(57)【要約】【課題】冷凍機と超伝導部品との間をフレキシブルに、熱伝導よく、距離をできるだけ遠く配置することができる極低温保持部品収納装置とこの装置で使用される冷凍ケーブルを提供する。【解決手段】超伝導部品２を収納するケース３と冷凍機４との間に介設され、外部と熱絶縁しながら熱伝導によりケース３と冷凍機４との間を接続する冷凍ケーブル５を備える。冷凍ケーブル５は、熱伝導部１２と、筒状のカバー１３とを有するケーブル本体１４と、ケーブル本体１４とケース３との間およびケーブル本体１４と冷凍機４との間をそれぞれ着脱可能に接続する接続部１５，１６とを具備する。接続部１５，１６は、カバー１３の両端開口部を閉塞してケーブル本体１４の内部の真空封止と断熱を保持する断熱封止部１７，１８が配置され、断熱封止部１７，１８の中心部に熱伝導部１２が挿通されて熱伝導部１２をカバー１３の外部に露出させる熱伝導部の挿通部１７ａが配置される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超伝導部品を収納するケースと、冷凍機との間に介設され、外部と熱絶縁しながら熱伝導により前記ケースと、前記冷凍機との間を接続する冷凍ケーブルを備え、
前記冷凍ケーブルは、フレキシブル性を持たせた熱伝導部と、フレキシブル性を有し、前記熱伝導部を真空断熱、保護するための筒状のカバーとを有するケーブル本体と、前記ケーブル本体の両端部に配置され、前記ケーブル本体と前記ケースとの間および前記ケーブル本体と前記冷凍機との間をそれぞれ着脱可能に接続する接続部とを具備し、
前記接続部は、前記カバーの両端開口部を閉塞して前記ケーブル本体の内部の真空封止と断熱を保持する断熱封止部が配置されるとともに、前記断熱封止部の中心部に前記熱伝導部が挿通されて前記熱伝導部を前記カバーの外部に露出させる前記熱伝導部の挿通部が配置されている
ことを特徴とする極低温保持部品収納装置。
【請求項２】
前記熱伝導部は、熱伝導の良い材質により柔軟性を持たせて形成され、その一端部に前記ケース側のケース側熱伝導部と接触するケース側接触部が、また他端部に前記冷凍機側の冷凍機側熱伝導部と接触する冷凍機側接触部がそれぞれ形成されているとともに、これら接触部をこの熱伝導部の長手方向に付勢する弾性部を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の極低温保持部品収納装置。
【請求項３】
前記熱伝導部は、前記ケース側接触部の前記ケース側熱伝導部との連結部および前記冷凍機側接触部における前記冷凍機側熱伝導部との連結部に相互にくさび作用を有するテーパー面が形成されている
ことを特徴とする請求項２に記載の極低温保持部品収納装置。
【請求項４】
前記断熱封止部は、前記熱伝導部の先端部と当接し、前記熱伝導部挿通口から前記ケースの外部に突出する前記熱伝導部の突出位置を規制するストッパと、
前記熱伝導部の先端部と前記カバーとの間に配置され、前記熱伝導部と前記カバーとの間の隙間を閉塞する閉塞部材と、
前記熱伝導部の先端部を前記ストッパに当接する方向に付勢する熱伝導弾性部と、を具備する
ことを特徴とする請求項１に記載の極低温保持部品収納装置。
【請求項５】
前記閉塞部材は、ステンレスの薄膜ベローズ、及びダイアフラムの少なくともいずれか一方を有する
ことを特徴とする請求項４に記載の極低温保持部品収納装置。
【請求項６】
前記熱伝導弾性部は、コイルばね、膨縮変形可能な編組管、及びベローズのうちの少なくとも一つを有する
ことを特徴とする請求項４に記載の極低温保持部品収納装置。
【請求項７】
前記ケーブル本体の内部は、分子流領域以上の真空度を持たせて真空断熱されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の極低温保持部品収納装置。
【請求項８】
超伝導部品を収納するケースと、冷凍機との間に介設され、外部と熱絶縁しながら熱伝導により前記ケースと、前記冷凍機との間を接続する冷凍ケーブルであって、
前記冷凍ケーブルは、フレキシブル性を持たせた熱伝導部と、フレキシブル性を有し、前記熱伝導部を真空断熱、保護するための筒状のカバーとを有するケーブル本体と、前記ケーブル本体の両端部に配置され、前記ケーブル本体と前記ケースとの間および前記ケーブル本体と前記冷凍機との間をそれぞれ着脱可能に接続する接続部とを具備し、
前記接続部は、前記カバーの両端開口部を閉塞して前記ケーブル本体の内部の真空封止と断熱を保持する断熱封止部が配置されるとともに、前記断熱封止部の中心部に前記熱伝導部が挿通されて前記熱伝導部を前記カバーの外部に露出させる前記熱伝導部の挿通部が配置されている
ことを特徴とする極低温保持部品収納装置で使用される冷凍ケーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、超伝導を用いた部品を収納する極低温保持部品収納装置とこの装置で使用される冷凍ケーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
超伝導を用いた部品を収納する極低温保持部品収納ケースでは、冷凍効率向上のため、冷凍機を通常直結している。そして、冷凍機と収納ケースとの間で液体ヘリウム、またはヘリウムガスを流通させることで収納ケース内を超伝導部品の超伝導性を保持できる程度の極低温状態に冷却する構成になっている。また、超伝導部品は、収納ケースから熱絶縁のため隔絶させて、冷凍機のコールドヘッドに支持させていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−３５２１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来構成の装置では冷凍機から発生する振動がコールドヘッドから極低温保持部品収納ケース内の超伝導部品に伝達され、超伝導部品が冷凍機の発生させる振動の影響を受ける可能性がある。また、超伝導部品が大きくなると、支持する冷凍機のコールドヘッドに負担がかかる。ここで、コールドヘッドの支持機構の剛性を高めた場合には、高温側である支持機構側から収納ケース側への熱伝導が大きくなるため、ケース内を極低温状態に保持することが難しくなる。さらに、収納ケースの側に大きな冷凍機が配置されるので、冷凍機の設置スペースが大きくなり、邪魔になる。そこで、冷凍機と超伝導部品との間をフレキシブルに連結し、熱伝導よく、距離をできるだけ遠く配置したい要望がある。
【０００５】
本実施の形態は上記事情に着目してなされたもので、冷凍機と超伝導部品との間をフレキシブルに、熱伝導よく、距離をできるだけ遠く配置することができる極低温保持部品収納装置とこの装置で使用される冷凍ケーブルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施の形態によれば、超伝導部品を収納するケースと冷凍機との間に介設され、外部と熱絶縁しながら熱伝導により前記ケースと前記冷凍機との間を接続する冷凍ケーブルを備える。前記冷凍ケーブルは、熱伝導部と、筒状のカバーとを有するケーブル本体と、前記ケーブル本体の両端部に配置され、前記ケーブル本体と前記ケースとの間および前記ケーブル本体と前記冷凍機との間をそれぞれ着脱可能に接続する接続部とを具備する。前記接続部は、カバーの両端開口部を閉塞して前記ケーブル本体の内部の真空封止と断熱を保持する断熱封止部が配置され、前記断熱封止部の中心部に前記熱伝導部が挿通されて前記熱伝導部を前記カバーの外部に露出させる前記熱伝導部の挿通部が配置されている。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１の実施の形態の極低温保持部品収納装置の全体の概略構成を示す縦断面図。
【図２】第１の実施の形態の極低温保持部品収納装置の冷凍ケーブルとケースとの連結部分を示す要部の縦断面図。
【図３】第１の実施の形態の極低温保持部品収納装置の冷凍ケーブルとケースとの連結部分を分離させた状態の冷凍ケーブルのケース接続部を示す要部の縦断面図。
【図４】熱伝導弾性部の構造の一例を示すもので、（ａ）は複数のコイルばねが並べて配置された第１形態を示す図、（ｂ）は複線構造のコイルばねの第２形態を示す図、（ｃ）は複数のベローズが並べて配置された第３形態を示す図、（ｄ）は複層構造のベローズの第４形態を示す図。
【図５】スペーサの形状の一例を示すもので、（ａ）はスペーサの平面図、（ｂ）は（ａ）のＶｂ−Ｖｂ線断面図。
【図６】第２の実施の形態の極低温保持部品収納装置の冷凍ケーブルのケース接続部を示す要部の縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
［第１の実施の形態］  
（構成）  
図１乃至図５は、第１の実施の形態を示す。図１は極低温保持部品収納装置１の全体の概略構成を示す縦断面図である。本実施の形態の極低温保持部品収納装置１は、超伝導部品２を収納するケース３と、冷凍機４との間に介設され、外部と熱絶縁しながら熱伝導によりケース３と、冷凍機４との間を接続する冷凍ケーブル５を備えている。
【０００９】
ケース３は、真空断熱極低温冷却ケースで形成されている。このケース３の図１中で下面中央には、冷凍ケーブル５との接続用のフランジ部６が下向きに突設されている。このケース３の内部には超伝導部品２を支持する台７が配設されている。この台７は、ケース３の内面に対して熱伝導性が低い例えば、樹脂材料で形成されたブラケット８を介して距離を開けて取り付けられている。
【００１０】
この台７の下面中央には、棒状のケース側熱伝導部９が下向きに突設されている。図２に示すようにこのケース側熱伝導部９は、フランジ部６の中央位置に配置され、フランジ部６の下側端縁部から下向きに突出された状態で固定されている。ケース側熱伝導部９の下端部には先端側に向かうにしたがって外径が徐々に小さくなるテーパー部９ａが形成されている。
【００１１】
また、冷凍機４は、例えばスターリングサイクルを利用したスターリング冷凍機である。この冷凍機４は、コールドヘッド４ａを備えている。このコールドヘッド４ａには棒状の冷凍機側熱伝導部１０が設けられている。さらに、この冷凍機４には、冷凍ケーブル５との接続用のフランジ部１１が設けられている。このフランジ部１１の中央位置には、コールドヘッド４ａの冷凍機側熱伝導部１０が配置されている。この冷凍機側熱伝導部１０は、フランジ部１１の端縁部から外向きに突出された状態で固定されている。そして、この冷凍機側熱伝導部１０の先端部には、ケース側熱伝導部９と同様に先端側に向かうにしたがって外径が徐々に小さくなるテーパー部１０ａが形成されている。
【００１２】
冷凍ケーブル５は、フレキシブル性を持たせた熱伝導部１２と、フレキシブル性を有し、熱伝導部１２を真空断熱、保護するための筒状のカバー１３とを有するケーブル本体１４を有する。ここで、熱伝導部１２は、例えば高純度アルミニウムや高純度銅などの柔らかく極低温で熱伝導の良い材質の棒状体によって形成されている。カバー１３は、例えば、熱伝導性の悪いステンレスなどの材質でベローズ状に形成され、フレキシブル性を持たせている。
【００１３】
熱伝導部１２の高純度銅は、超伝導状態になると熱伝導率が大幅に高くなる（例えば真空度が高く、極低温状態では通常の１００倍〜１０００倍程度に上昇する）ことが知られている。さらに、熱伝導部１２の一端部には、ケース３側のケース側熱伝導部９と接触するケース側接触部１２ａが形成されている。熱伝導部１２の他端部には、冷凍機４側の冷凍機側熱伝導部１０と接触する冷凍機側接触部１２ｂが形成されている。
【００１４】
また、ケース側接触部１２ａの先端部には、ケース側熱伝導部９の先端部と嵌合状態で連結される凹部１２ａ１が形成されている。この凹部１２ａ１にはケース側熱伝導部９のテーパー部９ａと対応するテーパー面が形成されている。これにより、ケース側接触部１２ａの先端部と、ケース側熱伝導部９の先端部との嵌合時に、ケース側接触部１２ａの凹部１２ａ１のテーパー面と、ケース側熱伝導部９のテーパー部９ａとの間が相互にくさび作用により密着し、相手側との熱伝導を良好にするようになっている。なお、冷凍機側接触部１２ｂも同様に冷凍機側熱伝導部１０の先端部と嵌合状態で連結される凹部１２ｂ１が形成されている。この凹部１２ｂ１には冷凍機側熱伝導部１０のテーパー部１０ａと対応するテーパー面が形成されている。これにより、冷凍機側接触部１２ｂの先端部と、冷凍機側熱伝導部１０の先端部との嵌合時に、冷凍機側接触部１２ｂの凹部１２ｂ１のテーパー面と、冷凍機側熱伝導部１０のテーパー部１０ａとの間が相互にくさび作用により密着し、相手側との熱伝導を良好にするようになっている。
【００１５】
ケーブル本体１４の一端部には、ケーブル本体１４と超伝導部品収納ケース３との間を着脱可能に接続するケース側接続部１５が設けられている。ケーブル本体１４の他端部には、ケーブル本体１４と冷凍機４との間を着脱可能に接続する冷凍機側接続部１６が設けられている。
【００１６】
ケース側接続部１５および冷凍機側接続部１６には、カバー１３の両端開口部を閉塞してケーブル本体１４の内部の真空封止と断熱を保持する断熱封止部１７，１８が配置される。ここで、ケース側接続部１５の断熱封止部１７と、冷凍機側接続部１６の断熱封止部１８とは、同じ構成である。そのため、ここでは、ケース側接続部１５の断熱封止部１７の構成を説明し、冷凍機側接続部１６の断熱封止部１８は、同一部分に同一の符号を付してその説明を省略する。
【００１７】
本実施の形態のケース側接続部１５の断熱封止部１７は、ストッパ１９と、２つのダイヤフラム（閉塞部材）２０と、熱伝導弾性部２１と、を具備する。ここで、断熱封止部１７には、熱伝導部１２の先端部が挿通される開口部である熱伝導部挿通部１７ａが形成されている。そして、熱伝導部１２の先端部は、断熱封止部１７の熱伝導部挿通部１７ａからカバー１３の外部側に露出させる状態で突出されている。
【００１８】
ストッパ１９は、カバー１３の先端部内周面に内向きに突設されている。熱伝導部１２におけるケース側接触部１２ａの先端部外周面には、ストッパ１９と当接する当接部材２２が外向きに突設されている。そして、ストッパ１９は、図３に示すように断熱封止部１７の熱伝導部挿通部１７ａからカバー１３の外部に突出するケース側接触部１２ａの先端部の当接部材２２と当接し、熱伝導部１２の先端部の突出位置を規制する。
【００１９】
２つのダイヤフラム２０は、熱伝導部１２の軸方向に離れた位置にほぼ平行に配置されている。２つのダイヤフラム２０は、例えば、熱伝導性の悪いステンレスなどの材質で薄膜状に形成されている。そして、ケース側接触部１２ａの外周面には２つのダイヤフラム２０の内周面が例えば銀ロー付けで封止されている。カバー１３の内周面には２つのダイヤフラム２０の外周面が同様に、例えば銀ロー付けで封止されている。これにより、熱伝導部１２とカバー１３との間の隙間が２つのダイヤフラム２０によって閉塞され、カバー１３の内部が真空状態で封止されている。なお、閉塞部材は、２つのダイヤフラム２０に代えて薄膜ベローズにしてもよい。
【００２０】
また、熱伝導弾性部２１は、熱伝導部１２の先端部のケース側接触部１２ａの近傍位置に配置されたコイルばね、膨縮変形可能な編組管、及びベローズのうちの少なくとも一つを有するとともに、その数を複数個配置することができる。ここで、編組管は、細い糸状のものを編み込んで編組して、熱伝導性とともにフレキシブル性を持たせたものである。これらを複数個配置した熱伝導弾性部２１の事例として、コイルばねが複数個の場合を図４（ａ）及び（ｂ）に、またベローズが複数個の場合を図４（ｃ）及び（ｄ）に、それぞれ示す。
【００２１】
図４（ａ）は、熱伝導部１２の先端部とケース側接触部１２ａとの間に単線の複数のコイルばね２１１が並べて配置された第１形態の熱伝導弾性部２１を示す。図４（ｂ）は、複数のばね素線２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃを一緒にコイル状に巻装させて１つに一体化させた複線構造のコイルばね２１２が熱伝導部１２の先端部とケース側接触部１２ａとの間に配置された第２形態の熱伝導弾性部２１を示す。図４（ｃ）は、熱伝導部１２の先端部とケース側接触部１２ａとの間に複数のベローズ２１３が並べて配置された第３形態の熱伝導弾性部２１を示す。図４（ｄ）は、複数のベローズ２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃを同心状に重ねた状態で１つに一体化させた複層構造のベローズ２１４が熱伝導部１２の先端部とケース側接触部１２ａとの間に配置された第４形態の熱伝導弾性部２１を示す。
【００２２】
そして、この熱伝導弾性部２１によって図３に示すように熱伝導部１２の先端部をストッパ１９に当接する方向にプリロードをかけられるようになっている。
【００２３】
さらに、カバー１３の内周面には、ベローズ状の壁部の小径部の部分に熱伝導部１２との接触を防止するスペーサ２３がそれぞれ突設されている。このスペーサ２３は、例えば、熱伝導性の悪いステンレスなどの材質で先端が針状に形成されている。スペーサ２３の形状の一例を図５（Ａ），（Ｂ）に示す。スペーサ２３は、カバー１３の内周面の適宜の箇所に複数、配置されている。図５（Ａ）に示すようにスペーサ２３は、リング状のスペーサ本体２３ａの内周面に内方向に向けて複数の接触アーム２３ｂが突設されている。複数の接触アーム２３ｂは、スペーサ本体２３ａの周方向に沿って等間隔に並設されている。さらに、各接触アーム２３ｂは内端部側に向かうにしたがって先細になる先細形状に形成されている。
【００２４】
本実施の形態の冷凍ケーブル５は、カバー１３の内部は、真空封止されている。真空度は、内部ガスが分子流領域になるレベルまでさげる。これにより、熱伝導部１２とカバー１３とのギャップが小さい場合でも内部ガスによる熱伝導の影響がなくなるので、熱伝導部１２とカバー１３との間の熱伝達を極力小さくすることができる。
【００２５】
（作用）
次に、上記構成の作用について説明する。本実施の形態の冷凍ケーブル５は、超伝導部品収納ケース３および冷凍機４とそれぞれ未接続の状態では、熱伝導部１２の熱伝導弾性部２１の付勢力によって図３に示すように熱伝導部１２のケース側接触部１２ａが熱伝導部挿通部１７ａからカバー１３の外部に突出する方向に付勢されている。同様に、熱伝導部１２の冷凍機側接触部１２ｂが熱伝導部挿通部１８ａからカバー１３の外部に突出する方向に付勢されている。なお、熱伝導部１２の一端側では、ケース側接触部１２ａの当接部材２２がカバー１３のストッパ１９に圧接され、熱伝導部１２の他端側では、冷凍機側接触部１２ｂの当接部材２２がカバー１３のストッパ１９に圧接されて、ケース側接触部１２ａ及び冷凍機側接触部１２ｂが外部に必要以上に突出しないようになっている。
【００２６】
また、極低温保持部品収納装置１の使用時には、超伝導部品収納ケース３と、冷凍ケーブル５の一端側との間が接続され、冷凍ケーブル５の他端側と冷凍機４との間が接続される。この接続作業時には、超伝導部品収納ケース３のフランジ部６と冷凍ケーブル５の一端側のケース側接続部１５とが接続され、冷凍機４のフランジ部１１と冷凍ケーブル５の他端側の冷凍機側接続部１６とが接続される。
【００２７】
ここで、冷凍ケーブル５のケース側接続部１５では、カバー１３の端縁部の連結フランジが超伝導部品収納ケース３のフランジ部６と例えばボルト止めなどの手段で固定される。同時に、熱伝導部１２のケース側接触部１２ａは、ケース側熱伝導部９と連結される。この連結時には、ケース側熱伝導部９の先端部がケース側接触部１２ａの凹部１２ａ１内に挿入された状態で嵌合される。このとき、ケース側熱伝導部９の先端部によって熱伝導部１２のケース側接触部１２ａが熱伝導弾性部２１の付勢力に抗して図２中で下向きに押し込み操作される。そのため、ケース側接触部１２ａの当接部材２２がカバー１３のストッパ１９から離れる方向に移動するので、カバー１３と熱伝導部１２との間が離間され、この接触部からの熱伝導が遮断される。
【００２８】
さらに、この熱伝導部１２のケース側接触部１２ａとケース側熱伝導部９との連結時には、熱伝導弾性部２１の付勢力によってケース側接触部１２ａの凹部１２ａ１のテーパー面と、ケース側熱伝導部９のテーパー部９ａとの間が相互にくさび作用により密着し、相手側との熱伝導が良好な状態で保持される。このとき、超伝導部品収納ケース３と、冷凍ケーブル５との接続時には、ケース側接触部１２ａとカバー１３との間の２つのダイヤフラム２０が平行移動するので、ケース側接触部１２ａの凹部１２ａ１のテーパー面と、ケース側熱伝導部９のテーパー部９ａとの接続の傾斜方向のミスアライメントを少なくすることができる。
【００２９】
同様に、冷凍ケーブル５の冷凍機側接続部１６では、カバー１３の端縁部の連結フランジが冷凍機４のフランジ部１１と例えばボルト止めなどの手段で固定される。同時に、熱伝導部１２の冷凍機側接触部１２ｂは、冷凍機側熱伝導部１０と連結される。この連結時には、冷凍機側熱伝導部１０の先端部が冷凍機側接触部１２ｂの凹部１２ｂ１内に挿入された状態で嵌合される。このとき、冷凍機側熱伝導部１０の先端部によって熱伝導部１２の冷凍機側接触部１２ｂが熱伝導弾性部２１の付勢力に抗して図２中で左向きに押し込み操作される。そのため、冷凍機側接触部１２ｂの当接部材２２がカバー１３のストッパ１９から離れる方向に移動するので、カバー１３と熱伝導部１２との間が離間され、この接触部からの熱伝導が遮断される。
【００３０】
さらに、この冷凍機側接触部１２ｂと、冷凍機側熱伝導部１０との連結時には、熱伝導弾性部２１の付勢力によって冷凍機側接触部１２ｂの凹部１２ｂ１のテーパー面と、冷凍機側熱伝導部１０のテーパー部１０ａとの間が相互にくさび作用により密着し、相手側との熱伝導が良好な状態で保持される。このとき、冷凍機４と、冷凍ケーブル５との接続時には、冷凍機側接触部１２ｂとカバー１３との間の２つのダイヤフラム２０が平行移動するので、冷凍機側接触部１２ｂの凹部１２ｂ１のテーパー面と、冷凍機側熱伝導部１０のテーパー部１０ａとの接続の傾斜方向のミスアライメントを少なくすることができる。
【００３１】
これにより、超伝導部品収納ケース３と、冷凍ケーブル５と、冷凍機４との接続時には、超伝導部品収納ケース３と冷凍機４との間が外部と熱絶縁しながら、冷凍ケーブル５によって接続される。そのため、冷凍機４のコールドヘッド４ａの冷凍機側熱伝導部１０から冷凍ケーブル５の熱伝導部１２を介してケース３側のケース側熱伝導部９に熱伝導されて超伝導部品収納ケース３内の超伝導部品２が極低温状態に冷却される。
【００３２】
（効果）  
そこで、上記構成のものにあっては次の効果を奏する。すなわち、本実施の形態の極低温保持部品収納装置１では、超伝導部品収納ケース３と、冷凍機４との間を冷凍ケーブル５を介して外部と熱絶縁しながら接続することができる。そのため、冷凍機４と超伝導部品２との間をフレキシブルに、熱伝導よく、距離をできるだけ遠く配置することができる。
【００３３】
［第２の実施の形態］  
（構成）  
図６は、第２の実施の形態を示す。本実施の形態は、第１の実施の形態（図１乃至図３参照）の極低温保持部品収納装置１の冷凍ケーブル５の構成を次の通り変更した変形例である。なお、図６中で、図１乃至図５と同一部分には同一の符号を付してその説明を省略する。すなわち、本実施の形態の冷凍ケーブル３１は、熱伝導部１２とは別体の独立のコイルばね３２を設けたものである。このコイルばね３２は、カバー１３の先端部に形成された凹部３３の内底部と熱伝導部１２のケース側接触部１２ａとの間に介設されている。ここで、コイルばね３２は、熱伝導性の悪いステンレスなどの材質で線径が細い細線をコイル形状に成形したものである。
【００３４】
さらに、コイルばね３２は、次の数１に示すとおり大気圧Ｐによる荷重Ｆ１［Ｎ］に打ち勝つばね力Ｆ２に設定されている。ここで、熱伝導部１２のダイヤフラム２０の直径：ｄ［ｍ］、ダイヤフラム２０の断面積：Ｓ＝πｄ２／４［ｍ２］、冷凍ケーブル３１の内外の気圧差：Ｐ［Ｐａ］である。
【００３５】
［数１］
Ｓ  ×  Ｐ  ＝  Ｆ１  ＜  Ｆ２
（作用・効果）  
そして、本実施の形態の冷凍ケーブル３１でも第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００３６】
これらの実施形態によれば、冷凍機と超伝導部品をフレキシブルに、熱伝導よく、距離をできるだけ遠く配置することができる極低温保持部品収納装置とこの装置で使用される冷凍ケーブルを提供することができる。
【００３７】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００３８】
１…極低温保持部品収納装置、２…超伝導部品、３…ケース、４…冷凍機、５，３１…冷凍ケーブル、６…フランジ部、７…台、８，１１…ブラケット、９…ケース側熱伝導部、１０…冷凍機側熱伝導部、１２…熱伝導部、１３…カバー、１４…ケーブル本体、１５，１６…接続部、１７，１８…断熱封止部、１７ａ，１８ａ…熱伝導部挿通部、１９…ストッパ、２０…ダイヤフラム、２１…熱伝導弾性部、２２…当接部材、２３…スペーサ、３２…コイルばね、３３…凹部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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