(57)【要約】【課題】軸方向長さの長尺化を回避しつつ増速送り又は減速送りを可能とする直動案内装置を提供する。【解決手段】直動テーブル装置は、並列に配置された２つのボールねじ１０，２０を備える。第一ボールねじ１０は、ねじ溝１１ａ及びスプライン１１ｂが一部分重なるように形成された第一ねじ軸１１と、第一ナット１２と、第一ねじ軸１１と一体に回転可能且つスプライン１１ｂに案内されて軸方向に移動可能に第一ねじ軸１１に取り付けられた円筒状部材１３と、を備える。第二ボールねじ２０は、基台３０に対して回転可能且つ軸方向に移動可能に設置された第二ねじ軸２１と、第二ナット２２と、を備える。また、直動テーブル装置は、円筒状部材１３の回転を第二ねじ軸２１に伝達する回転伝達機構６０を備えるとともに、第一ナット１２と第二ねじ軸２１とを連結し且つ円筒状部材１３と第二ねじ軸２１とを連結するナットハウジング５１を備える。【選択図】図１
2014145391.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列に配置された２つのボールねじを備える直動案内装置であって、
基台に対して回転可能且つ軸方向に移動不能に取り付けられ、螺旋状のねじ溝及び軸方向に沿って延びる直線状のスプラインが外周面に形成された第一ねじ軸と、前記第一ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有し、このねじ溝と前記第一ねじ軸のねじ溝とにより形成される螺旋状のボール転走路内に配された複数の第一ボールの転動を介して軸方向に移動可能に前記第一ねじ軸に取り付けられた第一ナットと、前記第一ナットと同軸に配され、前記第一ねじ軸と一体に回転可能且つ前記スプラインに案内されて軸方向に移動可能に前記第一ねじ軸に取り付けられた円筒状部材と、を備える第一ボールねじと、
基台に対して回転可能且つ軸方向に移動可能に設置され、螺旋状のねじ溝が外周面に形成された第二ねじ軸と、前記第二ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有し、このねじ溝と前記第二ねじ軸のねじ溝とにより形成される螺旋状のボール転走路内に配された複数の第二ボールの転動を介して軸方向に相対移動可能に前記第二ねじ軸に取り付けられた第二ナットと、を備える第二ボールねじと、
前記円筒状部材の回転を前記第二ねじ軸に伝達する回転伝達機構と、
前記第一ナット及び前記第二ねじ軸が一体をなして軸方向に移動可能且つ前記第一ナットが回転不能で前記第二ねじ軸が回転可能なように前記第一ナットと前記第二ねじ軸とを連結する第一連結部材と、
前記円筒状部材及び前記第二ねじ軸が一体をなして軸方向に移動可能且つ前記円筒状部材及び前記第二ねじ軸が回転可能なように前記円筒状部材と前記第二ねじ軸とを連結する第二連結部材と、
を備えることを特徴とする直動案内装置。
【請求項２】
前記第一ねじ軸における前記ねじ溝が形成されている軸方向範囲と前記スプラインが形成されている軸方向範囲とが少なくとも一部分において重なっていることを特徴とする請求項１に記載の直動案内装置。
【請求項３】
前記第一ねじ軸における前記ねじ溝が形成されている軸方向範囲と前記スプラインが形成されている軸方向範囲とが重なっていないことを特徴とする請求項１に記載の直動案内装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は直動案内装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、工作機械、半導体製造装置等に組み込まれる直動テーブル装置においては、１個のボールねじが用いられ、そのボールねじを１個のモータで回転駆動する構造が広く採用されている。このような直動テーブル装置においてテーブルの移動速度を高める場合には、ボールねじのリードを大きくする手法や、モータの回転速度を向上させる手法などがとられる。
【０００３】
一方、特許文献１，２には、１つのねじ軸に対して２つのねじ溝を軸方向に間隔をあけて設け、各ねじ溝に対してそれぞれナットを螺合させたボールねじユニットが開示されている。これらのボールねじユニットにおいては、２つのねじ溝の巻き方向を反対方向とすることにより、増速送りを実現している。また、特許文献１には、２つのねじ溝の巻き方向を同方向とすることにより、減速送りが可能である旨も開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭５８−１１３６５３号公報
【特許文献２】特開平４−７３４５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１，２に開示のボールねじユニットにおいては、１つのねじ軸に対して２つのねじ溝が軸方向に間隔をあけて設けられているので、ねじ軸が長尺となり、その結果、ボールねじユニットの軸方向長さも長くなる。そのため、このようなボールねじユニットを組み込んだ直動テーブル装置は、装置全長が長いという問題点を有していた。
そこで、本発明は上記のような従来技術が有する問題点を解決し、軸方向長さの長尺化を回避しつつ増速送り又は減速送りを可能とする直動案内装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本発明の態様は次のような構成からなる。すなわち、本発明の一態様に係る直動案内装置は、並列に配置された２つのボールねじを備える直動案内装置であって、基台に対して回転可能且つ軸方向に移動不能に取り付けられ、螺旋状のねじ溝及び軸方向に沿って延びる直線状のスプラインが外周面に形成された第一ねじ軸と、前記第一ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有し、このねじ溝と前記第一ねじ軸のねじ溝とにより形成される螺旋状のボール転走路内に配された複数の第一ボールの転動を介して軸方向に移動可能に前記第一ねじ軸に取り付けられた第一ナットと、前記第一ナットと同軸に配され、前記第一ねじ軸と一体に回転可能且つ前記スプラインに案内されて軸方向に移動可能に前記第一ねじ軸に取り付けられた円筒状部材と、を備える第一ボールねじと、基台に対して回転可能且つ軸方向に移動可能に設置され、螺旋状のねじ溝が外周面に形成された第二ねじ軸と、前記第二ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有し、このねじ溝と前記第二ねじ軸のねじ溝とにより形成される螺旋状のボール転走路内に配された複数の第二ボールの転動を介して軸方向に相対移動可能に前記第二ねじ軸に取り付けられた第二ナットと、を備える第二ボールねじと、前記円筒状部材の回転を前記第二ねじ軸に伝達する回転伝達機構と、前記第一ナット及び前記第二ねじ軸が一体をなして軸方向に移動可能且つ前記第一ナットが回転不能で前記第二ねじ軸が回転可能なように前記第一ナットと前記第二ねじ軸とを連結する第一連結部材と、前記円筒状部材及び前記第二ねじ軸が一体をなして軸方向に移動可能且つ前記円筒状部材及び前記第二ねじ軸が回転可能なように前記円筒状部材と前記第二ねじ軸とを連結する第二連結部材と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
この直動案内装置においては、前記第一ねじ軸における前記ねじ溝が形成されている軸方向範囲と前記スプラインが形成されている軸方向範囲とが少なくとも一部分において重なっていてもよい。また、前記第一ねじ軸における前記ねじ溝が形成されている軸方向範囲と前記スプラインが形成されている軸方向範囲とが重なっていなくてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の直動案内装置は、軸方向長さの長尺化を回避しつつ増速送り又は減速送りを可能としたものである。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係る直動案内装置の第一実施形態である直動テーブル装置の構造を説明する側面図である。
【図２】本発明に係る直動案内装置の第二実施形態である直動テーブル装置の構造を説明する側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明に係る直動案内装置の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１１】
〔第一実施形態〕
図１は、本発明に係る直動案内装置の第一実施形態である直動テーブル装置の構造を説明する側面図である（ただし、後述する外輪相当部材１５、ナットハウジング５１、及びテーブル５５については断面が示されている）。
図１の直動テーブル装置は、並列に配置された２つのボールねじ（第一ボールねじ１０と第二ボールねじ２０）を備えている。すなわち、第一ボールねじ１０と第二ボールねじ２０は、ねじ軸１１，２１を互いに平行にして並べられている。
【００１２】
図１では下側に図示されている第一ボールねじ１０は、螺旋状のねじ溝１１ａ及び軸方向に沿って延びる直線状のスプライン１１ｂが外周面に形成された第一ねじ軸１１と、第一ねじ軸１１のねじ溝１１ａに対向するねじ溝（図示せず）が内周面に形成された第一ナット１２と、第一ねじ軸１１のねじ溝１１ａと第一ナット１２のねじ溝とにより形成される螺旋状のボール転走路（図示せず）内に転動自在に配された複数の第一ボール（図示せず）と、第一ボールをボール転走路の終点から始点へ戻し循環させる循環部（図示せず）と、第一ねじ軸１１と一体に回転可能且つスプライン１１ｂに案内されて軸方向に移動可能に第一ねじ軸１１に取り付けられた円筒状部材１３と、を備えている。
【００１３】
なお、第一ねじ軸１１のスプライン１１ｂは、螺旋状のねじ溝１１ａと交差するように形成されている。すなわち、第一ねじ軸１１におけるねじ溝１１ａが形成されている軸方向範囲とスプライン１１ｂが形成されている軸方向範囲とは一部分において重なっていて、例えば第一ねじ軸１１の一端側（図１では右端側）の軸方向範囲にはスプライン１１ｂのみが、他端側（図１では左端側）の軸方向範囲にはねじ溝１１ａのみが形成され、中間部分の軸方向範囲にはスプライン１１ｂとねじ溝１１ａの両方が重なって形成されている。スプライン１１ｂの数は特に限定されるものではなく、１条でもよいし複数条でもよいが、例えば３条としてもよい。
【００１４】
第一ねじ軸１１は基台３０の表面に対して平行をなすように、基台３０に垂直に設けられた壁体３１，３１に固定されている。すなわち、第一ねじ軸１１の両端部は、基台３０に設けられた２つの壁体３１，３１に、それぞれ転がり軸受、すべり軸受等の軸受（図示せず）を介して回転可能且つ軸方向に移動不能に取り付けられている。そして、モータ等の回転駆動源４０から第一ねじ軸１１の例えば一端部（図１では右端部）に回転駆動力が供給されるようになっているので、第一ねじ軸１１が２つの壁体３１，３１に支持されつつ軸方向に移動することなく回転するようになっている。
【００１５】
第一ナット１２と円筒状部材１３には第一ねじ軸１１が挿通されており、第一ナット１２と円筒状部材１３は軸方向に並んで同軸に配されている。第一ナット１２は、第一ボールによって第一ねじ軸１１に螺合されていて、第一ねじ軸１１が回転すると、第一ボールの転動を介して軸方向に移動するようになっている。そして、第一ナット１２は、軸方向に移動可能に基台３０上に載置されたナットハウジング５１（本発明の構成用件であるに第一連結部材に相当する）に回転不能に固定されているので、第一ねじ軸１１が回転した際には、第一ナット１２は回転せずに、ナットハウジング５１とともに軸方向に移動するようになっている。なお、第一ナット１２の移動方向は、第一ボールねじ１０のねじの巻き方向（右ねじか左ねじか）によって決定し、第一ナット１２の第一ねじ軸１１に対する一回転当たりの移動量は第一ボールねじ１０のリードによって決定する。
【００１６】
また、円筒状部材１３は、第一ねじ軸１１と一体に回転可能且つスプライン１１ｂに案内されて軸方向に移動可能に第一ねじ軸１１に取り付けられている。詳述すると、円筒状部材１３と第一ねじ軸１１との間には例えばボールスプライン構造が設けられている。円筒状部材１３の内周面には、第一ねじ軸１１のスプライン１１ｂに対向する直線状のスプライン（図示せず）が形成されており、両スプラインの間に介装された複数のスプライン用ボール（図示せず）を介して、円筒状部材１３が第一ねじ軸１１と一体に回転可能に第一ねじ軸１１に固定されているとともに、複数のスプライン用ボールの転動を介して円筒状部材１３が第一ねじ軸１１のスプライン１１ｂに案内されて軸方向に移動可能とされている。
【００１７】
ただし、第一ねじ軸１１のスプライン１１ｂは螺旋状のねじ溝１１ａと交差するように形成されているので、この交差部分において、第一ボールがボール転走路から外れて両スプライン間に移動したり、スプライン用ボールが両スプライン間から外れてボール転走路に移動したりしないような構造とする必要がある。第一ボールねじ１０の両ねじ溝と両スプラインの溝深さに差があると、深い方の溝にボールが移動するおそれがあるので、溝深さやボールの直径を同一としたり、スプライン用ボールを保持する保持器を用いたりして、前記のようなボールの移動が生じないようにするとよい。
【００１８】
なお、スプライン用ボールに代えて、第一ねじ軸１１のスプライン１１ｂと円筒状部材１３の内周面のスプラインとに嵌め込まれるキーを用いることも可能である。キーを用いた場合は、両スプラインに嵌め込まれた複数のキーを介して、円筒状部材１３が第一ねじ軸１１と一体に回転可能に第一ねじ軸１１に固定されているとともに、複数のキーの滑動を介して円筒状部材１３が第一ねじ軸１１のスプライン１１ｂに案内されて軸方向に移動可能とされる。
そして、円筒状部材１３は、転がり軸受、すべり軸受等のサポート軸受を介してナットハウジング５１（本発明の構成用件であるに第二連結部材に相当し、本実施形態においては第一連結部材と第二連結部材は同一の部材である。ただし、第一連結部材と第二連結部材を別体の部材としてもよい）に固定されている。
【００１９】
サポート軸受の構成は、以下のようなものが例示できる。円筒状部材１３の径方向外方には軸受の外輪に相当する円筒状の部材１５が同軸に配されていて、この外輪相当部材１５と内輪に相当する部材である円筒状部材１３との間には転動体１７が転動自在に配されている。そして、外輪相当部材１５と円筒状部材１３と転動体１７とにより、サポート軸受が構成されている。なお、図１では転動体１７として玉が示されているが、ころでもよい。あるいは、転動体を使用せずサポート軸受をすべり軸受としてもよい。
【００２０】
第一ねじ軸１１が回転した際には、第一ナット１２が軸方向に移動し、これに伴ってナットハウジング５１が軸方向に移動するが、外輪相当部材１５がナットハウジング５１に回転不能に固定されているので、外輪相当部材１５及び円筒状部材１３も第一ナット１２及びナットハウジング５１とともに軸方向に移動する。そして、その際には、円筒状部材１３が第一ねじ軸１１と一体に回転可能に第一ねじ軸１１に取り付けられているので、外輪相当部材１５は回転しないが、円筒状部材１３はサポート軸受に支持されつつ第一ねじ軸１１と一体に回転する。
【００２１】
次に、図１では上側に図示されている第二ボールねじ２０は、螺旋状のねじ溝２１ａが外周面に形成された第二ねじ軸２１と、第二ねじ軸２１のねじ溝２１ａに対向するねじ溝（図示せず）が内周面に形成された第二ナット２２と、第二ねじ軸２１のねじ溝２１ａと第二ナット２２のねじ溝とにより形成される螺旋状のボール転走路（図示せず）内に転動自在に配された複数の第二ボール（図示せず）と、第二ボールをボール転走路の終点から始点へ戻し循環させる循環部（図示せず）と、を備えている。
【００２２】
第二ねじ軸２１の一端部（図１では右端部）は、例えば転がり軸受、すべり軸受等の軸受（図示せず）を介して回転可能にナットハウジング５１に取り付けられている。よって、第二ねじ軸２１は、ナットハウジング５１を介して第一ナット１２及び円筒状部材１３に連結されている。また、他端部（図１では左端部）は、軸方向に移動可能に基台３０上に載置された第二ねじ軸支持部材５３に、例えば転がり軸受、すべり軸受等の軸受（図示せず）を介して回転可能に取り付けられている。そして、円筒状部材１３の回転を第二ねじ軸２１に伝達する回転伝達機構６０が備えられており、回転伝達機構６０によって第二ねじ軸２１の例えば一端部に回転駆動力が供給されるようになっているので、第二ねじ軸２１は円筒状部材１３（第一ねじ軸１１）の回転に伴って回転するようになっている。
【００２３】
回転伝達機構６０の種類は特に限定されるものではないが、例えば、ベルトや歯車があげられる。図１のようにベルト６１を用いる場合は、円筒状部材１３の外周面と第二ねじ軸２１の一端部の外周面とにそれぞれプーリを形成し、両プーリに無端状のベルト６１を掛け渡せば、円筒状部材１３（第一ねじ軸１１）の回転が第二ねじ軸２１に伝達される。この場合は、円筒状部材１３（第一ねじ軸１１）の回転方向と第二ねじ軸２１の回転方向は同方向となる。歯車を用いる場合は、円筒状部材１３の外周面と第二ねじ軸２１の一端部の外周面とにそれぞれ歯車を形成し、両歯車を噛み合わせれば、円筒状部材１３（第一ねじ軸１１）の回転が第二ねじ軸２１に伝達される。この場合は、円筒状部材１３（第一ねじ軸１１）の回転方向と第二ねじ軸２１の回転方向は反対方向となる。
【００２４】
また、第二ねじ軸２１はナットハウジング５１に取り付けられているため、ナットハウジング５１が軸方向に移動するのに伴って、第二ねじ軸２１は第二ねじ軸支持部材５３とともに同方向に移動する。さらに、第二ナット２２は、第二ボールによって第二ねじ軸２１に螺合されているため、第二ねじ軸２１が回転すると、第二ボールの転動を介して第二ねじ軸２１に対して軸方向に相対移動するようになっている。
【００２５】
そして、第二ナット２２は、軸方向に移動可能に基台３０上に載置されたテーブル５５に回転不能に固定されているので、第二ねじ軸２１が回転した際には、第二ナット２２は回転せずに軸方向に移動し、テーブル５５を軸方向に移動させるようになっている。なお、第二ナット２２の移動方向は、第二ボールねじ２０のねじの巻き方向（右ねじか左ねじか）によって決定し、第二ナット２２の第二ねじ軸２１に対する一回転当たりの移動量は第二ボールねじ２０のリードによって決定する。
【００２６】
このように、回転駆動源４０で第一ねじ軸１１を回転させると、第一ナット１２、円筒状部材１３、及び第二ねじ軸２１がナットハウジング５１を介して一体をなして軸方向に移動するとともに、回転伝達機構６０によって第一ねじ軸１１から第二ねじ軸２１へ回転が伝達されるので、第二ねじ軸２１の回転によって第二ナット２２が第二ねじ軸２１に対して軸方向に相対移動する。よって、テーブル５５上に載置された物品等を所望の位置に送ることができる。
【００２７】
このとき、両ボールねじ１０，２０のねじの巻き方向と両ねじ軸１１，２１の回転方向（すなわち、回転伝達機構６０の種類）との組み合わせにより、増速送り又は減速送りを実現することができる。第一ボールねじ１０と第二ボールねじ２０のねじの巻き方向を同方向とした場合は、両ねじ軸１１，２１の回転方向を同方向とすると増速送りとなり、両ねじ軸１１，２１の回転方向を反対方向とすると減速送りとなる。
【００２８】
詳述すると、第一ねじ軸１１を回転させると、第一ナット１２、円筒状部材１３、及び第二ねじ軸２１がナットハウジング５１を介して一体をなして軸方向に移動するとともに、第二ねじ軸２１の回転により第二ナット２２が第二ねじ軸２１に対して軸方向に相対移動する。このとき両ねじ軸１１，２１の回転方向が同方向であると、第二ナット２２の移動方向は第一ナット１２、円筒状部材１３、及び第二ねじ軸２１と同方向となる。よって、第二ナット２２の移動速度は、第二ねじ軸２１に対する第二ナット２２の相対移動速度と、第二ねじ軸２１（第一ナット１２）の移動速度との和となるから、１個のボールねじを備える一般的な直動テーブル装置のテーブルの移動速度よりも大きくなる（増速送り）。例えば、第一ボールねじ１０と第二ボールねじ２０のリードが同一で、さらにプーリのギア比が１である場合には、一般的な直動テーブル装置のテーブルの移動速度の２倍の移動速度（倍速）で、テーブル５５を送ることができる。なお、第一ボールねじ１０と第二ボールねじ２０のリードが同一であってもよいし異なっていてもよいことは勿論であるし、プーリのギア比が１であってもよいし１でなくてもよいことは勿論である。
【００２９】
また、両ねじ軸１１，２１の回転方向が反対方向である場合は、第二ナット２２の移動方向は第一ナット１２、円筒状部材１３、及び第二ねじ軸２１とは反対方向となる。よって、第二ナット２２の移動速度は、第二ねじ軸２１に対する第二ナット２２の相対移動速度と、第二ねじ軸２１（第一ナット１２）の移動速度との差となるから、１個のボールねじを備える一般的な直動テーブル装置のテーブルの移動速度よりも小さくなる（減速送り）。
【００３０】
一方、第一ボールねじ１０と第二ボールねじ２０のねじの巻き方向を反対方向とした場合は、上記とほぼ同様のメカニズムによって、両ねじ軸１１，２１の回転方向を反対方向とすると増速送りとなり、両ねじ軸１１，２１の回転方向を同方向とすると減速送りとなる。
図１の直動テーブル装置は、第一ボールねじ１０と第二ボールねじ２０のねじの巻き方向を同方向とし、ベルト６１及びプーリを用いて両ねじ軸１１，２１の回転方向を同方向とした増速送りの直動テーブル装置の例である。
【００３１】
図１の直動テーブル装置は、２つのボールねじ１０，２０を並列に配しているので、１つのねじ軸に対して２つのねじ溝が軸方向に間隔をあけて設けられている（すなわち、２つのボールねじ機構が直列に配されている）特許文献１，２のボールねじユニットと比較して装置全長が短く、１個のボールねじを備える一般的な直動テーブル装置とほぼ同程度の装置全長とすることが可能であり、軸方向長さの長尺化を回避しつつ増速送りが可能である。
【００３２】
また、図１の直動テーブル装置は、第一ねじ軸１１のスプライン１１ｂに案内されて軸方向に移動可能な円筒状部材１３を備えることにより、モータ等の回転駆動源４０が移動せず基台３０に固定された構造とすることができる。よって、ボールねじを駆動した際に回転駆動源が移動する構造の場合は、回転駆動源に電気を供給するためのケーブルが引きずられるという問題があるが、本実施形態の直動テーブル装置にはケーブルが引きずられるという問題は存在しない。
【００３３】
さらに、一般的なボールねじの使用方法においては、ねじ軸を回転させるモータ等の回転駆動源はねじ軸と同軸上に配置されるが、本実施形態の直動テーブル装置は、特許文献２に開示のボールねじユニットとは異なり、上記のような一般的なボールねじの使用方法を採用して回転駆動源４０を第一ねじ軸１１と同軸上に配置しても、回転駆動源４０が移動しない構造とすることができるというメリットを有する。
【００３４】
さらに、回転伝達機構６０にベルト６１及びプーリを採用し、両ねじ軸１１，２１の回転方向を同方向としたので、第一ボールねじ１０と第二ボールねじ２０のねじの巻き方向を同方向とすることができる。２つのボールねじ１０，２０のねじの巻き方向が反対方向である場合は、入手しにくい左ねじのねじ軸が必要となるが、同方向であるため入手しやすい右ねじのねじ軸のみで直動テーブル装置を製造することができる。なお、回転伝達機構６０に歯車を採用し、両ねじ軸１１，２１の回転方向を反対方向とすれば、２つのボールねじ１０，２０のねじの巻き方向を同方向とすることができるが、歯車のバックラッシュに由来する問題が発生するおそれがある。
さらに、図１の直動テーブル装置は、モータ等の回転駆動源４０の回転速度を上げることなく高速送りが可能であるので、ねじ軸の危険速度を回避することが可能である。
【００３５】
〔第二実施形態〕
図２は、本発明に係る直動案内装置の第二実施形態である直動テーブル装置の構造を説明する側面図である（ただし、外輪相当部材１５、ナットハウジング５１、第二ねじ軸支持部材５３、及びテーブル５５については断面が示されている）。なお、第二実施形態の直動テーブル装置の構成及び作用・効果は、第一実施形態とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。また、図２においては、図１と同一又は相当する部分には、図１と同一の符号を付してある。
【００３６】
図２に示すように、第一ねじ軸１１のスプライン１１ｂは、螺旋状のねじ溝１１ａと交差しないように形成されている。すなわち、第一ねじ軸１１におけるねじ溝１１ａが形成されている軸方向範囲とスプライン１１ｂが形成されている軸方向範囲とは重なっておらず、例えば第一ねじ軸１１の一端側（図１では右端側）の軸方向範囲にはねじ溝１１ａのみが、他端側（図１では左端側）の軸方向範囲にはスプライン１１ｂのみが形成されている。
【００３７】
また、第一実施形態においては、第一連結部材と第二連結部材は同一の部材であったが、第二実施形態においては、第一ナット１２と円筒状部材１３が軸方向に間隔をあけて配されることから、別体の部材とされている。すなわち、第一ナット１２は、第一連結部材であるナットハウジング５１に回転不能に固定されており、円筒状部材１３は、第二連結部材である第二ねじ軸支持部材５３に、第一実施形態と同様の構成のサポート軸受を介して回転可能に取り付けられている。
【００３８】
ナットハウジング５１には、第二ねじ軸２１が転がり軸受、すべり軸受等の軸受（図示せず）を介して回転可能に取り付けられているので、第一ナット１２と第二ねじ軸２１はナットハウジング５１を介して連結されており、一体をなして軸方向に移動可能とされている。また、第二ねじ軸支持部材５３には、第二ねじ軸２１が転がり軸受、すべり軸受等の軸受（図示せず）を介して回転可能に取り付けられているので、円筒状部材１３と第二ねじ軸２１は第二ねじ軸支持部材５３を介して連結されており、一体をなして軸方向に移動可能とされている。
【００３９】
回転駆動源４０で第一ねじ軸１１を回転させると、第一ナット１２及び第二ねじ軸２１がナットハウジング５１を介して一体をなして軸方向に移動し、第二ねじ軸２１が軸方向に移動することから、円筒状部材１３が第二ねじ軸支持部材５３を介して第二ねじ軸２１と一体をなして軸方向に移動する。すなわち、第一ナット１２、円筒状部材１３、及び第二ねじ軸２１が一体をなして同方向に移動する。また、回転伝達機構６０によって第一ねじ軸１１から第二ねじ軸２１へ回転が伝達されるので、第二ねじ軸２１の回転によって第二ナット２２が第二ねじ軸２１に対して軸方向に相対移動する。よって、テーブル５５上に載置された物品等を所望の位置に送ることができる。
【００４０】
前記のように、第一ねじ軸１１のスプライン１１ｂとねじ溝１１ａとが重ならないように形成されているので、第一ナット１２は、第一ねじ軸１１の一端側略半分の軸方向範囲内を軸方向に移動し、円筒状部材１３は、第一ねじ軸１１の他端側略半分の軸方向範囲内を軸方向に移動することとなる。このような構成から、第一ねじ軸１１の長さは第一実施形態の場合よりも若干長くなるが、２つのボールねじ機構を直列に配した特許文献１，２のボールねじユニットと比較すると装置全長は短く、軸方向長さの長尺化を回避しつつ増速送りが可能である。
【００４１】
また、第一ねじ軸１１のスプライン１１ｂと螺旋状のねじ溝１１ａとは交差しないので、第一実施形態の直動テーブル装置において必要であった対策、すなわち、溝深さやボールの直径を同一としたり、スプライン用ボールを保持する保持器を用いたりして、前記のようなボールの移動が生じないようにする対策を講じる必要がない。よって、第二実施形態の直動テーブル装置においては、第一ボールねじ１０（第一ねじ軸１１及び第一ナット１２）の仕様が制約されることがなく、設計の自由度が大きい。
【００４２】
なお、第一及び第二実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は第一及び第二実施形態に限定されるものではない。例えば、回転伝達機構６０に用いるベルト６１の種類は特に限定されるものではなく、タイミングベルト、平ベルト、Ｖベルト、丸ベルト、歯付ベルト等を用いることができる。
また、回転伝達機構６０に用いるプーリのギア比を適宜設定することにより、さらなる増速送りや減速送りが可能である。
【００４３】
さらに、本実施形態においては、２つのボールねじを備える直動テーブル装置を例示したが、３つ以上のボールねじを備えていてもよい。
さらに、循環部の循環方式は特に限定されるものではなく、コマ式、チューブ式、エンドキャップ式、エンドデフレクタ式等の慣用の方式を用いることができる。
【符号の説明】
【００４４】
１０      第一ボールねじ
１１      第一ねじ軸
１１ａ    ねじ溝
１１ｂ    スプライン
１２      第一ナット
１３      円筒状部材
２０      第二ボールねじ
２１      第二ねじ軸
２１ａ    ねじ溝
２２      第二ナット
３０      基台
４０      回転駆動源
５１      ナットハウジング
５３      第二ねじ軸支持部材
５５      テーブル
６０      回転伝達機構
６１      ベルト
【図１】
2014145391.tif 000003
【図２】
2014145391.tif 000004