(57)【要約】      （修正有）【課題】外力成分による影響を受けることのない精度の高い圧力検出装置を提供する。【解決手段】測定対象機器に装着された圧力検出装置であって、圧力媒体の圧力が印加され、その圧力に応じて歪を発生する起歪体１５と、その起歪体１５の受圧面と反対の面に接合された歪検出素子１６とを有する圧力検出装置において、前記歪検出素子１６は、該歪検出素子１６の接合面方向中央部に配設された１つ又は複数の中央側歪抵抗ブリッジ３００ａと、その外周部に配設された１つ又は複数の外周側歪抵抗ブリッジ３００ｎと、を備え、例えば測定対象機器へのネジ締め固定時の外力により生じる歪検出素子１６の変形を前記複数の歪抵抗ブリッジによって求め、前記中央側歪抵抗ブリッジ３００ａで検出した圧力値の、前記求められた変形により生じる検出圧力の誤差を補正し、該補正した圧力値を圧力検出装置の検出値とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象機器に装着された圧力検出装置であって、圧力媒体の圧力が印加され、その圧力に応じて歪を発生する起歪体と、その起歪体の受圧面と反対の面に接合された歪検出素子とを有する圧力検出装置において、
前記歪検出素子は、該歪検出素子の接合面方向中央部に配設された１つ又は複数の中央側歪抵抗ブリッジと、前記中央側歪抵抗ブリッジの外周部に配設された１つ又は複数の外周側歪抵抗ブリッジと、を備え、
測定対象機器への装着時の外力により生じる歪検出素子の変形を前記複数の歪抵抗ブリッジによって求め、前記中央側歪抵抗ブリッジで検出した圧力値の、前記求められた変形により生じる検出圧力の誤差を補正し、該補正した圧力値を圧力検出装置の検出値とすることを特徴とする圧力検出装置。
【請求項２】
前記外周側歪抵抗ブリッジの検出歪に基づいて測定対象機器の経時劣化を判別し、経時劣化判定時に故障信号を出力することを特徴とする請求項１に記載の圧力検出装置。
【請求項３】
前記外周側歪抵抗ブリッジは、歪検出素子の四隅部分に配設された歪抵抗ブリッジを有し、該四隅部分の歪抵抗ブリッジの検出歪に基づいて測定対象機器の経時劣化と歪検出素子の劣化および破損を判別することを特徴とする請求項２に記載の圧力検出装置。
【請求項４】
前記外周側歪抵抗ブリッジは、歪検出素子の外周方向に直線状に配設された複数の歪抵抗ブリッジを有しており、外周方向から進展する経時劣化を判別することを特徴とする請求項２に記載の圧力検出装置。
【請求項５】
前記中央側歪抵抗ブリッジは、歪検出素子における、前記圧力媒体から印加される第１の圧力が受圧される部位に対応する位置に配設され、
前記外周側歪抵抗ブリッジは、歪検出素子における、前記第１の圧力よりも低い第２の圧力が受圧される部位に対応する位置に配設され、
前記中央側歪抵抗ブリッジの検出圧力値が外周側歪抵抗ブリッジの検出圧力値よりも小さくなったら故障信号を出力することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の圧力検出装置。
【請求項６】
測定対象機器に装着された圧力検出装置であって、圧力媒体の圧力が印加され、その圧力に応じて歪を発生する起歪体と、その起歪体の受圧面と反対の面に接合された歪検出素子とを有する圧力検出装置において、
前記歪検出素子は、前記圧力媒体から印加される第１の圧力が受圧される部位に対応する位置に配設された１つ又は複数の第１の歪抵抗ブリッジと、前記第１の圧力よりも低い第２の圧力が受圧される部位に対応する位置に配設された１つ又は複数の第２の歪抵抗ブリッジと、を備え、
前記第１の歪抵抗ブリッジの検出圧力値と第２の歪抵抗ブリッジの検出圧力値の差分を圧力検出装置の検出圧力値とすることを特徴とする圧力検出装置。
【請求項７】
前記第１の歪抵抗ブリッジおよび第２の歪抵抗ブリッジ各々の検出圧力値とその差分との相関性を予め記憶しておき、前記相関性が規定値を越えて外れた時には、故障信号を出力し、前記第１の歪抵抗ブリッジの検出圧力値を圧力検出装置の検出圧力値とすることを特徴とする請求項６に記載の圧力検出装置。
【請求項８】
前記第１の歪抵抗ブリッジにおける、該第１の歪抵抗ブリッジに最も近い歪検出素子周縁部までの配設距離と、前記第２の歪抵抗ブリッジにおける、該第２の歪抵抗ブリッジに最も近い歪検出素子周縁部までの配設距離とは等しく設定されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の圧力検出装置。
【請求項９】
前記中央側歪抵抗ブリッジは、歪検出素子の略中心部に配設されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の圧力検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象の各種機器に装着されて圧力を検出する圧力検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧力媒体の圧力を受けて歪を生じる起歪体と、起歪体で生じた歪を検出する歪検出素子を有する圧力検出装置は、例えば特許文献１に記載のものが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平３−３７５０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の圧力検出装置では、変形による歪量が最大となる位置に構成した検知部と歪量が最大よりも所定量だけ少ない位置に構成した検知部の少なくともいずれかの検出信号をそのまま計測値として取り込み利用している。
【０００５】
このため、測定しようとする圧力以外の外力成分も計測値に含まれることになり、検出精度が悪く信頼性が低い。
【０００６】
本発明は上記課題を解決するものであり、その目的は、外力成分による影響を受けることのない精度の高い圧力検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、例えば特許請求の範囲に記載の構成を採用する。本願は上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例を挙げるならば、「測定対象機器に装着された圧力検出装置であって、圧力媒体の圧力が印加され、その圧力に応じて歪を発生する起歪体と、その起歪体の受圧面と反対の面に接合された歪検出素子とを有する圧力検出装置において、
前記歪検出素子は、該歪検出素子の接合面方向中央部に配設された１つ又は複数の中央側歪抵抗ブリッジと、前記中央側歪抵抗ブリッジの外周部に配設された１つ又は複数の外周側歪抵抗ブリッジと、を備え、
測定対象機器への装着時の外力により生じる歪検出素子の変形を前記複数の歪抵抗ブリッジによって求め、前記中央側歪抵抗ブリッジで検出した圧力値の、前記求められた変形により生じる検出圧力の誤差を補正し、該補正した圧力値を圧力検出装置の検出値とする」ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、外力成分による検出圧力の誤差が補正されるため検出精度の高い圧力検出装置が得られる。上記した以外の構成及び効果は以下の実施形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明が適用される圧力測定装置の一例を示す断面構成図。
【図２】本発明が適用される圧力測定装置の他の例を示す断面構成図。
【図３】本発明の実施例形態による圧力検出装置の回路図。
【図４】本発明の実施例１を説明する図であり、（ａ）は歪検出素子の平面図、（ｂ）は要部側面図。
【図５】本発明の実施例２を説明する図であり、（ａ）は歪検出素子の平面図、（ｂ）は要部側面図。
【図６】本発明の実施例３における歪検出素子の平面図。
【図７】本発明の実施例４における歪検出素子の平面図。
【図８】本発明の実施例５を説明する図であり、（ａ）は歪検出素子の平面図、（ｂ）は歪抵抗ブリッジの位置と出力の関係を示す特性図。
【図９】本発明の実施例６を説明する図であり、（ａ）は要部側面図、（ｂ）は歪検出素子の平面図、（ｃ）は圧力と歪抵抗ブリッジの出力の関係を示す特性図。
【図１０】本発明の実施例６の変形例を示す歪検出素子の平面図。
【図１１】本発明の実施例７を説明する図であり、（ａ）は歪検出素子の平面図、（ｂ）は歪抵抗ブリッジの位置と出力の関係を示す特性図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明するが、本発明は下記の実施形態例に限定されるものではない。まず、本発明が適用される圧力測定装置の例を図１、図２とともに説明する。
【００１１】
本実施形態における圧力測定装置は、例えば車両に搭載される高圧センサとして構成され、エンジンの燃料圧、ブレーキ油圧、各種ガス圧等の測定に用いられる。
【００１２】
図１の圧力測定装置１００において、１１は圧力が導入される圧力ポートである。この圧力ポート１１は、軸方向一端に圧力導入口１２ａが形成された中空筒状の圧力導入部１２と、該圧力導入部１２の軸方向他端（上部）に形成された例えば円筒状のフランジ１３と、該フランジ１３の中央部位に立設された基台１４とを備えている。
【００１３】
前記圧力導入部１２の圧力導入孔１２ｈａは、フランジ１３の中央部と基台１４の上部表面より若干低い高さの部位まで連続して穿設されている。
【００１４】
基台１４の上部表面には圧力導入孔１２ｈａを介して導入された圧力によって変形し歪を生じる起歪体１５が配設されている。起歪体１５の受圧面（基台１４側の面）とは反対の面には、起歪体１５の変形（歪）に応じた電気信号を出力する複数の歪抵抗ブリッジを備えた歪検出素子１６が接合されている。
【００１５】
歪検出素子１６は１つのチップ上に複数の歪抵抗ブリッジが設けられた半導体チップとして構成される。
【００１６】
１７は基台１４に設けられた基板であり、この基板１７には、歪検出素子１６から出力された各検出信号を増幅するアンプ、そのアンプのアナログ出力信号をデジタル信号に変換するＡ−Ｄ変換器、そのデジタル信号に基づいて後述する補正演算を行うデジタル信号演算処理回路、各種データが格納されたメモリおよびコンデンサ１８等が搭載されている。
【００１７】
前記フランジ１３の外周部の上面には、基台１４、起歪体１５、歪検出素子１６、基板１７およびコンデンサ１８を覆うカバー１９の、開口された軸方向一端の周縁部が固設されている。
【００１８】
このカバー１９の軸方向他端を閉塞する閉塞板１９ａの、中央よりの所定径範囲は切り欠かれており、その切欠部には例えば樹脂等により形成され、圧力測定装置１００で検出された検出圧力値を外部に出力するためのコネクタ２０が挿入されている。
【００１９】
コネクタ２０の一端はカバー１９内においてカバー１９に固定され、コネクタ２０の他端はカバー１９から外部へ露出している。
【００２０】
このコネクタ２０の内部には、例えばインサート成型により挿入された棒状のターミナル２１を有している。このターミナル２１は、例えば電源用、接地用、信号出力用の３本で構成され、各ターミナル２１の一端は前記基板１７に接続されており、他端が図示省略の外部コネクタに接続されることによって、自動車のＥＣＵ等へ配線部材を介して電気的に接続される。
【００２１】
また、図２の圧力測定装置は、歪検出素子１６が接合される起歪体の受圧面が長方形ダイアフラムとして形成された装置の例を示している。図２において図１と同一部分は同一符号をもって示している。図２の圧力測定装置２００では、歪検出素子１６が設けられる起歪体の構成を図１のものと異なるように構成している。
【００２２】
すなわち、圧力導入部１２の圧力導入孔１２ｈｂの、基台１４側の歪検出素子１６に対向する先端部１２ｈｂｔを、長方形ダイアフラムの面形状と同一に形成し、その先端部１２ｈｂｔと対向する基台１４の上表面に歪検出素子１６を配設している。
【００２３】
したがって図２の基台１４における、前記先端部１２ｈｂｔと歪検出素子１６の間の部位は長方形ダイアフラム（起歪体）として形成され、その長方形ダイアフラムの前記先端部１２ｈｂｔ側の面が受圧面２２となる。図２におけるその他の部分は図１と同様に構成されている。
【００２４】
次に、前記歪検出素子１６の複数の歪抵抗ブリッジと基板１７に搭載された各回路部品の回路構成を図３とともに説明する。図３において、３０ａ〜３０ｃは、歪検出素子１６の複数の歪抵抗ブリッジを示している。この歪抵抗ブリッジは起歪体１５（ダイアフラム）の変形に応じて歪むことで抵抗値が変化する抵抗ゲージをブリッジ接続して構成されている。
【００２５】
歪抵抗ブリッジ３０ａ〜３０ｃの出力信号（圧力に相当するブリッジ信号）は、アンプ３１ａ〜３１ｃによって増幅され、その増幅出力信号はＡ−Ｄ（アナログ−デジタル）変換器３２ａ〜３２ｃによってデジタル信号に変換される。
【００２６】
３３は、Ａ−Ｄ変換器３２ａ〜３２ｃの出力信号に基づいて、例えば１つの歪抵抗ブリッジ３０ａで検出された圧力値をその他の歪抵抗ブリッジ３０ｂ，３０ｃの検出圧力値によって補正する演算処理を行って、その補正した圧力値を圧力検出装置の検出値として出力するデジタル信号演算処理回路である。
【００２７】
このデジタル信号演算処理回路３３は、前記補正演算処理に限らず、複数の歪抵抗ブリッジの検出圧力値同士の比較や、歪抵抗ブリッジの検出圧力値と予め不揮発メモリ３４に記憶しておいた規定圧力値との比較を行って、測定対象機器の劣化や歪検出素子１６の劣化を判定し、その判定時に故障信号を出力する等の処理も行う。
【００２８】
尚、電圧源３５から歪抵抗ブリッジ３０ａ〜３０ｃへの電力の供給およびデジタル信号演算処理回路３３からの各信号の出力は、図１、図２のターミナル２１を介して行われる。
【００２９】
前記不揮発メモリ３４は、その他の回路部品とは異なる回路チップに搭載されていてもよい。また、前記歪抵抗ブリッジの設置個数は複数個であれば、図３の３個に限るものではない。また、デジタル信号演算処理回路３３の代わりに前記補正演算をアナログ回路で行うように構成してもよい。
【実施例１】
【００３０】
以下に説明する実施例１〜実施例７を表す図４〜図１１において、歪検出素子１６は、圧力導入部１２から導入された圧力に応じて変形する歪、圧力を検出するものであり、図１、図２と同一部分は同一符号をもって示している。
【００３１】
図４は本実施例１における歪検出素子１６を示し、歪検出素子１６には縦、横等間隔に、例えば２５個の歪抵抗ブリッジ３００が配設されている。本実施例１では、歪検出素子１６の略中心部に配設した歪抵抗ブリッジを中央側歪抵抗ブリッジ３００ａとし、その外周側に配設した歪抵抗ブリッジを外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ〜３００ｎとする。尚、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａは１つに限らず複数個設けてもよい。
【００３２】
そして、外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ〜３００ｎで検出された圧力値によって、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａで検出された圧力値を補正し（図３のデジタル信号演算処理回路３３による）、その補正した圧力値を圧力検出装置の検出圧力値として出力する。
【００３３】
上記構成によれば、例えば歪検出素子１６を測定対象機器に装着する（起歪体１５に接合する）際の、固定時（ネジ締めなど）の外力は外周側に加わるため、その外力による歪検出素子１６の変形は、外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ〜３００ａにより検出される。
【００３４】
したがって、この外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ〜３００ｎの検出出力によって、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａの検出出力を補正することにより、前記外力による誤差をキャンセルすることができる。これによって圧力検出装置の検出精度が高められる。
【実施例２】
【００３５】
図５は本実施例２の構成を表しているが、歪検出素子１６の構成は図４と同一である。本実施例２では、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａの検出圧力値を装置の検出圧力値として出力する一方、外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ〜３００ｎの検出歪と不揮発メモリ３４に予め格納された外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ〜３００ｎの設定歪値とを比較し、その偏差によって測定対象機器の経時劣化を判別し、経時劣化と判定されたときに故障信号を出力する（図３のデジタル信号演算処理回路３３から出力する）。
【００３６】
またこの際、例えば前記経時劣化が原因で前記検出歪値が著しく大きい値又は小さい値とならないうちに故障信号を出力する。
【００３７】
一般に、測定対象機器の経時劣化、例えばクリープは図５（ａ）の破線で示すようにチップ端（歪検出素子１６の端部）から中央に向かって進展するので、本実施例２のように外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ〜３００ｎにより歪を検出することにより、早期にクリープを検出し経時劣化を判定することができる。尚、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａは１つに限らず複数個でもよい。
【実施例３】
【００３８】
図６は本実施例３の構成を表しており、歪検出素子１６には、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａが略中心部に設けられ、外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ〜３００ｅが歪検出素子１６の四隅（チップ角）に各々設けられている。
【００３９】
本実施例３では、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａの検出圧力値を装置の検出圧力値として出力する一方、外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ〜３００ｅの検出歪と不揮発メモリ３４に予め格納された外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ〜３００ｅの設定歪値とを比較し、その偏差によって測定対象機器および歪検出素子１６の経時劣化を判別し、経時劣化と判定されたときに故障信号を出力する（図３のデジタル信号演算処理回路３３から出力する）。
【００４０】
またこの際、例えば前記経時劣化が原因で前記検出歪値が著しく大きい又は小さい値とならないうちに故障信号を出力する。
【００４１】
一般に、チップ角（歪検出素子１６の四隅部分）はクラックが発生し易いので、本実施例３のように外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ〜３００ｅにより歪を検出することにより、早期にクラックを検出し経時劣化を判定することができる。尚、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａは１つに限らず複数個でもよい。
【実施例４】
【００４２】
図７は本実施例４の構成を表しており、歪検出素子１６には、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａが略中心部に設けられ、該中央側歪抵抗ブリッジ３００ａから外周方向に所定間隔隔てて外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ、３００ｃが直線状に各々設けられている。
【００４３】
本実施例４では、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａの検出圧力値を装置の検出圧力値として出力する一方、外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ、３００ｃの検出歪と不揮発メモリ３４に予め格納された外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ、３００ｃの設定歪値とを比較し、その偏差によって測定対象機器の経時劣化を判別し、経時劣化と判定されたときに故障信号を出力する（図３のデジタル信号演算処理回路３３から出力する）。
【００４４】
またこの際、例えば前記経時劣化が原因で前記検出歪値が著しく大きい又は小さい値とならないうちに故障信号を出力する。
【００４５】
一般に、測定対象機器の経時劣化、例えばクリープは外周方向から中央に向かって進展するので、本実施例４のように外周側歪抵抗ブリッジ３００ｂ、３００ｃにより歪を検出することにより、早期にクリープを検出し経時劣化を判定することができる。尚、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａは１つに限らず複数個でもよい。
【実施例５】
【００４６】
図８は本実施例５の構成を表しており、歪検出素子１６には、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａ（Ｐ1）が略中心部に設けられ、外周側には外周側歪抵抗ブリッジ３００ｎ（Ｐ2）設けられている。
【００４７】
図８の構成において、圧力検出時に、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａの検出圧力値（Ｐ1）が外周側歪抵抗ブリッジ３００ｎの検出圧力値（Ｐ2）よりも小さくなったら故障信号を出力する。圧力検出時には、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａの検出圧力値（Ｐ1）の方が外周側歪抵抗ブリッジ３００ｎの検出圧力値（Ｐ2）よりも大きいはずであるから、Ｐ1＜Ｐ2の場合に故障であることが判別できる。
【実施例６】
【００４８】
図９は、本発明を、受圧面（２２）が図２の長方形ダイアフラムと同一形状である装置に適用した実施例６の構成を表している。図９において、歪検出素子１６には、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａ（Ｐ1）が受圧部範囲内の略中心部に設けられ、外周側には外周側歪抵抗ブリッジ３００ｎ（Ｐ2）が設けられている。
【００４９】
上記構成において、まず歪検出素子１６を、図２に示す長方形ダイアフラムを有した基台１４に装着しネジ締めなどにより固定する際の外力は外周側歪抵抗ブリッジ３００ｎ（Ｐ2）の配設部位に加わり、さらに中央側歪抵抗ブリッジ３００ａ（Ｐ1）の配設部位にも加わる。このため、前記ネジ締め時の外力による歪（圧力）は前記両方の歪抵抗ブリッジ３００ａ，３００ｎにより検出される。
【００５０】
次に、図９（ｂ）の破線で示す受圧部範囲に設けられた中央側歪抵抗ブリッジ３００ａは、図２に示した圧力導入孔１２ｈｂ内へ圧力が導入され受圧面２２が加圧されたときに、検出圧力が大となる。これに対して受圧部範囲外の外周部に設けられた外周側歪抵抗ブリッジ３００ｎの、前記加圧時の検出圧力値は中央側歪抵抗ブリッジ３００ａの検出圧力値に比べて極めて小さい。
【００５１】
このため、前記ネジ締め固定時と圧力導入による受圧時の加圧状態と中央側歪抵抗ブリッジ３００ａおよび外周側歪抵抗ブリッジ３００ｎの各出力の関係は、図９（ｃ）のようになる。図９（ｃ）において、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａの検出圧力値Ｐ1には前記ネジ締め固定時の外力による検出圧力と受圧時の検出圧力の両方を含んでいるのに対し、外周側歪抵抗ブリッジ３００ｎの検出圧力値Ｐ2は前記ネジ締め固定時の外力による検出圧力がほとんど占める。
【００５２】
したがって、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａの検出圧力値Ｐ1と外周側歪抵抗ブリッジ３００ｎの検出圧力値Ｐ2の差（Ｐ1−Ｐ2）を求めることにより、前記ネジ締め固定時の外力による検出圧力がほとんどキャンセルされ、略受圧時の検出圧力のみを出力することができる。これによって、前記ネジ締め固定時の外力による検出圧力の誤差が補正され、検出精度が高められる。
【００５３】
また、中央側歪抵抗ブリッジ３００ａおよび外周側歪抵抗ブリッジ３００ｎの検出圧力値Ｐ1，Ｐ2とその差分との相関性を予め図３の不揮発メモリ３４に記憶しておき、その相関性が規定値を超えて外れた時には、故障信号を出力し、圧力値が比較的大きい、受圧部範囲内に設けられた中央側歪抵抗ブリッジ３００ａの検出圧力値Ｐ1を、装置の検出圧力値とする。
【００５４】
図１０は、実施例６の他の実施形態を示す歪検出素子１６の平面図である。図１０において、破線で示す受圧部範囲内に設けた第１の歪抵抗ブリッジ３０１（Ｐ1）における、該歪抵抗ブリッジ３０１に最も近い歪検出素子１６の周縁部までの配設距離と、受圧部範囲外に設けた第２の歪抵抗ブリッジ３０２（Ｐ2）における、該歪抵抗ブリッジ３０２に最も近い歪検出素子１６の周縁部までの配設距離は等しく設定されている。
【００５５】
このように構成することにより、前記ネジ締め固定時の外力は歪検出素子１６の外周側から内側へ向けてほぼ均等に伝わるため、第１の歪抵抗ブリッジ３０１と第２の歪抵抗ブリッジ３０２の前記外力による各検出圧力値は等しくなり、検出圧力値Ｐ1，Ｐ2の差をとることにより前記外力による成分は完全にキャンセルされ、検出精度が一層高くなる。
【実施例７】
【００５６】
本実施例７では、図１１のように、歪検出素子１６に設けられた中央側、外周側の各歪抵抗ブリッジ３００ａ，３００ｎの検出圧力値が両方とも異常に変化、例えば図１１（ｂ）のように大幅に低下した（Ｐ1，Ｐ2→Ｐ1’，Ｐ2’）場合、受圧部範囲に設けられている中央側歪抵抗ブリッジ３００ａ側の検出圧力値Ｐ1’の方を装置の圧力検出値として採用する。
【００５７】
これは、圧力値が比較的大となる、受圧部範囲内に設けられた中央側歪抵抗ブリッジ３００ａの方が信頼性が高いためである。
【００５８】
したがって実施例７によれば圧力検出装置とし信頼性が高い。
【符号の説明】
【００５９】
１１…圧力ポート
１２…圧力導入部
１２ａ…圧力導入口
１２ｈａ，１２ｈｂ…圧力導入孔
１２ｈｂｔ…先端部
１３…フランジ
１４…基台
１５…起歪体
１６…歪検出素子
１７…基板
１８…コンデンサ
１９…カバー
１９ａ…閉塞板
２０…コネクタ
２１…ターミナル
２２…受圧面
３０ａ〜３０ｃ，３００ａ〜３００ｎ，３０１，３０２…歪抵抗ブリッジ
３１ａ〜３１ｃ…アンプ
３２ａ〜３２ｃ…Ａ−Ｄ変換器
３３…デジタル信号演算処理回路
３４…不揮発メモリ
３５…電圧源
１００，２００…圧力測定装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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