(57)【要約】【課題】稀少鉱物からなる研磨材の使用量を最小限にしつつ、安定した研磨性能を有する研磨砥石１を提供する。【解決手段】所定の厚みを有する帯状のフェルト６に、研磨材１６を結合材１７に混練してペースト状にした混合グレン７を浸みこませて構成されたバフ８を巻き付け、その円盤状の半製品砥石９を加熱して構成した。気孔１５を含んだ繊維からなるフェルト層１３と、フェルト繊維に研磨材が絡みついた状態の研磨層１４とが交互に表れてロール状の盤面を成しているので、砥石としてのクッション性が高いうえに、研磨材を均一に配合することができる。水をかけながら研磨することで、水和反応が効率よく促進され、被加工体の表面を滑らかに研磨することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の厚みを有する帯状のフェルト（６）に、研磨材（１６）を結合材（１７）に混練して生成された混合グレン（７）を浸みこませたバフ（８）を巻き付けてロール状の円盤を形成し、該円盤状の半製品砥石（９）を加熱して構成されたことを特徴とする研磨砥石。
【請求項２】
気孔（１５）を含んだ繊維からなるフェルト層（１３）と、該フェルト層（１３）において前記結合材（１７）が前記研磨材（１６）と共に熱硬化した状態の研磨層（１４）と、が交互に表れてロール状の盤面（１１）を成していることを特徴とする請求項１に記載の研磨砥石。
【請求項３】
前記バフ（８）は、表裏一方又は双方の表面にのみ前記混合グレン（７）が含浸されるように、前記混合グレン（７）を浸みこませたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の研磨砥石。
【請求項４】
前記フェルト（６）の厚みを１．５ｍｍ〜２．０ｍｍとしたことを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１つの請求項に記載の研磨砥石。
【請求項５】
所定の厚みを有する帯状のフェルト（６）に、研磨材（１６）を結合材（１７）に混練して生成された混合グレン（７）を浸みこませてバフ（８）を形成する浸漬工程と、
前記バフ（８）を巻き付けてロール状の半製品砥石（９）を形成する成形工程と、
前記半製品砥石（９）を加熱する焼成工程と、を含んで構成されることを特徴とする研磨砥石の製造方法。
【請求項６】
前記浸漬工程は、前記バフ（８）の表裏一方又は双方の表面にのみに、前記混合グレン（７）を含浸させることを特徴とする請求項５に記載の研磨砥石の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、稀少鉱物からなる研磨材の使用量を低減させることができる研磨砥石及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ガラス板や半導体ウエハー、ハードディスクなどの精密研磨に際しては、酸化セリウムなどの希土類酸化物や、酸化アルミニウムなどの金属の粒子が研磨材として使用されている。
特に酸化セリウムなどは、粒子の硬度が比較的低く、被加工体の表面を傷つけ難いことに加え、水和反応によって被加工体の表面に水和膜を作るため、水を噴きつけながら研磨することで微小な削り取りが可能となり、研磨表面に滑らかさと光沢を生じさせることができるが、鉱物としての希少性がゆえ、使用量を最小限にしつつ研磨性能を極大化させるための技術が求められている。
【０００３】
酸化セリウムを用いた研磨剤としては、特開２０１０−３００４１号公報に、酸化セリウムの粒子を媒体内に分散させたスラリーが提案されている（特許文献１）。
また、特許３５３３３５６号公報には、酸化セリウムの粒子を砥粒内に混入させた研磨砥石が提案されている。この砥石は、多孔質性の材料を母材として使用することで、磨耗した砥粒の脱皮を促し、常に新しい砥粒が露出されるようにしている（特許文献２）。
さらに、特開２０１２−０８１５６６号公報には、スラリー添加時の動的摩擦係数を大きくするために、母材にエポキシ樹脂を用いる技術が提案されている（特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−３００４１号公報
【特許文献２】特許３５３３３５６号公報
【特許文献３】特開２０１２−０８１５６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１の技術は、酸化セリウムをスラリー内に分散させるので、その使用量が多くなる上、被加工体の成分（ガラスなど）と反応することで酸化セリウムが消耗し、使用するにつれてスラリーが廃液化するという問題があった。
また、廃液中に研磨された被加工体の成分が含まれるため、酸化セリウムを回収するのが難しいという問題もあった。
【０００６】
その点、砥石の中に酸化セリウムを混入させれば、上記の問題は解消するが、特許文献２のように、酸化セリウム粒子を砥粒に混入させて結合樹脂で成形した構造の砥石にあっては、被加工体に接する際のクッション性が悪いので、ベベリング研磨等の幅広い研磨は困難である。
また、特許文献３の砥石のように、エポキシ樹脂の中に均一に酸化セリウム粒子を分散させようとすると、その使用量が多くならざるを得ない。
【０００７】
そこで、本発明は、廃液処理を必要とせず、研磨材の使用量を最小限にしつつ、研磨性能を極大化させることができ、柔軟性をあわせ持つ研磨砥石とその製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る研磨砥石は、所定の厚みを有する帯状のフェルトに、研磨材を結合材に混練して生成された混合グレンを浸みこませたバフを巻き付けてロール状の円盤を形成し、該円盤状の半製品砥石を加熱して構成されたことを特徴とするものである。
この場合、気孔を含んだ繊維からなるフェルト層と、該フェルト層において前記結合材が前記研磨材と共に熱硬化した状態の研磨層と、が交互に表れてロール状の盤面を成すようにしてもよい。
また、前記バフは、表裏一方又は双方の表面にのみ前記混合グレンが含浸されるように、前記混合グレンを浸みこませたものであってもよい。
さらに、前記フェルトの厚みを１．５ｍｍ〜２．０ｍｍとしてもよい。
【０００９】
本発明に係る研磨砥石の製造方法は、所定の厚みを有する帯状のフェルトに、研磨材を結合材に混練して生成された混合グレンを浸みこませてバフを形成する浸漬工程と、前記バフを巻き付けてロール状の半製品砥石を形成する成形工程と、前記半製品砥石を加熱する焼成工程と、を含むものである。
この場合、前記浸漬工程は、前記バフの表裏一方又は双方の表面にのみに、前記混合グレンを含浸させるものであってもよい。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１及び請求項５の発明によれば、フェルトに研磨材と結合材とからなる混合グレンを浸みこませたバフを巻き付けてロール状の盤面を成す研磨砥石を構成したので、砥石としてのクッション性が高いうえに、研磨材を均一に配合することができる。これによって、希少性の高い鉱物からなる研磨材の使用量を最小限にしつつ、安定した研磨性能を有する研磨砥石を製造することが可能となる。
【００１１】
特に、水和反応により被加工体を鏡面状に研磨することが可能な研磨材にあっては、その研磨材を砥石中に均一に分散させることができるので、水和反応を効率的に促進させることができる。また、砥石の母材がフェルトなので、水和反応に必要な水分を砥石内に充分に保持することができ、研磨時の水の供給量を少なくすることができる。これによって、汚水の発生を低減させることができる。
さらに、母材であるフェルトの弾性効果により、肉厚の板材の端面を包み込んだ状態で、研磨を行うことができる。このため、家具や建築材料としてのガラス板のベベリングなど、手作業で行われていた端面加工の機械化が可能となり、加工精度を飛躍的に向上させることができる。
【００１２】
請求項２に係る発明は、研磨材を含む研磨層と、含まないフェルト層とが交互に表れるので、研磨材の使用量を少なくすることができる。
研磨層は、結合材が研磨材と共に熱硬化した状態なので、フェルト層とは異なる質感となる。このため、研磨層における研磨効果と、フェルト層における弾性効果とが相乗的に発揮され、極めて高品質な研磨を実現できる。
請求項３及び請求項６の発明は、表面のみに混合グレンが含浸されたバフを巻き付けてロール状の砥石を構成したので、フェルト層と研磨層とが交互に表れてロール状の盤面を成す構造の研磨砥石を容易に製造することができる。
請求項４に係る発明は、フェルトの厚みを１．５ｍｍ〜２．０ｍｍとしたので、研磨材を効率的に分散させることができる。これによって、研磨材の使用量を最小限にしつつ、研磨性能が極大化される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る研磨砥石の斜視図である。
【図２】上記研磨砥石の使用状態を示す説明図である。
【図３】上記研磨砥石の製造方法を示す説明図である。
【図４】上記研磨砥石を示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は側面図である。
【図５】図１及び図４のＡ−Ａ線における縦断面の状態を示す説明図である。
【図６】上記研磨砥石の内部状態を示す拡大図である。
【図７】上記研磨砥石の研磨層の状態を示す拡大図である。
【図８】上記研磨層の状態を示す説明図であり、（ａ）はフェルト繊維に研磨材が付着している状態を示し、（ｂ）は、そのＣ−Ｃ線矢視図である。
【図９】上記製造方法において、フェルトに混合グレンが浸漬される状態を示す説明図であり、（ａ）は浸漬工程においてフェルトに混合グレンが付着した状態、（ｂ）は混合グレンをフェルト内部に浸透させてバフを形成した状態、（ｃ）はバフを巻き付けた状態、（ｄ）は巻き付けたバフを圧接させた状態、（ｅ）は焼成後の状態の断面を示す。
【図１０】焼成時における接合材の反応を示す説明図である。
【図１１】上記研磨砥石の盤面を写した写真であり、（ａ）は使用前の状態、（ｂ）は使用後の状態を示す。
【図１２】上記研磨砥石で研磨されたガラス板の端面を写した写真である。
【図１３】上記ガラス板のエッジ部をアール状又はテーパ状に処理する状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態に係る研磨砥石１を、図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態に係る研磨砥石１を示す斜視図である。
この研磨砥石１は、回転する盤面に被加工体を当接させて研磨するためのものであり、図２に示す研磨装置２のように、被加工体３の搬送路４上に設けられた電動式の回転装置５に取り付けて使用される。特に本発明に係る研磨砥石１は、研磨作業の仕上げ段階で使用される精密研磨用の砥石であり、粗削り用の砥石１００の下流側に配置されるものである。
【００１５】
本実施形態に係る研磨砥石１は、図３に示すように、フェルト６に混合グレン７を浸みこませて構成されたバフ８を、巻き付けてロール状に形成した半製品砥石９を加熱して構成される。
即ち、この研磨砥石１は、精密研磨用の研磨材を結合材に混練して生成された混合グレン７を帯状のフェルト６に浸みこませてバフ８を形成し、このバフ８を巻き付けてロール状の円盤を形成し、その円盤状の半製品砥石９を焼成し、その半製品砥石９を基板１０に組み付けて形成されるものである。
【００１６】
半製品砥石９は、中央を開口したドーナツ形状であり、バフ８が巻き付けられることでロール状の盤面を形成する。このロール状の盤面（即ち、ドーナツ形状の上面）を研磨面１１とする半製品砥石９が、その開口部を透して基板中央の取付穴１２が表れるように、基板１０に組み付けられている（図４を参照）。
研磨面１１には、フェルト層１３と研磨層１４が交互に表れて、取付穴１２を中心に渦巻き状の盤面となっている。
【００１７】
図５は、研磨砥石１を縦方向に切断した状態を示す説明図であるが、砥石の内部は、気孔１５を含んだフェルト繊維からなるフェルト層１３と、フェルト繊維の気孔１５内で、研磨材１６と共に結合材１７が熱硬化した状態の研磨層１４とが交互に層を成している。
図６は、研磨面１１を約１０倍に拡大した写真であり、図７は、研磨面１１中の研磨層１４の部位を約５０倍に拡大した写真であるが、これらの図において黒く表れた部分が気孔１５である。フェルト繊維のみからなるフェルト層１３に対し、研磨層１４は、研磨材１６をフェルト繊維に絡み付けた状態で結合材１７が熱硬化し、フェルト層１３よりも若干の硬さを生じさせている（図７及び図８を参照）。
【００１８】
上記構成の１研磨砥石の製造方法の一例を、図３を参照して説明する。
先ず、母材として、１ｍｍ〜４ｍｍ（好ましくは、１．５ｍｍ〜２ｍｍ）程度の厚みを有する帯状のフェルトを用意する。フェルトの幅は砥石の高さに応じて約３０ｍｍのものを使用し、長さは砥石盤面の大きさに応じて約７７００ｍｍのものを使用する。このフェルト６はバフロールの状態で、繰出機２０に取り付けられる。フェルト６の繰出機２０には、搬送速度を制御するための電磁ブレーキ２１が設けられている。
そして、フェルト６を研磨用のバフ８にするための材料（即ち、混合グレン７）を用意する。混合グレン７は、酸化セリウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素等の研磨材１６を、ポリビニルブチラール、フェノール等の樹脂系の結合材１７に混練して生成されたペースト状のものが好ましい。結合材１７の粘度は、１５０ｃｐｓ〜２００ｃｐｓ程度が好ましい。この混合グレン７を、フェルト６の搬送路上に設置されたディッピング槽２２に入れる。
【００１９】
この状態において、先ず浸漬工程において、繰出機２０からフェルト６を繰り出し、ディッピング槽２２において混合グレン７に浸漬させる。混合グレン７の粘度に応じて、ディッピングローラ２３の位置や押圧力、浸漬時間などを設定するが、この際、フェルト繊維の内部にまで混合グレン７が入り込まないような浸漬状態となるように設定する。
なお、粘度１５０ｃｐｓ（１５Ｐａ．ｓ）程度のペースト状の混合グレン７の場合、フェルト６の上に混合グレン７を乗せ、スクレーパを使ってなじませるようにして浸漬させるのが好ましい。また、静電気を帯びさせて混合グレン７を乗せもよいし、霧状のフェノール樹脂をふりかけて固定させてもよい。
【００２０】
このような浸漬工程を経て、フェルト６の表面に混合グレン７が付着した状態のバフ８が形成される（図９（ａ）を参照）。
この状態のバフ８に所定の押圧力をかける。即ち、ディッピング槽２２の下流には、搬送用の送りローラ２４を介して、絞りローラ２５が配設されており、この絞りローラ２５でバフ７の表面を軽く押圧することによって、混合グレン７を内部へと浸透させる。
この際、図９（ｂ）に示すように、混合グレン７が表面近傍領域にのみ含浸するように（即ち、内部には含浸されず、フェルト中間層には多くの空気が残るように）、押えシリンダ２６の押圧力を調節する。押えシリンダ２６は、加圧おもりを上下できるように設定されたものが好ましい。
【００２１】
合成樹脂製の繊維をプレス混紡して製造された厚み２ｍｍのフェルトにあっては、５ｋｇ／ｃｍ3程度の押圧力を加えることで、粘度１５０ｃｐｓの混合グレン７を、その表面から約０．５ｍｍまでの領域に浸み込ませることができる。このように、浸漬後の絞り工程において、絞りローラ２５の押圧力を調節することで、表面にのみ混合グレン７が含浸し、フェルト内部には含漬されていない状態のバフ８を製造する。
【００２２】
絞りローラ２５の下流には、巻取りローラ２７が配設されており、このバフ８を巻き付けてロール状の半製品砥石９を形成する。
この成形工程において使用される巻取りローラ２７は、フェルト６を搬送するための駆動装置としての機能をも有するものであり、帯状のフェルト６を移送させつつ、浸漬、絞り、巻取りの工程が施されるように、その搬送速度が設定されている。なお、上記の混合グレン７を適度にフェルト６に含浸させるために、本実施形態に係る製造方法においては、約２ｍｍ／秒の速度に設定されている。
【００２３】
巻き取られたバフ８をウエイトローラ２７で転圧することで、図９（ｃ）に示す状態のバフ８、８’が相互に圧接される。この際、バフ８，８’が圧縮されて、表面の混合グレン７、７’が融合する（図９（ｄ）を参照）。
バフ８を巻き付けて所定の大きさになったところで、強度の高い接着剤によって結着させ、紙テープ等によって固定する。
このようにして形成された半製品砥石９を、焼成工程において加熱する。これによって、フェルト６の表面層の気孔内に混合グレン７が入り込んで熱硬化し、巻き付けられたバフ８が相互に接合する。そして、図９（ｅ）に示すように、フェルト６が熱硬化した状態の層（即ち、フェルト層１３）と、フェルト６の気孔内に混合グレン７が入り込んで熱硬化した状態の層（即ち、研磨層１４）が交互に形成される。
【００２４】
即ち、図６に示すように、バフ８，８’の接合面Ｂを中心とした両側の一定領域において、研磨層１４が形成されることとなる。この時の研磨層１４は、図７及び図８に示す状態である。
結合材１７として、ポリビニルブチラール樹脂とフェノール樹脂を使用した場合、焼成工程によって混合グレン７が熱硬化することで、図１０に示すように両者が反応し、高分子化する。これによって、研磨材１６をフェルト繊維に付着させることが可能となる。
研磨材１６の付着した部位（即ち、研磨層１４）は、結合材１７によって熱硬化された状態なので、フェルト繊維の柔軟性を残しつつ、ロール状に表れる研磨層１４において所定の硬さを生じさせることができる。
【００２５】
最終工程として、焼成されたドーナツ状の砥石を基板１０に組み付けることによって、本実施形態の研磨砥石１が完成する。
なお、焼成前のバフ８（即ち、バフ８をロール状に巻き付けてドーナツ状にしたもの）を基板１０に組みつけて半製品砥石９としてもよいし、基板１０の中央に巻取りローラ２７の軸を取り付け、その軸にバフ８を巻き付けることで、巻取りと同時に基板１０への組み付けができるようにしてもよい。
【００２６】
次に、上記方法によって製造された研磨砥石１を使用して、被加工体３としてのガラス端面３ａを研磨する方法を、図２を使用して説明する。
被加工体３の搬送路４の上流には荒削り用の回転砥石１００が配設されており、その下流に、本実施形態に係る研磨砥石１が配設される。夫々の砥石は回転装置５によって所定の速度で回転されており、それらの砥石の上を、被加工面（即ち、ガラス端面３ａ）を盤面に当接させながら移動させる。
【００２７】
荒削り用の研磨処理を終えたガラス端面３ａを、本実施形態に係る研磨砥石１の盤面に当接させるが、この際、盤面中央の開口部を避けた位置に搬送手段４ａを配置することで、ガラス端面３ａがドーナツ状の研磨面１１に当接し続けるようにする（図４を参照）。
研磨作業は、回転する砥石の上で被加工体３を停止状態で当接させても良いし、移動させながら当接させても良いが、研磨砥石１の回転方向Ｄとは反対方向にゆっくり移動させることで、より効率的な研磨を行うことができる。
【００２８】
研磨作業は、砥石に水をかけながら行うが、酸化セリウムのように水和反応によって研磨効果がもたらされる研磨材１６を使用していることに加えて、砥石としての性状が、研磨材１６を含む研磨層１４と、含まないフェルト層１３とが交互にロール状に表れる構造なので、水和反応を均質に実現することができる。また、砥石の母材がフェルトであり、クッション性が高いので、内部の研磨材１６にまで被加工体３を接触させることができる。
これによって、水和反応を効率よく促進させることができ、水準の高い鏡面仕上げが可能となる。
【００２９】
研磨砥石１の盤面にかけられた水は、フェルト内で保持されるので、廃液の流出は少ない。研磨材１６は、フェルト繊維に結合した状態で砥石内に保持されているので、廃液と共に流出する度合いが低い。
即ち、この砥石を長期間使用した場合、盤面のフェルト繊維のみが磨耗し、研磨材１６はフェルト内部の気孔１５の中へと押し込まれて砥石内に残存するので、研磨効果が長く持続する。また、水と共に漏出されてしまう研磨材１６が少なく、たとえ研磨材１６がフェルト内から漏出したとしても、基板１０に上に留まるので、その回収は容易である。
【００３０】
フェルト６の材質は、被加工体３の性状や材質に応じて適宜選択されるが、例えば、厚みのあるガラス端面３ａを研磨する際には、厚みの部位（則ち、平面状の端面３ａ）を研磨するための砥石には、接触圧が高くなるように樹脂フェルトを使用し、角部をテーパ状又はアール状にするための砥石には、ソフトに接触するように混紡フェルトを使用するのが好ましい。
また、砥石の盤面のクッション性を高めることによって、ガラス端面３ａを押し付けただけで、ガラス端面３ａの縁の角部が自動的にアール状に処理されるようにしてもよい。
【００３１】
試作品として、厚み２ｍｍ、幅３０ｍｍ、長さ６８００ｍｍのフェルト６に、粒子径が４μｍ程度の研磨材１６を結合材１７に混練してペースト状にした混合グレン７を浸みこませて構成されたバフ８を巻き付け、それを摂氏１５０度で４時間加熱することで、外径１５０ｍｍ、内径９０ｍｍ、厚み３０ｍｍ、重量３４０ｇのドーナツ状の研磨砥石１を構成した。その盤面を写したものが図１１（ａ）である。
研磨材１６としては、酸化セリウムと酸化ケイ素を９５：５の割合で混合したものを使用し、接合材１７には、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、水溶性レゾール（フェノール）、希釈剤（メタノール）を１８：１６：４の割合で混合したものを使用した。
【００３２】
混合グレン７中の各成分の重量比は、酸化セリウムが６８．８重量％、酸化ケイ素が３．６２重量％、ＰＶＢが１３．０４重量％、フェノールが１１．５９重量％、希釈剤が２．９重量％である。砥石の耐久性を１カ月（１日７時間の使用）とすると、同程度の鏡面仕上げ研磨に要する酸化セリウムの使用量は、特許文献１に示す従来方法の約１／４０〜１／６０である。
研磨砥石１に水を含ませた後、毎分１８００回転の速度で２時間回転させ、盤面に対して垂直に、厚さ８ｍｍのガラス板を当接させ続けたところ、図１２に示すように、非常に滑らかで光沢のある端面３ａに仕上がった。ガラス板３のエッジは取れ、安全性の高い状態であった。これは、砥石１の母材であるフェルトが、水を多く含み弾力性を有するので、肉厚なガラス板３の端面３ａを包み込む状態となり、研磨と同時にエッジング（こば磨き）が施された為である。
【００３３】
エッジ部３ｂをアール状にするために、図１３に示すように、砥石１を傾斜させ、盤面に対して傾斜状にガラス板３を当接させた。
この状態で長時間研磨したところ、エッジ面が平坦になり、テーパ状のエッジ部３ｃを形成することができた。
肉厚のガラス板３のエッジングは、比較的軟質な回転砥石（気孔の多い発泡砥石など）であっても、端面３ａの研磨とは別の工程で行われていたが、本発明の研磨砥石１を使用すれば、端面３ａの研磨と同時にエッジ処理ができる。さらに、ガラス面を包み込む形になるので、ムラなく鏡面研磨ができる。
また、砥石１の傾斜状態や研磨時間を調節することで、あらゆるテーパ形状又はアール形状の端面３ａに仕上げることができるので、手作業で行われることが多かった鏡面仕上げ加工を、機械化することができる。
【００３４】
上記の砥石１を２時間連続して使用したところ、盤面における研磨層１４の部位が、約０．２ｍｍ〜０．３ｍｍ程度消耗しているのが確認された（図１１（ｂ）を参照）。
しかし、フェルト層１３は消耗しておらず、その後、約５時間の連続使用によっても研磨性能の低下は見られなかった。これは、フェルト内に保持された研磨材と水分による水和反応が衰えることなく続いた為と考えられる。
【００３５】
以上から、本実施形態に係る研磨砥石１は、フェルト６の表面のみに研磨材１６を含浸させたバフ８を巻き付けて砥石を形成したので、研磨材１６の使用量が少ないにも関わらず、極めて高い研磨性能を有することが確認された。
これは、フェルト層１３の内部に多くの気孔１５が残存することにより、砥石としてのクッション性と、水分や研磨材の保持力が高められ、物理的及び化学的な研磨機能が最大限に発揮されたことによるものと考えられる。また、フェルト層１３と研磨層１４とが交互にロール状に盤面に表れることにより、上記研磨機能が均質且つ効率的に発揮されたことによるものと考えられる。
【００３６】
このように、本発明に係る研磨砥石は、フェルト６からなるバフ８を巻き付けて構成したので、クッション性が高いことに加えて研磨材１６の配合は均質であるという特徴を有し、これによって、希少性の高い研磨材の使用量を最小限にしつつ、安定した研磨性能を実現することができるものである。
なお、本発明における研磨材としては、酸化セリウム、酸化ケイ素に限られるものではないし、結合材も適宜選択可能である。
また、混合グレン７の含浸方法は、フェルト６の厚みや材質、グレンの粘度に応じたものを選択するものとし、例えば、浸漬工程の直前に、前記フェルトの表面を押圧する工程を設け、浸透力を向上させてもよい。  
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、金属、木材、石材、プラスチックなど、あらゆる素材の研磨に使用される砥石に適応することができる。
【符号の説明】
【００３８】
１…研磨砥石
２…研磨装置
３…被加工体
４…搬送路
５…回転装置
６…フェルト
７…混合グレン
８…バフ
９…半製品砥石
１０…基板
１１…研磨面
１２…取付穴
１３…フェルト層
１４…研磨層
１５…気孔
１６…研磨材
１７…結合材
２０…繰出機
２１…電磁ブレーキ
２２…ディッピング槽
２３…ディッピングローラ
２４…送りローラ
２５…絞りローラ
２６…押えシリンダ
２６…巻取りローラ
２８…ウエイトローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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