(57)【要約】      （修正有）【課題】ピークシフトが起こっても、迅速かつ適切に補正できて、短時間に正確な分析ができるＸ線分析装置を提供する。【解決手段】計数手段１０Ａ，１０Ｂで求めた計数率の総計に基づいて、計数手段１０Ａ，１０Ｂで得たエネルギースペクトルにおけるピーク位置を推定し、その推定したピーク位置を基準位置に一致させるためのゲイン値である初期値を出力する第１補正手段と、計数手段１０Ａ，１０Ｂで得たエネルギースペクトルにおいて、基準位置を含む所定のエネルギー範囲でピーク位置を検出し、その検出したピーク位置を基準位置に一致させるためのゲイン値であるダイナミックゲイン補正値を出力する第２補正手段とを併せ備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射されたＸ線のエネルギーに応じた波高のパルスを前記Ｘ線の強度に応じた数だけ発生させる検出器と、
その検出器で発生したパルスをデジタル化する高速ＡＤ変換器と、
その高速ＡＤ変換器からのパルスについて多数の連続した波高範囲ごとに分別して計数率を求めることにより、波高に対する計数率の分布であるエネルギースペクトルを得て、そのエネルギースペクトルに基づいて前記Ｘ線の強度を算出する計数手段と、
前記高速ＡＤ変換器からのパルスについて、前記エネルギースペクトルにおけるピーク位置を安定化させるピーク位置安定化手段とを備えるＸ線分析装置であって、
前記ピーク位置安定化手段が、
前記高速ＡＤ変換器からのパルスが入力されゲインを変更して出力する入力パルス乗算器と、
前記計数手段で求めた計数率の総計に基づいて、前記エネルギースペクトルにおけるピーク位置を推定し、その推定したピーク位置を基準位置に一致させるためのゲイン値である初期値を出力する第１補正手段と、
前記計数手段で得たエネルギースペクトルにおいて、前記基準位置を含む所定のエネルギー範囲でピーク位置を検出し、その検出したピーク位置を前記基準位置に一致させるためのゲイン値であるダイナミックゲイン補正値を出力する第２補正手段と、
前記初期値および前記ダイナミックゲイン補正値が入力され、両方を加算して前記入力パルス乗算器に出力するゲイン加算器とを有する、Ｘ線分析装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＸ線分析装置において、
前記ピーク位置安定化手段が、
前記計数手段で得たエネルギースペクトルにおいて、波高ゼロに対応するゼロ基準位置を含む所定のエネルギー範囲で信号がない時のレベルの頻度がピークとなるゼロピーク位置を検出し、その検出したゼロピーク位置を前記ゼロ基準位置に一致させるためのゼロ位置用ゲイン値を出力するゼロ位置補正手段と、
前記高速ＡＤ変換器と前記入力パルス乗算器との間に配置されて、前記高速ＡＤ変換器からのパルスおよび前記ゼロ位置用ゲイン値が入力され、前記高速ＡＤ変換器からのパルスに前記ゼロ位置用ゲイン値を加算して前記入力パルス乗算器に出力するゼロ位置加算器とを有する、Ｘ線分析装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のＸ線分析装置において、
前記検出器が、ガスフロー型比例計数管であり、
前記ピーク位置安定化手段が、
前記検出器の温度を測定する温度センサーおよび／または前記検出器のガス圧を測定する圧力センサーと、
前記温度センサーでの測定温度および／または前記圧力センサーでの測定圧力に基づいて、前記エネルギースペクトルにおけるピーク位置を推定し、その推定したピーク位置を基準位置に一致させるためのガス密度用ゲイン係数を出力するガス密度補正手段と、
前記第１補正手段と前記ゲイン加算器との間に配置されて、前記初期値および前記ガス密度用ゲイン係数が入力され、前記初期値に前記ガス密度用ゲイン係数を乗算して前記ゲイン加算器に出力する初期値乗算器とを有する、Ｘ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、いわゆるピークシフトを補正するＸ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば波長分散型蛍光Ｘ線分析装置においては、試料に１次Ｘ線を照射し、試料から発生する蛍光Ｘ線を分光素子で分光し、分光された蛍光Ｘ線を検出器で検出してパルスを発生させる。このパルスの電圧すなわち波高値は蛍光Ｘ線のエネルギーに応じたものであり、具体的には、比例関係にあると考えられている。また、パルスの単位時間あたりの数は蛍光Ｘ線の強度に応じたものである。そこで、パルスのうち所定の電圧の範囲（上限値および下限値で規定され、ウィンドウと呼ばれる）のものを波高分析器で選別して、その計数率（単位時間あたりのパルス数）をＸ線強度としてスケーラ等の計数手段で求めている。
【０００３】
しかし、例えば検出器として比例計数管を用いる場合に、検出器に高強度の蛍光Ｘ線が入射した場合、波高分析器へ送られるパルスの電圧すなわち波高値が、例えば数秒で急激に数１０％低下したり、場合によってはさらにその後例えば十数分間、数％程度の範囲で不安定になったりすることが知られている。この現象は、ピークシフト、波高値のドリフトなどと呼ばれており、ピークシフトが起こると、目的の波長に対してずれた不適切な設定のウィンドウで測定を行うことになり、正確な分析ができない（特許文献１〜４参照）。この問題は、波長分散型蛍光Ｘ線分析装置以外のＸ線分析装置でも起こり、また、程度の差はあるが、比例計数管以外の検出器を用いる場合にも起こり得る（特許文献３、４参照）。
【０００４】
そこで、ピークシフトを補正するための第１の従来の技術として、予備測定において計数手段で求めたＸ線強度に基づいてピーク位置を推定し、本測定において、推定したピーク位置を本来の波高値に相当する基準位置に一致させるように、検出器からのパルスのゲインを変更する装置がある（特許文献１、２参照）。ここで、計数手段で求めたＸ線強度とエネルギースペクトルにおいて低下して安定したピーク位置との関係は、あらかじめ実験で求めておく。また、ピークシフトを補正するための第２の従来の技術として、計数手段でエネルギースペクトルを得て、基準位置を含む所定のエネルギー範囲でピーク位置を検出し、その検出したピーク位置を基準位置に一致させるように、検出器からのパルスのゲインをダイナミックに（リアルタイムで）変更する装置がある（特許文献３、４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭５８−１８７８８５号公報
【特許文献２】特開２００５−９８６１号公報
【特許文献３】特開平６−１３０１５５号公報
【特許文献４】特公昭６２−１２４７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、ピークシフトにより低下するピーク位置が安定するには、短い場合でも数秒はかかるため、安定する前に第１の従来の技術を適用して、ピーク位置を推定し、ゲインの変更によりピーク位置を補正して本測定を開始すると、ピーク位置が低下して安定するまでの間は、補正されたピーク位置が本来の波高値に相当する基準位置よりも高くなり、正確な分析ができない。かといって、正確な分析のために、本測定の開始をピークシフトにより低下するピーク位置が安定するまで遅らせると、短くても数秒は待たねばならず、それだけ分析に時間がかかる。波高値が急激に低下した後に十数分間不安定になるような場合には、短時間に正確な分析を行うことはさらに困難である。また、計数手段で求めたＸ線強度とエネルギースペクトルにおいて低下して安定したピーク位置との関係は、個々のＸ線分析装置において微妙に異なるので、正確な分析のためには、それぞれのＸ線分析装置においてあらかじめ実験で求めておく必要があり、個々のＸ線分析装置においても検出器を交換した際には、交換後の検出器について求める必要がある。
【０００７】
一方、第２の従来の技術では、Ｘ線強度が急激に変化すると、ピーク位置を見失って正しく検出できないおそれがあり、その場合、正確な分析ができない。
【０００８】
そこで、本発明は、ピークシフトが起こっても、迅速かつ適切に補正できて、短時間に正確な分析ができるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明は、入射されたＸ線のエネルギーに応じた波高のパルスを前記Ｘ線の強度に応じた数だけ発生させる検出器と、その検出器で発生したパルスをデジタル化する高速ＡＤ変換器と、その高速ＡＤ変換器からのパルスについて多数の連続した波高範囲ごとに分別して計数率を求めることにより、波高に対する計数率の分布であるエネルギースペクトルを得て、そのエネルギースペクトルに基づいて前記Ｘ線の強度を算出する計数手段と、前記高速ＡＤ変換器からのパルスについて、前記エネルギースペクトルにおけるピーク位置を安定化させるピーク位置安定化手段とを備えるＸ線分析装置である。
【００１０】
そして、前記ピーク位置安定化手段が、前記高速ＡＤ変換器からのパルスが入力されゲインを変更して出力する入力パルス乗算器と、前記計数手段で求めた計数率の総計に基づいて、前記エネルギースペクトルにおけるピーク位置を推定し、その推定したピーク位置を基準位置に一致させるためのゲイン値である初期値を出力する第１補正手段と、前記計数手段で得たエネルギースペクトルにおいて、前記基準位置を含む所定のエネルギー範囲でピーク位置を検出し、その検出したピーク位置を前記基準位置に一致させるためのゲイン値であるダイナミックゲイン補正値を出力する第２補正手段と、前記初期値および前記ダイナミックゲイン補正値が入力され、両方を加算して前記入力パルス乗算器に出力するゲイン加算器とを有する。
【００１１】
本発明によれば、計数手段としてマルチチャンネルアナライザーを備えるとともに、ピーク位置安定化手段において、計数手段で求めた計数率の総計に基づいて、計数手段で得たエネルギースペクトルにおけるピーク位置を推定し、その推定したピーク位置を基準位置に一致させるためのゲイン値である初期値を出力する第１補正手段と、計数手段で得たエネルギースペクトルにおいて、前記基準位置を含む所定のエネルギー範囲でピーク位置を検出し、その検出したピーク位置を前記基準位置に一致させるためのゲイン値であるダイナミックゲイン補正値を出力する第２補正手段とを併せ備え、ピークシフトが起こっても、極めて短時間で初期値を出力してそれにダイナミックゲイン補正値が加算されてフィードバックで修正されるので、本測定の開始をピークシフトにより低下するピーク位置が安定するまで待つ必要がなく、初期値が出力されることによりダイナミックゲイン補正値を求めるにあたりピーク位置を見失うことなく正しく検出できる。したがって、ピークシフトが起こっても、迅速かつ適切に補正できて、短時間に正確な分析ができる。
【００１２】
本発明においては、前記ピーク位置安定化手段が、前記計数手段で得たエネルギースペクトルにおいて、波高ゼロに対応するゼロ基準位置を含む所定のエネルギー範囲で信号がない時のレベルの頻度がピークとなるゼロピーク位置を検出し、その検出したゼロピーク位置を前記ゼロ基準位置に一致させるためのゼロ位置用ゲイン値を出力するゼロ位置補正手段と、前記高速ＡＤ変換器と前記入力パルス乗算器との間に配置されて、前記高速ＡＤ変換器からのパルスおよび前記ゼロ位置用ゲイン値が入力され、前記高速ＡＤ変換器からのパルスに前記ゼロ位置用ゲイン値を加算して前記入力パルス乗算器に出力するゼロ位置加算器とを有することが好ましい。この場合には、波高ゼロに対応するゼロ位置のずれについても補正されるので、より正確な分析ができる。
【００１３】
本発明において前記検出器がガスフロー型比例計数管である場合には、前記ピーク位置安定化手段が、前記検出器の温度を測定する温度センサーおよび／または前記検出器のガス圧を測定する圧力センサーと、前記温度センサーでの測定温度および／または前記圧力センサーでの測定圧力に基づいて、前記エネルギースペクトルにおけるピーク位置を推定し、その推定したピーク位置を基準位置に一致させるためのガス密度用ゲイン係数を出力するガス密度補正手段と、前記第１補正手段と前記ゲイン加算器との間に配置されて、前記初期値および前記ガス密度用ゲイン係数が入力され、前記初期値に前記ガス密度用ゲイン係数を乗算して前記ゲイン加算器に出力する初期値乗算器とを有することが好ましい。この場合には、ガスフロー型比例計数管である検出器のガス密度変化によるピーク位置のずれについて、つまり検出器温度および／または検出器のガス圧の変化によるピーク位置のずれについて、機械的なガス密度安定化機構を用いることなしに補正されて初期値が出力されるので、ダイナミックゲイン補正値を求めるにあたりいっそうピーク位置を見失うことなく正しく検出でき、簡便に、より正確な分析ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態である波長分散型蛍光Ｘ線分析装置を示す概略図である。
【図２】同装置におけるピーク位置安定化手段を示すブロック図である。
【図３】同装置で得られるエネルギースペクトルの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態の波長分散型蛍光Ｘ線分析装置を図面にしたがって説明する。この装置は、図１に示すように、測定すべき蛍光Ｘ線等の２次Ｘ線７Ａ，７Ｂの波長ごとに検出手段１８Ａ，１８Ｂを備え、検出手段１８Ａ，１８Ｂは、分光素子６Ａ，６Ｂ、検出器８Ａ，８Ｂ、高速ＡＤ変換器９Ａ，９Ｂ、計数手段１０Ａ，１０Ｂおよびピーク位置安定化手段１１Ａ，１１Ｂを有している。すなわち、この装置は、波長分散型であって多元素同時分析型の蛍光Ｘ線分析装置である。なお、検出器８Ａ，８Ｂと高速ＡＤ変換器９Ａ，９Ｂとの間にプリアンプを備えてもよい。
【００１６】
より詳細には、この装置は、試料１が載置される試料台２と、試料１に１次Ｘ線３を照射するＸ線管であるＸ線源４と、試料１から発生した蛍光Ｘ線等の２次Ｘ線５Ａ，５Ｂを分光する分光素子６Ａ，６Ｂと、分光素子６Ａ，６Ｂで分光された２次Ｘ線７Ａ，７Ｂが入射されて、そのＸ線７Ａ，７Ｂのエネルギーに応じた波高のパルスをＸ線７Ａ，７Ｂの強度に応じた数だけ発生させるガスフロー型比例計数管である検出器８Ａ，８Ｂと、検出器８Ａ，８Ｂで発生したパルスをデジタル化する高速ＡＤ変換器９Ａ，９Ｂとを備えている。
【００１７】
また、この装置は、高速ＡＤ変換器９Ａ，９Ｂからのパルスについて多数の連続した波高範囲ごとに分別して計数率を求めることにより、波高に対する計数率の分布であるエネルギースペクトル（図３の右部）を得て、そのエネルギースペクトルに基づいて前記Ｘ線７Ａ，７Ｂの強度を算出する計数手段、つまりマルチチャンネルアナライザーである計数手段１０Ａ，１０Ｂと、高速ＡＤ変換器９Ａ，９Ｂからのパルスについて、前記エネルギースペクトルにおけるピーク位置を安定化させるピーク位置安定化手段１１Ａ，１１Ｂとを備えている。
【００１８】
そして、２次Ｘ線７Ａに対応した方のピーク位置安定化手段１１Ａを例にとると、図２に示すように、ピーク位置安定化手段１１Ａは、入力パルス乗算器１２Ａ、第１補正手段１３Ａ、第２補正手段１４Ａおよびゲイン加算器１５Ａを有する。入力パルス乗算器１２Ａは、高速ＡＤ変換器９Ａからのパルスが入力されゲインを変更して出力する。高速ＡＤ変換器９Ａからの入力パルスは、本実施形態の装置では、後述するゼロ位置加算器１７Ａを経由している。
【００１９】
第１補正手段１３Ａは、いわゆる予備測定により計数手段１０Ａで求めた計数率の総計に基づいて、前記エネルギースペクトルにおけるピーク位置を推定し、その推定したピーク位置を基準位置に一致させるためのゲイン値である初期値を出力する。ここで、計数手段１０Ａで求めた計数率の総計は、検出器８Ａに入射したＸ線７Ａの強度の総計であり、例えば、図３右部に示すエネルギースペクトルと横軸との間の面積であるが、予備測定で用いるエネルギースペクトルはこのような微分曲線に限られず、いわゆる積分曲線を用いてもよい。エネルギースペクトルにおけるピーク位置とは、エネルギースペクトルにおける極大値であるピークの波高値であり、例えば、図３右部に示すＰａが対象となる。基準位置とは、ピークシフトが起きていない場合の本来の波高値に相当する位置であり、図３右部では、ピーク位置Ｐａに基準位置Ｓａが対応する。
【００２０】
ピークシフトに関し、計数手段１０Ａで求めた計数率の総計（上述したように、微分曲線または積分曲線であるエネルギースペクトルに基づく）とエネルギースペクトルにおけるピーク位置との関係はあらかじめ求められ、第１補正手段１３Ａはその関係を記憶しているので、計数手段１０Ａで求めた計数率の総計に基づいて、エネルギースペクトルにおけるピーク位置Ｐａを推定でき、その推定したピーク位置Ｐａを基準位置Ｓａに一致させるためのゲイン値である初期値を出力する。ここで、本発明においては、初期値に後述するダイナミックゲイン補正値が加算されてフィードバックで修正されるので、計数手段１０Ａで求めた計数率の総計とエネルギースペクトルにおけるピーク位置との関係について、厳密に個々のＸ線分析装置や個々の検出器において求めなくても、正確な分析ができる。
【００２１】
図２の第２補正手段１４Ａは、計数手段１０Ａで得た図３右部のエネルギースペクトルにおいて、基準位置Ｓａを含む所定のエネルギー（波高）範囲でピーク位置Ｐａを検出し、その検出したピーク位置Ｐａを基準位置Ｓａに一致させるためのゲイン値であるダイナミックゲイン補正値をリアルタイムで出力する。ここで、ピーク位置Ｐａの検出範囲である所定のエネルギー範囲は、ピーク位置Ｐａに対応した基準位置Ｓａについて設定される。なお、ピーク位置Ｐａを検出する際、エネルギースペクトルにおける極小値である谷の位置Ｐｂを検出することにより、谷との位置関係から間接的に極大値であるピークの位置Ｐａを検出してもよい。また、図示しないが、エネルギースペクトルにおいて明確に現れる、１次Ｘ線３の特性Ｘ線のトムソン散乱線のピーク位置を検出することにより、そのピーク位置との位置関係から間接的に測定対象の２次Ｘ線７Ａのピーク位置Ｐａを検出してもよい。
【００２２】
図２のゲイン加算器１５Ａは、第１補正手段１３Ａからの初期値および第２補正手段１４Ａからのダイナミックゲイン補正値が入力され、両方を加算して入力パルス乗算器１２Ａに出力する。ここで、第１補正手段１３Ａからの初期値は、本実施形態の装置では、後述する初期値乗算器２２Ａを経由して、ゲイン加算器１５Ａへ入力されている。入力パルス乗算器１２Ａは、入力されたゲイン値に基づいて高速ＡＤ変換器９Ａからのパルスのゲインを変更することにより、ピーク位置を安定化させた出力パルスを計数手段１０Ａに送る。計数手段１０Ａは、その出力パルスからピーク位置が安定したエネルギースペクトルを得て、そのエネルギースペクトルに基づいて２次Ｘ線７Ａの強度を算出する。例えば、測定対象の２次Ｘ線７Ａが図３右部のピーク値Ｐａに対応する場合には、ピーク位置Ｐａが安定した状態において、つまりピーク位置Ｐａが基準位置Ｓａに一致した状態において、基準位置Ｓａを含む所定のエネルギー（波高）範囲での、エネルギースペクトルと横軸との間の面積が２次Ｘ線７Ａの強度となる。
【００２３】
２次Ｘ線７Ｂに対応した方のピーク位置安定化手段１１Ｂも、同様に、入力パルス乗算器１２Ｂと、第１補正手段１３Ｂと、第２補正手段１４Ｂと、ゲイン加算器１５Ｂとを有する。
【００２４】
以上の本実施形態の装置の基本構成によれば、上述したような第１補正手段１３Ａ，１３Ｂおよび第２補正手段１４Ａ，１４Ｂを併せ備え、ピークシフトが起こっても、極めて短時間で初期値を出力してそれにダイナミックゲイン補正値が加算されてフィードバックで修正されるので、本測定の開始をピークシフトにより低下するピーク位置が安定するまで待つ必要がなく、初期値が出力されることによりダイナミックゲイン補正値を求めるにあたりピーク位置を見失うことなく正しく検出できる。したがって、ピークシフトが起こっても、迅速かつ適切に補正できて、短時間に正確な分析ができる。
【００２５】
本実施形態の装置では、ピーク位置安定化手段１１Ａ，１１Ｂが、さらに、ゼロ位置補正手段１６Ａ，１６Ｂおよびゼロ位置加算器１７Ａ，１７Ｂを有する。２次Ｘ線７Ａに対応した方のピーク位置安定化手段１１Ａを例にとると、ゼロ位置補正手段１６Ａは、計数手段１０Ａで得た図３左部のエネルギースペクトルにおいて、波高ゼロに対応するゼロ基準位置Ｓｚを含む所定のエネルギー（波高）範囲で信号がない時のレベルの頻度がピークとなるゼロピーク位置Ｐｚを検出し、その検出したゼロピーク位置Ｐｚをゼロ基準位置Ｓｚに一致させるためのゼロ位置用ゲイン値を出力する。図２のゼロ位置加算器１７Ａは、高速ＡＤ変換器９Ａ（図１）と入力パルス乗算器１２Ａとの間に配置されて、高速ＡＤ変換器９Ａからのパルスおよびゼロ位置補正手段１６Ａからのゼロ位置用ゲイン値が入力され、高速ＡＤ変換器９Ａからのパルスにゼロ位置用ゲイン値を加算して入力パルス乗算器１２Ａに出力する。このゼロ位置補正に関する追加の構成によれば、波高ゼロに対応するゼロ位置のずれについても補正されるので、より正確な分析ができる。
【００２６】
本実施形態の装置では、検出器８Ａ，８Ｂ（図１）がガスフロー型比例計数管であるので、ピーク位置安定化手段１１Ａ，１１Ｂが、さらに、検出器８Ａ，８Ｂの温度を測定する温度センサー１９Ａ，１９Ｂおよび検出器８Ａ，８Ｂのガス圧を測定する圧力センサー２１と、温度センサー１９Ａ，１９Ｂでの測定温度および圧力センサー２１での測定圧力に基づいて、エネルギースペクトル（図３右部）におけるピーク位置Ｐａを推定し、その推定したピーク位置Ｐａを基準位置Ｓａに一致させるためのガス密度用ゲイン係数を出力するガス密度補正手段２０Ａ，２０Ｂと、初期値乗算器２２Ａ，２２Ｂとを有する。初期値乗算器２２Ａ，２２Ｂは、第１補正手段１３Ａ，１３Ｂとゲイン加算器１５Ａ，１５Ｂとの間に配置されて、前記初期値および前記ガス密度用ゲイン係数が入力され、前記初期値に前記ガス密度用ゲイン係数を乗算してゲイン加算器１５Ａ，１５Ｂに出力する。
【００２７】
ここで、温度センサー１９Ａ，１９Ｂは、図１においては図示しないが、検出器８Ａ，８Ｂに、または検出器８Ａ，８Ｂの近傍に取り付けられる。圧力センサー２１も図１においては図示しないが、検出器８Ａ，８Ｂの内部に配置される。ただし、検出器８Ａ，８Ｂ内のガス圧が大気圧と等しいとみなせる場合には、検出器８Ａ，８Ｂのガス圧として大気圧を測定すべく、検出器８Ａ，８Ｂが配置される真空雰囲気の分光室の外部における大気圧雰囲気中に、圧力センサー２１を配置してもよい。また、ガスフロー型比例計数管である検出器８Ａ，８Ｂのガス密度変化によるピーク位置のずれに関し、温度センサー１９Ａ，１９Ｂでの測定温度および圧力センサー２１での測定圧力と図３右部に示すエネルギースペクトルにおけるピーク位置Ｐａとの関係はあらかじめ求められ、ガス密度補正手段２０Ａ，２０Ｂはその関係を記憶しているので、温度センサー１９Ａ，１９Ｂでの測定温度および圧力センサー２１での測定圧力に基づいて、エネルギースペクトルにおけるピーク位置Ｐａを推定できる。このガス密度補正に関する追加の構成によれば、ガスフロー型比例計数管である検出器８Ａ，８Ｂのガス密度変化によるピーク位置のずれについても、機械的なガス密度安定化機構を用いることなしに補正されて初期値が出力されるので、ダイナミックゲイン補正値を求めるにあたりいっそうピーク位置を見失うことなく正しく検出でき、簡便に、より正確な分析ができる。
【００２８】
本実施形態の装置では、ガス密度補正に関する追加の構成において、検出器８Ａ，８Ｂの温度を測定する温度センサー１９Ａ，１９Ｂと検出器８Ａ，８Ｂのガス圧を測定する圧力センサー２１の両方を有し、温度センサー１９Ａ，１９Ｂでの測定温度と圧力センサー２１での測定圧力の両方に基づいて、エネルギースペクトル（図３右部）におけるピーク位置Ｐａを推定するが、本発明において、検出器の温度と検出器のガス圧のいずれか一方が、別途制御されている等の理由で一定とみなせる場合には、ガス密度補正に関する追加の構成に、その一方を測定するセンサーは不要であり、他方のセンサーでの測定値のみに基づいて、エネルギースペクトルにおけるピーク位置を推定すればよい。
【００２９】
なお、ゼロ位置補正に関する追加の構成とガス密度補正に関する追加の構成のいずれか一方のみを追加の構成として備えてもよい。また、本発明の範疇からは逸脱するが、本実施形態の装置の基本構成から第１補正手段を取り去り、ガス密度補正に関する追加の構成のみを追加の構成として備えた応用例も考えられる。
【００３０】
以上において、本実施形態の装置は、波長分散型であって多元素同時分析型の蛍光Ｘ線分析装置として説明したが、本発明においては、それ以外のＸ線分析装置、例えば、波長分散型であって走査型の蛍光Ｘ線分析装置、エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置、Ｘ線回折装置などであってもよい。また、用いる検出器も、ガス密度補正に関する追加の構成を備える場合を除き、ガスフロー型比例計数管以外の検出器、例えば、密閉型比例計数管、シンチレーションカウンター、半導体検出器などであってもよい。
【符号の説明】
【００３１】
７Ａ，７Ｂ  入射されたＸ線
８Ａ，８Ｂ  検出器
９Ａ，９Ｂ  高速ＡＤ変換器
１０Ａ，１０Ｂ  計数手段
１１Ａ，１１Ｂ  ピーク位置安定化手段
１２Ａ，１２Ｂ  入力パルス乗算器
１３Ａ，１３Ｂ  第１補正手段
１４Ａ，１４Ｂ  第２補正手段
１５Ａ，１５Ｂ  ゲイン加算器
１６Ａ，１６Ｂ  ゼロ位置補正手段
１７Ａ，１７Ｂ  ゼロ位置加算器
１９Ａ，１９Ｂ  温度センサー
２０Ａ，２０Ｂ  ガス密度補正手段
２１  圧力センサー
２２Ａ，２２Ｂ  初期値乗算器
Ｐａ  ピーク位置
Ｐｚ  ゼロピーク位置
Ｓａ  基準位置
Ｓｚ  ゼロ基準位置
【図１】
2014209098.tif 000003
【図２】
2014209098.tif 000004
【図３】
2014209098.tif 000005