(57)【要約】【課題】複数の光電変換ユニットの、光信号を共通に伝達する光信号共通出力線と制御信号線との寄生容量と、初期電圧を共通に伝達する初期電圧共通出力線と制御信号線との寄生容量が、略等しくなるような光電変換装置を提供する。【解決手段】制御信号線を、光信号共通出力線と平行な配線部分と初期電圧共通出力線と平行な配線部分の長さが略等しく、光信号共通出力線との間隔と初期電圧共通出力線との間隔が略等しくなるように配置した。【選択図】図１
2014027479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光電変換ユニットと、前記複数の光電変換ユニットの光信号を第一のスイッチを介して共通に伝達する第一の配線と、前記複数の光電変換ユニットの初期電圧を第二のスイッチを介して共通に伝達する第二の配線と、前記第一のスイッチと前記第二のスイッチを制御する制御信号が伝達される第三の配線と、を有する光電変換装置であって、
前記光電変換ユニットは、
前記第一の配線と前記第三の配線の間に発生する第一の寄生容量と前記第二の配線と前記第三の配線の間に発生する第二の寄生容量とが略等しくなるように、前記第一の配線と前記第二の配線と前記第三の配線が配置される、
ことを特徴とする光電変換装置。
【請求項２】
前記第三の配線は、前記第一の配線と平行な配線部分と前記第二の配線と平行な配線部分の長さが略等しく、前記第一の配線との間隔と前記第二の配線との間隔が略等しく設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載の光電変換装置。
【請求項３】
前記第三の配線の前記第一の配線と平行な配線部分の長さは、前記第一の配線の両側で略等しく、
前記第三の配線の前記第二の配線と平行な配線部分の長さは、前記第二の配線の両側で略等しい、
ことを特徴とする請求項２に記載の光電変換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、入射光に基づいて出力電圧を出力する光電変換装置のレイアウト構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、ファクシミリ、イメージスキャナ、デジタル複写機、Ｘ線撮像装置等の画像読取装置として光電変換装置が用いされている。光電変換装置は、単結晶シリコンチップによって製造され、密着型イメージセンサ（ＣＩＳ：Ｃｏｎｔａｃｔ  Ｉｍａｇｅ  Ｓｅｎｓｅｒ）がよく知られている。
【０００３】
従来の光電変換装置について説明する。
図７は、従来の光電変換ユニットを示す回路図である。光電変換ユニット３０は、フォトダイオード１、リセットスイッチ２、バッファアンプ３、スイッチ１４、スイッチ１５、容量１２、容量１３、スイッチ１６及びスイッチ１７を有している。
【０００４】
リセットスイッチ２及びバッファアンプ３は、フォトダイオード１の出力端子に接続されている。容量１２は、スイッチ１４を介してバッファアンプ３の出力端子に接続され、スイッチ１６を介して光信号共通出力線１０に接続されている。容量１３は、スイッチ１５を介してバッファアンプ３の出力端子に接続され、スイッチ１７を介して初期電圧共通出力線１１に接続されている。
【０００５】
フォトダイオード１は、入射光に基づいて光電荷を発生し、光電荷に基づいて光信号を出力する。リセットスイッチ２は、フォトダイオード１の出力端子の電圧を所定の初期電圧にリセットする。バッファアンプ３は、光信号を増幅して増幅光信号を出力し、初期電圧を増幅して増幅初期電圧を出力する。容量１２は、信号ΦＳＩで制御されるスイッチ１４を介して増幅光信号を保持し、信号ΦＳＣＨで制御されるスイッチ１６を介して光信号共通出力線１０に増幅光信号を出力する。容量１３は、信号ΦＳＩで制御されるスイッチ１４を介して増幅初期電圧を保持し、信号ΦＳＣＨで制御されるスイッチ１７を介して初期電圧共通出力線１１に増幅初期電圧を出力する。
【０００６】
ここで、配線のレイアウトによって、信号ΦＳＣＨが入力される制御信号線２１と光信号共通出力線１０の間に寄生容量２５が発生し、制御信号線２１と初期電圧共通出力線１１の間に寄生容量２６が発生する。
【０００７】
図８は、従来の光電変換装置の前段部分を示す回路図である。光電変換装置の前段部分は、複数の光電変換ユニット３０、光信号共通出力線１０、初期電圧共通出力線１１、容量群２０、を有している。
【０００８】
光信号共通出力線１０は、全ての光電変換ユニット３０に共通に接続され、全ての光電変換ユニット３０の寄生容量２５が合計された第一寄生容量３１を有している。初期電圧共通出力線１１は、全ての光電変換ユニット３０に共通に接続され、全ての光電変換ユニット３０の寄生容量２６が合計された第二寄生容量３２を有している。容量群２０は、光信号共通出力線１０または初期電圧共通出力線１１に金属配線２０ｚを介して接続される。
【０００９】
図９は、図８の容量群２０の一例を示す回路図である。容量群２０は、複数の容量２０ａを有している。容量群２０は、各容量２０ａに対応する金属配線２０ｂの有無によって、容量値が決定される。ここで容量群２０の容量値は、第一寄生容量３１と第二寄生容量３２の差分の容量値にすることによって、光信号共通出力線１０と初期電圧共通出力線１１の寄生容量の影響をなくすことが出来る。
【００１０】
図１０は、従来の光電変換装置の後段部分を示す回路図である。光電変換装置の後段部分は、バッファアンプ２２、バッファアンプ２３、減算増幅器２４、クランプ回路２７、サンプルホールド回路２８及びトランスミッションゲート２９を有している。
【００１１】
光信号共通出力線１０は、バッファアンプ２２を介して減算増幅器２４に接続されている。初期電圧共通出力線１１は、バッファアンプ２３を介して減算増幅器２４に接続されている。減算増幅器２４の出力端子は、クランプ回路２７に接続されている。クランプ回路２７の出力端子は、サンプルホールド回路２８に接続されている。サンプルホールド回路２８の出力端子は、トランスミッションゲート２９に接続されている。従って、バッファアンプ２２、２３で増幅される前の信号の寄生容量の影響をなくすことは、出力信号の精度を向上する上で重要である（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００８−２１１５９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、従来の光電変換装置においては、主走査方向のＩＣチップ長さは原稿の長さと同じ長さ必要であるために小さく出来ず、チップサイズを小型化しコストダウンするためにＩＣチップの副走査方向の短辺を小さくする必要がある。ＩＣチップの短辺方向の幅をより非常に細くすると、光信号共通出力線１０と初期電圧共通出力線１１と制御信号線２１は、間隔が狭くなり寄生容量の２５と寄生容量２６の影響量が大きくなる。更に、解像度が高くなると、光電変換ユニット３０の個数は多くなるので、第一寄生容量３１と第二寄生容量３２の容量値は大きくなる。従ってその容量値の差も大きくなるため、容量群２０だけでは補正しきれなくなるという課題がある。
【００１４】
本発明は、以上のような点に鑑みてなされ、各出力線の寄生容量の差を少なくして、光信号への影響を小さくすることによって、精度の良い光電変換装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
従来の課題を解決するために、本発明の光電変換装置は、制御信号線を、光信号共通出力線と平行な配線部分と初期電圧共通出力線と平行な配線部分の長さが略等しく、光信号共通出力線との間隔と初期電圧共通出力線との間隔が略等しくなるように配置した。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の光電変換装置によれば、複数の光電変換ユニットの、光信号を共通に伝達する光信号共通出力線と制御信号線との寄生容量と、初期電圧を共通に伝達する初期電圧共通出力線と制御信号線との寄生容量が、略等しくなるので、寄生容量による光信号への影響を除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態に係る光電変換装置のスイッチ部のレイアウトを示す平面図である。
【図２】光電変換装置のスイッチ部のレイアウトの他の例を示す平面図である。
【図３】光電変換装置のスイッチ部のレイアウトの他の例を示す平面図である。
【図４】光電変換装置のスイッチ部のレイアウトの他の例を示す平面図である。
【図５】光電変換装置のスイッチ部のレイアウトの他の例を示す平面図である。
【図６】光電変換装置のスイッチ部のレイアウトの他の例を示す平面図である。
【図７】光電変換ユニットを示す回路図である。
【図８】光電変換装置の前段部分を示す回路図である。
【図９】光電変換装置の容量群を示す図である。
【図１０】光電変換装置の後段部分を示す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本実施形態の光電変換装置のレイアウトを、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の実施形態の光電変換ユニット３０の領域４０のレイアウトを示す平面図である。光信号共通出力線１０と初期電圧共通出力線１１は、メタル配線（例えばアルミ）で平行に配置されている。スイッチ１６は、光信号共通出力線１０と初期電圧共通出力線１１の間に配置され、光信号共通出力線１０と接続されている。スイッチ１７は、光信号共通出力線１０と初期電圧共通出力線１１の間に配置され、初期電圧共通出力線１１と接続されている。
【００１９】
制御信号線２１は、ポリシリコン配線で初期電圧共通出力線１１と平行に配置され、更に初期電圧共通出力線１１と交差してスイッチ１７に配線される。また、制御信号線２１は、初期電圧共通出力線１１と交差してスイッチ１６に配線される。それらの制御信号線２１は、光信号共通出力線１０と交差した後に光信号共通出力線１０にも平行に配線される。ここで、寄生容量２５（２５ａ＋２５ｂ）と寄生容量２６が略等しくなるように、制御信号線２１は、光信号共通出力線１０と平行な配線部分と初期電圧共通出力線１１と平行な配線部分の長さは略等しく、光信号共通出力線１０との間隔と初期電圧共通出力線１１との間隔は略等しく設けられる。
【００２０】
このように制御信号線２１を配線することによって、寄生容量２５と寄生容量２６が略等しくなり、従ってその合計された第一寄生容量３１と第二寄生容量３２が略等しくなる。従って、第一寄生容量３１と第二寄生容量３２の容量差を補正するための容量群２０は小さくても良い、もしくは無くても良い。
【００２１】
ここで、光信号共通出力線１０と初期電圧共通出力線１１がメタル配線で、制御信号線２１がポリシリコン配線である場合、それらのマスクにずれが生じる場合がある。従って、上述のように制御信号線２１を配線しても、制御信号線２１と光信号共通出力線１０の間隔と制御信号線２１と初期電圧共通出力線１１の間隔が等しくならないことがある。すなわち、寄生容量２５と寄生容量２６の容量値に差が生じる。
【００２２】
以下の実施形態においては、メタル配線とポリシリコン配線のマスクにずれが生じても、寄生容量２５と寄生容量２６が略等しくなるような配線レイアウトについて説明する。
【００２３】
図２は、光電変換ユニット３０の領域４０のレイアウトの他の例を示す平面図である。
メタル配線の光信号共通出力線１０と初期電圧共通出力線１１は、平行に配置されている。スイッチ１６は、光信号共通出力線１０と初期電圧共通出力線１１の間に配置され、光信号共通出力線１０と接続されている。スイッチ１７は、光信号共通出力線１０と初期電圧共通出力線１１の間に配置され、初期電圧共通出力線１１と接続されている。
【００２４】
ポリシリコン配線の制御信号線２１は、図面右側の初期電圧共通出力線１１近傍で二方向に分岐し、一方は初期電圧共通出力線１１と平行に配線され、他方は初期電圧共通出力線１１、スイッチ１６、光信号共通出力線１０と交差した後に、光信号共通出力線１０と平行に配線される。一方の制御信号線２１は、初期電圧共通出力線１１と交差した後に初期電圧共通出力線１１と平行に配線され、再度初期電圧共通出力線１１と交差した後に初期電圧共通出力線１１と平行に配線される。そして、初期電圧共通出力線１１、スイッチ１７、光信号共通出力線１０と交差した後に、光信号共通出力線１０と平行に配線され、再度光信号共通出力線１０と交差した後に光信号共通出力線１０に平行に配線される。他方の制御信号線２１は、再度光信号共通出力線１０を交差した後に光信号共通出力線１０に平行に配線される。
【００２５】
図面左側の光信号共通出力線１０の外側の制御信号線２１と光信号共通出力線１０の間に寄生容量２５ａ１が発生し、図面右側の同様の箇所に寄生容量２５ａ２が発生する。図面中央の光信号共通出力線１０の内側の制御信号線２１と光信号共通出力線１０の間に寄生容量２５ｂ１と２５ｂ２が発生する。図面左側の初期電圧共通出力線１１の外側の制御信号線２１と初期電圧共通出力線１１の間に寄生容量２６ａ１が発生し、図面右側の同様の箇所に寄生容量２６ａ２が発生する。図面中央の初期電圧共通出力線１１の内側の制御信号線２１と初期電圧共通出力線１１の間に寄生容量２６ｂが発生する。
【００２６】
寄生容量２５ａ１、２５ａ２、２５ｂ１、２５ｂ２の容量値の合計が図７の寄生容量２５の容量値に相当する。そして、寄生容量２５ａ１と２５ａ２の合計の容量値と、寄生容量２５ｂ１と２５ｂ２の合計の容量値が等しくなるように配線する。ここでは、光信号共通出力線１０と外側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長と、光信号共通出力線１０と内側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長とが等しくなるように配線する。寄生容量２６ａ１、２６ａ２、２６ｂの容量値の合計が図７の寄生容量２６の容量値に相当する。そして、寄生容量２６ａ１と２６ａ２の合計の容量値と、寄生容量２６ｂの容量値が等しくなるように配線する。ここでは、初期電圧共通出力線１１と外側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長と、初期電圧共通出力線１１と内側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長とが等しくなるように配線する。更に、合計の寄生容量２５と寄生容量２６の容量値が等しくなるように、それらの配線間隔及び配線長が全て等しくなるように配線する。
【００２７】
ここで、光信号共通出力線１０と初期電圧共通出力線１１のメタルマスクと制御信号線２１のポリシリコンマスクがずれた状態について説明する。マスクがずれると、光信号共通出力線１０及び初期電圧共通出力線１１と制御信号線２１の間隔が等しくなくなるので、各寄生容量の容量値は変化する。例えば、ポリシリコンマスクを基準にメタルマスクが図面上方へずれた場合は、寄生容量２５ａ１、２５ａ２、２６ｂの容量値は大きくなり、寄生容量２５ｂ１、２５ｂ２、２６ａ１、２６ａ２の容量値は小さくなる。従って、合計の寄生容量２５の容量値の変動は小さく抑えられる。同様に、寄生容量２６の容量値の変動も小さく抑えられる。更に、寄生容量２５と寄生容量２６の容量値の変動は略等しくなる。
【００２８】
以上説明したように、メタルマスクとポリシリコンマスクにずれが生じたとしても、寄生容量２５と寄生容量２６の容量値の変動は小さく、その変動は略等しいので、寄生容量２５と寄生容量２６の容量値がアンバランスになることはない。従って、寄生容量の光信号への影響を小さくすることができる。
【００２９】
図３は、光電変換ユニット３０の領域４０のレイアウトの他の例を示す平面図である。
ポリシリコン配線の制御信号線２１は、図面中央の初期電圧共通出力線１１近傍で二方向に分岐し、左右対称に初期電圧共通出力線１１と平行に配線される。図面左側の制御信号線２１は、初期電圧共通出力線１１と交差した後に初期電圧共通出力線１１と平行に配線され、スイッチ１７と交差した後に、光信号共通出力線１０と平行に配線され、光信号共通出力線１０と交差した後に光信号共通出力線１０に平行に配線される。図面右側の制御信号線２１は、初期電圧共通出力線１１と交差した後に初期電圧共通出力線１１と平行に配線され、スイッチ１６と交差した後に、光信号共通出力線１０と平行に配線され、光信号共通出力線１０と交差した後に光信号共通出力線１０に平行に配線される。
【００３０】
図面中央左側の光信号共通出力線１０の外側の制御信号線２１と光信号共通出力線１０の間に寄生容量２５ａ１が発生し、図面中央右側の同様の箇所に寄生容量２５ａ２が発生する。図面左側の光信号共通出力線１０の内側の制御信号線２１と光信号共通出力線１０の間に寄生容量２５ｂ１が発生し、図面右側の同様の箇所に２５ｂ２が発生する。図面中央の初期電圧共通出力線１１の外側の制御信号線２１と初期電圧共通出力線１１の間に寄生容量２６ａが発生する。図面左側の初期電圧共通出力線１１の内側の制御信号線２１と初期電圧共通出力線１１の間に寄生容量２６ｂ1が発生し、図面右側の同様の箇所に寄生容量２６ｂ２が発生する。
【００３１】
寄生容量２５ａ１と２５ａ２の合計の容量値と、寄生容量２５ｂ１と２５ｂ２の合計の容量値が等しくなるように配線する。ここでは、光信号共通出力線１０と外側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長と、光信号共通出力線１０と内側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長とが等しくなるように配線する。また、寄生容量２６ａの容量値と、寄生容量２６ｂ１と２６ｂ２の合計の容量値が等しくなるように配線する。ここでは、初期電圧共通出力線１１と外側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長と、初期電圧共通出力線１１と内側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長とが等しくなるように配線する。更に、合計の寄生容量２５と寄生容量２６の容量値が等しくなるように、それらの配線間隔及び配線長が全て等しくなるように配線する。
【００３２】
このようにレイアウトすれば図２のレイアウトと同様に、メタルマスクとポリシリコンマスクにずれが生じたとしても、寄生容量２５と寄生容量２６の容量値の変動は小さく、その変動は略等しいので、寄生容量２５と寄生容量２６の容量値がアンバランスになることはない。従って、寄生容量の光信号への影響を小さくすることができる。
【００３３】
図４は、光電変換ユニット３０の領域４０のレイアウトの他の例を示す平面図である。
ポリシリコン配線の制御信号線２１は、図面中央の初期電圧共通出力線１１近傍で二方向に分岐し、左右対称に初期電圧共通出力線１１と平行に配線される。図面左側の制御信号線２１は、初期電圧共通出力線１１と交差した後に二方向に分岐し、一方は初期電圧共通出力線１１と平行に配線され、他方はスイッチ１７と交差した後に更に二方向に分岐し、一方は光信号共通出力線１０と平行に配線され、他方は光信号共通出力線１０と交差した後に光信号共通出力線１０に平行に配線される。図面右側の制御信号線２１は、左側の制御信号線２１と対称に配線される。
【００３４】
図面左側の光信号共通出力線１０の外側の制御信号線２１と光信号共通出力線１０の間に寄生容量２５ａ１が発生し、図面右側の同様の箇所に寄生容量２５ａ２が発生する。図面左側の光信号共通出力線１０の内側の制御信号線２１と光信号共通出力線１０の間に寄生容量２５ｂ１が発生し、図面右側の同様の箇所に２５ｂ２が発生する。図面中央の初期電圧共通出力線１１の外側の制御信号線２１と初期電圧共通出力線１１の間に寄生容量２６ａが発生する。図面左側の初期電圧共通出力線１１の内側の制御信号線２１と初期電圧共通出力線１１の間に寄生容量２６ｂ1が発生し、図面右側の同様の箇所に寄生容量２６ｂ２が発生する。
【００３５】
寄生容量２５ａ１と２５ａ２の合計の容量値と、寄生容量２５ｂ１と２５ｂ２の合計の容量値が等しくなるように配線する。ここでは、光信号共通出力線１０と外側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長と、光信号共通出力線１０と内側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長とが等しくなるように配線する。また、寄生容量２６ａの容量値と、寄生容量２６ｂ１と２６ｂ２の合計の容量値が等しくなるように配線する。ここでは、初期電圧共通出力線１１と外側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長と、初期電圧共通出力線１１と内側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長とが等しくなるように配線する。更に、合計の寄生容量２５と寄生容量２６の容量値が等しくなるように、それらの配線間隔及び配線長が全て等しくなるように配線する。
【００３６】
このようにレイアウトすれば図２のレイアウトと同様に、メタルマスクとポリシリコンマスクにずれが生じたとしても、寄生容量２５と寄生容量２６の容量値の変動は小さく、その変動は略等しいので、寄生容量２５と寄生容量２６の容量値がアンバランスになることはない。従って、寄生容量の光信号への影響を小さくすることができる。
【００３７】
図５は、光電変換ユニット３０の領域４０のレイアウトの他の例を示す平面図である。
ポリシリコン配線の制御信号線２１は、図面中央の初期電圧共通出力線１１近傍で三方向に分岐し、一方は初期電圧共通出力線１１と交差し、他方は左右対称に初期電圧共通出力線１１と平行に配線される。図面左側の制御信号線２１は、初期電圧共通出力線１１、スイッチ１７、光信号共通出力線１０と交差した後に、光信号共通出力線１０と平行に配線される。図面右側の制御信号線２１は、左側の制御信号線２１と対称に配線される。図面中央の制御信号線２１は、初期電圧共通出力線１１と交差した後に、左右対称に光信号共通出力線１０及び初期電圧共通出力線１１と平行に配線される。
【００３８】
図面左側の光信号共通出力線１０の外側の制御信号線２１と光信号共通出力線１０の間に寄生容量２５ａ１が発生し、図面右側の同様の箇所に寄生容量２５ａ２が発生する。図面左側の光信号共通出力線１０の内側の制御信号線２１と光信号共通出力線１０の間に寄生容量２５ｂ１が発生し、図面右側の同様の箇所に２５ｂ２が発生する。図面左側の初期電圧共通出力線１１の外側の制御信号線２１と初期電圧共通出力線１１の間に寄生容量２６ａ１が発生し、図面右側の同様の箇所に寄生容量２６ａ２が発生する。図面左側の初期電圧共通出力線１１の内側の制御信号線２１と初期電圧共通出力線１１の間に寄生容量２６ｂ1が発生し、図面右側の同様の箇所に寄生容量２６ｂ２が発生する。
【００３９】
寄生容量２５ａ１と２５ａ２の合計の容量値と、寄生容量２５ｂ１と２５ｂ２の合計の容量値が等しくなるように配線する。ここでは、光信号共通出力線１０と外側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長と、光信号共通出力線１０と内側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長とが等しくなるように配線する。また、寄生容量２６ａ１と２６ａ２の合計の容量値と、寄生容量２６ｂ１と２６ｂ２の合計の容量値が等しくなるように配線する。ここでは、初期電圧共通出力線１１と外側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長と、初期電圧共通出力線１１と内側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長とが等しくなるように配線する。更に、合計の寄生容量２５と寄生容量２６の容量値が等しくなるように、それらの配線間隔及び配線長が全て等しくなるように配線する。
【００４０】
このようにレイアウトすれば図２のレイアウトと同様に、メタルマスクとポリシリコンマスクにずれが生じたとしても、寄生容量２５と寄生容量２６の容量値の変動は小さく、その変動は略等しいので、寄生容量２５と寄生容量２６の容量値がアンバランスになることはない。従って、寄生容量の光信号への影響を小さくすることができる。
【００４１】
図６は、光電変換ユニット３０の領域４０のレイアウトの他の例を示す平面図である。
ポリシリコン配線の制御信号線２１は、図面左側の初期電圧共通出力線１１近傍で二方向に分岐し、一方は初期電圧共通出力線１１と交差し、他方は初期電圧共通出力線１１と平行に配線される。一方の制御信号線２１は、初期電圧共通出力線１１、スイッチ１７と交差配線される。他方の制御信号線２１は、初期電圧共通出力線１１と交差した後に、光信号共通出力線１０及び初期電圧共通出力線１１と平行に配線され、光信号共通出力線１０と交差した後に、光信号共通出力線１０と平行に配線される。そして、再度光信号共通出力線１０、スイッチ１６と交差配線される。
【００４２】
図面右側の光信号共通出力線１０の外側の制御信号線２１と光信号共通出力線１０の間に寄生容量２５ａが発生する。図面中央の内側の制御信号線２１と、光信号共通出力線１０の間に寄生容量２５ｂが発生し、初期電圧共通出力線１１の間に寄生容量２６ｂが発生する。図面左側の初期電圧共通出力線１１の外側の制御信号線２１と初期電圧共通出力線１１の間に寄生容量２６ａが発生する。
【００４３】
寄生容量２５ａの容量値と、寄生容量２５ｂの容量値が等しくなるように配線する。ここでは、光信号共通出力線１０と外側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長と、光信号共通出力線１０と内側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長とが等しくなるように配線する。また、寄生容量２６ａの容量値と、寄生容量２６ｂの容量値が等しくなるように配線する。ここでは、初期電圧共通出力線１１と外側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長と、初期電圧共通出力線１１と内側の制御信号線２１の配線間隔及び配線長とが等しくなるように配線する。更に、合計の寄生容量２５と寄生容量２６の容量値が等しくなるように、それらの配線間隔及び配線長が全て等しくなるように配線する。
【００４４】
このようにレイアウトすれば図２のレイアウトと同様に、メタルマスクとポリシリコンマスクにずれが生じたとしても、寄生容量２５と寄生容量２６の容量値の変動は小さく、その変動は略等しいので、寄生容量２５と寄生容量２６の容量値がアンバランスになることはない。従って、寄生容量の光信号への影響を小さくすることができる。
【００４５】
なお、これら図面を用いて説明した配線のレイアウトは、寄生容量２５ａの容量値と、寄生容量２５ｂの容量値が等しく、寄生容量２６ａの容量値と、寄生容量２６ｂの容量値が等しく、更に、合計の寄生容量２５と寄生容量２６の容量値が等しくなるようにするための配線のレイアウトの例であり、これらのレイアウトに限定されるものではない。
【符号の説明】
【００４６】
１  フォトダイオード
２  リセットスイッチ
３、２２、２３  バッファアンプ
１０  光信号共通出力線
１１  初期電圧共通出力線
２０  容量群
２４  減算増幅回路
２５、２６、３１、３２  寄生容量
２７  クランプ回路
２８  サンプルホールド回路
２９  トランスミッションゲート
３０  光電変換ユニット
【図１】
2014027479.tif 000003
【図２】
2014027479.tif 000004
【図３】
2014027479.tif 000005
【図４】
2014027479.tif 000006
【図５】
2014027479.tif 000007
【図６】
2014027479.tif 000008
【図７】
2014027479.tif 000009
【図８】
2014027479.tif 000010
【図９】
2014027479.tif 000011
【図１０】
2014027479.tif 000012