(57)【要約】  【課題】  α−Ｆｅの析出を抑制して性能劣化を抑制できる磁気冷凍材料熱交換器の製造方法および磁気冷凍材料熱交換器を提供する。  【解決手段】  粉末原料１１を用いて、溶融急冷法により薄帯体１３を作製した。次に、不活性ガスを充填させた加熱室２１内において、薄帯体１３を加熱した。熱処理を施した薄帯体１３を４枚積層し、板状の積層体３１を作成した。積層体３１に対して切断、研削、研磨などを行い、板状であって主たる面に０．１ｍｍの深さで奥行き方向に延びる溝が形成された板状の部材である材料片３３を成形した。材料片３３を熱処理炉３５に投入して加熱し、材料片３３に水素を吸収させた材料片４１を作製し、材料片４１を積層して溝部分がマイクロチャネルとなる熱交換器４３を製造した。【選択図】図１
2014044003.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｌａ、Ｆｅ、Ｓｉを含む磁気冷凍材料の溶湯を冷却ロールで急冷して薄帯状の合金（１３）を作製する合金作製工程と、
前記合金作製工程により作製された前記薄帯状の合金に溝を形成する溝形成工程と、
前記溝形成工程により溝が形成された前記薄帯状の合金を積層し、前記溝を流路とする熱交換器（４３）を形成する組立工程と、
前記薄帯状の合金に熱処理を施し、Ｌａ（ＦｅＳｉ）13相を増加させる熱処理工程と、を備える
ことを特徴とする磁気冷凍材料熱交換器の製造方法。
【請求項２】
前記合金作製工程により作製された前記薄帯状の合金を積層してなる板状の部材（３１）を作製する積層工程を備え、
前記溝形成工程は、前記積層工程により作製された前記板状の部材に溝を形成する工程であり、
前記組立工程は、前記溝形成工程により溝が形成された前記板状の部材（４１）を積層する工程である
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気冷凍材料熱交換器の製造方法。
【請求項３】
前記積層工程は、接着剤（５１）により前記薄帯状の合金を接合して積層する工程である
ことを特徴とする請求項２に記載の磁気冷凍材料熱交換器の製造方法。
【請求項４】
前記接着剤は、導電性接着剤である
ことを特徴とする請求項３に記載の磁気冷凍材料熱交換器の製造方法。
【請求項５】
前記積層工程は、圧着により前記薄帯状の合金を接合して積層する工程である
ことを特徴とする請求項２に記載の磁気冷凍材料熱交換器の製造方法。
【請求項６】
前記積層工程は、前記薄帯状の合金の間に、金属粉末（５３）および金属薄帯（５５）のうち少なくともいずれか一方を含む接合材を配置して圧着することにより前記接合材を介して前記薄帯状の合金同士を接合して積層する工程である
ことを特徴とする請求項５に記載の磁気冷凍材料熱交換器の製造方法。
【請求項７】
前記積層工程は、前記薄帯状の合金の表面に金属薄膜（７１）を形成し、前記金属薄膜を介して前記薄帯状の合金同士を接合して積層する工程である
ことを特徴とする請求項５に記載の磁気冷凍材料熱交換器の製造方法。
【請求項８】
前記金属薄膜は、蒸着法、スパッタ法、めっき法からなる群から選ばれるいずれか１つの方法により形成されたものである
ことを特徴とする請求項７に記載の磁気冷凍材料熱交換器の製造方法。
【請求項９】
前記積層工程は、前記熱処理工程における熱処理温度よりも低い温度を融点とする金属材料を前記薄帯状の合金の間に配置し、前記熱処理温度よりも低く前記融点よりも高い温度でホットプレスにより圧着して積層する工程である
ことを特徴とする請求項５に記載の磁気冷凍材料熱交換器の製造方法。
【請求項１０】
磁気冷凍材料を用いたマイクロチャネルを有する熱交換器（４３）であって、
Ｌａ、Ｆｅ、Ｓｉを含む薄帯状の合金（１３）を積層してなる板状の磁気冷凍材料（４１）であって、主たる面の一方に流路となる溝が形成されている前記板状の磁気冷凍材料を積層してなる
ことを特徴とする磁気冷凍材料熱交換器。
【請求項１１】
前記板状の磁気冷凍材料は、前記薄帯状の合金と、接着剤（５１）層又は金属（５３，５５，７１）層と、が積層してなるものである
ことを特徴とする請求項１０に記載の磁気冷凍材料熱交換器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空調、冷蔵、冷凍などに利用される冷凍サイクルに用いることのできる磁気冷凍材料からなる熱交換器に関する。
【背景技術】
【０００２】
環境配慮型の冷凍技術として、クリーンでエネルギー効率の高い磁気冷凍技術の研究が進められている。磁気冷凍は磁性体である磁気冷凍材料に外部から磁場を加えて磁気冷凍材料に磁気熱量効果を発現させるものであり、磁気冷凍材料としてＬａ（ＦｅＳｉ）13系材料が高い磁気熱量効果を発現することが知られている。また上記磁気冷凍材料は水素を吸蔵させることでキュリー温度が変化し、磁気熱量効果を室温で発現することが知られている。
【０００３】
磁気冷凍材料の熱交換効率を向上させるために、磁気冷凍材料からなる熱交換器をマイクロチャネルに成形することが考えられる。マイクロチャネルを成形するために、粉砕して粉末状にした磁気冷凍材料を焼結する方法が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２９１４３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したＬａ（ＦｅＳｉ）13材料にはα−Ｆｅが混在している。このα−Ｆｅの混在量が多いと、磁気熱量効果、即ちエントロピー変化（ΔＳ）が低下してしまう。α−Ｆｅの量を低減するためには熱処理を行うことが有効であるが、マイクロチャネルを製造する過程で粉末状の磁気冷凍材料を成形するために焼結を行うと、再びα−Ｆｅが析出してエントロピー変化量が低下してしまうおそれがある。
【０００６】
本発明の目的は、α−Ｆｅの析出を抑制して性能劣化を抑制できる磁気冷凍材料熱交換器の製造方法および磁気冷凍材料熱交換器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した問題を解決するためになされた請求項１に記載の発明は、Ｌａ、Ｆｅ、Ｓｉを含む磁気冷凍材料の溶湯を冷却ロールで急冷して薄帯状の合金（１３）を作製する合金作製工程と、上記薄帯状の合金に溝を形成する溝形成工程と、溝形成工程により溝が形成された薄帯状の合金を積層し、上記溝を流路とする熱交換器（４３）を形成する組立工程と、薄帯状の合金に熱処理を施し、Ｌａ（ＦｅＳｉ）13相を増加させる熱処理工程と、を備えることを特徴とする磁気冷凍材料熱交換器の製造方法である。
【０００８】
このような磁気冷凍材料熱交換器の製造方法において、合金作製工程にていわゆるストリップキャスト法で作製された薄帯状の合金は、熱処理によりＬａ（ＦｅＳｉ）13相が増加しα−Ｆｅ相が低減されている。また、熱交換器を製造する段階において焼結などのα−Ｆｅが再析出しやすい高温の熱処理を行う必要が無い。そのため、エントロピー変化量の低下を抑制することができ、磁気冷凍材料の性能劣化を抑制して高い磁気熱量効果を奏する熱交換器を製造することができる。
【０００９】
また、磁気冷凍材料の粉末化、および焼結による再成形という工程を省くことができ、製造コストの低減を図ることができる。
なお、本発明の熱処理工程を行うタイミングは特に限定されないが、上記合金作製工程の後、組立工程の前に行うことで、加熱によって組立工程における接合が解除されてしまうおそれが無くなる。
【００１０】
また、本発明では、熱処理により薄帯状の合金に水素を吸収させる水素吸収工程を設けてもよい。この水素吸収工程は、吸収した水素が離脱してしまうことを防止するため、熱処理工程の後とすることが好ましく、熱処理工程の後であればそのタイミングは特に限定されない。
【００１１】
ところで、溝形成工程により形成される溝は、マイクロチャネルとなるサイズに形成してもよい。具体的には、流路の幅（開口における短手側の長さ）が数ｍｍ以下、特に０．５ｍｍ以下となるように形成するとよい。
【００１２】
上記の製造方法においては、さらに、上記合金作製工程により作製された薄帯状の合金を積層してなる板状の部材（３１）を作製する積層工程を備えることとしてもよい。その場合には、溝形成工程を、積層工程により作製された板状の部材に溝を形成する工程とし、組立工程を、溝が形成された板状の部材（４１）を積層する工程とするとよい。
【００１３】
このような磁気冷凍材料熱交換器の製造方法では、薄帯状の合金を重ね合わせた板状の部材に対して溝を形成するため、薄帯状の合金それぞれを薄く形成することができる。薄帯状の合金を薄くすると、溶融急冷法（ストリップキャスト法）における温度の低下速度が早くなるため微細組織になり易い。その結果、Ｌａ（Ｆｅx，Ｓｉ1-x）13粒子の粒径が小さくなり易く、上記熱処理工程における熱処理に必要な時間を短くすることができる。
【００１４】
上記積層工程は、接着剤（５１）により薄帯状の合金を接合して積層する工程としてもよい。またそのときの接着剤は、導電性接着剤としてもよい。接着剤を用いることで薄帯状の合金の隙間を良好に埋めることができ、破損を抑制することができる。また導電性接着剤を用いると通常の接着剤よりも熱伝導率を高めることができ、熱交換器の性能を向上させることができる。
【００１５】
また上記積層工程は、圧着により前記薄帯状の合金を接合して積層する工程としてもよい。具体的には、薄帯状の合金の間に、金属粉末（５３）および金属薄帯（５５）のうち少なくともいずれか一方を含む接合材を配置して圧着することにより上記接合材を介して薄帯状の合金同士を接合して積層する工程としてもよいし、薄帯状の合金の表面に金属薄膜（７１）を形成し、その金属薄膜を介して薄帯状の合金同士を接合して積層する工程としてもよい。金属薄膜は、蒸着法、スパッタ法、めっき法からなる群から選ばれるいずれか１つの方法により形成されたものとしてもよい。
【００１６】
これらのように薄帯状の合金に金属材料を挟み込んで接合することで、熱伝導率を高くして熱交換器の性能を向上させることができる。
また上記積層工程は、熱処理工程における熱処理温度よりも低い温度を融点とする金属材料を薄帯状の合金の間に配置し、上記熱処理温度よりも低く上記融点よりも高い温度でホットプレスにより圧着して積層する工程としてもよい。このような積層工程では、薄帯状の合金を、一度金属を融解させることによって強固に接合することができる。
【００１７】
請求項１０に記載の発明は、磁気冷凍材料を用いたマイクロチャネルを有する熱交換器（４３）であって、Ｌａ、Ｆｅ、Ｓｉを含む薄帯状の合金（１３）を積層してなる板状の磁気冷凍材料（４１）であって、主たる面の一方に流路となる溝が形成されている板状の磁気冷凍材料を積層してなることを特徴とする磁気冷凍材料熱交換器である。
【００１８】
このように構成された磁気冷凍材料熱交換器は、熱交換器を製造する段階において焼結などのα−Ｆｅが再析出しやすい高温の熱処理を行う必要が無いため、エントロピー変化量の低下を抑制することができ、高い磁気熱量効果を奏するものとなる。
【００１９】
なお、この欄及び特許請求の範囲に記載した括弧内の符号は、一つの態様として後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】マイクロチャネル熱交換器の製造工程を説明する図である。
【図２】（Ａ）が薄帯体の間に接着剤を配した斜視図であり、（Ｂ）が薄帯体の間に金属粉末を配した斜視図であり、（Ｃ）が薄帯体の間に金属薄帯を配した斜視図である。
【図３】（Ａ）が接着による組立工程を行う図であり、（Ｂ）がプレスによる積層工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に本発明の実施形態を図面と共に説明する。
［実施例１］
＜磁気冷凍材料を用いたマイクロチャネル熱交換器の製造＞
本実施例では、磁気冷凍材料を用いてマイクロチャネル熱交換器を製造した。磁気冷凍材料として、ＮａＺｎ13結晶構造であるＬａＦｅ13系材料を用いた。ＬａＦｅ13系材料とは、Ｌａ（Ｆｅx，Ｓｉ1-x）13（０≦ｘ≦１）であり、xを所定の値とする。本実施例ではｘ＝０．８８とした。図１を用いて製造工程を説明する。なお図１は模式的な図であるため、各構成要素の大きさの比率は実際のものとは相違する場合がある。
【００２２】
（１）粉末調合
単体元素の粉末（またはバルク）を所定の割合で調合して混合し、磁気冷凍材料の粉末原料１１を得た。以下に粉末原料１１の組成例を示す。
Ｌａ：１７ｗｔ％
Ｆｅ：７８ｗｔ％
Ｓｉ：５ｗｔ％
（２）溶融急冷（合金作製工程）
調合した粉末原料１１を用いて、溶融急冷法（ストリップキャスト法）により、ＮａＺｎ13結晶構造である薄帯状の合金である薄帯体１３を作製した。
【００２３】
ここではノズル１５から粉末原料１１の溶湯１７を銅製の回転ロール１９（冷却ロール）に吐出して急冷して薄帯状とした。このとき薄帯体１３の幅が７ｍｍ、厚さが０．１ｍｍとなるように調整した。
【００２４】
（３）熱処理工程
不活性ガスを充填させた加熱室２１内において、ヒータ２３により薄帯体１３を１０００℃で２００時間加熱した。この熱処理により、α−Ｆｅの割合を低下させた。なお、加熱温度は９００〜１１００℃、加熱時間は１０〜３５０時間程度とすると良好にα−Ｆｅの割合を低下できる。また、不活性ガスを充填する代わりに加熱室２１内を真空として熱処理を行ってもよい。
【００２５】
（４）積層体の成形（積層工程）
上記熱処理工程で熱処理を施した薄帯体１３を４枚積層し、成形寸法を幅７ｍｍ、厚さ０．４ｍｍとした板状の積層体３１を作成した。
【００２６】
この積層体３１は、図２（Ａ）に示すように、薄帯体１３の間に導電性接着剤５１を配して接合したものであって、磁気冷凍材料層と接着剤層とが積層されてなるものである。導電性接着剤５１とは銀、銅、アルミニウムなどの金属粉末が有機溶剤や樹脂などと混合されたもので、接着後に金属粉末を介して導電性を示すものである。
【００２７】
（５）材料片の成形（溝形成工程）
長板状の積層体３１に対して切断、研削、研磨などを行い、幅７ｍｍ×奥行き１０ｍｍの矩形で厚さ０．４ｍｍの板状であって、主たる面に０．１ｍｍの深さで奥行き方向に延びる溝が形成された板状の部材である材料片３３を成形した。この溝が流路（マイクロチャネル）となる。
【００２８】
（６）水素吸収工程
材料片３３を熱処理炉３５（フロー炉）に投入してヒータ３７により２７０℃に加熱し、材料片３３に水素を吸収させた磁気冷凍材料の材料片４１を作製した。なお、熱処理温度を１８０〜３００℃の範囲で調整することで水素吸収量を制御することができる。
【００２９】
（７）マイクロチャネルの積層形成（組立工程）
図３（Ａ）に示すように、材料片４１を積層して接着剤６１により接合し、溝部分がマイクロチャネルとなるマイクロチャネル熱交換器４３を製造した。最も上側に積層する材料片４１ａは、溝が形成されていないものである。
【００３０】
以上説明した（１）〜（７）の工程により、磁気冷凍材料を用いたマイクロチャネル熱交換器を製造した。
＜発明の効果＞
本実施例の製造方法にて製造されたマイクロチャネル熱交換器４３は、熱交換器を製造する段階において焼結などのα−Ｆｅが再析出しやすい高温の熱処理を行っていないため、エントロピー変化量の低下を抑制することができ、磁気冷凍材料の性能劣化を抑制して高い磁気熱量効果を維持することができる。また、磁気冷凍材料を粉末化して焼結する工程が省かれているため、製造コストの低減を達成できる。
【００３１】
また上記製造方法では、薄帯体１３を４枚積層して積層体３１を形成しているため、溶融急冷の工程において薄帯体１３は非常に薄く形成されている。薄帯状の合金を薄くすると、温度の低下速度が早くなるため微細組織になり、Ｌａ（Ｆｅx，Ｓｉ1-x）13粒子の粒径が小さくなり易く、上記熱処理工程における熱処理に必要な時間を短くすることができる。
【００３２】
また、薄帯体１３を導電性接着剤５１で接合していることから、薄帯体１３の隙間を良好に埋めることができ、積層体３１の強度を高めて破損を抑制することができる。また導電性のあるものは熱伝導も大きいので、積層体３１の熱伝導率は大きくなる。この積層体３１で作製されたマイクロチャネル熱交換器４３は熱伝導率が大きくなるので、磁場を印加、あるいは磁場を切ったときの発熱、吸熱時に効率よく冷媒と熱交換できる。
【００３３】
また、ＬａＦｅ13系合金は水素を吸収すると格子が膨張して歪が生じ、また磁場の印加によっても磁気歪が生じるため、応力が発生し、クラック、割れが発生しやすくなるが、本実施例のように導電性接着剤５１を介しての積層構造では上記応力を導電性接着剤領域で逃がすことができ、クラック、割れの発生を抑制することができる。
【００３４】
［実施例２］
本実施例では、上記（４）の積層体の成形工程以外は基本的に実施例１と同様の製造方法でマイクロチャネル熱交換器を製造したが、積層体の成形工程において、導電性接着剤５１に替えて、図２（Ｂ）に示す金属粉末５３を各薄帯体１３の間に配置して薄帯体１３を圧着接合した。
【００３５】
金属粉末５３として銅を用い、図３（Ｂ）に示すように、プレス６３により温度２０℃、圧力１０ＭＰａで圧着して接合し積層体３１を成形した。用いた金属粉末５３の平均粒径は１〜１００μｍとした。平均粒径が１００μｍ以下であると接着層（金属層）が厚くなり過ぎることを抑制でき、積層体が大きくなってしまうことや、磁気冷凍材料層の占める割合が小さくなり性能が低下してしまうことを抑制できる。また平均粒径が１μｍ以上であると接着層の厚みを充分に確保でき、接着力が低下することを抑制できる。平均粒径は以下の方法により測定した。金属粉末を水などの溶媒に分散して写真を撮影する。この写真を画像解析して粉末の平均粒径を導出する。この積層体３１は、磁気冷凍材料層と金属層とが積層されてなるものである。
【００３６】
なお、プレス温度は、磁気冷凍材料の性能に影響がでないように（α−Ｆｅの量が増加しないように）、上記（３）の熱処理工程の熱処理温度よりも低いことが好ましく、例えば室温〜７００℃の間とするとよい。またプレス圧力は適宜調整して設定するとよい。
【００３７】
本実施例の製造方法にて製造されたマイクロチャネル熱交換器は、実施例１にて製造されたマイクロチャネル熱交換器と同様に、高い磁気熱量効果を発揮でき、また製造コストの低減を達成できる。
【００３８】
また、薄帯体１３の間に金属材料を挟み込んで積層体３１を形成しているため、熱伝導率を高くして熱交換器の性能を向上させることができる。
なお、上述した金属粉末５３に替えて、図２（Ｃ）に示す金属薄帯５５を各薄帯体１３の間に配置して薄帯体１３を圧着接合してもよく、その場合にも本実施例と同様の効果を奏するマイクロチャネル熱交換器を製造できる。この場合、金属薄帯５５の厚さは１〜１００μｍとした。厚さをこの範囲とした理由は、上述した金属粉末と同様の理由である。
【００３９】
［実施例３］
本実施例では、上記（４）の積層体の成形工程以外は基本的に実施例１と同様の製造方法でマイクロチャネル熱交換器を製造したが、積層体の成形工程において、導電性接着剤５１に替えて、金属薄膜からなる接合層７１を薄帯体１３の表面に形成し、その状態で薄帯体１３を圧着接合した。
【００４０】
接合層７１は、蒸着法により金属薄膜を形成する蒸着装置により形成した。上記金属薄膜の材料としてはアルミニウムを用いた。アルミニウムの厚さは１μｍとした。その後、図３（Ｂ）に示すように、プレス６３により温度２０℃、圧力１０ＭＰａで圧着して接合し積層体３１を成形した。プレス温度および圧力は適宜調整することができる。
【００４１】
本実施例の製造方法にて製造されたマイクロチャネル熱交換器は、実施例１、２にて製造されたマイクロチャネル熱交換器と同様に、高い磁気熱量効果を発揮できる。また実施例２のように金属粉末や金属薄帯を用いる場合と比較して、金属薄膜の厚さを薄く制御しやすく、また金属薄膜は薄帯体１３の表面に固定されるため薄帯体１３の取り扱いが容易になるという利点がある。
【００４２】
なお、アルミニウムの融点は６６０℃であるため、積層体３１を形成する際に、融点以上の温度（一例として７００℃）、圧力１０ＭＰａのホットプレスにより接合してもよい。この場合、アルミニウムが融解するため接合強度を高めることができる。
【００４３】
［変形例］
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は上記実施例に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態をとり得ることはいうまでもない。
【００４４】
例えば、上記各実施例においては、薄帯体１３を４枚重ねて積層体３１を形成する構成を例示したが、３枚以下または５枚以上の薄帯体１３を積層してもよいし、１枚の薄帯体１３を積層せずに用いて材料片３３を成形してもよい。
【００４５】
１枚の薄帯体１３にて材料片３３を成形する場合には、薄帯体１３の厚さを材料片３３の厚さと同一にすればよい。複数枚の薄帯体１３を積層する場合には同一の厚さの薄帯体１３を積層してもよいが、異なる厚さの薄帯体１３を積層してもよい。
【００４６】
なお、１つの積層体３１を成形するために必要な積層枚数を増やすと、薄帯体１３の厚さが薄くなり、α−Ｆｅの割合を低減させるための熱処理工程における熱処理に必要な時間を短くすることができる。一方、薄帯体１３は厚さが厚いほど、積層枚数を減らして積層工程を簡略化することができる。
【００４７】
また、上記実施例１においては導電性接着剤５１を用いて薄帯体１３を接合する構成を例示したが、積層体３１の熱伝導率は低下する可能性が有るものの、導電性を有さない接着剤を用いて接合してもよい。例えば、エポキシ系接着剤、ゴム系接着剤、シアノアクリレート系接着剤などを用いることができる。熱伝導率の低下を抑制するためには、接着剤層を薄くすればよい。
【００４８】
また、材料片４１を積層するために用いた接着剤６１としては、導電性接着剤を用いてもよいし、導電性を有さない接着剤を用いてもよい。
また、上記実施例２においては金属粉末５３または金属薄帯５５として銅を用いる構成を例示したが、銅以外の金属を用いてもよい。但し、融点の低いものを用いることが好ましい。
【００４９】
また、上記実施例３において蒸着装置にて形成される接合層７１は、アルミニウム以外の金属で形成されていてもよい。また蒸着装置に替えてスパッタ装置またはめっき装置を用いて、スパッタ法またはめっき法により金属薄膜を形成してもよい。めっき装置を用いる場合には、アルミニウムに替えて銅を用いることが考えられる。
【００５０】
また上記各実施例においては薄帯体１３と材料片３３の幅とが同一である構成を例示したが、薄帯体１３の幅を広く形成し、切断して目的の材料片３３の幅とするように構成してもよい。この場合、切断する工程が増えるものの、幅の精度を高くすることができる。
【００５１】
また上記各実施例においては溶融急冷によって薄帯体１３を作製した次に熱処理工程を行う構成を例示したが、熱処理工程を行うタイミングは特に限定されない。しかしながら、積層工程や組立工程における接合を解除してしまうことが無いよう、これらの工程の前に行うことが好ましい。また、水素吸収工程で吸収した水素が離脱してしまうことが無いよう、水素吸収工程の前に行うことが好ましい。
【符号の説明】
【００５２】
１１…粉末原料、１３…薄帯体、１５…ノズル、１７…溶湯、１９…回転ロール、２３…ヒータ、３１…積層体、３３…材料片、３７…ヒータ、４１…材料片、４３…マイクロチャネル熱交換器、５１…導電性接着剤、５３…金属粉末、５５…金属薄帯、６１…接着剤、６３…プレス、７１…接合層
【図２】
2014044003.tif 000003
【図１】
2014044003.tif 000004
【図３】
2014044003.tif 000005