(57)【要約】【課題】凹部にＣｕ配線を形成する際に、ボイド等を発生させずにかつ配線抵抗の上昇を極力抑えて、エレクトロマイグレーション耐性の高いＣｕ配線を得ることができるＣｕ配線の形成方法を提供すること。【解決手段】トレンチ２０３を有するウエハＷの全面にバリア膜２０４を形成する工程と、バリア膜２０４の上にＲｕ膜２０５を形成する工程と、Ｒｕ膜２０５の上にエレクトロマイグレーション耐性が純Ｃｕよりも高く、かつ抵抗値が許容範囲となる程度の合金成分を含有するＣｕ合金膜２０６をＰＶＤにより形成してトレンチ２０３にＣｕ合金膜を埋め込む工程と、Ｃｕ合金膜２０６の上に、積み増し層２０７を形成する工程と、ＣＭＰにより全面を研磨してトレンチ２０３にＣｕ配線を形成する工程とを有する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に形成された所定パターンの凹部にＣｕ配線を形成するＣｕ配線の形成方法であって、
少なくとも前記凹部の表面にバリア膜を形成する工程と、
エレクトロマイグレーション耐性が純Ｃｕよりも高く、かつ抵抗値が許容範囲となる程度の合金成分を含有するＣｕ合金膜をＰＶＤにより形成して前記凹部内に前記Ｃｕ合金膜を埋め込む工程と、
次いで、前記Ｃｕ合金膜の上に積み増し層を形成する工程と、
ＣＭＰにより全面を研磨して前記凹部内にＣｕ配線を形成する工程と
を有することを特徴とするＣｕ配線の形成方法。
【請求項２】
前記Ｃｕ合金膜の合金成分の濃度が所定値となるように、成膜条件に応じてＰＶＤを行う際のターゲットの合金成分の濃度を決定することを特徴とする請求項１に記載のＣｕ配線の形成方法。
【請求項３】
前記バリア膜を形成した後、前記Ｃｕ合金膜を形成する前に、Ｒｕ膜を形成する工程をさらに有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＣｕ配線の形成方法。
【請求項４】
前記Ｒｕ膜は、ＣＶＤにより形成されることを特徴とする請求項３に記載のＣｕ配線の形成方法。
【請求項５】
前記Ｃｕ合金膜の形成は、基板が収容された処理容器内にプラズマ生成ガスによりプラズマを生成し、得ようとするＣｕ合金膜と同じＣｕ合金からなるターゲットから粒子を飛翔させて、粒子を前記プラズマ中でイオン化させ、前記基板にバイアス電力を印加してイオンを基板上に引きこむ装置により行われることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のＣｕ配線の形成方法。
【請求項６】
前記積み増し層の形成は、ＰＶＤによりＣｕ合金膜または純Ｃｕ膜を形成することにより行うことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のＣｕ配線の形成方法。
【請求項７】
前記積み増し層の形成は、前記Ｃｕ合金膜を形成した後、同じ装置により同じＣｕ合金を形成することにより行われることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のＣｕ配線の形成方法。
【請求項８】
前記Ｃｕ合金膜を構成するＣｕ合金は、Ｃｕ−Ａｌ、Ｃｕ−Ｍｎ、Ｃｕ−Ｍｇ、Ｃｕ−Ａｇ、Ｃｕ−Ｓｎ、Ｃｕ−Ｐｂ、Ｃｕ−Ｚｎ、Ｃｕ−Ｐｔ、Ｃｕ−Ａｕ、Ｃｕ−Ｎｉ、Ｃｕ−Ｃｏ、およびＣｕ−Ｔｉから選択されるものであることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のＣｕ配線の形成方法。
【請求項９】
前記Ｃｕ合金膜を構成するＣｕ合金は、Ｃｕ−Ｍｎであることを特徴とする請求項８に記載のＣｕ配線の形成方法。
【請求項１０】
前記Ｃｕ合金膜を構成するＣｕ合金は、Ｃｕ−Ａｌであることを特徴とする請求項８に記載のＣｕ配線の形成方法。
【請求項１１】
前記バリア膜は、Ｔｉ膜、ＴｉＮ膜、Ｔａ膜、ＴａＮ膜、Ｔａ／ＴａＮの２層膜、ＴａＣＮ膜、Ｗ膜、ＷＮ膜、ＷＣＮ膜、Ｚｒ膜、ＺｒＮ膜、Ｖ膜、ＶＮ膜、Ｎｂ膜、ＮｂＮ膜からなる群から選択されるものであることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載のＣｕ配線の形成方法。
【請求項１２】
コンピュータ上で動作し、Ｃｕ配線形成システムを制御するためのプログラムが記憶された記憶媒体であって、前記プログラムは、実行時に、請求項１から請求項１１のいずれかのＣｕ配線の形成方法が行われるように、コンピュータに前記Ｃｕ配線形成システムを制御させることを特徴とする記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に形成されたトレンチやホールのような凹部にＣｕ配線を形成するＣｕ配線の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造においては、半導体ウエハに成膜処理やエッチング処理等の各種の処理を繰り返し行って所望のデバイスを製造するが、近時、半導体デバイスの高速化、配線パターンの微細化、高集積化の要求に対応して、配線の低抵抗化（導電性向上）およびエレクトロマイグレーション耐性の向上が求められている。
【０００３】
このような点に対応して、配線材料にアルミニウム（Ａｌ）やタングステン（Ｗ）よりも導電性が高く（抵抗が低く）かつエレクトロマイグレーション耐性に優れている銅（Ｃｕ）が用いられるようになってきている。
【０００４】
Ｃｕ配線の形成方法としては、トレンチやホールが形成された層間絶縁膜全体にタンタル金属（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、タンタル窒化膜（ＴａＮ）、チタン窒化膜（ＴｉＮ）などからなるバリア膜をＰＶＤであるプラズマスパッタで形成し、バリア膜の上に同じくプラズマスパッタによりＣｕシード膜を形成し、さらにその上にＣｕめっきを施してトレンチやホールを完全に埋め込み、ウエハ表面の余分な銅薄膜およびバリア膜をＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）処理により研磨処理して取り除く技術が提案されている（例えば特許文献１）。
【０００５】
しかし、半導体デバイスのデザインルールが一層微細化しており、これによる電流密度上昇にともなって、配線材料としてＣｕを用いてもエレクトロマイグレーション耐性が十分ではなくなってきている。このため、エレクトロマイグレーション耐性を向上させて、さらなる配線の信頼性向上を図ることを目的とする技術として、Ｃｕシード膜の代わりにＣｕ合金（Ｃｕ−Ａｌ、Ｃｕ−Ｍｎ、Ｃｕ−Ｍｇ、Ｃｕ−Ａｇ、Ｃｕ−Ｓｎ、Ｃｕ−Ｐｂ、Ｃｕ−Ｚｎ、Ｃｕ−Ｐｔ、Ｃｕ−Ａｕ、Ｃｕ−Ｎｉ、Ｃｕ−Ｃｏなど）をシード層に用いた配線形成プロセスが提案されている（非特許文献１等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１４８０７５号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】Nogami et. al. IEDM2010 pp764-767
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述したような半導体デバイスのデザインルールの益々の微細化にともない、トレンチの幅やホール径が数十ｎｍとなっており、このような狭いトレンチやホール等の凹部内に、特許文献１のように、プラズマスパッタリングでバリア膜やシード膜を形成した後にＣｕめっきによりトレンチやホールを埋め込む場合には、埋め込み性が十分ではなくボイドが発生する等の問題が生ずる。
【０００９】
また、上記非特許文献１の技術では、エレクトロマイグレーション耐性の向上を図ることはできるものの、Ｃｕめっきを用いるため、本質的に上記埋め込み性の問題は解決されない。
【００１０】
さらに、合金成分およびＣｕめっき中の不純物が配線中に含まれることとなり、配線抵抗が高くなってしまう場合も生じる。
【００１１】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであって、トレンチやホールのような凹部にＣｕ配線を形成する際に、ボイド等を発生させずにかつ配線抵抗の上昇を極力抑えて、エレクトロマイグレーション耐性の高いＣｕ配線を得ることができるＣｕ配線の形成方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明は、基板に形成された所定パターンの凹部にＣｕ配線を形成するＣｕ配線の形成方法であって、少なくとも前記凹部の表面にバリア膜を形成する工程と、エレクトロマイグレーション耐性が純Ｃｕよりも高く、かつ抵抗値が許容範囲となる程度の合金成分を含有するＣｕ合金膜をＰＶＤにより形成して前記凹部内に前記Ｃｕ合金膜を埋め込む工程と、次いで、前記Ｃｕ合金膜の上に積み増し層を形成する工程と、ＣＭＰにより全面を研磨して前記凹部内にＣｕ配線を形成する工程とを有することを特徴とするＣｕ配線の形成方法を提供する。
【００１３】
本発明において、前記Ｃｕ合金膜の合金成分の濃度が所定値となるように、成膜条件に応じてＰＶＤを行う際のターゲットの合金成分の濃度を決定することが好ましい。前記バリア膜を形成した後、前記Ｃｕ合金膜を形成する前に、Ｒｕ膜を形成する工程をさらに有することが好ましい。前記Ｒｕ膜は、ＣＶＤにより形成されることが好ましい。
【００１４】
前記Ｃｕ合金膜の形成は、基板が収容された処理容器内にプラズマ生成ガスによりプラズマを生成し、得ようとするＣｕ合金膜と同じＣｕ合金からなるターゲットから粒子を飛翔させて、粒子を前記プラズマ中でイオン化させ、前記基板にバイアス電力を印加してイオンを基板上に引きこむ装置により行われることが好ましい。
【００１５】
前記積み増し層の形成は、ＰＶＤによりＣｕ合金膜または純Ｃｕ膜を形成することにより行うことができる。また、前記積み増し層の形成は、前記Ｃｕ合金膜を形成した後、同じ装置により同じＣｕ合金を形成することにより行われることが好ましい。
【００１６】
前記Ｃｕ合金膜を構成するＣｕ合金は、Ｃｕ−Ａｌ、Ｃｕ−Ｍｎ、Ｃｕ−Ｍｇ、Ｃｕ−Ａｇ、Ｃｕ−Ｓｎ、Ｃｕ−Ｐｂ、Ｃｕ−Ｚｎ、Ｃｕ−Ｐｔ、Ｃｕ−Ａｕ、Ｃｕ−Ｎｉ、Ｃｕ−Ｃｏ、およびＣｕ−Ｔｉから選択されるものを用いることができる。この中でもＣｕ−ＭｎおよびＣｕ−Ａｌが好ましく、特にＣｕ−Ｍｎが好ましい。
【００１７】
前記バリア膜は、Ｔｉ膜、ＴｉＮ膜、Ｔａ膜、ＴａＮ膜、Ｔａ／ＴａＮの２層膜、ＴａＣＮ膜、Ｗ膜、ＷＮ膜、ＷＣＮ膜、Ｚｒ膜、ＺｒＮ膜、Ｖ膜、ＶＮ膜、Ｎｂ膜、ＮｂＮ膜からなる群から選択されるものを用いることができる。
【００１８】
本発明はまた、コンピュータ上で動作し、Ｃｕ配線形成システムを制御するためのプログラムが記憶された記憶媒体であって、前記プログラムは、実行時に、上記Ｃｕ配線の形成方法が行われるように、コンピュータに前記Ｃｕ配線形成システムを制御させることを特徴とする記憶媒体を提供する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、エレクトロマイグレーション耐性が純Ｃｕよりも高く、かつ抵抗値が許容範囲となる程度の合金成分を含有するＣｕ合金膜をＰＶＤにより形成して凹部内にＣｕ合金膜を埋め込むので、Ｃｕめっきにより埋め込む場合のようなボイドの発生を防止することができ、また、ＰＶＤは不純物が少ないので、配線抵抗の上昇が少なく、かつエレクトロマイグレーション耐性が高く、かつ許容される抵抗値を有する組成のＣｕ合金膜を高精度で成膜することができる。このため、ボイド等を発生させずにかつ配線抵抗の上昇を極力抑えて、エレクトロマイグレーション耐性の高いＣｕ配線を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係るＣｕ配線の形成方法を示すフローチャートである。
【図２】本発明の一実施形態に係るＣｕ配線の形成方法を説明するための工程断面図である。
【図３】トレンチ内のみをＣｕ−Ｍｎ合金とした場合、および積み増し層（高さ２００ｎｍ）もＣｕ−Ｍｎ合金とした場合における、トレンチ幅とＣｕ−Ｍｎ膜のＭｎ濃度との関係を示す図である。
【図４】Ｃｕ−Ｍｎ合金ターゲット（Ｍｎ０．２ａｔ．％）を用いて、２０ｎｍ幅の配線の埋め込み実験を行った際における埋め込み状態を示すＳＥＭ写真である。
【図５】本発明の実施形態に係るＣｕ配線の形成方法の実施に好適なマルチチャンバタイプの成膜システムの一例を示す平面図である。
【図６】図５の成膜システムに搭載された、Ｃｕ合金膜を形成するためのＣｕ合金膜成膜装置を示す断面図である。
【図７】図５の成膜システムに搭載された、Ｒｕライナー膜を形成するためのＲｕ膜成膜装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について具体的に説明する。
【００２２】
＜Ｃｕ配線の形成方法の一実施形態＞
まず、Ｃｕ配線の形成方法の一実施形態について図１のフローチャートおよび図２の工程断面図を参照して説明する。
【００２３】
本実施形態では、まず、下部構造２０１（詳細は省略）の上にＳｉＯ２膜、Ｌｏｗ−ｋ膜（ＳｉＣＯ、ＳｉＣＯＨ等）等の層間絶縁膜２０２を有し、そこにトレンチ２０３および下層配線への接続のためのビア（図示せず）が所定パターンで形成された半導体ウエハ（以下、単にウエハと記す）Ｗを準備する（ステップ１、図２（ａ））。このようなウエハＷとしては、ＤｅｇａｓプロセスやＰｒｅ−Ｃｌｅａｎプロセスによって、絶縁膜表面の水分やエッチング／アッシング時の残渣を除去したものであることが好ましい。
【００２４】
次に、トレンチ２０３およびビアの表面を含む全面にＣｕを遮蔽（バリア）してＣｕの拡散を抑制するバリア膜２０４を成膜する（ステップ２、図２（ｂ））。
【００２５】
バリア膜２０４としては、Ｃｕに対して高いバリア性を有し、低抵抗を有するものが好ましく、Ｔｉ膜、ＴｉＮ膜、Ｔａ膜、ＴａＮ膜、Ｔａ／ＴａＮの２層膜を好適に用いることができる。また、ＴａＣＮ膜、Ｗ膜、ＷＮ膜、ＷＣＮ膜、Ｚｒ膜、ＺｒＮ膜、Ｖ膜、ＶＮ膜、Ｎｂ膜、ＮｂＮ膜等を用いることもできる。Ｃｕ配線はトレンチまたはホール内に埋め込むＣｕの体積が大きくなるほど低抵抗になるので、バリア膜は非常に薄く形成することが好ましく、そのような観点からその厚さは１〜２０ｎｍが好ましい。より好ましくは１〜１０ｎｍである。バリア膜は、イオン化ＰＶＤ（Ｉｏｎｉｚｅｄ  ｐｈｙｓｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ；ｉＰＶＤ）、例えばプラズマスパッタにより成膜することができる。また、通常のスパッタ、イオンプレーティング等の他のＰＶＤで成膜することもでき、ＣＶＤやＡＬＤ、プラズマを用いたＣＶＤやＡＬＤで成膜することもできる。
【００２６】
次いで、バリア膜２０４の上にＲｕライナー膜２０５を成膜する（ステップ３、図２（ｃ））。Ｒｕライナー膜は、埋め込むＣｕの体積を大きくして配線を低抵抗にする観点から、例えば１〜５ｎｍと薄く形成することが好ましい。
【００２７】
ＲｕはＣｕに対する濡れ性が高いため、Ｃｕの下地にＲｕライナー膜を形成することにより、次のｉＰＶＤによるＣｕ膜形成の際に、良好なＣｕの移動性を確保することができ、トレンチやホールの間口を塞ぐオーバーハングを生じ難くすることができる。このため、微細なトレンチまたはホールにもボイドを発生させずに確実にＣｕを埋め込むことができる。
【００２８】
Ｒｕライナー膜は、ルテニウムカルボニル（Ｒｕ３（ＣＯ）１２）を成膜原料として用いて熱ＣＶＤにより好適に形成することができる。これにより、高純度で薄いＲｕ膜を高ステップカバレッジで成膜することができる。このときの成膜条件は、例えば処理容器内の圧力が１．３〜６６．５Ｐａの範囲であり、成膜温度（ウエハ温度）が１５０〜２５０℃の範囲である。Ｒｕライナー膜２０５は、ルテニウムカルボニル以外の他の成膜原料、例えば（シクロペンタジエニル）（２，４−ジメチルペンタジエニル）ルテニウム、ビス（シクロペンタジエニル）（２，４−メチルペンタジエニル）ルテニウム、（２，４−ジメチルペンタジエニル）（エチルシクロペンタジエニル）ルテニウム、ビス（２，４−メチルペンタジエニル）（エチルシクロペンタジエニル）ルテニウムのようなルテニウムのペンタジエニル化合物を用いたＣＶＤやＰＶＤで成膜することもできる。
【００２９】
なお、トレンチやビアの間口が広く、オーバーハングが生じにくい場合等には、必ずしもＲｕライナー膜２０５を形成する必要はなく、バリア膜の上に直接Ｃｕ膜を形成してもよい。
【００３０】
次いで、ＰＶＤにより低純度のＣｕ合金からなるＣｕ合金膜２０６を形成し、トレンチ２０３およびビア（図示せず）をほぼ完全に埋め込む（ステップ４、図２（ｄ））。この際の成膜は、ｉＰＶＤ、例えばプラズマスパッタを用いることが好ましい。
【００３１】
通常のＰＶＤ成膜の場合には、Ｃｕの凝集により、トレンチやホールの間口を塞ぐオーバーハングが生じやすいが、ｉＰＶＤを用い、ウエハに印加するバイアスパワーを調整して、Ｃｕイオンの成膜作用とプラズマ生成ガスのイオン（Ａｒイオン）によるエッチング作用とを制御することにより、Ｃｕを移動させてオーバーハングの生成を抑制することができ、狭い開口のトレンチやホールであっても良好な埋め込み性を得ることができる。このとき、Ｃｕの流動性を持たせて良好な埋め込み性を得る観点からはＣｕがマイグレートする高温プロセス（６５〜３５０℃）が好ましい。また、上述したように、Ｃｕ合金膜２０６の下地にＣｕに対する濡れ性が高いＲｕライナー膜２０５を設けることにより、Ｒｕライナー膜上でＣｕが凝集せず流動するので、微細な凹部においてもオーバーハングの生成を抑制することができ、ボイドを発生させずに確実にＣｕを埋め込むことができる。
【００３２】
なお、トレンチやホールの開口幅が大きい場合等、オーバーハングが生成し難い場合には、Ｃｕがマイグレートしない低温プロセス（−５０〜０℃）により、高速で成膜することができる。
【００３３】
また、Ｃｕ膜成膜時における処理容器内の圧力（プロセス圧力）は、１〜１００ｍＴｏｒｒ（０．１３３〜１３．３Ｐａ）が好ましく、３５〜９０ｍＴｏｒｒ（４．６６〜１２．０Ｐａ）がより好ましい。
【００３４】
Ｃｕ合金膜２０６を構成するＣｕ合金としては、Ｃｕ−Ａｌ、Ｃｕ−Ｍｎ、Ｃｕ−Ｍｇ、Ｃｕ−Ａｇ、Ｃｕ−Ｓｎ、Ｃｕ−Ｐｂ、Ｃｕ−Ｚｎ、Ｃｕ−Ｐｔ、Ｃｕ−Ａｕ、Ｃｕ−Ｎｉ、Ｃｕ−Ｃｏ、Ｃｕ−Ｔｉなどを挙げることができる。この中では、Ｃｕ−Ｍｎ、Ｃｕ−Ａｌが好適であり、特にＣｕ−Ｍｎが好適である。
【００３５】
このときの合金成分の濃度（含有率）は、純Ｃｕよりもエレクトロマイグレーション耐性が高くなり、かつ許容される抵抗値が得られる値とされる。つまり、合金成分が存在することによりエレクトロマイグレーション耐性が向上するが、抵抗値は低下するため、合金成分はエレクトロマイグレーション耐性の向上を図りつつ、抵抗値を許容されない値まで上昇させない量に制御される。ただし、その値は合金成分の種類によって異なるから、合金成分に応じて適宜設定することが好ましい。例えば、Ｃｕ−Ｍｎであれば、Ｍｎ濃度は０．１ａｔ．％程度で十分であり、好ましい範囲は０．０５〜１ａｔ．％である。Ｃｕ−Ａｌ合金であれば、好ましい範囲は０．０５〜２ａｔ．％である。また、Ｃｕ合金膜２０６は、得ようとするＣｕ合金製のターゲットを用いて成膜するが、その際のターゲットの合金組成と成膜されるＣｕ合金膜の組成との関係は、圧力等の成膜条件により変動するから、実際に採用される製造条件において所望の合金組成が得られるようにターゲットの合金組成を調整する必要がある。なお、Ｃｕ合金ターゲットへの直流電力は４〜１２ｋＷであることが好ましく、６〜１０ｋＷがより好ましい。
【００３６】
このようにトレンチ２０３およびビア（ホール）内にＣｕ合金を埋め込んだ後は、その後の平坦化処理に備えてＣｕ合金膜２０６の上に積み増し層２０７を成膜する（ステップ５、図２（ｅ））。
【００３７】
積み増し層２０７は、Ｃｕ合金膜２０６に引き続いてｉＰＶＤ等のＰＶＤにより同じＣｕ合金膜を成膜することにより形成してもよいし、純Ｃｕ膜をＰＶＤまたはめっきにより形成してもよい。ただし、良好なスループットを得る観点、および装置の簡略化の観点等から、Ｃｕ合金膜２０６を形成したのと同じＰＶＤ（ｉＰＶＤ）装置を用いて、Ｃｕ合金膜２０６と同じＣｕ合金膜を形成することにより積み増し層２０７を形成することが好ましい。積み増し層２０７は埋め込み性をほとんど考慮する必要はないため、ＰＶＤで成膜する際には、Ｃｕ合金膜２０６よりも高い成膜速度で形成することが好ましい。
【００３８】
このようにして積み増し層２０７まで成膜した後、必要に応じてアニール処理を行う（ステップ６、図２（ｆ））。このアニール処理により、Ｃｕ合金膜２０６を安定化させるとともに、Ｃｕ合金膜２０６中の合金成分を膜の上面に移動させ、Ｃｕのエレクトロマイグレーションを抑制する。
【００３９】
この後、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）によりウエハＷ表面の全面を研磨して、積み増し層２０７、Ｒｕライナー膜２０５、バリア膜２０４を除去して平坦化する（ステップ７、図２（ｇ））。これによりトレンチおよびビア（ホール）内にＣｕ配線２０８が形成される。
【００４０】
その後、ＣＭＰ研磨後のＣｕ配線２０８の上に誘電体、例えばＳｉＣＮからなるキャップ層２０９を成膜する（ステップ８、図２（ｈ））。この際の成膜は、ＣＶＤで行うことができる。
【００４１】
本実施形態によれば、エレクトロマイグレーション耐性が純Ｃｕよりも高く、かつ抵抗値が許容範囲となる程度の合金成分を含有するＣｕ合金膜をＰＶＤによりトレンチやホールに埋め込むので、Ｃｕめっきにより埋め込む場合のようなボイドの発生を防止することができ、また、ＰＶＤは不純物が少ないので、配線抵抗の上昇が少なく、かつエレクトロマイグレーション耐性が高く、かつ許容される抵抗値を有する組成のＣｕ合金膜を高精度で成膜することができる。このため、ボイド等を発生させずにかつ配線抵抗の上昇を極力抑えて、エレクトロマイグレーション耐性の高いＣｕ配線を得ることができる。
【００４２】
なお、上記一連の工程のうち、バリア膜２０４を成膜するステップ２、Ｒｕライナー膜２０５を成膜するステップ３、Ｃｕ合金膜２０６を成膜するステップ４、積み増し層２０７を成膜するステップ５は、真空中で大気暴露を経ずに連続して成膜することが好ましいが、これらのいずれかの間で大気暴露してもよい。
【００４３】
＜Ｃｕ合金膜の形成例＞
次に、Ｃｕ合金膜の形成例について説明する。
上記非特許文献１では、下地の上にＣｕ合金シードを形成した後にＣｕめっきで埋め込んでいるが、この際のＣｕ合金シードの組成をＣｕ−０．５ａｔ％ＭｎとＣｕ−０．８ａｔ％Ｍｎとした場合に相当する、トレンチ全体をＣｕ−Ｍｎ合金とした場合のＭｎ濃度を求めた。ここでは、Ｃｕ−Ｍｎ合金シード層を厚さ３０ｎｍ、ボトムカバレッジが８０％、サイドカバレッジが２０％で形成し、Ｃｕめっきした後、アニールによってＭｎが均一に拡散すると仮定して、Ｍｎ濃度を求めた。
【００４４】
図３（ａ）はトレンチ内のみをＣｕ−Ｍｎ合金とした場合、図３（ｂ）は積み増し層（高さ２００ｎｍ）もＣｕ−Ｍｎ合金とした場合における、トレンチ幅とＣｕ−Ｍｎ膜のＭｎ濃度との関係を示す図である。
【００４５】
例えば、積み増し層までＣｕ−Ｍｎ合金としたことを想定した図３（ｂ）において、従来技術でのＣｕ−Ｍｎ合金シードのＭｎ濃度を０．５ａｔ．％とすると、埋め込もうとする配線幅が３０ｎｍより小さい場合には、トレンチ内に約０．１ａｔ．％のＭｎが残留していることが必要となる。ここで、上述したように、ターゲットの合金組成と成膜されるＣｕ合金膜の組成との関係は、圧力等の成膜条件により変動し、例えばｉＰＶＤによりＣｕの流動性のよい成膜を行うべく圧力を９０ｍＴｏｒｒ程度に高くした場合には、膜中のＭｎ濃度がターゲット濃度の約半分となることがわかっているから（特開２００８−２１０９７１号公報参照）、ｉＰＶＤ装置に用いるＣｕ−Ｍｎ合金ターゲットとしては、Ｍｎ濃度が０．２ａｔ．％のものを用いればよいこととなる。
【００４６】
＜埋め込み性評価＞
次に、Ｃｕ−Ｍｎ合金ターゲット（Ｍｎ０．２ａｔ．％）を用いて、２０ｎｍ幅のトレンチの埋め込み実験を行った。ここでは、ｉＰＶＤによりＴａＮ下地膜を４ｎｍ、ＣＶＤによりＲｕライナー膜を２ｎｍで成膜した後、以下のような条件でｉＰＶＤによりＣｕ−Ｍｎ合金膜を２０ｎｍ成膜することにより埋め込みを行った。
圧力：１２Ｐａ
ターゲット直流電流：７ｋＷ
バイアス高周波電力：４ｋＷ
処理温度：２５０℃
【００４７】
その結果、図４の操作型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真に示すように、２０ｎｍ幅のトレンチが十分に埋め込まれていることが確認された。
【００４８】
＜本発明の実施形態の実施に好適な成膜システム＞
次に、本発明の実施形態に係るＣｕ配線の形成方法の実施に好適な成膜システムについて説明する。図５は本発明の実施形態に係るＣｕ配線の形成方法の実施に好適なマルチチャンバタイプの成膜システムの一例を示す平面図である。
【００４９】
成膜システム１は、バリア膜およびＲｕライナー膜を形成する第１の処理部２と、純Ｃｕ膜およびＣｕ合金膜を形成する第２の処理部３と、搬入出部４とを有しており、ウエハＷに対してＣｕ配線を形成するためのものであり、上記実施形態における積み増し層の形成までを行うものである。
【００５０】
第１の処理部２は、平面形状が七角形をなす第１の真空搬送室１１と、この第１の真空搬送室１１の４つの辺に対応する壁部に接続された、２つのバリア膜成膜装置１２ａ，１２ｂおよび２つのＲｕライナー膜成膜装置１４ａ，１４ｂとを有している。バリア膜成膜装置１２ａおよびＲｕライナー膜成膜装置１４ａとバリア膜成膜装置１２ｂおよびＲｕライナー膜成膜装置１４ｂとは線対称の位置に配置されている。
【００５１】
第１の真空搬送室１１の他の２辺に対応する壁部には、それぞれウエハＷのデガス処理を行うデガス室５ａ，５ｂが接続されている。また、第１の真空搬送室１１のデガス室５ａと５ｂとの間の壁部には、第１の真空搬送室１１と後述する第２の真空搬送室２１との間でウエハＷの受け渡しを行う受け渡し室５が接続されている。
【００５２】
バリア膜成膜装置１２ａ，１２ｂ、Ｒｕライナー膜成膜装置１４ａ，１４ｂ、デガス室５ａ，５ｂ、および受け渡し室５は、第１の真空搬送室１１の各辺にゲートバルブＧを介して接続され、これらは対応するゲートバルブＧを開放することにより第１の真空搬送室１１と連通され、対応するゲートバルブＧを閉じることにより第１の真空搬送室１１から遮断される。
【００５３】
第１の真空搬送室１１内は所定の真空雰囲気に保持されるようになっており、その中には、バリア膜成膜装置１２ａ，１２ｂ、Ｒｕライナー膜成膜装置１４ａ，１４ｂ、デガス室５ａ，５ｂ、および受け渡し室５に対してウエハＷの搬入出を行う第１の搬送機構１６が設けられている。この第１の搬送機構１６は、第１の真空搬送室１１の略中央に配設されており、回転および伸縮可能な回転・伸縮部１７を有し、その回転・伸縮部１７の先端にウエハＷを支持する２つの支持アーム１８ａ，１８ｂが設けられており、これら２つの支持アーム１８ａ，１８ｂは互いに反対方向を向くように回転・伸縮部１７に取り付けられている。
【００５４】
第２の処理部３は、平面形状が八角形をなす第２の真空搬送室２１と、この第２の真空搬送室２１の対向する２つの辺に対応する壁部に接続された、Ｃｕ合金膜を成膜するための２つのＣｕ合金膜成膜装置２２ａ，２２ｂと、純Ｃｕ膜またはＣｕ合金膜を成膜するための２つのＣｕ膜成膜装置２４ａおよび２４ｂを有している。
【００５５】
第２の真空搬送室２１の第１の処理部２側の２辺に対応する壁部には、それぞれ上記デガス室５ａ，５ｂが接続され、デガス室５ａと５ｂとの間の壁部には、上記受け渡し室５が接続されている。すなわち、受け渡し室５ならびにデガス室５ａおよび５ｂは、いずれも第１の真空搬送室１１と第２の真空搬送室２１との間に設けられ、受け渡し室５の両側にデガス室５ａおよび５ｂが配置されている。さらに、搬入出部４側の辺には、大気搬送および真空搬送可能なロードロック室６が接続されている。
【００５６】
Ｃｕ合金膜成膜装置２２ａ，２２ｂ、Ｃｕ膜成膜装置２４ａ，２４ｂデガス室５ａ，５ｂ、およびロードロック室６は、第２の真空搬送室２１の各辺にゲートバルブＧを介して接続され、これらは対応するゲートバルブを開放することにより第２の真空搬送室２１と連通され、対応するゲートバルブＧを閉じることにより第２の真空搬送室２１から遮断される。また、受け渡し室５はゲートバルブを介さずに第２の搬送室２１に接続されている。
【００５７】
第２の真空搬送室２１内は所定の真空雰囲気に保持されるようになっており、その中には、Ｃｕ合金膜成膜装置２２ａ，２２ｂ、Ｃｕ膜成膜装置２４ａ，２４ｂ、デガス室５ａ，５ｂ、ロードロック室６および受け渡し室５に対してウエハＷの搬入出を行う第２の搬送機構２６が設けられている。この第２の搬送機構２６は、第２の真空搬送室２１の略中央に配設されており、回転および伸縮可能な回転・伸縮部２７を有し、その回転・伸縮部２７の先端にウエハＷを支持する２つの支持アーム２８ａ，２８ｂが設けられており、これら２つの支持アーム２８ａ，２８ｂは互いに反対方向を向くように回転・伸縮部２７に取り付けられている。
【００５８】
搬入出部４は、上記ロードロック室６を挟んで第２の処理部３と反対側に設けられており、ロードロック室６が接続される大気搬送室３１を有している。ロードロック室６と大気搬送室３１との間の壁部にはゲートバルブＧが設けられている。大気搬送室３１のロードロック室６が接続された壁部と対向する壁部には被処理基板としてのウエハＷを収容するキャリアＣを接続する２つの接続ポート３２，３３が設けられている。これら接続ポート３２，３３にはそれぞれ図示しないシャッターが設けられており、これら接続ポート３２，３３にウエハＷを収容した状態の、または空のキャリアＣが直接取り付けられ、その際にシャッターが外れて外気の侵入を防止しつつ大気搬送室３１と連通するようになっている。また、大気搬送室３１の側面にはアライメントチャンバ３４が設けられており、そこでウエハＷのアライメントが行われる。大気搬送室３１内には、キャリアＣに対するウエハＷの搬入出およびロードロック室６に対するウエハＷの搬入出を行う大気搬送用搬送機構３６が設けられている。この大気搬送用搬送機構３６は、２つの多関節アームを有しており、キャリアＣの配列方向に沿ってレール３８上を走行可能となっていて、それぞれの先端のハンド３７上にウエハＷを載せてその搬送を行うようになっている。
【００５９】
この成膜システム１は、この成膜システム１の各構成部を制御するための制御部４０を有している。この制御部４０は、各構成部の制御を実行するマイクロプロセッサ（コンピュータ）からなるプロセスコントローラ４１と、オペレータが成膜システム１を管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや、成膜システム１の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等からなるユーザーインターフェース４２と、成膜システム１で実行される処理をプロセスコントローラ４１の制御にて実現するための制御プログラムや、各種データ、および処理条件に応じて処理装置の各構成部に処理を実行させるためのプログラムすなわちレシピが格納された記憶部４３とを備えている。なお、ユーザーインターフェース４２および記憶部４３はプロセスコントローラ４１に接続されている。
【００６０】
上記レシピは記憶部４３の中の記憶媒体４３ａに記憶されている。記憶媒体は、ハードディスクであってもよいし、ＣＤＲＯＭ、ＤＶＤ、フラッシュメモリ等の可搬性のものであってもよい。また、他の装置から、例えば専用回線を介してレシピを適宜伝送させるようにしてもよい。
【００６１】
そして、必要に応じて、ユーザーインターフェース４２からの指示等にて任意のレシピを記憶部４３から呼び出してプロセスコントローラ４１に実行させることで、プロセスコントローラ４１の制御下で、成膜システム１での所望の処理が行われる。
【００６２】
このような成膜システム１においては、キャリアＣから大気搬送用搬送機構３６によりトレンチやホールを有する所定パターンが形成されたウエハＷを取り出し、ロードロック室６に搬送し、そのロードロック室を第２の真空搬送室２１と同程度の真空度に減圧した後、第２の搬送機構２６によりロードロック室のウエハＷを取り出し、第２の真空搬送室２１を介してデガス室５ａまたは５ｂに搬送し、ウエハＷのデガス処理を行う。その後、第１の搬送機構１６によりデガス室のウエハＷを取り出し、第１の真空搬送室１１を介してバリア膜成膜装置１２ａまたは１２ｂに搬入し、上述したようなバリア膜を成膜する。バリア膜成膜後、第１の搬送機構１６によりバリア膜成膜装置１２ａまたは１２ｂからウエハＷを取り出し、Ｒｕライナー膜成膜装置１４ａまたは１４ｂに搬入し、上述したようなＲｕライナー膜を成膜する。Ｒｕライナー膜成膜後、第１の搬送機構１６によりＲｕライナー膜成膜装置１４ａまたは１４ｂからウエハＷを取り出し、受け渡し室５に搬送する。その後、第２の搬送機構２６によりウエハＷを取り出し、第２の真空搬送室２１を介してＣｕ合金膜成膜装置２２ａまたは２２ｂに搬入し、上述したＣｕ合金膜を形成する。その後、Ｃｕ合金膜の上に積み増し層を形成するが、積み増し層の形成は、同じＣｕ合金膜成膜装置２２ａまたは２２ｂ内でＣｕ合金膜を連続して形成することにより行ってもよいし、第２の搬送機構２６によりＣｕ合金膜成膜装置２２ａまたは２２ｂからウエハＷを取り出して、Ｃｕ膜成膜装置２４ａまたは２４ｂに搬入し、そこで純Ｃｕ膜またはＣｕ合金膜を形成して積み増し層としてもよい。
【００６３】
積み増し層の形成後、ウエハＷをロードロック室６に搬送し、そのロードロック室を大気圧に戻した後、大気搬送用搬送機構３６によりＣｕ膜が形成されたウエハＷを取り出し、キャリアＣに戻す。このような処理をキャリア内のウエハＷの数の分だけ繰り返す。
【００６４】
成膜システム１によれば、大気開放することなく真空中でバリア膜、ライナー膜、Ｃｕ合金膜、積み増し層を成膜するので、各膜の界面での酸化を防止することができ、高性能のＣｕ配線を得ることができる。
【００６５】
なお、積み増し層をＣｕめっきで形成する場合には、Ｃｕ合金膜を成膜後、ウエハＷを搬出する。
【００６６】
＜Ｃｕ膜成膜装置＞
次に、Ｃｕ合金膜を形成するＣｕ合金膜成膜装置２２ａ（２２ｂ）の好適な例について説明する。
図６は、Ｃｕ膜成膜装置の一例を示す断面図である。ここではＣｕ膜成膜装置としてｉＰＶＤであるＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）型プラズマスパッタ装置を例にとって説明する。
【００６７】
図６に示すように、このＣｕ合金膜成膜装置２２ａ（２２ｂ）は、例えばアルミニウム等により筒体状に成形された処理容器５１を有している。この処理容器５１は接地され、その底部５２には排気口５３が設けられており、排気口５３には排気管５４が接続されている。排気管５４には圧力調整を行うスロットルバルブ５５および真空ポンプ５６が接続されており、処理容器５１内が真空引き可能となっている。また処理容器５１の底部５２には、処理容器５１内へ所定のガスを導入するガス導入口５７が設けられる。このガス導入口５７にはガス供給配管５８が接続されており、ガス供給配管５８には、プラズマ励起用ガスとして希ガス、例えばＡｒガスや他の必要なガス例えばＮ２ガス等を供給するためのガス供給源５９が接続されている。また、ガス供給配管５８には、ガス流量制御器、バルブ等よりなるガス制御部６０が介装されている。
【００６８】
処理容器５１内には、被処理基板であるウエハＷを載置するための載置機構６２が設けられる。この載置機構６２は、円板状に成形された載置台６３と、この載置台６３を支持するとともに接地された中空筒体状の支柱６４とを有している。載置台６３は、例えばアルミニウム合金等の導電性材料よりなり、支柱６４を介して接地されている。載置台６３の中には冷却ジャケット６５が設けられており、図示しない冷媒流路を介して冷媒を供給するようになっている。また、載置台６３内には冷却ジャケット６５の上に絶縁材料で被覆された抵抗ヒーター８７が埋め込まれている。抵抗ヒーター８７は図示しない電源から給電されるようになっている。載置台６３には熱電対（図示せず）が設けられており、この熱電対で検出された温度に基づいて、冷却ジャケット６５への冷媒の供給および抵抗ヒーター８７への給電を制御することにより、ウエハ温度を所定の温度に制御できるようになっている。
【００６９】
載置台６３の上面側には、例えばアルミナ等の誘電体部材６６ａの中に電極６６ｂが埋め込まれて構成された薄い円板状の静電チャック６６が設けられており、ウエハＷを静電力により吸着保持できるようになっている。また、支柱６４の下部は、処理容器５１の底部５２の中心部に形成された挿通孔６７を貫通して下方へ延びている。支柱６４は、図示しない昇降機構により上下移動可能となっており、これにより載置機構６２の全体が昇降される。
【００７０】
支柱６４を囲むように、伸縮可能に構成された蛇腹状の金属ベローズ６８が設けられており、この金属ベローズ６８は、その上端が載置台６３の下面に気密に接合され、また下端が処理容器５１の底部５２の上面に気密に接合されており、処理容器５１内の気密性を維持しつつ載置機構６２の昇降移動を許容できるようになっている。 
【００７１】
また底部５２には、上方に向けて例えば３本（図２では２本のみ示す）の支持ピン６９が起立させて設けられており、また、この支持ピン６９に対応させて載置台６３にピン挿通孔７０が形成されている。したがって、載置台６３を降下させた際に、ピン挿通孔７０を貫通した支持ピン６９の上端部でウエハＷを受けて、そのウエハＷを外部より侵入する搬送アーム（図示せず）との間で移載することができる。このため、処理容器５１の下部側壁には、搬送アームを侵入させるために搬出入口７１が設けられ、この搬出入口７１には、開閉可能になされたゲートバルブＧが設けられている。このゲートバルブＧの反対側には、前述した第２の真空搬送室２１が設けられている。
【００７２】
また上述した静電チャック６６の電極６６ｂには、給電ライン７２を介してチャック用電源７３が接続されており、このチャック用電源７３から電極６６ｂに直流電圧を印加することにより、ウエハＷが静電力により吸着保持される。また給電ライン７２にはバイアス用高周波電源７４が接続されており、この給電ライン７２を介して静電チャック６６の電極６６ｂに対してバイアス用の高周波電力を供給し、ウエハＷにバイアス電力が印加されるようになっている。この高周波電力の周波数は、４００ｋＨｚ〜６０ＭＨｚが好ましく、例えば１３．５６ＭＨｚが採用される。
【００７３】
一方、処理容器５１の天井部には、例えばアルミナ等の誘電体よりなる高周波に対して透過性のある透過板７６がＯリング等のシール部材７７を介して気密に設けられている。そして、この透過板７６の上部に、処理容器５１内の処理空間Ｓにプラズマ励起用ガスとしての希ガス、例えばＡｒガスをプラズマ化してプラズマを発生するためのプラズマ発生源７８が設けられる。なお、このプラズマ励起用ガスとして、Ａｒに代えて他の希ガス、例えばＨｅ、Ｎｅ、Ｋｒ等を用いてもよい。
【００７４】
プラズマ発生源７８は、透過板７６に対応させて設けた誘導コイル８０を有しており、この誘導コイル８０には、プラズマ発生用の例えば１３．５６ＭＨｚの高周波電源８１が接続されて、上記透過板７６を介して処理空間Ｓに高周波電力が導入され誘導電界を形成するようになっている。
【００７５】
また透過板７６の直下には、導入された高周波電力を拡散させる例えばアルミニウムよりなるバッフルプレート８２が設けられる。そして、このバッフルプレート８２の下部には、上記処理空間Ｓの上部側方を囲むようにして例えば断面が内側に向けて傾斜されて環状（截頭円錐殻状）のＣｕ合金からなるターゲット８３が設けられており、このターゲット８３にはＡｒイオンを引きつけるための直流電力を印加するターゲット用の電圧可変の直流電源８４が接続されている。なお、直流電源に代えて交流電源を用いてもよい。ターゲット８３は、Ｃｕ合金膜と同種のＣｕ合金で形成されている。
【００７６】
また、ターゲット８３の外周側には、これに磁界を付与するための磁石８５が設けられている。ターゲット８３はプラズマ中のＡｒイオンによりＣｕの金属原子、あるいは金属原子団としてスパッタされるとともに、プラズマ中を通過する際に多くはイオン化される。
【００７７】
またこのターゲット８３の下部には、上記処理空間Ｓを囲むようにして例えばアルミニウムや銅よりなる円筒状の保護カバー部材８６が設けられている。この保護カバー部材８６は接地されるとともに、その下部は内側へ屈曲されて載置台６３の側部近傍に位置されている。したがって、保護カバー部材８６の内側の端部は、載置台６３の外周側を囲むようにして設けられている。
【００７８】
なお、Ｃｕ膜成膜装置の各構成部も、上述の制御部４０により制御されるようになっている。
【００７９】
このように構成されるＣｕ膜成膜装置においては、ウエハＷを図６に示す処理容器５１内へ搬入し、このウエハＷを載置台６３上に載置して静電チャック６６により吸着し、制御部４０の制御下で以下の動作が行われる。このとき、載置台６３は、熱電対（図示せず）で検出された温度に基づいて、冷却ジャケット６５への冷媒の供給および抵抗ヒーター８７への給電を制御することにより温度制御される。
【００８０】
まず、真空ポンプ５６を動作させることにより所定の真空状態にされた処理容器５１内に、ガス制御部６０を操作して所定流量でＡｒガスを流しつつスロットルバルブ５５を制御して処理容器５１内を所定の真空度に維持する。その後、可変直流電源８４から直流電力をターゲット８３に印加し、さらにプラズマ発生源７８の高周波電源８１から誘導コイル８０に高周波電力（プラズマ電力）を供給する。一方、バイアス用高周波電源７４から静電チャック６６の電極６６ｂに対して所定のバイアス用の高周波電力を供給する。
【００８１】
これにより、処理容器５１内においては、誘導コイル８０に供給された高周波電力によりアルゴンプラズマが形成されてアルゴンイオンが生成され、これらイオンはターゲット８３に印加された直流電圧に引き寄せられてターゲット８３に衝突し、このターゲット８３がスパッタされて粒子が放出される。この際、ターゲット８３に印加する直流電圧により放出される粒子の量が最適に制御される。
【００８２】
また、スパッタされたターゲット８３からの粒子はプラズマ中を通る際に多くはイオン化される。ここでターゲット８３から放出される粒子は、イオン化されたものと電気的に中性な中性原子とが混在する状態となって下方向へ飛散して行く。特に、この処理容器５１内の圧力をある程度高くし、これによりプラズマ密度を高めることにより、粒子を高効率でイオン化することができる。この時のイオン化率は高周波電源８１から供給される高周波電力により制御される。
【００８３】
そして、イオンは、高周波電源７４から静電チャック６６の電極６６ｂに印加されたバイアス用の高周波電力によりウエハＷ面上に形成される厚さ数ｍｍ程度のイオンシースの領域に入ると、強い指向性をもってウエハＷ側に加速するように引き付けられてウエハＷに堆積してＣｕ合金膜が形成される。
【００８４】
このとき、ウエハ温度を高く（６５〜３５０℃）設定するとともに、バイアス用高周波電源７４から静電チャック６６の電極６６ｂに対して印加されるバイアスパワーを調整してＣｕ合金の成膜とＡｒによるエッチングを調整して、Ｃｕ合金の流動性を良好にすることにより、開口が狭いトレンチやホールであっても良好な埋め込み性でＣｕ合金を埋め込むことができる。具体的には、Ｃｕ合金成膜量（成膜レート）をＴＤ、プラズマ生成用のガスのイオンによるエッチング量（エッチングレート）をＴＥとすると、０≦ＴＥ／ＴＤ＜１、さらには０＜ＴＥ／ＴＤ＜１となるようにバイアスパワーを調整することが好ましい。
【００８５】
良好な埋め込み性を得る観点から、処理容器５１内の圧力（プロセス圧力）は、１〜１００ｍＴｏｒｒ（０．１３３〜１３．３Ｐａ）、さらには３５〜９０ｍＴｏｒｒ（４．６６〜１２．０Ｐａ）が好ましく、ターゲットへの直流電力は４〜１２ｋＷ、さらには６〜１０ｋＷとすることが好ましい。
【００８６】
なお、トレンチやホールの開口が広い場合等には、ウエハ温度を低く（−５０〜０℃）設定するとともに、処理容器５１内の圧力をより低くして成膜することができる。これにより、成膜レートを高くすることができる。また、このような場合には、ｉＰＶＤに限らず、通常のスパッタ、イオンプレーティング等の通常のＰＶＤを用いることもできる。
【００８７】
＜Ｃｕ膜成膜装置＞
Ｃｕ膜成膜装置２４ａ（２４ｂ）としては、基本的に、図６に示すＣｕ合金膜成膜装置２２ａ（２２ｂ）と同様の装置を用いることができる。このとき、ターゲット８３は得ようとする膜に応じて適宜材料を調整すればよい。また、埋め込み性を重視する必要がない場合等には、ｉＰＶＤに限らず、通常のスパッタ、イオンプレーティング等の通常のＰＶＤを用いることもできる。
【００８８】
＜バリア膜成膜装置＞
バリア膜成膜装置１２ａ（１２ｂ）としては、ターゲット８３を使用する材料に変えるのみで図６の成膜装置と同様の構成の成膜装置を用いてプラズマスパッタにより成膜することができる。また、プラズマスパッタに限定されず、通常のスパッタ、イオンプレーティング等の他のＰＶＤであってもよく、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）やＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、プラズマを用いたＣＶＤやＡＬＤで成膜することもできる。不純物を低減する観点からはＰＶＤが好ましい。
【００８９】
＜Ｒｕ膜成膜装置＞
次に、Ｒｕライナー膜を形成するためのＲｕライナー膜成膜装置１４ａ（１４ｂ）について説明する。Ｒｕライナー膜は熱ＣＶＤにより好適に形成することができる。図７は、Ｒｕライナー膜成膜装置の一例を示す断面図であり、熱ＣＶＤによりＲｕ膜を形成するものである。
【００９０】
図７に示すように、このＲｕライナー膜成膜装置１４ａ（１４ｂ）は、例えばアルミニウム等により筒体に形成された処理容器１０１を有している。処理容器１０１の内部には、ウエハＷを載置する例えばＡｌＮ等のセラミックスからなる載置台１０２が配置されており、この載置台１０２内にはヒーター１０３が設けられている。このヒーター１０３はヒーター電源（図示せず）から給電されることにより発熱する。
【００９１】
処理容器１０１の天壁には、Ｒｕ膜を形成するための処理ガスやパージガス等を処理容器１０１内にシャワー状に導入するためのシャワーヘッド１０４が載置台１０２と対向するように設けられている。シャワーヘッド１０４はその上部にガス導入口１０５を有し、その内部にガス拡散空間１０６が形成されており、その底面には多数のガス吐出孔１０７が形成されている。ガス導入口１０５にはガス供給配管１０８が接続されており、ガス供給配管１０８にはＲｕ膜を形成するための処理ガスやパージガス等を供給するためのガス供給源１０９が接続されている。また、ガス供給配管１０８には、ガス流量制御器、バルブ等よりなるガス制御部１１０が介装されている。Ｒｕを成膜するためのガスとしては、上述したように、好適なものとしてルテニウムカルボニル（Ｒｕ３（ＣＯ）１２）を挙げることができる。このルテニウムカルボニルは熱分解によりＲｕ膜を形成することができる。
【００９２】
処理容器１０１の底部には、排気口１１１が設けられており、この排気口１１１には排気管１１２が接続されている。排気管１１２には圧力調整を行うスロットルバルブ１１３および真空ポンプ１１４が接続されており、処理容器１０１内が真空引き可能となっている。
【００９３】
載置台１０２には、ウエハ搬送用の３本（２本のみ図示）のウエハ支持ピン１１６が載置台１０２の表面に対して突没可能に設けられ、これらウエハ支持ピン１１６は支持板１１７に固定されている。そして、ウエハ支持ピン１１６は、エアシリンダ等の駆動機構１１８によりロッド１１９を昇降することにより、支持板１１７を介して昇降される。なお、符号１２０はベローズである。一方、処理容器１０１の側壁には、ウエハ搬出入口１２１が形成されており、ゲートバルブＧを開けた状態で第１の真空搬送室１１との間でウエハＷの搬入出が行われる。
【００９４】
このようなＲｕライナー膜成膜装置１４ａ（１４ｂ）においては、ゲートバルブＧを開けて、ウエハＷを載置台１０２上に載置した後、ゲートバルブＧを閉じ、処理容器１０１内を真空ポンプ１１４により排気して処理容器１０１内を所定の圧力に調整しつつ、ヒーター１０３より載置台１０２を介してウエハＷを所定温度に加熱した状態で、ガス供給源１０９からガス供給配管１０８およびシャワーヘッド１０４を介して処理容器１０１内へルテニウムカルボニル（Ｒｕ３（ＣＯ）１２）ガス等の処理ガスを導入する。これにより、ウエハＷ上で処理ガスの反応が進行し、ウエハＷの表面にＲｕ膜が形成される。
【００９５】
Ｒｕ膜の成膜には、ルテニウムカルボニル以外の他の成膜原料、例えば上述したようなルテニウムのペンタジエニル化合物をＯ２ガスのような分解ガスとともに用いることができる。またＲｕ膜をＰＶＤで成膜することもできる。ただし、良好なステップカバレッジが得られ、かつ膜の不純物を少なくすることができることからルテニウムカルボニルを用いたＣＶＤで成膜することが好ましい。
【００９６】
＜他の工程に用いる装置＞
以上の成膜システム１により上記実施形態における積み増し層の形成までを行うことができるが、それ以降のアニール工程、ＣＭＰ工程、キャップ層成膜工程は、成膜システム１から搬出した後のウエハＷに対し、アニール装置、ＣＭＰ装置、キャップ層成膜装置を用いて行うことができる。これらの装置は、通常用いられる構成のものでよい。これら装置と成膜システム１とでＣｕ配線形成システムを構成し、制御部４０と同じ機能を有する共通の制御部により一括して制御するようにすることにより、上記実施形態に示された方法を一つのレシピにより一括して制御することができる。
【００９７】
＜他の適用＞
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されることなく種々変形可能である。例えば、成膜システムとしては、図５のようなタイプに限らず、一つの搬送装置に全ての成膜装置が接続されているタイプであってもよい。また、図５のようなマルチチャンバタイプのシステムではなく、バリア膜、Ｒｕライナー膜、純Ｃｕ膜（純Ｃｕシード膜）、Ｃｕ合金膜のうち、一部のみを同一の成膜システムで形成し、残部を別個に設けた装置により大気暴露を経て成膜するようにしてもよいし、全てを別個の装置で大気暴露を経て成膜するようにしてもよい。
【００９８】
さらに、上記実施形態では、トレンチとビア（ホール）とを有するウエハに本発明の方法を適用した例を示したが、トレンチのみを有する場合でも、ホールのみを有する場合でも本発明を適用できることはいうまでもない。また、シングルダマシン構造、ダブルダマシン構造、三次元実装構造等、種々の構造のデバイスにおける埋め込みに適用することができる。また、上記実施形態では、被処理基板として半導体ウエハを例にとって説明したが、半導体ウエハにはシリコンのみならず、ＧａＡｓ、ＳｉＣ、ＧａＮなどの化合物半導体も含まれ、さらに、半導体ウエハに限定されず、液晶表示装置等のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）に用いるガラス基板や、セラミック基板等にも本発明を適用することができることはもちろんである。 
【符号の説明】
【００９９】
１；成膜システム
１２ａ，１２ｂ；バリア膜成膜装置
１４ａ，１４ｂ；Ｒｕライナー膜成膜装置
２２ａ，２２ｂ；Ｃｕ合金膜成膜装置
２４ａ，２４ｂ；Ｃｕ膜成膜装置
２０１；下部構造
２０２；層間絶縁膜
２０３；トレンチ
２０４；バリア膜
２０５；Ｒｕライナー膜
２０６；Ｃｕ合金膜
２０７；積み増し層
２０８；Ｃｕ配線
２０９；キャップ層
Ｗ；半導体ウエハ（被処理基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図４】
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