(57)【要約】【課題】装置の操業を停止させることなくフレーム部材を補充することで、単位時間あたりの処理能力が低下することを防止できるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１は、接着シートＡＳを介して被着体ＷＦと一体化されるフレーム部材ＲＦを複数収容可能なフレーム収容手段３を供給位置Ｐ３で保持可能な保持手段４と、前記フレーム部材ＲＦおよび前記被着体ＷＦのうちの少なくともフレーム部材ＲＦを支持する支持手段６と、前記供給位置Ｐ３で保持されたフレーム収容手段３からフレーム部材ＲＦを前記支持手段６に移載する移載手段７と、前記支持手段６に支持されたフレーム部材ＲＦまたはフレーム部材ＲＦおよび被着体ＷＦに前記接着シートＡＳを当接させて貼付する貼付手段９とを備え、前記保持手段４は、前記フレーム収容手段３を複数保持可能に設けられ、前記フレーム収容手段３を順次供給位置Ｐ３へ搬送する搬送手段４４を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段を所定の供給位置で保持可能な保持手段と、
前記フレーム部材および前記被着体のうちの少なくともフレーム部材を支持する支持手段と、
前記供給位置で保持されたフレーム収容手段からフレーム部材を前記支持手段に移載する移載手段と、
前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを当接させて貼付する貼付手段とを備え、
前記保持手段は、前記フレーム収容手段を複数保持可能に設けられ、前記フレーム収容手段を順次前記供給位置へ搬送する搬送手段を有することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記フレーム収容手段を搭載する搭載位置および前記フレーム収容手段を排出する排出位置が設けられ、前記搬送手段は、前記搭載位置から排出位置側に前記フレーム収容手段を搬送可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記保持手段は、前記フレーム収容手段を持ち上げるリフタを有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段を保持手段で複数保持し、
前記保持手段で保持された複数のフレーム収容手段うち１つのフレーム収容手段を所定の供給位置へ搬送し、
前記供給位置に搬送されたフレーム収容手段からフレーム部材を支持手段に移載し、
前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを当接させて貼付するシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）やリングフレームに接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、ウェハおよびリングフレームに接着シートとしてのマウント用シートを貼付するマウント機構と、複数のリングフレームが収容され、底部にキャスタが設けられたワゴンと、ワゴンからマウント機構にリングフレームを搬送する搬送機構とを備え、ワゴンに収容されたリングフレームを使い切ると、当該ワゴンをシート貼付装置から切り離し、リングフレームを補充して再度シート貼付装置内に配置するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３３１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、リングフレームを収容可能なワゴンを１つしか配置できないため、リングフレームを補充するためにワゴンが装置から切り離されている間は、マウント機構にリングフレームを供給することができない。このため、装置の操業停止が余儀なくされ、単位時間あたりの処理能力が低下するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、装置の操業を停止させることなくフレーム部材を補充することで、単位時間あたりの処理能力が低下することを防止できるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段を所定の供給位置で保持可能な保持手段と、前記フレーム部材および前記被着体のうちの少なくともフレーム部材を支持する支持手段と、前記供給位置で保持されたフレーム収容手段からフレーム部材を前記支持手段に移載する移載手段と、前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを当接させて貼付する貼付手段とを備え、前記保持手段は、前記フレーム収容手段を複数保持可能に設けられ、前記フレーム収容手段を順次前記供給位置へ搬送する搬送手段を有する、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記フレーム収容手段を搭載する搭載位置および前記フレーム収容手段を排出する排出位置が設けられ、前記搬送手段は、前記搭載位置から排出位置側に前記フレーム収容手段を搬送可能に設けられている、ことが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記保持手段は、前記フレーム収容手段を持ち上げるリフタを有する、ことが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を複数収容可能なフレーム収容手段を保持手段で複数保持し、前記保持手段で保持された複数のフレーム収容手段うち１つのフレーム収容手段を所定の供給位置へ搬送し、前記供給位置に搬送されたフレーム収容手段からフレーム部材を支持手段に移載し、前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを当接させて貼付する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、フレーム収容手段を複数保持可能な保持手段がフレーム収容手段を順次所定の供給位置へ搬送することができるので、１のフレーム収容手段に収容されたフレーム部材を使い切っても、即座に別のフレーム収容手段を供給位置に搬送することができる。これにより、当該シート貼付装置の操業を停止させることなくフレーム部材を補充することができ、単位時間あたりの処理能力が低下することを防止することができる。
【００１０】
本発明において、保持手段におけるフレーム収容手段の搭載位置および排出位置を共通化せずに、搭載位置および排出位置を独立して設けるようにすれば、例えば、フレーム収容手段の供給装置や、フレーム収容手段の排出装置といった独立した他の装置との接続や配置等において、設計的な自由度が生まれる。
また、保持手段にリフタを設ければ、フレーム収容手段を容易に搬送できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の平面図。
【図２】シート貼付装置の保持手段の側面図。
【図３】本発明の変形例に係るシート貼付装置の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＡＲ方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート貼付装置１は、被着体としてのウェハＷＦを複数収容可能なウェハ収容手段２と、接着シートＡＳを介してウェハＷＦと一体化されるフレーム部材としてのリングフレームＲＦを複数収容可能なフレーム収容手段３を所定の供給位置Ｐ３で保持可能な保持手段４と、リングフレームＲＦおよびウェハＷＦのうちの少なくともリングフレームＲＦを支持する支持手段６と、供給位置Ｐ３で保持されたフレーム収容手段３からリングフレームＲＦを支持手段６に移載する移載手段７と、支持手段６に支持されたリングフレームＲＦまたは、リングフレームＲＦおよびウェハＷＦに接着シートＡＳを当接させて貼付する貼付手段９とを備え、フレーム１１に支持されている。
【００１４】
ウェハ収容手段２は、表面に保護シートＰＳ（図１中符号ＡＡで示す図参照）が貼付されたウェハＷＦを上下方向に多段に収容可能なウェハカセット２１からなり、フレーム１１に対して切り離し可能に支持される。
【００１５】
フレーム収容手段３は、図２に示すように、リングフレームＲＦを上下方向に多段に収容可能なフレームカセット３１と、フレームカセット３１を支持する移動可能な台車３２とを備えている。台車３２は、下面端縁が内側に向かって傾斜する傾斜面部３３が設けられた台車フレーム３２Ａと、台車フレーム３２Ａの下部に４体設けられたキャスタ３４と、台車フレーム３２Ａの上部に設けられ、フレームカセット３１を位置決めするカセット位置決め手段３５とを備えている。
【００１６】
保持手段４は、フレーム収容手段３を複数保持可能に設けられ、本実施形態の場合、４体のフレーム収容手段３を出し入れ自在に保持するために、４箇所に収容手段保持部４２を有する保持体４１と、各フレーム収容手段３を順次供給位置Ｐ３へ搬送する搬送手段４４と、フレーム収容手段３を持ち上げる４組のリフタ４８とを備えている。
搬送手段４４は、フレーム１１上に支持された駆動機器としての回動モータ４５の出力軸４６で保持体４１の中央を支持している。ここで、保持手段４の周辺には、回動モータ４５の回転中心を中心として９０°毎にフレーム収容手段３を搭載する搭載位置Ｐ１、フレーム収容手段３に収容されたリングフレームＲＦの収容位置を検出する検出位置Ｐ２、上述の供給位置Ｐ３および、フレーム収容手段３を排出する排出位置Ｐ４が設けられている。そして、回動モータ４５が図１中反時計回りに回動することで、搭載位置Ｐ１で収容手段保持部４２に収容されたフレーム収容手段３を、検出位置Ｐ２、供給位置Ｐ３、排出位置Ｐ４に順次搬送できるように構成されている。なお、検出位置Ｐ２の右方には、駆動機器としての直動モータ８２によって昇降可能に支持されたセンサ８１を有する第１検出手段８Ａが設けられている。センサ８１としては、エリアセンサやラインセンサ等の非接触型センサ、リミットスイッチ等の接触型センサ、またはカメラ等の撮像装置が例示できる。
リフタ４８は、各収容手段保持部４２にそれぞれ２体ずつ設けられた駆動機器としての直動モータ４９と、当該直動モータ４９の出力軸５０に設けられ、フレーム収容手段３の傾斜面部３３に摺動可能な傾斜面部５２が形成されたリフトアーム５１とを備えている。
【００１７】
支持手段６は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハＷＦおよびリングフレームＲＦを吸着保持可能な支持面６１を有するテーブル６２と、テーブル６２をスライダ６３で支持する駆動機器としてのリニアモータ６４とを備えている。
【００１８】
移載手段７は、駆動機器としての多関節ロボット７１と、この多関節ロボット７１の先端部に設けられた保持手段７２とを備えている。多関節ロボット７１は、６箇所に回転可能な関節を有する所謂６軸ロボットであり、当該多関節ロボット７１の作業範囲内において保持手段７２で保持したウェハＷＦやリングフレームＲＦを何れの位置、何れの角度にでも移動可能に構成されている。保持手段７２は、図１中符号ＡＡで示すＡＲ方向からの図に示すように、一方の面７４Ａに凹部７３を有する円盤状の保持フレーム７４と、凹部７３内に配置されたＸＹテーブル７５と、ＸＹテーブル７５の出力部７６に支持された吸着板７７とを備え、保持フレーム７４の面７４Ａに沿う平面内の直交２軸方向に吸着板７７を移動可能かつ、当該平面内で吸着板７７を回動可能に構成されている。吸着板７７は、複数の吸着孔７８が設けられた吸着面７９を有し、多関節ロボット７１に接続されることで、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段に接続され、ウェハＷＦやリングフレームＲＦを吸着保持できるようになっている。また、吸着板７７は、ウェハＷＦを吸着保持する系統と、リングフレームＲＦを吸着保持する系統との２系統が存在する。
【００１９】
なお、移載手段７の左方には、ウェハＷＦの外縁位置、ウェハＷＦに形成された図示しないＶノッチやオリエンテーションフラット等の方位マーク、回路パターン、ストリートまたは、リングフレームＲＦの外縁および内縁位置、リングフレームＲＦの外周に設けられたＶノッチＲＦ１等を検出可能な光学センサや撮像装置等で構成された第２検出手段８Ｂが設けられている。
【００２０】
貼付手段９は、図１中符号ＢＢで示すＡＲ方向からの図に示すように、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳを支持する支持軸９１と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離する剥離板９２と、剥離されて接着シートＡＳをウェハＷＦに当接させて貼付する押圧手段としての押圧ローラ９３と、駆動機器としての回動モータ９４によって回転駆動する駆動ローラ９５と、駆動ローラ９５とで剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ９６と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ９７とによって構成されている。
【００２１】
なお、本実施形態の場合、ウェハＷＦに貼付された保護シートＰＳを剥離する剥離手段１２と、剥離した保護シートＰＳを回収する不要部材収容箱１３とが併設されているが、これらは本願発明の必須要件でないため詳細な説明は省略する。因みに、剥離手段１２としては、例えば、特願２００８−２８５２２８や特願２０１１−５５５０８等の剥離装置先行文献に記載のものが例示でき、不要部材収容箱１３としては、保護シートＰＳを収容して回収可能なものであれば何ら限定されるものではない。
【００２２】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、図１中符号ＢＢで示す図に示すように貼付手段９に原反ＲＳをセットするとともに、ウェハカセット２１を図１で示す位置にセットし、リングフレームＲＦが収容されたフレーム収容手段３を供給位置Ｐ３にセットする。
【００２３】
ここで、リングフレームＲＦが収容されたフレーム収容手段３を供給位置Ｐ３にセットする手順は以下のように行われる。すなわち、リングフレームＲＦが収容されたフレーム収容手段３を矢印Ｙ１の方向に移動させて、搭載位置Ｐ１に位置する収容手段保持部４２内に位置させる。次いで、保持手段４が直動モータ４９を駆動し、図２中二点鎖線で示すように、リフトアーム５１の傾斜面部５２をフレーム収容手段３の傾斜面部３３に摺動させてフレーム収容手段３を持ち上げて保持する。
次いで、搬送手段４４が回動モータ４５を駆動し、保持体４１を図１中反時計回りに９０°回転させ、搭載位置Ｐ１で保持したフレーム収容手段３を検出位置Ｐ２に搬送し、以降同様にして搭載位置Ｐ１でフレーム収容手段３が保持される。そして、フレーム収容手段３が検出位置Ｐ２に搬送されると、第１検出手段８Ａが直動モータ８２を駆動し、センサ８１を上昇させた後下降させる。これにより、検出位置Ｐ２に位置したフレーム収容手段３に収容されたリングフレームＲＦの収容位置が検出される。
この後、搬送手段４４が回動モータ４５を駆動し、保持体４１を図１中反時計回りにさらに９０°回転させ、検出位置Ｐ２でリングフレームＲＦの収容位置が検出されたフレーム収容手段３を供給位置Ｐ３に搬送し、以降同様にして検出位置Ｐ２でリングフレームＲＦの収容位置が検出される。
【００２４】
以上のようにして各部材のセットが完了すると、移載手段７が多関節ロボット７１を駆動し、保持手段７２をウェハカセット２１の内部に挿入させて吸着面７９をウェハＷＦに接触させた後、図示しない吸引手段を駆動し、当該ウェハＷＦを吸着保持する。次いで、移載手段７が多関節ロボット７１を駆動し、第２検出手段８Ｂで検出できる位置にウェハＷＦを移動させ、ＸＹテーブル７５を駆動し、ウェハＷＦを所定角度回転させる。これにより、第２検出手段８ＢがウェハＷＦの外縁位置と図示しないＶノッチ位置とを検出し、それら諸データが図示しない制御手段に出力される。ウェハＷＦの諸データが図示しない制御手段に入力されると、ウェハＷＦの中心位置が算出され、移載手段７がＸＹテーブル７５および多関節ロボット７１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、ウェハＷＦの中心位置と図示しないＶノッチ位置とが所定の位置となるようにしてテーブル６２の支持面６１上に載置する。ウェハＷＦが載置されると、支持手段６が図示しない吸引手段を駆動し、当該ウェハＷＦを吸着保持する。
【００２５】
次に、移載手段７が多関節ロボット７１を駆動し、供給位置Ｐ３で保持されたフレームカセット３１の内部に保持手段７２を挿入させて吸着面７９をリングフレームＲＦに接触させた後、図示しない吸引手段を駆動し、当該リングフレームＲＦを吸着保持する。次いで、移載手段７が多関節ロボット７１を駆動し、リングフレームＲＦを第２検出手段８Ｂで検出できる位置に移動させ、第２検出手段８Ｂが上述のウェハＷＦのときと同様の動作を行い、その後、リングフレームＲＦの開口部の中心位置がテーブル６２上で支持されているウェハＷＦの中心位置に合致する状態、かつ、リングフレームＲＦのＶノッチＲＦ１が所定の方向を向く状態にして、当該リングフレームＲＦをテーブル６２の支持面６１上に載置する。リングフレームＲＦが載置されると、支持手段６が図示しない吸引手段を駆動し、当該リングフレームＲＦを吸着保持する。
【００２６】
次いで、支持手段６がリニアモータ６４を駆動し、テーブル６２を左方向に移動させ、ウェハＷＦおよびリングフレームＲＦが所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、テーブル６２の移動に同期して貼付手段９が回動モータ９４を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離板９２で剥離され、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ９３によってウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに押圧されて貼付され、図１中実線で示すように、ウェハ支持体ＷＫが形成される。このようにしてウェハ支持体ＷＫが形成されると、図示しない検知手段に検知され、支持手段６がリニアモータ６４を停止する。そして、移載手段７が多関節ロボット７１を駆動し、ウェハ支持体ＷＫを持ち上げて上下反転させ、支持面６１に対向する吸着支持面を有する図示しない受け渡し手段に受け渡し、当該受け渡し手段がウェハ支持体ＷＫを下降させて再び支持面６１に載置する。これにより、ウェハ支持体ＷＫが保護シートＰＳを上方に向けた状態で支持面６１に支持される。次いで、剥離手段１２が保護シートＰＳに図示しない剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを引っ張ってウェハＷＦから保護シートＰＳを剥離する（詳細は、剥離装置先行文献参照）。ウェハＷＦから保護シートＰＳが剥離されると、移載手段７が多関節ロボット７１を駆動し、剥離した保護シートＰＳに吸着面７９を接触させて図示しない吸引手段を駆動し、当該保護シートＰＳを吸着保持して不要部材収容箱１３に破棄する。そして、保護シートＰＳが剥離されウェハ支持体ＷＫは、図示しない搬送手段によって別工程に搬送され、テーブル６２が図１中二点鎖線で示す位置に戻り、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２７】
以上のようにして、供給位置Ｐ３に位置するフレーム収容手段３から全てのリングフレームＲＦを使い切ると、搬送手段４４が回動モータ４５を駆動し、保持体４１を図１中反時計回りに９０°回転させ、全てのリングフレームＲＦが使い切られたフレーム収容手段３を排出位置Ｐ４に搬送し、以降同様にして供給位置Ｐ３でフレーム収容手段３からリングフレームＲＦが支持手段６に移載される。
そして、フレーム収容手段３が排出位置Ｐ４に搬送されると、保持手段４が排出位置Ｐ４に対応する直動モータ４９を駆動し、リフトアーム５１をフレーム収容手段３の傾斜面部３３から離間させることで、キャスタ３４を地面ＧＲに接地させる。その後、排出位置Ｐ４のフレーム収容手段３を矢印Ｙ２の方向に移動させ、以降同様にして排出位置Ｐ４でフレーム収容手段３が排出される。
ここで、例えば、フレームカセット３１にそれぞれ１２０枚ずつのリングフレームＲＦを収容できるとし、１枚の接着シートＡＳの貼付に６０秒を要する場合を例示すると、７２００秒（２時間）でフレームカセット３１の全てのリングフレームＲＦを使い切る。この７２００秒の間に、排出位置Ｐ４に位置する収容手段保持部４２からフレーム収容手段３を切り離し、新しいリングフレームＲＦをフレームカセット３１に補充し、搭載位置Ｐ１に位置する収容手段保持部４２にフレーム収容手段３を位置させればよく、十分に余裕を持って補充作業が行えることとなる。これに対して特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、稼働効率の面からして２時間もの間、装置の操業を停止させておくようなことはできない。
【００２８】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、フレーム収容手段３を複数保持可能な保持手段４がフレーム収容手段３を順次供給位置Ｐ３へ搬送することができるので、１のフレーム収容手段３に収容されているリングフレームＲＦを使い切っても、即座に別のフレーム収容手段３を供給位置Ｐ３に搬送することができる。これにより、当該シート貼付装置１の操業を停止させることなくリングフレームＲＦを補充することができ、単位時間あたりの処理能力が低下することを防止することができる。
また、シート貼付装置１の処理能力が低下することを危惧して、オペレータが急いでリングフレームＲＦを当該シート貼付装置１に供給しなければならなくなるといった煩雑性を低減することができる。
【００２９】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３０】
例えば、保持手段４は、２体、３体または５体以上のフレーム収容手段３を保持可能に構成してもよく、２体のフレーム収容手段３を保持可能とした場合、図３に示すように、前記実施形態の保持手段４の代わりに保持手段４Ａを設けたシート貼付装置１Ａが例示できる。保持手段４Ａは、２体のフレーム収容手段３を出し入れ自在に収容するために、２箇所に収容手段保持部４２を有する保持体４１Ａと、２体のフレーム収容手段３を搭載・排出位置Ｐ１１から順次供給位置Ｐ１２へ搬送する搬送手段４４とを備えている。
そして、リングフレームＲＦが収容されたフレーム収容手段３を搭載・排出位置Ｐ１１に位置する収容手段保持部４２内に位置させ、保持手段４が保持すると、搬送手段４４が回動モータ４５を駆動し、保持体４１Ａを反時計回りに１８０°回転させ、搭載・排出位置Ｐ１１で保持したフレーム収容手段３を供給位置Ｐ１２に搬送する構成となっている。
【００３１】
また、前記実施形態では、リングフレームＲＦおよびウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付したが、テーブル６２にリングフレームＲＦのみを載置し、当該リングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付してもよい。
さらに、前記実施形態では、搬送手段が４体のフレーム収容手段３を円弧の軌跡を描くように搭載位置Ｐ１、検出位置Ｐ２、供給位置Ｐ３、排出位置Ｐ４に順次搬送したが、四角形の軌跡を描くように搬送してもよい。保持手段４が３個のフレーム収容手段３あるいは５体以上のフレーム収容手段３を収容可能な収容手段保持部を有する場合、これらのフレーム収容手段３が円弧あるいは多角形の軌跡を描くように搬送してもよい。
さらに、ウェハ収容手段２を複数設け、フレーム収容手段３と同様にウェハ収容手段２を複数保持可能な保持手段４と同等なものでフレーム１１から切り離し可能に構成してもよい。
また、排出位置Ｐ４に位置する収容手段保持部４２からフレーム収容手段３を切り離した後、新しいリングフレームＲＦをフレームカセット３１に補充し、当該排出位置Ｐ４に位置する収容手段保持部４２にフレーム収容手段３を位置させてもよい。
【００３２】
さらに、本発明における接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートと接着剤層との間に設けられる中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。また、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。さらに、ウェハの表面にパターン回路が形成されたものも対象とすることができる。
【００３３】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３４】
１，１Ａ  シート貼付装置
３        フレーム収容手段
４，４Ａ  保持手段
６        支持手段
７        移載手段
９        貼付手段
４４        搬送手段
４８        リフタ
ＡＳ        接着シート
ＲＦ        リングフレーム（フレーム部材）
【図１】
2014017308.tif 000003
【図２】
2014017308.tif 000004
【図３】
2014017308.tif 000005