(57)【要約】【課題】複数の塗布ノズルを、それぞれの連結面を塗布幅方向に密接させて連結した連結塗布ノズルにおいて、連結塗布ノズルの先端を一直線にする調整手段を具現化し、連結塗布ノズル先端と被塗布部材間の塗布クリアランスを全幅にわたって均一にすることで、高精度塗布が実現できる塗布器を提供すること。【解決手段】本発明は、少なくとも２つ以上の塗布ノズルが、それぞれの連結面を塗布幅方向に密接させて連結され、上記塗布幅方向に複数の塗膜を形成可能な連結塗布ノズルと、該連結塗布ノズルを、上下方向に固定部材を介在させて固定保持する、塗布幅方向に延びる支持部材と、を備え、少なくとも一つ以上の上記塗布ノズルが、上下方向に移動可能な可撓部を備える、塗布器を提供する。【選択図】図１
2014133201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つ以上の塗布ノズルが、それぞれの連結面を塗布幅方向に密接させて連結され、前記塗布幅方向に複数の塗膜を形成可能な連結塗布ノズルと、
該連結塗布ノズルを、上下方向に固定部材を介在させて固定保持する、塗布幅方向に延びる支持部材と、を備え、
少なくとも一つ以上の前記塗布ノズルが、上下方向に移動可能な可撓部を備える、塗布器。
【請求項２】
前記固定部材の上下方向長さによって、前記可撓部の上下方向移動量が調整可能な位置に、前記固定部材が配置される、請求項１に記載の塗布器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布器に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ若しくはカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ、アレイ基板又はプラズマディスプレイ用パネル等の製造工程では、ガラス基板等の枚葉状の被塗布部材表面に液体材料である塗布液を塗布して乾燥させ、塗膜を形成する工程が多く含まれる。従来、この塗膜を形成するための塗布ノズルには、塗布幅方向に長い１つの吐出口から塗布液を吐出し、対向する被塗布部材の表面に塗膜を形成できるスリットダイが多く使用されてきた。
【０００３】
一方ここ数年、テレビ向けディスプレイの大型化や低価格化が進み、大型基板への塗布や、１枚の大型基板内に複数のディスプレイを形成する多面取りが行なわれるようになってきている。それに伴い塗布ノズルも多様化し、大型基板への塗布に対しては長尺化ノズルが適用され、また多面取りに対しては１つの塗布ノズル内で幅方向に複数の内部流路と吐出口を有した多面塗布ノズルが適用されている（特許文献１）。この多面塗布ノズルは、異なる塗布幅の製品を、同時に塗布して製造することが可能である。しかしこの多面塗布ノズルは、形成された内部流路と吐出口の形状によって、塗布幅に基づく生産品種が定まるため、需要に合わせて後から塗布幅の組み合わせを自由に変更できないという問題がある。全ての生産品種の塗布幅の組み合わせに対応して、多種類の多面取り塗布ノズルを予め準備することは、塗布ノズルを多く所有することになり、製作コストが増大するばかりでなく、保管スペースを確保するコストも増大するといった問題がある。
【０００４】
一方近年、新たな塗膜の形成手段として、ノズル先端に設けた凹凸部の凸部に、微細加工によって微小な吐出口を設けたストライプ塗布ノズルが注目されている。このストライプ塗布ノズルは、ストライプ膜の１本１本を狭い線幅で、かつ所望のピッチで形成することができる。それによって、スリットダイで全面塗布後に行なうパターニング工程が不要になり、塗布液の使用を最小限に抑えることができる。そのため、非常に高価な材料が用いられる有機ＥＬディスプレイ分野において、特に注目されている。しかし、このストライプ塗布ノズルは製作に微細加工を必要とするため、スリットダイと比べて非常に高価である。さらに先端に形成された凹凸部の剛性が低いために、被塗布部材との接触や作業者の取り扱いによる破損リスクが高い。たとえストライプ塗布ノズルの１つの凸部が破損した場合でも、全ての先端凹凸部を同時加工で形成する必要があるため、修理コストが新規製作とほぼ同等と非常に高価になってしまい、生産適用の障害となっている。
【０００５】
上述した２つの問題を解決するための従来技術として、塗布幅方向に塗布ノズルを連結する連結塗布ノズル（例えば、特許文献２）がある。この連結塗布ノズルを、多面塗布ノズルに適用すれば、生産品種の組み合わせ変更に対応して、塗布幅の異なる塗布ノズルを準備して、それを塗布幅方向に連結することで、いかなる塗布幅の組み合わせの多面塗布でも行なうことができる。また、連結塗布ノズルの概念をストライプ塗布ノズルに適用すれば、多数の吐出口のある一定幅の短尺ストライプ塗布ノズルを連結してノズルを構成することになる。このような構成ならば、万が一ストライプ塗布ノズル先端の凸部が破損しても、破損箇所を含む短尺ストライプ塗布ノズルの修理や置き換えで対応することが可能となり、修理コストを大幅に低減することが可能となる。
【０００６】
ここで特許文献２に示される連結塗布ノズルのように、図１０に示す短尺の塗布ノズル４１１〜４１５を塗布幅方向に連結する場合を想定する。図１０で、塗布ノズル４１１〜４１５同士を塗布幅方向に密接させて連結する面、すなわち連結面４４０〜４４７と、塗布ノズル先端面４２１〜４２５とのなす角度がぴったり９０°でないと、全ての塗布ノズルを連結した時に、図１１に示すように、ノズル先端面４２１〜４２５が幅方向に一直線状にならず、必要なノズル全幅の先端真直度δが得られない。実際に誤差０の直角度を実現するのは、高精度の加工を適用しても困難である。それゆえ特許文献２に記載の連結塗布ノズルでは、ノズル先端が一直線でないために、ノズル先端と被塗布部材との間隔、すなわち塗布クリアランスが塗布幅方向で不均一となり、膜切れが発生して正常に塗布できないといった問題がある。さらには、塗布クリアランスが不均一なことに起因する膜厚むらによって、塗布むらと呼ばれる塗布欠点が発生するという問題もある。そのため、特許文献２に記載の連結塗布ノズルは、ディスプレイ製造用途等、高精度塗布膜厚が要求される塗布工程には、適用することができない。特に塗布クリアランスが小さい場合には、塗布ノズルと被塗布部材が接触して、被塗布部材を破損したり、塗布ノズルにも傷や欠けを発生させたりして、生産の停止を余儀なくしうる。
【０００７】
一方で、塗布ノズルの先端と被塗布部材間の塗布クリアランスを均一に保持する従来技術として、予め測定した被塗布部材の「そり」、「うねり」、「厚みむら」に合わせて、塗布ノズルの先端を変形させながら塗布する技術（特許文献３）がある。特許文献３では、塗布ノズルの変形に必要な荷重を与えるために、反力フレームと呼ばれる曲げ剛性の高い部材を塗布ノズル上部に設けている。この特許文献３に示される長尺塗布ノズルの変形調整手段をそのまま連結塗布ノズルに適用して、ノズル先端の真直性を実現しようとしても、図１１に示すように、隣り合う塗布ノズルの連結面が密接してノズル先端が折り曲がっているものでは、連結面を引き離して一直線にするような変形をさせない限り不可能である。
【０００８】
仮に連結面を引き離せたとしても、図１０に示すマニホールド４５１〜４５５も連結して１つのマニホールドを共用化する連結塗布ノズルの場合には、連結面までマニホールド４５１〜４５５が伸びているため、マニホールド４５１〜４５５内の塗布液が連結面から漏出するという不具合が発生する。
【０００９】
以上より、連結塗布ノズルの先端を一直線にし、その真直度を高精度塗布が行なえるほど高くする公知技術は無いのが現状である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００４−１４１７０７号公報
【特許文献２】特開昭４８−３４２２８号公報
【特許文献３】特開２００８−２５３９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上述のように従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、複数の塗布ノズルを、それぞれの連結面を塗布幅方向に密接させて連結した連結塗布ノズルにおいて、連結塗布ノズルの先端を一直線にする調整手段を具現化し、連結塗布ノズル先端と被塗布部材間の塗布クリアランスを全幅にわたって均一にすることで、高精度塗布が実現できる塗布器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の目的は、以下に述べる手段によって達成される。
【００１３】
本発明の塗布器は、少なくとも２つ以上の塗布ノズルが、それぞれの連結面を塗布幅方向に密接させて連結され、上記塗布幅方向に複数の塗膜が形成可能な連結塗布ノズルと、該連結塗布ノズルを、上下方向に固定部材を介在させて固定保持する、塗布幅方向に延びる支持部材と、を備え、少なくとも一つ以上の上記塗布ノズルが、上下方向に移動可能な可撓部を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明の塗布器においては、上記固定部材の上下方向長さによって、上記可撓部の上下方向移動量が調整可能な位置に、上記固定部材が配置されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の塗布器によれば、少なくとも２つ以上の塗布ノズルを塗布幅方向にそれぞれの連結面を密接させて連結した連結塗布ノズルで、隣接する塗布ノズルの少なくとも一方の塗布ノズルに、連結面と塗布ノズル面とのなす角度を９０°前後に微細調整可能な可撓部を設けたので、塗布ノズル先端部を一直線状に変形させても、連結部に発生する歪みを小さくすることができる。これにより本発明の塗布器は、塗布ノズル間の隣り合う塗布ノズルの連結面を密接させてシール性を確保した上で、複数の塗布ノズル先端部を連結しても、一直線状に調整することが可能となる。このように連結塗布ノズルの先端部で最小の先端真直度δを実現し、さらには、連結塗布ノズルと被塗布部材間の塗布クリアランスをノズル全幅で均一にすることができる結果、ディスプレイ製造に必要とされる高精度な塗布膜厚を有した塗膜を容易に、しかも高い生産性で形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の塗布器の一実施態様を示す正面図である。
【図２】図１の塗布器１を構成する連結塗布ノズル２を各構成部材に分解した概略斜視図である。
【図３】連結塗布ノズル２の内部流路を示す概略斜視図である。
【図４】連結ストライプ塗布ノズル２０２の内部流路を示す概略斜視図である。
【図５】連結塗布ノズル２に組み立てた一例を示す正面図である。
【図６】図５の連結塗布ノズル２の先端真直度δを最小にして塗布器に組立てた状態を示す正面図である。
【図７】塗布ノズル１２の切り欠き３２の詳細を示す正面図である。
【図８】塗布ノズル１２の切り欠きの別の実施態様を示す正面図である。
【図９】本発明の塗布器の別の実施態様を示す正面図である。
【図１０】従来の塗布ノズルの一例を示す斜視図である。
【図１１】従来の連結塗布ノズルの連結状態を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施態様を説明する。
【００１８】
塗布器の一実施態様を示す図１を参照して、本発明に係る塗布器１の構成について詳しく説明する。図１では塗布幅方向が破線の両矢印で示されており、高さ方向すなわち上下方向は２点鎖線の両矢印で示されている。図１に示すように本発明の塗布器１は、塗布ノズル１１〜１３を連結面４０と４２及び連結面４１と４２がそれぞれ塗布幅方向に密接するように連結した連結塗布ノズル２と、連結塗布ノズル２の上部に設けられた塗布幅方向に延在する支持部材３と、連結塗布ノズル２と支持部材３との上下方向の間に介在して、各塗布ノズル１１〜１３と支持部材３とに密接させて固定される固定部材４Ａ〜４Ｄと、を有した構成である。この構成によって、連結塗布ノズル２は、固定部材４Ａ〜４Ｄを介し、支持部材３に固定され、保持されている。また各塗布ノズル１１〜１３には、それぞれ被塗布部材と対向する最下面に、塗布液を吐出して塗膜を形成するための吐出口２１〜２３が設けられている。さらに塗布ノズル１２、１３には、切り欠き３２、３３が設けられている。これによって、近傍の剛性を低くして、切り欠き３２、３３を起点に折れ曲がるようにして、可撓部７２、７３を上下方向に移動可能としている。なお、固定部材４Ｃ、４Ｄは、塗布ノズル１２、１３の可撓部７２、７３の上下方向移動量が調整可能な位置に配置されている。従って、固定部材４Ｃ、４Ｄの上下方向長さ、すなわち高さを変えることによって可撓部７２、７３の上下方向の移動量を調整することができる。
【００１９】
次に図２は、塗布器１を構成する連結塗布ノズル２を各構成部材に分解した概略斜視図である。図２を参照すると、連結塗布ノズル２を構成する塗布ノズル１１〜１３は、それぞれ塗布幅方向に伸びるフロントリップ１１Ａ〜１３Ａと、リアリップ１１Ｂ〜１３Ｂと、締結用の複数の組立てボルト５に分けられる。これに伴い、塗布ノズル１２、１３の上面にある切り欠き３２、３３も、それぞれ切り欠き３２Ａと３２Ｂ、切り欠き３３Ａと３３Ｂに分けられる。矢印で示す塗布方向、すなわち塗布幅方向に直交する方向に見て、切り欠き３２Ａと３２Ｂは重なりあう形状となっている。同様に切り欠き３３Ａと３３Ｂも、塗布方向に見て重なりあう形状である。さらに、可撓部７２、７３もそれぞれ、塗布方向に見て重なり合う形状となる可撓部７２Ａと７２Ｂ、可撓部７３Ａと７３Ｂに分けられる。
【００２０】
またフロントリップ１１Ａ〜１３Ａとリアリップ１１Ｂ〜１３Ｂに対応して、連結面４０〜４３が、連結面４０Ａ〜４３Ａ、連結面４０Ｂ〜４３Ｂに分けられる。これらの連結面は、密接させて塗布ノズル内部から塗布液が漏れ出すことがないように、公知の研削加工等により精密に仕上げられていることが好ましい。
【００２１】
さらに図２を参照して塗布ノズル１１〜１３の内部流路について、詳しく説明する。塗布ノズル１１〜１３を構成するリアリップ１１Ｂ〜１３Ｂの内部には、塗布液を塗布幅方向に拡幅するためのマニホールド５１〜５３が、塗布ノズルの内部流路の１つとして、フロントリップ１１Ａ〜１３Ａと相対する内面に形成されている。このマニホールド５１〜５３は、フロントリップ１１Ａ〜１３Ａ及びリアリップ１１Ｂ〜１３Ｂと同様に塗布幅方向に延在している。リアリップ１１Ｂに設けられたマニホールド５１の塗布幅方向中央部には、塗布液を外部から供給する供給口６がリアリップ１１Ｂの外部と連通するように設けられている。またマニホールド５１〜５３の下方には、マニホールド５１〜５３と連通する吐出経路６１〜６３が設けられている。吐出経路６１〜６３はフロントリップ１１Ａ〜１３Ａの内面と相対して矩形断面の流路を構成する。そして吐出経路６１〜６３は、リアリップ１１Ｂ〜１３Ｂとフロントリップ１１Ａ〜１３Ａの共通の最下面となる先端部８１〜８３で開口して、塗布幅方向に延在する吐出口２１〜２３となる。したがって、吐出口２１〜２３は先端部８１〜８３に含まれることになる。また、以上の塗布ノズル１２、１３の塗布液が流れる内部流路は、切り欠き３２Ｂ、３３Ｂとは干渉しない位置で、リアリップ１２Ｂ、１３Ｂに設けられている。
【００２２】
図３は、塗布ノズル１１〜１３を連結した連結塗布ノズル２の内部流路を示す概略斜視図である。すなわち、図２で、リアリップ１２Ｂ、１１Ｂ、１３Ｂを、連結面４２Ｂと４０Ｂ、４１Ｂと４３Ｂ、とで密接させて連結するとともに、フロントリップ１２Ａ、１１Ａ、１３Ａを、連結面４２Ａと４０Ａ、４１Ａと４３Ａ、とで密接させて塗布幅方向に連結したのが、図３に示す状態である。図３を参照して、リアリップ１２Ｂ、１１Ｂ、１３Ｂの連結によって、マニホールド５２、５１、５３も連結されて、塗布幅方向に連通した連結マニホールド７となる。それに対して連結マニホールド７と連通する吐出経路６２、６１、６３、吐出口２２、２１、２３は、各々独立して存在し、それぞれの塗布幅方向長さを有する。すなわちこの構成によって、供給口６から供給される塗布液は、連結マニホールド７で拡幅後に、吐出経路６１〜６３に分配されて、吐出口２１〜２３から吐出され、３個の異なる塗布幅方向長さを備える塗膜を塗布幅方向に並べて形成することができる。
【００２３】
上記実施態様では、連結塗布ノズル２を構成する塗布ノズルの数を３として示したが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち連結塗布ノズルを構成する塗布ノズルの数Ｎは、Ｎ≧２であれば、いかなる値であっても構わない。
【００２４】
さらに上記実施態様では、本発明に係る連結塗布ノズル２の供給口６を、連結塗布ノズルの中央に位置する塗布ノズル１１に設けて示したが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち連結塗布ノズルの供給口は、マニホールドが連通しているどの塗布ノズルに設けても構わないし、塗布ノズル１２や１３に設けても構わない。
【００２５】
連結塗布ノズルを構成する塗布ノズルに設けられる吐出経路や吐出口は、塗布ノズル１つあたり１つに限定されるものではない。すなわち連結塗布ノズルを構成する１つの塗布ノズルが複数のストライプを形成できるように、複数の吐出経路や吐出口を有しても構わない。その実施態様例を図４に示す。図４は、塗布ノズルの数をＮ＝５とした連結ストライプ塗布ノズル２０２の内部流路を示す概略斜視図である。この連結ストライプ塗布ノズル２０２では、リアリップ２１１Ｂ〜２２５Ｂのそれぞれに、同じ塗布幅方向長さＹの吐出経路２６０と吐出口２２０を３個設けている。連結ストライプ塗布ノズル２０２はこの構成によって、１つの供給口２０６に塗布液を供給することによって、塗布幅方向長さＹすなわちストライプ幅Ｙのストライプ状の塗布膜を１５個形成することができる。
【００２６】
なお、連結塗布ノズルにおける吐出経路と吐出口は、隣接する塗布ノズル間にまたがらず、各々の塗布ノズルの塗布幅方向長さの中で設けることが好ましい。これは、吐出経路と吐出口に連結する位置を含むようにすると、連結する位置で吐出経路や吐出口を形成する面がずれて段ができ、それを起点に塗膜に縦スジと呼ばれる塗布方向のスジ欠点が発生するためである。
【００２７】
次に図５に示す塗布ノズル１１〜１３が連結された連結塗布ノズル２を、図６を参照しながら、支持部材３と固定部材４Ａ〜４Ｄを用いて先端真直度δを最小にして、塗布器１に組み立てる方法について説明する。連結塗布ノズル２の先端真直度δを最小とするには、塗布ノズル１１の先端部８１を含む直線Ｒに、塗布ノズル１２の先端部８２と塗布ノズル１３の先端部８３を可能な限り近接させる。そのために、塗布ノズル１１の高さＨ１１、固定部材４Ａ、４Ｂの高さ（上下方向長さ）をｈ１１とすると、塗布ノズル１２、１３の高さＨ１２、Ｈ１３より、固定部材４Ｃに高さｈ１２＝Ｈ１１＋ｈ１１−Ｈ１２、固定部材４Ｄに高さｈ１３＝Ｈ１１＋ｈ１１−Ｈ１３、のものを使用して組み立てる。なお、高さは上下方向の長さである。以上の固定部材４Ｃ、４Ｄを最適な高さにして組み立てることによって、連結面４２と４０及び連結面４１と４３をそれぞれ密接させた状態で、塗布ノズル１１を基準にして塗布ノズル１２、１３の可撓部７２、７３のみを上下方向に移動させて、先端部８２、８３の一端を、直線Ｒ上に位置させることができる。
【００２８】
この時の先端真直度δは、先端部８２の直線Ｒからのずれδ１２と、先端部８３の直線Ｒからのずれδ１３の和、δ＝δ１２＋δ１３となる。ここでずれδ１２は、連結面４０、４２が直線Ｒと直交する鉛直面より角度θ１だけ傾いて密接していることに起因して発生する長さで、連結面４２から切り欠き３２までの長さをｌ１とすると、おおよそδ１２＝ｌ１θ１となる。同様にずれδ１３は、連結面４１、４３が鉛直面より角度θ２だけ傾いて密接していることに起因して発生する長さで、連結面４３から切り欠き３３までの長さをｌ２とすると、おおよそδ１３＝ｌ２θ２となる。以上に示すように、切り欠き３２、３３の作用によって、連結面４０と４２、連結面４１と４３を密接した状態でも、連結面の傾き角度に関係なく、可撓部７２、７３を上下方向に自在に移動できる。これによって連結面４０〜４３をそれぞれ密接させてシール性を維持した状態で、先端真直度δを最小の値に矯正できる。連結面４０〜４３でのシール性が維持されているのであるから、連結マニホールド７から塗布液が漏出することがない。
【００２９】
以上の組立てを行なう時は、可撓部７２、７３の上下方向の移動、すなわち変形を行なわせる時の反力が、固定部材４Ｃ、４Ｄを介して支持部材３に作用するが、それによって支持部材３が変形しないように、支持部材３の曲げ剛性は十分大きくすることが好ましい。具体的には、支持部材３の上下方向の長さ、すなわち高さＨ３を塗布ノズル１１〜１３の高さＨ１１〜Ｈ１３の好ましくは１倍以上、より好ましくは１．５倍以上とする。
【００３０】
なお、固定部材４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄの高さｈ１１、ｈ１２、ｈ１３の調整は、固定部材４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄを切削加工するか、適切な厚さのシムを固定部材４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄと支持部材３又は塗布ノズル１１、１２、１３、との間に挿入して行なっても構わない。さらに固定部材４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄを差動ネジや弾性体にし、ネジの移動量や弾性体の変形量を制御して、高さｈ１１、ｈ１２、ｈ１３を調整しても構わない。
【００３１】
なお、固定部材４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄの高さｈ１１、ｈ１２、ｈ１３については、上記の計算式に基づいて定めても構わないし、先端真直度δが最小となるように測定しながら最適な値に定めても構わない。
【００３２】
以上説明したように塗布器１では、連結塗布ノズル２の連結面４０〜４３でのシール性を保持しつつ、先端真直度δを最小とするのであるから、供給した塗布液の全量が吐出口から吐出されて被塗布部材（基板）に転写され、高精度の膜厚精度を実現することができる。また連結面４０〜４３からの連結塗布ノズル２内部へのエア混入を防止することもできるので、エア起因の塗布欠点や、塗布ノズル内部のエアがクッションのような働きをすることで、塗布開始部での塗布液供給遅れによる薄膜化を防止することができる。なお、エア起因の塗布欠点としては、エアが連結塗布ノズル２から直接吐出されて塗膜内に混入し、塗膜に未塗布部分が発生する、いわゆるピンホールと呼ばれる欠点等がある。
【００３３】
なお、塗布ノズル１２での切り欠き３２の配置位置については、図７を参照して、最寄となる連結面４２からの距離Ｗが、５ｍｍ以上であることが好ましい。５ｍｍよりも小さい場合には、この部分の剛性が低下して連結面４２の加工時に加工歪みが生じ、連結面４２でのシール性が得られないという不都合が生じる。
【００３４】
また切り欠き３２の塗布ノズル１２の上面からの切り欠き深さｄと切り欠き幅ｅは、可撓部７２の上下方向の移動のしやすさを定める。すなわち、切り欠き深さｄと切り欠き幅ｅが大きいほど、切り欠き３２の近傍の剛性が低下して、可撓部７２はより小さな力で上下方向に移動可能となる。適切な力によって可撓部７２を上下方向に移動可能とし、連結面４２での歪み量を小さくして連結面４２でのリークを発生させないようにするためには、切り欠き深さｄは塗布ノズル１２の高さＨ１２に対してｄ≧Ｈ１２／４、切り欠き幅ｅは１ｍｍ以上、であることが好ましい。以上説明した事項は、塗布ノズル１３の切り欠き３３に対しても同じく適用される。
【００３５】
また切り欠きは、図８に示すように、１つの塗布ノズル１２の中で、切り欠き９２Ａ、９２Ｂと、複数設けても構わない。切り欠きを設ける個数が多くなるほど、切り欠き近傍の剛性がより低下し、可撓部７２がより小さな力で上下方向に移動可能となる。
【００３６】
なお、連結塗布ノズル２を構成する塗布ノズル１１、１２、１３のうち、切り欠き３２、３３は塗布ノズル１２と塗布ノズル１３に設けられているが、塗布ノズル１１に切り欠きを設けても構わない。ただし、中央にある塗布ノズル１１の先端部８１を、先端真直度δの基準とする時は、切り欠きは設けず、２つの固定部材４Ａ、４Ｂを介して支持部材３に塗布ノズル１１を固定することによって、先端部８１の真直性を維持することがより好ましい。
【００３７】
次に図９に、本発明に係る別の実施態様例である塗布器３０１を示す。塗布器３０１は、塗布器１において、連結塗布ノズル２の代わりに連結塗布ノズル３０２を装着したものである。連結塗布ノズル３０２は、先端真直度δの基準とする塗布ノズル３１３を左側端部に配置し、それに対して、切り欠き３３１、３３２のある塗布ノズル３１１、３１２を塗布幅方向に連結している。先端部３８３を先端真直度δの基準とする塗布ノズル３１３には切り欠きはなく、同じ高さｈの２つの固定部材４Ａ、４Ｂを介して支持部材３に塗布ノズル３１３は固定されている。このような固定によって、先端部３８３の真直性は維持される。これに対して塗布ノズル３１１、３１２は、切り欠き３３１、３３２のある左側と逆側の右側にある可撓部３７１、３７２が、固定部材４Ｃ、４Ｄを介してそれぞれ支持部材３に固定されている。さらに固定部材４Ｃ、４Ｄの高さｈを調整して可撓部３７１、３７２を上下方向に移動することにより、先端部３８１、３８２の上下方向位置を、塗布ノズル３１３の先端部３８３を基準とした先端真直度δが最小となるように、調整することができる。このように、連結塗布ノズルで、先端真直度δの基準となる塗布ノズルは、塗布幅方向のどの位置、順番にあっても構わない。
【００３８】
以上の塗布器１、塗布器３０１ともに、先端真直度δの基準とする塗布ノズルには切り欠きは設けず、それに対して連結する塗布ノズルに切り欠きと可撓部を設けることが好ましく、これによって先端部を上下方向に移動可能にして、連結塗布ノズルの先端真直度δを最小とすることが可能になる。そのため、基準とする塗布ノズル以外の少なくとも１つ以上の塗布ノズルには、先端部が上下方向に移動可能な可撓部を備えることが必要である。
【００３９】
連結塗布ノズル２、３０２を構成する塗布ノズル１１〜１３、３１１〜３１３の材質は、特に限定されない。例えば、ステンレス、超硬合金等の金属材料、セラミックス、あるいは、これらに表面処理を施工したものが好ましく適用される。ステンレスは、耐薬品性を有し、安価なため、塗布ノズルの材質としてより好ましい。塗布ノズル先端に微細加工を施す場合には、高精度の切削が可能なメッキ等の表面処理が施されていることがさらに好ましい。
【００４０】
また、塗布ノズルをその連結面を密接させて塗布幅方向に連結させる手段については、ボルト、ねじ等の締結手段を用いることが好ましいが、その他の強い力で連結面を密接保持できるなら、いかなる手段を用いても構わない。
【符号の説明】
【００４１】
１                  ：  塗布器
２                  ：  連結塗布ノズル
３                  ：  支持部材
４Ａ〜４Ｄ          ：  固定部材
５                  ：  組立ボルト
６                  ：  供給口
７                  ：    連結マニホールド
１１〜１３          ：  塗布ノズル
１１Ａ〜１３Ａ      ：  フロントリップ
１１Ｂ〜１３Ｂ      ：  リアリップ
２１〜２３          ：  吐出口
３２、３３          ：  切り欠き
３２Ａ、３３Ａ      ：  切り欠き（フロントリップの）
３２Ｂ、３３Ｂ      ：  切り欠き（リアリップの）
４０〜４３          ：  連結面
４０Ａ〜４３Ａ      ：  連結面（フロントリップの）
４０Ｂ〜４３Ｂ      ：  連結面（リアリップの）
５１〜５３          ：  マニホールド
６１〜６３          ：  吐出経路
７２、７３          ：  可撓部
７２Ａ、７３Ａ      ：  可撓部
７２Ｂ、７２Ｂ      ：  可撓部
８１〜８３          ：  先端部
９２Ａ、９２Ｂ      ：  切り欠き
２０２              ：  連結ストライプ塗布ノズル
２０６              ：  供給口
２１１Ａ〜２１５Ａ  ：  フロントリップ
２１１Ｂ〜２１５Ｂ  ：  リアリップ
２２０              ：  吐出口
２６０              ：  吐出経路
３０１              ：  塗布器
３０２              ：  連結塗布ノズル
３１１〜３１３      ：  塗布ノズル
３３１、３３２      ：  切り欠き
３７１、３７２      ：  可撓部
３８１〜３８３      ：  先端部
４１１〜４１５      ：  塗布ノズル
４２１〜４２５      ：  塗布ノズルの先端面
４４１〜４４７      ：  連結面
４５１〜４５５      ：  マニホールド
δ                  ：  連結塗布ノズルの先端真直度
ｄ                  ：  切り欠き深さ
ｅ                  ：  切り欠き幅
Ｈ                  ：  塗布ノズルの高さ
ｈ                  ：  固定部材の高さ
Ｒ                  ：  直線
Ｗ                  ：  連結面から切り欠きまでの距離
Ｙ                  ：  吐出経路、吐出口の塗布幅方向長さ
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、例えば有機ＥＬやカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ並びにアレイ基板、プラズマディスプレイ用パネル、光学フィルタ等の製造分野に利用可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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