(57)【要約】【課題】しわが形成されることを防止できる蒸着マスク提供する。【解決手段】蒸着マスク２０は、蒸着マスク２０の長手方向に配列され、各々に複数の貫通孔２５が形成された複数の有効領域２２と、互いに隣り合う有効領域２２の間に介在され、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和する応力緩和領域５０と、を備えている。応力緩和領域５０は、蒸着マスク２０の第１面２０ａに設けられた応力緩和凹部５１を有している。【選択図】図５
2014133934.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の蒸着マスクであって、前記蒸着マスクの長手方向に配列され、各々に複数の貫通孔が形成された複数の有効領域を備える蒸着マスクを製造する方法であって、
互いに対向する第1面および第２面を有する金属板を準備する工程と、
前記有効領域をなすようになる前記金属板の領域内に、前記貫通孔を画成するようになる有効凹部を前記第１面の側から形成する工程と、を備え、
前記有効凹部を形成する工程において、互いに隣り合う前記有効領域の間に介在され、前記蒸着マスクの長手方向の応力を緩和する応力緩和領域をなすようになる前記金属板の領域内に、応力緩和凹部を前記第１面の側から形成する、ことを特徴とする蒸着マスクの製造方法。
【請求項２】
前記有効凹部を形成する工程において、前記応力緩和凹部は、前記蒸着マスクの幅方向に延びるように形成される、ことを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項３】
前記有効凹部と接続されて前記貫通孔をなすようになる第２有効凹部を前記第２面の側から形成する工程を、更に備え、
前記第２有効凹部を形成する工程において、前記応力緩和領域をなすようになる前記金属板の領域内に、第２応力緩和凹部を前記第２面の側から形成する、ことを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項４】
前記第２有効凹部を形成する工程において、前記第２応力緩和凹部が、前記蒸着マスクの幅方向に延びるように形成され、前記応力緩和凹部と前記第２応力緩和凹部が平面視において前記蒸着マスクの長手方向に交互に配置される、ことを特徴とする請求項３に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項５】
前記有効領域と前記応力緩和領域との間に、前記有効領域および前記応力緩和領域より剛性が高い高剛性領域が形成される、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項６】
互いに対向する第１面および第２面を有する帯状の蒸着マスクであって、
前記蒸着マスクの長手方向に配列され、各々に複数の貫通孔が形成された複数の有効領域と、
互いに隣り合う前記有効領域の間に介在され、前記蒸着マスクの長手方向の応力を緩和する応力緩和領域と、を備え、
前記応力緩和領域は、前記第１面に設けられた応力緩和凹部を有している、ことを特徴とする蒸着マスク。
【請求項７】
前記応力緩和凹部は、前記蒸着マスクの幅方向に延びている、ことを特徴とする請求項６に記載の蒸着マスク。
【請求項８】
前記蒸着マスクの前記第２面に、第２応力緩和凹部が設けられている、ことを特徴とする請求項６または７に記載の蒸着マスク。
【請求項９】
前記第２応力緩和凹部は、前記蒸着マスクの幅方向に延び、
前記応力緩和部と前記第２応力緩和部は、平面視において前記蒸着マスクの長手方向に交互に配置されている、ことを特徴とする請求項８に記載の蒸着マスク。
【請求項１０】
前記有効領域と前記応力緩和領域との間に介在され、前記有効領域および前記応力緩和領域より剛性が高い高剛性領域を更に備えた、ことを特徴とする請求項６乃至９のいずれかに記載の蒸着マスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクを製造する方法に係り、とりわけ、しわが形成されることを防止できる蒸着マスクの製造方法に関する。また、本発明は、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクに係り、とりわけ、しわが形成されることを防止できる蒸着マスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、所望のパターンで配列された貫通孔を含む蒸着用マスクを用い、所望のパターンで薄膜を形成する方法が知られている。そして、昨今においては、例えば有機ＥＬ表示装置の製造時において有機材料を基板上に蒸着する場合等、極めて高価な材料を成膜する際に蒸着が用いられることがある。なお、蒸着用マスクは、一般的に、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって金属板に貫通孔を形成することにより、製造され得る（例えば、特許文献１）。
【０００３】
蒸着マスクを用いて蒸着材料を基板に成膜する場合、蒸着材料の中には、蒸着マスクへの法線方向に対して大きく傾斜した方向に移動して基板に向うものも存在する。斜めに移動する蒸着材料を有効に利用して蒸着材料の利用効率を高めるためには、蒸着マスクの厚さを薄くすることが好ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３９３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、帯状の蒸着マスクを用いて蒸着材料を基板に成膜する場合、フレームの開口部上に複数の蒸着マスクが並列配置される。この際、フレームは、蒸着マスクが撓んでしまうことがないように、蒸着マスクに張力を負荷して蒸着マスクを張った状態に保持する。しかしながら、上述したように、蒸着マスクの厚さを薄くすると、蒸着マスクが張力に耐えることができず、張力と同じ方向のしわが蒸着マスクに形成され得る。すなわち、この張力によって蒸着マスクの中央領域が、その幅方向に縮み、これにより長手方向に沿ったしわが形成され得る。この場合、蒸着材料が蒸着して形成される画素の位置がずれるという問題がある。また、蒸着マスクの製造時において、巻き体から巻き戻されてエッチングが施された長尺の金属板を搬送する際に、蒸着マスクに負荷される張力によってもしわが形成され得るという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、しわが形成されることを防止できる蒸着マスクの製造方法および蒸着マスクを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による蒸着マスクの製造方法は、
帯状の蒸着マスクであって、前記蒸着マスクの長手方向に配列され、各々に複数の貫通孔が形成された複数の有効領域を備える蒸着マスクを製造する方法であって、
互いに対向する第1面および第２面を有する金属板を準備する工程と、
前記有効領域をなすようになる前記金属板の領域内に、前記貫通孔を画成するようになる有効凹部を前記第１面の側から形成する工程と、を備え、
前記有効凹部を形成する工程において、互いに隣り合う前記有効領域の間に介在され、前記蒸着マスクの長手方向の応力を緩和する応力緩和領域をなすようになる前記金属板の領域内に、応力緩和凹部を前記第１面の側から形成する。
【０００８】
本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記有効凹部を形成する工程において、前記応力緩和凹部は、前記蒸着マスクの幅方向に延びるように形成される、ようにしてもよい。
【０００９】
本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記有効凹部と接続されて前記貫通孔をなすようになる第２有効凹部を前記第２面の側から形成する工程を、更に備え、  前記第２有効凹部を形成する工程において、前記応力緩和領域をなすようになる前記金属板の領域内に、第２応力緩和凹部を前記第２面の側から形成する、ようにしてもよい。
【００１０】
本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記第２有効凹部を形成する工程において、前記第２応力緩和凹部が、前記蒸着マスクの幅方向に延びるように形成され、前記応力緩和凹部と前記第２応力緩和凹部が平面視において前記蒸着マスクの長手方向に交互に配置される、ようにしてもよい。
【００１１】
本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記有効領域と前記応力緩和領域との間に、前記有効領域および前記応力緩和領域より剛性が高い高剛性領域が形成される、ようにしてもよい。
【００１２】
本発明による蒸着マスクは、
互いに対向する第１面および第２面を有する帯状の蒸着マスクであって、
前記蒸着マスクの長手方向に配列され、各々に複数の貫通孔が形成された複数の有効領域と、
互いに隣り合う前記有効領域の間に介在され、前記蒸着マスクの長手方向の応力を緩和する応力緩和領域と、を備え、
前記応力緩和領域は、前記第１面に設けられた応力緩和凹部を有している。
【００１３】
本発明による蒸着マスクにおいて、前記応力緩和凹部は、前記蒸着マスクの幅方向に延びている、ようにしてもよい。
【００１４】
本発明による蒸着マスクにおいて、前記蒸着マスクの前記第２面に、第２応力緩和凹部が設けられている、ようにしてもよい。
【００１５】
本発明による蒸着マスクにおいて、前記第２応力緩和凹部は、前記蒸着マスクの幅方向に延び、前記応力緩和部と前記第２応力緩和部は、平面視において前記蒸着マスクの長手方向に交互に配置されている、ようにしてもよい。
【００１６】
本発明による蒸着マスクにおいて、前記有効領域と前記応力緩和領域との間に介在され、前記有効領域および前記応力緩和領域より剛性が高い高剛性領域を更に備える、ようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、しわが形成されることを防止できる蒸着マスクが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態を説明するための図であって、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す概略平面図である。
【図２】図２は、図１に示す蒸着マスク装置を用いて蒸着する方法を説明するための図である。
【図３】図３は、図１に示す蒸着マスクを示す平面図である。
【図４】図４は、図３に示す蒸着マスクの部分拡大平面図である。
【図５】図５は、図４のＩ−Ｉ線に沿った断面図である。
【図６】図６は、図１に示す蒸着マスクの製造方法の一例を全体的に説明するための模式図である。
【図７】図７は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【図８】図８は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【図９】図９は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【図１０】図１０は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【図１１】図１１は、蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【図１２】図１２は、図４に対応する図であって、応力緩和領域の一変形例を説明するための図である。
【図１３】図１３は、図１２のII−II線に沿った断面図である。
【図１４】図１４は、図１３の蒸着マスクの製造方法の一例を説明するための図であって、法線方向に沿った断面において長尺金属板を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００２０】
図１〜図１１は本発明による一実施の形態を説明するための図である。以下の実施の形態およびその変形例では、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に有機発光材料を所望のパターンでガラス基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスクの製造方法を例にあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法に対し、本発明を適用することができる。
【００２１】
なお、本明細書において、「板」、「シート」、「フィルム」の用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「板」はシートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念であり、したがって、例えば「金属板」は、「金属シート」や「金属フィルム」と呼ばれる部材と呼称の違いのみにおいて区別され得ない。
【００２２】
また、「板面（シート面、フィルム面）」とは、対象となる板状（シート状、フィルム状）の部材を全体的かつ大局的に見た場合において対象となる板状部材（シート状部材、フィルム状部材）の平面方向と一致する面のことを指す。また、板状（シート状、フィルム状）の部材に対して用いる法線方向とは、当該部材の板面（シート面、フィルム面）に対する法線方向のことを指す。
【００２３】
さらに、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。
【００２４】
まず、製造方法対象となる蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例について、主に図１〜図６を参照して説明する。ここで、図１は、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す概略平面図であり、図２は、図１に示す蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図であり、図３は、図１に示す蒸着マスクを示す平面図である。図４は、蒸着マスクの部分拡大平面図であり、図５は、図４の断面図である。
【００２５】
図１および図２に示された蒸着マスク装置１０は、開口部１５ａを有し、枠状に形成されたフレーム１５と、フレーム１５の開口部１５ａ上に蒸着マスク２０の幅方向（長手方向に直交する方向、横方向）に並列配置された帯状の複数の蒸着マスク２０と、を備えている。このうち蒸着マスク２０には、互いに対向する第１面２１ａおよび第２面２１ｂを有する金属板２１を少なくとも第１面２１ａからエッチングすることにより形成された貫通孔２５が、多数設けられている。この蒸着マスク装置１０は、図２に示すように、蒸着マスク２０が蒸着対象物である基板、例えばガラス基板９２に対面するようにして蒸着装置９０内に支持され、基板への蒸着材料の蒸着に使用される。
【００２６】
蒸着装置９０内では、フレーム１５の開口部１５ａ内にガラス基板９２が配置され、不図示の磁石からの磁力によって、蒸着マスク２０と、ガラス基板９２とが密着するようになる。蒸着装置９０内には、この蒸着マスク装置１０を挟んだガラス基板９２の下方に、蒸着材料（一例として、有機発光材料）９８を収容するるつぼ９４と、るつぼ９４を加熱するヒータ９６とが配置されている。るつぼ９４内の蒸着材料９８は、ヒータ９６からの加熱により、気化または昇華してガラス基板９２の表面に付着するようになる。上述したように、蒸着マスク２０には多数の貫通孔２５が形成されており、蒸着材料９８はこの貫通孔２５を介してガラス基板９２に付着する。この結果、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料９８がガラス基板９２の表面に成膜される。
【００２７】
図１および図３に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク２０は、金属板２１からなり、平面視において帯状の略四角形形状、さらに正確には平面視において帯状の略矩形状の輪郭を有している。蒸着マスク２０の金属板２１は、蒸着マスク２０の長手方向に配列され、各々に規則的な配列で複数の貫通孔２５が形成された複数の有効領域２２と、各有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含んでいる。このうち周囲領域２３は、基板へ蒸着されることを意図された蒸着材料が通過する領域ではない。例えば、有機ＥＬディスプレイ装置用の有機発光材料の蒸着に用いられる蒸着マスク２０においては、有効領域２２は、有機発光材料が蒸着して画素を形成するようになる基板（ガラス基板９２）上の区域、すなわち、作製された有機ＥＬディスプレイ装置用基板の表示面をなすようになる基板上の区域に対面する、蒸着マスク２０内の領域のことである。ただし、種々の目的から、周囲領域２３に貫通孔や凹部が形成されていてもよい。図１に示された例において、各有効領域２２は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。
【００２８】
図３に示すように、周囲領域２３は、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和する応力緩和領域５０と、有効領域２２および応力緩和領域５０より剛性が高い高剛性領域５５と、を含んでいる。このうち、応力緩和領域５０は、互いに隣り合う有効領域２２の間に介在されおり、蒸着マスク２０に長手方向に張力が負荷された場合に、この張力により生じる応力を効果的に緩和するようになっている。
【００２９】
高剛性領域５５は、有効領域２２と応力緩和領域５０との間に介在されている。より具体的には、高剛性領域５５は、有効領域２２および応力緩和領域５０をそれぞれ取り囲むように形成されている。また、高剛性領域５５は、金属板２１の第１面２１ａおよび第２面２１ｂのいずれにもエッチングが行われていない領域となっている。一方、有効領域２２および応力緩和領域５０では、後述するように、金属板２１の第１面２１ａおよび第２面２１ｂの少なくとも一方にエッチングが行われて、金属板２１の材料の一部が除去されている領域となっている。このようにして、高剛性領域５５は、有効領域２２および応力緩和領域５０よりも高い剛性を有しており、有効領域２２を支持し、有効領域２２の変形を効果的に抑制する機能を有している。
【００３０】
図示された例において、複数の有効領域２２は、蒸着マスク２０の長手方向に沿って所定の間隔を空けて配置されている。このような複数の有効領域２２を含む蒸着マスク２０が、その幅方向に配列されて、図１に示す蒸着マスク装置１０が構成されている。一つの有効領域２２が一つの有機ＥＬディスプレイ装置に対応するようになっており、図１に示す蒸着マスク装置１０においては、多面付蒸着が可能となっている。
【００３１】
図４に示すように、図示された例において、各有効領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有効領域２２において、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されている。この金属板２１に形成された貫通孔２５の一例について、図４および図５を主に参照して更に詳述する。
【００３２】
図４は、蒸着マスク２０を第１面２０ａ側から示す部分平面図である。また、図５は、図４のＩ−Ｉ線に沿った断面図である。図４および図５に示すように、複数の貫通孔２５は、蒸着マスク２０の法線方向に沿った一方の側となる第１面２０ａと、蒸着マスク２０の法線方向に沿った他方の側となる第２面２０ｂと、の間を延びて、蒸着マスク２０を貫通している。図示された例では、のちに詳述するように、蒸着マスクの法線方向における一方の側となる金属板２１の第１面２１ａの側から金属板２１に第１有効凹部３０がエッチングによって形成され、金属板２１の法線方向における他方の側となる第２面２１ｂの側から金属板２１に第２有効凹部３５が形成され、この第１有効凹部３０および第２有効凹部３５によって貫通孔２５が形成されている。
【００３３】
図５に示すように、蒸着マスク２０の法線方向における一方の側から他方の側へ向けて、すなわち、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側から第２面２０ｂの側へ向けて、蒸着マスク２０の法線方向に沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った断面での各第１有効凹部３０の断面積は、しだいに小さくなっていく。言い換えると、蒸着マスク２０の法線方向に沿った断面において、蒸着マスク２０の法線方向に沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った各第１有効凹部３０の幅は、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側から第２面２０ｂの側に向けて、しだいに小さくなっていく。とりわけ図示された例では、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側から第２面２０ｂの側に向け、各第１有効凹部３０の断面積は、小さくなるように変化し続けている。図５に示すように、第１有効凹部３０の壁面３１は、その全領域において蒸着マスク２０の法線方向に対して交差する方向に延びており、蒸着マスク２０の法線方向に沿った一方の側に向けて露出している。
【００３４】
同様に、蒸着マスク２０の法線方向に沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った断面での各第２有効凹部３５の断面積は、蒸着マスク２０の法線方向における他方の側から一方の側へ向けて、すなわち、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側から第１面２０ａの側へ向けて、しだいに小さくなっていく。言い換えると、蒸着マスク２０の法線方向に沿った断面において、蒸着マスク２０の法線方向に沿った各位置における蒸着マスク２０の板面に沿った各第２有効凹部３５の幅は、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側から第１面２０ａの側に向けて、しだいに小さくなっていく。とりわけ図示された例では、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側から第１面２０ａの側に向け、各第２有効凹部３５の断面積は、小さくなるように変化し続けている。第２有効凹部３５の壁面３６は、その全領域において蒸着マスク２０の法線方向に対して交差する方向に延びており、蒸着マスク２０の法線方向に沿った他方の側に向けて露出している。
【００３５】
図５に示すように、貫通孔２５は、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側から形成された先細りする第１有効凹部３０と、蒸着マスク２０の第２面２０ｂの側から形成された先細りする第２有効凹部３５とが接続することによって、画成されている。図５に示すように、図示された例では、一つの貫通孔２５に対して、第１有効凹部３０および第２有効凹部３５がそれぞれ一つずつ形成されている。したがって、一つの第１有効凹部３０と、当該第１有効凹部３０に対応して設けられた第２有効凹部３５とが接続することにより、各貫通孔２５が形成されている。
【００３６】
なお、図５に示すように、第１有効凹部３０の壁面３１と、第２有効凹部３５の壁面３６とは、周状の接続部４１を介して接続されている。接続部４１は、蒸着マスクの法線方向に対して傾斜した第１有効凹部３０の壁面３１と、蒸着マスクの法線方向に対して傾斜した第２有効凹部３５の壁面３６とが合流する張り出し部の稜線によって、画成されている。そして、接続部４１は、蒸着マスク２０の平面視において最も貫通孔２５の面積が小さくなる貫通部４２を画成する。
【００３７】
図５に示すように、蒸着マスクの法線方向に沿った他方の側の面、すなわち、蒸着マスク２０の第２面２０ｂ上において、隣り合う二つの貫通孔２５は、蒸着マスクの板面に沿って互いから離間している。すなわち、後述する製造方法のように、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに対応するようになる金属板２１の第２面２１ｂ側から当該金属板２１をエッチングして第２有効凹部３５を作製する場合、隣り合う二つの第２有効凹部３５の間に金属板２１の第２面２１ｂが残存するようになる。
【００３８】
一方、図５に示すように、蒸着マスクの法線方向に沿った他方の側、すなわち、蒸着マスク２０の第１面２０ａの側において、隣り合う二つの第１有効凹部３０が接続されている。すなわち、後述する製造方法のように、蒸着マスク２０の第１面２０ａに対応するようになる金属板２１の第１面２１ａ側から当該金属板２１をエッチングして第１有効凹部３０を形成する場合、隣り合う二つの第１有効凹部３０の間に、金属板２１の第１面２１ａが残存しないようになる。このような第１有効凹部３０によって形成される蒸着マスク２０の第１面２０ａによれば、図２に示すように蒸着マスク２０の第１面２０ａが蒸着材料９８に対面するようにしてこの蒸着マスク２０を用いた場合に、蒸着材料９８の利用効率を効果的に改善することができる。
【００３９】
図２に示すようにして蒸着マスク装置１０が蒸着装置９０に収容された場合、図５に二点鎖線で示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａが蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂがガラス基板９２に対面する。したがって、蒸着材料９８は、次第に断面積が小さくなっていく第１有効凹部３０を通過してガラス基板９２に付着する。図２に示すように、蒸着材料９８は、るつぼ９４からガラス基板９２に向けてガラス基板９２の法線方向に沿って移動するだけでなく、ガラス基板９２の法線方向に対して大きく傾斜した方向に移動することもある。このとき、第１有効凹部３０の断面形状が図５の点線で示す輪郭を有していたとすると、斜めに移動する蒸着材料９８は、蒸着マスク２０に付着してガラス基板９２まで到達しない。また、ガラス基板９２上の貫通孔２５に対面する領域内には、蒸着材料９８が到達しやすい領域と到達しにくい部分が生じてしまう。
【００４０】
すなわち、蒸着材料の利用効率（成膜効率：ガラス基板９２に付着する割合）を高めて高価な蒸着材料を節約するため、且つ、高価な蒸着材料を用いた成膜を所望の領域内に安定してむらなく実施するため、蒸着マスク２０のシート面に直交する図５の断面において、貫通孔２５の最小断面積を持つ部分となる接続部４１と、第１有効凹部３０の壁面３１の他の任意の位置と、を通過する直線Ｌ１が、蒸着マスク２０の法線方向に対してなす最小角度θ１（図５参照）が、十分に大きくなっていることが有利となる。そして、図示された例によれば、隣り合う二つの第１有効凹部３０の壁面３１が合流することにより、他の凹部と合流していない点線で示された壁面（輪郭）を有する凹部と比較して、この角度θ１を大幅に小さくすることができている。
【００４１】
第１有効凹部３０は、後に詳述するように、金属板２１の第１面２１ａをエッチングすることにより形成される。エッチングによって形成される凹部の壁面は、一般的に、浸食方向に向けて凸となる曲面状となる。したがって、エッチングによって形成された凹部の壁面３１は、エッチングの開始側となる領域において切り立ち、エッチングの開始側とは反対側となる領域、すなわち凹部の最も深い側においては、金属板２１の法線方向に対して比較的に大きく傾斜するようになる。そして、図示された蒸着マスク２０では、隣り合う二つの第１有効凹部３０の壁面３１が、エッチングの開始側において、合流しているので、貫通孔２５の大部分をなす第１有効凹部３０の壁面３１を蒸着マスクの法線方向に対して効果的に傾斜させることができる。また、初めから厚さが薄くなっている金属板をエッチングして形成された凹部と比較しても、図示された第１有効凹部３０の壁面３１は、エッチングの開始側となる切り立った部分を含まないようになるので、壁面３１の傾斜角度θ１を十分に大きくすることができる。これにより、ここで説明した蒸着マスク２０を用いた場合、蒸着材料９８の利用効率を効果的に改善しながら所望のパターンでの蒸着を安定して高精度に実施することができる。
【００４２】
また、図示された例では、有効領域２２のすべての第１有効凹部３０の壁面３１の先端縁（上縁、蒸着マスクの法線方向に沿って一方の側に位置する端縁）３２が、当該第１有効凹部３０に隣り合う他の第１有効凹部３０の壁面３１の先端縁３２と合流している。
【００４３】
図５に示された例においては、蒸着マスク２０の有効領域２２内の全領域において、蒸着マスク２０の第１面２０ａが、蒸着マスクの法線方向における一方の側に向いた第１有効凹部３０の壁面３１によって形成されている。この結果、蒸着マスク２０の有効領域２２内の全領域において、蒸着マスク２０の第１面２０ａが凹凸面をなしている。
【００４４】
このような蒸着マスク２０によれば、有効領域２２の全域において、第１有効凹部３０の壁面３１が蒸着マスクの法線方向に対してなす傾斜角度θ１を効果的に増大させることができる。これにより、蒸着材料９８の利用効率を効果的に改善しながら、所望のパターンでの蒸着を高精度に安定して実施することができる。
【００４５】
また、後述する製造方法のように蒸着マスク２０の第１面２０ａに対応するようになる金属板２１の第１面２１ａ側から当該金属板２１をエッチングして第１有効凹部３０を作製する場合、蒸着マスク２０の有効領域２２をなすようになる金属板２１の全領域において、当該金属板２１の第１面２１ａがエッチングにより浸食される。すなわち、蒸着マスクの法線方向に沿った有効領域２２内の最大厚みＴａは、蒸着マスクの法線方向に沿った周囲領域２３（高剛性領域５５）内の最大厚みＴｂの１００％未満となる。このように有効領域２２内での厚みが全体的に薄くなることは、蒸着材料の利用効率を向上させる観点から好ましい。その一方で、蒸着マスクの強度の観点から、蒸着マスクの法線方向に沿った有効領域２２内の最大厚みＴａは、蒸着マスクの法線方向に沿った周囲領域２３内の最大厚みＴｂの５０％以上となることが好ましい。有効領域２２内の最大厚みＴａが周囲領域２３内の最大厚みＴｂの５０％以上となっている場合には、蒸着マスク２０をフレーム１５に張設した場合における蒸着マスク２０の有効領域２２内での変形を効果的に抑制することができ、これにより、所望のパターンでの蒸着を効果的に実施することができる。また、この場合、金属板６４の搬送や切断、樹脂６９の除去、フレーム１５への取付といった処理中に、多数の貫通孔２５を形成された有効領域２２の変形を効果的に防止することができる。
【００４６】
さらに、図示された例においては、後述する製造方法に起因して、蒸着マスクの法線方向に沿った断面において、二つの第１有効凹部３０の壁面３１の先端縁３２が合流する部分４３の外輪郭が、面取された形状となっている。上述したように、一般的に、エッチングで形成される凹部の壁面は、エッチングによる主たる進行方向に向けて凸となる曲面状となる。したがって、エッチングで形成された二つの第１有効凹部３０を単純に部分的に重ね合わせると、図５に点線で示すように、合流部分４３は、エッチングの開始側となる蒸着マスクの法線方向に沿った一方の側へ向けて、尖った形状となる。これに対して図示された蒸着マスク２０では、合流部分４３における尖った部分が面取されている。図５から理解されるように、この面取によって、蒸着マスク２０の法線方向に対して壁面３１がなす上述の角度θ１を、効果的に増大することができる。これにより、より効果的に蒸着材料９８の利用効率を改善し且つ所望のパターンでの蒸着を高精度且つ安定して実施することができる。
【００４７】
なお結果として、蒸着マスクの法線方向に沿った断面において、二つの第１有効凹部３０の壁面３１の先端縁３２が合流する部分４３の外輪郭は、蒸着マスクの法線方向に沿った一方の側へ向けて膨出した曲線状となる。
【００４８】
上述したように、本実施の形態では、貫通孔２５が各有効領域２２において所定のパターンで配置されている。一例として、蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）が携帯電話やデジタルカメラ等のディスプレイ（２〜５インチ程度）を作製するために用いられる場合、貫通孔２５の配列ピッチＰは、５８μｍ（４４０ｐｐｉ）以上２５４μｍ（１００ｐｐｉ）以下程度とすることができる。なお、カラー表示を行いたい場合には、貫通孔２５の配列方向（前述の一方向）に沿って蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）とガラス基板９２とを少しずつ相対移動させ、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に蒸着させていってもよい。また、蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）が携帯電話のディスプレイを作製するために用いられる場合、各貫通孔２５の配列方向（上述の一方向）に沿った幅（スリット幅）Ｗは、２８μｍ以上８４μｍ以下程度とすることができる。
【００４９】
応力緩和領域５０は、図４および図５に示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａに設けられた（好適には複数の）第１応力緩和凹部５１を有している。これにより、第１応力緩和凹部５１の周囲における蒸着マスク２０の法線方向かつ幅方向に沿った断面積を小さくすることができる。そして、第１応力緩和凹部５１を複数設けることにより、このような蒸着マスク２０の法線方向かつ幅方向に沿った断面積が小さい領域を大きくすることができ、応力緩和領域５０の剛性を低減させることができる。
【００５０】
また、応力緩和領域５０は、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに設けられた（好適には複数の）第２応力緩和凹部５２と、を更に有している。これにより、第２応力緩和凹部５２の周囲における蒸着マスク２０の法線方向かつ幅方向に沿った断面積を小さくすることができる。そして、第２応力緩和凹部５２を複数設けることにより、このような蒸着マスク２０の法線方向かつ幅方向に沿った断面積が小さい領域を大きくすることができ、応力緩和領域５０の剛性をより一層低減させることができる。
【００５１】
第１応力緩和凹部５１は、蒸着マスクの法線方向における一方の側となる金属板２１の第１面２１ａの側から金属板２１にエッチングによって形成されている。同様に、第２応力緩和凹部５２は、金属板２１の法線方向における他方の側となる第２面２１ｂの側から金属板２１に形成されている。第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２は、金属板２１を部分的にエッチングすること、すなわち、金属板２１を貫通させないようにエッチング（例えばハーフエッチング）することにより形成することが好適である。また、図５に示す形態においては、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の断面は、半円状に形成されている。第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の断面形状は、エッチング液の浸食の進む方向に起因するものであるが、半円状に限られない。なお、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の断面が、半円状に形成されている場合、蒸着マスク２０の長手方向に負荷された張力によって、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の周囲に応力集中により亀裂などが生じることを防止できる。
【００５２】
第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２は、それぞれ、蒸着マスク２０の幅方向に延びている。すなわち、本実施の形態においては、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２は、応力緩和領域５０において蒸着マスク２０の幅方向に直線状に延びている。このようにして、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の周囲における蒸着マスク２０の法線方向かつ幅方向の断面積を小さくしている。
【００５３】
第１応力緩和凹部５１と第２応力緩和凹部５２は、平面視において蒸着マスク２０の長手方向に交互に配置されていることが好ましい。すなわち、第１応力緩和凹部５１と第２応力緩和凹部５２は、平面視において重ならないように配置されている。これにより、応力緩和領域５０における蒸着マスク２０の法線方向かつ長手方向に沿った断面形状を、概略的に蛇腹状に形成することができ、応力緩和領域５０の剛性を効果的に低くすることができる。
【００５４】
上述したように、有効領域２２および応力緩和領域５０は、高剛性領域５５によって取り囲まれており、有効領域２２と応力緩和領域５０との間に、高剛性領域５５が介在されている。すなわち、有効領域の最外方に位置する貫通孔２５と、応力緩和領域５０の最外方に位置する第１応力緩和凹部５１（または第２応力緩和凹部５２）との間に、高剛性領域５５が形成されている。高剛性領域５５は、上述したように、金属板２１の第１面２１ａおよび第２面２１ｂにおいて、エッチングなどによって金属板２１の材料が除去されていない領域である。これにより、高剛性領域５５は、蒸着マスク２０のうち最大厚み（すなわち、周囲領域２３内の最大厚みＴｂ）を有している領域ということができる。このような高剛性領域５５が、有効領域を取り囲んでいることにより、有効領域の変形を効果的に抑制している。
【００５５】
上述したような蒸着マスク２０は、蒸着マスク装置１０のフレーム１５の開口部１５ａ上に並列配置されて、フレーム１５に取り付けられている。フレーム１５は、蒸着マスク２０が撓んでしまうことがないように蒸着マスクを張った状態に保持する。蒸着マスク２０とフレーム１５とは、例えばスポット溶接により互いに対して固定されている。
【００５６】
蒸着マスク装置１０は、高温雰囲気となる蒸着装置９０の内部に保持される。したがって、蒸着マスク２０およびフレーム１５は、蒸着フレームの撓みや熱応力の発生を防止するため、熱膨張率が低い同一の材料によって作製されていることが好ましい。このような材料として、例えば、３６％Ｎｉインバー材を用いることができる。
【００５７】
以上のような蒸着マスク２０によれば、互いに隣り合う有効領域２２の間に、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和する応力緩和領域５０が介在されている。これにより、蒸着マスク２０の長手方向に張力が負荷された場合、この張力によって応力緩和領域５０に負荷された応力を緩和することができる。このため、有効領域２２内での変形を効果的に抑制することができ、所望のパターンでの蒸着を効果的に実施することが可能となる。とりわけ、有機ＥＬディスプレイ装置では、高価な蒸着材料９８を高精細なパターンで基板４２上にパターニングすることが所望されている。このため、本実施の形態の蒸着マスク２０は、有機ＥＬディスプレイ装置を製造するために用いられる蒸着マスクに特に適している。
【００５８】
また、以上のような蒸着マスク２０によれば、第１有効凹部３０の壁面３１の先端縁３２が、当該第１有効凹部３０に隣り合う他の第１有効凹部３０の壁面３１と合流している。このため、蒸着材料９８の利用効率を効果的に改善しながら、高精細なパターンでの蒸着を所望の厚さで精度良く行うことができる。このことによっても、本実施の形態の蒸着マスク２０は、有機ＥＬディスプレイ装置を製造するために用いられる蒸着マスクに特に適している。
【００５９】
次に、このような蒸着マスク２０の製造方法について、主に図６〜図１１を用いて説明する。以下に説明する蒸着マスク２０の製造方法では、図６に示すように、帯状に延びる長尺の金属板６４が準備（供給）され、この長尺金属板６４に貫通孔２５が形成され、さらに長尺金属板６４を断裁することによって枚葉状の金属板２１からなる蒸着マスク２０が得られる。
【００６０】
より具体的には、蒸着マスク２０の製造方法、帯状に延びる長尺の金属板６４を供給する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺の金属板６４に施して、長尺金属板６４に第１面６４ａの側から第１有効凹部３０を形成する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを長尺金属板６４に施して、長尺金属板６４に第２面６４ｂの側から第２有効凹部３５を形成する工程と、を含んでいる。そして、長尺金属板６４に形成された第１有効凹部３０と第２有効凹部３５とが互いに通じ合うことによって、長尺金属板６４に貫通孔２５が作製される。図６に示された例では、第２有効凹部３５の形成工程が、第１有効凹部３０の形成工程の前に実施され、且つ、第２有効凹部３５の形成工程と第１有効凹部３０の形成工程の間に、作製された第２有効凹部３５を封止する工程が、さらに設けられている。以下において、各工程の詳細を説明する。
【００６１】
図６には、蒸着マスク２０を作製するための製造装置６０が示されている。図６に示すように、まず、長尺金属板６４を供給コア６１に巻き取った巻き体６２が準備される。そして、この供給コア６１が回転して巻き体６２が巻き戻されることにより、図６に示すように帯状に延びる長尺金属板６４が供給される。なお、長尺金属板６４は、貫通孔２５を形成されて枚葉状の金属板２１、さらには蒸着マスク２０をなすようになる。したがって、上述したように、長尺金属板６４は、例えば３６％Ｎｉインバー材からなる。ただし、これに限られず、ステンレス、銅、鉄、アルミニウムからなるシートを長尺金属板６４として用いることも可能である。
【００６２】
供給された長尺金属板６４は、搬送ローラ７２によって、エッチング装置（エッチング手段）７０に搬送される。エッチング手段７０によって、図７〜図１１に示された各処理が施される。まず、図７に示すように、長尺金属板６４の第１面６４ａ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）６５ａが形成されるとともに、長尺金属板６４の第２面６４ｂ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）６５ｂが形成される。具体的には、次のことが実施される。まず、長尺金属板６４の第１面６４ａ上（図７の紙面における下側の面上）および第２面６４ｂ上に感光性レジスト材料を塗布し、長尺金属板６４上にレジスト膜を形成する。次に、レジスト膜のうちの除去したい領域に光を透過させないようにしたガラス乾板を準備し、ガラス乾板をレジスト膜上に配置する。その後、レジスト膜をガラス乾板越しに露光し、さらにレジスト膜を現像する。以上のようにして、長尺金属板６４の第１面６４ａ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）６５ａを形成し、長尺金属板６４の第２面６４ｂ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）６５ｂを形成することができる。
【００６３】
次に、図８に示すように、長尺金属板６４上に形成されたレジストパターン６５ｂをマスクとして、エッチング液（例えば塩化第二鉄溶液）を用いて、長尺金属板６４の第２面６４ｂ側からエッチングする。例えば、エッチング液が、搬送される長尺金属板６４の第２面６４ｂに対面する側に配置されたノズルから、レジストパターン６５ｂ越しに長尺金属板６４の第２面６４ｂに向けて噴射される。この結果、図８に示すように、長尺金属板６４のうちのレジストパターン６５ｂによって覆われていない領域、すなわち、レジストパターン６５ｂの孔６６ｂの領域で、エッチング液による浸食が進む。以上のようにして、第２面６４ｂの側から長尺金属板６４に多数の第２有効凹部３５が形成される。
【００６４】
第２有効凹部３５を形成するためのエッチングを行う際、レジストパターン６５ｂの孔６６ｃの領域で、エッチング液による浸食が進み、長尺金属板６４の第２面６４ｂに、第２応力緩和凹部５２が形成される。なお、孔６６ｃの大きさを調整すること（例えば、大きくすること）により、第２応力緩和凹部５２を形成するエッチングの速度を調整することができる。これにより、所望の形状の第２応力緩和凹部５２、例えば、第２有効凹部３５よりエッチング深さが深い第２応力緩和凹部５２を、第２有効凹部３５を形成するためのエッチングを行う際に形成することができる。
【００６５】
その後、図９に示すように、エッチング液に対する耐性を有した樹脂６９によって、形成された第２有効凹部３５が被覆される。すなわち、エッチング液に対する耐性を有した樹脂６９によって、第２有効凹部３５および第２応力緩和凹部５２が封止される。図９に示す例において、樹脂６９の膜が、形成された第２有効凹部３５および第２応力緩和凹部５２だけでなく、第２面６４ｂ（レジストパターン６５ｂ）も覆うように形成されている。
【００６６】
次に、図１０に示すように、長尺金属板６４に対して第２回目のエッチングを行う。第２回目のエッチングにおいて、長尺金属板６４は第１面６４ａの側のみからエッチングされ、第１面６４ａの側から第１有効凹部３０の形成が進行していく。長尺金属板６４の第２面６４ｂの側には、エッチング液に対する耐性を有した樹脂６９が被覆されているからである。したがって、第１回目のエッチングにより所望の形状に形成された第２有効凹部３５の形状が損なわれてしまうことはない。また、この場合、第２応力緩和凹部５２にも樹脂６９が被覆されているため、第２応力緩和凹部５２の形状が損なわれてしまうこともない。
【００６７】
エッチングによる浸食は、長尺金属板６４のうちのエッチング液に触れている部分において、すなわちレジストパターン６５ａの孔６６ａの領域において行われていく。従って、浸食は、長尺金属板６４の法線方向（厚み方向）のみに進むのではなく、長尺金属板６４の板面に沿った方向にも進んでいく。この結果、エッチングが長尺金属板６４の法線方向に進んで第１有効凹部３０が第２有効凹部３５と接続するだけでなく、レジストパターン６５ａの隣り合う二つの孔６６ａに対面する位置にそれぞれ形成された二つの第１有効凹部３０が、二つの孔６６ａの間に位置するブリッジ部６７ａの裏側において、合流する。
【００６８】
エッチングがさらに進むと、隣り合う二つの第１有効凹部３０が合流してなる合流部分４３がレジストパターン６５ａから離間して、レジストパターン６５ａ下となる当該合流部分４３において、エッチングによる浸食が金属板６４の法線方向（厚さ方向）にも進む。これにより、蒸着マスクの法線方向に沿った一方の側へ向けて尖っていた合流部分４３が、蒸着マスクの法線方向に沿った一方の側からエッチングされ、面取される。
【００６９】
以上のようにして、長尺金属板６４の第１面６４ａの側からのエッチングが予め設定した量だけ進んで、長尺金属板６４に対する第２回目のエッチングが終了する。このとき、第１有効凹部３０は長尺金属板６４の厚さ方向に沿って第２有効凹部３５に到達する位置まで延びており、これにより、互いに通じ合っている第１有効凹部３０および第２有効凹部３５によって貫通孔２５が長尺金属板６４に形成される。
【００７０】
第２回目のエッチングを行う際、レジストパターン６５ａの孔６６ｄの領域で、エッチング液による浸食が進み、長尺金属板６４の第１面６４ａに、第１応力緩和凹部５１が形成される。なお、孔６６ｄの大きさを調整すること（例えば、小さくすること）により、第１応力緩和凹部５１を形成するエッチングの速度を調整することができる。このことにより、所望の形状の第１応力緩和凹部５１を、例えば、第１有効凹部３０よりエッチング深さが浅い第１応力緩和凹部５１を、第１有効凹部３０を形成するためのエッチング（第２回目のエッチング）を行う際に形成することができる。
【００７１】
このように、２回のエッチングを行うことにより、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２が形成され、応力緩和領域５０が画成される。これに伴い、エッチングによって金属板６４の材料が除去されていない領域として、高剛性領域５５が画成される。
【００７２】
その後、図１１に示すように、長尺金属板６４から樹脂６９が除去される。樹脂膜６９は、例えばアルカリ系剥離剤により、除去することができる。
【００７３】
次に、長尺金属板６４からレジストパターン６５ａ，６５ｂが除去される。なお、第１有効凹部３０を形成する工程において、エッチングによる第１面６４ａの浸食が、有効領域２２をなすようになる金属板６４の多くの領域内において、進む。したがって、第１面６４ａ上に設けられたレジストパターン６５ａは、有効領域２２をなすようになる金属板６４の多くの領域内において、金属板６４から既に離間している。このため、レジストパターン６５ａ除去時に、蒸着マスク２０の有効領域２２の変形等の損傷を効果的に回避することができ、蒸着マスク２０の歩留まりを効果的に改善することができる。
【００７４】
このようにして多数の貫通孔２５を形成された長尺金属板６４は、当該長尺金属板６４を狭持した状態で回転する搬送ローラ７２，７２により、切断装置（切断手段）７３へ搬送される。なお、この搬送ローラ７２，７２の回転によって長尺金属板６４に作用するテンション（張力）を介し、上述した供給コア６１が回転させられ、巻き体６２から長尺金属板６４が供給されるようになっている。
【００７５】
貫通孔２５を形成された長尺金属板６４が搬送される間、上述したように、長尺金属板６４に張力が負荷される。この場合、応力緩和領域５０に張力による応力が負荷され、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の周囲部分が弾性変形する。これにより、当該応力が緩和され、有効領域２２内での変形を効果的に抑制しながら、長尺金属板６４を搬送することができる。
【００７６】
その後、多数の凹部６１が形成された長尺金属板６４を切断装置（切断手段）７３によって所定の長さに切断することにより、多数の貫通孔２５が形成された枚葉状の金属板２１が得られる。
【００７７】
なお、貫通孔２５は、長尺金属板６４を一方の面のみからエッチングすることによっても形成され得る。しかしながら、長尺金属板６４を上方側の面のみからエッチング処理した場合、浸食によって形成された先細り孔に、既に浸食に用いられ浸食能力が低くなったエッチング液が残留する。その後、金属板の孔が下方側の面に達した時、それまで孔内に残留していたエッチング液が下方の面から流れ出て、浸食能力の高いフレッシュなエッチング液が形成された孔内に流れ込む。このとき、断面積（開孔面積）が小さくなる孔内の下方側の領域において液圧が高くなり、孔内の下方側の領域がフレッシュなエッチング液により激しく浸食される。すなわち、孔の形状を十分に制御することができなくなる。一方、レジストパターンを介して金属板を下方側の面のみからエッチングした場合、浸食によって形成された先細り孔が金属板を貫通すると、上側面の孔周囲に、エッチング液が残留することがある。結果として、残留したエッチング液によって金属板の上方側の面からも浸食が進み、やはり孔の形状を十分に制御することができなくなる。これに対して、上述したエッチング方法によれば、貫通孔２５の形状を安定させることができる。
【００７８】
以上のようにして、多数の貫通孔２５を形成された金属板２１からなる蒸着マスク２０が得られる。そして、得られた蒸着マスク２０をフレーム１５に取り付けることにより、蒸着マスク装置１０が得られる。なお、フレーム１５は、蒸着マスク２０の一方の面２０ａに取り付けられてもよいし、蒸着マスク２０の他方の面２０ｂに取り付けられてもよい。
【００７９】
蒸着マスク２０をフレーム１５に取り付ける際、蒸着マスクが撓んでしまうことがないように、蒸着マスク２０に張力を負荷して蒸着マスク２０を張った状態に保持して、例えばスポット溶接によりフレーム１５に対して固定される。この際、蒸着マスク２０に張力が負荷される。この場合、応力緩和領域５０に張力による応力が負荷され、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の周囲部分が弾性変形する。これにより、当該応力が緩和され、有効領域２２内においてしわ等の変形を効果的に抑制することができ、所望のパターンでの蒸着を効果的に実施することができる。
【００８０】
以上のような本実施の形態による蒸着マスクの製造方法によれば、互いに隣り合う有効領域２２の間に、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和する応力緩和領域５０が介在されるようになる。これにより製造された蒸着マスク２０に張力が負荷された場合、応力緩和領域５０は、張力による応力を緩和することができる。このため、有効領域２２内での変形を効果的に抑制することができ、製造された蒸着マスク２０を用いることによって、所望のパターンでの蒸着を効果的に実施することが可能となる。
【００８１】
また、本実施の形態による蒸着マスク装置の製造方法によれば、金属板２１，６４に第１有効凹部３０を形成する工程において、エッチングによる浸食が金属板の板面に沿った方向にも進み、レジストパターン６５ａ下にて隣り合う二つの第１有効凹部３０が合流し、さらに、少なくとも一つの第１有効凹部３０の壁面３１の先端縁３２が、その全周に亘って、当該一つの第１有効凹部３０の周囲に位置する他のいずれかの第１有効凹部３０の壁面３１と合流する。このようにして形成されて貫通孔２５をなすようになる第１有効凹部３０の壁面３１は、蒸着マスク２０の法線方向に対して大きく傾斜するようになる。これにより、製造された蒸着マスク２０を用いることによって、高い利用効率で蒸着材料９８を使用しながら、高精細なパターンでの蒸着を安定して行うことが可能となる。
【００８２】
なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、図面を参照しながら、変形の一例について説明する。以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いており、重複する説明を省略する。
【００８３】
まず、第１の変形例を説明する。上述した実施の形態において、応力緩和領域５０は、蒸着マスク２０の第１面２０ａに設けられた第１応力緩和凹部５１と、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに設けられた第２応力緩和凹部５２と、を有する例を示したが、これに限られない。例えば、図１２および図１３に示すように、応力緩和領域５０が、単一の第１応力緩和凹部５１のみを有し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂに第２応力緩和凹部５２が設けられていなくてもよい。この場合、図１３に示すように、第１応力緩和凹部５１は、蒸着マスク２０の幅方向に直線状に延びるとともに、蒸着マスク２０の長手方向に長く形成されている、すなわち、平面視で矩形状に形成されていることが好ましい。これにより、応力緩和領域５０における蒸着マスク２０の幅方向の断面積が小さい領域を大きくすることができ、応力緩和領域５０の剛性を低くすることができる。なお、応力緩和領域５０は、単一の第２応力緩和凹部５２のみを有して、蒸着マスク２０の第１面２０ａに第１応力緩和凹部５１が設けられていなくてもよい。
【００８４】
なお、図１３に示すように、第１応力緩和凹部５１は、蒸着マスク２０の長手方向における一方の側（図１３における左側）の部分を、傾斜させるようにしてもよい。この場合、いわゆる網点補正を行うことにより、第１応力緩和凹部５１の当該一方の側の部分を傾斜させることができる。例えば、図１４に示すように、長尺金属板６４の第１面６４ａ上に形成されるレジストパターン６５ａを網状に形成する（網状形成部分６６ｅ参照）。これにより、長尺金属板６４の第１面６４ａの側からエッチングを行う際、エッチングによる浸食が、長尺金属板６４の法線方向だけではなく、長尺金属板６４の板面に沿った方向にも進んで、レジストパターン６５ａの裏側に進む。これにより、レジストパターン６５ａの裏側の部分においても長尺金属板６４の浸食が進み、第１応力緩和凹部５１の一部を、図１４に示すように傾斜させることができる。この場合、レジストパターン６５ａの網状形状部分において、レジストパターン６５ａの材料割合を、徐々に変化させることが好ましい。
【００８５】
また、上述した実施の形態として、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２が、蒸着マスク２０の幅方向に直線状に延びている例を示したが、これに限られない。応力緩和領域５０が、蒸着マスク２０の長手方向の応力を緩和可能であれば、第１応力緩和凹部５１および第２応力緩和凹部５２の形状は任意である。
【００８６】
また、上述した実施の形態として、有効領域２２と応力緩和領域５０との間に、有効領域２２および応力緩和領域５０より剛性が高い高剛性領域５５が介在されている例を示したが、これに限られない。有効領域２２の変形を抑制可能であれば、有効領域２２と応力緩和領域５０との間に高剛性領域５５が介在されていなくてもよい。
【００８７】
また、上述した実施の形態において、長尺の金属板６４への貫通孔２５および応力緩和凹部５１、５２の形成方法を変更することができる。すなわち、上述した実施の形態において、第２有効凹部３５および第２応力緩和凹部５２を形成する工程が、第１有効凹部３０および第１応力緩和凹部５１を形成する工程の前に実施されるようにしたが、これに限られず、第１有効凹部３０および第１応力緩和凹部５１を形成する工程が、第２有効凹部３５および第２応力緩和凹部５２を形成する工程の前に実施されるようにしてもよいし、さらには、金属板２１，６４が第１面２１ａ，６４ａおよび第２面２１ｂ，６４ｂの側から同時にエッチングされ、第１有効凹部３０および第１応力緩和凹部５１を形成する工程および第２有効凹部３５および第２応力緩和凹部５２を形成する工程が並行して行われるようにしてもよい。また、第１有効凹部３０を形成する際のエッチングによる長尺金属板６４の浸食量が、第２有効凹部３５を形成する際のエッチングによる長尺金属板６４の浸食量よりも多いことから、金属板２１，６４が第１面２１ａ，６４ａおよび第２面２１ｂ，６４ｂの両側から同時にエッチングされ、第１有効凹部３０および第１応力緩和凹部５１を形成する工程並びに第２有効凹部３５および第２応力緩和凹部５２を形成する工程が並行して行われ、その後、第１有効凹部３０を形成する工程のみが引き続き行われるようにしてもよい。
【００８８】
また、上述した実施の形態において、長尺金属板６４の第１面６４ａ上へのレジストパターン６５ａの作製と、長尺金属板６４の第２面６４ｂへのレジストパターン６５ｂの作製との両方が、第１有効凹部３０および第１応力緩和凹部５１並びに第２有効凹部３５および第２応力緩和凹部５２の形成の前に実施されていたが、これに限られない。例えば、レジストパターン６５ａ，６５ｂの一方を作製して作製されたレジストパターンを利用して一方の穴を形成し、次に、他方のレジストパターンを作製して作製されたレジストパターンを利用して他方の穴を形成するようにしてもよい。
【００８９】
さらに他の変形例として、蒸着マスク２０に形成される貫通孔２５のパターンを変更してもよい。上述の実施の形態で説明した貫通孔２５の配列パターンは例示に過ぎず、種々のパターンにて貫通孔２５が配列された蒸着マスク２０を製造してもよい。
【００９０】
なお、以上において上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。
【符号の説明】
【００９１】
２０   蒸着マスク
２０ａ 第１面
２０ｂ 第２面
２１   金属板
２１ａ 第１面
２１ｂ 第２面
２２   有効領域
２３   周囲領域
２５   貫通孔
３０   第１有効凹部
３５   第２有効凹部
５０   応力緩和領域
５１   第１応力緩和凹部
５２   第２応力緩和凹部
５５   高剛性領域
６４   長尺金属板
６４ａ 第１面
６４ｂ 第２面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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