(57)【要約】【課題】湾曲状態に変形したプローブを初期状態に復元させる。【解決手段】複数のプローブと各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して先端部で基板５００を押圧したときに先端部が初期状態よりも基端部側に押し込まれてプローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに中間部の弾性力によってプローブが初期状態に復元可能に構成されたプローブユニット２と、湾曲状態に変形したプローブを初期状態に復元させるプローブ矯正部とを備え、プローブは先端部が強磁性体を含んで形成され、プローブ矯正部は、磁界を生じさせるマグネットユニット８と、マグネットユニット８とプローブの先端部とがプローブの長さ方向に沿って近接するようにプローブユニット２を移動させる移動機構３とを備えて、互いに近接したマグネットユニット８とプローブの先端部との間において中間部の湾曲が減少する向きに磁界による磁力を作用させる。【選択図】図１
2014044107.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプローブと当該各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して当該先端部でプロービング対象を押圧したときに当該先端部が初期状態よりも当該基端部側に押し込まれて当該プローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに当該中間部の弾性力によって当該プローブが当該初期状態に復元可能に構成されたプローブユニットを備えたプローブ装置であって、
湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させるプローブ矯正部を備え、
前記プローブは前記先端部が強磁性体を含んで形成され、
前記プローブ矯正部は、磁界を生じさせる磁界生成部と、当該磁界生成部と前記プローブの前記先端部とが当該プローブの長さ方向に沿って近接するように当該磁界生成部および前記プローブユニットの少なくとも一方を移動させる移動機構とを備えて、互いに近接した前記磁界生成部と前記プローブの前記先端部との間において前記中間部の湾曲が減少する向きに前記磁界による磁力を作用させて前記湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させるプローブ装置。
【請求項２】
前記磁界生成部は、電磁石と、当該電磁石に電流を供給する電源部とを備えて構成されている請求項１記載のプローブ装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のプローブ装置と、前記プロービング対象としての基板の導体部にプロービングさせた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部と、前記プローブ矯正部を制御する制御部を備えている基板検査装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記検査部による検査結果に基づいて前記湾曲状態に変形したプローブを特定したときにプローブ矯正部を制御して当該プローブを前記初期状態に復元させる請求項３記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記検査部は、前記磁界生成部と前記プローブユニットとの間に配置された導電性を有する板体に対して前記湾曲状態に変形したプローブが接触したか否かを当該プローブを介して入力した前記電気信号に基づいて検出し、
前記制御部は、前記検査部による検出結果に基づいて前記湾曲状態に変形したプローブの復元状態を判別すると共に、前記プローブ矯正部を制御して前記磁界生成部と前記プローブの前記先端部との間に作用させる前記磁力の大きさを前記判別結果に応じて変更させる請求項３または４記載の基板検査装置。
【請求項６】
先端部が強磁性体を含んで形成された複数のプローブと当該各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して当該先端部でプロービング対象を押圧したときに当該先端部が初期状態よりも当該基端部側に押し込まれて当該プローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに当該中間部の弾性力によって当該プローブが当該初期状態に復元可能に構成されたプローブユニットにおける湾曲状態に変形したプローブを当該初期状態に復元させるプローブ矯正方法であって、
磁界を生じさせる磁界生成部と前記プローブの前記先端部とが当該プローブの長さ方向に沿って近接するように当該磁界生成部および前記プローブユニットの少なくとも一方を移動させて、互いに近接した前記磁界生成部と前記プローブの前記先端部との間において前記中間部の湾曲が減少する向きに前記磁界による磁力を作用させて前記湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させるプローブ矯正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のプローブを有するプローブユニットを備えたプローブ装置、そのプローブ装置を備えた基板検査装置、およびプローブユニットにおけるプローブを初期状態に復元させるプローブ矯正方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のプローブ装置を備えた基板検査装置として、特開２００９−８５８５号公報に開示された検査装置が知られている。この検査装置は、検査治具、検査治具が取り付けられる第１支持盤、検査対象が載置される第２支持盤、および第１支持盤と第２支持盤とを相対的に接離するように移動させる移動機構などを備えて検査対象の電気的検査を実行可能に構成されている。検査治具は、湾曲（屈曲）可能な複数のプローブ、各プローブの先端側を支持する先端側支持体、および各プローブの後端側を支持する後端側支持体等を備えて構成されている。この場合、各支持体には、挿通孔が形成されており、この挿通孔にプローブの先端側および後端側が挿通された状態で各支持体によって各プローブが支持されている。また、この検査治具では、プローブの先端部が検査対象に接触していない初期状態では、この先端部が先端側支持体から１００μｍ〜２００μｍ程度突出しており、この先端部が検査対象に接触したときには、先端部の突出量が減少し（先端部が後端側に押し込まれ）、その分プローブの中間部（先端部と基端部との間）が湾曲する。また、中間部の湾曲に伴って生じる弾性力によってプローブが検査対象を押圧し、これによってプローブの先端部と検査対象とが電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−８５８５号公報（第４−７頁、第１，６図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来の検査装置には、以下の課題がある。すなわち、この検査装置の検査治具は、プローブの先端部を検査対象に接触させたときにプローブの中間部が湾曲し、この際の弾性力によってプローブの先端部が検査対象を押圧することで、先端部と検査対象とを電気的に接続するように構成されている。一方、検査が終了して検査対象に対するプローブの押圧状態を解除したときには、中間部の弾性力によって先端部の突出量が増加して（先端部が押し出されて）、プローブが初期状態に復元する。ここで、プローブが挿通させられている先端側支持体の挿通孔の縁部とプローブとの接触部位における摩擦力が中間部の弾性力よりも大きいときには、プローブが初期状態に復元できずに、先端部が後端側に押し込まれたまま（中間部が湾曲状態に変形したまま）の状態となることがある。このようなときには、次の検査対象に対する検査の際に、この初期状態に復元していないプローブが検査対象に接触しない状態となって検査に支障を来すおそれがあり、この点の改善が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、湾曲状態に変形したプローブを初期状態に復元させ得るプローブ装置、基板検査装置およびプローブ矯正方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載のプローブ装置は、複数のプローブと当該各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して当該先端部でプロービング対象を押圧したときに当該先端部が初期状態よりも当該基端部側に押し込まれて当該プローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに当該中間部の弾性力によって当該プローブが当該初期状態に復元可能に構成されたプローブユニットを備えたプローブ装置であって、湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させるプローブ矯正部を備え、前記プローブは前記先端部が強磁性体を含んで形成され、前記プローブ矯正部は、磁界を生じさせる磁界生成部と、当該磁界生成部と前記プローブの前記先端部とが当該プローブの長さ方向に沿って近接するように当該磁界生成部および前記プローブユニットの少なくとも一方を移動させる移動機構とを備えて、互いに近接した前記磁界生成部と前記プローブの前記先端部との間において前記中間部の湾曲が減少する向きに前記磁界による磁力を作用させて前記湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させる。
【０００７】
また、請求項２記載のプローブ装置は、請求項１記載のプローブ装置において、前記磁界生成部は、電磁石と、当該電磁石に電流を供給する電源部とを備えて構成されている。
【０００８】
また、請求項３記載の基板検査装置は、請求項１または２記載のプローブ装置と、前記プロービング対象としての基板の導体部にプロービングさせた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部と、前記プローブ矯正部を制御する制御部を備えている。
【０００９】
また、請求項４記載の基板検査装置は、請求項３記載の基板検査装置において、前記制御部は、前記検査部による検査結果に基づいて前記湾曲状態に変形したプローブを特定したときにプローブ矯正部を制御して当該プローブを前記初期状態に復元させる。
【００１０】
また、請求項５記載の基板検査装置は、請求項３または４記載の基板検査装置において、前記検査部は、前記磁界生成部と前記プローブユニットとの間に配置された導電性を有する板体に対して前記湾曲状態に変形したプローブが接触したか否かを当該プローブを介して入力した前記電気信号に基づいて検出し、前記制御部は、前記検査部による検出結果に基づいて前記湾曲状態に変形したプローブの復元状態を判別すると共に、前記プローブ矯正部を制御して前記磁界生成部と前記プローブの前記先端部との間に作用させる前記磁力の大きさを前記判別結果に応じて変更させる。
【００１１】
さらに、請求項６記載のプローブ矯正方法は、先端部が強磁性体を含んで形成された複数のプローブと当該各プローブの先端部および基端部を支持する支持部とを有して当該先端部でプロービング対象を押圧したときに当該先端部が初期状態よりも当該基端部側に押し込まれて当該プローブの中間部が湾曲すると共に押圧状態を解除したときに当該中間部の弾性力によって当該プローブが当該初期状態に復元可能に構成されたプローブユニットにおける湾曲状態に変形したプローブを当該初期状態に復元させるプローブ矯正方法であって、磁界を生じさせる磁界生成部と前記プローブの前記先端部とが当該プローブの長さ方向に沿って近接するように当該磁界生成部および前記プローブユニットの少なくとも一方を移動させて、互いに近接した前記磁界生成部と前記プローブの前記先端部との間において前記中間部の湾曲が減少する向きに前記磁界による磁力を作用させて前記湾曲状態に変形したプローブを前記初期状態に復元させる。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載のプローブ装置、請求項３記載の基板検査装置、および請求項６記載のプローブ矯正方法によれば、磁界生成部とプローブの先端部とを近接させて、磁界生成部とプローブの先端部との間において中間部の湾曲が減少する向きに磁界による磁力を作用させることにより、支持部とプローブとの接触部分に生じる摩擦力によって中間部の弾性力だけでは初期状態に復元しない（湾曲状態に変形している）プローブに対して磁力を加えることで、プローブを初期状態に確実に復元させることができる。また、このプローブ装置、基板検査装置およびプローブ矯正方法によれば、プローブに直接接触することなく中間部の湾曲が減少する向きに磁力を加えることができるため、プローブユニットを分解することなくプローブを初期状態に確実に復元することができる結果、初期状態に復元しないプローブが発生したときのプローブユニットのメンテナンス作業の効率を十分に向上させることができる。
【００１３】
また、請求項２記載のプローブ装置、および請求項３記載の基板検査装置によれば、電磁石を備えて磁界生成部を構成したことにより、電磁石に供給する電流の電流値を増減することによってプローブの先端部に作用させる磁力の大きさを変更することができる。このため、このプローブ装置および基板検査装置によれば、湾曲状態に変形しているプローブの変形量（湾曲量）に応じて磁力の大きさを変更することで、初期状態に確実に復元することができると共に、磁力が大きすぎることに起因してプローブが初期状態における中間部の湾曲状態が小さくなったり、なくなったりする事態を確実に防止することができる。
【００１４】
請求項４記載の基板検査装置では、制御部が検査部による検査結果に基づいて湾曲状態に変形した（初期状態に復元していない）プローブを特定したときにプローブ矯正部を制御してそのプローブを初期状態に復元させる。つまり、湾曲状態に変形したプローブの特定、およびそのプローブを初期状態に復元させる処理が自動的に行われる。したがって、この基板検査装置によれば、湾曲状態に変形したプローブの有無を監視したり、その際にそのプローブを初期状態に復元させる処理の実行を指示したりする作業を使用者が行う必要がない分、十分な省力化を図ることができる。
【００１５】
請求項５記載の基板検査装置では、検査部が磁界生成部とプローブユニットとの間に配置された導電性を有する板体に対して湾曲状態に変形したプローブが接触したか否かを検出し、制御部が検査部による検出結果に基づいてプローブの復元状態を判別してその判別結果に応じて磁界生成部とプローブの先端部との間に作用させる磁力の大きさを変更させる。このため、この基板検査装置によれば、復元処理において湾曲状態に変形したプローブが初期状態に復元していないときには、磁力の大きさを大きくすることで、プローブをより確実に初期状態に復元することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】プローブユニット２の構成を示す構成図である。
【図３】プローブ１２の構成を示す断面図である。
【図４】基板検査装置１におけるプローブ矯正方法を説明する第１の説明図である。
【図５】基板検査装置１におけるプローブ矯正方法を説明する第２の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係るプローブ装置、基板検査装置およびプローブ矯正方法の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１８】
最初に、基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す基板検査装置１は、基板検査装置の一例であって、同図に示すように、プローブユニット２、移動機構３、搬送機構４、電流供給部５、検査部６、記憶部７、マグネットユニット８および制御部９を備えて、後述する基板検査方法に従って基板５００を検査可能に構成されている。なお、移動機構３およびマグネットユニット８によってプローブ矯正部が構成され、プローブユニット２、移動機構３およびマグネットユニット８によってプローブ装置が構成される。
【００１９】
プローブユニット２は、一例として、図２に示すように、支持部１１、複数のプローブ１２、および電極板１３を備えて構成されている。
【００２０】
支持部１１は、図２に示すように、一例として、第１支持板３１、第２支持板３２および連結部３３を備えて、プローブ１２を支持可能に構成されている。第１支持板３１は、プローブ１２の先端部２１側を支持する部材であって、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されている。また、第１支持板３１には、複数の挿通孔が形成されている。この場合、この挿通孔は、プローブ１２の先端部２１の挿通を可能とし、プローブ１２の中間部２２の挿通を規制可能な大きさ、つまり、その直径が、先端部２１の直径よりも大径で、かつ中間部２２の直径よりも小径となるように形成されている。
【００２１】
第２支持板３２は、プローブ１２の基端部２３側を支持する部材であって、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されている。また、第２支持板３２には、複数の挿通孔が形成されている。この場合、この挿通孔は、プローブ１２の中間部２２の挿通を可能とする大きさ、つまり、その直径が、中間部２２の直径よりも大径となるように形成されている。連結部３３は、図２に示すように、第１支持板３１と第２支持板３２とを平行な状態で連結する。
【００２２】
プローブ１２は、プロービング対象としての基板５００を検査する際に基板５００の導体パターン（導体部）５０１（図１参照）に先端部２１を接触させて電気信号の入出力を行うために用いられ、導電性を有する強磁性体によって弾性変形可能な棒状に形成されている。この場合、プローブ１２を形成する強磁性体としては、例えば、ＳＫＨ（高速度工具鋼）やタングステン鋼を用いることができる。
【００２３】
また、図２，３に示すように、プローブ１２の先端部２１および基端部２３は、それぞれ鋭利に形成されている。さらに、図３に示すように、プローブ１２における先端部２１の表面には、ニッケルで構成された被膜（以下「ニッケル被膜５１」ともいう）が形成され、ニッケル被膜５１の表面には、金で構成された被膜（以下「金被膜５２」ともいう）が形成されている。また、プローブ１２の中間部２２の周面には、絶縁層が形成されている。このため、中間部２２は、その直径が先端部２１の直径および基端部２３の直径よりも大径となっている。
【００２４】
このプローブユニット２では、プローブ１２は、図２に示すように、先端部２１が支持板３１の挿通孔に挿通され、基端部２３が第２支持板３２の挿通孔に挿通された状態で支持部１１によって支持されている。また、プローブ１２は、同図に示すように、初期状態において中間部２２がやや湾曲した状態で支持部１１によって支持されている。この場合、プローブ１２は、基板５００に近接する向きにプローブユニット２が全体として移動させられたときに、基板５００の導体パターン５０１に先端部２１が接触して導体パターン５０１を押圧し、この際に加わる導体パターン５０１からの反力により、先端部２１が初期状態よりも基端部２３側に押し込まれて（第１支持板３１からの先端部２１の突出量が減少し）、その分中間部２２の湾曲量が増加する。また、プローブ１２は、導体パターン５０１に対する押圧状態が解除されたときに、中間部２２の弾性力によって先端部２１が押し出されて（第１支持板３１からの先端部２１の突出量が増加し）、初期状態に復元することが可能となっている。
【００２５】
電極板１３は、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されて、図２に示すように、支持部１１の第２支持板３２の上部に配設されている。また、電極板１３における各プローブ１２の各基端部２３との接触部位には、導電性を有する端子が嵌め込まれており、この各端子には、プローブ１２と電流供給部５や検査部６とを電気的に接続するためのケーブルがそれぞれ接続されている。
【００２６】
移動機構３は、プローブユニット２を取り付け可能に構成され、制御部９の制御に従ってプローブユニット２を上下方向に移動させる。搬送機構４は、基板５００を載置するための載置台４１（図１参照）を備えて構成され、制御部９の制御に従い、載置台４１に基板５００を載置する位置（以下、この位置を「第１待機位置」ともいう）と、移動機構３の下方の位置（以下、この位置を「プロービング位置」ともいう）との間で載置台４１を搬送する。また、搬送機構４は、制御部９の制御に従い、非使用時におけるマグネットユニット８の待機位置（以下、この位置を「第２待機位置」ともいう）とプロービング位置との間でマグネットユニット８を搬送する。
【００２７】
電流供給部５は、電流出力回路およびスキャナスイッチ（いずれも図示せず）を備えて構成され、制御部９の制御に従い、検査用の電流Ｉｍ（電気信号の一例）をプローブユニット２の各プローブ１２を介して基板５００の導体パターン５０１に供給する。
【００２８】
検査部６は、制御部９の制御に従い、プローブ１２を介して入出力する電気信号に基づき、抵抗値Ｒｍを測定すると共に、その抵抗値Ｒｍに基づいて基板５００の良否（導体パターン５０１の断線や短絡の有無）を検査する検査処理を実行する。また、検査部６は、制御部９の制御に従い、後述する復元処理において、プローブ１２を介して入出力する電気信号に基づき、金属板６００（導電性を有する板体の一例：図１，４，５参照）とプローブ１２とが接触したか否かを検出する検出処理を実行する。
【００２９】
記憶部７は、制御部９の制御に従い、検査部６によって測定された抵抗値Ｒｍを一時的に記憶する。
【００３０】
マグネットユニット８は、磁界生成部に相当し、図１に示すように、電磁石８１、支持部８２および電源部８３を備えて構成されている。電磁石８１は、電源部８３から電流Ｉ１が供給されることによって磁界を生じさせる。支持部８２は、電磁石８１を支持する。電源部８３は、制御部９の制御に従って電磁石８１に電流Ｉ１を供給する。
【００３１】
このマグネットユニット８は、磁界を生じさせている状態の電磁石８１に対してプローブユニット２における各プローブ１２の先端部２１がプローブ１２の長さ方向（図４における上下方向）に沿って移動して近接したときに、プローブ１２における中間部２２の湾曲量（湾曲の大きさ）が減少する向き（この例では、下向き）に磁界による磁力Ｆを作用させる機能を有している。このため、このプローブ装置では、湾曲状態に変形して初期状態に復元しないプローブ１２を初期状態に復元させることが可能となっている。
【００３２】
また、このマグネットユニット８では、電磁石８１に対して電源部８３から供給する電流Ｉ１の電流値を増減させることによって磁界の強度を変更することが可能となっている。このため、湾曲状態に変形しているプローブ１２の変形量（湾曲量）に応じて磁界の強度（つまり電流Ｉ１の電流値）を変更することで、そのプローブ１２に作用させる磁力Ｆの大きさを変更することが可能となっている。
【００３３】
また、マグネットユニット８は、第２待機位置とプロービング位置との間で搬送機構４によって搬送される。この場合、この基板検査装置１では、マグネットユニット８における電磁石８１の上に金属板６００が配置されており、プロービング位置にマグネットユニット８が搬送された状態で、プロービング位置にプローブユニット２が下降したときには、各プローブ１２（湾曲状態に変形していないプローブ１２）の先端部２１と金属板６００とが接触して、先端部２１と電磁石８１とが近接する。
【００３４】
制御部９は、基板検査装置１を構成する各部を制御する。また、制御部９は、検査部６による検査結果（抵抗値Ｒｍの測定結果）に基づいて初期状態に復元していない（湾曲状態に変形した一例）プローブ１２の有無を判別し、そのようなプローブ１２を特定したときには、プローブ矯正部としての移動機構３およびマグネットユニット８を制御してそのプローブ１２を初期状態に復元させる復元処理を実行する。また、制御部９は、この復元処理において、検査部６による検出結果（金属板６００とプローブ１２とが接触したか否かの検出する検出処理の結果）に基づいて復元処理の対象の（湾曲状態に変形した）プローブ１２の復元状態（初期状態に復元したか否か）を判別する。さらに、制御部９は、プローブ矯正部としての移動機構３およびマグネットユニット８を制御して、マグネットユニット８とプローブ１２の先端部２１との間に作用させる磁力Ｆの大きさを復元状態の判別結果に応じて変更させる。
【００３５】
次に、基板検査装置１を用いて基板５００の検査を行う基板検査方法、およびプローブ矯正方法について、図面を参照して説明する。なお、マグネットユニット８の電磁石８１の上には、金属板６００が配置されているものとする。
【００３６】
まず、第１待機位置に位置している搬送機構４の載置台４１に基板５００を載置する。次いで、検査の開始を指示する。これに応じて、制御部９が、搬送機構４を制御して、載置台４１をプロービング位置に搬送させる。続いて、制御部９は、移動機構３を制御して、基板５００（載置台４１の載置面）に近接する向きにプローブユニット２を予め決められた長さだけ移動（下降）させる。
【００３７】
次いで、プローブユニット２における各プローブ１２の先端部２１が基板５００の導体パターン５０１に接触して導体パターン５０１を押圧する。続いて、プローブユニット２の下降に伴って先端部２１に加わる導体パターン５０１からの反力によって先端部２１が基端部２３側（第２支持板３２側）に押し込まれて第１支持板３１からの突出量が減少し、これによって中間部２２の湾曲量が増加する。
【００３８】
次いで、制御部９は、電流供給部５を制御して予め決められたプローブ１２に対して検査用の電流Ｉｍを供給させる。続いて、制御部９は、検査部６を制御して検査処理を開始させる。この検査処理では、検査部６は、電流供給部５から供給されている電流Ｉｍおよびプローブ１２を介して入力する電気信号（例えば、電圧）に基づいて抵抗値Ｒｍを測定して記憶部７に記憶させる。
【００３９】
次いで、検査部６は、記憶部７に記憶させた抵抗値Ｒｍに基づいて導体パターン５０１の断線および短絡の有無を検査する。続いて、制御部９は、検査結果を図外の表示部に表示させる。次いで、制御部９は、移動機構３を制御してプローブユニット２を上方に移動（上昇）させる。この際に、基板５００の導体パターン５０１に対する先端部２１からの押圧が解除される。これに伴い、湾曲している中間部２２の弾性力（復元力）によって第１支持板３１からの先端部２１の突出量が増加すると共に中間部２２の湾曲量が減少して初期状態に復元する。続いて、制御部９は、搬送機構４を制御して、載置台４１を第１待機位置に搬送させる。以上により、基板５００の検査が終了する。
【００４０】
次いで、新たな基板５００を検査するときには、新たな基板５００を搬送機構４の載置台４１に載置し、続いて、検査の開始を指示する。これに応じて、制御部９が、上記した各処理を実行することにより、新たな基板５００の検査が行われる。
【００４１】
ここで、第１支持板３１における挿通孔の縁部とプローブ１２との接触部分に生じる摩擦力が中間部２２の弾性力（復元力）よりも大きいときには、プローブ１２によって導体パターン５０１を押圧している状態から、プローブユニット２を上昇させて押圧状態を解除したときに、プローブ１２が初期状態に復元することなく、第１支持板３１からの先端部２１の突出量が減少したままの状態（つまり、導体パターン５０１に対する加圧を解除しているにも拘わらず、中間部２２が過剰に湾曲している状態）となることがある（図４に示すプローブ１２ａ参照）。
【００４２】
このようなプローブ１２が存在しているときには、プローブユニット２を下降させたとしても、そのプローブ１２の先端部２１が導体パターン５０１に接触しないこととなる。このため、基板５００の検査を繰り返して実行した際に、例えば、同一の導体パターン５０１の同一箇所において断線があるとの誤った判定が連続してなされることとなる。
【００４３】
したがって、このような状態が続いたときには、制御部９は、復元処理を実行する。この復元処理では、制御部９は、検査部６による検査結果に基づき、例えば、断線があると連続して判定された導体パターン５０１の箇所を特定する。次いで、制御部９は、特定した箇所に対応するプローブ１２（例えば、図４に示すプローブ１２ａ）を特定する（プローブ特定処理）。
【００４４】
続いて、制御部９は、搬送機構４を制御して、マグネットユニット８を第２待機位置からプロービング位置に搬送させる。次いで、制御部９は、マグネットユニット８の電源部８３を制御して、電磁石８１に対する電流Ｉ１の供給を開始させる。続いて、電流Ｉ１の供給によって電磁石８１が磁界を生じさせる。
【００４５】
次いで、制御部９は、移動機構３を制御して、プローブユニット２を移動（下降）させる。この際に、プローブユニット２の各プローブ１２の先端部２１が電磁石８１（電磁石８１の上に配置されている金属板６００）に近接する。また、電磁石８１と各プローブ１２の先端部２１とが近接することで、図４に示すように、電磁石８１からの磁界によって電磁石８１と先端部２１との間に磁力Ｆが作用する。
【００４６】
この場合、湾曲状態に変形していないプローブ１２は、磁力Ｆによって先端部２１が電磁石８１側（下向き）に引っ張られるため、支持部１１における第１支持板３１からの先端部２１の突出量が増加すると共に、中間部２２の湾曲量が初期状態よりも減少して初期状態よりもやや真っ直ぐな状態となる。
【００４７】
また、湾曲状態に変形しているプローブ１２ａは、磁力Ｆが作用することにより、挿通孔の縁部との接触部分における摩擦力に抗して先端部２１が下方に引き出されて第１支持板３１からの先端部２１の突出量が増加すると共に中間部２２の湾曲量が減少し、この結果、図５に示すように、他のプローブ１２と同様にして、初期状態よりもやや真っ直ぐな状態となる。このように、この基板検査装置１では、復元処理を実行することで、挿通孔の縁部とプローブ１２ａとの接触部分に生じる摩擦力によって中間部２２の弾性力だけでは解除されなかったプローブ１２ａの湾曲変形状態（湾曲状態に変形している状態）を解除する湾曲変形状態初期状態に確実に復元させることが可能となっている。
【００４８】
また、制御部９は、検査部６を制御して、プローブ１２ａが金属板６００に接触したか否かを検出する検出処理を実行させる。この検出処理では、検査部６は、プローブ１２ａおよびプローブ１２ａに隣接する他のプローブ１２（例えば、図５に示すプローブ１２ｂ）を介して入力する電気信号（電圧）に基づき、プローブ１２ａ，１２ｂが金属板６００を介して電気的に接続されたか否かを判別する。この場合、検査部６は、プローブ１２ａ，１２ｂが電気的に接続されていないと判別したときには、プローブ１２ａが金属板６００に接触していないと判別し、プローブ１２ａ，１２ｂが電気的に接続されたと判別したときには、プローブ１２ａが金属板６００に接触したことを判別する。つまり、検査部６は、プローブ１２ａ，１２ｂを介して入力した電気信号に基づいて金属板６００に対してプローブ１２ａが接触したか否かを検出する。
【００４９】
また、制御部９は、検査部６による検出処理の結果（検出結果）に基づいて湾曲状態に変形したプローブ１２ａの復元状態を判別する。具体的には、制御部９は、金属板６００に対するプローブ１２ａの接触が検出されていないときには、プローブ１２ａが初期状態に復元していないと判別し、金属板６００に対するプローブ１２ａの接触が検出されたときには、プローブ１２ａの湾曲変形状態（湾曲状態に変形している状態）が解除されて初期状態に復元された（または、初期状態に近い状態となった）と判別する。この場合、制御部９は、プローブ１２ａの湾曲変形状態が解除されていないと判別したときには、プローブ１２ａに作用させる磁力Ｆが増加するように電源部８３から電磁石８１に供給する電流Ｉ１の電流値を増加させる（復元状態の判別結果に応じて磁力Ｆの大きさを変更させる処理の一例）。
【００５０】
一方、プローブ１２ａの湾曲変形状態が解除されたと判別したときには、制御部９は、移動機構３を制御してプローブユニット２を上昇させる。この際に、各プローブ１２の先端部２１と金属板６００との接触が解除される。また、プローブユニット２の上昇によって磁力Ｆの作用が低下して、初期状態よりもやや真っ直ぐな状態となっていた各プローブ１２が初期状態に復元する。続いて、制御部９は、マグネットユニット８の電源部８３を制御して、電磁石８１に対する電流Ｉ１の供給を停止させる。次いで、制御部９は、搬送機構４を制御して、マグネットユニット８を第２待機位置に搬送させる。以上により、復元処理が終了する。
【００５１】
続いて、プローブ１２が初期状態に復元しなかったことに起因して誤った検査結果となった可能性のある基板５００に対する再検査や、新たな基板５００の検査を継続するときには、対象の基板５００を搬送機構４の載置台４１に載置し、次いで、検査の開始を指示する。
【００５２】
このように、この基板検査装置１およびプローブ矯正方法によれば、マグネットユニット８とプローブ１２の先端部２１とを近接させて、マグネットユニット８とプローブ１２の先端部２１との間において中間部２２の湾曲が減少する向きに磁力Ｆを作用させることにより、第１支持板３１の挿通孔の縁部とプローブ１２との接触部分に生じる摩擦力によって中間部２２の弾性力だけでは初期状態に復元しないプローブ１２に対して磁力Ｆを加えることで、プローブ１２を初期状態に確実に復元させることができる。また、この基板検査装置１およびプローブ矯正方法によれば、プローブ１２に直接接触することなく中間部２２の湾曲が減少する向きに磁力Ｆを加えることができるため、プローブユニット２を分解することなくプローブ１２を初期状態に確実に復元することができる結果、初期状態に復元しないプローブ１２が発生したときのプローブユニット２のメンテナンス作業の効率を十分に向上させることができる。
【００５３】
また、この基板検査装置１およびプローブ矯正方法によれば、電磁石８１を備えてマグネットユニット８を構成したことにより、電磁石８１に供給する電流Ｉ１の電流値を増減することによってプローブ１２の先端部２１に作用させる磁力Ｆの大きさを変更することができる。このため、この基板検査装置１およびプローブ矯正方法によれば、湾曲状態に変形しているプローブ１２の変形量（湾曲量）に応じて磁力Ｆの大きさを変更することで、初期状態に確実に復元することができると共に、磁力Ｆが大きすぎることに起因してプローブ１２が初期状態における中間部２２の湾曲状態が小さくなったり、なくなったりする事態を確実に防止することができる。
【００５４】
また、この基板検査装置１では、制御部９が検査部６による検査結果に基づいて初期状態に復元していない（湾曲状態に変形した）プローブ１２を特定したときにプローブ矯正部を制御してそのプローブ１２を初期状態に復元させる。つまり、初期状態に復元していないプローブ１２の特定、およびそのプローブ１２を初期状態に復元させる処理が自動的に行われる。したがって、この基板検査装置１によれば、初期状態に復元していないプローブ１２の有無を監視したり、その際にそのプローブ１２を初期状態に復元させる処理の実行を指示したりする作業を使用者が行う必要がない分、十分な省力化を図ることができる。
【００５５】
また、この基板検査装置１では、検査部６がマグネットユニット８（電磁石８１）とプローブユニット２との間に配置された金属板６００に対して湾曲状態に変形したプローブ１２が接触したか否かを検出し、制御部９が検査部６による検出結果に基づいてプローブ１２の復元状態を判別してその判別結果に応じてプローブ１２の先端部２１に作用させる磁力Ｆの大きさを変更させる。このため、この基板検査装置１によれば、復元処理において湾曲状態に変形したプローブ１２が初期状態に復元していないときには、磁力Ｆの大きさを大きくすることで、プローブ１２をより確実に初期状態に復元することができる。
【００５６】
なお、プローブ装置、基板検査装置およびプローブ矯正方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、電磁石８１を備えたマグネットユニット８を用いる構成および方法について上記したが、電磁石８１に変えて永久磁石を備えたマグネットユニットを用いる構成および方法を採用することもできる。この構成および方法を採用した場合には、金属板６００と永久磁石との間の距離を変更可能に構成して、上記した復元処理において湾曲状態に変形したプローブ１２の復元状態を判別した結果、プローブ１２の湾曲変形状態が解除されていないと判別したときには、プローブ１２に作用させる磁力Ｆが増加するように金属板６００に永久磁石を近づける（復元状態の判別結果に応じて磁力Ｆの大きさを変更させる処理の他の一例）ようにすることもできる。
【００５７】
また、制御部９が検査部６による検査結果に基づいて初期状態に復元していない（湾曲状態に変形した）プローブ１２を特定（検出）して復元処理を実行する構成および方法（つまり、復元処理を自動的に行う構成および方法）について上記したが、初期状態に復元していないプローブ１２を使用者が検査結果等に基づいて特定したときに、基板検査装置１（制御部９）に対して復元処理の実行を指示する構成および方法を採用することもできる。
【００５８】
また、湾曲状態に変形したプローブ１２を特定する処理を実行することなく、つまり湾曲状態に変形したプローブ１２が発生しているか否かに拘わらず、プロービングの動作（プロービング対象に対して各プローブ１２の先端部２１を接触させる動作）を任意の回数（１回または複数回）行う毎に、マグネットユニット８と各プローブ１２の先端部２１とを近接させる処理を実行する構成および方法を採用することもできる。
【００５９】
また、板状に形成した電磁石８１を用いる構成および方法について上記したが、細い棒状に形成した電磁石８１を用いて１つのプローブ１２に対して磁力Ｆを集中的に作用させる構成および方法を採用することもできる。
【００６０】
また、帯電したマグネットユニット８（電磁石８１）とプローブ１２の先端部２１とをプローブ１２の長さ方向に沿って移動させて近接させる際に、プローブユニット２を移動させる例について上記したが、マグネットユニット８のみを移動させる構成および方法、またはプローブユニット２とマグネットユニット８の双方を移動させる構成および方法を採用することができる。
【符号の説明】
【００６１】
１  基板検査装置
２  プローブユニット
３  移動機構
５  電流供給部
６  検査部
８  マグネットユニット
９  制御部
１１  支持部
１２  プローブ
２１  先端部
２２  中間部
２３  基端部
８１  電磁石
８３  電源
５００  基板
５０１  導体パターン
６００  金属板
Ｆ  磁力
Ｉｍ，Ｉ１  電流
【図１】
2014044107.tif 000003
【図２】
2014044107.tif 000004
【図３】
2014044107.tif 000005
【図４】
2014044107.tif 000006
【図５】
2014044107.tif 000007