(57)【要約】【課題】プローブについての移動量補正値に含まれる誤差を低減する。【解決手段】プローブ６の取付位置は、Ｘ−Ｙ移動機構３ａのＹ軸の駆動軸のみを動作させてカメラ５とプローブ６とが取り付けられた検査ヘッド４を移動させたときに、カメラ５の撮像領域ＲＥについての帯状移動軌跡ＴＲ１内にプローブ先端部６ａの線状移動軌跡ＴＲ２が含まれる位置に規定され、処理部７は、補正値測定処理において、Ｙ軸の駆動軸のみを作動させて検査ヘッド４を移動させつつ、打痕シート２１上の所定位置にプローブ先端部６ａで打痕Ｓを形成する打痕形成動作、および打痕形成動作の実行位置から検査ヘッド４をさらに移動させて撮像領域ＲＥ内に打痕Ｓを含めたときのカメラ５からの画像データＤ１を画像解析処理することにより所定位置Ｐと打痕Ｓとの間のずれ量を測定して移動量補正値として記憶する測定動作とを実行する。【選択図】図２
2014238311.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラおよびプローブが取り付けられた検査ヘッドと、
複数の駆動軸を有して、前記検査ヘッドを検査対象が取り付けられるテーブルと平行なＸ−Ｙ平面上において２次元移動させると共に当該Ｘ−Ｙ平面と直交するＺ軸方向に１次元移動させて、前記プローブのプローブ先端部を前記テーブル上の任意の位置に移動させるＸ−Ｙ−Ｚ移動機構と、
前記Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構に対する制御処理、当該制御処理を実行して前記プローブ先端部を前記テーブル上の所定位置に移動させたときの当該プローブ先端部の実際の移動位置と当該所定位置との前記Ｘ−Ｙ平面上でのずれ量を測定して当該プローブ先端部を当該Ｘ−Ｙ平面上で移動させる際の移動量補正値として記憶する補正値測定処理、および前記検査対象上に規定された検査位置の前記Ｘ−Ｙ平面での目標座標と前記移動量補正値とに基づいて前記制御処理を実行することによって前記プローブ先端部を当該検査位置に移動させて接触させる検査処理を実行する処理部とを備えている検査装置であって、
前記プローブの前記検査ヘッドへの取付位置は、前記複数の駆動軸のうちの前記検査ヘッドを前記Ｘ−Ｙ平面上で２次元移動させるための２以上の駆動軸のうちの１つの駆動軸のみを動作させて当該検査ヘッドを移動させたときに、前記カメラの撮像領域についての帯状移動軌跡内に前記プローブ先端部の線状移動軌跡が含まれる位置に規定され、
前記処理部は、前記補正値測定処理において、前記１つの駆動軸のみを作動させて前記検査ヘッドを移動させつつ、前記テーブル上に配設された打痕シート上の前記所定位置に前記プローブ先端部で打痕を形成する打痕形成動作、および当該打痕形成動作の実行位置から予め規定された変位量だけ移動させて前記撮像領域内に前記打痕を含めると共に前記カメラから出力される画像データを画像解析処理することにより前記所定位置と当該打痕との間の前記Ｘ−Ｙ平面上でのずれ量を測定して前記移動量補正値として記憶する測定動作を実行する検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動機構によって移動させられる検査ヘッドにカメラと共に取り付けられたプローブについての移動量補正値を測定する補正値測定処理を実行する検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置として、出願人は、下記の特許文献１に開示された検査装置を既に提案している。この検査装置は、カメラおよびプローブが取り付けられた検査ヘッド（ステージ）を検査領域と平行な平面（この平面上での位置がＸ−Ｙ直交座標系の座標で規定される平面）内で移動させると共に、この平面と直交する方向（Ｚ軸方向）に沿って移動させるＸ−Ｙ−Ｚ移動機構と、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構を制御する制御部とを備えている。
【０００３】
この検査装置では、検査ヘッドに取り付けられているプローブの交換時には、通常、取り付け誤差が発生する。このため、この検査装置では、プローブの交換の都度、この取り付け誤差に起因したプローブの先端のずれ量（Ｘ軸方向に沿ったずれ量とＹ軸方向に沿ったずれ量）を測定し、この測定した各ずれ量をＸ−Ｙ直交座標系でのプローブについての移動量補正値として記憶し直して使用する構成を採用している。
【０００４】
具体的には、この検査装置では、プローブの交換後においてＸ−Ｙ直交座標系での移動量補正値を測定する際に、まず、制御部が、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構を制御して検査ヘッドを移動させることで、検査領域の所定の位置に予め配設した感圧紙の領域内に位置する基準位置にプローブを接触させて感圧紙上に打痕を形成する。次いで、制御部は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構を制御して検査ヘッドを移動させることで、カメラのカメラ中心（カメラによる撮像領域の中心）を上記の基準位置に移動させる。
【０００５】
この場合、カメラのカメラ中心を上記の基準位置に正確に移動させたとしても、上記の取り付け誤差に起因してプローブの先端が位置ずれを起こしているため、カメラ中心は打痕から若干ずれた位置に移動させられる。制御部は、この状態においてカメラから出力された画像データを画像解析処理して、カメラ中心（基準位置）と打痕との間の各ずれ量を測定し、この測定した各ずれ量をＸ−Ｙ直交座標系での移動量補正値として記憶する。この構成により、この検査装置では、制御部が、プローブの移動時においてこの移動量補正値を使用することで（プローブの本来の目標位置を移動量補正値で補正した位置を、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構を制御して検査ヘッド（プローブ）を移動させる際の実際の目標位置にすることで）、プローブを本来の目標位置に移動させることが可能になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１９９０７号公報（第６−９頁、第１−２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、上記の検査装置には、以下のような改善すべき課題が存在している。すなわち、この検査装置では、制御部は、カメラ中心（基準位置）と打痕との間の各ずれ量を測定する際に、カメラ中心が基準位置に位置するように、検査ヘッドをＸ軸方向に沿って移動させると共にＹ軸方向に沿っても移動させている。
【０００８】
この場合、送り駆動系には常に運動誤差（例えばバックラッシュなど）が存在していることが一般的に知られている。したがって、上記のようにＸ軸方向およびＹ軸方向の２つの軸方向に検査ヘッドを移動させて移動量補正値を測定する上記の検査装置には、測定した移動量補正値に２軸分の運動誤差が含まれているという改善すべき課題が存在している。
【０００９】
本発明は、かかる課題を改善すべくなされたものであり、プローブについての移動量補正値に含まれる誤差を低減し得る検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成すべく請求項１記載の検査装置は、カメラおよびプローブが取り付けられた検査ヘッドと、複数の駆動軸を有して、前記検査ヘッドを検査対象が取り付けられるテーブルと平行なＸ−Ｙ平面上において２次元移動させると共に当該Ｘ−Ｙ平面と直交するＺ軸方向に１次元移動させて、前記プローブのプローブ先端部を前記テーブル上の任意の位置に移動させるＸ−Ｙ−Ｚ移動機構と、前記Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構に対する制御処理、当該制御処理を実行して前記プローブ先端部を前記テーブル上の所定位置に移動させたときの当該プローブ先端部の実際の移動位置と当該所定位置との前記Ｘ−Ｙ平面上でのずれ量を測定して当該プローブ先端部を当該Ｘ−Ｙ平面上で移動させる際の移動量補正値として記憶する補正値測定処理、および前記検査対象上に規定された検査位置の前記Ｘ−Ｙ平面での目標座標と前記移動量補正値とに基づいて前記制御処理を実行することによって前記プローブ先端部を当該検査位置に移動させて接触させる検査処理を実行する処理部とを備えている検査装置であって、前記プローブの前記検査ヘッドへの取付位置は、前記複数の駆動軸のうちの前記検査ヘッドを前記Ｘ−Ｙ平面上で２次元移動させるための２以上の駆動軸のうちの１つの駆動軸のみを動作させて当該検査ヘッドを移動させたときに、前記カメラの撮像領域についての帯状移動軌跡内に前記プローブ先端部の線状移動軌跡が含まれる位置に規定され、前記処理部は、前記補正値測定処理において、前記１つの駆動軸のみを作動させて前記検査ヘッドを移動させつつ、前記テーブル上に配設された打痕シート上の前記所定位置に前記プローブ先端部で打痕を形成する打痕形成動作、および当該打痕形成動作の実行位置から予め規定された変位量だけ移動させて前記撮像領域内に前記打痕を含めると共に前記カメラから出力される画像データを画像解析処理することにより前記所定位置と当該打痕との間の前記Ｘ−Ｙ平面上でのずれ量を測定して前記移動量補正値として記憶する測定動作を実行する。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の検査装置によれば、補正値測定処理において、検査ヘッドをＸ−Ｙ平面上で２次元移動させるための２以上の駆動軸のうちの１つの駆動軸のみを作動させるだけで、プローブについてのＸ−Ｙ平面上での移動量補正値を測定することができるため、複数の軸方向に検査ヘッドを移動させて移動量補正値を測定する従来の検査装置と比較して、移動量補正値に含まれる誤差を半分に低減することができる。したがって、この検査装置によれば、誤差の少ない移動量補正値を使用して、プローブのプローブ先端部を検査対象上の検査位置に正確に移動させて接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】検査装置１による補正値測定処理の動作を説明するための第１の説明図である。
【図３】検査装置１による補正値測定処理の動作を説明するための第２の説明図である。
【図４】検査装置１による補正値測定処理の動作を説明するための第３の説明図である。
【図５】検査装置１ＡのＸ−Ｙ−Ｚ移動機構３の構成を示す構成図である。
【図６】検査装置１ＢのＸ−Ｙ−Ｚ移動機構３の構成を示す構成図であると共に、補正値測定処理の動作を説明するための第４の説明図である。
【図７】検査装置１Ｂの他の補正値測定処理の動作を説明するための第５の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
最初に、検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１５】
検査装置１は、図１に示すように、テーブル２、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３、検査ヘッド４、カメラ５、プローブ６、処理部７、記憶部８および出力部９を備え、テーブル２に取り付けられた検査対象（本例では一例として回路基板ＰＢ）に対する電気的検査（例えば、回路基板ＰＢに形成されている配線パターンの断線・短絡検査など）を実行する。
【００１６】
テーブル２は、表面に不図示のフィクスチャが配設されて、このフィクスチャを使用して回路基板ＰＢを表面上の規定位置に正確に取り付け可能に構成されている。
【００１７】
Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３は、複数の駆動軸（Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸などの直線駆動軸、並びにＡ軸およびＢ軸などの回転駆動軸）を有して、検査ヘッド４をテーブル２と平行なＸ−Ｙ平面上において２次元移動させると共に、このＸ−Ｙ平面と直交するＺ軸方向に１次元移動させて、後述するように検査ヘッド４に取り付けられたカメラ５やプローブ６のプローブ先端部６ａをテーブル２上の任意の位置に移動させる。
【００１８】
本例では一例として、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３は、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の３つの駆動軸（この場合は直線駆動軸）を有して、このうちのＸ軸およびＹ軸の２つの直線駆動軸を有するＸ−Ｙ移動機構３ａにより、検査ヘッド４をＸ−Ｙ平面上において２次元移動させると共に、Ｚ軸の直線駆動軸を有するＺ移動機構３ｂにより、検査ヘッド４をＺ軸方向に１次元移動させる。
【００１９】
具体的には、Ｘ−Ｙ移動機構３ａは、テーブル２におけるＸ軸方向と平行な一対の辺に沿って配設された一対のガイドレール１１，１１と、一対のガイドレール１１，１１に移動自在に取り付けられた一対の移動台１２，１２と、Ｙ軸方向と平行な状態で一対の移動台１２，１２間に掛け渡されて取り付けられたガイドレール１３と、一対のガイドレール１１，１１のうちの一方のガイドレール１１（本例では図１中において上方に配設されたガイドレール１１）の両端側に配設された一対の軸受１４，１４によって両端側が回転自在に支持されたボールネジ１５と、一方のガイドレール１１に取り付けられてボールネジ１５を回転駆動するモータ１６と、ガイドレール１３の両端側に配設された一対の軸受１７，１７によって回転自在に支持されたボールネジ１８と、ガイドレール１３に取り付けられてボールネジ１８を回転駆動するモータ１９とを備えている。また、一方のガイドレール１１側の移動台１２には、ボールネジ１５が螺合されている。
【００２０】
Ｚ移動機構３ｂは、ガイドレール１３に移動自在に取り付けられていると共に、ボールネジ１８が螺合されている。また、Ｚ移動機構３ｂは、図示はしないが、例えば、Ｚ軸方向に沿って検査ヘッド４をテーブル２に対して進退動させるアクチュエータを備えて構成されている。
【００２１】
この構成により、Ｘ−Ｙ移動機構３ａは、モータ１６を作動させてボールネジ１５を回転駆動することにより、一対の移動台１２，１２、ガイドレール１３、このガイドレール１３に取り付けられているＺ移動機構３ｂ、およびＺ移動機構３ｂに取り付けられている検査ヘッド４をＸ軸方向に駆動し（移動させ）、モータ１９を作動させてボールネジ１８を回転駆動することにより、Ｚ移動機構３ｂおよび検査ヘッド４をＹ軸方向に駆動する（移動させる）。また、Ｚ移動機構３ｂは、アクチュエータを作動させることにより、検査ヘッド４をＺ軸方向に駆動する（移動させる）。
【００２２】
検査ヘッド４には、カメラ５およびプローブ６が一例として支持アームを介してそれぞれ取り付けられている。カメラ５は、テーブル２の表面のうちのカメラ５と対向している一定の広さの撮像領域ＲＥを撮像して、画像データＤ１を処理部７に出力する。また、テーブル２上に規定されたＸ−Ｙ座標（回路基板ＰＢに規定された後述する検査位置（の座標）を規定する座標）に対するカメラ５の基準位置（カメラ５の撮像領域ＲＥ内に予め規定された所定の位置。本例では一例として、カメラ中心）のずれ量、つまり、Ｘ−Ｙ移動機構３ａを作動させてカメラ５の基準位置をテーブル２上の所定位置に移動させようとしたときの実際の基準位置とこの所定位置とのずれ量（このＸ−Ｙ座標における両位置の座標の差分）については、カメラ５についての移動量補正値として予め測定されて既知であるものとする。
【００２３】
この構成において、カメラ５の基準位置がテーブル２上に規定されたＸ−Ｙ平面上の目標位置（回路基板ＰＢ上に予め規定された検査位置など）に位置するようにカメラ５を移動させる際には、この目標位置の座標（目標座標）をカメラ５についての移動量補正値で補正することによってカメラ５についての補正目標座標を算出し、Ｘ−Ｙ移動機構３ａを作動させてこの補正目標座標にカメラ５の基準位置を移動させる。これにより、実際には、カメラ５は、その基準位置が目標位置に正確に位置するように移動させられる。
【００２４】
プローブ６は、検査ヘッド４（本例では検査ヘッド４に取り付けられた支持アーム）に着脱自在に（交換可能に）取り付けられている。また、テーブル２上に規定されたＸ−Ｙ座標（回路基板ＰＢに規定された後述する検査位置（の座標）を規定する座標）に対するプローブ６の基準位置（プローブ先端部６ａの位置）のずれ量、つまり、Ｘ−Ｙ移動機構３ａを作動させてプローブ先端部６ａをテーブル２上の所定位置に移動させようとしたときのこのプローブ先端部６ａの位置とこの所定位置とのずれ量（このＸ−Ｙ座標における両位置の座標の差分）については、プローブ６の製造誤差（寸法誤差）や検査ヘッド４への取付誤差に起因して、プローブ６の交換の都度、僅かではあるが常に変化する。したがって、プローブ６のこのずれ量については、交換の都度、処理部７による後述の補正値測定処理において測定されて、プローブ６についての移動量補正値として記憶部８に記憶される。
【００２５】
この構成において、プローブ先端部６ａがテーブル２上に規定されたＸ−Ｙ平面上の目標位置に位置するようにプローブ６を移動させる際には、この目標位置の座標（目標座標）をプローブ６についての移動量補正値で補正することによってプローブ６についての補正目標座標を算出し、Ｘ−Ｙ移動機構３ａを作動させてこの補正目標座標にプローブ６のプローブ先端部６ａを移動させる。これにより、実際には、プローブ６は、そのプローブ先端部６ａが目標位置に正確に位置するように移動させられる。
【００２６】
また、プローブ６の検査ヘッド４への取付位置は、例えば、図１，２に示すように、Ｘ−Ｙ移動機構３ａの２つの駆動軸（Ｘ軸およびＹ軸の２つの直線駆動軸）のうちの１つの駆動軸（本例ではＹ軸の直線駆動軸）のみを動作させて検査ヘッド４を移動させたときに、カメラ５の取付位置を基準として移動方向側（同図では上方向側）に位置すると共に、カメラ５の撮像領域ＲＥについての帯状移動軌跡ＴＲ１内にプローブ先端部６ａの線状移動軌跡ＴＲ２が含まれる位置に規定されている。
【００２７】
処理部７は、例えばＣＰＵなどで構成されて、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３に対する制御処理、補正値測定処理、および検査処理を実行する。この場合、処理部７は、プローブ６の交換の都度実行する補正値測定処理では、上記したように、プローブ６のずれ量を測定して、プローブ６についての移動量補正値として記憶部８に記憶させる。また、処理部７は、検査処理では、検査対象としての回路基板ＰＢ上に予め規定された検査位置のＸ−Ｙ平面での座標（目標座標）とプローブ６についての移動量補正値とに基づいて、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３に対する制御処理を実行することより、プローブ先端部６ａを検査位置に移動させると共に接触させて、プローブ６を介して回路基板ＰＢのこの検査位置での物理量（電圧値や容量値など）を取得することによって回路基板ＰＢを検査する。
【００２８】
また、処理部７は、カメラ５を使用した検査処理では、回路基板ＰＢ上の検査位置についてのＸ−Ｙ平面での座標（目標座標）とカメラ５についての移動量補正値とに基づいて、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３に対する制御処理を実行することより、カメラ５の基準位置（カメラ中心）を検査位置に移動させて、カメラ５から出力される検査位置を含む撮像領域ＲＥについての画像データＤ１に基づいて回路基板ＰＢを検査する。
【００２９】
また、処理部７は、プローブ先端部６ａやカメラ５をＸ−Ｙ平面での目標位置に移動させる際には、上記したように、この目標位置の座標（目標座標）をプローブ先端部６ａやカメラ５についての移動量補正値で補正することによってプローブ先端部６ａやカメラ５についての補正目標座標を算出し、Ｘ−Ｙ移動機構３ａを作動させてこの補正目標座標にプローブ先端部６ａやカメラ５を移動させるようにすることで、プローブ先端部６ａやカメラ５を実際に目標位置に正確に移動させる。なお、処理部７が、この目標位置とプローブ先端部６ａやカメラ５の現在位置とから、現在位置から目標位置までの移動量を算出し、次いで、この移動量をプローブ先端部６ａやカメラ５の移動量補正値で補正して補正移動量を算出し、現在位置からこの補正移動量だけプローブ先端部６ａやカメラ５を移動させることで、プローブ先端部６ａやカメラ５を目標位置に移動させる構成を採用することもできる。
【００３０】
記憶部８は、例えば、ＲＯＭやＲＡＭなどの半導体メモリや、ＨＤＤ（ハードディスク装置）などで構成されて、処理部７の動作を規定するための動作プログラム、カメラ５によって撮像された画像データＤ１、カメラ５についての移動量補正値を示す補正値データＤｃａ、および回路基板ＰＢ上に予め規定された複数の検査位置のＸ−Ｙ平面での座標（目標座標）を示す検査位置データＤｅｘが予め記憶されている。また、記憶部８には、処理部７によって測定されたプローブ６についての移動量補正値を示す補正値データＤｐｒ、および処理部７による検査処理での検査結果Ｄ２が記憶される。出力部９は、例えばディスプレイ装置などの表示装置で構成されて、検査処理での検査結果Ｄ２を画面上に表示する。なお、出力部９については、表示装置に限定されるものではなく、例えば、外部機器と通信を行うインターフェース装置で構成して、検査処理での結果を外部機器に送信するなど、種々の構成を採用することができる。
【００３１】
次に、検査装置１の動作について、図面を参照して説明する。この検査装置１では、プローブ６の交換後において実行するプローブ６についての移動量補正値を測定する補正値測定処理に関連する動作が特徴である。このため、以下では、この補正値測定処理についてのみ説明し、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３に対する制御処理および検査処理についての説明を省略する。
【００３２】
この補正値測定処理の実行に先立ち、図２に示すように、テーブル２上に打痕シート２１（感圧紙など）を取り付ける。なお、この検査装置１では、処理部７は、プローブ６についての補正値測定処理において、Ｙ軸の直線駆動軸のみを駆動して、検査ヘッド４をＹ軸方向に沿って検査ヘッド４でのカメラ５の取付位置を基準としてプローブ６の取付位置方向に向けて移動させる。このため、検査装置１での打痕シート２１の取付位置は、同図に示すように、検査ヘッド４のこの移動方向に沿ったプローブ６の前方であって、プローブ先端部６ａの線状移動軌跡ＴＲ２が通過する位置に予め規定されている。
【００３３】
この補正値測定処理では、処理部７は、Ｘ−Ｙ−Ｘ移動機構３のＹ軸の直線駆動軸（１つの駆動軸）のみを作動させて検査ヘッド４をＹ軸方向に沿って移動させつつ、打痕シート２１上に位置するＸ−Ｙ平面での所定位置にプローブ先端部６ａを移動させるようにしてこの所定位置に打痕Ｓを形成する打痕形成動作、およびカメラ５の撮像領域ＲＥ内に打痕Ｓが含まれる状態においてカメラ５から出力される画像データＤ１を画像解析処理することにより撮像領域ＲＥ内に含まれる所定位置と打痕Ｓとの間のＸ−Ｙ平面上でのずれ量を測定してプローブ６についての移動量補正値として記憶する測定動作を実行する。
【００３４】
具体的には、処理部７は、まず、制御処理を実行することにより、Ｘ−Ｙ−Ｘ移動機構３のＹ軸の直線駆動軸のみを作動させて、図２に示すように、検査ヘッド４を、破線で示す位置（移動開始位置）からＹ軸方向に距離Ｌ１（第１変位量）だけ移動させて、プローブ６のプローブ先端部６ａを打痕シート２１の上方に位置するＸ−Ｙ平面での所定位置Ｐ（座標（ｘ０，ｙ０）。図４参照）に移動させるようにする。次いで、処理部７は、再度、制御処理を実行することにより、Ｘ−Ｙ−Ｘ移動機構３のＺ軸の直線駆動軸のみを作動させて、検査ヘッド４をＺ軸方向に沿ってテーブル２方向に所定距離だけ移動させることで、プローブ先端部６ａを打痕シート２１に接触させて、打痕シート２１に打痕Ｓを形成し（打痕形成動作を実行し）、その後に、検査ヘッド４をＺ軸方向に沿ってテーブル２から離反する方向に上記の所定距離だけ移動させる。この場合、打痕Ｓは、上記したようにプローブ６の製造誤差（寸法誤差）や検査ヘッド４への取付誤差に起因して、目標とする所定位置Ｐから僅かにずれた位置に形成される（図４参照）。
【００３５】
続いて、処理部７は、再度、制御処理を実行することにより、Ｘ−Ｙ−Ｘ移動機構３のＹ軸の直線駆動軸のみを作動させて、検査ヘッド４を、図２に示す打痕Ｓを形成した位置（打痕形成動作の実行位置）から、図３に示すように、さらにＹ軸方向に距離Ｌ２（第２変位量）だけ移動させる。この場合、この検査装置１では、上記したように、Ｘ−Ｙ移動機構３ａの１つの駆動軸のみ（本例ではＹ軸の直線駆動軸のみ）を動作させて検査ヘッド４を移動させたときに、カメラ５に対して移動方向の前方に位置して、カメラ５の撮像領域ＲＥについての帯状移動軌跡ＴＲ１内にプローブ先端部６ａの線状移動軌跡ＴＲ２が含まれるように構成されている。このため、カメラ５の撮像領域ＲＥの外縁とプローブ６との間のＹ軸方向に沿った最短距離Ｌ３（ほぼ一定の距離）を超え、かつ最短距離Ｌ３に撮像領域ＲＥのＹ軸方向に沿った幅Ｌ４を加えた長さ未満になるように距離Ｌ２を規定しておくことにより、図３に示すように、打痕Ｓは常に撮像領域ＲＥ内に含まれる。
【００３６】
次いで、処理部７は、撮像領域ＲＥ内に打痕Ｓが含まれる状態においてカメラ５から出力される画像データＤ１を取り込んで記憶部８に記憶させると共に、この画像データＤ１を画像解析処理することにより、撮像領域ＲＥ内に含まれる所定位置Ｐと打痕Ｓとの間のＸ−Ｙ平面上でのずれ量を測定する。この場合、処理部７は、このずれ量として、図３における打痕シート２１部分を拡大した図４に示すように、所定位置Ｐを基準としたときの打痕ＳについてのＸ軸方向に沿ったずれ量Δｘと、Ｙ軸方向に沿ったずれ量Δｙとを測定し、これらをプローブ６についての移動量補正値を示す補正値データＤｐｒとして記憶部８に記憶する。これにより、補正値測定処理が完了する。
【００３７】
このようにしてプローブ６の交換後におけるプローブ６についての移動量補正値（Δｘ，Δｙ）を示す補正値データＤｐｒが、カメラ５についての移動量補正値を示す補正値データＤｃａと共に記憶部８に記憶されている検査装置１では、処理部７が、検査処理において、回路基板ＰＢに規定されている複数の検査位置のうちの任意の１つの検査位置（目標位置）にプローブ６のプローブ先端部６ａを接触させるときには、この検査位置についての座標（目標座標）を示す検査位置データＤｅｘを記憶部８から読み出す。次いで、処理部７は、この読み出した検査位置データＤｅｘで示される目標座標を、記憶部８から読み出したプローブ６についての補正値データＤｐｒで示される移動量補正値（Δｘ，Δｙ）で補正して補正目標座標を算出し、制御処理を実行して検査ヘッド４を移動させることでプローブ先端部６ａをこの補正目標座標で示されるＸ−Ｙ平面上の位置に移動させる。これにより、処理部７は、プローブ先端部６ａを目標とする検査位置に正確に移動させることができ、回路基板ＰＢの検査位置に対する検査を実行することが可能になる。
【００３８】
また、処理部７は、検査処理において、回路基板ＰＢに規定されている複数の検査位置のうちの任意の１つの検査位置（目標位置）にカメラ５を移動させるときには、補正値データＤｐｒに代えてカメラ５についての移動量補正値を示す補正値データＤｃａを使用する以外は上記したプローブ６のときと同様にして、検査位置データＤｅｘで示される目標座標を、補正値データＤｃａで示される移動量補正値で補正して補正目標座標を算出し、制御処理を実行して検査ヘッド４を移動させることでカメラ５をこの補正目標座標で示されるＸ−Ｙ平面上の位置に移動させる。これにより、処理部７は、カメラ５を目標とする検査位置に正確に移動させることができ、回路基板ＰＢの検査位置に対する検査を実行することが可能になる。
【００３９】
このように、この検査装置１では、プローブ６の検査ヘッド４への取付位置は、Ｘ−Ｙ−Ｘ移動機構３の３つの駆動軸（Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の直線駆動軸）のうちの検査ヘッド４をＸ−Ｙ平面上で２次元移動させるための２以上の駆動軸（Ｘ軸およびＹ軸の直線駆動軸）のうちの１つの駆動軸（本例ではＹ軸の直線駆動軸）のみを動作させて検査ヘッド４を移動させたときに、カメラ５の撮像領域ＲＥについての帯状移動軌跡ＴＲ１内にプローブ先端部６ａの線状移動軌跡ＴＲ２が含まれる位置に規定され、処理部７が、補正値測定処理において、この１つの駆動軸（Ｙ軸の直線駆動軸）のみを作動させて検査ヘッド４を移動させつつ、打痕シート２１上に位置するＸ−Ｙ平面上での所定位置Ｐにプローブ先端部６ａで打痕Ｓを形成する打痕形成動作、およびカメラ５の撮像領域ＲＥ内に打痕Ｓが含まれる状態においてカメラ５からの画像データＤ１を画像解析処理することにより所定位置Ｐと打痕Ｓとの間のＸ−Ｙ平面上でのずれ量（Δｘ，Δｙ）を測定して移動量補正値を示す補正値データＤｐｒとして記憶部８に記憶する測定動作とを実行する。
【００４０】
したがって、この検査装置１によれば、補正値測定処理において、１つの駆動軸（Ｙ軸の直線駆動軸）のみを作動させるだけで、プローブ６についてのＸ−Ｙ平面上での移動量補正値を測定することができるため、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の２つの軸方向に検査ヘッドを移動させて移動量補正値を測定する従来の検査装置と比較して、移動量補正値に含まれる誤差を半分に低減することができる。したがって、この検査装置１によれば、誤差の少ない移動量補正値を使用して、プローブ６のプローブ先端部６ａを回路基板ＰＢの検査位置に正確に移動させて接触させることができる。
【００４１】
なお、上記の検査装置１では、プローブ６についての補正値測定処理において、１つの駆動軸としてＹ軸の直線駆動軸のみを作動させる構成を採用しているが、図５に示す検査装置１Ａのように、１つの駆動軸としてＸ軸の直線駆動軸のみを作動させる構成を採用することもできる。以下、この検査装置１Ａについて説明する。なお、検査装置１Ａは、後述するように、検査ヘッド４に対するカメラ５およびプローブ６の取付位置が相違する点以外は、検査装置１と同一に構成されている。このため、図５では、処理部７、記憶部８および出力部９についての図示を省略している。また、以下では、検査装置１と同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００４２】
この検査装置１Ａでは、図５に示すように、プローブ６の検査ヘッド４への取付位置は、Ｘ−Ｙ−Ｘ移動機構３の３つの駆動軸（Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の直線駆動軸）のうちの検査ヘッド４をＸ−Ｙ平面上で２次元移動させるための２以上の駆動軸（Ｘ軸およびＹ軸の直線駆動軸）のうちの１つの駆動軸（本例ではＸ軸の直線駆動軸）のみを動作させて検査ヘッド４を移動させたときに、例えば、カメラ５の取付位置を基準として移動方向側（同図中では右方向側（Ｘ軸方向））に位置すると共に、カメラ５の撮像領域ＲＥについての帯状移動軌跡ＴＲ１内にプローブ先端部６ａの線状移動軌跡ＴＲ２が含まれる位置に規定されている。
【００４３】
これにより、この検査装置１Ａでは、打痕シート２１の取付位置は、図５に示すように、検査ヘッド４のこの移動方向（Ｘ軸方向）に沿ったプローブ６の前方であって、プローブ先端部６ａの線状移動軌跡ＴＲ２が通過する位置に予め規定する。
【００４４】
この検査装置１Ａにおいても、検査装置１と同様にして、プローブ６についての補正値測定処理において、この１つの駆動軸（Ｘ軸の直線駆動軸）のみを作動させて検査ヘッド４を移動させつつ、打痕シート２１上に位置するＸ−Ｙ平面での所定位置Ｐにプローブ先端部６ａを移動させるようにしてこの所定位置Ｐに打痕Ｓを形成する打痕形成動作、およびカメラ５の撮像領域ＲＥ内に打痕Ｓが含まれる状態においてカメラ５から出力される画像データＤ１を画像解析処理することにより撮像領域ＲＥ内に含まれる所定位置Ｐと打痕Ｓとの間のＸ−Ｙ平面上でのずれ量（Δｘ，Δｙ）を測定してプローブ６についての移動量補正値を示す補正値データＤｐｒとして記憶部８に記憶する測定動作を実行する。
【００４５】
したがって、この検査装置１Ａによっても、補正値測定処理において、１つの駆動軸（Ｘ軸の直線駆動軸）のみを作動させるだけで、プローブ６についてのＸ−Ｙ平面上での移動量補正値を測定することができるため、従来の検査装置と比較して、移動量補正値に含まれる誤差を半分に低減することができる。これにより、誤差の少ない移動量補正値を使用して、プローブ６のプローブ先端部６ａを回路基板ＰＢの検査位置に正確に移動させて接触させることができる。
【００４６】
また、検査ヘッド４をＸ−Ｙ平面上で２次元移動させるためのＸ−Ｙ移動機構３ａの駆動軸として複数の直線駆動軸（上記の例ではＸ軸およびＹ軸の２つの直線駆動軸）を備えた検査装置１，１Ａを例に挙げて説明してきたが、図６，７に示す検査装置１ＢについてのＸ−Ｙ−Ｚ移動機構３のＸ−Ｙ移動機構３１ように、駆動軸として複数の回転駆動軸（例えば、Ａ軸およびＢ軸の２つの回転駆動軸）を備えた構成においても、検査装置１，１Ａでの補正値測定処理と同様のプローブ６についての補正値測定処理を実行することで、プローブ６についてのＸ−Ｙ平面上での移動量補正値を測定することができる。なお、検査装置１Ｂは、上記のようにＸ−Ｙ移動機構３１が検査装置１，１ＡのＸ−Ｙ移動機構３ａと相違する以外は、検査装置１，１Ａと同一に構成されて、検査対象が取り付けられるテーブル２と平行なＸ−Ｙ平面上において検査ヘッド４を２次元移動させると共に、Ｚ軸方向に１次元移動させて、プローブ６のプローブ先端部６ａをテーブル２上の任意の位置に移動させる。このため、以下では、相違する構成に関する事項について主として説明し、同一の構成については説明上必要なもののみを同一の符号を付して図示および説明を行い、それ以外については図示および説明を省略する。
【００４７】
この検査装置１Ｂでは、処理部７は、補正値測定処理において、Ｘ−Ｙ移動機構３１の２つの駆動軸のうちの１つの駆動軸（図６の例ではＢ軸の回転駆動軸、図７の例ではＡ軸の回転駆動軸）のみを作動させて検査ヘッド４を移動させつつ、移動開始位置から予め規定された角度θ１（第１変位量）だけ移動させて打痕シート２１上に位置するＸ−Ｙ平面上での所定位置Ｐにプローブ先端部６ａで打痕Ｓを形成する打痕形成動作、および打痕形成動作の実行位置から予め規定された角度θ２（第２変位量）だけ移動させてカメラ５の撮像領域ＲＥ内に打痕Ｓが含まれる状態にすると共にこの状態においてカメラ５からの画像データＤ１を画像解析処理することにより所定位置Ｐと打痕Ｓとの間のＸ−Ｙ平面上でのずれ量を測定してプローブ６についての移動量補正値を示す補正値データＤｐｒとして記憶部８に記憶する測定動作とを実行する。
【００４８】
したがって、この検査装置１Ｂによっても、補正値測定処理において、１つの駆動軸（Ａ軸の回転駆動軸およびＢ軸の回転駆動軸のいずれか）のみを作動させるだけで、プローブ６についてのＸ−Ｙ平面上での移動量補正値を測定することができるため、従来の検査装置と比較して、移動量補正値に含まれる誤差を半分に低減することができる。これにより、誤差の少ない移動量補正値を使用して、プローブ６を回路基板ＰＢの検査位置に正確に接触させることができる。
【００４９】
なお、検査対象として回路基板ＰＢを例に挙げて説明したが、この検査装置１，１Ａ，１Ｂは、半導体集積回路のような電子部品を検査対象とすることもできるのは勿論である。
【符号の説明】
【００５０】
１  検査装置
２  テーブル
３  Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構
４  検査ヘッド
５  カメラ
６  プローブ
６ａ  プローブ先端部
７  処理部
２１  打痕シート
Ｓ  打痕
Ｄｐｒ  補正値データ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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