(57)【要約】【課題】振動モレ現象を防止し、振動特性の安定した振動素、および振動子を提供する。【解決手段】振動素子としてのジャイロ素子２は、基部４１と、基部４１から延出されている第１振動腕としての第１〜第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４と、基部４１から延出されている第２振動腕としての第１、第２検出振動腕４２１、４２２と、基部４１から延出されている梁としての第１〜第４連結梁６１、６２、６３、６４と連結されて基部４１を支持し、曲げ部としての第１〜第４折返部５５、５６、５７、５８を含む接続部としての第１〜第４接続部６５、６６、６７、６８を備えている第１〜第４支持部５１、５２、５３、５４と、を有している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から延出されている第１振動腕と、
前記基部から延出されている第２振動腕と、
前記基部から延出されている梁と連結されて前記基部を支持し、曲げ部を含む接続部を備えている支持部と、
を有していることを特徴とする振動素子。
【請求項２】
前記梁は、前記基部から両側に一対で延出され、
それぞれの前記梁には、前記支持部が接続されていることを特徴とする請求項１に記載の振動素子。
【請求項３】
前記梁は、前記基部から両側に、少なくとも二対で延出され、
一対の前記梁と連結された前記支持部は、前記第１振動腕の延出方向と交差する第２方向側に曲げられた曲げ部を有し、
他の一対の前記梁と連結された前記支持部は、前記第２方向の反対方向である第３方向側に曲げられた曲げ部を有していることを特徴とする請求項１に記載の振動素子。
【請求項４】
前記第１振動腕は、前記基部から両側へ延出している第１検出振動腕および第２検出振動腕を備え、
前記第２振動腕は、前記第１検出振動腕および前記第２検出振動腕の両側にあって、前記基部から両側へ前記第１検出振動腕および前記第２検出振動腕の延出方向に沿って延出されている第１駆動振動腕および第２駆動振動腕と、第３駆動振動腕および第４駆動振動腕と、を備え、
前記支持部は、第１支持部、第２支持部、第３支持部、および第４支持部を備え、
前記梁は、前記第１検出振動腕と前記第１駆動振動腕との間を通って前記第１支持部と連結されている第１梁と、前記第１検出振動腕と前記第２駆動振動腕との間を通って前記第２支持部と連結されている第２梁と、前記第２検出振動腕と前記第３駆動振動腕との間を通って前記第３支持部と連結されている第３梁と、前記第２検出振動腕と前記第４駆動振動腕との間を通って前記第４支持部と連結されている第４梁と、を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の振動素子。
【請求項５】
前記第１振動腕の延出方向に対して同じ側に位置する前記支持部同士が、可撓性を有する連結部で連結されていることを特徴とする請求項３または請求項４に記載の振動素子。
【請求項６】
前記接続部は、前記曲げ部と前記接続部の先端との間で固定されていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動素子。
【請求項７】
前記接続部は、前記第１振動腕の延出方向と直交する方向に前記基部の中心を通る仮想線に対して線対称となる位置で固定されていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動素子。
【請求項８】
第２方向に延在されている基部と、
前記基部の一方の側に前記基部から延出されている第１振動腕と、
前記基部の他方の側に前記基部から延出されている第２振動腕と、
前記基部から延出され、前記基部の延在方向に曲げられた曲げ部を有する接続部と、
を有していることを特徴とする振動素子。
【請求項９】
前記接続部は、前記接続部の先端と前記曲げ部との間で固定されていることを特徴とする請求項８に記載の振動素子。
【請求項１０】
前記接続部は、前記第２方向に位置する前記基部の両端から、前記第２方向と交差する方向の前記基部の両側に設けられており、前記第２方向と直交する方向に前記基部の中心を通る仮想線に対して線対称となる位置で固定されていることを特徴とする請求項８または請求項９に記載の振動素子。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載の振動素子と、
前記振動素子が収納されているパッケージと、を備えていることを特徴とする振動子。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載の振動素子と、
少なくとも前記振動素子を駆動させる機能を有している回路素子と、を備えていることを特徴とする電子デバイス。
【請求項１３】
請求項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１４】
請求項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動素子、振動子、電子デバイス、それらを用いた電子機器。および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、角速度を検出するための振動素子として、いわゆる「ＷＴ型」のジャイロ素子が知られている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。一例として特許文献１のジャイロ素子を説明すると、特許文献１のジャイロ素子は、振動体と、振動体を支持している第１、第２の支持部と、振動体と第１支持部とを連結している第１、第２梁と、振動体と第２支持部とを連結している第３、第４梁とを有している。また、振動体は、基部と、基部から両側へｙ軸に沿って延出している第１、第２検出振動腕と、基部から両側へｘ軸に沿って延出している第１、第２連結部腕と、第１連結腕の先端部から両側へｙ軸に沿って延出している第１、第２駆動振動腕と、第２連結腕の先端部から両側へｙ軸に沿って延出している第３、第４駆動振動腕とで構成されている。
【０００３】
このような特許文献１のジャイロ素子は、導電性接着剤を介して実装基板に実装される。具体的には、第１、第２の支持部に設けられている６つの接続端子（固定部）と実装基板とが導電性接着剤にて接合され、これにより、ジャイロ素子が実装基板に固定されるとともに、ジャイロ素子と実装基板とが電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２０１０１１号公報
【特許文献２】特開２０１０−２５６３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したようなジャイロ素子では、それぞれの駆動振動腕或いは検出振動腕の振動が、振動体から延設されているそれぞれの梁に伝播し、さらには第１、第２の支持部に伝播してしまう、いわゆる「振動モレ現象」を生じてしまうことが知られている。この振動モレ現象があると、接続端子（固定部）が実装基板に固定される場合に、振動モレ現象によって伝播されている振動が阻害され、この振動の阻害が駆動振動腕或いは検出振動腕の振動に対しても影響を生じてしまう虞があるという課題を有していた。
なお、振動モレ現象によって駆動振動腕或いは検出振動腕の振動に対して影響が生じるとジャイロ素子の振動特性の劣化、特に温度ドリフトが増大してしまうことになる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る振動素子は、基部と、前記基部から延出されている第１振動腕と、前記基部から延出されている第２振動腕と、前記基部から延出されている梁と連結されて前記基部を支持し、曲げ部を含む接続部を備えている支持部と、を有していることを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、基部から延出されている梁と連結された支持部に、梁から曲げられた曲げ部を含む接続部が設けられている。このように曲げ部が設けられていることで梁から接続部までの間が撓み易くなる。この撓みにより第１振動腕あるいは第２振動腕の振動が基部を伝わって漏れ出す振動モレ現象、あるいは基部の重心と第１振動腕、および第２振動腕とが梁の延在方向に沿って同じ方向に振動する不要振動（ｙ１モード振動）を吸収することができる。また、曲げ部が設けられていることによって基部から接続部までの距離が長くなることとも併せて、振動モレ現象、不要モード振動が固定部まで伝播することを抑制することが可能となる。これにより、振動素子の振動特性の劣化、特に温度ドリフトを低減させた振動素子の提供が可能となる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に記載の振動素子において、前記梁は、前記基部から両側に一対で延出され、それぞれの前記梁には、前記支持部が接続されていることを特徴とする。
【００１０】
本適用例によれば、固定部が基部の両側に設けられることから、基部を両側から支持する、所謂両持ち支持となり、支持のバランスが向上することによって振動素子の特性を向上させることが可能となる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例に記載の振動素子において、前記梁は、前記基部から両側に、少なくとも二対で延出され、一対の前記梁と連結された前記支持部は、前記第１振動腕の延出方向と交差する第２方向側に曲げられた曲げ部を有し、他の一対の前記梁と連結された前記支持部は、前記第２方向の反対方向である第３方向側に曲げられた曲げ部を有していることを特徴とする。
【００１２】
本適用例によれば、固定部が基部の両側に対向し、且つ基部の両脇（第２方向と第３方向側）に設けられる。即ち、少なくとも４つの固定部で基部を支持する（両持ち支持）ため、さらに安定した支持とすることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例に記載の振動素子において、前記第１振動腕は、前記基部から両側へ延出している第１検出振動腕および第２検出振動腕を備え、前記第２振動腕は、前記第１検出振動腕および前記第２検出振動腕の両側にあって、前記基部から両側へ前記第１検出振動腕および前記第２検出振動腕の延出方向に沿って延出されている第１駆動振動腕および第２駆動振動腕と、第３駆動振動腕および第４駆動振動腕と、を備え、前記支持部は、第１支持部、第２支持部、第３支持部、および第４支持部を備え、前記梁は、前記第１検出振動腕と前記第１駆動振動腕との間を通って前記第１支持部と連結されている第１梁と、前記第１検出振動腕と前記第２駆動振動腕との間を通って前記第２支持部と連結されている第２梁と、前記第２検出振動腕と前記第３駆動振動腕との間を通って前記第３支持部と連結されている第３梁と、前記第２検出振動腕と前記第４駆動振動腕との間を通って前記第４支持部と連結されている第４梁と、を備えていることを特徴とする。
【００１４】
本適用例によれば、第１梁〜第４梁のそれぞれの梁と接続された第１〜第４支持部に、それぞれ曲げ部が設けられた接続部を有し、その接続部に固定部が設けられる。これにより、基部から梁に伝播している振動モレ現象による振動の固定部への伝播を低減することが可能となる。したがって、温度ドリフトを低減させた角速度の検出が可能となる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例に記載の振動素子において、前記第１振動腕らの延出方向に対して同じ側に位置する前記支持部同士が、可撓性を有する連結部で連結されていることを特徴とする。
【００１６】
本適用例によれば、基部からの延出方向が同じ側に位置する支持部の剛性が高まり支持が安定する。また、連結が可撓性を有する連結部で行われているため、この連結部が外部からの衝撃などを受けた場合の緩衝部となり、耐衝撃性を向上させることが可能となる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例に記載の振動素子において、前記接続部は、前記曲げ部と前記接続部の先端との間で固定されていることを特徴とする。
【００１８】
本適用例によれば、基部と接続部の固定されている位置との距離が長くなるため振動モレの影響を受けにくくなり、振動モレ現象、不要モード振動が固定部まで伝播することを抑制することが可能となる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例に記載の振動素子において、前記接続部は、前記第１振動腕の延出方向と直交する方向に前記基部の中心を通る仮想線に対して線対称となる位置で固定されていることを特徴とする。
【００２０】
本適用例によれば、接続部が、線対称となる位置で固定されているため、固定の位置バランスが向上する。このように支持バランスが向上することから支持が安定し、振動特性を向上、安定させた振動素子を提供することが可能となる。
【００２１】
［適用例８］本適用例に係る振動素子は、第２方向に延在されている基部と、前記基部の一方の側に前記基部から延出されている第１振動腕と、前記基部の他方の側に前記基部から延出されている第２振動腕と、前記基部から延出され、前記基部の延在方向に曲げられた曲げ部を有する接続部と、を有していることを特徴とする。
【００２２】
本適用例によれば、基部から延出され、基部の延在方向に対して曲げられた曲げ部を有する接続部で、基部、第１振動腕、および第２振動腕が支持される。このように曲げ部が設けられていることで基部から接続部まで間が撓み易くなる。この撓みにより第１振動腕あるいは第２振動腕の振動が基部を伝わって漏れ出す振動モレ現象を吸収することができる。また、基部と接続部との間の距離が長くなることとも併せて、振動モレ現象が接続部まで伝播することを抑制することが可能となる。これにより、振動素子の振動特性の劣化、特に温度ドリフトを低減させた振動素子の提供が可能となる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例に記載の振動素子において、前記接続部は、前記接続部の先端と前記曲げ部との間で固定されていることを特徴とする。
【００２４】
本適用例によれば、基部と接続部の固定されている位置との距離が長くなるため振動モレの影響を受けにくくなり、振動モレ現象が固定部まで伝播することを抑制することが可能となる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例に記載の振動素子において、前記接続部は、前記第２方向に位置する前記基部の両端から、前記第２方向と交差する方向の前記基部の両側に設けられており、前記第２方向と直交する方向に前記基部の中心を通る仮想線に対して線対称となる位置で固定されていることを特徴とする。
【００２６】
本適用例によれば、接続部が、線対称となる位置で固定されているため、固定の位置バランスが向上する。このように支持バランスが向上することから支持が安定し、振動特性を向上、安定させた振動素子を提供することが可能となる。
【００２７】
［適用例１１］本適用例に係る振動子は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動素子と、前記振動素子が収納されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
【００２８】
本適用例によれば、前述の振動素子を用いていることから、特性の安定した振動子、特に温度ドリフトを低減させた信頼性の高い振動子を提供することが可能となる。
【００２９】
［適用例１２］本適用例に係る電子デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の振動素子と、少なくとも前記振動素子を駆動させる機能を有している回路素子と、を備えていることを特徴とする。
【００３０】
本適用例によれば、前述の振動素子を用いていることから、特性の安定した電子デバイス、特に温度ドリフトを低減させた信頼性の高い電子デバイスを提供することが可能となる。
【００３１】
［適用例１３］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動素子を備えていることを特徴とする。
【００３２】
本適用例によれば、前述の振動素子を用いていることから、特性の安定した電子機器、特に温度ドリフトの低減などによる信頼性の高い電子機器を提供することが可能となる。
【００３３】
［適用例１４］本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動素子を備えていることを特徴とする。
【００３４】
本適用例によれば、前述の振動素子を用いていることから、温度変化に対する信頼性の高い移動体を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明にかかる振動素子の第１実施形態、およびその振動素子を用いた振動子の第１実施形態を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図。
【図２】第１実施形態のジャイロ素子を示す平面図。
【図３】ジャイロ素子の駆動を説明する平面図。
【図４】第２実施形態のジャイロ素子を示す平面図。
【図５】第３実施形態のジャイロ素子を示す平面図。
【図６】第４実施形態のジャイロ素子を示す平面図。
【図７】本発明にかかる振動素子の第５実施形態、およびその振動素子を用いた振動子の第２実施形態を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図。
【図８】第５実施形態のジャイロ素子を示す平面図。
【図９】本発明にかかる振動素子を用いた電子デバイスを示す正断面図。
【図１０】電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。
【図１１】電子機器の一例としての携帯電話機の構成を示す斜視図。
【図１２】電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。
【図１３】移動体の一例としての自動車の構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明の振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体について添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３７】
＜振動子の第１実施形態＞
先ず、本発明にかかる振動素子の実施形態、およびその振動素子を適用した振動子の第１実施形態について説明する。
【００３８】
図１は、本発明にかかる振動素子の第１実施形態、およびその振動素子を用いた振動子の第１実施形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図である。図２は、図１に示す振動子が備える振動素子としてのジャイロ素子を示す平面図である。図３は、ジャイロ素子の駆動を説明する平面図である。なお、以下では、図１に示すように、互いに直交する３軸を、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸とし、ｚ軸は、振動デバイスの厚さ方向と一致する。また、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向（第２方向）」と言い、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向（第１方向）」と言い、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」と言う。
【００３９】
図１に示す振動子１は、振動素子としてのジャイロ素子２と、ジャイロ素子２を収納するパッケージ９とを有している。以下、ジャイロ素子２およびパッケージ９について順次詳細に説明する。
【００４０】
（ジャイロ素子の第１実施形態）
図２は、上側（リッド９２側）から見た振動素子としてのジャイロ素子の第１実施形態を示す平面図である。なお、ジャイロ素子には、検出信号電極、検出信号配線、検出信号端子、検出接地電極、検出接地配線、検出接地端子、駆動信号電極、駆動信号配線、駆動信号端子、駆動接地電極、駆動接地配線および駆動接地端子などが設けられているが、同図においては省略している。
【００４１】
振動素子としてのジャイロ素子２は、ｚ軸まわりの角速度を検出する「面外検出型」のセンサーであって、図示しないが、基材と、基材の表面に設けられている複数の電極、配線および端子とで構成されている。ジャイロ素子２は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料で構成することができるが、これらの中でも、水晶で構成するのが好ましい。これにより、優れた振動特性（周波数特性）を発揮することのできるジャイロ素子２が得られる。
【００４２】
このようなジャイロ素子２は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する支持部と、振動体４と支持部とを連結する梁とを有している。支持部としては、第１支持部５１、第２支持部５２、第３支持部５３、および第４支持部５４が含まれる。梁としては、振動体４と第１支持部５１とを連結する第１梁としての第１連結梁６１、および振動体４と第２支持部５２とを連結する第１梁としての第２連結梁６２と、振動体４と第３支持部５３とを連結する第２梁としての第３連結梁６３、および振動体４と第４支持部５４とを連結する第２梁としての第４連結梁６４とが含まれる。
【００４３】
振動体４は、ｘｙ平面に拡がりを有し、ｚ軸方向に厚みを有している。このような振動体４は、中央に位置し、ｘ軸方向の両側に延在する幅狭の第１連結腕４３１、および第２連結腕４３２を含む基部４１と、基部４１からｙ軸方向に沿って両側に延出している第２振動腕としての第１検出振動腕４２１、第２検出振動腕４２２と、第１連結腕４３１の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、および第３駆動振動腕４４２と、第２連結腕４３２の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、および第４駆動振動腕４４４とを有している。第１、第２検出振動腕４２１、４２２および第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の先端部には、それぞれ、基端側よりも幅の大きい略四角形の幅広部としての重量部（ハンマーヘッド）４２５、４２６、４４５、４４７、４４６、４４８が設けられている。このような重量部４２５、４２６、４４５、４４７、４４６、４４８を設けることでジャイロ素子２の角速度の検出感度が向上するとともに、第１、第２検出振動腕４２１、４２２、および第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の長さを短くすることができる。
【００４４】
なお、第１、第２駆動振動腕４４１、４４３は、第１連結腕４３１の延在方向の途中から延出してもよく、同様に、第３、第４駆動振動腕４４２、４４４は、第２連結腕４３２の延在方向の途中から延出してもよい。
また、本例では、基部４１の内の第１連結腕４３１、第２連結腕４３２から第１駆動振動腕４４１、第３駆動振動腕４４２、第２駆動振動腕４４３、および第４駆動振動腕４４４が延出している構成で説明したが、これに限らない。第１連結腕４３１、第２連結腕４３２が設けられない構成、即ち同じ幅の基部４１がｘ方向に延出され、延出された基部４１から第１駆動振動腕、第２駆動振動腕、第３駆動振動腕、および第４駆動振動腕が延出している構成も可能である。
【００４５】
第１連結梁６１は、第１検出振動腕４２１と第１駆動振動腕４４１との間を通って第１支持部５１と基部４１を連結し、第２連結梁６２は、第１検出振動腕４２１と第２駆動振動腕４４３との間を通って第２支持部５２と基部４１を連結し、第３連結梁６３は、第２検出振動腕４２２と第３駆動振動腕４４２との間を通って第３支持部５３と基部４１を連結し、第４連結梁６４は、第２検出振動腕４２２と第４駆動振動腕４４４との間を通って第４支持部５４と基部４１を連結している。
【００４６】
第１連結梁６１と連結された第１支持部５１は、第１駆動振動腕４４１側（第２方向側）に曲げられた曲げ部としての第１折返部５５を有する接続部としての第１接続部６５を含んでいる。第１折返部５５で曲げられた第１接続部６５は、基部４１の中心点Ｇを通る仮想線ｒに対向する端部まで延在されている。ここで、第１折返部５５は、第１支持部５１と連結する部分の第１連結梁６１が延在する方向に対して交差する方向である第２方向（ｘ軸方向）側に一旦向かい、その後、前述の第１連結梁６１が延在する方向に対して反対向きの方向に折り返されている部分である。
【００４７】
第２連結梁６２と連結された第２支持部５２は、第２駆動振動腕４４３側（第２方向側）に曲げられた曲げ部としての第２折返部５６を有する接続部としての第２接続部６６を含んでいる。第１折返部５５で曲げられた第２接続部６６は、基部４１の中心点Ｇを通る仮想線ｒに対向する端部まで延在されている。ここで、第２折返部５６は、第２支持部５２と連結する部分の第２連結梁６２が延在する方向に対して交差する方向である第２方向（ｘ軸方向）側に一旦向かい、その後、前述の第２連結梁６２が延在する方向に対して反対向きの方向に折り返されている部分である。
【００４８】
第３連結梁６３と連結された第３支持部５３は、第３駆動振動腕４４２側（第２方向側）に曲げられた曲げ部としての第３折返部５７を有する接続部としての第３接続部６７を含んでいる。第３折返部５７で曲げられた第３接続部６７は、基部４１の中心点Ｇを通る仮想線ｒに対向する端部まで延在されている。即ち、第３接続部６７の端と第１接続部６５の端とが対向するように配置されている。ここで、第３折返部５７は、第３支持部５３と連結する部分の第３連結梁６３が延在する方向に対して交差する方向である第２方向（ｘ軸方向）側に一旦向かい、その後、前述の第３連結梁６３が延在する方向に対して反対向きの方向に折り返されている部分である。
【００４９】
第４連結梁６４と連結された第４支持部５４は、第４駆動振動腕４４４側（第２方向側）に曲げられた曲げ部としての第４折返部５８を有する接続部としての第４接続部６８を含んでいる。第４折返部５８で曲げられた第４接続部６８は、基部４１の中心点Ｇを通る仮想線ｒに対向する端部まで延在されている。即ち、第４接続部６８の端と第２接続部６６の端とが対向するように配置されている。ここで、第４折返部５８は、第４支持部５４と連結する部分の第４連結梁６４が延在する方向に対して交差する方向である第２方向（ｘ軸方向）側に一旦向かい、その後、前述の第４連結梁６４が延在する方向に対して反対向きの方向に折り返されている部分である。
【００５０】
このように、第１支持部５１、第２支持部５２、第３支持部５３、および第４支持部５４によって、振動体４が囲まれるように位置している。換言すれば、第１支持部５１、第２支持部５２、第３支持部５３、および第４支持部５４は、基部４１の中心点Ｇ（振動体４の中心）を基点として、点対称となるように構成され、それぞれが基部４１と連結されている。
【００５１】
このような各連結梁６１、６２、６３、６４は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って往復しながらｙ軸方向に沿って延びる蛇行部（Ｓ字形状部）を有しており、ｘ軸方向およびｙ軸方向に弾性を有している。また、各連結梁６１、６２、６３、６４は、それぞれ、蛇行部を有する細長い形状を有しているので、あらゆる方向に弾性を有している。そのため、外部から衝撃が加えられても、各連結梁６１、６２、６３、６４で衝撃を吸収する作用を有するので、これに起因する検出ノイズを低減または抑制することができる。
【００５２】
上述のような構成のジャイロ素子２は、次のようにしてｚ軸まわりの角速度ωを検出する。ジャイロ素子２は、角速度ωが加わらない状態において、駆動信号電極（図示せず）および駆動接地電極（図示せず）の間に電界が生じると、図３（ａ）に示すように、各駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４が矢印Ａに示す方向に屈曲振動を行う。このとき、第１、第２駆動振動腕４４１、４４３と、第３、第４駆動振動腕４４２、４４４とは、中心点Ｇ（重心Ｇ）を通るｙｚ平面に関して面対称の振動を行っているため、基部４１と、第１、第２連結腕４３１、４３２と、第１、第２検出振動腕４２１、４２２とは、殆んど振動しない。
【００５３】
この駆動振動を行っている状態にて、ジャイロ素子２にｚ軸まわりに角速度ωが加わると、図３（ｂ）に示すような振動が発生する。即ち、駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４および連結腕４３１、４３２に矢印Ｂ方向のコリオリの力が働き、この矢印Ｂ方向の振動に呼応して、矢印Ｃ方向の検出振動が励起される。そして、この振動により発生した検出振動腕４２１、４２２の歪みを検出信号電極（図示せず）および検出接地電極（図示せず）が検出して角速度ωが求められる。
【００５４】
（パッケージ）
パッケージ９は、ジャイロ素子２を収納するものである。なお、パッケージ９には、後述する電子デバイスのように、ジャイロ素子２の他に、ジャイロ素子２の駆動等を行うＩＣチップ等が収納されていてもよい。このようなパッケージ９は、その平面視（ｘｙ平面視）にて、略矩形状をなしている。
【００５５】
パッケージ９は、上面に開放する凹部を有するベース９１と、凹部の開口を塞ぐようにベースに接合されているリッド（蓋体）９２とを有している。また、ベース９１は、板状の底板９１１と、底板９１１の上面周縁部に設けられている枠状の側壁９１２とを有している。このようなパッケージ９は、その内側に収納空間を有しており、この収納空間内に、ジャイロ素子２が気密的に収納、設置されている。
【００５６】
ジャイロ素子２は、第１支持部５１、第２支持部５２、第３支持部５３、および第４支持部５４のそれぞれの接続部である第１接続部６５、第２接続部６６、第３接続部６７、および第４接続部６８の先端部にて、底板９１１の上面に固定されている。ジャイロ素子２の固定には、半田、銀ペースト、導電性接着剤（樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤）などの導電性固定部材８が用いられている。対向する第１支持部５１および第３支持部５３と、対向する第２支持部５２および第４支持部５４とは、それぞれの固定位置が基部４１の中心点Ｇを通る仮想線ｒに対して略対称となるように固定されている。このような位置関係でジャイロ素子２を底板９１１の上面に固定することにより、ジャイロ素子２の振動体４が両持ち支持されると共に支持バランスが向上し、ジャイロ素子２を底板９１１に対して安定的に固定することができる。また、それぞれの固定位置が、第１折返部５５、第２折返部５６、第３折返部５７、第４折返部５８を介してその先方に設けられているため、基部４１から固定位置までの距離を長くすることができる。このため、振動モレの影響を受けにくくなり、振動モレ現象、不要モード振動が固定位置まで伝播することを抑制することが可能となる。これらにより、ジャイロ素子２の不要な振動（検出振動以外の振動）が抑制され、ジャイロ素子２による角速度ωの検出精度が向上する。
【００５７】
また、導電性固定部材８は、第１接続部６５、第２接続部６６、第３接続部６７、および第４接続部６８に設けられている検出信号端子７１４、検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４に対応（接触）して、かつ互いに離間して設けられている。また、底板９１１の上面には、検出信号端子７１４、検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４に対応する接続パッド１０が設けられており、導電性固定部材８を介して、これら各接続パッド１０とそれと対応するいずれかの端子とが電気的に接続されている。
【００５８】
上述の振動子１によれば、ジャイロ素子２は、第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３、第４連結梁６４のそれぞれの梁によって、基部４１が対向配置された第１支持部５１、第２支持部５２、第３支持部５３、および第４支持部５４のそれぞれに連結されている。さらに、この第１支持部５１、第２支持部５２、第３支持部５３、および第４支持部５４には、それぞれ第１折返部５５、第２折返部５６、第３折返部５７、および第４折返部５８を有する第１接続部６５、第２接続部６６、第３接続部６７、および第４接続部６８が設けられている。そして、ジャイロ素子２は、第１接続部６５、第２接続部６６、第３接続部６７、および第４接続部６８の先端部において、底板９１１の上面に固定されている。このような位置において、ジャイロ素子２が固定されることにより、基部４１から固定位置までの距離を長くすることができ、振動モレの影響を受けにくくなり、振動モレ現象、不要モード振動が固定位置まで伝播することを抑制することが可能となる。したがって、振動モレ現象による温度ドリフトを低減させることが可能となり、前述の不要振動による温度ドリフトの低減と合わせて、温度ドリフトを低減させた角速度の検出が可能となる。
【００５９】
なお、ジャイロ素子２の固定位置は、第１接続部６５、第２接続部６６、第３接続部６７、および第４接続部６８の先端部に限らず、第１折返部５５、第２折返部５６、第３折返部５７、および第４折返部５８とそれぞれの先端との間であればよく、同等な効果を有する。
【００６０】
（ジャイロ素子の第２実施形態）
ジャイロ素子の第２実施形態について図４を用いて説明する。図４は、第２実施形態のジャイロ素子の概略を示す平面図である。なお、本第２実施形態の説明では、上述の第１実施形態と同じ構成については同符号を付けてその説明を省略することがある。
【００６１】
図４に示すように、第２実施形態のジャイロ素子３は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する支持部と、振動体４と支持部とを連結する梁とを有している。ここで、第２実施形態のジャイロ素子３と前述の第１実施形態のジャイロ素子２との相違は、支持部が、第１支持部５１ａと第３支持部５３ａで構成されていることである。詳述すると、第１支持部５１ａは、第１実施形態で説明した第１支持部５１と第２支持部５２とが、ｘ軸方向に沿って連結されており、第３支持部５３ａは、第１実施形態で説明した第３支持部５３と第４支持部５４とが、ｘ軸方向に沿って連結されている。
【００６２】
ジャイロ素子３の支持部は、第１支持部５１ａ、および第３支持部５３ａが含まれる。梁は、振動体４と第１支持部５１ａとを連結する第１連結梁６１、および第２連結梁６２と、振動体４と第３支持部５３ａとを連結する第３連結梁６３、および第４連結梁６４とを有している。なお、振動体４は、第１実施形態と同様な構成であるので説明を省略する。
【００６３】
第１支持部５１ａには、第１連結梁６１からｘ軸方向（第２方向）に曲げられる第１折返部５５を有する第１接続部６５、および第２連結梁６２からｘ軸の反対方向（第３方向）に曲げられる第２折返部５６を有する第２接続部６６が設けられている。このように、第１接続部６５、及び第２接続部６６は、ｘ軸方向に延在する第１支持部５１ａの両側に設けられている。なお、第１接続部６５、および第２接続部６６の構成は、第１実施形態と同様である。
【００６４】
第３支持部５３ａには、第３連結梁６３からｘ軸方向（第２方向）に曲げられる第３折返部５７を有する第３接続部６７、および第４連結梁６４からｘ軸の反対方向（第３方向）に曲げられる第４折返部５８を有する第４接続部６８が設けられている。このように、第３接続部６７、及び第４接続部６８は、ｘ軸方向に延在する第３支持部５３ａの両側に設けられている。なお、第３接続部６７、および第４接続部６８の構成は、第１実施形態と同様である。
【００６５】
第２実施形態のジャイロ素子３によれば、二つの梁（第１連結梁６１、第２連結梁６２）が連結された第１支持部５１ａ、および同様に二つの梁（第３連結梁６３、第４連結梁６４）が連結された第３支持部５３ａが一体である。このような構成の第１支持部５１ａおよび第３支持部５３ａは、それぞれの剛性が高まり、振動体４を安定して支持することが可能となる。これにより、安定した振動特性を得ることが可能なジャイロ素子３を提供することができる。
【００６６】
（ジャイロ素子の第３実施形態）
ジャイロ素子の第３実施形態について図５を用いて説明する。図５は、第３実施形態のジャイロ素子の概略を示す平面図である。なお、本第３実施形態の説明では、上述の第１実施形態と同じ構成については同符号を付けてその説明を省略することがある。
【００６７】
図５に示すように、第３実施形態のジャイロ素子５は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する支持部と、振動体４と支持部とを連結する梁とを有している。ここで、第３実施形態のジャイロ素子５と前述の第１実施形態のジャイロ素子２との相違は、支持部が、第１支持部５１ｂと第３支持部５３ｂで構成されていることである。詳述すると、第１支持部５１ｂは、第１実施形態で説明した第１支持部５１と第２支持部５２とが、可撓性を有する第１連結部５９ａを介してｘ軸方向に沿って連結されており、第３支持部５３ｂは、第１実施形態で説明した第３支持部５３と第４支持部５４とが、可撓性を有する第２連結部５９ｂを介してｘ軸方向に沿って連結されている。
【００６８】
ジャイロ素子５の支持部は、第１支持部５１ｂ、および第３支持部５３ｂが含まれる。梁は、振動体４と第１支持部５１ｂとを連結する第１連結梁６１、および第２連結梁６２と、振動体４と第３支持部５３ｂとを連結する第３連結梁６３、および第４連結梁６４とを有している。なお、振動体４は、第１実施形態と同様な構成であるので説明を省略する。
【００６９】
第１支持部５１ｂには、第１連結梁６１からｘ軸方向（第２方向）に曲げられる第１折返部５５を有する第１接続部６５、および第２連結梁６２からｘ軸の反対方向（第３方向）に曲げられる第２折返部５６を有する第２接続部６６が設けられている。このように、第１接続部６５、及び第２接続部６６は、ｘ軸方向に延在する第１支持部５１ｂの両側に設けられている。また、第１支持部５１ｂには、第１支持部５１ｂの中央付近（第１連結梁６１との連結部分と第２連結梁６２との連結部分との間を含む領域）に可撓性を有する第１連結部５９ａが設けられており、この第１連結部５９ａを介して第１接続部６５側と第２接続部６６側とが連結されている。なお、第１接続部６５、および第２接続部６６の構成は、第１実施形態と同様である。
【００７０】
第１連結部５９ａは、反対方向への曲げを繰り返す細幅部で構成されており、この繰り返された曲げ構造で撓みを生じさせることができる、所謂可撓性を有している。なお、第１連結部５９ａは、可撓性を有する構成であればよく、例えば細幅部が曲線状に曲げられた構成、細幅の曲線構造など他の構成を用いてもよい。
【００７１】
第３支持部５３ｂには、第３連結梁６３からｘ軸方向（第２方向）に曲げられる第３折返部５７を有する第３接続部６７、および第４連結梁６４からｘ軸の反対方向（第３方向）に曲げられる第４折返部５８を有する第４接続部６８が設けられている。このように、第３接続部６７、及び第４接続部６８は、ｘ軸方向に延在する第３支持部５３ｂの両側に設けられている。また、第３支持部５３ｂには、第３支持部５３ｂの中央付近（第３連結梁６３との連結部分と第４連結梁６４との連結部分との間を含む領域）に可撓性を有する第２連結部５９ｂが設けられており、この第２連結部５９ｂを介して第３接続部６７側と第４接続部６８側とが連結されている。なお、第３接続部６７、および第４接続部６８の構成は、第１実施形態と同様である。
【００７２】
第２連結部５９ｂは、反対方向への曲げを繰り返す細幅部で構成されており、この繰り返された曲げ構造で撓みを生じさせることができる、所謂可撓性を有している。なお、第２連結部５９ｂは、可撓性を有する構成であればよく、例えば細幅部が曲線状に曲げられた構成、細幅の曲線構造など他の構成を用いてもよい。
【００７３】
第３実施形態のジャイロ素子５によれば、二つの梁（第１連結梁６１、第２連結梁６２）が連結された第１支持部５１ｂは、可撓性を有する第１連結部５９ａを介して第１接続部６５側と第２接続部６６側とが連結されている一体構成である。また、同様に二つの梁（第３連結梁６３、第４連結梁６４）が連結された第３支持部５３ｂは、可撓性を有する第２連結部５９ｂを介して第３接続部６７側と第４接続部６８側とが連結されている一体構成である。このような構成の第１支持部５１ｂおよび第３支持部５３ｂでは、それぞれの剛性が高まり、振動体４を安定して支持することが可能となる。また、第１支持部５１ｂおよび第３支持部５３ｂが、可撓性を有する第１連結部５９ａ、第２連結部５９ｂで連結されているため、この第１連結部５９ａ、第２連結部５９ｂが外部からの衝撃などを受けた場合の緩衝部となり、耐衝撃性を向上させることが可能となる。これにより、安定した振動特性を得るとともに耐衝撃性も向上させることが可能なジャイロ素子５を提供することができる。
【００７４】
（ジャイロ素子の第４実施形態）
ジャイロ素子の第４実施形態について図６を用いて説明する。図６は、第４実施形態のジャイロ素子の概略を示す平面図である。なお、本第４実施形態の説明では、上述の第１実施形態と同じ構成については同符号を付けてその説明を省略することがある。
【００７５】
図６に示すように、第２実施形態のジャイロ素子６は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する支持部と、振動体４と支持部とを連結する梁とを有している。ここで、第４実施形態のジャイロ素子６と前述の第１実施形態のジャイロ素子２との相違は、基部４１から延出されている梁が、第１連結梁６１および第４連結梁６４の二つで構成され、ここに連結される支持部も第１支持部５１ｃと第４支持部５４ｃの二つ（一対）で構成されていることである。
【００７６】
第１連結梁６１は、第１検出振動腕４２１と第１駆動振動腕４４１との間を通って第１支持部５１ｃと基部４１を連結し、第４連結梁６４は、第２検出振動腕４２２と第４駆動振動腕４４４との間を通って第４支持部５４ｃと基部４１を連結している。なお、第１連結梁６１と第４連結梁６４とは、基部４１の中心点Ｇを基準とする点対称の位置、及び形状に設けられている。
【００７７】
第１連結梁６１と連結された第１支持部５１ｃは、第１駆動振動腕４４１側（第２方向側）に曲げられた曲げ部としての第１折返部５５を有する接続部としての第１接続部６５を含んでいる。第１折返部５５で曲げられた第１接続部６５は、基部４１の中心点Ｇを通る仮想線ｒに対向する端部まで延在されている。
【００７８】
第４連結梁６４と連結された第４支持部５４ｃは、第４駆動振動腕４４４側（第３方向側）に曲げられた曲げ部としての第４折返部５８を有する接続部としての第４接続部６８を含んでいる。第４折返部５８で曲げられた第４接続部６８は、基部４１の中心点Ｇを通る仮想線ｒに対向する端部まで延在されている。
【００７９】
このように、第１支持部５１ｃ、および第４支持部５４ｃによって、振動体４が囲まれるように位置しており、第１支持部５１ｃ、および第４支持部５４ｃは、基部４１の中心点Ｇ（振動体４の中心）を基点として点対称となる位置、および形状となるように構成され、それぞれが基部４１と連結されている。なお、本例では、第１支持部５１ｃ、および第４支持部５４ｃを用い、中心点Ｇを基準とする点対称の構成で説明したが、例えば、図２で示す第２支持部５２、および第４支持部５４、あるいは第１支持部５１、および第３支持部５３を用いる中心点Ｇを通る仮想線ｒに対し線対称の構成でもよい。
【００８０】
第４実施形態のジャイロ素子６によれば、ジャイロ素子６を固定するそれぞれの固定位置を、基部４１の中心点Ｇを基準として点対称となるようにすることが可能となる。このような位置関係でジャイロ素子６を底板９１１（図１参照）の上面に固定することにより、ジャイロ素子６の振動体４の支持バランスが向上し、安定的に固定することができる。また、それぞれの固定位置が、第１折返部５５、第４折返部５８を介してその先方に設けられているため、基部４１から固定位置までの距離を長くすることができる。加えて梁が第１連結梁６１および第４連結梁６４の二つで構成されているため、振動モレの伝播経路が少なくなり振動モレの伝播を抑えることが可能となる。これらにより、ジャイロ素子６は、振動モレの影響を受けにくくなり、振動モレ現象、不要モード振動が固定位置まで伝播することを抑制することが可能となる。これらにより、ジャイロ素子６の不要な振動（検出振動以外の振動）が抑制され、ジャイロ素子６による角速度ωの検出精度が向上する。
【００８１】
なお、上述の実施形態では、本発明に係る振動素子の一例として、所謂「ダブルＴ型」ジャイロ素子２、３、５、６を用いて説明したがこれに限らない。本発明に係る振動素子は、基部の一端および反対側の他端から、即ち基部の両側へ延出された振動腕を有する構成であればよく、例えば、所謂「Ｈ型」ジャイロ素子、基部から互いに反対方向に延出している音叉振動腕を有する振動素子などがあげられる。
【００８２】
＜振動子の第２実施形態＞
図７は、本発明にかかる振動素子の第５実施形態、およびその振動素子を用いた振動子の第２実施形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図である。図８は、図７に示す振動子が備える振動素子としてのジャイロ素子を示す平面図である。なお、以下では、図７に示すように、互いに直交する３軸を、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸とし、ｚ軸は、振動デバイスの厚さ方向と一致する。また、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向（第２方向）」と言い、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向（第１方向）」と言い、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」と言う。
【００８３】
図７に示す振動子２００は、振動素子としてのジャイロ素子２０２と、ジャイロ素子２０２を収納するパッケージ２０９とを有している。以下、ジャイロ素子２０２およびパッケージ２０９について順次詳細に説明する。
【００８４】
（ジャイロ素子の第５実施形態）
図８は、上側（リッド２９２側）から見た振動素子としてのジャイロ素子の第５実施形態を示す平面図である。なお、ジャイロ素子には、検出信号電極、検出信号配線、検出信号端子、検出接地電極、検出接地配線、検出接地端子、駆動信号電極、駆動信号配線、駆動信号端子、駆動接地電極、駆動接地配線および駆動接地端子などが設けられているが、同図においては省略している。
【００８５】
図８に示すように、ジャイロ素子２０２は、ｘ軸方向（第２方向）に延在された基部２０１と、基部２０１からｙ軸方向（第１方向）に沿って並走するように延出された第１振動腕としての第１駆動振動腕２４１、および第２駆動振動腕２４２と、基部２０１から第１駆動振動腕２４１の延出されている側と反対側に第１方向に沿って並走するように延出された第２振動腕としての第１検出振動腕２４３、および第２検出振動腕２４４とを有している。さらに、ジャイロ素子２０２は、基部２０１の第２方向の両端部から第１方向に沿って両側の延出する接続部と、第１駆動振動腕２４１、第２駆動振動腕２４２、第１検出振動腕２４３、および第２検出振動腕２４４の先端に連結された錘２４５、２４６、２４７、２４８を有している。
【００８６】
接続部は、第１駆動振動腕２４１に沿って設けられている第１接続部２５１と、第２駆動振動腕２４２に沿って設けられている第２接続部２５２と、第１検出振動腕２４３に沿って設けられている第３接続部２５３と、第２検出振動腕２４４に沿って設けられている第４接続部２５４と、を有している。
【００８７】
第１接続部２５１には、基部２０１の延在方向（第２方向）に対して反対方向に、第１方向の正側を経て曲げられた第１折返部２５５が設けられており、第１折返部２５５を介して第１延出部２６５が設けられている。また、第２接続部２５２には、基部２０１の延在方向（第２方向）に対して反対方向に、第１方向の正側を経て曲げられた第２折返部２５６が設けられており、第２折返部２５６を介して第２延出部２６６が設けられている。そして、第１接続部２５１が曲げられた先端と、第２接続部２５２が曲げられた先端とが、第１方向に沿って基部２０１の中心点Ｇを通る仮想線ｒに対して略対称位置に配置されている。
【００８８】
第３接続部２５３には、基部２０１の延在方向（第２方向）に対して反対方向に、第１方向の負側を経て曲げられた第３折返部２５７が設けられており、第３折返部２５７を介して第３延出部２６７が設けられている。また、第４接続部２５４には、基部２０１の延在方向（第２方向）に対して反対方向に、第１方向の負側を経て曲げられた第４折返部２５８が設けられており、第４折返部２５８を介して第４延出部２６８が設けられている。そして、第３接続部２５３が曲げられた先端と、第４接続部２５４が曲げられた先端とが、第１方向に沿って基部２０１の中心点Ｇを通る仮想線ｒに対して略対称位置に配置されている。
【００８９】
ここでジャイロ素子２０２の動作について概略を説明する。
ジャイロ素子２０２は、第１駆動振動腕２４１、および第２駆動振動腕２４２を駆動振動させ、それに伴い、第１検出振動腕２４３、および第２検出振動腕２４４が共振により同調して振動する。第１駆動振動腕２４１、および第２駆動振動腕２４２と、第１検出振動腕２４３、および第２検出振動腕２４４とは、Ｘ軸方向とＹ軸方向の長さ成分を有している。したがって、これらの第１駆動振動腕２４１、および第２駆動振動腕２４２と、第１検出振動腕２４３、および第２検出振動腕２４４とを振動させることによって、これら第１駆動振動腕２４１、第２駆動振動腕２４２、第１検出振動腕２４３、および第２検出振動腕２４４の先端に連結された錘２４５，２４６，２４７，２４８には、Ｘ軸方向とＹ軸方向の速度が発生する。
【００９０】
Ｘ軸の正側に配置された第１駆動振動腕２４１の錘２４５がＸ軸の正方向及びＹ軸の正方向に振動している場合、Ｘ軸の負側に配置された第２駆動振動腕２４２の錘２４６がＸ軸の負方向及びＹ軸の正方向に振動し、Ｘ軸の正側に配置された第１検出振動腕２４３の錘２４７はＸ軸の正方向及びＹ軸の負方向に振動し、Ｘ軸の負側に配置された第２検出振動腕２４４の錘２４８はＸ軸の負方向及びＹ軸の負方向に振動する。
【００９１】
そして、ジャイロ素子２０２に角速度が加わると、この角速度に起因して、第１検出振動腕２４３、および第２検出振動腕２４４において歪が生じる。この歪を第１検出振動腕２４３、および第２検出振動腕２４４に設けられた図示しない検出電極が電圧として出力し、この出力電圧に基づく検出信号により処理回路が角速度を検出する。
【００９２】
（パッケージ）
パッケージ２０９は、ジャイロ素子２０２を収納するものである。なお、パッケージ２０９には、後述する電子デバイスのように、ジャイロ素子２０２の他に、ジャイロ素子２０２の駆動等を行うＩＣチップ等が収納されていてもよい。このようなパッケージ２０９は、その平面視（ｘｙ平面視）にて、略矩形状をなしている。
【００９３】
パッケージ２０９は、上面に開放する凹部を有するベース２９１と、凹部の開口を塞ぐようにベースに接合されているリッド（蓋体）２９２とを有している。また、ベース２９１は、板状の底板２１１と、底板２１１の上面周縁部に設けられている枠状の側壁２１２とを有している。このようなパッケージ２０９は、その内側に収納空間を有しており、この収納空間内に、ジャイロ素子２０２が気密的に収納、設置されている。
【００９４】
ジャイロ素子２０２は、第１接続部２５１、第２接続部２５２、第３接続部２５３、および第４接続部２５４のそれぞれの先端部にて、底板２１１の上面に固定されている。ジャイロ素子２０２の固定には、半田、銀ペースト、導電性接着剤（樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤）などの導電性固定部材２０８が用いられている。対向する第１接続部２５１および第２接続部２５２と、対向する第３接続部２５３および第４接続部２５４とは、それぞれの固定位置が基部２０１の中心点Ｇを通る仮想線ｒに対して略対称となるように固定されている。このような位置関係でジャイロ素子２０２を底板２１１の上面に固定することにより、ジャイロ素子２０２の振動体２０４が両持ち支持されると共に支持バランスが向上し、ジャイロ素子２０２を底板２１１に対して安定的に固定することができる。また、それぞれの固定位置が、第１折返部２５５、第２折返部２５６、第３折返部２５７、第４折返部２５８を介してその先方に設けられているため、基部２０１から固定位置までの距離を長くすることができる。このため、振動モレの影響を受けにくくなり、振動モレ現象、不要モード振動が固定位置まで伝播することを抑制することが可能となる。これらにより、ジャイロ素子２０２の不要な振動（検出振動以外の振動）が抑制され、ジャイロ素子２による角速度ωの検出精度が向上する。
【００９５】
また、導電性固定部材２０８は、第１接続部２５１、第２接続部２５２、第３接続部２５３、および第４接続部２５４に設けられている駆動信号端子２２４、駆動接地端子２１４、検出信号端子２４４、および検出接地端子２３４、に対応（接触）して、かつ互いに離間して設けられている。また、底板２１１の上面には、駆動信号端子２２４、駆動接地端子２１４、検出信号端子２４４、および検出接地端子２３４、に対応する接続パッド２１０が設けられており、導電性固定部材２０８を介して、これら各接続パッド２１０とそれと対応するいずれかの端子とが電気的に接続されている。
【００９６】
上述の振動子２００によれば、ジャイロ素子２０２は、基部２０１から延出された第１折返部２５５、第２折返部２５６、第３折返部２５７、および第４折返部２５８を有する第１接続部２５１、第２接続部２５２、第３接続部２５３、および第４接続部２５４が設けられている。そして、ジャイロ素子２０２は、第１接続部２５１、第２接続部２５２、第３接続部２５３、および第４接続部２５４の先端部において、底板２１１の上面に固定されている。このような位置において、ジャイロ素子２０２が固定されることにより、基部２０１から固定位置までの距離を長くすることができ、振動モレの影響を受けにくくなり、振動モレ現象、不要モード振動が固定位置まで伝播することを抑制することが可能となる。したがって、振動モレ現象による温度ドリフトを低減させることが可能となり、前述の不要振動による温度ドリフトの低減と合わせて、温度ドリフトを低減させた角速度の検出が可能となる。また、第１延出部２６５と第２延出部２６６とが、第３延出部２６７と第４延出部２６８とが、それぞれ接続されていない。したがって、第１延出部２６５が有する振動モレを第２延出部２６６に伝搬させない。同様に、第３延出部２６７が有する振動モレを第４延出部２６８に伝搬させない。よって、一方の延出部が有する振動モレと他方が有する振動モレとが干渉することや、伝搬し合うことを抑制することができる。
【００９７】
なお、ジャイロ素子２０２の固定位置は、第１接続部２５１、第２接続部２５２、第３接続部２５３、および第４接続部２５４の先端部に限らず、第１折返部２５５、第２折返部２５６、第３折返部２５７、および第４折返部２５８とそれぞれの先端との間の第１延出部２６５、第２延出部２６６、第３延出部２６７、および第４延出部２６８であってもよく、同等な効果を有する。
【００９８】
また、本発明に係る振動素子は、基板上に形成された圧電薄膜を振動源とする圧電薄膜駆動型の振動素子、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）型の振動素子、静電駆動型の振動素子などにも適用することが可能である。
【００９９】
［電子デバイス］
次に、上述のジャイロ素子２、３、５、６、２０２を用いた電子デバイスの一例としてのジャイロセンサーについて、図９を用いて説明する。図９はジャイロセンサーの概略を示す正断面図である。なお、ここでの説明では、上述の実施形態の内、第１実施形態のジャイロ素子２を用いた例で説明する。
【０１００】
ジャイロセンサー８０は、振動素子としてのジャイロ素子２、回路素子としてのＩＣ８４、パッケージとしての収容器８１、蓋体８６を備えている。セラミックなどで形成された収容器８１の底面にはＩＣ８４が配置され、Ａｕなどのワイヤー８５で収容器８１に形成された配線（図示せず）と電気的接続がなされている。ＩＣ８４にはジャイロ素子２を駆動振動させるための駆動回路と、角速度が加わったときにジャイロ素子２に生ずる検出信号を検出する検出回路とを含んでいる。
【０１０１】
ジャイロ素子２は、収容器８１に形成された支持台８２に、ジャイロ素子２の支持部である第１接続部６５、第２接続部６６、第３接続部６７、第４接続部６８の一部が導電性接着剤などの固定部材８３を介して接着支持されている。また、支持台８２表面には配線（図示せず）が形成され、ジャイロ素子２の電極と配線間の導通が固定部材８３を介してなされている。この固定部材８３は、弾性のある材料であることが望ましい。弾性を有する固定部材８３としてはシリコーンを基材とする導電性接着剤などが知られている。そして、収容器８１内を真空雰囲気に保持し、収容器８１の上部の開口が蓋体８６にて封止されている。
【０１０２】
ジャイロセンサー８０によれば、用いているジャイロ素子２において、振動モレ現象、不要モード振動が固定位置まで伝播することが抑制されているため、振動モレ現象による温度ドリフトを低減させることが可能となり、前述の不要振動による温度ドリフトの低減と合わせて、温度ドリフトを低減させ、安定した角速度の検出が可能となる。
【０１０３】
上述の電子デバイスの説明では、振動素子として所謂ダブルＴ型のジャイロ素子２を用いたジャイロセンサー８０を例に説明したが、電子デバイスとしてはこれに限らない。他の電子デバイスとしては、例えば素子としてＨ型、あるいは音叉型のジャイロ素子を用いたジャイロセンサー、水晶振動素子（振動素子）を用いたタイミングデバイス（水晶振動子、水晶発振器など）、感圧素子を用いた圧力センサーなどであってもよい。
【０１０４】
［電子機器］
次いで、本発明の一実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子２、３、５、６、２０２、振動素子としてのジャイロ素子２、３、５、６、２０２を用いた振動子１、２００、あるいは電子デバイスとしてのジャイロセンサー８０を適用した電子機器について、図１０〜図１２に基づき、詳細に説明する。なお、説明では、振動素子としてのジャイロ素子２を用いた振動子１を適用した例を示している。
【０１０５】
図１０は、本発明の一実施形態に係る振動子１を備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成の概略を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、角速度を検出する機能を備えたジャイロ素子２を用いた振動子１が内蔵されている。
【０１０６】
図１１は、本発明の一実施形態に係る振動子１を備える電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、角速度センサー等として機能するジャイロ素子２を用いた振動子１が内蔵されている。
【０１０７】
図１２は、本発明の一実施形態に係る振動子１を備える電子機器としてのデジタルスチールカメラの構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１０８】
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１０９】
撮影者が表示部１００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、角速度センサー等として機能するジャイロ素子２を用いた振動子１が内蔵されている。
【０１１０】
なお、本発明の一実施形態に係る振動子１は、図１０のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１１の携帯電話機、図１２のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。
【０１１１】
［移動体］
図１３は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１０６には本発明に係るジャイロ素子２を用いた振動子１が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１０６には、ジャイロ素子２を用いた振動子１を内蔵してタイヤ１０９などを制御する電子制御ユニット１０８が車体１０７に搭載されている。また、振動子１は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【符号の説明】
【０１１２】
１、２００…振動子、２、３、５、６、２０２…振動素子としてのジャイロ素子、４、２０４…振動体、８、２０８…導電性固定部材（銀ペースト）、９、２０９…パッケージ、１０、２１０…接続パッド、４１、２０１…基部、５１…支持部としての第１支持部、５２…支持部としての第２支持部、５３…支持部としての第３支持部、５４…支持部としての第４支持部、５５…第１折返部、５６…第２折返部、５７…第３折返部、５８…第４折返部、６１…第１梁としての第１連結梁、６２…第１梁としての第２連結梁、６３…第２梁としての第３連結梁、６４…第２梁としての第４連結梁、６５…第１接続部、６６…第２接続部、６７…第３接続部、６８…第４接続部、９１…ベース、９２…リッド、１０６…移動体としての自動車、４２１…第２振動腕としての第１検出振動腕、４２２…第２振動腕としての第２検出振動腕、４２５、４２６、４４５、４４６、４４７，４４８…重量部（ハンマーヘッド）、４３１…第１連結腕、４３２…第２連結腕、４４１…第１振動腕としての第１駆動振動腕、４４２…第１振動腕としての第３駆動振動腕、４４３…第１振動腕としての第２駆動振動腕、４４４…第１振動腕としての第４駆動振動腕、７１４…検出信号端子、７２４…検出接地端子、７３４…駆動信号端子、７４４…駆動信号端子、９１１…底板、９１２…側壁、１１００…電子機器としてのモバイル型のパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのデジタルスチールカメラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2014178165.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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