのコンデンサの間の点が、コイルとコンデンサの直列接続回路を介して、トランジスタのエミッタに接続され、トランジスタのエミッタから出力周波数を得る水晶発振器であり、外部の磁界強度に応じてコイルのインダクタンスが変動し、それに伴って出力周波数が変化するため、磁界強度を精度よく反映した周波数信号を出力して、外部の磁界強度を高精度に検出することができるものである。
【００３２】
また、本発明の実施の形態に係る磁界強度測定器は、上記磁気センサと磁界強度測定部とを備え、磁界強度測定部は、基準周波数からの偏差とそれに対応する磁界強度の値とを複数記憶したテーブルを備え、磁気センサからの周波数信号が入力されると、Ａ／Ｄ変換して周波数の値を測定し、予め記憶している基準周波数と比較して、偏差（基準周波数からのずれ）を検出し、テーブルを参照して、当該偏差に対応する磁界強度の値を出力するものであり、外部の磁界強度を高精度に検出することができるものである。
【００３３】
また、本発明の実施の形態に係る第２の磁気センサは、異なる方向を向いて配置された並列接続の複数のコイルと、それぞれのコイルを切り替えて水晶振動子に接続するスイッチとを備え、複数のコイルを順次切り替えて特定の方向の磁界強度を反映した周波数信号を出力し、方向毎の磁界強度を高精度に検出することができるものである。
【００３４】
また、本発明の実施の形態に係る第２の磁界強度測定器は、第２の磁気センサと磁界強度測定部とを備え、磁界強度測定部のスイッチ制御部が、第２の磁気センサのスイッチに対して切り替え指示を出力すると共に、磁界強度測定部の磁界強度演算回路に、接続されているコイルの情報を出力し、磁界強度演算回路が、外部から指定された角度に応じて、それぞれのコイルを用いた測定結果を重み付けして合成し、当該角度における方向別磁界強度を測定して出力するものであり、方向別磁界強度が最大となる方向から磁気の発生源を容易に特定することができるものである。
【００３５】
［第１の実施の形態に係る磁気センサの構成：図１］
本発明の第１の実施の形態に係る磁気センサの構成について図１を用いて説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態に係る磁気センサを備えた測定器の構成図である。
第１の実施の形態に係る磁気センサ（第１の磁気センサ）は、水晶発振器内部のインダクタンスが磁界強度に応じて変化し、それによって出力周波数が変動することを利用して、磁界強度に応じた周波数信号を出力するものである。
【００３６】
図１に示すように、第１の磁気センサ１は、水晶発振器であり、基本的な構成部分として、水晶振動子Ｘ１と、水晶振動子Ｘ１の発振周波数を増幅するトランジスタＱ１と、水晶振動子Ｘ１の発振周波数を調整する負荷容量回路１１とを備えている。
【００３７】
水晶振動子Ｘ１の一端は負荷容量回路１１に接続され、他端は、トランジスタＱ１のベースに接続されている。
トランジスタＱ１のコレクタは、電源電圧に接続されている。
更に、電源電圧が、抵抗Ｒ１を介してトランジスタＱ１のベースに印加され、ベースは抵抗Ｒ２を介して接地されている。
また、電源電圧と抵抗Ｒ１との間の点にコンデンサＣ４の一端が接続され、他端が接地されている。
【００３８】
トランジスタＱ１のエミッタは、抵抗Ｒ３を介して接地され、トランジスタＱ１のベースは、直列接続のコンデンサＣ１とコンデンサＣ２を介して接地されている。
更に、コンデンサＣ１とコンデンサＣ２との間の点が、直列接続のコイルＬ１とコンデンサＣ３を介してトランジスタＱ１のエミッタに接続されている。
そして、磁気センサ出力となる周波数信号が、トランジスタＱ１のエミッタに接続する出力端子から出力される構成となっている。
【００３９】
ここで、第１の磁気センサ１の特徴として、外部の磁界強度の変動を精度よく検出するため、磁界強度に応じたインダクタンスの変動量が大きいコイルＬ１を設けており、出力周波数の変動を増大させて反映している。
更に、通常の水晶振動子は金属カバー等によりシールドされるが、第１の磁気センサは、外部磁気を感度よく検知するためにシールドされていない。
また、第１の磁気センサ１の出力は高周波信号であり、周波数の変動を検出しやすいため、電圧の変動を利用した従来の磁気センサに比べて精度よく外部の磁界強度の変動を検出することができるものとなっている。
【００４０】
［第１の磁気センサの動作］
次に、第１の磁気センサ１の動作について説明する。
第１の磁気センサ１は、外部の磁界（平常時の地磁気を除く）の影響を受けない状態で、所定の周波数信号を出力するよう予め設定、調整されている。この周波数を基準周波数とする。
そして、外部の磁界の影響を受ける環境下において、外部の磁界強度に応じて第１の磁気センサ１内部のインダクタンスが変化し、それに伴って磁気センサからの出力信号の周波数が基準周波数から変動する。
このようにして、第１の磁気センサ１は、外部の磁界強度を高精度に反映した周波数信号を出力するものである。
【００４１】
そして、磁気センサ出力信号の周波数について、基準周波数からの変動量を検出することにより、外部の磁界強度を測定できるものである。
また、本磁気センサを恒温槽付水晶発振器（ＯＣＸＯ；Oven Controlled Crystal Oscillator）として構成すれば、広い温度範囲において高精度に外部の磁界強度を検出することができるものである。
【００４２】
但し、磁気センサを構成する水晶発振器自体のエージングにより、長期的に見ると基準周波数の値は変化する。そのため、第１の磁気センサで測定を行う場合には、基準周波数の調整が必要になる。これについては後述する。
【００４３】
［第１の実施の形態に係る測定器の構成：図１］
次に、本発明の第１の実施の形態に係る測定器（第１の測定器）について図１を用いて説明する。
第１の測定器は、上述した第１の磁気センサ１を利用して外部の磁界強度を測定するものであり、図１に示すように、第１の磁気センサ１と、磁界強度測定部２とを備えている。
磁界強度測定部２は、第１の磁気センサ１からの周波数信号を入力し、その周波数を検出して基準周波数と比較し、基準周波数からのずれの大きさ（「偏差」とする）に基づいて外部の磁界強度の値を出力する。
【００４４】
［磁界強度測定部：図２］
磁界強度測定部２の構成例について図２を用いて簡単に説明する。図２は、磁界強度測定部の構成ブロック図である。
磁界強度測定部２は、基本的に、Ａ／Ｄ変換器２１と、周波数測定部２２と、記憶部２３と、制御部２４とを備えている。
Ａ／Ｄ変換器２１は、第１の磁気センサ１からの周波数信号をＡ／Ｄ（Analog/Digital）変換する。
周波数測定部２２は、Ａ／Ｄ変換された周波数信号の周波数の値を測定する。
【００４５】
記憶部２３は、外部の磁界の影響を受けない場合の第１の磁気センサ１からの出力周波数（基準周波数）の値を記憶している。
また、記憶部２３は、第１の磁気センサ１からの出力周波数の基準周波数からの偏差と、それに対応する外部の磁界強度との組み合わせの組を、複数記憶する変換テーブルを備えている。
【００４６】
制御部２４は、周波数測定部で測定された周波数の値を、記憶部に記憶されている基準周波数の値と比較して偏差を求め、変換テーブルを参照して当該偏差に対応する外部の磁界強度の値を読み出し、出力する。
偏差は、例えば、磁気センサ出力の周波数（f）と基準周波数（f0）との差分（Δf=f-f0）の、基準周波数に対する割合（Δf/f0）とする（単位はppm等）。また、水晶振動子の特性等によっては、偏差を磁気センサ出力と基準周波数との差分（Δf）としてもよい。
制御部２４及び記憶部２３は、マイコン等で構成される。
【００４７】
［第１の測定器の動作］
第１の測定器の動作について説明する。
第１の測定器では、予め、第１の磁気センサ１の基準周波数の値及び変換テーブルが磁界強度測定部２の記憶部に記憶されている。
変換テーブルは、第１の磁気センサ１の出力周波数の基準周波数からの偏差に対応して、外部の磁界強度の値を記憶しているものであり、偏差と磁界強度の値の組を複数記憶している。尚、偏差と磁界強度との関係は、予め実験等によって求められる。
【００４８】
そして、第１の磁気センサ１の出力信号が磁界強度測定部２に入力されると、Ａ／Ｄ変換器２１でＡ／Ｄ変換され、周波数測定部２２で周波数の値が測定され、制御部２４で、当該周波数の値と記憶部２３に記憶されている基準周波数の値とに基づいて、偏差が算出される。
そして、制御部２４が、変換テーブルを参照して、当該偏差に対応する外部の磁界強度の値を読み出して出力する。
このようにして、第１の測定器では、第１の磁気センサ１から出力される、外部の磁界強度を精度よく反映した周波数信号に基づいて、外部の磁界強度を高精度に測定するものである。
【００４９】
［基準周波数の調整］
次に、第１の磁気センサ１の基準周波数の調整について説明する。
上述したように、第１の磁気センサ１では、水晶発振器のエージングにより、外部磁界の影響を受けない状態での出力周波数（基準周波数）が変化する。
そこで、第１の磁気センサ１を用いて磁気の測定を行う毎に、外部磁界の影響を受けない状態での磁気センサ１の出力周波数を、磁界強度測定部２の記憶部２３に記憶されている基準周波数の値となるよう調整する。
【００５０】
第１の磁気センサ１からの出力周波数の調整は、負荷容量回路１１を調整することで行われる。
具体的には、例えば、磁界強度測定部２の記憶部２３に、基準周波数からの偏差に対応して負荷容量回路の調整量をテーブルとして記憶しておき、外部の磁界の影響を受けない状態において、制御部２４が、第１の磁気センサ１からの出力信号の周波数と記憶部２３に記憶された基準周波数とを比較して、偏差を求め、当該偏差に対応する調整量を出力する。
そして、ユーザは、出力された調整量に基づいて、第１の磁気センサ１の負荷容量回路１１を調整する。これにより、第１の磁気センサ１からの出力周波数は、外部磁界の影響を受けない状態で、記憶部２３に記憶された基準周波数と一致し、磁界の測定が可能となる。
【００５１】
また、別の方法として、記憶部２３に記憶された基準周波数の値を測定時に書き替えるようにしてもよい。
この場合、例えば、磁界強度測定部２は、「基準周波数設定モード」と「測定モード」とを備え、スイッチ等で切り替え可能としておき、ユーザは、磁界の測定を行う前に、基準周波数設定モードに切り替える。
【００５２】
すると、磁界強度測定部２は、外部の磁界の影響を受けない状態で、第１の磁気センサ１からの出力周波数を測定し、制御部２４は、この値を基準周波数として記憶部２３に記憶する。これにより、外部磁界の影響を受けない状態での磁気センサ１からの出力を基準周波数とする。
そして、ユーザによって磁界測定モードに切り替えられると、磁界強度の測定を行う。
【００５３】
［第１の磁気センサの別の構成：図３］
次に、第１の実施の形態に係る磁気センサの別の構成例（別の磁気センサ）について図３を用いて説明する。図３は、別の磁気センサを用いた測定器の構成図である。
図３に示すように、別の磁気センサ１′は、基本的な構成は図１に示した第１の磁気センサ１と同様であり、水晶振動子Ｘ１、トランジスタＱ１、負荷容量回路１１を備えた水晶発振器である。図１と同様の構成部分については同一の符号を付しており、説明は省略する。
【００５４】
そして、別の磁気センサ１′では、コイルの位置が図１の第１の磁気センサ１とは異なっている。
すなわち、別の磁気センサ１′では、図１の第１の磁気センサ１におけるコイルＬ１の代わりに、図３に示すように、水晶振動子Ｘ１と負荷容量回路１１との間に、コイルＬ２が設けられている。
また、別の磁気センサ１′では、図１に示したコンデンサＣ３は設けられていない。
【００５５】
別の磁気センサ１′も、コイルＬ２によって外部磁界の影響で内部のインダクタンスが変動しやすくなり、外部磁界を高精度に反映した周波数信号を出力することができるものである。
また、図３に示すように、別の磁気センサ１′と磁界強度測定部２を組み合わせて測定器を構成することもでき、図１の測定器と同様に、外部の磁界強度を高精度に測定することができるものである。
【００５６】
［第１の実施の形態の効果］
本発明の第１の実施の形態に係る第１の磁気センサによれば、水晶振動子Ｘ１、トランジスタＱ１、負荷容量回路１１を備えた水晶発振器で構成され、トランジスタＱ１のベースを接地する直列接続のコンデンサＣ１，Ｃ２の間の点と、トランジスタＱ１のエミッタとを接続する線上に、外部の磁界強度に応じてインダクタンスが変化するコイルＬ１を備えた磁気センサとしているので、外部の磁界強度に応じたインダクタンスの変動に伴って出力信号の周波数が変化して、磁界強度を精度よく検出することができ、更に、出力が高周波信号であるため、基準周波数からのずれを検出しやすく、電圧で検出するのに比べて外部の磁界強度を高精度に検出できる効果がある。
【００５７】
また、本発明の第１の実施の形態に係る別の磁気センサによれば、水晶振動子Ｘ１、トランジスタＱ１、負荷容量回路１１を備えた水晶発振器で構成され、水晶振動子Ｘ１と負荷容量回路１１との間に、外部の磁界強度に応じてインダクタンスが変化するコイルＬ２を備えた磁気センサとしているので、外部の磁界強度に応じたインダクタンスの変動に伴って出力信号の周波数が変化して、磁界強度を精度よく検出することができ、更に、出力が周波数信号であるため、電圧で検出するのに比べて高精度に検出できる効果がある。
【００５８】
更に、第１の磁気センサ及び別の磁気センサは、金属カバーによってシールドされていないため、外部の磁界の影響を受け易くして検出感度を向上させることができる効果がある。
【００５９】
また、本発明の第１の実施の形態に係る測定器によれば、第１の磁気センサ１と磁界強度測定部２とを備え、磁界強度測定部２が、記憶部２３に第１の磁気センサ１が外部の磁界の影響を受けない状態で出力する基準周波数の値と、基準周波数からの偏差に対応する磁界強度の値とを対応付けた変換テーブルとを記憶しておき、第１の磁気センサ１から周波数信号が入力されると、Ａ／Ｄ変換器２１でＡ／Ｄ変換して、周波数測定部２２で周波数の値を測定し、制御部２４が、当該周波数の値と記憶された基準周波数の値とに基づいて偏差を算出し、変換テーブルを参照して、当該偏差に対応する磁界強度の値を読み出して出力する測定器としているので、第１の磁気センサ１からの出力信号に基づいて、外部の磁界強度を精度よく測定してその値を出力することができる効果がある。
【００６０】
更に、磁気センサを恒温槽付水晶発振器で構成することにより、広い温度範囲において高精度に外部の磁界強度を検出することができ、更にまた、磁界強度測定部と組み合わせることで、広い温度範囲で高精度に外部の磁界強度を測定できる効果がある。
【００６１】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態に係る磁気センサ（第２の磁気センサ）及び測定器（第２の測定器）について説明する。
上述した第１の磁気センサにおいては、主としてインダクタ（コイル）によって磁気を検出しているが、基板内のコイルの配置について特別な考慮は為されておらず、発振回路や他の部品の影響を受けることも考えられる。
そこで、第２の磁気センサでは、他の部品からできるだけ離れた位置にコイルを配置し、センサとしての感度を向上させるようにしている。
【００６２】
更に、第２の磁気センサは、複数のコイルを異なる方向に向けて配置して、方向別の磁界強度を検出できるようにするものである。
これにより、第２の磁気センサを用いた第２の測定器では、オペレータが指定した複数方向の磁界強度の測定を可能として、どの方向からの磁界が強いのかを把握できるようにし、磁気発生源の特定を容易に行うことができるようにするものである。
【００６３】
［第２の実施の形態に係る磁気センサの概略構成：図４］
本発明の第２の実施の形態に係る磁気センサの概略構成について図４を用いて説明する。図４は、本発明の第２の実施の形態に係る磁気センサの概略構成図である。
図４に示すように、第２の磁気センサは、基板の一部が凸型に突出した形状のハイブリッドＩＣ（Hybrid Integrated Circuit）基板である凸型基板３１と、磁気を検出する複数のコイル３２ａ，３２ｂ，３２ｃと、樹脂製カバー３３とを備えている。
【００６４】
第２の磁気センサの特徴として、コイル３２ａ，３２ｂ，３２ｃは、凸型基板３１の突出した部分（突出部）に搭載されており、更に、コイル３２ａ，３２ｂ，３２ｃは、コイルの軸が水平面内でそれぞれ異なる方向を向くように搭載されている。
図４の例では、突出部の突出方向を正面として、コイル３２ａは右斜め４５度、コイル３２ｂは正面、コイル３２ｃは左斜め４５度を向くよう配置されている。
【００６５】
また、図示は省略するが、凸型基板３１の突出部を除く領域には、負荷容量回路や発振回路を構成する電子部品が搭載されている。
このように、第２の磁気センサでは、磁気を検出するための主検知部品であるコイル３２を、他の部品からできるだけ遠ざけて離れたところに搭載しているので、他の部品の影響を受けにくくして、高精度に磁気の検出を行うことができるようにしている。
更に、金属製のカバーではなく、樹脂製カバー３３を備えることにより、磁気のシールド効果を小さく抑えて、磁気の検出を妨げないようにしている。
【００６６】
第２の磁気センサの特徴部分について説明する。
第２の磁気センサのコイル３２ａ，３２ｂ，３２ｃは、いずれも、コイルの軸が向いている方向を中心として磁界を検出する（磁界の影響を受ける）指向性を備えたものであり、外部からの切り替え指示に従って、発振器に接続されるコイル３２を順次切り替えて周波数信号を出力する。
これにより、第２の磁気センサは、３種類の方向からの磁界の影響を受けた周波数信号を順次出力することができるものである。
尚、コイルの数は３個に限らず、用途や仕様に応じて適宜設定される。
【００６７】
［第２の実施の形態に係る磁気センサ及び測定器の構成：図５］
次に、第２の磁気センサ及び第２の測定器の構成について図５を用いて説明する。図５は、第２の実施の形態に係る測定器の構成を示す回路図である。
第２の測定器は、第２の磁気センサ３０と、増幅／出力回路３４と、周波数カウンタ３５と、磁界強度演算回路３６と、スイッチ制御回路３７とを備えている。
【００６８】
これらの内、増幅／出力回路３４、周波数カウンタ３５、磁界強度演算回路３６、スイッチ制御回路３７を含む構成部分を、図１に示した第１の測定器と同様に、磁界強度測定部と称するものとする。磁界強度測定部には、オペレータが指示を入力する入力部や、測定結果を表示する表示部が設けられているが図示は省略する。
更に、第２の測定器では、磁界強度演算回路３６がメモリ（記憶部）を備え、図２と同様の基準周波数及び変換テーブルを記憶している。
【００６９】
［第２の磁気センサ３０の回路構成：図５］
第２の磁気センサ３０の回路構成について具体的に説明する。
第２の磁気センサ３０は、図３に示した別の磁気センサ１′を基にして、一部変更した構成となっている。
図５に示すように、第２の磁気センサ３０は、図３に示した別の磁気センサ１′と同様に、水晶振動子Ｘ１、トランジスタＱ１、負荷容量回路１１を備えた水晶発振器である。図３と同様の構成部分については同一の符号を付しており、説明は省略する。
【００７０】
そして、第２の磁気センサ３０は、図３に示した別の磁気センサ１′におけるコイルＬ２の代わりに、並列接続のコイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５を備えている。
尚、図５では、並列接続のコイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５は、水晶振動子Ｘ１とトランジスタＱ１のベースとの間に設けられているが、図３のコイルＬ２と同様に、水晶振動子Ｘ１と負荷容量回路１１との間に設けてもよい。
【００７１】
更に、トランジスタＱ１と水晶振動子Ｘ１との間に接続されるコイルを、コイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５のいずれかに切り替えて接続するスイッチＳＷ１が設けられている。
スイッチＳＷ１は、後述するスイッチ制御回路３７からのスイッチ切替指示によって切り替えられる。
【００７２】
コイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５は、いずれも外部の磁界強度に応じたインダクタンスの変動量が大きいものであり、磁界の変動に応じて磁気センサ３０の出力周波数を変動させて、磁界強度の変動を精度よく検出するものである。コイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５は同等の特性を備えたものとする。
【００７３】
そして、図４を用いて説明したように、凸型基板３１の突出部に配置されたコイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５は、それぞれ軸が異なる方向を向いており、例えば、コイルＬ３（３２ａ）は右４５度、コイルＬ４（３２ｂ）は正面（９０度）、コイルＬ５（３２ｃ）は左４５度を向くように配置されており、軸が向いている方向からの磁界を感度よく検出するものとなっている。また、これらのコイルは、凸型基板３１の凸部に他の電子部品から離れて設置されており、検出精度を向上させるものである。
【００７４】
そして、第２の磁気センサ３０は、コイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５を切り替えながら、トランジスタＱ１のエミッタに設けられた出力端子から、３方向の周囲の磁界強度に応じた周波数信号ｆ3,ｆ4，ｆ5を出力する。
【００７５】
また、図５では、図３に示した別の磁気センサ１′を基にした構成を示したが、図１に示した第１の磁気センサ１を基にして、コイルＬ１の代わりに並列接続のコイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５及び接続するコイルを切り替えるスイッチＳＷ１を設けて、第２の磁気センサを構成してもよい。
【００７６】
［磁界強度測定部：図５］
次に、第２の測定器における磁界強度測定部の各部（第２の磁気センサ３０以外の部分）について説明する。
増幅／出力回路３４は、第２の磁気センサ３０から出力された周波数信号を増幅し、Ａ／Ｄ変換する。
周波数カウンタ３５は、増幅／出力回路３４でＡ／Ｄ変換された周波数信号の周波数を測定する。
【００７７】
磁界強度演算回路３６は、図２に示した第１の測定器の制御部２４と同様に、周波数偏差に応じた磁界強度を求める処理を行う。
上述したように、磁界強度演算回路３６は、図２と同様の基準周波数及び変換テーブルを記憶しており、周波数カウンタ３６で測定された周波数の値と、基準周波数の値とを比較して偏差を求め、変換テーブルからその偏差に対応する磁界強度を読み取って磁界強度データとする。
【００７８】
第２の測定器の特徴として、コイルＬ３を用いた周波数信号ｆ3に基づく磁界強度データを磁界強度成分（L3）とし、コイルＬ４を用いた周波数信号ｆ4に基づく磁界強度データを磁界強度成分（L4）とし、コイルＬ５を用いた周波数信号ｆ5に基づく磁界強度データを磁界強度成分（L5）とする。
【００７９】
磁界強度演算回路３６は、オペレータから指定された複数の任意の方向における磁界強度（方向別磁界強度）を算出して出力するものであり、複数のコイルを用いた磁界強度成分を適切な重み付けて合成することにより、各方向別磁界強度を算出する。
そのため、磁界強度演算回路３６は、種々の方向と、各コイルによる磁界強度成分の重み付け係数とを対応付けて記憶する重み付けテーブルを備えている。
【００８０】
そして、磁界強度演算回路３６は、磁界強度成分（L3）、磁界強度成分（L4）、磁界強度成分（L5）に対して、指定された方向に対応する重み付けを行って合成し、指定された方向における方向別磁界強度を算出する。重み付けテーブル及び方向別磁界強度の算出方法については後述する。
【００８１】
スイッチ制御回路３７は、方向別磁界強度の測定が開始されると、定期的に第２の磁気センサ３０のスイッチＳＷ１にスイッチ切替指示を出力し、並列接続のコイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５を順次切り替えてトランジスタＱ１に接続させる。
更に、スイッチ制御回路３７は、磁界強度演算回路３６に対してどのコイルが選択されているかを示すスイッチ切替情報を出力する。
【００８２】
［重み付けテーブル：図６］
ここで、磁界強度演算回路３６の記憶部に記憶されている重み付けテーブルについて図６を用いて説明する。図６は、重み付けテーブルの一例を示す説明図である。
図６に示すように、重み付けテーブルは、複数の方向に対応して、各コイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５を用いて測定された磁界強度成分に乗算する重み付け係数（「係数」とする）の組を記憶しているものである。図６の例では、正面を９０度として、３０度（右側）から１５０度（左側）までの５種類の角度（３０度、６０度、９０度、１２０度、１５０度）について係数を記憶している。
重み付けテーブルでは、コイルの配置に応じて、各係数の値が設定されているものである。
【００８３】
係数の設定について簡単に説明する。
例えば、方向別磁界強度を求める角度が３０度であれば、右４５度方向を向いているコイルＬ３の感度が大きく、Ｌ４，Ｌ５での感度は順次小さくなっていくため、Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５の係数ａ31,ａ41,ａ51は、ａ31＞ａ41＞ａ51となるよう設定される。
また、９０度の場合には、コイルＬ４の感度が最も大きく、コイルＬ３とＬ５の寄与は同等であるため、係数は、ａ42＞ａ32＝ａ52となるよう設定されている。
【００８４】
そして、磁界強度演算回路３６では、コイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５による磁界強度成分を、指定された角度に対応する重み付けに従って重み付けして合成し、当該角度での方向別磁界強度を得るものである。
【００８５】
［方向別磁界強度の算出］
次に、第２の測定器を用いた方向別磁界強度の算出の動作について説明する。
第２の測定器は、オペレータから入力された種々の角度について、当該角度からの方向別磁界強度を算出して、指定された全ての角度の方向別磁界強度を一覧表示出力する。
【００８６】
方向別磁界強度の測定が開始され、オペレータから複数の角度が指定されると、磁界強度演算回路３７は、指定された複数の角度を保持しておく。
スイッチ制御回路３６は、第２の磁気センサ３０のスイッチＳＷ１に対して、定期的にスイッチ切替指示を出力して、コイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５を順次切り替える。また、スイッチ制御回路３７は、スイッチ切替指示に連動して、磁界強度演算回路３６にスイッチ切替情報として、どのコイルが選択されているかを報知する。
第２の磁気センサ３０は、スイッチによって接続されたコイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５のいずれかを備えた発振器として動作し、磁界強度に応じた周波数信号ｆ3，ｆ4，ｆ5を出力する。
【００８７】
そして、磁界強度演算回路３６は、スイッチ切替情報に基づいて、コイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５を用いた磁界強度成分をそれぞれ測定して、記憶しておく。
磁界強度の測定方法は、第１の測定器と同様であり、第２の磁気センサ３０から出力された周波数信号の周波数の値と、基準周波数の値とを比較して偏差を算出し、変換テーブルに基づいて磁界強度を求め、磁界強度成分とする。
【００８８】
そして、磁界強度演算回路３６は、保持している角度の内、最初の角度に対応する重み付け係数を重み付けテーブルから読み出し、コイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５を用いて測定された３種類の磁界強度成分（磁界強度成分（L3）、磁界強度成分（L4）、磁界強度成分（L5））にそれぞれ乗算する。
そして、重み付けされた３つの値を加算し、最初の角度における方向別磁界強度として記憶する。
【００８９】
次に、磁界強度演算回路３６は、保持している次の角度に対応する重み付け係数を読み出して、磁界強度成分（L3）、磁界強度成分（L4）、磁界強度成分（L5）に重み付けを行い、重み付けされた３つの成分を加算して、次の角度における方向別磁界強度を求め、記憶する。
【００９０】
以下同様にして、次回強度演算回路３６は、オペレータから指定された複数の角度の全てについて方向別磁界強度を算出して記憶すると、記憶されている複数の角度に対応する方向別磁界強度を読み出して、方向（角度）と共に表示出力する。
このようにして、複数の角度について方向別磁界強度を測定することにより、オペレータは、どの方向からの磁界が強いのか認識することができ、磁気発生源の特定を容易にすることができるものである。
【００９１】
磁界強度演算回路３６及びスイッチ制御回路３７を、記憶部及び処理部を備えたマイコン等で構成してもよく、請求項では、磁界強度演算回路３６及びスイッチ制御回路３７の機能を備えた構成を制御部として記載している。
【００９２】
更に、ここでは、方向別磁界強度を算出する角度をオペレータが入力するようにしているが、予め一般的な角度を磁界強度演算回路３６に記憶しておき、それらの角度について方向別磁界強度を求めるようにしてもよい。
【００９３】
［第２の実施の形態の効果］
本発明の第２の実施の形態に係る磁気センサによれば、水晶振動子Ｘ１、トランジスタＱ１、負荷容量回路１１を備えた水晶発振器で構成され、水晶振動子Ｘ１とトランジスタＱ１との間又は水晶振動子Ｘ１と負荷容量回路１１との間に、外部の磁界強度に応じてインダクタンスが変化するコイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５を水平面内でそれぞれ軸が異なる方向を向くよう配置し、並列接続のコイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５の内いずれかのコイルを水晶振動子Ｘ１に接続するスイッチＳＷ１を備えた磁気センサとしているので、スイッチＳＷ１を切り替えてコイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５を用いて３方向の外部の磁界強度に応じた周波数信号を出力することができ、方向に応じた磁界強度成分を精度よく検出することができる効果がある。
【００９４】
また、第２の磁気センサによれば、コイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５を、凸型基板３１の凸部に搭載しているので、他の電子部品からの影響をできるだけ小さくすることができ、検出精度を向上させることができる効果がある。
【００９５】
また、本発明の第２の実施の形態に係る測定器によれば、第２の磁気センサ３０と磁界強度測定部とを備え、磁界強度測定部のスイッチ制御回路３７が、第２の磁気センサ３０のスイッチＳＷ１をコイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５に順次切り替えるスイッチ切替指示を出力すると共に、磁界強度測定部の磁界強度演算回路３６に接続されているコイルを示すスイッチ切替情報を出力し、磁界強度演算回路３６は、外部から複数の角度が指定されると、一旦それらの角度を記憶しておき、各コイルＬ３，Ｌ４，Ｌ５を用いた磁界強度の測定結果（磁界強度成分）に対して、それぞれの角度に対応する重み付けで磁界強度成分を合成して、各角度における方向別磁界強度を算出して出力する測定器としているので、第２の磁気センサ３０からの出力信号に基づいて、複数の方向について方向別磁界強度を精度よく測定して出力することができ、オペレータは、磁界強度が最大となる方向に基づいて磁力の発生源を容易に特定することができる効果がある。
【００９６】
また、第２の測定器によれば、磁界強度演算回路３６が、複数の角度に応じた各コイルによる磁界強度成分に対する重み付けの係数を、重み付けテーブルとして予め記憶しているので、角度（方向）毎の方向別磁界強度を算出する処理を簡易に行うことができる効果がある。
【産業上の利用可能性】
【００９７】
本発明は、外部の磁界強度を精度よく検出／測定することができる磁気センサ及び測定器に適している。
【符号の説明】
【００９８】
１，１′，３０...磁気センサ、  ２...磁界強度測定部、  １１...負荷容量回路、  ２１...Ａ／Ｄ変換器、  ２２...周波数測定部、  ２３...記憶部、  ２４...制御部、  ３１...凸型基板、  ３３...樹脂製カバー、  ３４...増幅／出力回路、  ３５...周波数カウンタ、  ３６...磁界強度演算回路、  ３７...スイッチ制御回路、  Ｘ１...水晶振動子、  Ｑ１...トランジスタ、  Ｒ１〜Ｒ３...抵抗、  Ｃ１〜Ｃ４...コンデンサ、  ３２、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５...コイル、  ＳＷ１...スイッチ
【図１】
2014209080.tif 000003
【図２】
2014209080.tif 000004
【図３】
2014209080.tif 000005
【図４】
2014209080.tif 000006
【図５】
2014209080.tif 000007
【図６】
2014209080.tif 000008