(57)【要約】【課題】潤滑ボールベアリングの高寿命化を図ることができる真空ポンプ。【解決手段】真空ポンプは、ボールベアリング８に用いられる潤滑剤（潤滑油またはグリース）または潤滑剤の基油が設けられたケース２５が、ベアリング室Ｒ１と連通するモータ室Ｒ２に配置されるモータステータ４ｂに熱的に接触して配置されている。モータを駆動すると、モータ発熱により潤滑油やグリースの基油が蒸発する。モータ温度はベアリング温度よりも高くなるので、モータ室の油蒸気の蒸気圧はベアリング室Ｒ１の油蒸気の蒸気圧よりも高くなる。その結果、ベアリング室Ｒ１とモータ室Ｒ２との間で気体の出入りがあっても、ベアリング室Ｒ１における基油の蒸発を抑えることができる。さらに、モータ室Ｒ２とポンプ室Ｒ４との間にラビリンスシール１９を設けたので、ポンプ室Ｒ４側の圧力変動による気体の流出・流入の低減を図ることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転側排気機能部が形成されたポンプロータおよび回転軸を有する回転体ユニットと、
固定側排気機能部と、
ポンプベースのベアリング室に配置され、前記回転軸を支持する潤滑ボールベアリングと、
隙間を介して前記ベアリング室と連通するモータ室に配置され、前記回転軸を回転駆動するモータと、
前記回転側排気機能部および前記固定側排気機能部が配置されるポンプ室と前記モータ室との間に設けられたラビリンスシールと、
前記モータのモータステータに熱的に接触して配置され、前記潤滑ボールベアリングに用いられる潤滑剤または潤滑剤の基油が設けられる潤滑剤貯蔵部と、を備える真空ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記潤滑剤貯蔵部は、前記モータステータのステータコアに固着され、前記潤滑剤または潤滑剤の基油を収納する容器を有する、真空ポンプ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
前記ラビリンスシールを構成する一対の凹凸の一方は前記ポンプロータに形成され、
前記一方の凹凸と嵌り合うように配置される他方の凹凸は、前記ポンプベース側に形成されている、真空ポンプ。
【請求項４】
請求項３に記載の真空ポンプにおいて、
前記ラビリンスシールのシール隙間にパージガスを導入するためのパージガス流路を備える、真空ポンプ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ベアリング室と前記モータ室とは隙間シールを介して連通しており、
前記隙間シールは、
前記回転軸に固定されたバランス取り用部材に形成された第１の軸方向端面と、
前記第１の軸方向端面に対して微少隙間を介して対向配置され、前記潤滑ボールベアリングを保持するベアリングホルダに形成された第２の軸方向端面とで構成される、真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転体の支持にグリースまたは油潤滑による潤滑ボールベアリングが用いられる真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ロータを支持する軸受にボールベアリングを用いた真空ポンプでは、ボールベアリングの潤滑が問題となる。特許文献１に記載のドライ真空ポンプでは、モータおよびボールベアリングが配置されている空間とポンプ排気口側との間にラビリンスシールが設けられている。そのような構成とすることにより、吸気口側への油蒸気の逆流を防止している。
【０００３】
また、特許文献２に記載の発明は、回転体の下部を球面スパイラルみぞ軸受で支持する構成の真空ポンプであるが、回転軸に対してリップシール板を設けて、油および油蒸気が油収納容器の外部に漏れ出るのを防止するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３１７７９０号公報
【特許文献２】特開昭６２−２８８３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の構成の場合、油蒸気はモータおよびベアリングの配置空間全体に行き渡ることになる。そのため、ポンプ排気口側の圧力変動があると、ラビリンスシールを介して上記配置空間への気体流入や配置空間からの気体流出が生じ、その気体流出に伴って配置空間の油蒸気も流出してしまうことになる。その結果、ベアリングの潤滑剤に用いられている油（グリース潤滑の場合には基油）が減少し、潤滑剤寿命の悪化を招く。
【０００６】
また、特許文献２に記載のリップシール板を用いる場合、高速回転にもリップシール板が耐えられるためには、リップシール板と回転軸とが接触している部分に、潤滑油の油膜が形成されていることが必要になる。そのため、この構造はグリース潤滑のボールベアリングには適用できない。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、回転側排気機能部が形成されたポンプロータおよび回転軸を有する回転体ユニットと、固定側排気機能部と、ポンプベースのベアリング室に配置され、回転軸を支持する潤滑ボールベアリングと、隙間を介してベアリング室と連通するモータ室に配置され、回転軸を回転駆動するモータと、回転側排気機能部および固定側排気機能部が配置されるポンプ室とモータ室との間に設けられたラビリンスシールと、モータのモータステータに熱的に接触して配置され、潤滑ボールベアリングに用いられる潤滑剤または潤滑剤の基油が設けられる潤滑剤貯蔵部と、を備える。
好ましくは、潤滑剤貯蔵部は、モータステータのステータコアに固着され、潤滑剤または潤滑剤の基油を収納する容器を有する。
好ましくは、ラビリンスシールを構成する一対の凹凸の一方はポンプロータに形成され、一方の凹凸と嵌り合うように配置される他方の凹凸は、ポンプベース側に形成されている。
好ましくは、ラビリンスシールのシール隙間にパージガスを導入するためのパージガス流路を備える。
さらに好ましくは、  ベアリング室とモータ室とは隙間シールを介して連通しており、隙間シールは、回転軸に固定されたバランス取り用部材に形成された第１の軸方向端面と、第１の軸方向端面に対して微少隙間を介して対向配置され、潤滑ボールベアリングを保持するベアリングホルダに形成された第２の軸方向端面とで構成される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、潤滑ボールベアリングの高寿命化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本発明に係る真空ポンプの第１の実施の形態を示す図である。
【図２】図２は、ケース２５を示す図である。
【図３】図３は、ラビリンスシール１９の構造を説明する図である。
【図４】図４は、第２の実施の形態を示す図である。
【図５】図５は、アキシャルタイプのラビリンスシール１９を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
−第１の実施の形態−
図１は本発明に係る真空ポンプの第１の実施の形態を示す図であり、ターボ分子ポンプ１の断面図である。なお、ターボ分子ポンプ１には電力を供給する電源ユニットが接続されるが、図１では図示を省略した。
【００１１】
図１に示すターボ分子ポンプ１は、排気機能部として、タービン翼を備えたターボポンプ部と、螺旋型の溝を備えたHolweckポンプ部とを備えている。もちろん、本発明は、排気機能部にターボポンプ部およびHolweckポンプ部を備えた真空ポンプに限らず、タービン翼のみを備えた真空ポンプや、ジーグバーンポンプやHolweckポンプなどのドラッグポンプのみを備えた真空ポンプや、それらを組み合わせた真空ポンプにも適用することができる。
【００１２】
ターボポンプ部は、ポンプロータ３に形成された複数段の回転翼３０と、回転翼３０に対して交互に配置された複数段の固定翼２０とで構成される。一方、ターボポンプ部の下流側に設けられたHolweckポンプ部は、ポンプロータ３に形成された一対の円筒部３１ａ，３１ｂと、ベース２側に配置された一対のステータ２１ａ，２１ｂとで構成されている。
【００１３】
ポンプロータ３はモータ４によって回転駆動される。モータ４のモータロータ４ａは、ポンプロータ３の下側のシャフト１０ａに設けられている。モータステータ４ｂは、ベース２のモータハウジング部２ａに固定されている。モータステータ４ｂに電力を供給するための配線４ｃは、ベース２に取り付けられたコネクタ２６に接続されている。ポンプロータ３は、複数の永久磁石６ａ，６ｂで構成される永久磁石磁気軸受６とボールベアリング８とにより、回転自在に支持されている。ボールベアリング８は、油もしくはグリース等の潤滑剤で潤滑される。本実施の形態では、ボールベアリング８の潤滑剤としてグリースが用いられる。
【００１４】
永久磁石６ａ，６ｂは、軸方向に磁化されたリング状の永久磁石である。回転するポンプロータ３側に設けられた複数の永久磁石６ａは、同極同士が対向するように軸方向に複数配置されている。一方、固定側の複数の永久磁石６ｂは、ポンプケーシング１２に固定された磁石ホルダ１１に装着されている。これらの永久磁石６ｂも、同極同士が対向するように軸方向に複数配置されている。
【００１５】
ポンプロータ３に設けられた永久磁石６ａの軸方向位置は、その内周側に配置された永久磁石６ｂの位置よりも若干上側となるように設定されている。すなわち、回転側の永久磁石の磁極は、固定側の永久磁石の磁極に対して軸方向吸気口側に所定量だけずれている。この所定量の大きさによって、永久磁石磁気軸受６の支持力が異なる。図１に示す例では、永久磁石６ａの方が図示上側に配置されているので、永久磁石６ａと永久磁石６ｂとの反発力により、ラジアル方向の支持力と軸方向上向きの（ポンプ吸気口方向）力とがポンプロータ３に働いている。
【００１６】
磁石ホルダ１１の内周側には、ボールベアリング９が保持されている。ボールベアリング９は、シャフト上部のラジアル方向の振れを制限するタッチダウンベアリングとして機能するものである。ポンプロータ３が定常回転している状態では、ポンプロータ３の上側のシャフト１０ｂとボールベアリング９とが接触することはなく、大外乱が加わった場合や、回転の加速時または減速時にポンプロータ３の振れ回りが大きくなった場合に、シャフト１０ｂがボールベアリング９の内輪に接触する。ボールベアリング８，９には、例えば深溝玉軸受が用いられる。下側のボールベアリング８にはグリースが封入されている。
【００１７】
ボールベアリング８はベアリングホルダ１４によって保持されており、そのベアリングホルダ１４がベース２にボルト固定されている。ボールベアリング８はダンパー等を介してベアリングホルダ１４に保持され、ベアリングホルダ１４に螺合しているナット１５を締め付けることによって、ボールベアリング８の外輪がベアリングホルダ１４に保持される。ボールベアリング８の内輪はシャフト１０ａ側に固定されている。
【００１８】
ベアリングホルダ１４の図示下側には、ベアリング配置空間（以下では、ベアリング室と呼ぶ）Ｒ１の下側の部分を封止するための下蓋１６がベース２に固定されている。下蓋１６の内周面側には凸部１６ａが形成されており、この凸部１６ａが、ベアリングホルダ１４の内側領域に入り込むことによってベアリング室Ｒ１の隙間領域が、可能な限り小さく抑えられるようにしている。
【００１９】
ボールベアリング８のベアリング室Ｒ１は、シャフト１０ａとベアリングホルダ１４との隙間を介してモータ室Ｒ２と繋がっている。さらに、モータ室Ｒ２は、ポンプ室Ｒ４と連通している。なお、ポンプ室Ｒ４とはモータハウジング２ａの外側の空間を指し、ポンプ室Ｒ４には排気機能部であるステータ２１ａ，２１ｂ、円筒部３１ａ，３１ｂ、固定翼２０および回転翼３０が配置されている。モータ室Ｒ２は、配線４ｃおよびコネクタ２６が配置されている空間とも繋がっている。
【００２０】
モータロータ４ａの下側のシャフト１０ａには、バランス調整用部材１７が取り付けられている。バランス調整用部材１７は、ポンプロータ３のバランス調整を行う際に用いられる部材であって、例えば、側周面を削り取ったり、側周面に設けられたネジ穴（不図示）に止めネジを装着したりして、ポンプロータ３のアンバランスを低減するようにしている。
【００２１】
モータハウジング部２ａの上端には、ラビリンスシール１９が形成されたモータカバー２３が設けられている。モータカバー２３は、モータ室Ｒ２にポンプ室Ｒ４の気体が流入するのを防止するために設けられたものである。ベース２に形成されたパージガス流路２４は、モータカバー２３に形成されたパージガス流路２３２（図３参照）に接続している。
【００２２】
本実施の形態では、このモータカバー２３の上面にリング状の凹凸が複数形成され、ポンプロータ３の対向面にもリング状の凹凸が複数形成される。モータカバー２３の凹凸とポンプロータ３の凹凸とは、互いに凹部に凸部が入り込んでいる。このような構造を採用することで、ポンプ室Ｒ４とモータ配置空間Ｒ２との間にラビリンスシール１９が形成される。
【００２３】
モータ室Ｒ２に設けられたモータステータ４ｂには、グリースをケース２５に納めて成る潤滑剤貯蔵部が、モータステータとほぼ同等の温度になるようにモータステータ４ｂのステータコアに熱的に接触して設けられている。図１に示した例では、断面形状がＣ形状をしたリング状のケース２５の内部には、ボールベアリング８に用いられるグリース、または、そのグリースの基油が納められている。以下では、グリースが納められているとして説明する。
【００２４】
ケース２５は、モータステータ４ｂのコア上面に固着されている。例えば、接着剤等により接着される。図２はケース２５を示す図である。ケース２５には熱伝導率の高い材料（例えば、金属）を用いるのが好ましい。モータ４を駆動すると、モータ発熱によりモータステータ４ｂの温度が上昇する。その結果、ケース２５内のグリースは基油が蒸発し、ケース２５の開口２５ａからモータ室Ｒ２内に拡散する。グリースの基油の蒸発は、蒸発と凝縮とが平衡するまで続く。その結果、モータ室Ｒ２の油蒸気はコア温度（すなわち、グリースの温度）に対応する蒸気圧となる。なお、ケース２５の形状は、グリースや基油が保持でき、油蒸気がモータ室Ｒ２に放出される構造であれば図２に示す形状に限定されない。例えば、基油を配置する場合、ケース２５に収納する形態だけでなく、含油金属を用いる方法や、フェルト等の繊維部材に基油を含浸させたものを使用する方法など、種々の方法が適用できる。また、ケース２５の配置場所も、ステータコアに限らず、ステータコイルに熱的に接触するように配置しても良い。
【００２５】
上述したように。本実施の形態では、ボールベアリング８の潤滑剤としてグリースが用いられるが、真空ポンプに用いられるベアリングは、真空中で使用されるため、潤滑油やグリースの基油が蒸発しやすい。そして、基油が蒸発して無くなった時が潤滑寿命となる。ポンプ運転時にはボールベアリング８は高温となるので、基油の蒸発が促進され、その蒸気はボールベアリング８が配置されているベアリング室Ｒ１の隙間領域全体に拡散する。そして、ベアリング室Ｒ１における基油の分圧は、基油の蒸発と再凝縮とが均衡するまで上昇することになる。
【００２６】
上述のように、ベアリング室Ｒ１とモータ室Ｒ２とは連結しているので、ベアリング室Ｒ１の油蒸気は、シャフト１０ａとベアリングホルダ１４との隙間を通ってモータ室Ｒ２に拡散する。そのため、本実施の形態のようなラビリンスシール１９が形成されたモータカバー２３を備えていない従来の真空ポンプでは、モータ室Ｒ２からポンプ室Ｒ４に油蒸気が流出し、ボールベアリング８のグリースの基油減少が問題となる。
【００２７】
本実施の形態では、基油の蒸発による潤滑寿命の低下を防止するために、まず、モータステータ４ｂに上述したような潤滑剤貯蔵部を設けるようにした。モータ４を駆動すると、モータ発熱によりモータステータ４ｂの温度が上昇し、ケース２５内に収納されたグリースの基油が蒸発する。モータステータ４ｂのステータコアの温度は、ヒステリシス損やコイル電流によるジュール熱により、ボールベアリング８と同等またはそれ以上に上昇する。そのため、モータ室Ｒ２の油蒸気圧の方がベアリング室Ｒ１の油蒸気圧よりも高くなり、ボールベアリング８のグリースの基油蒸発を抑制することができる。また、モータ室Ｒ２とベアリング室Ｒ１との間で油蒸気を含む気体の移動があったとしても、モータ室Ｒ２の油蒸気圧の方が高いので、気体移動による基油減少を防止することができる。
【００２８】
ところで、ポンプ排気に伴ってポンプ室Ｒ４の圧力が変動すると、ポンプ室Ｒ４とモータ室Ｒ２との間で空気の出入りが発生し、さらに、モータ室Ｒ２とベアリング室Ｒ１との間においても空気の出入りが発生する。例えば、ポンプが装着されているチャンバーにガスの流入、停止動作が行われた場合、ポンプ室Ｒ４の圧力はガス流入時は上昇し、ガス停止時には低下する。そのため、ガス流入後のガス停止時には、ベアリング室Ｒ１の油蒸気がモータ室Ｒ２に流出する。特に、ポンプ室Ｒ４の圧力が粘性流まで上昇した場合には、ベアリング室Ｒ１に充満した油蒸気は、排気気体との分子衝突によって排気口側に押し流されることになる。
【００２９】
また、ガス停止時にポンプ室Ｒ４の圧力がモータ室Ｒ２よりも低くなった場合にはモータ室Ｒ２の圧力も低下し、ベアリング室Ｒ１の気体がモータ室Ｒ２の隙間領域に流入することになる。この気体流入によりベアリング室Ｒ１の基油の蒸気圧が低下すると、平衡状態となるまで基油が再び蒸発することになる。
【００３０】
このような気体の出入りによるベアリング室Ｒ１からの油蒸気の流出量は、ベアリング室Ｒ１の内容積（ベアリング室Ｒ１の隙間領域の体積）と圧力変動の頻度との積にほぼ比例する。そのため、本実施の形態では、ベアリング室Ｒ１の隙間空間を極力小さくすることで潤滑剤の基油の蒸発を抑え、潤滑寿命の延長を図るようにしている。具体的には、図１に示すように、下蓋１６の凸部１６ａがベアリングホルダ１４の内側領域（すなわちベアリング室）に入り込む構成とすることで、ベアリング室Ｒ１の隙間領域を可能な限り小さくしている。なお、この凸部１６ａが入り込んでいる領域は、ナット１５を着脱する際の作業空間として必要な空間である。
【００３１】
このように、ベアリング室Ｒ１の隙間領域を可能な限り小さくすることで、油蒸気で満たされる空間が小さくなる。そのため、圧力変動によってベアリング室Ｒ１とモータ室Ｒ２との間で気体の流出・流入があった場合でも、気体の移動量を極力小さく抑えることができる。その結果、ボールベアリング８の潤滑剤の基油の減少を抑えることができ、潤滑寿命の延長を図ることができる。
【００３２】
さらに、本実施の形態では、モータ室Ｒ２とポンプ室Ｒ４との間の気体の出入りを抑えるために、上述したラビリンスシール１９が形成されたモータカバー２３を設けるようにした。図３はラビリンスシール１９の構造を説明する図であり、図１のラビリンスシール１９の部分の拡大図である。ラビリンスシールは非接触シールであって、回転側と固定側との間に凹凸の隙間を何段にも組み合わせることによって、漏れを少なくしている。
【００３３】
ポンプロータ３の下面側には、同心リング状の凹部１９０および凸部１９１が複数形成されている。同様に、モータカバー２３の上面にも、同心リング状の凹部２３０および凸部２３１が複数形成されている。ポンプロータ３の凸部１９１はモータカバー２３の凹部２３０に入り込み、逆に、モータカバー２３の凸部２３１はポンプロータ３の凹部１９０に入り込んでいる。凹部と凸部との間には、僅かな隙間が形成されている。半径方向隙間ｓは、シャフト１０ａ（図１参照）の振れ回り半径をｒ、モータロータ４ａとモータステータ４ｂとの隙間をｇとした場合、ｒ＜ｓ＜ｇのように設定されている。
【００３４】
このように、凹凸部の隙間は小さく設定されているので、ラビリンスシール１９のコンダクタンスは十分小さくなっている。例えば、ｒ＝０．２mm，ｇ＝０．５mm，ｓ＝０．３５mmとした場合、多重円筒で構成されるラビリンスシールのコンダクタンスは、窒素ガスに対して約０．２Ｌ／ｓとなる。油蒸気などの分子量の大きいガスに対しては、さらにコンダクタンスが小さくなる。これは、通常ターボ分子ポンプの補助ポンプとして用いられるポンプの排気速度よりも十分小さく、油蒸気を封止するシールとして十分機能する。
【００３５】
すなわち、ラビリンスシール１９を設けたことにより、モータ室Ｒ２とポンプ室Ｒ４との実質的な分離が図られる。ここで、実質的な分離とは、ポンプ室Ｒ４に圧力変動がない限り、ポンプ室Ｒ４とモータ室Ｒ２との間はラビリンスシール１９でシールされているということを意味している。そのため、モータ室Ｒ２の油蒸気がポンプ室への拡散による流失を防止することができる。また、ポンプ室Ｒ４に圧力変動があった場合においても、ポンプ室Ｒ４とモータ室Ｒ２との間の気体移動量を十分小さく抑えることができる。
【００３６】
本実施の形態では、図３に示すように、ラビリンスシール１９の部分にパージガス流路２３２の流入口が設けられている。一般的にパージガスはシャフト１０ａやモータ４の冷却、腐食性ガスや微粒子の軸受部への侵入を防ぐ目的で、ベアリング室やモータ室に供給される。しかし、パージガスはモータ室Ｒ２の油蒸気を押し流す働きをするので、本実施の形態では、パージガスの流入口はモータ室Ｒ２ではなくラビリンスシール１９の部分に設けた。これにより、ポンプ室Ｒ４からモータ室Ｒ２やベアリング室Ｒ１へ腐食性ガスが流入するのを防止することができるとともに、パージガスによる油蒸気のポンプ室Ｒ４への流出も防止することができる。
【００３７】
−第２の実施の形態−
図４は、第２の実施の形態を示す図である。第２の実施の形態では、シャフト１０ａに設けられたバランス調整用部材１７の厚さを下方に拡張し、バランス調整用部材１７とモータカバー２３とにより隙間シールＳを形成するように構成した。このバランス調整用部材１７の下面と、その下面と対向するベアリングホルダ１４の上面との隙間寸法は小さく設定され（例えば、０．２mm程度）、隙間シールを構成している。このような隙間シールＳをベアリング室Ｒ１とモータ室Ｒ２との間に設けることと、ベアリング室が他の空間とは連通していないことにより、ポンプ室Ｒ４の圧力が変動した場合の、ベアリング室Ｒとモータ室Ｒ２との間の気体移動量を小さく抑えることができる。なお、隙間シールＳに代えて、上述したラビリンスシール１９と同様のラビリンスシールをバランス調整用部材１７とモータカバー２３とが対向する面に形成するようしても良い。それにより、気体移動の防止効果がより高まる。
【００３８】
以上説明したように、本発明による真空ポンプは、ボールベアリング８に用いられる潤滑剤（潤滑油またはグリース）または潤滑剤の基油が設けられた潤滑剤貯蔵部（ケース２５）が、ベアリング室Ｒ１と連通するモータ室Ｒ２に配置されるモータステータ４ｂに熱的に接触して配置されている。モータを駆動すると、モータ発熱により潤滑油やグリースの基油が蒸発する。モータ温度がベアリング温度よりも高くなると、モータ室の油蒸気の蒸気圧はベアリング室Ｒ１の油蒸気の蒸気圧よりも高くなる。その結果、ベアリング室Ｒ１とモータ室Ｒ２との間で気体の出入りがあっても、ベアリング室Ｒ１における基油の蒸発を抑えることができる。さらに、モータ室Ｒ２とポンプ室Ｒ４との間にラビリンスシール１９を設けたので、ポンプ室Ｒ４側の圧力変動による気体の流出・流入の低減を図ることができる。
【００３９】
図１，２に示すようなケース２５をステータコアに接触するように配置し、そのケース２５内にグリースや基油、潤滑油などを収容するのが好ましい。ケース２５に収納することにより、潤滑剤やモータ室Ｒ２の他の部分（例えば、比較的温度の低い部分）に流出するのを防止することができる。
【００４０】
また、ラビリンスシール１９を構成する一対の凹凸の一方（すなわち、凹部１９０，凸部１９１）はポンプロータ３に形成され、その凹部１９０および凸部１９１と嵌り合うように配置される他方の凹凸（すなわち、凹部２３０および凸部２３１）をベース２に固定されるモータカバー２３に形成するようにしても良い。このように、ポンプ部品に凹凸部を形成することにより、ラビリンスシール１９の配置スペースを抑えることができる。
【００４１】
さらに、図３に示すようにラビリンスシール１９のシール隙間にパージガスを導入することにより、パージガスによりモータ室Ｒ２内の油蒸気がポンプ室Ｒ４に押し流されるのを防止することができる。
【００４２】
さらにまた、ベアリング室Ｒ１とモータ室Ｒ２とが隙間シールＳを介して連通するような構成とすることで、ベアリング室Ｒ１とモータ室Ｒ２との間の気体の流出・流入を低減することができ、ボールベアリング８の潤滑寿命をさらに延ばすことができる。また、隙間シールＳを、バランス調整用部材１７に形成された軸方向端面と、その軸方向端面に対して微少隙間を介して対向配置され、ボールベアリング８を保持するベアリングホルダ１４に形成された軸方向端面とで構成される。
【００４３】
なお、上述した実施の形態では、ラジアルタイプのラビリンスシール１９を設けたが、図５に示すようなアキシャルタイプのラビリンスシール１９を設けても良い。また、上述した実施の形態では、ボールベアリング８と対で使われる軸受として、永久磁石を使った受動磁気軸受を例にとったが、能動制御磁気軸受を用いても良いし、ボールベアリングで支持するようにしても良い。
【００４４】
上述した各実施形態はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施形態での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、以上の説明はあくまでも一例であり、発明を解釈する際、上記実施の形態の記載事項と特許請求の範囲の記載事項の対応関係に何ら限定も拘束もされない。
【符号の説明】
【００４５】
１：ターボ分子ポンプ、２：ベース、２ａ：モータハウジング部、３：ポンプロータ、４：モータ、４ａ：モータロータ、４ｂ：モータステータ、６：永久磁石磁気軸受、８，９：ベアリング、１０ａ，１０ｂ：シャフト、１４：ベアリングホルダ、１７：バランス調整用部材、１９：ラビリンスシール、２０：固定翼、２１ａ，２１ｂ：ステータ、２３：モータカバー、２４：パージガス流路、２５：ケース、３０：回転翼、３１ａ，３１ｂ：円筒部、１９０，２３０：凹部、１９１，２３１：凸部、Ｒ１：ベアリング室、Ｒ２：モータ室、Ｒ４：ポンプ室、Ｓ：隙間シール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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