(57)【要約】【課題】本発明の実施例は、表示装置、カラーフィルタ基板及びその製造方法を提供する。【解決手段】前記カラーフィルタ基板は基板、基板に設置されたブラックマトリックス、及び複数のカラーフィルタを備える。前記ブラックマトリックスにより、複数のカラーフィルタを収容するための複数の空間が限定されている。同じ色のカラーフィルタを収容する空間の間のブラックマトリックスに溝が設置されている。前記溝が同じ色のカラーフィルタを収容する空間を連通する。また、本発明はカラーフィルタ基板の製造に適用している。【選択図】図１
2014044406.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板、前記基板に設置されたブラックマトリックス、及び複数のカラーフィルタを備え、前記ブラックマトリックスが複数の前記カラーフィルタを収容するための複数の空間を限定するカラーフィルタ基板において、
同じ色のカラーフィルタを収容する空間の間のブラックマトリックス領域に溝が設置され、
前記溝が前記同じ色のカラーフィルタを収容する空間を連通することを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項２】
隣り合うまたは近い、前記同じ色のカラーフィルタを収容する空間のブラックマトリックス領域に溝が設置されることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項３】
前記複数の空間がアレイ状に配置され、前記アレイのそれぞれの列における空間が同じ色のカラーフィルタを収容し、
前記溝が前記アレイのそれぞれの列における空間の間のブラックマトリックス領域に設置されることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項４】
前記基板の表面に平行する平面図において、前記溝が前記空間の一辺と接し、接する部分がこの辺の中間に位置することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項５】
前記溝の幅が前記溝と接する前記空間の辺の長さの１／３〜４／５であることを特徴とする請求項４に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項６】
前記溝の深さが前記ブラックマトリックスの厚みの１／４〜１／２であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のカラーフィルタ基板を備える表示装置。
【請求項８】
基板を提供するステップと、パターニング工程を介して、前記基板に複数のカラーフィルタを収容するための複数の空間が限定されると共に、溝が設置されたブラックマトリックスを形成し、前記溝が同じ色のカラーフィルタを収容する空間の間のブラックマトリックス領域に設置され、かつ前記同じ色のカラーフィルタを収容する空間を連通するステップと、前記ブラックマトリックスに限定された複数の空間に複数のカラーフィルタを形成するステップと、
を備えるカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項９】
前記ステップ２は、
前記基板において金属層を形成するステップと、
前記金属層にフォトレジストを塗布するステップと、
ハーフトーンマスクまたはグレートーンマスクで前記フォトレジストを露光するステップと、
露光されたフォトレジストを現像することによって、同じ色のカラーフィルタを収容する空間領域のフォトレジストを現像によってすべて除去し、溝領域におけるフォトレジストを現像を介して部分的に保留し、ブラックマトリックスにおける溝を設置しようとする部分以外の領域のフォトレジストを現像を介して全て保留するステップと、
前記金属層をエッチングすることによって、前記カラーフィルタを収容する空間領域の金属層を除去して複数の空間を形成するステップと、
残されたフォトレジストをアッシングすることによって、前記溝領域におけるフォトレジストを除去し、前記ブラックマトリックスにおける前記溝を設置しようとする部分以外の領域のフォトレジストの厚みを薄くするステップと、
前記複数の空間が形成された金属層をエッチングすることによって、前記溝領域における金属層を部分的に除去して溝を形成するステップと、
残されたフォトレジストをリフトオフすることによって、複数の空間が限定され、且つ溝が設置されたブラックマトリックスを形成するステップと、
を備えることを特徴とする請求項８に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１０】
前記ステップ２は、
前記基板において黒い樹脂層を形成するステップと、
ハーフトーンマスクまたはグレートーンマスクで前記黒い樹脂層を露光するステップと、
露光された黒い樹脂層を現像することによって、カラーフィルタを収容する空間領域における黒い樹脂層のすべてを現像によって除去し、溝領域における黒い樹脂層を現像によって部分的に保留し、前記ブラックマトリックスにおける溝が設置された部分以外の領域を現像によって全て保留して、複数の空間が限定され、且つ溝が設置されたブラックマトリックスを形成するステップと、
を備えることを特徴とする請求項８に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１１】
前記溝の深さが前記ブラックマトリックスの厚みの１／４〜１／２であることを特徴とする請求項８から請求項１０のいずれか１項に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項１２】
前記ステップ３は、インクジェット印刷方式でカラーフォトレジストを前記複数の空間に吹付けることを備えることを特徴とする請求項８から請求項１１のいずれか１項に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施例は、表示装置、カラーフィルタ基板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタ基板は液晶表示装置の色彩化に対して肝心な部材である。カラーフィルタ基板を製造する工程において、インクジェット印刷方式は複数のチャンバーを有する真空設備がいらないので、工程が簡単であり、且つコストが低いというメリットがあって、徐々にカラーフィルタ基板を製造する工程において主な方式となっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
インクジェット印刷工程において、カラーフィルタ基板はノズルよりカラーフォトレジストをブラックマトリックスを有する基板に塗布することによって形成され、カラーフォトレジストを収容してカラーフィルタを形成するように、ブラックマトリックスの間に複数の窪んだ空間が秩序性を有して限定されている。しかし、この工程において、個別のノズルの異常によって、あるカラーフィルタにおけるインクジェット量が不均一になりやすいので、形成された各カラーフィルタの厚みが不均一になってしまうことがある。さらに問題なのは、あるカラーフィルタにおけるインクジェット量が多すぎると、カラーフォトレジストが隣り合う色が異なるカラーフィルタに溢れ、二色のフォトレジストが重なる領域が形成されることである。この領域には、液晶表示の際、混色の異常が生じることがある。
【０００４】
本発明の実施例の課題の一つは、混色の現象を避けるために表示装置、カラーフィルタ基板及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施例は、基板、前記基板に設置されたブラックマトリックス、及び複数のカラーフィルタを備え、前記ブラックマトリックスにより、複数の前記カラーフィルタを収容するための複数の空間が限定され、同じ色のカラーフィルタを収容する空間の間のブラックマトリックス領域に溝が設置され、前記溝が前記同じ色のカラーフィルタを収容する空間を連通するカラーフィルタ基板を提供する。
【０００６】
本発明の他の実施例は、本発明の実施例が提供したカラーフィルタ基板を備える表示装置を提供する。
【０００７】
また、本発明の他の実施例は、基板を提供するステップと、パターニング工程を介して、前記基板に複数のカラーフィルタを収容するための複数の空間が限定され、溝が設置されたブラックマトリックスを形成し、前記溝が同じ色のカラーフィルタを収容する空間の間のブラックマトリックス領域に設置され、前記同じ色のカラーフィルタを収容する空間を連通するステップと、前記ブラックマトリックスに限定された複数の空間に複数のカラーフィルタを形成するステップとを備える、本発明の実施例が提供したカラーフィルタ基板の製造方法を提供する。
【０００８】
本発明が提供する表示装置、カラーフィルタ基板及びその製造方法では、同じ色のカラーフィルタを収容する空間の間のブラックマトリックス領域に溝が形成されている。前記溝が前記同じ色のカラーフィルタを収容する空間を連通することで、ノズルの異常によって、前記空間に噴出された余分のカラーフォトレジストが、前記溝を介して、同じ色のカラーフィルタを収容する空間に溢れる。これによって、余分のカラーフォトレジストが色が異なるフォトフィルタを収容する空間に流れることが避けられ、カラーフォトレジストが複数の空間において均一に分布され、混色等の表示問題が回避されるようになる。これと同時に、本発明が設計した溝が、同じ色のカラーフィルタを収容する空間を連通することができるので、ある空間に余分のフォトレジストを噴出した場合、その余分のフォトレジストが溝を介して同じ色のフォトフィルタを収容する他の空間に流れ、形成されたカラーフィルタが均一の厚みを有し、表示効果が更に向上するようになる。
【０００９】
本発明の実施例における技術手段をより明瞭に説明するため、以下実施例の図面について簡単に紹介する。なお、下記に説明する図面はただ本発明の実施例の一部に係るが、本発明を制限することはないのは勿論のことである。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施例が提供したカラーフィルタ基板の平面図である。
【図２】図２ａ,図２ｂ,図２ｃは図１のカラーフィルタ基板のＡ−Ａの断面図である。
【図３】本発明の他の実施例が提供したカラーフィルタ基板の平面図である。
【図４】本発明のさらに他の実施例が提供したカラーフィルタ基板の平面図である。
【図５】図５ａ−５ｅは本発明の一実施例に係るカラーフィルタ基板の製造方法の各ステップを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明に係る実施例の目的、技術手段及びメリットをより明瞭にするために、以下、本発明の実施例の図面を参照しながら、本発明の実施例の技術手段を明瞭かつ完全に説明する。なお、ここで記載された実施例は、ただ本発明の実施例の一部だけであり、本発明の全ての実施例ではない。本発明の実施例に基づき、当業者が創造的な労働をしない前提で得られる他の実施例は全て本発明の技術範囲に含まれる。
【００１２】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施例に係る表示装置、カラーフィルタ基板及びその製造方法について詳しく説明する。
【００１３】
本発明が提供したカラーフィルタ基板１０は、図１、図２ａ、及び図３に示すように、基板１０１、基板１０１に設置されたブラックマトリックス１０２及び複数のカラーフィルタ１０３を備える。前記ブラックマトリックス１０２により前記カラーフィルタ１０３を収容するための複数の空間１０４が限定されている。そして、それぞれの空間１０４は対応する一つのカラーフィルタ１０３を収容する。例えば、図１に示すように、空間１０４１が赤色（図面においてＲで示されている）のカラーフィルタ１０３１を収容し、空間１０４２が赤色のカラーフィルタ１０３２を収容している。なお、便利のため、図１、図２ａ、及び図３にはカラーフィルタ基板１０の一部のみを示している。
【００１４】
例えば、ブラックマトリックス１０２は色が同じであるまたは異なるカラーフィルタを間隔するための材料であり、一般的にメッシュ構成に形成される。メッシュ部分がカラーフィルタを収容する領域である（即ち、上記の空間１０４）。
【００１５】
更に、同じ色のカラーフィルタ１０３を収容する空間１０４の間のブラックマトリックス領域に溝１０２１が設けられている。同じ色のカラーフィルタ１０３を収容する空間１０４を連通するように、溝１０２１におけるブラックマトリックスの厚みはブラックマトリックス１０２の溝１０２１以外の他の領域１０２２（例えば、基板１０１の辺縁に位置するブラックマトリックス領域及び異なる色のカラーフィルタ１０３の間におけるブラックマトリックス領域）の厚みより小さい。具体的には、例えば、図１に示すように、それぞれ対応する赤色のカラーフィルタ１０３１、１０３２を収容する空間１０４１、１０４２の間のブラックマトリックス領域に溝１０２１が設けられている。ここで、赤色のカラーフィルタは例示のみであり、緑色、青色または他の色のカラーフィルタであってもよい。
【００１６】
図２ｂに示すように、インクジェット印刷方式でカラーフィルタを形成する過程において、ノズルの異常により、空間１０４４に噴出された余分のカラーフォトレジストは前記溝１０２１を介して同じ色のカラーフィルタ１０３２を収容する空間１０４２に溢れ、溝１０２１によって連通される空間１０４４、１０４２におけるカラーフィルタの厚みが、図２ｃに示すように、ほぼ一致するようになる。
【００１７】
前記ブラックマトリックス１０２には少なくとも一つの同じ色のカラーフィルタを収容する空間を連通する溝１０２１が設けられている。カラーフィルタ基板１０全体の同じ色のカラーフィルタの厚みがほぼ一致するように、隣り合う同じ色のカラーフィルタ１０３を収容する二つの空間１０４の間のブラックマトリックス領域ごとに一つの溝１０２１を設けることが好ましい。なお、本発明の実施例はこれに限定されない。当業者が本分野における公知常識や常用手段に応じて適宜の数の溝１０２１を設けてもよい。
【００１８】
また、本発明の実施例は、溝１０２１によって連通された同じ色のカラーフィルタを収容する空間１０４の相対位置や、カラーフィルタ基板１０における複数の空間１０４の全体的配列方式に対して具体的限定をしない。図１から図３までに示された内容は例示のみであり、当業者が公知常識や常用手段に応じて他の具体の形態に設けてもよい。
【００１９】
また、上記のブラックマトリックス１０２及びカラーフィルタ１０３以外に，前記カラーフィルタ基板１０には他の素子層を設置してもよい。例えば、図２ａに示すように、カラーフィルタ基板１０にはオーバーコート（Ｏｖｅｒ  Ｃｏａｔ，ＯＣ）層１０５が設けられてもよい。本発明の実施例はこれについて限定しないが、当業者が本分野における公知常識や常用手段に応じて、例えば導電層（例えば酸化インジウムスズ層）等の他の素子を設置してもよい。
【００２０】
本発明の実施例が提供したカラーフィルタ基板には、同じ色のカラーフィルタ１０３を収容する空間１０４の間のブラックマトリックス領域に、前記同じ色のカラーフィルタ１０３を収容する空間、例えば、図２ａに示す空間１０４４、１０４２を連通する溝１０２１が設けられている。このようにして、インクジェット印刷方式でカラーフィルタ１０３を形成する過程において、ノズルの異常によって空間１０４４に噴出された余分のカラーフォトレジストが、前記溝１０２１を介して、同じ色のカラーフィルタを収容する空間１０４２に溢れ、これによって、余分のカラーフォトレジストが異なる色のカラーフィルタを収容する空間に流れることが避けられ、カラーフォトレジストが複数の空間に均一に分布され、混色等の表示問題が防止されるようになる。本発明の溝によれば、同じ色のカラーフィルタを収容する空間を連通することができ、ある空間にカラーフォトレジストが噴出過ぎた場合、余分のカラーフォトレジストが該溝を介して、他の同じ色のカラーフィルタを収容する空間に流れ、これによって表示効果がさらに向上される。
【００２１】
本発明が提供した一実施例において、図１及び図３に示すように、隣り合うまたは近い同じ色のカラーフィルタ１０３を収容する空間１０４の間のブラックマトリックス領域に、なるべく長さを短くする溝１０２を設けて、カラーフィルタ１０の製造工程を簡略化する。なお、本発明が提供した他の実施例において、他の位置関係を有する、同じ色のカラーフィルタを収容する空間の間のブラックマトリックス領域に溝が設けられてもよい。例えば、溝によって連通された二つの空間は必ず隣り合うものではなく、複数の他の空間を介在して設置されてもよい。
【００２２】
本発明が提供した他の実施例において、図４に示すように、複数の空間１０４がアレイ状に配置されている。そして、前記アレイのそれぞれの列における空間１０４には同じ色のカラーフィルタ１０３が収容されている。左から右への順で、アレイ状に配置された複数の空間１０４は、第一列に赤色（図面にＲで示されている）のカラーフィルタを収容し、第二列に緑色（図面にＧで示されている）のカラーフィルタを収容し、第三列に青色（図面にＢで示されている）のカラーフィルタを収容している。よって、図４に示すように、前記溝１０２１は前記アレイのそれぞれの列における１０４の間のブラックマトリックス領域に設置されている。このように形成された溝１０２１の長さが最も短く、カラーフィルタ基板１０の製造工程が簡単化される。なお、本発明が提供した他の実施例において、前記基板１０における複数の空間の配置方式は他の配列方式を採用してもよい。例えば、前記複数の空間１０４がアレイ状に配置され、それぞれの列におけるカラーフィルタの色が全て同じではなくてもよい。アレイのそれぞれの行におけるカラーフィルタは、隣り合う行における同じ色のカラーフィルタと、一つまたは二つほどずれている。例えば、図３に示すように、第一行におけるカラーフィルタの色は赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）、赤色（Ｒ）であり、第二行におけるカラーフィルタの色は緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）である。これによって、溝１０２１を、前記空間のアレイの第一行と第二行の間に斜めに設置することができる。
【００２３】
また、本発明が提供したもう一つの実施例において、図１及び図３に示すように、前記溝１０２１が前記同じ色のカラーフィルタを収容する空間の間のブラックマトリックス領域の中間位置に設置されている。カラーフォトレジストは、先に溝１０２１を介して流れようとする空間１０４の中間位置に流れ、続いて、空間１０４の両側へ広がり、カラーフォトレジストが硬化する前に速く空間１０４に均一に分布される。例えば、基板の表面に平行する平面図には、カラーフィルタを収容する空間が矩形形状を有し、前記溝がその矩形空間の一辺と接し、且つ、接する部分がこの辺の中間に位置する。なお、本発明の実施例は矩形形状に限らない。例えば、平行四辺形、正方形などのいずれかの適宜形状であってもよい。このように設置された溝１０２１によって、形成されたカラーフィルタの厚みは更に均一になり、表示効果が向上される。
【００２４】
本発明が提供した他の実施例において、前記溝の幅は前記空間の幅の１／３〜４／５である。適宜の空間の幅は、カラーフォトレジストがスムーズに流れることを確保することができ、製造工程も簡単化することができる。例えば、溝の幅は、この溝と接する前記空間の一辺の長さの１／３〜４／５である。
【００２５】
本発明が提供した他の実施例において、前記溝の深さは前記空間の深さ（つまり、前記ブラックマトリックスの溝領域以外の部分の厚み）の１／４〜１／２である。適宜の空間の深さは、カラーフォトレジストがスムーズに流れることを確保することができ、製造工程も簡単化することができる。
【００２６】
本発明が提供したカラーフィルタ基板に対応して、本発明の実施例は表示装置も提供する。前記表示装置は本発明の実施例が提供したカラーフィルタ基板を備える。前記表示装置は、液晶パネル、携帯電話、タブレットＰＣ、テレビ、モニター、ノートパソコン、デジタルフォトフレーム、ナビゲータ等いずれかの表示機能がある製品または部材である。
【００２７】
本発明の実施例が提供する液晶パネルは、本発明の実施例が提供したカラーフィルタ基板を採用しているので、厚みが均一であるカラーフィルタを有し、異なる色のカラーフィルタの混色問題が避けられ、表示効果が更に向上することができる。
【００２８】
本発明が提供したカラーフィルタ基板に対応して、本発明の実施例はカラーフィルタ基板の製造方法も提供する。即ち、以下のステップを備える。
【００２９】
ステップ１：一つの基板を提供する。
【００３０】
この基板は、例えば、ガラス、石英、透明樹脂基板であり、クリーニング工程を介して準備して置く。なお、本発明はこれに限定されない。当業者が公知常識や常用技術手段に応じて、他の種類の基板を選択してもよい。
【００３１】
ステップ２：パターンニング工程を介して、前記基板にカラーフィルタを収容するための複数の空間が限定され、溝が設けられたブラックマトリックスを形成する。前記溝は同じ色のカラーフィルタを収容する空間の間のブラックマトリックス領域に設置され、前記同じ色のカラーフィルタを収容する空間を連通するように構成される。
【００３２】
本ステップにおいて、パターニング工程を介して前記複数の空間及び溝を形成する。なお、ブラックマトリックスを形成する材料は黒い樹脂であってもよいし、モリブデンや、クロムや、アルミニウム等の金属であってもよい。本発明の実施例はこれに限定されない。
【００３３】
ステップ３：前記ブラックマトリックスに限定された空間に複数のカラーフィルタを形成する。
【００３４】
本ステップにおいて、複数のカラーフィルタを形成するように、インクジェット印刷方式によって、カラーフォトレジストを溝が形成されたブラックマトリックスの複数の空間に吹付ける。このステップにおいて、個別のノズルの異常によって、ある空間のカラーフォトレジストのインクジェット量が、多すぎたり、少なくすぎたりして不均一になってしまう場合、インクジェット量が多い空間におけるカラーフォトレジストが前記溝を介して、同じ色のカラーフォトレジストが吹付けられた他の空間に流れるようになる。例えば、図２ｂに示すように、空間１０４４におけるインクジェット量が多すぎるので、溝を介して、空間１０４４と連通された１０４２に流れている。さらに、空間１０４２におけるフォトレジストが溝を介して空間１０４１に流れることもできる。最後に、図２ｃに示すように、各空間１０４１、１０４２、１０４４におけるカラーフォトレジストの量がほぼ一致するようになるので、形成されたカラーフィルタの厚みを均一にすることができる。
【００３５】
本発明の実施例が提供したカラーフィルタ基板の製造方法によれば、パターニング工程を介して、前記基板に複数のカラーフィルタを収容するための複数の空間が限定され、溝が設置されたブラックマトリックスを形成することができ、前記溝は同じ色のカラーフィルタを収容する空間の間のブラックマトリックス領域に設置され、同じ色のカラーフィルタを収容する空間を連通する。これによって、ノズルの異常によって、空間に噴出された余分のフォトレジストが前記溝を介して同じ色のフォトレジストを収容する空間に溢れる。よって、余分のカラーフォトレジストは異なる色のカラーフィルタを収容する空間に流れることが避けられ、フォトレジストが複数の空間に均一に分布され、混色等の表示問題が回避される。また、本発明の溝は同じ色のカラーフィルタを収容する空間を連通することができるので、ある空間に噴出されたカラーフォトレジストが多すぎると、余分のフォトレジストが溝を介して、同じ色のカラーフィルタを収容する他の空間に流れることができるので、形成されたカラーフィルタが均一の厚みを有するようになり、表示効果がさらに向上される。
【００３６】
本発明が提供した他の実施例は、金属材料で複数の空間が限定され、溝が設置されたブラックマトリックスを製造する。具体的に、ステップ２には下記のステップを備える。
【００３７】
ステップ２１：前記基板に金属層を形成する。
【００３８】
図５ａに示すように、例えば、モリブデン、クロム、又はアルミニウム等の金属材料を前記基板１０１にスパッタリングして、金属層１１０を形成する。
【００３９】
ステップ２２：前記金属層にフォトレジストを塗布する。
【００４０】
図５ａは金属層１１０とフォトレジスト１０６が形成されている基板１０１の模式図である。
【００４１】
ステップ２３：ハーフトーンマスクまたはグレートーンマスクで前記フォトレジストを露光する。
本ステップにおいて、ハーフトーンマスクまたはグレートーンマスクを採用して、前記フォトレジストの異なる箇所の露光量を制御し、フォトレジストに対して領域ごとに異なる露光を行う。
【００４２】
ステップ２４：露光されたフォトレジストに対して現像を行うことで、カラーフィルタを収容する空間領域におけるフォトレジストが現像により全て除去され、ブラックマトリックス領域におけるフォトレジストが現像を介して全て保留され、溝領域におけるフォトレジストが現像を介して部分的に保留される。
【００４３】
本ステップにおいて、前記フォトレジストに対して現像を行うことにより、カラーフィルタを収容する空間領域における全てのフォトレジスト及び溝領域における一部のフォトレジストが除去され、ブラックマトリックス領域における全てのフォトレジストが保留され、これによって、残されたフォトレジストが異なる二種類の厚みを有するようになる。
【００４４】
本ステップにおいて、図５ｂに示すように、露光工程及び現像工程を介して、カラーフィルタを収容する空間領域における全てのフォトレジストが除去される。このカラーフィルタを収容する空間領域におけるフォトレジストに覆われた金属層は図２ａの複数の空間１０４に対応する。本ステップにおいて、溝領域における一部のフォトレジストも除去されている。この溝領域におけるフォトレジストに覆われた金属層は図２ａの溝１０２１に対応する。本ステップにおいて、ブラックマトリックス領域におけるフォトレジストは現像を介して全て保留される。このブラックマトリックス領域のフォトレジストに覆われた金属層は図２ａにおけるブラックマトリックス１０２の溝１０２１以外の他の領域１０２２に対応する。最後に、残されたフォトレジストが二種類の厚みを有する。厚みが小さいフォトレジストに覆われた金属層は図２ａの中の溝１０２１に対応し、厚みが大きいフォトレジストに覆われた金属層は図２ａのブラックマトリックス１０２の溝１０２１以外の他の領域１０２２に対応する。
【００４５】
ステップ２５：前記金属層をエッチングして、カラーフィルタを収容する空間における金属層を除去し、複数の空間を形成する。
【００４６】
図５ｃに示すように、基板に複数の空間１０４が形成されている。
【００４７】
ステップ２６：残されたフォトレジストをアッシングして、前記溝領域におけるフォトレジストを除去する。
【００４８】
本ステップにおいて、上層のフォトレジストをアッシングすることによって、残された厚みが小さいフォトレジスト、即ち、前記溝領域におけるフォトレジストを除去し、残された厚みが大きいフォトレジストを保留する。
【００４９】
図５ｄに示すように、厚みが小さく、図２ａの溝１０２１に対応する金属層１１０におけるフォトレジストを除去することによって、後のエッチング工程を行う。
【００５０】
ステップ２７：前記複数の空間が形成された金属層をエッチングして、前記溝領域における金属層を部分的に除去し、前記溝を形成する。
【００５１】
本ステップにおいて、フォトレジストのアッシングされた領域に露出された金属層をエッチングすることによって、前記溝領域の金属層を部分的に除去し、溝を形成する。
【００５２】
ステップ２８：残されたフォトレジストをリフトオフして、複数の空間が限定され、且つ溝が形成された複数のブラックマトリックスを形成する。
【００５３】
図５ｅに示すように、前記基板に複数の空間１０４を有すると共に、溝１０２１が設置されたブラックマトリックス１０２が形成されている。
【００５４】
本発明が提供した他の実施例において、黒い樹脂材料で前記複数の空間を有し、溝が設置されたブラックマトリックスを製造する。ステップ２には具体的に、下記のステップを備える。
【００５５】
ステップ３１：前記基板において黒い樹脂層を形成する。
【００５６】
ステップ３２：ハーフトーンマスクまたはグレートーンマスクで前記黒い樹脂層を露光する。
【００５７】
ステップ３２：露光された黒い樹脂層を現像する。これによって、カラーフィルタを収容する空間領域における黒い樹脂層のすべてが現像によって除去され、ブラックマトリックス領域の黒い樹脂層は現像を介して全て保留され、溝領域における黒い樹脂層は現像を介して部分に保留されることで、複数の空間が限定され、溝が設置されたブラックマトリックスを形成する。
【００５８】
本実施例が提供したカラーフィルタ基板の製造方法のステップ２は、上記実施例におけるステップ２２〜２４と部分的に類似しているので、ここで説明を省略する。
【００５９】
以上は本発明の実施例のみであり、本発明の保護範囲はこれに限定されるものではない。本技術分野に詳しい当業者が、本発明に開示された範囲において、容易に考えられた変化や差替えは、本発明の保護範囲に含まれるものである。従って、本発明の保護範囲は前記請求書の保護範囲を基準としている。
【符号の説明】
【００６０】
１０  カラーフィルタ基板
１０１  基板
１０２  ブラックマトリックス
１０３  カラーフィルタ
１０４  空間
１０５  オーバーコート層
１０６  フォトレジスト
１１０  金属層
１０２１  溝
１０２２  他の領域
１０３１、１０３２  カラーフィルタ
１０４１、１０４２、１０４４  空間
【図１】
2014044406.tif 000003
【図２ａ】
2014044406.tif 000004
【図２ｂ】
2014044406.tif 000005
【図２ｃ】
2014044406.tif 000006
【図３】
2014044406.tif 000007
【図４】
2014044406.tif 000008
【図５】
2014044406.tif 000009