(57)【要約】【課題】回転方向の剛性を高め得る回転機構および搬送装置を提供すること。【解決手段】この回転機構１は、第一シャフト２２を有する第一回転ユニット２と、第二ハウジング３１と、第一シャフト２２に対して固定して連結される第二シャフト３２と、この第二シャフト３２を第二ハウジング３１に対して回転可能に支持する第二軸受３３とを有する第二回転ユニット３と、第二ハウジング３１を弾性変位可能に支持する弾性部材４１とを備える。【選択図】図１
2014134281.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一シャフトを有する第一回転ユニットと、
第二ハウジングと、前記第一シャフトに対して固定して連結される第二シャフトと、前記第二シャフトを前記第二ハウジングに対して回転可能に支持する第二軸受とを有する第二回転ユニットと、
前記第二ハウジングを弾性変位可能に支持する弾性支持構造とを備えることを特徴とする回転機構。
【請求項２】
前記弾性支持構造が、前記第二ハウジングに付勢して前記第二ハウジングを支持する弾性部材を備える請求項１に記載の回転機構。
【請求項３】
前記第一回転ユニットが、第一ハウジングと、第一シャフトと、前記第一シャフトを前記第一ハウジングに対して回転可能に支持する第一軸受とを有し、且つ、
前記弾性支持構造が、前記第一ハウジングと前記第二ハウジングとの間に介在して前記第一ハウジングを支持する弾性部材を有する請求項１または２に記載の回転機構。
【請求項４】
前記弾性部材が、前記弾性部材の配置位置の隙間を封止するシール部材を兼ねる請求項２または３に記載の回転機構。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一つに記載の回転機構を備えることを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、回転機構および搬送装置に関し、さらに詳しくは、回転方向の剛性を高め得る回転機構および搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１０は、従来の搬送装置を示す説明図である。同図は、従来の搬送装置の一例として、ステージ駆動装置１００を示している。
【０００３】
ステージ駆動装置１００は、真空チャンバ内に配置されたステージを所定の方向に移動させて位置決めするための装置であり、例えば、半導体露光装置などに用いられる。このステージ駆動装置１００は、ワークを載せるステージ１０１と、ステージ１０１を移動させるボールネジ１０２と、ボールネジ１０２に連結されたトルク伝達機構１０３と、トルク伝達機構１０３に連結された駆動モータ１０４と、ステージ１０１を収容するチャンバ１０５とを備える。また、ボールネジ１０２は、チャンバ１０５内にて軸受ユニット１０６により軸方向に回転移動可能に支持される。また、トルク伝達機構１０３は、チャンバ１０５の壁面に開けられた開口部１０５１に挿入され、ベース部材１０９を介して開口部の縁部に固定される。また、駆動モータ１０４は、チャンバ１０５の壁面に取り付けられて固定される。
【０００４】
このステージ駆動装置１００では、駆動モータ１０４が駆動力を発生すると、この駆動力がトルク伝達機構１０３を介してボールネジ１０２に伝達され、ボールネジ１０２が回転してステージ１０１を軸方向に送る。これにより、ステージ１０１が移動できる。また、例えば、一組のステージ駆動装置１００がｘ軸方向およびｙ軸方向（図示省略）にそれぞれ設置されることにより、ステージ１０１がｘｙ平面方向に移動できる。
【０００５】
ここで、図１０の構成では、トルク伝達機構１０３のシャフト１０３２とボールネジ１０２とが、例えば、ベローズ構造を有するフレキシブルなカップリング１０８を介して連結される。同様に、トルク伝達機構１０３のシャフト１０３２と駆動モータ１０４のシャフト１０４１とが、フレキシブルなカップリング１０８を介して連結される。これにより、トルク伝達機構１０３のシャフト１０３２の偏心、偏角、エンドプレイなどのミスアライメントが吸収される。
【０００６】
かかる構成を採用する従来のステージ駆動装置として、特許文献１に記載される技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−６６４５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来のステージ駆動装置では、上記のように、トルク伝達機構１０３のシャフト１０３２とボールネジ１０２とがフレキシブルなカップリング１０８を介して連結されるため、回転方向の剛性が低いという課題がある。
【０００９】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、回転方向の剛性を高め得る回転機構および搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、この発明にかかる回転機構は、第一シャフトを有する第一回転ユニットと、第二ハウジングと、前記第一シャフトに対して固定して連結される第二シャフトと、前記第二シャフトを前記第二ハウジングに対して回転可能に支持する第二軸受とを有する第二回転ユニットと、前記第二ハウジングを弾性変位可能に支持する弾性支持構造とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
この発明にかかる回転機構では、第一回転ユニットの第一シャフトと第二回転ユニットの第二シャフトとが相互に固定して連結されるので、回転機構の回転方向の剛性が高まる利点がある。また、第二回転ユニットの第二ハウジングが弾性変位可能に支持されるので、第二シャフトの偏心、偏角、エンドプレイなどのミスアライメントが吸収される利点がある。また、熱膨張による第一シャフトおよび第二シャフトの伸縮を弾性支持構造により吸収できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、この発明の実施の形態にかかる回転機構を示す構成図である。
【図２】図２は、図１に記載した回転機構における第二回転ユニットの弾性支持構造を示す拡大図である。
【図３】図３は、図１に記載した回転機構の変形例を示す説明図である。
【図４】図４は、図１に記載した回転機構の変形例を示す説明図である。
【図５】図５は、図１に記載した回転機構の変形例を示す説明図である。
【図６】図６は、図１に記載した回転機構の変形例を示す説明図である。
【図７】図７は、図１に記載した回転機構の適用例を示す説明図である。
【図８】図８は、図１に記載した回転機構の適用例を示す説明図である。
【図９】図９は、図７に記載したステージ駆動装置の変形例を示す説明図である。
【図１０】図１０は、従来の搬送装置を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、この実施の形態の構成要素には、発明の同一性を維持しつつ置換可能かつ置換自明なものが含まれる。また、この実施の形態に記載された複数の変形例は、当業者自明の範囲内にて任意に組み合わせが可能である。
【００１４】
［回転機構］
図１は、この発明の実施の形態にかかる回転機構を示す構成図である。同図は、回転機構１の軸方向断面図を示している。また、図中の一点鎖線Ｏは、回転機構１の回転軸を示している。
【００１５】
回転機構１は、回転を伝達する機械要素であり、例えば、真空チャンバなどの特殊環境下で使用される搬送装置、半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置などに適用される。ここでは、一例として、回転機構１が、スピンドルを回転軸として備えるスピンドルユニットであり、第一室Ａ１と第二室Ａ２とを区画する隔壁Ｗに設置される場合について説明する（図１参照）。
【００１６】
この回転機構１は、第一回転ユニット２と、第二回転ユニット３とを備える（図１参照）。また、図１の構成では、第一回転ユニット２が回転出力側となり、第二回転ユニット３が回転入力側（回転導入器）となる。
【００１７】
第一回転ユニット２は、第一ハウジング２１と、第一シャフト２２と、第一軸受２３と、ベース部材２４と、ホルダ４２とを備える。第一ハウジング２１は、第一シャフト２２および第一軸受２３を収容する部材である。第一シャフト２２は、回転機構１の出力軸を構成する。第一軸受２３は、第一ハウジング２１と第一シャフト２２との間に介在して第一シャフト２２を回転可能に支持する。ベース部材２４は、第一ハウジング２１を隔壁Ｗに固定するための部材である。
【００１８】
例えば、図１の構成では、第一ハウジング２１が、円筒部材から成り、また、小径部２１１および大径部２１２から成る段付きの内周面形状を有している。また、第一ハウジング２１が、小径部２１１を第一室Ａ１側に向け、大径部２１２を第二室Ａ２側に向けて配置されている。また、第一ハウジング２１が、大径部２１２側にてベース部材２４に固定されて支持されている。また、ベース部材２４が、プレート状部材から成り、隔壁Ｗの開口部Ｗ１を第一室Ａ１側から塞いで配置されて、開口部Ｗ１の縁にボルト締結により固定されている。また、一対の第一軸受２３、２３が、ボールベアリングであり、第一ハウジング２１の小径部２１１に嵌め込まれて固定されている。また、第一シャフト２２が、第一ハウジング２１の小径部２１１に挿入されて、一対の第一軸受２３、２３により回転軸Ｏ上で回転可能に支持されている。また、第一シャフト２２が、第一ハウジング２１の小径部２１１側の開口部から第一室Ａ１に出力側端部２２１を突出させて配置されている。この第一シャフト２２の出力側端部２２１には、例えば、後述する搬送装置１０の駆動軸が連結される（図７参照）。
【００１９】
第二回転ユニット３は、第二ハウジング３１と、第二シャフト３２と、第二軸受３３とを有する。第二ハウジング３１は、第二シャフト３２および第二軸受３３を収容する部材である。第二シャフト３２は、回転機構１の入力軸（回転導入軸）であり、外部の駆動源（図示省略）に連結される。第二軸受３３は、第二ハウジング３１と第二シャフト３２との間に介在して第二シャフト３２を回転可能に支持する。
【００２０】
例えば、図１の構成では、第二ハウジング３１が、円筒部材から成り、第一回転ユニット２の第一ハウジング２１の大径部２１２に挿入されて、後述する弾性支持構造４により支持されている。また、一対の第二軸受３３、３３が、ボールベアリングであり、第二回転ユニット３の第二ハウジング３１の内周面に嵌め込まれて固定されている。また、第二シャフト３２が、第二ハウジング３１に挿入されて、一対の第二軸受３３、３３により回転軸Ｏ上で回転可能に支持されている。また、第二回転ユニット３の第二シャフト３２が、第一回転ユニット２の第一シャフト２２に対して同軸上に配置され、出力側端部３２１にて、第一回転ユニット２の第一シャフト２２の入力側端部２２２にボルト締結により固定されて連結されている。また、第二シャフト３２が、入力側端部３２２をベース部材２４の開口部２４１に挿通して、第二室Ａ２側に突出している。この第二シャフト３２の入力側端部３２２には、例えば、ベルト駆動装置、サーボモータ、ダイレクトドライブモータなどの動力装置（図示省略）が連結される。
【００２１】
この回転機構１では、動力装置（図示省略）からの駆動力により、第二回転ユニット３の第二シャフト３２が回転し、駆動力が第一回転ユニット２の第一シャフト２２に伝達されて、第一回転ユニット２の第一シャフト２２が回転する。また、動力源が第二シャフト３２への駆動力の入力を調整することにより、第一回転ユニット２の第一シャフト２２の回転速度、回転方向などが自在に制御される。
【００２２】
［第二回転ユニットの弾性支持構造］
図２は、図１に記載した回転機構における第二回転ユニットの弾性支持構造を示す拡大図である。同図は、回転機構１の回転軸Ｏの片側領域を示している。
【００２３】
図１および図２に示すように、この回転機構１は、弾性支持構造４を備える。この弾性支持構造４は、第二回転ユニット３の第二ハウジング３１を第一回転ユニット２の第一ハウジング２１に対して弾性変位可能に支持する。具体的には、弾性支持構造４が、第二ハウジング３１を弾性変位可能に支持する弾性部材４１を備える。
【００２４】
例えば、図２の構成では、弾性支持構造４が、弾性部材４１と、ホルダ４２とを備えている。また、ホルダ４２が、係止部４２１を有する円筒部材から成り、第一回転ユニット２の第一ハウジング２１の大径部２１２に嵌め込まれて固定されている。また、第二回転ユニット３の第二ハウジング３１が、ホルダ４２に挿入されて配置されている。また、上記のように、ホルダ４２がベース部材２４に固定され、第一ハウジング２１がベース部材２４に固定され、ベース部材２４が慣性系である隔壁Ｗに固定されている。このとき、第二ハウジング３１とホルダ４２およびベース部材２４との間には、第二ハウジング３１が回転軸Ｏの軸方向および径方向に変位できるように、隙間が空けられている。
【００２５】
また、弾性部材４１が、ゴム製のＯリングであり、第二ハウジング３１の軸方向端部の縁部に形成された段差部に嵌め合わされて配置されている。また、一対の弾性部材４１、４１が、第二ハウジング３１の軸方向の両端部に配置されている。また、一方の弾性部材４１が、第二ハウジング３１の一方の軸方向端面とホルダ４２の係止部４２１との間に挟み込まれて配置されている。また、他方の弾性部材４１が、第二ハウジング３１の他方の軸方向端面とベース部材２４との間に挟み込まれて配置されている。したがって、一対の弾性部材４１、４１が、第二ハウジング３１と慣性系（隔壁Ｗ、ホルダ４２およびベース部材２４）との間に介在して配置されることにより、第二ハウジング３１が、一対の弾性部材４１、４１により軸方向から挟み込まれて保持されている。
【００２６】
図１および図２の構成では、上記のように、第二回転ユニット３の第二シャフト３２が、第一回転ユニット２の第一シャフト２２に対して固定して連結されている。このため、回転機構１の駆動時には、第一シャフト２２と第二シャフト３２とが一体となって同位相で回転する。このとき、第一回転ユニット２では、第一シャフト２２が、第一軸受２３を介して慣性系である第一ハウジング２１に支持されて、回転軸Ｏ上にて安定的に回転する。
【００２７】
一方、第二回転ユニット３では、第二シャフト３２が、第二軸受３３を介して第二ハウジング３１に支持され、また、第二ハウジング３１が、一対の弾性部材４１、４１と、慣性系であるホルダ４２およびベース部材２４とに支持されている。かかる構成では、第二シャフト３２に外力が作用したときに、一対の弾性部材４１、４１が弾性変形することにより、第二シャフト３２が軸方向に弾性変位できる。また、一対の弾性部材４１、４１が滑ることにより、第二シャフト３２が径方向および周方向に変位できる。これにより、第一シャフト２２と第二シャフト３２との偏心および偏角、第二シャフト３２のエンドプレイなどのミスアライメントが吸収される。また、熱膨張による第一シャフトおよび第二シャフトの伸縮を弾性支持構造により吸収できる。
【００２８】
なお、図１および図２の構成では、一対の弾性部材４１、４１が、第二ハウジング３１を軸方向から挟み込んで支持している。
【００２９】
しかし、これに限らず、第三の弾性部材４１が、第二ハウジング３１を径方向から支持しても良い（図示省略）。これにより、第二シャフト３２の偏心、偏角、エンドプレイなどのミスアライメントが効果的に吸収される。また、熱膨張による第一シャフトおよび第二シャフトの伸縮を弾性支持構造により吸収できる。
【００３０】
図３〜図６は、図１に記載した回転機構の変形例を示す説明図である。これらの図は、第一ハウジング２１およびホルダ４２の取付構造を示している。
【００３１】
また、図１および図２の構成では、第一ハウジング２１とホルダ４２とが別部品から成り、ホルダ４２が第一ハウジング２１に嵌め込まれてベース部材２４に固定されている。
【００３２】
しかし、これに限らず、第一ハウジング２１とホルダ４２とが以下の構造を有しても良い。
【００３３】
図３の構成では、ホルダ４２が、第一ハウジング２１に挿入されて嵌め合わされ、また、第一ハウジング２１が、ベース部材２４との間にホルダ４２を軸方向から挟み込んで保持している。これにより、ホルダ４２が径方向および軸方向に位置決めされて固定されている。
【００３４】
図４の構成では、ホルダ４２および第一ハウジング２１が、ベース部材２４に対してボルト締結によりそれぞれ独立して固定されている。また、ホルダ４２が、第一ハウジング２１に挿入されて嵌め合わされることにより、ホルダ４２の径方向の位置決めがなされている。
【００３５】
また、図５および図６の構成のように、第一ハウジング２１とホルダ４２とが一体構造を有しても良い。したがって、弾性部材４１が、第一ハウジング２１（４２）と第二ハウジング３１との間に直接的に介在して配置されても良い。
【００３６】
例えば、図５の構成では、ホルダ４２が第一ハウジング２１に挿入され、第一ハウジング２１とホルダ４２とがボルト締結、溶接などにより相互に固定されて一体化されている。そして、この第一ハウジング２１およびホルダ４２の一体構造物２１（４２）が、ベース部材２４に対してボルト締結（図示省略）により固定されている。かかる構成では、第一ハウジング２１とホルダ４２とを予め一体化した後にベース部材２４に設置できるので、ホルダ４２の位置決め精度が向上する点で好ましい。
【００３７】
また、例えば、図６の構成では、第一ハウジング２１とホルダ４２とが、当初から一体成形されて単一部材により構成されている。そして、この第一ハウジング２１およびホルダ４２の一体成形物２１（４２）が、ベース部材２４に対してボルト締結（図示省略）により固定されている。かかる構成では、図５の構成と比較して、部品点数を低減でき、また、第一ハウジング２１とホルダ４２とを一体化する工程を省略できる点で好ましい。
【００３８】
また、図１の構成では、第一シャフト２２と第二シャフト３２とが別部品から成り、ボルト締結により一体化されている。
【００３９】
しかし、これに限らず、第一シャフト２２と第二シャフト３２とが単一部品から成り、当初から一体成形されても良い（図示省略）。
【００４０】
［シール構造］
図１の構成では、上記のように、第一室Ａ１と第二室Ａ２とが、隔壁Ｗを介して区画される。また、第一室Ａ１と第二室Ａ２とは、相互に異なる雰囲気を有する。例えば、半導体製造装置では、第一室Ａ１に特殊環境（例えば、減圧環境、真空環境、プロセスガス充填環境など）が形成され、第二室Ａ２に外気が導入される。
【００４１】
このため、図１の構成では、回転機構１が、第一室Ａ１と第二室Ａ２とを区画するために、次のシール構造を備えている。
【００４２】
まず、図１および図２に示すように、シール部材５１が、第二ハウジング３１と第二シャフト３２との隙間に配置されて、これらの隙間を封止している。具体的には、シール部材５１が、回転軸Ｏの軸方向に隣り合う一対の第二軸受３３、３３の間に配置されて、第二ハウジング３１と第二シャフト３２との隙間を封止している。このシール部材５１は、例えば、磁性流体シール、オイルシール、Ｏリングなどから構成され得る。
【００４３】
また、隔壁Ｗとベース部材２４との接合面に、シール部材であるＯリング５２が配置されて、これらの接合面の隙間を封止している。
【００４４】
また、弾性部材４１が、弾性部材４１の配置位置の隙間を封止するシール部材を兼ねている。すなわち、一対の弾性部材４１、４１が、ゴム製のＯリングから成り、第二ハウジング３１とホルダ４２との隙間に挟み込まれて配置されて、この隙間を封止している。かかる構成では、一対の弾性部材４１、４１がシール部材を兼ねるので、回転機構１の部品点数を低減できる点で好ましい。
【００４５】
しかし、これに限らず、弾性部材４１が、例えば、コイルバネ、板バネ、空気バネなどから構成されても良い（図示省略）。かかる構成としても、第二シャフト３２の偏心、偏角、エンドプレイなどのミスアライメントを吸収できる。一方で、かかる構成では、例えば、弾性部材４１、４１の配置位置の隙間（図２における第二ハウジング３１とホルダ４２との隙間）に、別途、シール部材を配置することにより、この隙間を封止できる。
【００４６】
［適用例］
図７および図８は、図１に記載した回転機構の適用例を示す説明図である。これらの図において、図７は、回転機構１がステージ駆動装置１０に適用された例を示し、図８は、図７のステージ駆動装置１０における回転機構１の拡大図を示している。
【００４７】
ステージ駆動装置１０は、真空チャンバ内に配置されたステージを所定の方向に移動させて位置決めするための装置であり、例えば、半導体露光装置などに用いられる。
【００４８】
図７に示すように、このステージ駆動装置１０は、ワークを載せるステージ１１と、ステージ１１を移動させるボールネジ１２と、ボールネジ１２に連結されたトルク伝達機構１３と、トルク伝達機構１３に連結された駆動モータ１４と、ステージ１１を収容するチャンバ１５とを備える。また、ボールネジ１２は、チャンバ１５内にて軸受ユニット１６により軸方向に回転移動可能に支持される。また、トルク伝達機構１３は、チャンバ１５の隔壁１５１に開けられた開口部１５２に挿入されて設置される。また、駆動モータ１４は、チャンバ１５の隔壁１５１に取り付けられて固定される。
【００４９】
このステージ駆動装置１０では、駆動モータ１４が駆動力を発生すると、この駆動力がトルク伝達機構１３を介してボールネジ１２に伝達され、ボールネジ１２が回転してステージ１１を軸方向に送る。これにより、ステージ１１が移動できる。また、例えば、一組のステージ駆動装置１０がｘ軸方向およびｙ軸方向（図示省略）にそれぞれ設置されることにより、ステージ１１がｘｙ平面方向に移動できる。
【００５０】
ここで、図７および図８に示すように、トルク伝達機構１３のシャフト１３２とボールネジ１２とは、ボルト締結部１７により固定状態で連結される。また、トルク伝達機構１３のシャフト１３２と駆動モータ１４のシャフト１４１とは、例えば、ベローズ構造を有するフレキシブルなカップリング１８を介して連結される。このため、図７および図８の構成では、ボールネジ１２が、図１の回転機構１における第一回転ユニット２の第一シャフト２２に該当する。また、トルク伝達機構１３のハウジング１３１が、第二回転ユニット３の第二ハウジング３１に該当し、トルク伝達機構１３のシャフト１３２が、第二シャフト３２に該当する。また、ボールネジ１２の軸受ユニット１６が、第一回転ユニット２の第一ハウジング２１および第一軸受２３に該当する。
【００５１】
また、図８に示すように、チャンバ１５の隔壁１５１が開口部１５２の内部に中空部１５３を有している。また、トルク伝達機構１３のハウジング１３１が、チャンバ１５の中空部１５３に収容され、また、中空部１５３の内部にて回転軸Ｏの軸方向、径方向および周方向に変位可能に配置されている。また、トルク伝達機構１３のシャフト１３２が、チャンバ１５の開口部１５２に挿入されて隔壁１５１を貫通して、また、両端部にてボールネジ１２および駆動モータ１４にそれぞれ連結されて回転可能に支持されている。また、トルク伝達機構１３のハウジング１３１の軸方向の両端部の縁部に、弾性部材４１、４１がそれぞれ嵌め合わされている。また、これらの弾性部材４１、４１が、ハウジング１３１の軸方向の端面と、中空部１５３の軸方向の内壁面との間に挟み込まれて配置されている。したがって、ハウジング１３１が回転軸Ｏの軸方向に弾性変位可能に配置されている。また、一対の弾性部材４１、４１が、トルク伝達機構１３のハウジング１３１とチャンバ１５の中空部１５３の内壁との隙間を封止するシール部材を兼ねている。
【００５２】
また、図７および図８の構成は、図１の構成と比較して、ボールネジ１２（第一シャフト２２）がチャンバ１５の底面（チャンバ１５内の隔壁１５１の近傍）に設置され、トルク伝達機構１３のシャフト１３２（第二シャフト３２）がチャンバ１５の隔壁１５１の内部に配置される点で相異する。したがって、図７および図８の構成と図１の構成とは、ボールネジ１２（第一シャフト２２）とシャフト１３２（第二シャフト３２）との取付基準面が異なる。
【００５３】
これにより、ボールネジ１２（第一シャフト２２）とトルク伝達機構１３のシャフト１３２（第二シャフト３２）との偏心および偏角、シャフト１３２のエンドプレイなどのミスアライメントが吸収される。また、トルク伝達機構１３のシャフト１３２とボールネジ１２とがボルト締結部１７により固定状態で連結されるので、回転方向の剛性が高まる。また、熱膨張によるボールネジ１２（第一シャフト２２）およびシャフト１３２（第二シャフト３２）の伸縮を弾性支持構造により吸収できる。また、チャンバ１５の変形によるミスアライメントを弾性支持構造により吸収できる。
【００５４】
図９は、図７に記載したステージ駆動装置の変形例を示す説明図である。
【００５５】
図７の構成では、上記のように、トルク伝達機構１３のシャフト１３２とボールネジ１２とが、ボルト締結部１７により固定状態で連結され、また、トルク伝達機構１３のシャフト１３２と駆動モータ１４のシャフト１４１とが、フレキシブルなカップリング１８を介して連結されている。
【００５６】
しかし、これに限らず、トルク伝達機構１３のシャフト１３２とボールネジ１２とが、フレキシブルなカップリング１８を介して連結され、一方で、トルク伝達機構１３のシャフト１３２と駆動モータ１４のシャフト１４１とが、ボルト締結部１７により固定状態で連結されても良い。かかる構成では、駆動モータ１４のシャフト１４１が、図１の回転機構１における第一回転ユニット２の第一シャフト２２に該当する。また、トルク伝達機構１３のハウジング１３１が、第二回転ユニット３の第二ハウジング３１に該当し、トルク伝達機構１３のシャフト１３２が、第二回転ユニット３の第二シャフト３２に該当する。
【００５７】
かかる構成としても、駆動モータ１４のシャフト１４１（第一シャフト２２）とトルク伝達機構１３のシャフト１３２（第二シャフト３２）との偏心および偏角、シャフト１３２のエンドプレイなどのミスアライメントが吸収される。また、トルク伝達機構１３とボールネジ１２とがボルト締結部１７により固定状態で連結されるので、回転方向の剛性が高まる。また、熱膨張によるシャフト１４１、１３２の伸縮を弾性支持構造により吸収できる利点がある。
【００５８】
［効果］
以上説明したように、この回転機構１は、第一シャフト２２を有する第一回転ユニット２と、第二ハウジング３１と、第一シャフト２２に対して固定して連結される第二シャフト３２と、この第二シャフト３２を第二ハウジング３１に対して回転可能に支持する第二軸受３３とを有する第二回転ユニット３と、第二ハウジング３１を弾性変位可能に支持する弾性支持構造４（弾性部材４１）とを備える（図１および図２参照）。
【００５９】
かかる構成では、第一回転ユニット２の第一シャフト２２と第二回転ユニット３の第二シャフト３２とが相互に固定して連結されるので、回転機構１の回転方向の剛性が高まる利点がある。また、第二回転ユニット３の第二ハウジング３１が弾性変位可能に支持されるので、第二シャフト３２の偏心、偏角、エンドプレイなどのミスアライメントが吸収される利点がある。また、熱膨張による第一シャフト２２および第二シャフト３２の伸縮を弾性支持構造により吸収できる利点がある。
【００６０】
また、この回転機構１では、弾性支持構造４が、第二ハウジング３１に付勢して第二ハウジング３１を支持する弾性部材４１を備える（図２参照）。これにより、弾性支持構造４が実現される利点がある。
【００６１】
また、この回転機構１では、弾性部材４１が、弾性部材４１の配置位置の隙間を封止するシール部材を兼ねる（図２参照）。これにより、部品点数を低減できる利点がある。
【００６２】
また、この搬送装置（図７〜図９ではステージ駆動装置１０）は、上記の回転機構１を備える（図７〜図９参照）。これにより、搬送装置の回転方向の剛性が高まる利点があり、また、回転機構１の偏心、偏角、エンドプレイなどのミスアライメントが吸収される利点がある。また、熱膨張によるボールネジ１２（第一シャフト２２）およびシャフト１３２（第二シャフト３２）の伸縮を弾性支持構造により吸収できる利点がある。また、チャンバ１５の変形によるミスアライメントを弾性支持構造により吸収できる利点がある。
【符号の説明】
【００６３】
１：回転機構、２：第一回転ユニット、２１：第一ハウジング、２１１：小径部、２１２：大径部、２２：第一シャフト、２２１：出力側端部、２２２：入力側端部、２３：第一軸受、２４：ベース部材、２４１：開口部、３：第二回転ユニット、３１：第二ハウジング、３２：第二シャフト、３２１：出力側端部、３２２：入力側端部、３３：第二軸受、４：弾性支持構造、４１：弾性部材、４２：ホルダ、４２１：係止部、５１：シール部材、５２：Ｏリング、１０：ステージ駆動装置、１１：ステージ、１２：ボールネジ、１３：トルク伝達機構、１３１：ハウジング、１３２：シャフト、１４：駆動モータ、１４１：シャフト、１５：チャンバ、１５１：隔壁、１５２：開口部、１５３：中空部、１６：軸受ユニット、１７：ボルト締結部、１８：カップリング、Ａ１：第一室、Ａ２：第二室、Ｗ：隔壁、Ｗ１：開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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