(57)【要約】【課題】ＧＨｚ帯域を含むより広帯域にわたって虚数部透磁率μ”の分布が得られる近傍界用電波吸収シートを提供する。【解決手段】本発明の近傍界用電波吸収シートは、偏平状の軟磁性金属粉末と、フェライト粉末と、樹脂とを含み、前記偏平状の軟磁性金属粉末が水平配向しており、前記偏平状の軟磁性金属粉末の間に前記フェライトが散在する構造を有することを特徴とする。【選択図】図１
2014192327.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏平状の軟磁性金属粉末と、フェライト粉末と、樹脂とを含み、
前記偏平状の軟磁性金属粉末が水平配向しており、前記偏平状の軟磁性金属粉末の間に前記フェライト粉末が散在する構造を有することを特徴とする近傍界用電波吸収シート。
【請求項２】
前記フェライト粉末が、マグネトプランバイト型またはフェロックスプラナ型の六方晶フェライト粉末である請求項１に記載の近傍界用電波吸収シート。
【請求項３】
前記偏平状の軟磁性金属粉末が、該粉末間の絶縁を目的とした自己酸化被膜を有しない請求項１または２に記載の近傍界用電波吸収シート。
【請求項４】
偏平状の軟磁性金属粉末と、フェライト粉末と、樹脂と、有機溶媒とを混合してスラリーを作製する工程と、
該スラリーをドクターブレード法によりシート状の成形体に加工する工程と、
該成型体を、前記樹脂の軟化点以上の温度下でプレスする工程と、
を有することを特徴とする近傍界用電波吸収シートの製造方法。
【請求項５】
前記フェライト粉末が、マグネトプランバイト型またはフェロックスプラナ型の六方晶フェライト粉末である請求項４に記載の近傍界用電波吸収シートの製造方法。
【請求項６】
前記偏平状の軟磁性金属粉末が、該粉末間の絶縁を目的とした酸化処理を施されていない請求項４または５に記載の近傍界用電波吸収シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器や通信機器における余分な放射電波を抑制するために使用される近傍界用電波吸収シートおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器や通信機器の小型化・軽量化に伴い、電子回路に装着される部品の実装密度も高くなっている。そのため、電子部品から放射される電波に起因して、電子部品同士間あるいは電子回路同士間において電波干渉が生じることによる、電子機器などの誤動作が問題となる。
【０００３】
この問題を防ぐため、余分な放射電波を熱に変換する近傍界用の電波吸収シートが電子機器などに実装されている。この電波吸収シートは厚さが０．１〜２ｍｍであることから、電子部品や電子回路近傍に挿入することが可能であり、加工が容易で形状自由度も高い。そのため、電波吸収シートは電子機器などの小型化・軽量化に適応することができ、電子機器などのノイズ対策部品として広く用いられている。
【０００４】
典型的な電波吸収シートは、偏平状に加工された軟磁性金属粉末と樹脂とからなり、軟磁性金属粉末の磁気損失によって電波を熱に変換する仕組みである。よって、電波吸収シートの電波吸収性能は、軟磁性金属粉末の透磁率に依存する。一般に透磁率は、実部透磁率μ’と虚数部透磁率μ”を用いて複素透磁率μ＝μ’−ｊ・μ”で表されるが、電波吸収シートのような磁気損失を利用する場合には虚数部透磁率μ”が重要になる。すなわち、吸収したい電波ノイズの周波数帯域にわたって、虚数部透磁率μ”が分布することが重要である。以下、本明細書では、周波数に対する虚数部透磁率μ”の分布を「μ”分散」と呼ぶ。
【０００５】
磁気損失は、ヒステリシス損失、渦電流損失、および残留損失の３つからなるが、電波吸収シートによって抑制しようとするような電波ノイズは、１ＭＨｚ〜１ＧＨｚ程度の高周波帯域にあり、その帯域での磁気損失は渦電流損失および残留損失が支配的となる。また、残留損失としては主に磁気共鳴が重要である。
【０００６】
特許文献１には、偏平状に加工された単一組成の軟磁性金属粉末と樹脂とからなり、軟磁性金属粉末の比表面積を所定値以上となるように加工することで、高周波側で新たな磁気共鳴が出現し、単一組成であってもμ”分散が広帯域で得られる技術が記載されている。
【０００７】
特許文献２として、酸化物軟磁性材料である六方晶フェライトを用いた電波吸収シートも知られている。六方晶フェライトにはＧＨｚ帯域にて磁気共鳴を示す材料が多くあり、構成元素の一部を他元素で置換することで共鳴周波数を制御することができるため、ＧＨｚ帯域の電波を吸収する電波吸収体として適している。
【０００８】
μ”分散を広帯域で得るべく複数種の磁性材料を組み合せた電波吸収シートとしては、複数種の軟磁性金属粉末を混合したもの（特許文献３）、複数種の六方晶フェライトを混合したもの（特許文献４）、軟磁性金属粉末の表面をフェライト層でコーティングしたもの（特許文献５）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−２１０５１０号公報
【特許文献２】特開２００６−１３７６５３号公報
【特許文献３】特開２００４−１１１９５６号公報
【特許文献４】特開平１１−３５４９７２号公報
【特許文献５】特開２００１−０６０７９１ 号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
近年、電子機器などの高性能化は急速に進んでおり、使用する周波数はますます高くなる傾向にある。例えば、パソコンでは更なる高速化が求められ、ＣＰＵの駆動周波数はＧＨｚ帯に達しようとしている。このような電子機器などの多機能化や融合が進む一方で、電子機器などから放射される余分な電波の周波数も高くなり、その放射電波による機能干渉や誤動作も従来に増して心配される。また、電子回路には様々な電子部品が高密度で実装されており、様々な周波数の余分な電波が放射されるため、狭い周波数帯域で機能する電波吸収シートでは対応できなくなっている。そのため、μ”分散がＧＨｚ帯域を含むより広帯域で得られる電波吸収シートの開発が望まれている。
【００１１】
しかしながら、特許文献１の技術では、単一組成の軟磁性金属粉末を用いており、比較的広帯域でμ”分散が得られるとはいえ、特にＧＨｚ帯域でのμ”分散が不十分である。
【００１２】
特許文献２の六方晶フェライトは合金磁性体とは異なって電気抵抗が非常に高いため、渦電流による磁気損失はほとんど見込めない。そのため、六方晶フェライトを使用した電波吸収シートのμ”分散は、磁気共鳴によるものだけであるために、ＧＨｚ帯とはいえ比較的狭い帯域となる。
【００１３】
特許文献３は、複数種の軟磁性金属粉末を混合したとしてもＧＨｚ帯域でのμ”分散が不十分であるのは特許文献１と同様である。特許文献４は、複数種の六方晶フェライトを混合したとしても、１つ１つの材料に起因するμ”分散のピークは狭いため、幅広い周波数帯域でμ”分散を得るためには、共鳴周波数の異なる多数の材料を組み合せなければならず、効率的でない。
【００１４】
特許文献５は、軟磁性金属粉末の表面にめっき法でフェライト層を成長させるものであり、量産技術が確立されていないために少量しか合成できない。また、六方晶フェライトの磁気共鳴周波数は部分的な元素置換によって制御することができるが、このようなめっき法で元素置換を制御するような技術は確立されていない。
【００１５】
以上のように、従来の技術ではμ”分散がＧＨｚ帯域を含むより広帯域で得られる電波吸収シートは実用的には得られていない。
【００１６】
そこで本発明は、上記課題に鑑み、ＧＨｚ帯域を含むより広帯域にわたって虚数部透磁率μ”の分布が得られる近傍界用電波吸収シートおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成するべく、本発明者が鋭意検討した結果、比較的広帯域でμ”分散を得ることができる扁平状の軟磁性金属粉末の間に、該軟磁性金属粉末の磁気共鳴よりも高いＧＨｚ帯域の周波数で磁気共鳴を示すフェライト粉末が散在する構造を有する電波吸収シートによれば、ＧＨｚ帯域を含むより広帯域にわたってμ”分散を得ることができることを見出し、本発明を完成した。
【００１８】
すなわち、本発明の近傍界用電波吸収シートは、偏平状の軟磁性金属粉末と、フェライト粉末と、樹脂とを含み、前記偏平状の軟磁性金属粉末が水平配向しており、前記偏平状の軟磁性金属粉末の間に前記フェライト粉末が散在する構造を有することを特徴とする。
【００１９】
この近傍界用電波吸収シートにおいて、前記フェライト粉末は、マグネトプランバイト型またはフェロックスプラナ型の六方晶フェライト粉末であることが好ましい。また、前記偏平状の軟磁性金属粉末は、該粉末間の絶縁を目的とした自己酸化被膜を有しないことが好ましい。
【００２０】
本発明の近傍界用電波吸収シートの製造方法は、偏平状の軟磁性金属粉末と、フェライト粉末と、樹脂と、有機溶媒とを混合してスラリーを作製する工程と、該スラリーをドクターブレード法によりシート状の成形体に加工する工程と、該成型体を、前記樹脂の軟化点以上の温度下でプレスする工程と、を有することを特徴とする。
【００２１】
この製造方法において、前記フェライト粉末は、マグネトプランバイト型またはフェロックスプラナ型の六方晶フェライト粉末であることが好ましい。また、前記偏平状の軟磁性金属粉末は、該粉末間の絶縁を目的とした酸化処理を施されていないものであることが好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の近傍界用電波吸収シートは、ＧＨｚ帯域を含むより広帯域にわたって虚数部透磁率μ”の分布が得られる。また、本発明の近傍界用電波吸収シートの製造方法によれば、ＧＨｚ帯域を含むより広帯域にわたって虚数部透磁率μ”の分布が得られる近傍界用電波吸収シートを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施例２で作製した、本発明の一実施形態による近傍界用電波吸収シートの断面構造を示すＳＥＭ写真である。
【図２】比較例１で作製した近傍界用電波吸収シートの断面構造を示すＳＥＭ写真である。
【図３】比較例１、実施例１〜３における虚数部透磁率特性を示すグラフである。
【図４】比較例２、実施例４〜６における虚数部透磁率特性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の近傍界用電波吸収シートおよびその製造方法の実施形態について説明する。
【００２５】
本発明の一実施形態による近傍界用電波吸収シート（以下、単に「電波吸収シート」という。）は、偏平状の軟磁性金属粉末と、フェライト粉末と、樹脂とを含む。そして、本実施形態は、偏平状の軟磁性金属粉末が水平配向しており、この偏平状の軟磁性金属粉末の間にフェライト粉末が散在する構造を有することを特徴とする。
【００２６】
このような構造の例を図１に示す。図１において、左右に延びる偏平状の物質が軟磁性金属粉末であり、互いに水平配向していることがわかる。また、この軟磁性金属の間に散在している物質がフェライト粉末である。
【００２７】
偏平状の軟磁性金属粉末は、比較的広帯域でμ”分散を生じさせる。一方、フェライト粉末は軟磁性金属粉末の磁気共鳴よりも高いＧＨｚ帯域の周波数で磁気共鳴を示す。よって、これらの材料を複合することにより、ＧＨｚ帯域を含むより広帯域にわたってμ”分散を得ることができる。
【００２８】
なお、特許文献５のように軟磁性金属粉末にフェライトをコーティングすると、電波吸収シートの折り曲げ等を行った際に、フェライトが割れてしまうおそれがある。また、フェライトは軟磁性金属粉末に比べ飽和磁化が半分以下であり、軟磁性金属粉末をフェライトで覆うと、単位体積あたりの軟磁性金属粉末の割合が相対的に低下し、それに伴い電波吸収シートの平均的な飽和磁化すなわち放射電波の遮蔽割合が低下してしまう。一方、本発明のように、扁平状の軟磁性金属粉末よりも小さいフェライト粉末が、扁平状の軟磁性金属粉末の近傍に分布する場合、軟磁性金属粉末とフェライト粉末による局所的な磁気結合が生じ、これが、μ’’の周波数分散を生じさせる。
【００２９】
本実施形態の電波吸収シートの好適な態様を、製造方法の説明と共に示す。
【００３０】
本実施形態の電波吸収シートの製造方法として、まずは、偏平状の軟磁性金属粉末と、フェライト粉末と、樹脂と、有機溶媒とを混合してスラリーを作製する。
【００３１】
偏平状の軟磁性金属粉末の組成は特に限定されず、Ｆｅ−Ｓｉ系、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、Ｆｅ−Ｃｏ系、Ｆｅ基アモルファス系、Ｃｏ基アモルファス系などの軟磁性金属を用いることができる。偏平状の軟磁性金属粉末が生じさせるμ”分散としては、ＭＨｚ帯域を中心にＧＨｚ帯域の一部にまで延びているものや、主にＧＨｚ帯域に位置するものが挙げられる。このような材料の選定基準としては、飽和磁化ができる限り高い材料を選定することがポイントである。
【００３２】
偏平状の粉末は、球形に近い原料粉末を機械的に加工することによって作製することができる。原料粉末は球形であることが好ましく、一般的な粉末合成方法であるガスアトマイズまたは水アトマイズによって得ることができる。原料粉末の平均粒径は１０〜１００μｍとすることが好ましい。偏平状の粉末面内の反磁界の影響が無視できるようになるために、偏平状の粉末のアスペクト比は１０以上とすることが好ましいところ、原料粉末の平均粒径が１０μｍ未満の場合、アスペクト比が大きな偏平状の粉末が得られにくく、原料粉末の平均粒径が１００μｍ超えの場合、偏平加工に長時間要するために非効率になるからである。偏平状の粉末のアスペクト比は大きいほど好ましいが、１０以上では粉末面内の反磁界減少効果が飽和する。偏平加工についてはボールミル、アトライタ、スタンプミルなどの機械加工にて行うことができる。
【００３３】
なお、本明細書において「平均粒径」は、レーザー回折・散乱法によって求めた粒度分布における積算値５０％での粒径（５０％累積粒径：Ｄ５０）を意味する。また、「アスペクト比」は、ＳＥＭにて観察したときの、偏平状の軟磁性金属粉末の長さ／厚さの比の値を、視野中の１０個の粉末について平均した値を意味するものとする。本実施形態では、ＳＥＭにて観察したときの、視野中の１０個の偏平状の軟磁性金属粉末の長さ平均は３０〜７０μｍ程度、厚さ平均は１〜２μｍ程度となる。軟磁性金属粉末は電気抵抗が低いため、ＧＨｚ帯域でのスキンデプス（電波の侵入深さ）を考えると、軟磁性金属粉末の厚さは２μｍ以下にすることが好ましい。なお、偏平加工によって粉末には残留応力が生じるため、それによる透磁率の低下を防ぐために、偏平加工後に、軟磁性金属粉末に対して不活性雰囲気中で焼鈍処理を行うことが好ましい。焼鈍条件は、例えば３００〜７００℃、１〜５時間とすることができる。
【００３４】
フェライト粉末の結晶系や組成は特に限定されず、スピネルフェライト、六方晶フェライト、ガーネットフェライトなどを用いることができる。ＧＨｚ帯域でのμ”分散の広帯域化を考えると、ＧＨｚ帯域で磁気共鳴示す、六方晶フェライト粉末を用いることが好ましい。
【００３５】
六方晶フェライトは大別するとマグネトプランバイト型またはフェロックスプラナ型に分類でき、本実施形態においては、いずれもタイプの六方晶フェライトも使用することができる。マグネトプラムバイト型はＭＦｅ１２Ｏ１９（Ｍ＝Ｂａ，Ｓｒ，Ｐｂ）の組成式で表される。Ｆｅサイトの一部をＣｏ，Ｔｉ，Ｍｎなどの元素によって置換することでＧＨｚ帯域にて磁気共鳴が現れることが知られており、その共鳴周波数は置換元素、置換量によって制御する。フェロックスプラナ型は一般にＷ，Ｘ，Ｙ，ＺおよびＵ型に分類されるが、合成の容易さから考えるとＹ型およびＺ型が好ましい。Ｙ型はＢａ２Ｍｅ２Ｆｅ１２Ｏ２２で表され、ＭｅをＺｎ，Ｃｏ，Ｍｎなどから選択するとＧＨｚ帯域で磁気共鳴が発現する。また、Ｚ型はＢａ３Ｍｅ２Ｆｅ２４Ｏ４１で表され、ＭｅをＣｏ，Ｃｕ，Ｚｎなどから選択するとＧＨｚ帯域で磁気共鳴が発現する。
【００３６】
以上のように、フェライトは結晶系や組成を考えると数多くの組合せが考えられるが、本実施形態においては特に結晶型や組成を限定するものはなく、狙いとする共鳴周波数が得られる任意のフェライトを用いることができる。
【００３７】
フェライト粉末の作製方法は以下のとおりである。所望の組成になるように原料を秤量し、湿式ボールミルにより混合を行なう。次いで、乾燥したボールミル粉末を一軸プレス成型してグリーン体の作製を行い、大気中で９００〜１３００℃の温度範囲で１〜１０時間の焼成を行なう。得られたフェライト焼結体をボールミルまたはジェットミル加工によって、平均粒径が０．１〜３μｍに粉砕する。平均粒径の定義は既述のとおりである。
【００３８】
なお、フェライト粉末の平均粒径は、現実的に製造できる粉砕最小粒径を考慮して、０．１μｍを下限にしているが、その他の量産的な手法によって０．１μｍよりも更に微細に粉砕することができれば、０．１μｍ未満であっても構わない。一方、フェライト粉末の平均粒径は最大で好ましくは３μｍ、より好ましくは１μｍである。フェライト粉末の平均粒径が３μｍを超えると、偏平状の軟磁性金属粉末との複合シートを作製したときに、複合シート中に充填できる軟磁性金属偏平粉末の割合が少なくなる、偏平状の軟磁性金属粉末の配向度が低下するといった不都合が生じる。
【００３９】
なお、上記では不定形の六方晶フェライト粉末の合成方法について述べたが、その他の水熱合成法などを用いて作製した亀甲状の六方晶フェライト粉末も使用することができる。
【００４０】
樹脂は、結合剤、可塑性の付与および軟磁性粉末同士の絶縁隔離といった機能がある。樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、セルロース樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリ塩化ビニール樹脂、ポリブチラール樹脂などが挙げられ、樹脂材料の選定については目的に応じて適宜選定すればよい。また、有機溶媒としては特に限定されず、トルエン、酢酸ブチル、酢酸エチルなどを用いることができる。有機溶媒は後続の工程で蒸発し、電波吸収シートには含まれない。
【００４１】
本実施形態の電波吸収シートを構成する材料の割合としては、体積比として、偏平状の軟磁性金属粉末が３０〜７０％、フェライト粉末が１０〜５０％、樹脂が１０〜３０％とすることが好ましい。偏平状の軟磁性金属粉末の配合比が少ない場合は、その磁気損失に起因するμ”分散が十分に得られず、配合比が多くなると、六方晶フェライト粉末の磁気損失に起因するμ”分散が得られなくなる。また、樹脂の配合比が少ない場合には、電波吸収シートの可塑性が失われてしまう。樹脂の配合比が多い場合には、電波吸収シート成型時に、偏平状の軟磁性金属粉末が水平に配向しなくなることに加え、電波吸収シートとして機能するために必要なμ”値を満足することができない。
【００４２】
次に、スラリーをドクターブレード法によりシート状に成形・乾燥して、成形体を作製する。このときの剪段応力によって偏平状の軟磁性金属偏平粉末が互いに水平方向に配向し、かつ、偏平状の軟磁性金属粉末の間にフェライト粉末が散在する構造を得ることができる。
【００４３】
シート状の成形体は、偏平状の軟磁性金属粉末の配向性を高めるために、樹脂の軟化点以上（例えば５０〜１００℃程度）に加熱した状態でプレスを施すことが好ましい。得られる電波吸収シートの厚さは０．０５〜２ｍｍ程度とすることができる。
【００４４】
以上の工程により、本実施形態の電波吸収シートを作製することができる。ここで、本実施形態では、偏平状の軟磁性金属粉末の間にフェライト粉末が散在する構造が形成できる。この構造は、軟磁性金属偏平粉末の絶縁性を高める効果も有する点で好ましい。一般に電波吸収シートにおいて、軟磁性金属粉末同士の接触による磁気劣化を防ぐための絶縁処理として、軟磁性金属粉末の偏平加工後に酸化処理を施して、粉末表面に自己酸化被膜を形成する。このため、酸化によって磁性相の体積が減少するため、μ”値を下げる要因になる。ここで、フェライト、特に六方晶フェライトは、飽和磁化と高抵抗を有する。本実施形態では、このフェライト粉末が軟磁性金属粉末の間に分布して、偏平状の軟磁性金属粉末同士の接触を抑制することができる。
【００４５】
そのため、本実施形態では、上記のような酸化処理を施さず、表面に自己酸化被膜を有しない偏平状の軟磁性金属粉末を原料としてスラリーを作製することができる。よって、軟磁性金属粉末の酸化処理によるμ”値の低減がない。
【実施例】
【００４６】
（比較例１）
ガスアトマイズにより得た平均粒径５０μｍのＦｅ−３質量％Ｓｉ粉末を、アトライタにて偏平加工し、平均厚さ０．５μｍかつアスペクト比４２とした。その後、残留応力を除去するために、Ａｒ雰囲気中にて５５０℃、５時間の焼鈍処理を行った。次に、上記粉末表面に自己酸化被膜を形成するために、大気中にて６０℃、８時間の酸化処理を施した。この偏平状の粉末、ポリブチラール樹脂（軟化点：約７０℃、以下「ＰＶＢ」とする。）、および酢酸ブチルを混合してスラリーを作製した。偏平状のＦｅ−３質量％Ｓｉ粉末とＰＶＢの体積比は表１に示した。このスラリーをドクターブレード法によりシート状の成形体に加工し、８５℃下でプレスすることで厚さ１ｍｍの電波吸収シートを作製した。
【００４７】
（実施例１〜３）
自己酸化被膜の形成を行っていないこと以外は、比較例１と同様にして偏平状のＦｅ−３質量％Ｓｉ粉末を作製した。また、以下の手順でフェロックスプラナ型の六方晶フェライトとしてＺ型フェライトＢａ３Ｃｏ２Ｆｅ２４Ｏ４１粉末（平均粒径：０．５μｍ、共鳴周波数：４ＧＨｚ）を作製した。まず、上記組成になるように原料を秤量し、湿式ボールミルにより混合した。次いで、乾燥したボールミル粉末を一軸プレス成型してグリーン体の作製を行い、大気中で１３００℃、５時間の焼成を行った。得られた焼結体をボールミル加工によって粉砕した。
【００４８】
これら２種類の粉末、ＰＶＢ、および酢酸ブチルを混合してスラリーを作製した。偏平状のＦｅ−３質量％Ｓｉ粉末、Ｚ型フェライトＢａ３Ｃｏ２Ｆｅ２４Ｏ４１粉末、およびＰＶＢの体積比は表１に示した。このスラリーをドクターブレード法によりシート状の成形体に加工し、８５℃下でプレスすることで厚さ１ｍｍの電波吸収シートを作製した。
【００４９】
【表１】
2014192327.tif 000003
【００５０】
比較例１および実施例１〜３で作製した電波吸収シートについて、断面構造を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて観察した。代表例として実施例２のＳＥＭ写真（１万倍）を図１に、比較例１のＳＥＭ写真（５千倍）を図２に示す。図１に示すように、左右に延び互いに水平配向している偏平状のＦｅ−３質量％Ｓｉ粉末の間に、Ｚ型フェライトＢａ３Ｃｏ２Ｆｅ２４Ｏ４１粉末が散在している構造が観察された。他の実施例も同様の構造を有していた。一方、図２に示すように、比較例１では左右に延び互いに水平配向している偏平状のＦｅ−３質量％Ｓｉ粉末が観察され、互いに接触している粉末もあった。
【００５１】
また、比較例１および実施例１〜３で作製した電波吸収シートについて、ネットワークアナライザを用いたＳパラメータ法によって透磁率特性を測定した。図３に、各電波吸収シートの周波数と虚数部透磁率μ”との関係を示す。磁性材料として偏平状のＦｅ−３質量％Ｓｉ粉末のみを含む比較例１では、０．４ＧＨｚを超えるとμ”の急減が見られる。一方、磁性材料として偏平状のＦｅ−３質量％Ｓｉ粉末とＢａ３Ｃｏ２Ｆｅ２４Ｏ４１粉末を含む実施例１〜３では、０．４ＧＨｚを超えるとμ”の減少が若干見られるが、０．７ＧＨｚから再びＢａ３Ｃｏ２Ｆｅ２４Ｏ４１粉末の磁気共鳴に起因するμ”の増大が見られた。このように、本発明に従う電波吸収シートでは、ＧＨｚ帯域を含むより広帯域にわたって虚数部透磁率μ”の分布が得られた。
【００５２】
（比較例２）
ガスアトマイズにより得た平均粒径５０μｍのＦｅ４８Ｃｏ５０Ｖ２粉末を、アトライタにて偏平加工し、平均厚さ０．５μｍかつアスペクト比４５とした。その後、残留応力を除去するために、Ａｒ雰囲気中にて６００℃、５時間の焼鈍処理を行った。次に、上記粉末表面に自己酸化被膜を形成するために、大気中にて６０℃、８時間の酸化処理を施した。この偏平状の粉末、ＰＶＢ、および酢酸ブチルを混合してスラリーを作製した。偏平状のＦｅ４８Ｃｏ５０Ｖ２粉末とＰＶＢの体積比は表２に示した。このスラリーをドクターブレード法によりシート状の成形体に加工し、８５℃下でプレスすることで厚さ１ｍｍの電波吸収シートを作製した。
【００５３】
（実施例４〜６）
自己酸化被膜の形成を行っていないこと以外は、比較例２と同様にして偏平状のＦｅ４８Ｃｏ５０Ｖ２粉末を作製した。また、以下の手順でマグネトプランバイト型の六方晶フェライトとしてＢａ（ＣｏＴｉ）１．２５Ｆｅ９．５Ｏ１９粉末（平均粒径：０．５μｍ、共鳴周波数：１０ＧＨｚ）を作製した。まず、上記組成になるように原料を秤量し、湿式ボールミルにより混合した。次いで、乾燥したボールミル粉末を一軸プレス成型してグリーン体の作製を行い、大気中で１１００℃、５時間の焼成を行った。得られた焼結体をボールミル加工によって粉砕した。
【００５４】
これら２種類の粉末、ＰＶＢ、および酢酸ブチルを混合してスラリーを作製した。偏平状のＦｅ４８Ｃｏ５０Ｖ２粉末、Ｂａ（ＣｏＴｉ）１．２５Ｆｅ９．５Ｏ１９粉末、およびＰＶＢの体積比は表２に示した。このスラリーをドクターブレード法によりシート状の成形体に加工し、８５℃下でプレスすることで厚さ１ｍｍの電波吸収シートを作製した。
【００５５】
【表２】
2014192327.tif 000004
【００５６】
比較例２および実施例４〜６で作製した電波吸収シートについて、断面構造を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて観察した。実施例４〜６では、図１と同様の構造が観察され、比較例２では図２と同様の構造が観察された。
【００５７】
また、比較例２および実施例４〜６で作製した電波吸収シートについて、ネットワークアナライザを用いたＳパラメータ法によって透磁率特性を測定した。図４に、各電波吸収シートの周波数と虚数部透磁率μ”との関係を示す。磁性材料として偏平状のＦｅ４８Ｃｏ５０Ｖ２粉末のみを含む比較例２では、４ＧＨｚを超えるとμ”の急減が見られる。一方、磁性材料として偏平状のＦｅ４８Ｃｏ５０Ｖ２粉末とＢａ（ＣｏＴｉ）１．２５Ｆｅ９．５Ｏ１９粉末を含む実施例４〜６では、４ＧＨｚを超えるとμ”の減少が若干見られるが、６ＧＨｚから再びＢａ（ＣｏＴｉ）１．２５Ｆｅ９．５Ｏ１９粉末の磁気共鳴に起因するμ”の増大が見られた。このように、本発明に従う電波吸収シートでは、ＧＨｚ帯域を含むより広帯域にわたって虚数部透磁率μ”の分布が得られた。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明によれば、ＧＨｚ帯域を含むより広帯域にわたって虚数部透磁率μ”の分布が得られる近傍界用電波吸収シートおよびその製造方法を提供することができる。
【図３】
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【図４】
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【図１】
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【図２】
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