(57)【要約】【課題】光沢のある検査対象物に対し光源の映り込みの発生を防止して、異物や欠陥等の有無の検査を向上させることが可能な検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】本発明の検査装置は、表面に光沢がある検査対象物を検査する検査装置であって、前記検査対象物の上方を除く当該検査対象物の周囲の任意の高さに配置されており、かつ、検査対象物の上方であって、その表面に対し略平行となる方向に拡散光を照射する第１照明手段と、前記検査対象物の上方の任意の位置から、当該検査対象物を撮像する撮像手段とを有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に光沢がある検査対象物を検査する検査装置であって、
前記検査対象物の上方を除く当該検査対象物の周囲の任意の高さに配置されており、かつ、検査対象物の上方であって、その表面に対し略平行となる方向に拡散光を照射する第１照明手段と、
前記検査対象物の上方の任意の位置から、当該検査対象物を撮像する撮像手段とを有する検査装置。
【請求項２】
前記検査対象物が光透過性を有しており、
前記検査対象物の下方の任意の位置に、当該検査対象物の裏面から光を照射する第２照明手段が設けられている請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
表面に光沢がある検査対象物を検査する検査方法であって、
前記検査対象物の上方を除く当該検査対象物の周囲の任意の高さから、検査対象物の上方であって、その表面に対し略平行となる方向に拡散光を照射した状態で、
前記検査対象物の上方の任意の位置から、当該検査対象物の表面を撮像する検査方法。
【請求項４】
前記検査対象物が光透過性を有するものであり、
前記拡散光の照射を止めると共に、
前記検査対象物の下方の任意の位置から検査対象物に光を照射し、当該検査対象物に前記光を透過させた状態で、前記検査対象物の内部状態を撮像する請求項３に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品の外観を検査する検査装置及び検査方法の技術に関し、特にパウチ等のフレキシブルな包装材料からなる検査対象物の外観に付着した異物及び欠陥等を撮像して検査する検査装置及び検査方法の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、フレキシブルな包装材料からなるパウチ等の製造工程においては、その表面や内部に付着した異物及び欠陥等の有無を検査するための検査が行われている。この種の容器の検査方法としては、例えば、検査対象となるパウチ等の表面に光を照射し、光照射された表面状態をＣＣＤカメラ等で撮像して濃淡画像を生成し、得られた濃淡画像を目視により、あるいは解析することによって、前記異物等の有無が検査される（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００３】
異物等の有無の検査は、異物や欠陥等が存在する部分では、画像が色濃く黒点として現れ、異物等が存在しない部分では、画像が、異物等が存在しない部分とは異なる濃度で現れる。そこで、このようにして得られる濃淡画像を、所定の閾値を基準にして二値化処理し、所定の濃度値を超える画像部分を異物等の欠陥部として検出、抽出することができる。その結果、パウチ等の良・不良の判定を可能にする。
【０００４】
しかしながら、パウチ等の様に、表面に光沢があり、かつ、緩やかな凹凸を有する検査対象物に対しては、その表面に光源の映り込みが生じる場合がある。この様な映り込みが生じると、検査対象物の表面状態を撮像することが困難になり、異物等の有無の検査ができないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−０８３２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は前記問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、光沢のある検査対象物に対し光源の映り込みの発生を防止して、異物や欠陥等の有無の検査を向上させることが可能な検査装置及び検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願発明者等は、前記従来の問題点を解決すべく、検査装置及び検査方法について検討した。その結果、下記構成を採用することにより、前記目的を達成できることを見出して、本発明を完成させるに至った。
【０００８】
即ち、本発明に係る検査装置は、前記の課題を解決するために、表面に光沢がある検査対象物を検査する検査装置であって、前記検査対象物の上方を除く当該検査対象物の周囲の任意の高さに配置されており、かつ、検査対象物の上方であって、その表面に対し略平行となる方向に拡散光を照射する第１照明手段と、前記検査対象物の上方の任意の位置から、当該検査対象物を撮像する撮像手段とを有することを特徴とする。
【０００９】
前記の構成によれば、本発明の検査装置には、検査対象物の上方を除く当該検査対象物の周囲の任意の高さに第１照明手段が配置されている。また、第１照明手段は、検査対象物の上方であって、その表面に対し略平行となる方向に拡散光を照射する。すなわち、第１照明手段は、検査対象物の表面に拡散光を間接的に照射することにより、検査対象物の表面での光源の映り込みの発生を防止する。その結果、撮像手段は、検査対象物の表面を詳細に撮像することができ、異物や欠陥等が存在する場合には、それらの異物等の検査精度を向上させることができる。
【００１０】
尚、「表面に光沢がある」とは、検査対象物の表面が、ある方向において、他の方向に反射するよりも、可視光（波長域３６０ｎｍ〜８３０ｎｍ）を多く反射する外観特性を有することを意味する。
【００１１】
前記の構成に於いて、前記検査対象物が光透過性を有しており、前記検査対象物の下方の任意の位置に、当該検査対象物の裏面から光を照射する第２照明手段が設けられていることが好ましい。当該構成によれば、第２照明手段が検査対象物の下方の任意の位置に配置され、当該検査対象物を裏面から光照射し、これを透過させることにより、検査対象物の内部を撮像手段により撮像可能な状態にする。その結果、検査対象物の内側の異物や欠陥等の有無を検査することができ、当該異物等の検査精度を一層向上させることができる。
【００１２】
尚、「光透過性」とは、可視光領域（３６０ｎｍ〜８３０ｎｍ）の光に対し、検査対象物が透明ないし半透明であることをいう。
【００１３】
本発明に係る検査方法は、前記の課題を解決するために、表面に光沢がある検査対象物を検査する検査方法であって、前記検査対象物の上方を除く当該検査対象物の周囲の任意の高さから、検査対象物の上方であって、その表面に対し略平行となる方向に拡散光を照射した状態で、前記検査対象物の上方の任意の位置から、当該検査対象物の表面を撮像することを特徴とする。
【００１４】
前記の方法によれば、本発明の検査方法は、検査対象物の上方を除く当該検査対象物の周囲の任意の高さから、検査対象物の上方であって、その表面に対し略平行となる方向に拡散光を照射する。これにより、拡散光を検査対象物の表面に間接的に照射することができる。そして、拡散光の間接的な照射は、検査対象物の表面での光源の映り込みの発生を防止する。その結果、検査対象物の上方の任意の位置から、当該検査対象物の表面を詳細に撮像することができ、検査対象物の表面に異物や欠陥等が存在する場合には、それらの異物等の検査精度を向上させることができる。
【００１５】
前記の方法に於いては、前記検査対象物が光透過性を有するものであり、前記拡散光の照射を止めると共に、前記検査対象物の下方の任意の位置から検査対象物に光を照射し、当該検査対象物に前記光を透過させた状態で、前記検査対象物の内部状態を撮像することが好ましい。当該方法によれば、拡散光の照射を止め、検査対象物の下方の任意の位置から当該検査対象物の裏面を光照射することにより、検査対象物の内部を透過させて撮像可能な状態にする。その結果、検査対象物の内側の異物や欠陥等の有無も検査することができ、当該異物等の検査精度を一層向上させることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、検査対象物の上方を除く当該検査対象物の周囲の任意の高さから、検査対象物の上方であって、その表面に対し略平行となる方向に拡散光を照射するので、検査対象物の表面で光源の映り込みが発生するのを防止することができる。その結果、検査対象物の上方の任意の位置から、当該検査対象物の表面状態を詳細に撮像することが可能になり、検査対象物の表面の異物や欠陥等の有無を高精度にて検査することが可能なる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の一形態に係る検査装置を説明するための説明図であって、同図（ａ）は前記検査装置及び検査対象物が図示された平面図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図２】図２は第１照明手段の拡散光の配光角度が６０°の場合の照度分布図であって、同図（ａ）は第１照明手段２が１つの場合を表し、同図（ｂ）は第１照明手段２を相互に対向するように配置した場合を表す。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本実施の形態に係る検査装置及び検査方法について、図１を参照しながら以下に説明する。但し、説明に不要な部分は省略し、また説明を容易にするために拡大又は縮小等して図示した部分がある。図１は、本実施の形態に係る検査装置を説明するための模式図であって、同図（ａ）は平面視における検査装置及び検査対象物を表し、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【００１９】
図１（ａ）及び１（ｂ）に示すように、本実施の形態に係る検査装置は、検査対象物１を照明する第１照明手段２と、検査対象物１を撮影する撮像手段３と、検査対象物１を載置する載置手段４とを少なくとも備えている。
【００２０】
本実施の形態に係る検査装置は、表面に光沢がある検査対象物１に対して特に有用である。そのような検査対象物１としては、例えば、フレキシブルパウチのように全体がフレキシブルな材料と構造からなるものが挙げられる。このようなパウチ等は、表面に緩やかな凹凸があり、光が直接照射されるとその光源が映り込むといった外観特性がある。ここで、「表面に光沢がある」とは、検査対象物１の表面が、ある方向において、他の方向に反射するよりも、可視光（波長域３６０ｎｍ〜８３０ｎｍ）を多く反射する外観特性を有することを意味する。
【００２１】
第１照明手段２は、図１（ａ）に示すように、検査対象物１の上方を除く当該検査対象物１の周囲の任意の高さに配置されている。第１照明手段を検査対象物１の上方に配置すると、当該第１照明手段２の存在により撮像範囲が狭くなる。また、撮像手段３を配置することが可能な範囲も狭くなる。その結果、検査対象物１の表面の十分な検査が困難になるので好ましくない。
【００２２】
第１照明手段２としては、拡散光を照射できるものであれば特に限定されない。具体的には、例えば、光拡散板を備えた線光源や点光源を用いることができる。前記光拡散板としては特に限定されず、従来公知のものを採用することができる。具体的には、例えば、光透過率の良いアクリル樹脂やポリカーボネート樹脂などの基材樹脂に硫酸バリウム、二酸化チタン、酸化アンモニウム、シリコン系ゴムなどの拡散剤を添加して入射光をこれら拡散剤で乱反射させることにより光拡散性を得ている光拡散板等が挙げられる。また、前記線光源としては特に限定されず、例えば、蛍光灯、冷陰極管、ＬＥＤ（発光ダイオード）、特殊な細工を施した発光棒（導光棒）等が挙げられる。さらに、前記点光源としては特に限定されず、例えば、通常の蛍光ランプ、ハロゲンランプ、ＬＥＤ等が挙げられる。これらの光源のうち、長時間、一定の照度の光照射が可能であり、保守性の観点からは、ＬＥＤが好ましい。
【００２３】
また、第１照明手段２には検査対象物１の表面に光が直接照射されないようにするために、検査対象物１側に当該光の照射を防止するための遮光板を設けてもよい。これにより、検査対象物１の表面における光源の映り込みを一層防止することができる。前記遮光板としては特に限定されず、第１照明手段２から照射される拡散光に対し遮光機能を発揮するものであればよい。具体的には、例えば、鉄板、アルミ板、ステンレス板、アクリル板、紙などが挙げられる。また、これらの遮光板のうち光沢のあるものについては、検査装置内で光が反射するのを防止するとの観点から、艶消しの黒色等で塗装、または無反射フィルム等で表面を覆うのが好ましい。
さらに、コストや保守性の観点からは、光が低反射するように粉体塗装された鉄板等が好ましい。
【００２４】
さらに、第１照明手段２の大きさについては、検査対象物１の大きさや照射領域に応じて適宜設定すればよい。第１照明手段２による光照射は拡散光によるものであるため、検査対象物１の表面の異物等の検査精度を向上させるためには、当該第１照明手段２の長さは、当該第１照明手段２に対向する検査対象物１の一辺と同等かそれよりも大きいことが好ましい。
【００２５】
第１照明手段２から照射される拡散光を、検査対象物１の表面に均一に照射させるためには、配光角度による拡散率と、第１照明手段２と検査対象物１の距離とが重要になる。例えば、配光角度が６０°の場合、第１照明手段２から照射される拡散光の照度分布は、図２に示すようなものとなる。従って、検査対象物１は、その検査領域が、同一の照度で照射されている範囲内に位置する様に配置されるのが好ましい。尚、図２は配光角度が６０°の場合の照度分布図であって、同図（ａ）は第１照明手段２が１つの場合を表し、同図（ｂ）は第１照明手段２を相互に対向するように配置した場合を表す。
【００２６】
前記拡散光の配光角度は２０°〜１６０°の範囲内が好ましく、３０°〜１２０°の範囲内がより好ましく、４０°〜８０°の範囲内がさらに好ましい。配光角度を２０°以上にすることにより、第１照明手段２から照射される拡散光が、検査対象物１の上方であって、その表面に対し略平行となる方向（照射方向）に収束し過ぎるのを防止することができる。その結果、検査対象物１の表面を撮像手段３により撮像して、当該表面の異物等の検査が可能な程度に、拡散光を照射させることができる。その一方、前記配光角度を１６０°以下にすることにより、第１照明手段２から照射される拡散光の範囲が狭くなり過ぎるのを防止し、検査対象物１が大きい場合に検査が困難になるのを防止することができる。また、検査対象物１の表面に凹凸が少ない場合にも、当該表面を良好な状態で撮像することが可能になる。
【００２７】
尚、配光角度は、第１照明手段２から照射される拡散光の集光の程度を表し、照度が最大強度の中心軸線上に比べ、１／２になるまでの中心軸からの２次元的角度をいう。すなわち、中心軸を中心にしてそれぞれ両側に照度が１／２まで低下する角度を求め、両者の角度を合計したものである。照度が１／２まで低下する領域が中心軸を中心に左右対称となる場合は、片側角度の２倍の値となる。
【００２８】
また、第１照明手段２は、検査対象物１の上方における、検査対象物１の表面に対し略平行となる方向に最大強度の光が照射されるように拡散光を照射する。これにより、照度が最大でない拡散光の少なくとも一部が、検査対象物１の表面に照射される。その結果、検査対象物１の表面での光源の映り込みの発生を防止することができ、撮像手段３による検査対象物１表面の異物等の検査精度の低下を抑制することができる。尚、第１照明手段２が平行光を照射するものである場合、当該第１照明手段２の照射方向は検査対象物１の表面に対し略平行となる方向であるため、検査対象物１の表面には光が照射されず、撮像自体が困難になる。また、第１照明手段２が平行光を検査対象物１の表面に向かって直接照射した場合には、光源の映り込みが発生する。
【００２９】
第１照明手段２は、検査対象物１の端部から距離ｄ１だけ離れた位置であって、当該位置から高さｈ１の所に配置される（図１（ｂ）参照）。前記距離ｄ１は特に限定されず、検査対象物１の表面の撮像による検査精度が低下せず、検査対象物１の表面に照射される拡散光の照度が均一になる範囲で、適宜設定することができる。例えば、検査対象物１が縦３００ｍｍ×横３００ｍｍ×高さ１０ｍｍのサイズのパウチである場合、距離ｄ１は、０ｍｍ〜１５０ｍｍの範囲内が好ましく、２０ｍｍ〜８０ｍｍの範囲内がより好ましい。距離ｄ１を０ｍｍ以上にすることにより、第１照明手段２の拡散光により照射されない範囲が生じるのを防止することができる。また、距離ｄ１を１５０ｍｍ以下にすることにより、検査対象物１の表面の撮像を可能にし、検査精度が低下するのを防止することができる。
【００３０】
また、第１照明手段２が設置される高さｈ１も特に限定されず、検査対象物１の表面での光源の映り込みを発生させず、かつ、検査対象物１の表面の撮像が可能であり、検査対象物１の表面に照射される拡散光の照度が均一になる範囲で、適宜設定することができる。高さｈ１は、より具体的には、１０ｍｍ〜１５０ｍｍの範囲内が好ましく、２０ｍｍ〜８０ｍｍの範囲内がより好ましい。高さｈ１を１０ｍｍ以上にすることにより、凹凸に対し照度を均一にすることができる。その一方、高さｈ１を１５０ｍｍ以下にすることにより、検査対象物１の表面の撮像を良好に保ち、検査精度が低下するのを防止することができる。また高さｈ１は、検査対象物１が、例えば縦３００ｍｍ×横３００ｍｍ×高さ１０ｍｍのサイズのパウチである場合、その上限値が１００ｍｍになることがある。尚、高さｈ１は、図１（ｂ）に示すように、検査対象物１の表面を含む面を基準にした値である。また、検査対象物１の表面に凹凸がある場合は、当該凸面の最大高さから測定した値である。
【００３１】
また、第１照明手段２は検査対象物１を取り囲む様に複数設けられている。但し、本実施の形態はこのような態様に限定されるものではない。例えば、２つの第１照明手段２が相互に対向するように配置してもよく、あるいは隣り合う様に配置してもよい。尚、第１照明手段２を複数用いる場合、光源それぞれの個体差により、各光源から照射される拡散光の照度にばらつきが生じ得る。従って、そのばらつきが極力小さくなるように、各光源の照度を予め調整しておくのが好ましい。光源の照度の調整方法としては特に限定されず、例えば、第１照明手段２が配置される基準位置に光センサを配置し、各光源を順次切り替えて点灯させたときに、その光センサで検出される照度がほぼ一定のレベルとなるように各光源に供給する電力（電圧や電流）、即ち、各光源の照度を予め調整しておく方法が挙げられる。
【００３２】
第１照明手段２の照度については、検査対象物１表面の光沢の程度に応じて適宜設定すればよい。通常は、１００ルクス以上であり、好ましくは１００ルクス〜１００，０００ルクス、より好ましくは４００ルクス〜１０，０００ルクスの範囲内である。照度を１００ルクス以上にすることにより、検査対象物１の表面の撮像を可能にし、検査精度が低下するのを防止することができる。尚、第１照明手段２の照度の上限については、例えば、撮像手段３として撮像カメラを使用した場合、当該照度が高すぎても、当該カメラのシャッタースピードを上げたり、レンズの絞りを絞る等の方法により、検査対象物１の表面の撮像が可能なため、特に限定されない。但し、１００，０００ルクス以下にすることにより、検査精度が低下するのを防止することができる。
【００３３】
撮像手段３は、検査対象物１の上方から当該検査対象物１を撮像するためのものであり、当該検査対象物１の上方の任意の位置に設けられている。撮像手段３による検査対象物１の撮像により、検査対象物１の表面や内部の状態の検査を可能にする。
【００３４】
撮像手段３は、平面視における検査対象物１の全体を撮像できるものが好ましい。検査対象物１の平面視における面積が大きく、検査領域の面積が撮像範囲を上回る場合には、撮像手段３を水平方向に移動可能に設置してもよい。また、第１照明手段２は検査対象物１の上方に配置されないため、当該検査対象物１の上方の任意の位置に複数の撮像手段３を配置することもできる。これにより、検査領域の面積が撮像範囲を上回る場合にも、検査対象物１の異物等の検出を漏れなく行うことができる。
【００３５】
撮像手段３の撮像方向としては、検査対象物１の表面に対し略垂直となる方向が好ましい。前記撮像方向が、検査対象物１の表面に対し９０度未満の角度をなす方向であると、検査対象物１の表面の凹凸状態に起因して陰影が強調されて撮像される。そのため、検査対象物１の表面のキズ等の欠陥に対する検査精度を向上させることができるが、検査対象物１が緩やかな凹凸面を有するパウチ等である場合、凹凸状態に起因した陰影の強調は抑制される。そのたため、前記撮像方向は検査対象物１の表面に対し、略垂直方向であることが好ましい。また、撮像手段３を検査対象物１の上方以外の任意の位置に設けた場合、撮像手段３の撮像方向は検査対象物１の表面に対して斜め方向となるため好ましくない。尚、撮像手段３の撮像方向とは、検査対象物１の表面に対して、どの方向から撮像したのかを示すものであり、検査対象物１の表面と撮像手段３との位置関係を示すものである。
【００３６】
前記撮像手段３としては、通常、撮像カメラ（デジタルカメラ）が使用されるが、本実施の形態はこのような構成に限定されるものではなく、二次元画像が得られるものであればよい。具体的には、例えば、ＣＣＤカメラや検査対象物１のアナログ画像を撮像することが可能なアナログカメラ等を使用することができる。また、撮像手段３は可視光域での撮像を可能にするものが好ましい。但し、撮像手段３に、検査対象物１を上方から光照射するための照明を設けるのは、光源の映り込みの防止等の観点から好ましくない。
【００３７】
撮像手段３と検査対象物１の表面との距離ｈ２としては特に限定されず、当該検査対象物１の表面等の撮像が可能であればよい。距離ｈ２の下限値は検査対象物１の表面の全領域が撮像可能な程度に設定されていればよい。その一方、距離ｈ２の上限値は、検査対象物１の表面の異物等の検査精度が低下しない程度に設定されていればよい。また、撮像手段３の検査対象物１の表面に対する高さ位置や水平方向の位置は、従来公知のカメラレンズ等の焦点をすることで調整可能である。
【００３８】
前記載置手段４は検査対象物１を載置できるものであれば特に限定されないが、後述する第２照明手段５により検査対象物１の裏面から光照射を行う場合には、当該載置手段４は光透過性を有するものであることが好ましい。このような載置手段４としては、例えば、透明アクリル板等が挙げられる。
【００３９】
本実施の形態に係る検査装置には、図１（ｂ）に示すように、検査対象物１の裏面側（下側）に第２照明手段５が設けられていてもよい。第２照明手段５を検査対象物１の裏面から光照射することにより、光透過性を有する検査対象物１に光を透過させ、撮像手段３により検査対象物１の内側の異物や欠陥等の有無を撮像することが可能になる。尚、前記「光透過性」とは、可視光領域（３６０ｎｍ〜８３０ｎｍ）の光に対し透明ないし半透明であることをいう。従って、検査対象物の種類にもよるが、例えば、撮像手段としての高感度カメラと、高照度の第１照明手段とを用いた場合に、光線透過率が１％であっても検査可能となる。
【００４０】
前記第２照明手段５としては特に限定されないが、面光源であることが好ましい。面光源としては特に限定されず、従来公知のものを採用することができる。具体的には、例えば、導光板の端面に配置した光源からの光を、導光板によって端面と直交する主面から正面方向に取り出すエッジライト方式や、複数の蛍光灯等の線光源を平行に整列させ、線光源から照射される光を拡散板で均一化して入射面と対向する出射面に光を取り出す直下方式等が挙げられる。
【００４１】
第２照明手段５の照射面の面積は検査対象物１と比較して同等かそれよりも大きいことが好ましい。これにより、検査対象物１の全体に照射光を透過させることができ、内側の異物や欠陥等の見落としを防止して、検査精度の向上が図れる。また、第２照明手段５は、複数を任意の位置に配列して用いることもできる。
【００４２】
第２照明手段５と検査対象物１との距離ｄ２は極力小さい方が好ましく、具体的には、１００ｍｍ以下、好ましくは１０ｍｍ以下、特に好ましくは接している（０ｍｍ）ことである。距離ｄ２を１００ｍｍ以下にすることにより、検査対象物１が有する凹凸等により陰影が大きくなって、検査対象物１の内部の異物等の検査精度が低下するのを防止することができる。
【００４３】
第２照明手段５の照度については、検査対象物１の光透過性に応じて適宜設定すればよいが、通常は、１００ルクス以上であり、好ましくは１００ルクス〜５００，０００ルクス、より好ましくは６００ルクス〜３０，０００ルクスの範囲内である。第２照明手段５の照度を１００ルクス以上にすることにより、検査対象物１に対し十分な照度の光を透過させることができ、検査対象物１の内部の状態を十分に詳細に撮像することができる。尚、第２照明手段５の照度の上限については、例えば、撮像手段３として撮像カメラを使用した場合、当該照度が高すぎても、当該カメラのシャッタースピードを上げたり、レンズの絞りを絞る等の方法により、検査対象物１の表面の撮像が可能なため、特に限定されない。但し、５００，０００ルクス以下にすることにより、検査精度が低下するのを防止することができる。
【００４４】
次に、前記検査装置を用いた検査対象物１の検査方法について説明する。
検査対象物１の検査は、先ず、検査対象物１の上方を除く当該検査対象物１の周囲の任意の高さに配置された第１照明手段２が拡散光を照射することにより行われる。第１照明手段２による拡散光の照射は、検査対象物１の上方であって、その表面に対し略平行となる方向に対し行われる。その結果、第１照明手段２の照射光が検査対象物１の表面に直接照射されるのを防止し、検査対象物１の表面で拡散光を間接的に撮像手段３の撮像方向に反射させることができる。
【００４５】
拡散光を照射するに際しては、検査対象物１の周囲の任意の高さに配置されている全ての第１照明手段２を用いるのが好ましい。これにより、検査対象物１における検査領域の全体に、均一に拡散光を照射させることができる。但し、本実施の形態に係る検査装置においては、隣り合う第１照明手段２のみ、又は対向する第１照明手段２同士のみを用いて拡散光を照射しても、本発明の効果を奏することができる。
【００４６】
次に、第１照明手段２により拡散光を照射させた状態で、撮像手段３により検査対象物１の表面の撮像を行う。検査対象物１の表面に異物や欠陥等が存在する場合には、黒点等として撮像される。また、本実施の形態に於いては第１照明手段２による光照射を検査対象物１の表面に直接行うものではないので、第１照明手段２の光源の映り込みが発生するのを防止することができる。尚、検査対象物１の表面を検査するにあたっては、第２照明手段５は光照射を行わない。
【００４７】
また、撮像手段３は検査対象物１の表面に対し、略垂直となる方向から行うのが好ましい。これにより、検査対象物１の表面に緩やかな凹凸面が存在する場合にも、凹凸状態に起因した陰影が強調されるのを抑制し、検査精度が低下するのを防止することができる。
【００４８】
続いて、第１照明手段２の光照射を止め、第２照明手段５により検査対象物１の裏面側から光照射を行う。これにより、光透過性を有する検査対象物１に対し第２照明手段から照射された光を透過させ、その透過光を撮像手段３により撮像する。その結果、検査対象物１の内部の異物や欠陥等が存在する場合には、黒点等として撮像される。
【００４９】
検査対象物１の内部の検査が終了した後は、検査対象物１を反転させて載置手段４上に載置する。次いで、検査対象物１の裏面側であった面についても、第１照明手段２を用いて異物や欠陥等の有無を検査する。尚、検査対象物１の裏面側の検査は、第２照明手段５を用いた検査対象物１の内部の検査の前に行ってもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１  検査対象物
２  第１照明手段
３  撮像手段
４  載置手段
５  第２照明手段
【図１】
2014044059.tif 000003
【図２】
2014044059.tif 000004