(57)【要約】【課題】ＰＶパネルや合わせガラスパネルなどのガラスパネルにおいて、接合材を除去し、シート体とガラス板とを分離させることができる、ガラスパネルの分離方法を提供する【解決手段】シリコン系ＰＶパネル１に含まれる太陽電池セルユニット２、タブ３、ガラス板４およびバックシート５を分離するために、太陽電池セルユニット２とタブ３とガラス板４およびバックシート５とを接着しているＥＶＡ６を除去する必要がある。そのために、シリコン系ＰＶパネル１は、トンネルキルン１０に導入されて加熱される。シリコン系ＰＶパネル１の温度を急激に上昇させると、ＥＶＡ６が残留し、太陽電池セルユニット２およびガラス板４を分離させることができない。また、ガラス板４は、急激な温度変化によって破損する。このため、シリコン系ＰＶパネル１の温度は、設定された最高温度まで漸次上昇され、最高温度に達した後に、漸次下降される。【選択図】図３
2014000513.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスパネルを構成するシート体とその一方面に接合材を介して接合されたガラス板とを分離する方法であって、
前記ガラスパネルを熱処理装置に導入する導入工程と、
前記熱処理装置内で前記ガラスパネルを加熱して、前記シート体と前記ガラス板とを互いに分離させる分離工程とを含み、
前記分離工程では、前記ガラスパネルの周囲の雰囲気の温度が前記接合材の材料に応じて設定された最高温度まで漸次上昇され、その後、前記雰囲気の温度が前記最高温度から漸次下降される、ガラスパネルの分離方法。
【請求項２】
前記ガラスパネルは、太陽光発電パネルであり、
前記シート体は、太陽電池セルであり、
前記ガラス板は、前記太陽電池セルの表面に前記接合材を介して接合されており、
前記分離工程では、前記太陽電池セルと前記ガラス板とが分離される、請求項１に記載のガラスパネルの分離方法。
【請求項３】
前記太陽光発電パネルは、前記太陽電池セルの表面に接続された配線と、前記太陽電池セルの裏面に接合材を介して接合されたバックシートとを含み、
前記分離工程では、前記太陽電池セル、前記ガラス板、前記バックシートおよび前記配線が互いに分離される、請求項２に記載のガラスパネルの分離方法。
【請求項４】
前記最高温度は、前記接合材の発火温度より高く、かつ、前記ガラス板の溶融温度より低い範囲内に設定される、請求項１〜３のいずれか一項に記載のガラスパネルの分離方法。
【請求項５】
前記熱処理装置は、１つのパネル搬送路を形成する複数のチャンバを備えており、
前記分離工程では、前記パネル搬送路の中央部に配置される前記チャンバ内の温度が前記最高温度に制御され、当該チャンバから前記パネル搬送路の入口および出口にそれぞれ近い前記チャンバほど、前記チャンバ内の温度が低くなるように制御され、前記ガラスパネルが前記パネル搬送路を搬送されて、前記ガラスパネルが前記複数のチャンバを順次に通過する、請求項１〜４のいずれか一項に記載のガラスパネルの分離方法。
【請求項６】
前記熱処理装置は、１つのチャンバを備えており、
前記分離工程では、前記ガラスパネルが前記チャンバ内で静止された状態で、前記チャンバ内の温度が前記最高温度まで漸次上昇され、その後、前記チャンバ内の温度が前記最高温度から漸次下降される、請求項１〜４のいずれか一項に記載のガラスパネルの分離方法。
【請求項７】
前記導入工程では、前記ガラスパネルが前記ガラス板を鉛直下方に向けた姿勢で前記熱処理装置に導入される、請求項１〜６のいずれか一項に記載のガラスパネルの分離方法。
【請求項８】
ガラスパネルを構成するシート体とその一方面に接合材を介して接合されたガラス板とを分離させるために用いられる熱処理装置であって、
前記ガラスパネルを加熱するチャンバと、
前記チャンバに前記ガラスパネルを導入する導入手段と、
前記チャンバ内に前記ガラスパネルが導入されてからの経過時間に伴って、前記ガラスパネルの周囲の雰囲気の温度を前記接合材の材料に応じて設定された最高温度まで漸次上昇させ、その後、前記雰囲気の温度を前記最高温度から漸次下降させる温度制御手段とを含む、熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスパネルを構成するシート体とその一方面に接合されたガラス板とを分離する方法およびそれに用いられる熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、環境問題や資源問題などへの関心が高まっており、太陽光発電などの自然エネルギーを利用した発電に注目が集まっている。また、太陽光発電パネル（ＰＶパネル）の価格が徐々に下がってきたことで、公共や一般家庭への太陽光発電の普及率が上がってきている。
【０００３】
ＰＶパネルの寿命は、１５〜２０年程度である。太陽光発電が普及し始めたのは、約２０年前であり、その初期に導入されたＰＶパネルは、寿命を終えて、廃棄され始めている。また、ＰＶパネルの生産には、高い生産技術が要求され、初期不良などによる廃棄率も依然として高い。したがって、今後廃棄されるＰＶパネルの数が年々増え続けることが予想され、ＰＶパネルの再資源化に対する需要が高まりつつある。
【０００４】
ＰＶパネルには、シリコンセル、ガラス板およびバックシートが含まれる。ガラス板、シリコンセルおよびバックシートは、薄い板状をなしている。たとえば、シリコンセルの一方面および他方面にそれぞれガラス板およびバックシートが接合材として用いられるエチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）を介して対向して配置された後、それらの構造物が加熱されながら、ガラス板とバックシートとの間に圧が加えられる。その結果、ＥＶＡが架橋・硬化し、そのＥＶＡにより、シリコンセル、ガラス板およびバックシートが互いに接着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−１７７４１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ＰＶパネルを再資源化するためには、ＥＶＡを除去して、各部材を分離する必要がある。
【０００７】
しかしながら、従来の技術では、シリコンセル、タブおよびガラス板を損傷させることなく、ＥＶＡを除去することができないため、ＰＶパネルの再資源化は、現在のところ実現されていない。
【０００８】
また、従来の技術では、ＰＶパネルに限らず、ガラス板とガラス板とを接合材（ＰＶＢ）を用いて接合される合わせガラスパネルにおいても、ガラス板を損傷させることなく、接合材を除去することはできない。
【０００９】
本発明の目的は、ＰＶパネルや合わせガラスパネルなどのガラスパネルにおいて、接合材を除去し、シート体とガラス板とを分離させることができる、ガラスパネルの分離方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の目的を達成するため、本発明の一の局面に係るガラスパネルの分離方法は、ガラスパネルを構成するシート体とその一方面に接合材を介して接合されたガラス板とを分離する方法である。前記分離方法では、前記ガラスパネルを熱処理装置に導入する導入工程と、前記熱処理装置内で前記ガラスパネルを加熱して、前記シート体と前記ガラス板とを互いに分離させる分離工程とを含み、前記分離工程では、前記ガラスパネルの周囲の雰囲気の温度が前記接合材の材料に応じて設定された最高温度まで漸次上昇され、その後、前記雰囲気の温度が前記最高温度から漸次下降される。
【００１１】
シート体とガラス板とを分離させるために、シート体とガラス板とを接合している接合材を除去する必要がある。
【００１２】
ガラスパネルの温度を急激に上昇させると、接合材が完全にガス化される前に、接合材が発火温度に達してしまう。この場合、ガス化されなかった接合材が接合面に残留してしまうため、ガラスパネルからシート体およびガラス板を完全に分離させることができない。また、ガラス板は、急激な温度変化によって損傷を受ける。このため、ガラスパネルの周囲の雰囲気の温度は、接合材の材料に応じて設定された最高温度まで漸次上昇され、最高温度に達した後に、漸次下降される。
【００１３】
これにより、ガラス板を損傷させることなく、接合材を除去することができる。接合材を除去することにより、シート体とガラス板とを分離させることができる。その結果、シート体およびガラス板を再資源化可能な形で得ることができる。
【００１４】
ガラスパネルは、太陽光発電パネルであってもよい。この場合、シート体は、太陽電池セルであり、ガラス板は、太陽電池セルの表面に接合材を介して接合されている。
【００１５】
分離工程では、太陽電池セルとガラス板とが分離される。その結果、ガラス板および太陽電池セルを再資源化可能な形で得ることができる。
【００１６】
太陽光発電パネルには、太陽電池セルの表面に接続された配線と、太陽電池セルの裏面に接合材を介して接合されたバックシートとが含まれていてもよい。
【００１７】
この場合、分離工程において、太陽電池セル、ガラス板および配線をそれぞれ再資源化可能に分離させることができる。バックシートは、通常、加熱中に焼失する。
【００１８】
最高温度が接合材の発火温度よりも低く設定されると、接合材が完全に除去されない。また、最高温度をガラス板の溶融温度に設定すると、ガラス板が溶融するので、ガラス板およびシート体が再資源化できなくなる。最高温度は、接合材の発火温度よりも高く、かつ、ガラス板の溶融温度よりも低い範囲内に設定されることが好ましい。
【００１９】
これにより、ガラス板を溶融させることなく、接合材を良好に除去することができる。
【００２０】
熱処理装置は、１つのパネル搬送路を形成する複数のチャンバを備えていてもよい。この場合、パネル搬送路の中央部に配置されるチャンバ内の温度が最高温度に制御され、最高温度に制御されたチャンバからパネル搬送路の入口および出口に近いチャンバほど、チャンバ内の温度が低くなるように制御されるとよい。そして、分離工程では、ガラスパネルが、各チャンバを順次に搬送されるとよい。
【００２１】
また、熱処理装置は、１つのチャンバを備えていてもよい。この場合、チャンバ内温度は、最高温度まで漸次上昇され、最高温度まで加熱された後に、漸次下降されるように制御されるとよい。そして、分離工程では、ガラスパネルがチャンバに静止された状態で加熱されるとよい。
【００２２】
導入工程において、ガラスパネルは、ガラス板を鉛直下方に向けた姿勢でケージ内に設置されることが好ましい。
【００２３】
これにより、分離工程後、ガラス板の上にシート体が残るため、ガラス板およびシート体を容易に回収することができる。
【００２４】
本発明の他の局面に係る熱処理装置は、ガラスパネルを構成するシート体とその一方面に接合材を介して接合されたガラス板とを分離させるために用いられる熱処理装置である。前記熱処理装置は、ガラスパネルを加熱するチャンバと、チャンバにガラスパネルを導入する導入手段と、チャンバ内にガラスパネルが導入されてからの経過時間に伴って、ガラスパネルの周囲の雰囲気の温度を接合材の材料に応じて設定された最高温度まで漸次上昇させ、その後、ガラスパネルの周囲の雰囲気の温度を前記最高温度から漸次下降させる温度制御手段とを含む。
【００２５】
この熱処理装置を用いて、前記分離方法を実施することができる。その結果、接合材を除去して、シート体とガラス板とを分離させることができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、ガラスパネルに用いられている接合材を良好に除去し、シート体とガラス板とを再資源化可能な形で分離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るシリコン系ＰＶパネルの分解斜視図である。
【図２】図２は、太陽電池セルの断面図である。
【図３】図３は、トンネルキルンの要部構成を示すブロック図である。
【図４】図４は、シャトルキルンの要部構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下では、本発明の実施の形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００２９】
図１は、本発明の一実施形態に係るシリコン系ＰＶパネルの分解斜視図である。図２は、太陽電池セルの断面図である。
【００３０】
シリコン系ＰＶパネル１には、太陽電池セルユニット２、タブ３、ガラス板４、バックシート５およびＥＶＡ６が含まれている。
【００３１】
太陽電池セルユニット２は、複数の太陽電池セル５０を含む。各太陽電池セル５０は、多結晶シリコン７を基板として備えている。多結晶シリコン７の表面は、たとえば、ＰＳＧ（リンケイ酸ガラス）からなる層間絶縁膜８に覆われている。多結晶シリコン７の表面上には、２個の電極９が形成されている。電極９は、たとえば、Ａｇ（銀）からなる。そして、層間絶縁膜８には、各電極９と対向する位置に開口が形成されており、電極９は、開口を介して、層間絶縁膜８上に隆起状に突出している。
【００３２】
複数の太陽電池セル５０は、正方行列状に配置されている。行方向に整列する太陽電池セル５０は、各太陽電池セル５０の電極９間に配線５１が架設されることにより、電気的に直列接続され、直列接続構造物をなしている。各直列接続構造物は、電気的に並列に接続されている。
【００３３】
タブ３は、たとえば、２本設けられている。タブ３は、金属からなる細長い薄板状をなしている。また、タブ３は、互いに平行になるように並べられている。各タブ３の一端部は、配線５１と電気的に接続されている。タブ３の他端部は、平面視で太陽電池セルユニット２の外側に張り出している。
【００３４】
ガラス板４は、平面視で太陽電池セルユニット２と同形状かつほぼ同じ大きさに形成されている。ガラス板４は、太陽電池セルユニット２と対向して配置されている。これにより、タブ３は、太陽電池セルユニット２とガラス板４との間に挟まれている。太陽電池セルユニット２がガラス板４によって覆われることにより、シリコン系ＰＶパネル１は、透光性を確保しながら、長期間の屋外使用に耐えることができる。
【００３５】
バックシート５は、平面視で太陽電池セルユニット２と同形状かつほぼ同じ大きさに形成されている。バックシート５は、太陽電池セルユニット２のガラス板４と面していない面と対向して配置されている。
【００３６】
ＥＶＡ６は、太陽電池セルユニット２とガラス板４およびバックシート５との隙間を満たすように配置されている。
【００３７】
シリコン系ＰＶパネル１の製造時には、たとえば、２枚のシート状のＥＶＡ６が太陽電池セルユニット２とガラス板４およびバックシート５との間にそれぞれ配置される。その後、太陽電池セルユニット２、タブ３、ガラス板４、バックシート５およびＥＶＡ６が加熱されるとともに、ガラス板４とバックシート５とがそれらの対向方向に加圧される。これにより、ＥＶＡ６が架橋・硬化され、太陽電池セルユニット２とガラス板４およびバックシート５とがＥＶＡ６によって接合される。また、各太陽電池セル５０の間にＥＶＡ６が入り込み、ガラス板４とバックシート５との間で、各太陽電池セル５０がＥＶＡ６によって封止される。
【００３８】
図３は、トンネルキルン１０の要部構成を示すブロック図である。
【００３９】
トンネルキルン１０は、シリコン系ＰＶパネル１を加熱して、ＥＶＡ６を除去するための熱処理装置である。
【００４０】
トンネルキルン１０には、シリコン系ＰＶパネル１を搬送するためのパネル搬送路１１が形成されている。パネル搬送路１１は、直線状に延びている。
【００４１】
パネル搬送路１１上には、第１チャンバ２１、第２チャンバ２２、第３チャンバ２３、第４チャンバ２４、第５チャンバ２５、第６チャンバ２６、第７チャンバ２７および第８チャンバ２８が並設されている。パネル搬送路１１を搬送されるシリコン系ＰＶパネル１は、第１チャンバ２１〜第８チャンバ２８をこの順に経由する。
【００４２】
第１チャンバ２１〜第８チャンバ２８には、温度センサ１３が備えられる。温度センサ１３は、それぞれ第１チャンバ２１〜第８チャンバ２８内の温度（チャンバ内温度）を検出する。
【００４３】
また、トンネルキルン１０には、制御部１４が備えられている。制御部１４には、ヒータ１２が制御対象として接続されている。また、制御部１４には、温度センサ１３が接続されている。
【００４４】
第１チャンバ２１〜第８チャンバ２８には、それぞれ目標温度が設定されている。制御部１４は、温度センサ１３によって検出されたチャンバ内温度と目標温度とを比較し、チャンバ内温度が目標温度に一致するように、ヒータ１２を制御する。
【００４５】
出入口からもっとも離れた第４チャンバ２４または第５チャンバ２５の目標温度は、最高温度（４５０℃よりも高い温度）に設定される。
【００４６】
第４チャンバ２４の目標温度が最高温度に設定される場合、第１チャンバ２１、第２チャンバ２２および第３チャンバ２３の目標温度は、この順に高くなるように設定される。また、第５チャンバ２５、第６チャンバ２６、第７チャンバ２７および第８チャンバ２８の目標温度は、この順に低くなるように設定される。
【００４７】
第５チャンバ２５の目標温度が最高温度に設定される場合、第１チャンバ２１、第２チャンバ２２、第３チャンバ２３および第４チャンバ２４の目標温度は、この順に高くなるように設定される。また、第６チャンバ２６、第７チャンバ２７および第８チャンバ２８の目標温度は、この順に低くなるように設定される。
【００４８】
具体的には、第１チャンバ２１の目標温度は、約１７０℃から約２００℃の範囲に設定される。第２チャンバ２２の目標温度は、約２２０℃から約２６０℃の範囲に設定される。第３チャンバ２３の目標温度は、約３４０℃から約３７０℃の範囲に設定される。第４チャンバ２４の目標温度は、約４５０℃から約４６０℃の範囲に設定される。第５チャンバ２５の目標温度は、約４５０℃から約４８０℃の範囲に設定される。また、第６チャンバ２６の目標温度は、約３００℃から約３５０℃の範囲に設定される。第７チャンバ２７の目標温度は、約２５０℃に設定される。第８チャンバ２８の目標温度は、約１５０℃に設定される。
【００４９】
トンネルキルン１０には、ケージ１５が備えられている。ケージ１５は、シリコン系ＰＶパネル１がパネル搬送路１１上を移動するために用いられる。
【００５０】
シリコン系ＰＶパネル１は、ガラス板４を鉛直下方に向けた姿勢で、ケージ１５に搭載される。シリコン系ＰＶパネル１は、ケージ１５に搭載された後に、トンネルキルン１０内に導入されて、パネル搬送路１１上を第１チャンバ２１から第８チャンバ２８まで移動される。
【００５１】
第４チャンバ２４の目標温度が最高温度に設定されている場合、シリコン系ＰＶパネル１が第１チャンバ２１から第４チャンバ２４まで移動する間に、シリコン系ＰＶパネル１の温度が緩やかに上昇する。その後、シリコン系ＰＶパネル１が第４チャンバ２４から第８チャンバまで移動する間に、シリコン系ＰＶパネル１の温度が緩やかに下降する。
【００５２】
第５チャンバ２５の目標温度が最高温度に設定されている場合、シリコン系ＰＶパネル１が第１チャンバ２１から第５チャンバ２５まで移動する間に、シリコン系ＰＶパネル１の温度が緩やかに上昇する。その後、シリコン系ＰＶパネル１が第５チャンバ２５から第８チャンバまで移動する間に、シリコン系ＰＶパネル１の温度が緩やかに下降する。
【００５３】
これにより、ＥＶＡ６が除去され、太陽電池セルユニット２、タブ３、ガラス板４およびバックシート５を分離することができる。
【００５４】
以上のように、シリコン系ＰＶパネル１に含まれる太陽電池セルユニット２、タブ３、ガラス板４およびバックシート５を分離するために、太陽電池セルユニット２とガラス板４およびバックシート５とを接着しているＥＶＡ６を除去する必要がある。
【００５５】
ＥＶＡ６を除去するために、シリコン系ＰＶパネル１は、トンネルキルン１０に導入されて加熱される。
【００５６】
シリコン系ＰＶパネル１の温度を急激に上昇させると、ＥＶＡ６が完全にガス化される前に、ＥＶＡ６が発火温度に達してしまう。この場合、ガス化されなかったＥＶＡ６が接合面に残留してしまうため、太陽電池セルユニット２とガラス板４とを完全に分離させることができない。また、ガラス板４は、急激な温度変化によって破損する。このため、シリコン系ＰＶパネル１の温度は、ＥＶＡ６の材料に応じて設定された最高温度まで漸次上昇され、最高温度に達した後に、漸次下降される。
【００５７】
これにより、ガラス板４を損傷させることなく、ＥＶＡ６を除去することができる。ＥＶＡ６を除去することにより、太陽電池セルユニット２、ガラス板４およびバックシート５を分離させることができる。バックシート５は、通常、加熱中に焼失する。その結果、太陽電池セルユニット２、タブ３およびガラス板４を再資源化可能な形で得ることができる。
【００５８】
最高温度がＥＶＡ６の発火温度よりも低く設定されると、ＥＶＡ６が完全に除去されない。また、最高温度をガラス板４の溶融温度に設定すると、ガラス板４が溶融するので、太陽電池セルユニット２、ガラス板４およびバックシート５が再資源化できなくなる。最高温度は、ＥＶＡ６の発火温度よりも高く、かつ、ガラス板４の溶融温度よりも低い範囲内に設定される。
【００５９】
これにより、ガラス板４を溶融させることなくＥＶＡ６を良好に除去することができる。
【００６０】
トンネルキルン１０は、直線状に延びるパネル搬送路１１上に並設された第１チャンバ２１〜第８チャンバ２８を備えている。この場合、第４チャンバ２４または第５チャンバ２５の温度が最高温度に制御され、第１チャンバ２１、第２チャンバ２２および第３チャンバ２３の温度がこの順に高くなるように制御され、第６チャンバ２６、第７チャンバ２７および第８チャンバ２８の温度がこの順に低くなるように制御される。そして、分離工程において、シリコン系ＰＶパネル１は、第１チャンバ２１〜第８チャンバ２８をこの順に搬送される。
【００６１】
また、シリコン系ＰＶパネル１は、ガラス板４を鉛直下方に向けた姿勢でケージ１５内に収容される。
【００６２】
これにより、分離工程後、ガラス板４の上に太陽電池セルユニット２およびタブ３が残るため、ガラス板４、太陽電池セルユニット２およびタブ３を容易に回収することができる。
【００６３】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、他の形態で実施することもできる。
【００６４】
たとえば、熱処理装置として、メッシュベルトキルンが用いられてもよい。メッシュベルトキルンは、ケージ１５に代えて、コンベアベルトを備えている以外、トンネルキルン１０とほぼ同じ構成を有している。シリコン系ＰＶパネル１は、コンベアベルトに搭載されて、各チャンバを順次に経由して搬送される。
【００６５】
また、トンネルキルン１０は、第１チャンバ２１〜第８チャンバ２８を備えているとしたが、これに限らず、３個以上のチャンバを備えていればよい。３個以上のチャンバを備える構成において、パネル搬送路１１の中央部に配置されるチャンバの温度が最高温度に制御されるとともに、各チャンバの温度が入口に近いチャンバから最高温度に設定されたチャンバまで漸次上昇され、その後、最高温度から漸次下降されるように制御されれば、第１チャンバ２１〜第８チャンバ２８を備える構成と同様の効果が得られる。
【００６６】
また、たとえば、熱処理装置として、トンネルキルン１０に代えて、図４に示されるシャトルキルン３０が用いられてもよい。
【００６７】
シャトルキルン３０は、単一のチャンバ３１を備えている。チャンバ３１には、ヒータ３２および温度センサ３３が設けられている。
【００６８】
また、シャトルキルン３０には、制御部３４が備えられている。制御部３４には、ヒータ３２が制御対象として接続されている。また、制御部３４には、温度センサ３３が接続されている。
【００６９】
制御部３４は、温度センサ３３によって検出されたチャンバ３１内の温度と目標温度を比較し、チャンバ３１内の温度が目標温度に一致するようにヒータ３２を制御する。
【００７０】
シャトルキルン３０は、ケージ３５を備えている。ケージ３５は、シリコン系ＰＶパネル１をチャンバ３１に導入するために用いられる。
【００７１】
シリコン系ＰＶパネル１は、ガラス板４を鉛直下方に向けた姿勢でケージ３５に搭載される。シリコン系ＰＶパネル１は、ケージ３５に搭載された後に、チャンバ３１内に導入されて、チャンバ３１内に静止された状態で、加熱される。チャンバ３１内の目標温度は、導入直後の室温から設定された最高温度にまで漸次上昇される。その後、チャンバ３１内の目標温度は、最高温度から漸次下降される。チャンバ３１内の目標温度の最高温度は、４５０℃よりも高い温度に設定されている。シリコン系ＰＶパネル１への加熱が終わると、ケージ３５は、チャンバ３１内から取り出される。
【００７２】
これにより、シリコン系ＰＶパネル１の温度は、チャンバ３１への導入後、チャンバ３１内の温度上昇に伴って上昇し、チャンバ３１内の温度が設定された最高温度に達した後、チャンバ３１内の温度下降に伴って下降する。このため、熱処理装置としてシャトルキルン３０が用いられる場合においても、熱処理装置としてトンネルキルン１０が用いられる場合と同様な効果が得られる。
【００７３】
シャトルキルン３０においても、ケージ３５に代えて、コンベアベルトが備えられていてもよい。
【００７４】
また、多結晶シリコン７を太陽電池パネルに用いられる光電変換素子の一例として取り上げたが、光電変換素子として、たとえば、多結晶シリコン以外のシリコン系光電変換素子や化合物系および有機系の光電変換素子が用いられていてもよい。
【００７５】
酢酸ビニルの含有率によってＥＶＡ６の発火温度が変化するため、それに応じて、トンネルキルン１０またはシャトルキルン３０における最高温度を設定することが好ましい。
【００７６】
また、この熱処理方法は、車両用のフロントガラスなどの、合わせガラスパネルにも適用できる。合わせガラスパネルは、ガラス板の一方面に接合材（ＰＶＢ）を介してガラス板が積層される。この場合、ＰＶＢの発火温度に応じた最高温度が設定された熱処理装置を用いて本実施形態に記載された熱処理を行うと、接合材を除去し、フロントガラスに含まれるガラス板を取り出すことができる。
【００７７】
その他、前述の構成には、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【実施例１】
【００７８】
次に、本発明を、実施例および比較例に基づいて説明するが、本発明は、以下の実施例によって限定されるものではない。
【００７９】
次に説明する実施例１〜３および比較例１〜３では、前述の第1実施形態に係る構成のトンネルキルンを用いて、シリコン系ＰＶパネルを、一定速度で移動させて、トンネルキルンの第１チャンバ、第２チャンバ、第３チャンバ、第４チャンバ、第５チャンバ、第６チャンバ、第７チャンバおよび第８チャンバの順に通過させた。シリコン系ＰＶパネルが第１チャンバ〜第８チャンバを通過するのに要する時間は、一つのチャンバにつき、それぞれ、１２分である。また、実施例１〜３および比較例１〜３における第１チャンバ〜第８チャンバの目標温度は、表１〜表６に示すとおりである。
＜実施例１＞
【表１】
2014000513.tif 000003
【００８０】
実施例１では、第１チャンバ、第２チャンバ、第３チャンバ、第４チャンバ、第５チャンバ、第６チャンバ、第７チャンバおよび第８チャンバの目標温度（炉内設定温度）がそれぞれ１７０℃、２５０℃、３５０℃、４５０℃、４８０℃、３５０℃、２５０℃、および１５０℃に設定されている。
【００８１】
このとき、トンネルキルンを通過後のケージ内において、太陽電池セル、ガラス板、バックシートおよびタブが互いに分離されていた。
＜実施例２＞
【表２】
2014000513.tif 000004
【００８２】
実施例２では、第１チャンバ、第２チャンバ、第３チャンバ、第４チャンバ、第５チャンバ、第６チャンバ、第７チャンバおよび第８チャンバの目標温度（炉内設定温度）がそれぞれ２００℃、２２０℃、３４０℃、４６０℃、４５０℃、３００℃、２５０℃、および１５０℃に設定されている。
【００８３】
このとき、トンネルキルンを通過後のケージ内において、太陽電池セル、ガラス板、バックシートおよびタブが互いに分離されていた。しかしながら、各部材からＥＶＡが完全に除去できていなかった。
＜実施例３＞
【表３】
2014000513.tif 000005
【００８４】
実施例３では、第１チャンバ、第２チャンバ、第３チャンバ、第４チャンバ、第５チャンバ、第６チャンバ、第７チャンバおよび第８チャンバの目標温度（炉内設定温度）がそれぞれ２００℃、２６０℃、３７０℃、４６０℃、４７０℃、３２０℃、２５０℃、および１５０℃に設定されている。
【００８５】
このとき、トンネルキルンを通過後のケージ内において、太陽電池セル、ガラス板、バックシートおよびタブが互いに分離されていた。しかしながら、各部材からＥＶＡが完全に除去できていなかった。
＜比較例１＞
【表４】
2014000513.tif 000006
【００８６】
比較例１では、第１チャンバ、第２チャンバ、第３チャンバ、第４チャンバ、第５チャンバ、第６チャンバ、第７チャンバおよび第８チャンバの目標温度（炉内設定温度）がそれぞれ１７０℃、２５０℃、３５０℃、４５０℃、４５０℃、３５０℃、２５０℃、および１５０℃に設定されている。
【００８７】
このとき、トンネルキルンを通過後のケージ内において、太陽電池セル、ガラス板、バックシートおよびタブが互いに分離される場合と互いに分離されていない場合とがあった。
＜比較例２＞
【表５】
2014000513.tif 000007
【００８８】
比較例２では、第１チャンバ、第２チャンバ、第３チャンバ、第４チャンバ、第５チャンバ、第６チャンバ、第７チャンバおよび第８チャンバの目標温度（炉内設定温度）がそれぞれ１９０℃、２２０℃、３４０℃、４００℃、３６０℃、３００℃、２５０℃、および１５０℃に設定されている。
【００８９】
このとき、トンネルキルンを通過後のケージ内において、太陽電池セル、ガラス板、バックシートおよびタブが互いに分離されず、ＥＶＡが完全に除去できていなかった。
＜比較例３＞
【表６】
2014000513.tif 000008
【００９０】
比較例３では、第１チャンバ、第２チャンバ、第３チャンバ、第４チャンバ、第５チャンバ、第６チャンバ、第７チャンバおよび第８チャンバの目標温度（炉内設定温度）がそれぞれ１７０℃、２５０℃、３５０℃、４００℃、３５０℃、３００℃、２５０℃、および１５０℃に設定されている。
【００９１】
このとき、トンネルキルンを通過後のケージ内において、太陽電池セル、ガラス板、バックシートおよびタブが互いに分離されず、ＥＶＡが完全に除去できていなかった。
【００９２】
実施例１〜３の温度条件では、トンネルキルンを通過後のケージ内において、太陽電池セル、ガラス板、バックシートおよびタブが互いに分離されていた。しかしながら、比較例１〜３の温度条件では、トンネルキルンを通過後のケージ内において、太陽電池セル、ガラス板、バックシートおよびタブが互いに分離されていなかった。
【００９３】
この結果から、第１チャンバの目標温度は、約１７０℃から約２００℃の範囲に設定される。第２チャンバの目標温度は、約２２０℃から約２６０℃の範囲に設定され、第３チャンバの目標温度は、約３４０℃から約３７０℃の範囲に設定され、第４チャンバの目標温度は、約４５０℃から約４６０℃の範囲に設定され、第５チャンバの目標温度は、ＥＶＡの発火温度以上、つまり、約４５０℃以上、好ましくは約４５０℃から約４８０℃の範囲に設定され、第６チャンバの目標温度は、約３００℃から約３５０℃の範囲に設定され、第７チャンバの目標温度は約２５０℃に設定され、第８チャンバの目標温度は、約１５０℃に設定されるとよいことが判る。
【符号の説明】
【００９４】
１    シリコン系ＰＶパネル（ガラスパネル、太陽光発電パネル）
２    太陽電池セルユニット（シート体、太陽電池セル）
３    タブ（配線）
４    ガラス板
５    バックシート
６    ＥＶＡ（接合材）
１０  トンネルキルン（熱処理装置）
２１  第１チャンバ（チャンバ）
２２  第２チャンバ（チャンバ）
２３  第３チャンバ（チャンバ）
２４  第４チャンバ（チャンバ）
２５  第５チャンバ（チャンバ）
２６  第６チャンバ（チャンバ）
２７  第７チャンバ（チャンバ）
２８  第８チャンバ（チャンバ）
３０  シャトルキルン（熱処理装置）
３１  チャンバ
５１  配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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