(57)【要約】      （修正有）【課題】基板処理装置が備える反応容器からの排熱を利用して発電する。【解決手段】基板を収容する反応容器２０２と、反応容器の外側に設けられる加熱部と、反応容器の外側に設けられる冷却媒体流路と、冷却媒体流路内に冷却媒体を供給する冷却媒体供給部と、冷却媒体流路内を排気する冷却媒体排出部と、冷却媒体排出部に設けられ、前記冷却媒体排出部から排出される加熱された冷却媒体が導入されるタービンと、タービンに接続される第１発電機と、を備える。【選択図】図１
2014055558.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収容する反応容器と、
前記反応容器の外側に設けられる加熱部と、
前記反応容器の外側に設けられる冷却媒体流路と、
前記冷却媒体流路内に冷却媒体を供給する冷却媒体供給部と、
前記冷却媒体流路内を排気する冷却媒体排出部と、
前記冷却媒体排出部に設けられ、前記冷却媒体排出部から排出される加熱された前記冷却媒体が導入されるタービンと、
前記タービンに接続される第１発電機と、
少なくとも、前記冷却媒体供給部及び前記冷却媒体排出部を制御する制御部と、を備える
基板処理装置。
【請求項２】
前記タービンには、補助動力装置が接続され、
前記制御部は、
前記冷却媒体流路から前記冷却媒体を排出する時に前記タービンを回転させるように前記補助動力装置を制御する
請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記タービンには、第１熱交換器が接続されている
請求項１又は２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記第１熱交換器には、閉ループに接続される作動媒体路と、
前記作動媒体路上に設けられ、前記第１熱交換器で加熱された作動媒体が導入される蒸気タービンと、
前記蒸気タービンに接続される第２発電機と、を備える
請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記作動媒体路上の前記蒸気タービンよりも下流側には、第２熱交換器が設けられている
請求項４に記載の基板処理装置。
【請求項６】
反応容器内の基板を処理する処理工程と、
前記反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に冷却媒体を供給しつつ、冷却媒体排出部から前記冷却媒体流路内の前記冷却媒体を排出させ、前記冷却媒体排出部に設けられたタービンに、前記冷却媒体排出部から排出した前記冷却媒体を導入し、前記タービンに接続された第１発電機を駆動させて発電する冷却工程と、を有する
半導体装置の製造方法。
【請求項７】
反応容器内の基板を処理する処理手順と、
前記反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に冷却媒体を供給しつつ、冷却媒体排出部から前記冷却媒体流路内の前記冷却媒体を排出させ、前記冷却媒体排出部に設けられたタービンに、前記冷却媒体排出部から排出した前記冷却媒体を導入し、前記タービンに接続された第１発電機を駆動させて発電する冷却手順と、をコンピュータに実行させる
プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を加熱して処理する基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を加熱して処理する反応容器を備える基板処理装置では、反応容器内での基板の加熱処理が終了した後、基板処理装置の構成部材の保護や冷却時間短縮等の観点から、例えば反応容器等が強制冷却されるように構成されている。例えば、基板処理装置は、反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に冷却媒体を供給することで反応容器を強制冷却するように構成されている。冷却媒体は、冷却媒体流路内を通過する際に反応容器の排熱を回収することで加熱され、冷却媒体排出部から大気中へ放出されるように構成されている。
【０００３】
近年、環境変動や気候変動等の問題により、半導体製造工場においても環境負荷の低減が求められており、省エネルギ対策が進められている。このため、例えば、反応容器の周囲に蒸気発生ユニットを設けることで、反応容器からの排熱を利用して発電等を行い、省エネルギ化を図ることが考えられている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１８３３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の特許文献１には、電力発生ユニットが接続された蒸気発生ユニットを反応容器の周囲に設けて発電するという課題が提示されているだけで具体性がなかった。
【０００６】
本発明は、基板処理装置が備える反応容器からの排熱を利用して発電することができる基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、
基板を収容する反応容器と、
前記反応容器の外側に設けられる加熱部と、
前記反応容器の外側に設けられる冷却媒体流路と、
前記冷却媒体流路内に冷却媒体を供給する冷却媒体供給部と、
前記冷却媒体流路内を排気する冷却媒体排出部と、
前記冷却媒体排出部に設けられ、前記冷却媒体排出部から排出される加熱された前記冷却媒体が導入されるタービンと、
前記タービンに接続される第１発電機と、
少なくとも、前記冷却媒体供給部及び前記冷却媒体排出部を制御する制御部と、を備える基板処理装置が提供される。
【０００８】
本発明の他の態様によれば、
反応容器内の基板を処理する処理工程と、
前記反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に冷却媒体を供給しつつ、冷却媒体排出部から前記冷却媒体流路内の前記冷却媒体を排出させ、前記冷却媒体排出部に設けられたタービンに、前記冷却媒体排出部から排出した前記冷却媒体を導入し、前記タービンに接続された第１発電機を駆動させて発電する冷却工程と、を有する半導体装置の製造方法が提供される。
【０００９】
本発明の更に他の態様によれば、
反応容器内の基板を処理する処理手順と、
前記反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に冷却媒体を供給しつつ、冷却媒体排出部から前記冷却媒体流路内の前記冷却媒体を排出させ、前記冷却媒体排出部に設けられたタービンに、前記冷却媒体排出部から排出した前記冷却媒体を導入し、前記タービンに接続された第１発電機を駆動させて発電する冷却手順と、をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラムによれば、基板処理装置が備える反応容器からの排熱を利用して発電することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の斜透視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の側面透視図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る基板処理装置が備える反応容器の縦断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る基板処理装置が備える発電システムの概略構成図である。
【図５】本発明の実施形態で好適に用いられる基板処理装置のコントローラの概略構成図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る基板処理工程を示すフロー図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る基板処理装置が備える発電システムの概略構成図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係る基板処理装置が備える発電システムの概略構成図である。
【図９】本発明の他の実施形態に係る基板処理装置が備える発電システムの概略構成図である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る基板処理装置が備える発電システムの概略構成図である。
【図１１】本発明の他の実施形態に係る基板処理装置が備える発電システムの概略構成図である。
【図１２】（ａ）は発電システムの発電量における冷却媒体の温度依存性に関する評価結果を示すグラフ図であり、（ｂ）は、発電システムを構成する第１の発電装置２２６及び第２の発電装置２２７のそれぞれの発電量における冷却媒体の温度依存性に関する評価結果を示すグラフ図である。
【図１３】発電システムの発電効率における冷却媒体の温度依存性に関する評価結果を示すグラフ図である。
【図１４】（ａ）はブレイトンサイクルの概略構成図及びそのＴ−Ｓ線図（温度−エントロピ線図）を示す図であり、（ｂ）は本発明の一実施形態に係るブレイトンサイクルの概略構成図及びそのＴ−Ｓ線図を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００１３】
（１）基板処理装置の構成
まず、本実施形態に係る基板処理装置１００の構成について、主に図１及び図２を用いて説明する。図１は、本実施形態に係る基板処理装置１００の斜透視図である。図２は、本実施形態に係る基板処理装置１００の側面透視図である。
【００１４】
図１及び図２に示すように、本実施形態に係る基板処理装置１００は、耐圧容器として構成された筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が設けられている。正面メンテナンス口１０３には、正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４が設けられている。
【００１５】
シリコン（Ｓｉ）等で構成される基板としてのウエハ２００を筐体１１１内外へ搬送するには、複数のウエハ２００を収納するウエハキャリア（基板収容器）としてのポッド１１０が使用される。筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が、筐体１１１内外を連通するように開設されている。ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるように構成されている。ポッド搬入搬出口１１２の正面下方側には、ロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されている。ポッド１１０は、工程内搬送装置によって搬送され、ロードポート１１４上に載置されて位置合わせされるように構成されている。
【００１６】
筐体１１１内におけるロードポート１１４の近傍には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されている。筐体１１１内のポッド搬送装置１１８のさらに奥、筐体１１１内の前後方向の略中央部における上方には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されている。
【００１７】
ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと、搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４と、回転式ポッド棚１０５と、ポッドオープナ１２１との間で、ポッド１１０を相互に搬送するように構成されている。
【００１８】
回転式ポッド棚１０５上には複数個のポッド１１０が保管されるように構成されている。回転式ポッド棚１０５は、垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７と、を備えている。複数枚の棚板１１７は、ポッド１１０を複数個それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００１９】
筐体１１１内の下部には、サブ筐体１１９が、筐体１１１内の前後方向の略中央部から後端にわたって設けられている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内外に搬送する一対のウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が、垂直方向に上下二段に並べられて設けられている。上下段のウエハ搬入搬出口１２０のそれぞれには、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１が設置されている。
【００２０】
各ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する一対の載置台１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２上に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００２１】
サブ筐体１１９内には、ポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５等が設置された空間から流体的に隔絶された移載室１２４が構成されている。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されている。ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａと、ウエハ移載装置１２５ａを昇降させるウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂ（図１参照）とで構成されている。ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは、サブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部と筐体１１１右側端部との間に設置されている（図１参照）。ウエハ移載装置１２５ａは、ウエハ２００の載置部としてのツイーザ（基板保持体）１２５ｃを備えている。これらウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ２００をボート（基板保持具）２１７に対して装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００２２】
移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、ウエハ２００を処理する反応容器２０２が設けられている。反応容器２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。なお、反応容器２０２の構成については後述する。
【００２３】
サブ筐体１１９の待機部１２６の右端部と筐体１１１の右側端部との間には、ボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている（図１参照）。ボートエレベータ１１５の昇降台には、連結具としてのアーム１２８が連結されている。アーム１２８には、炉口蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられている。シールキャップ２１９は、ボート２１７を垂直に支持し、反応容器２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
【００２４】
ボート２１７は、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００を、その中心を揃えて垂直方向に整列させた状態でそれぞれ水平に保持するように構成されている。
【００２５】
図１に示すように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されている。クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置、ウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７の周囲を流通した後、ダクトにより吸い込まれて筐体１１１の外部に排気されるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環されてクリーンユニット１３４によって移載室１２４内に再び吹き出されるように構成されている。
【００２６】
（２）基板処理装置の動作
次に、本実施形態に係る基板処理装置１００の動作について、主に図１及び図２を用いて説明する。
【００２７】
図１及び図２に示すように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放される。そして、ロードポート１１４上のポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によってポッド搬入搬出口１１２から筐体１１１内部へと搬入される。
【００２８】
筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって回転式ポッド棚１０５の棚板１１７上へ自動的に搬送されて一時的に保管された後、棚板１１７上から一方のポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載される。なお、筐体１１１内部へと搬入されたポッド１１０は、ポッド搬送装置１１８によって直接ポッドオープナ１２１の載置台１２２上に移載されてもよい。ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４内にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、不活性ガス等のクリーンエア１３３で移載室１２４内が充満されることにより、移載室１２４内の酸素濃度が例えば２０ｐｐｍ以下となり、大気雰囲気である筐体１１１内の酸素濃度よりも遥かに低くなるように設定されている。
【００２９】
載置台１２２上に載置されたポッド１１０は、その開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口が開放される。その後、ウエハ２００は、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてポッド１１０内からピックアップされ、ノッチ合わせ装置にて円周方向の位置合わせがされた後、移載室１２４の後方にある待機部１２６内へ搬入され、ボート２１７内に装填（チャージング）される。ボート２１７内にウエハ２００を装填したウエハ移載装置１２５ａは、ポッド１１０に戻り、次のウエハ２００をボート２１７内に装填する。
【００３０】
ウエハ移載機構１２５によって、一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１からボート２１７へとウエハ２００を装填する間に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１の載置台１２２上には、別のポッド１１０が回転式ポッド棚１０５上からポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、上記ウエハ２００の装填作業と同時進行で、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が行われる。
【００３１】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７内に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた反応容器２０２の下端部が開放される。続いて、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、ウエハ２００を保持したボート２１７が反応容器２０２内へ搬入（ボートローディング）される。
【００３２】
ボートローディング後は、反応容器２０２内にてウエハ２００に任意の処理が実施される。処理後は、ノッチ合わせ装置によるウエハ２００の位置合わせを除き、上述の手順とほぼ逆の手順で、処理後のウエハ２００を装填したボート２１７が処理室２０１内より搬出され、処理後のウエハ２００を格納したポッド１１０が筐体１１１外へと搬出される。
【００３３】
（３）反応容器の構成
続いて、本実施形態に係る反応容器２０２の構成について、図３を用いて説明する。図３は、本実施形態に係る基板処理装置１００が備える反応容器２０２の縦断面図である。
【００３４】
（反応容器）
図１に示すように、反応容器２０２は反応管２０３を備えている。反応管２０３は、例えば石英（ＳｉＯ２）または炭化シリコン（ＳｉＣ）等の耐熱性材料からなり、上端及び下端が開口した円筒形状に形成されている。反応管２０３の筒中空部には、基板としてのウエハ２００を処理する処理室２０１が形成されている。処理室２０１は、ウエハ２００を保持するボート２１７を収容可能に構成されている。
【００３５】
基板保持具としてのボート２１７は、複数枚のウエハ２００を水平姿勢でかつ互いに中心を揃えた状態で整列させて多段に保持するように構成されている。ボート２１７は、例えば石英又は炭化珪素のいずれか、あるいは石英及び炭化珪素の耐熱性材料からなる。ボート２１７の下部には、例えば石英又は炭化珪素のいずれか、あるいは石英及び炭化珪素の耐熱性材料からなる断熱体２１６が設けられており、後述するヒータ２０７からの熱がシールキャップ２１９側に伝わり難くなるように構成されている。
【００３６】
反応管２０３の下方には、反応管２０３の下端開口を気密に閉塞可能な炉口蓋体としてのシールキャップ２１９が設けられている。シールキャップ２１９は、反応管２０３の下端に垂直方向下側から当接されるようになっている。シールキャップ２１９は、例えばステンレス等の金属からなり、円板状に形成されている。シールキャップ２１９の上面には、反応管２０３の下端と当接するシール部材としてのＯリングが設けられている。上述したように、シールキャップ２１９は、反応管２０３の外部に垂直に設備された昇降機構としてのボートエレベータ１１５によって、垂直方向に昇降されるように構成されている。シールキャップ２１９を昇降させることにより、ボート２１７を処理室２０１内外へ搬送することが可能なように構成されている。
【００３７】
シールキャップ２１９の中心部付近であって処理室２０１と反対側には、ボート２１７を回転させる回転機構２５４が設けられている。回転機構２５４の回転軸は、シールキャップ２１９を貫通してボート２１７を下方から支持している。回転機構２５４は、ボート２１７を回転させることでウエハ２００を回転させることが可能なように構成されている。
【００３８】
回転機構２５４及びボートエレベータ１１５には、搬送制御部２７５が電気的に接続されている。搬送制御部２７５は、回転機構２５４及びボートエレベータ１１５が所望のタイミングにて所望の動作をするように、これらを制御するように構成されている。なお、搬送制御部２７５は、上述のポッドエレベータ１１８ａ、ポッド搬送機構１１８ｂ、ポッドオープナ１２１、ウエハ移載装置１２５ａ、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ等にも電気的に接続され、これら構成各部が所望のタイミングにて所望の動作をするように、これらを制御するように構成されている。主に、ボートエレベータ１１５、回転機構２５３、ポッドエレベータ１１８ａ、ポッド搬送機構１１８ｂ、ポッドオープナ１２１、ウエハ移載装置１２５ａ、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂにより、本実施形態に係る搬送系が構成される。
【００３９】
反応管２０３の外側には、反応管２０３の側壁面を囲うように、反応管２０３内のウエハ２００を加熱する加熱部としてのヒータ２０７が設けられている。ヒータ２０７は円筒形状であり、保持板としてのヒータベースに支持されることにより垂直に据え付けられている。
【００４０】
反応管２０３内には、温度検出器として、例えば熱電対等の温度センサ２２５が設置されている。ヒータ２０７及び温度センサ２２５には、温度制御部２７４が電気的に接続されている。温度制御部２７４は、温度センサ２２５により検出された温度情報に基づいて、処理室２０１内の温度が所望のタイミングにて所望の温度分布となるように、ヒータ２０７への供給電力を調整するように構成されている。
【００４１】
反応管２０３と加熱部２０７との間には、処理ガス供給ノズル２２０が設けられている。処理ガス供給ノズル２２０は、反応管２０３の外壁の側部に沿うように配設されている。処理ガス供給ノズル２２０の上端（下流端）は、反応管２０３の頂部（上述した反応管２０３の上端に形成された開口）に気密に設けられている。反応管２０３の上端開口に位置する処理ガス供給ノズル２２０には、処理ガス供給孔が複数設けられている。
【００４２】
処理ガス供給ノズル２２０の上流端には、処理ガスを供給する処理ガス供給管２２１の下流端が接続されている。処理ガス供給管２２１には、上流側から順に、処理ガス供給源２２２、流量制御器としてのマスフローコントローラ（ＭＦＣ）２２３、開閉弁としてのバルブ２２４が接続されている。
【００４３】
ＭＦＣ２２３には、ガス流量制御部２７６が電気的に接続されている。ガス流量制御部２７６は、処理室２０１内に供給するガスの流量が所望のタイミングにて所望の流量となるように、ＭＦＣ２２３を制御するように構成されている。
【００４４】
主に、処理ガス供給管２２１、ＭＦＣ２２３及びバルブ２２４により、処理ガス供給系が構成される。なお、処理ガス供給ノズル２２０や処理ガス供給源２２２を処理ガス供給系に含めて考えてもよい。
【００４５】
反応管２０３には、反応管２０３（処理室２０１）内の雰囲気を排気する排気管２３１の上流端が接続されている。排気管２３１には、上流側から順に、処理室２０１内の圧力を検出する圧力検出器（圧力検出部）としての圧力センサ２３２、圧力調整装置としての例えばＡＰＣ（Ａｕｔｏ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｃｏｎｔｏｒｏｌｌｅｒ）バルブ２３３、及び真空排気装置としての真空ポンプ２３４が設けられている。なお、ＡＰＣバルブ２３３は、弁を開閉して反応管２０３内の真空排気・真空排気停止ができ、更に弁開度を調整して反応管２０３内の圧力調整をすることが可能な開閉弁である。
【００４６】
ＡＰＣバルブ２３３及び圧力センサ２３２には、圧力制御部２７７が電気的に接続されている。圧力制御部２７７は、圧力センサ２３２により検出された圧力値に基づいて、処理室２０１内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように、ＡＰＣバルブ２３３を制御するように構成されている。なお、ここでは圧力調整装置としてＡＰＣバルブを用いたが、これに限定されるものではない。例えば、圧力調整装置として、ＡＰＣバルブ以外のバタフライバルブを用いてもよい。また、ゲート式バルブを併用してもよい。
【００４７】
主に、排気管２３１、圧力センサ２３２、及びＡＰＣバルブ２３３により処理ガス排気部が構成されている。なお、真空ポンプ２３４を処理ガス排気部に含めて考えてもよい。
【００４８】
（冷却媒体流路）
ヒータ２０７の外周には、反応管２０３及びヒータ２０７を覆うように外部容器２０４が設けられている。外部容器２０４は、例えば石英や炭化シリコン等の耐熱性材料で構成されている。外部容器２０４は円筒形状に形成されており、外部容器２０４の上端には開口が設けられている。外部容器２０４の下端は気密に封止されている。外部容器２０４と反応管２０３との間の空間により、反応管２０３等を冷却する冷却媒体が通過する冷却媒体流路２０５が形成されている。
【００４９】
（冷却媒体供給部）
外部容器２０４の下端には、冷却媒体を冷却媒体流路２０５内に供給（導入）する冷却媒体供給ノズル２０６が設けられている。冷却媒体としては、例えば窒素ガス（Ｎ２ガス）等の不活性ガスや、Ｈｅガス、Ｎｅガス、Ａｒガス等の希ガス、空気等を単独であるいは混合して用いることができる。また、冷却媒体として、例えば水蒸気（Ｈ２Ｏ）が用いられてもよい。冷却媒体供給ノズル２０６の上流端には、冷却媒体供給管２０８の下流端が接続されている。冷却媒体供給管２０８には、上流側から順に、冷却媒体供給源２０９、流量制御器としてのマスフローコントローラ（ＭＦＣ）２１０、開閉弁としてのバルブ２１１が設けられている。
【００５０】
ＭＦＣ２１０には、ガス流量制御部２７６が電気的に接続されている。ガス流量制御部２７６は、冷却媒体流路２０５内に供給する冷却媒体の流量が所望のタイミングにて所望の流量となるように、ＭＦＣ２１０を制御するように構成されている。
【００５１】
主に、冷却媒体供給管２０８、ＭＦＣ２１０及びバルブ２１１により、冷却媒体供給部が構成されている。なお、冷却媒体供給源２０９や冷却媒体供給ノズル２０６を冷却媒体供給部に含めて考えてもよい。
【００５２】
（冷却媒体排出部）
外部容器２０４の上端の開口には、冷却媒体供給流路２０５（反応管２０３と外部容器２０４との間の空間）の雰囲気を排出（排気）する冷却媒体排気管２１２の上流端が接続されている。冷却媒体排気管２１２には、上流側から順に、遮蔽弁としてのシャッタ２１３，２１４、冷却媒体排気管２１２の上流側から下流側へと冷却媒体を流すブロア２１５が設けられている。
【００５３】
シャッタ２１３及びシャッタ２１４には、圧力制御部２７７が電気的に接続されている。圧力制御部２７７は、冷却媒体流路２０５内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように、シャッタ２１３及びシャッタ２１４の開閉をそれぞれ制御するように構成されている。
【００５４】
主に、冷却媒体排気管２１２及びブロア２１５により、冷却媒体排出部が構成されている。なお、シャッタ２１３やシャッタ２１４を冷却媒体排出部に含めて考えてもよい。
【００５５】
主に、冷却媒体流路２０５、冷却媒体供給部及び冷却媒体排出部により、冷却システム２１８が構成されている。
【００５６】
（発電システム）
図４に示すように、冷却媒体排気管２１２のブロア２１５よりも下流側には、上流側から順に、タービンとしてのガスタービン２３６と、第１熱交換器２３７と、第１圧縮機２３８とが設けられている。
【００５７】
ガスタービン２３６には、回転軸２３９が接続されている。ガスタービン２３６は、冷却媒体が導入されることで、回転軸２３９を回転させるように構成されている。なお、ガスタービン２３６に導入される冷却媒体は、冷却媒体流路２０５内を通過する際に反応管２０３からの排熱を回収することで加熱されている。
【００５８】
第１熱交換器２３７は、冷却媒体と、後述する作動媒体路２４３内を流れる作動媒体との間で熱交換を行わせるように構成されている。すなわち、第１熱交換器２３７は、ガスタービン２３６を通過した冷却媒体から熱を回収し、冷却媒体を冷却するように構成されている。
【００５９】
第１圧縮機２３８は、ガスタービン２３６に接続されている。すなわち、第１圧縮機２３８は、冷却媒体排気管２１２上に設けられて、ガスタービン２３６の回転軸２３９に接続されている。第１圧縮機２３８は、第１熱交換器２３７を通過した冷却媒体が導入されることで、回転軸２３９を回転させるように構成されている。
【００６０】
ガスタービン２３６には、補助動力装置２４０が接続されている。すなわち、補助動力装置２４０は、ガスタービン２３６の回転軸２３９に接続されている。補助動力装置２４０には、発電制御部２７８が電気的に接続されている。発電制御部２７８は、例えば、冷却媒体排出部から排出される冷却媒体の量が少ない場合等に補助動力装置２４０を作動させ、ガスタービン２３６の回転軸２３９を補助的に回転させるように構成されている。
【００６１】
また、ガスタービン２３６には、ガスタービン２３６の回転によって駆動される第１発電機２４１が接続されている。すなわち、第１発電機２４１は、ガスタービン２３６の回転軸２３９に接続されており、ガスタービン２３６の回転軸２３９が回転することで駆動されて発電するように構成されている。また、第１発電機２４１には、蓄電器２４２が接続されており、第１発電機２４１で発生させた電力を蓄電可能に構成されている。第１発電機２４１及び蓄電器２４２にはそれぞれ、後述のコントローラ２８０が電気的に接続されていてもよい。
【００６２】
第１熱交換器２３７には、閉ループ（環状）の作動媒体路２４３が接続されている。すなわち、作動媒体路２４３は、第１熱交換器２３７で冷却媒体と熱交換されることで加熱される作動媒体が循環するように構成されている。作動媒体としては、液相状態から気相状態又は気相状態から液相状態への状態変化が容易で、沸点が低く気体密度の高い媒体を用いることが好ましい。作動媒体としては、例えば、代替フロンＲ−１３４（沸点：−２６．２℃、気体密度：３２．４ｋｇ／ｍ３）、アンモニア（沸点：−３３℃、気体密度：０．７７ｋｇ／ｍ３）、プロパン（沸点：−４２℃、気体密度：２．０ｋｇ／ｍ３）、フロン（沸点：−２３℃、気体密度：５ｋｇ／ｍ３）、二酸化炭素（沸点：−７８．５℃、気体密度：１．９ｋｇ／ｍ３）等を用いることができる。特に、作動媒体路２４３の耐久性、発電効率、環境負荷等の観点から、代替フロンＲ−１３４を用いることが好ましい。
【００６３】
作動媒体路２４３上には、蒸気タービン２４４が設けられている。蒸気タービン２４４には、回転軸２４５が接続されている。蒸気タービン２４４は、第１熱交換器２３７で加熱された作動媒体が導入されることで、回転軸２４５を回転させるように構成されている。
【００６４】
蒸気タービン２４４には、蒸気タービン２４４の回転によって駆動される第２発電機２４６が接続されている。すなわち、第２発電機２４６は、蒸気タービン２４４の回転軸２４５に接続されており、蒸気タービン２４４の回転軸２４５が回転することで駆動されて発電するように構成されている。また、第２発電機２４６には、蓄電器２４７が接続されており、第２発電機２４６で発生させた電力を蓄電可能に構成されている。第２発電機２４６及び蓄電器２４７にはそれぞれ、後述のコントローラ２８０が電気的に接続されていてもよい。
【００６５】
作動媒体路２４３上であって蒸気タービン２４４よりも下流側には、第２熱交換器２４８が設けられている。第２熱交換器２４８には、作動媒体から熱を回収して冷却する作動媒体用冷媒流路２４９が接続されている。作動媒体用冷媒としては、例えば冷却水（Ｈ２Ｏ）等を用いることができる。第２熱交換器２４８は、作動媒体路２４３内を流れる作動媒体と作動媒体用冷媒との間で熱交換を行わせるように構成されている。すなわち、第２熱交換器２４８は、蒸気タービン２４４を通過した作動媒体から熱を回収し、作動媒体を冷却するように構成されている。
【００６６】
また、第２熱交換器２４８は、作動媒体路２４３内を流れる作動媒体と冷却媒体供給管２０８内を流れる冷却媒体との間でも熱交換を行わせるように構成されている。すなわち、第２熱交換器２４８には、上述の冷却媒体供給管２０８の上流側が接続されている。例えば、冷却媒体供給管２０８のバルブ２１１とＭＦＣ２１０との間に、第２熱交換器２４８が接続されている。
【００６７】
作動媒体路２４３上であって第２熱交換器２４８よりも下流側には、第２圧縮機２５０が設けられている。また、第２圧縮機２５０は、蒸気タービン２４４の回転軸２４５に接続されている。第２圧縮機２４７は、作動媒体が導入されることで、蒸気タービン２４４の回転軸２４５を回転させるように構成されている。
【００６８】
主に、ガスタービン２３６、第１熱交換器２３７、第１圧縮機２３８、第１発電機２４１により、第１の発電装置２２６（ブレイトンサイクル）が構成されている。なお、冷却媒体排気管２１２、補助動力装置２４０、蓄電器２４２を第１の発電装置２２６に含めて考えてもよい。
【００６９】
また、主に、第１熱交換器２３７、作動媒体路２４３、蒸気タービン２３６により、第２の発電装置２２７（ランキンサイクル）が構成されている。なお、第２発電機２４６、蓄電器２４７、第２熱交換器２４８、作動媒体用冷媒流路２４９、第２圧縮機２５０を第２の発電装置２２７に含めて考えてもよい。
【００７０】
また、主に、第１の発電装置２２６と第２の発電装置２２７とにより、発電システム２３５が構成されている。なお、冷却媒体流路２０５、冷却媒体供給部、冷却媒体排出部を発電システム２３５に含めて考えてもよい。
【００７１】
（制御部）
図５に示すように、制御部（制御手段）であるコントローラ２８０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）２８０ａ、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）２８０ｂ、記憶装置２８０ｃ、Ｉ／Ｏポート２８０ｄを備えたコンピュータとして構成されている。ＲＡＭ２８０ｂ、記憶装置２８０ｃ、Ｉ／Ｏポート２８０ｄは、内部バス２８０ｅを介して、ＣＰＵ２８０ａとデータ交換可能なように構成されている。コントローラ２８０には、入出力装置２８１として、例えばタッチパネル、マウス、キーボード、操作端末等が接続されていてもよい。また、コントローラ２８０には、表示部として、例えばディスプレイ等が接続されていてもよい。
【００７２】
記憶装置２８０ｃは、例えばフラッシュメモリ、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ）、ＣＤ−ＲＯＭ等で構成されている。記憶装置２８０ｃ内には、基板処理装置１００の動作を制御する制御プログラムや、基板処理の手順や条件などが記載されたプロセスレシピ等が、読み出し可能に格納されている。なお、プロセスレシピは、後述する基板処理工程における各手順をコントローラ２８０に実行させ、所定の結果を得ることが出来るように組み合わされたものであり、プログラムとして機能する。以下、このプロセスレシピや制御プログラム等を総称して、単にプログラムともいう。なお、本明細書においてプログラムという言葉を用いた場合は、プロセスレシピ単体のみを含む場合、制御プログラム単体のみを含む場合、または、その両方を含む場合がある。また、ＲＡＭ２８０ｂは、ＣＰＵ２８０ａによって読み出されたプログラムやデータ等が一時的に保持されるメモリ領域（ワークエリア）として構成されている。
【００７３】
Ｉ／Ｏポート２８０ｄは、上述のマスフローコントローラ２１０，２２３、バルブ２１１，２２４、シャッタ２１３，２１４、ＡＰＣバルブ２３３、加熱部２０７、温度センサ２２５、ボート回転機構２５４、補助動力装置２４０等に接続されている。
【００７４】
ＣＰＵ２８０ａは、記憶装置２８０ｃから制御プログラムを読み出して実行すると共に、入出力装置２８１からの操作コマンドの入力等に応じて記憶装置２８０ｃからプロセスレシピを読み出すように構成されている。そして、ＣＰＵ２８０ａは、読み出したプロセスレシピの内容に沿うように、信号線Ａを通じて温度センサ２０７に基づく加熱部２０７の温度調整動作、信号線Ｂを通じてボート回転機構２５４の回転速度調節動作、信号線Ｃを通じてマスフローコントローラ２１０，２２３による各種ガスの流量調整動作、信号線Ｄを通じてバルブ２１１，２２４の開閉動作、シャッタ２１３，２１４の遮断動作、ＡＰＣバルブ２３３の開度調整動作、及び真空ポンプ２３４の起動・停止、信号線Ｅを通じて補助動力装置２０４の回転軸２３９の回転動作等を制御するように構成されている。
【００７５】
なお、コントローラ２８０は、専用のコンピュータとして構成されている場合に限らず、汎用のコンピュータとして構成されていてもよい。例えば、上述のプログラムを格納した外部記憶装置（例えば、磁気テープ、フレキシブルディスクやハードディスク等の磁気ディスク、ＣＤやＤＶＤ等の光ディスク、ＭＯ等の光磁気ディスク、ＵＳＢメモリやメモリカード等の半導体メモリ）２８２を用意し、係る外部記憶装置２８２を用いて汎用のコンピュータにプログラムをインストールすること等により、本実施形態に係るコントローラ２８０を構成することができる。なお、コンピュータにプログラムを供給するための手段は、外部記憶装置２８２を介して供給する場合に限らない。例えば、インターネットや専用回線等の通信手段を用い、外部記憶装置２８２を介さずにプログラムを供給するようにしてもよい。なお、記憶装置２８０ｃや外部記憶装置２８２は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体として構成される。以下、これらを総称して、単に記録媒体ともいう。なお、本明細書において記録媒体という言葉を用いた場合は、記憶装置２８０ｃ単体のみを含む場合、外部記憶装置２８２単体のみを含む場合、または、その両方を含む場合がある。
【００７６】
（４）基板処理工程
続いて、半導体装置の製造工程の一工程として実施される基板処理工程について、図６を用いて説明する。係る基板処理工程は、上述の基板処理装置１００により実施される。ここでは一例として、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法によりウエハ２００上に薄膜を形成する成膜工程を実施した後、上述の冷却システム２１８及び発電システム２３５により、反応管２０３を冷却しつつ発電する冷却工程について説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置１００を構成する各部の動作はコントローラ２８０により制御される。
【００７７】
（基板搬入工程（Ｓ１０））
まず、複数枚のウエハ２００をボート２１７に装填（ウエハチャージ）し、複数枚のウエハ２００を保持したボート２１７を、ボートエレベータ１１５によって持ち上げて反応管２０３内（処理室２０１内）に搬入（ボートローディング）する。この状態で、反応管２０３の下端開口部である炉口は、シールキャップ２１９によりシールされた状態となる。
【００７８】
（圧力・温度調整工程（Ｓ２０））
処理室２０１内が所望の圧力（真空度）となるように、真空ポンプ２３４によって真空排気する。この際、反応管２０３内の圧力を圧力センサ２３２で測定し、この測定した圧力値に基づきＡＰＣバルブ２３３（の弁の開度）をフィードバック制御する（圧力調整）。また、処理室２０１内が所望の温度となるように、ヒータ２０７によって処理室２０１内を加熱する。この際、温度センサ２２５が検出した温度値に基づき、ヒータ２０７への供給電力をフィードバック制御する（温度調整）。
【００７９】
また、処理室２０１内を加熱しつつ、ボート回転機構２５４を作動して、ボート２１７の回転、すなわちウエハ２００の回転を開始する。この際、ボート２１７の回転速度をコントローラ２８０によって制御する。なお、ボート回転機構２５４によるボート２１７の回転は、少なくとも後述する成膜工程（Ｓ３０）の終了まで継続する。
【００８０】
（成膜工程（Ｓ３０））
処理室２０１内が、所望の圧力、所望の温度に達したら、処理ガス供給管２２１から反応管２０３内への処理ガスの供給を開始する。すなわち、バルブ２２４を開け、ＭＦＣ２２３で流量制御しながら、処理ガス供給源２２２から反応管２０３内に処理ガスを供給する。処理ガスは、処理室２０１内を通過する際にウエハ２００の表面と接触し、熱ＣＶＤ反応によってウエハ２００の表面上に薄膜が堆積（デポジション）される。反応管２０３内に処理ガスを供給しつつ、ＡＰＣバルブ２３３の開度を調整し、真空ポンプ２３４から排気する。予め設定された処理時間が経過したら、バルブ２２４を閉じ、反応管２０３内への処理ガスの供給を停止する。
【００８１】
（冷却工程（Ｓ４０））
成膜工程（Ｓ３０）が終了したら、冷却工程（Ｓ４０）を開始する。冷却工程（Ｓ４０）では、冷却媒体流路２０５への冷却媒体の供給、冷却媒体流路２０５からの冷却媒体の排出、ガスタービン２３６の回転、第１発電機２４１の駆動、蒸気タービン２４４の回転、第２発電機２４６の駆動をほぼ同時に開始する。すなわち、冷却工程（Ｓ４０）では、上述の冷却システム２１８による反応管２０３等の冷却と共に、上述の発電システム２３５による発電が行われる。以下に詳しく説明する。
【００８２】
［冷却媒体供給・冷却媒体排出］
成膜工程（Ｓ３０）が終了した後、ブロア２１５を作動させた状態でシャッタ２１３，２１４を開け、冷却媒体供給管２０８から、ＭＦＣ２１０により流量制御しながら冷却媒体流路２０５（反応管２０３と外部容器２０４との間の空間）内に冷却媒体を供給しつつ、冷却媒体排気管２１２から排出する。これにより、冷却媒体流路２０５内を急冷させ、冷却媒体流路２０５内に設けられる反応管２０３やヒータ２０７等を短時間で冷却させることができる。また、反応管２０３内のウエハ２００をより短時間で降温させることができる。
【００８３】
なお、シャッタ２１３，２１４を閉じた状態で、冷却媒体供給管２０８から冷却媒体流路２０５内に冷却媒体を供給し、冷却媒体流路２０５内を冷却媒体で充満させて冷却した後、ブロア２５７を作動させた状態でシャッタ２１３，２１４を開け、冷却媒体流路２０５内の冷却媒体を冷却媒体排気管２１２から排出してもよい。
【００８４】
［ガスタービン回転・第１発電機駆動］
冷却媒体は、冷却媒体流路２０５内を通過する際に、反応管２０３やヒータ２０７等からの熱（排熱）を回収することで加熱される。加熱された冷却媒体を冷却媒体排気管２１２から排出する際に、冷却媒体排気管２１２に設けられたガスタービン２３６に導入し、回転軸２３９を回転させる。ガスタービン２３６の回転軸２３９の回転により、第１発電機２４１を駆動させて発電させる。そして、第１発電機２４１により発生させた電力を蓄電器２４２に蓄える。
【００８５】
また、冷却媒体流路２０５から冷却媒体を排出する際、補助動力装置２４０を作動させてガスタービン２３６の回転軸２３９の回転を開始する。具体的には、例えば、シャッタ２１３，２１４を開けると共に、補助動力装置２４０を作動させる。なお、補助動力装置２４０は、冷却媒体流路２０５内への冷却媒体の供給の開始時に作動させてもよい。すなわち、例えば、バルブ２１１を開けると共に、補助動力装置２４０を作動させてもよい。これにより、例えば、排出される冷却媒体の量が少ない場合（すなわち、ガスタービン２３６に導入される冷却媒体の量が少ない場合）であっても、第１発電機２４１を駆動させて発電を開始させることができる。
【００８６】
ガスタービン２３６を通過した冷却媒体を第１熱交換器２３７に導入し、作動媒体路２４３内を流れる作動媒体と熱交換させて冷却する。そして、第１熱交換器２３７を通過した冷却媒体を第１圧縮機２３８に導入し、ガスタービン２３６の回転軸２３９を回転させる。これにより、第１発電機２４１の発電量を増やすことができる。第１圧縮機２３８を通過した冷却媒体は、例えば工場の排気設備や大気中に排出する。
【００８７】
［蒸気タービン回転・第２発電機駆動］
第１熱交換器２３７で冷却媒体から回収した熱によって、第１熱交換器２３７に接続された作動媒体路２４３内を流れる作動媒体を加熱して膨張させる。すなわち、第１熱交換器２３７で熱交換を行い、作動媒体路２４３内を流れる作動媒体を、例えば液体状態から気体状態になるように加熱する。そして、膨張した（気体状態の）作動媒体を蒸気タービン２４４に導入し、回転軸２４５を回転させる。蒸気タービン２４４の回転軸２４５の回転により、第２発電機２４６を駆動させて発電させる。第２発電機２４６により発生させた電力を蓄電器２４７に蓄える。
【００８８】
次に、蒸気タービン２４４を通過した作動媒体を、作動媒体路２４３上であって蒸気タービン２４４の下流側に設けられた第２熱交換器２４８に導入する。そして、第２熱交換器２４８で、作動媒体用冷媒流路２４９内を流れる冷媒と冷却媒体供給管２０８内を流れる冷却媒体とにより熱交換を行い、作動媒体を冷却する（液体状態にする）。
【００８９】
また、第２熱交換器２４８を通過した作動媒体を第２圧縮機２５０に導入し、蒸気タービン２４４の回転軸２４５を回転させる。これにより、第２発電機２４６の発電量を増やすことができる。
【００９０】
少なくとも冷却工程（Ｓ４０）が終了するまでの間は、第２圧縮機２５０を通過した作動媒体は、再び第１熱交換器２３７に導入される。すなわち、作動媒体は作動媒体路２４３内を循環する。
【００９１】
（大気圧復帰・基板搬出工程（Ｓ５０，Ｓ６０））
冷却工程（Ｓ４０）が終了したら、ヒータ２０７への電力供給を停止して処理室２０１内を降温させるとともに、ＡＰＣバルブ２３３の開度を調整して処理室２０１内の圧力を大気圧に復帰させる。そして、上述した基板搬入工程に示した手順と逆の手順によりボート２１７を処理室２０１内から搬出（ボートアンロード）する。そして、処理済のウエハ２００をボート２１７から脱装（ウエハディスチャージ）して、ポッド１１０内へ格納し、本実施形態に係る基板処理工程を終了する。
【００９２】
（５）本実施形態に係る効果
本実施形態によれば、以下に示す１つまたは複数の効果を奏する。
【００９３】
（ａ）本実施形態によれば、ウエハ２００を加熱して処理する反応容器２０２を冷却する冷却媒体が供給される冷却媒体流路２０５を備えている。また、冷却媒体流路２０５内に冷却媒体を供給する冷却媒体供給部と、冷却媒体流路２０５内から冷却媒体を排出する冷却媒体排出部とを備えている。また、冷却媒体排気管２０９（冷却媒体排出部）に設けられ、第１発電機２４１を駆動するガスタービン２３６を備えている。これにより、反応容器２０２からの排熱を利用して発電することができる。すなわち、冷却媒体流路２０５を通過する際に反応管２０３からの熱を回収することで加熱された冷却媒体がガスタービン２３６に直接導入されることで、第１発電機２４１を駆動させて発電することができる。そして、例えば、発電した電力を基板処理装置１００の駆動に使用することで、基板処理装置１００の省エネルギ化を図ることができる。また、例えば大気中に排出される冷却媒体の温度は低温であるので、環境負荷を軽減することができる。
【００９４】
（ｂ）本実施形態によれば、ガスタービン２３６には、補助動力装置２４０が接続されている。これにより、例えば、冷却媒体排出部から排出される冷却媒体の量が少ない場合（すなわち、ガスタービン２３６に導入される冷却媒体の量が少ない場合）であっても、第１発電機２４１を駆動させて発電を開始することができる。また、発電が開始されるまでの時間を短縮でき、発電時間を長くできる。
【００９５】
（ｃ）本実施形態によれば、ガスタービン２３６には、第１圧縮機２３８が接続されている。これにより、第１圧縮機２３８に冷却媒体が導入されると、第１圧縮機２３８によってガスタービン２３６が回転されて、第１発電機２４１を駆動させることができる。従って、第１発電機２４１の発電量を増やすことができる。
【００９６】
（ｄ）本実施形態によれば、ガスタービン２３６には、第１熱交換器２３７が接続されている。第１熱交換器２３７は、冷却媒体流路２０５を通過する際に反応容器２０２の排熱を回収することで加熱された冷却媒体と、作動媒体路２４３内を流れる作動媒体との間で熱交換を行わせるように構成されている。従って、冷却媒体排気管２１２を流れる冷却媒体は、第１熱交換器２３７で熱を回収されて冷却される。その結果、例えば、冷却媒体排気管２１２の後段に配設される例えば工場の排気設備が高温に晒されて劣化することを抑制できる。また、冷却媒体排気管２１２が高温に晒される箇所を低減できるため、冷却媒体排気管２１２の劣化を抑制できる。また、例えば、冷却媒体が冷却媒体排気管２１２から大気中へ排出される場合、大気中に高温の冷却媒体が排出されることを抑制できるため、環境負荷を低減することができる。
【００９７】
（ｅ）本実施形態によれば、第１熱交換器２３７には、閉ループの作動媒体路２４３が接続されている。作動媒体路２４３内には、第１熱交換器２３７で冷却媒体と熱交換されることで加熱される作動媒体が循環している。作動媒体路２４３上には、蒸気タービン２４４が設けられている。また、蒸気タービン２４４には、第２発電機２４６が接続されている。これにより、反応管２０３等からの排熱をカスケード利用することができるため、排熱エネルギの回収効率を向上させることができる。すなわち、第１熱交換器２３７で加熱された作動媒体が蒸気タービン２４４に導入されると、蒸気タービン２４４が回転され、第２発電機２４６が駆動されて発電することができる。その結果、第１発電機２４１と第２発電機２４６とで発電することができるので、発電システム２３５の発電量を増やすことができる。
【００９８】
（ｆ）本実施形態によれば、作動媒体路２４３上であって、蒸気タービン２４４の下流側には、第２熱交換器２４８が設けられている。これにより、第１熱交換器２３７によって加熱された作動媒体を冷却することができる。従って、蒸気タービン２４４による発電効率を向上させることができる。
【００９９】
（ｇ）本実施形態によれば、作動媒体路２４３上の第２熱交換器２４８よりも下流側には、第２圧縮機２５０が設けられている。また、第２圧縮機２５０は、蒸気タービン２４４に接続されている。これにより、第２圧縮機２５０に作動媒体が導入されると、第２圧縮機２５０によっても蒸気タービン２４４が回転されて、第２発電機２４６を駆動させることができる。これにより、第２発電機２４６の発電量を増やすことができる。
【０１００】
（ｈ）本実施形態によれば、冷却媒体供給管２０８が第２熱交換器２４８に接続されるように設けられている。これにより、第２熱交換器２４８で、冷却媒体供給管２０８内を流れる冷却媒体と、第１熱交換器２３７により加熱された作動媒体との間で熱交換を行わせることができる。従って、作動媒体路２４３内を流れる作動媒体の冷却効率をより向上させることができる。また、第２熱交換器２４８により加熱された冷却媒体が冷却媒体流路２０５内に供給され、冷却媒体流路２０５内を通過すると、冷却媒体流路２０５から排出される冷却媒体の温度がより高温になる場合がある。この場合には、発電システム２３５の発電量をより増やすことができる。また、例えば、これから基板処理が行われようとしている反応容器２０２（基板処理装置１００）が備える冷却媒体流路２０５内に、冷却媒体供給管２０８から、第２熱交換器２４８で熱交換されて加熱された冷却媒体を供給することで、反応管２０３等を予備加熱することができ、より省エネルギ化を図ることができる。
【０１０１】
（ｉ）本実施形態によれば、第１発電機２４１及び第２発電機２４６にはそれぞれ、蓄電器２４２，２４７が接続されている。これにより、第１発電機２４１及び第２発電機２４６により発電させた電力を蓄えることができる。
【０１０２】
＜本発明の他の実施形態＞
以上、本発明の実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【０１０３】
上述の実施形態では、冷却媒体供給管２０８は、第２熱交換器２４８に接続されるように設けられているが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、冷却媒体供給管２０８は、第１熱交換器２３７に接続されるように設けられていてもよく、第１熱交換器２３７及び第２熱交換器２４８に接続されるように設けられていてもよい。また、例えば、図７に示すように、冷却媒体供給管２０８は、第１熱交換器２３７及び第２熱交換器２４８に接続されないように設けられていてもよい。
【０１０４】
上述の実施形態では、第１圧縮機２３８及び第２圧縮機２５０が設けられている場合について説明したが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、第１圧縮機２３８、第２圧縮機２５０は設けられていなくてもよい。
【０１０５】
上述の実施形態では、発電システム２３５が、第１の発電装置２２６と第２の発電装置２２７とにより構成される場合（コンバインドサイクル）について説明したが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、図８に示すように、発電システム２３５は、主に、ガスタービン２３６、第１熱交換器２３７及び第１圧縮機２３８を備える第１の発電装置２２６により構成されていてもよい。この場合、図８に示すように、第１熱交換器２３７には、第１熱交換器２３７に導入された加熱された冷却媒体と熱交換を行う媒体が流れるように構成された流路２５１が設けられているとよい。また、例えば、図８に示す発電システム２３５には、第１圧縮機２３８が設けられていてもよい。
【０１０６】
また、例えば、発電システム２３５は、図９に示すように、主に、ガスタービン２３６と、第１発電機２４１とによって構成されていてもよい。このような構成であっても、反応容器２０２からの排熱を利用して発電することができる。すなわち、冷却媒体流路２０５を通過する際に反応管２０３からの排熱を回収することで加熱された冷却媒体がガスタービン２３６に導入されることで、第１発電機２４１を駆動させて発電させることができる。
【０１０７】
また、例えば、図１０に示すように、発電システム２３５には、補助ガスタービン２５２が設けられていてもよい。すなわち、ガスタービン２３６の回転軸２３９には、補助ガスタービン２５２が設けられていてもよい。これにより、ガスタービン２３６を通過した冷却媒体が補助ガスタービン２５２に導入されると、補助ガスタービン２５２によってもガスタービン２３６の回転軸２３９を回転させることができる。従って、第１発電機２４１の発電量をより増やすことができる。すなわち、補助ガスタービン２５２を設けることで、発電効率をより向上させることができる。なお、補助ガスタービン２５２の数は１つに限定されず、２つ以上であってもよい。
【０１０８】
上述の実施形態では、図１１（ａ）に示すように、発電システム２３５が基板処理装置１００毎に接続されている場合について説明したが、これに限定されるものではない。この他、例えば、図１１（ｂ）に示すように、１つの発電システム２３５が複数の基板処理装置１００に接続されていてもよい。すなわち、ガスタービン２３６には、複数の基板処理装置１００がそれぞれ備える複数の冷却媒体排気管２１２が接続されていてもよい。これにより、基板処理装置１００の排熱からのエネルギ回収効率を向上させることができる。従って、冷却媒体排出部から排出される冷却媒体を、ガスタービン２３６の安定した熱源とすることができる。その結果、ガスタービン２３６、蒸気タービン２４４の稼働率を向上させることができ、第１発電機２４１や第２発電機２４６の発電効率を向上させることができる。
【０１０９】
すなわち、例えば、複数の基板処理装置１００間でシャッタ２１３及びシャッタ２１４を開けるタイミングを揃えるように制御することで、発電システム２３５（ガスタービン２３６）に導入される加熱された冷却媒体の量を増やすことができる。従って、ガスタービン２３６をより回転させることができるため、第１発電機２４１で発電される発電量をより増やすことができる。また、各基板処理装置１００からの排熱が少ない場合であっても、ガスタービン２３６では複数の基板処理装置１００からの排熱が合流されるため、ガスタービン２３６に、より高温の冷却媒体を導入することができる。従って、特に、発電システム２３５が第２の発電装置２２７を備えている場合、第２の発電装置２２７の発電効率を向上させることができる。すなわち、蒸気タービン２４４をより回転させることができ、第２発電機２４６の発電量をより増やすことができる。
【０１１０】
また、例えば、複数の基板処理装置１００間で、シャッタ２１３及びシャッタ２１４が開けられている時間を制御し、加熱された冷却媒体が持続的に（常時）発電システム２３５（ガスタービン２３６）に導入されるようにすることで、ガスタービン２３６や蒸気タービン２４４を持続的に回転させ、持続的に発電させることができる。また、各基板処理装置１００間で排出される冷却媒体の流量が異なる場合、冷却媒体の排出量が多い基板処理装置１００から排出された冷却媒体が他の基板処理装置１００へ逆流することを抑制できる。
【０１１１】
上述の実施形態では、第１発電機２４１及び第２発電機２４６のそれぞれに蓄電器２４２，２４７が接続されているが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、蓄電器は、第１発電機２４１及び第２発電機２４６で共有のものであってもよい。また、例えば、蓄電器は、複数の基板処理装置１００で共有のものであってもよい。
【０１１２】
また、上述の実施形態では、冷却媒体排気管２１２にブロア２１５を設けたが、これに限定されるものではない。すなわち、ガスタービン２３６によって、冷却媒体流路２０５内から冷却媒体を排出するようにしてもよい。これにより、基板処理装置１００のコンパクト化を図ることができると共に、基板処理装置１００の使用電力をより抑制することができる。
【０１１３】
また、本発明は、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法等による酸化膜や窒化膜、金属膜等の種々の膜を形成する成膜処理を行う場合に適用できるほか、拡散処理、アニール処理、酸化処理、窒化処理、リソグラフィ処理等の他の基板処理を行う場合にも適用できる。また、本発明は、薄膜形成装置の他、エッチング装置、アニール処理装置、酸化処理装置、窒化処理装置、露光装置、塗布装置、モールド装置、現像装置、ダイシング装置、ワイヤボンディング装置、乾燥装置、加熱装置、検査装置等の他の基板処理装置にも適用できる。また、本発明は、これらの装置が混在していてもよい。また、本発明では、縦型の基板処理装置１００に限らず、横型の基板処理装置や、枚葉式の各種基板処理装置であってもよく、これらの装置が混在していてもよい。
【０１１４】
また、本発明は、本実施形態に係る基板処理装置１００のような半導体ウエハを処理する半導体製造装置等に限らず、ガラス基板を処理するＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）製造装置等の基板処理装置にも適用できる。
【実施例】
【０１１５】
以下に、本発明の実施例について図１２及び図１３を参照しながら説明する。本実施例では、第１の発電装置２２６又は第２の発電装置２２７のいずれか、あるいは第１の発電装置２２６及び第２の発電装置２３７を備える発電システム２３５を用いた。図１２（ａ）は、第１の発電装置２２６と第２の発電装置２２７とを用いたコンバインドサイクルの発電量、及び発電システム２３５を用いた再生コンバインドサイクルの発電量における冷却媒体の温度依存性に関する評価結果を示すグラフ図である。図１２（ｂ）は、発電システム２３５を構成する第１の発電装置２２６及び第２の発電装置２２７のそれぞれの発電量と、第１の発電装置２２６及び第２の発電装置２２７のそれぞれの熱交換器に冷却媒体供給管２０８を設けた場合の発電量と、における冷却媒体の温度依存性に関する評価結果を示すグラフ図である。図１３は、発電システム２３５の発電効率における冷却媒体の温度依存性に関する評価結果を示すグラフ図である。なお、図１２及び図１３において、冷却媒体の温度は、第１圧縮機２３８に供給される冷却媒体の温度を測定した値である。
【０１１６】
図１２（ａ）から、第１の発電装置２２６（ブレイトンサイクル）と第２の発電装置２２７（ランキンサイクル）とを組み合わせたコンバインドサイクルを用いた場合より、第２熱交換器２４８によって、冷却媒体供給管２０８に供給される冷却媒体を加熱させる発電システム２３５（再生コンバインドサイクル）を用いた場合の方が、発電量をより増加させることができることが判る。例えば、冷却媒体の温度が３６３Ｋ（９０℃）である場合、コンバインドサイクルで発電される発電量が３ｋｗｈ以上となり、目標とする発電量を達成できる。また、再生コンバインドサイクルでは３ｋｗｈを超える発電量を実現できる。
【０１１７】
図１２（ｂ）から、第１の発電装置２２６（ブレイトンサイクル）及び第２の発電装置２２７（ランキンサイクル）はそれぞれ、発電することができていることが判る。また、ブレイトンサイクル及びランキンサイクルのそれぞれの熱交換器２３７，２４８からの排熱によって冷却媒体供給管２０８を流れる冷却媒体を加熱することにより、発電量を増加させることができることが判る。また、それぞれの発電装置２２６，２２７での発電量は、目標とする発電量以下になっているが、それぞれの発電装置２２６，２２７での発電量を組み合わせることにより、目標とする発電量を達成することができる。
【０１１８】
図１２（ａ）、図１２（ｂ）及び図１３から、第１圧縮機２３８に供給される冷却媒体の温度を下げることにより、発電量や発電効率を向上させることができることが分る。この原理は、図１４に示すブレイトンサイクルの特性によるものある。ここで、図１４（ａ）は、単純なブレイトンサイクルの概略構成図及びそのＴ−Ｓ線図（温度−エントロピ線図）を示す図である。図１４（ｂ）は、本発明の一実施形態に係るブレイトンサイクルの概略構成図及びそのＴ−Ｓ線図を示す図である。図１４（ａ）に示すブレイトンサイクルは、圧縮機３００と燃焼器３０１と膨張器３０２とで構成されている。図１４（ｂ）に示すブレイトンサイクルは、上述した本実施形態に係るブレイトンサイクルと略同じ構成である。図１４（ｂ）より、Ｔ１を低温にすることにより、面積Ｌ（仕事量）が増大し、発電量を増やせることが分る。逆に、Ｔ１がＴ１´の様に高くなると面積Ｌが小さくなり、発電量が小さくなることが分る。故に、第１熱交換器２３７に供給される作動媒体の温度を下げることが好ましい。また、第１熱交換器２３７に供給する作動媒体の流量を増やしても良い。また、第１熱交換器２３７内の冷却媒体の流路の長さを長くしても良いし、第１熱交換器内２３７内の冷却媒体の流路の表面積を大きくして冷却効率を向上させても良い。
【０１１９】
＜本発明の好ましい態様＞
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
【０１２０】
本発明の一態様によれば、
基板を収容する反応容器と、
前記反応容器の外側に設けられる加熱部と、
前記反応容器の外側に設けられる冷却媒体流路と、
前記冷却媒体流路内に冷却媒体を供給する冷却媒体供給部と、
前記冷却媒体流路内を排気する冷却媒体排出部と、
前記冷却媒体排出部に設けられ、前記冷却媒体排出部から排出される加熱された前記冷却媒体が導入されるタービンと、
前記タービンに接続される第１発電機と、
少なくとも、前記冷却媒体供給部及び前記冷却媒体排出部を制御する制御部と、を備える基板処理装置が提供される。
【０１２１】
本発明の他の態様によれば、
基板を加熱して処理する反応容器と、
前記反応容器の外側に設けられ、前記反応容器を冷却する冷却媒体が供給される冷却媒体流路と、
前記冷却媒体流路内に前記冷却媒体を供給する冷却媒体供給部と、
前記冷却媒体流路内から前記冷却媒体を排出する冷却媒体排出部と、
前記冷却媒体排出部に設けられ、前記冷却媒体排出部から排出される加熱された前記冷却媒体が導入されて回転し、第１発電機を駆動させるタービンと、
少なくとも、前記冷却媒体供給部及び前記冷却媒体排出部を制御する制御部と、を備える基板処理装置が提供される。
【０１２２】
本発明の更に他の態様によれば、
基板を加熱して処理する反応容器と、
前記反応容器を加熱する加熱部と、
前記反応容器の外側に設けられ、前記反応容器を冷却する冷却媒体が供給される冷却媒体流路と、
前記冷却媒体流路内に前記冷却媒体を供給する冷却媒体供給部と、
前記冷却媒体流路内から前記冷却媒体を排出する冷却媒体排出部と、
前記冷却媒体排出部に設けられ、前記冷却媒体排出部から排出される前記冷却媒体が導入されて回転し、第１発電機を駆動させるタービンと、
少なくとも、前記加熱部、前記冷却媒体供給部及び前記冷却媒体排出部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記加熱部により前記反応容器内を加熱させた後、前記冷却媒体供給部から前記冷却媒体流路内に前記冷却媒体を供給させ、前記冷却媒体流路内を通過する際に前記反応容器の熱を回収することで加熱された前記冷却媒体を、前記冷却媒体排出部により排出させて前記タービンに導入するように制御する基板処理装置が提供される。
【０１２３】
好ましくは、
前記タービンには、補助動力装置が接続され、
前記冷却媒体流路から前記冷却媒体を排出する時に前記補助動力装置を作動させ、前記タービンを回転させる。
【０１２４】
また好ましくは、
前記タービンには、第１圧縮機が接続されている。
【０１２５】
また好ましくは、
前記タービンには、第１熱交換器が接続されている。
【０１２６】
また好ましくは、
前記第１熱交換器に接続され、前記第１熱交換器で前記冷却媒体と熱交換されることで加熱される作動媒体が循環する閉ループの作動媒体路と、
前記作動媒体路上に設けられ、加熱された前記作動媒体が導入されて回転し、第２発電機を駆動させる蒸気タービンと、を備える。
【０１２７】
また好ましくは、
前記作動媒体路上の前記蒸気タービンよりも下流側には、第２熱交換器が設けられている。
【０１２８】
また好ましくは、
前記作動媒体路上の前記第２熱交換器よりも下流側には、第２圧縮機が設けられている。
【０１２９】
また好ましくは、
前記冷却媒体供給部は、前記冷却媒体流路内に前記冷却媒体を供給する冷却媒体供給管を備え、
前記冷却媒体供給管は、前記第１熱交換器又は前記第２熱交換器の少なくともいずれかに接続されるように設けられている。
【０１３０】
また好ましくは、
前記第１発電機及び前記第２発電機には、蓄電器が接続されている。
【０１３１】
本発明の更に他の態様によれば、
基板を加熱して処理する反応容器と、
前記反応容器の外側に設けられ、前記反応容器を冷却する冷却媒体が供給される冷却媒体流路と、
前記冷却媒体流路内に前記冷却媒体を供給する冷却媒体供給部と、
前記冷却媒体流路内から前記冷却媒体を排出する冷却媒体排出部と、
前記冷却媒体排出部に設けられ、前記冷却媒体排出部から排出される加熱された前記冷却媒体が導入されて回転し、第１発電機を駆動させるタービンと、
前記タービンに接続され、前記タービンを通過した前記冷却媒体が導入されて回転する補助ガスタービンと、
少なくとも、前記冷却媒体供給部及び前記冷却媒体排出部を制御する制御部と、を備える基板処理装置が提供される。
【０１３２】
本発明の更に他の態様によれば、
基板を収容する反応容器と、
前記反応容器の外側に設けられる加熱部と、
前記反応容器の外側に設けられる冷却媒体流路と、
前記冷却媒体流路内に冷却媒体を供給する冷却媒体供給部と、
前記冷却媒体流路内を排気する冷却媒体排出部と、
前記冷却媒体排出部に設けられ、前記冷却媒体排出部から排出される加熱された前記冷却媒体が導入されるタービンと、
前記タービンに接続される第１発電機と、
少なくとも、前記冷却媒体供給部及び前記冷却媒体排出部を制御する制御部と、を備える半導体装置の製造装置が提供される。
【０１３３】
本発明の更に他の態様によれば、
基板を処理する反応容器と、
前記反応容器の外側に設けられ、前記反応容器を冷却する冷却媒体が供給される冷却媒体流路と、
前記冷却媒体流路内に前記冷却媒体を供給する冷却媒体供給部と、
前記冷却媒体流路内から前記冷却媒体を排出する冷却媒体排出部と、
前記冷却媒体排出部に設けられ、前記冷却媒体排出部から排出される加熱された前記冷却媒体が導入されて回転し、第１発電機を駆動させるタービンと、
少なくとも、前記冷却媒体供給部及び前記冷却媒体排出部を制御する制御部と、を備える半導体装置の製造装置が提供される。
【０１３４】
本発明の更に他の態様によれば、
反応容器内の基板を処理する処理工程と、
前記反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に冷却媒体を供給しつつ、冷却媒体排出部から前記冷却媒体流路内の前記冷却媒体を排出させ、前記冷却媒体排出部に設けられたタービンに、前記冷却媒体排出部から排出した前記冷却媒体を導入し、前記タービンに接続された第１発電機を駆動させて発電する冷却工程と、を有する基板処理方法が提供される。
【０１３５】
本発明の更に他の態様によれば、
反応容器内の基板を加熱して処理する処理工程と、
前記処理工程後に、前記反応容器を冷却する冷却工程と、を有し、
前記冷却工程では、
前記反応容器を冷却する冷却媒体を、冷却媒体供給部から前記反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に供給し、前記冷却媒体流路内を通過して加熱された前記冷却媒体を、冷却媒体排出部により排出させ、前記冷却媒体排出部に設けられたタービンに導入して前記タービンを回転させることで、前記タービンに接続された第１発電機を駆動させて発電する基板処理方法が提供される。
【０１３６】
本発明の更に他の態様によれば、
反応容器内の基板を処理する処理工程と、
前記反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に冷却媒体を供給しつつ、冷却媒体排出部から前記冷却媒体流路内の前記冷却媒体を排出させ、前記冷却媒体排出部に設けられたタービンに、前記冷却媒体排出部から排出した前記冷却媒体を導入し、前記タービンに接続された第１発電機を駆動させて発電する冷却工程と、を有する半導体装置の製造方法が提供される。
【０１３７】
本発明の更に他の態様によれば、
反応容器内の基板を加熱して処理する処理工程と、
前記処理工程後に、前記反応容器を冷却する冷却工程と、を有し、
前記冷却工程では、
前記反応容器を冷却する冷却媒体を、冷却媒体供給部から前記反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に供給し、前記冷却媒体流路内を通過して加熱された前記冷却媒体を、冷却媒体排出部により排出させ、前記冷却媒体排出部に設けられたタービンに導入して前記タービンを回転させることで、前記タービンに接続された第１発電機を駆動させて発電する半導体装置の製造方法が提供される。
【０１３８】
本発明の更に他の態様によれば、
基板を加熱して処理する複数の基板処理装置に接続され、
前記基板処理装置が備える前記反応容器の外側に設けられ、前記反応容器を冷却する冷却媒体が供給される冷却媒体流路と、
前記冷却媒体流路内に前記冷却媒体を供給する冷却媒体供給部と、
前記冷却媒体流路内から前記冷却媒体を排出する冷却媒体排出部と、
前記冷却媒体排出部に設けられ、前記冷却媒体排出部から排出される加熱された前記冷却媒体が導入されて回転し、第１発電機を駆動させるタービンと、
少なくとも、前記冷却媒体供給部及び前記冷却媒体排出部を制御する制御部と、を備える発電システムが提供される。
【０１３９】
本発明の更に他の態様によれば、
基板を処理する反応容器を外側から冷却するように設けられる冷却媒体流路内に供給されて排出された冷却媒体が導入されて回転し、第１発電機を駆動させるタービンを備える発電装置が提供される。
【０１４０】
本発明の更に他の態様によれば、
基板を処理する反応容器を外側から冷却するように設けられる冷却媒体流路内に供給して排出した冷却媒体をタービンに導入し、前記タービンを回転させる工程と、
前記タービンを回転させることで、前記タービンに接続される第１発電機を駆動させて発電する工程と、を有する発電方法が提供される。
【０１４１】
本発明の更に他の態様によれば、
反応容器内の基板を処理する処理手順と、
前記反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に冷却媒体を供給しつつ、冷却媒体排出部から前記冷却媒体流路内の前記冷却媒体を排出させ、前記冷却媒体排出部に設けられたタービンに、前記冷却媒体排出部から排出した前記冷却媒体を導入し、前記タービンに接続された第１発電機を駆動させて発電する冷却手順と、をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
【０１４２】
本発明の更に他の態様によれば、
反応容器内の基板を加熱して処理する処理手順と、
前記反応容器を冷却する冷却媒体を、冷却媒体供給部から前記反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に供給し、前記冷却媒体流路内を通過して加熱された前記冷却媒体を、冷却媒体排出部により排出させ、前記冷却媒体排出部に設けられたタービンに導入して前記タービンを回転させることで、前記タービンに接続された第１発電機を駆動させて発電する冷却手順と、をコンピュータに実行させるプログラムが提供される。
【０１４３】
本発明の更に他の態様によれば、
反応容器内の基板を処理する処理手順と、
前記反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に冷却媒体を供給しつつ、冷却媒体排出部から前記冷却媒体流路内の前記冷却媒体を排出させ、前記冷却媒体排出部に設けられたタービンに、前記冷却媒体排出部から排出した前記冷却媒体を導入し、前記タービンに接続された第１発電機を駆動させて発電する冷却手順と、をコンピュータに実行させるプログラムが格納された記録媒体が提供される。
【０１４４】
本発明の更に他の態様によれば、
反応容器内の基板を加熱して処理する処理手順と、
前記反応容器を冷却する冷却媒体を、冷却媒体供給部から前記反応容器の外側に設けられた冷却媒体流路内に供給し、前記冷却媒体流路内を通過して加熱された前記冷却媒体を、冷却媒体排出部により排出させ、前記冷却媒体排出部に設けられたタービンに導入して前記タービンを回転させることで、前記タービンに接続された第１発電機を駆動させて発電する冷却手順と、をコンピュータに実行させるプログラムが格納された記録媒体が提供される。
【符号の説明】
【０１４５】
１００              基板処理装置
２０２              反応容器
２０５              冷却媒体流路
２３６              タービン（ガスタービン）
２４１              第１発電機
２８０              制御部（コントローラ）
【図１】
2014055558.tif 000003
【図２】
2014055558.tif 000004
【図３】
2014055558.tif 000005
【図４】
2014055558.tif 000006
【図５】
2014055558.tif 000007
【図６】
2014055558.tif 000008
【図７】
2014055558.tif 000009
【図８】
2014055558.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2014055558.tif 000012
【図１１】
2014055558.tif 000013
【図１２】
2014055558.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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