(57)【要約】【課題】塗布液をムラなく塗布できる塗布装置を提供する。また、接着剤をムラなく塗布する工程及び該接着剤を介した貼り付け工程を一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良く行うことができる貼付装置を提供する。【解決手段】本発明の塗布装置は、所定方向に搬送される基材の搬送方向と交差する幅方向に沿って往復移動しながら基材に塗布液を塗布する塗布ノズルと、基材における塗布ノズルの往復移動の折返し位置に対応する部分を加温する加温部と、を備えることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定方向に搬送される基材の搬送方向と交差する幅方向に沿って往復移動しながら前記基材に塗布液を塗布する塗布ノズルと、
前記基材における前記塗布ノズルの前記往復移動の折返し位置に対応する部分を加温する加温部と、
を備えることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記塗布ノズルは、前記基材における前記幅方向の両端で前記往復移動の折返しを行うことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記加温部は、温風吹出口から前記基材の両端にそれぞれ温風を吹き付けることを特徴とする請求項２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記温風吹出口は、前記基材に対して２５℃〜６０℃の温風を吹き付けることを特徴とする請求項３に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記加温部は、前記温風吹出口からの前記基材に対する前記温風の吹き出し角度を調整する角度調整機構を有することを特徴とする請求項３又は４に記載の塗布装置。
【請求項６】
前記加温部は、送風ユニットと、前記送風ユニットから供給された空気を加温するヒーターと、前記ヒーターで加温された空気を前記温風吹出口に導く経路の途中に設けられたフィルターと、を含むことを特徴とする請求項３〜５のいずれか一項に記載の塗布装置。
【請求項７】
前記加温部は、前記塗布ノズルに対向する位置で支持する前記基材の裏面を直接加温する加温ローラーを含むことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の塗布装置。
【請求項８】
前記基材は、前記塗布ノズルに対して水平面と交差する方向に沿って搬送されることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の塗布装置。
【請求項９】
前記塗布ノズルがスプレーノズルであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の塗布装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の塗布装置と、
前記塗布装置によって前記塗布液が塗布された前記基材を所定の長さに切断するカッターと、
切断された前記基材を基板に貼り付ける貼付部と、を備え、
前記塗布ノズルは、前記塗布液として接着剤を塗布し、
前記基材は、長尺状のフィルムを巻回したロール体から構成され、
前記フィルムは、前記ロール体から巻き出されることで搬送されることを特徴とする貼付装置。
【請求項１１】
前記フィルムは、前記塗布液が塗布される主フィルム材と、保護材とを含み、
前記貼付部は、前記主フィルム材から前記保護材を剥離するとともに前記接着剤を介して該主フィルム材を前記基板に貼り付けることを特徴とする請求項１０に記載の貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布装置及び貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フィルムを搬送しつつ、基板に貼り付ける貼り付け装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４５６８３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来技術においては、基板への貼り付けを行う前にフィルム材に接着材を塗布する必要があり、別途接着剤（塗布液）を塗布するための塗布装置が必要となっていた。このような塗布装置においては、フィルムと基板との間で良好な接着性を確保するため、接着剤をムラ無く塗布できることが要求されている。
そこで、フィルムに接着剤の塗布工程と、接着剤を塗布したフィルムの基板への貼り付け工程とを一貫ラインで行うとともに接着剤のムラを無くすことでフィルムを基板に良好に貼り付けることができる新たな技術の提供が望まれている。
【０００５】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、塗布液をムラなく塗布できる塗布装置を提供することを目的とする。また、本発明は、接着剤をムラなく塗布する工程及び該接着剤を介した貼り付け工程を一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良く行うことができる貼付装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の第１の態様に係る塗布装置は、所定方向に搬送される基材の搬送方向と交差する幅方向に沿って往復移動しながら前記基材に塗布液を塗布する塗布ノズルと、前記基材における前記塗布ノズルの前記往復移動の折返し位置に対応する部分を加温する加温部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本態様に係る塗布装置によれば、加温部によって基材における塗布ノズルの往復移動の折返し位置に対応する部分が加温されるので、基材上に塗布された塗布液を乾燥させることができる。そのため、塗布ノズルが往復移動の往路で基材に塗布された塗布液は、塗布ノズルが往復移動の復路で基材に塗布液を塗布する際に乾燥した状態とされている。よって、往復移動する塗布ノズルから塗布液で濡れた基材上に重ねて塗布液が塗布されてしまうのを抑制することができる。よって、基材の折返し位置に対応する部分において、乾燥前の塗布液が重ね塗りされることに起因する塗布ムラを無くすことができる。したがって、基材上に塗布液をムラなく塗布できる塗布装置が提供される。
【０００８】
また、上記塗布装置においては、前記塗布ノズルは、前記基材における前記幅方向の両端で前記往復移動の折返しを行うことを特徴する。
この構成によれば、基材の幅方向の全域において塗布液をムラなく塗布することができる。
【０００９】
また、上記塗布装置においては、前記加温部は、温風吹出口から前記基材の両端にそれぞれ温風を吹き付けることを特徴とする。
この構成によれば、基板の両端に塗布された塗布液に温風を選択的に吹き付けることで乾燥させて塗布ムラの発生を防止できる。
【００１０】
また、上記塗布装置においては、前記温風吹出口は、前記基材に対して２５℃〜６０℃の温風を吹き付けることを特徴とする。
この構成によれば、基材に塗布された塗布液を良好に乾燥させることができる。
【００１１】
また、上記塗布装置においては、前記加温部は、前記温風吹出口からの前記基材に対する前記温風の吹き出し角度を調整する角度調整機構を有することを特徴とする。
この構成によれば、温風の吹き出し角度が適宜調整可能とされるので、基材に塗布された塗布液に対して温風を当てて効率良く乾燥させることができる。
【００１２】
また、上記塗布装置においては、前記加温部は、送風ユニットと、前記送風ユニットから供給された空気を加温するヒーターと、前記ヒーターで加温された空気を前記温風吹出口に導く経路の途中に設けられたフィルターと、を含むことを特徴とする。
この構成によれば、フィルターを通過することで異物が除去された温風を基材に当てることができる。よって、塗布液が乾燥して生成される塗布膜は、異物の混入といった不具合が無い信頼性の高い膜となる。
【００１３】
また、上記塗布装置においては、前記加温部は、前記塗布ノズルに対向する位置で支持する前記基材の裏面を直接加温する加温ローラーを含むことを特徴とする。
この構成によれば、裏面側から基材を加熱することで基材に塗布された塗布液を良好に乾燥させることができる。
【００１４】
また、上記塗布装置においては、前記基材は、前記塗布ノズルに対して水平面と交差する方向に沿って搬送されることを特徴とする。
この構成によれば、水平面と交差する方向に沿って搬送される基材上にムラなく塗布液を塗布できる塗布装置を提供できる。
【００１５】
また、上記塗布装置においては、前記塗布ノズルがスプレーノズルであることを特徴とする。
この構成によれば、スプレーノズルから基板上にムラなく塗布液を塗布することができる塗布装置を提供できる。
【００１６】
本発明の第２の態様に係る貼付装置は、上記第１の態様に係る塗布装置と、前記塗布装置によって前記塗布液が塗布された前記基材を所定の長さに切断するカッターと、切断された前記基材を基板に貼り付ける貼付部と、を備え、前記塗布ノズルは、前記塗布液として接着剤を塗布し、前記基材は、長尺状のフィルムを巻回したロール体から構成され、前記フィルムは、前記ロール体から巻き出されることで搬送されることを特徴とする。
【００１７】
本態様に係る貼付装置によれば、上記塗布装置を備えるので、フィルムにムラなく接着剤を塗布することができ、基板にフィルムを良好に貼り付けることができる。また、フィルムに塗布液を塗布する塗布工程、フィルムを切断する工程、及びフィルムを基板に貼り付ける工程を一貫したラインで行うことができるので、効率良くフィルムを基板に貼り付けることができる。
【００１８】
また、上記貼付装置においては、前記フィルムは、前記塗布液が塗布される主フィルム材と、保護材とを含み、前記貼付部は、前記主フィルム材から前記保護材を剥離するとともに前記接着剤を介して該主フィルム材を前記基板に貼り付けることを特徴とする。
この構成によれば、基板に貼り付けられる主フィルム材が保護材によって保護されているので、基板に貼り付けられる前の主フィルム材に傷が付くのを防止することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、塗布液をムラなく塗布できる。また、接着剤をムラなく塗布する工程及び該接着剤を介した貼り付け工程を一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良く行うことができる
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図。
【図２】第１吸着ローラーおよび第２吸着ローラーの概略構成を示す断面図。
【図３】カッター部の概略構成を及びフィルムの積層構造を示す図。
【図４】塗布部の要部構成を示す概略図。
【図５】本実施形態におけるフィルムに対するノズル先端の動きを表した図。
【図６】回動部を有しない場合のノズル先端の動きを表した図。
【図７】塗布部の周辺構成を示す概略図。
【図８】加温機構における温風吹出部分の構成を示す上面図。
【図９】加温機構の要部構成である温風供給部の概略構成示す図。
【図１０】塗布部の周辺構成を示す概略図。
【図１１】ミスト回収機構の構成を示す概略図。
【図１２】膜厚調整機構の周辺構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は断面図。
【図１３】貼付装置によるフィルムの貼付工程を説明するフロー図。
【図１４】変形例に係る貼付装置の構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は断面図。
【図１５】変形例に係る膜厚調整部の構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図。
【図１６】変形例に係る加温部の構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明の塗布装置及びこれを備えた貼付装置の一実施形態について説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内におけるフィルムの搬送方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。本実施形態に係る貼付装置は、長尺状の保護材及び主フィルム材が貼り合わされてなるフィルムをロール状に巻回したロール体から巻き解いたフィルムを搬送しながらフィルムから保護材と主フィルム材とを分離し、主フィルム材を基板に貼り付ける装置に関するものである。
【００２２】
（貼付装置）
図１は本実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図である。
図１に示すように、貼付装置１００は、装置筐体１０１、基板供給部１０２、基板移動部１０３、フィルム搬送部（搬送部）１０４、フィルム貼付部１０５、貼付補助部１３５、塗布装置１０６、及び加熱部１０７を備えている。
【００２３】
基板供給部１０２は、装置筐体１０１内に基板１を移動させることで供給するためのものである。基板供給部１０２は、フィルム貼付前の基板１を複数保持するカセット１０２ａと、該カセット１０２ａの内部から基板１を引き出し可能な駆動部１０２ｂと、を有している。なお、カセット１０２ａは、内部に保持する基板１を駆動部１０２ｂに引き渡し可能な位置まで下降可能な構成となっている。これにより、基板供給部１０２は、駆動部１０２ｂによってカセット１０２ａ内から複数の基板１を順次装置筐体１０１側に供給可能となっている。
【００２４】
基板移動部１０３は、基板１を所定位置（フィルム貼り付け位置）まで移動させるとともに、フィルムの貼り付け後に基板１を装置筐体１０１から搬出するための搬出位置まで移動させる。基板移動部１０３は、第１基板搬送ローラー部３０、第２基板搬送ローラー部３１、第３基板搬送ローラー部３２、第４基板搬送ローラー部３３、及び第５基板搬送ローラー部３４を有している。
【００２５】
第３基板搬送ローラー部３２は、不図示の駆動モーターにより駆動される搬送ローラー（第１搬送ローラー）３２ａから構成されるものである。搬送ローラー３２ａはフィルム搬送部１０４におけるフィルムの貼付作業を行うためのフィルム貼付ローラー４０との間で基板１を挟持する構成となっている。これにより、搬送ローラー３２ａ上の基板１にフィルムを貼り付け可能となっている。すなわち、搬送ローラー３２ａ及びフィルム貼付ローラー４０は、本発明に係るフィルム貼付部１０５を構成している。
【００２６】
第１基板搬送ローラー部３０は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー３０ａを有している。これにより、第１基板搬送ローラー部３０は、基板供給部１０２から供給された基板１を受け取って装置筐体１０１内へと導くようになっている。
【００２７】
第２基板搬送ローラー部３１は、フィルム貼付部１０５を介して、第３基板搬送ローラー部３３と対向するように配置されている。
第２基板搬送ローラー部３１は、複数（本実施形態では３つ）のローラー対１３１を有している。各ローラー対１３１は、下側ローラー３１ａ及び上側ローラー３１ｂを有している。基板１は、これらローラー３１ａ，３１ｂ間に挟持された状態で搬送されるようになっている。
【００２８】
第４基板搬送ローラー部３３は、フィルム搬送部１０４でフィルムが貼り付けられた基板１を受け取るようになっている。第４基板搬送ローラー部３３は、複数（本実施形態では２つ）のローラー対１３３を有している。各ローラー対１３３は、下側ローラー３３ａ及び上側ローラー３３ｂを有している。基板１は、これらローラー３３ａ，３３ｂ間に挟持された状態で搬送されるようになっている。
【００２９】
第３基板搬送ローラー部３２及び第４基板搬送ローラー部３３との間には、貼付補助部１３５が配置されている。貼付補助部１３５は、搬送ローラー（第２搬送ローラー）１３５ａと、貼付補助ローラー１３５ｂと、を有している。貼付補助ローラー１３５ｂは、搬送ローラー１３５ａに対して進退可能とされている。
【００３０】
貼付補助部１３５は、基板１を搬送する搬送ローラー１３５ａに対して貼付補助ローラー１３５ｂを近づけることで該貼付補助ローラー１３５ｂ及び搬送ローラー１３５ａ間に基板１を挟むことが可能となっている。なお、貼付補助ローラー１３５ｂを昇降させる駆動部は、搬送ローラー１３５ａとの間で基板１に押し付け力を付与する。上記駆動部は、例えばシリンダーやモーター等から構成され、該駆動部を制御することで上記押し付け力が制御される。上記駆動部は、基板１のサイズと搬送時間に基づいて貼付補助ローラー１３５ｂを昇降させるタイミングを規定する。
【００３１】
貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向（＋Ｘ方向）における後端に当接し、後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟む。なお、貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向における後端の時点で当接していればよく、基板１の当接開始位置は特に限定されない。すなわち、貼付補助ローラー１３５ｂは、基板１の半分から当接を開始してもよいし、基板１の搬送方向先端から当接を開始してもよい。
【００３２】
このようにフィルム貼付部１０５がフィルムの搬送方向（＋Ｘ方向）における後端のエッジ部を抑えることでフィルムの後端の切断部分を確実に基板１に接着し、基板１の全面に亘ってフィルムを良好に接着することができる。
【００３３】
第５基板搬送ローラー部３４は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー３４ａを有している。これにより、第５基板搬送ローラー部３４は、第４基板搬送ローラー部３３から搬送された基板１を受け取って不図示の基板搬出用カセット内に収容するように移動させる。
【００３４】
フィルム搬送部１０４は、基板１に対する貼り付け位置までフィルムを搬送するためのものである。フィルム搬送部１０４で搬送されたフィルムは、フィルム貼付部１０５によって基板１に貼り付けられる。
【００３５】
フィルム搬送部１０４は、フィルム繰出部４１と、搬送経路調整部４２と、フィルム保持ローラー４３と、第１吸着ローラー４４と、カッター部４８と、タイミング調整部４７と、中継ローラー部４５と、第２吸着ローラー４９と、フィルム貼付ローラー４０と、フィルム巻取部５１と、中継ローラー５２，５３とを有する。
【００３６】
フィルム繰出部４１は、フィルム（基材）６０をロール状に巻回したロール体Ｒを保持するとともに回転する回転駆動部４１ａを有する。なお、フィルム６０は、主フィルム材６１と、保護材６２と、これら主フィルム材６１および保護材６２を貼り合せる粘着層６３とを有している（図３参照）。これにより、フィルム搬送部１０４はロール体Ｒからフィルム６０を巻き解くことで搬送するようになっている。
【００３７】
搬送経路調整部４２は、回転駆動部４１ａに回動可能に取り付けられるレバー部１４１と、レバー部１４１の先端に回動可能に取り付けられてフィルム６０に当接する当接ローラー１４２と、を有する。レバー部１４１は、回転駆動部４１ａにロール体Ｒと同軸上で回転するようになっている。
【００３８】
ロール体Ｒから巻き解かれたフィルム６０は、ロール体Ｒの残量に応じて搬送経路（搬送距離）が変化する。このようにフィルム６０の搬送経路（搬送距離）が変化すると、フィルム６０の搬送速度を一定に保つために回転駆動部４１ａの駆動条件を変更する必要がある。
【００３９】
これに対し、本実施形態に係るフィルム搬送部１０４は、搬送経路調整部４２がレバー部１４１を所定位置に回動させることでフィルム６０の搬送距離（搬送経路）を変化させるようにしている。例えば、フィルム搬送部１０４は、ロール体Ｒの残量が少なくなると当接ローラー１４２を下降させるようにレバー部１４１を回動させることでロール体Ｒの外形が小さくなることで短くなった搬送距離を延ばすことができる。このように搬送経路調整部４２によれば回転駆動部４１ａの駆動条件（回転速度）を変更することなく、フィルム６０の搬送速度を一定に保つことができる。
【００４０】
フィルム保持ローラー４３は、後述する第１吸着ローラー４４との間でフィルム６０が略鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って搬送されるように保持するためのものである。これにより、フィルム６０は鉛直方向に沿って搬送されるようになっている。
【００４１】
第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９はフィルム６０を吸着した状態で回転することで該フィルム６０を定速で搬送を可能とするものである。図２は第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９の概略構成を示す断面図である。なお、第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９は同一の構成から構成されていることから、以下の説明では第１吸着ローラー４４の構成について説明する。
【００４２】
図２に示されるように、第１吸着ローラー４４は、表面に複数の貫通孔１４４ａが形成されたローラー本体１４４と、ローラー本体１４４の内部に設けられる吸引部１４５と、を有する。吸引部１４５は回転するローラー本体１４４の内面に摺接可能な箱状からなる箱体１４５ａを有し、該箱体１４５ａは真空チャンバ（不図示）に接続されている。
【００４３】
箱体１４５ａはローラー本体１４４の内面に当接することで貫通孔１４４ａを介してローラー表面側の空気を吸引可能となっている。第１吸着ローラー４４では、箱体１４５ａの開口部に対向する領域Ａの貫通孔１４４ａのみから空気を吸引可能となる。箱体１４５ａは固定されており、ローラー本体１４４のみが回転駆動する。
【００４４】
この構成により、第１吸着ローラー４４では、ローラー本体１４４が所定の回転位置において貫通孔１４４ａから空気が吸引される構成とされている。よって、第１吸着ローラー４４は貫通孔１４４ａを介して吸着したフィルム６０をローラー本体１４４の回転方向に沿って良好に搬送することができる。なお、吸引部１４５はローラー本体１４４の内面に必ずしも当接している必要はなく、貫通孔１４４ａを介して吸引可能な構成であれば隙間が空いていてもよい。
【００４５】
また、第１吸着ローラー４４は吸着によりフィルム６０を保持するため、ローラー本体１４４とフィルム６０との間での摩擦が生じることが防止され、静電気の発生を抑制することができる。以上、第１吸着ローラー４４の構成について説明したが、第２吸着ローラー４９についても同様である。
【００４６】
図３はカッター部４８の概略構成を及びフィルム６０の積層構造を示す図である。
カッター部４８は、図３に示すようにフィルム６０を切断（カット）するための刃４８ａと、刃４８ａに対向配置される台座部４８ｂとを有する。カッター部４８は、台座部４８ｂ上のフィルム６０に対して刃４８ａを押し付けることでフィルム６０を切断可能となっている。具体的にカッター部４８は、図３に示すようにフィルム６０のうち、主フィルム材６１のみを切断可能な位置まで刃４８ａを押し付ける。これにより、フィルム６０は主フィルム材６１が所定の長さにカットした状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態とされている。なお、図３においてはフィルム６０の主フィルム材６１上に塗布された接着剤Ｎを図示している。
【００４７】
具体的にカッター部４８は、主フィルム材６１を切断する際、基板１に貼り付けられる貼付部分と、基板に貼り付けられない非貼付部分とを形成する。したがって、保護材６２には、粘着層６３により上記貼付部分を構成する主フィルム材６１と、上記非貼付部分を構成する主フィルム材６１とが貼り付けられた状態とされている。ここで、貼付部分の長さとは基板１の長さに対応するものである。また、非貼付部分の長さとは、ある基板１に対するフィルムの貼付終了後、次の基板１に対するフィルムの貼付を開始するまでに基板１が搬送される距離に対応する。すなわち、非貼付部分の長さは、基板１の搬送速度、フィルム貼付ローラー４０の昇降速度等に応じて適宜設定される。このように貼付部分及び非貼付部分を含むフィルムを用いることでフィルム搬送部１０４によって搬送されるフィルム（貼付部分）の先端と、基板移動部１０３によって搬送される基板１の搬送方向先端との位置合わせを容易にできるようにしている。
【００４８】
ここで、カッター部４８はフィルム搬送部１０４によって搬送された状態のフィルム６０をカットする。カッター部４８がフィルム６０を切断する際、フィルム６０の搬送が一時的に停止される。このとき、フィルム６０の搬送は切断部分以外において継続されているため、カッター部４８による切断部分とそれ以外とでフィルム６０の搬送速度に差が生じてしまう。すると搬送速度にバラツキが生じ、搬送されるフィルム６０にダブつきが生じ、フィルム６０の搬送不良が生じてしまう。
【００４９】
これに対し、本実施形態に係るフィルム搬送部１０４は、カッター部４８により切断される際にフィルム６０に生じる搬送速度のバラツキを調整するための手段として上記タイミング調整部４７を備えている。タイミング調整部４７は、フィルム６０の裏面側に当接する当接ローラー部１４７と、該当接ローラー部１４７を保持する保持部１４８と、該保持部１４８をフィルム６０の搬送方向（Ｘ方向）に沿って移動可能な駆動部１４９と、を有している。
【００５０】
タイミング調整部４７は、フィルム６０がカッター部４８により切断される際、フィルム６０が一度停止する部分と他の搬送途中の部分とで搬送速度を合わせるべく、当接ローラー部１４７を搬送方向上流側（＋Ｘ方向）に移動させる。これにより、カッター部４８とタイミング調整部４７（当接ローラー部１４７）との距離が長くなるので、見掛け上のフィルム６０のカッター部４８までの搬送速度を低くすることができ、フィルム６０の搬送速度を合わせることで搬送速度のバラツキに起因するフィルム６０のダブつきを防止できる。
【００５１】
このようにフィルム搬送部１０４は搬送不良を生じさせることなく、フィルム６０を搬送した状態のままでカッター部４８による切断を行うことができる。よって、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮することができる。
【００５２】
フィルム貼付ローラー４０は、上下方向（Ｚ方向）に沿って移動可能とされている。フィルム貼付ローラー４０は、基板移動部１０３の搬送ローラー３２ａ（第３基板搬送ローラー部３２）上に位置する基板１に対してフィルム６０を押し付け可能な位置まで下降する。
【００５３】
フィルム貼付ローラー４０及び搬送ローラー３２ａは、フィルム６０及び基板１を挟持することでフィルム６０の貼付を行う。このようにフィルム貼付ローラー４０は、フィルム搬送部１０４の一部をなすとともにフィルム貼付部１０５を構成している。
【００５４】
フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の貼付を行う場合、該フィルム６０における貼付部分の主フィルム材６１を基板１に貼り付ける。フィルム６０は搬送された状態で基板１に貼り付けられるため、例えばフィルム貼付ローラー４０が基板１の搬送方向における後端まで基板１に当接していると、貼付部分に続いて搬送されてくる非貼付部分を搬送ローラー３２ａとの間で抑えつけてしまう。すると、本来、貼り付けられずに廃棄されるはずである非貼付部分の主フィルム材６１が基板１或いは搬送ローラー３２ａに貼り付けられてしまうおそれがある。
【００５５】
本実施形態では、このような不具合を防止すべく、フィルム貼付ローラー４０が基板１を搬送方向における後端まで当接しない構成を採用している。すなわち、フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向先端部と基板１の搬送方向先端とを一致させるタイミング（すなわち、主フィルム材６１の搬送方向先端がフィルム貼り付け位置に到達するタイミング）で下降し、当接部分が貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向後端部（基板１の搬送方向後端）に到達する前のタイミング（すなわち、主フィルム材６１の搬送方向後端がフィルム貼り付け位置に到達する前のタイミング）で上昇を開始するようになっている。これによれば、上述したようにフィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の非貼付部分における搬送ローラー３２ａとの間で挟み込みを防止することができる。従って、フィルム貼付ローラー４０は、基板１に対するフィルム６０の貼付作業毎に昇降動作を繰り返すようになっている。
【００５６】
ところで、フィルム貼付ローラー４０は、上述のように基板１の搬送方向後端に当接するよりも先に上昇するため、搬送方向後端側においてフィルム６０を基板１に十分に押し付けることができず、フィルム６０の貼付が不十分となるおそれがある。
【００５７】
これに対し、本実施形態では、上述した貼付補助部１３５（貼付補助ローラー１３５ｂ）を備えた構成となっている。貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向における後端に当接し、後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟むことでフィルム貼付ローラー４０のみでは不十分となるフィルム６０の後端の切断部分を確実に基板１に接着することができる。従って、本実施形態によれば、基板１の全面に亘ってフィルム６０を良好に接着することが可能となっている。
【００５８】
フィルム巻取部５１は、フィルム貼付部１０５による貼付作業後にフィルム６０から分離された保護材６２を巻き取るための巻取軸５１ａ及び該巻取軸５１ａを駆動する駆動部５１ｂを有している。
【００５９】
中継ローラー５２，５３は、フィルム貼付ローラー４０とフィルム巻取部５１との間でフィルム６０の搬送を中継するものである。中継ローラー５２はフィルム貼付ローラー４０によるフィルム貼り付け位置よりも上方（Ｚ方向）に位置している。また、中継ローラー５２は、基板１の搬送方向において貼付補助部１３５及びフィルム貼付部１０５よりも上方に配置される。これにより、フィルム貼付ローラー４０を経由したフィルム６０は上方に向かって急峻に折り曲げられることで後述するようにカットされた主フィルム材６１のみが基板１に貼り付けられ、主フィルム材６１から保護材６２が分離されるようになっている。
【００６０】
（塗布装置）
塗布装置１０６は、フィルム６０を基板１に接着可能とするための塗布液として接着剤Ｎを該基板１に対して塗布する。塗布装置１０６は、フィルム保持ローラー４３によって鉛直方向に搬送されるフィルム６０に対して接着剤を塗布する。なお、塗布装置１０６が塗布する塗布液としては、少なくとも加熱部１０７による乾燥後にフィルム６０を基板１に接着可能な程度の粘着性を有する液体が用いられる。
【００６１】
塗布装置１０６は、接着剤を基板１に対して塗布機構７０と、ミスト回収機構７１と、フィルム６０に塗布される接着剤の厚みを調整する膜厚調整機構７２と、加温機構（加温部）６５と、を含む（図１０参照）。
【００６２】
図４（ａ）は塗布機構７０の要部構成を示す概略図であり、図４（ｂ）は塗布機構７０が有するノズルの先端の動きを概念的に示した図である。
図４（ａ）に示されるように塗布機構７０は、接着剤を噴射するノズル（塗布ノズル）７３と、本体部７４と、本体部７４をＸ軸回りで回動させる回動部７５とを含む。ノズル７３としては、接着剤をスプレー噴射するスプレーノズルが用いられる。本体部７４は、ノズル７３をフィルム６０の幅方向に沿って移動可能とする移動機構７９を有している。移動機構７９は、ノズル７３の移動をガイドするガイド部７９ａと、該ガイド部７９ａに対してノズル７３を移動させる駆動力を伝達する駆動部７９ｂとを含む。ノズル７３は、取付アーム７８を介してガイド部７９ａに接続されている。
【００６３】
駆動部７９ｂは、例えばラックアンドピニオン機構によりガイド部７９ａ側に駆動力を伝達するようになっている。これにより、ノズル７３は同図矢印Ｂで示されるようにフィルム６０の幅方向に沿って移動可能となっている。よって、ノズル７３はフィルム６０の幅方向の全域に亘って接着剤を噴射可能となっている。
【００６４】
回動部７５はモーター等から構成されている。本体部７４は、その中央部において回動部７５に取り付けられている。これにより、本体部７４は、回動部７５により中央部を基準に揺動可能とされている。ノズル７３は本体部７４の揺動動作とは独立して本体部７４の移動機構７９によって移動可能とされている。なお、以下では、説明の便宜上、ノズル７３の先端７３ａの中心と回動部７５の回転中心とが一致しているものとする。
【００６５】
このような構成に基づき、ノズル７３の先端７３ａは、図４（ｂ）に示すように回動部７５の回転中心を基準として略８の字状に移動する。具体的に、ノズル７３の先端は、回動部７５の回転中心Ｃを基準としてＹＺ軸を設定すると、第４象限から第２象限へと至り、円弧を描いて第３象限を経て第１象限へと至り、円弧を描いて第４象限へと至った後、繰り返し同じ軌跡を描くように移動する。なお、本説明ではノズル７３の先端７３ａが第２象限から第３象限に至る際および第１象限から第４象限に至る際、円弧を描いて戻る場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されない。例えば、Ｚ軸方向に沿ってＹ軸を跨ぐように折り返すことで第２象限から第３象限および第１象限から第４象限へと移動する構成であっても構わない。この場合、塗布機構７０は、回動部７５の代わりに本体部７４をＹＺ方向に移動させる移動部を有する。
【００６６】
図５は本実施形態に係る塗布装置１０６が接着剤を塗布する際のフィルム６０に対するノズル７３の先端７３ａの動きを表した図である。また、図６は比較として回動部を有しない塗布装置が接着剤を塗布する際のフィルム６０に対するノズル７３の先端７３ａの動きを表した図である。本実施形態に係る塗布装置１０６は、上述のようにノズル７３が回動部７５の回転中心Ｃを基準として略８の字状に移動することから、フィルム６０の搬送速度及びノズル７３の移動速度を調整して図５に示すようにノズル７３の先端を所定方向に搬送されるフィルム６０の表面の幅方向に沿って往復移動させることができる。一方、回動部７５を有しない場合、ノズル７３がフィルム６０の幅方向に移動する間に該フィルム６０自体も搬送されてしまうため、図６に示すようにノズル７３の先端７３ａはフィルム６０の表面に対してジグザグに移動する。
【００６７】
以上述べたように、本実施形態に係る塗布装置１０６は、回動部７５を備えることでノズル７３の先端７３ａをフィルム６０の幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることができるので、接着剤をフィルム６０の全面に亘って均一に塗布することができる。
【００６８】
ところで、本実施形態においては、ノズル７３がフィルム６０の幅方向に沿って往復移動しながら接着剤を塗布する際、フィルム６０の幅方向の両端で往復移動の折返しを行っている。
具体的にノズル７３は往復移動時の往路においてフィルム６０の幅方向の一方から他方（例えば、左端から右端）に向かって移動しながらフィルム６０上に接着剤を塗布する。そして、ノズル７３はフィルム６０の右端に到達した後に折り返し、往復移動時の復路を通る。復路において、ノズル７３は、フィルム６０の他方から一方（例えば、右端から左端）に向かって移動しながらフィルム６０上に接着剤を塗布する。
【００６９】
ここで、ノズル７３の折返し位置から離れたフィルム６０の幅方向における中央では、往路のノズル７３から塗布された接着剤が概ね乾いた（乾燥した）状態で復路のノズル７３から接着剤が塗布されるようになっている。そのため、復路のノズル７３から接着剤が塗布された際、フィルム６０の表面が往路のノズル７３から塗布された接着剤によって濡れた状態とされていることがない。よって、ノズル７３が往路及び復路で塗布した接着剤がフィルム６０上で混じり合うことでムラになることは無い。
【００７０】
しかしながら、ノズル７３の折返し位置に近いフィルム６０の幅方向における両端部では、往路のノズル７３から接着剤が塗布されるタイミングと、復路のノズル７３から接着剤が塗布されるタイミングとが近くなる。そのため、復路のノズル７３から接着剤が塗布された際、フィルム６０の表面が往路のノズル７３から塗布された接着剤によって濡れた状態となっている。よって、ノズル７３が往路及び復路において塗布した接着剤がフィルム６０上で混じり合うことで乾燥した際に塗布ムラとなってしまう。このような塗布ムラが接着剤に生じると、後工程で行われる基板１へのフィルム６０の貼付不良を生じさせるおそれがある。
【００７１】
図７は塗布装置１０６の周辺構成を示す概略図である。なお、図７においては後述するミスト回収機構の図示を省略している。
そこで、本実施形態においては、このような接着剤の塗布ムラの発生を解決する手段として、塗布装置１０６が図７に示される加温機構６５を有したものとなっている。加温機構６５は、フィルム６０におけるノズル７３の往復移動の折返し位置に対応する部分を加温するためのものである。ここで、フィルム６０におけるノズル７３の往復移動の折返し位置に対応する部分とは、ノズル７３が折返した位置に基づいて規定されるフィルム６０上の塗布ムラが生じる領域を意味する。本実施形態においては、ノズル７３が折返しを行うフィルム６０の両端部が加温機構６５によって選択的に加温されるようにしている。
【００７２】
図８は加温機構６５における温風吹出部分の構成を示す上面図を示すものである。加温機構６５は、図７、８に示すように、２つの吹出部６６と、角度調整機構６７と、温風供給部６８と、を有する。
【００７３】
吹出部６６は、それぞれ温風を吹き出す温風吹出口６６ａを有している。吹出部６６は、フィルム６０の幅方向における両端に対向する位置にそれぞれ配置されている。温風吹出口６６ａには、例えばフィン部材が設けられており、フィルム６０に対する温風の吹き出し強度を微調整可能とされている。なお、フィン部材は、フィルム６０に対する温風の吹き出し方向を微調整可能とされていてもよい。
【００７４】
吹出部６６から吹き出す温風の温度としては、２５℃〜６０℃の範囲に設定するのが好ましい。例えば、フィルム６０の周辺温度が２５℃の場合、温風の吹き出し温度を３０℃〜４０℃の範囲に設定するのがより望ましい。
また、吹出部６６は、フィルム６０の表面から７０ｍｍ〜１２５ｍｍ程度離間した位置に配置されるのが好ましい。
【００７５】
角度調整機構６７は、吹出部６６の温風吹出口６６ａからのフィルム６０に対する温風の吹き出し角度をＺ方向（フィルム６０の搬送方向）において調整可能とするものである。角度調整機構６７は、所定角度（例えば、１°）ずつ吹出部６６の取り付け角度を調整可能としている。これにより、吹出部６６は、フィルム６０に対して最適な角度で温風を吹き付け、該フィルム６０を良好に加温することができる。
【００７６】
各吹出部６６は、角度調整機構６７を介してダクト６９にそれぞれ接続されている。ダクト６９は、温風供給部６８側から角度調整機構６７を介して吹出部６６に温風を供給するためのものである。これにより、吹出部６６は、温風吹出口６６ａから温風を吹き出し可能とされている。ダクト６９は、後述するミスト回収機構７１の本体部８０の側壁を貫通した状態に引き回されている。ダクト６９は、本体部８０の外部において一体化し、１つのダクトとして温風供給部６８側に接続されている。
【００７７】
図９は加温機構６５の要部構成である温風供給部６８の概略構成を示すものである。図９に示すように、温風供給部６８は、送風ユニット５３と、ヒーター５４と、接続部５５と、を有する。送風ユニット５３は、ヒーター５４に送風するためのものである。ヒーター５４は送風ユニット５３から送風された空気を加温する。ヒーター５４は、例えば送風ユニット５３からの送風が通過する通路に放熱フィンを複数配置し、該放熱フィンに接触することで送風ユニット５３側からの送風が加温される。なお、ヒーター５４は、吹出部６６の温風吹出口６６ａから吹き出す温風の温度需要に応じて出力を変化させることで所定温度の温風を温風吹出口６６ａに供給することができる。
【００７８】
接続部５５は、ヒーター５４で加温された空気を温風吹出口６６ａに導く経路の途中に配置される。具体的には、ダクト６９とヒーター５４との間に配置されている。接続部５５は、ヒーター５４で加温された空気を収容する本体部５５ａと、該本体部５５ａ内にフィルター５５ｂが配置されている。本体部５５ａに収容された空気は、フィルター５５ｂを通った後にダクト６９へと送られる。なお、フィルター５５ｂとしては、ＨＥＰＡフィルターを用いており、これにより送風ユニット５３側から供給された空気中に含まれた異物を除去した状態でダクト６９側に温風を供給させるようにしている。
【００７９】
この構成によれば、フィルター５５ｂを通過することで異物が除去された温風をフィルム６０に当てることができる。よって、接着剤中に温風中の異物が混入するといった不具合の発生を防止でき、異物混入による接着剤の接着不良の発生が防止された信頼性の高い塗布処理を行うことができる。
【００８０】
このように本実施形態に係る塗布装置１０６によれば、加温機構６５によってフィルム６０におけるノズル７３の往復移動の折返し位置に対応する部分が加温されるので、フィルム６０上に塗布された接着剤を良好に乾燥させることが可能となる。よって、往復移動するノズル７３から接着剤で濡れた状態のフィルム６０上に重ねて接着剤が塗布されてしまうのを防止でき、ノズル７３が折返しを行うフィルム６０の両端部における塗布ムラの発生を無くすことが可能とされている。したがって、本実施形態においては、フィルム６０上に接着剤をムラなく塗布できる信頼性の高い塗布装置１０６を提供することができる。
【００８１】
図１に戻って加熱部１０７は、塗布装置１０６で接着剤が塗布されたフィルム６０を加熱する（ベーク処理）ことで接着剤を硬化させるためのものである。加熱部１０７は、第１加熱部７６及び第２加熱部７７を有している。第１加熱部７６及び第２加熱部７７の加熱温度は、それぞれ異なる値に設定されている。
【００８２】
第１加熱部７６は、フィルム６０に対して第１ベーク処理を行うことで接着剤を仮硬化させるためのものである。第２加熱部７７は、フィルム６０に対して第２ベーク処理を行うことで接着剤を本硬化させるためのものである。
【００８３】
このような構成に基づき、加熱部１０７はフィルム６０を段階的（２段階）に加熱することで接着剤を良好に硬化させることができるようになっている。なお、接着剤が複数（例えば、２種類）の溶剤を含む場合、第１加熱部７６による第１ベーク処理（第１段階目の加熱処理）で接着剤中の第１溶剤を蒸発させ、第２加熱部７７による第２ベーク処理（第２段階目の加熱処理）で接着剤中の第２溶剤を蒸発させて接着剤を乾燥させ、良好に硬化させることができる。
【００８４】
また、加熱部１０７は、第１加熱部７６及び第２加熱部７７を用いて１枚のフィルム６０の加熱処理を行うので、１つの加熱部のみでフィルム６０の加熱処理を行う構成のように先のフィルム６０の乾燥処理が終了するまで次のフィルム６０の乾燥処理を開始することができないといった問題が生じることが無い。よって、順次加熱部１０７内にフィルム６０を搬送することができるので、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。
【００８５】
図１０は塗布部１０６の周辺構成を示す概略図である。図１１はミスト回収機構７１の構成を示す概略図である。ミスト回収機構７１は塗布機構７０のノズル７３から接着剤を塗布する際に生じるミストを回収するためのものである。
【００８６】
ミスト回収機構７１は、図１０に示したように本体部８０と、ミスト洗浄部８１と、洗浄液循環部８２と、を有している。本体部８０は、塗布装置１０６による接着剤塗布処理が行われる処理チャンバーを構成している。本体部８０は、フィルム搬送部１０４により搬送されるフィルム６０を内部に搬入或いは内部から搬出させるための開口部８０ａが設けられている。
【００８７】
図１０に示されるように、ミスト洗浄部８１はフィルム６０における接着剤が塗布される面と反対の裏面６０ａ、及び側面６０ｂを覆うように本体部８０内に設置される。ミスト洗浄部８１は、図１０に示したように洗浄液Ｗを貯留する洗浄液貯留部８３と、該洗浄液貯留部８３から溢れ出した洗浄液Ｗが流れる洗浄部８４と、洗浄液受け部８５と、を有している。なお、図１０においては、図を見やすくするため、フィルム６０の裏面６０ａ側に配置されたミスト洗浄部８１のみを図示しているものの、フィルム６０の側面６０ｂ側にも図１１に示したようにミスト洗浄部８１は配置されている。フィルム６０の側面６０ｂ側に配置されるミスト洗浄部８１についても、裏面６０ａ側のミスト洗浄部８１と同一の構成を有している。
【００８８】
洗浄部８４はフィルム６０の搬送方向（Ｚ方向）に沿って延びるブラシ部材から構成され、該ブラシ部材の表面を伝って下方へと洗浄液が流れる構成となっている。洗浄液受け部８５は、洗浄部８４を伝って流れた下方へと流れた洗浄液を受ける容器として機能するものである。
【００８９】
洗浄液受け部８５の下方には、洗浄液Ｗを本体部８０内に連通させる連通部８５ａが設けられ、該連通部８５ａを介して洗浄液受け部８５内の洗浄液が本体部８０の底部８９へと流れ込むようになっている。洗浄液循環部８２は、本体部８０の底部８９に溜まった洗浄液を連通部８９ａを介し、ポンプＰの駆動力によって洗浄部８４の洗浄液貯留部８３に循環させるものである。洗浄液循環部８２はフィルターＦを有しており、該フィルターＦを介して洗浄液を循環させる。これにより、洗浄後に洗浄液に含まれる異物を除去することで洗浄液を再利用することができる。
【００９０】
本実施形態に係る塗布装置１０６によれば、ノズル７３からフィルム６０に対して接着剤を塗布する際に生じたミストをミスト回収機構７１により回収できるので、ミストが付着することで貼付装置１００内が汚れるといった不具合の発生を防止できる。
【００９１】
膜厚調整機構７２は、フィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤の厚みが均一になるように調整するものである。図１２は膜厚調整機構７２の周辺構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。
【００９２】
図１２（ａ），（ｂ）に示すように膜厚調整機構７２は、フィルム６０のフィルム端の近傍に設置されるダミーローラー９０と、駆動ローラー９１と、従動ローラー９２と、該ダミーローラー９０、駆動ローラー９１、及び従動ローラー９２に架け渡されるベルト９３と、を備えている。ベルト９３は、フィルム６０と同じ材質で構成されていても良く、同じ材質であることが好ましい。一例として、例えばポリイミドから構成されている。
【００９３】
ダミーローラー９０は、鉛直方向に向けてフィルム６０を搬送するフィルム保持ローラー４３と同軸で回転する。ダミーローラー９０の外径は、該ダミーローラー９０に掛け渡されたベルト９３の表面がフィルム保持ローラー４３に掛け渡されるフィルム６０の表面と略同じ高さとなる大きさに設定されている。また、塗布装置１０６は、ベルト９３の表面とフィルム６０の表面が略同じ高さとなる領域において、ノズル７３の先端がフィルム６０の表面に対して接着剤を塗布するように位置合わせされている。
【００９４】
ここで、フィルム６０のフィルム端に膜厚調整機構７２のベルト９３が設けられていない場合、接着剤の飛散条件が変化するフィルム端において接着剤の膜厚が薄くなってしまう。これにより、フィルム６０の幅方向において接着剤の膜厚にバラつきが生じてしまうおそれがある。
【００９５】
これに対し、本実施形態によれば、ノズル７３が対向するフィルム６０のフィルム端の表面と略同じ高さに膜厚調整機構７２のベルト９３の表面が位置するので、接着剤の飛散条件をフィルム端とフィルム中央部とで合わせることができる。よって、フィルム６０の幅方向における接着剤の成膜条件を揃えることで接着剤を均一な膜厚で塗布することが可能となっている。
【００９６】
ところで、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ方向）に沿って搬送されるフィルム６０に対してノズル７３から接着剤を塗布する構成を採用することで、ノズル７３としてスプレーノズルを用いた場合に生じやすい塗布ムラの発生を抑制するようにしている。
【００９７】
なお、先端７３ａの開口端がフィルム６０の表面に対向した状態となるようにノズル７３とフィルム６０とが配置されていれば、フィルム６０が必ずしも鉛直方向に沿って搬送されていなくても上述したムラ抑制効果を得ることができる。すなわち、フィルム６０は水平面と交差する方向に沿って搬送されていればよい。このようにフィルム６０が水平面と交差する方向、すなわち水平面に対して傾いた状態に搬送されていれば、ノズル７３の先端７３ａとフィルム６０の表面とは水平方向に所定距離だけ常に離間した状態となるので、上述した接着剤の塗布面におけるムラの発生を抑制できる。
【００９８】
これによれば、ノズル７３の先端とフィルム６０の表面とは水平方向に所定距離だけ離間した状態とされるので、ノズル７３から塗布された接着剤の粒子のうち、粒子が荒いもの（粒の大きいもの）はフィルム６０の表面に到達する前に落下し、フィルム６０に塗布されることがない。一方、ノズル７３から塗布された接着剤の粒子のうち、粒子が細かいもの（粒の小さいもの）はノズル７３の先端から所定距離離間した位置に配置されるフィルム６０の表面に到達し、フィルム６０に塗布されることとなる。よって、フィルム６０に均一な粒子を含んだ接着剤を塗布することができるので、接着剤の塗布面に上述したようなムラが発生するのを抑制できる。
【００９９】
なお、ベルト９３の表面に付着した接着剤を洗浄する洗浄装置を設けてもよい。洗浄装置の構成としては、ベルト９３に洗浄液を噴射する構成、或いはベルト９３を洗浄液貯留部にディップさせる構成のいずれであってもよい。これによれば、ベルト９３の表面を常に綺麗な状態に保持することができるので、フィルム６０のフィルム端における接着剤の成膜条件の調整を長期に亘って精度良く行うことができる。
【０１００】
続いて、本実施形態に係る貼付装置１００の動作として、フィルム６０を基板１に貼り付ける動作について説明する。
【０１０１】
図１３は貼付装置１００によるフィルム６０の貼付工程を説明するフロー図である。
初めに貼付装置１００ではフィルム繰出部４１にロール体Ｒが取り付けられる（ステップＳ１）。
ロール体Ｒが取り付けられた後、貼付装置１００はフィルム搬送部１０４が駆動し、フィルム６０の巻出しを行う（ステップＳ２）。具体的にフィルム搬送部１０４は、フィルム繰出部４１及びフィルム巻取部５１を回転駆動させ、フィルム６０を所定方向に沿って搬送する。
【０１０２】
貼付装置１００は、フィルム搬送部１０４によるフィルム６０の搬送に合わせて、塗布装置１０６を駆動し、接着剤の塗布を行う（ステップＳ３）。具体的に塗布装置１０６は、上述のようにノズル７３が回動部７５の回転中心を基準として略８の字状に移動しながらフィルム搬送部１０４によって搬送されるフィルム６０に対して接着剤を塗布する。
【０１０３】
塗布装置１０６は、ノズル７３を移動機構７９によって移動させつつ、回動部７５によってノズル７３を保持する本体部７４をＸ軸回りに回動させることでノズル７３の先端をフィルム６０の幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることができる（図５参照）。
【０１０４】
ここで、ノズル７３の折返し位置に近いフィルム６０の幅方向における両端部では、往路のノズル７３から接着剤が塗布された後、すぐに復路のノズル７３から接着剤が塗布される。本実施形態では、塗布装置１０６において、加温機構６５がノズル７３の往復移動の折返し位置に対応する部分を加温する。具体的に加温機構６５は、吹出部６６の温風吹出口６６ａからフィルム６０の幅方向における両端に温風を吹き付けて加温する。
【０１０５】
往路のノズル７３から塗布された接着剤はフィルム６０が加温された状態とされているため、例えばフィルム６０に付着した途端に概ね乾燥した状態となる。そのため、折り返したノズル７３が復路にてフィルム６０に接着剤を塗布した際、往路のノズル７３から塗布された接着剤はフィルム６０上で乾燥した状態とされている。よって、往復移動するノズル７３から接着剤で濡れた状態のフィルム６０に続けて接着剤が塗布されることが無い。そのため、ノズル７３が往路及び復路において塗布した接着剤がフィルム６０上で混じり合うことがなく、接着剤に塗布ムラが生じるのを防止できる。
このようにして、塗布装置１０６は、接着剤をフィルム６０の幅方向に亘る全面にムラなく塗布することができる。
【０１０６】
ところで、フィルム６０に対して接着剤を塗布する際、フィルム６０の幅方向のフィルム端では接着剤の飛散条件が変化するため、フィルム端における接着剤の厚みが中央部に比べて薄くなってしまう。これに対して、本実施形態に係る塗布装置１０６はノズル７３からフィルム６０に対して接着剤を塗布する際、膜厚調整機構７２を機能させてフィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤の厚みが均一になるように調整する。
【０１０７】
具体的に膜厚調整機構７２は、フィルム６０を搬送するフィルム保持ローラー４３の回転と同期させてダミーローラー９０を回転させる。このとき、ダミーローラー９０の表面に掛け渡されたベルト９３の表面とフィルム保持ローラー４３に掛け渡されたフィルム６０の表面とが同じ高さとなっている。
【０１０８】
これによれば、フィルム端近傍においてフィルム６０の表面と同じ高さにベルト９３の表面が位置するので、実質的にフィルム端における接着剤の飛散条件を中央部に合わせることができる。
【０１０９】
よって、ノズル７３から塗布された接着剤はフィルム６０のフィルム端においても接着剤の飛散条件が変化することがなく、接着剤の成膜条件がフィルム６０の幅方向で安定することで接着剤を均一な条件で塗布することができる。
【０１１０】
ノズル７３からフィルム６０に接着剤を塗布する際、ノズル７３からミストが周囲に飛散してしまう。これに対して本実施形態に係る塗布装置１０６では、ミスト回収機構７１によりミストを回収することができる。具体的にノズル７３から飛散したミストは、フィルム６０の裏面６０ａ及び側面６０ｂを覆うように設けられたミスト洗浄部８１（ミスト回収機構７１）の洗浄部８４によって捕捉される。
【０１１１】
洗浄部８４は上述したようにブラシ部材の表面を伝って下方へと洗浄液が流れる構成となっているため、捕捉されたミストは洗浄液とともに下方に排出される。これによれば、捕捉したミストが洗浄部８４に蓄積してしまうといったことがなく、安定的にミストを回収することができる。
【０１１２】
ミストを回収した洗浄液は洗浄液受け部８５から本体部８０の底部へと流れ込み、洗浄液循環部８２のフィルターＦで異物が除去された後、洗浄部８４に再度循環される。
【０１１３】
また、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ方向）に沿って搬送されるフィルム６０に対してノズル７３から接着剤を塗布するので、ノズル７３から塗布された接着剤の粒子のうち、粒子が荒いもの（粒の大きいもの）がフィルム６０に塗布されるのを防止し、粒子が細かいもの（粒の小さいもの）のみをフィルム６０に塗布することができる。このようにして塗布された接着剤は均一な粒子を含むので、ムラの発生が抑制された状態で塗布されたものとなる。この接着剤は表面のムラが少ないため、後工程で行われる基板１に貼り付けられた場合であっても主フィルム材６１の平面度を低下させるといった不具合の発生を防止できる。
【０１１４】
フィルム搬送部１０４は、塗布装置１０６によって接着剤が塗布されたフィルム６０を加熱部１０７へと搬送し、フィルム６０を加熱する（ベーク処理）ことで接着剤を硬化させる（ステップＳ４，Ｓ５）。具体的に加熱部１０７は、まず第１加熱部７６によってフィルム６０に対して第１（１ｓｔ）ベーク処理を行う（ステップＳ４）。続いて、加熱部１０７は、第２加熱部７７によってフィルム６０に対して第２（２ｎｄ）ベーク処理を行う（ステップＳ５）。第１加熱部７６及び第２加熱部７７における加熱温度は、接着剤の種類、膜厚等の条件により適宜変更される。
【０１１５】
このように本実施形態では、加熱部１０７が第１加熱部７６及び第２加熱部７７を用いて１枚のフィルム６０の加熱処理を行うので、順次加熱部１０７内にフィルム６０を搬送することができ、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。
【０１１６】
フィルム搬送部１０４は、加熱部１０７による加熱処理後のフィルム６０をカッター部４８へと搬送し、フィルム６０をカットする（ステップＳ６）。カッター部４８は、図３に示したように台座部４８ｂ上のフィルム６０に対して刃４８ａを押し付け、フィルム６０のうち、主フィルム材６１のみを切断する。カッター部４８によるカット後のフィルム６０は、主フィルム材６１が所定の長さに切断された状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態となる。
【０１１７】
具体的にカッター部４８は、上述のように貼付部分及び非貼付部分を含むように主フィルム材６１のみを切断する。
ここで、フィルム６０の切断時、フィルム６０の搬送が一時的に停止される。一方、フィルム６０は、切断部分以外においてフィルム搬送部１０４による搬送が継続されている。そのため、カッター部４８を介してフィルム６０の搬送速度に差が生じ、搬送速度のバラツキに起因してフィルム６０がダブつくことで結果的に搬送不良が生じてしまう。
【０１１８】
これに対し、本実施形態では、タイミング調整部４７がフィルム６０の切断時に生じる搬送速度のバラツキを調整する。タイミング調整部４７は、フィルム６０が切断されるタイミングに合わせて当接ローラー部１４７を搬送方向上流側（＋Ｘ方向）に移動させる。すると、カッター部４８とタイミング調整部４７（当接ローラー部１４７）との距離が長くなって、カッター部４８に向かうフィルム６０の見掛け上の搬送速度が低くなる。よって、フィルム６０の搬送速度を合わせることでフィルム６０にダブつきが生じるのを防止できる。
【０１１９】
よって、フィルム搬送部１０４はフィルム６０の搬送不良を生じさせることなく、搬送状態のままでフィルム６０をカッター部４８によって良好に切断することができる。また、フィルム搬送部１０４は、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮できる。
【０１２０】
続いて、カットしたフィルム６０の貼付工程を行う。貼付装置１００は、フィルム６０の貼付を行うに先立ち、基板供給部１０２のカセット１０２ａ内から引き出し、基板移動部１０３によって基板１の搬送を開始する（ステップＳ７，Ｓ８）。
【０１２１】
基板移動部１０３は、基板１をフィルム貼付部１０５まで移動させる。フィルム貼付部１０５は、基板移動部１０３によって搬送される基板１に対してフィルム６０の貼付を行う（ステップＳ９）。なお、基板移動部１０３は、基板１の搬送方向先端がフィルム貼付部１０５に到達するタイミングを、フィルム搬送部１０４に搬送されるフィルム６０の貼付部分がフィルム貼付部１０５に到達する同期させるように基板１の搬送速度を制御する。
【０１２２】
具体的に基板１は、第１基板搬送ローラー部３０及び第２基板搬送ローラー部３１を経て、第３基板搬送ローラー部３２（搬送ローラー３２ａ）へと搬送される。フィルム搬送部１０４は、第３基板搬送ローラー部３２に基板１が到達するタイミングに合わせてフィルム貼付ローラー４０を下降させる。これにより、フィルム貼付ローラー４０は、基板移動部１０３の搬送ローラー３２ａ（第３基板搬送ローラー部３２）上に位置する基板１に対してフィルム６０（貼付部分）の押し付けを開始する。
【０１２３】
フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０における貼付部分の主フィルム材６１を基板１に貼り付ける。フィルム６０はカッター部４８による切断工程によって、主フィルム材６１が所定の長さ（貼付部分又は非貼付部分）に切断された状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態となっている。
【０１２４】
具体的にフィルム貼付ローラー４０は、上述のようにフィルム６０の貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向先端部と基板１の搬送方向先端とを一致させるタイミングで下降する。貼付部分の主フィルム材６１は、フィルム貼付ローラー４０と搬送ローラー３２ａとの間で基板１とともに挟持され、主フィルム材６１が接着剤Ｎを介して基板１に接着される。
【０１２５】
フィルム貼付ローラー４０を経由したフィルム６０は中継ローラー５２、５３を経由してフィルム巻取部５１によって巻き取られる。ここで、中継ローラー５２はフィルム貼付ローラー４０によるフィルム貼り付け位置よりも上方（Ｚ方向）に位置しているため、フィルム６０はフィルム貼付ローラー４０を経て上方に向かって急峻に折り曲げられる。
【０１２６】
よって、中継ローラー５２により上方に折り曲げられたフィルム６０は、主フィルム材６１のみが接着剤Ｎを介して基板１に残り、保護材６２のみが中継ローラー５２側に搬送されることで主フィルム材６１と保護材６２とが分離される（ステップＳ１０）。フィルム６０から分離された保護材６２は、中継ローラー５２，５３を介してフィルム巻取部５１に巻き取られる（ステップＳ１１）。
【０１２７】
フィルム貼付部１０５によって主フィルム材６１の貼付部分が貼り付けられた基板１は、第４基板搬送ローラー部３３へと搬送される。ここで、フィルム貼付ローラー４０は、非貼付部分における搬送ローラー３２ａとの間で挟み込みを防止すべく、上述のように基板１の搬送方向後端に当接する前に上昇していることから、搬送方向後端側におけるフィルム６０の基板１に対する押し付けが足りず、フィルム６０の貼付が不十分となっている。
【０１２８】
本実施形態では、第４基板搬送ローラー部３３において、貼付補助部１３５（貼付補助ローラー１３５ｂ）が基板１の搬送方向における後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟むことで貼り付けが不十分となっているフィルム６０の後端の切断部分を確実に基板１に接着する。従って、基板１の全面に亘ってフィルム６０を良好に接着することができる。
【０１２９】
主フィルム材６１が貼り付けられた基板１はローラー対１３３及び第５基板搬送ローラー部３４を経て不図示の基板搬出用カセット内へと収容される（ステップＳ１２）。
【０１３０】
貼付装置１００は基板供給部１０２内の所定枚数の基板１に対して主フィルム材６１（フィルム６０）の貼付が終了するまで、上述したステップＳ１乃至ステップＳ１２に係るフィルム貼付処理工程ＳＳ１を繰り返す（ステップＳ１３）。
【０１３１】
以上により、貼付装置１００は所定枚数の基板１に対してフィルム６０を良好に貼り付けることができる。本実施形態に係る貼付装置１００によれば、上述した塗布装置１０６によって接着剤がムラなく全面に塗布されたフィルム６０が基板１に貼り付けることができるので、基板１にフィルム６０を良好に貼り付けることができる。また、フィルム６０に接着剤を塗布する塗布工程、フィルム６０を切断する工程、及びフィルム６０を基板１に貼り付ける工程を一貫したラインで行うことができるので、効率良くフィルム６０を基板１に貼り付けることができる。
【０１３２】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において適宜変更が可能である。例えば、上記実施形態においては、ノズル７３がフィルム６０の両端部で折り返すことでフィルム６０の幅方向の全面に亘って接着剤を塗布すべく往復移動する場合を例に挙げたが、本発明はこれに限られない。すなわち、ノズル７３がフィルム６０の幅方向の一部に接着剤を塗布する構成であってもよい。この場合、ノズル７３の往復移動の折返し位置の変化に伴って加温機構６５が加温する部分を調整すればよい。
【０１３３】
また、上記実施形態では、フィルム繰出部４１及びフィルム巻取部５１のいずれにも駆動部を設ける場合を例に挙げたが、フィルム巻取部５１のみに駆動部を設け、フィルム巻取部５１を主動して回転させることで従動回転するフィルム繰出部４１から巻き解いたフィルム６０を巻き取る構成としてもよい。
【０１３４】
また、上記実施形態では、加熱部１０７がフィルム６０を２段階で加熱する場合を例に挙げたが、フィルム６０を１段階或いは３段階以上で加熱するようにしてもよい。
【０１３５】
図１４は変形例に係る貼付装置の構成を示す図である。貼付装置１００においては、図１４に示すように装置筐体１０１内に複数のイオナイザー１１０を配置するようにしてもよい。これによれば、フィルム６０の搬送によって生じる静電気を除電することで静電気によるフィルム６０の貼り付き等といった不具合の発生が防止され、フィルム６０が良好に搬送されて基板１への貼付を行うことができる。
【０１３６】
また、図１４に示すように加熱部１０７のフィルム６０の搬送方向下流側に冷却部１０８を設けるようにしても構わない。これによれば、加熱部１０７で加熱されたフィルム６０を冷却して短時間で所定温度まで下げることができる。よって、フィルム６０の搬送経路を短くすることができ、フィルム搬送部１０４が小型化されて貼付装置１００自体の小型化を実現できる。
【０１３７】
また、上記実施形態においては、膜厚調整機構７２として、ベルト９３の表面をフィルム６０の表面と略同じ高さに設定したものを例示したが、ベルト９３を用いずにダミーローラー９０の表面とフィルム６０の表面との高さを一致させる構成を採用してもよい。この場合、ダミーローラー９０の材質としては、表面粗さの低い、例えばＳＵＳ、樹脂、アルミニウム等を用いるのが好ましく、これによれば接着剤をフィルム６０のフィルム端における接着剤の成膜条件を良好に調整して整えることができる。
【０１３８】
さらに上述したベルト９３を用いない構成においては、図１５に示すようにダミーローラー９５の回転軸をフィルム保持ローラー４３に一体形成し、ダミーローラー９５とフィルム保持ローラー４３とが一体に回転する構成を採用してもよい。なお、図１５は変形例に係る膜厚調整部の構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。
【０１３９】
本変形例では、図１５（ａ），（ｂ）に示すようにフィルム保持ローラー４３と一体に形成されたダミーローラー９５が膜厚調整部を構成する。ダミーローラー９５は、フィルム保持ローラー４３と同軸で回転する。ダミーローラー９５は、表面９５ａがフィルム６０の表面と同じ高さに設定されている。すなわち、ダミーローラー９５は、フィルム６０を保持するフィルム保持ローラー４３よりもフィルム６０の厚み分だけ外径が大きく構成されている。
【０１４０】
ところで、ノズル７３からフィルム６０に対して接着剤を塗布する際、ノズル７３から飛散したミストがダミーローラー９５に付着してしまう。本変形例では、ダミーローラー９５の表面に当接するスキージ部材９６を配置している。スキージ部材９６は、ダミーローラー９５におけるフィルム６０との当接部分よりも回転方向における下流側の表面に当接する。スキージ部材９６の材料としては、ゴム、樹脂等を用いるのが好ましく、これによればダミーローラー９５に傷をつけることなく、該ダミーローラー９５に付着したミストを良好に掻き取ることができる。これにより、スキージ部材９６は、ノズル７３から飛散してダミーローラー９５の表面に付着したミストを掻き取ることができる。スキージ部材９６が掻き取ったミストは図７に示したミスト回収機構７１における本体部８０の底部８９に貯留されている洗浄液Ｗに回収させてもよいし、別途回収機構を設けるようにしてもよい。
【０１４１】
これによれば、ダミーローラー９５のみで本発明の膜厚調整部が構成されて部品点数を少なくすることができ、コスト低減を図ることができる。また、ダミーローラー９５とフィルム保持ローラー４３とが一体に回転するため、これらダミーローラー９０およびフィルム保持ローラー４３における駆動部を共通化することができ、コスト低減を図ることができる。
【０１４２】
また、上記実施形態においては、加温機構（加温部）６５として、フィルム６０における表面側（接着剤が塗布される面側）に温風を直接吹き付けることでノズル７３の往復移動の折返し位置に対応する部分（両端部）を加温する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。
【０１４３】
例えば、図１６（ａ），（ｂ）に示すように、フィルム６０を加温する加温部としては、ノズル７３に対向する位置でフィルム６０の裏面６０ａ側（接着剤が塗布されない面側）を支持するフィルム保持ローラー（加温ローラー）４３を用いてもよい。なお、図１６は変形例に係る加温部の構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。
【０１４４】
具体的にフィルム保持ローラー４３には、フィルム６０の両端部に対応する位置にヒーター４３ａが内蔵されている。ヒーター４３ａの温度は、フィルム６０を３０℃〜４０℃程度まで加温可能、例えば５０℃〜６０℃程度に設定されている。ヒーター４３ａとしては、例えば抵抗加熱方式のものが用いられる。図１６においては、ヒーター４３ａがフィルム６０の幅方向において分離した状態にフィルム保持ローラー４３内に内蔵されているが、フィルム６０の幅方向の全域に亘って内蔵された構成であってもよい。この場合、ヒーター４３ａは、電流を流す位置を変化させることでフィルム６０を加温する位置を変化させることができる。これによれば、フィルム６０の幅方向の一部のみにしか接着剤を塗布しないことでノズル７３の往復移動の折返し位置の変化に対応させてフィルム６０の最適な部分を加温することができる。
また、上記実施形態で説明した加温機構６５と上記ヒーター４３ａとを組み合わせてもよく、これによれば両面からフィルム６０を効率的に加温することができる。あるいは、上記実施形態で説明した加温機構６５の代わりに、上記ヒーター４３ａのみを設けるようにしてもよい。
【０１４５】
また、上記実施形態では、塗布装置１０６として、フィルム６０上に接着剤を塗布するものを例示したが、本発明はこれに限定されることはない。本発明は、塗布対象である所定方向に搬送される基材に対し、ノズルが搬送方向と交差する幅方向に沿って往復移動しながら接着剤等の塗布液を塗布する塗布装置の全般に適用可能である。この場合において、加温部により基材における塗布ノズルの往復移動の折返し位置に対応する部分を加温できるので、塗布液をムラなく基材に塗布することができる。
【符号の説明】
【０１４６】
１…基板、Ｎ…接着剤（塗布液）、Ｒ…ロール体、４３…フィルム保持ローラー（加温ローラー）、５３…送風ユニット、５４…ヒーター、５５ｂ…フィルター、６０…フィルム（基材）、６０ａ…裏面、６１…主フィルム材、６２…保護材、６５…加温機構（加温部）、６６ａ…温風吹出口、６７…角度調整機構、７３…ノズル（塗布ノズル）、１００…貼付装置、１０６…塗布装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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