(57)【要約】【課題】光ファイバセンサの検出精度の低下を抑制する。【解決手段】光ファイバヘッドアタッチメント３０は、光学素子３１を保持する筒状部３４と光ファイバヘッド２０に固定される固定部３７とを有する本体部３２の内部に、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光の軸線を中心として形成され投光された光を通すスリット部５０を有しスリット部５０を通る光以外を遮断する光遮断部４４と、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光の軸線方向に同じ位置では軸線からの距離が等しく、かつ、投光された光の進行方向と反対方向に向けて軸線からの距離が大きくなるように傾斜したテーパ部４２を備え、テーパ部４２は、投光された光の進行方向側とは反対側の開口が受光用光ファイバ２１Ｂが検出対象からの反射光を受光可能な大きさで形成されており、光学素子３１は、テーパ部４２に対して投光された光の進行方向側に配されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
投光用光ファイバから投光された光の検出対象からの反射光を前記投光用光ファイバの周りに配置された受光用光ファイバで受光する同軸反射型の光ファイバセンサの光ファイバヘッドに着脱可能に取り付けられる光ファイバヘッドアタッチメントにおいて、
前記投光用光ファイバから投光された光の軸線と同軸に配された光学素子と、
前記光学素子を保持する筒状部と前記光ファイバヘッドに固定される固定部とを有する本体部と、
を備え、
前記本体部の内部に、前記投光用光ファイバから投光された光の軸線を中心として形成され前記投光された光を通すスリット部を有し前記スリット部を通る光以外を遮断する光遮断部と、前記投光用光ファイバから投光された光の軸線方向に同じ位置では前記軸線からの距離が等しく、かつ、前記投光された光の進行方向と反対方向に向けて前記軸線からの距離が大きくなるように傾斜したテーパ部とを備え、
前記テーパ部は、前記投光された光の進行方向側とは反対側の開口が前記受光用光ファイバが前記検出対象からの反射光を受光可能な大きさで形成されており、
前記光学素子は、前記テーパ部に対して前記投光された光の進行方向側に配されている光ファイバヘッドアタッチメント。
【請求項２】
前記本体部は、前記光遮断部と前記スリット部と前記テーパ部が一体に形成されたインナ部品を備えることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバヘッドアタッチメント。
【請求項３】
前記インナ部品はさらに前記本体部の内面を覆うように形成された筒状で光吸収部材からなる内面カバーを有することを特徴とする請求項２に記載の光ファイバヘッドアタッチメント。
【請求項４】
投光用光ファイバから投光された光の検出対象からの反射光を前記投光用光ファイバの周りに配置された受光用光ファイバで受光する同軸反射型の光ファイバセンサの光ファイバヘッドにおいて、
前記投光用光ファイバから投光された光の軸線と同軸に配された光学素子と、
前記光学素子を保持する筒状部を有するヘッド本体と、
を備え、
前記ヘッド本体の内部に、前記投光用光ファイバから投光された光の軸線を中心として形成され前記投光された光を通すスリット部を有し前記スリット部を通る光以外を遮断する光遮断部と、前記投光用光ファイバから投光された光の軸線方向に同じ位置では前記軸線からの距離が等しく、かつ、前記投光された光の進行方向とは反対方向に向けて前記軸線からの距離が大きくなるように傾斜したテーパ部とを備え、
前記テーパ部は、前記投光された光の進行方向側とは反対側の開口が前記受光用光ファイバが前記検出対象からの反射光を受光可能な大きさで形成されており、
前記光学素子は、前記テーパ部に対して前記投光された光の進行方向側に配されている光ファイバセンサの光ファイバヘッド。
【請求項５】
前記ヘッド本体は、前記光遮断部と前記スリット部と前記テーパ部が一体に形成されたインナ部品を備えることを特徴とする請求項４に記載の光ファイバセンサの光ファイバヘッド。
【請求項６】
前記インナ部品は、さらに前記本体部の内面を覆うように形成された筒状で光吸収部材からなる内面カバーを有することを特徴とする請求項５に記載の光ファイバセンサの光ファイバヘッド。
【請求項７】
請求項４ないし請求項６のいずれか一項に記載の光ファイバセンサの光ファイバヘッドと、
前記光ファイバセンサの光ファイバヘッドにおける前記投光用光ファイバ及び前記受光用光ファイバを介して接続されたセンサ本体と、を備え、
前記センサ本体は、前記投光用光ファイバに光を出射する投光部と、前記受光用光ファイバからの光を受光する受光部とを備える光ファイバセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバヘッドアタッチメント、光ファイバセンサの光ファイバヘッド及び光ファイバセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検出対象に向けて光を投光し、その反射光を受光することにより、検出対象内の物体を検出する光ファイバセンサが知られている。
【０００３】
この種の光ファイバセンサは、センサ本体と光ファイバヘッドを備えたものがあり、光ファイバの一端側に接続された光ファイバヘッドが検出可能な位置に配される。
ここで、光ファイバセンサは、投光された光のうち、受光用光ファイバの受光量に応じて物体を検出するが、投光された光が光ファイバヘッドの筐体内で反射し、この光が受光用光ファイバに受光されると、ノイズとなって検出精度が低下するという問題がある。
特許文献１では、光電スイッチの集光レンズに反射を防止するための反射防止膜が形成されたアタッチメントが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開昭６３−１２１３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のように反射防止膜を形成したとしても、集光レンズからの反射を完全に遮断することはできず、集光レンズで反射した光は筐体内の内面反射により、受光用光ファイバに受光されうるため、検出精度の低下を十分に防止できないという問題がある。特に、光ファイバセンサヘッドの投光用光ファイバを中心とした同心円上に、受光用光ファイバを複数本配置した同軸反射型の光ファイバセンサのように、検出対象からの微弱な光に基づいて検出可能とするため高い検出精度が求められる場合には、わずかな検出精度の低下も問題となる。
【０００６】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、光ファイバセンサの検出精度の低下を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、投光用光ファイバから投光された光の検出対象からの反射光を前記投光用光ファイバの周りに配置された受光用光ファイバで受光する同軸反射型の光ファイバセンサの光ファイバヘッドに着脱可能に取り付けられる光ファイバヘッドアタッチメントにおいて、
前記投光用光ファイバから投光された光の軸線と同軸に配された光学素子と、
前記光学素子を保持する筒状部と前記光ファイバヘッドに固定される固定部とを有する本体部と、
を備え、
前記本体部の内部に、前記投光用光ファイバから投光された光の軸線を中心として形成され前記投光された光を通すスリット部を有し前記スリット部を通る光以外を遮断する光遮断部と、前記投光用光ファイバから投光された光の軸線方向に同じ位置では前記軸線からの距離が等しく、かつ、前記投光された光の進行方向と反対方向に向けて前記軸線からの距離が大きくなるように傾斜したテーパ部を備え、
前記テーパ部は、前記投光された光の進行方向側とは反対側の開口が前記受光用光ファイバが前記検出対象からの反射光を受光可能な大きさで形成されており、
前記光学素子は、前記テーパ部に対して前記投光された光の進行方向側に配されているところに特徴を有する。
【０００８】
本発明は、投光用光ファイバから投光された光の検出対象からの反射光を前記投光用光ファイバの周りに配置された受光用光ファイバで受光する同軸反射型の光ファイバセンサの光ファイバヘッドにおいて、
前記投光用光ファイバから投光された光の軸線と同軸に配された光学素子と、
前記光学素子を保持する筒状部を有するヘッド本体と、
を備え、
前記ヘッド本体の内部に、前記投光用光ファイバから投光された光の軸線を中心として形成され前記投光された光を通すスリット部を有し前記スリット部を通る光以外を遮断する光遮断部と、前記スリット部から前記投光用光ファイバから投光された光の軸線方向に同じ位置では前記軸線からの距離が等しく、かつ、前記投光された光の進行方向とは反対方向に向けて前記軸線からの距離が大きくなるように傾斜したテーパ部を備え、
前記テーパ部は、前記投光された光の進行方向側とは反対側の開口が前記受光用光ファイバが前記検出対象からの反射光を受光可能な大きさで形成されており、
前記光学素子は、前記テーパ部に対して前記投光された光の進行方向側に配されているところに特徴を有する。
【０００９】
上記構成によれば、投光用光ファイバから投光された光がテーパ部の傾斜に反射することで、投光された光を進行方向側に導くことが可能になる。よって、投光された光が受光用光ファイバ側に内面反射して受光されることによる検出精度の低下を抑制することが可能になる。
【００１０】
上記構成の実施態様として以下の構成を有すれば好ましい。
・前記本体部は、前記光遮断部と前記スリット部と前記テーパ部が一体に形成されたインナ部品を備える。
【００１１】
・前記ヘッド本体は、前記光遮断部と前記スリット部と前記テーパ部が一体に形成されたインナ部品を備える。
【００１２】
・前記インナ部品はさらに前記本体部の内面を覆うように形成された筒状で光吸収部材からなる内面カバーを有する。
【００１３】
・上記光ファイバセンサの光ファイバヘッドと、
前記光ファイバセンサの光ファイバヘッドにおける前記投光用光ファイバ及び前記受光用光ファイバを介して接続されたセンサ本体と、を備え、
前記センサ本体は、前記投光用光ファイバに光を出射する投光部と、前記受光用光ファイバからの光を受光する受光部とを備える光ファイバセンサとする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、光ファイバセンサの検出精度の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態１の光ファイバセンサの構成を概略的に示す図
【図２】光ファイバヘッドアタッチメントが取り付けられた状態の光ファイバヘッドの一部を示す斜視図
【図３】光ファイバヘッドアタッチメントが取り付けられた状態の光ファイバヘッドの一部を示す平面図
【図４】光ファイバヘッドアタッチメントが取り付けられた状態の光ファイバヘッドの一部を示す断面図
【図５】図４の一部を拡大して光の経路を例示した図
【図６】光ファイバヘッドアタッチメントを示す側面図
【図７】光ファイバヘッドアタッチメントを示す側断面図
【図８】ケースを示す側断面図
【図９】インナ部品を示す斜視図
【図１０】図９とは異なる方向からインナ部品を示す斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
＜実施形態１＞
本発明の一実施形態を図１ないし図１０を参照して説明する。以下では、前後方向については、図４の左方を前方、右方を後方として説明する。
【００１７】
光ファイバセンサ１０は、図１に示すように、センサ本体１１と、センサ本体１１と光ファイバケーブル２１を介して接続される光ファイバヘッド２０とを備える。
センサ本体１１は、箱型のケーシング１２内に、投光部１３、投光回路１４、受光部１５、受光回路１６、制御回路１７が設けられている。投光部１３は例えば、ＬＥＤやレーザダイオード等の投光素子から構成され、出射した光が投光用光ファイバ２１Ａを通じて所定の検出領域に照射される。投光回路１４は、制御回路１７からの指令に応答して、投光部１３を駆動する。
【００１８】
受光部１５は、例えば、フォトトランジスタなどの受光素子から構成され、検出領域からの反射光を受光用光ファイバ２１Ｂを通じて受光する。受光回路１６は、受光部１５の受光量の応じたレベルの受光信号を出力部１８から外部に出力する。制御回路１７は、受光回路１６から出力される受光信号のレベルを所定の閾値と比較することで、検出領域における物体の位置や有無を判定する。
【００１９】
光ファイバヘッド２０は、センサ本体１１に接続された光ファイバケーブル２１と、光ファイバケーブル２１の先端に取り付けられたヘッド本体２３とを備える。
【００２０】
光ファイバケーブル２１は、投光用光ファイバ２１Ａと、複数本（例えば９本）の受光用光ファイバ２１Ｂとを備える。
受光用光ファイバ２１Ｂの線径は、投光用光ファイバ２１Ａの線径よりも小さい。具体的には、受光用光ファイバ２１Ｂの線径は、投光用光ファイバ２１Ａの線径の約１／２の大きさとなっている。受光用光ファイバ２１Ｂは、投光用光ファイバ２１Ａに対する同心円（投光用光ファイバ２１Ａの軸を中心とする円）上に等間隔で配列されている。即ち、投光用光ファイバ２１Ａの中心軸と、複数の受光用光ファイバ２１Ｂを連ねて形成される円の中心軸とが同軸に配置されている。
光ファイバケーブル２１は図示しない保護チューブで被覆されている。
【００２１】
ヘッド本体２３は、光ファイバケーブル２１を所定の取付箇所に取り付けるための部材（金属製の金具）であり、直方体状の箱部２４と、検出を行う位置に取り付けられる円筒形状の取付部２５（図２参照）とを備えている。
【００２２】
箱部２４は、光ファイバケーブル２１を導入する導入孔（図示しない）を備えており、導入孔から箱部２４の内部に導入された光ファイバケーブル２１は、箱部２４内で直交方向に向きが変えられ、その先端側が取付部２５の内部に嵌め入れられている。
【００２３】
なお、箱部２４の背面は、蓋部材で開閉可能となっており、蓋部材を空けると導入孔から導入された光ファイバケーブル２１の先端を、取付部２５側に挿入できる。
【００２４】
取付部２５は、図４に示すように、前後方向に真っ直ぐ延びる形状をしている。取付部２５は、光ファイバケーブル２１が挿通される挿通孔２６を有し、挿通孔２６の前方側は縮径されており、この縮径された部分は、光ファイバケーブル２１がほぼ隙間なく嵌め入れられる。
【００２５】
取付部２５の外周には、ネジ山及びネジ溝が形成されており、取付部２５の先端部には、外径が縮径された縮径部２５Ａを備えている。取付部２５には、ワッシャ２８と外周のネジ溝に螺合する一対のナット２７とが備えられている。
【００２６】
取付部２５の先端部には、光ファイバヘッドアタッチメント３０（以下、「アタッチメント３０」という）が取付可能となっている。
アタッチメント３０は、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光の軸線（前後方向）と同軸に配された光学素子３１と、光学素子３１を保持する本体部３２とを備えている。
【００２７】
光学素子３１としては、レンズが用いられている。このレンズは、公知の種々のレンズを用いることができる。他の実施形態として、このレンズに反射防止膜を有する構成としてもよい。また、光学素子としては、レンズに限らず、光学フィルタを用いてもよい。
【００２８】
本体部３２は、筒状のケース３３と、ケース３３の内側に嵌め入れられるインナ部品４０とを備える。
ケース３３は、図７に示すように、先端部で光学素子３１を保持する筒状部３４と、光ファイバヘッド２０の取付部２５に固定される固定部３７とを備える。
【００２９】
筒状部３４は、ほぼ一定の内径を有して前後方向に延びており、その後端が固定部３７と一体に形成されている。
筒状部３４の先端部には内周が切欠かれて肉薄とされた保持部３５が形成されている。
保持部３５の内側に光学素子３１が保持されて光学素子３１の位置が固定される。
【００３０】
筒状部３４の内面には、筒状部３４の内面の周方向の全周に亘って延びる係止溝３６が形成されている。
なお、筒状部３４の後端面３４Ａは、ドリル加工のための丸みを帯びている。
【００３１】
固定部３７は、取付部２５の先端部が嵌め入れられる固定用孔３８を備える。
固定用孔３８には、取付部２５のネジ山に螺合するネジ溝が形成されている。
固定用孔３８の前端からは、固定用孔３８の孔径を段差状に縮径する前止まり壁３９が突き出ている。
固定部３７にネジ留めされた取付部２５の前端は、前止まり壁３９に前止まりして取付部２５の前後方向の位置が固定される。
光ファイバケーブル２１は、その前端面２１Ａが投光用光ファイバ２１Ａの中心軸と直交する方向の面であり、光ファイバケーブル２１の前端面２１Ａが前止まり壁３９の後面３９Ａに密着した状態で光ファイバケーブル２１とケース３３の位置が固定される。
即ち、固定部３７の前止まり壁３９は、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光の光線路を安定化させる機能を有する。
固定部３７の外面には、周方向の凹凸からなる掴み部３７Ａが形成されている。
【００３２】
インナ部品４０は、低屈折率の樹脂（波長６７０ｎｍにて屈折率１．４９以下の屈折率。例えば、アクリル、ポリプロピレン、フッ素樹脂など）で形成されており、筒状部３４の内側に嵌め入れることが円形状の外形を有し、インナ本体４１と、インナ本体４１と一体に形成された筒状の内側カバー４７とを備える。
【００３３】
インナ本体４１は、外形が円柱状でやや厚肉であって、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光の軸線を軸とした円錐状の面（及び円錐状の内側の空間）を形成するテーパ部４２と、内側カバー４７の後端から内方に段差状に起立し、その先端がテーパ部４２の前端４３に連なる光遮断部４４とを備える。
【００３４】
テーパ部４２は、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光の軸線方向に同じ位置では軸線に対する距離（径方向の距離）が等しく、かつ、前方（投光された光の進行方向）に向けて軸線に対する距離（径方向の距離）が小さくなるように傾斜している。
【００３５】
テーパ部４２の前端４３（光遮断部４４の先端）は、図５に示すように、投光用光ファイバ２１Ａの前端面の中心と、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光のうち、光学素子３１に入射可能な最大外径を連ねる線Ｌ１，Ｌ２（Ｌ１，Ｌ２間を径とする円周）上（若しくは線Ｌ１，Ｌ２のわずかに外側）に形成されている。なお、テーパ部４２の前端４３（光遮断部４４の先端）を外周よりも外側に形成してもよいが、テーパ部４２の前端４３（光遮断部４４の先端）内の円形のスリット部５０（光遮断部４４の先端で形成される空隙。円形の貫通孔）が小さいほうが内面反射や外乱光を遮断しやすいため好ましい。
【００３６】
具体的なテーパ部４２の軸線方向に対する角度は、投光ファイバの最大開口角が７８度のときに１７度以下とすることが望ましい。
テーパ部４２の前端４３（光遮断部４４の先端）の前後方向の位置はインナ部品４０の前後方向の中間より後方とされている。
【００３７】
テーパ部４２の後端（投光された光の進行方向側とは反対側の開口）は、受光用光ファイバ２１Ｂが検出対象からの反射光を受光可能な大きさで形成されており、投光用光ファイバ２１Ａを中心として対称な位置に配された一対の受光用光ファイバ２１Ｂ間の外径よりもテーパ部４２の後端の開口が大きくなっている。
なお、インナ本体４１の先端面は、筒状部３４の後端面３４Ａの形状に応じて丸みを帯びており、その外周には、金型のゲート位置に応じた窪み４１Ａが形成されている。
【００３８】
テーパ部４２によれば、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光のうち、図５のＡ１，Ａ２のように、テーパ部４２で反射した光を前方に反射させることができるため、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光が受光用光ファイバ２１Ｂに戻ることによる検出精度の低下を抑制できる。
【００３９】
光遮断部４４は、内側カバー４７の内面と直交する内方に立ちあげられているとともに、テーパ部４２に連なるように一体に設けられており、光学素子３１を通った反射光のうち、本体部３２の内面で反射した光の受光用光ファイバ２１Ｂ側への進行を遮断する。
これにより、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光のうち光学素子３１で反射した光や、検出対象からの反射光のうち本体部３２の内面で反射した外乱光Ｂ１は、光遮断部４４に当たって遮られ、外乱光Ｂ１が受光用光ファイバ２１Ｂまで到達しない。
特に、内側カバー４７の内面に入射した外乱光Ｂ１については、インナ部品４０が低屈折率の樹脂で形成されているため、この内側カバー４７の内面での反射が抑制され、外乱光Ｂ１が受光用光ファイバ２１Ｂまで到達しにくい。
【００４０】
光学素子３１は、テーパ部４２の前方（テーパ部４２に対して投光された光の進行方向側）に配されている。
内側カバー４７は、光の軸線方向に沿う方向に延びる切込み部４８と、係止溝３６に係止する係止部４９とを備える。
切込み部４８は、内側カバー４７の板面を貫通しており、ケース３３の筒状部３４内へのインナ部品４０の挿入時における内側カバー４７の軸線と直交する方向の弾性変形を可能とする。
係止部４９は、内側カバー４７の外周の全周に亘って突出している。
係止部４９が係止溝３６に係止することでインナ部品４０が投光した光の光線路（Ｌ１，Ｌ２）を妨げない位置に固定される。
【００４１】
光ファイバヘッド２０を所定の取付箇所に固定する場合には、取付箇所に形成された図示しない取付孔に取付部２５を挿入した後、ボルト締めすることにより、取付箇所に対してヘッド本体２３を固定することが出来る。
【００４２】
ヘッド本体２３の固定後、投光部１３を駆動して投光用光ファイバ２１Ａを通じて検出領域に光を照射すると、検出領域内に物体（検出対象）が存在していれば、物体表面で光が反射する。そして、物体表面で反射した反射光の一部は、受光用光ファイバ２１Ｂを通じて受光部１５に入光し、受光回路１６の出力する受光信号のレベルが所定の閾値を上回る状態となる。
【００４３】
一方、検出領域内に物体が存在していない場合、光の反射がなく、受光部１５にて受光される光はほとんどないため、受光回路１６の出力する受光信号のレベルが所定の閾値を下回る状態となる。そのため、制御回路１７にて、受光信号のレベルを所定の閾値と比較することで、検出領域における物体の位置や有無を判定することが出来る。
【００４４】
上記実施形態によれば以下の作用・効果を奏する。
投光用光ファイバ２１Ａから投光された光の検出対象からの反射光を投光用光ファイバ２１Ａの周りに配置された受光用光ファイバ２１Ｂで受光する同軸反射型の光ファイバセンサ１０の光ファイバヘッド２０に着脱可能に取り付けられる光ファイバヘッドアタッチメント３０において、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光の軸線と同軸に配された光学素子３１と、光学素子３１を保持する筒状部３４と光ファイバヘッド２０に固定される固定部３７とを有する本体部３２と、を備え、本体部３２の内部に、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光の軸線（軸線中心）を中心として形成され投光された光を通すスリット部５０を有しスリット部５０を通る光以外を遮断する光遮断部４４と、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光の軸線方向に同じ位置では軸線からの距離が等しく、かつ、投光された光の進行方向と反対方向に向けて軸線からの距離が大きくなるように傾斜したテーパ部４２とを備え、テーパ部４２は、投光された光の進行方向側とは反対側の開口が受光用光ファイバ２１Ｂが検出対象からの反射光を受光可能な大きさで形成されており、光学素子３１は、テーパ部４２に対して投光された光の進行方向側に配されている。
【００４５】
このようにすれば、投光用光ファイバ２１Ａから投光された光がテーパ部４２の傾斜に反射することで、投光された光を進行方向側に導くことが可能になる。よって、投光された光が受光用光ファイバ２１Ｂ側に内面反射して受光されることによる検出精度の低下を抑制することが可能になる。
また、本体部３２の内面で反射した光は、光遮断部４４により受光用光ファイバ２１Ｂ側への進行が遮断される。よって、本体部３２の内面で反射した光が受光ファイバに受光されることによる検出精度の低下を抑制することができる。
【００４６】
また、本体部３２は、光遮断部４４とスリット部５０とテーパ部４２が一体に形成されたインナ部品４０を備える。
【００４７】
インナ部品４０は、さらに本体部３２の内面を覆うように形成された筒状で光吸収部材からなる内面カバー４７を有する。
光吸収部材としての内側カバー４７で光の反射が抑制されるため、より一層、本体部３２の内面で反射した光が受光ファイバに受光されることによる検出精度の低下を抑制することができる。
【００４８】
＜実施形態２＞
実施形態１では、光ファイバヘッド２０にアタッチメント３０が取付けられていたが、実施形態２では、アタッチメントを備えず、光ファイバヘッド自体がアタッチメント３０に備えられた機能を備えるものである。実施形態１と同一の構成については説明を省略する。
具体的には、ヘッド本体２３は、光学素子３１を保持するとともに光遮断部４４とテーパ部４２が設けられ、外周部にネジを備えた取付部２５が設けられている。
【００４９】
このヘッド本体２３においては、実施形態１のケース３３とインナ部品４０は一体に形成されている。なお、他の実施形態としてケース３３とインナ部品４０を別体で形成することも可能である。
【００５０】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）テーパ部４２の角度は、上記実施形態の角度に限らず、投光用光ファイバ２１Ａから投光した光が受光用光ファイバ２１Ｂ側に戻らない範囲で種々の角度を設定することができる。
【００５１】
（２）光遮断部４４の形状も本体部３２の内面で反射した光を遮断できるのであれば、上記実施形態の形状に限られない。例えば、内側カバー４７の面から直交する壁に限らず、内側カバー４７の面に対して直交方向以外の傾斜した方向に起立するようにしてもよい。
【００５２】
（３）上記実施形態では、インナ部品４０の全体が低屈折率の樹脂（光吸収部材）からなる構成としたが、これに限られず、例えば、内側カバー４７の内面（軸線側の面）に光の反射を抑制する光吸収材（光吸収部材）を塗布するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５３】
１０...光ファイバセンサ
１１...センサ本体
１３...投光部
１５...受光部
２０...光ファイバヘッド
２１Ａ...投光用光ファイバ
２１Ｂ...受光用光ファイバ
２３...ヘッド本体
２５...取付部
３０...光ファイバヘッドアタッチメント
３１...光学素子
３２...本体部
３３...ケース
３４...筒状部
３７...固定部
４０...インナ部品
４２...テーパ部
４３...テーパ部の前端
４４...光遮断部
４７...内側カバー
５０...スリット部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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