(57)【要約】【課題】  チャックテーブルを傷つける恐れを低減可能な加工装置を提供することである。【解決手段】  加工装置であって、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、該チャックテーブルの該保持面を覆うカバー位置と該カバー位置から退避した退避位置とにそれぞれ位置づけ可能なカバー部材と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図４
2014042943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置であって、
被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、
該チャックテーブルの該保持面を覆うカバー位置と該カバー位置から退避した退避位置とにそれぞれ位置づけ可能なカバー部材と、
を備えたことを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記加工手段は、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
前記チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りする加工送り手段を更に備え、
該Ｘ軸方向の一端側に作業者作業位置が形成され、該Ｘ軸方向の他端側に前記加工手段が配設されている請求項２記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置、研削装置、研磨装置等の加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の数多くのデバイスが表面に形成され、且つ個々のデバイスが分割予定ライン（ストリート）によって区画された半導体ウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、切削装置（ダイシング装置）によって分割予定ラインを切削して個々のデバイスに分割され、分割されたデバイスは携帯電話、パソコン等の各種電気機器に広く利用されている。
【０００３】
ウエーハの裏面を研削する研削装置は、ウエーハを保持し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が配設された研削ホイールを回転可能に支持する研削ユニットと、該チャックテーブルに研削すべきウエーハを搬入する搬入ユニットと、該チャックテーブルから研削済みのウエーハを搬出する搬出ユニットとを備えており、ウエーハを所望の厚みに加工することができる。
【０００４】
また、ウエーハを切削して個々のデバイスに分割する切削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に支持する切削ユニットと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを撮像し研削すべき分割予定ラインを検出してアライメントを遂行する撮像ユニットと、該チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り機構と、該切削ユニットをＹ軸方向に割出送りするＹ軸送り機構とを備えており、ウエーハを高精度に個々のデバイスに分割することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２５４２５９号公報
【特許文献２】特開２００１−２８７１４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
研削装置で研削作業を続行すると研削砥石が摩耗し、研削ホイールを新品の研削ホイールに交換する必要性が生じる。ところが、研削装置で研削ホイールを交換中に、作業者が治具や工具を誤って落下させてしまうと、従来のチャックテーブルは常にその保持面が露出しているため、落下した治具や工具でチャックテーブルを傷つけてしまう恐れがある。
【０００７】
また、切削装置で被加工物の切削を続行すると切削ブレードが摩耗し、新品の切削ブレードに交換する必要性が生じる。切削ブレードの交換作業中や撮像ユニットのＣＣＤカメラ交換作業中等に、チャックテーブル付近で交換作業をする際に、従来のチャックテーブルは保持面が常に露出している構成であるため、治具や工具を誤って落下させてチャックテーブルを傷つけてしまう恐れがある。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、チャックテーブルを傷つける恐れを低減可能な加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本記載の発明によると、加工装置であって、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、該チャックテーブルの該保持面を覆うカバー位置と該カバー位置から退避した退避位置とにそれぞれ位置づけ可能なカバー部材と、を備えたことを特徴とする加工装置が提供される。
【００１０】
好ましくは、加工装置は、チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りする加工送り手段を更に備え、Ｘ軸方向の一端側に作業者作業位置が形成され、Ｘ軸方向の他端側に加工手段が配設されている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の加工装置によると、チャックテーブルを覆うカバー部材を有するため、作業者が作業中にカバー部材をカバー位置に位置付けることで、作業中に治具や工具を落下させてしまっても、チャックテーブルを傷つけることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】カバー部材を開けた状態の本発明実施形態に係る切削装置の斜視図である。
【図２】Ｘ軸送り機構の斜視図である。
【図３】各機構部品の配置を示す切削装置の概略平面図である。
【図４】切削ブレードを交換作業中の切削装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、カバー部材４８を開けた状態の本発明実施形態に係る切削装置２の斜視図が示されている。実際には、切削装置２の全体は外装カバーにより覆われているが、図１では外装カバーは省略されている。
【００１４】
切削装置２の前面側には、上下方向に移動可能なカセットエレベータ４が配設されており、カセットエレベータ４上にはカセット６が載置されている。カセット６はその両側面内側に複数の棚８を有しており、左右の棚の高さは同一に設定されている。
【００１５】
左右一対の棚８にウエーハユニット１０が収容される。ウエーハユニット１０は、環状フレームＦに装着されたダイシングテープＴにウエーハＷが貼着されて構成されている。内部にウエーハユニット１０を収容したカセット６は作業者によりカセットエレベータ４上に載置され、加工終了後のウエーハユニット１５を収容したカセット６はカセットエレベータ４上から除去される。
【００１６】
１４は図示しない搬出入ユニットによりカセット６から取り出されたウエーハユニット１０が仮置きされる仮置き領域であり、仮置き領域１４にはＹ軸方向に互いに近づく方向及び互いに遠ざかる方向に移動可能な一対の位置合わせ部材１２が配設されている。
【００１７】
搬出入ユニットによりカセット６から取り出されたウエーハユニット１０は、一対の位置合わせ部材１２上に仮置きされ、位置合わせ部材１２が互いに近づく方向に移動することによりウエーハユニット１０の位置合わせが実施される。
【００１８】
仮置き領域１４の下方には切削加工後のウエーハを洗浄するスピンナ洗浄ユニット１６が配設されている。スピンナ洗浄ユニット１６はスピンナテーブル及び図示しない洗浄水供給ノズル及びエアノズルを備えている。
【００１９】
仮置き領域１４に引き出され、一対の位置合わせ部材１２により位置合わせされたウエーハユニット１０は、図示しない搬送ユニットによりＹ軸方向に搬送されてチャックテーブル１８上に載置され、環状フレームＦが図２に示すクランプ３０によりクランプされて固定される。
【００２０】
図２を参照すると、チャックテーブル１８は円筒状支持部材２２を介してＸ軸移動ブロック２０上に搭載されている。チャックテーブル１８の周囲には円周方向に９０度離間して４個のクランプ３０が配設されている。これらのクランプ３０によりウエーハユニット１０の環状フレームＦをクランプする。
【００２１】
Ｘ軸移動ブロック２０にはボールねじ２４のナットが内蔵されており、ボールねじ２４の一端にはパルスモータ２６が連結されている。ボールねじ２４とパルスモータ２６とでＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動機構（加工送り手段）２８を構成する。
【００２２】
パルスモータ２６を駆動するとボールねじ２４が回転され、ボールねじ２４のナットに固定されたＸ軸移動ブロック２０が、Ｘ軸方向に伸びる一対のガイドレール２２に案内されてＸ軸方向に移動する。
【００２３】
図１を再び参照すると、チャックテーブル１８にはウォーターカバー３２が取り付けられており、ウォーターカバー３２のＸ軸方向両側には蛇腹３４が配設されている。
【００２４】
図３に示すように、切削装置２のＸ軸方向の一端側には作業者作業位置が形成されており、Ｘ軸方向の他端側には加工手段である第１切削ユニット３６及び第２切削ユニット３８が互いに対向するように配設されている。
【００２５】
図１に示すように、第１切削ユニット３６及び第２切削ユニット３８とも、スピンドルハウジング４０中に回転可能に収容されたスピンドル４２と、スピンドル４２の先端に装着された切削ブレード４４と、切削ブレード４４を覆うブレードカバー４６とを含んでいる。第１切削ユニット３６と第２切削ユニット３８は、Ｙ軸方向に独立して移動可能である。
【００２６】
４８はカバー部材であり、図４に示したチャックテーブル１８の保持面１８ａを覆うカバー位置と、カバー位置から退避する図１に示した退避位置とにそれぞれ位置づけ可能なように、切削装置２の本体にヒンジ５０で回動可能に取り付けられている。
【００２７】
第１切削ユニット３６及び／又は第２切削ユニット３８の切削ブレード４４でウエーハＷの切削を継続すると、切削ブレード４４が摩耗したり或いは欠けたりして、切削ブレード４４の交換が必要となる。図４は切削ブレード４４の交換作業中の状態を示している。
【００２８】
本実施形態の切削装置２では、チャックテーブル１８のホームポジションが図３に示すように、作業者が作業を行うＸ軸方向の一端側に設定されているため、切削ブレード４４の交換時には、作業者がＸ軸方向の他端側まで手を伸ばして作業を行う必要があるため、チャックテーブル１８の保持面１８ａが露出していると、ブレード交換作業中に治具や工具を落下させるとチャックテーブル１８の保持面１８ａを傷つける恐れがある。
【００２９】
従って、本実施形態の切削装置２では、図４に示すように、作業者がカバー部材４８を倒して（回動して）チャックテーブル１８の保持面１８ａをカバー部材４８で覆った状態でブレード交換作業を実施するようにする。
【００３０】
このように、作業者が作業中にカバー部材４８をカバー位置に位置付けることで、作業中に治具や工具を落下させてしまっても、チャックテーブル１８の保持面１８ａを傷つけることが防止される。
【００３１】
特に図示しないが、図１に示すカバー部材４８の退避位置においては、カバー部材４８は図示を省略した切削装置２の外装カバーに係止できるように構成されている。
【００３２】
上述した実施形態は本発明を切削装置に適用した例について説明したが、本発明のカバー部材はチャックテーブルを有する研削装置、研磨装置等の他の加工装置にも適用可能である。
【符号の説明】
【００３３】
４    カセットエレベータ
６    カセット
１０    ウエーハユニット
１８    チャックテーブル
１８ａ    保持面
３６    第１切削ユニット
３８    第２切削ユニット
４２    スピンドル
４４    切削ブレード
４８    カバー部材
５０    ヒンジ
【図１】
2014042943.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2014042943.tif 000006