(57)【要約】【課題】フォーカスリング側に伝熱シートを貼付する際に，これらの間の気泡を常に同じように確実に抜く。【解決手段】伝熱シートＨＳを載置する伝熱シート載置部３２０と，フォーカスリングＦＲを支持するフォーカスリング支持部３３０と，昇降自在に設けられ，フォーカスリング支持部に支持されたフォーカスリングを伝熱シート載置部に載置された伝熱シートに押し付ける押圧部４００とを備え，押圧部はフォーカスリングの内周側と外周側の一方から他方にかけて徐々に押圧するように構成した。【選択図】    図２
2014017380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置に使用されるリング状部材に伝熱シートを貼付する伝熱シート貼付装置であって，
前記伝熱シートを載置する伝熱シート載置部と，
前記リング状部材を支持するリング状部材支持部と，
昇降自在に設けられ，前記リング状部材支持部に支持された前記リング状部材を前記伝熱シート載置部に載置された前記伝熱シートに押し付ける押圧部と，を備え，
前記押圧部は，前記リング状部材の内周側と外周側の一方から他方にかけて徐々に押圧するように構成したことを特徴とする伝熱シート貼付装置。
【請求項２】
前記押圧部は，上側板と，この上側板に対向して配置され周方向に分割された複数の分割板からなる下側板と，前記各分割板を内周側において前記上側板の方へ付勢するように前記上側板に支持する内周側付勢体と，前記各分割板を外周側において前記上側板の方へ付勢するように前記上側板に支持する外周側付勢体と，を備え，
前記内周側付勢体と外周側付勢体の一方が他方より先に前記リング状部材を押圧するように構成したことを特徴とする請求項１に記載の伝熱シート貼付装置。
【請求項３】
前記内周側付勢体と前記外周側付勢体のうち，先に前記リング状部材を押圧する方の付勢力を弱くすることを特徴とする請求項２に記載の伝熱シート貼付装置。
【請求項４】
前記筐体内を減圧可能な排気装置を設け，前記排気装置により前記筐体内を真空圧雰囲気にして，前記押圧部を動作させて前記リング状部材に前記伝熱シートを貼付することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の伝熱シート貼付装置。
【請求項５】
前記リング状部材支持部は，前記伝熱シート載置部の外周側と内周側の一方又は両方に設けたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の伝熱シート貼付装置。
【請求項６】
基板処理装置に使用されるリング状部材に伝熱シートを貼付する伝熱シート貼付方法であって，
伝熱シート載置部に載置された前記伝熱シートに前記リング状部材を，押圧部で押しつけて前記リング状部材に前記伝熱シートを貼付し，
その際，押圧部は，前記リング状部材の内周側と外周側の一方から他方にかけて徐々に押圧することを特徴とする伝熱シート貼付方法。
【請求項７】
前記押圧部は，上側板と，この上側板に対向して配置され周方向に分割された複数の分割板からなる下側板と，前記各分割板を内周側において前記上側板の方へ付勢するように前記上側板に支持する内周側付勢体と，前記各分割板を外周側において前記上側板の方へ付勢するように前記上側板に支持する外周側付勢体と，を備え，
前記内周側付勢体と外周側付勢体の一方が他方より先に前記リング状部材を押圧することを特徴とする請求項６に記載の伝熱シート貼付方法。
【請求項８】
前記内周側付勢体と前記外周側付勢体のうち，先に前記リング状部材を押圧する方の付勢力を弱くすることを特徴とする請求項７に記載の伝熱シート貼付方法。
【請求項９】
真空圧雰囲気内で，前記押圧部を動作させて前記リング状部材に前記伝熱シートを貼付することを特徴とする請求項６〜８のいずれかに記載の伝熱シート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，被処理基板の載置台にフォーカスリングなどのリング状部材を伝熱シートを介して配置する際に，そのリング状部材に伝熱シートを貼付するための伝熱シート貼付装置及び伝熱シート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
被処理基板例えば半導体ウエハ（以下「ウエハ」と称する）に対して，エッチング，成膜などのプラズマ処理を施す基板処理装置では，処理室内にウエハを載置する載置台が設けられる。載置台には複数のリング状部材が配置される。このようなリング状部材として，載置台上にウエハの周囲を囲むように配置されるフォーカスリングが挙げられる。フォーカスリングはウエハの上方に生じるプラズマの分布域をウエハ上だけでなくフォーカスリング上まで拡大させて，ウエハ全面に施されるエッチングなどの処理の均一性を確保する。
【０００３】
このフォーカスリングは，ウエハとともにプラズマに直接露出するので，プラズマからの入熱により温度が上昇する。このため，載置台の温度を制御することでウエハの温度を調整するとともに，フォーカスリングの温度も調整するようにしている。
【０００４】
ところが，載置台とフォーカスリングとの熱伝達効率が悪いと，フォーカスリングの温度を制御するのは難しい。このため，近年では，載置台とフォーカスリングとの間に伝熱シートを配置して密着性を高めることで，これらの熱伝達効率を向上させることが行われている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１７１８９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら，伝熱シートは例えばシリコンゴムなどからなるので，アルミニウムなどの金属製のフォーカスリングに貼付する際に，気泡が入り込み易い。気泡が入り込んでしまうと，その部分は断熱層となり載置台（サセプタ）の熱伝達効率が低下するので，載置台からの温度制御効率が低下してしまう。このため，フォーカスリングが部分的にプラズマ等の熱の影響を受けて高温になり，エッチング特性などのプラズマ処理特性の面内均一性にばらつきが生じる。
【０００７】
この点，例えば特許文献１のように，フォーカスリングと載置台の間に伝熱シートを配置した後に，先ず真空圧状態にすることによって，伝熱シートに散らばって存在する細かい気泡を膨らませることで集結させて，その後に大気圧状態に戻すことでその集結した気泡を抜く技術がある（例えば特許文献１参照）。
【０００８】
ところが，このような気泡は伝熱シートのどの部分にどれだけできるかなどは伝熱シートの取付したときの状態によって異なる。このため，引用文献１のように圧力を調整するだけでは，伝熱シートの初期の取付状態によっては気泡の状態が異なって完全には気泡が抜けきれない虞がある。
【０００９】
そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，フォーカスリング側に伝熱シートを貼付する際に，これらの間の気泡を常に同じように確実に抜くことができる伝熱シート貼付装置等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，基板処理装置に使用されるリング状部材に伝熱シートを貼付する伝熱シート貼付装置であって，前記伝熱シートを載置する伝熱シート載置部と，前記リング状部材を支持するリング状部材支持部と，昇降自在に設けられ，前記リング状部材支持部に支持された前記リング状部材を前記伝熱シート載置部に載置された前記伝熱シートに押し付ける押圧部と，を備え，前記押圧部は，前記リング状部材の内周側と外周側の一方から他方にかけて徐々に押圧するように構成したことを特徴とする伝熱シート貼付装置が提供される。
【００１１】
このような本願発明によれば，リング状部材に伝熱シートを貼付する際に，押圧部によってリング状部材の内周側と外周側の一方から他方にかけて徐々に押圧することにより，リング状部材と伝熱シートとの間に入り込んだ気泡を外側又は内側の周縁部に移動させてそこから除去することができる。これにより，確実に気泡を除去することができる。しかも，押圧部を押しつけるという機械的な方法で気泡を除去するので，気泡を常に同じように抜くことができる。
【００１２】
この場合，上記押圧部は，例えば上側板と，この上側板に対向して配置され周方向に分割された複数の分割板からなる下側板と，前記各分割板を内周側において前記上側板の方へ付勢するように前記上側板に支持する内周側付勢体と，前記各分割板を外周側において前記上側板の方へ付勢するように前記上側板に支持する外周側付勢体と，を備え，前記内周側付勢体と外周側付勢体の一方が他方より先に前記リング状部材を押圧するように構成される。さらに，上記内周側付勢体と前記外周側付勢体のうち，先に前記リング状部材を押圧する方の付勢力を弱くすることが好ましい。
【００１３】
また，上記筐体内を減圧可能な排気装置を設け，前記排気装置により前記筐体内を真空圧雰囲気にして，前記押圧部を動作させて前記リング状部材に前記伝熱シートを貼付するようにしてもよい。また，リング状部材支持部は，前記伝熱シート載置部の外周側と内周側の一方又は両方に設けるようにしてもよい。
【００１４】
上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，基板処理装置に使用されるリング状部材に伝熱シートを貼付する伝熱シート貼付方法であって，伝熱シート載置部に載置された前記伝熱シートに前記リング状部材を，押圧部で押しつけて前記リング状部材に前記伝熱シートを貼付し，その際，押圧部は，前記リング状部材の内周側と外周側の一方から他方にかけて徐々に押圧することを特徴とする伝熱シート貼付方法が提供される。
【００１５】
この場合，上記押圧部は，例えば上側板と，この上側板に対向して配置され周方向に分割された複数の分割板からなる下側板と，前記各分割板を内周側において前記上側板の方へ付勢するように前記上側板に支持する内周側付勢体と，前記各分割板を外周側において前記上側板の方へ付勢するように前記上側板に支持する外周側付勢体と，を備えるように構成し，前記内周側付勢体と外周側付勢体の一方が他方より先に前記リング状部材を押圧するようにしてもよい。さらに上記内周側付勢体と前記外周側付勢体のうち，先に前記リング状部材を押圧する方の付勢力を弱くするようにしてもよい。また，真空圧雰囲気内で，前記押圧部を動作させて前記リング状部材に前記伝熱シートを貼付するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば，リング状部材側に伝熱シートを貼付する際に，押圧部によってリング状部材の内周側と外周側の一方から他方にかけて徐々に押圧することにより，これらの間の気泡を常に同じように確実に抜くことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態における伝熱シートを適用可能なプラズマ処理装置の構成例を示す断面図である。
【図２】同実施形態における伝熱シートを貼付する伝熱シート貼付装置の構成例を示す断面図である。
【図３Ａ】図２に示す押圧部の構成例を示す斜視図である。
【図３Ｂ】図３Ａに示す押圧部を下から見たときの平面図である。
【図４】同実施形態における押圧部の一部断面図である。
【図５Ａ】同実施形態における押圧部の動作説明図である。
【図５Ｂ】図５Ａに続く押圧部の動作説明図である。
【図５Ｃ】図５Ｂに続く押圧部の動作説明図である。
【図５Ｄ】図５Ｃに続く押圧部の動作説明図である。
【図６Ａ】同実施形態における伝熱シート載置部の変形例を示す断面図である。
【図６Ｂ】同実施形態における伝熱シート載置部の他の変形例を示す断面図である。
【図７Ａ】同実施形態における伝熱シート貼付装置の動作説明図である。
【図７Ｂ】図７Ａに続く伝熱シート貼付装置の動作説明図である。
【図７Ｃ】図７Ｂに続く伝熱シート貼付装置の動作説明図である。
【図７Ｄ】図７Ｃに続く伝熱シート貼付装置の動作説明図である。
【図７Ｅ】図７Ｄに続く伝熱シート貼付装置の動作説明図である。
【図７Ｆ】図７Ｅに続く伝熱シート貼付装置の動作説明図である。
【図８】同実施形態における伝熱シート載置部の変形例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１９】
（伝熱シートを適用可能な基板処理装置）
先ず，本発明にて基板処理装置に使用されるリング状部材に貼付する伝熱シートについて図面を参照しながら説明する。ここでは，基板処理装置としてウエハなどの基板に対してエッチング，成膜などのプラズマ処理を施すプラズマ処理装置を挙げるとともに，その載置台に配置されるリング状部材としてフォーカスリングを挙げ，そのフォーカスリングに伝熱シートを貼付する場合について説明する。図１は，本実施形態における伝熱シートを適用可能なプラズマ処理装置の構成例である。
【００２０】
プラズマ処理装置１００は，例えば表面が陽極酸化処理（アルマイト処理）されたアルミニウムから成る円筒形状に成形された処理室１０２を備える。処理室１０２は接地されている。処理室１０２内の底部にはウエハＷを載置するための略円柱状の載置台２００が設けられている。載置台２００はセラミックなどの絶縁板２１０と，絶縁板２１０上に設けられた下部電極を構成するサセプタ２２０とを備える。サセプタ２２０の外周は絶縁壁２１２で覆われている。
【００２１】
サセプタ２２０内には，温度調節媒体室２２６が設けられている。図１に示すように温度調節媒体室２２６は導入管を介して温度調節媒体が導入されて循環され排出管から排出される。このような温度調節媒体の循環により，サセプタ２２０の温度を制御することによって，ウエハＷの温度を制御することができる。
【００２２】
サセプタ２２０は，その上側中央部に凸状の基板載置部が形成されている。基板載置部の上部には静電チャック２２２が設けられている。静電チャック２２２は，絶縁材の間に電極２２４が介在された構成となっている。静電チャック２２２は，図示しない直流電源から電極２２４に印加された直流電圧によって，ウエハＷが静電チャック２２２に静電吸着される。
【００２３】
載置台２００にはその基板載置面，静電チャック２２２の上面とウエハＷとの間の熱伝達効率を高めるため，ウエハＷの裏面に伝熱媒体（例えばＨｅガスなどのバックサイドガス）を供給するガス通路２４０が形成されている。これにより，伝熱媒体を介してサセプタ２２０とウエハＷとの間の熱伝達がなされ，ウエハＷが所定の温度に維持される。
【００２４】
サセプタ２２０の上端周縁部には，基板載置部の周囲には，ウエハＷを囲むようにフォーカスリングＦＲが配置されている。フォーカスリングＦＲは，例えば図１に示すようにサセプタ２２０に基板載置部を囲むように配置されたリング状の誘電性リング２３０上に配置される。このフォーカスリングＦＲと誘電性リング２３０との間には，本実施形態における伝熱シートＨＳが介在させている。これにより，フォーカスリングＦＲとサセプタ２２０（ここでは誘電性リング２３０）との密着性を高めることができ，これらの間の熱伝導率を向上させることができる。
【００２５】
なお，ここでは，サセプタ２２０上に誘電性リング２３０を介して伝熱シートＨＳとフォーカスリングＦＲを配置する場合を例に挙げたが，これに限られるものではなく，誘電性リング２３０の代わりに導電性リングを設けてもよい。また，誘電性リング２３０や導電性リングを設けずにサセプタ２２０上に直接伝熱シートＨＳとフォーカスリングＦＲを配置するようにしてもよい。このような伝熱シートＨＳの取付方法については後述する。
【００２６】
また，サセプタ２２０の上方には，このサセプタ２２０と平行に対向して上部電極１２０が設けられている。この上部電極１２０は，絶縁材１２２を介して，処理室１０２の内部に支持されている。上部電極１２０は，サセプタ２２０との対向面を構成し多数の吐出孔１２３を有する電極板１２４と，この電極板１２４を支持する電極支持体１２５とによって構成されている。
【００２７】
サセプタ２２０には，２周波重畳電力を供給する電力供給装置１４０が接続されている。電力供給装置１４０は，第１周波数の第１高周波電力（プラズマ生起用高周波電力）を供給する第１高周波電源１４２と，第１周波数よりも低い第２周波数の第２高周波電力（バイアス電圧発生用高周波電力）を供給する第２高周波電源１４４を備える。第１，第２高周波電源１４２，１４４はそれぞれ，第１，第２整合器１４３，１４５を介してサセプタ２２０に電気的に接続される。
【００２８】
第１，第２整合器１４３，１４５は，それぞれ第１，第２高周波電源１４２，１４４の内部（または出力）インピーダンスに負荷インピーダンスを整合させるためのものであり，処理室１０２内にプラズマが生成されているときに第１，第２高周波電源１４２，１４４の内部インピーダンスと負荷インピーダンスが見かけ上一致するように機能する。
【００２９】
上部電極１２０における電極支持体１２５の中央には，ガス導入口１２６が設けられている。このガス導入口１２６には，ガス供給管１２７が接続されている。さらにこのガス供給管１２７には，バルブ１２８およびマスフローコントローラ１２９を介して，処理ガス供給源１３０が接続されている。
【００３０】
この処理ガス供給源１３０から，例えばプラズマエッチングのためのエッチングガスが供給されるようになっている。なお，図１にはガス供給管１２７，バルブ１２８，マスフローコントローラ１２９，および処理ガス供給源１３０等から成る処理ガス供給系を１つのみ示しているが，プラズマ処理装置１００は，複数の処理ガス供給系を備えている。例えば，ＣＦ４，Ｏ２，Ｎ２，ＣＨＦ３等のエッチングガスが，それぞれ独立に流量制御され，処理室１０２内に供給される。
【００３１】
処理室１０２の底部には排気管１３４が接続されており，この排気管１３４には排気部１３５が接続されている。排気部１３５は，ターボ分子ポンプなどの真空ポンプを備えており，処理室１０２内を所定の減圧雰囲気に調整する。また，処理室１０２の側壁にはウエハＷの搬出入口１３１が設けられ，搬出入口１３１にはウエハＷの搬出入を行うゲートバルブＧが設けられている。
【００３２】
このようなプラズマ処理装置１００では，例えばウエハＷに対してプラズマエッチング処理を実行する場合，図示しない搬送アームなどによりウエハＷを処理室１０２内へ搬入し，載置台２００上に載置させて，静電チャック２２２によりウエハＷを静電吸着する。そして，処理ガス供給源１３０から処理室１０２内に所定の処理ガスを導入し，排気部１３５により処理室１０２内を排気することにより，処理室１０２内を所定の真空圧力に減圧する。
【００３３】
このように所定の真空圧力を維持した状態で，サセプタ２２０に第１高周波電源１４２からプラズマ生成用高周波電力を印加するとともに，第２高周波電源１４４からバイアス用高周波電力を印加することにより，ウエハＷ上に処理ガスのプラズマが生成され，これにより，エッチングが進行する。
【００３４】
次に，このようなプラズマ処理装置１００への伝熱シートＨＳの取付方法について説明する。先ずフォーカスリングＦＲの下面に伝熱シートＨＳを貼付する。そして，伝熱シートＨＳが貼り付けられた状態で，載置台２００（図１の例では誘電性リング２３０）上にフォーカスリングＦＲを配置する。
【００３５】
ところで，伝熱シートＨＳは例えばシリコンゴムなどからなるので，アルミニウムなどの金属製のフォーカスリングＦＲに貼付する際に，気泡が入り込み易い。気泡が入り込んでしまうと，その部分は断熱層となり載置台２００（サセプタ２２０）の熱伝達効率が低下するので，載置台２００（サセプタ２２０）からの温度制御効率が低下してしまう。このため，フォーカスリングＦＲが部分的にプラズマ等の熱の影響を受けて高温になり，エッチング特性などプラズマ処理特性に面内均一性にばらつきが生じる。
【００３６】
この点，フォーカスリングＦＲに伝熱シートＨＳを貼付した後に，圧力調整をすることで気泡を抜く技術も提案されている。ところが，このような気泡は伝熱シートＨＳのどの部分にどれだけできるかなどは伝熱シートＨＳの取付したときの状態によって異なる。このため，引用文献１のように圧力を調整するだけでは，伝熱シートＨＳの初期の取付状態によっては気泡の状態が異なって完全には気泡が抜けきれない虞がある。
【００３７】
そこで，本実施形態では，フォーカスリングＦＲに伝熱シートＨＳを貼付する場合，フォーカスリングＦＲを伝熱シートＨＳに機械的に押圧して貼付する。このとき，フォーカスリングＦＲの内周と外周のいずれか一方から他方にかけて徐々に押圧されるようにすることで，気泡を押し出すように除去する。これにより，フォーカスリング側に伝熱シートを貼付する際に，これらの間の気泡を常に同じように確実に抜くことができる。
【００３８】
（伝熱シート貼付装置）
ここで，このような伝熱シートをフォーカスリングＦＲに貼付する方法を実施可能な伝熱シート貼付装置の具体的構成例について，図面を参照しながら説明する。図２は本実施形態における伝熱シートを貼付する伝熱シート貼付装置の概略構成を示す断面図である。
【００３９】
図２に示す伝熱シート貼付装置は，略円筒状の側壁を有する筐体３０２を備える。この筐体３０２内にはその底部に円板状のベース３１０が設けられ，ベース３１０上には伝熱シートＨＳを載置するリング状の伝熱シート載置部３２０が設けられている。伝熱シート載置部３２０の上面には，凹部３２２が形成されており，この凹部３２２の上に伝熱シートを載置する。ここでは，凹部３２２の底面を平らな形状で構成した場合の例を挙げる。
【００４０】
伝熱シート載置部３２０の外周には，フォーカスリングＦＲを載置するリング状部材支持部としてのフォーカスリング支持部３３０が設けられている。このフォーカスリング支持部３３０は，上下にスライド自在になっており，上方に付勢されている。これによれば，フォーカスリング支持部３３０に載置したフォーカスリングＦＲを徐々に押圧することで，伝熱シートＨＳに徐々に押しつけることができる。
【００４１】
具体的には，フォーカスリング支持部３３０はベース３１０に起立して設けられた複数のガイド棒３３２に挿入され，これらガイド棒３３２に沿って上下にスライドできるようになっている。
【００４２】
そして，このフォーカスリング支持部３３０との間には付勢部材（例えばコイルバネ）３３４が介挿されている。この付勢部材３３４はフォーカスリング支持部３３０を上方に付勢する。さらに，ガイド棒３３２には，その上端に止め部材３３６を設け，フォーカスリング支持部３３０を上方に規制し，所定以上離間しないようにしている。この規制位置の高さは，フォーカスリング支持部３３０にフォーカスリングＦＲを載置したときにそのフォーカスリングＦＲの下面が，少なくとも伝熱シート載置部３２０に載置された伝熱シートＨＳの上面よりも高くなるようにする。これにより，フォーカスリングＦＲを上方から押圧する前に伝熱シートＨＳに接触しないようにすることができる。
【００４３】
伝熱シート載置部３２０の上方には，フォーカスリング押圧部（以下「押圧部」と称する）４００が上下に駆動自在に設けられている。具体的には押圧部４００は，筐体の天井を突き抜けて設けられた駆動棒４０２の下端に取り付けられている。駆動棒４０２には，例えば螺旋ねじが設けられ，回転させることによって押圧部４００を上下に駆動させることができるようになっている。この駆動棒４０２は手動でハンドルを回して回転させるようにしてもよく，モータを取り付けて自動で回転させるようにしてもよい。図２では，駆動棒４０２の上端にハンドル４０４を取り付けて，ハンドル４０４を回転させることによって手動で押圧部４００を上下に駆動させる構成を例に挙げたものである。
【００４４】
ここで，図２に示す押圧部４００について図３Ａ，図３Ｂを参照しながらより詳細に説明する。図３Ａは図２に示す押圧部４００の構成例を示す外観斜視図であり，図３Ｂは図３Ａに示す押圧部４００を下から見た平面図である。ここでは，押圧部４００をフォーカスリングＦＲの内周側から外周側にかけて徐々に押圧できるように構成した場合を例に挙げる。
【００４５】
図３Ａ，図３Ｂに示すように，フォーカスリングＦＲは，円板状の上側板４１０と，これに対向して配置された下側板４２０を備える。下側板４２０は，周方向に複数に分割され，それぞれの分割板４２２は別々に内周側又は外周側に傾斜可能に設けられている。図３Ａ，図３Ｂでは，下側板４２０を１２個の分割板４２２で構成した場合を例に挙げたものである。上側板４１０，下側板４２０の分割板４２２はそれぞれ，例えばＳＵＳ（Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ  Ｕｓｅｄ  Ｓｔｅｅｌ）などの金属で構成してもよい。なお，分割板４２２を金属で構成する際にはその下面は，フォーカスリングＦＲに当接したときにそのフォーカスリングＦＲの表面を傷つけ難いように，樹脂で構成してもよい。また，分割板４２２の数は，図示したものに限られるものではなく，１２個よりも多くても少なくてもよい。
【００４６】
下側板４２０の各分割板４２２は，略円筒状の内周側付勢体４３０と外周側付勢体４４０とによって上側板４１０に支持されている。すなわち，各分割板４２２はそれぞれ一対の内周側付勢体４３０と外周側付勢体４４０とによって独立して支持されている。そして，図２に示すように内周側付勢体４３０と外周側付勢体４４０とにはそれぞれ，上側板４１０から下方に向けて付勢する付勢部材（例えばコイルバネ）４３２，４４２が内装されている。これにより，この押圧部４００でフォーカスリングＦＲを上方から押圧する際に，各分割板４２２をフォーカスリングＦＲにそれぞれ当接させて押圧することができる。
【００４７】
このとき，各分割板４２２をそれぞれフォーカスリングＦＲの内周側から外周側にかけて徐々に押圧できるようにするために，本実施形態では図２に示すように，内周側付勢体４３０の付勢力を外周側付勢体４４０の付勢力よりも弱くしている。具体的には内周側付勢体４３０の付勢部材４３２としては，外周側付勢体４４０の付勢部材４４２よりも弾性力が弱いものを取り付ける。例えば内側の付勢部材４３２の付勢力は，外側の付勢部材４４２の付勢力の１／２とする。付勢部材４３２，４４２をコイルバネで構成した場合，付勢部材４４２のバネレートを２ｋとすれば，内側の付勢部材４３２のバネレートは１ｋとする。これにより，押圧部４００をフォーカスリングＦＲに押しつけるときに，外周側付勢体４４０を内周側付勢体４３０よりも強くフォーカスリングＦＲを押圧することができる。
【００４８】
さらに，図２に示すように内周側付勢体４３０の方だけにその付勢部材４３２の上下にワッシャ４３４を設ける。これにより，押圧部４００をフォーカスリングＦＲに押しつけるときに，２つのワッシャ４３４の厚みの分だけ内周側付勢体４３０の方が外周側付勢体４４０よりも先にフォーカスリングＦＲを押圧できる。
【００４９】
このような内周側付勢体４３０と外周側付勢体４４０の具体的構成例について図４を参照しながらより詳細に説明する。図４は，押圧部４００の一部断面図である。図４に示すように，内周側付勢体４３０と外周側付勢体４４０は，上側板４１０に下方に開口するように取り付けられた上側円筒状部材４３６，４４６を，下側板４２０の各分割板４２２に上方に開口するように取り付けられた下側円筒状部材４３７，４４７の内側に差し込んで構成される。
【００５０】
上側円筒状部材４３６，４４６と下側円筒状部材４３７，４４７はそれぞれ，上側板４１０と下側板４２０の間に設けられたガイド棒４３８，４４８が挿入されている。上記内周側付勢体４３０の付勢部材４３２は，上側円筒状部材４３６の上端と下側円筒状部材４３７の下端の間にそれぞれワッシャ４３４を介して設けられ，上記外周側付勢体４４０の付勢部材４４２は，上側円筒状部材４４６の上端と下側円筒状部材４４７の下端の間にワッシャなしで設けられる。
【００５１】
ガイド棒４３８，４４８にはそれぞれ，その上端に止め部材４３９，４４９を設け，付勢部材４３２，４４２の付勢力に抗して上側板４１０と下側板４２０との距離を規制している。
【００５２】
（押圧部の動作）
次に，このような構成の押圧部４００によって伝熱シートＨＳをフォーカスリングＦＲに貼り付ける際の押圧部４００の動作について，図面を参照しながら説明する。図５Ａ〜図５Ｄは，押圧部４００の動作を説明するための図である。図５Ａ〜図５Ｄでは，押圧部４００の動作を分かり易くするため，内周側付勢体４３０と外周側付勢体４４０での押圧力をそれぞれ白抜き矢印で示したものである。
【００５３】
先ず図４に示す押圧部４００を下降させて，下側板４２０の分割板４２２がフォーカスリングＦＲの上面に当接するときには，最初にワッシャ４３４の分だけ先に内周側付勢体４３０の付勢部材４３２の付勢力が働き，さらに押圧部４００を下降させることにより，外周側付勢体４４０の付勢部材４４２の付勢力が働く。
【００５４】
このため，図５Ａ〜図５Ｃに示すように，フォーカスリングＦＲには先ずは内周側付勢体４３０の押圧力４３０Ｆが働き，その後に外周側付勢体４４０の押圧力４３０Ｆが働く。これにより，フォーカスリングＦＲは内周から外周にかけて徐々に押圧されていく。これにより，図５Ａに示すようにフォーカスリングＦＲと伝熱シートＨＳとの間に気泡４５０が生じていても，気泡４５０は図５Ｂに示すようにフォーカスリングＦＲの内側から外側に徐々に移動して，図５Ｃに示すように除去される。こうして，フォーカスリングＦＲの下面には気泡がない状態で伝熱シートＨＳを貼付することができる。伝熱シートＨＳの貼付が終了すると，図５Ｄに示すように，押圧部４００を上昇させる。すると，図２に示すフォーカスリング支持部が付勢部材３３４の付勢力によって上昇し，フォーカスリングＦＲを取り出すことができるようになる。
【００５５】
なお，ここでは伝熱シート載置部３２０の伝熱シートＨＳを載置する面を平坦状にした場合について説明したが，これに限られるものではない。例えば図６Ａ，図６Ｂに示すように，伝熱シート載置部３２０の伝熱シートを載置する面を上に凸のテーパ状にしてもよい。この場合，図６Ａに示すようにテーパ状の最も高い部分が伝熱シートＨＳの内周縁部と外周縁部と中央に配置されるようにすることが好ましい。このように，伝熱シートＨＳを載置する面をテーパ状にすることによって，フォーカスリングＦＲを押圧部４００で押圧したときに，内周から外周にかけて伝熱シートＨＳがテーパ状の面に押しつけられるので，その部分の押圧力が増して，より気泡を外周方向に移動させ易くなる。
【００５６】
また，テーパ状の最も高い部分の位置は図６Ａに示す場合に限られるものではなく，例えば図６Ｂに示すようにテーパ状の最も高い部分の位置が内周縁部よりになるようにしてもよい。上記のように伝熱シート載置部３２０において，伝熱シートＨＳを載置する面をテーパ状にする場合のテーパ角は自由に決めることができる。
【００５７】
また，上述した押圧部４００は，フォーカスリングＦＲの内周側から外周側に徐々に押圧できるように，内周側付勢体４３０の方が外周側付勢体４４０よりも先にフォーカスリングＦＲを押圧するように構成し，内周側付勢体４３０の付勢力の方を外周側付勢体４４０の付勢力よりも弱くした場合について説明したが，これに限られるものではなく，押圧部４００は，フォーカスリングＦＲの外周側から内周側に徐々に押圧できるように構成してもよい。この場合は，例えば外周側付勢体４４０の構成と内周側付勢体４３０の構成を逆にするだけでもよい。具体的には，外周側付勢体４４０の方が内周側付勢体４３０よりも先にフォーカスリングＦＲを押圧するように構成し，外周側付勢体４４０の付勢力の方を内周側付勢体４３０の付勢力よりも弱くするようにしてもよい。
【００５８】
以上説明した本実施形態の伝熱シート貼付装置３００によれば，このようなフォーカスリングＦＲと伝熱シートＨＳとの間の気泡抜きと，貼付とを同時に行うことができる。
【００５９】
（伝熱シート貼付装置全体の動作）
ここで，このような伝熱シート貼付装置３００全体の動作について図面を参照しながら説明する。図７Ａ〜図７Ｆは伝熱シート貼付装置３００全体の動作を説明するための工程図である。図７Ａは，押圧部４００は上方に配置されており，伝熱シートＨＳ，フォーカスリングＦＲを配置する前の初期状態である。
【００６０】
先ず図７Ａに示す伝熱シート載置部３２０に伝熱シートＨＳを載置し，次にフォーカスリング支持部３３０にフォーカスリングＦＲを載置する（図７Ｂ）。なお，このように伝熱シート貼付装置３００内に伝熱シートＨＳ，フォーカスリングＦＲをセットすることができるように，筐体３０２の側壁の一部を開閉自在に構成してもよい。また，これに限られるものではなく，筐体３０２の天井を開閉自在に構成してもよい。
【００６１】
図７Ｂに示すように伝熱シートＨＳ，フォーカスリングＦＲをセットした状態で，ハンドル４０４を回して押圧部４００を下降させる。そして押圧部４００の下側板４２０が接触すると図７Ｃに示すようになる。さらにハンドル４０４を回すことにより押圧部４００の下側板４２０でフォーカスリングＦＲを伝熱シートＨＳに押しつけることができる。
【００６２】
このとき，図７Ｃに示すように最初に内周側付勢体４３０の付勢部材４３２による押圧力が働き始め，続いて図７Ｄに示すように外周側付勢体４４０の付勢部材４４２による押圧力が働き始める。さらにハンドル４０４を回すことにより，フォーカスリングＦＲは内周側から外周側にかけて徐々に押圧される。これにより，上述した図５Ａ〜図５Ｃに示すようにフォーカスリングＦＲと伝熱シートＨＳとの間の気泡は徐々に外周側に移動して外周縁部から排出される。こうして，フォーカスリングＦＲへの伝熱シートＨＳの貼付と気泡抜きが完了する。
【００６３】
その後は，ハンドル４０４を逆に回して，図７Ｆに示すように押圧部４００を上昇させると，フォーカスリング支持部３３０は付勢部材３３４の付勢力によって上昇し，フォーカスリングＦＲは伝熱シートＨＳが貼付された状態で持ち上げられる。これにより，フォーカスリングＦＲを取り出すことができるようになる。
【００６４】
伝熱シート貼付装置３００から取り出されたフォーカスリングＦＲは伝熱シートを貼り付けたまま，図１に示すプラズマ処理装置１００の載置台２００に載置して，誘電性リング２３０に貼付する。なお，伝熱シートＨＳの下側の粘着面には剥離可能な粘着防止フィルムを貼り付けた状態で，伝熱シート載置部３２０に載置する。そして，伝熱シートＨＳの下側の粘着面の粘着防止フィルムを剥がして載置台２００に載置する。
【００６５】
こうして，載置台２００に配置された伝熱シートＨＳは，フォーカスリングＦＲとの間に気泡がないため，熱伝導性を向上させることができ，エッチング特性などのプラズマ処理特性の面内均一性を向上させることができる。また，押圧部４００によってフォーカスリングＦＲの内周から外周にかけて徐々に伝熱シートＨＳに押しつけることができるので，確実に気泡を除去することができる。しかも，押圧部４００を押しつけるという機械的な方法で気泡を除去するので，フォーカスリングＦＲ側に伝熱シートＨＳを貼付する際に，これらの間の気泡を常に同じように抜くことができる。
【００６６】
なお，上記実施形態では，フォーカスリング支持部３３０は，伝熱シート載置部３２０の外周側に設けた場合を例に挙げたが，これに限られるものではなく，伝熱シート載置部３２０の内周側に設けるようにしてよい。また，フォーカスリング支持部３３０は，例えば図８に示すように伝熱シート載置部３２０の載置面３２１を挟んで内周側と外周側の両方に設け，これらを接続部材３３８で接続し，一体で昇降できるように構成してもよい。なお，この場合は，図８に示すようにフォーカスリング支持部３３０の内周側部分に起立した棒状部材３３９を設け，この棒状部材３３９にフォーカスリング支持部３３０を上方に付勢する図示しない付勢部材を設けるようにしてもよい。
【００６７】
また，伝熱シート貼付装置３００は筐体３０２内を真空圧に減圧できるように，図示しない真空ポンプなどの排気装置を接続してもよい。これによれば，伝熱シート貼付装置３００内を真空雰囲気にしたまま，伝熱シートＨＳの貼付と気泡抜きを行うことができる。これによれば，気泡抜きの効率を高めることができる。
【００６８】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００６９】
例えば本実施形態では基板処理装置に使用されるリング状部材として，プラズマ処理装置に使用されるフォーカスリングを例に挙げて説明したが，これに限られるものではなく，伝熱シートを貼付可能なリング状部材であれば，どのような部材にも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明は，被処理基板の載置台にフォーカスリングを伝熱シートを介して配置する際に，リング状部材に伝熱シートを貼付するための伝熱シート貼付装置及び伝熱シート貼付方法に適用可能である。
【符号の説明】
【００７１】
１００      プラズマ処理装置
１０２      処理室
１２０      上部電極
１２２      絶縁材
１２３      吐出孔
１２４      電極板
１２５      電極支持体
１２６      ガス導入口
１２７      ガス供給管
１２８      バルブ
１２９      マスフローコントローラ
１３０      処理ガス供給源
１３１      搬出入口
１３４      排気管
１３５      排気部
１４０      電力供給装置
１４２      第１高周波電源
１４３      第１整合器
１４４      第２高周波電源
１４５      第２整合器
２００      載置台
２１０      絶縁板
２１２      絶縁壁
２２０      サセプタ
２２２      静電チャック
２２４      電極
２３０      誘電性リング
２４０      ガス通路
３００      伝熱シート貼付装置
３０２      筐体
３１０      ベース
３２０      伝熱シート載置部
３２１      載置面
３２２      凹部
３３０      フォーカスリング支持部
３３２      ガイド棒
３３４      付勢部材
３３６      止め部材
３３８      接続部材
３３９      棒状部材
４００      押圧部
４０２      駆動棒
４０４      ハンドル
４１０      上側板
４２０      下側板
４２２      分割板
４３０      内周側付勢体
４３２，４４２      付勢部材
４３４      ワッシャ
４３６      上側円筒状部材
４３７      下側円筒状部材
４３８，４４８      ガイド棒
４３９，４４９      止め部材
４４０      外周側付勢体
４４６      上側円筒状部材
４４７      下側円筒状部材
４５０      気泡
ＦＲ        フォーカスリング
ＨＳ        直接伝熱シート
ＨＳ        伝熱シート
Ｗ          ウエハ
【図１】
2014017380.tif 000003
【図２】
2014017380.tif 000004
【図３Ａ】
2014017380.tif 000005
【図３Ｂ】
2014017380.tif 000006
【図４】
2014017380.tif 000007
【図５Ａ】
2014017380.tif 000008
【図５Ｂ】
2014017380.tif 000009
【図５Ｃ】
2014017380.tif 000010
【図５Ｄ】
2014017380.tif 000011
【図６Ａ】
2014017380.tif 000012
【図６Ｂ】
2014017380.tif 000013
【図７Ａ】
2014017380.tif 000014
【図７Ｂ】
2014017380.tif 000015
【図７Ｃ】
2014017380.tif 000016
【図７Ｄ】
2014017380.tif 000017
【図７Ｅ】
2014017380.tif 000018
【図７Ｆ】
2014017380.tif 000019
【図８】
2014017380.tif 000020