(57)【要約】【課題】  従来より歩留りを向上することができるエッチング方法を提供する。【解決手段】  対象物１１の表面１１ａを腐食剤によって腐食させることによって表面１１ａを加工するエッチング方法であって、表面１１ａにレジスト液をインクジェット印刷して表面１１ａにレジスト液によるレジスト１２を形成するレジスト形成ステップと、レジスト形成ステップによってレジスト１２が形成された対象物１１の表面１１ａ側に腐食剤を接触させることによって表面１１ａのうちレジスト１２が形成されていない部分を腐食させる表面腐食ステップと、表面腐食ステップの後でレジスト１２を表面１１ａから剥離させるレジスト剥離ステップとを備えており、レジスト形成ステップは、単官能モノマーまたは単官能オリゴマーと、多官能モノマーまたは多官能オリゴマーとを含むレジスト液によるレジスト１２を形成するステップであることを特徴とする。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の表面を腐食剤によって腐食させることによって前記表面を加工するエッチング方法であって、
前記表面にレジスト液をインクジェット印刷して前記表面に前記レジスト液によるレジストを形成するレジスト形成ステップと、前記レジスト形成ステップによって前記レジストが形成された前記対象物の前記表面側に前記腐食剤を接触させることによって前記表面のうち前記レジストが形成されていない部分を腐食させる表面腐食ステップと、前記表面腐食ステップの後で前記レジストを前記表面から剥離させるレジスト剥離ステップとを備えており、
前記レジスト形成ステップは、単官能モノマーまたは単官能オリゴマーと、多官能モノマーまたは多官能オリゴマーとを含む前記レジスト液による前記レジストを形成するステップであることを特徴とするエッチング方法。
【請求項２】
前記レジスト形成ステップは、前記単官能モノマーまたは前記単官能オリゴマーを４０質量％以上、前記多官能モノマーまたは前記多官能オリゴマーを３０質量％以下含む前記レジスト液による前記レジストを形成するステップであることを特徴とする請求項１に記載のエッチング方法。
【請求項３】
前記レジスト形成ステップは、紫外線硬化型の前記レジスト液をＵＶインクジェット印刷するステップであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のエッチング方法。
【請求項４】
前記レジスト形成ステップは、前記単官能モノマーとしてイソボルニルアクリレートを含む前記レジスト液による前記レジストを形成するステップであることを特徴とする請求項１から請求項３までの何れかに記載のエッチング方法。
【請求項５】
前記レジスト形成ステップは、前記単官能モノマーとしてアクリル酸エステルを含む前記レジスト液による前記レジストを形成するステップであることを特徴とする請求項１から請求項４までの何れかに記載のエッチング方法。
【請求項６】
前記レジスト形成ステップは、前記多官能モノマーとしてアミン変性アクリル酸オリゴマーを含む前記レジスト液による前記レジストを形成するステップであることを特徴とする請求項１から請求項５までの何れかに記載のエッチング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物の表面を腐食剤によって腐食させることによって対象物の表面を加工するエッチング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、対象物の表面を腐食剤によって腐食させることによって対象物の表面を加工するエッチング方法として、油性樹脂液、紫外線硬化樹脂液などのレジスト液を対象物の表面にインクジェット印刷して対象物の表面にレジスト液によるレジストを形成するレジスト形成ステップと、レジスト形成ステップによってレジストが形成された対象物の表面側に腐食剤を接触させることによって対象物の表面のうちレジストが形成されていない部分を腐食させる表面腐食ステップと、表面腐食ステップの後でレジストを対象物の表面から剥離させるレジスト剥離ステップとを備えている方法が知られている（特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２２８７７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のエッチング方法においては、表面腐食ステップにおいてレジストが腐食剤によって対象物の表面から予期せず剥離させられてしまうことによって、対象物の表面のうち本来腐食される予定ではない部分が腐食されてしまう場合がある。また、従来のエッチング方法においては、レジスト剥離ステップにおいてレジストが対象物の表面から剥離せずに対象物の表面に残ってしまう場合もある。すなわち、従来のエッチング方法においては、歩留りが悪いという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、従来より歩留りを向上することができるエッチング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のエッチング方法は、対象物の表面を腐食剤によって腐食させることによって前記表面を加工するエッチング方法であって、前記表面にレジスト液をインクジェット印刷して前記表面に前記レジスト液によるレジストを形成するレジスト形成ステップと、前記レジスト形成ステップによって前記レジストが形成された前記対象物の前記表面側に前記腐食剤を接触させることによって前記表面のうち前記レジストが形成されていない部分を腐食させる表面腐食ステップと、前記表面腐食ステップの後で前記レジストを前記表面から剥離させるレジスト剥離ステップとを備えており、前記レジスト形成ステップは、単官能モノマーまたは単官能オリゴマーと、多官能モノマーまたは多官能オリゴマーとを含む前記レジスト液による前記レジストを形成するステップであることを特徴とする。
【０００７】
この構成により、本発明のエッチング方法は、架橋密度が高く溶け難い多官能モノマーまたは多官能オリゴマーによって表面腐食ステップにおいてレジストが対象物の表面から剥離することを抑えるとともに、架橋密度が低く溶け易い単官能モノマーまたは単官能オリゴマーによってレジスト剥離ステップにおいてレジストが対象物の表面から容易に剥離するので、従来より歩留りを向上することができる。
【０００８】
また、本発明のエッチング方法において、前記レジスト形成ステップは、前記単官能モノマーまたは前記単官能オリゴマーを４０質量％以上、前記多官能モノマーまたは前記多官能オリゴマーを３０質量％以下含む前記レジスト液による前記レジストを形成するステップであっても良い。
【０００９】
また、本発明のエッチング方法において、前記レジスト形成ステップは、紫外線硬化型の前記レジスト液をＵＶインクジェット印刷するステップであっても良い。
【００１０】
この構成により、本発明のエッチング方法は、レジスト液が紫外線硬化型の液であるので、レジスト液が有機溶剤型の液である構成と比較して、レジスト液の硬化の速度が速く、結果として、一連の加工の全体の速度を向上することができる。
【００１１】
また、本発明のエッチング方法において、前記レジスト形成ステップは、前記単官能モノマーとしてイソボルニルアクリレートを含む前記レジスト液による前記レジストを形成するステップであっても良い。
【００１２】
また、本発明のエッチング方法において、前記レジスト形成ステップは、前記単官能モノマーとしてアクリル酸エステルを含む前記レジスト液による前記レジストを形成するステップであっても良い。
【００１３】
また、本発明のエッチング方法において、前記レジスト形成ステップは、前記多官能モノマーとしてアミン変性アクリル酸オリゴマーを含む前記レジスト液による前記レジストを形成するステップであっても良い。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のエッチング方法は、従来より歩留りを向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施の形態に係るエッチング方法によって製造される加工品の側面断面図である。
【図２】図１に示す加工品の製造に使用されるインクジェットプリンターの斜視図である。
【図３】（ａ）は、本発明の一実施の形態に係るエッチング方法によって加工される前の対象物の側面断面図である。（ｂ）は、表面にレジストが形成された図３（ａ）に示す対象物の側面断面図である。
【図４】表面のうちレジストが形成されていない部分が腐食させられた図３に示す対象物の側面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を用いて説明する。
【００１７】
まず、本実施の形態に係るエッチング方法によって製造される加工品の構成について説明する。
【００１８】
図１は、本実施の形態に係るエッチング方法によって製造される加工品１０の側面断面図である。
【００１９】
図１に示すように、加工品１０は、対象物１１の表面１１ａが凹まされることによって生成される物である。例えば、加工品１０は、絶縁体の基材１１ｂに、銅などの導電体の層である導電体層１１ｃがコーティングされているプリント基板である。
【００２０】
次に、加工品１０の製造に使用されるインクジェットプリンターの構成について説明する。
【００２１】
図２は、加工品１０の製造に使用されるインクジェットプリンター２０の斜視図である。
【００２２】
図２に示すように、インクジェットプリンター２０は、対象物１１を載せるテーブル２１と、矢印２０ａで示す主走査方向に延在する本体２２とを備えている。
【００２３】
テーブル２１は、矢印２０ｂで示す副走査方向に延在していて本体２２を矢印２０ｂで示す副走査方向に移動可能に支持しているガイド機構２１ａを、矢印２０ａで示す主走査方向における両側に備えている。
【００２４】
本体２２は、矢印２０ａで示す主走査方向に延在しているガイドレール２３と、矢印２０ａで示す主走査方向に移動可能にガイドレール２３に支持されているキャリッジ２４とを備えている。キャリッジ２４は、紫外線硬化型の液体の滴をテーブル２１に向けて吐出するための図示していない記録ヘッドと、記録ヘッドによって吐出された紫外線硬化型の液体を硬化させるための紫外線をテーブル２１に向けて照射するための図示していないＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）とを搭載している。
【００２５】
次に、対象物１１の表面１１ａを腐食剤によって腐食させることによって対象物１１の表面１１ａを加工するエッチング方法、すなわち、加工品１０の製造方法について説明する。
【００２６】
図３（ａ）は、本実施の形態に係るエッチング方法によって加工される前の対象物１１の側面断面図である。図３（ｂ）は、表面１１ａにレジスト１２が形成された対象物１１の側面断面図である。
【００２７】
１．レジスト形成ステップ
作業者は、図３（ａ）に示す対象物１１をインクジェットプリンター２０のテーブル２１の所定の位置に固定し、任意の印刷データに基づいた画像を対象物１１上に紫外線硬化型のレジスト液で記録するように、インクジェットプリンター２０に指示する。
【００２８】
作業者から指示を受けたインクジェットプリンター２０は、テーブル２１に対してキャリッジ２４をガイドレール２３に沿って矢印２０ａで示す主走査方向に移動するとともに、テーブル２１に対して本体２２をガイド機構２１ａに沿って矢印２０ｂで示す副走査方向に移動する。すなわち、インクジェットプリンター２０は、テーブル２１上に固定された対象物１１に対してキャリッジ２４を印刷データに応じて移動する。そして、インクジェットプリンター２０は、テーブル２１上に固定された対象物１１上に向けてキャリッジ２４上の記録ヘッドによって紫外線硬化型のレジスト液を吐出するとともに、対象物１１上に吐出された紫外線硬化型のレジスト液に向けてキャリッジ２４上のＬＥＤによって紫外線を照射する。すなわち、インクジェットプリンター２０は、印刷データに基づいた画像の形で紫外線硬化型のレジスト液を対象物１１上にＵＶインクジェット印刷することによって、図３（ｂ）に示すように、紫外線硬化型のレジスト液によるレジスト１２を対象物１１上に形成する。
【００２９】
なお、レジスト形成ステップによって使用されるレジスト液は、単官能モノマーまたは単官能オリゴマーと、多官能モノマーまたは多官能オリゴマーとを含んでいるラジカル重合タイプのレジスト性のインクである。特に、レジスト液は、単官能モノマーまたは単官能オリゴマーを４０質量％以上（より好ましくは６０％以上）、多官能モノマーまたは多官能オリゴマーを３０質量％以下含んでいると好ましい。ここで、単官能モノマーとしては、例えばイソボルニルアクリレート、アクリル酸エステルなどが採用されることが可能である。また、多官能モノマーとしては、例えばアミン変性アクリル酸オリゴマーなどが採用されることが可能である。
【００３０】
２．表面腐食ステップ
次いで、作業者は、インクジェットプリンター２０のテーブル２１から対象物１１を取り外し、インクジェットプリンター２０のテーブル２１から取り外した対象物１１を腐食剤としての塩化鉄（ＩＩＩ）の水溶液に浸ける。すなわち、作業者は、レジスト１２が形成された対象物１１の表面１１ａ側に腐食剤を接触させる。したがって、対象物１１の表面１１ａのうちレジスト１２が形成されていない部分は、腐食剤によって腐食させられる。
【００３１】
図４は、表面１１ａのうちレジスト１２が形成されていない部分が腐食させられた対象物１１の側面断面図である。
【００３２】
表面１１ａのうちレジスト１２が形成されていない部分が表面腐食ステップによって腐食させられた対象物１１は、例えば図４に示すようになる。
【００３３】
３．レジスト剥離ステップ
次いで、作業者は、腐食剤としての塩化鉄（ＩＩＩ）の水溶液から対象物１１を取り外し、塩化鉄（ＩＩＩ）の水溶液から取り外した対象物１１を剥離液に浸ける。したがって、対象物１１の表面１１ａ上のレジスト１２は、剥離液によって膨潤または溶解させられることによって、対象物１１の表面１１ａから剥離させられる。
【００３４】
レジスト剥離ステップによって表面１１ａからレジスト１２が剥離させられた対象物１１は、例えば図１に示すように加工品１０として完成する。
【００３５】
以上に説明したように、本実施の形態に係るエッチング方法は、架橋密度が高く溶け難い多官能モノマーまたは多官能オリゴマーによって表面腐食ステップにおいてレジスト１２が対象物１１の表面１１ａから剥離することを抑えるとともに、架橋密度が低く溶け易い単官能モノマーまたは単官能オリゴマーによってレジスト剥離ステップにおいてレジスト１２が対象物１１の表面１１ａから容易に剥離するので、従来より歩留りを向上することができる。
【００３６】
また、本実施の形態に係るエッチング方法は、レジスト形成ステップにおいて使用されるレジスト液が紫外線硬化型の液であるので、レジスト液が有機溶剤型の液である構成と比較して、レジスト液の硬化の速度が速く、結果として、一連の加工の全体の速度を向上することができる。
【００３７】
なお、本実施の形態に係るエッチング方法は、プリント基板の製造に利用されているが、例えばネームプレートなど、プリント基板以外の物の製造に利用されても良い。
【００３８】
また、本実施の形態に係るエッチング方法は、基材１１ｂに導電体層１１ｃがコーティングされた物が対象物１１として採用されているが、例えば金属板など、基材１１ｂに導電体層１１ｃがコーティングされた物以外の物が対象物１１として採用されても良い。
【００３９】
また、本実施の形態に係るエッチング方法は、レジスト形成ステップにおいて使用されるレジスト液として紫外線硬化型の液が採用されているが、例えば有機溶剤型のレジスト液など、紫外線硬化型以外のレジスト液が採用されていても良い。
【００４０】
また、本実施の形態に係るエッチング方法は、表面腐食ステップにおいて腐食される物として銅が採用されているが、銅以外の物が採用されても良い。
【００４１】
また、本実施の形態に係るエッチング方法は、表面腐食ステップにおいて使用される腐食剤として塩化鉄（ＩＩＩ）の水溶液が採用されているが、対象物１１の表面１１ａと、レジスト１２とのうち、対象物１１の表面１１ａのみを腐食させることが可能である物質であれば、塩化鉄（ＩＩＩ）の水溶液以外の腐食剤が採用されても良い。
【００４２】
また、本実施の形態に係るエッチング方法は、対象物１１の表面１１ａを液体の腐食剤によって腐食させるウエットエッチングが表面腐食ステップにおいて採用されているが、対象物１１の表面１１ａを気体の腐食剤によって腐食させるドライエッチングが採用されても良い。
【００４３】
また、本実施の形態に係るエッチング方法のレジスト剥離ステップにおいて使用される剥離液は、対象物１１の表面１１ａからレジスト１２を剥離させることが可能である物質であれば良い。例えば、レジスト液に含まれている単官能モノマーまたは単官能オリゴマーと、多官能モノマーまたは多官能オリゴマーとの少なくとも一部がフリーの酸基（アクリル酸誘導体）を有していて、その酸価が１００以上である場合、水酸化ナトリウムなどのアルカリ金属の水酸化物、Ｎ−メチルジエタノールアミン、ピリジン、ピペリジンなどの塩基性化合物の水溶液が剥離液として採用されても良い。
【符号の説明】
【００４４】
１１  対象物
１１ａ  表面
１２  レジスト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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