(57)【要約】【課題】外部からの静電気による影響を低減できる干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、入射光の一部を反射し一部を透過する固定反射膜５４と、固定反射膜５４に対向して配置され、入射光の一部を反射し一部を透過する可動反射膜５５と、固定反射膜５４の可動反射膜５５とは反対側に設けられた第一透明電極５１５と、可動反射膜５５の固定反射膜５４とは反対側に設けられた第二透明電極５２５と、を備え、第一透明電極５１５及び第二透明電極５２５は、平面視において固定反射膜５４及び可動反射膜５５と一致する領域に設けられ、これらの第一透明電極５１５及び第二透明電極５２５は同電位である。【選択図】図３
2014182323.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第一反射膜と、
前記第一反射膜に対向し、入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第二反射膜と、
前記第一反射膜における前記第二反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第一透明電極と、
前記第二反射膜における前記第一反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第二透明電極と、
を備え、
前記第一反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第一透明電極は前記第一反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、
前記第二反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第二透明電極は前記第二反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、
前記第一透明電極及び前記第二透明電極は、同電位である
ことを特徴とする干渉フィルター。
【請求項２】
請求項１に記載の干渉フィルターにおいて、
前記第一透明電極及び前記第二透明電極は、接地電位である
ことを特徴とする干渉フィルター。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の干渉フィルターにおいて、
前記第一反射膜が設けられた第一基板と、
前記第二反射膜が設けられた第二基板と、を備え、
前記第一透明電極は、前記第一基板の前記第一反射膜が設けられた面とは反対側の面に設けられ、
前記第二透明電極は、前記第二基板の前記第二反射膜が設けられた面とは反対側の面に設けられた
ことを特徴とする干渉フィルター。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の干渉フィルターにおいて、
前記第一反射膜は、第一絶縁部材を介して前記第一透明電極に設けられ、
前記第二反射膜は、第二絶縁部材を介して前記第二透明電極に設けられた
ことを特徴とする干渉フィルター。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の干渉フィルターにおいて、
前記第一反射膜及び前記第二反射膜は導電性を有し、
当該干渉フィルターは、前記第一反射膜に接続された第一ミラー電極と、前記第二反射膜に接続された第二ミラー電極とを備えた
ことを特徴とする干渉フィルター。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の干渉フィルターにおいて、
前記第一反射膜及び前記第二反射膜の間のギャップ寸法を変更するギャップ変更部を備えた
ことを特徴とする干渉フィルター。
【請求項７】
入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第一反射膜、前記第一反射膜に対向して配置され、入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第二反射膜、前記第一反射膜における前記第二反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第一透明電極、及び前記第二反射膜における前記第一反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第二透明電極を有する干渉フィルターと、
前記干渉フィルターを収納する筐体と、
を備え、
前記第一反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第一透明電極は前記第一反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、
前記第二反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第二透明電極は前記第二反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、
前記第一透明電極及び前記第二透明電極は、同電位である
ことを特徴とする光学フィルターデバイス。
【請求項８】
入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第一反射膜、前記第一反射膜に対向して配置され、入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第二反射膜、前記第一反射膜における前記第二反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第一透明電極、及び前記第二反射膜における前記第一反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第二透明電極を有する干渉フィルターと、
前記干渉フィルターから出射された光を受光する受光部と、を備え、
前記第一反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第一透明電極は前記第一反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、
前記第二反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第二透明電極は前記第二反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、
前記第一透明電極及び前記第二透明電極は、同電位である
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項９】
請求項８に記載の光学モジュールにおいて、
前記第一透明電極及び前記第二透明電極を同電位にする電位制御部を備える
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項１０】
請求項９に記載の光学モジュールにおいて、
前記電位制御部は、前記第一透明電極及び前記第二透明電極を接地電位にする
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項１１】
請求項８から請求項１０に記載の光学モジュールにおいて、
前記第一反射膜は、第一絶縁部材を介して前記第一透明電極に設けられ、
前記第二反射膜は、第二絶縁部材を介して前記第二透明電極に設けられ、
前記干渉フィルターには、前記第一反射膜に接続され、かつ前記第一透明電極とは絶縁された第一ミラー電極、及び前記第二反射膜に接続され、かつ前記第一透明電極とは絶縁された第二ミラー電極が設けられており、
当該光学モジュールは、前記第一ミラー電極及び前記第二ミラー電極を制御するミラー制御部を備えている
ことを特徴とする光学モジュール
【請求項１２】
入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第一反射膜、前記第一反射膜に対向して配置され、入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第二反射膜、前記第一反射膜における前記第二反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第一透明電極、及び前記第二反射膜における前記第一反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第二透明電極を有する干渉フィルターと、
前記干渉フィルターを制御する制御部と、を備え、
前記第一反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第一透明電極は前記第一反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、
前記第二反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第二透明電極は前記第二反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、
前記第一透明電極及び前記第二透明電極は、同電位である
ことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一対の反射ミラー間で光を反射させ、特定波長の光を透過させて、その他の波長の光を干渉により打ち消し合わせることで、入射光から特定波長の光を取得する分光フィルターが知られている。また、このような分光フィルターとして、ミラー間の距離を調整することで、射出させる光を選択可能な干渉フィルターが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の干渉フィルターは、固定ミラーを有する固定ミラー構造体と、支持部材を介して固定ミラー構造体上に配置され、可動ミラーを有する可動ミラー構造体とを備えている。そして、可動ミラー構造体のエアギャップを架橋する部位は変位可能なメンブレンとなっており、固定ミラー構造体に設けられた電極と、可動ミラー構造体に設けられた電極との間に電圧を印加して静電引力を付与することでメンブレンが撓む。これにより、ミラーの対向距離が変化して、当該対向距離に応じた波長の光を透過させることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１１２７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述したような干渉フィルターでは、外部から静電気が印加された場合や電場内に干渉フィルターを配置した場合、反射膜（固定ミラー及び可動ミラー）に電荷が蓄積されることがある。反射膜は電気的にフローティングとなるため、蓄積された電荷の逃げ場がなく、反射膜間のギャップの寸法（対向距離）が静電気力によって変動するおそれがあり、寸法変動が起こらない場合でも、ギャップの寸法を変更する際の精度に影響を及ぼすという課題がある。
【０００６】
本発明は、外部からの静電気や電場による影響を低減できる干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の干渉フィルターは、入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第一反射膜と、前記第一反射膜に対向し、入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第二反射膜と、前記第一反射膜における前記第二反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第一透明電極と、前記第二反射膜における前記第一反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第二透明電極と、を備え、前記第一反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第一透明電極は前記第一反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、前記第二反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第二透明電極は前記第二反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、前記第一透明電極及び前記第二透明電極は、同電位であることを特徴とする。
ここで、干渉フィルター内において第一透明電極及び第二透明電極を結線する接続部が設けられていてもよく、干渉フィルターの外部において、第一透明電極及び第二透明電極に接続される回路を設けることで同電位にしてもよい。
【０００８】
本発明では、第一透明電極及び第二透明電極が平面視において少なくとも第一反射膜及び第二反射膜と重なる位置に設けられている。また、これらの第一透明電極及び第二透明電極は同電位となっている。このため、静電気が印加された場合でも、これらの第一透明電極や第二透明電極から第一反射膜や第二反射膜まで静電気が到達せず、第一反射膜及び第二反射膜の帯電を抑制することができる。また、干渉フィルターを電場に配置する等、電界がかかった場合でも、透明電極が電界シールドとして機能し、電場の影響による反射膜の電気分極を抑制できる。したがって、第一反射膜及び第二反射膜への帯電を抑制することができる。
さらに、第一透明電極及び第二透明電極が同電位に維持されているため、例えば静電気が第一透明電極及び第二透明電極に印加されても、これらの透明電極間に静電気による静電気力が作用せず、反射膜間のギャップ寸法の変動を抑制できる。
【０００９】
本発明の干渉フィルターにおいて、前記第一透明電極及び前記第二透明電極は、接地電位であることが好ましい。
本発明では、第一透明電極及び第二透明電極は、接地電位に維持されている。つまり、第一透明電極及び第二透明電極は接地されており、静電気が入力されても即座に逃がすことができ、より確実に静電気による第一反射膜及び第二反射膜の帯電を抑制できる。
【００１０】
本発明の干渉フィルターにおいて、前記第一反射膜が設けられた第一基板と、前記第二反射膜が設けられた第二基板と、を備え、前記第一透明電極は、前記第一基板の前記第一反射膜が設けられた面とは反対側の面に設けられ、前記第二透明電極は、前記第二基板の前記第二反射膜が設けられた面とは反対側の面に設けられていることが好ましい。
【００１１】
本発明では、第一基板の第一反射膜が設けられる面とは反対側の面に第一透明電極が設けられ、第二基板の第二反射膜が設けられる面とは反対側の面に第二透明電極が設けられている。ここで、本発明において、第一基板及び第二基板がガラス等により形成され、絶縁性を有している。
このような本発明では、第一透明電極及び第二透明電極は、干渉フィルターにおける外周の表面に設けられる構成となり、外部から印加される静電気をより確実に透明電極に流すことができ、反射膜の帯電をより確実に抑制できる。また、干渉フィルターに電界がかかった場合でも、第一透明電極及び第二透明電極がシールドとして機能するため、反射膜への電界の影響が低減される。
さらに、各反射膜（第一反射膜、第二反射膜）と各透明電極（第一透明電極、第二透明電極）との間には、絶縁性の基板（第一基板、第二基板）が設けられているため、反射膜を電極としても用いることも可能となる。上記のように、静電気や電界の影響を抑制できるため、反射膜の電圧制御（例えば反射膜を容量検出用電極として用いる場合では、容量検出制御、駆動用電極として用いる場合は駆動制御）が容易となる。
【００１２】
本発明の干渉フィルターにおいて、前記第一反射膜は、第一絶縁部材を介して前記第一透明電極に設けられ、前記第二反射膜は、第二絶縁部材を介して前記第二透明電極に設けられていることが好ましい。
本発明では、第一透明電極に対して第一絶縁部材を介して第一反射膜が設けられ、第二透明電極に対して第二絶縁部材を介して第二反射膜が設けられている。このような構成においても、上記発明と同様に、干渉フィルターが電界中に配置された場合に、透明電極を電界シールドとして機能させることで、反射膜の電気分極を抑制できる。
また、各反射膜（第一反射膜、第二反射膜）と各透明電極（第一透明電極、第二透明電極）との間には、絶縁部材（第一絶縁性部材、第二絶縁性部材）が設けられているため、反射膜を電極としても用いることも可能となる。上記のように、静電気や電界の影響を抑制できるため、反射膜の電圧制御（例えば反射膜を容量検出用電極として用いる場合では、容量検出制御、駆動用電極として用いる場合は駆動制御）が容易となる。
さらに、第一反射膜及び第二反射膜が導電性を有する膜である場合、第一反射膜及び第二反射膜、第一透明電極と第一反射膜、及び第二透明電極と第二反射膜がそれぞれコンデンサーとして構成されることになる。したがって、第一透明電極及び第二透明電極間で電位差を生じさせるような静電気が印加された場合でも、これらの第一透明電極及び第二透明電極が同電位となり、反射膜間での電位差の発生を抑制でき、反射膜間に静電力が作用する不都合を抑制できる。
【００１３】
本発明の干渉フィルターにおいて、前記第一反射膜及び前記第二反射膜は導電性を有し、当該干渉フィルターは、前記第一反射膜に接続された第一ミラー電極と、前記第二反射膜に接続された第二ミラー電極とを備えていることが好ましい。
本発明では、反射膜にミラー電極（第一ミラー電極、第二ミラー電極）を接続することで、各反射膜を例えば反射膜間の静電容量を検出する容量検出電極や、反射膜間に電圧を印加することで静電引力を付与して駆動させる駆動電極等として機能させることができる。この際、上述したように、反射膜及び透明電極との間に絶縁部材が介在し、かつ、第一透明電極及び第二透明電極が同電位となる。したがって、瞬間的な静電気が印加された際に反射膜を同電位にするように機能し、反射膜間での静電気力の発生を抑制できる。さらに、第一反射膜及び第二反射膜を電極として機能させた際に、急激な電流変化を抑制することができ、ノイズ成分を除去でき、反射膜を適切に電極として機能させることができる。
【００１４】
本発明の干渉フィルターにおいて、前記第一反射膜及び前記第二反射膜の間のギャップ寸法を変更するギャップ変更部を備えていることを特徴とする。
本発明では、反射膜間のギャップ寸法を変化するギャップ変更部が設けられているため、このギャップ寸法に制御することで、所望波長の光を干渉フィルターから出射させることができる。また、反射膜間のギャップを制御する際に、反射膜が帯電していると、反射膜間に生じる静電気力により、ギャップ変更部でのギャップ制御の精度が低下する。これに対して、本発明では、上述のように各透明電極により各反射膜の帯電や電気分極が抑制されるため、ギャップ制御の精度を向上できる。
【００１５】
本発明の光学フィルターデバイスは、入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第一反射膜、前記第一反射膜に対向して配置され、入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第二反射膜、前記第一反射膜における前記第二反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第一透明電極、及び前記第二反射膜における前記第一反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第二透明電極を有する干渉フィルターと、前記干渉フィルターを収納する筐体と、を備え、前記第一反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第一透明電極は前記第一反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、前記第二反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第二透明電極は前記第二反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、前記第一透明電極及び前記第二透明電極は、同電位であることを特徴とする。
本発明では、上述したように、干渉フィルターにおいて、静電気や電界の影響を抑制することができる。また、このような干渉フィルターを筐体内に収納することで、帯電物質等の侵入をも防止でき、より一層反射膜への帯電を抑制できる。
【００１６】
本発明の光学モジュールは、入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第一反射膜、前記第一反射膜に対向して配置され、入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第二反射膜、前記第一反射膜における前記第二反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第一透明電極、及び前記第二反射膜における前記第一反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第二透明電極を有する干渉フィルターと、前記干渉フィルターから出射された光を受光する受光部と、を備え、前記第一反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第一透明電極は前記第一反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、前記第二反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第二透明電極は前記第二反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、前記第一透明電極及び前記第二透明電極は、同電位であることを特徴とする。
【００１７】
本発明では、上述したように、干渉フィルターにおいて、静電気や電界の影響を抑制することができる。したがって、これらの影響による反射膜間のギャップ寸法の変動がなく、干渉フィルターの駆動制御も阻害されないため、精度よく所望波長の光を受光部にて検出することができる。
【００１８】
本発明の光学モジュールにおいて、前記第一透明電極及び前記第二透明電極を同電位にする電位制御部を備えることが好ましい。
本発明では、電位制御部により第一透明電極及び第二透明電極の電位を同電位にするため、透明電極間での静電気力の発生がない。したがって、反射膜間のギャップ寸法を適切に設定でき、所望波長の光を受光部により受光することができる。
【００１９】
本発明の光学モジュールにおいて、前記電位制御部は、前記第一透明電極及び前記第二透明電極を接地電位にすることが好ましい。
本発明では、透明電極が接地電位となり、静電気が印加された場合でも即座に逃がすことができる。したがって、第一反射膜及び第二反射膜の帯電を防止できる。
【００２０】
本発明の光学モジュールにおいて、前記第一反射膜は、第一絶縁部材を介して前記第一透明電極に設けられ、前記第二反射膜は、第二絶縁部材を介して前記第二透明電極に設けられ、前記干渉フィルターには、前記第一反射膜に接続され、かつ前記第一透明電極とは絶縁された第一ミラー電極、及び前記第二反射膜に接続され、かつ前記第一透明電極とは絶縁された第二ミラー電極が設けられており、当該光学モジュールは、前記第一ミラー電極及び前記第二ミラー電極を制御するミラー制御部を備えていることが好ましい。
【００２１】
本発明では、ミラー制御部において、急激な電流変化があった場合でも、第一反射膜及び第一透明電極、第二反射膜及び第二透明電極がそれぞれコンデンサーとして作用し、電流変化の影響を抑制することができる。したがって、第一反射膜及び第二反射膜に急な大電流が流れる等により発生するノイズを低減できる。これにより反射膜による駆動を高精度に制御できる。例えば反射膜を静電容量検出用の電極として機能させる場合では、ノイズ成分の影響を低減した精度の高い容量検出が実施でき、駆動電極として機能させる場合では、ノイズ成分による反射膜間のギャップ寸法の変動を抑制した高精度な駆動制御が可能となる。
【００２２】
本発明の電子機器は、入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第一反射膜、前記第一反射膜に対向して配置され、入射光の一部を反射し少なくとも一部を透過する第二反射膜、前記第一反射膜における前記第二反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第一透明電極、及び前記第二反射膜における前記第一反射膜と対向する面とは反対側の面に対して、間隔を隔てて設けられた第二透明電極を有する干渉フィルターと、前記干渉フィルターを制御する制御部と、を備え、前記第一反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第一透明電極は前記第一反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、前記第二反射膜の膜厚方向から見た平面視において、前記第二透明電極は前記第二反射膜の領域と少なくとも一致する領域に設けられ、前記第一透明電極及び前記第二透明電極は、同電位であることを特徴とする。
本発明では、上述したように、干渉フィルターにおいて、静電気や電界の影響を抑制することができる。したがって、これらの影響による反射膜間のギャップ寸法の変動がなく、干渉フィルターの駆動制御も阻害されないため、精度よく所望波長の光を干渉フィルターから出射させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る第一実施形態の分光測定装置の概略構成を示すブロック図
【図２】第一実施形態の波長可変干渉フィルターの概略構成を示す平面図。
【図３】図２の波長可変干渉フィルターをＡ−Ａ´線で断面した際の断面図。
【図４】第一実施形態の変形例における波長可変干渉フィルターの概略構成を示す断面図。
【図５】第二実施形態の波長可変干渉フィルターの概略構成を示す断面図。
【図６】第三実施形態の光学フィルターデバイスの概略構成を示す断面図。
【図７】本発明の電子機器の一例である測色装置の概略構成を示す図。
【図８】本発明の電子機器の一例であるガス検出装置の概略構成を示す図。
【図９】図８のガス検出装置の制御系の構成を示すブロック図。
【図１０】本発明の電子機器の一例である食物分析装置の概略構成を示す図。
【図１１】本発明の電子機器の一例である分光カメラの概略構成を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
［第一実施形態］
以下、本発明に係る第一実施形態について、図面に基づいて説明する。
［分光測定装置の構成］
図１は、本発明に係る第一実施形態の分光測定装置の概略構成を示すブロック図である。
分光測定装置１は、本発明の電子機器の一例であり、測定対象Ｘで反射した測定対象光における各波長の光強度を分析し、分光スペクトルを測定する装置である。なお、本実施形態では、測定対象Ｘで反射した測定対象光を測定する例を示すが、測定対象Ｘとして、例えば液晶パネル等の発光体を用いる場合、当該発光体から発光された光を測定対象光としてもよい。
そして、この分光測定装置１は、図１に示すように、光学モジュール１０と、光学モジュール１０から出力された信号を処理する制御部２０と、を備えている。
【００２５】
［光学モジュールの構成］
光学モジュール１０は、波長可変干渉フィルター５と、ディテクター１１と、Ｉ−Ｖ変換器１２と、アンプ１３と、Ａ／Ｄ変換器１４と、フィルター駆動回路１５とを備える。
この光学モジュール１０は、測定対象Ｘで反射された測定対象光を、入射光学系（図示略）を通して、波長可変干渉フィルター５に導き、波長可変干渉フィルター５を透過した光をディテクター１１で受光する。そして、ディテクター１１から出力された検出信号は、Ｉ−Ｖ変換器１２、アンプ１３、及びＡ／Ｄ変換器１４を介して制御部２０に出力される。
【００２６】
［波長可変干渉フィルターの構成］
光学モジュール１０の波長可変干渉フィルター５について、以下説明する。図２は、波長可変干渉フィルター５の概略構成を示す平面図である。図３は、図２の波長可変干渉フィルターをＡ−Ａ´線で断面した際の断面図である。
波長可変干渉フィルター５は、図２及び図３に示すように、例えば矩形板状の光学部材であり、固定基板５１（第一基板）および可動基板５２（第二基板）を備えている。これらの固定基板５１及び可動基板５２は、それぞれ各種ガラスや水晶等の絶縁性素材により形成され、例えばシロキサンを主成分とするプラズマ重合膜などにより構成された接合膜５３（図３参照）により接合されることで、一体的に構成されている。つまり、本実施形態では、固定基板５１は、本発明における第一絶縁部材を構成し、可動基板５２は、本発明における第二絶縁部材を構成する。
【００２７】
固定基板５１には、本発明の第一反射膜を構成する固定反射膜５４が設けられ、可動基板５２には、本発明の第二反射膜を構成する可動反射膜５５が設けられている。これらの固定反射膜５４および可動反射膜５５は、ギャップＧ１（図３参照）を介して対向配置されている。
また、固定基板５１には、固定電極５６１が設けられ、可動基板５２には、可動電極５６２が設けられている。これらの固定電極５６１及び可動電極５６２は、所定のギャップを介して対向配置されている。これらの固定電極５６１及び可動電極５６２は、本発明のギャップ変更部の一例である静電アクチュエーター５６を構成する。
なお、以降の説明に当たり、固定基板５１または可動基板５２の基板厚み方向から見た平面視、つまり、固定基板５１、接合膜５３、及び可動基板５２の積層方向から波長可変干渉フィルター５を見た平面視をフィルター平面視と称する。また、本実施形態では、フィルター平面視において、固定反射膜５４の中心点及び可動反射膜５５の中心点は、一致し、平面視におけるこれらの反射膜の中心点をフィルター中心点Ｏと称し、これらの反射膜の中心点を通る直線を中心軸と称する。
【００２８】
（固定基板の構成）
固定基板５１は、可動基板５２に対して厚み寸法が大きく形成されており、静電アクチュエーター５６による静電引力や、固定基板５１上に形成される膜部材（例えば固定反射膜５４等）の内部応力による固定基板５１の撓みはない。
この固定基板５１は、図３に示すように、例えばエッチング等により形成された電極配置溝５１１および反射膜設置部５１２を備える。また、固定基板５１の一端側（図２における辺Ｃ１−Ｃ２）は、可動基板５２の基板端縁（図２における辺Ｃ５−Ｃ６）よりも外側に突出しており、第一端子取出部５１４を構成している。
【００２９】
電極配置溝５１１は、フィルター平面視で、固定基板５１のフィルター中心点Ｏを中心とした環状に形成されている。反射膜設置部５１２は、フィルター平面視において、電極配置溝５１１の中心部から可動基板５２側に突出して形成されている。この電極配置溝５１１の溝底面は、静電アクチュエーター５６の固定電極５６１が配置される電極設置面５１１Ａとなる。また、反射膜設置部５１２の突出先端面は、反射膜設置面５１２Ａとなる。
また、固定基板５１には、電極配置溝５１１から、固定基板５１の外周縁に向かって延出する電極引出溝（図示略）が設けられている。
【００３０】
電極配置溝５１１の電極設置面５１１Ａには、静電アクチュエーター５６を構成する固定電極５６１が設けられている。この固定電極５６１は、電極設置面５１１Ａのうち、後述する可動部５２１に対向する領域に設けられている。固定電極５６１は、例えば円弧状（略Ｃ字状）に形成されており、図２に示すように、辺Ｃ１−Ｃ２に近接する一部にＣ字開口部が設けられる。また、固定電極５６１上に、可動電極５６２との間の絶縁性を確保するための絶縁膜が積層される構成としてもよい。
そして、固定電極５６１は、電極引出溝に沿って第一端子取出部５１４まで延出する固定引出電極５６１Ａを備えている。この固定引出電極５６１Ａの延出先端部は、例えばＦＰＣ（Flexible printed circuits）やリード線等によりフィルター駆動回路１５に接続されている。
【００３１】
反射膜設置部５１２の反射膜設置面５１２Ａには、上述のように、固定反射膜５４が設置されている。この固定反射膜５４としては、例えばＡｇ等の金属膜や、Ａｇ合金等、導電性を有する反射膜素材を用いることができ、酸化等による劣化を抑えられ、かつ、可視光域から近赤外光域に亘る広い波長帯域に対して高い反射特性を有するＡｇ合金膜を用いることがより好ましい。
【００３２】
なお、固定反射膜５４として、例えば高屈折層をＴｉＯ２、低屈折層をＳｉＯ２とした誘電体多層膜を用いてもよい。固定反射膜５４として誘電体多層膜を用いる場合では、当該誘電体多層膜の最下層又は最上層（表層）に導電性膜を積層することで導電性を持たせることができる。
なお、導電性膜として広波長域に対して高反射率特性を有する、例えばＡｇ合金等の反射膜を用いてもよい。この場合、導電性膜により、波長可変干渉フィルター５の測定対象波長域を広げることができ、広い波長帯域に対して所望の目的波長を取り出すことが可能となり、かつ、誘電体多層膜により、高分解能で目的波長の光を取り出すことが可能となる。この場合、導電性膜と反射膜設置部５１２との間、導電性膜と誘電体多層膜との間に、密着性を向上させるために透明接着層を更に介在させてもよい。
【００３３】
そして、固定基板５１には、図２に示すように、固定反射膜５４の外周縁に接続され、固定電極５６１のＣ字開口部を通り、第一端子取出部５１４に向かって延出する第一ミラー電極５４１が設けられている。この第一ミラー電極５４１は、固定反射膜５４の形成時に、同時に成膜されることで形成されている。
この第一ミラー電極５４１は、第一端子取出部５１４上でフィルター駆動回路１５に接続される。
【００３４】
固定基板５１のうち、電極配置溝５１１、反射膜設置部５１２、及び電極引出溝が形成されない領域は、第一接合部５１３を構成する。この第一接合部５１３は、接合膜５３により、可動基板５２の第二接合部５２３に接合される。
【００３５】
そして、固定基板５１の可動基板５２に対向していない面には、第一透明電極５１５が設けられている。この第一透明電極５１５としては、本実施形態の分光測定装置１における測定対象波長の光に対して透光性を有する素材により形成されており、例えば、可視光から近赤外光域を測定対象波長とする場合、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等を用いることができる。
この第一透明電極５１５は、フィルター駆動回路１５に接続されており、フィルター駆動回路１５により接地電位に設定されている。
【００３６】
（可動基板の構成）
可動基板５２は、図２に示すようなフィルター平面視において、フィルター中心点Ｏを中心とした円形状の可動部５２１と、可動部５２１と同軸であり可動部５２１を保持する保持部５２２と、保持部５２２の外側に設けられた第二接合部５２３と、を備えている。
また、可動基板５２には、図２に示すように、一端側（図２における辺Ｃ７−Ｃ８）は、固定基板５１の基板端縁（図２における辺Ｃ３−Ｃ４）よりも外側に突出しており、第二端子取出部５２４を構成している。
【００３７】
可動部５２１は、保持部５２２よりも厚み寸法が大きく形成され、例えば、本実施形態では、可動基板５２の厚み寸法と同一寸法に形成されている。この可動部５２１は、フィルター平面視において、少なくとも反射膜設置面５１２Ａの外周縁の径寸法よりも大きい径寸法に形成されている。そして、この可動部５２１の固定基板５１に対向する可動面５２１Ａには、可動反射膜５５、及び可動電極５６２が設けられている。
【００３８】
可動電極５６２は、フィルター平面視において、可動反射膜５５の外周側に設けられ、固定電極５６１に対してギャップを介して対向配置されている。この可動電極５６２は、円弧状（略Ｃ字状）に形成されており、図２に示すように、辺Ｃ７−Ｃ８に近接する一部にＣ字開口部が設けられている。また、固定電極５６１と同様に、可動電極５６２上に絶縁膜が積層される構成としてもよい。
ここで、図２に示すように、フィルター平面視において、可動電極５６２と固定電極５６１とが重なる円弧領域（図２において右上がり斜線部で示される領域）により、静電アクチュエーター５６が構成されている。この静電アクチュエーター５６は、図２に示すように、フィルター平面視において、フィルター中心点Ｏに対して互いに点対称となる形状及び配置となる。したがって、静電アクチュエーター５６に電圧を印加した際に発生する静電引力も、フィルター中心点Ｏに対して点対称となる位置に作用し、バランスよく可動部５２１を固定基板５１側に変位させることが可能となる。
【００３９】
また、図２に示すように、可動電極５６２は、第二端子取出部５２４に向かって延出する可動引出電極５６２Ａが設けられている。この可動引出電極５６２Ａは、固定基板５１に設けられた電極引出溝に対向する位置に沿って配置される。また、可動引出電極５６２Ａの延出先端部は、例えばＦＰＣやリード線等によりフィルター駆動回路１５に接続されている。
【００４０】
可動反射膜５５は、可動部５２１の可動面５２１Ａの中心部に、固定反射膜５４と反射膜間ギャップＧ１を介して対向して設けられる。この可動反射膜５５としては、上述した固定反射膜５４と同一の構成の反射膜が用いられる。本実施形態では、固定電極５６１が電極設置面５１１Ａ上に設けられ、固定反射膜５４が電極設置面５１１Ａよりも可動基板５２側に位置する反射膜設置面５１２Ａに設けられる構成となるので、ギャップＧ１は、電極５６１，５６２間のギャップよりも小さくなる。
また、可動基板５２には、図２に示すように、可動反射膜５５の外周縁に接続され、可動電極５６２のＣ字開口部を通り、第二端子取出部５２４に向かって延出する第二ミラー電極５５１が設けられている。
また、可動反射膜５５として、誘電体多層膜及び導電性膜の積層体により構成される場合では、第二ミラー電極５５１は、導電性膜と同時に形成され、この導電性膜に接続される。
そして、この第二ミラー電極５５１は、第二端子取出部５２４上において例えばＦＰＣやリード線等によりフィルター駆動回路１５に接続されている。
【００４１】
なお、本実施形態では、図３に示すように、電極５６１，５６２間のギャップがギャップＧ１よりも大きい例を示すがこれに限定されない。例えば、測定対象光として赤外光を対象とする場合等、測定対象波長域によっては、ギャップＧ１が、電極５６１，５６２間ギャップよりも大きくなる構成としてもよい。
【００４２】
保持部５２２は、可動部５２１の周囲を囲うダイヤフラムであり、可動部５２１よりも厚み寸法が小さく形成されている。このような保持部５２２は、可動部５２１よりも撓みやすく、僅かな静電引力により、可動部５２１を固定基板５１側に変位させることが可能となる。この際、可動部５２１が保持部５２２よりも厚み寸法が大きく、剛性が大きくなるため、保持部５２２が静電引力により固定基板５１側に引っ張られた場合でも、可動部５２１の形状変化が起こらない。したがって、可動部５２１に設けられた可動反射膜５５の撓みも生じず、固定反射膜５４及び可動反射膜５５を常に平行状態に維持することが可能となる。
なお、本実施形態では、ダイヤフラム状の保持部５２２を例示するが、これに限定されず、例えば、フィルター中心点Ｏを中心として、等角度間隔で配置された梁状の保持部が設けられる構成などとしてもよい。
【００４３】
第二接合部５２３は、上述したように、フィルター平面視において保持部５２２の外側に設けられている。この第二接合部５２３の固定基板５１に対向する面で、第一接合部５１３に対向する領域は、接合膜５３を介して第一接合部５１３に接合される。
【００４４】
そして、可動基板５２の固定基板５１に対向していない面には、第二透明電極５２５が設けられている。この第二透明電極５２５としては、第一透明電極５１５と同様に、分光測定装置１における測定対象波長の光に対して透光性を有する素材により形成されており、例えばＩＴＯ等を用いることができる。
この第二透明電極５２５は、フィルター駆動回路１５に接続されており、フィルター駆動回路１５により、第一透明電極５１５と同様、接地されている。つまり、第一透明電極５１５及び第二透明電極５２５は、ともに接地電位（同電位）となる。
【００４５】
［光学モジュールの検出部、Ｉ−Ｖ変換器、アンプ、Ａ／Ｄ変換器の構成］
次に、図１に戻り、光学モジュール１０について説明する。
ディテクター１１は、波長可変干渉フィルター５を透過した光を受光（検出）し、受光量に基づいた検出信号をＩ−Ｖ変換器１２に出力する。
Ｉ−Ｖ変換器１２は、ディテクター１１から入力された検出信号を電圧値に変換し、アンプ１３に出力する。
アンプ１３は、Ｉ−Ｖ変換器１２から入力された検出信号に応じた電圧（検出電圧）を増幅する。
Ａ／Ｄ変換器１４は、アンプ１３から入力された検出電圧（アナログ信号）をデジタル信号に変換し、制御部２０に出力する。
【００４６】
［フィルター駆動回路の構成］
フィルター駆動回路１５は、図１に示すように、電圧制御部１５１と、容量検出部１５２と、接地電極１５３と、を備えている。
電圧制御部１５１は、固定引出電極５６１Ａ及び可動引出電極５６２Ａに接続され、制御部２０の制御の下、静電アクチュエーター５６に駆動電圧を印加する。
容量検出部１５２は、本発明のミラー制御部に相当し、第一ミラー電極５４１及び第二ミラー電極５５１に接続され、反射膜５４，５５間の静電容量を検出、つまり、ギャップＧ１の寸法を検出する。
接地電極１５３は、第一透明電極５１５及び第二透明電極５２５に接続され、これらの透明電極５１５，５２５を接地する。
【００４７】
［制御部の構成］
次に、分光測定装置１の制御部２０について説明する。
制御部２０は、例えばＣＰＵやメモリー等が組み合わされることで構成され、分光測定装置１の全体動作を制御する。この制御部２０は、図１に示すように、波長設定部２１と、光量取得部２２と、分光測定部２３と、を備えている。また、制御部２０のメモリーには、波長可変干渉フィルター５を透過させる光の波長と、当該波長に対応して静電アクチュエーター５６に印加する駆動電圧との関係を示すＶ−λデータが記憶されている。
【００４８】
波長設定部２１は、波長可変干渉フィルター５により取り出す光の目的波長を設定し、Ｖ−λデータに基づいて、設定した目的波長に対応する駆動電圧を静電アクチュエーター５６に印加させる旨の指令信号をフィルター駆動回路１５に出力する。
光量取得部２２は、ディテクター１１により取得された光量に基づいて、波長可変干渉フィルター５を透過した目的波長の光の光量を取得する。
分光測定部２３は、光量取得部２２により取得された光量に基づいて、測定対象光のスペクトル特性を測定する。
【００４９】
［第一実施形態の作用効果］
本実施形態では、波長可変干渉フィルター５において、固定基板５１の可動基板５２に対向していない面に第一透明電極５１５が設けられ、可動基板５２の固定基板５１に対向していない面に第二透明電極５２５が設けられている。このため、外部から波長可変干渉フィルター５に電界がかかった場合でも、第一透明電極５１５及び第二透明電極５２５の電界シールド効果により、電場が反射膜５４，５５に流れるのを抑制し、反射膜５４，５５における帯電を抑制できる。
また、本実施形態では、第一透明電極５１５及び第二透明電極５２５が接地電極１５３に接続され、接地電位となる。したがって、外部から静電気が印加された場合でも、即座に接地電極１５３に流すことができ、反射膜５４，５５に静電気が回り込む不都合を抑制できる。
以上のように静電気や電界により、反射膜５４，５５の帯電を抑制でき、反射膜５４，５５間における静電気力の発生を抑制できる。これにより、電圧制御部１５１により静電アクチュエーター５６に駆動電圧を印加した際に、ギャップＧ１を精度よく所望の目標波長に応じた寸法に設定することができ、当該目標波長に対する光量を適切に測定できる。これにより、測定対象Ｘに対する分光スペクトルを高精度に測定することができる。
【００５０】
本実施形態では、固定反射膜５４に第一ミラー電極５４１が接続され、可動反射膜５５に第二ミラー電極５５１が接続され、これらの第一ミラー電極５４１及び第二ミラー電極５５１が容量検出部１５２に接続されている。
反射膜５４，５５の帯電を防止するために、第一ミラー電極５４１や第二ミラー電極５５１を接地した場合、ギャップＧ１の寸法を検出するためには、別途静電容量検出用の電極が必要となる。この場合、反射膜５４，５５から離れた位置に当該静電容量検出量の電極を配置するため、ギャップＧ１の正確な寸法が検出できない可能性がある。これに対して、本実施形態では、反射膜５４，５５間のギャップＧ１の寸法を直接検出でき、かつ、上述のように、各反射膜５４，５５における帯電も防止できるので、ギャップ検出精度を向上させることができる。
【００５１】
本実施形態では、静電アクチュエーター５６によりギャップＧ１の寸法を所望の値に設定することができる。このため、ギャップＧ１の寸法を順次変更することで、測定波長域における複数の目標波長に対する光量を順次検出することができ、１つの波長可変干渉フィルター５により、分光スペクトルを容易に測定することができる。
また、静電アクチュエーター５６によりギャップＧ１の寸法を変更する際に、反射膜５４，５５が帯電していると、静電気力によりギャップ制御の精度が低下するが、上述のように、本実施形態では、反射膜５４，５５の帯電を抑制できるので、ギャップ制御の精度を向上させることができる。
【００５２】
［第一実施形態の変形例］
上述した第一実施形態では、第一透明電極５１５が固定基板５１の可動基板５２に対向していない面の全面に設けられ、第二透明電極５２５が可動基板５２の固定基板５１に対向していない面の全面に設けられる例を示した。
これに対して、図４に示すような構成としてもよい。図４は、第一実施形態の変形例における波長可変干渉フィルターの概略構成を示す断面図である。
つまり、第一透明電極５１５は、固定基板５１のうち、フィルター平面視において、固定反射膜５４と重なる領域（光干渉領域Ａｒ１）に設けられ、第二透明電極５２５は、可動基板５２のうち、フィルター平面視において、可動反射膜５５と重なる領域（光干渉領域Ａｒ１）に設けられている。
【００５３】
このような構成でも、上記第一実施形態と同様に、波長可変干渉フィルター５の外部から印加された静電気を、即座に接地電極１５３に逃がすことができるため、当該静電気が反射膜５４，５５に回り込んで帯電する不都合を抑制でき、反射膜５４，５５間において静電気による静電気力が発生しない。したがって、ギャップＧ１の制御時において、静電アクチュエーター５６に印加した駆動電圧に対して、精度よくギャップＧ１を所望の寸法に設定することができる。
また、波長可変干渉フィルター５を電場内に配置した場合でも、第一透明電極５１５及び第二透明電極５２５がシールドとして機能し、電界の影響により反射膜５４，５５が電気分極する等の不都合をも抑制できる。
また、可動基板５２において最も撓みやすい保持部５２２に第二透明電極５２５が配置されないので、膜応力による保持部５２２の撓みを低減できる。
【００５４】
［第二実施形態］
次に、本発明に係る第二実施形態について図面に基づいて説明する。
上述した第一実施形態では、第一透明電極５１５が固定基板５１の可動基板５２に対向していない面に設けられ、第二透明電極５２５が可動基板５２の固定基板５１に対向していない面に設けられる例を示した。これに対して、本実施形態では、第一透明電極５１５が固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられ、第二透明電極５２５が可動基板５２の固定基板５１に対向する面に設けられる点で、上記第一実施形態と相違する。
【００５５】
図５は、第二実施形態における波長可変干渉フィルターの概略構成を示す断面図である。なお、上記第一実施形態と同様の構成については、同符号を付すとともに、その説明を省略、又は簡略化する。
図５に示すように、本実施形態の波長可変干渉フィルター５Ａは、固定基板５１の反射膜設置面５１２Ａ上に第一透明電極５１５Ａが設けられ、この第一透明電極５１５Ａ上に第一絶縁部材５１６を介して固定反射膜５４が配置されている。
同様に、可動基板５２に対して第二透明電極５２５Ａが設けられ、この第二透明電極５２５Ａ上に第二絶縁部材５２６を介して可動反射膜５５が配置されている。
なお、第一透明電極５１５Ａや第二透明電極５２５Ａは他の層を介して基板５１，５２に配置される構成などとしてもよい。
また、第一透明電極５１５Ａには、引出電極（図示略）が接続されており、この引出電極は、第一ミラー電極５４１と接触しない位置で第一端子取出部５１４まで引き出されている。例えば、第一ミラー電極と平行に配置され、固定電極５６１のＣ字開口部を通って第一端子取出部５１４に引き出される。
同様に、第二透明電極５２５Ａにも、引出電極（図示略）が接続されており、この引出電極は、第二ミラー電極５５１と接触しない位置で第二端子取出部５２４まで引き出されている。
そして、これらの透明電極５１５Ａ，５２５Ａは、第一実施形態と同様に、接地電極１５３に接続され、接地電位となる。
【００５６】
また、本実施形態では、第一絶縁部材５１６及び第二絶縁部材５２６は、膜材により構成されており、固定反射膜５４及び第一透明電極５１５Ａと、可動反射膜５５及び第二透明電極５２５Ａとは、ともに大容量のコンデンサーとして機能する。この際、コンデンサーの容量をより大きくするために、第一絶縁部材５１６及び第二絶縁部材５２６は、比誘電率が基板５１，５２の素材であるＳｉＯ２より高い素材を用いることが好ましい。このような素材として、例えば、Ａｌ２Ｏ３，ＨｆＯ２等のＨｉｇｈ−ｋ材の膜材を用いることができる。
このような構成では、固定反射膜５４及び第一透明電極５１５Ａ、可動反射膜５５及び第二透明電極５２５Ａが、それぞれコンデンサーとして機能し、容量検出部１５２における容量検出精度の向上を図ることができる。なお、本実施形態では、固定反射膜５４及び可動反射膜５５、固定反射膜５４及び第一透明電極５１５Ａ、可動反射膜５５及び第二透明電極５２５Ａのそれぞれにより構成される各コンデンサーの合算容量が検出される。したがって、ギャップＧ１の寸法を検出する際には、当該合算容量から、固定反射膜５４及び第一透明電極５１５Ａ、可動反射膜５５及び第二透明電極５２５Ａにより構成される固定の値となるコンデンサーの容量を差し引く。
【００５７】
［第二実施形態の作用効果］
本実施形態では、上述した発明と同様に、第一透明電極５１５Ａ及び第二透明電極５２５Ａによる電界シールド効果により、反射膜５４，５５に帯電が発生する不都合を低減することができる。
【００５８】
本実施形態では、固定反射膜５４及び可動反射膜５５を容量検出用の電極として機能させる。この際、固定反射膜５４及び第一透明電極５１５Ａ、可動反射膜５５及び第二透明電極５２５Ａによりそれぞれコンデンサーが構成され、これらの第一透明電極５１５Ａ及び第二透明電極５２５Ａがフィルター駆動回路１５において接地電極１５３に接続されて同電位となっている。したがって、例えばミラー電極５４１，５５１に瞬間的な静電気が印加された場合でも、反射膜５４，５５間を同電位にするように機能し、反射膜間における静電気力の発生を抑制できる。
さらに、容量検出部１５２から反射膜５４，５５に対して大電流が流れる不都合を回避できるため、容量検出部１５２において、ノイズ成分を除外でき、精度よく静電容量（ギャップＧ１の寸法）を検出することができる。
また、絶縁部材５１６，５２６としてＨｉｇｈ−ｋ材の比誘電率が高い膜材を用いているため、上記コンデンサーの容量をより大きくできる。これにより、ノイズ成分をより好適に除去することができ、かつ、静電気耐性もより向上させることができる。
【００５９】
［第三実施形態］
次に、本発明の第三実施形態に係る光学フィルターデバイスについて、以下説明する。
上記第一実施形態の分光測定装置１では、光学モジュール１０に対して、波長可変干渉フィルター５が直接設けられる構成とした。しかしながら、光学モジュールとしては、複雑な構成を有するものもあり、特に小型化の光学モジュールに対して、波長可変干渉フィルター５を直接設けることが困難な場合がある。本実施形態では、そのような光学モジュールに対しても、波長可変干渉フィルター５を容易に設置可能にする光学フィルターデバイスについて、以下に説明する。
図６に示すように、光学フィルターデバイス６００は、波長可変干渉フィルター５と、当該波長可変干渉フィルター５を収納する筐体６０１と、を備えている。なお、本実施形態では、一例として波長可変干渉フィルター５を例示するが、第二実施形態の波長可変干渉フィルター５Ａ等が用いられる構成としてもよい。
筐体６０１は、ベース基板６１０と、リッド６２０と、ベース側ガラス基板６３０と、リッド側ガラス基板６４０と、を備える。
【００６０】
ベース基板６１０は、例えば単層セラミック基板により構成される。このベース基板６１０には、波長可変干渉フィルター５の可動基板５２が設置される。ベース基板６１０への可動基板５２の設置としては、例えば接着層等を介して配置されるものであってもよく、他の固定部材等に嵌合等されることで配置されるものであってもよい。また、ベース基板６１０には、光干渉領域（反射膜５４，５５が対向する領域）に対向する領域に、光通過孔６１１が開口形成される。そして、この光通過孔６１１を覆うように、ベース側ガラス基板６３０が接合される。ベース側ガラス基板６３０の接合方法としては、例えば、ガラス原料を高温で熔解し、急冷したガラスのかけらであるガラスフリットを用いたガラスフリット接合、エポキシ樹脂等による接着などを利用できる。
【００６１】
このベース基板６１０のリッド６２０に対向するベース内側面６１２には、波長可変干渉フィルター５の各引出電極５６１Ａ，５６２Ａ、各ミラー電極５４１，５５１、及び各透明電極５１５，５２５のそれぞれに対応して内側端子部６１５が設けられている。なお、各引出電極５６１Ａ，５６２Ａ、各ミラー電極５４１，５５１、及び各透明電極５１５，５２５と、内側端子部６１５との接続は、例えばＦＰＣ６１５Ａを用いることができ、例えばＡｇペースト、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）、ＡＣＰ（Anisotropic Conductive Paste）等により接合する。なお、内部空間６５０を真空状態に維持する場合は、アウトガスが少ないＡｇペーストを用いることが好ましい。また、ＦＰＣ６１５Ａによる接続に限られず、例えばワイヤーボンディング等による配線接続を実施してもよく、ワイヤーボンディング及びＦＰＣ接続を併用してもよい。
また、ベース基板６１０は、各内側端子部６１５が設けられる位置に対応して、貫通孔６１４が形成されており、各内側端子部６１５は、貫通孔６１４に充填された導電性部材を介して、ベース基板６１０のベース内側面６１２とは反対側のベース外側面６１３に設けられた外側端子部６１６に接続されている。
そして、ベース基板６１０の外周部には、リッド６２０に接合されるベース接合部６１７が設けられている。
【００６２】
リッド６２０は、図６に示すように、ベース基板６１０のベース接合部６１７に接合されるリッド接合部６２４と、リッド接合部６２４から連続し、ベース基板６１０から離れる方向に立ち上がる側壁部６２５と、側壁部６２５から連続し、波長可変干渉フィルター５の固定基板５１側を覆う天面部６２６とを備えている。このリッド６２０は、例えばコバール等の合金または金属により形成することができる。
このリッド６２０は、リッド接合部６２４と、ベース基板６１０のベース接合部６１７とが、接合されることで、ベース基板６１０に密着接合されている。
この接合方法としては、例えば、レーザー溶着の他、銀ロウ等を用いた半田付け、共晶合金層を用いた封着、低融点ガラスを用いた溶着、ガラス付着、ガラスフリット接合、エポキシ樹脂による接着等が挙げられる。これらの接合方法は、ベース基板６１０及びリッド６２０の素材や、接合環境等により、適宜選択することができる。
【００６３】
リッド６２０の天面部６２６は、ベース基板６１０に対して平行となる。この天面部６２６には、波長可変干渉フィルター５の光干渉領域に対向する領域に、光通過孔６２１が開口形成されている。そして、この光通過孔６２１を覆うように、リッド側ガラス基板６４０が接合される。リッド側ガラス基板６４０の接合方法としては、ベース側ガラス基板６３０の接合と同様に、例えばガラスフリット接合や、エポキシ樹脂等による接着などを用いることができる。
【００６４】
［第三実施形態の作用効果］
このような光学フィルターデバイス６００では、筐体６０１により波長可変干渉フィルター５が保護されているため、異物や大気に含まれるガス等による波長可変干渉フィルター５の特性変化を防止でき、また、外的要因による波長可変干渉フィルター５の破損を防止できる。また、帯電粒子の侵入を防止できるため、各電極５６１，５６２の帯電を防止できる。したがって、帯電による静電気力の発生を抑制でき、反射膜５４，５５の平行度をより確実に維持することができる。
【００６５】
また、例えば工場で製造された波長可変干渉フィルター５を、光学モジュールや電子機器を組み立てる組み立てライン等まで運搬する場合に、光学フィルターデバイス６００により保護された波長可変干渉フィルター５では、安全に運搬することが可能となる。
また、光学フィルターデバイス６００は、筐体６０１の外周面に露出する外側端子部６１６が設けられているため、光学モジュールや電子機器に対して組み込む際にも容易に配線を実施することが可能となる。
【００６６】
［その他の実施形態］
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、第一実施形態において、第一基板である固定基板５１や第二基板である可動基板５２が設けられず、第一反射膜及び第二反射膜が対向する構成などとしてもよい。この場合、例えば、平行平板状の犠牲層の一方の面に固定電極を形成してこれらを覆うように第一反射膜を形成する。また、犠牲層の他方の面に可動電極を形成してこれらを覆うように第二反射膜を形成する。そして、第一反射膜上に第一絶縁部材（膜材）を成膜した後、当該第一絶縁部材上に第一透明電極を形成する。同様に、第二反射膜上に第二絶縁部材（膜材）を成膜した後、当該第二絶縁部材上に第二透明電極を形成する。この後、犠牲層を除去する。これにより、第一駆動電極及び第一制御電極が設けられた第一反射膜と、第二駆動電極及び第二制御電極が設けられた第二反射膜とが、空間を介して対向する干渉フィルターを形成することができる。
【００６７】
上記第一実施形態において、第一透明電極５１５及び第二透明電極５２５を接地電位にする例を示したが、これに限定されない。
本発明では、透明電極５１５，５２５を、同電位にすればよく、この場合でも、シールド効果によって、透明電極５１５，５２５間、反射膜５４，５５間での静電気力の発生を抑制できる。透明電極５１５，５２５を同電位にする構成としては、例えば、電圧制御部１５において透明電極５１５，５２５を短絡させてもよく、透明電極５１５，５２５を基準電位に設定された基準電位電極に接続する構成としてもよい。また、例えば、波長可変干渉フィルター５の固定基板５４及び可動基板５５の表面上に、透明電極５１５，５２５を短絡する電極を形成して同電位にする構成としてもよい。
【００６８】
また、上述した各実施形態では、ギャップ変更部として静電アクチュエーター５６を例示し、静電アクチュエーター５６により、固定反射膜５４及び可動反射膜５５の間のギャップＧ１の寸法を変更する構成を例示したが、これに限定されない。
例えば、ギャップ変更部としては、固定基板５１に設けられる第一誘電コイルと、可動基板５２に設けられる第二誘電コイルまたは永久磁石とにより構成される誘電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。
更に、静電アクチュエーター５６の代わりに圧電アクチュエーターを用いる構成としてもよい。この場合、例えば保持部５２２に下部電極層、圧電膜、及び上部電極層を積層配置させ、下部電極層及び上部電極層の間に印加する電圧を入力値として可変させることで、圧電膜を伸縮させて保持部５２２を撓ませることができる。
さらには、電圧印加により反射膜間ギャップＧ１の大きさを変化させる構成に限られず、例えば、固定基板５１及び可動基板５２の間の空気圧を変化させることで、反射膜間ギャップＧ１の大きさを調整する構成なども例示できる。
【００６９】
さらに、ギャップ変更部が設けられない、波長固定側の干渉フィルターに対しても、本発明を適用することができる。
波長固定型の干渉フィルターでは、上記実施形態のような可動部５２１や保持部５２２が設けられず、第一基板（固定基板５１）と第二基板（可動基板５２）との間隔（反射膜５４，５５間のギャップＧ１）が一定に維持される。しかしながら、このような波長固定型の干渉フィルターでも、外部から静電気が印加された場合や、電場に配置された場合等において、各反射膜が帯電することで、静電気力により反射膜間のギャップ寸法が変動することが考えられる。これに対して、例えば第一実施形態のように、各基板５１，５２の外周表面に第一透明電極や第二透明電極を設けたり、第二実施形態のように、第一透明電極及び第一絶縁部材を介して第一反射膜を形成し、第二透明電極及び第二絶縁部材を介して第二反射膜を形成したりすることで、反射膜への帯電を抑制でき、静電気力によるギャップ変動を抑制できる。
【００７０】
また、上記実施形態において、第一ミラー電極５４１及び第二ミラー電極５５１を容量検出部１５２に接続し、反射膜５４，５５を容量検出用の電極として機能させる例を示したが、これに限定されない。例えば反射膜５４，５５を駆動用の電極として機能させてもよい。この場合、電圧制御部１５１が本発明のミラー制御部に相当し、第一ミラー電極５４１及び第二ミラー電極５５１に印加する駆動電圧を制御する。
この際、第二実施形態のように、第一透明電極５１５及び固定反射膜５４、第二透明電極５２５及び可動反射膜５５のそれぞれをコンデンサーとして機能させてもよい。この場合、反射膜５４，５５間に駆動電圧を印加する際に、駆動精度を向上させることができる。
【００７１】
上記実施形態において、第一透明電極５１５及び第二透明電極５２５が接地電位となる例を示したがこれに限定されない。例えば、予め設定された基準電位Ｖｃｏｍ（≒０Ｖ）に設定する構成としてもよい。
【００７２】
また、本発明の電子機器として、上記各実施形態では、分光測定装置１を例示したが、その他、様々な分野により本発明の光学モジュール、及び電子機器を適用することができる。
【００７３】
例えば、図７に示すように、本発明の電子機器を、色を測定するための測色装置に適用することもできる。
図７は、波長可変干渉フィルターを備えた測色装置４００の一例を示すブロック図である。
この測色装置４００は、図７に示すように、検査対象Ａに光を射出する光源装置４１０と、測色センサー４２０（光学モジュール）と、測色装置４００の全体動作を制御する制御装置４３０とを備える。そして、この測色装置４００は、光源装置４１０から射出される光を検査対象Ａにて反射させ、反射された検査対象光を測色センサー４２０にて受光し、測色センサー４２０から出力される検出信号に基づいて、検査対象光の色度、すなわち検査対象Ａの色を分析して測定する装置である。
【００７４】
光源装置４１０、光源４１１、複数のレンズ４１２（図７には１つのみ記載）を備え、検査対象Ａに対して例えば基準光（例えば、白色光）を射出する。また、複数のレンズ４１２には、コリメーターレンズが含まれてもよく、この場合、光源装置４１０は、光源４１１から射出された基準光をコリメーターレンズにより平行光とし、図示しない投射レンズから検査対象Ａに向かって射出する。なお、本実施形態では、光源装置４１０を備える測色装置４００を例示するが、例えば検査対象Ａが液晶パネルなどの発光部材である場合、光源装置４１０が設けられない構成としてもよい。
【００７５】
測色センサー４２０は、本発明の光学モジュールであり、図７に示すように、波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５を透過する光を受光するディテクター１１と、波長可変干渉フィルター５で透過させる光の波長を可変するフィルター駆動回路１５とを備える。また、測色センサー４２０は、波長可変干渉フィルター５に対向する位置に、検査対象Ａで反射された反射光（検査対象光）を、内部に導光する図示しない入射光学レンズを備えている。そして、この測色センサー４２０は、波長可変干渉フィルター５により、入射光学レンズから入射した検査対象光のうち、所定波長の光を分光し、分光した光をディテクター１１にて受光する。なお、波長可変干渉フィルター５の代わりに、上述した波長可変干渉フィルター５Ａや、光学フィルターデバイス６００が設けられる構成としてもよい。
【００７６】
制御装置４３０は、測色装置４００の全体動作を制御する。
この制御装置４３０としては、例えば汎用パーソナルコンピューターや、携帯情報端末、その他、測色専用コンピューターなどを用いることができる。そして、制御装置４３０は、図７に示すように、光源制御部４３１、測色センサー制御部４３２、及び測色処理部４３３などを備えて構成されている。
光源制御部４３１は、光源装置４１０に接続され、例えば利用者の設定入力に基づいて、光源装置４１０に所定の制御信号を出力して、所定の明るさの白色光を射出させる。
測色センサー制御部４３２は、測色センサー４２０に接続され、例えば利用者の設定入力に基づいて、測色センサー４２０にて受光させる光の波長を設定し、この波長の光の受光量を検出する旨の制御信号を測色センサー４２０に出力する。これにより、測色センサー４２０のフィルター駆動回路１５は、制御信号に基づいて、静電アクチュエーター５６に電圧を印加し、波長可変干渉フィルター５を駆動させる。
測色処理部４３３は、ディテクター１１により検出された受光量から、検査対象Ａの色度を分析する。
【００７７】
また、本発明の電子機器の他の例として、特定物質の存在を検出するための光ベースのシステムが挙げられる。このようなシステムとしては、例えば、本発明の光学モジュールを用いた分光計測方式を採用して特定ガスを高感度検出する車載用ガス漏れ検出器や、呼気検査用の光音響希ガス検出器等のガス検出装置を例示できる。
このようなガス検出装置の一例を以下に図面に基づいて説明する。
【００７８】
図８は、本発明の電子機器の一例であるガス検出装置を示す概略図である。
図９は、図８のガス検出装置の制御系の構成を示すブロック図である。
このガス検出装置１００は、図８に示すように、センサーチップ１１０と、吸引口１２０Ａ、吸引流路１２０Ｂ、排出流路１２０Ｃ、及び排出口１２０Ｄを備えた流路１２０と、本体部１３０と、を備えて構成されている。
本体部１３０は、流路１２０を着脱可能な開口を有するセンサー部カバー１３１、排出手段１３３、筐体１３４、光学部１３５、フィルター１３６、波長可変干渉フィルター５、及び受光素子１３７（検出部）等を含む検出装置（光学モジュール）と、検出された信号を処理し、検出部を制御する制御部１３８（処理部）、電力を供給する電力供給部１３９等から構成されている。なお、波長可変干渉フィルター５の代わりに、上述した波長可変干渉フィルター５Ａや、光学フィルターデバイス６００が設けられる構成としてもよい。また、光学部１３５は、光を射出する光源１３５Ａと、光源１３５Ａから入射された光をセンサーチップ１１０側に反射し、センサーチップ側から入射された光を受光素子１３７側に透過するビームスプリッター１３５Ｂと、レンズ１３５Ｃ，１３５Ｄ，１３５Ｅと、により構成されている。
また、図９に示すように、ガス検出装置１００の表面には、操作パネル１４０、表示部１４１、外部とのインターフェイスのための接続部１４２、電力供給部１３９が設けられている。電力供給部１３９が二次電池の場合には、充電のための接続部１４３を備えてもよい。
更に、ガス検出装置１００の制御部１３８は、図９に示すように、ＣＰＵ等により構成された信号処理部１４４、光源１３５Ａを制御するための光源ドライバー回路１４５、波長可変干渉フィルター５を制御するためのフィルター駆動回路１５、受光素子１３７からの信号を受信する受光回路１４７、センサーチップ１１０のコードを読み取り、センサーチップ１１０の有無を検出するセンサーチップ検出器１４８からの信号を受信するセンサーチップ検出回路１４９、及び排出手段１３３を制御する排出ドライバー回路１５０などを備えている。
【００７９】
次に、上記のようなガス検出装置１００の動作について、以下に説明する。
本体部１３０の上部のセンサー部カバー１３１の内部には、センサーチップ検出器１４８が設けられており、このセンサーチップ検出器１４８でセンサーチップ１１０の有無が検出される。信号処理部１４４は、センサーチップ検出器１４８からの検出信号を検出す
ると、センサーチップ１１０が装着された状態であると判断し、表示部１４１へ検出動作を実施可能な旨を表示させる表示信号を出す。
【００８０】
そして、例えば利用者により操作パネル１４０が操作され、操作パネル１４０から検出処理を開始する旨の指示信号が信号処理部１４４へ出力されると、まず、信号処理部１４４は、光源ドライバー回路１４５に光源作動の信号を出力して光源１３５Ａを作動させる。光源１３５Ａが駆動されると、光源１３５Ａから単一波長で直線偏光の安定したレーザー光が射出される。また、光源１３５Ａには、温度センサーや光量センサーが内蔵されており、その情報が信号処理部１４４へ出力される。そして、信号処理部１４４は、光源１３５Ａから入力された温度や光量に基づいて、光源１３５Ａが安定動作していると判断すると、排出ドライバー回路１５０を制御して排出手段１３３を作動させる。これにより、検出すべき標的物質（ガス分子）を含んだ気体試料が、吸引口１２０Ａから、吸引流路１２０Ｂ、センサーチップ１１０内、排出流路１２０Ｃ、排出口１２０Ｄへと誘導される。なお、吸引口１２０Ａには、除塵フィルター１２０Ａ１が設けられ、比較的大きい粉塵や一部の水蒸気などが除去される。
【００８１】
また、センサーチップ１１０は、金属ナノ構造体が複数組み込まれ、局在表面プラズモン共鳴を利用したセンサーである。このようなセンサーチップ１１０では、レーザー光により金属ナノ構造体間で増強電場が形成され、この増強電場内にガス分子が入り込むと、分子振動の情報を含んだラマン散乱光、及びレイリー散乱光が発生する。
これらのレイリー散乱光やラマン散乱光は、光学部１３５を通ってフィルター１３６に入射し、フィルター１３６によりレイリー散乱光が分離され、ラマン散乱光が波長可変干渉フィルター５に入射する。そして、信号処理部１４４は、フィルター駆動回路１５に対して制御信号を出力する。これにより、フィルター駆動回路１５は、上記第一実施形態と同様にして波長可変干渉フィルター５の静電アクチュエーター５６を駆動させ、検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光を波長可変干渉フィルター５で分光させる。この後、分光した光が受光素子１３７で受光されると、受光量に応じた受光信号が受光回路１４７を介して信号処理部１４４に出力される。この場合、波長可変干渉フィルター５から目的とするラマン散乱光を精度よく取り出すことができる。
信号処理部１４４は、上記のようにして得られた検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光のスペクトルデータと、ＲＯＭに格納されているデータとを比較し、目的のガス分子か否かを判定し、物質の特定をする。また、信号処理部１４４は、表示部１４１にその結果情報を表示させたり、接続部１４２から外部へ出力したりする。
【００８２】
なお、上記図８及び図９において、ラマン散乱光を波長可変干渉フィルター５により分光して分光されたラマン散乱光からガス検出を行うガス検出装置１００を例示したが、ガス検出装置として、ガス固有の吸光度を検出することでガス種別を特定するガス検出装置として用いてもよい。この場合、センサー内部にガスを流入させ、入射光のうちガスにて吸収された光を検出するガスセンサーを本発明の光学モジュールとして用いる。そして、このようなガスセンサーによりセンサー内に流入されたガスを分析、判別するガス検出装置を本発明の電子機器とする。このような構成でも、波長可変干渉フィルターを用いてガスの成分を検出することができる。
【００８３】
また、特定物質の存在を検出するためのシステムとして、上記のようなガスの検出に限られず、近赤外線分光による糖類の非侵襲的測定装置や、食物や生体、鉱物等の情報の非侵襲的測定装置等の、物質成分分析装置を例示できる。
以下に、上記物質成分分析装置の一例として、食物分析装置を説明する。
【００８４】
図１０は、本発明の電子機器の一例である食物分析装置の概略構成を示す図である。
この食物分析装置２００は、図１０に示すように、検出器２１０（光学モジュール）と、制御部２２０と、表示部２３０と、を備えている。検出器２１０は、光を射出する光源２１１と、測定対象物からの光が導入される撮像レンズ２１２と、撮像レンズ２１２から導入された光を分光する波長可変干渉フィルター５と、分光された光を検出する撮像部２１３（検出部）と、を備えている。なお、波長可変干渉フィルター５の代わりに、上述した波長可変干渉フィルター５Ａや、光学フィルターデバイス６００が設けられる構成としてもよい。
また、制御部２２０は、光源２１１の点灯・消灯制御、点灯時の明るさ制御を実施する光源制御部２２１と、波長可変干渉フィルター５を制御するフィルター駆動回路１５と、撮像部２１３を制御し、撮像部２１３で撮像された分光画像を取得する検出制御部２２３と、信号処理部２２４と、記憶部２２５と、を備えている。
【００８５】
この食物分析装置２００は、システムを駆動させると、光源制御部２２１により光源２１１が制御されて、光源２１１から測定対象物に光が照射される。そして、測定対象物で反射された光は、撮像レンズ２１２を通って波長可変干渉フィルター５に入射する。波長可変干渉フィルター５はフィルター駆動回路１５の制御により、上記第一実施形態に示すような駆動方法で駆動される。これにより、波長可変干渉フィルター５から精度よく目的波長の光を取り出すことができる。そして、取り出された光は、例えばＣＣＤカメラ等により構成される撮像部２１３で撮像される。また、撮像された光は分光画像として、記憶部２２５に蓄積される。また、信号処理部２２４は、フィルター駆動回路１５を制御して波長可変干渉フィルター５に印加する電圧値を変化させ、各波長に対する分光画像を取得する。
【００８６】
そして、信号処理部２２４は、記憶部２２５に蓄積された各画像における各画素のデータを演算処理し、各画素におけるスペクトルを求める。また、記憶部２２５には、例えばスペクトルに対する食物の成分に関する情報が記憶されており、信号処理部２２４は、求めたスペクトルのデータを、記憶部２２５に記憶された食物に関する情報を基に分析し、検出対象に含まれる食物成分、及びその含有量を求める。また、得られた食物成分及び含有量から、食物カロリーや鮮度等をも算出することができる。更に、画像内のスペクトル分布を分析することで、検査対象の食物の中で鮮度が低下している部分の抽出等をも実施することができ、更には、食物内に含まれる異物等の検出をも実施することができる。
そして、信号処理部２２４は、上述のようにして得られた検査対象の食物の成分や含有量、カロリーや鮮度等の情報を表示部２３０に表示させる処理をする。
【００８７】
また、図１０において、食物分析装置２００の例を示すが、略同様の構成により、上述したようなその他の情報の非侵襲的測定装置としても利用することができる。例えば、血液等の体液成分の測定、分析等、生体成分を分析する生体分析装置として用いることができる。このような生体分析装置としては、例えば血液等の体液成分を測定する装置として、エチルアルコールを検知する装置とすれば、運転者の飲酒状態を検出する酒気帯び運転防止装置として用いることができる。また、このような生体分析装置を備えた電子内視鏡システムとしても用いることができる。
更には、鉱物の成分分析を実施する鉱物分析装置としても用いることができる。
【００８８】
更には、本発明の光学モジュール、電子機器としては、以下のような装置に適用することができる。
例えば、各波長の光の強度を経時的に変化させることで、各波長の光でデータを伝送させることも可能であり、この場合、光学モジュールに設けられた波長可変干渉フィルターにより特定波長の光を分光し、受光部で受光させることで、特定波長の光により伝送されるデータを抽出することができ、このようなデータ抽出用光学モジュールを備えた電子機器により、各波長の光のデータを処理することで、光通信を実施することもできる。
【００８９】
また、電子機器としては、本発明の光学モジュールにより光を分光することで、分光画像を撮像する分光カメラ、分光分析機などにも適用できる。このような分光カメラの一例として、波長可変干渉フィルターを内蔵した赤外線カメラが挙げられる。
図１１は、分光カメラの概略構成を示す模式図である。分光カメラ３００は、図１１に示すように、カメラ本体３１０と、撮像レンズユニット３２０と、撮像部３３０とを備えている。
カメラ本体３１０は、利用者により把持、操作される部分である。
撮像レンズユニット３２０は、カメラ本体３１０に設けられ、入射した画像光を撮像部３３０に導光する。また、この撮像レンズユニット３２０は、図１１に示すように、対物レンズ３２１、結像レンズ３２２、及びこれらのレンズ間に設けられた波長可変干渉フィルター５を備えて構成されている。なお、波長可変干渉フィルター５の代わりに、上述した波長可変干渉フィルター５Ａや、光学フィルターデバイス６００が設けられる構成としてもよい。
撮像部３３０は、受光素子により構成され、撮像レンズユニット３２０により導光された画像光を撮像する。
このような分光カメラ３００では、波長可変干渉フィルター５により撮像対象となる波長の光を透過させることで、所望波長の光の分光画像を撮像することができる。この時、各波長に対して、駆動制御部（図示略）が上記第一実施形態や第三実施形態に示すような本発明の駆動方法により波長可変干渉フィルター５を駆動させることで、精度よく目的波長の分光画像の画像光を取り出すことができる。
【００９０】
更には、本発明の光学モジュールをバンドパスフィルターとして用いてもよく、例えば、発光素子が射出する所定波長域の光のうち、所定の波長を中心とした狭帯域の光のみを波長可変干渉フィルターで分光して透過させる光学式レーザー装置としても用いることができる。
また、本発明の光学モジュールを生体認証装置として用いてもよく、例えば、近赤外領域や可視領域の光を用いた、血管や指紋、網膜、虹彩などの認証装置にも適用できる。
【００９１】
更には、光学モジュール及び電子機器を、濃度検出装置として用いることができる。この場合、波長可変干渉フィルターにより、物質から射出された赤外エネルギー（赤外光）を分光して分析し、サンプル中の被検体濃度を測定する。
【００９２】
上記に示すように、本発明の光学モジュール、及び電子機器は、入射光から所定の光を分光するいかなる装置にも適用することができる。そして、本発明の光学モジュールは、上述のように、１デバイスで複数の波長を分光させることができるため、複数の波長のスペクトルの測定、複数の成分に対する検出を精度よく実施することができる。したがって、複数デバイスにより所望の波長を取り出す従来の装置に比べて、光学モジュールや電子機器の小型化を促進でき、例えば、携帯用や車載用の光学デバイスとして好適に用いることができる。
【００９３】
その他、本発明の実施の際の具体的な構造は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造等に適宜変更できる。
【符号の説明】
【００９４】
１…分光測定装置、５，５Ａ…波長可変干渉フィルター、１０…光学モジュール、１５…フィルター駆動回路、２０…制御部、５１…固定基板、５２…可動基板、５４…固定反射膜、５５…可動反射膜、５６…静電アクチュエーター、１００…ガス検出装置、１５１…電圧制御部、１５２…容量検出部、１５３…接地電極、２００…食物分析装置、３００…分光カメラ、４００…測色装置、５１５，５１５Ａ…第一透明電極、５２５，５２５Ａ…第二透明電極、５１６…第一絶縁部材、５２６…第二絶縁部材、５４１…第一ミラー電極、５５１…第二ミラー電極、５６１…固定電極、５６２…可動電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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