(57)【要約】【課題】合流点および／または分岐点のある流路構造を有する接液部を均一な流れで洗浄することができる洗浄装置および洗浄方法の提供。【解決手段】機械的に作動する棒状部材の作用によりノズルから液体材料を吐出する吐出装置の接液部を洗浄するための洗浄装置であって、圧縮気体源から供給される圧縮気体の作用により洗浄液を供給する洗浄液供給タンクと、圧縮気体または洗浄液を供給する複数個の供給機構と、複数個の供給機構と流体的に接続される接液部固定治具と、接液部固定治具と流体的に接続される洗浄液回収タンクと、制御装置と、を備え、供給機構が、制御装置が各供給機構に個別に指定した圧力値に基づき洗浄液を供給する洗浄装置および当該装置を用いた洗浄方法。【選択図】図１
2014000536.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械的に作動する棒状部材の作用によりノズルから液体材料を吐出する吐出装置の接液部を洗浄するための洗浄装置であって、
前記接液部は、棒状部材が挿通される作動空間と、当該作動空間に液体材料を供給する供給流路を含み、
前記洗浄装置は、
圧縮気体源から供給される圧縮気体の作用により洗浄液を供給する洗浄液供給タンクと、
圧縮気体または洗浄液を供給する複数個の供給機構と、
複数個の供給機構と流体的に接続される接液部固定治具と、
接液部固定治具と流体的に接続される洗浄液回収タンクと、
制御装置と、
を備え、
前記供給機構が、前記制御装置が各供給機構に個別に指定した圧力値に基づき洗浄液を供給することを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記供給機構が、前記制御装置が各供給機構に個別に指定した圧力値に基づき圧縮気体を供給することを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記供給機構が、
前記制御装置が指定した圧力値に基づき圧縮気体源から供給される圧縮気体を所望の圧力に調圧するレギュレータと、
レギュレータと流体的に接続される第一の上流開閉弁と、
洗浄液供給タンクと流体的に接続される第二の上流開閉弁と、
第一および第二の上流開閉弁並びに接液部固定治具と流体的に接続されるサブタンクと、
サブタンクと接液部固定治具との間に設けられた下流開閉弁とを備えて構成されることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
圧縮気体源から供給される圧縮気体が、複数個のレギュレータを通過して前記洗浄液供給タンクに供給されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記接液部固定治具が、連結具により分割自在に固定される複数個の部材からなることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の洗浄装置を用いた洗浄方法であって、
前記供給機構が調圧された圧縮気体を前記接液部固定治具へ供給する気体洗浄工程と、
前記供給機構が調圧された圧縮気体の作用により洗浄液を前記接液部固定治具へ供給する液体洗浄工程と、
前記供給機構が調圧された圧縮気体を前記接液部固定治具へ供給する乾燥工程と、
を有する洗浄方法。
【請求項７】
機械的に作動する棒状部材の作用によりノズルから液体材料を吐出する吐出装置の接液部の洗浄方法であって、
前記接液部は、棒状部材が挿通される作動空間と、当該作動空間に液体材料を供給する供給流路を含み、
調圧された圧縮気体を、前記接液部を格納した接液部固定治具へ供給する気体洗浄工程と、
調圧された圧縮気体の作用により洗浄液を前記接液部固定治具へ供給する液体洗浄工程と、
調圧された圧縮気体を前記接液部固定治具へ供給する乾燥工程と、
を有する洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
機械的に作動する棒状部材の作用によりノズルから液体材料を吐出する吐出装置の接液部の内部流路を洗浄するための洗浄装置および洗浄方法に関する。本明細書における「接液部」とは、棒状部材が作動する作動空間および液体材料に接する流路（例えば、液体材料貯留容器からノズルに至る流路）が形成された一または複数個の部材のことをいうものとする。
【背景技術】
【０００２】
液体材料吐出装置では、時間経過に伴って液体材料の粘度が高くなり、装置本体内の流路やノズルなどで詰まりが発生したり、吐出量が変化（主に減少）したりするおそれがある。そのため、液体材料に接する流路を定期的に洗浄する必要がある。特に、機械的に作動する棒状部材の作用によりノズルから液体材料を吐出するタイプの吐出装置（図４ないし図６参照）では、一般に複雑な流路構造を有するため、洗浄は必須である。
【０００３】
吐出装置の洗浄方法として一般的に行われているのは、構成部品を分解し、液体材料の付着している部品を容器に小分けした溶剤（洗浄液）に浸して超音波洗浄器にて洗浄を行う方法である。この方法は、大がかりな設備を必要とせずに簡単に実施できるが、次のような問題がある。
第一に、時間に関する問題、すなわち分解・組立に時間がかかること、超音波加振を比較的長い時間実施しなければ液材を落とせないこと、きれいに落とすために溶剤を交換しながら数回実施しなければならないことが挙げられる。第二に、洗浄の効果に関する問題、すなわち溶剤に溶け出した液材が再付着してしまうことがあり液材をきれいに落とせないことが挙げられる。第三に、安全性に関する問題、すなわち基本的に手作業であるので、人体に有害な物質（溶剤や液材）に接触するおそれがあることが挙げられる。
【０００４】
分解をせずに吐出装置本体やノズルに配管を接続し、直接洗浄液を流し込んで洗浄する方法もある。
例えば、特許文献１には、ヘッド内流路に洗浄液を通液することにより、ヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置において、通液する洗浄液を供給する洗浄液タンクと、ヘッド内流路を通液した洗浄液を回収する洗浄液回収部と、洗浄液タンクから導入部接続ジョイントおよびキャップを経て、洗浄液を洗浄液回収部に導く洗浄液流路と、洗浄液流路に洗浄液を通液させる通液手段と、洗浄液流路にエアーを導入しながら強制的に通気させる強制通気手段と、洗浄液の通液を終了させた後、強制通気手段を駆動して洗浄液流路にエアーを強制的に通気させる制御手段と、を備えた機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置、が開示されている。
【０００５】
また、特許文献２には、先端に塗料吐出用のスリット状ノズル口を有するノズルに塗料供給管を接続したノズルコーターのノズル先端部を収容でき、かつ、幅がノズル口部分より広いキャップを製作して、キャップのノズル口と対向する部分に塗料排出穴を形成し、キャップ外部の塗料排出穴部分に塗料排出管を固着した連続塗装用ノズルコーターのノズル洗浄装置、が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−５８９４６号公報
【特許文献２】実開平５−７６５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献記載の洗浄装置は、洗浄対象の流路形状が液材供給側から液材排出側まで一本道であり、洗浄液を一定の圧力で流路内に流すことを前提とするものである。しかしながら、合流点や分岐点を有したり、流路の断面形状が一様でないなどの複雑な経路の流路においては、流路に洗浄液を一定の圧力で流そうとすると、流動抵抗の相違により、合流・分岐する流路の一部の流れが滞ったり、場合によっては逆流してしまったりするという問題があった。
【０００８】
また、同じ種類の吐出装置を同じ条件で使用した場合でも、接液部の流路内に残った液体材料の状況により、必要な洗浄液の量および洗浄時間が異なる場合があった。洗浄を確実に行うためには、最も悪い状況を念頭に洗浄条件を設定する必要があり、洗浄液の無駄、洗浄時間延長による生産性低下の問題が生じていた。
また、接液部の流路内に残った液体材料の状況によっては、洗浄液を流すために高い圧力が必要となる場合があり、流路形状の変形や破損の原因となっていた。この問題は、特に液体材料の粘度が高い場合に顕著であった。
【０００９】
そこで本発明は、上記問題点を解決できる洗浄装置および洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の発明は、機械的に作動する棒状部材の作用によりノズルから液体材料を吐出する吐出装置の接液部を洗浄するための洗浄装置であって、前記接液部は、棒状部材が挿通される作動空間と、当該作動空間に液体材料を供給する供給流路を含み、前記洗浄装置は、圧縮気体源から供給される圧縮気体の作用により洗浄液を供給する洗浄液供給タンクと、圧縮気体または洗浄液を供給する複数個の供給機構と、複数個の供給機構と流体的に接続される接液部固定治具と、接液部固定治具と流体的に接続される洗浄液回収タンクと、制御装置と、を備え、前記供給機構が、前記制御装置が各供給機構に個別に指定した圧力値に基づき洗浄液を供給することを特徴とする洗浄装置である。
第２の発明は、第１の発明において、前記供給機構が、前記制御装置が各供給機構に個別に指定した圧力値に基づき圧縮気体を供給することを特徴とする。
第３の発明は、第１または２の発明において、前記供給機構が、前記制御装置が指定した圧力値に基づき圧縮気体源から供給される圧縮気体を所望の圧力に調圧するレギュレータと、レギュレータと流体的に接続される第一の上流開閉弁と、洗浄液供給タンクと流体的に接続される第二の上流開閉弁と、第一および第二の上流開閉弁並びに接液部固定治具と流体的に接続されるサブタンクと、サブタンクと接液部固定治具との間に設けられた下流開閉弁とを備えて構成されることを特徴とする。
第４の発明は、第１ないし３のいずれかの発明において、圧縮気体源から供給される圧縮気体が、複数個のレギュレータを通過して前記洗浄液供給タンクに供給されることを特徴とする。
【００１１】
第５の発明は、第１ないし４のいずれかの発明において、前記接液部固定治具が、連結具により分割自在に固定される複数個の部材からなることを特徴とする。
第６の発明は、第１ないし５のいずれかの発明に係る洗浄装置を用いた洗浄方法であって、前記供給機構が調圧された圧縮気体を前記接液部固定治具へ供給する気体洗浄工程と、前記供給機構が調圧された圧縮気体の作用により洗浄液を前記接液部固定治具へ供給する液体洗浄工程と、前記供給機構が調圧された圧縮気体を前記接液部固定治具へ供給する乾燥工程と、を有する洗浄方法である。
第７の発明は、機械的に作動する棒状部材の作用によりノズルから液体材料を吐出する吐出装置の接液部の洗浄方法であって、前記接液部は、棒状部材が挿通される作動空間と、当該作動空間に液体材料を供給する供給流路を含み、調圧された圧縮気体を、前記接液部を格納した接液部固定治具へ供給する気体洗浄工程と、調圧された圧縮気体の作用により洗浄液を前記接液部固定治具へ供給する液体洗浄工程と、調圧された圧縮気体を前記接液部固定治具へ供給する乾燥工程と、を有する洗浄方法である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、合流点および／または分岐点のある流路構造を有する接液部を均一な流れで洗浄することができる。
また、供給機構毎に個別に指定した圧力値に基づき洗浄液および／または圧縮気体を供給することが可能となる。
さらに、気体洗浄工程を有する本発明によれば、洗浄液の使用量、洗浄時間および洗浄液送出圧力の低減を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態に係る洗浄装置の概略系統図である。
【図２】実施形態に係る洗浄装置の動作フローチャートである。
【図３】実施形態に係る洗浄装置の接液部固定治具を説明する断面図である。（ａ）は組み付けた状態、（ｂ）は取り外した状態を示す。
【図４】本発明で洗浄対象とするジェット式吐出装置を説明する要部断面図である。
【図５】本発明で洗浄対象とするスクリュー式吐出装置を説明する要部断面図である。
【図６】本発明で洗浄対象とするプランジャ式吐出装置を説明する要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明は、機械的に作動する棒状部材の作用によりノズルから液体材料を吐出するタイプの吐出装置の接液部を洗浄するための洗浄装置を提供するものである。本発明の洗浄装置は、接液部が複雑な流路構造を有する場合（特に複数の流入口および流入口より少ない数の流出口を有する場合）において、洗浄液を一定の圧力で供給しても接液部内の流路の流れは均一にはならないという課題を解決することを可能とするものである。
本発明の洗浄装置は、接液部の流入口と同数の供給機構を備えている。この供給機構は独立に調圧された圧力で洗浄液を供給することを可能とするものであって、レギュレータと、レギュレータと流体的に接続される第一の上流開閉弁と、洗浄液供給タンクと流体的に接続される第二の上流開閉弁と、第一および第二の上流開閉弁並びに接液部固定治具と流体的に接続されるサブタンクと、サブタンクと接液部固定治具との間に設けられた下流開閉弁とを備えて構成される。好ましくは、接液部固定治具に接続される排出管（下流開閉弁が設けられる排出流路）は、接液部の流出口の数と同数とする。以下に、本発明を実施するための形態例を説明する。
【００１５】
＜接液部＞
図４から図６に本発明の洗浄装置により洗浄される接液部を有する吐出装置４００の例を示す。図４は、棒状部材であるロッド４０２を上下動させ、ロッド先端をバルブシート４１１に当接することにより、液体材料をノズル４０５から液滴の状態で吐出するジェット式吐出装置である。図５は、棒状部材である螺旋状のつば４１２を備えるスクリュー４０２を回転させ、つば４１２の作用により液体材料をノズル４０５から吐出するスクリュー式吐出装置である。図６は、棒状部材であるプランジャ４０２を急速に進出移動させた後、急停止することにより液体材料に慣性力を与えてノズル４０５から吐出するプランジャ式吐出装置である。なお、吐出時には、回転弁４１３が回転し、棒状部材４０２が動作する作動空間４０３とノズル４０５とを連通する。
【００１６】
当該タイプの吐出装置４００の接液部４０１の内部流路は、図４から図６に示すように、棒状部材４０２が作動する作動空間４０３に、液体材料を供給するための流路４０４が直接的または間接的に接続する構造である。別の言い方をすると、棒状部材４０２が作動する作動空間４０３と、液体材料を供給するための流路４０４が合流して一つになりノズル４０５側へと通じている合流・分岐構造である。流路４０４は、鉤状、側面視Ｌ字形であることが一般的であるが、液体材料貯留容器４１０から斜めに延出する直線状の流路の場合もある。
この接液部４０１を洗浄する際には、棒状部材４０２を含む駆動部４０９と、その反対側に設置されているノズル４０５を取り外してから洗浄を実施する。洗浄液は、液体材料貯留容器４１０と接続される接続部流入口Ａ４０６と、棒状部材４０２が挿通される接続部流入口Ｂ４０７から入り、ノズル４０５と接続する口である接続部流出口４０８から出るように流す。
【００１７】
＜洗浄装置＞
実施形態に係る洗浄装置の構成を図１を参照しながら説明する。図１は、実施形態に係る洗浄装置１００の系統図である。ここで、図中の矢印は、気体および／または液体の流れる方向を表す。
実施形態に係る洗浄装置１００は、洗浄液供給タンク１０１と、サブタンク１０９、１１０と、接液部固定治具３００と、洗浄液回収タンク１２９と、図示しない制御装置とを主様な構成要素とする。本実施形態では、二つの供給機構を備えている。各供給機構は、液体系統の配管（例えば符号１０４）および気体系統の配管（例えば符号１０３）と接続されたサブタンク（１０９、１１０）を備えている。
【００１８】
洗浄液供給タンク１０１は、洗浄液を貯留するための容器本体１０２と、容器本体１０２内の洗浄液の量を検知するためのセンサＡ１０５を備える。容器本体１０２には、洗浄液を送出するための圧縮気体が供給される気体配管１０３と、容器本体１０２の加圧された洗浄液を送出するための液体配管１０４とが接続される。液体配管１０４は、供給機構（サブタンク１０９、１１０）の数に合わせて分岐している。本実施形態では、センサＡ１０５に接液型センサを用いている。これは、樹脂製の検出部が液体に触れたときに光を反射しなくなることを利用して検出を行うものである。これ以外にも、例えば、超音波の反射によって液面を検知するセンサなどを用いることができる。洗浄液供給タンク１０１の容量は、複数回分の洗浄液を貯留できる容量であることが好ましい。後述のように、液体洗浄工程を繰り返したり、複数の接液部４０１に連続して洗浄を実施したりする場合に、途中で洗浄液がなくなることを防ぐためである。
【００１９】
洗浄装置１００は、圧縮気体を供給する圧縮気体源１０６に接続される。圧縮気体源１０６は、レギュレータＡ１０７にて所望の圧力へ調圧された後に分岐し、その一方が二つの供給機構に、他方がレギュレータＢ１０８に接続される。レギュレータＡ１０７は、ミストセパレータやフィルタを備えており、圧縮気体源１０６から供給される気体を乾燥した清浄な状態にし、かつ調圧を行うことで圧縮気体源１０６での脈動を抑制する。レギュレータＢ１０８は、洗浄液を圧送するための圧力に調節する。レギュレータＡ１０７およびレギュレータＢ１０８の二段階で調圧を行うことで、より一層脈動を抑制した圧縮気体を洗浄液供給タンク１０１へ供給することができる。
本実施形態では、レギュレータＡ１０７およびレギュレータＢ１０８にツマミを手動で回転させて調節を行うタイプのレギュレータを用いている。ただし、これに限定されず、後述する電気信号により圧力を制御する比例制御弁（電空レギュレータ）を用いてもよい。また、設定値を確認できるようゲージ（圧力計）を備えていることが好ましい。
【００２０】
サブタンク１０９、１１０は、洗浄液を一時貯留するための容器本体１１１、１１２と、容器本体１１１、１１２内の洗浄液の量を検知するためのセンサＣ１１５、センサＤ１１６を備える。容器本体１１１、１１２には、圧縮気体を供給する気体配管１０３と、洗浄液が流入する流入液体配管１１３と、排出配管１１４とが接続される。本実施形態では、センサＣ１１５、センサＤ１１６に透過型のセンサを用いている。これは、投光部から受光部へ照射された光が遮られたときに検出を行うものである。これ以外にも、例えば、超音波の反射によって液面を検知するセンサなどを用いることができる。なお、サブタンク１０９、１１０は後述する接液部４０１の流入口の数と同じ数だけ設けられる。
【００２１】
洗浄液供給タンク１０１と各サブタンク１０９、１１０との間は分岐した液体配管１０４により接続される。分岐された液体配管１０４には、開閉弁Ｃ１２１および開閉弁Ｄ１２２が設けられ、洗浄液供給タンク１０１からの洗浄液の供給および停止を制御する。本実施形態では、開閉弁Ｃ１２１および開閉弁Ｄ１２２にダイアフラムバルブを用いている。
圧縮気体源１０６と各サブタンク（１０９、１１０）との間は分岐した気体配管１０３により接続される。分岐された気体配管１０３には、レギュレータＣ１１７および開閉弁Ａ１１９並びにレギュレータＤ１１８および開閉弁Ｂ１２０が設けられ、レギュレータＡ１０７により調圧された圧縮気体を所望の圧力に調節するとともに、圧縮気体の供給および停止を制御する。前述の洗浄液供給タンク１０１の場合と同様に、レギュレータＡ１０７並びにレギュレータＣ１１７およびレギュレータＤ１１８の二段階で調圧を行うことで、より一層脈動を抑制した圧縮気体をサブタンク１０９、１１０へ供給することができる。本実施形態では、レギュレータＣ１１７およびレギュレータＤ１１８に電気信号により圧力を制御する比例制御弁（電空レギュレータ）を、開閉弁Ａ１１９および開閉弁Ｂ１２０にソレノイドバルブを用いている。
【００２２】
洗浄液を接液部固定治具３００（接液部４０１）へ供給する際には、洗浄液を一旦サブタンク１０９、１１０に貯留した後、圧縮気体の作用により接液部４０１へと供給する。また、圧縮気体を固定治具３００（接液部４０１）へ供給する際には、空の状態のサブタンク１０９、１１０を経由して圧縮気体を接液部４０１へ供給する。洗浄液および圧縮気体を接液部固定治具３００に供給する際の圧縮気体の圧力は、圧縮気体源１０６とサブタンク１０９、１１０との間に設けたレギュレータＣ１１７、レギュレータＤ１１８により個別に調圧される。
このように、本実施形態では、サブタンク１０９、１１０を設けることで、液体系統（例えば符号１０４）および気体系統（例えば符号１０３）それぞれにレギュレータを設けることなく、サブタンク毎に設けられた一つの共通したレギュレータ（１１７、１１８）で圧力の調整を行うことができる。加えて、サブタンク（１０９、１１０）毎に開閉弁（１１９から１２４）やレギュレータ（１１７、１１８）を備えているので、サブタンク（１０９、１１０）毎に異なる設定値（圧力値）に圧力を制御することが可能である。
【００２３】
接液部固定治具３００は、二つの部材（３０１、３０２）により接液部４０１を挟装する器具であり、各サブタンク１０９、１１０と連通する排出配管１１４、１１４および洗浄液回収タンク１２９と連通する排出液配管Ａ１２７が接続されている。接液部固定治具３００は、洗浄装置１００に着脱自在に配置されている。接液部固定治具３００の詳細については後述する。
【００２４】
サブタンク１０９と接液部固定治具３００との間には開閉弁Ｅ１２３が、サブタンク１１０と接液部固定治具３００との間には開閉弁Ｆ１２４が設けられ、洗浄液または圧縮気体の供給および停止を制御する。本実施形態では、開閉弁Ｅ１２３および開閉弁Ｆ１２４にダイアフラムバブルを用いている。
サブタンク１０９と開閉弁Ｅ１２３との間には切換弁Ａ１２５が、サブタンク１１０と開閉弁Ｆ１２４との間には切換弁Ｂ１２６が設けられている。この切換弁（１２５、１２６）により、サブタンク（１０９、１１０）から接液部４０１を経ずに洗浄液回収タンク１２９へ洗浄液を直接排出することができる。切換弁（１２５、１２６）は、通常時はサブタンク（１０９、１１０）と接液部固定治具３００との間の開閉弁（１２３、１２４）とを連通するようになっており、排出時に切換弁（１２５、１２６）を切り換えて使用する。本実施形態では、切換弁Ａ１２５およびＢ１２６に手動の切換弁を用いている。
【００２５】
洗浄液回収タンク１２９は、使用済みの洗浄液を貯留する容器本体１３０と、タンク１２９内の使用済み洗浄液の量を検知するためのセンサＢ１３１を備える。容器本体１３０には、接液部固定治具３００からの排出液を流入する排出液配管Ａ１２７と、切換弁Ａ１２５および切換弁Ｂ１２６からの排出液を流入する排出液配管Ｂ１２８、１２８とが接続される。洗浄液回収タンク１２９は、洗浄液供給タンク１０１と同程度かそれ以上の容量を有していることが好ましい。本実施形態では、センサＢ１３１に接液型センサを用いている。これは、樹脂製の検出部が液体に触れたときに光を反射しなくなることを利用して検出を行うものである。これ以外にも、例えば、超音波の反射によって液面を検知するセンサなどを用いることができる。
【００２６】
図示しない制御装置は、入力装置、出力装置、処理装置および記憶装置から構成され、開閉弁Ａ１１９〜開閉弁Ｆ１２４、レギュレータＣ１１７およびレギュレータＤ１１８、センサＡ１０５〜センサＤ１１６と接続し、これらの制御を行う。入力装置としては、例えば、キーボードやマウスなどを用いることができる。出力装置としては、例えば、液晶ディスプレイなどのモニタを用いることができる。また、入力装置と出力装置を兼ねるものとしてタッチパネルなどを用いてもよい。処理装置および記憶装置としては、例えば、パーソナルコンピュータやプログラマブルコントローラなどを用いることができる。
【００２７】
＜接液部固定治具＞
接液部固定治具３００の詳細を図３を参照しながら説明する。図３は、実施形態に係る洗浄装置１００の接液部固定治具３００を説明する断面図である。ここで、（ａ）は組み付けた状態、（ｂ）は取り外した状態を示す。接液部４０１は、図４のジェット式吐出装置４００のものを例示している。
接液部固定治具３００は、入口側部材３０１と出口側部材３０２とから構成される。
入口側部材３０１には、接続部流入口Ａ４０６および接続部流入口Ｂ４０７と各サブタンク１０９、１１０の排出配管１１４、１１４と接続するための流入管Ａ３０３および流入管Ｂ３０４が設けられている。各流入管３０３、３０４の端部は、接続部流入口Ａ４０６、接続部流入口Ｂ４０７と連通する形状に形成されており、その接合部分にパッキンＡ３０６およびパッキンＢ３０７を設けて、洗浄液等が漏れないようにしている。
【００２８】
出口側部材３０２には、接続部流出口４０８と洗浄液回収タンク１２９と接続するための流出管３０５が設けられる。出口側部材３０２には、接液部４０１が嵌合する形状の凹部３１２が形成されており、本実施形態では、接液部４０１の体積の半分以上が嵌まるようになっている。凹部３１２の下端部には、流出管３０５が設けられている。流出管３０５の端部は、接液部流出口４０８と連通する形状に形成されており、その接合部分にパッキンＣ３０８を設け、洗浄液等が漏れないようにしている。
【００２９】
入口側部材３０１と出口側部材３０２とは、連結具により着脱自在に固定できるようにすることが好ましい。本実施形態では、パッチン錠３０９を接液部固定治具３００の側面の二箇所に設け、二つの部材（３０１、３０２）を着脱容易に固定している。
以上では、接液部固定治具３００の一例を説明したが、入口／出口側部材（３０１、３０２）や流入／流出管（３０３〜３０５）は、吐出装置毎に異なる接液部４０１の形状に合わせて形成されるものであり、図に描いた部材の形状および個数に限定されない。また、接液部固定治具３００は、図示の如く接液部４０１を上下から挟装する構成でなく、左右ないし側方から挟装する構成としてもよい。
【００３０】
以上のように、接液部４０１の外形に合わせて形成した治具３００を設けることで、接液部４０１の洗浄時の配管接続を容易にでき、また、接液部４０１を分解することなく洗浄できるという利点がある。また、接液部４０１の形状に合わせて治具３００をいくつか用意しておくことで、別の吐出装置４００の接液部４０１の洗浄も簡単にできるという利点がある。
【００３１】
＜洗浄作業＞
上記の洗浄装置は次のように動作し、洗浄作業が行われる。図２に、その動作フローチャートの一例を示す。
（１）接液部の接続（ＳＴＥＰ２０１）
洗浄を実施しようとする接液部４０１に接液部固定治具３００を装着し、接液部固定治具３００に各配管（１１４、１２７）を接続する。なお、その他の機器は設置・配管済みとする。
また、洗浄液供給タンク１０１に洗浄液を投入する。洗浄液回収タンク１２９およびサブタンク１０９、１１０は空の状態である。本実施形態では、洗浄液としてアセトンを用いている。ただし、これに限定されず、液体材料の性質に応じた洗浄液を選ぶとよい。例えば、溶剤としてよく用いられるエタノールやイソプロピルアルコールなどを用いることができる。
【００３２】
（２）初期設定（ＳＴＥＰ２０２）
まず、レギュレータＡ１０７およびレギュレータＢ１０８の圧力を設定する。本実施形態では、ゲージを目視で確認しながらツマミを回して調節を行う。
ついで、レギュレータＣ１１７およびレギュレータＤ１１８の圧力を設定する。本実施形態では、制御装置の入力装置を通じて圧力設定を行う。このレギュレータＡ〜Ｂの設定は、後述の工程（気体洗浄、液体洗浄、乾燥）毎に行う。なお、レギュレータＣ１１７とレギュレータＤ１１８とで設定値を異ならせる場合と、異ならせない場合がある。
ついで、制御装置の入力装置から、各開閉弁１１９〜１２４の開閉時間（洗浄時間、乾燥時間）、洗浄液の量、液体洗浄工程の回数を設定する。
以上の操作を終えた後、洗浄を開始する。
【００３３】
（３）気体洗浄工程（ＳＴＥＰ２０３）
接液部固定治具３００に洗浄液を供給する前に、圧縮気体を供給する。
まず、開閉弁Ｃ１２１および開閉弁Ｄ１２２を「閉」にした状態で、開閉弁Ｅ１２３および開閉弁Ｆ１２４を「開」にした後、開閉弁Ａ１１９および開閉弁Ｂ１２０を「開」にする。すると、圧縮気体は、レギュレータＣ１１７→開閉弁Ａ１１９→サブタンクＡ１０９→切換弁Ａ１２５→開閉弁Ｅ１２３およびレギュレータＤ１１８→サブタンクＢ１１０→開閉弁Ｂ１２０→切換弁Ｂ１２６→開閉弁Ｆ１２４を通って接液部固定治具３００（接液部４０１）へ供給される。接液部固定治具３００を通過した圧縮気体は、洗浄液回収タンク１２９に到達した後、大気へ開放される。設定時間経過後、開閉弁Ａ１１９および開閉弁Ｂ１２０を「閉」にした後、開閉弁Ｅ１２３および開閉弁Ｆ１２４を「閉」にする。
【００３４】
気体洗浄工程により、接液部４０１の流路（４０３、４０４）内を満たしている液体材料に孔が形成され、続く液体洗浄工程で内壁に付着した液体材料が流路壁から剥がれやすくなるという効果が得られる。なぜなら、液体材料と洗浄液との接触面積が増えることにより、洗浄液が液体材料を溶かす作用が促進され、また、力を及ぼす範囲の拡大がなされるからである。
さらに、液体材料が流路壁から剥がれやすくなることは、洗浄液の使用量の削減、洗浄時間の短縮、洗浄液送出圧力の低減という効果をも奏する。
なお、時間経過によらず、排出液配管Ａ１２７に圧力センサを設け、圧力の変化により各開閉弁１１９〜１２４の制御を行ってもよい。接液部４０１の流路（４０３、４０４）内を満たす液体材料に孔が空けば、圧力に変化があるからである。
【００３５】
（４）液体洗浄工程（ＳＴＥＰ２０４）
接液部固定治具３００（接液部４０１）に、洗浄液の供給を行う。詳細には、次の二つの工程からなる。
（４ａ）サブタンクへの洗浄液の供給（ＳＴＥＰ２０４ａ）
開閉弁Ａ１１９および開閉弁Ｂ１２０並びに開閉弁Ｅ１２３および開閉弁Ｆ１２４を「閉」にした状態で、開閉弁Ｃ１２１および開閉弁Ｄ１２２を「開」にする。すると、レギュレータＢ１０８により調圧された圧縮気体の作用により、洗浄液が洗浄液供給タンク１０１から、サブタンク１０９、１１０へと供給される。設定時間経過後、開閉弁Ｃ１２１および開閉弁Ｄ１２２を「閉」にする。
ここで、洗浄液の供給量は、一回分の洗浄で用いる量とする。また、設定時間ではなく、センサＣ１１５およびセンサＤ１１６の検知の有無で供給制御してもよい。その場合、サブタンク（１０９、１１０）の容量そのものを一回分の洗浄液の容量と同程度とするとよい。
【００３６】
（４ｂ）接液部への洗浄液の供給（ＳＴＥＰ２０４ｂ）
開閉弁Ｃ１２１および開閉弁Ｄ１２２を「閉」にした状態で、開閉弁Ａ１１９および開閉弁Ｂ１２０を「開」にした後、開閉弁Ｅ１２３および開閉弁Ｆ１２４を「開」にする。すると、サブタンク１０９、１１０内の洗浄液が、レギュレータＣ１１７、レギュレータＤ１１８により調圧された圧縮気体により加圧され、洗浄液が接液部固定治具３００（接液部４０１）へ供給される。設定時間経過後、開閉弁Ｅ１２３および開閉弁Ｆ１２４を「閉」にした後、開閉弁Ａ１１９および開閉弁Ｂ１２０を「閉」する。
なお、この工程の洗浄液供給開始時の開閉弁の開閉の順序は、ＳＴＥＰ２０３と異なるので注意する。これは、開閉弁Ａ１１９および開閉弁Ｂ１２０を先に「開」にすることで、サブタンク１０９、１１０内の洗浄液を充分に加圧した後、接液部４０１へと供給するためである。
【００３７】
前述のように、本発明が対象としている接液部４０１の内部の流路（４０３、４０４）は合流・分岐構造であるため、洗浄液を一定の圧力で流しても当該流路（４０３、４０４）の流れは均一にはならないという課題がある。そこで、本発明では、接液部４０１の流入口と同数の供給機構を設けることで、かかる課題を解決している。具体的には、複数のサブタンク（１０９、１１０）を設けると共にサブタンク（１０９、１１０）毎に開閉弁（１１９〜１２４）やレギュレータ（１１７、１１８）を設け、サブタンク（１０９、１１０）毎に異なる設定値（圧力値）に制御することを可能とした。発明者が行った実験によれば、図４に示したジェット式吐出装置の接液部４０１の洗浄において、レギュレータＣ１１７を１００［ｋＰａ］、レギュレータＤ１１８を５０［ｋＰａ］と設定したとき、接液部４０１の流路（４０３、４０４）内の流れが均一な流れとなった。これは、接続部流入口Ａ４０６側の流路（供給流路）の方が、接続部流入口Ｂ４０７側の流路（作動空間）に比べて、径が小さく、かつ長いため流動抵抗が大きく、より大きな圧力が必要になるためと考えられる。
なお、同実験では、ＳＴＥＰ２０３およびＳＴＥＰ２０６におけるレギュレータＣ１１７およびレギュレータＤ１１８の設定は、共に２００［ｋＰａ］とした。
【００３８】
（５）判定（ＳＴＥＰ２０５）
液体洗浄工程（ＳＴＥＰ２０４）の実施回数が、ＳＴＥＰ２０２で設定した設定回数に達していない場合、ＳＴＥＰ２０４に戻り再び液体洗浄工程を実施する。設定回数に達していれば次工程の「乾燥工程（ＳＴＥＰ２０６）」へと進む。
【００３９】
（６）乾燥工程（ＳＴＥＰ２０６）
接液部４０１内の流路（４０３、４０４）内から洗浄液を完全に取り除くため、圧縮気体を供給する。
まず、開閉弁Ｃ１２１および開閉弁Ｄ１２２を「閉」にした状態で、開閉弁Ｅ１２３および開閉弁Ｆ１２４を「開」にした後、開閉弁Ａ１１９および開閉弁Ｂ１２０を「開」にする。すると、圧縮気体は、レギュレータＣ１１７→開閉弁Ａ１１９→サブタンクＡ１０９→切換弁Ａ１２５→開閉弁Ｅ１２３およびレギュレータＤ１１８→サブタンクＢ１１０→切換弁Ｂ１２６→開閉弁Ｆ１２４を通って接液部固定治具３００（接液部４０１）へ供給される。接液部固定治具３００を通過した圧縮気体は、洗浄液回収タンク１２９に到達した後、大気へ開放される。設定時間経過後、開閉弁Ａ１１９および開閉弁Ｂ１２０を「閉」にした後、開閉弁Ｅ１２３および開閉弁Ｆ１２４を「閉」にする。
【００４０】
以上で洗浄作業は終了となる。
ここで、ＳＴＥＰ２０２による設定を制御装置の記憶装置に記憶しておけば、ＳＴＥＰ２０３〜２０５の工程は自動化することができる。洗浄を実施する接液部４０１が多数あり、繰り返し同じ作業をしなければならない場合も効率的に洗浄作業を行うことができる。
【符号の説明】
【００４１】
１００：洗浄装置  １０１：洗浄液供給タンク  １０２：容器本体（供給）  １０３：気体配管  １０４：液体配管  １０５：センサＡ  １０６：圧縮気体源  １０７：レギュレータＡ  １０８：レギュレータＢ  １０９：サブタンクＡ  １１０：サブタンクＢ  １１１：容器本体（サブＡ）  １１２：容器本体（サブＢ）  １１３：流入液体配管  １１４：排出配管  １１５：センサＣ  １１６：センサＤ  １１７：レギュレータＣ  １１８：レギュレータＤ  １１９：開閉弁Ａ  １２０：開閉弁Ｂ  １２１：開閉弁Ｃ  １２２：開閉弁Ｄ  １２３：開閉弁Ｅ  １２４：開閉弁Ｆ  １２５：切換弁Ａ  １２６：切換弁Ｂ  １２７：排出液配管Ａ  １２８：排出液配管Ｂ  １２９：洗浄液回収タンク  １３０：容器本体（回収）  １３１：センサＢ  ３００：接液部固定治具  ３０１：入口側部材  ３０２：出口側部材  ３０３：流入管Ａ  ３０４：流入管Ｂ  ３０５：流出管  ３０６：パッキンＡ  ３０７：パッキンＢ  ３０８：パッキンＣ  ３０９：パッチン錠  ３１０：流入管端部Ａ  ３１１：流入管端部Ｂ  ３１２：凹部  ４００：吐出装置  ４０１：接液部  ４０２：棒状部材  ４０３：作動空間（流路Ａ）  ４０４：液体材料供給流路（流路Ｂ）  ４０５：ノズル  ４０６：接続部流入口Ａ  ４０７：接続部流入口Ｂ  ４０８：接続部流出口  ４０９：駆動部  ４１０：液体材料貯留容器  ４１１：バルブシート  ４１２：螺旋状のつば  ４１３：回転弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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