(57)【要約】【課題】酸化物半導体膜を有するトランジスタにおいて、酸化物半導体膜へ移動する窒素を低減する。また、酸化物半導体を有するトランジスタを用いた半導体装置において、電気特性の変動を抑制すると共に、信頼性を向上させる。【解決手段】チャネル領域が形成される酸化物半導体膜を有するトランジスタ上に、窒素を有する酸化絶縁膜を形成した後、加熱処理を行って、窒素を有する酸化絶縁膜から窒素を放出させる。なお、加熱後の窒素を有する酸化絶縁膜において、二次イオン質量分析法により得られる窒素濃度が、二次イオン質量分析法の検出下限以上３×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満である【選択図】図１
2014042004.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられる酸化物半導体膜と、前記酸化物半導体膜とゲート絶縁膜を介して重なるゲート電極と、を有するトランジスタ上に、窒素を有する酸化絶縁膜を形成した後、加熱処理を行って、前記窒素を有する酸化絶縁膜から窒素を放出させることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項２】
請求項１において、前記加熱処理温度が、１５０℃以上５００℃以下であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項３】
請求項１または２において、前記加熱処理された窒素を有する酸化絶縁膜は、二次イオン質量分析法により得られる窒素濃度が、二次イオン質量分析法の検出下限以上３×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項において、前記窒素を有する酸化絶縁膜が、窒素を有する酸化シリコン膜であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
【請求項５】
ゲート電極と、
前記ゲート電極の一部とゲート絶縁膜を介して重なる酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜に接する一対の電極と、
前記酸化物半導体膜上に設けられる窒素を有する酸化絶縁膜と、
を有し、
前記窒素を有する酸化絶縁膜は、二次イオン質量分析法により得られる窒素濃度が二次イオン質量分析法の検出下限以上３×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満であることを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
請求項５において、前記酸化物半導体膜は、電子スピン共鳴測定によるｇ＝１．９３に現れる信号のスピン密度が１×１０１７ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３以下であることを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
請求項５または６において、前記窒素を有する酸化絶縁膜は、窒素を有する酸化シリコン膜であることを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電界効果トランジスタを有する半導体装置及びその作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置や発光表示装置に代表されるフラットパネルディスプレイの多くに用いられているトランジスタは、ガラス基板上に形成されたアモルファスシリコン、単結晶シリコンまたは多結晶シリコンなどのシリコン半導体によって構成されている。また、該シリコン半導体を用いたトランジスタは、集積回路（ＩＣ）などにも利用されている。
【０００３】
近年、シリコン半導体に代わって、半導体特性を示す金属酸化物をトランジスタに用いる技術が注目されている。なお、本明細書では、半導体特性を示す金属酸化物を酸化物半導体とよぶことにする。
【０００４】
例えば、酸化物半導体として、酸化亜鉛、またはＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物を用いたトランジスタを作製し、該トランジスタを表示装置の画素のスイッチング素子などに用いる技術が開示されている（特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００５】
ところで、特に酸化物半導体においては、水素がキャリアの供給源となることが指摘されている。そのため、酸化物半導体の形成時に水素が混入しないような措置を講じることが求められており、酸化物半導体膜や、酸化物半導体膜に接するゲート絶縁膜の水素を低減することで、しきい値電圧の変動を抑制している（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１２３８６１号公報
【特許文献２】特開２００７−９６０５５号公報
【特許文献３】特開２００９−２２４４７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、窒素は水素と同様にキャリア供給源となる。このため、窒素が酸化物半導体膜に侵入すると、酸化物半導体膜のキャリア密度が増加し、酸化物半導体膜を有するトランジスタの電気特性の変動、代表的にはしきい値電圧のマイナスシフトが生じる。また、トランジスタごとに電気特性がばらつくという問題がある。
【０００８】
また、酸化物半導体膜を有するトランジスタ上に保護膜として絶縁膜を設ける場合、酸化物半導体膜との界面準位を低減するため、酸化絶縁膜を設けることが好ましい。しかしながら、当該酸化絶縁膜に窒素が含まれると、酸化絶縁膜に欠陥が含まれてしまう。当該欠陥により、酸化物半導体膜を有するトランジスタの電気特性において、経時変化やバイアス温度ストレス試験（以下、ＢＴ（Ｂｉａｓ−Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ）ストレス試験ともいう。）により、トランジスタの電気特性の変動量、代表的にはしきい値電圧の変動量が増大してしまうという問題がある。また、異なるドレイン電圧において、オン電流の立ち上がりゲート電圧（Ｖｇ）が異なってしまうという問題がある。
【０００９】
また、酸化物半導体膜を有するトランジスタ上にプラズマＣＶＤ法により保護膜として絶縁膜を設ける場合、酸化物半導体膜にプラズマダメージが入り、酸化物半導体膜に欠陥が形成されてしまう。酸化物半導体膜に含まれる欠陥の一つとして酸素欠損があるが、酸素欠損が含まれている酸化物半導体膜を用いたトランジスタは、酸化物半導体膜を有するトランジスタの電気特性の変動、代表的にはしきい値電圧のマイナスシフトが生じるという問題がある。
【００１０】
そこで、本発明の一態様は、酸化物半導体膜を有するトランジスタにおいて、酸化物半導体膜へ移動する窒素量を低減すると共に、当該トランジスタ上に形成される酸化絶縁膜の窒素量を低減することを課題の一とする。また、本発明の一態様は、酸化物半導体膜を有するトランジスタを用いた半導体装置において、電気特性の変動を抑制すると共に、信頼性を向上させることを課題の一とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様は、チャネル領域が形成される酸化物半導体膜を有するトランジスタ上に、窒素を有する酸化絶縁膜を形成した後、加熱処理を行って、窒素を有する酸化絶縁膜から窒素を放出させることを特徴とする半導体装置の作製方法である。
【００１２】
上記加熱処理温度は、窒素を有する酸化絶縁膜から窒素を放出させる温度であり、代表的には、１５０℃以上５００℃以下である。
【００１３】
また、本発明の一態様は、チャネル領域が形成される酸化物半導体膜を有するトランジスタと、該トランジスタ上に形成される窒素を有する酸化絶縁膜とを有し、窒素を有する酸化絶縁膜の窒素濃度は、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）の検出下限以上３×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上１×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下であることを特徴とする半導体装置である。
【００１４】
なお、窒素を有する酸化絶縁膜は、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含んでいてもよい。窒素を有する酸化絶縁膜をプラズマＣＶＤ法で形成する場合、原料ガスとしては、シリコンを含む堆積性気体と、酸化性気体として一酸化二窒素、二酸化窒素等の窒素酸化物とを用いることで、酸化反応が促進され、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を有する膜、代表的には窒素を有する酸化絶縁膜を形成することができる。
【００１５】
また、チャネル領域が形成される酸化物半導体膜上に、シリコンを含む堆積性気体と、酸化性気体とを用いたプラズマＣＶＤ法により、酸化絶縁膜を形成する場合、酸化性気体として一酸化二窒素、二酸化窒素等の窒素酸化物を用いることで、酸化物半導体膜へのダメージを低減しつつ、酸化絶縁膜、代表的には窒素を有する酸化絶縁膜を形成することができる。
【００１６】
チャネル領域が形成される酸化物半導体膜を有するトランジスタ上に、窒素を有する酸化絶縁膜を形成した後、加熱処理を行うことで、窒素を有する酸化絶縁膜から窒素を放出させることが可能であり、加熱処理された窒素を有する酸化絶縁膜の窒素濃度が、ＳＩＭＳの検出下限以上３×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上１×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下となる。この結果、酸化物半導体膜に移動する窒素量を低減することが可能である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の一態様により、チャネル領域が形成される酸化物半導体膜を有するトランジスタの電気特性の変動を抑制すると共に、信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】トランジスタの一形態を説明する上面図及び断面図である。
【図２】トランジスタの作製方法の一形態を説明する断面図である。
【図３】窒素を有する酸化絶縁膜の窒素、水素、水の加熱処理における移動を説明するモデル図である。
【図４】酸化物半導体膜の窒素、水素、水の熱処理における移動を説明するモデル図である。
【図５】トランジスタの一形態を説明する断面図である。
【図６】トランジスタの一形態を説明する断面図である。
【図７】加熱処理における酸化物半導体膜の酸素欠損の変化を説明するモデル図である。
【図８】トランジスタの一形態を説明する断面図である。
【図９】トランジスタの一形態を説明する上面図及び断面図である。
【図１０】トランジスタの作製方法の一形態を説明する断面図である。
【図１１】トランジスタの一形態を説明する断面図である。
【図１２】トランジスタの一形態を説明する断面図である。
【図１３】表示装置の一形態を説明する上面図である。
【図１４】表示装置の一形態を説明する断面図である。
【図１５】表示装置の一形態を説明する断面図である。
【図１６】表示装置の一形態を説明する図である。
【図１７】半導体装置の一態様を説明する図である。
【図１８】電子機器を説明する図である。
【図１９】電子機器を説明する図である。
【図２０】ＥＳＲの測定結果を説明する図である。
【図２１】ＴＤＳの測定結果を説明する図である。
【図２２】ＳＳＤＰ−ＳＩＭＳの分析結果を説明する図である。
【図２３】ＥＳＲの測定結果を説明する図である。
【図２４】ＥＳＲの測定結果を説明する図である。
【図２５】トランジスタのＶｇ−Ｉｄ特性を説明する図である。
【図２６】トランジスタのしきい値電圧の変動量を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下では、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、以下に示す実施の形態及び実施例の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、以下に説明する実施の形態及び実施例において、同一部分または同様の機能を有する部分には、同一の符号または同一のハッチパターンを異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。
【００２０】
なお、本明細書で説明する各図において、各構成の大きさ、膜の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。
【００２１】
また、本明細書にて用いる第１、第２、第３などの用語は、構成要素の混同を避けるために付したものであり、数的に限定するものではない。そのため、例えば、「第１の」を「第２の」または「第３の」などと適宜置き換えて説明することができる。
【００２２】
また、「ソース」や「ドレイン」の機能は、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細書においては、「ソース」や「ドレイン」の用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
【００２３】
また、電圧とは２点間における電位差のことをいい、電位とはある一点における静電場の中にある単位電荷が持つ静電エネルギー（電気的な位置エネルギー）のことをいう。ただし、一般的に、ある一点における電位と基準となる電位（例えば接地電位）との電位差のことを、単に電位もしくは電圧と呼び、電位と電圧が同義語として用いられることが多い。このため、本明細書では特に指定する場合を除き、電位を電圧と読み替えてもよいし、電圧を電位と読み替えてもよいこととする。
【００２４】
また、酸化物半導体膜を有するトランジスタはｎチャネル型トランジスタであるため、本明細書において、ゲート電圧が０Ｖの場合、ドレイン電流が流れていないとみなすことができるトランジスタを、ノーマリーオフ特性を有するトランジスタと定義する。また、ゲート電圧が０Ｖの場合、ドレイン電流が流れているとみなすことができるトランジスタを、ノーマリーオン特性を有するトランジスタと定義する。
【００２５】
（実施の形態１）
本実施の形態では、本発明の一態様である半導体装置、及びその作製方法について図面を参照して説明する。
【００２６】
図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に、半導体装置が有するトランジスタ１の上面図及び断面図を示す。図１（Ａ）はトランジスタ１の上面図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）の一点鎖線Ａ−Ｂ間の断面図である。なお、図１（Ａ）では、明瞭化のため、基板１１、ゲート絶縁膜１７、窒素を有する酸化絶縁膜２３などを省略している。
【００２７】
図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示すトランジスタ１は、基板１１上に設けられるゲート電極１５と、基板１１及びゲート電極１５上に形成されるゲート絶縁膜１７と、ゲート絶縁膜１７を介して、ゲート電極１５と重なる酸化物半導体膜１９と、酸化物半導体膜１９に接する一対の電極２１とを有する。また、ゲート絶縁膜１７、酸化物半導体膜１９、及び一対の電極２１上には、窒素を有する酸化絶縁膜２３が形成される。
【００２８】
本実施の形態に示すトランジスタ１上に設けられる窒素を有する酸化絶縁膜２３は、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）により得られる窒素濃度が、ＳＩＭＳ検出下限以上３×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上１×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である。窒素を有する酸化絶縁膜２３に含まれる窒素量が少ないため、トランジスタ１に含まれる酸化物半導体膜１９への窒素の移動量が少ない。また、窒素を有する酸化絶縁膜の欠陥量が少ない。
【００２９】
なお、窒素を有する酸化絶縁膜２３は、実施の形態２で説明する化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を有する酸化絶縁膜としてもよい。
【００３０】
酸化物半導体膜１９に窒素が含まれると、酸化物半導体膜１９において、キャリアである電子が生じ、キャリア密度が増加し、ｎ型化しやすい。この結果、酸化物半導体膜１９を有するトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。これらのため、酸化物半導体膜１９上に設けられる窒素を有する酸化絶縁膜２３の窒素の濃度を、ＳＩＭＳ検出下限以上３×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上１×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下とすることで、酸化物半導体膜１９へ侵入する窒素量を減らすことが可能である。このため、酸化物半導体膜１９の窒素量を減らすことにより、しきい値電圧のマイナスシフトを抑制することができると共に、電気特性のばらつきを低減することができる。また、トランジスタのソース及びドレインにおけるリーク電流を、代表的には、オフ電流を低減することが可能である。また、窒素を有する酸化絶縁膜２３の窒素濃度を低減することで、窒素を有する酸化絶縁膜２３の欠陥量、特に、酸化物半導体膜１９及び窒素を有する酸化絶縁膜２３の界面の欠陥量、並びに窒素を有する酸化絶縁膜２３において酸化物半導体膜１９近傍の欠陥量を低減することが可能であり、トランジスタの電気特性の変動量を低減すると共に、異なるドレイン電圧において、オン電流の立ち上がりゲート電圧（Ｖｇ）を略同一とすることができる。
【００３１】
窒素を有する酸化絶縁膜２３は、酸化物半導体膜１９との界面特性を向上させるため、上記濃度の窒素が含まれている酸化絶縁膜を用いることが好ましい。窒素を有する酸化絶縁膜２３としては、厚さ１５０ｎｍ以上４００ｎｍ以下の、窒素を有する酸化シリコン（酸化窒化シリコンと記載する場合もある。）、窒素を有する酸化アルミニウム（酸化窒化アルミニウムと記載する場合もある。）、窒素を有する酸化ハフニウム（酸化窒化ハフニウムと記載する場合もある。）、窒素を有する酸化ガリウム（酸化窒化ガリウムと記載する場合もある。）、または窒素を有するＧａ−Ｚｎ系金属酸化物等を用いることができる。
【００３２】
なお、本明細書において、酸化窒化シリコン膜とは、その組成として、窒素よりも酸素の含有量が多い膜を指し、窒化酸化シリコン膜とは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多い膜を指す。また、酸化窒化アルミニウム膜、酸化窒化ハフニウム膜、酸化窒化ガリウム膜、窒化酸化アルミニウム膜、窒化酸化ハフニウム膜、窒化酸化ガリウム膜に関しても、窒素と酸素の含有量の関係は、酸化窒化シリコン膜と、窒化酸化シリコン膜と同様である。
【００３３】
以下に、トランジスタ１の他の構成の詳細について説明する。
【００３４】
基板１１の材質などに大きな制限はないが、少なくとも、後の熱処理に耐えうる程度の耐熱性を有している必要がある。例えば、ガラス基板、セラミック基板、石英基板、サファイア基板等を、基板１１として用いてもよい。また、シリコンや炭化シリコンなどの単結晶半導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウム等の化合物半導体基板、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｏｎ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板等を適用することも可能であり、これらの基板上に半導体素子が設けられたものを、基板１１として用いてもよい。
【００３５】
また、基板１１として、可撓性基板を用い、可撓性基板上に直接、トランジスタ１を形成してもよい。または、基板１１とトランジスタ１の間に剥離層を設けてもよい。剥離層は、その上に半導体装置を一部あるいは全部完成させた後、基板１１より分離し、他の基板に転載するのに用いることができる。その際、トランジスタ１は耐熱性の劣る基板や可撓性の基板にも転載できる。
【００３６】
なお、基板１１及びゲート電極１５の間に下地絶縁膜を設けてもよい。下地絶縁膜としては、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、酸化イットリウム、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム等がある。なお、下地絶縁膜として、窒化シリコン、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、酸化イットリウム、酸化アルミニウム等を用いることで、基板１１から不純物、代表的にはアルカリ金属、水、水素等の酸化物半導体膜１９への拡散を抑制することができる。
【００３７】
ゲート電極１５は、アルミニウム、クロム、銅、タンタル、チタン、モリブデン、タングステンから選ばれた金属元素、または上述した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いて形成することができる。また、マンガン、ジルコニウムのいずれか一または複数から選択された金属元素を用いてもよい。また、ゲート電極１５は、単層構造でも、二層以上の積層構造としてもよい。例えば、シリコンを含むアルミニウム膜の単層構造、アルミニウム膜上にチタン膜を積層する二層構造、窒化チタン膜上にチタン膜を積層する二層構造、窒化チタン膜上にタングステン膜を積層する二層構造、窒化タンタル膜または窒化タングステン膜上にタングステン膜を積層する二層構造、チタン膜と、そのチタン膜上にアルミニウム膜を積層し、さらにその上にチタン膜を形成する三層構造等がある。また、アルミニウムに、チタン、タンタル、タングステン、モリブデン、クロム、ネオジム、スカンジウムから選ばれた元素の膜、または複数組み合わせた合金膜、もしくは窒化膜を用いてもよい。
【００３８】
また、ゲート電極１５は、インジウム錫酸化物、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化シリコンを添加したインジウム錫酸化物等の透光性を有する導電性材料を適用することもできる。また、上記透光性を有する導電性材料と、上記金属元素の積層構造とすることもできる。
【００３９】
また、ゲート電極１５とゲート絶縁膜１７との間に、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸窒化物膜、Ｉｎ−Ｓｎ系酸窒化物膜、Ｉｎ−Ｇａ系酸窒化物膜、Ｉｎ−Ｚｎ系酸窒化物膜、Ｓｎ系酸窒化物膜、Ｉｎ系酸窒化物膜、金属窒化膜（ＩｎＮ、ＺｎＮ等）等を設けてもよい。これらの膜は５ｅＶ以上、好ましくは５．５ｅＶ以上の仕事関数を有し、酸化物半導体の電子親和力よりも大きい値であるため、酸化物半導体を用いたトランジスタのしきい値電圧をプラスにシフトすることができ、所謂ノーマリーオフ特性のスイッチング素子を実現できる。例えば、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸窒化物膜を用いる場合、少なくとも酸化物半導体膜１９より高い窒素濃度、具体的には７原子％以上のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸窒化物膜を用いる。
【００４０】
ゲート絶縁膜１７は、例えば酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化ガリウムまたはＧａ−Ｚｎ系金属酸化物などを用いればよく、積層または単層で設ける。なお、酸化物半導体膜１９との界面特性を向上させるため、ゲート絶縁膜１７において少なくとも酸化物半導体膜１９と接する領域は酸化絶縁膜で形成することが好ましい。
【００４１】
また、ゲート絶縁膜１７に、酸素、水素、水等のブロッキング効果を有する絶縁膜を設けることで、酸化物半導体膜１９からの酸素の外部への拡散と、外部から酸化物半導体膜１９への水素、水等の侵入を防ぐことができる。酸素、水素、水等のブロッキング効果を有する絶縁膜としては、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化窒化ガリウム、酸化イットリウム、酸化窒化イットリウム、酸化ハフニウム、酸化窒化ハフニウム、窒化シリコン等がある。
【００４２】
また、ゲート絶縁膜１７として、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯｘ）、窒素を有するハフニウムシリケート（ＨｆＳｉｘＯｙＮｚ）、窒素を有するハフニウムアルミネート（ＨｆＡｌｘＯｙＮｚ）、酸化ハフニウム、酸化イットリウムなどのｈｉｇｈ−ｋ材料を用いることでトランジスタのゲートリークを低減できる。
【００４３】
また、ゲート絶縁膜１７を積層構造とし、第１の窒化シリコン膜として、欠陥量が少ない窒化シリコン膜とし、第２の窒化シリコン膜として、第１の窒化シリコン膜上に、水素脱離量及びアンモニア脱離量の少ない窒化シリコン膜を設け、第２の窒化シリコン膜上に、上記ゲート絶縁膜１７で羅列した酸化絶縁膜のいずれかを設けることが好ましい。第２の窒化シリコン膜としては、昇温脱離ガス分析法において、水素分子の脱離量が５×１０２１分子／ｃｍ３未満、好ましくは３×１０２１分子／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０２１分子／ｃｍ３以下であり、アンモニア分子の脱離量が１×１０２２分子／ｃｍ３未満、好ましくは５×１０２１分子／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０２１分子／ｃｍ３以下である窒化絶縁膜を用いることが好ましい。上記第１の窒化シリコン膜及び第２の窒化シリコン膜をゲート絶縁膜１７の一部として用いることで、ゲート絶縁膜１７として、欠陥量が少なく、且つ水素及びアンモニアの脱離量の少ないゲート絶縁膜を形成することができる。この結果、ゲート絶縁膜１７に含まれる水素及び窒素の、酸化物半導体膜１９への移動量を低減することが可能である。
【００４４】
酸化物半導体を用いたトランジスタにおいて、酸化物半導体膜及びゲート絶縁膜の界面またはゲート絶縁膜に捕獲準位（界面準位ともいう。）があると、トランジスタのしきい値電圧の変動、代表的にはしきい値電圧のマイナスシフト、及びトランジスタがオン状態となるときにドレイン電流が一桁変化するのに必要なゲート電圧を示すサブスレッショルド係数（Ｓ値）の増大の原因となる。この結果、トランジスタごとに電気特性がばらつくという問題がある。このため、ゲート絶縁膜１７として、欠陥量の少ない窒化シリコン膜を用いることで、また、酸化物半導体膜１９と接する領域に酸化絶縁膜を設けることで、しきい値電圧のマイナスシフトを抑制すると共に、Ｓ値の増大を抑制することができる。
【００４５】
ゲート絶縁膜１７の厚さは、５ｎｍ以上４００ｎｍ以下、より好ましくは１０ｎｍ以上３００ｎｍ以下、より好ましくは５０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下とするとよい。
【００４６】
酸化物半導体膜１９は、少なくともインジウム（Ｉｎ）若しくは亜鉛（Ｚｎ）を含むことが好ましい。または、ＩｎとＺｎの双方を含むことが好ましい。また、該酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性のばらつきを減らすため、それらと共に、スタビライザーの一または複数を有することが好ましい。
【００４７】
スタビライザーとしては、ガリウム（Ｇａ）、スズ（Ｓｎ）、ハフニウム（Ｈｆ）、アルミニウム（Ａｌ）、またはジルコニウム（Ｚｒ）等がある。また、他のスタビライザーとしては、ランタノイドである、ランタン（Ｌａ）、セリウム（Ｃｅ）、プラセオジム（Ｐｒ）、ネオジム（Ｎｄ）、サマリウム（Ｓｍ）、ユウロピウム（Ｅｕ）、ガドリニウム（Ｇｄ）、テルビウム（Ｔｂ）、ジスプロシウム（Ｄｙ）、ホルミウム（Ｈｏ）、エルビウム（Ｅｒ）、ツリウム（Ｔｍ）、イッテルビウム（Ｙｂ）、ルテチウム（Ｌｕ）等がある。
【００４８】
例えば、酸化物半導体として、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、二元系金属酸化物であるＩｎ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｓｎ−Ｚｎ系金属酸化物、Ａｌ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｚｎ−Ｍｇ系金属酸化物、Ｓｎ−Ｍｇ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｍｇ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｇａ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｗ系金属酸化物、三元系金属酸化物であるＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系金属酸化物（ＩＧＺＯとも表記する）、Ｉｎ−Ａｌ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ系金属酸化物、Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｌａ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｃｅ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｐｒ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｎｄ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｓｍ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｅｕ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｇｄ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｔｂ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｄｙ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｈｏ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｅｒ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｔｍ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｙｂ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｌｕ−Ｚｎ系金属酸化物、四元系金属酸化物であるＩｎ−Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ｇａ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｈｆ−Ｚｎ系金属酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ａｌ−Ｚｎ系金属酸化物を用いることができる。
【００４９】
なお、ここで、例えば、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系金属酸化物とは、ＩｎとＧａとＺｎを主成分として有する酸化物という意味であり、ＩｎとＧａとＺｎの比率は問わない。また、ＩｎとＧａとＺｎ以外の金属元素が入っていてもよい。
【００５０】
また、酸化物半導体として、ＩｎＭＯ３（ＺｎＯ）ｍ（ｍ＞０、且つ、ｍは整数でない）で表記される材料を用いてもよい。なお、Ｍは、Ｇａ、Ｆｅ、Ｍｎ及びＣｏから選ばれた一の金属元素または複数の金属元素を示す。また、酸化物半導体として、Ｉｎ２ＳｎＯ５（ＺｎＯ）ｎ（ｎ＞０、且つ、ｎは整数）で表記される材料を用いてもよい。
【００５１】
例えば、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１（＝１／３：１／３：１／３）、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：２：１（＝２／５：２／５：１／５）、あるいはＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２（＝１／２：１／６：１／３）の原子数比のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系金属酸化物を用いることができる。あるいは、Ｉｎ：Ｓｎ：Ｚｎ＝１：１：１（＝１／３：１／３：１／３）、Ｉｎ：Ｓｎ：Ｚｎ＝２：１：３（＝１／３：１／６：１／２）あるいはＩｎ：Ｓｎ：Ｚｎ＝２：１：５（＝１／４：１／８：５／８）の原子数比のＩｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系金属酸化物を用いるとよい。なお、金属酸化物の原子数比は、誤差として上記の原子数比のプラスマイナス２０％の変動を含む。
【００５２】
しかし、これらに限られず、必要とする半導体特性及び電気特性（電界効果移動度、しきい値電圧等）に応じて適切な組成のものを用いればよい。また、必要とする半導体特性を得るために、キャリア密度や不純物濃度、欠陥密度、金属元素と酸素の原子数比、原子間距離、密度等を適切なものとすることが好ましい。
【００５３】
例えば、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系金属酸化物では比較的容易に高い移動度が得られる。しかしながら、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系金属酸化物でも、バルク内欠陥密度を低くすることにより移動度を上げることができる。
【００５４】
また、酸化物半導体膜１９に形成することが可能な金属酸化物は、エネルギーギャップが２ｅＶ以上、好ましくは２．５ｅＶ以上、より好ましくは３ｅＶ以上である。このように、エネルギーギャップの広い酸化物半導体を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
【００５５】
また、酸化物半導体膜１９は、非晶質構造、単結晶構造、または多結晶構造であってもよい。
【００５６】
また、酸化物半導体膜１９として、結晶化部分を有するＣＡＡＣ−ＯＳ（Ｃ  Ａｘｉｓ  Ａｌｉｇｎｅｄ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒともいう。）膜を用いてもよい。
【００５７】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、複数の結晶部を有する酸化物半導体膜の一つであり、ほとんどの結晶部は、一辺が１００ｎｍ未満の立方体内に収まる大きさである。従って、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に含まれる結晶部は、一辺が１０ｎｍ未満、５ｎｍ未満または３ｎｍ未満の立方体内に収まる大きさの場合も含まれる。ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、微結晶酸化物半導体膜よりも欠陥準位密度が低いという特徴がある。以下、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜について詳細な説明を行う。
【００５８】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ：Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）によって観察すると、結晶部同士の明確な境界、即ち結晶粒界（グレインバウンダリーともいう。）を確認することができない。そのため、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。
【００５９】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を、試料面と概略平行な方向からＴＥＭによって観察（断面ＴＥＭ観察）すると、結晶部において、金属原子が層状に配列していることを確認できる。金属原子の各層は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の膜を形成する面（被形成面ともいう。）または上面の凹凸を反映した形状であり、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面または上面と平行に配列する。
【００６０】
なお、本明細書において、「平行」とは、二つの直線が−１０°以上１０°以下の角度で配置されている状態をいう。従って、−５°以上５°以下の場合も含まれる。また、「垂直」とは、二つの直線が８０°以上１００°以下の角度で配置されている状態をいう。従って、８５°以上９５°以下の場合も含まれる。
【００６１】
一方、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を、試料面と概略垂直な方向からＴＥＭによって観察（平面ＴＥＭ観察）すると、結晶部において、金属原子が三角形状または六角形状に配列していることを確認できる。しかしながら、異なる結晶部間で、金属原子の配列に規則性は見られない。
【００６２】
断面ＴＥＭ観察および平面ＴＥＭ観察より、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の結晶部は配向性を有していることがわかる。
【００６３】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に対し、Ｘ線回折（ＸＲＤ：Ｘ−Ｒａｙ  Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）装置を用いて構造解析を行うと、例えばＩｎＧａＺｎＯ４の結晶を有するＣＡＡＣ−ＯＳ膜のｏｕｔ−ｏｆ−ｐｌａｎｅ法による解析では、回折角（２θ）が３１°近傍にピークが現れる場合がある。このピークは、ＩｎＧａＺｎＯ４の結晶の（００９）面に帰属されることから、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の結晶がｃ軸配向性を有し、ｃ軸が被形成面または上面に概略垂直な方向を向いていることが確認できる。
【００６４】
一方、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に対し、ｃ軸に概略垂直な方向からＸ線を入射させるｉｎ−ｐｌａｎｅ法による解析では、２θが５６°近傍にピークが現れる場合がある。このピークは、ＩｎＧａＺｎＯ４の結晶の（１１０）面に帰属される。ＩｎＧａＺｎＯ４の単結晶酸化物半導体膜であれば、２θを５６°近傍に固定し、試料面の法線ベクトルを軸（φ軸）として試料を回転させながら分析（φスキャン）を行うと、（１１０）面と等価な結晶面に帰属されるピークが６本観察される。これに対し、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の場合は、２θを５６°近傍に固定してφスキャンした場合でも、明瞭なピークが現れない。
【００６５】
以上のことから、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜では、異なる結晶部間ではａ軸およびｂ軸の配向は不規則であるが、ｃ軸配向性を有し、かつｃ軸が被形成面または上面の法線ベクトルに平行な方向を向いていることがわかる。従って、前述の断面ＴＥＭ観察で確認された層状に配列した金属原子の各層は、結晶のａｂ面に平行な面である。
【００６６】
なお、結晶部は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を成膜した際、または加熱処理などの結晶化処理を行った際に形成される。上述したように、結晶のｃ軸は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面または上面の法線ベクトルに平行な方向に配向する。従って、例えば、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の形状をエッチングなどによって変化させた場合、結晶のｃ軸がＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面または上面の法線ベクトルと平行にならないこともある。
【００６７】
また、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜中の結晶化度が均一でなくてもよい。例えば、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の結晶部が、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の上面近傍からの結晶成長によって形成される場合、上面近傍の領域は、被形成面近傍の領域よりも結晶化度が高くなることがある。また、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に不純物を添加する場合、不純物が添加された領域の結晶化度が変化し、部分的に結晶化度の異なる領域が形成されることもある。
【００６８】
なお、ＩｎＧａＺｎＯ４の結晶を有するＣＡＡＣ−ＯＳ膜のｏｕｔ−ｏｆ−ｐｌａｎｅ法による解析では、２θが３１°近傍のピークの他に、２θが３６°近傍にもピークが現れる場合がある。２θが３６°近傍のピークは、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜中の一部に、ｃ軸配向性を有さない結晶が含まれることを示している。ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、２θが３１°近傍にピークを示し、２θが３６°近傍にピークを示さないことが好ましい。
【００６９】
また、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を用いたトランジスタは、可視光や紫外光の照射による電気特性の変動が小さい。
【００７０】
また、酸化物半導体膜１９は、複数の酸化物半導体膜が積層された構造でもよい。例えば、酸化物半導体膜１９を、第１の酸化物半導体膜と第２の酸化物半導体膜の積層として、第１の酸化物半導体膜と第２の酸化物半導体膜に、異なる組成の金属酸化物を用いてもよい。例えば、第１の酸化物半導体膜に二元系金属酸化物乃至四元系金属酸化物の一を用い、第２の酸化物半導体膜に第１の酸化物半導体膜と異なる二元系金属酸化物乃至四元系金属酸化物を用いてもよい。
【００７１】
また、第１の酸化物半導体膜と第２の酸化物半導体膜の構成元素を同一とし、両者の構成元素の原子数比を異ならせてもよい。例えば、第１の酸化物半導体膜の原子数比をＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１とし、第２の酸化物半導体膜の原子数比をＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２としてもよい。また、第１の酸化物半導体膜の原子数比をＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：２とし、第２の酸化物半導体膜の原子数比をＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：１：３としてもよい。なお、各酸化物半導体膜の金属元素の原子数比は、誤差として上記の原子数比のプラスマイナス２０％の変動を含む。
【００７２】
この時、第１の酸化物半導体膜と第２の酸化物半導体膜のうち、ゲート電極に近い側（チャネル側）の酸化物半導体膜のＩｎとＧａの含有率をＩｎ＞Ｇａとするとよい。またゲート電極から遠い側（バックチャネル側）の酸化物半導体膜のＩｎとＧａの含有率をＩｎ≦Ｇａとするとよい。
【００７３】
また、酸化物半導体膜１９を３層構造とし、第１の酸化物半導体膜〜第３の酸化物半導体膜の構成元素を同一とし、且つそれぞれの構成元素の原子数比を異ならせてもよい。例えば、第１の酸化物半導体膜の原子数比をＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：２とし、第２の酸化物半導体膜の原子数比をＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２とし、第３の酸化物半導体膜の原子数比をＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１としてもよい。
【００７４】
Ｇａ及びＺｎよりＩｎの原子数比が小さい酸化物半導体膜、代表的には原子数比がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：２である第１の酸化物半導体膜は、Ｇａ及びＺｎよりＩｎの原子数比が大きい酸化物半導体膜、代表的には第２の酸化物半導体膜、並びにＧａ、Ｚｎ、及びＩｎの原子数比が同じ酸化物半導体膜、代表的には第３の酸化物半導体膜と比較して、酸素欠損が生じにくいため、キャリア密度が増加することを抑制することができる。
【００７５】
また、第１の酸化物半導体膜〜第３の酸化物半導体膜の構成元素は同一であるため、第１の酸化物半導体膜は、第２の酸化物半導体膜との界面におけるトラップ準位が少ない。このため、酸化物半導体膜１９を上記構造とすることで、トランジスタの経時変化や光ＢＴストレス試験によるしきい値電圧の変動量を低減することができる。
【００７６】
酸化物半導体では主として重金属のｓ軌道がキャリア伝導に寄与しており、Ｉｎの含有率を多くすることにより、より多くのｓ軌道が重なるため、Ｉｎ＞Ｇａの組成となる酸化物はＩｎ≦Ｇａの組成となる酸化物と比較して高いキャリア移動度を備える。また、ＧａはＩｎと比較して酸素欠損の形成エネルギーが大きく酸素欠損が生じにくいため、Ｉｎ≦Ｇａの組成となる酸化物はＩｎ＞Ｇａの組成となる酸化物と比較して安定した特性を備える。
【００７７】
チャネル側にＩｎ＞Ｇａの組成となる酸化物半導体を適用し、バックチャネル側にＩｎ≦Ｇａの組成となる酸化物半導体を適用することで、トランジスタの電界効果移動度及び信頼性をさらに高めることが可能となる。
【００７８】
また、第１の酸化物半導体膜乃至第３の酸化物半導体膜に、結晶性の異なる酸化物半導体を適用してもよい。すなわち、単結晶酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、非晶質酸化物半導体、またはＣＡＡＣ−ＯＳを適宜組み合わせた構成としてもよい。また、第１の酸化物半導体膜、乃至第２の酸化物半導体膜のいずれか一に非晶質酸化物半導体を適用すると、酸化物半導体膜１９の内部応力や外部からの応力を緩和し、トランジスタの特性ばらつきが低減され、また、トランジスタの信頼性をさらに高めることが可能となる。
【００７９】
酸化物半導体膜１９の厚さは、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下、更に好ましくは１ｎｍ以上５０ｎｍ以下、更に好ましくは１ｎｍ以上３０ｎｍ以下、更に好ましくは３ｎｍ以上２０ｎｍ以下とすることが好ましい。
【００８０】
酸化物半導体膜１９において、二次イオン質量分析法により得られるアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、さらに好ましくは２×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下であることが望ましい。アルカリ金属及びアルカリ土類金属は、酸化物半導体と結合するとキャリアを生成する場合があり、トランジスタのオフ電流の上昇の原因となるためである。
【００８１】
酸化物半導体膜１９に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水となると共に、酸素が脱離した格子（あるいは酸素が脱離した部分）には欠損が形成されてしまう。また、水素が酸素と反応することで、キャリアである電子が生じてしまう。このため、酸化物半導体膜１９において、二次イオン質量分析法により得られる水素濃度を、５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは５×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下とすることが好ましい。
【００８２】
酸化物半導体膜１９に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水となると共に、酸素が脱離した格子（あるいは酸素が脱理した部分）には欠損が形成されてしまう。また、水素の一部が酸素と結合することで、キャリアである電子が生じてしまう。これらのため、酸化物半導体膜の成膜工程において、水素を含む不純物を極めて減らすことにより、酸化物半導体膜の水素濃度を低減することが可能である。このため、水素をできるだけ除去された酸化物半導体膜をチャネル領域とすることにより、しきい値電圧のマイナスシフトを抑制することができると共に、電気特性のばらつきを低減することができる。また、トランジスタのソース及びドレインにおけるリーク電流を、代表的には、オフ電流を低減することが可能である。
【００８３】
また、酸化物半導体膜１９の窒素濃度を５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下とすることで、トランジスタのしきい値電圧のマイナスシフトを抑制することができると共に、電気特性のばらつきを低減することができる。
【００８４】
なお、水素量をできるだけ低減することで酸化物半導体膜を高純度化することができる。高純度化された酸化物半導体膜をチャネル領域に用いたトランジスタのオフ電流が小さいことは、いろいろな実験により証明できる。例えば、チャネル幅が１×１０６μｍでチャネル長が１０μｍの素子であっても、ソース電極とドレイン電極間の電圧（ドレイン電圧）が１Ｖから１０Ｖの範囲において、オフ電流が、半導体パラメータアナライザの測定限界以下、すなわち１×１０−１３Ａ以下という特性を得ることができる。この場合、オフ電流をトランジスタのチャネル幅で除した数値は、１００ｚＡ／μｍ以下であることが分かる。また、容量素子とトランジスタとを接続して、容量素子に流入または容量素子から流出する電荷を当該トランジスタで制御する回路を用いて、オフ電流の測定を行った。当該測定では、上記トランジスタに高純度化された酸化物半導体膜をチャネル領域に用い、容量素子の単位時間あたりの電荷量の推移から当該トランジスタのオフ電流を測定した。その結果、トランジスタのソース電極とドレイン電極間の電圧が３Ｖの場合に、数十ｙＡ／μｍという、さらに小さいオフ電流が得られることが分かった。従って、高純度化された酸化物半導体膜をチャネル領域に用いたトランジスタは、オフ電流が著しく小さい。
【００８５】
一対の電極２１は、導電材料として、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、またはタングステンからなる単体金属、またはこれを主成分とする合金を単層構造または積層構造として用いる。例えば、シリコンを含むアルミニウム膜の単層構造、アルミニウム膜上にチタン膜を積層する二層構造、タングステン膜上にチタン膜を積層する二層構造、銅−マグネシウム−アルミニウム合金膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜または窒化チタン膜と、そのチタン膜または窒化チタン膜上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にチタン膜または窒化チタン膜を形成する三層構造、モリブデン膜または窒化モリブデン膜と、そのモリブデン膜または窒化モリブデン膜上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にモリブデン膜または窒化モリブデン膜を形成する三層構造等がある。なお、酸化インジウム、酸化錫または酸化亜鉛を含む透明導電材料を用いてもよい。
【００８６】
なお、本実施の形態では、一対の電極２１を酸化物半導体膜１９及び窒素を有する酸化絶縁膜２３の間に設けたが、ゲート絶縁膜１７及び酸化物半導体膜１９の間に設けてもよい。
【００８７】
次に、図１に示すトランジスタ１の作製方法について、図２を用いて説明する。
【００８８】
図２（Ａ）に示すように、基板１１上にゲート電極１５を形成し、ゲート電極１５上にゲート絶縁膜１７を形成する。
【００８９】
ゲート電極１５の形成方法を以下に示す。はじめに、スパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着法等により導電膜を形成し、導電膜上にフォトリソグラフィ工程によりマスクを形成する。次に、該マスクを用いて導電膜の一部をエッチングして、ゲート電極１５を形成する。この後、マスクを除去する。
【００９０】
なお、ゲート電極１５は、上記形成方法の代わりに、電解メッキ法、印刷法、インクジェット法等で形成してもよい。
【００９１】
ここでは、厚さ１００ｎｍのタングステン膜をスパッタリング法により形成する。次に、フォトリソグラフィ工程によりマスクを形成し、当該マスクを用いてタングステン膜をドライエッチングして、ゲート電極１５を形成する。
【００９２】
ゲート絶縁膜１７は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着法等で形成する。
【００９３】
ゲート絶縁膜１７として、ＣＶＤ法を用いて酸化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜を形成する場合、原料ガスとしては、シリコンを含む堆積性気体及び酸化性気体を用いることが好ましい。シリコンを含む堆積性気体の代表例としては、シラン、ジシラン、トリシラン、フッ化シラン等がある。酸化性気体としては、酸素、オゾン、一酸化二窒素、二酸化窒素等がある。
【００９４】
また、ゲート絶縁膜１７として、積層構造の窒化シリコン膜及び酸化絶縁膜を形成する場合、２段階の形成方法を用いて窒化シリコン膜を積層して形成することが好ましい。はじめに、シラン、窒素、及びアンモニアの混合ガスを原料ガスとして用いたプラズマＣＶＤ法により、欠陥量の少ない第１の窒化シリコン膜を形成する。次に、シリコンを含む堆積性気体、窒素、及びアンモニアを原料ガスとして用い、アンモニアに対する窒素の流量比を１０倍以上５０倍以下、好ましくは２０倍以上４０倍以下とすることで、水素脱離量及びアンモニア脱離量の少ない窒化シリコン膜を第２の窒化シリコン膜として形成することができる。このような形成方法により、ゲート絶縁膜１７として、欠陥量が少なく、且つ水素脱離量及びアンモニア脱離量の少ない窒化シリコン膜を形成することができる。
【００９５】
また、ゲート絶縁膜１７として酸化ガリウム膜を形成する場合、ＭＯＣＶＤ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法を用いて形成することができる。
【００９６】
ここでは、プラズマＣＶＤ法により、厚さ３００ｎｍの第１の窒化シリコン膜、厚さ５０ｎｍの第２の窒化シリコン膜、及び厚さ５０ｎｍの酸化窒化シリコン膜を積層したゲート絶縁膜１７を形成する。
【００９７】
次に、図２（Ｂ）に示すように、ゲート絶縁膜１７上に酸化物半導体膜１９を形成する。
【００９８】
酸化物半導体膜１９の形成方法について以下に説明する。ゲート絶縁膜１７上にスパッタリング法、塗布法、パルスレーザー蒸着法、レーザーアブレーション法等により酸化物半導体膜を形成する。次に、酸化物半導体膜上にフォトリソグラフィ工程によりマスクを形成した後、該マスクを用いて酸化物半導体膜の一部をエッチングすることで、図２（Ｂ）に示すように、ゲート絶縁膜１７上であって、ゲート電極１５の一部と重なるように素子分離された酸化物半導体膜１９を形成する。この後、マスクを除去する。
【００９９】
また、酸化物半導体膜１９として印刷法を用いることで、素子分離された酸化物半導体膜１９を直接形成することができる。
【０１００】
スパッタリング法で酸化物半導体膜を形成する場合、プラズマを発生させるための電源装置は、ＲＦ電源装置、ＡＣ電源装置、ＤＣ電源装置等を適宜用いることができる。
【０１０１】
スパッタリングガスは、希ガス（代表的にはアルゴン）雰囲気、酸素雰囲気、希ガス及び酸素の混合ガス雰囲気を適宜用いる。なお、希ガス及び酸素の混合ガス雰囲気の場合、希ガスに対して酸素のガス比を高めることが好ましい。
【０１０２】
また、ターゲットは、形成する酸化物半導体膜の組成にあわせて、適宜選択すればよい。
【０１０３】
なお、酸化物半導体膜を形成する際に、例えば、スパッタリング法を用いる場合、基板温度を１５０℃以上７５０℃以下、好ましくは１５０℃以上４５０℃以下、さらに好ましくは２００℃以上３５０℃以下として、酸化物半導体膜を成膜することで、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を形成することができる。
【０１０４】
なお、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、例えば、多結晶である酸化物半導体スパッタリング用ターゲットを用い、スパッタリング法によって成膜する。当該スパッタリング用ターゲットにイオンが衝突すると、スパッタリング用ターゲットに含まれる結晶領域がａ−ｂ面から劈開し、ａ−ｂ面に平行な面を有する平板状またはペレット状のスパッタリング粒子として剥離することがある。この場合、当該平板状のスパッタリング粒子が、結晶状態を維持したまま基板に到達することで、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を成膜することができる。
【０１０５】
また、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を成膜するために、以下の条件を適用することが好ましい。
【０１０６】
成膜時の不純物混入を抑制することで、不純物によって結晶状態が崩れることを抑制できる。例えば、成膜室内に存在する不純物濃度（水素、水、二酸化炭素および窒素など）を低減すればよい。また、成膜ガスの不純物濃度を低減すればよい。具体的には、露点が−８０℃以下、好ましくは−１００℃以下である成膜ガスを用いる。
【０１０７】
また、成膜時の基板加熱温度を高めることで、基板到達後にスパッタリング粒子のマイグレーションが起こる。具体的には、基板加熱温度を１００℃以上基板歪み点未満、好ましくは２００℃以上５００℃以下として成膜する。成膜時の基板加熱温度を高めることで、平板状のスパッタリング粒子が基板に到達した場合、基板上でマイグレーションが起こり、スパッタリング粒子の平らな面が基板に付着する。
【０１０８】
また、成膜ガスの酸素割合を高め、電力を最適化することで成膜時のプラズマダメージを軽減すると好ましい。成膜ガスの酸素割合は、３０体積％以上、好ましくは１００体積％とする。
【０１０９】
スパッタリング用ターゲットの一例として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系金属酸化物ターゲットについて以下に示す。
【０１１０】
ＩｎＯＸ粉末、ＧａＯＹ粉末およびＺｎＯＺ粉末を所定のｍｏｌ比で混合し、加圧処理後、１０００℃以上１５００℃以下の温度で加熱処理をすることで多結晶であるＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系金属酸化物ターゲットとする。なお、Ｘ、ＹおよびＺは任意の正数である。ここで、所定のｍｏｌ比は、例えば、ＩｎＯＸ粉末、ＧａＯＹ粉末およびＺｎＯＺ粉末が、２：２：１、８：４：３、３：１：１、１：１：１、４：２：３または３：１：２である。なお、粉末の種類、およびその混合するｍｏｌ比は、作製するスパッタリング用ターゲットによって適宜変更すればよい。
【０１１１】
また、酸化物半導体膜を形成した後、加熱処理を行い、酸化物半導体膜の脱水素化または脱水化をしてもよい。加熱処理の温度は、代表的には、１５０℃以上５００℃以下、好ましくは２５０℃以上４５０℃以下、更に好ましくは３００℃以上４５０℃以下とする。
【０１１２】
加熱処理は、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノン、クリプトン等の希ガス、または窒素を含む不活性ガス雰囲気で行う。または、不活性ガス雰囲気で加熱した後、酸素雰囲気で加熱してもよい。なお、上記不活性雰囲気及び酸素雰囲気に水素、水などが含まれないことが好ましい。処理時間は３分〜２４時間とする。
【０１１３】
該加熱処理は、電気炉、ＲＴＡ装置等を用いることができる。ＲＴＡ装置を用いることで、短時間に限り、基板の歪み点以上の温度で熱処理を行うことができる。そのため加熱処理時間を短縮することができる。
【０１１４】
酸化物半導体膜を形成した後、加熱処理を行うことで、酸化物半導体膜において、水素濃度を５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、より好ましくは５×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下とすることができる。
【０１１５】
ここでは、スパッタリング法により、厚さ３５ｎｍの酸化物半導体膜を形成した後、当該酸化物半導体膜上にマスクを形成し、酸化物半導体膜の一部を選択的にエッチングする。次に、マスクを除去した後、窒素及び酸素雰囲気で加熱処理を行うことで、酸化物半導体膜１９を形成する。
【０１１６】
次に、図２（Ｃ）に示すように、一対の電極２１を形成する。
【０１１７】
一対の電極２１の形成方法を以下に示す。はじめに、スパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着法等で導電膜を形成する。次に、該導電膜上にフォトリソグラフィ工程によりマスクを形成する。次に、該マスクを用いて導電膜をエッチングして、一対の電極２１を形成する。この後、マスクを除去する。
【０１１８】
ここでは、厚さ５０ｎｍのタングステン膜、厚さ４００ｎｍのアルミニウム膜、及び厚さ１００ｎｍのチタン膜を順にスパッタリング法により積層する。次に、チタン膜上にフォトリソグラフィ工程によりマスクを形成し、当該マスクを用いてタングステン膜、アルミニウム膜、及びチタン膜をドライエッチングして、一対の電極２１を形成する。
【０１１９】
なお、一対の電極２１を形成した後、エッチング残渣を除去するため、洗浄処理をすることが好ましい。この洗浄処理を行うことで、一対の電極２１の短絡を抑制することができる。当該洗浄処理は、ＴＭＡＨ（Ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ  Ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ）溶液などのアルカリ性の溶液、フッ酸、シュウ酸などの酸性の溶液、または水を用いて行うことができる。
【０１２０】
次に、酸化物半導体膜１９及び一対の電極２１上に窒素を有する酸化絶縁膜２２を形成する。窒素を有する酸化絶縁膜２２は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着法等により形成することができる。プラズマＣＶＤ法を用いて窒素を有する酸化絶縁膜２２を形成する場合は、原料ガスとして、シリコンを含む堆積性気体及び酸化性気体を用いることが好ましい。シリコンを含む堆積性気体の代表例としては、シラン、ジシラン、トリシラン、フッ化シラン等がある。酸化性気体としては、一酸化二窒素、二酸化窒素等の窒素酸化物がある。酸化性気体として一酸化二窒素、二酸化窒素等の窒素酸化物を用いることで、酸化物半導体膜１９へのダメージを低減しつつ、窒素を有する酸化絶縁膜２２を形成することができる。また、一酸化二窒素、二酸化窒素等の窒素酸化物雰囲気で発生させたプラズマは、酸素雰囲気で発生させたプラズマと比較して酸化力が高いため、窒素を有する酸化絶縁膜２２において、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含ませることが可能である。なお、酸化性気体として、酸素を用いると、パーティクルが発生し、歩留まりが低下してしまうが、酸化性気体として、一酸化二窒素、二酸化窒素等の窒素酸化物を用いることで、パーティクルの発生を抑制することが可能である。一方で、酸化性気体として一酸化二窒素、二酸化窒素等の窒素酸化物を用いることで、酸化絶縁膜に窒素が微量に含まれた、窒素を有する酸化絶縁膜２２となる。
【０１２１】
ここでは、窒素を有する酸化絶縁膜２２として、プラズマＣＶＤ法により、窒素を有する酸化シリコン膜を形成する。
【０１２２】
次に、加熱処理を行って、窒素を有する酸化絶縁膜２２から窒素を放出させ、窒素を有する酸化絶縁膜２２の窒素濃度を低減する。この結果、図２（Ｅ）に示すように、窒素の濃度が、ＳＩＭＳ検出下限以上３×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上１×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である窒素を有する酸化絶縁膜２３を形成することができる。該加熱処理の温度は、代表的には、１５０℃以上５００℃以下、好ましくは２００℃以上４５０℃以下、更に好ましくは３００℃以上４５０℃以下とする。当該加熱処理により、窒素を有する酸化絶縁膜２２に含まれる窒素を放出させることができる。なお、当該加熱処理により、窒素を有する酸化絶縁膜２２から、水、水素等を脱離させることができる。
【０１２３】
ここでは、窒素及び酸素雰囲気で、３５０℃、１時間の加熱処理を行う。
【０１２４】
ここで、加熱処理によって、酸化物半導体膜１９及び窒素を有する酸化絶縁膜２２における窒素、水素、水の移動のモデルについて、図３及び図４を用いて説明する。なお、図３及び図４において、破線矢印は加熱により各原子が移動している様子を表し、実線矢印は加熱処理中または加熱処理前後の変化を表す。また、窒素を有する酸化絶縁膜２２として、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化絶縁膜を用いて説明する。
【０１２５】
図３は、窒素を有する酸化絶縁膜２２において、加熱処理により主に生じうるモデルを示す。
【０１２６】
図３（Ａ）は、加熱処理による窒素原子の挙動を示す。窒素を有する酸化絶縁膜２２に含まれる窒素原子（ここでは２つの窒素原子）が加熱処理により、窒素を有する酸化絶縁膜２２または表面において結合し、窒素分子となり、窒素を有する酸化絶縁膜２２から脱離するモデルである。
【０１２７】
図３（Ｂ）は、加熱処理による酸素原子の挙動を示すモデルである。窒素を有する酸化絶縁膜２２に含まれる、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素原子（ｅｘＯ、ここでは２つの酸素原子）が加熱処理により、窒素を有する酸化絶縁膜２２または表面において結合し、酸素分子となり、窒素を有する酸化絶縁膜２２から脱離する。
【０１２８】
図３（Ｃ）は、加熱処理による水素原子及び酸素原子の挙動を示すモデルである。窒素を有する酸化絶縁膜２２に含まれる、水素原子（ここでは２つの水素原子）と、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素原子ｅｘＯとが加熱処理により、窒素を有する酸化絶縁膜２２または表面において結合し、水分子となり、窒素を有する酸化絶縁膜２２から脱離する。
【０１２９】
図３（Ｄ）は、加熱処理による水分子の挙動を示すモデルである。窒素を有する酸化絶縁膜２２に含まれる水分子が加熱処理により、窒素を有する酸化絶縁膜２２から脱離する。
【０１３０】
以上のモデルのように、加熱処理によって、窒素を有する酸化絶縁膜２２から、窒素、水素、及び水の一以上が脱離することで、膜中の窒素、水素、及び水の一以上の含有量を低減することができる。
【０１３１】
次に、酸化物半導体膜１９において、加熱処理に生じうるモデルを、図４を用いて説明する。
【０１３２】
図４（Ａ）は、加熱処理による窒素原子の挙動を示すモデルである。酸化物半導体膜１９に含まれる窒素原子Ｎ（ここでは２つの窒素原子）が加熱処理により、酸化物半導体膜１９、酸化物半導体膜１９及び窒素を有する酸化絶縁膜２２の界面、または窒素を有する酸化絶縁膜２２若しくは表面において結合し、窒素分子となり、酸化物半導体膜１９から脱離する。
【０１３３】
図４（Ｂ）は、加熱処理による水素原子及び酸素原子の挙動を示すモデルである。酸化物半導体膜１９に含まれる水素原子Ｈ（ここでは２つの水素原子）が加熱処理により窒素を有する酸化絶縁膜２２に移動した後、窒素を有する酸化絶縁膜２２またはその表面において、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素原子ｅｘＯと結合し、水分子となり、窒素を有する酸化絶縁膜２２から脱離する。
【０１３４】
図４（Ｃ）は、加熱処理による水素原子及び酸素原子の別の挙動を示すモデルである。酸化物半導体膜１９に含まれる水素原子Ｈが、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素原子ｅｘＯと、加熱処理により、酸化物半導体膜１９、または酸化物半導体膜１９及び窒素を有する酸化絶縁膜２２の界面において結合し、水分子となり、窒素を有する酸化絶縁膜２２から脱離する。
【０１３５】
図４（Ｄ）及び図４（Ｅ）は、加熱処理による水素原子及び酸素原子の別の挙動を示すモデルである。酸化物半導体膜１９に含まれる水素原子Ｈと酸素原子Ｏとが、加熱処理により、酸化物半導体膜１９、酸化物半導体膜１９及び窒素を有する酸化絶縁膜２２の界面、または窒素を有する酸化絶縁膜２２若しくはその表面において結合し、水分子となり、窒素を有する酸化絶縁膜２２から脱離する。このとき、酸化物半導体膜１９において、酸素原子が脱離した位置は図４（Ｅ）に示すように、酸素欠損Ｖｏとなるが、窒素を有する酸化絶縁膜２２に含まれる化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素原子ｅｘＯが酸素欠損Ｖｏの位置へ移動し、酸素欠損Ｖｏを補填し、酸素原子Ｏとなる。
【０１３６】
以上のことから、加熱処理によって、酸化物半導体膜１９から、窒素、水素、水の一以上が脱離することで、膜中の窒素、水素、及び水の一以上の含有量を低減することができる。
【０１３７】
なお、図２（Ｃ）の工程に示す、酸化物半導体膜１９上に一対の電極２１を形成した後、酸化物半導体膜１９を酸素雰囲気で発生させたプラズマに曝し、酸化物半導体膜１９に酸素を供給して、酸素欠損の少ない酸化物半導体膜を形成してもよい。酸化雰囲気としては、酸素、オゾン、一酸化二窒素、二酸化窒素等の雰囲気がある。さらに、プラズマ処理において、基板１１側にバイアスを印加しない状態で発生したプラズマに酸化物半導体膜１９を曝すことが好ましい。この結果、酸化物半導体膜１９にダメージを与えず、且つ酸素を供給することが可能であり、酸化物半導体膜１９に含まれる酸素欠損量を低減することができる。また、一対の電極２１を形成する際のエッチング処理により酸化物半導体膜１９の表面に残存する不純物、例えば、フッ素、塩素等のハロゲン等を除去することができる。
【０１３８】
以上の工程により、図２（Ｅ）に示すように、酸化物半導体膜を有するトランジスタ上に、濃度の低い窒素を有する酸化絶縁膜２３を形成することができる。また、電気特性の変動が抑制され、信頼性が向上したトランジスタを作製することができる。
【０１３９】
＜変形例＞
【０１４０】
図５を用いて図１に示すトランジスタの変形例を説明する。
【０１４１】
図５に、半導体装置が有するトランジスタ２の断面図を示す。図５に示すトランジスタ２は、基板１１上に設けられるゲート電極１５と、基板１１及びゲート電極１５上に形成されるゲート絶縁膜１７と、ゲート絶縁膜１７を介して、ゲート電極１５と重なる酸化物半導体膜１９と、酸化物半導体膜１９に接する一対の電極２１とを有する。また、ゲート絶縁膜１７、酸化物半導体膜１９、及び一対の電極２１上には、窒素を有する酸化絶縁膜２３が形成され、窒素を有する酸化絶縁膜２３上に窒化絶縁膜２５が形成される。また、窒化絶縁膜２５上に平坦化膜２７が形成される。また、窒素を有する酸化絶縁膜２３、窒化絶縁膜２５、及び平坦化膜２７に形成される開口部３０において、一対の電極２１の一方と接続する導電膜２９を設けてもよい。
【０１４２】
窒化絶縁膜２５としては、厚さが５０ｎｍ以上２００ｎｍ以下の窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム等を用いることができる。なお、窒化絶縁膜２５として、ゲート絶縁膜１７の一例として示した、水素脱離量及びアンモニア脱離量の少ない窒化シリコン膜を設けることで、窒化絶縁膜２５に含まれるに含まれる水素及び窒素の、酸化物半導体膜１９への移動量を低減することが可能である。
【０１４３】
平坦化膜２７は、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、ポリイミド、ポリアミド等の有機材料を用いることができる。なお、これらの材料で形成される絶縁膜を複数積層させて、平坦化膜を形成してもよい。
【０１４４】
なお、窒素を有する酸化絶縁膜２３と平坦化膜２７との間に窒化絶縁膜２５を設けることで、窒化絶縁膜２５及び平坦化膜２７の密着性が向上するため、好ましい。
【０１４５】
導電膜２９は、一対の電極２１に示す材料を適宜用いることができる。また、導電膜２９は、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物（以下、ＩＴＯと示す。）、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する導電性材料を用いることができる。
【０１４６】
以上の工程により、酸化物半導体膜を有するトランジスタ上に、濃度の低い窒素を有する酸化絶縁膜を形成することができる。また、電気特性の変動が抑制され、信頼性が向上したトランジスタを作製することができる。
【０１４７】
なお、本実施の形態に示す構成及び方法などは、他の実施の形態及び実施例に示す構成及び方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０１４８】
（実施の形態２）
本実施の形態では、酸化物半導体膜への窒素の移動を抑制すると共に、酸化物半導体膜の酸素欠損を低減することが可能なトランジスタ及び保護膜の構造について、図６を用いて説明する。なお、実施の形態１と重複する構成に関しては説明を省略する。
【０１４９】
チャネル領域が形成される酸化物半導体膜を用いたトランジスタにおいて、酸化物半導体膜に含まれる欠陥の一例である酸素欠損は、一部がドナーとなりキャリアである電子を生じさせるとなる。この結果、酸化物半導体膜が低抵抗化し、トランジスタの電気特性の不良に繋がる。例えば、膜中に酸素欠損が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタは、しきい値電圧がマイナス方向に変動しやすく、ノーマリーオン特性となりやすい。この傾向はバックチャネル側で生じる酸素欠損において顕著である。なお、本実施の形態においては、バックチャネルは、酸化物半導体膜１９において、ゲート電極１５と対向する面と反対側の面、即ち、酸化物半導体膜１９において、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａとの界面近傍を指す。
【０１５０】
また、酸化物半導体膜に酸素欠損が含まれると、経時変化やバイアス温度ストレス試験（以下、ＢＴ（Ｂｉａｓ−Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ）ストレス試験ともいう。）により、トランジスタの電気特性、代表的にはしきい値電圧の変動量が増大してしまうという問題がある。
【０１５１】
このため、本実施の形態では、しきい値電圧のマイナスシフトを抑制した、優れた電気特性を有するトランジスタ及びその作製方法について、説明する。また、経時変化や光ＢＴストレス試験による電気特性の変動量の少ない、信頼性の高いトランジスタ及びその作製方法について、説明する。
【０１５２】
図６に、半導体装置が有するトランジスタ３の断面図を示す。図６に示すトランジスタ３は、基板１１上に設けられるゲート電極１５と、基板１１及びゲート電極１５上に形成されるゲート絶縁膜１７と、ゲート絶縁膜１７を介して、ゲート電極１５と重なる酸化物半導体膜１９と、酸化物半導体膜１９に接する一対の電極２１とを有する。また、ゲート絶縁膜１７、酸化物半導体膜１９、及び一対の電極２１上には、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａ及び窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂが形成される。なお、ここでは、トランジスタ３上に窒素を有する酸化絶縁膜２４ａ及び窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂを積層して形成しているが、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａ及び窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂの一方を有してもよい。
【０１５３】
本実施の形態に示すトランジスタ３において、酸化物半導体膜１９に接するように、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａが形成されている。窒素を有する酸化絶縁膜２４ａは、酸素を透過する酸化絶縁膜である。なお、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａは、後に形成する窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂを形成する際の、酸化物半導体膜１９へのダメージ緩和膜としても機能する。
【０１５４】
酸素を透過する酸化絶縁膜としては、厚さが５ｎｍ以上１５０ｎｍ以下、好ましくは５ｎｍ以上５０ｎｍ以下、好ましくは１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下の酸化窒化シリコン等を用いることができる。
【０１５５】
また、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａは、欠陥量が少ないことが好ましく、代表的には、ＥＳＲ測定により、シリコンのダングリングボンドに由来するｇ＝２．００１に現れる信号のスピン密度が３×１０１７ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３以下であることが好ましい。これは、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａに含まれる欠陥密度が多いと、当該欠陥に酸素が結合してしまい、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａにおける酸素の透過量が減少してしまうためである。
【０１５６】
また、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａと酸化物半導体膜１９との界面における欠陥量が少ないことが好ましく、代表的には、ＥＳＲ測定により、酸化物半導体膜の欠陥に由来するｇ＝１．９３に現れる信号のスピン密度が１×１０１７ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３以下、さらには検出下限以下であることが好ましい。
【０１５７】
なお、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａにおいては、外部から窒素を有する酸化絶縁膜２４ａに入った酸素が全て窒素を有する酸化絶縁膜２４ａの外部に移動せず、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａにとどまる酸素もある。また、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａに酸素が入ると共に、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａに含まれる酸素が窒素を有する酸化絶縁膜２４ａの外部へ移動することで、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａにおいて酸素の移動が生じる場合もある。
【０１５８】
窒素を有する酸化絶縁膜２４ａとして酸素を透過する酸化絶縁膜を形成すると、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａ上に設けられる、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む、窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂから脱離される酸素を、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａを介して酸化物半導体膜１９に移動させることができる。
【０１５９】
窒素を有する酸化絶縁膜２４ａに接するように窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂが形成されている。窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂは、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化絶縁膜を用いて形成する。化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化絶縁膜は、加熱により酸素の一部が脱離する。化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化絶縁膜は、ＴＤＳ分析にて、酸素原子に換算しての酸素の脱離量が１．０×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上、好ましくは３．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上である酸化絶縁膜である。
【０１６０】
窒素を有する酸化絶縁膜２４ａとしては、プラズマＣＶＤ装置の真空排気された処理室内に載置された基板を１８０℃以上４００℃以下、さらに好ましくは２００℃以上３７０℃以下に保持し、処理室に原料ガスを導入して処理室内における圧力を３０Ｐａ以上２５０Ｐａ以下、さらに好ましくは４０Ｐａ以上２００Ｐａ以下とし、処理室内に設けられる電極に高周波電力を供給する条件により、酸化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜を形成することができる。
【０１６１】
なお、シリコンを含む堆積性気体に対する酸化性気体量を１００倍以上とすることで、窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂに含まれる水素含有量を低減することが可能である。この結果、窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂに混入する水素量を低減できるため、トランジスタのしきい値電圧のマイナスシフトを抑制することができる。
【０１６２】
窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂとしては、厚さが３０ｎｍ以上５００ｎｍ以下、好ましくは５０ｎｍ以上４００ｎｍ以下の、酸化シリコン、酸化窒化シリコン等を用いることができる。
【０１６３】
また、窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂは、欠陥量が少ないことが好ましく、代表的には、ＥＳＲ測定により、シリコンのダングリングボンドに由来するｇ＝２．００１に現れる信号のスピン密度が１．５×１０１８ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３未満、更には１×１０１８ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３以下であることが好ましい。なお、窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂは、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａと比較して酸化物半導体膜１９から離れているため、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａより、欠陥密度が多くともよい。
【０１６４】
窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂとしては、プラズマＣＶＤ装置の真空排気された処理室内に載置された基板を１８０℃以上２６０℃以下、さらに好ましくは２００℃以上２４０℃以下に保持し、処理室に原料ガスを導入して処理室内における圧力を１００Ｐａ以上２５０Ｐａ以下、さらに好ましくは１００Ｐａ以上２００Ｐａ以下とし、処理室内に設けられる電極に０．１７Ｗ／ｃｍ２以上０．５Ｗ／ｃｍ２以下、さらに好ましくは０．２５Ｗ／ｃｍ２以上０．３５Ｗ／ｃｍ２以下の高周波電力を供給する条件により、酸化窒化シリコン膜を形成する。
【０１６５】
窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂの成膜条件として、上記圧力の処理室において上記パワー密度の高周波電力を供給することで、プラズマ中で原料ガスの分解効率が高まり、酸素ラジカルが増加し、原料ガスの酸化が進むため、窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂにおける酸素含有量が化学量論比よりも多くなる。一方、基板温度が、上記温度で形成された膜では、シリコンと酸素の結合力が弱いため、後の工程の加熱により膜中の酸素の一部が脱離する。この結果、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含み、加熱により酸素の一部が脱離する酸化絶縁膜を形成することができる。また、酸化物半導体膜１９上に窒素を有する酸化絶縁膜２４ａが設けられている。このため、窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂの形成工程において、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａが酸化物半導体膜１９へのダメージ緩和膜として機能する。この結果、酸化物半導体膜１９へのダメージを低減しつつ、パワー密度の高い高周波電力を用いて窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂを形成することができる。
【０１６６】
窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂとして、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化絶縁膜を形成することで、酸化物半導体膜１９に酸素を移動させ、酸化物半導体膜１９に含まれる酸素欠損を低減することが可能である。または、加熱しながら窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂを、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａ上に形成することで、酸化物半導体膜１９に酸素を移動させ、酸化物半導体膜１９に含まれる酸素欠損を低減することが可能である。または、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａ上に窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂを形成した後加熱処理することより、酸素を酸化物半導体膜１９に移動させ、酸化物半導体膜１９に含まれる酸素欠損を低減することが可能である。
【０１６７】
次に、加熱処理による、酸化物半導体膜１９の酸素欠損の変化のモデルについて、図７を用いて説明する。なお、図７において、破線矢印は加熱により各原子が移動している様子を表し、実線矢印は加熱処理前後の変化を表す。
【０１６８】
化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素が酸化物半導体膜１９に移動すると、第１の酸素原子の位置から第１の酸素原子を押し出す。また、追い出された第１の酸素原子は第２の酸素原子の位置へ移動し、第２の酸素原子を押し出す。このように、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素が酸化物半導体膜１９に移動すると、複数の酸素原子の間において、酸素原子の押し出しが順に繰り返される。図７においては、複数の酸素原子の間における酸素原子の押し出しを省略し、酸化物半導体膜１９に含まれる３つの酸素欠損（Ｖｏ＿１〜Ｖｏ＿３）と、窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂに含まれる酸素、代表的には、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素原子（ｅｘＯ＿１〜ｅｘＯ＿３）を用いて、酸素欠損の変化のモデルについて説明する。
【０１６９】
図７（Ａ）は、加熱処理による、酸素欠損Ｖｏ＿１と、酸素原子ｅｘＯ＿１との反応を示す。化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素原子ｅｘＯ＿１が、加熱処理により、酸化物半導体膜１９に含まれる酸素欠損Ｖｏ＿１の位置に移動し、酸素欠損Ｖｏ＿１を補填し、酸素原子Ｏ＿１となる。
【０１７０】
次に、図７（Ｂ）に示すように、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素原子ｅｘＯ＿２が、酸化物半導体膜１９に含まれる酸素原子Ｏ＿１の位置に近づくと、酸素原子Ｏ＿１の位置から、酸素原子Ｏが脱離する。脱離した酸素原子Ｏは、酸素欠損Ｖｏ＿２の位置へ移動し、酸素欠損Ｖｏ＿２を補填し、酸素原子Ｏ＿２となる。一方、酸素原子が脱離した酸素原子Ｏ＿１の位置は酸素欠損となるが、当該酸素欠損の位置に酸素原子ｅｘＯ＿２が移動し、Ｏ＿１となる。
【０１７１】
次に、図７（Ｃ）に示すように、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素原子ｅｘＯ＿３が、酸化物半導体膜１９に含まれる酸素原子Ｏ＿１の位置に近づくと、酸素原子Ｏ＿１の位置から、酸素原子Ｏが脱離する。脱離した酸素原子Ｏは、酸素原子Ｏ＿２の位置へ移動する。酸素原子Ｏ＿２から酸素原子Ｏが脱離する。脱離した酸素原子Ｏは、酸素欠損Ｖｏ＿３を補填し、酸素原子Ｏ＿３となる。一方、酸素原子が脱離した酸素原子Ｏ＿１の位置は酸素欠損となるが、当該酸素欠損を酸素原子ｅｘＯ＿２が移動し、Ｏ＿１となる。また、酸素原子が脱離した酸素原子Ｏ＿２の位置においても同様に、酸素欠損となるが、当該酸素欠損を酸素原子Ｏ＿１から脱離した酸素が移動し、Ｏ＿２となる。
【０１７２】
以上の工程により、窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂの酸素が酸化物半導体膜１９に含まれる酸素欠損を補填することが可能である。また、酸化物半導体膜１９の表面にある酸素欠損だけでなく、膜中の酸素欠損も加熱処理により補填される。以上のことから、加熱しながら窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂを形成することで、または酸素を含む酸化絶縁膜２４ｂを設けた後加熱処理をすることで、酸化物半導体膜１９に含まれる酸素欠損量を低減することが可能である。
【０１７３】
また、酸化物半導体膜１９のバックチャネルに窒素を有する酸化絶縁膜２４ａとして設けた酸素を透過する酸化絶縁膜を介して、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化絶縁膜を設けることで、酸化物半導体膜１９のバックチャネル側に酸素を移動させることが可能であり、当該領域の酸素欠損を低減することができる。
【０１７４】
なお、窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂの形成工程において、酸化物半導体膜１９にダメージが入らない場合は、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａを設けず、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化絶縁膜である窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂのみを保護膜として設けてもよい。
【０１７５】
以上の工程により、電気特性の変動が抑制され、信頼性が向上したトランジスタを作製することができる。また、経時変化や光ＢＴストレス試験による電気特性の変動量が小さい、代表的にはしきい値電圧の変動量が小さく、信頼性の高いトランジスタを作製することができる。
【０１７６】
なお、本実施の形態に示す構成及び方法などは、他の実施の形態及び実施例に示す構成及び方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０１７７】
（実施の形態３）
本実施の形態では、実施の形態１及び実施の形態４と異なる構造のトランジスタについて、図８を用いて説明する。本実施の形態に示すトランジスタ４は、酸化物半導体膜を介して対向する複数のゲート電極を有することを特徴とする。
【０１７８】
図８に示すトランジスタ４は、基板１１上に設けられるゲート電極１５と、基板１１及びゲート電極１５上に形成されるゲート絶縁膜１７と、ゲート絶縁膜１７を介して、ゲート電極１５と重なる酸化物半導体膜１９と、酸化物半導体膜１９に接する一対の電極２１と、を有する。また、ゲート絶縁膜１７、酸化物半導体膜１９、及び一対の電極２１上には、窒素を有する酸化絶縁膜２３及び窒化絶縁膜２５で構成されるゲート絶縁膜２６が形成される。また、ゲート絶縁膜２６を介して酸化物半導体膜１９と重畳するゲート電極６１を有する。
【０１７９】
ゲート電極６１は、実施の形態１に示すゲート電極１５と同様に形成することができる。
【０１８０】
本実施の形態に示すトランジスタ５は、酸化物半導体膜１９を介して対向するゲート電極１５及びゲート電極６１を有する。ゲート電極１５とゲート電極６１に異なる電位を印加することで、トランジスタ５のしきい値電圧を制御することができる。または、ゲート電極１５及びゲート電極６１に同電位を印加することで、トランジスタ５のオン電流を増加させることができる。また、酸化物半導体膜１９及びゲート電極６１の間に、昇温脱離ガス分析法において、水素分子の脱離量が５×１０２１分子／ｃｍ３未満、好ましくは３×１０２１分子／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０２１分子／ｃｍ３以下であり、且つアンモニア分子の脱離量が１×１０２２分子／ｃｍ３未満、好ましくは５×１０２１分子／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０２１分子／ｃｍ３以下である窒化絶縁膜を設けることで、窒化絶縁膜から酸化物半導体膜１９への水素及びアンモニアの移動量が少なく、酸化物半導体膜１９の水素及び窒素の濃度を低減することができる。また、酸化物半導体膜１９及びゲート電極６１の間に窒化絶縁膜２５を設けられているため、外部から酸化物半導体膜１９への水の侵入を抑制することができる。即ち、酸化物半導体膜１９への水に含まれる水素の侵入を抑制することができる。以上の結果、しきい値電圧のマイナスシフトを抑制することができると共に、電気特性のばらつきを低減することができる。
【０１８１】
なお、本実施の形態に示す構成及び方法などは、他の実施の形態及び実施例に示す構成及び方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０１８２】
（実施の形態４）
本実施の形態では、実施の形態１及び実施の形態２と異なる構造のトランジスタについて、図９を用いて説明する。本実施の形態に示すトランジスタ５、６は、実施の形態１及び実施の形態２に示すトランジスタと比較して、トップゲート構造のトランジスタである点が異なる。
【０１８３】
図９（Ａ）乃至図９（Ｃ）に、トランジスタ５、６の上面図及び断面図を示す。図９（Ａ）はトランジスタ５，６の上面図であり、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）の一点鎖線Ａ−Ｂ間におけるトランジスタ５の断面図である。図９（Ｃ）は、図９（Ａ）の一点鎖線Ａ−Ｂ間におけるトランジスタ６の断面図である。なお、図９（Ａ）では、明瞭化のため、基板３１、下地絶縁膜３３、ゲート絶縁膜３７、窒素を有する酸化絶縁膜４１などを省略している。
【０１８４】
図９（Ｂ）に示すトランジスタ５は、下地絶縁膜３３上に形成される酸化物半導体膜３４と、酸化物半導体膜３４に接する一対の電極３５と、下地絶縁膜３３、酸化物半導体膜３４、及び一対の電極３５に接するゲート絶縁膜３７と、ゲート絶縁膜３７を介して酸化物半導体膜３４と重なるゲート電極３９とを有する。また、ゲート絶縁膜３７及びゲート電極３９上には、窒素を有する酸化絶縁膜４１が形成される。
【０１８５】
図９（Ｃ）に示すトランジスタ６は、基板３１上に設けられる下地絶縁膜３３と、下地絶縁膜３３上に形成される酸化物半導体膜３４と、酸化物半導体膜３４に接する一対の電極３５と、下地絶縁膜３３、酸化物半導体膜３４、及び一対の電極３５に接する、窒素を有する酸化絶縁膜で形成されるゲート絶縁膜３８と、ゲート絶縁膜３８を介して酸化物半導体膜３４と重なるゲート電極３９とを有する。また、ゲート絶縁膜３７及びゲート電極３９上には、窒素を有する酸化絶縁膜４１が形成される。
【０１８６】
窒素を有する酸化絶縁膜４１、及び窒素を有する酸化絶縁膜で形成されるゲート絶縁膜３８は、実施の形態１に示す窒素を有する酸化絶縁膜２３を適宜用いることができる。窒素を有する酸化絶縁膜４１、窒素を有する酸化絶縁膜で形成されるゲート絶縁膜３８は、二次イオン質量分析法により得られる窒素濃度がＳＩＭＳ検出下限以上３×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上１×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である。窒素を有する酸化絶縁膜４１に含まれる窒素量が少ないため、トランジスタ５に含まれる酸化物半導体膜３４への窒素の移動量が少なく、窒素を有する酸化絶縁膜４１の欠陥量が少ない。
【０１８７】
酸化物半導体膜３４に窒素が含まれると、酸化物半導体膜３４において、キャリアである電子が生じ、キャリア密度が増加し、ｎ型化しやすい。この結果、酸化物半導体膜３４を有するトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。酸化物半導体膜３４上に設けられる窒素を有する酸化絶縁膜４１、及び窒素を有する酸化絶縁膜で形成されるゲート絶縁膜３８の窒素の濃度をＳＩＭＳ検出下限以上３×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上１×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下とすることで、酸化物半導体膜３４へ移動する窒素量を減らすことが可能であり、酸化物半導体膜３４の窒素量を極めて減らすことにより、しきい値電圧のマイナスシフトを抑制することができると共に、電気特性のばらつきを低減することができる。また、トランジスタのソース及びドレインにおけるリーク電流を、代表的には、オフ電流を低減することが可能である。また、窒素を有する酸化絶縁膜４１の窒素濃度を低減することで、窒素を有する酸化絶縁膜４１の欠陥量を低減することが可能であり、トランジスタの電気特性の変動量を低減すると共に、異なるドレイン電圧において、オン電流の立ち上がりゲート電圧（Ｖｇ）を略同一とすることができる。
【０１８８】
以下に、トランジスタ５、６の他の構成の詳細について説明する。
【０１８９】
基板３１は、実施の形態１に示す基板１１に列挙する基板を適宜用いることができる。
【０１９０】
下地絶縁膜３３は、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化絶縁膜を用いて形成することが好ましい。化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化絶縁膜は、加熱処理により酸化物半導体膜に酸素を拡散させることができる。下地絶縁膜３３の代表例としては、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、酸化イットリウム、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム等がある。
【０１９１】
下地絶縁膜３３は、５０ｎｍ以上、好ましくは２００ｎｍ以上３０００ｎｍ以下、好ましくは３００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下とする。下地絶縁膜３３を厚くすることで、下地絶縁膜３３の酸素脱離量を増加させることができると共に、下地絶縁膜３３及び後に形成される酸化物半導体膜との界面における界面準位を低減することが可能である。
【０１９２】
ここで、「加熱により酸素の一部が脱離する」とは、ＴＤＳ分析にて、酸素原子に換算しての酸素の脱離量が１．０×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上、好ましくは３．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上であることをいう。
【０１９３】
ここで、ＴＤＳ分析にて、酸素原子に換算しての酸素の脱離量の測定方法について、以下に説明する。
【０１９４】
ＴＤＳ分析したときの気体の脱離量は、イオン強度の積分値に比例する。このため、絶縁膜のイオン強度の積分値と、標準試料の基準値に対する比とにより、気体の脱離量を計算することができる。標準試料の基準値とは、所定の原子を含む試料の、イオン強度の積分値に対する原子の密度の割合である。
【０１９５】
例えば、標準試料である所定の密度の水素を含むシリコンウェハのＴＤＳ分析結果、及び絶縁膜のＴＤＳ分析結果から、絶縁膜の酸素分子の脱離量（ＮＯ２）は、数式１で求めることができる。ここで、ＴＤＳ分析で得られる質量数３２で検出されるイオン強度の全てが酸素分子由来と仮定する。質量数３２のものとしてＣＨ３ＯＨがあるが、存在する可能性が低いものとしてここでは考慮しない。また、酸素原子の同位体である質量数１７の酸素原子及び質量数１８の酸素原子を含む酸素分子についても、自然界における存在比率が極微量であるため考慮しない。
【０１９６】
【数１】
2014042004.tif 000003
【０１９７】
ＮＨ２は、標準試料から脱離した水素分子を密度で換算した値である。ＳＨ２は、標準試料をＴＤＳ分析したときのイオン強度の積分値である。ここで、標準試料の基準値を、ＮＨ２／ＳＨ２とする。ＳＯ２は、絶縁膜をＴＤＳ分析したときのイオン強度の積分値である。αは、ＴＤＳ分析におけるイオン強度に影響する係数である。数式１の詳細に関しては、特開平６−２７５６９７公報を参照する。なお、上記絶縁膜の酸素の脱離量は、電子科学株式会社製の昇温脱離分析装置ＥＭＤ−ＷＡ１０００Ｓ／Ｗを用い、標準試料として１×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ２の水素原子を含むシリコンウェハを用いて測定する。
【０１９８】
また、ＴＤＳ分析において、酸素の一部は酸素原子として検出される。酸素分子と酸素原子の比率は、酸素分子のイオン化率から算出することができる。なお、上述のαは酸素分子のイオン化率を含むため、酸素分子の脱離量を評価することで、酸素原子の脱離量についても見積もることができる。
【０１９９】
なお、ＮＯ２は酸素分子の脱離量である。絶縁膜においては、酸素原子に換算したときの酸素の脱離量は、酸素分子の脱離量の２倍となる。
【０２００】
上記構成において、加熱により酸素放出される絶縁膜は、酸素が過剰な酸化シリコン（ＳｉＯＸ（ｘ＞２））であってもよい。酸素が過剰な酸化シリコン（ＳｉＯＸ（ｘ＞２））とは、シリコン原子数の２倍より多い酸素原子を単位体積当たりに含むものである。単位体積当たりのシリコン原子数及び酸素原子数は、ラザフォード後方散乱法により測定した値である。
【０２０１】
下地絶縁膜３３から酸化物半導体膜３４に酸素が供給されることで、下地絶縁膜３３及び酸化物半導体膜３４の界面準位を低減できる。この結果、トランジスタの動作などに起因して生じうる電荷などが、上述の下地絶縁膜３３及び酸化物半導体膜３４の界面に捕獲されることを抑制することができ、電気特性の劣化の少ないトランジスタを得ることができる。
【０２０２】
さらに、酸化物半導体膜３４の酸素欠損に起因して電荷が生じる場合がある。一般に、酸化物半導体膜の酸素欠損は、一部がドナーとなりキャリアである電子を生じる。この結果、トランジスタのしきい値電圧がマイナス方向にシフトしてしまう。この傾向はバックチャネル側で生じる酸素欠損において顕著である。なお、本実施の形態におけるバックチャネルとは、図９に示す酸化物半導体膜３４において下地絶縁膜３３との界面近傍を指す。下地絶縁膜３３から酸化物半導体膜３４に酸素が十分に供給されることにより、しきい値電圧がマイナス方向へシフトする要因である、酸化物半導体膜３４の酸素欠損を低減することができる。
【０２０３】
酸化物半導体膜３４は、実施の形態１に示す酸化物半導体膜１９と同様に形成することができる。
【０２０４】
一対の電極３５は、実施の形態１に示す一対の電極２１と同様に形成することができる。
【０２０５】
なお、本実施の形態では、一対の電極３５を酸化物半導体膜３４及びゲート絶縁膜３７の間に設けたが、下地絶縁膜３３及び酸化物半導体膜３４の間に設けてもよい。
【０２０６】
ゲート絶縁膜３７は、実施の形態１に示すゲート絶縁膜１７と同様に形成することができる。
【０２０７】
ゲート電極３９は、実施の形態１に示すゲート電極１５と同様に形成することができる。
【０２０８】
次に、図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示すトランジスタの作製方法について、図１０を用いて説明する。
【０２０９】
図１０（Ａ）に示すように、基板３１上に下地絶縁膜３３を形成する。次に、下地絶縁膜３３上に酸化物半導体膜３４を形成する。
【０２１０】
下地絶縁膜３３は、スパッタリング法、ＣＶＤ法等により形成する。
【０２１１】
下地絶縁膜３３として、加熱により酸素の一部が脱離する酸化絶縁膜をスパッタリング法により形成する場合は、成膜ガスの酸素量が高いことが好ましく、酸素、または酸素及び希ガスの混合ガス等を用いることができる。代表的には、成膜ガスの酸素濃度を６％以上１００％以下にすることが好ましい。
【０２１２】
また、下地絶縁膜３３としてＣＶＤ法で酸化絶縁膜を形成する場合、原料ガス由来の水素または水が酸化絶縁膜に混入される場合がある。このため、ＣＶＤ法で酸化絶縁膜を形成した後、脱水素化または脱水化として、加熱処理を行うことが好ましい。
【０２１３】
さらに、ＣＶＤ法で形成した酸化絶縁膜に、酸素を導入することで、加熱により脱離する酸素量を増加させることができる。酸化絶縁膜に酸素を導入する方法としては、イオン注入法、イオンドーピング法、プラズマイマージョンイオンインプランテーション法、プラズマ処理等がある。
【０２１４】
また、酸化物半導体膜３４がＣＡＡＣ−ＯＳ膜の場合、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に含まれる結晶部の配向を高めるためには、酸化物半導体膜の下地絶縁膜である、下地絶縁膜３３の表面の平坦性を高めることが好ましい。代表的には、下地絶縁膜３３の平均面粗さ（Ｒａ）が１ｎｍ以下、０．３ｎｍ以下、または０．１ｎｍ以下とすることが好ましい。
【０２１５】
下地絶縁膜３３の表面の平坦性を高める平坦化処理としては、化学的機械的研磨（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：ＣＭＰ）処理、ドライエッチング処理、真空のチャンバーに不活性ガス、例えばアルゴンガスを導入し、被処理面を陰極とする電界をかけて、表面の微細な凹凸を平坦化するプラズマ処理（いわゆる逆スパッタ）等の一または複数を適用することができる。
【０２１６】
酸化物半導体膜３４は、実施の形態１に示す酸化物半導体膜１９と同様の形成方法を適宜用いることができる。
【０２１７】
次に、加熱処理を行うことが好ましい。当該加熱処理により、下地絶縁膜３３に含まれる酸素の一部を、下地絶縁膜３３及び酸化物半導体膜３４の界面近傍に拡散させることができる。この結果、下地絶縁膜３３及び酸化物半導体膜３４の界面近傍における界面準位を低減することができる。
【０２１８】
加熱処理の温度は、代表的には、１５０℃以上５００℃以下、好ましくは２５０℃以上４５０℃以下、更に好ましくは３００℃以上４５０℃以下とする。
【０２１９】
加熱処理は、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノン、クリプトン等の希ガス、または窒素を含む不活性ガス雰囲気で行う。または、不活性ガス雰囲気で加熱した後、酸素雰囲気で加熱してもよい。なお、上記不活性雰囲気及び酸素雰囲気に水素、水などが含まれないことが好ましい。処理時間は３分〜２４時間とする。
【０２２０】
次に、図１０（Ｂ）に示すように、一対の電極３５を形成する。一対の電極３５は実施の形態１に示す一対の電極２１と同様の形成方法を適宜用いることができる。または、印刷法またはインクジェット法により一対の電極３５を形成することができる。
【０２２１】
次に、図１０（Ｃ）に示すように、酸化物半導体膜３４及び一対の電極３５上にゲート絶縁膜３７を形成する。次に、ゲート絶縁膜３７上にゲート電極３９を形成する。ゲート絶縁膜３７及びゲート電極３９はそれぞれ、実施の形態１に示すゲート絶縁膜１７及びゲート電極１５と同様の形成方法を適宜用いることができる。
【０２２２】
次に、ゲート絶縁膜３７及びゲート電極３９上に窒素を有する酸化絶縁膜４０を形成する。窒素を有する酸化絶縁膜４０は実施の形態１に示す窒素を有する酸化絶縁膜２２と同様の形成方法を適宜用いることができる。
【０２２３】
次に、実施の形態１と同様に、加熱処理を行って、窒素を有する酸化絶縁膜４０から窒素を放出させる。該加熱処理の温度は、代表的には、１５０℃以上５００℃以下、好ましくは２００℃以上４５０℃以下、更に好ましくは３００℃以上４５０℃以下とする。当該加熱処理により、窒素を有する酸化絶縁膜４０に含まれる窒素を放出させる。なお、当該加熱処理により、窒素を有する酸化絶縁膜４０から、水、水素等を脱離させることが可能である。
【０２２４】
以上の工程により、図１０（Ｄ）に示すように、酸化物半導体膜を有するトランジスタ上に、濃度の低い窒素を有する酸化絶縁膜４１を形成することができる。また、電気特性の変動が抑制され、信頼性が向上したトランジスタを作製することができる。
【０２２５】
＜変形例＞
図１１を用いて図９に示すトランジスタの変形例を説明する。
【０２２６】
図１１に、半導体装置が有するトランジスタ７の断面図を示す。図１１に示すトランジスタ７は、基板３１上に設けられる下地絶縁膜３３と、下地絶縁膜３３上に形成される酸化物半導体膜３４と、酸化物半導体膜３４に接する一対の電極３５とを有する。また、ゲート絶縁膜３７と、ゲート絶縁膜３７を介して酸化物半導体膜３４と重なるゲート電極３９とを有する。また、ゲート絶縁膜３７及びゲート電極３９上には、窒素を有する酸化絶縁膜４１が形成され、窒素を有する酸化絶縁膜４１上に窒化絶縁膜４２が形成される。また、窒化絶縁膜４２上に平坦化膜４３が形成される。また、ゲート絶縁膜３７、窒素を有する酸化絶縁膜４１、窒化絶縁膜４２、及び平坦化膜４３に形成される開口部４４において、一対の電極３５の一方と接続する導電膜４５を設けてもよい。
【０２２７】
窒化絶縁膜４２としては、実施の形態１に示す窒化絶縁膜２５を適宜用いることができる。
【０２２８】
平坦化膜４３としては、実施の形態１に示す平坦化膜２７を適宜用いることができる。
【０２２９】
なお、窒素を有する酸化絶縁膜４１と平坦化膜４３との間に窒化絶縁膜４２を設けることで、窒化絶縁膜４２及び平坦化膜４３の密着性が向上するため、好ましい。
【０２３０】
導電膜４５は、実施の形態１に示す導電膜２９を適宜用いることができる。
【０２３１】
以上の工程により、酸化物半導体膜を有するトランジスタ上に、濃度の低い窒素を有する酸化絶縁膜を形成することができる。また、電気特性の変動が抑制され、信頼性が向上したトランジスタを作製することができる。
【０２３２】
なお、本実施の形態に示す構成及び方法などは、他の実施の形態及び実施例に示す構成及び方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０２３３】
（実施の形態５）
本実施の形態では、実施の形態４とは異なる窒素を有する酸化絶縁膜の構造について、図１２を用いて説明する。
【０２３４】
図１２に示すトランジスタ８は、基板３１上に設けられる下地絶縁膜３３と、下地絶縁膜３３上に形成される酸化物半導体膜３４と、酸化物半導体膜３４に接する一対の電極３５とを有する。また、ゲート絶縁膜３７と、ゲート絶縁膜３７を介して酸化物半導体膜３４と重なるゲート電極３９とを有する。また、ゲート絶縁膜３７及びゲート電極３９上には、窒素を有する酸化絶縁膜４３ａ及び窒素を有する酸化絶縁膜４３ｂが形成される。なお、ここでは、トランジスタ８上に窒素を有する酸化絶縁膜４３ａ及び窒素を有する酸化絶縁膜４３ｂを積層して形成しているが、窒素を有する酸化絶縁膜４３ａ及び窒素を有する酸化絶縁膜４３ｂの一方を有してもよい。
【０２３５】
本実施の形態に示すトランジスタ８において、ゲート絶縁膜３７及びゲート電極３９上に、窒素を有する酸化絶縁膜４３ａが形成されている。窒素を有する酸化絶縁膜４３ａは、実施の形態２に示す、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａと同様に、酸素を透過する酸化絶縁膜である。
【０２３６】
また、窒素を有する酸化絶縁膜４３ａに接するように窒素を有する酸化絶縁膜４３ｂが形成されている。窒素を有する酸化絶縁膜４３ｂは、実施の形態２に示す、窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂと同様に、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化絶縁膜である。
【０２３７】
化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化絶縁膜は、加熱により酸素の一部が脱離する酸化絶縁膜である。このため、加熱しながら、窒素を有する酸化絶縁膜４３ｂを、窒素を有する酸化絶縁膜４３ａ上に形成することで、酸化物半導体膜３４に酸素を移動させ、酸化物半導体膜３４に含まれる酸素欠損を低減することが可能である。または、窒素を有する酸化絶縁膜４３ａ上に、窒素を有する酸化絶縁膜４３ｂを形成した後、加熱処理することより、酸素を酸化物半導体膜３４に移動させ、酸化物半導体膜３４に含まれる酸素欠損を低減することが可能である。
【０２３８】
なお、窒素を有する酸化絶縁膜４３ｂの形成工程において、酸化物半導体膜３４にダメージが入らない場合は、窒素を有する酸化絶縁膜４３ａを設けず、加熱により酸素の一部が脱離する酸化絶縁膜である窒素を有する酸化絶縁膜４３ｂのみを設けてもよい。
【０２３９】
以上の工程により、電気特性の変動が抑制され、信頼性が向上したトランジスタを作製することができる。また、経時変化や光ＢＴストレス試験による電気特性の変動量が小さく、代表的にはしきい値電圧の変動量が小さく、信頼性の高いトランジスタを作製することができる。
【０２４０】
なお、本実施の形態に示す構成及び方法などは、他の実施の形態及び実施例に示す構成及び方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０２４１】
（実施の形態６）
上記実施の形態で一例を示したトランジスタを用いて表示機能を有する半導体装置（表示装置ともいう。）を作製することができる。また、トランジスタを含む駆動回路の一部または全体を、画素部と同じ基板上に一体形成し、システムオンパネルを形成することができる。本実施の形態では、上記実施の形態で一例を示したトランジスタを用いた表示装置の例について、図１３乃至図１６を用いて説明する。なお、図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）及び図１５は、図１３（Ｂ）中でＭ−Ｎの一点鎖線で示した部位の断面構成を示す断面図である。なお、図１４及び図１５において、画素部の構造は一部のみ記載している。
【０２４２】
図１３（Ａ）において、第１の基板９０１上に設けられた画素部９０２を囲むようにして、シール材９０５が設けられ、第２の基板９０６によって封止されている。図１３（Ａ）においては、第１の基板９０１上のシール材９０５によって囲まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に単結晶半導体または多結晶半導体で形成された信号線駆動回路９０３、及び走査線駆動回路９０４が実装されている。また、信号線駆動回路９０３、走査線駆動回路９０４、または画素部９０２に与えられる各種信号及び電位は、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ）９１８ａ、ＦＰＣ９１８ｂから供給されている。
【０２４３】
図１３（Ｂ）及び図１３（Ｃ）において、第１の基板９０１上に設けられた画素部９０２と、走査線駆動回路９０４とを囲むようにして、シール材９０５が設けられている。また画素部９０２と、走査線駆動回路９０４の上に第２の基板９０６が設けられている。よって画素部９０２と、走査線駆動回路９０４とは、第１の基板９０１とシール材９０５と第２の基板９０６とによって、表示素子と共に封止されている。図１３（Ｂ）及び図１３（Ｃ）においては、第１の基板９０１上のシール材９０５によって囲まれている領域とは異なる領域に、別途用意された基板上に単結晶半導体または多結晶半導体で形成された信号線駆動回路９０３が実装されている。図１３（Ｂ）及び図１３（Ｃ）においては、信号線駆動回路９０３、走査線駆動回路９０４、または画素部９０２に与えられる各種信号及び電位は、ＦＰＣ９１８から供給されている。
【０２４４】
また、図１３（Ｂ）及び図１３（Ｃ）においては、信号線駆動回路９０３を別途形成し、第１の基板９０１に実装している例を示しているが、この構成に限定されない。走査線駆動回路を別途形成して実装しても良いし、信号線駆動回路の一部または走査線駆動回路の一部のみを別途形成して実装しても良い。
【０２４５】
なお、別途形成した駆動回路の接続方法は、特に限定されるものではなく、ＣＯＧ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）方法、ワイヤボンディング方法、或いはＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）方法などを用いることができる。図１３（Ａ）は、ＣＯＧ方法により信号線駆動回路９０３、走査線駆動回路９０４を実装する例であり、図１３（Ｂ）は、ＣＯＧ方法により信号線駆動回路９０３を実装する例であり、図１３（Ｃ）は、ＴＡＢ方法により信号線駆動回路９０３を実装する例である。
【０２４６】
また、表示装置は、表示素子が封止された状態にあるパネルと、該パネルにコントローラを含むＩＣ等を実装した状態にあるモジュールとを含む。
【０２４７】
なお、本明細書における表示装置とは、画像表示デバイス、表示デバイス、もしくは光源（照明装置含む。）を指す。また、コネクター、例えばＦＰＣもしくはＴＣＰが取り付けられたモジュール、ＴＣＰの先にプリント配線板が設けられたモジュール、または表示素子にＣＯＧ方式によりＩＣ（集積回路）が直接実装されたモジュールも全て表示装置に含むものとする。
【０２４８】
また第１の基板上に設けられた画素部及び走査線駆動回路は、トランジスタを複数有しており、上記実施の形態で示したトランジスタを適用することができる。
【０２４９】
表示装置に設けられる表示素子としては液晶素子（液晶表示素子ともいう。）、発光素子（発光表示素子ともいう。）、を用いることができる。発光素子は、電流または電圧によって輝度が制御される素子をその範疇に含んでおり、具体的には無機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子、有機ＥＬ素子等が含まれる。また、電子インクなど、電気的作用によりコントラストが変化する表示媒体も適用することができる。
【０２５０】
図１４（Ａ）に示す表示装置は、接続端子電極９１５及び端子電極９１６を有しており、接続端子電極９１５及び端子電極９１６はＦＰＣ９１８が有する端子と異方性導電剤９１９を介して、電気的に接続されている。
【０２５１】
接続端子電極９１５は、第１の電極９３０と同じ導電膜から形成され、端子電極９１６は、トランジスタ９１０、９１１の一対の電極と同じ導電膜で形成されている。
【０２５２】
図１４（Ｂ）に示す表示装置は、接続端子電極９１５ａ、９１５ｂ及び端子電極９１６を有しており、接続端子電極９１５ａ、９１５ｂ及び端子電極９１６はＦＰＣ９１８が有する端子と異方性導電剤９１９を介して、電気的に接続されている。
【０２５３】
接続端子電極９１５ａは、第１の電極９３０と同じ導電膜から形成され、接続端子電極９１５ｂは、第２の電極９４１と同じ導電膜から形成され、端子電極９１６は、トランジスタ９１０、９１１の一対の電極と同じ導電膜で形成されている。
【０２５４】
また、図１５で示すように、半導体装置は接続端子電極９５５及び端子電極９１６を有しており、接続端子電極９５５及び端子電極９１６はＦＰＣ９１８が有する端子と異方性導電剤９１９を介して、電気的に接続されている。
【０２５５】
接続端子電極９５５は、第２の電極９３１と同じ導電膜から形成され、端子電極９１６は、トランジスタ９１０、９１１の一対の電極と同じ導電膜で形成されている。
【０２５６】
また、第１の基板９０１上に設けられた画素部９０２と、走査線駆動回路９０４は、トランジスタを複数有しており、図１４及び図１５では、画素部９０２に含まれるトランジスタ９１０と、走査線駆動回路９０４に含まれるトランジスタ９１１とを例示している。図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）では、トランジスタ９１０及びトランジスタ９１１上には実施の形態１に示す窒素を有する酸化絶縁膜２３に相当する窒素を有する酸化絶縁膜９２４が設けられ、窒素を有する酸化絶縁膜９２４の上にさらに平坦化膜９２１が設けられている。なお、絶縁膜９２３は下地膜として機能する絶縁膜である。
【０２５７】
本実施の形態では、トランジスタ９１０、トランジスタ９１１として、上記実施の形態で示したトランジスタを適用することができる。
【０２５８】
また、図１５では、窒素を有する酸化絶縁膜９２４上において、駆動回路用のトランジスタ９１１の酸化物半導体膜のチャネル形成領域と重なる位置に導電膜９１７が設けられている例を示している。本実施の形態では、導電膜９１７を第１の電極９３０と同じ導電膜で形成する。導電膜９１７を酸化物半導体膜のチャネル形成領域と重なる位置に設けることによって、ＢＴストレス試験前後におけるトランジスタ９１１のしきい値電圧の変動量をさらに低減することができる。また、導電膜９１７の電位は、トランジスタ９１１のゲート電極と同じでもよいし、異なっていてもよく、導電膜を第２のゲート電極として機能させることもできる。また、導電膜９１７の電位は、ＧＮＤ、０Ｖ、或いはフローティング状態であってもよい。
【０２５９】
また、導電膜９１７は外部の電場を遮蔽する機能も有する。すなわち外部の電場が内部（トランジスタを含む回路部）に作用しないようにする機能（特に静電気に対する静電遮蔽機能）も有する。導電膜９１７の遮蔽機能により、静電気などの外部の電場の影響によりトランジスタの電気的な特性が変動することを防止することができる。導電膜９１７は、上記実施の形態で示した、いずれのトランジスタにも適用可能である。
【０２６０】
画素部９０２に設けられたトランジスタ９１０は表示素子と電気的に接続し、表示パネルを構成する。表示素子は表示を行うことができれば特に限定されず、様々な表示素子を用いることができる。
【０２６１】
表示素子に電圧を印加する第１の電極及び第２の電極（画素電極、共通電極、対向電極などともいう）においては、取り出す光の方向、電極が設けられる場所、及び電極のパターン構造によって透光性、反射性を選択すればよい。
【０２６２】
第１の電極９３０、第２の電極９３１、第２の電極９４１は、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム錫酸化物（以下、ＩＴＯと示す。）、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する導電性材料を用いることができる。
【０２６３】
また、第１の電極９３０、第２の電極９３１、第２の電極９４１は、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、バナジウム（Ｖ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、クロム（Ｃｒ）、コバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）等の金属、またはその合金、若しくはその金属窒化物から一つ、または複数種を用いて形成することができる。
【０２６４】
図１４に表示素子として液晶素子を用いた液晶表示装置の例を示す。図１４（Ａ）は、縦電界方式を採用する例である。
【０２６５】
図１４（Ａ）において、表示素子である液晶素子９１３は、第１の電極９３０、第２の電極９３１、及び液晶層９０８を含む。なお、液晶層９０８を挟持するように配向膜として機能する絶縁膜９３２、絶縁膜９３３が設けられている。また、第２の電極９３１は第２の基板９０６側に設けられ、第１の電極９３０と第２の電極９３１とは液晶層９０８を介して重なる構成となっている。
【０２６６】
図１４（Ｂ）は、横電界方式の一例として、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ  Ｆｉｅｌｄ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モードを採用する例である。
【０２６７】
図１４（Ｂ）において、表示素子である液晶素子９４３は、平坦化膜９２１上に形成される第１の電極９３０、第２の電極９４１、及び液晶層９０８を含む。第２の電極９４１は共通電極として機能する。第１の電極９３０及び第２の電極９４１の間には絶縁膜９４４が設けられている。絶縁膜９４４は窒化シリコン膜を用いて形成する。なお、液晶層９０８を挟持するように配向膜として機能する絶縁膜９３２、絶縁膜９３３が設けられている。
【０２６８】
また、スペーサ９３５は絶縁膜を選択的にエッチングすることで得られる柱状のスペーサであり、第１の電極９３０と第２の電極９３１との間隔（セルギャップ）を制御するために設けられている。なお、球状のスペーサを用いていても良い。
【０２６９】
表示素子として、液晶素子を用いる場合、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。
【０２７０】
また、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つであり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善するためにカイラル剤を混合させた液晶組成物を用いて液晶層に用いる。
【０２７１】
第１の基板９０１及び第２の基板９０６はシール材９２５によって固定されている。シール材９２５は、熱硬化樹脂、光硬化樹脂などの有機樹脂を用いることができる。なお、シール材９２５は図１３に示すシール材９０５に相当する。
【０２７２】
なお、図１４（Ａ）に示す液晶表示装置においては、シール材９２５は、ゲート絶縁膜９２２と接し、平坦化膜９２１がシール材９２５の内側に設けられている。
【０２７３】
また、図１４（Ｂ）に示す液晶表示装置において、シール材９２５は窒素を有する酸化絶縁膜９２４と接している。
【０２７４】
液晶表示装置に設けられる保持容量の大きさは、画素部に配置されるトランジスタのリーク電流等を考慮して、所定の期間の間電荷を保持できるように設定される。上記実施の形態に示すような、高純度の酸化物半導体膜を有するトランジスタを用いることにより、各画素における液晶容量に対して１／３以下、好ましくは１／５以下の容量の大きさを有する保持容量を設ければ充分であるため、画素における開口率を高めることができる。
【０２７５】
また、表示装置において、ブラックマトリクス（遮光膜）、偏光部材、位相差部材、反射防止部材などの光学部材（光学基板）などは適宜設ける。例えば、偏光基板及び位相差基板による円偏光を用いてもよい。また、光源としてバックライト、サイドライトなどを用いてもよい。
【０２７６】
図１６に、図１４（Ａ）に示す表示装置において、第２の基板９０６に設けられた第２の電極９３１と電気的に接続するための共通接続部（パッド部）を、第１の基板９０１上に形成する例を示す。
【０２７７】
共通接続部は、第１の基板９０１と第２の基板９０６とを接着するためのシール材と重なる位置に配置され、シール材に含まれる導電性粒子を介して第２の電極９３１と電気的に接続される。または、シール材と重ならない箇所（但し、画素部を除く）に共通接続部を設け、共通接続部に重なるように導電性粒子を含むペーストをシール材とは別途設けて第２の電極９３１と電気的に接続してもよい。
【０２７８】
図１６（Ａ）は、共通接続部の断面図であり、図１６（Ｂ）に示す上面図のＩ−Ｊに相当する。
【０２７９】
共通電位線９７５は、ゲート絶縁膜９２２上に設けられ、図１４に示すトランジスタ９１０のソース電極９７１またはドレイン電極９７３と同じ材料及び同じ工程で作製される。
【０２８０】
また、共通電位線９７５は、窒素を有する酸化絶縁膜９２４及び平坦化膜９２１で覆われ、窒素を有する酸化絶縁膜９２４及び平坦化膜９２１は、共通電位線９７５と重なる位置に複数の開口部を有している。この開口部は、トランジスタ９１０のソース電極９７１またはドレイン電極９７３の一方と、第１の電極９３０とを接続するコンタクトホールと同じ工程で作製される。
【０２８１】
また、共通電位線９７５及び共通電極９７７が開口部において接続する。共通電極９７７は、平坦化膜９２１上に設けられ、接続端子電極９１５や、画素部の第１の電極９３０と同じ材料及び同じ工程で作製される。
【０２８２】
このように、画素部９０２のスイッチング素子の作製工程と共通させて共通接続部を作製することができる。
【０２８３】
共通電極９７７は、シール材に含まれる導電性粒子と接触する電極であり、第２の基板９０６の第２の電極９３１と電気的に接続が行われる。
【０２８４】
また、図１６（Ｃ）に示すように、共通電位線９８５を、トランジスタ９１０のゲート電極と同じ材料、同じ工程で作製してもよい。
【０２８５】
図１６（Ｃ）に示す共通接続部において、共通電位線９８５は、ゲート絶縁膜９２２、窒素を有する酸化絶縁膜９２４、及び平坦化膜９２１の下層に設けられ、ゲート絶縁膜９２２、窒素を有する酸化絶縁膜９２４、及び平坦化膜９２１は、共通電位線９８５と重なる位置に複数の開口部を有する。該開口部は、トランジスタ９１０のソース電極９７１またはドレイン電極９７３の一方と第１の電極９３０とを接続するコンタクトホールと同じ工程で窒素を有する酸化絶縁膜９２４及び平坦化膜９２１をエッチングした後、さらにゲート絶縁膜９２２を選択的にエッチングすることで形成される。
【０２８６】
また、共通電位線９８５及び共通電極９８７が開口部において接続する。共通電極９８７は、平坦化膜９２１上に設けられ、接続端子電極９１５や、画素部の第１の電極９３０と同じ材料及び同じ工程で作製される。
【０２８７】
なお、図１４（Ｂ）に示すＦＦＳモードの液晶表示装置においては、共通電極９７７、９８７はそれぞれ、第２の電極９４１と接続する。
【０２８８】
次に、表示装置に含まれる表示素子として、エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子を適用することができる。エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子は、発光材料が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、一般的に、前者は有機ＥＬ素子、後者は無機ＥＬ素子と呼ばれている。
【０２８９】
発光素子は発光を取り出すために少なくとも一対の電極の一方が透明であればよい。そして、基板上にトランジスタ及び発光素子を形成し、基板とは逆側の面から発光を取り出す上面射出や、基板側の面から発光を取り出す下面射出や、基板側及び基板とは反対側の面から発光を取り出す両面射出構造の発光素子があり、どの射出構造の発光素子も適用することができる。
【０２９０】
図１５に表示素子として発光素子を用いた発光装置の例を示す。表示素子である発光素子９６３は、画素部９０２に設けられたトランジスタ９１０と電気的に接続している。なお発光素子９６３の構成は、第１の電極９３０、発光層９６１、第２の電極９３１の積層構造であるが、示した構成に限定されない。発光素子９６３から取り出す光の方向などに合わせて、発光素子９６３の構成は適宜変えることができる。
【０２９１】
第１の電極９３０の端部上に隔壁９６０を有する。隔壁９６０は、有機絶縁材料、または無機絶縁材料を用いて形成する。特に感光性の樹脂材料を用い、第１の電極９３０上に開口部を形成し、その開口部の側壁が連続した曲率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。
【０２９２】
発光層９６１は、単数の層で構成されていても、複数の層が積層されるように構成されていてもどちらでも良い。
【０２９３】
発光素子９６３に酸素、水素、水分、二酸化炭素等が侵入しないように、第２の電極９３１及び隔壁９６０上に保護層を形成してもよい。保護層としては、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、ＤＬＣ膜等を形成することができる。また、第１の基板９０１、第２の基板９０６、及びシール材９３６によって封止された空間には充填材９６４が設けられ密封されている。このように外気に曝されないように気密性が高く、脱ガスの少ない保護フィルム（貼り合わせフィルム、紫外線硬化樹脂フィルム等）やカバー材で発光素子をパッケージング（封入）することが好ましい。なお、シール材９３６は図１３に示すシール材９０５に相当する。
【０２９４】
シール材９３６は熱硬化樹脂、光硬化樹脂などの有機樹脂や、低融点ガラスを含むフリットガラスなどを用いることができる。フリットガラスは、水や酸素などの不純物に対してバリア性が高いため好ましい。また、シール材９３６としてフリットガラスを用いる場合、ゲート絶縁膜９２２、または窒素を有する酸化絶縁膜９２４（図１５ではゲート絶縁膜９２２を示す。）上にフリットガラスを設けることで、ゲート絶縁膜９２２または窒素を有する酸化絶縁膜９２４と、フリットガラスとの密着性を高めると共に、外部からシール材９３６内部への水の侵入を妨げることができる。
【０２９５】
充填材９６４としては窒素やアルゴンなどの不活性な気体の他に、紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂を用いることができ、ＰＶＣ（ポリビニルクロライド）、アクリル樹脂、ポリイミド、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ＰＶＢ（ポリビニルブチラル）またはＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）を用いることができる。例えば充填材として窒素を用いればよい。
【０２９６】
また、必要であれば、発光素子の射出面に偏光板、または円偏光板（楕円偏光板を含む）、位相差板（λ／４板、λ／２板）、カラーフィルタなどの光学フィルムを適宜設けてもよい。また、偏光板または円偏光板に反射防止膜を設けてもよい。例えば、表面の凹凸により反射光を拡散し、映り込みを低減できるアンチグレア処理を施すことができる。
【０２９７】
また、トランジスタは静電気などにより破壊されやすいため、駆動回路保護用の保護回路を設けることが好ましい。保護回路は、非線形素子を用いて構成することが好ましい。
【０２９８】
以上のように上記実施の形態で示したトランジスタを適用することで、表示機能を有する信頼性のよい半導体装置を提供することができる。
【０２９９】
なお、本実施の形態に示す構成及び方法などは、他の実施の形態及び実施例に示す構成及び方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０３００】
（実施の形態７）
実施の形態１乃至実施の形態６のいずれかに示したトランジスタを用いて、対象物の情報を読み取るイメージセンサ機能を有する半導体装置を作製することができる。
【０３０１】
図１７（Ａ）に、イメージセンサ機能を有する半導体装置の一例を示す。図１７（Ａ）はフォトセンサの等価回路であり、図１７（Ｂ）はフォトセンサの一部を示す断面図である。
【０３０２】
フォトダイオード６０２は、一方の電極がフォトダイオードリセット信号線６５８に、他方の電極がトランジスタ６４０のゲートに電気的に接続されている。トランジスタ６４０は、ソースまたはドレインの一方がフォトセンサ基準信号線６７２に、ソースまたはドレインの他方がトランジスタ６５６のソースまたはドレインの一方に電気的に接続されている。トランジスタ６５６は、ゲートがゲート信号線６５９に、ソースまたはドレインの他方がフォトセンサ出力信号線６７１に電気的に接続されている。
【０３０３】
なお、本明細書における回路図において、酸化物半導体膜を用いるトランジスタと明確に判明できるように、酸化物半導体膜を用いるトランジスタの記号には「ＯＳ」と記載している。図１７（Ａ）において、トランジスタ６４０、トランジスタ６５６は実施の形態１乃至実施の形態６のいずれかに示したトランジスタが適用でき、酸化物半導体膜を用いるトランジスタである。本実施の形態では、実施の形態１で示したトランジスタ１と同様な構造を有するトランジスタを適用する例を示す。
【０３０４】
図１７（Ｂ）は、フォトセンサにおけるフォトダイオード６０２及びトランジスタ６４０に示す断面図であり、絶縁表面を有する基板６０１（素子基板）上に、センサとして機能するフォトダイオード６０２及びトランジスタ６４０が設けられている。フォトダイオード６０２、トランジスタ６４０の上には接着層６０８を用いて基板６１３が設けられている。
【０３０５】
トランジスタ６４０上には窒素を有する酸化絶縁膜６３２、平坦化膜６３３、平坦化膜６３４が設けられている。フォトダイオード６０２は、平坦化膜６３３上に形成された電極６４１ｂと、電極６４１ｂ上に順に積層された第１の半導体膜６０６ａ、第２の半導体膜６０６ｂ、及び第３の半導体膜６０６ｃと、平坦化膜６３４上に設けられ、第１乃至第３の半導体膜を介して電極６４１ｂと電気的に接続する電極６４２と、電極６４１ｂと同じ層に設けられ、電極６４２と電気的に接続する電極６４１ａと、を有している。
【０３０６】
電極６４１ｂは、平坦化膜６３４に形成された導電膜６４３と電気的に接続し、電極６４２は電極６４１ａを介して導電膜６４５と電気的に接続している。導電膜６４５は、トランジスタ６４０のゲート電極と電気的に接続しており、フォトダイオード６０２はトランジスタ６４０と電気的に接続している。
【０３０７】
ここでは、第１の半導体膜６０６ａとしてｐ型の導電型を有する半導体膜と、第２の半導体膜６０６ｂとして高抵抗な半導体膜（ｉ型半導体膜）、第３の半導体膜６０６ｃとしてｎ型の導電型を有する半導体膜を積層するｐｉｎ型のフォトダイオードを例示している。
【０３０８】
第１の半導体膜６０６ａはｐ型半導体膜であり、ｐ型を付与する不純物元素を含むアモルファスシリコン膜により形成することができる。第１の半導体膜６０６ａの形成には１３族の不純物元素（例えばボロン（Ｂ））を含む半導体材料ガスを用いて、プラズマＣＶＤ法により形成する。半導体材料ガスとしてはシラン（ＳｉＨ４）を用いればよい。第１の半導体膜６０６ａの膜厚は１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下となるよう形成することが好ましい。
【０３０９】
第２の半導体膜６０６ｂは、ｉ型半導体膜（真性半導体膜）であり、アモルファスシリコン膜により形成する。第２の半導体膜６０６ｂの形成には、半導体材料ガスを用いて、アモルファスシリコン膜をプラズマＣＶＤ法により形成する。半導体材料ガスとしては、シラン（ＳｉＨ４）を用いればよい。第２の半導体膜６０６ｂの膜厚は２００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下となるように形成することが好ましい。
【０３１０】
第３の半導体膜６０６ｃは、ｎ型半導体膜であり、ｎ型を付与する不純物元素を含むアモルファスシリコン膜により形成する。第３の半導体膜６０６ｃの形成には、１５族の不純物元素（例えばリン（Ｐ））を含む半導体材料ガスを用いて、プラズマＣＶＤ法により形成する。半導体材料ガスとしてはシラン（ＳｉＨ４）を用いればよい。ま第３の半導体膜６０６ｃの膜厚は２０ｎｍ以上２００ｎｍ以下となるよう形成することが好ましい。
【０３１１】
また、第１の半導体膜６０６ａ、第２の半導体膜６０６ｂ、及び第３の半導体膜６０６ｃは、アモルファス半導体ではなく、多結晶半導体を用いて形成してもよいし、微結晶（セミアモルファス（Ｓｅｍｉ  Ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ：ＳＡＳ））半導体を用いて形成してもよい。
【０３１２】
また、光電効果で発生した正孔の移動度は電子の移動度に比べて小さいため、ｐｉｎ型のフォトダイオードはｐ型の半導体膜側を受光面とする方がよい特性を示す。ここでは、ｐｉｎ型のフォトダイオードが形成されている基板６０１の面からフォトダイオード６０２が受ける光６２２を電気信号に変換する例を示す。また、受光面とした半導体膜側とは逆の導電型を有する半導体膜側からの光は外乱光となるため、電極６４２は遮光性を有する導電膜を用いるとよい。また、ｎ型の半導体膜側を受光面として用いることもできる。
【０３１３】
トランジスタ６４０上に、窒素濃度が低減された窒素を有する酸化絶縁膜６３２を設けることで、トランジスタのしきい値電圧のマイナスシフトを抑制することができると共に、電気特性のばらつきを低減することができる。また、トランジスタのソース及びドレインにおけるリーク電流を、代表的には、オフ電流を低減することが可能である。また、トランジスタの電気特性の変動量を低減すると共に、異なるドレイン電圧において、オン電流の立ち上がりゲート電圧（Ｖｇ）を略同一とすることができる。
【０３１４】
窒素を有する酸化絶縁膜６３２、平坦化膜６３３、平坦化膜６３４としては、絶縁性材料を用いて、その材料に応じて、スパッタリング法、プラズマＣＶＤ法、スピンコート、ディップ、スプレー塗布、液滴吐出法（インクジェット法）、スクリーン印刷、オフセット印刷等を用いて形成することができる。
【０３１５】
平坦化膜６３３、６３４としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、ポリイミド、ポリアミド等の有機材料を用いることができる。なお、これらの材料で形成される絶縁膜を複数積層させて、平坦化膜を形成してもよい。
【０３１６】
フォトダイオード６０２に入射する光を検出することによって、被検出物の情報を読み取ることができる。なお、被検出物の情報を読み取る際にバックライトなどの光源を用いることができる。
【０３１７】
本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態及び実施例に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０３１８】
（実施の形態８）
本明細書に開示する半導体装置は、さまざまな電子機器（遊技機も含む）に適用することができる。電子機器としては、テレビジョン装置（テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう）、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、遊技機（パチンコ機、スロットマシン等）、ゲーム筐体が挙げられる。これらの電子機器の一例を図１８に示す。
【０３１９】
図１８は、表示部を有するテーブル９０００を示している。テーブル９０００は、筐体９００１に表示部９００３が組み込まれており、表示部９００３により映像を表示することが可能である。なお、４本の脚部９００２により筐体９００１を支持した構成を示している。また、電力供給のための電源コード９００５を筐体９００１に有している。
【０３２０】
上記実施の形態のいずれかに示す半導体装置は、表示部９００３に用いることが可能であり、電子機器に高い信頼性を付与することができる。
【０３２１】
表示部９００３は、タッチ入力機能を有しており、テーブル９０００の表示部９００３に表示された表示ボタン９００４を指などで触れることで、画面操作や、情報を入力することができ、また他の家電製品との通信を可能とする、または制御を可能とすることで、画面操作により他の家電製品をコントロールする制御装置としてもよい。例えば、実施の形態７に示したイメージセンサ機能を有する半導体装置を用いれば、表示部９００３にタッチ入力機能を持たせることができる。
【０３２２】
また、筐体９００１に設けられたヒンジによって、表示部９００３の画面を床に対して垂直に立てることもでき、テレビジョン装置としても利用できる。狭い部屋においては、大きな画面のテレビジョン装置は設置すると自由な空間が狭くなってしまうが、テーブルに表示部が内蔵されていれば、部屋の空間を有効に利用することができる。
【０３２３】
図１９（Ａ）及び図１９（Ｂ）は２つ折り可能なタブレット型端末である。図１９（Ａ）は、開いた状態であり、タブレット型端末は、筐体９６３０、表示部９６３１ａ、表示部９６３１ｂ、表示モード切り替えスイッチ９０３４、電源スイッチ９０３５、省電力モード切り替えスイッチ９０３６、留め具９０３３、操作スイッチ９０３８、を有する。
【０３２４】
上記実施の形態のいずれかに示す半導体装置は、表示部９６３１ａ、表示部９６３１ｂに用いることが可能であり、信頼性の高いタブレット型端末とすることが可能となる。
【０３２５】
表示部９６３１ａは、一部をタッチパネルの領域９６３２ａとすることができ、表示された操作キー９６３８にふれることでデータ入力をすることができる。なお、表示部９６３１ａにおいては、一例として半分の領域が表示のみの機能を有する構成、もう半分の領域がタッチパネルの機能を有する構成を示しているが該構成に限定されない。表示部９６３１ａの全ての領域がタッチパネルの機能を有する構成としても良い。例えば、表示部９６３１ａの全面をキーボードボタン表示させてタッチパネルとし、表示部９６３１ｂを表示画面として用いることができる。
【０３２６】
また、表示部９６３１ｂにおいても表示部９６３１ａと同様に、表示部９６３１ｂの一部をタッチパネルの領域９６３２ｂとすることができる。また、タッチパネルのキーボード表示切り替えボタン９６３９が表示されている位置に指やスタイラスなどでふれることで表示部９６３１ｂにキーボードボタン表示することができる。
【０３２７】
また、タッチパネルの領域９６３２ａとタッチパネルの領域９６３２ｂに対して同時にタッチ入力することもできる。
【０３２８】
また、表示モード切り替えスイッチ９０３４は、縦表示または横表示などの表示の向きを切り替え、白黒表示やカラー表示の切り替えなどを選択できる。省電力モード切り替えスイッチ９０３６は、タブレット型端末に内蔵している光センサで検出される使用時の外光の光量に応じて表示の輝度を最適なものとすることができる。タブレット型端末は光センサだけでなく、ジャイロ、加速度センサ等の傾きを検出するセンサなどの他の検出装置を内蔵させてもよい。
【０３２９】
また、図１９（Ａ）では表示部９６３１ｂと表示部９６３１ａの表示面積が同じ例を示しているが特に限定されず、一方のサイズともう一方のサイズが異なっていてもよく、表示の品質も異なっていてもよい。例えば一方が他方よりも高精細な表示を行える表示パネルとしてもよい。
【０３３０】
図１９（Ｂ）は、閉じた状態であり、タブレット型端末は、筐体９６３０、太陽電池９６３３、充放電制御回路９６３４を有する。なお、図１９（Ｂ）では充放電制御回路９６３４の一例としてバッテリー９６３５、ＤＣＤＣコンバータ９６３６を有する構成について示している。
【０３３１】
なお、タブレット型端末は２つ折り可能なため、未使用時に筐体９６３０を閉じた状態にすることができる。従って、表示部９６３１ａ、表示部９６３１ｂを保護できるため、耐久性に優れ、長期使用の観点からも信頼性の優れたタブレット型端末を提供できる。
【０３３２】
また、この他にも図１９（Ａ）及び図１９（Ｂ）に示したタブレット型端末は、様々な情報（静止画、動画、テキスト画像など）を表示する機能、カレンダー、日付または時刻などを表示部に表示する機能、表示部に表示した情報をタッチ入力操作または編集するタッチ入力機能、様々なソフトウェア（プログラム）によって処理を制御する機能、等を有することができる。
【０３３３】
タブレット型端末の表面に装着された太陽電池９６３３によって、電力をタッチパネル、表示部、または映像信号処理部等に供給することができる。なお、太陽電池９６３３は、筐体９６３０の片面または両面に設けることができ、バッテリー９６３５の充電を効率的に行う構成とすることができるため好適である。なおバッテリー９６３５としては、リチウムイオン電池を用いると、小型化を図れる等の利点がある。
【０３３４】
また、図１９（Ｂ）に示す充放電制御回路９６３４の構成、及び動作について図１９（Ｃ）にブロック図を示し説明する。図１９（Ｃ）には、太陽電池９６３３、バッテリー９６３５、ＤＣＤＣコンバータ９６３６、コンバータ９６３７、スイッチＳＷ１乃至ＳＷ３、表示部９６３１について示しており、バッテリー９６３５、ＤＣＤＣコンバータ９６３６、コンバータ９６３７、スイッチＳＷ１乃至ＳＷ３が、図１９（Ｂ）に示す充放電制御回路９６３４に対応する箇所となる。
【０３３５】
まず外光により太陽電池９６３３により発電がされる場合の動作の例について説明する。太陽電池９６３３で発電した電力は、バッテリー９６３５を充電するための電圧となるようＤＣＤＣコンバータ９６３６で昇圧または降圧がなされる。そして、表示部９６３１の動作に太陽電池９６３３からの電力が用いられる際にはスイッチＳＷ１をオンにし、コンバータ９６３７で表示部９６３１に必要な電圧に昇圧または降圧をすることとなる。また、表示部９６３１での表示を行わない際には、ＳＷ１をオフにし、ＳＷ２をオンにしてバッテリー９６３５の充電を行う構成とすればよい。
【０３３６】
なお太陽電池９６３３については、発電手段の一例として示したが、特に限定されず、圧電素子（ピエゾ素子）や熱電変換素子（ペルティエ素子）などの他の発電手段によるバッテリー９６３５の充電を行う構成であってもよい。例えば、無線（非接触）で電力を送受信して充電する無接点電力伝送モジュールや、また他の充電手段を組み合わせて行う構成としてもよい。
【０３３７】
本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態及び実施例に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【実施例１】
【０３３８】
本実施例では、酸化物半導体膜上に窒素を含む酸化絶縁膜を形成し、酸化性気体として一酸化二窒素または酸素を用いて発生させたプラズマに、窒素を含む酸化絶縁膜を曝したときに、酸化物半導体膜に生じる欠陥量をＥＳＲ測定した結果について説明する。
【０３３９】
はじめに、試料の作製方法について説明する。
【０３４０】
石英基板上に、酸化物半導体膜として厚さ１００ｎｍのＩＧＺＯ膜を形成した。次に、ＩＧＺＯ膜上に、窒素を有する酸化絶縁膜として厚さ２０ｎｍの酸化窒化シリコン膜を形成した。次に、酸化窒化シリコン膜を酸化性気体雰囲気で発生させたプラズマに曝した。それぞれの膜の形成条件及びプラズマ処理条件について、以下に説明する。
【０３４１】
ＩＧＺＯ膜は、スパッタリングターゲットをＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１（原子数比）のターゲットとし、スパッタリングガスとして３０ｓｃｃｍのＡｒと１５ｓｃｃｍの酸素をスパッタリング装置の処理室内に供給し、処理室内の圧力を０．４Ｐａに制御し、０．５ｋＷの交流電力を供給して形成した。なお、ＩＧＺＯ膜を形成する際の基板温度は３００℃とした。
【０３４２】
酸化窒化シリコン膜は、石英基板をプラズマＣＶＤ装置の処理室内に設置し、処理室内に原料ガスである流量１ｓｃｃｍのシラン及び流量８００ｓｃｃｍの一酸化二窒素を供給し、処理室内の圧力を４０Ｐａに制御し、６０ＭＨｚの高周波電源を用いて１５０Ｗの電力を供給して形成した。また、酸化窒化シリコン膜を形成する際の石英基板の温度を３５０℃とした。なお、本実施例で用いたプラズマＣＶＤ装置は電極面積が６１５ｃｍ２である平行平板型のプラズマＣＶＤ装置であり、供給した電力を単位面積あたりの電力（電力密度）に換算すると０．２４Ｗ／ｃｍ２である。
【０３４３】
処理室に流量９００ｓｃｃｍの一酸化二窒素または酸素を供給し、６０ＭＨｚの高周波電源を用いて１５０Ｗ（０．２４Ｗ／ｃｍ２）の電力を供給して、プラズマを発生させた。また、プラズマを発生させる際の石英基板の温度を３５０℃とした。ここで、一酸化二窒素雰囲気の処理室の圧力を４０Ｐａ、１５０Ｐａ、及び３００Ｐａとした試料をそれぞれ試料Ａ１、試料Ａ２、及び試料Ａ３とする。また、酸素雰囲気の処理室の圧力を４０Ｐａ、１５０Ｐａ、及び３００Ｐａとした試料をそれぞれ試料Ａ４、試料Ａ５、及び試料Ａ６とする。
【０３４４】
なお、比較例として、試料Ａ１乃至試料Ａ６と同様に、石英基板上に厚さ１００ｎｍＩＧＺＯ膜を形成した試料を試料Ａ７とする。また、試料Ａ１乃至試料Ａ６と同様に、石英基板上に厚さ１００ｎｍＩＧＺＯ膜を形成した後、厚さ２０ｎｍの酸化窒化シリコン膜を形成した試料を試料Ａ８とする。
【０３４５】
次に、試料Ａ１乃至試料Ａ８についてＥＳＲ測定を行った。ここでは、下記の条件でＥＳＲ測定を行った。測定温度を室温（２５℃）とし、９．５ＧＨｚの高周波電力（マイクロ波パワー）を２０ｍＷとし、磁場の向きは作製した試料の膜表面と平行とした。なお、ＩＧＺＯ膜に含まれる欠陥に由来するｇ（ｇ値）＝１．９３に現れる信号のスピン密度の検出下限を１×１０１７ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３とした。
【０３４６】
試料Ａ１乃至試料Ａ８それぞれに含まれるＩＧＺＯ膜をＥＳＲ測定して得られた、ｇ（ｇ値）＝１．９３に現れる信号のスピン密度を図２０（Ａ）に示す。なお、試料Ａ１乃至試料Ａ６それぞれに含まれるＩＧＺＯ膜をＥＳＲ測定して得られた１次微分曲線を図２０（Ｂ）に示す。
【０３４７】
図２０（Ａ）に示す試料Ａ７及び試料Ａ８の比較から、ＩＧＺＯ膜上に酸化窒化シリコン膜を成膜することで、ＩＧＺＯ膜に欠陥が生じることがわかる。
【０３４８】
また、試料Ａ１乃至試料Ａ３と、試料Ａ８とを比較することで、ＩＧＺＯ膜中のスピン密度が低下している。このことから、一酸化二窒素雰囲気で発生させたプラズマを酸化窒化シリコン膜に曝すことで、プラズマ中の酸素が酸化窒化シリコン膜を介してＩＧＺＯ膜に移動し、ＩＧＺＯ膜の欠陥を低減できることがわかる。
【０３４９】
一方、試料Ａ４乃至試料Ａ６と、試料Ａ８とを比較することで、酸素雰囲気で発生させたプラズマを酸化窒化シリコン膜に曝しても、処理室の圧力が低い場合、代表的には１５０Ｐａ以下では、ＩＧＺＯ膜中のスピン密度があまり低下していない。このことから、酸素雰囲気で発生させたプラズマを酸化窒化シリコン膜に曝しても、酸化窒化シリコン膜を介してＩＧＺＯ膜中の欠陥を低減しにくいことがわかる。
【０３５０】
以上のことから、酸化性気体雰囲気で発生させたプラズマを酸化窒化シリコン膜に曝すことで、プラズマ中の酸素が酸化窒化シリコン膜を介してＩＧＺＯ膜に移動し、ＩＧＺＯ膜の欠陥を低減させるためには、酸素より一酸化二窒素雰囲気で行うことが好ましいことがわかる。即ち、酸化物半導体膜上に酸化絶縁膜をプラズマＣＶＤ法により形成する場合、シリコンを含む堆積性気体と一酸化二窒素を原料ガスとして用いることで、酸化物半導体膜の欠陥を低減しつつ、窒素を有する酸化絶縁膜を形成することができる。
【実施例２】
【０３５１】
本実施例では、酸化性気体として一酸化二窒素または酸素を用いて発生させたプラズマを酸化絶縁膜に曝した際に生じる、各プラズマの酸化力について説明する。
【０３５２】
はじめに、試料の作製方法について説明する。
【０３５３】
石英基板上に、窒素を有する酸化絶縁膜として厚さ１００ｎｍの酸化窒化シリコン膜を形成した。次に、酸化窒化シリコン膜を酸化性気体雰囲気で発生させたプラズマに曝した。酸化窒化シリコン膜の形成条件及びプラズマ処理条件について、以下に説明する。
【０３５４】
酸化窒化シリコン膜は、石英基板をプラズマＣＶＤ装置の処理室内に設置し、処理室内に原料ガスである流量１ｓｃｃｍのシラン及び流量８００ｓｃｃｍの一酸化二窒素を供給し、処理室内の圧力を４０Ｐａに制御し、６０ＭＨｚの高周波電源を用いて１５０Ｗの電力を供給して形成した。また、酸化窒化シリコン膜を形成する際の石英基板の温度を４００℃とした。なお、本実施例で用いたプラズマＣＶＤ装置は電極面積が６１５ｃｍ２である平行平板型のプラズマＣＶＤ装置であり、供給した電力を単位面積あたりの電力（電力密度）に換算すると０．２４Ｗ／ｃｍ２である。
【０３５５】
処理室に流量９００ｓｃｃｍの一酸化二窒素または酸素を供給し、処理室内の圧力を２００Ｐａに制御し、６０ＭＨｚの高周波電源を用いて９００Ｗ（１．４６Ｗ／ｃｍ２）の電力を供給して、プラズマを発生させた。また、プラズマを発生させる際の石英基板の温度を２００℃とした。ここで、一酸化二窒素雰囲気で発生させたプラズマに曝した試料を試料Ｂ１とする。また、酸素雰囲気で発生させたプラズマに曝した試料を試料Ｂ２とする。
【０３５６】
次に、試料Ｂ１及び試料Ｂ２についてＴＤＳ分析（昇温脱離ガス分析）を行った。
【０３５７】
ＴＤＳ分析の結果を示す曲線におけるピークは、分析した試料（本実施例では試料Ｂ１及び試料Ｂ２）に含まれる原子または分子が外部に放出されることで現れるピークである。なお、外部に放出される原子または分子の総量は、当該ピークの積分値に相当する。それゆえ、当該ピーク強度の高低によって酸化窒化シリコン膜に含まれる原子または分子の総量を評価できる。
【０３５８】
試料Ｂ１及び試料Ｂ２についてのＴＤＳ分析結果をそれぞれ図２１（Ａ）及び図２１（Ｂ）に示す。図２１は、基板温度に対する酸素分子放出量を示したグラフである。
【０３５９】
図２１より、酸素雰囲気で発生したプラズマに曝された酸化窒化シリコン膜と比較して、一酸化二窒素雰囲気で発生したプラズマに曝された酸化窒化シリコン膜の方が、酸素分子のＴＤＳ強度が高いと確認された。以上のことから、酸素雰囲気で発生させたプラズマより、一酸化二窒素雰囲気で発生させたプラズマの方が酸化力が高く、加熱により酸素が脱離しやすい、酸素過剰な膜を作製することが可能である。
【０３６０】
以上のことから、酸化物半導体膜上に酸化絶縁膜をプラズマＣＶＤ法により形成する場合、シリコンを含む堆積性気体と一酸化二窒素を原料ガスとして用いることで、加熱により酸素を脱離させることが可能な、酸素過剰な膜を形成することができる。なお、原料ガスとして、一酸化二窒素を用いると、膜には窒素が含まれるため、窒素を有し、且つ酸素過剰な酸化絶縁膜となる。
【実施例３】
【０３６１】
本実施例では、加熱処理前後における酸化窒化シリコン膜の窒素濃度について説明する。本実施例では、ＳＳＤＰ−ＳＩＭＳ（裏面からのＳＩＭＳ（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）測定）を用いて窒素の濃度を測定することで、加熱処理による窒素の移動について説明する。
【０３６２】
はじめに、試料Ｃ１及び試料Ｃ２の作製方法について、説明する。
【０３６３】
石英基板上に厚さ１００ｎｍのＩＧＺＯ膜を形成した。次に、ＩＧＺＯ膜上に厚さ２５０ｎｍの酸化窒化シリコン膜を形成した。なお、酸化窒化シリコン膜は厚さ５０ｎｍの第１の酸化窒化シリコン膜と、厚さ２００ｎｍの第２の酸化窒化シリコン膜を積層した構造である。以上の工程により、試料Ｃ１を作製した。次に、試料Ｃ１を加熱処理して、試料Ｃ２を作製した。それぞれの形成条件及び処理条件について、以下に説明する。
【０３６４】
ＩＧＺＯ膜は、スパッタリングターゲットをＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１（原子数比）のターゲットとし、スパッタリングガスとして５０ｓｃｃｍのＡｒと５０ｓｃｃｍの酸素をスパッタリング装置の処理室内に供給し、処理室内の圧力を０．６Ｐａに制御し、５ｋＷの直流電力を供給して形成した。なお、ＩＧＺＯ膜を形成する際の基板温度は１７０℃とした。
【０３６５】
第１の酸化窒化シリコン膜は、石英基板をプラズマＣＶＤ装置の処理室内に設置し、処理室内に原料ガスである流量３０ｓｃｃｍのシラン及び流量４０００ｓｃｃｍの一酸化二窒素を供給し、処理室内の圧力を４０Ｐａに制御し、２７．１２ＭＨｚの高周波電源を用いて１５０Ｗの電力を供給して酸化窒化シリコン膜を形成した。また、第１の酸化窒化シリコン膜を形成する際の石英基板の温度を２２０℃とした。なお、本実施例で用いたプラズマＣＶＤ装置は電極面積が６０００ｃｍ２である平行平板型のプラズマＣＶＤ装置であり、供給した電力を単位面積あたりの電力（電力密度）に換算すると０．０２５Ｗ／ｃｍ２である。
【０３６６】
第２の酸化窒化シリコン膜は、石英基板を処理室内に設置し、処理室内に原料ガスである流量１６０ｓｃｃｍのシラン及び流量４０００ｓｃｃｍの一酸化二窒素を供給し、処理室内の圧力を２００Ｐａに制御し、２７．１２ＭＨｚの高周波電源を用いて１５００Ｗ（電力密度は０．２５Ｗ／ｃｍ２）の電力を供給して酸化窒化シリコン膜を形成した。また、第２の酸化窒化シリコン膜を形成する際の石英基板の温度を２２０℃とした。
【０３６７】
試料Ｃ２における加熱処理は、窒素及び酸素雰囲気で、３５０℃、１時間行った。
【０３６８】
次に、試料Ｃ１及び試料Ｃ２に含まれる窒素の濃度プロファイルをＳＳＤＰ−ＳＩＭＳ（裏面からの測定、ここでは石英基板からの測定）を用いて測定した。なお、一次イオン種にはセシウム一次イオン（Ｃｓ＋）を用いた。
【０３６９】
図２２はＳＳＤＰ−ＳＩＭＳの測定により得られた窒素の濃度プロファイルである。
【０３７０】
図２２（Ａ）は、試料Ｃ１の測定結果であり、図２２（Ｂ）は、試料Ｃ２の測定結果である。図２２において、領域８０１、８１１はＩＧＺＯ膜の領域であり、領域８０３ａ、８１３ａは第１の酸化窒化シリコン膜の領域であり、領域８０３ｂ、８１３ｂは第２の酸化窒化シリコン膜の領域である。
【０３７１】
試料Ｃ１において、第１の酸化窒化シリコン膜及び第２の酸化窒化シリコン膜における窒素濃度は３×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上５×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下であった。一方、試料Ｃ２において、第１の酸化窒化シリコン膜及び第２の酸化窒化シリコン膜における窒素濃度は３×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上７×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下であった。
【０３７２】
以上のことから、酸化窒化シリコン膜を加熱処理すると、酸化窒化シリコン膜に含まれる窒素が脱離し、膜の窒素濃度が低減することがわかる。
【実施例４】
【０３７３】
本実施例では、窒素を有する酸化絶縁膜の成膜温度と酸化物半導体膜の欠陥量の変化について説明する。本実施例では、酸化物半導体膜の欠陥量について、ＥＳＲ（電子スピン共鳴）測定結果を用いて説明する。
【０３７４】
はじめに、試料の作製方法について説明する。
【０３７５】
石英基板上に厚さ１００ｎｍのＣＡＡＣ−ＯＳ膜であるＩＧＺＯ膜をスパッタリング法で形成した。ＩＧＺＯ膜の形成条件は、実施例３で説明した試料Ｃ１及び試料Ｃ２に設けたＩＧＺＯ膜の形成条件と同様である。
【０３７６】
次に、ＩＧＺＯ膜上に、厚さ４００ｎｍの第１の窒素を有する酸化絶縁膜を形成した。ここでは、第１の窒素を有する酸化絶縁膜として、実施の形態２において、窒素を有する酸化絶縁膜２４ａで示した、酸素を透過する酸化絶縁膜を形成した。第１の窒素を有する酸化絶縁膜の形成条件は、実施例３で説明した試料Ｃ１及び試料Ｃ２に設けた第１の酸化窒化シリコン膜の形成条件と同様である。なお、成膜温度を１８０℃、２００℃、２２０℃、２４０℃、及び２６０℃として形成した試料をそれぞれ、試料Ｄ１、試料Ｄ２、試料Ｄ３、試料Ｄ４、及び試料Ｄ５とする。
【０３７７】
次に、試料Ｄ１、試料Ｄ２、試料Ｄ３、試料Ｄ４、及び試料Ｄ５を３５０℃で１時間加熱して得られた試料をそれぞれ、試料Ｄ６、試料Ｄ７、試料Ｄ８、試料Ｄ９、及び試料１０とする。
【０３７８】
また、試料Ｄ１乃至試料Ｄ５の、第１の窒素を有する酸化絶縁膜の代わりに、厚さ４００ｎｍの第２の窒素を有する酸化絶縁膜を形成した試料を試料Ｄ１１乃至試料Ｄ１５とする。第２の窒素を有する酸化絶縁膜として、実施の形態２において、窒素を有する酸化絶縁膜２４ｂで示した、酸素過剰な酸化絶縁膜を形成した。第２の窒素を有する酸化絶縁膜の形成条件は、実施例３で説明した試料Ｃ１及び試料Ｃ２に設けた第２の酸化窒化シリコン膜の形成条件と同様である。なお、試料Ｄ１１、試料Ｄ１２、試料Ｄ１３、試料Ｄ１４、及び試料Ｄ１５はそれぞれ成膜温度を１８０℃、２００℃、２２０℃、２４０℃、及び２６０℃として形成した。
【０３７９】
次に、試料Ｄ１１、試料Ｄ１２、試料Ｄ１３、試料Ｄ１４、及び試料Ｄ１５を３５０℃で１時間加熱して得られた試料をそれぞれ、試料Ｄ１６、試料Ｄ１７、試料Ｄ１８、試料Ｄ１９、及び試料Ｄ２０とする。
【０３８０】
次に、試料Ｄ１〜試料Ｄ２０についてＥＳＲ測定を行った。ＥＳＲ測定は、所定の温度で、マイクロ波の吸収の起こる磁場の値（Ｈ０）から、式ｇ＝ｈν／βＨ０、を用いてｇ値というパラメータが得られる。なお、νはマイクロ波の周波数である。ｈはプランク定数であり、βはボーア磁子であり、どちらも定数である。
【０３８１】
ここでは、下記の条件でＥＳＲ測定を行った。測定温度を室温（２５℃）とし、９．１ＧＨｚの高周波電力（マイクロ波パワー）を２０ｍＷとし、磁場の向きは作製した試料の膜表面と平行とした。なお、ＩＧＺＯ膜に含まれる欠陥に由来するｇ（ｇ値）＝１．９３に現れる信号のスピン密度の検出下限を４．４×１０１６ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３とした。
【０３８２】
試料Ｄ１乃至試料Ｄ５それぞれに含まれるＩＧＺＯ膜をＥＳＲ測定して得られた１次微分曲線を図２３（Ａ）に示し、試料Ｄ６乃至試料Ｄ１０それぞれに含まれるＩＧＺＯ膜をＥＳＲ測定して得られた１次微分曲線を図２３（Ｂ）に示し、試料Ｄ１乃至試料Ｄ５において、ｇ（ｇ値）＝１．９３に現れる信号のスピン密度を図２３（Ｃ）に示す。
【０３８３】
また、試料Ｄ１１乃至試料Ｄ１５それぞれに含まれるＩＧＺＯ膜をＥＳＲ測定して得られた１次微分曲線を図２４（Ａ）に示し、試料Ｄ１６乃至試料Ｄ２０それぞれに含まれるＩＧＺＯ膜をＥＳＲ測定して得られた１次微分曲線を図２４（Ｂ）に示し、試料Ｄ１１乃至試料Ｄ１５において、ｇ（ｇ値）＝１．９３に現れる信号のスピン密度を図２４（Ｃ）に示す。
【０３８４】
図２３（Ａ）及び図２４（Ａ）において、試料Ｄ３乃至試料Ｄ５、試料Ｄ１３乃至試料Ｄ１５では、ｇ値が１．９３において、酸化物半導体膜中の欠陥に起因する対称性を有する信号が検出されており、ＩＧＺＯ膜に欠陥が含まれることが分かる。なお、ＩＧＺＯ膜の欠陥の一例としては酸素欠損がある。一方、試料Ｄ１、試料Ｄ２、試料Ｄ１１、及び試料Ｄ１２では、欠陥に起因する対称性を有する信号が検出されず（即ち、検出下限以下（ここでは、検出下限を４．４×１０１６ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３とする。）であり）、ＩＧＺＯ膜に含まれる欠陥の量が検出できないことが分かる。
【０３８５】
また、図２３（Ｂ）及び図２４（Ｂ）において、すべての試料では、酸化物半導体膜中の欠陥に起因する対称性を有する信号が検出されず（即ち、検出下限以下（ここでは、検出下限を４．４×１０１６ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３とする。）であり）、ＩＧＺＯ膜に含まれる欠陥の量が検出できないことが分かる。
【０３８６】
これらのことから、酸化物半導体膜上に窒素を有する酸化絶縁膜を形成した後、加熱処理を行うことで、窒素を有する酸化絶縁膜から酸素が酸化物半導体膜に拡散し、酸化物半導体膜中の欠陥、一例としては酸素欠損を低減できることがわかる。
【実施例５】
【０３８７】
本実施例では、トランジスタのＶｇ−Ｉｄ特性、及び光ＢＴストレス試験の測定結果について説明する。
【０３８８】
はじめに、試料Ｅ１及び試料Ｅ２に含まれるトランジスタの作製工程について説明する。本実施例では図２を参照して説明する。
【０３８９】
まず、図２（Ａ）に示すように、基板１１としてガラス基板を用い、基板１１上にゲート電極１５を形成した。
【０３９０】
スパッタリング法で厚さ１００ｎｍのタングステン膜を形成し、フォトリソグラフィ工程により該タングステン膜上にマスクを形成し、該マスクを用いて該タングステン膜の一部をエッチングし、ゲート電極１５を形成した。
【０３９１】
次に、ゲート電極１５上にゲート絶縁膜１７を形成した。
【０３９２】
ゲート絶縁膜１７として、厚さ５０ｎｍの窒化シリコン膜、及び厚さ２００ｎｍの酸化窒化シリコン膜を積層して形成した。該窒化シリコン膜は、シラン５０ｓｃｃｍ、窒素５０００ｓｃｃｍをプラズマＣＶＤ装置の処理室に供給し、処理室内の圧力を６０Ｐａに制御し、２７．１２ＭＨｚの高周波電源を用いて１５０Ｗの電力を供給して形成した。該酸化窒化シリコン膜は、シラン２０ｓｃｃｍ、一酸化二窒素３０００ｓｃｃｍをプラズマＣＶＤ装置の処理室に供給し、処理室内の圧力を４０Ｐａに制御し、２７．１２ＭＨｚの高周波電源を用いて１００Ｗの電力を供給して形成した。なお、該窒化シリコン膜及び該酸化窒化シリコン膜は、基板温度を３５０℃として形成した。
【０３９３】
次に、ゲート絶縁膜１７を介してゲート電極１５に重なる酸化物半導体膜１９を形成した。
【０３９４】
ここでは、ゲート絶縁膜１７上にＣＡＡＣ−ＯＳ膜であるＩＧＺＯ膜をスパッタリング法で形成し、フォトリソグラフィ工程により該ＩＧＺＯ膜上にマスクを形成し、該マスクを用いて該ＩＧＺＯ膜の一部をエッチングした。その後、エッチングされたＩＧＺＯ膜に加熱処理を行い、酸化物半導体膜１９を形成した。なお、本実施例では厚さ３５ｎｍのＩＧＺＯ膜を形成した。また、ＩＧＺＯ膜の形成条件は、実施例３で説明した試料Ｃ１及び試料Ｃ２に設けたＩＧＺＯ膜の形成条件と同様である。
【０３９５】
ＩＧＺＯ膜は、スパッタリングターゲットをＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１（原子数比）のターゲットとし、スパッタリングガスとして５０ｓｃｃｍのＡｒと５０ｓｃｃｍの酸素をスパッタリング装置の処理室内に供給し、処理室内の圧力を０．６Ｐａに制御し、５ｋＷの直流電力を供給して形成した。なお、ＩＧＺＯ膜を形成する際の基板温度は１７０℃とした。
【０３９６】
次に、加熱処理を行い、酸化物半導体膜に含まれる水、水素等を脱離させた。ここでは、窒素雰囲気で、４５０℃、１時間の加熱処理を行った後、窒素及び酸素雰囲気で、４５０℃、１時間の加熱処理を行った。
【０３９７】
ここまでの工程で得られた構成は図２（Ｂ）を参照できる。
【０３９８】
次に、ゲート絶縁膜１７の一部をエッチングしてゲート電極を露出された後（図示しない。）、図２（Ｃ）に示すように、酸化物半導体膜１９に接する一対の電極２１を形成した。
【０３９９】
ゲート絶縁膜１７及び酸化物半導体膜１９上に導電膜を形成し、フォトリソグラフィ工程により該導電膜上にマスクを形成し、該マスクを用いて該導電膜の一部をエッチングし、一対の電極２１を形成した。なお、該導電膜は、厚さ５０ｎｍのタングステン膜上に厚さ４００ｎｍのアルミニウム膜を形成し、該アルミニウム膜上に厚さ１００ｎｍのチタン膜を形成した。
【０４００】
次に、減圧された処理室に基板を移動し、２２０℃で加熱した後、一酸化二窒素が充填された処理室に基板を移動させた。次に、処理室に設けられる上部電極に２７．１２ＭＨｚの高周波電源を用いて１５０Ｗの高周波電力を供給して発生させたプラズマに酸化物半導体膜１９を曝した。
【０４０１】
次に、上記プラズマ処理の後、大気に曝すことなく、連続的に窒素を有する酸化絶縁膜２２を形成した（図２（Ｄ）参照）。ここでは、窒素を有する酸化絶縁膜２２として、厚さ５０ｎｍの第１の酸化窒化シリコン膜及び厚さ４００ｎｍの第２の酸化窒化シリコン膜を積層して形成した。なお、第１の酸化窒化シリコン膜及び第２の酸化窒化シリコン膜の形成条件はそれぞれ、実施例３で説明した試料Ｃ１及び試料Ｃ２に設けた第１の酸化窒化シリコン膜及び第２の酸化窒化シリコン膜の形成条件と同様である。
【０４０２】
第１の酸化窒化シリコン膜としては、流量３０ｓｃｃｍのシラン及び流量４０００ｓｃｃｍの一酸化二窒素を原料ガスとし、プラズマＣＶＤ装置の処理室の圧力を４０Ｐａ、基板温度を２２０℃とし、１５０Ｗの高周波電力を平行平板電極に供給したプラズマＣＶＤ法により形成した。
【０４０３】
第２の酸化窒化シリコン膜としては、流量１６０ｓｃｃｍのシラン及び流量４０００ｓｃｃｍの一酸化二窒素を原料ガスとし、処理室の圧力を２００Ｐａ、基板温度を２２０℃とし、１５００Ｗの高周波電力を平行平板電極に供給したプラズマＣＶＤ法により形成した。当該条件により、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含み、加熱により酸素の一部が脱離する酸化窒化シリコン膜を形成することができる。
【０４０４】
次に、加熱処理を行い、窒素を有する酸化絶縁膜２２から水、窒素、水素等を脱離させ、図２（Ｅ）に示すように、窒素濃度が低減された窒素を有する酸化絶縁膜２３を形成した。ここでは、窒素及び酸素雰囲気で、３５０℃、１時間の加熱処理を行った。
【０４０５】
次に、減圧された処理室に基板を移動し、３５０℃で加熱した後、窒素を有する酸化絶縁膜２３上に窒化絶縁膜（図示しない。）を形成した。
【０４０６】
窒化絶縁膜としては、流量２００ｓｃｃｍのシラン、流量２０００ｓｃｃｍの窒素、及び流量１００ｓｃｃｍのアンモニアを原料ガスとし、処理室の圧力を１００Ｐａ、基板温度を３５０℃とし、２０００Ｗの高周波電力を平行平板電極に供給したプラズマＣＶＤ法により、厚さ５０ｎｍの窒化シリコン膜を形成した。
【０４０７】
次に、図示しないが、窒素を有する酸化絶縁膜２３及び窒化絶縁膜の一部をエッチングして、一対の電極の一部を露出する開口部を形成した。
【０４０８】
次に、窒化絶縁膜上に平坦化膜を形成した（図示しない）。ここでは、組成物を窒化絶縁膜上に塗布した後、露光及び現像を行って、一対の電極の一部を露出する開口部を有する平坦化膜を形成した。なお、平坦化膜として厚さ１．５μｍのアクリル樹脂を形成した。こののち、加熱処理を行った。当該加熱処理は、温度を２５０℃とし、窒素雰囲気で１時間行った。
【０４０９】
次に、一対の電極の一部に接続する導電膜を形成した（図示しない）。ここでは、スパッタリング法により厚さ１００ｎｍの酸化シリコンを含むＩＴＯを形成した。この後、窒素及び酸素雰囲気で、２５０℃、１時間の加熱処理を行った。
【０４１０】
以上の工程により、トランジスタＥ１を作製した。また、トランジスタＥ１を複数有する試料を試料Ｅ１とする。
【０４１１】
また、トランジスタＥ１において窒素を有する酸化絶縁膜２２を形成した後に行った、加熱処理をして窒素を有する酸化絶縁膜２３を形成する工程を除いた方法によりトランジスタＥ２を形成した。また、トランジスタＥ２を複数有する試料を試料Ｅ２とする。
【０４１２】
次に、試料Ｅ１及び試料Ｅ２のＢＴストレス試験及び光ＢＴストレス試験を行った。ここでは、ＢＴストレス試験として、基板温度を８０℃、ゲート絶縁膜に印加する電界強度を１．２ＭＶ／ｃｍ、印加時間を２０００秒とし、ゲート電極に電圧を印加するＢＴストレス試験を行った。
【０４１３】
また、上記ＢＴストレス試験と同様の条件を用い、３０００ｌｘの白色ＬＥＤ光をトランジスタに照射してゲート電極に電圧を印加する光ＢＴストレス試験を行った。
【０４１４】
ここで、ＢＴストレス試験方法とトランジスタのＶｇ−Ｉｄ特性の測定方法について説明する。はじめに、トランジスタのＶｇ−Ｉｄ特性の初期特性を測定した。ここでは、基板温度を２５℃とし、ソース−ドレイン間電圧（以下、ドレイン電圧という。）を１Ｖ、１０Ｖとし、ソース−ゲート電極間電圧（以下、ゲート電圧という。）を−３０Ｖ〜＋３０Ｖまで変化させたときのソース−ドレイン電流（以下、ドレイン電流という。）の変化特性、すなわちＶｇ−Ｉｄ特性を測定した。
【０４１５】
次に、基板温度を８０℃まで上昇させた後、トランジスタのソースおよびドレインの電位を０Ｖとした。続いて、ゲート絶縁膜へ印加される電界強度が１．２ＭＶ／ｃｍとなるようにゲート電極に電圧を印加し、２０００秒保持した。
【０４１６】
なお、マイナスＢＴストレス試験（Ｄａｒｋ  −ＧＢＴ）では、ゲート電極に−３０Ｖを印加した。また、プラスＢＴストレス試験（Ｄａｒｋ  ＋ＧＢＴ）では、ゲート電極に３０Ｖを印加した。また、光マイナスＢＴストレス試験（Ｐｈｏｔｏ  −ＧＢＴ）では、３０００ｌｘの白色ＬＥＤ光を照射しつつ、ゲート電極に−３０Ｖを印加した。また、光プラスＢＴストレス試験（Ｐｈｏｔｏ  ＋ＧＢＴ）では、３０００ｌｘの白色ＬＥＤ光トランジスタに照射しつつ、ゲート電極に３０Ｖを印加した。
【０４１７】
次に、ゲート電極、ソースおよびドレインへ電圧を印加したまま、基板温度を２５℃まで下げた。基板温度が２５℃になった後、ゲート電極、ソースおよびドレインへの電圧の印加を終了させた。
【０４１８】
次に、初期特性の測定と同じ条件でＶｇ−Ｉｄ特性を測定し、ＢＴストレス試験、及び光ＢＴストレス試験のＶｇ−Ｉｄ特性を得た。
【０４１９】
試料Ｅ１及び試料Ｅ２に含まれるトランジスタのＶｇ−Ｉｄ特性の初期特性を図２５に示す。図２５において、横軸はゲート電圧Ｖｇ、縦軸はドレイン電流Ｉｄを表す。また、実線はそれぞれ、ドレイン電圧Ｖｄが１Ｖ、１０ＶのときのＶｇ−Ｉｄ特性であり、破線はドレイン電圧Ｖｄを１０Ｖとしたときのゲート電圧に対する電界効果移動度を表す。なお、当該電界効果移動度は各試料の飽和領域での結果である。
【０４２０】
また、試料Ｅ１及び試料Ｅ２の初期特性のしきい値電圧とＢＴストレス試験後のしきい値電圧の差（即ち、しきい値電圧の変動量（ΔＶｔｈ））を図２６に示す。図２６において、プラスＢＴストレス試験（Ｄａｒｋ  ＋ＧＢＴ）、マイナスＢＴストレス試験（Ｄａｒｋ  −ＧＢＴ）、光プラスＢＴストレス試験（Ｐｈｏｔｏ  ＋ＧＢＴ）、光マイナスＢＴストレス試験（Ｐｈｏｔｏ  −ＧＢＴ）それぞれのしきい値電圧の変動量ΔＶｔｈを示す。
【０４２１】
本明細書において、しきい値電圧（Ｖｔｈ）は、ゲート電圧（Ｖｇ［Ｖ］）を横軸、ドレイン電流の平方根（Ｉｄ１／２［Ａ］）を縦軸としてプロットした曲線において、最大傾きであるＩｄ１／２の接線を外挿したときの、接線とＶｇ軸との交点のゲート電圧で定義する。なお、本明細書においては、ドレイン電圧Ｖｄを１０Ｖとして、しきい値電圧を算出する。
【０４２２】
なお、各トランジスタは、チャネル長（Ｌ）が６μｍ、チャネル幅（Ｗ）が５０μｍである。また、各試料において、基板内に同じ構造の２０個のトランジスタを作製した。
【０４２３】
図２５（Ｂ）に示すＶｇ−Ｉｄ特性は、ドレイン電圧Ｖｄが１Ｖ、１０Ｖのオン電流の立ち上がりゲート電圧（Ｖｇ）が異なる。一方、図２５（Ａ）に示すＶｇ−Ｉｄ特性は、ドレイン電圧Ｖｄが１Ｖ、１０Ｖのオン電流の立ち上がりゲート電圧（Ｖｇ）が略同一である。このことから、トランジスタ上に窒素を有する酸化絶縁膜を形成した後、加熱処理をすることで、トランジスタの電気特性が向上することがわかる。これは、実施例３で示すように、窒素を有する酸化絶縁膜を加熱することで、窒素を有する酸化絶縁膜の窒素濃度を低減することができる。この結果、窒素を有する酸化絶縁膜の欠陥量を低減できるため、トランジスタの電気特性が向上する。
【０４２４】
図２６より、試料Ｅ２では光マイナスＢＴストレス試験において、しきい値電圧の変動量（ΔＶｔｈ）がマイナスであり、しかもその変動量が大きい。一方、試料Ｅ１においては、ＢＴストレス試験及び光ＢＴストレス試験の全てにおいて、しきい値電圧の変動量（ΔＶｔｈ）がプラスであり、且つその変動量が３．０Ｖ未満と小さい。このことから、トランジスタ上に窒素を有する酸化絶縁膜を形成した後、加熱処理をすることで、ＢＴストレス試験及び光ＢＴストレス試験におけるしきい値電圧の変動量が小さいことが分かる。これは、実施例４で示すように、窒素を有する酸化絶縁膜を加熱することで、酸化物半導体膜の欠陥、一例としては酸素欠損量を低減することができるためであり、トランジスタの電気特性が向上する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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