(57)【要約】【課題】受光面積の減少を抑えつつ、受光面側の電極にインターコネクタを接続した場合でも、受光面にマイクロクラックが発生するのを抑制することができるインターコネクタ付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供する。【解決手段】受光面に対して垂直な方向からの投影視において、第１インターコネクタに重なっている表側電極の外縁部分と、第２インターコネクタに重なっている裏側電極の部分とが重ならないように配置されたインターコネクタ付き太陽電池セルと太陽電池モジュールである。【選択図】図１
2014027124.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池セルと、
前記太陽電池セルに電気的に接続されたインターコネクタと、を備え
前記太陽電池セルは、受光面と前記受光面とは反対側の裏面とを有する光電変換基板と、前記受光面に設けられた表側電極と、前記裏面に設けられた裏側電極と、を有し、
前記インターコネクタは、前記表側電極に電気的に接続された第１インターコネクタと、前記裏側電極に電気的に接続された第２インターコネクタと、を有し、
前記受光面に対して垂直な方向からの投影視において、前記第１インターコネクタに重なっている前記表側電極の外縁部分と、前記第２インターコネクタに重なっている前記裏側電極の部分とが重ならないように配置された、インターコネクタ付き太陽電池セル。
【請求項２】
前記受光面に対して垂直な方向からの投影視において、前記第１インターコネクタに重なっている前記表側電極の外縁部分が、前記第２インターコネクタに重なっている前記裏側電極の部分から０．２ｍｍ以上外側に位置している、請求項１に記載のインターコネクタ付き太陽電池セル。
【請求項３】
前記受光面に対して垂直な方向からの投影視において、前記表側電極の外縁部分が、前記裏側電極よりも外側に位置している、請求項１または２に記載のインターコネクタ付き太陽電池セル。
【請求項４】
前記裏側電極は、互いに間隔をあけて配置された複数の島状の電極からなり、
前記受光面に対して垂直な方向からの投影視において、前記裏側電極が配置されていない領域における前記表側電極の幅の少なくとも一部が、前記裏側電極が配置されている領域における前記表側電極の幅よりも狭くなっている、請求項３に記載のインターコネクタ付き太陽電池セル。
【請求項５】
前記受光面に対して垂直な方向からの投影視において、前記第１インターコネクタが前記表側電極の幅方向の中心線からずれる方向と、前記第２インターコネクタが前記表側電極の幅方向の中心線からずれる方向とは、互いに反対の方向である、請求項１から４のいずれか１項に記載のインターコネクタ付き太陽電池セル。
【請求項６】
前記表側電極および前記裏側電極は、それぞれ、金属を含み、
前記表側電極は、前記受光面上に所定の厚みを有して設けられており、
前記裏側電極は、前記裏面上に所定の厚みを有して設けられている、請求項１から５のいずれか１項に記載のインターコネクタ付き太陽電池セル。
【請求項７】
前記第２インターコネクタと前記裏側電極とは、半田を介して電気的に接続されており、
前記第２インターコネクタに重なっている前記裏側電極の部分は、前記第２インターコネクタからはみ出して前記裏側電極上に露出している前記半田の部分を含む、請求項１から６のいずれか１項に記載のインターコネクタ付き太陽電池セル。
【請求項８】
前記第１インターコネクタおよび前記第２インターコネクタは、断面が略矩形で帯状の金属からなる、請求項１から７のいずれか１項に記載のインターコネクタ付き太陽電池セル。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項に記載のインターコネクタ付き太陽電池セルが、封止材によって封止されている、太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インターコネクタ付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池セルの受光面に発生するマイクロクラック等の欠陥は、従来から問題とされており、特に、太陽電池セルの電極にインターコネクタを接続する際の機械的な応力や加熱による熱膨張によって太陽電池セルに発生するマイクロクラックについては、従来より様々な対策が講じられている。
【０００３】
たとえば、特許文献１には、裏面バスバー電極および／または受光面バスバー電極の長手方向の端部を、剛性の高い半田ではなく、充填材で覆うことによって、ストレスを緩和した太陽電池素子が開示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、受光面接続用バスバー電極の幅をインターコネクタの幅よりも広くし、受光面接続用バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域に、半田が形成されていない箇所を設けることによって、電極の外縁にかかる応力を分散して、受光面にマイクロクラックが発生するのを抑制したインターコネクタ付き太陽電池が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５―３１７９０４号公報
【特許文献２】特開２００７―２６６２６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１においては、裏面バスバー電極および／または受光面バスバー電極の長手方向の端部を充填材で覆う領域を設ける必要がある。また、特許文献２においては、受光面接続用バスバー電極の外縁にインターコネクタおよび半田が形成されていない領域を設ける必要がある。
【０００７】
すなわち、特許文献１および特許文献２においては、電極の外縁は、インターコネクタとの接続に使用できないという制限があった。特に、受光面側の電極を幅広にした場合には、受光面積が減少してしまうため、受光面側の電極の幅はできるだけ狭くする必要がある。
【０００８】
しかしながら、特許文献１および特許文献２に記載の太陽電池のように、電極の外縁をインターコネクタとの接続に使用できない場合には、限られた電極領域を有効に利用することができず、インターコネクタと電極との接続部分の幅が十分に確保できないため、電気抵抗が増加して、太陽電池モジュールとしての発電効率が低下するという問題がある。
【０００９】
さらに、インターコネクタを電極に接続する際に、インターコネクタが電極の外縁に接続されないようにする必要があるため、製造工程も複雑になるといった問題もある。
【００１０】
上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、受光面積の減少を抑えつつ、受光面側の電極にインターコネクタを接続した場合でも、受光面にマイクロクラックが発生するのを抑制することができるインターコネクタ付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、太陽電池セルと、太陽電池セルに電気的に接続されたインターコネクタと、を備え、太陽電池セルは、受光面と受光面とは反対側の裏面とを有する光電変換基板と、受光面に設けられた表側電極と、裏面に設けられた裏側電極と、を有し、インターコネクタは、表側電極に電気的に接続された第１インターコネクタと、裏側電極に電気的に接続された第２インターコネクタと、を有し、受光面に対して垂直な方向からの投影視において、第１インターコネクタに重なっている表側電極の外縁部分と、第２インターコネクタに重なっている裏側電極の部分とが重ならないように配置されたインターコネクタ付き太陽電池セルである。
【００１２】
また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいては、受光面に対して垂直な方向からの投影視において、第１インターコネクタに重なっている表側電極の外縁部分が、第２インターコネクタに重なっている裏側電極の部分から０．２ｍｍ以上外側に位置していることが好ましい。
【００１３】
また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいては、受光面に対して垂直な方向からの投影視において、表側電極の外縁部分が裏側電極よりも外側に位置していることが好ましい。
【００１４】
また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいては、裏側電極は、互いに間隔をあけて配置された複数の島状の電極からなり、受光面に対して垂直な方向からの投影視において、裏側電極が配置されていない領域における表側電極の幅の少なくとも一部が裏側電極が配置されている領域における表側電極の幅よりも狭くなっていることが好ましい。
【００１５】
また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいて、受光面に対して垂直な方向からの投影視において、第１インターコネクタが表側電極の幅方向の中心線からずれる方向と、第２インターコネクタが表側電極の幅方向の中心線からずれる方向とは、互いに反対の方向であることが好ましい。
【００１６】
また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいて、表側電極および裏側電極はそれぞれ金属を含み、表側電極は受光面上に所定の厚みを有して設けられており、裏側電極は裏面上に所定の厚みを有して設けられていることが好ましい。
【００１７】
また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいて、第２インターコネクタと裏側電極とは半田を介して電気的に接続されており、第２インターコネクタに重なっている裏側電極の部分は、第２インターコネクタからはみ出して裏側電極上に露出している半田の部分を含むことが好ましい。
【００１８】
また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいて、第１インターコネクタおよ第２インターコネクタは、断面が略矩形で帯状の金属からなることが好ましい。
【００１９】
さらに、本発明は、上記のいずれかのインターコネクタ付き太陽電池セルが封止材によって封止されている太陽電池モジュールである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、受光面積の減少を抑えつつ、受光面側の電極にインターコネクタを接続した場合でも、受光面にマイクロクラックが発生するのを抑制することができるインターコネクタ付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面の模式的な平面図である。
【図２】図１に示す受光面とは反対側の裏面の一例の模式的な平面図である。
【図３】（ａ）は実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面に対して垂直な方向からの投影視の模式的な拡大平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＩＩＩｂ−ＩＩＩｂに沿った模式的な断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｈ）は、実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図５】図１および図２に示される実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの模式的な断面図である。
【図６】実施の形態の太陽電池ストリングの受光面の模式的な平面図である。
【図７】実施の形態の太陽電池モジュールの模式的な断面図である。
【図８】（ａ）は図１および図２のＶＩＩＩａ−ＶＩＩＩａに沿った模式的な断面図であり、（ｂ）は第１インターコネクタが表側電極の幅方向の中心線からずれる方向と第２インターコネクタが表側電極の幅方向の中心線からずれる方向とを互いに反対の方向とした形態を図解する模式的な断面図である。
【図９】比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面の模式的な平面図である。
【図１０】図９に示す受光面とは反対側の裏面の模式的な平面図である。
【図１１】図９および図１０のＸＩ−ＸＩに沿った模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【００２３】
図１に、本発明のインターコネクタ付き太陽電池セルの一例である実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面の模式的な平面図を示し、図２に、図１に示す受光面とは反対側の裏面の一例の模式的な平面図を示す。
【００２４】
図１および図２に示すように、実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルは、太陽電池セル１０と、太陽電池セル１０の受光面２の表面電極３に電気的に接続された第１インターコネクタ２１と、裏面４の裏側電極５に電気的に接続された第２インターコネクタ２２とを備えている。なお、第１インターコネクタ２１と第２インターコネクタ２２とは、異なるインターコネクタである。なお、図１には、裏側電極５の形成位置が破線で示されており、また、図２には、表面電極３の形成位置が破線で示されている。
【００２５】
図１に示すように、太陽電池セル１０の光電変換基板１の受光面２には、第１インターコネクタ２１と接続された表側電極３が２本設けられており、表側電極３および第１インターコネクタ２１はそれぞれ同一方向（図１では上下方向）に伸長している。なお、図１には図示していないが、表側電極３には、表側電極３の伸長方向と垂直な方向に伸長する帯状の複数の受光面集電用電極が接続されていてもよい。
【００２６】
図２に示すように、太陽電池セル１０の光電変換基板１の裏面４には、第２インターコネクタ２２と接続された島状の裏側電極５が互いに間隔をあけて６個配置されている。また、裏側電極５の外縁は、裏側電極５がそれぞれ矩形となるように構成されている。なお、裏側電極５以外の領域の少なくとも一部には裏面集電用電極が配置されていてもよい。
【００２７】
図３（ａ）に、実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面に対して垂直な方向からの投影視の模式的な拡大平面図を示し、図３（ｂ）に、図３（ａ）のＩＩＩｂ−ＩＩＩｂに沿った模式的な断面図を示す。
【００２８】
図３（ａ）および図３（ｂ）に示すように、実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいては、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極の外縁部分３ａと、第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極の部分５ａとが重ならないように配置されていることを特徴としている。
【００２９】
これは、本発明者が鋭意検討した結果、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極の外縁部分３ａと、第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極の部分５ａとが重ならないように配置することによって、受光面２にマイクロクラックが発生するのを抑制することができることを見出したことによるものである。
【００３０】
すなわち、表側電極３は、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極の外縁部分３ａが、第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極の部分５ａから外側に位置するように形成されているため、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極の外縁部分３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側は、裏側電極５および第２インターコネクタ２２の少なくとも一方が配置されていない状態となっている。
【００３１】
そして、この形態においては、第１インターコネクタ２１が表側電極３の外縁３ａに配置された場合であっても、受光面２にマイクロクラックは発生しなかった。一方、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極の外縁部分３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側に、裏側電極５と第２インターコネクタ２２とが配置されている場合には、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａ近傍の受光面２にマイクロクラックが発生することがあった。
【００３２】
これらの結果より、第１インターコネクタ２１が表側電極３の外縁部分３ａに配置された場合には、第１のインターコネクタ２１からの応力が表側電極３の外縁部分３ａに直接かかるので、表側電極３の外縁部分３ａに接している受光面２の部分にその応力が集中しやすくなるが、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側に裏側電極５が形成されていない場合には、その部分には少なくとも裏側電極５の厚みの分の隙間が存在し、また、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側に第２インターコネクタ２２が配置されていない場合には、その部分は剛性の高い第２インターコネクタ２２によって強固に固定されていないので、いずれの場合でも、光電変換基板１が撓むことでその応力を受け流すことができるため、受光面２にマイクロクラックが発生することを抑制できたと考えられる。
【００３３】
光電変換基板１においては、受光面２に近い側に、発電部分となるｐｎ接合などの接合面が形成されることが一般的であるため、受光面２から浅い位置にｐｎ接合面が形成されている。このような受光面２にマイクロクラックが発生した場合には、受光面２におけるｐｎ接合面が損傷して非発電領域となったり、光電変換基板１のｐｎ接合間をリークする経路が形成されてしまったりする可能性がある。
【００３４】
つまり、受光面２にマイクロクラックが発生することは、インターコネクタ付き太陽電池セルの性能低下に直結する問題である。その一方で、表側電極３の外縁部分３ａに第１インターコネクタ２１が配置されないように、表側電極３の外縁部分３ａに冗長領域を設けたり、第１インターコネクタ２１と接続しない領域を設けたりすることは、受光面積を減少させることを意味するため、インターコネクタ付き太陽電池セルの発電効率を低下させることにつながる。
【００３５】
さらに、製造工程で第１インターコネクタ２１と表側電極３との位置関係を厳密に管理する必要があるため、製造コストも上昇してしまう。これらの問題に対して、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極の外縁部分３ａと、第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極の部分５ａとが重ならないように配置することによって、受光面２におけるマイクロクラックの発生を抑制できる。これにより、受光面積の減少を抑えつつ、受光面２にマイクロクラックが発生するのを抑えることができるため、第１インターコネクタ２１と表側電極３との配置を制限しなくてもよくなり、上記の問題を解決できる。
【００３６】
このような配置を実施する形態として、図８（ａ）に示すように、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａが第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａよりも外側にはみ出している形態とすることができる。また、図８（ｂ）に示すように、第１インターコネクタ２１が表側電極３の幅方向の中心線からずれる方向と、第２インターコネクタ２２が表側電極３の幅方向の中心線からずれる方向とを、互いに反対の方向とする形態とすることもできる。
【００３７】
そして、実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいて、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａは、第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａから０．２ｍｍ以上外側に位置していることが好ましい。これにより、より確実に受光面２におけるマイクロクラックの発生を防止することができる。特に、光電変換基板１の厚さが２００μｍ以下であるときに、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａを第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａよりも０．２ｍｍ以上外側に位置させることによって、受光面２におけるマイクロクラックの発生を十分に抑制することができる。
【００３８】
たとえば図８（ａ）の模式的断面図においては、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａが第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａよりも外側にはみ出している距離Ｘ１は０．２ｍｍ以上となる。
【００３９】
なお、表側電極３と裏側電極５との相対的な位置関係が上記の関係を満たして配置できるようにするためには、たとえば、裏側電極５の設置領域における表側電極３の幅（表側電極３の伸長方向に対して垂直な方向の長さ（図２や図８（ａ）に示す例ではＹ３）を、裏側電極５の幅（表側電極３の幅方向の長さ；図２や図８（ａ）に示す例ではＹ２）に対して、０．８ｍｍ以上大きくすることが好ましい。
【００４０】
表側電極３と裏側電極５とを別工程で形成する場合でも、表側電極３と裏側電極５との製造上の位置ズレ量は０．２ｍｍ以内に収められることはさほど困難ではないので、この場合には、表側電極３の幅を、（裏側電極５の幅＋０．８ｍｍ）としておけば、表側電極３の幅方向の中心が裏側電極５の幅方向の中心に対して０．２ｍｍズレた場合であっても、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａと第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａとの間の距離である０．２ｍｍを確保できる。
【００４１】
また、たとえば図８（ｂ）の模式的断面図においては、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、第１インターコネクタ２１が表側電極３の幅方向の中心線３ｂからずれる方向と、第２インターコネクタ２２が表側電極３の幅方向の中心線３ｂからずれる方向とが互いに反対の方向とする形態とすることができる。図８（ｂ）に示す例では、第１インターコネクタ２１は表側電極３の幅方向の中心線３ｂに対して右方向に、第２インターコネクタ２２は表側電極３の幅方向の中心線３ｂに対して左方向にずらして配置されている。このような配置とすることでも、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側に、第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａが配置されないようにすることができるので、受光面２におけるマイクロクラックの発生をより抑制することができる。
【００４２】
図８（ｂ）の模式的断面図においても、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａが第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａよりも外側にはみ出している距離Ｘ１は０．２ｍｍ以上とすることが好ましい。このようにすることでも、図８（ａ）の実施形態と同様に、受光面２におけるマイクロクラックの発生を十分に抑制することができる。さらに、第１インターコネクタ２１および第２インターコネクタ２２の幅Ｚ１が表側電極３の幅Ｙ３よりも０．２ｍｍ以上狭いことがより好ましい。これにより、表側電極３の幅方向の中心線３ｂに対して第１インターコネクタ２１と第２インターコネクタ２２とを互いに反対方向に同じ量だけずらせば、上記のはみ出している距離Ｘ１を０．２ｍｍ以上確保することが容易にできる。
【００４３】
表側電極３および裏側電極５は、それぞれ、金属を含み、表側電極３は受光面２上に所定の厚さを有するように設けられることが好ましく、裏側電極５は裏面４上に所定の厚さを有するように設けられることが好ましい。たとえば、表側電極３および裏側電極５をそれぞれ銀、銅、ニッケルまたはアルミニウムなどの高導電性の金属材料から１０μｍ以上の厚さで形成することにより、電気抵抗を低減し、かつ、機械的に強固な電極とすることができる。
【００４４】
また、たとえば図１および図２に示すように、裏側電極５は、互いに間隔をあけて配置された複数の島状の電極からなるものとすることが好ましい。裏面４は受光面２ではないため、たとえば、導電性の金属を全面に配置することによって、裏面４の全面から集電することができる。また、第２インターコネクタ２２と接続する裏側電極５には、たとえば、半田との結合が強い銀や銅などを用い、裏側電極５以外の裏面４の領域にはアルミニウムなどの安価な金属を用いることによって、高価な銀や銅の使用量を低減することもできる。さらに、第２インターコネクタ２２と接続する裏側電極５を複数の島状の電極とした場合には、銀や銅などの高価な金属の使用量をさらに低減することもできる。そして、裏側電極５を互いに間隔をあけて配置された複数の島状の電極とすることによって、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、裏側電極５が配置されていない領域における表側電極３の幅Ｙ１の少なくとも一部を、裏側電極５が配置されている領域における表側電極３の幅Ｙ３よりも狭くすることができるため、受光面積を増大させることができるとともに、表側電極３の使用材料の量を低減することができる。
【００４５】
以下、図４（ａ）〜図４（ｈ）の模式的断面図を参照して、実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの製造方法の一例について説明する。まず、図４（ａ）に示すように、たとえばワイヤーソーなどを用いて多結晶のｐ型シリコンインゴットをたとえば１６０μｍ程度の厚さに切り出すことによってｐ型シリコン基板１１を形成する。ここで、ｐ型シリコン基板１１の表面にはワイヤーソーなどによってダメージ層１２が形成される。なお、ｐ型シリコン基板１１としては単結晶シリコンを用いることもできる。
【００４６】
次に、図４（ｂ）に示すように、たとえばフッ酸と水と硝酸とからなる酸溶液を用いたエッチングによって、ダメージ層１２を除去するとともに、ｐ型シリコン基板１１の両方の主面に大きな段差を有する凹凸（図示せず）を形成する。なお、ｐ型シリコン基板１１としては単結晶シリコンを用いた場合には、ＫＯＨ（水酸化カリウム）またはＮａＯＨにイソプロピルアルコールを添加したアルカリ溶液を用いた異方性エッチングを行なって凹凸を形成することもできる。
【００４７】
次いで、図４（ｃ）に示すように、ｐｎ接合分離を目的として、ｐ型シリコン基板１１の裏面となる方の主面の周縁部にたとえばシリコンおよびチタンを含む溶液からなるマスク材１３をスピンコータにより塗布する。
【００４８】
そして、図４（ｄ）に示すように、ｐ型シリコン基板１１の受光面となる方の主面に、拡散源としてたとえばＰ2Ｏ5（五酸化二リン）を含むドーパント液１４をスピンコータにより塗布する。
【００４９】
続いて、このｐ型シリコン基板１１を拡散炉で８００〜９００℃程度に加熱することによって、ｐ型シリコン基板１１の受光面となる方の主面にｎ型ドーパントが拡散して、図４（ｅ）に示すように、ｐ型シリコン基板１１の受光面となる方の主面に不純物拡散層であるｎ型不純物拡散層１５を形成する。このとき、ｐ型シリコン基板１１の裏面となる方の主面のマスク材１３が塗布された領域にはマスク材１３が加熱されて生じたＴｉＯ2（酸化チタン）とＳｉＯ2（酸化シリコン）とが混在したマスク膜１３ａが形成されるとともに、ドーパント液１４が加熱されて生じたＰＳＧ（リンシリケートガラス）層１６が形成される。
【００５０】
そして、ｐ型シリコン基板３をフッ酸に浸漬させることで、上記のマスク膜１３ａとＰＳＧ層１６とを除去することによって、図４（ｆ）に示すｐ型シリコン基板１１を得る。
【００５１】
次いで、図４（ｇ）に示すように、太陽光の反射防止およびパッシベーションを目的として、プラズマＣＶＤ法により、ｐ型シリコン基板１１の受光面となる方の主面上に、たとえば厚さ７０ｎｍ〜１００ｎｍの窒化シリコンからなる反射防止膜１７を形成する。
【００５２】
次に、ｐ型シリコン基板１１の裏面となる方の主面に、裏側電極５用の銀ペーストをスクリーン印刷し、表側電極３と受光面集電用電極の形成のために銀ペーストをスクリーン印刷し、これを１５０〜２００℃程度で乾燥させた後に７００〜７５０℃程度で焼成する。
【００５３】
これにより、図４（ｈ）に示すように、ｐ型シリコン基板１１の受光面となる方の主面上にｎ型不純物拡散層１５とオーミック接触をとる表側電極３および受光面集電用電極（図示せず）がファイヤースルーにより形成され、ｐ型シリコン基板３の裏面となる方の主面にはｐ型不純物拡散層１８とオーミック接触をとる裏側電極５が形成される。また、ｐ型シリコン基板１１とｎ型不純物拡散層１５とｐ型不純物拡散層１８とからなる光電変換機能を有する光電変換基板１が形成される。
【００５４】
その後、第１インターコネクタ２１を表側電極３に接続するとともに、第２インターコネクタ２２を裏側電極５に接続することによって、実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルを製造することができる。
【００５５】
上記のようにして製造された実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいては、表側電極３および裏側電極５は、それぞれ、金属として銀を含み、表側電極３は、受光面２上に所定の厚みを有して設けられており、裏側電極５は、裏面４上に所定の厚みを有して設けられている。
【００５６】
図５に、図１および図２に示される実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの模式的な断面図を示す。
【００５７】
図５に示すように、第１インターコネクタ２１と表側電極３とは、半田３１を介して電気的に接続されており、第２インターコネクタ２２と裏側電極５とは、半田３１を介して電気的に接続されている。そして、第１インターコネクタ２１から表側電極３上に半田３１がはみ出して露出していたり、第２インターコネクタから裏側電極５上に半田３１がはみ出して露出していることが好ましい。これにより、第１インターコネクタ２１と表側電極３とを電気的に接続するとともに、機械的にも強固に固定することが可能となり、また、第２インターコネクタ２２と裏側電極５とを電気的に接続するとともに、機械的にも強固に固定することが可能となる。なお、このような形態の場合は、表側電極３の外縁部分３ａに重なる第１インターコネクタ２１の部分として、表側電極３上にはみ出して露出している半田３１の部分を含むことが好ましく、また、第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａとして、第２インターコネクタ２２からはみ出して裏側電極５上に露出している半田３１の部分を含むことが好ましい。
【００５８】
半田３１を用いて、第１インターコネクタ２１と表側電極３とを電気的に接続する場合、および、第２インターコネクタ２２と裏側電極５とを電気的に接続する場合には、半田３１を加熱する必要があり、半田３１の加熱、および表側電極３と光電変換基板１との熱膨張率の差によって発生する歪み応力もまた、受光面にマイクロクラックが発生する原因となり得る。
【００５９】
このような場合であっても、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極の外縁部分３ａと、第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極の部分５ａとが重ならないように配置することによって、表側電極３の外縁３ａと受光面との界面にかかる歪み応力を裏面に分散させることができる。すなわち、表側電極３の外縁３ａに歪み応力がかかっても、その部分の光電変換基板１を挟んだ裏側は、裏側電極５と第２インターコネクタ２２とによって強固に固定されていないので撓み変形をして表側の応力を受け流すことができるため、受光面におけるマイクロクラックの発生を効果的に抑制することができる。
【００６０】
また、第１インターコネクタ２１および第２インターコネクタ２２としては、それぞれたとえば、断面が略矩形で帯状の金属からなる金属導体を用いることができる。
【００６１】
第１インターコネクタ２１および第２インターコネクタ２２としては、それぞれ、たとえば、断面が略矩形で帯状の金属からなる金属導体の周囲を半田３１で被覆したものを用意し、半田３１または表側電極３若しくは裏側電極５の表面にフラックスを塗布し、第１インターコネクタ２１と第２インターコネクタ２２とで光電変換基板１を挟み込んで、リフロー炉にて２００〜２５０℃の熱処理を行なう。これにより、第１インターコネクタ２１および第２インターコネクタ２２を、それぞれ、表側電極３および裏側電極５の表面に半田３１により半田付けすることができる。
【００６２】
図６に、実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの複数が電気的に接続されてなる太陽電池ストリングの一例である実施の形態の太陽電池ストリングの受光面の模式的な平面図を示す。
【００６３】
実施の形態の太陽電池ストリングは、隣り合う実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セル同士が、受光面側の第１インターコネクタ２１または裏面側の第２インターコネクタ２２の一方を共有することによって、順次電気的に接続されていき、接続方向の端部に配置されたインターコネクタ付き太陽電池セルの第１インターコネクタ２１と第２インターコネクタ２２とがバスバー４１で接続されることによって構成されている。
【００６４】
図７に、本発明の太陽電池モジュールの一例である実施の形態の太陽電池モジュールの模式的な断面図を示す。図７に示す実施の形態の太陽電池モジュールは、図６に示す実施の形態の太陽電池ストリングが、ガラス板５１と保護フィルム５３との間のＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）などの封止材５２で封止することによって構成されている。
【００６５】
実施の形態の太陽電池モジュールにおいては、上述したように、実施の形態の太陽電池モジュールを構成する実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面積の減少を抑えつつ、受光面におけるマイクロクラックの発生を抑制することができる。
【００６６】
なお、上記において、裏側電極５は、互いに間隔を空けて配置された複数の島状の電極とした場合について説明したが、裏側電極５は一続きの形状としてもよく、また、他のあらゆる形状とするものも含まれ、いずれの場合であっても、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極の外縁部分３ａと第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極の部分５ａとが重ならないように配置されていればよい。
【００６７】
また、表側電極３および裏側電極５の材料としては銀を用いた場合について説明したが表側電極３および裏側電極５の材料はこれらに限定されるものではない。
【００６８】
また、表側電極３および裏側電極５の本数はそれぞれ２本のパターンを形成した場合について説明したが、表側電極３および裏側電極５の本数はこれに限定されるものではない。
【００６９】
また、上記においては、光電変換基板１の主材料として、ｐ型シリコン基板１１を用いた場合について説明したが、光電変換基板１の主材料としてはｐ型シリコン基板１１を用いることに限定されず、太陽電池に用いることができる他の半導体基板を用いてもよいことは言うまでもない。
【００７０】
また、上記において、半田３１としては、たとえば従来から公知の半田を用いることができる。また、上記において、インターコネクタ２１に用いられる金属導体としては、たとえば銅箔などの従来から公知のものなどを用いることができる。
【００７１】
なお、図７においては、説明の便宜のため、表側電極３および裏側電極５の記載は省略されている。
【００７２】
また、上記においては、実施の形態の太陽電池モジュールの受光面側の受光面保護部材としてガラス板５１を用いた場合について説明したが、ガラス板５１以外にも太陽光を透過する透明な材質の受光面保護部材を用いてもよい。
【００７３】
また、上記においては、実施の形態の太陽電池モジュールの封止材５２としてＥＶＡを用いた場合について説明したが、ＥＶＡ以外にも太陽光を透過する透明な材質の従来から公知の封止材を用いてもよい。
【００７４】
また、上記においては、実施の形態の太陽電池モジュールの裏面保護部材として保護フィルム５３を用いた場合について説明したが、保護フィルム５３以外の裏面保護部材を用いてもよい。
【実施例】
【００７５】
＜実施例＞
まず、多結晶のｐ型シリコンインゴットをワイヤーソーを用いて、幅１５５ｍｍ、長さ１５５ｍｍおよび厚さ１６０μｍの平板状に切り出した。次に、この平板状のｐ型シリコン基板の表面をフッ酸と水と硝酸とからなる酸溶液を用いてエッチングして、微細な凹凸を形成した。
【００７６】
次いで、ｐ型シリコン基板の裏面となる方の主面の周縁部にシリコンおよびチタンを含む溶液からなるマスク材をスピンコータにより塗布した。そして、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面の全面に、拡散源としてＰ2Ｏ5を含むドーパント液をスピンコータにより塗布した。続いて、このｐ型シリコン基板を拡散炉で８５０℃に加熱することによって、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面の全面にリンが拡散して、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面の全面に表面抵抗率が約５０Ωの不純物拡散層であるｎ型不純物拡散層を形成した。
【００７７】
そして、ｐ型シリコン基板をフッ酸に浸漬させることで、上記のマスク膜と、ドーパント液が加熱されて生じたＰＳＧ層とを除去した。次いで、太陽光の反射防止およびパッシベーションを目的として、プラズマＣＶＤ法により、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面上にたとえば厚さ８０ｎｍの窒化シリコンからなる反射防止膜を形成した。
【００７８】
また、ｐ型シリコン基板の裏面となる方の主面にＢ2Ｏ3を含むドーパント液をスピンコータにより全面に塗布した後に拡散炉で加熱することで、ｐ型シリコン基板の裏面となる方の主面の全面にボロンが拡散してｐ型不純物拡散層を形成した。そして、表側電極、受光面集電用電極、および裏側電極用の銀ペーストをスクリーン印刷し、これを１７５℃で乾燥させた後に７２５℃で焼成した。
【００７９】
これにより、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面上にｎ型不純物拡散層とオーミック接触をとる図１に示す形状の表側電極３および受光面集電用電極をファイヤースルーにより形成し、ｐ型シリコン基板の裏面となる方の主面にｐ型不純物拡散層を形成するとともに、ｐ型不純物拡散層とオーミック接触をとる図２に示す形状の裏側電極５を形成した。また、ｐ型シリコン基板とｎ型不純物拡散層とｐ型不純物拡散層とから光電変換機能を有する光電変換基板１が形成された。
【００８０】
上記のようにして製造された太陽電池セルにおいては、表側電極３および裏側電極５は、それぞれ、金属として銀を含み、表側電極３は、光電変換基板１の受光面２上に約１０μｍの厚みを有して設けられ、裏側電極５は、光電変換基板１の裏面４上に約１０μｍの厚みを有して設けられた。
【００８１】
また、上記のようにして製造された太陽電池セルにおいては、図１に示すように、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、表側電極３は、表側電極３の外縁が裏側電極５よりも外側に位置しているように配置されていた。
【００８２】
また、上記のようにして製造された太陽電池セルにおいては、図２に示すように、裏側電極５は、互いに間隔をあけて配置された幅が３ｍｍの複数の島状の電極からなり、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、裏側電極５が配置されていない領域における表側電極３の幅Ｙ１が２ｍｍで、裏側電極５が配置されている領域における表側電極３の幅Ｙ３は３．８ｍｍとした。
【００８３】
その後、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕからなる半田で被覆された幅２ｍｍで厚さ０．２ｍｍの断面が略矩形で帯状の銅箔から構成される第１インターコネクタ２１および第２インターコネクタ２２をフラックスが塗布された表側電極３の上面および裏側電極５の上面にそれぞれ設置し、これらのインターコネクタでｐ型シリコン基板を挟み込んでリフロー炉にて２４０℃の熱処理を行なった。これにより、表側電極３の上面および裏側電極５の上面にそれぞれインターコネクタを電気的に接続して、図１に示す受光面および図２に示す裏面を有する実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルを複数作製した。
【００８４】
このような実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルは、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａは、第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａよりも外側に位置していた。
【００８５】
＜比較例＞
図９に、比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面の模式的な平面図を示し、図１０に、図９に示す受光面とは反対側の裏面の模式的な平面図を示す。図９に示すように、比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルは、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａと、第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａとが重なるように配置されていること以外は、実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルと同様の構成として複数が作製された。
【００８６】
＜評価＞
図８（ａ）に、図１および図２のＶＩＩＩａ−ＶＩＩＩａに沿った模式的な断面図を示す。実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいては、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａが第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａよりも外側にはみ出している距離Ｘ１は、０．４ｍｍであり、０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下となっている。
【００８７】
図１１に、図９および図１０のＸＩ−ＸＩに沿った模式的な断面図を示す。実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいては、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａは、第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａに重なっている。
【００８８】
図８に示すように、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａが第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａに重なっていない実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面２にはマイクロクラックは発生しなかったが、比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面２にはマイクロクラックが発生した。
【００８９】
＜まとめ＞
以上の結果から、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａが第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａに重なっていない実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルは、第１インターコネクタ２１に重なっている表側電極３の外縁部分３ａと第２インターコネクタ２２に重なっている裏側電極５の部分５ａとが重なっている比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルと比べて、受光面２におけるマイクロクラックの発生を抑制することができる。
【００９０】
以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の実施の形態および実施例の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。
【００９１】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
本発明は、インターコネクタ付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールに好適に利用することができる。
【符号の説明】
【００９３】
１  光電変換基板、２  受光面、３  表側電極、３ａ  外縁部分、３ｂ  中心線、４  裏面、５  裏側電極、５ａ  部分、１１  ｐ型シリコン基板、１０  太陽電池セル、１２  ダメージ層、１３  マスク材、１３ａ  マスク膜、１４  ドーパント液、１５  ｎ型不純物拡散層、１６  ＰＳＧ層、１７  反射防止膜、１８  ｐ型不純物拡散層、１９  裏面集電用電極、２１  第１インターコネクタ、２２  第２インターコネクタ、３１  半田、４１  バスバー、５１  ガラス板、５２  封止材、５３  保護フィルム。
【図１】
2014027124.tif 000003
【図２】
2014027124.tif 000004
【図３】
2014027124.tif 000005
【図４】
2014027124.tif 000006
【図５】
2014027124.tif 000007
【図６】
2014027124.tif 000008
【図７】
2014027124.tif 000009
【図８】
2014027124.tif 000010
【図９】
2014027124.tif 000011
【図１０】
2014027124.tif 000012
【図１１】
2014027124.tif 000013