(57)【要約】【課題】マスクの傷付きや変形の発生を防止しつつマスクを容易に清掃する。【解決手段】球状体を挿通させる挿通孔を有して球状体を吸着ヘッドに供給する際に用いられるマスクを清掃可能に構成され、挿通孔に挿通可能な針５と、針５の先端部に対向するように配置された照準器７と、針５および照準器７が互いに対向した状態を維持しつつ針５および照準器７をマスクの表面に平行な平面方向に沿って移動させる位置合わせ機構３と、針５をその先端部とマスクとが互いに接離する接離方向に沿って移動させる上下動機構４とを備えている。【選択図】図１
2014022616.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
球状体を挿通させる挿通孔を有して当該球状体を吸着ヘッドに供給する際に用いられるマスクを清掃可能に構成されたマスク清掃装置であって、
前記挿通孔に挿通可能な針と、当該針の先端部に対向するように配置された照準器と、前記針および前記照準器が互いに対向した状態を維持しつつ当該針および当該照準器と当該マスクとの少なくとも一方を前記マスクの表面に平行な平面方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記針および前記マスクの少なくとも一方を前記先端部と当該マスクとが互いに接離する接離方向に沿って移動させる第２移動機構とを備えているマスク清掃装置。
【請求項２】
前記針および前記照準器の少なくとも一方を前記平面方向に沿って移動させて当該針と当該照準器とが対向した状態となるように位置合わせ可能な第３移動機構を備えている請求項１記載のマスク清掃装置。
【請求項３】
前記照準器は、光透過性を有する板状体に照準用の孔が形成されて構成されている請求項１または２記載のマスク清掃装置。
【請求項４】
前記照準器における前記マスクに対向する対向面とは逆側の面に凹部が形成され、前記照準用の孔は、前記凹部の底部に形成されている請求項３記載のマスク清掃装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着ヘッドに対して球状体を供給する際に用いられるマスクを清掃するためのマスク清掃装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
吸着ヘッドに球状体を吸着させて搭載対象にその球状体を搭載する装置として、特開２０１１−４０７０４号公報において出願人が開示した半田ボール搭載装置が知られている。この半田ボール搭載装置は、吸着面に形成された複数の吸気口の縁部で半田ボールを吸着する吸着ヘッド、半田ボールを供給する供給部、半田ボールを挿通させる挿通孔が形成された整列用プレート（マスク）、搬送機構および制御部などを備えて、半田ボールを基板の端子（搭載対象）に搭載可能に構成されている。この半田ボール搭載装置では、搬送機構が、整列用プレートの配設位置に吸着ヘッドを搬送して、各吸気口と各挿通孔とがそれぞれ対向するように吸着ヘッドの吸着面と整列用プレートの上面とを近接（接触）させ、次いで、供給部が、整列用プレートの下面側から半田ボールを供給する。この際に、半田ボールが吸着ヘッドの吸引力によって引き寄せられて、整列用プレートの各挿通孔を通って、吸着ヘッドにおける各吸気口の縁部に１つずつ吸着される。続いて、搬送機構が、吸着ヘッドを搬送して基板の各端子に対して各半田ボールをそれぞれ近接（接触）させる。続いて、吸着ヘッドが吸着を解除する。これにより、基板の各端子に半田ボールがそれぞれ搭載される。
【０００３】
ここで、この種の半田ボール搭載装置が取り扱う半田ボールの直径は、５０μｍ〜７０μｍ程度であり、整列用プレートに形成されている挿通孔も、微小な半田ボールが１つだけ挿通可能な極めて小径に形成されている。このため、半田ボール同士の摩擦で生じた半田屑や、人間の皮膚の破片などの空気中に浮遊する微細な異物が整列用プレートの挿通孔に付着して挿通孔が塞がれることがある。このように挿通孔が異物によって塞がれたときには、半田ボールが挿通孔を通ることができず、吸着ヘッドの吸気口に半田ボールが供給されないため、半田ボールが搭載されない端子が発生するおそれがある。このため、この種の半田ボール搭載装置では、整列用プレートを定期的に点検して、異物の付着しているときには、整列用プレートを清掃する作業を行う必要がある。この清掃作業では、顕微鏡等で整列用プレートを覗きつつ、手に持った針を異物が付着している挿通孔に挿入して、その異物を除去する作業を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−４０７０４号公報（第６−１１頁、第７−１０図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記の方法で整列用プレートの清掃を行ったときには、以下の課題が生じる。すなわち、上記の方法では、手に持った針を異物が付着している挿通孔に挿入して異物を除去している。しかしながら、挿通孔が極めて小径のため、手に持った針をそのような小径の挿通孔に挿入する際には、手の震えが針に伝わって針先が振動して挿入が困難となる。また、針を挿入する際に挿通孔の周囲に針が突き当たってその部分が傷付くことがある。さらに、挿通孔に挿入した状態の針が振動して挿通孔の縁部がこじられて、挿通孔の直径が拡大したり、挿通孔の縁部が盛り上がったりするような変形が生じることもある。このため、このような課題を改善可能な技術の開発が望まれている。
【０００６】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、マスクの傷付きや変形の発生を防止しつつマスクを容易に清掃し得るマスク清掃装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく請求項１記載のマスク清掃装置は、球状体を挿通させる挿通孔を有して当該球状体を吸着ヘッドに供給する際に用いられるマスクを清掃可能に構成されたマスク清掃装置であって、前記挿通孔に挿通可能な針と、当該針の先端部に対向するように配置された照準器と、前記針および前記照準器が互いに対向した状態を維持しつつ当該針および当該照準器と当該マスクとの少なくとも一方を前記マスクの表面に平行な平面方向に沿って移動させる第１移動機構と、前記針および前記マスクの少なくとも一方を前記先端部と当該マスクとが互いに接離する接離方向に沿って移動させる第２移動機構とを備えている。
【０００８】
また、請求項２記載のマスク清掃装置は、請求項１記載のマスク清掃装置において、前記針および前記照準器の少なくとも一方を前記平面方向に沿って移動させて当該針と当該照準器とが対向した状態となるように位置合わせ可能な第３移動機構を備えている。
【０００９】
また、請求項３記載のマスク清掃装置は、請求項１または２記載のマスク清掃装置において、前記照準器は、光透過性を有する板状体に照準用の孔が形成されて構成されている。
【００１０】
また、請求項４記載のマスク清掃装置は、請求項３記載のマスク清掃装置において、前記照準器における前記マスクに対向する対向面とは逆側の面に凹部が形成され、前記照準用の孔は、前記凹部の底部に形成されている。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載のマスク清掃装置によれば、針の先端部に対向するように配置された照準器と、針および照準器が互いに対向した状態を維持しつつ針および照準器とマスクとの少なくとも一方を平面方向に沿って移動させる第１移動機構と、針およびマスクの少なくとも一方を接離方向に沿って移動させる第２移動機構とを備えたことにより、照準器を用いてマスクにおける清掃対象の挿通孔と針の先端部とを正確かつ容易に位置合わせすることができる。また、上下動機構を用いることで、針を正確かつ容易に接離方向に移動させることができる。このため、手に持った針を挿通孔に挿入する従来の清掃方法とは異なり、手の震えが針に伝わって針先が振動して挿入が困難となったり、挿通孔の周囲への針の衝突による傷付きや、挿通孔の縁部の変形などが発生したりする事態を確実に防止することができる。したがって、このマスク清掃装置によれば、マスクの傷付きや変形の発生を防止しつつマスクを確実かつ容易に清掃することができる。
【００１２】
また、請求項２記載のマスク清掃装置では、針および照準器の少なくとも一方を平面方向に沿って移動させて針と照準器とが対向した状態となるように位置合わせ可能な第３移動機構を備えている。このため、このマスク清掃装置によれば、針や照準器を交換したときに取り付け位置に対する位置ずれが生じて、針と照準器とが対向しない状態となったとしても、第３移動機構を用いて両者を対向させることができるため、挿通孔と針の先端部とを正確に位置合わせすることができる。
【００１３】
また、請求項３記載のマスク清掃装置によれば、光透過性を有する板状体に照準用の孔を形成して照準器を構成したことにより、マスクの上に配置した照準器の上方から照準器を見たときに、挿通孔の形状を照準器を通して視認することができる。このため、このマスク清掃装置によれば、照準器の孔の位置と清掃対象の挿通孔の位置とを一致させる作業を十分容易に行うことができ、この作業を行うことで、清掃対象の挿通孔と針の先端部とをより正確かつより容易に位置合わせすることができる。
【００１４】
また、請求項４記載のマスク清掃装置によれば、照準器におけるマスクに対向する対向面とは逆側の面に凹部を形成し、その凹部の底部に照準用の孔を形成したことにより、照準器が厚い場合であっても孔の長さを十分に短くすることができる。したがって、このマスク清掃装置によれば、マスクの上に配置した照準器の上方から照準器を見たときに、孔および挿通孔の焦点を合わせ易いため、照準器の孔の位置と清掃対象の挿通孔の位置とを一致させる作業をさらに容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】マスク清掃装置１の構成を示す斜視図である。
【図２】マスク清掃装置１の構成を示す平面図である。
【図３】マスク１００およびホルダ１０２の構成を示す斜視図である。
【図４】照準器７の平面図である。
【図５】照準器７の断面図である。
【図６】センタリング工程を説明する第１の説明図である。
【図７】センタリング工程を説明する第２の説明図である。
【図８】清掃方法を説明する第１の説明図である。
【図９】清掃方法を説明する第２の説明図である。
【図１０】清掃方法を説明する第３の説明図である。
【図１１】清掃方法を説明する第４の説明図である。
【図１２】清掃方法を説明する第５の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、マスク清掃装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１７】
最初に、図１に示すマスク清掃装置１の構成について説明する。マスク清掃装置１は、同図および図２に示すように、一例として、本体部２、位置合わせ機構３、上下動機構４、針５、センタリング機構６および照準器７を備えて、図３に示すマスク１００を清掃可能に構成されている。この場合、マスク１００は、直径が７０μｍ程度の微小な球状体である半田ボール（マイクロボール）を吸着して基板上に搭載する吸着ヘッドに対して半田ボールを供給する際に用いられる部材であって、半田ボールの過剰供給を規制する機能を有している。具体的には、マスク１００は、厚みが８０μｍ程度の金属製の薄板で構成されると共に、同図に示すように、半田ボールが通過（挿通）可能な（１つだけ通過可能な）９０μｍ程度の直径の挿通孔１０１を数多く有している。また、マスク１００は、同図に示すようにホルダ１０２によって保持された状態で使用される。
【００１８】
本体部２は、図１，２に示すように、基台１１およびマスク載置部１２ａ，１２ｂを備えて構成されている。基台１１は、矩形の板状に形成されている。マスク載置部１２ａ，１２ｂは、基台１１における互いに対向する２つの縁部に立設されている。このマスク載置部１２ａ，１２ｂは、図９，１０に示すように、マスク１００を保持した状態のホルダ１０２をその上部に載置可能に構成されている。
【００１９】
位置合わせ機構３は、第１移動機構に相当し、針５と照準器７とが互いに対向している状態（以下、「対向状態」ともいう）を維持しつつ針５および照準器７（針５および照準器７とマスク１００との少なくとも一方の一例）を、本体部２のマスク載置部１２ａ，１２ｂに載置されているマスク１００の表面に平行な平面方向（以下「ＸＹ方向」ともいう）に沿って移動可能に構成されている。具体的には、位置合わせ機構３は、一例として、図１，２に示すように、ベース部３１、Ｘステージ３２、Ｙステージ３３、Ｘ駆動機構３４、Ｙ駆動機構３５、連結板３６および連結テーブル３７を備えて構成されている。
【００２０】
ベース部３１は、本体部２の基台１１に固定されている。Ｘステージ３２は、上記したＸＹ方向のうちの一つの方向（図１，２に示す矢印Ｘの方向であって、以下「Ｘ方向」ともいう）に沿って移動（スライド）可能にベース部３１の上に配設されている。Ｙステージ３３は、上記したＸＹ方向のうちのＸ方向に直交する方向（図１，２に示す矢印Ｘの方向であって、以下「Ｙ方向」ともいう）に沿って移動（スライド）可能にＸステージ３２の上に配設されている。Ｘ駆動機構３４は、一例として、ねじ式の駆動機構で構成されて、つまみの回転量に応じてＸステージ３２をＸ方向に沿って移動させる。Ｙ駆動機構３５は、ねじ式の駆動機構で構成されて、つまみの回転量に応じてＹステージ３３をＹ方向に沿って移動させる。
【００２１】
連結板３６は、図１，２に示すように、Ｙステージ３３に取り付けられている。また、連結板３６には、上下動機構４における後述するレバー４１、針保持部４２およびレール４３が取り付けられており、これらが連結板３６を介してＹステージ３３（位置合わせ機構３）に連結されている。連結テーブル３７は、板状に形成されて、本体部２の基台１１上をＸＹ方向に沿って移動可能に配置されている。また、連結テーブル３７は、連結板３６に取り付けられており、連結板３６を介してＹステージ３３に連結されている。また、連結テーブル３７の上には、センタリング機構６における後述するベース部６１が取り付けられており、この構成によってセンタリング機構６が連結テーブル３７および連結板３６を介して位置合わせ機構３に連結されている。
【００２２】
上下動機構４は、第２移動機構に相当し、針５（針５およびマスク１００の少なくとも一方の一例）を、針５の先端部５ａとマスク１００とが互いに接離する接離方向（上記したＸＹ方向に直交する方向であって、以下「Ｚ方向」ともいう）に沿って移動させる。具体的には、上下動機構４は、図１，２に示すように、レバー４１、針保持部４２およびレール４３を備えて構成されている。レバー４１は、基端部４１ａが位置合わせ機構３の連結板３６に軸支されており、先端部４１ｂを上下方向（回動方向）に移動させることで、基端部４１ａを中心として回動することが可能に構成されている。
【００２３】
針保持部４２は、図１，２に示すように、針５を保持可能に構成されている。また、針保持部４２は、位置合わせ機構３の連結板３６にＺ方向に沿って配設されたレール４３にその側面が嵌め合わされており、Ｚ方向に沿って移動可能に構成されている。また、針保持部４２は、基端部４１ａの中間部位に図外の連結軸を介して連結されており、基端部４１ａの回動に伴ってＺ方向に沿って移動させられる。
【００２４】
針５は、その直径が、マスク１００に形成されている挿通孔１０１の直径（この例では、９０μｍ）よりも短い７０μｍ程度に規定されて、挿通孔１０１に挿通可能に構成されている。また、針５は、上下動機構４の針保持部４２によって保持されており、上下動機構４によってＺ方向に沿って（上下方向に）移動させられる。この場合、針５が挿通孔１０１に挿通させられることにより、その挿通孔１０１に異物が付着しているときには、その異物が針５の挿入によってマスク１００から取り除かれる。
【００２５】
センタリング機構６は、第３移動機構に相当し、照準器７（針５および照準器７の少なくとも一方の一例）を、針５の先端部５ａに対してＸＹ方向（平面方向）に沿って相対的に移動させることにより、針５と照準器７とが対向した状態（より具体的には、図６，７に示すように、針５の先端部５ａと照準器７における後述する孔７２とが鉛直方向に沿って一直線上に並んだ状態）となるように位置合わせを行うことが可能に構成されている。具体的には、センタリング機構６は、図１，２に示すように、ベース部６１、Ｘステージ６２、Ｙステージ６３、Ｘ駆動機構６４、Ｙ駆動機構６５、アーム６６および照準器保持部６７を備えて構成されている。
【００２６】
ベース部６１は、位置合わせ機構３の連結テーブル３７の上に取り付けられている。Ｘステージ６２は、Ｘ方向に沿って移動可能にベース部６１の上に配設されている。Ｙステージ６３は、Ｙ方向に沿って移動可能にＸステージ６２の上に配設されている。Ｘ駆動機構６４は、ねじ式の駆動機構で構成されて、つまみの回転量に応じてＸステージ６２をＸ方向に沿って移動させる。Ｙ駆動機構６５は、ねじ式の駆動機構で構成されて、つまみの回転量に応じてＹステージ６３をＹ方向に沿って移動させる。
【００２７】
アーム６６は、図１，２に示すように、その基端部６６ａがＹステージ６３に取り付けられており、Ｘステージ６２およびＹステージ６３の移動に伴ってＸＹ方向に移動させられる。照準器保持部６７は、一例として、Ｌ字形に形成されて、その基端部６７ａがアーム６６の先端部６６ｂに軸支されることにより、基端部６７ａを中心として回動（この例では９０°だけ回動）可能に構成されている。また、照準器保持部６７は、先端部６７ｂに照準器７を取り付け可能に構成されている。この場合、図８に示すように、先端部６７ｂが上を向くように照準器保持部６７を回動させた状態では、本体部２のマスク載置部１２ａ，１２ｂにマスク１００を載置したときにマスク１００が位置する領域（以下、「マスク配置領域」ともいう）から照準器７が離反する。また、図１に示すように、先端部６７ｂが水平方向を向くように照準器保持部６７を回動させた状態では、照準器７がマスク配置領域に平行な姿勢（以下、「対向姿勢」ともいう）でマスク配置領域に十分に近接する。
【００２８】
照準器７は、図４に示すように、光透過性を有する（透明または半透明の）樹脂材料で形成された矩形の板状体で構成されている。また、図４，５に示すように、照準器７の上面７ａ（上記した対向姿勢において上を向く面であって、対向姿勢においてマスク１００に対向する面とは逆側の面に相当する）には、凹部７１が形成されている。この場合、凹部７１は、上面７ａから下面７ｂ（対向姿勢においてマスク１００に対向する面）に向かうに従って徐々に小径となる平面視円形（すり鉢状）に形成されている。また、凹部７１の底部の中心部には、後述するセンタリング（芯だし）や、挿通孔１０１との位置合わせの際に用いる照準用の孔７２が形成されている。
【００２９】
次に、マスク清掃装置１を用いて、マスク１００における挿通孔１０１に付着している異物を除去してマスク１００を清掃する方法（清掃方法）について、図面を参照して説明する。なお、異物が付着している挿通孔１０１の概略の位置が判明しているものとして説明する。
【００３０】
まず、マスク清掃装置１を作業台（図示せず）の上に設置し、次いで、照準器７の上方にカメラ（図示せず）を配置して、上方から照準器７（および針５）を撮像してその拡大画像を図外の表示部に表示させる。
【００３１】
次いで、針５と照準器７とのセンタリング（芯だし）を行う。具体的には、まず、センタリング機構６における照準器保持部６７の先端部６７ｂが水平方向を向くように照準器保持部６７を回動させる。この状態では、図１に示すように、照準器７が、マスク配置領域に平行な対向姿勢となっている。続いて、上記した照準器７および針５の拡大画像を見ながら照準器７に形成されている孔７２の位置と針５の先端部５ａの位置とが一致するように、照準器７を移動させる。
【００３２】
具体的には、センタリング機構６のＸ駆動機構６４およびＹ駆動機構６５を操作してＸステージ６２およびＹステージ６３をＸ方向およびＹ方向に移動させる。この際に、Ｘステージ６２およびＹステージ６３の移動に伴い、Ｙステージ６３に取り付けられているアーム６６、およびアーム６６に取り付けられている照準器保持部６７が移動して、照準器７がＸＹ方向に移動させられる。次いで、図６に示すように、照準器７の孔７２の位置と針５の先端部５ａの位置とが一致したときには、図７に示すように、先端部５ａと孔７２とが鉛直方向に沿って一直線上に並んだ状態となる。以上により、針５と照準器７とのセンタリングが完了する。
【００３３】
続いて、図８に示すように、センタリング機構６における照準器保持部６７の先端部６７ｂが上を向くように照準器保持部６７を回動させて、照準器７をマスク配置領域から離反させる。次いで、図９に示すように、ホルダ１０２によって保持されている状態のマスク１００を本体部２のマスク載置部１２ａ，１２ｂに載置する。続いて、図１０に示すように、照準器保持部６７を回動させて照準器７を再び対向姿勢に移行させる。この状態では、照準器７の下面７ｂとマスク１００の上面とが近接している。
【００３４】
次いで、異物が付着している挿通孔１０１が照準器７の孔７２の下方（針５の先端部５ａの上方）に概ね位置するように、ホルダ１０２をマスク載置部１２ａ，１２ｂ上で（マスク載置部１２ａ，１２ｂに載置した状態で）移動させる。続いて、上方から照準器７を撮像した拡大画像を見ながら、照準器７の孔７２の位置と異物が付着している清掃対象の挿通孔１０１の位置とが一致するように、位置合わせ機構３を用いて照準器７を移動させる。
【００３５】
この場合、このマスク清掃装置１では、光透過性を有する樹脂材料で形成された板状体に孔７２を形成して照準器７が形成されているため、挿通孔１０１の形状が照準器７を通して視認される（映し出される）ため、照準器７の孔７２の位置と清掃対象の挿通孔１０１の位置とを一致させる作業を容易に行うことが可能となっている。また、このマスク清掃装置１では、照準器７の上面７ａに凹部７１を形成し、その凹部７１の底部に孔７２を形成しているため、孔７２の長さ（孔７２の上面７ａ側の縁部から下面７ｂ側の縁部までの距離）が十分に短くなっている。このため、孔７２および挿通孔１０１の焦点を合わせ易いため、照準器７の孔７２の位置と清掃対象の挿通孔１０１の位置とを一致させる作業をさらに容易に行うことが可能となっている。
【００３６】
照準器７を移動させる際には、位置合わせ機構３のＸ駆動機構３４およびＹ駆動機構３５を操作する。この場合、Ｘ駆動機構３４を操作（この例では、回転操作）することで、Ｘステージ３２がＸ方向に移動し、Ｙ駆動機構３５を操作することで、Ｙステージ３３がＹ方向に移動する。この際に、Ｘステージ３２およびＹステージ３３の移動に伴って連結板３６に連結されている連結テーブル３７が移動し、連結テーブル３７に取り付けられているセンタリング機構６も移動させられる。また、センタリング機構６の移動に伴ってセンタリング機構６の照準器保持部６７に保持されている照準器７が移動させられる。
【００３７】
また、Ｘステージ３２およびＹステージ３３の移動に伴って連結板３６に連結されている上下動機構４がＸＹ方向に移動させられる。また、上下動機構４の移動に伴って上下動機構４の針保持部４２に保持されている針５がＸＹ方向に移動させられる。この場合、針５および照準器７は、いずれもＸステージ３２およびＹステージ３３が移動した分だけ移動させられる。つまり、針５および照準器７は、互いに同じ移動量だけ移動する。このため、針５および照準器７は。その対向状態（針５の先端部５ａと照準器７の孔７２とが鉛直方向に沿って一直線上に並んだ状態）が維持されたままＸＹ方向に移動させられる。
【００３８】
次いで、図１１に示すように、照準器７の孔７２の位置と清掃対象の挿通孔１０１の位置とが一致したときには、Ｘ駆動機構３４およびＹ駆動機構３５の操作を停止する。この場合、上記したように、針５および照準器７が対向状態を維持したまま移動するため、照準器７の孔７２と清掃対象の挿通孔１０１の位置とが一致している状態では、図１２に示すように、針５の先端部５ａ、清掃対象の挿通孔１０１および照準器７の孔７２が鉛直方向に沿って一直線上に並んだ状態となる。
【００３９】
続いて、上下動機構４のレバー４１の先端部４１ｂを上方に移動（回動）させる。この際に、レバー４１の中間部位に連結されている針保持部４２がレール４３によってガイドされつつＺ方向に沿って上方（マスク１００に近接する向き）に移動し、針保持部４２の移動に伴って針保持部４２に保持されている針５がマスク１００に近接する。
【００４０】
次いで、レバー４１をさらに移動させることにより、針５の先端部５ａが位置合わせした挿通孔１０１に挿入される。この場合、このマスク清掃装置１では、上下動機構４を用いて針５を移動させる。このため、手に持った針５を挿通孔１０１に挿入するのとは異なり、手の震えが針に伝わって針先が振動して挿入が困難となったり、挿通孔１０１の周囲への針５の衝突による傷付きや、挿通孔１０１の縁部の変形などが発生したりする事態が回避される。
【００４１】
続いて、挿通孔１０１への針５の挿入により、挿通孔１０１に付着している異物が針５に押し出されて除去される。次いで、例えば、針５の先端部５ａにエアを吹き付けることによって先端部５ａに付着した異物を除去する。続いて、他の挿通孔１０１に付着している異物を除去するときには、上記したように、マスク１００の移動、および位置合わせ機構３を用いた位置合わせ、および上下動機構４を用いた針５の移動を行う。
【００４２】
このように、このマスク清掃装置１によれば、針５の先端部５ａに対向するように配置された照準器７と、針５および照準器７が互いに対向した状態を維持しつつ針５および照準器７をＸＹ方向に沿って移動させる位置合わせ機構３と、針５をＺ方向に移動させる上下動機構４とを備えたことにより、照準器７を用いて清掃対象の挿通孔１０１と針５の先端部５ａとを正確かつ容易に位置合わせすることができる。また、上下動機構４を用いることで、針５を正確かつ容易にＺ方向に移動させることができる。このため、手に持った針５を挿通孔１０１に挿入する従来の清掃方法とは異なり、手の震えが針に伝わって針先が振動して挿入が困難となったり、挿通孔１０１の周囲への針５の衝突による傷付きや、挿通孔１０１の縁部の変形などが発生したりする事態を確実に防止することができる。したがって、このマスク清掃装置１によれば、マスク１００の傷付きや変形の発生を防止しつつマスク１００を確実かつ容易に清掃することができる。
【００４３】
また、このマスク清掃装置１では、照準器７をＸＹ方向に沿って移動させて針５と照準器７とが対向した状態となるように位置合わせ可能なセンタリング機構６を備えている。このため、このマスク清掃装置１によれば、針５や照準器７を交換したときに取り付け位置に対する位置ずれが生じて、針５と照準器７とが対向しない状態となったとしても、センタリング機構６を用いて両者を対向させることができるため、挿通孔１０１と針５の先端部５ａとを正確に位置合わせすることができる。
【００４４】
また、このマスク清掃装置１によれば、光透過性を有する板状体に照準用の孔７２を形成して照準器７を構成したことにより、マスク１００の上に配置した照準器７の上方から照準器７を見たときに、挿通孔１０１の形状を照準器７を通して視認することができる。このため、このマスク清掃装置１によれば、照準器７の孔７２の位置と清掃対象の挿通孔１０１の位置とを一致させる作業を十分容易に行うことができ、この作業を行うことで、清掃対象の挿通孔１０１と針５の先端部５ａとをより正確かつより容易に位置合わせすることができる。
【００４５】
また、このマスク清掃装置１によれば、照準器７の上面７ａに凹部７１を形成し、その凹部７１の底部に孔７２を形成したことにより、照準器７が厚い場合であっても孔７２の長さ（孔７２の上面７ａ側の縁部から下面７ｂ側の縁部までの距離）を十分に短くすることができる。したがって、このマスク清掃装置１によれば、マスク１００の上に配置した照準器７の上方から照準器７を見たときに、孔７２および挿通孔１０１の焦点を合わせ易いため、照準器７の孔７２の位置と清掃対象の挿通孔１０１の位置とを一致させる作業をさらに容易に行うことができる。
【００４６】
なお、マスク清掃装置は、上記の構成に限定されない。例えば、光透過性を有する材料で照準器７を形成した例について上記したが、光透過性を有しない材料で形成した照準器７を採用することもできる。また、孔７２に代えて、切り欠きを設けた照準器７を採用することもできる。
【００４７】
また、マスク１００を移動させずに針５および照準器７を移動させて針５と挿通孔１０１との位置合わせを行うように位置合わせ機構３を構成した例について上記したが、針５および照準器７を移動させずにマスク１００を移動させて位置合わせを行うように構成した位置合わせ機構を採用することもできる。また、マスク１００と針５および照準器７との双方を移動させて位置合わせを行うように構成した位置合わせ機構を採用することもできる。
【００４８】
また、針５に対して照準器７を相対的に移動させて針５と照準器７とが対向した状態となるように位置合わせ（センタリング）を行うようにセンタリング機構６を構成した例について上記したが、照準器７に対して針５を相対的に移動させて位置合わせを行うように構成したセンタリング機構を採用することもできる。また、針５および照準器７の双方を移動させて位置合わせを行うように構成したセンタリング機構を採用することもできる。
【符号の説明】
【００４９】
１  マスク清掃装置
３  位置合わせ機構
４  上下動機構
５  針
５ａ  先端部
６  センタリング機構
７  照準器
７ａ  上面
７ｂ  下面
７１  凹部
７２  孔
１００  マスク
１０１  挿通孔
【図１】
2014022616.tif 000003
【図２】
2014022616.tif 000004
【図３】
2014022616.tif 000005
【図４】
2014022616.tif 000006
【図５】
2014022616.tif 000007
【図６】
2014022616.tif 000008
【図７】
2014022616.tif 000009
【図８】
2014022616.tif 000010
【図９】
2014022616.tif 000011
【図１０】
2014022616.tif 000012
【図１１】
2014022616.tif 000013
【図１２】
2014022616.tif 000014