(57)【要約】【課題】接触不良の抑制に有効な接触子および電気的接続装置を提供する。【解決手段】接触子２００は、第１〜第３のプランジャ２０１、２０２、２０３を有し、第１および第２のプランジャ２０１、２０２の接触片２０５、２０６は同じ向きに、第３のプランジャ２０３の接触片２０７は反対向きに配置され、第１および第２のプランジャ２０１、２０２の結合部２０８、２０９の間に第３のプランジャ２０３の結合部２１０が挟持される。圧縮コイルバネ１０４は結合部２０８、２０９の外周を覆い、第１および第２のプランジャ２０１、２０２が、第３のプランジャ２０３を挟持した状態で独立してスライド動作するよう支持する。第１および第２のプランジャ２０１、２０２の結合部２０８、２０９には、スライド動作の動作制限機構として、圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４に係止される凸部２２０、２２１が設けられる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接触片と、前記接触片に接続し且つその接続部分が前記接触片の幅より小さい結合部とからそれぞれなる第１のプランジャと第２のプランジャと第３のプランジャとを有し、
前記第１のプランジャの前記接触片は、前記第２のプランジャの前記接触片と同じ向きに配置され、
前記第３のプランジャの前記接触片は、前記第１のプランジャおよび前記第２のプランジャの各接触片と反対の向きに配置され、
前記第３のプランジャの前記結合部は、前記第１のプランジャおよび前記第２のプランジャの各結合部の間に挟持され、
前記第１のプランジャの前記結合部および前記第２のプランジャの前記結合部の外周を覆うとともに、前記第１のプランジャの前記接触片の前記結合部側の端部と、前記第２のプランジャの前記接触片の前記結合部側の端部とに当接し、前記第１のプランジャおよび前記第２のプランジャが、前記第３のプランジャを挟持した状態で互いに独立してスライド動作するように支持する付勢部材を有して、
前記第１のプランジャおよび前記第２のプランジャの少なくとも一方の前記接触片と、前記第３のプランジャの前記接触片とが協働して、これらに接触する部材同士を電気的に導通させる接触子であって、
前記第１のプランジャおよび前記第２のプランジャに、前記スライド動作を所定の範囲に制限する動作制限機構を設けたことを特徴とする接触子。
【請求項２】
前記動作制限機構は、前記スライド動作方向における前記第１のプランジャと前記第２のプランジャの離間距離を制限するものであることを特徴とする請求項１に記載の接触子。
【請求項３】
前記付勢部材は、圧縮コイルバネであることを特徴とする請求項１または２に記載の接触子。
【請求項４】
前記第１のプランジャの前記端部および前記第２のプランジャの前記端部にそれぞれ当接する前記圧縮コイルバネの端部の内径は、前記圧縮コイルバネの中間部の内径より小さく、
前記第１のプランジャの前記結合部および前記第２のプランジャの前記結合部はそれぞれ、前記圧縮コイルバネの前記中間部に覆われる位置に前記圧縮コイルバネの側に突設された第１の凸部を有し、
前記第１のプランジャおよび前記第２のプランジャはそれぞれ、前記スライド動作の際に、前記第１の凸部が前記圧縮コイルバネの前記端部によって係止されるように構成され、これら第１の凸部と前記圧縮コイルバネの前記端部とによって前記動作制限機構が構成されることを特徴とする請求項３に記載の接触子。
【請求項５】
前記第１のプランジャの前記接触片は、前記第２のプランジャの側に突設する第２の凸部を有し、
前記第２のプランジャの前記接触片は、前記第２の凸部と対向する部分に、前記スライド動作の方向に所定幅を有する第１の切り欠き部を備え、
前記第１のプランジャの前記第２の凸部が、前記第２のプランジャの前記第１の切り欠き部にその先端がおよぶ寸法を有して、該第２の凸部が該第１の切り欠け部の前記スライド動作方向の側部によって係止されるように構成され、該第２の凸部と該第１の切り欠き部とによって前記動作制限機構が構成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項６】
前記第２のプランジャの前記接触片は、前記第２のプランジャの側に突設する第３の凸部を有し、
前記第１のプランジャの前記接触片は、前記第３の凸部と対向する部分に、前記スライド動作の方向に所定幅を有する第２の切り欠け部を備え、
前記第２のプランジャの前記第３の凸部が、前記第１のプランジャの前記第２の切り欠き部に先端がおよぶ寸法を有して、該第３の凸部が該第２の切り欠け部の前記スライド動作方向の側部によって係止されるように構成され、該第３の凸部と該第２の切り欠き部とによって前記動作制限機構が構成されることを特徴とする請求項５に記載の接触子。
【請求項７】
前記第２の切り欠き部および前記第３の切り欠き部の前記スライド動作の方向の幅は等しいことを特徴とする請求項６に記載の接触子。
【請求項８】
前記第１のプランジャの前記接触片は、その側部に、前記スライド動作の方向に所定幅を有する第３の切り欠き部を備え、
前記第２のプランジャの前記接触片は、その側部に、前記スライド動作の方向に所定幅を有する第４の切り欠き部を備え、
前記第１のプランジャの前記接触片および前記第２のプランジャの前記接触片の、前記第３の切り欠き部および前記第４の切り欠き部の周囲には、前記スライド動作方向の幅が前記第３の切り欠き部および前記第４の切り欠き部の該方向の幅のいずれよりも小さいリング状部材が配置され、該リング状部材が該第３の切り欠き部および該第４の切り欠き部の前記スライド動作方向の側部によって係止されるように構成され、
前記第３の切り欠き部および前記第４の切り欠き部と、前記リング状部材とによって前記動作制限機構が構成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の接触子。
【請求項９】
前記第３の切り欠き部および前記第４の切り欠き部の前記スライド動作の方向の幅はそれぞれ等しいことを特徴とする請求項８に記載の接触子。
【請求項１０】
被検査体の電極に接触して試験を行う電気的接続装置であって、
請求項１〜９のいずれか１項に記載の接触子を有することを特徴とする電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接触子および電気的接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、離間して対向配置された配線基板の電気回路等を互いに電気的に接続するため、接触子およびそれを用いた電気的接続装置が用いられてきた。このような従来の接触子および電気的接続装置の例としては、例えば、特許文献１に記載の技術がある。
【０００３】
図２２は、従来の接触子の正面図である。
【０００４】
特許文献１に記載の接触子２０００は、図２２に示すように、プランジャ２００１とコイルバネユニット２００２とから形成される。また、接触子２０００は、図示されない電気的接続装置の絶縁基板の複数の貫通孔内にそれぞれ収納される。
【０００５】
プランジャ２００１は、板状の形状を有し、被検査体であるIＣパッケージの半田ボール（図示されない）のように、被検査体の外部接点と電気的に接触する端子として機能する。プランジャ２００１は、端子部２００４と、幅広部２００５と、心棒部２００７とを含んで構成される。端子部２００４は、ＩＣパッケージの半田ボール等と実際に接触する接触片となる。幅広部２００５は、プランジャ２００１が電気的接続装置の絶縁基板の貫通孔から飛び出すことを防止するための上段部２００５ａと、コイルバネユニット２００２を係止させるための下段部２００５ｂとを有する。心棒部２００７は、コイルバネユニット２００２内で上下動自在に配備される。
【０００６】
上記した構造を有する接触子２０００において、プランジャ２００１は、被検査体の外部接点と電気的に接触するよう、図２２の垂直方向に上下動可能である。そして、上記の通り、上段部２００５ａによって絶縁基板からの飛び出しが防止された状態で、電気的接続装置の絶縁基板に形成された貫通孔内に配置される。電気的接続装置では、被検査体となるＩＣパッケージの外部接点と同じ数か、または、それ以上の多数の接触子２０００が、外部接点となるマトリクス状の配列パターンに対応して配列されている。
【０００７】
特許文献１に記載の接触子２０００では、接触片となる端子部２００４を備えたプランジャ２００１が上下方向に変位可能であり、これによって、狭ピッチに配列可能であるとともに電気的特性に優れるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−１５２４９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載の接触子２０００において、コイルバネユニット２００２の内径は、プランジャ２００１の心棒部２００７を上下動自在に挿入できる寸法に設定されている。そのため、プランジャ２００１とコイルバネユニット２００２とが互いに接触をしない等によって、実際には、所望とする電気的接触性が実現されないという問題があった。
【００１０】
このため、特許文献１に記載の接触子２０００では、プランジャ２００１とコイルバネユニット２００２とは、主として、プランジャ２００１の幅広部２００５の下段部２００５ｂと、コイルバネユニット２００２の上端部との接点によって、電気的に接続されることになる。それ故に接触面積が小さくなって、摩耗や腐食等で接触不良を起こしやすいという問題や、電気的接触性の耐久性に欠けて信頼性に劣るという問題があった。また、従来の接触子２０００を用いた電気的接続装置においても、接触不良や、信頼性に劣るといった問題があった。
【００１１】
本発明は、こうした従来の接触子と、それを用いた電気的接続装置とにおける問題に鑑みてなされたものである。
【００１２】
すなわち、本発明の目的は、接触不良の抑制に有効な接触子を提供することにある。
【００１３】
また、本発明の目的は、接触不良の抑制に有効な電気的接続装置を提供することにある。
【００１４】
本発明の他の目的および利点は、以下の記載から明らかとなるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の第１の態様は、接触片と、その接触片に接続し且つその接続部分がその接触片の幅より小さい結合部とからそれぞれなる第１のプランジャと第２のプランジャと第３のプランジャとを有し、
第１のプランジャの接触片は、第２のプランジャの接触片と同じ向きに配置され、
第３のプランジャの接触片は、第１のプランジャおよび第２のプランジャの各接触片と反対の向きに配置され、
第３のプランジャの結合部は、第１のプランジャおよび第２のプランジャの各結合部の間に挟持され、
第１のプランジャの結合部および第２のプランジャの結合部の外周を覆うとともに、第１のプランジャの接触片の結合部側の端部と、第２のプランジャの接触片の結合部側の端部とに当接し、第１のプランジャおよび第２のプランジャが、第３のプランジャを挟持した状態で互いに独立してスライド動作するように支持する付勢部材を有して、
第１のプランジャおよび第２のプランジャの少なくとも一方の接触片と、第３のプランジャの接触片とが協働して、これらに接触する部材同士を電気的に導通させる接触子であって、
第１のプランジャおよび第２のプランジャに、そのスライド動作を所定の範囲に制限する動作制限機構を設けたことを特徴とする接触子に関する。
【００１６】
本発明の第１の態様において、動作制限機構は、そのスライド動作方向における第１のプランジャと第２のプランジャの離間距離を制限するものであることが好ましい。
【００１７】
本発明の第１の態様において、付勢部材は、圧縮コイルバネであることが好ましい。
【００１８】
本発明の第１の態様において、第１のプランジャの端部および第２のプランジャの端部にそれぞれ当接する圧縮コイルバネの端部の内径は、圧縮コイルバネの中間部の内径より小さく、
第１のプランジャの結合部および第２のプランジャの結合部はそれぞれ、圧縮コイルバネの中間部に覆われる位置にその圧縮コイルバネの側に突設された第１の凸部を有し、
第１のプランジャおよび第２のプランジャはそれぞれ、スライド動作の際に、第１の凸部が圧縮コイルバネのその端部によって係止されるように構成され、これら第１の凸部と圧縮コイルバネの端部とによって動作制限機構が構成されることが好ましい。
【００１９】
本発明の第１の態様において、第１のプランジャの接触片は、第２のプランジャの側に突設する第２の凸部を有し、
第２のプランジャの接触片は、第２の凸部と対向する部分に、そのスライド動作の方向に所定幅を有する第１の切り欠き部を備え、
第１のプランジャの第２の凸部が、第２のプランジャの第１の切り欠き部にその先端がおよぶ寸法を有して、その第２の凸部がその第１の切り欠け部のスライド動作方向の側部によって係止されるように構成され、その第２の凸部とその第１の切り欠き部とによって動作制限機構が構成されることが好ましい。
【００２０】
本発明の第１の態様において、第２のプランジャの接触片は、第２のプランジャの側に突設する第３の凸部を有し、
第１のプランジャの接触片は、第３の凸部と対向する部分に、スライド動作の方向に所定幅を有する第２の切り欠け部を備え、
第２のプランジャの第３の凸部が、第１のプランジャの第２の切り欠き部に先端がおよぶ寸法を有して、その第３の凸部がその第２の切り欠け部のスライド動作方向の側部によって係止されるように構成され、その第３の凸部とその第２の切り欠き部とによって動作制限機構が構成されることが好ましい。
【００２１】
本発明の第１の態様において、第２の切り欠き部および第３の切り欠き部のスライド動作の方向の幅は等しいことが好ましい。
【００２２】
本発明の第１の態様において、第１のプランジャの接触片は、その側部に、スライド動作の方向に所定幅を有する第３の切り欠き部を備え、
第２のプランジャの接触片は、その側部に、スライド動作の方向に所定幅を有する第４の切り欠き部を備え、
第１のプランジャの接触片および第２のプランジャの接触片の、第３の切り欠き部および第４の切り欠き部の周囲には、スライド動作方向の幅が第３の切り欠き部および第４の切り欠き部のその方向の幅のいずれよりも小さいリング状部材が配置され、そのリング状部材が第３の切り欠き部および第４の切り欠き部のスライド動作方向の側部によって係止されるように構成され、
第３の切り欠き部および第４の切り欠き部と、リング状部材とによって動作制限機構が構成されることが好ましい。
【００２３】
本発明の第１の態様において、第３の切り欠き部および第４の切り欠き部のスライド動作の方向の幅はそれぞれ等しいことが好ましい。
【００２４】
本発明の第２の態様は、被検査体の電極に接触して試験を行う電気的接続装置であって、本発明の第１の態様の接触子を有することを特徴とする電気的接続装置に関する。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の第１の態様によれば、接触不良の抑制に有効な接触子が提供される。
【００２６】
本発明の第２の態様によれば、接触不良の抑制に有効な電気的接続装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の接触子の基本構造を説明する正面図である。
【図２】本発明の接触子の基本構造を説明する側面図である。
【図３】接触子における接触不良の一例を模式的に説明する図であり、（ａ）は、第１のプランジャと第２のプランジャとが、被検査体に正常に接触する状態を示し、（ｂ）は、第１のプランジャと第２のプランジャとによる接触不良の一例を示す。
【図４】接触子における圧縮コイルバネの状態を模式的に説明する図であり、（ａ）は、第１のプランジャおよび第２のプランジャが、被検査体に接触する前の初期状態を示し、（ｂ）は、第１のプランジャおよび第２のプランジャが、被検査体に正常に接触する場合の状態を示し、（ｃ）は、第１のプランジャおよび第２のプランジャの一方のみが、被検査体に接触し、他方が接触しない場合の状態を示す。
【図５】本発明の第１実施形態の接触子の正面図である。
【図６】本発明の第１実施形態の接触子の側面図である。
【図７】本発明の第１実施形態の接触子の第１のプランジャの正面図である。
【図８】本発明の第１実施形態の接触子の第２のプランジャの正面図である。
【図９】本発明の第１実施形態の接触子の圧縮コイルバネの小径部と第１および第２のプランジャの結合棒部の凸部の配置構造を説明する断面図である。
【図１０】本発明の第１実施形態の接触子の第３のプランジャの正面図である。
【図１１】本発明の第１実施形態の接触子の圧縮コイルバネと第１のプランジャ〜第３のプランジャの各結合棒部の配置構造を説明する断面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態の接触子の正面図である。
【図１３】本発明の第２実施形態の接触子の側面図である。
【図１４】本発明の第２実施形態の接触子の第１のプランジャの正面図である。
【図１５】本発明の第２実施形態の接触子の第２のプランジャの正面図である。
【図１６】本発明の第２実施形態の接触子の圧縮コイルバネと第１のプランジャ〜第３のプランジャの各結合棒部の配置構造を説明する断面図である。
【図１７】本発明の第３実施形態の接触子の正面図である。
【図１８】本発明の第３実施形態の接触子の側面図である。
【図１９】本発明の第４実施形態の電気的接続装置の接触子装着部分を示す要部拡大断面図であり、被検査体の電極に接触していない状態を示す正面断面図と、側面断面図である。
【図２０】本発明の第４実施形態の電気的接続装置の平面図である。
【図２１】本発明の第４実施形態の電気的接続装置のＡ−Ａ’線に沿った断面図である。
【図２２】従来の接触子の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明は、離間して対向配置された配線基板の電気回路等、離間する一方の部材と他方の部材との間を互いに電気的に接続するための、接触子およびそれを用いた電気的接続装置に関する。本発明は、電気的接続装置の接触子における接触不良を回避するため、複数のプランジャを用いて接触子を構成するという基本構造を有する。
【００２９】
図１は、本発明の接触子の基本構造を説明する正面図である。
【００３０】
図２は、本発明の接触子の基本構造を説明する側面図である。
【００３１】
図１および図２に例示する、本発明の基本構造を備えた接触子１００は、第１のプランジャ１０１、第２のプランジャ１０２および第３のプランジャ１０３の３つのプランジャと、付勢部材である圧縮コイルバネ１０４とを用いて構成される。
【００３２】
第１のプランジャ１０１、第２のプランジャ１０２および第３のプランジャ１０３はそれぞれ、接触片１０５、１０６、１０７と、その接触片１０５、１０６、１０７に接続し、且つ、接触片１０５，１０６、１０７との接続部分が接触片１０５，１０６、１０７の幅より小さい結合部１０８、１０９、１１０とからなり、板状の形状を有している。図１および図２の接触子１００では、対向配置される第１のプランジャ１０１と第２のプランジャ１０２とが実質的に等しい形状を有する。
【００３３】
図１および図２の接触子１００は、上述した第１のプランジャ１０１と第２のプランジャ１０２とにおいて、互いの接触片１０５、１０６が同じ向きとなるよう対向配置される。そして、第３のプランジャ１０３は、その接触片１０７が第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２の接触片１０５、１０６と反対の向きとなるよう、第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２の各結合部１０８、１０９の間に、その結合部１１０が挟持されて配置される。
【００３４】
付勢部材である圧縮コイルバネ１０４は、第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２の対向する各結合部１０８、１０９の外周を覆うように配置される。そして、圧縮コイルバネ１０４は、第１のプランジャ１０１の接触片１０５の結合部１０８側の端部を受け部、すなわちバネ受け部１１１として当接する。同様に、圧縮コイルバネ１０４は、第２のプランジャ１０２の接触片１０６の結合部１０９側の端部をバネ受け部１１２として当接する。そして、圧縮コイルバネ１０４は、第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２が、第３のプランジャ１０３を挟持した状態で、互いに独立してスライド動作するように、第１のプランジャ１０１、第２のプランジャ１０２および第３のプランジャ１０３をそれぞれ支持する。
【００３５】
第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２の各接触片１０５、１０６は、上述の一方の部材、例えば、バンプ電極（図示されない）に接触して電気的に接続する部材である。各接触片１０５、１０６の上端部先端は、例えば、図１に示すように、２つの突起状に形成されている。これにより、各接触片１０５、１０６は、例えば、バンプ電極に確実に接触して、それらによる４つの接触点でバンプ電極にそれぞれ刺さって、確実な電気的接続を実現する。
【００３６】
一方、第３のプランジャ１０３の接触片１０７は、上記一方の部材に対向する他方の部材、例えば、配線基板のコンタクトパッド（図示されない）に接触して電気的に接続する部材である。接触片１０７の先端部は、例えば、湾曲して形成され、例えば、平坦面状の配線基板のコンタクトパッドに安定して接触するようになっている。
【００３７】
以上の構造を有する接触子１００は、例えば、対向する部材間の一方の部材に第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２の少なくとも一方の接触片１０５、１０６を、好ましくは両方の接触片１０５、１０６を接触させる。そして、他方の部材に第３のプランジャ１０３の接触片１０７を接触させる。その結果、接触子１００は、第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２と、第３のプランジャ１０３とが協働して、これらに接触する部材同士を電気的に導通させることができる。
【００３８】
本発明は、接触子１００の第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２と、第３のプランジャ１０３とが協働して、例えば、対向する部材の一方の部材と他方の部材との間の電気的接続を確実に実現する構造を有する。すなわち、接触子１００は、圧縮コイルバネ１０４によって第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２の周囲を覆い、それらが第３のプランジャ１０３を挟持した状態で、互いに独立してスライド動作するように構成する。そして、接触子１００は、一方の部材と他方の部材との間の電気的接続を確実に実現する構造を有する。
【００３９】
本発明の接触子は、図１および図２で例示した接触子１００の第１のプランジャ１０１と第２のプランジャ１０２と第３のプランジャ１０３と圧縮コイルバネ１０４とによって示されるように、３つのプランジャと圧縮コイルバネとからなる構造を基本構造として有する。
さらに、本発明の接触子は、その第１のプランジャ１０１と第２のプランジャ１０２のそれぞれ独立したスライド動作に対し、一定の制限を加えるようにして構成される。
【００４０】
本発明は、第１のプランジャと第２のプランジャに上述したスライド動作を所定の範囲内に制限する動作制限機構を設ける。そして、本発明の接触子は、その動作制限機構により、第１のプランジャおよび第２のプランジャの各接触片の先端部分において、上述したスライド動作方向の離間距離が所定の値の超えることがないように構成される。
【００４１】
すなわち、本発明の接触子は、第１のプランジャと第２のプランジャの接触片同士が上述の所定の距離を超えて離間することがないように、上述のスライド動作によって所定の離間距離となった後は、第１のプランジャおよび第２のプランジャの一方が、もう一方のスライド動作に追随するようにする。そして、第１のプランジャと第２のプランジャの互いの接触片同士が、所定値の距離を超えて離間しないように構成する。
【００４２】
図３は、接触子における接触不良の一例を模式的に説明する図であり、図３（ａ）は、第１のプランジャと第２のプランジャとが、被検査体に正常に接触する状態を示し、図３（ｂ）は、第１のプランジャと第２のプランジャとによる接触不良の一例を示す。
【００４３】
図３（ａ）および図３（ｂ）では、上述した接触子１００を用いて、第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２の接触片１０５、１０６が、被検査体１２０のバンプ電極１２１に接触して電気的な接続を実現している。
【００４４】
図３（ａ）は、望ましい正常な接触状態を示す。図３（ａ）では、接触子１００の第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２の接触片１０５、１０６のそれぞれが、被検査体１２０のバンプ電極１２１に接触し、所望とする電気的な接続を実現している。
【００４５】
一方、図３（ｂ）は、接触不良を例示する。図３（ｂ）で、接触子１００の第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２の接触片１０５、１０６のそれぞれは、水平方向（図３の左右方向）にずれて被検査体１２０のバンプ電極１２１に接触する。その結果、第１のプランジャ１０１の接触片１０５のみによって、バンプ電極１２１との電気的な接続を実現している。
【００４６】
このとき、接触子１００では、第１のプランジャ１０１と第２のプランジャ１０２とが、それぞれ独立してスライド動作する。そのため、バンプ電極１２１に先端部分を当接させることができない第２のプランジャ１０２の接触片１０６は、垂直方向下方側に（図３の下方側）にスライド動作することなく、被検査体１２０の本体部分に接触してしまうことがある。そうした場合、第２のプランジャ１０２の接触片１０６は、被検査体１２０のバンプ電極１２１以外の部分に接触してしまうとともに、被検査体１２０を傷付けることになる。
【００４７】
図４は、接触子における圧縮コイルバネの状態を模式的に説明する図であり、図４（ａ）は、第１のプランジャおよび第２のプランジャが、被検査体に接触する前の初期状態を示し、図４（ｂ）は、第１のプランジャおよび第２のプランジャが、被検査体に正常に接触する場合の状態を示し、図４（ｃ）は、第１のプランジャおよび第２のプランジャの一方のみが、被検査体に接触し、他方が接触しない場合の状態を示す。
【００４８】
例えば、図３（ａ）に示されたように、接触子１００の第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２が、被検査体に正常に接触した場合、圧縮コイルバネ１０４には、図４（ｂ）の矢印で模式的に示されるような力が中心にかかる。そして、圧縮コイルバネ１０４は、そのまま均等に圧縮される。
【００４９】
また、例えば、図３（ｂ）に示されたように、接触子１００に接触不良が生じ、第１のプランジャ１０１の接触片１０５のみがバンプ電極１２１に接触した場合、第１のプランジャ１０１が配置された側で、圧縮コイルバネの圧縮が生じ、第２のプランジャ１０２が配置された側の圧縮コイルバネの部分では、元の状態が維持される。すなわち、圧縮コイルバネ１０４に、図４（ｃ）の矢印で模式的に示されたような片寄った力が加えられた場合、圧縮コイルばね１０４に、不均等な圧縮が生じることになる。
【００５０】
圧縮コイルバネ１０４が、こうした不均等な圧縮を生じさせた状態で、第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２を支持する場合、第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２の接触片１０５、１０６では、その設定位置に差異が生じる。その結果、図３（ｂ）に示したような、第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２の接触片１０５、１０６の一方が、被検査体１２０の電極バンプ１２１以外の本体部分に接触するような接触不良を生じさせてしまう。
【００５１】
こうした接触不良を回避するため、本発明の接触子は、上述したように、圧縮コイルバネに不均等な圧縮が生じることがあっても、第１のプランジャと第２のプランジャの各接触片の先端部分が所定距離を超えて離間しないように、接触子のプランジャに動作制限機構が設けられる。
【００５２】
そして、一定のスライド動作の範囲内では、第１のプランジャと第２のプランジャとを、それぞれ独立にスライド動作させる。その結果、例えば、図３（ａ）に示すような正常な接触状態では、第１のプランジャ１０１および第２のプランジャ１０２と被検査体１２０のバンプ電極１２１との間で、望ましい接触状態を実現するようにする。
【００５３】
一方、図３（ｂ）に示したように、第１のプランジャ１０１と第２のプランジャ１０２とが、バンプ電極１２１から水平方向にずれて配置されることが生じた場合には、一方のスライド動作に他方が追随するようにし、被検査体１２０に接触することを回避するようにする。すなわち、第１のプランジャ１０１と第２のプランジャ１０２のうちの一方のみが、垂直方向にスライド動作する状態となり、接触片１０５、１０６同士が所定の間隔以上に離間することになった場合、もう一方もそれに追随するスライド動作を行うようにし、被検査体１２０に接触することが回避されるようにする。
【００５４】
その結果、図３（ｂ)に例示されたような接触不良は回避される。すなわち、本発明の接触子は、動作制限機構により、その接触子において生じる多様な接触不良を回避することができる。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながらより詳細に説明する。
【００５５】
実施の形態１．
図５は、本発明の第１実施形態の接触子の正面図である。
【００５６】
図６は、本発明の第１実施形態の接触子の側面図である。
【００５７】
本発明の第１実施形態の接触子２００は、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の各結合部２０８、２０９に後述する動作制限機構を設けた以外は、上述した本発明の基本構造を有する接触子１００と同様の構造を有する。したがって、共通する構成要素については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００５８】
図５および図６に示す、本発明の第１実施形態の接触子２００は、第１のプランジャ２０１、第２のプランジャ２０２および第３のプランジャ２０３の３つのプランジャと、付勢部材である圧縮コイルバネ１０４とを用いて構成される。
【００５９】
図５および図６の接触子２００は、第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２とにおいて、互いの接触片２０５、２０６が同じ向きとなるよう対向配置される。そして、第３のプランジャ２０３は、その接触片２０７が第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の接触片２０５、２０６と反対の向きとなるよう、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の各結合部２０８、２０９の間に、その結合部２１０が挟持されて配置される。
【００６０】
第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２は、互いの間で第３のプランジャ２０３を挟持し、その第３のプランジャ２０３と協働して、離間して対向する一方の部材（例えば、バンプ電極）と他方の部材（例えば、配線基板のコンタクトパッド）等、それらに接触する部材同士を電気的に導通させるための板状のプランジャである。第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２は、同様の形状を有し、導電性の材料により切削加工、プレス加工等により、またはフォトリソ技術を用いたメッキ等により製作される。
【００６１】
図７は、本発明の第１実施形態の接触子の第１のプランジャの正面図である。
【００６２】
図７に示すように、第１のプランジャ２０１は、結合部２０８と、バネ受け部２１１と、接触片２０５とから構成されている。結合部２０８には、後述する結合棒部２８０の両側部に、その部分が幅広となるように凸部２２０が形成されている。
第２のプランジャ２０２も、第１のプランジャ２０１と同様の構造を有する。
【００６３】
図８は、本発明の第１実施形態の接触子の第２のプランジャの正面図である。
【００６４】
第２のプランジャ２０２は、第１のプランジャ２０１と同様、結合部２０９と、バネ受け部２１２と、接触片２０６とから構成され、結合部２０９には、後述する結合棒部２８０の両側部に、その部分が幅広となるように凸部２２１が形成されている。
【００６５】
第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２のバネ受け部２１１、２１２は、圧縮コイルバネ１０４を受けるための受け部である。バネ受け部２１１、２１２は、結合部２０８、２０９と接触片２０５、２０６との接合部分に設けられた段差である。結合部２０８、２０９の幅に比べて接触片２０５、２０６は幅を広く形成され、接触片２０５、２０６の結合部２０８、２０９側の端部が段差部分となって、これがバネ受け部２１１、２１２になっている。このバネ受け部２１１、２１２に、図５および図６に示すように、付勢部材である圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４が当接する。その結果、圧縮コイルバネ１０４によって、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２が、接触子２００において弾性的に支持されるようになっている。
【００６６】
第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２は、図５および図６に示すように、第３のプランジャ２０３を挟んで圧縮コイルバネ１０４により組み付けられている。第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の各結合部２０８、２０９が対向する状態で、第３のプランジャ２０３の結合部２１０を挟み込んでいる。これにより、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の２つのプランジャと、１つの第３のプランジャ２０３とが電気的に接続して導通された状態となる。そして、各プランジャ２０１、２０２、２０３が、例えば、対向配置されるバンプ電極とコンタクトパッドとにそれぞれ接触して、これらの間を電気的に導通させる。
【００６７】
第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２は、同様の形状で構成されている。接触子２００は、同様の形状のプランジャを対向させ構成することにより、接触する部材（例えば、バンプ電極）への良好な接触を行える。第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２は、第３のプランジャ２０３を挟んだ状態で互いに独立してスライド動作するようになっている。その結果、第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２は、例えば、バンプ電極等、接触する部材の形状が平坦ではない不均一な場合や、ボール形状のように突起状の場合に、その形状に追従して電気的接触を確実に行うことができる。
【００６８】
第１のプランジャ２０１の結合部２０８および第２のプランジャ２０２の結合部２０９は、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２と、第３のプランジャ２０３とが互いに結合される際に、第３のプランジャ２０３の結合部２１０と重ね合わされて電気的に接触するための部分である。すなわち、図６に示すように、第３のプランジャ２０３の結合部２１０を、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の結合部２０８、２０９が両側から挟むように重ね合わる。そして、これら第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２と、第３のプランジャ２０３とを電気的に接触させる。
【００６９】
第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の結合部２０８、２０９は、図７および図８に示すように、それぞれ同様の結合棒部２８０と、先端挿入部２８１と、抜け止部２８２とから構成されている。そして、第１のプランジャ２０１の結合部２０８の結合棒部２８０の両側の側部の所定の位置に、その部分が幅広となるように凸部２２０が形成されている。同様に、第２のプランジャ２０２においても、その結合部２０８の結合棒部２８０の両側の側部の同様の位置に、その部分が、図の左右(水平）方向に幅広となるように凸部２２１が形成されている。
【００７０】
第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の結合部２０８、２０９は、長い短冊状の板状に形成され、第３のプランジャ２０３の結合部２１０と広い面積で接触させることができる。
【００７１】
結合部２０８、２０９の結合棒部２８０は、第３のプランジャ２０３の結合部２１０の結合棒部２６９と重なり合わされて圧縮コイルバネ１０４に支持されるための部分であり、圧縮コイルバネ１０４よりも少し長い寸法に設定されている。
【００７２】
第１のプランジャ２０１の結合部２０８の結合棒部２８０には、上述したように、凸部２２０が形成されている。この凸部２２０は、結合棒部２８０の側部を、所定の位置で両側に突起させて形成されている。この両側に突設された凸部２２０の幅は、図５および図６に示すように、結合部２０８、２０９の結合棒部２８０が第３のプランジャ２０３の結合部２１０の結合棒部２６９と重なり合わされて圧縮コイルバネ１０４に支持されたときの、その圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４の内径よりも僅かにはみ出すように設定されている。そして、その状態で、圧縮コイルバネ１０４の、小径部２８４より大径である中間部の内径より小さくなるように設定されている。したがって、この結合棒部２８０の凸部２２０は、その状態では、圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４により係止され、それを通り抜けることはできない。
【００７３】
そして、結合棒部２８０の凸部２２０は、その状態で圧縮コイルバネ１０４の、小径部２８４より大径である中間部の内径より小さくなるように設定されている。
【００７４】
同様に、第２のプランジャ２０２の結合部２０９の結合棒部２８０には凸部２２１が形成されている。この凸部２２１は結合棒部２８０の側部を、所定の位置で両側に突起させて形成されている。この両側に突起した凸部２２１の幅は、結合部２０８、２０９の結合棒部２８０が第３のプランジャ２０３の結合部２１０の結合棒部２６９と重なり合わされて圧縮コイルバネ１０４に支持されたときの、その圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４の内径よりも僅かにはみ出すように設定されている。結合棒部２８０の凸部２２１は、その状態では、圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４により係止され、それを通り抜けることはできない。
【００７５】
そして、結合棒部２８０の凸部２２１は、その状態で圧縮コイルバネ１０４の、小径部２８４より大径である中間部の内径より小さくなるように設定されている。
【００７６】
図９は、本発明の第１実施形態の接触子の圧縮コイルバネの小径部と第１および第２のプランジャの結合棒部の凸部の配置構造を説明する断面図である。
【００７７】
図９は、第３のプランジャ２０３の結合棒部２６９の両側に、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の２つの結合棒部２８０が重ねられた状態を示し、この状態で圧縮コイルバネ１０４による組み付けが行われている。そして、図９に示す、各部が重ねられた状態で、結合棒部２６９の両側に重ね合わされる結合棒部２８０の凸部２２０、２２１の外側に位置する４つの隅部が、圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４の内径よりも僅かにはみ出すように設定されている。
【００７８】
第１のプランジャ２０１において、凸部２２０の形成位置は、図５に示すように、組み付けられたときに、圧縮コイルバネ１０４の、端部の小径部２８４より大径の中間部によって外周を覆われる領域となる。すなわち、凸部２２０は結合棒部２８０の側部であって、後述する両端に小径部２８４を有する圧縮コイルバネ１０４の大径の中間部によって外周が包囲された領域に形成される。結合棒部２８０の凸部２２０は、圧縮コイルバネ１０４の圧縮動作を妨げないように形成されている。
【００７９】
同様に、第２のプランジャ２０２において、凸部２２１の形成位置は、組み付けられたときに、圧縮コイルバネ１０４の大径の中間部によって外周を覆われる領域とされる。すなわち、凸部２２１は、結合棒部２８０の側部であって、後述する両端に小径部２８４を有する圧縮コイルバネ１０４の大径の中間部によって外周が包囲された領域に形成される。結合棒部２８０の凸部２２１は、圧縮コイルバネ１０４の圧縮動作を妨げないように形成されている。そして、凸部２２１は、第１のプランジャ２０１の凸部２２０と同様の位置で、結合棒部２８０の側部に設けられることが好ましい。
【００８０】
上述したように、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２は、第３のプランジャ２０３を挟んだ状態で互いに独立してスライド動作するように構成されている。このとき、図９で示したように、結合棒部２８０の凸部２２０、２２１の外側に位置する４つの隅部が、圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４の内径よりも僅かにはみ出すように設定されている。
【００８１】
したがって、第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２とが、上述した互いに独立したスライド動作をして、第１のプランジャ２０１が、第２のプランジャ２０２と離れて、それより上方側に位置しようとしたときに、結合棒部２８０の凸部２２０が圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４に引っ掛かり、係止されて、図６のそれ以上の上方側には配置されないように構成されている。
【００８２】
同様に、上述した独立したスライド動作をして、第２のプランジャ２０２が、第１のプランジャ２０１と離れて、より上方側に位置しようとしたときに、結合棒部２８０の凸部２２１が圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４に引っ掛かり、係止されて、図６のそれ以上の上方側には配置されないように構成されている。
【００８３】
したがって、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２のそれぞれが、例えば、図６の上方側である、被検査体側に位置しようとする場合、いずれもその凸部２２０、２２１が圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４に引っ掛かって、係止され、所定の範囲以上にはスライド動作できないようにされる。当然に、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２は、互いに所定の範囲以上に離間されて配置されることはできない。すなわち、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２は、凸部２２０、２２１と圧縮コイルバネ１０４とによって、ある所定の範囲を超えるように離間して配置されるような、独立したスライド動作が制限されることになる。
【００８４】
また、例えば、上述した図３（ｂ）の場合のように、第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２とが、被検査体のバンプ電極から水平方向にずれて配置され、第１のプランジャ２０１のみバンプ電極に接触し、第２のプランジャ２０２がそれに接触しないことが生じ得る。
【００８５】
その場合、第１のプランジャ２０１が、下方側（例えば、図６の下方側となる。）にスライド動作し、バネ受け部２１１によって圧縮コイルバネ１０４を押圧し、圧縮コイルバネ１０４を圧縮する。すると、その圧縮された圧縮コイルバネ１０４は、位置ずれによってバンプ電極に接触しない第２のプランジャ２０２の凸部２２１を、その小径部２８４によって、図の下方側に押圧することになる。その結果、第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２とにおいては、一方のスライド動作に他方が追随してスライド動作し、被検査体の本体部分に第２のプランジャ２０２が接触することは抑制される。
【００８６】
したがって、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２では、組み付けた後に被検査体との接触がまだ無い、初期状態の結合棒部２８０の凸部２２０、２２１の形成位置と、その初期状態の圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４（図６に示す、上部側の小径部２８４）の配置位置との間の距離が、上部側への最大の動作距離となる。すなわち、第１のプランジャ２０１の接触片２０５と第２のプランジャ２０２の接触片２０６とが離間して配置された場合の最大の離間距離となる。そして、その距離の範囲内では、互いに離間するような、それぞれの独立したスライド動作が可能となる。
【００８７】
圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４は、結合棒部２８０の凸部２２０、２２１との間で、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の離間するスライド動作範囲を規定するように機能する。
【００８８】
ここで、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２はそれぞれ、圧縮コイルバネ１０４の上部側の小径部２８４に当接するバネ受け部２１１、２１２を有している。したがって、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２を支持する圧縮コイルバネ１０４は、その小径部２８４によってバネ受け部２１１、２１２の位置を決めることができる。
【００８９】
逆に言えば、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２のバネ受け部２１１、２１２が、圧縮コイルバネ１０４の上部側の小径部２８４の位置を決めることがある。したがって、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２はそれぞれ、圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４の係止を受けて、図７および図８に示すそれぞれの凸部２２０、２２１とバネ受け部２１１、２１２との間の距離の分だけ、スライド動作ができることになる。
【００９０】
そして、本実施形態の第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２はそれぞれ、同様の構造を有している。その結果、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２のそれぞれの凸部２２０、２２１とバネ受け部２１１、２１２との間の距離であって、圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４の幅を差し引いた距離が、第１のプランジャ２０１の接触片２０５と第２のプランジャ２０２の接触片２０６とが離間して配置された場合の最大の離間距離となる。そして、その距離の範囲内では、それぞれ離間する独立したスライド動作が可能となる。
【００９１】
以上から、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の結合棒部２８０の凸部２２０、２２１の形成位置が、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の独立したスライド動作の範囲を決める上で重要になる。
【００９２】
より詳細には、組み付けた時の上記初期状態の圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４（図６に示す、上部側の小径部２８４である。）の配置位置に対して、所定の距離を定め、その所定距離にしたがって結合棒部２８０の凸部２２０、２２１の形成位置を定めることにより、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の上述の独立したスライド動作の範囲を決めることができる。
【００９３】
結合棒部２８０の凸部２２０、２２１の形成位置の決め方は、被検査体の形状、例えば、バンプ電極の高さを考慮して決めることができる。すなわち、圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４の上記初期状態の配置位置に対する凸部２２０、２２１の距離の決め方としては、被検査体の形状、例えば、バンプ電極の高さを考慮して決めることができる。
【００９４】
具体的には、バンプ電極の高さより小さくなるよう、その距離を設定できる。このような距離設定を行うことで、第１のプランジャ２０１の接触片２０５と第２のプランジャ２０２の接触片２０６とが離間することがあっても、一方がバンプ電極上にあれば、他方が被検査体の本体部分に接することはない。そして、例えば、図３（ｂ）に示した、接触不良の発生防止に有効となる。併せて、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の独立したスライド動作が十分に確保されることを考慮し、その距離は、バンプ電極の高さの１／２以上とすることが好ましい。
【００９５】
以上より、本実施形態の接触子２００は、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２が、第３のプランジャ２０３を挟持した状態で、互いに独立してスライド動作するようにされ、例えば、バンプ電極等、被検査体との接触を確実なものとすることができる。一方で、接触子２００は、第１のプランジャ２０１の結合部２０８の凸部２２０が、第１のプランジャおよび第２のプランジャの上述のスライド動作を所定の範囲内に制限する動作制限機構を構成する。すなわち、その凸部２２０が、圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４と協働して、第１のプランジャ２０１のスライド動作の範囲を制限するように機能する。
【００９６】
同様に、本実施形態の接触子２００は、第２のプランジャ２０２の結合部２０９の凸部２２１が、上述のスライド動作を所定の範囲内に制限する動作制限機構を構成する。すなわち、その凸部２２１が、圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４と協働して、第２のプランジャ２０２のスライド動作の範囲を制限するように機能する。
【００９７】
その結果、本実施形態の接触子２００は、例えば、図３（ｂ）に示された例を含む、多様な接触不良の懸念に対し、それらを有効に防止することができる。
【００９８】
次に、図７および図８に示す、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の先端挿入部２８１は、結合棒部２８０の圧縮コイルバネ１０４内への挿入を案内するための部分である。先端挿入部２８１は、結合棒部２８０の先端部に形成されている。先端挿入部２８１は、差し入れる方向に対して、障害にならないように、なだらかな傾斜面を有し、圧縮コイルバネ１０４内にスムーズに挿入できるようになっている。これにより、図６に示すように、第３のプランジャ２０３の結合棒部２６９の両側に２つの結合棒部２８０が重ねられた状態で、各結合棒部２８０の先端挿入部２８１が圧縮コイルバネ１０４内にスムーズに挿入できるようになっている。
【００９９】
第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の抜け止部２８２は、先端挿入部２８１が圧縮コイルバネ１０４内に挿入されたとき、この先端挿入部２８１が圧縮コイルバネ１０４から抜けないようにするための部分である。
【０１００】
第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の抜け止部２８２は、先端挿入部２８１の端部（結合棒部２８０と先端挿入部２８１の境界部分）に設けられている。抜け止部２８２は、先端挿入部２８１の端部を両側に突起させて形成されている。この両側に突起した抜け止部２８２の幅寸法は、図５および図６に示す、組み付けを行ったときに、圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４の内径よりも僅かにはみ出すように設定されている。すなわち、第３のプランジャ２０３の結合棒部２６９の両側に、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の２つの結合棒部２８０が重ねられた状態で、結合棒部２６９の両側に重ね合わされる２つの抜け止部２８２の外側に位置する４つの隅部が、圧縮コイルバネ２６４の端部の小径部２８４の内径よりも僅かにはみ出すように設定されている。
【０１０１】
尚、本実施形態の接触子２００では、上述したように、結合部２０８、２０９の結合棒部２８０に凸部２２０、２２１が設けられており、抜け止部２８２の形成を省略することも可能である。
【０１０２】
次に、第１のプランジャ２０１の接触片２０５および第２のプランジャ２０２の接触片２０６は、例えば、対向する部材間の一方の部材（例えば、バンプ電極）に接触して電気的に接続するための部材である。図７および図８に示すように、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の接触片２０５、２０６は、結合部２０８、２０９の端部側（図７および図８では、上側となる。）に続いて一体的に設けられている。結合部２０８、２０９と接触片２０５、２０６との接合部分に設けられた段差は、上述したように、圧縮コイルバネ１０４の上部側の小径部２８４が当接するバネ受け部２１１、２１２となる。
【０１０３】
接触片２０５、２０６は、ほぼ長方形状を基本形状とする板状部２２５、２２６と、それより幅寸法が小さい上端部２２７、２２８により形成されている。板状部２２５、２２６の幅寸法は、後述する図１９の、接触子２００を収納するための電気的接続装置１１の上側ハウジング１７の第２支持穴１７Ａの内径よりも少し小さい寸法である。上端部２２７、２２８の幅寸法は、上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂを貫通する寸法である。
【０１０４】
接触片２０５、２０６には、図７および図８に示すように、板状部２２５、２２６と上端部２２７、２２８の境に上側支持肩部２２９、２３０が形成されている。この上側支持肩部２２９、２３０は、後述する図１９の上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂに引っかかって、接触片２０５、２０６が第２支持穴１７Ａから抜け出ないようになっている。上側支持肩部２２９、２３０が上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂに引っかかった状態で、接触片２０５、２０６の上端部が第２支持穴１７Ａから上方へ突出するようになっている。
【０１０５】
第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の各接触片２０５、２０６の上端部先端は、２つの突起状に形成されている。すなわち、接触片２０５、２０６の先端の中央がＵ字状に窪んで凹部に形成され、その両側に２つの突起２３１、２３２が形成されている。さらに、図６に示すように、突起２３１、２３２には、テーパ面２３３、２３４が形成されている。これにより、２つの突起２３１、２３２は、２つの切っ先状に形成されている。
【０１０６】
上述した凹部と対向する２つのテーパ面２３３、２３４が作る空間は、例えば、被検査体のバンプ電極の頂部を受け入れる空間として働く。これにより、例えば、球状のバンプ電極と、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２との接触時に、バンプ電極の頂部は、上述した空間に受け入れられ、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の先端面に接触して押しつぶされることが防止される。このテーパ面２３３、２３４は、第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２の２つのプランジャが第３のプランジャ２０３を挟んで向き合ったときに、上方へ向けて互いに開く方向に配設される。これにより、上方へ向けて互いに開く方向に配設された２つずつの突起２３１、２３２が、上述した図３（ａ）の接触子１００において示したように、バンプ電極１３に確実に接触して、４つの接触点で刺さって、電気的に確実に接触するようになっている。
【０１０７】
次に、本実施形態の接触子２００の第３のプランジャ２０３は、第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２とにより挟持され、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２と協働して一方の部材（例えば、バンプ電極）と他方の部材（例えば、配線基板のコンタクトパッド）との間を電気的に導通させるための板状のプランジャである。その場合、第３のプランジャ２０３は、他方の部材としての電極等（例えば、配線基板のコンタクトパッド）に接触するように構成される。
【０１０８】
第３のプランジャ２０３は、導電性の材料により切削加工、プレス加工等により、または、フォトリソ技術を用いたメッキ等により製作される。
【０１０９】
図１０は、本発明の第１実施形態の接触子の第３のプランジャの正面図である。
【０１１０】
図１０に示すように、第３のプランジャ２０３は、結合部２１０と、バネ受け部２６７と、接触片２０７とから構成されている。第３のプランジャ２０３の長さは、後述する、電気的接続装置１１に組み付けられた時に、配線基板１５のコンタクトパッド２２から上側ハウジング１７の上面の高さ寸法とほぼ等しくされている。
【０１１１】
第３のプランジャ２０３の結合部２１０は、第３のプランジャ２０３と、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２とが互いに結合される際に直接重ね合わされて、第３のプランジャ２０３と他の第１および第２のプランジャ２０１、２０２とを電気的に接触するための部分である。結合部２１０は、結合棒部２６９と、先端挿入部２７０と、抜け止部２７１とから構成されている。
【０１１２】
第３のプランジャ２０３の結合部２１０は、長い板状に形成され、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２となるべく広い面積で安定して接触させることができる。結合棒部２６９は、後述する圧縮コイルバネ１０４に支持されるための部分であり、圧縮コイルバネ１０４よりも少し長い寸法に設定されている。
【０１１３】
結合棒部２６９の幅寸法は、圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４の内径とほぼ同じ寸法に設定されている。
【０１１４】
第３のプランジャ２０３の先端挿入部２７０は、組み付けの時に結合棒部２６９の圧縮コイルバネ１０４内への挿入を案内するための部分である。先端挿入部２７０は、結合棒部２６９の先端部（図１０中の上端部）に形成されている。先端挿入部２７０は、差し入れる方向に対して、障害になららないように、なだらかで湾曲した傾斜面を有し、圧縮コイルバネ１０４内に容易に挿入できるようになっている。さらに、先端挿入部２７０の厚さ寸法は、組み付けられた時に先端挿入部２７０が、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の接触片２０５、２０６の間に位置して、接触片２０５、２０６の上端部の突起２３１、２３２の間隔を安定させるように設定されている。
【０１１５】
第３のプランジャ２０３の抜け止部２７１は、先端挿入部２７０が圧縮コイルバネ１０４内に挿入されたとき、この先端挿入部２７０が圧縮コイルバネ１０４から抜けないようにするための部分である。抜け止部２７１は、先端挿入部２７０の端部（結合棒部２６９と先端挿入部２７０の境界部分）に設けられている。すなわち、抜け止部２７１は、バネ受け部２６７と反対の端部に形成されている。抜け止部２７１は、先端挿入部２７０の端部を両側に突起させて形成されている。この両側に突起した抜け止部２７１の幅は、図５および図６に示す、圧縮コイルバネ１０４端部の小径部２８４の内径よりも僅かにはみ出すように設定されている
【０１１６】
第３のプランジャ２０３のバネ受け部２６７は、圧縮コイルバネ１０４を受けるための受け部である。バネ受け部２６７は、結合部２１０と接触片２０７との境界部分に設けられている段差である。結合部２１０の幅に比べて接触片２０７は幅を広く形成され、これらの境界の段差部分がバネ受け部２６７になっている。このバネ受け部２６７に圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４が当接することで、接触子２００においては、第３のプランジャ２０３が圧縮コイルバネ１０４によって弾性的に支持されるようになっている。
【０１１７】
第３のプランジャ２０３の接触片２０７は、配線基板のコンタクトパッド等、上述した他方の部材に接触して電気的に接続するための部材である。接触片２０７は、結合部２１０の端部側（図１０の下側となる。）に続いて一体的に設けられている。接触片２０７は、その幅寸法が、後述する図１９の、接触子２００を収納するための電気的接続装置１１の下側ハウジング１６の第１支持穴１６Ａおよび上側ハウジング１７の第２支持穴１７Ａの内径よりも少し小さい寸法の、ほぼ長方形状の板状部２４０と、下側ハウジング１６の下側受け部１６Ｂを貫通するよう、板状部２４０より幅の小さい寸法の先端部２４１とから形成されている。
【０１１８】
第３のプランジャ２０３の接触片２０７の先端部２４１は湾曲して形成され、例えば、平坦面状の配線基板のコンタクトパッドに安定して接触するようになっている。接触片２０７には、長方形状の板状部２４０と先端部２４１の境に下側支持肩部２７３が形成されている。この下側支持肩部２７３は、後述する図１９の下側ハウジング１６の下側受け部１６Ｂに引っかかって、接触片２０７が第１支持穴１６Ａから抜け落ちないようになっている。下側支持肩部２７３が下側ハウジング１６の下側受け部１６Ｂに引っかかった状態で、接触片２０７の端部が第１支持穴１６Ａから下方へ突出するようになっている。
【０１１９】
次に、本実施形態の接触子２００の圧縮コイルバネ１０４は、図５および図６に示すように、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２、並びにそれらによって挟持された第３のプランジャ２０３の結合部２０８、２０９、２１０の外周を覆うように設けられる。そして、各バネ受け部２１１、２１２、２６７にそれぞれ当接して、第１〜第３の各プランジャ２０１、２０２、２０３を弾性的に支持し、第１〜第３の各プランジャ２０１、２０２、２０３の間を電気的に導通させるように機能する。
【０１２０】
圧縮コイルバネ１０４の両端部には、第１のプランジャ２０１、第２のプランジャ２０２および第３のプランジャ２０３の各結合部２０８、２０９、２１０が積み重なって支持される。
【０１２１】
圧縮コイルバネ１０４は、両端の小径部２８４に比べ、中間部が大径となるように構成されている。すなわち、圧縮コイルバネ１０４は、第３のプランジャ２０３の結合棒部２６９と、それを挟み込む第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２の結合棒部２８０の作る断面形状が当接しない大きさに形成され、圧縮コイルバネ１０４が構成されている。
【０１２２】
圧縮コイルバネ１０４の中間部の外径は、第１のプランジャ２０１、第２のプランジャ２０２および第３のプランジャ２０３の最大幅寸法より少し大きく設定されている。
【０１２３】
圧縮コイルバネ１０４の両端部には、上述したように、その中間部を挟むように、小径の小径部２８４が形成されている。小径部２８４の内径は、第３のプランジャ２０３の結合棒部２６９と、それを挟み込む第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の結合棒部２８０の作る断面形状に外接する外接円の径よりも僅かに小さく設定されている。
【０１２４】
図１１は、本発明の第１実施形態の接触子の圧縮コイルバネと第１のプランジャ〜第３のプランジャの各結合棒部の配置構造を説明する断面図である。
【０１２５】
図１１に示すように、上述した第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２の結合棒部２８０は、端部に抜け防止部２７１を有する第３のプランジャ２０３の結合棒部２６９を両側から挟んだ状態で配置される。そして、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の結合棒部２８０の断面寸法（幅、厚さ寸法）は、結合棒部２６９を両側から挟んだ状態で、その８つの隅部分が、圧縮コイルバネ１０４の中間部より小径の小径部２８４の内径部に接する状態の寸法とされている。すなわち、圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４の内径が、結合棒部２８０、２６９が結合された断面形状の外接円となる寸法に設定され僅かに締め付ける状態に組み付けられている。
【０１２６】
尚、図１１に示す構造とするため、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の２つの結合棒部２８０の幅寸法は、第３のプランジャ２０３の結合棒部２６９の幅寸法よりも狭い寸法とされている。
【０１２７】
こうした構造を有することにより、接触子２００は、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２と、それらに挟持される第３のプランジャ２０３とを、接触片２０５、２０６と接触片２０７とが反対の向きとなる状態で、結合部２０８、２０９、２１０を重ね合わせて配置し、圧縮コイルバネ１０４により一体とすることができる。そして、各バネ受け部２１１、２１２の位置で圧縮コイルバネ１０４を係止して互いの間に隙間ができないように支持し、第１のプランジャ２０１、第２のプランジャ２０２および第３のプランジャ２０３が、互いに独立してスライド動作できるように組み立てることができる。
【０１２８】
以上の構造の本発明の第１実施形態の接触子２００は、圧縮コイルバネ１０４を用いて、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２が、第３のプランジャ２０３を挟持した状態で、互いに独立してスライド動作するように構成され、一方の部材と他方の部材との間の電気的接続を確実に実現することができる。一方、接触子２００は、第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２の各接触片２０５、２０６の上端部２２７、２２８の突起２３１、２３２同士が、所定距離を超えて互いに離間しないよう、第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２に動作制限機構を設けて構成される。本実施形態の動作制限機構は、第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２の結合部２０８、２０９の凸部２２０、２２１とすることができる。そして、接触子２００は、発生が懸念される多様な接触不良を有効に防止することができる。
【０１２９】
実施の形態２．
図１２は、本発明の第２実施形態の接触子の正面図である。
【０１３０】
図１３は、本発明の第２実施形態の接触子の側面図である。
【０１３１】
本発明の第２実施形態の接触子１２００は、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の接触片１２０５、１２０６に後述する動作制限機構を設けた以外は、上述した本発明の基本構造を有する接触子１００と同様の構造を有する。したがって、共通する構成要素については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【０１３２】
またさらに、本発明の第２実施形態の接触子１２００は、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の構造が異なる以外は、上述した本発明の第１実施形態の接触子２００と同様の構造を有する。したがって、接触子２００と共通する構成要素については同一の符号を付し、重複する説明は適宜省略する。
【０１３３】
図１２および図１３に示す、本発明の第２実施形態の接触子１２００は、第１のプランジャ１２０１、第２のプランジャ１２０２および第３のプランジャ２０３の３つのプランジャと、付勢部材である圧縮コイルバネ１０４とを用いて構成される。このとき、第３のプランジャ２０３と、付勢部材である圧縮コイルバネ１０４は、上述した第１実施形態の接触子２００と同様の構造である。
【０１３４】
図１２および図１３の接触子１２００は、第１のプランジャ１２０１と第２のプランジャ１２０２とにおいて、互いの接触片１２０５、１２０６が同じ向きとなるよう対向配置される。そして、第３のプランジャ２０３は、その接触片２０７が第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の接触片１２０５、１２０６と反対の向きとなるよう、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の各結合部１２０８、１２０９の間に、その結合部２１０が挟持されて配置される。
【０１３５】
第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２はそれぞれ、板状のプランジャである。第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２は、互いの間に第３のプランジャ２０３を挟持し、その第３のプランジャ２０３と協働して、離間して対向配置される一方の部材（例えば、バンプ電極）と他方の部材（例えば、配線基板のコンタクトパッド）等、それらに接触する部材同士の間を電気的に導通させる。第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２は、同様の形状を有し、導電性の材料により切削加工、プレス加工等により、またはフォトリソ技術を用いたメッキ等により製作される。
【０１３６】
図１４は、本発明の第２実施形態の接触子の第１のプランジャの正面図である。
【０１３７】
図１４に示すように、第１のプランジャ１２０１は、結合部１２０８と、バネ受け部１２１１と、接触片１２０５とから構成されている。
【０１３８】
図１５は、本発明の第２実施形態の接触子の第２のプランジャの正面図である。
【０１３９】
第２のプランジャ１２０２は、第１のプランジャ１２０１と同様、結合部１２０９と、バネ受け部１２１２と、接触片１２０６とから構成される。
【０１４０】
第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５は、その側部に、組み付けられた状態で第２のプランジャ１２０２側となる方向に突設された凸部１２２０を有する。そして、接触片１２０５は、その側部であって、凸部１２２０が形成されていない側の側部に、切り欠き部１２２２が形成されている。
【０１４１】
尚、第２のプランジャ１２０２も、上述したように、第１のプランジャ１２０１と同様の構造を有する。
第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６は、組み付けられた状態で第１のプランジャ１２０１側となる方向に突設された凸部１２２１と、切り欠き部１２２３とを有する。
【０１４２】
後述するように、本実施形態の接触子１２００は、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の接触片１２０５、１２０６にそれぞれ設けられた凸部１２２０、１２２１および切り欠き部１２２２、１２２３が、本実施形態の動作制限機構を構成する。
【０１４３】
第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２のバネ受け部１２１１、１２１２は、圧縮コイルバネ１０４を受けるための受け部である。バネ受け部１２１１、１２１２は、結合部１２０８、１２０９と接触片１２０５、１２０６との接合部分に設けられた段差である。結合部１２０８、１２０９の幅に比べて接触片１２０５、１２０６は幅を広く形成され、接触片１２０５、１２０６の結合部１２０８、１２０９側の端部が段差部分となって、これがバネ受け部１２１１、１２１２になっている。このバネ受け部１２１１、１２１２には、図１２および図１３に示すように、付勢部材である圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４が当接する。そして、接触子１２００において、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２が、圧縮コイルバネ１０４によって弾性的に支持されるようになっている。
【０１４４】
第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２は、図１２および図１３に示すように、第３のプランジャ２０３を挟んで圧縮コイルバネ１０４により組み付けられている。第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の各結合部１２０８、１２０９が対向する状態で、第３のプランジャ２０３の結合部２１０を挟み込んでいる。これにより、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の２つのプランジャと、１つの第３のプランジャ２０３とが電気的に接続して導通された状態となる。そして、各プランジャ１２０１、１２０２、２０３が、例えば、バンプ電極とコンタクトパッドとにそれぞれ接触して、これらの間を電気的に導通させる。
【０１４５】
第１のプランジャ１２０１と第２のプランジャ１２０２は、同様の形状で構成されている。同様の形状のプランジャを対向させ構成することにより接触する部材（例えば、バンプ電極）への良好な接触を行える。第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２は、第３のプランジャ２０３を挟んだ状態で互いに独立してスライド動作するようになっている。その結果、第１のプランジャ１２０１と第２のプランジャ１２０２は、例えば、バンプ電極等、接触する部材の形状が平坦ではなく不均一な場合や、ボール形状の要に突起状の場合に、その形状に追従して電気的接触を確実に行うことができる。
【０１４６】
第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５および第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６は、例えば、対向する部材間の一方の部材（例えば、バンプ電極）に接触して電気的に接続するための部材である。図１４および図１５に示すように、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の接触片１２０５、１２０６は、結合部１２０８、１２０９の端部側（図１４および図１５では、上側となる。）に続いて一体的に設けられている。
【０１４７】
接触片１２０５、１２０６は、ほぼ長方形状を基本形状とする板状部１２２５、１２２６と、それより幅寸法が小さい上端部１２２７、１２２８により形成されている。板状部１２２５、１２２６の幅寸法は、後述する図１９の、接触子２００や接触子１２００を収納するための電気的接続装置１１の上側ハウジング１７の第２支持穴１７Ａの内径よりも少し小さい寸法である。上端部１２２７、１２２８の幅寸法は、上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂを貫通する寸法である。
【０１４８】
図１４および図１５に示すように、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の接触片１２０５、１２０６には、板状部１２２５、１２２６と上端部１２２７、１２２８の境に上側支持肩部１２２９、１２３０が形成されている。この上側支持肩部１２２９、１２３０は、後述する図１９の上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂに引っかかって、接触片１２０５、１２０６が第２支持穴１７Ａから抜け出ないようになっている。上側支持肩部１２２９、１２３０が上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂに引っかかった状態で、接触片１２０５、１２０６の上端部が第２支持穴１７Ａから上方へ突出するようになっている。
【０１４９】
第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の各接触片１２０５、１２０６の上端部先端は、図１２〜図１５に示すように、２つの突起状に形成されている。すなわち、接触片１２０５、１２０６の先端の中央がＵ字状に窪んで凹部に形成され、その両側に２つの突起１２３１、１２３２が形成されている。さらに、突起１２３１、１２３２には、図１３に示すように、テーパ面１２３３、１２３４が形成されている。これにより、２つの突起１２３１、１２３２は、２つの切っ先状に形成されている。
【０１５０】
上述した凹部と対向する２つのテーパ面１２３３、１２３４が作る空間は、例えば、被検査体のバンプ電極の頂部を受け入れる空間として働く。これにより、例えば、球状のバンプ電極と、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２との接触時に、バンプ電極の頂部は、上述した空間に受け入れられ、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の先端面に接触して押しつぶされることが防止される。このテーパ面１２３３、１２３４は、第１のプランジャ１２０１と第２のプランジャ１２０２の２つのプランジャが第３のプランジャ２０３を挟んで向き合ったときに、上方へ向けて互いに開く方向に配設される。これにより、上方へ向けて互いに開く方向に配設された２つずつの突起１２３１、１２３２が、上述した図３（ａ）の接触子１００について示したように、バンプ電極に確実に接触して、４つの接触点で刺さって、電気的に確実に接触するようになっている。
【０１５１】
第１のプランジャ１２０１は、図１２および図１３に示すように、その接触片１２０５の板状部１２２５の一方の側部に凸部１２２０を有する。この凸部１２２０は、第１のプランジャ１２０１と第２のプランジャ１２０２とが組み付けられたときに、第２のプランジャ１２０２の側となる方向に突設される。そして、第１のプランジャ１２０１は、図１４に示すように、接触片１２０５の板状部１２２５の凸部１２２０の設けられていないもう一方の側部に、切り欠き部１２２２を有している。
【０１５２】
第２のプランジャ１２０２においても、図１５に示すように、その接触片１２０６の板状部１２２６の一方の側部に、第１のプランジャ１２０１の凸部１２２０と同様の、凸部１２２１を有する。この凸部１２２１は、第１のプランジャ１２０１と第２のプランジャ１２０２とが組み付けられたときに、第１のプランジャ１２０１の側となる方向に突設される。そして、第２のプランジャ１２０２は、接触片１２０６の板状部１２２６の凸部１２２１の設けられていないもう一方の側部に、切り欠き部１２２３を有している。
【０１５３】
そして、図１２および図１３に示すように、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２は、第３のプランジャ２０３を挟んで圧縮コイルバネ１０４により組み付けられて用いられる。
【０１５４】
したがって、第２のプランジャ１２０２は、第１のプランジャ１２０１との組み付けがなされたときに、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の板状部１２２５の切り欠き部１２２２と対向する側の、接触片１２０６の板状部１２２６の側部に凸部１２２１を設ける。そして、第２のプランジャ１２０２は、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の板状部１２２５の凸部１２２０と対向する側の、もう一方の板状部１２２６の側部に切り欠き部１２２３が設けられる。
【０１５５】
したがって、上述した組み付けがなされた時には、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の板状部１２２５の凸部１２２０には、第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の板状部１２２６の切り欠き部１２２３が対向することになる。同様に、第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の板状部１２２６の凸部１２２１には、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の板状部１２２５の切り欠き部１２２０が対向することになる。
【０１５６】
第１のプランジャ１２０１の凸部１２２０の長さは、上述した組み付けがなされた時に、対向する第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６にまで延び、その先端部分が接触片１２０６の切り欠き部１２２３に達する寸法とされる。すなわち、図１３に示すように、接触片１２０５の凸部１２２０は、上記組み付けがなされたときに、対向する第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の板状部１２２６の表面より奥側にその先端部分が配置される寸法を有する。
【０１５７】
したがって、第１のプランジャ１２０１は、上述したスライド動作をして、第２のプランジャ１２０２より上方側に移動しようとしたときに、第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の板状部１２２６の切り欠き部１２２３の、スライド動作方向の側部（図１３では、上部側の側部となる。）に引っ掛かる。そして、第１のプランジャ１２０１の凸部１２２０は、切り欠き部１２２３の側部に、係止され、それ以上の上方側にはスライド動作ができないようにされている。
【０１５８】
すなわち、第１のプランジャ１２０１は、第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の板状部１２２６の切り欠き部１２２３の形成範囲内であって、その接触片１２０５の凸部１２２０が動作できる範囲内で、スライド動作できることになる。その範囲を超えるスライド動作は、第２のプランジャ１２０２により止められ、第２のプランジャ１２０２を伴ったスライド動作が必要となる。すなわち、所定の動作範囲を超えるスライド動作には、第１および第２の２つのプランジャ１２０１、１２０２の互いに追随した動作が必要となる。
【０１５９】
また、第２のプランジャ１２０２が、図１３の下方側にスライド動作した場合、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の凸部１２２０は、第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の板状部１２２６の切り欠き部１２２３の、スライド動作方向の側部（図１３では、上部側の側部となる。）に引っ掛かる。そして、凸部１２２０を有する第１のプランジャ１２０１は、切り欠き部１２２３の形成された第２のプランジャ１２０２に追随して、下方側にはスライド動作するようにされている。
【０１６０】
以上の構造の第１のプランジャ１２０１と第２のプランジャ１２０２では、第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の板状部１２２６の切り欠き部１２２３の、上述したスライド動作方向（図１３および図１５の上下方向となる。）の幅が、第１のプランジャ１２０１の独立したスライド動作の動作範囲を決めることになる。すなわち、その切り欠き部１２２３の幅が、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５と第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の最大離間距離を決めることになる。
【０１６１】
より詳細には、上記組み付けがなされたときに、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の凸部１２２０と、対向する第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の切り欠き部１２２３の側部との間にある隙間の長さ分だけ、第１のプランジャ１２０１は、第２のプランジャ１２０２より上方側にスライド動作して離間配置されることができる。そして、第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の切り欠き部１２２３が、第１のプランジャ１２０１のスライド動作の範囲、すなわち上述の離間距離を制限することになる。
【０１６２】
また、第２のプランジャ１２０２の凸部１２２１の長さは、上述した組み付けがなされた時に、対向する第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５にまで延び、その先端部分が接触片１２０５の切り欠き部１２２２に達する長さとされる。すなわち、第１のプランジャ１２０１と同様に、接触片１２０６の凸部１２２１は、上記組み付けがなされたときに、対向する第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の板状部１２２５の表面より奥側にその先端部分が配置される寸法を有する。
【０１６３】
したがって、第２のプランジャ１２０２は、上述したスライド動作をして、第１のプランジャ１２０１より上方側に移動しようとしたときに、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の板状部１２２５の切り欠き部１２２２の、スライド動作方向の側部（図１４の上部側の側部となる。）に引っ掛かる。そして、凸部１２２１を有する第２のプランジャ１２０２は、その側部に係止され、それ以上の上方側にはスライド動作ができないようにされている。
【０１６４】
すなわち、第２のプランジャ１２０２は、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の板状部１２２５の切り欠き部１２２２の形成範囲内であって、その接触片１２０６の凸部１２２１が動作できる範囲内で、スライド動作できることになる。その範囲を超えるスライド動作は、第１のプランジャ１２０１により止められ、第１のプランジャ１２０１を伴ったスライド動作が必要となる。すなわち、所定の動作範囲を超えるスライド動作には、第１のプランジャ１２０１の場合と同様、第１および第２の２つのプランジャ１２０１、１２０２の互いに追随した動作が必要となる。
【０１６５】
また、第１のプランジャ１２０１が、図１３の下方側にスライド動作した場合、第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の凸部１２２１は、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の板状部１２２５の切り欠き部１２２２を構成するその側部（図１４では、上部側の側部となる。）に引っ掛かる。そして、第２のプランジャ１２０２は、第１のプランジャ１２０１に追随して、下方側にはスライド動作するようにされている。
【０１６６】
以上の構造の第２のプランジャ１２０２と第１のプランジャ１２０１では、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の板状部１２２５の切り欠き部１２２２の、上述したスライド動作方向（図１４の上下方向となる。）の幅が、第２のプランジャ１２０２の独立したスライド動作の動作範囲を決めることになる。すなわち、その切り欠き部１２２２の幅が、第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６と第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の最大離間距離を決めることになる。
【０１６７】
より詳細には、上記組み付けがなされたときに、第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の凸部１２２１と、対向する第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の切り欠き部１２２２の側部との間にある隙間の長さ分だけ、第２のプランジャ１２０２は、第１のプランジャ１２０１より上方側に離れたスライド動作ができる。そして、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の切り欠き部１２２２が、第２のプランジャ１２０２のスライド動作の範囲、すなわち上述の離間距離を制限することになる。
【０１６８】
そして、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の切り欠き部１２２２が、第２のプランジャ１２０２のスライド動作の範囲を制限することになる。
【０１６９】
このとき、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の板状部１２２５の切り欠き部１２２２の、上述したスライド動作方向（図１４の上下方向）の幅は、被検査体の形状、例えば、バンプ電極の高さを考慮して決めることができる。具体的には、バンプ電極の高さより小さく設定できる。併せて、第１のプランジャ１２０１の切り欠き部１２２２の上記幅は、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の独立したスライド動作が十分に確保されることを考慮し、バンプ電極の高さの１／２以上とすることが好ましい。
【０１７０】
同様に、第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の板状部１２２６の切り欠き部１２２３の、上述したスライド動作方向（図１５の上下方向）の幅は、被検査体の形状、例えば、バンプ電極の高さを考慮して決めることができる。具体的には、バンプ電極の高さより小さく設定できる。併せて、第２のプランジャ１２０２の切り欠き部１２２３の上記幅は、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の独立したスライド動作が十分に確保されることを考慮し、バンプ電極の高さの１／２以上とすることが好ましい。
【０１７１】
切り欠き部１２２２、１２２３の上述したスライド動作方向（図１４、図１５の上下方向）の幅を、そのように設定することで、第１のプランジャ１２０１と第２のプランジャ１２０２の接触片１２０５、１２０６同士が離れて配置される場合の最大の離間距離を定めることができる。そして、その最大離間距離を、例えば、バンプ電極の高さより小さく設定すれば、上述した図３（ｂ）に示す接触不良の発生防止に有効となる。
【０１７２】
以上より、本実施形態の接触子１２００は、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２が、第３のプランジャ２０３を挟持した状態で、互いに独立してスライド動作するようにされ、例えば、バンプ電極等、被検査体との接触を確実なものとすることができる。一方で、接触子１２００は、第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の凸部１２２２と第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６対向する切り欠き部１２２３とが協働して、各接触片１２０５、１２０６の間の動作範囲を制限する動作制限機構を構成する。
【０１７３】
同様に、本実施形態の接触子１２００は、第２のプランジャ１２０２の接触片１２０６の凸部１２２１と第１のプランジャ１２０１の接触片１２０５の対向する切り欠き部１２２２とが協働して、各接触片１２０５、１２０６の間の動作範囲を制限する動作制限機構を構成する。
【０１７４】
その結果、本実施形態の接触子１２００は、上述した、多様な接触不良の発生を、より有効に防止することができる。
【０１７５】
次に、図１４および図１５に示す、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の結合部１２０８、１２０９は、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２と、第３のプランジャ２０３とが互いに結合される際に、第３のプランジャ２０３の結合部２１０と重ね合わされて電気的に接触するための部分である。すなわち、図１３に示すように、第３のプランジャ２０３の結合部２１０を、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の結合部１２０８、１２０９が両側から挟むように重ね合わされて、これら第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２と、第３のプランジャ２０３とを電気的に接触させるようになっている。
【０１７６】
第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の結合部１２０８、１２０９は、図１４および図１５に示すように、それぞれ同様の結合棒部１２８０と、先端挿入部１２８１と、抜け止部１２８２とから構成されている。
【０１７７】
第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の結合部１２０８は、長い短冊状の板状に形成され、第３のプランジャ２０３の結合部２１０と広い面積で接触させることができる。
【０１７８】
結合棒部１２８０は、第３のプランジャ２０３の結合部２１０と重なり合わさって圧縮コイルバネ１０４に支持されるための部分であり、圧縮コイルバネ１０４よりも少し長い寸法に設定されている。
【０１７９】
図１６は、本発明の第２実施形態の接触子の圧縮コイルバネと第１のプランジャ〜第３のプランジャの各結合棒部の配置構造を説明する断面図である。
【０１８０】
図１６に示すように、上述した第１のプランジャ１２０１と第２のプランジャ１２０２の結合棒部１２８０は、端部に抜け防止部２７１を有する第３のプランジャ２０３の結合棒部２６９を両側から挟んだ状態で配置される。そして、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の結合棒部１２８０の断面寸法（幅、厚さ寸法）は、結合棒部２６９を両側から挟んだ状態で、その８つの隅部分が、圧縮コイルバネ１０４の中間部より小径の小径部２８４の内径部に接する状態の寸法とされている。すなわち、圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４の内径が、結合棒部１２８０、２６９が結合された断面形状の外接円となる寸法に設定され僅かに締め付ける状態に組み付けられている。
【０１８１】
その結果、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の２つの結合棒部１２８０の幅寸法は、第３のプランジャ２０３の結合棒部２６９の幅寸法よりも狭い寸法とされる。
【０１８２】
図１４および図１５に示す、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の先端挿入部１２８１は、結合棒部１２８０の圧縮コイルバネ１０４内への挿入を案内するための部分である。先端挿入部１２８１は、結合棒部１２８０の先端部に形成されている。先端挿入部１２８１は、差し入れる方向に対して、障害にならないように、なだらかな傾斜面を有し、圧縮コイルバネ１０４内にスムーズに挿入できるようになっている。これにより、第３のプランジャ２０３の結合棒部２６９の両側に２つの結合棒部１２８０が重ねられた状態で、各結合棒部１２８０の先端挿入部１２８１が圧縮コイルバネ１０４内にスムーズに挿入できるようになっている。
【０１８３】
第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の抜け止部１２８２は、先端挿入部１２８１が圧縮コイルバネ１０４内に挿入されたとき、この先端挿入部１２８１が圧縮コイルバネ１０４から抜けないようにするための部分である。抜け止部１２８２は、先端挿入部１２８１の端部（結合棒部１２８０と先端挿入部１２８１の境界部分）に設けられている。抜け止部１２８２は、先端挿入部１２８１の端部を両側に突起させて形成されている。この両側に突起した抜け止部１２８２の幅寸法は、組み付けを行ったときに、圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４の内径よりも僅かにはみ出すように設定されている。すなわち、第３のプランジャ２０３の結合棒部２６９の両側に、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２の２つの結合棒部１２８０が重ねられた状態で、結合棒部２６９の両側に重ね合わされる２つの抜け止部１２８２の外側に位置する４つの隅部が、圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４の内径よりも僅かにはみ出すように設定されている。
【０１８４】
こうした構造を有することにより、接触子１２００は、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２と、それらに挟持される第３のプランジャ２０３とを、接触片１２０５、１２０６と接触片２０７とが反対の向きとなる状態で、結合部１２０８、１２０９、２１０を重ね合わせて配置し、圧縮コイルバネ１０４により一体とすることができる。そして、各バネ受け部１２１１、１２１２の位置で圧縮コイルバネ１０４を係止して互いの間に隙間ができないように支持し、第１のプランジャ１２０１、第２のプランジャ１２０２および第３のプランジャ２０３が、互いに独立してスライド動作できるように組み立てることができる。
【０１８５】
以上の構造の本発明の第２実施形態の接触子１２００は、圧縮コイルバネ１０４を用いて、第１のプランジャ１２０１および第２のプランジャ１２０２が、第３のプランジャ２０３を挟持した状態で、互いに独立してスライド動作するように構成され、一方の部材と他方の部材との間の電気的接続を確実に実現することができる。一方、接触子１２００は、第１のプランジャ１２０１と第２のプランジャ１２０２の各接触片１２０５、１２０６の上端部１２２７、１２２８の突起１２３１、１２３２同士が、所定距離を超えて互いに離間しないよう、第１のプランジャ１２０１と第２のプランジャ１２０２に動作制限機構を設けて構成される。本実施形態の接触子１２０１の動作制限機構は、第１のプランジャ１２０１と第２のプランジャ１２０２の接触片１２０５、１２０６にそれぞれ設けられた凸部１２２０、１２２１および切り欠き部１２２２、１２２３とすることができる。そして、発生が懸念される多様な接触不良を有効に防止することができる。
【０１８６】
実施の形態３．
図１７は、本発明の第３実施形態の接触子の正面図である。
【０１８７】
図１８は、本発明の第３実施形態の接触子の側面図である。
【０１８８】
本発明の第３実施形態の接触子１４００は、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の接触片１４０５、１４０６に後述する動作制限機構を設けた以外は、上述した本発明の基本構造を有する接触子１００と同様の構造を有する。したがって、共通する構成要素については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【０１８９】
またさらに、本発明の第３実施形態の接触子１４００は、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の構造が異なる以外は、上述した本発明の第１実施形態の接触子２００と同様の構造を有する。したがって、接触子２００と共通する構成要素については同一の符号を付し、重複する説明は適宜省略する。
【０１９０】
図１７および図１８に示す、本発明の第３実施形態の接触子１４００は、第１のプランジャ１４０１、第２のプランジャ１４０２および第３のプランジャ２０３の３つのプランジャと、付勢部材である圧縮コイルバネ１０４とを用いて構成される。このとき、第３のプランジャ２０３と、付勢部材である圧縮コイルバネ１０４は、上述した第１実施形態の接触子２００と同様の構造である。
【０１９１】
図１７および図１８の接触子１４００は、第１のプランジャ１４０１と第２のプランジャ１４０２とにおいて、互いの接触片１４０５、１４０６が同じ向きとなるよう対向配置される。そして、第３のプランジャ２０３は、その接触片２０７が第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の接触片１４０５、１４０６と反対の向きとなるよう、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の各結合部１４０８、１４０９の間に、その結合部２１０が挟持されて配置される。
【０１９２】
第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２はそれぞれ、板状のプランジャである。第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２は、互いの間で第３のプランジャ２０３を挟持し、その第３のプランジャ２０３と協働して、離間して対向配置される一方の部材（例えば、バンプ電極）と他方の部材（例えば、配線基板のコンタクトパッド）等、それらに接触する部材同士の間を電気的に導通させる。第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２は、同様の形状を有し、導電性の材料により切削加工、プレス加工等により、またはフォトリソ技術を用いたメッキ等により製作される。
【０１９３】
図１７に示すように、第１のプランジャ１４０１は、結合部１４０８と、バネ受け部１４１１と、接触片１４０５とから構成されている。第２のプランジャ１４０２は、第１のプランジャ１４０１と同様の構造を有し、図１８に示すように、結合部１４０９と、バネ受け部１４１２と、接触片１４０６とから構成される。
【０１９４】
第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２のバネ受け部１４１１、１４１２は、圧縮コイルバネ１０４を受けるための受け部である。バネ受け部１４１１、１４１２は、結合部１４０８、１４０９と接触片１４０５、１４０６との接合部分に設けられた段差である。接触片１４０５、１４０６は板状部１４２５、１４２６を有し、結合部１４０８、１４０９の幅に比べて幅を広く形成される。したがって、接触片１４０５、１４０６の結合部１４０８、１２０９側の端部が段差部分となって、これがバネ受け部１４１１、１４１２になっている。このバネ受け部１４１１、１４１２に、付勢部材である圧縮コイルバネ１０４の端部の小径部２８４が当接する。その小径部２８４の当接により、圧縮コイルバネ１０４によって、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２が、接触子１４００において弾性的に支持されるようになっている。
【０１９５】
こうした構造を有することにより、接触子１４００は、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２と、それらに挟持される第３のプランジャ２０３とを、接触片１４０５、１４０６と接触片２０７とが反対の向きとなる状態で、結合部１４０８、１４０９、２１０を重ね合わせて配置し、圧縮コイルバネ１０４により一体とすることができる。そして、各バネ受け部１４１１、１４１２の位置で圧縮コイルバネ１０４を係止して互いの間に隙間ができないように支持し、第１のプランジャ１４０１、第２のプランジャ１４０２および第３のプランジャ２０３が、互いに独立してスライド動作できるように組み立てることができる。
【０１９６】
第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２は、図１７および図１８に示すように、第３のプランジャ２０３を挟んで圧縮コイルバネ１０４により組み付けられている。第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の各結合部１４０８、１４０９が対向する状態で、第３のプランジャ２０３の結合部２１０を挟み込んでいる。これにより、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の２つのプランジャと、１つの第３のプランジャ２０３とが電気的に接続して導通された状態となる。そして、各プランジャ１４０１、１４０２、２０３が、例えば、バンプ電極とコンタクトパッドとにそれぞれ接触して、これらの間を電気的に導通させる。
【０１９７】
第１のプランジャ１４０１と第２のプランジャ１４０２は、同様の形状で構成されている。同様の形状のプランジャを対向させ構成することにより接触する部材（例えば、バンプ電極）への良好な接触を行える。第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２は、第３のプランジャ２０３を挟んだ状態で互いに独立してスライド動作するようになっている。その結果、第１のプランジャ１４０１と第２のプランジャ１４０２は、例えば、バンプ電極等、接触する部材の形状が平坦ではなく不均一な場合や、ボール形状の要に突起状の場合に、その形状に追従して電気的接触を確実に行うことができる。
【０１９８】
第１のプランジャ１４０１の接触片１４０５および第２のプランジャ１４０２の接触片１４０６は、例えば、対向する部材間の一方の部材（例えば、バンプ電極）に接触して電気的に接続するための部材である。図１７および図１８に示すように、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の接触片１４０５、１４０６は、結合部１４０８、１４０９の端部側（図１７および図１８では、上側となる。）に続いて一体的に設けられている。
【０１９９】
接触片１４０５、１４０６は、ほぼ長方形状を基本形状とする板状部１４２５、１４２６と、それより幅寸法が小さい上端部１４２７、１４２８により形成されている。板状部１４２５、１４２６の幅寸法は、後述する図１９の、接触子２００、１２００、１４００を収納するための電気的接続装置１１の上側ハウジング１７の第２支持穴１７Ａの内径よりも少し小さい寸法である。上端部１４２７、１４２８の幅寸法は、上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂを貫通する寸法である。
【０２００】
図１７および図１８に示すように、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の接触片１４０５、１４０６には、板状部１４２５、１４２６と上端部１４２７、１４２８の境に、図７および図８の第１実施形態の接触子２００の上側支持肩２２９、２３０と同様の、上側支持肩部が形成されている。
【０２０１】
図１７および図１８に示すように、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の各接触片１４０５、１４０６の上端部１４２７、１４２８の先端は、図７および図８の第１実施形態の接触片２０５、２０６と同様に、２つの突起状に形成されている。すなわち、接触片１４０５、１４０６の先端の中央がＵ字状に窪んで凹部に形成され、その両側に２つの突起１４３１、１４３２が形成されている。さらに、突起１４３１、１４３２には、図１８に示すように、テーパ面１４３３、１４３４が形成されている。これにより、２つの突起１４３１、１４３２は、２つの切っ先状に形成されている。
【０２０２】
第１のプランジャ１４０１は、図１７および図１８に示すように、その接触片１４０５の板状部１４２５の側部に切り欠き部１４２０を有する。
【０２０３】
第２のプランジャ１４０２においても、図１８に示すように、その接触片１４０６の板状部１４２６の側部に、第１のプランジャ１４０１の切り欠き部１４２０と同様の配置と大きさで、切り欠き部１４２１を有する。すなわち、第２のプランジャ１４０２の切り欠き部１４２１の、図１８の上下方向である、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２がスライド動作する方向の幅は実質的に等しい。
【０２０４】
そして、第１のプランジャ１４０１の接触片１４０５の板状部１４２５および第２のプランジャ１４０２の接触片１４０６の板状部１４２６の、切り欠き部１４２０および切り欠き部１４２１の周囲には、それらを囲むようにリング状部材１４２２が設けられている。
【０２０５】
このリング状部材１４２２は、板状体１４２５、１４２６等、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の他の部分と同様の導電性の材料によって形成することができる。そして、このリング状部材１４２２は、図１７の上下方向である、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２がスライド動作する方向の幅が、切り欠き部１４２０より小さく、また、切り欠き部１４２１よりも小さい。リング部材１４２２は、接触片１４０５、１４０６の板状体１４２５、１４２６の切り欠き部１４２０、１４２１に周囲に配置された状態で、その切り欠き部１４２０、１４２１を構成する、図１７の上下方向の両方の側部の少なくとも一方との間には、隙間が形成されている。
【０２０６】
リング状部材１４２２の寸法については、外径部の幅が接触片１４０５、１４０６の板状体１４２５、１４２６の幅より小さいことが好ましい。そして、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２が第３のプランジャ２０３を両側から挟んだ状態で、切り欠き部１４２０、１４２１の４つの隅部分が、そのリング状部材１４２２の内径部に接する状態の寸法であるか、または、若干大きくなる寸法とすることが好ましい。
【０２０７】
接触子１４００では、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の接触片１４０５、１４０６の板状体１４２５、１４２６にそれぞれ設けられた切り欠き部１４２０、１４２１およびリング状部材１４２２が、本実施形態の動作制限機構を構成する。
【０２０８】
したがって、第１のプランジャ１４０１は、上述したスライド動作をして、第２のプランジャ１４０２より、例えば、上方側に移動しようとしたときに、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の接触片１４０５、１４０６の周囲に配設されたリング状部材１４２２に引っ掛かり、係止され、所定の範囲以上にはスライド動作ができないようにされている。
【０２０９】
すなわち、第１のプランジャ１４０１は、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の接触片１４０５、１４０６の板状部１４２５、１４２６の周囲に設けられたリング状部材１４２２によって妨げられない範囲で、スライド動作できることになる。
【０２１０】
第１のプランジャ１４０１は、リング状部材１４２２に対し、その切り欠き部１４２０の上述したスライド動作方向の幅の分だけ自由にスライド動作することができる。リング状部材１４２２は、第２のプランジャ１４０２に対し、第２のプランジャ１４０２の切り欠き部１４２１の上述したスライド動作方向の幅の分だけ自由に動作することができる。したがって、第１のプランジャ１４０１は、第２のプランジャ１４０２に対し、その上方に配置される場合、その切り欠き部１４２０の上記幅の分だけ、第２のプランジャ１４０２と離間して配置されることができる。
【０２１１】
同様に、第２のプランジャ１４０２は、リング状部材１４２２に対し、その切り欠き部１４２１の上述したスライド動作方向の幅の分だけ自由にスライド動作することができる。リング状部材１４２２は、第１のプランジャ１４０１に対し、第１のプランジャ１４０１の切り欠き部１４２０の上述したスライド動作方向の幅の分だけ自由に動作することができる。したがって、第２のプランジャ１４０２は、第１のプランジャ１４０１に対し、その上方に配置される場合、その切り欠き部１４２１の上記幅の分だけ、第１のプランジャ１４０１と離間して配置されることができる。
【０２１２】
したがって、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の上述のスライド動作の動作範囲はそれぞれ、接触片１４０５、１４０６の板状部１４２５、１４２６の切り欠き部１４２０、１４２１の上述したスライド動作方向の幅によって決まることになる。
【０２１３】
より具体的には、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２は、リング状部材１４２２と接触片１４０５、１４０６の側部との間の、上述したスライド動作方向の隙間の長さの分だけ、互いに離間された配置が可能となる。その離間範囲を超えるスライド動作は、リング状部材１４２２に、ひいてはもう一方のプランジャにより止められ、もう一方のプランジャを伴ったスライド動作が必要となる。すなわち、所定の動作範囲を超えるスライド動作には、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の２つの互いに追随した動作が必要となる。
【０２１４】
また、例えば、第２のプランジャ１４０２が、図１８の下方側にスライド動作した場合、その第２のプランジャ１４０２の接触片１４０６の板状体１４２６の切り欠き部１４２１の上部側の側部は、リング状部材１４２２に引っ掛かり、係止される。それ以上、第２のプランジャ１４０２が、図１８の下方側にスライド動作した場合、第２のプランジャ１４０２は、リング状部材１４２２とともに下方側にスライド動作する。そうすると、そのリング状部材１４２２は、第１のプランジャ１４０１の接触片１４０５の板状体１４２５の切り欠き部１４２０の下方側の側部に引っ掛かり、係止される。さらに、第２のプランジャ１４０２が、リング状部材１４２２を伴って、図１８の下方側にスライド動作した場合、第１のプランジャ１２０１は、リング状部材１４２２および第２のプランジャ１４０２に追随して、下方側にスライド動作するようになる。第１のプランジャ１４０１のみが、下方側にスライド動作した場合も、同様に、第２のプランジャ１４０２が追随して、下方側にスライド動作するようになる。
【０２１５】
以上の構造の第１のプランジャ１４０１と第２のプランジャ１４０２では、上述したように、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の接触片１４０５、１４０６の板状部１４２５、１４２６の切り欠き部１４２０、１４２１の、上述したスライド動作方向（図１７および図１８の上下方向となる。）の幅およびリング状部材１４２２の幅が、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の独立したスライド動作の動作範囲を決めることになる。すなわち、その切り欠き部１４２０、１４２１の幅およびリング状部材１４２２の幅が、第１のプランジャ１４０１の接触片１４０５と第２のプランジャ１４０２の接触片１４０６との間の最大離間距離を決めることになる。
【０２１６】
より詳細には、上記組み付けがなされたときに、第１のプランジャ１４０１の接触片１４０５の切り欠き部１４２０の上下の側部と、リング状部材１４２２との間にある隙間の長さ分だけ、第１のプランジャ１４０１は、第２のプランジャ１４０２と離間するように、スライド動作ができる。同様に、第２のプランジャ１４０２の接触片１４０６の切り欠き部１４２１の上下の側部と、リング状部材１４２２との間にある隙間の長さ分だけ、第２のプランジャ１２０２は、第１のプランジャ１２０１と離間するように、スライド動作ができる。そして、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の接触片１４０５、１４０６の切り欠き部１４２０、１４２１が、第１および第２のプランジャ１４０１、１４０２のスライド動作の範囲、すなわち上述の離間距離を制限することになる。
【０２１７】
そして、第１のプランジャ１４０１の接触片１４０５および第２のプランジャ１４０２の接触片１４０６の周囲に配置されたリング状部材１４２２が、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２のスライド動作の範囲を制限することになる。
【０２１８】
このとき、第１のプランジャ１４０１の接触片１４０５の板状部１４２５の切り欠き部１４２０の、上述したスライド動作方向（図１８の上下方向）の幅は、被検査体の形状、例えば、バンプ電極の高さを考慮して決めることができる。具体的には、バンプ電極の高さより小さく設定できる。併せて、第１のプランジャ１４０１の切り欠き部１４２０の上記幅は、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の独立したスライド動作が十分に確保されることを考慮し、バンプ電極の高さの１／２以上とすることが好ましい。
【０２１９】
同様に、第２のプランジャ１４０２の接触片１４０６の板状部１４２６の切り欠き部１４２１の、上述したスライド動作方向（図１８の上下方向）の幅は、被検査体の形状、例えば、バンプ電極の高さを考慮して決めることができる。具体的には、バンプ電極の高さより小さく設定できる。併せて、第２のプランジャ１４０２の切り欠き部１４２１の上記幅は、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の独立したスライド動作が十分に確保されることを考慮し、バンプ電極の高さの１／２以上とすることが好ましい。
【０２２０】
切り欠き部１４２０、１４２１の上述したスライド動作方向（図１８の上下方向）の幅を、そのように設定することで、第１のプランジャ１４０１と第２のプランジャ１４０２の接触片１４０５、１４０６同士が離れて配置される場合の最大の離間距離を定めることができる。そして、その最大離間距離を、例えば、バンプ電極の高さより小さく設定すれば、上述した図３（ｂ）に示す接触不良の発生防止に有効となる。
【０２２１】
以上より、本実施形態の接触子１４００は、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２が、第３のプランジャ２０３を挟持した状態で、互いに独立してスライド動作するようにされ、例えば、バンプ電極等、被検査体との接触を確実なものとすることができる。一方で、接触子１４００は、第１のプランジャ１４０１の接触片１４０５の切り欠き部１４２０と第２のプランジャ１４０２の接触片１４０６対向する切り欠き部１４２１とそれら周囲のリング状部材１４２２とが協働して、各接触片１４０５、１４０６の間の動作範囲を制限する動作制限機構を構成する。
【０２２２】
その結果、本実施形態の接触子１４００は、上述した、多様な接触不良の発生を、より有効に防止することができる。
【０２２３】
次に、図１７および図１８に示す、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の結合部１４０８、１４０９は、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２と、第３のプランジャ２０３とが互いに結合される際に、第３のプランジャ２０３の結合部２１０と重ね合わされて電気的に接触するための部分である。すなわち、図１８に示すように、第３のプランジャ２０３の結合部２１０を、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の結合部１４０８、１４０９が両側から挟むように重ね合わされて、これら第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２と、第３のプランジャ２０３とを電気的に接触させるようになっている。
【０２２４】
第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２の結合部１４０８、１４０９は、上述した第２実施形態の接触子１２００の結合部１２０８、１２０９と、それぞれ同様の構造を有している。第２の実施形態の接触子１２００の結合部１２０８、１２０９の結合棒部１２８０と先端挿入部１２８１と抜け止部１２８２と同様の結合棒部と先端挿入部と抜け止部とを有することができる。
【０２２５】
以上の構造の本発明の第３実施形態の接触子１４００は、圧縮コイルバネ１０４を用いて、第１のプランジャ１４０１および第２のプランジャ１４０２が、第３のプランジャ２０３を挟持した状態で、互いに独立してスライド動作するように構成され、一方の部材と他方の部材との間の電気的接続を確実に実現することができる。一方、接触子１４００は、第１のプランジャ１４０１と第２のプランジャ１４０２の各接触片１４０５、１４０６の上端部１４２７、１４２８の突起１４３１、１４３２同士が、所定距離を超えて互いに離間しないよう、第１のプランジャ１４０１と第２のプランジャ１４０２に動作制限機構を設けて構成される。本実施形態の接触子１４００の動作制限機構は、第１のプランジャ１４０１と第２のプランジャ１４０２の接触片１４０５、１４０６にそれぞれ設けられた切り欠き部１４２０、１４２１およびその周囲に設けられたリング状部材１４２２とすることができる。そして、発生が懸念される多様な接触不良を有効に防止することができる。
【０２２６】
実施の形態４．
本発明の第４実施形態は、上述した本実施形態の接触子を用いて構成された電気的接続装置である。本実施形態の電気的接続装置は、上述した第１〜第３の実施形態の接触子２００、１２００、１４００のいずれの接触子を組込むことも可能であり、例えば、対向する部材の一方の部材と他方の部材との間の電気的接続を実現する構造を有する。
以下、第１実施形態の接触子２００を用いた電気的接続装置を例として、本発明の第４実施形態の電気的接続装置の構造について説明する。
【０２２７】
図１９は、本発明の第４実施形態の電気的接続装置の接触子装着部分を示す要部拡大断面図であり、被検査体の電極に接触していない状態を示す正面断面図と、側面断面図である。
【０２２８】
尚、図１９においては、図７および図８において示された、接触子２００の第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の結合部２０８、２０９の結合棒部２８０の凸部２２０、２２１は、便宜上、省略して示してある。
【０２２９】
電気的接続装置１１は、被検査体１２の通電試験等に用いる装置である。被検査体１２は、図１９中では本体部分が図示されないが、集積回路等の半導体デバイスである。被検査体１２は、その下側面に複数のバンプ電極１３が設けられている。このバンプ電極１３は、被検査体１２の下側面に設けられた電極である。各バンプ電極１３は、被検査体１２の下側面に、一列、複数列、マトリクス状または他の配列で備えられている。
【０２３０】
電気的接続装置１１は主に、配線基板１５と、下側ハウジング１６と、上側ハウジング１７と、フレーム１８（後述する図２０を参照のこと。）と、ガイド板１９と、接触子２００とを備えて構成されている。
【０２３１】
配線基板１５は、下側ハウジング１６、上側ハウジング１７等を支持する板状の配線基板である。この配線基板１５の配線は被検査体１２を試験するテスタ本体（図示されない）の配線に接続されている。配線基板１５は、テスタ本体側の電極を構成する部材であって、接触子２００の下端部が配線基板１５の上面に設けられたコンタクトパット２２に接触して電気的に導通される。
【０２３２】
下側ハウジング１６は、上側ハウジング１７と合わされた状態で接触子２００を支持するための部材である。下側ハウジング１６には、接触子２００の下端部が挿入される第１支持穴１６Ａが接触子２００の外径よりも少し大きい径で設けられている。この第１支持穴１６Ａは、被検査体１２の下面の各バンプ電極１３に対応した位置にそれぞれ設けられている。第１支持穴１６Ａ内には、接触子２００を受けて支持する下側受け部１６Ｂが形成されている。下側受け部１６Ｂは、第１支持穴１６Ａの下端部の内径を小さくして形成されている。この下側受け部１６Ｂに接触子２００の上述した図１０の第３のプランジャ２０３の下側支持肩部２７３が引っ掛かり、接触子２００の下端部が貫通するように下側受け部１６Ｂの内径が設定されている。この下側受け部１６Ｂに接触子２００の下側支持肩部２７３が引っ掛かることで、接触子２００が下側受け部１６Ｂで支持されるようになっている。
【０２３３】
下側ハウジング１６は、配線基板１５の上側に重ねられている。配線基板１５の上側面には、第１支持穴１６Ａに対応する位置にテスタ本体に配線で接続されたコンタクトパッド２２が設けられている。各コンタクトパッド２２には、第１支持穴１６Ａに挿入された接触子２００の第３のプランジャの接触片２０７の先端部２４１が押圧され電気的に接触される。
【０２３４】
上側ハウジング１７は、下側ハウジング１６と協働して、接触子２００の全体を支持するための部材である。上側ハウジング１７は、下側ハウジング１６に重ねられて、この下側ハウジング１６と上側ハウジング１７とで、接触子２００を自由に伸縮できる状態で支持するようになっている。上側ハウジング１７には、下側ハウジング１６の第１支持穴１６Ａに対応する位置に、第２支持穴１７Ａが設けられている。この第２支持穴１７Ａは、第１支持穴１６Ａの上側開口と同じ内径（接触子２００の外径よりも少し大きい径）に形成されて、内部に接触子２００をスライド動作可能に収納して支持する。第２支持穴１７Ａは、被検査体１２の下側面に備えられた各バンプ電極１３に対応する位置にそれぞれ設けられて、各接触子２００の上端部が各バンプ電極１３に電気に接触させるようになっている。
【０２３５】
第２支持穴１７Ａ内には、接触子２００を上側から支持する上側受け部１７Ｂが形成されている。この上側受け部１７Ｂは、第２支持穴１７Ａの上端部の内径を小さくして形成されている。この上側受け部１７Ｂに、上述した図７、図８の接触子２００の上側支持肩部２２９、２３０がひっかかり、接触子２００の上端部が貫通することで、接触子２００が上側受け部１７Ｂで支持されるように、上側受け部１７Ｂの内径が設定されている。
【０２３６】
そして、第１支持穴１６Ａと第２支持穴１７Ａとで、接触子２００全体を受け入れて支持する接触子支持穴２７が構成されている。接触子２００が、接触子支持穴２７に受け入れられた状態で、接触子２００は予圧が掛かった状態（縮んだ状態）にあり、接触子２００の第３のプランジャの接触片２０７の先端部２４１は配線基板１５の上面に設けられたコンタクトパット２２を押圧した状態になる。
【０２３７】
図２０は、本発明の第４実施形態の電気的接続装置の平面図である。
【０２３８】
フレーム１８は、図１９の配線基板１５、下側ハウジング１６および上側ハウジング１７を一体的に固定して支持すると共に、ガイド板１９を上下動可能に支持するための部材である。フレーム１８は、外枠部３１と、固定用フランジ部３２と、上下動支持用フランジ部３３とから構成されている。
【０２３９】
外枠部３１は、図１９の下側ハウジング１６、上側ハウジング１７およびガイド板１９の周縁部を囲うように、四角形の枠体状に形成されている。外枠部３１の下側面には、位置決め用ピンまたは位置決め用穴（いずれも図示されない）が設けられ、配線基板１５の上側面には、外枠部３１側の位置決め用ピンまたは位置決め用穴に対応して、位置決め用穴または位置決め用ピン（いずれも図示されない）が設けられている。これにより、外枠部３１の下側面の位置決め用ピンまたは位置決め用穴が、配線基板１５の上側面の位置決め用穴または位置決め用ピンに嵌り合って、外枠部３１と配線基板１５とが正確に位置決めされて支持されるようになっている。外枠部３１の四隅には、固定ネジ３５が取り付けられている。この固定ネジ３５は、外枠部３１の四隅の貫通穴（図示されない）を介して配線基板１５のネジ穴（図示されない）にねじ込まれて、これら外枠部３１と配線基板１５とを固定している。
【０２４０】
固定用フランジ部３２は、四角形の外枠部３１の開口部の対向する辺（枠）の内側面に、互いに対向して２つ設けられている。各固定用フランジ部３２は、互いに内側へ水平に伸びた、ほぼ半円板状に形成されている。各固定用フランジ部３２の下面の高さ（配線基板１５からの高さ）は、図１９の下側ハウジング１６および上側ハウジング１７を重ねた高さとほぼ同じ値に設定されている。これにより、配線基板１５上に重ねられた下側ハウジング１６および上側ハウジング１７を、各固定用フランジ部３２と配線基板１５とで挟んで支持するようになっている。具体的には、固定用フランジ部３２の下に上側ハウジング１７と下側ハウジング１６を入れた時に、下側ハウジングの下面が外枠部３１の下面と同じになる。
【０２４１】
図２１は、本発明の第４実施形態の電気的接続装置のＡ−Ａ’線に沿った断面図である。
【０２４２】
上下動支持用フランジ部３３は、ガイド板１９を上下動可能にフレーム１８の開口内に支持するための部分である。上下動支持用フランジ部３３は、四角形の枠体状のフレーム１８の開口部の四隅にそれぞれ形成されている。各上下動支持用フランジ部３３は、板部４２と、ガイドネジ穴４３と、スプリング穴４４とから構成されている。
【０２４３】
板部４２は、フレーム１８の外枠部３１の四隅に斜めに架け渡された板材である。板部４２の下側面の高さは、固定用フランジ部３２の下側面と同じ高さになるように設定されている。板部４２の上側面の高さは、この板部４２の上側面とガイド板１９のフランジ部５４の下側面とが互いに当接することで、被検査体１２のバンプ電極１３と接触子２００の上端部とが最適に接触するように設定されている。具体的には、被検査体１２のバンプ電極１３と接触子２００の上端部とが接触して、接触子２００が押し縮められる状態になるように、板部４２の上側面の高さが設定されている。
【０２４４】
板部４２には、ガイドネジ穴４３とスプリング穴４４とが設けられている。ガイドネジ穴４３は、ガイドネジ４６をねじ込むためのネジ穴である。このガイドネジ穴４３は、各板部４２の中央に１つ設けられている。スプリング穴４４は、スプリング４７を支持するための穴である。このスプリング穴４４は、各ガイドネジ穴４３の両側に２つずつ設けられている。
【０２４５】
ガイドネジ４６は、ガイド板１９のフレーム１８の開口内における位置決めをして、かつガイド板１９の上下動を許容するためのネジである。ガイドネジ４６は、頭部４８と、ガイド部４９と、ネジ棒部５０とから構成されている。頭部４８は、ガイド板１９を抑えて抜け落ちを防止する部分である。頭部４８の上側面には、マイナスドライバーが嵌合するマイナス溝５１が形成されている。
【０２４６】
ガイド部４９は、ガイド板１９の上下動を案内する部分である。ガイド部４９は、頭部４８とネジ棒部５０との間に設けられ、ガイド板１９のガイド穴５９に嵌合して、ガイド板１９の上下動を案内する。ガイド部４９の長さ（高さ）は、その頭部４８の下面がガイド板１９と接触して支持された状態（ガイド板１９が、スプリング４７で押し上げられた状態）で、接触子２００の上端部が、ガイド板１９の縮小部５７に受け入れられるように（図１９に示す状態になるように）、設定されている。
【０２４７】
スプリング４７は、ガイド板１９を弾性的に支持するための部材である。スプリング４７は、板部４２のスプリング穴４４に装着されて、ガイド板１９のフランジ部５４の裏面に当接されている。これにより、合計８本のスプリング４７が、４本のガイドネジ４６のガイド部４９に上下動可能に支持されたガイド板１９を下側から付勢している。これにより、ガイド板１９のフランジ部５４がガイドネジ４６の頭部４８の下面に接触するまで上方へ押し上げられて、コンタクト前の待機状態になっている。
【０２４８】
ガイド板１９は、被検査体１２を電気的接続装置１１に装着する際に、この被検査体１２を位置決めして支持すると共に、被検査体１２の各バンプ電極１３と各接触子２００とを整合させるための部材である。ガイド板１９は、受入凹部５３と、フランジ部５４とから構成されている。
【０２４９】
受入凹部５３は、被検査体１２を受け入れて支持する部分である。受入凹部５３は、ほぼ四角形の皿状に形成されている。受入凹部５３の内側底部は、四角形に形成され、その寸法は被検査体１２よりも僅かに大きく設定されている。尚、ここでは、被検査体１２が四角形のために、受入凹部５３の内側底部も四角形に形成されているが、被検査体１２が他の形状の場合は、受入凹部５３の内側底部も被検査体１２に合わせた形状になる。
【０２５０】
これにより、被検査体１２が受入凹部５３の内側底部に装着された状態で、被検査体１２の位置決めがなされるようになっている。受入凹部５３の底板部５５には、図１９に示した、多数のガイド穴５６が設けられている。このガイド穴５６は、被検査体１２の各バンプ電極１３を案内して受け入れるための開口部である。各ガイド穴５６は、バンプ電極１３よりも僅かに大きく形成され、バンプ電極１３を容易に受け入れられるようになっている。すなわち、被検査体１２が受入凹部５３に受け入れられることで、被検査体１２の各バンプ電極１３が、各ガイド穴５６にその上側から容易に嵌り込むことができるようになっている。
【０２５１】
ガイド穴５６の下端部には、図１９に示すように、バンプ電極１３を通さず、接触子２００の第１のプランジャの接触片２０５の上端部および第２のプランジャの接触片２０６の上端部を受け入れる縮小部５７が形成されている。この縮小部５７は、接触子２００の第１のプランジャおよび第２のプランジャの接触片２０５、２０６の上端部を受け入れると共に貫通させるようにし、接触子２００がバンプ電極１３と接触することを可能にする。
【０２５２】
図２０および図２１に示すように、受入凹部５３の上側開口５３Ａの下側には、傾斜面５３Ｂが形成されている。この傾斜面５３Ｂは、被検査体１２を案内して受入凹部５３の底部に導くための面である。
【０２５３】
図２１に示すフランジ部５４は、受入凹部５３の４角の、フレーム１８の上下動支持用フランジ部３３に対応する位置に形成されている。各フランジ部５４には、ガイドネジ４６の頭部４８が当接するザグリ部５８が設けられている。このザグリ部５８には、ガイドネジ４６のガイド部４９に上下動可能に嵌合するガイド穴５９が設けられている。これにより、受入凹部５３のガイド穴５９がガイドネジ４６のガイド部４９に嵌合して上下動可能にされ、スプリング４７でガイド板１９が上方へ付勢されている。この状態で、被検査体１２を受入凹部５３に装着して下方へ押すことで、ガイド板１９が押し下げられ、被検査体１２のバンプ電極１３と、接触子２００の上端部が接触して検査が行われるようになっている。
【０２５４】
以上の構造の電気的接続装置１１であるが、以下のようにして使用することができる。
【０２５５】
まず、電気的接続装置１１に被検査体１２が装着される。このとき、被検査体１２は、ガイド板１９の受入凹部５３に装着される。すなわち、被検査体１２は、上側開口５３Ａの傾斜面５３Ｂに沿って位置決めされながら底板部５５に装着される。これにより、図１９に示すように、被検査体１２のバンプ電極１３が底板部５５のガイド穴５６に受け入れられる。また、接触子２００の接触片２０５、２０６の上端部は、縮小部５７に受け入れられている。
【０２５６】
この状態で、被検査体１２が押し下げられると、各バンプ電極１３が接触子２００の第１のプランジャおよび第２のプランジャの接触片２０５、２０６の各突起に接触して、各接触子２００が押し縮められる。
【０２５７】
接触子２００の第１のプランジャおよび第２のプランジャの接触片２０５、２０６の上端部の各突起がバンプ電極１３に接触しようとする時、図５および図６に示される突起２３１、２３２はバンプ電極１３の球面上を円周方向に滑ろうとして、互いに相離れる方向へ移動する力が働く。各結合棒部２６９、２８０が圧縮コイルバネ１０４の小径部２８４に支持されていることとあいまって、その力は、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の突起２３１、２３２とは反対側に位置する結合部２０８、２０９、特に先端挿入部２８１を、第３のプランジャ２０３に押しつける力として作用する。これにより、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２と、第３のプランジャ２０３との間が、相対的に押し付けられながら擦れて滑り、電気的に確実に接触される。さらにこのとき、圧縮コイルスバネ１０４はその両端の小径部２８４が、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２のバネ受け部２１１、２１２と、第３のプランジャ２０３のバネ受け部２６７とにそれぞれ圧接して、これらの間も電気的に確実に接触される。
【０２５８】
また、第１のプランジャ２０１、第２のプランジャ２０２および第３のプランジャ２０３は、それぞれ独立してスライド動作するようになっているため、バンプ電極１３が変形している場合等、第１のプランジャ２０１および第２のプランジャ２０２の突起２３１、２３２の接触部分の高さが違う場合でも、２つのプランジャがその形状に追随してずれながら接触し、電気的に確実に接触する。
【０２５９】
さらに、例えば、上述した図３（ｂ）の場合のように、第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２とが、被検査体１２のバンプ電極１３から水平方向にずれて配置され、第１のプランジャ２０１のみがバンプ電極１３に接触し、第２のプランジャ２０２がそれに接触しないことも発生し得る。
【０２６０】
その場合、第１のプランジャ２０１が、下方側（例えば、図６および図１９の下方側となる。）にスライド動作し、そのバネ受け部２１１を用いて圧縮コイルバネ１０４を押圧し、圧縮コイルバネ１０４を圧縮する。すると、圧縮された圧縮コイルバネ１０４は、その小径部２８４が、第２のプランジャ２０２の結合棒部２８０の凸部２２１を下方側に向けて押圧することになる。すなわち、圧縮コイルバネ１０４はその小径部２８４によって、バンプ電極１３に接触しない第２のプランジャ２０２を、図６および図１９の下方側に押圧することになる。その結果、第２のプランジャ２０２の独立したスライド動作は第１のプランジャ２０１によって制限される。そして、第１のプランジャ２０１と第２のプランジャ２０２とにおいては、一方のスライド動作に他方が追随し、被検査体１２の本体部分に第２のプランジャ２０２が接触することは抑制される。すなわち、図３（ｂ）に示した、接触不良の発生を有効に防止することができる。
【０２６１】
尚、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々変形して実施することができる。
【産業上の利用可能性】
【０２６２】
本発明の接触子は、被検査体に対して正確な電気的な接触を行うことができ、例えば、配線基板や半導体集積回路に備えられた電極に接触される装置全般に用いることができる。
【０２６３】
また、本発明の電気的接続装置によれば、接触子が被検査体の電極以外に接触することを防止できるので、長寿命化を実現することができる。したがって、本発明の電気的接続装置は、検査工程の効率向上、ひいては生産性の向上が強く求められる民生用の電子機器に用いられる半導体装置の検査に特に有効である。
【符号の説明】
【０２６４】
１１    電気的接続装置
１２    被検査体
１３    バンプ電極
１５    配線基板
１６    下側ハウジング
１６Ａ    第１支持穴
１６Ｂ    下側受け部
１７    上側ハウジング
１７Ａ    第２支持穴
１７Ｂ    上側受け部
１８    フレーム
１９    ガイド板
２２    コンタクトパッド
２７    接触子支持穴
３１    外枠部
３２    固定用フランジ部
３３    上下動指示用フランジ部
３５    固定ネジ
４２    板部
４３    ガイドネジ穴
４４    スプリング穴
４６    ガイドネジ
４７    スプリング
４８    頭部
４９    ガイド部
５０    ネジ棒部
５１    マイナス溝
５３    受入凹部
５３Ａ    上側開口
５３Ｂ    傾斜面
５４    フランジ部
５５    底板部
５６、５９    ガイド穴
５７    縮小部
５８    ザグリ部
１００、２００、１２００、１４００、２０００    接触子
１０１、２０１、１２０１、１４０１    第１のプランジャ
１０２、２０２、１２０２、１４０２    第２のプランジャ
１０３、２０３    第３のプランジャ
１０４    圧縮コイルバネ
１０５、１０６、１０７、２０５、２０６、２０７、１２０５、１２０６、１４０５、１４０６    接触片
１０８、１０９、１１０、２０８、２０９、２１０、１２０８、１２０９、１４０８、１４０９    結合部
１１１、１１２、２１１、２１２、２６７、１２１１、１２１２、１４１１、１４１２    バネ受け部
１２０    被検査体
１２１    バンプ電極
２２０、２２１、１２２０、１２２１    凸部
２２５、２２６、２４０、１２２５、１２２６、１４２５、１４２６    板状部
２２７、２２８、１２２７、１２２８、１４２７、１４２８    上端部
２２９、２３０、１２２９、１２３０    上側支持肩部
２３１、２３２、１２３１、１２３２、１４３１、１４３２    突起
２３３、２３４、１２３３、１２３４、１４３３、１４３４    テーパ面
２４１    先端部
２６９、２８０、１２８０    結合棒部
２７０、２８１、１２８１    先端挿入部
２７１、２８２、１２８２    抜け止部
２７３    下側支持肩部
２８４    小径部
１２２２、１２２３、１４２０、１４２１    切り欠き部
１４２２    リング状部材
２００１    プランジャ
２００２    コイルバネユニット
２００４    端子部
２００５    幅広部
２００５ａ    上段部
２００５ｂ    下段部
２００７    心棒部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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