(57)【要約】      （修正有）【課題】ガイド軸が出発ロッドの回転軸に対して傾いていても、出発ロッドを振れ回すことなく加工できる、ガラス母材の製造装置を提供する。【解決手段】ガラス母材の製造装置１は、上端部がチャック機構４で把持された出発ロッド３を鉛直軸周りに回転させつつ鉛直方向に移動させて、ガラス原料を火炎中で加水分解させて生じるガラス微粒子を出発ロッド３の外周に堆積させる。製造装置１は、上下方向に延びるレール２０を備え、出発ロッド３の下端部を鉛直軸周りに回転可能かつレール２０に沿って移動可能に支持する振れ回り防止機構を有する。この振れ回り防止機構は、レール２０に沿って移動させる際に出発ロッド３の下端部の回転軸Ｅがチャック機構４の回転軸Ａと一致し続けるように、出発ロッド３の下端部に上向きの力をかけつつ支持する。【選択図】図４
2014214045.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端部がチャック機構で把持された出発ロッドを、反応容器内で鉛直軸周りに回転させつつ鉛直方向に移動させて、ガラス原料を火炎中で加水分解させて生じるガラス微粒子を前記出発ロッドの外周に堆積させるガラス母材の製造装置であって、
上下方向に延びるレールを備え、前記出発ロッドの下端部を鉛直軸周りに回転可能かつ前記レールに沿って移動可能に支持する振れ回り防止機構を有し、
前記振れ回り防止機構は、前記レールに沿って移動させる際に、前記出発ロッドの下端部の回転軸が前記チャック機構の回転軸と一致し続けるように、前記出発ロッドの下端部に上向きの力をかけつつ支持する、ガラス母材の製造装置。
【請求項２】
前記振れ回り防止機構は、前記出発ロッドの下端部に接触して支持する治具と、前記治具を前記レールに沿って移動可能な支持台と、を有し、
前記支持台は、
前記出発ロッドの下端部を鉛直方向周りに回転可能に支持する回転部と、
前記出発ロッドの下端部を前記レールの延びる方向と交差する面方向に移動可能に支持する横方向移動部と、
前記出発ロッドの下端部をその回転軸が前記レールの延びる方向となす角度を変更可能に支持する軸角度追従部と、を有している、請求項１に記載のガラス母材の製造装置。
【請求項３】
前記治具は、前記出発ロッドの下端部と面接触する請求項２に記載のガラス母材の製造装置。
【請求項４】
前記治具は、底面が平坦面とされて上方に開口したカップ形状である、請求項３に記載のガラス母材の製造装置。
【請求項５】
前記支持台により、前記出発ロッドの下端部にワーク重量の半分以上９割以下の上向きの荷重を負荷する、請求項２から４のいずれか一項に記載のガラス母材の製造装置。
【請求項６】
前記出発ロッドへのガラス微粒子の堆積に伴うワーク重量の増加に伴い、前記支持台による前記出発ロッドの下端部への荷重を増加させる、請求項５に記載のガラス母材の製造装置。
【請求項７】
上端部がチャック機構で把持された出発ロッドを反応容器内で鉛直軸周りに回転させつつ鉛直方向に移動させて、ガラス原料を火炎中で加水分解させて生じるガラス微粒子を前記出発ロッドの外周に堆積させるガラス母材の製造方法であって、
前記出発ロッドの下端部の回転軸が前記チャック機構の回転軸と一致し続けるように、前記出発ロッドの下端部に上向きの力をかけつつ支持して、前記出発ロッドをレールに沿って移動させる、ガラス母材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス母材の製造装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１などに、出発ロッドにガラス微粒子を堆積させて光ファイバ用ガラス母材を製造する光ファイバ用ガラス母材の製造方法および製造装置が知られている。このような製造方法においては、出発ロッドを軸方向に回転させながら上下方向に移動させることにより、バーナにより生成されたガラス微粒子を出発ロッドの外周面に堆積させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１０３７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような光ファイバの製造装置は、出発ロッドの上端部を把持するチャック機構を回転させながら上下移動させることにより、出発ロッドを回転させながら上下方向に移動させている。このとき、出発ロッドの下端部がその遠心力によって振れ回ることを防止するために、上下方向に延びるガイドに沿って移動するキャップ機構により、出発ロッドの下端部に上向きの力を作用させている。
【０００５】
ところで、ガイドのガイド軸が出発ロッドの回転軸に対して傾いていると、ガイドは上下方向に長いため、最初はチャックの回転軸と出発ロッドの回転軸とが合っていても、出発ロッドを移動させたときに出発ロッドの下端部を支持する治具がチャック機構の回転軸から徐々にずれて、出発ロッドが円滑に回転できなくなってしまい、異常振動や、振れ回りが生じたりすることがある。特に防振装置はその設置スペースに制約があるため、ガイドのガイド軸と出発ロッドの回転軸とを正確に平行になるように設置することが難しい。さらには、反応容器からの輻射熱を受けて、ガイドが膨張し、ガイドの真直度や鉛直度が悪化することで、ガイドのガイド軸と出発ロッドの下端部の回転軸とがずれることもある。
【０００６】
そこで本発明は、ガイド軸が出発ロッドの回転軸に対して傾いていても、異常振動や出発ロッドを振れ回すことなくガラス微粒子を堆積することができる、ガラス母材の製造装置およびガラス母材の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決することのできる本発明のガラス母材の製造装置は、
上端部がチャック機構で把持された出発ロッドを、反応容器内で鉛直軸周りに回転させつつ鉛直方向に移動させて、ガラス原料を火炎中で加水分解させて生じるガラス微粒子を前記出発ロッドの外周に堆積させるガラス母材の製造装置であって、
上下方向に延びるレールを備え、前記出発ロッドの下端部を鉛直軸周りに回転可能かつ前記レールに沿って移動可能に支持する振れ回り防止機構を有し、
前記振れ回り防止機構は、前記レールに沿って移動させる際に、前記出発ロッドの下端部の回転軸が前記チャック機構の回転軸と一致し続けるように、前記出発ロッドの下端部に上向きの力をかけつつ支持する。
【０００８】
上記課題を解決することのできる本発明のガラス母材の製造方法は、
上端部がチャック機構で把持された出発ロッドを反応容器内で鉛直軸周りに回転させつつ鉛直方向に移動させて、ガラス原料を火炎中で加水分解させて生じるガラス微粒子を出発ロッドの外周に堆積させるガラス母材の製造方法であって、
前記出発ロッドの下端部の回転軸が前記チャック機構の回転軸と一致し続けるように、前記出発ロッドの下端部に上向きの力をかけつつ支持して、前記出発ロッドをレールに沿って移動させる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るガラス母材の製造装置およびその製造方法によれば、ガイドレールのガイド軸が出発ロッドの回転軸に対して傾いていても、異常振動や出発ロッドを振れ回すことなくガラス微粒子を堆積することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係るガラス母材の製造装置の模式図である。
【図２】図１に示した製造装置の支持台を拡大して示す図である。
【図３】比較例に係るガラス母材の製造装置の動作の一部を示す模式図である。
【図４】本実施形態に係るガラス母材の製造装置の動作の一部を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜本願発明の実施形態の説明＞
最初に本発明の実施形態の内容を列記して説明する。
（１）本願発明の実施形態のガラス母材の製造装置は、
上端部がチャック機構で把持された出発ロッドを、反応容器内で鉛直軸周りに回転させつつ鉛直方向に移動させて、ガラス原料を火炎中で加水分解させて生じるガラス微粒子を出発ロッドの外周に堆積させるガラス母材の製造装置であって、
上下方向に延びるレールを備え、出発ロッドの下端部を鉛直軸周りに回転可能かつ前記レールに沿って移動可能に支持する振れ回り防止機構を有し、
前記振れ回り防止機構は、前記レールに沿って移動させる際に、出発ロッドの下端部の回転軸が前記チャック機構の回転軸と一致し続けるように、出発ロッドの下端部に上向きの力をかけつつ支持する。
このような製造装置によれば、出発ロッドを傾いたレールに沿って移動させても、出発ロッドの下端部の回転軸をチャック機構の回転軸と一致させ続けて、出発ロッドの振れ回りを抑制することができる。これにより、ガラス微粒子を出発ロッドの軸方向に沿って均一に堆積させることができ、高品質のガラス母材を作製できる。
【００１２】
（２）前記振れ回り防止機構は、出発ロッドの下端部に接触して支持する治具と、前記治具を前記レールに沿って移動可能な支持台と、を有し、
前記支持台は、
出発ロッドの下端部を鉛直方向周りに回転可能に支持する回転部と、
出発ロッドの下端部を前記レールの延びる方向と交差する面方向に移動可能に支持する横方向移動部と、
出発ロッドの下端部をその回転軸が前記レールの延びる方向となす角度を変更可能に支持する軸角度追従部と、を有していてもよい。
このような構成によって、確実に出発ロッドの振れ回りを抑制できる。
【００１３】
（３）前記治具は、出発ロッドの下端部と面接触してもよい。出発ロッドの振れ回りに伴い出発ロッドに生じる復元力を治具に伝えやすく、さらに出発ロッドの振れ回りを抑制できる。
【００１４】
（４）前記治具は底面が平坦面とされて上方に開口したカップ形状であってもよい。出発ロッドの振れ回りに伴い出発ロッドに生じる復元力を治具に伝えやすく、さらに出発ロッドの振れ回りを抑制できる。
【００１５】
（５）前記支持台により、出発ロッドの下端部にワーク重量の半分以上９割以下の上向きの荷重を負荷してもよい。荷重がワーク重量の９割より大きいと、チャック機構による出発ロッドの回転を妨げてしまう。また、荷重がワーク重量の半分より小さいと出発ロッドの振れ回りを抑制しにくいからである。
【００１６】
（６）出発ロッドへのガラス微粒子の堆積に伴うワーク重量の増加に伴い、前記支持台による出発ロッドの下端部への荷重を増加させてもよい。出発ロッドの下端部に一定の上向き圧力を作用させて、出発ロッドの振れ回りを抑制できる。
【００１７】
（７）本願発明の実施形態のガラス母材の製造方法は、
上端部がチャック機構で把持された出発ロッドを反応容器内で鉛直軸周りに回転させつつ鉛直方向に移動させて、ガラス原料を火炎中で加水分解させて生じるガラス微粒子を出発ロッドの外周に堆積させるガラス母材の製造方法であって、
出発ロッドの下端部の回転軸が前記チャック機構の回転軸と一致し続けるように、出発ロッドの下端部に上向きの力をかけつつ支持して、出発ロッドをレールに沿って移動させる。
このため、出発ロッドを傾いたレールに沿って移動させても、出発ロッドの下端部の回転軸をチャック機構の回転軸と一致させ続けて、出発ロッドの振れ回りを抑制することができる。これにより、ガラス微粒子を出発ロッドの軸方向に沿って均一に堆積させることができ、高品質のガラス母材を作製できる。
【００１８】
＜本願発明の実施形態の詳細＞
以下、本発明に係るガラス母材の製造装置およびその製造方法の実施の形態の例を、図面を参照して説明する。
【００１９】
＜装置全体構成＞
図１は、本実施形態に係るガラス母材の製造装置（以下、単に製造装置と呼ぶ）１の模式図である。出発ロッドは、長手方向が鉛直方向を向いた状態で、製造装置１にセットされる。
【００２０】
製造装置１は、反応容器２と、出発ロッド３の上端部を把持するチャック機構４と、反応容器内に設置されたバーナ５と、振れ回り防止機構１０とを備えている。チャック機構４は、出発ロッド３を鉛直方向に移動可能に支持するとともに、出発ロッド３をチャック機構４の回転軸Ａ回りに回転させる。チャック機構４の回転軸Ａは、鉛直方向に延びている。なお、このチャック機構４の回転軸Ａが、出発ロッド３全体の回転軸と一致するようにセットされている。バーナ５は、ガラス微粒子６を出発ロッド３の外周面に吹き付け可能である。
【００２１】
振れ回り防止機構１０は、上下方向を向くガイド方向Ｂに延びるガイドレール２０と、ガイドレール２０に沿ってガイド方向Ｂに移動可能な支持台３０と、を備えている。振れ回り防止機構１０は、出発ロッド３の下端部を鉛直軸周りに回転可能かつガイドレール２０に沿って移動可能に支持する。
【００２２】
支持台３０は、ガイドレール２０に沿って移動する移動部３２と、移動部３２から出発ロッド３に向けて延びる支持部３３と、支持部３３の上部に設けられたＸ−Ｙステージ（横方向移動部）３４と、Ｘ−Ｙステージ３４の上部に設けられた球面軸受（回転部、軸角度追従部）３５と、球面軸受３５の上部に設けられて出発ロッド３の下端部を支持する治具３６を備えている。
【００２３】
移動部３２にはワイヤ３７の一端が連結されている。このワイヤ３７は、ガイドレール２０の上部に設けられた滑車３８に掛け渡され、他端がおもり３１に連結されている。この構成により、移動部３２は、おもり３１の自重によりガイドレールに沿って上方に移動可能とされている。
【００２４】
Ｘ−Ｙステージ３４は、ガイドレール２０から出発ロッド側に向かって延びるＸ軸に移動可能なＸ軸直動ガイドと、Ｘ軸およびガイド軸Ｂと直交する方向に向かって延びるＹ軸に移動可能なＹ軸直動ガイドとを備えている。Ｘ−Ｙステージ３４は、このＸ軸直動ガイドとＹ軸直動ガイドとによって、治具３６をガイドレール２０のガイド軸Ｂと直交する面内方向Ｃに移動可能に支持している。このＸ−Ｙステージ３４により、出発ロッド３の下端部は、ガイド軸Ｂと直交する面内方向Ｃに移動可能である。
【００２５】
図２は、支持台３０の部分拡大図である。図２に示したように、球面軸受３５は、Ｘ−Ｙステージ３４の上部に固定された下部材３５ａと、治具３６が固定された上部材３５ｂとを備えている。この球面軸受３５は、治具３６を出発ロッド３とともに回転可能に、かつ、出発ロッド３の下端部を、出発ロッド３の回転軸とガイドレール２０のガイド軸Ｂとのなす角度Ｄに対し、変更可能に支持している。
【００２６】
治具３６は、球面軸受３５の上部材３５ｂに固定されている。図２に示したように、治具３６は、上面に円柱状の凹部３６ａを備えたカップ状の形状とされている。凹部３６ａの内径は出発ロッド３の外径よりわずかに大きく設定されている。この凹部３６ａの平坦な底面３６ｂは出発ロッド３の下端面に面接触し、底面３６ｂから立ち上がる側壁３６ｃは出発ロッド３の外周面と接触可能である。治具３６の凹部３６ａに出発ロッド３の下端部が収容され、出発ロッド３の回転とともに治具３６も回転する。
【００２７】
＜ガラス母材の製造方法＞
次に上記製造装置１を用いたガラス母材の製造方法を説明する。
製造装置１は、上端部がチャック機構４で把持された出発ロッド３を反応容器２内で鉛直軸Ａ回りに回転させつつ鉛直方向Ａに移動させる。このときに、ガラス原料をバーナ５による火炎中で加水分解させて生じるガラス微粒子６を、出発ロッド３の外周に堆積させることにより、多孔質のガラス母材が得られる。なお、得られた多孔質のガラス母材を加熱して透明化し、透明化されたガラス母材を線引きすると光ファイバが得られる。
【００２８】
多孔質のガラス母材を作製する際には、バーナ５によって出発ロッド３に向けてガラス微粒子６を吹き付ける。また、チャック機構４は出発ロッド３をチャック機構４の回転軸Ａ回り（鉛直軸回り）に回転させながら、出発ロッド３を徐々に引き上げる。これにより、出発ロッド３の周方向および軸方向に亘ってガラス微粒子６を堆積させる。
【００２９】
このように出発ロッド３を鉛直軸Ａ回りに回転させるために、球面軸受３５は、治具３６が固定された上部材３５ｂを出発ロッド３の下端部を回転可能に支持している。出発ロッド３を回転させながらガラス母材を作製すると、出発ロッド３の下端部が振れ回ることがあるため、出発ロッド３の下端部には、治具３６によって上向きの力を作用させている。治具３６を支持する支持台３０は、おもり３１によって上方に引っ張られている。これにより、治具３６は出発ロッド３の下端部に常に一定の押し上げ力を作用させ、出発ロッド３の下端部の振れ回りを抑制している。
【００３０】
（参考例に係る製造装置の動作）
しかし本発明者は、単に出発ロッドの下端部を支持しただけでは、出発ロッドが円滑に回転できなくなってしまう虞があることに気が付いた。図３は、参考例に係る製造装置１００の一部を示す模式図である。図３の（ａ）は、ガラス母材の製造の初期段階の様子を、図３の（ｂ）はガラス母材の製造の後期段階の様子を示している。図３に示した参考例に係る製造装置１００においては、出発ロッド３の下端部を支持する治具１３６は、ガイドレール１２０に沿って移動する移動部１３２に対して固定されている。
【００３１】
ガラス母材の製造の初期段階では、出発ロッド３の上部にガラス微粒子６を堆積させるために、移動部１３２はガイドレール１２０の下方に位置している。そして出発ロッド３へのガラス微粒子６の堆積が進むにつれて、移動部１３２はガイドレール１２０の上方に移動していく。
【００３２】
ガイドレール１２０をガラス母材の製造装置１００の下部に設置する場合には、製造装置１００の下部に十分な空間を確保できないことが多く、作業空間が狭くなるのでガイドレール１２０をそのガイド軸Ｂをチャック機構４の回転軸Ａと平行となるように正確に設置・調整することが難しい。また、ガイド軸Ｂがチャック機構４の回転軸Ａに平行となるようにガイドレール１２０を設置できたとしても、該製造装置１００の反応容器からの輻射熱によって、ガイドレール１２０が膨張し、ガイドレール１２０の真直度や鉛直度が悪化してしまうこともある。このため、ガイド軸Ｂをチャック機構４の回転軸Ａに平行にさせた状態を維持し続けることが困難である。
【００３３】
図３に示したように、鉛直方向を向くチャック機構４の回転軸Ａに対して、ガイドレール１２０のガイド軸Ｂが傾いている場合を考える。特に図３の例では、ガイドレール１２０の下端部で治具１３６がチャック機構４の回転軸Ａ上に位置し（図３の（ａ））、ガイドレール１２０の上部側で治具１３６がチャック機構４の回転軸Ａから離れるように傾いている（図３の（ｂ））。
【００３４】
図３の（ａ）から（ｂ）に示すように、ガラス微粒子の堆積が進むに連れて、ガイドレール１２０に沿って移動する移動部１３２に固定された治具１３６を上方に移動させる。このとき、ガイドレール１２０のガイド軸Ｂがチャック機構４の回転軸Ａに対して傾いていると、治具１３６はガイドレール１２０に沿って移動する移動部１３２に固定されているので、治具１３６はチャック機構４の回転軸Ａから離れてしまう。
【００３５】
すると、チャック機構４の回転軸Ａと、出発ロッド３の下端部の回転軸との位置・方向がずれてしまい、チャック機構４によって出発ロッド３を回転させにくくなり、また、異常振動などが発生するおそれがある。この状態では、出発ロッド３の外周面にガラス微粒子６を均一に堆積させることができない、あるいは、出発ロッド３の下端部の一部分のみが治具１３６と接触するので、治具１３６から出発ロッド３へ所望の上向きの力を作用させることができないといった問題が生じる。特に図示したように、治具１３６の出発ロッド３との接触面をＶ溝形状で構成した場合には、出発ロッド３に真上方向の力を作用させにくい。
【００３６】
このように、ガイドレール１２０の移動とともに移動する移動部１３２に治具１３６がそのまま固定されていると、ガイドレール１２０がチャック機構４の回転軸Ａに対して傾いている場合に、出発ロッド３の振れ回りを助長させてしまうことがあり、また、チャック機構４による出発ロッド３の回転を妨げることがある。
【００３７】
（製造装置１の動作）
そこで本実施形態においては、ガイドレール２０のガイド軸Ｂがチャック機構４の回転軸Ａに対して傾いていても、振れ回り防止機構１０は、ガイドレール２０に沿って移動させる際に出発ロッド３の下端部の回転軸Ｅがチャック機構４の回転軸Ａと一致し続けるように、出発ロッド３の下端部に上向きの力をかけつつ支持している。図４は本実施形態に係る製造装置の動作の一部の模式図である。図４の（ａ）は、ガラス母材の製造の初期段階の様子を、図４の（ｂ）はガラス母材の製造の後期段階の様子を示している。
【００３８】
図４の（ａ）および（ｂ）に示したように、ガラス微粒子６の堆積が進むに連れて、ガイドレール２０に沿って移動する移動部３２に固定された治具３６を上方に移動させる。このときガイドレール２０のガイド軸Ｂがチャック機構４の回転軸Ａに対して傾いていると、治具３６はチャック機構４の回転軸Ａ上から外れた位置に移動しようとする。すると、出発ロッド３の下端部は治具３６によって支持されているため、出発ロッド３が撓み、出発ロッド３の下端部には元の形状に戻そうとする復元力が作用する。
【００３９】
ここで出発ロッド３の下端部を支持する治具３６は、Ｘ−Ｙステージ３４によってガイドレール２０のガイド軸Ｂと交差する面方向Ｃに移動可能に支持されている。このため、出発ロッド３の下端部に上記復元力が作用すると、Ｘ−Ｙステージ３４によって出発ロッド３の下端部はチャック機構４の回転軸Ａと一致する位置に戻される。これにより、傾いたガイドレール２０によって出発ロッド３の下端部がチャック機構４の回転軸Ａからずれようとしても、ガイドレール２０のガイド軸Ｂと交差する面内方向Ｃにおいて、Ｘ−Ｙステージ３４によって出発ロッド３の下端部の回転軸Ｅの位置をチャック機構４の回転軸Ａの位置に一致させ続けることができる。
【００４０】
また、参考例の場合、図３の（ｂ）に示したように、ガイドレール１２０に沿って移動する移動部１３２がチャック機構４の回転軸Ａ上から外れた位置に移動した場合には、出発ロッド３の下端部の回転軸Ｅの方向と、チャック機構４の回転軸Ａとが異なってしまう。
【００４１】
これに対し、本実施形態に係る製造装置１においては、球面軸受３５によって、出発ロッド３の下端部をその回転軸Ｅがガイドレール２０のガイド軸Ｂとなす角度Ｄを変更可能に、支持している。これにより、出発ロッド３の下端部がチャック機構４の回転軸Ａから外れた位置にずれたとしても、常に出発ロッド３の下端部の回転軸Ｅの方向をチャック機構４の回転軸Ａの方向と一致させ続けることができる。これにより、出発ロッド３が常に円滑に回転可能とされている。
【００４２】
このように本実施形態に係る製造装置１においては、振れ回り防止機構１０により、支持台３０がガイドレール２０に沿って移動する際に、Ｘ−Ｙステージ３４、球面軸受３５により、出発ロッド３の下端部の回転軸Ｅの位置や方向が、チャック機構４の回転軸に対してずれないようにしている。これにより、出発ロッド３の下端部の回転軸Ｅがチャック機構４の回転軸Ａと一致し続けるようにしながら、出発ロッド３の下端部に上向きの力をかけつつ支持している。このようにして、ガイドレール２０のガイド軸Ｂがチャック機構４の回転軸Ａに対して傾いていても、出発ロッド３が円滑に回転することができる。これにより、外周面にガラス微粒子６が均一に堆積された高品質のガラス母材を安定的に製造することができる。
【００４３】
また、本実施形態に係る製造装置１は、底面３６ｂが出発ロッド３の下端面と面接触する治具３６を備えている。このため、たとえ振れ回りが生じたとしても、治具３６の底面３６ｂが出発ロッド３の下端面と面接触することができるので、Ｖ溝形状である参考例の治具に比較して、出発ロッド３の下端部に、上向きの力を掛け続けることができる。
【００４４】
またこの治具３６は、底面３６ｂが平坦面とされて上方に開口したカップ形状とされている。このため、出発ロッド３が傾いた場合に、出発ロッド３の下端部が治具３６の底面３６ｂから立ち上がる側壁３６ｃに接触し、出発ロッド３の復元力を治具３６に伝えやすい。また、地震などが発生した時に、出発ロッド３から治具３６が外れるのを防ぐこともできる。
【００４５】
なお、おもり３１の重量は、出発ロッド３の下端部にワーク（出発ロッド３と堆積させたガラス微粒子６の総体）の重量の半分以上９割以下の上向きの荷重を負荷できる程度とすることが好ましい。荷重が大きすぎると、チャック機構４による出発ロッド３の回転を妨げてしまう。また、荷重が小さすぎると出発ロッド３の振れ回りを抑制しにくい。
【００４６】
なお、本発明のガラス母材の製造装置およびその製造方法は、前述した実施形態に限定されるものでなく、適宜な変形，改良等が可能である。
【００４７】
例えば上述の実施形態では、球面軸受３５を回転部および軸角度追従部として機能させた例を挙げて説明したが、本発明はこの例に限られない。例えば、スラスト軸受を回転部として機能させ、弾性変形可能なゴムを軸角度追従部として機能させても良い。あるいは、Ｘ−Ｙステージ３４を横方向移動部として機能させた例を挙げたが、他の部材によって横方向移動部を機能させてもよい。また、ガイドレール３を出発ロッド３の下端部の移動方向を規制するレールとして機能させた例を挙げたが、直動ガイドなどを用いてもよい。
【００４８】
また上述の実施形態では、おもり３１を用いて一定の圧力を出発ロッド３の下端部に作用させる例を挙げたが、ばね、モータ、エアシリンダなどにより一定の圧力を出発ロッド３の下端部に作用させてもよい。また、一定圧力ではなく、ガラス微粒子の総質量（ワーク質量）が徐々に増加していくに従い、徐々に圧力が増加するようにしてもよい。このようにすることにより、ワーク重量が増加した後期段階においても、初期段階と同じように回転を妨げず、振れ回りを抑制し続けることができる。
【００４９】
さらに上述した製造方法においては、ＶＡＤ法によりガラス母材を製造する方法を説明したが、ＯＶＤ法（外付け法）やＭＭＤ法（多バーナ多層付け法）を用いて製造してもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１：製造装置
２：反応容器
３：出発ロッド
４：チャック機構
５：バーナ
６：ガラス微粒子
１０：振れ回り防止機構
２０：ガイドレール
３０支持台
３１：おもり
３２：移動部
３３：支持部
３４：Ｘ−Ｙステージ
３５：球面軸受
３６：治具
３６ａ：凹部
３６ｂ：底面
３６ｃ：側壁
３７：ワイヤ
【図１】
2014214045.tif 000003
【図２】
2014214045.tif 000004
【図３】
2014214045.tif 000005
【図４】
2014214045.tif 000006