(57)【要約】【課題】オペレータの作業負担を軽減できるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１は、接着シートを介して被着体ＷＦと一体化されるフレーム部材ＲＦを収容可能なフレーム収容手段３Ａ、３Ｂと、フレーム部材ＲＦおよび被着体ＷＦのうちの少なくともフレーム部材ＲＦを支持する支持手段６と、フレーム収容手段３Ａ、３Ｂからフレーム部材ＲＦを支持手段６に搬送する搬送手段７と、支持手段６に支持されたフレーム部材ＲＦまたはフレーム部材ＲＦおよび被着体ＷＦに接着シートを当接させて貼付する貼付手段９とを備え、フレーム収容手段３Ａ、３Ｂは、搬送手段７に対する所定の供給位置と、当該フレーム収容手段３Ａ、３Ｂにフレーム部材ＲＦを補充する補充位置ＳＰとの間を自走可能な移動手段４０Ａ、４０Ｂを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を収容可能なフレーム収容手段と、
前記フレーム部材および前記被着体のうちの少なくともフレーム部材を支持する支持手段と、
前記フレーム収容手段から前記フレーム部材を前記支持手段に搬送する搬送手段と、
前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを当接させて貼付する貼付手段とを備え、
前記フレーム収容手段は、前記搬送手段に対する所定の供給位置と、当該フレーム収容手段に前記フレーム部材を補充する補充位置との間を自走可能な移動手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記移動手段は、フレーム収容手段の位置を認識可能な測位手段を有することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記フレーム収容手段は、不要部材を収容する不要部材収容手段を備え、前記移動手段を介して前記不要部材を廃棄する廃棄位置に移動可能に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を所定の供給位置に配置されたフレーム収容手段から支持手段に搬送し、
前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを当接させて貼付し、
前記フレーム収容手段のフレーム部材を使い切ったときに、前記供給位置から前記フレーム部材を補充する補充位置に当該フレーム収容手段を自走させ、
前記フレーム部材が補充されたフレーム収容手段を前記補充位置から前記供給位置に自走させることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）やリングフレームに接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、ウェハおよびリングフレームに接着シートとしてのマウント用シートを貼付するマウント機構と、複数のリングフレームが収容され、底部にキャスター車輪が設けられたワゴンと、ワゴンからマウント機構にリングフレームを搬送する搬送機構とを備え、ワゴンに収容されたリングフレームを使い切ると、当該ワゴンをシート貼付装置から切り離し、リングフレームを補充して再度シート貼付装置内に配置するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３３１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、ワゴンが自走できないため、当該ワゴンに収容されたリングフレームを使い切ったときは、人手でワゴンを移動させ、新たなリングフレームをワゴンに補充して、装置まで再度移動させなければならない。このため、ワゴンにリングフレームを補充するためのオペレータが常に待機していなければならない上、オペレータの作業負担が増えるという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、オペレータの作業負担を軽減できるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシート貼付装置は、接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を収容可能なフレーム収容手段と、前記フレーム部材および前記被着体のうちの少なくともフレーム部材を支持する支持手段と、前記フレーム収容手段から前記フレーム部材を前記支持手段に搬送する搬送手段と、前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを当接させて貼付する貼付手段とを備え、前記フレーム収容手段は、前記搬送手段に対する所定の供給位置と、当該フレーム収容手段に前記フレーム部材を補充する補充位置との間を自走可能な移動手段を備えていることを特徴とする。
【０００７】
本発明のシート貼付装置において、前記移動手段は、フレーム収容手段の位置を認識可能な測位手段を有することが好ましい。
本発明のシート貼付装置において、前記フレーム収容手段は、複数設けられ、前記搬送手段は、複数のフレーム収容手段から選択的に前記フレーム部材を前記支持手段に搬送可能に設けられていることが好ましい。
本発明のシート貼付装置において、前記フレーム収容手段は、不要部材を収容する不要部材収容手段を備え、前記移動手段を介して前記不要部材を廃棄する廃棄位置に移動可能に設けられていることが好ましい。
【０００８】
本発明のシート貼付方法は、接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を所定の供給位置に配置されたフレーム収容手段から支持手段に搬送し、前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを当接させて貼付し、前記フレーム収容手段のフレーム部材を使い切ったときに、前記供給位置から前記フレーム部材を補充する補充位置に当該フレーム収容手段を自走させ、前記フレーム部材が補充されたフレーム収容手段を前記補充位置から前記供給位置に自走させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、フレーム収容手段にフレーム部材を補充する際、フレーム収容手段が搬送手段に対する所定の供給位置と、フレーム部材を補充する補充位置との間を自走することができるため、オペレータを常に待機させたり、フレーム収容手段を人手で移動したりする必要がなく、オペレータの作業負担を軽減することができる。
【００１０】
本発明において、測位手段を設ければ、フレーム収容手段の位置を認識することができるため、当該フレーム収容手段を供給位置と補充位置との間で確実に自走させることができる。
また、複数のフレーム収容手段から選択的にフレーム部材を支持手段に搬送すれば、フレーム部材を補充するためにフレーム収容手段を当該シート貼付装置から切り離しても、他のフレーム収容手段から支持手段にフレーム部材を供給し続けることができるので、フレーム部材を補充することによる当該シート貼付装置の単位時間あたりの処理能力が低下することを防止することができる。
さらに、不要部材収容手段を設けたフレーム収容手段を廃棄位置に自走可能に構成すれば、オペレータが不要部材収容手段を廃棄位置に移動させる必要がなくなり、オペレータの作業負担をさらに軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の平面図。
【図２】シート貼付装置のフレーム収容手段の側面図。
【図３】シート貼付装置の貼付手段の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＡＲ方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート貼付装置１は、被着体としてのウェハＷＦを複数収容可能なウェハ収容手段２と、接着シートＡＳ（図３）を介してウェハＷＦと一体化されるフレーム部材としてのリングフレームＲＦをそれぞれ複数収容可能なフレーム収容手段としての第１フレーム収容手段３Ａおよび第２フレーム収容手段３Ｂと、リングフレームＲＦおよびウェハＷＦのうちの少なくともリングフレームＲＦを支持する支持手段６と、第１フレーム収容手段３Ａおよび第２フレーム収容手段３Ｂから選択的にリングフレームＲＦを支持手段６に搬送する搬送手段７と、第１および第２フレーム収容手段３Ａ、３Ｂの少なくとも一方を当該シート貼付装置１に固定する固定手段８（図２）と、支持手段６に支持されたリングフレームＲＦまたは、リングフレームＲＦおよびウェハＷＦに接着シートＡＳを当接させて貼付する貼付手段９とを備え、搬送手段７に対する所定の供給位置となるフレームポート１０が形成されたフレーム１１に支持されている。
【００１４】
ウェハ収容手段２は、表面に不要部材としての保護シートＰＳ（図３）が貼付されたウェハＷＦを上下方向に多段に収容可能なウェハカセット２１からなり、フレーム１１に対して切り離し可能に支持される。
【００１５】
第１フレーム収容手段３Ａは、自走可能に構成された移動手段４０Ａと、当該第１フレーム収容手段３Ａに収容されたリングフレームＲＦの開口部ＲＦ１内に設けられ、上部開口下部閉塞型の筒状に形成された保護シートＰＳを収容する不要部材収容手段３１Ａと、移動手段４０Ａに支持された２体のリニアモータ３２Ａと、リニアモータ３２Ａのスライダ３３Ａに支持されてリングフレームＲＦを支持する支持部材３４Ａと、リングフレームＲＦの外縁４箇所に接して当該リングフレームＲＦの位置決めをするポール３５Ａとを備え、フレームポート１０と、各フレーム収容手段３Ａ、３ＢにリングフレームＲＦを補充する補充位置ＳＰと、保護シートＰＳを廃棄する廃棄位置ＤＰとの間を移動可能に設けられている。
【００１６】
移動手段４０Ａは、図２に示すように、４体の首振り自在なキャスタ４１Ａが下面４隅に設けられた台車４２Ａと、各キャスタ４１Ａに支持され、当該キャスタ４１Ａの車輪４３Ａを駆動する駆動機器である４体の回動モータ４４Ａと、各キャスタ４１Ａを操舵する４体の操舵手段４５Ａと、台車４２Ａに設けられ、搬送手段７により保持可能な保持部４６Ａと、台車４２Ａから突出して設けられた位置決めピン４７Ａと、第１フレーム収容手段３Ａの位置を認識可能な測位手段４８Ａとを備えている。
【００１７】
操舵手段４５Ａは、台車４２Ａに揺動可能に支持された駆動機器である直動モータ４５１Ａを備え、各直動モータ４５１Ａの出力軸４５２Ａが各キャスタ４１Ａから伸びたシャフト４１１Ａに回転可能に連結されている。
位置決めピン４７Ａは、先細り形状に設けられ、フレームポート１０に形成された位置決め穴１２に挿入されることで、第１フレーム収容手段３Ａを所定の位置に位置決め固定することができる。
測位手段４８Ａは、所定の複数個所（図１では２箇所）に設けられた送信手段ＯＰが送信する電波、音波、磁場等の所定の信号を台車４２Ａに設けられた受信手段４８１Ａで受け取り、当該受信手段４８１Ａで受け取った所定の信号の情報やずれ等を所定処理することで、受信手段４８１Ａが自身の現在位置を認識する。この測位手段４８Ａとしては、ＧＰＳ（Global Positioning System）やそれに類似するものの他、受信手段４８１Ａが発信した所定の信号を送信手段ＯＰが受け取り、当該送信手段ＯＰがその信号やその信号に基づいた信号を再度受信手段４８１Ａに発信し、当該受信手段４８１Ａで受け取った所定の信号を所定処理することで、受信手段４８１Ａが自身の現在位置を認識するようなものが例示できる。
【００１８】
第２フレーム収容手段３Ｂは、図１に示すように、第１フレーム収容手段３Ａと同様の構成であり、第１フレーム収容手段３Ａの末尾Ａの記号をＢに置き換えることで説明ができるので、その説明を省略する。
【００１９】
なお、第１および第２フレーム収容手段３Ａ、３Ｂの後方には、最上部のリングフレームＲＦの上面を検知し、当該最上部のリングフレームＲＦを所定の位置に位置決めする光学センサや接触センサまたは撮像手段等からなる第１検出手段５Ａ、第２検出手段５Ｂが設けられている。
【００２０】
支持手段６は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハＷＦおよびリングフレームＲＦを吸着保持可能な支持面６１を有するテーブル６２と、テーブル６２をスライダ６３（図３）で支持する駆動機器としてのリニアモータ６４とを備えている。
【００２１】
搬送手段７は、駆動機器としての多関節ロボット７１と、この多関節ロボット７１の先端部７１Ａに着脱自在に設けられた保持手段７２とを備え、保持手段７２で保持したウェハＷＦやリングフレームＲＦを多関節ロボット７１により搬送可能に構成されている。多関節ロボット７１は、６箇所に回転可能な関節を有する所謂６軸ロボットであり、当該多関節ロボット７１の作業範囲内において保持手段７２で保持したウェハＷＦやリングフレームＲＦを何れの位置、何れの角度にでも移動可能に構成されている。保持手段７２は、図１中符号ＡＡで示すＡＲ方向からの図に示すように、一方の面７４Ａに凹部７３を有する円盤状の保持フレーム７４と、凹部７３内に配置されたＸＹテーブル７５と、ＸＹテーブル７５の出力部７６に支持された吸着板７７とを備え、保持フレーム７４の面７４Ａに沿う平面内の直交２軸方向に吸着板７７を移動可能かつ、当該平面内で吸着板７７を回動可能に構成されている。吸着板７７は、複数の吸着孔７８が設けられた吸着面７９を有し、多関節ロボット７１に接続されることで、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段に接続され、ウェハＷＦやリングフレームＲＦを吸着保持できるようになっている。また、吸着板７７は、ウェハＷＦを吸着保持する系統と、リングフレームＲＦを吸着保持する系統との２系統が存在する。一方、各台車４２Ａ、４２Ｂに設けられた保持部４６Ａ、４６Ｂは、図示しない光学センサや撮像手段等の検出手段や、測位手段４８Ａによってその位置が検出されるようになっており、多関節ロボット７１は、保持手段７２に代えて先端部７１Ａで保持部４６Ａ、４６Ｂを保持可能に設けられている。
【００２２】
なお、搬送手段７の左方には、ウェハＷＦの外縁位置、ウェハＷＦに形成された図示しないＶノッチやオリエンテーションフラット等の方位マーク、回路パターン、ストリートまたは、リングフレームＲＦの外縁および内縁位置、リングフレームＲＦの外周に設けられたノッチＲＦ２等を検出可能な光学センサや撮像装置等で構成された第３検出手段５Ｃが設けられている。
【００２３】
固定手段８は、位置決め穴１２に向けて出力軸８１が突没可能に構成された駆動機器としての直動モータ８２（図２）を備え、位置決め穴１２に挿入された位置決めピン４７Ａ、４７Ｂにそれぞれ設けられた穴４７１Ａ、４７１Ｂに出力軸８１を挿入することにより、フレーム１１に各フレーム収容手段３Ａ、３Ｂを位置決め固定可能に構成されている。
【００２４】
貼付手段９は、図３に示すように、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤを有する接着シートＡＳが当該接着剤層ＡＤを介して帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ９１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ９２と、原反ＲＳを折り返すことで剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離板９３と、剥離板９３で剥離された接着シートＡＳをウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに当接させて貼付する押圧ローラ９４と、駆動機器としての回動モータ９５によって駆動される駆動ローラ９６と、駆動ローラ９６との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ９７と、図示しない駆動機器によって駆動されて剥離シートＲＬを回収する回収ローラ９８とを備えている。
【００２５】
なお、本実施形態の場合、ウェハＷＦに貼付された保護シートＰＳを剥離する剥離手段１３が併設され、例えば、特願２００８−２８５２２８や特願２０１１−５５５０８等の剥離装置先行文献に記載のものが例示できる。
【００２６】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、原反ＲＳを図３に示すようにセットし、ウェハカセット２１を図１で示す位置にセットする。そして、補充位置ＳＰで所定枚数のリングフレームＲＦが支持部材３４Ａ上に補充されると、移動手段４０Ａが受信手段４８１Ａを駆動し、送信手段ＯＰが送信する所定の信号を受け取って所定の処理を行うことで、受信手段４８１Ａが自身の現在位置を認識しつつ、回動モータ４４Ａおよび直動モータ４５１Ａを駆動し、第１フレーム収容手段３Ａを図１に示すフレームポート１０の所定位置に位置させる。次いで、固定手段８が直動モータ８２を駆動し、出力軸８１で位置決めピン４７Ａを係止してフレーム１１に第１フレーム収容手段３Ａを位置決め固定する。その後、上記と同様にして、フレームポート１０の所定位置に第２フレーム収容手段３Ｂがセットされて位置決め固定される。
なお、第１および第２フレーム収容手段３Ａ、３Ｂがフレームポート１０に近付くと、搬送手段７が多関節ロボット７１を駆動し、先端部７１Ａから保持手段７２を取り外し、当該先端部７１Ａで台車４２Ａ、４２Ｂの保持部４６Ａ、４６Ｂを保持しながら各台車４２Ａ、４７Ｂをフレームポート１０に引き込んでもよい。これにより、第１および第２フレーム収容手段３Ａ、３Ｂを確実にフレームポート１０の所定位置に位置させることができる。
そして、各フレーム収容手段３Ａ、３Ｂがリニアモータ３２Ａおよび３２Ｂを駆動し、積層されたリングフレームＲＦを上昇させ、最上部に位置するリングフレームＲＦが所定の位置で第１および第２検出手段５Ａ、５Ｂに検知されてリニアモータ３２Ａ、３２Ｂの駆動が停止する。
【００２７】
以上のようにして各部材のセットが完了すると、搬送手段７が多関節ロボット７１を駆動し、保持手段７２をウェハカセット２１の内部に挿入させて吸着面７９をウェハＷＦに接触させた後、図示しない吸引手段を駆動し、当該ウェハＷＦを吸着保持する。次いで、搬送手段７が多関節ロボット７１を駆動し、第３検出手段５Ｃで検出できる位置にウェハＷＦを移動させ、ＸＹテーブル７５を駆動し、ウェハＷＦを所定角度回転させる。これにより、第３検出手段５ＣがウェハＷＦの外縁位置と図示しないＶノッチ位置とを検出し、それら諸データが図示しない制御手段に出力される。ウェハＷＦの諸データが図示しない制御手段に入力されると、ウェハＷＦの中心位置が算出され、搬送手段７がＸＹテーブル７５および多関節ロボット７１を駆動し、ウェハＷＦの中心位置と図示しないＶノッチ位置とが所定の位置となるようにしてテーブル６２の支持面６１上に載置する。
【００２８】
次に、搬送手段７が多関節ロボット７１を駆動し、保持手段７２を第１フレーム収容手段３Ａの上方に移動させて吸着面７９を所定の位置で位置決めされた最上部に位置するリングフレームＲＦに接触させた後、図示しない吸引手段を駆動し、当該リングフレームＲＦを吸着保持する。次いで、搬送手段７が多関節ロボット７１を駆動し、リングフレームＲＦを第３検出手段５Ｃで検出できる位置に移動させ、第３検出手段５Ｃが上述のウェハＷＦのときと同様の動作を行い、その後、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１の中心位置がテーブル６２上で支持されているウェハＷＦの中心位置に合致する状態、かつ、リングフレームＲＦのＶノッチＲＦ２が所定の方向を向く状態にして、当該リングフレームＲＦをテーブル６２の支持面６１上に載置する。なお、最上部のリングフレームＲＦが搬送され、当該最上部の直下に位置していたリングフレームＲＦが最上部のリングフレームＲＦとなると、第１フレーム収容手段３Ａがリニアモータ３２Ａを駆動し、この最上部に位置するリングフレームＲＦが所定の位置で第１検出手段５Ａに検知されてリニアモータ３２Ａの駆動が停止する。
【００２９】
次いで、支持手段６がリニアモータ６４を駆動し、テーブル６２を左方向に移動させ、ウェハＷＦおよびリングフレームＲＦが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、テーブル６２の移動に同期して貼付手段９が回動モータ９５を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離板９３で剥離され、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ９４によってウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに貼付され、図３中二点鎖線で示すように、ウェハ支持体ＷＫが形成される。ウェハ支持体ＷＫが形成されると、図示しない検知手段に検知され、支持手段６がリニアモータ６４の駆動を停止する。そして、搬送手段７が多関節ロボット７１を駆動し、ウェハ支持体ＷＫを持ち上げて上下反転させ、支持面６１に対向する吸着支持面を有する図示しない受け渡し手段に受け渡し、当該受け渡し手段がウェハ支持体ＷＫを下降させて再び支持面６１に載置する。これにより、ウェハ支持体ＷＫが保護シートＰＳを上方に向けた状態で支持面６１に支持される。
【００３０】
次いで、支持手段６がリニアモータ６４を駆動し、テーブル６２を左方向に移動させる。ウェハ支持体ＷＫが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、剥離手段１３が保護シートＰＳに図示しない剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを引っ張ってウェハＷＦから保護シートＰＳを剥離する（詳細は、剥離装置先行文献参照）。ウェハＷＦから保護シートＰＳが剥離されると、搬送手段７が多関節ロボット７１を駆動し、剥離した保護シートＰＳに吸着面７９を接触させて図示しない吸引手段を駆動し、当該保護シートＰＳを吸着保持して不要部材収容手段３１Ａに収容する。そして、保護シートＰＳが剥離されたウェハ支持体ＷＫは、図示しない搬送手段によって別工程に搬送され、テーブル６２が図１中実線で示す位置に戻り、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００３１】
ここで、第１フレーム収容手段３Ａの全てのリングフレームＲＦを使い切ったことが第１検出手段５Ａにより検知されると、搬送手段７が第２フレーム収容手段３Ｂから支持手段６にリングフレームＲＦを搬送する動作を開始する。そして、固定手段８が直動モータ８２を駆動し、第１フレーム収容手段３Ａを位置決め固定していた出力軸８１と位置決めピン４７Ａとの係止を解除する。次いで、上記と同様にして、移動手段４０Ａが受信手段４８１Ａを駆動し、送信手段ＯＰが送信する所定の信号を受け取って所定の処理を行うことで、受信手段４８１Ａが自身の現在位置を認識しつつ、回動モータ４４Ａおよび直動モータ４５１Ａを駆動し、第１フレーム収容手段３Ａを廃棄位置ＤＰに位置させる。これにより、新しいリングフレームＲＦを第１フレーム収容手段３Ａに補充するとき、第１フレーム収容手段３Ａがフレームポート１０から切り離されていても、搬送手段７が第２フレーム収容手段３Ｂから支持手段６にリングフレームＲＦを供給し続けることができ、リングフレームＲＦの補充時や保護シートＰＳの廃棄時にシート貼付装置１の操業を停止する必要がなくなり、当該シート貼付装置１の単位時間あたりの処理能力が低下することを防止することができる。
【００３２】
そして、図示しない廃棄手段が保護シートＰＳを収容した不要部材収容手段３１Ａを第１フレーム収容手段３Ａから取り外し、新しい不要部材収容手段３１Ａを第１フレーム収容手段３Ａに載置する。その後、上記と同様にして、第１フレーム収容手段３Ａを補充位置ＳＰに位置させ、第１フレーム収容手段３Ａに新たな複数のリングフレームＲＦが補充され、再び、フレームポート１０の所定位置に第１フレーム収容手段３Ａがセットされる。なお、第２フレーム収容手段３Ｂの全てのリングフレームＲＦを使い切ったことが第２検出手段５Ｂにより検知されると、搬送手段７が第１フレーム収容手段３Ａから支持手段６にリングフレームＲＦを搬送する動作を開始するとともに、上記と同様にして、第２フレーム収容手段３Ｂに新たなリングフレームＲＦが補充され、再びフレームポート１０の所定位置にセットされる。
【００３３】
このように、リングフレームＲＦを使い切るたび各フレーム収容手段３Ａ、３Ｂに新しいリングフレームＲＦを補充しておけば、搬送手段７が各フレーム収容手段３Ａ、３Ｂから選択的にリングフレームＲＦを搬送することができ、シート貼付装置１による接着シートＡＳの貼付動作を継続して行うことができる。
【００３４】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、各フレーム収容手段３Ａ、３ＢにリングフレームＲＦを補充する際、各フレーム収容手段３Ａ、３Ｂがフレームポート１０と、リングフレームＲＦを補充する補充位置ＳＰとの間を自走することができるため、オペレータを常に待機させたり、各フレーム収容手段３Ａ、３Ｂを人手で移動したりする必要がなく、オペレータの作業負担を軽減することができる。
また、シート貼付装置１の処理能力が低下することを危惧して、オペレータが急いでリングフレームＲＦを当該シート貼付装置１に供給しなければならなくなるといった煩雑性を低減することができる。
【００３５】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３６】
例えば、テーブル６２にリングフレームＲＦのみを載置し、当該リングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付してもよい。
また、押圧ローラ９４に替えて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
さらに、剥離板９３にかえて、ローラ等による剥離部材を採用してもよい。
【００３７】
また、各移動手段４０Ａ、４０Ｂにおける回動モータ４４Ａ、４４Ｂは、２体または１体として、２体の車輪４３Ａ、４３Ｂを駆動する構成としてもよい。
さらに、各移動手段４０Ａ、４０Ｂにおける操舵手段４５Ａ、４５Ｂの直動モータ４５１Ａ、４５１Ｂは、２体または１体として、２体のキャスタ４１Ａ、４１Ｂを操舵する構成としてもよい
また、各フレーム収容手段３Ａ、３Ｂを自走できる限りにおいて、キャスタ４１Ａ、４１Ｂの数は、何体であってもよい。
さらに、送信手段ＯＰは、受信手段４８１Ａ、４８１Ｂが自身の現在位置を認識できる限りにおいて、１箇所に設けてもよいし、３箇所以上に設けてもよい。
【００３８】
さらに、不要部材収容手段３１Ａ、３１Ｂにおける保護シートＰＳの収容状態を検知する検知手段を設け、当該検知手段の検知結果に応じて、各フレーム収容手段３Ａ、３Ｂを廃棄位置ＤＰに移動させてもよい。
また、廃棄位置ＤＰにおいて、不要部材収容手段３１Ａ、３１Ｂ内から保護シートＰＳのみを取り出す構成としてもよい。
さらに、不要部材収容手段３１Ａ、３１Ｂは、第１および第２フレーム収容手段３Ａ、３Ｂに収容されたリングフレームＲＦの開口部ＲＦ１の外部に設けてもよい。
【００３９】
また、シート貼付装置１が、特願平１０−２３１６０８ように被着体に貼付した接着シートを所定形状に切断する切断手段を備える場合、切断された接着シートの不要部分を各不要部材収容手段３１Ａ、３１Ｂに収容してもよい。
【００４０】
さらに、ウェハ収容手段２は、複数設けられてもよく、複数のウェハ収容手段２を各フレーム収容手段３Ａ、３Ｂと同様の構成によりフレーム１１から切り離し可能に構成してもよい。
【００４１】
また、フレーム収容手段は、１体でもよいし３体以上設けてもよく、フレーム収容手段がフレームポート１０と補充位置ＳＰとの間を自走できる構成であれば足りる。
さらに、第１および第２フレーム収容手段３Ａ、３Ｂのうち一方をメイン側、他方をサブ側とし、常時は搬送手段７がメイン側からリングフレームＲＦを支持手段６に搬送するようにしておき、当該メイン側のリングフレームＲＦを使い切って、新しいリングフレームＲＦを補充して再度フレームポート１０に位置されるまでの間にのみ、搬送手段７がサブ側からリングフレームＲＦを支持手段６に搬送するように構成してもよい。
【００４２】
また、オペレータが手動操作で直動モータ８２を駆動し、出力軸８１と位置決めピン４７Ａ、４７Ｂとの係止を解除し、搬送手段７が取り出し中の第１および第２フレーム収容手段３Ａ、３Ｂのうち一方をフレームポート１０から切り離した場合、第１および第２フレーム収容手段３Ａ、３Ｂのうち他方から搬送手段７がリングフレームＲＦを支持手段６に搬送する動作を開始するように構成してもよい。
さらに、固定手段８は、オペレータが手動操作で第１および第２フレーム収容手段３Ａ、３Ｂの両方をフレームポート１０から切り離しできないように、インターロックできる構成としてもよい。
【００４３】
また、本発明における被着体および接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、接着シートＡＳは、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するものや、基材シートＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートＢＳを接着剤層ＡＤから剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、このような両面接着シートとしては、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。更に、被着体が半導体ウェハであって、接着シートＡＳが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。この際、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートＡＳは、それらに限らず、任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートＡＳが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体としては、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、その他の被着体のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００４４】
さらに、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００４５】
１      シート貼付装置
３Ａ    第１フレーム収容手段（フレーム収容手段）
３Ｂ    第２フレーム収容手段（フレーム収容手段）
６      支持手段
７      搬送手段
９      貼付手段
１０    フレームポート（供給位置）
３１Ａ  不要部材収容手段
３１Ｂ  不要部材収容手段
４０Ａ  移動手段
４０Ｂ  移動手段
４８Ａ  測位手段
４８Ｂ  測位手段
ＡＳ    接着シート
ＤＰ    廃棄位置
ＲＦ    リングフレーム（フレーム部材）
ＳＰ    補充位置
ＷＦ    ウェハ（被着体）
【図１】
2014027015.tif 000003
【図２】
2014027015.tif 000004
【図３】
2014027015.tif 000005