(57)【要約】【課題】波長が異なるエキシマランプの点灯に共用される光源装置において、所望の波長の光を適切な照度で照射できるようにすること。【解決手段】各ランプ１にＩＣタグ１０を取り付け、ＩＣタグ１０に該ランプを特定するための情報を記録しておく。また、光源装置の制御部４の記憶部１３に、該光源装置で使用可能なランプを特定する情報と、該ランプ１の出射波長と、該出射波長に対応した光センサ１５の感度補正値を記憶させておく。装置を起動してランプを点灯させる際、上記ＩＣタグ１０の情報と記憶部１３に記憶された情報とを照合し、該ランプが使用可能であり、該ランプの出射波長が予め設定された波長であるかを判定する。そして、該ランプが使用可能なランプであり、その出射波長が適切であれば、光センサ感度補正手段４ｃにより光センサ１５の感度を上記感度補正値により補正して、ランプを正常点灯させる。【選択図】    図１
2014179188.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＣタグが設けられたエキシマランプへ給電する点灯電源と、
前記エキシマランプに設けられたＩＣタグからの情報の読み取りを行うＩＣタグ読み取り手段と、
点灯した前記エキシマランプからの照度を測定する光センサと、
前記光センサからの出力に基づき前記点灯電源を制御し、前記エキシマランプの照度を制御する制御部と、を備えた光源装置において、
前記点灯電源は、点灯条件が等しく、出射波長が異なるエキシマランプの点灯に共用されるものであって、
前記制御部には、少なくとも当該装置において使用されうるエキシマランプを特定する使用可能ランプ情報と、使用可能な各エキシマランプの出射波長に対応させた前記光センサの感度を補正する感度補正値が記憶され、前記ＩＣタグには、少なくとも該ＩＣタグが設けられたエキシマランプを特定するためのランプ特定情報が記憶され、
前記制御部は、前記光源装置を起動してエキシマランプを点灯させる際、前記ＩＣタグ読取手段によってＩＣタグから読み取られた前記ランプ特定情報と、前記制御部に記憶された使用可能ランプ情報とから、該光源装置に取り付けられたエキシマランプが、使用可能なランプであって、所望の出射波長の光を放出するエキシマランプであるかを判定し、該エキシマランプが条件を満たしたランプであると判定された場合に、該エキシマランプを正常点灯させ、且つ、該制御部に記憶された当該エキシマランプに対応した前記感度補正値により、前記光センサの感度を補正する
ことを特徴とする光源装置。
【請求項２】
ＩＣタグが設けられたエキシマランプへ給電する点灯電源と、
前記エキシマランプに設けられたＩＣタグからの情報の読み取りを行うＩＣタグ読み取り手段と、
点灯した前記エキシマランプからの照度を測定する光センサと、
前記光センサからの出力に基づき前記点灯電源を制御し、前記エキシマランプの照度を制御する制御部と、を備えた光源装置において、
前記点灯電源は、点灯条件が等しく、出射波長が異なるエキシマランプの点灯に共用されるものであって、
前記制御部には、少なくとも当該装置において使用されうるエキシマランプを特定する使用可能ランプ情報が記憶され、前記ＩＣタグには、少なくとも該ＩＣタグが設けられたエキシマランプを特定するためのランプ特定情報と、当該ＩＣタグが取り付けられたエキシマランプの出射波長に対応した前記光センサの感度を補正する感度補正値が記憶され、
前記制御部は、前記光源装置を起動してエキシマランプを点灯させる際、前記ＩＣタグ読取手段によってＩＣタグから読み取られた前記ランプ特定情報と、前記制御部に記憶された使用可能ランプ情報とから、該光源装置に取り付けられたエキシマランプが、使用可能なランプであって、所望の出射波長の光を放出するエキシマランプであるかを判定し、該エキシマランプが条件を満たしたランプであると判定された場合に、該エキシマランプを正常点灯させ、且つ、前記ＩＣタグから読み取った感度補正値により、前記光センサの感度を補正する
ことを特徴とする光源装置。
【請求項３】
前記エキシマランプは、発光管内に希ガスが封入されたキセノンエキシマランプ、又は、発光管内に希ガスが封入されるとともに、前記希ガスからの光によって励起される蛍光体を備えた蛍光エキシマランプである
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光源装置。
【請求項４】
ＩＣタグが設けられたエキシマランプへ給電する点灯電源と、前記エキシマランプに設けられたＩＣタグからの情報の読み取りを行うＩＣタグ読み取り手段と、点灯した前記エキシマランプからの照度を測定する光センサとを複数組備え、
前記制御部は、前記各組の前記光センサからの出力に基づき前記各組の点灯電源を制御し、前記各エキシマランプの照度を制御し、
前記制御部は、光源装置の各組に前記エキシマランプが取り付けられた際、各エキシマランプに取り付けられたＩＣタグから読み取られたランプ特定情報に基づき、各エキシマランプの出射波長が一致しているか否かを判定し、出射波長が一致している場合、各エキシマランプを正常点灯させる
ことを特徴とする請求項１，２または請求項３に記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品、半導体の製造工程における紫外線反応性樹脂材料の硬化工程等に使用される紫外線を放射する光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品や半導体の製造工程等において紫外線反応性樹脂材料が利用されているが、その紫外線反応性樹脂材料は、樹脂材料によって感度特性が異なる。例えば、ある樹脂材料では感度が波長２５０ｎｍの光であると、ランプからの紫外線に２５０ｎｍが含まれる必要があり、また別の樹脂材料では感度が３００ｎｍにあると、ランプからの紫外線に波長３００ｎｍの光が含まれている必要がある。
そこで、上記製造工程等においてはメタルハライドランプのように、種々の紫外線を出射できるランプが従来から用いられてきた。しかし、この種のランプは樹脂材料の感度以外の波長も含んでいることから、樹脂材料に不所望な光が照射されると、樹脂材料は熱として吸収してしまって、その樹脂材料を含む電子部品や半導体が破損するといった問題があった。
【０００３】
このため、近年では求められる波長域の光だけを放射することができる蛍光エキシマランプが利用されるようになってきている。この蛍光エキシマランプは、発光管内に塗布される蛍光体を変えることによりランプから放射される主波長（ピーク波長、以下では出射波長ともいう）を変えることができることに特徴がある。
このような蛍光エキシマランプとして、例えば特許文献１に開示される蛍光ランプ（ピーク波長２３０ｎｍ）や特許文献２に開示される蛍光ランプ（ピーク波長１９０ｎｍ）などが知られており、発光管内に塗布する蛍光体の種類を変更することで、種々の発光波長が得られる。
【０００４】
このような蛍光エキシマランプは、希ガスが封入されたエキシマランプの発光管内に塗布される蛍光体が異なるだけで、ランプの外形寸法、点灯条件等が同じであり、同一構造の光源装置に取り付けて使用可能である。そこで、これらのランプを共用して使用できる光源装置が望まれている。
【０００５】
図１０に、上記エキシマランプを点灯させる光源装置の概略構成を示す。同図はランプの管軸に垂直な面で切った断面図を示しており、同図（ａ）は1本のランプを搭載するように構成された光源装置の断面図、同図（ｂ）は、複数本のランプを搭載するように構成された光源装置の断面図を示す。
同図（ａ）（ｂ）に示すように、光源装置は、金属製の筐体１０１を有する。筐体１０１の内部には、一本のエキシマランプ１００（同図（ａ））、あるいは管軸が平行となるよう並列して配置された複数本のエキシマランプ１００（同図（ｂ））が配置される。
エキシマランプ１００は、真空紫外光又は紫外光を透過させる誘電体材料からなる発光管１００ａを有し、発光管１００ａの内部にはキセノンを含む放電ガスが封入され、内面には蛍光体１００ｃが塗布されている。また、発光管１００ａの外部にはメッシュ電極である外部電極１００ｂが設けられている。筐体１０１の開口部には光透過窓１０３が設けられ、エキシマランプ１００の蛍光体１００ｃから放射される光はメッシュの外部電極１００ｂを通過し光透過窓１０３から外部に放射される。
【０００６】
また、筐体１０１の内部には隔壁１０２が設けられ、隔壁１０２と筐体１０１で囲まれた空間内には、各ランプ１００に対応させて各ランプからの照射される光の照度を測定するための光センサ１５が配置される。発光管１００ａの蛍光体１００ｃから放射される光は網状の外部電極１００ｂを通過し、隔壁１０２に設けられた開口１０４を介して、光センサ１５により受光される。
光センサにより測定された各ランプの照度は、後述する光源装置の制御部に送られる。光源装置は、点灯電源を備え、該点灯電源から各ランプを点灯させるための電力を供給するとともに、上記制御部は上記点灯電源を制御して、各ランプの照度が適切になるようにフィードバック制御する。
【０００７】
上記光源装置において、エキシマランプにＩＣタグを取り付け、点灯時、エキシマランプに取り付けられたＩＣタグから情報を読み込んで、積算点灯時間等を管理するようにした光源装置も知られている。
特許文献３，４には、発光管内に発光ガスとしてキセノンガスが封入されたエキシマランプにおいて、このエキシマランプにＩＣタグを設け、このＩＣタグに記録された情報に基づいて、ランプへの給電を制御する光源装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１１−１７５８２３号公報
【特許文献２】特開２０１２−０４８８３１号公報
【特許文献３】特開２０１０−０２７９４４号公報
【特許文献４】特開２０１０−０２７４８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述したように、点灯条件が等しく出射波長の異なる種々のエキシマランプの点灯に共用される光源装置を用い、この光源装置に必要とされる出射波長の蛍光エキシマランプを取り付けることにより、所望の発光波長の光を得ることができるが、このような光源装置には以下のような問題があることが分かった。
【００１０】
前記したように、発光管内に塗布される蛍光体を変えて出射波長を異ならせた蛍光エキシマランプは、発光管内に塗布される蛍光体が異なるだけで、ランプの外観上は全く同じである。このため、このような蛍光エキシマランプを光源装置に搭載した場合、どの波長のランプが搭載されているのかを外観だけでは判別できず、必要とされる出射波長のランプが搭載されているかを確認することはできなかった。また、当該ランプを点灯させたとしても、目視では必要とされる波長の光が放射されているかを確認することは難しい。
光源装置に必要とされる出射波長のランプが搭載されていないと、紫外線反応性樹脂材料を十分に硬化させることができず、紫外線反応性樹脂材料の硬化が不十分な欠陥のある製品が製造されるという問題が生じる。
特に、複数本のランプを搭載可能な光源装置においては、誤って１本だけ異なった波長の光を放射するランプが搭載されていても気がつかない場合が多く、上記のような欠陥のある製品が製造されるという場合もある。
【００１１】
また、上記光源装置に、異なった出射波長のエキシマランプを搭載して使用してみたところ、本来の照度が得られない場合があることが分かった。
すなわち、この種の光源装置では、前記したように光センサによって各ランプの照度を測定し、その照度が適切になるようにフィードバック制御している。
ところが、この光センサには、例えばシリコンフォトダイオードのような受光部が存在し、その受光部は波長によって感度が異なる。
図１１は、光センサの感度の一例を示したものであり、横軸は波長、縦軸は感度（相対値）である。同図に示すように、波長が異なると、光センサの感度は大きく異なる。
【００１２】
このため、光源装置に、例えばピーク波長が２３０ｎｍの蛍光体を具備する蛍光エキシマランプ（以下、ランプＡとする）を設け、そのランプＡが適切に点灯できるように設定したときに、例えばピーク波長が１９０ｎｍの蛍光体を具備する蛍光エキシマランプ（以下、ランプＢとする）を設けて点灯させても、このランプＢは適切な照度にすることができない。すなわち、ランプＡとＢは、それぞれ出射波長が異なることから、適切な照度が出力されていても、光センサの感度によって、照度不足と判断されたり、照度過剰と判断されたりすることになる。
つまり、照度計の感度に応じてフィードバック制御が適切にできるように構成された従来の光源装置においては、１種類の出射波長を有するエキシマランプを搭載する場合にはランプの照度を適切な値に制御できるが、同一の光源装置を、異なる出射波長を有する複数種類のエキシマランプに共用して使用する場合には、照度が適切に値に制御されないといった問題が生ずる。
【００１３】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、本発明の目的は、点灯条件が同じで波長が異なるエキシマランプの点灯に共用される点灯電源を有する光源装置において、所望の波長の光を適切な照度で照射することができ、出射波長が異なるランプや使用できないランプ等を誤って取り付けて点灯させることを防止することができる光源装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を達成するため、本発明においては、波長が異なるエキシマランプの点灯に共用される光源装置に使用される各ランプにＩＣタグを取り付け、該ＩＣタグに、少なくとも、該ランプを特定するための情報（例えばランプ型式）を記録しておく。また、光源装置を制御する制御部の記憶部に、該光源装置で使用可能なランプを特定する情報（例えばランプ型式）と、そのランプの出射波長と、該ランプの出射波長に対応したその光源装置で使用されている光センサの感度補正値を記憶させておく。
そして、光源装置を起動してランプを点灯させる際、上記ＩＣタグから該ランプを特定する情報を読み出し、上記記憶部に格納されている光源装置で使用可能なランプを特定する情報と照合することにより、該ランプが使用可能であるかを判定するとともに、該ランプの出射波長が、被照射体を処理する上で必要とされる光の波長であるかを判定する。
そして、該ランプが使用可能なランプであり、かつその出射波長が適切であれば、上記光センサの感度補正値により光源装置の光センサの感度を補正して、ランプを点灯させる。これにより、所望の波長の光を適切な照度で照射することができ、出射波長が異なるランプや使用できないランプ等を誤って取り付けて点灯させることを防止できる。なお、上記光センサの感度補正値は、各ランプに取り付けたＩＣタグに記録しておいてもよい。
【００１５】
すなわち、本発明においては、以下のようにして前記課題を解決する。
（１）ＩＣタグが設けられたエキシマランプへ給電する点灯電源と、前記エキシマランプに設けられたＩＣタグからの情報の読み取りを行うＩＣタグ読み取り手段と、点灯した前記エキシマランプからの照度を測定する光センサと、前記光センサからの出力に基づき前記点灯電源を制御し、前記エキシマランプの照度を制御する制御部とを備え、前記点灯電源が、点灯条件が等しく出射波長が異なるエキシマランプの点灯に共用される光源装置において、前記制御部に、少なくとも当該装置において使用されうるエキシマランプを特定する使用可能ランプ情報と、使用可能な各エキシマランプの出射波長に対応させた前記光センサの感度を補正する感度補正値を記憶し、前記ＩＣタグに、少なくとも該ＩＣタグが設けられたエキシマランプを特定するためのランプ特定情報を記憶する。
前記制御部は、前記光源装置を起動してランプを点灯させる際、前記ＩＣタグ読取手段によってランプに取り付けられたＩＣタグから情報を読み込む。そして、ＩＣタグに記録された前記ランプ特定情報と、前記制御部に予め記憶された前記使用可能ランプ情報とから、該光源装置に取り付けられたランプが、使用可能なランプであって、所望の出射波長の光を放出するエキシマランプであるかを判定する。該エキシマランプが条件を満たしたランプであると判定された場合に、該エキシマランプを正常点灯させ、且つ、該制御部に記憶された当該エキシマランプに対応した前記感度補正値により、前記光センサの感度を補正する。
（２）ＩＣタグが設けられたエキシマランプへ給電する点灯電源と、前記エキシマランプに設けられたＩＣタグからの情報の読み取りを行うＩＣタグ読み取り手段と、点灯した前記エキシマランプからの照度を測定する光センサと、前記光センサからの出力に基づき前記点灯電源を制御し、前記エキシマランプの照度を制御する制御部とを備え、前記点灯電源は、点灯条件が等しく、出射波長が異なるエキシマランプの点灯に共用される光源装置において、前記制御部に、少なくとも当該装置において使用されうるエキシマランプを特定する使用可能ランプ情報を記憶し、前記ＩＣタグに、少なくとも該ＩＣタグが設けられたエキシマランプを特定するためのランプ特定情報と、当該ＩＣタグが取り付けられたエキシマランプの出射波長に対応した前記光センサの感度を補正する感度補正値を記憶する。
前記制御部は、前記光源装置を起動してランプを点灯させる際、前記ＩＣタグ読取手段によってＩＣタグから読み取られた前記ランプ特定情報と、前記制御部に記憶された使用可能ランプ情報とから、該光源装置に取り付けられたエキシマランプが、使用可能なランプであって、所望の出射波長の光を放出するエキシマランプであるかを判定する。該エキシマランプが条件を満たしたランプであると判定された場合に、該エキシマランプを正常点灯させ、且つ、前記ＩＣタグから読み取った感度補正値により、前記光センサの感度を補正する。
（３）前記（１）（２）において、エキシマランプとして、発光管内に希ガスが封入されたキセノンエキシマランプ、又は、発光管内に希ガスが封入されるとともに、前記希ガスからの光によって励起される蛍光体を備えた蛍光エキシマランプを用いる。
（４）前記（１）（２）（３）において、ＩＣタグが設けられたエキシマランプへ給電する点灯電源と、前記エキシマランプに設けられたＩＣタグからの情報の読み取りを行うＩＣタグ読み取り手段と、点灯した前記エキシマランプからの照度を測定する光センサとを複数組設ける。
前記制御部は、前記各組の前記光センサからの出力に基づき前記各組の点灯電源を制御し、前記各エキシマランプの照度を制御し、前記制御部は、光源装置の各組に前記エキシマランプが取り付けられた際、各エキシマランプに取り付けられたＩＣタグから読み取られたランプ特定情報に基づき、各エキシマランプの出射波長が一致しているか否かを判定し、出射波長が一致している場合、各エキシマランプを正常点灯させる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）光源装置を起動してランプを点灯させる際、該ランプに取り付けられたＩＣタグに記録されたランプ特定情報と、制御部に予め記憶された前記使用可能ランプ情報とから、該光源装置に取り付けられたランプが使用可能なランプであって、所望の出射波長の光を放出するエキシマランプであるかを判定し、適切なランプが取り付けられている場合にのみランプを正常点灯させるようにしているので、該光源装置では使用できない点灯条件の異なるランプを誤って取り付けても、該ランプを破損させたり光源装置を破損させることがない。また、ランプの出射波長が適切であるかを判定しているので、所望の出射波長とは異なる出射波長の光を放出するランプが光源装置に取り付けられ、紫外線反応性樹脂材料の硬化が不十分な欠陥のある製品が製造されるという問題を防ぐことができる。
（２）ランプの出射波長に応じて、光センサの感度を補正しているので、光センサの感度が波長によって異なっていても、所望の波長の光を適切な照度で照射することができ、被照射物に照射される光が照度不足になったり、照度過剰となるのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施例の光源装置のシステム構成を示す図である
【図２】本発明の第１の実施例の光源装置の機能ブロック図である。
【図３】第１の実施例において記憶部に格納されるデータ例を示す図である。
【図４】光センサの感度補正を説明する図である。
【図５】第１の実施例における制御部の動作を示すフローチャートである。
【図６】本発明の第２の実施例の光源装置の機能ブロック図である。
【図７】第２の実施例において記憶部に格納されるデータ例を示す図である。
【図８】第２の実施例における制御部の動作を示すフローチャートである。
【図９】本発明の第３の実施例の光源装置の機能ブロック図である。
【図１０】エキシマランプを点灯させる光源装置の概略構成を示す図である。
【図１１】光センサの感度の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は本発明の実施例の光源装置のシステム構成を示す図である。
同図に示すように、本発明の光源装置は、記録情報を非接触で入力することのできるＩＣタグ１０を備える光源（以下ランプという）１と、高周波高電圧をランプ１に供給するための点灯電源２と、点灯電源２の出力側に設けられたトランス３と、ランプ１の点灯を制御する制御部４と、入力・表示部５を備える。
制御部４は、ランプ１から出射される真空紫外光等の光を検知して照度信号を出力する検知手段である光センサ１５と、当該光センサ１５の照度データ等に基づいてランプ１の点灯を制御する演算処理部（ＣＰＵ）１１と、記憶部１３と、ＩＣタグ１０との間でデータの送受信を行うためのアンテナ１４と、ＩＣタグ１０との間のデータの送受信を制御するＩＣタグＲ／Ｗ部１２と、Ａ／Ｄ変換器１６ａ，１６ｂ、Ｄ／Ａ変換器１７から構成される。Ａ／Ｄ変換器１６ａ，１６ｂは、光センサ１５からの信号および点灯光源２からの信号をデジタル信号に変換しＣＰＵ１１に送出し、Ｄ／Ａ変換器１７はＣＰＵ１１からのデジタル信号をアナログ信号に変換し、点灯電源２に送出する。
なお、上記では、ＩＣタグデータの読み取り、書き込みが可能なＩＣタグＲ／Ｗ部を用いる場合を示したが、ＩＣタグデータの読み取りのみを行う、「ＩＣタグ読み取り手段」を用いてもよい。
【００１９】
上記記憶部１３には、プログラムやデータが記憶されるとともに、ランプ１のＩＣタグから読み込まれたＩＣタグデータや、ランプの出射波長に関するデータ等が記憶される。
ＩＣタグ１０は、各ランプ毎に設けられており、各エキシマランプを特定する情報が記憶される。なお、後述するようにＩＣタグ１０に当該ランプの出射波長に対応した光センサの感度補正値等を記録させるようにしてもよい。
上記光源（ランプ）１は、前記発光管の内面に蛍光体が塗布され、キセノンガスなどの
放電ガスが封入されたエキシマランプである。
【００２０】
前記したように、本発明の光源装置は、点灯条件が等しく主波長（出射波長）の異なる種々のエキシマランプの点灯に共用される光源装置であり、出射波長が異なるランプであって、点灯条件が同一のランプが使用される。
なお、同一の光源装置により、異なる波長のランプを点灯させるためには、各ランプの発光管内には同一の発光ガス（例えばキセノンガス）が封入されていることが好ましい。発光ガスが共通である限り、蛍光体の種類が変わっても、ランプに印加する電圧や周波数は同じでよい。しかし、ランプＡの発光ガスがキセノンガスで、ランプＢの発光ガスがクリプトンと塩素の混合ガスのように発光ガスが異なると、ランプに印加する電圧や周波数を変える必要が有り、共通の電源を使うことができない場合がある。したがって、各ランプの発光ガスは同一であることが望ましい。
【００２１】
制御部４のＣＰＵ１１は、後述するように、点灯電源２に指令を送りランプ１に供給する電力を制御するとともに、入力部５から与えられる目標照度や光センサ１５により検知された照度データに基づいて、ランプ１から出射される真空紫外光の照度が目標となる照度に一致するように制御する。その際、記憶部に記憶された光センサの感度補正値あるいはＩＣタグから読み込まれた感度補正値に基づき、光センサ１５から出力される照度データを補正する。
入力・表示部５は、例えば液晶表示画面などを有するタッチパネル式等であり、光源装置のユーザが、被処理体毎に必要とされる真空紫外光の照度に係る目標照度や出射波長データ等の入力、あるいはＣＰＵ１１からの出力を表示するために使用される。
【００２２】
図２は本発明の第１の実施例の光源装置の機能ブロック図、図３は本実施例において記憶部に格納されるデータの例を示す図であり、図２は、制御部４の内部の構成をＣＰＵ１１で実行される処理により実現される機能ブロック図として示したものである。
図２において、ランプ１に設けられたＩＣタグ１０には、本実施例においては、該ＩＣタグが設けられたランプ１を特定する情報（例えばランプの型式等、図３（ｂ）参照）が格納される。
光源装置にランプ１が搭載され、光源装置が起動されるとき、該ＩＣタグに記録されたデータが、ＩＣタグデータ１３ｂとしてアンテナ１４、ＩＣタグＲ／Ｗ部１２を介して読みまれ、記憶部１３に記憶される。
【００２３】
また、予め、入力・表示部５から、適合ランプ情報１３ａ、目標照度１３ｄ、設定波長１３ｃ等の装置の運転に必要な情報が入力され、記憶部１３に記憶される。
設定波長１３ｃは、当該光源装置から出射させる光の波長を設定する情報であり、例えば当該光源装置が紫外線反応性樹脂の硬化に使用される場合、該樹脂材料を硬化させるに必要な光の波長が２５０ｎｍの場合、「設定波長１３ｃ」として、２５０ｎｍが設定される。
目標照度１３ｄは、照度をフィードバック制御する際の目標値であり、光センサにより測定される照度が目標照度１３ｄになるように制御される。なお、目標照度１３ｄをＩＣタグ１０に記録しておき、ＩＣタグデータ１３ｂを読み込んだ時、この目標照度１３ｄを記憶部１３に記憶させるようにしてもよい。
図３（ａ）は本実施例における適合ランプ情報１３ａの一例を示す図であり、適合ランプ情報１３ａとしては、例えば、当該光源装置に適用できるランプの型式、該型式のランプから出射する光の主波長（出射波長）、光センサの感度補正値が登録される。
【００２４】
ここで、光センサの感度補正について図４により説明する。ここでは、型式Ｄのランプ（ランプＤ）と型式Ａのランプ（ランプＡ）の感度補正について説明する。
ランプＤ、ランプＡから共に１００ｍＷ／ｃｍ２の光が放射されたとする。それぞれのランプから出射する光の波長に対する光センサ１５の感度が異なり、ランプＤから出射する光の波長に対する光センサの感度は１．００であり、ランプＡから出射する光の波長に対する光センサの感度は０．５７である。
したがって、同図に示すように、光センサ１５から出る光電流値ＩはランプＤについては１００ｍＡ、ランプＡについては５７ｍＡとなる。
このまま点灯制御手段４ａに信号が送られると、ランプＡの光出力が１００であるはずなのに５７であると判断され、正常点灯しているにも関わらず光出力不足となる。
そこで、同図に示すように、光センサ感度補正手段４ｃにおいて、ランプＤから光センサ出力Ｉに感度補正値１を乗じ、また、ランプＡからの光センサ出力Ｉに感度補正値１．７５（１／［光センサの感度０．５７］）を乗ずる。これにより、ランプＡ，ランプＤともに、点灯制御手段４ａに送出される光センサによる測定結果は１００となり、ランプＡ，ランプＤとも正常点灯していると判断することができる。
【００２５】
図２において、装置が起動されると、ＩＣタグＲ／Ｗ部１２は、光源装置に搭載されているランプ１のＩＣタグ１０からＩＣタグデータ１３ｂを読み取り、記憶部１３に格納する。
ランプ波長判定手段４ｂは、記憶部１３に記憶されている、当該光源装置に搭載されたランプの情報であるランプ特定情報（ランプの型式）を読み出す。
そして、記憶部１３に記憶された適合ランプ情報１３ａに、上記ランプの型式が適合ランプとして登録されているかを判定する。ＩＣタグ１０に記録されたランプ型式が、上記適合ランプ情報１３ａの適合ランプ型式に含まれていないか、あるいは、ランプ１にＩＣタグが取り付けられておらず、ＩＣタグ１０からランプ特定情報を読み込めない場合には、入力・表示部５に例えば「ランプ使用不可」等の警報信号を出力する。
【００２６】
また、ＩＣタグ１０に記録されたランプ型式が、上記適合ランプ情報１３ａの適合ランプ型式に含まれている場合には、適合ランプ情報１３ａから、ＩＣタグ１０に記録されたランプ型式に対応した出射波長を読み出し、この出射波長と記憶部１３に登録されている設定波長１３ｃと比較し、一致しているかを判別する。
適合ランプ情報１３ａから読み出した出射波長が設定波長１３ｃと一致しない場合には、上記と同様に入力・表示部５に例えば「ランプ使用不可」等の警報信号を出力するとともに、適合ランプ情報１３ａから読み出した出射波長を、入力・表示部５に送出し、この出射波長を表示させる。
適合ランプ情報１３ａから読み出した出射波長が設定波長１３ｃと一致する場合には、入力・表示部５に例えば「ランプ使用可」と表示するとともに、適合ランプ情報１３ａから読み出した出射波長を表示させる。そして、上記適合ランプ情報１３ａから、ＩＣタグ１０に記録されたランプ型式に対応した感度補正値を読み出し、光センサ感度補正手段４ｃにこの感度補正値を設定する。
【００２７】
例えば、ランプＡ（例えばピーク波長２３０ｎｍ）が光源装置に取り付けている場合、
ＩＣタグからＩＣタグデータ１３ｂ読み込み、制御部４は、この型式のランプが記憶部１３の適合ランプ情報１３ａに登録されているかを調べる。
適合ランプ情報１３ａに、ランプ型式Ａが登録されており、このランプの出射波長２３０ｎｍが設定波長１３ｃであれば、このランプの出射波長２３０ｎｍを入力・表示部５に表示させるとともに、例えば「ランプ使用可」と表示する。そして、上記適合ランプ情報１３ａから、ＩＣタグ１０に記録されたランプ型式Ａに対応した感度補正値０．５７を読み出し、光センサ感度補正手段４ｃにこの感度補正値を設定する。
【００２８】
以上により、光源装置に適合した使用可能なランプが搭載されていると判定されると、制御部４の点灯制御手段４ａは、点灯動作を開始する。
点灯制御手段４ａは、記憶部１３に記憶された目標照度１３ｄを読み出す。そして、該目標照度１３ｄを得るために、ランプ１に供給される電力が上記目標照度になるように点灯電源２を制御する。
【００２９】
すなわち、ランプ１に印加される電圧とランプ電流が検出され、Ａ／Ｄ変換器１６ａ（図１参照）によりデジタル信号に変換され、制御部４の点灯制御手段４ａへ送られる。点灯制御手段４ａは、上記電圧、電流からランプに供給される電力を算出し、算出した電力と前記目標電力を比較する。そして、上記算出された電力が目標電力に一致するようなランプ電圧と周波数を演算する。このランプ電圧と周波数は、電圧指令、周波数指令として点灯電源２に送出される。
点灯電源２は、この電圧指令、周波数指令に応じてランプ１の駆動電圧、周波数を制御する。これにより、ランプ１に供給される電力が上記目標電力に一致するように制御され、ランプ１は目標電力に応じた照度で点灯する。
【００３０】
ここで、エキシマランプは、同じ電力を供給しても出射される光の照度が時間の経過とともに低下する。したがって、点灯初期には、ランプ１に目標電力データに応じた電力を供給することで、ランプ１は目標照度に一致した照度で点灯するが、点灯時間が経過するに応じて、ランプ１の照度は低下する。
制御部４の点灯制御手段４ａは、上記ランプ１の照度の低下が補正されるように、上記目標電力を補正する。
すなわち、光センサ１５により測定されＡ／Ｄ変換器１６ｂ（図１参照）でデジタル信号に変換されたランプ１の照度信号を制御部４が読み込み、この照度信号を光センサ感度補正手段４ｃに送る。光センサ感度補正手段４ｃは、上記照度信号を、前述した出射波長に対応した感度補正値で補正して、補正された光センサ出力を点灯制御手段４ａに送出する。
【００３１】
点灯制御手段４ａは、上記補正された照度データを取得し、測定された照度が目標照度１３ｄより低下していると、目標照度になるように周波数を演算し点灯電源２に送出する。点灯電源２はこの周波数によりランプ１を点灯させる。
このように、ランプ１の目標照度になるようにランプ１を点灯させ、ランプ１の照度が低下する毎に、ランプ１に供給する電力を増やす。これにより、ランプ１の照度をほぼ一定に保つことができる。
【００３２】
次に、ランプＡの点灯の終了の後に、光源装置のランプを、ランプＡからランプＢ（例えばピーク波長２９０ｎｍ）に交換すると、制御部４は、ランプＢの始動時において、そのランプＢに設けられたＩＣタグから前記したようにランプ型式情報を読み出し、上述したように、このランプが使用可能な適合ランプであるかを調べ、使用可能なランプでなければ、エラー表示を行い、使用可能なランプであれば、ランプを正常点灯させる。
【００３３】
次に、本実施例の光源装置の動作について、図５のフローチャートにより説明する。
装置が起動すると（ステップＳ１）、ＩＣタグＲ／Ｗ部１２により、ＩＣタグに記録されたＩＣタグデータ１３ｂであるランプ型式情報を読み込み、記憶部１３に記憶させる（ステップＳ２）。ついで、記憶部１３に記憶されたＩＣタグデータ１３ｂ及び適合ランプ情報１３ａを取得し、ＩＣタグに記録されたランプ型式が適合ランプ情報１３ａとして登録されているかを調べる（ステップＳ３，Ｓ４）。
【００３４】
ＩＣタグに記録されたランプ型式が、記憶部１３の適合ランプ情報１３ａに登録されている場合には、該光源装置に搭載されているランプが適合ランプであるとしてステップＳ５に行く。また、記憶部１３の適合ランプ情報１３ａに登録されていない場合には、ステップＳ１４に行き、入力・表示部５に「ランプ使用不可」等のエラー情報を出力し、処理を終了する。
また、光源装置に搭載されているランプが適合ランプであると判定された場合には、記憶部１３に記憶された適合ランプ情報１３ａから該型式のランプの出射波長を読み出し、記憶部１３に予め記憶されている設定波長１３ｃと比較し、出射波長が設定波長１３ｃであるか、すなわち、光源装置に搭載されているランプの出射波長が適合しているかを調べる（ステップＳ５）。ランプの出射波長が設定波長１３ｃでない場合には、ステップ１４に行き前記したようにエラー表示をして、処理を終了する。
【００３５】
ランプの出射波長が設定波長１３ｃである場合には、入力・表示部５に該ランプの出射波長を表示するとともに「ランプ使用可」であることを表示する（ステップＳ６）。
次いで、記憶部１３の適合ランプ情報１３ａから、光源装置に搭載されているランプの出射波長に対応した光センサ感度補正値を読み出し、光センサ感度補正手段４ｃに感度補正値をセットする（ステップＳ７）。
次に、点灯信号をＯＮにして、ランプを正常点灯させ、ランプの目標照度になるように電力を制御する（ステップＳ８，Ｓ９）。
【００３６】
次いで、光センサ１５により測定され、光センサ感度補正手段４ｃにより補正されたランプの照度を取得し、目標照度１３ｄと比較して照度が低下したかを調べる（ステップＳ１０）。ランプ照度が目標照度１３ｄよりある程度以上低下すると、ステップＳ１２に行き、ランプ照度が目標照度１３ｄとなる電力を補正し、ステップＳ９にもどる。
また、ランプ照度が低下していない場合には、ステップＳ１１に行き、ランプ消灯信号が入力されているかを調べ、ランプ消灯信号が入力されていなければ、ステップＳ９戻る。ランプ消灯信号が入力されると、消灯動作を行い（ステップＳ１３）、処理を終了する。
【００３７】
図６は本発明の第２の実施例の光源装置の機能ブロック図、図７は記憶部に格納されるデータの例を示す図であり、図６は、本実施例における制御部４の内部の構成を、ＣＰＵ１１で実行される処理により実現される機能ブロック図として示したものである。
図６において、ランプ１に設けられたＩＣタグ１０には本実施例においては、該ＩＣタグが設けられたランプ１を特定する情報（例えばランプの型式等）と、該ランプ１が出射する光の波長に対応した光センサの感度補正値（図７（ｂ）参照）が格納され、光源装置にランプ１が搭載され、光源装置が起動されるとき、該ＩＣタグに記録されたＩＣタグデータ１３ｂが、前記したように読み込まれ、記憶部１３に記憶される。
また、予め、入力・表示部５から、適合ランプ情報１３ａ、目標照度１３ｄ、設定波長１３ｃ等の装置の運転に必要な情報が入力され、記憶部１３に記憶される。
図７（ｂ）は本実施例における適合ランプ情報１３ａの一例を示す図であり、適合ランプ情報１３ａとしては、例えば、当該光源装置に適用できるランプの型式、該型式のランプから出射する光の主波長（出射波長）が登録される。
【００３８】
図６において、装置が起動されると、ＩＣタグＲ／Ｗ部１２は、光源装置に搭載されているランプ１のＩＣタグ１０から、当該ＩＣタグが取り付けられたランプの型式情報と、感度補正値を読み取り、記憶部１３に格納する。
ランプ波長判定手段４ｂは、記憶部１３に記憶されている、上記ランプ特定情報（ランプの型式）を読み出し、記憶部１３に記憶された適合ランプ情報１３ａに、上記ランプの型式が適合ランプとして登録されているかを判定する。ＩＣタグ１０に記録されたランプ型式が、上記適合ランプ情報１３ａの適合ランプ型式に含まれていないか、あるいは、ランプ１にＩＣタグが取り付けられておらず、ＩＣタグ１０からランプ特定情報を読み込めない場合には、入力・表示部５に例えば「ランプ使用不可」等の警報信号を出力する。
【００３９】
また、ＩＣタグ１０に記録されたランプ型式が、上記適合ランプ情報１３ａの適合ランプ型式に含まれている場合には、適合ランプ情報１３ａから、ＩＣタグ１０に記録されたランプ型式に対応した出射波長を読み出し、この出射波長と記憶部１３に登録されている設定波長１３ｃと比較し、一致しているかを判別する。
適合ランプ情報１３ａから読み出した出射波長が設定波長１３ｃと一致しない場合には、上記と同様に入力・表示部５に例えば「ランプ使用不可」等の警報信号を出力するとともに、適合ランプ情報から読み出した出射波長を、入力・表示部５に送出し、この出射波長を表示させる。
適合ランプ情報１３ａから読み出した出射波長が設定波長１３ｃと一致する場合には、入力・表示部５に例えば「ランプ使用可」と表示するとともに、適合ランプ情報１３ａから読み出した出射波長を表示させる。そしてＩＣタグ１０から読みだされ記憶部１３に格納された感度補正値を読み出し、光センサ感度補正手段４ｃにこの感度補正値を設定する。
【００４０】
以上により、光源装置に適合した使用可能なランプが搭載されていると判定されると、制御部４の点灯制御手段４ａは、点灯動作を開始する。
以下の動作は、前記図２で説明したのと同様であり、点灯制御手段４ａは、ランプ１の目標照度になるように電力を増加させるように点灯電源２を制御し、ランプ１は目標照度で点灯する。
一方、光センサ１５により測定されたランプ１の照度信号は制御部４の光センサ感度補正手段４ｃに送られ、前述したようにランプ１の出射波長に対応した感度補正値で補正され、補正された光センサ出力が点灯制御手段４ａに送出される。
【００４１】
そして、ランプ１から出射される光の照度が時間の経過とともに低下すると、点灯制御手段４ａは、上記ランプ１の照度の低下が補正されるように、電力を補正する。
このように、ランプ１の目標照度になるようにランプ１を点灯させ、ランプ１の照度が低下する毎に、ランプ１に供給する電力を増やす。これにより、ランプ１の照度をほぼ一定に保つことができる。
【００４２】
次に、本実施例の光源装置の動作について図８のフローチャートにより説明する。
装置が起動すると（ステップＳ１）、ＩＣタグＲ／Ｗ部１２により、ＩＣタグに記録されたＩＣタグデータ１３ｂであるランプ型式情報、感度補正値を読み込み、記憶部１３に記憶させる（ステップＳ２）。ついで、記憶部１３に記憶されたＩＣタグデータ１３ｂ及び適合ランプ情報１３ａを取得し、ＩＣタグに記録されたランプ型式が適合ランプ情報１３ａとして登録されているかを調べる（ステップＳ３，Ｓ４）。
【００４３】
ＩＣタグに記録されたランプ型式が、記憶部１３の適合ランプ情報１３ａに登録されている場合には、該光源装置に搭載されているランプが適合ランプであるとしてステップＳ５に行く。また、記憶部１３の適合ランプ情報１３ａに登録されていない場合には、ステップＳ１４に行き、入力・表示部５に「ランプ使用不可」等のエラー情報を出力し、処理を終了する。
また、光源装置に搭載されているランプが適合ランプであると判定された場合には、記憶部１３に記憶された適合ランプ情報１３ａから該型式のランプの出射波長を読み出し、記憶部１３に予め記憶されている設定波長１３ｃと比較し、出射波長が設定波長１３ｃであるか、すなわち、光源装置に搭載されているランプの出射波長が適合しているかを調べる（ステップＳ５）。ランプの出射波長が設定波長１３ｃでない場合には、ステップ１４に行き前記したようにエラー表示をして、処理を終了する。
【００４４】
ランプの出射波長が設定波長１３ｃである場合には、入力・表示部５に該ランプの出射波長を表示するとともに「ランプ使用可」であることを表示する（ステップＳ６）。
次いで、ＩＣタグ１０から読みだされ記憶部１３に記憶された、光源装置に搭載されているランプの出射波長に対応した光センサ感度補正値を読み出し、光センサ感度補正手段４ｃに感度補正値をセットする（ステップＳ７）。
以下、前記図４で説明したフローチャートにおける処理と同じであり、前記したように点灯信号をＯＮにして、ランプを正常点灯させ、ランプの目標照度になるように電力を制御する（ステップＳ８，Ｓ９）。
【００４５】
次いで、光センサ感度補正手段４ｃにより補正されたランプの照度を取得し、目標照度１３ｄと比較して照度が低下したかを調べ（ステップＳ１０）、ランプ照度が目標照度１３ｄよりある程度以上低下すると、ステップＳ１２に行き、ランプ照度が目標照度１３ｄとなる電力を補正し、ステップＳ９にもどる。
また、ランプ照度が低下していない場合には、ランプ消灯信号が入力されているかを調べ（ステップＳ１１）、ランプ消灯信号が入力されていなければ、ステップＳ９戻り、ランプ消灯信号が入力されると、消灯動作を行い（ステップＳ１３）、処理を終了する。
【００４６】
以上では、一本のランプが搭載される光源装置について説明したが、本発明は、複数本のランプが搭載される光源装置に適用することができる。
図９は、本発明の第３の実施例の光源装置の機能ブロック図であり、制御部４の内部の構成はＣＰＵで実行される処理により実現される機能をブロック図として示したものである。
図９において、本実施例の光源装置には複数本のランプ１Ａ，１Ｂ，…，１Ｎが搭載され、各ランプ１Ａ，１Ｂ，…，１ＮにはそれぞれＩＣタグ１０Ａ，１０Ｂ，…，１０Ｎが取り付けられている。
また、各ランプに対応させて、光センサ１５Ａ〜１５Ｎ、アンテナ１４Ａ〜１４Ｎ、ＩＣタグＲ／Ｗ部１２Ａ〜１２Ｎ、点灯電源２Ａ〜２Ｎが設けられる。また、制御部４には、各点灯電源に対応させて点灯制御手段４１Ａ〜４１Ｎが設けられ、各光センサ１５Ａ〜１５Ｎに対応させて感度補正手段４３Ａ〜４３Ｎが設けられている。
ランプ１Ａ，１Ｂ，…，１Ｎに設けられたＩＣタグ１０Ａ，１０Ｂ，…，１０Ｎには、本実施例においては、該ＩＣタグが設けられたランプ１を特定する情報（例えばランプの型式）が格納される。
【００４７】
光源装置にランプ１Ａ，１Ｂ，…，１Ｎが搭載され、光源装置が起動されるとき、各ランプのＩＣタグ１０Ａ，１０Ｂ，…，１０Ｎに記録されたＩＣタグデータ１３ｂが、アンテナ１４Ａ〜１４Ｎ、ＩＣタグＲ／Ｗ部１２Ａ〜１２Ｎを介して読みまれ、記憶部１３に記憶される。
また、予め、入力・表示部５から、適合ランプ情報１３ａ、目標照度１３ｄ、設定波長１３ｃ等の装置の運転に必要な情報が入力され、記憶部１３に記憶される。
設定波長１３ｃは、前記したように当該光源装置から出射させる光の波長を設定する情報であり、目標照度１３ｄは、照度をフィードバック制御する際の目標値である。
本実施例における適合ランプ情報１３ａは、前記図２（ｂ）に示したものと同様であり、例えば、当該光源装置に適用できるランプの型式、該型式のランプから出射する光の主波長（出射波長）、光センサの感度補正値が登録される。
【００４８】
図９において、装置が起動されると、ＩＣタグＲ／Ｗ部１２Ａ〜１２Ｎは、光源装置に搭載されているランプ１のＩＣタグ１０Ａ〜１０ＮからＩＣタグデータ１３ｂを読み取り、記憶部１３に格納する。
ランプ波長判定手段４２は、記憶部１３に記憶されている、当該光源装置に搭載されたランプの情報であるランプ特定情報（ランプの型式）を読み出す。
そして、記憶部１３に記憶された適合ランプ情報１３ａに、上記ＩＣタグ１０Ａ〜１０Ｎから読み込まれたランプの型式が適合ランプとして登録されているかを判定する。ＩＣタグ１０に記録されたランプ型式が、上記適合ランプ情報１３ａの適合ランプ型式に含まれていないか、あるいは、ランプ１にＩＣタグが取り付けられておらず、ＩＣタグ１０からランプ特定情報を読み込めない場合には、入力・表示部５に、該不適合なランプが第何番目のランプであるかを特定して、入力・表示部５に、例えば「第ｍ番目のランプ使用不可」等の警報信号を出力する。
【００４９】
また、ＩＣタグ１０Ａ〜１０Ｎに記録されたランプ型式が、上記適合ランプ情報１３ａの適合ランプ型式に含まれている場合には、適合ランプ情報１３ａから、ＩＣタグ１０Ａ〜１０Ｎに記録されたランプ型式に対応した出射波長を読み出し、この出射波長と記憶部１３に登録されている設定波長１３ｃと比較し、一致しているかを判別する。
適合ランプ情報１３ａから読み出した出射波長が設定波長１３ｃと一致しない場合には、上記と同様に入力・表示部５に例えば「第ｍ番目のランプ使用不可」等の警報信号を出力するとともに、適合ランプ情報１３ａから読み出した出射波長を、入力・表示部５に送出し、この出射波長を表示させる。
適合ランプ情報１３ａから読み出した出射波長が設定波長１３ｃと一致する場合には、入力・表示部５に例えば「ランプ使用可」と表示するとともに、適合ランプ情報１３ａから読み出した出射波長を表示させる。そして、上記適合ランプ情報１３ａから、ＩＣタグ１０Ａ〜１０Ｎに記録されたランプ型式に対応した感度補正値を読み出し、光センサ感度補正手段４３Ａ〜４３Ｎにこの感度補正値を設定する。
【００５０】
以上により、光源装置に適切なランプが搭載されていると判定されると、制御部４の点灯制御手段４１Ａ〜４１Ｎは、点灯動作を開始する。
各点灯制御手段４１Ａ〜４１Ｎの動作は、前記第１、第２の実施例で説明したのと同様であり、各点灯制御手段４１Ａ〜４１Ｎは、ランプ１Ａ〜１Ｎが目標照度になるように、電力を増加させるように点灯電源２を制御し、ランプ１Ａ〜１Ｎは目標照度で点灯する。
【００５１】
一方、光センサ１５Ａ〜１５Ｎにより測定されたランプ１Ａ〜１Ｎの照度信号は制御部４の光センサ感度補正手段４３Ａ〜４３Ｎに送られ、前述したようにランプ１Ａ〜１Ｎの出射波長に対応した感度補正値で補正され、補正された光センサ出力が点灯制御手段４１Ａ〜４１Ｎに送出される。
そして、ランプ１Ａ〜１Ｎから出射される光の照度が時間の経過とともに低下すると、点灯制御手段４１Ａ〜４１Ｎは、上記ランプ１Ａ〜１Ｎの照度の低下が補正されるように、電力を補正する。
このように、ランプ１Ａ〜１Ｎの目標照度になるようにランプ１Ａ〜１Ｎを点灯させ、ランプ１Ａ〜１Ｎの照度が低下する毎に、ランプ１Ａ〜１Ｎに供給する電力を増やす。これにより、ランプ１Ａ〜１Ｎの照度をほぼ一定に保つことができる。
【符号の説明】
【００５２】
１，１Ａ〜１Ｎ  ランプ（エキシマランプ）
１０，１０Ａ〜１０Ｎ    ＩＣタグ
２，２Ａ〜２Ｎ  点灯電源
３      トランス
４      制御部
５      入力・表示部
４ａ，４１Ａ〜４１Ｎ    点灯制御手段
４ｂ，４２Ａ〜４２Ｎ    ランプ波長判定手段
４ｃ，４３Ａ〜４３Ｎ    光センサ感度補正手段
１０    光源装置
１１    ＣＰＵ
１２    ＩＣタグＲ／Ｗ部
１３    記憶部
１３ａ  適合ランプ情報
１３ｂ  ＩＣタグデータ
１３ｃ  設定波長
１３ｄ  目標照度
１４    アンテナ
１５    光センサ
１６ａ，１６ｂ  Ａ／Ｄ変換器
１７    Ｄ／Ａ変換器
【図１】
2014179188.tif 000003
【図２】
2014179188.tif 000004
【図３】
2014179188.tif 000005
【図４】
2014179188.tif 000006
【図５】
2014179188.tif 000007
【図６】
2014179188.tif 000008
【図７】
2014179188.tif 000009
【図８】
2014179188.tif 000010
【図９】
2014179188.tif 000011
【図１０】
2014179188.tif 000012
【図１１】
2014179188.tif 000013