(57)【要約】【課題】  耐衝撃性に優れる二次実装半導体装置を作製可能であるとともに、二次実装工程の効率化が可能な補強シート及びこれを用いる二次実装半導体装置の製造方法を提供すること。【解決手段】  本発明は、第１主面に突起電極が形成された一次実装半導体装置が、該突起電極を介して配線基板に電気的に接続された二次実装半導体装置を補強するための補強シートであって、基材層、粘着剤層及び熱硬化性樹脂層をこの順で備え、前記粘着剤層の破断強度が０．０７ＭＰａ以上であり、かつ６０〜１００℃における溶融粘度が４０００Ｐａ・ｓ以下である。【選択図】  図２Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面に突起電極が形成された一次実装半導体装置が、該突起電極を介して配線基板に電気的に接続された二次実装半導体装置を補強するための補強シートであって、
基材層、粘着剤層及び熱硬化性樹脂層をこの順で備え、
前記粘着剤層の破断強度が０．０７ＭＰａ以上であり、かつ６０〜１００℃における溶融粘度が４０００Ｐａ・ｓ以下である補強シート。
【請求項２】
前記熱硬化性樹脂層の厚さは、前記突起電極の高さの５０％以下である請求項１に記載の補強シート。
【請求項３】
前記熱硬化性樹脂層と前記粘着剤層との間の剥離力が０．０２Ｎ／２０ｍｍ以上０．３Ｎ／２０ｍｍ以下である請求項１又は２に記載の補強シート。
【請求項４】
前記基材層と前記粘着剤層との間に熱可塑性樹脂からなる中間層をさらに備える請求項１〜３のいずれか１項に記載の補強シート。
【請求項５】
第１主面に突起電極が形成された一次実装半導体装置が、該突起電極を介して配線基板に電気的に接続された二次実装半導体装置の製造方法であって、
（Ａ）前記一次実装半導体装置の第１主面に請求項１〜４のいずれか１項に記載の補強シートを貼り合わせる工程、
（Ｂ）前記補強シートによる保持下において前記一次実装半導体装置に対する加工を行う工程、
（Ｃ）前記補強シートにおける前記熱硬化性樹脂層と前記粘着剤層とを剥離して前記熱硬化性樹脂層付きの一次実装半導体装置を得る工程、及び
（Ｄ）前記熱硬化性樹脂層付きの一次実装半導体装置を配線基板に前記突起電極を介して電気的に接続する工程
を含む二次実装半導体装置の製造方法。
【請求項６】
工程（Ａ）において、前記補強シートを前記突起電極が前記粘着剤層に到達するように貼り合わせる請求項５に記載の二次実装半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記粘着剤層が放射線硬化型粘着剤層であり、
該放射線硬化型粘着剤層に放射線を照射した後に工程（Ｃ）を行う請求項５又は６に記載の二次実装半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、補強シート及び二次実装半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器の小型・薄型化による高密度実装の要求が、特に、携帯電話等の携帯用電子機器用途において急激に増加している。このため、半導体パッケージは、従来のピン挿入型に代わり、高密度実装に適した表面実装型が主流になっている。この表面実装型では、半導体素子が樹脂封止された半導体装置をハンダボール等の接続用端子を介して二次実装用のプリント基板等に直接はんだ付けする。
【０００３】
ここで、携帯用電子機器用途では落下衝撃が加わることが多いことから、耐衝撃性が要求される。これに対し、上記のような二次実装においては、一次実装半導体装置と配線基板との間の接続信頼性を確保するべく、一次実装半導体装置と基板との間の空間への封止樹脂の充填が行われている。このような封止樹脂としては、液状の封止樹脂が広く用いられているものの、液状であるがゆえに封止樹脂の注入位置や注入量の調整が困難となったり、二次実装用の比較的大きいハンダボールではハンダボールと基板との間の間隔が広くなって注入量が多量になったりする。そこで、熱硬化樹脂シートを用いて半導体装置と基板との間の空間全体ではなくハンダボールと二次実装基板との接続部付近の領域を集中的に補強する技術が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４６９９１８９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、携帯用電子機器に加わった落下衝撃等により、ハンダ接続部ではなく、ハンダボールの一次実装基板側の根元部分においてクラックが生じてしまい、接続不良等の機能障害を引き起こすことがあることが判明しており、このような事態への対応が求められている。また、上記技術では、１又は複数の半導体装置と熱硬化樹脂シートとの積層体の裏面研削やダイシング等の加工には、別途の部材ないし工程を採用する必要があり、二次実装された半導体装置の製造工程全体の効率化には改善の余地がある。
【０００６】
本発明は、耐衝撃性に優れる二次実装半導体装置を作製可能であるとともに、二次実装工程の効率化が可能な補強シート及びこれを用いる二次実装半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本発明者らは、裏面研削用のバックグラインドテープやダイシング用のダイシングテープといった従来の加工用テープと所定の熱硬化樹脂シートとを組み合わせて突起電極補強用のシートとし、突起電極の一次実装基板側の根元部分（以下、単に「根元部分」ともいう。）を補強するとともに各加工を含めた製造工程の効率化を試みた。しかしながら、そのようなシートでは、突起電極の先端の露出が不十分となって接続不良が生じたり、加工用テープの剥離後に突起電極の汚染が生じたりすることが判明した。
【０００８】
本発明者らは鋭意検討したところ、下記構成を採用することにより前記目的を達成できることを見出して、本発明を完成させるに至った。
【０００９】
すなわち、本発明は、第１主面に突起電極が形成された一次実装半導体装置が、該突起電極を介して配線基板に電気的に接続された二次実装半導体装置を補強するための補強シートであって、
基材層、粘着剤層及び熱硬化性樹脂層をこの順で備え、
前記粘着剤層の破断強度が０．０７ＭＰａ以上であり、かつ６０〜１００℃における溶融粘度が４０００Ｐａ・ｓ以下である。
【００１０】
当該補強シートでは、基材層及び粘着剤層を備える加工用テープと、突起電極の根元部分を補強可能な熱硬化性樹脂層とを備えているので、突起電極の根元部分を補強するとともに裏面研削やダイシングといった加工を連続的に行うことができ、耐衝撃性に優れる二次実装半導体装置を作製可能であるとともに、その製造工程の効率化を容易に図ることができる。また、粘着剤層の破断強度を０．０７ＭＰａ以上としているので、一次実装半導体装置の加工用テープからの剥離の際にも粘着剤層の破断を抑制することができ、突起電極への糊残りを防止することができる。さらに、粘着剤層の６０〜１００℃における溶融粘度を４０００Ｐａ・ｓ以下としているので、補強シートと一次実装半導体装置との加熱下での貼り合わせ時に、突起電極が粘着剤層に容易に進入することができ、突起電極を側面視した際の熱硬化性樹脂層の配置位置の微調整を容易に行うことができる。その結果、突起電極の形状やサイズを変更してもその進入量を調整することができるので、種々の突起電極の根元部分補強に対応することができる。なお、破断強度及び溶融粘度の測定方法は実施例の記載による。
【００１１】
当該補強シートでは、前記熱硬化性樹脂層の厚さは、前記突起電極の高さの５０％以下であることが好ましい。これにより突起電極が熱硬化性樹脂層を越えて粘着剤層まで到達することができる。その結果、その後の加工用テープの剥離の際には、突起電極は熱硬化性樹脂層から露出することになるので、配線基板との良好な電気的接続を達成可能となる。同時に、突起電極の熱硬化性樹脂層からの露出量の調整が容易となるので、根元部分の補強度合いを簡便に調整することができる。
【００１２】
当該補強シートでは、前記熱硬化性樹脂層と前記粘着剤層との間の剥離力が０．０２Ｎ／２０ｍｍ以上０．３Ｎ／２０ｍｍ以下であることが好ましい。このような剥離力とすることにより、一次実装半導体装置の加工時の保持力と加工用テープからの剥離時の剥離性をバランスよく両立させることができる。
【００１３】
当該補強シートは、前記基材層と前記粘着剤層との間に熱可塑性樹脂からなる中間層をさらに備えることが好ましい。突起電極のサイズが大きくなると、補強シートの貼り合わせの際の突起電極の進入のために、熱硬化性樹脂層及び粘着剤層をそれぞれ厚くする必要がある。しかし、各層を厚くした場合には、突起電極の根元領域の集中的な補強が困難となったり、粘着剤層の破断強度の低下が生じたりする。これに対し、熱可塑性樹脂からなる中間層を設けることにより、貼り合わせ時の加熱によって軟化した中間層への突起電極の進入が容易となるので、熱硬化性樹脂層及び粘着剤層の厚さの変更の必要性を低減することができる。
【００１４】
本発明には、第１主面に突起電極が形成された一次実装半導体装置が、該突起電極を介して配線基板に電気的に接続された二次実装半導体装置の製造方法であって、
（Ａ）前記一次実装半導体装置の第１主面に当該補強シートを貼り合わせる工程、
（Ｂ）前記補強シートによる保持下において前記一次実装半導体装置に対する加工を行う工程、
（Ｃ）前記補強シートにおける前記熱硬化性樹脂層と前記粘着剤層とを剥離して前記熱硬化性樹脂層付きの一次実装半導体装置を得る工程、及び
（Ｄ）前記熱硬化性樹脂層付きの一次実装半導体装置を配線基板に前記突起電極を介して電気的に接続する工程
を含む二次実装半導体装置の製造方法も含まれる。
【００１５】
当該製造方法により、突起電極の根元部分を補強するための熱硬化性樹脂層を一次実装半導体装置に付与しつつ、補強シートによる保持の下、一次実装半導体装置に対する各種加工を行うことができるので、耐衝撃性に優れた二次実装半導体装置を効率良く製造することができる。
【００１６】
当該製造方法の工程（Ａ）において、前記補強シートを前記突起電極が前記粘着剤層に到達するように貼り合わせることが好ましい。これにより、突起電極と配線基板との電気的接続を確保することができ、接続信頼性を向上させることができる。
【００１７】
当該製造方法では、前記粘着剤層を放射線硬化型粘着剤層とし、該放射線硬化型粘着剤層に放射線を照射した後に工程（Ｂ）を行ってもよい。放射線照射型の粘着剤層へ放射線を照射するだけで、熱硬化性樹脂層と粘着剤層との間の剥離力を低下させることができ、熱硬化性樹脂層を容易に剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る補強シートを示す断面模式図である。
【図２Ａ】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。
【図２Ｂ】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。
【図２Ｃ】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。
【図２Ｄ】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。
【図２Ｅ】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。
【図２Ｆ】本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。
【図３Ａ】本発明の他の実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。
【図３Ｂ】本発明の他の実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係る補強シートを示す断面模式図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係る二次実装半導体装置を示す断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明は、第１主面に突起電極が形成された一次実装半導体装置が、該突起電極を介して配線基板に電気的に接続された二次実装半導体装置を補強するための補強シートであって、基材層、粘着剤層及び熱硬化性樹脂層をこの順で備え、前記粘着剤層の破断強度が０．０７ＭＰａ以上であり、かつ６０〜１００℃における溶融粘度が４０００Ｐａ・ｓ以下である。
【００２０】
また、本発明は、第１主面に突起電極が形成された一次実装半導体装置が、該突起電極を介して配線基板に電気的に接続された二次実装半導体装置の製造方法であって、（Ａ）前記一次実装半導体装置の第１主面に当該補強シートを貼り合わせる工程、（Ｂ）前記補強シートによる保持下において前記一次実装半導体装置に対する加工を行う工程、（Ｃ）前記補強シートにおける前記熱硬化性樹脂層と前記粘着剤層とを剥離して前記熱硬化性樹脂層付きの一次実装半導体装置を得る工程、及び（Ｄ）前記熱硬化性樹脂層付きの一次実装半導体装置を配線基板に前記突起電極を介して電気的に接続する工程を含む二次実装半導体装置の製造方法である。以下、本発明の一実施形態である第１実施形態について、二次実装半導体装置の製造方法に沿って説明する。
【００２１】
＜第１実施形態＞
第１実施形態では、一次実装半導体装置として半導体チップがインターポーザーにフリップチップ実装されたパッケージを用い、一次実装半導体装置の加工として裏面研削を行う態様について説明する。
【００２２】
［工程（Ａ）］
工程（Ａ）では、一次実装半導体装置の第１主面に所定の補強シートを貼り合わせる。以下では、まず補強シートについて説明し、その後、該補強シートを利用する二次実装半導体装置の製造工程について説明する。
【００２３】
（補強シート）
図１に示すように、補強シート８は、基材層１ａ、粘着剤層１ｂ及び熱硬化性樹脂層２をこの順で備える。本実施形態では、基材層１ａ及び粘着剤層１ｂが裏面研削用テープ１を構成している。なお、熱硬化性樹脂層２は、図１に示したように、一次実装半導体装置１０（図２Ａ参照）の樹脂封止集合体との貼り合わせに十分なサイズで設けられていればよく、裏面研削用テープ１の全面に積層されていてもよい。
【００２４】
（裏面研削用テープ）
裏面研削用テープ１は、基材層１ａと、基材層１ａ上に積層された粘着剤層１ｂとを備えている。なお、熱硬化性樹脂層２は、粘着剤層１ｂ上に積層されている。
【００２５】
（基材層）
上記基材層１ａは補強シート８の強度母体となるものである。例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル（ランダム、交互）共重合体、エチレン−ブテン共重合体、エチレン−ヘキセン共重合体、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミド、全芳香族ポリアミド、ポリフェニルスルフイド、アラミド（紙）、ガラス、ガラスクロス、フッ素樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、セルロース系樹脂、シリコーン樹脂、金属（箔）、紙等が挙げられる。粘着剤層１ｂが紫外線硬化型である場合、基材層１ａは紫外線に対し透過性を有するものが好ましい。
【００２６】
また基材層１ａの材料としては、上記樹脂の架橋体等のポリマーが挙げられる。上記プラスチックフィルムは、無延伸で用いてもよく、必要に応じて一軸又は二軸の延伸処理を施したものを用いてもよい。
【００２７】
基材層１ａの表面は、隣接する層との密着性、保持性等を高めるため、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的処理、下塗剤（例えば、後述する粘着物質）によるコーティング処理を施すことができる。
【００２８】
上記基材層１ａは、同種又は異種のものを適宜に選択して使用することができ、必要に応じて数種をブレンドしたものを用いることができる。また、基材層１ａには、帯電防止能を付与するため、上記の基材層１ａ上に金属、合金、これらの酸化物等からなる厚さが３０〜５００Å程度の導電性物質の蒸着層を設けることができる。基材層に帯電防止剤を添加することによっても帯電防止能を付与することができる。基材層１ａは単層又は２種以上の複層でもよい。
【００２９】
基材層１ａの厚さは適宜に決定でき、一般的には５μｍ以上２００μｍ以下程度であり、好ましくは３５μｍ以上１２０μｍ以下である。
【００３０】
なお、基材層１ａには、本発明の効果等を損なわない範囲で、各種添加剤（例えば、着色剤、充填剤、可塑剤、老化防止剤、酸化防止剤、界面活性剤、難燃剤等）が含まれていてもよい。
【００３１】
（粘着剤層）
粘着剤層１ｂの破断強度は０．０７ＭＰａ以上であればよいが、好ましくは０．０８ＭＰａ以上であり、より好ましくは０．１ＭＰａ以上である。粘着剤層１ｂの破断強度を０．０７ＭＰａ以上としているので、一次実装半導体装置の裏面研削用テープからの剥離の際にも粘着剤層の破断を抑制することができ、突起電極や熱硬化性樹脂層への糊残りを防止することができる。破断強度の上限値は特に限定されないものの、バンプの凹凸への追従性の観点から、２．０ＭＰａ以下が好ましく、１．０ＭＰａ以下がより好ましい。なお、粘着剤層１ｂが放射線硬化型の粘着剤層（後述）である場合は、硬化後の破断強度が上記範囲を満たせばよい。
【００３２】
また、粘着剤層１ｂの６０〜１００℃における溶融粘度は４０００Ｐａ・ｓ以下であればよいが、好ましくは３５００Ｐａ・ｓ以下、より好ましくは３０００Ｐａ・ｓ以下である。これにより、補強シート８と一次実装半導体装置１０との加熱下での貼り合わせ時に、突起電極が粘着剤層に容易に進入することができ、突起電極を側面視した際の熱硬化性樹脂層の配置位置の微調整を容易に行うことができる。その結果、突起電極の形状やサイズを変更してもその進入量を調整することができるので、種々の突起電極の根元部分補強に対応することができる。上記溶融粘度の下限値は特に限定されないものの、貼り合わせ時の粘着剤層のはみ出しや突起電極への糊残り防止の観点から、１００Ｐａ・ｓ以上が好ましく、５００Ｐａ・ｓ以上がより好ましい。
【００３３】
粘着剤層１ｂの形成に用いる粘着剤は、裏面研削の際に熱硬化性樹脂層を介して一次実装半導体装置をしっかり保持するとともに、裏面研削後に熱硬化性樹脂層付きの一次実装半導体装置をダイシングテープへ移行させる際に熱硬化性樹脂層付きの一次実装半導体装置を剥離可能に制御できるものであれば特に制限されない。例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の一般的な感圧性接着剤を用いることができる。上記感圧性接着剤としては、半導体ウェハやガラス等の汚染をきらう電子部品の超純水やアルコール等の有機溶剤による清浄洗浄性などの点から、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤が好ましい。
【００３４】
上記アクリル系ポリマーとしては、アクリル酸エステルを主モノマー成分として用いたものが挙げられる。上記アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル（例えば、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ−ブチルエステル、ｔ−ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、２−エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、エイコシルエステル等のアルキル基の炭素数１〜３０、特に炭素数４〜１８の直鎖状又は分岐鎖状のアルキルエステル等）及び（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル（例えば、シクロペンチルエステル、シクロヘキシルエステル等）の１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマー等が挙げられる。なお、（メタ）アクリル酸エステルとはアクリル酸エステル及び／又はメタクリル酸エステルをいい、本発明の（メタ）とは全て同様の意味である。
【００３５】
上記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性などの改質を目的として、必要に応じ、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル又はシクロアルキルエステルと共重合可能な他のモノマー成分に対応する単位を含んでいてもよい。このようなモノマー成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸などの酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー；アクリルアミド、アクリロニトリルなどがあげられる。これら共重合可能なモノマー成分は、１種又は２種以上使用できる。これら共重合可能なモノマーの使用量は、全モノマー成分の４０重量％以下が好ましい。
【００３６】
さらに、上記アクリル系ポリマーは、架橋させるため、多官能性モノマーなども、必要に応じて共重合用モノマー成分として含むことができる。このような多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレートなどがあげられる。これらの多官能性モノマーも１種又は２種以上用いることができる。多官能性モノマーの使用量は、粘着特性等の点から、全モノマー成分の３０重量％以下が好ましい。
【００３７】
上記アクリル系ポリマーは、単一モノマー又は２種以上のモノマー混合物を重合に付すことにより得られる。重合は、溶液重合、乳化重合、塊状重合、懸濁重合等の何れの方式で行うこともできる。清浄な被着体への汚染防止等の点から、低分子量物質の含有量が小さいのが好ましい。この点から、アクリル系ポリマーの数平均分子量は、好ましくは３０万以上、さらに好ましくは４０万〜３００万程度である。
【００３８】
また、上記粘着剤には、ベースポリマーであるアクリル系ポリマー等の数平均分子量を高めるため、外部架橋剤を適宜に採用することもできる。外部架橋方法の具体的手段としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン系架橋剤などのいわゆる架橋剤を添加し反応させる方法があげられる。外部架橋剤を使用する場合、その使用量は、架橋すべきベースポリマーとのバランスにより、さらには、粘着剤としての使用用途によって適宜決定される。一般的には、上記ベースポリマー１００重量部に対して、５重量部程度以下、さらには０．１〜５重量部配合するのが好ましい。さらに、粘着剤には、必要により、上記成分のほかに、従来公知の各種の粘着付与剤、老化防止剤などの添加剤を用いてもよい。
【００３９】
粘着剤層１ｂは放射線硬化型粘着剤により形成することができる。放射線硬化型粘着剤は、紫外線等の放射線の照射により架橋度を増大させてその粘着力を容易に低下させることができ、熱硬化性樹脂層付きの一次実装半導体装置の剥離を容易に行うことができる。放射線としては、Ｘ線、紫外線、電子線、α線、β線、中性子線等が挙げられる。
【００４０】
放射線硬化型粘着剤は、炭素−炭素二重結合等の放射線硬化性の官能基を有し、かつ粘着性を示すものを特に制限なく使用することができる。放射線硬化型粘着剤としては、例えば、上記アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の一般的な感圧性粘着剤に、放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合した添加型の放射線硬化性粘着剤を例示できる。
【００４１】
配合する放射線硬化性のモノマー成分としては、例えば、ウレタンオリゴマー、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリストールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレートなどがあげられる。また放射線硬化性のオリゴマー成分はウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系など種々のオリゴマーがあげられ、その重量平均分子量が１００〜３００００程度の範囲のものが適当である。放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分の配合量は、上記粘着剤層の種類に応じて、粘着剤層の粘着力を低下できる量を、適宜に決定することができる。一般的には、粘着剤を構成するアクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、例えば５〜５００重量部、好ましくは４０〜１５０重量部程度である。
【００４２】
また、放射線硬化型粘着剤としては、上記説明した添加型の放射線硬化性粘着剤のほかに、ベースポリマーとして、炭素−炭素二重結合をポリマー側鎖または主鎖中もしくは主鎖末端に有するものを用いた内在型の放射線硬化性粘着剤があげられる。内在型の放射線硬化性粘着剤は、低分子成分であるオリゴマー成分等を含有する必要がなく、または多くは含まないため、経時的にオリゴマー成分等が粘着剤在中を移動することなく、安定した層構造の粘着剤層を形成することができるため好ましい。
【００４３】
上記炭素−炭素二重結合を有するベースポリマーは、炭素−炭素二重結合を有し、かつ粘着性を有するものを特に制限なく使用できる。このようなベースポリマーしては、アクリル系ポリマーを基本骨格とするものが好ましい。アクリル系ポリマーの基本骨格としては、上記例示したアクリル系ポリマーがあげられる。
【００４４】
上記アクリル系ポリマーへの炭素−炭素二重結合の導入法は特に制限されず、様々な方法を採用できるが、炭素−炭素二重結合はポリマー側鎖に導入するのが分子設計が容易である。例えば、予め、アクリル系ポリマーに官能基を有するモノマーを共重合した後、この官能基と反応しうる官能基および炭素−炭素二重結合を有する化合物を、炭素−炭素二重結合の放射線硬化性を維持したまま縮合または付加反応させる方法があげられる。
【００４５】
これら官能基の組合せの例としては、カルボン酸基とエポキシ基、カルボン酸基とアジリジル基、ヒドロキシル基とイソシアネート基などがあげられる。これら官能基の組合せのなかでも反応追跡の容易さから、ヒドロキシル基とイソシアネート基との組合せが好適である。また、これら官能基の組み合わせにより、上記炭素−炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーを生成するような組合せであれば、官能基はアクリル系ポリマーと上記化合物のいずれの側にあってもよいが、上記の好ましい組み合わせでは、アクリル系ポリマーがヒドロキシル基を有し、上記化合物がイソシアネート基を有する場合が好適である。この場合、炭素−炭素二重結合を有するイソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネート、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、ｍ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネートなどがあげられる。また、アクリル系ポリマーとしては、上記例示のヒドロキシ基含有モノマーや２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルのエーテル系化合物などを共重合したものが用いられる。
【００４６】
上記内在型の放射線硬化性粘着剤は、上記炭素−炭素二重結合を有するベースポリマー（特にアクリル系ポリマー）を単独で使用することができるが、特性を悪化させない程度に上記放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合することもできる。放射線硬化性のオリゴマー成分等は、通常ベースポリマー１００重量部に対して３０重量部の範囲内であり、好ましくは０〜１０重量部の範囲である。
【００４７】
上記放射線硬化型粘着剤には、紫外線等により硬化させる場合には光重合開始剤を含有させることが好ましい。光重合開始剤としては、例えば、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、α−ヒドロキシ−α，α´−ジメチルアセトフェノン、２−メチル−２−ヒドロキシプロピオフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどのα−ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフエノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）−フェニル］−２−モルホリノプロパン−１などのアセトフェノン系化合物；ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテルなどのベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタールなどのケタール系化合物；２−ナフタレンスルホニルクロリドなどの芳香族スルホニルクロリド系化合物；１−フェニル−１，２―プロパンジオン−２−（Ｏ−エトキシカルボニル）オキシムなどの光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３′−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２−クロロチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２，４−ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジクロロチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソンなどのチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフィノキシド；アシルホスフォナートなどがあげられる。光重合開始剤の配合量は、粘着剤を構成するアクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、例えば０．０５〜２０重量部程度である。
【００４８】
なお、放射線照射の際に、酸素による硬化阻害が起こる場合は、放射線硬化型の粘着剤層１ｂの表面よりなんらかの方法で酸素（空気）を遮断するのが望ましい。例えば、上記粘着剤層１ｂの表面をセパレータで被覆する方法や、窒素ガス雰囲気中で紫外線等の放射線の照射を行う方法等が挙げられる。
【００４９】
なお、粘着剤層１ｂには、本発明の効果等を損なわない範囲で、各種添加剤（例えば、着色剤、増粘剤、増量剤、充填剤、粘着付与剤、可塑剤、老化防止剤、酸化防止剤、界面活性剤、架橋剤等）が含まれていてもよい。
【００５０】
粘着剤層１ｂの厚さは特に限定されないが、破断強度の調整や熱硬化性樹脂層２の固定保持の両立性等の観点から１〜１００μｍ程度であるのが好ましい。好ましくは２〜８０μｍ、さらには好ましくは５〜６０μｍである。
【００５１】
（熱硬化性樹脂層）
本実施形態における熱硬化性樹脂層２は、表面二次実装された一次実装半導体装置の突起電極の一次実装基板側の根元部分を補強する補強用フィルムとして好適に用いることができる。
【００５２】
熱硬化性樹脂層の構成材料としては、熱可塑性樹脂と熱硬化性樹脂とを併用したものが挙げられる。又、熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂単独でも使用可能である。
【００５３】
前記熱可塑性樹脂としては、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、ポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、６−ナイロンや６，６−ナイロン等のポリアミド樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、ＰＥＴやＰＢＴ等の飽和ポリエステル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、又はフッ素樹脂等が挙げられる。これらの熱可塑性樹脂は単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。これらの熱可塑性樹脂のうち、イオン性不純物が少なく耐熱性が高く、二次実装半導体装置の信頼性を確保できるアクリル樹脂が特に好ましい。
【００５４】
前記アクリル樹脂としては、特に限定されるものではなく、炭素数３０以下、特に炭素数４〜１８の直鎖若しくは分岐のアルキル基を有するアクリル酸又はメタクリル酸のエステルの１種又は２種以上を成分とする重合体等が挙げられる。前記アルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、イソブチル基、アミル基、イソアミル基、へキシル基、へプチル基、シクロヘキシル基、２−エチルヘキシル基、オクチル基、イソオクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ラウリル基、トリデシル基、テトラデシル基、ステアリル基、オクタデシル基、又はエイコシル基等が挙げられる。
【００５５】
また、前記重合体を形成する他のモノマーとしては、特に限定されるものではなく、例えばアクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマール酸若しくはクロトン酸等の様なカルボキシル基含有モノマー、無水マレイン酸若しくは無水イタコン酸等の様な酸無水物モノマー、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル若しくは（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）−メチルアクリレート等の様なヒドロキシル基含有モノマー、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート若しくは（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等の様なスルホン酸基含有モノマー、又は２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート等の様な燐酸基含有モノマー、アクリロニトリル等のようなシアノ基含有モノマー等が挙げられる。
【００５６】
前記熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、又は熱硬化性ポリイミド樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。特に、突起電極を腐食させるイオン性不純物等の含有が少ないエポキシ樹脂が好ましい。また、エポキシ樹脂の硬化剤としてはフェノール樹脂が好ましい。
【００５７】
前記エポキシ樹脂は、接着剤組成物として一般に用いられるものであれば特に限定は無く、例えばビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型、臭素化ビスフェノールＡ型、水添ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＡＦ型、ビフェニル型、ナフタレン型、フルオンレン型、フェノールノボラック型、オルソクレゾールノボラック型、トリスヒドロキシフェニルメタン型、テトラフェニロールエタン型等の二官能エポキシ樹脂や多官能エポキシ樹脂、又はヒダントイン型、トリスグリシジルイソシアヌレート型若しくはグリシジルアミン型等のエポキシ樹脂が用いられる。これらは単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。これらのエポキシ樹脂のうちノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型樹脂又はテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂が特に好ましい。これらのエポキシ樹脂は、硬化剤としてのフェノール樹脂との反応性に富み、耐熱性等に優れるからである。
【００５８】
さらに、前記フェノール樹脂は、前記エポキシ樹脂の硬化剤として作用するものであり、例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ｔｅｒｔ−ブチルフェノールノボラック樹脂、ノニルフェノールノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、ポリパラオキシスチレン等のポリオキシスチレン等が挙げられる。これらは単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。これらのフェノール樹脂のうちフェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂が特に好ましい。二次実装半導体装置の接続信頼性を向上させることができるからである。
【００５９】
前記エポキシ樹脂とフェノール樹脂の配合割合は、例えば、前記エポキシ樹脂成分中のエポキシ基１当量当たりフェノール樹脂中の水酸基が０．５〜２．０当量になるように配合することが好適である。より好適なのは、０．８〜１．２当量である。すなわち、両者の配合割合が前記範囲を外れると、十分な硬化反応が進まず、エポキシ樹脂硬化物の特性が劣化し易くなるからである。
【００６０】
なお、本発明においては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂及びアクリル樹脂を用いた熱硬化性樹脂層が特に好ましい。これらの樹脂は、イオン性不純物が少なく耐熱性が高いので、二次実装半導体装置の信頼性を確保できる。この場合の配合比は、アクリル樹脂成分１００重量部に対して、エポキシ樹脂とフェノール樹脂の混合量が１０〜１０００重量部である。
【００６１】
エポキシ樹脂とフェノール樹脂の熱硬化促進触媒としては、特に制限されず、公知の熱硬化促進触媒の中から適宜選択して用いることができる。熱硬化促進触媒は単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。熱硬化促進触媒としては、例えば、アミン系硬化促進剤、リン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、ホウ素系硬化促進剤、リン−ホウ素系硬化促進剤などを用いることができる。
【００６２】
熱硬化性樹脂層２には、ハンダボールの表面の酸化膜を除去して半導体素子の実装を容易にするために、フラックスを添加してもよい。フラックスとしては特に限定されず、従来公知のフラックス作用を有する化合物を用いることができ、例えば、ジフェノール酸、アジピン酸、アセチルサリチル酸、安息香酸、ベンジル酸、アゼライン酸、ベンジル安息香酸、マロン酸、２，２−ビス（ヒドロキシメチル）プロピオン酸、サリチル酸、ｏ−メトキシ安息香酸、ｍ−ヒドロキシ安息香酸、コハク酸、２，６−ジメトキシメチルパラクレゾール、安息香酸ヒドラジド、カルボヒドラジド、マロン酸ジヒドラジド、コハク酸ジヒドラジド、グルタル酸ジヒドラジド、サリチル酸ヒドラジド、イミノジ酢酸ジヒドラジド、イタコン酸ジヒドラジド、クエン酸トリヒドラジド、チオカルボヒドラジド、ベンゾフェノンヒドラゾン、４，４’−オキシビスベンゼンスルホニルヒドラジド及びアジピン酸ジヒドラジド等が挙げられる。フラックスの添加量は上記フラックス作用が発揮される程度であればよく、通常、熱硬化性樹脂層に含まれる樹脂成分１００重量部に対して０．１〜２０重量部程度である。
【００６３】
本実施形態の熱硬化性樹脂層２を予めある程度架橋をさせておく場合には、作製に際し、重合体の分子鎖末端の官能基等と反応する多官能性化合物を架橋剤として添加させておくのがよい。これにより、高温下での接着特性を向上させ、耐熱性の改善を図ることができる。
【００６４】
前記架橋剤としては、特に、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ｐ−フェニレンジイソシアネート、１，５−ナフタレンジイソシアネート、多価アルコールとジイソシアネートの付加物等のポリイソシアネート化合物がより好ましい。架橋剤の添加量としては、前記の重合体１００重量部に対し、通常０．０５〜７重量部とするのが好ましい。架橋剤の量が７重量部より多いと、接着力が低下するので好ましくない。その一方、０．０５重量部より少ないと、凝集力が不足するので好ましくない。また、この様なポリイソシアネート化合物と共に、必要に応じて、エポキシ樹脂等の他の多官能性化合物を一緒に含ませるようにしてもよい。
【００６５】
また、熱硬化性樹脂層２には、無機充填剤を適宜配合することができる。無機充填剤の配合は、導電性の付与や熱伝導性の向上、貯蔵弾性率の調節等を可能にする。
【００６６】
前記無機充填剤としては、例えば、シリカ、クレー、石膏、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、酸化アルミナ、酸化ベリリウム、炭化珪素、窒化珪素等のセラミック類、アルミニウム、銅、銀、金、ニッケル、クロム、鉛、錫、亜鉛、パラジウム、はんだ等の金属、又は合金類、その他カーボン等からなる種々の無機粉末が挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。なかでも、シリカ、特に溶融シリカが好適に用いられる。
【００６７】
無機充填剤の平均粒径は特に限定されないものの、０．００５〜１０μｍの範囲内であることが好ましく、０．０１〜５μｍの範囲内であることがより好ましく、さらに好ましくは０．１〜２．０μｍである。上記無機充填剤の平均粒径が０．００５μｍを下回ると、粒子の凝集が発生しやすくなり、熱硬化性樹脂層の形成が困難となる場合がある。一方、上記平均粒径が１０μｍを超えると、熱硬化性樹脂層と一次実装基板との間への無機粒子の噛み込みが生じやすくなり、補強レベルが低下して二次実装半導体装置の耐衝撃性や接続信頼性が低下するおそれがある。なお、本発明においては、平均粒径が相互に異なる無機充填剤同士を組み合わせて使用してもよい。また、平均粒径は、光度式の粒度分布計（ＨＯＲＩＢＡ製、装置名；ＬＡ−９１０）により求めた値である。
【００６８】
前記無機充填剤の配合量は、有機樹脂成分１００重量部に対し１０〜４００重量部であることが好ましく、５０〜２５０重量部がより好ましい。無機充填剤の配合量が１０重量部未満であると、貯蔵弾性率が低下し突起電極の根元領域の応力緩和信頼性が大きく損なわれる場合がある。一方、４００重量部を超えると、熱硬化性樹脂層２の流動性が低下し一次実装基板の凹凸や突起電極の根元の空間に十分に埋まり込まずにボイドやクラックの原因となったりする場合がある。
【００６９】
なお、熱硬化性樹脂層２には、前記無機充填剤以外に、必要に応じて他の添加剤を適宜に配合することができる。他の添加剤としては、例えば難燃剤、シランカップリング剤又はイオントラップ剤等が挙げられる。前記難燃剤としては、例えば、三酸化アンチモン、五酸化アンチモン、臭素化エポキシ樹脂等が挙げられる。これらは、単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。前記シランカップリング剤としては、例えば、β−（３、４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。これらの化合物は、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。前記イオントラップ剤としては、例えばハイドロタルサイト類、水酸化ビスマス等が挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を併用して用いることができる。
【００７０】
本実施形態において、熱硬化前の熱硬化性樹脂層２の６０〜１００℃での溶融粘度は４０００Ｐａ・ｓ以下であることが好ましく、５００Ｐａ・ｓ以上４０００Ｐａ・ｓ以下であることがより好ましい。熱圧着温度に相当する６０〜１００℃での溶融粘度を上記範囲とすることにより、突起電極４（図２Ａ参照）の熱硬化性樹脂層２への進入を容易にすることができる。
【００７１】
熱硬化性樹脂層２の厚さ（複層の場合は総厚）は特に限定されないものの、熱硬化性樹脂層２の強度や突起電極４の根元部分の補強性を考慮すると５μｍ以上５０μｍ以下程度であってもよい。なお、熱硬化性樹脂層２の厚さは、突起電極４において補強すべき根元部分の範囲を考慮して適宜設定すればよい。
【００７２】
補強シート８の熱硬化性樹脂層２は、セパレータにより保護されていることが好ましい（図示せず）。セパレータは、実用に供するまで熱硬化性樹脂層２を保護する保護材としての機能を有している。セパレータは補強シート８の熱硬化性樹脂層２上に一次実装半導体装置１０を貼着する際に剥がされる。セパレータとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン、ポリプロピレンや、フッ素系剥離剤、長鎖アルキルアクリレート系剥離剤等の剥離剤により表面コートされたプラスチックフィルムや紙等も使用可能である。
【００７３】
（補強シートの製造方法）
本実施の形態に係る補強シート８は、例えば裏面研削用テープ１及び熱硬化性樹脂層２を別々に作製しておき、最後にこれらを貼り合わせることにより作成することができる。具体的には、以下のような手順に従って作製することができる。
【００７４】
まず、基材層１ａは、従来公知の製膜方法により製膜することができる。当該製膜方法としては、例えばカレンダー製膜法、有機溶媒中でのキャスティング法、密閉系でのインフレーション押出法、Ｔダイ押出法、共押出し法、ドライラミネート法等が例示できる。
【００７５】
次に、粘着剤層形成用の粘着剤組成物を調製する。粘着剤組成物には、粘着剤層の項で説明したような樹脂や添加物等が配合されている。調製した粘着剤組成物を基材層１ａ上に塗布して塗布膜を形成した後、該塗布膜を所定条件下で乾燥させ（必要に応じて加熱架橋させて）、粘着剤層１ｂを形成する。塗布方法としては特に限定されず、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、グラビア塗工等が挙げられる。また、乾燥条件としては、例えば乾燥温度８０〜１５０℃、乾燥時間０．５〜５分間の範囲内で行われる。また、セパレータ上に粘着剤組成物を塗布して塗布膜を形成した後、上記乾燥条件で塗布膜を乾燥させて粘着剤層１ｂを形成してもよい。その後、基材層１ａ上に粘着剤層１ｂをセパレータと共に貼り合わせる。これにより、基材層１ａ及び粘着剤層１ｂを備える裏面研削用テープ１が作製される。
【００７６】
熱硬化性樹脂層２は、例えば、以下のようにして作製される。まず、熱硬化性樹脂層２の形成材料である接着剤組成物を調製する。当該接着剤組成物には、熱硬化性樹脂層の項で説明した通り、熱可塑性成分やエポキシ樹脂、各種の添加剤等が配合されている。
【００７７】
次に、調製した接着剤組成物を基材セパレータ上に所定厚みとなる様に塗布して塗布膜を形成した後、該塗布膜を所定条件下で乾燥させ、熱硬化性樹脂層を形成する。塗布方法としては特に限定されず、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、グラビア塗工等が挙げられる。また、乾燥条件としては、例えば乾燥温度７０〜１６０℃、乾燥時間１〜５分間の範囲内で行われる。また、セパレータ上に接着剤組成物を塗布して塗布膜を形成した後、上記乾燥条件で塗布膜を乾燥させて熱硬化性樹脂層を形成してもよい。その後、基材セパレータ上に熱硬化性樹脂層をセパレータと共に貼り合わせる。
【００７８】
続いて、裏面研削用テープ１及び熱硬化性樹脂層２からそれぞれセパレータを剥離し、熱硬化性樹脂層と粘着剤層とが貼り合わせ面となる様にして両者を貼り合わせる。貼り合わせは、例えば圧着により行うことができる。このとき、ラミネート温度は特に限定されず、例えば３０〜１００℃が好ましく、４０〜８０℃がより好ましい。また、線圧は特に限定されず、例えば０．９８〜１９６Ｎ／ｃｍが好ましく、９．８〜９８Ｎ／ｃｍがより好ましい。次に、熱硬化性樹脂層上の基材セパレータを剥離し、本実施の形態に係る補強シートが得られる。
【００７９】
（一次実装半導体装置）
図２Ａに示すように、本実施形態に係る一次実装半導体装置１０は、第１主面３ａに突起電極４が形成された半導体装置であればよい。例えば、半導体チップ又は半導体素子５が、いわゆるインターポーザー又は基板３を介して、突起電極４（ハンダボール、ハンダバンプ、導電性ボールなどともいう。）と接続された形態の半導体装置を指し、通常は、封止樹脂６により封止されてパッケージを構成している。従って、厳密には、図２Ａに示されているのは複数の一次実装半導体装置が樹脂封止された封止集合体ということになるが、本明細書では両者を区別せずに一次実装半導体装置ということがある。また、マルチ・チップ・モジュール（ＭＣＭ）やチップ・サイズ・パッケージ（ＣＳＰ）、ボール・グリッド・アレイ（ＢＧＡ）等も一次実装半導体装置に含まれる。
【００８０】
具体的には、本実施形態の一次実装半導体装置１０は、主として、切り出し可能なインターポーザー３と、インターポーザー３上にＸＹ平面状に配列されて封止樹脂６によって封止された半導体チップ５と、インターポーザー３を挟んで半導体チップ５に形成された電極（図示せず）と電気的に接続された突起電極４とから形成される。なお、半導体チップ５は、インターポーザー３との間で電極接合が行われており、複数が一括して封止樹脂６によって封止されていることが好ましい。
【００８１】
インターポーザー３としては特に限定されず、例えば、セラミック基板、プラスチック（エポキシ、ビスマレイミドトリアジン、ポリイミド等）基板、シリコン基板等が挙げられる。
【００８２】
半導体チップ５とインターポーザー３との電極接合の形態は、特に限定されるものではなく、金線、銅線によるワイヤーボンドや、バンプ接合等が挙げられる。また、突起電極としては、金、銅、ニッケル、アルミ、ハンダ及びこれらの組み合わせ等が挙げられる。突起電極のサイズは特に限定されないが、例えば、直径１００〜３００μｍ程度が挙げられる。
【００８３】
補強シート８では、熱硬化性樹脂層２の厚さは、突起電極４の高さの５０％以下であることが好ましく、４８％以下がより好ましく、４５％以下が特に好ましい。これにより突起電極４が熱硬化性樹脂層２を越えて粘着剤層１ｂまで到達することができる。その結果、その後の裏面研削用テープ１の剥離の際には、突起電極４は熱硬化性樹脂層２から露出することになるので（図２Ｃ参照）、配線基板との良好な電気的接続を達成可能となる。同時に、突起電極の熱硬化性樹脂層からの露出量の調整が容易となるので、根元部分の集中的な補強を効率良く行うことができる。
【００８４】
（貼り合わせ）
図２Ａに示すように、一次実装半導体装置１０の突起電極４が形成された第１主面３ａに、補強シート８を貼り合わせる。貼り合わせは、汎用性および生産性の観点から加熱加圧条件下で行うことが好ましく、ロール圧着又はプレス圧着方式等が好適に用いられる。
【００８５】
貼り合わせ温度は、熱硬化性樹脂層２の流動性の観点から、熱硬化性樹脂層２を構成する樹脂の軟化点以上かつ硬化反応開始温度以下で行うことが好ましい。そのような温度としては、通常、６０℃〜１００℃程度の温度範囲から選択される。これにより、樹脂の流動性を確保して、突起電極間を熱硬化性樹脂層２によって十分埋め込むことができるとともに、十分な密着性を得ることができる。
【００８６】
加圧は、半導体装置の強度および熱硬化樹脂シートの流動性の観点から、好ましくは０．１〜１ＭＰａ、より好ましくは０．３〜０．７ＭＰａの圧力を負荷して押圧しながら行われる。また必要に応じて、減圧下（１〜１０００Ｐａ）で圧着してもよい。
【００８７】
［工程（Ｂ）］
工程（Ｂ）では、補強シート８による保持下において一次実装半導体装置１０に対する裏面研削加工を行う。研削工程では、上記一次実装半導体装置１０の第１主面３ａとは反対側の第２主面（すなわち、裏面）３ｂ側から研削を行う（図２Ｂ参照）。なお、本実施形態では封止樹脂６のみの研削を行っているが、これにとどまらず、半導体チップ５の裏面を研削するようにしてもよい。半導体チップ５の裏面が樹脂封止されていない場合は、そのまま半導体チップ５の裏面を研削することになる。一次実装半導体装置１０の裏面研削に用いる薄型加工機としては特に限定されず、例えば研削機（バックグラインダー）、研磨パッド等を例示できる。また、エッチング等の化学的方法にて裏面研削を行ってもよい。裏面研削は、一次実装半導体装置が所望の厚さ（例えば、１０〜５００μｍ）になるまで行われる。
【００８８】
［工程（Ｃ）］
研削工程後、熱硬化性樹脂層２を貼り付けた状態で一次実装半導体装置１０を裏面研削用テープ１から剥離し（図２Ｃ）、熱硬化性樹脂層２付き一次実装半導体装置１０とダイシングテープ１１とを貼り合わせる（図２Ｄ参照）。このとき、一次実装半導体装置の第２主面３ｂ側とダイシングテープ１１の粘着剤層１１ｂとが対向するように貼り合わせる。従って、一次実装半導体装置１０の第１主面３ａに貼り合わされた熱硬化性樹脂層２は露出した状態（図２Ｄ中、上向き）となる。なお、ダイシングテープ１１は、基材層１１ａ上に粘着剤層１１ｂが積層された構造を有する。基材層１１ａ及び粘着剤層１１ｂとしては、上記裏面研削用テープ１の基材層１ａ及び粘着剤層１ｂの項で示した成分及び製法を用いて好適に作製することができる。また、市販のダイシングテープも好適に用いることができる。
【００８９】
一次実装半導体装置１０の裏面研削用テープ１からの剥離の際、粘着剤層１ｂが放射線硬化性を有する場合には、粘着剤層１ｂに放射線を照射して粘着剤層１ｂを硬化させることで、剥離を容易に行うことができる。放射線の照射量は、用いる放射線の種類や粘着剤層の硬化度等を考慮して適宜設定すればよい。なお、粘着剤層１ｂが放射線硬化性を有しない場合は、裏面研削後、熱硬化性樹脂層２付き一次実装半導体装置１０とダイシングテープ１１とを貼り合わせた後、裏面研削用テープ１を剥離するようにしてもよい。
【００９０】
本実施形態に係る補強シート８では、熱硬化性樹脂層２と粘着剤層１ｂとの間の剥離力が０．０２Ｎ／２０ｍｍ以上０．３Ｎ／２０ｍｍ以下であることが好ましく、０．０３Ｎ／２０ｍｍ以上０．２Ｎ／２０ｍｍ以下であることがより好ましい。このような剥離力とすることにより、一次実装半導体装置の裏面研削時の保持力と裏面研削用テープからの剥離時の剥離性をバランスよく両立させることができる。
【００９１】
［ダイシング工程］
ダイシング工程では、図２Ｅに示すように一次実装半導体装置１０及び熱硬化性樹脂層２をダイシングして個片化された熱硬化性樹脂層２付きの一次実装半導体装置１０を形成する。ここで得られる一次実装半導体装置１０は同形状に切断された熱硬化性樹脂層２と一体になっている。ダイシングは、一次実装半導体装置１０の熱硬化性樹脂層２を貼り合わせた第１主面３ａ側から常法に従い行われる。
【００９２】
本工程では、例えば、ダイシングテープ１１まで切込みを行うフルカットと呼ばれる切断方式等を採用できる。本工程で用いるダイシング装置としては特に限定されず、従来公知のものを用いることができる。
【００９３】
なお、ダイシング工程に続いてダイシングテープのエキスパンドを行う場合、該エキスパンドは従来公知のエキスパンド装置を用いて行うことができる。エキスパンド装置は、ダイシングリングを介してダイシングテープを下方へ押し下げることが可能なドーナッツ状の外リングと、外リングよりも径が小さくダイシングテープを支持する内リングとを有している。このエキスパンド工程により、熱硬化性樹脂層２付きの一次実装半導体装置１０のピックアップの際に、隣り合うもの同士が接触して破損するのを防ぐことが出来る。
【００９４】
次に、二次実装工程である工程（Ｄ）に先立ち、個片化された一次実装半導体装置１０を回収するために、ピックアップを行う。ピックアップの方法としては特に限定されず、従来公知の種々の方法を採用できる。例えば、個々の一次実装半導体装置１０をダイシングテープの基材層側からニードルによって突き上げ、突き上げられた一次実装半導体装置１０をピックアップ装置によってピックアップする方法等が挙げられる。なお、ピックアップされた一次実装半導体装置１０は、第１主面３ａに貼り合わされた熱硬化性樹脂層２と一体となって積層体を構成している。
【００９５】
ここでピックアップは、粘着剤層１１ｂが紫外線硬化型の場合、該粘着剤層１１ｂに紫外線を照射した後に行う。これにより、粘着剤層１１ｂの一次実装半導体装置１０に対する粘着力が低下し、一次実装半導体装置１０の剥離が容易になる。その結果、一次実装半導体装置１０を損傷させることなくピックアップが可能となる。紫外線照射の際の照射強度、照射時間等の条件は特に限定されず、適宜必要に応じて設定すればよい。また、紫外線照射に使用する光源としては、例えば低圧水銀ランプ、低圧高出力ランプ、中圧水銀ランプ、無電極水銀ランプ、キセノン・フラッシュ・ランプ、エキシマ・ランプ、紫外ＬＥＤ等を用いることができる。
【００９６】
［工程（Ｄ）］
工程（Ｄ）では、熱硬化性樹脂層２付きの一次実装半導体装置１０を配線基板２３に突起電極４を介して電気的に接続する（図２Ｆ参照）。具体的には、一次実装半導体装置１０の第１主面３ａが配線基板２３と対向する形態で、配線基板２３に常法に従い固定させる。例えば、一次実装半導体装置１０に形成されている突起電極４を、配線基板２３の接続パッドに被着された接合用の導電材（図示せず）に接触させて押圧しながら導電材を溶融させることにより、一次実装半導体装置１０と配線基板２３との電気的接続を確保することができる。一次実装半導体装置１０の第１主面３ａ側には熱硬化性樹脂層２が貼り付けられているので、突起電極４の根元部分を補強しつつ、突起電極４と配線基板２３との電気的接続を図ることができる。
【００９７】
二次実装工程における一般的な加熱条件としては２００〜３００℃であり、加圧条件としては０〜１０００Ｎである。また、二次実装工程での熱圧着処理を多段階で行ってもよい。例えば、１５０℃、５０Ｎで１０秒間処理した後、２８０℃、１０〜１００Ｎで１０秒間処理するという手順を採用することができる。多段階で熱圧着処理を行うことにより、突起電極４とパッド間の樹脂を効率よく除去し、より良好な金属間接合を得ることが出来る。
【００９８】
配線基板２３としては、リジッド配線基板やフレキシブル配線基板、セラミック配線基板、メタルコア配線基板、有機基板等の公知の配線基板が挙げられる。
【００９９】
なお、二次実装工程では、突起電極４及び導電材の一方又は両方を溶融させて、両者を接続させているが、この突起電極４及び導電材の溶融時の温度としては、通常、２６０℃程度（例えば、２５０℃〜３００℃）となっている。本実施形態に係る補強シートは、熱硬化性樹脂層２をエポキシ樹脂等により形成することにより、この実装工程における高温にも耐えられる耐熱性を有するものとすることができる。
【０１００】
熱硬化性樹脂層２は、二次実装の際の熱の付与によって硬化させてもよく、二次実装工程後に硬化工程を設けて硬化させてもよい。硬化工程における加熱温度は、熱硬化性樹脂層２が硬化すれば特に限定されず、１００〜３００℃程度であればよい。
【０１０１】
［二次実装半導体装置］
次に、当該補強シートを用いて得られる二次実装半導体装置について図面を参照しつつ説明する（図２Ｆ参照）。本実施形態に係る半導体装置２０では、一次実装半導体装置１０と配線基板２３とが、一次実装半導体装置１０上に形成された突起電極４及び配線基板２３上に設けられた導電材（図示せず）を介して電気的に接続されている。また、突起電極４の根元部分には、当該部分を補強するように熱硬化性樹脂層２が配置されていることから、優れた耐衝撃性を発揮することができる。
【０１０２】
＜第２実施形態＞
本実施形態で用いる一次実装半導体装置は目的とする厚さを有していることから、研削工程は省略される。従って、第２実施形態での補強シートとしては、ダイシングテープと該ダイシングテープ上に積層された熱硬化性樹脂層とを備える補強シートを用いる。
【０１０３】
［工程（Ａ）］
工程（Ａ）では、一次実装半導体装置１０の第１主面３ａに所定の補強シートを貼り合わせる。補強シートは、ダイシングテープ２１と該ダイシングテープ２１上に積層された熱硬化性樹脂層２とを備える（図３Ａ参照）。ダイシングテープ２１は、基材層２１ａと、基材層２１ａ上に積層された粘着剤層２１ｂとを備えている。なお、熱硬化性樹脂層２は、粘着剤層２１ｂ上に積層されている。このようなダイシングテープ２１の基材層２１ａ及び粘着剤層２１ｂ、並びに熱硬化性樹脂層２としては、第１実施形態における基材層１ａ及び粘着剤層１ｂ、並びに熱硬化性樹脂層２と同様のものを用いることができる。一次実装半導体装置や貼り合わせ条件等は、第１実施形態と同様のものを採用することができる。
【０１０４】
［工程（Ｂ）］
工程（Ｂ）では、補強シートによる保持下において一次実装半導体装置１０に対するダイシング加工を行う。ダイシング条件等は第１実施形態と同様のものを好適に採用することができる。
【０１０５】
以降、第１実施形態と同様、個片化した一次実装半導体装置１０のピックアップを経た後、工程（Ｄ）を行うことにより、二次実装半導体装置を製造することができる。
【０１０６】
＜第３実施形態＞
第１実施形態では補強シートの構成として、基材層、粘着剤層及び熱硬化性樹脂層を備える態様を説明したが、第３実施形態では、基材層と粘着剤層との間に熱可塑性樹脂からなる中間層をさらに備える補強シートについて説明する。補強シートが中間層を備える点を除けば、第１実施形態と同様の工程を経ることで所定の半導体装置を製造することができる。
【０１０７】
図４に示すように、補強シート３８は、基材層３１ａ、中間層３１ｃ、粘着剤層３１ｂ及び熱硬化性樹脂層２をこの順で備える。突起電極のサイズが大きくなると、補強シートの貼り合わせの際の突起電極の進入のために、熱硬化性樹脂層及び粘着剤層をそれぞれ厚くする必要がある。しかし、各層を厚くした場合には、突起電極の根元領域の集中的な補強が困難となったり、粘着剤層の破断強度の低下が生じたりする。これに対し、本実施形態のように、熱可塑性樹脂からなる中間層３１ｃを設けることにより、貼り合わせ時の加熱によって軟化した中間層３１ｃへ突起電極４が容易に進入可能となるので、熱硬化性樹脂層２及び粘着剤層３１ｂの厚さの変更の必要性を排除することができる。
【０１０８】
中間層３１ｃの形成材料としては、工程（Ａ）における貼り合わせ温度で軟化する熱可塑性樹脂が好適に挙げられる。このような熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリシロキサン、ポリエーテル、ポリスチレン、ポリスルフィド、ポリカーボネート等が挙げられる。このうち、耐熱性、吸湿性、ガラス転移温度の観点より、アクリル樹脂が好ましい。
【０１０９】
＜第４実施形態＞
第１実施形態では、一次実装半導体装置として、半導体チップがインターポーザーにフリップチップ実装されたパッケージを用いたが、第４実施形態では、ウェハ・レベル・チップ・サイズ・パッケージ（ＷＳ−ＣＳＰ。以下、「ＣＳＰ」ともいう。）を用いる。
【０１１０】
図５には、配線基板４３にＣＳＰが二次実装された二次実装半導体装置４０を示している。ＣＳＰはチップ４５と、チップ４５の片面に形成された導電性ピラー４９及び再配線層４６と、再配線層４６上に積層された封止樹脂層４７と、導電性ピラー４９の先端に設けられた突起電極４４とを備えており、このＣＳＰの封止樹脂層４７上にさらに突起電極の根元部分を補強するための熱硬化性樹脂層４２が積層されている。二次実装半導体装置４０は、ＣＳＰを一次実装半導体装置として用いること以外は、第１実施形態で説明した工程を経ることで好適に製造することができる。
【実施例】
【０１１１】
以下に、この発明の好適な実施例を例示的に詳しく説明する。但し、この実施例に記載されている材料や配合量等は、特に限定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。また、部とあるのは、重量部を意味する。
【０１１２】
［実施例１］
（熱硬化性樹脂層の作製）
アクリル酸エチル−メチルメタクリレートを主成分とするアクリル酸エステル系ポリマー（商品名「パラクロンＷ−１９７ＣＭ」根上工業株式会社製）：１００部に対して、エポキシ樹脂１（商品名「エピコート１００４」ＪＥＲ株式会社製）：２３部、エポキシ樹脂２（商品名「エピコート８２８」ＪＥＲ株式会社製）：２０９部、フェノール樹脂（商品名「ミレックスＸＬＣ−４Ｌ」三井化学株式会社製）：２１５部、球状シリカ（商品名「ＹＣ１００Ｃ−ＭＬＣ」株式会社アドマテックス製）：３７０部、有機酸（商品名「オルトアニス酸」東京化成株式会社製）：５．４部、イミダゾール触媒（商品名「２ＰＨＺ−ＰＷ」四国化成株式会社製）：２．７部をメチルエチルケトンに溶解して、固形分濃度が２３．６重量％となる樹脂組成物の溶液を調製した。
【０１１３】
この樹脂組成物の溶液を、剥離ライナ（セパレータ）としてシリコーン離型処理した厚さが５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる離型処理フィルム上に塗布した後、１３０℃で２分間乾燥させることにより、厚さ３０μｍの熱硬化性樹脂層を作製した。
【０１１４】
（粘着材層の作製）
冷却管、窒素導入管、温度計、及び、撹拌装置を備えた反応容器に、アクリル酸−２−エチルヘキシル（以下、「２ＥＨＡ」ともいう。）８６．４部、アクリル酸−２−ヒドロキシエチル（以下、「ＨＥＡ」ともいう。）１３．６部、過酸化ベンゾイル０．２部、及び、トルエン６５部を入れ、窒素気流中で６１℃にて６時間重合処理をし、アクリル系ポリマーＡを得た。
【０１１５】
アクリル系ポリマーＡに２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（以下、「ＭＯＩ」ともいう。）１４．６部を加え、空気気流中で５０℃にて４８時間、付加反応処理をし、アクリル系ポリマーＡ’を得た。
【０１１６】
次に、アクリル系ポリマーＡ’１００部に対し、ポリイソシアネート化合物（商品名「コロネートＬ」、日本ポリウレタン（株）製）１部、及び、光重合開始剤（商品名「イルガキュア６５１」、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）５部を加えて、粘着剤組成物溶液Ａを得た。
【０１１７】
粘着剤組成物溶液Ａを、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製剥離ライナーのシリコーン処理を施した面上に塗布し、１２０℃で２分間加熱乾燥し、厚さ５０μｍの粘着剤層を形成した。次いで、形成した粘着剤層上に、シリコーン処理をしていないＰＥＴ基材に貼り合せた。このＰＥＴ基材は、厚さ５０μｍである。
【０１１８】
（補強シートの作製）
粘着剤層上の剥離ライナーを剥離した後、得られた粘着剤層と熱硬化性樹脂層とを４０℃でハンドローラで貼りわせることにより補強シートを作製した。
【０１１９】
（ウェハへの貼り合わせ）
熱硬化性樹脂層上の剥離ライナーを剥離した後、貼り合わせ装置（ＤＲ−３０００ＩＩ、日東精機（株）製）を用い、補強シートの熱硬化性樹脂層をウェハのバンプ形成面へ貼り合わせて補強シート付きウェハを作製した。
＜貼り合わせ条件＞
温度：８０℃
速度：３ｍｍ／ｓ
圧力：１００％（０．５ＭＰａ）
＜評価ウェハ＞
株式会社ウォルツ社製
ＦＣ１５０ＪＹ＿ＬＦ
バンプ高さ：７０μｍ
【０１２０】
［実施例２］
粘着剤層の作製において、ポリイソシアネート化合物の配合量をアクリル系ポリマーＡ’１００部に対し０．５部としたこと以外は、実施例１と同様に補強シート及び補強シート付きウェハを作製した。
【０１２１】
［実施例３］
粘着剤層の作製において、ポリイソシアネート化合物の配合量をアクリル系ポリマーＡ’１００部に対し０．２部としたこと以外は、実施例１と同様に補強シート及び補強シート付きウェハを作製した。
【０１２２】
［実施例４］
粘着剤層の作製において、ポリイソシアネート化合物の配合量をアクリル系ポリマーＡ’１００部に対し０．１部としたこと以外は、実施例１と同様に補強シート及び補強シート付きウェハを作製した。
【０１２３】
［比較例１］
粘着剤層の作製において、ポリイソシアネート化合物の配合量をアクリル系ポリマーＡ’１００部に対し２部としたこと以外は、実施例１と同様に補強シート及び補強シート付きウェハを作製した。
【０１２４】
［比較例２］
粘着剤層の作製において、ポリイソシアネート化合物を配合しなかったこと以外は、実施例１と同様に補強シート及び補強シート付きウェハを作製した。
【０１２５】
［評価］
（粘着剤層の破断強度の測定）
上記手順にて作製した粘着剤層に３００ｍＪ／ｃｍ２のＵＶ光を照射して粘着剤層を硬化させ、硬化後の粘着剤層を幅３０ｍｍ×長さ１０ｍｍに切断して試験片とした。試験片を引張試験機「オートグラフＡＳＧ−５０Ｄ型」（島津製作所製）にセットし、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、チャック間距離１０ｍｍ、室温（２３℃）で引張試験を行い、応力−歪み曲線を求めた。その際の試験片が破断した時の応力を求めて破断強度とした。結果を表１に示す。
【０１２６】
（粘着剤層の溶融粘度の測定）
上記手順にて作製した粘着剤層（ＵＶ硬化前）の溶融粘度を測定した。溶融粘度の測定は、レオメーター（ＨＡＡＫＥ社製、ＲＳ−１）を用いて、パラレルプレート法により測定した値である。より詳細には、ギャップ１００μｍ、回転プレート直径２０ｍｍ、回転速度１０ｓ−１、昇温速度１０℃／分の条件にて、５０℃から１２０℃の範囲で溶融粘度を測定した。その結果、実施例１〜４及び比較例２では上記温度範囲の全てで４０００Ｐａ・ｓ以下であった。一方、比較例１では上記温度範囲で４０００Ｐａ・ｓを超える段階があった。表１には、上記温度範囲のうち８０℃における溶融粘度の測定結果を示す。
【０１２７】
（バンプへの補強シートの樹脂成分の移行の評価）
上記手順にて作製した補強シート付きウェハのＰＥＴ基材側から３００ｍＪ／ｃｍ２のＵＶ光を照射して粘着剤層を硬化させ、その後、粘着剤層を基材とともに熱硬化性樹脂層から剥離した。その際のバンプを光学顕微鏡（５００倍）で観察することにより、バンプへの補強シートの何らかの樹脂成分の移行（樹脂残渣）の有無を観察した。また、バンプに移行した樹脂残渣の同定を顕微ＦＴ−ＩＲを用い以下の手順にて行った。光学顕微鏡で観察されたバンプ上の樹脂残渣をダイヤモンドセル上に展開し、顕微ＦＴ−ＩＲ（Ｔｈｅｒｍｏ  Ｆｉｓｈｅｒ  Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ、「Ｎｉｃｏｌｅｔ  ８７００」）を用いて透過法、分解能４．０ｃｍ−１、積算回数５１２回にて赤外スペクトルを測定した。１１００ｃｍ−１においてシリカフィラー由来のピークが観察された場合、樹脂残渣が熱硬化性樹脂層由来であると、観察されなかった場合を粘着剤層由来とそれぞれ同定した。結果を表１に示す。
【０１２８】
【表１】
2014179377.tif 000003
【０１２９】
表１より、実施例では熱硬化性樹脂層及び粘着剤層ともにバンプに移行せず、バンプの熱硬化性樹脂層からの露出及び粘着剤層の剥離がスムーズに行えたことが分かる。一方、比較例１では、バンプに熱硬化性樹脂層が移行していた。この理由として、粘着剤層の破断強度及び溶融粘度が高すぎたことから、粘着剤層がバンプ形状に追従することができず、バンプの熱硬化性樹脂層からの露出を妨げたことが考えられる。比較例２では、バンプに粘着剤層が移行していた。この理由としては、粘着剤層の破断強度が低すぎて熱硬化性樹脂層からの剥離の際の応力に抗することができなかったことが考えられる。
【符号の説明】
【０１３０】
１    裏面研削用テープ
１ａ、２１ａ、３１ａ  基材層
１ｂ、２１ｂ、３１ｂ  粘着剤層
２    熱硬化性樹脂層
３    インターポーザー
３ａ  インターポーザーの第１主面
３ｂ  インターポーザーの第１主面とは反対側の第２主面
４、４４    突起電極
５、４５    半導体チップ（半導体素子）
６、４６    封止樹脂
８、３８  補強シート
１１、２１  ダイシングテープ
１０  一次実装半導体装置
２０、４０  二次実装半導体装置
３１ｃ  中間層
【図１】
2014179377.tif 000004
【図２Ａ】
2014179377.tif 000005
【図２Ｂ】
2014179377.tif 000006
【図２Ｃ】
2014179377.tif 000007
【図２Ｄ】
2014179377.tif 000008
【図２Ｅ】
2014179377.tif 000009
【図２Ｆ】
2014179377.tif 000010
【図３Ａ】
2014179377.tif 000011
【図３Ｂ】
2014179377.tif 000012
【図４】
2014179377.tif 000013
【図５】
2014179377.tif 000014