(57)【要約】【課題】高分解能で比較的広い計測レンジで高精度の圧力測定が行える圧力校正装置を提供すること。【解決手段】圧力測定部を有し圧力計器を校正するように構成された圧力校正装置において、装置の姿勢を検出する傾斜センサと、零点基準校正値を測定する基準校正手段と、前記基準校正手段による基準校正値と前記傾斜センサから出力される姿勢情報に基づき前記圧力測定部の測定値に含まれる姿勢誤差を補正する姿勢誤差補正手段と、前記傾斜センサから出力される姿勢情報に基づき所定の誤差範囲内での姿勢誤差補正の可否を判断する補正可否判断手段を設け、  前記補正可否判断手段で補正不可と判断された場合には前記基準校正手段で基準校正値を再度測定することを特徴とするもの。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力測定部を有し、圧力計器を校正するように構成された圧力校正装置において、
装置の姿勢を検出する傾斜センサと、
零点基準校正値を測定する基準校正手段と、
前記基準校正手段による基準校正値と前記傾斜センサから出力される姿勢情報に基づき前記圧力測定部の測定値に含まれる姿勢誤差を補正する姿勢誤差補正手段と、
前記傾斜センサから出力される姿勢情報に基づき所定の誤差範囲内での姿勢誤差補正の可否を判断する補正可否判断手段を設け、
前記補正可否判断手段で補正不可と判断された場合には前記基準校正手段で基準校正値を再度測定することを特徴とする圧力校正装置。
【請求項２】
前記圧力測定部は、測定圧力をダイヤフラム上に形成されたシリコン振動子の共振周波数の変化に基づいて検出するように構成されたシリコンレゾナントセンサを用いることを特徴とする請求項１に記載の圧力校正装置。
【請求項３】
前記圧力測定部を洗浄する洗浄ユニットを設けたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧力校正装置
【請求項４】
前記洗浄用の気体は、空気であることを特徴とする請求項３に記載の圧力校正装置。
【請求項５】
前記洗浄用の気体は、不活性ガスであることを特徴とする請求項３に記載の圧力校正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力校正装置に関し、詳しくは、各種圧力計器を高精度で校正できる可搬形の圧力校正装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧力計器の一種である圧力伝送器は、石油、ガス、紙パルプ、発電など、各種の精製プラントや工場で利用されることが多い。このような圧力伝送器を設置現場で校正するのにあたっては、圧力校正装置が用いられている。
【０００３】
従来の圧力校正装置としては、特許文献１に記載されているように圧力測定装置の内部に圧力校正機能を組み込んだ装置や、特許文献２に記載されているように測定圧力に伴う対向電極間の変位を静電容量の変化として検出する形式や測定圧力に伴うダイヤフラムの歪変位量を歪ゲージの抵抗値変化として検出する形式など測定レンジに対応した最適な形態の圧力センサが内蔵された測定レンジの異なる複数の空気圧検出ユニットを備えた装置がある。
【０００４】
また、特許文献３には、使用状態によって姿勢が変化した場合でも、ゼロオフセット値を自動的に補正するように傾斜センサを設けた圧力測定装置が記載されている。
【０００５】
ところで、圧力伝送器の設置現場は、温度変化や振動の影響が大きくて作業スペースが制限されるなど、劣悪な環境である場合が多いことから、圧力校正装置としてはこれらの環境に耐えうるいわゆる現場測定器としての性能が求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−６６２１０号公報
【特許文献２】特開平８−６８７１３号公報
【特許文献３】特開２０１２−２４７２５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、従来の圧力校正装置は、外形が比較的大きい直方体状の筐体ケースに収納されていることから装置の持ち運びが不便であり、圧力伝送器の設置現場における校正にあたっては圧力校正装置を配置するための作業用スペースを確保しなければならないなどの問題がある。
【０００８】
そして、圧力校正装置の表示部および操作パネルは筐体ケースの前面部に設けられているので、圧力校正装置の使用状態では、その底面がほぼ水平になるように配置して前面部を作業者と正対させることが望ましいが、使用場所によっては前面部を作業者と正対させることが困難になる場合もあり、その場合には操作パネルの操作や表示部の読み取りに支障を生じることもある。
【０００９】
また、圧力センサ部は圧力媒体が気体と液体のいずれであっても共用できるように構成されてはいるものの、圧力媒体が液体の場合には圧力センサ部に残留物が付着してしまうことがある。この対策として、たとえば濾過用のフィルタを取り付けることが考えられるが、フィルタを取り付けると部品点数が増えて構成が複雑になり、フィルタの交換時期の管理も必要になる。
【００１０】
また、圧力センサとしてたとえば歪ゲージの抵抗値変化を用いる形式の場合には、温度変化や経時変化に対する安定性が比較的悪く、分解能も比較的低く、計測レンジも比較的狭くて高精度測定が困難である。
【００１１】
本発明は、これらの問題を解決するものであり、その目的は、現場測定器としての可搬性および操作性に優れ、気体と液体のいずれの圧力媒体にも共用でき、温度変化や経時変化に対する安定性が比較的高くて、高分解能で比較的広い計測レンジで高精度の圧力測定が行える圧力校正装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
圧力測定部を有し、圧力計器を校正するように構成された圧力校正装置において、
装置の姿勢を検出する傾斜センサと、
零点基準校正値を測定する基準校正手段と、
前記基準校正手段による基準校正値と前記傾斜センサから出力される姿勢情報に基づき前記圧力測定部の測定値に含まれる姿勢誤差を補正する姿勢誤差補正手段と、
前記傾斜センサから出力される姿勢情報に基づき所定の誤差範囲内での姿勢誤差補正の可否を判断する補正可否判断手段を設け、
前記補正可否判断手段で補正不可と判断された場合には前記基準校正手段で基準校正値を再度測定することを特徴とする。
【００１３】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の圧力校正装置において、
前記圧力測定部は、測定圧力をダイヤフラム上に形成されたシリコン振動子の共振周波数の変化に基づいて検出するように構成されたシリコンレゾナントセンサを用いることを特徴とする。
【００１４】
請求項３記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の圧力校正装置において、
前記圧力測定部を洗浄する洗浄ユニットを設けたことを特徴とする。
【００１５】
請求項４記載の発明は、請求項３に記載の圧力校正装置において、
前記洗浄用の気体は、空気であることを特徴とする。
【００１６】
請求項５記載の発明は、請求項３記載の圧力校正装置において、
前記洗浄用の気体は、不活性ガスであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
これらにより、可搬性に優れ、高精度でワイドレンジで消費電力の少ない圧力校正装置を実現でき、さらに、外部から着脱可能な液体でも気体でも使用可能な洗浄ユニットを設けることにより常にセンサ面をきれいに保つことができ、高信頼性の圧力校正装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に基づく圧力校正装置を用いた圧力校正システムの具体例を示す構成図である。
【図２】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図３】本発明で圧力測定部３０１として用いる差圧測定装置の要部概略断面図である。
【図４】本発明で用いる洗浄ユニットＳＵの具体例を示す構成図である。
【図５】洗浄ユニットＳＵの使用例の説明図である。
【図６】洗浄ユニットＳＵにおける洗浄用気体の循環経路説明図である。
【図７】表示部３０７の表示画面例図である。
【図８】キー操作部３０８を含む圧力校正装置３の操作パネルの具体例図である。
【図９】内部メモリ３１０に格納されるデータ例図である。
【図１０】本発明に基づく圧力校正装置３の動作を説明するフローチャートである。
【図１１】表示部３０７に表示されるアラーム情報の表示例図である。
【図１２】表示部３０７に表示される測定値と校正値の表示例図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明について、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に基づく圧力校正装置を用いた圧力校正システムの具体例を示す構成図である。図１において、圧力発生装置１は、圧力校正のための所定圧力を、校正対象機器であるたとえば圧力伝送器２および圧力校正装置３に並列に供給出力する。圧力発生装置１としては、たとえばハンドポンプを用いる。
【００２０】
圧力伝送器２と圧力校正装置３は、２線式のループ電源線４を介して接続されている。圧力校正装置３は圧力伝送器２に対して４−２０ｍＡ／１−５Ｖの駆動信号を出力し、圧力伝送器２は圧力発生装置１から入力される所定圧力の測定値を４−２０ｍＡの直流電流に重畳して圧力校正装置３に返送出力する。
【００２１】
圧力校正装置３には、必要に応じて制御用のＰＣ（パソコン）５が接続される。
【００２２】
図２は、圧力校正装置３の具体例を示すブロック図である。図２において、圧力測定部３０１としては、たとえば測定圧力をダイヤフラム上に形成されたシリコン振動子の共振周波数の変化に基づいて検出するように構成されたシリコンレゾナントセンサを用いる。シリコンレゾナントセンサによれば、高感度・高精度で圧力測定を行うことができ、圧力変化や温度変化の影響がきわめて少なく、長期安定性が得られる。
【００２３】
図３は、圧力測定部３０１として用いる差圧測定装置の要部概略断面図である。図３において、３０１ａは周知のシリコンレゾナントセンサからなる検出部、３０１ｂは保護部であり、これら検出部３０１ａの図示しない導圧空間と保護部３０１ｂは導圧路３０１ｃ，３０１ｄを介して連結されている。検出部３０１ａは測定すべき差圧を電気信号に変換して出力し、保護部３０１ｂは導入圧力に対して検出部３０１ａを保護する。
【００２４】
保護部３０１ｂは、主にボディ３０１ｅ,３０１ｆ、センターダイヤフラム３０１ｇおよび接液ダイヤフラム３０１ｈ，３０１ｉで構成され、センターダイヤフラム３０１ｇを挟むように左右にそれぞれボディ３０１ｅ,３０１ｆが設けられ、これらの外周および周縁部は互いに気密的に接合されている。
【００２５】
ボディ３０１ｅのセンターダイヤフラム３０１ｇとの対向面は所定の曲率を有する湾曲面として形成されてセンターダイヤフラム３０１ｇとの間に空間部３０１ｊが形成され、ボディ３０１ｆとセンターダイヤフラム３０１ｇとの対向面もボディ３０１ｅと等しい曲率を有する湾曲面として形成されてセンターダイヤフラム３０１ｇとの間に空間部３０１ｊとほぼ同一形状の空間部３０１ｋが形成されている。
【００２６】
ボディ３０１ｅの左側面は所定の曲率を有する湾曲面として形成されるとともにその湾曲面には断面形状が波形になるように同心円状に複数の図示しない溝部が形成され、この湾曲面には断面形状が湾曲面とほぼ同じ波形になるように同心円状に複数の図示しない溝部が形成された接液ダイヤフラム３０１ｈの周縁が所定の空間部３０１ｍを形成するようにして気密的に接合されている。
【００２７】
ボディ３０１ｆの右側面もボディ３０１ｅの左側面とほぼ等しい曲率を有する湾曲面として形成されてその湾曲面には断面形状が波形になるように同心円状に複数の図示しない溝部が形成され、この湾曲面には断面形状が湾曲面とほぼ同じ波形になるように同心円状に複数の図示しない溝部が形成された接液ダイヤフラム３０１ｉの周縁が空間部３０１ｍとほぼ同一形状の空間部３０１ｎを形成するようにして気密的に接合されている。
【００２８】
導圧路３０１ｃはボディ３０１ｅの両面に形成された空間部３０１ｊと３０１ｎおよび検出部３０１ａの図示しない導圧空間とを連通するように形成され、導圧路３０１ｄはボディ３０１ｆの両面に形成された空間部３０１ｋと３０１ｐおよび検出部３０１ａの図示しない導圧空間とを連通するように形成されていて、これら導圧路３０１ｃ，３０１ｄ、空間部３０１ｊ，３０１ｋ，３０１ｍ，３０１ｎにはそれぞれ圧力伝達用流体としてのシリコンオイル（封入液）が充填される。
【００２９】
測定すべき圧力がそれぞれ各接液ダイヤフラム３０１ｈ，３０１ｉで受圧されると、その各導入圧力は導圧路３０１ｃ，３０１ｄを経て検出部３０１ａに伝達される。検出部３０１ａでは、各導入圧力に基づく差圧が周知の検出手段によって電気信号に変換されて出力される。
【００３０】
このような圧力測定部３０１は、気体と液体のいずれの圧力も測定できるように構成されたものであり、液体の圧力測定後に気体の圧力を測定する場合や、種類の異なる液体の圧力を測定する場合には、圧力測定部３０１の図示しない圧力入力部をたとえば図４に示すような洗浄ユニットＳＵを用いて洗浄する。
【００３１】
図４において、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の拡大断面図である。本体１０の一端Ｃは端部が開口された筒状体１０１として形成され、他端Ｄは筒状体１０１の他端を支持する断面形状が６角形のベース１０２として形成されている。
【００３２】
筒状体１０１の開口端近傍の側壁には外部と連通する複数の穴１０３が設けられ、筒状体１０１の長手方向と直交するベース１０２の底面１０４には筒状体１０１と連通するポート用の穴１０５が設けられ、筒状体１０１の長手方向と平行なベース１０２の側面１０６には筒状体１０１と連通するポート用の穴１０７が設けられている。
【００３３】
本体１０の筒状体１０１およびベース１０２の内部には、両端が開口されたパイプ１１が取り付けられている。
【００３４】
パイプ１１の外径は、その外周面と本体１０の筒状体１０１およびベース１０２の内壁との間にベース１０２の側面に設けられたポート用の穴１０７に連通する隙間Ｇが形成されるように、筒状体１０１の内径よりもやや小さく形成されている。このパイプ１１の一端１１１はベース１０２の底面に設けられたポート用の穴１０６に固着され、他端１１２は筒状体１０１の開口端近傍の内壁に固着されている。
【００３５】
図５はこのように構成される洗浄ユニットＳＵの使用例の説明図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の拡大断面図である。図５において、圧力容器２０の平面Ｅには突起部２１が形成されていて、この突起部２１には圧力容器２０の内部に連通する唯一のポート用の穴２２が設けられている。なお、ポート用の穴２２の開口端の内周にはネジ溝が設けられている。
【００３６】
洗浄ユニットＳＵの本体１０の筒状体１０１の端部は、図５（Ｂ）に示すように、開口端近傍の側壁に設けられている複数の穴１０３が洗浄対象となる圧力容器２０の内部に連通する状態になるまで圧力容器２０の内部に挿入される。
【００３７】
図６は図５（Ｂ）の破線で示した円部分Ｆの拡大図であって、洗浄ユニットＳＵにおける洗浄用気体の循環経路説明図である。筒状体１０１の開口端近傍の側壁に設けられている複数の穴１０３が洗浄対象となる圧力容器２０の内部に連通した状態でポート１０７から洗浄用気体が導入されと、洗浄用気体は筒状体１０１の開口端近傍の側壁に設けられている複数の穴１０３から圧力容器２０の内部に噴射されて圧力容器２０の内部を還流しながら洗浄し、圧力容器２０の内部を還流しながら洗浄した洗浄用気体はポート１０５から排出される。
【００３８】
ここで、洗浄機構の本体１０の筒状体１０１およびベース１０２の内部には両端が開口されたパイプ１１が取り付けられてベース１０２にはポート用の穴１０５と１０７が設けられ、ポート用の穴１０５はパイプ１１の内部に連通してポート用の穴１０７は筒状体１０１の内壁とパイプ１１の外側との間の間隙に連通した二重管構造として形成されているので、洗浄対象となる圧力容器２０の突起部２１にその内部に連通する唯一のポート用の穴２２を設けるだけでよい。
【００３９】
圧力容器１の内部洗浄時にはその内部に連通する唯一のポート用の穴２２に洗浄機構を挿入し、圧力測定時にはこの洗浄機構に代えて図示しない圧力測定用機構を挿入する。
【００４０】
再び図２において、傾斜センサ３０２は、圧力校正装置３の測定時における傾斜量を検出する。傾斜センサ３０２としては、たとえば比較的安価で低消費電力の汎用３軸加速度センサを用いる。
【００４１】
なお、傾斜角度演算の精度を上げるため、オフセットとゲインの調整をＸ,Ｙ,Ｚの各軸に対して２方向（＋１ｇ方向、−１ｇ方向）で行う。この結果、演算数は増加するが、サンプリングレートを調整するとともに低消費電力モードで駆動することで、最適なコストパフォーマンスが得られる
【００４２】
圧力測定部３０１の圧力センサとして用いる図３に示す構成の振動式センサは、シリコンオイルが封入されていることから、圧力校正装置３の姿勢が変わると検出部３０１ａの受圧部（図示省略）に与える封入液の質量による圧力が変化することになり、圧力測定値への影響が大きい。そこで、傾斜センサ３０２の測定結果によってその姿勢の妥当性を判断したり、圧力測定部３０１における圧力測定値の補正処理を行う。
【００４３】
温度センサ３０３は、圧力校正装置３における圧力測定部３０１の温度を測定し、圧力測定部３０１における圧力測定値の温度による影響を除去するための補正処理を行う。
【００４４】
電流電圧測定部３０４は、４−２０ｍＡの電流および１−５Ｖの電圧を測定する機能を有するものであって、圧力伝送器２から出力される４−２０ｍＡの電流値を計測する。
【００４５】
電流電圧発生部３０５は、４−２０ｍＡの電流および１−５Ｖの電圧を発生する機能を有するものであって、圧力伝送器２にループ電源として供給する。この電流電圧発生部３０５は、発生信号をプログラムブルに変更することによって、計装ループテストやレコーダやコントローラの動作、指示確認などにも利用できる。
【００４６】
制御部３０６は、圧力測定部３０１の計測値および電流電圧測定部３０４の測定値に基づいて校正値を算出したり、傾斜センサ３０２の姿勢情報に基づいて測定値の妥当性の判断や補正処理を行うとともに、表示部３０７、キー操作部３０８、ブザー３０９、内部メモリ３１０、外部メモリ３１１、通信部３１２など各部の処理制御を行う。
【００４７】
表示部３０７はたとえば液晶で構成されたものであり、測定値、校正値、アラーム状態などを表示する。図７は表示部３０７の表示画面例図であり、２つの測定系統を有する例を示している。図７において、第１の測定系統ＣＨ１では圧力測定値が表示され、第２の測定系統ＣＨ２ではループ電流測定値が表示される。
【００４８】
図２に戻り、キー操作部３０８は、圧力校正装置３の測定条件の設定などを行う。
【００４９】
図８はキー操作部３０８を含む圧力校正装置３の操作パネルの具体例図であり、図２と共通する部分には同一の符号を付けている。図８において、操作パネルの左側領域のほぼ中央部には、矩形の表示部３０７が設けられている。この表示部３０７の右辺から下辺にかけて隣接するように逆Ｌ字形にキー操作部３０８が配置されている。
【００５０】
キー操作部３０８は、キー操作部３０８の右辺近傍のほぼ中央部に配置された上下左右方向のカーソルキー３０８ａ、カーソルキー３０８ａと表示部３０７の間に配置されたホールド、最大/最小、相対、出力/測定の各機能を個別に選択する複数個の機能選択キー３０８ｂ、表示部３０７の下辺近傍に配置された複数個のファンクションキー３０８ｃなどで構成されている。
【００５１】
キー操作部３０８の上辺近傍には、電気信号端子ＴＭＬが設けられている。
【００５２】
操作パネルと隣接する上側面の電気信号端子ＴＭＬの近傍には、圧力入力端子ＰＩＮが設けられている。
【００５３】
操作パネルの左右の両側辺には、それぞれグリップＧＰ１、ＧＰ２が設けられている。
【００５４】
図２に戻り、ブザー３０９は、圧力測定部３０１や電流電圧測定部３０４の測定値が異常であったり、傾斜センサ３０２で検出した圧力校正装置３の測定時における姿勢が傾斜限界を超えたときなどにアラーム音を発生して作業者に知らせる。
【００５５】
内部メモリ３１０には、たとえば図９に示すような圧力の測定値、校正値、アラーム履歴などが格納保持される。
【００５６】
外部メモリ３１１は、ハードディスク、メモリカード、ＵＳＢメモリなどが、必要に応じて用いられる。
【００５７】
通信インタフェース３１２は、圧力校正装置３と外部の装置との間で通信を行って圧力校正装置３の制御データ、計測データ、アラーム情報などの各種データを授受するためのインタフェースである。通信プロトコルとしては、ＵＳＢ(Universal Serial Bus)、イーサネット（Ethernet、登録商標）などの他、伝送器では一般的にＨＡＲＴ（登録商標）に基づく通信が行われる。
【００５８】
図１０は、図１および図２のように構成される本発明に基づく圧力校正装置３の動作を説明するフローチャートである。校正対象機器であるたとえば圧力伝送器２の圧力校正にあたっては、圧力発生装置１から圧力伝送器２および圧力校正装置３に対して並列に、校正すべき所定の圧力を供給注入する（ステップＳ１）。
【００５９】
圧力校正装置３は、圧力発生装置１から注入された圧力を圧力測定部３０１により測定算出する（ステップＳ２）とともに、傾斜センサ３０２の出力信号に基づき圧力測定時における圧力校正装置３の姿勢を検出する（ステップＳ３）。
【００６０】
制御部３０６は、前述の傾斜センサ３０２で測定した傾斜量の値に基づき、現在の姿勢における圧力の測定値が、作業者が必要とする誤差範囲内での補正が可能か否かを判断する（ステップＳ４）。
【００６１】
作業者が必要とする誤差範囲内での補正が不可能な場合、制御部３０６は、表示部３０７に図１１に示すようなアラーム情報を表示し、ブザー３０９で警報音を出力し、たとえば内部メモリ３１０にアラーム履歴を記録し、通信部３１２を介してアラーム情報を外部に通知する（ステップＳ５）。
【００６２】
図１１において、第２の測定系統ＣＨ２には、アラーム情報として、基準校正のためのゼロキャリブレーションが必要であることを示す「ＺＥＲＯ ＣＡＬ」が表示される。ここで、アラーム情報としては、必要に応じて、傾斜センサ３０２で測定した傾斜量の値や、基準校正を必要とする現在のゼロ点の値や、現在の姿勢における誤差の大きさなども表示してもよい。
【００６３】
図１０に戻り、作業者は、基準校正を行うか否かを判断する（ステップＳ６）。ゼロキャリブレーションを実行することによりその姿勢における基準校正が行われ（ステップＳ７）、その姿勢における以降の正確な圧力測定が実現可能になる。
【００６４】
ステップＳ４において、作業者が必要とする誤差範囲内での補正が可能な場合、制御部３０６はその補正に基づいた測定値を算出する（ステップＳ８）。
【００６５】
圧力伝送器２は、圧力発生装置１から注入された圧力を測定し（ステップＳ９）、測定した圧力値を４−２０ｍＡの電気信号に変換して圧力校正装置３の電流電圧測定部３０４に出力する（ステップＳ１０）。なお、ステップＳ９とＳ１０は、時間的にはステップＳ２〜Ｓ８の処理と並行して行われる。
【００６６】
電流電圧測定部３０４は、圧力伝送器２から出力される電流を測定する（ステップＳ１１）。
【００６７】
制御部３０６は、圧力校正装置３の圧力測定部３０１で測定された圧力測定値が換算された電流値と電流電圧測定部３０４で測定された電流値とを比較し、基準値からの差分である校正値を算出する（ステップＳ１２）。
【００６８】
さらに制御部３０６は、算出された校正値に対する後処理として、測定値と校正値を図１２に示すような形式で表示部３０７に表示し、さらにこれらの校正値を前述図９に示したような一覧表示形式で内部メモリ３１０に格納するとともに、通信部３１２を介して外部に出力する（ステップＳ１３）。
【００６９】
圧力伝送器２の校正を継続する場合は（ステップＳ１４）、圧力校正装置３の設定変更や圧力発生装置１からの注入圧力の変更などを行い（ステップＳ１５）、ステップＳ１〜Ｓ１５を繰り返す。
【００７０】
一連の校正処理を終了して圧力校正装置３の検出部３０１ａを洗浄する場合には、前述のように洗浄ユニットＳＵを用い、外部から洗浄用気体を導入して検出部３０１ａに付着した汚れや残留物を取り除く。
【００７１】
これにより、従来のような大掛かりな構成ではなく、温度変化や振動や狭いスペースなどの劣悪な環境の製造現場で必須となるオールインワンの現場測定器としたことで、可搬性に優れた、ワイドレンジで低消費電力の圧力校正装置を実現できる。
【００７２】
そして、圧力センサに対して外部から着脱可能な洗浄ユニットを採用することで圧力媒体として気体および液体を区別することなく利用でき、従来のようなフィルタ交換も不要で常にセンサ面をきれいに保ちながら計測の信頼性を維持できるとともに、メンテナンス性を大幅に向上させることができる。
【００７３】
また、装置１台で校正が可能であることから、簡単な操作性が実現できる。
【００７４】
さらに、圧力センサとして振動式センサを用いることにより製造現場で発生する温度ドリフトや経時変化に対して強い安定した測定が行えるとともに、このセンサの特徴である高精度、ワイドレンジが実現できることで、高性能な圧力伝送器の校正が可能となる。
【００７５】
また、傾斜センサを組み合わせることで、装置の姿勢に対する測定値の妥当性判断や測定値の補正が行えるため、狭いスペースで様々な姿勢で利用される製造現場においても、高精度な測定が実現できる。
【００７６】
以上説明したように、本発明によれば、可搬性に優れ、高精度でワイドレンジで消費電力の少ない圧力校正装置を実現でき、さらに、外部から着脱可能な液体でも気体でも使用可能な洗浄ユニットを設けることにより常にセンサ面をきれいに保つことができ、信頼性の高い圧力校正装置を実現できる。
【符号の説明】
【００７７】
１  圧力発生装置
２  圧力伝送器
３  圧力校正装置
４  ループ電源線
５  パソコン（ＰＣ）
【図１】
2014238361.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図７】
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【図９】
2014238361.tif 000007
【図１０】
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【図１１】
2014238361.tif 000009
【図１２】
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【図４】
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【図５】
2014238361.tif 000012
【図６】
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【図８】
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