(57)【要約】【課題】研磨加工時に発生する加工熱を充分に除熱できるようにすることを目的とする。【解決手段】チャックテーブル１１は、板状ワークＷを吸引保持する吸引保持機構部１００と、チャックテーブル１１を冷却する冷却機構部１１０とにより構成され、吸引保持機構部１００は、円盤状の吸引板１０１と吸引板１０１を囲繞する凹形状の枠体１０２と枠体１０２の内部に形成され吸引板１０１と吸引源１０６とを連通させる吸引路１０５とを備え、冷却機構部１１０は、枠体１０２の内部に吸引路１０５と連通しない水路１１１と、水源１１４に接続される供給口１１２と、枠体１０２の側壁１０４に形成される排水口１１３と、を少なくとも備えているため、板状ワークＷの研磨時において水路１１１に冷却水を流入させることにより、チャックテーブル１１の加工熱を充分に除熱し、チャックテーブル１１の熱膨張を防止することができる。【選択図】図２
2014237200.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを吸引保持するチャックテーブルであって、
該チャックテーブルは、板状ワークを吸引保持する吸引保持機構部と、
該チャックテーブルを冷却する冷却機構部とにより構成されており、
該吸引保持機構部は、円盤状の多孔質部材により形成され板状ワークを吸引保持する吸引板と、該吸引板を囲繞する凹形状の枠体と、該枠体の内部に形成され該吸引板と吸引源とを連通させる吸引路と、を少なくとも備え、
該冷却機構部は、該吸引路に連通せずに該枠体の内部に形成され水源に連通する水路と、
該水路の一端に形成され該水源に接続される供給口と、該枠体の側壁において開口し該水路の他端に形成される排水口と、を少なくとも備えるチャックテーブル。
【請求項２】
前記水路を前記枠体の側壁より径方向外側に延長させるとともに下方向に曲げて形成された延長水路を備え、該延長水路の先端を排水口とする請求項１記載のチャックテーブル。
【請求項３】
板状ワークを保持する保持手段と、該保持手段に保持された板状ワークを研磨する研磨手段と、該保持手段に保持された板状ワークを研削する研削手段とにより少なくとも構成される研削研磨装置であって、
該保持手段は、請求項１又は２に記載のチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させる回転手段と、該チャックテーブルの前記供給口を介して水源に連通する水路と、を少なくとも備える研削研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを保持するチャックテーブル及びチャックテーブルに保持された板状ワークに対して研削及び研磨を施す研削研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被加工物である板状ワークの表面を鏡面加工する研磨装置は、板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、板状ワークに研磨を施す研磨パッドを有する研磨手段とを少なくとも備えており、研磨パッドによって板状ワークの表面を研磨している。
【０００３】
研磨装置において板状ワークに対し乾式の研磨加工（ドライポリッシング）を行う場合には、研磨加工時に研磨パッドに生じる加工熱を除熱するために、研磨パッドに高圧エアーを吹き付けて冷却している。しかし、高圧エアーによる冷却では、研磨パッドの除熱が不十分であるため、研磨パッドに蓄熱された加工熱が板状ワークを介して保持テーブルに蓄熱される。その結果、保持テーブルが熱膨張していまい、板状ワークの加工精度に支障をきたすことがある。
【０００４】
そこで、下記の特許文献１に示すように、冷却機能を備えるチャックテーブルが提案されている。このチャックテーブルは、板状ワークが載置される吸引板と、該吸引板の裏面側の冷却手段とを備えている。冷却手段は、冷却液の供給源に連通する冷却供給路と吸引源に連通する真空吸引路とを備えている。板状ワークを研磨する際には、板状ワークをチャックテーブルに吸引保持させ、冷却液供給路からチャックテーブルの吸引板に向けて冷却水を供給しつつ真空吸引路で冷却水を吸引することにより、チャックテーブルに蓄熱された加工熱を除熱することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２２９３９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記チャックテーブルに板状ワークを吸引保持させ、板状ワークを研磨する際には、上記真空吸引路は、板状ワークを吸引するための吸引路であるとともに、冷却水を吸引するための吸引路でもあるため、冷却水の吸引量には限界がある。したがって、十分な量の冷却水を使用することができず、チャックテーブルに蓄熱される加工熱を充分に除熱できないという問題がある。
【０００７】
また、研削加工と研磨加工とを一体にした研削研磨装置においては、研磨加工時に熱膨張したチャックテーブルに別の板状ワークを保持させ、研削加工を継続して行うと、板状ワークの厚み精度に悪影響を及ぼすという問題もある。
【０００８】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、研磨加工時に発生する加工熱を充分に除熱できるようにすることに発明の解決すべき課題を有している。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、板状ワークを吸引保持するチャックテーブルであって、該チャックテーブルは、板状ワークを吸引保持する吸引保持機構部と、該チャックテーブルを冷却する冷却機構部とにより構成されており、該吸引保持機構部は、円盤状の多孔質部材により形成され板状ワークを吸引保持する吸引板と、該吸引板を囲繞する凹形状の枠体と、該枠体の内部に形成され該吸引板と吸引源とを連通させる吸引路と、を少なくとも備え、該冷却機構部は、該吸引路に連通せずに該枠体の内部に形成され水源に連通する水路と、該水路の一端に形成され該水源に接続される供給口と、該枠体の側壁において開口し該水路の他端に形成される排水口と、を少なくとも備える。
【００１０】
上記チャックテーブルは、上記水路を上記枠体の側壁より径方向外側に延長させるとともに下方向に曲げて形成された延長水路を備え、該延長水路の先端を排水口とすることが望ましい。
【００１１】
本発明は、板状ワークを保持する保持手段と、該保持手段に保持された板状ワークを研磨する研磨手段と、該保持手段に保持された板状ワークを研削する研削手段とにより少なくとも構成される研削研磨装置であって、該保持手段は、上記チャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させる回転手段と、該チャックテーブルの前記供給口を介して水源に連通する水路と、を少なくとも備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明にかかるチャックテーブルは、枠体の内部において吸引路と連通せずに水源に連通する水路と、水路の一端において水源に接続される供給口とを備えているため、吸引路で水の吸引を行うことがなく、水路に流入する水の供給量を増やすことができる。したがって、板状ワークを研磨する際には、水路に水を流入させることによりチャックテーブルの内部の加工熱を充分に除熱してチャックテーブルが熱膨張することを防止できる。
また、チャックテーブルは、枠体の側壁において開口する排水口を水路の他端に備えているため、排水口から放出される冷却水によってチャックテーブルの周囲も冷却することができ、チャックテーブルの周囲も含めて温度管理が可能となる。
【００１３】
また、チャックテーブルは、水路を枠体の側壁より外側で径方向に延長させるとともに下方向に曲げて形成される延長水路を備え、延長水路の先端に形成される排水口が下向きとなっているため、チャックテーブルの回転による遠心力の影響を小さくして排水口から排水される冷却水が霧状になることを防止することができる。
【００１４】
さらに、本発明にかかる研削研磨装置の保持手段は、上記チャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させる回転手段と、該チャックテーブルの供給口を介して水源に連通する水路と、を少なくとも備えているため、研削研磨装置で板状ワークを研磨する際には、水路に水を流入することによりチャックテーブルの内部の加工熱を充分に除熱してチャックテーブルが熱膨張することを防止できる。
したがって、研磨時に使用したチャックテーブルに加工前の別の板状ワークを保持させ、板状ワークの研削加工を行ったとしても板状ワークの加工精度を維持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】研削研磨装置の構成を示す斜視図である。
【図２】保持手段の第１例の構成を示す断面図である。
【図３】チャックテーブルの分解斜視図である。
【図４】チャックテーブルを下方側から見た斜視図である。
【図５】保持手段の第１例で板状ワークを吸引保持し、板状ワークを研磨する状態を示す断面図である。
【図６】保持手段の第２例で板状ワークを吸引保持し、板状ワークを研磨する状態を示す断面図である。
【図７】延長水路を備える冷却機構部の複数の変形例を示す部分拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１に示す研削研磨装置１は、被加工物に対する研削加工と研磨加工とを実施できる加工装置である。研削研磨装置１は、Ｙ軸方向にのびる装置ベース２を有しており、装置ベース２の中央部には、回転可能なターンテーブル３が配設されている。このターンテーブル３の上には、被加工物を保持し自転可能な保持手段１０が複数配設されている。そして、ターンテーブル３が回転することにより、保持手段１０を公転させることができる。
【００１７】
装置ベース２のＹ軸方向前部には、加工前の被加工物が収容されるカセット４ａと、加工後の被加工物が収容されるカセット４ｂとを備えている。また、カセット４ａ及びカセット４ｂに対面する位置には、カセット４ａからの被加工物の搬出を行うとともにカセット４ｂへの被加工物の搬入を行う搬送ロボット６が配設されている。搬送ロボット６の可動範囲には、被加工物を仮置きするための仮置き手段７と、加工後の被加工物に付着した加工屑を洗浄する洗浄手段８が配設されている。
【００１８】
仮置き手段７の近傍には、仮置き手段７に仮置きされた加工前の被加工物を保持手段１０に搬送する第１の搬送手段９ａが配設されている。また、洗浄手段８の近傍には、保持手段１０に保持された加工後の被加工物を洗浄手段８に搬送する第２の搬送手段９ｂが配設されている。
【００１９】
装置ベース２のＹ軸方向後部には、Ｚ軸方向にのびるコラム５ａが立設されている。コラム５ａの前方において第１の研削送り手段３０ａを介して第１の研削手段２０ａが配設されている。また、コラム５ａに隣接してコラム５ｂが立設されており、コラム５ｂの前方において第２の研削送り手段３０ｂを介して第２の研削手段２０ｂが配設されている。
【００２０】
第１の研削手段２０ａは、Ｚ軸方向に軸心を有するスピンドル２１と、スピンドル２１を囲繞するハウジング２２と、スピンドル２１の一端に接続されたモータ２３と、スピンドル２１の下端にマウント２４を介して装着された研削ホイール２５と、研削ホイール２５の下部に環状に固着された粗研削用の砥石２６ａとを備えている。第２の研削手段２０ｂは、仕上げ研削用の砥石２６ｂを備え、これ以外は第１の研削手段２０ａと同様の構成となっている。
【００２１】
第１の研削送り手段３０ａは、Ｚ軸方向にのびるボールネジ３１と、ボールネジ３１の一端に接続されたモータ３２と、ボールネジ３１と平行にのびる一対のガイドレール３３と、ハウジング３３に連結されたガイド板３４とを備えている。ガイド板３４の側部には一対のガイドレール３３が摺接するとともにガイド板３４の中央部に形成されたナットにボールネジ３１が螺合している。モータ３２がボールネジ３１を駆動することにより、ガイド板３４とともに第１の研削手段２０ａをＺ軸方向に昇降させることができる。なお、第２の研削送り手段３０ｂは、第１の研削送り手段３０ａと同様の構成となっている。
【００２２】
図１に示すように、装置ベース２のＸ軸方向後部には、Ｚ軸方向にのびるコラム５ｃが立設されている。コラム５ｃの前方においてＺ軸方向送り手段５０及びＹ軸方向送り手段６０を介して被加工物に対し乾式の研磨加工（ドライポリッシング）を行う研磨手段４０が配設されている。研磨手段４０は、Ｚ軸方向に軸心を有するスピンドル４１と、スピンドル４１を囲繞するハウジング４２と、スピンドル４１の一端に接続されたモータ４３と、スピンドル４１の下端にマウント４４を介して装着された研磨パッド４５とを備えている。
【００２３】
Ｚ軸方向送り手段５０は、Ｚ軸方向にのびるボールネジ５１と、ボールネジ５１の一端に接続されたモータ５２と、ボールネジ５１と平行にのびる一対のガイドレール５３と、ハウジング４２に連結されたガイド板５４とを備えている。モータ５２がボールネジ５１を駆動することにより、研磨手段４０をＺ軸方向に昇降させることができる。また、Ｙ軸方向送り手段６０は、Ｙ軸方向にのびるボールネジ６１と、ボールネジ６１の一端に接続されたモータ６２と、ボールネジ６１と平行にのびる一対のガイドレール６３と、Ｚ軸方向送り手段５０を支持するガイド板６４とを備えている。そして、モータ６２がボールネジ６１を駆動することにより、ガイド板６４とともに研磨手段４０をＹ軸方向に水平移動させることができる。
【００２４】
保持手段１０は、図２に示すように、被加工物を吸引保持するチャックテーブル１１と、チャックテーブル１１を回転させる回転手段１３と、を少なくとも備えている。チャックテーブル１１の下端には、回転手段１３が接続された回転軸１２が連結されている。回転手段１３は、モータ１３ａに接続されたプーリ１３ｂと、回転軸１２に取り付けられたプーリ１３ｃと、プーリ１３ｂとプーリ１３ｃとに巻かれたベルト１３ｄとにより構成されている。プーリ１３ｂの駆動によりベルト１３がプーリ１３ｃを従動させて回転軸１２とともにチャックテーブル１１を回転させることができる。
【００２５】
チャックテーブル１１は、被加工物を吸引保持するための吸引保持機構部１００と、チャックテーブル１１を冷却するための冷却機構部１１０とにより構成されている。図３に示すように、吸引保持機構部１００は、円盤状に形成される吸引板１０１と、吸引板１０１を囲繞する枠体１０２とを備えている。吸引板１０１は、多孔質保持部材により構成されており、その上面が被加工物を吸引保持する吸引面１０１ａとなっている。枠体１０２の中央部分には、吸引板１０１の外径よりも大きい内径を有する凹部１０３が形成されている。凹部１０３の中央には、吸引板１０１と吸引源１０６とを連通させる吸引路１０５を備えている。そして、吸引板１０１を枠体１０２の凹部１０３に嵌め込んでチャックテーブル１１として使用することができる。
【００２６】
図４に示す冷却機構部１１０は、枠体１０２の内部において枠体１０２の中心部から放射状にのびるとともに吸引路１０５と連通しない水路１１１を少なくとも４つ備えている。この水路１１１の数は４つに限定されるものでない。水路１１１は、枠体１０２の中央付近まで図２に示した吸引板１０１と平行にのびており、枠体１０２の中央付近から下方向（Ｚ軸方向）にのびた構成となっている。水路１１１の一端には、水路１１１と水源１１４とを接続させる供給口１１２が形成されている。また、水路１１１の他端には、枠体１０２の側壁１０４において開口する排水口１１３が形成されている。水源１１４が作動することにより、供給口１１２に冷却水が流入し、水路１１１を冷却水が流れることで枠体１０２が冷却され、枠体１０２に接触している吸着板１０１も冷却することができる。
【００２７】
図２に示すように、側壁１０４における排水口１１３の位置よりも下方には、側壁１０４から外周側に突出するとともにその先端において屈曲して垂下するツバ部１１５が形成されている。ツバ部１１５の下方には、排水口１１３から排水された冷却水が装置内部に流れ込むことを防止するカバー部１１６が配設されている。なお、図３及び図４では、ツバ部１１５の図示を省略している。
【００２８】
次に、研削研磨装置１の動作例について説明する。図２に示す板状ワークＷは、被加工物の一例であり、その材質等が限定されるものではない。板状ワークＷに対して研削及び研磨を行う面が上面Ｗａとなっており、この上面Ｗａと反対側にある面が吸引板１０１の吸引面１０１ａに吸引保持される下面Ｗｂとなっている。
【００２９】
図１に示した搬送ロボット６は、カセット４ａから加工前の板状ワークＷを取り出して仮置き手段７に仮置きする。第１の搬送手段９ａは、仮置き手段７に仮置きされた板状ワークＷを保持手段１０に搬送する。ターンテーブル３が例えば、矢印Ａ方向に回転し、保持手段１０を第１の研削手段２０ａの下方に移動させる。第１の研削手段２０ａは、保持手段１０に保持された板状ワークＷに対し粗研削を行う。その後、ターンテーブル３がさらに矢印Ａ方向に回転し、粗研削が施された板状ワークＷを保持した保持手段１０を第２の研削手段２０ｂの下方に移動させる。そして、第２の研削手段２０ｂは、保持手段１０に保持された板状ワークＷに対して所定の厚みに達するまで仕上げ研削を行う。仕上げ研削後、ターンテーブル３がさらに矢印Ａ方向に回転し、仕上げ研削が施された板状ワークＷを保持した保持手段１０を研磨手段４０の下方に移動させる。
【００３０】
図５に示すように、回転手段１３の作動によってチャックテーブル１１が例えば矢印Ｂ方向に回転しつつ、保持手段１０が研磨手段４０の下方に移動した後、スピンドル４１が回転し研磨パッド４５を例えば矢印Ｃ方向に回転させながら、図１に示したＺ軸方向送り手段５０が作動し、研磨手段４０をＺ軸方向に下降させ、研磨パッド４５で板状ワークＷの上面Ｗａを押圧する。このとき、図１に示したＹ軸方向送り手段６０が作動し、研磨パッド４５をＹ軸方向に水平移動させながら研磨パッド４５と板状ワークＷの上面Ｗａとを相対的に摺動させて研磨を行う。
【００３１】
板状ワークＷの研磨中は、研磨パッド４５に加工熱が発生し、研磨パッド４５と接触する板状ワークＷを介してチャックテーブル１１の内部に加工熱が伝熱されるため、冷却機構部１１０によってチャックテーブル１１の内部を冷却する。
【００３２】
図５に示すように、水源１１４が作動し、供給口１１２に冷却水を流入する。供給口１１２に流入された冷却水は、回転中のチャックテーブル１１に発生する遠心力を利用して水路１１１に沿って径方向に流れる。この際、水路１１１を流れる冷却水の冷却効果により、枠体１０２及び吸引板１０１の内部に蓄熱された加工熱を除熱する。なお、板状ワークＷの研磨中は、常に水路１１１に冷却水を流入し続けることが望ましい。冷却水は、加工熱を除熱できるものであればよく、特に限定されるものではない。
【００３３】
水路１１１に沿って径方向に流れてきた冷却水は、排水口１１３から外部に排水される。このとき、カバー部１１６に冷却水が落下するため、装置内部に冷却水が流れ込むことはない。そして、板状ワークＷの上面Ｗａを所望の加工面に研磨した時点で研磨手段４０を上昇させ、研磨加工を終了する。
【００３４】
研磨終了後、図１に示した第２の搬送手段９ｂによって、研磨が施された板状ワークＷを保持手段１０から洗浄手段８に搬送する。板状ワークＷを洗浄後、搬送ロボット６により洗浄済みの板状ワークＷをカセット４ｂに収容する。こうして研削研磨装置１における一連の加工動作が終了する。
【００３５】
図６に示す保持手段１０ａは、板状ワークＷを保持する保持手段の第２例である。保持手段１０ａは、チャックテーブル１１を冷却するための冷却機構部１２０を備えており、これ以外は上記保持手段１０と同様の構成となっている。
【００３６】
冷却機構部１２０は、水路１１１を延長させた延長水路１２１を備えている。図６の部分拡大図に示すように、延長水路１２１は、水路１１１を枠体１０２の側壁１０４よりも径方向外側に延長させるとともに下方向（Ｚ軸方向）に屈曲させ、枠体１０２の側部から突出して形成されたツバ部１１５の内部を貫通した構成となっている。
【００３７】
ツバ部１１５の先端部は開口しており、この開口した部分（延長水路１２１の先端）が排水口１２２となっている。排水口１２２は、下方向（Ｚ軸方向）に向いており、カバー部１１６の近傍に配置されている。
【００３８】
このように構成される保持手段１０ａに板状ワークＷを保持させ、板状ワークＷを研磨加工するときは、図６に示すように、研磨パッド４５によって板状ワークＷの上面Ｗａを押圧しながら、研磨パッド４５を例えばＹ軸方向に水平移動させながら研磨パッド４５と板状ワークＷの上面Ｗａとを相対的に摺動させて研磨を行う。板状ワークＷの研磨中は、冷却機構部１２０によってチャックテーブル１１の内部を冷却する。
【００３９】
図６に示す水源１１４が作動し、供給口１１２に冷却水を流入すると、回転するチャックテーブル１１に発生する遠心力を利用して冷却水が水路１１１に沿って径方向に流れていき、上記同様に水路１１１を流れる冷却水の冷却効果により、枠体１０２及び吸引板１０１の内部に蓄熱された加工熱を除熱する。
【００４０】
図６の部分拡大図に示すように、枠体１０２の側壁１０４に至る水路１１１まで流れてきた冷却水は、延長水路１２１に流れ込む。その後、延長水路１２１に沿って冷却水が流れていき、排水口１２２からカバー部１１６に排水される。このように、保持手段１０ａでは、排水口１２２の向きが下向き（Ｚ軸方向）となっているため、回転するチャックテーブル１１の遠心力の影響を小さくし、排水口１２２から排水される冷却水が霧状になることを防止でき、研磨パッド４５に冷却水が付着することを防止できる。
【００４１】
延長水路１２１を備える冷却機構部の構成は、冷却機構部１２０に限定されるものではない。以下では、冷却機構部の複数の変形例について説明する。
【００４２】
図７（ａ）に示す冷却機構部１２０ａは、枠体１０２の側壁１０４から外周側に突出し、その先端において屈曲して垂下するツバ部１３０ａを備えている。ツバ部１３０ａの外側面下端部には、枠体１０２の中心側に向けて窪んだ断面半円形状の切り欠き部１３１が形成されている。これ以外の構成は図６に示した冷却機構部１２０と同様である。このように構成される冷却機構部１２０ａでは、排水口１２２からカバー部１１６に落下した冷却水が、回転するチャックテーブルの遠心力の影響を受けて径方向に流れつつ上昇してきたとしても、切り欠き部１３１で冷却水を留めることにより、排水された冷却水の水勢を弱めることができる。したがって、冷却水が上昇して図６に示した研磨パッド４５に付着することを防止できる。
【００４３】
図７（ｂ）に示す冷却機構部１２０ｂは、枠体１０２の側壁１０４から外周側に突出し、その先端において屈曲して垂下するツバ部１３０ｂを備えている。ツバ部１３０ｂには、さらに、垂下した下端が外周側に折り曲げられた折り曲げ部１３２が形成されている。折り曲げ部１３２の下面には、断面半円形の切り欠き部１３３が形成されている。これ以外の構成は図６に示した冷却機構部１２０と同様である。冷却機構部１２０ｂにおいても、排水口１２２からカバー部１１６に落下した水が上昇しようとしても、切り欠き部１３３で水を留めることにより、排水された冷却水の水勢を弱めることができる。特に、折り曲げ部１３２が形成されていることにより、冷却水の上昇を効果的に抑止することができる。
【００４４】
図７（ｃ）に示す冷却機構部１２０ｃは、ツバ部１１５の外周側において上方に突出した突起部１４１が形成されたカバー部１４０ａを備えており、これ以外の構成は図６に示した冷却機構部１２０と同様である。この冷却機構部１２０ｃでは、排水口１２２からカバー部１４０ａに落下した冷却水が突起部１４１に衝突することにより、排水された冷却水の水勢を弱めることができる。
【００４５】
図７（ｄ）に示す冷却機構部１２０ｄは、枠体１０２の側壁１０４から外周側に突出しその先端において屈曲して垂下する下端が外周側に折り曲げられた折り曲げ部１３４を有するツバ部１３０ｃと、図７（ｃ）に示した突起部１４１よりも高さの低い突起部１４２が形成されたカバー部１４０ｂとを備えており、これら以外の構成は図６に示した冷却機構部１２０と同様である。突起部１４２の上端部は、折り曲げ部１３４の下面より高い位置にあり、かつ、折り曲げ部１３４の上面より低い位置にある。冷却機構部１２０ｄでは、排水口１２２からカバー部１４０ｂに落下した冷却水の飛散が、折り曲げ部１３４と突起部１４２とによって規制されるため、排水された冷却水の水勢を弱めることができる。
【００４６】
図７（ｅ）に示す冷却機構部１２０ｅは、枠体１０２の側壁１０４から外周側に突出しその先端において屈曲して垂下する下端が外周側に折り曲げられた折り曲げ部１３４を有するツバ部１３０ｃと、折り曲げ部１３４よりも高い位置でカバー部１１６と平行に配設されたカバー部１５０を備えている。これら以外の構成は図６に示した冷却機構部１２０と同様である。冷却機構部１２０ｅでは、排水口１２２からカバー部１１６に落下した水が上昇しようとしても、カバー部１５０によって水の上昇が規制されるため、排水された冷却水の水勢を弱めることができる。
【００４７】
図７（ｆ）に示す冷却機構部１２０ｆは、枠体１０２の側壁１０４から外周側に突出しその先端において屈曲して垂下する下端が外周側に折り曲げられた折り曲げ部１３４を有するツバ部１３０ｃを備えており、これ以外の構成は図６に示した冷却機構部１２０と同様である。冷却機構部１２０ｆでは、排水口１２２からカバー部１１６に落下した水が上昇しようとしても、ツバ部１３０ｃの折り曲げ部１３４によって上昇が規制されるため、排水された冷却水の水勢を弱めることができる。
【００４８】
実施形態に示す冷却機構部１１０、１２０、１２０ａ〜１２０ｆは、枠体１０２の内部に吸引路１０５と連通しない水路１１１と、水路１１１の一端に形成され水源１１４に接続される供給口１１２とを備えているため、吸引路１０５において冷却水の吸引を行うことがなく、水路１１１に流入する冷却水の供給量を増やすことができる。したがって、板状ワークＷを研磨する際には、水路１１１に冷却水を流入することによりチャックテーブル１１の内部の加工熱を充分に除熱してチャックテーブル１１が熱膨張することを防止できる。これにより、別の板状ワークをチャックテーブル１１が保持して研削又は研磨したとしても、板状ワークＷの加工精度を維持することができる。
また、チャックテーブル１１は、枠体１０２の側壁１０４に至る水路１１１の他端に排水口１１３を備えているため、排水口１１３から放出される冷却水によってチャックテーブル１１の周囲の部材等も冷却することができ、チャックテーブル１１の周囲も含めて装置の温度管理が可能となる。
【００４９】
図６及び図７に示した冷却機構部１２０、１２０ａ〜１２０ｆは、枠体１０２の側壁１０４よりも径方向外側にのびる延長水路１２１を備え、延長水路１２１の先端に形成される排水口１２２が下向き（Ｚ軸方向）に開口しているため、チャックテーブル１１の回転による遠心力によって冷却水が外周側に飛散するのを抑止し、排水口１２２から排水される冷却水が霧状になることを防止し、研磨パッド４５に冷却水が付着することを防止することができる。
【符号の説明】
【００５０】
１：研削研磨装置  ２：装置ベース  ３：ターンテーブル
４ａ，４ｂ：カセット  ５ａ，５ｂ，５ｃ：コラム  ６：搬送ロボット
７：仮置き手段  ８：洗浄手段  ９ａ：第１の搬送手段  ９ｂ：第２の搬送手段
１０：保持手段  １１：チャックテーブル  １２：回転軸  １３：回転手段
１３ａ：モータ  １３ｂ：プーリ  １３ｃ：プーリ  １３ｄ： ベルト
１００：吸引保持機構部  １０１：吸引板  １０１ａ：吸引面  １０２：枠体
１０３：凹部  １０４：側壁  １０５：吸引路  １０６：吸引源
１１０：冷却機構部  １１１：水路  １１２：供給口  １１３：排水口  １１４：水源
１１５：ツバ部  １１６：カバー部
１２０，１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ，１２０ｄ，１２０ｅ，１２０ｆ：冷却機構部
１２１：延長水路  １２２：排水口
１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ：ツバ部  １３１：切り欠き部  １３２：折り曲げ部
１３３：切り欠き部  １３４：折り曲げ部
１４０ａ，１４０ｂ：カバー部  １４１，１４２：突起部  １５０：カバー部
２０ａ：第１の研削手段  ２０ｂ：第２の研削手段  ２１：スピンドル
２２：ハウジング  ２３：モータ  ２４：マウント  ２５：研削ホイール
２６ａ，２６ｂ：砥石
３０ａ：第１の研削送り手段  ３０ｂ：第２の研削送り手段  ３１：ボールネジ
３２：モータ  ３３：ガイドレール３４：ガイド板
４０：研磨手段  ４１：スピンドル  ４２：ハウジング  ４３：モータ  ４４：マウント４５：研磨パッド
５０：Ｚ軸方向送り手段  ５１：ボールネジ  ５２：モータ  ５３：ガイドレール
５４：ガイド板  ６０：Ｙ軸方向送り手段  ６１：ボールネジ  ６２：モータ
６３：ガイドレール  ６４：ガイド板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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