(57)【要約】【課題】所望の姿勢でパッケージに実装することが容易な圧電振動片および圧電振動片の実装方法を提供することを目的とする。また、本発明はその圧電振動片を備える圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供することを目的とする。【解決手段】一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部が接続された基部と、一面の所定位置に設けられたマウント部と、を備え、前記マウント部には、前記一面側に開口する貫通部が形成されている圧電振動片。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、
前記一対の振動腕部が接続された基部と、
一面の所定位置に設けられたマウント部と、
を備え、
前記マウント部には、前記一面側に開口する貫通部が形成されている圧電振動片。
【請求項２】
前記貫通部は、前記一面と略垂直な側面側に開口する切欠形状を有する、請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記マウント部には凸部が設けられ、前記貫通部は前記凸部を貫通する、請求項１または２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージに、
一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部が接続された基部と、一面の所定位置に設けられたマウント部と、を備える圧電振動片を実装する圧電電振動片の実装方法であって、
前記マウント部を前記ベース部材の実装面に当接させる工程と、
前記実装面と、前記一面とは異なり、前記実装面と交差する前記圧電振動片の接着面と、にまたがるようにして、導電性接着剤を塗布する工程と、
を有する圧電振動片の実装方法。
【請求項５】
ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージと、
前記ベース部材における実装面にマウントされ、前記キャビティ内に収容された圧電振動片と、を備える圧電振動子であって、
前記圧電振動片は、一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部が接続された基部と、一面の所定位置に設けられたマウント部と、を備え、
前記実装面と、前記マウント部と、は当接し、
前記実装面における前記マウント部との非接触面と、前記圧電振動片における前記一面と異なり、前記非接触面と交差する接着面と、にまたがって導電性接着剤が設けられている圧電振動子。
【請求項６】
前記実装面と、前記マウント部を除いた前記一面と、の間に隙間を形成する隙間形成部を備える、請求項５に記載の圧電振動子。
【請求項７】
前記隙間形成部は、前記圧電振動片の前記一面と、前記ベース部材の前記実装面と、のうち少なくとも一方の面上に設けられた凸部である、請求項６に記載の圧電振動子。
【請求項８】
前記マウント部に、前記一面側に開口する貫通部が形成されている、請求項５から７のいずれか１項に記載の圧電振動子。
【請求項９】
前記貫通部は、前記一面と略垂直な側面側に開口する切欠形状を有する、請求項８に記載の圧電振動子。
【請求項１０】
請求項５に記載の圧電振動子を備え、該圧電振動子は発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
【請求項１１】
請求項５に記載の圧電振動子を備え、該圧電振動子は計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
請求項５に記載の圧電振動子を備え、該圧電振動子はフィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片、圧電振動片の実装方法、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等として水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが知られており、たとえば、その１つとして、一対の振動腕部の端部を連結する基部から、振動腕部の外側に振動腕部と同じ方向に延びる一対の支持腕部を備えた圧電振動片を有するものがある（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−７２７０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記従来の圧電振動子には次の課題がある。
上記のような圧電振動片は支持腕部の端部近傍を、導電性接着剤によってベース基板上に接着することによって実装される。接着手順としては、ベース基板上に未硬化の導電性接着剤を塗布し、その後、該導電性接着剤上に圧電振動片の支持腕部の端部を当接させる。そして、未硬化の導電性接着剤を硬化させることによって、圧電振動片とベース基板とを接着する。
【０００５】
このとき、圧電振動片を設置する作業は目視で行われ、圧電振動片とベース基板とは、導電性接着剤を介して接着される。未硬化の導電性接着剤は柔らかいため、圧電振動片を、目視によってベース基板に対して所望の姿勢（たとえば、ベース基板に対して圧電振動片が平行となる姿勢）となるようにしてベース基板に接着することは困難である。したがって、実装された圧電振動片のベース基板に対する姿勢が所望する姿勢と異なるような場合には、実装後に外部衝撃を受けると圧電振動片がパッケージ内面（たとえば、ベース基板）と衝突し、その結果、圧電振動片が破損してしまうおそれがあった。
【０００６】
本発明は上記課題を解決すべくなされた発明であり、所望の姿勢でパッケージに実装することが容易な圧電振動片および圧電振動片の実装方法を提供することを目的とする。また、本発明はその圧電振動片を備える圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の圧電振動片は、一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部が接続された基部と、一面の所定位置に設けられたマウント部と、を備え、前記マウント部には、前記一面側に開口する貫通部が形成されている。
【０００８】
この構成によれば、圧電振動片のマウント部に貫通部が設けられているため、パッケージの実装面に圧電振動片のマウント部を当接させた後に、貫通部に導電性接着剤を注入することによって、貫通部の内面（接着面）と実装面とが接着される。これにより、圧電振動片のマウント部とパッケージの実装面との間に導電性接着剤が介在しないため、容易に圧電振動片の姿勢を所望の姿勢とでき、その姿勢を保持した状態で圧電振動片をパッケージに実装できる。
【０００９】
前記貫通部は、前記一面と略垂直な側面側に開口する切欠形状を有していてもよい。
この構成によれば、導電性接着剤を圧電振動片の側面側から貫通部に注入することができるため、簡便である。
【００１０】
前記マウント部には凸部が設けられ、前記貫通部は前記凸部を貫通していてもよい。
この構成によれば、凸部をパッケージの実装面に当接させた後に、貫通部に導電性接着剤を注入することによって、圧電振動片とパッケージとを接着することができる。これにより、圧電振動片の一面がパッケージの実装面と凸部の高さの分だけ離間した状態で、圧電振動片を実装できる。
【００１１】
本発明の圧電振動片の実装方法は、ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージに、一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部が接続された基部と、一面の所定位置に設けられたマウント部と、を備える圧電振動片を実装する圧電電振動片の実装方法であって、前記マウント部を前記ベース部材の実装面に当接させる工程と、前記実装面と、前記一面とは異なり、前記実装面と交差する前記圧電振動片の接着面と、にまたがるようにして、導電性接着剤を塗布する工程と、を有する。
【００１２】
この方法によれば、圧電振動片のマウント部をパッケージの実装面に当接した後に、パッケージの実装面と、一面とは異なり、実装面と交差する圧電振動片の接着面（たとえば、側面）と、にまたがるようにして導電性接着剤を塗布する。これにより、圧電振動片のマウント部とパッケージの実装面との間に導電性接着剤が介在しないため、容易に圧電振動片の姿勢を所望の姿勢とでき、その姿勢を保持した状態で圧電振動片をパッケージに実装できる。
【００１３】
本発明の圧電振動子は、ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージと、前記ベース部材における実装面にマウントされ、前記キャビティ内に収容された圧電振動片と、を備える圧電振動子であって、前記圧電振動片は、一の方向に並んで配置された一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部が接続された基部と、一面の所定位置に設けられたマウント部と、を備え、前記実装面と、前記マウント部と、は当接し、前記実装面における前記マウント部との非接触面と、前記圧電振動片における前記一面と異なり、前記非接触面と交差する接着面と、にまたがって導電性接着剤が設けられている。
【００１４】
この構成によれば、前述した圧電振動片のマウント部をパッケージの実装面に当接した後に、パッケージの実装面と、一面とは異なり、実装面と交差する圧電振動片の接着面（たとえば、側面）と、にまたがるようにして導電性接着剤を塗布する圧電振動片の実装方法を採用できる。これにより、圧電振動片が所望の姿勢で精度よく実装された、信頼性に優れた圧電振動子が得られる。
【００１５】
前記実装面と、前記マウント部を除いた前記一面と、の間に隙間を形成する隙間形成部を備えていてもよい。
この構成によれば、圧電振動片は、マウント部のみが実装面に当接されている状態となるため、圧電振動片の振動がパッケージに漏れることを抑制できる。
【００１６】
前記隙間形成部は、前記圧電振動片の前記一面と、前記ベース部材の前記実装面と、のうち少なくとも一方の面上に設けられた凸部であってもよい。
この構成によれば、圧電振動片の一面上と、ベース部材の実装面上との、少なくともどちらか一方に凸部が設けられていることにより、圧電振動片の一面と、ベース部材の実装面との間に、凸部の高さと同一の高さを有する隙間を形成できる。
【００１７】
前記マウント部に、前記一面側に開口する貫通部が形成されていてもよい。
この構成によれば、マウント部に貫通部が形成されていることにより、貫通部の内面が接着面となり、導電性接着剤によって接着される部分が増加する。そのため、圧電振動片とパッケージとの接着が強固な、圧電振動子が得られる。
また、導電性接着剤を貫通部に注入することによって、圧電振動片をパッケージに接着する圧電振動片の実装方法を採用できる。
【００１８】
前記貫通部は、前記一面と略垂直な側面側に開口する切欠形状を有していてもよい。
この構成によれば、導電性接着材を圧電振動片の側面側から貫通部に注入することによって、圧電振動片をパッケージに接着する圧電振動片の実装方法を採用できる。
【００１９】
本発明の発振器は、本発明の圧電振動子を備え、該圧電振動子は発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする。
この構成によれば、本発明の圧電振動子を備えているため、同様に信頼性に優れた発振器が得られる。
【００２０】
本発明の電子機器は、本発明の圧電振動子を備え、該圧電振動子は計時部に電気的に接続されていることを特徴とする。
この構成によれば、本発明の圧電振動子を備えているため、同様に信頼性に優れた電子機器が得られる。
【００２１】
本発明の電波時計は、本発明の圧電振動子を備え、該圧電振動子はフィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする。
この構成によれば、本発明の圧電振動子を備えているため、同様に信頼性に優れた電波時計が得られる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、容易に圧電振動片を所望の姿勢に保持した状態で圧電振動子のパッケージに実装できる。そのため、圧電振動片を実装した圧電振動子が外部衝撃等を受けた場合においても、実装された圧電振動片がパッケージ内部に接触し、破損することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１実施形態の圧電振動片を示す外観斜視図である。
【図２】第１実施形態の圧電振動片を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図３】圧電振動子の一実施形態を示す外観斜視図である。
【図４】圧電振動子の一実施形態の内部構造を示す平面図である。
【図５】圧電振動子の一実施形態を示す図であって、図４におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図６】本実施形態の圧電振動子を示す図であって、各部を分解した分解斜視図である。
【図７】第１実施形態の圧電振動片の実装方法を示す図である。
【図８】第２実施形態の圧電振動片を示す外観斜視図である。
【図９】第２実施形態の圧電振動片を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＣ−Ｃ断面図である。
【図１０】第３実施形態の圧電振動片を示す外観斜視図である。
【図１１】第３実施形態の圧電振動片を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＤ−Ｄ断面図である。
【図１２】第４実施形態の圧電振動片を示す外観斜視図である。
【図１３】第４実施形態の圧電振動片を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＥ−Ｅ断面図である。
【図１４】第５実施形態の圧電振動片を示す外観斜視図である。
【図１５】第５実施形態の圧電振動片を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＦ−Ｆ断面図である。
【図１６】発振器の一実施形態を示す構成図である。
【図１７】電子機器の一実施形態を示す構成図である。
【図１８】電波時計の一実施形態を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る圧電振動片および圧電振動子について説明する。
なお、本発明の範囲は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせる場合がある。
なお、図１から図１５までの説明においてはＸＹＺ座標系を設定し、このＸＹＺ座標系を参照しつつ各部材の位置関係を説明する。この際、圧電振動片の面と垂直な方向をＺ軸方向、振動腕部の長手方向をＹ軸方向、Ｙ軸方向とＺ軸方向の両方と直交する方向をＸ軸方向とする。また、基部から振動腕部の先端に向かう方向を＋Ｙ方向とする。
【００２５】
［第１実施形態］
（圧電振動片）
まず、本実施形態の圧電振動片１について説明する。
図１，２は、本実施形態の圧電振動片を示す図である。図１は、外観斜視図、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
なお、図１，２においては、後述する圧電振動子に実装する際にパッケージの実装面と対向する対向面（一面）１８ａが上側（＋Ｚ方向側）となるようにして表している。
【００２６】
本実施形態の圧電振動片１は、図１，２に示すように、平板状である。圧電振動片１は、基部１０と、振動腕部１１，１２と、ハンマー部１３，１４と、支持腕部１５，１６と、を備えている。
圧電振動片１は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成されたサイドアーム型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。
圧電振動片１の面に垂直な方向の厚さ（Ｚ軸方向長さ）としては、たとえば、３０μｍとすることができる。
【００２７】
一対の振動腕部１１，１２は、基部１０からそれぞれ同一の方向（＋Ｙ方向）に向かって延出している。振動腕部１１，１２は、長手方向（Ｙ軸方向）と垂直で圧電振動片１の面と平行な方向（一の方向）、すなわちＸ軸方向に並んで設けられている。一対の振動腕部１１，１２の外表面上には、これら一対の振動腕部１１，１２を振動させる不図示の励振電極が形成されている。
【００２８】
ハンマー部１３，１４は、それぞれ振動腕部１１，１２の先端から、振動腕部１１，１２の長手方向（Ｙ軸方向）に沿うように延出形成されている。ハンマー部１３，１４の幅（Ｘ軸方向長さ）は、振動腕部１１，１２の幅（Ｘ軸方向長さ）よりも大きく形成されている。ハンマー部１３，１４は、基部１０を固定端として、幅方向（Ｘ軸方向）に振動する自由端に設定されている。
【００２９】
一対の支持腕部１５，１６は、基部１０から、振動腕部１１，１２の幅方向（Ｘ軸方向）両側に延出した後、振動腕部１１，１２の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って、振動腕部１１，１２の先端側（＋Ｙ方向側）に向かって屈曲延出して形成されている。
【００３０】
支持腕部１５，１６は、それぞれマウント部１５ａ，１６ａを備えている。マウント部１５ａ，１６ａは、圧電振動片１の対向面１８ａ上における、支持腕部１５，１６の延出方向側（＋Ｙ方向側）の先端部近傍に設けられている。マウント部１５ａ，１６ａが設けられている位置は、支持腕部１５，１６が振動する際に、振動の節となる位置である。
【００３１】
マウント部１５ａ，１６ａには、対向面１８ａに垂直な方向に貫通する貫通穴（貫通部）１７がそれぞれ形成されている。貫通穴１７の平面視形状は、特に限定されず、矩形状であっても、他の形状（たとえば、円形状）であってもよい（図では矩形状）。貫通穴１７の内面（接着面）には、不図示のマウント電極が形成されている。貫通穴１７の大きさは、特に限定されず、たとえば、支持腕部１５，１６の幅方向（Ｘ軸方向）長さを、５０μｍ、支持腕部１５，１６の長手方向（Ｙ軸方向）長さを、１００μｍとできる。
【００３２】
貫通穴１７の内面に形成されているマウント電極は、不図示の引き出し電極により、振動腕部１１，１２の外表面上に形成された励振電極と接続されている。そして、これらの各電極に所定の電圧が印加されると、一対の振動腕部１１，１２の双方の励振電極どうしの相互作用により、一対の振動腕部１１，１２が互いに接近または離間する方向（Ｘ軸方向）に所定の共振周波数で振動する。
【００３３】
（圧電振動子）
次に、圧電振動片１を用いた圧電振動子の一実施形態として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明する。
図３から６は、本実施形態の圧電振動子５００を示す図であり、図３は外観斜視図、図４は圧電振動子の内部構成を示す、封口板を取り外した状態の平面図、図５は図４におけるＢ−Ｂ断面図、図６は圧電振動子５００の分解斜視図である。
【００３４】
本実施形態の圧電振動子５００は、図３から図６に示すように、内部に気密封止されたキャビティＣを有するパッケージ５１０と、キャビティＣ内に収容された前述した圧電振動片１と、を備える。
【００３５】
この圧電振動子５００は、略直方体状に形成されており、本実施形態では平面視において圧電振動子５００の長手方向を長さ方向（Ｙ軸方向）といい、短手方向を幅方向（Ｘ軸方向）といい、これら長さ方向および幅方向に対して直交する方向を厚さ方向（Ｚ軸方向）という。
【００３６】
パッケージ５１０は、パッケージ本体（ベース部材）５３０と、このパッケージ本体５３０に対して接合されるとともに、パッケージ本体５３０との間にキャビティＣを形成する封口板（リッド部材）５４０と、を備えている。
【００３７】
パッケージ本体５３０は、互いに重ね合わされた状態で接合された第１ベース基板５５０および第２ベース基板５６０と、第２ベース基板５６０上に接合されたシールリング５７０と、を備えている。
第１ベース基板５５０は、平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされている。第２ベース基板５６０は、第１ベース基板５５０と同じ外形形状である平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされており、第１ベース基板５５０上に重ねられた状態で焼結等によって一体的に接合されている。
【００３８】
第１ベース基板５５０および第２ベース基板５６０の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部５８０が、両基板５５０，５６０の厚さ方向の全体に亘って形成されている。これら第１ベース基板５５０および第２ベース基板５６０は、たとえば、ウエハ状のセラミック基板を２枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、前述した切欠部５８０となる。
また、第２ベース基板５６０の上面は、圧電振動片１がマウントされる実装面５６０ａとされている。
【００３９】
なお、第１ベース基板５５０および第２ベース基板５６０はセラミックス製としたが、その具体的なセラミックス材料としては、たとえばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミックス製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。
【００４０】
シールリング５７０は、第１ベース基板５５０および第２ベース基板５６０の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材であり、第２ベース基板５６０の実装面５６０ａに接合されている。
具体的には、シールリング５７０は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって実装面５６０ａ上に接合、あるいは、実装面５６０ａ上に形成（たとえば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタ等により）された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。
【００４１】
なお、シールリング５７０の材料としては、たとえばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、４２−アロイ等から選択すればよい。特に、シールリング５７０の材料としては、セラミック製とされている第１ベース基板５５０および第２ベース基板５６０に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。たとえば、第１ベース基板５５０および第２ベース基板５６０として、熱膨張係数６．８×１０-6／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング５７０としては、熱膨張係数５．２×１０-6／℃のコバールや、熱膨張係数４．５×１０-6／℃以上、６．５×１０-6／℃以下の４２−アロイを用いることが好ましい。
【００４２】
封口板５４０は、シールリング５７０上に重ねられた導電性基板であり、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付け等によって、シールリング５７０と気密に接合されている。シールリング５７０に対する接合は、そして、この封口板５４０とシールリング５７０と第２ベース基板５６０の実装面５６０ａとで画成された空間が、気密に封止された前述したキャビティＣとして機能する。
【００４３】
なお、封口板５４０の溶接方法としては、たとえばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板５４０とシールリング５７０との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板５４０の下面と、シールリング５７０の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。
【００４４】
第２ベース基板５６０の実装面５６０ａ上には、凸部（隙間形成部）８１が設けられている。凸部８１は、圧電振動片１が実装されている側に突出して形成されており、平面視形状は特に限定されず、矩形状であっても、他の形状であってもよい（図では矩形状）。凸部８１の上面は、実装面５６０ａと平行である。凸部８１は、実装面５６０ａにおける、後述する凹部６６０の−Ｙ方向側に、実装面５６０ａの幅方向（Ｘ軸方向）の中心を挟んで２つ、対称の位置に設けられている。凸部８１の上面には、圧電振動片１との接続電極である一対の電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂがそれぞれ形成されている。
【００４５】
第１ベース基板５５０の下面には、一対の外部電極６２０Ａ，６２０Ｂが長さ方向（Ｙ軸方向）に間隔をあけて形成されている。
これら電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂおよび外部電極６２０Ａ，６２０Ｂは、たとえば、蒸着やスパッタ等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜であり、互いにそれぞれ導通している。
【００４６】
この点詳細に説明する。
図５に示すように、第１ベース基板５５０には一方の外部電極６２０Ａに導通し、第１ベース基板５５０を厚さ方向に貫通する一方の第１貫通電極６３０Ａが形成されているとともに、第２ベース基板５６０には一方の電極パッド６１０Ａに導通し、第２ベース基板５６０を厚さ方向に貫通する一方の第２貫通電極６４０Ａが形成されている。そして、第１ベース基板５５０と第２ベース基板５６０との間には、一方の第１貫通電極６３０Ａと一方の第２貫通電極６４０Ａとを接続する一方の接続電極６５０Ａが形成されている。これにより、一方の電極パッド６１０Ａと一方の外部電極６２０Ａとは、互いに導通している。
【００４７】
また、第１ベース基板５５０には他方の外部電極６２０Ｂに導通し、第１ベース基板５５０を厚さ方向に貫通する他方の第１貫通電極６３０Ｂが形成されているとともに、第２ベース基板５６０には他方の電極パッド６１０Ｂに導通し、第２ベース基板５６０を厚さ方向に貫通する他方の第２貫通電極６４０Ｂが形成されている。そして、第１ベース基板５５０と第２ベース基板５６０との間には、他方の第１貫通電極６３０Ｂと他方の第２貫通電極６４０Ｂとを接続する他方の接続電極６５０Ｂが形成されている。これにより、他方の電極パッド６１０Ｂと他方の外部電極６２０Ｂとは、互いに導通している。
なお、他方の接続電極６５０Ｂは、後述する凹部６６０を回避するように、たとえばシールリング５７０の下方をシールリング５７０に沿って延在するようにパターニングされている。
【００４８】
第２ベース基板５６０の実装面５６０ａには、図４および図５に示すように、振動腕部１１，１２の先端部に対向する部分に、落下等による衝撃の影響によって振動腕部１１，１２が厚さ方向（Ｚ軸方向）に変位（撓み変形）した際に、振動腕部１１，１２との接触を回避する凹部６６０が形成されている。この凹部６６０は、第２ベース基板５６０を貫通する貫通孔とされているとともに、シールリング５７０の内側において四隅が丸みを帯びた平面視正方形状に形成されている。
【００４９】
そして、圧電振動片１は、図５に示すように、マウント部１５ａ，１６ａと、電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂの表面（実装面）６１０Ａａ，６１０Ｂａと、が当接するようにしてマウントされている。表面６１０Ａａ，６１０Ｂａは、貫通穴１７の対向面１８ａ側の開口部をそれぞれ塞いでいる。貫通穴１７には、導電性接着剤８０が注入されており、表面６１０Ａａ，６１０Ｂａのうち、マウント部１５ａ，１６ａと当接していない非接触面８３と、貫通穴１７の内面と、が接着されている。貫通穴１７の内面に形成されている図示しないマウント電極は、導電性接着剤８０を介して、電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂと電気的に接触している。
【００５０】
これにより、圧電振動片１は、第２ベース基板５６０の実装面５６０ａに対して、対向面１８ａが平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂにそれぞれ電気的に接続された状態とされている。
【００５１】
このように構成された圧電振動子５００を作動させる場合には、外部電極６２０Ａ，６２０Ｂに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片１の励振電極に電流を流すことができ、一方の振動腕部１１と他方の振動腕部１２とを圧電振動片１の面に沿って所定の周波数で振動させることができる。そして、この振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として圧電振動子５００を利用することができる。
【００５２】
次に、本実施形態の圧電振動片の実装方法について、図７を参照して説明する。
図７は、本実施形態の圧電振動片１を圧電振動子５００に実装する手順を示す断面図であり、図４におけるＢ−Ｂ断面と同様の断面を示している。なお、図７においては、圧電振動子５００の構成要素を適宜省略して図示している。
【００５３】
本実施形態の圧電振動片の実装方法は、図７に示すように、圧電振動片当接工程Ｓ１１と、接着剤注入工程Ｓ１２と、加熱工程Ｓ１３と、を有する。
【００５４】
圧電振動片当接工程Ｓ１１は、図７（ａ）に示すように、圧電振動片１を第２ベース基板５６０に当接させる工程である。
圧電振動片１における支持腕部１５，１６のマウント部１５ａ，１６ａを、第２ベース基板５６０の凸部８１上に設けられた電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂの表面６１０Ａａ，６１０Ｂａに、貫通穴１７の対向面１８ａ側の開口部が閉塞されるようにして当接させる。
この工程により、圧電振動片１が、圧電振動片１の対向面１８ａと、実装面５６０ａと、が平行な姿勢で、第２ベース基板５６０上に設置される。
【００５５】
次に、接着剤注入工程Ｓ１２は、図７（ｂ）に示すように、貫通穴１７に未硬化の導電性接着剤６４を注入する工程である。
未硬化の導電性接着剤６４を吐出するディスペンサー６３は、貫通穴１７に、未硬化の導電性接着剤６４を注入できる範囲内において、特に限定されない。
未硬化の導電性接着剤６４は、圧電振動片１を第２ベース基板５６０上に接着できる範囲内において、特に限定されない。本実施形態においては、熱硬化性を有する接着剤である。
【００５６】
ディスペンサー６３によって、未硬化の導電性接着剤６４を、貫通穴１７に注入し、表面６１０Ａａ，６１０Ｂａのうちマウント部１５ａ，１６ａと当接していない非接触面８３と、貫通穴１７の内面と、を接着させる。このとき、貫通穴１７の内面に形成されているマウント電極と、未硬化の導電性接着剤６４と、が接触するようにする。
この工程により、貫通穴１７の内面と、非接触面８３と、がそれぞれ接着され、マウント電極と、電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂと、が電気的に接触する。
【００５７】
次に、加熱工程Ｓ１３は、図７（ｃ）に示すように、未硬化の導電性接着剤６４を加熱する工程である。
未硬化の導電性接着剤６４を、加熱することにより、硬化させる。
この工程により、硬化した導電性接着材８０によって、貫通穴１７の内面と、非接触面８３と、がそれぞれ固着される。
【００５８】
以上の工程により、圧電振動片１は、図７（ｄ）に示すように、第２ベース基板５６０の実装面５６０ａに対して、対向面１８ａが平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂにそれぞれ電気的に接続された状態で実装される（Ｓ１４）。
【００５９】
本実施形態によれば、圧電振動片１は支持腕部１５，１６におけるマウント部１５ａ，１６ａに貫通穴１７を有しているため、マウント部１５ａ，１６ａを、電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂの表面６１０Ａａ，６１０Ｂａに当接させた後に、貫通穴１７に未硬化の導電性接着剤６４を注入できる。そのため、マウント部１５ａ，１６ａと、表面６１０Ａａ，６１０Ｂａとの間に、未硬化の導電性接着剤６４を介在させずに、圧電振動片１と第２ベース基板５６０とを接着できる。したがって、圧電振動片１の姿勢を所望の姿勢（本実施形態においては、対向面１８ａと実装面５６０ａとが平行な姿勢）に保持した状態で、圧電振動片１を圧電振動子のパッケージに実装することが容易である。
したがって、圧電振動片１を所望の姿勢で精度よく実装できるため、外部から衝撃が加えられたような場合であっても、実装された圧電振動片１がパッケージ５１０内部と接触して破損することを抑制でき、信頼性に優れた圧電振動子が得られる。
【００６０】
また、圧電振動片１のマウント部１５ａ，１６ａは、支持腕部１５，１６における振動の節となる位置に設けられており、圧電振動子５００のパッケージ５１０とは、凸部８１上に設けられた電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂとのみで接している。そのため、圧電振動片１の振動が、パッケージ５１０に漏れることを抑制できる。
【００６１】
また、貫通穴１７が形成されていることにより、マウント部１５ａ，１６ａを電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂの表面６１０Ａａ，６１０Ｂａに当接した際に、貫通穴１７の内面が表面６１０Ａａ，６１０Ｂａと交差する接着面となる。そのため、接着面が増加し、圧電振動片１と第２ベース基板５６０とを強固に接着できる。
【００６２】
なお、本実施形態においては、下記の構成を採用することもできる。
【００６３】
マウント電極は、マウント部１５ａ，１６ａの位置における、圧電振動片１の側周面（Ｚ軸に平行な面）、対向面１８ａ、または対向面１８ａと逆側の面、のいずれかに形成されていてもよい。この場合には、接着剤注入工程Ｓ１２において、マウント電極が形成されている箇所と電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂとにまたがるようにして、未硬化の導電性接着剤６４を塗布する。
【００６４】
未硬化の導電性接着剤６４は、たとえば、光硬化性を有するようなものであってもよい。この場合においては、加熱工程Ｓ１３の代わりに、紫外線を当てる等することにより未硬化の導電性接着剤６４を硬化させる工程を行う。
【００６５】
本実施形態の圧電振動子５００において、実装される圧電振動片は、貫通穴１７が形成されていないものであってもよい。この場合においては、未硬化の導電性接着剤６４を、圧電振動片の側周面と、電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂと、にまたがるようにして塗布することで、圧電振動片を第２ベース基板５６０上に接着できる。
【００６６】
本実施形態においては、圧電振動片１を用いた圧電振動子として、セラミックパッケージタイプの表面実装型振動子について説明したが、圧電振動片１を、ガラス材によって形成されるベース基板およびリッド基板が陽極接合によって接合されるガラスパッケージタイプの圧電振動子に適用することも可能である。
【００６７】
本実施形態においては、圧電振動子５００に実装する圧電振動片として、第１実施形態の圧電振動片１を用いたが、後述する第２実施形態、第３実施形態、第４実施形態または第５実施形態の圧電振動片を用いてもよい。
【００６８】
接着剤注入工程Ｓ１２においては、貫通穴１７に未硬化の導電性接着剤６４を注入するとともに、圧電振動片１の側周面に未硬化の導電性接着剤６４を塗布してもよい。
【００６９】
［第２実施形態］
次に、マウント部に切欠部が形成された、圧電振動片の第２実施形態について説明する。
なお、上記実施形態と同様の構成要素については、適宜、上記実施形態と同様の符号を付してその説明を簡略化、あるいは省略する。
【００７０】
図８，９は、本実施形態の圧電振動片２を示す図であって、図８は、外観斜視図、図９（ａ）は平面図、図９（ｂ）は図９（ａ）におけるＣ−Ｃ断面図である。
圧電振動片２は、図８，９に示すように、対向面１８ｂ上における支持腕部２１，２２の先端部近傍にマウント部２１ａ，２２ａが設けられている。マウント部２１ａ，２２ａには、切欠部（貫通部）１９が形成されている。
【００７１】
切欠部１９は、圧電振動片２の厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通し、圧電振動片２の側周面（側面）２３のうち支持腕部２１，２２の幅方向と垂直な面（ＹＺ面）に開口している。切欠部１９は、マウント部２１ａ，２２ａにおける支持腕部２１，２２の幅方向（Ｘ軸方向）両端に、長手方向（Ｙ軸方向）に沿って２つずつ、それぞれ設けられている。
【００７２】
切欠部１９平面視形状は、特に限定されず、矩形状であっても、他の形状（たとえば、円形状）であってもよい（図では矩形状）。切欠部１９の内面には、不図示のマウント電極が形成されている。切欠部１９の大きさは、特に限定されず、たとえば、支持腕部２１，２２の幅方向（Ｘ軸方向）長さを、２０μｍ、支持腕部２１，２２の長手方向（Ｙ軸方向）長さを、５０μｍとできる。
【００７３】
圧電振動片２は、前述した圧電振動片１の実装方法と同様に、マウント部２１ａ，２２ａを、電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂに当接させた後、切欠部１９に未硬化の導電性接着剤６４を注入し、硬化させることで実装する。
これにより、圧電振動片２は、第２ベース基板５６０の実装面５６０ａに対して、対向面１８ｂが平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂにそれぞれ電気的に接続された状態で、実装される。
【００７４】
本実施形態の圧電振動片２によれば、未硬化の導電性接着剤６４を、側周面２３側から注入できるため、前述した接着剤注入工程Ｓ１２が簡便である。
【００７５】
なお、本実施形態においては、下記の構成を採用することもできる。
【００７６】
本実施形態においては、切欠部１９はマウント部２１ａ，２２ａにそれぞれ４つずつ形成されているが、これに限られない。３つ以下でも、４つ以上でもよい。
また、切欠部１９が複数設けられている場合には、それぞれ大きさが異なっていてもよい。
【００７７】
切欠部１９は、マウント部２１ａ，２２ａの厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通していなくてもよい。この場合においては、対向面１８ｂと、側周面２３と、にのみ開口している形状とできる。
【００７８】
切欠部１９に未硬化の導電性接着剤６４を注入するとともに、切欠部１９が形成されていない、マウント部２１ａ，２２ａの位置における側周面２３に、未硬化の導電性接着剤６４を塗布してもよい。これにより、側周面２３と、電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂとが接着され、より強固に圧電振動片２を第２ベース基板５６０上に接着できる。
【００７９】
マウント電極は、マウント部２１ａ，２２ａが設けられている位置における、側周面２３、対向面１８ｂ、または対向面１８ｂと逆側の面、のいずれかに形成されていてもよい。この場合には、接着剤注入工程Ｓ１２において、マウント電極が設けられた箇所と電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂとにまたがるようにして、未硬化の導電性接着剤６４を塗布する。
【００８０】
［第３実施形態］
次に、支持腕部の先端に凸部が設けられた、第３実施形態について説明する。
なお、上記実施形態と同様の構成要素については、適宜、上記実施形態と同様の符号を付してその説明を簡略化、あるいは省略する。
【００８１】
図１０，１１は、本実施形態の圧電振動片３を示す図であって、図１０は、外観斜視図、図１１（ａ）は平面図、図１１（ｂ）は図１１（ａ）におけるＤ−Ｄ断面図である。
圧電振動片３は、図１０，１１に示すように、対向面１８ｃ上における支持腕部３１，３２の延出方向（＋Ｙ方向）先端部近傍に凸部（隙間形成部）２０がそれぞれ設けられている。凸部２０が設けられている位置は、支持腕部３１，３２における振動の節となる位置である。
【００８２】
凸部２０の平面視形状は、特に限定されない。たとえば、矩形状であってもよく、他の形状（たとえば、円形状）であってもよい（図では矩形状）。凸部２０の当接面２０ａ（マウント部３１ａ，３２ａ）には、貫通穴（貫通部）２０ｂが形成されている。
図１１（ｂ）に示す、凸部２０の対向面１８ｃに垂直な方向（Ｚ軸方向）の厚さｈ１は、圧電振動片３の振動時において、実装されるパッケージ（主に第２ベース基板５６０）と接触しない範囲内で、特に限定されない。たとえば、３０μｍ以上とできる。
【００８３】
貫通穴２０ｂは、厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通している。貫通穴２０ｂの平面視形状は、特に限定されず、矩形状であっても、他の形状（たとえば、円形状）であってもよい（図では矩形状）。貫通穴２０ｂの内面（接着面）には、不図示のマウント電極が形成されている。
【００８４】
圧電振動片３は、前述した圧電振動片１の実装方法と同様に、凸部２０の当接面２０ａ（マウント部３１ａ，３２ａ）を、電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂに当接させた後、貫通穴２０ｂに未硬化の導電性接着剤６４を注入し、硬化させることで実装する。
このとき、凸部２０の高さｈ１の分だけ、マウント部３１ａ，３２ａを除く対向面１８ｃと、実装面５６０ａと、の間に隙間が形成される。
【００８５】
これにより、圧電振動片３は、第２ベース基板５６０の実装面５６０ａに対して、対向面１８ｃが平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂにそれぞれ電気的に接続された状態で、実装される。
【００８６】
本実施形態の圧電振動片３によれば、支持腕部３１，３２の先端部近傍に凸部２０が設けられているため、対向面１８ｃと、実装面５６０ａとの間に隙間が形成され、凸部２０の当接面２０ａと、電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂと、のみが当接した状態で、圧電振動片３がパッケージ５１０に実装される。そのため、圧電振動片３の振動がパッケージ５１０に漏れることを抑制できる。
【００８７】
また、凸部２０を備えていることにより、第２ベース基板上５６０上に凸部８１が設けられていなくても、上記のとおり、圧電振動片３の振動漏れを抑制できる。したがって、実装できるパッケージの選択の幅が広がる。
【００８８】
なお、マウント電極は、マウント部３１ａ，３２ａが設けられている位置における、側周面、対向面１８ｃ、または対向面１８ｃと逆側の面、のいずれかに形成されていてもよい。この場合には、接着剤注入工程Ｓ１２において、マウント電極が設けられた箇所と電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂとにまたがるようにして、未硬化の導電性接着剤６４を塗布する。
【００８９】
［第４実施形態］
次に、音叉型の圧電振動片に貫通穴が形成されている、第４実施形態について説明する。
なお、上記実施形態と同様の構成要素については、適宜、上記実施形態と同様の符号を付してその説明を簡略化、あるいは省略する。
【００９０】
図１２，１３は、本実施形態の圧電振動片４を示す図である。図１２は、外観斜視図であり、図１３（ａ）は平面図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）におけるＥ−Ｅ断面図である。
本実施形態の圧電振動片４は、図１２，１３に示すように、平板状である。圧電振動片４は、基部７０と、振動腕部７２，７３と、を備えている。
基部７０の対向面７４上における、基部７０の中央部には、マウント部７０ａが２つ、基部７０の幅方向（Ｘ軸方向）に並んで設けられている。
【００９１】
各マウント部７０ａには、対向面７４に垂直な方向（Ｚ軸方向）に貫通する貫通穴７１がそれぞれ設けられている。貫通穴７１の平面視形状は、特に限定されず、矩形状であっても、他の形状（たとえば、円形状）であってもよい（図では矩形状）。貫通穴７１の内面（接着面）には、不図示のマウント電極が形成されている。
【００９２】
一対の振動腕部７２，７３は、基部７０からそれぞれ同一の方向（＋Ｙ方向）に向かって延出している。一対の振動腕部７２，７３は、長手方向と垂直で圧電振動片２の面と平行な方向（Ｘ軸方向）に、並んで設けられている。一対の振動腕部７２，７３の外表面上には、これら一対の振動腕部７２，７３を振動させる不図示の励振電極が形成されている。
【００９３】
マウント部７０ａにおける貫通穴７１の内面に設けられているマウント電極は、不図示の引き出し電極により、振動腕部７２，７３の外表面上に形成された励振電極と接続されている。そして、これらの各電極に所定の電圧が印加されると、一対の振動腕部７２，７３の双方の励振電極どうしの相互作用により、一対の振動腕部７２，７３が互いに接近または離間する方向（Ｘ軸方向）に所定の共振周波数で振動する。
【００９４】
圧電振動片４は、前述した圧電振動片１の実装方法と同様に、マウント部７０ａを、電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂに当接させた後、貫通穴７１に未硬化の導電性接着剤６４を注入し、硬化させることで実装する。
これにより、圧電振動片４は、第２ベース基板５６０の実装面５６０ａに対して、対向面７４が平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂにそれぞれ電気的に接続された状態で、実装される。
【００９５】
本実施形態の圧電振動片４を用いることにより、音叉型の圧電振動片を実装した、信頼性に優れた圧電振動子が得られる。
【００９６】
なお、本実施形態においては、下記の構成を採用することもできる。
【００９７】
マウント部７０ａには、第３実施形態と同様に凸部が設けられていてもよい。
【００９８】
マウント電極は、マウント部７０ａが設けられている位置における、対向面７４、または対向面７４と逆側の面、のいずれかに形成されていてもよい。この場合には、接着剤注入工程Ｓ１２において、マウント電極が設けられた箇所と電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂとにまたがるようにして、未硬化の導電性接着剤６４を塗布する。
【００９９】
貫通穴７１は、側周面に開口していてもよい。
【０１００】
［第５実施形態］
次に、センターアーム型の圧電振動片に、貫通穴が形成された第５実施形態について説明する。
なお、上記実施形態と同様の構成要素については、適宜、上記実施形態と同様の符号を付してその説明を簡略化、あるいは省略する。
【０１０１】
図１４，１５は、本実施形態の圧電振動片５を示す図である。図１４は、外観斜視図、図１５（ａ）は、平面図、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）におけるＦ−Ｆ断面図である。
本実施形態の圧電振動片５は、図１４，１５に示すように、平板状である。圧電振動片５は、基部９０と、振動腕部９３，９４と、ハンマー部９５，９６と、支持腕部９１と、を備えている。
【０１０２】
一対の振動腕部９３，９４は、基部９０からそれぞれ同一の方向（＋Ｙ方向）に向かって延出している。振動腕部９３，９４は、長手方向と垂直で圧電振動片３の面と平行な方向（Ｘ軸方向）に、並んで設けられている。一対の振動腕部９３，９４の外表面上には、これら一対の振動腕部９３，９４を振動させる不図示の励振電極が形成されている。
【０１０３】
ハンマー部９５，９６は、それぞれ振動腕部９３，９４の先端から、振動腕部９３，９４の長手方向（Ｙ軸方向）に沿うように延出形成されている。ハンマー部９５，９６の幅（Ｘ軸方向長さ）は、振動腕部９３，９４の幅（Ｘ軸方向長さ）よりも大きく形成されている。ハンマー部９５，９６は、基部９０を固定端として、幅方向（Ｘ軸方向）に振動する自由端に設定されている。
【０１０４】
支持腕部９１は、基部９０における、振動腕部９３と振動腕部９４が延出している箇所の間から、振動腕部９３，９４の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って、振動腕部９３，９４の先端側（＋Ｙ方向側）に向かって延出して形成されている。
【０１０５】
支持腕部９１は、マウント部９１ａを備えている。マウント部９１ａは、圧電振動片５の対向面９７上における、支持腕部９１の延出方向側（＋Ｙ方向側）の先端部近傍に、延出方向（Ｙ軸方向）に並んで２つ設けられている。マウント部９１ａが設けられている位置は、支持腕部９１が振動する際に、振動の節となる位置を挟んだ位置である。
【０１０６】
支持腕部９１のマウント部９１ａには、対向面９７に垂直な方向（Ｚ軸方向）に貫通する貫通穴（貫通部）９２がそれぞれ設けられている。貫通穴９２の平面視形状は、特に限定されず、矩形状であっても、他の形状（たとえば、円形状）であってもよい（図では矩形状）。貫通穴９２の内面（接着面）には、不図示のマウント電極が形成されている。
【０１０７】
マウント電極は、不図示の引き出し電極により、振動腕部９３，９４の外表面上に形成された励振電極と接続されている。そして、これらの各電極に所定の電圧が印加されると、一対の振動腕部９３，９４の双方の励振電極どうしの相互作用により、一対の振動腕部９３，９４が互いに接近または離間する方向（Ｘ軸方向）に所定の共振周波数で振動する。
【０１０８】
圧電振動片５は、前述した圧電振動片１の実装方法と同様に、マウント部９１ａを、電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂに当接させた後、貫通穴９２に未硬化の導電性接着剤６４を注入し、硬化させることで実装する。
これにより、圧電振動片５は、第２ベース基板５６０の実装面５６０ａに対して、対向面９７が平行な状態で支持されると共に、一対の電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂにそれぞれ電気的に接続された状態で、実装される。
【０１０９】
本実施形態の圧電振動片５を用いることにより、センターアーム型の圧電振動片を実装した、信頼性に優れた圧電振動子が得られる。
【０１１０】
なお、本実施形態においては、下記の構成を採用することもできる。
【０１１１】
マウント部９１ａには、第３実施形態と同様に凸部が設けられていてもよい。
【０１１２】
マウント電極は、マウント部９１ａが設けられている位置における、側周面、対向面９７、または対向面９７と逆側の面、のいずれかに形成されていてもよい。この場合には、接着剤注入工程Ｓ１２において、未硬化の導電性接着剤６４が、マウント電極が設けられた箇所と電極パッド６１０Ａ，６１０Ｂとにまたがるようにして、未硬化の導電性接着剤６４を塗布する。
【０１１３】
貫通穴９２は、側周面に開口していてもよい。
【０１１４】
［発振器の実施形態］
次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図１６を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器１００は、図１６に示すように、圧電振動子５００を、集積回路１０１に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器１００は、コンデンサ等の電子部品１０２が実装された基板１０３を備えている。基板１０３には、発振器用の集積回路１０１が実装されており、この集積回路１０１の近傍に、圧電振動子５００が実装されている。これら電子部品１０２、集積回路１０１および圧電振動子５００は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
【０１１５】
このように構成された発振器１００において、圧電振動子５００に電圧を印加すると、この圧電振動子５００内の圧電振動片１が振動する。この振動は、圧電振動片１が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路１０１に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路１０１によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。これにより、圧電振動子５００が発振子として機能する。
また、集積回路１０１の構成を、たとえば、ＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
【０１１６】
本実施形態の発振器１００によれば、前述した圧電振動子５００を備えているので、同様に信頼性に優れた発振器１００とすることができる。
【０１１７】
［電子機器の実施形態］
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図１７を参照して説明する。なお電子機器として、前述した圧電振動子５００を有する携帯情報機器（電子機器）１１０を例にして説明する。
ここで、本実施形態の携帯情報機器１１０は、たとえば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカおよびマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化および軽量化されている。
【０１１８】
次に、本実施形態の携帯情報機器１１０の構成について説明する。この携帯情報機器１１０は、図１７に示すように、圧電振動子５００と、電力を供給するための電源部１１１とを備えている。電源部１１１は、たとえば、リチウム二次電池からなっている。この電源部１１１には、各種制御を行う制御部１１２と、時刻等のカウントを行う計時部１１３と、外部との通信を行う通信部１１４と、各種情報を表示する表示部１１５と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部１１６とが並列に接続されている。そして、電源部１１１によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。
【０１１９】
制御部１１２は、各機能部を制御して音声データの送信および受信、現在時刻の計測や表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部１１２は、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、このＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出して実行するＣＰＵと、このＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭ等とを備えている。
【０１２０】
計時部１１３は、発振回路、レジスタ回路、カウンタ回路およびインターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子５００とを備えている。圧電振動子５００に電圧を印加すると圧電振動片１が振動し、この振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部１１２と信号の送受信が行われ、表示部１１５に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。
【０１２１】
通信部１１４は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９、増幅部１２０、音声入出力部１２１、電話番号入力部１２２、着信音発生部１２３および呼制御メモリ部１２４を備えている。
無線部１１７は、音声データ等の各種データを、アンテナ１２５を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部１１８は、無線部１１７又は増幅部１２０から入力された音声信号を符号化および複号化する。増幅部１２０は、音声処理部１１８又は音声入出力部１２１から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部１２１は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
【０１２２】
また、着信音発生部１２３は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部１１９は、着信時に限って、音声処理部１１８に接続されている増幅部１２０を着信音発生部１２３に切り替えることによって、着信音発生部１２３において生成された着信音が増幅部１２０を介して音声入出力部１２１に出力される。
なお、呼制御メモリ部１２４は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部１２２は、たとえば、０から９の番号キーおよびその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。
【０１２３】
電圧検出部１１６は、電源部１１１によって制御部１１２等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部１１２に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部１１４を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、たとえば、３Ｖ程度となる。電圧検出部１１６から電圧降下の通知を受けた制御部１１２は、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９および着信音発生部１２３の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部１１７の動作停止は、必須となる。更に、表示部１１５に、通信部１１４が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。
【０１２４】
すなわち、電圧検出部１１６と制御部１１２とによって、通信部１１４の動作を禁止し、その旨を表示部１１５に表示することができる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部１１５の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×（バツ）印を付けるようにしてもよい。
なお、通信部１１４の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部１２６を備えることで、通信部１１４の機能をより確実に停止することができる。
【０１２５】
本実施形態の携帯情報機器１１０によれば、前述した圧電振動子５００を備えているので、同様に信頼性に優れた携帯情報機器１１０とすることができる。
【０１２６】
［電波時計の実施形態］
次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図１８を参照して説明する。
本実施形態の電波時計１３０は、図１８に示すように、フィルタ部１３１に電気的に接続された圧電振動子５００を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県（４０ｋＨｚ）と佐賀県（６０ｋＨｚ）とに、標準の電波を送信する送信所（送信局）があり、それぞれ標準電波を送信している。４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、前述した２つの送信所で日本国内を全て網羅している。
【０１２７】
以下、電波時計１３０の機能的構成について詳細に説明する。
アンテナ１３２は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの搬送波にＡＭ変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ１３３によって増幅され、複数の圧電振動子５００を有するフィルタ部１３１によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子５００は、前述した搬送周波数と同一の４０ｋＨｚおよび６０ｋＨｚの共振周波数を有する水晶振動子部１３８，１３９をそれぞれ備えている。
【０１２８】
さらに、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路１３４により検波復調される。続いて、波形整形回路１３５を介してタイムコードが取り出され、ＣＰＵ１３６でカウントされる。ＣＰＵ１３６では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、ＲＴＣ１３７に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚであるから、水晶振動子部１３８，１３９は、前述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。
【０１２９】
なお、前述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。たとえば、ドイツでは７７．５ＫＨｚの標準電波が用いられている。したがって、海外でも対応可能な電波時計１３０を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の圧電振動子５００を必要とする。
【０１３０】
本実施形態の電波時計１３０によれば、前述した圧電振動子５００を備えているので、同様に信頼性に優れた電波時計１３０とすることができる。
【０１３１】
なお、上記の実施形態における発振器、電子機器、電波時計においては、第１実施形態の圧電振動片１が実装された圧電振動子５００を用いたが、前述した第２実施形態、第３実施形態、第４実施形態または第５実施形態の圧電振動片を実装した圧電振動子であってもよい。
【０１３２】
また、上記の実施形態における圧電振動片は、振動腕部に溝が設けられていないが、溝が設けられていてもよい。
【符号の説明】
【０１３３】
１，２，３，４，５…圧電振動片、１０，７０，９０…基部、１１，１２，７２，７３，９３，９４…振動腕部、１５，１６，９１…支持腕部、１５ａ，１６ａ，３１ａ，３２ａ，７０ａ，９１ａ…マウント部、１７…貫通穴（貫通部）、１９ａ，１９ｂ…切欠部（貫通部）、２０，８１…凸部（隙間形成部）、２３…側周面（側面）、１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，７４，９７…対向面（一面）、６４，８０…導電性接着剤、８３…非接触面、１００…発振器、１１０…携帯情報機器（電子機器）、１３０…電波時計、５００…圧電振動子、５１０…パッケージ、５３０…パッケージ本体（ベース部材）、５４０…封口板（リッド部材）、５６０ａ…実装面、６１０Ａａ，６１０Ｂａ…電極パッドの表面（実装面）、Ｃ…キャビティ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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