(57)【要約】      （修正有）【課題】気泡を外部に排出しやすいリザーバを含む液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッド２は、複数の吐出孔および複数の供給孔５ａを備えている、一方方向に長いヘッド本体と、供給孔５ａに繋がっているリザーバ流路４０を含む前記一方方向に長いリザーバ４０とを備えており、リザーバ流路４０は、前記一方方向に沿って伸びており、両端部で外部に繋がっている複数の第１のリザーバ流路４２ａを含んでおり、複数の第１のリザーバ流路４２は、それぞれ、前記一方方向における一方の側に位置する第１部位４２ａと、他方の側に位置する第２部位４２ｂとを含んでおり、第１部位４２ａの底部４２ａａは、第２部位４２ｂの底部４２ｂａよりも、ヘッド本体側に位置しており、複数の第１のリザーバ流路４２は、第１部位４２ａ側の端部で繋がっている。【選択図】図６
2014043095.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出孔および該複数の吐出孔に繋がっている一つまたは複数の供給孔を備えている、平板状で一方方向に長いヘッド本体と、
該ヘッド本体に積層されており、前記供給孔に繋がっているリザーバ流路を備えている、平板状で前記一方方向に長いリザーバと
を備えている液体吐出ヘッドであって、
前記リザーバ流路は、前記一方方向に沿って伸びており、両端部で外部に繋がっている複数の第１のリザーバ流路と、該複数の第１のリザーバ流路と前記供給孔とを繋いでいる一つまたは複数の第２のリザーバ流路とを含んでおり、
前記複数の第１のリザーバ流路は、それぞれ、前記一方方向における一方の側に位置する第１部位と、前記一方方向における他方の側に位置する第２部位とを含んでおり、
前記第１部位の底部は、前記第２部位の底部よりも、前記ヘッド本体側に位置しており、
前記第１のリザーバ流路と前記第２のリザーバ流路とは、前記第１部位で繋がっており、
前記複数の第１のリザーバ流路は、前記第１部位側の端部で繋がっていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
平面視したとき、前記第１部位と前記第２部位との境界部の幅が、前記第１部位の本体部の幅および前記第２部位の本体部の幅より狭くなっていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記複数の第１のリザーバ流路は、前記第２部位側の端部で繋がっていることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第２のリザーバ流路が、前記第１のリザーバ流路と同数存在するとともに、第１のリザーバ流路とそれぞれ繋がっており、
複数存在する前記第２のリザーバ流路は、それぞれ前記一方方向に沿って伸びており、両端部で前記供給孔と繋がっていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
複数の前記第２のリザーバ流路本体は、前記一方方向の両端部で幅が広くなっていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出させる液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した印刷装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成や液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ＥＬディスプレイの製造といった工業用途にも広く利用されている。
【０００３】
このようなインクジェット方式の印刷装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが印刷ヘッドとして搭載されている。この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒータを備え、ヒータによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、液滴として吐出させるサーマルヘッド方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を変位素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔より液滴として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。
【０００４】
また、このような液体吐出ヘッドには、記録媒体の搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に液体吐出ヘッドを移動させつつ記録を行なうシリアル式、および記録媒体より主走査方向に長い液体吐出ヘッドを固定した状態で、副走査方向に搬送されてくる記録媒体に記録を行なうライン式がある。ライン式は、シリアル式のように液体吐出ヘッドを移動させる必要がないので、高速記録が可能であるという利点を有する。
【０００５】
液体吐出ヘッドとしては、液体を吐出するヘッド本体とヘッド本体へ液体を供給するリザーバとで構成されたものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。この液体吐出ヘッドでは、リザーバに含まれるリザーバ流路は、外部から供給された液体のすべてをヘッド本体へ供給する構造となっている。また、ヘッド本体は、一方方向に長く、リザーバからの液体の供給を受ける供給孔は、短手方向の端部に配置されているとともに、長手方向において、短手方向の一方の端部と、他方の端部とに交互に配置されている。供給孔がヘッド本体上に、２次元的に広がって配置されているため、リザーバには、これらの供給孔に液体を供給できるように１つの平面内で複数に分岐するリザーバ流路が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−５９４３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
液体吐出ヘッドに最初に液体を入れる際には、供給された液体は、液体吐出ヘッドや液体吐出ヘッドに液体を供給するためのチューブなどに入っている空気などと混合されつつ、液体吐出ヘッド内を満たしていくことになる。つまり、その状態では、液体は、通常の印刷を行なう状態と比べて、多くの気泡が含まれていることになる。印刷を開始する前の、この気泡の排出が不十分であると、ヘッド本体に残った気泡、あるいは、リザーバに残って、後でヘッド本体に流れ込んだ気泡によって、不吐出などの印刷不良が生じることがある。
【０００８】
特許文献１に記載の液体吐出ヘッドでは、リザーバに供給された液体は、すべてヘッド本体に流れ込む構造になっているため、最初にリザーバ内にあった空気などは、ヘッド本体に流れ込みヘッド本体の吐出孔から外部に排出されることになる。そのためリザーバやヘッド本体に気泡が残り易いという問題があった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、気泡を外部に排出しやすいリザーバを含む液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔および該複数の吐出孔に繋がっている一つまたは複数の供給孔を備えている、平板状で一方方向に長いヘッド本体と、該ヘッド本体に積層されており、前記供給孔に繋がっているリザーバ流路を備えている、平板状で前記一方方向に長いリザーバとを備えている液体吐出ヘッドであって、前記リザーバ流路は、前記一方方向に沿って伸びており、両端部で外部に繋がっている複数の第１のリザーバ流路と、該複数の第１のリザーバ流路と前記供給孔とを繋いでいる一つまたは複数の第２のリザーバ流路とを含んでおり、前記複数の第１のリザーバ流路は、それぞれ、前記一方方向における一方の側に位置する第１部位と、前記一方方向における他方の側に位置する第２部位とを含んでおり、前記第１部位の底部は、前記第２部位の底部よりも、前記ヘッド本体側に位置しており、前記第１のリザーバ流路と前記第２のリザーバ流路とは、前記第１部位で繋がっており、前記複数の第１のリザーバ流路は、前記第１部位側の端部で繋がっていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、第１リザーバ流路において、第１部位側の外部から供給される液体に混ざっている気泡は、第１部位の中を第２部位に向かって移動する間に、第１部位の上方に浮き上がり、そのまま第２の部位を通り外部に排出され易くなる。そのため、液体に混ざっている気泡が、第１部位に留まった後、第２リザーバ流路を通じてヘッド本体に流れ込み難くできる。
【００１３】
なお、通常の印刷状態においては、第２部位側の液体の流れを止めて使用してもよいし、第２部位側からの液体の排出を続け、印刷時においても、液体とともに気泡を排出するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】図１の液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体の平面図である。
【図３】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図４】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【図６】（ａ）は、図１の液体吐出ヘッドの部分縦断面図であり、（ｂ）〜（ｅ）は、リザーバを構成する部材の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は、本発明の一実施形態による液体吐出ヘッドを含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１とする）は、４つの液体吐出ヘッド２を有している。これらの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ１に固定されている液体吐出ヘッド２は、図１の手前から奥へ向かう方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。
【００１６】
プリンタ１には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、給紙ユニット１１４、搬送ユニット１２０および紙受け部１１６が順に設けられている。また、プリンタ１には、液体吐出ヘッド２や給紙ユニット１１４などのプリンタ１の各部における動作を制御するための制御部１００が設けられている。
【００１７】
給紙ユニット１１４は、複数枚の印刷用紙Ｐを収容することができる用紙収容ケース１１５と、給紙ローラ１４５とを有している。給紙ローラ１４５は、用紙収容ケース１１５に積層して収容された印刷用紙Ｐのうち、最も上にある印刷用紙Ｐを１枚ずつ送り出すことができる。
【００１８】
給紙ユニット１１４と搬送ユニット１２０との間には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａおよび１１８ｂ、ならびに、１１９ａおよび１１９ｂが配置されている。給紙ユニット１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット１２０へと送り出される。
【００１９】
搬送ユニット１２０は、エンドレスの搬送ベルト１１１と２つのベルトローラ１０６および１０７を有している。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６および１０７に巻き掛けられている。搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な２つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら２つの平面のうち、液体吐出ヘッド２に近い方の平面が、印刷用紙Ｐを搬送する搬送面１２７である。
【００２０】
ベルトローラ１０６には、図１に示されるように、搬送モータ１７４が接続されている。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６を矢印Ａの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ１０７は、搬送ベルト１１１に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ１７４を駆動してベルトローラ１０６を回転させることにより、搬送ベルト１１１は、矢印Ａの方向に沿って移動する。
【００２１】
ベルトローラ１０７の近傍には、ニップローラ１３８とニップ受けローラ１３９とが、搬送ベルト１１１を挟むように配置されている。ニップローラ１３８は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ１３８の下方のニップ受けローラ１３９は、下方に付勢されたニップローラ１３８を、搬送ベルト１１１を介して受け止めている。２つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト１１１に連動して回転する。
【００２２】
給紙ユニット１１４から搬送ユニット１２０へと送り出された印刷用紙Ｐは、ニップローラ１３８と搬送ベルト１１１との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の搬送面１２７に押し付けられ、搬送面１２７上に固着する。そして、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の回転に従って、液体吐出ヘッド２が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト１１１の外周面１１３に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Ｐを搬送面１２７に確実に固着させることが
できる。
【００２３】
液体吐出ヘッド２は、下端にヘッド本体２ａを有している。ヘッド本体２ａの下面は、液体を吐出する多数の吐出孔が設けられている吐出孔面４−１となっている。
【００２４】
１つの液体吐出ヘッド２に設けられた液体吐出孔８からは、同じ色の液滴（インク）が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド２には図示しない外部液体タンクから液体が供給される。各液体吐出ヘッド２の液体吐出孔８は、液体吐出孔面に開口しており、一方方向（印刷用紙Ｐと平行で印刷用紙Ｐの搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド２の長手方向）に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド２から吐出される液体の色は、例えば、それぞれ、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。各液体吐出ヘッド２は、液体吐出ヘッド本体１３の下面と搬送ベルト１１１の搬送面１２７との間にわずかな隙間をおいて配置されている。
【００２５】
搬送ベルト１１１によって搬送された印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２と搬送ベルト１１１との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド２を構成するヘッド本体２ａから印刷用紙Ｐの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Ｐの上面には、制御部１００によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。
【００２６】
搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、剥離プレート１４０と二対の送りローラ１２１ａおよび１２１ｂならびに１２２ａおよび１２２ｂとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１によって剥離プレート１４０へと搬送される。このとき、印刷用紙Ｐは、剥離プレート１４０の右端によって、搬送面１２７から剥離される。そして、印刷用紙Ｐは、送りローラ１２１ａ〜１２２ｂによって、紙受け部１１６に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Ｐが順次紙受け部１１６に送られ、紙受け部１１６に重ねられる。
【００２７】
なお、印刷用紙Ｐの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド２とニップローラ１３８との間には、紙面センサ１３３が設置されている。紙面センサ１３３は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Ｐの先端位置を検出することができる。紙面センサ１３３による検出結果は制御部１００に送られる。制御部１００は、紙面センサ１３３から送られた検出結果により、印刷用紙Ｐの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド２や搬送モータ１７４等を制御することができる。
【００２８】
次に、本発明の液体吐出ヘッド２について説明する。図２は、ヘッド本体２ａの平面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した平面図である。図４は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図であり、説明のため図３とは異なる一部の流路を省略した図である。なお、図３および図４において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべきしぼり６、吐出孔８、加圧室１０などを実線で描いている。また、図４の吐出孔８は、位置を分かりやすくするため、実際の径よりも大きく描いてある。図５は図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。図６（ａ）は、液体吐出ヘッド２の部分縦断面図であり、図６（ｂ）〜（ｅ）は、リザーバ４０を構成する部材の平面図である。
【００２９】
液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａやリザーバ以外に、金属製の筐体を含んでいる。また。ヘッド本体２ａは、流路部材４と、変位素子（加圧部）３０が作り込まれている圧電アクチュエータ基板２１とを含んでいる。
【００３０】
ヘッド本体２ａを構成する流路部材４は、共通流路であるマニホールド５と、マニホー
ルド５と繋がっている複数の加圧室１０と、複数の加圧室１０とそれぞれ繋がっている複数の吐出孔８とを備え、加圧室１０は流路部材４の上面に開口しており、流路部材４の上面が加圧室面４−２となっている。また、流路部材４の上面にはマニホールド５と繋がる開口５ａを有し、この開口５ａより液体が供給されるようになっている。
【００３１】
また、流路部材４の上面には、変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１が接合されており、各変位素子３０が加圧室１０上に位置するように設けられている。また、圧電アクチュエータ基板２１には、各変位素子３０に信号を供給するためのＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などの信号伝達部９２が接続されている。図２には、２つの信号伝達部９２が圧電アクチュエータ基板２１に繋がる状態が分かるように、信号伝達部９２の圧電アクチュエータ２１に接続される付近の外形を点線で示した。圧電アクチュエータ２１に電気的に接続されている、信号伝達部９２に形成されている電極は、信号伝達部９２の端部に、矩形状に配置されている。２つの信号伝達部９２は、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央部にそれぞれの端がくるように接続されている。２つの信号伝達部９２は、中央部から圧電アクチュエータ基板２１の長辺に向かって伸びている。
【００３２】
また、信号伝達部９２にはドライバＩＣが実装されている。ドライバＩＣは金属製の筐体に押し付けられるように実装されており、ドライバＩＣの熱は、金属製の筐体に伝わり、外部に放散される。圧電アクチュエータ基板２１上の変位素子３０を駆動する駆動信号は、ドライバＩＣ内で生成される。駆動信号の生成を制御する信号は、制御部１００で生成され、信号伝達部９２の圧電アクチュエータ基板２１と接続された側と反対側の端から入力される。制御部１００と信号伝達部９２との間には、必要に応じて、液体吐出ヘッド２内に回路基板などが設けられる。
【００３３】
ヘッド本体２ａは、平板状の流路部材４と、流路部材４上に接続された変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１を１つ有している。圧電アクチュエータ基板２１の平面形状は長方形状であり、その長方形の長辺が流路部材４の長手方向に沿うように流路部材４の上面に配置されている。
【００３４】
流路部材４の内部には２つのマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向の一端部側から、他端部側に伸びる細長い形状を有しており、その両端部において、流路部材４の上面に開口しているマニホールドの開口５ａが形成されている。マニホールド５の両端部から流路部材４へ液体を供給することにより、液体の供給不足が起り難くできる。また、マニホールド５の一端から供給する場合と比較して、マニホールド５を液体が流れる際に生じる圧力損失の差を約半分にできるため、液体吐出特性のばらつきを少なくできる。さらに、圧力損失の差を少なくするために、マニホールド５の中央付近で供給したり、マニホールド５の途中の数か所から供給することも考えられるが、そのような構造では液体吐出ヘッド２の幅が大きくなり、吐出孔８の配置の液体吐出ヘッド２の幅方向への広がりも大きくなってしまう。そのような配置は、液体吐出ヘッド２をプリンタ１に取り付ける角度のずれが印刷結果に与える影響が大きくなるので好ましくない。複数の液体吐出ヘッド２を用いて印刷する場合においても、複数の液体吐出ヘッド２の全体の吐出孔８が配置されている面積が広がるので、複数の液体吐出ヘッド２の相対的な位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなるので好ましくない。そのため、液体吐出ヘッド２の幅を小さくしつつ、圧力損失の差を少なくするためには、マニホールド５の両端から供給するのが好ましい。
【００３５】
また、マニホールド５は、少なくとも加圧室１０に繋がっている領域である長さ方向の中央部分が、幅方向に間隔を開けて設けられた隔壁１５で仕切られている。隔壁１５は、加圧室１０に繋がっている領域である長さ方向の中央部分では、マニホールド５と同じ高さを有し、マニホールド５を複数の副マニホールド５ｂに完全に仕切っている。このよう
にすることで、平面視したときに、隔壁１５と重なるように、吐出孔８および吐出孔８と加圧室１０とを繋げる流路であるディセンダを設けることができる。
【００３６】
図２では、マニホールド５の両端部を除く全体が隔壁１５で仕切られている。このようにする以外に、両端部のうちのどちらか一端部以外が隔壁１５で仕切られているようにしてもよい。また、流路部材４の上面に開口している開口５ａ付近のみが仕切られておらず、開口５ａから流路部材４の深さ方向に向かう間に隔壁が設けられるようにしてもよい。いずれにしても、仕切られていない部分があることにより、流路抵抗が小さくなり、液体の供給量を多くできるので、マニホールド５の両端部が隔壁１５で仕切られていないのが好ましい。
【００３７】
複数に分けられた部分のマニホールド５を副マニホールド５ｂと呼ぶことがある。本実施例においては、マニホールド５は独立して２本設けられており、それぞれの両端部に開口５ａが設けられている。また、１つのマニホールド５には、７つの隔壁１５が設けられており、８つの副マニホールド５ｂに分けられている。副マニホールド５ｂの幅は、隔壁１５の幅より大きくなっており、これにより副マニホールド５ｂに多くの液体を流すことができる。また、７つの隔壁１５は、幅方向の中央に近いほど、長さが長くなっており、マニホールド５の両端において、幅方向の中央に近い隔壁１５ほど、隔壁１５の端がマニホールド５の端に近くなっている。これにより、マニホールド５の外側の壁により生じる流路抵抗と、隔壁１５により生じる流路抵抗との間のバランスがとれ、各副マニホールド５ｂのうち、加圧室１０に繋がる部分である個別供給流路１４が形成されている領域の端における液体の圧力差を少なくできる。この個別供給流路１４での圧力差は、加圧室１０内の液体に加わる圧力差につながるため、個別供給流路１４での圧力差を少なくすれば、吐出ばらつきを低減できる。
【００３８】
このような短手方向に並んでいるマニホールド５に液体を供給する開口（供給孔）５ａは、ヘッド本体２ａの両端部において、流路部材４の長手方向に交差する方向にわたって配置されていることにより、マニホールド５の幅方向（ヘッド本体２ａの短手方向）の端にも安定して液体を供給できる。開口５ａはマニホールド５の幅と同程度の長さのものが、流路部材４の短手方向に配置されることにより、長い開口が連続して設けられていてもよいし、短い開口が断続的に設けられていてもよい。詳細は後述するが、リザーバ４０に設けられている第２のリザーバ流路４４と同じ数の開口５ａが設けられるのが好ましい。これにより１つの第２のリザーバ流路４４と開口５ａとの間で、流路の分岐がなくなり、液体の供給がスムーズになる。
【００３９】
流路部材４は、複数の加圧室１０が２次元的に広がって形成されている。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。
【００４０】
加圧室１０は１つの副マニホールド５ｂと個別供給流路１４を介して繋がっている。１つの副マニホールド５ｂに沿うようにして、この副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０の列である加圧室列１１が、副マニホールド５ｂの両側に１列ずつ、合計２列設けられている。したがって、１つのマニホールド５に対して、１６列の加圧室１１が設けられており、ヘッド本体２ａ全体では３２列の加圧室列１１が設けられている。各加圧室列１１における加圧室１０の長手方向の間隔は同じであり、例えば、３７．５ｄｐｉの間隔となっている。
【００４１】
各加圧室列１１の端にはダミー加圧室１６が設けられている。このダミー加圧室１６は、マニホールド５とは繋がっているが、吐出孔８とは繋がっていない。また、３２列の加圧室列１１の外側には、ダミー加圧室１６が直線状に並んだダミー加圧室列が設けられている。このダミー加圧室１６は、マニホールド５および吐出孔８のいずれとも繋がってい
ない。これらのダミー加圧室により、端から１つ内側の加圧室１０の周囲の構造（剛性）が他の加圧室１０の構造（剛性）と近くなることで、液体吐出特性の差を少なくできる。なお、周囲の構造の差の影響は、距離の近い、長さ方向に隣接する加圧室１０の影響が大きいため、長さ方向には、両端にダミー加圧室を設けてある。幅方向については、影響が比較的小さいため、ヘッド本体２１ａの端に近い方のみに設けている。これにより、ヘッド本体２１ａの幅を小さくできる。
【００４２】
１つのマニホールド５に繋がっている加圧室１０は、矩形状の圧電アクチュエータ基板２１の各外辺に沿った行および列をなす格子上に配置されている。これにより、圧電アクチュエータ基板２１の外辺から、加圧室１０の上に形成されている個別電極２５が等距離に配置されることになるので、個別電極２５を形成する際に、圧電アクチュエータ基板２１に変形が生じ難くできる。圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とを接合する際に、この変形が大きいと外辺に近い変位素子３０に応力が加わり、変位特性にばらつきが生じるおそれがあるが、変形を少なくすることで、そのばらつきを低減できる。また、最も外辺に近い加圧室列１１の外側にダミー加圧室１６のダミー加圧室列が設けられているために、変形の影響をより受け難くできる。加圧室列１１に属する加圧室１０は等間隔で配置されており、加圧室列１１に対応する個別電極２５も等間隔で配置されている。加圧室列１１は短手方向に等間隔で配置されており、加圧室列１１に対応する個別電極２５の列も短手方向に等間隔で配置されている。これにより、特にクロストークの影響が大きくなる部位をなくすことができる。
【００４３】
本実施例では、加圧室１０は格子状に配置したが、隣接する圧室列１１に属する加圧室１０の間に角部が位置するように千鳥状に配置してもよい。このようにすると、隣接加圧室列１１に属する加圧室１０の間の距離がより長くなるので、よりクロストークを抑制できる。
【００４４】
加圧室列１１をどのように並べるかによらず、流路部材４を平面視したとき、１つの加圧室列１１に属する加圧室１０が、隣接する加圧室列１１に属する加圧室１０と、液体吐出ヘッド２の長手方向において、重ならないように配置することにより、クロストークを抑制できる。一方、加圧室列１１の間の距離を離すと、液体吐出ヘッド２の幅が大きくなるので、プリンタ１に対する液体吐出ヘッド２の設置角度の精度や、複数の液体吐出ヘッド２を使用する際の、液体吐出ヘッド２の相対位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなる。そこで、隔壁１５の幅を副マニホールド５ｂよりも小さくすることで、それらの精度が印刷結果に与える影響を少なくできる。
【００４５】
１つの副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０は、２列の加圧室列１１をなしており、１つの加圧室列１１に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８は、１つの吐出孔列９をなしている。２列の加圧室列１１に属する加圧室１０に繋がっている吐出孔８はそれぞれ、副マニホールド５ｂの異なる側に開口している。図４では隔壁１５には、２列の吐出孔列９が設けられているが、それぞれの吐出孔列９に属する吐出孔８は、吐出孔８に近い側の副マニホールド５ｂに加圧室１０を介して繋がっている。隣接する副マニホールド５ｂに加圧室列１１を介して繋がっている吐出孔８と液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路間のクロストークが抑制できるので、さらにクロストークを少なくすることができる。加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路全体が、液体吐出ヘッド２の長手方向において重ならないように配置されていると、さらにクロストークを少なくすることができる。
【００４６】
また、平面視において、加圧室１０と副マニホールド５ｂとが重なるように配置することにより、液体吐出ヘッド２の幅を小さくできる。加圧室１０の面積に対する、重なっている面積の割合が８０％以上、さらに９０％以上にすることで、液体吐出ヘッド２の幅を
より小さくできる。また、加圧室１０と副マニホールド５ｂとが重なっている部分の加圧室１０の底面は、副マニホールド５ｂと重なっていない場合と比較して剛性が低くなっており、その差により吐出特性がばらつくおそれがある。加圧室１０全体の面積に対する、副マニホールド５ｂと重なっている加圧室１０の面積の割合を、各加圧室１０で略同じにすることで、加圧室１０を構成する底面の剛性が変わることによる吐出特性のばらつきを少なくすることができる。ここで略同じとは、面積の割合の差が、１０％以下、特に５％以下であることを言う。
【００４７】
１つのマニホールド５に繋がっている複数の加圧室１０により加圧室群が構成されており、マニホールド５が２つあるため、加圧室群は２つある。各加圧室群内における吐出に関わる加圧室１０の配置は同じで、一方は他方を短手方向に平行移動させ位置に配置されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなった部分があるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。つまり、これらの加圧室１０によって形成された加圧室群は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接合されることで閉塞されている。
【００４８】
加圧室１０の個別供給流路１４が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材４の下面の吐出孔面４−１に開口している吐出孔８に繋がるディセンダが伸びている。ディセンダは、平面視において、加圧室１０から離れる方向に伸びている。より具体的には、加圧室１０の長い対角線に沿う方向に離れつつ、その方向に対して左右にずれながら伸びている。これにより、加圧室１０は各加圧室列１１内での間隔が３７．５ｄｐｉになっている格子状の配置にしつつ、吐出孔８は、全体で１２００ｄｐｉの間隔で配置することができる。
【００４９】
これは別の言い方をすると、流路部材４の長手方向に平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図４に示した仮想直線のＲの範囲に、各マニホールド５に繋がっている１６個の吐出孔８、全部で３２個の吐出孔８が、１２００ｄｐｉの等間隔となっているということである。これにより、全てのマニホールド５に同じ色のインクを供給することで、全体として長手方向に１２００ｄｐｉの解像度で画像が形成可能となる。また、１つのマニホールド５に繋がっている１個の吐出孔８は、仮想直線のＲの範囲で６００ｄｐｉの等間隔になっている。これにより、各マニホールド５に異なる色のインクを供給することで、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で２色の画像が形成可能となる。この場合、２つの液体吐出ヘッド２を用いれば、６００ｄｐｉの解像度で４色の画像が形成可能となり、６００ｄｐｉで印刷可能な液体吐出ヘッドを用いるよりも、印刷精度が高くなり、印刷のセッティングも簡単にできる。
【００５０】
液体吐出ヘッド２には、ヘッド本体２ａの両端部にあるマニホールドの開口５ａに液体を供給するために、リザーバ４０が積層されている。リザーバ４０は、ヘッド本体２ａと同じ方向に長い平板形状をなしている。また、リザーバ４０は、平板状のプレート４０ａ、ｃ〜ｇおよびダンパプレート４０ｂが積層されている構造をしている。ダンパプレート４０ｂは内部に張り付けられる構造としてもよい。リザーバ流路となる凹部あるいは孔が形成されているプレート４０ｄ、ｆは厚さが５〜１０ｍｍ程度とされており、ダンパプレート４０ｂ以外の他のプレートは０．１〜５ｍｍ程度とされる。
【００５１】
リザーバ４０に設けられているリザーバ流路は、第１のリザーバ流路４２と、第１のリザーバ流路４２とヘッド本体２ａの開口５ａとを繋いでいる第２のリザーバ流路４４とを含んでいる。第１のリザーバ流路４２、リザーバ４０の長手方向に沿って伸びているものが、短手方向に複数並んでいる。第１のリザーバ流路４２は、リザーバ４０の両端部で外
部に繋がっている。
【００５２】
複数の第１のリザーバ流路４２は、それぞれ、リザーバ４０の長手方向における一方の側に位置する第１部位４２aと、他方の側に位置する第２部位４２ｂとを含んでいる。第
１部位の底部４２ａａは、第２部位の底部４２ｂａよりも、ヘッド本体２ａ側に位置している。なお、ここで底部とは、流路のうち、もっともヘッド本体２ａ側に位置する部位のことである。
【００５３】
このような構造を有していることにより、液体吐出ヘッド２に最初に液体を入れる際に、第１部位４２ａ側から液体を供給すれば、液体に混ざった気泡を第２部位４２ｂから排出することで、気泡をヘッド本体２ａ側に行き難くすることができる。最初に液体を入れる際には、液体吐出ヘッド２内にあった空気と混ざり、通常の印刷を行なっている場合と比べて、多くの気泡が混じった液体が、液体吐出ヘッド２を満たすことになる。その際、液体中の気泡は、第１部位４２ａを第２部位４２ｂ側に向かって進む間に、第１部位４２ａの上方に浮かび上がってくる。さらに、液体が第１部位４２ａの第２部位４２ｂ側の端に達すると、第２部位４２ｂの底部４２ｂａが第１部位４２ａの底部４２ａａより上方に位置するため、第１部位４２aから第２部位４２ａに向かって液体が上昇する流れが生じ
る。気泡は、この流れに乗って第２部位４２ｂに流れ込むため、第１部位４２ａに留まり難くなる。
【００５４】
そして、第１のリザーバ流路４２と第２のリザーバ流路４４とは、第１部位４２ａで繋がっているので、気泡が第１部位４２ａに留まり難いことにより、気泡は第２のリザーバ流路４４に流れ込み難くなり、ヘッド本体２ａにも流れ込み難くなる。第２のリザーバ流路４４が繋がっている位置は、第２部位４２ｂの底部４２ｂａよりヘッド本体２ａに近い位置であれば、気泡はさらにヘッド本体２ａに流れ込み難くなる。特に、気泡をヘッド本体２ａに流れ込み難くさせるには、第２のリザーバ流路４４が繋がっている位置を、第１部位４２ａの底部４２ａにすればよい。
【００５５】
さらに、平面視したとき、第１部位４２ａと第２部位４２ｂとの境界部４２ｃの幅が、前記第１部位４２ａの本体部の幅および第２部位４２ｂの本体部の幅より狭くなっていることが好ましい。そのような構造にすれば、境界部４２ｃにおける、第１部位４２ａの第２部位４２ｂ側の端から第２部位４２ｂに向かって、上方に進む液体の流速が速まり、気泡が、第１部位４２ａにより留まり難く、ヘッド本体２ａにより流れ込み難くできる。
【００５６】
ヘッド本体２ａから吐出する液体の総量が多くなる場合、例えば、各吐出孔８から吐出される液滴量が同程度でも、ヘッド本体２ａの短手方向に並ぶ吐出孔８の個数が増えた場合などには、それに対応させてリザーバ流路の総断面積を大きくするのが好ましい。しかし、単純に断面積を大きくすると、境界部４２ｃの、増えた断面の一部において、液体が留まったり逆流するような複雑な液体の流れが生じて、気泡の一部が第２部位４２ｂに排出されず、ヘッド本体２ａに流れ込む可能性が高まる。そのため、第１のリザーバ流路４２は、複数個設ける。また、複数ある第１のリザーバ流路４２は、第１部位４２ａ側の端で結合し、結合した先で外部に開口するようにする。このようにすることで、第１部位４２側の一カ所から供給した液体に混ざっている気泡を、複数ある境界部４２ｃにおいて、主に第２部位４２ｂに送ることで、ヘッド本体２ａに気泡が入り難くできる。
【００５７】
また、複数ある第１リザーバ流路４２ｂの第２部位側の端も、結合し、結合した先で外部に開口しているのが好ましい。これにより、液体を排出するチューブなどを接続する個数を少なくできるため、接続する手間を減らすことができる。また、第２リザーバ流路４４を複数設ける場合には、通常の印刷を行なっている状態において、印刷するパターンの違いなどにより、それら複数の第２リザーバ流路４４の流量に差が生じことがあるが、そ
のような際に、複数ある第１のリザーバ流路４２間の流量の差が、第１部位４２ａ側で結合している流路を通じて液体が流れることにより緩和されるだけでなく、第２部位４２ｂ側で結合している流路を通じて液体が流れることによっても緩和されるので好ましい。  図６（ｂ）では、第１のリザーバ流路４２は、両端部の両方において、第１のリザーバ流路の結合流路４３に結合されている。結合流路４３の第１のリザーバ流路４２に繋がっている側と反対の端は、外部に開口している第１のリザーバ流路４２の結合流路の供給孔４３ａとなっている。
【００５８】
第２のリザーバ流路４４は、リザーバ４０の長手方向に沿って伸びており、短手方向に第１のリザーバ流路４２と同数並んでおり、両端部で開口５ａと繋がっている。第２のリザーバ流路４４は、複数のある第１のリザーバ流路４２を出た後１つにまとめられてもよいが、１つの第１のリザーバ流路４２から繋がっている１つの第２のリザーバ流路が、そのままリザーバ４０の長手方向に伸びて、その両端部で開口５ａと繋がっているのが好ましい。そのような構成することで、複数ある第１のリザーバ流路４２に分岐することで、液体が液体吐出ヘッド２の短手方向に広がるように分配され、さらに、複数ある第２のリザーバ流路４４により、液体が液体吐出ヘッド２の長手方向の両端に分配される。これによりヘッド本体２ａの両端部それぞれにおいて、短手方向に沿って分配された液体を安定して供給できるようになる。
【００５９】
また、第２のリザーバ流路４４は、詳細には、第１のリザーバ流路４４からヘッド本体２ａ側に向かう中継孔４４ａと、中継孔４４ａを通る液体を受けて、リザーバ４０の長手方向に伸びる第２のリザーバ流路４４ｂと、第２のリザーバ流路４４は両端部から、ヘッド本体２ａ側に向かい開口５ａと繋がる第２のリザーバ流路の流出孔４４ｃを含んでいる。また、別の観点では、液体吐出ヘッド２は、複数の吐出孔８および複数の吐出孔８に繋がっている複数の供給孔５ａを備えている、平板状で一方方向に長いヘッド本体２ａと、ヘッド本体２ａに積層されており、複数の供給孔８に繋がっているリザーバ流路を備えている、平板状で前記一方方向に長いリザーバ４０とを備えている液体吐出ヘッド２であって、複数の供給孔５ａは、ヘッド本体２ａの一方の主面の両端部で、それぞれ前記一方方向に交差する方向にわたって配置されており、前記リザーバ流路は、前記一方方向に沿って伸びている複数の第１のリザーバ流路４２と、第１のリザーバ流路４２よりヘッド本体２ａ側に配置されており、前記一方方向に沿って伸びていて、第１のリザーバ流路４２とそれぞれ繋がっている複数の第２のリザーバ流路４４とを含んでおり、複数の第１のリザーバ流路４２は、前記一方方向の両端部のそれぞれで、外部に開口しているか、複数の第１のリザーバ流路４２が繋がっており、繋がった先で外部に開口しているかのいずれかであり、さらに前記一方方向における両端部の少なくとも一方で繋がっており、第２のリザーバ流路４４は、前記一方方向の両端部で、複数の供給孔５ａと繋がっているのが好ましい。
【００６０】
特許文献１に記載の液体吐出ヘッドでは、マニホールドの開口している部分には、圧電アクチュエータ基板が積層されていないので、その直下には、吐出孔が設けられていない。このため、液体吐出ヘッドは短手方向に大きくなってしまい、記録装置に取り付ける際の、取り付け角度の精度が同程度であっても、印刷結果が悪くなってしまうことがあった。短手方向の長さを小さくするには、流路部材の長手方向の両端から液体を供給することが考えられるが、そのような場合のリザーバとしては、特許文献１に記載のリザーバは、適切な構造ではなかった。
【００６１】
上述の構成によれば、リザーバ４０における液体吐出ヘッド２の短手方向への大きな分配が、第１のリザーバ流路４２から、第１のリザーバ流路４２よりヘッド本体２ａ側に位置する第２のリザーバ流路４４に向かう間に行われているため、液体吐出ヘッド２の短手方向へ液体の分配を効率よく行なうことができる。
【００６２】
このような構成、特に中継孔４４ａで落とし込まれたインクが、１つの平面内で分岐しないことにより、液体の滞留が起き難く、液体の詰まりや、気泡の溜まりが生じ難い。第２のリザーバ流路本体４４ｂの幅が大きくなると、流路内の液体が一様に流れ難くなるので、幅は１．５ｃｍ以下、より好ましくは１ｃｍ以下にするのがよい。また、第２のリザーバ流路本体４４ｂの幅に対して、マニホールドの開口５ａの幅（ヘッド本体２ａの短手方向の幅）が大きいと、第２のリザーバ流路本体４４ｂの端でマニホールドの開口５ａの幅を大きくしてマニホールドの開口５ａに繋いだとしても、マニホールドの開口５ａの幅の中の位置によって液体の供給の差が大きくなるので好ましくなく、マニホールドの開口５ａの幅は、第２のリザーバ流路４４の幅に対して、左右それぞれで、その幅と同程度に広がる範囲、すなわち幅が３倍以下にするのがよい。
【００６３】
他方、第２のリザーバ流路本体４４ｂとマニホールドの開口５ａの幅とを同じにすると、第２のリザーバ流路４４の数がいたずらに多くなり、リザーバ４０の構造が複雑になる。また、プレート同士を接合する領域の面積が小さくなり、接着強度が低くなったり、液体の流出が生じやすくなるおそれがあるので、第２のリザーバ流路本体４４ｂの幅は両端部以外ではほぼ一定幅とし、両端部で広げるのがよい。
【００６４】
両端部で広げる角度は６０度以下にすれば、広がった側面に沿って液体が流れ、開口５ａ全体に液体が供給されるようになるので好ましい。広がる角度が広すぎると、液体の流れ側面から剥離して、リザーバ４０の長手方向に直進する液体の流れが多くなり、開口５ａの中央への液体の供給が多くなるおそれがある。前述したように広がりの角度が狭いと第２リザーバ流路４４の個数が多くなるおそれがあるので両端部で広がる角度は、片側３０〜６０度の範囲にするのがよい。
【００６５】
逆に言えば、１つの第２のリザーバ流路４４でヘッド本体２ａに短手方向に全体のマニホールドの開口５ａに液体を供給すると、供給が安定し難いので、第２のリザーバ流路４４を設ける。液体を平板状のリザーバ４０の１つの平面内で分岐させる、すなわち液体の流入と２つ以上の液体の流出が重力の作用しない平面内で行われると、気泡の滞留などが生じ易いが、このような分岐を、外部からの流入するところに近い部分で行なうのがよい。
【００６６】
本実施形態では、分岐は、複数ある第１のリザーバ流路４２に分かれるところで行われ、その後、液体は中継孔４４ａで下方に向かうため、気泡などが流路部材４に流入し難い。さらに、分岐の後にフィルタ４８が設けられていることにより、気泡などが流路部材４により流入し難い。
【００６７】
第１のリザーバ流路４２は、中継孔４４ａを向かった後１平面内での分岐が起きないように、第２のリザーバ流路４２と同数設けられる。結合流路４３は液体が供給される側に設けられる。反対側の端部は、複数の第１のリザーバ流路４２が結合流路４３に繋がって、その先で外部に開口していてもよいし、複数の第１のリザーバ流路４２がそれぞれ外部に開口していてもよい。
【００６８】
結合流路４３は、２つの第１のリザーバ流路４２に分岐する前に直線部分が設けられていて、それらと成す角度が略同じであれば、分岐する液体の流れがほぼ均等になり好ましい。
【００６９】
また、図６（ｂ）〜（ｅ）に示したプレートには、位置測定孔５０が設けられている。位置測定孔５０は、プレートを積層するための位置合わせや、積層後の積層精度測定などに使われる。位置測定孔５０は、精度を高めるために、プレートの長手方向の両端部にお
ける短手方向の中央部に設けられる。結合流路４３は、分岐する前の直線部分を延長すると、位置測定孔５０と重なってしまうので、結合流路４３は途中で平面方向に曲げてから外部に開口するようにするのが好ましい。
【００７０】
圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極２５がそれぞれ形成されている。個別電極２５は、加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでおり、個別電極２５は、加圧室１０と同じように、個別電極列および個別電極群を構成している。また、圧電アクチュエータ基板２１の上面には、共通電極２４とビアホールを介して電気的に接続されている共通電極用表面電極２８が形成されている。共通電極用表面電極２８は、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央部に、長手方向に沿うように２列形成され、また、長手方向の端近くで短手方向に沿って１列形成されている。図示した、共通電極用表面電極２８は直線上に断続的に形成されたものであるが、直線上に連続的に形成してもよい。
【００７１】
圧電アクチュエータ基板２１は、後述のようにビアホールを形成した圧電セラミック層２１ａ、共通電極２４、圧電セラミック層２１ｂを積層し、焼成した後、個別電極２５および共通電極用表面電極２８を同一工程で形成するのが好ましい。個別電極２５と加圧室１０との位置ばらつきは吐出特性に大きく影響を与えこと、個別電極２５を形成した後、焼成すると圧電アクチュエータ基板２１に反りが生じるおそれがあり、反りが生じた圧電アクチュエータ基板２１を流路部材４に接合すると、圧電アクチュエータ基板２１に応力が加わった状態になり、その影響で変位がばらつくおそれがあることから、個別電極２５は、焼成後に形成される。共通電極用表面電極２８も同様に反りを生じされるおそれがあることと、個別電極２５と同時に形成した方が、位置精度が高くなり、工程も簡略化できるので、個別電極２５と共通電極用表面電極２８は同一工程で形成される。
【００７２】
このような圧電アクチュエータ基板２１を焼成する際に生じるおそれのある、焼成収縮によるビアホールの位置ばらつきは、主に圧電アクチュエータ基板２１の長手方向に生じるので、共通電極用表面電極２８が偶数個あるマニホールド５の中央、別の言い方をすれば、圧電アクチュエータ基板２１の短手方向の中央に設けられており、共通電極用表面電極２８が圧電アクチュエータ基板２１の長手方向に長い形状をしていることにより、ビアホールと共通電極用表面電極２８とが位置ずれにより電気的に接続されなくなることを抑制できる。
【００７３】
圧電アクチュエータ基板２１には、２枚の信号伝達部９２が、圧電アクチュエータ基板２１の２つの長辺側から、それぞれ中央に向かうように配置され、接合される。その際、圧電アクチュエータ基板２１ａの引出電極２５ｂおよび共通電極用表面電極２８の上に、それぞれ、接続電極２６および共通電極用接続電極を形成して接続することで、接続が容易になる。また、その際、共通電極用表面電極２８および共通電極用接続電極の面積を接続電極２６の面積よりも大きくすれば、信号伝達部９２の端部（先端および圧電アクチュエータ基板２１の長手方向の端）にける接続が、共通電極用表面電極２８上の接続により強くできるので、信号伝達部９２が端からはがれ難くできる。
【００７４】
また、吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置されたマニホールド５と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔８は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子３０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出できる。
【００７５】
ヘッド本体２ａに含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート４ａ、ベースプレート４ｂ、アパーチャ（しぼり）プレート４ｃ、サプライプレート４ｄ、マニホールドプレート４ｅ〜ｊ、カバープレート４ｋおよびノズルプレート４ｌである。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは１０〜３００μｍ程度であることにより、形成する孔の形成精度を高くできる。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路１２およびマニホールド５を構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体２ａは、加圧室１０は流路部材４の上面に、マニホールド５は内部の下面側に、吐出孔８は下面にと、個別流路１２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、加圧室１０を介してマニホールド５と吐出孔８とが繋がる構成を有している。
【００７６】
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート４ａに形成された加圧室１０である。第２に、加圧室１０の一端からマニホールド５へと繋がる個別供給流路１４を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート４ｂ（詳細には加圧室１０の入り口）からサプライプレート４ｃ（詳細にはマニホールド５の出口）までの各プレートに形成されている。なお、この個別供給流路１４には、アパーチャプレート４ｃに形成されている、流路の断面積が小さくなっている部位であるしぼり６が含まれている。
【００７７】
第３に、加圧室１０の他端から吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称される。ディセンダは、ベースプレート４ｂ（詳細には加圧室１０の出口）からノズルプレート４ｌ（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。ノズルプレート４ｌの孔は、吐出孔８として、流路部材４の外部に開口している径が、例えば１０〜４０μｍのもので、内部に向かって径が大きくなっていくものが開けられている。第４に、マニホールド５を構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート４ｅ〜ｊに形成されている。マニホールドプレート４ｅ〜ｊには、副マニホールド５ｂを構成するように隔壁１５となる仕切り部が残るように孔が形成されている。
【００７８】
第１〜４の連通孔が相互に繋がり、マニホールド５からの液体の流入口（マニホールド５の出口）から吐出孔８に至る個別流路１２を構成している。マニホールド５に供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、マニホールド５から上方向に向かって、個別供給流路１４に入り、しぼり６の一端部に至る。次に、しぼり６の延在方向に沿って水平に進み、しぼり６の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔８へと進む。
【００７９】
圧電アクチュエータ基板２１は、圧電体である２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板２１の圧電セラミック層２１ａの下面から圧電セラミック層２１ｂの上面までの厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、例えば、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。
【００８０】
圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極２４およびとＡｕ系などの金属材料からなる個別電極２５を有している。個別電極２５は上述のように圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する位置に配置され
ている個別電極本体２５ａと、そこから引き出された引出電極２５ｂとを含んでいる。引出電極２５ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極２６が形成されている。接続電極２６は例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極２６は、信号伝達部９２に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極２５には、制御部１００から信号伝達部９２を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
【００８１】
共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極２４は、圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域内の全ての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極２４の厚さは２μｍ程度である。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂ上に個別電極２５からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極２８に、圧電セラミック層２１ｂに形成されたビアホールを介して繋がっていて、接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極２８は、多数の個別電極２５と同様に、信号伝達部９２上の別の電極と接続されている。
【００８２】
なお、後述のように、個別電極２５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極２５に対応する加圧室１０の体積が変わり、加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路１２を通じて、対応する液体吐出口８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ基板２１における各加圧室１０に対向する部分は、各加圧室１０および液体吐出口８に対応する個別の変位素子３０に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層体中には、図５に示されているような構造を単位構造とする圧電アクチュエータである変位素子３０が加圧室１０毎に、加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極２４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極２５により作り込まれており、圧電アクチュエータ基板２１には加圧部である変位素子３０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって液体吐出口８から吐出される液体の量は１．５〜４．５ｐｌ（ピコリットル）程度である。
【００８３】
多数の個別電極２５は、個別に電位を制御することができるように、それぞれが信号伝達部９２および配線を介して、個別に制御部１００に電気的に接続されている。個別電極２５を共通電極２４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ｂに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部１００により個別電極２５を共通電極２４に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層２１ｂの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ａは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ｂと圧電セラミック層２１ａとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
【００８４】
本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極２５を共通電極２４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極２５を共通電極２４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極２５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが元の形状に戻り、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホールド５側から加圧室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極２５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが加圧室１０側へ凸となるように変形し、加圧室１０の容積減少により加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出
される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極２５に供給することになる。このパルス幅は、圧力波がしぼり６から吐出孔８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。これによると、加圧
室１０内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。
【００８５】
また、階調印刷においては、吐出孔８から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量（体積）で階調表現が行われる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する吐出孔８から連続して行なう。一般に、液体吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をＡＬとすることが好ましい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。なお、この場合後から吐出される液滴の速度が速くなると考えられるが、その方が複数の液滴の着弾点が近くなり、好ましい。
【００８６】
なお、本実施形態では、加圧部として圧電変形を用いた変位素子３０を示したが、これに限られるものでなく、加圧室１０の体積を変化させることができるもの、すなわち、加圧室１０中の液体を加圧できるものなら他のものでよく、例えば、加圧室１０中の液体を加熱して沸騰させて圧力を生じさせるものや、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）を用いたものでもよい。
【００８７】
液体吐出ヘッド２は、例えば、以下のようにして作製する。ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとなる複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、その表面に共通電極２４となる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を充填する。
【００８８】
ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、その後有機金ペーストを用いて焼成体表面に個別電極２５を印刷して、焼成した後、Ａｇペーストを用いて接続電極２６を印刷し、焼成することにより、圧電アクチュエータ基板２１を作製する。
【００８９】
次に、流路部材４を、圧延法等により得られプレート４ａ〜ｌを、接着層を介して積層して作製する。プレート４ａ〜ｌに、マニホールド５、個別供給流路１４、加圧室１０およびディセンダなどとなる孔を、エッチングにより所定の形状に加工する。
【００９０】
これらプレート４ａ〜ｌは、Ｆｅ―Ｃｒ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系の群から選ばれる少なくとも１種の金属によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Ｆｅ−Ｃｒ系がより好ましい。
【００９１】
圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータ基板２１や流路部材４への影響をおよぼさないために、熱硬化温度が１００〜１５０℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とを加熱接合することができる。接合した後、共通電極２４と個別電極２５との間に電圧を加え、圧
電セラミック層２１ｂを厚み方向に分極する。
【００９２】
次に圧電アクチュエータ基板２１と制御回路１００とを電気的に接続するために、接続電極２６に銀ペーストを供給し、あらかじめドライバＩＣを実装した信号伝達部９２であるＦＰＣを載置し、熱を加えて銀ペーストを硬化させて電気的に接続させる。なお、ドライバＩＣの実装は、ＦＰＣに半田で電気的にフリップチップ接続した後、半田周囲に保護樹脂を供給して硬化させた。
【００９３】
リザーバ４０は、リザーバ４０を構成する金属にさまざまな孔あるいは凹部を形成したプレート４０ａ、ｃ〜ｇおよびダンパプレート４０ｂを積層接着し。リザーバ４０を作製した。プレート４０ａ、ｃ〜ｇの材質や、孔の作製、積層方法は、流路部材４と同様である。流路部材４の開口５ａから液体を供給できるようにリザーバ４０を接着し、接合部を封止剤で封止することで液体吐出ヘッド２を作製することができる。
【符号の説明】
【００９４】
１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・流路部材
４ａ〜ｌ・・・（流路部材の）プレート
４−１・・・吐出孔面
４−２・・・加圧室面
５・・・マニホールド
５ａ・・・（マニホールドの）開口（供給孔）
５ｂ・・・副マニホールド
２０５ｂ−１・・・副マニホールドとなる孔
６・・・しぼり
８・・・吐出孔
９・・・吐出孔列
１０・・・加圧室
１１・・・加圧室列
１２・・・個別流路
１４・・・個別供給流路
１５・・・隔壁
１６・・・ダミー加圧室
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２４・・・共通電極
２５・・・個別電極
２５ａ・・・個別電極本体
２５ｂ・・・引出電極
２６・・・接続電極
２８・・・共通電極用表面電極
３０・・・変位素子（加圧部）
４０・・・リザーバ
４０ａ、ｃ〜ｇ・・・（リザーバの）プレート
４０ｂ・・・ダンパプレート
４２・・・第１のリザーバ流路
４２ａ・・・第１部位
４２ａａ・・・第１部位の底部
４２ｂ・・・第２部位
４２ｂａ・・・第２部位の底部
４２ｃ・・・（第１部位と第２部位との）境界部
４３・・・（第１のリザーバ流路の）結合流路
４３ａ・・・（第１のリザーバ流路の結合流路の）供給孔
４４・・・第２のリザーバ流路
４４ａ・・・中継孔（第２のリザーバの供給孔）
４４ｂ・・・第２のリザーバ流路本体
４４ｃ・・・第２のリザーバの流出孔
４６・・・ダンパ
４８・・・フィルタ
５０・・・位置測定孔
５４・・・加圧部収容部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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