(57)【要約】【課題】自発的に巻回する自発巻回性粘着テープであって、被着体に貼り付けた後に自発巻回して得られる巻回体を、別途用意すべき道具や装置を必要とすることなく、容易に被着体表面から回収できる、自発巻回性粘着テープを提供する。【解決手段】本発明の自発巻回性粘着テープは、エネルギー線を照射して加熱することにより自発的に巻回する粘着テープであって、該粘着テープは基材層と粘着剤層とを含み、該粘着剤層の糊面に剥離シートを貼り付けて該剥離シート側からエネルギー線を照射した後に該剥離シートを剥離したときの、エネルギー線硬化後の該粘着剤層の糊面の算術平均表面粗さＲａが３１．５ｎｍ以上であり、巻回方向の長さをＬｍｍ、自発巻回後に形成される巻回体の直径をｒｍｍとしたとき、ｒ／Ｌが０．０００１〜０．９９９である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エネルギー線を照射して加熱することにより自発的に巻回する粘着テープであって、
該粘着テープは基材層と粘着剤層とを含み、
該粘着剤層の糊面に剥離シートを貼り付けて該剥離シート側からエネルギー線を照射した後に該剥離シートを剥離したときの、エネルギー線硬化後の該粘着剤層の糊面の算術平均表面粗さＲａが３１．５ｎｍ以上であり、
巻回方向の長さをＬｍｍ、自発巻回後に形成される巻回体の直径をｒｍｍとしたとき、ｒ／Ｌが０．０００１〜０．９９９である、
自発巻回性粘着テープ。
【請求項２】
前記粘着剤層中にフィラーが含まれる、請求項１に記載の自発巻回性粘着テープ。
【請求項３】
前記フィラーが、熱膨脹性微小球、架橋アクリル単分散粒子、およびガラスビーズから選ばれる少なくとも１種である、請求項２に記載の自発巻回性粘着テープ。
【請求項４】
ミラーウエハに貼着した状態でエネルギー線を照射した後の、温度２３℃、湿度５０％ＲＨ、剥離角度３０度、引張速度３００ｍｍ／分における剥離力が、０．９Ｎ／１０ｍｍ以下である、請求項１から３までのいずれかに記載の自発巻回性粘着テープ。
【請求項５】
エネルギー線を照射した後にミラーウエハに貼着した状態からの、温度２３℃、湿度５０％ＲＨ、剥離角度３０度、引張速度３００ｍｍ／分における剥離力が、０．４５Ｎ／１０ｍｍ以下である、請求項１から４までのいずれかに記載の自発巻回性粘着テープ。
【請求項６】
剥離ライナー上に打ち抜き加工されたものである、請求項１から５までのいずれかに記載の自発巻回性粘着テープ。
【請求項７】
電子部品、半導体部品、または光学部品の表面保護に用いられる、請求項１から６までのいずれかに記載の自発巻回性粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はエネルギー線硬化型自発巻回性粘着テープに関する。詳細には、エネルギー線を照射して加熱することにより自発的に巻回する粘着テープであって、電子部品、半導体部品、光学部品などの表面保護に好適に用いられる粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体やイメージセンサーの表面保護テープとして、最近、自発的に巻回する自発巻回性粘着テープが報告されており、また、自発巻回後の巻回体の回収方法についても報告されている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００３】
従来、自発巻回性粘着テープは、例えば、ウエハなどの被着体に貼り付けた後、該被着体の研磨や研削や切断などの加工を行い、その加工の終了後に加熱処理することによって、脆弱なあるいは小さな被着体から剥離することが可能となる。しかしながら、自発巻回性粘着テープは、自発巻回後は被着体上で巻回体となる。このため、被着体と巻回体との間には、局所的な密着部が存在する。特に、被着体が、その表面が平滑なガラスやサファイヤ基板などの場合は、被着体と巻回体との間の密着性が高く、巻回体を回収するためには、特別な回収方法が必要となる。
【０００４】
従来、このような回収方法として、ピンセットによるピックアップやエアガンによる吹き飛ばしやピックアップテープによる転写や吸引機による吸い上げなどが行われている。しかし、ピンセットによるピックアップの際には、ピンセット先端で被着体表面を傷つけること、エアガンによる吹き飛ばしの際には、風により舞い上がった研磨屑等が被着体表面に付着してしまうこと、ピックアップテープによる転写を行う際には、被着体の表面にも貼り付いてしまうこと、吸引機による吸い上げの際には、巻回体と共に被着体も吸引してしまって被着体を破損してしまうこと、などの不具合が起こるため、細心の注意を払って作業する必要があり、非常に煩雑な作業となる。また、別途用意すべき道具や装置が必要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１２９６０７号公報
【特許文献２】特開２０１１−５４６４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、自発的に巻回する自発巻回性粘着テープであって、被着体に貼り付けた後に自発巻回して得られる巻回体を、別途用意すべき道具や装置を必要とすることなく、容易に被着体表面から回収できる、自発巻回性粘着テープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の自発巻回性粘着テープは、
エネルギー線を照射して加熱することにより自発的に巻回する粘着テープであって、
該粘着テープは基材層と粘着剤層とを含み、
該粘着剤層の糊面に剥離シートを貼り付けて該剥離シート側からエネルギー線を照射した後に該剥離シートを剥離したときの、エネルギー線硬化後の該粘着剤層の糊面の算術平均表面粗さＲａが３１．５ｎｍ以上であり、
巻回方向の長さをＬｍｍ、自発巻回後に形成される巻回体の直径をｒｍｍとしたとき、ｒ／Ｌが０．０００１〜０．９９９である。
【０００８】
好ましい実施形態においては、上記粘着剤層中にフィラーが含まれる。
【０００９】
好ましい実施形態においては、上記フィラーが、熱膨脹性微小球、架橋アクリル単分散粒子、およびガラスビーズから選ばれる少なくとも１種である。
【００１０】
好ましい実施形態においては、本発明の自発巻回性粘着テープは、ミラーウエハに貼着した状態でエネルギー線を照射した後の、温度２３℃、湿度５０％ＲＨ、剥離角度３０度、引張速度３００ｍｍ／分における剥離力が、０．９Ｎ／１０ｍｍ以下である。
【００１１】
好ましい実施形態においては、本発明の自発巻回性粘着テープは、エネルギー線を照射した後にミラーウエハに貼着した状態からの、温度２３℃、湿度５０％ＲＨ、剥離角度３０度、引張速度３００ｍｍ／分における剥離力が、０．４５Ｎ／１０ｍｍ以下である。
【００１２】
好ましい実施形態においては、本発明の自発巻回性粘着テープは、剥離ライナー上に打ち抜き加工されたものである。
【００１３】
好ましい実施形態においては、本発明の自発巻回性粘着テープは、電子部品、半導体部品、または光学部品の表面保護に用いられる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、自発的に巻回する自発巻回性粘着テープであって、被着体に貼り付けた後に自発巻回して得られる巻回体を、別途用意すべき道具や装置を必要とすることなく、容易に被着体表面から回収できる、自発巻回性粘着テープを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の好ましい実施形態による自発巻回性粘着テープが自発巻回する状態を示す斜視図である。
【図２】本発明の好ましい実施形態による自発巻回性粘着テープが被着体に貼り付けられ、該被着体と一括してダイシングされた後に自発巻回する状態を示す斜視図である。
【図３】本発明の好ましい実施形態による自発巻回性粘着テープの概略断面図である。
【図４】本発明の好ましい実施形態による自発巻回性粘着テープが被着体に貼り付けられた後に自発巻回したときの該自発巻回性粘着テープと該被着体との間の粘着状態を示す概略断面図である。
【図５】粘着剤層中にフィラーを含有させたときの、本発明の好ましい実施形態による自発巻回性粘着テープが被着体に貼り付けられた後に自発巻回したときの該自発巻回性粘着テープと該被着体との間の粘着状態を示す概略断面図である。
【図６】落下試験の装置の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
≪自発巻回性粘着テープ≫
本発明の自発巻回性粘着テープは、基材層と粘着剤層とを含み、エネルギー線を照射して加熱することにより自発的に巻回する粘着テープである。
【００１７】
本発明の自発巻回性粘着テープは、任意の適切な形状を採用し得る。本発明の自発巻回性粘着テープの形状としては、例えば、円形状、楕円形状、多角形状などが挙げられる。本発明の自発巻回性粘着テープの形状としては、好ましくは、四角形である。
【００１８】
本発明の自発巻回性粘着テープの大きさは、使用目的等に応じて適宜設定し得る。自発巻回性を考慮すると、本発明の自発巻回性粘着テープの巻回方向の長さをＬは、好ましくは１ｍｍ〜３０００ｍｍであり、より好ましくは２ｍｍ〜２０００ｍｍであり、さらに好ましくは３ｍｍ〜１５００ｍｍであり、特に好ましくは３ｍｍ〜１０００ｍｍである。また、本発明の自発巻回性粘着テープの巻回方向の長さＬに直行する方向の長さは、好ましくは１ｍｍ〜３０００ｍｍであり、より好ましくは２ｍｍ〜２０００ｍｍであり、さらに好ましくは３ｍｍ〜１５００ｍｍであり、特に好ましくは３ｍｍ〜１０００ｍｍである。
【００１９】
図１に、本発明の自発巻回性粘着テープが自発巻回する様子を示す。図１における（Ａ）は、収縮性フィルム層に収縮原因となる刺激を加える前の自発巻回性粘着テープ１０を示す図である。図１における（Ｂ）は、収縮性フィルム層に収縮原因となる刺激が付与された自発巻回性粘着テープ１０がテープ外縁部（１端部）から一方向（通常、収縮性フィルム層の主収縮軸方向）に巻回し始めた時の状態を示す図である。図１における（Ｃ）は、自発巻回性粘着テープ１０の巻回が終了して１個の筒状巻回体が形成された時の状態（一方向巻回）を示す図である。図１における（Ｄ）は、自発巻回性粘着テープ１０の対向する２端部から中心に向かって（通常、収縮性フィルム層の主収縮軸方向へ）自発的に巻回して２個の筒状巻回体が形成されたときの状態（二方向巻回）を示す図である。
【００２０】
本発明の自発巻回性粘着テープが一方向巻回を起こすのか二方向巻回を起こすのかは、後述する剛性フィルムのヤング率と厚みの積や収縮性フィルムとの引き剥がし力等によって変化する。
【００２１】
図１において、Ｌは自発巻回性粘着テープ１０の巻回方向（通常、収縮性フィルム層の主収縮軸方向）の長さ（シートが円形状の場合は直径）を示し（図１（Ａ））、ｒは形成された筒状巻回体の直径（シートが円形状等の場合のように筒状巻回体の直径が巻回体の長さ方向において一定でない場合は、最大直径）を示す（図１（Ｃ）、（Ｄ））。
【００２２】
本発明の自発巻回性粘着テープにおいては、巻回方向の長さをＬｍｍ、自発巻回後に形成される巻回体の直径をｒｍｍとしたとき、ｒ／Ｌが０．０００１〜０．９９９であり、好ましくは０．０００５〜０．６６６であり、より好ましくは０．００１〜０．３３３である。なお、ｒ／Ｌの値は後述の実施例によって定義される値である。
【００２３】
ｒ／Ｌの値は、収縮性フィルム層、剛性フィルム層、粘着剤層などの、本発明の自発巻回性粘着テープを構成する各層の材料の種類、組成、厚みなどを適切に調整することにより上記の範囲にすることができる。
【００２４】
なお、本発明の自発巻回性粘着テープは、巻回方向の長さＬが長くなっても同様に巻回し得る。したがって、本発明の自発巻回性粘着テープに収縮原因となる刺激を付与して収縮させたときに自発的に巻回して形成される筒状巻回体の直径ｒと該表面保護テープの巻回方向の長さＬとの比（ｒ／Ｌ）の下限値は、シートの巻回方向の長さＬが大きくなるほど小さくなる。
【００２５】
図２に、本発明の自発巻回性粘着テープ１０が、被着体５０に貼付され、該被着体５０と一括してダイシングされた後に自発巻回する状態を示す斜視図を示す。図２に示すように、収縮原因となる刺激の付与により、本発明の自発巻回性粘着テープ１０は、一定の直径を有する筒状巻回体１０´となる。
【００２６】
＜基材層＞
基材層は、好ましくは、少なくとも１軸方向に収縮性を有する収縮性フィルム層と剛性フィルム層とが積層されてなる。
【００２７】
図３は、本発明の好ましい実施形態による自発巻回性粘着テープの概略断面図である。図３において、本発明の自発巻回性粘着テープ１０は、基材層１と粘着剤層２との積層構造を有し、基材層１は、収縮性フィルム層３と剛性フィルム層４との積層構造を有する。すなわち、図２に示すように、本発明の好ましい実施形態による自発巻回性粘着テープは、収縮性フィルム層３、剛性フィルム層４、粘着剤層２がこの順に積層されてなり、収縮性フィルム層３と剛性フィルム層４との積層構造が基材層１となる。
【００２８】
収縮性フィルム層は、刺激によって収縮して収縮応力を生成し、かつ、剛性フィルムに反作用力を生み出させることで、本発明の自発巻回性粘着テープ中に反並行の力を生成してトルクとするための役割を果たす層である。
【００２９】
収縮性フィルム層は、少なくとも１軸方向に収縮性を有するフィルム層である。このような収縮性フィルム層としては、例えば、熱収縮性フィルム、光により収縮性を示すフィルム、電気的刺激により収縮するフィルムなどが挙げられる。これらの収縮性フィルム層の中でも、作業効率等の観点から、熱収縮性フィルムが好ましい。
【００３０】
収縮性フィルム層は、所定の１軸方向に主収縮性を有していれば、その方向とは異なる方向（例えば、その方向に対して直交する方向）に副次的に収縮性を有していても良い。
【００３１】
収縮性フィルム層は、１層のみからなっていても良いし、２層以上からなっていても良い。
【００３２】
収縮性フィルム層の主収縮方向の収縮率は、好ましくは３０％〜９０％である。例えば、収縮性フィルム層が、熱収縮性フィルムで構成されている場合、熱収縮性フィルムの主収縮方向の熱収縮率は、７０℃〜１８０℃の範囲の所定温度（例えば、９５℃、１４０℃等）において、好ましくは３０％〜９０％である。ここで、収縮率とは、［（収縮前の寸法−収縮後の寸法）／収縮前の寸法］×１００の式から算出される値をいう。
【００３３】
収縮性フィルム層は、任意の適切な樹脂からなる１軸延伸フィルムによって形成することができる。このような樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂；ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂；ポリノルボルネン系樹脂；ポリイミド系樹脂；ポリアミド系樹脂；ポリウレタン系樹脂；ポリスチレン系樹脂；ポリ塩化ビニリデン系樹脂；ポリ塩化ビニル系樹脂；などが挙げられる。このような樹脂は、１種のみであっても良いし、２種以上であっても良い。このような樹脂としては、粘着剤の塗工作業性等に優れる点で、好ましくは、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリノルボルネン系樹脂、ポリウレタン系樹脂である。したがって、収縮性フィルム層は、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリノルボルネン系樹脂、ポリウレタン系樹脂から選ばれる少なくとも１種の樹脂からなる１軸延伸フィルムによって形成することが好ましい。
【００３４】
収縮性フィルムとしては、東洋紡社製の「スペースクリーン（登録商標）」、グンゼ社製の「ファンシーラップ」、東レ社製の「トレファン（登録商標）」、東レ社製の「ルミラー（登録商標）」、ＪＳＲ社製の「アートン（登録商標）」、日本ゼオン社製の「ゼオノア（登録商標）」、旭化成社製の「サンテック（登録商標）」、三菱樹脂社製の「ヒシペット（登録商標）」などの市販品が利用可能である。
【００３５】
収縮性フィルム層の厚みは、好ましくは５μｍ〜３００μｍ、より好ましくは１０μｍ〜１５０μｍである。収縮性フィルム層の厚みを上記範囲内に調整することにより、本発明の自発巻回性粘着テープの剛性が高くなりすぎることを防止して、自発巻回を促進し、後述する接着剤層と相まって、収縮性フィルム層と後述する剛性フィルム層との間での分離を抑制して、積層シートの破壊を効果的に防止することができる。また、本発明の自発巻回性粘着テープを被着体に貼り付ける時の応力が残存して起こる弾性変形力を抑制して、極薄いウエハに対する反りを防止することができる。
【００３６】
収縮性フィルム層は、隣接する層との密着性や保持性等を高めるため、その表面に、任意の適切な表面処理が施されていてもよい。このような表面処理としては、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的処理；下塗り剤（例えば、粘着物質等）によるコーティング処理；などが挙げられる。
【００３７】
剛性フィルム層は、収縮性フィルム層が熱収縮する際に、その収縮を拘束し、反作用力を生み出すことができ、トルクを生み出し、巻回を引き起こすための駆動力とすることができる。また、収縮性フィルム層の主収縮方向とは異なる方向の副次的収縮が抑制され、１軸収縮性とは言っても必ずしも一様とは言えない収縮性フィルム層の収縮方向が一方向に収斂する働きがある。このため、収縮性フィルム層の収縮を促す熱を加えると、剛性フィルム層が拘束層としての作用を発揮し、収縮性フィルム層の収縮力に対する反発力が駆動力となって、本発明の自発巻回性粘着テープの外縁部（１端部又は対向する２端部）が浮き上がり、収縮性フィルム層側を内にして、端部から１方向又は中心方向（通常、収縮性フィルム層の主収縮軸方向）へ自発的に巻回して筒状巻回体が形成される。
【００３８】
剛性フィルム層と収縮性フィルム層とを積層することにより、収縮性フィルム層に熱等の収縮原因となる刺激が付与された際、本発明の自発巻回性粘着テープが、途中で停止したり、方向がずれたりすることなく、円滑に自発巻回し、形の整った筒状巻回体を、瞬時に形成することができる。
【００３９】
剛性フィルム層は、任意の適切な樹脂からなるフィルムによって形成することができる。このような樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂；ポリイミド系樹脂；ポリアミド系樹脂；ポリウレタン系樹脂；ポリスチレン系樹脂；ポリ塩化ビニリデン系樹脂；ポリ塩化ビニル系樹脂；などが挙げられる。このような樹脂は、１種のみであっても良いし、２種以上であっても良い。このような樹脂としては、接着剤および／または粘着剤の塗工作業性等に優れる点で、好ましくは、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂である。
【００４０】
剛性フィルム層は、１層のみからなっていても良いし、２層以上からなっていても良い。
【００４１】
剛性フィルム層は非収縮性であるものが適しており、収縮率は、好ましくは５％以下であり、より好ましくは３％以下であり、さらに好ましくは１％以下である。ここで、収縮率とは、［（収縮前の寸法−収縮後の寸法）／収縮前の寸法］×１００の式から算出される値をいう。
【００４２】
剛性フィルム層のヤング率と厚みとの積（ヤング率×厚み）は、剥離時温度（例えば、８０℃）において、好ましくは３．０×１０５Ｎ／ｍ以下（例えば、１．０×１０２Ｎ／ｍ〜３．０×１０５Ｎ／ｍ）であり、より好ましくは２．８×１０５Ｎ／ｍ以下（例えば、１．０×１０３Ｎ／ｍ〜２．８×１０５Ｎ／ｍ）である。剛性フィルム層のヤング率と厚みとの積をこの範囲内に調整することにより、収縮性フィルム層の収縮応力を巻回応力へと変換する作用および方向性収斂作用を確保することができる。また、過度の剛性を防止して、後述する接着剤層の厚み等と相まって、迅速な巻回を促進することができる。
【００４３】
剛性フィルム層のヤング率は、剥離時温度（例えば、８０℃）において、好ましくは３×１０６Ｎ／ｍ２〜２×１０１０Ｎ／ｍ２であり、より好ましくは１×１０８Ｎ／ｍ２〜１×１０１０Ｎ／ｍ２である。剛性フィルム層のヤング率をこの範囲内に調整することにより、本発明の自発巻回性粘着テープの自発巻回を促進し、整った形で巻回した筒状巻回体を得ることができる。なお、剛性フィルム層のヤング率の測定方法は後述する。
【００４４】
剛性フィルム層の厚みは、好ましくは５μｍ〜２００μｍであり、より好ましくは８μｍ〜１２５μｍであり、さらに好ましくは１０μｍ〜１００μｍであり、特に好ましくは１０μｍ〜７５μｍである。剛性フィルム層の厚みを上記範囲内に調整することにより、本発明の自発巻回性粘着テープの自己巻回性を確保して、整った形で巻回した筒状巻回体を得ることができるとともに、取扱性および経済性を向上させることができる。
【００４５】
剛性フィルム層と後述する粘着剤層の間には有機コーティング層を設置することも本発明について好ましい態様の一つである。
【００４６】
有機コーティング層は、剛性フィルム層に良好に密着してフィルム変形に追従することが必要である。また、本発明の自発巻回性粘着テープ、特に、剛性フィルム層は、後述する粘着剤層と良好に密着することが必要である。特に、粘着剤層がエネルギー線硬化型粘着剤によって形成される場合には、エネルギー線硬化後、さらに剥離後に粘着剤層が投錨破壊していないことが必要である。
【００４７】
有機コーティング層は、これらの特性を有する限り、どのような材料を用いても良い。
例えば、文献（プラスチックハードコート材料ＩＩ、ＣＭＣ出版、（２００４））に示されるような、各種のコーティング材料を用いることが可能である。
【００４８】
コーティング材料としては、ウレタン系ポリマーまたはオリゴマーが好ましい。剛性フィルム層に対して優れた密着性及びフィルム変形時の追従性を示し、かつ、粘着剤層（特に、エネルギー線硬化後のエネルギー線硬化型粘着剤層）に対して優れた投錨性を示すからである。
【００４９】
コーティング材料としては、特に、ポリアクリルウレタン、ポリエステルポリウレタン、または、これらの前駆体がより好ましい。これらの材料は、剛性フィルム層への塗工・塗布が簡便であるなど、実用的であり、工業的に多種のものが選択でき、安価に入手できるからである。
【００５０】
ポリアクリルウレタンとしては、文献（プラスチックハードコート材料ＩＩ、Ｐ１７−２１、ＣＭＣ出版、（２００４））および文献（最新ポリウレタン材料と応用技術、ＣＭＣ出版、（２００５））に示されるいずれをも用いることができる。これらは、イソシアネートモノマーとアルコール性水酸基含有モノマー（例えば、水酸基含有アクリル化合物または水酸基含有エステル化合物）との反応混合物からなるポリマーである。さらなる成分として、ポリアミンなどの鎖延長剤、老化防止剤、酸化安定剤などを含んでいてもよい。
【００５１】
ポリアクリルウレタンは、上述したモノマーを反応させることにより調製したものを用いても良いし、コーティング材料、インキ、塗料のバインダー樹脂として市販または使用されているものを用いてもよい（文献：最新ポリウレタン材料と応用技術、Ｐ１９０、ＣＭＣ出版、（２００５）参照）。このようなポリウレタンとしては、大日精化製の「ＮＢ３００」、ＡＤＥＫＡ製の「アデカボンタイター(登録商標)」、三井化学製の「タケラック(登録商標)Ａ／タケネート(登録商標)Ａ」、ＤＩＣグラフィックス製の「ＵＣシーラー」等の市販品が挙げられる。
【００５２】
このようなポリマーは、色素を添加するなどして、インキとして剛性フィルム層に印刷して用いてもよい。このように印刷することにより、本発明の自発巻回性粘着テープの意匠性を高めることも可能となる。
【００５３】
ウレタン系ポリマーまたはオリゴマー、特に、ポリアクリルウレタン、ポリエステルポリウレタン、または、これらの前駆体が剛性フィルム層ならび粘着剤層に対して良好な密着性及び追従性を示す理由としては、ウレタン系ポリマーまたはオリゴマーに原料として含まれるイソシアネート成分が、剛性フィルム層表面ならびに粘着剤層に存在する水酸基またはカルボキシル基などの極性官能基と反応して強固な結合を形成するからと考えられる。
【００５４】
特に、ウレタン系ポリマーまたはオリゴマーが、エネルギー線照射後において、エネルギー線硬化型粘着剤との投錨性が高まる理由としては、エネルギー線照射時においてウレタン結合近傍に生成するラジカル種とエネルギー線硬化型粘着剤に生成するラジカル種とが反応して強固な結合を形成するためと推測される（文献：ポリウレタンの構造・物性と高機能化および応用展開、ｐ１９１−１９４、技術情報協会（１９９９））。
【００５５】
上述したウレタン系ポリマーまたはオリゴマーは、ポリオール化合物と、このポリオール化合物の水酸基に対して等当量（または等モル数）またはそれよりも多い当量（またはモル数）のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物とを原料に用いて反応させることによって得られたものが好ましく、さらに、ポリオール化合物と、このポリオール化合物の水酸基に対して等当量（または等モル数）よりも多い当量（またはモル数）のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物とを反応させることによって得られたものがより好ましい。このように、ポリオール化合物の水酸基の等当量以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物を用いることにより、投錨破壊を抑止する効果を高めることができ、特に、有機コーティング層を形成する材料として好ましい。
【００５６】
具体的には、ポリオール化合物の水酸基に対するポリイソシアネートにおけるイソシアネート基の混合比（ＮＣＯ/ＯＨ）は、１以上であればよく、１より大きいことが好ましく、生成する有機コーティング層の形成材料の粘度、弾性率、軟化温度等、塗工や貼り合わせ工程などを含む積層シート製造条件を鑑みて適宜選択することができる。特に、このような混合比は、好ましくは１．００５〜１０００であり、より好ましくは１．０１〜１００であり、さらに好ましくは１．０５〜１０である。
【００５７】
これは、等当量または過剰量のイソシアネート基が、剛性フィルム層又は粘着剤層に含有される成分中の官能基とも化学結合することが期待されるからである。例えば、剛性フィルム層として、ＰＥＴ基材を用いる場合、ＰＥＴ基材には水酸基またはカルボキシル基などの活性水素を有する官能基が含まれており、これらが有機コーティング層中のイソシアネート基（または過剰量のイソシアネート基）と反応することによって、ウレタン結合またはアミド結合を形成すると考えられるからである。また、水酸基、カルボキシル基、またはアミノ基を含むような粘着剤を用いた粘着剤層でも、これと同様に、活性水素により対応する結合が形成されると考えられる。つまり、これら結合によっても、より密着性を向上させることができ、投錨破壊抑止に有効となると期待される。
【００５８】
このようなことから、剛性フィルム層および／または後述する粘着剤層に、活性水素を含有する官能基が含まれる材料またはこのような官能基を有する化合物が添加された材料が用いられている場合において、特に、投錨破壊を抑止する効果を高めることが可能となる。なお、活性水素を含有する官能基としては、上述したものの他に、ウレタン基、ウレア基、チオール基などが挙げられ、それぞれシソシアネート基と反応することにより、アロハネート結合、ビュウレット結合、チオウレタン結合などの化学結合を形成することができる。
【００５９】
ここで、ポリオール化合物としては、エチレングリコール、プロピレングリコールなどのジオール化合物；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、水酸基含有アクリル酸、およびその類縁体（例えば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレートなど)から重合されたポリマー；等、１分子中に平均して１つ以上（好ましくは１を超え、より好ましくは２以上）の水酸基を含有する化合物が好ましい。これらポリオール化合物は、沸点(融点)、粘度等が様々であるため、塗工など製造条件を鑑みて適宜選択することができる。
【００６０】
ポリイソシアネートとしては、キシリレンジイソシアナート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシネート、メチレンビス（フェニルイソシアネート）等のジイソシアネート化合物；ポリフェニレンポリイソシアネート(ポリＭＤＩ)；重合末端がトリレンジイソシアネートであるポリプロピレングリコール；等、１分子中に平均して１つ以上のイソシアネート基を含有する化合物であればよい。これらポリイソシアネートは沸点(融点)、粘度等が様々であるため、塗工など製造条件を鑑みて適宜選択することができる。
【００６１】
有機コーティング層の厚みは、任意の適切な厚みを採用し得る。例えば、好ましくは０．１μｍ〜１０μｍであり、より好ましくは０．１μｍ〜５μｍであり、さらに好ましくは０．５μｍ〜５μｍである。
【００６２】
収縮性フィルム層と剛性フィルム層とは、好ましくは接着剤層を介して積層され、基材層をなす。
【００６３】
接着剤層は、収縮性フィルム層と剛性フィルム層とを接合する役割を果たすものであり、好ましくは、両者を接合するために十分な接着力を有する。接着剤層は、特に、収縮性フィルム層を収縮させるために加温等の処理を行っても、接着力の低下を起こさないものが好ましい。また、収縮応力から剛性フィルム層へ反作用力を生むためには、接着剤層は薄く且つ硬い層であることが好ましい。接着剤層が厚すぎたり柔らすぎたりする場合には、収縮応力によって接着剤層自体が収縮してしまい、剛性フィルム層の反作用力を低下させ、巻回に必要なトルクを低下させるおそれがある。このように、接着剤層は、薄く且つ硬く且つ高接着力であるという、互いに相反する物性を両立していることが好ましい。
【００６４】
接着剤層のせん断貯蔵弾性率Ｇ’は、室温から剥離時温度（例えば８０℃）において、１×１０４Ｐａ〜５×１０６Ｐａが好ましく、０．０５×１０６Ｐａ〜３×１０６Ｐａがより好ましい。せん断貯蔵弾性率が高いほど収縮力がトルクへ変換されやすくなるが、あまりに弾性率が高いとトルクによって筒状に変形しにくくなるためである。なお、せん断貯蔵弾性率の測定方法は後述する。
【００６５】
接着剤層の厚みは、好ましくは０．０１μｍ〜１５μｍであり、より好ましくは０．１μｍ〜１０μｍである。接着剤層の厚みを上記範囲内に調整することにより、通常必要とされる接着力を確保することができる。また、必要以上の剛性の増加を防止して、生成するトルクのうち、巻回のために使われる力を低減し、接着力を被着体より剥離するための力として消費させることができる。さらに、貼り付け応力によって被着体が反るのを抑制するための応力緩和機能をもたらすことができる。加えて、本発明の自発巻回性粘着テープにおける切断性が良好となり、接着剤層のはみだし等を防止することができる。なお、応力緩和機能は、厚みの他、接着剤層の材料、種々の特性によって制御することができる。
【００６６】
接着剤層を形成する接着剤は、高い接着力を有するものが好ましく、特に、加熱状態でも接着力を高く維持できるものが好ましい。具体的には、５０℃における収縮性フィルム層と剛性フィルム層との２種のフィルムを引き剥がすに必要な剥離力は、５０℃における１８０°ピール剥離試験(引張り速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）において、４．０Ｎ／１０ｍｍ以上であるものが適している。この範囲の剥離力とすることにより、実際の剥離での使用においても、収縮性フィルム層の収縮応力によって接合が破壊されず、接着剤層上で収縮性フィルムを収縮させる不具合を防止することができる。
【００６７】
接着剤層を形成する接着剤は、上述した特性を有する材料であれば、任意の適切な接着剤を採用し得る。このような接着剤としては、ウレタン系接着剤が好ましい。
【００６８】
ウレタン系接着剤は、官能基としてイソシアナート基を有する化合物と水酸基を有する化合物とを混合し、化学反応によってウレタン結合を生成させる接着剤である。ウレタン結合は強い水素結合性を有するため、弱い分子間力であるファンデルワールス力のみに依る接着剤よりも強力に被着体を接着させることができる。また、接着剤分子同士の分子間力も強いため、接着剤を加熱しても軟化が起こりにくく、温度依存性が小さい。さらに、イソシアナート基は接着剤中の水酸基だけでなく、基材中に含まれる水酸基とも反応して、ウレタン結合を生じるため、共有結合による強い接着力も期待できることから好ましい。
【００６９】
なお、接着剤中のウレタン結合の密度が大きくなりすぎると、高弾性体となり、被着体界面への濡れ性が低下するため、イソシアナート基および水酸基間には、エーテル結合、エステル結合等の分子鎖を屈曲させる作用の強い分子が介在し、適切な柔軟性および／または濡れ性を有するものが好ましい。このようなウレタン系接着剤としては、例えば、ポリエーテルウレタン、ポリエステルウレタン等が挙げられる。このようなウレタン系接着剤としては、特に好ましくは、ポリエステルウレタンである。
【００７０】
ウレタン系接着剤としては、任意の適切なウレタン系接着剤を採用し得る。ウレタン系接着剤としては、例えば、上述したような水酸基を含む成分とイソシアナートを含む成分の２種を混合して使用する２液型接着剤、イソシアナート基を保護基で修飾して、保存時には非反応性にし、使用時に加熱などして保護基を脱離させて使用する１液型接着剤などが挙げられる。また、ウレタン系接着剤としては、例えば、接着剤分子を溶剤に混合した溶媒混合系ウレタン接着剤、接着剤分子を低分子量化（低粘性化）した無溶媒型ウレタン接着剤、エマルションによる水溶性ウレタン接着剤なども挙げられる。また、ウレタン化反応を促進させるために、任意の適切なウレタン化触媒（例えば、有機錫化合物や三級アミン類など）を適宜混合しても良い。
【００７１】
ウレタン系接着剤としては、具体的には、例えば、三井化学社製のタケラック（登録商標）類、三井化学社製のタケネート（登録商標）類、大日精化社製のセイカボンド類、ロックタイト社製のＨｙｓｏｌ類、日本ポリウレタン社製のニッポラン類、日本ポリウレタン社製のコロネート類、株式会社イーテック社製のマイティシリーズ類、などが挙げられる。
【００７２】
接着剤層を形成する場合は、好ましくは、収縮性フィルム層または剛性フィルム層に塗布する。この場合の塗布方法としては、例えば、マイヤーバー、アプリケータ等を用いた方法；ファンテンダイ、グラビアコーター等を用いた工業的に量産する方法；などが挙げられる。また、適当な剥離ライナー（セパレーター）上に接着剤を塗布して接着剤層を形成し、これを収縮性フィルム層または剛性フィルム層上に転写（移着）してもよい。
【００７３】
＜粘着剤層＞
粘着剤層は、好ましくは、エネルギー線を照射することにより硬化するエネルギー線硬化型粘着剤層である。
【００７４】
本発明の自発巻回性粘着テープは、粘着剤層の糊面に剥離シートを貼り付けて該剥離シート側からエネルギー線を照射した後に該剥離シートを剥離したときの、エネルギー線硬化後の粘着剤層の糊面の算術平均表面粗さＲａが３１．５ｎｍ以上であり、好ましくは３２．０ｎｍ〜２０００ｎｍであり、より好ましくは３４．０ｎｍ〜１０００ｎｍであり、特に好ましくは３５．５ｎｍ〜５００ｎｍであり、最も好ましくは４０ｎｍ〜８０ｎｍである。本発明の自発巻回性粘着テープにおける粘着剤層の糊面のエネルギー線硬化後の算術平均表面粗さＲａを上記範囲内に調整することにより、被着体に貼り付けた後に自発巻回させて得られる巻回体を、別途用意すべき道具や装置を必要とすることなく、容易に被着体表面から回収できる、自発巻回性粘着テープを提供し得る。なお、糊面の算術平均表面粗さＲａの測定方法は後述する。
【００７５】
図４は、本発明の自発巻回性粘着テープ１０が被着体５０に貼り付けられた後に自発巻回したときの該自発巻回性粘着テープ１０と該被着体５０との間の粘着状態を示す概略断面図である。本発明の自発巻回性粘着テープ１０における粘着剤層２の糊面のエネルギー線硬化後の算術平均表面粗さＲａを上記範囲内に調整すると、本発明の自発巻回性粘着テープ１０を被着体５０に貼り付けた後にエネルギー線を照射した場合、本発明の自発巻回性粘着テープ１０の粘着剤層２の糊面は算術平均表面粗さＲａを上記範囲内に調整しようとして凹凸を形成する応力が発生する。このとき、本発明の自発巻回性粘着テープ１０と被着体５０とは粘着力によって密着しているため、凹凸が形成されることは起こり難い。もし密着状態の層間において凹凸が形成するということが起これば、それは、真空部分が自然に発生するということになり、そのようなことは起こり難いからである。したがって、この段階では、本発明の自発巻回性粘着テープ１０と被着体５０との間には凹凸は生じず、糊面の算術平均表面粗さＲａを上記範囲内に調整しようとして凹凸を形成する応力が潜在的に発生しているものと推察される（図４（Ａ））。実際、本発明の自発巻回性粘着テープをシリコンミラーウエハに貼り付け、紫外線照射を行い、その後に、ダイシングブレードによる切断や切削水圧といった外力を与えても、本発明の自発巻回性粘着テープはシリコンミラーウエハから剥がれることはなく、また、本発明の自発巻回性粘着テープの粘着剤層とシリコンミラーウエハとの界面への水の浸入も確認されない。このような状態で加熱を行うと、本発明の自発巻回性粘着テープ１０は自発巻回し、被着体５０から離れていった糊面部分には凹凸が生じる（図４（Ｂ））。この凹凸は、本発明の自発巻回性粘着テープ１０と被着体５０との間の密着状態が解放され、算術平均表面粗さＲａを上記範囲内に調整しようとして凹凸を形成する応力により形成されたものである。本発明の自発巻回性粘着テープ１０が一旦自発巻回しはじめると、糊面が次第に被着体から離れていく。このとき、被着体５０から今にも離れようとしている糊面部分には、少しずつ外気が流入するので、凹凸を形成する応力と相まって、該糊面部分の算術平均表面粗さＲａが上記範囲内に調整されて凹凸が順次形成されることになると推察される（図４（Ｃ））。そして、糊面が有する凹凸を形成する応力がドライビングフォースとなって順次これが繰り返され、最終的に、本発明の自発巻回性粘着テープ１０は、本発明の自発巻回性粘着テープ１０と被着体５０との間の接点がほとんどない巻回体１０´となる（図４（Ｄ））ものと推察され、別途用意すべき道具や装置を必要とすることなく、例えば、重力のみで巻回体１０´を落下させるなど、容易に被着体５０の表面から巻回体１０´を回収できることとなる。
【００７６】
本発明の自発巻回性粘着テープにおける粘着剤層の糊面のエネルギー線硬化後の算術平均表面粗さＲａを上記範囲内に調整する手段としては、任意の適切な方法を採用し得る。このような方法としては、好ましくは、後述するように、粘着剤層中にフィラーを含有させる方法が挙げられる。
【００７７】
粘着剤層中にフィラーを含有させたときの、本発明の自発巻回性粘着テープ１０が被着体５０に貼り付けられた後に自発巻回したときの該自発巻回性粘着テープ１０と該被着体５０との間の粘着状態を示す概略断面図を図５に示す。本発明の自発巻回性粘着テープ１０を被着体５０に貼り付けた後にエネルギー線を照射した場合、本発明の自発巻回性粘着テープ１０の粘着剤層２の糊面は算術平均表面粗さＲａを上記範囲内に調整しようとして凹凸を形成する応力が発生する。特に、粘着剤層２の糊面付近にフィラー２０が存在することにより、フィラー２０の存在しない領域において収縮応力Ｐが発生する。このとき、本発明の自発巻回性粘着テープ１０と被着体５０とは粘着力によって密着しているため、収縮応力Ｐによって凹凸が形成されることは起こり難い。もし密着状態の層間において凹凸が形成するということが起これば、それは、真空部分が自然に発生するということになり、そのようなことは起こり難いからである。したがって、この段階では、本発明の自発巻回性粘着テープ１０と被着体５０との間には凹凸は生じず、糊面の算術平均表面粗さＲａを上記範囲内に調整しようとして凹凸を形成する収縮応力Ｐが、フィラー２０の存在しない領域において潜在的に発生しているものと推察される（図５（Ａ））。このような状態で加熱を行うと、本発明の自発巻回性粘着テープ１０は自発巻回し、被着体５０から離れていった糊面部分には、フィラー２０の存在しない領域において発生する収縮応力Ｐによって凹凸が生じる（図５（Ｂ））。このとき、被着体５０から遠く離れていった部分の凸部（例えば、図５（Ｂ）の凸部（Ｘ））に比べて、被着体５０から離れた直後の部分の凸部（例えば、図５（Ｂ）の凸部（Ｙ））は、まだ微小な凸部の状態である。しかし、この微小な凸部が、フィラー２０の存在しない領域において発生する収縮応力Ｐによって剥離起点となり、順次剥離されていき、未剥離部分が次第になくなっていき、最終的に巻回体となるものと推察される。
【００７８】
粘着剤層は、エネルギー線照射前は、被着体に貼着して、被着体に「割れ」や「欠け」が発生することから保護するために十分な粘着力を有し、加工後は、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線などのエネルギー線を照射することにより３次元網目構造を形成させて硬化させ、被着体に対する粘着力を低下させると共に、収縮性フィルム層が熱によって収縮する際に、その収縮に反発する拘束層としての作用を発揮することができるため、収縮に対する反発力が駆動力となって本発明の自発巻回性粘着テープの外縁部（端部）が浮き上がり、収縮性フィルム層側を内にして、端部から１方向へまたは対向する２端部から中心（２端部の中心）に向かって自発的に巻回して１または２個の筒状巻回体を形成することができる。
【００７９】
粘着剤層を形成する粘着剤（エネルギー線硬化型粘着剤）としては、エネルギー線硬化性を付与するためのエネルギー線反応性官能基を化学修飾した化合物、または、エネルギー線硬化性化合物（またはエネルギー線硬化性樹脂）を少なくとも含有することが好ましい。従って、エネルギー線硬化型粘着剤としては、エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤、および／または、エネルギー線硬化性化合物（またはエネルギー線硬化性樹脂）を母剤中に配合した組成物により構成されるものが好ましく用いられる。
【００８０】
母剤としては、任意の適切な粘着剤を使用することができる。このような粘着剤としては、例えば、天然ゴム、ポリイソブチレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、ＮＢＲなどのゴム系ポリマーをベースポリマーに用いたゴム系粘着剤；シリコーン系粘着剤；アクリル系粘着剤；などが挙げられる。これらの粘着剤の中でも、アクリル系粘着剤が好ましい。なお、母剤は、１種のみであっても良いし、２種以上であっても良い。
【００８１】
アクリル系粘着剤としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ１−Ｃ２０アルキルエステルなどの（メタ）アクリル酸アルキルエステルの単独または共重合体；該（メタ）アクリル酸アルキルエステルと他の共重合性モノマー（例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸などのカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリルなどのアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミドなどのアミド基含有モノマー；等）との共重合体などのアクリル系重合体をベースポリマーに用いたアクリル系粘着剤；などが挙げられる。アクリル系粘着剤は、１種のみであっても良いし、２種以上であっても良い。
【００８２】
なお、本明細書において、「（メタ）アクリル」とはアクリルおよび／またはメタクリルを意味し、「（メタ）アクリルロイル」とはアクリロイルおよび／またはメタクリロイルを意味し、「（メタ）アクリレート」とはアクリレートおよび／またはメタクリレートを意味する。
【００８３】
エネルギー線硬化させるための化学修飾に用いるエネルギー線反応性官能基およびエネルギー線硬化性化合物としては、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線などのエネルギー線により硬化可能なものであれば、任意の適切な化合物を採用し得る。このような化合物としては、エネルギー線照射により３次元網状化（網目化）が効率よくなされるものが好ましい。このような化合物は、１種のみであっても良いし、２種以上であっても良い。
【００８４】
化学修飾に用いられるエネルギー線反応性官能基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基などの炭素−炭素多重結合を有する官能基などが挙げられる。これらの官能基は、エネルギー線の照射により炭素−炭素多重結合が開裂してラジカルを生成し、このラジカルが架橋点となって３次元網目構造を形成することができる。このような化学修飾に用いられるエネルギー線反応性官能基の中でも、アクリロイル基またはメタクリロイル基は、エネルギー線に対して比較的高反応性を示すことができ、また豊富な種類のアクリル系粘着剤から選択して組み合わせて使用できるなど、反応性、作業性の観点で好ましい。
【００８５】
エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤の代表的な例としては、ヒドロキシル基やカルボキシル基等の反応性官能基を含む単量体（例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸など）を（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合させた反応性官能基含有アクリル系重合体に、分子内に該反応性官能基と反応する基（例えば、イソシアネート基、エポキシ基など）およびエネルギー線反応性官能基（アクリロイル基、メタクリロイル基等）を有する化合物（例えば、（メタ）アクリロイルオキシエチレンイソシアネートなど）を反応させて得られる重合体が挙げられる。
【００８６】
反応性官能基含有アクリル系重合体における反応性官能基を含む単量体の割合は、全単量体に対して、好ましくは０．０１重量％〜１００重量％であり、より好ましくは１重量％〜５０重量％である。
【００８７】
反応性官能基含有アクリル系重合体と反応させる際の分子内に反応性官能基と反応する基およびエネルギー線反応性官能基を有する化合物の使用量は、反応性官能基含有アクリル系重合体中の反応性官能基（例えば、ヒドロキシル基、カルボキシル基など）に対して、好ましくは１モル％〜１００モル％であり、より好ましくは２０モル％〜９５モル％である。
【００８８】
エネルギー線硬化性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート等の、分子内にアクリロイル基やメタクリロイル基等の炭素−炭素二重結合を含む基を２つ以上有する化合物などが挙げられる。このような化合物の中でも、アクリロイル基および／またはメタクリロイル基を２個以上有する化合物が好ましく、例えば、特開２００３−２９２９１６号公報に例示されている化合物が挙げられる。なお、このような化合物は、１種のみであっても良いし、２種以上であっても良い。
【００８９】
エネルギー線硬化性化合物としては、例えば、オニウム塩等の有機塩類と分子内に複数の複素環を有する化合物との混合物などを用いることもできる。このような混合物は、エネルギー線の照射により有機塩が開裂してイオンを生成し、これが開始種となって複素環の開環反応を引き起こして３次元網目構造を形成することができる。上記有機塩類としては、例えば、ヨードニウム塩、フォスフォニウム塩、アンチモニウム塩、スルホニウム塩、ボレート塩などが挙げられる。上記分子内に複数の複素環を有する化合物における複素環としては、例えば、オキシラン、オキセタン、オキソラン、チイラン、アジリジンなどが挙げられる。このようなエネルギー線硬化性化合物としては、具体的には、例えば、「光硬化技術」（技術情報協会編、２０００）に記載の化合物などが挙げられる。なお、このような化合物は、１種のみであっても良いし、２種以上であっても良い。
【００９０】
エネルギー線硬化性樹脂としては、例えば、エステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）アクリレート等の分子内にアクリロイル基またはメタクリロイル基を有するポリマーまたはオリゴマー；分子内にアリル基を有するチオール−エン付加型樹脂や光カチオン重合型樹脂；ポリビニルシンナマート等のシンナモイル基含有ポリマー；ジアゾ化したアミノノボラック樹脂やアクリルアミド型ポリマーなどの感光性反応基含有ポリマーあるいはオリゴマー；エポキシ化ポリブタジエン、不飽和ポリエステル、ポリグリシジルメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリビニルシロキサン等の高活性エネルギー線で反応するポリマー；などが挙げられる。なお、このようなエネルギー線硬化性樹脂は、１種のみであっても良いし、２種以上であっても良い。また、エネルギー線硬化性樹脂を使用する場合には、上記母剤は必ずしも必要でない。
【００９１】
エネルギー線硬化性樹脂の分子量としては、好ましくは５０００未満、より好ましくは１００〜３０００である。エネルギー線硬化性樹脂の分子量が５０００を上回ると、例えば（母剤である）アクリル系重合体との相溶性が低下するおそれがある。
【００９２】
エネルギー線硬化性樹脂としては、エネルギー線に対して比較的高い反応性を示すことができる点で、エステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）アクリレート等の分子内にアクリロイル基またはメタクリロイル基を有するオリゴマーを使用することが好ましい。
【００９３】
粘着剤としては、選択肢が多く、エネルギー線照射前後での弾性率調整が行いやすい点で、エネルギー線硬化性を付与するためのエネルギー線反応性官能基を化学修飾した化合物、および、エネルギー線硬化性化合物（またはエネルギー線硬化性樹脂）を組み合わせて使用することが好ましく、特に、側鎖に（メタ）アクリロイル基が導入されたアクリル系重合体と、分子内にアクリロイル基またはメタクリロイル基を有するオリゴマーとの組み合わせが、エネルギー線に対して比較的高い反応性を示す（メタ）アクリロイル基を含み、しかも多様なアクリル系粘着剤から選択できるため、反応性や作業性の観点から好ましい。このような組み合わせとしては、特開２００３−２９２９１６号公報等に開示のものを利用できる。
【００９４】
エネルギー線硬化性樹脂（例えば、分子内にアクリロイル基またはメタクリロイル基を有するオリゴマー）の配合量は、例えば、母剤（例えば、上記側鎖に（メタ）アクリロイル基が導入されたアクリル系重合体）１００重量部に対して、好ましくは０．００１重量部〜５００重量部、より好ましくは０．０１重量部〜２００重量部、さらに好ましくは０．１重量部〜１５０重量部である。
【００９５】
粘着剤には、３次元網目構造を形成する反応速度の向上を目的として、エネルギー線硬化性を付与する化合物を硬化させるためのエネルギー線重合開始剤が配合されていても良い。
【００９６】
エネルギー線重合開始剤は、用いるエネルギー線の種類（例えば、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線など）に応じて、任意の適切なエネルギー線重合開始剤を採用し得る。このようなエネルギー線重合開始剤としては、作業効率の面から、紫外線で光重合開始可能な化合物が好ましい。代表的なエネルギー線重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、アセトフェノン、キノン、ナフトキノン、アンスラキノン、フルオレノン等のケトン系開始剤；アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系開始剤；ベンゾイルパーオキシド、過安息香酸等の過酸化物系開始剤；などが挙げられる。市販品のエネルギー線重合開始剤としては、例えば、チバ・ジャパン社製の商品名「イルガキュア１８４」、「イルガキュア６５１」、「イルガキュア１２７」、「イルガキュア２９５９」などが挙げられる。
【００９７】
エネルギー線重合開始剤は、１種のみであっても良いし、２種以上であっても良い。
【００９８】
エネルギー線重合開始剤の配合量としては、上記母剤１００重量部に対して、好ましくは０．０１重量部〜１０重量部であり、より好ましくは１重量部〜８重量部である。なお、必要に応じて、活性エネルギー線重合開始剤とともに活性エネルギー線重合促進剤を併用しても良い。
【００９９】
粘着剤層には、好ましくはフィラーが含まれる。粘着剤層にフィラーが含まれることにより、本発明の自発巻回性粘着テープにおける粘着剤層の糊面のエネルギー線硬化後の算術平均表面粗さＲａを前述の範囲に容易に調整することが可能となる。
【０１００】
フィラーとしては、本発明の効果を損なわない限り、任意の適切なフィラーを採用し得る。このようなフィラーとしては、例えば、熱膨脹性微小球；架橋アクリル単分散粒子；樹脂ビーズなど有機材、または、ガラス（シリカ）ビーズ、タルク、炭酸カルシウム、酸化チタンなど無機材などの粒子状フィラー；などが挙げられ、粒径の制御や透明性、粘着剤への分散性などの観点から、好ましくは、熱膨脹性微小球、架橋アクリル単分散粒子、およびガラス（シリカ）ビーズから選ばれる少なくとも１種である。
【０１０１】
熱膨脹性微小球としては、例えば、松本油脂製薬（株）製の「マツモトマイクロスフェアーＦシリーズ」、「マツモトマイクロスフェアーＦＮシリーズ」、「マツモトマイクロスフェアーＭＦＬシリーズ」、「マツモトマイクロスフェアーＭシリーズ」、「マツモトマイクロスフェアーＳシリーズ」などが挙げられる。
【０１０２】
架橋アクリル単分散粒子としては、例えば、綜研化学（株）製の「ケミスノーＭＸシリーズ」、「ケミスノーＭＲシリーズ」などが挙げられる。
【０１０３】
ガラス（シリカ）ビーズとしては、例えば、（株）龍森製の「ファインシリーズ」などが挙げられる。
【０１０４】
粒子状フィラーの平均粒子径は、好ましくは０．１μｍ〜５００μｍであり、より好ましくは１μｍ〜１００μｍであり、さらに好ましくは２μｍ〜７０μｍであり、特に好ましくは３μｍ〜５０μｍであり、最も好ましくは３μｍ〜１０μｍである。粒子状フィラーの平均粒子径を上記範囲内に調整することによって、本発明の自発巻回性粘着テープにおける粘着剤層の糊面のエネルギー線硬化後の算術平均表面粗さＲａを前述の範囲により容易に調整することが可能となる。
【０１０５】
粒子状フィラーの添加量は、粘着剤層の全体１００重量部に対して、好ましくは０．０１重量部〜２００重量部であり、より好ましくは０．１重量部〜１００重量部であり、さらに好ましくは１重量部〜７５重量部であり、特に好ましくは３重量部〜５０重量部である。粒子状フィラーの添加量を上記範囲内に調整することによって、本発明の自発巻回性粘着テープにおける粘着剤層の糊面のエネルギー線硬化後の算術平均表面粗さＲａを前述の範囲により容易に調整することが可能となる。
【０１０６】
粘着剤には、エネルギー線硬化前後に適切な粘着性を得るために、架橋剤、硬化（架橋）促進剤、粘着付与剤、加硫剤、増粘剤などの添加剤が含まれていても良い。粘着剤には、耐久性向上のために、老化防止剤、酸化防止剤などの添加剤が含まれていても良い。このような添加剤は、１種のみであっても良いし、２種以上であっても良い。
【０１０７】
粘着剤の好ましい態様としては、側鎖（メタ）アクリロイル基含有アクリル粘着剤、分子内にアクリロイル基またはメタクリロイル基を有するオリゴマー、（メタ）アクリレート系架橋剤（ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物；多官能（メタ）アクリレート）、紫外線光開始剤を含む紫外線硬化型粘着剤などが挙げられる。
【０１０８】
粘着剤層の形成方法としては、例えば、（１）粘着剤、エネルギー線硬化性化合物、必要に応じて溶媒を添加して調製したコーティング液を、収縮性フィルム層の表面に塗布する方法、（２）剥離ライナー（セパレーター）上に、粘着剤、エネルギー線硬化性化合物、必要に応じて溶媒を添加して調製したコーティング液を塗布して粘着剤層を形成し、これを収縮性フィルム層上に転写（移着）する方法、などが挙げられる。（２）の方法の場合、収縮性フィルム層との界面にボイド（空隙）が残る場合がある。この場合は、オートクレーブ処理等により加温加圧処理を施し、ボイドを拡散させて消滅させることができる。
【０１０９】
粘着剤層は、１層のみからなる単層であっても良いし、２層以上からなる複層であっても良い。
【０１１０】
粘着剤層の厚みは、好ましくは１μｍ〜３００μｍであり、より好ましくは３μｍ〜２００μｍであり、さらに好ましくは５μｍ〜１００μｍであり、特に好ましくは１０μｍ〜８０μｍである。粘着剤層の厚みを上記範囲内に調整することによって、本発明の自発巻回性粘着テープにおける粘着剤層の糊面のエネルギー線硬化後の算術平均表面粗さＲａを前述の範囲により容易に調整することが可能となる。粘着剤層の厚みが薄すぎると粘着力が不足するために、被着体を保持、仮固定することが困難となるおそれがあり、粘着剤層の厚みが厚すぎると不経済であるとともに取扱性に劣るおそれがある。
【０１１１】
粘着剤層は、エネルギー線照射前は、２３℃におけるヤング率と厚みの積が、好ましくは０．０００１Ｎ／ｍ〜１５００Ｎ／ｍであり、より好ましくは０．００１Ｎ／ｍ〜７５０Ｎ／ｍである。上記ヤング率と厚みの積が上記範囲を外れると、粘着力が不足するために、被着体を保持、仮固定することが困難となるおそれがある。なお、エネルギー線照射前の粘着剤層のヤング率（２３℃）の測定方法は後述する。
【０１１２】
粘着剤層の有する粘着力（条件：１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウエハ、引張速度３００ｍｍ／分）としては、２３℃で、好ましくは０．０１Ｎ／１０ｍｍ〜２５Ｎ／１０ｍｍである。上記粘着力が上記範囲を外れると、粘着力が不足するために、被着体を保持、仮固定することが困難となるおそれがある。
【０１１３】
粘着剤層は、エネルギー線を照射することにより硬化して、８０℃におけるヤング率と厚みの積が、好ましくは１×１０−２Ｎ／ｍ以上３×１０５Ｎ／ｍ未満であり、より好ましくは３×１０−２Ｎ／ｍ以上２×１０５Ｎ／ｍ未満である。エネルギー線照射後の８０℃におけるヤング率と厚みの積が１×１０−２Ｎ／ｍを下回ると、十分な反作用力が生じず、熱収縮性フィルムの収縮応力により、本発明の自発巻回性粘着テープ全体が折れ曲がる、波打つ（皺くちゃになる）などの不定形に変形して自発巻回を起こすことができないおそれがある。なお、エネルギー線照射後の粘着剤層のヤング率（８０℃）の測定方法は後述する。
【０１１４】
エネルギー線としては、例えば、赤外線、可視光線、紫外線、放射線、電子線などを挙げることができ、粘着剤層の種類に応じて、適宜選択できる。例えば、本発明の自発巻回性粘着テープが紫外線硬化型粘着剤層を有する場合は、エネルギー線として紫外線を使用する。
【０１１５】
紫外線の発生方式としては、例えば、放電ランプ方式（アークランプ）、フラッシュ方式、レーザー方式などを挙げることができる。本発明においては、工業的な生産性に優れる点で、放電ランプ方式（アークランプ）を使用することが好ましく、照射効率に優れる点で、高圧水銀ランプやメタルハライドランプを使用した照射方法を使用することがより好ましい。
【０１１６】
紫外線の波長としては、紫外領域の波長であれば、任意の適切な波長を採用し得る。このような波長としては、例えば、一般的な光重合に使用され、紫外線発生方式で使用される波長として、２５０ｎｍ〜４００ｎｍ程度の波長を使用することが好ましい。
【０１１７】
紫外線の照射条件としては、照射強度として、例えば、好ましくは１０ｍＪ／ｃｍ２〜１０００ｍＪ／ｃｍ２、より好ましくは５０ｍＪ／ｃｍ２〜６００ｍＪ／ｃｍ２である。紫外線の照射強度が１０ｍＪ／ｃｍ２を下回ると、粘着剤層の硬化が不十分となり、拘束層としての作用を発揮することが困難となるおそれがある。一方、照射強度が１０００ｍＪ／ｃｍ２を上回ると、粘着剤層の硬化が進行し過ぎて、ひび割れるおそれがある。
【０１１８】
本発明の自発巻回性粘着テープは、ミラーウエハに貼着した状態でエネルギー線を照射した後の、温度２３℃、湿度５０％ＲＨ、剥離角度３０度、引張速度３００ｍｍ／分における剥離力が、好ましくは０．９Ｎ／１０ｍｍ以下であり、より好ましくは０．９Ｎ／１０ｍｍ〜０．０３Ｎ／１０ｍｍであり、さらに好ましくは０．８５Ｎ／１０ｍｍ〜０．１Ｎ／１０ｍｍであり、特に好ましくは０．８Ｎ／１０ｍｍ〜０．１５Ｎ／１０ｍｍであり、最も好ましくは０．５４Ｎ／１０ｍｍ〜０．１５Ｎ／１０ｍｍである。上記剥離力を上記範囲内に調整することにより、被着体から容易に巻回剥離を進行させることができる。さらには、エネルギー線照射後に被着体を加工する際に、外力に対して剥がれることなく被着体保護機能を発現することが可能となる。なお、貼り付け照射後３０°ピール剥離力の測定方法は後述する。
【０１１９】
本発明の自発巻回性粘着テープは、エネルギー線を照射した後にミラーウエハに貼着した状態からの、温度２３℃、湿度５０％ＲＨ、剥離角度３０度、引張速度３００ｍｍ／分における剥離力が、好ましくは０．４５Ｎ／１０ｍｍ以下であり、より好ましくは０．４５Ｎ／１０ｍｍ〜０．００１Ｎ／１０ｍｍであり、さらに好ましくは０．４Ｎ／１０ｍｍ〜０．００１Ｎ／１０ｍｍであり、特に好ましくは０．３５Ｎ／１０ｍｍ〜０．００１Ｎ／１０ｍｍであり、最も好ましくは０．２２Ｎ／１０ｍｍ〜０．００１Ｎ／１０ｍｍである。上記剥離力を上記範囲内に調整することにより、巻回剥離後の再粘着を防ぐことが可能になる。なお、照射後貼付け３０°ピール剥離力の測定方法は後述する。
【０１２０】
＜剥離ライナー＞
本発明の自発巻回性粘着テープは、粘着剤層の平滑化および保護、ラベル加工、ブロッキング防止の観点などから、粘着剤層の表面に剥離ライナー（セパレーター）が設けられていてもよい。剥離ライナーは被着体に貼り合わせる際に剥がされるものであり、必ずしも設けなくてもよい。用いられる剥離ライナーとしては、例えば、任意の適切な剥離紙などが挙げられる。
【０１２１】
剥離ライナーとしては、例えば、剥離処理層を有する基材、フッ素系ポリマーからなる低接着性基材や無極性ポリマーからなる低接着性基材などを用いることができる。剥離処理層を有する基材としては、例えば、シリコーン系剥離処理剤、長鎖アルキル系剥離処理剤、フッ素系剥離処理剤、硫化モリブデン系剥離処理剤などの剥離処理剤により表面処理されたプラスチックフィルムや紙などが挙げられる。
【０１２２】
フッ素系ポリマーからなる低接着性基材におけるフッ素系ポリマーとしては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共重合体などが挙げられる。
【０１２３】
無極性ポリマーからなる低接着性基材における無極性ポリマーとしては、例えば、オレフィン系樹脂（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなど）などが挙げられる。
【０１２４】
剥離ライナーは、任意の適切な方法により形成することができる。
【０１２５】
剥離ライナーの厚さとしては、例えば、好ましくは１０μｍ〜２００μｍであり、より好ましくは２５μｍ〜１００μｍである。また、必要に応じて、粘着剤層が環境紫外線によって硬化するのを防止するため、剥離ライナーに紫外線防止処理などが施されていても良い。
【０１２６】
≪自発巻回性粘着テープの製造≫
本発明の自発巻回性粘着テープは、任意の適切な方法によって製造することができる。
【０１２７】
本発明の自発巻回性粘着テープにおける基材層は、例えば、収縮性フィルム層と剛性フィルム層とを重ね、ハンドローラー、ラミネーター等の積層手段、オートクレーブ等の大気圧圧縮手段を、目的に応じて適宜選択的に用いて積層させることにより製造できる。この際、収縮性フィルム層と剛性フィルム層との積層に、必要に応じて接着剤等を用いても良い。
【０１２８】
本発明の自発巻回性粘着テープは、上記のようにして得られた基材層の剛性フィルム層側の表面に粘着剤層を設けることにより製造することができる。
【０１２９】
≪自発巻回性粘着テープの用途≫
本発明の自発巻回性粘着テープは、例えば、半導体等の保護用粘着テープ、半導体ウエハ等の固定用粘着テープとして利用でき、より具体的には、例えば、シリコン半導体バックグラインド用粘着テープ、化合物半導体バックグラインド用粘着テープ、シリコン半導体ダイシング用粘着テープ、化合物半導体ダイシング用粘着テープ、半導体パッケージダイシング用粘着テープ、ガラスダイシング用粘着テープ、セラミックスダイシング用粘着テープなど、電子部品、半導体部品、または光学部品の表面保護として使用できる。特に、ダイシング時の切削水による腐食(さび)、切削屑等から被着体を保護するための保護テープとして有用である。
【０１３０】
ＬＥＤ用サファイヤ基板は、通常、直径が２インチ〜３インチである。裏面精密研磨に際して本発明の自発巻回性粘着テープを貼り付ける場合、ウエハに本発明の自発巻回性粘着テープを貼り付けてからウエハ外周に沿ってカッターでカットすると、ウエハ径が小さいためカッターに強い負荷がかかり、切れ性の低下が激しい。また、カメラ用光学フィルターの搬送時に本発明の自発巻回性粘着テープを貼り付ける場合、通常５ｍｍ□〜４０ｍｍ□以下の部材に貼り付けてから本発明の自発巻回性粘着テープをカットすると、欠け発生の原因となり、作業性も著しく低下する。この場合、本発明の自発巻回性粘着テープは、剥離ライナー（セパレーター）上に打ち抜き加工されたものを用いることが好ましい。すなわち、本発明の自発巻回性粘着テープは、剥離ライナー上に所定形状に打ち抜かれた粘着ラベルの形態で使用することも可能である。
【０１３１】
本発明の自発巻回性粘着テープは、このように、特に、サファイヤなどのＬＥＤ用ウエハの裏面研磨用保護テープ、反射防止フィルターやＩＲカットフィルターなどの光学フィルターのガラスや石英基板の切断時の表面保護テープ、半導体ウエハの裏面研削用保護テープ、ＣＭＯＳ／ＣＣＤのイメージセンサーウエアの切断時の表面保護テープ、これら切断体の搬送時の表面保護テープとして有用である。
【０１３２】
本発明の自発巻回性粘着テープは、例えば、本発明の自発巻回性粘着テープを被着体に貼着して仮固定し、被着体に所要の加工を施す。その後、エネルギー線の照射によって本発明の自発巻回性粘着テープの粘着剤層の粘着力を低下させるとともに、収縮性フィルム層の収縮原因となる加熱等の刺激を自発巻回性粘着シートに与える。これによって、本発明の自発巻回性粘着テープは、その１端部から１方向（通常、主収縮軸方向）へ、または、対向する２端部から中心に向かって（通常、主収縮軸方向へ）、自発的に巻回し、１個または２個の筒状巻回体を形成するとともに、被着体から剥離する。つまり、粘着剤層が硬化して粘着力を失い、収縮性フィルム層が収縮変形しようとするため、本発明の自発巻回性粘着テープの外縁部が浮き上がって、その外縁部（または対向する二つの外縁部）より本発明の自発巻回性粘着テープが巻回しつつ、一方向（又は方向が互いに逆の二方向（中心方向））へ自走して１個（又は２個）の筒状巻回体を形成する。この際、収縮性フィルム層によって本発明の自発巻回性粘着テープの収縮方向が調整されるため、一軸方向へ巻回しつつ速やかに筒状巻回体が形成され、本発明の自発巻回性粘着テープを被着体から極めて容易に、かつ綺麗に剥離することができる。
【０１３３】
本発明の自発巻回性粘着テープの１端部から１方向へ自発巻回する場合は、１個の筒状巻回体が形成され（一方向巻回剥離）、本発明の自発巻回性粘着テープの対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回する場合は、平行に並んだ２個の筒状巻回体が形成される（二方向巻回剥離）。このように、本発明の自発巻回性粘着テープは、常に筒状に丸まるために、剥離後のテープ回収作業の簡便化にもつながる。
【０１３４】
被着体の代表的な例としては、例えば、半導体ウエハ、ガラスウエハ、セラミックなどが挙げられる。
【０１３５】
加工は、本発明の自発巻回性粘着テープを用いて施しうる加工であれば、任意の適切な加工を採用し得る。このような加工としては、例えば、研削、切断、研磨、エッチング、ダイシング、旋盤加工、加熱などが挙げられる。
【０１３６】
エネルギー線照射と加熱処理は同時に行っても良いし、段階的に行っても良い。本発明の効果を十分に発現するためには、好ましくは、エネルギー線照射の後に加熱処理を行う。
【０１３７】
加熱は、熱収縮性フィルム層の収縮性に応じてその温度を適宜選択でき、例えば、好ましくは７０℃〜２００℃であり、より好ましくは７０℃〜１６０℃である。また、加熱は、被着体全面を均一に加温しても良いし、被着体全面を段階的に加温しても良いし、剥離きっかけを作るためだけに被着体を部分的に加熱しても良い。
【実施例】
【０１３８】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例になんら限定されるものではない。なお、実施例等における、試験および評価方法は以下のとおりである。なお、「部」と記載されている場合は、特記事項がない限り「重量部」を意味し、「％」と記載されている場合は、特記事項がない限り「重量％」を意味する。
【０１３９】
＜せん断貯蔵弾性率Ｇ’の測定＞
測定サンプル（粘着剤または接着剤）を1．５ｍｍ〜２ｍｍの厚みで作製した後、これを直径７．９ｍｍのポンチで打ち抜き、測定用の試料とした。粘弾性スペクトロメーター（商品名「ＡＲＥＳ」、Ｒｈｅｏｍｅｔｒｉｃ  Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ  社製）を用いて、チャック圧１００ｇ重、せん断を周波数１Ｈｚに設定して、昇温速度５℃／分で測定を行った。装置は、ステンレススチール製８ｍｍパラレルプレート（ティエーインスツルメンツ社製、型式７０８．０１５７）を使用した。
【０１４０】
＜剛性フィルム層のヤング率（８０℃）の測定＞
剛性フィルム層のヤング率は、ＪＩＳ  Ｋ７１２７（１９９９年）に準じ、以下の方法で測定した。引張り試験機として加温フード付きオートグラフ（商品名「ＡＧ−１ｋＮＧ」、島津製作所製）を用いた。長さ２００ｍｍ×幅１０ｍｍに切り取った剛性フィルム層をチャック間距離１００ｍｍで取り付けた。加温フードにより８０℃の雰囲気にした後、引張り速度５ｍｍ／分で試料を引張り、応力−歪み相関の測定値を得た。歪みが０．２％と０．４５％の２点について荷重を求めヤング率を得た。この測定を同一試料について５回繰り返し、その平均値を採用した。
【０１４１】
＜エネルギー線照射前の粘着剤層のヤング率（２３℃）の測定＞
引張り試験機としてオートグラフ（商品名「ＲＴＣ−１１５０Ａ」、オリエンテック(株)製）を用いた。長さ５０ｍｍ×幅５０ｍｍに切り取った両側ＰＥＴ剥離ライナー付き粘着剤層(厚さ３０μｍ)をＰＥＴ剥離ライナーを除去してから筒状に丸め、直径１．４ｍｍ×長さ５０ｍｍの棒状試験片を得た。次いで、試験片長手方向をチャック間距離１０ｍｍで取り付けた。引張り速度５０ｍｍ／分で試料を引張り、応力−歪み相関の測定値を得た。歪みが０．２％と０．４５％の２点について荷重を求めヤング率を得た。この測定を同一試料について５回繰り返し、その平均値を採用した。
【０１４２】
＜エネルギー線照射後の粘着剤層のヤング率（８０℃）の測定＞
引張り試験機として加温フード付きオートグラフ（商品名「ＡＧ−１ｋＮＧ」、島津製作所製）を用いた。長さ５０ｍｍ×幅５０ｍｍに切り取った両側ＰＥＴ剥離ライナー付き粘着剤層(厚さ３０μｍ)に紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ−８１０」）で３００ｍＪ／ｃｍ２（６０ｍＷ／ｃｍ２×５秒）を照射した後、１０ｍｍ幅に切断し、５０ｍｍ×１０ｍｍの試験片を得た。次いで、試験片長手方向をチャック間距離１００ｍｍで取り付けた。加温フードにより８０℃の雰囲気にした後、引張り速度５ｍｍ／分で試料を引張り、応力−歪み相関の測定値を得た。歪みが０．２％と０．４５％の２点について荷重を求めヤング率を得た。この測定を同一試料について５回繰り返し、その平均値を採用した。
【０１４３】
＜ｒ／Ｌの測定＞
実施例および比較例で得られた自発巻回性粘着テープを１００ｍｍ×１００ｍｍに切断した後、基材層側から、紫外線照射装置(日東精機製、商品名「ＵＭ−８１０」)で約５００ｍＪ／ｃｍ２（６０ｍＷ／ｃｍ２×８．３秒）となるように照射した。
次に、剥離シートを剥がし、自発巻回性粘着テープの１端部を収縮フィルムの収縮軸方向に沿って８０℃の温水に徐々に浸漬し、１個の筒状巻回体へと変形させた。
筒状巻回体となったものについて、直径ｒをノギスを用いて求め、この値をＬ（＝１００ｍｍ）で除して、ｒ／Ｌとした。
【０１４４】
＜貼付け照射後３０°ピール剥離力＞
（１）実施例および比較例で得られた自発巻回性粘着テープを１０ｍｍ幅に切り出し、ミラーウエハに貼付け、３０分間、温度２３℃、湿度５０％ＲＨで放置後、自発巻回性粘着テープ側から、紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ−８１０」）で３００ｍＪ／ｃｍ２（６０ｍＷ／ｃｍ２×５秒）を照射した。
（２）自発巻回性粘着テープの背面に、ピール剥離試験機の引っ張り冶具を粘着テープを用いて貼り合せた。
（３）これを、温度２３℃、湿度５０％ＲＨで、引っ張り冶具を３０°方向に、引っ張り速度３００ｍｍ／分で引っ張り、ウエハと粘着剤層との間で剥離した時の力（Ｎ／１０ｍｍ）を測定した。
（４）測定を３回行い、平均値を貼付け照射後３０°ピール剥離力とした。
【０１４５】
＜照射後貼付け３０°ピール剥離力＞
（１）実施例および比較例で得られた自発巻回性粘着テープを１０ｍｍ幅に切り出し、基材層側から紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ−８１０」）で３００ｍＪ／ｃｍ２（６０ｍＷ／ｃｍ２×５秒）を照射し、次いで、ミラーウエハに貼付け、３０分間、温度２３℃、湿度５０％ＲＨで放置した。
（２）自発巻回性粘着テープの背面に、ピール剥離試験機の引っ張り冶具を粘着テープを用いて貼り合せた。
（３）これを、温度２３℃、湿度５０％ＲＨで、引っ張り冶具を３０°方向に、引っ張り速度３００ｍｍ／分で引っ張り、ウエハと粘着剤層との間で剥離した時の力（Ｎ／１０ｍｍ）を測定した。
（４）測定を３回行い、平均値を照射後貼付け３０°ピール剥離力とした。
【０１４６】
＜糊面算術平均表面粗さＲａ＞
（１）実施例および比較例で得られた自発巻回性粘着テープ３０ｍｍ□に、離型シート側から紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ−８１０」）で３００ｍＪ／ｃｍ２（６０ｍＷ／ｃｍ２×５秒）を照射した。
（２）自発巻回性粘着テープの熱収縮フィルム側を両面テープ（日東電工製、商品名「ＬＡ−２５」）で６インチシリコンミラーウエハに固定した。
（３）自発巻回性粘着テープの離型シートを剥離し、干渉型表面粗さ計（Ｖｅｅｃｏ社製、Ｗｙｋｏ  ＮＴ−９１００）にて、糊面算術平均表面粗さＲａを測定した。
（４）糊面算術平均表面粗さＲａは、１０点測定値の平均値を採用した。
（５）干渉型表面粗さ計の測定条件は以下の通りである。
・測定面積／回：１６９μｍ×２２６μｍ（対物レンズ：５０倍、ＦＯＶ：０．５５倍）
・測定モード：ＶＳＩ
・バックスキャン：１０μｍ
・測定距離：１５μｍ
・閾値：０．１％
・スキャンスピード：１倍
【０１４７】
＜落下試験＞
（１）実施例および比較例で得られた自発巻回性粘着テープを６インチシリコンミラーウエハに貼付け、ウエハ外周に沿って該粘着テープを切り取り、３０分間放置した。
（２）貼付けたサンプルの粘着テープ側に対して、ウエハ外周５ｍｍをポリイミドフィルムで覆い、その内側に紫外線照射機（日東精機製、商品名「ＵＭ−８１０」）で３００ｍＪ／ｃｍ２（６０ｍＷ／ｃｍ２×５秒）を照射した。
（３）マウンター（日東精機製、商品名「ＭＳＡ−８４０」）を使用して、貼付けたサンプルのウエハ側とダイシングテープ（日東電工製、商品名「ＤＵ−３００」、テープ厚さ８５μｍ）とを貼り付け、ダイシングリングにマウントした。
・スピードコントロール目盛り：３０
・テープセット軸ブレーキ目盛り：５
・貼り付けテーブル温度：２３℃
（４）ダイサー（ディスコ製、ＤＦＤ６４５０）でウエハミラー面から７５μｍの深さまでハーフカットダイシングした。ダイシング条件は表１に示した。
（５）ハーフカットダイシングされたダイシングリング付き貼り付けサンプルの粘着テープ側およびダイシングテープ側に対して、紫外線照射機（日東精機製、商品名「ＵＭ−８１０」）で３００ｍＪ／ｃｍ２（６０ｍＷ／ｃｍ２×５秒）を照射した。
（６）ダイシングテープを剥離し、ハーフカットダイシングされた自発巻回性粘着テープ付きハーフカットウエハを回収した。
（７）ハーフカットダイシングされた自発巻回性粘着テープ付きハーフカットウエハを９５℃吸着ホットプレートでウエハ非切断面を吸着固定しながら加熱し、巻回剥離させた。
（８）巻回剥離させたハーフカットダイシングされた自発巻回性粘着テープ付きハーフカットウエハの非切断面側に、幅３０ｍｍの支持テープを貼り付けた。
（９）図６に示すように、定規（厚さ２ｍｍ）付きアルミブロックに対して、その目盛りにおける１０ｍｍ高さから、巻回体付きハーフカットウエハを定規に沿わせて落下させ、巻回体をハーフカットウエハから脱落させた。すべての巻回体が脱落しない場合には、同一の巻回体付きハーフカットウエハを用いて、２０ｍｍ、３０ｍｍと１０ｍｍ間隔で落下高さを上げ、巻回体がすべて脱落する高さを脱落高さとした。脱落高さが０〜１０ｍｍの高さのものを◎、脱落高さが２０〜３０ｍｍの高さのものを○、脱落高さが４０〜５０ｍｍの高さのものを△、脱落高さが６０〜７０ｍｍの高さのものを×とした。
【０１４８】
【表１】
2014214157.tif 000003
【０１４９】
〔製造例１〕：アクリル系重合体（１）の製造
エチルアクリレート：ブチルアクリレート：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝４０：６０：２２（モル比）の混合物：１００重量部に重合開始剤としてベンジルパーオキサイド：０．２重量部を加えたトルエン溶液を共重合し、アクリル系重合体（重量平均分子量：７０万）を得た。
得られたアクリル系重合体に、該アクリル系重合体を構成する２−ヒドロキシエチルアクリレート由来の水酸基に対して８０モル％の２−イソシアナトエチルメタクリレート（商品名：カレンズＭＯＩ、昭和電工株式会社製）と、得られたアクリル系重合体１００重量部に対して０．０３重量部のジブチル錫ジラウリレート０．０３重量部とを配合し、空気雰囲気下、５０℃で２４時間反応させて、側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）を製造した。
【０１５０】
〔製造例２〕：アクリル系重合体（２）の製造
エチルアクリレート：２−エチルヘキシルアクリレート：メチルメタクリレート：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝７０：３０：５：４（重量比）の混合物：１００重量部に重合開始剤としてベンジルパーオキサイド：０．２重量部を加えたトルエン溶液を共重合し、アクリル系重合体（２）（重量平均分子量：５０万）を製造した。
【０１５１】
〔製造例３〕：アクリル系重合体（３）の製造
ブチルアクリレート：アクリル酸 ＝１００：３（重量比）の混合物：１００重量部に重合開始剤としてベンジルパーオキサイド：０．２重量部を加えた酢酸溶液を共重合し、アクリル系重合体（３）（重量平均分子量：９５万）を得た。
【０１５２】
〔製造例４〕：自発巻回性基材（１）の製造
剛性フィルムとして、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（東レ社製、片面コロナ処理済み、ルミラーＳ１０５（厚み３８μｍ））を用いた。
この剛性フィルムのコロナ処理面側に、ＮＢ３００（大日精化社製、薄青色顔料入り）を乾燥後の膜厚が１μｍ〜２μｍとなるようにグラビアコーターで塗布、乾燥させ、有機コーティング層付き剛性フィルム層を得た。
得られた剛性フィルム層の有機コーティング層の反対面と熱収縮ポリエステルフィルム（東洋紡社製、スペースクリーンＳ７２００、膜厚３０μｍ、片面コロナ処理済み）のコロナ処理面とを接着剤を用いてドライラミネート法で貼り合わせ、自発巻回性基材（１）を製造した。
なお、ドライラミネートに用いた接着剤は、三井化学社製のタケラックＡ５２０、三井化学社製のタケネートＡ１０、および酢酸エチルを、重量比で６：１：５．５となるように混合したものを用いた。また、乾燥後の接着剤層の厚みは２μｍ〜４μｍであった。
【０１５３】
〔実施例１〕
製造例１で得られたメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア６５１」）：３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：０．２重量部、熱膨張性微小球（松本油脂製薬（株）製、商品名「マツモトマイクロスフェアー  Ｆ３０Ｄ」、平均粒子径１０μｍ〜１８μｍ）：５重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（１）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（１）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（１）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（１）を得た。
結果を表２に示した。
【０１５４】
〔実施例２〕
製造例１で得られたメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア１８４」）：３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：０．２重量部、熱膨張性微小球（松本油脂製薬（株）製、商品名「マツモトマイクロスフェアー  Ｆ３０Ｄ」、平均粒子径１０μｍ〜１８μｍ）：１０重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（２）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（２）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（２）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（２）を得た。
結果を表２に示した。
【０１５５】
〔実施例３〕
製造例１で得られたメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア１８４」）：３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：０．２重量部、架橋アクリル単分散粒子（綜研化学（株）製、商品名「ケミスノーＭＸ−１０００」、平均粒子径１０μｍ）：２０重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（３）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（３）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（３）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（３）を得た。
結果を表２に示した。
【０１５６】
〔実施例４〕
製造例１で得られたメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア１８４」）：３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：０．２重量部、架橋アクリル単分散粒子（綜研化学（株）製、商品名「ケミスノーＭＸ−１０００」、平均粒子径１０μｍ）：４０重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（４）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（４）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（４）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（４）を得た。
結果を表２に示した。
【０１５７】
〔実施例５〕
製造例１で得られたメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア１８４」）：３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：０．２重量部、架橋アクリル単分散粒子（綜研化学（株）製、商品名「ケミスノーＭＸ−１５０」、平均粒子径１．５μｍ）：４０重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（５）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（５）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（５）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（５）を得た。
結果を表２に示した。
【０１５８】
〔実施例６〕
製造例１で得られたメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア１８４」）：３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：０．２重量部、架橋アクリル単分散粒子（綜研化学（株）製、商品名「ケミスノーＭＸ−３００」、平均粒子径３μｍ）：４０重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（６）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（６）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（６）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（６）を得た。
結果を表２に示した。
【０１５９】
〔実施例７〕
製造例１で得られたメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア１８４」）：３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：０．２重量部、架橋アクリル単分散粒子（綜研化学（株）製、商品名「ケミスノーＭＸ−５００」、平均粒子径５μｍ）：４０重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（７）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（７）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（７）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（７）を得た。
結果を表２に示した。
【０１６０】
〔実施例８〕
製造例１で得られたメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア６５１」）：３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：０．２重量部、架橋アクリル単分散粒子（綜研化学（株）製、商品名「ケミスノーＭＸ−１０００」、平均粒子径１０μｍ）：２０重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（８）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（８）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（８）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（８）を得た。
結果を表２に示した。
【０１６１】
〔実施例９〕
製造例１で得られたメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア１８４」）３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：０．２重量部、架橋アクリル単分散粒子（綜研化学（株）製、商品名「ケミスノーＭＸ−１５０」、平均粒子径１．５μｍ）：３重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（９）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（９）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（９）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（９）を得た。
結果を表２に示した。
【０１６２】
〔実施例１０〕
製造例１で得られたメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア１８４」）：３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：０．２重量部、架橋アクリル単分散粒子（綜研化学（株）製、商品名「ケミスノーＭＸ−３００」、平均粒子径３μｍ）：４０重量部、多官能ウレタンアクリレート（日本合成化学工業製、商品名「紫光１７００Ｂ」）：５０重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（１０）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（１０）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（１０）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（１０）を得た。
結果を表２に示した。
【０１６３】
〔実施例１１〕
製造例２で得られたアクリル系重合体（２）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア１８４」）：３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：２重量部、架橋アクリル単分散粒子（綜研化学（株）製、商品名「ケミスノーＭＸ−３００」、平均粒子径３μｍ）：４０重量部、多官能ウレタンアクリレート（日本合成化学工業製、商品名「紫光１７００Ｂ」）：５０重量部、スズ触媒（東京ファインケミカル（株）製、商品名「エンビライザー  ＯＬ−１」）：０．０３重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（１１）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（１１）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（１１）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（１１）を得た。
結果を表２に示した。
【０１６４】
〔実施例１２〕
製造例３で得られたアクリル系重合体（３）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア１８４」）：３重量部、エポキシ系架橋剤（三菱瓦斯化学製、商品名「ＴＥＴＲＡＤ−Ｃ」）：１重量部、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：２重量部、架橋アクリル単分散粒子（綜研化学（株）製、商品名「ケミスノーＭＸ−５００」、平均粒子径５μｍ）：４０重量部、多官能ウレタンアクリレート（日本合成化学工業製、商品名「紫光１７００Ｂ」）：６０重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（１２）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（１２）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（１２）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（１２）を得た。
結果を表２に示した。
【０１６５】
〔実施例１３〕
製造例１で得られたメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア１８４」）：３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：０．２重量部、球状シリカ（（株）龍森製、商品名「ファインシリーズ  ＥＸＲ−３」、メジアン径３．５μｍ）：２０重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（１３）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（１３）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（１３）を剥離シート上に設けた後に、製造例４で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（１３）を得た。
結果を表２に示した。
【０１６６】
〔比較例１〕
製造例１で得られたメタクリレート基を有するアクリル系重合体（１）：１００重量部に対して、光開始剤（ＢＡＳＦ製、商品名「イルガキュア６５１」）：３重量部、イソシアナート系架橋剤（日本ポリウレタン工業製、商品名「コロネートＬ」）：０．２重量部を混合して、エネルギー線硬化型粘着剤（Ｃ１）を調製した。
得られたエネルギー線硬化型粘着剤（Ｃ１）を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μｍのエネルギー線硬化型粘着剤層（Ｃ１）を剥離シート上に設けた後に、製造例２で得られた自発巻回性基材（１）の剛性フィルム側に貼り合せて、自発巻回性粘着テープ（Ｃ１）を得た。
結果を表２に示した。
【０１６７】
【表２】
2014214157.tif 000004
【０１６８】
実施例１〜１２については、脱落高さは全て４０ｍｍ以下であり、全て合格判定となった。特に、実施例３〜７については、脱落高さが１０ｍｍ以下であり、極僅かな衝撃によっても巻回体が容易に落下することが判る。一方、比較例１については、脱落高さが６０ｍｍであり、不合格判定であった。この結果の相違は、同じ自発巻回性粘着テープであっても、エネルギー線硬化後の粘着剤層表面の算術平均表面粗さＲａが異なることに依存するものである。特に、実施例９と比較例１との比較から、Ｒａが３１．５ｎｍ以上であれば巻回体落下性に顕著な有意差が生じることが判る。
【産業上の利用可能性】
【０１６９】
本発明の自発巻回性粘着テープは、例えば、半導体等の保護用粘着テープ、半導体ウエハ等の固定用粘着テープして利用でき、より具体的には、例えば、シリコン半導体バックグラインド用粘着テープ、化合物半導体バックグラインド用粘着テープ、シリコン半導体ダイシング用粘着テープ、化合物半導体ダイシング用粘着テープ、半導体パッケージダイシング用粘着テープ、ガラスダイシング用粘着テープ、セラミックスダイシング用粘着テープなど、電子部品、半導体部品、または光学部品の表面保護として使用できる。特に、ダイシング時の切削水による腐食(さび)、切削屑等から被着体を保護するための保護テープとして有用である。
【０１７０】
本発明の自発巻回性粘着テープは、また、サファイヤなどのＬＥＤ用ウエハの裏面研磨用保護テープ、反射防止フィルターやＩＲカットフィルターなどの光学フィルターのガラスや石英基板の切断時の表面保護テープ、半導体ウエハの裏面研削用保護テープ、ＣＭＯＳ／ＣＣＤのイメージセンサーウエアの切断時の表面保護テープ、これら切断体の搬送時の表面保護テープとして有用である。
【符号の説明】
【０１７１】
１        基材層
２        粘着剤層
３        収縮性フィルム層
４        剛性フィルム層
１０      自発巻回性粘着テープ
１０´    巻回体
２０      フィラー
５０      被着体
１００    テーブル（ＡＢＳ板）
１１０    支持テープ
１２０    アルミブロック
１３０    定規
１４０    ハーフカットウエハ
【図１】
2014214157.tif 000005
【図２】
2014214157.tif 000006
【図３】
2014214157.tif 000007
【図４】
2014214157.tif 000008
【図５】
2014214157.tif 000009
【図６】
2014214157.tif 000010