(57)【要約】【課題】装置を全体としてコンパクトにすることができ、かつ枚葉基材に対して均一な液処理を施すこと。【解決手段】予めレジストパターンが形成された金属製の枚葉金属板４０が準備され、この枚葉金属板４０が円筒状ドラム５１の外周に巻付けられる。円筒状ドラム５１が回転駆動機構５９により回転し、この間ノズル４６からエッチング液が枚葉金属板４０の外面に噴射される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属薄板の製造装置において、
金属製の枚葉基材を準備する工程と、
枚葉基材を円筒状ドラムの外周に巻付ける工程と、
ドラムを回転させながら、ドラム外側から処理液ノズルを介して処理液を枚葉基材外面に噴射する工程と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の製造方法。
【請求項２】
外面に所望パターンのレジストが形成された枚葉基材を準備するとともに、ドラム外側からエッチング液を枚葉基材外面に噴射することを特徴とする請求項１記載の金属薄板の製造方法。
【請求項３】
ドラム外側からエッチング液を枚葉基材外面に噴射した後、エッチング液の噴射を停止してドラムを引き続き回転させることを特徴とする請求項２記載の金属薄板の製造方法。
【請求項４】
ドラム外側からエッチング液を枚葉基材外面に噴射した後、更に処理液ノズルを介して洗浄水を枚葉基材外面に噴射することを特徴とする請求項２または３記載の金属薄板の製造方法。
【請求項５】
ドラム外側からエッチング液を枚葉基材外面に噴射した後、ドラムから枚葉基材を取外すことを特徴とする請求項２乃至４のいずれか記載の金属薄板の製造方法。
【請求項６】
ドラムから枚葉基材を取外した後、枚葉基材上のレジストを除去することを特徴とする請求項５記載の金属薄板の製造方法。
【請求項７】
枚葉基材をドラムの外周に巻付けた後、固定装置を用いて枚葉基材をドラムの外周に固定することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか記載の金属薄板の製造方法。
【請求項８】
外面に所望パターンのレジストが形成されたエッチング処理済の枚葉基材がドラムの外周に巻付けられ、ドラム外側からレジスト除去液を枚葉基材外面に噴射することを特徴とする請求項１記載の金属薄板の製造方法。
【請求項９】
外面に所望パターンで露光されたレジストが形成された枚葉基材がドラムの外周に巻付けられ、ドラム外側から現像液を枚葉基材外面に噴射することを特徴とする請求項１記載の金属薄板の製造方法。
【請求項１０】
外面に所望パターンのレジストが形成されたエッチング処理済の枚葉基材がドラム外周に巻付けられ、ドラム外周から洗浄水を枚葉基材外面に噴射することを特徴とする請求項１記載の金属薄板の製造方法。
【請求項１１】
金属薄板の製造装置において、
枚葉基材が外周に巻付けられる円筒状ドラムと、
ドラムの回転駆動機構と、
ドラム外側に設けられ、ドラムの外周に巻付けられた枚葉基材外面に処理液を噴射する処理液ノズルとを備えたことを特徴とする金属薄板の製造装置。
【請求項１２】
ドラムの外周面に、枚葉基材を固定する固定装置が設けられていることを特徴とする請求項１１記載の金属薄板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属製の枚葉基材に対して処理液を噴射する金属薄板の製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の端子部であるリードフレーム、ＨＤＤ読み取りヘッド用サスペンション基板、表示装置用蒸着マスクは、エッチング液でエッチングして加工される。これらのエッチング製品は年々高精密化が要求されてきている。
【０００３】
リードフレームを製造する場合、一般にロールｔｏロール方式で２００ｍｍ幅の材料を水平搬送し、ドライフィルムレジストをラミネートし、その後、露光、現像、エッチング、レジストを除去する剥離の工程を経る。
【０００４】
ＨＤＤ読み取りヘッド用サスペンション基板を製造する場合、ロールｔｏロール方式で材料にカゼイン等のレジストが形成され、露光、現像の各工程を経た後、材料はシート状に断裁される。次にシート状の材料にエッチングが施され、レジストを除去する剥離工程を経て積層されて出荷される。
【０００５】
表示装置用蒸着マスクを製造する場合、ロールｔｏロール方式で材料にカゼイン等のレジスト（第１コーティング）が形成され、露光、現像、第１エッチング、第２コーティング、第２エッチングを経た後、材料は剥離工程によりレジストを除去する剥離工程を経た後、断裁される（特許文献１参照）。
【０００６】
これらのエッチング製品はすべて金属薄板からなっており、小ロット多品種の要求や多面付けによる大型化の要求が強まっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−３９３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで従来より、エッチング製品を製造する場合、小ロットで大型のエッチング製品においては、効率が悪い上に寸法のばらつきが目立っていた。
【０００９】
具体的には、蒸着マスクを小ロットで製造する場合、ロールｔｏロール方式では一貫ラインを組むため必要以上の材料を使用することになり、コスト高となっていた。
【００１０】
他方、多面付けサスペンション等の大型のエッチング製品を製造する場合、シート状の材料をエッチングすることになるが、寸法のばらつきが目立ち、たとえ寸法精度を高めることができたとしても、エッチング製品自体が大型化するため設置場所の確保が必要となる。
【００１１】
ところで、いずれのエッチング製品を製造する場合も、材料に対してエッチング液を噴射するエッチング工程を経ることになるが、ロールｔｏロール方式によりエッチングを施す場合、あるいはシート状の材料にエッチング液を噴射する場合、いずれの場合もエッチング工程を実施するため比較的大きなエッチングエリアが必要となる。
【００１２】
また材料にエッチング液を噴射する際、一般に水平搬送の上面のエッチングに関して、材料の中央部に反応済エッチング液の液溜りができ、材料の外周部はエッチング液の置換が多いため、材料の中央部と周縁部との間にエッチング処理のばらつきが生じていた。
【００１３】
さらにまた、材料にエッチング液を噴射する場合、特に、ロールｔｏロールの場合、材料を十分に支えることができず、このエッチング液を確実に受けることができないという問題もあった。
【００１４】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、全体をコンパクトに構成することができ、かつ材料に対する液処理の均一化を図ることができる金属薄板の製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、金属薄板の製造装置において、金属製の枚葉基材を準備する工程と、枚葉基材を円筒状ドラムの外周に巻付ける工程と、ドラムを回転させながら、ドラム外側から処理液ノズルを介して処理液を枚葉基材外面に噴射する工程と、を備えたことを特徴とする金属薄板の製造方法である。
【００１６】
本発明は、外面に所望パターンのレジストが形成された枚葉基材を準備するとともに、ドラム外側からエッチング液を枚葉基材外面に噴射することを特徴とする金属薄板の製造方法である。
【００１７】
本発明は、ドラム外側からエッチング液を枚葉基材外面に噴射した後、エッチング液の噴射を停止してドラムを引き続き回転させることを特徴とする金属薄板の製造方法である。
【００１８】
本発明は、ドラム外側からエッチング液を枚葉基材外面に噴射した後、更に処理液ノズルを介して洗浄水を枚葉基材外面に噴射することを特徴とする金属薄板の製造方法である。
【００１９】
本発明は、ドラム外側からエッチング液を枚葉基材外面に噴射した後、ドラムから枚葉基材を取外すことを特徴とする金属薄板の製造方法である。
【００２０】
本発明は、ドラムから枚葉基材を取外した後、枚葉基材上のレジストを除去することを特徴とする金属薄板の製造方法である。
【００２１】
本発明は、枚葉基材をドラムの外周に巻付けた後、固定装置を用いて枚葉基材をドラムの外周に固定することを特徴とする金属薄板の製造方法である。
【００２２】
本発明は、外面に所望パターンのレジストが形成されたエッチング処理済の枚葉基材がドラムの外周に巻付けられ、ドラム外側からレジスト除去液を枚葉基材外面に噴射することを特徴とする金属薄板の製造方法である。
【００２３】
本発明は、外面に所望パターンで露光されたレジストが形成された枚葉基材がドラムの外周に巻付けられ、ドラム外側から現像液を枚葉基材外面に噴射することを特徴とする金属薄板の製造方法である。
【００２４】
本発明は、外面に所望パターンのレジストが形成されたエッチング処理済の枚葉基材がドラム外周に巻付けられ、ドラム外周から洗浄水を枚葉基材外面に噴射することを特徴とする金属薄板の製造方法である。
【００２５】
本発明は、金属薄板の製造装置において、枚葉基材が外周に巻付けられる円筒状ドラムと、ドラムの回転駆動機構と、ドラム外側に設けられ、ドラムの外周に巻付けられた枚葉基材外面に処理液を噴射する処理液ノズルとを備えたことを特徴とする金属薄板の製造装置である。
【００２６】
本発明は、ドラムの外周面に、枚葉基材を固定する固定装置が設けられていることを特徴とする金属薄板の製造装置である。
【発明の効果】
【００２７】
以上のように本発明によれば、金属薄板の製造装置を全体としてコンパクトに構成することができる。また枚葉基材に対して均一な液処理を施すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、本発明による金属薄板の製造装置を示す側面図。
【図２】図２は、本発明による金属薄板の製造装置を示す正面図。
【図３】図３は、ドラムを示す拡大正面図。
【図４】図４は、ドラムを示す拡大側面図。
【図５】図５は、ドラム外周面に設けられた突起を示す図。
【図６】図６（ａ）〜（ｌ）は、蒸着マスクの製造工程を示す図。
【図７】図７は、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置を示す概略斜視図。
【図８】図８は、図７に示す蒸着マスクを用いて蒸着する方法を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００３０】
図１〜図８は本発明による一実施の形態およびその変形例を説明するための図である。以下の実施の形態およびその変形例では、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に有機発光材料を所望のパターンでガラス基板上にパターニングするために用いられる金属薄板としての蒸着マスクの製造方法および製造装置を例にあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法および製造装置、あるいは他の金属薄板の製造方法および製造装置に対し、本発明を適用することができる。
【００３１】
本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。
【００３２】
まず、本実施の形態による蒸着マスクの製造方法により製造され得る蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例について、主に図７および図８を参照して説明する。ここで、図７は、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す斜視図であり、図８は、図７に示す蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図である。
【００３３】
図７及び図８に示された蒸着マスク装置１０は、矩形状の金属薄板からなる蒸着マスク２０と、蒸着マスク２０の周縁部に取り付けられたフレーム１５と、を備えている。蒸着マスク２０は、第１面２１ａおよび第１面２１ａとは反対側の第２面２１ｂを有する金属板２１を備え、この金属板２１には、第１面２１ａと第２面２１ｂとの間を延びる複数の貫通孔２５が形成されている。この蒸着マスク装置１０は、図８に示すように、蒸着マスク２０がガラス基板９２に対面するようにして、蒸着装置９０内に支持される。そして、不図示の磁石によって、蒸着マスク２０とガラス基板９２とが密着するように付勢される。蒸着装置９０内には、この蒸着マスク装置１０を挟んだガラス基板９２の下方に、蒸着材料（一例として、有機発光材料）９８を収容するるつぼ９４と、るつぼ９４を加熱するヒータ９６とが配置されている。るつぼ９４内の蒸着材料９８は、ヒータ９６からの加熱により、気化または昇華してガラス基板９２の表面に付着するようになる。上述したように、蒸着マスク２０には多数の貫通孔２５が形成されており、蒸着材料９８はこの貫通孔２５を介してガラス基板９２に付着する。この結果、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料９８がガラス基板９２の表面に成膜される。
【００３４】
図７に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク（金属薄板）２０は、金属板２１からなり、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。蒸着マスク２０の金属板２１は、貫通孔２５が形成された有孔領域２２と、貫通孔２５が形成されておらず、有孔領域２２の周囲を取り囲む領域を占める無孔領域２３と、を有している。図７に示すように、各有孔領域２２は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。
【００３５】
図示された例において、複数の有孔領域２２は、蒸着マスク２０の一辺と平行な一方向に沿って所定の間隔を空けて配置されるとともに、前記一方向と直交する他方向に沿って所定の間隔を空けて配置されている。図示された例では、一つの有孔領域２２が一つの有機ＥＬディスプレイ装置に対応するようになっている。すなわち、図７に示された蒸着マスク装置１０（蒸着マスク２０）によれば、多面付蒸着が可能となっている。
【００３６】
また、図７に示すように、各有孔領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有孔領域２２において、一方向に沿って等しい間隔をあけて並べて配置されている。また、各貫通孔２５は、前記一方向に直交する他方向と平行に、有孔領域２２の一端から他端まで細長く延びている。
【００３７】
次に蒸着マスクの製造方法の概略を述べる。
【００３８】
図６（ａ）に示すように、まず、長尺金属板３４を供給コア３１に巻き取った巻き体３２が準備される。そして、この供給コア３１が回転して巻き体３２が巻き戻されることにより、図６（ａ）に示すように帯状に延びる長尺金属板３４が供給される。なお、長尺金属板３４は貫通孔２５を形成されて金属板２１、さらには蒸着マスク２０をなすようになる。したがって、上述したように、長尺金属板３４は、例えば３６％Ｎｉインバー材からなる。ただし、これに限られず、ステンレス、銅、鉄、アルミニウムからなるシートを長尺金属板３４として用いることも可能である。
【００３９】
次に図６（ｂ）に示すように、長尺金属板３５が切断されて枚葉金属板（枚葉基材ともいう）４０が得られる。
【００４０】
次に枚葉金属板４０の表面に対して、図６（ｃ）に示すように金属板表面にあらかじめ塗布されていた防腐剤が、アルカリ液がノズル４１から供給されて洗浄される。
【００４１】
次に図６（ｄ）〜（ｇ）に示すように、枚葉金属板４０の第１面４０ａ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）３５ａが形成されるとともに、枚葉金属板４０の第２面４０ｂ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）３５ｂが形成される。具体的には、次のことが実施される。まず、枚葉金属板４０の第１面４０ａ上および第２面４０ｂ上にカゼイン等からなる感光性レジスト材料をコータ４２により塗布し、枚葉金属板４０上にレジスト膜３６を形成する（図６（ｄ））。次に、レジスト膜３６のうちの除去したい領域に光を透過させないようにしたガラス乾板３７を準備し、ガラス乾板３７をレジスト膜３６上に配置する（図６（ｅ））。その後、超高圧水銀灯４３から光を照射してレジスト膜３６をガラス乾板３７越しに露光し、さらにノズル４４から現像液を噴射させてレジスト膜３６を現像する（図６（ｅ）（ｆ）（ｇ））。以上のようにして、枚葉金属板４０の第１面４０ａ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）３５ａを形成し、枚葉金属板４０の第２面４０ｂ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）４０ｂを形成することができる。
【００４２】
次に、枚葉金属板４０はヒータ４５によりプリベークされる（図６（ｈ））。その後、図６（ｉ）に示すように、枚葉金属板４０上に形成されたレジストパターン３５ａをマスクとして、ノズル４６から噴射されるエッチング液（例えば塩化第二鉄溶液）を用いて、枚葉金属板４０の第１面４０ｂ側からエッチングする。この場合、エッチング液が、枚葉金属板４０の第１面４０ａに対面する側に配置されたノズル４６から、レジストパターン３５ａ越しに枚葉金属板４０の第１面４０ａに向けて噴射される。この結果、図６（ｉ）に示すように、枚葉金属板４０のうちのレジストパターン３５ａによって覆われていない領域で、エッチング液による浸食が進む。次に枚葉金属板４０上のエッチング液が洗浄水により除去される。
【００４３】
その後、図６（ｊ）に示すように、エッチング液に対する耐性を有した樹脂３９によって、エッチングにより形成された穴が被覆される。すなわち、エッチング液に対する耐性を有した樹脂３９によって、エッチングにより形成された穴が封止される。
【００４４】
次に、図６（ｋ）に示すように、枚葉金属板４０に対して第２回目のエッチングを行う。第２回目のエッチングにおいて、枚葉金属板４０は第２面４０ｂの側からノズル４７から噴射されるエッチング液により、エッチングされ、第２面４０ｂの側から穴の形成が進行していく。この場合、枚葉金属板４０の第１面４０ａの側には、エッチング液に対する耐性を有した樹脂３９が被覆されている。したがって、第１回目のエッチングにより所望の形状に形成された穴の形状が損なわれてしまうことはない。そして、図６（ｋ）に示すように、所望の形状の穴が枚葉金属板４０の第２面４０ｂ側に形成された時点で、枚葉金属板４０に対する第２回目のエッチングが終了する。このとき、図６（ｋ）に示すように、第１回目のエッチングにより形成された穴と第２回目のエッチングにより形成された穴は互いに連通し、これにより、互いに通じ合っている２つの穴によって貫通孔２５が枚葉金属板４０に形成される。
【００４５】
その後、図６（ｌ）に示すように、枚葉金属板４０に対してノズル４８からアルカリ液が供給されて枚葉金属板４０からレジストパターン３５ａ，３５ｂおよび樹脂膜３９が除去される。なお、樹脂膜３９は、例えばアルカリ系剥離剤により、除去することができる。このようにして枚葉状の金属板２１が得られる。
【００４６】
上述のように枚葉金属板２５からなる蒸着マスク２０を得る際、第１回目および第２回目のエッチング工程を経ることになるが、次に第１回目のエッチングを行なうための装置（本発明による金属薄板の製造装置）について図１乃至図５を参照して説明する。
【００４７】
図１乃至図５に示すように、金属薄板の製造装置は、上述のように蒸着マスク２０を得るための第１回目のエッチングを実施するものである。このような金属薄板の製造装置５０は、枚葉金属板（枚葉基材ともいう）４０が外周に巻付けられる円筒状ドラム５１と、ドラム５１を回転させる回転駆動機構５９と、ドラム５１の外側に配置されドラム５１の外周に巻付けられた枚葉金属板４０表面にエッチング液（処理液）を噴射する複数のノズル（処理液ノズル）４６とを備えている。
【００４８】
このうち、円筒状ドラム５１は、チタン製またはステンレス製となっているが、硬質の合成樹脂製により形成することもできる。また円筒状ドラム５１に巻付けられる枚葉金属板４０の第１面４０ａおよび第２面４０ｂには、予め所望パターンを有するレジストパターン３５ａ、３５ｂが形成されている。さらにノズル４６からは、例えば塩化第２鉄溶液のようなエッチング液が枚葉金属板４０表面に噴射されるようになっている。
【００４９】
またドラム５１は回転軸６０に嵌合されており、この回転軸６０を回転駆動機構５９により回転させることにより、ドラム５１が回転する。
【００５０】
さらにドラム５１およびノズル４６はエッチングケース５０Ａ内に収納されており、エッチングケース５０Ａはベースケース５０Ｂ上に支持されている。さらに回転駆動機構５９は、ベースケース５０Ｂに支持されている。
【００５１】
図１乃至図５において、ドラム５１を回転自在に支持する回転軸６０は、エッチングケース５０Ａ内に収納されるとともに、このエッチングケース５０Ａに保持されており、各ノズル４６もエッチングケース５０Ａ内面に保持されている。
【００５２】
ところで、ノズル４６には図示しないエッチング液タンクからのエッチング液が供給され、このノズル４６からエッチング液が枚葉金属板４０表面に噴射されるが、ノズル４６とエッチング液タンクとの間に切換え弁を設け、この切換え弁を介して洗浄水をノズル４６側へ供給してもよい。
【００５３】
この場合、エッチングケース５０Ａ内のエッチング液は、エッチングケース５０Ａからベースケース５０Ｂ内に配置されたエッチング液排出タンク５７内に排出される。またエッチングケース５０Ａ内の洗浄水は、エッチングケース５０Ａからベースケース５０Ｂ内に配置された洗浄水排出タンク５８内に排出される。
【００５４】
次にドラム５１に対して枚葉金属板４０を固定する固定装置について述べる。図３乃至図５に示すように、枚葉金属板４０の長さは、ドラム５１の外周長よりわずかに短くなっており、枚葉金属板４０の一端部には一対の開口６１が形成されている。
【００５５】
他方、ドラム５１の外周面には、枚葉金属板４０の開口６１に嵌合する一対の突起５５が設けられている。さらにドラム５１の外周面のうち、枚葉金属板４０の他端部に対応する位置に一対の永久磁石５６が埋め込まれ、この永久磁石５６により枚葉金属板４０の他端部をドラム５１の外周面に固定することができる。
【００５６】
なお、図５に示すように、ドラム５１の外周面に設けられた一対の突起５５の上部に弾性ゴム５５ａが取付けられており、枚葉金属板４０の開口６１を突起５５に貫通させ、この開口６１を弾性ゴム５５ａの下方までもってくることにより、突起５５が枚葉金属板４０の開口６１から抜け出すことを防止できる。
【００５７】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００５８】
まず、ドラム５１を回転軸６０から抜き出し、ドラム５１の外周に枚葉金属板４０を巻付ける。この場合、枚葉金属板４０の両面４０ａ、４０ｂには、予め所望パターンを有するレジストパターン３５ａ、３５ｂが形成されている。
【００５９】
また枚葉金属板４０の取付けにあたっては、枚葉金属板４０の一端部に設けられた一対の開口６１を、対応するドラム５１の外周面に設けられた突起５５に嵌合させる。このとき枚葉金属板４０の開口６１を突起５５の下方までもってくる。このことにより、開口６１が突起５５の弾性ゴム５５ａの下方に位置することになり、突起５５が開口６１から抜け出すことはない。
【００６０】
次に枚葉金属板４０をドラム５１の外周に巻付け、枚葉金属板４０の他端部を一対の永久磁石５６までもってきて、この枚葉金属板４０の他端部を永久磁石５６により吸着する。
【００６１】
このようにしてドラム５１の外周に巻付けられた枚葉金属板４０をドラム５１の外周面に堅固に固定することができる。
【００６２】
次に外周に枚葉金属板４０が巻付けられたドラム５１が回転軸６０上に差し込まれ、ドラム５１が回転軸６０に固定される。
【００６３】
次に回転軸６０が回転駆動機構５９により回転し、このことによりドラム５１もエッチングケース５０Ａ内で回転する。その後、ノズル４６からエッチング液が、回転するドラム５１に巻付けられた枚葉金属板４０表面に対して噴射され、枚葉金属板４０に対する第１回目のエッチングが行なわれる。
【００６４】
その後、ノズル４６からのエッチング液の噴射が停止する。ドラム５１はエッチング液の停止後も回転を続け、このことにより枚葉金属板４０表面に残るエッチング液を遠心力で外方へ放出させ、エッチング液を枚葉金属板４０の表面から除去することができる。この場合、エッチングケース５０Ａ内のエッチング液は、エッチング液タンク５７へ排出される。
【００６５】
次にノズル４６に接続された切換え弁により供給路が切換わって、ノズル４６に洗浄水が供給される。ノズル４６に供給された洗浄水は、その後回転するドラム５１の外周に巻付けられた枚葉金属板４０の表面に噴射されて枚葉金属板４０の表面に残るエッチング液が洗浄される。この場合、エッチングケース５０Ａ内の洗浄水は、洗浄水排出タンク５８へ排出される。
【００６６】
次に回転駆動機構５９が停止してドラム５１の回転が停止し、ドラム５１が回転軸６０から引抜かれる。
【００６７】
その後、ドラム５１の外周から枚葉金属板４０が上述と逆の作用により取外される。次にドラム５１は回転軸６０に再び差し込まれ、一方ドラム５１から取外された枚葉金属板４０は次工程に送られ、枚葉金属板４０のうち、第１回目のエッチングにより開口された穴が、エッチング液に対する耐性を有する樹脂３９によって被覆される（図６（ｊ）参照）。
【００６８】
その後、枚葉金属板４０に対して第２回目のエッチングが施される（図６（ｋ）参照）。この第２回目のエッチングを、図１乃至図５に示す第１回目のエッチングを実行する金属薄板の製造装置５０を用いて実行することもできる。
【００６９】
その後枚葉金属板４０に対してノズル４８からアルカリ液が供給され、枚葉金属板４０からレジストパターン３５ａ、３５ｂおよび樹脂膜３９が除去される（図６（ｌ）参照）。このレジストパターン３５ａ、３５ｂおよび樹脂膜３９の除去を、図１乃至図５に示す第１回目のエッチングを実行する金属薄板の製造装置５０と同様の装置を用いて実行してもよい。
【００７０】
以上のように本実施の形態によれば、円筒状ドラム５１の外周に枚葉金属板４０を巻付け、この枚葉金属板４０の外面にエッチング液をノズル４６から噴射することによりエッチング処理を行なうことができ、あるいは、この枚葉金属板４０の外面に剥膜液をノズル４６から噴射することにより剥膜処理を行うことができる。たとえば、水平搬送装置であれば、エッチング処理も剥膜処理も１０ｍ以上の大型の装置が必要であったが、本装置ではおよそ一辺２ｍの立方体形状の大きさの装置で処理が可能となり、エッチング処理装置、あるいは、剥膜装置を全体としてコンパクトに構成することができる。
【００７１】
さらにドラム５１の外周に巻付けられた枚葉金属板４０外周に向けてノズル４６からエッチング液が噴射されるため、エッチング液の噴射力をドラム５１が受けることができる。このためエッチング液の噴射時に枚葉金属板４０が波打つことはなく、安定したエッチング処理を行なうことができる。
【００７２】
またドラム５１の外周に巻付けられた枚葉金属板４０外周に向けてエッチング液が噴射されるため、エッチング液の液溜まりをなくし、エッチング処理を枚葉金属板４０全面に均一に施すことができる。
【００７３】
すなわち、例えば枚葉金属板４０を水平方向に搬送し、この搬送中に上方から枚葉金属板４０上にエッチング液を噴射する場合、枚葉金属板４０の中央部に反応済エッチング液の液溜まりが形成され、枚葉金属板４０の中央部においてエッチング不良が生じることも考えられる。
【００７４】
これに対して本実施の形態によれば、ドラム５１の外周に巻付けられた枚葉金属板４０上にエッチング液が噴射されるため、エッチング液の液溜まりをなくし、エッチング処理を枚葉金属板４０全面に渡って均一に施すことができる。
【００７５】
なお、上記実施の形態において、図１乃至図５に示す金属薄板の製造装置５０により第１回目のエッチングを実行する例を示したが、これに限らず、この金属薄板の製造装置５０を用いて第２回目のエッチングを実行してもよく（図６（ｋ）参照）、金属薄板の製造装置５０を用いて枚葉金属板４０上のレジストパターン３５ａ、３５ｂおよび樹脂膜３９を除去してもよく（図６（ｌ）参照）、さらにまたこの金属薄板の製造装置５０を用いてノズル４４から現像液を噴射させて現像処理を行なってもよい（図６（ｇ）参照）。
【００７６】
さらにまた、上記実施の形態において、金属薄板の製造装置５０を用いてエッチングにより蒸着マスクを製造する例を示したが、これに限らず金属薄板の製造装置５０を用いて半導体装置のリードフレームを製造してもよく、ＨＤＤ読み取りヘッド用サスペンション等のその他のエッチング製品を製造してもよい。
【符号の説明】
【００７７】
２０  蒸着マスク
２１  金属板
２１ａ  第１面
２１ｂ  第２面
４６  ノズル
５０  金属薄板の製造装置
５０Ａ  エッチングケース
５０Ｂ  ベースケース
５１  ドラム
５５  突起
５６  永久磁石
５７  エッチング液排出タンク
５８  洗浄水排出タンク
５９  回転駆動機構
６０  回転軸
６１  開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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