(57)【要約】【課題】  本発明の課題は、トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造において、煩雑さを限りなく低減させ、短時間、かつ高収率でトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を取得する、工業的に好適なトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造方法を提供することである。【解決手段】  本発明の課題は、トリハロゲノアルミニウムと、アルカリ金属（ジアルキルアミド）とを、有機溶媒中で反応させ、次いで、得られた反応液を４０〜１４０℃に加熱した後に濾過して、トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を取得することを特徴とする、トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造方法により解決される。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
一般式（２）
【化１】
2014214151.tif 000009
（式中、Ｘはハロゲン原子を示す。）
で示されるトリハロゲノアルミニウムと、一般式（３）
【化２】
2014214151.tif 000010
（式中、Ａはアルカリ金属原子を示し、Ｒは炭素原子数１〜６の直鎖状のアルキル基を示し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は同一でも異なっていてもよく、それぞれ互いに独立に、水素原子、又は炭素原子数１〜６の直鎖状又は分岐状のアルキル基を示すか、または、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は互いに結合して環を形成している。但し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のうち２つ以上が水素原子である場合を除く。）
で示されるアルカリ金属（ジアルキルアミド）とを、有機溶媒中で反応させ、次いで、得られた反応液を４０〜１４０℃に加熱した後に濾過して、一般式（１）
【化３】
2014214151.tif 000011
（式中、Ｒ、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は前記と同義である。なお、３つのジアルキルアミド配位子は同一でも異なっていてもよい。）
で示されるトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を取得することを特徴とする、トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法で得られたトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を、更に、精留塔を用いて蒸留を行う、アルカリ金属原子が低減されたトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造方法。
【請求項３】
一般式（２）
【化４】
2014214151.tif 000012
（式中、Ｘはハロゲン原子を示す。）
で示されるトリハロゲノアルミニウムと、一般式（３）
【化５】
2014214151.tif 000013
（式中、Ａはアルカリ金属原子を示し、Ｒは炭素原子数１〜６の直鎖状のアルキル基を示し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は同一でも異なっていてもよく、それぞれ互いに独立に、水素原子、又は炭素原子数１〜６の直鎖状又は分岐状のアルキル基を示すか、または、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は互いに結合して環を形成している。但し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のうち２つ以上が水素原子である場合を除く。）
で示されるアルカリ金属（ジアルキルアミド）とを有機溶媒中で反応させ、次いで、反応で用いた有機溶媒を除去し、更に、新たに有機溶媒を加えて得られた溶液を４０〜１４０℃に加熱した後に濾過して、一般式（１）
【化６】
2014214151.tif 000014
（式中、Ｒ、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は前記と同義である。なお、３つのジアルキルアミド配位子は同一でも異なっていてもよい。）
で示されるトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を取得することを特徴とする、請求項１記載のトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造方法。
【請求項４】
請求項３記載の方法で得られたトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を、更に、精留塔を用いて蒸留を行う、アルカリ金属原子が低減されたトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、アルミニウム含有薄膜製造用のアルミニウム化合物としては、例えば、アルキルアルミニウム、水素化アルミニウム、アルミニウムアミド、アルミニウムアルコキシド、アルミニウムジケトナート等の様々な種類のアルミニウム化合物が検討されている（例えば、特許文献１〜３参照）。その中でも、トリメチルアルミニウムや水素化アルミニウム、その類縁化合物が主に使用されている。
そのような中、本発明者らは、上記問題点を解決した、簡便な方法によって、成膜対象物上にアルミニウム含有薄膜を製造することができる、工業的に好適なトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を見出した（例えば、特許文献４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００６−５２６７０５号公報
【特許文献２】特許第４７１６１９３号公報
【特許文献３】特開２００７−１３８２９６号公報
【特許文献４】ＰＣＴ／ＪＰ２０１２／０７８３９９（未公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のアルミニウム化合物は、蒸気圧、熱安定性、反応性等の物性がアルミニウム含有薄膜の製造において必ずしも最適ではなく、アルミニウム含有薄膜を製造するための十分なアルミニウム化合物とは言い難かった。また、最も採用されているトリメチルアルミニウムは自然発火性であるため非常に危険であり、取扱いが難しいという問題もある。そのため、蒸気圧、熱安定性、反応性、安全性等のいずれも満足させるアルミニウム化合物が求められていた。
【０００５】
一方で、本発明者らが発明したトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物においては、より製造工程の煩雑さをなくすことが求められていた。
【０００６】
本発明の課題は、即ち、トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造において、煩雑さを限りなく低減させ、短時間、かつ高収率でトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を取得する、工業的に好適なトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の課題は、一般式（２）
【０００８】
【化１】
2014214151.tif 000002
【０００９】
（式中、Ｘはハロゲン原子を示す。）
で示されるトリハロゲノアルミニウムと、一般式（３）
【００１０】
【化２】
2014214151.tif 000003
【００１１】
（式中、Ａはアルカリ金属原子を示し、Ｒは炭素原子数１〜６の直鎖状のアルキル基を示し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は同一でも異なっていてもよく、それぞれ互いに独立に、水素原子、又は炭素原子数１〜６の直鎖状又は分岐状のアルキル基を示すか、または、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は互いに結合して環を形成している。但し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のうち２つ以上が水素原子である場合を除く。）
で示されるアルカリ金属（ジアルキルアミド）とを反応させ、次いで、得られた反応液を４０〜１４０℃に加熱した後に濾過して、一般式（１）
【００１２】
【化３】
2014214151.tif 000004
【００１３】
（式中、Ｒ、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は前記と同義である。なお、３つのジアルキルアミド配位子は同一でも異なっていてもよい。）
で示されるトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を取得する、トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造方法によって解決される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明により、トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造において、煩雑さを限りなく低減させ、短時間、かつ高収率でトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を取得する、工業的に好適なトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造方法を提供することができる。また、不純物であるＬｉ量の混入量を少ない蒸留回数で達成することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明のトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物は、前記の一般式（１）で示される。
その一般式（１）において、Ｒはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基等の炭素原子数１〜６の直鎖状のアルキル基を示す。Ｒとしては、炭素原子数１〜４の直鎖状のアルキル基が好ましく、炭素原子数１〜２の直鎖状のアルキル基（メチル基、エチル基）がより好ましい。
【００１６】
Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は同一でも異なっていてもよく、それぞれ互いに独立に、水素原子、又はメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｔ−ブチル基、ｔ−ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基等の炭素原子数１〜６の直鎖状又は分岐状のアルキル基を示す。また、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は互いに結合して環を形成していても良く、形成される環としては、シクロプロピル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基が好ましく、シクロプロピル基、シクロペンチル基が特に好ましい。但し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のうち２つ以上が同時に水素原子である場合を除く。Ｒ１、Ｒ２及びＲ３としては、水素原子、又は炭素原子数１〜６の直鎖状又は分岐状のアルキル基が好ましく、水素原子、又は炭素原子数１〜３の直鎖状又は分岐状のアルキル基がより好ましく、水素原子、又は炭素原子数１〜２のアルキル基（メチル基、エチル基）がより好ましく、水素原子、又はメチル基が特に好ましい。但し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のうち少なくとも２つはアルキル基である。
【００１７】
なお、３つのジアルキルアミド配位子
【００１８】
【化４】
2014214151.tif 000005
【００１９】
の一部又は全部がそれぞれ異なっていても良い。
【００２０】
本発明の好ましい態様としては、Ｒが炭素原子数１〜４の直鎖状のアルキル基、より好ましくは炭素原子数１〜２の直鎖状のアルキル基であり、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３が水素原子、又は炭素原子数１〜３の直鎖状又は分岐状のアルキル基、より好ましくは水素原子、又は炭素原子数１〜２のアルキル基、特に好ましくは水素原子、又はメチル基である（但し、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のうち２つ以上が同時に水素原子である場合を除く。）。
【００２１】
本発明のアルミニウム化合物としては、例えば、以下の式（６）〜（３７）で示される化合物が挙げられる。
【００２２】
【化５】
2014214151.tif 000006
【００２３】
【化６】
2014214151.tif 000007
【００２４】
本発明のトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の合成は、以下の方法（以下、本発明の反応と称することもある。）によって行うことができる。
【００２５】
【化７】
2014214151.tif 000008
【００２６】
（式中、Ｒ、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は前記と同義であり、Ｘはハロゲン原子、Ａはアルカリ金属原子を示す。［Ａ］はアルカリ金属またはアルカリ金属化合物を示す。）
【００２７】
本発明の反応は、ジアルキルアミンと、アルカリ金属またはアルカリ金属化合物とからアルカリ金属（ジアルキルアミド）（以下、ジアルキルアミド化合物と称することもある。）を合成し、このアルカリ金属（ジアルキルアミド）と、トリハロゲノアルミニウムとを反応させて、本発明のトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を合成する方法である。
【００２８】
本発明の反応において使用するジアルキルアミンは、前記の一般式（４）で示される。その一般式（４）において、Ｒ、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ、式（１）中のＲ、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３に対応し、前記と同義である。
【００２９】
本発明の反応において使用するジアルキルアミンとしては、好ましくはメチルイソプロピルアミン、エチルイソプロピルアミン、ｎ−プロピルイソプロピルアミン、ｎ−ブチルイソプロピルアミン、メチル−ｔ−ブチルアミン、エチル−ｔ−ブチルアミン、ｎ−プロピル−ｔ−ブチルアミン、ｎ−ブチル−ｔ−ブチルアミン、メチル−ｓ−ブチルアミン、エチル−ｓ−ブチルアミン、ｎ−プロピル−ｓ−ブチルアミン、ｎ−ブチル−ｓ−ブチルアミン、メチル−ｔ−アミルアミン、エチル−ｔ−アミルアミン、ｎ−プロピル−ｔ−アミルアミン、ｎ−ブチル−ｔ−アミルアミン等が用いられ、更に好適にはメチルイソプロピルアミン、エチルイソプロピルアミン、ｎ−プロピルイソプロピルアミン、メチル−ｔ−ブチルアミン、エチル−ｔ−ブチルアミン、ｎ−プロピル−ｔ−ブチルアミン、メチル−ｓ−ブチルアミン、エチル−ｓ−ブチルアミン、ｎ−プロピル−ｓ−ブチルアミンが用いられる。
【００３０】
本発明の反応において合成するアルカリ金属（ジアルキルアミド）は、前記の一般式（３）で示される。その一般式（３）において、Ａはリチウム原子、ナトリウム原子等のアルカリ金属原子を示す。
【００３１】
本発明の反応において使用するアルカリ金属またはアルカリ金属化合物としては、例えば、メチルリチウム、エチルリチウム、ｎ−ブチルリチウム、ｓ−ブチルリチウム、ｔ−ブチルリチウム、金属ナトリウム、水素化ナトリウム等が挙げられるが、好ましくはｎ−ブチルリチウムが使用される。
なお、アルカリ金属またはアルカリ金属化合物の代わりに、マグネシウムのようなアルカリ土類金属またはアルカリ土類金属化合物、例えば、ジエチルマグネシウム、エチルブチルマグネシウム、ジブチルマグネシウムなどを使用することもできる。
【００３２】
前記アルカリ金属またはアルカリ金属化合物の使用量は、ジアルキルアミン１モルに対して、好ましくは０．４〜１．４モル、更に好ましくは０．６〜１．２モルである。
【００３３】
本発明の反応では、ジアルキルアミンと、アルカリ金属またはアルカリ金属化合物とから前記の一般式（３）で示されるジアルキルアミド化合物を合成し、合成したジアルキルアミド化合物と、トリハロゲノアルミニウムとを反応させて、本発明のトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を合成する。
なお、アルカリ金属またはアルカリ金属化合物の代わりに、マグネシウムのようなアルカリ土類金属またはアルカリ土類金属化合物を使用してジアルキルアミド化合物（２つのジアルキルアミドが結合したアルカリ土類金属）を合成して反応させても良い。
【００３４】
本発明の反応において使用するトリハロゲノアルミニウムは、前記の一般式（２）で示される。その一般式（２）において、Ｘはフッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン原子を示すが、好ましくは塩素原子である。即ち、使用するトリハロゲノアルミニウムとしては、塩化アルミニウムが好ましい。
【００３５】
前記トリハロゲノアルミニウムの使用量は、ジアルキルアミド化合物１モルに対して、好ましくは０．１〜０．６モル、更に好ましくは０．１〜０．４モルである。
【００３６】
本発明の反応は、有機溶媒中で行うことが望ましい。使用される有機溶媒としては反応を阻害しないものならば特に限定されないが、例えば、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジメトキシエタン、ジオキサン、シクロペンチルメチルエーテル、t−ブチルメチルエーテル、４−メチルテトラヒドロピラン等のエーテル類；ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類が挙げられるが、好ましくはエーテル類、脂肪族炭化水素類、エーテル類と脂肪族炭化水素類との混合溶媒が使用される。なお、これらの有機溶媒は単独又は二種以上を混合して使用しても良い。
【００３７】
前記有機溶媒の使用量は、トリハロゲノアルミニウム１ｇに対して、好ましくは１〜１００ｇ、更に好ましくは５〜５０ｇである。
【００３８】
本発明の反応は、例えば、ジアルキルアミン、アルカリ金属またはアルカリ金属化合物、及び有機溶媒を混合し、攪拌しながら反応させてジアルキルアミド化合物を合成し、次いでトリハロゲノアルミニウムを加えて、更に攪拌しながら反応させる等の方法によって行われる。その際の反応温度は、好ましくは−１００〜１００℃、更に好ましくは−８０〜４０℃であり、反応圧力は特に制限されない。なお、ジアルキルアミド化合物は、トリハロゲノアルミニウムとの反応前に、一旦単離しても、上記のように単離せず、反応液をそのまま使用しても良く、又、適宜有機溶媒を変更、除去および／または追加しても良い。
【００３９】
反応終了後、得られた反応液を４０〜１４０℃に加熱した後に濾過することにより、短時間、かつ高収率でトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を取得することができる。なお、反応で用いた有機溶媒を除去し、更に、新たな有機溶媒を加えた上で加熱した後に濾過することでも（即ち、加熱前に溶媒置換する）、短時間、かつ高収率でトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を製造することができる。
【００４０】
前記新たな有機溶媒としては、例えば、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジメトキシエタン、ジオキサン、シクロペンチルメチルエーテル、t−ブチルメチルエーテル、４−メチルテトラヒドロピラン等のエーテル類；ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類が挙げられるが、好ましくはエーテル類、脂肪族炭化水素類、エーテル類と脂肪族炭化水素類との混合溶媒が使用される。なお、これらの有機溶媒は単独又は二種以上を混合して使用しても良い。
【００４１】
本発明の反応により目的物であるトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物が得られる。反応終了後、合成したトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物は、抽出、濾過、濃縮、蒸留、昇華、再結晶、カラムクロマトグラフィー等の公知の方法によって単離・精製されるが、より不純物が少ない目的物を得るためには、精留塔を用いて蒸留を行う。ここで、精留塔とは、気液の接触面積が大きくなるような構造を持ち、気化→揮発性成分の増加→液化→再気化→揮発性成分の増加→液化というサイクルを塔内で効率よく起こさせることにより分離の性能を向上させた蒸留塔を示す。
【００４２】
なお、本発明の目的物であるトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物、及びその製造原料であるアルミニウム化合物は、大気中の水分や酸素に対して不安定な場合が多いため、無水条件下や不活性ガス条件下にて、反応操作や反応液の後処理等を行うことが望ましい。
【実施例】
【００４３】
次に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではない。なお、加圧ろ過における加圧の程度は、実施例、比較例の全てにおいて同じである。
【００４４】
実施例１（トリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム（化合物（１４））の合成）
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積１Ｌのフラスコに、１５．６６％ブチルリチウム／へキサン溶液５２６．０ｇ（１．２９ｍｏｌ）を加えて冷却した。ここにメチル−ｔ−ブチルアミン１１９．２ｇ（１．３７ｍｏｌ）を内温が５〜１０℃になるようにゆるやかに滴下した。続けて、シクロペンチルメチルエーテル６０ｍｌを加えて、室温で３０分攪拌した後、濃縮をした。ここにシクロペンチルメチルエーテル１８０ｍｌを加え、次いで、シクロペンチルメチルエーテル２４０ｍｌに溶解した無水塩化アルミニウム５５．７６ｇ（０．４１８ｍｏｌ）を水冷下でゆるやかに滴下して室温で３０分反応させた。
反応終了後、得られた反応液を９６〜９７℃で２時間加熱した。これを冷却し、加圧ろ過を５分行った。ろ過残物をヘキサンで洗浄して、全てのろ液を濃縮した。濃縮物を減圧蒸留（１１０℃、８９Ｐａ）して、白色固体のトリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム１０９．５ｇ得た（単離収率；９１．７％）。ＩＣＰでＬｉ量を測定した結果、１３ｐｐｍであった。
このトリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウムを、精留塔を用いて減圧蒸留（１１０℃、４０〜１０７Ｐａ）したところ、Ｌｉ量は１ｐｐｍ以下（ＩＣＰ分析による検出限界以下）に低減した。
なお、トリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウムの物性値は以下の通りであった。
【００４５】
１Ｈ−ＮＭＲ（Ｃ６Ｈ６，δ（ｐｐｍ））；１．２２（２７Ｈ，ｓ）、２．５８（９Ｈ，ｓ）
融点；４５〜５０℃
自然発火性（温度２２℃、湿度５０％の空気中）；自然発火なし
蒸気圧（８０℃）；１．１ｔｏｒｒ
【００４６】
実施例２（トリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム（化合物（１４））の合成）
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積１Ｌのフラスコに、１５．６６％ブチルリチウム／へキサン溶液５４９．９ｇ（１．３４ｍｏｌ）を加えて冷却した。ここにメチル−ｔ−ブチルアミン１３１．５ｇ（１．５１ｍｏｌ）を内温が５〜１０℃になるようにゆるやかに滴下した。続けて、シクロペンチルメチルエーテル５５ｍｌを加えて、室温で３０分攪拌した後、濃縮をした。ここにシクロペンチルメチルエーテル２００ｍｌを加え、次いで、シクロペンチルメチルエーテル２５５ｍｌに溶解した無水塩化アルミニウム５８．４３ｇ（０．４３８ｍｏｌ）を水冷下でゆるやかに滴下して室温で３０分反応させた。
反応終了後、得られた反応液にデカン１５５ｍｌ加えて濃縮した後に、ヘキサン５００ｍｌを加えて７７℃で２時間加熱した。これを冷却し、加圧ろ過を１０分行った。ろ過残物をヘキサンで洗浄して、全てのろ液を濃縮した。濃縮物を減圧蒸留（１１０℃、１９Ｐａ）して、白色固体のトリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム１１２．０ｇ得た（単離収率；８９．５％）。ＩＣＰでＬｉ量を測定した結果、１３ｐｐｍであった。
このトリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウムを、精留塔を用いて減圧蒸留（１１０℃、４０〜１０７Ｐａ）したところ、Ｌｉ量は１ｐｐｍ以下（ＩＣＰ分析による検出限界以下）に低減した。
【００４７】
比較例１（トリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム（化合物（１４））の合成）
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積１Ｌのフラスコに、１５．７０％ブチルリチウム／へキサン溶液３４６．６ｇ（０．８５ｍｏｌ）を加えて冷却した。ここにメチル−ｔ−ブチルアミン８３．２ｇ（０．９６ｍｏｌ）を内温が５〜１０℃になるようにゆるやかに滴下した。続けて、シクロペンチルメチルエーテル３５ｍｌを加えて、室温で３０分攪拌した後、濃縮をした。ここにシクロペンチルメチルエーテル１２５ｍｌを加え、次いで、シクロペンチルメチルエーテル１６５ｍｌに溶解した無水塩化アルミニウム３６．７０ｇ（０．２７５ｍｏｌ）を水冷下でゆるやかに滴下して室温で３０分反応させた。
反応終了後、得られた反応液の加圧ろ過を２０時間以上行った。ろ過残物をシクロペンチルメチルエーテルで洗浄して、全てのろ液を濃縮した。濃縮物を減圧蒸留（１１０℃、４４Ｐａ）して、白色固体のトリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム５５．９ｇ得た（単離収率；７５．７％）。
【００４８】
比較例２（トリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム（化合物（１４））の合成）
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積１Ｌのフラスコに、１５．６５％ブチルリチウム／へキサン溶液５２１．２ｇ（１．２７ｍｏｌ）を加えて冷却した。ここにメチル−ｔ−ブチルアミン１１９．４ｇ（１．３７ｍｏｌ）を内温が５〜１０℃になるようにゆるやかに滴下した。続けて、シクロペンチルメチルエーテル６０ｍｌを加えて、室温で３０分攪拌した後、濃縮をした。ここにシクロペンチルメチルエーテル１８０ｍｌを加え、次いで、シクロペンチルメチルエーテル２４０ｍｌに溶解した無水塩化アルミニウム５５．１０ｇ（０．４１３ｍｏｌ）を水冷下でゆるやかに滴下して室温で３０分反応させた。
反応終了後、得られた反応液を濃縮した後に、シクロペンチルメチルエーテル２００ｍｌを加えて加圧ろ過を８時間以上行った。ろ過残物をヘキサンで洗浄して、全てのろ液を濃縮した。濃縮物を減圧蒸留（１１０℃、３６Ｐａ）して、白色固体のトリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム１０７．７ｇ得た（単離収率；９１．３％）。
【００４９】
比較例３（トリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム（化合物（１４））の合成）
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積１Ｌのフラスコに、１５．６５％ブチルリチウム／へキサン溶液４０６．２ｇ（０．９９ｍｏｌ）を加えて冷却した。ここにメチル−ｔ−ブチルアミン９１．１ｇ（１．０５ｍｏｌ）を内温が５〜１０℃になるようにゆるやかに滴下した。続けて、シクロペンチルメチルエーテル４５ｍｌを加えて、室温で３０分攪拌した後、濃縮をした。ここにシクロペンチルメチルエーテル１４５ｍｌを加え、次いで、シクロペンチルメチルエーテル１９０ｍｌに溶解した無水塩化アルミニウム４３．０７ｇ（０．３２３ｍｏｌ）を水冷下でゆるやかに滴下して室温で３０分反応させた。
反応終了後、得られた反応液を濃縮した後に、ヘキサン３５０ｍｌを加えて加圧ろ過を３時間２０分行った。ろ過残物をヘキサンで洗浄して、全てのろ液を濃縮した。濃縮物を減圧蒸留（１１０℃、１５Ｐａ）して、白色固体のトリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム８５．１ｇ得た（単離収率；９２．３％）。
【００５０】
比較例４（トリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム（化合物（１４））の合成）
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積１Ｌのフラスコに、１５．６５％ブチルリチウム／へキサン溶液５１８．３ｇ（１．２７ｍｏｌ）を加えて冷却した。ここにメチル−ｔ−ブチルアミン１１５．６ｇ（１．３３ｍｏｌ）を内温が５〜１０℃になるようにゆるやかに滴下した。続けて、シクロペンチルメチルエーテル５０ｍｌを加えて、室温で３０分攪拌した後、濃縮をした。ここにシクロペンチルメチルエーテル１９０ｍｌを加え、次いで、シクロペンチルメチルエーテル２４０ｍｌに溶解した無水塩化アルミニウム５４．９０ｇ（０．４１２ｍｏｌ）を水冷下でゆるやかに滴下して室温で３０分反応させた。
反応終了後、得られた反応液を濃縮した後に、デカン３６０ｍｌを加えて加圧ろ過を６時間１５分行った。ろ過残物をデカンで洗浄して、全てのろ液を濃縮した。濃縮物を減圧蒸留（１１０℃、１００Ｐａ）して、白色固体のトリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム１０４．３ｇ得た（単離収率；８８．８％）。なお、ＩＣＰでＬｉ量を測定した結果、９ｐｐｍであった。
【００５１】
比較例５（トリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム（化合物（１４））の合成）
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積１Ｌのフラスコに、１５．６５％ブチルリチウム／へキサン溶液５１７．２ｇ（１．２６ｍｏｌ）を加えて冷却した。ここにメチル−ｔ−ブチルアミン１１８．６ｇ（１．３６ｍｏｌ）を内温が５〜１０℃になるようにゆるやかに滴下した。続けて、シクロペンチルメチルエーテル５０ｍｌを加えて、室温で３０分攪拌した後、濃縮をした。ここにシクロペンチルメチルエーテル１９０ｍｌを加え、次いで、シクロペンチルメチルエーテル２４０ｍｌに溶解した無水塩化アルミニウム５４．７３ｇ（０．４１２ｍｏｌ）を水冷下でゆるやかに滴下して室温で３０分反応させた。
反応終了後、得られた反応液を濃縮した後に、デカン１５０ｍｌとヘキサン２００ｍLを加えて加圧ろ過を６時間２５分行った。ろ過残物をヘキサンで洗浄して、全てのろ液を濃縮した。濃縮物を減圧蒸留（１１０℃、３２Ｐａ）して、白色固体のトリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム１０１．２ｇ得た（単離収率；８６．３％）。
【００５２】
比較例６（トリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム（化合物（１４））の合成）
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積１Ｌのフラスコに、１５．６５％ブチルリチウム／へキサン溶液５２８．０ｇ（１．２９ｍｏｌ）を加えて冷却した。ここにメチル−ｔ−ブチルアミン１１９．４ｇ（１．３７ｍｏｌ）を内温が５〜１０℃になるようにゆるやかに滴下した。続けて、シクロペンチルメチルエーテル５０ｍｌを加えて、室温で３０分攪拌した後、濃縮をした。ここにシクロペンチルメチルエーテル１９０ｍｌを加え、次いで、シクロペンチルメチルエーテル２４０ｍｌに溶解した無水塩化アルミニウム５５．９３ｇ（０．４１９ｍｏｌ）を水冷下でゆるやかに滴下して室温で３０分反応させた。
反応終了後、得られた反応液を濃縮した後に、デカン１５０ｍｌとヘキサン５００ｍLを加えて、撹拌しながら加圧ろ過を２時間行った。ろ過残物をヘキサンで洗浄して、全てのろ液を濃縮した。濃縮物を減圧蒸留（１１０℃、３２Ｐａ）して、白色固体のトリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム１０１．２ｇ得た（単離収率；８４．５％）。
【００５３】
比較例７（トリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム（化合物（１４））の合成）
攪拌装置、温度計及び滴下漏斗を備えた内容積１Ｌのフラスコに、１５．６５％ブチルリチウム／へキサン溶液５２５．６ｇ（１．２８ｍｏｌ）を加えて冷却した。ここにメチル−ｔ−ブチルアミン１１９．９ｇ（１．３８ｍｏｌ）を内温が５〜１０℃になるようにゆるやかに滴下した。続けて、シクロペンチルメチルエーテル５０ｍｌを加えて、室温で３０分攪拌した後、濃縮をした。ここにシクロペンチルメチルエーテル１９０ｍｌを加え、次いで、シクロペンチルメチルエーテル２４０ｍｌに溶解した無水塩化アルミニウム５５．５９ｇ（０．４１７ｍｏｌ）を水冷下でゆるやかに滴下して室温で３０分反応させた。
反応終了後に濃縮し、濃縮物を減圧蒸留（１１５℃、３２Ｐａ）して、白色固体のトリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウム１１０．２ｇ得た（単離収率；９２．６％）。なお、ＩＣＰでＬｉ量を測定した結果、１２２ｐｐｍであった。
このトリス（メチル−ｔ−ブチルアミド）アルミニウムを減圧蒸留（１１０℃、４０〜１０７Ｐａ）したところ、Ｌｉ量が６．６ｐｐｍに低減した。なお、Ｌｉ量を１ｐｐｍ以下（ＩＣＰ分析による検出限界以下）とするためには、３回の蒸留が必要であった。
【００５４】
以上より、本発明は、短時間、かつ高収率でトリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物を取得、製造するのに適しているといえる。また、不純物であるＬｉ量の混入量を少ない蒸留回数で達成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物の製造方法に関する。トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物は、例えば、医薬品の合成中間体としてのアミノアセトアミド誘導体や有機色素原料、エポキシ樹脂硬化遅延剤原料、オレフィン重合用触媒原料、成膜材料の配位子等として有用な化合物である。