(57)【要約】【課題】実施が容易であり且つ擦れ屑が発生しにくいプローブピンを提供する。【解決手段】略円弧形状に湾曲した板バネ製の先端部（１１）と、その先端部（１１）の両端からそれぞれ延び出し端部分が支持部材（ａ１）に固定された２つの耳部（１２，１２）とを有してなる。【効果】耳部（１２，１２）が主として変形し、先端部（１１）の変形が従となるので、先端部（１１）の変形による検査対象物の導電面との擦れが少なくて済み、擦れ屑が発生しにくくなる。カンチレバーを設ける必要が無く、構造が簡単明瞭であり、実施が容易である。【選択図】図１
2014182041.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略円弧形状に湾曲し頂点部分を検査対象物の導電面に接触させる板バネ製の先端部と、前記先端部の両端からそれぞれ延び出し端部分が支持部材に固定される板バネ製の２つの耳部とを有し、前記支持部材に固定される端部分を除く前記耳部は直線形状であるか又は前記先端部よりも大きな曲率で湾曲しており、前記支持部材に固定される端部分を除く前記耳部の長さ又は弦長は前記先端部の矢高よりも大きく且つ３ｍｍよりも長いことを特徴とするプローブピン。
【請求項２】
検査対象物の導電面に接触させる接触子と、略円弧形状に湾曲し頂点部分に前記接触子が固定された板バネ製の先端部と、前記先端部の両端からそれぞれ延び出し端部分が支持部材に固定される板バネ製の２つの耳部とを有し、前記支持部材に固定される端部分を除く前記耳部は直線形状であるか又は前記先端部よりも大きな曲率で湾曲しており、前記支持部材に固定される端部分を除く前記耳部の長さ又は弦長は前記先端部の矢高よりも大きく且つ３ｍｍよりも長いことを特徴とするプローブピン。
【請求項３】
検査対象物の導電面に接触させる接触子と、前記接触子を挟むように各第１端部分が前記接触子を支持し前記各第１端部分からそれぞれ延び出し各第２端部分が支持部材にそれぞれ固定される板バネ製の２つの耳部とを有し、前記第１端部分および前記第２端部分を除く前記耳部は直線形状であるか又は前記先端部よりも大きな曲率で湾曲しており、前記第１端部分および前記第２端部分を除く前記耳部の長さは３ｍｍよりも長いことを特徴とするプローブピン。
【請求項４】
略円弧形状に湾曲し頂点部分を検査対象物の導電面に接触させる板バネ製の先端部および前記先端部の両端からそれぞれ延び出した板バネ製の２つの耳部を有するプローブピンと、前記２つの耳部を外側から挟み且つ固定する支持部材とを具備したことを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項５】
検査対象物の導電面に接触させる接触子および略円弧形状に湾曲し頂点部分に前記接触子が固定された板バネ製の先端部および前記先端部の両端からそれぞれ延び出した板バネ製の２つの耳部を有するプローブピンと、前記２つの耳部を挟み且つ固定する支持部材とを具備したことを特徴とするコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブピンおよびコンタクトプローブに関し、さらに詳しくは、実施が容易であり且つ擦れ屑が発生しにくく大電流の検査にも適用できるプローブピンおよびコンタクトプローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント基板、ＭＰＵなどのパッケージ、パッケージ基板の検査、ＬＣＤなどのＦＰＤのパターン検査、半導体チップ、ウエハなどの通電検査に用いるコンタクトプローブピンとしては、プローブを片持ち梁に保持し検査対象物の導電面に横方向から摺動接触させるカンチレバー型とプローブを垂直方向に保持し検査対象物の導電面に垂直方向から接触させプローブピンを弾性変形させる垂直型のプローブピンがある。
また、従来、板バネを曲げて略円弧形状にした部分を検査対象物の導電面に接触させる構造のプローブピンが知られている（例えば、特許文献１，２，３参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平５−８２０７９号公報
【特許文献２】特開平５−２４０８７７号公報
【特許文献３】特開平６−７４９７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のカンチレバー型のコンタクトプローブは、検査対象物の導電面に対し横方向から摺動接触させるため、検査対象物の導電面表面に擦り傷を発生させるとともに擦れ屑を発生させる問題がある。また、カンチレバー型のコンタクトプローブは、その片持ち梁形状から、コンタクトプローブピンの高集積ユニット化が困難である。
【０００５】
従来の垂直型のコンタクトプローブは、それ自身が垂直方向に変位出来るように内部にコイルスプリングなどのばね材を設けており、プローブピン自体の構造が複雑となる。このような内部構造が複雑なプローブピンでは、繰り返し使用による耐久性が問題となる。特に内部に複数の接点を持つ構造の場合は、大電流で検査したときに、劣化した接点があるとそこでスパークが発生し、プローブピンの破壊が発生する問題がある。
【０００６】
上記特許文献１には、略円弧形状に曲げた板バネをカンチレバーに取り付けたコンタクトプローブが開示されている。
しかし、上記のようにカンチレバー型のコンタクトプローブは、検査対象物の導電面に対し横方向から摺動接触させるため、検査対象物の導電面表面に擦り傷を発生させるとともに擦れ屑を発生させる問題がある。特に板バネをプローブとした場合、接触面積が広い分擦れ屑が多く発生する。擦れ屑が発生すると、大電流の測定では、端子接触面の炭化が発生し、導通性が著しく劣化する。また、上記特許文献１は、板バネをカンチレバーに取り付ける構造が不明であり、特許文献１の記載では容易に実施できない、カンチレバー型のプローブピンの高集積ユニット化が困難である、といった問題がある。
【０００７】
上記特許文献２には、板バネをＪ字形状に形成し、直線形状部の端部分を支持部材に固定し、略円弧形状部の端部を自由にした構造のプローブピンが開示されている。
しかし、略円弧形状部を検査対象物の導電面に接触させたときに、板バネが曲がって略円弧形状部が横滑りし、その横滑りによる擦れ屑が発生する問題点がある。また、片持ち型の構造のため、プローブピンを押し込んだ場合、プローブピンが横方向に曲がってしまう問題がある。
【０００８】
上記特許文献３には、板バネをＵ字形状に形成し、第１の端部分を支持部材に固定し、第２の端部分を支持部材のガイド穴に昇降自在に収容した構造のプローブピンが開示されている。
しかし、第２の端部分の昇降によってガイド穴の内壁が擦れ、擦れ屑が発生する問題点がある。
【０００９】
上記のように従来のプローブピンには課題があり、擦れ屑が発生しにくい垂直型で構造が単純なコンタクトプローブが求められている。
そこで、本発明の目的は、実施が容易であり、垂直型で接触荷重が安定し、擦れ屑が発生しにくく大電流の検査に使用でき、さらに高集積ユニット化が可能なプローブピンおよびコンタクトプローブを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の観点では、本発明は、略円弧形状に湾曲し頂点部分を検査対象物の導電面に接触させる板バネ製の先端部と、前記先端部の両端からそれぞれ延び出し端部分が支持部材に固定される板バネ製の２つの耳部とを有し、前記支持部材に固定される端部分を除く前記耳部は直線形状であるか又は前記先端部よりも大きな曲率で湾曲しており、前記支持部材に固定される端部分を除く前記耳部の長さ又は弦長は前記先端部の矢高よりも大きく且つ３ｍｍよりも長いことを特徴とするプローブピンを提供する。
【００１１】
検査対象物の検査に際し、プローブピンを検査対象物の導電面に接近する方向に移動させ、プローブピンが検査対象物の導電面に圧力ゼロで接触した位置から更にプローブピンを移動させ、所定圧力でプローブピンを検査対象物の導電面に当接させる。このプローブピンが検査対象物の導電面に圧力ゼロで接触した位置から所定圧力で当接した位置までの移動量をストロークという。
【００１２】
上記第１の観点によるプローブピンでは、耳部の端部分を半田付け，溶接，かしめ等により支持部材に固定すれば足り、実施が容易である。また、必要なストロークが耳部の変形で得られるため、接触圧力が安定すると共に先端部の変形による検査対象物の導電面との擦れが少なくて済み、擦れ屑が発生しにくくなる。そのため、大電流を流す検査においても故障が少ない。また、垂直型のコンタクトプローブとして構成を簡単化できるので繰り返しコンタクトに対する耐久性も高く、高集積ユニット化も可能となる。なお、支持部材に固定される端部分を除く前記耳部の長さ又は弦長が３ｍｍ以下の場合、所定の押し込み量を得たい際の前記耳部の変形量（曲がり）が、前記耳部の長さ又は弦長が３ｍｍよりも長い場合に比べて大きくなるため、バネ性を保持するために許容される範囲を超えた塑性変形が発生し、プローブピンのバネ性を著しく劣化させるので本発明のピン形状には適さない。
【００１３】
第２の観点では、本発明は、検査対象物の導電面に接触させる接触子と、略円弧形状に湾曲し頂点部分に前記接触子が固定された板バネ製の先端部と、前記先端部の両端からそれぞれ延び出し端部分が支持部材に固定される板バネ製の２つの耳部とを有し、前記支持部材に固定される端部分を除く前記耳部は直線形状であるか又は前記先端部よりも大きな曲率で湾曲しており、前記支持部材に固定される端部分を除く前記耳部の長さ又は弦長は前記先端部の矢高よりも大きく且つ３ｍｍよりも長いことを特徴とするプローブピンを提供する。
【００１４】
上記第２の観点によるプローブピンでは、耳部の端部分を半田付け，溶接，かしめ等により支持部材に固定すれば足り、実施が容易である。また、耳部の変形で必要なストロークが得られ、接触圧力が安定し、検査対象物の導電面と接触子の擦れが少なくて済み、擦れ屑が発生しにくくなる。そのため、大電流を流す検査においても故障が少ない。また、垂直型のコンタクトプローブとして構成を簡単化できるので繰り返しコンタクトに対する耐久性も高く、高集積ユニット化も可能となる。さらに、板バネの素材（例えばリン青銅）よりも検査対象物の導電面との接触に適した素材（例えばリン青銅よりも軟らかくて検査対象物の導電面を傷つけにくい銅、逆にリン青銅よりも摩耗しにくい銅タングステン）を接触子に選ぶことが出来る。なお、支持部材に固定される端部分を除く前記耳部の長さ又は弦長が３ｍｍ以下の場合、所定の押し込み量を得たい際の前記耳部の変形量（曲がり）が、前記耳部の長さ又は弦長が３ｍｍよりも長い場合に比べて大きくなるため、バネ性を保持するために許容される範囲を超えた塑性変形が発生し、プローブピンのバネ性を著しく劣化させるので本発明のピン形状には適さない。
【００１５】
第３の観点では、本発明は、検査対象物の導電面に接触させる接触子と、前記接触子を挟むように各第１端部分が前記接触子を支持し前記各第１端部分からそれぞれ延び出し各第２端部分が支持部材にそれぞれ固定される板バネ製の２つの耳部とを有し、前記第１端部分および前記第２端部分を除く前記耳部は直線形状であるか又は前記先端部よりも大きな曲率で湾曲しており、前記第１端部分および前記第２端部分を除く前記耳部の長さは３ｍｍよりも長いことを特徴とするプローブピンを提供する。
上記第３の観点によるプローブピンでは、耳部の端部分を半田付け，溶接，かしめ等により接触子や支持部材に固定すれば足り、実施が容易である。また、耳部の変形で必要なストロークが得られ、接触圧力が安定し、検査対象物の導電面と接触子の擦れが少なくて済み、擦れ屑が発生しにくくなる。そのため、大電流を流す検査においても故障が少ない。また、板バネ製の２つの耳部が直線形状であるか又は前記先端部よりも大きな曲率で湾曲しているため、プローブピン押し込み変形時に板ばねの一部に応力が集中することなく、繰り返し使用に対する耐久性が高くなる。加えて垂直型のコンタクトプローブとして構成を簡単化できるので繰り返しコンタクトに対する耐久性も高く、また高集積ユニット化も可能となる。さらに、板バネの素材よりも検査対象物の導電面との接触に適した素材を接触子に選ぶことが出来る。なお、支持部材に固定される端部分を除く前記耳部の長さ又は弦長が３ｍｍ以下の場合、所定の押し込み量を得たい際の前記耳部の変形量（曲がり）が、前記耳部の長さ又は弦長が３ｍｍよりも長い場合に比べて大きくなるため、バネ性を保持するために許容される範囲を超えた塑性変形が発生し、プローブピンのバネ性を著しく劣化させるので本発明のピン形状には適さない。
【００１６】
第４の観点では、本発明は、略円弧形状に湾曲し頂点部分を検査対象物の導電面に接触させる板バネ製の先端部および前記先端部の両端からそれぞれ延び出した板バネ製の２つの耳部を有するプローブピンと、前記２つの耳部を外側から挟み且つ固定する支持部材とを具備したことを特徴とするコンタクトプローブを提供する。
上記第４の観点によるコンタクトプローブでは、耳部を半田付け，溶接，かしめ等により固定するので、実施が容易である。また、支持部材と耳部の擦れによる擦れ屑が発生しにくくなる。そのため、大電流を流す検査においても故障が少ない。さらに、支持部材で耳部を外側から挟むので、耳部が外側へ膨らまないようにすることができ、高集積ユニット化に対し特に有利となる。また、垂直型のコンタクトプローブとして構成を簡単化でき、組み立てが容易で繰り返しコンタクトに対する耐久性が高くなる。
【００１７】
第５の観点では、本発明は、検査対象物の導電面に接触させる接触子および略円弧形状に湾曲し頂点部分に前記接触子が固定された板バネ製の先端部および前記先端部の両端からそれぞれ延び出した板バネ製の２つの耳部を有するプローブピンと、前記２つの耳部を挟み且つ固定する支持部材とを具備したことを特徴とするコンタクトプローブを提供する。
上記第５の観点によるコンタクトプローブでは、耳部を半田付け，溶接，かしめ等により固定するので、実施が容易である。また、支持部材と耳部の擦れによる擦れ屑が発生しにくくなる。そのため、大電流を流す検査においても故障が少ない。さらに、支持部材で耳部を外側から挟むので、耳部が外側へ膨らまないようにすることができ、高集積ユニット化に対し特に有利となる。また、垂直型のコンタクトプローブとして構成を簡単化でき、組み立てが容易で繰り返しコンタクトに対する耐久性が高くなる。また、板バネの素材よりも検査対象物の導電面との接触に適した素材を接触子に選ぶことが出来る。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のプローブピンおよびコンタクトプローブによれば、実施が容易であり、垂直型で接触荷重が安定し、擦れ屑が発生しにくなる。またコンタクトプローブの高集積化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施例１に係るプローブピンを示す正面図，右側面図及び底面図である。
【図２】実施例１に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図３】実施例２に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図４】実施例３に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図５】実施例４に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図６】実施例５に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図７】実施例６に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図８】実施例７に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図９】実施例８に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図１０】実施例９に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図１１】実施例１０に係るプローブピンを示す正面図，右側面図及び底面図である。
【図１２】実施例１０に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図１３】実施例１１に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図１４】実施例１２に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図１５】実施例１３に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図１６】実施例１４に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図１７】実施例１５に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図１８】実施例１６に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図１９】実施例１７に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図２０】実施例１８に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図２１】実施例１９に係るプローブピンを示す正面図，右側面図及び底面図である。
【図２２】実施例１９に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図２３】実施例２０に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図２４】実施例２１に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図２５】実施例２２に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図２６】実施例２３に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図２７】実施例２４に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図２８】実施例２５に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図２９】実施例２６に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図３０】実施例２７に係るプローブピンの使用状態を示す正面図である。
【図３１】実施例２８に係るコンタクトプローブを示す正面図，右側面図，底面図および断面図である。
【図３２】実施例２９に係るコンタクトプローブを示す正面図である。
【図３３】実施例３０に係るコンタクトプローブを示す正面図，右側面図，底面図および断面図である。
【図３４】実施例３１に係るコンタクトプローブを示す正面図である。
【図３５】実施例１１のプローブピンのストローク−荷重特性図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図に示す実施の形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
【実施例】
【００２１】
−実施例１−
図１の（ａ）は、実施例１に係るプローブピン１を示す正面図である。図１の（ｂ）は、同右側面図である。図１の（ｃ）は、同底面図である。
このプローブピン１は、全体が板バネ製であり、略円弧形状に湾曲した先端部１１と、その先端部１１の両端からそれぞれ延び出し端部分が支持部材ａ１に固定された２つの耳部１２，１２とを有してなる。
先端部１１から支持部材ａ１へと両耳部１２，１２の間隔が狭くなっている。
【００２２】
板バネの素材は、例えばリン青銅である。板バネの厚さｔは例えば０．０５ｍｍである。板バネの幅ｗは例えば１．４ｍｍである。板バネの全長は例えば２１．７ｍｍである。
【００２３】
先端部１１は、例えば半径ｒ＝１．１７ｍｍの半円形状である。先端部１１の両端を結ぶ弦に先端部１１の頂点から下ろした垂線の長さ（矢高）Ｙ１は例えば１．２ｍｍである。
【００２４】
支持部材ａ１に固定される端部分を除いて、耳部１２，１２の形状は直線形状であり、長さＹ２は例えば６ｍｍである。
耳部１２，１２の端部分は、半田付け，溶接，かしめ等により支持部材ａ１に固定されている。
【００２５】
支持部材ａ１は、連結部材ａ０を介して、支持板Ｂに保持されている。
【００２６】
図２の（ａ）に示す待機位置では、プローブピン１は、検査対象物の導電面Ｃから離れている。
検査対象物の検査に際し、プローブピン１を検査対象物の導電面Ｃに接近する方向に移動させ、プローブピン１が検査対象物の導電面Ｃに圧力ゼロで接触した位置から更にプローブピン１を移動させ、所定圧力でプローブピン１を検査対象物の導電面Ｃに当接させる。
図２の（ｂ）に示す検査位置は、所定圧力でプローブピン１を検査対象物の導電面Ｃに当接させた位置である。
【００２７】
図２の（ｂ）に示す検査位置では、耳部１２，１２が変形し、所定圧力とするのに必要なストロークが得られている。
【００２８】
プローブピン１は、次の手順で製造しうる。
（１）所定サイズの平板形状の板バネを用意する。
（２）所定径の丸棒に板バネの中央部分を巻き付けて、先端部１１および耳部１２，１２を形成する。
【００２９】
実施例１のプローブピン１は、カンチレバーを設ける必要が無く、垂直型プローブピンで、構造が簡単明瞭であり、実施が容易である。そのため、繰り返しコンタクトに対する耐久性も高く、ユニット化の際の高集積化も可能となる。また、先端部１１の変形による検査対象物の導電面Ｃとの擦れが少なくて済み、擦れ屑が発生しにくくなる。擦れ屑が発生すると、特に大電流の測定では端子接触面で擦れ屑の炭化付着が発生し、導通性が著しく劣化するため、擦れ屑の発生防止は特に大電流の測定に用いるコンタクトプローブでは重要となる。加えて耳部１２が３ｍｍより長いため、所定圧力とするのに必要なストロークが得られると共に、プローブピンの押し込みにより発生する耳部の変形がバネ性を劣化させる程度の塑性変形を与えることがないため、繰り返しコンタクトによる接触圧力変化が小さく、信頼性の高いコンタクトプローブピンとなる。特に１ｍｍ以上プローブピンを押し込む場合で耳部１２が３ｍｍ以下の長さの場合には、プローブピン１にバネ性が損なわれる程度の塑性変形が発生するので、耳部１２を３ｍｍよりも長くすることが必要となる。
【００３０】
−実施例２−
図３に示すプローブピン１’は、耳部１２’，１２’が外側に湾曲した形状である以外は実施例１のプローブピン１と同じである。
耳部１２’，１２’の湾曲の曲率は、先端部１１の湾曲の曲率の５倍以上大きい。
【００３１】
プローブピン１’は、次の手順で製造しうる。
（１）実施例１のプローブピン１を製造する。
（２）耳部１２，１２が外側に湾曲するように補助しながら荷重を加えて全体を圧縮し、耳部１２，１２を塑性変形させて耳部１２’，１２’とする。なお、先端部１１も同時に塑性変形し、曲率がやや大きくなる。
【００３２】
なお、図２の（ｂ）に示す状態で耳部１２，１２が外側に湾曲するように補助しながら塑性変形する大きさのストロークを与えて、耳部１２，１２を耳部１２’，１２’に塑性変形させれば、実施例１のプローブピン１を実施例２のプローブピン１’に変化させることが可能である。
【００３３】
図３の（ｂ）に示すように、実施例２のプローブピン１’は、実施例１のプローブピン１よりも安定に耳部１２’，１２’が外側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部１２’，１２’は外側へ大きく膨らみうるので、ストロークを大きくすることが出来る。
【００３４】
−実施例３−
図４に示すプローブピン１”は、耳部１２”，１２”が内側に湾曲した形状である以外は実施例１のプローブピン１と同じである。
耳部１２”，１２”の湾曲の曲率は、先端部１１の湾曲の曲率の５倍以上大きい。
【００３５】
プローブピン１”は、次の手順で製造しうる。
（１）実施例１のプローブピン１を製造する。
（２）所定径の丸棒に板バネの中央部分を巻き付けて、先端部１１および耳部１２，１２を形成する。
（３）耳部１２，１２が内側に湾曲するように補助しながら荷重を加えて全体を圧縮し、耳部１２，１２を塑性変形させて耳部１２”，１２”とする。なお、先端部１１も同時に塑性変形し、曲率がやや大きくなる。
【００３６】
なお、図２の（ｂ）に示す状態で耳部１２，１２が内側に湾曲するように補助しながら塑性変形する大きさのストロークを与えて、耳部１２，１２を耳部１２”，１２”に塑性変形させれば、実施例１のプローブピン１を実施例３のプローブピン１”に変化させることが可能である。
【００３７】
図４の（ｂ）に示すように、実施例３のプローブピン１”は、実施例１のプローブピン１よりも安定に耳部１２”，１２”が内側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部１２”，１２”が外側へ膨らまないので、他との接触を防止することが出来る。
【００３８】
−実施例４−
図５に示すプローブピン２は、先端部２１から支持部材ａ２へと両耳部２２，２２の間隔が広くなっている以外は実施例１のプローブピン１と同様である。
【００３９】
図５の（ｂ）に示す検査位置では、耳部２２，２２が変形し、所定圧力とするのに必要なストロークが得られる。
【００４０】
−実施例５−
図６に示すプローブピン２’は、耳部２２’，２２’が外側に湾曲した形状である以外は実施例４のプローブピン２と同じである。
耳部２２’，２２’の湾曲の曲率は、先端部２１の湾曲の曲率の５倍以上大きい。
【００４１】
図６の（ｂ）に示すように、実施例５のプローブピン２’は、実施例４のプローブピン２よりも安定に耳部２２’，２２’が外側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部２２’，２２’は外側へ大きく膨らみうるので、ストロークを大きくすることが出来る。
【００４２】
−実施例６−
図７に示すプローブピン２”は、耳部２２”，２２”が内側に湾曲した形状である以外は実施例４のプローブピン２と同じである。
【００４３】
図７の（ｂ）に示すように、実施例６のプローブピン２”は、実施例４のプローブピン２よりも安定に耳部２２”，２２”が内側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部２２”，２２”が外側へ膨らまないので、他との接触を防止することが出来る。
【００４４】
−実施例７−
図８に示すプローブピン３は、先端部３１から支持部材ａ３へと両耳部３２，３２の間隔が一定である以外は実施例１のプローブピン１と同様である。
【００４５】
図８の（ｂ）に示す検査位置では、耳部３２，３２が変形し、所定圧力とするのに必要なストロークが得られる。
【００４６】
−実施例８−
図９に示すプローブピン３’は、耳部３２’，３２’が外側に湾曲した形状である以外は実施例７のプローブピン３と同じである。
耳部３２’，３２’の湾曲の曲率は、先端部３１の湾曲の曲率の５倍以上大きい。
【００４７】
図９の（ｂ）に示すように、実施例８のプローブピン３’は、実施例７のプローブピン３よりも安定に耳部３２’，３２’が外側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部３２’，３２’は外側へ大きく膨らみうるので、ストロークを大きくすることが出来る。
【００４８】
−実施例９−
図１０に示すプローブピン３”は、耳部３２”，３２”が内側に湾曲した形状である以外は実施例７のプローブピン３と同じである。
【００４９】
図１０の（ｂ）に示すように、実施例９のプローブピン３”は、実施例７のプローブピン３よりも安定に耳部３２”，３２”が内側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部３２”，３２”が外側へ膨らまないので、他との接触を防止することが出来る。
【００５０】
−実施例１０−
図１１に示すプローブピン４は、先端部１１の頂点部分に接触子１３が取り付けられている以外は実施例１のプローブピン１と同じである。
【００５１】
接触子１３は、例えば直径１．３ｍｍ，高さ０．５ｍｍの円柱形であり、先端部１１の頂点部分に半田付け，溶接，かしめ等により取り付けられている。
接触子１３の素材は、例えば銅タングステンである。
【００５２】
図１２の（ａ）に示す待機位置では、プローブピン１は、検査対象物の導電面Ｃから離れている。
図１２の（ｂ）に示す検査位置では、所定圧力でプローブピン１の接触子１３を検査対象物の導電面Ｃに当接している。
【００５３】
図１２の（ｂ）に示す検査位置では、耳部１２，１２が変形し、所定圧力とするのに必要なストロークが得られている。
【００５４】
プローブピン４は、次の手順で製造しうる。
（１）所定サイズの平板形状の板バネを用意する。
（２）板バネの中央部分に接触子１３を取り付ける。
（３）所定径の丸棒に板バネの中央部分を巻き付けて、先端部１１および耳部１２，１２を形成する。
【００５５】
実施例１０のプローブピン４は、カンチレバーを設ける必要が無く、垂直型プローブピンで、構造が簡単明瞭であり、実施が容易である。そのため、繰り返しコンタクトに対する耐久性も高く、ユニット化の際の高集積化も可能となる。また、接触子１３と検査対象物の導電面Ｃとの擦れが少なくて済み、擦れ屑が発生しにくくなる。擦れ屑が発生すると、特に大電流の測定では端子接触面で擦れ屑の炭化付着が発生し、導通性が著しく劣化するため、擦れ屑の発生防止は特に大電流の測定に用いるコンタクトプローブでは重要となる。接触子１３は、その接触面を平坦にすることにより板バネのみの場合よりも検査対象物の導電面Ｃと安定した接触が得られるとともに、板バネの素材よりも検査対象物の導電面Ｃとの接触に適した素材を選択し使用することが出来る。さらに実施例１０のプローブピン４は、耳部１２が３ｍｍより長いため、所定圧力とするのに必要なストロークが得られると共に、プローブピンの押し込みにより発生する耳部の変形がバネ性を劣化させる程度の塑性変形を与えることがないため、繰り返しコンタクトによる接触圧力変化が小さく、信頼性の高いコンタクトプローブピンとなる。特に１ｍｍ以上プローブピンを押し込む場合で耳部１２が３ｍｍ以下の長さの場合には、プローブピン１にバネ性が損なわれる程度の塑性変形が発生するので、耳部１２を３ｍｍよりも長くすることが必要となる。
【００５６】
−実施例１１−
図１３に示すプローブピン４’は、耳部１２’，１２’が外側に湾曲した形状である以外は実施例１０のプローブピン４と同じである。
耳部１２’，１２’の湾曲の曲率は、先端部１１の湾曲の曲率の５倍以上大きい。
【００５７】
プローブピン４’は、次の手順で製造しうる。
（１）実施例１０のプローブピン４を製造する。
（２）耳部１２，１２が外側に湾曲するように補助しながら塑性変形する大きさのストロークを与えて、耳部１２，１２を耳部１２’，１２’に塑性変形させる。なお、先端部１１も同時に塑性変形し、曲率がやや大きくなる。
【００５８】
図１３の（ｂ）に示すように、実施例１１のプローブピン４’は、実施例１０のプローブピン４よりも安定に耳部１２’，１２’が外側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部１２’，１２’は外側へ大きく膨らみうるので、ストロークを大きくすることが出来る。
【００５９】
図３５は、実施例１１のプローブピン４’のストローク−荷重特性図である。
特性曲線Ｓ１は、実施例１０のプローブピン４に対してストローク０．３ｍｍを一度与えて耳部１２，１２を耳部１２’，１２’に塑性変形させたプローブピン４’の特性である。
特性曲線Ｓ２は、実施例１０のプローブピン４に対してストローク０．７ｍｍを一度与えて耳部１２，１２を耳部１２’，１２’に塑性変形させたプローブピン４’の特性である。
特性曲線Ｓ３は、実施例１０のプローブピン４に対してストローク１．０ｍｍを一度与えて耳部１２，１２を耳部１２’，１２’に塑性変形させたプローブピン４’の特性である。
特性曲線Ｓ４は、実施例１０のプローブピン４に対してストローク１．５ｍｍを一度与えて耳部１２，１２を耳部１２’，１２’に塑性変形させたプローブピン４’の特性である。
【００６０】
プローブピン４’を検査に使用するときの条件として、荷重が例えば４０ｇｆであり、ストロークが例えば０．２ｍｍならば、特性曲線Ｓ１のプローブピン４’を製造すればよい。荷重が４８ｇｆまで、ストロークが０．３ｍｍまでならば、特性曲線Ｓ１は変化しないので、その分が余裕になる。
プローブピン４’を検査に使用するときの条件として、荷重が例えば５２ｇｆであり、ストロークが例えば０．５ｍｍならば、特性曲線Ｓ２のプローブピン４’を製造すればよい。荷重が６０ｇｆまで、ストロークが０．７ｍｍまでならば、特性曲線Ｓ２は変化しないので、その分が余裕になる。
プローブピン４’を検査に使用するときの条件として、荷重が例えば６０ｇｆであり、ストロークが例えば０．８ｍｍならば、特性曲線Ｓ３のプローブピン４’を製造すればよい。荷重が６３ｇｆまで、ストロークが１．０ｍｍまでならば、特性曲線Ｓ３は変化しないので、その分が余裕になる。
プローブピン４’を検査に使用するときの条件として、荷重が例えば６０ｇｆであり、ストロークが例えば１．３ｍｍならば、特性曲線Ｓ４のプローブピン４’を製造すればよい。荷重が６３ｇｆまで、ストロークが１．５ｍｍまでならば、特性曲線Ｓ４は変化しないので、その分が余裕になる。
【００６１】
図３５に示す実施例１１のプローブピン４’のストローク−荷重特性は、プローブピン４’にストロークを与えると塑性変形が発生するが、一度与えたストローク以下のストローク範囲であれば、繰り返しストロークに対し荷重の再現性が高く、バネ性が保持されることを意味している。この性質を利用すれば、例えば、検査対象物に導電面Ｃが複数あり、その高さにばらつきがあるような場合、プローブピン４’を用いてユニット化したコンタクトプローブユニットを作製し、複数ある導電面Ｃのそれぞれの高さに合わせた押し込み量によりプローブピン４’に一度塑性変形を与えれば、コンタクトプローブユニットのそれぞれのプローブピン４’はその同じ検査対象物に対して繰り返し試験を行う場合、接触荷重の再現性が非常に高く安定した検査が行える。従って量産品の検査に対し適している。特に図３５のＳ２、Ｓ３、Ｓ４に示すの範囲では、ストローク変化に対する荷重の変化が小さいため、検査対象物の導電面Ｃに高さばらつきがある場合でもコンタクトプローブユニットのそれぞれのプローブピンによる荷重の差は小さくなるので接触安定性が保たれる。また、接触圧が過剰にかかり検査対象物を破損させることも無くなる。この特性は実施例１１に示すプローブピン４’に限定されるものでは無く、本発明における実施例１乃至実施例１０および実施例１２乃至実施例２７にも共通の特性である。
【００６２】
−実施例１２−
図１４に示すプローブピン４”は、耳部１２”，１２”が内側に湾曲した形状である以外は実施例１０のプローブピン４と同じである。
【００６３】
図１４の（ｂ）に示すように、実施例１２のプローブピン４”は、実施例１０のプローブピン４よりも安定に耳部１２”，１２”が内側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部１２”，１２”が外側へ膨らまないので、他との接触を防止することが出来る。
【００６４】
−実施例１３−
図１５に示すプローブピン５は、先端部５１から支持部材ａ２へと両耳部５２，５２の間隔が広くなっている以外は実施例１０のプローブピン４と同様である。
【００６５】
図１５の（ｂ）に示す検査位置では、耳部５２，５２が変形し、所定圧力とするのに必要なストロークが得られる。
【００６６】
−実施例１４−
図１６に示すプローブピン５’は、耳部５２’，５２’が外側に湾曲した形状である以外は実施例１３のプローブピン５と同じである。
耳部５２’，５２’の湾曲の曲率は、先端部２１の湾曲の曲率の５倍以上大きい。
【００６７】
図１６の（ｂ）に示すように、実施例１４のプローブピン５’は、実施例１３のプローブピン５よりも安定に耳部５２’，５２’が外側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部５２’，５２’は外側へ大きく膨らみうるので、ストロークを大きくすることが出来る。
【００６８】
−実施例１５−
図１７に示すプローブピン５”は、耳部５２”，５２”が内側に湾曲した形状である以外は実施例１３のプローブピン５と同じである。
【００６９】
図１７の（ｂ）に示すように、実施例１５のプローブピン５”は、実施例１３のプローブピン５よりも安定に耳部５２”，５２”が内側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部５２”，５２”が外側へ膨らまないので、他との接触を防止することが出来る。
【００７０】
−実施例１６−
図１８に示すプローブピン６は、先端部６１から支持部材ａ３へと両耳部６２，６２の間隔が一定である以外は実施例１０のプローブピン４と同様である。
【００７１】
図１８の（ｂ）に示す検査位置では、耳部６２，６２が変形し、所定圧力とするのに必要なストロークが得られる。
【００７２】
−実施例１７−
図１９に示すプローブピン６’は、耳部６２’，６２’が外側に湾曲した形状である以外は実施例１６のプローブピン６と同じである。
耳部６２’，６２’の湾曲の曲率は、先端部６１の湾曲の曲率の５倍以上大きい。
【００７３】
図１９の（ｂ）に示すように、実施例１７のプローブピン６’は、実施例１６のプローブピン６よりも安定に耳部６２’，６２’が外側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部６２’，６２’は外側へ大きく膨らみうるので、ストロークを大きくすることが出来る。
【００７４】
−実施例１８−
図２０に示すプローブピン６”は、耳部６２”，６２”が内側に湾曲した形状である以外は実施例１６のプローブピン６と同じである。
【００７５】
図２０の（ｂ）に示すように、実施例１８のプローブピン６”は、実施例１６のプローブピン６よりも安定に耳部６２”，６２”が内側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部６２”，６２”が外側へ膨らまないので、他との接触を防止することが出来る。
【００７６】
−実施例１９−
図２１の（ａ）は、実施例１９に係るプローブピン７を示す正面図である。図１９の（ｂ）は、同右側面図である。図１９の（ｃ）は、同底面図である。
このプローブピン７は、接触子７３と、接触子７３を挟むように各第１端部分が接触子７３を支持し各第１端部分からそれぞれ延び出し各第２端部分が支持部材ａ４にそれぞれ固定される板バネ製の２つの耳部７２とを有してなる。
接触子７３から支持部材ａ４へと両耳部７２，７２の間隔が広くなっている。
【００７７】
接触子７３は、例えば底面１．３ｍｍ×１．３ｍｍ，高さ０．５ｍｍの角柱形であり、耳部７２の第１端部分に半田付け，溶接，かしめ等により取り付けられている。
接触子７３の素材は、例えば銅である。
【００７８】
耳部７２，７２は、板バネ製である。
板バネの素材は、例えばリン青銅である。板バネの厚さｔは例えば１ｍｍである。板バネの第１端の幅は例えば１．４ｍｍであり、第２端の幅は例えば３ｍｍである。
【００７９】
第１端部分および第２端部分を除いて、耳部７２，７２の形状は直線形状であり、長さＹ３は例えば１０ｍｍである。
第２端部分は、半田付け，溶接，かしめ等により支持部材ａ４に固定されている。
【００８０】
支持部材ａ４は、連結部材ａ０を介して、支持板Ｂに保持されている。
【００８１】
図２２の（ａ）に示す待機位置では、プローブピン７は、検査対象物の導電面Ｃから離れている。
検査対象物の検査に際し、プローブピン７を検査対象物の導電面Ｃに接近する方向に移動させ、プローブピン７が検査対象物の導電面Ｃに圧力ゼロで接触した位置から更にプローブピン７を移動させ、所定圧力でプローブピン７を検査対象物の導電面Ｃに当接させる。
図２２の（ｂ）に示す検査位置は、所定圧力でプローブピン７を検査対象物の導電面Ｃに当接させた位置である。
【００８２】
図２２の（ｂ）に示す検査位置では、耳部７２，７２が変形し、所定圧力とするのに必要なストロークが得られている。
【００８３】
実施例１９のプローブピン７は、カンチレバーを設ける必要が無く、垂直型プローブピンで、構造が簡単明瞭であり、実施が容易である。そのため、繰り返しコンタクトに対する耐久性も高く、ユニット化の際の高集積化も可能となる。また、接触子７３と検査対象物の導電面Ｃとの擦れが少なくて済み、擦れ屑が発生しにくくなる。擦れ屑が発生すると、特に大電流の測定では端子接触面で擦れ屑の炭化付着が発生し、導通性が著しく劣化するため、擦れ屑の発生防止は特に大電流の測定に用いるコンタクトプローブでは重要となる。また、接触子７３は、その接触面を平坦にすることにより検査対象物の導電面Ｃと安定した接触が得られるとともに、板バネの素材よりも検査対象物の導電面Ｃとの接触に適した素材を選択し使用することが出来る。さらに、実施例１９のプローブピン７は、耳部７２が３ｍｍより長いため、所定圧力とするのに必要なストロークが得られると共に、プローブピンの押し込みにより発生する耳部の変形がバネ性を劣化させる程度の塑性変形を与えることがないため、繰り返しコンタクトによる接触圧力変化が小さく、信頼性の高いコンタクトプローブピンとなる。特に１ｍｍ以上プローブピンを押し込む場合で耳部７２が３ｍｍ以下の長さの場合には、プローブピン１にバネ性が損なわれる程度の塑性変形が発生するので、耳部７２を３ｍｍよりも長くすることが必要となる。
【００８４】
−実施例２０−
図２３に示すプローブピン７’は、耳部７２’，７２’が外側に湾曲した形状である以外は実施例１９のプローブピン７と同じである。
【００８５】
プローブピン７’は、実施例１９のプローブピン７を製造した後、耳部７２，７２が外側に湾曲するように補助しながら荷重を加えて全体を圧縮し、耳部７２，７２を塑性変形させて耳部７２’，７２’とすることにより製造しうる。
【００８６】
なお、図２２の（ｂ）に示す状態で耳部７２，７２が外側に湾曲するように補助しながら塑性変形する大きさのストロークを与えて、耳部７２，７２を塑性変形させれば、実施例１９のプローブピン７を実施例２０のプローブピン７’に変化させることが可能である。
【００８７】
図２３の（ｂ）に示すように、実施例２０のプローブピン７’は、実施例１９のプローブピン７よりも安定に耳部７２’，７２’が外側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部７２’，７２’は外側へ大きく膨らみうるので、ストロークを大きくすることが出来る。
【００８８】
−実施例２１−
図２４に示すプローブピン７”は、耳部７２”，７２”が内側に湾曲した形状である以外は実施例１９のプローブピン７と同じである。
【００８９】
プローブピン７”は、実施例１９のプローブピン７を製造した後、耳部７２，７２が内側に湾曲するように補助しながら荷重を加えて全体を圧縮し、耳部７２，７２を塑性変形させて耳部７２”，７２”とすることにより製造しうる。
【００９０】
なお、図２２の（ｂ）に示す状態で耳部７２，７２が内側に湾曲するように補助しながら塑性変形する大きさのストロークを与えて、耳部７２，７２を塑性変形させれば、実施例１９のプローブピン７を実施例２１のプローブピン７”に変化させることが可能である。
【００９１】
図２４の（ｂ）に示すように、実施例２１のプローブピン７”は、実施例１９のプローブピン７よりも安定に耳部７２”，７２”が内側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部７２”，７２”が外側へ膨らまないので、他との接触を防止することが出来る。
【００９２】
−実施例２２−
図２５に示すプローブピン８は、接触子８３から支持部材ａ５へと両耳部８２，８２の間隔が狭くなっている以外は実施例１９のプローブピン７と同様である。
【００９３】
図２５の（ｂ）に示す検査位置では、耳部８２，８２が変形し、所定圧力とするのに必要なストロークが得られる。
【００９４】
−実施例２３−
図２６に示すプローブピン８’は、耳部８２’，８２’が外側に湾曲した形状である以外は実施例２２のプローブピン８と同じである。
【００９５】
図２６の（ｂ）に示すように、実施例２３のプローブピン８’は、実施例２２のプローブピン８よりも安定に耳部８２’，８２’が外側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部８２’，８２’は外側へ大きく膨らみうるので、ストロークを大きくすることが出来る。
【００９６】
−実施例２４−
図２７に示すプローブピン８”は、耳部８２”，８２”が内側に湾曲した形状である以外は実施例２２のプローブピン８と同じである。
【００９７】
図２７の（ｂ）に示すように、実施例２４のプローブピン８”は、実施例２２のプローブピン８よりも安定に耳部８２”，８２”が内側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部８２”，８２”が外側へ膨らまないので、他との接触を防止することが出来る。
【００９８】
−実施例２５−
図２８に示すプローブピン９は、先端部９１から支持部材ａ５へと両耳部９２，９２の間隔が一定である以外は実施例２２のプローブピン８と同様である。
【００９９】
図２８の（ｂ）に示す検査位置では、耳部９２，９２が変形し、所定圧力とするのに必要なストロークが得られる。
【０１００】
−実施例２６−
図２９に示すプローブピン９’は、耳部９２’，９２’が外側に湾曲した形状である以外は実施例２５のプローブピン９と同じである。
【０１０１】
図２９の（ｂ）に示すように、実施例２６のプローブピン９’は、実施例２５のプローブピン９よりも安定に耳部９２’，９２’が外側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部９２’，９２’は外側へ大きく膨らみうるので、ストロークを大きくすることが出来る。
【０１０２】
−実施例２７−
図３０に示すプローブピン９”は、耳部９２”，９２”が内側に湾曲した形状である以外は実施例２５のプローブピン９と同じである。
【０１０３】
図３０の（ｂ）に示すように、実施例２７のプローブピン９”は、実施例２５のプローブピン９よりも安定に耳部９２”，９２”が内側に湾曲するため、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。また、耳部９２”，９２”が外側へ膨らまないので、他との接触を防止することが出来る。
【０１０４】
−実施例２８−
図３１の（ａ）は、実施例２８に係るコンタクトプローブ１０００を示す正面図である。図３１の（ｂ）は、同右側面図である。図３１の（ｃ）は、同底面図である。図３１の（ｄ）は、図３１の（ｃ）のＸ−Ｘ’断面図である。
【０１０５】
このコンタクトプローブ１０００は、略円弧形状に湾曲し頂点部分を検査対象物の導電面に接触させる板バネ製の先端部１０１および先端部１０１の両端からそれぞれ延び出した板バネ製の２つの耳部１０２を有するプローブピン１００と、２つの耳部１０２を外側から挟み且つ固定する支持部材１０５とを具備してなる。
【０１０６】
プローブピン１００の板バネの素材は、例えばリン青銅である。板バネの厚さは例えば０．０５ｍｍである。板バネの幅は例えば１．４ｍｍである。
【０１０７】
先端部１０１は、例えば半径ｒ＝１．１７ｍｍの半円形状である。
【０１０８】
耳部１０２，１０２の形状は直線形状であり、長さは例えば６ｍｍである。
【０１０９】
支持部材１０５には、耳部１０２，１０２を収容するスロットが穿設されている。
【０１１０】
耳部１０２，１０２は、支持部材１０５のスロットに収容され、貫通ピン１０４により支持部材ａ４に固定されている。
【０１１１】
支持部材１０５は、連結部材１０６を介して、支持板Ｂに保持されている。
【０１１２】
検査対象物の検査に際し、コンタクトプローブ１０００を検査対象物の導電面に接近する方向に移動させ、先端部１０１が検査対象物の導電面に圧力ゼロで接触した位置から更にコンタクトプローブ１０００を移動させ、所定圧力で先端部１０１を検査対象物の導電面に当接させる。このとき、先端部１０１が変形し、所定圧力とするのに必要なストロークが得られる。耳部１０２，１０２は、支持部材１０５のスロットの壁面で規制され、外側へは膨らまない。
【０１１３】
なお、実施例１で説明したと同様に、荷重を加えて先端部１０１を圧縮し、曲率がやや大きくなるように塑性変形させておくのが好ましい。これにより、安定に先端部１０１が湾曲するようになり、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。
【０１１４】
実施例２８のコンタクトプローブ１０００は、カンチレバーを設ける必要が無く、垂直型プローブピンで、構造が簡単明瞭であり、実施が容易である。そのため、繰り返しコンタクトに対する耐久性も高く、ユニット化の際の高集積化も可能となる。また、先端部１０１と検査対象物の導電面との擦れが少なくて済み、擦れ屑が発生しにくくなる。擦れ屑が発生すると、特に大電流の測定では端子接触面で擦れ屑の炭化付着が発生し、導通性が著しく劣化するため、擦れ屑の発生防止は特に大電流の測定に用いるコンタクトプローブでは重要となる。さらに、耳部１０２，１０２が外側へ膨らまないので、他のプローブピンとの接触を防ぐことが出来る。
【０１１５】
−実施例２９−
図３２に示すように、実施例２８のコンタクトプローブ１０００を２つ並べて、２つの先端部１０１が検査対象物の導電面に同時に接触するようにしてもよい。
【０１１６】
−実施例３０−
図３３に示すコンタクトプローブ２０００は、先端部１０１の頂点部に接触子１０３を取り付けた以外は実施例２８のコンタクトプローブ１０００と同様の構成である。
【０１１７】
接触子７３は、例えば直径１．３ｍｍ，高さ０．５ｍｍの円柱形の上に直径０．５ｍｍ，高さ０．５ｍｍの円柱形を載せた２段円柱形であり、先端部１０１の頂点部にかしめ等により取り付けられている。
接触子７３の素材は、例えば銅タングステンである。
【０１１８】
なお、実施例２８で説明したと同様に、荷重を加えて先端部１０１を圧縮し、曲率がやや大きくなるように塑性変形させておくのが好ましい。これにより、安定に先端部１０１が湾曲するようになり、検査位置におけるストロークの変動に対する圧力の変動を小さくすることが出来る。
【０１１９】
実施例３０のコンタクトプローブ２０００は、カンチレバーを設ける必要が無く、垂直型プローブピンで、構造が簡単明瞭であり、実施が容易である。そのため、繰り返しコンタクトに対する耐久性も高く、ユニット化の際の高集積化も可能となる。また、接触子１０３と検査対象物の導電面との擦れが少なくて済み、擦れ屑が発生しにくくなる。擦れ屑が発生すると、特に大電流の測定では端子接触面で擦れ屑の炭化付着が発生し、導通性が著しく劣化するため、擦れ屑の発生防止は特に大電流の測定に用いるコンタクトプローブでは重要となる。接触子１０３は、その接触面を平坦にすることにより検査対象物の導電面Ｃと安定した接触が得られるとともに、板バネの素材よりも検査対象物の導電面Ｃとの接触に適した素材を選択し使用することが出来る。さらに、耳部１０２，１０２は、支持部材１０５のスロットの壁面で規制され、外側へは膨らまないので他のプローブピンとの接触を防ぐことができる。
【０１２０】
−実施例３１−
図３４に示すように、実施例３０のコンタクトプローブ２０００を２つ並べて、２つの接触子１０３が検査対象物の導電面に同時に接触するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１２１】
本発明のプローブピンおよびコンタクトプローブは、半導体チップの検査、特に電力用半導体素子など大電流を流す半導体チップの検査に利用することが出来る。また、プリント基板、ＭＰＵなどのパッケージ、パッケージ基板の検査、ＬＣＤなどのＦＰＤのパターン検査にも利用することが出来る。
【符号の説明】
【０１２２】
１〜９                      プローブピン
１’〜９’                  プローブピン
１”〜９”                  プローブピン
１１，２１，３１            先端部
１２，１２’，１２”        耳部
１３，７３，８３，９３      接触子
２２，２２’，２２”        耳部
３２，３２’，３２”        耳部
５１                        先端部
５２，５２’，５２”        耳部
６１                        先端部
６２，６２’，６２”        耳部
７２，７２’，７２”        耳部
８２，８２’，８２”        耳部
９２，９２’，９２”        耳部
１００                      プローブピン
１０１                      先端部
１０２                      耳部
１０３                      接触子
１０５                      支持部材
１０００，２０００          コンタクトプローブ
【図１】
2014182041.tif 000003
【図２】
2014182041.tif 000004
【図３】
2014182041.tif 000005
【図４】
2014182041.tif 000006
【図５】
2014182041.tif 000007
【図６】
2014182041.tif 000008
【図７】
2014182041.tif 000009
【図８】
2014182041.tif 000010
【図９】
2014182041.tif 000011
【図１０】
2014182041.tif 000012
【図１１】
2014182041.tif 000013
【図１２】
2014182041.tif 000014
【図１３】
2014182041.tif 000015
【図１４】
2014182041.tif 000016
【図１５】
2014182041.tif 000017
【図１６】
2014182041.tif 000018
【図１７】
2014182041.tif 000019
【図１８】
2014182041.tif 000020
【図１９】
2014182041.tif 000021
【図２０】
2014182041.tif 000022
【図２１】
2014182041.tif 000023
【図２２】
2014182041.tif 000024
【図２３】
2014182041.tif 000025
【図２４】
2014182041.tif 000026
【図２５】
2014182041.tif 000027
【図２６】
2014182041.tif 000028
【図２７】
2014182041.tif 000029
【図２８】
2014182041.tif 000030
【図２９】
2014182041.tif 000031
【図３０】
2014182041.tif 000032
【図３１】
2014182041.tif 000033
【図３２】
2014182041.tif 000034
【図３３】
2014182041.tif 000035
【図３４】
2014182041.tif 000036
【図３５】
2014182041.tif 000037