(57)【要約】【課題】対象物のサイズが変わっても対象物を明るく照らすことができるとともに、生産性の低下を抑制することができる検出装置、レーザー光照射装置及び光学部材貼合体の製造装置を提供する。【解決手段】対象物を保持するテーブルと、前記対象物を照明する照明装置と、前記テーブルと前記照明装置とを相対移動する移動装置と、を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を保持するテーブルと、
前記対象物を照明する照明装置と、
前記テーブルと前記照明装置とを相対移動する第１移動装置と、
を含む検出装置。
【請求項２】
前記対象物を撮像する撮像装置と、
前記テーブルと前記撮像装置とを相対移動する第２移動装置と、
を含む請求項１に記載の検出装置。
【請求項３】
対象物を保持する保持面を有するテーブルと、
レーザー光を発振するレーザー光発振機と、
前記保持面と平行な平面内で前記レーザー光を２軸走査するスキャナーと、
前記対象物を照明する照明装置と、
前記テーブルと前記照明装置とを相対移動する第１移動装置と、
前記テーブルと前記スキャナーとを相対移動する第２移動装置と、
を含むレーザー光照射装置。
【請求項４】
前記対象物を撮像する撮像装置と、
前記テーブルと前記撮像装置とを相対移動する第３移動装置と、
を含む請求項３に記載のレーザー光照射装置。
【請求項５】
前記対象物は前記保持面の法線方向から見て矩形であり、
前記テーブルには前記対象物の角部に対応する位置に開口部が形成されており、
前記照明装置は、前記テーブルの前記保持面とは反対側に配置されており、
前記照明装置は、前記角部を前記テーブルの前記保持面とは反対側から前記開口部を介して照明する請求項３又は４に記載のレーザー光照射装置。
【請求項６】
前記第１移動装置は、前記レーザー光発振機が前記レーザー光を発振しているときに、前記照明装置を前記保持面の法線方向から見て前記開口部と重ならない位置に退避させる請求項５に記載のレーザー光照射装置。
【請求項７】
前記保持面は、第１保持面と、前記第１保持面に隣接して配置された第２保持面と、を有し、
前記照明装置は、前記第１保持面と前記第２保持面とが隣接する隣接方向に延在しており、
前記第１移動装置は、前記照明装置を前記隣接方向と直交する方向に移動させる請求項３から６までのいずれか一項に記載のレーザー光照射装置。
【請求項８】
前記照明装置は、第１照明装置と、前記隣接方向と直交する方向に前記第１照明装置と並んで配置された第２照明装置と、を含む請求項７に記載のレーザー光照射装置。
【請求項９】
前記スキャナーから射出されたレーザー光を前記保持面に向けて集光する集光レンズを含む請求項３から８までのいずれか一項に記載のレーザー光照射装置。
【請求項１０】
光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学部材貼合体の製造装置であって、
前記光学表示部品に当該光学表示部品の外側にはみ出るサイズのシート片を貼合することによりシート片貼合体を形成する貼合装置と、
前記シート片貼合体の前記光学表示部品と前記シート片との貼合面の端縁に沿って、前記シート片貼合体から前記貼合面の外側にはみ出た部分の前記シート片を切り離し、前記貼合面に対応する大きさの前記光学部材を形成する切断装置と、を含み、
前記切断装置は、請求項３から９までのいずれか一項に記載のレーザー光照射装置によって構成され、前記レーザー光照射装置から照射されたレーザー光によって対象物である前記シート片が切断される光学部材貼合体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出装置、レーザー光照射装置及び光学部材貼合体の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ等の光学表示デバイスの生産システムにおいて、液晶パネル（光学表示部品）に貼合する偏光板等の光学部材は、長尺フィルムから液晶パネルの表示領域に合わせたサイズのシート片に切り出された後、液晶パネルに貼合されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５５１３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光学部材を液晶パネルに貼合する場合には、照明装置とカメラを用いて液晶パネルの四隅の位置を検出し、液晶パネルと光学部材とをアライメントする。テレビ用の液晶パネルは、サイズが規格によって決まっているため、照明装置やカメラもそのサイズに合わせて、決められた位置に固定されている。しかしながら、最近では、スマートフォンやタブレット端末の普及に伴って、サイズや形状の異なる種々の液晶パネルが生産されるようになっており、それらの液晶パネルを同一ラインで生産したいという要求が高まっている。その場合、照明装置やカメラを液晶パネルのサイズごとに交換する必要が生じ、生産性の低下につながるという問題があった。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、対象物のサイズが変わっても対象物を明るく照らすことができるとともに、生産性の低下を抑制することが可能な検出装置、レーザー光照射装置及び光学部材貼合体の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を採用した。
（１）すなわち、本発明の第一の態様に係る検出装置は、対象物を保持するテーブルと、前記対象物を照明する照明装置と、前記テーブルと前記照明装置とを相対移動する移動装置と、を含むことを特徴とする。
【０００７】
（２）上記（１）に記載の検出装置では、前記対象物を撮像する撮像装置と、前記テーブルと前記撮像装置とを相対移動する第２移動装置と、を含んでいてもよい。
【０００８】
（３）本発明の第一の態様に係るレーザー光照射装置は、対象物を保持する保持面を有するテーブルと、レーザー光を発振するレーザー光発振機と、前記保持面と平行な平面内で前記レーザー光を２軸走査するスキャナーと、前記対象物を照明する照明装置と、前記テーブルと前記照明装置とを相対移動する第１移動装置と、前記テーブルと前記スキャナーとを相対移動する第２移動装置と、を含んでいてもよい。
【０００９】
（４）上記（３）に記載のレーザー光照射装置では、前記対象物を撮像する撮像装置と、前記テーブルと前記撮像装置とを相対移動する第３移動装置と、を含んでいてもよい。
【００１０】
（５）上記（３）又は（４）に記載のレーザー光照射装置では、前記対象物は前記保持面の法線方向から見て矩形であり、前記テーブルには前記対象物の角部に対応する位置に開口部が形成されており、前記照明装置は、前記テーブルの前記保持面とは反対側に配置されており、前記照明装置は、前記角部を前記テーブルの前記保持面とは反対側から前記開口部を介して照明してもよい。
【００１１】
（６）上記（５）に記載のレーザー光照射装置では、前記第１移動装置は、前記レーザー光発振機が前記レーザー光を発振しているときに、前記照明装置を前記保持面の法線方向から見て前記開口部と重ならない位置に退避させてもよい。
【００１２】
（７）上記（３）から（６）までのいずれか一項に記載のレーザー光照射装置では、前記保持面は、第１保持面と、前記第１保持面に隣接して配置された第２保持面と、を有し、前記照明装置は、前記第１保持面と前記第２保持面とが隣接する隣接方向に延在しており、前記第１移動装置は、前記照明装置を前記隣接方向と直交する方向に移動させてもよい。
【００１３】
（８）上記（７）に記載のレーザー光照射装置では、前記照明装置は、第１照明装置と、前記隣接方向と直交する方向に前記第１照明装置と並んで配置された第２照明装置と、を含んでいてもよい。
【００１４】
（９）上記（３）から（８）までのいずれか一項に記載のレーザー光照射装置では、前記スキャナーから射出されたレーザー光を前記保持面に向けて集光する集光レンズを含んでいてもよい。
【００１５】
（１０）本発明の第一の態様に係る光学部材貼合体の製造装置は、光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学部材貼合体の製造装置であって、前記光学表示部品に当該光学表示部品の外側にはみ出るサイズのシート片を貼合することによりシート片貼合体を形成する貼合装置と、前記シート片貼合体の前記光学表示部品と前記シート片との貼合面の端縁に沿って、前記シート片貼合体から前記貼合面の外側にはみ出た部分の前記シート片を切り離し、前記貼合面に対応する大きさの前記光学部材を形成する切断装置と、を含み、前記切断装置は、上記（３）から（９）までのいずれか一項に記載のレーザー光照射装置によって構成され、前記レーザー光照射装置から照射されたレーザー光によって対象物である前記シート片が切断されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、対象物のサイズが変わっても対象物を明るく照らすことができるとともに、生産性の低下を抑制することが可能な検出装置、レーザー光照射装置及び光学部材貼合体の製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係るレーザー光照射装置を示す平面図である。
【図２】レーザー光照射装置とコンベアとの配置関係を示す平面図である。
【図３】レーザー光照射装置を示す斜視図である。
【図４】テーブルを示す平面図である。
【図５】照明装置及び第１移動装置を示す平面図である。
【図６】照明装置の照明位置及び撮像装置の撮像位置を示す平面図である。
【図７】照明装置及び撮像装置の退避位置を示す平面図である。
【図８】対象物のサイズが大きい場合の照明装置の照明位置及び撮像装置の撮像位置を示す平面図である。
【図９】対象物のサイズが大きい場合の照明装置及び撮像装置の退避位置を示す平面図である。
【図１０】本実施形態に係るテーブルの第１変形例を示す平面図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る光学部材貼合体の製造装置を示す模式図である。
【図１２】液晶パネルの平面図である。
【図１３】図１２のＡ−Ａ断面図である。
【図１４】光学シートの断面図である。
【図１５】切断装置の動作を示す図である。
【図１６】液晶パネルに対するシート片の貼合位置の決定方法の一例を示す図である。
【図１７】レーザー光が所望の軌跡を描くための制御方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００１９】
尚、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。また、以下の説明及び図面中、同一又は相当する要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２０】
（レーザー光照射装置）
図１は、対象物の切断装置として用いられるレーザー光照射装置１００の一例を示す平面図である。
【００２１】
以下の説明においては、必要に応じてＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。本実施形態においては、対象物を保持する保持面に平行な方向をＸ方向としており、保持面の面内において第１の方向（Ｘ方向）に直交する方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向としている。
【００２２】
図１に示すように、レーザー光照射装置１００は、テーブル１０１と、レーザー光発振機１０２と、スキャナー１０５と、照明装置１０３と、撮像装置１０９と、第１移動装置１０４と、第２移動装置１０６（図２参照）と、第３移動装置１９０と、これらの装置を統括制御する制御装置１０７（図３参照）と、を備えている。
【００２３】
テーブル１０１は、Ｙ方向に並んで複数（例えば、本実施形態では３つ）配置されている。テーブル１０１は、対象物１１０を保持する保持面１０１ｓを有する。テーブル１０１は、保持面１０１ｓの法線方向から見て矩形である。保持面１０１ｓは、第１の方向（Ｘ方向）に長手を有する長方形の第１保持面１０１ｓ１と、第１保持面１０１ｓ１に隣接して配置され且つ第１保持面１０１ｓ１と同一形状の第２保持面１０１ｓ２と、を有する。
【００２４】
対象物１１０は保持面１０１ｓの法線方向から見て矩形であり、テーブル１０１には対象物１１０の角部に対応する位置に開口部１１３が形成されている。第１保持面１０１ｓ１及び第２保持面１０１ｓ２の各々には、対象物１１０の４つの角部に対応する位置に開口部１１３が形成されており、開口部１１３が４つずつ配置されている。尚、Ｙ方向に並んで配置された３つのテーブル１０１のうち中央の１つのテーブル１０１においては、便宜上、開口部１１３の図示を省略し、テーブル１０１の上方の撮像装置１０９、第３移動装置１９０の図示についても省略している。
【００２５】
レーザー光発振機１０２は、レーザー光Ｌを発振する部材である。例えば、レーザー光発振機１０２としては、ＣＯ２レーザー光発振機（二酸化炭素レーザー光発振機）、ＵＶレーザー光発振機、半導体レーザー光発振機、ＹＡＧレーザー光発振機、エキシマレーザー光発振機等の発振機を用いることができるが、具体的な構成は特に限定されるものではない。前記例示の発振機の中でもＣＯ２レーザー光発振機は、例えば偏光フィルム等の光学部材の切断加工に好適な高出力でレーザー光を発振することができるので、より好ましい。
【００２６】
図２は、レーザー光照射装置１００とコンベア（第１コンベア１１５、第２コンベア１１６）との配置関係を示す平面図である。図２においては、便宜上、テーブル１０１を破線で示し、第２移動装置１０６を実線で示している。
【００２７】
図２に示すように、複数のテーブル１０１の配列方向に沿って第１コンベア１１５及び第２コンベア１１６が設けられている。第１コンベア１１５及び第２コンベア１１６は、複数のテーブル１０１を挟んで対向して配置されている。
【００２８】
第１コンベア１１５は、対象物１１０を−Ｙ方向側から＋Ｙ方向側に向けて、あるいは、＋Ｙ方向側から−Ｙ方向側に向けて搬送する。第１コンベア１１５によって搬送された対象物１１０は、不図示の受け渡し機構により保持面１０１ｓに配置される。
【００２９】
保持面１０１ｓにて所定の処理がなされた対象物１１０は、不図示の受け渡し機構により第２コンベア１１６に配置される。第２コンベア１１６は、不図示の受け渡し機構により受け渡された対象物１１０を、−Ｙ方向側から＋Ｙ方向側に向けて、あるいは、＋Ｙ方向側から−Ｙ方向側に向けて搬送する。第２コンベア１１６によって搬送された対象物１１０は、次工程に導出される。
【００３０】
図３は、レーザー光照射装置１００を示す斜視図である。尚、図３においては、便宜上、複数の撮像装置１０９のうち１つの撮像装置１０９を図示している。
【００３１】
図３に示すように、スキャナー１０５は、レーザー光を保持面１０１ｓと平行な平面内（ＸＹ平面内）で２軸走査する。すなわち、スキャナー１０５は、テーブル１０１に対してレーザー光をＸ方向とＹ方向に独立に相対移動させる。これにより、テーブル１０１に保持された対象物１１０の任意の位置に精度よくレーザー光を照射することが可能となっている。
【００３２】
スキャナー１０５は、第１照射位置調整装置１５１と、第２照射位置調整装置１５４と、を備えている。
【００３３】
第１照射位置調整装置１５１及び第２照射位置調整装置１５４は、レーザー光発振機１０２から射出されたレーザー光を保持面１０１ｓと平行な平面内で２軸走査する走査素子を構成している。第１照射位置調整装置１５１及び第２照射位置調整装置１５４としては、例えば、ガルバノスキャナーを用いる。尚、走査素子としては、ガルバノスキャナーに限らず、ジンバルを用いることもできる。
【００３４】
第１照射位置調整装置１５１は、ミラー１５２と、ミラー１５２の設置角度を調整するアクチュエータ１５３と、を備えている。アクチュエータ１５３は、Ｚ方向に平行な回転軸を有する。アクチュエータ１５３は、制御装置１０７の制御に基づいて、ミラー１５２をＺ軸回りに回転させる。
【００３５】
第２照射位置調整装置１５４は、ミラー１５５と、ミラー１５５の設置角度を調整するアクチュエータ１５６と、を備えている。アクチュエータ１５６は、Ｙ方向に平行な回転軸を有する。アクチュエータ１５６は、制御装置１０７の制御に基づいて、ミラー１５５をＹ軸回りに回転させる。
【００３６】
スキャナー１０５とテーブル１０１との間の光路上には、スキャナー１０５を経由したレーザー光を保持面１０１ｓに向けて集光する集光レンズ１０８が配置されている。
【００３７】
例えば、集光レンズ１０８としては、ｆθレンズを用いる。これにより、ミラー１５５から集光レンズ１０８に平行に射出されたレーザー光を対象物１１０に平行に集光させることができる。
【００３８】
尚、スキャナー１０５とテーブル１０１との間の光路上に、集光レンズ１０８が配置されていない構成であってもよい。
【００３９】
レーザー光発振機１０２から発振されたレーザー光Ｌは、ミラー１５２、ミラー１５５、集光レンズ１０８を経由してテーブル１０１に保持された対象物１１０に照射される。第１照射位置調整装置１５１、第２照射位置調整装置１５４は、制御装置１０７の制御に基づいて、レーザー光発振機１０２からテーブル１０１に保持された対象物１１０に向けて照射されるレーザー光の照射位置を調整する。
【００４０】
スキャナー１０５の制御によるレーザー光の加工領域１０５ｓ（以下、スキャン領域と称する）は、保持面１０１ｓの法線方向から見て矩形である。本実施形態では、スキャン領域１０５ｓの面積は、第１保持面１０１ｓ１及び第２保持面１０１ｓ２の各々の面積よりも小さい。
【００４１】
図１に示すように、照明装置１０３は、テーブル１０１の保持面１０１ｓとは反対側に配置されている。照明装置１０３は、第１保持面１０１ｓ１と第２保持面１０１ｓ２とが隣接する隣接方向（Ｙ方向）に延在している。照明装置１０３は、対象物１１０の角部をテーブル１０１の保持面１０１ｓとは反対側から開口部１１３を介して照明する。
【００４２】
撮像装置１０９は、テーブル１０１の保持面１０１ｓの上方に配置されている。撮像装置１０９は、複数（例えば、本実施形態では、第１保持面１０１ｓ１又は第２保持面１０１ｓ２の一面当たり４つ）配置されている。撮像装置１０９は、第１保持面１０１ｓ１及び第２保持面１０１ｓ２の各々において、各開口部１１３に対応する位置に配置されている。撮像装置１０９は、対象物１１０の角部の画像を撮像する。
【００４３】
第１移動装置１０４は、テーブル１０１と照明装置１０３とを相対移動させる。第１移動装置１０４は、照明装置１０３を第１保持面１０１ｓ１及び第２保持面１０１ｓ２の隣接方向と直交する方向（Ｘ方向）に移動させる第１スライダ機構１４１と、第２スライダ機構１４４と、を有する。第１移動装置１０４は、第１スライダ機構１４１及び第２スライダ機構１４４の各々が内蔵するモーターを作動させて照明装置１０３をＸ方向へ移動させる。
【００４４】
図３に示すように、第２移動装置１０６は、テーブル１０１とスキャナー１０５とを相対移動させる。第２移動装置１０６は、テーブル１０１を保持面１０１ｓに平行な第１の方向（Ｘ方向）に移動させる第１スライダ機構１６１と、第１スライダ機構１６１を保持面１０１ｓに平行かつ第１の方向と直交する第２の方向（Ｙ方向）に移動させる第２スライダ機構１６２と、を有する。第２移動装置１０６は、第１スライダ機構１６１及び第２スライダ機構１６２の各々が内蔵するリニアモーターを作動させてテーブル１０１を、ＸＹの各方向へ移動させる。
【００４５】
スライダ機構内においてパルス駆動されるリニアモーターは、当該リニアモーターに供給されるパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができる。従って、スライダ機構に支持されたテーブル１０１のＸＹの各方向上の位置を高精度に制御できる。尚、テーブル１０１の位置制御はパルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法によって実現することもできる。
【００４６】
第３移動装置１９０は、テーブル１０１と撮像装置１０９とを相対移動させる。第３移動装置１９０は、撮像装置１０９を、保持面１０１ｓに平行な第１の方向（Ｘ方向）、保持面１０１ｓに平行かつ第１の方向と直交する第２の方向（Ｙ方向）の各方向へ移動させる。第３移動装置１９０にはモーターが内蔵されており、このモーターを作動させることにより、撮像装置１０９をＸ方向へ移動させる。
【００４７】
制御装置１０７は、レーザー光発振機１０２を制御するレーザー制御部１７１と、スキャナー１０５を制御するスキャナー制御部１７２と、第１移動装置１０４、第２移動装置１０６及び第３移動装置１９０を制御する移動制御部１７３と、を有する。
【００４８】
具体的には、レーザー制御部１７１は、レーザー光発振機１０２のＯＮ／ＯＦＦ、レーザー光発振機１０２から発振されるレーザー光の出力の制御を行う。
スキャナー制御部１７２は、第１照射位置調整装置１５１のアクチュエータ１５３の駆動、第２照射位置調整装置１５４のアクチュエータ１５６の駆動の各々の制御を行う。
移動制御部１７３は、第１スライダ機構１４１及び第２スライダ機構１４４の各々が内蔵するモーターの作動、第１スライダ機構１６１及び第２スライダ機構１６２の各々が内蔵するリニアモーターの作動、第３移動装置１９０が内蔵するモーターの作動の各々の制御を行う。
【００４９】
制御装置１０７は、レーザー光照射装置１００の各部の動作状況を示す液晶表示ディスプレイ等の表示装置を含んでいてもよいし、表示装置と接続されていてもよい。
【００５０】
初期設定が完了すると、制御装置１０７の移動制御部１７３の制御に基づいて、スライダ機構１４１，１４４（図１参照）に設けられたモーター及び第３移動装置１９０に設けられたモーターが作動する。これにより、照明装置１０３及び撮像装置１０９の双方を、保持面１０１ｓの法線方向から見て開口部１１３（図１参照）と重なる位置に移動させる。そのため、対象物１１０のサイズに適合した位置に照明装置１０３及び撮像装置１０９の双方が配置される。
【００５１】
次に、制御装置１０７の移動制御部１７３の制御に基づいて、スライダ機構１４１，１４４（図１参照）に設けられたモーター及び第３移動装置１９０に設けられたモーターが作動する。これにより、照明装置１０３及び撮像装置１０９の双方を、保持面１０１ｓの法線方向から見て開口部１１３（図１参照）と重ならない位置に退避させる。
【００５２】
その後、制御装置１０７のレーザー制御部１７１の制御に基づいて、レーザー光発振機１０２からレーザー光が発振される。この際、制御装置１０７のスキャナー制御部１７２の制御に基づいて、スキャナー１０５を構成するミラーの回転駆動が開始される。これと同時に、制御装置１０７の移動制御部１７３の制御に基づいて、スライダ機構１６１，１６２に設けられたモーターなどの駆動軸の回転数がロータリーエンコーダなどのセンサーにより検出される。
【００５３】
制御装置１０７は、各々の座標値をリアルタイムで補正して加工データと一致する座標にレーザー光が射出されるように、即ち、レーザー光が対象物１１０（図１参照）において所望の軌跡を描くように、第２移動装置１０６とスキャナー１０５とを制御する。例えば、レーザー光の走査を主として第２移動装置１０６によって行い、第２移動装置１０６で精度よくレーザー光の照射位置を制御できない領域をスキャナー１０５で調整する。
【００５４】
図４は、テーブル１０１を示す平面図である。
図４に示すように、テーブル１０１は、対象物１１０を吸着して保持するプレート１１２と、プレート１１２を保持する基台１１１と、を有する。
【００５５】
プレート１１２は平面視矩形であり、プレート１１２のサイズは保持面１０１ｓのサイズと同じである。プレート１１２は、基台１１１に着脱可能に固定されている。プレート１１２は、対象物１１０を吸着する吸着面１１２ｓを有する。プレート１１２には、複数（例えば、本実施形態では２つ）の対象物１１０が吸着保持されている。例えば、プレート１１２の形成材料は、アルミニウム（Ａｌ）、鉄（Ｆｅ）、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属を用いることができる。
【００５６】
プレート１１２には、吸着面１１２ｓの外周縁に沿って、矩形枠状のガイド溝１１７が形成されている。ガイド溝１１７は、レーザー光発振機１０２から発振されたレーザー光を受ける凹部である。ガイド溝１１７の外周縁は、対象物１１０の外周縁よりも大きい。対象物１１０の外周縁は、吸着面１１２ｓの外周縁とガイド溝１１７の外周縁との間に配置される。レーザー光がガイド溝１１７に照射されることにより、レーザー光が保持面１０１ｓで乱反射することを抑制できる。
【００５７】
第１保持面１０１ｓ１には、対象物１１０の４つの角部に対応する位置に４つの開口部１１３（第１開口部１１３ａ、第２開口部１１３ｂ、第３開口部１１３ｃ、第４開口部１１３ｄ）が形成されている。第１開口部１１３ａは、対象物１１０の右上の角部に配置されている。第２開口部１１３ｂは、対象物１１０の左上の角部に配置されている。第３開口部１１３ｃは、対象物１１０の左下の角部に配置されている。第４開口部１１３ｄは、対象物１１０の右下の角部に配置されている。
【００５８】
第１開口部１１３ａの＋Ｙ方向側の端縁と第２開口部１１３ｂの−Ｙ方向側の端縁との間の距離Ｗａ１（以下、第１開口部１１３ａ及び第２開口部１１３ｂの最外幅と称する）は、第３開口部１１３ｃの−Ｙ方向側の端縁と第４開口部１１３ｄの＋Ｙ方向側の端縁との間の距離Ｗａ２（以下、第３開口部１１３ｃ及び第４開口部１１３ｄの最外幅と称する）と概ね等しい。
【００５９】
第２保持面１０１ｓ２には、対象物１１０の４つの角部に対応する位置に４つの開口部１１３（第５開口部１１３ｅ、第６開口部１１３ｆ、第７開口部１１３ｇ、第８開口部１１３ｈ）が形成されている。第５開口部１１３ｅは、対象物１１０の右上の角部に配置されている。第６開口部１１３ｆは、対象物１１０の左上の角部に配置されている。第７開口部１１３ｇは、対象物１１０の左下の角部に配置されている。第８開口部１１３ｈは、対象物１１０の右下の角部に配置されている。
【００６０】
第５開口部１１３ｅの＋Ｙ方向側の端縁と第６開口部１１３ｆの−Ｙ方向側の端縁との間の距離Ｗａ３（以下、第５開口部１１３ｅ及び第６開口部１１３ｆの最外幅と称する）は、第７開口部１１３ｇの−Ｙ方向側の端縁と第８開口部１１３ｈの＋Ｙ方向側の端縁との間の距離Ｗａ４（以下、第７開口部１１３ｇ及び第８開口部１１３ｈの最外幅と称する）と概ね等しい。
【００６１】
吸着面１１２ｓは、第１保持面１０１ｓ１の中央部に形成された第１吸着面１１２ｓ１と、第２保持面１０１ｓ２の中央部に形成された第２吸着面１１２ｓ２と、を有する。第１吸着面１１２ｓ１及び第２吸着面１１２ｓ２の各々には、複数の吸着孔１１２ｈが形成されている。
【００６２】
プレート１１２の保持面１０１ｓとは反対側には、複数の吸着孔１１２ｈを介して対象物１１０を吸引する吸引孔１１４（図５参照）が形成されている。吸引孔１１４は、第１吸着面１１２ｓ１と第２吸着面１１２ｓ２との間に１つだけ配置されている。尚、吸引孔１１４の配置数は１つに限らず、複数であってもよい。
【００６３】
第１吸着面１１２ｓ１及び第２吸着面１１２ｓ２の各々は平面視矩形である。第１吸着面１１２ｓ１及び第２吸着面１１２ｓ２の各々のサイズは、対象物１１０のサイズよりも小さい。第１吸着面１１２ｓ１の４つの角部は、４つの開口部１１３（第１開口部１１３ａ、第２開口部１１３ｂ、第３開口部１１３ｃ、第４開口部１１３ｄ）に対応する位置に配置されている。第２吸着面１１２ｓ２の４つの角部は、４つの開口部１１３（第５開口部１１３ｅ、第６開口部１１３ｆ、第７開口部１１３ｇ、第８開口部１１３ｈ）に対応する位置に配置されている。
【００６４】
基台１１１は平面視矩形であり、基台１１１のサイズはプレート１１２のサイズよりも大きい。例えば、基台１１１の短手方向の長さ（Ｘ方向の長さ）は３５０ｍｍ程度であり、長手方向の長さ（Ｙ方向の長さ）は４５０ｍｍ程度である。基台１１１の内部には、照明装置１０３及び第１移動装置１０４が配置されている（図５参照）。照明装置１０３の配置構成は、サイズが４インチ〜１０インチの対象物を照明可能な構成となっている。
【００６５】
図５は、照明装置１０３及び第１移動装置１０４を示す平面図である。
図５に示すように、照明装置１０３は、第１照明装置１３１と、吸引孔１１４を挟んでＸ方向に第１照明装置１３１と並んで配置された第２照明装置１３５と、を有する。第１照明装置１３１及び第２照明装置１３５の各々は、Ｙ方向に延在している。
【００６６】
第１照明装置１３１は、第１光源１３２と、Ｙ方向に第１光源１３２と並んで配置された第２光源１３３と、第１光源１３２及び第２光源１３３を保持する保持部１３４と、を有する。
【００６７】
図４及び図５に示すように、第１光源１３２は、第１吸着面１１２ｓ１に吸着保持された対象物１１０の角部を、第１保持面１０１ｓ１とは反対側から第１開口部１１３ａ及び第２開口部１１３ｂを介して照明する。第１光源１３２の長手方向の長さＬａ１は、第１開口部１１３ａ及び第２開口部１１３ｂの最外幅Ｗａ１よりも大きい。尚、対象物１１０の角部を適度に照明する観点から、第１光源１３２の長手方向の長さＬａ１は、第１開口部１１３ａ及び第２開口部１１３ｂの最外幅Ｗａ１と概ね等しくてもよい。
【００６８】
第２光源１３３は、第２吸着面１１２ｓ２に吸着保持された対象物１１０の角部を、第２保持面１０１ｓ２とは反対側から第５開口部１１３ｅ及び第６開口部１１３ｆを介して照明する。第２光源１３３の長手方向の長さＬａ２は、第５開口部１１３ｅ及び第６開口部１１３ｆの最外幅Ｗａ３よりも大きい。尚、対象物１１０の角部を適度に照明する観点から、第２光源１３３の長手方向の長さＬａ２は、第５開口部１１３ｅ及び第６開口部１１３ｆの最外幅Ｗａ３と概ね等しくてもよい。
【００６９】
図５に示すように、第２照明装置１３５は、第３光源１３６と、Ｙ方向に第３光源１３６と並んで配置された第４光源１３７と、第３光源１３６及び第４光源１３７を保持する保持部１３８と、を有する。
【００７０】
図４及び図５に示すように、第３光源１３６は、第１吸着面１１２ｓ１に吸着保持された対象物１１０の角部を、第１保持面１０１ｓ１とは反対側から第３開口部１１３ｃ及び第４開口部１１３ｄを介して照明する。第３光源１３６の長手方向の長さＬｂ１は、第３開口部１１３ｃ及び第４開口部１１３ｄの最外幅Ｗａ２よりも大きい。尚、対象物１１０の角部を適度に照明する観点から、第３光源１３６の長手方向の長さＬｂ１は、第３開口部１１３ｃ及び第４開口部１１３ｄの最外幅Ｗａ２と概ね等しくてもよい。
【００７１】
第４光源１３７は、第２吸着面１１２ｓ２に吸着保持された対象物１１０の角部を、第２保持面１０１ｓ２とは反対側から第７開口部１１３ｇ及び第８開口部１１３ｈを介して照明する。第４光源１３７の長手方向の長さＬｂ２は、第７開口部１１３ｇ及び第８開口部１１３ｈの最外幅Ｗａ４よりも大きい。尚、対象物１１０の角部を適度に照明する観点から、第４光源１３７の長手方向の長さＬｂ２は、第７開口部１１３ｇ及び第８開口部１１３ｈの最外幅Ｗａ４と概ね等しくてもよい。
【００７２】
図５に示すように、第１移動装置１０４は、第１スライダ機構１４１と、吸引孔１１４を挟んでＹ方向に第１スライダ機構１４１と並んで配置された第２スライダ機構１４４と、を有する。
【００７３】
第１スライダ機構１４１は、第１保持面１０１ｓ１とは反対側に配置されている。第１スライダ機構１４１は、第１ガイドレール１４２と、Ｙ方向に第１ガイドレール１４２と並んで配置された第１リニアモーター１４３と、を有する。
【００７４】
第１ガイドレール１４２は、基台１１１の１辺（＋Ｙ方向側の辺１１１ａ）に沿って延在している。例えば、第１ガイドレール１４２の長さは、２７０ｍｍである。
【００７５】
第１ガイドレール１４２は、保持部１３４及び保持部１３８の＋Ｙ方向側の端部と一部重なる位置に配置されている。第１ガイドレール１４２は、保持部１３４及び保持部１３８がＸ方向へ移動するよう案内する。
【００７６】
第１リニアモーター１４３は、第１ガイドレール１４２と平行な方向に延在している。第１リニアモーター１４３の長さは、第１ガイドレール１４２の長さよりも短い。例えば、第１リニアモーター１４３の長さは、７２ｍｍ（Ｓｔｒｏｋｅ）である。
【００７７】
第１リニアモーター１４３は、保持部１３８に保持された第３光源１３６の−Ｙ方向側の端部と一部重なる位置に配置されている。第１リニアモーター１４３により、保持部１３８をＸ方向に移動させる。
【００７８】
第２スライダ機構１４４は、第２保持面１０１ｓ２とは反対側に配置されている。第２スライダ機構１４４は、第２ガイドレール１４５と、Ｙ方向に第２ガイドレール１４５と並んで配置された第２リニアモーター１４６と、を有する。
【００７９】
第２ガイドレール１４５は、基台１１１の１辺（−Ｙ方向側の辺１１１ｂ）に沿って延在している。第２ガイドレール１４５の長さは、第１ガイドレール１４２の長さと概ね等しい。
【００８０】
第２ガイドレール１４５は、保持部１３４及び保持部１３８の−Ｙ方向側の端部と一部重なる位置に配置されている。第２ガイドレール１４５は、保持部１３４及び保持部１３８がＸ方向へ移動するよう案内する。
【００８１】
第２リニアモーター１４６は、第２ガイドレール１４５と平行な方向に延在している。第２リニアモーター１４６の長さは、第１リニアモーター１４３の長さと概ね等しい。
【００８２】
第２リニアモーター１４６は、保持部１３４に保持された第２光源１３３の＋Ｙ方向側の端部と一部重なる位置に配置されている。第２リニアモーター１４６により、保持部１３４をＸ方向に移動させる。
【００８３】
例えば、第１リニアモーター１４３及び第２リニアモーター１４６を同期して作動させることにより、保持部１３４及び保持部１３８をＸ方向に同期して移動させることができる。本実施形態では、第１照明装置１３１の退避移動（−Ｘ方向への移動）と第２照明装置１３５の退避移動（＋Ｘ方向への移動）とが同期して行われる。
【００８４】
以下、第１移動装置１０４及び第３移動装置１９０の作用について、図６〜図９を用いて説明する。
【００８５】
図６は、対象物１１０を照明するときの照明装置１０３の配置位置（以下、照明装置１０３の照明位置と称する）及び対象物１１０を撮像するときの撮像装置１０９の配置位置（以下、撮像装置１０９の撮像位置と称する）を示す平面図である。
図６においては、照明装置１０３の照明位置及び撮像装置１０９の撮像位置を、開口部１１３ａ〜１１３ｈに対する照明装置１０３及び撮像装置１０９の配置関係について説明する。また、便宜上、第１移動装置１０４、第３移動装置１９０、吸引孔１１４等の図示を省略している。
【００８６】
図６に示すように、第１照明装置１３１は、第１開口部１１３ａ、第２開口部１１３ｂ、第５開口部１１３ｅ及び第６開口部１１３ｆと一部重なる位置に配置される。第１照明装置１３１は、各対象物１１０の−Ｘ方向側の角部を第１開口部１１３ａ、第２開口部１１３ｂ、第５開口部１１３ｅ及び第６開口部１１３ｆを介して照明する。
【００８７】
第２照明装置１３５は、第３開口部１１３ｃ、第４開口部１１３ｄ、第７開口部１１３ｇ及び第８開口部１１３ｈと一部重なる位置に配置される。第２照明装置１３５は、各対象物１１０の＋Ｘ方向側の角部を第３開口部１１３ｃ、第４開口部１１３ｄ、第７開口部１１３ｇ及び第８開口部１１３ｈを介して照明する。
【００８８】
撮像装置１０９は、第１開口部１１３ａ、第２開口部１１３ｂ、第３開口部１１３ｃ、第４開口部１１３ｄ、第５開口部１１３ｅ、第６開口部１１３ｆ、第７開口部１１３ｇ及び第８開口部１１３ｈと一部重なる位置に配置される。撮像装置１０９は、照明装置１０３により各対象物１１０の角部が照明された状態で、各対象物１１０の角部の画像を撮像する。
【００８９】
図７は、レーザー光発振機１０２がレーザー光を発振しているとき、即ち、対象物１１０を切断加工するときの照明装置１０３の配置位置（以下、照明装置１０３の退避位置と称する）及び撮像装置１０９の配置位置（以下、撮像装置１０９の退避位置と称する）を示す平面図である。
図７においては、照明装置１０３の退避位置及び撮像装置１０９の退避位置を、開口部１１３ａ〜１１３ｈに対する照明装置１０３及び撮像装置１０９の配置関係について説明する。また、便宜上、第１移動装置１０４、第３移動装置１９０、吸引孔１１４等の図示を省略している。
【００９０】
図７に示すように、第１照明装置１３１は、第１開口部１１３ａ、第２開口部１１３ｂ、第５開口部１１３ｅ及び第６開口部１１３ｆとは重ならない位置、即ち、第１開口部１１３ａ、第２開口部１１３ｂ、第５開口部１１３ｅ及び第６開口部１１３ｆの各々の−Ｘ方向側の端縁よりも−Ｘ方向側に配置される。この場合、第１照明装置１３１から射出された光は、プレート１１２（図４参照）及び基台１１１によって遮られる。尚、第１照明装置１３１を消灯してもよい。
【００９１】
第２照明装置１３５は、第３開口部１１３ｃ、第４開口部１１３ｄ、第７開口部１１３ｇ及び第８開口部１１３ｈとは重ならない位置、即ち、第３開口部１１３ｃ、第４開口部１１３ｄ、第７開口部１１３ｇ及び第８開口部１１３ｈの各々の＋Ｘ方向側の端縁よりも＋Ｘ方向側に配置される。この場合、第２照明装置１３５から射出された光は、プレート１１２（図４参照）及び基台１１１によって遮られる。尚、第２照明装置１３５を消灯してもよい。
【００９２】
撮像装置１０９は、第１開口部１１３ａ、第２開口部１１３ｂ、第３開口部１１３ｃ、第４開口部１１３ｄ、第５開口部１１３ｅ、第６開口部１１３ｆ、第７開口部１１３ｇ及び第８開口部１１３ｈとは重ならない位置に配置される。具体的には、８つの撮像装置１０９のうち−Ｘ方向側の４つの撮像装置１０９は、第１開口部１１３ａ、第２開口部１１３ｂ、第５開口部１１３ｅ及び第６開口部１１３ｆの各々の−Ｘ方向側の端縁よりも−Ｘ方向側に配置される。８つの撮像装置１０９のうち＋Ｘ方向側の４つの撮像装置１０９は、第３開口部１１３ｃ、第４開口部１１３ｄ、第７開口部１１３ｇ及び第８開口部１１３ｈの各々の＋Ｘ方向側の端縁よりも＋Ｘ方向側に配置される。
【００９３】
図８は、対象物２１０のサイズが対象物１１０のサイズよりも大きい場合、即ち、相対的に小さいサイズの対象物１１０を保持するプレート１１２を相対的に大きいサイズの対象物２１０を保持するプレートに交換したとき（プレート交換後）の照明装置１０３の照明位置及び撮像装置１０９の撮像位置を示す平面図である。
【００９４】
尚、本実施形態では、プレートの交換前後で、相対的に小さいサイズの対象物１１０を保持するプレート１１２を相対的に大きいサイズの対象物２１０を保持するプレートに交換したときを例に挙げて説明するが、これに限らない。例えば、プレートの交換前後で、相対的に大きいサイズの対象物を保持するプレートを相対的に小さいサイズの対象物を保持するプレートに交換したときにおいても本発明を適用可能である。
【００９５】
図８に示すように、対象物２１０を保持するプレートには、第１開口部２１３ａ、第２開口部２１３ｂ、第３開口部２１３ｃ、第４開口部２１３ｄ、第５開口部２１３ｅ、第６開口部２１３ｆ、第７開口部２１３ｇ及び第８開口部２１３ｈが形成されている。各開口部２１３ａ〜２１３ｈは、上述した第１開口部１１３ａ、第２開口部１１３ｂ、第３開口部１１３ｃ、第４開口部１１３ｄ、第５開口部１１３ｅ、第６開口部１１３ｆ、第７開口部１１３ｇ及び第８開口部１１３ｈの各々に相当する。ただし、各開口部２１３ａ〜２１３ｈのサイズ及び配置位置は対象物２１０のサイズに適合したものとなっている。
図８においては、照明装置１０３の照明位置及び撮像装置１０９の撮像位置を、開口部２１３ａ〜２１３ｈに対する照明装置１０３及び撮像装置１０９の配置関係について説明する。また、便宜上、第１移動装置１０４、第３移動装置１９０、吸引孔１１４等の図示を省略している。
【００９６】
図８に示すように、第１照明装置１３１は、第１開口部２１３ａ、第２開口部２１３ｂ、第５開口部２１３ｅ及び第６開口部２１３ｆと一部重なる位置に配置される。第１照明装置１３１は、各対象物２１０の−Ｘ方向側の角部を第１開口部２１３ａ、第２開口部２１３ｂ、第５開口部２１３ｅ及び第６開口部２１３ｆを介して照明する。
【００９７】
第２照明装置１３５は、第３開口部２１３ｃ、第４開口部２１３ｄ、第７開口部２１３ｇ及び第８開口部２１３ｈと一部重なる位置に配置される。第２照明装置１３５は、各対象物２１０の＋Ｘ方向側の角部を第３開口部２１３ｃ、第４開口部２１３ｄ、第７開口部２１３ｇ及び第８開口部２１３ｈを介して照明する。
【００９８】
撮像装置１０９は、第１開口部２１３ａ、第２開口部２１３ｂ、第３開口部２１３ｃ、第４開口部２１３ｄ、第５開口部２１３ｅ、第６開口部２１３ｆ、第７開口部２１３ｇ及び第８開口部２１３ｈと一部重なる位置に配置される。撮像装置１０９は、照明装置１０３により各対象物２１０の角部が照明された状態で、各対象物２１０の角部の画像を撮像する。
【００９９】
図６及び図８に示すように、第１照明装置１３１の＋Ｘ方向側の端縁と第２照明装置１３５の−Ｘ方向側の端縁との間の距離（以下、第１照明装置１３１及び第２照明装置１３５の間隔と称する）は、プレートの交換前後で異なる。具体的には、プレート交換後（相対的にサイズが大きい対象物２１０用のプレート設置時）の第１照明装置１３１及び第２照明装置１３５の間隔Ｈｂ１は、プレート交換前（相対的にサイズが小さい対象物１１０用のプレート１１２設置時）の第１照明装置１３１及び第２照明装置１３５の間隔Ｈａ１よりも大きい。
【０１００】
図９は、プレート交換後の照明装置１０３の退避位置及び撮像装置１０９の退避位置を示す平面図である。
図９においては、照明装置１０３の退避位置及び撮像装置１０９の退避位置を、開口部２１３ａ〜２１３ｈに対する照明装置１０３及び撮像装置１０９の配置関係について説明する。また、便宜上、第１移動装置１０４、第３移動装置１９０、吸引孔１１４等の図示を省略している。
【０１０１】
図９に示すように、第１照明装置１３１は、第１開口部２１３ａ、第２開口部２１３ｂ、第５開口部２１３ｅ及び第６開口部２１３ｆとは重ならない位置、即ち、第１開口部２１３ａ、第２開口部２１３ｂ、第５開口部２１３ｅ及び第６開口部２１３ｆの各々の−Ｘ方向側の端縁よりも−Ｘ方向側に配置される。この場合、第１照明装置１３１から射出された光は、プレート（図示略）及び基台１１１によって遮られる。尚、第１照明装置１３１を消灯してもよい。
【０１０２】
第２照明装置１３５は、第３開口部２１３ｃ、第４開口部２１３ｄ、第７開口部２１３ｇ及び第８開口部２１３ｈとは重ならない位置、即ち、第３開口部２１３ｃ、第４開口部２１３ｄ、第７開口部２１３ｇ及び第８開口部２１３ｈの各々の＋Ｘ方向側の端縁よりも＋Ｘ方向側に配置される。この場合、第２照明装置１３５から射出された光は、プレート（図示略）及び基台１１１によって遮られる。尚、第２照明装置１３５を消灯してもよい。
【０１０３】
撮像装置１０９は、第１開口部２１３ａ、第２開口部２１３ｂ、第３開口部２１３ｃ、第４開口部２１３ｄ、第５開口部２１３ｅ、第６開口部２１３ｆ、第７開口部２１３ｇ及び第８開口部２１３ｈとは重ならない位置に配置される。具体的には、８つの撮像装置１０９のうち−Ｘ方向側の４つの撮像装置１０９は、第１開口部２１３ａ、第２開口部２１３ｂ、第５開口部２１３ｅ及び第６開口部２１３ｆの各々の−Ｘ方向側の端縁よりも−Ｘ方向側に配置される。８つの撮像装置１０９のうち＋Ｘ方向側の４つの撮像装置１０９は、第３開口部２１３ｃ、第４開口部２１３ｄ、第７開口部２１３ｇ及び第８開口部２１３ｈの各々の＋Ｘ方向側の端縁よりも＋Ｘ方向側に配置される。
【０１０４】
図７及び図９に示すように、第１照明装置１３１及び第２照明装置１３５の間隔は、プレートの交換前後で概ね等しい。具体的には、プレート交換後の第１照明装置１３１及び第２照明装置１３５の間隔Ｈｂ２は、プレート交換前の第１照明装置１３１及び第２照明装置１３５の間隔Ｈａ２と概ね等しい。
【０１０５】
図６〜図９に示したように、第１移動装置１０４によって照明装置１０３をＸ方向に移動させることにより、プレートの交換前後で、対象物１１０，２１０のサイズ毎に適切な光量の光を照射することができる。さらに、プレートの交換前後で、対象物１１０，２１０のサイズに合わせて照明装置１０３を交換することを要せず、照明装置１０３を共用することができる。
【０１０６】
また、第３移動装置１９０によって撮像装置１０９をＸ方向に移動させることにより、プレートの交換前後で、対象物１１０，２１０のサイズ毎に適切な位置で対象物１１０，２１０を撮像することができる。さらに、プレートの交換前後で、対象物１１０，２１０のサイズに合わせて撮像装置１０９を交換することを要せず、撮像装置１０９を共用することができる。
【０１０７】
以上説明したように、本実施形態に係るレーザー光照射装置１００によれば、対象物１１０のサイズが変わっても対象物１１０を明るく照らすことができるとともに、生産性の低下を抑制することができる。
【０１０８】
また、対象物１１０のサイズが変わっても対象物１１０を適切な位置で撮像することができるとともに、生産性の低下を抑制することができる。
【０１０９】
また、第１移動装置１０４により、レーザー光発振機１０２がレーザー光を発振しているときに、照明装置１０３が開口部１１３と重ならない位置に退避されるため、レーザー光が照明装置１０３に照射されることを抑制することができる。従って、レーザー光の照射による照明装置１０３の損傷を回避することができる。
【０１１０】
また、照明装置１０３が第１保持面１０１ｓ１と第２保持面１０１ｓ２とが隣接する方向（Ｙ方向）に延在しており、第１移動装置１０４により照明装置１０３がＸ方向に移動されるため、第１保持面１０１ｓ１及び第２保持面１０１ｓ２の各々に保持される対象物１１０を広い範囲で効率良く照明することができる。従って、第１保持面１０１ｓ１及び第２保持面１０１ｓ２の各々に保持される対象物１１０のサイズが変わっても対象物１１０を容易に照らすことができる。
【０１１１】
また、照明装置１０３がＸ方向に互いに並んで配置された第１照明装置１３１と第２照明装置１３５とを有するため、保持面１０１ｓに保持される対象物１１０を広い範囲で効率良く照明することができる。従って、保持面１０１ｓに保持される対象物１１０のサイズが変わっても対象物１１０を容易に照らすことができる。
【０１１２】
また、集光レンズ１０８がスキャナー１０５とテーブル１０１との間の光路上に配置されているため、スキャナー１０５を経由したレーザー光を対象物１１０に平行に集光させることができる。従って、対象物１１０を精度良く切断することができる。
【０１１３】
また、本実施形態のレーザー光照射装置１００では、レーザー光の走査を主として第２移動装置１０６によって行い、第２移動装置１０６で精度よくレーザー光の照射位置を制御できない領域をスキャナー１０５で調整する。そのため、第２移動装置１０６のみ又はスキャナー１０５のみでレーザー光を走査する場合に比べてレーザー光の照射位置を広い範囲で精度よく制御することができる。
【０１１４】
尚、本実施形態では、一例として、テーブル１０１と、レーザー光発振機１０２と、スキャナー１０５と、照明装置１０３と、撮像装置１０９と、第１移動装置１０４と、第２移動装置１０６と、第３移動装置１９０と、を含むレーザー光照射装置１００を挙げて説明したがこれに限らない。例えば、レーザー光照射装置が撮像装置１０９と第３移動装置１９０とを含んでいない構成、即ち、テーブル１０１と、レーザー光発振機１０２と、スキャナー１０５と、照明装置１０３と、第１移動装置１０４と、第２移動装置１０６と、を含む構成であってもよい。
【０１１５】
また、本実施形態では、レーザー光照射装置を挙げて説明したがこれに限らない。例えば、対象物を保持するテーブルと、対象物を照明する照明装置と、対象物を撮像する撮像装置と、テーブルと照明装置とを相対移動する第１移動装置と、テーブルと撮像装置とを相対移動する第２移動装置と、を含む検出装置においても本発明を適用することができる。
また、検出装置が撮像装置と第２移動装置とを含んでいない構成、即ち、テーブルと、照明装置と、第１移動装置と、を含む構成であってもよい。
【０１１６】
（テーブルの第１変形例）
図１０は、本実施形態に係るテーブルの第１変形例を示す平面図である。
【０１１７】
上記実施形態では、図４に示したように、テーブル１０１が２つの対象物１１０を吸着して保持するプレート１１２を有する例を挙げて説明した。これに対し、本変形例に係るテーブル３０１は、図１０に示すように、１つの対象物３１０を吸着して保持するプレート３１２を有する。本変形例に係る対象物３１０のサイズは、上記実施形態に係る対象物１１０のサイズよりも大きい。
【０１１８】
対象物３１０を保持するプレート３１２には、吸着面３１２ｓの外周縁に沿って、矩形枠状のガイド溝３１７が形成されている。プレート３１２には、第１開口部３１３ａ、第２開口部３１３ｂ、第３開口部３１３ｃ及び第４開口部３１３ｄが形成されている。各開口部３１３ａ〜３１３ｄのサイズ及び配置位置は対象物３１０のサイズに適合したものとなっている。
【０１１９】
本変形例に係るテーブル３０１であっても、対象物３１０のサイズが変わっても対象物３１０を明るく照らすことができるとともに、生産性の低下を抑制することができる。
【０１２０】
（光学部材貼合体の製造装置）
以下、本発明の一実施形態に係る光学部材貼合体の製造装置であるフィルム貼合システム１について図面を参照して説明する。本実施形態に係るフィルム貼合システム１は、切断装置が上述したレーザー光照射装置１００によって構成されている。
【０１２１】
図１１は、本実施形態のフィルム貼合システム１の概略構成を示す図である。
フィルム貼合システム１は、例えば液晶パネルや有機ＥＬパネルといったパネル状の光学表示部品に、偏光フィルムや反射防止フィルム、光拡散フィルムといったフィルム状の光学部材を貼合するものである。
【０１２２】
以下の説明においては、必要に応じてＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。本実施形態においては、光学表示部品である液晶パネルの搬送方向をＸ方向としており、液晶パネルの面内においてＸ方向に直交する方向（液晶パネルの幅方向）をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向としている。
【０１２３】
図１１に示すように、本実施形態のフィルム貼合システム１は、液晶パネルＰの製造ラインの一工程として設けられている。フィルム貼合システム１の各部は、電子制御装置としての制御部４０により統括制御される。
【０１２４】
図１２は、液晶パネルＰをその液晶層Ｐ３の厚さ方向から見た平面図である。液晶パネルＰは、平面視で長方形状をなす第１基板Ｐ１と、第１基板Ｐ１に対向して配置される比較的小形の長方形状をなす第２基板Ｐ２と、第１基板Ｐ１と第２基板Ｐ２との間に封入された液晶層Ｐ３とを備える。液晶パネルＰは、平面視で第１基板Ｐ１の外形状に沿う長方形状をなし、平面視で液晶層Ｐ３の外周の内側に収まる領域を表示領域Ｐ４とする。
【０１２５】
図１３は図１２のＡ−Ａ断面図である。液晶パネルＰの表裏面には、長尺帯状の第１光学シートＦ１及び第２光学シートＦ２（図１１参照、以下、光学シートＦＸと総称することがある。）からそれぞれ切り出した第１光学部材Ｆ１１及び第２光学部材Ｆ１２（以下、光学部材Ｆ１Ｘと総称することがある。）が適宜貼合される。本実施形態では、液晶パネルＰのバックライト側及び表示面側の両面には、偏光フィルムとしての第１光学部材Ｆ１１及び第２光学部材Ｆ１２がそれぞれ貼合される。
【０１２６】
表示領域Ｐ４の外側には、液晶パネルＰの第１及び第２基板を接合するシール剤等を配置する所定幅の額縁部Ｇが設けられている。
【０１２７】
尚、第１光学部材Ｆ１１及び第２光学部材Ｆ１２は、後述する第１シート片Ｆ１ｍ及び第２シート片Ｆ２ｍ（以下、シート片ＦＸｍと総称することがある。）から、それぞれその貼合面の外側の余剰部分を切り離すことにより形成されたものである。貼合面については後述する。
【０１２８】
図１４は液晶パネルＰに貼合する光学シートＦＸの部分断面図である。光学シートＦＸは、フィルム状の光学部材本体Ｆ１ａと、光学部材本体Ｆ１ａの一方の面（図１４では上面）に設けられた粘着層Ｆ２ａと、粘着層Ｆ２ａを介して光学部材本体Ｆ１ａの一方の面に分離可能に積層されたセパレータＦ３ａと、光学部材本体Ｆ１ａの他方の面（図１４では下面）に積層された表面保護フィルムＦ４ａとを有する。光学部材本体Ｆ１ａは偏光板として機能し、液晶パネルＰの表示領域Ｐ４の全域とその周辺領域とにわたって貼合される。尚、図示都合上、図１４の各層のハッチングは略す。
【０１２９】
光学部材本体Ｆ１ａは、その一方の面に粘着層Ｆ２ａを残しつつセパレータＦ３ａを分離させた状態で、液晶パネルＰに粘着層Ｆ２ａを介して貼合される。以下、光学シートＦＸからセパレータＦ３ａを除いた部分を貼合シートＦ５という。
【０１３０】
セパレータＦ３ａは、粘着層Ｆ２ａから分離されるまでの間に粘着層Ｆ２ａ及び光学部材本体Ｆ１ａを保護する。表面保護フィルムＦ４ａは、光学部材本体Ｆ１ａと共に液晶パネルＰに貼合される。表面保護フィルムＦ４ａは、光学部材本体Ｆ１ａに対して液晶パネルＰと反対側に配置されて光学部材本体Ｆ１ａを保護する。表面保護フィルムＦ４ａは、所定のタイミングで光学部材本体Ｆ１ａから分離される。尚、光学シートＦＸが表面保護フィルムＦ４ａを含まない構成であったり、表面保護フィルムＦ４ａが光学部材本体Ｆ１ａから分離されない構成であったりしてもよい。
【０１３１】
光学部材本体Ｆ１ａは、シート状の偏光子Ｆ６と、偏光子Ｆ６の一方の面に接着剤等で接合される第１フィルムＦ７と、偏光子Ｆ６の他方の面に接着剤等で接合される第２フィルムＦ８とを有する。第１フィルムＦ７及び第２フィルムＦ８は、例えば偏光子Ｆ６を保護する保護フィルムである。
【０１３２】
尚、光学部材本体Ｆ１ａは、一層の光学層からなる単層構造でもよく、複数の光学層が互いに積層された積層構造でもよい。光学層は、偏光子Ｆ６の他に、位相差フィルムや輝度向上フィルム等でもよい。第１フィルムＦ７と第２フィルムＦ８の少なくとも一方は、液晶表示素子の最外面を保護するハードコート処理やアンチグレア処理を含む防眩などの効果が得られる表面処理が施されてもよい。光学部材本体Ｆ１ａは、第１フィルムＦ７と第２フィルムＦ８の少なくとも一方を含まなくてもよい。例えば第１フィルムＦ７を省略した場合、セパレータＦ３ａを光学部材本体Ｆ１ａの一方の面に粘着層Ｆ２ａを介して貼り合わせてもよい。
【０１３３】
次に、本実施形態のフィルム貼合システム１について、詳しく説明する。
図１１に示すように、本実施形態のフィルム貼合システム１は、図中右側の液晶パネルＰの搬送方向上流側（＋Ｘ方向側）から図中左側の液晶パネルＰの搬送方向下流側（−Ｘ方向側）に至り、液晶パネルＰを水平状態で搬送する駆動式のローラコンベア５を備えている。
【０１３４】
ローラコンベア５は、後述する反転装置１５を境に、上流側コンベア６と下流側コンベア７とに分かれる。上流側コンベア６では、液晶パネルＰは表示領域Ｐ４の短辺を搬送方向に沿うようにして搬送される。一方、下流側コンベア７では、液晶パネルＰは表示領域Ｐ４の長辺を搬送方向に沿うようにして搬送される。この液晶パネルＰの表裏面に対して、帯状の光学シートＦＸから所定長さに切り出した貼合シートＦ５のシート片ＦＸｍ（光学部材Ｆ１Ｘに相当）が貼合される。
【０１３５】
尚、上流側コンベア６は、後述する第１吸着装置１１では、下流側に独立したフリーローラコンベア２４を備えている。一方、下流側コンベア７は、後述する第２吸着装置２０では、下流側に独立したフリーローラコンベア２４を備えている。
【０１３６】
本実施形態のフィルム貼合システム１は、第１吸着装置１１、第１集塵装置１２、第１貼合装置１３、第１検出装置４１、第１切断装置３１、反転装置１５、第２集塵装置１６、第２貼合装置１７、第２検出装置４２、第２切断装置３２、及び制御部４０を備えている。
【０１３７】
第１吸着装置１１は、液晶パネルＰを吸着して上流側コンベア６に搬送すると共に液晶パネルＰのアライメント（位置決め）を行う。第１吸着装置１１は、パネル保持部１１ａと、アライメントカメラ１１ｂと、レールＲと、を有する。
【０１３８】
パネル保持部１１ａは、上流側コンベア６により下流側のストッパＳに当接した液晶パネルＰを上下方向及び水平方向に移動可能に保持すると共に液晶パネルＰのアライメントを行う。パネル保持部１１ａは、ストッパＳに当接した液晶パネルＰの上面を真空吸着によって吸着保持する。パネル保持部１１ａは、液晶パネルＰを吸着保持した状態でレールＲ上を移動して液晶パネルＰを搬送する。パネル保持部１１ａは、搬送が終わると吸着保持を解除して液晶パネルＰをフリーローラコンベア２４に受け渡す。
【０１３９】
アライメントカメラ１１ｂは、ストッパＳに当接した液晶パネルＰをパネル保持部１１ａが保持し、上昇した状態で液晶パネルＰのアライメントマークや先端形状等を撮像する。アライメントカメラ１１ｂによる撮像データは制御部４０に送信され、この撮像データに基づき、パネル保持部１１ａが作動して搬送先のフリーローラコンベア２４に対する液晶パネルＰのアライメントがなされる。つまり、液晶パネルＰは、フリーローラコンベア２４に対する搬送方向、搬送方向と直交する方向、及び液晶パネルＰの垂直軸回りの旋回方向でのズレ分を加味した状態でフリーローラコンベア２４に搬送される。
ここで、パネル保持部１１ａによりレールＲ上を搬送された液晶パネルＰは吸着パッド２６に吸着された状態でシート片ＦＸｍと共に先端部を挟圧ロール２３に挟持される。
【０１４０】
第１集塵装置１２は、第１貼合装置１３の貼合位置である挟圧ロール２３の、液晶パネルＰの搬送上流側に設けられている。第１集塵装置１２は、貼合位置に導入される前の液晶パネルＰの周辺の塵埃、特に下面側の塵埃を除去するため、静電気の除去及び集塵を行う。
【０１４１】
第１貼合装置１３は、第１吸着装置１１よりもパネル搬送下流側に設けられている。第１貼合装置１３は、貼合位置に導入された液晶パネルＰの下面に対して、所定サイズにカットした貼合シートＦ５（第１シート片Ｆ１ｍに相当）の貼合を行う。
【０１４２】
第１貼合装置１３は、搬送装置２２と、挟圧ロール２３とを備えている。
【０１４３】
搬送装置２２は、光学シートＦＸが巻回された原反ロールＲ１から光学シートＦＸを巻き出しつつ光学シートＦＸをその長手方向に沿って搬送する。搬送装置２２は、セパレータＦ３ａをキャリアとして貼合シートＦ５を搬送する。搬送装置２２は、ロール保持部２２ａと、複数のガイドローラ２２ｂと、切断装置２２ｃと、ナイフエッジ２２ｄと、巻き取り部２２ｅと、を有する。
【０１４４】
ロール保持部２２ａは、帯状の光学シートＦＸを巻回した原反ロールＲ１を保持すると共に光学シートＦＸをその長手方向に沿って繰り出す。
複数のガイドローラ２２ｂは、原反ロールＲ１から巻き出した光学シートＦＸを所定の搬送経路に沿って案内するべく光学シートＦＸを巻きかける。
切断装置２２ｃは、搬送経路上の光学シートＦＸにハーフカットを施す。
ナイフエッジ２２ｄは、ハーフカットを施した光学シートＦＸを鋭角に巻きかけてセパレータＦ３ａから貼合シートＦ５を分離させつつこの貼合シートＦ５を貼合位置に供給する。
巻き取り部２２ｅは、ナイフエッジ２２ｄを経て単独となったセパレータＦ３ａを巻き取るセパレータロールＲ２を保持する。
【０１４５】
搬送装置２２の始点に位置するロール保持部２２ａと搬送装置２２の終点に位置する巻き取り部２２ｅとは、例えば互いに同期して駆動する。これにより、ロール保持部２２ａが光学シートＦＸをその搬送方向へ繰り出しつつ、巻き取り部２２ｅがナイフエッジ２２ｄを経たセパレータＦ３ａを巻き取る。以下、搬送装置２２における光学シートＦＸ（セパレータＦ３ａ）の搬送方向上流側をシート搬送上流側、搬送方向下流側をシート搬送下流側という。
【０１４６】
各ガイドローラ２２ｂは、搬送中の光学シートＦＸの進行方向を搬送経路に沿って変化させると共に、複数のガイドローラ２２ｂの少なくとも一部が搬送中の光学シートＦＸのテンションを調整するべく可動する。
【０１４７】
尚、ロール保持部２２ａと切断装置２２ｃとの間には、図示しないダンサローラが配置されていてもよい。ダンサローラは、光学シートＦＸが切断装置２２ｃで切断される間に、ロール保持部２２ａから搬送される光学シートＦＸの繰り出し量を吸収する。
【０１４８】
図１５は、本実施形態の切断装置２２ｃの動作を示す図である。
図１５に示すように、切断装置２２ｃは、光学シートＦＸが所定長さ繰り出された際、光学シートＦＸの長手方向と直交する幅方向の全幅にわたって、光学シートＦＸの厚さ方向の一部を切断するハーフカットを行う。本実施形態の切断装置２２ｃは、光学シートＦＸに対してセパレータＦ３ａとは反対側から光学シートＦＸに向かって進退可能に設けられている。
【０１４９】
切断装置２２ｃは、光学シートＦＸの搬送中に働くテンションによって光学シートＦＸ（セパレータＦ３ａ）が破断しないように（所定の厚さがセパレータＦ３ａに残るように）、切断刃の進退位置を調整し、粘着層Ｆ２ａとセパレータＦ３ａとの界面の近傍までハーフカットを施す。尚、切断刃に代わるレーザー装置を用いてもよい。
【０１５０】
ハーフカット後の光学シートＦＸには、その厚さ方向で光学部材本体Ｆ１ａ及び表面保護フィルムＦ４ａが切断されることにより、光学シートＦＸの幅方向の全幅にわたる切込線Ｌ１，Ｌ２が形成される。切込線Ｌ１，Ｌ２は、帯状の光学シートＦＸの長手方向で複数並ぶように形成される。例えば同一サイズの液晶パネルＰを搬送する貼合工程の場合、複数の切込線Ｌ１，Ｌ２は光学シートＦＸの長手方向で等間隔に形成される。光学シートＦＸは、複数の切込線Ｌ１，Ｌ２によって長手方向で複数の区画に分けられる。光学シートＦＸにおける長手方向で隣り合う一対の切込線Ｌ１，Ｌ２に挟まれる区画は、それぞれ貼合シートＦ５における一つのシート片ＦＸｍとされる。シート片ＦＸｍは、液晶パネルＰの外側にはみ出るサイズの光学シートＦＸのシート片である。
【０１５１】
図１１に戻り、ナイフエッジ２２ｄは、上流側コンベア６の下方に配置されて光学シートＦＸの幅方向で少なくともその全幅にわたって延在する。ナイフエッジ２２ｄは、ハーフカット後の光学シートＦＸのセパレータＦ３ａ側に摺接するようにこれを巻きかける。
【０１５２】
ナイフエッジ２２ｄは、光学シートＦＸの幅方向（上流側コンベア６の幅方向）から見て伏せた姿勢に配置される第１面と、第１面の上方で光学シートＦＸの幅方向から見て第１面に対して鋭角に配置される第２面と、第１面及び第２面が交わる先端部とを有する。
【０１５３】
第１貼合装置１３において、ナイフエッジ２２ｄは、その先端部に第１光学シートＦ１を鋭角に巻きかける。第１光学シートＦ１は、ナイフエッジ２２ｄの先端部で鋭角に折り返す際、セパレータＦ３ａから貼合シートＦ５のシート片（第１シート片Ｆ１ｍ）を分離させる。ナイフエッジ２２ｄの先端部は、挟圧ロール２３のパネル搬送下流側に近接して配置される。ナイフエッジ２２ｄによりセパレータＦ３ａから分離した第１シート片Ｆ１ｍは、第１吸着装置１１に吸着された状態の液晶パネルＰの下面に重なりつつ、挟圧ロール２３の一対の貼合ローラ２３ａ間に導入される。第１シート片Ｆ１ｍは、液晶パネルＰの外側にはみ出るサイズの第１光学シートＦ１のシート片である。
【０１５４】
一方、ナイフエッジ２２ｄにより、貼合シートＦ５と分離されたセパレータＦ３ａは巻き取り部２２ｅに向かう。巻き取り部２２ｅは、貼合シートＦ５と分離されたセパレータＦ３ａを巻き取り、回収する。
【０１５５】
挟圧ロール２３は、搬送装置２２が第１光学シートＦ１から分離させた第１シート片Ｆ１ｍを上流側コンベア６により搬送される液晶パネルＰの下面に貼合する。
【０１５６】
挟圧ロール２３は、互いに軸方向を平行にして配置された一対の貼合ローラ２３ａ，２３ａを有する（上の貼合ローラ２３ａは上下する）。一対の貼合ローラ２３ａ，２３ａ間には所定の間隙が形成され、この間隙内が第１貼合装置１３の貼合位置となる。
【０１５７】
間隙内には、液晶パネルＰ及び第１シート片Ｆ１ｍが重なり合って導入される。これら液晶パネルＰ及び第１シート片Ｆ１ｍが、各貼合ローラ２３ａに挟圧されつつ上流側コンベア６のパネル搬送下流側に送り出される。本実施形態では、挟圧ロール２３により液晶パネルＰのバックライト側の面に第１シート片Ｆ１ｍが貼合されることにより、第１光学部材貼合体ＰＡ１が形成される。
【０１５８】
第１検出装置４１は、第１貼合装置１３よりもパネル搬送下流側に設けられている。第１検出装置４１は、液晶パネルＰと第１シート片Ｆ１ｍとの貼合面（以下、第１貼合面と称する）の端縁を検出する。第１検出装置４１によって検出された端縁のデータは、図示しない記憶部に記憶される。
【０１５９】
第１シート片Ｆ１ｍのカット位置は、第１貼合面の端縁の検出結果に基づいて調整される。制御部４０（図１１参照）は、記憶部に記憶された第１貼合面の端縁のデータを取得し、第１光学部材Ｆ１１が液晶パネルＰの外側（第１貼合面の外側）にはみ出さない大きさとなるように第１シート片Ｆ１ｍのカット位置を決定する。第１切断装置３１は、制御部４０によって決定されたカット位置において第１シート片Ｆ１ｍを切断する。
【０１６０】
第１切断装置３１は、第１検出装置４１よりもパネル搬送下流側に設けられている。第１切断装置３１は、端縁に沿ってレーザーカットを行うことにより、第１光学部材貼合体ＰＡ１から第１貼合面の外側にはみ出た部分の第１シート片Ｆ１ｍ（第１シート片Ｆ１ｍの余剰部分）を切り離し、第１貼合面に対応する大きさの光学部材（第１光学部材Ｆ１１）を形成する。ここで、第１切断装置３１は、特許請求の範囲に記載の切断装置に相当する。
【０１６１】
ここで、「第１貼合面に対応する大きさ」とは、第１基板Ｐ１の外形状の大きさを示す。ただし、表示領域Ｐ４の大きさ以上、液晶パネルＰの外形状の大きさ以下の領域で、かつ電気部品取り付け部等の機能部分を避けた領域を含む。
【０１６２】
第１切断装置３１により第１光学部材貼合体ＰＡ１から第１シート片Ｆ１ｍの余剰部分が切り離されることにより、液晶パネルＰのバックライト側の面に第１光学部材Ｆ１１が貼合されてなる第２光学部材貼合体ＰＡ２が形成される。第１シート片Ｆ１ｍから切り離された余剰部分は、図示略の剥離装置によって液晶パネルＰから剥離され回収される。
【０１６３】
反転装置１５は、液晶パネルＰの表示面側を上面にした第２光学部材貼合体ＰＡ２を表裏反転させて液晶パネルＰのバックライト側を上面にすると共に、第２貼合装置１７に対する液晶パネルＰのアライメントを行う。
【０１６４】
反転装置１５は、第１吸着装置１１のパネル保持部１１ａと同様のアライメント機能を有する。反転装置１５には、第１吸着装置１１のアライメントカメラ１１ｂと同様のアライメントカメラ１５ｃが設けられている。
【０１６５】
反転装置１５は、制御部４０に記憶された光学軸方向の検査データ及びアライメントカメラ１５ｃの撮像データに基づき、第２貼合装置１７に対する第２光学部材貼合体ＰＡ２の部品幅方向での位置決め及び回転方向での位置決めを行う。この状態で、第２光学部材貼合体ＰＡ２が第２貼合装置１７の貼合位置に導入される。
【０１６６】
第２吸着装置２０は、第１吸着装置１１と同様の構成を備えているため同一部分に同一符号を付して説明する。第２吸着装置２０は、第２光学部材貼合体ＰＡ２を吸着して下流側コンベア７に搬送すると共に第２光学部材貼合体ＰＡ２のアライメント（位置決め）を行う。第２吸着装置２０は、パネル保持部１１ａと、アライメントカメラ１１ｂと、レールＲと、を有する。
【０１６７】
パネル保持部１１ａは、下流側コンベア７により下流側のストッパＳに当接した第２光学部材貼合体ＰＡ２を上下方向及び水平方向に移動可能に保持すると共に第２光学部材貼合体ＰＡ２のアライメントを行う。パネル保持部１１ａは、ストッパＳに当接した第２光学部材貼合体ＰＡ２の上面を真空吸着によって吸着保持する。パネル保持部１１ａは、第２光学部材貼合体ＰＡ２を吸着保持した状態でレールＲ上を移動して第２光学部材貼合体ＰＡ２を搬送する。パネル保持部１１ａは、当該搬送が終わると前記吸着保持を解除して第２光学部材貼合体ＰＡ２をフリーローラコンベア２４に受け渡す。
【０１６８】
アライメントカメラ１１ｂは、ストッパＳに当接した第２光学部材貼合体ＰＡ２をパネル保持部１１ａが保持し、上昇した状態で第２光学部材貼合体ＰＡ２のアライメントマークや先端形状等を撮像する。アライメントカメラ１１ｂによる撮像データは制御部４０に送信され、この撮像データに基づき、パネル保持部１１ａが作動して搬送先のフリーローラコンベア２４に対する第２光学部材貼合体ＰＡ２のアライメントがなされる。つまり、第２光学部材貼合体ＰＡ２は、フリーローラコンベア２４に対する搬送方向、搬送方向と直交する方向、及び第２光学部材貼合体ＰＡ２の垂直軸回りの旋回方向でのズレ分を加味した状態でフリーローラコンベア２４に搬送される。
【０１６９】
第２集塵装置１６は、第２貼合装置１７の貼合位置である挟圧ロール２３の、液晶パネルＰの搬送方向上流側に配置されている。第２集塵装置１６は、貼合位置に導入される前の第２光学部材貼合体ＰＡ２の周辺の塵埃、特に下面側の塵埃を除去するため、静電気の除去及び集塵を行う。
【０１７０】
第２貼合装置１７は、第２集塵装置１６よりもパネル搬送下流側に設けられている。第２貼合装置１７は、貼合位置に導入された第２光学部材貼合体ＰＡ２の下面に対して、所定サイズにカットした貼合シートＦ５（第２シート片Ｆ２ｍに相当）の貼合を行う。第２貼合装置１７は、第１貼合装置１３と同様の搬送装置２２及び挟圧ロール２３を備えている。
【０１７１】
挟圧ロール２３の一対の貼合ローラ２３ａ間の間隙内（第２貼合装置１７の貼合位置）には、第２光学部材貼合体ＰＡ２及び第２シート片Ｆ２ｍが重なり合って導入される。第２シート片Ｆ２ｍは、液晶パネルＰの表示領域Ｐ４よりも大きいサイズの第２光学シートＦ２のシート片である。
【０１７２】
これら第２光学部材貼合体ＰＡ２及び第２シート片Ｆ２ｍが、各貼合ローラ２３ａに挟圧されつつ下流側コンベア７のパネル搬送下流側に送り出される。本実施形態では、挟圧ロール２３により液晶パネルＰの表示面側の面（第２光学部材貼合体ＰＡ２の第１光学部材Ｆ１１が貼合された面とは反対側の面）に第２シート片Ｆ２ｍが貼合されることにより、第３光学部材貼合体ＰＡ３が形成される。
【０１７３】
第２検出装置４２は、第２貼合装置１７よりもパネル搬送下流側に設けられている。第２検出装置４２は、液晶パネルＰと第２シート片Ｆ２ｍとの貼合面（以下、第２貼合面と称する）の端縁を検出する。第２検出装置４２によって検出された端縁のデータは、図示しない記憶部に記憶される。
【０１７４】
第２シート片Ｆ２ｍのカット位置は、第２貼合面の端縁の検出結果に基づいて調整される。制御部４０（図１１参照）は、記憶部に記憶された第２貼合面の端縁のデータを取得し、第２光学部材Ｆ１２が液晶パネルＰの外側（第２貼合面の外側）にはみ出さない大きさとなるように第２シート片Ｆ２ｍのカット位置を決定する。第２切断装置３２は、制御部４０によって決定されたカット位置において第２シート片Ｆ２ｍを切断する。
【０１７５】
第２切断装置３２は、第２検出装置４２よりもパネル搬送下流側に設けられている。第２切断装置３２は、第２貼合面の端縁に沿ってレーザーカットを行うことにより、第３光学部材貼合体ＰＡ３から第２貼合面の外側にはみ出た部分の第２シート片Ｆ２ｍ（第２シート片Ｆ２ｍの余剰部分）を切り離し、第２貼合面に対応する大きさの光学部材（第２光学部材Ｆ１２）を形成する。
【０１７６】
第２切断装置３２により第３光学部材貼合体ＰＡ３から第２シート片Ｆ２ｍの余剰部分が切り離されることにより、液晶パネルＰの表示面側の面に第２光学部材Ｆ１２が貼合され、かつ、液晶パネルＰのバックライト側の面に第１光学部材Ｆ１１が貼合されてなる第４光学部材貼合体ＰＡ４（光学部材貼合体）が形成される。第２シート片Ｆ２ｍから切り離された余剰部分は、図示略の剥離装置によって液晶パネルＰから剥離され回収される。
【０１７７】
ここで、第１切断装置３１および第２切断装置３２は、上述したレーザー光照射装置１００によって構成されている。第１切断装置３１および第２切断装置３２は、液晶パネルＰに貼合されたシート片ＦＸｍを貼合面の外周縁に沿って無端状に切断する。
【０１７８】
第２貼合装置１７よりもパネル搬送下流側には、図示略の貼合検査装置が設けられている。貼合検査装置は、フィルム貼合がなされたワーク（液晶パネルＰ）の図示略の検査装置による検査（光学部材Ｆ１Ｘの位置が適正か否か（位置ズレが公差範囲内にあるか否か）等の検査）がなされる。液晶パネルＰに対する光学部材Ｆ１Ｘの位置が適正ではないと判定されたワークは、不図示の払い出し手段によりシステム外に排出される。
【０１７９】
尚、本実施形態においてフィルム貼合システム１の各部を統括制御する電子制御装置としての制御部４０は、コンピュータシステムを含んで構成されている。このコンピュータシステムは、ＣＰＵ等の演算処理部と、メモリやハードディスク等の記憶部とを備える。本実施形態の制御部４０は、コンピュータシステムの外部の装置との通信を実行可能なインターフェースを含む。制御部４０には、入力信号を入力可能な入力装置が接続されていてもよい。上記の入力装置は、キーボード、マウス等の入力機器、あるいはコンピュータシステムの外部の装置からのデータを入力可能な通信装置等を含む。制御部４０は、フィルム貼合システム１の各部の動作状況を示す液晶表示ディスプレイ等の表示装置を含んでいてもよいし、表示装置と接続されていてもよい。
【０１８０】
制御部４０の記憶部には、コンピュータシステムを制御するオペレーティングシステム（ＯＳ）がインストールされている。制御部４０の記憶部には、演算処理部にフィルム貼合システム１の各部を制御させることによって、フィルム貼合システム１の各部に光学シートＦを精度よく搬送させるための処理を実行させるプログラムが記録されている。記憶部に記録されているプログラムを含む各種情報は、制御部４０の演算処理部が読み取り可能である。制御部４０は、フィルム貼合システム１の各部の制御に要する各種処理を実行するＡＳＩＣ等の論理回路を含んでいてもよい。
【０１８１】
記憶部は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体などといった外部記憶装置などを含む概念である。記憶部は、機能的には、第１吸着装置１１、第１集塵装置１２、第１貼合装置１３、第１検出装置４１、第１切断装置３１、反転装置１５、第２吸着装置２０、第２集塵装置１６、第２貼合装置１７、第２検出装置４２、第２切断装置３２の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域、その他各種の記憶領域が設定される。
【０１８２】
以下、図１６を参照して、液晶パネルＰに対するシート片ＦＸｍの貼合位置（相対貼合位置）の決定方法の一例を説明する。
【０１８３】
まず、図１６（ａ）に示すように、光学シートＦＸの幅方向に複数の検査ポイントＣＰを設定し、各検査ポイントＣＰにおいて光学シートＦＸの光学軸の方向を検出する。光学軸を検出するタイミングは、原反ロールＲ１の製造時でもよく、原反ロールＲ１から光学シートＦＸを巻き出してハーフカットするまでの間でもよい。光学シートＦＸの光学軸方向のデータは、光学シートＦＸの位置（光学シートＦＸの長手方向の位置および幅方向の位置）と関連付けられて図示略の記憶装置に記憶される。
【０１８４】
制御部４０は、記憶装置から各検査ポイントＣＰの光学軸のデータ（光学軸の面内分布の検査データ）を取得し、シート片ＦＸｍが切り出される部分の光学シートＦＸ（切込線ＣＬによって区画される領域）の平均的な光学軸の方向を検出する。
【０１８５】
例えば、図１６（ｂ）に示すように、光学軸の方向と光学シートＦＸのエッジラインＥＬとのなす角度（ずれ角）を検査ポイントＣＰ毎に検出し、ずれ角のうち最も大きな角度（最大ずれ角）をθｍａｘとし、最も小さな角度（最小ずれ角）をθｍｉｎとしたときに、最大ずれ角θｍａｘと最小ずれ角θｍｉｎとの平均値θｍｉｄ（＝（θｍａｘ＋θｍｉｎ）／２）を平均ずれ角として検出する。そして、光学シートＦＸのエッジラインＥＬに対して平均ずれ角θｍｉｄをなす方向を光学シートＦＸの平均的な光学軸の方向として検出する。尚、ずれ角は、例えば、光学シートＦＸのエッジラインＥＬに対して左回りの方向を正とし、右回りの方向を負として算出される。
【０１８６】
そして、上記の方法で検出された光学シートＦＸの平均的な光学軸の方向が、液晶パネルＰの表示領域Ｐ４の長辺または短辺に対して所望の角度をなすように、液晶パネルＰに対するシート片ＦＸｍの貼合位置（相対貼合位置）が決定される。例えば、設計仕様によって光学部材Ｆ１Ｘの光学軸の方向が表示領域Ｐ４の長辺または短辺に対して９０°をなす方向に設定されている場合には、光学シートＦＸの平均的な光学軸の方向が表示領域Ｐ４の長辺又は短辺に対して９０°をなすように、シート片ＦＸｍが液晶パネルＰに貼合される。
【０１８７】
前述した切断装置３１，３２は、液晶パネルＰの表示領域Ｐ４の外周縁をカメラ等の検出手段で検出し、液晶パネルＰに貼合されたシート片ＦＸｍを貼合面の外周縁に沿って無端状に切断する。貼合面の外周縁は、貼合面の端縁を撮像することによって検出される。本実施形態では、貼合面の外周縁に沿って各切断装置３１，３２によるレーザーカットがなされる。
【０１８８】
レーザー加工機の切断線の振れ幅（公差）は切断刃のそれよりも小さく、したがって本実施形態では、切断刃を用いて光学シートＦＸを切断する場合と比べて、貼合面の外周縁に沿って容易に切断することが可能であり、液晶パネルＰの小型化及び（又は）表示領域Ｐ４の大型化が可能である。これは、近年のスマートフォンやタブレット端末のように、筐体のサイズが制限される中で表示画面の拡大が要求される高機能モバイルへの適用に有効である。
【０１８９】
また、光学シートＦＸを液晶パネルＰの表示領域Ｐ４に整合するシート片にカットした後に液晶パネルＰに貼合する場合、シート片及び液晶パネルＰそれぞれの寸法公差、並びにこれらの相対貼合位置の寸法公差が重なるため、液晶パネルＰの額縁部Ｇの幅を狭めることが困難になる（表示エリアの拡大が困難になる）。
【０１９０】
一方、光学シートＦＸから液晶パネルＰの外側にはみ出るサイズの光学シートＦＸのシート片ＦＸｍを切り出し、この切り出したシート片ＦＸｍを液晶パネルＰに貼合した後に貼合面に合わせてカットする場合、切断線の振れ公差のみを考慮すればよく、額縁部Ｇの幅の公差を小さくすることができる（±０．１ｍｍ以下）。この点においても、液晶パネルＰの額縁部Ｇの幅を狭めることができる（表示エリアの拡大が可能となる）。
【０１９１】
さらに、シート片ＦＸｍを刃物ではなくレーザーでカットすることで、切断時の力が液晶パネルＰに入力されず、液晶パネルＰの基板の端縁にクラックや欠けが生じ難くなり、ヒートサイクル等に対する耐久性が向上する。同様に、液晶パネルＰに非接触であるため、電気部品取り付け部に対するダメージも少ない。
【０１９２】
図１７は、切断装置として図１に示すレーザー光照射装置１００を用いてシート片ＦＸｍを所定サイズの光学部材Ｆ１Ｘに切断する際、レーザー光をシート片ＦＸｍ上で矩形状に走査するための制御方法を示す図である。
【０１９３】
尚、図１７において、符号Ｔｒは目的とするレーザー光の移動軌跡（所望の軌跡。以下、レーザー光移動軌跡ということがある）であり、符号Ｔｒ１はテーブル１０１とスキャナー１０５との相対移動による移動軌跡をシート片ＦＸｍに投影した軌跡（以下、光源移動軌跡ということがある）である。光源移動軌跡Ｔｒ１は矩形形状を有するレーザー光移動軌跡Ｔｒの４つの角部を湾曲させた形状であり、符号ＳＡ１は角部以外の直線区間であり、符号ＳＡ２は角部の屈曲区間である。符号Ｔｒ２はスキャナー１０５が光源移動軌跡Ｔｒ１上を相対移動しているときにレーザー光の照射位置が第１照射位置調整装置１５１および第２照射位置調整装置１５４により光源移動軌跡Ｔｒ１と直交する方向にどの程度ずらされるか（調整されているか）を示す曲線（以下、調整曲線ということがある）である。レーザー照射位置のずれ量（調整量）は、光源移動軌跡Ｔｒ１と直交する方向における調整曲線Ｔｒ２とレーザー光移動軌跡Ｔｒとの間の距離で示されている。
【０１９４】
図１７に示すように、光源移動軌跡Ｔｒ１は、角部が湾曲した略矩形の移動軌跡となっている。光源移動軌跡Ｔｒ１とレーザー光移動軌跡Ｔｒとは概ね一致しており、角部の狭い領域でのみ両者の形状が異なっている。光源移動軌跡Ｔｒ１が矩形形状をしていると、矩形の角部でスキャナー１０５の移動速度が遅くなり、角部がレーザー光の熱によって膨れたり波打ったりすることがある。そのため、図１７では、光源移動軌跡Ｔｒ１の角部を湾曲させてスキャナー１０５の移動速度が光源移動軌跡Ｔｒ１全体で概ね一定となるようにしている。
【０１９５】
制御装置１０７は、スキャナー１０５が直線区間ＳＡ１を移動しているときは、光源移動軌跡Ｔｒ１とレーザー光移動軌跡Ｔｒとが一致しているので、レーザー光の照射位置を第１照射位置調整装置１５１および第２照射位置調整装置１５４により調整せずに、そのままスキャナー１０５からシート片ＦＸｍにレーザー光を照射させる。一方、スキャナー１０５が屈曲区間ＳＡ２を移動しているときは、光源移動軌跡Ｔｒ１とレーザー光移動軌跡Ｔｒとが一致しないので、第１照射位置調整装置１５１および第２照射位置調整装置１５４によりレーザー光の照射位置を制御し、レーザー光の照射位置がレーザー光移動軌跡Ｔｒ上に配置されるようにする。例えば、スキャナー１０５が符号Ｍ１で示す位置を移動しているときには、第１照射位置調整装置１５１および第２照射位置調整装置１５４によりレーザー光の照射位置が光源移動軌跡Ｔｒ１と直交する方向Ｎ１に距離Ｗ１だけずらされる。距離Ｗ１は、光源移動軌跡Ｔｒ１と直交する方向Ｎ１における調整曲線Ｔｒ２とレーザー光移動軌跡Ｔｒとの距離Ｗ２と同じである。光源移動軌跡Ｔｒ１はレーザー光移動軌跡Ｔｒよりも内側に配置されているが、レーザー光の照射位置が第１照射位置調整装置１５１および第２照射位置調整装置１５４によってレーザー光移動軌跡Ｔｒよりも外側にずらされるので、それらのずれが相殺してレーザー光の照射位置がレーザー光移動軌跡Ｔｒ上に配置されるようになる。
【０１９６】
以上説明したように、本実施形態の本実施形態のフィルム貼合システム１によれば、第１切断装置３１および第２切断装置３２が上述したレーザー光照射装置によって構成されているため、シート片Ｆ１ｍ，Ｆ２ｍをシャープに切断でき、カット品質の低下を抑制することができる。
【０１９７】
また、制御装置１０７の制御により、シート片ＦＸｍにおいて所望の軌跡Ｔｒを描くように、第２移動装置１０６とスキャナー１０５とが制御される。この構成においては、第１照射位置調整装置１５１および第２照射位置調整装置１５４により調整すべきレーザー光の照射区間は狭い屈曲区間ＳＡ２のみである。それ以外の広い直線区間ＳＡ１は、第２移動装置１０６によるテーブル１０１の移動によってレーザー光がシート片ＦＸｍ上を走査される。本実施形態では、レーザー光の走査を主として第２移動装置１０６によって行い、第２移動装置１０６で精度よくレーザー光の照射位置を制御できない領域のみ第１照射位置調整装置１５１および第２照射位置調整装置１５４で調整している。そのため、第２移動装置１０６のみ又はスキャナー１０５のみでレーザー光を走査する場合に比べてレーザー光の照射位置を広い範囲で精度よく制御することができる。
【０１９８】
また、液晶パネルＰの外側にはみ出るサイズのシート片Ｆ１ｍ，Ｆ２ｍを液晶パネルＰに貼合した後に、シート片Ｆ１ｍ，Ｆ２ｍの余剰部分を切り離すことで、貼合面に対応するサイズの光学部材Ｆ１１，Ｆ１２を液晶パネルＰの面上で形成することができる。これにより、光学部材Ｆ１１，Ｆ１２を貼合面の際まで精度よく設けることができ、表示領域Ｐ４外側の額縁部を狭めて表示エリアの拡大及び機器の小型化を図ることができる。
【０１９９】
また、液晶パネルＰの外側にはみ出るサイズのシート片Ｆ１ｍ，Ｆ２ｍを液晶パネルＰに貼合することで、シート片Ｆ１ｍ，Ｆ２ｍの位置に応じてその光学軸方向が変化する場合でも、この光学軸方向に合わせて液晶パネルＰをアライメントして貼合することができる。これにより、液晶パネルＰに対する光学部材Ｆ１１，Ｆ１２の光学軸方向の精度を向上させることができ、光学表示デバイスの精彩及びコントラストを高めることができる。
【０２００】
また、切断装置３１，３２が、シート片Ｆ１ｍ，Ｆ２ｍをレーザーカットすることで、シート片Ｆ１ｍ，Ｆ２ｍを刃物でカットする場合と比べて、液晶パネルＰに力が及ばず、クラックや欠けが生じ難くなり、液晶パネルＰの安定した耐久性を得ることができる。
【０２０１】
尚、本実施形態においては、対象物にレーザー光を照射して所定の加工を行う構成として、シート片を切断する構成を例に挙げて説明したが、これに限らない。例えば、シート片を少なくとも二つに分割することの他に、シート片に貫通する切れ目を入れることやシート片に所定の深さの溝（切れ込み）を形成すること等も包含されていることとする。より具体的には、例えば、シート片の端部の切断（切り落とし）、ハーフカット、マーキング加工等も含まれることとする。
【０２０２】
また、本実施形態においては、レーザー光照射装置から照射されるレーザー光の描画軌跡が平面視矩形形状（正方形形状）である場合を例に挙げて説明したが、これに限らない。例えば、レーザー光照射装置から照射されるレーザー光の描画軌跡が平面視三角形形状であってもよいし、平面視五角形以上の多角形形状であってもよい。また、これに限らず、平面視星型形状、平面視幾何学的形状であってもよい。このような描画軌跡においても本発明を適用することが可能である。
【０２０３】
また、本実施形態においては、光学シートＦＸをロール原反から引き出し、液晶パネルＰに液晶パネルＰの外側にはみ出るサイズのシート片ＦＸｍを貼合した後、シート片ＦＸｍから液晶パネルＰの貼合面に対応する大きさの光学部材Ｆ１Ｘに切り出す場合を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ロール原反を用いずに、液晶パネルＰの外側にはみ出るサイズに切り出された枚葉状の光学フィルムチップを液晶パネルに貼合する場合においても本発明を適用することができる。
【０２０４】
以上、添付図面を参照しながら本実施形態に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【符号の説明】
【０２０５】
１…フィルム貼合システム（光学部材貼合体の製造装置）、２３…挟圧ロール（貼合装置）、３１…第１切断装置、３２…第２切断装置、１００…レーザー光照射装置、１０１，３０１…テーブル、１０１s…保持面、１０１ｓ１…第１保持面、１０１ｓ２…第２保持面、１０２…レーザー光発振機、１０３…照明装置、１０４…第１移動装置、１０５…スキャナー、１０６…第２移動装置、１０８…集光レンズ、１０９…撮像装置、１１３，１１３ａ，１１３ｂ，１１３ｃ，１１３ｄ，１１３ｅ，１１３ｆ，１１３ｇ，１１３ｈ…開口部、１３１…第１照明装置、１３５…第２照明装置、１９０…第３移動装置、Ｐ…液晶パネル（光学表示部品）、ＦＸ…光学シート、ＦＸｍ…シート片、Ｆ１Ｘ…光学部材、ＰＡ１…第１光学部材貼合体（シート片貼合体）、ＰＡ４…第４光学部材貼合体（光学部材貼合体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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