(57)【要約】【課題】光硬化型接着剤を使用して部品同士を短時間で精度よく接合できる接合装置及び接合方法を提供する。【解決手段】接合装置は、光源３６と、ステージ３１と、光透過性材料により形成された部品保持部３４と、制御部４０と、制御部４０により制御されてステージ３１及び部品保持部３４を駆動する駆動部３２，３５とを有する。部品保持部３４は、光源３６から出力された光が入射する入射面と、入射面と反対側の面であって入射面から入射した光を反射する第１の反射面と、第１の反射面で反射された光を反射する第２の反射面と、第２の反射面で反射された光が出射する出射面と有する。接合装置は、第２の部品１５を部品保持部３４の出射面側に保持した状態で、光硬化性接着剤により第１の部品１７と第２の部品１５とを接合する。【選択図】図５
2014191251.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
第１の部品が載置されるステージと、
光透過性材料により形成されて第２の部品を保持する部品保持部と、
制御部と、
前記制御部により制御されて前記ステージに載置された前記第１の部品と前記部品保持部に保持された前記第２の部品との間の距離を変化させる駆動部とを有し、
前記部品保持部は、前記光源から出力された光が入射する入射面と、前記入射面と反対側の面であって前記入射面から入射した光を反射する第１の反射面と、前記第１の反射面で反射された光を反射する第２の反射面と、前記第２の反射面で反射された光が出射する出射面と有し、
前記第２の部品を前記出射面側に保持した状態で光硬化性接着剤により前記第１の部品と前記第２の部品とを接合することを特徴とする接合装置。
【請求項２】
前記ステージ及び前記部品保持部のうちの少なくとも一方にヒータが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の接合装置。
【請求項３】
前記部品保持部には、前記入射面及び前記第１の反射面がそれぞれ２つあることを特徴とする請求項１又は２に記載の接合装置。
【請求項４】
前記第１の反射面が、前記入射面から入射した光の光軸に対し５５°乃至６２°傾いていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の接合装置。
【請求項５】
前記光源で発生した光を前記入射面に案内するライトガイドを有し、
前記ライトガイドから出射される光の広がり角が３°乃至１０°であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の接合装置。
【請求項６】
光硬化型接着剤により第１の部品と第２の部品とを接合する接合方法において、
透明材料により形成され、光源から出力された光が入射する入射面と、前記入射面と反対側の面であって前記入射面から入射した光を反射する第１の反射面と、前記第１の反射面で反射された光を反射する第２の反射面と、前記第２の反射面で反射された光が出射する出射面と有する部品保持部の前記出射面側に前記第２の部品を保持する工程と、
前記光硬化型接着剤を挟んで前記第１の部品と前記第２の部品とを配置する工程と、
前記入射面から前記部品保持部内に光を入射して前記光硬化型接着剤を硬化させる工程と
を有することを特徴とする接合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光硬化型接着剤を使用して部品同士を接合する接合装置及び接合方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光配線は、電気配線に比べて設計自由度が高く、伝送速度が速く、配線スペースを小さくできるなどの多くの利点を有している。このため、スーパーコンピュータ、高性能サーバ及び携帯端末などの電子機器への応用が期待されている。
【０００３】
光配線では、例えば光導波路やミラー等により発光素子と受光素子との間を光学的に接続している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＷＯ２００３／０４１４７８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
光硬化型接着剤を使用して部品同士を短時間で精度よく接合できる接合装置及び接合方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
開示の技術の一観点によれば、光源と、第１の部品が載置されるステージと、光透過性材料により形成されて第２の部品を保持する部品保持部と、制御部と、前記制御部により制御されて前記ステージに載置された前記第１の部品と前記部品保持部に保持された前記第２の部品との間の距離を変化させる駆動部とを有し、前記部品保持部は、前記光源から出力された光が入射する入射面と、前記入射面と反対側の面であって前記入射面から入射した光を反射する第１の反射面と、前記第１の反射面で反射された光を反射する第２の反射面と、前記第２の反射面で反射された光が出射する出射面と有し、前記第２の部品を前記出射面側に保持した状態で光硬化性接着剤により前記第１の部品と前記第２の部品とを接合する接合装置が提供される。
【０００７】
開示の技術の他の一観点によれば、光硬化型接着剤により第１の部品と第２の部品とを接合する接合方法において、透明材料により形成され、光源から出力された光が入射する入射面と、前記入射面と反対側の面であって前記入射面から入射した光を反射する第１の反射面と、前記第１の反射面で反射された光を反射する第２の反射面と、前記第２の反射面で反射された光が出射する出射面と有する部品保持部の前記出射面側に前記第２の部品を保持する工程と、前記光硬化型接着剤を挟んで前記第１の部品と前記第２の部品とを配置する工程と、前記入射面から前記部品保持部内に光を入射して前記光硬化型接着剤を硬化させる工程とを有する接合方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
上記一観点に係る接合装置及び接合方法によれば、光硬化型接着剤を使用して部品同士を短時間で精度よく接合できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、光配線の一例を示す断面図である。
【図２】図２（ａ），（ｂ）は、光導波路シートとレンズシートとの接合方法の一例を示す断面図である。
【図３】図３は、従来の接合装置を使用し、接着剤としてＵＶ硬化型接着剤を用いた場合の問題点を示す模式図である。
【図４】図４は、部品保持部を透明材料で形成し、部品保持部内にミラーを配置した場合の問題点を示す模式図である。
【図５】図５は、第１の実施形態に係る接合装置の構成を示すブロック図である。
【図６】図６（ａ）は部品保持部の下面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＩ−Ｉ線の位置における断面図、図６（ｃ）は図６（ａ）のII−II線の位置における断面図である。
【図７】図７は、接着剤がレンズシートと光導波路シートとの間に濡れ広がった状態を示す断面図である。
【図８】図８は、ＵＶ到達率のシミュレーション計算時における第１の反射面の角度θ1及びライトガイドから出射する光の広がり角θ2を示す模式図である。
【図９】図９（ａ），（ｂ）は、部品保持部の第１の反射面の角度θ1を変化させて出射面におけるＵＶ到達率をシミュレーション計算により求めた結果を示す図である。
【図１０】図１０は、シミュレーション計算時の部品保持部の各部の寸法を示す図である。
【図１１】図１１は、ライトガイドから出射するＵＶ光の広がり角θ2を変化させて出射面におけるＵＶ到達率と面内分布とをシミュレーション計算により求めた結果を示す図である。
【図１２】図１２（ａ）〜（ｃ）は、第１の実施形態の変形例を示す図である。
【図１３】図１３（ａ）は第２の実施形態に係る結合装置の部品保持部の下面図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＩ−Ｉ線の位置における断面図、図１３（ｃ）は図１３（ａ）のII−II線の位置における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施形態について説明する前に、実施形態の理解を容易にするための予備的事項について説明する。
【００１１】
図１は、光配線の一例を示す断面図である。この図１に例示した光配線では、プリント基板１１の上にＶＣＳＥＬ（面発光レーザ）１２と、ＶＣＳＥＬ１２を駆動する集積回路（ＩＣ）１３とが実装されている。
【００１２】
プリント基板１１の下には接着剤１４を介してレンズシート１５が接合されており、レンズシート１５の下には接着剤１６を介して光導波路シート１７が接合されている。
【００１３】
光導波路シート１７には光導波路１８が設けられており、光導波路１８の端部にはミラー１８ａが配置されている。
【００１４】
ＶＣＳＥＬ１２から出射されたレーザ光は、プリント基板１１に設けられた孔を介してレンズシート１５に到達する。そして、レンズシート１５により集光され、ミラー１８ａにより反射されて光導波路１８内を進行する。
【００１５】
ところで、図１に示す光配線において、レーザ光はレンズシート１５と光導波路シート１７とを接合する接着剤１６を透過するので、接着剤１６には光透過率が高いことが要求される。また、接着剤１６には、レンズシート１５や光導波路シート１７の耐熱温度よりも低い温度、例えば１４０℃以下の温度で硬化することも要求される。
【００１６】
現在、レンズシート１５と光導波路シート１７とを接合する接着剤１６として、光透過率が９０％以上の熱硬化型接着剤が使用されている。しかし、そのような熱硬化型接着剤を１４０℃以下の低温で十分に硬化させるには数十分の時間がかかる。そのため、生産性が悪いという問題点がある。
【００１７】
生産性を改善するために、接着剤１６としてＵＶ（紫外線）硬化型接着剤を使用することが考えられる。しかし、レンズシートと光導波路シートとの接合に使用している従来の接合装置では、ＵＶ硬化型接着剤に対応することができない。以下に、その理由を説明する。
【００１８】
図２（ａ），（ｂ）は、光導波路シート１７とレンズシート１５との接合方法の一例を示す断面図である。この図２（ａ），（ｂ）のように、接合装置は、実装ヘッド２１と、実装ヘッド２１の下側に配置された部品保持部２２とを有する。
【００１９】
レンズシート１５は、図２（ａ）のように、部品保持部２２の下に真空吸着された状態で光導波路シート１７の上に配置される。また、光導波路シート１７の上には適量の接着剤１６が塗布される。ここで、接着剤１６は、熱硬化型接着剤である。
【００２０】
次に、図２（ｂ）のように、実装ヘッド２１が下降してレンズシート１５が光導波路シート１７の上に配置され、レンズシート１５と光導波路シート１７との間に接着剤１６が濡れ広がる。
【００２１】
実装ヘッド２１にはヒータが設けられており、ヒータで発生した熱が部品保持部２２を介して接着剤１６に伝達されて、接着剤１６が硬化する。部品保持部２２は、接着剤１６が十分硬化するまでレンズシート１５を保持して、位置ずれを防止する。
【００２２】
このような接合装置を使用し、接着剤１６としてＵＶ硬化型接着剤を用いた場合、部品保持部２２が邪魔をしてＵＶ光を接着剤１６に照射することが困難である。
【００２３】
部品保持部２２をガラス等の透明材料により形成することも考えられる。しかし、その場合も、図３のように実装ヘッド２１が邪魔をしたり、部品保持部２２の側面で光が反射したり、部品保持部２２を光が透過したりするため、部品保持部２２の下の接着剤１６にＵＶ光を均一且つ十分に照射することは困難である。なお、図３中の符号２３はＵＶ光を出射する光源であり、図中の破線矢印は光の進行方向を示している。
【００２４】
図４に例示するように、部品保持部２２を透明材料で形成し、部品保持部２２内にミラー２５を配置することも考えられる。しかし、その場合は部品保持部２２の長さＨが長くなり、たわみが発生して部品の実装精度が低下するという問題が発生する。また、熱とＵＶ光とを併用してＵＶ硬化型接着剤を硬化させる場合、部品保持部２２の長さＨが長くなると実装ヘッド２１から接着剤１６に熱を十分に伝達できなくなり、硬化時間が長くなってしまうという問題もある。
【００２５】
以下の実施形態では、光硬化型接着剤を使用して部品同士を短時間で精度よく接合できる接合装置及び接合方法について説明する。
【００２６】
（第１の実施形態）
図５は、第１の実施形態に係る接合装置の構成を示すブロック図である。
【００２７】
この図５のように、本実施形態に係る接合装置は、ステージ３１と、ステージ駆動部３２と、実装ヘッド３３と、部品保持部３４と、実装ヘッド駆動部３５と、ＵＶランプ３６と、ライトガイド３７と、カメラ３８と、制御部４０とを有する。
【００２８】
ステージ３１の上には光導波路シート１７が配置される。ステージ３１には真空ポンプ４１に接続する孔が設けられており、光導波路シート１７はステージ３１上に真空吸着された状態で固定される。また、ステージ３１は、ステージ駆動部３２により駆動されて、水平方向（ＸＹ方向）に移動する。更に、ステージ３１内には、制御部４０により制御されるヒータ３１ａが配置されている。
【００２９】
実装ヘッド３３は、実装ヘッド駆動部３５により駆動されて、垂直方向（Ｚ方向）に移動する。また、実装ヘッド３３には、傾斜角を調整可能な傾斜角調整機構（図示せず）が設けられている。更に、実装ヘッド３３内にも、制御部４０により制御されるヒータ３３ａが設けられている。
【００３０】
部品保持部３４は実装ヘッド３３の下に配置されている。この部品保持部３４は、ガラス又はアクリル樹脂等の透明材料により形成されている。部品保持部３４には真空ポンプ４２に接続される孔が設けられており、レンズシート１５は部品保持部３４の下に真空吸着される。部品保持部３４の詳細は後述する。
【００３１】
カメラ３８は、レンズシート１５と光導波路シート１７とを接合する前に、部品保持部３４とステージ３１との間に配置される。制御部４０は、カメラ３８で撮影された映像に基づいてステージ駆動部３２を制御し、ステージ３１を移動させてレンズシート１５と光導波路シート１７との位置合せを行う。位置合わせが終了した後、カメラ３８は制御部４０により制御されて、側方に移動する。
【００３２】
ＵＶランプ３６は、制御部４０により制御されて点灯する。ＵＶランプ３６で発生したＵＶ光はライトガイド３７を通り、後述するようにライトガイド３７の先端から部品保持部３４の側面（入射面ａ）に向けて出射する。
【００３３】
制御部４０はコンピュータを含んで構成されており、カメラ３８で撮影された映像を信号処理したり、ステージ駆動部３２、実装ヘッド駆動部３５、ヒータ３１ａ，３３ａ、ＵＶランプ３６及び真空ポンプ４１，４２を制御したりする。
【００３４】
なお、光導波路シート１７は第１の部品の一例であり、レンズシート１５は第２の部品の一例であり、ＵＶランプ３６は光源の一例である。
【００３５】
図６（ａ）は部品保持部３４の下面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＩ−Ｉ線の位置における断面図、図６（ｃ）は図６（ａ）のII−II線の位置における断面図である。
【００３６】
前述したように、部品保持部３４は、ガラス又はアクリル樹脂等の透明材料により形成されている。また、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、部品保持部３４は、ライトガイド３７から出射した光が入射する入射面ａと、入射面ａと反対側の面であって入射面ａから入射した光を斜め上方に反射する第１の反射面ｂとを有する。
【００３７】
更に、部品保持部３４の上面は第１の反射面ｂで反射された光を下方に向けて反射する第２の反射面ｃとなっており、部品保持部３４の下面は第２の反射面ｃで反射された光が出射する出射面ｄとなっている。部品保持部３４の入射面ａ及び出射面ｄ以外の面には反射膜が設けられている。本実施形態では、反射膜としてＡｕ蒸着膜が使用されている。
【００３８】
なお、図６（ａ），（ｂ）において、符号３４ｘ，３４ｙは真空ポンプ４２に連絡する孔及び凹部であり、符号３４ｚはレンズシート１５の凸部（レンズ）に対応する凹部である。
【００３９】
以下、本実施形態に係る接合装置を使用したレンズシート１５と光導波路シート１７との接合方法について、図５を参照して説明する。
【００４０】
なお、予めヒータ３１ａ，３３ａには通電され、ステージ３１の上面及び部品保持部３４の下面は１４０℃以下の温度に加熱されているものとする。また、光導波路シート１７の上には、予めＵＶ硬化型接着剤が付着しているものとする。液状の接着剤に替えて、フィルム状の接着剤を使用してもよい。
【００４１】
まず、ステージ３１上に光導波路シート１７を配置し、真空ポンプ４１を稼働させて光導波路シート１７をステージ３１上に固定する。また、真空ポンプ４２を稼働させて、部品保持部３４の下側にレンズシート１５を吸着する。
【００４２】
次に、制御部４０は、部品保持具３４の下側にカメラ３８を配置して、レンズシート１５及び光導波路シート１７を撮影する。その後、制御部４０は、カメラ３８から取得した映像に基づいてステージ駆動部３２を制御し、ステージ３１を移動させて、レンズシート１５と光導波路シート１７との位置合わせを行う。レンズシート１５と光導波路シート１７との位置合わせが完了すると、制御部４０はカメラ３８を側方に退避させる。
【００４３】
その後、制御部４０は、実装ヘッド駆動部３５を制御して実装ヘッド３３を下降させ、レンズシート１５を光導波路シート１７の上に配置する。レンズシート１５が光導波路シート１７にある程度近づくと、接着剤はレンズシート１５と光導波路シート１７との間に濡れ広がって、レンズシート１５の下側全体に接着剤が付着する。図７は、このときの状態を示す断面図である。図７において、符号１６ａはＵＶ硬化型接着剤であり、符号３９は第１の反射面ｂ及び第２の反射面ｃに設けられた反射膜（Ａｕ膜）を示している。
【００４４】
次いで、制御部４０はＵＶランプ３６を点灯させる。これにより、ライトガイド３７の先端からＵＶ光が出射する。
【００４５】
このライトガイド３７の先端から出射したＵＶ光は、図７中に矢印で示すように、受光面ａから部品保持部３４内に入り、第１の反射面ｂ及び第２の反射面ｃで順次反射された後、出射面ｄから出射して部品保持部３４の下の接着剤１６ａを照射する。このＵＶ光の照射により、接着剤１６ａは１０秒程度又はそれ以下の時間で硬化する。
【００４６】
ＵＶ光の照射により接着剤１６ａが硬化すると、制御部４０は真空ポンプ４１，４２を停止する。また、制御部４０は、実装ヘッド３３を上昇させる。このようにして、レンズシート１５と光導波路シート１７との接合が完了する。
【００４７】
本実施形態では、入射面ａから入射した光が反射面ｂ，ｃで反射されて出射面ｄから出射するので、入射面ａから出射面ｄまでの光路が長い。そのため、入射面ａから出射面ｄまでの間に光が十分に広がり、部品保持部３４の下の接着剤１６ａには均一且つ十分な強度のＵＶ光が照射される。これにより、レンズシート１５と光導波路シート１７とを短時間で接合できる。
【００４８】
また、本実施形態では、ＵＶ光を第１の反射面ｂと第２の反射面ｃとで反射させるため、部品保持部３４の長さＨ（図６参照）を短くできる。これにより、ヒータ３３ａで発生した熱を効率よく接着剤１６ａに伝達できるとともに、たわみの発生を抑制でき、実装精度が高くなるという利点もある。
【００４９】
なお、本実施形態ではＵＶ光と熱とを併用してＵＶ硬化型接着剤を硬化させる場合について説明したが、ＵＶ光のみでＵＶ硬化型接着剤を硬化させる場合は、ヒータ３１ａ，３３ａを省略してもよい。
【００５０】
また、可視光硬化型接着剤を使用する場合は、ＵＶランプ３６に替えて可視光を発生するランプを使用すればよい。
【００５１】
以下、第１の反射面ｂの角度及びライトガイド３７から出射するＵＶ光の広がり角の最適範囲を調べた結果について説明する。
【００５２】
まず、図８に示す部品保持部３４の第１の反射面ｂの角度θ1を変化させて出射面ｄにおけるＵＶ到達率をシミュレーション計算により求めた。その結果を図９（ａ），（ｂ）に示す。
【００５３】
なお、部品保持部３４の各部の寸法は図１０に示す通りである。また、ライトガイド３７から出射する光の広がり角θ2は１０°とし、ライトガイド３７と部品保持部３４の入射面ａまでの距離は３０ｍｍとした。また、部品保持部３４の材質はガラス（ＢＫ７）とし、第１の反射面ｂ及び第２の反射面ｃにおけるＵＶ反射率は９０％とした。更に、ＵＶ到達率Ｔは、ライトガイド３７から出射するＵＶ光の強度をＡ、出射面ｄにおけるＵＶ光の強度をＢとしたときに、Ｔ＝Ｂ÷Ａにより算出される。
【００５４】
図９（ａ），（ｂ）からわかるように、第１の反射面ｂの角度が５５°以上且つ６２°以下の場合、ＵＶ到達率Ｔが２．５％以上となる。このことから、第１の反射面ｂの角度θ1の最適範囲は５５°乃至６２°であることが判明した。
【００５５】
次に、第１の反射面ｂの角度θ1を５７°とし、ライトガイド３７から出射するＵＶ光の広がり角θ2を変化させて、出射面ｄにおけるＵＶ到達率と面内分布とをシミュレーション計算により求めた。その結果を、図１１（ａ），（ｂ）に示す。
【００５６】
なお、面内分布は、出射面ｄにおける出力が０．００３Ｗ／ｍｍ2以上となる面積と出射面ｄの面積との比率（面積率）で表している。
【００５７】
また、ＵＶ到達率Ｔは前述したようにＴ＝Ｂ÷Ａにより算出されるが、θ2の最適化のときの測定条件とθ1の最適化のときの測定条件とが異なるため、図１１（ａ），（ｂ）のＵＶ到達率と図９（ａ），（ｂ）のＵＶ到達率とは異なっている。
【００５８】
図１１（ａ），（ｂ）からわかるように、ライトガイド３７から出射するＵＶ光の広がり角θ2が３°以上且つ１０°以下の場合、面積率が８５％以上となる。このことから、ライトガイド３７から出射するＵＶ光の広がり角θ2の最適範囲は３°乃至１０°であることが判明した。
【００５９】
（変形例）
上述の実施形態では反射面ｂを平坦な面としているが、図１２（ａ）のように凸型の面としてもよく、図１２（ｂ）のように凹型の面としてもよい。また、図１２（ｃ）のように多数の微細な凹凸を有する梨地面としてもよい。
【００６０】
（第２の実施形態）
図１３（ａ）は、第２の実施形態に係る結合装置の部品保持部４４の下面図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＩ−Ｉ線の位置における断面図、図１３（ｃ）は図１３（ａ）のII−II線の位置における断面図である。
【００６１】
なお、本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、部品保持部の形状が異なる点にあり、その他の構造は第１の実施形態と基本的に同一であるので、重複する部分の説明は省略する。
【００６２】
図１３（ａ）〜（ｃ）に示すように、本実施形態の接合装置の部品保持部４４は、相互に隣り合う２つの側面がそれぞれＵＶ光の入射面ａ１，ａ２となっている。これらの入射面ａ１，ａ２の近傍にそれぞれライトガイドの先端が配置される。入射面ａ１，ａ２の反対側の面はそれぞれ第１の反射面ｂ１，ｂ２となっており、それらの反射面ｂ１，ｂ２で反射された光が第２の反射面ｃ（部品保持部４４の上面）で反射され、出射面ｄから出射する。
【００６３】
第１の実施形態の部品保持具３４（図７参照）では光路が１つしかないため、部品保持部３４に設けられた孔３４ｘにより光が遮られて、出射面ｄにおける面内分布が劣化することが考えられる。
【００６４】
しかし、本実施形態では、ＵＶ光が隣り合う２つの側面（入射面ａ１，ａ２）から入射されるので、２つの異なる光路でＵＶ光が出射面ｄに到達する。これにより、出射面ｄにおける面内分布の劣化が回避される。
【００６５】
なお、上述の第１の実施形態及び第２の実施形態では、いずれもレンズシート１５と光導波路シート１７とを接続する場合について説明した。しかし、開示した接合装置は、レンズシートと光導波路シートとの接合だけでなく、種々の部品の接合に適用することができる。
【００６６】
以上の諸実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
【００６７】
（付記１）光源と、
第１の部品が載置されるステージと、
光透過性材料により形成されて第２の部品を保持する部品保持部と、
制御部と、
前記制御部により制御されて前記ステージに載置された前記第１の部品と前記部品保持部に保持された前記第２の部品との間の距離を変化させる駆動部とを有し、
前記部品保持部は、前記光源から出力された光が入射する入射面と、前記入射面と反対側の面であって前記入射面から入射した光を反射する第１の反射面と、前記第１の反射面で反射された光を反射する第２の反射面と、前記第２の反射面で反射された光が出射する出射面と有し、
前記第２の部品を前記出射面側に保持した状態で光硬化性接着剤により前記第１の部品と前記第２の部品とを接合することを特徴とする接合装置。
【００６８】
（付記２）前記ステージ及び前記部品保持部のうちの少なくとも一方にヒータが設けられていることを特徴とする付記１に記載の接合装置。
【００６９】
（付記３）前記第１の反射面が凸状又は凹状であることを特徴とする付記１又は２に記載の接合装置。
【００７０】
（付記４）前記第１の反射面が梨地状であることを特徴とする付記１又は２に記載の接合装置。
【００７１】
（付記５）前記部品保持部には、前記入射面及び前記第１の反射面がそれぞれ２つあることを特徴とする付記１乃至４のいずれか１項に記載の接合装置。
【００７２】
（付記６）前記第１の反射面が、前記入射面から入射した光の光軸に対し５５°乃至６２°傾いていることを特徴とする付記１乃至５のいずれか１項に記載の接合装置。
【００７３】
（付記７）前記光源で発生した光を前記入射面に案内するライトガイドを有し、
前記ライトガイドから出射される光の広がり角が３°乃至１０°であることを特徴とする付記１乃至６のいずれか１項に記載の接合装置。
【００７４】
（付記８）光硬化型接着剤により第１の部品と第２の部品とを接合する接合方法において、
透明材料により形成され、光源から出力された光が入射する入射面と、前記入射面と反対側の面であって前記入射面から入射した光を反射する第１の反射面と、前記第１の反射面で反射された光を反射する第２の反射面と、前記第２の反射面で反射された光が出射する出射面と有する部品保持部の前記出射面側に前記第２の部品を保持する工程と、
前記光硬化型接着剤を挟んで前記第１の部品と前記第２の部品とを配置する工程と、
前記入射面から前記部品保持部内に光を入射して前記光硬化型接着剤を硬化させる工程と
を有することを特徴とする接合方法。
【００７５】
（付記９）前記光硬化型接着剤を硬化させる工程では、前記部品保持部を介して前記光硬化型接着剤に熱を伝達することを特徴とする付記８に記載の接合方法。
【符号の説明】
【００７６】
１１…プリント基板、１２…ＶＣＳＥＬ、１３…集積回路、１４，１６，１６ａ…接着剤、１５…レンズシート、１７…光導波路シート、１８…光導波路、１８ａ…ミラー、２１…実装ヘッド、２２…部品保持部、２３…光源、３１…ステージ、３１ａ…ヒータ、３２…ステージ駆動部、３３…実装ヘッド、  ３３ａ…ヒータ、３４，４４…部品保持部、３５…実装ヘッド駆動部、３６…ＵＶランプ、３７…ライトガイド、３８…カメラ、３９…反射膜、４０…制御部、４１，４２…真空ポンプ、ａ…入射面、ｂ…第１の反射面、ｃ…第２の反射面、ｄ…出射面。
【図１】
2014191251.tif 000003
【図２】
2014191251.tif 000004
【図３】
2014191251.tif 000005
【図４】
2014191251.tif 000006
【図５】
2014191251.tif 000007
【図６】
2014191251.tif 000008
【図７】
2014191251.tif 000009
【図８】
2014191251.tif 000010
【図９】
2014191251.tif 000011
【図１０】
2014191251.tif 000012
【図１１】
2014191251.tif 000013
【図１２】
2014191251.tif 000014
【図１３】
2014191251.tif 000015