(57)【要約】【課題】有機ＥＬディスプレイの有機層を印刷するインクジェット装置を低コストで提供すること。【解決手段】インクを吐出する複数の吐出ノズルと、複数の吐出ノズルに連通する圧力発生室を画成する流路形成基板と、流路形成基板の圧力発生室に対応する領域に設けられた圧電素子と、圧電素子を制御する配線と、圧力発生室と圧電素子とを隔てる位置に設けられた振動板と、を含むインクジェット装置であって、振動板には、振動板を貫通するピンホールがあり、振動板の圧電素子側の面の前記ピンホールの位置に、インクに対して耐性のある絶縁保護層を設けたことを特徴とするインクジェット装置を用いる。【選択図】図１
2014237280.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出する複数の吐出ノズルを有するノズルプレートと、
前記複数の吐出ノズルにつながる圧力発生室を有する流路形成基板と、
前記圧力発生室に接続される振動板と、
前記振動板の前記圧力発生室の反対面に接続される圧電素子と、
前記吐出ノズルから前記インクの吐出の制御をする制御部と、
前記振動板に貫通穴があり、前記振動板の前記圧電素子側の面の前記貫通穴の位置に、前記インクに含まれる溶剤に対して耐溶剤性があり、絶縁性の保護膜である絶縁保護層と、を有するインクジェット装置であり、
前記吐出ノズルは、前記インクを吐出させる正常吐出ノズルと、前記インクを吐出させない不良吐出ノズルとを含み、前記制御部にて、前記不良吐出ノズルの代わりに前記正常吐出ノズルで前記インクを吐出することを特徴とするインクジェット装置。
【請求項２】
前記絶縁保護層は、前記圧電素子が接続されていない前記振動板の領域全てにおいて、形成されている請求項１記載のインクジェット装置。
【請求項３】
前記絶縁保護層は、ショアＡ７０以下の硬度である請求項１または２記載のインクジェット装置。
【請求項４】
前記絶縁保護層は、シリコーンゴム、フッ素化したシリコーンゴム、フッ素ゴム、シリコーンあるいはフッ素を含有するゲルのいずれか１つ以上である請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
【請求項５】
インクを吐出する複数の吐出ノズルを有するノズルプレートに、前記複数の吐出ノズルにつながるように圧力発生室を有する流路形成基板を組み合わせ、前記圧力発生室に接続されるように貫通穴を有する振動板を組み合わせ、前記振動板の前記圧力発生室の反対面に接続されるように圧電素子を組み合わせ、前記吐出ノズルから前記インクの吐出の制御をする制御部を組み合わせる組み立て工程と、
前記圧電素子の側から、前記圧電素子と前記振動板とに、絶縁保護層を形成する絶縁膜形成工程と、
からなるインクジェット装置の製造方法。
【請求項６】
前記絶縁保護層の形成方法が、溶液あるいは前駆体を塗布する方法である請求項５記載のインクジェット装置の製造方法。
【請求項７】
前記絶縁保護層の形成方法が、気相成長方法である請求項５記載のインクジェット装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は塗布プロセスによって機能膜の形成を行う装置、方法に関するものである。機能膜としては、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ（以降有機ＥＬディスプレイと称する）の有機材料からなる発光層、輸送層、注入層（以降まとめて有機層と称する）がある。装置は、この機能膜を溶媒に溶かしたインクを基板上に印刷するインクジェット装置である。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬディスプレイは、有機層の材料によって大きく低分子型と高分子型に分けることができるが、大面積の有機ＥＬディスプレイを製造しようとした場合、有機層を真空中での蒸着法で形成する低分子型よりも、大気中のプロセスで有機層を形成できる高分子型が適している。
【０００３】
さらに、高分子型の有機ＥＬディスプレイの有機層の形成方法についても各種方法があるが、材料利用効率の観点からインクジェット方式が適している。インクジェット装置は、入力信号に応じて必要なときに必要な量のインクを被印刷物上に塗布することのできる印刷装置である。特に、圧電方式（ピエゾ式）のインクジェット装置は幅広い種類のインクを目的の位置に目的の量だけ高精度に制御しながら塗布することが可能であり、現在積極的に開発が行われている。
【０００４】
一般的なインクジェット装置としては、複数の吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを有し、インクジェットヘッドの吐出ノズルと基板との位置関係を制御しながら、吐出ノズルからインクを吐出させるものである。
【０００５】
このようなインクジェット装置で有機ＥＬディスプレイを印刷するための技術として特許文献１が挙げられる。特許文献１では、複数の吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを搭載するインクジェット装置である。図６に、そのインクジェットヘッドの構成を示す。
【０００６】
図６は、インクジェットヘッドの複数の吐出チャンネルのうちの１チャンネルのみを図示した断面図である。このインクジェットヘッドが複数の吐出チャンネルを有する場合、インクジェットヘッドは紙面左右方向に図６の構造を繰り返した構造をとっている。
【０００７】
圧電方式のインクジェットヘッドは、ノズルプレート５１と、ノズルプレート５１に設けられた吐出ノズル１１と、吐出ノズル１１に連通し、インク１９が満たされた圧力発生室１２を画成する流路形成基板１３と、該流路形成基板の前記圧力発生室１２に対応する領域に設けられた圧電素子１４と、圧電素子１４を制御する信号を供給する配線１５と、前記圧力発生室１２と圧電素子１４とを隔てる位置に設けられた振動板１６とで構成される。圧電素子１４を制御する配線１５から圧電素子１４に入力される電圧の信号に応じて圧電素子１４が伸張し、その伸張が振動板１６を介して圧力発生室１２に伝達され、圧力発生室１２内に満たされているインク１９に圧力を加えて、吐出ノズル１１からインク液滴を吐出する。
【０００８】
このようなインクジェットヘッドの場合、圧力発生室１２、またこの圧力発生室１２に接続され、圧力発生室１２にインク１９を供給する流路（図中紙面手前奥方向に位置するため図示せず）の密閉性は非常に重要である。
【０００９】
圧力発生室１２や流路に密閉性が無いと、振動板１６の振動によって圧力発生室１２に発生した圧力が抜け、吐出ノズル１１に伝わるべき圧力のエネルギーが変化し、吐出の状態が変化してしまう。さらにインク１９が圧力発生室１２や流路から漏れ出す。漏れ出したインク１９は圧電素子１４と配線１５の接合部に到達し、接合部を剥離させて接合不良を引き起こす、あるいはインク１９が導電性の場合、圧電素子１４の正負の電極を導通させ、ショートさせるといった不具合を生じさせる。
【００１０】
そのため、インクジェットヘッドの製造工程においては圧力発生室１２や流路の密閉性を確保するために、上述のような構成部材の形状精度、異物などを精密に測定、検査する必要があり、特にこれらの部材の検査工程の中でもインク漏れを防止するためには、以下の理由により特に振動板１６の検査は重要である。
【００１１】
しかし、このような測定や検査工程がインクジェットヘッドの製造コストを上昇させる要因になっている。振動板１６は圧電素子１４の伸張をインク１９が満たされた圧力発生室１２に伝えることを目的とする部材であるが、圧電素子１４の伸張量は高々数十乃至数百ｎｍ程度と微小であるために、振動板１６の板厚は数μｍ乃至数十μｍ程度にする必要がある。
【００１２】
一方、この振動板１６はポリイミドなどのプラスチックのフィルムあるいはニッケルの電鋳膜などを用いるが、圧力を伝達し、インクが漏れないようにするためのベタ膜２０の部分のほかに、圧電素子１４の伸張を効率的かつ、チャンネルごとのばらつきが少なくなるように圧力発生室１２に伝達するために、圧力発生室１２の形状や圧電素子１４の形状に応じたパターン２１を有している場合が多い。
【００１３】
従って振動板１６の作成工程では、フォトリソグラフィを用いたエッチングや電鋳工程を繰り返してベタ膜２０と圧力発生室１２の形状や圧電素子１４の形状に応じたパターン２１を積層するため工程が煩雑である。そのため、インクジェットヘッドの部材コストに占める振動板１６の部材コストは小さくない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００８−６７８５０号公報
【特許文献２】特開２００９−２６８７１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかし、上述のように振動板１６は非常に薄い部材のため、微小なピンホールが存在している場合、そのピンホールからインク１９が漏れ出してしまう。さらに、振動板１６の膜中に異物が埋没している場合、製造工程の段階では圧力発生室１２の密閉性を確保できていても、そのヘッドをインクジェット装置に搭載し、稼動を始めた段階で前記膜中の異物が外れる可能性があり、ピンホールが発生する原因になる。
【００１６】
従って圧力発生室１２の密閉性を確保するために振動板１６にピンホールは存在してはいけない。そのために振動板１６のピンホールの有無を検査する工程が必要である。ピンホールの存在しない振動板１６でインクジェットヘッドを作成することで不吐出ノズルの発生確率を低減させることは可能であるが、検査のコスト、検査により不良と判定された振動板の部材コストはロスになり、インクジェットヘッドのコストが上昇する。
【００１７】
さらに、複数のインクジェットヘッドを搭載するインクジェット装置の場合、装置を構成するために必要な振動板１６の数も多いため、検査工程の歩留の低さとあわせるとさらに多数の振動板を要するため、インクジェット装置のコストアップの要因になっている。
【００１８】
そこで本発明は、上記従来の課題を解決するもので、振動板１６にピンホールがあっても、使用できるようにしたインクジェット装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記目的を達成するために、本願の第一の発明は複数の吐出ノズルを有するインクジェットヘッドを搭載しているインクジェット装置であって、該インクジェット装置は、吐出ノズルの中に不吐出のノズルが存在する場合、該不吐出ノズルが吐出すべき吐出領域に、代わりに別の吐出ノズルが吐出を行って印刷する機能を有しており、かつ、該インクジェット装置が搭載するインクジェットヘッドは吐出ノズルと吐出ノズルに連通する圧力発生室を画成する流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に対応する領域に設けられた圧電素子と、圧電素子を制御する配線と、前記圧力発生室と圧電素子とを隔てる位置に設けられた振動板と、振動板のうち、圧電素子側の面に形成されており、かつ、該インクジェットヘッド装置が印刷を行うインクに含まれる溶剤に対して耐溶剤性のある柔軟な絶縁保護層とを有し、かつ、該振動板はピンホールを有しているインクジェット装置を用いる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の構成のインクジェット装置は、ピンホールを有する振動板を搭載できる。この結果、インクジェットヘッドの作成工程において検査によってピンホールの無い振動板を選別する必要がない。また、振動板の無駄がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施の形態１におけるインクジェットヘッドの構成を示す断面図
【図２】実施の形態１におけるインクジェットヘッドの構成を示す斜視図
【図３】（ａ）〜（ｅ）振動板の製造工程を示す断面図
【図４】（ａ）〜（ｅ）振動板の製造工程に異物が存在した場合の断面図
【図５】実施の形態１、２におけるインクジェットヘッドの製造途中を示す断面図
【図６】従前のインクジェットヘッドの構成を示す断面図
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は本願の第一の発明の実施の形態を示す。インクジェットヘッド部のある１つのチャンネルのみを抜き出して図示したものである。また、図２は図１の立体的な形状を分かりやすくするために、各要素を分解した斜視図である。なお、図２では分かりやすくするために、上記の１つのチャンネルの両隣のチャンネルも図示してあり、また、吐出ノズル１１が形成されている板と、流路形成基板１３と圧電素子１４とを上下に分離して図示してある。
【００２３】
実施の形態１のインクジェット装置が有する圧電方式のインクジェットヘッドは、ノズルプレート５１と、ノズルプレート５１に設けられた吐出ノズル１１と、吐出ノズル１１に連通し、圧力発生室１２を画成する流路形成基板１３と、流路形成基板１３の圧力発生室１２に対応する領域に設けられた圧電素子１４と、圧電素子１４を制御する配線１５と、圧力発生室１２と圧電素子１４とを隔てる位置に設けられた振動板１６とで構成される。
【００２４】
ここで、圧電素子１４を制御する配線１５から圧電素子１４に入力される電圧の信号に応じて圧電素子１４が伸張し、その伸張が振動板１６を介して圧力発生室１２に伝達され、圧力発生室１２内のインク１９に圧力を加えて、吐出ノズル１１からインク液滴を吐出する。
【００２５】
＜吐出ノズル１１＞
吐出ノズル１１は、例えば、ステンレスなどの金属やセラミックの薄板のノズルプレート５１に所望の数と間隔で形成された孔である。実施の形態１のインクジェット装置では、吐出ノズル１１の中に不吐出の吐出ノズル１１が存在する場合、この不吐出ノズルが吐出すべき吐出領域に、代わりに別の吐出ノズル１１が吐出を行って印刷する機能を有する。
【００２６】
しかし、この代わりの別の吐出ノズル１１は不吐出になった吐出ノズル１１と同じノズルプレート５１上に存在していても良いし、別のノズルプレート５１上に存在していても良い。即ち、実施の形態１のインクジェット装置の別のインクジェットヘッド上の吐出ノズル１１でも構わない。
【００２７】
ノズルプレート５１上に吐出ノズル１１を形成する方法としては、レーザ加工やドリル加工、エッチング法、ニッケルの電鋳法によって形成する方法などがある。しかし、吐出ノズル１１のノズル形状の加工自由度や形状制御のし易さを考えると吐出ノズル１１はレーザ加工によって形成することが好ましい。
【００２８】
＜流路形成基板１３＞
流路形成基板１３は、ステンレスなどの金属やセラミックなどの薄板上に穴とスリットが等間隔で空けられた部材である。流路形成基板１３もレーザ加工やエッチング法などにより形成することができる。また、流路形成基板１３の構造によっては、別々に加工した複数の基板を重ね合わせて１枚の流路形成基板１３を形成するという方法で製造してもよい。ノズルプレート５１と流路形成基板とは接着材などにより接合する。接着材の種類は特に問わないが、熱硬化型接着材、２液混合型接着材、紫外線硬化型接着材、嫌気性接着材、あるいはこれらの併用効果により硬化する接着材などを用いることができる。
【００２９】
また、熱硬化接着材を用いる場合、熱膨張係数の差によるズレや反りを防ぐためにノズルプレート５１と流路形成基板１３は同一の材料であることが好ましい。
＜振動板１６＞
振動板１６は、ポリイミドなどのプラスチックのフィルムあるいはニッケルの電鋳膜などによって形成されるが、特に有機ＥＬディスプレイのインクは溶媒が芳香族など油性のものが多いため、耐溶剤性の観点からニッケルの電鋳膜を用いることが好ましい。
【００３０】
＜圧電素子１４＞
圧電素子１４は、内部に櫛歯状の正負の電極が互い違いに形成されたＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などの圧電素子材料を圧力発生室の形状に応じて加工し、配線１５を接続したものである。
【００３１】
＜配線１５＞
配線１５は圧電素子１４の正負の電極に電圧を印加し、圧電素子を伸張させるためのものである。図１中には配線１５のみの１本が図示されているが、圧電素子の正負の電極のうちもう一つの配線は図１の紙面裏側に位置するため図示していない。配線１５は圧電素子１４に異方導電フィルム（ＡＣＦ）や異方導電ペースト（ＡＣＰ）などにより接合される。
【００３２】
＜絶縁保護層１７＞
絶縁保護層１７は振動板１６の圧電素子１４側に密接するように形成されている層で、柔軟な材料で形成されている。また、絶縁保護層１７は実施の形態１のインクジェット装置が印刷するインクに含まれる溶剤に対して、耐溶剤性を有しているため、膨潤や溶解を起こさない。
【００３３】
ところで、図１、２の振動板１６には後述の理由により、貫通した孔であるピンホール１８が存在している場合があり、チャンネル毎に見れば、ある確率で圧力発生室１２にピンホール１８が存在することになる。ピンホール１８が存在する圧力発生室１２は密閉性が確保されないためインク漏れを起こすが、実施の形態１のインクジェット装置のインクジェットヘッドでは振動板１６の圧電素子１４側に絶縁保護層１７を有している。この絶縁保護層１７は本装置が吐出を行うインクに対して耐溶剤性があるため、膨潤、溶解を引き起こさない。従って、ピンホール１８を伝って圧力発生室の外に漏れたインクは絶縁保護層１７によってガードされるため、圧電素子１４や配線１５まで到達しない。
【００３４】
また、絶縁保護層１７は、振動板１６の圧電素子１４が設けられていない領域すべてに設けるのがよい。ピンホール１８を検出する検出工程を不要とできる。ピンホール１８上に絶縁保護層１７を形成するのでなく、ピンホール１８を検出せず、ピンホール１８の有無に関わらず、絶縁保護層１７を形成する。
【００３５】
また、本装置のインクジェットヘッドの絶縁保護層１７は柔軟であるため、圧電素子１４から伝達された振動板１６の振動をほとんど阻害しない。若干の振動の阻害に関しては圧電素子１４に印加する電圧の波形を調整することで、吐出への影響を最小化することが出来る。
【００３６】
また、絶縁保護層１７の硬度は、振動板１６の振動を阻害し、インクの吐出を阻害しない範囲であれば特に制限はない。その硬度は、好ましくは、ショアＡ７０以下である。
【００３７】
ショアＡ７０より大きくなると、硬くなり、振動板１６の振動を阻害し、インクの吐出を阻害する。また、絶縁保護層１７の膜厚は、下限についてはインクの漏洩を起こさない限りよい。
【００３８】
しかし、絶縁保護層１７があったとしても、ピンホール１８を有しているチャンネルに関しては、ピンホール１８の部分の振動板１６が欠損しているため、圧電素子１４から伝達される振動板１６の振動の他のチャンネルとの差があり、圧電素子１４に印加する波形信号の調整を行っても、所望のインクの吐出状態を得ることができない場合がある。ピンホール１８の大きさ、形状に応じて、不良となる。
【００３９】
この場合、ピンホール１８を有するチャンネルは不吐出扱いとなり、使用できなくなるが、本装置は複数の吐出ノズル１１を有するインクジェットヘッドを搭載しているインクジェット装置で、吐出ノズル１１の中に不吐出の吐出ノズルが存在する場合、この不吐出ノズルが吐出すべき吐出領域に、代わりに別の吐出ノズル１１が吐出を行って印刷する機能を有している。つまり、制御部を有する。
【００４０】
このため、不吐出のチャンネルの位置情報があれば別のチャンネルを使って、本来不吐出のノズルが印刷を行うべき領域に印刷することが出来る（以降、この機能を補完印刷と呼ぶ）。
【００４１】
本装置が補完印刷を行うためには不吐出のノズルの位置情報が必要である。この位置情報は、吐出周期に同期させたカメラを使ってインクジェットヘッドの液滴の吐出の様子を観察する吐出検査や、各ノズルが被印刷基板上の各々別の位置に１乃至数滴の吐出を行い、その着弾の存在の有無によってノズルの吐出の有無を判定する着弾検査などによって得ることができる。
【００４２】
吐出検査や着弾検査を行って、不吐出ノズルを検出する工程はインクジェットヘッドを組み立てる工程、作成したインクジェットヘッドをインクジェット装置に組み込んで、装置上で動作確認を行う工程のいずれで行ってもよい。得られた不吐出ノズルの情報はインクジェット装置の内部の記憶装置、あるいは装置に接続されたサーバーなどの記憶装置に格納され、補完印刷の情報に変換される。
【００４３】
＜ピンホール１８＞
以下に振動板１６の製造工程と振動板にピンホールが存在する理由について説明する。まず、振動板１６は、図１でわかるように、圧電素子１４の力を伝達し、かつ、インク１９が漏れないようにする必要がある。インクが漏れないためのベタ膜２０の部分と、圧電素子１４の伸張を効率的に圧力発生室１２に伝達するために、圧力発生室１２の形状や圧電素子１４の形状に応じたパターン２１を有する。このパターン２１は圧電素子１４との接着界面の接着面積にチャンネルごとのばらつきが生じても、圧力発生室１２内部に伝導する振動板１６の振動の量を一定にする作用がある。
【００４４】
図２でわかるように、流路形成基板１３と振動板１６との接着工程、および、振動板１６と圧電素子１４との接着工程に関してはノズルプレートと流路形成基板１３との接着工程で接着する。
【００４５】
＜製造工程＞
図３（ａ）〜図３（ｅ）の断面図で、振動板１６の製造工程を説明する。まず、図３（ａ）で、基板２３を洗浄後、形成するベタ膜２０の膜厚よりも厚い膜厚を有するドライフィルムレジストなどのレジスト用いて、ベタ膜のネガパターンに相当するネガパターン２４をフォトリソグラフィなどにより形成する。
【００４６】
次に、図３（ｂ）で、ネガパターン２４が形成された基板２３にニッケルめっきを行う事でベタ膜２０の部分を形成する。
【００４７】
次いで、図３（ｃ）で、ネガパターン２４を除去し、ベタ膜２０と同様に圧力発生室１２の形状や圧電素子１４の形状に応じたパターン２１を形成するためのネガパターン２５を有するレジスト層を形成する。フォトリソグラフィを行い、圧力発生室の形状や圧電素子の形状に応じたパターン２１のネガパターン２５を形成する。
【００４８】
次いで、図３（ｄ）で、ベタ膜２０同様にこの基板にニッケルめっきを行い、圧力発生室１２の形状や圧電素子１４の形状に応じたパターン２１を形成する。
【００４９】
最後に、図３（ｅ）で、ネガパターン２５を剥離し、基板２３から振動板１６を剥がすことで振動板１６は完成する。
【００５０】
上記工程において、ベタ膜２０になる第１のニッケルめっき膜と圧力発生室の形状や圧電素子の形状に応じたパターン２１になる第２のニッケルめっき膜との間に、この２つのめっき膜の密着性を高めるための処理、例えば酸による洗浄やスパッタリングによる表面処理などを行ってもよい。
【００５１】
ここで、異物が存在する場合を考える。図４（ａ）〜（ｅ）は、図３（ａ）〜（ｅ）に対応するもので、製造工程で異物が存在した場合の断面図である。
【００５２】
上述のように、振動板１６を形成する際には多数の工程を経るため、基板２３上や、めっきで形成されたベタ膜２０上に、製造環境に起因する微小な異物２６が付着する場合（図４（ａ））がある。この異物２６が付着したままで、次の工程へ進むと、図４（ｂ）、図４（ｃ）、図４（ｄ）に示すように、めっき膜にピンホール１８が発生してしまう。
【００５３】
特に基板２３に異物が付着していると、図４（ｅ）に示すように、ベタ膜部分にピンホール１８が発生する。
【００５４】
絶縁保護層１７は、インクジェットヘッド装置が印刷を行うインクに含まれる溶剤に対して耐溶剤性を持ち、柔軟であれば特に材質は問わないが、スチレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、ニトリルゴム、ヒドリンゴム、エチレンプロピレンゴム、アクリルゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムなどのゴム、あるいはゲル類、柔軟なウレタンアクリレート、エポキシアクリレートなどを挙げることができる。特にシリコーンゴムやフッ素化したシリコーンゴムやフッ素ゴムやゲルは特に高い溶剤耐性と柔軟性を兼ね備えている。このような材料の例として信越化学工業（株）製ＳＩＦＥＬシリーズを挙げることができる。
【００５５】
これらの絶縁保護層１７の材料は、加熱による溶融状態、あるいは常温で液状にしておき、組み立てられたインクジェットヘッドの振動板１６の圧電素子１４側（図５の矢印）に流し込むことで形成することができる。図５は、インクジェットヘッドが組み立てられ、絶縁保護層１７を形成する前である。
【００５６】
特に、シリコーンゴム、フッ素化シリコーンゴム、フッ素ゴム、あるいは、シリコーンあるいはフッ素を含有するゲルの少なくとも１つを用いる。これらゲルは、常温で液状かつ、常温での硬化が可能であり、組み立て中のインクジェットヘッドへの加熱を行わずに絶縁保護層１７を形成することが可能であるため好ましい。
【００５７】
常温で絶縁保護層１７を形成可能で、かつインクジェットヘッド装置が印刷を行うインクに含まれる溶剤に対して耐溶剤性を持ち、柔軟である材料として、信越化学工業（株）製ＳＩＦＥＬシリーズのうち、常温において液状で、かつ常温で硬化可能な２液混合硬化型のＳＩＦＥＬ−８５７０を挙げることができる。
【００５８】
また、絶縁保護層１７は、振動板１６と圧電素子１４に接して存在しているが、振動板１６と圧電素子１４が接着され、圧電素子１４の振動が振動板１６に伝導する部分に存在すると、絶縁保護層１７は柔軟なため圧電素子１４の振動が減衰するので好ましくない。従って、振動板１６と圧電素子１４の接着が行われた後に絶縁保護層１７を形成することが好ましい。
【００５９】
＜効果＞
有機ＥＬディスプレイの有機層の形成のためには非常に高精細な印刷を行う必要があるため、実施の形態１のノズル間のピッチも高精細に形成されている。そのため、圧電素子１４加工ピッチは数十乃至数百μｍ程度になるため、微量であっても圧電素子１４に導電性の物体が接触すると、櫛歯状の正負の電極でショートを引き起こしてしまい、インクジェットヘッドが破損する。例えば、吐出するインクが導電性の場合、漏れたインクにより、インクジェットヘッドが破損する。
【００６０】
しかし、実施の形態１のインクジェットヘッドは吐出するインクに含まれる溶剤に対して、耐溶剤性のある絶縁保護層１７を有している。このために、ピンホール１８から漏れたインク１９が圧電素子１４に到達することはなく、上述のようなショートによるインクジェットヘッドの破損を引き起こさない。
【００６１】
また、実施の形態１は、有機ＥＬディスプレイの有機層を印刷する装置であり、吐出するインクが導電性でなくても、上述のように油性のインク、特に芳香族の溶媒を有する油性のインクである場合がほとんどである。
【００６２】
一方、圧電素子１４と配線１５も圧電素子と同じく、数十乃至数百μｍピッチという高密度で形成されるため、接合部で隣接チャンネルとのショートを起こさないように、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）などで接合されている。そのため、この接合部が上記油性インクと接触するとフィルム中やペースト中の樹脂が膨潤し、圧電素子１４と配線１５の接合部で接合不良が発生し、圧電素子１４が駆動しなくなる。
【００６３】
しかし、上述のように本装置のインクジェットヘッドは、吐出するインクに含まれる溶剤に対して耐溶剤性のある絶縁保護層１７を有するために、ピンホールから漏れたインクが圧電素子１４と配線１５の接合部に到達することはなく、接合不良によるインクジェットヘッドの破損を引き起こさない。
【００６４】
（実施の形態２）
実施の形態２のインクジェットヘッドは、実施の形態１と異なる点は、絶縁保護層２２の形成である。その他、実施の形態１と同様である。絶縁保護層２２は、実施の形態１と同様インクジェットヘッド装置が印刷を行うインク含まれる溶剤に対して耐溶剤性のある柔軟な材料であると同時に絶縁体である。実施の形態２では、実施の形態１と異なり、絶縁加工、パターニングを行わない。
【００６５】
つまり、インクジェットヘッドが、絶縁保護層２２がない状態で組み立てられた状態の断面図である図５において、絶縁保護層２２を気相成長で形成する。絶縁性を有する材料を、圧電素子１４間から、コーティングする方法がある。絶縁コーティングの例としては、パラキシリレンの蒸着重合膜を圧電素子１４にコーティングする方法（パリレンコート）などを挙げることができる。パリレンコートはパラキシリレンのモノマーを気化させた真空チャンバーにコーティング対象物を入れることで、対象物上でモノマーが重合し、パラキシリレンの重合膜が形成されるという気相重合法を利用している。
【００６６】
このコーティング法は付きまわり性がよく、複雑な形状の対象物の表面にも均一な膜厚の重合膜を形成することができるため、複雑な形状をしている圧電素子１４の絶縁コーティング方法として適している。真空成膜であるが、最終工程であり、パターニングなど不要なので、複雑な工程でない。ただし、この例で、気相重合法により絶縁保護層２２を作製する場合、膜厚が厚くできない。その結果、実施の形態１の場合と異なり、絶縁保護層２２の硬度は、ショアＡ７０以下ではない。その代わり、密着性がよく、上記実施の形態１と同様の効果を達成できる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明のインクジェット装置はピンホールが存在する振動板を使ってもよいため、振動板の検査工程を簡素化できる。従ってこれまでのインクジェット装置よりも低コストであり、有機ＥＬディスプレイの製造コストを低下させることが可能であるので有用である。
【符号の説明】
【００６８】
１１    吐出ノズル
１２    圧力発生室
１３    流路形成基板
１４    圧電素子
１５    配線
１６    振動板
１７、２２    絶縁保護層
１８    ピンホール
１９    インク
２０    ベタ膜
２１    パターン
２３    基板
２４、２５    ネガパターン
２６    異物
５１    ノズルプレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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