(57)【要約】【課題】リングフレームを容易に供給できるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１は、接着シートＡＳを介してウェハＷＦと一体化されるリングフレームＲＦを複数収容可能なフレーム収容手段３と、リングフレームＲＦおよびウェハＷＦのうち少なくともリングフレームＲＦを支持する支持手段７と、フレーム収容手段３からリングフレームＲＦを取り出して支持手段７に移載する移載手段８と、支持手段７に支持されたリングフレームＲＦまたはリングフレームＲＦおよびウェハＷＦに接着シートＡＳを当接させて貼付する貼付手段９とを備え、フレーム収容手段３は、リングフレームＲＦを縦置きにして収容可能に構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段と、
前記フレーム部材および前記被着体のうち少なくともフレーム部材を支持する支持手段と、
前記フレーム収容手段から前記フレーム部材を取り出して前記支持手段に移載する移載手段と、
前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを当接させて貼付する貼付手段とを備え、
前記フレーム収容手段は、前記フレーム部材を縦置きにして収容可能に構成されていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記フレーム収容手段は、前記フレーム部材を一方向に付勢する付勢手段を備えることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記フレーム収容手段は、前記フレーム部材の下部を一方向に移動させる姿勢維持手段を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記フレーム収容手段は、前記移載手段によって前記フレーム部材が複数枚同時に取り出されることを防止する押さえ手段を備えることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を縦置きにして複数収容し、
前記フレーム部材および前記被着体のうち少なくともフレーム部材を支持する支持手段に前記フレーム部材を移載し、
前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを当接させて貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、リングフレームに接着テープを貼付し、この接着テープが貼付されたリングフレームに半導体ウェハ（以下「ウェハ」と称す場合がある）を貼付するマウント装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１のマウント装置は、リングフレームの面を水平面方向に向けて積層する平積み収容するリングフレーム供給部を備え、この平積み収容されているリングフレームをリングフレーム搬送機構が上側から１枚ずつ順番に吸着保持し、接着テープを貼り付ける位置に搬送するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３３１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような構成では、リングフレーム供給部がリングフレームを平積み収容する構成であるため、オペレータはリングフレームを両手で支えてリングフレーム供給部に供給しなければならないという不都合がある。特に、大型のリングフレームの場合、重力に逆らって片手でリングフレームを平積み体勢にするには非常に難があり、まして装置の稼働率を低下させないために、一度に複数枚のリングフレームを供給するとなれば、両手で支えて作業を行わないと平積み収容はできない。
【０００５】
本発明の目的は、フレーム部材を容易に供給できるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段と、前記フレーム部材および前記被着体のうち少なくともフレーム部材を支持する支持手段と、前記フレーム収容手段から前記フレーム部材を取り出して前記支持手段に移載する移載手段と、前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを当接させて貼付する貼付手段とを備え、前記フレーム収容手段は、前記フレーム部材を縦置きにして収容可能に構成されている、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記フレーム収容手段は、前記フレーム部材を一方向に付勢する付勢手段を備える、ことが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記フレーム収容手段は、前記フレーム部材の下部を一方向に移動させる姿勢維持手段を備える、ことが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記フレーム収容手段は、前記移載手段によって前記フレーム部材が複数枚同時に取り出されることを防止する押さえ手段を備える、ことが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を縦置きにして複数収容し、前記フレーム部材および前記被着体のうち少なくともフレーム部材を支持する支持手段に前記フレーム部材を移載し、前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを当接させて貼付する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、フレーム収容手段がフレーム部材を縦置きにして収容可能に構成されているので、オペレータは、フレーム部材を容易に収容手段に供給することが可能となる。特に、フレーム部材がリングフレームのように開口部を有するものである場合、オペレータは手のひらや指を開口部に差し込んでリングフレームを吊り下げるようにして供給できるので、例え大型のリングフレームであったとしても、重力に逆らうことなく縦積み体勢とすることができ、一度にしかも片手で、複数枚のリングフレームを収容手段に供給することが可能となる。
なお、本願でいう「縦置き」とは、フレーム部材を重心から外れた位置で保持したときに、当該フレーム部材が重力に引かれる方向に沿う向きにして載置した状態とする。
【００１０】
この際、フレーム収容手段に付勢手段を採用すれば、移載手段が常に同じ位置でフレーム部材を保持して移載することができる。
また、フレーム収容手段に姿勢維持手段を採用すれば、移載手段が常に同じ姿勢のフレーム部材を保持して移載することができる。
さらに、フレーム収容手段に押さえ手段を採用すれば、移載手段がフレーム部材を取り出すときに、隣接するフレーム部材をも同時に取り出し、散乱させてしまうことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の平面図。
【図２】（Ａ）はフレーム収容手段の断面図であり、（Ｂ）、（Ｃ）は移載手段の動作説明図。
【図３】図２（Ｂ）のＢＢ矢視図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＡＲ方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート貼付装置１は、被着体としてのウェハＷＦを複数収容可能なウェハ収容手段２と、接着シートＡＳを介してウェハＷＦと一体化されるフレーム部材としてのリングフレームＲＦを複数収容可能なフレーム収容手段３と、リングフレームＲＦおよびウェハＷＦのうち少なくともリングフレームＲＦを支持する支持手段７と、ウェハ収容手段２およびフレーム収容手段３からウェハＷＦおよびリングフレームＲＦを取り出して支持手段７に移載する移載手段８と、支持手段７に支持されたリングフレームＲＦまたは、リングフレームＲＦおよびウェハＷＦに接着シートＡＳを当接させて貼付する貼付手段９とを備え、フレーム１０に支持されている。
ここで、リングフレームＲＦの外周面には、９０°間隔で４箇所の平面部ＲＦ１と、隣り合う平面部ＲＦ１の間にそれぞれ配置された４箇所の曲面部ＲＦ２と、４箇所の曲面部ＲＦ２のうち隣り合う２箇所の曲面部ＲＦ２にそれぞれ配置されたＶノッチＲＦ３とが設けられ、内側に開口部ＲＦ４が形成されている。
【００１４】
ウェハ収容手段２は、表面に保護シートＰＳ（図１中符号ＡＡで示す図参照）が貼付されたウェハＷＦを上下方向に多段に平積み収容可能なウェハカセット２１からなり、フレーム１０に対して切り離し可能に支持される。
【００１５】
フレーム収容手段３は、図２（Ａ）にも示すように、リングフレームＲＦを縦置きにして収容可能に構成されており、リングフレームＲＦを収容する収容ケース３０と、この収容ケース３０内に収容されたリングフレームＲＦを一方向（右側）に付勢する付勢手段４０と、リングフレームＲＦの下部を一方向（右側）に移動させる姿勢維持手段５０とを備えている。
【００１６】
収容ケース３０は、左右方向に延びる長方形箱状の底面部３１と、底面部３１の前方および後方の両端から立設し、リングフレームＲＦの対向する平面部ＲＦ１間の寸法よりも大きく、対向する曲面部ＲＦ２間の寸法よりも小さい間隔に設定されて、リングフレームＲＦの外縁を支える外側支持手段としての一対の側面部３２と、底面部３１の左側端縁から立設する左面部３３と、底面部３１の右側端縁から立設して中央に凹部３４Ａが形成された右面部３４と、右面部３４との間にリングフレームＲＦの１枚以上２枚未満の隙間が設けられ、移載手段８によってリングフレームＲＦが複数枚同時に取り出される（引き抜かれる）ことを防止する押え手段３８とを備えている。前方に位置する側面部３２には取っ手３５が設けられており、この取っ手３５を操作することにより、収容ケース３０を図１中実線で示す移載手段８に接近した移載位置と、同図中二点鎖線で示す移載手段８から離間した供給位置との間で、図示しないレールを介して前後方向に引き出し可能に設けられている。なお、取っ手３５を左面部３３に設け、図１中一点鎖線で示す供給位置との間で、図示しないレールを介して左右方向に引き出し可能な構成としてもよいし、それらを組み合わせて前後方向及び左右方向の両方に引き出し可能な構成としてもよい。
【００１７】
付勢手段４０は、底面部３１の内部に設けられた一対の駆動機器としてのリニアモータ４１と、底面部３１の上面に形成された開口部３６を通じてそれぞれのリニアモータ４１のスライダ４２を連結するように設けられた付勢板４３とを備えている。
姿勢維持手段５０は、底面部３１の内部に設けられるとともに、一対のフレーム５５に支持されて駆動機器としての回動モータ５１によって回動可能に設けられた駆動プーリ５２と、同フレーム５５に回転可能に支持された従動プーリ５３と、駆動プーリ５２および従動プーリ５３に巻回されるとともに、上面が開口部３６を通じて底面部３１の上面よりも僅かに上方に位置するように設けられた無端ベルト５４とを備えている。
【００１８】
支持手段７は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハＷＦおよびリングフレームＲＦを吸着保持可能な支持面７１を有するテーブル７２と、テーブル７２をスライダ７４で支持する駆動機器としてのリニアモータ７３とを備えている。
【００１９】
移載手段８は、駆動機器としての多関節ロボット８１と、この多関節ロボット８１の先端部に設けられた保持手段８２とを備えている。多関節ロボット８１は、６箇所に回転可能な関節を有する所謂６軸ロボットであり、当該多関節ロボット８１の作業範囲内において保持手段８２で保持したウェハＷＦやリングフレームＲＦを何れの位置、何れの角度にでも移動可能に構成されている。保持手段８２は、複数の吸着孔８３が設けられ左右２箇所に設けられたフレーム吸着部８４と、複数の吸着孔８５が設けられフレーム吸着部８４の間に設けられたウェハ吸着部８６と、リングフレームＲＦの厚み以下の高さを有し保持手段８２の保持面８７から突没可能あるいは突没不可能な引っ掛け手段８８とを備えている。フレーム吸着部８４とウェハ吸着部８６とは、多関節ロボット８１に接続されることで、それぞれ図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段に接続され、ウェハＷＦまたはリングフレームＲＦを吸着保持できるようになっている。
移載手段８の左方には、ウェハＷＦの外縁位置、ウェハＷＦに形成された図示しないＶノッチやオリエンテーションフラット等の方位マーク、回路パターン、ストリートまたは、リングフレームＲＦの外縁および内縁位置、リングフレームＲＦの外周に設けられたＶノッチＲＦ３等を検出可能な光学センサや撮像装置等で構成された検出手段８９が設けられている。
【００２０】
貼付手段９は、図１中符号ＡＡで示すＡＲ方向からの図に示すように、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳを支持する支持軸９１と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離する剥離板９２と、剥離されて接着シートＡＳをウェハＷＦに当接させて貼付する押圧手段としての押圧ローラ９３と、駆動機器としての回動モータ９４によって回転駆動する駆動ローラ９５と、駆動ローラ９５とで剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ９６と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ９７とによって構成されている。
【００２１】
なお、本実施形態の場合、ウェハＷＦに貼付された保護シートＰＳを剥離する剥離手段１２と、剥離した保護シートＰＳを回収するための図示しない不要部材収容箱とが併設されているが、これらは本発明の必須要件ではないため詳細な説明は省略する。因みに、剥離手段１２としては、例えば、特願２００８−２８５２８８や特願２０１１−５５５０８等の剥離装置先行文献に記載のものが例示でき、不要部材収容箱としては、保護シートＰＳを収容して回収可能なものであれば何ら限定されるものではない。
【００２２】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、図１中符号ＡＡで示す図に示すように貼付手段９に原反ＲＳをセットするとともに、ウェハカセット２１を図１で示す位置にセットする。そして、取っ手３５を掴んで収容ケース３０を移載位置から図１中二点鎖線または、一点鎖線で示す供給位置に引き出すと、付勢手段４０がリニアモータ４１を駆動し、図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、付勢板４３を左端にまで移動させる。次いで、オペレータが任意の枚数のリングフレームＲＦを収容ケース３０内に縦置きで供給する。このとき、オペレータは、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ４に手または指を入れて吊り下げた状態のまま、当該リングフレームＲＦを収容ケース３０内に供給することができるので、リングフレームＲＦを複数枚同時にしかも片手で収容ケース３０内に供給することができる。そして、オペレータが図示しない供給完了スイッチを押すと、姿勢維持手段５０が回動モータ５１を駆動し、無端ベルト５４を図２における時計回りに回転駆動させるとともに、付勢手段４０がリニアモータ４１を駆動し、図２（Ａ）中実線で示すように、付勢板４３を右方向に移動させる。これにより、収容ケース３０内に収容されたリングフレームＲＦは、全体的に右方向に移動され、右端に位置するリングフレームＲＦと右面部３４とが密接した状態となり、当該リングフレームＲＦの姿勢が維持される。その後、オペレータが収容ケース３０を移載位置に移動させる。
【００２３】
そして、移載手段８が多関節ロボット８１を駆動し、保持手段８２をウェハカセット２１の内部に挿入させてウェハ吸着部８６をウェハＷＦに接触させた後、図示しない吸引手段を駆動し、当該ウェハＷＦを吸着保持して検出手段８９で検出できる位置にウェハＷＦを移動させる。次いで、検出手段８９がウェハＷＦの外縁位置と図示しないＶノッチ位置とを検出し、それら諸データが図示しない制御手段に出力される。ウェハＷＦの諸データが図示しない制御手段に入力されると、ウェハＷＦの中心位置が算出され、移載手段８が多関節ロボット８１を駆動し、ウェハＷＦの中心位置と図示しないＶノッチ位置とが所定の位置となるようにして図１中二点鎖線で示す位置で待機しているテーブル７２の支持面７１上に載置する。ウェハＷＦが載置されると、支持手段７が図示しない吸引手段を駆動し、当該ウェハＷＦを吸着保持する。
さらに、移載手段８が多関節ロボット８１を駆動し、図２（Ｂ）、図３に示すように、保持手段８２を右面部３４の凹部３４Ａ内に挿入し、収容ケース３０の右端に位置するリングフレームＲＦの右面にフレーム吸着部８４を接触させた後、図示しない吸引手段を駆動し、当該右端に位置するリングフレームＲＦを吸着保持する。次いで、移載手段８が多関節ロボット８１を駆動し、右端に位置するリングフレームＲＦを上方に引き抜く。このとき、右端に位置するリングフレームＲＦは、付勢手段４０と姿勢維持手段５０とによって右面部３４に押し付けられているので、フレーム吸着部８４のみの吸引力だけでは引き抜けない場合があるが、引っ掛け手段８８がリングフレームＲＦの開口部ＲＦ４に引っ掛かるようになるので、そのような不都合は発生しない。また、右端に位置するリングフレームＲＦを引き抜くときに、当該右端に位置するリングフレームＲＦの左側に隣接するリングフレームＲＦも同時に引き抜かれて散乱してしまう場合があるが、押え手段３８が存在することで、そのような不都合も発生しない。なお、万が一図２（Ｃ）に示すように、無端ベルト５４の回転駆動によっても右端に位置するリングフレームＲＦが右面部３４と密接していない場合があっても、フレーム吸着部８４での吸引による圧力が下がらないことを検知し、保持手段８２を同図に示すように時計回りに回転させることができる。右端に位置するリングフレームＲＦが収容ケース３０から引き抜かれると、当該右端に位置するリングフレームＲＦの左側に隣接していたリングフレームＲＦが、付勢手段４０と姿勢維持手段５０とによって右面部３４に押し付けられる。
その後、移載手段８が多関節ロボット８１を駆動し、リングフレームＲＦを検出手段８９で検出できる位置に移動させ、検出手段８９が上述のウェハＷＦのときと同様の動作を行い、その後、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ４の中心位置がテーブル７２上で支持されているウェハＷＦの中心位置に合致する状態、かつ、リングフレームＲＦのＶノッチＲＦ３が所定の方向を向く状態にして、当該リングフレームＲＦをテーブル７２の支持面７１上に載置する。リングフレームＲＦが載置されると、支持手段７が図示しない吸引手段を駆動し、当該リングフレームＲＦを吸着保持する。
【００２４】
次いで、支持手段７がリニアモータ７３を駆動し、テーブル７２を左方向に移動させ、ウェハＷＦおよびリングフレームＲＦが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、テーブル７２の移動に同期して貼付手段９が回動モータ９４を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離板９２で剥離され、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ９３によってウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに押圧されて貼付され、図１中実線で示すように、ウェハ支持体ＷＫが形成される。このようにしてウェハ支持体ＷＫが形成されると、図示しない検知手段に検知され、支持手段７がリニアモータ７３を停止する。そして、移載手段８が多関節ロボット８１を駆動し、ウェハ支持体ＷＫを持ち上げて上下反転させ、支持面７１に対向する吸着支持面を有する図示しない受け渡し手段に受け渡し、当該受け渡し手段がウェハ支持体ＷＫを下降させて再び支持面７１に載置する。これにより、ウェハ支持体ＷＫが保護シートＰＳを上方に向けた状態で支持面７１に支持される。次いで、剥離手段１２が保護シートＰＳに図示しない剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを引っ張ってウェハＷＦから保護シートＰＳを剥離する（詳細は、剥離装置先行文献参照）。ウェハＷＦから保護シートＰＳが剥離されると、移載手段８が多関節ロボット８１を駆動し、剥離した保護シートＰＳにウェハ吸着部８６を接触させて図示しない吸引手段を駆動し、当該保護シートＰＳを吸着保持して図示しない不要部材収容箱に破棄する。そして、保護シートＰＳが剥離されウェハ支持体ＷＫは、図示しない搬送手段によって別工程に搬送され、テーブル７２が図１中二点鎖線で示す位置に戻り、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２５】
以上のような実施形態によれば、オペレータは、リングフレームＲＦを容易に収容ケース３０に供給することが可能となり、例え大型のリングフレームＲＦであったとしても、重力に逆らうことなく縦積み体勢とすることができ、一度にしかも片手で、複数枚のリングフレームを収容手段に供給することが可能となる。
【００２６】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２７】
例えば、前記実施形態では、フレーム部材としてリングフレームＲＦを例示し、当該リングフレームＲＦの開口部ＲＦ４に手または指を入れて吊り下げた状態で収容ケース３０内に収容する場合を説明したが、開口部のないフレーム部材であっても、当該フレーム部材の重心から外れた位置を把持したときに、当該フレーム部材が重力に引かれる方向に沿う向きにして（重力に逆らうことのない向きにして）当該フレーム部材を収容手段に供給できる構成であれば足りる。
さらに、テーブル７２にリングフレームＲＦのみを載置し、当該リングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付してもよい。
また、付勢板４３は、姿勢維持手段５０の無端ベルト５４と同様の無端ベルトで駆動する構成としたり、ばねなどの弾性部材で引張られる構成としたりすることでリングフレームＲＦを付勢するようにしてもよい。
さらに、図１中二点鎖線で示すように、収容ケース３０の右端に位置するリングフレームＲＦを吸着保持可能なフレーム吸着部６０を有する保持部６１と、保持部６１で保持したリングフレームＲＦのＶノッチＲＦ３を検知可能なＶノッチ検知手段６２と、保持部６１を左右方向に移動可能に設けられるとともに、リングフレームＲＦを当該リングフレームＲＦの面内で回転可能な駆動機器としての回動モータ６３と、回動モータ６３を上下方向に昇降可能な駆動機器としての直動モータ６４とを備えた受け渡し手段６を設けてもよい。そして、受け渡し手段６が回動モータ６３を駆動し、収容ケース３０の右端に位置するリングフレームＲＦを保持部６１で吸着保持し、直動モータ６４を駆動し、右端に位置するリングフレームＲＦを引き抜く。その後、受け渡し手段６が回動モータ６３を駆動し、リングフレームＲＦを所定角度回転させ、Ｖノッチ検知手段６２でＶノッチの位置を検出させた後、当該Ｖノッチが所定の位置となるように回動モータ６３を停止させ位置決めする。そして、移載手段８が多関節ロボット８１を駆動し、受け渡し手段６で位置決めされたリングフレームＲＦを保持手段８２で保持するようにしてもよい。
【００２８】
また、本発明における被着体および接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、接着シートＡＳは、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するものや、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、このような両面接着シートとしては、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。更に、被着体が半導体ウェハであって、接着シートＡＳが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。この際、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートＡＳは、それらに限らず、任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートＡＳが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体としては、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、その他の被着体のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００２９】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３０】
１    シート貼付装置
３    フレーム収容手段
７    支持手段
８    移載手段
９    貼付手段
３８    押え手段
４０    付勢手段
５０    姿勢維持手段
ＡＳ    接着シート
ＲＦ    リングフレーム（フレーム部材）
【図１】
2014017307.tif 000003
【図２】
2014017307.tif 000004
【図３】
2014017307.tif 000005