(57)【要約】【課題】シール材の段差を一様にして、液晶の歩留まり、信頼性を向上する。【解決手段】素子基板と、素子基板に設けられた薄膜トランジスタを有する画素部と、素子基板の画素部を囲むように設けられたシール材と、素子基板のシール材の内側に設けられた片側駆動方式の周辺駆動回路と、シール材下に設けられ、周辺駆動回路に接続される第１の配線、第２の配線と、シール材下の第１の配線及び第２の配線と対向する領域にそれぞれ設けられ、第１の配線及び第２の配線と電気的に絶縁された支持部材と、支持部材と一部が重なるように設けられたブラックマトリクスと、を有し、支持部材及び第１の配線は、同一材料からなる。【選択図】図１
2014132356.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マトリクス回路を有する素子基板と、
前記素子基板と対向する対向基板と、
前記素子基板と前記対向基板とを接着するためのシール材と、を有し、
前記素子基板において、前記シール材が配置されている領域には、少なくとも１層以上の積層構造を有する基板間隔補正手段が配置されていることを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクティブマトリックス方式の液晶表示装置に関するものであり、基板張り
合わせ時に発生する不良を削減することを目的とする。特に、周辺回路一体型の液晶表示
装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のアクティブマトリックス型液晶表示装置においては、画素部にマトリクス状に配
置されたＭＩＭ等の２端子素子、又はＴＦＴ等の３端子素子のスイチッング作用を利用し
て、画素電極間に挟持されている液晶材料の透光性等の光学特性を制御して、表示を得て
いる。一般に、画素電極のスイチッング素子として、アモルファスシリコンを使用したＴ
ＦＴが広く使用されている。
【０００３】
しかしながら、アモルファスシリコンの電界効果移動度が０．１ｃｍ／Ｖｓ〜１ｃｍ／
Ｖｓ程度と低いため、アモルファスシリコンを利用したＴＦＴを画素電極に接続されたＴ
ＦＴを制御する周辺駆動回路に配置することはできない。
【０００４】
このため、従来のアクティブマトリックス型液晶表示装置では、半導体集積回路により
構成された周辺駆動回路を、テープ自動ボンディング（ＴＡＢ）法や、チップ・オン・グ
ラス（ＣＯＧ）法により、液晶パネルに外付けしている。
【０００５】
図１６は第１の従来例のアクティブマトリックス型液晶パネルの概略の正面図であり、
周辺駆動回路を外付けにしたものである。図１６に示すように、ガラス、石英等の素子基
板１上には、走査線２、信号線３がマトリクス状に配置され、画素部４において、これら
の配線の交差部には、画素電極、画素電極のスイッチング用の画素ＴＦＴが接続されてい
る。走査線２、信号線３はそれぞれシール材領域５の外側まで延在しており、このため、
シール材を横切る配線数は少なくとも、走査線２、信号線３の数だけある。それら配線の
端部はそのまま引き出し端子６となり、引き出し端子６には、図示しない周辺駆動回路が
接続されている。
更に、シール材領域５に形成されるシール材により、素子基板１と図示しない対向基板と
が接合され、これらの基板間にシール材により液晶材料が封入されている。
【０００６】
また、近年では、電界効果移動度が大きいＴＦＴを得るために、結晶性シリコンを利用
してＴＦＴを作製する技術が盛んに研究されている。結晶性シリコンを利用したＴＦＴは
アモルファスシリコンＴＦＴよりも格段の高速動作が可能であり、結晶性シリコンにより
、ＮＭＯＳのＴＦＴのみでなく、ＰＭＯＳのＴＦＴも同様に得られるのでＣＭＯＳ回路を
形成することが可能である。従って、同一基板上に表示部と共に、周辺駆動回路を作製す
ることが可能になる。
【０００７】
図１７は第２の従来例のアクティブマトリックス型液晶表示装置の概略の正面図であり
、周辺駆動回路と表示部をパネル一体化したものである。図１７に示すように、ガラス、
石英等の素子基板１１上には、画素部１２が配置され、画素部１２の周囲において、上側
には信号線駆動回路１３が設けられ、左側には走査線駆動回路１４が設けられている。信
号線駆動回路１３、走査線駆動回路１４にはそれぞれ信号線１５、走査線１６が接続され
ている。信号線１５、走査線１６はそれぞれ画素部１２において格子を成し、信号線駆動
回路１３、走査線駆動回路１４に接続されていない端部はシール材領域１７の外側まで延
在して、図示しない制御回路、電源等が接続されている。また、シール材領域１７に形成
されるシール材により、素子基板１１と対向基板１８とが接合され、シール材により、こ
れら基板１１、１８間に液晶材料が封入されている。更に、素子基板１１上には、外部端
子１９が設けられている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図１６に示す第１の従来例では、画素部４周辺の配線構造が紙面において上下及び左右
に対称的であるため、シール部の段差が均一になるので、基板間隔を均等にすることがで
きる。
【０００９】
しかしながら、第１の従来例では、周辺駆動回路がシール材の外側に接続されるため、
シール材を横切る配線数が多く、駆動回路から画素部に接続されている配線とシール材と
の界面から水分が侵入して、液晶材料を劣化してしまうという問題点がある。また、周辺
駆動回路が外側にあるため、装置自体が大型化してしまう。
【００１０】
これらの問題点を回避するために、図１７に示す第２の従来例の周辺駆動回路一体型の
アクティブマトリックス型液晶表示装置では、シール材領域１７の内側に周辺駆動回路を
配置している。また、一般的に冗長回路を設けずに、片側駆動方式が採用されている。こ
のため、図１７に示すように、素子基板１１の右側、下側だけ配線がシール材を横断して
いるので、配線構造が紙面上下及び左右で対称性が無くなり、シール材の段差は周辺駆動
回路側と、配線が延長している側では異なる。従って、基板を張り合わせる際に、基板に
均等に圧力がかからないため、基板間隔を均等にすることが困難になる。この結果、表示
ムラが生じたり、画質を低下させてしまう。
【００１１】
特に、周辺駆動回路側のシール材の段差が低くなっているため、基板張り合わせ時に、
周辺駆動回路において、配線が上下間でショートしてしまう恐れがあり、線欠陥が生じ易
い。これらの問題点は、周辺駆動回路一体型の液晶表示装置の歩留りの低下、信頼性の低
下の新たな原因となっている。
【００１２】
また、画素部において、最も突出している部分は走査線と信号線とが重なっている領域
であり、この領域には、走査線、信号線、これらを分離するための層間絶縁膜のみでなく
、更に、画素電極、ブラックマトリクス等が積層されている。
一般に、シール材には基板間隔を維持するための円柱状のファイバーが混入されている。
ファイバーの寸法は画素部の突出部の厚さと、シール材の内側に散布されるスペーサーの
寸法とを合わせて、マージンを考慮した値とされて、画素部よりシール材の段差が高くな
るようにしているが、画素部の突出部上にスペーサーが配置されていると、シール材より
もこの部分のほうが高くなってしまうので、この状態で、基板を張り合わせると、スペー
サにより走査線と信号線が上下間でショートされてしまい、点欠陥、線欠陥の原因となる
。
【００１３】
本発明の目的は、上述の問題点を解消して、画質の優れた、信頼性の高い周辺駆動回路
一体型の液晶表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上述の問題点を解消するために、本発明に係る液晶装置の構成は、マトリクス回路を有
する素子基板と、該素子基板と対向する対向基板と、前記素子基板と前記対向基板とを接
着するためのシール材と、を有する液晶表示装置において、前記素子基板において、前記
シール材が形成される領域には、前記シール材の下部に少なくとも１層以上の積層構造が
形成され、前記積層構造は電気的に実質的に絶縁されていることを特徴とする。
【００１５】
また本発明の他の構成は、マトリクス状に配置され、第１の層間絶縁膜より層間分離さ
れた信号線と走査線と、該信号線と該走査線との交点に配置され、第２の層間絶縁膜によ
り信号線と層間分離された画素電極とを有するマトリクス回路と、該マトリクス回路を制
御するための周辺駆動回路とを有する素子基板と、該素子基板と対向する対向基板と、前
記マトリクス回路を取り囲み、前記素子基板と前記対向基板とを接着するためのシール材
と、を有する液晶表示装置において、前記素子基板において、前記シール材の形成領域に
は、前記シール材の下部に少なくとも走査線と同一の材料から成る第１の支持部材と、前
記第１の層間絶縁膜と、信号線と同一の材料から成る第２の支持部材と、第２の層間絶縁
膜とが互いに異なる層に積層構造が形成され、前記積層構造は電気的に実質的に絶縁され
ていることを特徴とする。
【００１６】
更に、本発明に係る液晶装置の他の構成は、マトリクス状に配置され、第１の層間絶縁
膜より層間分離された信号線と走査線と、該信号線と該走査線との交点に配置され、第２
の層間絶縁膜により信号線と層間分離された画素電極と、画素電極を動作させるための薄
膜トランジスタとを有するマトリクス回路と、該マトリクス回路を制御するための周辺駆
動回路とを有する素子基板と、該素子基板と対向する対向基板と、前記マトリクス回路を
取り囲み、前記素子基板と前記対向基板とを接着するためのシール材と、を有する液晶表
示装置において、前記素子基板において、前記シール材の形成領域には、前記シール材の
下部に少なくとも走査線と同一の材料から成る支持部材と、前記第１の層間絶縁膜と、第
２の層間絶縁膜とが互いに異なる層に形成されている積層構造を有し、前記積層構造は電
気的に実質的に絶縁されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る液晶表示装置において、シール材の下部に形成される基板間隔補正手段に
より段差を均一にすることができるためシール材自体の段差も均一にすることができる。
また、基板間隔補正手段により、スペーサーを含んでもマトリクス回路がシール材よりも
突出することがない。従って、基板張り合わせ時に、周辺駆動回路において配線が上下間
でショートすることを回避することができ、周辺駆動回路一体型の液晶表示装置の歩留り
を向上するとともに、信頼性をも向上することができる。さらに、基板間隔を均一に維持
することができるので、表示ムラがなくなり、高精細な表示が可能になる。
【００１８】
更に、本発明の基板間隔補正手段は、マトリクス回路、周辺駆動回路と同時に、かつ工
程数を増加することなく作製することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施例１〜５の液晶表示装置の上面図である。
【図２】実施例１〜５のＴＦＴの作製工程図である。
【図３】実施例１のシール材下部構成の作製工程図である。
【図４】実施例１のシール材下部構成の作製工程図である。
【図５】図４の線Ａ−Ａ’における断面図であり、図７の線Ｂ−Ｂ’における断面図である。
【図６】図４の線Ａ−Ａ’における断面図であり、図８の線Ｂ−Ｂ’における断面図である。
【図７】実施例２の基板間隔補正手段の作製工程図である。
【図８】実施例２の基板間隔補正手段の作製工程図である。
【図９】実施例３の基板間隔補正手段の作製工程図である。
【図１０】図９の線Ｃ−Ｃ’における断面図である。
【図１１】図９の線Ｄ−Ｄ’における断面図である。
【図１２】実施例４の基板間隔補正手段の上面図である。
【図１３】図１２の線Ｅ−Ｅ’における断面図である。
【図１４】実施例５の基板間隔補正手段の上面図である。
【図１５】図１４の線Ｆ−Ｆ’における断面図である。
【図１６】従来例１の液晶表示装置の上面図である。
【図１７】従来例２の液晶表示装置の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図面を使用して本発明の実施の形態を説明する。
図１は本実施例のアクティブマトリックス型液晶表示装置の素子基板の概略の正面図で
あり、周辺駆動回路１０３、１０４と表示部１０２が素子基板１０１上に配置されている
。
【００２１】
図１に示すように、紙面右側、下側において、信号線１０５、走査線１０６がシール材
形成領域１０７を横断しているが、周辺回路１０３、１０４側のシール材形成領域１０７
には、これらの配線が横断していない。このため本発明において、シール材下部構造の段
差を均一にする基板間隔補正手段を形成する。
【００２２】
図６は基板間隔補正手段のシール材幅方向の断面図である。図６に示すように、シール
材形成領域には、走査線１０６と同一の材料から成る第１の支持部材３０１、３０２、３
０３と、信号線１０５と走査線１０６とを分離する第１の層間絶縁膜２２０、信号線１０
５と同一の材料から成る第２の支持部材３０４とが積層されている。特に、第１の支持部
材３０１、３０２、３０３上に、第２の支持部材３０４が存在しないようにしたため、シ
ール材形成領域１０７の縁部に沿った基板間隔補正手段の断面構成を一様になるので、シ
ール材の段差を均一にすることができる。
【００２３】
図１５は他の基板間隔補正手段のシール材幅方向の断面図である。図１５に示すように
、シール材形成領域１０７には、走査線１０６と同一の材料から成る第１の支持部材３０
１、３０２、３０３と、信号線１０５と走査線１０６とを分離する第１の層間絶縁膜２２
０、信号線１０５と同一の材料から成る第２の支持部材７０１とが積層されている。マト
リクス回路の厚さが最大となる領域は、信号線１０５と走査線１０６とが重なる領域であ
り、その領域には、少なくとも、素子基板上に、信号線、層間絶縁膜、走査線、パッシベ
ーション膜が積層されている。従って、本発明では、第１の支持部材３０１、３０２、３
０３上と、第２の支持部材７０１とを重なるように配置することにより、基板間隔補正手
段の段差と、マトリクス回路の厚さが最大となる領域の高さを略等しくすることができる
ので、シール材よりも、スペーサーを含むマトリクス回路の段差が低くなるので、基板を
張り合わせる際の圧力はシール材で支えることができるため、スペーサにより走査線と信
号線が上下間でショートされることを防止することができる。
なお、信号線１０５と走査線１０６とが重なる領域には、更に、画素電極、ブラックマト
リクス等が積層されるため、基板間隔補正手段にも、同様に、画素電極、ブラックマトリ
クス等を積層するとよい。
図４は基板間隔補正手段の上面図であり、シール材形成領域１０７には、線状の第１の
支持部材３０１、３０２、３０３と第２の支持部材３０４とが等間隔に交互に配置されて
いる。
【００２４】
マトリクス回路から延長された走査線はシール材形成領域１０７を横断する領域Ｒ３に
おいて、第１の支持部材３０２と一体的に形成され、シール材形成領域１０７の外部に延
長される。他方、マトリクス回路１０２から延長された信号線３０５はシール材形成領域
１０７を横断する第１の支持部材３０３とシール材形成領域１０７の内側で接続される。
【００２５】
このように、本発明では、シール材形成領域１０７を横断して電気的に素子基板外部の
回路と接続される配線パターンを第１の支持部材３０２、３０３のみで構成するようにし
たため、シール材の段差をより均一にすることができる。
【００２６】
また、図８に示すように、マトリクス回路１０２又は周辺回路１０３、１０４からの配
線がシール材形成領域１０７を横断しない領域Ｒ１、Ｒ２において、第１の配線層４０１
を分断せずに、シール材形成領域１０７の幅と略等しく矩形波状に形成する。これにより
、シール材形成領域１０７の幅方向の任意の断面構成において、第１の配線層が存在する
ため、外部から水分が侵入することを防止することができる。
【００２７】
また、本発明において、基板間隔補正手段は、前記画素電極を駆動する薄膜トランジス
タと共に形成されるようにし、第１の配線層は前記走査線と同時に形成され、前記第２の
配線層は前記信号線と同時に形成される。
【００２８】
本発明を図示の実施例に基づいて、詳細に説明する。
【００２９】
図１は実施例１〜５のアクティブマトリックス型液晶表示装置の素子基板の概略の正面
図であり、周辺駆動回路と表示部を一体化したものである。図１に示すように、ガラス、
石英等の素子基板１０１上には、画素部１０２が配置され、画素部１０２の周囲において
、上側には信号線駆動回路１０３が設けられ、左側には走査線駆動回路１０４が設けられ
ている。信号線駆動回路１０３、走査線駆動回路１０４はそれぞれ信号線１０５、走査線
１０６により画素部１０２と接続され、信号線１０５、走査線１０６は画素部１０２にお
いて格子を成し、それらの交差には、それぞれ液晶セル１１１、画素ＴＦＴ１１２が直列
に接続されている。画素ＴＦＴ１１２において、ゲイト電極は信号線１０５に接続され、
ソース電極は走査線１０６に接続され、ドレイン電極は液晶セル１１１の電極に接続され
ている。
【００３０】
更に、画素部１０２、信号線駆動回路１０３、走査線駆動回路１０４を取り囲むように
シール材領域１０７が配置され、シール材領域１０７に形成されるシール材により、素子
基板１０１と図示しない対向基板とが接合され、これらの基板間に液晶材料が封入される
。
【００３１】
紙面右側、下側において、信号線１０５、走査線１０６はシール材形成領域１０７の外
部に延長されて、パネル外部の制御回路等に接続される。更に、素子基板１０１には外部
端子１０８が設けられており、配線１０９により外部端子１０８と信号線駆動回路１０３
、走査線駆動回路１０４とがそれぞれ接続される。
【実施例１】
【００３２】
本実施例では、図１に示すアクティブマトリックス型の液晶表示装置において、シール
材の段差を均等にするために、信号線１０５、走査線１０６の出発膜から整形された電気
的に実質的に絶縁されている配線パターン（ダミー配線構造）をシール材形成領域１０７
に配置して、シール材下部の構造を均一にすることにより、シール材の段差を均一にする
ことを特徴とする。また、本実施例では、このような配線パターンを液晶パネルに配置さ
れるＴＦＴと同時に作製する。
【００３３】
本実施例のアクティブマトリクス型の液晶パネルの作製工程について、図２〜６を用い
て説明する。図２にＴＦＴの作製工程を断面図で示し、図２の左側に周辺駆動回路（信号
線駆動回路２０３、走査線駆動回路２０４）に配置される駆動回路ＴＦＴの作製工程を示
し、右側に画素部２０２に配置される画素ＴＦＴの作製工程を示す。
【００３４】
また、図３〜図６に第１層目のダミー配線３０１の作製工程図を示す。図３、図４はシ
ール材形成領域１０７の模式的な上面図であり、図１において楕円で示す領域Ｒ１〜Ｒ４
の拡大図である。また、図５、図６はそれぞれ図３、図４における線Ａ−Ａ’による断面
図である。
【００３５】
ＴＦＴを作製するには、図２（Ａ）に示すように、石英基板またはガラス基板等の基板
２０１上に、下地酸化膜２０２として厚さ１０００〜３０００Åの酸化珪素膜を形成する
。この酸化珪素膜の形成方法としては、酸素雰囲気中でのスパッタ法やプラズマＣＶＤ法
を用いればよい。
【００３６】
次に、プラズマＣＶＤ法やＬＰＣＶＤ法によってアモルファスシリコン膜を３００〜１
５００Å、好ましくは５００〜１０００Å形成する。そして、５００℃以上、好ましくは
、８００〜９５０℃の温度で熱アニールをおこない、シリコン膜を結晶化させる。熱アニ
ールによって結晶化させた後に、光アニールをおこなって、さらに結晶性を高めてもよい
。また、熱アニールによる結晶化の際に、特開平６−２４４１０３、同６−２４４１０４
に記述されているように、ニッケル等のシリコンの結晶化を促進させる元素（触媒元素）
を添加してもよい。
【００３７】
次に結晶化されたシリコン膜をエッチングして、島状の周辺駆動回路のＴＦＴの活性層
２０３（Ｐチャネル型ＴＦＴ用）、２０４（Ｎチャネル型ＴＦＴ）とマトリクス回路のＴ
ＦＴ（画素ＴＦＴ）の活性層２０５をそれぞれ形成する。さらに、酸素雰囲気中でのスパ
ッタ法によって、厚さ５００〜２０００Åの酸化シリコンをゲイト絶縁膜２０６として形
成する。酸化シリコン膜の形成方法としては、プラズマＣＶＤ法を用いてもよい。プラズ
マＣＶＤ法によって酸化シリコン膜を形成する場合には、原料ガスとして、一酸化二窒素
（Ｎ２Ｏ）もしくは酸素（Ｏ２）とモンシラン（ＳｉＨ４）を用いることが好ましい。
【００３８】
その後、第１層目の配線の出発膜を形成する。本実施例では、厚さ２０００Å〜５μｍ
、好ましくは２０００〜６０００Åの多結晶シリコン膜（導電性を高めるため微量の燐を
含有する）をＬＰＣＶＤ法によって基板全面に形成する。そして、これをエッチングして
、ゲイト電極２０７、２０８、２０９を形成する。（図２（Ａ））
【００３９】
更に、本実施例では、ゲイト電極２０７〜２０９を形成すると同時に、図３に示すよう
に、シール材領域１０７にも第１層目の配線の出発膜をパターニングして、配線パターン
を形成する。
【００４０】
走査線駆動回路側領域Ｒ１、信号線駆動回路側領域Ｒ２には、シール材形成領域１０７
を横断するような配線パターンを形成する必要がないので、シリコン膜をパターニングし
て、電気的に接続されない、等間隔に配置された線状の第１層目のダミー配線３０１が形
成される。
【００４１】
走査線延長側領域Ｒ３には、シール材形成領域１０７を横断するように配線３０２を形
成する。配線３０２は図１に示す走査線１０６に相当し、画素ＴＦＴのゲイト電極２０９
が延長されたものである。
【００４２】
また信号線延長側領域Ｒ４には、シール材形成領域１０７を横断するように配線３０３
が形成される。配線３０３の画素部１０２側の端部には画素部１０２から延長された第２
層目の配線と接続するための接続端部３０３ａが形成される。
【００４３】
なお、ダミー配線３０１、及び配線３０２、３０３の間隔は走査線１０６の間隔と同じ
に、即ち画素の間隔と略同一とされる。本実施例では、第１層目のダミー配線３０１、配
線３０２、第１層目のダミー配線３０１の間隔を約５０μｍとし、その幅を約１０μｍと
する。
【００４４】
従って、図５に示すように、シール材形成領域１０７には、第１層目のダミー配線３０
１、配線３０２、配線３０３が等間隔に配置されているためシール材形成領域１０７の断
面構成を一様にすることができる。
【００４５】
なお、ゲイト電極２０７〜２０９、第１層目のダミー配線３０１、配線３０２、３０３
の出発膜の材料はシリコン膜に限定されるものでなく、一般的に使用されているゲイト電
極の材料を使用すればよく、例えば、シリサイドや、陽極酸化可能な材料としてアルミニ
ウム、タンタル、クロム、モリブデン等を使用することができる。
【００４６】
次に、図２（Ｂ）に示すように、イオンドーピング法によって、全ての島状活性層２０
３〜２０５に、ゲイト電極２０７〜２０９をマスクとして、自己整合的にフォスフィン（
ＰＨ３）をドーピングガスとして燐を注入する。ドーズ量は１×１０１２〜５×１０１３
原子／ｃｍ２する。この結果、弱いＮ型領域２１０、２１１、２１２が形成される。
【００４７】
次に、Ｐチャネル型ＴＦＴの活性層２０３を覆うフォトレジストのマスク２１３を形成
すると同時に、画素ＴＦＴの活性層２０５のうち、ゲイト電極２０９に平行にゲイト電極
２０９の端から３μｍ離れた部分までを覆うフォトレジストのマスク２１４を形成する。
そして、再び、イオンドーピング法によって、フォスフィンをドーピングガスとして燐を
注入する。ドーズ量は１×１０１４〜５×１０１５原子／ｃｍ２とする。この結果、強い
Ｎ型領域（ソース／ドレイン）２１５、２１６が形成される。画素ＴＦＴの活性層２０５
の弱いＮ型領域２１２のうち、マスク２１４に覆われていた領域２１７は今回のドーピン
グでは燐が注入されないので、弱いＮ型のままとなる。（図２（Ｃ））
【００４８】
次に、図２（Ｄ）に示すＮチャネル型ＴＦＴの活性層２０４、２０５をフォトレジスト
のマスク２１８で覆い、ジボラン（Ｂ２Ｈ６）をドーピングガスとして、イオンドーピン
グ法により、島状領域１０３に硼素を注入する。ドーズ量は５×１０１４〜８×１０１５
原子／ｃｍ２とする。このドーピングでは、硼素のドーズ量が図２（Ｃ）における燐のド
ーズ量を上回るため、先に形成されていた弱いＮ型領域２１０は強いＰ型領域２１９に反
転する。
【００４９】
図２（Ｂ）〜（Ｄ）に示すドーピング工程を経て、強いＮ型領域（ソース／ドレイン）
２１５、２１６、強いＰ型領域（ソース／ドレイン）２１９、弱いＮ型領域（低濃度不純
物領域）２１７が形成される。本実施例においては、低濃度不純物領域２１７）の幅ｘは
、約３μｍとする。
【００５０】
その後、４５０〜８５０℃で０．５〜３時間の熱アニールを施すことにより、ドーピン
グによるダメージを回復せしめ、ドーピング不純物を活性化して、シリコンの結晶性を回
復させる。
【００５１】
その後、図２（Ｅ）、図５に示すように、基板全面に層間絶縁物２２０として、プラズ
マＣＶＤ法によって酸化シリコン膜を厚さ３０００〜６０００Å形成する。本実施例では
層間絶縁物２２０の膜厚を４０００Åとする。なお、層間絶縁物２２０は、窒化シリコン
膜の単層膜、又は酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の多層膜であってもよい。層間絶縁物
２２０をエッチングして、ソース／ドレイン２１９、２１５、２１６及び、図３に示す配
線３０３の接続端部３０３ａに対するコンタクトホールをそれぞれ形成する。
【００５２】
そして、第２層目の配線・電極の出発膜を形成する。本実施例では、スパッタ法によっ
て、厚さ１０００Åのチタン膜、厚さ２０００Åのアルミニウム膜、厚さ１０００Åのチ
タン膜を連続的に形成する。この３層膜をエッチングして、周辺回路の電極・配線２２１
、２２２、２２３および画素ＴＦＴの電極・配線２２４、２２５を形成すると同時に、図
４、図６に示すように、シール材形成領域１０７に電気的に接続されない第２層目のダミ
ー配線３０４が形成される。なお、図６は図４の領域R1〜R4における線Ａ−Ａ’による断
面図である。
【００５３】
図４に示すように、第２層目のダミー配線３０４は第１層目の電極・配線の出発膜（シ
リコン膜）から形成された第１層目のダミー配線３０１、配線３０２、配線３０３の間隙
に均等に配置される。このため、図６に示すように、シール材形成領域１０７の下部構成
を一様にすることができる。なお、ダミー配線３０４は走査線駆動回路側Ｒ１と走査線延
長線側領域Ｒ３とで１本の配線が分断されたように形成され、同様に、信号線駆動回路側
領域Ｒ２、信号線延長側領域Ｒ４とにおいても、１本の配線が分断されたように形成され
る。
【００５４】
更に、本実施例では、図３に示すように、素子基板１０１外部の回路や外部端子と接続
するために、シール材形成領域１０７を横断するような配線パターン（配線３０２、配線
３０３）を第１層目の配線の出発膜から形成するようにして、第２層目の配線をシール材
形成領域１０７の外部に延長しないようにして、シール材形成領域１０７の下部構造の段
差がより均一になるようにしている。
【００５５】
従って、信号線延長側領域Ｒ４で画素部１０２と他の回路とをパネル外部で接続するた
めに、第２層目の電極・配線の出発膜（チタン／アルミニウム／チタン膜）をパターニン
グする際に、配線３０３と接続端部３０３ａで接続される配線３０５が形成される。配線
３０３、配線３０５により、画素部１０２を他の回路にパネル外部で接続することが可能
になる。
【００５６】
なお、第２層目のダミー配線３０４のピッチを走査線１０６のピッチとし、即ち配線３０
５のピッチと同じにして、第２層目のダミー配線３０４の幅を３０μｍとする。第１層目
のダミー配線３０１、配線３０２、配線３０３の間隔は５０μｍ程度であるため、第２層
目のダミー配線３０４の端面と、第１層目のダミー配線３０１、配線３０２、配線３０３
端面の間隔は１０μｍ程度となる。
【００５７】
そして、第２層目の電極・配線の出発膜（チタン／アルミニウム／チタン膜）
をパターニングした後に、図２（Ｅ）、図６に示すように、プラズマＣＶＤ法によって、
厚さ１０００〜３０００Åの窒化シリコン膜をパッシべーション膜２２７として形成する
。
【００５８】
図６に示すように、シール材形成領域１０７において、層間絶縁膜２２０上に、第２層
目のダミー配線３０４が第１層目のダミー配線３０１、配線３０２、３０３が形成されて
いない領域に等間隔に配置されることにより、図４における線Ａ−Ａ’による断面構成、
即ちシール材形成領域１０７の外周に沿った断面構成を同一にすることができる。そして
、第２層目のダミー配線３０４の表面にパッシべーション膜２２７を形成することにより
、シール材形成領域１０７の表面を平坦化することができる。
【００５９】
なお、シール材形成領域１０７の外周に沿った断面構成を同一にするためには、第１層
目の電極・配線の出発膜から形成されたダミー配線３０１、配線３０２、配線３０３のみ
を配置してもよいが、これらの配線３０１〜３０３の間隔が約５０μｍであるのに対して
、その幅が約１０μｍと小さく、その強度を補償できないため、第２層目のダミー配線３
０４を形成して、シール材の下部構成を補強する。
【００６０】
更に、本実施例では、シール材形成領域１０７の下部構造の段差を均一するためには、
第２層目のダミー配線３０４が第１層目のダミー配線３０１、配線３０２、配線３０３と
重ならないようにすることが重要になる。端面の間隔が１０μｍ程度であれば、マスクの
アライメント等の誤差を考慮しても、第２層目のダミー配線３０４が第１層目のダミー配
線３０１、配線３０２、配線３０３とが重なることを回避することができる。
【００６１】
本実施例では、ダミー配線３０１、３０４をシール材形成領域１０７の幅よりも長く成
るように形成したが、ダミー配線３０１、３０４がシール材形成領域１０７から突出しな
いように形成してもよい。
【００６２】
なお、外部端子１０８と接続される配線パターン１０９の構成は信号線延長側領域Ｒ４
に配置された配線３０１，３０５構成と同一にすればよい。第１層目の配線の出発膜から
シール材形成領域を横断する配線パターンを形成する。そして、第２層目の配線の出発膜
から第１層目の配線パターンと接続する配線パターンを形成して、信号線駆動回路１０３
と走査線駆動回路１０４と、外部端子１０９とが接続されるようにすればよい。
【００６３】
パッシべーション膜２２７をエッチングして、画素ＴＦＴの電極２２５に達するコンタ
クトホールを形成する。最後に、スパッタ法で成膜した厚さ５００〜１５００ÅのＩＴＯ
（インディウム錫酸化物）膜をエッチングして、画素電極２２８を形成する。このように
して、周辺論理回路とアクティブマトリクス回路を一体化して形成する。（図２（Ｅ））
【００６４】
以下に、アクティブマトリクス型液晶表示パネルの組立工程を説明する。
図２〜図６に示す工程により得られたＴＦＴ基板１０１と、カラーフィルタ基板とをそ
れぞれ表面処理に用いられたエッチング液レジスト剥離液等の各種薬品を十分に洗浄する
。
【００６５】
次に配向膜をカラーフィルタ基板及びＴＦＴ基板に付着させる。配向膜はある一定の溝
が刻まれ、その溝に沿って液晶分子が均一に配列する。配向膜材料にはブチルセルソルブ
かｎ−メチルピロリドンといった溶媒に、溶媒の約１０重量％のポリイミドを溶解したも
のを用いる。これをポリイミドワニスと呼ぶ。ポリイミドワニスはフレキソ印刷装置によ
って印刷する。
【００６６】
そして、ＴＦＴ基板・カラーフィルタ基板の両基板に付着した配向膜を加熱・硬化させ
る。これをベークと呼ぶ。ベークは最高使用温度約３００℃の熱風を送り加熱し、ポリイ
ミドワニスを焼成・硬化させるものである。
【００６７】
次に、配向膜の付着したガラス基板表面を毛足の長さ２〜３ｍｍのバフ布（レイヨン・
ナイロン等の繊維）で一定方向に擦り、微細な溝を作るラビング工程を行う。
【００６８】
そして、ＴＦＴ基板もしくはカラーフィルタ基板のいずれかに、ポリマー系・ガラス系
・シリカ系等の球のスペーサを散布する。スペーサ散布の方式としては純水・アルコール
等の溶媒にスペーサを混ぜ、ガラス基板上に散布するウェット方式と、溶媒を一切使用せ
ずスペーサを散布するドライ方式がある。
【００６９】
その次に、ＴＦＴ基板１０１の外枠に封止材を塗布する。封止材塗布には、ＴＦＴ基板
とカラーフィルタ基板を接着する役割と注入する液晶材が外部に流出するのを防ぐ目的が
ある。封止材の材料は、エポキシ樹脂とフェノール硬化剤をエチルセルソルブの溶媒に溶
かしたものが使用される。封止材塗布後に２枚のガラス基板の貼り合わせを行う。方法は
約１６０℃の高温プレスによって、約３時間で封止材を硬化する加熱硬化方式をとる。
【００７０】
素子基板とカラーフィルタ基板を貼り合わせたアクティブマトリクス型液晶表示デバイ
スの液晶注入口より液晶材を入れて、液晶材注入後エポキシ系樹脂で液晶注入口を封止す
る。以上のようにして、アクティブマトリクス型液晶表示デバイスが組み立てられる。
【実施例２】
【００７１】
本実施例は実施例１の変形例であり、図１に示す液晶パネルにおいて、シール材形成領
域１０７の配線が横断しない領域の第１層目のダミー配線に関するものである。
【００７２】
実施例１では、線状の第１層目のダミー配線３０１と、線状の第２層目のダミー配線３
０４を交互に配置するようにしたため、パターニングは容易であるが、シール材形成領域
１０７を横断するように配線パタ−ンが配置されているため、配線と層間絶縁膜２２０、
パッシベーション膜２２７との界面から水分が侵入しやすい。本実施例では、シール材形
成領域１０７において、図４に示す配線３０２、３０３のように、画素部１０２、駆動回
路１０３、１０４をシール材外部の回路に電気的に接続するための配線が横断しない領域
には、第１層目のダミー配線３０１を分断しないで形成することにより、外部から水分が
侵入することを防止する。
【００７３】
図７、図８は本実施例のシール材下部構成の作製工程図であり、図７、図８はシール材
形成領域１０７の模式的な上面図であり、図１において楕円で示す領域Ｒ１〜Ｒ４の拡大
図である。
【００７４】
本実施例において、ダミー配線は実施例１と同様にＴＦＴと同時に作製される。また、
電気的に接続される配線がシール材形成領域１０７を横断するような領域、即ち走査線延
長側領域Ｒ３、信号線延長側領域Ｒ４、及び外部端子１０８に接続される配線パターン１
０９は実施例１と同一の構成とする。以下、シール材形成領域１０７に電気的に接続され
ない第１層目のダミー配線４０１の作製工程を図７、図８に従って説明する。
【００７５】
第１層目の電極・配線となるアルミニウム膜等の出発膜を例えば３０００Åの厚さに成
膜する。図７に示すように、この出発膜をパターニングして、ＴＦＴのゲイト電極・配線
を形成すると共に、走査線駆動回路側領域Ｒ１、信号線駆動回路側領域Ｒ２には矩形波状
の第１層目のダミー配線４０１を形成する。走査線駆動回路側領域Ｒ１、信号線駆動回路
側領域Ｒ２において、第１層目のダミー配線４０１のピッチＰ１、Ｐ２は走査線１０６、
信号線１０５のピッチと等しくなるようにし、本実施例では約５０μｍとし、第１層目の
ダミー配線４０１の幅を１０μｍとする。又、第１層目のダミー配線４０１はシール材形
成領域１０７から突出しないようにする。
【００７６】
図７の線Ｂ−Ｂ’による断面図は図５に対応する。図５に示すように、本実施例では、
図５に示すように、シール材形成領域１０７には、第１層目のダミー配線４０１を配線３
０２、配線３０３を等間隔に配置したため、シール材形成領域１０７の断面構成を一様に
することができる。
【００７７】
この状態で、シール材形成領域１０７の外周に沿った断面構成を同一にすることができ
るが、１層目の配線の出発膜から形成された第１層目のダミー配線４０１は間隔が約５０
μｍに対して、その幅が約１０μｍと小さく、その強度を補償できないため、層間絶縁物
２２０上にダミー配線４０２を形成して、シール材の下部構成を補強する。
【００７８】
層間絶縁物２２０を約４０００Åの厚さに形成した後に、チタン膜やチタンとアルミの
積層膜等を第２層目の電極・配線の出発膜として、４０００Åの厚さに形成する。この出
発膜をパターニングして、ＴＦＴのソース・ドレイン電極・配線を形成すると共に、図８
に示すように、線状の第２層目のダミー配線４０２を等間隔に形成する。第２層目のダミ
ー配線４０２は第１層目のダミー配線４０１が形成されていない領域を埋める様に、かつ
第１層目のダミー配線４０１と重ならないように形成される。その後、第２層目の電極・
配線の出発膜（チタン／アルミニウム／チタン膜）をパターニングした後に、厚さ１００
０〜３０００Åの窒化シリコン膜をパッシべーション膜２２７として形成する。なお、図
８における線Ｂ−Ｂ’による断面図は図６に対応する。
【００７９】
図８に示すように、本実施例では、シール材形成領域１０７において、層間絶縁膜２２
０上に、第２層目のダミー配線４０２を第１層目のダミー配線４０１が形成されていない
領域に、等間隔に配置することにより、図６に示すようにシール材形成領域１０７の外周
に沿った断面構成を同一にすることができる。更に、第２層目のダミー配線３０４の表面
にパッシべーション膜２２７を形成することにより、シール材形成領域１０７の表面を平
坦化することができる。
【００８０】
特に、シール材形成領域１０７の下部構造の段差を均一にするためには、第２層目のダ
ミー配線４０２が第１層目のダミー配線４０１と重ならないようにすることが重要になる
。端面の間隔が１０μｍ程度であれば、マスクのアライメント等の誤差を考慮しても、ダ
ミー配線４０１と４０２とが重なることを回避することができる。
【００８１】
本実施例では、シール材形成領域１０７において、配線が横断しない領域に、具体的に
は領域Ｒ１、Ｒ２に、分断されないダミー配線４０１を形成したため、シール材形成領域
１０７を横断する断面構成（線Ｂ−Ｂ’に直交する線に沿った断面構成）において、ダミ
ー配線４０１が必ず存在するため、外部からの水分の侵入を防止することが可能になる。
【実施例３】
【００８２】
本実施例は実施例１の第１層目の配線パターンの変形例であり、シール材形成領域１０
７に配線パターンを１層のみ配置するようにしている。
実施例１では、第１層目のダミー配線３０１、第２層目のダミー配線３０４を交互に配置
するようにしたため、パターニングは容易であるが、図６の断面図に示すように、第１層
目のダミー配線３０１、第２層目のダミー配線３０４と層間絶縁膜２２０、パッシベーシ
ョン膜２２７との界面から水分が侵入しやすい。本実施例は水分の侵入を防止するために
、シール材形成領域１０７における第１層目の配線の形状を工夫したものである。
【００８３】
図９は本実施例のシール材形成領域１０７の上面図であり、走査線駆動回路側領域Ｒ１
、信号線駆動回路側領域Ｒ２付近の拡大図を示す。図１０は図９における点線Ｃ−Ｃ’に
よる断面図であり、図１１は図９における点線Ｄ−Ｄ’による断面図である。また、本実
施例のシール材の下部のダミー配線は実施例１と同様にＴＦＴと同時に作製される。
【００８４】
第１層目の電極・配線となる出発膜をアルミニウム膜等により例えば３０００Åの厚さ
に成膜する。この出発膜をパターニングして、ＴＦＴのゲイト電極・配線が形成されると
共に、図９に示すように、電気的に接続されないダミー配線５０１が形成される。その表
面に、図１０、図１１に示すように、ＴＦＴの作製工程に従って、層間絶縁物２２０、パ
ッシベーション膜２２７が順次に積層される。なお、実施例１、２と同様に、層間絶縁膜
２２０上に、第２の電極・配線の出発膜からなる配線パターンを、ダミー配線５０１と重
ならないように形成してもよい。
【００８５】
また、ダミー配線５０１のシール材形成領域１０７外縁側には、ダミー配線５０１の長
手方向に対して直交する分岐５０１ａ等間隔に形成される。これらの分岐５０１ａは隣合
うダミー配線５０１の分岐５０１ａと互い違いに形成されて、ダミー配線５０１の隙間を
埋めるように配置される。従って、シール材形成領域１０７を横断する任意の断面構成（
線Ｃ−Ｃ’に直交する線に沿った断面構成）
において、ダミー配線５０１が必ず存在するため、外部からの水分の侵入を防止すること
が可能になる。
【００８６】
外部からの水分の侵入を防止するには、シール材形成領域１０７の幅Ｗは数ｍｍ程度で
あるため、分岐５０１ａが形成される領域の長さＬは１００μｍ〜５００μｍ程度にすれ
ばよい。また、ダミー配線５０１のピッチは画素のピッチと同一にし、且つ分岐５０１ａ
が形成されている部分において、隣合うダミー配線５０１の端面の間隔の最小値は、配線
間でショートすることを防止するためには、５〜１０μｍ程度にすることが好ましい。
【００８７】
なお、本実施例では、走査線駆動回路側領域Ｒ１、信号線駆動回路側領域Ｒ２に形成さ
れるダミー配線５０１のみについて説明したが、走査線延長側領域Ｒ３には、ダミー配線
５０１をシール材形成領域１０７を横断して画素側及び基板外側それぞれ延長して形成す
る。また、信号線延長側領域Ｒ４には、ダミー配線５０１を基板外側に延長するようして
、画素側には図３に示す配線３０３のように接続端部を形成すればよい。
【００８８】
この結果、シール材形成領域１０７の外縁部側に分岐５０１ａを有する配線パターンが
均一に配置されるために、図１に示すシール材形成領域１０７に配置されるシール材の下
部構成を紙面において左右、上下に対称にすることができるため、基板張り合わせ時に基
板に均等に圧力をかけることができる。
【００８９】
なお、実施例１〜３において、シール材形成領域１０７に配置された基板間隔補正手段
の最上層をパッシベーション膜２２７としたが、その表面に、さらに、画素電極２２８、
ブラックマトリクス等を画素部１０２の作製工程に従って形成してもよい。
【実施例４】
【００９０】
実施例１、２においては、シール材の下部構成を均一に配置するようにするため、シー
ル材形成領域において、第１層目の配線の端面と第２層目の配線の端面とが重ならないよ
うにしている。本実施例では、第１層目の配線の端面と第２層目の配線の端面とを重ねて
、シール材と画素部との段差が小さくなるようにする。図１２は本実施例の基板間隔補正
手段の上面図であり、走査線駆動回路側、又は信号線駆動回路側の領域のみを図示してい
る。また、図１３は図１２の線Ｅ−Ｅ’における断面図である。
【００９１】
本実施例は図４、図６に示す実施例１の第２層目のダミー配線３０４の変形例であり、
先ず、シール材形成領域には、走査線６０２の出発膜により線状の第１層目のダミー配線
を形成する。そして、層間絶縁物２２０を形成した後に、信号線６０３の出発膜をパター
ニングして、第２層目のダミー配線６０１を形成する。ダミー配線６０１は第１層目のダ
ミー配線３０１と重なるように、かつダミー配線３０１が形成されていない領域を埋める
様に等間隔に形成される。
【００９２】
これにより、シール材の下部構成を均一にすることができるので、基板の張り合わせ時
に、シール材に均等に圧力をかけることができる。更に、走査線６０２と信号線６０３と
が重なっている部分と略同じ段差を有する凸部が、シール材形成領域に等間隔に配置され
ている。従って、基板張り合わせの圧力をシール形成領域の凸部で支持されるので、スペ
ーサにより、走査線６０２と信号線６０３とが上下間でショートすることを防止すること
ができる。
【００９３】
なお、本実施例では、第２層目のダミー配線６０１をシール材形成領域１０７の幅より
も短くしたが、シール材形成領域１０７の幅よりも長くしてもよい。
【実施例５】
【００９４】
本実施例では、実施例４と同様に、第１層目の配線の端面と第２層目の配線の端面とを
重ねて、シール材と画素部との段差が小さくなるようにする。図１４は本実施例の基板間
隔補正手段の上面図であり、走査線駆動回路側、又は信号線駆動回路側の領域のみを図示
している。また、図１５は図１４の線Ｆ−Ｆ’における断面図である。
【００９５】
本実施例は図８に示す実施例２の第２層目のダミー配線４０１の変形例であり、先ず、
シール材形成領域には、走査線７０２の出発膜により線状の第１層目のダミー配線を形成
する。そして、層間絶縁物２２０を形成した後に、信号線７０３の出発膜をパターニング
して、第２層目のダミー配線７０１を形成し、その表面にパッシベーション膜２２７を形
成する。ダミー配線７０１は第１層目のダミー配線４０１と重なるように、かつダミー配
線４０１が形成されていない領域を埋める様に等間隔に形成される。これにより、シール
材の下部構成を均一にすることができるので、基板の張り合わせ時に、シール材に均等に
圧力をかけることができる。更に、走査線６０２と信号線６０３とが重なっている部分と
略同じ段差を有する凸部が、シール材形成領域に等間隔に配置されている。従って、基板
張り合わせの圧力をシール形成領域の凸部で支持されるので、スペーサにより、走査線６
０７と信号線７０３とが上下間でショートすることを防止することができる。
【００９６】
なお、実施例４、５において、シール材形成領域１０７に配置された基板間隔補正手段
の最上層をパッシベーション膜２２７としたが、その表面に、さらに、画素電極２２８、
ブラックマトリクス等を画素部１０２の作製工程に従って、形成してもよい。これにより
、基板補正手段の段差と画素部の段差をより等しくすることができる。
【符号の説明】
【００９７】
１０１                        素子基板
１０２                          画素部
１０３                  信号線駆動回路
１０４                  走査線駆動回路
１０５                          信号線
１０６                          走査線
１０７                シール材形成領域
３０１、４０１    第１層目のダミー配線
３０２、３０３、３０５            配線
３０４、４０２    第２層目のダミー配線
５０１                      ダミー配線
【図１】
2014132356.tif 000003
【図２】
2014132356.tif 000004
【図３】
2014132356.tif 000005
【図４】
2014132356.tif 000006
【図５】
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【図６】
2014132356.tif 000008
【図７】
2014132356.tif 000009
【図８】
2014132356.tif 000010
【図９】
2014132356.tif 000011
【図１０】
2014132356.tif 000012
【図１１】
2014132356.tif 000013
【図１２】
2014132356.tif 000014
【図１３】
2014132356.tif 000015
【図１４】
2014132356.tif 000016
【図１５】
2014132356.tif 000017
【図１６】
2014132356.tif 000018
【図１７】
2014132356.tif 000019