(57)【要約】【課題】基台上に接近・離反可能に配置された一対の可動爪の各先端に形成されているテーパ面間で被検査基板の対向する２辺の側縁部を挟持して被検査基板を基台に固定する際、被検査基板の側縁部が基台と可動爪との間に入り込まないようにする。【解決手段】被検査基板Ｐが載置される基台１０と、被検査基板Ｐの対向する２辺の側縁部Ｐｅを挟持するように基台上に接近離反可能に配置される一対の可動爪２１と、可動爪２１を進退させる駆動手段とを含み、各可動爪２１は庇状に傾斜するテーパ面２１２を有し、被検査基板Ｐを挟持した際にテーパ面２１２により被検査基板Ｐを基台１０に向けて押圧して固定する基板固定装置において、基台１０に被検査基板Ｐの底面Ｐａをテーパ面２１２の下端２１２ａから所定高さに位置に支持する支持座１１を設ける。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板が載置される基台と、上記被検査基板の対向する２辺の側縁部を挟持するように上記基台上に接近離反可能に配置される一対の可動爪と、少なくとも一方の上記可動爪を上記基台面に沿って進退させる駆動手段とを含み、
上記各可動爪は、上記被検査基板の側縁部に当接する当接部に庇状に傾斜するテーパ面を有し、上記被検査基板を挟持した際に、上記テーパ面により上記被検査基板を上記基台に向けて押圧して固定する基板固定装置において、
上記基台には、上記テーパ面に上記被検査基板の側縁部が当接する範囲内で、上記被検査基板の底面を上記テーパ面の下端から所定高さに位置に支持する支持座が設けられていることを特徴とする基板固定装置。
【請求項２】
上記可動爪と上記支持座との間には、互いに係合するリブと凹溝とからなる移動案内手段が上記可動爪の移動方向に沿って設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板固定装置。
【請求項３】
上記基台には、上記一方の可動爪が配置される第１固定プレート部と、上記他方の可動爪が配置される第２固定プレート部とが含まれ、上記第１固定プレート部と上記第２固定プレート部との間には、上記被検査基板の上記基台と対向する面側を露出させる開口部が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の基板固定装置。
【請求項４】
上記テーパ面により上記被検査基板を上記基台に向けて押圧する際における上記可動爪の上記基台からの浮き上がりを阻止する押さえ手段をさらに備えていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の基板固定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査基板を検査テーブルなどの基台に固定する基板固定装置に関し、さらに詳しく言えば、簡単な構成により被検査基板を基台の所定位置に確実に固定することができる基板固定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インサーキットテスタやベアボードテスタ等の回路基板検査装置では、被検査基板の検査ポイントにプローブを接触させて、例えばショート／オープン検査やインピーダンス測定等を行うが、プローブを検査ポイントに正確に接触させるうえで、被検査基板を決められた位置に固定する必要がある。
【０００３】
多くの場合、被検査基板の固定には、バキュウムによる真空吸着方式やシリンダ駆動による押圧固定ピン方式等のフィクスチャが用いられているが、これらの方式はいずれも装置が大掛かりで高価でもある。
【０００４】
そこで、構成をより簡素化した安価な基板固定装置の一つとして、特許文献１より図５に示すような基板固定装置が提案されている。
【０００５】
この基板固定装置１Ａは、図５（ａ）に示すように、被検査基板Ｐの対向する２辺の側縁部Ｐｅ，Ｐｅを挟持する一対の基板保持部２，２を備えている。基板保持部２，２は同一構成で、それぞれ、被検査基板Ｐの側縁部Ｐｅが載置される基台３と、チャック部材としての可動爪４と、押さえ板７とを有している。
【０００６】
この例においては、被検査基板Ｐが両面基板の場合、その両面からプロービングし得るように、基台３，３の間には空間（開口部）Ｓが設けられている。
【０００７】
可動爪４は、基台３上に摺動可能に配置され、例えばエアシリンダ等の駆動手段５により、互いに接近・離反するように駆動される。可動爪４の先端は、被検査基板Ｐに対する当接部４ａとなっており、この当接部４ａには、図５（ａ）の上方から見て逆テーパとなる庇状に傾斜するテーパ面４ｂが形成されている。
【０００８】
被検査基板Ｐを固定するにあたっては、図５（ｂ）に示すように、被検査基板Ｐを基台３，３の間に架け渡し、駆動手段５，５により、可動爪４，４を互いに接近する方向に移動させて、それらのテーパ面４ｂ，４ｂを被検査基板Ｐの対向する２辺の側縁部Ｐｅ，Ｐｅに押し当てる。
【０００９】
そうすると、可動爪４，４により被検査基板Ｐに加えられる力が、テーパ面４ｂ，４にて、矢印Ａで示す水平方向と、矢印Ｂ１，Ｂ２で示す垂直方向とに分割され、この垂直方向のうちの下向きの力Ｂ１にて被検査基板Ｐが基台３上に押し付けられ、これにより、被検査基板Ｐが基台３，３の間に架け渡された状態で固定される。
【００１０】
なお、可動爪４に加えられる反力のうち、矢印Ａで示す水平方向の力は、駆動手段５，５により受け止められ、垂直方向のうちの矢印Ｂ２で示す上向きの力Ｂ２は、可動爪４上に配置されている押さえ板７にて受け止められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０１０−４５２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上記従来の基板固定装置１Ａによれば、駆動手段５，５により可動爪４，４を互いに接近する方向に移動させる、という簡単な構成により、基台３，３間において被検査基板Ｐを容易に固定することができる。
【００１３】
また、被検査基板Ｐの対向する２辺の側縁部Ｐｅ，Ｐｅのみが可動爪４，４によってチャックされるため、そのチャックにて隠される部分（プロービングし得ない部分）を最小限に留めることができる。
【００１４】
しかしながら、基台３と可動爪４との間には、可動爪４の摺動を容易とするための隙間Ｇが存在している。そのため、被検査基板Ｐの板厚が薄い場合、被検査基板Ｐの側縁部が基台３と可動爪４との間に入り込んでかじり付いてしまうことがある。
【００１５】
そうすると、被検査基板Ｐが破損するばかりでなく、かじり付いた被検査基板Ｐを取り除くには、基板保持部２を分解しなければならない、という問題がある。
【００１６】
そこで、本発明の課題は、基台上に互いに接近・離反可能に配置された一対の可動爪を含み、上記各可動爪の先端に庇状に傾斜されたテーパ面を有し、上記テーパ面間で被検査基板の対向する２辺の側縁部を挟持して上記被検査基板を上記基台に固定する基板固定装置において、簡単な構成により、上記被検査基板の側縁部が上記基台と上記可動爪との間に入り込まないようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、被検査基板が載置される基台と、上記被検査基板の対向する２辺の側縁部を挟持するように上記基台上に接近離反可能に配置される一対の可動爪と、少なくとも一方の上記可動爪を上記基台面に沿って進退させる駆動手段とを含み、上記各可動爪は、上記被検査基板の側縁部に当接する当接部に庇状に傾斜するテーパ面を有し、上記被検査基板を挟持した際に、上記テーパ面により上記被検査基板を上記基台に向けて押圧して固定する基板固定装置において、
上記基台には、上記テーパ面に上記被検査基板の側縁部が当接する範囲内で、上記被検査基板の底面を上記テーパ面の下端から所定高さに位置に支持する支持座が設けられていることを特徴としている。
【００１８】
請求項２に係る発明は、上記請求項１において、上記可動爪と上記支持座との間には、互いに係合するリブと凹溝とからなる移動案内手段が上記可動爪の移動方向に沿って設けられていることを特徴としている。
【００１９】
請求項３に係る発明は、上記請求項１または２において、上記基台には、上記一方の可動爪が配置される第１固定プレート部と、上記他方の可動爪が配置される第２固定プレート部とが含まれ、上記第１固定プレート部と上記第２固定プレート部との間には、上記被検査基板の上記基台と対向する面側を露出させる開口部が形成されていることを特徴としている。
【００２０】
請求項４に係る発明は、上記請求項１ないし３のいずれか１項において、上記テーパ面により上記被検査基板を上記基台に向けて押圧する際における上記可動爪の上記基台からの浮き上がりを阻止する押さえ手段をさらに備えていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、基台上に互いに接近・離反可能に配置された一対の可動爪の先端に庇状に傾斜するテーパ面を形成し、これらのテーパ面間で被検査基板の対向する２辺の側縁部を挟持するにあたって、基台に被検査基板の底面をテーパ面の下端から所定高さの位置に支持する支持座を設けたことにより、被検査基板が薄板であっても、被検査基板の側縁部が基台と可動爪との間に入り込むことなく確実に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に係る基板固定装置を示す模式的な分解斜視図。
【図２】上記基板固定装置が備える可動爪を示す拡大断面図。
【図３】被検査基板を固定する状態を示す側面図。
【図４】本発明の別の実施形態の要部を示す拡大斜視図。
【図５】（ａ）従来の基板固定装置の構成を模式的に示す断面図、（ｂ）同基板固定装置において被検査基板を固定した状態を示す同様な断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
次に、図１ないし図４により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２４】
図１に示すように、この実施形態に係る基板固定装置１Ｂは、被検査基板Ｐが載置される基台１０と、被検査基板Ｐの対向する２辺の側縁部Ｐｅ，Ｐｅを挟持する一対の基板保持部２０，２０とを備えている。
【００２５】
基台１０は、アクリル樹脂等の硬質基板からなり、この実施形態において、基台１０の基板載置面には、被検査基板Ｐが両面基板である場合にその表裏両面に図示しないプローブを接触し得るようにするための開口部Ｓが設けられている。
【００２６】
被検査基板Ｐの長さをＬ１，幅をＷ１、開口部Ｓの長さをＬ２，幅をＷ２として、被検査基板Ｐの側縁部Ｐｅ，Ｐｅを支持するため、開口部Ｓの長さＬ２は被検査基板Ｐの長さＬ１よりも短くＬ２＜Ｌ１であるが、幅については、必ずしもＷ２＜Ｗ１である必要はなく、Ｗ２＞Ｗ１もしくはＷ２＝Ｗ１であってもよい。なお、被検査基板Ｐが片面基板の場合には、開口部Ｓはなくてもよい。
【００２７】
この実施形態において、基板保持部２０，２０は同一構成で、ともに可動爪２１，可動爪２１の駆動手段２２および押さえ板２３を有している。
【００２８】
可動爪２１，２１は、基台１０のうちの開口部Ｓを挟んで長さＬ２方向側の両端に位置する基台面（固定プレート部）１０ａ，１０ａ上に摺動可能に配置される。
【００２９】
可動爪２１もアクリル樹脂等の硬質基板からなり、図２を参照して、各可動爪２１は、被検査基板Ｐの側縁部Ｐｅに当接する当接部２１１に庇状に傾斜するテーパ面２１２を備えている。
【００３０】
すなわち、このテーパ面２１２は、その上端２１２ｂが下端２１２ａよりもせり出していて、可動爪２１を図２の上側から見た平面視において、テーパ面２１２の下端２１２ａが上端２１２ｂにより覆い隠される逆テーパ面である。テーパ面２１２の傾斜角は例えば４０〜６０度位が好ましいが、これ以外の角度であってもよい。
【００３１】
駆動手段２２は、可動爪２１を進退動させる駆動源で、ラックアンドピニオンの回転−直線運動変換機構やエアシリンダもしくは電磁ソレノイド等が用いられてよい。
【００３２】
押さえ板２３は、可動爪２１が基台面１０ａから浮き上がらないようにするための部材で、この実施形態では、その両端に可動爪２１の板厚よりも若干長い高さの脚部２３１，２３１を有し、可動爪２１を跨がった状態で基台面１０ａの所定位置にネジ止め等により固定される。
【００３３】
図３に示すように、基板保持部２０，２０は、それらの可動爪２１，２１のテーパ面２１２，２１２同士が互いに向き合うようにして、開口部Ｓの両側に位置する基台面１０ａ，１０ａ上に配置される。
【００３４】
そして、被検査基板Ｐが開口部Ｓを跨がるようにして基台１０上に載置されると、駆動手段２２，２２により、可動爪２１，２１が互いに接近する方向に駆動され、それらのテーパ面２１２，２１２が、被検査基板Ｐの対向する２辺の側縁部Ｐｅ，Ｐｅに押し当てられる。
【００３５】
そうすると、先の図５で説明したのと同じく、可動爪２１，２１により被検査基板Ｐに加えられる力が、テーパ面２１２，２１２にて、矢印Ａで示す水平方向と、矢印Ｂ１，Ｂ２で示す垂直方向とに分割される。
【００３６】
このうち、矢印Ａで示す水平方向の力は、駆動手段２２，２２により受け止められ、垂直方向のうちの矢印Ｂ２で示す上向きの力Ｂ２は、押さえ板２３，２３にて受け止められることから、垂直方向の下向きの力Ｂ１にて被検査基板Ｐが基台面１０ａ側に押し付けられ、これにより被検査基板Ｐが固定される。
【００３７】
この実施形態においても、基台面１０ａと可動爪２１との間には、可動爪２１を摺動させるうえで隙間Ｇが存在するが、上記のようにして、被検査基板Ｐを固定する際、特に被検査基板Ｐが薄板の場合、被検査基板Ｐの側縁部Ｐｅが可動爪２１と基台面１０ａとの間の隙間Ｇに入り込まない、すなわち挟み込まれないようにする必要がある。
【００３８】
そこで、この実施形態では、図１および図３に示すように、基台面１０ａ，１０ａの開口部Ｓ寄りの端部に被検査基板Ｐの側縁部Ｐｅ，Ｐｅを所定高さに支持する支持座１１，１１を備えている。
【００３９】
支持座１１，１１は、基台面１０ａ，１０ａより実質的に同じ高さで突出しており、被検査基板Ｐの底面Ｐａを、テーパ面２１２の下端２１２ａと上端２１２ｂとの範囲内で、テーパ面２１２の下端２１２ａよりも高い高さに支持する。
【００４０】
これによれば、図３に示すように、被検査基板Ｐの側縁部Ｐｅ，Ｐｅがテーパ面２１２の下端２１２ａよりも上方で、その下端２１２ａと上端２１２ｂとの間の中腹に当接するため、被検査基板Ｐが薄板であっても、被検査基板Ｐの側縁部Ｐｅ，Ｐｅが可動爪２１と基台面１０ａとの間の隙間Ｇに入り込み、かじりついてしまうことを確実に防止することができる。
【００４１】
上記実施形態の場合、可動爪２１を押し出してテーパ面２１２を被検査基板Ｐの側縁部Ｐｅに押し当てる際、テーパ面２１２が被検査基板Ｐの側縁部Ｐｅよりも先に支持座１１に当接しないように、支持座１１の位置を決める必要があるが、図４に示す別の実施形態によれば、このような配慮が不要となる。
【００４２】
すなわち、図４に示す別の実施形態では、支持座１１を可動爪２１の進退方向に沿って延びる凸状のリブ１１ａとして基台面１０ａ上に形成し、可動爪２１の底面側には、リブ１１ａに摺動可能に係合する凹溝２１３を形成する。ただし、リブ１１ａの幅Ｗ３を被検査基板Ｐの幅Ｗ１よりも狭くする。
【００４３】
この構成によれば、可動爪２１のテーパ面２１２を開口部Ｓの縁際まで移動させることができる。したがって、被検査基板Ｐの側縁部Ｐｅ，Ｐｅをリブ１１ａ，１１ａ上に載置して、可動爪２１，２１を互いに接近する方向に移動させることにより、被検査基板Ｐの長さＬ１が異なっても、被検査基板Ｐの側縁部Ｐｅ，Ｐｅを可動爪２１と基台面１０ａとの間の隙間Ｇに入り込ませることなく、被検査基板Ｐを確実に固定することができる。
【００４４】
なお、上記別の実施形態では、リブ１１ａを１本としているが、このリブ１１ａを可動爪２１の進退方向に沿って複数のリブに分割し、これに対応して、凹溝２１３を複数の溝としてもよい。すなわち、複数のリブ１１ａと、これと同数の凹溝２１３とをジグザグ状のかみ合わせとしてもよい。
【００４５】
また、上記実施形態では、各可動爪２１をそれぞれ駆動手段２２により進退可能に駆動しているが、一方の可動爪２１を固定とし、他方の可動爪２１のみを駆動手段２２にて駆動するようにしてもよく、本発明には、このような態様も含まれる。
【符号の説明】
【００４６】
１０  基台
１０ａ  基台面
１１  支持座
１１ａ  リブ
２０  基板保持部
２１  可動爪
２１１  当接部
２１２  テーパ面
２１２ａ  テーパ面の下端
２１２ｂ  テーパ面の上端
２１３  凹溝
２２  駆動手段
２３  押さえ板
Ｐ  被検査基板
Ｐａ  被検査基板の底面
Ｐｅ  被検査基板の側縁部
Ｓ  開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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