(57)【要約】【課題】耐久性や製造歩留まり、生産性などの面で製品としての諸条件を満足し得る配線基板及びその製造方法を提供する。【解決手段】コア基板１２に絶縁層１６と配線層１８とが積層された配線基板１０である。コア基板１２はガラスにより形成され、コア基板１２の側面の一部が樹脂１２ａで覆われている。配線基板１０の上側の面のソルダレジスト層２０の開口には、半導体チップ２８に接続するためのバンプ（接続端子）２２が形成されている。配線基板１０の下側の面のソルダレジスト層２０の開口には、他の基板に接続するためのバンプ（接続端子）２４が形成されている。【選択図】図１
2014022465.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コア基板に絶縁層と配線層とが積層された配線基板であって、
前記コア基板はガラスにより形成され、
前記コア基板の側面に、前記コア基板を表面から裏面に貫通する凹部が形成され、前記凹部に樹脂が充填されている
ことを特徴とする配線基板。
【請求項２】
請求項１記載の配線基板において、
前記コア基板の側面の一部を覆う樹脂の側面が、前記コア基板の側面の他の部分の側面と面一である
ことを特徴とする配線基板。
【請求項３】
請求項１又は２記載の配線基板において、
前記コア基板の角部の側面が樹脂で覆われている
ことを特徴とする配線基板。
【請求項４】
コア基板に絶縁層と配線層とが積層された配線基板であって、
前記コア基板はガラスにより形成され、
前記コア基板の側面の全てが樹脂で覆われている
ことを特徴とする配線基板。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の配線基板において、
前記コア基板の側面を覆う樹脂が、前記絶縁層を形成する樹脂と一体である
ことを特徴とする配線基板。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の配線基板において、
前記コア基板の表面と裏面とに絶縁層と配線層とが積層されており、
前記コア基板の側面を覆う樹脂が、前記コア基板の表面と裏面に積層された前記絶縁層を形成する樹脂と一体である
ことを特徴とする配線基板。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の配線基板において、
前記コア基板に形成された開口に樹脂が充填されている
ことを特徴とする配線基板。
【請求項８】
複数のコア基板領域を有するガラス基板の、前記複数のコア基板領域間の境界部に、前記境界部と一部が重なり合う開口を形成する工程と、
前記開口に樹脂を充填する工程と、
前記ガラス基板の前記複数のコア基板領域に絶縁層と配線層とを積層する工程と、
前記ガラス基板を前記境界部に沿って切断して、前記複数のコア基板領域を分離する工程とを有し、
前記コア基板領域の側面の一部が樹脂で覆われ、前記コア基板領域に前記絶縁層と前記配線層とが積層された配線基板を製造する
ことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項９】
請求項８記載の配線基板の製造方法において、
前記開口に樹脂を充填する工程は、
前記コア基板上に絶縁層となる樹脂シートを載置し、前記樹脂シートの樹脂を前記開口に充填する
ことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項１０】
請求項８又は９記載の配線基板の製造方法において、
前記開口は、前記境界部が交差する箇所に形成されている
ことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項１１】
請求項８乃至１０のいずれか１項に記載の配線基板の製造方法において、
前記開口を形成する工程では、前記コア基板領域に他の開口を形成し、
前記樹脂を充填する工程では、前記他の開口に樹脂を充填する
ことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項１２】
支持部上に第１の樹脂シートを載置する工程と、
ガラスにより形成された複数のコア基板を、前記第１の樹脂シート上に所定間隔を隔てて載置する工程と、
前記複数のコア基板上を第２の樹脂シートで覆い、前記複数のコア基板の間に樹脂を充填する工程と、
前記複数のコア基板に絶縁層と配線層とを積層する工程と、
前記複数のコア基板の間に充填された前記樹脂の部分を切断して、前記複数のコア基板を分離する工程とを有し、
前記コア基板の側面の全てが樹脂で覆われ、前記コア基板に前記絶縁層と前記配線層とが積層された配線基板を製造する
ことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項１３】
請求項１２記載の配線基板の製造方法において、
前記第１の樹脂シートと前記第２の樹脂シートとが、前記コア基板の両面に積層される絶縁層となる
ことを特徴とする配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は配線基板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から半導体チップ等の電子部品を実装するための配線基板が知られている。配線基板では、コア基板の片面または両面に、層間絶縁層と配線が複数層形成されている。
【０００３】
コア基板の材質としては、有機基材、セラミック基材、シリコン基材、ガラス基材などが使用できる。熱膨張係数や絶縁性を考慮すると、セラミックや、ガラスを用いることが好ましいとされている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−８６０７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来から、コア基板の材質としてガラスを用いることは提案されているものの、耐久性や製造歩留まり、生産性などの面で実際の製品としての条件を満足する配線基板の製品化は実現していなかった。
【０００６】
本発明の目的は、耐久性や製造歩留まり、生産性などの面で製品としての諸条件を満足し得る配線基板及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の一観点によれば、コア基板に絶縁層と配線層とが積層された配線基板であって、前記コア基板はガラスにより形成され、前記コア基板の側面に、前記コア基板を表面から裏面に貫通する凹部が形成され、前記凹部に樹脂が充填されていることを特徴とする配線基板が提供される。
【０００８】
実施形態の一観点によれば、コア基板に絶縁層と配線層とが積層された配線基板であって、前記コア基板はガラスにより形成され、前記コア基板の側面の全てが樹脂で覆われていることを特徴とする配線基板が提供される。
【０００９】
実施形態の一観点によれば、複数のコア基板領域を有するガラス基板の、前記複数のコア基板領域間の境界部に、前記境界部と一部が重なり合う開口を形成する工程と、前記開口に樹脂を充填する工程と、前記ガラス基板の前記複数のコア基板領域に絶縁層と配線層とを積層する工程と、前記ガラス基板を前記境界部に沿って切断して、前記複数のコア基板領域を分離する工程とを有し、前記コア基板領域の側面の一部が樹脂で覆われ、前記コア基板領域に前記絶縁層と前記配線層とが積層された配線基板を製造することを特徴とする配線基板の製造方法が提供される。
【００１０】
実施形態の一観点によれば、支持部上に第１の樹脂シートを載置する工程と、ガラスにより形成された複数のコア基板を、前記第１の樹脂シート上に所定間隔を隔てて載置する工程と、前記複数のコア基板上を第２の樹脂シートで覆い、前記複数のコア基板の間に樹脂を充填する工程と、前記複数のコア基板に絶縁層と配線層とを積層する工程と、前記複数のコア基板の間に充填された前記樹脂の部分を切断して、前記複数のコア基板を分離する工程とを有し、前記コア基板の側面の全てが樹脂で覆われ、前記コア基板に前記絶縁層と前記配線層とが積層された配線基板を製造することを特徴とする配線基板の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
開示の配線基板及びその製造方法によれば、耐久性や製造歩留まり、生産性などの面で製品としての諸条件を満足することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、第１実施形態による配線基板を示す図である。
【図２】図２は、第１実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図（その１）である。
【図３】図３は、第１実施形態による配線基板の製造方法における開口形成工程での平面図である。
【図４】図４は、第１実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図（その２）である。
【図５】図５は、第１実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図（その３）である。
【図６】図６は、第１実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図（その４）である。
【図７】図７は、第１実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図（その５）である。
【図８】図８は、第１実施形態による配線基板の製造方法における樹脂充填工程の第１変形例を示す工程断面図である。
【図９】図９は、第１実施形態による配線基板の製造方法における樹脂充填工程の第２変形例を示す工程断面図である。
【図１０】図１０は、第１実施形態による配線基板の製造方法における樹脂充填工程の第３変形例を示す工程断面図である。
【図１１】図１１は、第１実施形態の配線基板の第１変形例を示す図である。
【図１２】図１２は、第１実施形態の配線基板の第２変形例を示す図である。
【図１３】図１３は、第１実施形態の配線基板の第３変形例を示す図である。
【図１４】図１１は、第１実施形態の配線基板の第４変形例を示す図である。
【図１５】図１１は、第１実施形態の配線基板の第５変形例を示す図である。
【図１６】図１６は、第２実施形態による配線基板を示す図である。
【図１７】図１７は、第２実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図（その１）である。
【図１８】図１８は、第２実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図（その２）である。
【図１９】図１９は、第２実施形態による配線基板の製造方法におけるコア基板載置工程での平面図である。
【図２０】図２０は、第２実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図（その３）である。
【図２１】図２１は、第２実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図（その４）である。
【図２２】図２２は、第２実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図（その５）である。
【図２３】図２３は、第２実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図（その６）である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
［第１実施形態］
（配線基板）
第１実施形態による配線基板について図１を用いて説明する。図１（ａ）は本実施形態による配線基板に半導体チップを搭載した状態の平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）の平面図におけるＡ−Ａ′線断面図である。
【００１４】
本実施形態の配線基板１０は、図１（ｂ）に示すように、ガラスにより形成されたコア基板１２を有する。コア基板１２は、例えば、約２００μｍ厚である。コア基板１２の厚さとしては、約５０〜１０００μｍであることが好ましい。
【００１５】
コア基板１２を形成するガラスとしては、ソーダガラス、石英ガラス、硼珪酸ガラス、無アルカリガラス、感光性ガラス、結晶性ガラス等を使用することができる。
【００１６】
コア基板１２には複数の貫通電極１４が形成されている。貫通電極１４は、例えば、約５０μｍ径であり、例えば、銅により形成されている。
【００１７】
コア基板１２の上下両面には、絶縁層１６と配線層１８が交互に積層されている。絶縁層１６は、例えば、約２０μｍ厚であり、例えば、熱硬化性エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル系樹脂、テフロン（登録商標）系樹脂、等を使用することができる。
【００１８】
配線層１８は、接続のための開口が形成された絶縁層１６上に，例えば、銅をめっきすることにより形成されている。
【００１９】
コア基板１２の上下両面の最外層の絶縁層１６と配線層１８は、ソルダレジスト層２０により被覆されている。ソルダレジスト層２０には、配線層１８に達する開口が形成されている。ソルダレジスト層２０は、例えば、約２０μｍ厚である。
【００２０】
本実施形態の配線基板１０は、上側の面に半導体チップ２８が搭載され、下側の面を介して他の基板（図示せず）に搭載される。
【００２１】
配線基板１０の上側の面のソルダレジスト層２０の開口には、半導体チップに接続するためのバンプ（接続端子）２２が形成されている。配線基板１０の下側の面のソルダレジスト層２０の開口には、他の基板（図示せず）に接続するためのバンプ（接続端子）２４が形成されている。バンプ（接続端子）２２及びバンプ（接続端子）２４は、例えば、はんだにより形成されている。
【００２２】
配線基板１０の上側の面には半導体チップ２８が搭載され、バンプ（接続端子）２２により電気的に接続されている。配線基板１０と半導体チップ２８との間にはアンダーフィル樹脂２６が充填されている。
【００２３】
本実施形態の配線基板１０は、図１（ａ）に示すように、ガラスにより形成されたコア基板１２の側面の一部が樹脂１２ａにより覆われている。コア基板１２の４つの角部の側面と、角部間の各辺毎の３箇所の側面が、樹脂１２ａにより覆われている。
【００２４】
コア基板１２の各辺の側面に、コア基板１２を表面から裏面に貫通する３個の凹部が形成され、各凹部に樹脂１２ａが充填されている。また、コア基板１２の各角部に、コア基板１２を表面から裏面に貫通する凹部が形成され、各凹部に樹脂１２ａが充填されている。
【００２５】
コア基板１２の各辺において、図１（ａ）に示すように、樹脂１２ａの側面は、樹脂１２ａにより覆われていない部分の側面と面一である。
【００２６】
また、図１（ｂ）に示すように、配線基板１０の側面と、コア基板１２の側面と、樹脂１２ａの側面とは面一である。
【００２７】
コア基板１２の面内方向における樹脂１２ａの最も厚い部分の厚さＴ１は、例えば、１００μｍである。この厚さＴ１は、約２０〜２００μｍであることが好ましい。
【００２８】
コア基板１２の側面の一部を覆う樹脂１２ａとしては、熱硬化性エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル系樹脂、テフロン（登録商標）系樹脂、等を使用することができる。
【００２９】
本実施形態の配線基板１０において、コア基板１２の側面の一部を樹脂１２ａにより覆っている理由について説明する。
【００３０】
ガラスは、配線基板１２に搭載される半導体チップと熱膨張係数が近似し、また、絶縁性も高い。ガラスをコア基板に用いると、配線基板１２全体の熱膨張係数を半導体チップの熱膨張係数に近づけることができ、配線基板１２に搭載される半導体チップに加わる応力を緩和できる。このように、コア基板の材質として、ガラスは、熱膨張係数や絶縁性などの面から好ましいとされている。
【００３１】
そこで、本願発明者等は、ガラスにより形成されたコア基板を用いた配線基板を実験的に作成したところ、次のような課題があることを発見した。
【００３２】
まず、複数の配線基板を一度に製造するため、複数のコア基板分の面積を有するガラス基板を用意した。ガラス基板にはコア基板となる複数のコア基板領域が設けられている。コア基板領域間には、ガラス基板を個々のコア基板に分離する際の境界部が設定される。この境界部は、スライサー（切断装置）による切断幅程度の幅を有する線状であり、ガラス基板上に格子状に設定される。
【００３３】
次に、ガラス基板の複数のコア基板領域の両面に絶縁層と配線層を積層した。最外層の絶縁層と配線層上はソルダレジスト層により被覆した。
【００３４】
次に、スライサー（切断装置）により、ガラス基板を境界部に沿って切断して、複数のコア基板領域を分離し、ガラスにより形成されたコア基板の両面に絶縁層と配線層とが積層された配線基板を作成した。
【００３５】
次に、各配線基板に対して、製品としての耐久性を調べるための温度サイクル試験を行った。
【００３６】
このようにして配線基板を作成し、試験を行ったところ、スライサーによる切断した際や、温度サイクル試験の際に、多くの配線基板が割れてしまった。
【００３７】
割れた配線基板を観察したところ、コア基板が厚さ方向の上下に剥離し、片面に絶縁層と配線層が積層された状態となっていた。割れていない配線基板においても、コア基板の側面に、スライサーの切断によると思われる細かなクラックが多数形成されていた。特にコア基板の角部は、スライサーによる切断が２回行われるため、多くのクラックが形成されていた。
【００３８】
配線基板は、ガラスにより形成されたコア基板の両面に絶縁層と配線層とが積層されている。絶縁層と配線層の積層部分の熱膨張係数は、ガラスにより形成されたコア基板の熱膨張係数よりも大きい。配線基板に熱サイクルが加えられると、熱膨張係数の相違によりガラス基板にストレスが加わる。コア基板の側面にクラックが形成されていると、積層部分からコア基板に加えられるストレスによりコア基板が剥離する。このような現象により、配線基板が割れるということがわかった。
【００３９】
本実施形態の配線基板１０においては、コア基板１２の側面の一部が樹脂１２ａにより覆われている。樹脂１２ａは柔軟なので、スライサーにより切断しても、コア基板１２の側面を覆う樹脂１２ａにはクラックは形成されない。
【００４０】
コア基板１２の樹脂１２ａに覆われていない側面では、スライサーの切断によるクラックが形成されるが、樹脂１２ａによりコア基板１０が剥離することを防止できる。
【００４１】
このように本実施形態によれば、配線基板の割れを防止し、配線基板の耐久性や製造歩留まり、生産性などを向上させることができる。
【００４２】
（配線基板の製造方法）
第１実施形態による配線基板の製造方法について図２乃至図７を用いて説明する。図２及び図４乃至図７は第１実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図であり、図３は第１実施形態による配線基板の製造方法における開口形成工程での平面図である。
【００４３】
まず、複数の配線基板のコア基板となるガラス基板３０を用意する（図２（ａ））。
【００４４】
ガラス基板３０は、例えば、約２００μｍ厚である。コア基板となるガラス基板３０を形成するガラスとしては、ソーダガラス、石英ガラス、硼珪酸ガラス、無アルカリガラス、感光性ガラス、結晶性ガラス、等を使用することができる。
【００４５】
ガラス基板３０には、配線基板のコア基板となる複数のコア基板領域が設けられている。コア基板領域間には、スライサー（切断装置）によりガラス基板を個々のコア基板に分離する際の境界部が設定される。
【００４６】
次に、ガラス基板３０に、貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４とを形成する（図２（ｂ）、図３）。図２（ｂ）は、図３の平面図のＢ−Ｂ′線断面図である。
【００４７】
ガラス基板３０に開口３２、３４を形成する方法としては、レーザ照射による方法、レーザ照射とウエットエッチングによる方法、放電加工による方法等があり、どのような方法により形成してもよい。
【００４８】
図２（ｂ）では、開口３２、３４の断面形状が、径がほぼ一定であるストレート形状として示したが、レーザ照射の方法や、ウエットエッチング、放電加工等の調整により、他の形状であってもよい。
【００４９】
図２（ｃ）は、開口３２、３４が、径が中央部分で小さくなる鼓型形状となる場合を示している。図２（ｄ）は、開口３２、３４が、径が徐々に狭くなるテーパ形状となる場合を示している。図２（ｅ）は、開口３２、３４が、径の側面が凹凸である凹凸形状となる場合を示している。
【００５０】
図２（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）に示す開口３２、３４の形状は、レーザ照射方法の調整や、レーザ照射とウエットエッチングの組合せにより形成することができる。  図２（ｅ）に示す開口３２、３４の凹凸形状は、放電加工により形成することができる。
【００５１】
図２（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）に示すような鼓型形状、テーパ形状、凹凸形状の場合には、後述するように、開口３４に樹脂１２ａを充填した場合、樹脂１２ａと開口３４内面との密着性が向上する。
【００５２】
ガラス基板３０に形成する貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４の配置について、図３を用いて説明する。
【００５３】
ガラス基板３０には、配線基板のコア基板となる複数の四角なコア基板領域ＡＲが設けられている。コア基板領域ＡＲ間には、スライサー（切断装置）によりガラス基板３０を個々のコア基板に分離するための境界部ＢＤが設定されている。
【００５４】
樹脂充填用の開口３４は、図３に示すように、境界部ＢＤを含む領域に形成される。境界部ＢＤが交差する箇所に１個の開口３４が形成され、四角のコア基板領域ＡＲの各辺に沿って３個の開口３４が形成される。
【００５５】
樹脂充填用の開口３４の径は、境界部ＢＤに沿ってスライサーが切断する際に除去される幅（図示せず）、すなわち、スライサーの切断刃の幅よりも大きくする。スライサーが切断される際に除去される幅は、例えば、約４００μｍであり、樹脂充填用の開口３４の径は，例えば、約４００μｍの１．５倍以上、約６００μｍ以上である。樹脂充填用の開口３４の径としては、約４５０〜１０００μｍであることが好ましい。
【００５６】
これにより、スライサーにより切断された後においても、コア基板の側面に開口３４に充填した樹脂が残存し、側面を覆う。
【００５７】
貫通電極用の開口３２は、図３に示すように、四角のコア基板領域ＡＲ内に形成される。例えば、４行４列の１６個の開口３２を形成する。
【００５８】
貫通電極用の開口３２の径は、コア基板を貫通する貫通電極として適切な径、例えば、５０μｍとする。
【００５９】
次に、ガラス基板３０の貫通電極用の開口３２に、例えば、銅を含む導電材料を埋め込んで貫通電極３６を形成する（図２（ｆ））。
【００６０】
ガラス基板３０の開口３２に導電材料を埋め込む方法としては、めっきによる方法、充填する方法等があり、どのような方法により埋め込んでもよい。
【００６１】
例えば、開口３２内壁を含むガラス基板３０表面に、銅の無電解めっきを施してシード層とする。次いで、このシード層を給電層として銅の電解めっきを施して開口３２内に銅を充填する。その後、電解めっき層から露出するシード層を除去し、貫通電極３６を形成する。
【００６２】
なお、貫通電極３６の両端部には、図２（ｆ）に示すように、開口３２より径の大きいパッドが設けられている。
【００６３】
また、コア基板３０の片面又は両面には、貫通電極３６と接続される配線層（配線パターン）を設けてもよい。
【００６４】
次に、ガラス基板３０の樹脂充填用の開口３４に樹脂を充填する。開口３４に樹脂を充填する方法の詳細について図４を用いて説明する。
【００６５】
まず、ガラス基板３０の下面に樹脂フィルム３８を貼り付ける（図４（ａ））。
【００６６】
樹脂フィルム３８は、例えば、半硬化状態（Ｂステージ状）の熱硬化性樹脂により形成され、その厚さは，例えば、３０μｍである。熱硬化性樹脂としては、例えば、熱硬化性エポキシ樹脂である。
【００６７】
次に、真空ラミネータ（図示せず）の真空チャンバー（図示せず）内において、全体を加熱しながら、エアバッグ（図示せず）により圧力をかけると、図４（ｂ）に示すように、樹脂フィルム３８がガラス基板３０の下面に密着すると共に、下面から樹脂充填用の開口３４内に樹脂が半分程度充填される。
【００６８】
次に、ガラス基板３０の上面に樹脂フィルム４０を貼り付ける（図４（ｃ））。
【００６９】
樹脂フィルム４０は、例えば、半硬化状態の熱硬化性樹脂により形成され、その厚さは，例えば、３０μｍである。熱硬化性樹脂としては、例えば、熱硬化性エポキシ樹脂である。
【００７０】
次に、真空ラミネータの真空チャンバー（図示せず）内において、全体を加熱しながら、エアバッグ（図示せず）により圧力をかけると、図４（ｄ）に示すように、樹脂フィルム４０がガラス基板３０の上面に密着すると共に、上面から樹脂充填用の開口３４内に樹脂が充填される。
【００７１】
この後、加熱により樹脂フィルム３８、４０を完全に硬化させて絶縁層４２とする。その結果、図４（ｄ）に示すように、ガラス基板３０の上下両面に絶縁層４２が形成されると共に、樹脂充填用の開口３４に樹脂４２ａが充填される。絶縁層４２と樹脂４２ａとは一体化されている。
【００７２】
次に、ガラス基板３０の両面に形成されている絶縁層４２に、貫通電極３６に達する開口４２ｂを形成する（図５（ａ））。絶縁層４２に開口４２ｂを形成する方法としては、例えば、レーザを用いて加工する。
【００７３】
次に、ガラス基板３０の両面の絶縁層４２上に、例えば、銅を含む配線層４４を形成する（図５（ｂ））。例えば、絶縁層４２上にシード層（図示せず）を形成し、シード層上にフォトレジスト層（図示せず）を形成し、フォトレジスト層を所定パターンにパターンニングして、電解めっき法により所定パターンの配線層４４を形成する。その後、フォトレジスト層を除去し、シード層を除去する。
【００７４】
次に、ガラス基板３０の両面の配線層４４上に、例えば、半硬化状態の熱硬化性樹脂により形成された樹脂フィルム（図示せず）を積層し、加熱により硬化させることにより、絶縁層４６を形成する（図５（ｃ））。熱硬化性樹脂としては、例えば、熱硬化性エポキシ樹脂である。
【００７５】
次に、ガラス基板３０の両面の絶縁層４６に、配線層４４に達する開口を形成する。絶縁層４６に開口を形成する方法としては、例えば、レーザを用いて加工する。
【００７６】
次に、ガラス基板３０の両面の絶縁層４６上に、例えば、銅を含む配線層４８を形成する（図５（ｃ））。配線層４８は、例えば、配線層４４と同様の方法で形成する。
【００７７】
次に、ガラス基板３０の両面の配線層４８上に、絶縁層５０を形成する（図５（ｃ））。絶縁層５０は、例えば、絶縁層４６と同様の方法で形成する。
【００７８】
次に、ガラス基板３０の両面の絶縁層５０に、配線層４８に達する開口を形成する。絶縁層５０に開口を形成する方法としては、例えば、レーザを用いて加工する。
【００７９】
次に、ガラス基板３０の両面の絶縁層５０上に、例えば、銅を含む配線層５２を形成する（図５（ｃ））。配線層５２は、例えば、配線層４４と同様の方法で形成する。
【００８０】
次に、ガラス基板３０の両面の配線層５２上に、例えば、エポキシ系樹脂や、アクリル系樹脂、等により形成される感光性のソルダレジストフィルム（図示せず）を貼り付けることにより、ソルダレジスト層５４を形成する（図６（ａ））。
【００８１】
次に、ガラス基板３０の両面のソルダレジスト層５４を所定のパターンで露光し、現像することにより、配線層５２に達する開口５４ａを形成する（図６（ａ））。
【００８２】
次に、ガラス基板３０の上面側のソルダレジスト層５４の開口５４ａから露出している配線層（電極パッド）５２に、半導体チップ６２（図７（ｂ））に接続するためのバンプ（接続端子）５６を形成する（図６（ｂ））。
【００８３】
次に、ガラス基板３０の下面側のソルダレジスト層５４の開口５４ａから露出している配線層（電極パッド）５２に、他の基板に接続するためのバンプ（接続端子）５８を形成する（図６（ｃ））。
【００８４】
バンプ（接続端子）５６、バンプ（接続端子）５８は、例えば、はんだにより形成されている。
【００８５】
次に、図６（ｃ）に示す積層構造物を、開口３４のほぼ中央である境界部ＢＤに沿ってスライサーにより切断して個片化すると、図７（ａ）に示す配線基板６０が完成する。
【００８６】
次に、配線基板６０の上側の面に半導体チップ６２を搭載し、配線基板６０と半導体チップ６２との間にアンダーフィル樹脂６４を充填する。半導体チップ６２は、バンプ（接続端子）５６を介して配線基板６０に電気的に接続される。
【００８７】
このように本実施形態によれば、耐久性や製造歩留まり、生産性などを向上させた配線基板を製造することをできる。
【００８８】
（ガラス基板の開口への樹脂充填方法の変形例）
上記実施形態では、図４に示す樹脂充填方法により、ガラス基板３０の樹脂充填用の開口３４に樹脂を充填したが、この方法に限らず他の方法でもよい。
【００８９】
ガラス基板３０の樹脂充填用の開口３４に樹脂を充填する樹脂充填方法の変形例について、図８乃至図１０を用いて説明する。
【００９０】
（第１変形例）
ガラス基板の開口への樹脂充填方法の第１変形例について図８を用いて説明する。
【００９１】
まず、ガラス基板３０の下面に樹脂フィルム７０を貼り付ける（図８（ａ））。
【００９２】
樹脂フィルム７０は、例えば、半硬化状態の熱硬化性樹脂により形成され、その厚さは，例えば、３０μｍである。熱硬化性樹脂としては、例えば、熱硬化性エポキシ樹脂である。
【００９３】
次に、真空ラミネータの真空チャンバー（図示せず）内において、全体を加熱しながら、エアバッグ（図示せず）により強い圧力をかけると、図８（ｂ）に示すように、樹脂フィルム７０がガラス基板３０の下面に密着すると共に、下面から樹脂充填用の開口３４内全体にまで樹脂が充填される。
【００９４】
次に、ガラス基板３０の上面に樹脂フィルム７２を貼り付ける（図８（ｃ））。この後、加熱により樹脂フィルム７０、７２を完全に硬化させて絶縁層４２とする。
【００９５】
その結果、図８（ｄ）に示すように、ガラス基板３０の上下両面に絶縁層４２が形成されると共に、樹脂充填用の開口３４全体に樹脂４２ａが充填される。絶縁層４２と樹脂４２ａとは一体化されている。
【００９６】
その後は、図５乃至図７に示す方法により、配線基板６０を形成する。
【００９７】
（第２変形例）
ガラス基板の開口への樹脂充填方法の第２変形例について図９を用いて説明する。
【００９８】
まず、ガラス基板３０の上下両面に樹脂フィルム７４、７６を貼り付ける（図９（ａ））。
【００９９】
樹脂フィルム７４、７６は、例えば、半硬化状態の熱硬化性樹脂により形成され、その厚さは，例えば、３０μｍである。熱硬化性樹脂としては、例えば、熱硬化性エポキシ樹脂である。
【０１００】
次に、真空ラミネータの真空チャンバー（図示せず）内において、全体を加熱しながら、エアバッグ（図示せず）により強い圧力をかけると、図９（ｂ）に示すように、樹脂フィルム７４、７６がガラス基板３０の上下両面に密着すると共に、上下両面から樹脂充填用の開口３４内全体にまで樹脂が充填される。この後、加熱により樹脂フィルム７４、７６を完全に硬化させて絶縁層４２とする。
【０１０１】
その結果、図９（ｂ）に示すように、ガラス基板３０の上下両面に絶縁層４２が形成されると共に、樹脂充填用の開口３４全体に樹脂４２ａが充填される。絶縁層４２と樹脂４２ａとは一体化されている。
【０１０２】
その後は、図５乃至図７に示す方法により、配線基板６０を形成する。
【０１０３】
（第３変形例）
ガラス基板の開口への樹脂充填方法の第３変形例について図１０を用いて説明する。
【０１０４】
まず、ガラス基板３０の下面に容易に剥離できる粘着性テープ７８を貼り付けて、樹脂充填用の開口３４の底を塞ぐ（図１０（ａ））。
【０１０５】
次に、ガラス基板３０の上面に、液状またはペースト状の樹脂８０を供給して、真空雰囲気下においてスキージ８２を作動させる（図１０（ａ））。
【０１０６】
スキージ８２は、ガラス基板３０の上面から所定の高さだけ上方に位置するように高さ調整されている。スキージ８２を作動させると、樹脂充填用の開口３４に樹脂８０が一定程度押し込まれる。
【０１０７】
樹脂８０としては、例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられる。
【０１０８】
次に、雰囲気圧力を上昇させると、樹脂充填用の開口３４内の気圧との差により，樹脂８０が樹脂充填用の開口３４の底部まで充填される（図１０（ｂ））。
【０１０９】
次に、ガラス基板３０の上面に沿って掻き取り部材８４を摺動させて、ガラス基板３０上面に残った樹脂８０を除去する（図１０（ｃ））。この後、加熱により樹脂８０を完全に硬化させる。
【０１１０】
次に、ガラス基板３０の下面に貼り付けた粘着性テープ７８を剥離する（図１０（ｄ））。
【０１１１】
このようにして、ガラス基板３０の樹脂充填用の開口３４に樹脂８０を充填する。
【０１１２】
次に、ガラス基板３０の上下両面に絶縁層４２を形成する（図１０（ｅ））。
【０１１３】
その後は、図５乃至図７に示す方法により、配線基板６０を形成する。
【０１１４】
（貫通電極用の開口と樹脂充填用の開口の配置の変形例）
上記実施形態では、ガラス基板３０に形成する貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４とを図３に示すように配置した。その結果、図１（ａ）に示すように、ガラスにより形成されたコア基板１２の側面の一部が樹脂１２ａにより覆われている配線基板１０を実現した。しかしながら、この配置に限らず他の配置でもよい。
【０１１５】
ガラス基板３０に形成する貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４の配置の変形例について、図１１乃至図１５を用いて説明する。
【０１１６】
（第１変形例）
ガラス基板３０に形成する貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４の配置の第１変形例について図１１を用いて説明する。図１１（ａ）は、図３に対応し、貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４との配置を示す平面図であり、図１１（ｂ）は、図１（ａ）に対応し、配線基板１０の平面図である。図１（ａ）、図３と同様な部材については同一の符号を付して説明を省略する。
【０１１７】
本変形例では、境界部ＢＤが交差する箇所にのみ樹脂充填用の開口３４を形成している。
【０１１８】
ガラス基板３０には、配線基板のコア基板となる複数の四角なコア基板領域ＡＲが設けられている。コア基板領域ＡＲ間には、スライサー（切断装置）によりガラス基板３０を個々のコア基板に分離するための境界部ＢＤが設定されている。
【０１１９】
樹脂充填用の開口３４は、図１１（ａ）に示すように、境界部ＢＤが交差する箇所に形成される。
【０１２０】
樹脂充填用の開口３４の径は、境界部ＢＤに沿ってスライサーが切断する際に除去される幅、すなわち、スライサーの切断刃の幅よりも大きくする。これにより、スライサーにより切断された後においても、コア基板の側面に開口３４に充填した樹脂が残存し、側面を覆う。
【０１２１】
貫通電極用の開口３２は、図１１（ａ）に示すように、四角のコア基板領域ＡＲ内に形成される。例えば、４行４列の１６個の開口３２を形成する。
【０１２２】
第１変形例の配線基板１０は、図１１（ｂ）に示すように、ガラスにより形成されたコア基板１２の側面の一部が樹脂１２ａにより覆われている。コア基板１２の４つの角部の側面が樹脂１２ａにより覆われている。
【０１２３】
このように本変形例によれば、コア基板の角部の側面が樹脂により覆われているので、配線基板の割れを防止し、配線基板の耐久性や製造歩留まり、生産性などを向上させることができる。
【０１２４】
（第２変形例）
ガラス基板３０に形成する貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４の配置の第２変形例について図１２を用いて説明する。図１２（ａ）は、図３に対応し、貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４との配置を示す平面図であり、図１２（ｂ）は、図１（ａ）に対応し、配線基板１０の平面図である。図１（ａ）、図３と同様な部材については同一の符号を付して説明を省略する。
【０１２５】
本変形例では、境界部ＢＤが交差する箇所とコア基板領域ＡＲの各辺に沿った領域に樹脂充填用の開口３４を形成している。
【０１２６】
ガラス基板３０には、配線基板のコア基板となる複数の四角なコア基板領域ＡＲが設けられている。コア基板領域ＡＲ間には、スライサー（切断装置）によりガラス基板３０を個々のコア基板に分離するための境界部ＢＤが設定されている。
【０１２７】
樹脂充填用の開口３４は、図１２（ａ）に示すように、境界部ＢＤが交差する箇所に円形の開口３４Ａが形成され、コア基板領域ＡＲの各辺に沿った領域に細長い開口３４Ｂが形成されている。
【０１２８】
円形の開口３４Ａの径は、境界部ＢＤに沿ってスライサーが切断する際に除去される幅、すなわち、スライサーの切断刃の幅よりも大きくする。
【０１２９】
細長い開口３４Ｂの幅は、境界部ＢＤに沿ってスライサーが切断する際に除去される幅、すなわち、スライサーの切断刃の幅よりも大きくする。
【０１３０】
貫通電極用の開口３２は、図１２（ａ）に示すように、四角のコア基板領域ＡＲ内に形成される。例えば、４行４列の１６個の開口３２を形成する。
【０１３１】
第２変形例の配線基板１０は、図１２（ｂ）に示すように、ガラスにより形成されたコア基板１２の側面の一部が樹脂１２ａ、１２ｂにより覆われている。コア基板１２の４つの角部の側面が樹脂１２ａにより覆われ、コア基板１２の角部間の各辺の側面が、樹脂１２ｂにより覆われている。
【０１３２】
このように本変形例によれば、コア基板の角部の側面と各辺の側面が樹脂により覆われているので、配線基板の割れをより確実に防止し、配線基板の耐久性や製造歩留まり、生産性などを向上させることができる。
【０１３３】
（第３変形例）
ガラス基板３０に形成する貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４の配置の第３変形例について図１３を用いて説明する。図１３（ａ）は、図３に対応し、貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４との配置を示す平面図であり、図１３（ｂ）は、図１（ａ）に対応し、配線基板１０の平面図である。図１（ａ）、図３と同様な部材については同一の符号を付して説明を省略する。
【０１３４】
本変形例では、境界部ＢＤが交差する箇所の近傍の辺と、コア基板領域ＡＲの各辺に沿った領域に樹脂充填用の開口３４を形成している。
【０１３５】
ガラス基板３０には、配線基板のコア基板となる複数の四角なコア基板領域ＡＲが設けられている。コア基板領域ＡＲ間には、スライサー（切断装置）によりガラス基板３０を個々のコア基板に分離するための境界部ＢＤが設定されている。
【０１３６】
樹脂充填用の開口３４は、図１３（ａ）に示すように、境界部ＢＤが交差する箇所に十字形の開口３４Ｃが形成され、コア基板領域ＡＲの各辺に沿った領域に細長い開口３４Ｄが形成されている。
【０１３７】
十字形の開口３４Ｃの幅は、境界部ＢＤに沿ってスライサーが切断する際に除去される幅、すなわち、スライサーの切断刃の幅よりも大きくする。
【０１３８】
細長い開口３４Ｄの幅は、境界部ＢＤに沿ってスライサーが切断する際に除去される幅、すなわち、スライサーの切断刃の幅よりも大きくする。
【０１３９】
貫通電極用の開口３２は、図１３（ａ）に示すように、四角のコア基板領域ＡＲ内に形成される。例えば、４行４列の１６個の開口３２を形成する。
【０１４０】
第３変形例の配線基板１０は、図１３（ｂ）に示すように、ガラスにより形成されたコア基板１２の４つの角部とその近傍の側面が樹脂１２ｃにより覆われ、コア基板１２の角部間の各辺の側面が、樹脂１２ｄにより覆われている。
【０１４１】
このように本変形例によれば、コア基板の角部とその近傍の側面と各辺の側面が樹脂により覆われているので、配線基板の割れをより確実に防止し、配線基板の耐久性や製造歩留まり、生産性などを向上させることができる。
【０１４２】
（第４変形例）
ガラス基板３０に形成する貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４の配置の第４変形例について図１４を用いて説明する。図１４（ａ）は、図３に対応し、貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４との配置を示す平面図であり、図１４（ｂ）は、図１（ａ）に対応し、配線基板１０の平面図である。図１（ａ）、図３と同様な部材については同一の符号を付して説明を省略する。
【０１４３】
本変形例では、図１（ａ）、図３の実施形態における境界部ＢＤを含む領域に加えて、境界部ＢＤに隣接する領域にも樹脂充填用の開口を形成している。
【０１４４】
ガラス基板３０には、配線基板のコア基板となる複数の四角なコア基板領域ＡＲが設けられている。コア基板領域ＡＲ間には、スライサー（切断装置）によりガラス基板３０を個々のコア基板に分離するための境界部ＢＤが設定されている。
【０１４５】
樹脂充填用の開口３４は、図１４（ａ）に示すように、境界部ＢＤが交差する箇所とコア基板領域ＡＲの各辺に沿った領域に円形の開口３４Ａが形成される。更に、境界部ＢＤに隣接する領域であって、円形の開口３４Ａの間に、円形の開口３４Ｅが形成されている。すなわち、コア基板領域ＡＲの各辺のうち開口３４Ａが形成されていない箇所の近傍に、円形の開口３４Ｅが形成されている。
【０１４６】
境界部ＢＤを含む領域に形成される円形の開口３４Ａの径は、境界部ＢＤに沿ってスライサーが切断する際に除去される幅、すなわち、スライサーの切断刃の幅よりも大きくする。
【０１４７】
境界部ＢＤに隣接する領域に形成される円形の開口３４Ｅは、図１４（ａ）に示すように、境界部ＢＤを含む領域に形成される円形の開口３４Ａのほぼ中間に位置することが好ましい。円形の開口３４Ｅの径は、スライサーの切断刃の幅より大きくても小さくてもよい。
【０１４８】
貫通電極用の開口３２は、図１４（ａ）に示すように、四角のコア基板領域ＡＲ内に形成される。例えば、３行３列の９個の開口３２を形成する。
【０１４９】
第４変形例の配線基板１０は、図１４（ｂ）に示すように、ガラスにより形成されたコア基板１２の側面の一部が樹脂１２ａにより覆われている。コア基板１２の４つの角部の側面と、角部間の各辺の３箇所の側面が、樹脂１２ａにより覆われている。更に、コア基板１２の側面に隣接する領域であって、側面の樹脂１２ａの間に、樹脂１２ｅが埋め込まれている。
【０１５０】
このように本変形例によれば、コア基板の角部と各辺の側面が樹脂により覆われているので、配線基板の割れを防止し、配線基板の耐久性や製造歩留まり、生産性などを向上させることができる。また、コア基板１２の側面の樹脂１２ａの間に樹脂１２ｅが埋め込まれているので、コア基板１２の樹脂１２ａに覆われていない側面のクラックからの割れを樹脂１２ｅにより防止することができる。
【０１５１】
（第５変形例）
ガラス基板３０に形成する貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４の配置の第５変形例について図１５を用いて説明する。図１５（ａ）は、図３に対応し、貫通電極用の開口３２と樹脂充填用の開口３４との配置を示す平面図であり、図１５（ｂ）は、図１（ａ）に対応し、配線基板１０の平面図である。図１（ａ）、図３と同様な部材については同一の符号を付して説明を省略する。
【０１５２】
本変形例では、境界部ＢＤが交差する箇所を含む辺とコア基板領域ＡＲの各辺に沿った領域に加えて、境界部ＢＤに隣接する領域にも樹脂充填用の開口を形成している。
【０１５３】
ガラス基板３０には、配線基板のコア基板となる複数の四角なコア基板領域ＡＲが設けられている。コア基板領域ＡＲ間には、スライサー（切断装置）によりガラス基板３０を個々のコア基板に分離するための境界部ＢＤが設定されている。
【０１５４】
樹脂充填用の開口３４は、図１５（ａ）に示すように、境界部ＢＤが交差する箇所に十字形の開口３４Ｃが形成され、コア基板領域ＡＲの各辺に沿った領域に細長い開口３４Ｄが形成されている。更に、境界部ＢＤに隣接する領域であって、十字形の開口３４Ｃと細長い開口３４Ｄの間に、細長い開口３４Ｆが形成されている。すなわち、コア基板領域ＡＲの各辺のうちの開口３４Ｃ、３４Ｄが形成されていない箇所の近傍に細長い開口３４Ｆが形成されている。
【０１５５】
十字形の開口３４Ｃの幅は、境界部ＢＤに沿ってスライサーが切断する際に除去される幅、すなわち、スライサーの切断刃の幅よりも大きくする。
【０１５６】
細長い開口３４Ｄの幅は、境界部ＢＤに沿ってスライサーが切断する際に除去される幅、すなわち、スライサーの切断刃の幅よりも大きくする。
【０１５７】
境界部ＢＤに隣接する領域に形成される細長い開口３４Ｆは、図１５（ａ）に示すように、十字形の開口３４Ｃと細長い開口３４Ｄの間に位置することが好ましい。細長い開口３４Ｆの幅は、スライサーの切断刃の幅より大きくても小さくてもよい。
【０１５８】
貫通電極用の開口３２は、図１５（ａ）に示すように、境界部ＢＤにより画定された四角のコア基板領域ＡＲ内に形成される。例えば、４行４列の１６個の開口３２を形成する。
【０１５９】
第５変形例の配線基板１０は、図１５（ｂ）に示すように、ガラスにより形成されたコア基板１２の４つの角部とその近傍の側面が樹脂１２ｃにより覆われ、コア基板１２の角部間の各辺の側面が、樹脂１２ｄにより覆われている。更に、コア基板１２の側面に隣接する領域であって、側面の樹脂１２ｃと樹脂１２ｄの間に、樹脂１２ｆが埋め込まれている。
【０１６０】
このように本変形例によれば、コア基板の角部とその近傍の側面と各辺の側面が樹脂により覆われているので、配線基板の割れを防止し、配線基板の耐久性や製造歩留まり、生産性などを向上させることができる。更に、コア基板１２の側面の樹脂１２ｃと樹脂１２ｄの間に樹脂１２ｆが埋め込まれているので、コア基板１２の樹脂に覆われていない側面のクラックからの割れを樹脂１２ｆにより防止することができる。
【０１６１】
［第２実施形態］
（配線基板）
第２実施形態による配線基板について図１６を用いて説明する。図１６（ａ）は本実施形態による配線基板に半導体チップを搭載した状態の平面図であり、図１６（ｂ）は、図１（ａ）の平面図におけるＣ−Ｃ′線断面図である。
【０１６２】
本実施形態の配線基板１１０は、図１６（ｂ）に示すように、ガラスにより形成されたコア基板１１２を有する。コア基板１１２は、例えば、約２００μｍ厚である。
【０１６３】
コア基板１１２を形成するガラスとしては、ソーダガラス、石英ガラス、硼珪酸ガラス、無アルカリガラス、感光性ガラス、結晶性ガラス、等を使用することができる。
【０１６４】
コア基板１１２には複数の貫通電極１１４が形成されている。貫通電極１１４は、例えば、約５０μｍ径であり、例えば、銅により形成されている。
【０１６５】
コア基板１１２の上下両面には、絶縁層１１６と配線層１１８が交互に積層されている。絶縁層１１６は、例えば、約３０μｍ厚であり、例えば、エポキシ系樹脂により形成されている。配線層１１８は、接続のための開口が形成された絶縁層１１６上に，例えば、銅をめっきすることにより形成されている。
【０１６６】
コア基板１１２の上下両面の最外層の絶縁層１１６と配線層１１８は、ソルダレジスト層１２０により被覆されている。ソルダレジスト層１２０には、配線層１１８に達する開口が形成されている。ソルダレジスト層１２０は、例えば、約２０μｍ厚である。
【０１６７】
本実施形態の配線基板１１０は、上側の面に半導体チップ１２８が搭載され、下側の面を介して他の基板（図示せず）に搭載される。
【０１６８】
配線基板１１０の上側の面のソルダレジスト層１２０の開口には、半導体チップ１２８に接続するためのバンプ（接続端子）１２２が形成されている。配線基板１１０の下側の面のソルダレジスト層１２０の開口には、他の基板（図示せず）に接続するためのバンプ（接続端子）１２４が形成されている。
【０１６９】
配線基板１１０の上側の面には半導体チップ１２８が搭載され、バンプ（接続端子）１２２により電気的に接続されている。配線基板１１０と半導体チップ１２８との間にはアンダーフィル樹脂１２６が充填されている。
【０１７０】
本実施形態の配線基板１１０は、図１６（ａ）に示すように、ガラスにより形成されたコア基板１１２の側面が全て樹脂１１２ａにより覆われている。
【０１７１】
コア基板１１２の面内方向における樹脂１１２ａの厚さＴ２は、例えば、１００μｍである。この厚さＴ１は、約２０〜２００μｍであることが好ましい。
【０１７２】
コア基板１１２の側面を覆う樹脂１１２ａとしては、熱硬化性エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル系樹脂、テフロン（登録商標）系樹脂、等を使用することができる。
【０１７３】
配線基板１１０の各辺において、図１６（ｂ）に示すように、絶縁層１１６側面と、配線基板１１０側面に露出する樹脂１１２ａ側面とは、面一に形成されている。
【０１７４】
本実施形態の配線基板１１０においては、コア基板１１２の側面の全てが樹脂１１２ａにより覆われているので、コア基板１０の側面からの割れを防止することができる。
【０１７５】
このように本実施形態によれば、配線基板の割れを防止し、配線基板の耐久性や製造歩留まり、生産性などを向上させることができる。
【０１７６】
（配線基板の製造方法）
第２実施形態による配線基板の製造方法について図１７乃至図２３を用いて説明する。図１７、図１８及び図２０乃至図２３は第２実施形態による配線基板の製造方法を示す工程断面図であり、図１９は第２実施形態による配線基板の製造方法におけるコア基板載置工程での平面図である。
【０１７７】
まず、複数の配線基板のコア基板となるガラス基板１３０を用意する（図１７（ａ））。
【０１７８】
ガラス基板１３０は、例えば、約２００μｍ厚である。コア基板となるガラス基板１３０を形成するガラスとしては、ソーダガラス、石英ガラス、硼珪酸ガラス、無アルカリガラス、感光性ガラス、結晶性ガラス、等を使用することができる。
【０１７９】
ガラス基板１３０には、配線基板のコア基板となる複数の四角なコア基板領域ＡＲが設けられている。コア基板領域ＡＲ間には、スライサー（切断装置）によりガラス基板１３０を個々のコア基板に分離するための境界部ＢＤが設定されている。
【０１８０】
次に、ガラス基板１３０に、各コア基板領域ＡＲ内に貫通電極用の開口１３２を形成する（図１７（ｂ））。貫通電極用の開口１３２の径は、コア基板を貫通する貫通電極として適切な径、例えば、５０μｍとする。
【０１８１】
ガラス基板１３０に開口１３２を形成する方法としては、レーザ照射による方法、レーザ照射とウエットエッチングによる方法、放電加工による方法等があり、どのような方法により形成してもよい。
【０１８２】
図１７（ｂ）では、開口１３２の断面形状が、径がほぼ一定であるストレート形状として示したが、レーザ照射の方法や、ウエットエッチング、放電加工等の調整により、他の形状であってもよい。
【０１８３】
例えば、図２（ｃ）に示すような、径が中央部分で小さくなる鼓型形状、図２（ｄ）に示すような、径が徐々に狭くなるテーパ形状、図２（ｅ）に示すような、径の側面が凹凸である凹凸形状であってもよい。
【０１８４】
次に、ガラス基板１３０の貫通電極用の開口１３２に、例えば、銅を含む導電材料を埋め込んで貫通電極１３６を形成する（図１７（ｃ））。ガラス基板１３０の開口１３２に導電材料を埋め込む方法としては、めっきによる方法、充填する方法等があり、どのような方法により埋め込んでもよい。
【０１８５】
なお、貫通電極１３６の両端部には、図１７（ｃ）に示すように、開口１３２より径の大きいパッドが設けられている。また、コア基板１３０の片面又は両面には、貫通電極１３６と接続される配線層（配線パターン）を設けてもよい。
【０１８６】
次に、貫通電極１３６が形成されたガラス基板１３０を、境界部ＢＤに沿ってスライサーにより切断して個片化して、複数のコア基板１１２を形成する（図１７（ｄ））。
【０１８７】
ガラス基板１３０をスライサーにより切断すると、コア基板１１２の側面にクラックが形成される。しかしながら、図１７（ｃ）、（ｄ）に示すように、ガラス基板１３０の両面には絶縁層や配線層が形成されていないので、外部から収縮力等が加わることがなく、コア基板１１２が割れることはない。
【０１８８】
次に、このように形成した複数のコア基板１１２を、所定間隔を隔てて配置した状態で全体を樹脂により埋め込む。コア基板１１２を樹脂により埋め込む方法について説明する。
【０１８９】
まず、複数のコア基板１１２を配置するために十分な大きさの支持体１４０と、複数のコア基板１１２を仮付けするための樹脂フィルム（絶縁シート）１４２とを用意する（図１８（ａ））。
【０１９０】
支持体１４０は、例えば、約１００μｍ厚であり、例えば、銅により形成されている。支持体１４０には、所定のアライメントマークＡＭが形成されている。アライメントマークＡＭを用いて、樹脂フィルム（絶縁シート）１４２を所定の位置に載置し、コア基板１１２を、所定間隔を隔てて載置することができる。
【０１９１】
樹脂フィルム（絶縁シート）１４２は，例えば、約３０μｍ厚であり、例えば、熱硬化性エポキシ樹脂により形成されている。半硬化状態で、その粘着力により載置したコア基板１１２を仮止めすることができる。
【０１９２】
次に、支持体１４０上に樹脂フィルム（絶縁シート）１４２を重ね合わせる（図１８（ｂ））。樹脂フィルム（絶縁シート）１４２の粘着力により支持体１４０に固定される。
【０１９３】
次に、支持体１４０に形成されたアライメントマークＡＭを用いて、複数のコア基板１１２を、樹脂フィルム（絶縁板）１４２上に、所定間隔を隔てた所定位置に載置して仮付けする（図１８（ｃ））。コア基板１１２の間の所定間隔は、例えば、６００μｍである。
【０１９４】
図１９は、支持体１４０上に樹脂フィルム（絶縁板）１４２を重ね合わせ、樹脂フィルム（絶縁板）１４２上に複数のコア基板１１２を載置して仮付けした状態の平面図である。支持体１４０のアライメントマークＡＭを用いて、複数のコア基板１１２を、樹脂フィルム（絶縁板）１４２上に所定間隔を隔てて載置している。
【０１９５】
次に、複数のコア基板１１２を上方から覆うための樹脂フィルム（絶縁板）１４４を用意する（図２０（ａ））。樹脂フィルム（絶縁板）１４４は，例えば、約６００μｍ厚であり、例えば、半硬化状態の熱硬化性樹脂により形成されている。熱硬化性樹脂としては、例えば、熱硬化性エポキシ樹脂である。
【０１９６】
次に、複数のコア基板１１２上に樹脂フィルム（絶縁板）１４４を重ね合わせ貼り付ける（図２０（ｂ））。
【０１９７】
次に、真空ラミネータの真空チャンバー（図示せず）内において、全体を加熱しながら、エアバッグ（図示せず）により圧力をかけると、樹脂フィルム（絶縁板）１４２、１４４が、複数のコア基板１１２の両面に密着すると共に、複数のコア基板１１２の間を充填する。
【０１９８】
この後、加熱により樹脂フィルム１４２、１４４を完全に硬化させて絶縁層１４６とする。その結果、図２０（ｃ）に示すように、複数のコア基板１１２の上下両面に絶縁層１４６が形成されると共に、複数のコア基板１１２の間に絶縁物１４６ａが充填される。絶縁層１４６と樹脂１４６ａとは一体化されている。
【０１９９】
次に、銅により形成された支持体１４０を、例えば、エッチングにより除去する（図２１（ａ））。
【０２００】
次に、複数のコア基板１１２の両面に形成されている絶縁層１４６に、貫通電極１３６に達する開口１４６ｂを形成する（図２１（ｂ））。絶縁層１４６に開口１４６ｂを形成する方法としては、例えば、レーザを用いて加工する。
【０２０１】
次に、複数のコア基板１１２の両面の絶縁層１４６上に、例えば、銅を含む配線層１４６を形成する（図２１（ｃ））。例えば、絶縁層１４６上にシード層（図示せず）を形成し、シード層上にフォトレジスト層（図示せず）を形成し、フォトレジスト層を所定パターンにパターンニングして、電解めっき法により所定パターンの配線層１４６を形成する。その後、フォトレジスト層を除去し、シード層を除去する。
【０２０２】
次に、複数のコア基板１１２の両面の配線層１４８上に、例えば、半硬化状態の熱硬化性樹脂により形成された樹脂フィルム（図示せず）を貼り付け、加熱して硬化することにより、絶縁層１５０を形成する（図２２（ａ））。熱硬化性樹脂としては、例えば、熱硬化性エポキシ樹脂である。
【０２０３】
次に、複数のコア基板１１２の両面の絶縁層１５０に、配線層１４８に達する開口を形成する。絶縁層１５０に開口を形成する方法としては、例えば、レーザを用いて加工する。
【０２０４】
次に、複数のコア基板１１２の両面の絶縁層１５０上に、例えば、銅を含む配線層１５２を形成する（図２２（ａ））。配線層１５２は、例えば、配線層１４８と同様の方法で形成する。
【０２０５】
次に、複数のコア基板１１２の両面の配線層１５２上に、絶縁層１５４を形成する（図２２（ａ））。絶縁層１５４は、例えば、絶縁層１５０と同様の方法で形成する。
【０２０６】
次に、複数のコア基板１１２の両面の絶縁層１５４に、配線層１５２に達する開口を形成する。絶縁層１５４に開口を形成する方法としては、例えば、レーザを用いて加工する。
【０２０７】
次に、複数のコア基板１１２の両面の絶縁層１５４上に、例えば、銅を含む配線層１５６を形成する（図２２（ａ））。配線層１５６は、例えば、配線層１４８と同様の方法で形成する。
【０２０８】
次に、複数のコア基板１１２の両面の配線層１５６上に、例えば、エポキシ系樹脂や、アクリル系樹脂、等により形成される感光性のソルダレジストフィルム（図示せず）を貼り付けることにより、ソルダレジスト層１５８を形成する（図２２（ａ））。
【０２０９】
次に、複数のコア基板１１２の両面のソルダレジスト層１５８を所定のパターンで露光し、現像することにより、配線層１５６に達する開口１５８ａを形成する（図２２（ａ））。
【０２１０】
次に、複数のコア基板１１２の上面側のソルダレジスト層１５８の開口１５８ａから露出している配線層（電極パッド）１５６に、半導体チップに接続するためのバンプ（接続端子）１６０を形成する（図２２（ｂ））。
【０２１１】
次に、複数のコア基板１１２の下面側のソルダレジスト層１５８の開口１５８ａから露出している配線層（電極パッド）１５６に、他の基板に接続するためのバンプ（接続端子）１６２を形成する（図２２（ｃ））。
【０２１２】
バンプ（接続端子）１６０及びバンプ（接続端子）１６２は、例えば、はんだにより形成されている。
【０２１３】
次に、図２２（ｃ）に示す積層構造物を、境界部ＢＤに沿ってスライサーにより切断して個片化すると、図２３（ａ）に示す配線基板１７０が完成する。
【０２１４】
次に、配線基板１７０の上側の面に半導体チップ１７２を搭載し、配線基板１７０と半導体チップ１７２との間にアンダーフィル樹脂１７４を充填する。半導体チップ１７２は、バンプ（接続端子）１６０を介して配線基板１７０に電気的に接続される。
【０２１５】
このように本実施形態によれば、耐久性や製造歩留まり、生産性などを向上させた配線基板を製造することをできる。
【０２１６】
（コア基板を樹脂により埋め込む方法の変形例）
上記実施形態では、図１８乃至図２０に示す方法により、複数のコア基板１１２を、所定間隔を隔てて配置した状態で全体を樹脂により埋め込んで、複数のコア基板１１２の間に樹脂を充填したが、この方法に限らず他の方法でもよい。
【０２１７】
例えば、支持体を用いることなく、載置台等の支持部上に樹脂フィルム（絶縁シート）を支持部に載置し、樹脂フィルム（絶縁シート）上に複数のコア基板を載置する。複数のコア基板上を樹脂フィルム（樹脂シート）で覆い、複数のコア基板の間に樹脂を充填するようにしてもよい。
【０２１８】
［変形実施形態］
上記実施形態は一例であって、必要に応じて種々の変形が可能である。
【０２１９】
例えば、上記実施形態では、コア基板の両面に絶縁層と配線層とを積層して配線基板としたが、コア基板の片面のみに絶縁層と配線層とを積層してもよい。また、配線基板における絶縁層と配線層とを積層する数は、上記実施形態に記載された数に限らず、いくつであってもよい。
【０２２０】
また、上記実施形態では、配線基板にバンプ（接続端子）を形成したが、必要に応じて、バンプを形成しなくてもよい。
【０２２１】
以上、好適な実施形態について詳述したが、これら特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された要旨の範囲内において、種々の変形や変更が可能である。
【符号の説明】
【０２２２】
１０…配線基板
１２…コア基板
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆ…樹脂
１４…貫通電極
１６…絶縁層
１８…配線層
２０…ソルダレジスト層
２２…バンプ（接続端子）
２４…バンプ（接続端子）
２６…アンダーフィル樹脂
２８…半導体チップ
３０…ガラス基板
３２…貫通電極用の開口
３４…樹脂充填用の開口
３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ、３４Ｄ、３４Ｅ、３４Ｆ…樹脂充填用の開口
３６…貫通電極
３８…樹脂フィルム
４０…樹脂フィルム
４２…絶縁層
４２ａ…樹脂
４２ｂ…開口
４４…配線層
４６…絶縁層
４８…配線層
５０…絶縁層
５２…配線層
５４…ソルダレジスト層
５４ａ…開口
５６…バンプ（接続端子）
５８…バンプ（接続端子）
６０…配線基板
６２…半導体チップ
６４…アンダーフィル樹脂
７０…樹脂フィルム
７２…樹脂フィルム
７４…樹脂フィルム
７６…樹脂フィルム
８０…樹脂
８０ａ…過剰供給樹脂層
８２…スキージ
８４…掻き取り部材
１１０…配線基板
１１２…コア基板
１１２ａ…樹脂
１１４…貫通電極
１１６…絶縁層
１１８…配線層
１２０…ソルダレジスト層
１２２…バンプ（接続端子）
１２４…バンプ（接続端子）
１２６…アンダーフィル樹脂
１２８…半導体チップ
１３０…ガラス基板
１３２…貫通電極用の開口
１４０…支持体
１４２…樹脂フィルム（絶縁板）
１４４…樹脂フィルム（絶縁板）
１４６…絶縁層
１４６ａ…絶縁物
１４８…配線層
１５０…絶縁層
１５２…配線層
１５４…絶縁層
１５６…配線層
１５８…ソルダレジスト層
１５８ａ…開口
１６０…バンプ（接続端子）
１６２…バンプ（接続端子）
１７０…配線基板
１７２…半導体チップ
１７４…アンダーフィル樹脂
ＢＤ…境界部
ＡＲ…コア基板領域
ＡＭ…アライメントマーク
【図１】
2014022465.tif 000003
【図２】
2014022465.tif 000004
【図３】
2014022465.tif 000005
【図４】
2014022465.tif 000006
【図５】
2014022465.tif 000007
【図６】
2014022465.tif 000008
【図７】
2014022465.tif 000009
【図８】
2014022465.tif 000010
【図９】
2014022465.tif 000011
【図１０】
2014022465.tif 000012
【図１１】
2014022465.tif 000013
【図１２】
2014022465.tif 000014
【図１３】
2014022465.tif 000015
【図１４】
2014022465.tif 000016
【図１５】
2014022465.tif 000017
【図１６】
2014022465.tif 000018
【図１７】
2014022465.tif 000019
【図１８】
2014022465.tif 000020
【図１９】
2014022465.tif 000021
【図２０】
2014022465.tif 000022
【図２１】
2014022465.tif 000023
【図２２】
2014022465.tif 000024
【図２３】
2014022465.tif 000025