(57)【要約】【課題】金型ロールによる金属箔基材表面への突起の形成性を低コストかつ容易に向上させることが可能な金属箔材の製造方法を提供する。【解決手段】表面に微細な凹部１ａを多数形成した金型ロール１を回転させながら金属箔基材２の表面に押し当て、金属箔基材２の表面に凸形状の突起３を形成する塑性加工工程を含む金属箔材の製造方法において、金属箔基材２として、圧延直角方向の算術平均粗さＲａが０．３０μｍ以上であり、圧延平行方向の算術平均粗さＲａが０．３５μｍ以上のものを用い、前記塑性加工工程で用いる潤滑油の量を３００ｍｇ／ｍ2以下とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に微細な凹部を多数形成した金型ロールを回転させながら金属箔基材の表面に押し当て、前記金属箔基材の表面に凸形状の突起を形成する塑性加工工程を含む金属箔材の製造方法において、
前記金属箔基材として、圧延直角方向の算術平均粗さＲａが０．３０μｍ以上であり、圧延平行方向の算術平均粗さＲａが０．３５μｍ以上のものを用い、前記塑性加工工程で用いる潤滑油の量を３００ｍｇ／ｍ2以下とする
ことを特徴とする金属箔材の製造方法。
【請求項２】
前記金属箔基材として、圧延直角方向の算術平均粗さＲａが０．３０μｍ以上０．５０μｍ以下であり、圧延平行方向の算術平均粗さＲａが０．３５μｍ以上０．５５μｍ以下のものを用いる
請求項１記載の金属箔材の製造方法。
【請求項３】
前記塑性加工工程に先だって、前記金属箔基材を圧延ロールにより圧延する仕上前圧延工程を備え、
当該仕上前圧延工程にて、前記金属箔基材の圧延直角方向の算術平均粗さＲａ、および圧延平行方向の算術平均粗さＲａを制御する
請求項１または２記載の金属箔材の製造方法。
【請求項４】
前記仕上前圧延工程で用いた潤滑油を、引き続き前記塑性加工工程の潤滑油として用いるようにし、
前記仕上前圧延工程での潤滑油の塗布量を、前記塑性加工工程で形成される前記突起の高さが所望の高さとなる量に調整する
請求項３記載の金属箔材の製造方法。
【請求項５】
前記仕上前圧延工程後に、前記金属箔基材を脱脂洗浄して前記仕上前圧延工程で用いた潤滑油を除去する脱脂洗浄工程を備え、
前記塑性加工工程での潤滑油の塗布量を、当該塑性加工工程で形成される前記突起の高さが所望の高さとなる量に調整する
請求項３記載の金属箔材の製造方法。
【請求項６】
前記塑性加工工程で用いる潤滑油として、シリコーンオイルを用いる
請求項１〜５いずれかに記載の金属箔材の製造方法。
【請求項７】
前記金属箔基材が、銅または銅合金からなる
請求項１〜６いずれかに記載の金属箔材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属箔基材の表面に微小な凸形状の突起を形成させる塑性加工工程を含む金属箔材の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
銅箔や銅合金箔などの金属箔材は、多種多様な工業製品に用いられており、フレキシブルプリント配線板や各種放熱板などのように、異種材と貼り合わされて使用される場合も少なくない。
【０００３】
金属箔材を異種材と貼り合わせる場合、両者の接着強度を向上させるために、金属箔材として表面（接着面）の粗度を適度に粗くしたものを用いることが多い。金属箔材の表面の粗度を適度に粗くする方法としては、粗化めっきやエッチングなどの化学的表面処理、ショットブラスト処理などの機械的表面処理等が知られている。
【０００４】
また、金属箔材の表面の粗度を適度に粗くする方法として、表面に微細な凹部を多数形成した金型ロール（圧延ロール）を上下に対向配置し、両金型ロール間に金属箔基材を導入し、両金型ロールを回転させながら金属箔基材の表面に適度な荷重で押し当てることで、金属箔基材の表面に凸形状の突起を転写形成して、金属箔材を形成する方法がある。金属箔基材の表面には潤滑油（圧延油）が塗布され、金型ロールと突起形成後の金属箔材とを容易に剥離させるようになっている。
【０００５】
この方法では、金属箔基材を金型ロールに導入するロール噛み込み部において、金型ロール表面の凹部に潤滑油が必要以上に充満されてしまい、金属箔基材が凹部内に十分に入り込むことができず、十分な高さの突起が得られない場合がある。
【０００６】
この問題は、潤滑油を少なくすれば解決することができるが、潤滑油を少なくしすぎると、金型ロールから金属箔材を剥離するロール剥離部において、金属箔材が金型ロールからうまく剥離されず、板破断が生じてしまうおそれがある。板破断に至らなくとも、上下の金型ロール間での剥離抵抗の差や、金属箔材の幅方向における剥離抵抗のバラツキによって金属箔材にシワが発生してしまったり、金属箔材から突起が脱落して金型ロールの凹部内に残留してそれ以降の金属箔基材の表面に突起が転写形成されなくなる、などの不具合が生じる。
【０００７】
このような不具合を避けるため、金型ロールを用いた加工においては、金型ロールの構造、潤滑油の塗布量、金属箔基材の材料、金属箔基材に作用させる張力・荷重といった圧延条件について、それぞれの最適条件が従来より提案されている。
【０００８】
例えば、特許文献１では、金型ロールを中空構造とし、凹部内に入り込んだ潤滑油を中空部から逃がす構造とすることが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１０−８２６７６号公報
【特許文献２】特開２００９−１７８７３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１に記載の金型ロールは構造や加工が複雑であり、調達に時間がかかってしまったりコスト高となってしまうおそれがある。
【００１１】
本発明は上記事情に鑑み為されたものであり、金型ロールによる金属箔基材表面への突起の形成性を低コストかつ容易に向上させることが可能な金属箔材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、表面に微細な凹部を多数形成した金型ロールを回転させながら金属箔基材の表面に押し当て、前記金属箔基材の表面に凸形状の突起を形成する塑性加工工程を含む金属箔材の製造方法において、前記金属箔基材として、圧延直角方向の算術平均粗さＲａが０．３０μｍ以上であり、圧延平行方向の算術平均粗さＲａが０．３５μｍ以上であるものを用い、前記塑性加工工程で用いる潤滑油の量を３００ｍｇ／ｍ2以下とする金属箔材の製造方法。
【００１３】
前記金属箔基材として、圧延直角方向の算術平均粗さＲａが０．３０μｍ以上０．５０μｍ以下であり、圧延平行方向の算術平均粗さＲａが０．３５μｍ以上０．５５μｍ以下のものを用いてもよい。
【００１４】
前記塑性加工工程に先だって、前記金属箔基材を圧延ロールにより圧延する仕上前圧延工程を備え、当該仕上前圧延工程にて、前記金属箔基材の圧延直角方向の算術平均粗さＲａ、および圧延平行方向の算術平均粗さＲａを制御してもよい。
【００１５】
前記仕上前圧延工程で用いた潤滑油を、引き続き前記塑性加工工程の潤滑油として用いるようにし、前記仕上前圧延工程での潤滑油の塗布量を、前記塑性加工工程で形成される前記突起の高さが所望の高さとなる量に調整してもよい。
【００１６】
前記仕上前圧延工程後に、前記金属箔基材を脱脂洗浄して前記仕上前圧延工程で用いた潤滑油を除去する脱脂洗浄工程を備え、前記塑性加工工程での潤滑油の塗布量を、当該塑性加工工程で形成される前記突起の高さが所望の高さとなる量に調整してもよい。
【００１７】
前記塑性加工工程で用いる潤滑油として、シリコーンオイルを用いてもよい。
【００１８】
前記金属箔基材が、銅または銅合金からなってもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、金型ロールによる金属箔基材表面への突起の形成性を低コストかつ容易に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施の形態に係る金属箔材の製造方法における塑性加工工程を説明する図である。
【図２】本発明の実施例で用いた金属箔基材の表面外観を示す写真である。
【図３】本発明の比較対象となる比較例で用いた金属箔基材の表面外観を示す写真である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を添付図面にしたがって説明する。
【００２２】
図１は、本実施の形態に係る金属箔材の製造方法における塑性加工工程を説明する図である。
【００２３】
図１に示すように、本実施の形態に係る金属箔材の製造方法は、表面に微細な凹部１ａを多数形成した金型ロール１を上下に対向配置し（図１では上側のみ示している）、両金型ロール１間に金属箔基材２を導入し、両金型ロール１を回転させながら金属箔基材２の表面に適度な荷重で押し当て、金属箔基材２の表面に凸形状の突起３を転写形成して金属箔材４を形成する塑性加工工程を含んでいる。図１における符号５は潤滑油であり、金型ロール１と突起３形成後の金属箔材４とを容易に剥離させるために用いられるものである。本実施の形態では、金属箔基材２として、銅または銅合金からなるものを用いた。
【００２４】
上述のように、塑性加工工程における突起３の成形性の向上のためには、これを阻害する金型ロール１の凹部１ａへの潤滑油５の必要以上の充満を阻止し、金属箔基材２が金型ロール１の凹部１ａ内に容易に流入するようにし、かつ、形成された突起３が十分な潤滑性により容易に金型ロール１から剥離することが必要である。金属箔材４の突起３の高さは、用途により要求が異なるが、本実施の形態では、フレキシブルプリント配線板や各種放熱板などのように異種材と貼り合わせることを考慮し、５μｍ以上とした。
【００２５】
本実施の形態に係る金属箔材の製造方法では、金属箔基材２として、表面の粗さが従来よりも粗いものを用いることで、金型ロール１と金属箔基材２との間に潤滑油を逃がす間隙を設け、突起３の成形性を向上させる。
【００２６】
具体的には、本実施の形態では、金属箔基材２として、圧延直角方向の算術平均粗さＲａが０．３０μｍ以上であり、圧延平行方向の算術平均粗さＲａが０．３５μｍ以上のものを用いる。なお、圧延直角方向とは、金属箔基材２の搬送方向（圧延方向）に対して垂直方向、すなわち金属箔基材２の幅方向であり、圧延平行方向とは、金属箔基材２の搬送方向（圧延方向）と平行な方向、すなわち金属箔基材２の長さ方向である。
【００２７】
圧延直角方向の算術平均粗さＲａが大きいということは、その垂直方向（圧延平行方向）に延びる微細な溝（傷）が形成されているということになる。また、圧延平行方向の算術平均粗さＲａが大きいということは、その垂直方向（圧延垂直方向）に延びる微細な溝（傷）が形成されているということであるから、この溝が、上述の圧延平行方向に延びる微細な溝同士を繋ぐ役割を果たすことになり、金属箔基材２の表面に網の目のように溝が形成されることになる。この網の目のように形成された溝が潤滑油５を逃がす溝となり、金型ロール１による塑性加工時に効率的に金型ロール１の凹部１ａ内から不要な潤滑油５を逃がし、金属箔基材２を十分に金型ロール１の凹部１ａに入り込ませ、突起３の形成性（金型ロール１の凹部１ａの転写性）を高めることが可能になる。
【００２８】
なお、金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａが０．３０μｍ未満であったり、圧延平行方向の算術平均粗さＲａが０．３５μｍ未満であったりすると、潤滑油５を逃がす作用が十分に得られないため、金型ロール１の凹部１ａに充填された潤滑油５の影響により突起３の高さが低くなり、十分な突起３の形成性を得ることはできない。
【００２９】
また、金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａは０．５０μｍ以下、圧延平行方向の算術平均粗さＲａは０．５５μｍ以下とすることが望ましい。これは、金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａが０．５０μｍを超えたり、圧延平行方向の算術平均粗さＲａが０．５５μｍを超えたりすると、突起３の頂部にスジ状の傷が残ることがあり、塑性加工工程後の金属箔材４の品質が劣化してしまうためである。
【００３０】
つまり、金属箔基材２として、圧延直角方向の算術平均粗さＲａが０．３０μｍ以上０．５０μｍ以下であり、圧延平行方向の算術平均粗さＲａが０．３５μｍ以上０．５５μｍ以下であるものを用いることで、金型ロール１で突起３を形成する際の潤滑油５の排出性の確保と、突起３の頂部のスジ模様（スジ状の傷）の残存防止を両立することができる。
【００３１】
本実施の形態では、塑性加工工程に先だって、金属箔基材２を圧延ロールにより圧延する仕上前圧延工程にて、金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａ、および圧延平行方向の算術平均粗さＲａを制御するようにした。
【００３２】
金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａについては、高粘度圧延油の使用や高速圧延によりオイルピットを増加させることで制御することができる。また、金属箔基材２の圧延平行方向の算術平均粗さＲａについては、仕上前圧延工程で用いる圧延ロールを粗い砥石で研磨して、圧延ロールに微細な傷（金型ロール１の凹部１ａよりもさらに微細な傷）をつけるようにし、この圧延ロールの傷の程度を調整することにより制御可能である。
【００３３】
また、本実施の形態では、塑性加工工程で用いる潤滑油の量を３００ｍｇ／ｍ2以下、好ましくは５０ｍｇ／ｍ2以上３００ｍｇ／ｍ2以下とする。これは、塑性加工工程で用いる潤滑油の量を３００ｍｇ／ｍ2より多くすると、十分な高さの突起３が得られないためである。
【００３４】
塑性加工工程で用いる潤滑油５としては、シリコーンオイルなどの圧縮性を有した液体を用いることが望ましい。これにより、何らかの理由で潤滑油５が金型ロール１の凹部１ａに多く充填されてしまった場合でも、十分な高さの突起３を形成することが可能になり、突起３の形成性をより向上させることができる。
【００３５】
塑性加工工程で用いる潤滑油５としては、仕上前圧延工程で用いた潤滑油をそのまま引き続き使用するようにしてもよいし、仕上前圧延工程後に、金属箔基材２を脱脂洗浄して仕上前圧延工程で用いた潤滑油を除去する脱脂洗浄工程を備え、脱脂洗浄後の金属箔基材２に塑性加工工程にて改めて潤滑油を塗布するようにしてもよい。仕上前圧延工程で用いた潤滑油をそのまま引き続き使用する場合、仕上前圧延工程で用いる潤滑油の量を適宜調整することにより、塑性加工工程で用いる潤滑油の量（つまり仕上前圧延工程後の残油量）を調整することができる。
【００３６】
以上説明したように、本実施の形態に係る金属箔材の製造方法では、表面に微細な凹部１ａを多数形成した金型ロール１を回転させながら金属箔基材２の表面に押し当て、金属箔基材２の表面に凸形状の突起３を形成する塑性加工工程において、金属箔基材２として、圧延直角方向の算術平均粗さＲａが０．３０μｍ以上であり、圧延平行方向の算術平均粗さＲａが０．３５μｍ以上のものを用い、塑性加工工程で用いる潤滑油の量を３００ｍｇ／ｍ2以下としている。
【００３７】
これにより、金属箔基材２の表面に網の目のように溝が形成されることとなり、この網の目のように形成された溝により、金型ロール１による塑性加工時に金型ロール１の凹部１ａ内から不要な潤滑油５を効率的に逃がし、金属箔基材２を十分に金型ロール１の凹部１ａに入り込ませることが可能となり、低コストかつ容易に突起３の形成性を高めることが可能になる。その結果、表面に凸形状の突起３を形成し表面を適度に粗くした金属箔材４を、安価に、品質良く、素早く製造することが可能になり、金属箔材４の品質や加工速度も顕著に向上させることが可能になる。
【００３８】
本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加え得ることは勿論である。
【実施例】
【００３９】
（実施例１）
金属箔基材２として、一般的な圧延銅箔の材質であるＴＰＣからなる厚さ２６μｍのものを用い、実施例１の金属箔材４を製造した。なお、形成する突起３の高さの目標は５μｍに設定した。
【００４０】
仕上前圧延工程の圧延ロールとしては、鍛鋼製のφ１００ｍｍのロールを用い、潤滑油５としては、ケロシンが主成分の銅用圧延油を用いた。また、仕上前圧延工程後の塑性加工工程で新たな潤滑油５の追加塗布は無しとした。つまり、仕上前圧延工程で使用した潤滑油をそのまま塑性加工工程でも使用することとした。
【００４１】
金属箔基材２の表面に凸形状の突起３を形成させる塑性加工工程に先立って、作業条件を適当に調整して仕上前圧延工程を行ない、圧延直角方向の算術平均粗さＲａ＝０．３３μｍ、圧延平行方向の算術平均粗さＲａ＝０．３８μｍの金属箔基材２を得た。塑性加工工程における金属箔基材２の表面１ｍ2あたりに付着した潤滑油５の量（つまり仕上前圧延工程の残油量）は５０ｍｇ／ｍ2であった。なお、潤滑油５の量（残油量）は、単位面積の金属箔基材２表面に付着している潤滑油５を溶剤で洗い流し、溶剤を揮発させた残渣の質量より求めた。
【００４２】
金属箔基材２の表面に凸形状の突起３を形成させる塑性加工工程では、金型ロール１として、鍛鋼製のφ１００ｍｍのロール表面に、深さ１０μｍの略円錐状の凹形状の凹部１ａが多数形成されたものを用い、圧延荷重は線圧３０ｋＮ／ｃｍとした。
【００４３】
このような条件で製造した実施例１の金属箔材４の突起３の高さを測定したところ、異なる１０箇所で測定した平均値が５．５μｍであり、目標である５μｍ以上の突起３の高さを実現できた。
【００４４】
（実施例２）
同様にして、潤滑油５の量のみを２００ｍｇ／ｍ2に変更して実施例２の金属箔材４を製造した。実施例２の金属箔材４の突起３の高さは、異なる１０箇所で測定した平均値が５．２μｍであり、目標である５μｍ以上の突起３の高さを実現できた。
【００４５】
（実施例３）
仕上前圧延工程での作業条件を適当に調整することで、金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａを０．５０μｍ、圧延平行方向の算術平均粗さＲａを０．４２μｍとして、実施例３の金属箔材４を製造した。潤滑油５の量は２００ｍｇ／ｍ2とした。実施例３の金属箔材４の突起３の高さは、異なる１０箇所で測定した平均値が５．６μｍであり、目標である５μｍ以上の突起３の高さを実現できた。
【００４６】
（実施例４）
仕上前圧延工程での作業条件を適当に調整することで、金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａを０．５０μｍ、圧延平行方向の算術平均粗さＲａを０．６２μｍとして、実施例４の金属箔材４を製造した。潤滑油５の量は２００ｍｇ／ｍ2とした。実施例４の金属箔材４の突起３の高さは、異なる１０箇所で測定した平均値が６．２μｍであり、目標である５μｍ以上の突起３の高さを実現できた。ただし、実施例４の金属箔材４では、圧延平行方向の算術平均粗さＲａが０．５５μｍを超えており、突起３の頂部にスジ状の傷が残っていた。
【００４７】
（実施例５）
仕上前圧延工程での作業条件を適当に調整することで、金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａを０．３０μｍ、圧延平行方向の算術平均粗さＲａを０．５５μｍとして、実施例５の金属箔材４を製造した。潤滑油５の量は２００ｍｇ／ｍ2とした。実施例５の金属箔材４の突起３の高さは、異なる１０箇所で測定した平均値が５．３μｍであり、目標である５μｍ以上の突起３の高さを実現できた。
【００４８】
（実施例６）
仕上前圧延工程での作業条件を適当に調整することで、金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａを０．５５μｍ、圧延平行方向の算術平均粗さＲａを０．５５μｍとして、実施例６の金属箔材４を製造した。潤滑油５の量は２００ｍｇ／ｍ2とした。実施例６の金属箔材４の突起３の高さは、異なる１０箇所で測定した平均値が５．９μｍであり、目標である５μｍ以上の突起３の高さを実現できた。ただし、実施例６の金属箔材４では、圧延直角方向の算術平均粗さＲａが０．５０μｍを超えており、突起３の頂部にスジ状の傷が残っていた。
【００４９】
（実施例７）
仕上前圧延工程での作業条件を適当に調整することで、金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａを０．３３μｍ、圧延平行方向の算術平均粗さＲａを０．３８μｍとして、実施例７の金属箔材４を製造した。潤滑油５の量は３００ｍｇ／ｍ2とした。実施例７の金属箔材４の突起３の高さは、異なる１０箇所で測定した平均値が５．１μｍであり、目標である５μｍ以上の突起３の高さを実現できた。
【００５０】
（比較例１）
仕上前圧延工程での作業条件を適当に調整することで、金属箔基材の圧延直角方向の算術平均粗さＲａを０．２３μｍ、圧延平行方向の算術平均粗さＲａを０．２８μｍとして、比較例１の金属箔材を製造した。潤滑油の量は５０ｍｇ／ｍ2とした。比較例１の金属箔材の突起３の高さは、異なる１０箇所で測定した平均値が４．８μｍであり、目標である５μｍ以上の突起３の高さを実現できなかった。
【００５１】
（比較例２）
潤滑油の量を５０ｍｇ／ｍ2とし、その他は比較例１と同じ条件で比較例２の金属箔材を製造した。比較例２の金属箔材の突起３の高さは、異なる１０箇所で測定した平均値が３．８μｍであり、目標である５μｍ以上の突起３の高さを実現できなかった。
【００５２】
（比較例３）
仕上前圧延工程での作業条件を適当に調整することで、金属箔基材の圧延直角方向の算術平均粗さＲａを０．３３μｍ、圧延平行方向の算術平均粗さＲａを０．３８μｍとして、比較例３の金属箔材を製造した。潤滑油の量は３５０ｍｇ／ｍ2とした。比較例３の金属箔材の突起３の高さは、異なる１０箇所で測定した平均値が４．７μｍであり、目標である５μｍ以上の突起３の高さを実現できなかった。
【００５３】
以上の実施例１〜７、比較例１〜３の評価結果をまとめて表１に示す。なお、表１の評価欄では、突起３の高さが５μｍ以上であるときは○、５μｍ未満４．５μｍ以上であるときは△、４．５μｍ未満であるときは×、とした。
【００５４】
【表１】
2014004595.tif 000003
【００５５】
表１に示すように、金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａを０．３０μｍ未満、圧延平行方向の算術平均粗さＲａを０．３５μｍ未満とした比較例１，２、および塑性加工工程で用いる潤滑油の量を３００ｍｇ／ｍ2よりも多くした比較例３では、目標である５μｍ以上の突起３の高さを実現できず、突起３の形成性が不十分であった。
【００５６】
これに対して、金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａを０．３０μｍ以上、圧延平行方向の算術平均粗さＲａを０．３５μｍ以上とし、塑性加工工程で用いる潤滑油の量を３００ｍｇ／ｍ2以下とした実施例１〜６では、目標である５μｍ以上の突起３の高さを実現でき、十分な突起３の形成性を実現できた。
【００５７】
さらに、金属箔基材２の圧延直角方向の算術平均粗さＲａを０．３０μｍ以上０．５０μｍ以下、圧延平行方向の算術平均粗さＲａを０．３５μｍ以上０．５５μｍ以下とした実施例１〜３，５，７では、突起３の頂部におけるスジ状の傷（スジ傷）の発生も抑制でき、塑性加工工程後の金属箔材４表面の平滑性も維持できる。表１より、突起３の頂部におけるスジ状の傷（スジ傷）の発生を抑制するためには、突起の高さを５．６ｍｍ以下とするのが望ましいといえる。
【００５８】
また、実施例２〜７のように、潤滑油の量を２００ｍｇ／ｍ2，３００ｍｇ／ｍ2と増加させても、突起３の高さを５μｍ以上にでき、突起３を十分な潤滑性により容易に金型ロール１から剥離することができた。
【００５９】
また、実施例１で用いた金属箔基材２の表面外観を図２に、比較例１で用いた金属箔基材の表面外観を図３に示す。
【００６０】
図２に示すように、実施例１で用いた金属箔基材２の表面には、圧延平行方向に沿ったスジ模様がはっきりと視認できる。これに対して、図３に示すように、比較例１で用いた金属箔基材の表面ではスジ模様が不明確である。図３の比較例１のように、使用する金属箔基材の表面粗さが小さく平坦であると、金属箔基材の表面に凸形状の突起を形成する塑性加工工程において、金属箔基材の平坦な表面が金型ロール１の凹部１ａを密閉する蓋のようになり、凹部１ａ内の潤滑油５を逃がすことができず、結果として十分な高さの突起３が得られない。
【符号の説明】
【００６１】
１  金型ロール
１ａ  凹部
２  金属箔基材
３  突起
４  金属箔材
５  潤滑油
【図１】
2014004595.tif 000004
【図２】
2014004595.tif 000005
【図３】
2014004595.tif 000006