(57)【要約】【課題】  薄膜パターンの高精細化を図ることが可能なノズルユニットを提供する。【解決手段】  ノズルケースの内部に、光硬化型の液状薄膜材料を収容する液室が画定されている。液室内の液状薄膜材料が、複数のノズル孔から吐出される。光源が、液状薄膜材料を硬化させる波長域の光を、ノズル孔からの液状薄膜材料の吐出方向に放射する。支持部材が光源を支持する。支持部材は、ノズルケースに取り付けられている。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光硬化型の液状薄膜材料を収容する液室を内部に画定し、前記液室内の液状薄膜材料を吐出する複数のノズル孔が設けられたノズルケースと、
前記液状薄膜材料を硬化させる波長域の光を、前記ノズル孔からの液状薄膜材料の吐出方向に放射する光源と、
前記光源を支持し、かつ前記ノズルケースに取り付けられた支持部材と
を有するノズルユニット。
【請求項２】
さらに、ノズル孔から吐出される液状薄膜材料の塗布対象物から間隔を隔てて前記ノズルケースを支持するノズルホルダを有し、前記支持部材は、前記ノズルケースを介して前記ノズルホルダに支持されている請求項１に記載のノズルユニット。
【請求項３】
前記複数のノズル孔は、第１の方向に、直線状または千鳥状に配列しており、
前記光源は、前記ノズル孔に対向する塗布対象物の被着弾面のうち、前記ノズル孔から吐出された液状薄膜材料が着弾する前記第１の方向に長い着弾領域の側方に位置する第１の方向に長い領域に光を照射する請求項１または２に記載のノズルユニット。
【請求項４】
さらに、前記第１の方向と直交する平面内において、前記光源から放射された光を収束する収束レンズを有する請求項３に記載のノズルユニット。
【請求項５】
前記ノズル孔から吐出される液状薄膜材料の塗布対象物の表面を基準として、前記光源は前記ノズル孔よりも高い位置に配置されている請求項１乃至４のいずれか１項に記載のノズルユニット。
【請求項６】
さらに、
前記光源に熱的に結合し、前記第１の方向と平行な姿勢で配置された放熱板と、
前記放熱板が配置された空間に、前記第１の方向の気流を発生させるファンと
を有する請求項１乃至５のいずれか１項に記載のノズルユニット。
【請求項７】
光硬化型の液状薄膜材料を収容する液室を内部に画定し、前記液室内の液状薄膜材料を吐出する複数のノズル孔が設けられたノズルケースと、
前記液状薄膜材料を硬化させる波長域の光を、前記ノズル孔からの液状薄膜材料の吐出方向に放射する光源と、
前記光源を支持する支持部材と
を有し、
前記ノズル孔からの液状薄膜材料の吐出方向に平行な視線で見たとき、前記ノズルケースと前記支持部材とが重なっているノズルユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光硬化型の薄膜材料の液滴を基板に向けて吐出し、基板に付着した薄膜材料に光を照射することによって、薄膜材料を硬化させるノズルユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板等の基板のパターン形成面に、薄膜材料、例えばソルダーレジストの液滴を吐出させて薄膜を形成する技術が注目されている。ノズルヘッドに対して基板を移動させながら、形成すべき薄膜パターンの画像データに基づいて、プリント配線板の表面に液滴を着弾させる。これにより、所望のパターンを有する薄膜を形成することができる。フォトリソグラフィにより薄膜パターンを形成する場合に比べて、製造コストの削減を図ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１０４１０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
薄膜材料の液滴が基板に着弾した後、液状の薄膜材料に光が照射されることにより、少なくとのその表層部が硬化する。薄膜材料の液滴が基板に着弾した後、表層部が硬化するまでに、液状の薄膜材料が面内方向に広がる。プリント配線板への電子部品の実装密度が高くなるにしたがって、ソルダーレジストの薄膜パターンの高精細化が進んでいる。基板に着弾した液状の薄膜材料が面内方向に広がることは、薄膜パターンの高精細化の妨げになる。
本発明の目的は、薄膜パターンの高精細化を図ることが可能なノズルユニットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一観点によると、
光硬化型の液状薄膜材料を収容する液室を内部に画定し、前記液室内の液状薄膜材料を吐出する複数のノズル孔が設けられたノズルケースと、
前記液状薄膜材料を硬化させる波長域の光を、前記ノズル孔からの液状薄膜材料の吐出方向に放射する光源と、
前記光源を支持し、かつ前記ノズルケースに取り付けられた支持部材と
を有するノズルユニットが提供される。
【０００６】
本発明の他の観点によると、
光硬化型の液状薄膜材料を収容する液室を内部に画定し、前記液室内の液状薄膜材料を吐出する複数のノズル孔が設けられたノズルケースと、
前記液状薄膜材料を硬化させる波長域の光を、前記ノズル孔からの液状薄膜材料の吐出方向に放射する光源と、
前記光源を支持する支持部材と
を有し、
前記ノズル孔からの液状薄膜材料の吐出方向に平行な視線で見たとき、前記ノズルケースと前記支持部材とが重なっているノズルユニットが提供される。
【発明の効果】
【０００７】
光源とノズル孔とを近づけることができる。対象物をノズルユニットに対して移動させながら、液状薄膜材料を対象物に付着させるとき、液状薄膜材料が対象物に着弾してから光照射されるまでの時間を短くすることができる。このため、薄膜材料の面内方向の広がり抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、実施例１によるノズルユニットを有する基板製造装置の側面図である。
【図２】図２は、実施例１によるノズルユニットの底面図である。
【図３】図３は、図２の一点鎖線３−３における断面図である。
【図４】図４は、図２の一点鎖線４−４における断面図である。
【図５】図５は、液状の薄膜材料が基板に着弾してからの経過時間と、薄膜材料の広がり幅との関係の一例を示すグラフである。
【図６】図６は、実施例１の変形例によるノズルユニットの底面図である。
【図７】図７は、実施例２によるノズルユニットの底面図である。
【図８】図８は、図７の一点鎖線８−８における断面図である。
【図９】図９は、図７の一点鎖線９−９における断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［実施例１］
図１に、実施例１によるノズルユニットを含む基板製造装置の概略側面図を示す。定盤２０の上に、移動機構２１によりステージ２２が支持されている。ステージ２２の上面（保持面）に、プリント配線板等の基板５０が保持される。ステージ２２の保持面に平行な方向をＸ方向及びＹ方向とし、保持面の法線方向をＺ方向とするＸＹＺ直交座標系を定義する。移動機構２１は、ステージ２２をＸ方向及びＹ方向に移動させる。
【００１０】
定盤２０の上方に、支柱３１によって梁３２が支えられている。梁３２に、ノズルユニット支持機構２９及び撮像装置３０が取り付けられている。ノズルユニット支持機構２９に、ノズルユニット２３が支持されている。撮像装置３０及びノズルユニット２３は、ステージ２２に保持された基板５０に対向する。撮像装置３０は、基板５０の表面に形成されている配線パターン、アライメントマーク、基板５０に形成された薄膜パターン等を撮像する。撮像されて得られた画像データが、制御装置４０に入力される。ノズルユニット２３は、複数のノズル孔から基板５０に向けて、光硬化型（例えば紫外線硬化型）の薄膜材料の液滴を吐出する。薄膜材料には、例えばソルダーレジストが用いられる。吐出された薄膜材料が、基板５０の表面に付着する。
【００１１】
ノズルユニット２３の位置を、定盤２０に対して相対的に固定して、ステージ２２をＸ方向及びＹ方向に移動させる代わりに、ステージ２２及び定盤２０に対してノズルユニット２３をＸ方向及びＹ方向に移動させてもよい。また、定盤２０に対してステージ２２をＹ方向に移動させ、ノズルユニット２３をＸ方向に移動させてもよい。すなわち、基板５０に対して、ノズルユニット２３が相対的にＸ方向及びＹ方向に移動可能であればよい。
【００１２】
制御装置４０が、移動機構２１、ノズルユニット２３、及び撮像装置３０を制御する。制御装置４０には、基板５０に形成すべき薄膜パターンを定義するラスタフォーマットの吐出制御用画像データ等が記憶されている。制御装置４０が、吐出制御用画像データに基づいて移動機構２１及びノズルユニット２３を制御することにより、基板５０に、画像データで定義される平面形状を有する薄膜パターンが形成される。オペレータが、入力装置４１を通して制御装置４０に、種々の指令（コマンド）や、制御に必要なデータを入力する。入力装置４１には、例えばキーボード、タッチパネル、ポインティングデバイス等が用いられる。制御装置４０は、出力装置４２からオペレータに対して各種情報を出力する
。出力装置４２には液晶ディスプレイ等が用いられる。
【００１３】
図２に、ノズルユニット２３の底面図を示す。ノズルユニット２３は、２つのノズルヘッド６５を含む。ノズルヘッド６５の各々の底面（基板５０（図１）に対向する面）に、２列のノズル列６８が設けられている。ノズル列６８の各々は、Ｘ方向に等ピッチで配列する複数のノズル孔６６で構成される。２列のノズル列６８は、Ｙ方向に間隔を隔てて配置されている。２つのノズルヘッド６５は、Ｙ方向に間隔を隔てて配置されている。ノズルヘッド６５は、その両端において、取付け部６７を介してノズルホルダ６０に支持されている。ノズルホルダ６０に開口６１が形成されている。ＸＹ面内に関して、ノズルヘッド６５は開口６１内に配置される。取付け部６７は、ノズルヘッド６５のＸ方向の位置、及びＺ軸に平行な直線を回転中心とした回転方向の姿勢を微調整するための微調機構を有する。
【００１４】
２つのノズルヘッド６５の間、及び２つノズルヘッド６５よりも外側に、それぞれ硬化用光源８０が配置されている。硬化用光源８０は、ノズルヘッド６５に固定されている。２つのノズルヘッド６５の間に配置されている硬化用光源８０は、一方のノズルヘッド６５に固定されており、他方のノズルヘッド６５には固定されていない。図２では、２つのノズルヘッド６５の間に配置された硬化用光源８０が、Ｙ軸の負の側に配置されたノズルヘッド６５に固定されている例を示している。ノズルヘッド６５の間の硬化用光源８０が、一方のノズルヘッド６５のみに固定されているため、２つのノズルヘッド６５のＸ方向の位置及び回転方向の姿勢を、相互に独立して微調整することができる。
【００１５】
硬化用光源８０の各々は、Ｘ方向に並ぶ複数の発光ダイオード（ＬＥＤ）８１、及び支持部材８２を含む。ＬＥＤ８１は、支持部材８２に実装されており、支持部材８２は、ノズルヘッド６５に固定されている。
【００１６】
１つのノズルユニット２３は、合計で４列のノズル列６８を含む。１つのノズル列６８のノズル孔６６のピッチをＰとする。１つのノズルヘッド６５に設けられた２列のノズル列６８は、相互にＸ方向に（１／２）Ｐだけずれている。このため、１つのノズルヘッド６５のノズル孔６６は、Ｘ方向に千鳥状に配置される。２つのノズルヘッド６５は、相互にＸ方向に（１／４）Ｐだけずれている。なお、ノズル孔６６をＸ方向に（１／２）Ｐのピッチで直線状に配置してもよい。
【００１７】
１つのノズルユニット２３に着目すると、ノズル孔６６は、全体としてＸ方向に（１／４）Ｐのピッチで分布する。基板５０（図１）をＹ方向に移動させながら、ノズル孔６６から薄膜材料の液滴を吐出させることにより、Ｘ方向に関して、（１／４）Ｐのピッチに相当する解像度で薄膜パターンを形成することができる。基板５０をノズルユニット２３に対してＹ方向に移動させる動作を「走査」ということとする。基板５０をＸ方向に（１／８）Ｐだけずらして２回の走査を行うと、Ｘ方向に関して（１／８）Ｐのピッチに相当する解像度で薄膜パターンを形成することができる。Ｙ方向に関する解像度は、基板５０の移動速度、及び薄膜材料の液滴の吐出周波数で規定される。
【００１８】
図３に、図２の一点鎖線３−３における断面図を示す。ノズルヘッド６５が、ノズルケース７０、圧電素子７１、ドライバ回路基板７２、及びカバー７３を含む。ノズルケース７０の底面（基板５０に対向する面）に複数のノズル孔６６が形成されている。ノズルケース７０の内部に液室６９が画定されている。液室６９内に、複数の圧電素子７１が配置されている。Ｘ方向に関して、ノズル孔６６と圧電素子７１とが交互に配置される。すなわち、Ｘ方向に隣合う一対の圧電素子７１の間に、１つのノズル孔６６が配置される。
【００１９】
液室６９内に、液状の薄膜材料が供給されると、圧電素子７１の間に薄膜材料が充填さ
れる。圧電素子７１は、例えばシェアモード型の構成を有する。圧電素子７１を駆動することにより、ノズル孔６６から薄膜材料の液滴５１が、基板５０に向けて吐出される。複数のノズル孔６６から吐出された薄膜材料は、基板５０の被着弾面のうちＸ方向に長い領域（着弾領域）５２内の所定の箇所に着弾する。
【００２０】
ノズルケース７０の外側、例えばノズルケース７０の上に、ドライバ回路基板７２が取り付けられている。ドライバ回路基板７２に、圧電素子７１を駆動するためのドライバ回路が形成されている。ドライバ回路は、制御装置４０（図１）により制御される。ドライバ回路基板７２をカバー７３が覆う。
【００２１】
硬化用光源８０が、ＬＥＤ８１、支持部材８２、収束シリンドリカルレンズ８３、及び放熱板８４を含む。ＬＥＤ８１は、支持部材８２に実装されている。支持部材８２には、例えばアルミニウム板等の金属板が用いられる。支持部材８２は、ビス等でノズルケース７０に固定されている。ＬＥＤ８１は、薄膜材料の液滴の吐出方向（Ｚ軸の負の方向）に光を放射する。この光は、液状の薄膜材料を硬化させる波長域の光を含む。例えば、薄膜材料が紫外線硬化型の樹脂である場合、ＬＥＤ８１から放射される光は紫外域の波長成分を含む。
【００２２】
ＬＥＤ８１の下方に、収束シリンドリカルレンズ８３が配置されている。収束シリンドリカルレンズ８３には、例えば円柱レンズが用いられる。収束シリンドリカルレンズ８３は、ＬＥＤ８１から放射された光を、ＹＺ面内に関して収束させる。収束シリンドリカルレンズ８３で収束された光が基板５０に入射する。基板５０の表面のうち、硬化用光源８０の各々で照射される領域（被照射領域）５３は、Ｘ方向に長い平面形状を有する。被照射領域５３は、着弾領域５２の側方に位置する。
【００２３】
支持部材８２の上面に、放熱板８４がＺＸ面に平行な姿勢で取り付けられている。ＬＥＤ８１は、支持部材８２を介して放熱板８４に熱的に結合する。
【００２４】
ノズルホルダ６０が、ノズルケース７０を、基板５０から間隔を隔てて支持する。硬化用光源８０は、ノズルケース７０を介して支持部材６０に支持される。基板５０の表面を基準として、ＬＥＤ８１及び収束シリンドリカルレンズ８３はノズル孔６６よりも高い位置に配置されている。基板５０の上面からノズル孔６６までの高さは、例えば０．５〜１ｍｍであり、収束シリンドリカルレンズ８３までの高さは、例えば約２０ｍｍである。ノズルケース７０のＹ方向の寸法（幅）は、例えば約３０ｍｍである。相互に隣合うノズルケース７０の間隔は、例えば約２０ｍｍである。
【００２５】
基板５０の上面を基準として、ＬＥＤ８２がノズル孔６６よりも高い位置に配置されているため、ＬＥＤ８１から放射された光が、ノズル孔６６に直接入射することはない。また、収束シリンドリカルレンズ８３が、ＬＥＤ８１から放射された光をＹＺ面内に関して収束させるため、基板５０の表面で反射した反射光がノズル孔６６まで到達し難い。硬化用の光がノズル孔６６に到達しないため、ノズル孔６６内で薄膜材料が硬化してしまうことを防止できる。
【００２６】
基板５０をＹ方向に走査しながらノズル孔６６から薄膜材料を吐出させると、薄膜材料が基板５０に付着した後、薄膜材料に硬化用光源７０からの光が照射される。ノズルヘッド６５の両側に硬化用光源８０が配置されているため、基板５０をＹ軸の正の方向及び負の方向のいずれの方向に走査する場合でも、基板５０に付着した薄膜材料を硬化させることができる。
【００２７】
ＬＥＤ８１が実装されている支持部材８２が、ノズルケース７０に直接取り付けられる
ため、ＬＥＤ８１を筺体に収容する構成に比べて、ノズル孔５１とＬＥＤ８１とのＹ方向の間隔を狭めることができる。すなわち、被照射領域５３と着弾領域５２との間隔を狭めることができる。このため、薄膜材料が基板５０に着弾してから、硬化用の光に照射されるまでの時間を短くすることができる。
【００２８】
図４に、図２の一点鎖線４−４における断面図を示す。ノズルケース７０が、取付け部６７を介してノズルホルダ６０に微調可能に取り付けられている。複数のＬＥＤ８１がＸ方向に等間隔で配列され、支持部材８２に実装されている。支持部材８２はノズルケース７０に固定されている。ＬＥＤ８１の下方に収束シリンドリカルレンズ８３が配置されている。支持部材８２の上面に、放熱板８４が取り付けられている。放熱板８４は、Ｘ方向に平行な姿勢で配置されている。ノズルケース７０の上に、カバー７３が取り付けられている。
【００２９】
ノズルホルダ６０の上側の空間に、ファン８５が配置されている。ファン８５は、放熱板８４が配置されている空間に、Ｘ方向の気流を発生させる。この気流が放熱板８４に接し、放熱板８４から熱を奪う。図２に示したようにノズル孔６６がＸ方向に配列しているため、通常は、圧電素子７１（図３）を駆動するためのドライバ回路が形成されたドライバ回路基板７２（図３）は、Ｘ方向に長い立体形状を有する。放熱板８４を冷却するための気流をＹ方向に流すと、ドライバ回路基板７２が気流を妨げることになる。Ｘ方向に平行な気流を生じさせることにより、ドライバ回路基板７２に妨げられることなく、放熱板８４を効率的に冷却することができる。
【００３０】
図５に、液状の薄膜材料が基板５０（図１）に着弾してからの経過時間と、薄膜材料の広がり幅との関係の一例を示す。図５の横軸は着弾時点からの経過時間を表し、縦軸は広がり幅を表す。曲線η１及びη２は、それぞれ粘度がη１及びη２の薄膜材料の広がり幅を示す。ここで、粘度η１は、粘度η２より大きい。
【００３１】
例えば、薄膜材料が基板５０に着弾した直後は、薄膜材料の平面形状は直径が約５０μｍの円形である。時間が経過するに従って、薄膜材料が面内方向に広がり、薄膜材料の平面形状の直径が大きくなる。「広がり幅」は、薄膜材料が面内方向に広がった領域の半径方向の幅を意味する。
【００３２】
高精細な薄膜パターンを形成するために、薄膜材料の広がり幅を小さくすることが好ましい。液状の薄膜材料の粘度を高めると、広がり幅を小さくすることが可能である。例えば、液状の薄膜材料の粘度がη１であるとき、時刻ｔ２の時点で広がり幅がＷ１になる。ところが、薄膜材料の粘度を高くすると、ノズル孔６６（図３）からの液滴の吐出が不安定になる。さらに、ノズル孔６６が詰まってしまう場合もある。薄膜材料の粘度をη２まで低くすると、液滴の吐出は安定するが、時刻ｔ２の時点で広がり幅がＷ２まで大きくなってしまう。
【００３３】
実施例１においては、図３に示したように、照射領域５３を着弾領域５２に近づけることができる。照射領域５３が着弾領域５２に近づくと、薄膜材料が基板５０に着弾してから光照射によって硬化するまでの時間が短くなる。例えば、図５に示した例において、時刻ｔ１において薄膜材料に光が照射されると、薄膜材料の広がり幅はＷ１となる。このように、図３に示したように、ノズル孔６６と硬化用光源８０とのＹ方向の間隔を狭くすることにより、薄膜材料の粘度を低くしても、薄膜材料の広がり幅を小さく保つことができる。これにより、高精細な薄膜パターンを、安定して形成することが可能になる。
【００３４】
薄膜材料の面内方向の広がり抑制の十分な効果を得るために、図２において、２列のノズル列６８の中心とＬＥＤ８１との中心とのＹ方向の間隔を３０ｍｍ以下とすることが好
ましい。
【００３５】
図６に、実施例１の変形例によるノズルユニット２３の底面図を示す。図２では、１つのノズルユニット２３が２個のノズルヘッド６５を含む例を示したが、図６に示した変形例では、１つのノズルユニット２３が４個のノズルヘッド６５を含む。ノズルヘッド６５の各々は、ノズル列６８がＸ方向と平行になる姿勢で、ノズルホルダ６０に取り付けられている。１つのノズルユニット２３は、合計で８列のノズル列６８を含む。１つのノズル列６８のノズル孔６６のピッチをＰとしたとき、８列のノズル列６８は、Ｘ方向に、相互にピッチＰの１／８ずつずれている。ノズルユニット２３は、全体として、Ｘ方向に（１／８）Ｐのピッチで分布するノズル孔６６を含む。この変形例では、基板５０の１回の走査で、Ｘ方向に関してピッチ（１／８）Ｐに相当する解像度で薄膜パターンを形成することができる。
【００３６】
ノズルヘッド６５の間に、硬化用光源８０が配置されている。さらに、両端のノズルヘッド６５の外側に、それぞれ硬化用光源８０が配置されている。硬化用光源８０は、ノズルヘッド６５に固定されており、ノズルヘッド６５を介してノズルホルダ６０に支持されている。図６に示した変形例においても、硬化用光源８０とノズル列６８とのＹ方向の間隔を狭めることができる。
【００３７】
図２及び図６では、複数のノズルヘッド６５をＹ方向、すなわちノズル列６８に対して直交する方向に配列させた例を示したが、複数のノズルヘッド６５を、Ｘ方向、すなわちノズル列６８に平行な方向に配列させてもよい。この場合には、１回の走査で薄膜材料を塗布することができる領域のＸ方向の寸法を大きくすることができる。
【００３８】
［実施例２］
次に、図７〜図９を参照して、実施例２によるノズルユニットについて説明する。以下、実施例１との相違点について説明し、同一の構成については説明を省略する。
【００３９】
図７に、実施例２によるノズルユニットの底面図を示す。実施例１では、図３に示したように支持部材８２がノズルケース７０に取り付けられており、ノズルケース７０を介して間接的にノズルホルダ６０に取り付けられていた。実施例２においては、図７に示すように、支持部材８２が、その両端においてノズルホルダ６０に直接取り付けられている。ノズル孔からの液状薄膜材料の吐出方向（Ｚ方向）に平行な視線で見たとき、支持部材８２とノズルヘッド６５とが、部分的に重なる。
【００４０】
図８に、図７の一点鎖線８−８における断面図を示す。支持部材８２が、その両端において、ノズルホルダ６０にビス等で固定されている。支持部材８２は、ノズルホルダ６０の、ノズルケース７０が取り付けられた面（下方を向く面）と反対側の面（上方を向く面）に、取り付けられている。これにより、ＸＹ面内において、ノズルケース７０と支持部材８２とを相互に重ねて配置することができる。図９に、図７の一点鎖線９−９における断面図を示す。Ｙ方向に関して、支持部材８２とノズルケース７０とが重なって配置されている。
【００４１】
実施例２においては、Ｚ方向に平行な視線で見たとき、支持部材８２とノズルケース７０とを部分的に重ねて配置することにより、ノズル孔６６と発光ダイオード８１とのＹ方向の間隔を狭めることができる。このため、実施例１と同様に、薄膜材料の粘度を低くしても、薄膜材料の広がり幅を小さく保つことができる。これにより、高精細な薄膜パターンを、安定して形成することが可能になる。
【００４２】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。
例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【符号の説明】
【００４３】
２０  定盤
２１  移動機構
２２  ステージ
２３  ノズルユニット
２９  ノズルユニット支持機構
３０  撮像装置
３１  支柱
３２  梁
４０  制御装置
４１  入力装置
４２  出力装置
５０  基板
５１  薄膜材料の液滴
６０  ノズルホルダ
６１  開口
６５  ノズルヘッド
６６  ノズル孔
６７  取付け部
６８  ノズル列
６９  液室
７０  ノズルケース
７１  圧電素子
７２  ドライバ回路基板
７３  カバー
８０  硬化用光源
８１  発光ダイオード
８２  支持部材（金属板）
８３  収束シリンドリカルレンズ
８４  放熱板
８５  ファン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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