(57)【要約】【課題】吐出溝６ａの長手方向の中央の位置にノズル１１を正確に位置合わせできるようにする。【解決手段】本発明の液体噴射ヘッド１は、基板の上面ＵＳから下面ＬＳに貫通し、面方向に細長い吐出溝６ａが複数配列するアクチュエータ基板２と、吐出溝６ａに連通するノズル１１を有し、吐出溝６ａの下面開口８ａを覆うノズルプレートと、を備え、アクチュエータ基板２の下面ＬＳには、下面開口８ａの長手方向における略中央の位置に近接して位置合わせマークＭ１、Ｍ２が形成される。【選択図】図１
2014097641.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上面から下面に貫通し、面方向に細長い吐出溝が複数配列するアクチュエータ基板と、
前記吐出溝に連通するノズルを有し、前記吐出溝の下面開口を覆うノズルプレートと、を備え、
前記アクチュエータ基板の下面には、前記下面開口の長手方向における略中央の位置に近接して位置合わせマークが形成される液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記位置合わせマークは前記下面開口の長手方向に直交する方向に長い線状のマークである請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記位置合わせマークは前記下面開口の長手方向に平行する方向に長い線状のマークである請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記位置合わせマークは前記アクチュエータ基板の上面から下面に貫通する孔状のマークである請求項１又は３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記ノズルプレートは光透過性のフィルムから成る請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記吐出溝は複数配列して溝列を構成し、前記位置合わせマークは前記溝列の端部に位置する前記吐出溝に近接して形成される請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記位置合わせマークは、前記溝列の両端部に位置する前記吐出溝に近接して複数形成される請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記アクチュエータ基板は、前記吐出溝と前記吐出溝に並列する非吐出溝が交互に配列する請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記ノズルプレートには、前記アクチュエータ基板の前記位置合わせマークに対向する位置に位置合わせマークが形成される請求項１〜８のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
前記吐出溝の一方端に連通する液体排出室と前記吐出溝の他方端に連通する液体供給室とを有し、前記吐出溝の上面開口を部分的に覆うように前記アクチュエータ基板に設置されるカバープレートを備える請求項１〜９のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
【請求項１２】
圧電体基板に並列する複数の吐出溝を形成する溝形成工程と、
前記圧電体基板の下面であり、前記吐出溝が開口する下面開口の長手方向における略中央の位置に近接する位置合わせ用のマークを形成する位置合わせマーク形成工程と、
前記圧電体基板の下面にノズルプレートを設置するノズルプレート設置工程と、を備える液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記圧電体基板に電極を形成する電極形成工程と、
前記圧電体基板の上面にカバープレート設置するカバープレート設置工程と、
前記圧電体基板の下面を研削し、複数の前記吐出溝を上面から下面に貫通させる圧電体基板研削工程と、を備える請求項１２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記位置合わせマーク形成工程は、前記圧電体基板研削工程の後に行う工程である請求項１３に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記位置合わせマーク形成工程は、複数の前記吐出溝の長手方向と平行し、前記吐出溝よりも浅い溝を形成する工程である請求項１２又は１３に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出して被記録媒体に記録する液体噴射ヘッド、この液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字や図形を記録する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料などの液体を液体タンクから供給管を介してチャンネルに導き、チャンネルに充填される液体に圧力を印加してチャンネルに連通するノズルから液体を吐出する。液体の吐出の際には、液体噴射ヘッドや被記録媒体を移動させて文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜を形成する。
【０００３】
図１５は、特許文献１に記載される液体噴射ヘッド１０１の断面模式図である。図１５（ａ）が液体に圧力波を生じさせるための溝１０５の長手方向の断面模式図であり、図１５（ｂ）が溝１０５に直交する方向の断面模式図である。図１６は、圧電プレート１０４を吐出側から見る平面模式図である。液体噴射ヘッド１０１は、圧電体からなる圧電プレート１０４と、その一方側の表面に接着されるカバープレート１０８と、カバープレート１０８の上に接着される流路部材１１１と、圧電プレート１０４の他方側の表面に接着されるノズルプレート１０２とからなる積層構造を有する。圧電プレート１０４には、溝１０５を構成する深溝１０５ａと浅溝１０５ｂが交互に並列して形成され、深溝１０５ａは圧電プレート１０４の一方側の表面から他方側の表面に貫通し、浅溝１０５ｂは一方側の表面に開口し、他方側には圧電体材料が残してある。深溝１０５ａと浅溝１０５ｂの間には側壁１０６ａ〜１０６ｃが形成される。深溝１０５ａの側面には駆動用電極１１６ａ、１１６ｃが形成され、浅溝１０５ｂの側面には１１６ｂ、１１６ｄが形成される。
【０００４】
カバープレート１０８には液体供給口１０９と液体排出口１１０が形成され、液体供給口１０９が深溝１０５ａの一方の端部に、液体排出口１１０が当該深溝１０５ａの他方の端部に連通する。流路部材１１１には液体供給室１１２と液体排出室１１３が形成され、液体供給室１１２が液体供給口１０９に連通し、液体排出室１１３が液体排出口１１０に連通する。ノズルプレート１０２は圧電プレート１０４の下面に、ノズル１０３が深溝１０５ａと連通するように接着される。なお、特許文献１には、ノズルプレート１０２と圧電プレート１０４との間の位置合わせ方法については記載されていない。
【０００５】
この液体噴射ヘッド１０１は次にように駆動される。流路部材１１１に設置される供給用継手１１４から供給される液体は、液体供給室１１２、液体供給口１０９を介して深溝１０５ａに充填される。深溝１０５ａに充填された液体は、更に、液体排出口１１０、液体排出室１１３を介して排出用継手１１５から外部に排出される。そして、駆動用電極１１６ｃと１１６ｂの間、及び駆動用電極１１６ｃと１１６ｄの間に電位差を与えると側壁１０６ｂと１０６ｃは厚みすべり変形し、深溝１０５ａに圧力波が生じてノズル１０３から液滴が吐出される。
【０００６】
図１７は、特許文献２に記載されるインクジェットヘッドの分解斜視説明図である。インクジェットヘッドは、フレーム部材２２５の上に電極基板２０２と流路基板２０１の積層板が設置され、流路基板２０１の上にノズル板２０３が設置され、フレーム部材２２５の下部にフィルター２３１を介してジョイント部材２３０が設置される。更に、電極基板２０２と電気的に接続され、ドライバＩＣ２２０が搭載されるＦＰＣケーブル２２１がフレーム部材２２５の両側方に設置される。
【０００７】
特許文献２には、流路基板２０１に形成される吐出室２０６とノズル板２０３に形成されるノズル２０４とを位置合わせする方法が記載されている。流路基板２０１には細長い共通液室２０８が形成され、この共通液室２０８を挟んで２列の吐出室２０６が形成される。各列の吐出室２０６は、共通液室２０８に直交する方向に細長く、共通液室２０８の長手方向に沿って配列する。ノズル板２０３には２列のノズル２０４の列が形成され、各ノズル２０４は共通液室２０８の長手方向に沿って配列する２列の各吐出室２０６に連通するように、ノズル板２０３と流路基板２０１が接着される。
【０００８】
流路基板２０１の両端部であり、共通液室２０８の長手方向の延長線上にはアライメント穴２４２が形成される。ノズル板２０３の２列のノズル２０４の中央線上にはアライメント穴２４１が形成され、このアライメント穴２４１を流路基板２０１上のアライメント穴２４２に位置合わせを行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１１−１０４７９１号公報
【特許文献２】特開２００２−９６４７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献１に示す液体噴射ヘッド１０１の場合に、一方の端部から液体を流入し他方の端部から液体を流出する液体循環型の吐出溝（深溝１０５ａ）は、吐出溝の長手方向に関して対称に形成することが好ましい。つまり、吐出溝を駆動するための駆動壁や、駆動壁によって生ずる圧力波が伝わる吐出溝の形状を長手方向の中央に関して対称に形成し、その対称中心にノズル１０３を設置する。これにより、液滴を効率よく安定して吐出させることができる。従って、ノズルプレート１０２を圧電プレート１０４に接着する際に、深溝１０５ａの下面開口の長手方向における中央の位置にノズル１０３を簡単に配置できるようにすることが望ましい。特許文献１には、ノズル１０３を深溝１０５ａの長手方向の略中央の位置にどのように設置するかについては記載されていない。
【００１１】
特許文献２に示されるインクジェットヘッドは、吐出室２０６の底面に振動板が設置され、吐出室２０６の長手方向の一方側の端部からインクが流入し、他方側の端部近傍に設置されるノズル２０４から液滴が吐出される。従って、特許文献１に記載される吐出溝とは構造が異なり、ノズル２０４を吐出室２０６の長手方向の中央の位置に設置する必要がない。また、特許文献２では、流路基板２０１とノズル板２０３との間の位置合わせを、ノズル２０４や吐出室２０６から離れた位置に設置されるアライメント穴２４１や２４２を用いて行う。そのため、周囲の温度変化に伴ってアライメント穴２４１、２４２とノズル２０４や吐出室２０６の位置がずれる。またノズル板２０３として可塑性材料を使用する場合などは、ノズル２０４とアライメント穴２４１が離れているために吐出室２０６に対してノズル２０４を正確に位置合わせすることが難しい。
【００１２】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、吐出溝に対してノズルの位置を簡単にかつ正確に合わせることのできる液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の液体噴射ヘッドは、基板の上面から下面に貫通し、面方向に細長い吐出溝が複数配列するアクチュエータ基板と、前記吐出溝に連通するノズルを有し、前記吐出溝の下面開口を覆うノズルプレートと、を備え、前記アクチュエータ基板の下面には、前記下面開口の長手方向における略中央の位置に近接して位置合わせマークが形成されることとした。
【００１４】
また、前記位置合わせマークは前記下面開口の長手方向に直交する方向に長い線状のマークであることとした。
【００１５】
また、前記位置合わせマークは前記下面開口の長手方向に平行する方向に長い線状のマークであることとした。
【００１６】
また、前記位置合わせマークは前記アクチュエータ基板の上面から下面に貫通する孔状のマークであることとした。
【００１７】
また、前記ノズルプレートは光透過性のフィルムから成ることとした。
【００１８】
また、前記吐出溝は複数配列して溝列を構成し、前記位置合わせマークは前記溝列の端部に位置する前記吐出溝に近接して形成されることとした。
【００１９】
また、前記位置合わせマークは、前記溝列の両端部に位置する前記吐出溝に近接して複数形成されることとした。
【００２０】
また、前記アクチュエータ基板は、前記吐出溝と前記吐出溝に並列する非吐出溝が交互に配列することとした。
【００２１】
また、前記ノズルプレートには、前記アクチュエータ基板の前記位置合わせマークに対向する位置に位置合わせマークが形成されることとした。
【００２２】
また、前記吐出溝の一方端に連通する液体排出室と前記吐出溝の他方端に連通する液体供給室とを有し、前記吐出溝の上面開口を部分的に覆うように前記アクチュエータ基板に設置されるカバープレートを備えることとした。
【００２３】
本発明の液体噴射装置は、上記のいずれかに記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。
【００２４】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、圧電体基板に並列する複数の吐出溝を形成する溝形成工程と、前記圧電体基板の下面であり、前記吐出溝が開口する下面開口の長手方向における略中央の位置に近接する位置合わせ用のマークを形成する位置合わせマーク形成工程と、前記圧電体基板の下面にノズルプレートを設置するノズルプレート設置工程と、を備えることとした。
【００２５】
また、前記圧電体基板に電極を形成する電極形成工程と、前記圧電体基板の上面にカバープレート設置するカバープレート設置工程と、前記圧電体基板の下面を研削し、複数の前記吐出溝を上面から下面に貫通させる圧電体基板研削工程と、を備えることとした。
【００２６】
また、前記位置合わせマーク形成工程は、前記圧電体基板研削工程の後に行う工程であることとした。
【００２７】
また、前記位置合わせマーク形成工程は、複数の前記吐出溝の長手方向と平行し、前記吐出溝よりも浅い溝を形成する工程であることとした。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の液体噴射ヘッドは、基板の上面から下面に貫通し、面方向に細長い吐出溝が複数配列するアクチュエータ基板と、吐出溝に連通するノズルを有し、吐出溝の下面開口を覆うノズルプレートと、を備え、アクチュエータ基板の下面には、下面開口の長手方向における略中央の位置に近接して位置合わせマークが形成される。これにより、吐出溝の長手方向の中央の位置にノズルプレートのノズルを正確に位置合わせすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。
【図２】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドのノズルプレートを除去した吐出側の平面模式図である。
【図３】本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。
【図４】本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッドの説明図である。
【図５】本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造工程の流れ図である。
【図６】本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの溝形成工程の説明図である。
【図７】本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの導電体堆積工程の説明図である。
【図８】本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの電極形成工程の説明図である。
【図９】本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドのカバープレート設置工程の説明図である。
【図１０】本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの圧電体基板研削工程の説明図である。
【図１１】本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドの位置合わせマーク形成工程の説明図である。
【図１２】本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッドのノズルプレート設置工程の説明図である。
【図１３】本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッドの製造方法の説明図である。
【図１４】本発明の第七実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。
【図１５】従来公知の液体噴射ヘッドの断面模式図である。
【図１６】従来公知の液体噴射ヘッドの圧電プレートを吐出側から見る平面模式図である。
【図１７】従来公知のインクジェットヘッドの分解斜視説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
（第一実施形態）
図１は、本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド１の説明図である。図１（ａ）は吐出溝６ａの断面模式図であり、図１（ｂ）は非吐出溝６ｂの断面模式図であり、図１（ｃ）は吐出溝６ａの中央の長手方向に直交する方向の断面模式図であり、図１（ｄ）は、アクチュエータ基板２からノズルプレート４を除去した下面ＬＳの平面模式図である。なお、図１（ｄ）では理解しやすくするためにノズル１１を破線で示す。
【００３１】
液体噴射ヘッド１は、アクチュエータ基板２と、その上面ＵＳに設置されるカバープレート３と、アクチュエータ基板２の下面ＬＳに設置されるノズルプレート４の積層構造を有する。アクチュエータ基板２は、基板の上面ＵＳから下面ＬＳに貫通し、面方向に細長い吐出溝６ａが複数配列する。カバープレート３は、吐出溝６ａの一方端に連通する液体排出室１０と吐出溝６ａの他方端に連通する液体供給室９とを有する。ノズルプレート４は、吐出溝６ａに連通するノズル１１を有し、吐出溝６ａの下面開口８を覆うようにアクチュエータ基板２の下面ＬＳに設置される。そして、アクチュエータ基板２の下面ＬＳには吐出溝６ａの下面開口８の長手方向における略中央の位置に近接して位置合わせマークＭ１、Ｍ２が形成される。これにより、吐出溝６ａの長手方向の中央の位置にノズルプレート４のノズル１１を正確に位置合わせすることができる。
【００３２】
より具体的に説明する。アクチュエータ基板２には、吐出溝６ａと非吐出溝６ｂが交互に並列に配列する。吐出溝６ａは、アクチュエータ基板２の一方側の外周端ＬＥの手前から他方側の外周端ＲＥの手前であり、カバープレート３の端部の手前まで形成される。非吐出溝６ｂは、アクチュエータ基板２の一方側の外周端ＬＥの手前から他方側の外周端ＲＥまで形成される。非吐出溝６ｂは、他方側の端部において上げ底部１５が形成される。非吐出溝６ｂは、吐出溝６ａと同様にアクチュエータ基板２の上面ＵＳから下面ＬＳに貫通する。アクチュエータ基板２の上面ＵＳには吐出溝６ａの上面開口７と非吐出溝６ｂの上面開口７が交互に並列に開口し、アクチュエータ基板２の下面ＬＳには吐出溝６ａの下面開口８ａと非吐出溝６ｂの下面開口８ｂが交互に並列に開口する。位置合わせマークＭ１、Ｍ２は、吐出溝６ａの下面開口８ａの長手方向（ｙ方向）に対して直交する方向（ｘ方向）に長い線状のマークからなり、下面開口８ａの長手方向の略中央であり、溝６の配列方向（ｘ方向）における端部近傍の吐出溝６ａ（下面開口８ａ）に近接して設置される。
【００３３】
なお、本実施形態では吐出溝６ａの下面開口８ａと非吐出溝６ｂの下面開口８ｂとを同じ形状としているが、下面開口８ａと下面開口８ｂとが異なる形状あるいは長手方向（ｙ方向）にずれて形成位置が異なる形状であってもよい。この場合でも、位置合わせマークＭ１やＭ２は、吐出溝６ａの下面開口８ａに対してその長手方向の略中央の位置に近接するように形成される。また、本実施形態では非吐出溝６ｂの他方側の端部に上げ底部１５を形成したが、本発明はこの非吐出溝６ｂに限定されず、非吐出溝６ｂを吐出溝６ａと同じ形状としてもよいし、非吐出溝６ｂをアクチュエータ基板２の下面ＬＳに貫通させないで、アクチュエータ基板２を残すようにしてもよい。
【００３４】
吐出溝６ａを挟む壁５の両側面には吐出溝６ａの底面、即ちノズルプレート４に達しない深さのコモン電極１２ａが形成され、他方側の端部の上面ＵＳに形成されるコモン端子１６ａに電気的に接続される。同様に、非吐出溝６ｂを挟む壁５の両側面には非吐出溝６ｂの底面、即ちノズルプレート４に達しない深さのアクティブ電極１２ｂが形成され、他方側の端部の上面ＵＳに形成されるアクティブ端子１６ｂに電気的に接続される。非吐出溝６ｂの両側面に形成されるアクティブ電極１２ｂは互いに電気的に分離される。なお、アクティブ電極１２ｂは上げ底部１５の上面ＢＰよりも上部に形成される。従って、一方側の端部では、非吐出溝６ｂの内部で対向する２つのアクティブ電極１２ｂが傾斜面２２を介して電気的に導通することを防止している。同様に、他方側の端部では、非吐出溝６ｂの内部で対向する２つのアクティブ電極１２ｂが上面ＢＰを介して電気的に導通することを防止している。
【００３５】
なお、アクチュエータ基板２の他方側の外周端ＲＥ近傍の上面ＵＳには、コモン電極１２ａに電気的に接続するコモン端子１６ａとアクティブ電極１２ｂに電気的に接続するアクティブ端子１６ｂと隣接する非吐出溝６ｂに形成されるアクティブ電極１２ｂを電気的に接続する配線１６ｃが設置される。コモン端子１６ａ及びアクティブ端子１６ｂは図示しないフレキシブル基板の配線電極に接続されるランドである。アクティブ端子１６ｂは、吐出溝６ａを挟む２つの壁５のうち、一方の壁５の非吐出溝６ｂに面する側面に形成されるアクティブ電極１２ｂに電気的に接続される。アクティブ端子１６ｂは、更に、他方側の外周端ＲＥに沿って形成される配線１６ｃを介して他方の壁５の非吐出溝６ｂに面する側面に形成されるアクティブ電極１２ｂに電気的に接続される。
【００３６】
カバープレート３は一方側の外周端の手前に液体排出室１０を他方側の外周端の手前に液体供給室９が形成される。更に、液体排出室１０の底部には第一スリット１４ａが形成され、液体供給室９の底部には第二スリット１４ｂが形成される。カバープレート３は、吐出溝６ａ及び非吐出溝６ｂを部分的に覆うように、またコモン端子１６ａ及びアクティブ端子１６ｂが露出するようにアクチュエータ基板２の上面ＵＳに接着剤を介して接着される。第一スリット１４ａは吐出溝６ａの一方側の端部に連通し、第二スリット１４ｂは吐出溝６ａの他方側の端部に連通する。非吐出溝６ｂは液体供給室９及び液体排出室１０には連通しない。つまり、非吐出溝６ｂはカバープレート３によって上面開口７が覆われている。
【００３７】
ノズルプレート４は、各ノズル１１が位置合わせマークＭ１とＭ２を結ぶ直線上に配置されるように、アクチュエータ基板２の下面ＬＳに接着剤を介して接着される。ノズルプレート４に形成されるノズル１１は吐出溝６ａに連通し、非吐出溝６ｂの下面開口８ｂはノズルプレート４により閉塞される。ノズルプレート４として光透過性のフィルムを使用することにより、ノズル１１を位置合わせマークＭ１、Ｍ２に容易に合わせすることができる。また、光を透過しないノズルプレート４の場合には、ノズル１１が配列するノズル列上であり、端部のノズルに近接する位置に位置合わせ用開口部を形成し、この開口部から下面ＬＳに形成した位置合わせマークＭ１、Ｍ２を視認して、アクチュエータ基板２とノズルプレート４との位置合わせを行ってもよい。
【００３８】
アクチュエータ基板２は上面に対して垂直方向に分極処理が施されたＰＺＴセラミックスを使用する。カバープレート３は、アクチュエータ基板２と同じ材料であるＰＺＴセラミックスを使用すれば熱膨張が等しいので温度変化に対する反りや変形が生じない。また、異なる材料でも熱膨張係数がＰＺＴセラミックスと近似する材料が好ましい。ノズルプレート４は光透過性のポリイミド膜を使用する。ここで、カバープレート３の厚さは０．３ｍｍ〜１．０ｍｍとし、ノズルプレート４の厚さは０．０１ｍｍ〜０．１ｍｍとするのが好ましい。カバープレート３を０．３ｍｍより薄くすると強度が低下し、１．０ｍｍより厚くすると液体供給室９や液体排出室１０、及び第一及び第二スリット１４ａ、１４ｂの加工に時間を要し、また、材料の増加によりコスト高になる。ノズルプレートを０．０１ｍｍよりも薄くすると強度が低下し、０．１ｍｍより厚くすると隣接するノズルに振動が伝わり、クロストークが発生しやすくなる。
【００３９】
なお、ＰＺＴセラミックスはヤング率が５８．４８ＧＰａであり、ポリイミドはヤング率が３．４ＧＰａである。従って、アクチュエータ基板２の上面ＵＳを覆うカバープレート３のほうが下面ＬＳを覆うノズルプレート４よりも剛性が高い。カバープレート３の材質はヤング率が４０ＧＰａを下回らないことが好ましく、ノズルプレート４の材質はヤング率が１．５ＧＰａ〜３０ＧＰａの範囲が好ましい。ノズルプレート４は、ヤング率が１．５ＧＰａを下回ると被記録媒体に接触したときに傷がつきやすく信頼性が低下し、３０ＧＰａを超えると隣接するノズルに振動が伝わって、クロストークが発生しやすくなる。
【００４０】
この液体噴射ヘッド１は次のよう駆動される。液体供給室９の供給される液体は、第二スリット１４ｂを介して吐出溝６ａに流入し、更に、吐出溝６ａから第一スリット１４ａを介して液体排出室１０に流出する。そして、コモン端子１６ａとアクティブ端子１６ｂに駆動信号が印加されると、吐出溝６ａを挟む両壁が厚みすべり変形して吐出溝６ａに充填される液体に圧力波を生成される。この圧力波によりノズル１１から液滴が吐出されて、被記録媒体に記録される。コモン電極１２ａ及びアクティブ電極１２ｂを溝６の底面、即ちノズルプレート４から離間させることにより、液体に誘起される圧力波が安定し、液滴を安定して吐出させることができる。なお、液体供給室９と液体排出室１０の機能を逆にしてもよい。
【００４１】
このように、アクチュエータ基板２の下面ＬＳに位置合わせマークＭ１、Ｍ２を設置したことにより、吐出溝６ａの下面開口８ａの長手方向における略中央の位置にノズル１１を位置合わせすることができるので、液滴を安定して効率よく吐出可能な液体噴射ヘッド１を提供することができる。
【００４２】
（第二実施形態）
図２は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１のアクチュエータ基板２からノズルプレート４を除去した吐出側の平面模式図である。第一実施形態と異なる点は、位置合わせマークＭ１、Ｍ２が下面開口８ａの長手方向と平行に形成される点であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。なお、図２では理解しやすくするためにノズル１１を破線で示す。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００４３】
図２に示すように、位置合わせマークＭ１、Ｍ２は、下面開口８ａの長手方向に平行する方向に長い線状のマークからなる。ノズルプレート４は、各ノズル１１が位置合わせマークＭ１、Ｍ２の中央を結ぶ直線状に配置されるように、アクチュエータ基板２の下面ＬＳに接着剤を介して接着される。これにより、吐出溝６ａの長手方向の中央の位置にノズルプレート４のノズル１１を正確に位置合わせすることができる。その他の構成及び特徴は第一実施形態と同様なので説明を省略する。
【００４４】
（第三実施形態）
図３は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド１の説明図である。図３（ａ）がノズル１１の位置の断面模式図であり、図３（ｂ）がアクチュエータ基板２からノズルプレート４を除去した吐出側の平面模式図である。なお、図３（ｂ）では理解しやすくするためにノズル１１を破線で示す。第一実施形態と異なる点は、位置合わせマークＭ１、Ｍ２がアクチュエータ基板２を貫通する孔からなる点であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００４５】
図３に示すように、位置合わせマークＭ１、Ｍ２は、吐出溝６ａと非吐出溝６ｂが交互に配列する溝列の両端部の近傍に形成され、アクチュエータ基板２の上面ＵＳから下面ＬＳに貫通する孔状のマークからなる。ノズルプレート４は、各ノズル１１が位置合わせマークＭ１、Ｍ２の中央を結ぶ直線状に配置されるように、アクチュエータ基板２の下面ＬＳに接着剤を介して接着される。これにより、吐出溝６ａの長手方向の中央の位置にノズルプレート４のノズル１１を正確に位置合わせすることができる。その他の構成は第一実施形態と同様なので説明を省略する。
【００４６】
（第四実施形態）
図４は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド１の説明図である。第一実施形態と異なる点は、ノズルプレート４にも位置合わせマークＮ１、Ｎ２を形成して、アクチュエータ基板２に対してノズルプレート４を正確に位置合わせすることができるようにした点であり、その他の構成は第一実施形態と同様である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００４７】
図４では、理解を容易にするために、アクチュエータ基板２の下面ＬＳとノズルプレート４をずらして記載する平面模式図である。アクチュエータ基板２の下面ＬＳには吐出溝６ａの下面開口８ａと非吐出溝６ｂの下面開口８ｂが交互に並列に開口する。位置合わせマークＭ１、Ｍ２は、吐出溝６ａの下面開口８ａの長手方向（ｙ方向）に対して直交する方向（ｘ方向）に長い線状のマークからなり、下面開口８ａの長手方向の略中央であり、溝６の配列方向（ｘ方向）における端部近傍の吐出溝６ａ（下面開口８ａ）に近接して設置される。
【００４８】
ノズルプレート４は、光透過性を有し、複数のノズル１１が配列する配列方向（ｘ方向）の端部近傍のノズル１１に近接し、下面ＬＳに形成される位置合わせマークＭ１、Ｍ２に対向する位置に位置合わせマークＮ１、Ｎ２を備える。位置合わせマークＮ１、Ｎ２は、ノズル１１を形成する際にノズル１１を加工するのと同じ方法で形成することができる。これにより、アクチュエータ基板２の位置合わせマークＭ１、Ｍ２をノズルプレート４の位置合わせマークＮ１、Ｎ２をが合致するように、ノズルプレート４をアクチュエータ基板２に高精度に位置合わせして接合することができる。
【００４９】
ここで、位置わせマークＭ１、Ｍ２、Ｎ１、Ｎ２はそれぞれ線状マークに限らず、四角形、＋形、○型、その他の形状であってもよい。また、位置合わせマークＮ１、Ｎ２をノズル１１と同様に貫通孔とすれば、光を透過しないノズルプレート４であっても、容易に位置合わせを行うことができる。
【００５０】
なお、以上の第一〜第四実施形態においては、ノズルプレート４が接合されるアクチュエータ基板２には吐出溝６ａと非吐出溝６ｂが交互に配列し、その下面ＬＳに２つの位置合わせマークＭ１、Ｍ２を形成する例について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されない。下記変形例も本発明の範囲に含まれる。
【００５１】
（変形例１）
上記実施形態においては、吐出溝６ａと非吐出溝６ｂを交互に配列する場合であるが、配列の両端部に位置する溝を除いて全ての溝を吐出溝６ａとすることができる。この場合に、吐出溝６ａの対応する位置にノズル１１を形成すればよい。これにより、吐出溝６ａの長手方向の中央の位置にノズルプレート４のノズル１１を正確に位置合わせすることができる。
【００５２】
（変形例２）
上記実施液体においては、アクチュエータ基板２の下面ＬＳの、溝６の配列方向（ｘ方向）の両端側に位置合わせマークＭ１、Ｍ２を設置したが、これを、いずれか一方の側の位置合わせマークのみとすることができる。この場合でも、溝６の長手方向の中央の位置にノズルプレート４のノズル１１を正確に位置合わせすることができる。
【００５３】
（第五実施形態）
図５〜図１２は、本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッド１の製造方法の説明図である。図５は、本発明の第五実施形態に係る液体噴射ヘッド１の製造工程の流れ図であり、図６〜図１２は、各工程の説明図である。以下、図５と図６〜図１２を参照して液体噴射ヘッド１の製造方法を詳細に説明する。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００５４】
まず、樹脂膜形成工程Ｓ０１において、圧電体基板の上面ＵＳに感光性の樹脂膜を設置する。圧電体基板としてはＰＺＴセラミックスを使用することができる。樹脂膜としてレジスト膜を塗布して形成することができる。また、感光性樹脂フィルムを設置することができる。次に、パターン形成工程Ｓ０２において、露光・現像を行って樹脂膜のパターンを形成する。後に電極を形成する領域の樹脂膜を除去し、電極を形成しない領域には樹脂膜を残す。後にリフトオフ法により電極のパターニングを行うためである。
【００５５】
図６は溝形成工程Ｓ１の説明図である。図６（ａ）はダイシングブレード２１を用いて溝６を研削して形成する状態を示す断面模式図であり、図６（ｂ）は吐出溝６ａの断面模式図であり、図６（ｃ）は非吐出溝６ｂの断面模式図であり、図６（ｄ）は溝６を形成した圧電体基板１９の上面模式図である。図６に示すように、溝形成工程Ｓ１において、圧電体基板１９に並列する複数の溝６を形成する。溝６は吐出溝６ａと非吐出溝６ｂを含み、吐出溝６ａと非吐出溝６ｂを交互に並列に形成する。ダイシングブレード２１を溝６の一方側の端部に降下させ、水平に移動して他方側の端部において上昇させる。ダイシングブレード２１は圧電体基板１９の下面に達しない深さであり、吐出溝６ａ及び非吐出溝６ｂの深さを表す破線Ｚよりも深く研削する。また、非吐出溝６ｂは、他方側の端部を圧電体基板１９の外周端まで浅く研削して上げ底部１５を形成する。なお、圧電体基板１９の上面にはパターニングされた樹脂膜２０が形成されている。
【００５６】
吐出溝６ａや非吐出溝６ｂの最終的な深さである破線Ｚよりも深く研削することにより、傾斜面２２の長手方向の幅Ｗを狭くすることができる。即ち、ダイシングブレード２１を用いて研削するので、吐出溝６ａの一方側の端部、他方側の端部、及び、非吐出溝６ｂの一方側の端部にはダイシングブレード２１の外周形状が転写される。例えば２インチのダイシングブレード２１を用いて深さ３６０μｍの溝を形成する場合、端部の傾斜面２２は長手方向の幅が約４ｍｍとなる。これに対して同じダイシングブレード２１を用いて深さ５９０μｍの溝を形成すれば、深さ３６０μｍまでの幅Ｗを約２ｍｍと半分に縮小させることができる。これを一方側の端部と他方側の端部の２カ所で合計４ｍｍ短縮させることができ、圧電体ウエハーから圧電体基板１９の取個数を増やすことができる。
【００５７】
図７は導電体堆積工程Ｓ２０の説明図である。導電体堆積工程Ｓ２０において、上面ＵＳの法線に対して溝６の長手方向と直交する方向に傾斜する角度＋θと−θから蒸着法により圧電体基板１９の上面ＵＳに導電体２４を蒸着する。本実施形態においては、壁５の上面ＵＳから破線Ｚまでの深さｄの略ｄ／２の深さまで導電体２４を堆積する。上げ底部１５の上面ＢＰは下端Ｅよりも下方に位置するので（図９を参照）、上面ＢＰには導電体２４が堆積されない。これに対して、吐出溝６ａの他方側の端部に形成される傾斜面は、深さｄ／２よりも浅い領域に上面ＵＳと同様に導電体２４が堆積される。なお、導電体２４は、最終的な溝６の深さである破線Ｚよりも浅く、ｄ／２よりも深く形成してもよい。
【００５８】
図８は、電極形成工程Ｓ２の説明図である。電極形成工程Ｓ２において、導電体２４をパターニングしてコモン電極１２ａ及びアクティブ電極１２ｂを形成する。つまり、樹脂膜２０を除去するリフトオフ法により、その上面に堆積した導電体２４を除去する。これにより、壁５の両側面に堆積した導電体２４が分離してコモン電極１２ａとアクティブ電極１２ｂが形成される。なお、この電極形成工程Ｓ２において、同時にコモン端子１６ａ及びアクティブ端子１６ｂを形成する（図９を参照）。なお、この電極形成工程Ｓ２において、同時にコモン端子１６ａ、アクティブ端子１６ｂ及び配線１６ｃを形成する（図６（ｄ）を参照）。これにより、非吐出溝６ｂの両側面に形成されるアクティブ電極１２ｂは互いに電気的に分離し、吐出溝６ａの両側面に形成されるコモン電極１２ａは電気的に接続される。更に、コモン電極１２ａはコモン端子１６ａに電気的に接続され、アクティブ電極１２ｂはアクティブ端子１６ｂに電気的に接続される。アクティブ端子１６ｂは、吐出溝６ａを挟む２つの壁５のうち、一方の壁５の非吐出溝６ｂに面する側面に形成されるアクティブ電極１２ｂに電気的に接続される。アクティブ端子１６ｂは、更に、他方側の外周端ＲＥに沿って形成される配線１６ｃを介して他方の壁５の非吐出溝６ｂに面する側面に形成されるアクティブ電極１２ｂに電気的に接続される。
【００５９】
これにより、非吐出溝６ｂの両側面に形成されるアクティブ電極１２ｂは互いに電気的に分離し、吐出溝６ａの両側面に形成されるコモン電極１２ａは電気的に接続される。なお、斜め蒸着法により形成するコモン電極１２ａやアクティブ電極１２ｂの下端Ｅを、吐出溝６ａ及び非吐出溝６ｂの最終的な深さｄの略１／２としたが、より深く形成してもよい。その場合でも、吐出溝６ａ及び非吐出溝６ｂの最終的な深さである破線Ｚに達しないようにする。コモン電極１２ａ及びアクティブ電極１２ｂを吐出溝６ａ及び非吐出溝６ｂの底面である破線Ｚから離間させることにより、液滴を安定して吐出させることができる。
【００６０】
図９はカバープレート設置工程Ｓ３の説明図である。図９（ａ）は吐出溝６ａの長手方向の断面模式図であり、図９（ｂ）は非吐出溝６ｂの長手方向の断面模式図である。図９に示すように、カバープレート設置工程Ｓ３において、圧電体基板１９の上方にカバープレート３を設置する。カバープレート３には、一方側に液体排出室１０が他方側に液体供給室９が形成され、更に液体排出室１０からその反対側の裏面に貫通する第一スリット１４ａ及び液体供給室９からその反対側の裏面に貫通する第二スリット１４ｂが形成される。液体排出室１０は第一スリット１４ａを介して吐出溝６ａの一方側の端部に連通し、液体供給室９は第二スリット１４ｂを介して吐出溝６ａの他方側の端部に連通する。また、非吐出溝６ｂは上面開口７がカバープレート３により塞がれ、液体排出室１０及び液体供給室９には連通しない。
【００６１】
図１０は圧電体基板研削工程Ｓ４の説明図である。図１０（ａ）は吐出溝６ａの長手方向の断面模式図であり、図１０（ｂ）は非吐出溝６ｂの長手方向の断面模式図である。図１０に示すように、圧電体基板研削工程Ｓ４において、溝６が形成される側とは反対側の圧電体基板１９を研削し、溝６を上面ＵＳから下面ＬＳに貫通させてアクチュエータ基板２を形成する。圧電体基板１９の裏面は、溝６の最終的な深さとなる破線Ｚまで研削する。各壁５の上面ＵＳはカバープレート３により固定され、各溝６の一方側の端部及び上げ底部１５を含む他方側の端部に圧電体基板１９が残されているので、研削の際の破損を防止することができる。
【００６２】
図１１は、位置合わせマーク形成工程Ｓ５の説明図であり、アクチュエータ基板２の吐出側から見る平面模式図である。位置合わせマーク形成工程Ｓ５において、圧電体基板研削工程Ｓ４の後に、アクチュエータ基板２の下面ＬＳに開口する下面開口８ａに直交する方向に長い線状のマークからなる位置合わせマークＭ１、Ｍ２を形成する。具体的には、下面ＬＳの溝列方向（ｘ方向）の両端近傍であり、下面開口８ａの長手方向（ｙ方向）の略中央の位置に、位置合わせマークＭ１、Ｍ２を形成する。位置合わせマークＭ１、Ｍ２は、硬質カッターやダイシングブレードにより下面開口８ａの長手方向（ｙ方向）に直交する方向に線状に形成することができる。
【００６３】
図１２は、ノズルプレート設置工程Ｓ６の説明図である。図１２（ａ）が、アクチュエータ基板２の下面ＬＳにノズルプレート４を接着する直前の模式図であり、図１２（ｂ）がアクチュエータ基板２の下面ＬＳにノズルプレート４を接着した後の吐出溝６ａの長手方向の断面模式図であり、図１２（ｃ）がアクチュエータ基板２の下面ＬＳにノズルプレート４を接着した後の非吐出溝６ｂの長手方向の断面模式図である。図１２に示すように、ノズルプレート設置工程Ｓ６において、ノズル１１からなるノズル列が位置合わせマークＭ１とＭ２の線上に一致するようにノズルプレート４をアクチュエータ基板２の下面ＬＳに接着剤を介して接着する。これにより、非吐出溝６ｂの下面開口８ｂは閉塞され、各ノズル１１は対応する各下面開口８ａの長手方向の略中央に、つまり吐出溝６ａの略中央の位置で連通する。
【００６４】
このように、位置合わせマークＭ１、Ｍ２は吐出溝６ａやノズル１１に近接するので、環境温度が変化する場合や、可塑性材料から成るノズルプレート４を使用する場合でも、各ノズル１１を各吐出溝６ａの略中央の位置に容易に設置することができる。
【００６５】
なお、圧電体基板１９は、少なくとも各溝６を仕切る壁５の部分に圧電体を使用し、その他の領域は非圧電体からなる絶縁体とすることができる。また、吐出溝６ａの下面開口８ａと非吐出溝６ｂの下面開口８ｂとは同一形状である必要はなく、更に、非吐出溝６ｂは底部に圧電体基板１９を残して下面開口８ｂを無くしてもよい。また、ノズルプレート４の単層である必要はなく、材料の異なる複数の薄膜層から構成することができる。また、本実施形態ではコモン電極１２ａ、アクティブ電極１２ｂ、コモン端子１６ａ、アクティブ端子１６ｂをリフトオフ法によりパターニングを行ったが、本発明はこれに限定されない。例えば、導電体堆積工程Ｓ２０において斜め蒸着法により導電体２４を圧電体基板１９の上面ＵＳや壁５の側面に形成した後に、フォトリソグラフィ及びエッチング法によりコモン電極１２ａ、アクティブ電極１２ｂ、コモン端子１６ａ、アクティブ端子１６ｂのパターンを形成してもよい。また、圧電体基板研削工程Ｓ４は省略することができる。即ち、圧電体基板１９の厚さを溝６の最終深さ程度とし、図６に示す溝形成工程Ｓ１において、ダイシングブレード２１を圧電体基板１９の下面に貫通するように深く切り込んで圧電体基板１９の下面に下面開口８を形成し、同時に上げ底部１５を残すように溝６を形成すればよい。
【００６６】
（第六実施形態）
図１３は、本発明の第六実施形態に係る液体噴射ヘッド１の製造方法の説明図である。図１３（ａ）は、溝６の列方向の端部に位置合わせ用溝Ｍ１’、Ｍ２’を形成した状態を表し、吐出溝６ａの長手方向の略中央であり長手方向に直交する方向の圧電体基板１９の断面模式図であり、図１３（ｂ）は、アクチュエータ基板２の下面ＬＳの平面模式図である。第五実施形態と異なる点は、位置合わせ用溝Ｍ１’、Ｍ２’として溝６の長手方向と平行する方向に浅い溝を形成する点であり、その他は第五実施形態と同様である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００６７】
図１３（ａ）に示すように、位置合わせマーク形成工程Ｓ５において、吐出溝６ａと非吐出溝６ｂを交互に並列して形成する溝形成工程Ｓ１の前後に、溝６の列方向の両端部に位置合わせ用溝Ｍ１’、Ｍ２’を形成する。位置合わせ用溝Ｍ１’、Ｍ２’は、吐出溝６ａ又は非吐出溝６ｂを形成する際のダイシングブレードを用いて、吐出溝６ａの長手方向と平行し、吐出溝６ａよりも浅い溝、即ち吐出溝６ａの最終深さとなる破線Ｚよりもわずかに深く、吐出溝６ａの長手方向の略中央の位置に形成する。
【００６８】
次に、図１３（ｂ）に示すように、圧電体基板研削工程Ｓ４において圧電体基板１９の下面を研削して下面ＬＳに下面開口８ａ、８ｂを形成する。これにより、列方向の両端部に位置合わせ用溝Ｍ１’、Ｍ２’が表出する。従って、位置合わせマーク形成工程Ｓ５は、溝形成工程Ｓ１とほぼ同じ工程で行うことができるので、製造工程をほとんど増加させることがない。
【００６９】
なお、本実施形態においては、溝形成工程Ｓ１の前後に溝６の長手方向と平行に位置合わせ用溝Ｍ１’、Ｍ２’を形成したが、これに代えて、圧電体基板研削工程Ｓ４の前後に、溝６の列方向の端部近傍であり、吐出溝６ａの長手方向の略中央の位置に、圧電体基板１９の上面から下面に貫通する孔状のマークを形成してもよい。
【００７０】
（第七実施形態）
図１４は本発明の第七実施形態に係る液体噴射装置３０の模式的な斜視図である。液体噴射装置３０は、液体噴射ヘッド１、１’を往復移動させる移動機構４０と、液体噴射ヘッド１、１’に液体を供給し、液体噴射ヘッド１、１’から液体を排出する流路部３５、３５’と、流路部３５、３５’に液体を供給する液体ポンプ３３、３３’及び液体タンク３４、３４’とを備えている。各液体噴射ヘッド１、１’は複数のヘッドチップを備え、各ヘッドチップは複数のチャンネルを備え、各チャンネルに連通するノズルから液滴を吐出する。液体ポンプ３３、３３’として、流路部３５、３５’に液体を供給する供給ポンプとそれ以外に液体を排出する排出ポンプのいずれかもしくは両方を設置する。また、図示しない圧力センサーや流量センサーを設置し、液体の流量を制御することもある。液体噴射ヘッド１、１’は既に説明した第一実施形態を使用する。液体噴射ヘッド１、１’は既に説明した第一〜第四実施形態のいずれかを使用する。
【００７１】
液体噴射装置３０は、紙等の被記録媒体４４を主走査方向に搬送する一対の搬送手段４１、４２と、被記録媒体４４に液体を吐出する液体噴射ヘッド１、１’と、液体噴射ヘッド１、１’を載置するキャリッジユニット４３と、液体タンク３４、３４’に貯留した液体を流路部３５、３５’に押圧して供給する液体ポンプ３３、３３’と、液体噴射ヘッド１、１’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構４０とを備えている。図示しない制御部は液体噴射ヘッド１、１’、移動機構４０、搬送手段４１、４２を制御して駆動する。
【００７２】
一対の搬送手段４１、４２は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体４４を主走査方向に搬送する。移動機構４０は、副走査方向に延びた一対のガイドレール３６、３７と、一対のガイドレール３６、３７に沿って摺動可能なキャリッジユニット４３と、キャリッジユニット４３を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト３８と、この無端ベルト３８を図示しないプーリを介して周回させるモータ３９を備えている。
【００７３】
キャリッジユニット４３は、複数の液体噴射ヘッド１、１’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類の液滴を吐出する。液体タンク３４、３４’は対応する色の液体を貯留し、液体ポンプ３３、３３’、流路部３５、３５’を介して液体噴射ヘッド１、１’に供給する。各液体噴射ヘッド１、１’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド１、１’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット４３を駆動するモータ３９の回転及び被記録媒体４４の搬送速度を制御することにより、被記録媒体４４上に任意のパターンを記録することできる。
【００７４】
なお、本実施形態は、移動機構４０がキャリッジユニット４３と被記録媒体４４を移動させて記録する液体噴射装置３０であるが、これに代えて、キャリッジユニットを固定し、移動機構が被記録媒体を２次元的に移動させて記録する液体噴射装置であってもよい。つまり、移動機構は液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させるものであればよい。
【符号の説明】
【００７５】
１  液体噴射ヘッド
２  アクチュエータ基板
３  カバープレート
４  ノズルプレート
５  壁
６  溝、６ａ  吐出溝、６ｂ  非吐出溝
７  上面開口
８、８ａ、８ｂ  下面開口、
９  液体供給室
１０  液体排出室
１１  ノズル
１２  駆動電極、１２ａ  コモン電極、１２ｂ  アクティブ電極
１４  スリット、１４ａ  第一スリット、１４ｂ  第二スリット
１５  上げ底部
１６ａ  コモン端子、１６ｂ  アクティブ端子
１９  圧電体基板
２０  樹脂膜
２１  ダイシングブレード
２２  傾斜面
２４  導電体
ＵＳ  上面、ＬＳ  下面、ＢＰ  上面、ＬＥ  一方側の外周端、ＲＥ  他方側の外周端
Ｍ、Ｍ１、Ｍ２、Ｎ１、Ｎ２  位置合わせマーク
Ｍ１’、Ｍ２’  位置合わせ用溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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