(57)【要約】      （修正有）【課題】カスタマサイトでの再組立てや位置合わせを短時間で行うことができる、縦型真空炉用リフティング装置を提供する。【解決手段】離間して平行に整合配置された第一及び第二の支持モジュール１６，１８と、その各々に取り付けられた第一及び第二の往復リフティング機構と、各々の往復リフティング機構に連結されて往復リフティング機構を駆動させるための動力手段を有し、第一及び第二のトローリーが、第一及び第二の往復リフティング機構に作動的に接続されて、ペイロードと係合するように構成されている。更に、第一及び第二の動力手段に接続されて第一及び第二の往復リフティング機構の動作を制御することにより第一及び第二のトローリーを昇降動可能にさせるコントロールシステム２２，２４を有している。前記のリフティング装置を含んだ縦型真空炉組立体１０に加えて、リフティング装置のための支持モジュールとボトムヘッド組立体３０である。【選択図】図１
2014122719.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下端に開口を有する圧力／真空容器と、
前記圧力／真空容器の前記開口を閉塞するように寸法付けされたボトムヘッド組立体と、
離間して平行に整合配置されて、前記圧力／真空容器を垂直の向きで支持するための第一及び第二の支持モジュールと、
前記第一及び第二の支持モジュールの各々に取り付けられた第一及び第二の往復リフティング機構と、
前記第一及び第二の往復リフティング機構に連結されて、前記往復リフティング機構を駆動させるための第一及び第二の動力手段と、
前記第一及び第二の往復リフティング機構に作動的に接続されて、前記ボトムヘッド組立体と係合するように構成された第一及び第二のトローリーと、
前記第一及び第二の動力手段に接続されて、前記第一及び第二の往復リフティング機構の動作を制御することにより前記第一及び第二のトローリーを昇降動可能にさせるコントロールシステムを有する縦型真空炉組立体。
【請求項２】
離間して平行に整合配置された第一及び第二の支持レッグと、
前記第一及び第二の支持レッグの間に取り付けられた往復リフティング機構と、
前記往復リフティング機構に作動的に接続されたトローリーと、
前記往復リフティング機構に接続されて、前記往復リフティング機構を駆動させるための動力手段を有する縦型真空炉用支持モジュール。
【請求項３】
前記動力手段が前記往復リフティング機構に直接連結されている、請求項２に記載の支持モジュール。
【請求項４】
略円形のスチールプレートと、
前記スチールプレートの周回りに形成されたフランジと、
前記スチールプレートの外側面に取り付けられた第一及び第二のリフティングビームと、
前記スチールプレートの内側面に取り付けられて、前記スチールプレート上のワークロードを支持するための手段を有する縦型真空炉用ボトムヘッド組立体。
【請求項５】
前記スチールプレートの内側面に沿って冷却液を循環させるための冷却液ジャケットを有している、請求項３に記載のボトムヘッド組立体。
【請求項６】
前記冷却液ジャケットが、
前記冷却液ジャケット内で前記スチールプレートの前記内側面に沿って冷却液を誘導させるためのチャネルと、
前記スチールパネルに形成されて、冷却液が前記チャネル内に流入することを許容するインレットと、
前記インレットから遠位で前記スチールプレートに形成されて、前記冷却液が前記チャネルの外へ流出することを許容するアウトレットを有する、請求項５に記載のボトムヘッド組立体。
【請求項７】
縦型真空炉用のリフティング装置を作動させるためのコントロールシステムであって、
第一の往復ワークロードリフティング装置に接続されて該第一の往復リフティング装置を駆動させるための第一のモータと、
前記第一のモータに接続されて、前記第一の往復ワークロードリフティング装置の縦方向の位置を示す電気的信号を発生する第一のセンサと、
第二の往復ワークロードリフティング装置に接続されて、前記第二の往復リフティング装置を駆動させるための第二のモータと、
前記第二のモータに接続されて、前記第二の往復ワークロードリフティング装置の縦方向の位置を示す電気的信号を発生する第二のセンサと、
前記第一及び第二のモータと前記第一及び第二のセンサに接続されたドライブ回路と、
前記ドライブ回路に接続されて、前記第一及び第二のセンサによって発せられる位置信号を受けるプロセッサを有し、
前記プロセッサが、オペレータから作動コマンドを受けるように構成され、前記位置信号と前記作動コマンドに応じてコマンド信号を発生すると共に該コマンド信号を前記ドライブ回路に送ることにより前記第一及び第二のモータを同期して作動させるようにプログラミングされている、縦型真空炉用のリフティング装置を作動させるためのコントロールシステム。
【請求項８】
前記ドライブ回路が、
前記第一のモータと前記第一のセンサとプログラマブルロジックコントローラとに接続されたマスタドライブ回路と、
前記第二のモータと前記第二のセンサと前記プログラマブルロジックコントローラとに接続されたフォロワードライブ回路を有する、請求項７に記載のコントロールシステム。
【請求項９】
離間して平行に整合配置された第一及び第二の支持モジュールと、
前記第一及び第二の支持モジュールの各々に取り付けられた第一及び第二の往復リフティング機構と、
前記第一及び第二の往復リフティング機構に接続されて、前記第一及び第二の往復リフティング機構を駆動させるための第一及び第二の動力手段と、
前記第一及び第二の往復リフティング機構に作動的に接続されて、ペイロードと係合するように構成された第一及び第二のトローリーと、
前記第一及び第二の動力手段に接続されて、前記第一及び第二の往復リフティング機構の作動をコントロールすることにより前記第一及び第二のトローリーを昇降動可能にさせるコントロールシステムを有している縦型真空炉用リフティング装置。
【請求項１０】
縦方向に移動されるペイロードを提供する工程と、
前記ペイロードを前記第一及び第二のトローリーに係合させる工程と、
次に、前記リフティング装置を作動させて、前記ペイロードを縦方向に移動させる工程を含んでいる、請求項９に記載のリフティング装置で前記ペイロードを持ち上げる方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空熱処理炉に関するもので、詳しくは、垂直に配向された真空炉及び同真空炉内へワークロード（ｗｏｒｋ  ｌｏａｄ）を持ち上げ及び真空炉からワークロードを降下させるための装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
横型構造又は縦型構造を有する工業用真空熱処理炉が知られている。横型構造を有する真空炉においては、熱処理される一処理量の部品（ａ  ｗｏｒｋ  ｌｏａｄ  ｏｆ  ｐａｒｔｓ）は、その一処理量の部品を水平に並進させる装置によって炉のチャンバ内に搬入される。縦型構造を有する真空炉においては、一処理量の部品を工場のフロアーから、高い位置にある炉チャンバまで持ち上げるためにリフティング装置が用いられている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
縦型真空炉用のリフティングシステムの公知の構造は、四点リフティング装置を採用している。この装置は、通常、一処理量の部品が均一に持ち上げられるように同期して作動する四つのボールねじを有している。それらボールねじを互いに同期して作動する状態に維持させるために、マルチギアボックスと、カップリングを備えた連結シャフトが用いられている。そのようなリフトの公知の構造は、製造所において組立てられ且つ位置合わせされ、次に、輸送のために分解しなければならない多くの部品から構成されている。炉がカスタマサイトに届いた時に、リフト装置を、再び組み立て且つ再び位置合わせしなければならない。それは、時間の掛る作業であって、通常、配送時間スケジュールに数日の日数を余分に付け加えてしまうこととなる。
【０００４】
公知のリフト機構において用いられているギアボックス、駆動シャフト及びカップリングは、一処理量の部品を昇降動させるために作動する時に、かなりの量のノイズを発生する。駆動シャフトとモータシャフトとギアボックスシャフトとボールねじシャフトとを接続するカップリングは、時間の経過によって緩むようになる。それが起こった時には、一つ又はそれ以上のボールねじが他のボールねじと同期動作しなくなる。そのような非同期動作は、リフティング機構の壊滅的なダメージを齎すことがあり得る。ボールねじが極端にその同期がとれていない場合には、一処理量の部品自体、炉内のホットゾーンさえも、ダメージを受けることがあり得る。
【０００５】
縦型真空炉用の公知のリフト機構は、コイルスプリングを介して炉のボトムリフティング構造に接触するリフティングポイントを有している。そのリフト機構は、機械的リミットスイッチが切れるまでボトムドアを炉に向けて持ち上げるよう作動することにより、リフティング構造がそれの完全に持ち上げられた最終位置にあることを示す。この最終的に持ち上げられた位置において、ボトムリフティング構造が炉の容器の上部に接しているので、スプリングが少量圧縮される。機械的スィツチが、適切に調整されていない場合には、又は、調整不良となった場合には、スプリングは過度に縮んで、リフティング構造とドアが曲げダメージを受けることがあり得る。
【０００６】
縦型真空炉用の公知のリフティングシステムに関連する上述した問題を考慮すると、公知のリフティングシステムに関連するその問題を克服する、縦型真空炉用のリフティング装置を確保することが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による縦型真空炉内に一処理量の部品を持ち上げるためのリフティングシステムは、二つのボールねじを有し、それらボールねじの各々は、サーボ型モータによって駆動され、エンコーダー及び／又はレゾルバを用いて位置フィードバックを齎す電気的サーボ駆動システムを介して互いに動きが同期される。各ボールねじは、トラック内を案内されるエレベータを昇降動させるように構成され且つ配置されている。ボールねじとモータと共にエレベータシステムは、縦型炉のレッグ構造に組み込まれている。このレッグ／エレベータ／ボールねじ／モータの組合体は、搬送やエンドユーザサイトにおける据え付けのために完全なままとなっているモジュール組立体である。
【０００８】
ギアボックスやシャフトやカップリングが存在しないので、リフティングエレベータの動きは非常に静かである。サーボモータが、各ボールねじに直接連結されている。サーボ駆動システムは、エレベータの走行端の近くでエレベータの動きを加速及び減速させるためにプログラミングすることができる。これは、リフティング構造とエレベータのピックアップポイントと間のスプリングを除去することを可能にさせる。エンコーダーのフィードバックによってエレベータが完全に上昇した位置又は完全に下降した位置に正確に位置決めされる。
【０００９】
本発明によるリフトシステムの別の長所は、エレベータ機構上のボールねじ取付けポイントが、ボールねじに対して殆ど又は全く応力を与えないズレ（ｍｉｓａｌｉｇｎｍｅｎｔ）を可能にする接続リンケージ（ｊｏｉｎｔｅｄ  ｌｉｎｋａｇｅ）を有していることである。
【００１０】
上述した発明の概要も以下に記載する詳細な説明も、添付図面を参照することにより明確に理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明による縦型真空炉組立体の斜視図である。
【図２】図２は、図１に示した縦型真空炉組立体の正面図である。
【図３】図３は、図１に示した縦型真空炉組立体において用いられるレッグ組立体の斜視図である。
【図４】図４は、図３に示したレッグ組立体の背面図である。
【図５】図５は、図１に示した縦型真空炉において用いられるボトムヘッド組立体（ｂｏｔｔｏｍ  ｈｅａｄ  ａｓｓｅｍｂｌｙ）の斜視図である。
【図６】図６は、図５に示したボトムヘッド組立体の平面図である。
【図７】図７は、図５に示したボトムヘッド組立体の正面図である。
【図８】図８は、図３に示したレッグ組立体において用いられるエレベータトローリー（ｅｌｅｖａｔｏｒ  ｔｒｏｌｌｅｙ）の正面斜視図である。
【図９】図９は、図８に示したエレベータトローリーの背面斜視図である。
【図１０】図１０は、図３に示したレッグ組立体において用いられるボールねじジャッキの斜視図である。
【図１１】図１１は、図１０に示したボールねじジャッキの正面図である。
【図１２】図１２は、図１に示した縦型真空炉において用いられるサーボモータ制御システムのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
添付図面、特に、図１及び２を茲で参照すると、本発明による真空炉１０が示されている。この真空炉１０は、垂直な向き有し、真空炉が配置される施設のフロアーに対して持ち上げられている。真空炉１０は、圧力／真空容器１２と真空ポンプ１４とを有している。圧力／真空容器１２は、第一のレッグ組立体１６と第二のレッグ組立体１８とを含んだ一対のレッグ組立体によって支持されている。レッグ組立体１６，１８の上端に作業台２０が取り付けられている。制御キャビネット（ｃｏｎｔｒｏｌ  ｃａｂｉｎｅｔ）２２と制御コンソール（ｃｏｎｔｒｏｌ  ｃｏｎｓｏｌｅ）２４が、好ましくは、真空炉１０に近接させて設けられている。
【００１３】
圧力／真空容器１２は、下端に開口２８を備えた本体２６を有している。また、圧力／真空容器１２は、真空炉が一処理量の金属部品を加熱処理するために運転させられる時に開口２８を閉塞するために移動可能なボトムヘッド組立体３０を有している。圧力／真空容器１２の本体２６は、複数の支持アームによってレッグ組立体１６，１８に取り付けられている。支持アーム４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄは、圧力容器本体２６の前部をレッグ組立体１６，１８の前部に取り付けるために設けられている。圧力容器本体２６の後部をレッグ組立体１６，１８の後部に取り付けるために同様な一群の支持アーム（図示せず）が設けられている。
【００１４】
茲で図３及び図４を参照すると、レッグ組立体１６の構成が一層詳細に示されている。レッグ組立体１８は、レッグ組立体１６と実質的に同様に構成され配置されている。従って、レッグ組立体１６についてのみ記述することとする。
【００１５】
レッグ組立体１６は、一対の支柱３２ａ，３２ｂを含んでいる。支柱３２ａ，３２ｂは、クロスビーム（ｃｒｏｓｓ  ｂｅａｍ）３４とフロアープレート（ｆｌｏｏｒ  ｐｌａｔｅ）３５とに一体に接続されている。フロアープレート３５は、支柱３２ａ，３２ｂの下部に、好ましくは、溶接によって取り付けられている。クロスビーム３４は、支柱３２ａ，３２ｂの下端と上端に対する中間の位置において支柱３２ａ，３２ｂの間に取り付けられている。
【００１６】
また、レッグ組立体１６は、圧力容器本体に相対してボトムヘッド組立体３０を昇降動させるために構成されたエレベータ機構４６を含んでいる。エレベータ機構４６は、機械的リフティング装置、好ましくは、ボールねじジャッキ５０と、リフティング装置に作動的に連結されたリフティングトローリー（ｌｉｆｔｉｎｇ  ｔｒｏｌｌｅｙ）５２を含んでいる。支柱３２ａ，３２ｂの対向面には、案内チャネル４２ａ，４２ｂが夫々形成又は取付けられている。案内チャネル４２ａ，４２ｂは、レッグ組立体１６に沿って移動するリフティングトローリーのためのトラックを提供している。図１０に更に詳細に図示したボールねじジャッキ５０は、公知の構成に従って、ねじ軸５８とボールナット５９とを有している。ドライブギアボックス６０が、その一端においてねじ軸５８に連結されている。ドライブギアボックス６０は、電気的ドライブモータ５１を該ギアボックスに取り付けるためのモータ取り付け具６１を含んでいる。図１０及び１１に示したボールねじジャッキに代えて機械ねじジャッキ（ｍａｃｈｉｎｅ−ｓｃｒｅｗ  ｊａｃｋ）を用いることができることについては、当業者に理解されるであろう。
【００１７】
茲で図８及び９を参照すると、リフティングトローリー５２は、一対のＬ字状のサイドプレート７０ａ，７０ｂを含んでいる。サイドプレートは、上側クロスビーム７２と下側クロスバー７４に一体に接続されている。図示実施形態においては、下側クロスバー７４は、互いに平行に離間した一対のバー７４´，７４´´から構成されている。上側クロスビーム７２は、好ましくはサイドプレート７０ａ，７０ｂの間の中間位置において形成された開口８８を有している。開口８８は、ボールねじジャッキ５０のねじ軸５８が貫通することができるように寸法付けされ且つ位置合わせされている。リフティングトローリー５２は、ボールねじジャッキ５０をトローリー５２に連結するためのボールねじ取り付け具組立体７６を有している。下側クロスバー７４のバー７４´，７４´´の間にリフトバー（ｌｉｆｔ  ｂａｒ）８０ａ，８０ｂが取り付けられている。ボールねじジャッキ５０をリフティングトローリー５２に接続するためのブラケット７８が設けられている。図８及び９の実施形態において示されているように、ブラケット７８は、中央開口８９と複数のボルト穴とを有した取り付けプレート７９を有している。その中央開口は、ボールねじジャッキ５０のねじ軸５８がリフティングトローリー５２を貫通することを許容するように寸法付けされている。ボルト穴は、ボールねじジャッキ５０のボールナット５９を取り付けブラケット７８に取り付けるために設けられている。
【００１８】
取り付けブラケット７８は、リンクバー８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄによってリフトバー８０ａ，８０ｂに連結されている。リンクバー８２ａ，８２ｂは、ピボットピン８４ａ，８４ｂによってリフトバー８０ａと取り付けブラケット７８との間に旋回自在に連結されている。リフトバーと取り付けブラケットとの間のリンクバーによって提供される接続リンケージは、エレベータトローリーとボールねじシャフトとの軽微なミスアライメントが生じた場合に、ボールねじジャッキへかなりの横応力が付加されることを防止する。
【００１９】
エンドプレート７０ａの外向き面には案内ホィール又はベアリング１８０ａ，１８０ｂが設けられている。同様に、エンドプレート７０ｂの外向き面には案内ホィール１８０ｃ，１８０ｄが設けられている。案内ホィール１８０ａ，１８０ｂは、夫々、取り付けパッド１８２ａ，１８２ｂに接触してエンドプレート７０ａに取り付けられている。同様に、案内ホィール１８０ｃ，１８０ｄは、夫々、取り付けパッド１８２ｃ，１８２ｄに接触してエンドプレート７０ｂに取り付けられている。案内ホィール１８０ａ〜１８０ｄは、レッグ組立体１６の案内チャネル４２ａ，４２ｂにぴったり嵌り合って走行するように寸法付けされ且つ配置されている。
【００２０】
エンドプレート７０ａ，７０ｂは、Ｌ字状に形成されて、側方に伸びた足部８６ａ，８６ｂを有している。足部８６ａ，８６ｂは、詳細に後述する圧力／真空容器のボトムヘッド組立体のための支持構造と係合するように構成され且つ配置されている。
【００２１】
当業者にとって明らかであるように、レッグ組立体１６，１８の構造的特徴によって、それらが真空炉と共に搬送される前にそれらをモジュールとして予め組み立てることができるという利点が提供される。レッグ組立体を予め組立られたモジュールとして搬送することが可能であるということにより、真空炉を搬送し且つユーザーの施設において真空炉を組み立てるのに必要とされる時間がかなり短縮させられる。更に、各レッグ組立体に関するリフティング機構の間に必要とされる機械的リンケージが存在しないということが上述した内容から明らかである。こうして、レッグ組立体１６，１８のモジュール構造によって、そのようなリンケージの取り付けの必要性と、公知のリフト機構において必要とされるリフティング機構とリンケージとの適切なアライメントとリアライメントの必要性が回避される。リフティング機構の間の機械的リンケージの通常一部である、マルチギアボックス，駆動シャフト及びカップリングを省略することにより、かなり静かな運転の実現という結果に至る。
【００２２】
茲で図５，６及び７を参照すると、圧力／真空炉１２のためのボトムヘッドの好ましい実施形態が示されている。そのボトムヘッド組立体１０２は、コンパクトにさせるための略フラットな外形を有している。ボトムヘッド１０２は、略円形のプレート１０４を有し、この円形プレート１０４は、圧力容器本体の底部に形成された開口を閉塞するように寸法付けされている。このプレート１０４には、好ましくは、シールリング１０７を受ける周溝が形成されている。プレート１０４の周回りにはフランジ１０６が形成されていて、このフランジ１０６は、圧力／真空容器本体２６に形成された開口２８の回りの対応の嵌め合いフランジと係合されるように寸法付け且つ配置されている。フラットなボトムヘッド構造は、高いガス焼入れ圧力、例えば、約２バールよりも大きいガス圧力が真空炉において用いられない場合に、好適である。従って、約２バールよりも大きなガス焼入れ圧力が用いられる場合には、圧力容器基準の要件に適合するために従来の皿状又はドーム状のボトムヘッドを用いなければならない。
【００２３】
一対の支持ビーム１０８ａ，１０８ｂが、プレート１０４の外側に取り付けられて、互いに離間して平行になって該プレートを横切って伸びている。それら支持ビームは、プレート１０４を越えて伸びた部分を有している。より詳しくは、支持ビーム１０８ａは伸長部１１０ａ，１１０ｂを有し、支持ビーム１０８ｂは伸長部１１２ａ，１１２ｂを有している。伸長部１１０ａ，１１０ｂは、リフティングトローリー５２の足部８６ａ，８６ｂと係合するように構成されている。同様に、伸長部１１２ａ，１１２ｂは、レッグ組立体１８に関するリフティングトローリーの対応の足部と係合するように構成されている。図７に示されているように、プレート１０４の外側から上下方向に支持レッグ１１４ａ，１１４ｂが伸びている。その支持レッグ１１４ａ，１１４ｂの後ろに支持レッグ１１４ａ，１１４ｂから離間して第二の対の支持レッグが設けられているが、それらは図７には図示されていない。これら支持レッグは、ボトムヘッド組立体１０２がフロアー上に載置されている時に、プレート１０４に対して剛性を付与すると共にボトムヘッド組立体１０２を支持するように構成且つ配置されている。また、これら支持レッグは、リフティングトローリーが支持ビーム１０８ａ，１０８ｂの伸長部１１０ａ，１１０ｂ，１１２ａ，１１２ｂと簡単に係合することができるように、フロアーの上方に十分な高さを提供するように寸法付けされている。
【００２４】
プレート１０４の内側の中央領域には複数のソケット又はレセプタクル１１８が配置且つ取り付けられている。これらレセプタクル１１８は、垂直に伸びて、炉床レール（ｆｕｒｎａｃｅ  ｈｅａｒｔｈ  ｒａｉｌｓ）を支持する支柱を受けるように寸法付けされている（例えば、図１を参照）。中央領域プレートをカバーするためにプレート１０４の内側にはカバープレート１２２が取り付けられている。カバープレート１２２は、プレート１０４の内側面に固定されたスペーサリング１２４上に位置して該スペーサリング１２４に取り付けられている。カバープレート１２２は、レセプタクル１１８が貫通して伸びることを許容する開口を有している。好ましくは、ボトムヘッド組立体１０２は、熱処理サイクル中に炉において発生させられる異常な高温からヘッド組立体を冷却するための手段を含んでいる。その冷却手段は、好ましくは、冷却液ジャケットとして機能する閉塞された空間を区画している、スペーサリング１２４とカバープレート１２２との組合せ体によって実現される。冷却液ジャケットは、好ましくは、プレート１０４の内側面を横切るように、水のような冷却液の流れを向けるためのチャネル（図示せず）を有している。それらチャネルは、好ましくは、プレート１０４の中央領域の略全面が冷却液と接することができるように配置されている。そのチャネル配列は、プレート１０４が十分に冷却されることを担保するために、ボトムヘッド組立体１０２の冷却に悪影響を及ぼすデッドフロースポット（ｄｅａｄ−ｆｌｏｗ  ｓｐｏｔｓ）又は渦流がないように、当業者は簡単に設計することができる。カバープレートは、ボトムヘッド組立体１０２が圧力／真空容器本体２６に対する閉塞位置にある時に、冷却チャネルを真空炉の内部から分離させる。
【００２５】
茲で図１２を参照すると、本発明によるリフト装置の動作をコントロールするための好ましい構成が示されている。コントロールシステム９０は、ボトムヘッド及び／又はリフティング機構のダメージを回避するレベル状態でボトムヘッド組立体を昇降動させることができるように、ボールねじドライブの動きをインターロックすると共にリフトモータの作動を同期させるための手段を設けることによりリフト装置のフェールセーフ動作（ｆａｉｌｓａｆｅ  ｏｐｅｒａｔｉｏｎ）を齎すように構成されている。コントロールシステム９０は、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）１００と、マスタサーボドライブ回路（ｍａｓｔｅｒ  ｓｅｒｖｏ  ｄｒｉｖｅ  ｃｉｒｃｕｉｔ）９２と、フォロワーサーボドライブ回路（ｆｏｌｌｏｗｅｒ  ｓｅｒｖｏ  ｄｒｉｖｅ  ｃｉｒｃｕｉｔ）９４を有している。リフトモータ５０がマスタサーボドライブ回路９２に接続されている。エンコーダー９６がモータ５０の駆動シャフトに機械的に連結されている。同様に、リフトモータ５５がフォロワーサーボドライブ回路９４に接続され、レゾルバ（ｒｅｓｏｌｖｅｒ）９８がモータ５５の駆動シャフトに機械的に連結されている。
【００２６】
ＰＬＣ１００は、炉の操作者によって出力されるコマンドに応えてボトムヘッド組立体を昇降動させるためにリフトモータ５０，５５を作動させるための電気指令信号を提供するようにプログラミングされたプロセッサを含んでいる。操作者のコマンドは、プッシュボタンのような典型的な手段によって、又は、キーボードによって、ＰＣＬに入力させることができる。ＰＬＣ１００は、ボトムヘッド組立体１０２がそれの上昇位置又は下降位置にあるか否かを示す状況情報をマスタサーボドライブ回路及びフォロワーサーボドライブ回路から受けるようにプログラミングされている。ＰＬＣがボトムヘッド組立体の位置を決定した時に、ＰＬＣは、移動することが可能であることを示すインターロック信号をサーボドライブ回路へ送る。マスタサーボドライブ回路９２は、指令信号を受け、第一のフィードバック信号をＰＬＣへ送るためにＰＬＣ１００に接続されている。フォロワーサーボドライブ回路９４は、指令信号を受け、マスタサーボドライブ回路９２を介してＰＬＣにフィードバック信号を提供するためにマスタサーボドライブ回路９２に接続されている。また、ＰＬＣは、マスタサーボドライブ回路とフォロワーサーボドライブ回路からのフィードバック信号をモニターすると共にリフトモータ５０，５５の間の同期性を維持するための最新の指令信号を提供するようプログラミングされている。フィードバック信号は、位置及び／又は速度を示すものであってもよい。エンコーダー９６は、リフトモータ５０の駆動シャフトの回転に基づいて第一のフィードバック信号を発生するように構成されている。エンコーダー９６は、第一のフィードバック信号をマスタサーボドライブ回路９２に伝えるためにマスタサーボドライブ回路９２に接続されている。同様に、レゾルバ９８は、リフトモータ５５の駆動シャフトの回転に基づいて第二のフィードバック信号を発生するように構成されている。レゾルバ９８は、第二のフィードバック信号をフォロワーサーボドライブ回路９４に伝えるためにフォロワーサーボドライブ回路９４に接続されている。好ましくは、このシステムは、リフトコントローラに接続されたホーミングリミットスイッチ（ｈｏｍｉｎｇ  ｌｉｍｉｔ  ｓｗｉｔｃｈ）（図示せず）を含んでいる。そのホーミングリミットスイッチは、リフティング機構が完全に下降された位置にあることを検出するように位置決めされ、システムが位置表示に対してシステム自体をゼロに設定するようにリフトコントローラに信号を送るように作動する。
【００２７】
本発明のサーボドライブコントロールシステムは、リフティング機構の間にマルチギアボックス，シャフト及びカップリングを含む機械的リンケージを必要とすることなく、各レッグ組立体に関するリフティング機構の同期運動を齎す。そのような機械的リンケージを省略することによって、顧客の施設での真空炉の組立において必要とされる時間をかなり短縮させる結果となる。リフティング機構は、縦型真空炉用の公知のリフティング機構よりも作動中にかなり静かである。更に、機械的リンケージを省略することにより、長い期間の使用から齎されるミスアライメントの問題が回避される。また、本発明によるコントロールシステムは、正確な昇降動サイクルを齎し、且つ、エレベータ部品の何れかの偶発的ダメージを回避することができるように、駆動機構が発生するトルク又はリフティング力に関連して自己制御するようにプログラミング可能になっている。リフティング機構のためのドライブは、エレベータ部品の偶発的なダメージを実質的に回避するために、リフティング機構が発生するトルク又はリフティング力に関連して自己制御するようになっている。
【００２８】
本明細書において用いた用語及び表現は、本発明を説明するために用いたに過ぎないものであって、本発明を何ら限定するものではない。そのような用語及び表現を用いたからと言って、そのことに、上述した特徴又は工程の何らかの均等物又はその一部を排除する意図はない。従って、本発明の範囲及び要旨の範囲内で様々な修正を加えることができることが認められる。よって、本発明は、上述した発明の範囲に属する変形例を包含するものである。
【図１】
2014122719.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2014122719.tif 000011
【図１０】
2014122719.tif 000012
【図１１】
2014122719.tif 000013
【図１２】
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【手続補正書】
【提出日】平成25年7月1日(2013.7.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【外国語明細書】
2014122719000001.pdf