(57)【要約】【課題】各種検査対象基板を基板保持部によって保持した状態で検査する。【解決手段】複数の挿通用孔２２ａが形成されると共にガイドローラ２３ａ〜２３ｄが設けられた基板載置板１１と、検査対象基板１００を載置する載置面に沿った基板載置板１１の移動を許容しつつ下方部材３１ａおよび上方部材３１ｂによって基板載置板１１を挟持する載置板挟持部１２と、検査対象基板１００を挟持する基板挟持部１３とを備えて構成された基板保持部１０を有すると共に、位置決め用ピン６３，６３が配設されたプローブユニット５１ａが移動機構によって基板保持部１０に向けて上動させられたときに、両位置決め用ピン６３，６３がガイドローラ２３ａ〜２３ｄに当接して基板載置板１１を上記の載置面に沿って移動させることによってプローブユニット５１ａに対して基板載置板１１を位置決めすることで各挿通用孔２２ａに対する各プローブ６２ａの挿通が許容される。【選択図】図３
2014167411.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の面に複数のプロービングポイントがグリッド状に並んで規定された検査対象基板を保持する基板保持部と、前記各プロービングポイントにプロービング可能に複数の検査用プローブをグリッド状に並べて配設した検査用治具と、前記基板保持部および前記検査用治具の少なくとも一方を他方に対して移動させて前記各検査用プローブを前記各プロービングポイントにプロービングさせる移動機構と、前記各検査用プローブを介して前記各プロービングポイントに入出力させた電気信号に基づいて前記検査対象基板を検査する検査処理を実行する検査部と、前記移動機構を制御して前記少なくとも一方を前記他方に対して移動させて前記各プロービングポイントに前記各検査用プローブをプロービングさせると共に前記検査部を制御して前記検査処理を実行させる制御部とを備えた基板検査装置であって、
前記検査用治具は、前記移動機構による前記少なくとも一方の前記他方に対する移動方向に沿った軸線を有する第１位置決め用軸部、および当該第１位置決め用軸部を軸受けする第１軸受け部のいずれか一方と、前記第１位置決め用軸部の軸線と平行な軸線を有する第２位置決め用軸部、および当該第２位置決め用軸部を軸受けする第２軸受け部のいずれか一方とが設けられ、
前記基板保持部は、前記一方の面を下向きにした状態の前記検査対象基板を載置可能に配設された基板載置部と、当該基板載置部における前記検査対象基板を載置する載置面に沿った当該基板載置部の移動を許容しつつ当該基板載置部の下方に配置された下方部材および当該基板載置部の上方に配置された上方部材によって当該基板載置部を挟持する第１挟持部と、前記基板載置部における前記載置面に載置された前記検査対象基板の側部に接して当該検査対象基板を挟持する第２挟持部とを備え、
前記基板載置部は、前記各検査用プローブを挿通可能に複数のプローブ挿通用孔がグリッド状に並んで形成されると共に、前記第１位置決め用軸部および前記第１軸受け部の他方と、前記第２位置決め用軸部および前記第２軸受け部の他方とが設けられ、
前記移動機構によって前記少なくとも一方が前記他方に対して移動させられたときに、前記第１位置決め用軸部および前記第２位置決め用軸部が前記第１軸受け部および前記第２軸受け部にそれぞれ当接して前記基板載置部を前記載置面に沿って移動させることによって前記検査用治具に対して当該基板載置部を位置決めすることで前記各プローブ挿通用孔に対する前記各検査用プローブの挿通が許容される基板検査装置。
【請求項２】
前記基板載置部は、前記載置面と平行な第１仮想平面上において交差する２本の第１仮想線の一方に沿って形成された第１基準辺と、前記２本の第１仮想線の他方に沿って形成された第２基準辺とを備え、
前記第１挟持部は、前記下方部材および前記上方部材によって挟持した状態の前記基板載置部における前記載置面と平行な第２仮想平面上において前記両第１仮想線の交差角度と等しい角度で交差する２本の第２仮想線の一方に沿って形成された第１当接部と、前記２本の第２仮想線の他方に沿って形成された第２当接部と、前記２本の第２仮想線の交点に向けて前記基板載置部を付勢して前記第１基準辺を前記第１当接部に当接させると共に前記第２基準辺を前記第２当接部に当接させる付勢部とを備え、
前記付勢部によって前記第１基準辺および前記第２基準辺が前記第１当接部および前記第２当接部にそれぞれ当接させた状態において前記移動機構によって前記少なくとも一方が前記他方に対して移動させられたときに、前記第１位置決め用軸部および前記第２位置決め用軸部が前記第１軸受け部および前記第２軸受け部にそれぞれ当接して前記基板載置部を前記付勢部の付勢力に抗して前記載置面に沿って移動させることで前記検査用治具に対して当該基板載置部を位置決めする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記第１位置決め用軸部および前記第２位置決め用軸部は、基端部に向かって徐々に拡径させられたテーパー部が先端部にそれぞれ形成され、
前記第１軸受け部は、前記第１位置決め用軸部の側面に当接可能に前記載置面と平行な第１支持軸によってそれぞれ軸支された一対の第１ガイドローラを備え、
前記第２軸受け部は、前記第２位置決め用軸部の側面に当接可能に前記載置面と平行な第２支持軸によってそれぞれ軸支された一対の第２ガイドローラを備えている請求項１または２記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において前記下方部材の上面に接するように当該基板載置部に配設された第１ボールベアリングと、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において当該基板載置部の下面に接するように前記下方部材に配設された第２ボールベアリングとの少なくとも一方を備えると共に、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において前記上方部材の下面に接するように当該基板載置部に配設された第３ボールベアリングと、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において当該基板載置部の上面に接するように前記上方部材に配設された第４ボールベアリングとの少なくとも一方を備えている請求項１から３のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において前記下方部材の上面に接するように当該基板載置部に配設された第１摩擦力低減シートと、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において当該基板載置部の下面に接するように前記下方部材に配設された第２摩擦力低減シートとのいずれか一方を備えると共に、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において前記上方部材の下面に接するように当該基板載置部に配設された第３摩擦力低減シートと、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において当該基板載置部の上面に接するように前記上方部材に配設された第４摩擦力低減シートとのいずれか一方を備えている請求項１から３のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記基板載置部は、前記検査用治具の進入を許容する開口部が設けられた載置部本体と、前記各プローブ挿通用孔が形成されて前記載置部本体に対して取り外し可能に取り付けられた載置面構成部材とを備えて構成されている請求項１から５のいずれかに記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のプロービングポイントがグリッド状に並んで規定された検査対象基板を基板保持部によって保持した状態において検査用治具の各検査用プローブを各プロービングポイントにプロービングさせて検査対象基板を電気的に検査する基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査装置において検査対象基板を保持するための構成として、出願人は、基板検査装置や基板移動装置などにおいて対象の基板（以下、「対象基板」ともいう）を挟持して固定可能な基板固定機構を特開２０１０−３２４０５号公報に開示している。この基板固定機構では、ねじロッドに取り付けられた一対のチャックによって対象基板における対向する角部を挟持して固定する構成が採用されている。
【０００３】
この場合、両チャックの一方は、対象基板における４つの辺のうちの隣接する２つの辺がそれぞれ当接する平面視Ｌ字状（Ｖ字状）の当接壁と、対象基板の裏面（下面）における角部を下支えする支持爪とを備えている。また、両チャックの他方は、対象基板における４つの辺のうちの隣接する他の２つの辺にそれぞれ当接する平面視Ｌ字状（Ｖ字状）の当接部が設けられたクランプ片と、対象基板の裏面（下面）における角部を下支えする載置爪とを備えている。
【０００４】
この基板固定機構によって対象基板を固定するには、まず、ねじロッドを回転させることにより、一方のチャックにおける当接壁と他方のチャックにおけるクランプ片とが対象基板の対角長よりも離間し、かつ一方のチャックにおける支持爪および他方のチャックにおける載置爪の上に対象基板を載置可能な状態（支持爪および載置爪によって対象基板を下支え可能な状態）となるように両チャックの位置を調整する。次いで、基板吸着装置によって対象基板を吸着保持して両チャックの間に搬送する。この際には、まず、支持爪および載置爪と対象基板の裏面（下面）との間に隙間が生じるように対象基板を位置させる。
【０００５】
続いて、空気圧シリンダに圧縮空気を供給することによって他方のチャックにおけるクランプ片を一方のチャックに向けてスライドさせる。この際には、対象基板の角部にクランプ片が当接し、その状態において一方のチャックに向かってクランプ片がさらにスライドさせられることにより、対象基板においてクランプ片に当接している角部と対向する角部が一方のチャックにおける当接壁に当接する。これにより、支持爪および載置爪と対象基板との間に隙間が生じた状態で、一方のチャックにおける当接壁、および他方のチャックにおけるクランプ片によって対象基板が挟持される。
【０００６】
次いで、基板吸着装置による対象基板の吸着を停止すると共に、空気圧シリンダに対する圧縮空気の供給を停止する。この際には、引っ張りばねによってクランプ片が一方のチャックから離間する向きにスライドさせられる結果、クランプ片と当接壁とによる対象基板の挟持が解除されて支持爪および載置爪の上に対象基板が落下する。この状態において空気圧シリンダに圧縮空気を再び供給することでクランプ片を一方のチャックに向けてスライドさせる。これにより、支持爪および載置爪によって下支えされた状態の対象基板がクランプ片および当接壁によって挟持されて対象基板の固定が完了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−３２４０５号公報（第２−７頁、第１−２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、出願人が開示している基板固定機構には、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、出願人が開示している基板固定機構では、一方のチャックにおける支持爪および他方のチャックにおける載置爪によって下支えした状態で一方のチャックにおける当接壁および他方のチャックにおけるクランプ片によって対象基板を挟持してこれを固定する構成が採用されている。このため、出願人が開示している基板固定機構では、対象基板を固定した対象基板の裏面（下面）における対向する角部に支持爪および載置爪がそれぞれ接した状態となる。
【０００９】
したがって、出願人が開示している基板固定機構では、対象基板の裏面（下面）における角部（支持爪および載置爪に接している部位）に導体パターン等が存在したとしても、支持爪および載置爪が邪魔をしてこの導体パターンに対して検査用プローブをプロービンングすることができないため、この基板固定機構によって固定した状態で検査可能な基板の形状（導体パターンの配置）が制限されているという現状がある。このため、この点を改善するのが好ましい。
【００１０】
一方、出願人は、対象基板において支持爪および載置爪に接する（支持爪および載置爪と対向する）部位に形成されている導体パターンの位置に応じて支持爪および載置爪にプローブ挿通用孔を形成することによって上記の課題の解決を試みた。この場合、この種の基板固定機構によって固定される対象基板なかには、その製造過程において、切断部に極く小さなバリが生じたり、切断位置が僅かに位置ずれしていたりするものが存在する。そのような基板を基板固定機構によって固定したときには、切断部に生じたバリや切断位置の位置ずれに起因して、検査用プローブをプロービングさせるべきプロービンングポイントに位置ずれが生じることとなる。
【００１１】
このため、切断部にバリが生じた基板や、切断位置に位置ずれが生じた基板を基板固定機構によって固定した状態で検査しようとしたときには、支持爪および載置爪に形成したプローブ挿通用孔に対してプロービングポイントが位置ずれした状態となることがある。したがって、対象基板のファインピッチ化に伴って小さなプローブ挿通用孔を極く近距離に接近させて形成する必要のある現状においては、プローブ挿通用孔を挿通させた検査用プローブをプロービングポイントにプロービングさせることが困難となることがあり、出願人が試みた上記の構成では、この点を改善する必要がある。
【００１２】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、各種の検査対象基板を基板保持部によって保持した状態で検査し得る基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成すべく、請求項１記載の基板検査装置は、少なくとも一方の面に複数のプロービングポイントがグリッド状に並んで規定された検査対象基板を保持する基板保持部と、前記各プロービングポイントにプロービング可能に複数の検査用プローブをグリッド状に並べて配設した検査用治具と、前記基板保持部および前記検査用治具の少なくとも一方を他方に対して移動させて前記各検査用プローブを前記各プロービングポイントにプロービングさせる移動機構と、前記各検査用プローブを介して前記各プロービングポイントに入出力させた電気信号に基づいて前記検査対象基板を検査する検査処理を実行する検査部と、前記移動機構を制御して前記少なくとも一方を前記他方に対して移動させて前記各プロービングポイントに前記各検査用プローブをプロービングさせると共に前記検査部を制御して前記検査処理を実行させる制御部とを備えた基板検査装置であって、前記検査用治具は、前記移動機構による前記少なくとも一方の前記他方に対する移動方向に沿った軸線を有する第１位置決め用軸部、および当該第１位置決め用軸部を軸受けする第１軸受け部のいずれか一方と、前記第１位置決め用軸部の軸線と平行な軸線を有する第２位置決め用軸部、および当該第２位置決め用軸部を軸受けする第２軸受け部のいずれか一方とが設けられ、前記基板保持部は、前記一方の面を下向きにした状態の前記検査対象基板を載置可能に配設された基板載置部と、当該基板載置部における前記検査対象基板を載置する載置面に沿った当該基板載置部の移動を許容しつつ当該基板載置部の下方に配置された下方部材および当該基板載置部の上方に配置された上方部材によって当該基板載置部を挟持する第１挟持部と、前記基板載置部における前記載置面に載置された前記検査対象基板の側部に接して当該検査対象基板を挟持する第２挟持部とを備え、前記基板載置部は、前記各検査用プローブを挿通可能に複数のプローブ挿通用孔がグリッド状に並んで形成されると共に、前記第１位置決め用軸部および前記第１軸受け部の他方と、前記第２位置決め用軸部および前記第２軸受け部の他方とが設けられ、前記移動機構によって前記少なくとも一方が前記他方に対して移動させられたときに、前記第１位置決め用軸部および前記第２位置決め用軸部が前記第１軸受け部および前記第２軸受け部にそれぞれ当接して前記基板載置部を前記載置面に沿って移動させることによって前記検査用治具に対して当該基板載置部を位置決めすることで前記各プローブ挿通用孔に対する前記各検査用プローブの挿通が許容される。
【００１４】
また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載の基板検査装置において、前記基板載置部は、前記載置面と平行な第１仮想平面上において交差する２本の第１仮想線の一方に沿って形成された第１基準辺と、前記２本の第１仮想線の他方に沿って形成された第２基準辺とを備え、前記第１挟持部は、前記下方部材および前記上方部材によって挟持した状態の前記基板載置部における前記載置面と平行な第２仮想平面上において前記両第１仮想線の交差角度と等しい角度で交差する２本の第２仮想線の一方に沿って形成された第１当接部と、前記２本の第２仮想線の他方に沿って形成された第２当接部と、前記２本の第２仮想線の交点に向けて前記基板載置部を付勢して前記第１基準辺を前記第１当接部に当接させると共に前記第２基準辺を前記第２当接部に当接させる付勢部とを備え、前記付勢部によって前記第１基準辺および前記第２基準辺が前記第１当接部および前記第２当接部にそれぞれ当接させた状態において前記移動機構によって前記少なくとも一方が前記他方に対して移動させられたときに、前記第１位置決め用軸部および前記第２位置決め用軸部が前記第１軸受け部および前記第２軸受け部にそれぞれ当接して前記基板載置部を前記付勢部の付勢力に抗して前記載置面に沿って移動させることで前記検査用治具に対して当該基板載置部を位置決めする。
【００１５】
さらに、請求項３記載の基板検査装置は、請求項１または２記載の基板検査装置において、前記第１位置決め用軸部および前記第２位置決め用軸部は、基端部に向かって徐々に拡径させられたテーパー部が先端部にそれぞれ形成され、前記第１軸受け部は、前記第１位置決め用軸部の側面に当接可能に前記載置面と平行な第１支持軸によってそれぞれ軸支された一対の第１ガイドローラを備え、前記第２軸受け部は、前記第２位置決め用軸部の側面に当接可能に前記載置面と平行な第２支持軸によってそれぞれ軸支された一対の第２ガイドローラを備えている。
【００１６】
また、請求項４記載の基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の基板検査装置において、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において前記下方部材の上面に接するように当該基板載置部に配設された第１ボールベアリングと、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において当該基板載置部の下面に接するように前記下方部材に配設された第２ボールベアリングとの少なくとも一方を備えると共に、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において前記上方部材の下面に接するように当該基板載置部に配設された第３ボールベアリングと、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において当該基板載置部の上面に接するように前記上方部材に配設された第４ボールベアリングとの少なくとも一方を備えている。
【００１７】
さらに、請求項５記載の基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の基板検査装置において、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において前記下方部材の上面に接するように当該基板載置部に配設された第１摩擦力低減シートと、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において当該基板載置部の下面に接するように前記下方部材に配設された第２摩擦力低減シートとのいずれか一方を備えると共に、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において前記上方部材の下面に接するように当該基板載置部に配設された第３摩擦力低減シートと、前記第１挟持部に前記基板載置部を挟持させた状態において当該基板載置部の上面に接するように前記上方部材に配設された第４摩擦力低減シートとのいずれか一方を備えている。
【００１８】
また、請求項６記載の基板検査装置は、請求項１から５のいずれかに記載の基板検査装置において、前記基板載置部は、前記検査用治具の進入を許容する開口部が設けられた載置部本体と、前記各プローブ挿通用孔が形成されて前記載置部本体に対して取り外し可能に取り付けられた載置面構成部材とを備えて構成されている。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１記載の基板検査装置では、第１位置決め用軸部および第１軸受け部のいずれか一方と第２位置決め用軸部および第２軸受け部のいずれか一方とを検査用治具に設けると共に、複数のプローブ挿通用孔が形成されて検査対象基板を載置可能な基板載置部と、下方部材および上方部材によって基板載置部を挟持する第１挟持部と、基板載置部上に載置された検査対象基板を挟持する第２挟持部とを備えて基板保持部を構成し、かつ第１位置決め用軸部および第１軸受け部の他方と第２位置決め用軸部および第２軸受け部の他方とを基板載置部に設け、第１位置決め用軸部および第２位置決め用軸部が第１軸受け部および第２軸受け部にそれぞれ当接して基板載置部を検査対象基板の載置面に沿って移動させることによって検査用治具に対して基板載置部を位置決めすることで、各プローブ挿通用孔に対する各検査用プローブの挿通が許容される。
【００２０】
したがって、請求項１記載の基板検査装置によれば、検査対象基板の一方の面（下面）における角部にプロービングポイントを規定した場合においても、基板保持部における基板載置部に形成された各プローブ挿通用孔を挿通させて検査対象基板の各プロービングポイントに検査用治具の各検査用プローブをそれぞれプロービングさせることができる。また、切断部にバリが生じた基板や、切断位置に位置ずれが生じた基板の検査に際しても、バリや切断位置のずれに起因する検査対象基板の保持位置のずれ応じて検査用治具の移動方向を微調整するだけで、第１位置決め用軸部および第２位置決め用軸部によって基板載置部（第１軸受け部および第２軸受け部）が移動させられて検査用治具に対して基板載置部が位置決めされるため、検査用治具の各検査用プローブを基板載置部の各プローブ挿通用孔に確実に挿通させることができる。このため、半田バンプや導体パターンの配置、すなわち、プロービングポイントの位置によって検査可能な基板が制限されることなく、各種の検査対象基板を確実に検査することができる。
【００２１】
また、請求項２記載の基板検査装置によれば、付勢部によって基板載置部を付勢して第１基準辺および第２基準辺を第１挟持部の第１当接部および第２当接部にそれぞれ当接させた状態において移動機構によって少なくとも一方が他方に対して移動させられたときに、第１位置決め用軸部および第２位置決め用軸部が第１軸受け部および第２軸受け部にそれぞれ当接して基板載置部を付勢部の付勢力に抗して載置面に沿って移動させることで検査用治具に対して基板載置部を位置決めすることにより、第１挟持部に対する基板載置部の位置が規定位置（第１基準辺および第２基準辺が第１当接部および第２当接部に当接した状態となる位置）に位置決めされているため、移動機構によって検査用治具および基板保持部の一方を他方に向けて移動させたときに、第１位置決め用軸部および第２位置決め用軸部を第１軸受け部および第２軸受け部に対して確実に接触させることができ、これにより、検査用治具に対して基板載置部を確実に位置決めした状態で各プローブ挿通用孔に各検査用プローブを挿通させることができる。
【００２２】
さらに、請求項３記載の基板検査装置によれば、第１位置決め用軸部および第２位置決め用軸部の先端部にテーパー部を形成すると共に、一対の第１ガイドローラを備えて第１軸受け部を構成し、かつ一対の第２ガイドローラを備えて第２軸受け部を構成したことにより、第１位置決め用軸部および第２位置決め用軸部が第１軸受け部および第２軸受け部に接した状態から、第１位置決め用軸部および第２位置決め用軸部が第１軸受け部および第２軸受け部によって軸受けされた状態までスムーズに移行させることができる。
【００２３】
また、請求項４記載の基板検査装置では、下方部材の上面に接するように基板載置部に配設された第１ボールベアリングと、基板載置部の下面に接するように下方部材に配設された第２ボールベアリングとの少なくとも一方を備えると共に、上方部材の下面に接するように基板載置部に配設された第３ボールベアリングと、基板載置部の上面に接するように上方部材に配設された第４ボールベアリングとの少なくとも一方を備えている。さらに、請求項５記載の基板検査装置では、下方部材の上面に接するように基板載置部に配設された第１摩擦力低減シートと、基板載置部の下面に接するように下方部材に配設された第２摩擦力低減シートとのいずれか一方を備えると共に、上方部材の下面に接するように基板載置部に配設された第３摩擦力低減シートと、基板載置部の上面に接するように上方部材に配設された第４摩擦力低減シートとのいずれか一方を備えている。したがって、請求項４および５記載の基板検査装置によれば、第１挟持部に対して基板載置部をスムーズに移動させることができるため、検査用治具に対する基板載置部の位置を正確に位置合わせさせることができる。
【００２４】
また、請求項６記載の基板検査装置によれば、検査用治具の進入を許容する開口部が設けられた載置部本体と、各プローブ挿通用孔が形成されて載置部本体に対して取り外し可能に取り付けられた載置面構成部材とを備えて基板載置部を構成したことにより、検査対象基板の大きさ（プロービングポイントを規定する領域の広さ）に応じて、プローブ挿通用孔の形成領域が相違する各種の載置面構成部材を用意することで、基板載置部における載置面構成部材以外の各構成要素を継続的に使用して、第１挟持部および第２挟持部と相まって各種の検査対象基板を保持することができる。このため、検査に要するコストを十分に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】検査部５の構成を示す構成図である。
【図３】基板保持部１０およびプローブユニット５１ａ，５１ｂの断面図である。
【図４】基板保持部１０およびプローブユニット５１ａ，５１ｂの各構成要素の配置について説明するための平面図である。
【図５】ガイドローラ２３ａ，２３ｂおよび位置決め用ピン６３の外観斜視図である。
【図６】ガイドローラ２３ｃ，２３ｄおよび位置決め用ピン６３の外観斜視図である。
【図７】基板保持部１０における基板載置板１１および載置板挟持部１２の配置について説明するための平面図である。
【図８】基板保持部１０における基板載置板１１および基板挟持部１３の配置について説明するための平面図である。
【図９】基板保持部１０による検査対象基板１００の保持方法について説明するための断面図である。
【図１０】基板保持部１０による検査対象基板１００の保持方法について説明するための他の断面図である。
【図１１】基板保持部１０によって保持した状態の検査対象基板１００にプローブユニット５１ａ，５１ｂのプローブ６２ａ，６２ｂをプロービングさせる際の各構成要素の配置について説明するための断面図である。
【図１２】プローブユニット５１ａ（位置決め用ピン６３，６３）と基板載置板１１（ガイドローラ２３ａ〜２３ｄ）との位置関係について説明するための平面図である。
【図１３】プローブユニット５１ａ（位置決め用ピン６３，６３）と基板載置板１１（ガイドローラ２３ａ〜２３ｄ）との位置関係について説明するための他の平面図である。
【図１４】プローブユニット５１ａ（位置決め用ピン６３，６３）と基板載置板１１（ガイドローラ２３ａ〜２３ｄ）との位置関係について説明するためのさらに他の平面図である。
【図１５】検査対象基板１００にプローブユニット５１ａ，５１ｂのプローブ６２ａ，６２ｂをプロービングさせた状態を示す断面図である。
【図１６】他の実施の形態に係る基板保持部１０Ａの位置決め用ピン６３および載置板本体２１（軸受け孔Ｈ）の断面図である。
【図１７】他の実施の形態に係る基板保持部１０Ａの位置決め用ピン６３および載置板本体２１（軸受け孔Ｈ）の他の断面図である。
【図１８】さらに他の実施の形態に係る基板保持部１０Ｂにおける基板載置板１１Ｂの位置決め用ピン６３およびガイドローラ２３，２３・・の外観斜視図である。
【図１９】さらに他の実施の形態に係る基板保持部１０Ｃにおける基板載置板１１Ｃ、下方部材３１ａおよび上方部材３１ｂの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明に係る基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２７】
図１に示す基板検査装置１は、「基板検査装置」の一例であって、基板搬送機構２、基板搬入部３、位置情報取得部４、検査部５、基板搬出部６および制御ユニット７を備え、検査対象基板１００の良否を電気的に検査可能に構成されている。この場合、検査対象基板１００は、「検査対象基板」に相当し、一例として、図示しない親基板に接続するための半田バンプが一方の面（図３，９〜１１，１５における下面：「一方の面」の一例）にグリッド状に並んで形成されると共に、図示しない電子部品を接続するための半田バンプが他方の面（上記の各図における上面）にグリッド状に並んで形成されている。なお、本例では、各半田バンプの位置をプロービングポイントとしてプロービングした状態で検査対象基板１００を電気的に検査するものとする。
【００２８】
一方、基板搬送機構２は、基板搬入部３に搬入された検査対象基板１００を、位置情報取得部４、検査部５および基板搬出部６の各位置に搬送する機構であって、一例として、４つの基板保持部１０と、制御ユニット７からの制御信号Ｓ１に従って基板保持部１０を上記の各位置に順次移動させる駆動源（図示せず）とを備えている。また、基板保持部１０は、「基板保持部」の一例であって、図３，４に示すように、基板載置板１１、載置板挟持部１２および基板挟持部１３を備え、検査対象基板１００を保持可能に構成されている。基板載置板１１は、「基板載置部」の一例であって、載置板本体２１と、載置板本体２１に取り外し可能に取り付けられたアタッチメント２２とを備え、アタッチメント２２の上に検査対象基板１００を載置可能に全体として平板状に形成されている。
【００２９】
この場合、アタッチメント２２は、「載置面構成部材」の一例であって、検査対象基板１００における一方の面（下面）に形成された半田バンプの位置（すなわち、検査対象基板１００における一方の面に規定されたプロービングポイントの位置）に応じて複数の挿通用孔２２ａ（「プローブ挿通用孔」の一例）がグリッド状に並んで形成されると共に、検査対象基板１００における４つの角部と対向する部位に開口部２２ｂがそれぞれ形成されている。なお、図４、および後に参照する図７，８では、上記の各挿通用孔２２ａが形成されている矩形状の領域を網線で塗り潰して図示している。
【００３０】
このアタッチメント２２は、図３に示すように、各挿通用孔２２ａの形成領域が、その周囲よりも僅かに高くなるように側面視凸状に形成されている。これにより、このアタッチメント２２では、凸状部の突端面が「載置面」として機能すると共に、後述するように、「載置面」上に載置された基板保持部１０を挟持するための挟持用爪部４１，４２ａ，４２ｂがアタッチメント２２に対して非接触となるように構成されている。
【００３１】
また、このアタッチメント２２は、挿通用孔２２ａの形成数（すなわち、挿通用孔２２ａが形成された領域の広さ）や、開口部２２ｂの形成位置が、保持する検査対象基板１００の大きさに応じて規定されている。したがって、本例の基板検査装置１（基板保持部１０）では、大きさが異なる検査対象基板１００を保持する際に、その検査対象基板１００に応じて挿通用孔２２ａや開口部２２ｂが形成されたアタッチメント２２を載置板本体２１に取り付けることで、各種の検査対象基板１００を保持することが可能となっている。
【００３２】
また、載置板本体２１は、「載置部本体」の一例であって、図３に示すように、アタッチメント２２に形成された各挿通用孔２２ａや開口部２２ｂへの「検査用プローブ」の進入を許容する開口部２１Ｈが設けられている。さらに、図３，４に示すように、載置板本体２１には、後述するように。プローブユニット５１ａに対する基板載置板１１の位置を位置決めするためのガイドローラ２３ａ〜２３ｄがそれぞれ取り付けられている。
【００３３】
この場合、ガイドローラ２３ａ，２３ｂは「第１の軸受け部」を構成する「第１のガイドローラ」の一例であって、図４，５，７に示すように、載置板本体２１に取り付けられた状態のアタッチメント２２における検査対象基板１００の載置面と平行な面において、ガイドローラ２３ａの軸線（第１支持軸）と、ガイドローラ２３ｂの軸線（第１支持軸）とが直交するように取り付けられている（「第１位置決め用軸部および第１軸受け部の他方」が「第１軸受け部」の構成の例）。
【００３４】
また、ガイドローラ２３ｃ，２３ｄは、「第２の軸受け部」を構成する「第２のガイドローラ」の一例であって、図４，６，７に示すように、上記の検査対象基板１００の載置面と平行な面において、ガイドローラ２３ｃの軸線（第２支持軸）と、ガイドローラ２３ｄの軸線（第２支持軸）とが平行となるように取り付けられている（「第２位置決め用軸部および第２軸受け部の他方」が「第２軸受け部」の構成の例）。なお、ガイドローラ２３ａ〜２３ｄの各軸線の向きについては、後に詳細に説明する。
【００３５】
また、図３，４，７に示すように、載置板本体２１には、４つのボールベアリング２４ａ（「第１ボールベアリング」の一例）が一方の面（下面）に取り付けられ、かつ４つのボールベアリング２４ｂ（「第３ボールベアリング」の一例）が他方の面（上面）に取り付けられている。この場合、本例の基板検査装置１における基板載置板１１では、一例として、載置板本体２１に取り付けたアタッチメント２２における検査対象基板１００の載置部の周囲に４つのボールベアリング２４ａ、および４つのボールベアリング２４ｂがそれぞれ配置されている。
【００３６】
このような構成に代えて、アタッチメント２２における検査対象基板１００の載置部の周囲に３つ、または、５つ以上のボールベアリング２４ａと、３つ、または、５つ以上のボールベアリング２４ｂとをそれぞれ配置した構成を採用することもできる（図示せず）。また、アタッチメント２２における検査対象基板１００の載置部を挟むようにして、２つのボールベアリング２４ａ、および２つのボールベアリング２４ｂをそれぞれ配置した構成を採用することもできる（図示せず）。この場合、２つのボールベアリング２４ａ、および２つのボールベアリング２４ｂをそれぞれ配置するときには、両ボールベアリング２４ａ，２４ａの中心を結ぶ直線と、両ボールベアリング２４ｂ，２４ｂの中心を結ぶ直線とが平面視において交差するように（一例として、平面視において直交するように）これらを配置することにより、載置板挟持部１２によって挟持された状態の基板載置板１１にがたつきが生じる事態を回避することができる。
【００３７】
なお、本例の基板検査装置１における基板載置板１１では、図４，７に示す一辺２１ａが「第１基準辺」に相当すると共に一辺２１ｂが「第２基準辺」に相当する。また、図７に示すように、本例の基板載置板１１では、上記の一辺２１ａが、載置板本体２１に取り付けられたアタッチメント２２における検査対象基板１００の載置面と平行な仮想平面（「第１仮想平面」の一例）上において交差する（直交する）２本の仮想線Ｌａ，Ｌｂ（「第１仮想線」の一例）のうちの仮想線Ｌａに沿って形成され、一辺２１ｂが、上記の仮想線Ｌａ，Ｌｂのうちの仮想線Ｌｂに沿って形成されている。
【００３８】
載置板挟持部１２は、「第１挟持部」の一例であって、図３，４，７に示すように、「下方部材」の一例である下方部材３１ａと、「上方部材」の一例である上方部材３１ｂとを備えている。この載置板挟持部１２は、図３に示すように、各ボールベアリング２４ａが下方部材３１ａの上面に点的に接し、かつ、各ボールベアリング２４ｂが上方部材３１ｂの下面に点的に接するようにして下方部材３１ａおよび上方部材３１ｂの間に基板載置板１１を挟み込むことにより、上記の検査対象基板１００の載置面に沿った基板載置板１１の移動を許容しつつ、これを挟持する構成が採用されている。
【００３９】
また、図７に示すように、本例の基板検査装置１における載置板挟持部１２では、一例として、上記の載置板本体２１における一辺２１ａが当接可能な当接部３２ａ（「第１当接部」の一例）と、載置板本体２１における一辺２１ｂが当接可能な当接部３２ｂ「第２当接部」の一例）とが下方部材３１ａに配設されている。この場合、本例の載置板挟持部１２では、下方部材３１ａおよび上方部材３１ｂによって挟持した状態の基板載置板１１におけるアタッチメント２２の上面（載置面）と平行な仮想平面（「第２仮想平面」の一例）上において交差（直交する）する２本の仮想線Ｌａ，Ｌｂ（「第２仮想線」の一例）のうちの仮想線Ｌａに沿って当接部３２ａが配設されると共に、仮想線Ｌａ，Ｌｂのうちの仮想線Ｌｂに沿って当接部３２ｂが配設されている。なお、上記の構成に代えて、当接部３２ａ，３２ｂのいずれか一方、または双方を上方部材３１ｂに配設することもできる。
【００４０】
さらに、本例の基板検査装置１における載置板挟持部１２では、一例として、スプリング３４ａの付勢力によって基板載置板１１（載置板本体２１）を当接部３２ａに向けて押し付ける押圧片３３ａと、スプリング３４ｂの付勢力によって基板載置板１１（載置板本体２１）を当接部３２ｂに向けて押し付ける押圧片３３ｂとが下方部材３１ａに配設されている。この場合、本例の載置板挟持部１２では、両押圧片３３ａ，３３ｂおよび両スプリング３４ａ，３４ｂが相まって「付勢部」を構成し、押圧片３３ａおよびスプリング３４ａが基板載置板１１を矢印Ａａの向きで押圧し、かつ、押圧片３３ｂおよびスプリング３４ｂが基板載置板１１を矢印Ｂａの向きで押圧することにより、基板載置板１１が上記の仮想線Ｌａ，Ｌｂの交点Ｃｘに向かって矢印Ｃａの向きで付勢される構成が採用されている。なお、上記の構成に代えて、押圧片３３ａおよびスプリング３４ａと、押圧片３３ｂおよびスプリング３４ｂとのいずれか一方、または双方を上方部材３１ｂに配設することもできる。
【００４１】
基板挟持部１３は、「第２挟持部」の一例であって、制御ユニット７からの制御信号Ｓ２に従い、基板載置板１１におけるアタッチメント２２上（載置面の上）に載置された検査対象基板１００を挟持可能に構成されている。具体的には、図３，４，８に示すように、基板挟持部１３は、検査対象基板１００の側部に接するように配置された挟持用爪部４１および挟持用爪部４２ａ，４２ｂを備え、この挟持用爪部４１，４２ａ，４２ｂによって検査対象基板１００における対向する角部を挟持可能に構成されている。この場合、挟持用爪部４１は、検査対象基板１００における４つの側部のうちの隣接する２つの側部が当接可能な平面視Ｌ字状の当接部を備えて構成されている。また、挟持用爪部４２ａは、挟持用爪部４１に当接させられる上記の２つの側部のうちの一方と対向する側部に当接可能に配置され、挟持用爪部４２ａは、挟持用爪部４１に当接させられる上記の２つの側部のうちの他方と対向する側部に当接可能に配置されている。
【００４２】
なお、本例の基板検査装置１における基板挟持部１３では、一例として、挟持用爪部４１が載置板挟持部１２（下方部材３１ａおよび上方部材３１ｂ）と共にフレーム（図示せず）に固定されると共に、挟持用爪部４２ａが挟持用爪部４１に対して図８に示す矢印Ａｃの向き（検査対象基板１００における４つの側部のうちの挟持用爪部４１に当接させられる２つの側部のうちの一方と対向する側部に向かう向き）で検査対象基板１００を押圧可能に配置され、かつ、挟持用爪部４２ｂが挟持用爪部４１に対して図８に示す矢印Ｂｃの向き（上記の矢印Ａｃの向きと直交する向きであって、検査対象基板１００における４つの側部のうちの挟持用爪部４１に当接させられる２つの側部のうちの他方と対向する側部に向かう向き）で検査対象基板１００を押圧可能に配置されている。これにより、両挟持用爪部４２ａ，４２ｂによって検査対象基板１００が挟持用爪部４１に対して矢印Ｃｃの向き（挟持用爪部４１に向かう向き）で押圧されて、挟持用爪部４１および挟持用爪部４２ａ，４２ｂによって検査対象基板１００が挟持される。
【００４３】
一方、基板搬入部３および基板搬出部６には、一例として、図示しない基板搬入搬出装置が配設されており、この基板搬入搬出装置が、基板搬入部３に位置させられている基板保持部１０（基板載置板１１）上に検査対象基板１００を搬入すると共に、基板搬出部６に位置させられている基板保持部１０（基板載置板１１）上の検査対象基板１００を搬出する構成が採用されている。なお、基板搬入部３に位置させられている基板保持部１０（基板載置板１１）上への検査対象基板１００の搬入や、基板搬出部６に位置させられている基板保持部１０（基板載置板１１）上からの検査対象基板１００の搬出に関しては、別個独立した装置（基板搬入装置および基板搬出装置）によって行うこともできるし、また、手作業で行うこともできる。
【００４４】
また、図１に示すように、位置情報取得部４には、カメラ４ａ，４ｂが配設されている。この場合、カメラ４ａは、制御ユニット７からの制御信号Ｓ３ａに従い、基板搬送機構２によって位置情報取得部４に搬送された検査対象基板１００（位置情報取得部４に位置させられている基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００）における一方の面（下面）を撮像して撮像データＤ１ａを制御ユニット７に出力する。また、カメラ４ｂは、制御ユニット７からの制御信号Ｓ３ｂに従い、基板搬送機構２によって位置情報取得部４に搬送された検査対象基板１００（位置情報取得部４に位置させられている基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００）における他方の面（上面）を撮像して撮像データＤ１ｂを制御ユニット７に出力する。
【００４５】
さらに、図２に示すように、検査部５には、プローブユニット５１ａ，５１ｂ、移動機構５２ａ，５２ｂ、測定部５３およびスキャナ５４が配設されている。プローブユニット５１ａは、「検査用治具」の一例であって、図３に示すように、ベース部６１ａ、複数のプローブ６２ａ、および一対の位置決め用ピン６３を備えて移動機構５２ａに取り付けられている。この場合、各プローブ６２ａは、「検査用プローブ」の一例であって、検査対象基板１００の一方の面（下面）に形成された半田バンプ（すなわち、検査対象基板１００の一方の面に規定された各プロービングポイント）にプロービング可能にグリッド状に並べられてベース部６１ａに取り付けられている。
【００４６】
また、両位置決め用ピン６３は、「第１位置決め用軸部」および「第２位置決め用軸部」に相当し、その軸線が移動機構５２ａによるプローブユニット５１ａの移動方向（本例では、図３における上下方向）に沿うようにベース部６１ａに植設されている（「第１位置決め用軸部および第１軸受け部のいずれか一方」が「第１位置決め用軸部」で、かつ、「第２位置決め用軸部および第２軸受け部のいずれか一方」が「第２位置決め用軸部」の構成の一例）。この場合、両位置決め用ピン６３の先端部には、その基端部に向かって徐々に拡径させられたテーパー部６３ａがそれぞれ形成されている。
【００４７】
また、本例の基板検査装置１では、図４に示すように、後述するように移動機構５２ａによってプローブユニット５１ａが上動させられたときに、一方の位置決め用ピン６３（「第１位置決め用軸部」の一例）のテーパー部６３ａがガイドローラ２３ａ，２３ｂ（「一対の第１ガイドローラ」の一例）に当接し、かつ他方の位置決め用ピン６３（「第２位置決め用軸部」の一例）のテーパー部６３ａがガイドローラ２３ｃ，２３ｄ（「一対の第２ガイドローラ」の一例）に当接するように上記の基板載置板１１が構成されている。
【００４８】
一方、図３に示すように、プローブユニット５１ｂは、ベース部６１ｂに複数のプローブ６２ｂが配設されると共に、移動機構５２ｂに取り付けられている。この場合、各プローブ６２ｂは、検査対象基板１００の他方の面（上面）に形成された半田バンプ（すなわち、検査対象基板１００の他方の面に規定された各プロービングポイント）にプロービング可能にグリッド状に並べられてベース部６１ｂに取り付けられている。
【００４９】
移動機構５２ａは、「移動機構」の一例であって、制御ユニット７からの制御信号Ｓ４ａに従い、プローブユニット５１ａを基板保持部１０に向けて移動させて（上動させて）、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００の各プロービングポイントに各プローブ６２ａをプロービングさせる（「基板保持部および検査用治具の少なくとも一方を他方に対して移動させる」との構成が「基板保持部に対して検査用治具を移動させる」との構成の例）。移動機構５２ｂは、制御ユニット７からの制御信号Ｓ４ｂに従い、プローブユニット５１ｂを基板保持部１０に向けて移動させて（下動させて）、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００の各プロービングポイントに各プローブ６２ｂをプロービングさせる。
【００５０】
測定部５３は、スキャナ５４および制御ユニット７と相まって「検査部」を構成する。具体的には、測定部５３は、制御ユニット７からの制御信号Ｓ５に従い、スキャナ５４を制御して、各プローブ６２ａ，６２ｂのうちの任意の数本を測定部５３に接続させると共に、接続させたプローブ６２ａ，６２ｂを介して検査対象基板１００に入出力させた電気信号の電気的パラメータを測定して測定結果データＤ２を制御ユニット７に出力する測定処理を実行する。スキャナ５４は、測定部５３の制御に従って各プローブ６２ａ，６２ｂと測定部５３との接断を切り替える。
【００５１】
また、制御ユニット７は、一例として、基板検査用のプログラムがインストールされた市販のパーソナルコンピュータで構成され、制御部７ａと、図示しない操作部および表示部とを備えている。この場合、制御部７ａは、「制御部」の一例であって、基板検査装置１を総括的に制御する。具体的には、制御部７ａは、前述したように、基板搬送機構２に制御信号Ｓ１を出力して、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００を、基板搬入部３から、位置情報取得部４、検査部５および基板搬出部６の各位置に搬送させる。また、制御部７ａは、基板搬送機構２に制御信号Ｓ２を出力して基板保持部１０における挟持用爪部４１および挟持用爪部４２ａ，４２ｂによって検査対象基板１００を挟持させる。
【００５２】
さらに、制御部７ａは、カメラ４ａ，４ｂに制御信号Ｓ３ａ，Ｓ３ｂを出力することで検査対象基板１００を撮像させると共に、カメラ４ａ，４ｂから出力された撮像データＤ１ａ，Ｄ１ｂを画像解析することにより、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００における基準の位置（一例として、基板保持部１０における４つの角部にそれぞれ形成された半田バンプの位置）の基準保持位置からの位置ずれ量および位置ずれ方向をそれぞれ特定する。
【００５３】
また、制御部７ａは、移動機構５２ａに制御信号Ｓ４ａを出力してプローブユニット５１ａを基板保持部１０に向けて上動させ、かつ、移動機構５２ｂに制御信号Ｓ４ｂを出力してプローブユニット５１ｂを基板保持部１０に向けて下動させることにより、プローブユニット５１ａの各プローブ６２ａを検査対象基板１００における一方の面（下面）のプロービングポイントにプロービングさせると共に、プローブユニット５１ｂの各プローブ６２ｂを検査対象基板１００における他方の面（上面）のプロービングポイントにプロービングさせる。
【００５４】
この場合、本例の基板検査装置１では、制御部７ａが、上記の撮像データＤ１ａ，Ｄ１ｂに基づいて特定した検査対象基板１００の位置ずれ量および位置ずれの方向に応じて移動機構５２ａ，５２ｂを制御してプローブユニット５１ａ，５１ｂの移動方向を微調整させることにより、検査対象基板１００の製造に際して切断部に生じたバリや切断位置の位置ずれに起因して、保持位置にずれが生じた状態となっていたとしても、各プロービングポイントに各プローブ６２ａ，６２ｂを正確にプロービングさせることが可能となっている。
【００５５】
さらに、制御部７ａは、測定部５３に制御信号Ｓ５を出力することによって上記の測定処理を実行させると共に、測定部５３から出力される測定結果データＤ２と、検査用基準データとに基づき、各プロービングポイントの間に絶縁不良や導通不良が生じているか否かを検査する（検査対象基板１００に対して絶縁検査や導通検査などの検査を実行する）検査処理を実行する。
【００５６】
この基板検査装置１による検査対象基板１００の検査に際しては、まず、制御部７ａが基板搬送機構２に制御信号Ｓ２を出力することにより、４つの基板保持部１０のうちの基板搬入部３に位置している基板保持部１０における挟持用爪部４２ａ，４２ｂを挟持用爪部４１から離間させた状態に位置させる。次いで、図９に示すように、基板搬入搬出装置が、基板搬入部３に位置している基板保持部１０における基板載置板１１のアタッチメント２２上に検査対象基板１００を搬送する。この際には、同図に示すように、アタッチメント２２の上面（載置面）に検査対象基板１００の一方の面（下面）が接し、かつ、挟持用爪部４１および挟持用爪部４２ａ，４２ｂが検査対象基板１００に非接触の状態となる。
【００５７】
続いて、制御部７ａは、基板搬送機構２に制御信号Ｓ２を出力することにより、同図および図８に示す矢印Ａｃ，Ｂｃの向きで挟持用爪部４２ａ，４２ｂをそれぞれ移動させる。この際には、挟持用爪部４２ａ，４２ｂの先端部が検査対象基板１００の側部に当接し、その状態で挟持用爪部４２ａ，４２ｂが矢印Ａｃ，Ｂｃの向きにさらに移動させられることによって検査対象基板１００が矢印Ｃｃの向きにアタッチメント２２上を移動させられる。
【００５８】
この際に、本例の基板検査装置１では、前述したように、アタッチメント２２における各挿通用孔２２ａの形成部位がその周囲よりも高くなるようにアタッチメント２２が側面視凸状に形成されて、各挟持用爪部４１，４２ａ，４２ｂとアタッチメント２２との間に隙間が生じているため、、基板載置板１１（アタッチメント２２）に対して挟持用爪部４２ａ，４２ｂをスムーズに移動させることが可能となっている。これにより、検査対象基板１００において挟持用爪部４２ａ，４２ｂに接している角部と対向する角部が挟持用爪部４１に接した状態となり、図１０に示すように、アタッチメント２２上に載置された検査対象基板１００が、挟持用爪部４１と挟持用爪部４２ａ，４２ｂとによって挟持され、基板載置板１１（アタッチメント２２）、挟持用爪部４１および挟持用爪部４２ａ，４２ｂによって検査対象基板１００が保持される。
【００５９】
次いで、制御部７ａは、基板搬送機構２に制御信号Ｓ１を出力することにより、基板搬入部３において検査対象基板１００を保持した状態の基板保持部１０を位置情報取得部４に搬送させる。続いて、制御部７ａは、カメラ４ａ，４ｂに制御信号Ｓ３ａ，Ｓ３ｂを出力して検査対象基板１００を撮像させる。この際に、カメラ４ａは、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００において開口部２２ｂから露出している部位（すなわち、検査対象基板１００における一方の面（下面）における４つの角部）を撮像して撮像データＤ１ａを出力する。また、カメラ４ｂは、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００における他方の面（上面）における４つの角部を撮像して撮像データＤ１ｂを出力する。
【００６０】
続いて、制御部７ａは、カメラ４ａ，４ｂから出力された撮像データＤ１ａ，Ｄ１ｂを画像解析処理することにより、検査対象基板１００の各角部に形成されている半田バンプの位置（すなわち、プローブ６２ａ，６２ｂをプロービングさせるべきプロービング位置）を特定すると共に、予め規定された基準位置からの位置ずれ量および位置ずれ方向をそれぞれ特定する。なお、以下の説明においては、上記の処理によって特定した位置ずれ量および位置ずれ方向を総称して「位置情報」ともいう。また、画像解析処理による位置情報の特定方法は公知のため、詳細な説明を省略する。これにより、位置情報取得部４における位置情報取得処理が完了する。
【００６１】
次いで、制御部７ａは、基板搬送機構２に制御信号Ｓ１を出力することにより、位置情報取得処理を完了した検査対象基板１００を位置情報取得部４から検査部５に搬送させる。続いて、制御部７ａは、移動機構５２ａに制御信号Ｓ４ａを出力することにより、位置情報取得処理によって取得した位置情報に応じてプローブユニット５１ａの移動方向を微調整しつつ図１１に示すように上動させ、かつ、移動機構５２ｂに制御信号Ｓ４ｂを出力することにより、位置情報取得処理によって取得した位置情報に応じてプローブユニット５１ｂの移動方向を微調整しつつ図１１に示すように下動させる。
【００６２】
この場合、本例の基板検査装置１では、前述したように、下方部材３１ａに配設された押圧片３３ａおよびスプリング３４ａによって載置板本体２１の一辺２１ａが下方部材３１ａの当接部３２ａに押し付けられ、かつ下方部材３１ａに配設された押圧片３３ｂおよびスプリング３４ｂによって載置板本体２１の一辺２１ｂが下方部材３１ａの当接部３２ｂに押し付けられている。したがって、本例の基板検査装置１では、各ガイドローラ２３ａ〜２３ｄに対してプローブユニット５１ａの位置決め用ピン６３が非接触の状態（基板保持部１０に対するプローブユニット５１ａ，５１ｂの移動開始前：すなわち、プローブユニット５１ａ，５１ｂが所定の待機位置に位置させられた状態）において、載置板挟持部１２における下方部材３１ａの当接部３２ａ，３２ｂに対して基板載置板１１における載置板本体２１の一辺２１ａ，２１ｂがそれぞれ当接して下方部材３１ａに対して基板載置板１１が位置決めされた状態となっている。
【００６３】
また、本例の基板検査装置１では、基板保持部１０に対するプローブユニット５１ａ，５１ｂの移動開始前において、図１２に示すように、プローブユニット５１ａにおける両位置決め用ピン６３の一方が、載置板挟持部１２によって挟持されている基板載置板１１におけるガイドローラ２３ａ，２３ｂの下方に位置する（平面視において位置決め用ピン６３の一部がガイドローラ２３ａ，２３ｂと重なる）と共に、両位置決め用ピン６３の他方が、基板載置板１１におけるガイドローラ２３ｃ，２３ｄの間の下方に位置する（平面視において位置決め用ピン６３の他方がガイドローラ２３ｃ，２３ｄとは重ならない状態）となるように基板搬送機構２によって基板保持部１０が移動させられている。
【００６４】
このような状態において、基板保持部１０（基板挟持部１３）による検査対象基板１００の保持位置の位置ずれに応じて制御部７ａが移動機構５２ａに制御信号Ｓ４ａを出力し、移動機構５２ａがプローブユニット５１ａの移動方向を微調整しつつ基板保持部１０に向けて上動させたときには、一例として、図１３に示すように、平面視において、プローブユニット５１ａにおける両位置決め用ピン６３の一方の一部がガイドローラ２３ａ，２３ｂと重なり、かつ、両位置決め用ピン６３の他方がガイドローラ２３ｃ，２３ｄのいずれか（同図の例では、ガイドローラ２３ｄ）と重なる位置に向かってプローブユニット５１ａが上動させられる。この際には、基板保持部１０に対するプローブユニット５１ａの上動に伴い、両位置決め用ピン６３の一方におけるテーパー部６３ａがガイドローラ２３ａ，２３ｂに当接し、かつ両位置決め用ピン６３の他方におけるテーパー部６３ａがガイドローラ２３ｄに当接する。
【００６５】
したがって、基板保持部１０（基板載置板１１）に対してプローブユニット５１ａ（位置決め用ピン６３，６３）が上動させられたときには、両位置決め用ピン６３の一方に接しているガイドローラ２３ａ，２３ｂが一方の位置決め用ピン６３によって押し避けられる結果、載置板本体２１の一辺２１ａ，２１ｂが下方部材３１ａの当接部３２ａ，３２ｂから離反して基板載置板１１がスプリング３４ａ，３４ｂの付勢力に抗してプローブユニット５１ａに対して矢印Ａｂ，Ｂｂの向きに移動させられる。
【００６６】
また、両位置決め用ピン６３の他方に接しているガイドローラ２３ｄが他方の位置決め用ピン６３によって押し避けられて基板載置板１１がスプリング３４ａ，３４ｂの付勢力に抗してプローブユニット５１ａに対して矢印Ｃｂ２の向きに移動させられる。なお、同図の例とは相異するが、基板保持部１０に対するプローブユニット５１ａの移動に際して、プローブユニット５１ａにおける両位置決め用ピン６３の他方が、ガイドローラ２３ｃと重なる位置に向かって移動させられたときには、ガイドローラ２３ｃが他方の位置決め用ピン６３によって押し避けられて基板載置板１１がスプリング３４ａ，３４ｂの付勢力に抗してプローブユニット５１ａに対して矢印Ｃｂ１の向きに移動させられる。
【００６７】
この際に、本例の基板検査装置１（基板保持部１０）では、基板載置板１１に設けられた各ボールベアリング２４ａ，２４ｂが下方部材３１ａおよび上方部材３１ｂに対して点的に接した状態で基板載置板１１が載置板挟持部１２によって挟持されている。したがって、ガイドローラ２３ａ〜２３ｄが両位置決め用ピン６３によって押し避けられた際には、載置板挟持部１２によって挟持されている基板載置板１１がアタッチメント２２の上面（検査対象基板１００の載置面）に沿ってスムーズに移動させられる。また、両位置決め用ピン６３の上動に伴ってガイドローラ２３ａ〜２３ｄが回転するため、基板保持部１０（基板載置板１１）に対するプローブユニット５１ａの上動に際して大きな抵抗が生じる事態も回避されている。
【００６８】
これにより、図１４に示すように、プローブユニット５１ａに対して基板載置板１１が位置決めされた状態となる。この際には、押圧片３３ａ，３３ｂおよびスプリング３４ａ，３４ｂによって基板載置板１１（載置板本体２１）が矢印Ａａ，Ｂａの向きに押圧されているため、ガイドローラ２３ａ，２３ｂが一方の位置決め用ピン６３の側面にそれぞれ押し付けられた状態が維持される結果、プローブユニット５１ａに対する基板載置板１１の矢印Ａａ，Ｂａおよび矢印Ａｂ，Ｂｂの向きへの移動が規制される。また、ガイドローラ２３ｃ，２３ｄが他方の位置決め用ピン６３の側面にそれぞれ接した状態となるため、プローブユニット５１ａに対する基板載置板１１の矢印Ｃｂ１，Ｃｂ２の向きへの移動（基板載置板１１の回転）が規制される。これにより、基板載置板１１におけるアタッチメント２２の各挿通用孔２２ａに対する各プローブ６２ａの挿通が許容された状態となる。
【００６９】
この状態において基板保持部１０に対してプローブユニット５１ａがさらに上動させられることにより、図１５に示すように、基板載置板１１（アタッチメント２２）に形成されている各挿通用孔２２ａを挿通させられた各プローブ６２ａが、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００における一方の面（下面）の各プロービングポイントにそれぞれプロービングさせられる。また、移動機構５２ｂよって基板保持部１０に向けて下動させられたプローブユニット５１ｂの各プローブ６２ｂが、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００における他方の面（上面）の各プロービングポイントにそれぞれプロービングさせられる。これにより、検査対象基板１００に対するプロービングが完了する。
【００７０】
次いで、制御部７ａは、測定部５３に制御信号Ｓ５を出力することによって測定処理を実行させると共に、測定部５３から出力される測定結果データＤ２と、検査用基準データとに基づき、各プロービングポイントの間に絶縁不良や導通不良が生じているか否かを検査する（検査対象基板１００を検査する）。この際には、一例として、制御部７ａによる検査結果が、図示しない表示部の表示画面に表示され、かつ検査結果データとして記録される。
【００７１】
続いて、制御部７ａは、移動機構５２ａに制御信号Ｓ４ａを出力してプローブユニット５１ａを下動させると共に、移動機構５２ｂに制御信号Ｓ４ｂを出力してプローブユニット５１ｂを上動させる。この際には、基板載置板１１のガイドローラ２３ａ〜２３ｄから両位置決め用ピン６３が離反するのに伴い、基板載置板１１がスプリング３４ａ，３４ｂの付勢力によって図１４に示す矢印Ａａ，Ｂａの向きに移動させられる結果、図４に示すように、基板載置板１１（載置板本体２１）の一辺２１ａ，２１ｂが下方部材３１ａの当接部３２ａ，３２ｂにそれぞれ当接した状態となる。
【００７２】
次いで、制御部７ａは、基板搬送機構２に制御信号Ｓ１を出力することにより、検査処理を完了した検査対象基板１００を検査部５から基板搬出部６に搬送させる。続いて、制御部７ａは、基板搬送機構２に制御信号Ｓ２を出力することにより、図８に示す矢印Ａｃ，Ｂｃとは逆向きに挟持用爪部４２ａ，４２ｂを移動させる。これにより、挟持用爪部４１，４２ａ，４２ｂによる検査対象基板１００の挟持が解除される。この後、基板搬入搬出装置が、基板搬出部６に位置している基板保持部１０における基板載置板１１の上から検査対象基板１００を搬出する。これにより、この検査対象基板１００に対する検査処理が完了する。
【００７３】
このように、この基板検査装置１では、一対の位置決め用ピン６３をプローブユニット５１ａに設けると共に、複数の挿通用孔２２ａが形成されて検査対象基板１００を載置可能な基板載置板１１と、下方部材３１ａおよび上方部材３１ｂによって基板載置板１１を挟持する載置板挟持部１２と、基板載置板１１上に載置された検査対象基板１００を挟持する基板挟持部１３とを備えて基板保持部１０を構成し、かつガイドローラ２３ａ〜２３ｄを基板載置板１１に設け、両位置決め用ピン６３がガイドローラ２３ａ〜２３ｄにそれぞれ当接して基板載置板１１を検査対象基板１００の載置面に沿って移動させることによってプローブユニット５１ａに対して基板載置板１１を位置決めすることで各挿通用孔２２ａに対する各プローブ６２ａの挿通が許容される。
【００７４】
したがって、この基板検査装置１によれば、検査対象基板１００の一方の面（下面）における角部にプロービングポイントを規定した場合においても、基板保持部１０における基板載置板１１に形成された各挿通用孔２２ａを挿通させて検査対象基板１００の各プロービングポイントにプローブユニット５１ａの各プローブ６２ａをそれぞれプロービングさせることができる。また、切断部にバリが生じた基板や、切断位置に位置ずれが生じた基板の検査に際しても、バリや切断位置のずれに起因する検査対象基板１００の保持位置のずれ応じてプローブユニット５１ａの移動方向を微調整するだけで、位置決め用ピン６３，６３によって基板載置板１１（ガイドローラ２３ａ〜２３ｄ）が移動させられてプローブユニット５１ａに対して基板載置板１１が位置決めされるため、プローブユニット５１ａの各プローブ６２ａを基板載置板１１の各挿通用孔２２ａに確実に挿通させることができる。このため、半田バンプや導体パターンの配置、すなわち、プロービングポイントの位置によって検査可能な基板が制限されることなく、各種の検査対象基板を確実に検査することができる。
【００７５】
また、この基板検査装置１によれば、押圧片３３ａ，３３ｂおよびスプリング３４ａ，３４ｂによって基板載置板１１を付勢して一辺２１ａ，２１ｂを載置板挟持部１２の当接部３２ａ，３２ｂにそれぞれ当接させた状態において移動機構５２ａによってプローブユニット５１ａが基板保持部１０に対して移動させられたときに、両位置決め用ピン６３がガイドローラ２３ａ〜２３ｄにそれぞれ当接して基板載置板１１をスプリング３４ａ，３４ｂの付勢力に抗して検査対象基板１００の載置面に沿って移動させることでプローブユニット５１ａに対して基板載置板１１を位置決めすることにより、載置板挟持部１２に対する基板載置板１１の位置が規定位置（一辺２１ａ，２１ｂが当接部３２ａ，３２ｂに当接した状態となる位置）に位置決めされているため、移動機構５２ａによってプローブユニット５１ａを基板保持部１０に向けて移動させたときに、両位置決め用ピン６３をガイドローラ２３ａ〜２３ｄに対して確実に接触させることができ、これにより、プローブユニット５１ａに対して基板載置板１１を確実に位置決めした状態で各挿通用孔２２ａに各プローブ６２ａを挿通させることができる。
【００７６】
さらに、この基板検査装置１によれば、「第１位置決め用軸部」および「第２位置決め用軸部」としての両位置決め用ピン６３の先端部にテーパー部６３ａを形成すると共に、ガイドローラ２３ａ〜２３ｄによって「第１軸受け部」および「第２軸受け部」を構成したことにより、「第１位置決め用軸部」および「第２位置決め用軸部」が「第１軸受け部」および「第２軸受け部」に接した状態から、「第１位置決め用軸部」および「第２位置決め用軸部」が「第１軸受け部」および「第２軸受け部」によって軸受けされた状態までスムーズに移行させることができる。
【００７７】
また、この基板検査装置１によれば、下方部材３１ａの上面に接するように基板載置板１１に配設されたボールベアリング２４ａを備えると共に、上方部材３１ｂの下面に接するように基板載置板１１に配設されたボールベアリング２４ｂを備えたことにより、載置板挟持部１２に対して基板載置板１１をスムーズに移動させることができるため、プローブユニット５１ａに対する基板載置板１１の位置を正確に位置合わせさせることができる。
【００７８】
さらに、この基板検査装置１によれば、プローブユニット５１ａの進入を許容する開口部２１Ｈが設けられた載置板本体２１と、各挿通用孔２２ａが形成されて載置板本体２１に対して取り外し可能に取り付けられたアタッチメント２２とを備えて基板載置板１１を構成したことにより、「検査対象基板」の大きさ（プロービングポイントを規定する領域の広さ）に応じて、挿通用孔２２ａの形成領域が相違する各種のアタッチメント２２を用意することで、基板載置板１１におけるアタッチメント２２以外の各構成要素（本例では、載置板本体２１、ガイドローラ２３ａ〜２３ｄおよびボールベアリング２４ａ，２４ｂ）を継続的に使用して、載置板挟持部１２および基板挟持部１３と相まって各種の「検査対象基板」を保持することができる。このため、検査に要するコストを十分に低減することができる。
【００７９】
なお、「基板検査装置」の構成は、上記の基板検査装置１の構成に限定されない。例えば、「第１位置決め用軸部」および「第２位置決め用軸部」としての一対の位置決め用ピン６３を「検査用治具」としてのプローブユニット５１ａに配設すると共に、「第１軸受け部」としてのガイドローラ２３ａ，２３ｂ、および「第２軸受け部」としてのガイドローラ２３ｃ，２３ｄを「基板載置部」としての基板載置板１１に配設した構成の基板検査装置１を例に挙げて説明したが、「第１位置決め用軸部」および「第２位置決め用軸部」のいずれか一方を「基板載置板」に配設すると共に、「基板載置部」に配設した上記の一方を軸受けする「第１軸受け部」および「第２軸受け部」のうちの一方を「検査用治具」に配設したり、「第１位置決め用軸部」および「第２位置決め用軸部」の双方を「基板載置部」に配設すると共に、「第１軸受け部」および「第２軸受け部」の双方を「検査用治具」に配設したりすることもできる。これらの構成においても、上記の基板検査装置１と同様の効果を奏することができる。
【００８０】
また、「第１軸受け部」および「第２軸受け部」の構成は、上記の基板検査装置１におけるガイドローラ２３ａ〜２３ｃの構成に限定されない。具体的には、一例として、図１６に示す基板保持部１０Ａ（「基板保持部」の他の一例）のように、その内径が「第１位置決め用軸部」および「第２位置決め用軸部」としての一対の位置決め用ピン６３の直径よりもやや大径の軸受け孔Ｈを「第１軸受け部」および「第２軸受け部」として基板載置板１１Ａ（「基板載置部」の他の一例）に形成することができる。この場合、軸受け孔Ｈにおける下端部側の縁部にテーパー部Ｈａを設けることにより、図１７に示すように、位置決め用ピン６３を軸受け孔Ｈの中心に向けてスムーズに案内することができる。なお、図示を省略するが、「第１位置決め用軸部」および「第２位置決め用軸部」としての位置決め用ピン６３を「基板載置部」に配設した場合には、この位置決め用ピン６３を軸受け可能に軸受け孔Ｈを下方部材３１ａに設ければよい。この構成では、軸受け孔Ｈにおける上端部側の縁部にテーパー部Ｈａを設けることにより、位置決め用ピン６３を軸受け孔Ｈの中心に向けてスムーズに案内することができる。
【００８１】
また、図１８に示す基板保持部１０Ｂ（「基板保持部」のさらに他の一例）のように、「第１位置決め用軸部」および「第２位置決め用軸部」としての位置決め用ピン６３の直径と同程度の間隔を隔てて、互いの軸線が平行となるように配置した一対のガイドローラ２３，２３と、位置決め用ピン６３の直径と同程度の間隔を隔てて、互いの軸線が平行となるように配置した他の一対のガイドローラ２３，２３とを「第１軸受け部」および「第２軸受け部」として基板載置板１１Ｂ（「基板載置部」のさらに他の一例）に配設することもできる。この場合、一方のガイドローラ２３，２３の軸線と、他方のガイドローラ２３，２３の軸線とが平面視において交差するように（一例として、直交するように）これらを配置することによりプローブユニット５１ａに対する基板載置板１１Ｂの平面方向（検査対象基板１００の載置面に沿った方向）への移動が確実に規制されて位置決めされる。なお、図示を省略するが、「第１位置決め用軸部」や「第２位置決め用軸部」としての位置決め用ピン６３を「基板載置部」に配設した構成では、この位置決め用ピン６３を軸受け可能に上記の４つのガイドローラ２３を下方部材３１ａに配設すればよい。
【００８２】
さらに、下方部材３１ａの上面に点的に接触可能な複数のボールベアリング２４ａ、および上方部材３１ｂの下面に点的に接触可能な複数のボールベアリング２４ｂを載置板本体２１にそれぞれ取り付けた構成を例に挙げて説明したが、ボールベアリング２４ａの一部（またはすべて）を載置板本体２１の下面に点的に接触可能に下方部材３１ａに取り付けたり（「第１挟持部」に「第２ボールベアリング」を配設した構成の例：図示せず）、ボールベアリング２４ｂの一部（またはすべて）を載置板本体２１の上面に点的に接触可能に上方部材３１ｂに取り付けたり（「第１挟持部」に「第４ボールベアリング」を配設した構成の例：図示せず）することもできる。このような構成においても、「第１挟持部」に対して「基板載置部」をスムーズに移動させることができる。
【００８３】
また、図１９に示す基板保持部１０Ｃ（「基板保持部」のさらの他の一例）のように、ボールベアリング２４ａに代えて、下方部材３１ａの上面に接するように基板載置板１１Ｃ（「基板載置部」のさらに他の一例）の下面に樹脂シート２５（「第１摩擦力低減シート」の一例）を配設すると共に、ボールベアリング２４ｂに代えて、上方部材３１ｂの下面に接するように基板載置板１１Ｃの上面に樹脂シート２５（「第３摩擦力低減シート」の一例）を配設することもできる。さらに、図示を省略するが、基板載置板１１Ｃの下面に配設した樹脂シート２５に代えて、基板載置板１１Ｃの下面に接するように下方部材３１ａの上面に樹脂シート２５（「第２摩擦力低減シート」の一例）を配設すると共に、基板載置板１１Ｃの上面に配設した樹脂シート２５に代えて、基板載置板１１Ｃの上面に接するように上方部材３１ｂの下面に樹脂シート２５（「第４摩擦力低減シート」の一例）を配設することもできる。この場合、上記の樹脂シート２５（「摩擦力低減シート」）としては、静止摩擦係数が０．３以下の各種の樹脂シート（フッ素樹脂や、シリコンゴム等）を採用することができる。
【００８４】
このような構成を採用した「基板検査装置」においても、上記の基板検査装置１と同様にして、載置板挟持部１２に対して基板載置板１１Ｃをスムーズに移動させることができるため、プローブユニット５１ａに対する基板載置板１１Ｃの位置を正確に位置合わせさせることができる。
【００８５】
さらに、押圧片３３ａ，３３ｂおよびスプリング３４ａ，３４ｂによって載置板本体２１を付勢して一辺２１ａの一辺２１ａ，２１ｂを下方部材３１ａの当接部３２ａ，３２ｂにそれぞれ当接させた状態とする構成の基板検査装置１（基板保持部１０）を例に挙げて説明したが、上記した基板保持部１０Ａ，１０Ｂのように、「第１位置決め用軸部」および「第２位置決め用軸部」が「第１軸受け部」および「第２軸受け部」に接した状態において「検査用治具」に対する「基板載置部」の移動が規制される構成である限り、「第１基準辺」、「第２基準辺」、「第１当接部」、「第２当接部」および「付勢部」を設けない構成を採用することもできる。
【００８６】
加えて、基板保持部１０によって保持されている検査対象基板１００に向けて移動機構５２ａ，５２ｂがプローブユニット５１ａ，５１ｂを移動させることで検査対象基板１００の各プロービングポイントに各プローブ６２ａ，６２ｂをプロービングさせる構成を例に挙げて説明したが、「基板保持部」を「検査用治具」に向けて移動させてプロービングポイントに「検査用プローブ」をプロービングさせる構成や、「基板保持部」を「検査用治具」に向けて移動させ、かつ「検査用治具」を「基板保持部」に向けて移動させることでプロービングポイントに「検査用プローブ」をプロービングさせる構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００８７】
１  基板検査装置
２  基板搬送機構
４  位置情報取得部
４ａ，４ｂ  カメラ
５  検査部
７  制御ユニット
７ａ  制御部
１０，１０Ａ〜１０Ｃ  基板保持部
１１，１１Ａ〜１１Ｃ  基板載置板
１２  載置板挟持部
１３  基板挟持部
２１  載置板本体
２１ａ，２１ｂ  一辺
２１Ｈ  開口部
２２  アタッチメント
２２ａ  挿通用孔
２２ｂ  開口部
２３ａ〜２３ｄ  ガイドローラ
２４ａ，２４ｂ  ボールベアリング
２５  樹脂シート
３１ａ  下方部材
３１ｂ  上方部材
３２ａ，３２ｂ  当接部
３３ａ，３３ｂ  押圧片
３４ａ，３４ｂ  スプリング
４１，４２ａ，４２ｂ  挟持用爪部
５１ａ，５１ｂ  プローブユニット
５２ａ，５２ｂ  移動機構
５３  測定部
５４  スキャナ
６１ａ，６１ｂ  ベース部
６２ａ，６２ｂ  プローブ
６３  位置決め用ピン
６３ａ  テーパー部
１００  検査対象基板
Ｃｘ  交点
Ｈ  軸受け孔
Ｈａ  テーパー部
Ｌａ，Ｌｂ  仮想線
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３ａ，Ｓ３ｂ，Ｓ４ａ，Ｓ４ｂ，Ｓ５  制御信号
【図１】
2014167411.tif 000003
【図２】
2014167411.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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