(57)【要約】      （修正有）【課題】この発明は半導体セルの上下面に粘着テープを効率よく貼着できる粘着テープの貼着装置を提供する。【解決手段】粘着テープ３を半導体セル１の上面と下面とに同時に貼着する貼着手段に半導体セルを供給し、粘着テープが貼着された半導体セルを排出する給排機構を備え、給排機構は、回転駆動される回転体１１と、回転体の周方向に所定角度で設けられ上面に半導体セルが保持される複数のステージ１５と、回転体を周方向に所定角度で間欠駆動する駆動源を有し、複数のステージは、半導体セルが供給される供給位置と、上部供給ユニットと下部供給ユニットの間に入り込んで半導体セルの上面と下面とに粘着テープが貼着される貼着位置Ｂと、粘着テープが貼着され半導体セルを排出する排出位置に順次位置決め駆動される。【選択図】図６
2014022387.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体セルの上下面にそれぞれ複数の粘着テープを所定間隔で同時に貼着する粘着テープの貼着装置であって、
離型テープ及びこの離型テープの一方の面に上記粘着テープが貼着されてなるテープ部材が巻装された複数の供給リール、及びこれら供給リールから引き出された上記テープ部材が上記半導体セルの上面と下面とに対向するよう走行させるガイド手段を有するテープ供給機構と、
上記供給リールから引き出された上記テープ部材の上記離型テープと上記粘着テープのうちの上記粘着テープだけを上記半導体セルに貼着する長さ寸法に切断する切断機構と、
上部供給ユニットと下部供給ユニットを有し、上記切断機構によって切断された上記粘着テープを上記半導体セルの上面と下面とに同時に貼着する貼着手段と、
この貼着手段に上記半導体セルを供給し、上記粘着テープが貼着されたならばその半導体セルを排出する給排機構を具備し、
上記給排機構は、回転駆動される回転体と、この回転体の周方向に所定角度で設けられ上面に上記半導体セルが保持される複数のステージと、上記回転体を周方向に所定角度で間欠駆動する駆動手段を有し、
上記複数のステージは、上記半導体セルが供給される供給位置と、上記上部供給ユニットと下部供給ユニットの間に入り込んで上記半導体セルの上面と下面とに上記粘着テープを貼着する貼着位置と、上記粘着テープが貼着され上記半導体セルを排出する排出位置とに上記駆動手段によって位置決め駆動されることを特徴とする粘着テープの貼着装置。
【請求項２】
上記給排機構は、上記回転体の周方向に９０度間隔で設けられた４つのステージを有し、各ステージが上記供給位置、上記貼着位置、上記排出位置及び予備位置に順次位置決めされることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項３】
上記給排機構は、上記回転体の周方向に１８０度間隔で設けられた２つのステージを有し、上記供給位置と上記排出位置とが同じ位置になっていて、
一方のステージが上記貼着位置に位置決めされているとき、他方のステージに対して上記半導体セルの供給と排出が行われることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項４】
上記貼着手段は、上記ステージに供給された上記半導体セルの上面と下面にそれぞれ粘着テープを加圧貼着する上部加圧ツールと下部加圧ツールを有し、
上記ステージには、上記下部加圧ツールが上記粘着テープを上記半導体セルの下面の加圧できるようにするための貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項５】
半導体セルの上下面にそれぞれ複数の粘着テープを所定間隔で同時に貼着する粘着テープの貼着方法であって、
上記半導体セルをステージに供給する工程と、
離型テープ及びこの離型テープの一方の面に上記粘着テープが貼着されてなるテープ部材が上記ステージに供給された半導体セルの上面と下面とに対向するよう走行させる工程と、
上記テープ部材の上記離型テープと上記粘着テープのうちの上記粘着テープだけを上記半導体セルに貼着する長さ寸法に切断する工程と、
所定長さに切断された上記粘着テープを上記半導体セルの上面と下面とに対向させて位置決めして同時に貼着する工程と、
上記粘着テープが貼着された上記半導体セルを上記ステージから排出する工程と
を具備し、
複数のステージを有し、複数のステージは回転体の周方向に所定角度で設けられて周方向に所定角度で間欠駆動されるようになっていて、
上記複数のステージを、上記半導体セルを供給する供給位置と、上記半導体セルの上面と下面とに上記粘着テープを貼着する貼着位置と、上記粘着テープが貼着された上記半導体セルを排出する排出位置とに位置決めすることを特徴とする粘着テープの貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は複数の半導体セルをリード線によって一列に接続する際に用いられる粘着テープの貼着装置及び貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池モジュールには結晶タイプと薄膜タイプがある。結晶タイプの太陽電池モジュールは単結晶シリコンや多結晶シリコンなどの半導体セルを帯状のリード線によって一列に接続し、その半導体セルをガラス製のベース板上に樹脂によって一体的にラミネートして構成される。
【０００３】
太陽電池モジュールは太陽電池セルである、複数の半導体セルの表面に貼着された導電性を有する熱硬化性の樹脂によって形成された粘着テープを介してクランク状に曲成された上記リード線によって電気的に接続される。
【０００４】
図９（ａ），（ｂ）は一般的な結晶タイプの太陽電池モジュールを示し、図９（ａ）は多数の半導体セル１（１ａ〜１ｎとする）をリード線２（２ａ〜２ｎとする）によって一列に接続した状態の平面図、図９（ｂ）は拡大した側面図である。
【０００５】
図９（ｂ）に示すように、各半導体セル１ａ〜１ｎの太陽光を受ける受光面である上面には多数のグリッド電極（フィンガー電極）５が等間隔に形成され、これらグリッド電極５の配置方向と交差する幅方向の両端部及び中央部の三箇所はバスバー電極６ａによって接続されている。各半導体セル１ａ〜１ｎの裏面には、裏面のほぼ全体にわたって裏面電極７が形成され、この裏面電極７には３本のバスバー電極６ｂが上面側のバスバー電極６ａと対応して形成されている。
【０００６】
上面側のバスバー電極６ａと下面側のバスバー電極６ｂとにはそれぞれ導電性を有する熱硬化性の樹脂からなる粘着テープ３が貼着され、隣り合う一対の半導体セル１の上面側のバスバー電極６ａと裏面側のバスバー電極６ｂに貼着された粘着テープ３には、クランク状に屈曲されたリード線２ａ〜２ｎの一端部と他端部が仮圧着される。
【０００７】
ついで、上記リード線２ａ〜２ｎを仮圧着時よりも大きな加圧力で加圧しながら加熱する。それによって、上記粘着テープ３が溶融硬化するから、リード線２ａ〜２ｎが半導体セル１ａ〜１ｎの上下面に本圧着、つまり接続固定されることになる。
【０００８】
上記リード線２は、一端部を隣り合う一対の半導体セル１の一方の上面に接続し、他端部を他方の下面に接続するため、長手方向の中途部を境にして一端部と他端部とが上下方向に異なる高さになるよう屈曲形成される。
【０００９】
上記リード線２を所定の形状に屈曲形成するためには、供給装置の供給リールに巻装されたリード線２をチャックによって所定長さ引き出したならば、成形装置によって上述した屈曲形状に成形して半導体セル１に粘着テープ３を介して仮圧着してから本圧着するようにしている。
【００１０】
それによって、複数の半導体セル１ａ〜１ｎはリード線２ａ〜２ｎによって一列に接続されることになる。リード線２ａ〜２ｎによって一列に接続された半導体セル１ａ〜１ｎはストリング１Ａと呼ばれている。
【００１１】
上記粘着テープ３は離型テープの一方の面に貼着され、これら粘着テープ３と離型テープとでテープ部材を形成している。このテープ部材は、供給装置を構成する供給リールに巻装されている。
【００１２】
隣り合う半導体セル１を、これらの上下面に設けられたそれぞれのバスバー電極６ａ，６ｂの数に対応する複数のリード線２、この例では３本のリード線２で接続する場合、上記供給装置にはリード線２の数に応じて上記半導体セル１の上面側と下面側とにテープ部材を供給するそれぞれ３つの供給リールが所定間隔で設けられることになる。
【００１３】
各３つの供給リールから引き出されたテープ部材は、粘着テープ３と離型テープのうちの、粘着テープだけが切断機構によって上記半導体セル１に対応する長さ寸法に切断される。ついで、粘着テープの所定長さに切断された部分は、それぞれ離型テープとともに走行搬送され、貼着位置に位置決めされた上記半導体セル１の上面と下面とに対向するよう位置決めされる。
【００１４】
上記貼着位置には上部加圧ツールと下部加圧ツールが設けられ、各加圧ツールがそれぞれ下降方向及び上昇方向に駆動されることで、所定長さに切断された粘着テープが上記半導体セル１の上面と下面に押圧される。それによって、所定長さに切断された上記粘着テープが上記半導体セル１の上下面に貼着される。
【００１５】
貼着後、上記半導体セル１に貼着された粘着テープから離型テープが剥離される。そして、剥離後に離型テープが所定長さ送られ、粘着テープの所定長さに切断された次の部分が貼着位置に位置決めされたつぎの基板に貼着されるということが繰り返して行なわれることになる。
【００１６】
従来、半導体セルの上下面に粘着テープを貼着する場合、特許文献１に示す構成の貼着手段が用いられていた。すなわち、上記貼着手段は上記半導体セルの搬送方向に対して交差して配置された架台を有する。この架台の一端部と他端部には第１のテープ貼着部と第２のテープ貼着部が配置されている。
【００１７】
上記架台の上面には、第１の貼着テーブルと、第２の貼着テーブルとがそれぞれ上記架台の長手方向の中心部と端部との間で往復駆動可能に設けられている。そして、上記架台の中心部に位置決めされた一方の貼着テーブルに半導体セルが供給載置されると、この貼着テーブルが架台の一方の端部に設けられた一方のテープ貼着部に駆動され、ここで半導体セルの上下面に粘着テープが貼着される。
【００１８】
一方の貼着テーブルが一方のテープ貼着部に駆動されると、他方の貼着テーブルが上記架台の長手方向の中心部に位置決めされ、この貼着テーブルに半導体セルが供給載置される。そして、この他方の貼着テーブルが他方のテープ貼着部に駆動され、ここで半導体セルの上下面に粘着テープが貼着される。
【００１９】
それと同時に、一方のテープ貼着部で粘着テープの貼着が終了した半導体セルが載置された一方の貼着テーブルが一方のテープ貼着部から架台の長手方向中央部に駆動され、その貼着テーブルから粘着テープが貼着された半導体セルが排出された後、そこに新たな半導体セルが供給されるということが繰り返して行われるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２０】
【特許文献１】特開２０１１−１４８８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
ところで、上記構成の貼着手段によると、生産性の向上を図るために、架台の上面に２つの貼着テーブルを往復動可能に設け、しかも上記架台の一端部と他端部にそれぞれテープ貼着部を設けるようにしている。
【００２２】
２つの貼着テーブルと２つのテープ貼着部を設けることで、１つの場合に比べて生産性を向上させることが可能となる。しかしながら、上記テープ貼着部は、部品点数が多くて構成が複雑であり、しかも比較的大型である。そのため、２つのテープ貼着部を設けることによって、装置全体の構成の複雑化、大型化及び高コスト化を招くということがあった。
【００２３】
しかも、２つの貼着テーブルを架台の上面で往復駆動してこの貼着テーブルに対して半導体セルを供給した後、粘着テープが貼着された半導体セルを排出するようにしている。そのため、たとえば貼着テーブルから粘着テープが貼着された半導体セルを排出して新たな半導体セルを供給する場合、排出作業が終わってから、供給作業を行なわなければならない。そのため、排出作業が終わって供給作業を行なわれるまでに待ち時間が生じるから、生産性が低下するということがある。
【００２４】
この発明は、２つのテープ貼着部を用いて装置全体の構成の複雑化、大型化及び高コスト化を招くということなく、しかも生産性の向上を図ることができるようにした粘着テープに貼着装置及び貼着方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
この発明は、半導体セルの上下面にそれぞれ複数の粘着テープを所定間隔で同時に貼着する粘着テープの貼着装置であって、
離型テープ及びこの離型テープの一方の面に上記粘着テープが貼着されてなるテープ部材が巻装された複数の供給リール、及びこれら供給リールから引き出された上記テープ部材が上記半導体セルの上面と下面とに対向するよう走行させるガイド手段を有するテープ供給機構と、
上記供給リールから引き出された上記テープ部材の上記離型テープと上記粘着テープのうちの上記粘着テープだけを上記半導体セルに貼着する長さ寸法に切断する切断機構と、
上部供給ユニットと下部供給ユニットを有し、上記切断機構によって切断された上記粘着テープを上記半導体セルの上面と下面とに同時に貼着する貼着手段と、
この貼着手段に上記半導体セルを供給し、上記粘着テープが貼着されたならばその半導体セルを排出する給排機構を具備し、
上記給排機構は、回転駆動される回転体と、この回転体の周方向に所定角度で設けられ上面に上記半導体セルが保持される複数のステージと、上記回転体を周方向に所定角度で間欠駆動する駆動手段を有し、
上記複数のステージは、上記半導体セルが供給される供給位置と、上記上部供給ユニットと下部供給ユニットの間に入り込んで上記半導体セルの上面と下面とに上記粘着テープを貼着する貼着位置と、上記粘着テープが貼着され上記半導体セルを排出する排出位置とに上記駆動手段によって位置決め駆動されることを特徴とする粘着テープの貼着装置にある。
【００２６】
この発明は、半導体セルの上下面にそれぞれ複数の粘着テープを所定間隔で同時に貼着する粘着テープの貼着方法であって、
上記半導体セルをステージに供給する工程と、
離型テープ及びこの離型テープの一方の面に上記粘着テープが貼着されてなるテープ部材が上記ステージに供給された半導体セルの上面と下面とに対向するよう走行させる工程と、
上記テープ部材の上記離型テープと上記粘着テープのうちの上記粘着テープだけを上記半導体セルに貼着する長さ寸法に切断する工程と、
所定長さに切断された上記粘着テープを上記半導体セルの上面と下面とに対向させて位置決めして同時に貼着する工程と、
上記粘着テープが貼着された上記半導体セルを上記ステージから排出する工程と
を具備し、
複数のステージを有し、複数のステージは回転体の周方向に所定角度で設けられて周方向に所定角度で間欠駆動されるようになっていて、
上記複数のステージを、上記半導体セルを供給する供給位置と、上記半導体セルの上面と下面とに上記粘着テープを貼着する貼着位置と、上記粘着テープが貼着された上記半導体セルを排出する排出位置とに位置決めすることを特徴とする粘着テープの貼着方法にある。
【発明の効果】
【００２７】
この発明によれば、回転体の周方向に所定角度で複数のステージを設け、上記回転体を間欠的に回転駆動して上記ステージを半導体セルの供給位置、粘着テープの貼着位置及び半導体セルを排出する排出位置に位置決めするようにした。
【００２８】
そのため、上記貼着位置に１つの貼着手段を設けるだけで、貼着位置に位置決めされる半導体セルに対して順次粘着テープを貼着できるから、装置の複雑化や大型化を招かずに生産性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】この発明の第１の実施の形態を示す粘着テープの貼着装置の概略的構成図。
【図２】図１に示された貼着装置に用いられた回転体の平面図。
【図３】貼着位置で半導体セルの上下面に粘着テープを貼着する貼着手段を示す正面図。
【図４】上記貼着手段の切断機構によって粘着テープに切断線が形成されたテープ部材の拡大図。
【図５】上下部の供給ユニットに設けられた３つの供給リールを示す平面図。
【図６】図３に示す貼着手段の側面図。
【図７】上下面に粘着テープが貼着された半導体セルの側面図。
【図８】この発明の第２の実施の形態を示す回転体の平面図。
【図９】（ａ）は複数の半導体セルがリード線によって接続されたストリングを示す平面図、（ｂ）はストリングの一部を示す拡大側面図。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。  
図１乃至図７はこの発明の第１の実施の形態を示し、図１に示す粘着テープの貼着装置は半導体セル１が後述するように供給、排出される給排機構１０を備えている。この給排機構１０は回転体１１を有する。この回転体１１は支持体１２に回転可能に支持されていて、駆動手段としての駆動源１３によって後述するように周方向に所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるようになっている。
【００３１】
図２に示すように、上記回転体１１には周方向に９０度間隔で４つの突出部１４が設けられている。各突出部１４にはそれぞれ矩形状のステージ１５の一方の長辺に突設された連結部１６がねじ１６ａによって着脱可能に連結固定されている。
【００３２】
上記ステージ１５には、長手方向に沿う３つの貫通孔１７が長手方向と交差する幅方向に対して所定間隔で穿設されている。上記ステージ１５の上面の、上記貫通孔１７の両側にはそれぞれ吸引孔１８が開口形成されている。各吸引孔１８は吸引ポンプにチューブ（ともに図示せず）を介して接続されている。それによって、上記吸引孔１８には吸引力を発生させることができるようになっている。
【００３３】
上記回転体１１に設けられた４つのステージ１５は、供給位置Ａ、貼着位置Ｂ、排出位置Ｃ及び予備位置Ｄに順次位置決めされるようになっている。つまり、上記回転体１１が上記駆動源１３によって周方向に９０度ずつ間欠的に回転駆動されることで、４つのステージ１５が上述したように４つのポジションに順次位置決めされるようになっている。なお、上記排出位置Ｃと予備位置Ｄは逆の順序で設けられていてもよい。
【００３４】
上記供給位置Ａに位置決めされたステージ１５の上面には、図１に示すように供給部２１に貯えられた半導体セル１が第１のロボット２２によって取り出されて供給される。それによって、その半導体セル１は上記吸引孔１８に生じる吸引力によってステージ１５の上面に吸着保持される。なお、上記第１のロボット２２は第１のＸ・Ｙ・Ｚ駆動源２２ａによってＸ、Ｙ、Ｚ方向に駆動されるようになっている。
【００３５】
上記供給位置Ａで半導体セル１が供給された後、上記回転体１１が９０度回転駆動されて上記ステージ１５が上記貼着位置Ｂに位置決めされると、後述する貼着手段２３によって上記半導体セル１の上面と下面にそれぞれ３本の粘着テープ３が貼着される。
【００３６】
上記半導体セル１の上面と下面にそれぞれ３本の粘着テープ３が貼着されると、上記回転体１１が９０度間欠的に回転駆動され、上記半導体セル１を保持したステージ１５が上記排出位置Ｃに位置決めされる。
【００３７】
上記排出位置Ｃに位置決めされた上記ステージ１５に保持された半導体セル１は、第２のロボット２４により取り出され、上記半導体セル１の粘着テープ３にリード線２を貼着する次工程に受け渡される。上記第２のロボット２４は第２のＸ・Ｙ・Ｚ駆動源２４ａによってＸ、Ｙ、Ｚ方向に駆動されるようになっている。
【００３８】
なお、上記第１、第２のロボット２２，２４はそれぞれ複数の吸着パッド２５を有し、この吸着パッド２５に生じる吸引力で上記供給部２１の半導体セル１の上面を吸着して取り出すようになっている。
【００３９】
上記貼着手段２３は、図３に示すように上記ステージ１５に保持された上記半導体セル１の上面に粘着テープ３を供給して貼着する上部供給ユニット２７Ａと、下面に粘着テープ３を供給して貼着する下部供給ユニット２７Ｂを有する。各供給ユニット２７Ａ，２７Ｂは上下方向の向きが異なるものの、構成は同じであるので、同一部分に同一記号を付して説明は省略する。
【００４０】
すなわち、上記各供給ユニット２７Ａ，２７Ｂは図３と図５に示すように、上記貼着位置Ｂに位置決めされたステージ１５の一端側の上方と下方にそれぞれ配置された３つの供給リール２８を有する。図３は供給リール２８を１つだけ示している。上記供給リール２８には図４に示すように上記粘着テープ３が離型テープ３ａに貼着されたテープ部材４が巻装されている。
【００４１】
３つの供給リール２８は、図５に示すように径方向の中心部に軸受３１が設けられていて、各軸受３１は支軸３３にスペーサ３４を介して所定間隔で回転可能に支持されている。上記支軸３３の両端部は、一対のブラケット３２の先端に形成された凹部３２ａに着脱可能に係合させて支持されている。一対のブラケット３２の基端部は基部材３０の板面に固定されている。
【００４２】
上記支軸３３の両端部にはストッパ３５が装着され、このストッパ３５はハンドル３６を回転させることで、上記支軸３３に着脱できるようになっている。それによって、上記ブラケット３２から上記支軸３３とともに３つの供給リール２８を取り外した後、上記ストッパ３５を上記ハンドル３６によって緩めて各供給リール２８を上記支軸３３から取り外し、新たな供給リール２８に交換できるようになっている。
【００４３】
図３に示すように、上記供給リール２８から引き出されたテープ部材４の粘着テープ３には、シリンダ２９ａ及びこのシリンダ２９ａによって駆動されるカッタ２９ｂによって図４に示す切断線４ａが形成される。上記シリンダ２９ａとカッタ２９ｂは切断機構２９を構成している。
【００４４】
上記切断線４ａは離型テープ３ａをハーフカットする深さであるが、上記粘着テープ３だけを切断する。そして、上記切断線４ａは図４に示すように上記粘着テープ３に所定の間隔で形成される。つまり、上記切断線４ａは半導体セル１に貼着される粘着テープ３の長さ寸法に対応する間隔で形成される。
【００４５】
このように、切断線４ａによって粘着テープ３が所定の長さに分断されたテープ部材４は、離型テープ３ａとともに３つのガイドローラ３８にガイドされ、上記貼着位置Ｂに位置決めされたステージ１５の上面に保持された半導体セル１の上面と下面に対して平行に走行するようになっている。なお、上記一対のガイドローラ３８はガイド手段を構成している。
【００４６】
上記粘着テープ３が平行に走行する部分の上方と下方にはそれぞれシリンダなどの上下駆動源４１によって上下方向に駆動される上部加圧ツール４２と下部加圧ツール４３が配置されている。
【００４７】
図３と図６に示すように、各加圧ツール４２，４３の加圧面には、上記半導体セル１の上面と下面に平行に走行するそれぞれ３本のテープ部材４に対向する間隔で３本の突条４２ａ，４３ａが突設されている。
【００４８】
それによって、上記上下駆動源４１によって上部加圧ツール４２が下降方向に、上記下部加圧ツール４３が上昇方向に駆動されると、各加圧ツール４２，４３に設けられた３本の突条４２ａ，４３ａによって上記貼着位置Ｂに位置決めされた半導体セル１の上面と下面にそれぞれ３本のテープ部材４の粘着テープ３が加圧貼着されるようになっている。
【００４９】
このとき、上記下部加圧ツール４３の突条４３ａは上記ステージ１５の貫通孔１７に入り込んで上記テープ部材４の粘着テープ３を半導体セル１の下面に押圧貼着するようになっている。つまり、上記下部加圧ツール４３の突条４３ａの高さ寸法は上記加圧ツールの高さ寸法よりも大きく、しかも上記ステージ１５の厚さ寸法よりも大きく設定されている。
【００５０】
なお、各加圧ツール４２，４３には図示しないヒータが内蔵され、粘着テープ３を半導体セル１の上下面に押圧貼着するとき、上記粘着テープ３を加熱して粘着性を向上させるようになっている。
【００５１】
所定長さに分断された粘着テープ３が上記各加圧ツール４２，４３によって上記半導体セル１の上面と下面に同時に押圧貼着された後、上記半導体セル１の上面と下面に貼着された粘着テープ３から離型テープ３ａが図示しない離型ローラなどの剥離手段によって剥離される。そして、上記半導体セル１の上面と下面に貼着された粘着テープ３から剥離された上記離型テープ３ａは、それぞれ図３に示す巻取りリール４４に巻き取られる。
【００５２】
この実施の形態では、上記供給ユニット２７Ａ，２７Ｂを構成する上記供給リール２８、上記ガイドローラ３８及び上記巻取りリール４４によってテープ供給機構を構成している。
【００５３】
なお、巻取りリール４４に代わり、剥離された上記離型テープ３ａを挟持搬送する一対のローラ及びこれらローラによって搬送された離型テープ３ａを風圧によって所定方向に圧送するエアーダクトを用いて剥離された上記離型テープ３ａを送るようにしてもよい。つまり、巻取りリール４４に代わって粘着テープ３から剥離された離型テープ３ａを回収できる回収機構であればよい。
【００５４】
つぎに、上記構成の貼着装置によって半導体セル１の上面と下面に粘着テープ１を貼着する動作について説明する。  
まず、供給位置Ａに位置決めされた回転体１１の４つのステージ１５のうちの１つに、第１のロボット２２によって半導体セル１が供給されると、上記回転体１１が駆動源１３によって９０度回転駆動される。
【００５５】
それによって、半導体セル１が供給されたステージ１５は貼着位置Ｂに位置決めされ、他の３つのステージ１５はそれぞれ排出位置Ｃ、予備位置Ｄ及び供給位置Ａに位置決めされる。そして、供給位置Ａに位置決めされたステージ１５には上記第１のロボット２２によって半導体セル１が供給される。
【００５６】
上記貼着位置Ｂに位置決めされた半導体セル１の上下面には、上部供給ユニット２７Ａと下部供給ユニット２７Ｂによって粘着テープ３が貼着される。すなわち、上記貼着位置Ｂに位置決めされた上記半導体セル１の上面と下面には、各供給ユニット２７Ａ，２７Ｂの供給リール２８からガイドローラ３８によってガイドされて繰り出された粘着テープ３が対向する。上記貼着手段２３は、それぞれ３組の上部供給ユニット２７Ａと下部供給ユニット２７Ｂを備えている。
【００５７】
つまり、各供給ユニット２７Ａ，２７Ｂの供給リール２８から繰り出された粘着テープ３は、切断機構２９によって上記半導体セル１に貼着される長さに切断され、貼着位置Ｂに位置決めされた半導体セル１の上面と下面に対向する。
【００５８】
ついで、上部加圧ツール４２と下部加圧ツール４３がそれぞれ上下駆動源４１によって下降方向と上昇方向に駆動され、各加圧ツール４２，４３の加圧面に設けられた３つの突条４２ａ，４３ａによってそれぞれ３本のテープ部材４が上記半導体セル１の上面と下面とに押圧される。それによって、各テープ部材４の粘着テープ３が上記半導体セル１の上面と下面にそれぞれ貼着される。
【００５９】
上記半導体セル１に粘着テープ３が貼着されると、各粘着テープ３から離型テープ３ａが図示しない離型ローラによって剥離される。それによって、上記半導体セル１の上下面に対する粘着テープ３の貼着が終了する。
【００６０】
上記半導体セル１の上下面に対する粘着テープ３の貼着が終了すると、上記回転体１１が駆動源１３によって９０度回転駆動され、粘着テープ３が貼着された半導体セル１を保持したステージ１５が排出位置Ｃに位置決めされる。それと同時に、新たな半導体セル１が供給されたステージ１５が上記貼着位置Ｂに位置決めされ、その上下面に対して上述したように粘着テープ３の貼着作業が行なわれる。
【００６１】
粘着テープ３が貼着されて上記排出位置Ｃに位置決めされたステージ１５に保持された半導体セル１は、第２のロボット２４によって上記ステージ１５から搬出されて次工程に受け渡される。
【００６２】
このように、４つのステージ１５を有する回転体１１が９０度ずつ間欠的に回転駆動され、各ステージ１５がそれぞれ供給位置Ａ、貼着位置Ｂ、排出位置Ｃ及び予備位置Ｄに順次位置決めされ、各位置Ａ〜Ｄで所定の作業が行なわれることで、上下面に粘着テープ３が貼着された半導体セル１を、上記回転体１１が９０度回転される毎に、上記排出位置Ｃから次工程に受け渡すことができる。
【００６３】
上記構成の貼着装置は、上記給排機構１０の上記回転体１１に設けられたステージ１５が位置決めされる貼着位置Ｂに、上記半導体セル１の上面に粘着テープ３を供給貼着する上部供給ユニット２７Ａと、下面に粘着テープ３を供給貼着する下部供給ユニット２７Ｂからなる１組の貼着手段２３を設けるようにした。
【００６４】
そのため、上記回転体１１を９０度ずつ間欠的に回転駆動する毎に、貼着位置Ｂに設けられた１組の貼着手段２３によって、上記貼着位置Ｂに位置決めされた半導体セル１の上面と下面に対して粘着テープ３を順次貼着することができるから、粘着テープ３の貼着作業を効率よく行なうことが可能となる。
【００６５】
しかも、貼着位置Ｂに上部供給ユニット２７Ａと下部供給ユニット２７Ｂからなる１組の貼着手段２３を設けるだけでよいから、２組の貼着手段を設けるようにしていた従来の貼着装置に比べ、装置構成の簡略化や小型化を図ることができる。
【００６６】
また、回転体１１に４つのステージ１５を設け、そのうちの３つのステージ１５を供給位置Ａ、貼着位置Ｂ及び排出位置Ｃに同時に停止させるようにしている。そのため、供給位置Ａ、貼着位置Ｂ及び排出位置Ｃにおいて、半導体セル１に対するそれぞれの作業を分割して同時に行なうことができる。つまり、各作業間において待ち時間の発生を低減することができるから、そのことによっても生産性の向上を図ることができる。
【００６７】
上記回転体１１を水平方向に回転し、この回転体に設けられたステージ１５を供給位置Ａ、貼着位置Ｂ及び排出位置Ｃに順次位置決めするようにした。つまり、上記供給位置Ａ、貼着位置Ｂ及び排出位置Ｃでの作業を回転体１１の回転に応じた流れ作業とすることができる。つまり、半導体セル１に粘着テープ３を貼着するのに要する複数の作業を分割して順次行なえるため、生産性を向上させることができる。
【００６８】
上記貼着位置Ｂでは半導体セル１の上下面に、それぞれ複数の上部供給ユニット２７Ａと下部供給ユニット２７Ｂによって複数の粘着テープ３を同時に貼着するようにしている。そのため、そのことによっても、生産性の向上や貼着精度の向上を図れるばかりか、不良品の発生を低減することができる。
【００６９】
図８はこの発明の第２の実施の形態を示す。この実施の形態は回転体１１の変形例であって、この実施の形態の回転体１１Ａには周方向に１８０度間隔で２つの突出部１４が設けられ、各突出部１４にはそれぞれステージ１５が連結されている。
【００７０】
上記構成の回転体１１を用いる場合、一方のステージ１５に対して半導体セル１の供給と、粘着テープ３が貼着された半導体セル１の排出が同じ位置で行われる。つまり、供給位置Ａと排出位置Ｃが同じ位置に設定されている。この位置を同図にＦで示す給排位置とする。
【００７１】
一方のステージ１５が給排位置Ｆに位置決めされているとき、他方のステージ１５は同図にＢで示す貼着位置に位置決めされる。
【００７２】
したがって、給排位置Ｆで一方のステージ１５に半導体セル１が供給されると、上記回転体１１が１８０度回転駆動されて貼着位置Ｂに位置決めされる。貼着位置Ｂで半導体セル１の上下面に粘着テープ３が貼着されると、上記回転体１１が１８０度回転駆動され、粘着テープ３が貼着された半導体セル１が給排位置Ｆに位置決めされる。
【００７３】
そこで、粘着テープ３が貼着された半導体セル１が排出され、第１の実施の形態で示した第２のロボット２４によって排出された後、新たな半導体セル１が第１のロボット２２によって供給される。
【００７４】
したがって、この第２の実施の形態においても、１つの貼着手段２３によって、上記貼着位置Ｂに位置決めされた半導体セル１の上下面に対して粘着テープ３を順次貼着することができるから、粘着テープ３の貼着作業を効率よく、しかも装置構成の複雑化や大型化を招くことなく、行なうことが可能となる。
【００７５】
なお、図示はしないが、回転体に３つのステージを周方向に１２０度間隔で設け、１つのステージが供給位置に位置決めされていると、他の２つのステージは貼着位置と、排出位置にそれぞれ位置決めされるようにしてもよい。
【００７６】
上記半導体セルの上下面に貼着する粘着テープの数が３本の例を挙げて説明したが、上下面に貼着される粘着テープの数は２本或いは４本以上であってもよい。
【００７７】
第１の実施の形態では回転体に設けられるステージの数を４つとし、排出位置のつぎに予備位置を設けるようにしたが、貼着位置のつぎを予備位置とし、予備位置では貼着位置で半導体セルの上下面に貼着された粘着テープをカメラによって撮像し、その撮像に基づいて導体セルの上下面に貼着された粘着テープの状態、たとえば捲れや位置ずれがあるか否かを検査し、その検査に基づいて排出位置で第２のロボットによって排出される半導体セルを良品と不良品とに分けるようにしてもよい。  
そうすれば、粘着テープの貼着状態が不良な半導体セルを後工程の供給するのを事前に防止することが可能となる。
【符号の説明】
【００７８】
１…半導体セル、３…粘着テープ、４…テープ部材、１０…給排機構、１１…回転体、１３…駆動源（駆動手段）、１５…ステージ、２１…供給部、２３…貼着手段、２７Ａ…上部供給ユニット、２７Ｂ…下部供給ユニット、２８…供給リール(テープ供給機構)、２９…切断機構、３８…ガイドローラ（ガイド手段、テープ供給機構）、４２…上部加圧ツール、４３…下部加圧ツール、４４…巻き取りリール(テープ供給機構)。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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