(57)【要約】【課題】フッ素系の光硬化性組成物の硬化物からなる微細パターンを有する表面に対して、高い離型性、高い滑り性が付与され、例えばモールド、反射防止構造体などとして好適に使用される成形体の提供。【解決手段】化合物（Ａ）と化合物（Ｂ）と光重合開始剤（Ｃ）とを含むインプリント用光硬化性組成物の硬化物４２からなる微細パターン（α）を表面４４に有する成形体本体４０と、該成形体本体４０の微細パターン（α）を有する表面４４に形成された含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６とを有する成形体５０である。化合物（Ａ）：フッ素原子を有し、かつ炭素−炭素不飽和二重結合を１つ以上有する。化合物（Ｂ）：炭素−炭素不飽和二重結合を１つ以上有する（ただし、化合物（Ａ）を除く。）。含フッ素エーテル化合物（ｉ）：パーフルオロポリエーテル構造と水酸基とを有する。【選択図】図１
2014040046.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記化合物（Ａ）と、下記化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含むインプリント用光硬化性組成物の硬化物からなる微細パターン（α）を表面に有する成形体本体と、
該成形体本体の微細パターン（α）を有する表面に形成された下記含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層と、
を有する、微細パターンを表面に有する成形体。
化合物（Ａ）：フッ素原子を有し、かつ炭素−炭素不飽和二重結合を１つ以上有する化合物。
化合物（Ｂ）：炭素−炭素不飽和二重結合を１つ以上有する化合物（ただし、化合物（Ａ）を除く。）。
含フッ素エーテル化合物（ｉ）：パーフルオロポリエーテル構造と水酸基とを有する化合物。
【請求項２】
前記含フッ素エーテル化合物（ｉ）は、前記パーフルオロポリエーテル構造として、下記の式（１）、式（２）、式（３）および式（４）からなる群より選ばれる１つ以上の構造を有し、かつ、前記水酸基を２つ以上有する、請求項１に記載の微細パターンを表面に有する成形体。
【化１】
2014040046.tif 000013
（ただし、上記式（１）、式（２）、式（３）および式（４）において、ｔ、ｕ、ｖ、ｗは、各々３〜２００の整数である。）
【請求項３】
前記インプリント用光硬化性組成物は、前記化合物（Ａ）と前記化合物（Ｂ）と前記光重合開始剤（Ｃ）との合計１００質量部に対して、０．００５〜１５質量部の下記含フッ素化合物（Ｄ）をさらに含む、請求項１または２に記載の微細パターンを表面に有する成形体。
含フッ素化合物（Ｄ）：含フッ素界面活性剤およびフルオロシリコーン化合物の１種以上。
【請求項４】
インプリント用のモールドである、請求項１〜３のいずれか一項に記載の微細パターンを表面に有する成形体。
【請求項５】
反射防止構造体である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の微細パターンを表面に有する成形体。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の微細パターンを表面に有する成形体の製造方法であって、
前記インプリント用光硬化性組成物を前記微細パターン（α）の反転パターンを有するモールドの表面に接触させる工程と、
前記モールドの表面に前記インプリント用光硬化性組成物を接触させた状態で、前記インプリント用光硬化性組成物に光を照射し、前記インプリント用光硬化性組成物を硬化させて硬化物とする工程と、
前記硬化物から前記モールドを分離して、前記微細パターン（α）を表面に有する成形体本体を得る工程と、
該成形体本体の微細パターン（α）を有する表面に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液を塗布する工程と、
を有する、微細パターンを表面に有する成形体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細パターンを表面に有する成形体および該成形体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学部材、記録メディア、半導体装置等の製造において、微細パターンを短時間で形成する方法として、ナノインプリント法が知られている。該方法は、基板の表面に配置された光硬化性組成物に対して、微細パターンの反転パターンを表面に有するモールドを押しつけ、該光硬化性組成物に光を照射し、該光硬化性組成物を硬化させた後にモールドを分離することによって、基板の表面に微細パターンを形成する方法である。
【０００３】
該方法においては、光硬化性組成物からなる硬化物とモールドとの離型性が重要である。そのため、モールドにおいて反転パターンが形成された表面に、離型処理を施すことが知られている。
例えば、特許文献１には、モールドの材料と化学的に反応する官能基を有するパーフルオロポリエーテルを用いて、離型処理を施すことが開示されている（特許文献１参照）。
また、最近では、多孔質のシリコーン系のエポキシ材料の表層をフッ素系シランカップリング剤で処理し、その後、表層に含フッ素化合物を含浸させると、滑り性（離型性）が向上することが報告されている（非特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２８３３５４号公報
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】T.Wong et al.,Nature(2011),p.443-447
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、モールドの表面がフッ素系の光硬化性組成物の硬化物からなる場合、従来の離型処理の方法では、該表面に、充分な離型性を付与できなかった。
さらに、非特許文献１の方法では、フッ素系シランカップリング剤による処理の後に、含フッ素化合物の含浸処理をする必要があり、製造工程が長くコストが嵩み、生産性が良好ではないという問題もあった。
【０００７】
本発明は、フッ素系の光硬化性組成物の硬化物からなる微細パターンを有する表面に対して、高い離型性、高い滑り性が付与され、例えばモールド、反射防止構造体などとして好適に使用される成形体と、該成形体を生産性良く製造する方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は以下の構成を有する。
［１］下記化合物（Ａ）と、下記化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含むインプリント用光硬化性組成物の硬化物からなる微細パターン（α）を表面に有する成形体本体と、該成形体本体の微細パターン（α）を有する表面に形成された下記含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層と、を有する、微細パターンを表面に有する成形体。
化合物（Ａ）：フッ素原子を有し、かつ炭素−炭素不飽和二重結合を１つ以上有する化合物。
化合物（Ｂ）：炭素−炭素不飽和二重結合を１つ以上有する化合物（ただし、化合物（Ａ）を除く。）。
含フッ素エーテル化合物（ｉ）：パーフルオロポリエーテル構造と水酸基とを有する化合物。
［２］前記含フッ素エーテル化合物（ｉ）は、前記パーフルオロポリエーテル構造として、下記の式（１）、式（２）、式（３）および式（４）からなる群より選ばれる１つ以上の構造を有し、かつ、前記水酸基を２つ以上有する、［１］に記載の微細パターンを表面に有する成形体。
【化１】
2014040046.tif 000003
（ただし、上記式（１）、式（２）、式（３）および式（４）において、ｔ、ｕ、ｖ、ｗは、各々３〜２００の整数である。）
［３］前記インプリント用光硬化性組成物は、前記化合物（Ａ）と前記化合物（Ｂ）と前記光重合開始剤（Ｃ）との合計１００質量部に対して、０．００５〜１５質量部の下記含フッ素化合物（Ｄ）をさらに含む、［１］または［２］に記載の微細パターンを表面に有する成形体。
含フッ素化合物（Ｄ）：含フッ素界面活性剤およびフルオロシリコーン化合物の１種以上。
［４］インプリント用のモールドである、［１］〜［３］のいずれか１つに記載の微細パターンを表面に有する成形体。
［５］反射防止構造体である、［１］〜［３］のいずれか１つに記載の微細パターンを表面に有する成形体。
［６］［１］〜［５］のいずれか１つに記載の微細パターンを表面に有する成形体の製造方法であって、前記インプリント用光硬化性組成物を前記微細パターン（α）の反転パターンを有するモールドの表面に接触させる工程と、前記モールドの表面に前記インプリント用光硬化性組成物を接触させた状態で、前記インプリント用光硬化性組成物に光を照射し、前記インプリント用光硬化性組成物を硬化させて硬化物とする工程と、前記硬化物から前記モールドを分離して、前記微細パターン（α）を表面に有する成形体本体を得る工程と、該成形体本体の微細パターン（α）を有する表面に、前記含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液を塗布する工程と、を有する、微細パターンを表面に有する成形体の製造方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の成形体によれば、フッ素系の光硬化性組成物の硬化物からなる微細パターンを有する表面に対して、高い離型性、高い滑り性が付与されている。そのため、該成形体は、例えば、高い離型性を有するインプリント用のモールドとして使用できる。また、該成形体は、高い滑り性を有し、例えば指紋付着防止性、防汚性を備えた反射防止構造体として使用できる。
本発明の成形体の製造方法によれば、フッ素系の光硬化性組成物の硬化物からなる微細パターンを有する表面に高い離型性、高い滑り性が付与されている成形体を、生産性良く製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】微細パターンを表面に有する成形体の一例を示す断面図である。
【図２】微細パターン（α）を表面に有する成形体本体の製造方法の一例を示す断面図である。
【図３】微細パターン（α）を表面に有する成形体本体の製造方法の他の一例を示す断面図である。
【図４】微細パターン（α）を表面に有する成形体本体の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本明細書においては、式（Ａ）で表される化合物を化合物（Ａ）と記す。他の式で表される化合物も同様に記す。
本明細書においては、（メタ）アクリロイルオキシ基は、アクリロイルオキシ基またはメタクリロイルオキシ基を意味する。
本明細書においては、（メタ）アクリレートは、アクリレートまたはメタクリレートを意味し、（メタ）アクリルアミドは、アクリルアミドまたはメタクリルアミドを意味する。
【００１２】
＜微細パターンを表面に有する成形体＞
図１は、本発明の一実施形態例である、微細パターンを表面５１に有する成形体５０の一例を示す断面図である。この成形体５０は、下記化合物（Ａ）と、下記化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含むインプリント用光硬化性組成物の硬化物４２からなる微細パターン（α）を表面４４に有する成形体本体４０と、該成形体本体４０の微細パターン（α）を有する表面４４に形成された下記含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６と、を有する。
化合物（Ａ）：フッ素原子を有し、かつ炭素−炭素不飽和二重結合を１つ以上有する化合物。
化合物（Ｂ）：炭素−炭素不飽和二重結合を１つ以上有する化合物（ただし、化合物（Ａ）を除く。）。
含フッ素エーテル化合物（ｉ）：パーフルオロポリエーテル構造と水酸基とを有する化合物。
【００１３】
[インプリント用光硬化性組成物]
インプリント用光硬化性組成物（以下、光硬化性組成物と記す。）は、上記化合物（Ａ）と、上記化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを含み、必要に応じて他の成分（含フッ素界面活性剤およびフルオロシリコーン化合物の１種以上からなる含フッ素化合物（Ｄ）、添加剤（Ｅ）等。）をさらに含む。該光硬化性組成物の硬化物４２により、成形体本体４０の微細パターン（α）を有する表面４４が形成される。
【００１４】
該光硬化性組成物の２５℃における粘度は、３〜１００００ｍＰａ・ｓが好ましく、５〜７０００ｍＰａ・ｓがより好ましく、８〜１１００ｍＰａ・ｓがさらに好ましい。
光硬化性組成物の粘度が上記範囲であれば、特別な操作（たとえば、光硬化性組成物を高温に加熱して低粘度にする操作等。）を行うことなく、光硬化性組成物とモールドの表面との接触を容易に行える。
【００１５】
該光硬化性組成物は、実質的に溶剤を含まないことが好ましい。光硬化性組成物が実質的に溶剤を含まなければ、光の照射を除く特別な操作（たとえば、光硬化性組成物を高温に加熱して溶媒を除去する操作等。）を行うことなく、光硬化性組成物の硬化を容易に行える。
溶剤とは、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を溶解させる能力を有する化合物であり、常圧における沸点が１７０℃以下の化合物である。溶剤は、含フッ素化合物（Ｄ）および添加剤（Ｅ）のうちの１つ以上を溶解させる能力を有することが好ましい。
実質的に溶剤を含まないとは、光硬化性組成物（１００質量％）のうち溶剤が１質量％以下であることを意味する。本発明においては、光硬化性組成物を調製する際に用いた溶剤を残存溶剤として含んでいてもよいが、残存溶剤は、極力除去されていることが好ましく、光硬化性組成物（１００質量％）のうち０．７質量％以下がより好ましい。
【００１６】
（化合物（Ａ））
化合物（Ａ）は、フッ素原子を有し、かつ炭素−炭素不飽和二重結合を１つ以上有する化合物である。
化合物（Ａ）を含むことによって、光硬化性組成物が、硬化物４２の微細パターン（α）を形成するためのモールドや基板３０に濡れ広がりやすくなる。また、光硬化性組成物の硬化物４２とモールドとの離型が容易になる。
また、化合物（Ａ）を含むことによって、光硬化性組成物の硬化物４２からなる、成形体本体４０の微細パターン（α）を有する表面４４に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液を塗布し、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６を形成する際に、該表面４４が濡れやすくなる。また、該表面４４に含フッ素エーテル化合物（ｉ）が保持されやすくなる。その結果、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６による高い離型性、高い滑り性が付与される。
【００１７】
化合物（Ａ）としては、フルオロ（メタ）アクリレート類、フルオロジエン類、フルオロビニルエーテル類、フルオロ環状モノマー類等が挙げられ、相溶性の点から、フルオロ（メタ）アクリレート類が好ましい。
フルオロ（メタ）アクリレート類としては、特許文献（国際公開第２０１０／０６４６０９号）において化合物（Ｂ）として例示されたものが挙げられ、好ましい態様も同様である。
【００１８】
化合物（Ａ）は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
化合物（Ａ）の割合は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）の合計１００質量％のうち、１〜４３質量％が好ましく、３〜４０質量％がより好ましい。化合物（Ａ）が１質量％以上であれば、離型性に優れる硬化物４２を得ることができる。さらに、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液が、成形体本体４０の微細パターン（α）を有する表面４４に濡れやすくなるとともに、該表面４４に含フッ素エーテル化合物（ｉ）が保持されやすくなる。また、光硬化性組成物の泡立ちが抑えられる。光硬化性組成物の泡立ちを抑制できることから、光硬化性組成物の調製時に光硬化性組成物をフィルターでろ過しやすくなり、さらにナノインプリントする際の泡の混入によるパターン形状の欠陥をなくすことができる。化合物（Ａ）が４３質量％以下であれば、均一に混合できることから、機械的強度の優れた硬化物４２を得ることができる。
【００１９】
（化合物（Ｂ））
化合物（Ｂ）は、炭素−炭素不飽和二重結合を１つ以上有する化合物（ただし、化合物（Ａ）を除く。）である。化合物（Ｂ）としては、（メタ）アクリロイルオキシ基を１つ以上有する化合物、ビニル基を１つ以上有する化合物、オキシラニル基を１つ以上有する化合物、アリル基を１つ以上有する化合物などが挙げられ、化合物（Ａ）との共重合性の点から、（メタ）アクリロイルオキシ基を１つ以上有する化合物が好ましい。
【００２０】
化合物（Ｂ）は、他の成分を溶解させたり、光硬化性組成物の感度を向上させたりする成分で、特に、化合物（Ａ）、光重合開始剤（Ｃ）との相溶性に優れる。化合物（Ａ）および光重合開始剤（Ｃ）との相溶性がよければ、光硬化性組成物の調製時の泡立ちが抑えられ、フィルターでろ過しやすくなる等、光硬化性組成物の調製が容易となる。また、均一な光硬化性組成物が得られる。さらに、均質な硬化物４２が得られることによって、該硬化物は離型性、機械的強度を充分に発揮できる。また、化合物（Ｂ）の種類によっては、光硬化性組成物の硬化物４２のドライエッチング耐性、ウェットエッチング耐性、透明性、粘度、屈折率、硬度、機械強度、柔軟性、基板との密着性等の諸物性を調整できる。
【００２１】
化合物（Ｂ）としては、下記の化合物が挙げられる。
フェノキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシピロピル（メタ）アクリレート、フェノキシエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシ化ｏ−フェニルフェノールアクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、メトキシトリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、イソステアリル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、３−（トリメトキシシリル）プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、２−メチル−２−アダマンチル（メタ）アクリレート、２−エチル−２−アダマンチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシ−１−アダマンチル（メタ）アクリレート、１−アダマンチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、β−カルボキシエチル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、２−（ｔｅｒｔ−ブチルアミノ）エチル（メタ）アクリレート、１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、４−ｔｅｒｔ−ブチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、炭酸ビニレン、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド塩化メチル４級塩、（メタ）アクリロイルモルフォリン、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート（エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡグリセロレートジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡプロポキシレートグリセロレートジ（メタ）アクリレート等。）、エトキシ化ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、フルオレンジ（メタ）アクリレート、変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート（エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡグリセロレートジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡプロポキシレートグリセロレートジ（メタ）アクリレート等。）、エトキシ化ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、エチレングリコ���ルジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、グリセロール１，３−ジグリセロレートジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールエトキシレートジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールプロポキシレートジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシ−２，２−ジメチルプロピオネートジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０−デカンジオールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールプロポキシレートジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、グリセロールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールグリセロレートジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールグリセロレートジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−アクリロイロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−メチル−１，３−プロパンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパンベンゾエートジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレートモノステアリル酸、トリメチロールプロパンエトキシレートメチルエーテルジ（メタ）アクリレート、ウレタン結合を２つ以上有するウレタン（メタ）アクリレート（新中村化学工業社製のＵＡ−４２００、Ｕ−４ＨＡ、ＵＡ-１２２Ｐ、共栄社化学社製のＵＡ−５１０Ｈ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｈ、ＡＨ−６００、ジウレタンジ（メタ）アクリレート等。）、９，９−ビス［４−（２−アクリロイルオキシエトキシ）フェニル］フルオレンなどのフルオレン骨格を有するジ（メタ）アクリレート、１，３−ビス（３−メタクリロイロキシプロピル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アクリレート、ポリエーテルトリ（メタ）アクリレート、グリセリンプロポキシトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、シリコーンジ（メタ）アクリレート、シリコーンヘキサ（メタ）アクリレート、芳香族ウレタントリ（メタ）アクリレート、芳香族ウレタンテトラ（メタ）アクリレート、芳香族ウレタンヘキサ（メタ）アクリレート、Ｎ−（２−ヒドロキシメチル）アクリルアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アクリルアミド、（アクリロイルアミノ）ヒドロキシ酢酸、（Ｚ）−３−アミノ−２−シアノ−３−ヒドロキシアクリルアミド、ヒドロキシチオアクリルアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシプロピル）アクリルアミド、Ｎ−（２−ヒドロキシフェニル）アクリルアミド、Ｎ（２，２ジメトキシ−１−ヒドロキシエチル）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ’−（１，２−ジヒドロキシエチレン）ビスアクリルアミド、６−アクリルアミドヘキサン酸、２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリル酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルコハク酸、２−（メタ）アクリロイロキシエチルフタル酸、４-（３-（メタ）アクリロイロキシ−Ｎ−プロピロキシ）安息香酸、３-（（メタ）アクリロイロキシ）プロパン酸、４−｛［２−（（メタ）アクリロイロキシ）エトキシ］カルボニル｝ベンゼン−１，３−ジカルボン酸、４−（６−（（メタ）アクリロイロキシ）ヘキシロキシ）安息香酸等。
【００２２】
化合物（Ｂ）は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
化合物（Ｂ）の割合は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）の合計１００質量％のうち、４０〜９８質量％が好ましく、４７〜９２質量％がより好ましい。化合物（Ｂ）が４０質量％以上であれば、光硬化性組成物の感度を向上でき、かつ化合物（Ａ）および光重合開始剤（Ｃ）との相溶性が良好となる。化合物（Ｂ）が９８質量％以下であれば、硬化物４２の基板３０との密着性およびモールドとの離型性の両方を発現できる。
【００２３】
（光重合開始剤（Ｃ））
光重合開始剤（Ｃ）としては、アルキルフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキシド系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤、オキシムエステル系光重合開始剤、オキシフェニル酢酸エステル系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、ベンジル−（ｏ−エトキシカルボニル）−α−モノオキシム、グリオキシエステル、３−ケトクマリン、２−エチルアンスラキノン、カンファーキノン、テトラメチルチウラムスルフィド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルペルオキシド、ジアルキルペルオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシピバレート等が挙げられ、感度および相溶性の点から、アルキルフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキシド系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤またはベンゾフェノン系光重合開始剤が好ましい。
【００２４】
アルキルフェノン系光重合開始剤としては、下記の化合物が挙げられる。
アセトフェノン、ｐ−（ｔｅｒｔ−ブチル）１’，１’，１’−トリクロロアセトフェノン、クロロアセトフェノン、２’，２’−ジエトキシアセトフェノン、ヒドロキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−１，２-ジフェニルエタン−１−オン、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル-プロパン−１−オン、２−アミノアセトフェノン、ジアルキルアミノアセトフェノン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、２−ヒロドキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−（ジメチルアミノ）−２−［（４−メチルフェニル）メチル］−１−［４−（４−モルホリニル）フェニル］−１−ブタノン等。
【００２５】
アシルホスフィンオキシド系光重合開始剤としては、下記の化合物が挙げられる。
２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキシド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキシド等。
【００２６】
チタノセン系光重合開始剤としては、下記の化合物が挙げられる。
ビス（η５−２，４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２，６−ジフルオロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）−フェニル）チタニウム等。
【００２７】
オキシムエステル系光重合開始剤としては、下記の化合物が挙げられる。
１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）等。
【００２８】
オキシフェニル酢酸エステル系光重合開始剤としては、下記の化合物が挙げられる。
オキシフェニル酢酸、２−［２−オキソ−２−フェニルアセトキシエトキシ］エチルエステルとオキシフェニル酢酸、２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチルエステルの混合物等。
【００２９】
ベンゾイン系光重合開始剤としては、下記の化合物が挙げられる。
ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール等。
【００３０】
ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、下記の化合物が挙げられる。
ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、メチル−ｏ−ベンゾイルベンゾエート、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、ヒドロキシプロピルベンゾフェノン、アクリルベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン等。
【００３１】
光重合開始剤（Ｃ）は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
光重合開始剤（Ｃ）の割合は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）の合計１００質量％のうち、０．５〜２５質量％が好ましく、１〜１５質量％がより好ましい。光重合開始剤（Ｃ）が０．５質量％以上であれば、加熱等の操作を行うことなく、容易に硬化物を得ることができる。光重合開始剤（Ｃ）が２５質量％以下であれば、均一に混合できることから、硬化物４２に残存する光重合開始剤（Ｃ）が少なくなり、硬化物の物性の低下が抑えられる。
【００３２】
（含フッ素化合物（Ｄ））
光硬化性組成物は、含フッ素化合物（Ｄ）として、含フッ素界面活性剤およびフルオロシリコーン化合物のうちの１種以上を含んでもよい。なお、含フッ素化合物（Ｄ）は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）には該当しない。
含フッ素化合物（Ｄ）は、光硬化性組成物を基板３０またはモールドに塗布する時の泡を消す効果と、硬化物４２の離型性を向上させる効果がある。さらに、形成された塗膜を保持させる効果もある。
また、光硬化性組成物に、含フッ素化合物（Ｄ）が化合物（Ａ）と共に含まれることによって、光硬化性組成物の硬化物４２からなる微細パターン（α）を有する表面４４に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液がより濡れやすくなる。また、該表面４４に含フッ素エーテル化合物（ｉ）がより保持されやすくなる。その結果、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６による高い離型性、高い滑り性が付与される。
【００３３】
含フッ素化合物（Ｄ）としては、フッ素含有量が１０〜７０質量％の含フッ素化合物が好ましく、フッ素含有量が１０〜４０質量％の含フッ素化合物がより好ましい。含フッ素化合物は、水溶性であってもよく、脂溶性であってもよく、光硬化性組成物における相溶性および硬化物４２における分散性の点から、脂溶性が好ましい。
含フッ素化合物（Ｄ）としては、光硬化性組成物における相溶性、硬化物４２における分散性の点から、ノニオン性含フッ素界面活性剤またはフルオロアルキルシリコーン類が好ましい。
【００３４】
ノニオン性含フッ素界面活性剤としては、ポリフルオロアルキルアミンオキサイド、またはポリフルオロアルキル・アルキレンオキサイド付加物が好ましい。
ノニオン性含フッ素界面活性剤の具体例としては、サーフロンＳ−２４２（商品名、ＡＧＣセイミケミカル社製）、サーフロンＳ−２４３（商品名、ＡＧＣセイミケミカル社製）、サーフロンＳ−３８６（商品名、ＡＧＣセイミケミカル社製）、サーフロンＳ−４２０（商品名、ＡＧＣセイミケミカル社製）、サーフロンＳ−６１１（商品名、ＡＧＣセイミケミカル社製）、サーフロンＳ−６５０（商品名、ＡＧＣセイミケミカル社製）、サーフロンＳ−６５１（商品名、ＡＧＣセイミケミカル社製）、サーフロンＳ−１４５（商品名、ＡＧＣセイミケミカル社製）、サーフロンＳ−３９３（商品名、ＡＧＣセイミケミカル社製）、サーフロンＫＨ−２０（商品名、ＡＧＣセイミケミカル社製）、サーフロンＫＨ−４０（商品名、ＡＧＣセイミケミカル社製）、フロラードＦＣ−１７０（商品名、住友スリーエム社製）、フロラードＦＣ−４３０（商品名、住友スリーエム社製）、メガファックＦ−５５２（商品名、ＤＩＣ社製）、メガファックＦ−５５３（商品名、ＤＩＣ社製）、メガファックＦ−５５４（商品名、ＤＩＣ社製）、メガファックＦ−５５６（商品名、ＤＩＣ社製）等が挙げられる。
【００３５】
フルオロアルキルシリコーン類の具体例としては、トリメチル末端トリフルオロプロピルメチルシロキサン、ＦＡ−６３０（商品名、信越化学工業社製）等が挙げられる。
【００３６】
含フッ素化合物（Ｄ）は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
含フッ素化合物（Ｄ）の含有量は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）の合計１００質量部に対して、０．００５〜２０質量部が好ましく、０．０１〜１５質量部がより好ましい。含フッ素化合物（Ｄ）の含有量が０．００５質量部以上であれば、硬化物４２の離型性が向上する。また、成形体本体４０の微細パターン（α）を有する表面４４に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液がより濡れやすくなるとともに、含フッ素エーテル化合物（ｉ）がより保持されやすくなる。含フッ素化合物（Ｄ）の含有量が２０質量部以下であれば、光硬化性組成物の硬化の阻害が抑えられ、また、硬化物４２の相分離が抑えられる。
【００３７】
（添加剤（Ｅ））
光硬化性組成物は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）および含フッ素化合物（Ｄ）を除く、添加剤（Ｅ）を含んでいてもよい。
添加剤（Ｅ）としては、酸化防止剤（耐熱安定剤）、チクソトロピック剤、耐光安定剤、ゲル化防止剤、光増感剤、樹脂、金属酸化物微粒子、炭素化合物、金属微粒子、他の有機化合物等が挙げられる。
【００３８】
［含フッ素エーテル化合物（ｉ）］
含フッ素エーテル化合物（ｉ）は、パーフルオロポリエーテル構造と水酸基とを有する化合物である。該含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６は、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を含むフッ素系の光硬化性組成物からなる硬化物４２に密着性良く保持される。そのため、該含フッ素エーテル化合物（ｉ）を用いると、フッ素系の硬化物からなるために従来の離型剤とは密着しにくく、充分な離型性、滑り性が付与されにくかった微細パターン（α）を有する表面４４上に、該含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６を形成して、成形体５０の表面５１に高い離型性、高い滑り性を付与できる。高い離型性を有する表面５１は、成形体５０をレプリカモールドとして使用した際の転写性にも優れる。
【００３９】
含フッ素エーテル化合物（ｉ）は、パーフルオロポリエーテル構造として下記の式（１）、式（２）、式（３）および式（４）からなる群より選ばれる１つ以上の構造を有し、かつ、水酸基を２つ以上有する化合物が好ましい。パーフルオロポリエーテル構造は、少なくとも式（１）の構造を有することがより好ましい。
【００４０】
【化２】
2014040046.tif 000004
【００４１】
上記式（１）、式（２）、式（３）および式（４）において、ｔ、ｕ、ｖ、ｗは、各々３〜２００の整数である。含フッ素エーテル化合物（ｉ）の１分子中におけるｔ＋ｕ＋ｖ＋ｗは、１０〜６００であることが好ましい。
本発明において、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層は、単一の含フッ素エーテル化合物を含んで構成されていても、複数の含フッ素エーテル化合物を含んで構成されていてもよく、通常は、複数の化合物の混合物により構成される。複数の化合物の混合物により構成される場合、混合物全体に含まれる式（１）〜（４）のパーフルオロポリエーテル構造の各々すべてが、ｔ、ｕ、ｖ、ｗが３〜２００の範囲内であるとの条件を満たさなくてもよく、混合物全体に含まれる式（１）〜（４）のパーフルオロポリエーテル構造のすべての平均値（ｔ、ｕ、ｖ、ｗの平均値）が、３〜２００の範囲内であることが好ましい。
【００４２】
より好ましい含フッ素エーテル化合物（ｉ）は、下記式（５）で表される化合物である。式（５）中のＸは下記式（６）で表され、Ｚは下記式（７）で表される。Ｙは下記式（Ｙ−１）〜（Ｙ−８）で表される２価または３価または４価の基のいずれかである。
【００４３】
【化３】
2014040046.tif 000005
ただし、式（５）中、ｘ１、ｚ１は０〜４の整数であり、かつ、ｘ１＋ｚ１は、Ｙの価数に対応する２〜４の整数である。
また、式（６）および（７）中、ａは０〜１００の整数であり、ｂ、ｃは、０または１であり、ｄ、ｇは各々３〜２００の整数であり、ｓは０〜１９の整数である。
【００４４】
【化４】
2014040046.tif 000006
【００４５】
このように化合物（５）は、式（Ｙ−１）〜（Ｙ−８）からなる群より選ばれる基（Ｙ）に、式（６）で表される基（Ｘ）および式（７）で表される基（Ｚ）の少なくとも一方が結合し、かつ、式（６）で表される基（Ｘ）および式（７）で表される基（Ｚ）の総数がＹの価数に対応する２〜４である。
該化合物のうち、Ｙの価数は３または４が好ましく、下記式（ｉ−１）の化合物および下記式（ｉ−２）の化合物がより好ましい。ただし、含フッ素エーテル化合物（ｉ）には、Ｙの価数が２の化合物（５）も含まれてよいし、１価のペルフルオロアルキル基（炭素原子間にエーテル性酸素原子を有していてもよい。）に、式（６）で表される基（Ｘ）が結合した化合物なども含まれていてよい。これらが含まれる場合、その含有割合は、含フッ素エーテル化合物（ｉ）の１００質量％中、５０質量％未満であることが好ましい。
【００４６】
【化５】
2014040046.tif 000007
【００４７】
ただし、式（ｉ−１）中の繰り返し単位の合計（ｈ＋ｉ＋ｊ＋ｋ）および式（ｉ−２）中の繰り返し単位の合計（ｐ＋ｑ＋ｒ）は、それぞれ１０〜５０が好ましく、１５〜４０がより好ましい。
また、上記式（ｉ−１）および式（ｉ−２）中の−ＣＦ２ＣＨ２ＯＨは、−ＣＦ３に変換されていてもよい。
【００４８】
含フッ素エーテル化合物（ｉ）の好ましい市販品としては、ソルベイソレクシス社のＦｏｍｂｌｉｎシリーズのＺ−ＤＯＬ、Ｚ−ＴＥＴＲＡＯＬ、Ｚ−ＤＯＬ  ＴＸ；ソルベイソレクシス社のＦｌｕｏｒｏｌｉｎｋシリーズのＤ１０Ｈ、Ｅ１０Ｈなど；が挙げられる。これらの化学式はそれぞれ以下のとおりである。
＜Ｚ−ＤＯＬ＞
ＨＯＣＨ２ＣＦ２Ｏ−（ＣＦ２Ｏ）ｅ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）ｆ−ＣＦ２ＣＨ２ＯＨ
＜Ｚ−ＴＥＴＲＡＯＬ＞
ＨＯＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２−ＯＣＨ２ＣＦ２Ｏ−（ＣＦ２Ｏ）ｅ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）ｆ−ＣＦ２ＣＨ２Ｏ−ＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ２ＯＨ
＜Ｚ−ＤＯＬ  ＴＸ＞
ＨＯＣＨ２ＣＨ２−ＯＣＨ２ＣＦ２Ｏ−（ＣＦ２Ｏ）ｅ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）ｆ−ＣＦ２ＣＨ２Ｏ−ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ
＜Ｄ１０Ｈ＞
ＨＯＣＨ２ＣＦ２Ｏ−（ＣＦ２Ｏ）ｅ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）ｆ−ＣＦ２ＣＨ２ＯＨ
＜Ｅ１０Ｈ＞
ＨＯＣＨ２ＣＨ２−ＯＣＨ２ＣＦ２Ｏ−（ＣＦ２Ｏ）ｅ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）ｆ−ＣＦ２ＣＨ２Ｏ−ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ
なお、各化学式中の（ｅ＋ｆ）は２０〜３５である。
【００４９】
含フッ素エーテル化合物（ｉ）は、パーフルオロポリエーテル構造を有することで、フッ素系の光硬化性組成物の硬化物４２の表面４４に均一に濡れ広がりやすくなる。また、水酸基を有することでフッ素系の硬化物４２中の極性基と馴染み易くなるととともに、水素結合やファンデルワールス力などの分子間力が働き、硬化物４２の表面に留まり易くなる。
そのため、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６は、フッ素系の本例の光硬化性組成物からなる硬化物４２との密着性に優れ、該硬化物４２からなる微細パターン（α）を有する表面４４上に形成され、成形体５０に高い離型性、高い滑り性を付与できる。
【００５０】
［含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層］
含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６の膜厚は、３０ｎｍ以下が好ましく、１０ｎｍ以下がより好ましい。このような範囲であると、充分な離型性、滑り性が付与でき、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６によるパターン寸法の変動も小さく抑えられる。
【００５１】
［微細パターン（α）］
成形体本体４０の微細パターン（α）は、微細な凸部および／または凹部を有する。
凸部としては、成形体本体４０の表面４４に延在する長尺の凸条、表面４４に点在する突起等が挙げられる。
凹部としては、成形体本体４０の表面４４に延在する長尺の溝、表面４４に点在する孔等が挙げられる。
【００５２】
微細パターン（α）が密集している領域において、隣接する凸部（または凹部）間の間隔は、平均で１ｎｍ〜５００μｍが好ましく、１ｎｍ〜５０μｍがより好ましい。隣接する凸部間の間隔とは、凸部の断面の底辺の終端から、隣接する凸部の断面の底辺の始端までの距離を意味する。隣接する凹部間の間隔とは、凹部の断面の上辺の終端から、隣接する凹部の断面の上辺の始端までの距離を意味する。
【００５３】
凸部の最小寸法は、１ｎｍ〜５００μｍが好ましく、１０ｎｍ〜１００μｍがより好ましく、１５ｎｍ〜１０μｍがさらに好ましい。最小寸法とは、凸部の幅、長さおよび高さのうち最小の寸法を意味する。
凹部の最小寸法は、１ｎｍ〜５００μｍが好ましく、１０ｎｍ〜１００μｍがより好ましく、１５ｎｍ〜１０μｍがさらに好ましい。最小寸法とは、凹部の幅、長さおよび深さのうち最小の寸法を意味する。
【００５４】
［成形体］
微細パターンを表面５１に有する成形体５０としては、下記の物品が挙げられる。
光学素子：レンズ、マイクロレンズアレイ、光導波路素子、光スイッチング素子（グリッド偏光素子、波長板等。）、フレネルゾーンプレート素子、バイナリー素子、ブレーズ素子、フォトニック結晶等。
凸凹フィルムおよびコーティング部材：反射防止構造体、指紋付着防止部材、耐薬品性部材等。
チップ類：バイオチップ、μ−ＴＡＳ（Ｍｉｃｒｏ−Ｔｏｔａｌ  Ａｎａｌｙｓｉｓ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）用のチップ、マイクロリアクターチップ等。
その他：記録メディア、バンク等のディスプレイ材料、触媒の担持体、フィルター、センサー部材、半導体素子（ＭＥＭＳを含む。）やＬＥＤ素子の製造に用いられるレジスト、電鋳用（ニッケル電鋳など）のレプリカモールド（マザーモールド）、インプリント用のレプリカモールド（ドーターモールド）等。
【００５５】
微細パターンを表面５１に有する成形体５０を電鋳用のレプリカモールドとして用いる場合には、該微細パターンを有する表面５１に、無電解メッキまたは金属蒸着によって導電層を形成した後、該導電層の表面にニッケル電解メッキによりニッケルを析出させることによって、ニッケル電鋳モールドを作製できる。該成形体５０の表面５１は、離型性に優れていることから、作製したニッケル電鋳モールドを該成形体５０から分離しやすい。
【００５６】
微細パターンを表面５１に有する成形体５０は、該表面５１が高い離型性を有するとともに、高い透明性をも有していることから、インプリント用のモールド（レプリカモールド）にも適している。特に、該成形体５０の基板３０として透光材料を用いた場合、光ナノインプリント用のレプリカモールドとして好適である。
また、該成形体５０は、該表面５１が高い滑り性を有することから、防汚性付与部材、指紋付着防止部材としても適している。また、反射防止機能を有することから、防汚性、指紋付着防止性を備えた反射防止構造体として、ディスプレイ用のタッチパネル表層の部材への使用にも適している。
【００５７】
[作用効果]
以上説明した本発明の微細パターンを表面に有する成形体にあっては、化合物（Ａ）、化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を含むフッ素系の光硬化性組成物の硬化物からなる微細パターン（α）を有する表面に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層が形成されている。含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層は、該光硬化性組成物からなる硬化物に密着性良く保持される。そのため、本発明の成形体は、高い離型性、高い滑り性を備えている。
【００５８】
＜表面に微細パターンを有する成形体の製造方法＞
本発明の微細パターンを表面に有する成形体の製造方法は、光硬化性組成物を微細パターン（α）の反転パターンを有するモールドの表面に接触させる工程と、モールドの表面に光硬化性組成物を接触させた状態で、光硬化性組成物に光を照射し、光硬化性組成物を硬化させて硬化物とする工程と、硬化物からモールドを分離して、微細パターン（α）を表面に有する成形体本体を得る工程と、該成形体本体の微細パターン（α）を有する表面に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液を塗布する工程と、を有する。
【００５９】
具体的な製造方法としては、下記の（ａ）〜（ｃ）の方法が挙げられる。
（ａ）の方法：下記の工程（ａ−１）〜（ａ−５）を有する方法。
（ａ−１）図２に示すように、光硬化性組成物２０を基板３０の表面に配置する工程。
（ａ−２）図２に示すように、モールド１０を、該モールド１０の反転パターンを有する表面１２が光硬化性組成物２０に接するように、光硬化性組成物２０に押しつける工程。
（ａ−３）モールド１０を光硬化性組成物２０に押しつけた状態で、光硬化性組成物２０に光を照射し、光硬化性組成物２０を硬化させて硬化物とする工程。
（ａ−４）硬化物からモールド１０を分離して、図４に示すように、硬化物４２からなる微細パターン（α）を表面４４に有する成形体本体４０を得る工程。
（ａ−５）成形体本体４０の微細パターン（α）を有する表面４４に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液を塗布する工程。
これにより、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６が微細パターン（α）を有する表面４４上に形成された図１の成形体５０が得られる。
【００６０】
（ｂ）の方法：下記の工程（ｂ−１）〜（ｂ−５）を有する方法。
（ｂ−１）図３に示すように、光硬化性組成物２０をモールド１０の表面１２に配置する工程。
（ｂ−２）図３に示すように、基板３０をモールド１０の表面１２に配置された光硬化性組成物２０に押しつける工程。
（ｂ−３）基板３０を光硬化性組成物２０に押しつけた状態で、光硬化性組成物２０に光を照射し、光硬化性組成物２０を硬化させて硬化物とする工程。
（ｂ−４）硬化物からモールド１０を分離して、図４に示すように、硬化物４２からなる微細パターン（α）を表面４４に有する成形体本体４０を得る工程。
（ｂ−５）成形体本体４０の微細パターン（α）を有する表面４４に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液を塗布する工程。
これにより、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６が微細パターン（α）を有する表面４４上に形成された図１の成形体５０が得られる。
【００６１】
（ｃ）の方法：下記の工程（ｃ−１）〜（ｃ−５）を有する方法。
（ｃ−１）図２に示すように、基板３０とモールド１０とを、モールド１０の反転パターンを有する表面１２が基板３０側になるように接近または接触させる工程。
（ｃ−２）図２に示すように、光硬化性組成物２０を基板３０とモールド１０との間に充填する工程。
（ｃ−３）基板３０とモールド１０とが接近または接触した状態で、光硬化性組成物２０に光を照射し、光硬化性組成物２０を硬化させて硬化物とする工程。
（ｃ−４）硬化物からモールド１０を分離して、図４に示すように、硬化物４２からなる微細パターン（α）を表面４４に有する成形体本体４０を得る工程。
（ｃ−５）成形体本体４０の微細パターン（α）を有する表面４４に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液を塗布する工程。
これにより、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６が微細パターン（α）を有する表面４４上に形成された図１の成形体５０が得られる。
【００６２】
（基板）
基板３０としては、無機材料製基板または有機材料製基板が挙げられる。
無機材料としては、シリコンウェハ、炭化ケイ素ウェハ、ガラス、石英ガラス、金属（アルミニウム、ニッケル、銅等）、金属酸化物（サファイア、酸化インジウムスズ（以下、ＩＴＯ記す。）等）、窒化珪素、窒化アルミニウム、ニオブ酸リチウム等が挙げられる。
有機材料としては、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと記す。）等）、ポリアミド、ポリイミド、ポリプロピレン、ポリエチレン、ナイロン樹脂、ポリフェニレンサルファイド、トリアセチルセルロース、環状ポリオレフィン等が挙げられる。
【００６３】
基板３０としては、光硬化性組成物の硬化物４２との密着性に優れる点から、表面処理された基板を用いてもよい。表面処理としては、プライマ塗布処理、ＵＶオゾン処理、プラズマエッチング処理等が挙げられる。プライマとしては、ポリメチルメタクリレート、ＫＢＭ−５０３（商品名、信越化学工業社製）などのシランカップリング剤、シラザン、ポリビニルアルコール、ノボラック樹脂、フェノール樹脂等が挙げられる。
【００６４】
（モールド）
モールド１０としては、非透光材料製モールドまたは透光材料製モールドが挙げられる。
非透光材料としては、シリコンウェハ、ニッケル、銅、ステンレス、チタン、ＳｉＣ、マイカ等が挙げられる。
透光材料としては、石英、ガラス、ポリジメチルシロキサン、環状ポリオレフィン、ポリカーボネート、ＰＥＴ、透明フッ素樹脂等が挙げられる。
モールド１０は、表面１２に、成形体本体４０の表面４４の微細パターン（α）に対応した反転パターンを有する。該表面１２には、含フッ素シランカップリング剤などによるフッ素系の離型処理を施してもよい。
基板３０およびモールド１０のうち少なくとも一方は、光重合開始剤（Ｃ）が作用する波長の光を４０％以上透過する材料であることが好ましい。
【００６５】
モールド１０の表面１２の反転パターンは、成形体本体４０の微細パターン（α）の反転パターンである。そのため、該反転パターンにおける凸部の形状、凹部の形状、幅、高さ、深さ、隣接する凸部（または凹部）間の間隔、凸部の最小寸法、凹部の最小寸法などは、微細パターン（α）と同様である。
【００６６】
（含フッ素エーテル化合物（ｉ）を溶解させる溶剤）
含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６を形成する際に用いられる、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を溶解させる溶剤としては、アサヒクリンＡＥ３０００（商品名、旭硝子社製）、アサヒクリンＡＫ２２５（商品名、旭硝子社製）、ＣＴ−ＳＯＬＶ１００Ｅ（商品名、旭硝子社製）、ＮｏｖｅｃＴＭ７０００（商品名、３Ｍ社製）、ＮｏｖｅｃＴＭ７１００（商品名、３Ｍ社製）、ＮｏｖｅｃＴＭ７２００（商品名、３Ｍ社製）、ＮｏｖｅｃＴＭ７３００（商品名、３Ｍ社製）、ＮｏｖｅｃＴＭ７１ＩＰＡ（商品名、３Ｍ社製）、ＦＣ−７２（商品名、３Ｍ社製）、ＦＣ−３２８３（商品名、３Ｍ社製）、ＦＣ−４０（商品名、３Ｍ社製）、ＦＣ−４３（商品名、３Ｍ社製）、バートレル（商品名、三井・デュポンフロロケミカル社製）、ＣＦＣ−１１３（商品名、ダイキン工業社製）、エルノバＴＭＶ（商品名、旭化成ケミカルズ社製）、ペルフルオロヘキサン、トリデカフルオロヘキサン、ペルフルオロデカリン、ペルフルオロ（２−ブチルテトラヒドロフラン）、メチル（ペルフルオロイソプロピル）エーテル、メチル（ペルフルオロヘキシルメチル）エーテル、メチル（ペルフルオロオクチル）エーテル等の含フッ素系溶媒が好ましい。
含フッ素エーテル化合物（ｉ）を溶解させる溶剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００６７】
含フッ素エーテル化合物（ｉ）の溶液の濃度としては０．００１〜１．０質量％が好ましく、０．００５〜０．５質量％がより好ましく、０．０１〜０．３質量％がさらに好ましい。濃度が０．００１質量％以上であれば、成形体５０に優れた離型性や滑り性を付与できる。濃度が１．０質量％以下であれば、成形体本体４０の表面４４の微細パターン（α）に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）が溜まることによるパターン寸法誤差を抑制できる。
【００６８】
工程（ａ−１）〜（ａ−４）、工程（ｂ−１）〜（ｂ−４）、工程（ｃ−１）〜（ｃ−４）は、公知の方法で行うことができ、例えば、国際公開第２０１２／０１７５３０号の段落［００８６］〜［００９３］に記載の方法と同様に実施できる。
【００６９】
工程（ａ−５）、（ｂ−５）、（ｃ−５）：
成形体本体（積層体）４０の微細パターン（α）を有する表面４４に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液を塗布する際の塗布方法は、スプレーコート法、スピンコート法、ロールコート法、キャスト法、ディップコート法、ダイコート法等が挙げられる。
塗布をする際の温度は、０〜５０℃が好ましく、１０〜４０℃がより好ましい。
溶剤を除去する必要がある場合、除去する方法としては、加熱による方法、減圧にして除去する方法等が挙げられ、加熱による方法が好ましい。
加熱温度は、３０〜１２０℃が好ましく、４０〜８０℃より好ましい。
含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層４６の膜厚は、３０ｎｍ以下が好ましく、１０ｎｍ以下がより好ましい。
【００７０】
工程（ａ−５）、（ｂ−５）、（ｃ−５）においては、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液を塗布した後に、余剰の含フッ素エーテル化合物（ｉ）を除去する目的で、含フッ素系溶媒または含フッ素系溶媒に対して有機溶剤を混合したリンス剤によって、リンスを行ってもよい。リンスは、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液を塗布した直後または乾燥後に行う。
リンス剤を除去する必要がある場合、除去する方法としては、加熱による方法、減圧にして除去する方法等が挙げられる。加熱温度は、３０〜１２０℃が好ましく、４０〜８０℃がより好ましい。
【００７１】
[作用効果]
以上説明した本発明の微細パターンを表面に有する成形体の製造方法によれば、高い離型性、高い滑り性を備えた成形体を製造できる。また、該製造方法は、微細パターン（α）を有する表面に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む溶液を塗布するだけで、高い離型性、高い滑り性を付与できるため、成形体の生産性に優れる。
【実施例】
【００７２】
以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されない。
例１〜７、１５〜２１、２６は実施例であり、例８〜１４、２２〜２５は比較例である。
【００７３】
（化合物（Ａ））
化合物（Ａ−１）：３，３，４，４，５，５，６，６，７，７，８，８，８−トリデカフルオロオクチルアクリレート（シグマアルドリッチ社製）。
ＣＨ２＝ＣＨ−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）２−（ＣＦ２）６Ｆ・・・（Ａ−１）。
【００７４】
化合物（Ａ−２）：１，１，２，３，３−ペンタフルオロ−４−トリフルオロメチル−４−ヒドロキシ−１，６−ヘプタジエン。
ＣＦ２＝ＣＦＣＦ２Ｃ（ＣＦ３）（ＯＨ）ＣＨ２ＣＨ＝ＣＨ２・・・（Ａ−２）。
化合物（Ａ−２）は、特開２００３−２５５５４０号公報の実施例の合成例１に記載の方法により合成した。
【００７５】
（化合物（Ｂ））
化合物（Ｂ−１）：２−メチル−２−アダマンチルアクリレート（出光興産社製）。
【００７６】
【化６】
2014040046.tif 000008
【００７７】
化合物（Ｂ−２）：イソボルニルアクリレート（シグマアルドリッチ社製）。
化合物（Ｂ−３）：２−エチルヘキシルアクリレート（シグマアルドリッチ社製）。
化合物（Ｂ−４）：２−アクリロイロキシエチル−コハク酸（新中村化学工業社製）。
ＣＨ２＝ＣＨ−Ｃ（Ｏ）Ｏ−ＣＨ２ＣＨ２ＯＣ（Ｏ）−ＣＨ２ＣＨ２Ｃ（Ｏ）ＯＨ ・・・（Ｂ−４）。
化合物（Ｂ−５）：Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）アクリルアミド（興人社製）。
ＣＨ２＝ＣＨ−Ｃ（Ｏ）ＮＨ−ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ・・・（Ｂ−５）。
化合物（Ｂ−６）：テトラエチレングリコールジアクリレート（大阪有機化学工業社製）。
化合物（Ｂ−７）：トリシクロデカンジメタノールジアクリレート（シグマアルドリッチ社製）。
化合物（Ｂ−８）：プロポキシ化ビスフェノールＡジアクリレート（シグマアルドリッチ社製）。
化合物（Ｂ−９）：トリメチロールプロパントリアクリレート（新中村化学工業社製）。
化合物（Ｂ−１０）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（新中村化学工業社製）。
化合物（Ｂ−１１）：ウレタンアクリレート（商品名：Ｕ−６ＬＰＡ、新中村化学工業社製）。
【００７８】
（光重合開始剤（Ｃ））
光重合開始剤（Ｃ−１）：ＢＡＳＦ社製、商品名：イルガキュア１８４。アルキルフェノン系光重合開始剤。
光重合開始剤（Ｃ−２）：ＢＡＳＦ社製、商品名：イルガキュア８１９。アシルホスフィンオキシド系光重合開始剤。
光重合開始剤（Ｃ−３）：ＢＡＳＦ社製、商品名：イルガキュア９０７。アルキルフェノン系光重合開始剤。
【００７９】
（含フッ素化合物（Ｄ））
含フッ素化合物（Ｄ−１）：ノニオン性含フッ素界面活性剤。ＡＧＣセイミケミカル社製、商品名：サーフロンＳ−６５０。フッ素含有率約２３％。
含フッ素化合物（Ｄ−２）：フルオロアルキルシリコーン類（トリメチル末端トリフルオロプロピルメチルシロキサン）。信越化学工業社製、商品名：ＦＡ−６３０。フッ素含有率約３１％。
含フッ素化合物（Ｄ−３）：ノニオン性含フッ素界面活性剤。ＡＧＣセイミケミカル社製、商品名：サーフロンＳ−３８６。フッ素含有率約１２％。
【００８０】
（含フッ素エーテル化合物（ｉ））
含フッ素エーテル化合物（ｉ−１）の合成：
国際公開第２００５／０６８５３４号の実施例の例１に記載の方法における、トリオールに公知の方法でエチレンオキシドを付加したポリオキシエチレングリセロールエーテルとして、阪本薬品工業社製、ＳＣ−Ｅ１５００を用いた以外は、該実施例の例１〜５に記載の方法と同様に実施して、化合物（ｉ−１）を得た。
なお、式（ｉ−１）中の繰り返し単位の合計（ｈ＋ｉ＋ｊ＋ｋ）は、１９Ｆ−ＮＭＲスペクトルより算出して、約３４である。
化合物（ｉ−１）のＮＭＲスペクトルのパターン：
１Ｈ−ＮＭＲ  δ（ｐｐｍ）：３．９４。
１９Ｆ−ＮＭＲ  δ（ｐｐｍ）：−５４．０，−８０．１，−８８．２〜−９０．５，−１３５．０〜−１３９．０。
【００８１】
含フッ素エーテル化合物（ｉ−２）の合成：
国際公開第２００５／０６８５３４号の実施例の例１に記載の方法における、トリオールに公知の方法でエチレンオキシドを付加したポリオキシエチレングリセロールエーテルとして、日本油脂社製、ユニオックスＧ１２００を用いた以外は、該実施例の例１〜５に記載の方法と同様に実施して、化合物（ｉ−２）を得た。
なお、式（ｉ−２）中の繰り返し単位の合計（ｐ＋ｑ＋ｒ）は、１９Ｆ−ＮＭＲスペクトルより算出して、約２７である。
化合物（ｉ−２）のＮＭＲスペクトルのパターン：
１Ｈ−ＮＭＲ  δ（ｐｐｍ）：３．９４。
１９Ｆ−ＮＭＲ  δ（ｐｐｍ）：−５４．０，−８０．１，−８８．２〜−９０．５，−１３５．０〜−１３９．０。
【００８２】
化合物（ｉ−３）：ソルベイソレクシス社製、商品名：Ｆｌｕｏｒｏｌｉｎｋ  Ｄ１０Ｈ。
【００８３】
（化合物（ii）（比較例用）） 
化合物（ii−１）：ＡＧＣセイミケミカル社製、商品名：サーフロンＳ−４２０。フッ素系界面活性剤であり、パーフルオロポリエーテル構造を有さないため、含フッ素エーテル化合物（ｉ）には該当しない。
化合物（ii−２）：信越化学工業社製、商品名：Ｘ２２−８２２。フルオロシリコーンであり、含フッ素エーテル化合物（ｉ）には該当しない。
化合物（ii−３）：ダイキン工業社製、商品名：オプツールＤＳＸ。フッ素系シランカップリング剤であり、水酸基を有さないため、含フッ素エーテル化合物（ｉ）には該当しない。
化合物（ii−４）：デュポン社製、商品名：クライトックスＧＰＬ１００。水酸基を有さないため、含フッ素エーテル化合物（ｉ）には該当しない。
化合物（ii−５）：３Ｍ社製、商品名：フロリナートＦＣ７０。フッ素系アミン化合物であり、水酸基およびパーフルオロポリエーテル構造を有さないため、含フッ素エーテル化合物（ｉ）には該当しない。
化合物（ii−６）：１Ｈ、１Ｈ、２Ｈ、２Ｈ−ヘプタデカフルオロ−１−デカノール（東京化成工業社製）。
化合物（ii−７）：メチルノナデカフルオロデカノエート（東京化成工業社製）。
【００８４】
（レプリカモールド用光硬化性組成物の調合例）
（調合例１）
バイヤル容器（内容積１３ｍＬ）に、化合物（Ａ−１）の０．８４ｇ、化合物（Ｂ−１）の１．２０ｇ、化合物（Ｂ−６）の０．８０ｇ、化合物（Ｂ−９）の１．００ｇを加え、ついで光重合開始剤（Ｃ−１）の０．１６ｇを混合し、０．２μｍのテトラフルオロエチレン製のフィルターにてろ過して、レプリカモールド用光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表１に示す。
【００８５】
（調合例２〜８）
表１に示すように組成を変更した以外は、調合例１と同様にしてレプリカモールド用光硬化性組成物を得た。
【００８６】
【表１】
2014040046.tif 000009
【００８７】
（レジスト用光硬化性組成物の調合例）
（調合例９）
バイヤル容器（内容積１３ｍＬ）に、化合物（Ａ−２）の１．００ｇ、化合物（Ｂ−１）の０．６０ｇ、化合物（Ｂ−４）の０．２０ｇ、化合物（Ｂ−５）の０．２０ｇ、化合物（Ｂ−８）の１．４０ｇ、化合物（Ｂ−９）の０．３６ｇを加え、ついで光重合開始剤（Ｃ−１）の０．２４ｇを混合し、０．２μｍのテトラフルオロエチレン製のフィルターにてろ過して、レジスト用光硬化性組成物を得た。該組成物の組成を表２に示す。
【００８８】
（調合例１０〜１２）
表２に示すように組成を変更した以外は、調合例９と同様にしてレジスト用光硬化性組成物を得た。
【００８９】
【表２】
2014040046.tif 000010
【００９０】
（含フッ素エーテル化合物（ｉ）または化合物（ii）の溶液の調合例）
（調合例１３）
バイヤル容器（内容積５０ｍＬ）に、化合物（ｉ−１）の０．０２ｇを加え、ついでフッ素系溶剤（旭硝子社製、商品名：ＡＥ−３０００）の４０ｇを混合し、０．２μｍのテトラフルオロエチレン製のフィルターにてろ過して、含フッ素エーテル化合物（ｉ−１）の溶液を得た。該溶液の組成を表３に示す。
【００９１】
（調合例１４〜２３）
表３に示すように組成を変更した以外は、調合例１３と同様にして含フッ素エーテル化合物（ｉ−２）、（ｉ−３）または化合物（ii−１）〜（ii−７）の溶液を得た。
【００９２】
【表３】
2014040046.tif 000011
【００９３】
［例１〜２１，例２４］
表４に示すように、レプリカモールド用光硬化性組成物と、含フッ素エーテル化合物（ｉ）または化合物（ii）の溶液とを用いて、次のようにしてレプリカモールド（微細パターンを表面に有する成形体。）を作製した。ただし、例２４では、含フッ素エーテル化合物（ｉ）または化合物（ii）の溶液を用いていない。
基板は、石英基板を用いた。
石英基板上にはプライマ層を以下の手順で作製した。
まず、シランカップリング剤（商品名：ＫＢＭ−５０３、信越化学工業社製）の０．０２１ｇと、テトラエトキシシランの０．０２８ｇと、２−プロパノールの２８．５ｇと、０．１Ｎの硝酸水溶液の１．５ｇをバイヤル容器（内容積５０ｍＬ）に入れて１時間ほど撹拌した後に、０．２μｍのテトラフルオロエチレン製のフィルターにてろ過して、プライマ溶液を得た。このプライマ溶液をＵＶオゾン処理にて表面を親水化した石英基板にスピンコート法にて塗布し、１４０℃、１０分間加熱乾燥してプライマ層を有する石英基板を作製した。
スピンコート法にて、レプリカモールド用光硬化性組成物を厚さが約１．５μｍになるように、石英基板のプライマ層の表面に塗布した。一方、離型処理を施さずに石英製のモールド（ＮＴＴアドバンステクノロジ社製、ＮＩＭ−ＰＨ３５０）を貼り合わせた後に、０．２ＭＰａに加圧しながら高圧水銀灯（１．５〜２．０ｋＨｚにおいて２５５、３１５、および３６５ｎｍに主波長を有する光源。）の光を１５秒間照射（約９００ｍＪ／ｃｍ２）し、インプリントを実施した。
その後、石英製のモールドを離型した後、レプリカモールド用光硬化性組成物の硬化物からなる微細パターン(α)が形成された成形体本体上に、表４に示す含フッ素エーテル化合物（ｉ）または化合物（ii）の溶液を滴下し、スピンコート法にて該溶液を成形体本体上に満遍無く塗布した。その後、溶剤を乾燥させて、レプリカモールドを作製した。
【００９４】
［例２２，２３］
表４に示すように、レプリカモールド用光硬化性組成物と、含フッ素エーテル化合物（ｉ）の溶液とを用いて、レプリカモールド（微細パターンを表面に有する成形体。）を作製した。
なお、本例の場合、上記の例１〜２１、例２４で採用した方法では、レプリカモールドを石英製のモールド（ＮＴＴアドバンステクノロジ社製、ＮＩＭ−ＰＨ３５０）から離型できない。そのため、本例では、石英製のモールドの表層に、フッ素系離型処理剤（ダイキン工業社製、商品名：オプツールＤＳＸ）の溶液を塗布し、離型処理を施してから、これをモールドとして用いた。この点以外は、上記の例１〜２１、例２４で採用した方法と同様にして、レプリカモールドを作製した。
【００９５】
[レプリカモールドの評価]
上記各例で得られたレプリカモールドについて、レジスト用光硬化性組成物との離型性、微細パターンの転写性について、下記のようにして評価した。結果を表４に示す。
（１）初回転写時の評価
ＵＶオゾン処理にて表面を親水化したシリコンウェハ上に、レジスト用光硬化性組成物を酢酸イソブチルにて５倍に希釈した溶液をスピンコート法にて塗布し、５０℃、４０秒間加熱乾燥して、レジスト用光硬化性組成物層を有するシリコンウェハを得た。
レジスト用光硬化性組成物層を有するシリコンウェハ上に、上記の各例で作製したレプリカモールドを真空下（−２０ｋＰａ程度）で貼り合わせた後に、０．２ＭＰａに加圧しながら高圧水銀灯（１．５〜２．０ｋＨｚにおいて２５５、３１５、および３６５ｎｍに主波長を有する光源。）の光を１５秒間照射（約９００ｍＪ／ｃｍ２）し、インプリントを実施した。
その後、レプリカモールドを離型し、レジスト用光硬化性組成物の硬化物からなる成形体を得た。
この際のレプリカモールドへのレジスト用光硬化性組成物の付着の有無を確認し、離型性（初回転写時）を評価した。付着割合はレプリカモールドのエリア面積を９分割し、下記の基準にて評価した。◎の場合は、離型性良好と判断した。
また、レジスト用光硬化性組成物の硬化物からなる成形体と石英製モールド（ＮＴＴアドバンステクノロジ社製、ＮＩＭ−ＰＨ３５０）とのパターンの寸法差を、ライン・アンド・スペースのパターンの凸部とパターンの深さで、各々５か所測定し、その平均値を下記基準にて評価し、転写性（初回転写時）を評価した。評価にはレーザー顕微鏡（キーエンス社製、ＶＫ−９５００）を用い、◎および○の場合は、転写性良好と判断した。
【００９６】
（離型性）
◎：硬化物が付着したエリアの個所が０。
○：硬化物が付着したエリアの個所が１〜２。
△：硬化物が付着したエリアの個所が３〜５。
×：硬化物が付着したエリアの個所が６〜９。
（転写性）
◎：寸法差が±１０ｎｍ以内。
○：寸法差が±１０ｎｍを超えて±３０ｎｍ以内。
△：寸法差が±３０ｎｍを超えて±５０ｎｍ未満。
×：寸法差が±５０ｎｍ以上。
【００９７】
（２）５０回転写時の評価
上記（１）のようにして、レジスト用光硬化性組成物の硬化物からなる成形体を得る操作（転写操作）を５０回繰り返し、５０回目の転写時における離型性と転写性について、初回転写時と同様にして評価した。
【００９８】
【表４】
2014040046.tif 000012
【００９９】
表４に示す結果から、化合物（Ａ）と化合物（Ｂ）と光重合開始剤（Ｃ）とを含むフッ素系のレプリカモールド用光硬化性組成物の硬化物からなる微細パターン（α）を有する表面に、含フッ素エーテル化合物（ｉ）からなる層が形成された成形体を、レプリカモールドとして用いると、初回転写時、５０回転写時の両方において、離型性、転写性が優れ、該成形体はインプリント用モールドに適していることが示された（例１〜７、１５〜２１）。
また、含フッ素エーテル化合物（ｉ）からなる層は、化合物（Ａ）と化合物（Ｂ）と光重合開始剤（Ｃ）とを含むレプリカモールド用光硬化性組成物以外の組成物からなる硬化物に対しては、密着性良く保持されず、そのため、高い離型性および転写性を付与できないことも示された。（例２２、２３）
以上の結果から、含フッ素エーテル化合物（ｉ）からなる層は、化合物（Ａ）と化合物（Ｂ）と光重合開始剤（Ｃ）とを含むレプリカモールド用光硬化性組成物の硬化物に対して、特異的に、高い離型性、転写性を付与できることが示された。
【０１００】
なお、例１〜７、１５〜２１で作製したレプリカモールドにおける、含フッ素エーテル化合物（ｉ）からなる層の膜厚は、いずれも約２〜２２ｎｍの範囲内であった。膜厚は、以下に説明する間接的方法で測定した。
すなわち、含フッ素エーテル化合物（ｉ）の溶液を塗布する前の成形体本体をモールドとして用いて転写を行い、レジスト用光硬化性組成物の硬化物からなる成形体（Ｆ１）を得た。一方、含フッ素エーテル化合物（ｉ）の溶液を塗布して得られたレプリカモールドを用いて転写を行い、レジスト用光硬化性組成物の硬化物からなる成形体（Ｆ２）を得た。得られた成形体（Ｆ１）と成形体（Ｆ２）について、微細パターンの凸部の高さをそれぞれ測定し、その差が含フッ素エーテル化合物（ｉ）からなる層の膜厚に相当するものとした。凸部の高さは、レーザー顕微鏡（キーエンス社製、ＶＫ−９５００）で測定した。なお、例１〜７、１５〜２１では、含フッ素エーテル化合物（ｉ）からなる層がレプリカモールドに良好に形成されている。そのため、その膜厚の分だけ、成形体（Ｆ２）の凸部の高さは、成形体（Ｆ１）の凸部の高さよりも小さくなる。
例８〜１４、２２、２３で作製したレプリカモールドにおいては、得られた成形体（Ｆ１）と成形体（Ｆ２）との微細パターンの凸部の高さの差がなく、膜が形成されていないことが示された。
【０１０１】
［例２５］
深さ２５０ｎｍ、ピッチ（隣接する孔間の間隔）２５０ｎｍの円錐形状の孔が刻まれたパターンを表面に有し、離型剤を塗布していないシリコーン製モールドの表面に、２５℃において、調合例５の光硬化性組成物をディスペンス法にて滴下した。
光硬化性組成物の上に、基板として易接着性ＰＥＴフィルム（商品名：ルミラーＵ３４、東レ社製）を、モールドの中心部から周辺部に光硬化性組成物を濡れ広がらせるようにして貼り合わせた。
２５℃にて、機械的な加圧は行わずにフィルムの自重のみで加圧し、ＰＥＴフィルム側から光硬化性組成物に高圧水銀灯（１．５〜２．０ｋＨｚにおいて２５５、３１５、および３６５ｎｍに主波長を有する光源。）からの光を２３秒間（９２０ｍＪ／ｃｍ２）照射して、光硬化性組成物の硬化物を得た。
２５℃にて、モールドを硬化物から分離して、モールドのパターンが反転した円錐形のピラー形状の突起からなる微細パターン（α）を表面に有する成形体本体を得た。凸部（突起）のピッチ（隣接する突起間の間隔）は２４８〜２５２ｎｍ、高さは２４６〜２４９ｎｍであった。
該成形体本体の微細パターン（α）を有する表面に、指紋を付着させた後、布で指紋のふき取り試験を実施したところ、布で１０回擦っても完全に拭き取ることができなかった。
また、該成形体本体の微細パターン（α）を有する表面に、油性ペンで線を描いたところ、布で１０回擦っても完全に拭き取ることができなかった。
また、該成形体本体の微細パターン（α）を有する表面に、５００ｇ荷重下、ネル布で１００回擦り試験を実施したところ、パターン倒れが観察された。
【０１０２】
［例２６］
例２５と同様にして、円錐形のピラー形状の突起からなる微細パターン（α）を表面に有する成形体本体を得た。
該成形体の微細パターン（α）を有する表面に、調合例１３で調製した含フッ素エーテル化合物（ｉ−１）の溶液をディップ法にて塗布し、溶剤を除去するために室温下で１０分間放置し、含フッ素エーテル化合物（ｉ−１）からなる層を形成した。凸部（突起）のピッチ（隣接する突起間の間隔）は２４８〜２５２ｎｍ、高さは２４５〜２４９ｎｍであった。このようにして、微細パターンを表面に有する成形体を得た。
該成形体の反射率を可視光領域において測定したところ、０．６％以下であり、基板であるＰＥＴフィルムの反射率（３．５％以上）と比較して大きく低下していた。
また、該成形体の微細パターンを有する表面に、指紋を付着させた後、布で指紋のふき取り試験を実施したところ、布で２回擦っただけで、拭き取ることができた。
また、該成形体の微細パターンを有する表面に、油性ペンで線を描いたところ、布で１回擦っただけで拭き取ることができた。
また、該成形体の微細パターンを有する表面に、５００ｇ荷重下、ネル布で１００回擦り試験を実施したが、パターン倒れは観察されなかった。
【０１０３】
例２５と例２６の結果から、微細パターン（α）の表面に含フッ素エーテル化合物（ｉ−１）からなる層を形成することによって、滑り性が付与され、そのために、指紋付着防止性、防汚性が発現するとともに、擦り試験によってもパターン倒れが生じないことが示された。
また、例２６で得られた成形体は、反射率が可視光領域において０．６％以下であるため、例えば指紋付着防止性、防汚性を備えた反射防止構造体として、ディスプレイ用のタッチパネル表層の部材などに適していることが示された。
【産業上の利用可能性】
【０１０４】
本発明の表面に微細パターンを有する成形体は、光学素子、ディスプレイ用光学フィルム（指紋付着防止部材、反射防止構造体等）、防汚性付与部材、レンズ部材（マイクロレンズ、マイクロレンズアレイ等）、バイオチップ、マイクロリアクターチップ、記録メディア、触媒担持体、インプリント用のレプリカモールド、電鋳用のレプリカモールド等として有用である。
【符号の説明】
【０１０５】
１０  モールド
１２  モールドの表面
２０  光硬化性組成物
３０  基板
４０  成形体本体
４２  硬化物
４４  成形体本体の表面
４６  含フッ素エーテル化合物（ｉ）を含む層
５０  成形体
５１  成形体の表面
【図１】
2014040046.tif 000014
【図２】
2014040046.tif 000015
【図３】
2014040046.tif 000016
【図４】
2014040046.tif 000017