(57)【要約】【課題】ガラス基板をその保持部材から剥離する際に、割れやキズが発生することなく、安定して短時間で剥離する。【解決手段】吸着シートに液体を介在させて吸着保持されたガラス基板を当該吸着シートから剥離する剥離手段を備えたことを特徴とするガラス基板剥離装置を提供する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着シートに液体を介在させて吸着保持されたガラス基板を当該吸着シートから剥離する剥離手段を備えたことを特徴とするガラス基板剥離装置。
【請求項２】
前記剥離手段は、
吸着シートに液体を介在させて吸着保持されたガラス基板の前記吸着シートと反対の面を保持する複数の吸着パッドと、
前記ガラス基板に対して接近及び離間の一方の動作をするように、前記複数の吸着パッドをそれぞれ独立に昇降動作させる昇降機構と、
前記ガラス基板を前記吸着シートから剥離する際には、前記ガラス基板の端部を吸着する前記吸着パッドから、徐々に前記吸着シートから退避する方向に持ち上げて行き、前記ガラス基板全体を前記吸着シートから剥離させるように前記昇降機構を制御する制御手段と、
前記複数の吸着パッド全体を前記ガラス基板に対して接近または離間させるとともに前記ガラス基板の面内方向に平行移動させる吸着パッド移動手段と、
を備えた請求項１に記載のガラス基板剥離装置。
【請求項３】
前記剥離手段は、
液体を介在させてガラス基板を吸着保持し、当該ガラス基板を吸着保持する領域に複数の貫通穴が設けられた吸着シートと、
前記吸着シートを載置し、前記吸着シートを載置する領域に前記複数の貫通孔の開口面と一致するように複数の穴が設けられたガラス基板保持定盤と、
前記複数の穴の中に配置され、前記吸着シートの貫通穴から突出するように昇降動作するピンと、
前記ピンを前記吸着シートから突出するように昇降動作させる昇降機構と、
前記ピンを昇降動作させて前記ガラス基板を前記吸着シートから剥離させるように前記昇降機構を制御する制御手段と、
を備えた請求項１に記載のガラス基板剥離装置。
【請求項４】
前記複数の貫通穴及び前記複数の穴は、前記ガラス基板を吸着保持する領域の端部においては、該端部から前記ガラス基板の中央部に向かうように、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に対して斜めに形成するとともに、前記ガラス基板を吸着保持する領域の中央部においては、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に平行に形成する請求項３に記載のガラス基板剥離装置。
【請求項５】
前記剥離手段は、
液体を介在させてガラス基板を吸着保持し、当該ガラス基板を吸着保持する領域に複数の貫通穴が設けられた吸着シートと、
前記吸着シートを載置し、前記吸着シートを載置する領域に前記複数の貫通孔の開口面と一致するように複数の穴が設けられたガラス基板保持定盤と、
前記複数の穴の中にエアーを供給し、前記ガラス基板の前記吸着シートで吸着保持されている面に前記エアーを吹き付けるエアー供給手段と、
を備えた請求項１に記載のガラス基板剥離装置。
【請求項６】
前記複数の貫通穴及び前記複数の穴は、前記ガラス基板を吸着保持する領域の端部においては、該端部から前記ガラス基板の中央部に向かうように、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に対して斜めに形成するとともに、前記ガラス基板を吸着保持する領域の中央部においては、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に平行に形成する請求項５に記載のガラス基板剥離装置。
【請求項７】
前記剥離手段は、
吸着シートの上面に研磨したガラス基板を液体を介在させて吸着保持するガラス基板保持定盤と、
前記ガラス基板保持定盤の天地を逆に反転する手段と、
を備え、研磨後のガラス基板を前記ガラス基板保持定盤の天地を逆に反転し、重力方向上方に前記吸着シート、下方に前記ガラス基板が位置するようにして、前記ガラス基板が自重で前記吸着シートから剥離されるようにした請求項１に記載のガラス基板剥離装置。
【請求項８】
ガラス基板を吸着シートに液体を介在させて吸着保持して研磨したガラス基板の前記吸着シートと反対の面を複数の吸着パッドで吸着する工程と、
前記複数の吸着パッドのうち前記ガラス基板の端部を吸着する前記吸着パッドから、徐々に前記吸着シートから退避する方向に持ち上げて行き、前記ガラス基板全体を前記吸着シートから剥離させて行く工程と、
前記ガラス基板を前記吸着シートから離間させるとともに前記ガラス基板の面内方向に平行移動させて、前記ガラス基板を次の作業工程に移載する工程と、
を備えたことを特徴とするガラス基板の剥離方法。
【請求項９】
複数の穴が設けられたガラス基板保持定盤上に載置された、前記複数の孔の開口面と一致するように複数の貫通穴が設けられた吸着シートに、研磨したガラス基板を液体を介在させて吸着保持する工程と、
前記複数の穴の中に配置され、前記吸着シートの貫通穴から突出するように昇降動作するピンを昇降動作させて、前記ガラス基板の前記吸着シートで吸着保持されている面を前記ピンで押し上げて前記ガラス基板を前記吸着シートから剥離する工程と、
を備えたことを特徴とするガラス基板の剥離方法。
【請求項１０】
前記複数の貫通穴及び前記複数の穴は、前記ガラス基板を吸着保持する領域の端部においては、該端部から前記ガラス基板の中央部に向かうように、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に対して斜めに形成されるとともに、前記ガラス基板を吸着保持する領域の中央部においては、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に平行に形成され、前記ガラス基板を吸着保持する領域の端部においては、前記ピンを前記貫通穴及び前記穴に沿って前記ガラス基板の中央部に向かって斜めに上昇させるとともに、前記ガラス基板を吸着保持する領域の中央部においては、前記ピンを前記貫通穴及び前記穴に沿って真上に上昇させる請求項９に記載のガラス基板の剥離方法。
【請求項１１】
複数の穴が設けられたガラス基板保持定盤上に載置された、前記複数の孔の開口面と一致するように複数の貫通穴が設けられた吸着シートに、研磨したガラス基板を液体を介在させて吸着保持する工程と、
前記複数の穴を介して、前記ガラス基板の前記吸着シートで吸着保持されている面にエアーを吹き付けて、前記ガラス基板を押し上げて、前記ガラス基板を前記吸着シートから剥離する工程と、
を備えたことを特徴とするガラス基板の剥離方法。
【請求項１２】
前記複数の貫通穴及び前記複数の穴は、前記ガラス基板を吸着保持する領域の端部においては、該端部から前記ガラス基板の中央部に向かうように、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に対して斜めに形成されるとともに、前記ガラス基板を吸着保持する領域の中央部においては、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に平行に形成され、前記ガラス基板を吸着保持する領域の端部においては、前記エアーを前記貫通穴及び前記穴に沿って前記ガラス基板の中央部に向かって斜めに吹き付けるとともに、前記ガラス基板を吸着保持する領域の中央部においては、前記エアーを前記貫通穴及び前記穴に沿って真上に吹き付ける請求項１１に記載のガラス基板の剥離方法。
【請求項１３】
ガラス基板保持定盤上に載置された吸着シートの上面に、研磨したガラス基板を液体を介在させて吸着保持する工程と、
前記ガラス基板保持定盤の天地を逆に反転することにより、前記吸着シート及び前記ガラス基板の天地を逆に反転する工程と、
を備え、前記ガラス基板と前記吸着シートの天地を逆に反転し、重力方向上方に前記吸着シート、下方に前記ガラス基板が位置するようにして、前記ガラス基板が自重で前記吸着シートから剥離するようにしたことを特徴とするガラス基板の剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の剥離方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板が研磨されるとき、ガラス基板は、ガラス基板保持定盤に接着された吸着シートに吸着保持されて研磨ラインを搬送される場合がある。この場合、研磨加工が終了したガラス基板を吸着シートから剥離して、次の工程、例えば洗浄装置の載置台に移載しなければならない。
【０００３】
従来は、ガラス基板を吸着シートから剥離する際、例えば特許文献１に記載されているように、ガラス基板と吸着シートの境界部に向けて圧縮エアーを噴出することにより、ガラス基板の縁部の少なくとも一部分を吸着シートから離間させるとともに、離間したガラス基板と吸着シートとの間の隙間に水を供給して吸着シートに対するガラス基板の吸着を解除し、ガラス基板の吸着シートと反対の面を複数の吸着パッドによって吸着保持してガラス基板を吸着シートから剥離させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１８５７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来は、研磨終了後、ガラス基板を保持していた保持吸着部材からガラス基板を取り外す際に、ガラス基板に割れやキズなどが発生したり、剥離するのに時間がかかり、生産性が落ちる等の問題があった。特に、従来ガラス基板をガラス基板保持定盤の吸着シートに貼り付ける際、液体を介さずに貼り付けた場合には、研磨後のガラス基板の吸着力が非常に大きくなり、剥離するのが困難となることがあった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ガラス基板をその保持部材から剥離する際に、割れやキズが発生することなく、安定して短時間で剥離することのできるガラス基板の剥離方法及びその装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明のガラス基板剥離装置は、吸着シートに液体を介在させて吸着保持されたガラス基板を当該吸着シートから剥離する剥離手段を備えたことを特徴とする。
【０００８】
このように、ガラス基板を液体を介在させて吸着シートに貼り付けるようにしたことにより、研磨後もガラス基板の吸着力がそれ程大きくならず、容易にガラス基板を吸着シートから剥離することが可能となる。
【０００９】
また、一つの実施態様として、前記剥離手段は、吸着シートに液体を介在させて吸着保持されたガラス基板の前記吸着シートと反対の面を保持する複数の吸着パッドと、前記ガラス基板に対して接近及び離間の一方の動作をするように、前記複数の吸着パッドをそれぞれ独立に昇降動作させる昇降機構と、前記ガラス基板を前記吸着シートから剥離する際には、前記ガラス基板の端部を吸着する前記吸着パッドから、徐々に前記吸着シートから退避する方向に持ち上げて行き、前記ガラス基板全体を前記吸着シートから剥離させるように前記昇降機構を制御する制御手段と、前記複数の吸着パッド全体を前記ガラス基板に対して接近または離間させるとともに前記ガラス基板の面内方向に平行移動させる吸着パッド移動手段と、を備えたことが好ましい。
【００１０】
このように、ガラス基板を液体を介在させて吸着シートに貼り付けるようにしたため、研磨後もガラス基板の吸着力がそれ程大きくならず、割れやキズが発生することなく、安定して短時間で剥離できる。
【００１１】
また、一つの実施態様として、前記剥離手段は、液体を介在させてガラス基板を吸着保持し、当該ガラス基板を吸着保持する領域に複数の貫通穴が設けられた吸着シートと、前記吸着シートを載置し、前記吸着シートを載置する領域に前記複数の貫通孔の開口面と一致するように複数の穴が設けられたガラス基板保持定盤と、前記複数の穴の中に配置され、前記吸着シートの貫通穴から突出するように昇降動作するピンと、前記ピンを前記吸着シートから突出するように昇降動作させる昇降機構と、前記ピンを昇降動作させて前記ガラス基板を前記吸着シートから剥離させるように前記昇降機構を制御する制御手段と、を備えたことが好ましい。
【００１２】
このように、ガラス基板を液体を介在させて吸着シートに貼り付けるとともに、研磨後のガラス基板を非研磨面からピンで押し上げて剥離するようにしたため、割れやキズが発生することなく、安定して短時間で剥離できる。
【００１３】
また、一つの実施態様として、前記複数の貫通穴及び前記複数の穴は、前記ガラス基板を吸着保持する領域の端部においては、該端部から前記ガラス基板の中央部に向かうように、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に対して斜めに形成するとともに、前記ガラス基板を吸着保持する領域の中央部においては、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に平行に形成することが好ましい。
【００１４】
これにより、ガラス基板を吸着シートからより容易に剥離することができる。
【００１５】
また、一つの実施態様として、前記剥離手段は、液体を介在させてガラス基板を吸着保持し、当該ガラス基板を吸着保持する領域に複数の貫通穴が設けられた吸着シートと、前記吸着シートを載置し、前記吸着シートを載置する領域に前記複数の貫通孔の開口面と一致するように複数の穴が設けられたガラス基板保持定盤と、前記複数の穴の中にエアーを供給し、前記ガラス基板の前記吸着シートで吸着保持されている面に前記エアーを吹き付けるエアー供給手段と、を備えたことが好ましい。
【００１６】
このように、ガラス基板を液体を介在させて吸着シートに貼り付けるとともに、研磨後のガラス基板を非研磨面からエアーで押し上げて剥離するようにしたため、割れやキズが発生することなく、安定して短時間で剥離できる。
【００１７】
また、一つの実施態様として、前記複数の貫通穴及び前記複数の穴は、前記ガラス基板を吸着保持する領域の端部においては、該端部から前記ガラス基板の中央部に向かうように、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に対して斜めに形成するとともに、前記ガラス基板を吸着保持する領域の中央部においては、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に平行に形成することが好ましい。
【００１８】
これにより、ガラス基板を吸着シートからより容易に剥離することができる。
【００１９】
また、一つの実施態様として、前記剥離手段は、吸着シートの上面に研磨したガラス基板を液体を介在させて吸着保持するガラス基板保持定盤と、前記ガラス基板保持定盤の天地を逆に反転する手段と、を備え、研磨後のガラス基板を前記ガラス基板保持定盤の天地を逆に反転し、重力方向上方に前記吸着シート、下方に前記ガラス基板が位置するようにして、前記ガラス基板が自重で前記吸着シートから剥離されるようにしたことが好ましい。
【００２０】
このように、天地を逆転してガラス基板の自重で剥離するようにしたため、割れやキズが発生することなく、安定して剥離できる。
【００２１】
また、同様に前記目的を達成するために、本発明のガラス基板の剥離方法は、ガラス基板を吸着シートに液体を介在させて吸着保持して研磨したガラス基板の前記吸着シートと反対の面を複数の吸着パッドで吸着する工程と、前記複数の吸着パッドのうち前記ガラス基板の端部を吸着する前記吸着パッドから、徐々に前記吸着シートから退避する方向に持ち上げて行き、前記ガラス基板全体を前記吸着シートから剥離させて行く工程と、前記ガラス基板を前記吸着シートから離間させるとともに前記ガラス基板の面内方向に平行移動させて、前記ガラス基板を次の作業工程に移載する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
このように、ガラス基板を液体を介在させて吸着シートに貼り付けるようにしたため、研磨後もガラス基板の吸着力がそれ程大きくならず、割れやキズが発生することなく、安定して短時間で剥離できる。
【００２３】
また、前記目的を達成するために、本発明のガラス基板の剥離方法は、複数の穴が設けられたガラス基板保持定盤上に載置された、前記複数の孔の開口面と一致するように複数の貫通穴が設けられた吸着シートに、研磨したガラス基板を液体を介在させて吸着保持する工程と、前記複数の穴の中に配置され、前記吸着シートの貫通穴から突出するように昇降動作するピンを昇降動作させて、前記ガラス基板の前記吸着シートで吸着保持されている面を前記ピンで押し上げて前記ガラス基板を前記吸着シートから剥離する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２４】
これにより、ガラス基板を液体を介在させて吸着シートに貼り付けるとともに、研磨後のガラス基板を非研磨面からピンで押し上げて剥離するようにしたため、割れやキズが発生することなく、安定して短時間で剥離できる。
【００２５】
また、一つの実施態様として、前記複数の貫通穴及び前記複数の穴は、前記ガラス基板を吸着保持する領域の端部においては、該端部から前記ガラス基板の中央部に向かうように、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に対して斜めに形成されるとともに、前記ガラス基板を吸着保持する領域の中央部においては、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に平行に形成され、前記ガラス基板を吸着保持する領域の端部においては、前記ピンを前記貫通穴及び前記穴に沿って前記ガラス基板の中央部に向かって斜めに上昇させるとともに、前記ガラス基板を吸着保持する領域の中央部においては、前記ピンを前記貫通穴及び前記穴に沿って真上に上昇させることが好ましい。
【００２６】
これにより、ガラス基板を吸着シートからより容易に剥離することができる。
【００２７】
また、同様に前記目的を達成するために、本発明のガラス基板の剥離方法は、複数の穴が設けられたガラス基板保持定盤上に載置された、前記複数の孔の開口面と一致するように複数の貫通穴が設けられた吸着シートに、研磨したガラス基板を液体を介在させて吸着保持する工程と、前記複数の穴を介して、前記ガラス基板の前記吸着シートで吸着保持されている面にエアーを吹き付けて、前記ガラス基板を押し上げて、前記ガラス基板を前記吸着シートから剥離する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２８】
このように、ガラス基板を液体を介在させて吸着シートに貼り付けるとともに、研磨後のガラス基板を非研磨面からエアーで押し上げて剥離するようにしたため、割れやキズが発生することなく、安定して短時間で剥離できる。
【００２９】
また、一つの実施態様として、前記複数の貫通穴及び前記複数の穴は、前記ガラス基板を吸着保持する領域の端部においては、該端部から前記ガラス基板の中央部に向かうように、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に対して斜めに形成されるとともに、前記ガラス基板を吸着保持する領域の中央部においては、前記ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に平行に形成され、前記ガラス基板を吸着保持する領域の端部においては、前記エアーを前記貫通穴及び前記穴に沿って前記ガラス基板の中央部に向かって斜めに吹き付けるとともに、前記ガラス基板を吸着保持する領域の中央部においては、前記エアーを前記貫通穴及び前記穴に沿って真上に吹き付けることが好ましい。
【００３０】
これにより、ガラス基板を吸着シートからより容易に剥離することができる。
【００３１】
また、同様に前記目的を達成するために、本発明のガラス基板の剥離方法は、ガラス基板保持定盤上に載置された吸着シートの上面に、研磨したガラス基板を液体を介在させて吸着保持する工程と、前記ガラス基板保持定盤の天地を逆に反転することにより、前記吸着シート及び前記ガラス基板の天地を逆に反転する工程と、を備え、前記ガラス基板と前記吸着シートの天地を逆に反転し、重力方向上方に前記吸着シート、下方に前記ガラス基板が位置するようにして、前記ガラス基板が自重で前記吸着シートから剥離するようにしたことを特徴とする。
【００３２】
このように、天地を逆転してガラス基板の自重で剥離するようにしたため、割れやキズが発生することなく、安定して剥離できる。
【発明の効果】
【００３３】
以上説明したように、本発明によれば、ガラス基板を液体を介在させて吸着シートに貼り付けたため、研磨後もガラス基板の吸着力がそれ程大きくならず、割れやキズが発生することなく、安定して短時間で剥離できる。また、ガラス基板の非研磨面側からピンで押し上げたり、ガラス基板の非研磨面にエアーを吹き付けることにより、ガラス基板の剥離がよりいっそう促進され、安定して短時間で剥離できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係るガラス基板剥離装置の一実施形態の概略構成を示す斜視図
【図２】ガラス基板剥離装置が、吸着シートからガラス基板を剥離する様子を示す断面図
【図３】枚葉式の研磨装置の一例を示す斜視図
【図４】枚葉式の研磨装置の他の例を示す斜視図
【図５】図３の研磨装置によって研磨した後のガラス基板を吸着シートから剥離する様子を示す説明図
【図６】第２の実施形態に係るガラス基板剥離装置の主要部の断面図
【図７】第２実施形態の作用を示す断面図
【図８】本発明の第３の実施形態を示す断面図
【図９】第３の実施形態の作用を示す断面図
【図１０】第４の実施形態に係るガラス基板剥離装置の主要部の断面図
【図１１】ガラス基板を吸着シートから剥離する様子を示す説明図
【図１２】第４の実施形態に第１の実施形態を併用した様子を示す断面図
【図１３】本発明の第５の実施形態を示す断面図
【図１４】第５の実施形態の作用を示す断面図
【図１５】ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に対して平行にピンを上昇させる場合の問題点を示す断面図
【図１６】ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に対して斜めの方向にピンを上昇させる様子を示す断面図
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るガラス基板の剥離方法及びその装置について詳細に説明する。
【００３６】
図１は、本発明に係るガラス基板剥離装置の第１の実施形態の概略構成を示す斜視図である。
【００３７】
図１に示すように、本実施形態のガラス基板剥離装置１０は、ガラス基板保持定盤１２上の吸着シート（例えば、多孔質ウレタンシート）１４上に吸着保持された状態で連続式研磨装置によって研磨されて矢印Ｘの方向に搬送されて来た、研磨終了したガラス基板Ｇをガラス基板保持定盤１２上の吸着シート１４から剥離して、次の工程の装置、例えば洗浄装置の載置台に移載するための装置である。
【００３８】
なお、本実施形態を含むすべての実施形態において、ガラス基板Ｇの吸着シートに吸着保持されている側の面を非研磨面ともいう。
【００３９】
本実施形態のガラス基板剥離装置１０が対象とするのは、液晶ディスプレイ用等に使用されるＦＰＤ（Flat Panel Display)用のガラス基板で、厚さ約０．１〜１．１ｍｍの薄板で、そのサイズは例えば７３０ｍｍ×９２０ｍｍであるが、これに限定されるものではなく、これよりも大きなサイズのものであってもよい。
【００４０】
ガラス基板剥離装置１０は、ガラス基板保持定盤１２上の吸着シート１４からガラス基板Ｇを剥離して次工程へ移載するためのガラス基板剥離移載装置１８（剥離手段）を備えている。ガラス基板剥離移載装置１８は、ガラス基板Ｇを吸着する多数の吸着パッド２０を有する支持板２２及び支持板２２をガラス基板に対して接近及び離間させる（昇降させる）とともに次の工程へ移動させるためのガイド（吸着パッド移動手段）２４を備えている。
【００４１】
図１に示す支持板２２には、１２個の吸着パッド２０が設けられているが、支持板２２に設置される吸着パッド２０の個数はこれに限定されるものではない。
【００４２】
吸着パッド２０は、独立のエアシリンダ２６によってそれぞれが独立に昇降移動可能となっている。各エアシリンダ２６は、不図示の制御手段によってその昇降動作が制御される。吸着パッド２０の下降動作によって吸着パッド２０がガラス基板Ｇの研磨面に押圧当接されて吸着パッド２０にガラス基板Ｇが吸着され、吸着パッド２０の上昇動作によってガラス基板Ｇが吸着シート１４から剥離される。
【００４３】
本実施形態のガラス基板剥離装置１０が吸着シート１４からガラス基板Ｇを剥離する方法を、図２を用いて説明する。
【００４４】
ガラス基板Ｇを連続式研磨装置（図示省略）で研磨するのに先立って、ガラス基板保持定盤１２上の吸着シート１４にガラス基板Ｇを貼り付ける際、ガラス基板Ｇと吸着シート１４との間に液体を介在させる。この液体としては、通常、水が用いられるが、水以外の液体であってもよい。
【００４５】
水以外の液体として、多価アルコールが挙げられる。多価アルコールであれば、ガラス基板Ｇを吸着シート１４から容易に剥離できるだけではなく、水より乾燥し難くなる。多価アルコールの種類は特に限定されず、具体的には、グリセリン、ポリエチレングリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコールなどが例示される。また、２種以上の多価アルコールからなってもよく、多価アルコールと水とを混合させて多価アルコール水溶液としてもよい。
【００４６】
従来は、水等の液体を介在させずにガラス基板Ｇを直接吸着シート１４に貼り付けていたので、貼り付け初期は吸着力はあまり強くないが、ガラス基板Ｇの研磨時における研磨パッドからの押圧によって、研磨後にはその吸着力は非常に大きくなっているので、研磨後にガラス基板Ｇを吸着シート１４から剥離するのが困難であった。そこで、ガラス基板Ｇと吸着シート１４との間に液体を介在させて、貼り付け初期の吸着力を上げるとともに、研磨後の吸着力をそれ程強くせず、研磨後のガラス基板Ｇの吸着シート１４からの剥離を容易に行える。
【００４７】
ガラス基板Ｇと吸着シート１４との間に介在させる液体の量は、０．０１μｌ／ｃｍ２〜０．００１ｍｌ/ｃｍ２が好ましい。液体の量が０．００１ｍｌ/ｃｍ２を超えるとガラス基板Ｇがずれてしまい、研磨中にガラス基板Ｇが破損する恐れがある。また逆に液体の量が０．０１μｌ／ｃｍ２未満だと液体を塗っていない場合と同じで初期の吸着力が落ちてしまうため、研磨中にガラス基板Ｇが破損する恐れがある。したがって、適度な量の液体が吸着シート１４表面に塗布される。
【００４８】
ガラス基板Ｇと吸着シート１４との間に液体を介在させる方法は特に限定されない。例えば、ガラス基板Ｇ及び吸着シートのうち、一方の部材の他方の部材と接する面（塗布面）に液体を塗布する際、塗布面に向けてノズルで液体を噴霧してもよいし、液体を吸収したローラを塗布面に当接させて液体を塗ってもよく、適当な塗布手段を用いることができる。ガラス基板Ｇ及び吸着シートのいずれか一方に液体を塗布した後、吸着シート１４上にガラス基板Ｇが載置される。
【００４９】
このようにガラス基板Ｇと吸着シート１４との間に液体を介在させると、初期の吸着力もある程度強く、また研磨後の吸着力も液体を塗布しない場合のように大きくなることはなく、剥離しやすくなっている。
【００５０】
ガラス基板保持定盤１２上の吸着シート１４の上に載置され、吸着保持されたガラス基板Ｇは連続式研磨装置（図示省略）で研磨された後、ガラス基板剥離装置１０の所定の位置まで搬送される。
【００５１】
ガラス基板Ｇがガラス基板剥離装置１０の所定の位置まで搬送されると、ガイド２４によってガラス基板剥離移載装置１８の支持板２２がガラス基板Ｇの上まで移動し、所定の高さまで降下する。
【００５２】
すると、不図示の制御手段によって動作する各エアシリンダ２６の働きによって吸着パッド２０がガラス基板Ｇに向かって下降してガラス基板Ｇの研磨面に当接する。次に、制御手段により、ガラス基板Ｇの端部に位置する吸着パッド２０をガラス基板Ｇから離間するように上昇させて、図２に矢印Ｙで示すようにガラス基板Ｇを端部から剥離して行く。
【００５３】
なお、ここでは吸着パッド２０がガラス基板Ｇに向かって下降したが、逆にガラス基板Ｇの方が吸着パッド２０に向かって移動してガラス基板Ｇが吸着パッド２０に当接してもよい。
【００５４】
このとき、ガラス基板Ｇと吸着シート１４との間に液体を介在させているため、ガラス基板Ｇと吸着シート１４との吸着力はそれ程強くなく、ガラス基板Ｇの端部を吸着シート１４から容易に剥離できる。
【００５５】
そして、ガラス基板Ｇの端部を吸着シート１４から剥離し終わったら、中央部の吸着パッド２０を、端部の吸着パッドと同様にガラス基板Ｇから離間するように上昇させてガラス基板Ｇ全体を吸着シート１４から剥離する。
【００５６】
ガラス基板Ｇ全体を吸着シート１４から剥離したら、ガイド２４により支持板２２をさらにガラス基板Ｇから離間するように上昇させ、吸着パッド２０でガラス基板Ｇを保持したまま、次の工程の装置に移載する。
【００５７】
このように、複数の吸着パッドを備えたガラス基板剥離移載装置１８は、不図示の制御手段によってガラス基板Ｇに対して接近または離間されるとともにガラス基板Ｇの面内方向において平行移動され、ガラス基板Ｇを吸着シート１４から剥離して次工程に搬送する。
【００５８】
なお、以上説明したのは、連続式研磨装置で研磨したガラス基板を連続式研磨装置から搬送後、ガラス基板剥離装置１０でガラス基板Ｇを吸着シート１４から剥離したものであるが、研磨装置は連続式のものに限定されるものではない。
【００５９】
図３にガラス基板Ｇを一枚ずつ研磨する方式であるバッチ式（枚葉式）の研磨装置の一例を示す。
【００６０】
図３に示す枚葉式研磨装置３０は、ガラス基板Ｇを一枚ずつ研磨する装置の一例である。枚葉式研磨装置３０は、ガラス基板Ｇを吸着保持する吸着シート３４を備えたガラス基板保持定盤３２と、ガラス基板保持定盤３２の上方に配置された研磨定盤３５とその下面に設置された研磨パッド３６及び研磨定盤３５を昇降及び揺動させる揺動機構３８と、不図示のガラス基板保持定盤３２を回転させる回転機構とを有している。
【００６１】
ガラス基板Ｇを研磨する際には、ガラス基板保持定盤３２上の吸着シート３４のガラス基板Ｇの吸着面、またはガラス基板Ｇの非研磨面に所定量の液体を塗布して、吸着シート３４にガラス基板Ｇを貼り付ける。そして、ガラス基板保持定盤３２を回転させ、研磨定盤３５を降下させて、研磨パッド３６をガラス基板Ｇの研磨面に押圧し、ガラス基板保持定盤３２を回転させながら研磨パッド３６を揺動させて、ガラス基板Ｇの研磨を行う。
【００６２】
なお、揺動を行う場合、研磨パッド３６を揺動させず、ガラス基板保持定盤３２を研磨パッド３６に対して揺動させてもよいし、ガラス基板保持定盤３２及び研磨パッド３６の両方を揺動させてもよい。
【００６３】
図４に、他の枚葉式研磨装置の例を示す。
【００６４】
図４に示す枚葉式研磨装置７０は、１枚のガラス基板Ｇを研磨する装置である。
【００６５】
この枚葉式研磨装置７０は、円柱状の研磨定盤７２上に円形の研磨パッド７４が、研磨パッド７４の中心を回転中心として回転自在に配置されており、研磨パッド７４は、研磨定盤７２に設けられた、不図示のモータによって図中矢印Ａ方向に回転される。研磨パッド７４は、ガラス基板Ｇのサイズよりも大きく構成されている。
【００６６】
また、研磨定盤７２にはヒンジ７６を介して円盤状のガラス基板保持定盤７８が、研磨パッド７４に対して起伏自在に構成されるとともに、不図示の揺動駆動部によって図中矢印Ｂ方向に揺動される。
【００６７】
ガラス基板保持定盤７８の下面には、吸着シート８０が固着されている。また、吸着シート８０の中央部には、矩形状のガラス基板Ｇが吸着保持されている。
【００６８】
枚葉式研磨装置７０において、ガラス基板Ｇが吸着シート８０に図４のように吸着保持されると、ガラス基板保持定盤７８を倒伏させてガラス基板Ｇを研磨パッド７４の表面に押圧当接させる。そして、研磨パッド７４を図中矢印Ａ方向に回転させるとともに、ガラス基板保持定盤７８を図中矢印Ｂ方向に揺動させて、ガラス基板Ｇの研磨を開始する。
【００６９】
次に、図３に示したような枚葉式研磨装置３０における研磨後のガラス基板Ｇを剥離する方法を説明する。
【００７０】
図５に、枚葉式研磨装置３０によって研磨した後のガラス基板Ｇを吸着シート３４から剥離する様子を示す。
【００７１】
枚葉式研磨装置３０によってガラス基板Ｇを研磨した後、研磨定盤３５は所定の退避位置に退避させて、代わりに図１のガラス基板剥離移載装置１８と同様のガラス基板剥離移載装置４０をガラス基板保持定盤３２上の吸着シート３４に吸着保持されているガラス基板Ｇ上に移動させる。
【００７２】
ガラス基板剥離移載装置４０は、ガラス基板剥離移載装置１８と同様に、ガラス基板Ｇを吸着する多数の吸着パッド４４を有する支持板４２及び支持板４２を昇降させるとともに次の工程へ移動させるためのガイド４８を備えている。
【００７３】
また、吸着パッド４４は、第１の実施形態と同様に各独立のエアシリンダ４６によってそれぞれが独立に昇降移動可能となっている。
【００７４】
このようなガラス基板剥離移載装置４０によって吸着シート３４上からガラス基板Ｇを剥離する場合には、図２に示すものと同様に、すべての吸着パッド４４をガラス基板Ｇの研磨面に吸着させた後、まずガラス基板Ｇの端部の吸着パッド４４を上昇させて、ガラス基板Ｇの端部から剥離して行く。
【００７５】
この場合にも、ガラス基板Ｇと吸着シート３４との間に液体を介在させているので、研磨後のガラス基板Ｇと吸着シート３４との吸着力はそれほど強くないので、容易に剥離できる。
【００７６】
そして、ガラス基板Ｇの端部を吸着シート３４から剥離し終わったら、中央部の吸着パッド４４を、端部の吸着パッドと同様にガラス基板Ｇから離間するように上昇させてガラス基板Ｇ全体を吸着シート３４から剥離する。
【００７７】
次に、本発明のガラス基板剥離装置の第２の実施形態について説明する。
【００７８】
図６に、第２の実施形態に係るガラス基板剥離装置５０の主要部の断面図を示す。
【００７９】
図６に示すように、ガラス基板剥離装置５０のガラス基板保持定盤５２上にはガラス基板Ｇを吸着保持するための吸着シート５４が設置されている。
【００８０】
本実施形態では、吸着シート５４に所定の穴（貫通穴）５６が設けられ、またガラス基板保持定盤５２にも吸着シート５４と同じ配置となるように同じ径の穴５８が設けられている。
【００８１】
この吸着シート５４の穴５６の非研磨面側の開口面と、ガラス基板保持定盤５２の穴５８の吸着シート５４側の開口面と、は同様に同じ配置となるように形成されており、吸着シート５４をガラス基板保持定盤５２上に位置合わせをして穴５６と穴５８とが連通して一つの穴になる。そして、ガラス基板保持定盤５２の穴５８内には、不図示の昇降機構によって昇降可能なピン６０が配置されている。
【００８２】
なお、ピン６０の昇降機構は、前記実施形態と同じく不図示の制御手段によって制御される。ピン６０の昇降機構としては、例えば、よく知られたピニオンラック等の機械的機構によって昇降させる機構や、空気等の気体あるいは水や油等の流体の圧力を利用して昇降させる機構や、磁気による斥力／引力を利用して昇降させる機構などの公知の機構を採用できる。
【００８３】
このピン６０は、上昇してガラス基板Ｇの非研磨面側からガラス基板Ｇを上に押し上げてガラス基板Ｇを吸着シート５４から剥離するためのものである。そのため、ピン６０の先端はガラス基板Ｇの損傷防止のため、丸みが形成されている。
【００８４】
また、この穴５６、５８及びピン６０の位置は、図６に示すようにガラス基板Ｇの端部に対応する箇所に配置してガラス基板Ｇの端部から剥離することが好ましい。ただし、穴及びピンの数は図６に示したものに限定されるものではなく、例えばガラス基板Ｇのサイズ等に応じてさらに数を増やしてもよい。
【００８５】
図７に、本実施形態の作用を示す。
【００８６】
図７に示すように、不図示の昇降機構によってピン６０を図中矢印Ｃの方向に上昇させて、研磨が終了したガラス基板Ｇの非研磨面をピン６０によって押圧してガラス基板Ｇを吸着シート５４から持ち上げて吸着シート５４から剥離して行く。
【００８７】
このとき、ピン６０を上昇させる速度は、前述したようにガラス基板Ｇは非常に薄いものなので、ガラス基板Ｇを傷つけない程度にゆっくりと、好ましくは３０ｍｍ／秒以下の速度で上昇させることが好ましい。
【００８８】
なお、このようにガラス基板Ｇの非研磨面をピンによって押圧してガラス基板Ｇを吸着シートから持ち上げてガラス基板Ｇを吸着シートから剥離する方法は図１に示したガラス基板剥離装置１０に対しても適用できる。
【００８９】
なお、ピン６０は、ガラス基板Ｇの非研磨面の端部に対応する箇所のみに設けるのでなく、ガラス板Ｇの非研磨面の中央部に対応する箇所にも設けてもよい。中央部に対応する箇所にもピン６０を設けた場合には、先に端部に対応するピン６０を上昇させて、ガラス基板Ｇの端部を先に吸着シート５４から剥離させ、その後にガラス基板Ｇの中央部に対応するピン６０を上昇させて、ガラス基板Ｇの中央部を吸着シート５４から剥離するとよい。
【００９０】
次に、図４に示したような枚葉式研磨装置７０における研磨後のガラス基板Ｇを剥離する方法を説明する。
【００９１】
図８に、本発明の第３の実施形態を示す。
【００９２】
第３の実施形態は、図４に示す枚葉式研磨装置７０のように、下側に研磨パッド７４があり上側のガラス基板保持定盤７８の吸着シート８０にガラス基板Ｇが吸着保持されている場合に、図６に示すような第２の実施形態のピンを適用してガラス基板Ｇを吸着シート８０から剥離するガラス基板剥離装置７１である。
【００９３】
図８に示すように、ガラス基板保持定盤７８の下面の吸着シート８０にガラス基板Ｇが吸着保持されている。このときガラス基板保持定盤７８及び吸着シート８０に所定の穴８２が複数形成されている。そして、穴８２の中には、不図示の昇降機構によって昇降動作可能なピン８４が配置されている。
【００９４】
このピン８４によりガラス基板Ｇの非研磨面を押して、ガラス基板Ｇを吸着シート８０から剥離する。
【００９５】
図９に、本実施形態の作用を示す。
【００９６】
図９に示すように、不図示の昇降機構によってピン８４を図中矢印Ｄの方向に降下させて、研磨が終了したガラス基板Ｇの非研磨面をピン８４によって押圧し、ガラス基板Ｇの非研磨面を吸着シート８０から剥離して行く。このとき図９に示すようにピン８４がガラス基板Ｇの端部に当たるように配置されているので、ガラス基板Ｇはその端部から剥離する。
【００９７】
ガラス基板Ｇの非研磨面をピン８４で押すと、それがきっかけとなりガラス基板Ｇの端部がピン８４によって剥離され、ガラス基板Ｇの自重によって端部から中央部に向かって剥離が促進する。その結果、ガラス基板Ｇ全体が吸着シート８０から剥離して、ガラス基板Ｇが落下する。
【００９８】
このとき、ピン８４を下降させる速度は、薄いガラス基板Ｇを傷つけない程度にゆっくりと、好ましくは３０ｍｍ／秒以下の速度で下降させることが好ましい。また、ピン８４でガラス基板Ｇの非研磨面を押すとともに、この面にエアーを吹き付けて剥離を促進させてもよい。また、剥離して落下してくるガラス基板Ｇを受け取る手段をガラス基板Ｇの落下方向に配置して、ガラス基板Ｇを受け取り、次の工程へ移載することが好ましい。
【００９９】
なお、ピン８４は、ガラス基板Ｇの非研磨面の端部に対応する箇所のみに設けるのではなく、ガラス板Ｇの非研磨面の中央部に対応する箇所にも設けてもよい。中央部に対応する箇所にもピン８４を設けた場合には、先に端部に対応する箇所のピン８４を下降させてガラス板Ｇの端部を先に吸着シート８０から剥離させ、その後に中央部に対応する箇所のピン８４を下降してガラス板Ｇの中央部を吸着シート８０から剥離するとよい。
【０１００】
次に、本発明のガラス基板剥離装置の第４の実施形態について説明する。
【０１０１】
図１０に、第４の実施形態に係るガラス基板剥離装置９０の主要部の断面図を示す。
【０１０２】
図１０に示すように、ガラス基板剥離装置９０のガラス基板保持定盤５２上にはガラス基板Ｇを吸着保持するための吸着シート５４が設置されている。
【０１０３】
前述した第２の実施形態と同様に、本実施形態の吸着シート５４に穴（貫通穴）５６が、またガラス基板保持定盤５２には穴５６と同じ径の穴５８が設けられている。この吸着シート５４の穴５６の非研磨面側の開口面と、ガラス基板保持定盤５２の穴５８の吸着シート５４側の開口面と、は第２の実施形態と同様に同じ配置となるように形成されており、吸着シート５４をガラス基板保持定盤５２上に位置合わせをして穴５６と穴５８とが連通して一つの穴になる。
【０１０４】
本実施形態では、ガラス基板保持定盤５２の吸着シート５４設置面の対向面である底面に形成された穴５８の開口面にチューブ６２の一端が接続されており、チューブ６２の他端は不図示のエアーポンプに接続されている。エアーポンプは不図示のエアーポンプ制御手段が接続され、エアーポンプ制御手段によって圧力が制御されたエアーが、エアーポンプから穴５６、５８に供給される。
【０１０５】
本実施形態は、この穴５６、５８からエアーをガラス基板Ｇの非研磨面に吹き付けて、ガラス基板Ｇを吸着シート５４から剥離するものである。
【０１０６】
図１１に、ガラス基板Ｇを吸着シート５４から剥離する様子を示す。
【０１０７】
研磨が終了したガラス基板Ｇを吸着シート５４から剥離する際には、図１１に示すように、チューブ６２からガラス基板保持定盤５２の穴５８及び吸着シート５４の穴５６を通じて、ガラス基板Ｇの非研磨面に対してエアーを吹き付ける。このエアーの圧力によって、ガラス基板Ｇは吸着シート５４から剥離される。
【０１０８】
なお、図１０、１１に示すように、ガラス基板保持定盤５２に設けたエアーを吹き付ける穴はガラス基板Ｇの端部に対応する箇所に設け、ガラス基板Ｇを端部から剥離することが好ましい。ただし、穴の位置や個数はこれに限定されるものではない。例えばガラス基板Ｇのサイズ等に応じてさらに数を増やしてもよい。また、穴５６、５８は、図１０、図１１に示したようにガラス基板Ｇの端部に対応する箇所のみに設けるのでなく中央部にも設けてもよい。中央部にも穴を設けた場合には、先に端部の穴からガラス基板Ｇに対してエアーを吹き付けてガラス基板Ｇの端部を先に剥離させ、その後に中央部の穴からエアーを吹き出して中央部を剥離するとよい。
【０１０９】
さらに、図１２に示すように、ガラス基板Ｇの非研磨面にエアーを吹き付けるとともに、前述した第１の実施形態のガラス基板剥離移載装置１８に設置されたような吸着パッドを合わせて用いてもよい。すなわち、チューブ６２から供給されたエアーをガラス基板保持定盤５２の穴５８及び吸着シート５４の穴５６を介してガラス基板Ｇの非研磨面に吹き付けてガラス基板Ｇの端部を吸着シート５４から浮き上がらせるとともに、ガラス基板Ｇの研磨面に吸着保持させたガラス基板剥離移載装置１８の吸着パッド２０によりガラス基板Ｇを持ち上げることで、ガラス基板Ｇをより簡単に、速やかに吸着シート５４から剥離できる。
【０１１０】
なお、もちろん図７に示す第２の実施形態に対しても第１の実施形態のガラス基板剥離移載装置１８を組み合わせてもよい。すなわち、ガラス基板Ｇの非研磨面をピン６０で押し上げるとともに、ガラス基板Ｇの研磨面に吸着保持させたガラス基板剥離移載装置１８の吸着パッド２０によりガラス基板Ｇを持ち上げることで、ガラス基板Ｇをより簡単に、速やかに吸着シート５４から剥離できる。
【０１１１】
また、これらの実施形態をすべて組み合わせて、ガラス基板Ｇの非研磨面をピンで押し上げるとともに、ガラス基板Ｇの非研磨面からエアーを吹き付けてガラス基板Ｇを吸着シートから浮き上がらせて、さらにガラス基板Ｇの研磨面に吸着保持させた上からガラス基板剥離移載装置１８の吸着パッド２０によりガラス基板Ｇを持ち上げてもよい。
【０１１２】
この場合、エアーを吹き出す穴はピンの穴を利用してもよいし、ピンの穴とは別に穴を設けてもよい。
【０１１３】
なお、ここで上記各実施形態を組み合わせる際、ガラス基板Ｇを吸着シートに吸着保持するとき、ガラス基板Ｇと吸着シートとの間に水あるいは多価アルコール等の液体を介在させて貼り付けるとよい。このようにガラス基板Ｇと吸着シートとの間に液体を介在させることにより、当初の吸着力を強くするとともに、研磨後のガラス基板を吸着シートから剥離しやすくなる。
【０１１４】
なお、ピンの穴の径及びエアーを吹き出す穴の径は特に限定されるものではないが、穴の径は好ましくは１０ｍｍ以下、より好ましくは５ｍｍ以下、さらに好ましくは１ｍｍ以下、最も好ましくは０．１ｍｍ以下である。
【０１１５】
ピンの穴の径及びエアーを吹き出す穴の径が１０ｍｍ以下であれば、ピンの穴及びエアーを吹き出す穴において、薄板のガラス基板が自重で凹形に変形して破損する虞がない。また、エアーを吹き出す穴の径が１０ｍｍ以下であれば、エアーの吹き出す圧力を強くできるので、ガラス基板Ｇを剥離し易くなる。なお、ガラス基板の厚さが０．７ｍｍ以下、好ましくは０．５ｍｍ以下、さらに好ましくは０．３ｍｍ以下、最も好ましくは０．１ｍｍ以下において、凹形の変形防止、エアーの吹き出し圧力向上の効果を発揮する。
【０１１６】
次に、本発明の第５の実施形態について説明する。
【０１１７】
図１３に、本実施形態のガラス基板剥離機構を示す。
【０１１８】
図１３に示すように、ガラス基板剥離装置９８のガラス基板保持定盤９２上にはガラス基板Ｇを吸着保持するための吸着シート９４が設置され、水等の液体を介してガラス基板Ｇが吸着シート９４に貼り付けられている。そして、ガラス基板保持定盤９２には、ガラス基板保持定盤９２を回転する回転機構９６が設けられている。
【０１１９】
ガラス基板Ｇを吸着シート９４から剥離する際には、図１４に示すように、ガラス基板保持定盤９２に設けた回転機構９６によってガラス基板保持定盤９２を矢印Ｅの方向に回転して、ガラス基板保持定盤９２を上下に反転させて、ガラス基板Ｇをガラス基板保持定盤９２の下側にする。これによって、ガラス基板Ｇを矢印Ｆの方向に自重で落下させて吸着シート９４から剥離させる。
【０１２０】
この場合にも、ガラス基板Ｇの非研磨面をガラス基板保持定盤に設けたピンで押したり、ガラス基板Ｇの非研磨面に、ガラス基板保持定盤に設けた穴からエアーを吹き付けたりして、ガラス基板Ｇの吸着シートからの剥離を促進させてもよい。このとき、ピンやエアーはガラス基板Ｇの端部から先に当ててガラス基板Ｇが端部から先に剥離させるとよい。また、吸着シート９４から剥離して落ちてくるガラス基板Ｇを受け取る手段をガラス基板Ｇの落下方向に配置して、ガラス基板Ｇを受け取った後、次の工程に移載することが好ましい。
【０１２１】
以上説明したように、本発明の各実施形態においては、吸着シートに液体を介在させてガラス基板を貼り付けて固定するため、研磨した後もガラス基板の吸着力が大きくならない。したがって、ガラス基板の研磨面を吸着保持するために吸着パッドを用いたり、ガラス基板の非研磨面をピンで押し上げたり、ガラス基板の非研磨面からエアーを吹き付けたり、またあるいはガラス基板と保持部材との位置関係を逆転させるために天地を反転させたりすることによりガラス基板を吸着シートから安定して短時間で剥離できる。
【０１２２】
以上、本発明に係るガラス基板の剥離方法及びその装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【０１２３】
また、ガラス基板と吸着シートとの界面に向けてエアー（圧縮エアー）及び水（高圧水）の少なくとも一方を吹き付けてもよい。このようにすることで、前記界面に剥離のきっかけを与えることなり、さらに剥離し易くなる。
【０１２４】
また、実施形態２〜５において、薄板のガラス基板を吸着シートから剥離する場合、ピンの穴の角度及びエアーを吹き出す穴の角度を、ガラス基板保持定盤の吸着シート設置面の直交方向に対して斜めにすることが好ましい。具体的には、ガラス基板Ｇの端部に対応するピンの角度は、ガラス基板の中央部に向かって斜めであり、ガラス基板の中央部に対応するピンの角度は非研磨面の直交方向に対して平行であることが好ましい。
【０１２５】
図１５に示すように、ガラス基板保持定盤１００のガラス基板Ｇを載置する吸着シート１０２を設置する吸着シート設置面１００ａの直交方向に対して平行に形成された穴１０４に沿って真上にピン１０６を上昇させ、あるいは穴１０４からエアーを吹き出した場合には、ガラス基板Ｇが局所的に撓んでしまい、図に符号１０８で示すように破損する虞がある。
【０１２６】
これに対して、図１６に示すように、ガラス基板保持定盤１００の端部においては、端部からガラス基板Ｇの中央部に向かうように、吸着シート設置面１００ａの直交方向に対して斜めに穴１０４を形成し、穴１０４に沿って斜めにピン１０６を上昇させる、あるいはエアーを吹き出す。また、ガラス保持定盤１００の中央部においては吸着シート設置面１００ａの直交方向に平行に穴１０４を形成し、穴１０４に沿って真上にピン１０６を上昇させる、あるいはエアーを吹き出す。この場合には、ガラス基板Ｇの端部が中央部に向かって局所的に変形するので破損する虞がない。
【０１２７】
なお、ガラス基板Ｇの厚さが０．７ｍｍ以下、好ましくは０．５ｍｍ以下、さらに好ましくは０．３ｍｍ以下、最も好ましくは０．１ｍｍ以下において、局所的な変形を防止する効果を発揮する。
【符号の説明】
【０１２８】
１０…ガラス基板剥離装置、１２…ガラス基板保持定盤、１４…吸着シート、１８…ガラス基板剥離移載装置、２０…吸着パッド、２２…支持板、２４…ガイド、２６…エアシリンダ、３０…枚葉式研磨装置、３２…ガラス基板保持定盤、３４…吸着シート、３５…研磨定盤、３６…研磨パッド、３８…揺動機構、４０…ガラス基板剥離移載装置、４２…支持板、４４…吸着パッド、５０…ガラス基板剥離装置、５２…ガラス基板保持定盤、５４…吸着シート、５６、５８…穴、６０…ピン、６２…チューブ、７０…枚葉式研磨装置、７１…ガラス基板剥離装置、７２…研磨定盤、７４…研磨パッド、７６…ヒンジ、７８…ガラス基板保持定盤、８０…吸着シート、８２…穴、８４…ピン、９０…ガラス基板剥離装置、９２…ガラス基板保持定盤、９４…吸着シート、９６…回転機構、９８…ガラス基板剥離装置、１００…ガラス基板保持定盤、１００ａ…吸着シート設置面、１０２…吸着シート、１０４…穴、１０６…ピン
【図１】
2014179355.tif 000003
【図２】
2014179355.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2014179355.tif 000009
【図８】
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【図９】
2014179355.tif 000011
【図１０】
2014179355.tif 000012
【図１１】
2014179355.tif 000013
【図１２】
2014179355.tif 000014
【図１３】
2014179355.tif 000015
【図１４】
2014179355.tif 000016
【図１５】
2014179355.tif 000017
【図１６】
2014179355.tif 000018