(57)【要約】【課題】余剰な球状体の飛散を防止しつつ確実に除去する。【解決手段】吸着面２２で半田ボール３００を吸着する吸着ヘッド２と、半田ボール３００を保持している吸着保持部４２を吸着面２２に近接させた状態でＸ方向に移動させて半田ボール３００を吸着ヘッド２に供給する供給部４と、吸着面２２に近接した状態で吸着保持部４２に追随するようにしてＸ方向に移動させられて余剰な半田ボール３００を吸引して除去する除去部５とを備え、除去部５は、第１開口部５１ｂを有してＸ方向への移動の際に第１開口部５１ｂが吸着面２２に近接して余剰な半田ボール３００を第１開口部５１ｂから吸引する第１吸引部５１と、第１開口部５１ｂに隣接して配置された第２開口部５２ｂを有して第１吸引部５１に吸引されずに吸着面２２の近傍から離反する余剰な半田ボール３００を第２開口部５２ｂで捕捉して吸引する第２吸引部５２とを備えている。【選択図】図２
2014027070.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着面に形成された吸着孔の縁部に球状体を吸着する吸着ヘッドと、前記球状体を吸着して保持する吸着保持部を前記吸着面に近接させた状態で前記吸着ヘッドおよび当該吸着保持部の少なくとも一方を当該吸着面に沿った第１方向に相対的に移動させて当該球状体を前記吸着ヘッドに供給する供給部と、前記吸着面に近接した状態で前記吸着保持部に追随するようにして前記第１方向に相対的に移動させられて余剰な前記球状体を吸引して除去する除去部とを備えて、前記吸着ヘッドによって吸着された前記球状体を搭載対象に搭載可能に構成された球状体搭載装置であって、
前記除去部は、第１開口部を有して前記第１方向への相対的な移動の際に当該第１開口部が前記吸着面に近接して前記余剰な球状体を当該第１開口部から吸引する第１吸引部と、前記第１開口部に隣接して配置された第２開口部を有して前記第１吸引部に吸引されずに前記吸着面の近傍から離反する前記余剰な球状体を当該第２開口部で捕捉して吸引する第２吸引部とを備えている球状体搭載装置。
【請求項２】
前記除去部は、当該除去部を平面視した状態において前記第２開口部が前記第１開口部を取り囲むように構成されている請求項１記載の球状体搭載装置。
【請求項３】
前記除去部は、前記第１方向への相対的な移動の際に前記第２開口部が前記第１開口部よりも前記吸着面から離間して位置するように構成されている請求項１または２記載の球状体搭載装置。
【請求項４】
前記除去部は、前記第１方向への相対的な移動の際にその先端部が前記吸着面に近接して前記余剰な球状体を当該吸着面の近傍から離反させるスキージを備えている請求項１から３のいずれかに記載の球状体搭載装置。
【請求項５】
前記除去部は、当該除去部を平面視した状態において前記スキージの先端部が前記第２開口部内に位置するように構成されている請求項４記載の球状体搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、球状体を吸着する吸着ヘッドを用いて球状体を搭載対象に搭載する球状体搭載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の球状体搭載装置として、特開２０１０−２１２６５９号公報において出願人が開示した半田ボール搭載装置が知られている。この半田ボール搭載装置は、半田ボール吸着装置を備えて、半田ボールを基板に搭載可能に構成されている。半田ボール吸着装置は、半田ボールを保持している吸着保持部を吸着ヘッドの吸着面に近接させた状態で、吸着保持部を吸着面に沿って移動させることにより、吸着ヘッドに対して半田ボールを供給する。また、半田ボール吸着装置は、吸引部を吸着面に沿って移動させることにより、吸着面に吸着された半田ボールを除く余剰な半田ボールを除去することが可能となっている。この場合、吸引部は、区画壁および側壁によって形成される吸引経路を介して半田ボールを吸引可能に構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２１２６５９号公報（第８−１０頁、第１−３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記した従来の球状体搭載装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この球状体搭載装置では、吸引部からの吸気によって余剰な半田ボールを吸引して除去しているため、この吸引部からの吸気によって吸引部の周囲に空気の流れが生じることがある。このため、球状体搭載装置には、この空気の流れによって余剰な半田ボールが吸引部に吸引されずに（吸引される以前に）周囲に飛散して付着するという課題が存在し、この点の改善が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、余剰な球状体の飛散を防止しつつ確実に除去し得る球状体吸着装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の球状体搭載装置は、吸着面に形成された吸着孔の縁部に球状体を吸着する吸着ヘッドと、前記球状体を吸着して保持する吸着保持部を前記吸着面に近接させた状態で前記吸着ヘッドおよび当該吸着保持部の少なくとも一方を当該吸着面に沿った第１方向に相対的に移動させて当該球状体を前記吸着ヘッドに供給する供給部と、前記吸着面に近接した状態で前記吸着保持部に追随するようにして前記第１方向に相対的に移動させられて余剰な前記球状体を吸引して除去する除去部とを備えて、前記吸着ヘッドによって吸着された前記球状体を搭載対象に搭載可能に構成された球状体搭載装置であって、前記除去部は、第１開口部を有して前記第１方向への相対的な移動の際に当該第１開口部が前記吸着面に近接して前記余剰な球状体を当該第１開口部から吸引する第１吸引部と、前記第１開口部に隣接して配置された第２開口部を有して前記第１吸引部に吸引されずに前記吸着面の近傍から離反する前記余剰な球状体を当該第２開口部で捕捉して吸引する第２吸引部とを備えている。
【０００７】
また、請求項２記載の球状体搭載装置は、請求項１記載の球状体搭載装置において、前記除去部は、当該除去部を平面視した状態において前記第２開口部が前記第１開口部を取り囲むように構成されている。
【０００８】
また、請求項３記載の球状体搭載装置は、請求項１または２記載の球状体搭載装置において、前記除去部は、前記第１方向への相対的な移動の際に前記第２開口部が前記第１開口部よりも前記吸着面から離間して位置するように構成されている。
【０００９】
さらに、請求項４記載の球状体搭載装置は、請求項１から３のいずれかに記載の球状体搭載装置において、前記除去部は、前記第１方向への相対的な移動の際にその先端部が前記吸着面に近接して前記余剰な球状体を当該吸着面の近傍から離反させるスキージを備えている。
【００１０】
また、請求項５記載の球状体搭載装置は、請求項４記載の球状体搭載装置において、前記除去部は、当該除去部を平面視した状態において前記スキージの先端部が前記第２開口部内に位置するように構成されている。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の球状体搭載装置では、第１吸引部の第１開口部に隣接して配置された第２開口部を有する第２吸引部を備えて除去部が構成されている。このため、この球状体搭載装置によれば、第１開口部からの吸気に起因して生じる空気の流れによって吸着面の近傍から離反した余剰な球状体を第２開口部で捕捉して吸引することができる結果、その余剰な球状体の飛散を確実に防止しつつ余剰な球状体を確実に除去することができる。
【００１２】
また、請求項２記載の球状体搭載装置によれば、除去部を平面視した状態において第２開口部が第１開口部を取り囲むように除去部を構成したことにより、吸着面の近傍から離反した余剰な球状体が第１開口部の周囲のどの位置に存在しているとしても、その球状体を確実に捕捉して吸引することができる。
【００１３】
また、請求項３記載の球状体搭載装置では、第１方向への相対的な移動の際に第２開口部が第１開口部よりも吸着面から離間して位置するように除去部が構成されている。この場合、第１開口部と第２開口部とが吸着面から同じ距離だけ離間する構成では、第１開口部を吸着面に近接させたときには、第２開口部も吸着面に同じ距離で近接するため、例えば、第１開口部よりも前方（第１方向の下流）に第２開口部が配置されているときには、第２開口部からの吸気に起因して生じる空気の流れによって余剰な球状体が吸着面の近傍から離反して、その球状体が捕捉されることなく飛散することとなる。これに対して、この構成では、第１開口部だけを吸着面に近接させ、第２開口部を吸着面から離間させることができるため、第２開口部からの吸気に起因する余剰な球状体の飛散を確実に防止することができる。
【００１４】
また、請求項４記載の球状体搭載装置によれば、スキージを備えて除去部を構成したことにより、第１吸引部によって吸引することができない強い力で付着している余剰な球状体を吸着面の近傍から強制的に引き離すことができる結果、余剰な球状体をより確実に除去することができる。
【００１５】
また、請求項５記載の球状体搭載装置によれば、除去部を平面視した状態においてスキージの先端部が第２開口部内に位置するように除去部を構成したことにより、スキージによって吸着面の近傍から強制的に引き離された余剰な球状体を第２開口部で確実に捕捉して吸引することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】半田ボール搭載装置１の構成を示す構成図である。
【図２】吸着ヘッド２、マスク３、供給部４および除去部５の構成を示す断面図である。
【図３】吸着ヘッド２の吸着面２２およびマスク３の構成を示す断面図である。
【図４】供給部４の斜視図である。
【図５】除去部５を後端部側から見た斜視図である。
【図６】スキージユニット５３を取り外した状態の除去部５を後端部側から見た斜視図である。
【図７】スキージユニット５３を取り外した状態の除去部５を先端部側から見た斜視図である。
【図８】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第１の説明図である。
【図９】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第２の説明図である。
【図１０】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第３の説明図である。
【図１１】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第４の説明図である。
【図１２】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第５の説明図である。
【図１３】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第６の説明図である。
【図１４】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第７の説明図である。
【図１５】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第８の説明図である。
【図１６】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第９の説明図である。
【図１７】半田ボール搭載装置１の動作を説明する第１０の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係る球状体吸着装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１８】
最初に、図１に示す半田ボール搭載装置１の構成について説明する。半田ボール搭載装置１は、球状体搭載装置の一例であって、同図に示すように、吸着ヘッド２、マスク３、供給部４、除去部５、移動機構６および制御部７を備えて、後述する球状体搭載方法に従い、球状体の一例としての微小な球状粒体である半田ボール（マイクロボール）３００（図３参照）を搭載対象としての基板４００の端子４０１に搭載可能に構成されている。この場合、半田ボール３００は、直径Ｌ１（図３参照）が７０μｍ程度の球状に構成されている。また、半田ボール３００は、半田ボール搭載装置１によって基板４００の端子４０１に搭載された後に加熱溶融されることにより、基板４００上に半田ボールバンプやＣ４（Controlled Collapsed Chip Connection）バンプを構成する。
【００１９】
吸着ヘッド２は、一例として、図２に示すように、内部に空間（内部空間２１）を有する箱状に構成されている。また、同図および図３に示すように、吸着ヘッド２の吸着面２２には、内部空間２１に連通する吸着孔２３が、吸着面２２の厚み方向に沿って複数（図３では、そのうちの１個のみを図示している）形成されている。
【００２０】
この場合、図３に示すように、吸着孔２３の直径Ｌ２は、半田ボール３００の直径Ｌ１（この例では、７０μｍ）よりも短い４０μｍ程度に規定されている。また、図２に示すように、吸着ヘッド２には、図外の吸気機構に接続されて内部空間２１の空気を排気するための排気孔２４が形成されている。この吸着ヘッド２では、内部空間２１の空気の排気によって内部空間２１が減圧され、それに伴って吸着孔２３からの吸気が行われることにより、吸着ヘッド２の吸着面２２における吸着孔２３の縁部に半田ボール３００を吸着することが可能となっている（図３参照）。
【００２１】
マスク３は、吸着ヘッド２の各吸着孔２３に半田ボール３００を１つずつ吸着させる機能、つまり吸着ヘッド２に対する半田ボール３００の過剰供給を規制する機能を有する部材であって、図３に示すように、吸着ヘッド２の吸着面２２が当接したときに吸着ヘッド２の吸着孔２３に連通する挿通孔３１が形成されている。この場合、同図に示すように、マスク３の厚みＬ３は、吸着孔２３の縁部に吸着された半田ボール３００が下面から突出しない８０μｍ程度に規定されている。また、挿通孔３１の直径Ｌ４は、半田ボール３００が通過可能な９０μｍ程度に規定されている。
【００２２】
供給部４は、制御部７の制御に従い、吸着ヘッド２に半田ボール３００を供給可能に構成されている。具体的には、供給部４は、図２，４に示すように、収容容器４１および吸着保持部４２を備えて構成されている。収容容器４１は、半田ボール３００を収容可能に構成されている。吸着保持部４２は、収容容器４１に収容されている半田ボール３００をその先端部で吸着して保持可能に構成されると共に、基端部を中心として回動可能に構成されている。また、この供給部４は、半田ボール３００を吸着して保持している吸着保持部４２の先端部を吸着ヘッド２の吸着面２２（マスク３）に近接させた状態で、吸着面２２に沿った第１方向（図２に示すＸ方向）に移動機構６によって移動（相対的に移動）させられることで、吸着ヘッド２に半田ボール３００を供給する。
【００２３】
除去部５は、移動機構６によって第１方向に移動させられて、供給部４によって供給された半田ボール３００のうちの、吸着ヘッド２の各吸着孔２３に吸着される半田ボール３００を除く余剰な半田ボール３００を吸引して除去する機能を有している。具体的には、除去部５は、図５に示すように、第１吸引部５１、第２吸引部５２およびスキージユニット５３を備えて構成されている。
【００２４】
第１吸引部５１は、図２，６，７に示すように、直方体状に構成されている。また、第１吸引部５１には、先端部に第１開口部５１ｂを有し、基端部側が図外の吸気機構に接続される気体流路５１ａ（図２参照）が形成されている。この第１吸引部５１は、除去部５が移動機構６によって第１方向に移動させられるときに、第１開口部５１ｂが吸着面２２（マスク３）に近接して、余剰な半田ボール３００を第１開口部５１ｂから吸引する。
【００２５】
第２吸引部５２は、図２，６，７に示すように、直方体状に構成されている。また、第２吸引部５２には、上部に第２開口部５２ｂを有する凹部５２ａが形成されている。また、凹部５２ａの底部には、スキージユニット５３の磁石５３ｂが嵌合する複数（この例では、２つ）の嵌合穴５２ｃ（図２，６参照）、および、図外の吸気機構に接続される複数（この例では、３つ）の吸気孔５２ｄが形成されている。
【００２６】
また、第２吸引部５２は、除去部５を平面視した状態（以下、単に「平面視状態」ともいう）において、第２開口部５２ｂが第１吸引部５１の第１開口部５１ｂを取り囲むように（つまり、第１開口部５１ｂと第２開口部５２ｂとが隣接するように）構成されている。具体的には、この構成例では、第２吸引部５２の凹部５２ａ内に第１吸引部５１が配置されている。
【００２７】
また、図２に示すように、第２吸引部５２は、その高さ（第２開口部５２ｂの縁部の高さ）が第１吸引部５１の高さ（第１開口部５１ｂの縁部の高さ）よりも低く形成されている。この第２吸引部５２は、除去部５が移動機構６によって第１方向に移動させられるときに、第１吸引部５１によって吸引されずに吸着面２２の近傍から離反する余剰な半田ボール３００を第２開口部５２ｂで捕捉して吸引する。
【００２８】
スキージユニット５３は、図２，６，７に示すように、本体部５３ａ、磁石５３ｂ、スキージ５３ｃおよび固定部材５３ｄを備えて構成されている。本体部５３ａは、スキージ５３ｃを支持可能に構成されている。磁石５３ｂは、図２，７に示すように、円柱状に形成されて、本体部５３ａの底部に取り付けられている。この構成例では、第２吸引部５２の凹部５２ａの底部が鉄で形成されており、本体部５３ａは、凹部５２ａの底部に形成されている嵌合穴５２ｃに磁石５３ｂが嵌合して磁石５３ｂの磁力によって第２吸引部５２に着脱可能に保持される。
【００２９】
スキージ５３ｃは、図２，６，７に示すように、薄板状に形成されて固定部材５３ｄによって本体部５３ａに固定されている。このスキージユニット５３は、除去部５が移動機構６によって第１方向に移動させられるときに、スキージ５３ｃの先端部が吸着ヘッド２の吸着面２２（マスク３）に近接して、吸着面２２の近傍（マスク３）に付着している余剰な半田ボール３００を吸着面２２の近傍から離反させる機能を有している。この場合、スキージ５３ｃを形成する材料としては、余剰な半田ボール３００を確実に離反させることが可能な材料（例えば、鉄やステンレスなどの金属）が用いられている。
【００３０】
また、この除去部５では、除去部５を平面視した状態においてスキージ５３ｃの先端部が第２吸引部５２の第２開口部５２ｂ内に位置するようにスキージ５３ｃが配設されている（図２参照）。より具体的には、スキージ５３ｃは、同図に示すように、除去部５が移動させられる向き（図１１に示すＸ１の向き）に沿って傾斜し、かつ第１吸引部５１の第１開口部５１ｂよりも、Ｘ１の向きにおける上流側（図２における左側）にその先端部が位置するように配設されている。
【００３１】
この半田ボール搭載装置１では、図２に示すように、除去部５が供給部４に隣接するように配置されて、移動機構６が除去部５を供給部４と共に移動させる。このため、除去部５は、供給部４の移動に追随するように移動させられる。
【００３２】
移動機構６は、制御部７の制御に従い、マスク３の配置位置（供給部４によって吸着ヘッド２に対して半田ボール３００が供給される位置）と基板４００の配置位置（基板４００に半田ボール３００が搭載される位置）との間で吸着ヘッド２を移動させる。また、移動機構６は、吸着ヘッド２の吸着面２２（マスク３）に対して接離する方向、および吸着面２２に平行な第１方向（図２に示すＸ方向）に沿って供給部４および除去部５を移動させる。
【００３３】
制御部７は、半田ボール搭載装置１を構成する各構成要素を制御する。具体的には、制御部７は、供給部４による吸着ヘッド２に対する半田ボール３００の供給を制御する。また、制御部７は、移動機構６による吸着ヘッド２および供給部４の移動を制御する。
【００３４】
次に、半田ボール搭載装置１を用いて、基板４００の端子４０１に半田ボール３００を搭載する方法（球状体搭載方法）、およびその際の半田ボール搭載装置１の動作について、図面を参照して説明する。
【００３５】
この半田ボール搭載装置１では、開始操作がされたときに、制御部７が、移動機構６を制御して、図２に示すように、マスク３の配置位置に吸着ヘッド２を移動させる。この際に、図３に示すように、吸着ヘッド２の吸着面２２とマスク３とが接触する。なお、この時点においては、半田ボール３００は吸着ヘッド２によって吸着されていない。
【００３６】
次いで、制御部７は、吸着ヘッド２の排気孔２４に接続されている図外の吸気機構による吸気を開始させる。この際に、吸着ヘッド２の内部空間２１の空気が排気孔２４から排出されて、内部空間２１が負圧状態となり、これ伴って吸着孔２３からの吸気が開始される。
【００３７】
また、制御部７は、除去部５における第１吸引部５１の気体流路５１ａに接続されている図外の吸気機構、および除去部５における第２吸引部５２の吸気孔５２ｄに接続されている図外の吸気機構による吸気を開始させる。この際に、第１吸引部５１の第１開口部５１ｂ、および第２吸引部５２の第２開口部５２ｂからの吸気が開始される。この場合、この半田ボール搭載装置１では、第１開口部５１ｂからの吸引力（吸気による空気の流速）が、第１開口部５１ｂがマスク３に近接したときに、吸着ヘッド２の吸着面２２の近傍に付着している余剰な半田ボール３００をマスク３から離反させて吸引可能な程度に十分に大きく規定されている。一方、第２開口部５２ｂからの吸引力は、吸着面２２の近傍から離反した余剰な半田ボール３００を飛散させることなく第２開口部５２ｂから吸引可能な程度の大きさに規定されている。
【００３８】
続いて、制御部７は、供給部４を制御して半田ボール３００の供給を開始させる。この場合、供給部４では、吸着保持部４２が収容容器４１に収容されている半田ボール３００を先端部で吸着して保持する（図２参照）。次いで、吸着保持部４２は、図８に示すように、基端部を中心として回動する。続いて、吸着保持部４２は、図９に示すように、先端部が上方を向く位置まで回動した時点で、回動を停止する。
【００３９】
次いで、制御部７は、移動機構６を制御して、図１０に示すように、吸着ヘッド２の吸着面２２（マスク３）の一端側（同図における左端部）に吸着保持部４２の先端部を近接させる。続いて、制御部７は、移動機構６を制御して、図１１に示すように、吸着保持部４２の先端部を吸着面２２に近接させた状態で、供給部４を吸着面２２に沿って吸着面２２の他端側（同図における右側）に向けて同図に示すＸ１の向き（図２に示すＸ方向における一方の向き）に移動させる。
【００４０】
この際に、吸着保持部４２の先端部に保持されている半田ボール３００が、吸着ヘッド２における吸着面２２の吸着孔２３からの吸気に伴う吸引力によって吸着ヘッド２に引き寄せられて、吸着ヘッド２に供給される。また、図１１および図３に示すように、供給された半田ボール３００が、吸着孔２３に引き寄せられて、マスク３の挿通孔３１を通って吸着孔２３の縁部に吸着される。また、この状態では、図１１に示すように、吸着孔２３の縁部に吸着された半田ボール３００以外の余剰の半田ボール３００が吸着面２２の近傍（マスク３）に付着している。
【００４１】
次いで、制御部７は、移動機構６を制御して、図１２に示すように、供給部４を吸着面２２に沿って同図に示すＸ１の向きにさらに移動させる。この際に、供給部４に隣接して配置されている除去部５が、供給部４に追随してＸ１の向きに移動させられる。続いて、除去部５がマスク３における挿通孔３１の形成部位に近づくに従い、除去部５における第１吸引部５１の第１開口部５１ｂからの大きな吸引力によって空気の流れが生じる。
【００４２】
このため、図１２に示すように、吸着面２２の近傍（マスク３）に付着している余剰な半田ボール３００のうちの、比較的弱い力で吸着面２２の近傍に付着している余剰な半田ボール３００がこの空気の流れによって吸着面２２の近傍から離反する。この際に、吸着面２２の近傍から離反した半田ボール３００が、第２吸引部５２の第２開口部５２ｂからの吸気によって凹部５２ａ内に吸引され、凹部５２ａの底部に形成されている吸気孔５２ｄを通って排出される。
【００４３】
次いで、図１３に示すように、除去部５が吸着面２２に沿って同図に示すＸ１の向きにさらに移動させられたときには、除去部５における第１吸引部５１の第１開口部５１ｂが吸着面２２に近接する。この場合、第１開口部５１ｂからの吸引力が、第２吸引部５２の第２開口部５２ｂからの吸引力よりも大きいため、第２開口部５２ｂからの吸引力（吸気による空気の流れ）では吸着面２２の近傍から離反しなかった余剰な半田ボール３００（吸着面２２の近傍に比較的強い力で付着している余剰な半田ボール３００）が吸着面２２の近傍から離反して、第１開口部５１ｂから吸引されて、気体流路５１ａを通って排出される。
【００４４】
また、図１３に示すように、第１吸引部５１の第１開口部５１ｂよりも、Ｘ１の向きにおける上流側（同図における左側）に位置するスキージユニット５３におけるスキージ５３ｃの先端部が吸着面２２に近接する。この際に、スキージ５３ｃが、第１吸引部５１の第１開口部５１ｂからの吸引力では吸着面２２の近傍から離反しなかった余剰な半田ボール３００（吸着面２２の近傍に強い力で付着している余剰な半田ボール３００）に当接して吸着面２２の近傍から強制的に引き離す。したがって、この引き離された余剰な半田ボール３００は、第２吸引部５２の凹部５２ａ内に吸引され、さらに凹部５２ａの吸気孔５２ｄを通って排出される。
【００４５】
この半田ボール搭載装置１では、平面視状態において第１吸引部５１の第１開口部５１ｂを取り囲むように構成された第２開口部５２ｂを有する第２吸引部５２を備えているため、第１開口部５１ｂが近接する際に吸着面２２の近傍から離反した余剰な半田ボール３００を第２開口部５２ｂで捕捉して吸引することができる結果、その余剰な半田ボール３００の飛散を確実に防止することが可能となっている。また、この半田ボール搭載装置１では、スキージユニット５３を備えているため、第１吸引部５１によって吸引することができない吸着面２２の近傍に強い力で付着している余剰な半田ボール３００を吸着面２２の近傍からスキージ５３ｃによって強制的に引き離すことができる結果、余剰な半田ボール３００を確実に除去することが可能となっている。したがって、この半田ボール搭載装置１では、余剰の半田ボール３００が吸着ヘッド２によって吸着される事態を確実に防止することが可能となっている。
【００４６】
次いで、制御部７は、移動機構６を制御して、図１４に示すように、吸着面２２に沿って同図に示すＸ１の向きに供給部４および除去部５をさらに移動させる。続いて、制御部７は、移動機構６を制御して、図１５に示すように、供給部４および除去部５を初期位置に移動させる。また、制御部７は、移動機構６を制御して、同図に示すように、吸着ヘッド２を上向きに移動させて、吸着面２２の近傍から離反させる。
【００４７】
次いで、制御部７は、移動機構６を制御して、半田ボール３００を吸着している吸着ヘッド２を基板４００の配置位置に移動させ、続いて、図１６に示すように、吸着ヘッド２によって吸着されている半田ボール３００が基板４００の端子４０１に予め塗布されているフラックス（図示せず）に接触するように吸着ヘッド２を基板４００に向けて移動させる。
【００４８】
次いで、制御部７は、吸着ヘッド２の排気孔２４に接続されている図外の吸気機構を制御して吸気を停止させる。この際に、図１７に示すように、吸着ヘッド２による吸着が解除されて、半田ボール３００が基板４００の端子４０１に塗布されているフラックス（図示せず）の上に載置される。これにより、半田ボール３００の搭載が完了する。この半田ボール搭載装置１では、上記した除去部５を用いることで、吸着ヘッド２による余剰の半田ボール３００の吸着が確実に防止されている。このため、この半田ボール搭載装置１では、余剰の半田ボール３００が基板４００に搭載される（過剰に搭載される）事態を確実に防止することが可能となっている。
【００４９】
続いて、制御部７は、移動機構６を制御して、図１７に示すように、吸着ヘッド２を上方に向けて移動させた後に、初期位置に移動させる。次いで、他の基板４００に対する半田ボール３００の搭載を行う際には、制御部７に対して上記下各処理を実行させる。
【００５０】
このように、この半田ボール搭載装置１では、第１吸引部５１の第１開口部５１ｂに隣接して配置された第２開口部５２ｂを有する第２吸引部５２を備えて除去部５が構成されている。このため、この半田ボール搭載装置１によれば、第１開口部５１ｂからの吸気に起因して生じる空気の流れによって吸着面２２の近傍から離反した余剰な半田ボール３００を第２開口部５２ｂで捕捉して吸引することができる結果、その余剰な半田ボール３００の飛散を確実に防止しつつ余剰な半田ボール３００を確実に除去することができる。
【００５１】
また、この半田ボール搭載装置１によれば、除去部５を平面視した状態において第２開口部５２ｂが第１開口部５１ｂを取り囲むように除去部５を構成したことにより、吸着面２２の近傍から離反した余剰な半田ボール３００が第１開口部５１ｂの周囲のどの位置に存在しているとしても、その半田ボール３００を確実に捕捉して吸引することができる。
【００５２】
また、この半田ボール搭載装置１では、第１方向への移動の際に第２開口部５２ｂが第１開口部５１ｂよりも吸着ヘッド２の吸着面２２から離間して位置するように除去部５が構成されている。この場合、第１開口部５１ｂと第２開口部５２ｂとが吸着面２２から同じ距離だけ離間する構成では、第１開口部５１ｂを吸着面２２に近接させたときには、第２開口部５２ｂも吸着面２２に同じ距離で近接するため、例えば、第１開口部５１ｂよりも前方（第１方向の下流）に第２開口部５２ｂが配置されているときには、第２開口部５２ｂからの吸気に起因して生じる空気の流れによって余剰な半田ボール３００が吸着面２２の近傍から離反して、その半田ボール３００が捕捉されることなく飛散することとなる。これに対して、この構成では、第１開口部５１ｂだけを吸着面２２に近接させ、第２開口部５２ｂを吸着面２２から離間させることができるため、第２開口部５２ｂからの吸気に起因する余剰な半田ボール３００の飛散を確実に防止することができる。
【００５３】
また、この半田ボール搭載装置１によれば、スキージ５３ｃを備えて除去部５を構成したことにより、第１吸引部５１によって吸引することができない強い力で付着している余剰な半田ボール３００を吸着面２２の近傍から強制的に引き離すことができる結果、余剰な半田ボール３００をより確実に除去することができる。
【００５４】
また、この半田ボール搭載装置１によれば、除去部５を平面視した状態においてスキージ５３ｃの先端部が第２開口部５２ｂ内に位置するように除去部５を構成したことにより、スキージ５３ｃによって吸着面２２の近傍から強制的に引き離された余剰な半田ボール３００を第２開口部５２ｂで確実に捕捉して吸引することができる。
【００５５】
なお、球状体搭載装置は、上記の構成に限定されない。例えば、第２開口部５２ｂが第１開口部５１ｂを取り囲むように構成した例について上記したが、例えば、第１開口部５１ｂの前方（第１方向の下流）に第２開口部５２ｂを配置する構成や、第１開口部５１ｂの後方（第１方向の上流）に第２開口部５２ｂを配置する構成、つまり、第１開口部５１ｂに隣接する第１方向における上流および下流のいずれかの位置に第２開口部５２ｂを配置する構成を採用することができる。
【００５６】
また、第２開口部５２ｂが第１開口部５１ｂよりも吸着ヘッド２の吸着面２２から離間して位置するように構成した例について上記したが、第１開口部５１ｂと第２開口部５２ｂとが吸着面２２から同じ距離だけ離間する構成を採用することもできる。
【００５７】
また、金属で形成したスキージ５３ｃを用いる例について上記したが、半田ボール３００に対するダメージを低く抑えたり、静電気の発生を低く抑えたりする観点から、クリーンペーパー、樹脂およびゴムなどの金属以外の材料によって薄板状に形成したスキージを用いる構成を採用することもできる。また、超極細のワイヤーや、超極細の帯電防止機能を有する樹脂材料で形成したブラシをスキージに代えて（または、スキージと共に）用いる構成を採用することもできる。さらに、スキージユニット５３（スキージ５３ｃ）を備えていない構成を採用することもできる。
【００５８】
また、停止している状態の吸着ヘッド２（およびマスク３）に対して吸着保持部４２（供給部４）および除去部５を移動させる構成例について上記したが、停止している状態の吸着保持部４２および除去部５に対して吸着ヘッド２（およびマスク３）を移動させる構成を採用することもできるし、吸着ヘッド２（およびマスク３）と吸着保持部４２および除去部５との双方を移動させる構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００５９】
１  半田ボール搭載装置
２  吸着ヘッド
４  供給部
５  除去部
２２  吸着面
２３  吸着孔
４２  吸着保持部
５１  第１吸引部
５１ｂ  第１開口部
５２  第２吸引部
５２ｂ  第２開口部
５３  スキージユニット
５３ｃ  スキージ
３００  半田ボール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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