(57)【要約】【課題】均一性のよい光を出射することができる照明装置を提供する。【解決手段】本発明に係る照明装置１００では、活性層、活性層を挟む第１クラッド層および第２クラッド層を有し、かつ、活性層に電流が注入されて光を発生する第１利得領域１５０および第２利得領域１６０を含む発光素子１０と、第１利得領域１５０と第２利得領域１６０とに交互に光を発生させるように、発光素子１０を動作させる制御部４０と、第１利得領域１５０の第１出射部１８１から出射する光、および第２利得領域１６０の第２出射部１９１から出射する光が入射する第１レンズ２２と、を備え、第１光出射部１８１から出射する光と第２光出射部１９１から出射する光とは同じ方向に出射して第１レンズ２２に入射する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
活性層、前記活性層を挟む第１クラッド層および第２クラッド層を有し、かつ、前記活性層に電流が注入されて光を発生する第１利得領域および第２利得領域を含む発光素子と、
前記第１利得領域と前記第２利得領域とに交互に光を発生させるように、前記発光素子を動作させる制御部と、
前記第１利得領域の第１光出射部から出射する光および前記第２利得領域の第２光出射部から出射する光が入射する第１レンズと、
を備え、
前記第１光出射部から出射する光と前記第２光出射部から出射する光とは同じ方向に出射して前記第１レンズに入射する、ことを特徴とする照明装置。
【請求項２】
前記第１光出射部および前記第２光出射部は、前記活性層の第１側面に設けられ、
前記第１利得領域は、
前記第１光出射部と、前記活性層の第１側面に設けられる第３光出射部とを接続しており、
前記第２利得領域は、
前記第２光出射部と、前記活性層の第１側面に設けられる第４光出射部とを接続しており、
前記第１光出射部から出射する光、前記第２光出射部から出射する光、前記第３光出射部から出射する光、および前記第４光出射部から出射する光は、同じ方向に出射する、ことを特徴とする請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記第３光出射部から出射する光が入射する第２レンズを備える、ことを特徴とする請求項２に記載の照明装置。
【請求項４】
前記第４光出射部から出射する光が入射する光検出部を備え、
前記制御部は、前記光検出部で検出された光に基づいて、前記発光素子を動作させる、ことを特徴とする請求項２または３に記載の照明装置。
【請求項５】
前記第１利得領域および前記第２利得領域は、前記第１クラッド層、前記活性層、および前記第２クラッド層の積層方向から見て、コの字型の形状を有する、ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の照明装置。
【請求項６】
前記制御部は、
前記第１利得領域の発光時間と前記第２利得領域の発光時間とが同じとなるように、前記発光素子を動作させる、ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の照明装置。
【請求項７】
前記制御部は、
前記第１利得領域の発光時間と前記第２利得領域の発光時間とが異なるように、前記発光素子を動作させる、ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の照明装置。
【請求項８】
前記発光素子は、スーパールミネッセントダイオードである、ことを特徴とする請求項１ないし７にいずれか１項に記載の照明装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の照明装置と、
前記照明装置から出射された光を、画像情報に応じて変調する空間光変調装置と、
前記空間光変調装置によって形成された画像を投射する投射装置と、
を備える、ことを特徴とするプロジェクター。
【請求項１０】
活性層、前記活性層を挟む第１クラッド層および第２クラッド層を有し、かつ、前記活性層に電流が注入されて光を発生する第１利得領域および第２利得領域を含む発光素子と、
前記第１利得領域と前記第２利得領域とに交互に光を発生させるように、前記発光素子を動作させる制御部と、
前記第１利得領域の第１光出射部から出射する光および前記第２利得領域の第２光出射部から出射する光が入射する第１レンズと、
前記第１レンズから出射された光を、画像情報に応じて変調する空間光変調装置と、
前記空間光変調装置によって形成された画像を投射する投射装置と、
を備える、ことを特徴とするプロジェクター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、照明装置およびプロジェクターに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プロジェクターの照明装置（光源モジュール）として、スーパールミネッセントダイオード（Ｓｕｐｅｒ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ  Ｄｉｏｄｅ、以下「ＳＬＤ」ともいう）やレーザーなどの半導体発光素子を用いる技術が提案されている。プロジェクターは、高輝度化が求められており、照明装置の高出力化を実現する手段の一つとして、光を出射する複数の光出射部を備えた半導体発光素子が用いられている。
【０００３】
例えば特許文献１には、隣り合う光出射部から交互に光を出射させ、隣り合う利得領域間の熱干渉を防止または低減する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−３６８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載された発光装置は、例えば放射角分布を調整するレンズを、１つの光出射部に対して１つ配置することにより、照明装置を構成する。そのため、特許文献１に記載された発光装置において、隣り合う光出射部から交互に光を出射させると、照明装置から出射される照明光の強度分布の均一性が悪化することがある。
【０００６】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、強度分布の均一性のよい照明光を出射することができる照明装置を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記照明装置を含むプロジェクターを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る照明装置は、
活性層、前記活性層を挟む第１クラッド層および第２クラッド層を有し、かつ、前記活性層に電流が注入されて光を発生する第１利得領域および第２利得領域を含む発光素子と、
前記第１利得領域と前記第２利得領域とに交互に光を発生させるように、前記発光素子を動作させる制御部と、
前記第１利得領域の第１光出射部から出射する光および前記第２利得領域の第２光出射部から出射する光が入射する第１レンズと、
を備え、
前記第１光出射部から出射する光と前記第２光出射部から出射する光とは同じ方向に出射して前記第１レンズに入射する。
【０００８】
このような照明装置によれば、強度分布の均一性のよい照明光を出射することができる。
【０００９】
本発明に係る照明装置において、
前記第１光出射部および前記第２光出射部は、前記活性層の第１側面に設けられ、
前記第１利得領域は、
前記第１光出射部と、前記活性層の第１側面に設けられる第３光出射部とを接続しており、
前記第２利得領域は、
前記第２光出射部と、前記活性層の第１側面に設けられる第４光出射部とを接続しており、
前記第１光出射部から出射する光、前記第２光出射部から出射する光、前記第３光出射部から出射する光、および前記第４光出射部から出射する光は、同じ方向に出射してもよい。
【００１０】
このような照明装置によれば、第１利得領域および第２利得領域にて発生してそれぞれ２つの端部から出射する光を、１つの側面から出射させることができる。
【００１１】
本発明に係る照明装置において、
前記第３光出射部から出射する光が入射する第２レンズを備えてもよい。
【００１２】
このような照明装置によれば、強度分布の均一性のよい照明光を出射することができる。
【００１３】
本発明に係る照明装置において、
前記第４光出射部から出射する光が入射する光検出部を備え、
前記制御部は、前記光検出部で検出された光に基づいて、前記発光素子を動作させてもよい。
【００１４】
このような照明装置によれば、光出力をより安定に保つことができる。
【００１５】
本発明に係る照明装置において、
前記第１利得領域および前記第２利得領域は、前記第１クラッド層、前記活性層、および前記第２クラッド層の積層方向から見て、コの字型の形状を有していてもよい。
【００１６】
このような照明装置によれば、強度分布の均一性のよい照明光を出射することができる。
【００１７】
本発明に係る照明装置において、
前記制御部は、
前記第１利得領域の発光時間と前記第２利得領域の発光時間とが同じとなるように、前記発光素子を動作させてもよい。
【００１８】
このような照明装置によれば、強度分布の均一性のよい照明光を出射することができる。
【００１９】
本発明に係る照明装置において、
前記制御部は、
前記第１利得領域の発光時間と前記第２利得領域の発光時間とが異なるように、前記発光素子を動作させてもよい。
【００２０】
このような照明装置によれば、スペックルノイズを低減することができる（詳細は後述）。
【００２１】
本発明に係る照明装置において、
前記発光素子は、スーパールミネッセントダイオードであってもよい。
【００２２】
このような照明装置によれば、端面反射による共振器の形成を抑えることにより、スペックルノイズを低減することができる。
【００２３】
本発明に係るプロジェクターは、
本発明に係る照明装置と、
前記照明装置から出射された光を、画像情報に応じて変調する空間光変調装置と、
前記空間光変調装置によって形成された画像を投射する投射装置と、
を備える。
【００２４】
このようなプロジェクターによれば、本発明に係る照明装置を含むので、輝度むらを低減することができる。
【００２５】
本発明に係るプロジェクターは、
活性層、前記活性層を挟む第１クラッド層および第２クラッド層を有し、かつ、前記活性層に電流が注入されて光を発生する第１利得領域および第２利得領域を含む発光素子と、
前記第１利得領域と前記第２利得領域とに交互に光を発生させるように、前記発光素子を動作させる制御部と、
前記第１利得領域の第１光出射部から出射する光および前記第２利得領域の第２光出射部から出射する光が入射する第１レンズと、
前記第１レンズから出射された光を、画像情報に応じて変調する空間光変調装置と、
前記空間光変調装置によって形成された画像を投射する投射装置と、
を備える。
【００２６】
このようなプロジェクターによれば、本発明に係る照明装置を含むので、輝度むらを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】第１の実施形態に係る照明置を模式的に示す平面図。
【図２】第１の実施形態に係る照明置を模式的に示す平面図。
【図３】第１の実施形態に係る照明置を模式的に示す断面図。
【図４】第１の実施形態に係る照明置を模式的に示す断面図。
【図５】第１の実施形態に係る照明装置の動作を説明するための図。
【図６】電流と光出力との関係を示す図。
【図７】第１の実施形態に係る照明装置の製造工程を模式的に示す断面図。
【図８】第１の実施形態に係る照明装置の製造工程を模式的に示す断面図。
【図９】第１の実施形態の第１変形例に係る照明装置の動作を説明するための図。
【図１０】電流と光出力との関係を示す図。
【図１１】第１の実施形態の第１変形例に係る照明装置から出射される光の、波長と光出力との関係を示す図。
【図１２】第１の実施形態の第２変形例に係る照明装置を模式的に示す平面図。
【図１３】第１の実施形態の第２変形例に係る照明装置を模式的に示す断面図。
【図１４】第２の実施形態に係る照明装置を模式的に示す平面図。
【図１５】第２の実施形態に係る照明装置を模式的に示す平面図。
【図１６】第２の実施形態に係る照明装置を模式的に示す断面図。
【図１７】第２の実施形態の第１変形例に係る照明装置を模式的に示す平面図。
【図１８】第２の実施形態の第２変形例に係る照明装置を模式的に示す平面図。
【図１９】第２の実施形態の第２変形例に係る照明装置を模式的に示す平面図。
【図２０】第２の実施形態の第３変形例に係る照明装置を模式的に示す平面図。
【図２１】第３の実施形態に係るプロジェクターを模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２９】
１．  第１の実施形態
１．１．  照明装置
まず、第１の実施形態に係る照明装置について、図面を参照しながら説明する。図１は、第１の実施形態に係る照明装置１００を模式的に示す平面図である。図２は、第１の実施形態に係る照明装置１００を模式的に示す平面図であって、図１の拡大図である。図３は、第１の実施形態に係る照明装置１００を模式的に示す図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。図４は、第１の実施形態に係る照明装置１００を模式的に示す図２のＩＶ−ＩＶ線断面図である。なお、便宜上、図２〜４では、配線３０，３３およびコンタクト部３２，３５の図示を省略している。また、図１では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。
【００３０】
照明装置１００は、図１〜図４に示すように、発光素子１０と、第１レンズ２２と、制御部４０と、を含む。
【００３１】
以下では、発光素子１０がＩｎＧａＡｌＰ系（赤色）のＳＬＤである場合について説明する。ＳＬＤは、半導体レーザーと異なり、端面反射による共振器の形成を抑えることにより、レーザー発振を防止することができる。そのため、スペックルノイズを低減することができる。
【００３２】
発光素子１０は、図１〜図４に示すように、積層体１２０と、第１電極１１２と、第２電極１１４と、反射防止膜１４０と、反射部１４２と、配線３０，３３と、パッド３１，３４と、コンタクト部３２，３５と、を有することができる。積層体１２０は、基板１０２と、第１クラッド層１０４と、活性層１０６と、第２クラッド層１０８と、コンタクト層１１０と、絶縁層１１６と、を有することができる。
【００３３】
基板１０２としては、例えば、第１導電型（例えばｎ型）のＧａＡｓ基板などを用いることができる。
【００３４】
第１クラッド層１０４は、基板１０２上に形成されている。第１クラッド層１０４としては、第１導電型（例えばｎ型）のＩｎＧａＡｌＰ層などを用いることができる。なお、図示はしないが、基板１０２と第１クラッド層１０４との間に、バッファー層が形成されていてもよい。バッファー層としては、例えば、第１導電型（例えばｎ型）のＧａＡｓ層、ＡｌＧａＡｓ層、ＩｎＧａＰ層などを用いることができる。バッファー層は、その上方に形成される層の結晶性を向上させることができる。
【００３５】
活性層１０６は、第１クラッド層１０４上に形成されている。活性層１０６は、第１クラッド層１０４と第２クラッド層１０８とに挟まれている。活性層１０６は、例えば、ＩｎＧａＰウェル層とＩｎＧａＡｌＰバリア層とから構成される量子井戸構造を３つ重ねた多重量子井戸（ＭＱＷ）構造を有する。
【００３６】
活性層１０６の一部は、第１利得領域１５０および第２利得領域１６０を構成している。利得領域１５０，１６０は、電流が注入されて光を発生することができ、この光は、利得領域１５０，１６０内を、利得を受けつつ導波することができる。
【００３７】
図１に示す例では、利得領域１５０，１６０の各々は、複数設けられている。利得領域１５０，１６０は、Ｙ軸に沿って交互に設けられている。より具体的には、利得領域１５０，１６０は、利得領域対１７０を構成し、複数の利得領域対は、等間隔でＹ軸に沿って設けられている。利得領域対１７０ａを構成する利得領域１５０，１６０の間隔Ｄ１は、利得領域対１７０ａを構成する利得領域１５０と、利得領域対１７０ａと隣り合う利得領域対１７０ｂを構成する利得領域１６０と、の間隔Ｄ２よりも小さい。
【００３８】
活性層１０６の形状は、例えば直方体（立方体である場合を含む）などである。活性層１０６は、側面（第１側面）１０６ａおよび側面（第２側面）１０７ａを有する。側面１０６ａと側面１０７ａとは、例えば、平行である。
【００３９】
第１利得領域１５０は、図２に示すように、側面１０６ａ側の端面１８１と、側面１０７ａ側の端面１８７と、を有する。第２利得領域１６０は、側面１０６ａ側の端面１９１と、側面１０７ａ側の端面１９７と、を有する。端面１８１，１９１は、側面１０６ａに設けられている。端面１８７，１９７は、側面１０７ａに到達しておらず、第２端面１８７，１９７は、第２側面１０７ａには設けられていない。
【００４０】
第１利得領域１５０に生じる光の波長帯において、端面１８７の反射率は、端面１８１の反射率よりも高い。第２利得領域１６０に生じる光の波長帯において、端面１９７の反射率は、端面１９１の反射率よりも高い。端面１８７，１９７の反射率は、１００％あるいはそれに近いことが望ましい。これに対して、端面１８１，１９１の反射率は、０％あるいはそれに近いことが望ましい。端面１８１，１９１には、例えば、反射防止膜１４０が設けられていることにより、低い反射率を得ることができる。これにより、端面１８１，１９１から、利得領域１５０，１６０に発生する光を出射させることができる。すなわち、端面１８１は、第１利得領域１５０に発生する光を出射する第１光出射部であり、端面１９１は、第２利得領域１６０に発生する光を出射する第２光出射部である。図示の例では、反射防止膜１４０は、側面１０６ａの全部に設けられている。反射防止膜１４０としては、例えばＡｌ２Ｏ３単層、または、ＳｉＯ２層、ＳｉＮ層、Ｔａ２Ｏ５層や、これらの多層膜などを用いることができる。
【００４１】
端面１８７，１９７は、後述する反射部１４２を設けることにより、高い反射率を得ることができる。端面１８７，１９７は、図２に示すように、利得領域１５０，１６０の延びている方向（延出方向）Ａに対して、直交するように設けられている。これにより、端面１８７，１９７に設けられた反射部１４２において、利得領域１５０，１６０で発生する光を効率よく反射することができる。
【００４２】
第１利得領域１５０は、積層体１２０の積層方向から見て（第１クラッド層１０４、活性層１０６、および第２クラッド層１０８の積層方向から見て（以下、単に「平面視において」ともいう））、端面１８１から端面１８７まで、第１側面１０６ａの垂線Ｐ１に対して傾いた方向に向かって延びている。第２利得領域１６０は、平面視において、端面１９１から端面１９７まで、垂線Ｐ１に対して傾いた方向に向かって延びている。図示の例では、利得領域１５０，１６０は、垂線Ｐに対して角度θで傾いた方向Ａに延出している。これにより、利得領域１５０，１６０に生じる光のレーザー発振を抑制または防止することができる。なお、第１利得領域１５０の延出方向Ａとは、例えば、平面視において、端面１８１の中心と端面１８７の中心とを結ぶ方向をいう。第２利得領域１６０についても同様である。
【００４３】
第１利得領域１５０の延出方向と第２利得領域１６０の延出方向とは、平行である。これにより、照明装置１００は、第１利得領域１５０の端面（第１光出射部）１８１から出射する光と、第２利得領域１６０の端面（第２光出射部）１９１から出射する光とは、同じ方向に出射して、第１レンズ２２に入射することができる。
【００４４】
反射部１４２は、利得領域１５０，１６０の端面１８７，１９７に設けられている。反射部１４２は、例えば、分布ブラッグ反射型（ＤＢＲ）ミラー（以下、「ＤＢＲミラー」ともいう）である。図示の例では、反射部１４２は、所定の間隔で配置された複数の溝部１４４で構成されている。溝部１４４の平面形状（積層体１２０の積層方向から見た形状）は、例えば、矩形である。溝部１４４の対向する１組の辺（図２の例では長辺）は、端面１８７，１９７に対して平行に設けられている。図４に示す例では、溝部１４４の底面の位置は、活性層１０６の下面の位置より下に設けられている。溝部１４４の内部は、空洞であってもよいし、絶縁材料で埋めこまれていてもよい。
【００４５】
なお、図示はしないが、反射部１４２は、高屈折率層と低屈折率層が交互に積層された誘電体多層膜で構成されたＤＢＲミラーであってもよいし、金属薄膜によって構成された金属ミラーであってもよい。
【００４６】
第２クラッド層１０８は、活性層１０６上に形成されている。第２クラッド層１０８は、例えば、第２導電型（例えばｐ型）のＩｎＧａＡｌＰ層などを用いることができる。
【００４７】
例えば、ｐ型の第２クラッド層１０８、不純物がドーピングされていない活性層１０６、およびｎ型の第１クラッド層１０４により、ｐｉｎダイオードが構成される。第１クラッド層１０４および第２クラッド層１０８の各々は、活性層１０６よりもバンドギャップが大きく、屈折率が小さい層である。活性層１０６は、第１電極１１２と第２電極１１４とによって電流が注入されて光を発生させ、かつ光を増幅しつつ導波させる機能を有する。第１クラッド層１０４および第２クラッド層１０８は、活性層１０６を挟んで、注入キャリア（電子および正孔）並びに光を閉じ込める機能（光の漏れを抑制する機能）を有する。
【００４８】
発光素子１０では、第１電極１１２と第２電極１１４との間に、ｐｉｎダイオードの順バイアス電圧を印加すると、活性層１０６の利得領域１５０，１６０において電子と正孔との再結合が起こる。この再結合により発光が生じる。この生じた光を起点として、連鎖的に誘導放出が起こり、利得領域１５０，１６０内で光の強度が増幅される。
【００４９】
例えば、図２に示すように、第１利得領域１５０に生じる光の一部２は、端面１８７に設けられた反射部１４２において反射して、端面１８１から出射されるが、その間に光強度が増幅される。なお、第１利得領域１５０に生じる光には、直接、端面１８１から出射されるものもある。第２利得領域１６０に生じる光についても同様である。
【００５０】
コンタクト層１１０は、第２クラッド層１０８上に形成されている。コンタクト層１１０は、第２電極１１４とオーミックコンタクトすることができる。コンタクト層１１０としては、例えば、ｐ型のＧａＡｓ層などを用いることができる。
【００５１】
コンタクト層１１０と、第２クラッド層１０８の一部とは、図３に示すように、柱状部１１１を構成することができる。柱状部１１１の平面形状は、利得領域１５０，１６０の平面形状と同じである。例えば、柱状部１１１の平面形状によって、電極１１２，１１４間の電流経路が決定され、その結果、利得領域１５０，１６０の平面形状が決定される。なお、図示はしないが、柱状部１１１の側面を傾斜させることもできる。
【００５２】
絶縁層１１６は、第２クラッド層１０８上であって、柱状部１１１の側方（平面視における、柱状部１１１の周囲）に形成されている。絶縁層１１６は、柱状部１１１の側面に接していることができる。絶縁層１１６の上面は、例えば、コンタクト層１１０の上面と連続している。絶縁層１１６としては、例えば、ＳｉＮ層、ＳｉＯ２層、ＳｉＯＮ層、Ａｌ２Ｏ３層、ポリイミド層などを用いることができる。絶縁層１１６として上記の材料を用いた場合、電極１１２，１１４間の電流は、絶縁層１１６を避けて、該絶縁層１１６に挟まれた柱状部１１１を流れることができる。
【００５３】
絶縁層１１６は、活性層１０６の屈折率よりも小さい屈折率を有することができる。この場合、絶縁層１１６を形成した部分の垂直断面の有効屈折率は、絶縁層１１６を形成しない部分、すなわち、柱状部１１１が形成された部分の垂直断面の有効屈折率よりも小さくなる。これにより、平面方向において、利得領域１５０，１６０内に効率良く光を閉じ込めることができる。なお、図示はしないが、絶縁層１１６として上記の材料を埋め込まなくてもよい。この場合、空気層が絶縁層１１６として機能することができる。
【００５４】
第１電極１１２は、基板１０２の下の全面に形成されている。第１電極１１２は、該第１電極１１２とオーミックコンタクトする層（図示の例では基板１０２）と接していることができる。第１電極１１２は、基板１０２を介して、第１クラッド層１０４と電気的に接続されている。第１電極１１２は、発光素子１０を駆動するための一方の電極である。第１電極１１２としては、例えば、基板１０２側からＣｒ層、ＡｕＧｅ層、Ｎｉ層、Ａｕ層の順序で積層したものなどを用いることができる。
【００５５】
なお、第１クラッド層１０４と基板１０２との間に、第２コンタクト層（図示せず）を設け、基板１０２と反対側からのドライエッチングなどにより該第２コンタクト層を基板１０２と反対側に露出させ、第１電極１１２を第２コンタクト層上に設けることもできる。これにより、片面電極構造を得ることができる。この形態は、基板１０２が絶縁性である場合に特に有効である。
【００５６】
第２電極１１４は、コンタクト層１１０上に形成されている。第２電極１１４は、コンタクト層１１０を介して、第２クラッド層１０８と電気的に接続されている。第２電極１１４は、発光素子１０を駆動するための他方の電極である。第２電極１１４としては、例えば、コンタクト層１１０側からＣｒ層、ＡｕＺｎ層、Ａｕ層の順序で積層したものなどを用いることができる。
【００５７】
配線３０，３３は、図１に示すように、第２電極１１４および絶縁層１１６の上方に形成されている。配線３０，３３は、第１クラッド層１０４と活性層１０６との積層方向からの平面視において、利得領域１５０，１６０と交差して、Ｙ軸に沿って延在している。配線３０は、複数の第１利得領域１５０の上方の第２電極１１４と、電気的に接続されている。より具体的には、配線３０と第２電極１１４との間には絶縁層（図示せず）が設けられ、該絶縁層を貫通するコンタクト部３２を介して、配線３０は、第２電極１１４と電気的に接続されている。配線３３は、複数の第２利得領域１６０の上方の第２電極１１４と、電気的に接続されている。より具体的には、配線３３と第２電極１１４との間には絶縁層（図示せず）が設けられ、該絶縁層を貫通するコンタクト部３５を介して、配線３３は、第２電極１１４と電気的に接続されている。
【００５８】
パッド３１，３４は、絶縁層１１６上に設けられている。パッド３１は、配線３０と接続されている。パッド３４は、配線３３と接続されている。配線３０，３３、コンタクト部３２，３５、およびパッド３１，３４の材質は、導電性であれば特に限定されない。
【００５９】
第１レンズ２２は、１つの利得領域対１７０に対して、１つ設けられている。すなわち、１つの利得領域対１７０を構成する利得領域１５０，１６０の光出射部１８１，１９１から出射する光は、１つの第１レンズ２２に入射する。図１に示す例では、第１レンズ２２は、複数の利得領域対１７０に対応して、複数設けられている。複数の第１レンズ２２は、Ｙ軸に沿って設けられており、レンズアレイ２０を構成している。第１レンズ２２は、光出射部１８１，１９１から出射する光が入射する入射面２１と、入射した光が出射する出射面２３と、を有する。入射面２１は、例えば、平坦な面である。出射面２３は、例えば、所定の軸のまわりに回転対称な形状の凸面である。
【００６０】
レンズアレイ２０の材質は、例えば、ガラスである。第１レンズ２２は、例えば第１レンズ２２に入射された光の放射角を制御（平行化、集光など）することができ、第１レンズ２２に入射された光を、例えば平行光として、第１レンズ２２から出射させることができる。
【００６１】
制御部４０は、第１利得領域１５０と第２利得領域１６０とに交互に光を発生させるように、発光素子１０を動作させる。これにより、発光素子１０は、第１光出射部１８１と第２光出射部１９１とから交互に光を出射することができる。そして、第１出射部１８１から出射する光と、第２光出射部１９１から出射する光とは、交互に第１レンズ２２に入射することができる。制御部４０は、例えば、集積回路である。なお、図１に示す例では、第１光出射部１８１から光が出射された場合を図示している。
【００６２】
より具体的には、制御部４０は、図１に示すように、パッド３１に駆動信号Ｓ１を供給することにより、第１利得領域１５０に光を発生させる。また、制御部４０は、パッド３４に駆動信号Ｓ２を供給することにより、第２利得領域１６０に光を発生させる。
【００６３】
ここで、図５は、第１の実施形態に係る照明装置１００の動作を説明するための図である。より具体的には、図５（Ａ）は、第１利得領域１５０に光を発生させるための駆動信号Ｓ１について説明するための図である。図５（Ｂ）は、第２利得領域１６０に光を発生させるための駆動信号Ｓ２について説明するための図である。
【００６４】
制御部４０は、図５（Ａ）および図５（Ｂ）に示すように、第１利得領域１５０に（パッド３１に）動作電流Ｉｏｐを供給している間、第２利得領域１６０に（パッド３４に）動作電流Ｉｏｐの供給を停止する。そして、制御部４０は、第１利得領域１５０への動作電流Ｉｏｐの供給を開始してから一定時間Ｔが経過したとき、第１利得領域１５０への動作電流Ｉｏｐの供給を停止するとともに、第２利得領域１６０への動作電流Ｉｏｐの供給を開始する。制御部４０は、第２利得領域１６０に動作電流Ｉｏｐを供給している間、第１利得領域１５０への動作電流Ｉｏｐの供給を停止する。そして、制御部４０は、第２利得領域１６０への動作電流Ｉｏｐの供給を開始してから一定時間Ｔが経過したとき、第２利得領域１６０への動作電流Ｉｏｐの供給を停止するとともに、第１利得領域１５０への動作電流Ｉｏｐの供給を再び開始する。制御部４０は、このような動作を繰り返す。すなわち、制御部４０は、駆動信号Ｓ１，Ｓ２として、図５（Ａ）および図５（Ｂ）に示すようなパルス電流を、発光素子１０に供給する。
【００６５】
図５（Ａ）に示す例では、パルス電流のパルス幅ｔｗはＴであり、周期ｔｐは２Ｔである。したがって、デューティー（ｄｕｔｙ）比（ｔｗ／ｔｐ×１００）は、５０％である。図５（Ｂ）に示す例についても同様に、デューティー比は、５０％である。すなわち、制御部４０は、第１利得領域１５０の発光時間と第２利得領域１６０の発光時間とが同じとなるように、発光素子１０を動作させる。一定時間Ｔは、例えば、数μ秒である。第１利得領域１５０に供給されるパルス電流と、第２利得領域１６０に供給されるパルス電流とは、互いに逆相であるともいえる。
【００６６】
図５（Ｃ）は、図５（Ａ）および図５（Ｂ）に示すパルス電流によって発光素子１０をパルス駆動させたときの、発光素子１０の（利得領域対１７０の）光出力を説明するための図である。
【００６７】
上述のように、制御部４０は、利得領域１５０，１６０にデューティー比５０％のパルス電流を供給している。そのため、図５（Ｃ）に示すように、第１利得領域１５０に動作電流Ｉｏｐが供給されたときの光出力Ｌ１と、第２利得領域１６０に動作電流Ｉｏｐが供給されたときの光出力Ｌ２とは、同じ（図示の例では、Ｐｏ＠ｄｕｔｙ＝５０％）となる。
【００６８】
ここで、図６は、１つの利得領域を、デューティー比５０％でパルス駆動させたときの電流および光出力の関係と、連続駆動（ＣＷ駆動）させたときの電流および光出力の関係と、を示す図である。
【００６９】
図６に示すように、利得領域に動作電流Ｉｏｐが供給された場合、デューティー比５０％でパルス駆動させたときの光出力（Ｐｏ＠ｄｕｔｙ＝５０％）は、連続駆動させたときよりの光出力（Ｐｏ＠ＣＷ）よりも大きい。すなわち、パルス駆動させたときの方が、スロープ効率が向上している。これは、パルス駆動させたときの方が、ＣＷ駆動させたときよりも自己発熱による効率低下が小さいためである。
【００７０】
照明装置１００では、第１利得領域１５０と第２利得領域１６０とに交互に動作電流Ｉｏｐを供給しているので、１つの利得領域にＣＷ駆動で動作電流Ｉｏｐを供給する場合に比べて、高出力化を図ることができる。
【００７１】
なお、上記では、照明装置１００の発光素子１０の一例として、ＩｎＧａＡｌＰ系の場合について説明したが、発光素子１０は、発光利得領域が形成可能なあらゆる材料系を用いることができる。半導体材料であれば、例えば、ＡｌＧａＮ系、ＧａＮ系、ＩｎＧａＮ系、ＧａＡｓ系、ＡｌＧａＡｓ系、ＩｎＧａＡｓ系、ＩｎＧａＡｓＰ系、ＺｎＣｄＳｅ系などの半導体材料を用いることができる。
【００７２】
上記では、発光素子１０の一例として、絶縁層１１６が形成されている領域と、絶縁層１１６が形成されていない領域、すなわち柱状部１１１を形成している領域との間に屈折率差を設けて、光を閉じ込める屈折率導波型について説明した。これに対し、発光素子１０は、柱状部を形成することによって屈折率差を設けないこととし、利得領域がそのまま導波領域となる、利得導波型であってもよい。しかしながら、利得領域間の光結合および結合光の導波損失を考慮すると、屈折率導波型であることが望ましい。
【００７３】
上記では、発光素子１０の一例として、利得領域１５０，１６０が直線状に延出している形態について説明したが、本発明に係る発光素子は、１つの側面に２つの出射部を有していれば、特に限定されない。例えば、本発明に係る発光素子は、１つの側面に２つの出射部を、曲率を有する利得領域によって接続するような形態でもよい。
【００７４】
第１の実施形態に係る照明装置１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００７５】
照明装置１００によれば、制御部４０は、第１利得領域１５０と第２利得領域１６０とに交互に光を発生させるように、発光素子１０を動作させ、第１利得領域１５０の第１光出射部１８１から出射する光、および第２利得領域１６０の第２光出射部１９１から出射する光は、１つの第１レンズ２２に入射する。そのため、照明装置１００は、１つの光出射部に対して１つのレンズを配置し、光出射部１つおきに交互に駆動する形態（出射部１つおきに電極が共通となっていて交互に発光させた場合）に比べて、高出力、かつ、均一性のよい光を出射することができる。すなわち、レンズアレイ２０から、均一性のよい光を出射することができる。例えば、１つの光出射部に対して１つのレンズを配置し、光出射部１つおきに交互に駆動する形態では、隣り合うレンズから同時に光が出射されず、照明装置の発光密度が低下して、照明装置から出射される光の均一性が悪化することがある。
【００７６】
さらに、照明装置１００では、上述のように、第１利得領域１５０と第２利得領域１６０とに交互に動作電流Ｉｏｐを供給しているので、１つの利得領域にＣＷ駆動で動作電流Ｉｏｐを供給する場合に比べて、高出力化を図ることができる。
【００７７】
１．２．  照明装置の製造方法
次に、第１の実施形態に係る照明装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図７および図８は、第１の実施形態に係る照明装置１００の製造工程を模式的に示す断面図であって、図３に対応している。
【００７８】
図７に示すように、基板１０２上に、第１クラッド層１０４、活性層１０６、第２クラッド層１０８、およびコンタクト層１１０を、この順でエピタキシャル成長させる。エピタキシャル成長させる方法としては、例えば、ＭＯＣＶＤ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＭＢＥ（Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  Ｂｅａｍ  Ｅｐｉｔａｘｙ）法などを用いることができる。
【００７９】
図８に示すように、コンタクト層１１０および第２クラッド層１０８をパターニングする。本工程により、柱状部１１１を形成することができる。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて行われる。
【００８０】
図３に示すように、柱状部１１１の側面を覆うように絶縁層１１６を形成する。具体的には、まず、例えば、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、塗布法などにより、第２クラッド層１０８の上方（コンタクト層１１０上を含む）に絶縁部材（図示せず）を成膜する。次に、例えば、エッチング技術などを用いて、コンタクト層１１０の上面を露出させる。以上の工程により、絶縁層１１６を形成することができる。
【００８１】
図４に示すように、反射部１４２を構成する溝部１４４を形成する。溝部１４４は、絶縁層１１６、第２クラッド層１０８、活性層１０６、および第１クラッド層１０４をパターニングすることによって形成される。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて行われる。
【００８２】
図３および図４に示すように、コンタクト層１１０上に第２電極１１４を形成する。次に、基板１０２の下面下に第１電極１１２を形成する。第１電極１１２および第２電極１１４は、例えば、真空蒸着法により形成される。なお、第１電極１１２および第２電極１１４の形成順序は、特に限定されない。
【００８３】
図１に示すように、側面１０６ａを覆うように、反射防止膜１４０を形成する。反射防止膜１４０は、例えば、ＣＶＤ法により形成される。なお、反射防止膜１４０を形成する工程は、電極１１２，１１４を形成する工程の前に行われてもよいし、さらに溝部１４４を形成する工程の前に行われてもよい。
【００８４】
以上の工程により、第１の実施形態に係る照明装置１００を製造することができる。
【００８５】
１．３．  照明装置の変形例
（１）  第１変形例
次に、第１の実施形態の第１変形例に係る照明装置について、図面を参照しながら説明する。図９は、第１の実施形態の第１変形例に係る照明装置の動作を説明するための図である。より具体的には、図９（Ａ）は、第１利得領域１５０に光を発生させるための駆動信号Ｓ１について説明するための図である。図９（Ｂ）は、第２利得領域１６０に光を発生させるための駆動信号Ｓ２について説明するための図である。図９（Ｃ）は、図９（Ａ）および図９（Ｂ）に示すパルス電流によって発光素子１０をパルス駆動させたときの、光出力を説明するための図である。
【００８６】
以下、第１の実施形態の第１変形例に係る照明装置において、第１の実施形態に係る照明装置１００の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【００８７】
照明装置１００では、図５（Ａ）および図５（Ｂ）に示すように、制御部４０は、利得領域１５０，１６０に、デューティー比５０％のパルス電流を供給していた。
【００８８】
これに対し、第１変形例に係る照明装置では、図９（Ａ）および図９（Ｂ）に示すように、第１利得領域１５０にデューティー比２５％のパルス電流を供給し、第２利得領域１６０にデューティー比７５％のパルス電流を供給する。すなわち、制御部４０は、第１利得領域１５０の発光時間と第２利得領域１６０の発光時間とが異なるように、発光素子１０を動作させる。
【００８９】
図９（Ｃ）に示すように、第１利得領域１５０に動作電流Ｉｏｐが供給されたときの光出力（Ｐｏ＠ｄｕｔｙ＝２５％）は、第２利得領域１６０に動作電流Ｉｏｐが供給されたときの光出力（Ｐｏ＠ｄｕｔｙ＝７５％）よりも大きくなる。これは、図１０に示すように、デューティー比２５％のパルス電流を供給したときの方が、デューティー比７５％のパルス電流を供給したときよりも、自己発熱の影響が小さく、スロープ効率が向上するためである。図９（Ｃ）に示すように、発光素子１０の光出力の時間平均（Ｐｏａｖｅ）は、光出力（Ｐｏ＠ｄｕｔｙ＝２５％）よりも小さく、光出力（Ｐｏ＠ｄｕｔｙ＝７５％）よりも大きい。
【００９０】
なお、図１０は、１つの利得領域を、デューティー比２５％でパルス駆動させたときの電流および光出力の関係と、デューティー比７５％でパルス駆動させたときの電流および光出力の関係と、連続駆動（ＣＷ駆動）させたときの電流および光出力の関係と、を示す図である。
【００９１】
ここで、図１１は、第１の実施形態の第１変形例に係る照明装置から出射される光の、波長と光出力との関係を示す図である。
【００９２】
より具体的には、図１１（Ａ）は、図９（Ａ）に示すように、デューティー比２５％のパルス電流が供給されたときに、出射される光の、波長と光出力の関係を示している。図１１（Ｂ）は、図９（Ｂ）に示すように、デューティー比７５％のパルス電流が供給されたときに、出射される光の、波長と光出力の関係を示している。
【００９３】
上述のように、デューティー比７５％の場合は、デューティー比２５％の場合に比べて、自己発熱の影響が大きく、活性層温度が高い。活性層を成す材料の屈折率は温度によって変化するため、それに伴い、活性層温度によって発光波長は変化する。より具体的には活性層温度が高いほど、光出力が最大となる波長は長波長側にシフトする。放熱性が低い。そのため、図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）に示すように、デューティー比７５％において光出力が最大となる波長は、デューティー比２５％において光出力が最大となる波長に比べて、長波長となる。
【００９４】
図１１（Ｃ）に示すように、発光素子１０としては（利得領域対１７０としては）、デューティー比２５％の光成分と、デューティー比７５％の光成分とが、重ね合わさった光をトータルの出射光として、出射することができる。
【００９５】
したがって、第１変形例に係る照明装置によれば、例えば照明装置１００に比べて、トータルの出射光の波長幅をブロードにすることができる。これにより、トータルの出射光のコヒーレンス性を小さくすることができる。その結果、スペックルノイズを低減することができる。
【００９６】
（２）  第２変形例
次に、第１の実施形態の第２変形例に係る照明装置２００について、図面を参照しながら説明する。図１２は、第１の実施形態の第２変形例に係る照明装置２００を模式的に示す平面図である。図１３は、第１の実施形態の第２変形例に係る照明装置２００を模式的に示す図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線断面図である。なお、便宜上、図１２では、実装基板２１０およびレンズアレイ２０の図示を省略している。また、図１３では、発光素子１０を簡略化して図示している。
【００９７】
以下、第１の実施形態の第２変形例に係る照明装置２００において、第１の実施形態に係る照明装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００９８】
照明装置２００では、図１２および図１３に示すように、光出射部１８１，１９１から出射する光が、反射面２６で反射されて第１レンズ２２に入射する点において、照明装置１００と異なる。
【００９９】
照明装置２００は、実装基板２１０に実装されている。照明装置２００は、第２電極１１４の上面（図３参照）が実装基板２１０側を向くように実装されていてもよいし、第１電極１１２の下面（図３参照）が実装基板２１０側を向くように実装されていてもよい。実装基板２１０としては、例えば、シリコン基板を用いる。
【０１００】
なお、図示はしないが、発光素子１０には、配線３０，３３，パッド３１，３４、およびコンタクト部３２，３５が設けられておらず、実装基板２１０に設けられた配線等によって、複数の第２電極１１４が電気的に接続されていてもよい。
【０１０１】
レンズアレイ２０は、実装基板２１０に支持されている。レンズアレイ２０は、透過面（光の入射面）２５と、反射面２６と、を有することができる。
【０１０２】
反射面２６は、例えば、透過面２５と４５°の角度をなして設けられている。図示はしないが、透過面２５には反射防止膜が形成され、反射面２６には反射膜が形成されていてもよい。これにより、透過面２５および反射面２６における光損失を小さくすることができる。
【０１０３】
光出射部１８１，１９１から出射する光は、透過面２５を透過して反射面２６で反射することができる。なお、光出射部１８１，１９１から出射する光の出射方向が側面１０６ａに垂直でない場合は（図１参照）、例えば、透過面２５において屈折させることにより光軸の方向を側面１０６ａに垂直な方向に変え、反射面２６において反射することができる。反射面２６で反射されることにより、光出射部１８１，１９１から出射する光の進行方向は、第１レンズ２２側に向けられる。
【０１０４】
照明装置２００によれば、照明装置１００と同様に、均一性のよい光を出射することができる。
【０１０５】
２．  第２の実施形態
２．１．  照明装置
次に、第２の実施形態に係る照明装置３００について、図面を参照しながら説明する。図１４は、第２の実施形態に係る照明装置３００を模式的に示す平面図であって、図１に対応している。図１５は、第２の実施形態に係る照明装置３００を模式的に示す平面図であって、図１４の拡大図である。図１６は、第２の実施形態に係る照明装置３００を模式的に示す図１６のＸＩＶ−ＸＩＶ線断面図である。なお、便宜上、図１４〜図１６では、配線３０，３３、パッド３１，３４、およびコンタクト部３２，３５の図示を省略している。また、図１４では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。
【０１０６】
以下、第２の実施形態に係る照明装置３００において、第１の実施形態に係る照明装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１０７】
照明装置３００は、照明装置１００と利得領域１５０，１６０の平面形状が異なる。照明装置３００では、図１４および図１５に示すように、利得領域１５０，１６０は、平面視において、コの字型の形状を有する。すなわち、反射部において２回折り曲げられた形状である。以下、詳細に説明する。
【０１０８】
積層体１２０には、図１４に示すように、開口部１３０，１３２，１３４，１３６が形成されている。開口部１３０，１３２，１３４，１３６は、例えば、絶縁層１１６、第２クラッド層１０８、および活性層１０６を貫通して形成されている。開口部１３０，１３２，１３４，１３６の内部は、空洞であってもよいし、内部に反射膜が充填されていてもよい。開口部１３０，１３２，１３４，１３６の平面形状は、特に限定されないが、図示の例では、三角形である。
【０１０９】
活性層１０６は、図１５に示すように、第１側面１０６ａ、第２側面１０６ｂ、第３側面１０６ｃ、第４側面１０６ｄ、および第５側面１０６ｅを有している。図１５に示す例では、第１側面１０６ａは、活性層１０６の＋Ｘ軸方向側の面（＋Ｘ軸方向を向く面）である。第２側面１０６ｂは、開口部１３０の一部を規定している。第３側面１０６ｃは、開口部１３２の一部を規定している。第４側面１０６ｄは、開口部１３４の一部を規定している。第５側面１０６ｅは、開口部１３６の一部を規定している。側面１０６ｂ，１０６ｃ，１０６ｄ，１０６ｅは、第１側面１０６ａに対して傾斜している。第１側面１０６ａは、劈開によって形成された劈開面であってもよい。側面１０６ｂ，１０６ｃ，１０６ｄ，１０６ｅは、エッチングによって形成されたエッチング面であってもよい。
【０１１０】
活性層１０６は、第１利得領域１５０と、第２利得領域１６０と、を有している。図１４に示す例では、利得領域１５０，１６０の各々は、複数設けられ、複数の利得領域１５０，１６０は、Ｙ軸に沿って、等間隔で交互に設けられている。より具体的には、利得領域１５０，１６０は、第１利得領域１５０ａ、第２利得領域１６０ａ、第１利得領域１５０ｂ、および第２利得領域１６０ｂの順で、＋Ｙ軸方向に配置されている。
【０１１１】
第１利得領域１５０は、図１５に示すように、第１利得部分１５２と、第２利得部分１５４と、第３利得部分１５６と、を有している。
【０１１２】
第１利得部分１５２は、平面視において、第１側面１０６ａから第２側面１０６ｂまで延出している。第１利得部分１５２は、平面視において、所定の幅を有し、第１利得部分１５２の延出方向に沿った帯状かつ直線状の長手形状を備えている。第１利得部分１５２は、第１側面１０６ａとの接続部分に設けられた端面１８１と、第２側面１０６ｂとの接続部分に設けられた端面１８２と、を有している。
【０１１３】
なお、第１利得部分１５２の延出方向とは、平面視において、端面１８１の中心と端面１８２の中心とを通る直線の延出方向と言うことができる。また、第１利得部分１５２（と第１利得部分１５２を除いた部分と）の境界線の延出方向であってもよい。
【０１１４】
同様に、他の利得部分においても、延出方向とは、平面視において、２つの端面の中心を通る直線の延出方向と言うことができる。また、利得部分（と利得部分を除いた部分と）の境界線の方向であってもよい。
【０１１５】
図１５に示す例では、第１利得部分１５２は、平面視において、第１側面１０６ａと垂直に接続している。すなわち、第１利得部分１５２の延出方向は、第１側面１０６ａの垂線Ｐ１の方向である。
【０１１６】
第１利得部分１５２は、平面視において、第２側面１０６ｂの垂線Ｐ２に対して角度αで傾いて第２側面１０６ｂと接続している。言い換えれば、第１利得部分１５２の延出方向は、垂線Ｐ２に対してαの角度を有しているといえる。
【０１１７】
第２利得部分１５４は、平面視において、第２側面１０６ｂから第３側面１０６ｃまで延出している。第２利得部分１５４は、平面視において、所定の幅を有し、第２利得部分１５４の延出方向に沿った帯状かつ直線状の長手形状を備えている。第２利得部分１５４は、第２側面１０６ｂとの接続部分に設けられた端面１８３と、第３側面１０６ｃとの接続部分に設けられた端面１８４と、を有している。第２利得部分１５４の延出方向は、平面視において、例えば、第１側面１０６ａと平行である。
【０１１８】
なお、「第２利得部分１５４の延出方向は、第１側面１０６ａと平行」とは、製造ばらつき等を考慮し、平面視において、第１側面１０６ａに対する第２利得部分１５４の傾き角が±１°以内である、ということを意味している。
【０１１９】
第２利得部分１５４の端面１８３は、第２側面１０６ｂにおいて、第１利得部分１５２の端面１８２と重なっている。図示の例では、端面１８２と端面１８３とは、重なり面１８０ａにおいて、完全に重なっている。
【０１２０】
第２利得部分１５４は、平面視において、第２側面１０６ｂの垂線Ｐ２に対して角度αで傾いて第２側面１０６ｂと接続している。言い換えれば、第２利得部分１５４の延出方向は、垂線Ｐ２に対してαの角度を有しているといえる。すなわち、第１利得部分１５２の垂線Ｐ２に対する角度と、第２利得部分１５４の垂線Ｐ２に対する角度とは、製造ばらつきの範囲で同じである。角度αは、例えば、鋭角であって、臨界角以上である。これにより、第２側面１０６ｂは、第１利得領域１５０に発生する光を、全反射させることができる。より具体的には、角度αの値は、４５°である。
【０１２１】
なお、「角度θ１と角度θ２とは、製造ばらつきの範囲で同じ」とは、エッチング等の製造ばらつきを考慮し、両角度の差が例えば±２°程度以内である、ということを意味している。
【０１２２】
第２利得部分１５４は、平面視において、第３側面１０６ｃの垂線Ｐ３に対して角度β（＝９０°−α）で傾いて第３側面１０６ｃと接続している。言い換えれば、第２利得部分１５４の延出方向は、垂線Ｐ３に対してβの角度を有しているといえる。
【０１２３】
第２利得部分１５４の延出方向の長さは、第１利得部分１５２の延出方向の長さ、および第３利得部分１５６の延出方向の長さよりも大きい。なお、「第２利得部分１５４の延出方向の長さ」とは、端面１８３の中心と、端面１８４の中心と、の間の距離ともいえる。他の利得部分についても同様に、延出方向の長さとは、２つの端面の中心間の距離ともいえる。
【０１２４】
第３利得部分１５６は、平面視において、第３側面１０６ｃから第１側面１０６ａまで延出している。第３利得部分１５６は、平面視において、例えば、所定の幅を有し、第３利得部分１５６の延出方向に沿った帯状かつ直線状の長手形状を備えている。第３利得部分１５６は、第３側面１０６ｃとの接続部分に設けられた端面１８５と、第１側面１０６ａとの接続部分に設けられた端面１８６と、を有している。
【０１２５】
第３利得部分１５６の端面１８５は、第３側面１０６ｃにおいて、第２利得部分１５４の端面１８４と重なっている。図示の例では、端面１８４と端面１８５とは、重なり面１８０ｂにおいて、完全に重なっている。
【０１２６】
第３利得部分１５６は、平面視において、第３側面１０６ｃの垂線Ｐ３に対して角度βで傾いて第３側面１０６ｃと接続している。言い換えれば、第３利得部分１５６の延出方向は、垂線Ｐ３に対してβの角度を有しているといえる。すなわち、第２利得部分１５４の垂線Ｐ３に対する角度と、第３利得部分１５６の垂線Ｐ３に対する角度とは、製造ばらつきの範囲で同じである。これにより、第３側面１０６ｃは、第１利得領域１５０に発生する光を、全反射させることができる。
【０１２７】
図１５に示す例では、第３利得部分１５６は、平面視において、第１側面１０６ａと垂直に接続している。すなわち、第３利得部分１５６の延出方向は、第１側面１０６ａの垂線Ｐ１の方向である。したがって、第１利得部分１５２と第３利得部分１５６とは、平面視において、互いに平行である。より具体的には、第１利得部分１５２の延出方向と、第３利得部分１５６の延出方向とは、互いに平行である。これにより、端面１８１から出射する光と、端面１８６から出射する光とは、同じ方向に出射されることができる。
【０１２８】
以上のとおり、角度αと角度βの双方を臨界角以上とすることにより、第１利得領域１５０に発生する光において、第１側面１０６ａの反射率を、第２側面１０６ｂの反射率および第３側面１０６ｃの反射率より低くすることができる。すなわち、第１側面１０６ａに設けられた端面１８１は、第１利得領域１５０に発生する光を出射する第１光出射部となることができる。第１側面１０６ａに設けられた端面１８６は、第１利得領域１５０に発生する光を出射する第３光出射部となることができる。第２側面１０６ｂに設けられた端面１８２，１８３の重なり面１８０ａは、第１利得領域１５０に発生する光を反射させる第１反射部となることができる。第３側面１０６ｃに設けられた端面１８４，１８５の重なり面１８０ｂは、第１利得領域１５０に発生する光を反射させる第２反射部となることができる。
【０１２９】
すなわち、第１利得部分１５２は、第１光出射部１８１から第１反射部１８０ａまで延出している。第２利得部分１５４は、第１反射部１８０ａから第２反射部１８０ｂまで延出している。第３利得部分１５６は、第２反射部１８０ｂから第３光出射部１８６まで延出している。したがって、第１利得領域１５０は、平面視において、コの字型（角部を有するＵ字型）の形状を有していると言うことができる 。第１利得領域１５０は、第１光出射部１８１と第３光出射部１８６とを接続している。
【０１３０】
光出射部１８１，１８６は、反射防止膜１４０によって覆われている。これにより、第１利得領域１５０に発生する光を、端面１８１と端面１８６との間で直接的に多重反射させることを低減できる。この結果、直接的な共振器を構成させないことができるため、第１利得領域１５０に発生する光のレーザー発振を抑制することができる。
【０１３１】
なお、図示はしないが、反射部１８０ａ，１８０ｂは、反射膜で覆われていてもよい。これにより、第１利得領域１５０に発生する光が、反射部１８０ａ，１８０ｂにおいて、全反射しないような入射角度、屈折率等の条件下においても、第１利得領域１５０に発生する光の波長帯における第１側面１０６ａの反射率を、第２側面１０６ｂの反射率および第３側面１０６ｃの反射率より低くすることができる。また、側面１０６ｂ，１０６ｃをエッチングによって形成されたＤＢＲ（Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ  Ｂｒａｇｇ  Ｒｅｆｌｅｃｔｏｒ）として、高い反射率を得てもよい。
【０１３２】
また、図示はしないが、第１利得部分１５２および第３利得部分１５６は、所定の角度で傾いて第１側面１０６ａに接続されていてもよい。これにより、より確実に、端面１８１，１８６間で、第１利得領域１５０に発生する光を、直接的に多重反射させないことができる。
【０１３３】
例えば、図１５に示すように、第１利得部分１５２に生じ、第２側面１０６ｂ側に向かう光２は、第１利得部分１５２内で増幅された後、第１反射部１８０ａにおいて反射して、第３側面１０６ｃに向かって第２利得部分１５４内を進行する。そして、さらに第２反射部１８０ｂにおいて反射して、第３利得部分１５６内を進行して端面１８６から出射される。このとき、利得部分１５４，１５６内においても光強度が増幅される。
【０１３４】
同様に、第３利得部分１５６に生じ、第３側面１０６ｃ側に向かう光は、第３利得部分１５６内で増幅された後、第２反射部１８０ｂにおいて反射して、第２側面１０６ｂに向かって第２利得部分１５４内を進行する。そして、さらに第１反射部１８０ａにおいて反射して、第１利得部分１５２内を進行して端面１８１から出射される。このとき、利得部分１５２，１５４内においても光強度が増幅される。
【０１３５】
なお、第１利得部分１５２に発生する光には、直接、端面１８１から出射されるものもある。同様に、第３利得部分１５６に発生する光には、直接、端面１８６から出射されるものもある。これらの光も同様に各利得部分１５２，１５６内において光強度が増幅される。
【０１３６】
第２利得領域１６０は、図１５に示すように、第４利得部分１６２と、第５利得部分１６４と、第６利得部分１６６と、を有している。
【０１３７】
第４利得部分１６２は、平面視において、第１側面１０６ａに設けられた端面（第２光出射部）１９１から、第４側面１０６ｄに設けられた端面１９２（第３反射部１９０ａ）まで延出している。第４利得部分１６２は、第４利得部分１６２の延出方向に沿った帯状かつ直線状の長手形状を備えている。
【０１３８】
第５利得部分１６４は、平面視において、第４側面１０６ｄに設けられた端面１９３（第３反射部１９０ａ）から、第５側面１０６ｅに設けられた端面１９４（第４反射部１９０ｂ）まで延出している。第５利得部分１６４は、第５利得部分１６４の延出方向に沿った帯状かつ直線状の長手形状を備えている。
【０１３９】
第５利得部分１６４の端面１９３は、第４側面１０６ｄにおいて、第４利得部分１６２の端面１９２と重なっている。図示の例では、端面１９２と端面１９３とは、重なり面１９０ａにおいて、完全に重なっている。
【０１４０】
第６利得部分１６６は、平面視において、第５側面１０６ｅに設けられた端面１９５（第４反射部１９０ｂ）から、第１側面１０６ａに設けられた端面（第４光出射部）１９６まで延出している。第６利得部分１６６は、第６利得部分１６６の延出方向に沿った帯状かつ直線状の長手形状を備えている。
【０１４１】
第６利得部分１６６の端面１９５は、第５側面１０６ｅにおいて、第５利得部分１６４の端面１９４と重なっている。図示の例では、端面１９４と端面１９５とは、重なり面１９０ｂにおいて、完全に重なっている。
【０１４２】
第２利得領域１６０は、第２光出射部１９１と第４光出射部１９６とを接続している。第２利得領域１６０の形状は、基本的に、第１利得領域１５０の形状と同じであり、平面視において、コの字型（角部を有するＵ字型）の形状を有していると言うことができる 。したがって、その詳細な説明を省略する。
【０１４３】
図１４に示す例では、隣り合う利得領域１５０ａ，１６０ａにおいて、光出射部１８１，１９１の間隔は、光出射部１８１，１８６の間隔、および光出射部１９１，１９６の間隔より小さい。隣り合う利得領域１６０ａ，１５０ｂにおいて、光出射部１８６，１９６の間隔は、光出射部１８１，１８６の間隔、および光出射部１９１，１９６の間隔より小さい。隣り合う利得領域１５０ｂ，１６０ｂにおいて、光出射部１８１，１９１の間隔は、光出射部１８１，１８６の間隔、および光出射部１９１，１９６の間隔より小さい。
【０１４４】
照明装置３００は、第１光出射部１８１から出射する光、第２光出射部１９１から出射する光、第３光出射部１８６から出射する光、および第４光出射部１９６から出射する光は、同じ方向に出射することができる。
【０１４５】
レンズアレイ２０は、第１レンズ２２と、第２レンズ２４と、を有している。図１４に示す例では、レンズ２２，２４の各々は、複数設けられ、複数のレンズ２２，２４は、Ｙ軸に沿って交互に設けられている。第１レンズ２２と第２レンズ２４とは、同じ形状を有している。より具体的には、レンズ２２，２４は、第２レンズ２４ａ、第１レンズ２２、第２レンズ２４ｂ、第１レンズ２２、および第２レンズ２４ｃの順で、＋Ｙ軸方向に配置されている。
【０１４６】
第１レンズ２２には、第１利得領域１５０の第１光出射部１８１から出射する光、および第２利得領域１６０の第２光出射部１９１から出射する光が入射する。第２レンズ２４には、第１利得領域１５０の第３光出射部１８６から出射する光、および第２利得領域１６０の第４光出射部１９６から出射する光の少なくとも一方が入射される。図示の例では、第２レンズ２４ａには、第１利得領域１５０ａの第３光出射部１８６から出射する光が入射する。第２レンズ２４ｂには、第２利得領域１６０ａの第４光出射部１９６から出射する光、および第１利得領域１５０ｂの第３光出射部１８６から出射する光が入射する。第２レンズ２４ｃには、第２利得領域１６０ｂの第４光出射部１９６から出射する光が入射する。
【０１４７】
制御部４０は、第１利得領域１５０と第２利得領域１６０とに交互に光を発生させるように、発光素子１０を動作させることができる。これにより、発光素子１０は、光出射部１８１，１８６と、光出射部１９１，１９６と、から交互に光を出射させることができる。そして、光出射部１８１，１８６から出射する光と、光出射部１９１，１９６から出射する光とは、交互にレンズアレイ２０に（レンズ２２，２４に）入射することができる。なお、図１４に示す例では、光出射部１８１，１８６から光が出射された場合を図示している。
【０１４８】
第２の実施形態に係る照明装置３００は、例えば、以下の特徴を有する。
【０１４９】
照明装置３００によれば、照明装置１００と同様に、均一性のよい光を出射することができる
照明装置３００によれば、第１利得領域１５０は、第１光出射部１８１から第１反射部１８０ａまで延出する第１利得部分１５２と、第１反射部１８０ａから第２反射部１８０ｂまで延出する第２利得部分１５４と、第２反射部１８０ｂから第３光出射部１８６まで延出する第３利得部分１５６と、を有している。第２利得領域１６０は、第２光出射部１９１から第３反射部１９０ａまで延出する第４利得部分１６２と、第３反射部１９０ａから第４反射部１９０ｂまで延出する第５利得部分１６４と、第４反射部１９０ｂから第４光出射部１９６まで延出する第６利得部分１６６と、を有している。そのため、照明装置３００では、第２利得部分１５４の長さを調整することにより、光出射部１９１，１９６の間隔を調整することができる。また、第５利得部分１６４の長さを調整することにより、光出射部１８１，１８６の間隔を調整することができる。これにより、照明装置３００では、例えば、レンズ２２，２４の大きさに合わせて、容易に、光出射部１８１，１８６の間隔、および光出射部１９１，１９６の間隔を調整することができる。
【０１５０】
さらに照明装置３００によれば、照明装置１００に比べて、Ｘ軸方向の大きさを小さくしつつ、利得領域１５０，１６０の全長を大きくすることができる。そのため、高出力化を図ることができる。
【０１５１】
２．２．  照明装置の製造方法
次に、第２の実施形態に係る照明装置の製造方法について説明する。第２の実施形態に係る照明装置３００の製造方法は、第１の実施形態に係る照明装置１００の製造方法と、基本的に同じである。したがって、その説明を省略する。
【０１５２】
２．３．  照明装置の変形例
（１）  第１変形例
次に、第２の実施形態の第１変形例に係る照明装置４００について、図面を参照しながら説明する。図１７は、第２の実施形態の第１変形例に係る照明装置４００を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図１７では、配線３０，３３、パッド３１，３４、およびコンタクト部３２，３５の図示を省略している。
【０１５３】
以下、第２の実施形態の第１変形例に係る照明装置４００において、第２の実施形態に係る照明装置３００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１５４】
照明装置３００では、図１４に示すように、レンズアレイ２０は、光出射部１８６から出射する光、および光出射部１９６から出射する光の一方しか入射しない第２レンズ２４ａ，２４ｃを有していた。
【０１５５】
これに対し、照明装置４００では、図１７に示すように、レンズアレイ２０を構成する第２レンズ２４の全ては、光出射部１８６から出射する光、および光出射部１９６から出射する光の両方が入射する。図示の例では、第１利得領域１５０ａの第３光出射部１８６から出射する光、および第２利得領域１６０ｂの第４光出射部１９６から出射する光は、レンズアレイ２０には入射しない。
【０１５６】
照明装置４００によれば、レンズアレイ２０を構成するレンズ２２，２４には、異なる光出射部から出射する光が交互に入射する。そのため、照明装置４００では、例えば照明装置３００に比べて、レンズアレイ２０から、より均一性のよい光を出射することができる。
【０１５７】
（２）  第２変形例
次に、第２の実施形態の第２変形例に係る照明装置５００について、図面を参照しながら説明する。図１８は、第２の実施形態の第２変形例に係る照明装置５００を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図１８では、配線３０，３３、パッド３１，３４、およびコンタクト部３２，３５の図示を省略している。
【０１５８】
以下、第２の実施形態の第２変形例に係る照明装置５００において、第２の実施形態に係る照明装置３００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１５９】
照明装置３００では、図１４に示すように、第１利得領域１５０ａの第３光出射部１８６から出射する光、および第２利得領域１６０ｂの第４光出射部１９６から出射する光は、第２レンズ２４に入射する。
【０１６０】
これに対し、照明装置５００では、図１８に示すように、第１利得領域１５０ａの第３光出射部１８６から出射する光は、光検出部５１０に入射し、第２利得領域１６０ｂの第４光出射部１９６から出射する光は、光検出部５１２に入射する。光検出部５１０，５１２は、例えば、フォトダイオードである。
【０１６１】
制御部４０は、光検出部５１０，５１２で検出された光に基づいて、発光素子１０を動作させる。より具体的には、光検出部５１０，５１２は、入射された光に基づいて、信号（より具体的には電流）Ｓ３，Ｓ４を出力する。制御部４０は、信号Ｓ３，Ｓ４に基づいて、駆動信号Ｓ１，Ｓ２を供給する。これにより、照明装置５００は、ＡＰＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｐｏｗｅｒ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）駆動が可能となる。したがって、照明装置５００は、例えば照明装置３００に比べて、光出力をより安定に保つことができる。光出射部１８１，１８６は、同じ第１利得領域１５０の端面であるため、光出射部１８１，１８６から出射する光の出力は、基本的に同じである。同様に、光出射部１９１，１９６から出射する光の出力は、基本的に同じである。そのため、ＡＰＣ駆動により、より確実に、照明装置５００の光出力を安定に保つことができる。
【０１６２】
なお、図１９に示すように、光検出部５１０，５１２は、レンズアレイ２０の後段に設けられていてもよい。すなわち、第１利得領域１５０ａの第３光出射部１８６から出射する光、および第２利得領域１６０ｂの第４光出射部１９６から出射する光は、レンズアレイ２０を透過した後に、光検出部５１０，５１２に入射してもよい。
【０１６３】
（３）  第３変形例
次に、第２の実施形態の第３変形例に係る照明装置６００について、図面を参照しながら説明する。図２０は、第２の実施形態の第３変形例に係る照明装置６００を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図２０では、配線３０，３３、パッド３１，３４、およびコンタクト部３２，３５の図示を省略している。
【０１６４】
以下、第２の実施形態の第３変形例に係る照明装置６００において、第２の実施形態に係る照明装置３００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１６５】
照明装置３００では、図１４に示すように、第２レンズ２４ａには、第３光出射部１８６から出射する光のみが入射し、第２レンズ２４ｃには、第４光出射部１９６から出射する光のみが入射する。
【０１６６】
これに対し、照明装置６００では、図２０に示すように、第２レンズ２４ａには、光出射部１８６，６８０から出射する光が入射し、第２レンズ２４ｃには、光出射部１９６，６８２から出射する光が入射する。
【０１６７】
積層体１２０には、開口部６３０，６３２，６４０，６４２が形成されている。開口部６３０，６３２，６４０，６４２は、例えば、絶縁層１１６、第２クラッド層１０８、および活性層１０６を貫通して形成されている。開口部６３０，６３２，６４０，６４２の内部は、空洞であってもよいし、内部に反射膜が充填されていてもよい。
【０１６８】
活性層１０６の一部は、第３利得領域６１０および第４利得領域６２０を構成している。利得領域６１０，６２０は、電流が注入されることによって光を発生させることができ、この光は、利得領域６１０，６２０内を、利得を受けつつ導波することができる。
【０１６９】
図示の例では、第３利得領域６１０のうち側面１０６ａに接続される部分の延在方向は、側面１０６ａと直交している。第３利得領域６１０は、側面１０６ａから、開口部６３０の一部を規定する活性層１０６の側面６０６ａまで延出し、さらに、側面６０６ａにおいて屈曲して、開口部６３２の一部を規定する活性層１０６の側面６０６ｂまで延出している。第３利得領域６１０の側面１０６ａに設けられた端面６８０は、第５光出射部となる。第５光出射部６８０から出射する光は、第２レンズ２４ａに入射する。
【０１７０】
第４利得領域６２０のうち側面１０６ａに接続される部分の延在方向は、側面１０６ａと直交している。第４利得領域６２０は、側面１０６ａから、開口部６４０の一部を規定する活性層１０６の側面６０６ｃまで延出し、さらに、側面６０６ｃにおいて屈曲して、開口部６４２の一部を規定する活性層１０６の側面６０６ｄまで延出している。第４利得領域６２０の側面１０６ａに設けられた端面６８２は、第６光出射部となる。第６光出射部６８２から出射する光は、第２レンズ２４ｃに入射する。
【０１７１】
光出射部６８０，６８２から出射する光は、光出射部１８１，１８６，１９１，１９６から出射する光と、同じ方向に出射することができる。例えば、第３利得領域６１０の長さ（延出方向の長さ）および第４利得領域６２０の長さは、第１利得領域１５０の長さおよび第２利得領域１６０の長さの半分である。これにより、光出射部１８１，１８６，１９１，１９６，６８０，６８２から出射する光の強度を同じにすることができる。
【０１７２】
第３利得領域６１０の上方に形成された第２電極１１４は、図示せぬ配線によって、第２利得領域１６０の上方に形成された第２電極１１４と、電気的に接続されている。第４利得領域６２０の上方に形成された第２電極１１４は、図示せぬ配線によって、第１利得領域１５０の上方に形成された第２電極１１４と、電気的に接続されている。
【０１７３】
制御部４０は、利得領域１５０，６２０と、利得領域１６０，６１０と、に交互に光を発生させるように、発光素子１０を動作させる。これにより、発光素子１０は、光出射部１８１，１８６，６８２と、光出射部１９１，１９６，６８０と、から交互に光を出射することができる。そして、光出射部１８１，１８６，６８２から出射する光と、光出射部１９１，１９６，６８０から出射する光とは、交互にレンズアレイ２０に（レンズ２２，２４に）入射することができる。なお、図２０に示す例では、光出射部１８１，１８６，６８２から光が出射された場合を図示している。
【０１７４】
照明装置６００によれば、レンズアレイ２０を構成するレンズ２２，２４には、異なる光出射部から出射する光が交互に入射する。そのため、照明装置６００では、例えば照明装置３００に比べて、レンズアレイ２０から、より均一性のよい光を出射することができる。
【０１７５】
３．  第３の実施形態
次に、第３の実施形態に係るプロジェクターについて、図面を参照しながら説明する。図２１は、第３の実施形態に係るプロジェクター８００を模式的に示す図である。なお、便宜上、図２１では、プロジェクター８００を構成する筐体を省略して図示している。
【０１７６】
プロジェクター８００は、光源モジュールとして、本発明に係る照明装置を含む。以下では、図２１に示すように、照明装置３００（照明装置３００Ｒ、照明装置３００Ｇ、照明装置３００Ｂ）を含むプロジェクター８００について説明する。照明装置３００Ｒ、照明装置３００Ｇ、照明装置３００Ｂは、それぞれ、赤色光、緑色光、青色光を出射することができる。なお、便宜上、図２１では、照明装置３００Ｒ、照明装置３００Ｇ、照明装置３００Ｂを、簡略化して図示している。
【０１７７】
図２１に示すように、プロジェクター８００は、さらに、透過型の液晶ライトバルブ（空間光変調装置）８０４Ｒ，８０４Ｇ，８０４Ｂと、投射レンズ（投射装置）８０８と、を含む。
【０１７８】
各照明装置３００Ｒ，３００Ｇ，３００Ｂから出射された光は、各液晶ライトバルブ８０４Ｒ，８０４Ｇ，８０４Ｂに入射する。各液晶ライトバルブ８０４Ｒ，８０４Ｇ，８０４Ｂは、入射した光をそれぞれ画像情報に応じて変調する。そして、投射レンズ８０８は、液晶ライトバルブ８０４Ｒ，８０４Ｇ，８０４Ｂによって形成された像を拡大してスクリーン（表示面）８１０に投射する。
【０１７９】
また、プロジェクター８００は、液晶ライトバルブ８０４Ｒ，８０４Ｇ，８０４Ｂから出射された光を合成して投射レンズ８０８に導くクロスダイクロイックプリズム（色光合成手段）８０６を、含むことができる。
【０１８０】
各液晶ライトバルブ８０４Ｒ，８０４Ｇ，８０４Ｂによって変調された３つの色光は、クロスダイクロイックプリズム８０６に入射する。このプリズムは、４つの直角プリズムを貼り合わせて形成され、その内面に赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に配置されている。これらの誘電体多層膜によって３つの色光が合成され、カラー画像を表す光が形成される。そして、合成された光は、投射光学系である投射レンズ８０８によりスクリーン８１０上に投射され、拡大された画像が表示される。
【０１８１】
プロジェクター８００によれば、均一性のよい光を出射することができる照明装置３００を含む。そのため、プロジェクター８００は、輝度むらを低減することができる。
【０１８２】
なお、上述の例では、空間光変調装置として透過型の液晶ライトバルブを用いたが、液晶以外のライトバルブを用いてもよいし、反射型のライトバルブを用いてもよい。このようなライトバルブとしては、例えば、反射型の液晶ライトバルブや、デジタルマイクロミラーデバイス（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ  Ｄｅｖｉｃｅ）が挙げられる。また、投射光学系の構成は、使用されるライトバルブの種類によって適宜変更される。
【０１８３】
また、光源からの光をスクリーン上で走査させることにより、表示面に所望の大きさの画像を表示させる走査型の画像表示装置（プロジェクター）の照明装置にも、３００Ｒ，３００Ｇ，３００Ｂを適用することが可能である。
【０１８４】
上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。
【０１８５】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１８６】
１０…発光素子、２０…レンズアレイ、２１…入射面、２２…第１レンズ、２３…出射面、２４…第２レンズ、２５…透過面、２６…反射面、３０…配線、３１…パッド、３２…コンタクト部、３３…配線、３４…パッド、３５…コンタクト部、４０…制御部、１００…照明装置、１０２…基板、１０４…第１クラッド層、１０６…活性層、１０６ａ…第１側面、１０６ｂ…第２側面、１０６ｃ…第３側面、１０６ｄ…第４側面、１０６ｅ…第５側面、１０７ａ…側面、１０８…第２クラッド層、１１０…コンタクト層、１１１…柱状部、１１２…第１電極、１１４…第２電極、１１６…絶縁層、１２０…積層体、１３０，１３２，１３４，１３６…開口部、１４０…反射防止膜、１４２…反射部、１４４…溝部、１５０…第１利得領域、１５２…第１利得部分、１５４…第２利得部分、１５６…第３利得部分、１６０…第２利得領域、１６２…第４利得部分、１６４…第５利得部分、１６６…第６利得部分、１７０…利得領域対、１８０ａ…第１反射部、１８０ｂ…第２反射部、１８１…第１光出射部、１８２，１８３，１８４，１８５…端面、１８６…第３光出射部、１８７…端面、１９０ａ…第３反射部、１９０ｂ…第４反射部、１９１…第２光出射部、１９２，１９３，１９４，１９５…端面、１９６…第４光出射部、１９７…端面、２００…照明装置、２１０…実装基板、３００，４００，５００…照明装置、５１０，５１２…光検出部、６００…照明装置、６０６ａ，６０６ｂ，６０６ｃ，６０６ｄ…側面、６１０…第３利得領域、６２０…第４利得領域、６３０，６３２，６４０，６４２…開口部、６８０…第５光出射部、６８２…第６光出射部、８００…プロジェクター、８０４…液晶ライトバルブ、８０６…クロスダイクロイックプリズム、８０８…投射レンズ、８１０…スクリーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図５】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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