(57)【要約】      （修正有）【課題】パネル検査のため、すなわち画素欠陥およびライン欠陥検出のために、信頼できる再現可能な状態を維持し、それと同時にパネルの大規模な損傷を防ぐための技術を提供する。【解決手段】電子回路に電気的試験信号を印加するように構成されている回路駆動モジュールと、少なくとも該印加された電気的試験信号に基づいて該電子回路の欠陥を識別するように構成されている欠陥検出モジュールと、該電子回路において該電気的試験信号を測定するように構成されている信号監視モジュールと、該信号監視モジュール並びに該回路駆動モジュールと連動し、該電子回路で測定された該電気的試験信号に基づいて、少なくとも該回路駆動モジュールを制御するように構成されている制御モジュールとを組み込んだ、該電子回路の欠陥を認識するための装置に関係する。【選択図】図１
2014209100.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子回路の欠陥を識別するための装置であって、
ａ．電気的試験信号を前記電子回路に印加するように構成されている回路駆動モジュールと、
ｂ．少なくとも前記印加された電気的試験信号に基づいて、前記電子回路の欠陥を識別するように構成されている欠陥検出モジュールと、
ｃ．前記電子回路において前記電気的試験信号を測定するように構成されている信号監視モジュールと、
ｄ．前記信号監視モジュールおよび前記回路駆動モジュールと連動し、前記電子回路において測定された前記電気的試験信号に基づいて、少なくとも前記回路駆動モジュールを制御するように構成されている制御モジュールとを含んでなる、装置。
【請求項２】
前記電気的試験信号がフォースラインを通して前記電子回路に印加され、前記信号監視モジュールが前記フォースラインにおいて前記電気的試験信号を測定する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記信号監視モジュールが、前記電子回路に電気的に接続された戻りラインにおいて前記電気的試験信号を測定する、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記信号監視モジュールが、前記電気的試験信号の電圧を測定する、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記制御モジュールが、前記信号監視モジュールによって測定された前記電気的試験信号の電圧に基づいて、前記回路駆動モジュールの出力電圧を制御する、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記信号監視モジュールが、前記電気的試験信号の電流を測定する、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記制御モジュールが、前記信号監視モジュールによって測定された前記電気的試験信号の電流に基づいて、前記回路駆動モジュールの出力電流を制御する、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記制御モジュールが、追加的に前記欠陥検出モジュールの出力に基づいて、前記回路駆動モジュールを制御する、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記制御モジュールが、所定のパラメーターの範囲内で、前記回路駆動モジュールの少なくとも１つのパラメーターを制御する、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記制御モジュールが、前記回路駆動モジュールによって前記電子回路に印加された前記電気的試験信号におけるドリフトを補償するため、前記回路駆動モジュールの少なくとも１つのパラメーターを制御する、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
前記制御モジュールが、前記電子回路の少なくとも１つの状態の変化を補償するため、前記回路駆動モジュールの少なくとも１つのパラメーターを制御する、請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
前記制御モジュールが、前記電子回路において測定された前記電気的試験信号に基づいて、前記欠陥検出モジュールを追加的に制御する、請求項１に記載の装置。
【請求項１３】
前記信号監視モジュールが、前記電子回路において前記電気的試験信号を連続的に測定するように構成されている、請求項１に記載の装置。
【請求項１４】
電子回路の欠陥を識別するための装置であって、
ａ．電気的試験信号を前記電子回路に印加するように構成されている回路駆動モジュールと、
ｂ．少なくとも前記印加された電気的試験信号に基づいて、前記電子回路の欠陥を識別するように構成されている欠陥検出モジュールと、
ｃ．前記電子回路において前記電気的試験信号を測定するように構成されている信号監視モジュールと、
ｄ．前記信号監視モジュールと連動し、かつ前記測定された電気的試験信号を分析し、前記電子回路に損傷が生じたか否かを判定するように構成されている信号分析モジュールとを含んでなる、装置。
【請求項１５】
前記電気的試験信号がフォースラインを通して前記電子回路に印加され、前記信号監視モジュールが前記フォースラインにおいて前記電気的試験信号を測定する、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記信号監視モジュールが、前記電子回路に電気的に接続された戻りラインにおいて前記電気的試験信号を測定する、請求項１４に記載の装置。
【請求項１７】
前記信号監視モジュールが、前記電気的試験信号の電圧を測定する、請求項１４に記載の装置。
【請求項１８】
前記信号監視モジュールが、前記電気的試験信号の電流を測定する、請求項１４に記載の装置。
【請求項１９】
電子回路の欠陥を識別するための方法であって、
ａ．電気的試験信号を前記電子回路に印加することと、
ｂ．少なくとも前記印加された電気的試験信号を使用して、前記電子回路の欠陥を識別することと、
ｃ．前記電子回路において前記電気的試験信号を測定することと、
ｄ．前記電子回路において測定された前記電気的試験信号に基づいて、前記電子回路に印加された前記電気的試験信号を制御することと、を含んでなる、方法。
【請求項２０】
前記電気的試験信号がフォースラインを通して前記電子回路に印加され、前記フォースラインにおいて前記電気的試験信号が測定される、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記電気的試験信号が、前記電子回路に電気的に接続された戻りラインにおいて測定される、請求項１９に記載の方法。
【請求項２２】
前記電気的試験信号の測定が、前記電気的試験信号の電圧を測定することを含んでなる、請求項１９に記載の方法。
【請求項２３】
前記電気的試験信号の測定が、前記電気的試験信号の電流を測定することを含んでなる、請求項１９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般的に電子装置の電気検査に関し、特に硬質および可撓性の液晶（ＬＣ）並びに有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）ディスプレイの検査、並びに該検査および欠陥検出に使用されるシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルは電場依存光変調特性を示す液晶を組み込んでいる。該パネルは、ファックス機器、携帯電話、タブレットコンピュータ画面およびラップトップコンピュータ画面から大型画面、高画質テレビに至る多種の装置において、画像や他の情報を表示するのに頻繁に使用されている。アクティブマトリックスＬＣＤパネルは、いくつかの機能層、つまり：１つまたはそれ以上の偏光膜の層；薄層トランジスタ、記憶キャパシタ、画素電極、およびブラックマトリックス並びにカラーフィルターを組み込んだカラーフィルターガラス基盤と透明共通電極との間を配線する相互接続線を組み込んだＴＦＴガラス基盤；ポリイミド製の配向膜；および適切なＬＣＤセルの厚さを維持するためにプラスチック／ガラスのスペーサーを組み込んだ実際の液晶素材で構成される複層構造体である。
【０００３】
ＬＣＤパネルは、収率を最大限に上げるため、クリーンルーム環境の極めて高い管理条件下で製造される。それにも拘らず、いくつかのＬＣＤは、組み立て製品中の製造欠陥の故に廃棄されなければならない場合がある。
【０００４】
ＬＣＤパネル製造収率を改善するため、ＬＣＤパネルの全製造過程中に、複数の検査および修理工程が実施される。その中で最も重要な検査工程の一つがアレイ試験、つまりＴＦＴアレイ製造工程の終わりに行われる電気検査工程である。
【０００５】
ＬＣＤ製造業者が現在市場で入手可能な従来のアレイ試験技術がいくつか存在するが、その中で最も広範に利用されているのが電気光学変換器（変調器）を用いた電気ＬＣＤ検査であり、例えば、米国特許第４，８９３，９１１号に記載されている（参照によりその全体が本明細書に援用される）。このタイプのＬＣＤ検査装置の代表的な例は、米国カリフォルニア州サンホセに本拠を置くオルボテック社のフォトンダイナミクス社から商業的に入手可能なアレイチェッカーである。特に、前述のアレイチェッカー検査システムは「ＶＯＬＴＡＧＥ  ＩＭＡＧＩＮＧ（商標）」と呼ばれる方法を採用しているが、これは各ＴＦＴアレイ画素の電圧を測定するように構成されている反射型液晶ベースの変調器を利用する。アレイチェッカーでＴＦＴアレイを検査する場合、駆動電圧パターンが、試験パターン発生器サブシステムによって試験対象のＴＦＴアレイに印加され、その結果得られるパネル画素電圧が、試験対象のＴＦＴアレイの近く（通常約５０ミクロン）に前述の電気光学変調器を配置し、それを高電圧の方形波電圧パターン下に置くことによって測定される。例えば、変調器に印加される高電圧の該方形波電圧パターンの振幅は３００Ｖ、周波数は６０Ｈｚであり得る。試験下のＴＦＴアレイ画素に近接しているが故に、印加された駆動電圧によって該検査システムの電気光学変調器全体に亘って電位が形成され、その電位が、該変調器の液晶の電場依存空間配位を強制的に変化させ、その結果、該変調器全体に亘って、光透過が局所的に変化する。言い換えれば、変調器の光透過が、その近くのアレイ画素の電圧を表すようになる。変化した変調器の透過を調べるため、該変調器を光のパルスで照明し、パネル電圧下にある該変調器で反射した光を、得られた画像の獲得およびディジタル化を行う電圧撮像光学サブシステム（ＶＩＯＳ）上に撮像する。前述の光パルスの持続期間は、例えば、１ミリ秒である。生の電圧画像をＬＣＤ画像マップに変換し、該マップを使って欠陥を検出する代表的なシステムおよび方法が、米国特許第７，２１２，０２４号に記載されている（参照によりその全体が本明細書に援用される）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来の検査技術によれば、検査中、試験対象のＴＦＴパネルに印加される駆動電圧は連続的に監視または制御されるわけではないので、試験パターン発生器サブシステムにおける何らかのドリフトまたはシステムの変化あるいはパネル状態の変化の結果、その後に来るＴＦＴパネルが、異なる状態下で検査されたり、検査工程中に知らないうちに損傷を受けたりすることになり得る。リアルタイムの監視がなければ、パネルが製造のセル工程に到達するまで、欠陥検出の正確性および再現性への変化が気付かれないことになる。セル工程で問題が検出されたときには、何千ものパネルが損傷を受けたり、最適ではない状態下で検査されたりする場合が生じ、その結果、製造業者にとっては経済的な損失が生じる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の方法は、上述の問題の１つまたはそれ以上、並びに従来の電気回路検査技術に関連する他の問題を実質的に排除する方法およびシステムに関する。
【０００８】
本明細書の実施形態の１つの態様によれば、電子回路の欠陥を識別するための装置であって、電気的試験信号を電子回路に印加するように構成されている回路駆動モジュールと、少なくとも印加された電気的試験信号に基づいて、電子回路の欠陥を識別するように構成されている欠陥検出モジュールと、電子回路において電気的試験信号を測定するように構成されている信号監視モジュールと、信号監視モジュールおよび回路駆動モジュールと連動し、電子回路において測定された電気的試験信号に基づいて、少なくとも回路駆動モジュールを制御するように構成されている制御モジュールと、を含む装置が提供される。
【０００９】
１つまたはそれ以上の実施形態では、電気的試験信号がフォースラインを通して電子回路に印加され、信号監視モジュールがフォースラインにおいて電気的試験信号を測定する。
【００１０】
１つまたはそれ以上の実施形態では、信号監視モジュールが、電子回路に電気的に接続された戻りラインにおいて電気的試験信号を測定する。
【００１１】
１つまたはそれ以上の実施形態では、信号監視モジュールが電気的試験信号の電圧を測定する。
【００１２】
１つまたはそれ以上の実施形態では、制御モジュールが、信号監視モジュールによって測定された電気的試験信号の電圧に基づいて、回路駆動モジュールの出力電圧を制御する。
【００１３】
１つまたはそれ以上の実施形態では、信号監視モジュールが、電気的試験信号の電流を測定する。
【００１４】
１つまたはそれ以上の実施形態では、制御モジュールが、信号監視モジュールによって測定された電気的試験信号の電流に基づいて、回路駆動モジュールの出力電流を制御する。
【００１５】
１つまたはそれ以上の実施形態では、制御モジュールが、追加的に欠陥検出モジュールの出力に基づいて、回路駆動モジュールを制御する。
【００１６】
１つまたはそれ以上の実施形態では、制御モジュールが、所定のパラメーターの範囲内で、回路駆動モジュールの少なくとも１つのパラメーターを制御する。
【００１７】
１つまたはそれ以上の実施形態では、制御モジュールが、回路駆動モジュールによって電子回路に印加された電気的試験信号におけるドリフトを補償するため、回路駆動モジュールの少なくとも１つのパラメーターを制御する。
【００１８】
１つまたはそれ以上の実施形態では、制御モジュールが、電子回路の少なくとも１つの状態の変化を補償するため、回路駆動モジュールの少なくとも１つのパラメーターを制御する。
【００１９】
１つまたはそれ以上の実施形態では、制御モジュールが、電子回路において測定された電気的試験信号に基づいて、欠陥検出モジュールを追加的に制御する。
【００２０】
１つまたはそれ以上の実施形態では、信号監視モジュールが、電子回路において電気的試験信号を連続的に測定するように構成されている。
【００２１】
本明細書の実施形態の別の態様では、電子回路の欠陥を識別するための装置であって、電気的試験信号を前記電子回路に印加するように構成されている回路駆動モジュールと、少なくとも印加された電気的試験信号に基づいて、電子回路の欠陥を識別するように構成されている欠陥検出モジュールと、電子回路において電気的試験信号を測定するように構成されている信号監視モジュールと、信号監視モジュールと連動し、かつ測定された電気的試験信号を分析し、電子回路に損傷が生じたか否かを判定するように構成されている信号分析モジュールと、を含む装置が提供される。
【００２２】
１つまたはそれ以上の実施形態では、電気的試験信号がフォースラインを通して電子回路に印加され、信号監視モジュールがフォースラインにおいて電気的試験信号を測定する。
【００２３】
１つまたはそれ以上の実施形態では、信号監視モジュールが、電子回路に電気的に接続された戻りラインにおいて電気的試験信号を測定する。
【００２４】
１つまたはそれ以上の実施形態では、信号監視モジュールが、電気的試験信号の電圧を測定する。
【００２５】
１つまたはそれ以上の実施形態では、信号監視モジュールが、電気的試験信号の電流を測定する。
【００２６】
本明細書の実施形態の別の態様では、電子回路の欠陥を識別するための方法であって、電気的試験信号を電子回路に印加することと、少なくとも印加された電気的試験信号を使用して、電子回路の欠陥を識別することと、電子回路において電気的試験信号を測定することと、電子回路において測定された電気的試験信号に基づいて、電子回路に印加された電気的試験信号を制御することと、を含む方法が提供される。
【００２７】
１つまたはそれ以上の実施形態では、電気的試験信号がフォースラインを通して電子回路に印加され、フォースラインにおいて電気的試験信号が測定される。
【００２８】
１つまたはそれ以上の実施形態では、電気的試験信号が、電子回路に電気的に接続された戻りラインにおいて測定される。
【００２９】
１つまたはそれ以上の実施形態では、電気的試験信号の測定が、電気的試験信号の電圧を測定することを含む。
【００３０】
１つまたはそれ以上の実施形態では、電気的試験信号の測定が、電気的試験信号の電流を測定することを含む。
【００３１】
本発明に関連する追加の態様は、部分的には以下に説明され、部分的には以下の説明から明白であり、あるいは本発明の実践によって学習可能である。本発明の態様は、種々の要素、種々の要素の組み合わせ、特に以下の詳細な説明および添付の請求項で指摘された態様によって実現および達成可能である。
【００３２】
前述および以下の説明は例示的かつ説明的なものにすぎず、請求項に係る発明またはその応用を如何なる形でも制限するものでないことは了解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
本明細書に援用されその一部を構成する添付の図面は、本発明の実施形態を例示するものであり、本明細書の記載と合わせて、本発明の技術の原理を説明および例証するものである。特に、以下の通りである。
【図１】図１は、検査システムと試験対象のディスプレイパネルの間のフォースラインまたはセンスラインの信号の監視に基づいて、試験パターン発生器ドリフト補償を行うシステムの例示的実施形態である。
【図２】図２は、検査システムと試験対象のディスプレイパネルの間のフォースラインまたはセンスラインの信号の監視に基づいて、試験パターン発生器ドリフト補償を行うシステムの別の例示的実施形態並びに閉ループ制御機構である。
【図３】図３は、試験対象に印加される典型的な電圧方形波、フォースラインで測定された電流並びに損傷したディスプレイパネルトレースの例を示している。
【図４】図４は、制御ループの例示的実施形態を単純化して示した構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
発明を実施するための以下の形態では、添付の図面が参照されるが、同一の機能要素には同一の符号が付されている。前述した添付の図面は、本発明の原理に基づいて特定の実施形態および実施を示しているが、それらは例示的なものであり、限定的なものではない。かかる実施は、当業者が本発明を実施できるように十分詳細に記載されており、しかも他の実施が利用可能であること、また、本発明の趣旨と範囲から逸脱することなく、種々の要素の構造的変更および／または代替が行えることは、了解されるべきである。従って、発明を実施するための以下の形態は限定的に解釈されるべきではない。加えて、本明細書に記載された本発明の種々の実施形態は、汎用コンピューターで実行されるソフトウェア、特化されたハードウェア、あるいはソフトウェアとハードウェアのあらゆる組み合わせで実施可能である。
【００３５】
本発明の種々の態様は、パネル検査のため、すなわち画素欠陥およびライン欠陥検出のために、信頼できる再現可能な状態を維持し、それと同時にパネルの大規模な損傷を防ぐための技術を提供する。かかる制御や監視がなければ、その後に来るパネルは、異なる状態下で検査されたり、検査工程中に知らないうちに損傷を受けたりすることになり得る。リアルタイムの監視がなければ、パネルが製造のセル工程に到達するまで、欠陥検出の正確性および再現性への変化が気付かれないことになる。セル工程で問題が検出されたときには、何千ものパネルが損傷を受けたり、最適ではない状態下で検査されたりする場合が生じ、その結果、製造業者にとっては経済的な損失が生じる。
【００３６】
本明細書に記載された概念の種々の実施形態において、検査システム用の閉ループ制御機構および試験対象のディスプレイをリアルタイムで監視する方法が提供される。本明細書に記載された本発明の概念は、ＬＣＤおよびＯＬＥＤを含むあらゆるタイプのディスプレイ、しかも硬質のディスプレイおよび可撓性のディスプレイの両方に応用可能である。更に、本発明の実施形態は、ディスプレイに使用されるａ−Ｓｉ、ＬＴＰＳ、ＩＧＺＯなどのバックプレーン技術とは独立している。
【００３７】
１つまたはそれ以上の実施形態では、試験対象のディスプレイの監視は二つの方法、すなわち本明細書記載の「フォースライン」監視技術および「センスライン」監視技術のいずれかを使って実行できる。更に、閉ループ制御は、パネル試験条件をダイナミックに調整するため、システムの種々の測定値、例えば検査場所の電圧、欠陥コントラストなどをループ制御用の入力データとして使用することにより設定できる。
【００３８】
フォースライン監視技術の１つまたはそれ以上の実施形態では、試験対象のパネルに送られるアナログ駆動信号の出力で測定が行われる。かかる信号は、通常「フォースライン」と呼ばれる信号経路を経てパネルに送られる。試験中連続的にフォースラインを監視することにより、アナログ駆動チャンネル出力をリアルタイムで調整することができ、それによって試験パターン発生器サブシステムにおける何らかのドリフトまたはパネル状態の変化を補償する。その結果、はるかに安定なパネル駆動状態が、全ての検査パネルにもたらされる。
【００３９】
当業者に認識されている通り、試験パターン発生器サブシステムに何らかのドリフトが存在するならば、前述の制御および監視がない場合には、その後のパネルは僅かに異なる駆動状態の下で試験されることになり得る。一方、以下に詳細に記載される閉ループ制御を実施するならば、全てのパネルの検査が、可能な限り実質的に同一の駆動状態の下で行われるようになるであろう。
【００４０】
一方、センスライン監視技術の実施形態では、試験対象のパネルに接続された戻りラインで測定が行われる。この戻りラインは通常「センスライン」と呼ばれる。このセンスラインを監視することにより、試験対象のディスプレイパネルの特性変化が検出できる。試験対象のディスプレイパネルの変化は、例えば、パネル内のコンタクトパッドの焼損、試験パターン発生器サブシステム内のドリフトなどの故障によって生じ得る。
【００４１】
前述のフォースライン監視技術を以下に更に詳細に記載する。１つまたはそれ以上の実施形態において、同じタイプの監視がセンスラインを使って実施できるが、その場合、検査システムを試験対象のパネルに接続するための追加の信号経路が必要になる。一方、フォースライン監視は、前述した信号経路を追加する必要なしに、センスライン監視と同じ効果を提供する。前述した通り、フォースライン監視かセンスライン監視がなければ、試験対象のパネルを破損しつつある未検出の故障が試験パターン発生器サブシステムに存在する場合、検査対象になっている全パネルが破損されることになる。試験パターン発生器サブシステムが故障している場合、本明細書記載の実施形態はその破損を１つのパネルに止めることができ、それによって製造業者は重大な損失から免れる。
【００４２】
１つまたはそれ以上の実施形態では、本明細書記載のリアルタイム監視および閉ループ制御は、壊滅的パネル損傷検出、適応型パネル駆動、反復型システムチューニング、システムドリフト補償および自動レシピチューニング用に適合させる。
【００４３】
１つまたはそれ以上の実施形態では、図１に示されているように、検査システムと試験対象パネルとの間のフォースラインまたはセンスライン上で信号を監視することにより、システムドリフト補償は達成される。図１において、フォースライン（１０４）は、パネルを検査しながら監視できる。プログラム可能装置（１０１）は、システムユーザーが提供するレシピ入力に基づいて、ＤＡ変換器（ＤＡＣ  １０２）と増幅回路（ＡＭＰ  １０３）の出力を望ましいレベルに設定する。パネル駆動中、電圧測定回路（１０５）および電流測定回路（１０６）を使って、適切な電圧および電流がそれぞれ得られているかどうかをフォースライン（１０４）で監視する。上述の二つの回路は、マルチプレクサ（ＭＵＸ  １０７）およびＡＤ変換器（ＡＤＣ  １０８）を経てプログラム可能装置（１０１）に接続されている。ＡＤＣ１０８は、測定されたアナログ信号をディジタル・ドメインに変換し、ＭＵＸ１０７は、複数のフォースライン（１０４）をプログラム可能装置（１０１）が監視できるようにする。フォースライン（１０４）で測定された電圧または電流がユーザー指定の値から逸脱し始めたら、例えば１つまたはそれ以上のルックアップテーブル（ＬＵＴ  １０９）を使って、電流値および電圧値の一方または両方が該ユーザー指定値に戻るまで自動的にそれらの値を増大または減少させ、それによって駆動信号を制御するように、プログラム可能装置（１０１）は構成されている。
【００４４】
１つまたはそれ以上の実施形態では、電圧と電流は、プログラム可能装置（１０１）によって、所定の調整範囲内でのみ自動的に調整可能であるというように、ユーザーは所定の制御制限を設定できる。もしフォースライン（１０４）で測定された電圧または電流がユーザー指定の最小値外または最大値外になった場合、それは壊滅的パネル破損を示している可能性がある。かかる壊滅的パネル破損には、検査システム内のレシピ不良設定またはハードウェアの不良によって生じる、試験対象パネル内のコンタクトパッド焼損や短絡の発生などが含まれる。いずれの場合も、かかるパネル損傷の結果、試験パターン発生器サブシステムからパネルへ大量の電流が流れることになる。電流測定回路（１０６）がフォースライン（１０４）上でかかる大量の電流を検出した場合、システムは警報を鳴らし検査プロセスを遮断するように構成されている。その結果、損傷は１つのパネルに止められ、検査システム内に不良なレシピ設定または不良なハードウェアが存在する可能性があることが操作者に警告される。
【００４５】
１つまたはそれ以上の実施形態では、試験パターン発生器サブシステムとシステムの検査ヘッドの間に設置される閉ループ制御機構が提供される（図２を参照）。閉ループ制御機構は、パネルで行われた実際の検査測定に基づいてフィードバックを提供できる。かかる測定の例には、限定されないが、検査場所における平均電圧および検査画像に検出されるある種の欠陥タイプが含まれる。受け取った測定結果は、パネルに印加される試験パターンの調整（「適応パネル駆動」と呼ばれる）並びにパネル試験結果に基づく検査レシピのオートチューニングに使用される。
【００４６】
前述の閉ループ制御機構の例示的な実施形態を図２に示す。図示されている制御機構の例示的な実施形態は、パネル検査結果（２１０）を収集し、かかる結果をプログラム可能装置（１０１）に送ることにより機能する。プログラム可能装置（１０１）はＤＡＣ（１０２）を使って、ＡＭＰ（１０３）の出力を増分によって変更し、それによりパネル検査結果（２１０）を修正する。１つまたはそれ以上の実施形態では、１つまたは複数のパネルについて、望ましいパネル検査結果（２１０）が達成されるまで、このプロセスを反復できる。
【００４７】
リアルタイム・フォースライン検査
本明細書記載の技術の１つまたはそれ以上の実施形態では、パネル検査プロセス中に生じる可能性のあるディスプレイパネル短絡の検出機能が提供される。かかる損傷を検出するための１つの例示的技術は、ディスプレイパネルを試験しながらフォースライン電流測定回路を監視することである。特に、図３は、容量性負荷または試験対象パネルに印加される典型的な電圧方形波（３０１）の例を示している。方形波は、二つまたはそれ以上の公称正電圧または負電圧の間で切り換えることができる。この例の場合、方形波（３０１）は、０ｖと公称最大正電圧Ｘｖの間で切り換わっている。通常のパネル駆動中、フォースラインで測定される電流は予測可能かつ反復可能な形（３０２）を有しているべきである。電圧が正に切り換えられると、電流は操作者が規定する限界設定ＹｍＡまで急速に上昇する。電圧が安定すると、電流は徐々に０ｍＡまで減少するが、電圧はＸｖに維持される。この行動は、パターン中の各電圧パルスについて反復される。パネルの損傷が生じると、この電流トレースは顕著に異なるものとなる。損傷したパネル電流トレース（３０３）は、予期されるフォースラインからの電流測定値からパネル短絡へ移行する様子を示している。初期電圧パルスの後で徐々に０ｍＡに戻る代わりに、該チャンネルは、該電圧パルスの持続期間中、操作者が規定した電流限度の電圧を出力し続ける。電流はパルスが停止したときに初めて０ｍＡに戻る。この場合、プログラム可能装置１０１は、該チャンネルが電流限界値で長期間作動していることを、電流測定回路を通して検出する。プログラム可能装置は該駆動チャンネルを遮断し、システムに警告を発する。かかる警告は損傷したパネルの存在を操作者に知らせ、ハードウェアに故障があるのでシステムを調べるように勧め、パターンチューニングを変更するように促す。ところで、通常のシステムには多くの独立したチャンネルが存在するが、全ての監視がチャンネルごとに行われるべきである。上述したように、システム内のチャンネルは、各々独立して監視および制御される。
【００４８】
閉ループ制御
本明細書記載の技術の１つまたはそれ以上の実施形態では、検査システムを閉ループ制御モードで操作する機能が提供される。この操作モードでは、システムは検査結果を制御ループの入力として使用できる。システムが測定値中にドリフトを検知し始めたら、制御ループはドリフトを補償するために１つまたはそれ以上の検査パラメーターを変更し、反復可能かつ再現可能な検査状態にシステムを戻すことができる。図４は、制御ループの例示的実施形態の構成図を単純化した形で示している。図示された例に於いて、検査ヘッド（４０１）は、試験対象の装置（４０２）の能動検査を行う。検査ヘッド（４０１）は、データの収集および収集されたデータの解釈を行うデータ処理装置（４０３）に接続されている。データ処理装置（４０３）は、結果をリアルタイムで操作者に提供し、システムドリフトの監視用として使用する目的で、経時的に集められた代表的データを保管する。データ処理装置（４０３）はプログラム可能装置（４０４）に接続されている。プログラム可能装置（４０４）は、データ処理装置（４０３）によって経時的に集められたデータを解釈し、システムがドリフトしているか否かを判定する。システムドリフトが検出された場合、プログラム可能装置（４０４）は任意の数のサブシステム供給ユニット（４０５、４０６）の出力を変更し、システムドリフトを相殺し、システムを安定した操作モードに戻すことができる。図４は、パネル駆動状態（例えば、駆動電圧、電流、パルス幅等）を調整できるサブシステム供給ユニット１（４０５）およびセンサーの状態（例えば、センサーバイアス電圧、照明強度等）を調整できるサブシステム供給ユニット２（４０６）を示している。図示していないが、プログラム可能装置（４０４）をチューニング型追加サブシステムに接続するように制御ループを設定することができ、例えば、Ｘ、ＹおよびＺ運動軸を検査結果に基づいて調整し運動システム内でドリフトを補償することができるステージモーションサブシステムなどがそれに該当する。１つまたはそれ以上の実施形態では、独立したチャンネルおよびサブシステム供給ユニットの複数セットがシステムには含まれている。閉ループ制御機能は、個々のフィードバックまたは共通のフィードバックに基づき、かかるグループの全てを修正できる。
【００４９】
ところで、本明細書記載の本発明の技術は、ディスプレイパネルの検査にのみ限定されるものではない。本発明の概念の実施形態は、限定されないが、回路基板（ＰＣＢ）や半導体回路（例えばウェーハー）等の他の電子装置並びに他の類似の装置の検査にも利用可能である。
【００５０】
最後に、本明細書記載のプロセスおよび技術は特定の装置にのみ関係しているものではなく、構成要素の任意かつ適切な組み合わせによっても実行可能であることは、了解されるべきである。更に、種々のタイプの汎用装置が、本明細書記載の教示に従って使用可能である。また、本明細書記載の方法および工程を実行するのに、特化された装置を構築するのが有利な場合もある。本発明は特定の実施例に関連して記載されているが、それらの実施例は、あらゆる点で、限定的というよりはむしろ例示的なものにすぎない。ハードウェア、ソフトウェアおよびファームウェアの種々異なる組み合わせが本発明の実践に適していることは、当業者には明白であろう。
【００５１】
更に、本発明の他の実施も、本明細書に記載されている本発明の明細および実施を考慮すれば、当業者には明白であろう。上記実施形態の種々の態様および／または構成要素は、検査システムにおいて、単独でも、あるいは任意の組み合わせでも使用可能である。明細書の記述および実施例は例示的なものにすぎず、本発明の真の趣旨および範囲は、以下の特許請求の範囲に記載されている。
【図４】
2014209100.tif 000003
【図１】
2014209100.tif 000004
【図２】
2014209100.tif 000005
【図３】
2014209100.tif 000006
【外国語明細書】
2014209100000001.pdf