(57)【要約】【課題】高粘度のインクを吐出できる耐久性を備え、高密度に配置され、クロストークを低減するインク吐出部が設けられたユニット積層体を有する液体吐出ヘッドを提供すること。【解決手段】液体吐出ヘッドは、複数の吐出口７を備えた表面プレート（ノズルプレート８）と、複数の圧力室３を備えた記録液吐出体（インク吐出ブロック５）を有している。複数の圧力室３と重なり合う位置に設けられている複数の開口部４と、複数の圧力室３同士の間に備えられた複数の圧力室分離溝１５を有している。記録液吐出体は、第一の圧電材料プレート１と第二の圧電材料プレート２を交互に積層することで形成され、圧力室３と開口部４は、積層方向にみて交互に設けられている。圧力室分離溝１５は、積層された複数の第一の圧電材料プレート１と複数の第二の圧電材料プレート２を積層方向に沿って貫通するように設けられていることを特徴とする。【選択図】図２
2014004717.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録液を吐出する複数の吐出口を備えた表面プレートと、記録液を前記吐出口へ供給する溝状の複数の圧力室を備えた記録液吐出体と、前記記録液吐出体の、平面的にみて前記複数の圧力室とそれぞれ重なり合う位置に設けられている溝状の複数の開口部と、前記記録液吐出体に設けられ、前記複数の圧力室及び前記複数の開口部とに沿って延び、前記複数の圧力室同士の間かつ前記複数の開口部同士の間に備えられた複数の圧力室分離溝と、を有し、
前記記録液吐出体は、第一の圧電材料プレートと第二の圧電材料プレートを交互に積層することで形成され、前記圧力室と前記開口部は、前記第一の圧電材料プレートと前記第二の圧電材料プレートの積層方向にみて交互に設けられ、前記圧力室分離溝は、積層された複数の前記第一の圧電材料プレートと複数の前記第二の圧電材料プレートを積層方向に沿って貫通するように設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記圧力室は、前記第一の圧電材料プレートの表面に設けられた第一の溝から成り、前記開口部は前記第二の圧電材料プレートの表面に設けられた第二の溝から成ることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記圧力室の内周面に第一の電極が設けられ、前記開口部の内周面の少なくとも一部に第二の電極が設けられ、前記圧力室分離溝を構成する側壁の少なくとも第一の圧電材料プレートが露出している露出面に第三の電極が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第一の圧電材料プレートの隣り合う前記第一の溝の間に位置し、前記圧力室分離溝を構成する側壁の前記露出面に凹部を有し、前記第三の電極は前記凹部の内周面に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
圧電材料で構成された第一の圧電材料プレートの表面に、記録液を吐出する吐出口へ供給する圧力室を構成するための複数の第一の溝を形成する工程と、
前記複数の第一の溝に第一の電極を形成する工程と、
圧電材料で構成された第二の圧電材料プレートの表面に、開口部を構成するための複数の第二の溝を形成する工程と、
前記複数の第二の溝の少なくとも一部に第二の電極を形成する工程と、
前記第二の圧電材料プレートの裏面に、前記第一の電極を形成する工程と、
前記第二の圧電材料プレートの裏面に、前記第一の圧電材料プレートの表面を接合してユニットを形成する工程と、
前記ユニットに接合された前記第一の圧電材料プレートの裏面に、第三の電極を形成する工程と、
前記ユニットに接合された前記第一の圧電材料プレートの裏面に、複数の前記第二の圧電材料プレートと前記第一の圧電材料プレートを、交互に接合してユニット積層体を形成する工程と、
前記ユニット積層体の隣り合う前記第一の溝同士の間かつ隣り合う前記第二の溝同士の間に、積層された複数の前記第一の圧電材料プレートと複数の前記第二の圧電材料プレートを積層方向に沿って貫通するように複数の圧力室分離溝を形成する工程と、
から成る液体吐出ヘッド製造方法。
【請求項６】
前記第一の圧電材料プレートの表面に、前記第一の溝と並列かつ交互に配列される第三の溝を形成し、前記第三の溝に前記第二の電極を形成する工程を含み、前記第三の溝は前記圧力室分離溝を形成する工程で分断される工程を含む請求項５に記載の液体吐出ヘッド製造方法。
【請求項７】
前記ユニット積層体に前記複数の圧力室分離溝を形成して前記記録液吐出体を形成する工程において、前記圧力室分離溝に前記第二の電極を形成する工程を含む請求項５に記載の液体吐出ヘッド製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクの吐出によって記録動作を行うインクジェット記録装置に設けられた液体吐出ヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電材料から成る筒状のインク吐出部（圧電素子）によって構成され、駆動電圧の印加によってインク吐出部が変形することで容積が収縮可能な圧力室を有する液体吐出ヘッドの構成と製造方法が、特許文献１に開示されている。
【０００３】
液体吐出ヘッドは、ユニット積層体（圧電素子基板）によって構成されており、四角筒状で内部に貫通する空洞が形成され、高密度に配置された複数のインク吐出部を有している。インク吐出部に電気信号が供給されると、板厚方向に貫通する圧力室を構成する四つの壁部がそれぞれ樽形状に膨張することで圧力室の容積を収縮し、圧力室に溜まったインクを吐出する。インク吐出部が高密度に配置されていることによって、解像度の高い記録が実現されている。
【０００４】
各圧力室の周囲には、それぞれの圧力室を取り囲むように圧力室分離溝が設けられていることで、実質的にそれぞれ分離された圧力室を含む筒状の複数のインク吐出部が形成されている。圧力室の四つの壁部が樽形状に膨張しても、圧力室分離溝が設けられているために、隣り合う圧力室に壁部の膨張が伝達せず、クロストークが低減される。
【０００５】
圧電材料（圧電体）から成る溝状の圧力室（インクチャネル）を有し、駆動電圧の印加によって圧力室を収縮させてインクを吐出する構成を有する液体吐出ヘッドの構成と製造方法が、特許文献２に開示されている。
【０００６】
圧力室は、圧電材料プレート（圧電性素材の基板）の表面に構成された溝から成り、この溝をトッププレートとノズルプレートで塞ぐことで構成されている。圧力室と交互して、圧電材料プレートに圧力室分離溝（ダミーチャネル）が設けられており、圧力室と圧力室分離溝の間の部分が側壁になっている。圧電材料プレートに電気信号が供給されると側壁が変形し、圧力室の容積を収縮させて、インクをノズルプレートの吐出口（ノズル）から吐出する。圧力室分離溝が設けられているために、圧力室と圧力室分離溝の間の側壁が変形しても、隣り合う圧力室に側壁の変形が伝達しないので、クロストークが低減される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−１６８３１９号公報
【特許文献２】特許３２１７００６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に開示された発明では、個々のインク吐出部が実質的に独立した四角筒状に形成されているため、インク吐出部の外周面から内周面（圧力室内面）までの壁部の厚さが薄く、インク吐出部の耐久性が低い。高画質な記録のために高い粘度のインクを吐出する場合には、圧力室のインクの吐出力を高める必要があり、それには圧力室の長さを長くしなければならない。しかし、圧力室の長さを長くするためには、インク吐出部の長さを長くする必要があり、空洞を備えた四角筒状のインク吐出部の薄い壁部の長さを長くすることで、インク吐出部の耐久性が更に低くなる。そのため、記録媒体への文字や画像の記録の際に発生する振動や、高粘度のインクを吐出するために繰り返されるインク吐出部の収縮によって、インク吐出部の壁部が破損してインクを吐出することができなくなってしまうおそれがある。そのため、高粘度のインクを吐出することのできる耐久性を有したインク吐出部が必要である。
【０００９】
特許文献２に開示された発明では、圧電材料プレートに圧力室が溝状に構成されており、ノズルプレートが圧電材料プレートの溝に対して直交した方向に接合しているため、一枚の圧電材料プレートに対して形成することのできるインクの吐出口は一列のみである。記録媒体へ解像度の高い記録を行うためには、インクの吐出口が高密度に配置されている必要があり、一列では十分でないため、複数の圧電材料プレートを積層しなければならない。しかし、圧電材料プレートの上面には、インクを貯留する共通液室を構成する部材（インクプール）が設けられているため平坦でなく、複数の圧電材料プレートを容易に積層することができない。
【００１０】
そこで本発明の目的は、前記した問題を解決して、高粘度のインクを吐出できる耐久性を備え、高密度に配置され、クロストークを低減するインク吐出部が設けられたユニット積層体を有する液体吐出ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記した目的を達成するために、本発明は、記録液を吐出する複数の吐出口を備えた表面プレートと、記録液を吐出口へ供給する溝状の複数の圧力室を備えた記録液吐出体と、記録液吐出体の、平面的にみて複数の圧力室とそれぞれ重なり合う位置に設けられている溝状の複数の開口部と、記録液吐出体に設けられ、複数の圧力室及び複数の開口部とに沿って延び、複数の圧力室同士の間かつ複数の開口部同士の間に備えられた複数の圧力室分離溝を有し、記録液吐出体は、第一の圧電材料プレートと第二の圧電材料プレートを交互に積層することで形成され、圧力室と開口部は、第一の圧電材料プレートと第二の圧電材料プレートの積層方向にみて交互に設けられ、圧力室分離溝は、積層された複数の第一の圧電材料プレートと複数の第二の圧電材料プレートを積層方向に沿って貫通するように設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、インク吐出部が、実質的に独立した筒状に構成されているのではなく、積層しているインク吐出部の壁部同士が積層方向に沿って繋がって構成されていることによって、インク吐出部の耐久性を向上させることができる。また、インク吐出部が、インク吐出部の内周面を構成する圧電材料プレートを積層して構成されていることから、圧電材料プレートに溝状に構成されている状態に比べて、インク吐出部を重なり合う状態に配置することができる。よって、インク吐出部が高密度に配置される。さらに、水平方向に隣り合うインク吐出部の間に、圧力室分離溝を設けたことによって、インク吐出部の圧電効果による変形が、隣り合うインク吐出部に伝達しないためにクロストークが低減される。
【００１３】
従って、液体吐出ヘッドは、耐久性が高く、高密度に配置され、クロストークが発生しないインク吐出部によって、解像度が高く、高画質な記録を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第一の実施形態の液体吐出ヘッドを示す斜視図である。
【図２】（ａ）は図１に示す液体吐出ヘッドのＡ−Ａ’断面図、（ｂ）は本発明の第一の実施形態のインク吐出ブロックの斜視図である。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は、第一及び第二の圧電材料プレートに、第一から第三の電極を形成して、第二の圧電材料プレートと非圧電材料プレートを接合して、さらに複数の第一及び第二の圧電材料プレートを積層する工程を示した側面図である。
【図４】（ａ）は第二の圧電材料プレートの側面図、（ｂ）は第三の電極を配置した側面図、（ｃ）は第二の圧電材料プレートと非圧電材料プレートを接合した状態を示す側面図、（ｄ）は第一の電極を配置した側面図である。
【図５】第一及び第二の圧電材料プレートと非圧電材料プレートを積層した状態を示す側面図である。
【図６】（ａ）は本発明の第二の実施形態のインク吐出ブロックを示す側面図、（ｂ）はその斜視図である。
【図７】（ａ）〜（ｅ）は、第一及び第二の圧電材料プレートに、第一から第三の電極を形成して、第二の圧電材料プレートと非圧電材料プレートを接合して、さらに複数の第一及び第二の圧電材料プレートを積層する工程を示した側面図である。
【図８】（ａ）は第二の圧電材料プレートの側面図、（ｂ）は第三の電極を配置した側面図、（ｃ）は第二の圧電材料プレートと非圧電材料プレートを接合した状態を示す側面図、（ｄ）は第一の電極を配置した側面図である。
【図９】第一及び第二の圧電材料プレートと非圧電材料プレートを積層した状態を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１６】
（第１の実施形態）
記録媒体へ記録液であるインクを吐出することで文字や画像を記録するインクジェット記録装置は、インクが貯留されているインクタンクと、インクを吐出するノズルが備えられている液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッドを保持するキャリッジを有している。インクジェット記録装置が記録媒体へ文字や画像を記録する際には、キャリッジが記録媒体上を往復運動しながら、液体吐出ヘッドが、各色のインクを適切な量だけ記録媒体の適切な位置に吐出していく。キャリッジの往復運動にあわせて、記録媒体が所定のピッチで順次送られることで、記録媒体におけるインクの吐出位置がずれていく。このようにキャリッジと記録媒体が動くことによって、記録媒体に画像データが記録される。
【００１７】
図１は、本発明の実施形態に用いる液体吐出ヘッドの斜視図である。
【００１８】
図１に示すように、本発明の実施形態の液体吐出ヘッドは、インク吐出ブロック（記録液吐出体）５と、後方絞りプレート６と、ノズルプレート（表面プレート）８を有している。後方絞りプレート６は、インク吐出ブロック５の背面に接合されており、不図示の共通液室からインクをインク吐出ブロック５に送る不図示の複数の絞り孔を有している。ノズルプレート８は、インク吐出ブロック５の前面に接合されており、高密度に配置されたインクを吐出するための複数の吐出口７を有している。
【００１９】
インク吐出ブロック５は、図２（ａ）と（ｂ）に示すように、複数の第一の圧電材料プレート１と複数の第二の圧電材料プレート２を積層して構成されている。最上面と最下面には非圧電材料プレート１１が設けられ、さらに積層方向に沿って上面から下面に向けて圧力室分離溝１５が形成されている。インク吐出ブロック５の前面には、インクを吐出する吐出部である溝状の複数の圧力室３と、溝状の複数の開口部４が、圧力室分離溝１５同士の間に配置されている。圧力室３の内周面には第一の電極１２が設けられ、開口部４の内周面の少なくとも一部には第三の電極１４が設けられている。圧力室３と開口部４は、圧力室分離溝１５と平行な方向に沿って平面的にみて交互に一列に重なり合うように設けられている。圧力室分離溝１５を形成する側壁の第一の圧電材料プレート１が露出している露出面には、内周面に第二の電極１３が設けられた凹部９が形成されている。凹部９は、圧力室分離溝１５と直交する方向に、圧力室３の両側に配置されている。
【００２０】
図３（ａ）と（ｂ）に示すように、第一の圧電材料プレート１の表面には、インクを送り出す圧力室３の内周面を構成する溝（第一の溝）と、凹部９の内周面を構成する溝（第三の溝）が、第一の圧電材料プレート１の表面に交互に並列に設けられている。圧力室３の内周面を構成する溝には第一の電極１２ａが、凹部９の内周面を構成する溝には第二の電極１３が、それぞれ配置されている。また、図３（ｄ）に示すように、第一の圧電材料プレート１の裏面には、第三の電極１４ｂが配置されている。図４（ａ）と（ｂ）に示すように、第二の圧電材料プレート２の表面には、開口部４の内周面を構成する溝（第二の溝）が、並列に配置されている。開口部４の内周面を構成する溝の底部には、第三の電極１４ａが配置されている。また、図４（ｄ）に示すように、第二の圧電材料プレート２の裏面の、第三の電極１４ａに対向する位置に、第一の電極１２ｂが配置されている。尚、第一の圧電材料プレート１及び第二の圧電材料プレート２は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電材料を用い、非圧電材料プレート１１は、セラミック材料等の圧電材料以外を用いるのが望ましい。
【００２１】
以上に説明した構成のインクを吐出する液体吐出ヘッドによって、インクが吐出する作用について説明する。
【００２２】
記録媒体へインクを吐出するために、不図示の共通液室体から供給されたインクは、後方絞りプレート６の不図示の絞り孔を通って、インク吐出ブロック５の圧力室３に流入し、ノズルプレート８の吐出口７まで流入して、充填完了となる。この状態で、受信した記録データ通りに記録媒体へインクを吐出するために、液体吐出ヘッドが電気信号を受け取る。液体吐出ヘッドが電気信号を受け取ると駆動電圧が印加され、第一の電極１２及び第二の電極１３及び第三の電極１４を介して、圧力室３を構成している第一の圧電材料プレート１及び第二の圧電材料プレート２に電界が発生し、圧電効果が生じる。圧電効果が生じると、圧力室３を構成している周囲の圧電材料が膨張し、この結果として圧力室３が収縮される。圧力室３の内部にはインクが充填されているため、圧力室３が収縮することで減少した容積の分のインクが、吐出口７から吐出される。このような、圧力室自体を圧電材料によって形成し、圧電効果による圧電材料の変形によって圧力室を収縮させるグールドタイプの液体吐出ヘッドは、インクの吐出力に優れているため、高粘度のインクを吐出することができる。
【００２３】
インクが吐出口７より吐出されると、駆動電圧の印加がストップし、圧電材料の電界が放電される。圧電材料の電界が放電されると、圧電効果がなくなって、圧電材料の膨張が解消され、圧力室３は初期状態の形状に戻る。圧力室３に充填されていたインクは、圧力室３の収縮によって吐出されたため、圧力室３の内部には吐出されたインクの体積分のスペースができる。このスペースに、不図示の共通液室に貯留されているインクが、後方絞りプレート６の不図示の絞り孔を通って、インク吐出ブロック５の圧力室３に流入して充填される。尚、インクの液面は、メニスカスの復帰力によって、ノズルプレート８の吐出口７まで到達する。インクの液面が、吐出口７まで到達するとインクの圧力室３への再充填が完了となる。
【００２４】
以上のように、圧力室３の収縮によるインクの吐出と、圧力室３の不図示の共通液室からのインクの供給を繰り返すことによって、記録媒体へインクを吐出して、受信した記録データに基づいた文字や画像を記録媒体へ形成する。
【００２５】
本実施形態では、隣り合う圧力室分離溝１５同士の間に圧力室３と開口部４が配置され、さらに圧力室３と開口部４が圧力室分離溝１５と平行な方向に沿って交互に複数重なり合うように形成されている。従って、重なり合う圧力室３と開口部４を構成する壁同士が圧電材料プレートの積層方向に沿って繋がっている。このため、実質的に分離した四角筒状に構成されている特許文献１のインク吐出部に比べて、本実施形態のインク吐出部の剛性が向上している。そのため、記録媒体への文字や画像の記録の際に発生する振動や、高粘度のインクを吐出するために繰り返されるインク吐出部の収縮による疲労破壊に対する耐久性が増している。これによって、インク吐出部の壁部が破損して、インクが吐出できなくなるというおそれがなくなる。
【００２６】
また、インク吐出ブロック５が、圧力室３の内周面を構成する溝を有する第一の圧電材料プレート１を積層して構成されていることから、少なくとも特許文献１と同程度にインクの吐出口７を高密度に配置することができる。
【００２７】
一方で、隣り合う圧力室３同士の間に圧力室分離溝１５が設けられていることで、各圧力室３の変形が隣の圧力室３に伝達することはない。さらに、圧力室分離溝１５と平行な方向に積層されている圧力室３同士は、接着剤を介して積み重なっているため、各圧力室３の変形は伝達することがない。よって、クロストークの発生が低減される構造を有している。
【００２８】
（第１の実施形態の製造方法）
ここで、以上に説明した液体吐出ヘッド製造方法を説明する。
【００２９】
図３（ａ）と（ｂ）に示すように、第一の圧電材料プレート１の表面に、圧力室３の内周面を構成する複数の溝と、凹部９の内周面を構成する複数の溝が研削加工によって設けられている。その後、それぞれの溝に、選択めっきによって第一の電極１２ａ及び第二の電極１３が形成される。尚、圧力室３の内周面を構成する複数の溝と凹部９の内周面を構成する複数の溝は、第一の圧電材料プレート１の表面に交互に配列されている。
【００３０】
一方で、図４（ａ）〜（ｄ）に示すように、第二の圧電材料プレート２の表面に、開口部４の内周面を構成する溝を研削加工によって複数設け、開口部４の内周面を構成する溝の底部に、選択めっきによって第三の電極１４ａを形成する。この第二の圧電材料プレート２の表面に非圧電材料プレート１１を接合した後に、第二の圧電材料プレート２の裏面の、第三の電極１４ａに対向する位置に選択めっきを施し、第一の電極１２ｂが形成される。
【００３１】
その後、図３（ｃ）〜（ｅ）に示すように、図４（ｄ）に示す非圧電材料プレート１１に接合された第二の圧電材料プレート２の裏面に、圧力室３の内周面を構成する溝と第一の電極１２ｂが一致するように、第一の圧電材料プレート１が接合される。第一の圧電材料プレート１を接合した後に、第一の圧電材料プレート１の裏面全面にめっきを施し、第三の電極１４ｂが形成される。そして、図４（ｄ）に示す非圧電材料プレート１１が接合されていない状態の他の第二の圧電材料プレート２が、ユニットに接合された第一の圧電材料プレート１の裏面の圧力室３に対向する位置に、開口部４の内周面を構成する溝が整列するように接合される。
【００３２】
さらに、他の第一の圧電材料プレート１と非圧電材料プレート１１が接合されていない他の第二の圧電材料プレート２を積層、接合していき、所定の数を積層した後に、もう一枚の非圧電材料プレート１１を最下面の第二の圧電材料プレート２の裏面に接合する。こうして、図５に示すように、ユニット積層体１０が形成される。
【００３３】
ユニット積層体１０が形成されると、圧電効果を発生させるための分極処理が行われる。分極処理は、シリコンオイル等の絶縁体液体にインク吐出ブロック５を浸し、加熱（例えば２００℃）し、形成された電極間に１〜２ｋＶ／ｍｍ程度の電界を印加させる処理である。
【００３４】
図２（ａ）と（ｂ）に示すように、それぞれ隣り合う圧力室３を分離するための圧力室分離溝１５が、ユニット積層体１０の上面から下面に向かって、圧力室同士の間かつ開口部同士の間を圧力室３の積層方向に平行に研削加工によって形成される。すなわち、第一の圧電材料プレートの隣り合う第一の溝同士の間かつ隣り合う第二の溝同士の間に形成される。圧力室分離溝１５は、凹部９の内周面を構成する溝を分断し、凹部９を構成している側壁と、開口部４の内周面に及ばないように形成されなければならない。さらに、この圧力室分離溝１５は、ユニット積層体１０の上面から下面に向かって貫通しているが、ユニット積層体１０の前面から背面に向かって貫通せずに、圧力室分離溝１５が背面まで形成されないように形成される。
【００３５】
ユニット積層体１０に圧力室分離溝１５が形成されると、インク吐出ブロック５が完成する。
【００３６】
以上のようにしてインク吐出ブロック５が完成した後、圧力室３と吐出口７が整列するように、インク吐出ブロック５の前面にノズルプレート８が接合される。一方、インク吐出ブロック５の背面に、圧力室３と不図示の絞り孔が整列するように、後方絞りプレート６が接合される。
【００３７】
以上の工程を経て、液体吐出ヘッドが製造される。
【００３８】
（第２の実施形態）
図６（ｂ）は、本発明の第二の実施形態を示すインク吐出ブロック２５の斜視図である。尚、インク吐出ブロック２５の前面と背面には、第一の実施形態と同じくノズルプレートと後方絞りプレートが接合される。
【００３９】
インク吐出ブロック２５は、図６（ａ）と（ｂ）に示すように、第一の圧電材料プレート２１と第二の圧電材料プレート２２を積層して構成され、上面と下面に非圧電材料プレート３１が設けられ、さらに上面から下面に向けて圧力室分離溝３５が形成されている。さらに、インク吐出ブロック２５の前面には、複数の圧力室２３と、複数の開口部２４が、圧力室分離溝３５同士の間に配置されている。圧力室２３の内周面には第一の電極３２が設けられ、開口部２４の内周面の少なくとも一部には第三の電極３４が設けられている。圧力室２３と開口部２４は、圧力室分離溝３５と並列になるように交互に一列に積層されている。それぞれの圧力室分離溝３５に、第二の電極３３が形成されている。
【００４０】
図７（ｂ）に示すように、第一の圧電材料プレート２１の表面には、インクを送り出す圧力室２３の内周面を構成する溝が、並列に配置されている圧力室２３の内周面を構成する溝には第一の電極３２ａが配置されている。また、図７（ｄ）に示すように、第一の圧電材料プレート２１の裏面には、第三の電極３４ｂが配置されている。図８（ｂ）に示すように、第二の圧電材料プレート２２の表面には、開口部２４の内周面を構成する溝が、並列に配置されている。開口部２４の内周面を構成する溝の底部には、第三の電極３４ａが配置されている。また、図８（ｄ）に示すように、第二の圧電材料プレート２２の裏面の、第三の電極３４ａに対向する位置に、第一の電極３２ｂが配置されている。尚、第一の圧電材料プレート２１及び第二の圧電材料プレート２２は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電材料を用い、非圧電材料プレート３１は、セラミック材料等の圧電材料以外を用いるのが望ましい。
【００４１】
以上に説明した構成のインクを吐出する液体吐出ヘッドによって、インクが吐出する作用については、第一の実施形態と同様のため省略する。
【００４２】
（第２の実施形態の製造方法）
ここで、以上に説明した液体吐出ヘッドの製造方法を説明する。
【００４３】
図８（ａ）〜（ｄ）に示すように、第二の圧電材料プレート２２の表面に、開口部２４の内周面を構成する溝を研削加工によって設け、開口部２４の内周面を構成する溝の底部に、選択めっきによって第三の電極３４ａを形成する。第二の圧電材料プレート２２の表面に非圧電材料プレート３１を接合した後に、第二の圧電材料プレート２２の裏面の、第三の電極３４ａに対向する位置に選択めっきを施し、第一の電極３２ｂが形成される。
【００４４】
次に、図７（ａ）〜（ｄ）に示すように、第一の圧電材料プレート２１の表面に、圧力室２３の内周面を構成する溝を研削加工によって設け、選択めっきによって第一の電極３２ａが形成される。その後に、非圧電材料プレート３１に接合されたユニットの第二の圧電材料プレート２２の裏面に、圧力室２３の内周面を構成する溝と第二の圧電材料プレート２２の裏面に形成された第一の電極３２ｂが一致するように、第一の圧電材料プレート２１が接合される。第一の圧電材料プレート２１を接合した後に、第一の圧電材料プレート２１の裏面全面にめっきを施し、第三の電極３４ｂが形成される。第三の電極３４ｂが形成されたら、前述した第三の電極３４ａが形成された第二の圧電材料プレート２２が、ユニットに接合された第一の圧電材料プレート２１の裏面の圧力室２３に対向する位置に、開口部２４の内周面を構成する溝が整列するように接合される。
【００４５】
このようにして第一の圧電材料プレート２１と第二の圧電材料プレート２２を積層、接合していき、所定の数を積層した後に、非圧電材料プレート３１を第二の圧電材料プレート２２の裏面に接合する。すると、図９に示すように、ユニット積層体３０が形成される。
【００４６】
ユニット積層体３０が形成されると、圧電効果を発生させるための分極処理が行われる。分極処理は、第一の実施形態と同様である。
【００４７】
図６（ａ）と（ｂ）に示すように、それぞれ隣り合う圧力室２３を分離するための圧力室分離溝３５が、ユニット積層体３０の上面から下面に向かって、圧力室２３同士の間を圧力室２３の積層方向に平行に研削加工によって形成される。圧力室分離溝３５は、開口部４の内周面に及ばないように形成されなければならない。さらに、この圧力室分離溝３５は、ユニット積層体３０の上面から下面に向かって貫通しているが、ユニット積層体３０の前面から背面に向かって貫通せずに、圧力室分離溝３５が背面まで形成されないように形成される。
【００４８】
最後に圧力室分離溝３５にめっきを施し、第二の電極３３が形成されると、インク吐出ブロック２５が完成する。
【００４９】
以上のようにしてインク吐出ブロック２５が完成した後に、前面にノズルプレート８が、背面に後方絞りプレート６が接合される。
【００５０】
以上の工程を経て、液体吐出ヘッドが製造される。
【符号の説明】
【００５１】
１、２１                第一の圧電材料プレート
２、２２                第二の圧電材料プレート
３、２３                圧力室
４、２４                開口部
５、２５                インク吐出ブロック
６                      後方絞りプレート
７                      吐出口
８                      ノズルプレート
９                      凹部
１０、３０              ユニット積層体
１１、３１              非圧電材料プレート
１２、３２              第一の電極
１３、３３              第二の電極
１４、３４              第三の電極
１５、３５              圧力室分離溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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