(57)【要約】【課題】生産設備のエネルギ消費量を一層低減するための技術を提供する。また、生産設備の運転条件や設置環境等にあわせた適切な復帰時間を自動で設定するための技術を提供する。【解決手段】制御装置が、復帰時間の設定値を記憶する記憶部と、生産設備が待機モードにある場合に、生産開始予定時刻と復帰時間の設定値に基づいて、待機モードから運転モードへの切り替えを行うべき切替時刻を決定し、現在時刻が切替時刻に到達した時点で待機モードから運転モードへの切り替えを行うモード切替部と、モード切替部によって運転モードへ切り替えられてから状態復帰までに実際に要した復帰時間を計測する計測部と、計測部によって計測された復帰時間の計測値に基づいて、記憶部に記憶されている復帰時間の設定値を更新する更新部と、を有する。【選択図】図１
2014186656.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産が可能な第１の状態を維持する運転モードと、前記第１の状態よりもエネルギ消費量が低い第２の状態で待機する待機モードとを有する生産設備の制御装置であって、
前記生産設備が前記第２の状態から前記第１の状態に復帰するまでに要すると見込まれる復帰時間の設定値を記憶する記憶部と、
前記生産設備が待機モードにある場合に、前記生産設備を前記第１の状態に復帰させるべき時刻と前記記憶部に記憶されている復帰時間の設定値に基づいて、待機モードから運転モードへの切り替えを行うべき切替時刻を決定し、現在時刻が前記切替時刻に到達した時点で待機モードから運転モードへの切り替えを行うモード切替部と、
前記モード切替部によって運転モードへ切り替えられてから、前記生産設備が前記第１の状態に復帰するまでに実際に要した復帰時間を計測する計測部と、
前記計測部によって計測された復帰時間の計測値に基づいて、前記記憶部に記憶されている復帰時間の設定値を更新する更新部と、
を有することを特徴とする制御装置。
【請求項２】
前記更新部は、複数回分の計測値の統計値に基づいて復帰時間の新たな設定値を決定する
ことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
前記計測部による計測が行われる毎に前記記憶部に計測値が記録され、
前記更新部は、前記記憶部に記録された全ての計測値の内から所定の期間に計測された複数回分の計測値を抽出し、前記抽出された複数回分の計測値の統計値に基づいて復帰時間の新たな設定値を決定する
ことを特徴とする請求項２に記載の制御装置。
【請求項４】
前記制御装置は、使用者から付加時間の入力を受け付ける入力部をさらに有しており、
前記モード切替部が前記切替時刻を決定する際、または、前記更新部が復帰時間の設定値を更新する際に、前記入力された付加時間が復帰時間の設定値に付加されるようにすることを特徴とする請求項１〜３のうちいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項５】
前記記憶部に記憶されている復帰時間の設定値を初期値に戻す初期化部をさらに有することを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項６】
前記初期化部は、生産設備の構成または動作条件が変更された場合に、復帰時間の設定値を初期値に戻す
ことを特徴とする請求項５に記載の制御装置。
【請求項７】
前記生産設備は、基板上の半田ペーストを加熱するリフロー炉であり、
前記運転モードは、炉内に窒素ガスを供給して、炉内の酸素濃度を前記第１の状態に維持するモードであり、
前記待機モードは、窒素ガスの供給を止めるか供給量を低下させるモードである
ことを特徴とする請求項１〜６のうちいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項８】
前記生産設備は、基板上の半田ペーストを加熱するリフロー炉であり、
前記運転モードは、炉内のヒータに電力を供給して、炉内の温度を前記第１の状態に維持するモードであり、
前記待機モードは、ヒータへの電力の供給を止めるか供給量を低下させるモードであることを特徴とする請求項１〜６のうちいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項９】
前記生産設備は、生産環境を清浄に保つためのクリーンルームであり、
前記運転モードは、ファンフィルターユニットに電力を供給して、クリーンルーム内のクリーン度を前記第１の状態に維持するモードであり、
前記待機モードは、ファンフィルターユニットへの電力の供給を止めるか供給量を低下させるモードである
ことを特徴とする請求項１〜６のうちいずれか１項に記載の制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産設備の制御に関し、特に生産設備のエネルギ消費量を低減するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
環境問題への対応やコスト低減の要請などから、工場等の生産設備における省エネ技術が注目を集めている。たとえば、製造装置が運転状態にある場合でも常に生産を行っているわけではなく、休憩やシフト交替でオペレータが不在となる時間や、段取り替えの間など、装置が空転している時間も少なくない。とはいえ、製造装置の立ち上げには相当の時間を必要とするため、ライン稼働中に製造装置を完全に停止することはできない。そこで最近では、空転時（非生産時）にはエネルギ消費の少ない状態で装置を待機させ（待機モード、省エネモードなどと呼ばれる）、生産再開に合わせて運転モードへ切り替えることで生産可能な状態に迅速に復帰させる、といった省エネルギ制御が可能な装置が提案されている（たとえば特許文献１〜３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１４７１１２号公報
【特許文献２】特開２０１０−２８２３９２号公報
【特許文献３】特許第５０７７４７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような省エネルギ制御にあっては、待機モードから運転モードへの切り替えを行うタイミングをどのように制御するかが、技術上の課題の一つとなっている。運転モードへの切り替えが行われても直ぐに生産を再開することはできず、安定した品質で製造が可能な状態となるまでにはある程度の待ち時間（これを復帰時間と呼ぶ）を要するからである。しかも、復帰時間は常に一定ではなく、モード切替時点での装置の状態（加熱炉の場合であれば、炉内の温度や雰囲気など）や設置環境（周囲温度、湿度など）によってばらつく可能性もある。それゆえ従来は、想定される復帰時間よりもはるかに長い時間を設定値として与え、生産開始予定時刻からその設定値分さかのぼった時点でモード切替を実行することで、生産開始予定時刻までに状態復帰することを確実なものとしていた。しかしながら、この方法では、生産開始予定時刻のかなり前に状態復帰が完了する場合が多く、状態復帰後から生産再開までのあいだに無駄なエネルギ消費が発生してしまうため、さらなる削減の余地がある。
【０００５】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、生産設備のエネルギ消費量を一層低減するための技術を提供することを目的とする。また本発明のさらなる目的は、生産設備の運転条件や設置環境等にあわせた適切な復帰時間を自動で設定するための技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために本発明では、モード切替後に実際に状態が復帰するまでに要した実時間を計測し、その計測値に基づいて復帰時間の設定値を自動で更新する、という構成を採用する。
【０００７】
具体的には、本発明に係る制御装置は、生産が可能な第１の状態を維持する運転モード
と、前記第１の状態よりもエネルギ消費量が低い第２の状態で待機する待機モードとを有する生産設備の制御装置であって、前記生産設備が前記第２の状態から前記第１の状態に復帰するまでに要すると見込まれる復帰時間の設定値を記憶する記憶部と、前記生産設備が待機モードにある場合に、前記生産設備を前記第１の状態に復帰させるべき時刻と前記記憶部に記憶されている復帰時間の設定値に基づいて、待機モードから運転モードへの切り替えを行うべき切替時刻を決定し、現在時刻が前記切替時刻に到達した時点で待機モードから運転モードへの切り替えを行うモード切替部と、前記モード切替部によって運転モードへ切り替えられてから、前記生産設備が前記第１の状態に復帰するまでに実際に要した復帰時間を計測する計測部と、前記計測部によって計測された復帰時間の計測値に基づいて、前記記憶部に記憶されている復帰時間の設定値を更新する更新部と、を有することを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、休憩やシフト交替などでオペレータが不在となる場合や段取り替えなどにより生産が一時的に止まる場合に、生産設備を待機モードに切り替えることで、無駄なエネルギ消費を抑えることができる。待機モードへの切り替えはオペレータが手動で指示してもよいし、自動で切り替えてもよい。ここで、「エネルギ」には、生産設備に直接的に供給されるエネルギ（電力、熱、力など）だけでなく、生産設備を動作させるために間接的に必要となるエネルギ、たとえば、生産設備で利用される物質（雰囲気ガス、冷却液、洗浄液、触媒など）を製造、運搬、貯蔵、供給するために必要なエネルギなど、を含んでもよい。
【０００９】
待機モードから運転モードへの切り替えは、モード切替部によって自動的に実行される。モード切り替えのタイミング（切替時刻）は、生産設備を第１の状態に復帰させるべき時刻（以下、生産開始予定時刻と呼ぶ）と記憶部に予め設定されている復帰時間の設定値に基づいて決められる。ここで、復帰時間の設定値にある程度の余裕を見込んでおくことで、生産開始予定時刻までに、生産設備を第１の状態（生産が可能な状態）に復帰させ、生産を再開することを保証できる。
【００１０】
さらに本発明では、復帰時間の設定値を自動で最適化するための構成を採用する。すなわち、モード切替後、第１の状態に復帰するまでに実際に要した復帰時間を計測し、その計測値（実測値）に基づいて復帰時間の設定値を更新するのである。たとえば、計測値に比べて設定値が過大であった場合は、設定値を短くすればよいし、計測値と設定値の差（マージン）が過小であった場合は、設定値を長くすればよい。計測値に基づいて設定値をより良い値に更新することができさえすれば、どのようなアルゴリズムで更新処理を行ってもよい。かかる構成により、生産設備を実稼働するなかで（つまり、オンラインで）復帰時間の設定値を自動で最適化することができる。また、運転条件や設置環境の違い、経年劣化などにより、同じ生産設備でも復帰時間にばらつきが生じ得るが、本発明のように計測値に基づいて適宜設定値の更新を行うことで、生産設備毎に適正な復帰時間を自動で設定することができる。よって、第１の状態に復帰してから生産再開までの空転時間を可及的に短縮でき、無駄なエネルギ消費を低減することが可能となる。
【００１１】
前記更新部は、複数回分の計測値の統計値に基づいて復帰時間の新たな設定値を決定することが好ましい。モード切替時の生産設備の状態や設置環境などにより復帰時間にばらつきが生じる可能性があるが、複数回分の計測値の統計値を用いることにより、復帰時間のばらつきを考慮して設定値を決定することが可能となる。なお、統計値としては、平均値、分散、標準偏差、最大値、最頻値など、計測値のばらつき（分布）を表す指標であればどのような値を用いてもよい。
【００１２】
前記計測部による計測が行われる毎に前記記憶部に計測値が記録され、前記更新部は、前記記憶部に記録された全ての計測値の内から所定の期間に計測された複数回分の計測値
を抽出し、前記抽出された複数回分の計測値の統計値に基づいて復帰時間の新たな設定値を決定することが好ましい。たとえば設備の経年劣化や季節変動などにより復帰時間が変化する場合、過去から蓄積された全ての計測値を用いるよりも、一部の計測値（直近の計測値、同時期の計測値など）だけを用いるほうが、より適切な設定値を求めることが可能となる。
【００１３】
本発明の更新処理により最適化した設定値を用いれば、殆どのケースにおいて、生産開始予定時刻までに状態復帰を完了することができる。しかしながら、稀なケースにおいては、生産開始予定時刻までに状態復帰が間に合わないというリスクがないわけではない。そこで、前記制御装置は、使用者から付加時間の入力を受け付ける入力部をさらに有しており、前記モード切替部が前記切替時刻を決定する際、または、前記更新部が復帰時間の設定値を更新する際に、前記入力された付加時間が復帰時間の設定値に付加されるようにすることが好ましい。これにより、待機モードから運転モードへの切替時刻を付加時間分だけ早めることができる。付加時間の追加によりエネルギ消費量がやや増加するという不利はあるものの、使用者の経験や知識に基づいて適切な付加時間（安全のためのマージン）を設定することで、省エネルギ制御が生産再開に支障を与えるリスクを排除できるという有利な効果が得られる。
【００１４】
前記記憶部に記憶されている復帰時間の設定値を初期値に戻す初期化部をさらに有することが好ましい。これにより、最適化した（学習した）復帰時間の設定値を必要に応じてリセットし、最初から学習しなおすことが可能となり、利便性が向上する。この機能は、何らかの原因によって復帰時間が変動する場合（つまり、過去の計測値により学習した設定値が妥当でなくなる場合）に有効である。
【００１５】
たとえば、生産設備の構成を変更（修理、部品交換、設置場所の変更を含む）したり、運転条件（制御の目標値、制御ロジックなど）を変更したりすると、復帰時間が変動し、過去の計測値により学習した設定値が妥当でなくなる可能性が高い。そこで、前記初期化部は、生産設備の構成または運転条件が変更された場合に、復帰時間の設定値を初期値に戻すことが好ましい。これにより、妥当でない設定値に基づくモード切替が行われることを防ぐことができる。
【００１６】
本発明に係る制御装置は、運転モードと待機モードを有する生産設備であれば、あらゆる種類の生産設備に適用することができる。なお、生産設備とは、製品の生産に関係する設備をいい、典型的には製造装置や加工装置が該当するが、生産に間接的に寄与する設備も生産設備に該当する。
【００１７】
製造装置や加工装置に該当する生産設備の一つとして、基板上の半田ペーストを加熱するリフロー炉が挙げられる。リフロー炉の場合、前記運転モードは、炉内に窒素ガスを供給して、炉内の酸素濃度を前記第１の状態に維持するモードであり、前記待機モードは、窒素ガスの供給を止めるか供給量を低下させるモードである。あるいは、前記運転モードは、炉内のヒータに電力を供給して、炉内の温度を前記第１の状態に維持するモードであり、前記待機モードは、ヒータへの電力の供給を止めるか供給量を低下させるモードである。
【００１８】
また、生産に間接的に寄与する設備に該当する生産設備の一つして、生産環境を清浄に保つためのクリーンルームが挙げられる。クリーンルームの場合、前記運転モードは、ファンフィルターユニットに電力を供給して、クリーンルーム内のクリーン度を前記第１の状態に維持するモードであり、前記待機モードは、ファンフィルターユニットへの電力の供給を止めるか供給量を低下させるモードである。
【００１９】
なお、本発明は、上記構成の少なくとも一部を有する制御装置、または、その制御装置を備える生産設備として捉えることができる。また、本発明は、上記処理の少なくとも一部を含む制御装置の制御方法、または、かかる方法を制御装置に実行させるためのプログラムやそのプログラムを記録したコンピュータ読取可能な記録媒体として捉えることもできる。上記構成および処理の各々は技術的な矛盾が生じない限り互いに組み合わせて本発明を構成することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、生産設備のエネルギ消費量を一層低減することができる。また、生産設備の運転条件や設置環境等にあわせた適切な復帰時間を自動で設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１実施形態の基板処理システムの全体構成を示す図。
【図２】リフロー炉の構成を模式的に示す図。
【図３】リフロー炉の制御ブロック図。
【図４】モード切り替えによる省エネルギ制御を説明するための図。
【図５】コントローラの省エネルギ制御に関わる機能の構成を示すブロック図。
【図６】コントローラにより実行される処理の全体フローを示す図。
【図７】初期化処理のフローを示す図。
【図８】待機モードにおける処理フローを示す図。
【図９】復帰時間の設定値の更新処理のフローを示す図。
【図１０】更新（学習）した復帰時間の設定値を用いた場合のモード切替タイミングの一例を示す図。
【図１１】第２実施形態のクリーンルームの全体構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明は、生産設備の省エネルギ制御を行う制御装置およびその制御方法に関するものである。制御装置は、生産設備と別体もしくは外付けのユニットでもよいし、生産設備と一体もしくは内蔵のユニットでもよい。この制御装置は、運転モードと待機モードを有する生産設備であれば、あらゆる種類の生産設備に適用することができる。なお、生産設備とは、製品の生産に関係する設備をいい、典型的には製造装置や加工装置が該当するが、生産に間接的に寄与する設備、たとえば、運搬装置、貯蔵設備、クリーンルーム、空調装置、照明装置なども生産設備に該当する。以下の実施形態では、本発明の好適な適用例として、基板上の半田ペーストを加熱するリフロー炉の省エネルギ制御と、生産環境を清浄に保つためのクリーンルームの省エネルギ制御を例示する。
【００２３】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態は、基板処理システムのリフロー炉の省エネルギ制御に本発明を適用した例である。まずは図１、図２、図３を参照してシステムの概略構成を説明する。図１は、基板処理システムの全体構成を示す図であり、図２は、リフロー炉の構成を模式的に示す図であり、図３は、図２のリフロー炉の制御ブロック図である。
【００２４】
（基板処理システム）
図１の基板処理システムは、プリント基板上に電子部品を実装するためのシステムである。
【００２５】
図１の基板処理システムでは、処理されるプリント基板が、ローダ２１０、半田印刷機２２０、検査装置２３０、高速マウンタ２４０、高精度マウンタ２５０、検査装置２６０、リフロー炉１００、アンローダ３１０の順に送られる。図１中の矢印Ｄ１は、プリント基板の搬送方向を示している。
【００２６】
ローダ２１０から送られたプリント基板に対し、半田印刷機２２０において半田ペーストが印刷される。当該印刷の良否が検査装置２３０で検査された後、高速マウンタ２４０および高精度マウンタ２５０で電子部品がプリント基板上にマウントされる。当該マウントの良否が検査装置２６０で検査された後、電子部品をマウントされたプリント基板がリフロー炉１００に送られる。本明細書では、リフロー炉１００に送られた、電子部品をマウントされたプリント基板を、「ワーク」と呼ぶ。
【００２７】
そして、リフロー炉１００で、半田ペーストを溶解させて電子部品が固定された後、ワークは、アンローダ３１０を介して、種々の工程に送られる。
【００２８】
なお、ローダ２１０、半田印刷機２２０、検査装置２３０、高速マウンタ２４０、高精度マウンタ２５０、検査装置２６０、リフロー炉１００、および、アンローダ３１０は、非常ランプ２１９，２２９，２３９，２４９，２５９，２６９，１０９，３１９をそれぞれ備え、また、その動作がそれぞれの制御装置によって制御される。そして、当該制御装置は、それぞれにおいて非常事態が発生した場合には、各装置に対応する非常ランプを点灯させる。
【００２９】
（リフロー炉）
図２を参照して、リフロー炉１００の構成を詳しく説明する。リフロー炉１００内では、検査装置２６０から送り込まれたワーク９０が、コンベア８０上に載置されて、リフロー炉１００中で搬送される。図２中の矢印Ｄ２は、コンベア８０の回転方向を示している（なお、図示の関係で、図１と図２ではリフロー炉１００の左右が逆になっているので注意されたい。）。
【００３０】
リフロー炉には、不活性雰囲気室１３が設けられている。不活性雰囲気室１３の上流側にはダクト５６Ａが、下流側にはダクト５６Ｂが設けられている。
【００３１】
ダクト５６Ａ，５６Ｂには、それぞれ、ファン５０Ａ，５０Ｂ、および、開閉板５２Ａ，５２Ｂが設けられている。ファン５０Ａ，５０Ｂは、モータ５１Ａ，５１Ｂによって駆動され、モータ５１Ａ，５１Ｂは、インバータ５５Ａ，５５Ｂから電力を供給される。
【００３２】
開閉板５２Ａ，５２Ｂは、ダクト５６Ａ，５６Ｂのそれぞれにおいて空気が流れる度合いを調整するために設けられている。開閉板５２Ａ，５２Ｂによるダクト５６Ａ，５６Ｂ内の送風路の開閉度合いは、ダンパ用モータ５３Ａ，５３Ｂによってそれぞれ制御される。
【００３３】
ワーク９０に使用されている半田が、いわゆる鉛フリーの半田である場合等、酸素濃度を低下させることが望ましい場合、不活性雰囲気室１３には、酸素濃度を低下させるために、窒素ライン１４を介して窒素ガス（不活性ガス、雰囲気ガスとも称する）が送られる。不活性雰囲気室１３への窒素ガスの導入量は、窒素バルブ（以下、「Ｎ２バルブ」とも称する）１６の開閉度が制御されることによって、制御される。なお、窒素ライン１４における窒素ガスの流量は、流量計１５によって検出される。また、リフロー炉には、不活性雰囲気室１３内の酸素濃度を検出するための酸素濃度センサ（以下、「Ｏ２濃度センサ」とも称する）１７が設けられている。
【００３４】
不活性雰囲気室１３内では、７段階でワークを加熱するために、ヒータ１１Ａ，１１Ｂ、ヒータ１１Ｃ，１１Ｄ、ヒータ１１Ｅ，１１Ｆ、ヒータ１１Ｇ，１１Ｈ、ヒータ１１Ｉ，１１Ｊ、ヒータ１１Ｋ，１１Ｌ、ヒータ１１Ｍ，１１Ｎの７組の加熱装置が設けられている。各組の加熱装置は、コンベア８０の上方に配置されたヒータと下方に配置されたヒ
ータを含む。リフロー炉では、ヒータ１１Ａ〜１１Ｎで消費された電力が電力計７０によって計測される。
【００３５】
また、各ヒータの近傍には、不活性雰囲気室１３内の空気を攪拌するために、ファン１２Ａ，１２Ｂ、ファン１２Ｃ，１２Ｄ、ファン１２Ｅ，１２Ｆ、ファン１２Ｇ，１２Ｈ、ファン１２Ｉ，１２Ｊ、ファン１２Ｋ，１２Ｌ、ファン１２Ｍ，１２Ｎが設けられている。
【００３６】
不活性雰囲気室１３において、ヒータ１１Ａ，１１Ｂ、ヒータ１１Ｃ，１１Ｄ、ヒータ１１Ｅ，１１Ｆ、ヒータ１１Ｇ，１１Ｈ、ヒータ１１Ｉ，１１Ｊ、ヒータ１１Ｋ，１１Ｌ、ヒータ１１Ｍ，１１Ｎによって加熱されたワーク９０は、ダクト５６Ｂに送られ、チラー６０によって冷却される。チラー６０は、冷却管６１，６２を備える。その後、ワーク９０は、次工程（たとえば、図１のアンローダ３１０）に送られる。
【００３７】
不活性雰囲気室１３およびダクト５６Ｂには、図示せぬ温度センサが設けられている。温調ユニット１０２は、当該温度センサによって検出される温度に基づいて、ヒータ１１Ａ〜１１Ｎの動作をフィードバック制御する。また、リフロー炉には、温度センサ２２や酸素濃度センサ１７の検出出力に基づいて、ヒータ１１Ａ〜１１Ｎ、窒素バルブ１６等の各要素の動作を全体的に制御するためのコントローラ（制御装置）１０１が設けられている。
【００３８】
コントローラ１０１には、モニタ等として機能するパーソナルコンピュータ（以下、「ＰＣ」とも称する）３００や、検査装置２３０，２６０等の、基板処理システム（図１参照）においてリフロー炉１００より前工程に設けられた装置を制御するための装置（コントローラ２００）が接続されている。コントローラ１０１は、後述するように、ＰＣ３００やコントローラ２００から取得した情報に基づいて、ヒータ１１Ａ〜１１Ｎ、窒素バルブ１６等の各要素の動作を制御する場合が有り得る。
【００３９】
（リフロー炉の制御ブロック）
図３は、リフロー炉１００の制御ブロックを示している。コントローラ１０１は、図２を参照して説明したヒータ１１Ａ〜１１Ｎ等の各要素に加え、不活性雰囲気室１３内の７段階の加熱工程（各ヒータ組）のそれぞれにおける雰囲気温度およびダクト５６Ｂのワーク９０の通過領域近傍の雰囲気温度を検出するための温度センサ２２、不活性雰囲気室１３内に導入されている基板の数を検出する基板センサ２１、コンベア８０を回転させるコンベアモータ８１、および、図１を参照して説明した非常ランプ１０９に接続されている。なお、図３は、図２の温調ユニット１０２が、コントローラ１０１内に含まれるものとして記載されている。
【００４０】
コントローラ１０１は、温度センサ２２の検出出力に基づいて、ヒータ１１Ａ〜１１Ｎの加熱動作等を、ＰＩＤ（Proportional Integral Differential）制御等のフィードバック制御で、各加熱工程について定められた温度に維持するように、制御する。また、コントローラ１０１は、不活性雰囲気室１３内の酸素濃度が定められた濃度以下となるように、窒素バルブ１６の開閉度合いを、酸素濃度センサ１７の検出出力に基づいてフィードバック制御する。また、コントローラ１０１は、温度センサ２２によるダクト５６Ｂ内の雰囲気温度の検出出力に基づいて、チラー６０における冷却管６１，６２における冷媒の循環量等、ダクト５６Ｂ内の雰囲気の冷却態様を制御する。各制御における目標値（運転条件）についてはコントローラ１０１に予め設定されている。
【００４１】
また、コントローラ１０１は、不活性雰囲気室１３内の温度が異常に上昇した場合や、コンベア８０によるワーク９０の搬送に支障が出た場合等、基板処理システムにおいて予
定される動作を正常に実行できない事態が生じた場合には、ヒータ１１Ａ〜１１Ｎによる加熱を停止する、コンベア８０によるワーク９０の搬送を停止させる、等の公知の措置を講じた後、非常ランプ１０９を点灯させる。これに応じて、作業員は、リフロー炉における不具合を除去した後、コントローラ１０１をリセットさせて、リフロー炉の運転を再開させる、等の措置を講じる。
【００４２】
コントローラ１０１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の演算装置１０１Ａと
、プログラム等の各種のデータを記憶するためのメモリ１０１Ｂと、上記したＰＣ３００やコントローラ２００とコントローラ１０１との通信の際に利用されるインターフェース１０１Ｃとを備える。インターフェース１０１Ｃは、たとえばネットワークカード等の通信装置によって実現される。そして、演算装置１０１Ａが、たとえば当該メモリ１０１Ｂに格納されたプログラムを実行することによって、本明細書に記載されるようなコントローラ１０１による制御動作が実現される。ただし、コントローラ１０１は、当該コントローラ１０１の各機能を実現する１以上のハードウェア装置（ＬＳＩ（Large Scale Integration）等）を備えることによって実現される場合も有り得る。
【００４３】
なお、メモリ１０１Ｂは、コントローラ１０１の本体から着脱可能な記憶媒体によって実現される場合も有り得る。このような記憶媒体としては、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disk
- Read Only Memory）、ＤＶＤ−ＲＯＭ（Digital Versatile Disk - Read Only Memory）、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ、メモリカード、ＦＤ（Flexible Disk）、
ハードディスク、磁気テープ、カセットテープ、ＭＯ（Magnetic Optical Disk）、ＭＤ
（Mini Disk）、ＩＣ（Integrated Circuit）カード（メモリカードを除く）、光カード
、マスクＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ（Electronically Erasable Programmable Read-Only Memory）などの、不揮発的にプログラムを格納する媒体が挙げられる。
【００４４】
（リフロー炉の省エネルギ制御）
基板生産ラインの稼働中は、原則として、リフロー炉１００の状態を、安定した品質でワーク９０の生産（熱処理）が可能な状態（これを「生産可能状態」または「第１の状態」と称する）に維持する必要がある。とはいえ、処理対象となるワーク９０は常に流れているわけではなく、たとえば休憩やシフト交替でオペレータが不在となる時間、段取り替えの時間、異常発生時など、ワーク９０の投入が一時的に止まる場合もある。そこで、本実施形態のリフロー炉１００は、生産可能状態を維持するモードである運転モードと、生産可能状態に比べてエネルギ消費量の低い状態（これを「待機状態」または「第２の状態」と称する）で待機するモードである待機モードとを有しており、コントローラ１０１が必要に応じて待機モードに切り替えることで、非生産時のエネルギ消費を抑える。待機モードでは、たとえば、窒素ガスの供給を止める（または供給量を低下させる）、ヒータ１１Ａ〜１１Ｎへの電力の供給を止める（または供給量を低下させる）等を行うことで、エネルギの消費が抑制される。他にも、ファンやモータ等の駆動を停止してもよい。なお、窒素ガスそのものはエネルギではないが、窒素ガスの消費量が減れば、窒素ガスの製造、運搬、貯蔵、供給などに必要なエネルギやコストを削減できるため、本明細書では、窒素ガスもリフロー炉１００が消費するエネルギの一つとして捉えている。
【００４５】
図４に、モード切り替えによる省エネルギ制御の一例を示す。図４の上段のグラフは窒素ガスの流量の時間変化を示しており、下段のグラフは不活性雰囲気室１３内の酸素濃度の時間変化を示している。
【００４６】
運転モードにおいては、コントローラ１０１が酸素濃度センサ１７の出力に基づき窒素バルブ１６の開度（つまり窒素ガスの流量）を調整することにより、不活性雰囲気室１３内の酸素濃度を所定の管理値（ここでは４０００ｐｐｍ）に維持する。酸素濃度が約４０００ｐｐｍかそれ以下であれば、ワーク９０上の金属部品の酸化を防止でき、安定した品
質を確保できる。
【００４７】
ワーク９０の投入が一時的に止まる場合、コントローラ１０１はリフロー炉１００のモードを運転モードから待機モードへと切り替え、窒素ガスの供給を停止する。これにより窒素ガスの無駄な消費を削減できる。
【００４８】
生産を再開するためには、コントローラ１０１が待機モードから運転モードへの切り替えを行い、窒素ガスの供給および酸素濃度の制御を再開する。ただし、図４に示すように、窒素ガスの供給を再開したとしても直ちに酸素濃度が低下するわけではなく、酸素濃度が約４０００ｐｐｍまで下がり生産可能状態となるまでにはある程度の時間を必要とする。運転モードへの切り替えが行われてから（時刻Ｔ０）、酸素濃度が生産可能状態に達するまで（時刻Ｔ１）に要する時間を、復帰時間ＲＴ（＝Ｔ１−Ｔ０）と呼ぶ。装置構成や運転条件にもよるが、おおむね数分から十数分程度の復帰時間ＲＴが必要となる。
【００４９】
省エネルギの観点からは、生産可能状態に復帰する時刻Ｔ１と生産開始予定時刻Ｔ２の差ができるだけ小さくなるように、モード切替タイミング（時刻Ｔ０）を設定することが好ましい。とはいえ、万一、酸素濃度の状態復帰が間に合わなければ生産再開が阻害されてしまうので、生産効率の観点からは、モード切替タイミングを早めに設定し、時刻Ｔ１とＴ２の間に時間的な余裕を作ることが望まれる。しかも、復帰時間は常に一定ではなく、モード切替時点での炉内の状態（酸素濃度、温度など）や設置環境（周囲温度、湿度など）の影響を受けて、ばらつく可能性もある。それゆえ、たとえ熟練のオペレータであっても、マニュアルでモード切替タイミングを適切な値に設定するのは難しい。
【００５０】
そこで本実施形態では、コントローラ１０１がモード切替後に実際に生産可能状態に復帰するまでに要した実時間を計測し、その計測値に基づいて復帰時間の設定値を自動で更新（学習）することにより、モード切替タイミングの最適化を行う。以下、コントローラ１０１による省エネルギ制御の具体的な構成について詳しく説明する。
【００５１】
（省エネルギ制御の機能ブロック）
図５は、コントローラ１０１の省エネルギ制御に関わる機能の構成を示すブロック図である。省エネルギ制御に関わる機能は、記憶部１１０、モード切替部１１１、制御部１１２、計測部１１３、更新部１１４、入力部１１５、初期化部１１６から構成される。記憶部１１０は、復帰時間の設定値、計測値、演算により求めた統計値、ログデータなどを記憶する機能であり、メモリ１０１ＢまたはＰＣ３００の記憶装置を利用して実現される。モード切替部１１１は、リフロー炉１００の動作モード（運転モード／待機モード）の切り替えを行う機能である。制御部１１２は、モード切替部１１１から指示された動作モードに応じてリフロー炉１００の各要素を制御する機能である。計測部１１３は、モード切替から生産可能状態に復帰するまでに要した実時間をタイマにより計測する機能である。更新部１１４は、計測部１１３で得られた計測値に基づき復帰時間の設定値を更新する機能である。入力部１１５は、使用者からの情報入力を受け付ける機能である。使用者が情報入力を行うユーザインタフェースはＰＣ３００によって提供される。初期化部１１６は、記憶部１１０に記憶されているデータの初期化を行う機能である。
【００５２】
これらの機能は、メモリ１０１Ｂに記憶されたプログラムを演算装置１０１Ａが実行することにより実現されるものである。ただし、一部または全部の機能をＰＣ３００によって実現してもよいし、あるいはロジック回路で実現してもよい。
【００５３】
（省エネルギ制御のフロー）
次に、図６〜図９を参照して、省エネルギ制御に関わる機能の動作を説明する。図６は、コントローラ１０１により実行される処理の全体フローを示し、図７は、初期化部１１
６により実行される初期化処理のフローを示し、図８は、待機モードにおける処理フローを示し、図９は、復帰時間の設定値の更新処理のフローを示している。
【００５４】
図６に示すように、コントローラ１０１が起動すると、まず初期化部１１６が初期化処理の要否を判断する（ステップＳ６０）。初期化処理とは、記憶部１１０に記憶されているデータをリセットする処理である。たとえば、リフロー炉１００のバルブが交換されたり、制御の目標値（管理値）が変更されたりすると、その影響でモード切替からの復帰時間が変化し、過去の計測値や設定値は妥当でなくなる可能性がある。初期化処理はそのような場合に実行される。具体的な実現方法としては、生産設備の構成の変更（たとえば修理、部品交換、設置場所の変更）や運転条件の変更（たとえば制御の目標値や制御ロジックの変更）など、復帰時間に影響を与え得る操作が行われた場合に、要初期化フラグを自動またはマニュアルでコントローラ１０１に設定し、初期化部１１６がこのフラグの有無で初期化処理の要否を判断する。あるいは、入力部１１５により、ＰＣ３００のモニタに初期化処理の要否を確認する画面を提示し、使用者に要否を入力させてもよい。
【００５５】
ステップＳ６０において初期化処理が必要と判断された場合は、初期化部１１６が初期化処理を実行する（ステップＳ６１）。図７に示すように、初期化部１１６は、計測回数を示すカウンタｎを０にリセットするとともに（ステップＳ７０）、今までに蓄積された復帰時間の計測値ＲＴとその統計値である平均値ＲＴＡおよび標準偏差σとをクリア（消去）する（ステップＳ７１）。なお、以降の説明において、ｉ回目の計測値をＲＴｉ、ｎ回分の計測値ＲＴ１〜ＲＴｎから求めた平均値と標準偏差をそれぞれＲＴＡｎ、σｎのように表記する。さらに初期化部１１６は、復帰時間の設定値ＲＴＳを初期値に戻す（ステップＳ７２）。初期値は、想定される復帰時間よりも十分大きな値（たとえば想定される時間の２倍）に設定する。初期段階では実際にどの程度の時間で復帰が完了するか不明だからである。
【００５６】
その後、制御部１１２が、運転モードによる制御を開始する（ステップＳ６２）。炉内温度、酸素濃度、チラー６０の冷却温度等が所定の条件を満たし生産可能状態になると、上流工程からワークの投入が開始され、リフロー処理が行われる。
【００５７】
運転モードの実行中に、待機モードへの切り替え命令（割り込み）が発生すると（ステップＳ６３）、モード切替部１１１が待機モードへの切り替え処理を行う（ステップＳ６４）。なお、待機モードへの切り替え命令（割り込み）は、たとえば、使用者により所定のスイッチが操作された場合や、予め設定された時刻（休憩開始時刻、シフト交替時刻など）になった場合に発生する。
【００５８】
ステップＳ６４の処理の詳細を図８に示す。モード切替部１１１は、記憶部１１０に記憶されている復帰時間の設定値ＲＴＳを読み込む（ステップＳ８０）。また、モード切替部１１１は、入力部１１５を介して、ＰＣ３００のモニタに入力画面を提示し、生産開始予定時刻ＳＴと余裕時間ＡＴの入力を受け付ける（ステップＳ８１、Ｓ８２）。生産開始予定時刻ＳＴは、リフロー炉１００へのワークの投入が再開される時刻である。また、余裕時間ＡＴは、復帰時間に付加されるマージン（付加時間）であり、使用者により任意の値を設定可能である。なお、生産開始予定時刻ＳＴと余裕時間ＡＴの入力は必須ではなく、予めこれらの値が設定されている場合や余裕時間を設けない場合にはステップＳ８１、Ｓ８２の処理は省略してもかまわない。
【００５９】
次に、モード切替部１１１は、運転モードへの切り替えを行う時刻を下記式のとおり決定する（ステップＳ８３）。余裕時間を設けない場合は、下記式の余裕時間ＡＴにはゼロを代入すればよい。
モード切替時刻＝生産開始予定時刻ＳＴ−（復帰時間の設定値ＲＴＳ＋余裕時間ＡＴ）
【００６０】
モード切替部１１１は、モード切替時刻と現在時刻とを比較し、もしモード切替時刻が現在時刻より前の時刻になっていたら（ステップＳ８４；ＮＯ）、生産開始予定時刻ＳＴか余裕時間ＡＴの入力に誤りがあるものとして、ステップＳ８１に処理を戻す。
【００６１】
モード切替時刻が確定したら、モード切替部１１１は、制御部１１２に対し待機モードへの切り替え指示を行う（ステップＳ８５）。制御部１１２は、窒素バルブの開度を調整して窒素ガスの供給を停止または低減し、リフロー炉１００を待機状態に設定する。これにより無駄なエネルギ消費が抑えられる。
【００６２】
その後、モード切替部１１１は、タイマにより現在時刻を監視し、モード切替時刻になるまで待機する（ステップＳ８６）。現在時刻がモード切替時刻に到達した時点で、モード切替部１１１は、制御部１１２に対し運転モードへの切り替え指示を行う（ステップＳ８７）。これにより制御部１１２による復帰処理が開始される。また、これと並列に、計測部１１３および更新部１１４による復帰時間の設定値ＲＴＳの更新処理が実行される（ステップＳ８８）。
【００６３】
図９に、復帰時間の設定値ＲＴＳの更新処理の詳細を示す。まず、計測部１１３は、タイマをスタートさせ、運転モードへの切り替えが行われた時点からの経過時間の計測を開始する（ステップＳ９０）。そして、計測部１１３は、管理項目である酸素濃度の値を監視する（ステップＳ９１）。管理項目の値が所定の管理値（４０００ｐｐｍ）に到達したら（ステップＳ９１；ＹＥＳ）、計測部１１３は、計測回数ｎに１を加算（インクリメント）して（ステップＳ９２）、計測値ＲＴｎにタイマ値を入力した後（ステップＳ９３）、タイマを停止しクリアする（ステップＳ９４、Ｓ９５）。
【００６４】
続いて、更新部１１４が、下記式により、ｎ回分の計測値ＲＴ１〜ＲＴｎの平均値ＲＴＡｎと、標準偏差σｎとを計算する（ステップＳ９６、Ｓ９７）。
【数１】
2014186656.tif 000003
なお、標準偏差σｎは、下記式により求めてもよい。
【数２】
2014186656.tif 000004
【００６５】
そして、更新部１１４は、ステップＳ９６、Ｓ９７で求めた平均値ＲＴＡｎと標準偏差σｎを用いて、下記式により復帰時間の新たな設定値ＲＴＳｎを計算する（ステップＳ９８）。Ｘは、任意に設定可能な定数であり、工程能力（つまりこの生産設備で保証すべき品質レベル）に応じて決定すればよい。本実施形態では、Ｘ＝３に設定する。
【数３】
2014186656.tif 000005
【００６６】
最後に、更新部１１４は、今回の更新処理で得られた計測値ＲＴｎ、平均値ＲＴＡｎ、標準偏差σｎ、設定値ＲＴＳｎを記憶部１１０に格納する（ステップＳ９９）。以上の処理によって、複数回分の実測値ＲＴ１〜ＲＴｎの統計値ＲＴＡｎ、σｎに基づいて、復帰時間の新たな設定値ＲＴＳｎが決定される。
【００６７】
（本実施形態の利点）
以上述べた本実施形態の省エネルギ制御によれば、次のような利点がある。すなわち、休憩やシフト交替などでオペレータが不在となる場合や段取り替えなどにより生産が一時的に止まる場合に、リフロー炉を待機モードに切り替えることで、無駄なエネルギ消費を抑えることができる。そして、生産開始予定時刻と復帰時間の設定値に基づき、運転モードへの切り替えを自動で行うので、生産開始予定時刻までにリフロー炉を生産可能状態に復帰させ、生産を再開することが可能となる。しかも、復帰時間の計測値を使って設定値を更新（学習）する機能を設けたので、リフロー炉を実稼働するなかで（つまり、オンラインで）復帰時間の設定値を自動で最適化することができる。運転条件や設置環境の違い、経年劣化などにより、同じリフロー炉でも復帰時間にばらつきが生じ得るが、本実施形態のように計測値に基づいて適宜設定値の更新を行うことで、適正な復帰時間を自動で設定することができる。
【００６８】
図１０は、本実施形態の方法で更新（学習）した復帰時間の設定値ＲＴＳｎを用いた場合のモード切替タイミングの一例を示している。図４に比べると、生産可能状態に復帰してから生産再開までの空転時間（Ｔ２−Ｔ１）が大幅に短縮されており、無駄なエネルギ消費が一層低減されていることがわかる。また、復帰時間の設定値ＲＴＳｎには、ｎ回分の計測値から求めた「＋Ｘσｎ」のばらつきが考慮されているので、殆どのケースにおいて、生産開始予定時刻Ｔ２までに状態復帰を完了することができる。しかも、使用者により設定された余裕時間（安全のためのマージン）も付加されているので、モード切替時の装置の状態が特異な場合など、稀なケースにおいても、生産開始予定時刻Ｔ２までの状態復帰および生産再開を確実に保証できる。
【００６９】
さらに本実施形態では、リフロー炉の構成や運転条件が変更された場合などに初期化処理を実行し、最初から復帰時間を学習しなおすようにしたので、妥当でない設定値に基づくモード切替が行われることを防ぐことができる。
【００７０】
（変形例）
上記実施形態では、待機モードにおいて窒素ガスの供給を停止もしくは低減する例を説明したが、待機モードにおいてヒータへの供給電力を停止もしくは低減する構成の場合も同様の制御が有効である。ヒータへの供給電力を停止もしくは低減することで炉内温度が低下した状態から、生産可能状態の温度（たとえば２３０℃）に復帰させるまでにある程度の時間を要するからである。この場合は、図９のステップＳ９１の判定処理は、管理項目である炉内温度（温度センサ２２の出力）が管理値（２３０℃）に到達したかどうかという判定処理に置き換わる。また、待機モードにおいて、窒素ガスの供給とヒータへの電力供給の両方を停止もしくは低減してもよい。この場合、図９のステップＳ９１では、酸素濃度と炉内温度の両方が管理値に到達したかどうかを判定することとなる。
【００７１】
上記実施形態では、待機モードへの切り替え命令（割り込み）が発生すると、直ちに待機モードを開始することを想定しているが、待機モードの開始タイミングを遅延させることも好ましい。たとえば、モード切替部１１１が、割り込みが発生してから所定時間（数
十秒から数分程度）経過後に、待機モードへの切り替えを行うのである。休憩の開始時などに使用者にスイッチを操作させるという運用を想定した場合、割り込み発生の時点（スイッチ操作が行われた時点）では炉内にワークが残留している可能性があり、直ぐに待機モードに切り替えると不良品を生んでしまう。そこで、モードの切り替えを所定時間遅延させることで、仕掛中のワークの処理が完了するのを待つのである。遅延時間は、一つのワークに対する処理時間と同程度に設定すればよい。あるいは、基板センサ２１の検出結果を用いて炉内のワークの有無を判定し、割り込み発生後に仕掛中のワークが無くなったことが確認された時点で、待機モードへの切り替えを実行するようにしてもよい。
【００７２】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態は、クリーンルームの省エネルギ制御に本発明を適用した例である。クリーンルームには、部屋全体の清浄を行う構成と、間仕切りにより囲まれた局所的な空間の清浄を行う構成（クリーンブースとも呼ばれる）とがあるが、本発明はいずれの構成にも適用可能である。
【００７３】
図１１は、第２実施形態のクリーンルーム（クリーンブース）の全体構成を示している。クリーンルーム４００は、製造装置４０１の周囲の環境（生産環境）を清浄に保つための設備であり、製造装置４０１の周囲に半密閉空間である製造室４０２を形成する透明シート（カーテン）４０３と、パーティクルセンサ４０４と、ファンフィルターユニット４０５と、制御装置としてのコントローラ４０６を備える。
【００７４】
透明シート４０３の下端は床面から所定の高さだけ離れており、製造室４０２の下端に開口部４０７が形成されている。また製造室４０２の上端（天井）には、ファンフィルターユニット４０５が取り付けられている。パーティクルセンサ４０４は、製造装置４０１のパスライン付近の環境を測定するように配置される。
【００７５】
ファンフィルターユニット４０５は、製造室４０２の外部から空気を取り込む送風機と、取り込まれた空気の塵埃（パーティクル）を除去するＨＥＰＡフィルタとを有している。ファンフィルターユニット４０５により製造室４０２の天井から清浄な空気が供給されると、製造室４０２内の空気が開口部４０７から流出する。このような換気によって製造室４０２の内部にパーティクルが侵入することが防止され、製造室４０２内の空気が清浄に保たれる。
【００７６】
このクリーンルーム４００も、第１実施形態のリフロー炉と同じように、運転モードと待機モードの切り替えによる省エネルギ制御が可能である。運転モードにおいては、コントローラ４０６がパーティクルセンサ４０４の出力に応じてファンフィルターユニット４０５に供給する電力を制御し、送風機の回転数、すなわち空気の流入量を調整することで、製造室４０２内のクリーン度を生産可能状態に維持する。たとえば、生産可能状態のクリーン度が「クラス１０，０００」である場合には、粒径範囲０．５μｍ〜５μｍであるパーティクルの数が、１立方フィート（１ｃｆ）あたり１０，０００個以下に維持される。
【００７７】
待機モードに切り替えられると、コントローラ４０６がファンフィルターユニット４０５への電力の供給を止めるか供給量を低下させる。これによりエネルギ消費が抑えられる。しかし、待機モードにおいては、清浄な空気の流入量が無くなるか減るために、製造室４０２内のクリーン度が低下する。それゆえ、生産開始予定時刻よりも前に運転モードへの切り替えを行い、生産開始予定時刻までにクリーン度を復帰させる必要がある。したがって、第１実施形態と同様の制御並びに復帰時間の設定値の更新処理を好適に適用可能である。この場合は、図９のステップＳ９１の判定処理は、管理項目であるクリーン度（パーティクルセンサの出力）が管理値（クラス１０，０００）に到達したかどうかという判
定処理に置き換わる。
【００７８】
以上述べた第２実施形態の構成の場合も、第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００７９】
＜その他の実施形態＞
上述した各実施形態の構成は本発明の一具体例を示したものにすぎず、本発明の範囲を限定する趣旨のものではない。本発明はその技術思想を逸脱しない範囲において、種々の具体的構成を採り得るものである。たとえば、上記実施形態では、リフロー炉とクリーンルームの省エネルギ制御を例示したが、これら以外の生産設備（たとえば、製造装置、加工装置、運搬装置、貯蔵装置、空調装置、照明装置など）に対しても本発明を適用することが可能である。また上記実施形態では、運転モードと待機モードの２つの動作モードしか説明していないが、他の動作モードを有していてもよい。また、図８のステップＳ８３では、生産開始予定時刻ＳＴから設定値ＲＴＳと余裕時間ＡＴの和（ＲＴＳ＋ＡＴ）を減じた値をモード切替時刻としたが、図９のステップＳ９９において余裕時間ＡＴが付加された設定値ＲＴＳ’（＝ＲＴＳ＋ＡＴ）を記憶部１１０に格納し、図８のステップＳ８３では生産開始予定時刻ＳＴから設定値ＲＴＳ’を減じることでモード切替時刻を計算しても同じ結果が得られる。
【００８０】
また上記実施形態では、記憶部１１０に蓄積された全ての（ｎ回分の）計測値ＲＴ１〜ＲＴｎの統計値を更新処理に用いているが、所定の期間に計測された計測値だけを抽出し、その抽出された一部の計測値だけを更新処理に用いることもできる。たとえば生産設備が経年劣化するにつれ、復帰時間が徐々に長く（または短く）なるといった変化が生じる可能性がある。そのような場合は、記憶部１１０に蓄積された全ての計測値を使うよりも、直近の１週間とか１ヶ月の最新の計測値だけを設定値ＲＴＳの更新に利用する方が、より適切な設定値を求めることが可能となる。また、気温や湿度、その他の周囲環境が復帰時間に影響を与え得る場合は、季節とか時間帯によって復帰時間が変化する可能性がある。そのような場合には、たとえば、昨年同時期の計測値を利用したり、同じ時間帯の計測値を利用したりすることで、適切な設定値ＲＴＳを決定できるものと期待される。
【符号の説明】
【００８１】
１１Ａ〜１１Ｎ：ヒータ
１３：不活性雰囲気室
１４：窒素ライン
１５：流量計
１６：窒素バルブ
１７：酸素濃度センサ
９０：ワーク
１００：リフロー炉
１０１：コントローラ
１１０：記憶部
１１１：モード切替部
１１２：制御部
１１３：計測部
１１４：更新部
１１５：入力部
１１６：初期化部
４００：クリーンルーム
４０１：製造装置
４０２：製造室
４０３：透明シート
４０４：パーティクルセンサ
４０５：ファンフィルターユニット
４０６：コントローラ
４０７：開口部
【図１】
2014186656.tif 000006
【図２】
2014186656.tif 000007
【図３】
2014186656.tif 000008
【図４】
2014186656.tif 000009
【図５】
2014186656.tif 000010
【図６】
2014186656.tif 000011
【図７】
2014186656.tif 000012
【図８】
2014186656.tif 000013
【図９】
2014186656.tif 000014
【図１０】
2014186656.tif 000015
【図１１】
2014186656.tif 000016