(57)【要約】【課題】貫通クラックが生じた場合でも複数の個別電極間の電気的短絡を抑制する。【解決手段】ヘッドのアクチュエータユニットは、複数の圧力室１６に跨って設けられた圧電層、及び、圧電層の表面１７ａ１に形成された複数の個別電極１８ａを有する。個別電極１８ａは圧力室１６毎に設けられている。表面１７ａ１における複数の個別電極１８ａの間には、表面１７ａ１から突出した絶縁体からなる凸部１８ｐが設けられている。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数の吐出口、及び、前記吐出口にそれぞれ接続した複数の圧力室を有し、前記圧力室から前記吐出口に至る流路が形成された流路ユニットと、
前記流路ユニットに固定されたアクチュエータユニットであって、前記複数の圧力室に跨って設けられた圧電層、前記圧電層における前記圧力室と反対側の表面において前記圧力室のそれぞれに対応する位置に配置された複数の個別電極、及び、前記表面において少なくとも複数の前記個別電極の間に配置されると共に前記表面から突出した絶縁体からなる凸部を有し、前記個別電極に駆動電圧が印加されることにより当該個別電極に対応した前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、
を備えたことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記アクチュエータユニットは、前記個別電極のそれぞれに接続すると共に前記表面から突出した導電体からなる複数のランドを有し、前記ランドを介して前記個別電極に駆動電圧が印加されることにより当該個別電極に対応した前記圧力室の容積を変化させるものであり、
前記凸部の前記表面からの突出量が、前記ランドの前記表面からの突出量以下であることを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記凸部の前記表面からの突出量が、前記ランドの前記表面からの突出量と同じであることを特徴とする、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記凸部が、前記表面と直交する方向から見て、前記個別電極のそれぞれを囲んでいることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記表面における前記個別電極と当該個別電極を囲む前記凸部との間の領域に、撥液処理が施されていることを特徴とする、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記凸部における前記領域と対向する内壁面に、撥液処理が施されていることを特徴とする、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記アクチュエータユニットは、前記複数の圧力室に跨って配置された共通電極、及び、前記表面において前記複数の個別電極からなる個別電極群から離隔して配置され、前記共通電極と電気的に接続された表面電極を有し、
前記凸部が、前記個別電極群と前記表面電極との間に配置されていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記凸部が、前記表面と直交する方向から見て、前記個別電極群を囲んでいることを特徴とする、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記個別電極が、前記表面と直交する方向から見て、前記圧力室と重なる位置に配置された主部、及び、前記主部から前記圧力室と重ならない領域まで前記表面に沿って延出された延出部を含み、
前記アクチュエータユニットは、前記延出部上にそれぞれ形成された導電体からなる複数のランドを有し、前記ランドを介して前記個別電極に駆動電圧が印加されることにより当該個別電極の前記主部に対応した前記圧力室の容積を変化させるものであり、
前記凸部が、前記表面と直交する方向から見て、前記延出部を横切って前記主部を囲む複数の環状部と、互いに隣接する前記環状部同士を結ぶ複数の連結部とを含み、
前記ランドが、前記環状部と前記連結部とで画定されるいずれかの領域に配置され、前記環状部と前記連結部とによって他の前記ランドと隔離されていることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記凸部が、前記表面と直交する方向から見て、前記個別電極の全体を囲んでいることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記凸部が、前記表面と直交する方向から見て、前記圧力室のそれぞれを囲む位置に配置されており、対応する前記圧力室の外縁から当該圧力室の外側に前記圧電層の厚み分の距離だけ離隔していることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記複数の圧力室が、前記流路ユニットの表面においてマトリクス状に配置されていることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
液体を吐出する複数の吐出口、及び、前記吐出口にそれぞれ接続した複数の圧力室を有し、前記圧力室から前記吐出口に至る流路が形成された流路ユニットを作製する流路ユニット作製工程と、
圧電層の表面において前記圧力室にそれぞれ対応する複数の個別電極を形成する個別電極形成工程、及び、前記個別電極形成工程の後、前記表面における少なくとも複数の前記個別電極の間に前記表面から突出した絶縁体からなる凸部を形成する凸部形成工程を含む、前記個別電極に駆動電圧が印加されることにより当該個別電極に対応した前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットを作製するアクチュエータユニット作製工程と、
前記流路ユニット作製工程及び前記アクチュエータユニット作製工程の後、前記個別電極が前記圧力室のそれぞれと前記表面と直交する方向から見て重なるように位置決めしつつ、前記圧電層を、前記複数の圧力室に跨るように且つ前記表面とは反対側の面が前記圧力室と対向するように配置して、前記流路ユニットに前記アクチュエータユニットを固定する固定工程と、
を備えたことを特徴とする、液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記凸部形成工程において、前記表面と直交する方向から見て前記個別電極のそれぞれを囲むように、前記凸部を形成し、
前記凸部形成工程の後、少なくとも前記表面における前記個別電極と当該個別電極を囲む前記凸部との間の領域に、撥液処理を施す撥液処理工程をさらに備えたことを特徴とする、請求項１３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記撥液処理工程において、前記表面における前記個別電極と当該個別電極を囲む前記凸部との間の領域、及び、前記凸部における前記領域と対向する内壁面に、撥液処理を施すことを特徴とする、請求項１４に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドの一例として、複数の圧力室に跨って設けられた圧電層（圧電シート）と、圧電層における圧力室と反対側の表面において圧力室のそれぞれに対応する位置に配置された複数の個別電極と含む、アクチュエータユニットを有するものが知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１６５２１２号公報（図６）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような構成の液体吐出ヘッドにおいては、製造時の負荷等により、圧電層における圧力室と対向する部分にクラックが生じ得る。ここで、圧電層を厚み方向に貫通したクラック（貫通クラック）が生じた場合、圧力室内の液体が、貫通クラックに侵入し、貫通クラックを通って圧電層の表面にまで達し得る。そして当該液体が圧電層の表面上で広がると、圧電層の表面に形成された複数の個別電極間に電気的短絡が生じ得る。
【０００５】
本発明の目的は、貫通クラックが生じた場合でも複数の個別電極間の電気的短絡を抑制することができる、液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の第１観点によると、液体を吐出する複数の吐出口、及び、前記吐出口にそれぞれ接続した複数の圧力室を有し、前記圧力室から前記吐出口に至る流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットに固定されたアクチュエータユニットであって、前記複数の圧力室に跨って設けられた圧電層、前記圧電層における前記圧力室と反対側の表面において前記圧力室のそれぞれに対応する位置に配置された複数の個別電極、及び、前記表面において少なくとも複数の前記個別電極の間に配置されると共に前記表面から突出した絶縁体からなる凸部を有し、前記個別電極に駆動電圧が印加されることにより当該個別電極に対応した前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、を備えたことを特徴とする、液体吐出ヘッドが提供される。
【０００７】
本発明の第２観点によると、液体を吐出する複数の吐出口、及び、前記吐出口にそれぞれ接続した複数の圧力室を有し、前記圧力室から前記吐出口に至る流路が形成された流路ユニットを作製する流路ユニット作製工程と、圧電層の表面において前記圧力室にそれぞれ対応する複数の個別電極を形成する個別電極形成工程、及び、前記個別電極形成工程の後、前記表面における少なくとも複数の前記個別電極の間に前記表面から突出した絶縁体からなる凸部を形成する凸部形成工程を含む、前記個別電極に駆動電圧が印加されることにより当該個別電極に対応した前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットを作製するアクチュエータユニット作製工程と、前記流路ユニット作製工程及び前記アクチュエータユニット作製工程の後、前記個別電極が前記圧力室のそれぞれと前記表面と直交する方向から見て重なるように位置決めしつつ、前記圧電層を、前記複数の圧力室に跨るように且つ前記表面とは反対側の面が前記圧力室と対向するように配置して、前記流路ユニットに前記アクチュエータユニットを固定する固定工程と、を備えたことを特徴とする、液体吐出ヘッドの製造方法が提供される。
【０００８】
上記第１及び第２観点によれば、圧力室内の液体が貫通クラックを通って圧電層の表面にまで達し、圧電層の表面上で広がろうとしても、凸部によって液体が堰き止められる。これにより、貫通クラックが生じた場合でも、複数の個別電極間の電気的短絡を抑制することができる。
【０００９】
上記第１観点において、前記アクチュエータユニットは、前記個別電極のそれぞれに接続すると共に前記表面から突出した導電体からなる複数のランドを有し、前記ランドを介して前記個別電極に駆動電圧が印加されることにより当該個別電極に対応した前記圧力室の容積を変化させるものであり、前記凸部の前記表面からの突出量が、前記ランドの前記表面からの突出量以下であってよい。液体吐出ヘッドの製造過程において、ランド上に加圧治具を載置し、ランドを支点としてアクチュエータユニットを流路ユニットに固定する工程（固定工程）を行うことが考えられる。この場合に凸部の突出量がランドの突出量を超えていると、ランド上に加圧治具を載置し難く、固定工程を適切に行うことができない。しかし上記構成によれば、このような問題を回避することができる。
【００１０】
上記第１観点において、前記凸部の前記表面からの突出量が、前記ランドの前記表面からの突出量と同じであってよい。この構成によれば、ランド及び凸部上に加圧治具を載置し、ランド及び凸部を支点として、固定工程を行うことができる。この場合、加圧力が分散され、アクチュエータユニットのクラック等を防止しつつ、アクチュエータユニットを流路ユニットにより強固に固定することができる。
【００１１】
上記第１観点において、前記凸部が、前記表面と直交する方向から見て、前記個別電極のそれぞれを囲んでよい。この構成によれば、圧電層の表面上での液体の広がりをより確実に抑えることができ、複数の個別電極間の電気的短絡をより確実に抑制することができる。
【００１２】
上記第１観点において、前記表面における前記個別電極と当該個別電極を囲む前記凸部との間の領域に、撥液処理が施されてよい。また、上記第２観点に係る製造方法は、前記凸部形成工程において、前記表面と直交する方向から見て前記個別電極のそれぞれを囲むように、前記凸部を形成し、前記凸部形成工程の後、少なくとも前記表面における前記個別電極と当該個別電極を囲む前記凸部との間の領域に、撥液処理を施す撥液処理工程をさらに備えてよい。これらの構成によれば、貫通クラックの末端が当該領域に形成されており、圧力室内の液体が貫通クラックを通って当該領域に達した場合に、液体を個別電極に向けて移動させることができる。液体吐出ヘッドの製造過程で行われるクラック検出工程では、貫通クラックがあっても、個別電極に検出液が接触していないと、クラックを検出できない場合がある。しかし上記構成によれば、クラック検出を適切に行い、アクチュエータユニットの駆動制御を調整する等の適切な対処をすることができる。
【００１３】
上記第１観点において、前記凸部における前記領域と対向する内壁面に、撥液処理が施されてよい。また、上記第２観点に係る製造方法は、前記撥液処理工程において、前記表面における前記個別電極と当該個別電極を囲む前記凸部との間の領域、及び、前記凸部における前記領域と対向する内壁面に、撥液処理を施してよい。これらの構成によれば、凸部の当該内壁面に付着した液体をも、個別電極に向けて移動させることができる。これにより、クラック検出を適切に行い、アクチュエータユニットの駆動制御を調整する等の適切な対処をすることができる。
【００１４】
上記第１観点において、前記アクチュエータユニットは、前記複数の圧力室に跨って配置された共通電極、及び、前記表面において前記複数の個別電極からなる個別電極群から離隔して配置され、前記共通電極と電気的に接続された表面電極を有し、前記凸部が、前記個別電極群と前記表面電極との間に配置されてよい。この構成によれば、個別電極と表面電極との電気的短絡を抑制することができる。
【００１５】
上記第１観点において、前記凸部が、前記表面と直交する方向から見て、前記個別電極群を囲んでよい。この構成によれば、個別電極と表面電極との電気的短絡をより確実に抑制することができる。
【００１６】
上記第１観点において、前記個別電極が、前記表面と直交する方向から見て、前記圧力室と重なる位置に配置された主部、及び、前記主部から前記圧力室と重ならない領域まで前記表面に沿って延出された延出部を含み、前記アクチュエータユニットは、前記延出部上にそれぞれ形成された導電体からなる複数のランドを有し、前記ランドを介して前記個別電極に駆動電圧が印加されることにより当該個別電極の前記主部に対応した前記圧力室の容積を変化させるものであり、前記凸部が、前記表面と直交する方向から見て、前記延出部を横切って前記主部を囲む複数の環状部と、互いに隣接する前記環状部同士を結ぶ複数の連結部とを含み、前記ランドが、前記環状部と前記連結部とで画定されるいずれかの領域に配置され、前記環状部と前記連結部とによって他の前記ランドと隔離されてよい。この構成によれば、貫通クラックの末端がランド近傍に形成された場合でも、他のランドへの液体の広がりを抑制することができ、複数のランド間の電気的短絡を抑制することができる。
【００１７】
上記第１観点において、前記凸部が、前記表面と直交する方向から見て、前記個別電極の全体を囲んでよい。この構成によれば、比較的簡単な構成で、複数の個別電極間の電気的短絡を抑制することができる。
【００１８】
上記第１観点において、前記凸部が、前記表面と直交する方向から見て、前記圧力室のそれぞれを囲む位置に配置されており、対応する前記圧力室の外縁から当該圧力室の外側に前記圧電層の厚み分の距離だけ離隔してよい。貫通クラックは、表面と直交する方向から見て圧力室の外縁から当該圧力室の外側に圧電層の厚み分の距離の範囲内に形成され易いと考えられる。上記構成によれば、貫通クラックの末端が形成される可能性が高い範囲をカバーすることができるため、凸部による液体の堰き止め効果が確実なものとなり、複数の個別電極間の電気的短絡をより確実に抑制することができる。
【００１９】
上記第１観点において、前記複数の圧力室が、前記流路ユニットの表面においてマトリクス状に配置されてよい。この場合、個別電極もマトリクス状に配置されることとなり、貫通クラックが生じた場合に複数の個別電極間の電気的短絡が生じ易くなるが、本発明によれば当該問題を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によると、圧力室内の液体が貫通クラックを通って圧電層の表面にまで達し、圧電層の表面上で広がろうとしても、凸部によって液体が堰き止められる。これにより、貫通クラックが生じた場合でも、複数の個別電極間の電気的短絡を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドを含むインクジェット式プリンタの内部構造を示す概略側面図である。
【図２】インクジェットヘッドの流路ユニット及びアクチュエータユニットを示す平面図である。
【図３】図２の一点鎖線で囲まれた領域ＩＩＩを示す部分拡大図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】インクジェットヘッドの縦断面図である。
【図６】（ａ）は、図４の一点鎖線で囲まれた領域ＶＩＡを示す部分拡大図である。（ｂ）は、図６（ａ）の矢印ＶＩＢ方向から見た図である。
【図７】アクチュエータユニットの部分平面図である。
【図８】インクジェットヘッドの製造方法を示すフロー図である。
【図９】（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ、ランド形成工程、凸部形成工程、撥液処理工程が行われるときの平面図及び断面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッドにおける、図７に対応するアクチュエータユニットの部分平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２３】
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッド１０を含むインクジェット式プリンタ１の全体構成について説明する。
【００２４】
プリンタ１は、直方体形状の筐体１ａを有する。筐体１ａの天板上部には、排紙部３１が設けられている。筐体１ａの内部空間には、ヘッド１０、プラテン７、用紙センサ３２、コントローラ１ｐ、搬送ユニット２０、給紙ユニット１ｃ等が収容されている。筐体１ａの内部空間には、給紙ユニット１ｃから排紙部３１に向けて、図１に示す太矢印に沿って、用紙Ｐが搬送される搬送経路が形成されている。
【００２５】
ヘッド１０は、主走査方向（図１の紙面に垂直な方向）に長尺な略直方体形状を有するラインヘッドである。ヘッド１０の下面（吐出面１０ｘ）には、複数の吐出口１４ａが開口している（図３及び図４参照）。ヘッド１０は、ホルダ（図示略）を介して筐体１ａに支持されている。このとき、ホルダは、吐出面１０ｘとプラテン７の表面との間に記録（画像形成）に適した所定の間隙を形成する。
【００２６】
搬送ユニット２０は、ローラ対２２，２３，２４，２５，２６，２７及びガイド２９ａ，２９ｂ，２９ｃ，２９ｄ，２９ｅを含む。ローラ対２２〜２７は、搬送経路を形成して、搬送方向上流側からこの順で配置されている。各ローラ対２３〜２７のうち一方のローラは、コントローラ１ｐによる制御の下、搬送モータ（図示略）の駆動により回転する駆動ローラである。他方のローラは、上記一方のローラの回転に伴って回転する従動ローラである。ガイド２９ａ〜２９ｅは、搬送経路を形成して、搬送方向上流側からこの順で、給紙ユニット１ｃとローラ対２２との間及び各ローラ対間に、配置されている。各ガイド２９ａ〜２９ｅは、対向して配置された一対の板からなる。
【００２７】
給紙ユニット１ｃは、給紙トレイ１ｃ１及び給紙ローラ１ｃ２を有する。このうち給紙トレイ１ｃ１が筐体１ａに対して着脱可能である。給紙トレイ１ｃ１は、上面が開口した箱であり、複数の用紙Ｐを収容可能である。給紙ローラ１ｃ２は、コントローラ１ｐによる制御の下、給紙モータ（図示略）の駆動により回転し、給紙トレイ１ｃ１内で最も上方にある用紙Ｐを送り出す。
【００２８】
コントローラ１ｐは、演算処理装置であるＣＰＵ（Central Processing Unit）に加え、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory：不揮発性ＲＡＭを含む）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit ）、Ｉ／Ｆ（Interface）、Ｉ／Ｏ（Input/Output Port）等を有する。ＲＯＭには、ＣＰＵが実行するプログラム、各種固定データ等が記憶されている。ＲＡＭには、プログラム実行時に必要なデータ（画像データ等）が一時的に記憶される。ＡＳＩＣでは、画像データの書き換え、並び替え等（例えば、信号処理や画像処理）が行われる。Ｉ／Ｆは、外部装置（プリンタ１に接続されたＰＣ等）とのデータ送受信を行う。Ｉ／Ｏは、各種センサの検知信号の入力／出力を行う。なお、コントローラ１ｐがＡＳＩＣを含まず、ＣＰＵが実行するプログラム等により画像データの書き換え、並び替え等が処理されてもよい。
【００２９】
コントローラ１ｐは、外部装置から供給された記録指令に基づいて、用紙Ｐに画像が形成されるよう、記録に係わる準備動作、用紙Ｐの供給・搬送・排出動作、用紙Ｐの搬送に同期したインク吐出動作等を制御する。用紙Ｐは、給紙ユニット１ｃから送り出された後、ローラ対２２〜２７に挟持され、ガイド２９ａ〜２９ｅに導かれて、排紙部３１に向かう。途中、ヘッド１０よりも搬送方向上流側で、用紙Ｐの先端が用紙センサ３２により検出される。ヘッド１０の真下を通過する際には、用紙Ｐの裏面がプラテン７に支持され、用紙Ｐの表面に画像が形成される。このとき、コントローラ１ｐの制御により、ヘッド１０が駆動し、吐出口１４ａからインクが吐出される。インク吐出動作は、用紙センサ３２による検出信号に基づいて開始され、画像データに基づいて行われる。画像が形成された用紙Ｐは、筐体１ａ上部に形成された開口３０から排紙部３１に排出される。
【００３０】
次いで、図２〜図５を参照し、ヘッド１０の構成について説明する。なお、図３では、アクチュエータユニット１７の下側にあって点線で示すべき圧力室１６及びアパーチャ１５を実線で示している。
【００３１】
ヘッド１０は、流路ユニット１２、８つのアクチュエータユニット１７、８つのＦＰＣ（平型柔軟基板）５０、回路基板６４、リザーバユニット１１、及びカバー６５を含む。
【００３２】
流路ユニット１２は、図２〜図４に示すように、略同一サイズの矩形状の９枚の金属プレート１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ，１２ｇ，１２ｈ，１２ｉを積層した積層体であり、上面１２ｘに開口１２ｙが形成されている。流路ユニット１２の内部には、マニホールド流路１３、副マニホールド流路１３ａ、及び個別流路１４が形成されている。マニホールド流路１３は、一端に開口１２ｙを有し、他端において４つの副マニホールド流路１３ａに分岐している。個別流路１４は、吐出口１４ａ毎に設けられており、副マニホールド流路１３ａの出口から、流路抵抗調整用の絞りであるアパーチャ１５、及び圧力室１６を介して、吐出口１４ａに至る流路である。流路ユニット１２の下面が、吐出面１０ｘである。
【００３３】
圧力室１６は、吐出口１４ａ毎に設けられている。圧力室１６の開口は、図３に示すように、略菱形形状である。圧力室１６は、上面１２ｘでマトリクス状に配置され、８つの圧力室群１６Ｇを構成している。各圧力室群１６Ｇは、アクチュエータユニット１７の固定領域に対応する略台形形状の領域を占める。下面（吐出面１０ｘ）では、アクチュエータユニット１７の固定領域に対向して、吐出口１４ａがマトリクス状に配置されている。
【００３４】
８つのアクチュエータユニット１７は、図２に示すように、主走査方向に沿って２列の千鳥状に配置され、上面１２ｘに固定されている。各アクチュエータユニット１７は、台形の外形を有し、対応する圧力室群１６Ｇに属する（即ち、当該アクチュエータユニット１７の固定領域に形成された）複数の圧力室１６の開口を覆っている。各アクチュエータユニット１７の構成については、後に詳述する。
【００３５】
ＦＰＣ５０は、図５に示すように、アクチュエータユニット１７毎に接続されている。各ＦＰＣ５０は、一端がアクチュエータユニット１７、他端が回路基板６４のコネクタ６４ａに固定されている。各ＦＰＣ５０は、アクチュエータユニット１７の各電極に対応する配線及び端子を有し、その途中部にドライバＩＣ５７が実装されている。回路基板６４は、コントローラ１ｐから入力された信号を調整し、調整した信号をＦＰＣ５０の配線を介してドライバＩＣ５７に出力する。ドライバＩＣ５７は、当該信号を駆動信号に変換し、別の配線を介してアクチュエータユニット１７の各電極に伝達する。
【００３６】
リザーバユニット１１は、図５に示すように、４枚の金属プレート１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを積層した積層体であり、内部に流路が形成されている。当該流路は、一端がチューブ等を介してカートリッジ、他端（端部７３ａ）が流路ユニット１２の開口１２ｙと接続しており、カートリッジ（図示略）から供給されたインクを一時的に貯留するリザーバ７２、及び、リザーバ７２と接続した流出流路７３を含む。最下層のプレート１１ｄは、凹凸状の下面を有する。凸部の先端面には、流出流路７３の端部７３ａが開口している。凸部の先端面は、上面１２ｘに固定されている。凸部は、図２に示す開口１２ｙを含む二点鎖線で囲まれた領域を占める。当該領域は、上面１２ｘと直交する方向から見て、アクチュエータユニット１７と重ならない。一方、凹部は、アクチュエータユニット１７上のＦＰＣ５０と若干の間隙を介して、上面１２ｘと対向している。
【００３７】
カバー６５は、図５に示すように、下方に開口した箱であり、流路ユニット１２に固定されている。カバー６５は、トップカバー６５ａ及びサイドカバー６５ｂを含む。サイドカバー６５ｂは、アルミニウムからなり、内面にドライバＩＣ５７が当接している。ドライバＩＣ５７は、リザーバユニット１１の側面に固定された弾性部材（例えばスポンジ）５８によって、サイドカバー６５ｂ側に付勢されている。これにより、サイドカバー６５ｂとドライバＩＣ５７との熱的結合が確保されている。
【００３８】
次いで、各アクチュエータユニット１７の構成について説明する。
【００３９】
各アクチュエータユニット１７は、図６（ａ）に示すように、３つの圧電層１７ａ，１７ｂ，１７ｃを積層した積層体を含む。圧電層１７ａ〜１７ｃは、強誘電性のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系セラミックスからなり、外形が略同一サイズの台形形状である。アクチュエータユニット１７は、対応する圧力室群１６Ｇに跨って設けられ、圧力室群１６Ｇに含まれる圧力室１６の開口を封止している。圧電層１７ａは、厚み方向に分極されている。
【００４０】
圧電層１７ａの表面１７ａ１（圧力室１６と反対側の面）には、複数の個別電極１８ａが形成されている。個別電極１８ａは、圧力室１６毎に設けられている。個別電極１８ａは、圧力室１６と同様の配置パターンでマトリクス状に配置されており、個別電極群１８Ｇを構成している（図３参照）。
【００４１】
各個別電極１８ａは、図６（ｂ）に示すように、主部１８ａ１及び延出部１８ａ２から構成されている。主部１８ａ１は、表面１７ａ１と直交する方向から見て（以下、「平面視で」と称する場合がある。）、圧力室１６と重なる位置に配置されており、圧力室１６と同様の略菱形形状であると共に、圧力室１６の輪郭に内包されている。延出部１８ａ２は、主部１８ａ１の一方の鋭角部から、圧力室１６の外側の領域まで、延出している。
【００４２】
延出部１８ａ２の先端上であって、平面視で圧力室１６と重ならない位置に、ランド１８ｂが形成されている（図６（ａ），（ｂ）参照）。ランド１８ｂは、円柱状であり、表面１７ａ１から突出している。ランド１８ｂは、ＦＰＣ５０の端子と接続され、駆動電圧が印加される。
【００４３】
図６（ａ）に示すように、圧電層１７ａ，１７ｂの間には共通電極１９ａが形成されており、圧電層１７ｂ，１７ｃの間には金属層１９ｂが形成されている。共通電極１９ａ及び金属層１９ｂは、それぞれ圧電層１７ｂ，１７ｃの全面に亘って延在している。共通電極１９ａ及び金属層１９ｂは、互いに電気的に接続されており、対応する圧力室群１６Ｇに共通の電極として機能する。なお、圧電層１７ｂには、厚み方向に貫通するスルーホールが形成されており、スルーホールに充填された導電体によって、共通電極１９ａ及び金属層１９ｂが互いに電気的に接続されている。
【００４４】
表面１７ａ１には、共通電極１９ａ用のランド１８ｃが形成されている（図３参照）。ランド１８ｃは、ランド１８ｂと略同じ形状及びサイズを有すると共に、個別電極群１８Ｇから離隔し、アクチュエータユニット１７の四隅近傍に５個ずつ一列に配置されている。ランド１８ｃは、圧電層１７ａのスルーホールに充填された導電体を介して、共通電極１９ａと電気的に接続されている。ランド１８ｃは、ＦＰＣ５０の端子と接続され、常に接地電位に保持される。
【００４５】
表面１７ａ１にはさらに、ダミーランド１８ｄが形成されている（図７参照）。ダミーランド１８ｄは、ランド１８ｂと略同じ形状及びサイズを有すると共に、１の主部１８ａ１に関してランド１８ｂと対称な位置に配置されている。１の主部１８ａ１に着目すると、３つのランド１８ｂと３つのダミーランド１８ｄとが当該主部１８ａ１を囲んでいる。換言すると、３つのランド１８ｂと３つのダミーランド１８ｄとがそれぞれ頂点をなす六角形の領域の中央に、主部１８ａ１が配置されている。ダミーランド１８ｄは、ＦＰＣ５０の端子と接続されない。
【００４６】
個別電極１８ａ、共通電極１９ａ、及び金属層１９ｂは共に、Ａｕ（金）からなり、略１μｍの厚みを有する。ランド１８ｂ，１８ｃ，１８ｄは、Ａｇ−Ｐｄ（銀パラジウム）、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）等の導電体からなってよく、本実施形態ではＡｇ−Ｐｄからなる。
【００４７】
圧電層１７ａは、電極１８ａ，１９ａに挟まれた部分に活性部を有する。活性部は、ｄ３１、ｄ３３、ｄ１５から選らばれる少なくとも１つの振動モード（本実施形態ではｄ３１）で変位する。圧電層１７ｂ，１７ｃにおける活性部に対向する部分は非活性部である。即ち、アクチュエータユニット１７は、圧力室１６毎に、１層の活性部と２層の非活性部との積層体からなる、ユニモルフタイプの圧電型アクチュエータを含む。各圧電型アクチュエータは、独立して変形可能である。ランド１８ｂを介して個別電極１８ａに駆動電圧が印加されることにより、当該個別電極１８ａの主部１８ａ１に対向した圧力室１６の容積が変化する。これにより、圧力室１６内のインクにエネルギーが付与され、吐出口１４ａからインクが吐出される。
【００４８】
表面１７ａ１にはさらに、凸部１８ｐが形成されている（図６（ａ），（ｂ）参照）。凸部１８ｐは、アルミナ、ジルコニア等の絶縁体からなる。凸部１８ｐは、表面１７ａ１から突出しており、表面１７ａ１からの突出量が、ランド１８ｂの表面１７ａ１からの突出量と同じである。凸部１８ｐは、複数の環状部１８ｐ１、複数の連結部１８ｐ２、及び群包囲部１８ｐ３を含む。
【００４９】
環状部１８ｐ１は、図６（ａ），（ｂ）に示すように、個別電極１８ａ毎に設けられている。各環状部１８ｐ１は、平面視で、延出部１８ａ２を横切って圧力室１６を囲み、圧力室１６と略相似の領域を画定している。各環状部１８ｐ１は、圧力室１６の外縁から外側に圧電層１７ａ〜１７ｃの厚み分の距離だけ離隔している。換言すると、各環状部１８ｐ１は、圧力室１６の開口端から当該圧力室１６の外側に傾斜角度θ（＝４５°）をなして延びる直線上に配置されている。
【００５０】
連結部１８ｐ２は、図７に示すように、平面視で、互いに隣接する環状部１８ｐ１同士を結んでいる。連結部１８ｐ２は、それぞれ直線状であり、１の環状部１８ｐ１から４本ずつ延出している。
【００５１】
環状部１８ｐ１及び連結部１８ｐ２は、複数の個別電極１８ａの間に配置されている。ランド１８ｂは、環状部１８ｐ１と連結部１８ｐ２とで画定されるいずれかの領域に配置され、他のランド１８ｂと隔離されている。
【００５２】
図９（ｃ）に示すように、表面１７ａ１における個別電極１８ａと当該個別電極１８ａに対応する環状部１８ｐ１との間の領域には、撥液膜１７ａｃが形成されている。また、環状部１８ｐ１の当該領域と対向する内壁面にも、撥液膜１７ａｃが形成されている。
【００５３】
群包囲部１８ｐ３は、図３に示す二点鎖線に沿って延在している。即ち、群包囲部１８ｐ３は、アクチュエータユニット１７の外縁に沿って延在し、アクチュエータユニット１７と同様の略台形形状を画定している。群包囲部１８ｐ３は、平面視で、個別電極群１８Ｇを囲み、個別電極群１８Ｇとランド１８ｃとの間に配置されている。
【００５４】
次いで、図８を参照し、ヘッド１０の製造方法について説明する。
【００５５】
先ず、流路ユニット１２、８つのアクチュエータユニット１７、及びリザーバユニット１１を別々に作製する（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）。これら工程Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３は、独立して行われるものであり、いずれの工程を先に行ってもよく、並行して行ってもよい。
【００５６】
Ｓ１では、９枚の金属プレートにそれぞれ貫通孔を形成して、プレート１２ａ〜１２ｉを準備する。そしてこれらプレート１２ａ〜１２ｉを互いに位置合わせしつつ積層して接合することで、流路ユニット１２を作製する。プレート１２ａ〜１２ｉは、エポキシ系等の接着剤を介して、又は、接着剤を用いずに（例えば、金属接合法を用いて）、接合してよい。
【００５７】
Ｓ２では、先ず、アクチュエータユニット１７毎に、圧電層１７ａ〜１７ｃとなる３枚の圧電セラミックスのグリーンシートを用意する。これらのうち２枚の（圧電層１７ｂ，１７ｃとなる）グリーンシート上にそれぞれ、Ａｕペーストを共通電極１９ａ及び金属層１９ｂのパターンでスクリーン印刷する。そして、印刷のない圧電層１７ａとなるグリーンシートの下に、Ａｕの共通電極パターンを挟むようにして圧電層１７ｂとなるグリーンシートを重ね、さらにこの下にＡｕの金属層パターンを挟むようにして圧電層１７ｃとなるグリーンシートを重ねる。こうして得られた積層体を、公知のセラミックスと同様に脱脂して焼成する。このとき、３枚のグリーンシートが圧電層１７ａ〜１７ｃとなり、Ａｕペーストが共通電極１９ａ及び金属層１９ｂとなる（Ｓ２１）。Ｓ２１の後、表面１７ａ１に、Ａｕペーストを個別電極１８ａのパターンでスクリーン印刷する。そして当該Ａｕペーストを焼成し、表面１７ａ１に個別電極１８ａを形成する（Ｓ２２）。
【００５８】
なお、３枚のグリーンシートを重ね合わせる前に、圧電層１７ａ，１７ｂ用のグリーンシートに、貫通孔（スルーホール）を形成し、導電体ペーストを充填する。導電体ペーストとしては、共通電極用のＡｕペーストを用いてもよいし、他の材料（例えば、Ａｇ−Ｐｄペースト）を用いてもよい。本実施形態では、ペーストの充填処理を独立して行う。
【００５９】
Ｓ２２の後、Ａｇ−Ｐｄペーストをランド１８ｂ，１８ｃ，１８ｄのパターンでスクリーン印刷する。そして当該Ａｇ−Ｐｄペーストを焼成し、ランド１８ｂ，１８ｃ，１８ｄを形成する（Ｓ２３：図９（ａ）参照）。これにより、ランド１８ｂは個別電極１８ａと電気的に接続し、ランド１８ｃは共通電極１９ａ及び金属層１９ｂと電気的に接続する。Ｓ２３の後、表面１７ａ１に、絶縁体からなるペーストを凸部１８ｐ（複数の環状部１８ｐ１、複数の連結部１８ｐ２、及び群包囲部１８ｐ３）のパターンでスクリーン印刷する。そして当該ペーストを焼成し、凸部１８ｐを形成する（Ｓ２４：図９（ｂ）参照）。Ｓ２４の後、マスク１７Ｍを用いて、フッ素樹脂を蒸着法等で、選択的に撥液処理を施し、撥液膜１７ａｃを形成する（Ｓ２５：図９（ｃ）参照）。このとき、環状部１８ｐ１における当該領域と対向する内壁面にも、撥液処理を施し、撥液膜１７ａｃを形成する。このようにして、アクチュエータユニット１７を作製する。
【００６０】
なお、撥液膜１７ａｃの形成方法として、フォトリソグラフィ法を用いてもよい。例えば、図９（ｃ）に示す撥液処理工程において、マスク１７Ｍを介して、表面１７ａ１上のレジスト膜を露光する。マスク１７Ｍには、個別電極１８ａと当該個別電極１８ａに対応する環状部１８ｐ１との間の領域に対応した開口が形成されている。露光後、レジスト膜における当該開口に対応する領域を除去する。その後、撥液成分（例えば、フッ素樹脂ポリマー）を含んだ溶液を、表面１７ａ１全体に塗布し、乾燥させる。溶液の塗布方法としては、ディッピング法、スピンコート法等を用いてよい。溶液を仮乾燥させた後、レジスト膜を除去する。このとき、マスク１７Ｍの開口領域に対応して、仮乾燥膜が残る。仮乾燥膜を所定の温度条件で硬化させ、撥液膜１７ａｃを得る。
【００６１】
Ｓ３では、４枚の金属プレートにそれぞれ貫通孔や凹部を形成して、プレート１１ａ〜１１ｄを準備する。そしてこれらプレート１１ａ〜１１ｄを互いに位置合わせしつつ積層して接合することで、リザーバユニット１１を作製する。プレート１１ａ〜１１ｄ同士の接合方法は、流路ユニット１２と同様である。
【００６２】
次に、Ｓ１で作製した流路ユニット１２に、Ｓ２で作製した８つのアクチュエータユニット１７を固定する（Ｓ４）。Ｓ４では、先ず、上面１２ｘにおけるアクチュエータユニット１７の固定領域に、エポキシ系接着剤を塗布する。そして、平面視で、個別電極１８ａが圧力室１６のそれぞれと重なり、主部１８ａ１が当該圧力室１６の輪郭に内包されるように、位置決めする。さらに、圧電層１７ａ〜１７ｃを、複数の圧力室１６に跨るように、且つ、表面１７ａ１とは反対側の面（圧電層１７ｃの下面）が圧力室１６と対向するように、上面１２ｘに配置する。その後、ランド１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ及び凸部１８ｐ上に加圧治具を載置し、ランド１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ及び凸部１８ｐを支点としてアクチュエータユニット１７を加圧・加熱して流路ユニット１２に固定する。
【００６３】
Ｓ４の後、アクチュエータユニット１７のそれぞれにＦＰＣ５０を接続する（Ｓ５）。Ｓ５では、先ず、各ランド１８ｂ，１８ｃ上に、Ａｇ又はＡｇ−Ｐｄのペーストを塗布することで、バンプを形成する。そして、ＦＰＣ５０の各端子と各バンプとを位置合わせしつつ、ＦＰＣ５０の一端近傍をアクチュエータユニット１７上に配置する。その後、ＦＰＣ５０をアクチュエータユニット１７に対して加圧しつつ加熱することにより、各端子と各バンプとを接合する。
【００６４】
Ｓ５の後、Ｓ３で作製したリザーバユニット１１を、流路ユニット１２に固定する（Ｓ６）。このとき、流出流路７３の端部７３ａと上面１２ｘの開口１２ｙとが連通する。Ｓ６の後、ＦＰＣ５０と回路基板６４とをコネクタ６４ａを介して電気的に接続する工程、流路ユニット１２とでリザーバユニット１１及びアクチュエータユニット１７を囲むようにサイドカバー６５ｂ及びトップカバー６５ａを組み付ける工程等を経て、ヘッド１０が完成する。
【００６５】
なお、Ｓ４の後Ｓ５の前に、クラック検出工程を行ってよい。例えば、当該工程では、先ず、検出液（インクから色素成分を除去した液体等）をポンプ等によって流路ユニット１２の流路内に導入し、全ての個別流路１４を検出液で満たす。そして、各個別電極１８ａと流路ユニット１２と間に電界を印加すると共に、両者間の抵抗値を測定する。このとき、圧電層１７ａ〜１７ｃを厚み方向に貫通したクラック（貫通クラック）が生じている場合、圧力室１６内の検出液が、貫通クラックに浸透し、表面１７ａ１にまで達し得る。当該検出液が個別電極１８ａに接触した場合、個別電極１８ａと流路ユニット１２とが電気的に接続され、抵抗値は非常に小さな値となる。この抵抗値に基づいて、貫通クラックの有無及び個別電極１８ａの電気的短絡の有無を判断し、適宜の対処を行ってよい。例えば、記録時に、電気的に短絡していると判断された個別電極１８ａに駆動電圧を印加しないようにしてよい。またさらに、当該個別電極１８ａに隣接する個別電極１８ａに印加する駆動電圧を、吐出量が増加するように、調整してよい。これにより、画質の悪化を抑制することができる。或いは、多数の個別電極１８ａが電気的に短絡している場合には、Ｓ４で形成されたアクチュエータユニット１７と流路ユニット１２との積層体を廃棄してもよい。
【００６６】
以上に述べたように、本実施形態によれば、圧力室１６内の液体が貫通クラックを通って表面１７ａ１にまで達し、表面１７ａ１上で広がろうとしても、凸部１８ｐによって液体が堰き止められる。これにより、貫通クラックが生じた場合でも、複数の個別電極１８ａ間の電気的短絡を抑制することができる。ひいては、凸部１８ｐによって複数の個別電極１８ａ間の電気的短絡を抑制することができるため、上記のように積層体を廃棄したり、アクチュエータユニット１７の駆動制御を調整したりする等の必要性が低減する。
【００６７】
固定工程（Ｓ４）において、凸部１８ｐの表面１７ａ１からの突出量がランド１８ｂの表面１７ａ１からの突出量を超えていると、ランド１８ｂ上に加圧治具を載置し難く、固定工程を適切に行うことができない。しかし本実施形態によれば、凸部１８ｐの表面１７ａ１からの突出量がランド１８ｂの表面１７ａ１からの突出量以下であるため、上記問題を回避することができる。
【００６８】
凸部１８ｐの表面１７ａ１からの突出量がランド１８ｂの表面１７ａ１からの突出量と同じであることから、ランド１８ｂ及び凸部１８ｐ上に加圧治具を載置し、ランド１８ｂ及び凸部１８ｐを支点として、固定工程（Ｓ４）を行うことができる。この場合、加圧力が分散され、アクチュエータユニット１７のクラック等を防止しつつ、アクチュエータユニット１７を流路ユニット１２により強固に固定することができる。
【００６９】
環状部１８ｐ１が、表面１７ａ１と直交する方向から見て、個別電極１８ａのそれぞれを囲んでいる。この構成によれば、表面１７ａ１上での液体の広がりをより確実に抑えることができ、複数の個別電極１８ａ間の電気的短絡をより確実に抑制することができる。
【００７０】
表面１７ａ１における個別電極１８ａと当該個別電極１８ａを囲む環状部１８ｐ１との間の領域に、撥液処理が施されている。また、ヘッド１０の製造方法は、当該領域に撥液処理を施す撥液処理工程（Ｓ２５）を備えている。これらの構成によれば、貫通クラックの末端が当該領域に形成されており、圧力室１６内の液体が貫通クラックを通って当該領域に達した場合に、液体を個別電極１８ａに向けて移動させることができる。ヘッド１０の製造過程で行われるクラック検出工程では、貫通クラックがあっても、個別電極１８ａに検出液が接触していないと、クラックを検出できない場合がある。しかし本実施形態によれば、クラック検出を適切に行い、アクチュエータユニット１７の駆動制御を調整する等の適切な対処をすることができる。
【００７１】
環状部１８ｐ１における上記領域と対向する内壁面にも、撥液処理が施されている。また、ヘッド１０の製造方法は、撥液処理工程（Ｓ２５）において、上記領域のみならず、上記内壁面にも撥液処理を施す。これらの構成によれば、上記内壁面に付着した液体をも、個別電極に向けて移動させることができる。これにより、クラック検出を適切に行い、アクチュエータユニット１７の駆動制御を調整する等の適切な対処をすることができる。
【００７２】
群包囲部１８ｐ３が、個別電極群１８Ｇとランド１８ｃとの間に配置されている。この構成によれば、個別電極１８ａとランド１８ｃとの電気的短絡を抑制することができる。
【００７３】
群包囲部１８ｐ３が、表面１７ａ１と直交する方向から見て、個別電極群１８Ｇを囲んでいる。この構成によれば、個別電極１８ａとランド１８ｃとの電気的短絡をより確実に抑制することができる。
【００７４】
ランド１８ｂが、環状部１８ｐ１と連結部１８ｐ２とで画定されるいずれかの領域に配置され、環状部１８ｐ１と連結部１８ｐ２とによって他のランド１８ｂと隔離されている。この構成によれば、貫通クラックの末端がランド１８ｂ近傍に形成された場合でも、他のランド１８ｂへの液体の広がりを抑制することができ、複数のランド１８ｂ間の電気的短絡を抑制することができる。
【００７５】
環状部１８ｐ１が、表面１７ａ１と直交する方向から見て、圧力室１６のそれぞれを囲む位置に配置されており、対応する圧力室１６の外縁から当該圧力室１６の外側に圧電層１７ａ〜１７ｃの厚み分の距離だけ離隔している。貫通クラックは、表面１７ａ１と直交する方向から見て圧力室１６の外縁から当該圧力室１６の外側に圧電層１７ａ〜１７ｃの厚み分の距離の範囲内に形成され易いと考えられる。本実施形態によれば、貫通クラックの末端が形成される可能性が高い範囲をカバーすることができるため、環状部１８ｐ１による液体の堰き止め効果が確実なものとなり、複数の個別電極１８ａ間の電気的短絡をより確実に抑制することができる。
【００７６】
複数の圧力室１６が、上面１２ｘにおいてマトリクス状に配置されている。この場合、個別電極１８ａもマトリクス状に配置されることとなり、貫通クラックが生じた場合に複数の個別電極１８ａ間の電気的短絡が生じ易くなるが、本実施形態によれば当該問題を抑制することができる。
【００７７】
続いて、図１０を参照し、本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッドについて説明する。
【００７８】
第２実施形態に係るヘッドは、凸部の構成を除いて第１実施形態に係るヘッド１０と同様の構成を有し、第１実施形態のヘッド１０と同様の方法で製造される。本実施形態に係る凸部２１８ｐは、凸部１８ｐと同様、アルミナ、ジルコニア等の絶縁体からなると共に、表面１７ａ１から突出しており、表面１７ａ１からの突出量が、ランド１８ｂの表面１７ａ１からの突出量と同じである。ただし、凸部２１８ｐは、複数の環状部１８ｐ１及び複数の連結部１８ｐ２を含まず、複数の個別包囲部２１８ｐ１、及び群包囲部１８ｐ３を含む。
【００７９】
個別包囲部２１８ｐ１は、個別電極１８ａ毎に設けられている。各個別包囲部２１８ｐ１は、表面１７ａ１と直交する方向から見て、個別電極１８ａの全体を囲んでおり、具体的には、主部１８ａ１及び延出部１８ａ２を囲み、さらにランド１８ｂを囲んでいる。個別包囲部２１８ｐ１のうち主部１８ａ１を囲む部分は、環状部１８ｐ１と同様、圧力室１６の外縁から当該圧力室１６の外側に圧電層１７ａ〜１７ｃの厚み分の距離だけ離隔している。
【００８０】
表面１７ａ１における個別電極１８ａと当該個別電極１８ａを囲む個別包囲部２１８ｐ１との間の領域には、撥液処理が施されており、撥液膜が形成されている。また、個別包囲部２１８ｐ１における当該領域と対向する内壁面にも、撥液処理が施されており、撥液膜が形成されている。
【００８１】
以上に述べたように、本実施形態によれば、個別包囲部２１８ｐ１が、表面１７ａ１と直交する方向から見て、個別電極１８ａの全体を囲んでいる。これにより、比較的簡単な構成で、複数の個別電極１８ａ間の電気的短絡を抑制することができる。その他、本実施形態によれば、第１実施形態と同様の構成により同様の効果を得ることができる。
【００８２】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
【００８３】
・凸部は、圧電層の表面と直交する方向から見て、直線状、湾曲状等の任意の形状であってよく、また、各個別電極を囲むことに限定されない。
・凸部は、圧電層の表面と直交する方向から見て、個別電極群の全体を囲んでもよいし、個別電極群の一部を囲んでもよく、或いは、個別電極群を囲まなくてもよい。凸部は、個別電極群と表面電極との間に配置されなくてもよい。アクチュエータユニットが表面電極を有さなくてもよい。
・凸部における圧電層の表面からの突出量は、ランドにおける圧電層の表面からの突出量未満又は当該突出量を超えてもよい。
・凸部は、圧電層の表面と直交する方向から見て、対応する圧力室の外縁から任意の距離だけ離隔してよい。
・撥液処理工程は、凸部形成工程の後であればよく、固定工程の前に（例えばアクチュエータユニット作製工程内で）行ってもよいし、固定工程の後に行ってもよい。
・圧電層の表面における個別電極と当該個別電極を囲む凸部との間の領域や、凸部における当該領域と対向する内壁面に、撥液処理を施さなくてもよい。
・圧力室や個別電極は、マトリクス状に配置されることに限定されず、例えば一列に配置されてもよい。
・主部は、圧電層の表面と直交する方向から見て、圧力室の輪郭に内包されることに限定されず、圧力室と重ならない領域を含んでもよい。
・流路ユニットに固定されるアクチュエータユニットの数は、１以上の任意の数であってよい。
・プリンタ等の記録装置に設けられる液体吐出ヘッドの数は、１以上の任意の数であってよい。
・液体吐出ヘッドは、インク以外の任意の液体を吐出してよい。
・液体吐出ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式であってもよい。
・本発明に係る液体吐出ヘッドは、プリンタに限定されず、ファクシミリやコピー機等にも適用可能である。
【符号の説明】
【００８４】
１  インクジェット式プリンタ
１０  インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
１２  流路ユニット
１４ａ  吐出口
１６  圧力室
１７  アクチュエータユニット
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ  圧電層
１７ａ１  表面
１７ａｃ  撥液膜
１８ａ  個別電極
１８ａ１  主部
１８ａ２  延出部
１８ｂ  ランド
１８ｃ  ランド（表面電極）
１８Ｇ  個別電極群
１８ｐ；２１８ｐ  凸部
１８ｐ１  環状部
１８ｐ２  連結部
１８ｐ３  群包囲部
１９ａ  共通電極
２１８ｐ１  個別包囲部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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