(57)【要約】【課題】耐用寿命を充分に長くすることが可能で、しかも、製造コストを充分に低減し得るコンタクトプローブ用固定具を提供する。【解決手段】プローブ案内機構によって矢印Ｇの向きに案内されるベース部４と、プローブ本体３を固定可能に構成されると共に矢印Ｇの向きに沿ってベース部４に対向配置されたプローブ固定部５と、一端部がベース部４に連結され、かつ他端部がプローブ固定部５に連結されると共に、一端部および他端部の間が矢印Ａの向きに向かって突出するように湾曲させられた板ばね部６と、一端部がベース部４に連結され、かつ他端部がプローブ固定部５に連結されると共に、一端部および他端部の間が矢印Ｂの向きに向かって突出するように湾曲させられた板ばね部７とを備え、両板ばね部６，７の弾性変形によってベース部４に対するプローブ固定部５の接離動が許容されるように構成されている。【選択図】図１
2014238310.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ案内機構に取り付けられると共に当該プローブ案内機構によって所定の案内方向に案内されるベース部と、プローブ本体を固定可能に構成されると共に前記案内方向に沿って前記ベース部に対向配置されたプローブ固定部と、一端部が前記ベース部に連結され、かつ他端部が前記プローブ固定部に連結されると共に、当該一端部および当該他端部の間が前記案内方向と交差する方向Ａに向かって突出するように湾曲させられた第１の弾性変形部と、一端部が前記ベース部に連結され、かつ他端部が前記プローブ固定部に連結されると共に、当該一端部および当該他端部の間が前記案内方向および前記方向Ａの両方向と交差する方向Ｂに向かって突出するように湾曲させられた第２の弾性変形部とを備え、前記第１の弾性変形部は、前記案内方向に沿って見たときの当該第１の弾性変形部における各部の幅のうちの最小の幅が当該第１の弾性変形部における前記方向Ａ側の突端部の厚みよりも長くなるように形成され、前記第２の弾性変形部は、前記案内方向に沿って見たときの当該第２の弾性変形部における各部の幅のうちの最小の幅が当該第２の弾性変形部における前記方向Ｂ側の突端部の厚みよりも長くなるように形成され、前記第１の弾性変形部および前記第２の弾性変形部の弾性変形によって前記ベース部に対する前記プローブ固定部の接離動が許容されるように構成されているコンタクトプローブ用固定具。
【請求項２】
前記ベース部における前記プローブ固定部との第１の対向面において前記方向Ｂに沿って見たときに前記第１の弾性変形部から最も離間した第１の位置から当該第１の弾性変形部における内周面において当該方向Ｂに沿って見たときに当該ベース部から最も離間した第２の位置までの間の全域に当該プローブ固定部から当該ベース部に向かう第１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつ、前記プローブ固定部における前記ベース部との第２の対向面において前記方向Ｂに沿って見たときに前記第１の弾性変形部から最も離間した第３の位置から当該第１の弾性変形部における前記内周面の前記第２の位置までの間の全域に当該ベース部から当該プローブ固定部に向かう第２の向きに凹んだ部位が存在しないと共に、前記ベース部における前記第１の対向面において前記方向Ａに沿って見たときに前記第２の弾性変形部から最も離間した第４の位置から当該第２の弾性変形部における内周面において当該方向Ａに沿って見たときに当該ベース部から最も離間した第５の位置までの間の全域に前記第１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつ、前記プローブ固定部における前記第２の対向面において前記方向Ａに沿って見たときに前記第２の弾性変形部から最も離間した第６の位置から当該第２の弾性変形部における前記内周面の前記第５の位置までの間の全域に前記第２の向きに凹んだ部位が存在しないように、前記ベース部、前記第１の弾性変形部、前記第２の弾性変形部および前記プローブ固定部が構成されている請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項３】
前記ベース部には、当該コンタクトプローブ用固定具を前記プローブ案内機構に取り付けるための取付用孔が形成され、
前記取付用孔は、前記方向Ａと前記方向Ｂとの間の角度範囲内に規定された方向Ｃに沿って連通形成されている請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項４】
少なくとも表面部位が導電材料で形成され、前記プローブ固定部に前記プローブ本体を固着することによって当該プローブ本体と電気的に接続可能に構成されている請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具と、当該コンタクトプローブ用固定具における前記プローブ固定部に固定されたプローブ本体とを備えているコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ案内機構に取付け可能に構成されると共にプローブ本体を固定可能に構成されたコンタクトプローブ用固定具、およびそのようなコンタクトプローブ用固定具にプローブ本体が固定されて構成されたコンタクトプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のコンタクトプローブ用固定具およびコンタクトプローブとして、出願人は、プローブ本体がプローブ固定具に取り付けられて構成されたプローブを特許第４００８５９９号に開示している。この場合、出願人が開示しているプローブ１ｘ（以下、出願人が開示している「プローブ」に関する要素については、同特許公報の明細書における各構成要素の符号の末尾に「ｘ」を付して説明する）におけるプローブ固定具１０ｘ（以下、単に「固定具１０ｘ」ともい）は、プローブ案内機構によって所定の案内方向に案内されるベース部３ｘと、プローブ本体Ｐｘを固定可能に構成されたプローブ固定部２ｘと、プローブ固定部２ｘをベース部３ｘに対して上下動可能にベース部３ｘにそれぞれ連結するリンク部４ｘ，５ｘとを備えて構成されている。
【０００３】
また、この固定具１０ｘでは、リンク部４ｘにおける一端（連結用アーム４ａｘの一端）が、上記の案内方向に直交する第１の方向に沿って形成された支点６ａｘを介してベース部３ｘに連結されると共に、リンク部４ｘにおける他端（連結用アーム４ｂｘの一端）が、第１の方向に沿って形成された支点６ｃｘを介してプローブ固定部２ｘに連結され、かつ、連結用アーム４ａｘ，４ｂｘの他端部同士が支点６ｂｘを介して相互に連結されている。さらに、この固定具１０ｘでは、リンク部５ｘにおける一端（連結用アーム５ａｘの一端）が、上記の案内方向に直交し第１の方向と交差する第２の方向に沿って形成された支点７ａｘを介してベース部３ｘに連結されると共に、リンク部５ｘにおける他端（連結用アーム５ｂｘの一端）が、第２の方向に沿って形成された支点７ｃｘを介してプローブ固定部２ｘに連結され、かつ連結用アーム５ａｘ，５ｂｘの他端部同士が支点７ｂｘを介して相互に連結されている。
【０００４】
このプローブ１ｘでは、プローブ案内機構によってベース部３ｘが上記の案内方向に移動させられてプローブ本体Ｐｘの先端部Ｐｂｘがプロービング対象に接触させられ、その状態から、プローブ案内機構によってベース部３ｘが案内方向に向けてさらに移動させられたときに、両リンク部４ｘ，５ｘの支点６ａｘ〜６ｃｘ，７ａｘ〜７ｃｘが弾性変形させられて、連結用アーム４ａｘ，５ａｘが支点６ａｘ，７ａｘを中心としてベース部３ｘに対して相対的に回動させられる共に、連結用アーム４ｂｘ，５ｂｘが支点６ａｘ，７ａｘを中心としてプローブ固定部２ｘに対して相対的に回動させられ、ベース部３ｘに対してプローブ固定部２ｘが接近させられる。これにより、プローブ本体Ｐｘの先端部Ｐｂｘがプローブ案内機構の案内方向に沿って上下方向に直動させられる。
【０００５】
したがって、出願人が開示しているプローブ１ｘでは、プロービング対象に対して先端部Ｐｂｘが最初に接触させられた時点から、さらに付勢されてリンク部４ｘ，５ｘ（各支点６ａｘ〜６ｃｘ，７ａｘ〜７ｃｘ）が変形した状態となるまでの間において、プローブ本体Ｐｘの先端部Ｐｂｘが、プロービング対象上で移動せずに最初に接触させられた位置に点的に接触させられた状態が維持される。これにより、出願人が開示しているプローブ１ｘでは、プロービング対象に形成される接触痕を限りなく小さくすることができるため、プロービング対象の美観や機能を損なうことなくプロービングを行うことが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４００８５９９号公報（第５−８頁、第１−４図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、出願人が開示しているプローブ１ｘおよびその固定具１０ｘには、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、出願人が開示しているプローブ１ｘでは、両リンク部４ｘ，５ｘの変形によってプローブ案内機構による案内方向（プロービング方向）に沿ってプローブ本体Ｐｘの先端部Ｐｂｘを固定具１０ｘに対して相対的に直動させる構成が採用されている。この場合、この固定具１０ｘでは、プロービング動作時に、各連結用アーム４ａｘ，４ｂｘ，５ａｘ，５ｂｘが殆ど変形することなく、各支点６ａｘ〜６ｃｘ，７ａｘ〜７ｃｘ（以下、総称して「支点６ｘ，７ｘ」ともいう）が弾性変形させられるため、各支点６ｘ，７ｘに局所的なストレスが加わることとなる。
【０００８】
したがって、出願人が開示しているプローブ１ｘ（固定具１０ｘ）では、長期に亘って使用したとき（多数回に亘るプロービング動作を行ったとき）に、各支点６ｘ，７ｘに破断が生じることがあり、これらの各支点６ｘ，７ｘの耐久性がプローブ１ｘ（固定具１０ｘ）の耐用寿命を大きく左右しているという現状がある。一方、プロービング動作時に各支点６ｘ，７ｘに加わるストレスを軽減するために、例えば、各支点６ｘ，７ｘをさらに薄厚に形成するなどしてこれらの変形容易性を高めることにより、その耐久性を向上させることが可能となる。しかしながら、各支点６ｘ，７ｘの変形容易性を高めた場合には、十分な反発力（弾性復帰力）を得ることが困難となり、プロービング対象に対してプローブ本体Ｐｘの先端部Ｐｂｘを十分な付勢力で押し付けるのが困難となるおそれがある。
【０００９】
また、出願人が開示しているプローブ１ｘ（固定具１０ｘ）では、各支点６ｘ，７ｘがプローブ固定部２ｘ、ベース部３ｘおよび各連結用アーム４ａｘ，４ｂｘ，５ａｘ，５ｂｘと比較して非常に薄厚となっている。したがって、各支点６ｘ，７ｘに破断を生じさせることなく固定具１０ｘを製造するのが困難となっており、これに起因して、固定具１０ｘ、およびプローブ１ｘの製造コストの低減が困難となっている。
【００１０】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、耐用寿命を充分に長くすることが可能で、しかも、製造コストを充分に低減し得るコンタクトプローブ用固定具およびコンタクトプローブを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成すべく、請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具は、プローブ案内機構に取り付けられると共に当該プローブ案内機構によって所定の案内方向に案内されるベース部と、プローブ本体を固定可能に構成されると共に前記案内方向に沿って前記ベース部に対向配置されたプローブ固定部と、一端部が前記ベース部に連結され、かつ他端部が前記プローブ固定部に連結されると共に、当該一端部および当該他端部の間が前記案内方向と交差する方向Ａに向かって突出するように湾曲させられた第１の弾性変形部と、一端部が前記ベース部に連結され、かつ他端部が前記プローブ固定部に連結されると共に、当該一端部および当該他端部の間が前記案内方向および前記方向Ａの両方向と交差する方向Ｂに向かって突出するように湾曲させられた第２の弾性変形部とを備え、前記第１の弾性変形部は、前記案内方向に沿って見たときの当該第１の弾性変形部における各部の幅のうちの最小の幅が当該第１の弾性変形部における前記方向Ａ側の突端部の厚みよりも長くなるように形成され、前記第２の弾性変形部は、前記案内方向に沿って見たときの当該第２の弾性変形部における各部の幅のうちの最小の幅が当該第２の弾性変形部における前記方向Ｂ側の突端部の厚みよりも長くなるように形成され、前記第１の弾性変形部および前記第２の弾性変形部の弾性変形によって前記ベース部に対する前記プローブ固定部の接離動が許容されるように構成されている。
【００１２】
また、請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具において、前記ベース部における前記プローブ固定部との第１の対向面において前記方向Ｂに沿って見たときに前記第１の弾性変形部から最も離間した第１の位置から当該第１の弾性変形部における内周面において当該方向Ｂに沿って見たときに当該ベース部から最も離間した第２の位置までの間の全域に当該プローブ固定部から当該ベース部に向かう第１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつ、前記プローブ固定部における前記ベース部との第２の対向面において前記方向Ｂに沿って見たときに前記第１の弾性変形部から最も離間した第３の位置から当該第１の弾性変形部における前記内周面の前記第２の位置までの間の全域に当該ベース部から当該プローブ固定部に向かう第２の向きに凹んだ部位が存在しないと共に、前記ベース部における前記第１の対向面において前記方向Ａに沿って見たときに前記第２の弾性変形部から最も離間した第４の位置から当該第２の弾性変形部における内周面において当該方向Ａに沿って見たときに当該ベース部から最も離間した第５の位置までの間の全域に前記第１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつ、前記プローブ固定部における前記第２の対向面において前記方向Ａに沿って見たときに前記第２の弾性変形部から最も離間した第６の位置から当該第２の弾性変形部における前記内周面の前記第５の位置までの間の全域に前記第２の向きに凹んだ部位が存在しないように、前記ベース部、前記第１の弾性変形部、前記第２の弾性変形部および前記プローブ固定部が構成されている。
【００１３】
さらに、請求項３記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具において、前記ベース部には、当該コンタクトプローブ用固定具を前記プローブ案内機構に取り付けるための取付用孔が形成され、前記取付用孔は、前記方向Ａと前記方向Ｂとの間の角度範囲内に規定された方向Ｃに沿って連通形成されている。
【００１４】
また、請求項４記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具において、少なくとも表面部位が導電材料で形成され、前記プローブ固定部に前記プローブ本体を固着することによって当該プローブ本体と電気的に接続可能に構成されている。
【００１５】
さらに、請求項５記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具と、当該コンタクトプローブ用固定具における前記プローブ固定部に固定されたプローブ本体とを備えているコンタクトプローブ。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具は、プローブ案内機構に取り付けられるベース部と、プローブ本体を固定可能に構成されたプローブ固定部と、一端部がベース部に連結され、かつ他端部がプローブ固定部に連結されると共に、方向Ａに向かって突出するように湾曲させられた第１の弾性変形部と、一端部がベース部に連結され、かつ他端部がプローブ固定部に連結されると共に、方向Ｂに向かって突出するように湾曲させられた第２の弾性変形部とを備え、第１の弾性変形部および第２の弾性変形部の弾性変形によってベース部に対するプローブ固定部の接離動が許容されるように構成されている。また、請求項５記載のコンタクトプローブは、請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具と、コンタクトプローブ用固定具におけるプローブ固定部に固定されたプローブ本体とを備えている。
【００１７】
したがって、請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具、および請求項５記載のコンタクトプローブによれば、両弾性変形部の全体が弾性変形することでベース部に対するプローブ固定部の接離動が許容されるため、プロービング動作時にコンタクトプローブ用固定具におけるいずれかの部位の変形量が他の部位よりも過剰に多くなってコンタクトプローブ用固定具に局所的なストレスが加わる事態を回避することができる結果、両弾性変形部の耐久性を充分に向上させることができ、コンタクトプローブ用固定具の耐用寿命を充分に長くすることができる。これにより、このコンタクトプローブ用固定具を用いて構成したコンタクトプローブによるプロービングに要するコストを充分に低減することができる。また、コンタクトプローブ用固定具に過剰に薄厚な部位が存在しないため、破断等を招くことなく、コンタクトプローブ用固定具を確実かつ容易に製造することができる。これにより、コンタクトプローブ用固定具（コンタクトプローブ）の歩留まりを充分に向上させて、その製造コストを充分に低減することができる。
【００１８】
請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具では、ベース部における第１の対向面の第１の位置から第１の弾性変形部における内周面の第２の位置までの間の全域、および第１の対向面の第４の位置から第２の弾性変形部における内周面の第５の位置までの間の全域に第１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつプローブ固定部における第２の対向面の第３の位置から上記の第２の位置までの間の全域、および第２の対向面の第６の位置から上記の第５の位置までの間の全域に第２の向きに凹んだ部位が存在しないように、ベース部、両弾性変形部およびプローブ固定部が構成されている
【００１９】
したがって、請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、射出成形によってコンタクトプローブ用固定具を製造する際には、ベース部の第１の対向面、両弾性変形部の内周面、およびプローブ固定部の第２の対向面を形成するための凸状部位に、プローブ固定部からベース部に向かう向きで突出する凸部や、ベース部からプローブ固定部に向かう向きで突出する凸部が存在しない金型を使用することができるため、金型からコンタクトプローブ用固定具を容易に離型させることができると共に、切削加工によってコンタクトプローブ用固定具を製造する際には、切削対象の樹脂材料の塊に対して一方から刃部を差し入れるだけでベース部の第１の対向面、両弾性変形部の内周面、およびプローブ固定部の第２の対向面を削り出すことができる。したがって、いずれの製法に従ってコンタクトプローブ用固定具を製造する場合においても、その製造コストを十分に低減することができる。これにより、コンタクトプローブの製造コストを十分に低減することができる。
【００２０】
さらに、請求項３記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、コンタクトプローブ用固定具をプローブ案内機構に取り付けるための取付用孔を、方向Ａと方向Ｂとの間の角度範囲内に規定された方向Ｃに沿ってベース部に連通形成したことにより、射出成形によってコンタクトプローブ用固定具を製造する際に、取付用孔を形成するために金型に設けた凸部が金型からコンタクトプローブ用固定具を離型させる妨げとなる事態を招くことなく、射出成形時に取付用孔をベース部に形成することができる。これにより、コンタクトプローブ用固定具の製造コストを一層低減することができる。
【００２１】
また、請求項４記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、少なくとも表面部位を導電材料で形成し、プローブ固定部にプローブ本体を固着することによってプローブ本体と電気的に接続可能に構成したことにより、プローブ本体に通電用の配線を直接接続する作業が不要となる結果、プローブ案内機構に対するコンタクトプローブの着脱作業を短時間で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態に係るプローブ１の外観斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るプローブ１の平面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るプローブ１の底面図である。
【図４】固定具２を図２の矢印Ｂの向きに沿って見た側面図である。
【図５】固定具２を図２の矢印Ａの向きに沿って見た側面図である。
【図６】固定具２、および固定具２を製造するための金型Ｍの側面図である。
【図７】固定具２、および固定具２を製造するための金型Ｍの他の側面図である。
【図８】非プロービング状態におけるプローブ１の側面図である。
【図９】プロービング状態におけるプローブ１の側面図である。
【図１０】他の実施の形態に係るプローブ１Ａの平面図である。
【図１１】プロービング状態におけるプローブ１の側面図である。
【図１２】非プロービング状態におけるプローブ１の側面図である。
【図１３】他の実施の形態に係るプローブ１Ｂの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブ用固定具およびコンタクトプローブの実施の形態について説明する。
【００２４】
図１〜３に示すプローブ１は、「コンタクトプローブ」の一例であって、「コンタクトプローブ用固定具」に相当する固定具２と、固定具２に取り付けられたプローブ本体３とを備え、図示しないプローブ案内機構に取り付け可能に構成されている。固定具２は、ベース部４、プローブ固定部５および板ばね部６，７を備え、後述するように、板ばね部６，７の弾性変形によってベース部４に対するプローブ固定部５の接離動が許容されるように構成されている。この場合、本例の固定具２では、ベース部４、プローブ固定部５および板ばね部６，７が、一例として、導電性樹脂材料（例えば、導電性金属の微粉末を混練したエポキシ樹脂）を用いた射出成形によって一体的に形成されている（「表面部位だけでなく、コンタクトプローブ用固定具の全体を導電材料で形成した構成」の例）。
【００２５】
ベース部４は、「ベース部」の一例であって、図１，２に示すように、プローブ案内機構に取り付けるためのネジ（図示せず）を挿通可能な取付用孔Ｈが形成されている。また、プローブ固定部５は、「プローブ固定部」の一例であって、図１，３に示すように、プローブ本体３を固定するためのスリットＳが形成されると共に、図１に示すように、プローブ案内機構による案内方向（同図に示す矢印Ｇの向き）に沿ってベース部４に対向配置されている。
【００２６】
この場合、本例の固定具２では、プローブ固定部５のスリットＳにプローブ本体３における基端部３ａを圧入することによってプローブ本体３およびプローブ固定部５（固定具２）が一体化されて互いに電気的に接続された状態となる構成が採用されている。また、プローブ１（固定具２）を取り付けるプローブ案内機構におけるプローブ取付部（図示せず）が導電性金属材料で形成されているため、本例のプローブ１（固定具２）では、上記の取付用孔Ｈ，Ｈを挿通させたネジをプローブ案内機構におけるプローブ取付部のネジ孔にねじ込むことにより、プローブ本体３およびプローブ案内機構が固定具２および取付け用のネジを介して相互に電気的に接続された状態となる。
【００２７】
板ばね部６は、「第１の弾性変形部」の一例であって、図４に示すように、一端がベース部４に連結され、かつ他端がプローブ固定部５に連結されると共に、ベース部４に連結されている端部とプローブ固定部５に連結されている端部との間が矢印Ａの向き（「案内方向と交差する方向Ａ」の一例：本例では、平面視においてベース部４およびプローブ固定部５から外側に向かう向き）に向かって突出するように湾曲させられている。
【００２８】
この場合、本例のプローブ１（固定具２）では、図２，４に示すように、プローブ案内機構による案内方向（図２において紙面に直交する向き：図４における矢印Ｇの向き）に沿って見たときの板ばね部６における各部の幅のうちの最小の幅（本例では、各部の幅＝互いに等しい幅Ｗ１）が、板ばね部６における突端部の厚みＴ１（板ばね部６における「方向Ａ（図２，４に示す矢印Ａの向き）」側の突端部の「方向Ａ」に沿った厚み）よりも長くなるように板ばね部６が形成されている。
【００２９】
また、本例のプローブ１（固定具２）では、図４に示すように、ベース部４におけるプローブ固定部５との対向面Ｆ４（「第１の対向面」の一例）において「方向Ｂ（図２，５に示す矢印Ｂの向き）」に沿って見たときに板ばね部６から最も離間した位置Ｐ１（「第１の位置」の一例）から、板ばね部６における内周面Ｆ１において「方向Ｂ」に沿って見たときにベース部４やプローブ固定部５から最も離間した位置Ｐ２（「第２の位置」の一例）までの間の全域に、プローブ固定部５からベース部４に向かう矢印Ｇ１の向き（「第１の向き」の一例）に凹んだ部位が存在しないように板ばね部６およびベース部４が構成されている。
【００３０】
さらに、本例のプローブ１（固定具２）では、プローブ固定部５におけるベース部４との対向面Ｆ５（「第２の対向面」の一例）において上記の「方向Ｂ」に沿って見たときに板ばね部６から最も離間した位置Ｐ３（「第３の位置」の一例）から上記の位置Ｐ２までの間の全域に、ベース部４からプローブ固定部５に向かう矢印Ｇ２の向き（「第２の向き」の一例）に凹んだ部位が存在しないように板ばね部６およびプローブ固定部５が構成されている。
【００３１】
板ばね部７は、「第２の弾性変形部」の一例であって、図５に示すように、一端がベース部４に連結され、かつ他端がプローブ固定部５に連結されると共に、ベース部４に連結されている端部とプローブ固定部５に連結されている端部との間が矢印Ｂの向き（「案内方向および方向Ａの両方向と交差する方向Ｂ」の一例：本例では、平面視においてベース部４およびプローブ固定部５から外側に向かう向きであって、上記の「方向Ａ」と直交する向き）に向かって突出するように湾曲させられている。
【００３２】
この場合、本例のプローブ１（固定具２）では、図２，５に示すように、プローブ案内機構による案内方向（図２において紙面に直交する向き：図５における矢印Ｇの向き）に沿って見たときの板ばね部７における各部の幅のうちの最小の幅（本例では、各部の幅＝互いに等しい幅Ｗ２）が、板ばね部７における突端部の厚みＴ２（板ばね部６における「方向Ｂ（図２，５に示す矢印Ｂの向き）」側の突端部の「方向Ｂ」に沿った厚み）よりも長くなるように板ばね部７が形成されている。
【００３３】
また、本例のプローブ１（固定具２）では、図５に示すように、ベース部４におけるプローブ固定部５との対向面Ｆ４において「方向Ａ（図２，４に示す矢印Ａの向き）」に沿って見たときに板ばね部７から最も離間した位置Ｐ４（「第４の位置」の一例）から、板ばね部７における内周面Ｆ２において「方向Ａ」に沿って見たときにベース部４やプローブ固定部５から最も離間した位置Ｐ５（「第５の位置」の一例）までの間の全域に、プローブ固定部５からベース部４に向かう矢印Ｇ１の向きに凹んだ部位が存在しないように板ばね部７およびベース部４が構成されている。
【００３４】
さらに、本例のプローブ１（固定具２）では、プローブ固定部５におけるベース部４との対向面Ｆ５において上記の「方向Ａ」に沿って見たときに板ばね部７から最も離間した位置Ｐ６（「第６の位置」の一例）から上記の位置Ｐ５までの間の全域に、ベース部４からプローブ固定部５に向かう矢印Ｇ２の向きに凹んだ部位が存在しないように板ばね部７およびプローブ固定部５が構成されている。
【００３５】
なお、本例の固定具２では、板ばね部６の各部の厚みを互いに等しい厚みＴ１とし、かつ、板ばね部７の各部の厚みを互いに等しい厚みＴ２としているが、「第１の弾性変形部」の各部においてその厚みを異ならせたり、「第２の弾性変形部」の各部においてその厚みを異ならせたりすることもできる（図示せず）。また、本例の固定具２では、板ばね部６の各部の幅を互いに等しい幅Ｗ１とし、かつ、板ばね部７の各部の幅を互いに等しい幅Ｗ２としているが、「第１の弾性変形部」の各部においてその幅を異ならせたり、「第２の弾性変形部」の各部においてその幅を異ならせたりすることもできる（図示せず）
【００３６】
また、本例のプローブ１（固定具２）では、図２に示すように、前述した取付用孔Ｈが、「方向Ａ（矢印Ａで示す方向）」と「方向Ｂ（矢印Ｂで示す方向）」との間の角度範囲内（両図における角度θの範囲内：一例として、方向Ａと方向Ｂとの中間の角度）に規定された方向（「方向Ｃ」の一例である矢印Ｃの方向）に沿ってベース部４に連通形成されている。さらに、本例のプローブ１（固定具２）では、前述したスリットＳも、「方向Ａ（矢印Ａで示す方向）」と「方向Ｂ（矢印Ｂで示す方向）」との間の角度範囲内（両図における角度θの範囲内）に規定された方向（「方向Ｃ」の一例である矢印Ｃの方向）に沿ってプローブ固定部５に形成されている。
【００３７】
このプローブ１の製造に際しては、まず、一例として、射出成形処理によって固定具２を製造する。この場合、前述したように、本例のプローブ１における固定具２では、ベース部４の対向面Ｆ４における位置Ｐ１から板ばね部６の内周面Ｆ１における位置Ｐ２までの間の全域、およびベース部４の対向面Ｆ４における位置Ｐ４から板ばね部７の内周面Ｆ２における位置Ｐ５までの間の全域に、プローブ固定部５からベース部４に向かう矢印Ｇ１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつプローブ固定部５の対向面Ｆ５における位置Ｐ３から上記の位置Ｐ２までの間の全域、およびプローブ固定部５の対向面Ｆ５における位置Ｐ６から上記の位置Ｐ５までの間の全域に、ベース部４からプローブ固定部５に向かう矢印Ｇ２の向きに凹んだ部位が存在しないように、ベース部４、プローブ固定部５および板ばね部６，７が構成されている。
【００３８】
したがって、図６，７に示すように、本例の固定具２を成形するための金型Ｍでは、ベース部４の対向面Ｆ４、板ばね部６の内周面Ｆ１、板ばね部７の内周面Ｆ２、およびプローブ固定部５の対向面Ｆ５を形成するための凸状部位Ｍａに、スリットＳを形成するための凸部Ｍｓが設けられているものの、その他には、矢印Ｇ１の向きに突出した凸部や、矢印Ｇ２の向きに突出した凸部が存在していない。また、スリットＳを形成するための凸部Ｍｓは、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との間の角度範囲内に規定された「方向Ｃ」（本例では、図２に示す矢印Ｃの方向）に沿って設けられている。このため、この金型Ｍを用いた射出成形によって固定具２を成形した後に、「方向Ｃ」の逆向き（図２に示す矢印Ｄの向き）に金型Ｍから固定具２をスムーズに離型させることが可能となっている。
【００３９】
この場合、図６，７では、取付用孔Ｈを形成するために金型Ｍに設けられた凸部を図示していないが、この取付用孔Ｈを形成するための凸部は、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との間の角度範囲内に規定された「方向Ｃ」（本例では、図２に示す矢印Ｃの方向）に沿って設けられている。したがって、上記したように、図２に示す矢印Ｄの向きで金型Ｍから固定具２を離型させる際に、ベース部４に取付用孔Ｈを形成するための凸部が離型の妨げとなる事態が回避されている。これにより、固定具２の製造が完了する。
【００４０】
なお、射出成形によって固定具２を製造する例について説明したが、例えば、導電性樹脂材料の塊から切削加工によって固定具２を製造することもできる。この場合、本例の固定具２では、前述したように、対向面Ｆ４および内周面Ｆ１における位置Ｐ１から位置Ｐ２までの間の全域に矢印Ｇ１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつ対向面Ｆ４および内周面Ｆ２における位置Ｐ４から位置Ｐ５までの間の全域に矢印Ｇ１の向きに凹んだ部位が存在しないと共に、対向面Ｆ５および内周面Ｆ１における位置Ｐ３から位置Ｐ２までの間の全域に矢印Ｇ２の向きに凹んだ部位が存在せず、かつ対向面Ｆ５および内周面Ｆ２における位置Ｐ６から位置Ｐ５までの間の全域に矢印Ｇ２の向きに凹んだ部位が存在していない。したがって、樹脂の塊に対して、例えば、図２に示す矢印Ｄの向きと同じ向きで切削用の刃部を差し入れるだけで、ベース部４の対向面Ｆ４、板ばね部６，７の内周面Ｆ１，Ｆ２、およびプローブ固定部５の対向面Ｆ５を削り出すことができる。
【００４１】
この場合、プローブ固定部２ｘおよびベース部３ｘを連結しているリンク部４ｘ，５ｘに薄厚の支点６ｘ，７ｘが存在する従来の固定具１０ｘ（プローブ１ｘ）とは異なり、ベース部４およびプローブ固定部５が板ばね部６，７によって連結されている本例の固定具２（プローブ１）では、ベース部４およびプローブ固定部５の間（ベース部４およびプローブ固定部５の連結部位）に過剰に薄厚の部位が存在していない。したがって、本例の固定具２（プローブ１）では、射出成形および切削加工のいずれの製造方法を採用した場合においても、破断等が生じる事態を招くことなく、固定具２を確実かつ容易に製造することが可能となっている。
【００４２】
次いで、固定具２にプローブ本体３を取り付ける。具体的には、図１〜３に示すように、平面視においてプローブ本体３の先端部３ｂが板ばね部６，７の間に位置するようにプローブ本体３の基端部３ａを固定具２のプローブ固定部５におけるスリットＳに圧入する。これにより、固定具２およびプローブ本体３が一体化されて互いに電気的に接続された状態となり、プローブ１が完成する。
【００４３】
一方、このプローブ１を用いたプロービングに際しては、まず、ベース部４の取付用孔Ｈ，Ｈを挿通させたネジを、プローブ案内機構におけるプローブ取付部に形成されているネジ孔にねじ込むことにより、プローブ案内機構にプローブ１（固定具２）を取り付ける。この際に、固定具２が導電性樹脂材料で形成されている本例のプローブ１では、プローブ案内機構（プローブ取付部）にプローブ１（固定具２）を取り付けるだけで、固定具２およびネジを介してプローブ本体３がプローブ案内機構（プローブ取付部）に対して電気的に接続された状態となる。したがって、プローブ本体３とプローブ案内機構とを信号線等を介して電気的に接続する作業が不要となっている分だけ、プローブ案内機構にプローブ１を迅速かつ容易に着脱することが可能となっている。
【００４４】
また、プロービングに際しては、図８に示すように、プローブ案内機構が、プローブ本体３の先端部３ｂをプロービング対象Ｘにおけるプロービング位置の上方に位置させた状態において、矢印Ｇの向き（「案内方向」の一例）でベース部４（固定具２）を移動させる。この際には、固定具２の移動に伴い、固定具２に取り付けられているプローブ本体３が固定具２と共にプロービング対象Ｘに向かって移動させられて先端部３ｂがプロービング対象Ｘに接触させられる。次いで、プローブ案内機構がベース部４を矢印Ｇの向きにさらに移動させると、図９に示すように、板ばね部６，７がそれぞれ弾性変形する。
【００４５】
この場合、本例のプローブ１（固定具２）では、前述したように、幅Ｗ１が厚みＴ１よりも長くなるように板ばね部６が形成されている。これにより、本例のプローブ１（固定具２）では、図５に矢印Ｅ２ａまたは矢印Ｅ２ｂで示すようにベース部４に対してプローブ固定部５が傾く（対向面Ｆ４と対向面Ｆ５とが非平行状態となる）事態が回避されると共に、板ばね部７とベース部４との連結部が板ばね部７とプローブ固定部５との連結部位に対して矢印Ｂの向きに変位するような板ばね部７の変形が回避される。
【００４６】
また、本例のプローブ１（固定具２）では、前述したように、幅Ｗ２が厚みＴ２よりも長くなるように板ばね部７が形成されている。これにより、本例のプローブ１（固定具２）では、図４に矢印Ｅ１ａまたは矢印Ｅ１ｂで示すようにベース部４に対してプローブ固定部５が傾く（対向面Ｆ４と対向面Ｆ５とが非平行状態となる）事態が回避されると共に、板ばね部６とベース部４との連結部が板ばね部６とプローブ固定部５との連結部位に対して矢印Ａの向きに変位するような板ばね部６の変形が回避される。
【００４７】
これにより、本例のプローブ１（固定具２）では、プローブ固定部５における板ばね部６との連結部位が、ベース部４における板ばね部６との連結部位に対して平行、かつ相対的に上動すると共に、プローブ固定部５における板ばね部７との連結部位が、ベース部４における板ばね部７との連結部位に対して平行、かつ相対的に上動する。この結果、プローブ固定部５がベース部４に対して平行状態を維持しつつ相対的に上方に直動する。したがって、プローブ固定部５に固定されているプローブ本体３の先端部３ｂも、プローブ案内機構の案内方向に沿ってベース部４に対して相対的に直動する。
【００４８】
また、プローブ固定部２ｘおよびベース部３ｘを連結しているリンク部４ｘ，５ｘに殆ど変形しない連結用アーム４ａｘ，４ｂｘ，５ａｘ，５ｂｘが存在する従来の固定具１０ｘ（プローブ１ｘ）とは異なり、ベース部４およびプローブ固定部５が板ばね部６，７によって連結されている本例の固定具２（プローブ１）では、プロービング動作時に、板ばね部６の全体（板ばね部６の一端部から他端部までの間）、および板ばね部７の全体（板ばね部７の一端部から他端部までの間）が変形させられる。したがって、本例の固定具２（プローブ１）では、固定具２におけるいずれかの部位の変形量が他の部位よりも過剰に多くなる事態（固定具２に局所的なストレスが加わる事態）が回避される。
【００４９】
この後、例えば、回路基板における回路パターンの断線や短絡などを検査する場合には、固定具２およびプローブ本体３を介してプローブ本体３の先端部３ｂからプロービング対象Ｘに電圧または電流を供給すると共に、図示しない他のプローブ１（プローブ本体３）を介して電圧または電流を入力することにより、予め規定された電気的パラメータを測定する。これにより、測定結果と、判定用基準値とに基づき、回路パターンの断線などを検査することができる。
【００５０】
このように、この固定具２は、プローブ案内機構に取り付けられるベース部４と、プローブ本体３を固定可能に構成されたプローブ固定部５と、一端部がベース部４に連結され、かつ他端部がプローブ固定部５に連結されると共に、「方向Ａ」に向かって突出するように湾曲させられた板ばね部６と、一端部がベース部４に連結され、かつ他端部がプローブ固定部５に連結されると共に、「方向Ｂ」に向かって突出するように湾曲させられた板ばね部７とを備え、板ばね部６，７の弾性変形によってベース部４に対するプローブ固定部５の接離動が許容されるように構成されている。また、このプローブ１は、固定具２と、固定具２におけるプローブ固定部５に固定されたプローブ本体３とを備えている。
【００５１】
したがって、この固定具２およびプローブ１によれば、板ばね部６，７の全体が弾性変形することでベース部４に対するプローブ固定部５の接離動が許容されるため、プロービング動作時に固定具２におけるいずれかの部位の変形量が他の部位よりも過剰に多くなって固定具２に局所的なストレスが加わる事態を回避することができる結果、板ばね部６，７の耐久性を充分に向上させることができる結果、固定具２の耐用寿命を充分に長くすることができる。これにより、この固定具２を用いて構成したプローブ１によるプロービングに要するコストを充分に低減することができる。また、固定具２に過剰に薄厚な部位が存在しないため、破断等を招くことなく、固定具２を確実かつ容易に製造することができる。これにより、固定具２（プローブ１）の歩留まりを充分に向上させて、その製造コストを充分に低減することができる。
【００５２】
また、この固定具２では、ベース部４における対向面Ｆ４の位置Ｐ１から板ばね部６における内周面Ｆ１の位置Ｐ２までの間の全域、および対向面Ｆ４の位置Ｐ４から板ばね部７における内周面Ｆ２の位置Ｐ５までの間の全域に「第１の向き（本例では、図４，５に示す矢印Ｇ１の向き）」に凹んだ部位が存在せず、かつプローブ固定部５における対向面Ｆ５の位置Ｐ３から上記の位置Ｐ２までの間の全域、および対向面Ｆ５の位置Ｐ６から上記の位置Ｐ５までの間の全域に「第２の向き（本例では、図４，５に示す矢印Ｇ２の向き）」に凹んだ部位が存在しないように、ベース部４、板ばね部６，７およびプローブ固定部５が構成されている。
【００５３】
したがって、この固定具２によれば、射出成形によって固定具２を製造する際には、ベース部４の対向面Ｆ４、板ばね部６，７の内周面Ｆ１，Ｆ２、およびプローブ固定部５の対向面Ｆ５を形成するための凸状部位Ｍａに、プローブ固定部５からベース部４に向かう矢印Ｇ１の向きで突出する凸部や、ベース部４からプローブ固定部５に向かう矢印Ｇ２の向きで突出する凸部が存在しない金型Ｍを使用することができるため、金型Ｍから固定具２を容易に離型させることができると共に、切削加工によって固定具２を製造する際には、切削対象の樹脂材料の塊に対して一方から刃部を差し入れるだけでベース部４の対向面Ｆ４、板ばね部６，７の内周面Ｆ１，Ｆ２、およびプローブ固定部５の対向面Ｆ５を削り出すことができる。したがって、いずれの製法に従って固定具２を製造する場合においても、その製造コストを十分に低減することができる。これにより、プローブ１の製造コストを十分に低減することができる。
【００５４】
さらに、この固定具２によれば、固定具２をプローブ案内機構に取り付けるための取付用孔Ｈを、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との間の角度範囲内に規定された「方向Ｃ」に沿ってベース部４に連通形成したことにより、射出成形によって固定具２を製造する際に、取付用孔Ｈを形成するために金型Ｍに設けた凸部が金型Ｍから固定具２を離型させる妨げとなる事態を招くことなく、射出成形時に取付用孔Ｈをベース部４に形成することができる。これにより、固定具２の製造コストを一層低減することができる。
【００５５】
また、この固定具２によれば、少なくとも表面部位（本例では、全体）を導電材料で形成し、プローブ固定部５にプローブ本体３を固着することによってプローブ本体３と電気的に接続可能に構成したことにより、プローブ本体３に通電用の配線を直接接続する作業が不要となる結果、プローブ案内機構に対するプローブ１の着脱作業を短時間で実施することができる。
【００５６】
なお、本発明に係る「コンタクトプローブ用固定具」および「コンタクトプローブ」の構成は、上記の固定具２およびプローブ１の構成に限定されない。例えば、導電性樹脂材料によって成形した固定具２を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、ＡＢＳ樹脂等の非導電性樹脂材料を用いた射出成形によってベース部４、プローブ固定部５および板ばね部６，７を一体的に形成した後に、その表面にニッケル等で導体膜を成膜することによって固定具２の表面部位だけを導電材料で形成する構成を採用することもできる（「表面部位だけを導電材料で形成した構成」の例）。このような構成を採用した場合においても、上記の固定具２と同様にして、プローブ本体３に通電用の配線を直接接続する作業を不要とすることができる。
【００５７】
また、平面視において「方向Ａ」と「方向Ｂ」とが直交するように両板ばね部６，７を形成した固定具２（プローブ１）を例に挙げて説明したが、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との交差角度を直角以外の任意の角度に規定して「第１の弾性変形部」および「第２の弾性変形部」を形成することができる。このような構成においても、上記の固定具２と同様にして、「ベース部」に対して「プローブ固定部」を直動させることができる。
【００５８】
具体的には、一例として、図１０に示すプローブ１Ａの固定具２Ａ（「コンタクトプローブ」および「コンタクトプローブ用固定具」の他の一例）では、板ばね部６を突出させるべき（湾曲させるべき）「方向Ａ」の他の一例である矢印Ａａの向きと、板ばね部７を突出させるべき（湾曲させるべき）「方向Ｂ」の他の一例である矢印Ｂａの向きとが交差する角度θａが直角よりも大きな角度（一例として、１１０度）となるようにベース部４ａ（「ベース部」の他の一例）、プローブ固定部５ａ（「プローブ固定部」の他の一例）および板ばね部６，７が一体的に形成されている。なお、同図に示すプローブ１Ａや、後に説明するプローブ１Ｂ（図１３参照）において上記のプローブ１と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００５９】
この場合、前述したプローブ１などによるプロービングに際して、例えば、板ばね部６とベース部４との連結部が板ばね部６とプローブ固定部５との連結部位に対して矢印Ａ（図２参照）の向きに変位するような板ばね部６の変形を板ばね部７によって阻止すると共に、板ばね部７とベース部４との連結部が板ばね部７とプローブ固定部５との連結部位に対して矢印Ｂ（図２参照）の向きに変位するような板ばね部７の変形を板ばね部６によって阻止することで、ベース部４に対してプローブ固定部５を好適に直動させるには、平面視において、板ばね部６の突出方向（湾曲方向：「方向Ａ」の一例である矢印Ａの向き）と、板ばね部７の突出方向（湾曲方向：「方向Ｂ」の一例である矢印Ｂの向き）との交差角度を直角とするのが好ましい。したがって、前述したプローブ１のように、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との交差角度が直角となるように板ばね部６，７を形成することにより、ベース部４に対してプローブ固定部５を好適に直動させることが可能となる。
【００６０】
しかしながら、本例のプローブ１では、プローブ固定部５において板ばね部６との連結部位や板ばね部７との連結部位から最も離間した部位にプローブ本体３を固定するためのスリットＳが設けられている。したがって、図１１に示すように、プロービングに際してプローブ本体３がプロービング対象Ｘに接触させられた状態から、プローブ案内機構によってベース部４が矢印Ｇ２の向きにさらに移動させられたときに、プローブ固定部５（スリットＳの形成部位）にプローブ本体３を介して同図に示す矢印Ｇ１の向きの力が加わることに起因して、同図に破線で示すように、プローブ固定部５における板ばね部６，７との連結部位に対して、プローブ固定部５におけるプローブ本体３の固定部位（スリットＳの形成部位）が矢印Ｇ１の向きで変位するようにしてプローブ固定部５に極く小さな傾きが生じるおそれがある。なお、同図、および後に参照する図１２では、プローブ固定部５に生じる傾きについての理解を容易とするために、板ばね部７の図示を省略している。
【００６１】
また、この種のプローブ１を用いたプロービングに際しては、複数のプロービングポイントに対して短時間でプロービングを実施するために、プローブ案内機構がプローブ１を高速移動させる。したがって、プロービングに際してプローブ案内機構がプローブ１を矢印Ｇ１，Ｇ２の向きで高速に移動させたときには、図１２に示すように、プローブ固定部５やプローブ本体３に加わる加速度の大きさに比例して、一点鎖線または二点鎖線で示すように、プローブ固定部５における板ばね部６，７との連結部位（支点の形成部位）に対して、プローブ固定部５におけるプローブ本体３の固定部位（スリットＳの形成部位）が矢印Ｇ２，Ｇ１の向きで変位するようにしてプローブ固定部５に極く小さな傾きが生じるおそれがある。
【００６２】
上記のようなプローブ固定部５の傾きが生じるような状態においては、プロービング対象Ｘ上でプローブ本体３の先端部３ｂが移動してプロービング対象Ｘに線状の接触跡が形成されるおそれがある。したがって、プローブ固定部５に傾きが生じるおそれがあるとき（大きな付勢力でプローブ本体３の先端部３ｂをプロービング対象Ｘにプロービングさせる必要があるときや、プローブ１等を高速に移動させるプロービングを行う必要があるときなど）には、板ばね部６，７の突出方向（湾曲方向）を最適化してプローブ固定部５の傾きを阻止するのが好ましい。
【００６３】
この場合、板ばね部６の突出方向（湾曲方向）、すなわち、ベース部４およびプローブ固定部５から板ばね部６を延出させる向き（「方向Ａ」）と、板ばね部７の突出方向（湾曲方向）、すなわち、ベース部４およびプローブ固定部５から板ばね部７を延出させる向き（「方向Ｂ」）との交差角度を１８０未満の大きな角度とする（板ばね部６，７の突出方向（湾曲方向）を相反する方向とし、ベース部４およびプローブ固定部５に対して板ばね部６，７を相反する方向に延出させる）ことにより、プロービング時にプローブ固定部５に生じる上記のような傾きを最も好適に回避することが可能となる。
【００６４】
しかしながら、そのような構成を採用した場合には、板ばね部６とベース部４との連結部が板ばね部６とプローブ固定部５との連結部位に対して「方向Ａ」に変位するような板ばね部６の変形を板ばね部７によって阻止したり、板ばね部７とベース部４との連結部が板ばね部７とプローブ固定部５との連結部位に対して「方向Ｂ」に変位するような板ばね部７の変形を板ばね部６によって阻止したりするのが困難となり、結果として、ベース部４に対してプローブ固定部５を直動させるのが困難となる。
【００６５】
したがって、出願人は、板ばね部６，７の延出方向が相違する各種のプローブを製作して検証したところ、ベース部４に対してプローブ固定部５を好適に直動させつつ、上記のようなプローブ固定部５の傾きを好適に回避するためには、図１０に示すプローブ１Ａにおける固定具２Ａのように、板ばね部６の突出方向（湾曲方向）である矢印Ａａの向き（「方向Ａ」の他の一例）と、板ばね部７の突出方向（湾曲方向）である矢印Ｂａの向き（「方向Ｂ」の他の一例）とが交差する角度θａを、９０度よりも大きくかつ１１０度以下の範囲内とするのが好ましいことを見出した。これにより、プローブ１Ａ（固定具２Ａ）では、ベース部４ａに対してプローブ固定部５ａを好適に直動させつつ、プローブ固定部５ａに傾きが生じる事態を好適に回避することが可能となっている。
【００６６】
また、平面視においてベース部４およびプローブ固定部５から板ばね部６，７が外向きに突出するように湾曲させた固定具２，２Ａを有するプローブ１，１Ａを例に挙げて説明したが、平面視において「ベース部」や「プローブ固定部」と「両弾性変形部」とが重なるように、「第１の弾性変形部」および「第２の弾性変形部」の一方、または双方の突出方向（湾曲方向）を規定して「コンタクトプローブ用固定具」を形成することができる。具体的には、例えば、図１３に示すプローブ１Ｂにおける固定具２Ｂでは、「第１の弾性変形部」の他の一例である板ばね部６ｂが、平面視においてベース部４およびおプローブ固定部５と重なるように「方向Ａ」が規定されて形成されている。
【００６７】
この場合、この固定具２Ｂでは、矢印Ａｂの向きが「方向Ａ」に相当する。なお、同図に示す固定具２Ｂでは、板ばね部７については固定具２，２Ａと同様にしてベース部４およびプローブ固定部５から外向きに突出するように湾曲させて形成しているが、「第２の弾性変形部」についても、板ばね部６ｂと同様にして、平面視においてベース部４およびプローブ固定部５と重なるように「方向Ｂ」を規定して形成することもできる（図示せず）。これらの構成を採用した場合においても、前述した固定具２，２Ａを有するプローブ１，１Ａと同様にして、ベース部４に対してプローブ固定部５を好適に直動させることが可能となる。
【００６８】
さらに、「第１の弾性変形部」および「第２の弾性変形部」の２つによって「ベース部」および「プローブ固定部」を連結して構成した「コンタクトプローブ用固定具」を例に挙げて説明したが、「第１の弾性変形部」および「第２の弾性変形部」に加えて、これらの「弾性変形部」と同様に構成した「第３の弾性変形部部」を設けて３つの「弾性変形部」によって「ベース部」および「プローブ固定部」を連結する構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００６９】
１，１Ａ，１Ｂ  プローブ
２，２Ａ，２Ｂ  固定具
３  プローブ本体
３ａ  基端部
３ｂ  先端部
４，４ａ  ベース部
５，５ａ  プローブ固定部
６，６ｂ，７  板ばね部
Ｆ１，Ｆ２  内周面
Ｆ４，Ｆ５  対向面
Ｈ  取付用孔
Ｍ  金型
Ｍａ  凸状部位
Ｍｓ  凸部
Ｐ１〜Ｐ６  位置
Ｓ  スリット
Ｔ１，Ｔ２  厚み
Ｗ１，Ｗ２  幅
Ｘ  プロービング対象
θ，θａ  角度
【図１】
2014238310.tif 000003
【図２】
2014238310.tif 000004
【図３】
2014238310.tif 000005
【図４】
2014238310.tif 000006
【図５】
2014238310.tif 000007
【図６】
2014238310.tif 000008
【図７】
2014238310.tif 000009
【図８】
2014238310.tif 000010
【図９】
2014238310.tif 000011
【図１０】
2014238310.tif 000012
【図１１】
2014238310.tif 000013
【図１２】
2014238310.tif 000014
【図１３】
2014238310.tif 000015