(57)【要約】【課題】消費電力の増加を伴わずに、ワークと突出部との摩擦力を高め、ワークを安定して搬送する。【解決手段】搬送装置は、複数の回転体と、ワークＷを接触支持する複数の突出部１１０ｃを有し複数の回転体によって無端状に張架されワークを搬送するベルト１１０ｂと、を有し、ベルトが搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部１１０と、搬送部によって搬送されるワークと対向する対向面１１４ａを有する対向部１１４ｂと、少なくとも縁の一部が対向部によって形成される開口部１１４ｃと、開口部から連通する連通路と、連通路内を減圧し、開口部を通じて突出部近傍の気体を吸引する減圧部１１６と、を備える。【選択図】図２
2014040315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の回転体と、ワークを接触支持する複数の突出部を有し該複数の回転体によって無端状に張架され前記ワークを搬送するベルトと、を有し、該ベルトが搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、
前記搬送部によって搬送されるワークと対向する対向面を有する対向部と、
少なくとも縁の一部が前記対向部によって形成される開口部と、
前記開口部から連通する連通路と、
前記連通路内を減圧し、前記開口部を通じて前記突出部近傍の気体を吸引する減圧部と、
を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記対向面は、前記搬送部によって搬送されるワークと平行に形成されることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記対向面は、前記複数の搬送部の対向方向の中心側が鉛直下方に撓むワークの想定される傾きに沿って水平方向に対し傾斜していることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記対向面の水平方向に対する傾斜角を調整する角度調整部をさらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記対向面の端部には、前記開口部から離れるほど、前記ワークからの距離が漸増する漸増部が形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記ベルトの搬送方向に移動する搬送部位および搬送方向の逆方向に移動する非搬送部位のいずれも覆うカバー部をさらに備え、
前記対向部は、前記カバー部の一部であって、
前記減圧部は、前記連通路を形成する前記カバー部の内部を減圧することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記ベルトのうち、少なくとも側面および鉛直下面を覆うカバー部をさらに備え、
前記減圧部は、前記連通路として前記カバー部の内部を減圧し、
前記対向部は、前記カバー部の側壁から対向する該側壁の対向方向の逆側に突出することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、板ガラス等の薄板状のワークの搬送には、ワークを搬送する際の接触面積を抑制した空気浮上型の搬送装置が用いられる。例えば、搬送装置がローラコンベアの場合、ワークに空気を吹き付けて浮上させつつ、ワークの搬送方向に垂直な幅方向（以下、単に幅方向と称す）の両端をそれぞれ対向するローラに載せて、ローラを回転させることでワークを搬送する（例えば、特許文献１）。
【０００３】
このとき、ワークがローラから滑り落ちないように、空気を吸引する吸引ユニットが、ローラの対向方向の内側に間隔を空けて配される。吸引ユニットは、ワークの鉛直下方から吸引力を作用させることで、ワークとローラとの摩擦力を高めている。
【０００４】
また、ベルトコンベアの一種であって、ワークへの接触面積をより小さくするため、コンベアのベルトから突出するピン（突出部）を設け、ピンの先端部のみをワークに接触させて、ワークを支持および搬送する、所謂ピンアップコンベアが知られている。特に、ピンアップコンベアは、ワークとの接触面積を小さくできるものの、ワークとピンの先端部との摩擦力が弱くなる。そこで、特許文献１に記載の吸引ユニットを、ピンアップコンベアの対向方向の内側に設けることも想定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２６０５９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、ワークの厚みや材質によっては、ワークの自重が大きく、ワークの慣性力が大きくなる。そのため、上述したピンアップコンベアの場合、ワークを搬送する加減速時において、ワークが突出部から滑って、ベルトとの相対位置がずれてしまうおそれがある。
【０００７】
そこで、吸引ユニットの吸引力を高めれば、突出部とワークとの摩擦力を高めて、ワークの滑動を抑止できるが、単に、吸引ユニットを構成するファンなどの機器の出力を高めるだけでは、消費電力が不要に増加してしまう。
【０００８】
本発明の目的は、消費電力の増加を伴わずに、ワークと突出部との摩擦力を高め、ワークを安定して搬送することが可能な搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の搬送装置は、複数の回転体と、ワークを接触支持する複数の突出部を有し複数の回転体によって無端状に張架されワークを搬送するベルトと、を有し、ベルトが搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、搬送部によって搬送されるワークと対向する対向面を有する対向部と、少なくとも縁の一部が対向部によって形成される開口部と、開口部から連通する連通路と、連通路内を減圧し、開口部を通じて突出部近傍の気体を吸引する減圧部と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
対向面は、搬送部によって搬送されるワークと平行に形成されてもよい。
【００１１】
対向面は、複数の搬送部の対向方向の中心側が鉛直下方に撓むワークの想定される傾きに沿って水平方向に対し傾斜していてもよい。
【００１２】
対向面の水平方向に対する傾斜角を調整する角度調整部をさらに備えてもよい。
【００１３】
対向面の端部には、開口部から離れるほど、ワークからの距離が漸増する漸増部が形成されていてもよい。
【００１４】
ベルトの搬送方向に移動する搬送部位および搬送方向の逆方向に移動する非搬送部位のいずれも覆うカバー部をさらに備え、対向部は、カバー部の一部であって、減圧部は、連通路を形成するカバー部の内部を減圧してもよい。
【００１５】
ベルトのうち、少なくとも側面および鉛直下面を覆うカバー部をさらに備え、減圧部は、連通路としてカバー部の内部を減圧し、対向部は、カバー部の側壁から対向する側壁の対向方向の逆側に突出してもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、消費電力の増加を伴わずに、ワークと突出部との摩擦力を高め、ワークを安定して搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】搬送装置の構造を説明するための説明図である。
【図２】カバー部および減圧部の構造を説明するための説明図である。
【図３】ワークに対する吸引効果を説明するための説明図である。
【図４】変形例を説明するための説明図である。
【図５】他の変形例を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。
【００１９】
本実施形態の搬送装置は、薄板状のワークを搬送するものであり、ここでは、ガラス板をワークとして搬送する搬送装置について説明する。
【００２０】
図１は、搬送装置１００の構造を説明するための説明図である。特に、図１（ａ）は、搬送装置１００の上面図を示し、図１（ｂ）は、搬送装置１００の正面図を示し、図１（ｃ）は、搬送装置１００の側面図を示す。ただし、図１においては、説明の便宜上、後述するカバー部１１４を破線で示し、搬送方向の長さを短く示している。
【００２１】
搬送装置１００は、搬送部１１０と、浮上部１１２と、カバー部１１４と、減圧部１１６とを含んで構成される。
【００２２】
また、搬送部１１０は、回転体１１０ａと、ベルト１１０ｂと、突出部１１０ｃと、を含んで構成される。
【００２３】
回転体１１０ａは、中央に貫通孔を有する環状部材であって、搬送方向に複数（本実施形態では２つ）配置される。また、回転体１１０ａは、水平かつ搬送方向に垂直な方向に対向して複数（本実施形態では２つ）配置され、シャフト１１０ｄの一端に固定されてシャフト１１０ｄと一体となって回転する。回転体１１０ａの回転軸は、水平かつ搬送方向に垂直となる。
【００２４】
ベース１０２は、搬送装置１００の土台である。支持脚１０４は、搬送方向の上流側と下流側にそれぞれ２本ずつ、ベース１０２に直立して固定されている。また、ベース１０２には、搬送方向の上流側にモータ等の駆動装置１１０ｅが配置されている。この駆動装置１１０ｅのシャフトには、軸継手１１０ｆを介してシャフト１１０ｇが連結され、シャフト１１０ｇに駆動装置１１０ｅの回転力が伝達される。
【００２５】
支持脚１０４の下部には貫通孔１０４ａが設けられており、シャフト１１０ｇは、対向する貫通孔１０４ａの両方に挿通され、貫通孔１０４ａの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。
【００２６】
また、シャフト１１０ｇには、プーリ１１０ｈが取り付けられており、プーリ１１０ｈは、シャフト１１０ｇと一体となって回転する。
【００２７】
そして、支持脚１０４の上部にも貫通孔１０４ｂが設けられている。シャフト１１０ｄは、この貫通孔１０４ｂの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。
【００２８】
搬送方向の上流側に配された２本のシャフト１１０ｄのうち、回転体１１０ａが固定された一端と反対側の他端には、プーリ１１０ｉが取り付けられている。ベルト１１０ｊは、鉛直上方に位置するプーリ１１０ｉと鉛直下方に位置するプーリ１１０ｈによって無端状に張架され、プーリ１１０ｈの回転力をプーリ１１０ｉに伝達する。
【００２９】
そして、プーリ１１０ｉの回転に伴い、シャフト１１０ｄと回転体１１０ａが一体回転する。
【００３０】
回転体１１０ａには、このような機構によって駆動装置１１０ｅの回転力が伝達される。ここでは、１つの駆動装置１１０ｅが回転体１１０ａを回転させる構成を例に挙げたが、例えば、複数の駆動装置１１０ｅが同期して回転体１１０ａを回転させるとしてもよい。また、ここでは、プーリ１１０ｈ、１１０ｉが、回転体１１０ａの対向方向の内側に配される構成を例に挙げたが、回転体１１０ａの対向方向の外側に配されてもよい。
【００３１】
ベルト１１０ｂは、複数の回転体１１０ａによって無端状に張架されて、回転体１１０ａの回転に伴って、図１（ｃ）に示す白抜き矢印Ｙの方向に回転する。図１（ａ）に示すように、ベルト１１０ｂは、搬送方向に平行に、複数（本実施形態では２つ）対向配置される。また、ベルト１１０ｂは、複数の突出部１１０ｃを有する。
【００３２】
突出部１１０ｃは、例えば樹脂等で構成され、ベルト１１０ｂの表面に搬送方向に沿って複数配されてワークを接触支持する。
【００３３】
搬送部１１０は、ベルト１１０ｂが図１（ｃ）に示す白抜き矢印Ｙの方向へ回転することで、突出部１１０ｃに接触支持されたワークを図１（ａ）に示す白抜き矢印Ｘの方向に搬送する。
【００３４】
浮上部１１２は、例えば、圧縮空気を噴出する噴出装置等で構成され、搬送方向に平行に配置された複数の搬送部１１０間のベース１０２上に配された浮上台１１２ａに載置されている。浮上部１１２は、長手方向を搬送方向に沿わせて、かつ、短手方向に複数（本実施形態では３つ）、並置されている。そして、浮上部１１２は、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークの一部を浮上させる。
【００３５】
具体的には、ワークを突出部１１０ｃで接触支持した状態で、浮上部１１２が気体（圧縮空気）を噴出して鉛直上方への気体の流れを生じさせると、浮上部１１２とワークの間の空気の圧力が高まる。ワークは、搬送中、この空気の圧力による鉛直上方への力と、ワークの自重に対する突出部１１０ｃからの反力で支持されることとなる。
【００３６】
このとき、浮上部１１２は、ワークを支持する空気の圧力として、圧縮空気の噴出方向の動圧ではなく、ワークの下方の空間が狭く四方に分散しようとする空気の動きが抑制された結果生じる静圧を利用するため、少ない出力でワークを支持可能となる。
【００３７】
図２は、カバー部１１４および減圧部１１６の構造を説明するための説明図であり、ワークＷの搬送時における搬送装置１００について、図１（ｂ）中、右側の搬送部１１０、カバー部１１４、および、減圧部１１６を図１（ｂ）と同じ向きから捉えた図を示す。ただし、理解を容易とするため、カバー部１１４と、減圧部１１６の筐体を断面図で示し、搬送部１１０を正面図で示す。
【００３８】
カバー部１１４は、２つの搬送部１１０それぞれに設けられ、ベルト１１０ｂ全体を囲繞する覆いである。ここで、ベルト１１０ｂ全体には、図１（ｂ）に示すように、ベルト１１０ｂのうち、鉛直上側であって、搬送方向に移動する搬送部位Ａと、鉛直下側であって、搬送方向の逆方向に移動する非搬送部位Ｂのいずれも含むものとする。
【００３９】
また、カバー部１１４のうち、鉛直上側の壁部は、搬送部１１０によって搬送されるワークＷと対向する対向面１１４ａを有する対向部１１４ｂとなる。すなわち、対向部１１４ｂは、カバー部１１４の一部であって、対向面１１４ａは、カバー部１１４の鉛直上側の端面である。
【００４０】
開口部１１４ｃは、対向部１１４ｂの対向面１１４ａに形成された孔であって、開口部１１４ｃの縁は対向部１１４ｂによって形成される。また、開口部１１４ｃは、カバー部１１４の内部と外部とを連通する。開口部１１４ｃは、対向部１１４ｂに、搬送方向の突出部１１０ｃの移動軌跡に沿って、カバー部１１４が突出部１１０ｃと干渉しないように設けられている。
【００４１】
突出部１１０ｃは、開口部１１４ｃから鉛直上方に突出し、その先端が開口部１１４ｃより鉛直上方に位置している。そのため、突出部１１０ｃは、ワークＷに接触可能となっている。
【００４２】
減圧部１１６は、ファン、ブロア、ポンプなどで構成され、カバー部１１４の鉛直下側の端面である下端１１４ｄに、搬送方向に亘って複数配される。そして、減圧部１１６は、カバー部１１４の下端１１４ｄに設けられた排出孔１１４ｅから、カバー部１１４の内部の空気を吸引して、カバー部１１４の内部の圧力を減圧する。そして、減圧部１１６は、開口部１１４ｃを通じて突出部１１０ｃ近傍の空気（気体）を吸引する。ここで、カバー部１１４は、開口部１１４ｃから減圧部１１６まで連通する連通路となる。
【００４３】
図３は、ワークＷに対する吸引効果を説明するための説明図である。図３（ａ）には、本実施形態の搬送部１１０、カバー部１１４、および、減圧部１１６を図２と同様に図示し、図３（ｂ）には、比較例としての搬送部１、カバー部２、および、減圧部３を図２と同様に図示する。
【００４４】
また、図３（ｃ）には、図３（ａ）中、左右方向の位置を横軸、ワークＷに作用する負圧の絶対値の大きさを縦軸とするグラフを示し、図３（ｄ）には、図３（ｂ）中、左右方向の位置を横軸、ワークＷに作用する負圧の絶対値の大きさを縦軸とするグラフを示す。
【００４５】
図３（ｂ）に示すように、比較例においては、カバー部２には鉛直上側ほど先細りとなる傾斜部２ａが設けられており、この傾斜部２ａの先端に開口部２ｂが形成されている。この場合、図３（ｄ）に示すように、ワークＷに作用する負圧の絶対値は、開口部２ｂの中心位置（図３（ｄ）中、破線ａで示す）において最大となり、開口部２ｂから左右方向に離隔すると、カバー部２の側壁２ｃの位置（図３（ｄ）中、破線ｂおよび破線ｃで示す）に至るまでに急峻に低下してしまう。
【００４６】
一方、本実施形態の対向部１１４ｂは、図３（ａ）に示すように、対向面１１４ａが、搬送部１１０によって搬送されるワークＷと平行に形成される。具体的に、対向面１１４ａは、例えば、搬送されるワークＷに対する傾斜角が例えば５度以内、望ましくは１度以内となっている。そのため、図３（ａ）中、左右方向に亘って、ワークＷとの距離が大凡等しい。そして、開口部１１４ｃから空気が吸引されると、対向部１１４ｂとワークＷとの間の流路ｆに空気が流れる。
【００４７】
この空気の流れは、流路ｆに流入するときに流路断面積が狭められることから、流路ｆに流入することで流速が速くなり、その速い流速を維持したまま開口部１１４ｃに吸引される。
【００４８】
その結果、ベルヌーイの定理に従って、流路ｆ全長に亘って、流路ｆに流入する前よりも空気の圧力が低下する。こうして、図３（ｃ）に示すように、流路ｆを形成するワークＷに対し、開口部１１４ｃの中心位置（図３（ｃ）中、破線ａで示す）を含め、流路ｆの全長に亘って（図３（ｃ）中、破線ｂから破線ｃまでの範囲に亘って）負圧が作用することとなる。
【００４９】
ここで、ワークＷに作用する負圧によって、ワークＷを鉛直下方に吸引する力の大きさは、例えば、図３（ｃ）、（ｄ）に示す負圧の積分値で評価できる。図３（ｃ）、（ｄ）を比較すると、図３（ｃ）に示す本実施形態の方が、負圧の絶対値が大きい区間が長いことから、ワークＷに対する吸引力が大きい。
【００５０】
このように、本実施形態の搬送装置１００は、減圧部１１６の出力を上げるなどして消費電力を増加させることなく、ワークＷに作用する吸引力を上昇させる。その結果、ワークＷと突出部１１０ｃとの摩擦力を高めて、ワークＷを安定して搬送することが可能となる。
【００５１】
また、開口部１１４ｃから突出部１１０ｃが突出しており、ワークＷに対し、突出部１１０ｃを中心に吸引力が均等に作用することから、バランスよくワークＷを吸引することが可能となると共に、開口部１１４ｃと突出部１１０ｃが近接しているため、ワークＷに作用する曲げモーメントを抑え、吸引力によるワークＷの変形を小さくできる。
【００５２】
また、上述したように、搬送部１１０は、カバー部１１４で覆われており、減圧部１１６が搬送部１１０の周囲の空気を吸引している。そのため、搬送装置１００は、例えば、フィルタを設けるなどして、排気中に含まれるゴミを除去すれば、カバー部１１４の内部にある搬送部１１０に付着したゴミや搬送部１１０の周囲に浮いた埃などのゴミのワークＷへの付着を抑制することが可能となる。
【００５３】
図４は、変形例を説明するための説明図であり、図４（ａ）〜図４（ｄ）は、それぞれ、変形例１〜４の対向部についての図２と同じ位置の正面図を示す。以下、図４を参照しながら、変形例１〜４について詳述する。
【００５４】
（変形例１）
上述した実施形態では、ワークＷの撓みがほとんどない場合に適した搬送装置１００について説明した。変形例１においては、ワークＷの板厚が薄く、２つの搬送部１１０における対向方向の中心側が鉛直下方に撓むものとする。そして、図４（ａ）に示すカバー部２１４のうち、鉛直上側の壁部は、搬送部１１０によって搬送されるワークＷと対向する対向面２１４ａを有する対向部２１４ｂとなり、鉛直下方に空気が吸引される開口部２１４ｃと連続している。
【００５５】
このとき、対向部２１４ｂ、および、対向面２１４ａは、図４（ａ）に示すように、水平方向に対して傾斜している。具体的には、ワークＷのうち、対向面２１４ａに対向する部位の傾斜角について、例えば、予め、ワークＷの撓み曲線から導いておいたり、実際にワークＷを搬送部１１０に設置して測定しておいたりする。そして、対向部２１４ｂ、および、対向面２１４ａを、その傾斜角に合わせて傾斜させる。
【００５６】
このように、対向面２１４ａを想定されるワークＷの傾きに沿って傾斜させることで、板厚が薄く撓みやすいワークＷを搬送する場合に、対向面２１４ａの水平方向に対する傾斜方向に亘って、対向面２１４ａとワークＷの離隔距離が大凡一定に保たれる。
【００５７】
そのため、流路ｆに流入して高速化した空気は、流速が速いまま開口部２１４ｃに吸引され、ワークＷに対する吸引力が上昇することから、板厚が薄く撓みやすいワークＷの安定搬送が可能となる。
【００５８】
（変形例２）
変形例１では、対向面２１４ａが水平方向に対して傾斜する構成について説明した。変形例２では、例えば、複数のロットごとにワークＷの板厚や材質が変更され、ワークＷの撓み角が変化する場合にも、対応することができる構成について説明する。
【００５９】
変形例２において、搬送装置は、上述した実施形態の搬送装置１００の構成に加え、図４（ｂ）に示すように、角度調整部３２０をさらに備える。角度調整部３２０は、本体３２０ａと、本体３２０ａに固定されたシャフト３２０ｂと、を含んで構成される。
【００６０】
また、本体３２０ａは、カバー部１１４の外壁に固定され、搬送部１１０と減圧部１１６は、カバー部１１４に一部が固定されている。すなわち、本体３２０ａ、搬送部１１０、カバー部１１４、および、減圧部１１６は、シャフト３２０ｂを回転中心として、図４（ｂ）中、両矢印で示すいずれの方向にも、一体的に傾斜可能となっている。
【００６１】
さらに、上述した実施形態で説明した搬送部１１０を構成する構成部は、ベース１０２や支持脚１０４に固定されず、カバー部１１４を介して角度調整部３２０に支持される。そして、傾斜する際、傾斜する軌道上に障害が配されないように、カバー部１１４は、例えば、地面などから離隔している。
【００６２】
そして、シャフト３２０ｂは、不図示のモータによって、図４（ｂ）中、両矢印で示すいずれの方向にも回転し、任意の回転位置で、固定部材や係合部材などで固定される。
【００６３】
このように、角度調整部３２０は、対向面１１４ａの水平方向に対する傾斜角を調整する。そのため、ワークＷの撓み角が変化する場合であっても、角度調整部３２０によって傾斜角を調整することで、ワークＷと対向面１１４ａを平行に保つことができる。こうして、流路ｆに流入する空気の流速が高速で維持され、ワークＷに対する吸引力が上昇してワークＷの安定搬送が可能となる。
【００６４】
（変形例３）
上述した実施形態では、空気の流速を高めることによってワークＷに対する吸引力を上昇させる構成について説明した。変形例３では、空気の流速をさらに高速化して、ワークＷに対する吸引力を上昇させることができる構成について説明する。
【００６５】
図４（ｃ）に示すように、変形例３において、カバー部３１４のうち、鉛直上側の壁部は、搬送部１１０によって搬送されるワークＷと対向する対向面３１４ａを有する対向部３１４ｂとなり、鉛直下方に空気が吸引される開口部３１４ｃと連続している。そして、対向面３１４ａの端部には、漸増部３１４ｆが形成されている。
【００６６】
漸増部３１４ｆは、開口部３１４ｃから離れるほど、ワークＷからの距離が漸増する部位であって、例えば、カバー部３１４の内側に曲率中心が位置する曲面となる、所謂Ｒ（フィレット）形状となっている。
【００６７】
そのため、対向面３１４ａによって、流路ｆの入り口近傍において、渦流などの空気の流れの乱れが生じにくく、圧力損失が抑制されて、空気の流速が高められることから、ワークＷに対する吸引力が上昇してワークＷの安定搬送が可能となる。
【００６８】
（変形例４）
上述した実施形態では、対向部１１４ｂがカバー部１１４の鉛直上側の壁部で構成される場合について説明した。変形例４では、対向部４１４ｂの対向面４１４ａの面積を拡大して、ワークＷに対する吸引力を上昇させることができる構成について説明する。
【００６９】
図４（ｄ）に示すように、変形例４では、対向部４１４ｂは、ベルト１１０ｂのうち、少なくとも側面および鉛直下面を覆うカバー部４１４の一部であって、カバー部４１４のうち、鉛直上側の端部において、カバー部４１４の側壁４１４ｇから水平方向に突出する、所謂フランジ形状となっている。
【００７０】
そして、対向部４１４ｂのうち、搬送部１１０によって搬送されるワークＷに対して対向する側が対向面４１４ａとなる。また、カバー部４１４の側壁４１４ｇの鉛直上側であって、対向部４１４ｂの中心側に鉛直下方に空気が吸引される開口部４１４ｃが形成されている。対向部４１４ｂは、開口部４１４ｃと連続している。
【００７１】
このように、対向部４１４ｂを、側壁４１４ｇから突出して形成することで、対向面４１４ａの面積を拡大して、ワークＷに対する吸引力を上昇させ、ワークＷの安定搬送が可能となる。
【００７２】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００７３】
上述した実施形態では、対向面１１４ａが搬送部１１０によって搬送されるワークＷと平行に形成されている場合について説明したが、図５（ａ）に示す対向面５１４ａのように、ワークＷと平行ではなくワークＷに対して傾斜した平面であってもよい。この場合、例えば、水平方向に対する傾斜角が５度以内であるとよい。また、５（ｂ）に示す対向面６１４ａのように、開口部１１４ｃを中心とするテーパ形状であったりしてもよい。この場合、それぞれのテーパ面について、水平方向に対する傾斜角が５度以内であるとよい。ただし、上述した実施形態のように、対向面１１４ａを、搬送部１１０によって搬送されるワークＷと平行に形成することで、流路ｆの全長に亘って空気の流速を高速化でき、負圧の絶対値が大きい区間を長く維持することが可能となる。
【００７４】
また、上述した実施形態および変形例では、カバー部を備え、カバー部の対向部における対向面に開口部が形成される場合について説明したが、カバー部を設けずともよい。
【００７５】
例えば、図５（ｃ）に示すように、搬送部１１０と支持脚１０４との間に吸引管７１４を設ける。吸引管７１４の鉛直上側の端部には、ワークＷに対向する対向面７１４ａを有する対向部７１４ｂが設けられ、この対向部７１４ｂによって開口部７１４ｃの縁の一部が形成される。そして、減圧部１１６が吸引管７１４の内部（連通路）を減圧し、開口部７１４ｃを通じて突出部１１０ｃ近傍の気体を吸引する。
【００７６】
このように、カバー部を設けない構成であっても、上述した実施形態と同様、流路ｆを流れる空気の圧力が低下し、ワークＷに作用する吸引力を上昇させ、ワークＷと突出部１１０ｃとの摩擦力を高めて、ワークＷを安定して搬送することが可能となる。
【００７７】
また、上述した変形例３では、漸増部３１４ｆがＲ（フィレット）形状となる場合について説明したが、漸増部は、開口部３１４ｃから離れるほど、ワークＷからの距離が漸増すれば、テーパ形状であってもよいし、他の形状であってもよい。
【００７８】
また、上述した実施形態および変形例では、搬送装置が浮上部１１２を備える場合について説明したが、搬送装置は、浮上部１１２を備えず搬送部１１０のみでワークＷを下方支持してもよい。特に、ワークＷの剛性が低くワークＷが撓んで支持が困難な場合、搬送部１１０が、水平かつ搬送方向に垂直な方向に３つ以上配され、ワークＷの中央側を下方支持する構成であってもよい。
【００７９】
また、上述した変形例３にのみ、漸増部３１４ｆを設ける構成を挙げて説明したが、実施形態および変形例１、２、４についても、対向面の端部に漸増部３１４ｆを設けてもよい。
【００８０】
また、減圧部１１６は、真空装置やエゼクタなどの減圧装置で構成されてもよく、これらの減圧装置を、カバー部に近接して配する空間の確保が困難であれば、減圧装置に連通する配管の端部を、減圧部１１６の代わりに配置してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００８２】
Ｗ     …ワーク
１００  …搬送装置
１１０  …搬送部
１１０ａ  …回転体
１１０ｂ  …ベルト
１１０ｃ  …突出部
１１４、２１４、３１４、４１４  …カバー部（連通路）
１１４ａ、２１４ａ、３１４ａ、４１４ａ、５１４ａ、６１４ａ、７１４ａ  …対向面
１１４ｂ、２１４ｂ、３１４ｂ、４１４ｂ、７１４ｂ  …対向部
１１４ｃ、２１４ｃ、３１４ｃ、４１４ｃ、７１４ｃ  …開口部
１１６  …減圧部
３１４ｆ  …漸増部
３２０  …角度調整部
４１４ｇ  …側壁
７１４  …吸引管（連通路）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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