(57)【要約】【課題】小型化および高密度実装された測定対象についての値測定において、測定の確実化を図る。【解決手段】一対の接触型の電流供給用プローブ２ａ，２ｂと、一対の電流供給用プローブ２ａ，２ｂを介して測定対象２０における半田ボールバンプ２１，２１間に電流Ｉを供給する交流電流供給部４と、静電容量結合によって半田ボールバンプ２１，２１における各電圧を検出するための一対の非接触型の電圧測定用プローブ３ａ，３ｂと、電流供給用プローブ３ａ，３ｂを介して測定対象２０に交流電流Ｉを供給した状態において電圧測定用プローブ３ａ，３ｂによって検出された測定対象２０の半田ボールバンプ２１，２１における電圧の差電圧Ｖｄを測定する電圧測定部６と、供給した交流電流Ｉの電流値Ｉと測定した差電圧値Ｖｄとに基づいて測定対象２０の抵抗値Ｒｍを算出する抵抗値算出部７とを備えている。【選択図】図１
2014044102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の接触型の電流供給用プローブと、前記一対の電流供給用プローブを介して測定対象の両端間に交流電流を供給する交流電流供給部と、静電容量結合によって前記測定対象の前記両端における各電圧を検出するための一対の非接触型の電圧測定用プローブと、前記電流供給用プローブを介して前記測定対象に前記交流電流を供給した状態において前記電圧測定用プローブによって検出された当該測定対象の前記両端における電圧の差電圧を測定する電圧測定部と、前記供給した交流電流の電流値と前記測定した差電圧値とに基づいて前記測定対象の抵抗値を算出する抵抗値算出部とを備えている四端子抵抗測定装置。
【請求項２】
前記電圧測定部は、前記一対の電圧検出用プローブの一方によって検出された前記電圧を入力信号とする第１のバッファ回路と、前記一対の電圧検出用プローブの他方によって検出された前記電圧を入力信号とする第２のバッファ回路と、前記両バッファ回路の各出力電圧の差分電圧を前記差電圧として出力する差動増幅回路とを備えている請求項１記載の四端子抵抗測定装置。
【請求項３】
前記一方の電圧測定用プローブにおける前記電圧を検出するための検出面を除いた当該一方の電圧測定用プローブの外周面、および前記一方の電圧測定用プローブと前記第１のバッファ回路の入力端子とを結ぶ配線部を覆うと共に当該第１のバッファ回路の前記出力電圧と同電位に維持されている第１の電圧ガードと、前記他方の電圧測定用プローブにおける前記電圧を検出するための検出面を除いた当該他方の電圧測定用プローブの外周面、および前記他方の電圧測定用プローブと前記第２のバッファ回路の入力端子とを結ぶ配線部を覆うと共に当該第２のバッファ回路の前記出力電圧と同電位に維持されている第２の電圧ガードとを備えている請求項２記載の四端子抵抗測定装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の四端子抵抗測定装置と、前記四端子抵抗測定装置によって算出された前記測定対象の抵抗値と、前記測定対象に予め規定された基準値とを比較することによって当該測定対象の良否を判定する判定部とを備えている検査装置。
【請求項５】
一対の電流供給用プローブを介して測定対象の両端に交流電流を供給し、一対の非接触型の電圧測定用プローブを用いて静電容量結合によって前記測定対象の前記両端における各電圧を検出し、前記検出した前記測定対象の前記両端における前記電圧の差電圧を測定し、前記供給した交流電流の電流値と前記測定した差電圧値とに基づいて前記測定対象の抵抗値を算出する四端子抵抗測定方法。
【請求項６】
請求項５記載の四端子抵抗測定方法によって算出した前記測定対象の抵抗値と、前記測定対象に予め規定された基準値とを比較することによって測定対象の良否を判定する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象の抵抗値を測定する四端子抵抗測定装置および四端子抵抗測定方法、並びに測定された抵抗値に基づいて測定対象の良否を判定する検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の四端子抵抗測定装置および検査装置に関連する装置として、特開２０００−１１１５９３号公報に開示された四端子抵抗測定装置が知られている。この四端子抵抗測定装置は、例えば導体パターンや抵抗などの測定対象の両端に接触させられる一対の接触型の電流供給用プローブと、電流供給用プローブを介して測定対象の両端間に定電流を供給する定電流源と、測定対象に定電流を供給することによって測定対象の両端に生じた両端電圧を検出するための一対の接触型の電圧測定用プローブと、電圧測定用プローブを介して両端電圧を測定する差動アンプを含む測定部とを備えている。この四端子抵抗測定装置では、電流供給用プローブを測定対象の両端に接触させて定電流を供給した状態において測定対象の両端に電圧測定用プローブを接触させて両端電圧を測定し、供給した定電流の電流値と、両端電圧の電圧値とに基づいて、四端子法によって測定対象の抵抗値を測定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１１１５９３号公報（第１−４頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来の四端子抵抗測定装置には、解決すべき以下の問題点が存在する。すなわち、従来の四端子抵抗測定装置では、電流供給用プローブと電圧測定用プローブとを測定対象の両端にそれぞれ一つずつ接触させる必要がある。一方、近年では、電子部品の小型化が進み、また、電子部品を高密度実装化するために回路基板の配線パターンの高密度化も進んでいる。したがって、この従来の四端子抵抗測定装置には、測定対象の両端に電流供給用プローブと電圧測定用プローブとをそれぞれ確実に接触させるのが極めて困難であるために、確実な測定も困難であるという問題点が存在する。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、小型化および高密度実装された測定対象についての抵抗値測定において、確実な測定を可能とする四端子抵抗測定装置、検査装置、四端子抵抗測定方法および検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の四端子抵抗測定装置は、一対の接触型の電流供給用プローブと、前記一対の電流供給用プローブを介して測定対象の両端間に交流電流を供給する交流電流供給部と、静電容量結合によって前記測定対象の前記両端における各電圧を検出するための一対の非接触型の電圧測定用プローブと、前記電流供給用プローブを介して前記測定対象に前記交流電流を供給した状態において前記電圧測定用プローブによって検出された当該測定対象の前記両端における電圧の差電圧を測定する電圧測定部と、前記供給した交流電流の電流値と前記測定した差電圧値とに基づいて前記測定対象の抵抗値を算出する抵抗値算出部とを備えている。
【０００７】
請求項２記載の四端子抵抗測定装置は、請求項１記載の四端子抵抗測定装置において、前記電圧測定部は、前記一対の電圧検出用プローブの一方によって検出された前記電圧を入力信号とする第１のバッファ回路と、前記一対の電圧検出用プローブの他方によって検出された前記電圧を入力信号とする第２のバッファ回路と、前記両バッファ回路の各出力電圧の差分電圧を前記差電圧として出力する差動増幅回路とを備えている。
【０００８】
請求項３記載の四端子抵抗測定装置は、請求項２記載の四端子抵抗測定装置において、前記一方の電圧測定用プローブにおける前記電圧を検出するための検出面を除いた当該一方の電圧測定用プローブの外周面、および前記一方の電圧測定用プローブと前記第１のバッファ回路の入力端子とを結ぶ配線部を覆うと共に当該第１のバッファ回路の前記出力電圧と同電位に維持されている第１の電圧ガードと、前記他方の電圧測定用プローブにおける前記電圧を検出するための検出面を除いた当該他方の電圧測定用プローブの外周面、および前記他方の電圧測定用プローブと前記第２のバッファ回路の入力端子とを結ぶ配線部を覆うと共に当該第２のバッファ回路の前記出力電圧と同電位に維持されている第２の電圧ガードとを備えている。
【０００９】
請求項４記載の検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の四端子抵抗測定装置と、前記四端子抵抗測定装置によって算出された前記測定対象の抵抗値と、前記測定対象に予め規定された基準値とを比較することによって当該測定対象の良否を判定する判定部とを備えている。
【００１０】
請求項５記載の四端子抵抗測定方法は、一対の電流供給用プローブを介して測定対象の両端間に交流電流を供給し、一対の非接触型の電圧測定用プローブを用いて静電容量結合によって前記測定対象の前記両端における各電圧を検出し、前記検出した前記測定対象の前記両端における前記電圧の差電圧を測定し、前記供給した交流電流の電流値と前記測定した差電圧値とに基づいて前記測定対象の抵抗値を算出する。
【００１１】
請求項６記載の検査方法は、請求項５記載の四端子抵抗測定方法によって算出した前記測定対象の抵抗値と、前記測定対象に予め規定された基準値とを比較することによって測定対象の良否を判定する。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載の四端子抵抗測定装置および請求項５記載の四端子抵抗測定方法では、一対の電流供給用プローブを測定対象の両端に接触させて交流電流を供給すると共に、その測定対象の両端に一対の電圧測定用プローブを近接させ、その状態において、測定対象の各端部における各電圧を一対の電圧測定用プローブによる静電容量結合で検出し、供給した交流電流の電流値と、検出した測定対象の各端部における各電圧の差電圧とに基づいて測定対象の抵抗値を算出する。
【００１３】
したがって、この四端子抵抗測定装置および四端子抵抗測定方法によれば、従来の四端子抵抗測定装置では、一対の電流供給用プローブと一対の電圧測定用プローブとの両者を小型化および高密度実装された測定対象に確実に接触させることが困難であったのに対して、測定対象の両端に一対の電流供給用プローブのみを接触させ、かつ測定対象の両端に一対の電圧測定用プローブを近接させた状態で、測定対象の各端部の電圧を確実に検出することができるため、小型化および高密度実装された測定対象についての電圧測定、ひいては測定対象についての抵抗値測定の確実化を図ることができる。
【００１４】
また、請求項２記載の四端子抵抗測定装置では、各電圧測定用プローブによる静電容量結合で測定対象の各端部の電圧を検出する。この場合、一般的に、各電圧測定用プローブと測定対象との間の静電容量が小さいため、その結合インピーダンスは大きくなる。したがって、入力インピーダンスが小さな増幅回路などに各電圧測定用プローブによって検出された電圧を入力したときには、その入力電圧の電圧値が低下する。これに対して、この四端子抵抗測定装置によれば、バッファ回路の入力インピーダンスが電圧測定用プローブと測定対象との間の結合インピーダンスよりも十分に大きいため、測定対象の各端部に生じている各電圧の電圧値を低下させることなく確実に検出することができる。したがって、この四端子抵抗測定装置によれば、測定対象についての抵抗値測定の一層の確実化を図ることができる。
【００１５】
また、請求項３記載の四端子抵抗測定装置によれば、両電圧ガードが電圧測定用プローブの外周面および両配線部を覆ってシールドすることにより、測定誤差の原因となる外乱ノイズを遮蔽するため、精度良い抵抗値の測定が可能となる。この場合、両電圧ガードの電位が各バッファ回路の出力電圧と異なる他の電位のときには、両電圧ガードを介して各配線部から他の電位に電流が流れる電流経路が形成されることに起因して、電圧バッファの入力部に入力される電圧の電圧値が低下する。これに対して、この四端子抵抗測定装置によれば、両電圧ガードと各バッファ回路の出力部とが同電位に維持されているため、上記の電流経路が形成されない結果、電圧バッファの入力電圧の電圧値の低下を回避することができ、これにより、測定対象の抵抗値測定のさらなる確実化を図ることができる。
【００１６】
また、請求項４記載の検査装置および請求項６記載の検査方法によれば、四端子抵抗測定によって算出された測定対象の抵抗値と、測定対象に予め規定された基準値とを比較することで、測定対象の良否を確実に判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】検査装置１の構成を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、四端子抵抗測定装置、検査装置、四端子抵抗測定方法および検査方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
最初に、四端子抵抗測定装置および検査装置の一例としての検査装置１の構成について説明する。
【００２０】
検査装置１は、例えば、回路基板を検査する回路基板検査装置であって、図１に示すように、一対の電流供給用プローブ２ａ，２ｂ（以下、区別しないときには、「プローブ２」ともいう）、一対の電圧測定用プローブ３ａ，３ｂ（以下、区別しないときには、「プローブ３」ともいう）、交流電流供給部４、電流検出部５、電圧測定部６、抵抗値算出部７、判定部８、記憶部９および出力部１０を備え、測定対象２０の抵抗値Ｒｍを測定可能に構成されている。この場合、検査装置１は、一例として、部品未搭載の回路基板（ベアボード）１００に形成された導体パターンを測定対象２０として導通検査を実行する。具体的には、検査装置１は、測定対象２０の両端に形成されている半田ボールバンプ２１，２１間の抵抗値（つまり抵抗値Ｒｍ）を測定し、その測定対象２０について予め規定されている基準値Ｒｒと比較して、抵抗値Ｒｍが基準値Ｒｒ以下のときに、その測定対象２０の導通が良好であり、抵抗値Ｒｍが基準値Ｒｒを超えるときに、その測定対象２０にパターン切断などの導通不良が存在すると判定（検査）する。
【００２１】
電流供給用プローブ２ａ，２ｂは、それぞれ、接触型のプローブであって、交流の測定電流を測定対象２０に供給するために用いられる。この場合、電流供給用プローブ２ａは、基端部が交流電流供給部４に接続されており、測定時には、先端部が一対の半田ボールバンプ２１の一方に接触させられる。また、電流供給用プローブ２ｂは、基端部が基準電位に接続されており、測定時には、先端部が他方の半田ボールバンプ２１に接触させられる。
【００２２】
電圧測定用プローブ３ａ，３ｂは、それぞれ、非接触型のプローブであって、各半田ボールバンプ２１に生じている電圧を測定するために用いられる。この場合、電圧測定用プローブ３ａは、基端部が後述する第１のバッファ回路６１ａの非反転入力端子に接続されている。また、電圧測定用プローブ３ａは、測定時には、電圧を検出するための先端部の検出面Ｓｄが測定対象２０の半田ボールバンプ２１に対向する状態で近接させられて、静電容量Ｃａを介して各半田ボールバンプ２１と個別に静電容量結合して、各半田ボールバンプ２１に生じている電圧を検出電圧Ｖａとして検出する。また、電圧測定用プローブ３ｂは、基端部が後述する第２のバッファ回路６１ｂの非反転入力端子に接続されている。また、電圧測定用プローブ３ｂは、測定時には、電圧を検出するための先端部の検出面Ｓｄが測定対象２０の半田ボールバンプ２１に対向する状態で近接させられて、静電容量Ｃｂを介して各半田ボールバンプ２１と個別に静電容量結合して、各半田ボールバンプ２１に生じている電圧を検出電圧Ｖｂとして検出する。なお、以下、静電容量Ｃａ，Ｃｂを区別しないときには、「静電容量Ｃ」ともいう。
【００２３】
交流電流供給部４は、交流定電流源または交流電流源（本例では一例として、交流電流源）で構成されると共にプローブ２ａと基準電位との間に接続されて、測定電流としての電流Ｉをプローブ２ａ，２ｂを介して測定対象２０の半田ボールバンプ２１，２１間に供給する。
【００２４】
電流検出部５は、例えば、シャント抵抗で構成されて、交流電流供給部４から出力される電流Ｉが流れる際にシャント抵抗の両端に生じる電圧を検出して、その検出電圧Ｖｉを後述するＡ／Ｄ変換器７２に出力する。
【００２５】
電圧測定部６は、第１のバッファ回路６１ａ、第２のバッファ回路６１ｂ（以下、両バッファ回路６１ａ，６１ｂを区別しないときには、「バッファ回路６１」ともいう）、および差動増幅回路６２を備えている。
【００２６】
第１のバッファ回路６１ａは、一例として、オペアンプを用いた増幅回路で構成されており、非反転入力端子が電圧測定用プローブ３ａの基端部に接続されて、反転入力端子が出力端子に接続されている。また、バッファ回路６１ａは、電圧測定用プローブ３ａによって検出された検出電圧Ｖａを入力すると共に緩衝増幅して出力電圧として検出電圧Ｖａを出力する。
【００２７】
また、第２のバッファ回路６１ｂは、一例として、オペアンプを用いた増幅回路で構成されており、非反転入力端子が電圧測定用プローブ３ｂの基端部に接続されて、反転入力端子が出力端子に接続されている。また、バッファ回路６１ｂは、電圧測定用プローブ３ｂによって検出された検出電圧Ｖｂを入力すると共に緩衝増幅して出力電圧として検出電圧Ｖｂを出力する。
【００２８】
差動増幅回路６２は、一方の入力端子がバッファ回路６１ａの出力端子に接続されて、他方の入力端子がバッファ回路６１ｂの出力端子に接続されている。この差動増幅回路６２は、バッファ回路６１ａ，６１ｂからそれぞれ出力される各検出電圧Ｖａ，Ｖｂを入力して、入力した各検出電圧Ｖａ，Ｖｂの差電圧を所定の増幅率で増幅して測定対象２０の両端における各電圧の差電圧Ｖｄとして出力する。
【００２９】
また、この検査装置１には、第１の電圧ガードＧａおよび第２の電圧ガードＧｂ（以下、両電圧ガードＧａ，Ｇｂを区別しないときには、「電圧ガードＧ」ともいう）が設けられている。
【００３０】
第１の電圧ガードＧａは、網線などの導体で構成されて、電圧測定用プローブ３ａにおける検出面Ｓｄ（つまり先端面）を除いた外周面、および電圧測定用プローブ３ａの基端部とバッファ回路６１ａの非反転入力端子とを結ぶ配線部Ｗを覆う。また、第１の電圧ガードＧａは、第１のバッファ回路６１ａの出力端子に接続されており、第１のバッファ回路６１ａの検出電圧Ｖａと同電位に維持されている。
【００３１】
また、第２の電圧ガードＧｂは、網線などの導体で構成されて、電圧測定用プローブ３ｂにおける検出面Ｓｄ（つまり先端面）を除いた外周面、および電圧測定用プローブ３ｂの基端部と第２のバッファ回路６１ｂの非反転入力端子とを結ぶ配線部Ｗを覆う。また、第２の電圧ガードＧｂは、第２のバッファ回路６１ｂの出力端子に接続されており、第２のバッファ回路６１ｂの検出電圧Ｖｂと同電位に維持されている。
【００３２】
抵抗値算出部７は、Ａ／Ｄ変換器７１，７２および演算回路７３を備えて構成されている。この場合、Ａ／Ｄ変換器７１は、差動増幅回路６２から出力された差電圧Ｖｄを予め決められたサンプリングレートでサンプリングして差電圧Ｖｄの電圧波形を示すデジタルデータ（波形データ）Ｄｖに変換して出力する。また、Ａ／Ｄ変換器７２は、電流検出部５から出力される検出電圧ＶｉをＡ／Ｄ変換器７１のサンプリングレートと同じレートでサンプリングすることにより、交流電流供給部４から測定対象２０に供給される電流Ｉの電流波形（その電流値を「電流値Ｉ」とする）を示すデジタルデータ（波形データ）Ｄｉに変換して出力する。また、演算回路７３は、デジタルデータＤｖ，Ｄｉを入力して、両デジタルデータＤｖ，Ｄｉ（つまり差電圧Ｖｄおよび電流値Ｉ）に基づいて測定対象２０（つまり半田ボールバンプ２１，２１間）の抵抗値Ｒｍを算出する。
【００３３】
判定部８は、ＣＰＵおよびメモリ（いずれも図示せず）を備えたデジタル回路で構成されて、演算回路７３によって算出された測定対象２０の抵抗値Ｒｍと、その測定対象２０について予め規定されて記憶部９に記憶されている基準値Ｒｒとに基づいて測定対象２０の良否を判定する判定処理、および判定処理の判定結果を出力部１０に出力する出力処理を実行する。この場合、判定部８は、判定処理において、測定した抵抗値Ｒｍが基準値Ｒｒ以下のときに、その測定対象２０の導通が良好であり、測定した抵抗値Ｒｍが基準値Ｒｒを超えるときに、その測定対象２０にパターン切断などの導通不良が存在すると判定する。
【００３４】
記憶部９は、一例として、半導体メモリで構成されており、各測定対象２０に予め規定された基準値Ｒｒを記憶する。
【００３５】
出力部１０は、一例として、ディスプレイなどの表示装置を用いて構成されており、判定部８による出力処理において出力される判定結果をディスプレイに表示する。
【００３６】
次に、測定対象２０の抵抗値を測定する四端子抵抗測定方法、およびその測定値に基づいて良否判定を行う検査方法、並びに、その際の検査装置１の動作について図面を参照して説明する。
【００３７】
最初に、電流供給用プローブ２ａ，２ｂを測定対象２０の半田ボールバンプ２１，２１にそれぞれ接触させる。次いで、交流定電流源から測定対象２０の半田ボールバンプ２１，２１間に電流Ｉを供給する。この際に、電流検出部５は、交流電流供給部４から出力される電流Ｉが流れる際にシャント抵抗の両端に生じる電圧を検出して、その検出電圧ＶｉをＡ／Ｄ変換器７２に出力する。次いで、電圧測定用プローブ３ａ，３ｂの検出面Ｓｄが各半田ボールバンプ２１，２１の表面（上面）に対向するように、半田ボールバンプ２１，２１の近傍に電圧測定用プローブ３ａ，３ｂをそれぞれ配置する。この際に、各プローブ３は、各半田ボールバンプ２１との間の静電容量Ｃを介して各半田ボールバンプ２１と静電容量結合して、対応する半田ボールバンプ２１に生じている各電圧を検出電圧Ｖａ，Ｖｂとしてそれぞれ検出する。この場合、供給する交流電流の周波数をｆとすると、プローブ３と測定対象２０との結合インピーダンスＺは、以下の式（１）のように表される。
Ｚ＝ｊ×１／２πｆＣ  ・・・  （１）（ｊは虚数単位）
【００３８】
次いで、プローブ３によって検出された検出電圧Ｖａ，Ｖｂは、バッファ回路６１ａ，６１ｂにそれぞれ入力される。この際に、バッファ回路６１ａ，６１ｂは、検出電圧Ｖａ，Ｖｂを緩衝増幅してそれぞれ出力する。この場合、一般的に、プローブ３と測定対象２０との間の静電容量Ｃが小さいため、上記の式（１）によれば、結合インピーダンスＺは大きくなる。したがって、入力インピーダンスが小さな増幅回路などにプローブ３による検出電圧Ｖａ，Ｖｂを入力したときには、その検出電圧Ｖａ，Ｖｂの電圧値が低下する。これに対して、本例では、バッファ回路６１の入力インピーダンスが結合インピーダンスＺよりも十分に大きいため、半田ボールバンプ２１，２１に生じている各電圧（つまり各検出電圧Ｖａ，Ｖｂ）の電圧値を低下させることなく確実に検出することができる。ここで、例えば、１％の精度で検出電圧Ｖａ，Ｖｂを測定したい場合には、バッファ回路６１の入力インピーダンスをＺｉとしたときに、入力インピーダンスＺｉが以下の式（２）を満たすことが必要となる。
Ｚi＞Ｚ／０．０１  ・・・・  （２）
したがって、本例では、バッファ回路６１の入力インピーダンスＺｉが結合インピーダンスＺの１００倍以上となるように設計されている。
【００３９】
次に、バッファ回路６１からそれぞれ出力された各検出電圧Ｖａ，Ｖｂは、差動増幅回路６２の各入力端子に入力される。この際に、差動増幅回路６２は、入力した各検出電圧Ｖａ，Ｖｂの差電圧を所定の増幅率で増幅して測定対象２０の差電圧Ｖｄとして出力する。
【００４０】
次いで、抵抗値算出部７では、Ａ／Ｄ変換器７１が、差動増幅回路６２から出力されている差電圧ＶｄのデジタルデータＤｖを出力し、Ａ／Ｄ変換器７２が、電流検出部５から出力されている検出電圧Ｖｉ（つまり、交流電流供給部４から出力される電流Ｉの電流値Ｉ）をデジタルデータＤｉとして出力する。また、演算回路７３が、入力したデジタルデータＤｖ，Ｄｉに基づいて測定対象２０の抵抗値Ｒｍを算出する。
【００４１】
次いで、判定部８が、演算回路７３によって算出された測定対象２０の抵抗値Ｒｍと記憶部９に記憶されている基準値Ｒｒとに基づいて測定対象２０の良否を判定する判定処理を行う。この判定処理では、判定部８は、算出された抵抗値Ｒｍと基準値Ｒｒとを比較して、抵抗値Ｒｍが基準値Ｒｒ以下と判別したときには、測定対象２０の導通が良好であると判定する。一方、判定部８は、抵抗値Ｒｍが基準値Ｒｒよりも大きいときには、測定対象２０に導通不良が存在すると判定する。また判定部８は、上記の判定結果を出力部１０に出力する。
【００４２】
この際に、出力部１０は、判定部８から出力される判定結果をディスプレイに表示する。これにより、検査の結果がオペレータによって視覚的に認識される。
【００４３】
このように、この検査装置１および四端子抵抗測定方法では、プローブ２を半田ボールバンプ２１に接触させて測定対象２０に電流Ｉを供給すると共にプローブ３を半田ボールバンプ２１に近接させ、その状態において、プローブ３と半田ボールバンプ２１との間の静電容量Ｃを利用した静電容量結合によって測定対象２０の各半田ボールバンプ２１に生じている電圧をプローブ３によって検出し、その検出電圧Ｖａ，Ｖｂに基づいて測定対象２０における半田ボールバンプ２１，２１間の電圧（差電圧値Ｖｄ）を測定する。また、この検査装置１および四端子抵抗測定方法では、その差電圧値Ｖｄと供給した電流Ｉの電流値Ｉとに基づいて測定対象２０の抵抗値Ｒｍを算出する。したがって、この検査装置１および四端子抵抗測定方法によれば、小型化および高密度実装された測定対象２０についての電圧測定、ひいては測定対象２０についての値測定の確実化を図ることができる。
【００４４】
また、この検査装置１によれば、バッファ回路６１の入力インピーダンスがプローブ３と測定対象２０との間の結合インピーダンスＺよりも十分に大きいため、測定対象２０の半田ボールバンプ２１に生じている電圧（つまり検出電圧Ｖａ，Ｖｂ）の電圧値を低下させることなく確実に検出することができる。したがって、この検査装置１によれば、測定対象２０についての抵抗値測定の一層の確実化を図ることができる。
【００４５】
また、この検査装置１によれば、電圧ガードＧが、プローブ３の検出面Ｓｄを除いた外周面、およびプローブ３の基端部とバッファ回路６１の非反転入力端子とを結ぶ配線部Ｗを覆ってシールドすることにより、電圧ガードＧが測定誤差の原因となる外乱ノイズを遮蔽するため、精度良い抵抗値の測定を行うことができる。この場合、両電圧ガードＧの電位が各バッファ回路６１の出力電圧である検出電圧Ｖａ，Ｖｂと異なる他の電位のときには、両電圧ガード６１を介して各配線部Ｗから他の電位に電流が流れる電流経路が形成されることに起因して、電圧バッファ６１の非反転入力端子に入力される検出電圧Ｖａ，Ｖｂの電圧値が低下する。これに対して、この検査装置１によれば、両電圧ガード６１と各バッファ回路６１の出力部とが同電位に維持されているため、上記の電流経路が形成されない結果、電圧バッファ６１の入力電圧（つまり検出電圧Ｖａ，Ｖｂ）の電圧値の低下を回避することができ、これにより、測定対象２０についての抵抗値測定のさらなる確実化を図ることができる。
【００４６】
また、この検査方法によれば、四端子抵抗測定によって算出された測定対象２０の抵抗値Ｒｍと、測定対象２０に予め規定された基準値Ｒｒとを比較することで、測定対象２０の良否を確実に判定することができる。
【００４７】
なお、交流電流源で交流電流供給部４を構成した例について説明したが、交流電流源に代えて交流定電流源を採用することもできる。その構成では、演算回路７３がＡ／Ｄ変換器７１から出力されたデジタルデータＤｖ（検出電圧Ｖｄ）と、交流定電流源から出力される既知の電流値とに基づいて測定対象２０の抵抗値Ｒｍを算出することができるため、電流検出部５とＡ／Ｄ変換器７１を不要にできる結果、検査装置１を簡易に構成することができる。
【００４８】
また、測定対象２０を導体パターンとする例について説明したが、検査装置１では、回路基板１００に実装された抵抗や未実装の抵抗などを測定対象２０とすることもできる。さらに、本例では、検査装置１への適用について説明したが、検査機能を有しないで測定対象２０の抵抗値を測定する抵抗測定装置に適用することもできる。
【符号の説明】
【００４９】
１  四端子抵抗測定装置および検査装置
２ａ，２ｂ  電流供給用プローブ
３ａ，３ｂ  電圧測定用プローブ
４  交流電流供給部
５  電流検出部
６  電圧測定部
７  抵抗値算出部
８  判定部
２０  測定対象
６１ａ，６１ｂ  第１、第２のバッファ回路
６２  差動増幅回路
Ｃａ，Ｃｂ  静電容量
Ｇａ，Ｇｂ  第１、第２の電圧ガード
Ｉ  電流
Ｗ  配線部
【図１】
2014044102.tif 000003