(57)【要約】【課題】大量の画像データを、高速転送速度で記録し、全体を俯瞰しながら、各部の詳細画像データを確認する。【解決手段】複数の撮影領域に分割された全撮影領域から、第１の速度で連続して順次取得される第１の解像度を有する画像ファイルデータを、第１の速度以上の第２の速度でディスクアレイに保存する第１の画像データ保存手段と、画像ファイルデータを、第１の解像度より低い第２の解像度に変換して、第１の圧縮画像データを順次生成する第１の圧縮画像データ生成手段と、全撮影領域のプレビューイメージを生成する圧縮画像データマッピング合成手段と、それを表示する第１の画像表示手段と、プレビューイメージに対して、第１の圧縮画像データ毎に選択するプレビューイメージ選択受付手段と、選択された第１の圧縮画像データに対応する画像ファイルデータを表示する第２の画像表示手段と、を備えることを特徴とする蛍光画像観察装置。【選択図】図１
2014182034.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の撮影領域に分割された全撮影領域から、第１の速度（ｔ１）で連続して順次取得される第１の解像度（ＰＳ１）を有する前記撮影領域毎の画像ファイルデータ（Ｄｆｉｌ）を、前記第１の速度以上の第２の速度（ｔ２）でディスクアレイに保存する第１の画像データ保存手段（Ｕ４、ＲＡＩＤ）と、
前記画像ファイルデータ（Ｄｆｉｌ）を、前記第１の解像度より低い第２の解像度に変換して、第１の圧縮画像データ（Ｄｐｉ）を順次生成する第１の圧縮画像データ生成手段（Ｕｅｘｐ）と、
順次生成される前記第１の圧縮画像データ（Ｄｐｉ）をマッピング合成して、前記全撮影領域のプレビューイメージを表す第２の圧縮画像データ（Ｄｐｉａ）を生成する圧縮画像データマッピング合成手段（ＵＣ）と、
前記第２の圧縮画像データ（Ｄｐｉａ）に基づいて、前記プレビューイメージを表示する第１の画像表示手段（Ｕｖｉｐ）と、
前記表示されたプレビューイメージに対して、前記第１の圧縮画像データ（Ｄｐｉ）毎に選択を受け付けるプレビューイメージ選択受付手段（Ｓ２２）と、
前記プレビューイメージ選択受付手段で選択された前記第１の圧縮画像データ（Ｄｐｉ）に対応する前記画像ファイルデータ（Ｄｆｉｌ）を前記ディスクアレイから取得し表示する第２の画像表示手段（Ｕｖｉｇ）と、
を備えることを特徴とする蛍光画像観察装置。 
【請求項２】
前記選択された前記第１の圧縮画像データ（Ｄｐｉ）に対応する前記画像ファイルデータ（Ｄｆｉｌ）を解像度（ＰＳ１）を減じること無く圧縮して第３の圧縮画像データ（Ｄｒｉ）を生成する第２の圧縮画像データ生成手段（Ｕｅｘｒ、ＭＭ）と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載された蛍光画像観察装置（Ａｆｏ）。 
【請求項３】
前記全撮影領域から新たに前記画像ファイルデータを得る際には、前記ディスクアレイ中の前記画像ファイルデータ（Ｄｆｉｌ）を全て削除する削除手段をさらに有することを特徴とする請求項１または２の何れかの請求項に記載された蛍光画像観察装置（Ａｆｏ）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定物の蛍光画像をデジタル画像データとして保存できる、より詳述すれば蛍光画像の高解像度且つ大量のデジタル画像データを高速に得ると共に保存し、測定物の全体像の観察および、特定箇所の画像データの表示ができる、蛍光画像観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、露光が困難な対象物を撮影する用途に、ＴＤＩ（Ｔｉｍｅ  Ｄｅｌａｙ  Ｉｎｔｅｒｇｒａｔｉｏｎ）カメラが用いられている。ＴＤＩカメラは、高速移動体を撮影して、高感度でぶれない画像を得ることができ、また隙間なく連続撮影を行うことによりミクロン単位の高解像度の画像を得ることができる。
【０００３】
ＴＤＩカメラは、高速性、高感度、及び高解像度の３要素を同時に実現できるデバイスであり、生産工程におけるシリコンウェハー上に形成されるパターンの品質判定の元となる画像取得の用途にＴＤＩカメラを用いて取得された対象パターンの蛍光画像を観察することが考えられる。
【０００４】
図６及び図７に特許文献１及び特許文献２によって提案されたＴＤＩカメラを用いた蛍光画像取得装置を例示する。図６の蛍光画像取得装置は、試料ステージ１５と、試料Ｓの蛍光観察画像として第１の方向（図中、Ｘ方向又はＹ方向）を長手方向とする画像を取得する撮像装置３１を含む画像取得部３０Ａと、励起光を供給する励起光源４０と、試料Ｓに対する励起光の照射領域を整形するためのシリンドリカルレンズ系を含む励起光照射光学系４１とを備えている。
【０００５】
ＸＹステージである試料ステージ１５により、撮像装置３１によって試料Ｓが第１の方向と直交する第２の方向（図中、Ｙ方向又はＸ方向）に走査されるように試料ステージ１５と画像取得部３０Ａとの位置関係を調整する。励起光照射光学系４１は、試料Ｓでの照射領域と撮像装置３１による撮像領域とで長軸方向が互いに一致し、照射領域が撮像領域と同じか、撮像領域よりも狭くなるように構成されている。これにより、撮像領域に対応する視野外に余分な励起光の照射及び、試料Ｓにおける退色発生の防止を図っている。
【０００６】
図７の蛍光画像取得装置は、図６の蛍光画像取得装置における画像取得部３０Ａに画像補正処理部７５及び補正データ記憶部７６が追加されて画像取得部３０Ｂとして構成されている。補正データ記憶部７６は、ミクロ用撮像装置３１によって取得される画像に対するシェーディング補正データ（試料Ｓに対する蛍光測定に適用される蛍光光学系ユニット４４に対応）を記憶しておく。
【０００７】
画像補正処理部７５は、補正データ記憶部７６に記憶されたシェーディング補正データを参照して、ミクロ用撮像装置３１で取得された画像に対してシェーディング補正を行う。具体的には、ミクロ用撮像装置３１で試料Ｓを２次元に走査して得られた複数の部分画像のそれぞれについてシェーディング補正が行われる。これにより、複数の部分画像を合成して生成される蛍光観察画像に於ける、ミクロ用撮像装置３１等に起因する取得画像のシェーディングの発生の防止を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−５１７７２号公報
【特許文献２】特開２００８−５１７７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述のように、特許文献１及び特許文献２に提案の蛍光画像取得装置は、試料の高解像度な蛍光観察画像を好適に取得するための手段として考案されている。しかしながら、生産工程におけるシリコンウェハー上に形成されるパターンの品質判定の元となる画像取得の用途にＴＤＩカメラを用いて取得された対象パターンの蛍光画像を観察するためには、以下の要求を満たす考案が成されていない。
【００１０】
１．複数箇所の観察対象部分を所定の解像度（ピクセルサイズ）で順次撮影された画像の全てを観察対象にするために、撮影画像データの品質を落とさずに、撮影のタイミングに遅れること無く順次保存する。
【００１１】
２．保存された撮影画像データを、オペレータが観察するために観察対象全体を表示する。また、オペレータの観察に基づき、観察対象全体のうちの特定部分だけの撮影画像データを表示する。
【００１２】
よって本発明は、上述の観点での要求に鑑みて、測定物の蛍光画像をデジタル画像データとして保存できる蛍光画像観察装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決する為に、本発明は、ＴＤＩカメラからの大量の画像データを所定データ毎に１つのファイルとしてディスクアレイに保存し、保存後のデータからプレビューイメージを作ることで、観察対象全体を表示し、プレビューイメージ上で指定した特定部分の撮影された画像データそのものを表示できるようにする。
【００１４】
より具体的には、本発明の蛍光画像観察装置は、
複数の撮影領域に分割された全撮影領域から、第１の速度（ｔ１）で連続して順次取得される第１の解像度（ＰＳ１）を有する前記撮影領域毎の画像ファイルデータ（Ｄｆｉｌ）を、前記第１の速度以上の第２の速度（ｔ２）でディスクアレイに保存する第１の画像データ保存手段（Ｕ４、ＲＡＩＤ）と、
前記画像ファイルデータ（Ｄｆｉｌ）を、前記第１の解像度より低い第２の解像度に変換して、第１の圧縮画像データ（Ｄｐｉ）を順次生成する第１の圧縮画像データ生成手段（Ｕｅｘｐ）と、
順次生成される前記第１の圧縮画像データ（Ｄｐｉ）をマッピング合成して、前記全撮影領域のプレビューイメージを表す第２の圧縮画像データ（Ｄｐｉａ）を生成する圧縮画像データマッピング合成手段（ＵＣ）と、
前記第２の圧縮画像データ（Ｄｐｉａ）に基づいて、前記プレビューイメージを表示する第１の画像表示手段（Ｕｖｉｐ）と、
前記表示されたプレビューイメージに対して、前記第１の圧縮画像データ（Ｄｐｉ）毎に選択を受け付けるプレビューイメージ選択受付手段（Ｓ２２）と、
前記プレビューイメージ選択受付手段で選択された前記第１の圧縮画像データ（Ｄｐｉ）に対応する前記画像ファイルデータ（Ｄｆｉｌ）を前記ディスクアレイから取得し表示する第２の画像表示手段と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、ＴＤＩカメラからの大量のデータをディスクアレイに記録することとしたので、ＴＤＩカメラのスキャン速度が速くなっても、データ転送速度に応じた記録速度を確保することができる。
【００１６】
また、ディスクアレイに記録した画像データを解像度を落としたプレビューイメージを作成するので、現在汎用されているコンピュータで容易に撮影されたデータの全体を俯瞰することができる。
【００１７】
また、プレビューイメージ上で、撮影された画像データ毎に選択を受け付けるプレビューイメージ選択受付手段を有するので、プレビューイメージ上で指定した箇所の撮影された画像データそのものを表示することができる。
【００１８】
したがって、本発明に係る蛍光画像観察装置の使用者は、ＴＤＩカメラで撮影した観察対象の全体から詳細な箇所に至るまで、画像データとして確認することができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態に係る蛍光画像観察装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る蛍光画像観察装置の主な動作を示すメインフローチャートである。
【図３】図２に示したメインフローチャートにおいて、おもに制御器による動作を示すフローチャートの一部である。
【図４】図２に示したフローチャートの残りの部分である。
【図５】本発明の実施の形態に係る蛍光画像表示部に於ける表示例を示す図である。
【図６】特許文献１に提案の蛍光画像取得装置の構成を示すブロック図である。
【図７】特許文献２に提案の蛍光画像取得装置の構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に、図１を参照して、本発明の実施の形態に係る蛍光画像観察装置の構成について説明する。そして、図２、図３、及び図４を参照して蛍光画像観察装置の動作について説明する。その後、図５を参照して、蛍光画像観察装置における画像表示部の表示例について説明する。
【００２１】
図１に示すように、本発明の実施の形態に係る蛍光画像観察装置Ａｆｏは、蛍光画像撮像部Ｕ１、蛍光画像データ生成部Ｕ２、蛍光画像データ表示部Ｕ３、蛍光画像データ格納部Ｕ４、蛍光画像データ操作部Ｕ５、蛍光画像データ保存部Ｕ６、及び制御部Ｕｃを含む。
【００２２】
蛍光画像撮像部Ｕ１は、ワークテーブルＳ、可視光線照射部Ｌｓ、及びＴＤＩ（Ｔｉｍｅ  Ｄｅｌａｙ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）カメラ１０１を含む。ワークテーブルＳは、互いに直交するＸ軸ステージ及びＹ軸ステージを有し、観察対象物Ｗを保持してＸ軸及びＹ軸方向に所定の速度で移動させることができる。可視光線照射部Ｌｓは、ワークテーブルＳ上に保持された観察対象物Ｗの表面に可視光線Ｌを照射して、蛍光励起させる励起光源を有している。励起光源は、レーザ、ＬＥＤ、ハロゲン照明、及びＵＶランプ等の観察対象物Ｗを蛍光励起できるものであれば良い。なお、本実施の形態においては、レーザ源が可視光線照射部Ｌｓとして用いられる。
【００２３】
ＴＤＩカメラ１０１は、対物レンズ（不図示）及び蛍光フィルタ（不図示）を介して、観察対象物Ｗから放出される所定波長の光を検出して、１ライン（フレーム）分の蛍光画像データＤｆｉを生成する。なお、蛍光画像データＤｆｉのフレーム毎のデータを蛍光画像フレームデータＤｆｉｍと呼ぶ。蛍光フィルタは、可視光線照射部Ｌｓから励起光として照射された可視光線Ｌを減衰させ、ＴＤＩカメラ１０１で撮像する蛍光発光した波長の光を透過させる。
【００２４】
蛍光フィルタとしては、励起光として照射された可視光線Ｌを反射または吸収させるコーティングを透明材料の表面処理したものや、透明材料中に光吸収物質を分散させたものが用いられる。蛍光フィルタとしては、一般にバンドパスフィルタ、シャープカットフィルタなどと呼ばれるものが挙げられる。対物レンズは、観察対象物Ｗの蛍光像をＴＤＩカメラ１０１の受光素子に結像させる。
【００２５】
ワークテーブルＳは、表面に細孔や溝が設けられて、観察対象物Ｗを水平な状態で保持する。通常のラインカメラは、受光素子を一列に並べ撮像するが、ＴＤＩカメラ１０１は一方向に所定の長さを有するラインセンサ（例えば４０９６画素）が複数列（例えば９６段）配列されており、一定時間毎に信号を出力（たとえば５０Ｈｚ）することにより撮影領域を撮像する。
【００２６】
本例に於いては、ワークテーブルＳのＸ軸と平行なＸ方向に所定の長さを有するラインセンサが、ワークテーブルＳのＹ軸と平行な走査方向のＹ方向に複数配列されている。ワークテーブルＳをＹ方向に所定の速度で等速運動させながら、フレーム読みだしを行うことで、微弱な蛍光成分を積分露光し、高感度の画像を表す蛍光画像データＤｆｉを得る。
【００２７】
Ｘ軸ステージおよびＹ軸ステージは、１軸方向にスライダーを移動させる電動アクチュエータを有し、ワークテーブルＳと対物レンズの距離を一定に保ちつつ、ワークテーブルＳをＸ方向またはＹ方向の任意の位置へ移動させ、所定の位置で静止させるものである。また、Ｘ軸ステージ、Ｙ軸ステージは、ワークテーブルＳをＸ方向、またはＹ方向に所定の速度で等速移動させることもできる。
【００２８】
なお、本実施例では、Ｘ軸ステージにカメラに固定し、Ｙ軸ステージにワークテーブルＳを固定しているが、カメラにＸＹ軸ステージを固定しても良いし、ワークテーブルＳにＸＹ軸ステージを固定しても良い。
【００２９】
本実施の形態において、観察対象物Ｗの観察領域ＸＹは横３００ｍｍ、縦３００ｍｍ程度である。なお、本明細書では、便宜上「横」とはＸ軸方向を言い、「縦」とはＹ軸方向をいうものとする。一方この観察領域ＸＹに対する撮影領域を「全撮影領域」と呼ぶ。ＴＤＩカメラ１０１は、積算露光した画像データをラインセンサの画素数分だけ出力する。この画素数で観察対象物Ｗを１μｍ以下の解像度で撮影する。
【００３０】
従って、観察領域ＸＹを複数の区画に分割して撮影を行う。この区画を「撮影領域」と呼ぶ。全ての「撮影領域」を合わせると「全撮影領域」となる。観察対象物Ｗが上記の大きさの場合、観察領域ＸＹを撮像して得られる蛍光画像データＤｆｉは、「全撮影領域」分を合わせると、記録するのに約１８０ＧＢのストレージ容量を必要とする。
【００３１】
また、ＴＤＩカメラ１０１を約５０ｍｍ／ｓの速度でスキャンしようとすると、約３００ＭＢ／ｓの記録速度を必要とする。しかし、このように高速の記録速度を有するハードディスクドライブは、一般には入手できない。
【００３２】
そこで上記仕様を実現するために、後述するＲＡＩＤディスクＤｒ及びＲＡＩＤコントローラＣｒを使用する。これらは「ディスクアレイ」とも呼ぶ。ＲＡＩＤディスクＤｒを使用することにより、蛍光画像データＤｆｉを、ＴＤＩカメラ１０１からのデータ転送速度より遅い記録速度しか持たないハードディスクを用いても記録することができる。
【００３３】
蛍光画像データ生成部Ｕ２は、画像入力部（カメラリンクボード１０３）を含む。カメラリンクボード１０３は、ＴＤＩカメラ１０１から出力される蛍光画像フレームデータＤｆｉｍを入力可能なボードで、一般的にはコンピュータのＰＣＩ（Ｐｅｒｉｐｈｅｒａｌ  Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ  Ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔ）バスを介して、画像を取り込むものである。
【００３４】
また本カメラリンクボード１０３では、フレームバッファを有しており、所定数のフレーム（ライン）の蛍光画像フレームデータＤｆｉｍを１ファイルとして、コンピュータのメモリやハードディスク等へ出力する機能を有する。１ファイルとして出力される蛍光画像データＤｆｉを蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌと呼ぶ。
【００３５】
蛍光画像データ表示部Ｕ３は、画像表示部Ｕｖｉと、画像変換部Ｕｅｘとを含む。画像変換部Ｕｅｘは、プレビューイメージ作成部Ｕｅｘｐと、リアルイメージ作成部Ｕｅｘｒとを含む。また、画像表示部Ｕｖｉは、プレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐと画像ファイルデータ表示部Ｕｖｉｇを含む。蛍光画像データ表示部Ｕ３は、後述する蛍光画像データ操作部Ｕ５のメインメモリＭＭにロードされた蛍光画像データＤｆｉをビデオメモリ等に転送し画面上に表示することができる。
【００３６】
蛍光画像データ格納部Ｕ４は、ＲＡＩＤディスクＤｒ（ディスクアレイ）を含む。蛍光画像データ格納部Ｕ４は、画像表示部Ｕｖｉ、画像変換部Ｕｅｘ、及び後述する蛍光画像データ操作部Ｕ５に接続されている。ＲＡＩＤディスクＤｒは、複数台のハードディスクを組み合わせることで、仮想的な１台のハードディスクとして運用し、主に信頼性・可用性の向上として用いられる記憶装置である。
【００３７】
またこの方式は、ＲＡＩＤコントローラと呼ばれるカードをコンピュータの主にＰＣＩバスに取り付け、ディスクの管理を行うものであり、一部にはマザーボードにＲＡＩＤコントローラをあらかじめ実装しているものもある。また、ソフトウェアで実装する方式もある。
【００３８】
ＲＡＩＤにはレベルがあり、一般的にはＲＡＩＤ０、ＲＡＩＤ１、ＲＡＩＤ５、ＲＡＩＤ６が利用され、各レベルによって、データ保存信頼性とデータ転送速度が異なる。ＲＡＩＤディスクＤｒは、ＲＡＩＤ０を採用し、ＲＡＩＤ０は複数台のハードディスクに、データを分散して読み書きを行い、記録速度を高速化したものである。
【００３９】
蛍光画像データ操作部Ｕ５は、メインメモリＭＭを含む。蛍光画像データ操作部Ｕ５は、画像表示部Ｕｖｉ、画像変換部Ｕｅｘ、及び蛍光画像データ格納部Ｕ４に接続されている。
【００４０】
蛍光画像データ保存部Ｕ６は、ローカルディスクＤｌを含む。蛍光画像データ保存部Ｕ６は、画像表示部Ｕｖｉ、及び画像変換部Ｕｅｘに接続されている。
【００４１】
制御部Ｕｃには、蛍光画像撮像部Ｕ１、蛍光画像データ生成部Ｕ２、蛍光画像データ表示部Ｕ３、蛍光画像データ格納部Ｕ４、蛍光画像データ操作部Ｕ５、及び蛍光画像データ保存部Ｕ６の動作を制御するアプリケーションが格納されている。本アプリケーションは、ＴＤＩカメラ１０１で撮像した画像の表示または操作を行うソフトウェアである。また本アプリケーションで、後述する画像変換を行っている。また、本アプリケーションは制御部Ｕｃを介してディスクアレイにデータの削除を指示することができる。
【００４２】
次に、図２、図３、及び図４を参照して、蛍光画像観察装置Ａｆｏによる蛍光画像観察動作について説明する。まず、図２を参照して、本発明に係る蛍光画像観察動作の概要について説明する。その後、図３及び図４を順次参照して、本発明に係る蛍光画像観察動作について詳細に説明する。
【００４３】
図２において、動作が開始すると、まずステップＳ１において、本処理における各種パラメータが初期化される。具体的には、測定対象の「全撮影領域」を規定する座標値であるＸとＹ、ＴＤＩカメラ１０１の段数Ｎｆｄ、解像度及び観察領域ＸＹの単位で撮影されるべき「撮影領域」の個数を示す撮影領域最大個数Ｎｆｍａｘがそれぞれ所定の値に設定される。本例においては、９６段のラインセンサを有するＴＤＩカメラ１０１が用いられているので、Ｎｆｄ＝９６に設定される。
【００４４】
また、初期化においては、ＲＡＩＤディスクＤｒ（ディスクアレイ）に保存されている全ての画像ファイルが削除される。ディスクアレイに保存されている画像ファイルの削除は、アプリケーションが制御部Ｕｃを介してディスクアレイに指示をする。これは削除手段と呼んでよい。
【００４５】
なお、ディスクアレイに保存されている蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌを削除すると、ディスクアレイを構成するハードディスク個々のすべての蛍光画像データＤｆｉが削除され、個々のハードディスクは、そのハードディスクの定格とされる最速の記録速度でデータを記録することができる。
【００４６】
次に処理フロー＃１００において、観察対象物Ｗの蛍光画像撮影が実施される。ステップＳ１で設定された観察対象物Ｗの観察領域ＸＹ（不図示）に対して蛍光画像撮影が実施され、第１の所定の解像度ＰＳ１を有する蛍光画像データＤｆｉが生成される。この蛍光画像データＤｆｉは、１フレーム毎の蛍光画像フレームデータＤｆｉｍとして得られる。
【００４７】
観察領域ＸＹの面積は、ＴＤＩカメラ１０１が備える受光素子の画素数及び求めたい解像度に基づいて決定される。また、観察領域ＸＹを撮影する「撮影領域」は、ＴＤＩカメラ１０１のＸ方向（横方向）の画素数が４０９６画素のものを使用したので、Ｙ方向（縦方向）に４０９６段のフレームが画像入力部へ入力された時点で、１ファイルの蛍光画像データＤｆｉが生成されたと判定する。すなわち、撮影領域は４０９６×４０９６の画素によって構成される。この１ファイルの蛍光画像データＤｆｉを蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌと呼ぶ。
【００４８】
処理フロー＃２００において、蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌは、ＰＣＩまたは、ＰＣＩ  Ｅｘｐｒｅｓｓバスを介してＲＡＩＤディスクＤｒに転送され、記録保存される。ＲＡＩＤディスクＤｒは、第１の画像データ保存手段といえる。処理フロー＃１００及び処理フロー＃２００の処理を繰り返すことにより、観察領域ＸＹ全体の蛍光画像撮影が実施され、Ｎｆｍａｘ個の蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌが生成される。撮影されたすべての領域の蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌがＲＡＩＤディスクＤｒに転送され記録されたら、処理は処理フロー＃３００に進む。
【００４９】
処理フロー＃３００において、観察領域ＸＹの蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌのプレビューイメージが作成される。プレビューイメージの作成は、下記の手順で行われる。まず、ＲＡＩＤディスクＤｒに保存されているＮｆｍａｘ個の蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌがそれぞれ圧縮されて、Ｎｆｍａｘ個のプレビュー用画像データＤｐｉが作成される。
【００５０】
なお、プレビュー用画像データＤｐｉは、第１の圧縮画像データＤｐｉと呼んでもよい。また、プレビューイメージは、プレビューイメージ作成部Ｕｅｘｐによって行われる。プレビューイメージ作成部Ｕｅｘｐは、第１の圧縮画像データ生成手段と呼んでよい。プレビュー用画像データＤｐｉの作成にあたって、蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌは、予め設定された縮小率に基づいて、そのピクセル数が減らされることにより圧縮される。つまり、縦横のピクセル数が減少する。
【００５１】
プレビュー用画像データＤｐｉは、メインメモリＭＭに転送され、保持される。Ｎｆｍａｘ個のプレビュー用画像データＤｐｉが結合されてプレビューイメージ用画像データＤｐｉａが作成されることにより、「全撮影領域」分の蛍光画像データＤｆｉのプレビューイメージが作成される。なお、プレビューイメージ用画像データＤｐｉａは、第２の圧縮画像データＤｐｉａと呼んでもよい。
【００５２】
プレビューイメージ用画像データＤｐｉａは、圧縮画像データマッピング合成手段ＵＣと呼んでもよい。また、プレビューイメージ用画像データＤｐｉａはプレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐに表示される。プレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐは、第１の画像表示手段と呼んでよい。
【００５３】
プレビューイメージが作成された時点で、プレビューイメージにおけるプレビュー用画像データＤｐｉの位置を選択することによる、対応する位置の蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌの表示が可能である（処理フロー＃５００及び＃６００）。これについては後ほど説明する。
【００５４】
次に、処理フロー＃４００において、「撮影領域」の蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌのリアルイメージが作成される。なお、この処理フローは、後述する処理フロー＃５００のバックグラウンドとして処理される。リアルイメージの作成は、下記の手順で行われる。まず、ＲＡＩＤディスクＤｒに保存されているＮｆｍａｘ個の蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌがそれぞれ圧縮されて、Ｎｆｍａｘ個のリアルイメージ用画像データＤｒｉが作成される。
【００５５】
リアルイメージ用画像データＤｒｉは第３の圧縮画像データと呼んでよい。また、リアルイメージ用画像データＤｒｉは、リアルイメージ作成部Ｕｅｘｒによって作成される。リアルイメージ作成部Ｕｅｘｒは、第２の圧縮画像データ生成手段と呼んでよい。リアルイメージ用画像データＤｒｉの作成にあたって、蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌは、そのピクセル数が減らされることなく圧縮される。リアルイメージ用画像データＤｒｉは、ローカルディスクＤｌに転送され、保存される。ローカルディスクＤｌは第２の画像データ保存手段と呼んでよい。
【００５６】
次に、処理フロー＃５００において、オペレータは、画像表示部Ｕｖｉのプレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐに表示されたプレビューイメージ上のプレビュー用画像データＤｐｉの位置をコンピュータのマウスやキーボードを操作することにより選択する。すなわち、オペレータは、全撮影領域を俯瞰しながら、ＴＤＩカメラ１０１で撮影した「撮影領域」毎に選択することができる。
【００５７】
選択された撮影領域に対応する蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌが、ディスクアレイから読みだされ、画像ファイルデータ表示部Ｕｖｉｇに表示される。画像ファイルデータ表示部Ｕｖｉｇは、第２の画像表示手段と呼んでよい。
【００５８】
また、処理フロー＃６００において、すでにローカルディスクＤｌに記録されたプレビューイメージをプレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐで表示させ、撮影領域の選択を行う場合は、選択された撮影領域に対応するリアルイメージ用画像データＤｒｉがローカルディスクＤｌから読みだされ、画像ファイルデータ表示部Ｕｖｉｇに表示される。
【００５９】
次に、図３及び図４を順次参照して、本発明に係る蛍光画像観察動作について詳細に説明する。
【００６０】
まず、図３におけるステップＳ２において、観察対象物Ｗの蛍光画像撮影が実施される。上述のように、Ｙ軸ステージを等速移動させながら、観察対象物Ｗにレーザ光線が照射されると、観察対象物Ｗから可視光線Ｌｆが発せられる。可視光線Ｌｆを、ＴＤＩカメラ１０１（検出部（蛍光画像データ生成部Ｕｄｆｉ））が受光して観察対象物Ｗの蛍光画像データＤｆｉを生成する。
【００６１】
生成された蛍光画像データＤｆｉは、カメラケーブルＣｃを介して、１フレーム単位でカメラリンクボード１０３（画像入力部Ｕｉｆｉ）に転送される。この転送速度をｔ１とする。また、ここで１フレームとは、例えば４０９６画素からなるラインデータである。
【００６２】
ＴＤＩカメラ１０１は、Ｎｆｄ本（本例においては９６本）のラインセンサを有しており、各ラインセンサのデータを順次移動させながら同じ位置を撮影する。つまり、同じ位置をＮｆｄ本のラインセンサで積算露光することでＳＮの良い画像データを得る。ＴＤＩカメラ１０１からカメラリンクボード１０３に転送される蛍光画像データＤｆｉが蛍光画像フレームデータＤｆｉｍである。
【００６３】
カメラリンクボード１０３は、フレームバッファを有しており、一定数の蛍光画像フレームデータＤｆｉｍを連結して１つの蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌ（１ファイルの画像データ）を作成する。本装置の場合、ＴＤＩカメラ１０１のＸ方向の画素数が４０９６画素のため、Ｙ方向に４０９６段のフレームが画像入力部Ｕｉｆｉへ入力された時点で、１ファイルの蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌとする。そして、ステップＳ３において、ＰＣＩまたは、ＰＣＩ  Ｅｘｐｒｅｓｓバスを介してＲＡＩＤディスクＤｒへ蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌを転送する。
【００６４】
ここでカメラリンクボード１０３は、ＴＤＩカメラ１０１の転送速度ｔ１と同等もしくは、それ以上の転送速度ｔ２で蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌをＲＡＩＤディスクＤｒに転送する。カメラリンクボード１０３の転送速度ｔ２がＴＤＩカメラ１０１からの転送速度ｔ１より遅いと、カメラリンクボード１０３のフレームバッファでデータ入出力に関して破たんが生じるからである。なお、本実施例では、蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌのサイズをＸＹ方向（縦横方向）とも同サイズにしたが、Ｘサイズに比べてＹサイズが小さくても、大きくても構わない。Ｙ方向に結合するフレーム数は本アプリケーションから設定可能である。
【００６５】
カメラリンクボード１０３から出力された蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌは、コンピュータが有するＲＡＩＤコントローラＣｒ（不図示）を介して、ＲＡＩＤディスクＤｒへ記録・保存される。本実施例のＲＡＩＤディスクＤｒは、４台または８台のハードディスクから構成しているが、ハードディスクの数量に関しては、４台または８台に限定せず、少なくとも２台以上有していれば良い。カメラリンクボード１０３から出力される蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌは、幅４０９６ピクセル、長さ４０９６ピクセルで構成されたビットマップ形式の画像データである。
【００６６】
つまり、縦横４０９６ピクセルで構成されたビットマップ形式の蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌが、ＲＡＩＤディスクＤｒのｎ台のハードディスクに分散されて保存される。ディスクアレイに保存することで、カメラリンクボード１０３から蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌが転送されてくる速度ｔ２で、ＲＡＩＤディスクＤｒに遅滞なく記録され保存される。なお、蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌは、ＴＩＦＦ形式やＪＰＥＧ形式の画像ファイルであっても良い。
【００６７】
本発明に係る蛍光画像観察装置Ａｆｏでは、観察対象物Ｗの観察領域ＸＹに対応する「全撮影領域」は、横４０９６ピクセル、縦４０９６ピクセルより大きいことを想定している。比較的広い観察対象を１μｍ以下の解像度で観察するからである。したがって、ＲＡＩＤディスクＤｒへ転送する蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌのファイル数（撮影領域最大個数Ｎｆｍａｘ）は、複数ファイルとなる。
【００６８】
例えば、観察領域ＸＹが横３００ｍｍ、縦３００ｍｍの場合、蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌは、１００００ファイル以上の画像ファイル数となる。ＲＡＩＤディスクＤｒへ転送された各々の蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌは、ＲＡＩＤコントローラＣｒを介して、ＲＡＩＤコントローラＣｒに接続されている各々のハードディスクへ転送され記録される。
【００６９】
ＲＡＩＤディスクＤｒに転送する蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌには、各々の撮影箇所の情報をファイル名に記述している。例えば、先頭の画像ファイル名は、Ｘ１＿Ｙ１．ｂｍｐとし、Ｙ方向（縦方向）に移動した次の画像ファイル名は、Ｘ１＿Ｙ２．ｂｍｐとし、次にＸ方向（横方向）に移動した先頭の画像ファイル名は、Ｘ２＿Ｙ１．ｂｍｐとするなどである。なお、撮影箇所の情報とは、１つの「撮影領域」が「全撮影領域」の中でどの場所に位置するかを示す情報である。
【００７０】
本実施例では、アプリケーションが、撮像開始前にオペレータが入力した観察領域ＸＹから、所定の解像度に応じて「全撮影領域」と「撮影領域」を求め、予め「撮影領域」に連番号を付与しておく。また、Ｙ方向に撮像する画像ファイル数とＸ方向に撮像する画像ファイル数をアプリケーションで算出する。
【００７１】
蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌの名前は、「撮影領域」に付与された番号と対応するように、例えば００００１．ｂｍｐ、００００２．ｂｍｐと連番を与えている。つまり、蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌはファイル名から「全撮影領域」のどの部分の画像データであるかがわかる。なお、本実施例では、ＲＡＩＤディスクＤｒへ転送した蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌを取得イメージとも呼ぶ。
【００７２】
アプリケーションは、撮像開始からＲＡＩＤディスクＤｒを常時監視し、前記観察領域ＸＹから、算出された取得イメージ（蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌ）の数Ｎｆをカウントしている。ステップＳ４において、撮影領域カウンタＮｆに１が加算される（Ｎｆ＝Ｎｆ＋１）。
【００７３】
ステップＳ５において、撮影領域カウンタＮｆが撮影領域最大個数Ｎｆｍａｘと比較される。Ｎｆ＜Ｎｆｍａｘであれば、ステップＳ２、Ｓ３、及びＳ４の処理が繰り返される。Ｎｆ＝Ｎｆｍａｘであれば、処理はステップＳ６に進んで、撮影領域カウンタＮｆは１に設定される（Ｎｆ＝１）。なお、ステップＳ２からＳ６は、図２における処理フロー＃１００および＃２００に相当する。
【００７４】
全ての取得イメージ（蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌ）がＲＡＩＤディスクＤｒへ転送されたら、次にアプリケーションは、ステップＳ８〜Ｓ２０において、観察領域ＸＹの蛍光画像データＤｆｉのプレビューイメージを作成する。プレビューイメージの作成は、下記の手順で行われる。
【００７５】
まず、ＲＡＩＤディスクＤｒに保存されているＮｆｍａｘ個の蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌがそれぞれ圧縮されて、Ｎｆｍａｘ個のプレビュー用画像データＤｐｉが作成される。プレビュー用画像データＤｐｉは、メインメモリＭＭに転送され、保持される。Ｎｆｍａｘ個のプレビュー用画像データＤｐｉが結合されることにより、観察領域ＸＹの蛍光画像データＤｆｉのプレビューイメージが作成される。
【００７６】
プレビュー用画像データＤｐｉの作成にあたって、まずステップＳ８においてＲＡＩＤディスクＤｒから取得イメージ（蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌ）を名前順にアプリケーションに読み込む。その後ステップＳ１０において、蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌを画像変換（圧縮）して、上記第１の解像度ＰＳ１より低い第２の解像度ＰＳ２を有するプレビュー用画像データＤｐｉを作成する。画像変換とは、例えばＪＰＥＧ（Ｊｏｉｎｔ  Ｐｈｏｔｏｇｒａｈｉｃ  Ｅｘｐｅｒｔｓ  Ｇｒｏｕｐ）のように画像のデジタルデータを圧縮し、ファイルサイズを小さくすることである。
【００７７】
プレビュー用画像データＤｐｉの作成時は、アプリケーションで設定した縮小率に応じて、取得イメージから横および縦のサイズを縮小している。例えば、取得イメージが横４０９６ピクセル、縦４０９６ピクセル時に、プレビューイメージ縮小率が１０％とすると、横４１０ピクセル、縦４１０ピクセルのＪＰＥＧファイルがプレビュー用画像データＤｐｉとして作成される。
【００７８】
なお、この際に、圧縮前の蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌの名前若しくは撮影箇所の情報をプレビュー用画像データＤｐｉのファイルネームとして継承させておくのが望ましい。それぞれのプレビュー用画像データＤｐｉを結合させる際に便利だからである。また、本実施例では、ＪＰＥＧへの変換を示したが、他のファイル形式でも良い。
【００７９】
次にステップＳ１２において、プレビュー用画像データＤｐｉは、メインメモリＭＭに転送される。メインメモリＭＭには、プレビューイメージに必要なメモリサイズがアプリケーションにより確保される。ステップＳ１４において、取得イメージの撮影箇所に応じて、プレビュー用画像データＤｐｉはメインメモリＭＭ上にマッピング（配置）される。これはアプリケーションが行い、圧縮画像データマッピング合成手段ＵＣと呼ぶ（図１参照）。Ｎｆｍａｘ個のプレビュー用画像データＤｐｉがマッピング及び結合されてプレビューイメージ用画像データＤｐｉａが作成されることにより、観察領域ＸＹの蛍光画像データＤｆｉのプレビューイメージが表示される。
【００８０】
ステップＳ１６において、撮影領域カウンタＮｆに１が加算される（Ｎｆ＝Ｎｆ＋１）。ステップＳ１８において、撮影領域カウンタＮｆが撮影領域最大個数Ｎｆｍａｘと比較される。Ｎｆ＜Ｎｆｍａｘであれば、ステップＳ８、Ｓ１０、Ｓ１２、及びＳ１４の処理が繰り返される。Ｎｆ＝Ｎｆｍａｘであれば、処理はステップＳ２０に進む。
【００８１】
プレビュー用画像データＤｐｉがマッピングされることによりプレビュー用画像データＤｐｉが結合されて、観察領域ＸＹの全画像（プレビューイメージ）であるプレビューイメージ用画像データＤｐｉａが作成される。ステップＳ２０において、プレビューイメージがアプリケーション（プレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐ）に表示される。なお、ステップＳ８からステップＳ２０までは図２の処理フロー＃３００に相当する。
【００８２】
プレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐにプレビューイメージが表示されることにより、オペレータは各々の取得イメージがどの位置にマッピングされているかが容易に分かる。つまり、全ての蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌを連結した観察対象の俯瞰画像を得ることができる。プレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐは、第１の画像表示手段と呼んでよい。プレビューを表示したら、下記の処理に進むと共に、後述する図４に示すバックグラウンド処理もスタートする。図３ではステップＳ２０の下方にＡへ向かう処理で示した。
【００８３】
プレビューイメージが作成された時点で、オペレータはアプリケーションを操作して、撮像した取得イメージをアプリケーション上で表示することができる。具体的には、オペレータは、画像表示部Ｕｖｉのプレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐに表示されたプレビューイメージ上のプレビュー用画像データＤｐｉの位置をコンピュータのマウスやキーボードで選択する。選択されたプレビュー用画像データＤｐｉに対応する取得イメージがアプリケーション（画像表示部Ｕｖｉの画像ファイルデータ表示部Ｕｖｉｇ）上に表示される。
【００８４】
まずステップＳ２２において、プレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐに表示されたプレビューイメージ上のプレビュー用画像データＤｐｉの位置がコンピュータのマウスやキーボードで選択される。図３では、「プレビューイメージが選択されたか？」と記した。このように、プレビュー用画像データＤｐｉを選択可能にするアプリケーションの機能をプレビューイメージ選択受付手段と呼んでもよい。
【００８５】
ステップＳ２４において、アプリケーションは、プレビュー上で選択されたプレビュー用画像データＤｐｉの撮影箇所を元に、ＲＡＩＤディスクＤｒへ転送された取得イメージのファイルを検索する。この際に、プレビュー用画像データＤｐｉのファイル名に撮影箇所が入れ込まれていると、対応する取得イメージの検索が容易になる。
【００８６】
検索された取得イメージ（蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌ）は、アプリケーションに読み込まれ、メインメモリＭＭに転送される。ステップＳ２６において、メインメモリＭＭに転送された取得イメージが画像ファイルデータ表示部Ｕｖｉｇに表示される。このように、蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌを画像ファイルデータ表示部Ｕｖｉｇに表示させる手段を第２の画像表示手段と呼んでもよい。
【００８７】
続いて、先にプレビューイメージで選択した位置と異なる場所をオペレータが選択すると、メインメモリＭＭの取得イメージを削除し、次に選択した取得イメージを再びアプリケーションで読み込み、メインメモリＭＭに転送する。こうして、プレビューイメージで選択された位置に対応する取得イメージが、画像ファイルデータ表示部Ｕｖｉｇに表示される。
【００８８】
なお、オペレータの入力によってプレビューイメージのプレビュー用画像データＤｐｉを選択する代わりに、プレビューイメージと標準パターンの画像とを比較して、標準パターンから逸脱した部分が選択されるようにしてもよい。また、プレビューイメージの選択および対応する取得イメージの表示の処理フローは、所定の操作によって抜け出すこととしてよい。図３では、ステップＳ２２においてプレビューイメージが選択されない場合にこの処理フローを抜けるとした。なお、ステップＳ２２からステップＳ２６は図２の処理フロー＃５００に相当する。
【００８９】
ステップＳ８からＳ２０においてプレビューイメージが作成された後、アプリケーションは、図４におけるステップＳ２８からＳ４０に示すバックグラウンド処理で、保存用に観察領域ＸＹの蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌのリアルイメージを作成する。リアルイメージの作成は、下記の手順で行われる。
【００９０】
まず、ＲＡＩＤディスクＤｒに保存されているＮｆｍａｘ個の蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌがそれぞれ圧縮されて、Ｎｆｍａｘ個のリアルイメージ用画像データＤｒｉが作成される。圧縮は、蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌをＪＰＥＧ形式の画像ファイルに変換することによって行われる。ただし、プレビューイメージの場合と異なり、リアルイメージ用画像データＤｒｉの作成にあたって、蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌは、そのピクセル数が減らされることなく圧縮される。
【００９１】
すなわち、縦横の画素数は変わらない。なお、リアルイメージ用画像データＤｒｉは第３の圧縮画像データＤｒｉと呼んでもよい。また、リアルイメージ用画像データＤｒｉを生成するリアルイメージ作成部Ｕｅｘｒは、第２の圧縮画像データ生成手段と呼んでよい。
【００９２】
ステップＳ３０において、アプリケーションの画像変換部Ｕｅｘｒによって、ＲＡＩＤディスクＤｒに転送された取得イメージ（蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌ）を１ファイルごとに、メインメモリＭＭに一時的に読み込む。ステップＳ３２において、蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌをＪＰＥＧ形式のファイルに変換することにより、リアルイメージ用画像データＤｒｉを作成する。リアルイメージ用画像データＤｒｉは蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌの撮影箇所に関する情報を継承する。
【００９３】
例えば、ファイル名に撮影箇所の情報が埋め込まれている場合は、同じファイル名を継承する。このようにすることで、プレビュー用画像データＤｐｉと各リアルイメージ用画像データＤｒｉは対応関係が維持される。ステップＳ３４においてリアルイメージ用画像データＤｒｉは、ローカルディスクＤｌに転送され、ステップＳ３６において保存される。
【００９４】
本実施例では、ソフトウェアによってビットマップ形式ファイルをＪＰＥＧ形式ファイルに変換を行ったが、画像変換ボード等をコンピュータに組み込み、ハードウェアによって画像変換を行っても良い。またローカルディスクＤｌは、ＬＡＮ等を使ってコンピュータ外の記録媒体に保存しても良い。また記録媒体に十分なファイル容量が有る場合は、ＪＰＥＧ変換を行わなくても良い。
【００９５】
本実施例では、ＲＡＩＤディスクＤｒに保存された全ての取得イメージ（蛍光画像ファイルデータＤｆｉｌ）を変換した後、ステップＳ４２において、メインメモリＭＭに保存されているプレビューイメージ（プレビュー用画像データＤｐｉ）をローカルディスクＤｌに保存する。本実施例では、ローカルディスクＤｌに保存したそれぞれのリアルイメージ（リアルイメージ用画像データＤｒｉ）とプレビュー（プレビュー用画像データＤｐｉ）は、１つのフォルダに格納されている。
【００９６】
本実施例では、オペレータがアプリケーションの保存ボタンを押下した場合（ステップＳ４４）のみ、ローカルディスクＤｌに保存したリアルイメージ（リアルイメージ用画像データＤｒｉ）とプレビューイメージ（プレビュー用画像データＤｐｉ）を削除せず、保存ボタンを押下せずに、次の撮像を開始した場合は、ローカルディスクＤｌに保存した各々のイメージファイルを削除している（ステップＳ４６）。なお、ステップＳ２８からステップＳ４６までは、図２の処理フロー＃４００に相当する。
【００９７】
なお、常にローカルディスクＤｌに保存したリアルイメージ（リアルイメージ用画像データＤｒｉ）とプレビューイメージ（プレビュー用画像データＤｐｉ）を保存しておいても良い。また、フロント処理である処理フロー＃５００は、ステップＳ４４の手前に処理が移される。その後処理はステップＳ５０に移る。
【００９８】
図２を再度参照して、ステップＳ５０において、先に撮像された観察領域ＸＹとは異なる観察領域ＸＹが撮像されるか否かが判断される。
【００９９】
図５を参照して、蛍光画像観察装置における画像表示部Ｕｖｉの表示例について説明する。画像表示部Ｕｖｉには、プレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐと画像ファイルデータ表示部Ｕｖｉｇの２ヶ所の画像表示領域を有している。左側表示領域には、観察対象物Ｗ全体を表示する。これは、プレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐによるプレビューイメージである。プレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐは、プレビュー用画像データＤｐｉを連結し、プレビューイメージ用画像データＤｐｉａを作成することでプレビューイメージを表示する。
【０１００】
右側表示領域には、プレビューイメージで選択された領域の取得イメージ、またはリアルイメージを表示している。これは、画像ファイルデータ表示部Ｕｖｉｇによって表示される。オペレータは、左側表示領域によって、観察対象物Ｗの位置を確認でき、右側表示領域によって、選択された画像の詳細を確認することができる。
【０１０１】
全ての取得イメージ、またはリアルイメージを並べ１枚の画像のように表示することも可能だが、本実施例の画像サイズは、一般的なコンピュータのメモリサイズを超え、そのため操作時間が非常にかかるため、解像度を縮小したプレビューイメージを作成し、また詳細表示は、選択した４０９６×４０９６ピクセルの画像のみを表示することで、操作性を向上させた。
【０１０２】
左側表示領域には、オペレータが現在選択中の取得イメージ、またはリアルイメージが分かるように、選択中の４０９６×４０９６ピクセルの領域を赤色の四角枠で表示している。オペレータは左側表示領域のプレビューイメージにおいて、プレビュー用画像データＤｐｉの位置を選択することで、指示用枠１０が移動する。指示用枠１０で指定された取得イメージが、右側表示領域に表示される。
【０１０３】
通常撮像したイメージは、自動的にアプリケーションに表示されるが、アプリケーションには、読込ボタン１２と保存ボタン１４を有している。読込ボタン１２を押下すると、ローカルディスクＤｌに保存済みのイメージをメインメモリＭＭに読み込み、画像表示部Ｕｖｉに表示することができる。図２の処理フロー＃６００はこの処理を示す。図２では、ステップＳ５０で新たな撮影を行わない場合に、処理を移すとして表した。
【０１０４】
処理フロー＃６００の場合、プレビューイメージ表示部Ｕｖｉｐには、保存していたプレビュー用画像データＤｐｉに基づいてプレビューイメージ用画像データＤｐｉａが構築されプレビューイメージが表示される。また画像ファイルデータ表示部Ｕｖｉｇには、保存されていたリアルイメージ用画像データＤｒｉが表示される。処理フロー＃６００に移った後、保存ボタン１４を押下すると、後述する測長、マーク等の情報を付加して、画像表示部Ｕｖｉに表示されていた画像データをローカルディスクＤｌに保存することができる。
【０１０５】
また、拡大ボタン１６を押下すると、表示された画像を拡大することも可能である。本実施例のアプリケーションでは、ＡＬＴキーを押下しながら、拡大ボタン１６を押下することで、左側表示領域の表示を拡大でき、拡大ボタン１６のみを押下することで、右側表示領域の表示を拡大することを可能にした。
【０１０６】
縮小ボタン１８は、前述の拡大ボタン１６とは逆に表示された画像を縮小することができ、本ボタンも左右双方の画像を縮小することが可能であるようにしてもよい。イメージ移動ボタン（図示せず）を押下すると、画像拡大時に、マウスの移動に合わせて、表示画像の位置が移動できる。
【０１０７】
範囲拡大ボタン２０を押下し、任意の矩形領域をマウスで選択することにより、マウスで選択した領域を拡大表示することが可能である。測長ボタン２２を押下し、右側表示領域の任意の２点をマウスで選択することにより、マウスで選択した始点・終点間の距離をリストに表示することが可能である。マークボタン２４を押下し、右側表示領域の任意の位置にマウスで選択し、キーボードで文字・数字入力することにより、画像にマークを付加することが可能である。
【０１０８】
測長・マークの情報は、保存ボタン１４押下時に、それぞれＣＳＶ（Ｃｏｍｍａ  Ｓｅｐａｒａｔｅｄ  Ｖａｌｕｅｓ）形式のファイルに保存し、他のアプリケーションから閲覧が可能である。
【０１０９】
なお、イメージ閲覧ソフトから、位置情報を手動で得られ、メモ等を蛍光画像にリンクして保存することができる。また、本実施形態では、蛍光画像を撮像する手段としてＴＤＩ（移動積分方式）カメラを用いたが、ラインカメラやエリアカメラでも高速・大容量のデータを保存するのに、同様のシステムを構築することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１１０】
本発明は、基板上に形成された回路パターンの欠陥観察等に好適に利用することができる。 
【符号の説明】
【０１１１】
Ａｆｏ  蛍光画像観察装置
Ｕ１  蛍光画像撮像部
Ｕ２  蛍光画像データ生成部
Ｕ３  蛍光画像データ表示部
Ｕｖｉ  画像表示部
Ｕｅｘ  画像変換部
Ｕｅｘｐ  プレビューイメージ作成部
Ｕｅｘｒ  リアルイメージ作成部
Ｕ４  蛍光画像データ格納部
Ｕｖｉｐ  プレビューイメージ表示部
Ｕｖｉｇ  画像ファイルデータ表示部
ＭＭ  メインメモリ
Ｕ５  蛍光画像データ操作部
Ｕ６  蛍光画像データ保存部
Ｄｌ  ローカルディスク
Ｕｃ  制御部
Ｕｉｆｉ  画像入力部
Ｓ  ワークテーブル
Ｌｓ  可視光線照射部
Ｌ  可視光線
Ｗ  観察対象物
Ｄｆｉ  蛍光画像データ
Ｄｆｉｍ  蛍光画像フレームデータ
ＸＹ  観察領域
Ｄｆｉｌ  蛍光画像ファイルデータ
Ｄｐｉ  プレビュー用画像データ
Ｄｐｉａ  プレビューイメージ用画像データ
Ｄｒｉ  リアルイメージ用画像データ
Ｄｒ  ＲＡＩＤディスク
Ｃｒ  ＲＡＩＤコントローラ
１０１  ＴＤＩカメラ
１０３  カメラリンクボード
１０  指示用枠
１２  読込ボタン
１４  保存ボタン
１６  拡大ボタン
１８  縮小ボタン
２０  範囲拡大ボタン
２２  測長ボタン
２４  マークボタン
【図１】
2014182034.tif 000003
【図２】
2014182034.tif 000004
【図３】
2014182034.tif 000005
【図４】
2014182034.tif 000006
【図５】
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【図６】
2014182034.tif 000008
【図７】
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