(57)【要約】【課題】屈曲を繰り返しても連結部から粉塵が飛散することがないとともに支持するケーブル類との間でも粉塵が飛散することがないケーブルガイドを提供する。【解決手段】長手方向にケーブル類を挿通して配設する挿通空間を備えた支持ブロックと支持ブロックの長手方向両端にそれぞれ設けられた連結部とを具備するガイドユニットが、連結部によって互いに屈曲可能に複数連結されたケーブルガイドであって、ガイドユニットは潤滑性を有する素材によって形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向にケーブル類を挿通して配設する挿通空間を備えた支持ブロックと該支持ブロックの長手方向両端にそれぞれ設けられた連結部とを具備するガイドユニットが、該連結部によって互いに屈曲可能に複数連結されたケーブルガイドであって、
該ガイドユニットは、潤滑性を有する素材によって形成されている、
ことを特徴とするケーブルガイド。
【請求項２】
該ガイドユニットは、フッ素系樹脂によって形成されている、請求項１記載のケーブルガイド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チューブやハーネス等のケーブル類を屈曲可能に支持するためのケーブルガイドに関する。
【背景技術】
【０００２】
当業者には周知の如く、半導体デバイス製造工程においては、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが複数個形成された半導体ウエーハは、個々のデバイスに分割される前にその裏面を研削装置によって研削して所定の厚さに形成される。半導体ウエーハの裏面を研削する研削装置は、ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブル上に吸引保持されたウエーハを研削する研削手段と、複数のチャックテーブルを支持し半導体ウエーハを着脱する着脱領域と半導体ウエーハを研削手段によって研削する研削領域とに位置付けるターンテーブル等を具備している。このような研削装置には、チャックテーブルに吸引力を伝達するためのチューブやチャックテーブルを回転駆動するモータに電力を供給するためのハーネス等のケーブル類が配設される。
【０００３】
上述したケーブル類は、ターンテーブルの回動による捩じれ、擦れ、疲労破壊を防止するために、屈曲可能なケーブルガイドに支持される。このようなケーブルガイドが下記特許文献１および２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２０００−５０９７９８号公報
【特許文献２】特表２０００−５１３０８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
而して、従来用いられているケーブルガイドは、屈曲する際に連結部から摩擦によって粉塵が発生する。この粉塵が飛散して研削装置が設置されているクリーンルームを汚染するという問題がある。また、ケーブルガイドとケーブルガイドに支持されたケーブル類との間においても摩擦が生じ、ケーブルガイドまたはケーブル類から粉塵が飛散するという問題がある。このような問題は、研削装置に限らず、可動部にケーブル類が連結されケーブルガイドで保護された精密機械全般に共通する問題である。
【０００６】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、屈曲を繰り返しても連結部から粉塵が飛散することがないとともに支持するケーブル類との間でも粉塵が飛散することがないケーブルガイドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、長手方向にケーブル類を挿通して配設する挿通空間を備えた支持ブロックと該支持ブロックの長手方向両端にそれぞれ設けられた連結部とを具備するガイドユニットが、該連結部によって互いに屈曲可能に複数連結されたケーブルガイドであって、
該ガイドユニットは、潤滑性を有する素材によって形成されている、
ことを特徴とするケーブルガイドが提供される。
【０００８】
上記ケーブルガイドは、フッ素系樹脂によって形成されていることが望ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によるケーブルガイドを構成するガイドユニットは潤滑性を有する素材によって形成されているので、連結部の摩擦が小さいため、粉塵が発生して飛散することはない。また、ガイドユニットは潤滑性を有する素材によって形成されているので、ガイドユニットを構成する支持ブロックとケーブル類との摩擦が小さいため、粉塵が発生して飛散することはない。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に従って構成されたケーブルガイドの斜視図。
【図２】図１に示すケーブルガイドを構成するガイドユニットの斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明に従って構成されたケーブルガイドの好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
【００１２】
図１には、本発明に従って構成されたケーブルガイドの斜視図が示されている。
図示の実施形態におけるケーブルガイド２は、複数のガイドユニット３が矢印Aで示す長手方向に互いに屈曲可能に連結されて構成されている。このケーブルガイド２を構成するガイドユニット３について、図２を参照して説明する。
【００１３】
図２に示す実施形態におけるガイドユニット３は、矢印Aで示す長手方向にケーブル類を挿通して配設する挿通空間４０を備えた支持ブロック４と、該支持ブロック４の長手方向両端にそれぞれ設けられた第１の連結部５および第２の連結部６とからなっている。支持ブロック４は、図示の実施形態においては、互いに間隔をおいて配設された矩形状の上側規制部４１および下側規制部４２と、該上側規制部４１と下側規制部４２の両側辺を互いに連結する側部４３および４４とからなり、これら上側規制部４１および下側規制部４２と側部４３および４４によって矢印Aで示す長手方向に貫通する挿通空間４０が形成される。
【００１４】
ガイドユニット３を構成する第１の連結部５は、上記支持ブロック４を形成する側部４３および４４にそれぞれ矢印Aで示す長手方向の一方に突出して設けられた板状の嵌合受け部５１および５２からなっている。この嵌合受け部５１および５２には、それぞれ矢印Aで示す長手方向と直交する嵌合穴５１１および５２１が設けられている。また、ガイドユニット３を構成する第２の連結部６は、上記支持ブロック４を形成する側部４３および４４にそれぞ矢印Aで示す長手方向の他方に突出して設けられた板状の嵌合軸部６１および６２からなっている。この嵌合軸部６１および６２の両外側面には、それぞれ上記嵌合穴５１１および５２１に嵌合する軸６１１および６２１が設けられている。なお、第２の連結部６を構成する嵌合軸部６１および６２の外側面間の寸法(L2)は、上記第１の連結部５を構成する嵌合受け部５１および５２の内側面間の寸法(L1)に対応した寸法に設定されている。
【００１５】
上述したガイドユニット３は、潤滑性を有する素材によって形成されていることが重要であり、図示の実施形態においてはリテトラフルオロエチレン(PTFE)等のフッ素系樹脂によって一体成形されている。なお、潤滑性を有する素材としては、（有）栗源加工が提供するべスペルSP-21PI(15%グラファイト)、エンズィンガージャパン（株）が提供する結晶性樹脂、三菱鉛筆（株）が提供するカーボン(PFC)を用いることができる。また、潤滑性を有する素材としては、ポリアセタール(POM)、ポリアミド(PA)、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、エラストマー系、ポリオレフィン系等の樹脂を使用することができる。
【００１６】
以上のようにして構成されたガイドユニット３は、第１の連結部５を構成する嵌合受け部５１および５２に設けられた嵌合穴５１１および５２１に、第２の連結部６を構成する嵌合軸部６１および６２に設けられた軸６１１および６２１を回動可能に嵌合して、順次複数個連結することにより、図１に示すようにケーブルガイド２を構成する。従って、第１の連結部５と第２の連結部６とが互いに回動可能に連結された複数のガイドユニット３は、互いに屈曲可能に構成される。このようにガイドユニット３を複数個連結して構成されたケーブルガイド２には、各ガイドユニット３を構成する支持ブロック４に設けられた挿通空間４０を挿通してチューブやハーネス等のケーブル類１０が配設される。このように構成されたケーブルガイド２は、ガイドユニット３の第１の連結部５を構成する嵌合受け部５１および５２に設けられた嵌合穴５１１および５２１と該嵌合穴５１１および５２１に嵌合する第２の連結部６を構成する嵌合軸部６１および６２に設けられた軸６１１および６２１とが相対回転することにより屈曲するが、ガイドユニット３は潤滑性を有する素材によって形成されているので、嵌合受け部５１および５２と嵌合軸部６１および６２との摩擦が小さいため、粉塵が発生して飛散することはない。また、ガイドユニット３は潤滑性を有する素材によって形成されているので、ガイドユニット３を構成する支持ブロック４とケーブル類１０との摩擦が小さいため、粉塵が発生して飛散することはない。
【符号の説明】
【００１７】
２：ケーブルガイド
３：ガイドユニット
４：支持ブロック
５：第１の連結部
５１、５２：嵌合受け部
５１１、５２１：嵌合穴
６：第２の連結部
６１、６２：嵌合軸部
６１１、６１２：軸
【図１】
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【図２】
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