(57)【要約】【課題】開閉時における扉の近傍の空気の動きを低減し、かつ、デッドスペースを低減することができるエアシャワー装置および自動ドアシステムを提供する。【解決手段】壁面が平行に配置された第１側壁部及び第２側壁部と、第１側壁部及び第２側壁部よりも上方に配置された天井部と、第１側壁部及び第２側壁部よりも下方に配置された床部とを備える筐体、エアシャワー室への入口を塞ぐ扉、除塵装置を備えるエアシャワー装置である。床部又は天井部は、第１側壁部及び第２側壁部の壁面とほぼ垂直方向に延在する第１直線部、第１側壁部に沿って水平方向に延在する第２直線部、及び第１直線部と第２直線部とを接続する屈曲部からなるレールを備え、扉は、複数の戸体と、隣接する戸体の端部同士を連結するヒンジと、各戸体を前記レールに沿って移動可能に保持するガイドローラとを備える。【選択図】  図１
2014238249.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
壁面が平行に配置された第１側壁部及び第２側壁部と、前記第１側壁部及び前記第２側壁部よりも鉛直方向上方に配置された天井部と、前記第１側壁部及び前記第２側壁部よりも鉛直方向下方に配置された床部とを備え、内部にエアシャワー室を形成するとともに前記エアシャワー室への入口を有する筐体と、
前記エアシャワー室への入口を塞ぐ扉と、
前記エアシャワー室内の被処理体に付着する塵埃を除去する除塵装置と、を備え、
前記床部又は天井部は、前記第１側壁部及び前記第２側壁部の壁面とほぼ垂直方向に延在する第１直線部、前記第１側壁部に沿って水平方向に延在する第２直線部、及び前記第１直線部と前記第２直線部とを接続する屈曲部からなるレールを備え、
前記扉は、複数の戸体と、隣接する前記戸体の端部同士を連結するヒンジと、前記各戸体を前記レールに沿って移動可能に保持するガイドローラとを備え、前記複数の戸体が前記第１直線部から前記第２直線部へ移動することで開くことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項２】
前記第１側壁部は、前記扉を収容する内部空間と、前記内部空間に前記扉を入れるための開口と、前記開口を閉塞する閉塞部材とを備えることを特徴とする請求項１に記載のエアシャワー装置。
【請求項３】
前記屈曲部は、所定の曲率半径で屈曲し、
前記各戸体は、鉛直方向に配置された回転軸と、前記回転軸に対して回動可能に設けられ、前記ガイドローラを保持するローラ保持部とを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のエアシャワー装置。
【請求項４】
前記第１直線部と平行に移動する移動体と、
前記複数の戸体のうち、前記レールの前記第１直線部側の端部側に配置される戸体と前記移動体とを連結する連結部材と、
を備えることを特徴とする請求項３に記載のエアシャワー装置。
【請求項５】
隣接する複数の戸体の端部同士をヒンジで連結してなる扉と、
前記各戸体を水平方向に案内するレールとを備える自動ドアシステムであって、
前記レールは、第１直線部、前記第１直線部と８０度以上１８０度未満の角度をなす第２直線部、及び前記第１直線部と前記第２直線部とを接続し所定の曲率半径で屈曲する屈曲部からなり、前記各戸体が前記第１直線部から前記第２直線部へ移動することで前記扉が開閉され、
前記扉は前記各戸体を前記レールに沿って移動可能に保持するガイドローラを備え、
前記第１直線部と平行に移動する移動体と、
前記複数の戸体のうち、前記レールの前記第１直線部側の端部側に配置される戸体と前記移動体とを連結する連結部材と、をさらに備えることを特徴とする自動ドアシステム。
【請求項６】
前記各戸体は、鉛直方向に配置された回転軸と、前記回転軸に対して回動可能に設けられ、前記ガイドローラを保持するローラ保持部とを備えることを特徴とする請求項５に記載の自動ドアシステム。
【請求項７】
モータと、
前記モータの回転運動を前記移動体の前記第１直線部と平行な直線運動に変換する変換部材とを備えることを特徴とする、請求項５又は６に記載の自動ドアシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームへの出入口に設けられるエアシャワー装置およびエアシャワー装置に適用可能な自動ドアシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、医療用途、食品製造加工、半導体などの電子デバイス工場用途の、汚染物質の混入、漏出の防止が要求されるクリーンルームでは、着衣に付着した微粒子や微生物等を除去するため、出入口にエアシャワー装置が設けられている。
【０００３】
例えば、エアシャワー室内の閉空間内において利用者等に対して高速気流を噴射して除塵を行うエアシャワー装置がある（特許文献１参照）。特許文献１のエアシャワー装置では、エアシャワー室内に外部の塵埃が入るのを防ぐために、ロールカーテンを用いたシャッターが用いられている。
また、開閉時の圧力変化を低減するとともに、省スペース化を図るために、平面視で円弧状の扉を用い、扉を円周方向に回転させることで開閉することも提案されている（特許文献２、３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平２−２９３５５３号公報
【特許文献２】特開２００８−１９０７７４号公報
【特許文献３】特開２０１２−２６６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、エアシャワー装置の入口用扉に開き戸や観音開き戸を用いると、入口近傍にデッドスペースができ、デッドスペースに塵埃が溜まるおそれがある。また、開き戸や上下方向に開くロールカーテンを入口用扉として用いる場合、扉の開閉時に扉の近傍の空気が動くことによりエアシャワー室内外の塵埃を巻き上げるおそれがある。
【０００６】
入口用扉を引き戸にすると、扉により動く空気を低減することができる。しかし、平板状の引き戸では、引き戸の移動のために、エアシャワー装置１の設置に必要な間口（幅）が大きくなる。
平面視で円弧状の扉を円周方向に回転させる場合には、間口を小さく抑えることができる。しかし、矩形の建物内に平面視で円弧状の扉を配置すると、デッドスペースができ、デッドスペースに塵埃が溜まるおそれがある。
【０００７】
そこで、本発明は、従来の問題点を解決するために、エアシャワー装置において、開閉時における扉の近傍の空気の動きを低減し、かつ、デッドスペースを低減することができるエアシャワー装置およびエアシャワー装置に適用可能な自動ドアシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様は、壁面が平行に配置された第１側壁部及び第２側壁部と、前記第１側壁部及び前記第２側壁部よりも鉛直方向上方に配置された天井部と、前記第１側壁部及び前記第２側壁部よりも鉛直方向下方に配置された床部とを備え、内部にエアシャワー室を形成するとともに前記エアシャワー室への入口を有する筐体と、
前記エアシャワー室への入口を塞ぐ扉と、
前記エアシャワー室内の被処理体に付着する塵埃を除去する除塵装置と、を備え、
前記床部又は天井部は、前記第１側壁部及び前記第２側壁部の壁面とほぼ垂直方向に延在する第１直線部、前記第１側壁部に沿って水平方向に延在する第２直線部、及び前記第１直線部と前記第２直線部とを接続する屈曲部からなるレールを備え、
前記扉は、複数の戸体と、隣接する前記戸体の端部同士を連結するヒンジと、前記各戸体を前記レールに沿って移動可能に保持するガイドローラとを備え、前記複数の戸体が前記第１直線部から前記第２直線部へ移動することで開くことを特徴とするエアシャワー装置である。
ほぼ垂直方向とは、第1直線部と第２直線部とのなす角度が８０度以上１００度以下であることを示す。屈曲部におけるガイドローラの移動がスムーズになるため、９０度以上であることが好ましい。
【０００９】
前記第１側壁部は、前記扉を収容する内部空間と、前記内部空間に前記扉を入れるための開口と、前記開口を閉塞する閉塞部材とを備えることが好ましい。
【００１０】
前記屈曲部は、所定の曲率半径で屈曲し、
前記各戸体は、鉛直方向に配置された回転軸と、前記回転軸に対して回動可能に設けられ、前記ガイドローラを保持するローラ保持部とを備えることが好ましい。
【００１１】
前記第１直線部と平行に移動する移動体と、
前記複数の戸体のうち、前記第２側壁側の端部に配置される戸体に対し一端が回動可能に設けられた連結部材と、
を備えることが好ましい。
【００１２】
本発明の第２の態様は、隣接する複数の戸体の端部同士をヒンジで連結してなる扉と、
前記各戸体を水平方向に案内するレールとを備える自動ドアシステムであって、
前記レールは、第１直線部、前記第１直線部と８０度以上１８０度未満の角度をなす第２直線部、及び前記第１直線部と前記第２直線部とを接続し所定の曲率半径で屈曲する屈曲部からなり、前記各戸体が前記第１直線部から前記第２直線部へ移動することで前記扉が開閉され、
前記各戸体を前記レールに沿って移動可能に保持するガイドローラと、
前記第１直線部と平行に移動する移動体と、
前記複数の戸体のうち、前記レールの前記第１直線部側の端部側に配置される戸体と前記移動体とを連結する連結部材と、をさらに備えることを特徴とする自動ドアシステムである。
【００１３】
前記各戸体は、鉛直方向に配置された回転軸と、前記回転軸に対して回動可能に設けられ、前記ガイドローラを保持するローラ保持部とを備えることが好ましい。
【００１４】
また、モータと、前記モータの回転運動を前記移動体の前記第１直線部と平行な直線運動に変換する変換部材とを備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
上述のエアシャワー装置および自動ドアシステムによれば、エアシャワー室への入口を塞ぐ扉が複数の戸体をヒンジで連結してなり、ガイドローラにより戸体がレールに沿って移動するため、開閉時における扉の近傍の空気の動きを低減し、塵埃の巻き上げを防止することができる。加えて、レールがエアシャワー室の入口よりも上方または下方において第１側壁部と８０度以上１８０度未満の角度をなす第１直線部と、第１側壁部に沿って水平方向に延在する第２直線部とによって、ほぼＬ字型に設けられているので、戸体を第１側壁部に沿って収納することができ、デッドスペースを低減することができる。また、レールが第１直線部と第２直線部との２直線によりほぼＬ字型に設けられているのに対し、移動体の駆動部を１直線に配置することで、駆動部の部品点数を減らすことができ、駆動部の省スペース化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態のエアシャワー装置１の入口側扉３０が閉じた状態を示す斜視図である。
【図２】エアシャワー装置１の入口側扉３０が開いた状態を示す斜視図である。
【図３】図１のエアシャワー装置１のIII−III矢視断面図である。
【図４】図１のIV−IV矢視断面図である。
【図５】図２のV−V矢視断面図である。
【図６】図１のVI−VI矢視断面図である。
【図７】図６のVII−VII矢視断面図である。
【図８】図６のVIII−VIII矢視断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明のエアシャワー装置について詳細に説明する。
図１は、本実施形態のエアシャワー装置１の入口側扉３０が閉じた状態を示す斜視図であり、図２はエアシャワー装置１の入口側扉３０が開いた状態を示す斜視図である。本実施形態のエアシャワー装置１は、内部に入った被処理体である利用者に空気を吹き付けて、利用者の衣服や頭髪に付着した塵埃等の微粒子や微粒子に付着した微生物を除去し捕集する装置である。エアシャワー装置１は、例えば、医療用途、食品製造加工用途、半導体などの電子デバイス工場等のクリーンルームの出入口に設けられる。
【００１８】
本実施形態のエアシャワー装置１では、クリーンルーム外の塵埃を含む空気側の扉として、複数の戸体３１ａ〜３１ｄをヒンジ３２で連結してなる入口用扉３０を用い、後述するようにガイドローラ３７ａ、３７ｂにより戸体３１ａ〜３１ｄをレール９３に沿って移動させることで、開閉時における扉の近傍の空気の動きを低減し、塵埃の巻き上げを防止するものである。さらに、後述するようにレール９３がエアシャワー室１７の入口よりも上方において第１側壁部１３の壁面と垂直方向（左右）に延在する第１直線部９３ａと、第１側壁部１３の壁面に沿って水平方向（前後方向）に延在する第２直線部９３ｂと、第１直線部９３ａと第２直線部９３ｂとを接続し、一定の曲率半径で９０°屈曲する屈曲部９３ｃとを備えることでＬ字型に設けられており、戸体３１ａ〜３１ｄが第１直線部９３ａの位置から第２直線部９３ｂの位置に移動して第１側壁部１３内収納されるので、デッドスペースを低減することができる。
【００１９】
図３は図１のエアシャワー装置１のIII−III矢視断面図である。また、図４は図１のIV−IV矢視断面図であり、図５は図２のV−V矢視断面図であり、図６は図１のVI−VI矢視断面図であり、図７は図６のVII−VII矢視断面図であり、図８は図６のVIII−VIII矢視断面図である。図１〜図４に示すように、エアシャワー装置１は、筐体１０と、入口側扉３０と、動力伝達機構４０と、除塵装置５０と、出口側扉７０と、駆動機構９０と、等から概略構成される。
【００２０】
筐体１０は、床部１１と、天井部１２と、第１側壁部１３と、第２側壁部１４と、等を備える。エアシャワー装置１に設けられるエアシャワー室１７は、これらの構成部材、及び、閉じた状態の入口側扉３０、出口側扉７０に囲まれている。床部１１、天井部１２、第１側壁部１３、第２側壁部１４により形成される２つの開口の一方がエアシャワー室１７への入口１８となり、他方が出口１９となる。ここで、図３の紙面に対して手前側、図４及び図５の下側が入口１８側であり、図３の紙面に対して奥側、図４及び図５の上側が出口１９側である。
【００２１】
床部１１には、入口側扉３０を案内する、平面視でＬ字型のガイド溝９８が設けられている。ガイド溝９８は、第１側壁部１３及び第２側壁部の壁面と垂直に配置され、入口１８側部分で第１側壁部１３の壁面と８０度以上１８０度未満の角度をなし、水平方向に延在する第１直線部９８ａと、第１側壁部１３の壁面に沿って水平方向（前後方向）に配置される第２直線部９８ｂと、第１直線部９８ａと第２直線部９８ｂとを接続し、一定の曲率半径で８０度以上１８０度未満の角度で屈曲する屈曲部９８ｃとを備える。後述するように、入口側扉３０のガイドローラ３９が入口１８では第１直線部９８ａに沿って左右方向に、さらに第１側壁部１３の下部において第２直線部９８ｂに沿って前後方向に連続して移動する。ここで、第１側壁部１３側を左方向、第２側壁部１４側を右方向、入口１８側を前方向、出口１９側を後方向とする。
ここで、第１直線部９８ａと第２直線部９８ｂとのなす角は、屈曲部９８ｃにおけるガイドローラ３９の移動をスムーズにするため、８０度以上１８０度未満の角度とすることが好ましい。また、デッドスペース削減の観点から８０度以上１３５度以下であることがより好ましく、平面視矩形のエアシャワー装置に適用するためにほぼ９０度（８０度以上１００度以下）であることがさらに好ましく、９０度であることが最も好ましい。
【００２２】
天井部１２の入口１８側には、図７、図８に示すように、溝１２ａが設けられている。溝１２ａは、１対の閉塞部材１２ｂ、１２ｂにより閉塞される。閉塞部材１２ｂ、１２ｂは、例えばシリコンゴムからなる。溝１２ａ内に入口側扉３０があるときは閉塞部材１２ｂ、１２ｂが入口側扉３０と接触して溝１２ａの入口側扉３０と隙間を閉塞するとともに、溝１２ａに入口側扉３０がないときには閉塞部材１２ｂ、１２ｂが互いに接触して溝１２ａを閉塞する。これにより、溝１２ａから天井部１２内に塵埃が入ることを防ぐことができる。
【００２３】
第１側壁部１３の入口１８側には、第１側壁部１３の内部空間に入口側扉３０が出入りする開口１３ａが設けられている。後述するように、入口側扉３０の各戸体３１ａ〜３１ｄが屈曲部９３ｃ、９８ｃにおいて回転するため、開口１３ａの前後方向の幅は、各戸体３１ａ〜３１ｄの前後方向の厚さよりも広く形成されている。
開口１３ａは、１対の閉塞部材１３ｂ、１３ｂにより閉塞される。閉塞部材１３ｂ、１３ｂは、例えばシリコンゴムからなる。開口１３ａに入口側扉３０があるときは閉塞部材１３ｂ、１３ｂが入口側扉３０と接触して開口１３ａと入口側扉３０との隙間を閉塞する。一方、開口１３ａに入口側扉３０がないときには閉塞部材１３ｂ、１３ｂが互いに接触して開口１３ａを閉塞する。これにより、開口１３ａから第１側壁部１３内に塵埃が入ることを防ぐことができる。また、閉塞部材１３ｂ、１３ｂがあることで、入口側扉３０が第１側壁部１３の内部空間に入るときに利用者の手が巻き込まれることを防止することができる。
第１側壁部１３の内部空間の左右方向の幅は、入口側扉３０の各戸体３１ａ〜３１ｄの幅よりも広く、後述するように内部で各戸体３１ａ〜３１ｄの回転が可能である。
第２側壁部１４の入口１８側には、入口側扉３０と当接して隙間を塞ぐ封止材１４ａが設けられている。封止材１４ａに入口側扉３０が当接することで、第２側壁部１４と入口側扉３０の隙間からシャワー室１７内に塵埃が入ることを防ぐことができる。
【００２４】
入口側扉３０は、複数の戸体３１ａ〜３１ｄと、ヒンジ３２と、回転軸３３と、スラスト軸受３４ａ、３４ｂと、回動部３５ａ、ローラ保持部３５ｂと、ボルト３６と、ガイドローラ３７ａ、３７ｂと、回転軸３８ａ、３８ｂと、ガイドローラ３９と、を備える。
【００２５】
複数の戸体３１ａ〜３１ｄは、ヒンジ３２により隣接する戸体３１ａ〜３１ｄ同士で連結されている。また、ヒンジ３２には、入口側扉３０が閉じた状態において前側部分に、封止材３２ａが設けられている。封止材３２ａは入口側扉３０が閉じた状態において隣接する戸体３１ａ〜３１ｄ間の隙間を封止する。
【００２６】
各戸体３１ａ〜３１ｄの上端には、入口側扉３０が閉じた状態において第１側壁部１３側の端部に、回転軸３３が上下方向に設けられている。回転軸３３には、スラスト軸受３４ａ、３４ｂを介して回動部３５ａが回転軸３３を中心に回動可能に取り付けられている。回動部３５ａにはボルト３６によりローラ保持部３５ｂが固定されている。ローラ保持部３５ｂには、回転軸３８ａ、３８ｂが、入口側扉３０が閉じた状態において前後方向に設けられており、回転軸３８ａ、３８ｂには、それぞれガイドローラ３７ａ、３７ｂが回転可能に取り付けられている。図７に示すように、２つのガイドローラ３７ａ、３７ｂは軸方向の両端部にフランジを有する。２つのガイドローラ３７ａ、３７ｂの間に後述するレール９３が挟持されている。各戸体３１ａ〜３１ｄは、ガイドローラ３７ａ、３７ｂによって、ローラ保持部３５ｂ、回動部３５ａ、回転軸３３を介してレール９３から吊り下げられており、ガイドローラ３７ａ、３７ｂがレール９３に沿って回転することでレール９３に沿って移動可能である。また、各戸体３１ａ〜３１ｄは、回転軸３３により、レール９３に対して回転可能に設けられている。
【００２７】
また、入口側扉３０が閉じた状態において最も第２側壁部１４側の戸体３１ａには、動力伝達機構４０が設けられている。動力伝達機構４０は、戸体固定具４１と、連結部材４２と、回転軸４３と、回転軸４４と、ベルト固定具４５（移動体）と、を備える。
戸体固定具４１は、入口側扉３０が閉じた状態において戸体３１ａの前面側の上端中央部に固定されている。戸体固定具４１には、連結部材４２の一端が上下方向に設けられた回転軸４３により戸体固定具４１に対して回動可能に取付けられている。連結部材４２の他端は上下方向に設けられた回転軸４４によりベルト固定具４５に対して回動可能に取付けられている。ベルト固定具４５は後述する歯付ベルト９４の一端９４ａを固定する固定部４５ａと、他端９４ｂを固定する固定部４５ｂとを備える。ベルト固定具４５は、後述する歯付ベルト９４の移動に伴い、第１直線部９８ａと平行な方向に移動する。
【００２８】
駆動機構９０は、梁９１と、レール固定具９２と、レール９３と、歯付ベルト９４と、駆動モータ９５、歯付プーリ９５ａ、９６ａと、光センサ９７と、ガイド溝９８と、制御部９９とを備える。
梁９１は、天井部１２の少なくとも前側部分に左右方向に設けられるとともに、左側部分に前後方向に設けられている。梁９１にはレール固定具９２を介してレール９３が固定される。
レール９３は平面視でほぼＬ字型であり、天井部１２の前側部分で第１側壁部１３の壁面と８０度以上１８０度未満の角度をなし、水平方向に延在する第１直線部９３ａと、第１側壁部１３の壁面に沿って水平方向（前後方向）に延在する第２直線部９３ｂと、第１直線部９３ａと第２直線部９３ｂとを接続し、一定の曲率半径で８０度以上１８０度未満の角度で屈曲する屈曲部９３ｃとを備える。屈曲部９３ｃの曲率半径はガイド溝９８の屈曲部９８ｃの曲率半径と同一である。
ここで、第１直線部９３ａと第２直線部９３ｂとのなす角は、屈曲部９３ｃにおけるガイドローラ３７ａ、３７ｂの移動をスムーズにするため、８０度以上１８０度未満の角度とすることが好ましい。また、デッドスペース削減の観点から８０度以上１３５度以下であることがより好ましく、平面視矩形のエアシャワー装置に適用するためにほぼ９０度（８０度以上１００度以下）であることがさらに好ましく、９０度であることが最も好ましい。
【００２９】
歯付ベルト９４はベルト固定具４５を第１直線部９８ａと平行な方向に移動させる。歯付ベルト９４は両端９４ａ、９４ｂがベルト固定具４５の固定部４５ａ、４５ｂに固定されることで環状に形成されており、天井部１２の前側部分でレール９３に沿って左右方向に延在する。歯付ベルト９４は第２側壁部１４側において駆動モータ９５の歯付プーリ９５ａと噛み合っており、第１側壁部１３側において歯付プーリ９６ａと噛み合っている。歯付プーリ９５ａは駆動モータ９５の回転運動を歯付ベルト９４に伝達し、ベルト固定具４５の第１直線部９８ａと平行な直線運動に変換する。
駆動モータ９５は天井部１２の前側部分であって第２側壁部１４の上部に固定されており、歯付プーリ９６ａは天井部１２の前側部分であって第１側壁部１３の上部に固定されている。駆動モータ９５は光センサ９７の信号に応じて制御部９９により制御され、歯付プーリ９５ａを回転させる。歯付プーリ９５ａが回転することで、歯付ベルト９４および歯付プーリ９６ａが回転し、ベルト固定具４５が左右方向に移動する。
光センサ９７はエアシャワー装置１の入口１８側において入口側扉３０と対面する物体である被処理体（利用者）の有無を検出し、制御部９９に対して検出結果を示す検出信号を出力する。
制御部９９は光センサ９７の検出信号を受信し、検出信号に応じて駆動モータ９５を駆動又は停止させる。なお、制御部９９は、以下の除電装置５０のジェットエア用ファン５２の制御を行ってもよい。
【００３０】
除塵装置５０は、吸気口５１と、ジェットエア用ファン５２と、エアフィルタ５３と、パンカールーバ５５と、等を備える。
吸気口５１は、床部１１の上面に設けられている。吸気口５１からは、エアシャワー室１７内の空気が床部１１内に吸引される。なお、吸気口５１は、被処理体の落下を防ぐために、格子状の蓋５６（例えば、グレーチング）により塞がれている。
【００３１】
吸気口５１には、蓋５６の下部に、プレフィルタ５７が設けられている。プレフィルタ５７は、蓋５６を通過した空気中の微粒子の一部を除去する。プレフィルタ５７は、例えば対象粒径５μｍ以下で粒子捕集率（質量法）（ＪＩＳ  Ｂ  ９９０８形式３、ＪＩＳ  Ｚ  ８９０１  １５種粉塵）が２０〜９０％のものを用いることができる。具体的には、太いガラス繊維や太い合成繊維の乾式フェルト、マット、不織布を、平板状あるいはプリーツ状のろ材として用いることができる。
【００３２】
ジェットエア用ファン５２は、第２側壁部１４内に設けられ、床部１１内の空気を吸引し、空気をエアフィルタ５３に送気する。これにより床部１１内の圧力がエアシャワー室１７内の圧力よりも低くなるため、エアシャワー室１７内の空気が吸気口５１から床部１１内に吸引される。ジェットエア用ファン５２として、例えば多翼ファン（シロッコファン）を用いることができる。
【００３３】
エアフィルタ５３は、第２側壁部１４内に設けられ、プレフィルタ５７を通過しジェットエア用ファン５２より送気された空気中の塵埃を除去し清浄化する。エアフィルタ５３には、例えばＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）等を用いることができる。ここで、ＨＥＰＡフィルタは、定格流量で粒径０．３μｍの粒子に対して９９．９７％以上の粒子捕集率をもち、かつ、初期圧力損失が２４５Ｐａ以下の性能を持つエアフィルタである（ＪＩＳ  Ｚ  ８１２２）。
エアフィルタ５３の具体的なろ材として、例えば、微細ガラス繊維で抄紙したガラス繊維紙、微細合成繊維にエレクトレット加工して構成された帯電不織布、あるいはＰＴＦＥ(ポリテトラフルオロエチレン)樹脂膜を延伸加工したＰＴＦＥ膜を用いることができる。これらのろ材を、セパレータ、リボン（ホットメルト樹脂）あるいはエンボス加工を用いてプリーツ化して、樹脂あるいは金属製のフィルタ枠にウレタン樹脂等のシール剤で固定したものをエアフィルタ５３として用いることができる。
【００３４】
第２側壁部１４及び天井部１２の内部には、エアフィルタ５３を通過し清浄化された空気が供給され、供給された空気は天井部１２のパンカールーバ５５からエアシャワー室１７内に供給される。
【００３５】
パンカールーバ５５は、第２側壁部１４のエアシャワー室１７内側の面、及び、天井部１２のエアシャワー室１７内側の面（すなわち、下面）に設けられ、エアフィルタ５３を通過し清浄化された空気をエアシャワー室１７内へ放出する。なお、パンカールーバ５５の噴射口は絞られており、ジェットエア用ファン５２により送気されエアフィルタ５３を通過し清浄化された空気の圧力はエアシャワー室１７内の圧力よりも高くなっている。したがって、清浄化された空気はパンカールーバ５５からエアシャワー室１７内へ勢いよく噴出される。この気流をエアシャワー室１７内に入った被処理体に空気を吹き付けることで、被処理体に付着した塵埃等の微粒子や微粒子に付着した微生物を除去することができる。除去された微粒子や微生物はエアシャワー室１７内の空気とともに吸気口５１より吸引され、プレフィルタ５７及びエアフィルタ５３により捕集される。
【００３６】
なお、パンカールーバ５５の一部は、除電装置３０の位置よりも高い位置に設けられていることが好ましい。除電装置３０の位置よりも高い位置にパンカールーバ５５を設けることで、除電装置３０に空気を吹き付けて除電装置３０に付着した塵埃を除去することができる。
【００３７】
出口側扉７０はロールカーテン状のシートシャッターである。第１側壁部１３及び第２側壁部１４の出口１９側には、出口側扉７０を上下方向に案内するレール７１が上下方向に設けられている。出口側扉７０の下端部は左右両端部においてレール７１、７２と係合し、上下方向に移動可能に設けられている。出口側扉７０の上端には天井部１２に設けられた図示しない巻き取り装置に取付けられており、巻き取り装置により出口側扉７０が巻き取られることで出口側扉７０の下端部がレール７１、７２に沿って上昇し、出口側扉７０が開く。なお、エアシャワー装置１の出口１９側にも図示しない光センサを設け、光センサの検出結果に応じて巻き取り装置を駆動してもよい。
以上が、エアシャワー装置１の概略の説明である。
【００３８】
このようなエアシャワー装置１では、まず利用者が入口側扉３０の前に立つと、光センサ９７が利用者を検知し、検出信号を制御部９９に出力する。検出信号を受信した制御部９９は、駆動モータ９５を駆動して歯付プーリ９５ａ、９６ａを回転させる。すると、歯付ベルト９４が回転し、ベルト固定具４５が左方向（第１側壁部１３側）に移動を開始する。これにより、ベルト固定具４５と連結部材４２及び戸体固定具４１を介して接続された、最も第２側壁部１４側の戸体３１ａ、及び、これとヒンジ３２により接続された他の戸体３１ｂ〜３１ｄが、ガイド溝９８及びレール９３に沿って第１側壁部１３側に移動を開始する。
【００３９】
各戸体３１ａ〜３１ｄが開口１３ａより第１側壁部１３内に入ると、ガイド溝９８の屈曲部９８ｃ及びレール９３の屈曲部分９３ｃにより各戸体３１ａ〜３１ｄの移動方向が後方に変更される。なお、レール９３の屈曲部分９３ｃにおいてはレール９３と各戸体３１ａ〜３１ｄとが平行とならないが、回動部３５ａがスラスト軸受３４ａ、３４ｂを介して回転軸３３に対して回動可能に設けられているため、レール９３の屈曲部分９３ｃに沿ってガイドローラ３７ａ、３７ｂの方向が変更され、各戸体３１ａ〜３１ｄの移動が円滑に行われる。また、ガイド溝９８の屈曲部９８ｃ及びレール９３の屈曲部分９３ｃが天井部１２及び第１側壁部１３の内部にあるため、各戸体３１ａ〜３１ｄの方向転換は天井部１２及び第１側壁部１３の内部で行われる。このため、各戸体３１ａ〜３１ｄが方向転換することにより空気を動かして塵埃を巻き上げることを防ぐことができる。
【００４０】
さらにベルト固定具４５が左方向に移動し、第１側壁部１３の上部に入ると、戸体３１ａが開口１３ａより第１側壁部１３内に入り、レール９３の屈曲部分９３ｃにおいて戸体固定具４１の移動方向が変更される。このとき、ベルト固定具４５の移動方向は変更されない。しかし、連結部材４２の一端が回転軸４３により戸体固定具４１に対して回動可能に取付けられているとともに、連結部材４２の他端が回転軸４４によりベルト固定具４５に対して回動可能に取付けられているため、連結部材４２がベルト固定具４５を左方向に押すことでベルト固定具４５がガイド溝９８の屈曲部９８ｃ及びレール９３の屈曲部分９３ｃに沿って移動する。すなわち、連結部材４２によりベルト固定具４５の往復運動が戸体固定具４１の回転運動に変えられる。
入口側扉３０が第１側壁部１３内に完全に収納されると、制御装置は駆動モータ９５を停止する。以上により、利用者がエアシャワー室１７内に入室可能な状態となる。
【００４１】
利用者がエアシャワー室１７内に入室する等により、光センサ９７が利用者を検知しなくなると、入口側扉３０を閉じる。すなわち、図示しない制御装置が駆動モータ９５を駆動して、入口側扉３０を開くときと反対方向に歯付プーリ９５ａ、９６ａを回転させる。すると、歯付ベルト９４が入口側扉３０を開くときと反対方向に回転し、ベルト固定具４５が右方向に移動する。すると、連結部材４２により戸体固定具４１が引っ張られ、戸体３１ａ、及び戸体３１ａとヒンジ３２により接続された他の戸体３１ｂ〜３１ｄがガイド溝９８及びレール９３に沿って第２側壁部１４側に移動し、開口１３ａから引き出される。戸体３１ａが封止材１４ａに当接すると、制御装置は駆動モータ９５を停止する。
なお、入口側扉３０を閉じるための図示しないスイッチをエアシャワー室１７内外に設け、利用者がスイッチを操作することにより入口側扉３０を開閉してもよい。
以上により、入口側扉３０が閉じ、エアシャワー室１７内で利用者が除塵装置５０を利用可能な状態となる。
【００４２】
次に、利用者がエアシャワー室１７内の壁面に設けられた図示されないスイッチを押して、ジェットエア用ファン５２を作動させる。これにより、パンカールーバ５５から空気が噴射される。利用者の表面から離脱しエアシャワー室１７の床面に落下した微粒子は、吸気口５１から空気とともに吸引される。空気中に含まれる微粒子の一部は、プレフィルタ５７によって除去される。プレフィルタ５７を通過した空気は、ジェットエア用ファン５２を通過してエアフィルタ５３により濾過される。この際、プレフィルタ５７を通過した微粒子がエアフィルタ５３により捕捉され、清浄な空気がパンカールーバ５５から噴射エアシャワー室１７内に噴射される。利用者は、空気の噴射中、必要に応じてエアシャワー室２４内で向きを変えながら、噴射した空気を浴びる。こうして、利用者の衣服あるいは頭髪に付着した微粒子を除去する。空気の噴射は１回当たり、風速２５ｍ／秒以上で、数１０秒、例えば２０秒間継続する。
その後、利用者は出口側扉７０を開き、エアシャワー室１７の外部へ出る（クリーンルーム内に入る）。なお、出口側扉７０を閉じるための図示しないスイッチをエアシャワー室１７内外に設け、利用者がスイッチを操作することにより出口側扉７０を開閉してもよい。
【００４３】
以上示したように、本実施形態のエアシャワー装置１によれば、入口側扉３０が横方向に移動する引き戸であるため、塵埃が溜まるデッドスペースが開き戸のように入口１８近傍にできない。加えて、開き戸や上下方向に開くロールカーテンのように、入口１８近傍の空気を扉が動かすことにより塵埃を巻き上げることを防ぐことができる。
【００４４】
また、入口側扉３０が複数の戸体３１ａ〜３１ｄからなり、隣接する戸体３１ａ〜３１ｄ同士がヒンジ３２により接続されることで、入口側扉３０が折戸として形成されているため、各戸体３１ａ〜３１ｄがガイド溝９８及びレール９３に沿って移動可能であり、入口側扉３０を第１側壁部１３内に完全に収容することができる。このため、入口側扉３０を単なる引き戸にする場合と比較して、エアシャワー装置１の設置に必要な間口（幅）を小さくすることができる。
【００４５】
また、天井部１２の開口１２ａが閉塞部材１２ｂ、１２ｂによって閉塞されるとともに、第１側壁部１３の開口１３ａが閉塞部材１３ｂ、１３ｂによって閉塞されるため、天井部１２や第１側壁部１３の内部に塵埃が入ることを防ぐことができる。
また、ガイド溝９８の屈曲部９８ｃ及びレール９３の屈曲部分９３ｃが天井部１２及び第１側壁部１３の内部にあるため、各戸体３１ａ〜３１ｄの方向転換が天井部１２及び第１側壁部１３の内部で行われ、各戸体３１ａ〜３１ｄが方向転換することにより外部の空気を動かして塵埃を巻き上げることを防ぐことができる。
【００４６】
以上、本発明のエアシャワー装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。例えば、駆動モータ９５の回転運動をベルト固定具４５の直線運動に変換する変換部材として、歯付ベルト９４の代わりにローラーチェーンを用いるとともに、歯付プーリ９５ａ、９６ａの代わりにスプロケットを用いてもよい。また、戸体３１ａ〜３１ｄ側にガイドローラ３７ａ、３７ｂを回転させるモータを取付けてもよいし、戸体３１ａ〜３１ｄをレール９３に沿って駆動させるリニアモーターを設けてもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１  エアシャワー装置
１０  筐体
１１  床部
１２  天井部
１２ａ  開口
１２ｂ  閉塞部材
１３  第１側壁部
１３ａ  開口
１３ｂ  閉塞部材
１４  第２側壁部
１４ａ  封止材
１７  エアシャワー室
１８  入口
１９  出口
３０  入口側扉
３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ  戸体
３２  ヒンジ
３２ａ  シール材
３３  回転軸
３４ａ、３４ｂ  スラスト軸受
３５ａ  回動部
３５ｂ  ローラ保持部
３６  ボルト
３７ａ、３７ｂ  ガイドローラ
３８ａ、３８ｂ  回転軸
３９  ガイドローラ
４０  動力伝達機構
４１  戸体固定具
４２  連結部材
４３、４４  回転軸
４５  ベルト固定具（移動体）
５０  除塵装置
５１  吸気口
５２  ジェットエア用ファン
５３  エアフィルタ
５５  パンカールーバ
５６  蓋
５７  プレフィルタ
７０  出口側扉
７１、７２  レール
９０  駆動機構
９１  梁
９２  レール固定具
９３  レール
９３ａ  第１直線部
９３ｂ  第２直線部
９３ｃ  屈曲部
９４  歯付ベルト（変換部材）
９５  駆動モータ（変換部材）
９５ａ、９６ａ  歯付プーリ
９７  光センサ
９８  ガイド溝
９８ａ  第１直線部
９８ｂ  第２直線部
９８ｃ  屈曲部
９９  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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