(57)【要約】【課題】光学フィルム単体での欠陥を、確実に検出できる光学フィルムの検査方法および検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】光を放射する光源と、この光源からの光を撮像する少なくとも一台のカメラを備えた撮像ユニットと、光源と撮像ユニットの間に、検査対象である光学フィルムを挟むように配置された光源からの光を透過する２枚の光透過性板部材と、撮像ユニットと２枚の光透過性板部材との、２枚の光透過性板部材の面に平行な方向の相対的な位置関係を変化させる駆動機構とを備えた光学フィルムの検査装置において、撮像ユニットは、光学フィルムの厚み以上の被写界深度を有するレンズを介して撮像された粗画像と、光学フィルムの厚みの２分の１以下の被写界深度を有するレンズを介して撮像された精画像の、２種類の画像を撮像するようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を放射する光源と、
この光源からの光を撮像する少なくとも一台のカメラを備えた撮像ユニットと、
前記光源と前記撮像ユニットの間に、検査対象である光学フィルムを挟むように配置された前記光源からの光を透過する２枚の光透過性板部材と、
前記撮像ユニットと前記２枚の光透過性板部材との、前記２枚の光透過性板部材の面に平行な方向の相対的な位置関係を変化させる駆動機構とを備えた光学フィルムの検査装置において、
前記撮像ユニットは、前記光学フィルムの厚み以上の被写界深度を有するレンズを介して撮像された粗画像と、前記光学フィルムの厚みの２分の１以下の被写界深度を有するレンズを介して撮像された精画像の、２種類の画像を撮像することを特徴とする光学フィルムの検査装置。
【請求項２】
前記撮像ユニットは、前記光学フィルムの厚み以上の被写界深度を有する粗カメラと、前記光学フィルムの厚みの２分の１以下の被写界深度を有する精カメラとで構成されたことを特徴とする請求項１に記載の光学フィルムの検査装置。
【請求項３】
前記撮像ユニットは、ズームレンズを備えた一台のカメラにより構成されたことを特徴とする請求項１に記載の光学フィルムの検査装置。
【請求項４】
前記粗画像から、前記光学フィルムの欠陥の、前記２枚の光透過性板部材の面に平行な方向の２次元位置を特定して、この特定した位置を欠陥位置として記憶する欠陥位置記憶部と、
この欠陥位置記憶部に記憶された一つの欠陥位置において、前記精画像として、焦点位置の異なる複数の精画像を撮像して、前記欠陥の、前記光学フィルムの厚み方向の位置を特定する画像処理部と、
を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光学フィルムの検査装置。
【請求項５】
焦点位置の異なる前記複数の精画像は、前記精画像を撮像するレンズの被写界深度ずつ焦点位置を変化させて撮像した複数の精画像であることを特徴とする請求項４に記載の光学フィルムの検査装置。
【請求項６】
前記撮像ユニットと前記光源との、前記２枚の光透過性板部材の面に平行な方向の相対位置が変化しないように、前記撮像ユニットと前記光源との位置を変化させる駆動機構を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の光学フィルムの検査装置。
【請求項７】
前記光源は、平行光線に近づけるようにコリメートされた放射光を放射するＬＥＤ光源であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の光学フィルムの検査装置。
【請求項８】
請求項１に記載の光学フィルムの検査装置を用いた光学フィルムの検査方法であって、前記粗画像を撮像する粗画像撮像ステップと、
この粗画像撮像ステップよりも後のステップであって、前記精画像を撮像する精画像撮像ステップと
を含むことを特徴とする光学フィルムの検査方法。
【請求項９】
前記粗画像撮像ステップには、前記粗画像撮像ステップにおいて撮像した粗画像から、前記検査対象である光学フィルムの欠陥の前記２枚の光透過性板部材の面に平行な方向の２次元位置を特定して、欠陥位置として記憶する欠陥位置特定ステップを含み、
前記精画像撮像ステップには、前記撮像ユニットと前記２枚の平面板との、前記２枚の光透過性板部材の面に平行な方向の相対的な位置関係を、前記欠陥位置特定ステップで記憶した欠陥位置における前記精画像を前記精画像撮像ステップにおいて取得する位置関係に設定する精画像撮像準備ステップを含む
ことを特徴とする請求項８に記載の光学フィルムの検査方法。
【請求項１０】
前記精画像撮像ステップにおいて、前記精画像として焦点位置の異なる複数の精画像を撮像することを特徴とする請求項９に記載の光学フィルムの検査方法。
【請求項１１】
前記精画像撮像ステップにおいて、前記精画像を撮像するレンズの被写界深度ずつ焦点位置を変化させて複数の精画像を撮像することを特徴とする請求項１０に記載の光学フィルムの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルに使用する偏光板など薄い光学フィルムの欠陥を検査する光学フィルムの検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの構成部品である偏光板は、通常、表裏面に保護フィルムが貼り合わされた状態で供給される。偏光板単体での主な欠陥は、異物、気泡、傷などがある。これらは偏光板と保護フィルムの粘着層の境界だけでなく、偏光板自体の内部にも存在する。また偏光板は多層構造の場合があり、層と層との境界にも欠陥が存在することがある。この偏光板に異物や気泡といった欠陥が存在すると、液晶を点灯した際、輝点となり点灯不良扱いとなる。
【０００３】
このような欠陥の検査は、通常、液晶パネルの製造工程内において、偏光板を貼り付けた液晶パネルの状態で点灯試験として行われる。しかし、液晶パネルを駆動するためには、電荷をかけるドライバが必要であり、欠陥が検出された場合、リペアするためにドライバの取り外しなどの手間がかかる。このため、液晶パネルを貼り合わせた状態で、液晶パネルを駆動しない状態で欠陥を検査する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１６３８４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載された、偏光板を貼り付けた状態の液晶パネルで検査する方法では以下のような問題がある。
・偏光板単体起因の場合、液晶パネルを貼り付ける工程までは、不良品を製造しつづけることになり、損失が発生する。
・欠陥が検出された場合、リペアのため偏光板を剥すという煩雑な作業が発生する。
・偏光板を両面に貼り付けた液晶パネルを下側から照明で照射し、上側のカメラで透過画像を撮像するというものであるが、具体的なワーク搬送方法については開示していない。一般的な手法を用いたとすれば、液晶パネルの非表示領域（外周）を把持することが考えられるが、偏光板単体検査の場合、非表示領域がほとんどないため非表示領域を把持することは困難である。したがって、表示領域の一部を把持しなければならず、把持部分は検査することできなくなる。このため把持された部分は別途ワークを持ち替えて検査しなければならなくなり、検査時間が長くなってしまう。
・偏光板は厚さ1mm以下と薄いため、サイズが大きくなってくると反りが大きくなる。反りが大きいとレンズの被写界深度から外れる（ピントがぼける）可能性があり、適切な画像を撮像できない。バックアップピンなどを用いることが想定されるが、ピン周辺部分には光を照射することができないため、この部分についても別途検査しなければならなくなる。
・欠陥部が検出された場合、上下面どちらの偏光板が不良なのか区別することができない。また偏光板表面の付着異物も不良としてしまう。
【０００６】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、偏光板など薄い光学フィルム単体での欠陥を、光学フィルムの厚み方向の位置まで確実に検出できる光学フィルムの検査方法および検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の光学フィルムの検査装置は、光を放射する光源と、この光源からの光を撮像する少なくとも一台のカメラを備えた撮像ユニットと、光源と撮像ユニットの間に、検査対象である光学フィルムを挟むように配置された光源からの光を透過する２枚の光透過性板部材と、撮像ユニットと２枚の光透過性板部材との、２枚の光透過性板部材の面に平行な方向の相対的な位置関係を変化させる駆動機構とを備えた光学フィルムの検査装置において、撮像ユニットは、光学フィルムの厚み以上の被写界深度を有するレンズを介して撮像された粗画像と、光学フィルムの厚みの２分の１以下の被写界深度を有するレンズを介して撮像された精画像の、２種類の画像を撮像するものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明にかかる光学フィルムの検査装置は、以上のように構成されているため、反りの影響を受けずに検査対象である光学フィルム単体の全域の欠陥検査ができ、かつ欠陥の位置情報（平面および厚み方向）を得ることができる。さらに、欠陥の厚み方向の情報から、保護フィルム上の異物やキズは不問とすることができ検査性能が向上する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】この発明の実施の形態１による光学フィルムの検査装置の概略構成を示す断面模式図である。
【図２】この発明の実施の形態１による光学フィルムの検査装置の検査の準備状態における概略構成を示す断面模式図である。
【図３】この発明の実施の形態１による光学フィルムの検査装置の粗画像撮像の動作を説明するためのフロー図である。
【図４】この発明の実施の形態１による光学フィルムの検査装置の精画像撮像の動作を説明するためのフロー図である。
【図５】この発明の実施の形態１による光学フィルムの検査装置の動作を説明するための断面模式図である。
【図６】この発明の実施の形態１による光学フィルムの検査装置の動作を説明するための一部拡大断面図である。
【図７】この発明の実施の形態１による光学フィルムの検査装置の動作を説明するための別の一部拡大断面図である。
【図８】この発明の実施の形態２による光学フィルムの検査装置の概略構成を示す断面模式図である。
【図９】この発明の実施の形態２による光学フィルムの検査装置の精画像撮像の動作を説明するためのフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１による光学フィルムの検査装置の概略構成を示す断面模式図である。以下、検査対象の光学フィルムとして、液晶パネルに使用する偏光板を例にして説明する。本発明の実施の形態１による光学フィルムの検査装置は、全体として、検査対象である偏光板１に光源２からの照明光を透過させ、撮像ユニット３０を構成する２台のＣＣＤカメラ３および４で、偏光板１の画像を撮像するように構成されている。偏光板１は、光源２からの光を透過する光源側光透過性板部材５０およびカメラ側光透過性板部材５１の間に挟まれて保持されている。光源側光透過性板部材５０およびカメラ側光透過性板部材５１は、例えば透明ガラス板である。光源側光透過性板部材５０およびカメラ側光透過性板部材５１は、駆動機構として１軸のアクチュエータを備えた検査ステージ７上に支持されている。検査ステージ７は偏光板１を保持した状態で紙面に垂直な方向であるＹ方向に移動させることができる。光源側光透過性板部材５０は、検査ステージ７に取り付けられたエアシリンダ６により支持されている。駆動機構としてのエアシリンダ６は光源側光透過性板部材５０を上下方向であるＺ方向に移動させるためのものである。
【００１１】
撮像ユニット３０は、Ｘ軸およびＺ軸方向に移動可能なように、駆動機構としてＸ軸アクチュエータ８０およびＺ軸アクチュエータ８１を備えた撮像ユニット駆動ステージ８に設置されている。一方、光源２がＸ方向に移動可能なように、光源２にはエアシリンダ９が取り付けられており、光源２は、撮像ユニット３０の下に来るように移動させられる。光源２は、放射される光が平行光線に近づくようにコリメートされた近赤外波長（８８０ｎｍ）を放射するＬＥＤ光源が好ましい。照明光をコリメートされた光とすることにより、カメラで撮像される画像として、シャープな透過画像を得ることができる。また近赤外領域では偏光板の偏光作用がほとんど無い（＝偏光作用による光の減衰が小さい）ため、良品部（背景）と欠陥部のコントラストが高くなり、検出感度を高めることができる。したがって、光源としては近赤外波長の光を発光する光源が望ましい。
【００１２】
２つのカメラ３、４には各々レンズが取り付けられているが、光学倍率、被写界深度が異なっている。一方のカメラは、検査対象の厚み以上の被写界深度を有するレンズを備え、もう一方のカメラは検査対象の厚みの２分の１以下の被写界深度を有するレンズを備えている。検査対象の厚み以上の被写界深度を有するカメラ３を粗カメラ、検査対象の厚みの２分の１以下の被写界深度を有するカメラ４を精カメラと呼ぶ。一般的に、粗カメラレンズ倍率が精カメラレンズ倍率よりも小さい倍率となる。
【００１３】
また、アクチュエータなど種々の駆動機構を制御したり、撮像した画像を処理したり解析したりする欠陥検査制御解析装置２０が備えられている。
【００１４】
以下、図３、図４に示す動作フロー図を参照しながら、本実施の形態１による光学フィルムの検査装置の動作説明を行う。図３は、粗カメラ３で撮像した画像により、欠陥のＸＹ位置を特定する工程を示す粗画像撮像ステップのフロー図である。粗画像撮像ステップでは、まず、図２に示すように、光源側光透過性板部材５０に偏光板１をセットする（図３のステップ  ＳＴ１）。セットの方法は人手でも、ロボットなどによる受け渡しでもよい。偏光板１は、メーカから供給されたままの状態である保護フィルムが貼り合わされた状態でセットすれば良い。セット後、欠陥検査制御解析装置２０の検査対象保持制御部２４からの信号により、エアシリンダ６が光源側光透過性板部材５０を、図２のエアシリンダ６近傍に示す矢印方向に移動、すなわち上昇させ（ＳＴ２）、光源側光透過性板部材５０とカメラ側光透過性板部材５１とで偏光板１を挟み込む。光源側光透過性板部材５０とカメラ側光透過性板部材５１とで偏光板１を挟み込んだ状態は図１に示されている。偏光板１を挟み込んだ後、検査ステージ７は検査対象ごとに予め設定された位置へ移動し（ＳＴ３）、粗カメラ３にて検査対象である偏光板１を撮像して画像を取り込み（ＳＴ４）、欠陥検査制御解析装置２０の画像処理部２１により欠陥の有無を判定する（ＳＴ５）。ここで、粗カメラ３で撮像した画像を粗画像と呼ぶ。透過照明のため、得られた画像は良品部が明、欠陥が暗となる。暗部の大きさ、面積などにより、欠陥であるかどうかを判定する。欠陥が存在した場合は、その欠陥位置（Ｘ、Ｙ）を欠陥検査制御解析装置２０の欠陥位置記憶部２２に記憶する（ＳＴ６）。偏光板１の全域の検査が終了しない間は（ＳＴ７  ＮＯ）、検査ステージ７をＹ方向、粗カメラ３をＸ方向にそれぞれ同期して移動させる（ＳＴ８）ことで、偏光板１の全域の検査が終了するまで粗カメラ３で粗画像を取り込み（ＳＴ４）、欠陥判定（ＳＴ５）、欠陥位置記憶（ＳＴ６）を繰り返す。ステップＳＴ４〜ＳＴ６を欠陥位置特定ステップと呼ぶ。
【００１５】
偏光板１全域の撮像、欠陥位置特定が終了した時点（ＳＴ７  ＹＥＳ）で、欠陥のＺ方向の位置を特定する図４に示す精画像撮像ステップの動作フローに移る。欠陥が存在する場合（ＳＴ９  ＹＥＳ）、欠陥検査制御解析装置２０の検査位置制御部２３が、欠陥位置記憶部２２に記憶されている欠陥位置の情報を基に指令を出して、精カメラ４の下に欠陥が来るように検査ステージ７および撮像ユニット駆動ステージ８を制御する（ＳＴ１０）。ステップＳＴ１０を、精画像撮像準備ステップと呼ぶ。その際、図５に示すように、欠陥検査制御解析装置２０の光源位置制御部２５からの指令によりエアシリンダ９を制御して、光源２も精カメラ４の下に来るよう移動させておく。
【００１６】
図６の検査対象部の一部拡大断面図に示すように、精カメラ４はカメラ側光透過性板部材５１の下面にピントが合う位置（＝ジャストフォーカス位置１０）にＺ方向に移動させて画像を撮像する。さらに精カメラ４をＺ方向下側に所定間隔の距離づつ移動させながら、所定間隔毎に画像を撮像する（ＳＴ１１）。これらの画像を精画像と呼ぶ。この時の所定間隔は、図７に示すように、精カメラの被写界深度ｄとする。被写界深度ｄごとに撮像を繰り返していくため、検査対象である偏光板１の上面、内部、下面いずれかに存在する欠陥１２を撮像することができる。欠陥検査制御解析装置２０の画像処理部２１において、Ｚ方向に撮像した複数枚の精画像を解析し、複数枚の精画像の中で欠陥の位置近傍微分値の総和が一番大きい精画像をジャストフォーカス画像として抽出し（ＳＴ１２）、その精画像を撮像した位置が欠陥の厚み方向の存在位置、すなわち欠陥存在層であるとする（ＳＴ１３）。ここで、精カメラの被写界深度ｄは、検査対象の厚みの２分の１以下であれば、少なくとも検査対象の上面、内部、下面の３箇所の精画像を撮像することができ、欠陥の厚み方向の存在位置が精画像を撮像するカメラの被写界深度分の解像度で特定できる。精カメラの被写界深度ｄは、検査対象の偏光板１など検査対象である光学フィルムの層構造が判っている場合は、最も薄い層の厚み以下が好ましい。具体的には、液晶パネルに使用される偏光板の場合、一般的には厚みが400〜600μｍ程度であり、精カメラの被写界深度を30μｍ程度とすれば良い。
【００１７】
なお、本願発明において、被写界深度は次の式で定義された値のことを言う。
被写界深度ｄ＝前方被写界深度ｄｆ＋後方被写界深度ｄｒ
ｄｆ＝（許容錯乱円径×F値×物体距離^2）／（焦点距離^2＋許容錯乱円径×F値×物体距離）
ｄｒ＝（許容錯乱円径×F値×物体距離^2）／（焦点距離^2-許容錯乱円径×F値×物体距離）
【００１８】
欠陥位置記憶部２２に記憶されている欠陥位置全てについて欠陥存在層を求めていない場合（ＳＴ１４  ＮＯ）、検査ステージ７および撮像ユニット駆動ステージ８を制御して次の欠陥位置に精カメラ４を移動させて（ＳＴ１５）、ＳＴ１１からＳＴ１５のステップを繰り返す。
【００１９】
欠陥位置記憶部２２に記憶されている欠陥位置全てについて欠陥存在層を求めたら（ＳＴ１４  ＹＥＳ）、得られた欠陥情報の大きさ、面積、個数、存在位置など、得られた欠陥情報を総合的に判断して、液晶パネルには使用できない偏光板である（ＮＧ）か、液晶パネルに使用しても問題ない偏光板である（ＯＫ）か、を判定する（ＳＴ１６）。例えば、検査対象である偏光板１に保護フィルムが添付されている状態で検査する場合、欠陥が偏光板の上下に貼り付けられた保護フィルム上の欠陥であると判定されれば、その欠陥は保護フィルム上の異物やキズなどであると判定でき、当該欠陥は不問とすることができる。判定は、例えば判定のロジックを備えた画像処理部２１において行う。このようにして検査対象の偏光板１を総合的に判断して判定した結果を、ＮＧ出力（ＳＴ１７）、ＯＫ出力（ＳＴ１８）として出力し、光源側光透過性板部材５０を下降させ（ＳＴ１９）、検査対象である偏光板１を取り出す（ＳＴ２０）。
【００２０】
このような本発明の実施の形態１による光学フィルムの検査方法、およびその装置によれば、検査対象が２枚の光透過性板部材に挟まれた状態で支持された状態でステージおよびカメラを移動させるため、検査対象全域を光源からの照明光にて照射した光を上方のカメラで撮像することができる。また検査対象を板部材で挟むため、検査対象の反りを抑制でき、平坦度を保った状態で検査を行うことができる。さらに、精カメラを光軸方向に移動させて複数の精画像を撮像し、その複数の精画像の中からピントの合った画像を抽出することで、欠陥の厚み方向の位置を明確にすることができる。上記したように、検査対象が保護フィルムを貼り付けた状態の偏光板であっても、偏光板の上下に貼り付けられた保護フィルム上の異物やキズなどは不問とすることができ、検査精度が向上する。また、欠陥層が明確になるため、偏光板製造工程へのフィードバッグをかけるといった効果も得られる。
【００２１】
以上説明したように、検査対象としては偏光板の上下面に保護フィルムが貼付けられた状態でもよい。保護フィルムにより透過光が拡散するため、若干画像がぼやけるが、背景（明）と欠陥部（暗）とのコントラストが高く得られるため問題にならない。また、以上では検査対象として偏光板を例にして説明したが、検査対象としては偏光板に限らず、偏光板以外の単層の光学フィルムでも多層の光学フィルムでも良く、偏光板と同様に欠陥を検査することができる。
【００２２】
実施の形態２．
図８は、本発明の実施の形態２に係る光学フィルムの検査装置の概略構成を示す断面模式図である。図８において、図１と同一符号は同一または相当する部分を示す。実施の形態１では、撮像ユニット３０を粗カメラと精カメラの２台のカメラで構成したが、本実施の形態２では、図８に示すように、撮像ユニット３０をズームレンズを備えたカメラ３４の１台のカメラのみで構成している。まず、レンズの被写界深度が検査対象の厚み以上となるように、カメラ３４のズームレンズの光学倍率が小さくなるように設定する。この設定のカメラにより、図３のステップＳＴ１からＳＴ８まで、ステップＳＴ７のＹＥＳとなるまでの粗画像撮像ステップを実行して、粗画像を用いて欠陥位置を特定し、欠陥位置記憶部２２に記憶させる。
【００２３】
次に、図９に示す動作フローにより精画像撮像ステップを実行する。図９において、図４と同一符号のステップは、同一の動作を行うステップを示す。まず、カメラ３４のズームレンズの光学倍率を変更して、レンズの被写界深度が検査対象の厚みの２分の１以下となるように設定する（ＳＴ１０１）。その後、欠陥検査制御解析装置２０の検査位置制御部２３が、欠陥位置記憶部２２に記憶されている欠陥位置の情報を基に指令を出して、カメラ３４の下に欠陥が来るように検査ステージ７および撮像ユニット駆動ステージ８を制御する（ＳＴ１０２）。その際、欠陥検査制御解析装置２０の光源位置制御部２５からの指令によりエアシリンダ９を制御して、光源２もカメラ３４の下に来るよう移動させておく。ステップＳＴ１０１とステップＳＴ１０２は順序が逆でも構わない。
【００２４】
以下、ステップＳＴ１１からステップＳＴ２０までは、実施の形態１において図４に基づいて説明した動作と同じである。このようにして、まずカメラ３４のズームレンズを光学倍率が小さい状態に設定して粗画像を撮像して欠陥のＸＹ２次元位置を特定する。次にカメラ３４のズームレンズを光学倍率が大きい状態に設定して、粗画像で特定した欠陥位置それぞれの精画像を撮像して、欠陥のＺ方向位置を特定することにより、検査対象が製品として使用可能かどうかを判定することができる。
【００２５】
以上では、カメラ３４がズームレンズを備える場合について説明したが、カメラ３４をレンズ交換可能なカメラとし、被写界深度が検査対象の厚み以上となるレンズを装着して、図３の粗画像による欠陥のＸＹ２次元位置を特定するステップを実行し、次に被写界深度が検査対象の厚みの２分の１以下となるレンズに付け替えて、図９の精画像による欠陥のＺ方向位置を特定するステップを実行しても良い。
【００２６】
このように、本実施の形態２では、カメラを１台としたが、この構成でも、実施の形態１と同様、光軸方向に移動させて精画像を撮像するレンズの被写界深度づつ焦点距離を変化させて複数の精画像を撮像し、ピントの合った画像を抽出することで、欠陥の厚み方向の位置を明確にすることができる。また、検査対象が保護フィルムを張り付けた状態の偏光板であっても、偏光板の上下に貼り付けられた保護フィルム上の異物やキズなどは不問とすることができ、検査精度が向上するという効果を奏する。
【００２７】
以上の実施の形態１および実施の形態２において、ＣＣＤカメラは光源の波長に感度があるカメラであれば、可視光タイプでも近赤外タイプでもよい。またラインセンサでもよい。ラインセンサの場合は、検査対象を移動させながら撮像する。さらに、光源としては、寿命、劣化を考慮しＬＥＤ光源が好ましいが、ハロゲン光源などＬＥＤ以外の光源でもよい。光源側光透過性板部材５０およびカメラ側光透過性板部材５１は、透明ガラスとしているが、アクリルなどの透明樹脂でもよい。２枚の光透過性板部材を検査ステージ７にて移動させて検査対象１を移動させているが、検査対象１を固定し、撮像ユニット３０と光源２を一緒にＸＹ２次元方向に移動させてもよい。要するに、撮像ユニット３０と検査対象１すなわち２枚の光透過性板部材との、光透過性板部材の面に平行な方向の相対的な位置関係を変化させる駆動機構を備えていれば良い。
【００２８】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略したりすることが可能である。
【符号の説明】
【００２９】
１：偏光板（検査対象）、２：光源、３：粗カメラ、４：精カメラ、７：検査ステージ（駆動機構）、８：撮像ユニット駆動ステージ（駆動機構）、９：エアシリンダ（駆動機構）、２０：欠陥検査制御解析装置、２１：画像処理部、２２：欠陥位置記憶部、２３：欠陥位置制御部、２４：欠陥対象保持制御部、２５：光源位置制御部、３０：撮像ユニット、３４：ズームレンズ搭載カメラ、ｄ：精カメラの被写界深度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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