(57)【要約】【課題】  基部に切り込み部を形成した場合に、切り込み部の切り込み深さを増やしつつ、切り込み部と接着剤との不要な接触を回避する。【解決手段】  振動素子１０は、素子搭載部材に固定される基部１１と、基部１１から延設された振動腕部１２と、基部１１に形成された切り込み部１４ａ，１４ｂとを備えている。切り込み部１４ａ，１４ｂは、基部１１の内側に進むにつれて振動腕部１２から遠ざかる形状である。【選択図】  図１
2014042178.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、この基部から延設された振動部と、前記基部に形成された切り込み部と、前記基部を素子搭載部材に固定する接着剤と、
を備えた水晶振動素子において、
前記切り込み部は、前記基部の内側に進むにつれて前記振動部から遠ざかる形状である、
ことを特徴とする水晶振動素子。
【請求項２】
前記基部は、前記振動部が設けられた第一辺とこの第一辺に対向する第二辺と前記切り込み部が形成されるとともに互いに対向する第三辺及び第四辺とを有する四角形状であり、前記第二辺を挟む二つの頂点にそれぞれ塗布された前記接着剤を介して前記素子搭載部材に固定される、
請求項１記載の水晶振動素子。
【請求項３】
前記切り込み部は、前記第一辺側にあって前記接着剤に接しない第一面と、前記第二辺側にあって前記接着剤に接する第二面とを有する、
請求項２記載の水晶振動素子。
【請求項４】
前記第一面は円弧状である、
請求項３記載の水晶振動素子。
【請求項５】
前記第一面及び前記第二面の両方が前記基部の内側に進むにつれて前記振動部から遠ざかる形状である、
請求項３又は４記載の水晶振動素子。
【請求項６】
前記切り込み部は、前記第一面と前記第二面との間に、前記接着剤に接しない第三面を更に有する、
請求項３乃至５のいずれか一つに記載の水晶振動素子。
【請求項７】
前記第三面は前記振動部の延設方向に平行である、
請求項６記載の水晶振動素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば基準信号源やクロック信号源に用いられる水晶振動素子に関する。以下、水晶振動素子の一例として、音叉型屈曲水晶振動素子（以下「振動素子」と略称する。）について説明する。
【背景技術】
【０００２】
図７は、関連技術１の振動素子を示す平面図である。以下、この図面に基づき説明する。
【０００３】
本関連技術１の振動素子１００は、基部１１と、基部１１から平行に伸びる一対の振動腕部１２と、を備えている。振動腕部１２は、第一振動腕部１２ａ及び第二振動腕部１２ｂからなる。第一振動腕部１２ａ及び第二振動腕部１２ｂには、それぞれ溝部１３ａ，１３ｂが形成されている。
【０００４】
振動腕部１２と溝部１３ａ，１３ｂとには、励振電極２１ａ，２１ｂが形成されている。基部１１には、二つの電極パッド２２ａ，２２ｂが形成されている。電極パッド２２ａ，２２ｂは、互いに絶縁されるように、分離された状態で配置されている。第一振動腕部１２ａの側面及び第二振動腕部１２ｂの溝部１３ｂに形成された励振電極２１ａと、基部１１に形成された電極パッド２２ａとは、同じ極性同士になるように配線及び接続されている。第二振動腕部１２ｂの側面及び第一振動腕部１２ａの溝部１３ａに形成された励振電極２１ｂと、基部１１に形成された電極パッド２２ｂとは、同じ極性同士になるように配線及び接続されている。
【０００５】
電極パッド２２ａ，２２ｂは、導電性接着剤３１を介して、パッケージ側の電極パッド（図示せず）に固定されると同時に電気的に接続される。電極パッド２２ａ，２２ｂに交番電圧が印加されると、発生した電界により振動腕部１２に伸縮が生じ、これにより振動素子１００に所定の共振周波数の屈曲振動が生じる。なお、図７における導電性接着剤３１は、電極パッド２２ａ側のみに示されているが、電極パッド２２ｂ側にも同様に塗布される。
【０００６】
振動素子１００は、例えば携帯電話などの電子機器において、同期信号源として用いられている。近年の電子機器の小型化に伴い、そこに使われる振動素子１００にも小型化が求められている。振動素子１００の小型化にあたっては、振動腕部１２及び基部１１の長さを短くする必要がある。基部１１を短くすると、振動腕部１２からの振動が、基部１１内で十分に吸収されず、基部１１の固定部分を介して、外部のパッケージなどに漏れてしまう問題（以下「振動漏れ」という。）が発生する。この振動漏れは、振動エネルギの損失となるため、振動素子１００に重要な特性値であるＣＩ（Crystal Impedance）を劣化すなわち増加させる要因となる。
【０００７】
この振動漏れを抑制する構造として、基部１１に切り込み部１１４ａ，１１４ｂを設ける技術が特許文献１、２に開示されている。基部１１に切り込み部１１４ａ，１１４ｂを入れることにより、比較的振動変位が大きくなっている基部１１の振動腕部１２側と、導電性接着剤３１でパッケージに固定される基部１１の電極パッド２２ａ，２２ｂ側とを分離できるので、振動漏れを抑制することができる。なお、切り込み部１１４ａ，１１４ｂの形状は、振動腕部１２の延設方向に垂直に伸びる矩形状である。
【０００８】
図８は、関連技術２の振動素子を示す平面図である。以下、この図面に基づき説明する。
【０００９】
関連技術２の振動素子２００は、固定領域に漏れる振動エネルギを更に減らすために、切り込み部２１４ａ，２１４ｂの切り込み深さを基部１１の幅方向に更に大きくしたものである。ここで、切り込み部２１４ａ，２１４ｂの切り込み深さとは、切り込み部２１４ａ，２１４ｂの基端から切り込み部２１４ａ，２１４ｂの先端（すなわち基部中心側端面２０２）までの距離である。関連技術２の振動素子２００の他の構成は、関連技術１と同様である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開昭５９−１８３５２０号公報
【特許文献２】特開２００２−２６１５７５号公報
【特許文献３】特開２０１１−１５１５６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
以下、図７及び図８に基づき、本発明が解決しようとする課題について説明する。
【００１２】
関連技術１において、振動素子１００の小型化のため基部１１を短くすると、振動変位が大きい基部１１の振動腕部１２側と、固定領域である基部１１の電極パッド２２ａ，２２ｂ側との距離が短くなる。同様に、切り込み部１１４ａ，１１４ｂと電極パッド２２ａ，２２ｂにおける導電性接着剤３１との間の距離も短くなる。一方、振動素子１００の安定的な固定のためには、接着領域を狭くすることができない。そのため、導電性接着剤３１の塗布面積は、振動素子１００の小型化前の塗布面積と同程度とする必要がある。
【００１３】
その結果、振動素子１００の小型化に伴い、切り込み部１１４ａ，１１４ｂにおいて相対的に振動変位が大きくなっている部分、特に切り込み部１１４ａ，１１４ｂの振動腕部側端面１０１や基部中心側端面１０２に、導電性接着剤３１がはみ出すことになる。図７に示す導電性接着剤３１は、切り込み部１１４ａ内の基部中心側端面１０２に達しているだけでなく、切り込み部１１４ａから延びる振動腕部側端面１０１にまで表面張力の働きにより這い上がるおそれもある。そうなると、導電性接着剤３１が振動腕部側端面１０１や基部中心側端面１０２での振動を阻害するため、ＣＩが増加して切り込み部１１４ａ，１１４ｂを形成した意味がなくなる。この課題は、関連技術２の振動素子２００でも同様である。
【００１４】
また、図８に示す関連技術２の振動素子２００では、導電性接着剤３１が切り込み部２１４ａの基部中心側端面２０２に達しにくいため、導電性接着剤３１の影響をある程度抑えられる。しかしながら、切り込み部２１４ａ，２１４ｂの切り込み深さを基部１１の幅方向に更に大きくした分、基部中心側端面２０２において極めて細い幅の領域が形成される。そのため、振動腕部１２を保持するための強度が低下することにより、落下などの衝撃に対して振動素子２００の耐性が劣化する。
【００１５】
そこで、本発明の目的は、基部に切り込み部を形成した場合に、切り込み部の切り込み深さを増やしつつ、切り込み部と接着剤との不要な接触を回避でき、これにより低ＣＩ化を達成し得る振動素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係る振動素子は、
基部と、この基部から延設された振動部と、前記基部に形成された切り込み部と、前記基部を素子搭載部材に固定する接着剤と、
を備えた振動素子において、
前記切り込み部は、前記基部の内側に進むにつれて前記振動部から遠ざかる形状である、
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、基部の内側に進むにつれて振動部から遠ざかる形状となる切り込み部を採用したことにより、切り込み部と接着剤の塗布領域との距離を保ちながら切り込み部の切り込み深さを増やせるので、切り込み部と接着剤との不要な接触を回避できるとともに切り込み部による低ＣＩ化を達成できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態１の振動素子を示す平面図である。
【図２】図１におけるII−II線縦断面図である。
【図３】図１の振動素子を素子搭載部材に実装した状態を示す概略断面図である。
【図４】実施形態２の振動素子を示す平面図である。
【図５】実施形態３の振動素子を示す平面図である。
【図６】実施形態４の振動素子を示す平面図である。
【図７】関連技術１の振動素子を示す平面図である。
【図８】関連技術２の振動素子を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（以下「実施形態」という。）について説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成要素については同一の符号を用いる。図面に描かれた形状は、当業者が理解しやすいように描かれているため、実際の寸法及び比率とは必ずしも一致していない。
【００２０】
図１は、実施形態１の振動素子の平面図である。図２は、図１におけるII−II線縦断面図である。図３は、図１の振動素子を素子搭載部材に実装した状態を示す概略断面図である。以下、図１乃至図３に基づき説明する。
【００２１】
本実施形態１の振動素子１０は、基部１１と、基部１１から延設された振動腕部１２と、基部１１に形成された切り込み部１４ａ，１４ｂと、基部１１を素子搭載部材３２に固定する導電性接着剤３１と、を備えている。切り込み部１４ａ，１４ｂは、基部１１の内側に進むにつれて振動腕部１２から遠ざかる形状である。
【００２２】
基部１１は、振動腕部１２が設けられた第一辺１１１と、第一辺１１１に対向する第二辺１１２と、切り込み部１４ａ，１４ｂが形成されるとともに互いに対向する第三辺１１３及び第四辺１１４と、を有する四角形状である。そして、基部１１は、第二辺１１２を挟む二つの頂点１１２ａ，１１２ｂに塗布された導電性接着剤３１を介して、素子搭載部材３２に固定される。なお、図１における導電性接着剤３１は、電極パッド２２ａ側のみに示されているが、電極パッド２２ｂ側にも同様に塗布される。
【００２３】
切り込み部１４ａは、第一辺１１１側にあって導電性接着剤３１に接しない第一面１４１ａと、第二辺１１２側にあって導電性接着剤３１に接する第二面１４２ａとを有する。切り込み部１４ｂは、第一辺１１１側にあって導電性接着剤３１に接しない第一面１４１ｂと、第二辺１１２側にあって導電性接着剤３１に接する第二面１４２ｂとを有する。導電性接着剤３１は、二つの頂点１１２ａ，１１２ｂに円状に塗布されている。第一面１４１ａ，１４１ｂは、導電性接着剤３１の周縁に沿った円弧状である。第二面１４２ａ，１４２ｂは、振動腕部１２の延設方向と垂直な方向に沿った直線状である。
【００２４】
なお、第一面１４１ａ，１４１ｂの形状は、円弧状に限らず、楕円弧状、曲線状、直線状、折れ線状など、基部１１の内側に進むにつれて振動腕部１２から遠ざかる形状であればどのようなものでもよい。また、振動腕部１２及び導電性接着剤３１は、それぞれ特許請求の範囲に記載の「振動部」及び「接着剤」の一例である。
【００２５】
次に、振動素子１０の構成について更に詳しく説明する。
【００２６】
図１及び図２に示すように、振動素子１０は、水晶振動片１５と、水晶振動片１５に設けられた励振電極２１ａ，２１ｂ、電極パッド２２ａ，２２ｂ及び周波数調整用金属膜２３ａ，２３ｂとから、主に構成されている。
【００２７】
水晶振動片１５は、音叉形状となっており、基部１１と、基部１１から延設された二本一対の振動腕部１２とにより概略構成される。振動腕部１２には、水晶を挟んで対向する平面同士に同極となる励振電極２１ａ，２１ｂが設けられている。
【００２８】
基部１１は、平面視略四角形の平板となっている。振動腕部１２は、第一振動腕部１２ａ及び第二振動腕部１２ｂからなる。第一振動腕部１２ａ及び第二振動腕部１２ｂは、基部１１の第一辺１１１から同一方向に延設されている。水晶振動片１５は、基部１１と振動腕部１２とが一体となって音叉形状をなしており、例えば成膜技術、フォトリソグラフィ技術、化学エッチング技術により製造される。
【００２９】
第一振動腕部１２ａ及び第二振動腕部１２ｂの長さ方向には、それぞれ溝部１３ａ，１３ｂが設けられている。それらの溝部１３ａ，１３ｂは、例えば、第一振動腕部１２ａの表裏面に二本ずつ及び第二振動腕部１２ｂの表裏面に二本ずつ、基部１１との境界部分から振動腕部１２の先端に向って、振動腕部１２の長さ方向と平行に所定の長さで設けられる。なお、溝部１３ａ，１３ｂは、第一振動腕部１２ａの表裏面に一本ずつ及び第二振動腕部１２ｂの表裏面に一本ずつ設けてもよいし、振動腕部１２の表裏面のどちらか一方にのみ設けてもよい。
【００３０】
励振電極２１ａは、第一振動腕部１２ａの両側面及び第二振動腕部１２ｂの表裏面に設けられている。励振電極２１ｂは、第二振動腕部１２ｂの両側面及び第一振動腕部１２ａの表裏面に設けられている。
【００３１】
基部１１には、電極パッド２２ａ，２２ｂが設けられる。基部１１及び振動腕部１２において、励振電極２１ａ、電極パッド２２ａ及び周波数調整用金属膜２３ａは互いに電気的に導通し、励振電極２１ｂ、電極パッド２２ｂ及び周波数調整用金属膜２３ｂも互いに電気的に導通している。
【００３２】
これら励振電極２１ａ，２１ｂ、電極パッド２２ａ，２２ｂ及び周波数調整用金属膜２３ａ，２３ｂは、例えば成膜技術、フォトリソグラフィ技術、エッチング技術により形成され、例えばＴｉ層の上にＰｄ又はＡｕ層が設けられた積層構造となっている。
【００３３】
図３に示すように、振動素子１０は、導電性接着剤３１（及び電極パッド２２ａ，２２ｂ）を介して、素子搭載部材３２側の電極パッド３３に固定されると同時に電気的に接続される。
【００３４】
音叉型の水晶振動片１５を振動させる場合、電極パッド２２ａ，２２ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的に捉えると、第一振動腕部１２ａの表裏面に設けられた励振電極２１ｂはプラス電位となり、第一振動腕部１２ａの両側面に設けられた励振電極２１ａはマイナス電位となり、プラスからマイナスに電界が生じる。このとき、第二振動腕部１２ｂの表裏面に設けられた励振電極２１ａはマイナス電位となり、第二振動腕部１２ｂの両側面に設けられた励振電極２１ｂはプラス電位となり、第一振動腕部１２ａに生じた極性とは反対の極性となり、プラスからマイナスに電界が生じる。この交番電圧で生じた電界によって、第一振動腕部１２ａ及び第二振動腕部１２ｂに伸縮現象が生じ、振動腕部１２に設定した共振周波数の屈曲振動モードが得られる。
【００３５】
次に、振動素子１０の作用及び効果について説明する。
【００３６】
切り込み部１４ａ，１４ｂは互いに左右対称すなわちどちらも同じ形状であるので、以下、切り込み部１４ａについて説明する。切り込み部１４ａは基部１１の内側に進むにつれて振動腕部１２から遠ざかる形状であるため、基部１１の頂点１１２ａ付近に塗布された導電性接着剤３１に対して距離を保ちつつ、基部１１の内側へ延びることになる。そのため、切り込み部１４ａの切り込み深さを確保して振動漏れを抑えつつ、切り込み部１４ａと導電性接着剤３１の塗布領域との不要な接触を回避できるので、本実施形態１における切り込み部１４ａを採用したことにより低ＣＩ化を達成できる。
【００３７】
ここで、「切り込み深さ」とは、振動腕部１２の延設方向に垂直な方向（幅方向）における、切り込み部１４ａの基端（すなわち第三辺１１３）から切り込み部１４ａの形状に沿って切り込み部１４ａの先端に至るまでの距離である。切り込み部１４ａの先端とは、第一面１４１ａと第二面１４２ａとが接する部分である。
【００３８】
また、切り込み部１４ａは基部１１の内側に進むにつれて振動腕部１２から遠ざかる形状であることにより、切り込み部１４ａの切り込み深さを増やしても関連技術に比べて基部１１の幅方向の最小となる長さを大きくできるので、切り込み部１４ａを設けたことによる耐衝撃性への影響も抑制できる。
【００３９】
特に、導電性接着剤３１が頂点１１２ａ付近を中心に円状に塗布され、導電性接着剤３１に接しない切り込み部１４ａの第一面１４１ａが円弧状である場合は、導電性接着剤３１の周縁と第一面１４１ａとがほぼ同心円を描くことになる。そのため、第一面１４１ａは、導電性接着剤３１に対してほぼ一定の距離を保ちつつ、基部１１の内側へ延びることになるので、切り込み部１４ａの切り込み深さを十分に増やしても第一面１４１ａが導電性接着剤３１に接触せず、これにより更に顕著な効果を奏する。
【００４０】
換言すると、振動漏れを防ぐために基部１１に設けられた切り込み部１４ａは、基部１１の振動腕部１２側から電極パッド２２ａ側に行くに従って、切り込み量１４３（切り込み部１４ｂ側に図示）が徐々に増えるような形状となっている。ここで、切り込み量１４３とは、振動腕部１２の延設方向に垂直な方向における、切り込み部１４ａの基端（第三辺１１３）から第一面１４１ａまでの距離である。このような切り込み部１４ａの形状とすることにより、導電性接着剤３１が切り込み部１４ａの基部中心側端面に達して、導電性接着剤３１が振動を阻害することを、抑制できる。また、切り込み量１４３を大きくとっても、基部１１の幅方向の長さが小さくなる領域が少ないため、落下などに対する耐衝撃性にも優れる。
【００４１】
図４は、実施形態２の振動素子の平面図である。以下、図４に基づき説明する。
【００４２】
本実施形態２の振動素子４０は、切り込み部４４ａ，４４ｂの形状が実施形態１と異なる。切り込み部４４ａは、第一辺１１１側にあって導電性接着剤３１に接しない第一面４４１ａと、第二辺１１２側にあって導電性接着剤３１に接する第二面４４２ａとを有する。切り込み部４４ｂは、第一辺１１１側にあって導電性接着剤３１に接しない第一面４４１ｂと、第二辺１１２側にあって導電性接着剤３１に接する第二面４４２ｂとを有する。切り込み部４４ａ，４４ｂは互いに左右対称すなわちどちらも同じ形状であるので、以下、切り込み部４４ａについて説明する。
【００４３】
なお、切り込み部４４ａ，４４ｂは、設計上は左右対称であるが、実際はエッチング後の残渣の付き方が左右対称とはならない。なぜなら、水晶のウェットエッチングは、結晶軸によってエッチング量が異なる異方性エッチングとなるからである。他の実施形態でも同様である。
【００４４】
切り込み部４４ａにおいて、第一面４４１ａ及び第二面４４２ａの両方が基部１１の内側に進むにつれて振動腕部１２から遠ざかる形状である。より具体的に言えば、第一面４４１ａは導電性接着剤３１の周縁に沿った円弧状であり、第二面４４２ａは振動腕部１２の延設方向に対して斜めとなる方向に沿った直線状である。
【００４５】
なお、第二面４４２ａの形状は、直線状に限らず、円弧状、楕円弧状、曲線状、折れ線状など、基部１１の内側に進むにつれて振動腕部１２から遠ざかる形状であればどのようなものでもよい。
【００４６】
次に、振動素子４０の作用及び効果について、図１及び図４に基づき説明する。
【００４７】
図１に示す実施形態１では、第一面１４１ａのみが基部１１の内側に進むにつれて振動腕部１２から遠ざかる形状であり、第二面１４２ａは振動腕部１２の延設方向と垂直な方向に沿った直線状である。そのため、図示するように、第一面１４１ａと第二面１４２ａとが接する切り込み部１４ａの先端を、切り込み部１４ａの基端よりも第二辺１１２側に設けることができない。
【００４８】
これに対し、図４に示す本実施形態２では、第一面４４１ａ及び第二面４４２ａの両方が、基部１１の内側に進むにつれて振動腕部１２から遠ざかる形状である。そのため、図示するように、第一面４４１ａと第二面４４２ａとが接する切り込み部４４ａの先端を、切り込み部４４ａの基端よりも第二辺１１２側に設けることができる。
【００４９】
したがって、本実施形態２によれば、第一面４４１ａから第一辺１１１側にある基部１１の面積が増加することにより、振動に寄与する基部１１の領域を広げることができるので、更にＣＩを低下できる。つまり、振動腕部１２の共振エネルギを交換する場所を広く取りつつ、切り込み部４４ａによって振動漏れも抑制できるので、更にＣＩを低下できる。
【００５０】
また、第一面４４１ａと第二面４４２ａとが接する切り込み部４４ａの先端を、切り込み部４４ａの基端よりも第二辺１１２側に設けることにより、切り込み部４４ａの切り込み深さを増やしても実施形態１に比べて基部１１の幅方向における最小の長さを更に大きくできるので、切り込み部４４ａを設けたことによる耐衝撃性への影響を更に抑制できる。
【００５１】
換言すると、本実施形態２では、切り込み部４４ａの電極パッド２２ａ側の第二面４４２ａが、基部１１の中心に行くに従って振動腕部１２から離れるような傾斜を有している。このような形状とすることにより、切り込み部４４ａが振動腕部１２側から電極パッド２２ａ側に行くに従って基部１１の幅が徐々に変化する領域を長くとることができ、振動エネルギの漏れをより効率良く防げるとともに、耐衝撃性にとっても好ましい基部１１の形状が得られる。
【００５２】
本実施形態２のその他の構成、作用及び効果は、実施形態１のそれらと同様である。
【００５３】
図５は、実施形態３の振動素子の平面図である。以下、図５に基づき説明する。
【００５４】
本実施形態３の振動素子５０は、突起部５３とスリット５４とを備えた点で、実施形態２と異なる。突起部５３は、二本一対の振動腕部１２の中間にあって、振動腕部１２に沿って基部１１から延設されている。また、突起部５３は、幅が先端から基端へ進むに従い広くなるように、全体として二等辺三角形状に設けられる。突起部５３の先端には、延設方向に沿ってスリット５４が設けられている。スリット５４は、突起部５３の厚み方向に貫通している。なお、突起部５３の幅とは、振動腕部１２の延設方向に垂直な方向における突起部５３の長さである。
【００５５】
本実施形態３では、スパッタ技術及びフォトリソグラフィ技術を用いたリフトオフ法によって、振動腕部１２の側面に励振電極２１ａ，２１ｂを形成する。このとき、スリット５４は、第一振動腕部１２ａの側面の励振電極２１ａと第二振動腕部１２ｂの側面の励振電極２１ｂとを切り離す役割を果たす（特許文献３参照）。
【００５６】
本実施形態３の他の構成は、実施形態２と同様である。本実施形態３のような構成でも、実施形態２と同様の作用及び効果を奏する。
【００５７】
次に、振動素子５０について更に具体的に説明する。ここでの説明では、「長さ」を振動腕部１２の延設方向の距離とし、「幅」を振動腕部１２の延設方向に垂直な方向の距離とする。
【００５８】
水晶振動片１５の外形及び溝部１３ａ，１３ｂは、例えば水晶Ｚ板ウェハに対してウェットエッチングなどの手法を用いることにより形成される。振動腕部１２の側面及び溝部１３ａ，１３ｂには、蒸着やスパッタなどの成膜手法を用いて、励振電極２１ａ，２１ｂが形成される。基部１１上には、異なる極性となる二つの電極パッド２２ａ，２２ｂが形成される。電極パッド２２ａ，２２ｂは、それぞれ励振電極２１ａ，２１ｂに接続される。また、電極パッド２２ａ，２２ｂは、図３に示すように、パッケージを構成する素子搭載部材３２の電極パッド３３に導電性接着剤３１などを介して接続され、所定のパッケージ内配線（図示せず）を経由して、パッケージの外部端子（図示せず）に接続されている。
【００５９】
振動素子５０は、例えば３２．７６８ｋＨｚで共振するよう設計される。特に、この振動素子５０は、全長が１．１７ｍｍと、小型化に対応している。振動素子５０の厚みは、使用する水晶ウェハの厚みと同程度となり、例えば０．ｌｍｍである。振動腕部１２の長さ６１は０．９６ｌｍｍであり、振動腕部１２の幅６２は０．０４８６ｍｍであり、第一振動腕部１２ａの中心と第二振動腕部１２ｂの中心との幅６９は０．２１６２ｍｍである。基部１１の長さ６３は０．２０８ｍｍであり、基部１１の幅６４は０．３４７ｍｍである。
【００６０】
基部１１には、切り込み部１４ａ，１４ｂが形成されている。基部１１の第三辺１１３において、振動腕部１２側から切り込み部１４ａの開口端までの長さ６５は０．０５７５ｍｍ、切り込み部１４ａの開口端の長さ６６は０．０４６５ｍｍ、切り込み部１４ａの開口端から切り込み部１４ａの先端までの長さ６７は０．０２９ｍｍである。切り込み部１４ａの電極パッド２２ａ側の第二面１４２ａは、基部１１の中心に行くに従って、電極パッド２２ａ側に傾斜している。切り込み部１４ａの最大切り込み量６８は、０．１１９ｍｍである。切り込み部１４ａの振動腕部１２側の第一面１４１ａは、円弧状となっている。切り込み部１４ｂについても切り込み部１４ａと同様である。
【００６１】
次に、振動素子５０の電気的特性について説明する。
【００６２】
振動素子５０は、共振周波数が４０．３ｋＨｚ、ＣＩが５２ｋΩであった。また、その共振周波数の温度依存性は上に凸の２次曲線（横軸が温度、縦軸が共振周波数）となり、その頂点温度は３０℃であった。
【００６３】
ここで、故意に導電性接着剤３１を切り込み部１４ａの第一面１４１ａに接触させ、この状態で振動素子を実装して電気的特性を測定した。その結果、共振周波数は４０．２ｋＨｚとほぼ変わらないものの、ＣＩが８０ｋΩに上昇し、共振周波数の温度依存性の頂点温度が１８℃まで低下した。このように、切り込み部１４ａの第一面１４１ａに導電性接着剤３１が触れると、振動素子の電気的特性が劣化することが明らかになった。
【００６４】
一方、振動素子５０は、導電性接着剤３１の塗布領域に重ならないような切り込み部１４ａの形状となっているため、上記のような問題が生じにくい。また、関連技術と比較して、切り込み部１４ａの切り込み量を大きくしても、基部１１の最小幅が狭くなりにくいため、振動腕部１２を支持する強度の劣化が少ない。
【００６５】
図６は、実施形態４の振動素子の平面図である。以下、図６に基づき説明する。
【００６６】
本実施形態４の振動素子７０は、切り込み部７４ａ，７４ｂがそれぞれ第三面７４３ａ，７４３ｂを有する点で、実施形態１と異なる。すなわち、切り込み部７４ａは、第一面７４１ａと第二面７４２ａとの間に、接着剤３１に接しない第三面７４３ａを有する。切り込み部７４ｂは、第一面７４１ｂと第二面７４２ｂとの間に、接着剤３１に接しない第三面７４３ｂを有する。
【００６７】
第三面７４３ａが無いとすると、切り込み部７４ａの先端である第一面７４１ａと第二面７４２ａとの接する部分が尖っている。しかし、本実施形態４では、第一面７４１ａと第二面７４２ａとの間に第三面７４３ａを設けることにより、切り込み部７４ａの先端が尖らなくなり、切り込み部７４ａの先端での応力集中を緩和できるので、耐衝撃性を向上できる。特に、図示するように、第三面７４３ａを振動部１２の延設方向１２０に平行とした場合は、第一面７４１ａと第三面７４３ａとのなす角度及び第二面７４２ａと第三面７４３ａとのなす角度をほぼ等しくかつ大きくとることができることにより、切り込み部７４ａの先端での応力集中をより緩和できるので、耐衝撃性をより向上できる。切り込み部７４ｂについても同様である。
【００６８】
本実施形態４の他の構成は、実施形態１乃至３と同様である。本実施形態４のような構成でも、実施形態１乃至３と同様の作用及び効果を奏する。
【００６９】
以上、上記各実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細については、当業者が理解し得るさまざまな変更を加えることができる。また、本発明には、上記各実施形態の構成の一部又は全部を相互に適宜組み合わせたものも含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明は、前述の音叉型振動素子の他にも、例えば輪郭すべり振動素子などの水晶振動素子に利用可能である。
【符号の説明】
【００７１】
１０  振動素子
１１  基部
１１１  第一辺
１１２  第二辺
１１２ａ，１１２ｂ  頂点
１１３  第三辺
１１４  第四辺
１２  振動腕部
１２０  延設方向
１２ａ  第一振動腕部
１２ｂ  第二振動腕部
１３ａ，１３ｂ  溝部
１４ａ，１４ｂ  切り込み部
１４１ａ，１４１ｂ  第一面
１４２ａ，１４２ｂ  第二面
１４３  切り込み量
１５  水晶振動片
２１ａ，２１ｂ  励振電極
２２ａ，２２ｂ  電極パッド
２３ａ，２３ｂ  周波数調整用金属膜
３１  導電性接着剤
３２  素子搭載部材
３３  電極パッド
４０  振動素子
４４ａ，４４ｂ  切り込み部
４４１ａ，４４１ｂ  第一面
４４２ａ，４４２ｂ  第二面
５０  振動素子
５３  突起部
５４  スリット
６１，６３，６５，６６，６７  長さ
６２，６４，６９  幅
６８  最大切り込み量
７０  振動素子
７４ａ，７４ｂ  切り込み部
７４１ａ，７４１ｂ  第一面
７４２ａ，７４２ｂ  第二面
７４３ａ，７４３ｂ  第三面
１００  振動素子
１０１  振動腕部側端面
１０２  基部中心側端面
１１４ａ，１１４ｂ  切り込み部
２００  振動素子
２０２  基部中心側端面
２１４ａ，２１４ｂ  切り込み部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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