(57)【要約】      （修正有）【課題】光学装置等を高い歩留りで製造することのできる接着剤による接着方法を提供する。【解決手段】接着剤２３０により第１の部品１０と第２の部品とを接着する接着方法において、表面弾性波を発生させる表面弾性波発生部１１０を前記第１の部品の側面に接触させて設置する工程と、前記第１の部品の接着面に、微少量の前記接着剤を複数に分けて供給する工程と、前記表面弾性波発生部において発生させた表面弾性波により、前記接着剤を移動させることにより、前記接着剤同士を接触させて接着剤の塊にする工程と、前記塊となった接着剤の上に、第２の部品を載置し、前記接着剤を硬化させる工程と、を有する接着剤による接着方法。【選択図】図１１
2014214165.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤により第１の部品と第２の部品とを接着する接着方法において、
表面弾性波を発生させる表面弾性波発生部を前記第１の部品の側面に接触させて設置する工程と、
前記第１の部品の接着面に、微少量の前記接着剤を複数に分けて供給する工程と、
前記表面弾性波発生部において発生させた表面弾性波により、前記接着剤を移動させることにより、前記接着剤同士を接触させて接着剤の塊にする工程と、
前記塊となった接着剤の上に、第２の部品を載置し、前記接着剤を硬化させる工程と、
を有することを特徴とする接着剤による接着方法。
【請求項２】
前記表面弾性波発生部は、２つ設けられており、
前記表面弾性波発生部は、前記第１の部品の対向する側面の各々に設置されていることを特徴とする請求項１に記載の接着剤による接着方法。
【請求項３】
前記表面弾性波発生部は、４つ設けられており、
前記表面弾性波発生部は、前記第１の部品の側面の各々に設置されていることを特徴とする請求項１に記載の接着剤による接着方法。
【請求項４】
前記第１の部品は、異なる２種類の材料を接合することにより形成されており、
前記表面弾性波発生部は、前記異なる２種類の材料に対応して、各々の側面に設置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
【請求項５】
前記接着剤の塊にする工程の後、前記表面弾性波発生部により、前記塊となった接着剤を所定の位置に動かす工程を含み、
前記塊となった接着剤を所定の位置に動かした後、前記塊となった接着剤の上に、第２の部品を載置し、前記接着剤を硬化させる工程を行うことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
【請求項６】
前記接着剤は、紫外線を照射することにより硬化するものであって、
前記接着剤を硬化させる工程は、前記接着剤に前記紫外線を照射する工程を含むものであることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着剤による接着方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光通信モジュール等の光学装置を作製する際には、光学部品間にレンズやプリズム等を設けることなく、微細な光学部品同士を接着剤により接着することにより作製する方法がある。このような、光学部品を接着する接着剤としては、熱により硬化する熱硬化樹脂を用いたもの、紫外線や可視光を照射することにより硬化する熱硬化樹脂を用いたもの等がある。
【０００３】
ところで、光学部品同士を接着する際には、一般的には、一方の光学部品の接着面に接着剤を供給し、供給された接着剤の上に、他方の光学部品を載置した後、硬化させることにより接着がなされる。光学部品同士を接着することにより作製される光学装置においては、小型化や高集積化等が求められているため、過不足なく接着剤を供給することが求められている。しかしながら、一般的なディスペンサ等により接着剤を供給する場合には、一定量の接着剤を安定的に供給することは極めて困難である。
【０００４】
例えば、図１から図３に示されるように、ディスペンサ９２０のノズル９２０ａにより、光学部品９１０の接着面に、接着剤９３０を供給する場合について考える。この場合、図１に示されるように、光学部品９１０の接着面に供給される接着剤９３０の供給量が適正量であることが好ましい。尚、図１は、この場合における説明図である。即ち、図１（ａ）は、接着剤９３０を供給する前のディスペンサ９２０の状態を示し、図１（ｂ）は、接着剤９３０を供給した後のディスペンサ９２０の状態を示し、図１（ｃ）は、光学部品９１０の接着面に供給された接着剤９３０の状態を示す。
【０００５】
しかしながら、図２に（ｂ）示されるように、ディスペンサ９２０のノズル９２０ａより、接着剤９３０が過剰に引っ張り出される場合がある。この場合、図２（ｃ）に示されるように、光学部品９１０の接着面に供給される接着剤９３０の供給量が適正量よりも多くなる。このように、光学部品９１０の接着面に供給される接着剤９３０が適正量よりも多い場合には、接着剤のはみ出し量が多くなるため、はみ出した接着剤９３０の広がる領域等を考慮して設計する必要があり、光学装置を小型化にすることが困難となる。また、接着剤９３０のはみ出し量が多いと、光学装置の外観や形状等を損なうため、不良となる場合があり、歩留りの低下を招く。尚、図２は、この場合における説明図である。即ち、図２（ａ）は、接着剤９３０を供給する前のディスペンサ９２０の状態を示し、図２（ｂ）は、接着剤９３０を供給した後のディスペンサ９２０の状態を示し、図２（ｃ）は、光学部品９１０の接着面に供給された接着剤９３０の状態を示す。
【０００６】
また、図３（ｂ）に示されるように、ディスペンサ９２０のノズル９２０ａに、接着剤９３０の一部が残る場合や、図３（ｃ）に示されるように、ディスペンサ９２０のノズル９２０ａの周囲に、接着剤９３０が回り込む場合がある。この場合、光学部品９１０の接着面に供給される接着剤９３０の供給量は適正量よりも少なくなる。このように、光学部品９１０の接着面に供給される接着剤９３０の供給量が適正量よりも少ない場合には、接着剤による接着が十分ではなく、強度が低くなり、信頼性の低下や歩留りの低下を招く。尚、図３は、この場合における説明図である。即ち、図３（ａ）は、接着剤９３０を供給する前のディスペンサ９２０の状態を示し、図３（ｂ）及び（ｃ）は、接着剤９３０を供給した後のディスペンサ９２０の状態を示し、図３（ｄ）は、光学部品９１０の接着面に供給された接着剤９３０の状態を示す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平５−４９９９９号公報
【特許文献２】特開平１０−３２７５９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
よって、適正量の接着剤により、光学装置等を高い歩留りで製造することのできる接着剤による接着方法が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本実施の形態の一観点によれば、接着剤により第１の部品と第２の部品とを接着する接着方法において、表面弾性波を発生させる表面弾性波発生部を前記第１の部品の側面に接触させて設置する工程と、前記第１の部品の接着面に、微少量の前記接着剤を複数に分けて供給する工程と、前記表面弾性波発生部において発生させた表面弾性波により、前記接着剤を移動させることにより、前記接着剤同士を接触させて接着剤の塊にする工程と、前記塊となった接着剤の上に、第２の部品を載置し、前記接着剤を硬化させる工程と、を有する。
【発明の効果】
【００１０】
開示の接着剤による接着方法においては、光学装置等を高い歩留りで製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】ディスペンサにより供給された接着剤の説明図（１）
【図２】ディスペンサにより供給された接着剤の説明図（２）
【図３】ディスペンサにより供給された接着剤の説明図（３）
【図４】ディスペンサにより微少量の接着剤を複数供給する方法の説明図（１）
【図５】ディスペンサにより微少量の接着剤を複数供給する方法の説明図（２）
【図６】接着剤における硬化収縮により生じる位置ズレの説明図
【図７】第１の実施の形態における接着装置の説明図（１）
【図８】第１の実施の形態における接着装置の説明図（２）
【図９】第１の実施の形態における接着装置の説明図（３）
【図１０】第１の実施の形態における接着剤による接着方法の工程図（１）
【図１１】第１の実施の形態における接着剤による接着方法の工程図（２）
【図１２】第１の実施の形態における接着剤による接着方法の工程図（３）
【図１３】異なる材料を接合することにより形成された第１の光学部品に接着剤を供給した場合の説明図（１）
【図１４】異なる材料を接合することにより形成された第１の光学部品に接着剤を供給した場合の説明図（２）
【図１５】異なる材料を接合することにより形成された第１の光学部品に接着剤を供給した場合の説明図（３）
【図１６】第２の実施の形態における接着装置の説明図
【図１７】第２の実施の形態における接着剤による接着方法の工程図（１）
【図１８】第２の実施の形態における接着剤による接着方法の工程図（２）
【図１９】第２の実施の形態における接着剤による接着方法の工程図（３）
【発明を実施するための形態】
【００１２】
実施するための形態について、以下に説明する。尚、同じ部材等については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００１３】
〔第１の実施の形態〕
ところで、できるだけ所定量の接着剤を安定的に供給する方法としては、図４（ａ）に示されるように、第１の光学部品１０の接着面に、ディスペンサ４０により、微少量の接着剤３０を複数回に分けて供給する方法が考えられる。このように、微少量の接着剤３０を複数回に分けて供給することにより、接着剤を一度に供給する場合に比べて、供給される接着剤のバラツキを少なくすることができ、所定量の接着剤をできるだけ均一に供給することができる。この場合、供給される接着剤３０は、供給された接着剤３０同士が、接触しないように、一定の長さ以上の間隔で供給することが好ましい。これは、接着剤３０を供給する際に、既に供給されている接着剤３０と接触してしまうと、接着剤３０の表面張力等の影響により、供給される接着剤３０の量にバラツキが生じやすくなるからである。尚、図４は、この場合における説明図であり、図４（ａ）は、接着剤３０をディスペンサ４０により供給している様子を示し、図４（ｂ）は、第１の光学部品１０の接着面に供給された接着剤３０の状態を示す。
【００１４】
しかしながら、第１の光学部品１０の接着面に、ディスペンサ４０により、微少量の接着剤３０を複数回に分けて供給すると、接着後の接着剤３０の内部に気泡等が発生する場合があり、この場合には不良となるため、歩留りの低下を招いてしまう。具体的には、図５（ａ）に示されるように、第１の光学部品１０の接着面に、複数の微少量の接着剤３０を供給し、第２の光学部品２０を載置して接着した場合、図５（ｂ）及び（ｃ）に示されるように、接着剤３０の内部に気泡３１が発生する場合がある。このように、接着剤３０の内部に気泡３１が発生すると、接着剤３０による接着強度の低下や、気泡３１により特性が低下し不良となるため、歩留りの低下を招く。
【００１５】
このように、接着剤３０の内部に気泡３１が生じる理由としては、第１の光学部品１０の接着面に、所定の間隔を隔てて供給された微少量の接着剤３０が、接着の際に均一に広がるように、濡れ広がらないためと考えられる。尚、図５は、この場合における説明図であり、図５（ａ）は、第１の光学部品１０と第２の光学部品２０との接着前の状態を示し、図５（ｂ）は、第１の光学部品１０と第２の光学部品２０との接着後の上面図、図５（ｃ）は、接着後の側面図を示す。
【００１６】
また、第１の光学部品１０に供給される接着剤３０が所定量であっても、所定の位置とはずれた位置に接着剤３０が供給されると、第１の光学部品１０と第２の光学部品２０との接着強度の低下や、接着位置の位置ズレ等が生じる場合がある。具体的には、図６に示されるように、接着剤３０が所定の位置とずれた位置に供給されると、第２の光学部品２０の接着面積が狭くなり、接着強度が低下する場合がある。また、接着剤３０を硬化させる際に生じる硬化収縮により、第２の光学部品２０が接着剤３０の多く供給されている側に引っ張られるため、第１の光学部品１０に対して第２の光学部品２０の接着位置がずれる場合がある。このように、第１の光学部品１０に対して第２の光学部品２０の接着位置がずれてしまうと、所望の特性を得ることができず不良となるため、歩留りの低下を招く。尚、図６は、この場合における説明図であり、図６（ａ）は、この場合における第１の光学部品１０と第２の光学部品２０との接着後の上面図、図６（ｂ）は、接着後の側面図を示す。
【００１７】
（接着装置）
次に、第１の実施の形態における接着剤による接着方法に用いられる接着装置について説明する。第１の光学部品１０は、接着面が略正方形または略長方形の形状により形成されており、接着面に接する４つの側面を有している。本実施の形態における接着装置は、図７に示すように、表面弾性波（ＳＡＷ：surface acoustic wave）を発生させる４つの表面弾性波発生部を有している。即ち、第１の表面弾性波発生部１１０、第２の表面弾性波発生部１２０、第３の表面弾性波発生部１３０、第４の表面弾性波発生部１４０を有している。これらは、図７に示される場合では、第１の光学部品１０の左側に第１の表面弾性波発生部１１０、右側に第２の表面弾性波発生部１２０、上側に第３の表面弾性波発生部１３０、下側に第４の表面弾性波発生部１４０が設置されている。このように、第１の表面弾性波発生部１１０と第２の表面弾性波発生部１２０は、第１の光学部品１０をはさみ、第１の光学部品１０における対向する側面に設置されている。また、第３の表面弾性波発生部１３０と第４の表面弾性波発生部１４０は、第１の光学部品１０をはさみ、第１の光学部品１０における残りの対向する側面に設置されている。尚、第１の光学部品１０の接着面には、図７に示されるように、分離して微少量の接着剤２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃが供給されている。
【００１８】
次に、第１の表面弾性波発生部１１０、第２の表面弾性波発生部１２０、第３の表面弾性波発生部１３０、第４の表面弾性波発生部１４０の設置方法について説明する。最初に、図８に示されるように、第１の表面弾性波発生部１１０、第２の表面弾性波発生部１２０、第３の表面弾性波発生部１３０、第４の表面弾性波発生部１４０の間に第１の光学部品１０を設置する。次に、第１の表面弾性波発生部１１０、第２の表面弾性波発生部１２０、第３の表面弾性波発生部１３０、第４の表面弾性波発生部１４０を第１の光学部品１０に近づけることにより、各々を第１の光学部品１０の側面に接触させる。これにより、第１の表面弾性波発生部１１０、第２の表面弾性波発生部１２０、第３の表面弾性波発生部１３０、第４の表面弾性波発生部１４０を設置する。
【００１９】
第１の表面弾性波発生部１１０、第２の表面弾性波発生部１２０、第３の表面弾性波発生部１３０、第４の表面弾性波発生部１４０は、各々圧電基板と、圧電基板に設けられた櫛形電極を有している。具体的には、第１の表面弾性波発生部１１０は、圧電基板１１１と圧電基板１１１に設けられた櫛形電極１１２を有している。第２の表面弾性波発生部１２０は、圧電基板１２１と圧電基板１２１に設けられた櫛形電極１２２を有している。第３の表面弾性波発生部１３０は、圧電基板１３１と圧電基板１３１に設けられた櫛形電極１３２を有している。第４の表面弾性波発生部１４０は、圧電基板１４１と圧電基板１４１に設けられた櫛形電極１４２を有している。尚、本実施の形態における櫛形電極は、交差指状電極（ＩＤＴ:Inter Digital Transducer）とも呼ばれている。
【００２０】
第１の表面弾性波発生部１１０、第２の表面弾性波発生部１２０、第３の表面弾性波発生部１３０、第４の表面弾性波発生部１４０においては、各々の櫛形電極に、所定の周波数の電圧を印加することにより、圧電基板において表面弾性波を発生させることができる。このように、発生された表面弾性波は、接触している第１の光学部品１０に伝達され、第１の光学部品１０の表面に供給されている硬化される前の状態の液体の接着剤２３０ａ、２３０ｃ等に対し、斥力として働く。
【００２１】
よって、本実施の形態においては、図９に示されるように、第１の表面弾性波発生部１１０、第２の表面弾性波発生部１２０、第３の表面弾性波発生部１３０、第４の表面弾性波発生部１４０により、分離して供給された接着剤を１つの塊にすることができる。即ち、図７に示されるように、分離して供給された接着剤２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃを表面弾性波により移動させて接触させることにより、図９に示されるように、１つ接着剤２３０の塊とすることができる。このように、分離して供給された接着剤２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃを１つの接着剤２３０の塊にすることにより、図５（ｂ）及び（ｃ）に示されるように、接着剤３０の内部に、気泡３１が発生することを防ぐことができる。
【００２２】
（接着方法）
次に、本実施の形態における接着剤による接着方法について図１０から図１２に基づき説明する。尚、本実施の形態においては、第１の光学部品１０は、ＰＬＣ（Planar Lightwave Circuit）等の光導波路等が形成されている光学部品であり、第２の光学部品２０は、フォトダイオード、半導体レーザ、光ファイバ等である。また、本実施の形態において用いた接着剤は、紫外線等の光を照射することにより硬化し、接着剤として機能するものである。具体的には、例えば、光路結合用接着剤と呼ばれるものである。
【００２３】
最初に、図１０（ａ）に示すように、第１の光学部品１０の側面に接触するように、第１の表面弾性波発生部１１０、第２の表面弾性波発生部１２０、第３の表面弾性波発生部１３０及び第４の表面弾性波発生部１４０を設置する。この後、第１の光学部品１０に複数の微少量の接着剤２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃを供給する。接着剤２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃの供給方法は、図４に示される方法により、微少量の接着剤２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃを複数回に分けて供給する。
【００２４】
次に、図１０（ｂ）に示すように、第２の表面弾性波発生部１２０において表面弾性波を発生させる。具体的には、第２の表面弾性波発生部１２０の櫛形電極１２２に所定の周波数の電圧を印加することにより、圧電基板１２１に表面弾性波を発生させる。このように、第２の表面弾性波発生部１２０において発生させた表面弾性波は、第１の光学部品１０に伝達される。
【００２５】
次に、図１０（ｃ）に示すように、第２の表面弾性波発生部１２０において発生させた表面弾性波により、第１の光学部品１０の表面に供給されている接着剤２３０ｃが接着剤２３０ｂの側に移動し、接着剤２３０ｃと接着剤２３０ｂとが接触する。第２の表面弾性波発生部１２０において発生させた表面弾性波は、第１の光学部品１０における液体の接着剤２３０ｃに対し斥力として働くため、接着剤２３０ｃを接着剤２３０ｂの側に移動させることができる。これにより、接着剤２３０ｃと接着剤２３０ｂとを接触させる。尚、本実施の形態においては、接着剤２３０ｃと接着剤２３０ｂとが接触するように、第２の表面弾性波発生部１２０の櫛形電極１２２に印加される周波数及び電圧の調整がなされている。
【００２６】
次に、図１１（ａ）に示すように、第１の表面弾性波発生部１１０において表面弾性波を発生させる。具体的には、第１の表面弾性波発生部１１０の櫛形電極１１２に所定の周波数の電圧を印加することにより、圧電基板１１１に表面弾性波を発生させる。このように、第１の表面弾性波発生部１１０において発生させた表面弾性波は、第１の光学部品１０に伝達される。
【００２７】
次に、図１１（ｂ）に示すように、第１の表面弾性波発生部１１０において発生させた表面弾性波により、第１の光学部品１０の表面に供給されている接着剤２３０ａが接着剤２３０ｂの側に移動し、接着剤２３０ａと接着剤２３０ｂとが接触する。第１の表面弾性波発生部１１０において発生させた表面弾性波は、第１の光学部品１０における液体の接着剤２３０ａに対し斥力として働くため、接着剤２３０ａを接着剤２３０ｂの側に移動させることができる。これにより、接着剤２３０ａと接着剤２３０ｂとを接触させる。尚、本実施の形態においては、接着剤２３０ａと接着剤２３０ｂとが接触するように、第１の表面弾性波発生部１１０の櫛形電極１１２に印加される周波数及び電圧の調整がなされている。
【００２８】
次に、図１１（ｃ）に示すように、接着剤同士が接触、即ち、接着剤２３０ｃと接着剤２３０ｂとが接触し、接着剤２３０ａと接着剤２３０ｂとが接触することにより、接着剤２３０ａ、接着剤２３０ｂ及び接着剤２３０ｃは、１つの塊の接着剤２３０となる。
【００２９】
次に、図１２（ａ）に示すように、第３の表面弾性波発生部１３０における櫛形電極１３２に所定の周波数の電圧を印加することにより、圧電基板１４１において表面弾性波を発生させる。または、図１２（ｂ）に示すように、第４の表面弾性波発生部１４０における櫛形電極１４２に所定の周波数の電圧を印加することにより、圧電基板１４１において表面弾性波を発生させる。このように、第３の表面弾性波発生部１３０において発生させた表面弾性波、または、第４の表面弾性波発生部１４０において発生させた表面弾性波により、第１の光学部品１０の接着面において、１つの塊となった接着剤２３０を所定の位置に移動させる。これにより、第１の光学部品１０の接着面において、１つの塊となった接着剤２３０の位置の微調整を行う。
【００３０】
次に、図１２（ｃ）に示すように、１つの塊となった接着剤２３０の上に、第２の光学部品２０を載置した後、紫外線等の光を照射して硬化させることにより、第１の光学部品１０と第２の光学部品２０とを接着剤２３０により接着する。
【００３１】
本実施の形態においては、微少量の接着剤を複数回に分けて供給することにより、接着剤の供給量を略一定にすることができる。また、第１の光学部品１０と第２の光学部品２０との接着の際には、接着剤２３０は１つの塊となっているため、接着剤２３０の内部に気泡等が発生することはなく、高い歩留りで接着を行うことができる。
【００３２】
尚、本実施の形態において、複数の微少量の接着剤２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃを１つの塊の接着剤２３０にする際には、第１の表面弾性波発生部１１０及び第２の表面弾性波発生部１２０の２つの表面弾性波発生部が用いられる。
【００３３】
〔第２の実施の形態〕
次に、第２の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第１の光学部品１０が異なる材料を接合することにより形成されている場合の接着方法である。具体的には、第１の光学部品１０がＰＬＣ等であって、２種類の異なる材料を接合することにより形成されている場合であって、供給された接着剤の濡れ性が、２種類の異なる材料において異なる場合の接着方法である。ここで、第１の光学部品１０が、シリコン１０ａと酸化シリコン等を含むガラス１０ｂとが接合されている場合について考える。この場合、供給された接着剤３０は、図１３に示されるように、均等であることが好ましいが、実際には、接着剤３０における濡れ性が、シリコン１０ａとガラス１０ｂとで異なるため、図１４に示されるように、接着剤３０は、シリコン１０ａ側の方に多く偏る。即ち、接着剤３０における濡れ性がシリコン１０ａとガラス１０ｂとでは異なるため、供給された接着剤３０は、ガラス１０ｂ側ではじかれ、シリコン１０ａ側に多くなり偏る。尚、図１３（ａ）は上面図であり、図１３（ｂ）は側面図である。また、図１４（ａ）は上面図であり、図１４（ｂ）は側面図である。
【００３４】
このように、接着剤３０が偏っている場合、図１５に示されるように、接着剤３０を硬化させると硬化収縮により、接着剤３０が多く偏っているシリコン１０ａ側に引っ張られて、第２の光学部品２０が動く。即ち、第１の光学部品１０の上に、接着剤３０を介し、所定の位置に第２の光学部品２０を載置しても、接着剤３０の硬化収縮により、第２の光学部品２０の位置が動くと、第２の光学部品２０が所定の接着位置からずれた位置で接着される。このように、第１の光学部品１０と第２の光学部品２０とが所定の接着位置からずれた位置で接着されると、所望の特性を得ることができないため不良となる。尚、図１５は、この場合の説明図であり、図１５（ａ）は、第１の光学部品１０と第２の光学部品２０との接着後の上面図を示し、図１５（ｂ）は接着後の側面図を示す。
【００３５】
（接着装置）
次に、第２の実施の形態における接着剤による接着方法に用いられる接着装置について説明する。本実施の形態における接着装置は、図１６に示すように、表面弾性波（ＳＡＷ）を発生させる６つの表面弾性波発生部を有している。即ち、第１の表面弾性波発生部３１０、第２の表面弾性波発生部３２０、第３の表面弾性波発生部３３０、第４の表面弾性波発生部３４０、第５の表面弾性波発生部３５０、第６の表面弾性波発生部３６０を有している。具体的には、図１６に示されるように、第１の光学部品１０の左側の側面に接触して、第１の光学部品１０のシリコン１０ａ側に第１の表面弾性波発生部３１０が設置され、ガラス１０ｂ側に第２の表面弾性波発生部３２０が設置されている。また、第１の光学部品１０の右側の側面に接触して、第１の光学部品１０のシリコン１０ａ側に第３の表面弾性波発生部３３０が設置され、ガラス１０ｂ側に第４の表面弾性波発生部３４０が設置されている。更に、第１の光学部品１０の上側のシリコン１０ａ側の側面に接触して、第５の表面弾性波発生部３５０が設置され、下側のガラス側１０ｂに接触して、第６の表面弾性波発生部３６０が設置されている。
【００３６】
即ち、第１の表面弾性波発生部３１０と第３の表面弾性波発生部３３０は、第１の光学部品１０のシリコン１０ａ側において、シリコン１０ａをはさみ対向する側面に設置されている。また、第２の表面弾性波発生部３２０と第４の表面弾性波発生部３４０は、第１の光学部品１０のガラス１０ｂ側において、ガラス１０ｂをはさみ対向する側面に設置されている。また、第５の表面弾性波発生部３５０と第６の表面弾性波発生部３６０は、第１の光学部品１０において、第１の光学部品１０をはさみ残りの対向する側面に設置されている。尚、図１６では、第１の光学部品１０の接着面おいて、接着剤２３０が１つの塊となっている状態を示す。
【００３７】
第１の表面弾性波発生部３１０、第２の表面弾性波発生部３２０、第３の表面弾性波発生部３３０、第４の表面弾性波発生部３４０、第５の表面弾性波発生部３５０、第６の表面弾性波発生部３６０は、各々圧電基板と、圧電基板に設けられた櫛形電極を有している。具体的には、第１の表面弾性波発生部３１０は、圧電基板３１１と圧電基板３１１に設けられた櫛形電極３１２を有している。第２の表面弾性波発生部３２０は、圧電基板３２１と圧電基板３２１に設けられた櫛形電極３２２を有している。第３の表面弾性波発生部３３０は、圧電基板３３１と圧電基板３３１に設けられた櫛形電極３３２を有している。第４の表面弾性波発生部３４０は、圧電基板３４１と圧電基板３４１に設けられた櫛形電極３４２を有している。第５の表面弾性波発生部３５０は、圧電基板３５１と圧電基板３５１に設けられた櫛形電極３５２を有している。第６の表面弾性波発生部３６０は、圧電基板３６１と圧電基板３６１に設けられた櫛形電極３６２を有している。
【００３８】
第１の表面弾性波発生部３１０、第２の表面弾性波発生部３２０、第３の表面弾性波発生部３３０、第４の表面弾性波発生部３４０においては、各々の櫛形電極に、所定の周波数の電圧を印加することにより、圧電基板において表面弾性波を発生させることができる。同様に、第５の表面弾性波発生部３５０、第６の表面弾性波発生部３６０においては、各々の櫛形電極に、所定の周波数の電圧を印加することにより、圧電基板において表面弾性波を発生させることができる。このように、発生した表面弾性波は、接触している第１の光学部品１０に伝達され、第１の光学部品１０の接着面における硬化する前の状態の液体の接着剤に対し、斥力として働く。
【００３９】
よって、本実施の形態においては、第１の表面弾性波発生部３１０、第２の表面弾性波発生部３２０、第３の表面弾性波発生部３３０、第４の表面弾性波発生部３４０により、分離して供給された接着剤を１つの塊にすることができる。また、第１の光学部品１０の接着面において、接着剤の濡れ性が異なる部分が存在している場合であっても、第５の表面弾性波発生部３５０、第６の表面弾性波発生部３６０により、接着剤が偏ることを防ぎ、均一にすることができる。
【００４０】
（接着方法）
次に、本実施の形態における接着剤による接着方法について図１７から図１９に基づき説明する。
【００４１】
最初に、図１７（ａ）に示すように、第１の光学部品１０の側面に接触するように、各々の表面弾性波発生部を設置し、第１の光学部品１０の接着面に複数の微少量の接着剤２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃを供給する。具体的には、第１の光学部品１０のシリコン１０ａ側の側面に接触するように、第１の表面弾性波発生部３１０、第３の表面弾性波発生部３３０及び第５の表面弾性波発生部３５０を設置する。同様に、第１の光学部品１０のガラス１０ｂ側の側面に接触するように、第２の表面弾性波発生部３２０、第４の表面弾性波発生部３４０及び第６の表面弾性波発生部３６０を設置する。この後、第１の光学部品１０の接着面に複数の微少量の接着剤２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃを供給する。接着剤２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃの供給方法は、図４に示される方法により、微少量の接着剤２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃを複数回に分けて供給する。
【００４２】
次に、図１７（ｂ）に示すように、第３の表面弾性波発生部３３０及び第４の表面弾性波発生部３４０において表面弾性波を発生させる。具体的には、第３の表面弾性波発生部３３０の櫛形電極３３２に所定の周波数の電圧を印加することにより、圧電基板３３１に表面弾性波を発生させる。また、第４の表面弾性波発生部３４０の櫛形電極３４２に所定の周波数の電圧を印加することにより、圧電基板３４１に表面弾性波を発生させる。尚、本実施の形態においては、第３の表面弾性波発生部３３０の櫛形電極３３２に印加される周波数及び電圧と、第４の表面弾性波発生部３４０の櫛形電極３４２に印加される周波数及び電圧とは異なっている。即ち、第１の光学部品１０におけるシリコン１０ａとガラス１０ｂとは、物性値が異なっていることから、各々に適した周波数及び電圧を印加されるため、印加される周波数及び電圧は異なっている。具体的には、第３の表面弾性波発生部３３０の櫛形電極３３２には、シリコン１０ａに対応した周波数及び電圧が印加され、第４の表面弾性波発生部３４０の櫛形電極３４２には、ガラス１０ｂに対応した周波数及び電圧が印加される。このように、第３の表面弾性波発生部３３０において発生させた表面弾性波は、第１の光学部品１０におけるシリコン１０ａに伝達され、第４の表面弾性波発生部３４０において発生させた表面弾性波は、第１の光学部品１０におけるガラス１０ｂに伝達される。
【００４３】
次に、図１７（ｃ）に示すように、第３の表面弾性波発生部３３０及び第４の表面弾性波発生部３４０において発生させた表面弾性波により、第１の光学部品１０の表面に供給されている接着剤２３０ｃが接着剤２３０ｂの側に移動する。これにより、接着剤２３０ｃと接着剤２３０ｂとが接触する。第３の表面弾性波発生部３３０及び第４の表面弾性波発生部３４０において発生させた表面弾性波は、第１の光学部品１０における液体の接着剤２３０ｃに対し斥力として働くため、接着剤２３０ｃを接着剤２３０ｂの側に移動させることができる。これにより、接着剤２３０ｃと接着剤２３０ｂとを接触させる。尚、本実施の形態においては、接着剤２３０ｃと接着剤２３０ｂとが接触するように、第３の表面弾性波発生部３３０の櫛形電極３３２及び第４の表面弾性波発生部３４０の櫛形電極３４２に印加される周波数及び電圧の調整がなされている。
【００４４】
次に、図１８（ａ）に示すように、第１の表面弾性波発生部３１０及び第２の表面弾性波発生部３２０において表面弾性波を発生させる。具体的には、第１の表面弾性波発生部３１０の櫛形電極３１２に所定の周波数の電圧を印加することにより、圧電基板３１１に表面弾性波を発生させる。また、第２の表面弾性波発生部３２０の櫛形電極３２２に所定の周波数の電圧を印加することにより、圧電基板３２１に表面弾性波を発生させる。尚、本実施の形態においては、第１の表面弾性波発生部３１０の櫛形電極３１２に印加される周波数及び電圧と、第２の表面弾性波発生部３２０の櫛形電極３２２に印加される周波数及び電圧とは異なっている。即ち、第１の光学部品１０におけるシリコン１０ａとガラス１０ｂとは、物性値が異なっていることから、各々に適した周波数及び電圧を印加されるため、印加される周波数及び電圧は異なっている。具体的には、第１の表面弾性波発生部３１０の櫛形電極３１２には、シリコン１０ａに対応した周波数及び電圧が印加され、第２の表面弾性波発生部３２０の櫛形電極３２２には、ガラス１０ｂに対応した周波数及び電圧が印加される。このように、第１の表面弾性波発生部３１０において発生させた表面弾性波は、第１の光学部品１０におけるシリコン１０ａに伝達され、第２の表面弾性波発生部３４０において発生させた表面弾性波は、第１の光学部品１０におけるガラス１０ｂに伝達される。
【００４５】
次に、図１８（ｂ）に示すように、第１の表面弾性波発生部３１０及び第２の表面弾性波発生部３２０において発生させた表面弾性波により、第１の光学部品１０の表面に供給されている接着剤２３０ａが接着剤２３０ｂの側に移動する。これにより、接着剤２３０ａと接着剤２３０ｂとが接触する。第１の表面弾性波発生部３１０及び第２の表面弾性波発生部３２０において発生させた表面弾性波は、第１の光学部品１０における液体の接着剤２３０ａに対し斥力として働くため、接着剤２３０ａを接着剤２３０ｂの側に移動させることができる。これにより、接着剤２３０ａと接着剤２３０ｂとを接触させる。尚、本実施の形態においては、接着剤２３０ａと接着剤２３０ｂとが接触するように、第１の表面弾性波発生部３１０の櫛形電極３１２及び第２の表面弾性波発生部３２０の櫛形電極３２２に印加される周波数及び電圧の調整がなされている。
【００４６】
次に、図１８（ｃ）に示すように、接着剤同士を接触、即ち、接着剤２３０ｃと接着剤２３０ｂとが接触し、接着剤２３０ａと接着剤２３０ｂとが接触することにより、接着剤２３０ａ、接着剤２３０ｂ及び接着剤２３０ｃは、１つの塊の接着剤２３０となる。
【００４７】
次に、図１９（ａ）に示すように、第５の表面弾性波発生部３５０において表面弾性波を発生させて、第１の光学部品１０の表面における接着剤２３０に、シリコン１０ａ側からガラス１０ｂ側に向かって力を加える。このように、第１の光学部品１０の表面における接着剤２３０に、シリコン１０ａ側からガラス１０ｂ側に向かって力を加えることにより、接着剤２３０が移動し、シリコン１０ａ側とガラス１０ｂ側とにおいて、接着剤３０が均等となるようにすることができる。第５の表面弾性波発生部３５０において発生させた表面弾性波は、第１の光学部品１０における液体の接着剤２３０に対し斥力として働くため、第１の光学部品１０の接着面において、接着剤２３０に力を加え、移動等させることができる。尚、本実施の形態においては、接着剤２３０が所定の位置となるように、第５の表面弾性波発生部３５０の櫛形電極３５２に印加される周波数及び電圧の調整がなされている。
【００４８】
尚、第１の光学部品１０の表面における接着剤２３０において、ガラス１０ｂ側からシリコン１０ａ側に力を加えたい場合には、図１９（ｂ）に示すように、第６の表面弾性波発生部３６０において表面弾性波を発生させる。このように、第６の表面弾性波発生部３６０において表面弾性波を発生させることにより、第１の光学部品１０における接着剤２３０に、ガラス１０ｂ側からシリコン１０ａ側に力を加えることができる。第６の表面弾性波発生部３６０において発生させた表面弾性波は、第１の光学部品１０における液体の接着剤２３０に対し斥力として働くため、第１の光学部品１０の接着面において、接着剤２３０に力を加え、移動等させることができる。
【００４９】
次に、図１９（ｃ）に示すように、第５の表面弾性波発生部３５０における表面弾性波の発生を停止し、この直後に１つの塊となった接着剤２３０の上に、第２の光学部品２０を載置し、紫外線等の光を照射して硬化させる。これにより、第１の光学部品１０と第２の光学部品２０とを接着剤２３０により接着させることができる。
【００５０】
本実施の形態においては、第１の光学部品１０が、２種類の異なる材料を接合することにより形成されている場合であっても、接着剤２３０により第１の光学部品１０と第２の光学部品２０とを所定の位置において接着することができる。また、微少量の接着剤を複数回に分けて供給することにより、接着剤の供給量を略一定にすることができる。また、第１の光学部品１０と第２の光学部品２０との接着の際には、接着剤２３０は１つの塊となっているため、接着剤の内部に気泡等が発生することはなく、高い歩留りで接着を行うことができる。
【００５１】
尚、上記以外の内容については、第１の実施の形態と同様である。
【００５２】
以上、実施の形態について詳述したが、特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。
【００５３】
上記の説明に関し、更に以下の付記を開示する。
（付記１）
接着剤により第１の部品と第２の部品とを接着する接着方法において、
表面弾性波を発生させる表面弾性波発生部を前記第１の部品の側面に接触させて設置する工程と、
前記第１の部品の接着面に、微少量の前記接着剤を複数に分けて供給する工程と、
前記表面弾性波発生部において発生させた表面弾性波により、前記接着剤を移動させることにより、前記接着剤同士を接触させて接着剤の塊にする工程と、
前記塊となった接着剤の上に、第２の部品を載置し、前記接着剤を硬化させる工程と、
を有することを特徴とする接着剤による接着方法。
（付記２）
前記表面弾性波発生部は、２つ設けられており、
前記表面弾性波発生部は、前記第１の部品の対向する側面の各々に設置されていることを特徴とする付記１に記載の接着剤による接着方法。
（付記３）
前記表面弾性波発生部は、４つ設けられており、
前記表面弾性波発生部は、前記第１の部品の側面の各々に設置されていることを特徴とする付記１に記載の接着剤による接着方法。
（付記４）
前記第１の部品は、異なる２種類の材料を接合することにより形成されており、
前記表面弾性波発生部は、前記異なる２種類の材料に対応して、各々の側面に設置されていることを特徴とする付記１から３のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
（付記５）
前記接着剤の塊にする工程の後、前記表面弾性波発生部により、前記塊となった接着剤を所定の位置に動かす工程を含み、
前記塊となった接着剤を所定の位置に動かした後、前記塊となった接着剤の上に、第２の部品を載置し、前記接着剤を硬化させる工程を行うことを特徴とする付記１から４のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
（付記６）
複数の微少量の前記接着剤を供給する工程は、前記接着剤をディスペンサにより供給することにより行うことを特徴とする付記１から５のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
（付記７）
前記接着剤は、紫外線を照射することにより硬化するものであって、
前記接着剤を硬化させる工程は、前記接着剤に前記紫外線を照射する工程を含むものであることを特徴とする付記１から６のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
（付記８）
前記第１の部品は第１の光学部品であり、
前記第２の部品は第２の光学部品であることを特徴とする付記１から７のいずれかに記載の接着剤による接着方法。
（付記９）
前記第１の光学部品には、光導波路が形成されていることを特徴とする付記８に記載の接着剤による接着方法。
【符号の説明】
【００５４】
１０        第１の光学部品
２０        第２の光学部品
３０        接着剤（微少量）
４０        ディスペンサ
１１０      第１の表面弾性波発生部
１１１      圧電基板
１１２      櫛形電極
１２０      第２の表面弾性波発生部
１２１      圧電基板
１２２      櫛形電極
１３０      第３の表面弾性波発生部
１３１      圧電基板
１３２      櫛形電極
１４０      第４の表面弾性波発生部
１４１      圧電基板
１４２      櫛形電極
２３０      接着剤
２３０ａ    接着剤（微少量）
２３０ｂ    接着剤（微少量）
２３０ｃ    接着剤（微少量）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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