(57)【要約】【課題】熱影響を最小限にしながら十分な強度を有するレーザ接合方法を提供すること。【解決手段】レーザ照射部１０２から発射されるレーザ光１０３  の光軸が、２枚の接合素材となる照射側の接合素材Ｖ１と熱影響を避けたい接合素材Ｖ２の重ね合せ部上を移動するように照射し、連続ではなく途切れ途切れの接合部（間欠溶接ビード）１０Ａを形成する。接合素材Ｖ２の照射面反対側の温度が所定になった所で、レーザ光１０３の照射を止めれば、蓄積した熱は放散されて温度は低下する。一定時間（距離）を空けて、再び照射を始めて接合素材Ｖ２の照射面反対側の温度が所定になった所で止めることを繰り返すと、間欠溶接ビード１０Ｂ、１０Ｃが形成される。このようにして外周形状の溶接ビードを形成した後、内周の間欠溶接ビード２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃを形成していくのであるが、この時の外周と内周との間の距離Ｐが、この動作を繰り返すたびに短く構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１および第２の素材を重ね合わせ、第１の素材側から前記第１の素材の表面にレーザ光を照射させることで、前記第１の素材と前記第２の素材とを接合するレーザ接合方法において、
第１および第２の素材との重ね合せ部に対して、前記レーザ光を移動させながら間欠的に照射させることで前記第１の素材の表面に溶接ビードを形成する際、周回形状の周間ピッチを変動させて形成すること、
を特徴とするレーザ接合方法。
【請求項２】
前記溶接ビードは、渦巻き状又は同心円状に複数並べて配置されるものであり、中心から外周まで３周以上で構成される、請求項１に記載のレーザ接合方法。
【請求項３】
周回形状の最外周は円、楕円もしくは６角形以上の多角形で形成されている、請求項１または２に記載のレーザ接合方法。
【請求項４】
前記溶接ビードは間欠形状で構成され、渦巻き状又は同心円状の形状で一方向に間欠形状の切れ目を固めない、請求項１〜３の何れか一項に記載のレーザ接合方法。
【請求項５】
隣り合った周回の溶接ビード接合部のクサビ形状が重なり合わないピッチで配置される、請求項１〜４の何れか一項に記載のレーザ接合方法。
【請求項６】
隣り合った周回の溶接ビードのピッチは、同じピッチで照射された溶接ビードの周回が存在しても良いが、内周から照射を開始した場合は外周で大きく、外周から照射を開始した場合は内周で大きくなる、請求項１〜５の何れか一項に記載のレーザ接合方法。
【請求項７】
第１の素材および第２の素材とが接合されてなる接合部品において、
前記第１の素材および前記第２の素材とが重ね合う領域のうち、前記第１の素材表面に溶接ビードが間欠に複数形成され、かつ、周回形状の周間ピッチが変動させて形成されてなること、
を特徴とする接合部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの素材をレーザ光により強固に接合するレーザ接合方法および接合部品に関し、特に、例えば蓄電池のような接合の結果物にて、接合時の熱影響を抑える必要のある製品に用いる接合技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の熱影響を抑えた接合方法としては、接合素材のそれぞれの厚みや材料を調整しながら接合素材を貫通しないようにレーザ光の出力を調整するのであるが、その一例として、接合素材の融点の違いを利用してレーザ接合しているものがあった（例えば、特許文献１参照）。図８〜９は、上述の特許文献１に記載された従来の接合方法を示すものである。
【０００３】
図８〜９を参照しながら、従来の接合方法を説明する。
【０００４】
まず、融点の異なる２  種類の材質からなる接合素材に対してレーザ光の光軸を融点の高い素材側に照射してこの素材の溶融物が持つ熱により融点の低い側の素材を溶かして両接合素材を溶融接合することで、異材の接合が実施される。
【０００５】
図８において、溶接ヘッド１０１は多関節ロボット（図示なし）のアーム先端部又は直交移動する三次元直交移動体（図示なし）の先端に取り付けられている。そして、溶接ヘッド１０１は、先端のレーザ照射部１０２から発射されるレーザ光１０３の光軸が、２枚の接合素材となる融点の高い接合素材Ｗ１と融点の低い接合素材Ｗ２の重ね合せ部（Ｗ１が上側）の溶接線１０５に沿って移動するように照射され、接合部（溶接ビード）１０４が形成される。
【０００６】
そして、レーザ光１０３の光軸は、図８を背面側から見た図９のように、融点の高い接合素材Ｗ１の端部位置Ｏから中央側へ適宜離れた接合位置Ｏ１に照射される。その結果、接合部１０４Ａの接合形状が得られる。
【０００７】
上記レーザ光の出力値は、融点の高い素材側の溶融液が金属間化合物や酸化膜を破って、融点の低い側の素材内部まで適宜深さの楔状に溶け込んで両金属の原子が融合して混ざり合う半練状態になるとされている。また、接合部に力が掛かった場合に溶接ビードに応力集中してしまうため、接合物の信頼性は下がってしまうが、接合素材間に一定のすき間を設けて溶接ビードの深さを調節する方法も提案されている（例えば、特許文献２参照）。図７は、前記特許文献２に記載された従来の接合方法を示すものである。
【０００８】
図７において、溶接ヘッド１０１から発射されるレーザ光１０３の光軸が接合素材Ｗ１上に照射され、特許文献１と同様に溶接ビード（図示なし）が形成されるのであるが、上側の接合素材Ｗ１と下側の接合素材Ｗ２の間にすき間１０６を設けて、そのすき間にも溶接ビードを発生させて、下側の接合素材Ｗ２の溶接ビードの深さを調節することを狙っていた。
【０００９】
このように、異種金属材料間の接合にレーザ光を使用した結果、熱が局所的に存在し必要な部分以外に熱影響を与えにくい薄板の接合が効率的に行われていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００７−１３６４８９号公報（図１，図４）
【特許文献２】特開２００４−０４０２５３号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上述の従来の構成では、特に蓄電池などの電極における接合では電気抵抗が小さいものの、熱伝導率が高い銅やアルミニウムなどが使用されることが多いことから、以下のような課題を有していた。
【００１２】
（１）熱伝導率の高い材料の使用により、接合時に熱影響を与えたくない場所に熱が伝わってしまうこと。
【００１３】
（２）照射側の板が厚く熱容量が大きくなるような接合では、熱影響を局所的に留めること。
【００１４】
ここで熱影響とは、例えば電池の場合であれば、絶縁用の樹脂部品が接合時の熱によって劣化してしまったり最悪の場合熔解してしまう、或いは、電解液が接合時の熱によって化学変化が起こって劣化してしまったり最悪の場合気化してしまったりすることである。更に、近年の電気自動車やハイブリッド乗用車の登場で、大容量の蓄電池に大きな耐荷重が求められるようになってきているが、電極周りの材料は、電気的特性から銅やアルミニウムなどが使用されることが多く、接合面積当たりの強度を向上させることは難しく、電池上の狭い電極上に大きな接合面積を持つことで、接合強度を向上させているため、接合時の熱条件はより厳しくなってきている。
【００１５】
本発明は、上記従来の課題を解決するものであり、熱伝導率の高い材料や照射側の板が厚く熱容量が大きくなったりするような接合でも、熱影響を抑えたレーザ接合方法および接合部品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明のレーザ接合は、溶接ビードが間欠かつ複数の周回形状で形成されている、具体的には溶接ビードは、間欠ビード長の長さは一定でも良いが、限定された面積の中で溶接ビード長を長く取る為に３周以上の周回形状を取りながら、その隣り合う溶接ビード間のピッチが一部同じでも良いが、全体として段々広くしていくことで熱影響を抑える形状となっている。
【００１７】
本構成によって、局所的に熱せられることとなる溶接ビードが、時間的空間的に徐々に距離を取ることになり、被接合物の温度上昇の調整を、レーザ光の出力調整によってではなく、形状によって制御することが可能となり、重ね合わせた薄板の照射面反対側への熱影響を抑えた接合を行うことができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように、本発明のレーザ接合方法および接合部品によれば、従来は難しかった電気抵抗は小さいが熱伝導率が高い銅やアルミニウムなどを使用した接合において、重ね合わせた薄板の照射面反対側への熱影響を抑えながら、十分な接合強度を持った接合を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態１におけるレーザ接合の様子を示す模式斜視図
【図２】本発明の実施の形態１における同心円状の溶接ビードの模式図
【図３】本発明の実施の形態１における避けるべき形状の溶接ビードの模式図
【図４】本発明の実施の形態１における簡易断面図
【図５】本発明の実施の形態２におけるレーザ接合の様子を示す模式斜視図
【図６】本発明の実施の形態２における渦巻き状の溶接ビードの模式図
【図７】特許文献２に記載された従来のレーザ接合の様子を示す模式図
【図８】特許文献１に記載された従来のレーザ接合の様子を示す模式斜視図
【図９】特許文献１に記載された従来のレーザ接合部を示す断面図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２１】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る、丸型リチウムイオン蓄電池の電極に金属板を接合する場合のレーザ接合方法の様子を示す模式斜視図である。また、図４は、丸型リチウムイオン蓄電池の正極端子に極板を接合するときの簡易断面図である。
【００２２】
更に、本実施の形態で挙げる蓄電池は、電解液に浸った蓄電部が金属製の容器に入った缶状の電池である。図１及び図６において、図８〜９と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【００２３】
近年、充電容量の大きさと充放電繰返し回数の多さから着実に生産量が増加している丸型リチウムイオン蓄電池であるが、より大容量、大電圧が必要な分野では、この丸型リチウムイオン蓄電池を複数個まとめて電池パックとして利用することが多い。このとき、丸型リチウムイオン蓄電池の正負の各電極に極板を接合して電気的に一体化させるのであるが、リチウムイオン蓄電池の内容液は熱影響を非常に嫌うため、接合時にも缶内の温度上昇を最小限に抑える必要があり、本発明のレーザ接合方法が効果的である。
【００２４】
図４において、リチウムイオン蓄電池における蓄電部２００は、正負極板とセパレータが巻き取ってある構造で電解液２０２に浸っており、充電されるとリチウムイオン蓄電池における蓄電部２００にリチウムイオンが蓄えられ、放電時にはこの蓄えられたリチウムイオンを用いて発電して電気が流れることになる。充放電時の電気は正極リード２０１を通って接合素材（正極側端子）Ｕ２に電気接点２０３を介して流れていく。本発明の実施の形態１では、板状の照射側の接合素材Ｕ１をこの接合素材（正極側端子）Ｕ２に接合する場合について、図１を用いて説明する。
【００２５】
図１において、レーザ照射部１０２から発射されるレーザ光１０３は、ガルバノミラー４０で反射して、対物レンズ４１で焦点を絞られて、板状の照射側の接合素材Ｕ１と裏側に熱影響を避けたい接合素材Ｕ２の重ね合せ部（Ｕ１が上側）上を移動するように照射され、連続ではなく途切れ途切れの接合部（間欠溶接ビード）１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃが形成される。
【００２６】
時系列的には溶接ビードは１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの順に形成されるが、配置は時系列の順序と同じでなくても良い。また、間欠溶接ビード１０Ａ〜１０Ｃ，間欠溶接ビード２０Ａ〜２０Ｃは、熱影響を避けたい部分（本実施の形態の場合には、接合素材Ｕ２の裏面）の温度を所定以下に保つ目的により、連続ではなく途切れ途切れの溶接ビードを形成しており、それぞれの溶接ビードの長さは、一定でなくても良い。
【００２７】
なお、循環する形状として、円周上に構成された場合を例として挙げているが、これは多角形であっても構わない。また、丸型蓄電池の場合には、接合素材Ｕ２側は丸い形状であることが多いため、外形は円周形状にすることが合理的であるが、その他の制約条件により電極の形状は一定の形にはならない。そのため、板状の照射側の接合素材Ｕ１と接合素材Ｕ２の接する領域の縦横比が１：１で無い場合には、溶接ビードの最外周の形状は楕円となる。
【００２８】
特に、本実施の形態では、蓄電池を複数個まとめて電池パックとして構成しており、正極側と負極側で持たせる機能の違いから、照射側の接合素材Ｕ１の形状が正極と負極で違うため、片側は円周形状、もう片側は楕円形状で溶接ビードを形成している。
【００２９】
缶状の電池の電極に金属板を接合する場合の多くは、電池単体の完成品に極板を接合してユニット化するなどであり、このような接合時には、缶内部には電解液が充填されている。ここで、接合時に缶内部が温度上昇すると、まず、電解液を密封するためのプラスチック部品が劣化、若しくは、熔解する可能性が考えられる。更に温度が上昇すると、電解液が充放電以外の化学変化を起こしたり、最悪の場合電池缶内で気化してしまったりする可能性もあるので、缶状の電池への接合では熱影響、具体的には接合部近辺での温度上昇が問題となることが多い。
【００３０】
接合する場合には、接合部では材料の融点まで温度上昇するが、その温度上昇を局部で抑えて、缶内部が熱伝達による温度上昇で所定温度を超えないような接合方法でなければ、このような電池単体の完成品に極板を接合してユニット化する等の工程には使用できない。
【００３１】
レーザ光１０３を板状の照射側の接合素材Ｕ１に照射することで、局所的に温度が上昇し素材の融点を超えると、接合素材Ｕ２の素材内部まで適宜深さの楔状に溶け込んで両金属の原子が融合して混ざり合う半練状態になり、図９の接合部１０４Ａの接合形状が得られる。本実施の形態では、照射側の接合素材Ｕ１は、アルミを主材料とした合金を用いているため、素材の融点は６５０℃である。このような工程で照射時間が長くなってくると、具体的には間欠的に形成される接合部（溶接ビード１０）が長くなると、照射側の接合素材Ｕ１、接合素材Ｕ２ともに蓄熱による温度上昇が起こり、接合部１０４Ａの楔形状の深さが大きくなっていくと共に、接合素材Ｕ２の照射面反対側の温度が上昇していくことになる。
【００３２】
ここで、接合素材Ｕ２の照射面反対側の温度が所定になったところで、レーザ光１０３の照射を止めれば、蓄積した熱は放散されて照射側の接合素材Ｕ１、接合素材Ｕ２ともに温度は低下する。一定時間を置いて、本実施例では溶接ヘッド１０１が一定速度で運動しているため一定距離を空けて、再び、レーザ光１０３の照射を始めて接合素材Ｕ２の照射面反対側の温度が所定になったところで止めることを繰り返すと、連続ではなく途切れ途切れの接合部（間欠溶接ビード）１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃが形成される。本実施の形態では、蓄電池内のプラスチック部品に熱影響を与えないために、接合素材Ｕ２の照射面反対側温度は１００℃以内になるようにしている。
【００３３】
更に、その内周に同様にして、途切れ途切れの接合部（間欠溶接ビード）２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを形成するのであるが、間欠溶接ビード１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃと２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの間の距離Ｐを大きく取れば、間欠溶接ビード１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを形成したときに蓄熱された熱の影響を小さくして、間欠溶接ビード２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを形成することができる。
【００３４】
しかし、照射側の接合素材Ｕ１、接合素材Ｕ２の大きさの制限により最外周の間欠溶接ビード１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの周回形状の外径は、一定以上に大きくできない。また、図１には動作を説明する為、間欠溶接ビードの周回形状の最初の２周のみを記載しているが、実際には必要とされる強度を満たすための接合距離を達成するために、３周以上になることから、距離Ｐは大きく取ればよいというものではない。
【００３５】
また、距離Ｐを大きく取れば、間欠溶接ビード２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの周回形状の外径が小さくなり、ひいては溶接ビードの長さ自体が短くなることになり、接合距離が短くなるために接合強度の低下を招くこととなる。
【００３６】
図２〜３は、このように動作させた場合の実際の間欠溶接ビードの形状を説明するための図である。
【００３７】
図２において、最初に形成される最外周の溶接ビード１０と次に形成される溶接ビード２０の間の距離Ｐ１よりも溶接ビード２０とさらにその内周の溶接ビード３０との間の距離Ｐ２の方が大きくなっている。すなわち、照射開始時の溶接ビード間のピッチに比べて、２つめの溶接ビード間のピッチは大きく構成されることとなる。これにより、連続で間欠溶接ビードを形成する場合に、蓄熱された熱の影響で後になるほど溶接ビードが深くなり、接合素材Ｕ２の裏面の温度が上がることとなる。
【００３８】
このとき、溶接ビードの周回形状間のピッチが広がって行くことによる平面的な熱影響の低下の効果で、溶接ビードの深さが一定以上になることを防ぎ、接合素材Ｕ２の裏面の温度が一定以上になることを防ぐこととなる。
【００３９】
図２では、溶接ビードは３周のみであるが、これは４周以上であっても同様で、照射開始時の溶接ビード間のピッチに比べて、２つ目、３つ目の溶接ビード間のピッチは同等もしくは短く構成されることとなる。また、それぞれの溶接ビードは、照射開始時は細く、段々太くなるように照射条件を調整する。これは、短時間で材料内へ十分な蓄熱をさせて、後になるほど接合強度と接合長さ、接合面積を稼ぐためである。
【００４０】
また、図３のように、溶接ビードの間欠部３１が周回形状の一方向に固まって存在すると、その部分が弱くなり、応力集中によりその間欠部が固まっている場所から破断するために接合強度が結果的に弱くなることとなる。それを避けるために、間欠部は周回形状の一方向に固まらないように、周回形状内の溶接ビードの長さを調節することが重要である。
【００４１】
かかる構成によれば、上記の動作を繰り返すことにより、熱影響を最小限にしながら十分な接合強度を持つ、具体的には所定の強度を得るために十分な長さの溶接ビードを持つレーザ接合が可能となる。また、従来のレーザ接合方法では、熱影響を避けるために投入熱量を減少させることが必要になり、接合素材Ｕ２に比較して照射側の接合素材Ｕ１の熱容量が小さい、具体的には材料厚みが十分に小さいか材料の熱容量が小さいことが重要であったが、本実施の形態では、接合素材Ｕ２よりも照射側の接合素材Ｕ１の材料厚みが大きかったにも関らず、缶内部の温度上昇を最小限に抑えた接合が実現できている。
【００４２】
なお、本実施の形態において、最外周の溶接ビード１０を最初に形成した後、内周の溶接ビード２０，３０と順番に内側に向かって形成しているが、最初に最内周を形成し、順番に外側に向かって溶接ビードを形成していっても良い。この場合には、最外周の溶接ビード１０と溶接ビード２０の間の距離Ｐ１よりも溶接ビード２０とさらにその内周の溶接ビード３０との間の距離Ｐ２の方を小さくすることで同じ効果を得ることができる。
【００４３】
また、本実施の形態では、隣り合う溶接ビードの周回を順番に形成しているが、例えば後になるほど一つおき、２つおきと溶接ビードの周回を形成していき、その後から飛ばされた周回を形成していくことでも、熱影響に関して同じ効果を有する。この場合には、外周から内周、または内周から外周にかけて徐々に溶接ビード間のピッチが変化していくことは無いが、最終的な溶接ビードの形状では溶接ビード間のピッチは変化している。
【００４４】
なお、実施の形態１では、溶接ビードの形状が自由形状に近くなるので、そのようなレーザ照射に有利なガルバノミラーを使用した照射方式を用いて説明しているが、ガルバノミラーを使用せず、照射ヘッドもしくは照射対象ワークを機械的に動作させて照射しても差し支えない。
【００４５】
（実施の形態２）
図５は、本発明の実施の形態２である丸型リチウムイオン蓄電池の電極に金属板を接合する場合における、実施の形態１よりも、高速の動作が求められる場合のレーザ接合の模式図である。また、図６は、本発明の実施の形態２における、溶接ビードの一筆書きパターンを示す模式図である。図５、図６において、図１および図８と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【００４６】
図５において、レーザ照射部１０２から発射されるレーザ光１０３は、ガルバノミラー４０で反射して、対物レンズ４１で焦点を絞られて、板状の照射側の接合素材Ｕ１と裏側に熱影響を避けたい接合素材Ｕ２の重ね合せ部（Ｕ１が上側）上を移動するように照射され、連続ではなく途切れ途切れの接合部（間欠溶接ビード）１０が形成される。
【００４７】
ここで、間欠的に形成される溶接ビード１０は、実施の形態１の外周形状とその相似形状の複数回の周回からなる形とは違い、外周から内側に切れ込んでいく螺旋形状を取っており、レーザの照射自体は間欠であるが、その照射休止部も含む軌跡は一筆書きとなっている。
【００４８】
そして、最外周から切れ込んでその内周に途切れ途切れの接合部（間欠溶接ビード）１０を形成するのであるが、間欠溶接ビードの最外周と切れ込んでからの軌跡の間の距離Ｐを大きく取れば、実施の形態１と同様に、先に蓄熱された熱の影響を小さくして、間欠溶接ビードの続きを形成することができる。
【００４９】
図６は、このように動作させた場合の実際の間欠溶接ビードの形状を説明するための図である。
【００５０】
図６において、最初に形成される最外周の溶接ビードと切れ込んでから形成される溶接ビードの間の距離Ｐ１よりも、そこからさらにその内周の溶接ビードとの間の距離Ｐ２の方が大きくなっている。つまり、照射開始時の溶接ビード間のピッチに比べて、２つめの溶接ビード間のピッチは大きく構成されることとなる。
【００５１】
これにより、連続で間欠溶接ビードを形成する場合に、蓄熱された熱の影響で後になるほど溶接ビードが深くなり、接合素材Ｕ２の裏面の温度が上がることとなるのであるが、溶接ビードの周回形状間のピッチが広がっていくことによる平面的な熱影響の低下の効果で、溶接ビードの深さが一定以上になることを防ぎ、接合素材Ｕ２の裏面の温度が一定以上になることを防ぐこととなる。図６では、溶接ビードは３周のみであるが、これは４周以上であっても同様で、照射開始時の溶接ビード間のピッチに比べて、２つめ、３つめの溶接ビード間のピッチは同等もしくは短く構成されることとなる。
【００５２】
かかる構成によれば、上記の動作を繰り返すことにより、熱影響を最小限にしながら十分な接合強度を持つ、具体的には所定の強度を得るために十分な長さの溶接ビードを持つレーザ接合が可能となる。
【００５３】
なお、本実施の形態では最外周からレーザ照射を開始しているが、最内周から最外周に向かって螺旋形状の溶接ビードを形成する形でも構わない。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明のレーザ接合方法および接合部品は、電気抵抗が小さいが熱伝導率が高い銅やアルミニウムなどが使用されることが多い蓄電池の正負極端子と金属板の接合や複数の蓄電池を接続して使用する場合の蓄電池間の接合の用途、また熱影響により外観が悪化するためにこれまで接合ができなかったような薄い金属製の外装カバーの接合等の用途にも適用できる。
【符号の説明】
【００５５】
１０  溶接ビード
１０Ａ〜１０Ｃ  間欠溶接ビード
２０Ａ〜２０Ｃ  間欠溶接ビード
３０  溶接ビード
３１  溶接ビードの間欠部
４０  ガルバノミラー
４１  対物レンズ
１０１  溶接ヘッド
１０２  レーザ照射部
１０３  レーザ光
２０  溶接ビード
１０５  溶接線
２００  リチウムイオン蓄電池における蓄電部
２０１  正極リード
２０２  電解液
２０３  電気接点
Ｕ１，Ｕ２，Ｖ１，Ｖ２，Ｗ１，Ｗ２  接合素材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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