(57)【要約】      （修正有）【課題】反射部の振れ角が小さい場合においても、反射光の出射光に対する傾斜角の大きな圧電部品を提供する。【解決手段】圧電部品Ｘ１は、圧電素子２が設けられた支持４と、光を反射させるための反射部８と、支持部４と反射部８とを連結するための連結部６とを備え、反射部８は、連結部６を揺動軸として、一端部８ａと他端部８ｂとが揺動するように、中央部が連結部６に連結されており、側面視して、一端部８ａと他端部８ｂとが支持部４から離れる方向に傾斜している。【選択図】図１
2014186238.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子が設けられた支持部と、
光を反射させるための反射部と、
前記支持部と前記反射部とを連結するための連結部と、を備え、
前記反射部は、前記連結部を揺動軸として、一端部と他端部とが揺動するように、中央部が前記連結部に連結されており、
側面視して、前記一端部と前記他端部とが前記支持部から離れる方向に傾斜していることを特徴とする圧電部品。
【請求項２】
前記反射部は、側面視して、曲面により形成されている、請求項１に記載の圧電部品。
【請求項３】
前記反射部は、側面視して、円弧状をなしている、請求項２に記載の圧電部品。
【請求項４】
前記連結部は、前記反射部の揺動軸となる軸部と、該軸部と前記反射部とを接続するための接続部とを有しており、
平面視して、該接続部は、前記反射部の前記一端部から前記他端部にわたって設けられている、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電部品。
【請求項５】
前記連結部は、前記連結部の揺動軸となる軸部と、該軸部に接続され、前記支持部から離れる方向に延びる延伸部と、を備え、
該延伸部上に前記反射部が配置されている、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電部品。
【請求項６】
前記連結部は、前記延伸部と前記反射部とを接続するための接続部をさらに備え、
平面視して、該接続部は、前記反射部の前記一端部から前記他端部にわたって設けられている、請求項５に記載の圧電部品。
【請求項７】
光源と、
該光源から出射される光を前記反射部にて反射する請求項１乃至６のいずれか１項に記載の圧電部品と、
該圧電部品を制御する制御部と、を備えることを特徴とする光源装置。
【請求項８】
前記光源から出射される光を、前記反射部の中央部以外の部位にて反射する、請求項７に記載の光源装置。
【請求項９】
請求項７または８に記載の光源装置と、
感光体と、
前記光源から出射された光にて前記感光体を走査する光学系と、
前記静電潜像を記録媒体に転写する転写部と、を備え、
前記制御部が前記感光体に静電潜像を形成するよう制御することを特徴とする印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電部品、光源装置および印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、レーザープリンタ、あるいは投影型表示装置において、画像信号により変調されたレーザー光を反射部により反射して投影像を形成するための圧電部品が知られている。
【０００３】
圧電部品は、圧電素子が設けられた支持部と、光を反射する反射部と、支持部と反射部とを連結するための連結部と、を備えたものが知られている。上記の圧電部品は、反射部が、連結部を揺動軸として、一端部と他端部とが揺動するように、中央部が連結部に連結されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−８３６０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載された圧電部品は、反射部の振れ角が小さいという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態に係る圧電部品は、圧電素子が設けられた支持部と、光を反射させるための反射部と、前記支持部と前記反射部とを連結するための連結部とを備えている。また、前記反射部は、前記連結部を揺動軸として、一端部と他端部とが揺動するように、中央部が前記連結部に連結されている。また、側面視して、前記一端部と前記他端部とが前記支持部から離れる方向に傾斜している。
【０００７】
また、本発明の一実施形態に係る光源装置は、光源と、該光源から出射される光を前記反射部にて反射する上記に記載の圧電部品と、該圧電部品を制御する制御部とを備える。
【０００８】
また、本発明の一実施形態に係る印刷装置は、上記に記載の光源装置と、感光体と、前記光源から出射された光にて前記感光体を走査する光学系と、前記静電潜像を記録媒体に転写する転写部と、を備え、前記制御部が前記感光体に静電潜像を形成するよう制御する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、反射部の振れ角が小さい場合においても、反射光の出射光に対する反射角を大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】（ａ）は本発明の一実施形態に係る圧電部品の斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）の平面図である。
【図２】図１に示す圧電部品の光の反射の様子を示す概略図である。
【図３】図１に示す圧電部品の反射部の変形例を示す概略図である。
【図４】図１の圧電部品を備えた印刷装置の概略図である。
【図５】（ａ）は本発明の他の実施形態に係る圧電部品の斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）の平面図である。
【図６】図４に示す圧電部品の光の反射の様子を示す概略図である。
【図７】さらに他の実施形態に係る圧電部品の分解斜視図である。
【図８】図６の圧電部品を構成する各部材の平面図である。
【図９】図７に示すＩ−Ｉ線断面図である。
【図１０】図７に示す圧電部品の光の反射の様子を示す概略図である。
【図１１】（ａ）は本発明のさらに他の実施形態に係る圧電部品の連結部と、反射部と、錘部とを拡大して示す拡大斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）の変形例を示す拡大斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜第１の実施形態＞
図１〜３を用いて第１の実施形態に係る圧電部品Ｘ１について説明する。
【００１２】
圧電部品Ｘ１は、圧電素子２が設けられた一対の支持部４と、光を反射するための反射部８と、支持部４と反射部８とを連結する一対の連結部６と、支持部４を固定する枠部１０とを備えている。なお、第１の実施形態では圧電部品Ｘ１は、枠部１０を備えているが、必ずしも枠部１０を設けなくともよい。
【００１３】
圧電素子２は、平板状の圧電セラミックスなどの圧電体（不図示）の一方の主面の略全面に電極（不図示）が形成されている。圧電体の他方の主面は、導電性接着剤１３（図９参照）を介して支持部４に電気的に接続されている。導電性接着剤１３としては、樹脂等の接着剤の内部に導電性粒子が混在したものを利用することができる。
【００１４】
圧電体としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を用いることができる。電極としては、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｃｕなどの金属あるいは合金を使用することができる。電気抵抗率が小さい点から、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕなど金属あるいは合金を用いることが好ましい。なお、間に電極を挟んだ圧電体を複数積層してもよい。
【００１５】
圧電素子２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは、一方の主面に設けられた電極がそれぞれ独立して外部に設けられた電源と、ワイヤボンディング等により電気的に接続されている。また、他方の主面に接続された支持部４ａ，４ｂはグランド電位に保持されている。そして、圧電素子２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに設けられた電極に、電圧をそれぞれ独立した状態で印加することにより、圧電素子２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの圧電体をそれぞれ独立して駆動することができる。
【００１６】
なお、圧電素子２は、一方の主面および他方の主面に電極を設けてもよい。この場合、一方の主面に設けられた電極をそれぞれ独立した状態で外部に設けられた電源と接続し、他方の主面に設けられた電極をグランド電位に保持すればよく、その逆でもよい。また、その場合は、支持部４と圧電素子２とを絶縁性の接着剤により接続すればよい。
【００１７】
支持部４は、反射部８を挟持するように一対設けられており、一方の支持部４ａと他方の支持部４ｂとが、反射部８を中心に対称に設けられている。また、支持部４上には圧電素子２が設けられている。一方の支持部４ａ上には圧電素子２ａ，２ｂが、連結部６を中心に対称に設けられている。他方の支持部４ｂ上には圧電素子２ｃ，２ｄが、連結部６を中心に対称に設けられている。
【００１８】
平面視して、支持部４は、第１方向Ｒ１に直交する第２方向Ｒ２に延びるように設けら
れている。一方の支持部４ａと他方の支持部４ｂとは、第２方向Ｒ２における中央部にて、連結部６と連結されている。支持部４は、一端部および他端部が枠部材１０に接続されており、支持部４上に設けられた圧電素子２を駆動させることにより、支持部４に湾曲を生じさせることができる。
【００１９】
連結部６は、第１方向Ｒ１に長く設けられており、反射部８が揺動する際に、揺動軸Ｓ（図２参照）として機能している。連結部６は、第１方向Ｒ１において、反射部８を両側から挟持するように配置されている。一方の連結部６ａは、一端部が支持部４ａの第２方向Ｒ２における中央部に連結され、他端部が反射部８の第２方向Ｒ２における中央部に連結されている。また、他方の連結部６ｂは、一端部が支持部４ｂの第２方向Ｒ２における中央部に連結され、他端部が反射部８の第２方向Ｒ２における中央部に連結されている。
【００２０】
反射部８は、外部に設けられた光源（不図示）から出射された光を他の方向に反射する機能を有している。反射部８は、第２方向Ｒ２に長く形成されており、第２方向Ｒ２における中央部に連結部６が連結されており、支持部４に固定されている。そのため、反射部８は、中央部を中心に、一端部８ａおよび他端部８ｂが揺動することとなる。
【００２１】
反射部８は、光を反射するために一方の主面に鏡面加工が設けられていることが好ましい。また、光の反射損失を低減するために、一方の主面の表面に、ＡｌあるいはＡｇの薄膜を設けることが好ましい。
【００２２】
枠部１０は、支持部４、連結部６、反射部８を取り囲むように配置されており、支持部４を接続固定することにより、連結部６および反射部８を固定して保持する機能を有している。支持部４ａ，４ｂの一端部および他端部は、枠部１０に接続されている。そのため、支持部４ａ，４ｂは、一端部および他端部が固定端として機能することとなる。なお、枠部１０は、平面視して、ロの字状の形状をなしている例を示したが、例えば、支持部４ａ，４ｂの一端部同士、および支持部４ａ，４ｂの他端部同士を独立して接続した構成としてもよい。
【００２３】
支持部４、連結部６、反射部８、および枠部１０は、ステンレスの薄板、あるいはＡｌ、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｃｕなどの金属または合金の薄板により一体的に形成することができる。なお、変形が生じる支持部４、および捩じれが生じる連結部６の厚みとしては、５０〜１２０μｍであることが好ましい。支持部４および連結部６の厚みが５０〜１２０μｍであると、反射部８の振れ角を大きくすることができるとともに、支持部４および連結部６の強度を保持することができる。
【００２４】
また、支持部４、連結部６、反射部８、および枠部１０をシリコンなどの半導体材料、あるいは合成樹脂等により形成してもよい。合成樹脂等の絶縁性の材料により支持部４を形成する場合、圧電体の一方の主面および他方の主面に電極を形成して、圧電体から電極を引き出しやすくすることが好ましい。なお、支持部４、連結部６、反射部８、および枠部１０をそれぞれ別部材により作製した後、接着剤により連結してもよい。
【００２５】
以下、圧電部品Ｘ１の駆動について説明する。
【００２６】
圧電部品Ｘ１は、圧電素子２ａ，２ｃに外部から交流電圧が印加され、圧電素子２ｂ，２ｄに外部から上記の交流電圧とは逆位相の交流電圧が印加されると、圧電素子２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは、外部からの交流電圧により圧電振動して、支持部４ａ，４ｂが上方あるいは下方に撓むこととなり、支持部４ａ，４ｂに変形が生じる。
【００２７】
支持部４ａ，４ｂが撓み変形を生じることにより、連結部６ａ，６ｂには回転トルクが
与えられることとなり、連結部６ａ，６ｂに捩じれ変位が生じることとなる。連結部６ａ，６ｂに生じた捩じれ変位は、連結部６ａ，６ｂの内部で積み重なり、連結部６ａ，６ｂに接続された反射部８に回転モーメントとして伝わり、反射部８が、連結部６ａ，６ｂを揺動軸Ｓとして、一端部８ａおよび他端部８ｂが揺動振動することとなる。これにより、反射部８が所定の振れ角をなして揺動振動することとなる。
【００２８】
なお、振れ角とは、反射部８が揺動振動した際に、最も上方に大きく振れた際の反射部８の一端部８ａと、連結部６a，６ｂと、最も下方に大きく振れた際の反射部８の一端部
８ａとのなす角を示す。
【００２９】
圧電部品Ｘ１の反射部８について、図１，２を用いて詳細に説明する。
【００３０】
反射部８は、連結部６と中央部にて接続されており、一端部８ａおよび他端部８ｂが、自由端として形成されている。そのため、図２に示すように、反射部８の中央部が揺動軸Ｓとして機能している。一端部８ａおよび他端部８ｂは、支持部４から離れる方向に傾斜しており、一端部８ａおよび他端部８ｂの傾斜量は等しく形成されている。そのため、反射部８は、静止時において、揺動軸Ｓを通り、支持部４の厚み方向Ｒ３の延びる直線に対して、線対称な形状をなしている。
【００３１】
反射部８は、側面視すると、曲面により形成されている。また、一端部８ａおよび他端部８ｂが支持部４から離れる方向に傾斜している。一端部８ａは、中央部から離れるに従って、傾斜角が大きくなる構成を有しており、他端部８ｂは、中央部から離れるに従って、傾斜角が大きくなる構成を有している。このような反射部８は、凹面鏡を用いて形成することができる。なお、側面視とは、第１方向Ｒ１から見ることである。
【００３２】
図２（ａ）は、光源から出射された出射光Ｌ１が反射部８により反射される様子を示している。出射光Ｌ１は、光源から反射部８の中央部よりも一端部８ａ側に向けて出射されている。反射部８は、反射光Ｌ２を照射面の所定の位置に反射させるためにＴ方向に揺動しており、反射部８により反射された反射光Ｌ２が、照射面に照射されている。そして、反射光Ｌ２は照射面に一定間隔をあけて照射するように光源から出射光Ｌ１が出射されている。
【００３３】
反射部８は、Ｔ方向に揺動しており、一端部８ａおよび他端部８ｂが傾斜しているため、出射光Ｌ１は、反射部８の揺動による振れ角θ１（以下、振れ角θ１と称する場合がある）と、一端部８ａおよび他端部８ｂの傾斜角θ２（以下、傾斜角θ２と称する場合がある）との分だけ出射光Ｌ１に対して傾斜した反射角θ（以下、反射角θと称する場合がある）で反射されることとなる。そのため、反射部８は、出射光Ｌ１を反射角θにて反射光Ｌ２を出射することとなる。それにより、圧電部品Ｘ１は、反射部８の振れ角θ１が小さい場合においても、反射部８による反射角θを大きくすることができ、照射面の所望の位置に反射光Ｌ２を照射することができる。また、反射部８は、側面視して、曲面により形成されていることから、照射面に対して一定の離間距離で照射しやすい構成とすることができる。
【００３４】
また、反射部８は、図２（ｂ）に示すように、曲面により構成されており、かつ中央部から一端部８ａに向かうにつれて、傾斜角θ２が大きくなる構成を有している。出射光Ｌ１は、位置Ａにて反射された場合、傾斜角θ２Ａにて反射され、位置Ｂにて反射された場合、傾斜角θ２Ｂにて反射される。そのため、位置Ａにて反射されるよりも位置Ｂにて反射されるほうが、傾斜角θ２が大きくなることとなる。
【００３５】
ここで、反射部８に出射された出射光Ｌ１は、反射部８が揺動していない場合、位置Ａ
にて反射され反射光Ｌ３として出射されることとなる。しかしながら、反射部８は、揺動軸Ｓを中心としてＴ方向に揺動しており、位置Ａに向けて出射光Ｌ１を出射した場合に、位置Ａよりも一端部８ａ側の位置Ｂにて反射されることとなる。
【００３６】
これにより、圧電部品Ｘ１は、反射部８が曲面により構成されており、かつ中央部から一端部８ａに向かうにつれて、傾斜角θ２が大きくなる構成を有しているため、反射角θをさらに大きくすることができ、照射面の所望の位置に反射光Ｌ２を照射することができる。
【００３７】
圧電部品Ｘ１は、照射面に対して一定間隔を空けて反射光Ｌ２を出射するため、出射光Ｌ１は、振れ角θ１と傾斜角θ２との和である反射角θに従って、光源から出射するタイミングが決定される。
【００３８】
圧電部品Ｘ１の反射部８は、下に凸形状の曲面により形成されており、中央部から一端部８ａおよび他端部８ｂに向かうにつれて徐々に傾斜角θ２が大きくなる構成のため、振れ角θ１が大きくなるにつれて、出射光Ｌ１は、反射部８の中央部から一端部８ａ側および他端部８ｂ側にて反射されることとなる。
【００３９】
それにより、圧電部品Ｘ１の反射部８は、一定のタイミングで揺動しており、下に凸形状の曲面により形成され、中央部から一端部８ａおよび他端部８ｂに向かうにつれて徐々に傾斜角θ２が大きくなる構成となる。そのため、反射部８の一端部８ａおよび他端部８ｂにおける出射光Ｌ１の出射のタイミングは、反射部８の中央部における出射光Ｌ１の出射のタイミングよりも遅くすることにより、一定の間隔で反射光Ｌ２を出射面に出射することができる。
【００４０】
上述した圧電部品Ｘ１は、例えば、以下のようにして作製することができる。
【００４１】
まず、５０〜１２０μｍのステンレス板の上の全面にわたってフォトレジストを形成し、フォトリソグラフィ技術により、支持部４、連結部６、反射部８、および枠部１０が形成される領域上にフォトレジストが残るようにパターニングを行う。
【００４２】
次に、パターニングされた領域を酸によりエッチング処理を施して、支持部４、連結部６、反射部８、および枠部１０を作製する。なお、エッチングは、ウェットエッチングでもドライエッチングでもよい。
【００４３】
そして、平面状の反射部８に曲げ加工を行うことにより、反射部８を形成することができる。具体的には、反射部８の主面を鏡面加工する際に、反射部８を湾曲させることにより作製することができる。なお、鏡面加工とは別に曲げ加工のみ行ってもよい。
【００４４】
図３を用いて反射部８の変形例について説明する。
【００４５】
図３に示すように反射部８は、側面視して、円弧状をなしていることが好ましい。反射部８が、側面視して、円弧状をなしていることにより、反射部８を作製する際に、所定の径の鏡面加工用の研磨部材を用いることにより、反射部８の曲率を容易に設定することができる。
【００４６】
なお、圧電部品Ｘ１では、支持部４ａ，４ｂ上にそれぞれ圧電素子２を２つずつ上面に設けた例を示したが、これに限定されるものではない。圧電素子２を１つのみ設けてもよく、３つ以上設けてもよい。
【００４７】
図４を用いて圧電部品Ｘ１を用いた印刷装置Ｚ１について説明する。印刷装置Ｚ１は、光源２２と、感光体２８と、圧電部品Ｘ１と、光源２２から出射された光にて感光体２８を走査する凹面鏡２６と、感光体２８に静電潜像を形成するように、圧電部品Ｘ１を制御する制御部３０と、静電潜像を記録媒体３４に転写する転写部（不図示）と、を備えている。
【００４８】
印刷装置Ｚ１は、画像を形成するための変調信号を入力した光源２２からレーザービームを圧電部品Ｘ１に照射する。圧電部品Ｘ１の反射部（不図示）に入射した光は、反射部により反射され走査される。この際、制御部３０は、反射部により反射される光の走査方向を所定の方向にするように、反射部を制御する。走査されたレーザービームは、凹面鏡２６により反射されて感光体２８に出射され、照射された感光体２８の部位の電圧を変化させる。
【００４９】
電圧の変化に起因して、トナーが静電気力により付着し、静電潜像が形成される。感光体２８に形成された静電潜像は、感光体２８とは逆の電圧が掛けられた転写部により記録媒体３４に複写されている。このようにして、印刷装置Ｚ１は、記録媒体３４に印刷を行っている。
【００５０】
印刷装置Ｚ１において、光源２２と、光源２２から出射される光を反射部８にて反射する圧電部品Ｘ１と、圧電部品Ｘ１を制御する制御部３０とは光源装置として機能している。なお、光源装置として、レーザープリンタに用いられるものについて説明したが、光源装置は、反射部８にて反射された光の走査方向が、所定の方向に反射するように制御するものであればよく、例えば、バーコード読取装置に用いられてもよい。また、光源装置は、プロジェクターなどの投影型表示装置に用いられてもよく、網膜に光を走査する網膜走査型表示装置に用いられてもよい。
【００５１】
また、光源装置は、反射部８の中央部が揺動軸Ｓ上にある場合は、光源２２から反射部８の中央部以外に光を出射することが好ましい。それにより、反射部８の中央部以外の領域にて出射光を反射することができ、反射部８の傾斜角θ２をより大きくすることができる。そのため、反射角θをさらに大きくすることができる。
【００５２】
＜第２の実施形態＞
図５，６を用いて、圧電部品Ｘ２について説明する。なお、圧電部品Ｘ１と同一の部材については、同一の番号を付するものとし、説明は省略する。なお、図６においては、反射部８を簡略化して示しているが、反射部８は所定の厚みを有している。
【００５３】
圧電部品Ｘ２は、連結部６が、反射部８の揺動軸Ｓとなる軸部６ｄ（図５（ｂ）参照）と、軸部６ｄに接続され、反射部８に接続される接続部６ｃとを備えている。接続部６ｃは、平面視して、反射部８の一端部８ａから他端部８ｂにわたって設けられている。接続部６ｃは、軸部６ｄの第１方向Ｒ１の両端に配置されており、軸部６ｄと一体的に設けられている。そのため、接続部６ｃおよび軸部６ｄは、平面視して、反射部８と略同形状をなしており、反射部８の厚みと略等しい。
【００５４】
反射部８は、支持部４、連結部６、および枠部１０とは別体に作られており、連結部６の接続部６ｃに接続されている。反射部８と接続部６ｃとは、例えば、後述する接着剤により接続することができる。そして、反射部８と接続部６ｃとが接続されることにより、反射部８は、連結部６の軸部６ｄを揺動軸Ｓとして、揺動振動することとなる。
【００５５】
圧電部品Ｘ２は、反射部８が連結部６の接続部６ｃに接続されており、接続部６ｃが、平面視して、反射部８の一端部８ａから他端部８ｂにわたって設けられている。そのため
、反射部８が揺動振動する際に、反射部８に揺動の慣性力が働いた場合においても、接続部６ｃが反射部８を支えることにより、反射部８に変形が生じる可能性を低減することができる。それにより、正確に反射光Ｌ２を照射面に出射することができる。
【００５６】
また、図６に示すように、連結部６の接続部６ｃおよび軸部６ｄの上に、反射部８が配置されることとなり、反射部８の反射面が揺動軸Ｓよりも光源に近づくこととなる。そのため、連結部６の接続部６ｃ、軸部６ｄ、および反射部８の反射面までの厚み分、つまり揺動軸Ｓから反射部８の反射面までの距離分、反射部８の出射光Ｌ１が照射される位置が、一端部８ａ側および他端部８ｂ側に移動することとなる。そのため、反射部８の出射光が照射される領域を広くすることができ、傾斜角θ２を大きくすることができる。それにより、反射角θを大きくすることができる。
【００５７】
つまり、圧電部品Ｘ２の接続部６ｃから反射部８の反射面までの距離をＤとして、振れ角をθ１とすると、圧電部品Ｘ２は、圧電部品Ｘ１に比べて、出射光Ｌ１が出射される位置が、第２方向Ｄ２において、Ｄ・Ｓｉｎθ１だけ一端部８ａ側に移動することとなる。そのため、反射部８の出射光Ｌ１が出射される領域を広くすることができる。
【００５８】
また、連結部６と反射部８とを別体で作製した後に、連結部６と反射部８とを接合することにより、反射部８の曲げ加工を行う際に、連結部６が破損する可能性を低減することができる。
【００５９】
なお、接続部６ｃが、平面視して、反射部８の一端部８ａから他端部８ｂにわたって設けられている例を示したが、接続部６ｃが反射部８と軸部６との間の一部にのみ設けられていてもよい。また、接続部６ｃおよび軸部６ｄが、平面視して、反射部８と略同形状であり、かつ反射部８と同程度の厚みを有する例を示したが、平面視して、反射部８と略同形状でなくともよい。また、接続部６ｃおよび軸部６ｄの厚みは、反射部８よりも厚くてもよく、薄くてもよい。
【００６０】
＜第３の実施形態＞
図７〜１０を用いて、圧電部品Ｘ３について説明する。圧電部品Ｘ３は、支持部４、反射部８、連結部６および枠部１０が、ステンレスにより一体的に形成された第１部材１２と、第１部材１２を保持しており、ステンレスにより形成された一対の第２部材１４を備えている。
【００６１】
第２部材１４は、第１部材１２の上面と下面に配置されており、第１部材１２と接着剤１１を介して接続されている。第１部材１２の上面に配置された第２部材１４ａは、平面視して、ロの字形状をなしており、枠部１６ａを有している。同様に、第１部材１２の下面に配置された第２部材１４ｂは、平面視して、ロの字形状をなしており、枠部１６ｂを有している。
【００６２】
接着剤１１は、第１部材１２と第２部材１４とを固定するために設けられており、エポキシ系の樹脂を用いることができる。接着剤１１は、必ずしも導電性を有する必要はないが、接着剤１１として、圧電素子２を接着する導電性接着剤１３を用いてもよい。この場合、第１部材１２と第２部材１４とを電気的に接続することができ、圧電体（不図示）を第１部材１２または第２部材１４のどちらからでも、グランド電位に接続することができる。
【００６３】
圧電部品Ｘ３は、第１部材１２に第２部材１４が接続されている。そのため、圧電部品Ｘ３の強度を向上させることができ、圧電部品Ｘ３のハンドリング性を向上させることができる。また、支持部４の固定を強固なものとすることができ、支持部４の撓みを大きく
することができる。
【００６４】
圧電部品Ｘ３は、連結部６が、揺動軸Ｓとなる軸部６ｄと、軸部６ｄに接続され、支持部４から離れる方向に延びる延伸部６ｅと、延伸部６ｅと反射部８とを接するための接続部６ｃとを備えている。
【００６５】
延伸部６ｅは、軸部６ｄ上から支持部４から離れる方向に延びており、一端部が軸部６ｄに接続され、他端部が接続部６ｃに接続されている。延伸部６ｅは、反射部８と略同じ幅、および略同じ厚みを有している。延伸部６ｅは、圧電部品Ｘ２の接続部６ｃ（図５（ａ）参照）を９０°回転させることにより作製することができる。
【００６６】
延伸部６ｅと接続部６ｃとは、接着剤１１により接合されている。そのため、連結部６は、一方の連結部６ａ、他方の連結部６ｂ、軸部６ｄ、および延伸部６ｅが、一体的に設けられており、接続部６ｃは、別体で設けられている。そのため、接続部６ｃを反射部８と接続した後に、延伸部６ｅと接続することにより、反射部８を精度よく、連結部６に連結することができる。
【００６７】
また、図１０に示すように、延伸部６ｅは、支持部４から離れる方向に延びるように設けられている。そのため、延伸部６ｅに加えて反射部８の長さ分、反射部８の反射面を、揺動軸Ｓから遠ざけることができ、出射光Ｌ１が出射する反射部８の反射面の領域を広くすることができる。それにより、傾斜角θ２を調整しやすくなり、照射面に均一に反射光を供給することができる。
【００６８】
つまり、圧電部品Ｘ３の揺動軸Ｓから反射部８の反射面までの長さをＷとして、振れ角をθ１とすると、圧電部品Ｘ３は、圧電部品Ｘ２に比べて、出射光Ｌ１が出射される位置が、第２方向において、Ｗ・Ｓｉｎθ１だけ一端部８ａ側に移動することとなる。そのため、反射部８の出射光Ｌ１が出射される領域を広くすることができる。
【００６９】
特に、圧電部品Ｘ３のように、反射部８が、側面視して、曲面により形成されており、反射部８が一端部８ａおよび他端部８ｂに向かうにつれて傾斜角θ２が大きくなるように構成されている場合、出射光Ｌ１が出射する反射部８の反射面の領域が、一端部８ａ側および他端部８ｂ側に広がることにより、反射角θを大きくすることができる。
【００７０】
なお、第２部材１４を第１部材１２の上下に設けた例を示したが、第１部材１２の上方のみに設けてもよく、下方にのみ設けてもよい。
【００７１】
また、接続部６ｃを設けた例を示したが、延伸部６ｅに直接反射部８を接着剤により接続してもよい。
【００７２】
また、延伸部６ｅが、反射部８と略同じ幅、および略同じ厚みを有している例を示したが、反射部８と同じ幅、および同じ厚みを有していなくともよい。
【００７３】
図１１を用いて圧電部品Ｘ３の変形例について説明する。図１１（ａ）に示す圧電部品Ｘ４は、連結部６の形状が異なっており、その他の構成は圧電部品Ｘ３と同じである。
【００７４】
圧電部品Ｘ４は、連結部６と、反射部８と、反射部８の反対側に配置され、連結部６に接続された錘部９を有している。錘部９は、出射光Ｌ１を反射せず、錘として機能している。
【００７５】
連結部６は、一方の連結部６ａと、他方の連結部６ｂと、接続部６ｃと、軸部６ｄと、
延伸部６ｅとを備えている。軸部６ｄの上方には、延伸部６ｅと、延伸部６ｅに接続された接続部６ｃとが設けられており、接続部６ｃ上に反射部８が接続されている。また、軸部６ｄの下方には、支持部４から離れる方向に延びる延伸部６ｅと、延伸部６ｅに接続された接続部６ｃとが設けられており、接続部６ｃに錘部９が接続されている。接続部６ｃと錘部９とは、上述した接着剤１１（図９参照）により接続されている。
【００７６】
圧電部品Ｘ４は、反射部８と錘部９との重量が略等しく、連結部６が、揺動軸Ｓとなる軸部６ｄに対して点対称に形成されており、反射部８と同形状の錘部９を有している。そのため、圧電部品Ｘ４の揺動を安定させることができる。また、連結部６と、反射部８と、錘部９とが、軸部６ｄに対して点対称に形成されることから、圧電部品Ｘ４の揺動をさらに安定させることができる。
【００７７】
なお、図１１（ｂ）に示すように、連結部６は、接続部６ｃを有していなくともよい。その場合においても、錘部９が設けられていることから、圧電部品Ｘ５の揺動を安定させることができる。この場合、延伸部６ｅと、反射部８および錘部９とを接着剤１１により接続すればよい。
【００７８】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、第１の実施形態である圧電部品Ｘ１を用いた印刷装置Ｚ１を示したが、これに限定されるものではなく、圧電部品Ｘ２〜Ｘ５を用いてもよい。また、複数の実施形態である圧電部品Ｘ１〜Ｘ５を組み合わせてもよく、本明細書に記載されているものとする。
【００７９】
圧電部品Ｘ２では、接続部６ｃが、長方形状の例を示したがこれに限定されるものではない。例えば、反射部８と同形状に接続部６ｃを形成することにより、反射部８に慣性力による変形が生じる可能性を低減することができる。また、反射部８と接続部６ｃとの接続面積を増加させることができ、反射部８が、接続部６ｃから剥離する可能性を低減することができる。
【００８０】
また、圧電部品Ｘ１において、反射部８が曲面により構成されており、一端部８ａおよび他端部８ｂに向かうにつれて傾斜角θ２が大きくなる構成を示したが、一端部８ａおよび他端部８ｂに向かうにつれて傾斜角θ２が小さくなる反射部８を用いてもよい。
【００８１】
また、本実施の形態では支持部４の上面のみに圧電素子２が配置されたユニモルフ構造で説明しているが、支持板４の上面および下面に圧電素子２を配置したバイモルフ構造としてもよい。
【符号の説明】
【００８２】
Ｘ１〜Ｘ５  圧電部品
Ｚ１  印刷装置
Ｒ１  第１方向
Ｒ２  第２方向
Ｒ３  厚み方向
Ｌ１  出射光
Ｌ２  反射光
θ  反射角
θ１  振れ角
θ２  傾斜角
Ｓ  揺動軸
Ｔ  揺動方向
２  圧電素子
４  支持部
６  連結部
６ａ  一方の連結部
６ｂ  他方の連結部
６ｃ  接続部
６ｄ  軸部
６ｅ  延伸部
８  反射部
８ａ  一端部
８ｂ  他端部
９  錘部
１０  枠部
１１  接着剤
１２  第１部材
１３  導電性接着剤
１４  第２部材
１６  枠部
【図１】
2014186238.tif 000003
【図２】
2014186238.tif 000004
【図３】
2014186238.tif 000005
【図４】
2014186238.tif 000006
【図５】
2014186238.tif 000007
【図６】
2014186238.tif 000008
【図７】
2014186238.tif 000009
【図８】
2014186238.tif 000010
【図９】
2014186238.tif 000011
【図１０】
2014186238.tif 000012
【図１１】
2014186238.tif 000013