(57)【要約】【課題】角度が異なる第１及び第２の接続箇所について、簡易に、かつ効率よくワイヤボンディングを行う。【解決手段】被接続物１０の第１及び第２の接続箇所２４，３２は、異なる角度で延在する。ワイヤ４２を第１及び第２の接続箇所２４，３２に接続するとき、治具５０を用いて、被接続物１０の傾きを同じ角度に保持しながら、第１及び第２の接続箇所２４，３２にワイヤ４２を接続する。第１の接続箇所２４にワイヤ４２を接続するときに第１の接続箇所２４に対してキャピラリ２が傾く第１の角度と、第２の接続箇所３２にワイヤ４２を接続するときに第２の接続箇所３２に対してキャピラリ２が傾く第２の角度の両方を、第１及び第２の接続箇所２４，３２が延在する角度の差よりも小さくする。【選択図】図３
2014049522.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被接続物の第１の接続箇所にキャピラリの先端を接近させ、前記キャピラリの前記先端から出ているワイヤを前記第１の接続箇所に接続する第１の工程と、
前記ワイヤが前記第１の接続箇所に接続された状態で、前記被接続物の第２の接続箇所に前記キャピラリの前記先端を接近させ、前記キャピラリの前記先端から出ている前記ワイヤを前記第２の接続箇所に接続する第２の工程と、
を含むワイヤボンディング方法において、
前記第１及び第２の接続箇所は、異なる角度で延在し、
前記第１及び第２の工程において、治具を用いて、
前記被接続物の傾きを同じ角度に保持するとともに、
前記第１の接続箇所に前記ワイヤを接続するときに前記第１の接続箇所に対して前記キャピラリが傾く第１の角度と、
前記第２の接続箇所に前記ワイヤを接続するときに前記第２の接続箇所に対して前記キャピラリが傾く第２の角度と、
の両方を、
前記第１及び第２の接続箇所が延在する前記角度の差よりも小さくすることを特徴とする、ワイヤボンディング方法。
【請求項２】
前記治具を用いて、前記第１及び第２の角度を略同じにすることを特徴とする、請求項１に記載のワイヤボンディング方法。
【請求項３】
前記キャピラリは、前記先端の周囲に逃げ面を有し、
前記キャピラリの前記中心線に垂直な平面と前記逃げ面とがなす角度が、前記第１の角度以上、かつ前記第２の角度以上であることを特徴とする、請求項１又は２に記載のワイヤボンディング方法。
【請求項４】
被接続物の第１の接続箇所にダイボンド剤を塗布し、該第１の接続箇所に第１のチップを配置して接着固定する第１の工程と、
被接続物の第２の接続箇所にダイボンド剤を塗布し、該第２の接続箇所に第２のチップを配置して接着固定する第２の工程と、
を含み、
前記第１及び第２の接続箇所は、異なる角度で延在し、
前記第１及び第２の工程の少なくとも一方において、治具を用いて前記被接続物を傾けることによって、前記第１の工程における前記第１の接続箇所の水平からの傾きの角度と、前記第２の工程における前記第２の接続箇所の水平からの傾きの角度との差を、前記第１及び第２の接続箇所が延在する前記角度の差よりも小さくすることを特徴とする、ダイボンディング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤボンディング方法及びダイボンディング方法に関し、詳しくは、異なる角度で延在する第１及び第２の接続箇所について行うワイヤボンディング方法及びダイボンディング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤボンディングは、通常、互いに平行に延在する第１及び第２の接続箇所について行うが、互いに非平行に、すなわち異なる角度で延在する第１及び第２の接続箇所についてワイヤボンディングしたい場合がある。
【０００３】
例えば図９の部分断面模式図に示す角速度センサ１０５は、パッケージ１０４の凹部内に、ＩＣデバイス１０２と角速度センサ素子１０１とを備えている。ＩＣデバイス１０２は、パッケージ１０４の凹部の底面である実装面１０４ａに固定され、ワイヤ１０３を介して、ＩＣデバイス１０２の端子部と、実装面１０４ａ上の電極部とが電気的に接続されている。角速度センサ素子１０１は、実装面１０４ａに対して傾斜している傾斜面１０１ａに固定され、ワイヤ１０６を介して、角速度センサ素子１０１の端子部と、実装面１０４ａ上の電極部とが電気的に接続されている。角速度センサ１０５が実装される基板は、水平から傾いた状態で使用される。そのときに、破線の矢印で示す角速度センサ素子１０１の軸は鉛直方向となる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−４１９６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ワイヤボンディングは、例えば、次のように行う。まず、テーブル上に被接続物を載置し、ワイヤを導出するキャピラリを被接続物の第１の接続箇所に押し当て、ワイヤを第１の接続箇所に接続する。次いで、ワイヤが第１の接続箇所に接続された状態で、キャピラリとテーブルを相対的に移動させ、被接続物の第２の接続箇所にキャピラリを押し当て、ワイヤを第２の接続箇所に接続する。
【０００６】
ワイヤを接続するとき、キャピラリは、接続箇所に垂直にする。前述した角速度センサ素子１０１に接続するワイヤ１０６のように、ワイヤを接続する第１及び第２の接続箇所が異なる角度で延在する場合、第１の接続箇所にワイヤを接続するときにはキャピラリが第１の接続箇所に垂直になり、第２の接続箇所にワイヤを接続するときにはキャピラリが第２の接続箇所に垂直になるように、被接続物とキャピラリの相対的な位置関係を変える必要がある。
【０００７】
被接続物とキャピラリの相対的な位置関係を変えるために、被接続物が載置されるテーブルの角度や、キャピラリを保持するヘッドの角度を変えるようにすることが考えられる。この場合、テーブルやヘッドの角度を変えることができる特別な構造を備えたワイヤボンディング装置が必要になる。
【０００８】
あるいは、治具を介して被接続物をテーブルに載置し、治具を操作して、第１の接続箇所にワイヤを接続するときと、第２の接続箇所にワイヤを接続するときとで、被接続物の角度を変えるようにすることが考えられる。この場合、治具の構造が複雑になる。
【０００９】
いずれの場合も、第１の接続箇所にワイヤを接続した後に、第２の接続箇所に対応してテーブルやヘッド、治具の角度を変更する操作が必要となり、作業の効率が低下する。
【００１０】
また、前述した実装面１０４ａと傾斜面１０１ａのように、異なる角度で延在する第１及び第２の接続箇所にチップを同時にダイボンディングする場合、両方の接続箇所を同時に水平にすることができないため、接続箇所に塗布したダイボンド剤が垂れたり、チップの位置がずれたりする。
【００１１】
本発明は、かかる実情に鑑み、角度が異なる第１及び第２の接続箇所に、簡易に、かつ効率よくワイヤを接続することができるワイヤボンディング方法を提供することを第１の課題とする。また、角度が異なる第１及び第２の接続箇所について、ダイボンド剤の垂れ、チップの位置ずれを防止することができるダイボンディング方法を提供することを第２の課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上記第１の課題を解決するために、以下のように構成したワイヤボンディング方法を提供する。
【００１３】
ワイヤボンディング方法は、（ｉ）被接続物の第１の接続箇所にキャピラリの先端を接近させ、前記キャピラリの前記先端から出ているワイヤを前記第１の接続箇所に接続する第１の工程と、（ii）前記ワイヤが前記第１の接続箇所に接続された状態で、前記被接続物の第２の接続箇所に前記キャピラリの前記先端を接近させ、前記キャピラリの前記先端から出ている前記ワイヤを前記第２の接続箇所に接続する第２の工程とを含む。前記第１及び第２の接続箇所は、異なる角度で延在する。前記第１及び第２の工程において、治具を用いて、（ａ）前記被接続物の傾きを同じ角度に保持するとともに、（ｂ）第１の角度と第２の角度との両方を、前記第１及び第２の接続箇所が延在する前記角度の差よりも小さくする。前記第１の角度は、前記第１の接続箇所に前記ワイヤを接続するときに前記第１の接続箇所に対して前記キャピラリが傾く角度、すなわち、前記第１の接続箇所の法線方向と前記キャピラリの中心線とがなす角度である。前記第２の角度は、前記第２の接続箇所に前記ワイヤを接続するときに前記第２の接続箇所に対して前記キャピラリが傾く角度、すなわち、前記第２の接続箇所の法線方向と前記キャピラリの前記中心線とがなす角度である。
【００１４】
上記方法によれば、第１及び第２の接続箇所が異なる角度で延在しても、第１の工程と第２の工程とで被接続物の角度を変える必要がないので、角度が異なる第１及び第２の接続箇所に、簡易に、かつ効率よくワイヤを接続することができる。
【００１５】
好ましくは、前記治具を用いて、前記第１及び第２の角度を略同じにする。すなわち、前記治具を用いて、前記第１の角度と前記第２の角度との差を、好ましくは±２°以内、より好ましくは±１度以内、最も好ましくは０°にする。
【００１６】
好ましくは、前記キャピラリは、前記先端の周囲に逃げ面を有する。前記キャピラリの前記中心線に垂直な平面と前記逃げ面とがなす角度が、前記第１の角度以上、かつ前記第２の角度以上である。
【００１７】
この場合、接続箇所にキャピラリの先端を接近させて接続箇所にワイヤを接続するときに、キャピラリの逃げ面と接続箇所との間の距離が同じか、キャピラリの中心線から離れるほど大きくなるので、ワイヤを接続箇所に良好に接続することができる。
【００１８】
また、本発明は、上記第２の課題を解決するために、以下のように構成したダイボンディング方法を提供する。
【００１９】
ダイボンディング方法は、（ｉ）被接続物の第１の接続箇所にダイボンド剤を塗布し、該第１の接続箇所に第１のチップを配置して接着固定する第１の工程と、（ii）被接続物の第２の接続箇所にダイボンド剤を塗布し、該第２の接続箇所に第２のチップを配置して接着固定する第２の工程とを含む。前記第１及び第２の接続箇所は、異なる角度で延在する。前記第１及び第２の工程の少なくとも一方において、治具を用いて前記被接続物を傾けることによって、前記第１の工程における前記第１の接続箇所の水平からの傾きの角度と、前記第２の工程における前記第２の接続箇所の水平からの傾きの角度との差を、前記第１及び第２の接続箇所が延在する前記角度の差よりも小さくする。なお、いずれの角度も、０°〜９０°の値で定義する。
【００２０】
上記方法によれば、ダイボンド剤を塗布し、チップを配置して接着固定するときの第１及び第２の接続箇所の水平からの傾き角度の最大値を、第１及び第２の接続箇所が延在する角度の差よりも小さくして、ダイボンド剤の垂れ、チップの位置ずれを防止することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、治具を用いて被接続物を傾けることによって、角度が異なる第１及び第２の接続箇所に、簡易に、かつ効率よくワイヤを接続することができる。また、角度が異なる第１及び第２の接続箇所について、ダイボンド剤の垂れ、チップの位置ずれを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】被接続物の部分断面模式図である。（実施例１）
【図２】ワイヤボンディング工程を示す部分断面模式図である。（実施例１）
【図３】ワイヤボンディング工程を示す部分断面模式図である。（実施例１）
【図４】接続部分の拡大断面図である。（説明例）
【図５】ワイヤボンディング工程を示す部分断面模式図である。（比較例１）
【図６】ワイヤボンディング工程を示す部分断面模式図である。（比較例１）
【図７】ダイボンディングの工程を示す部分断面模式図である（実施例２）
【図８】ダイボンディングの工程を示す部分断面模式図である（比較例２）
【図９】被接続物の部分断面模式図である。（従来例）
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図８を参照しながら説明する。
【００２４】
＜実施例１＞  実施例１のワイヤボンディング方法について、図１〜図４を参照しながら説明する。
【００２５】
図１は、被接続物１０の部分断面図である。図１に示すように、被接続物１０は、パッケージ１２に形成された凹部１３内に、第１のチップ２０及び第２のチップ３０が固定されている。第１のチップ２０は、パッケージ１２の底面１８と平行に延在する水平支持面１４に固定されている。第１のチップ２０は、例えばＡＳＩＣ等のＩＣチップである。第２のチップ３０は、パッケージ１２の底面１８に対して傾斜した傾斜支持面１６に固定されている。第２のチップ３０は、例えば角速度センサや加速度センサ等の物理量センサチップである。第１のチップ２０の第１の端子部２２と、パッケージ１２内に設けられた電極部１５とは、互いに平行に延在し、ワイヤ４０を介して接続されている。例えば、パッケージ１２は樹脂で形成され、パッケージ１２の樹脂に埋め込まれたリードフレームによって電極部１５が形成される。第１のチップ２０の第２の端子部２４は水平支持面１４に沿って延在し、第２のチップ３０の端子部３２は傾斜支持面１６に沿って延在する。そのため、第１のチップ２０の第２の端子部２４と第２のチップ３０の端子部３２とは、底面１８に対して異なる角度で延在し、ワイヤ４２を介して電気的に接続されている。
【００２６】
次に、異なる角度で延在する第１のチップ２０の第２の端子部２４と第２のチップ３０の端子部３２とをワイヤ４２で接続するワイヤボンディング方法について、図２及び図３を参照しながら説明する。図２及び図３は、ワイヤボンディング工程を示す部分断面模式図である。
【００２７】
まず、図２に模式的に示すように、傾斜面５２を有する治具５０を介して、被接続物１０をワイヤボンディング装置のテーブル３に載置し、被接続物１０がテーブル３に対して傾いた状態を保持する。
【００２８】
次いで、図３に示すように、第１のチップ２０の第２の端子部２４と第２のチップ３０の端子部３２とに、ワイヤ４２を接続する。ワイヤ４２を接続するとき、被接続物１０の傾きは、治具５０所定の角度に保持されている。
【００２９】
詳しくは、ワイヤボンディング装置のヘッド（図示せず）に保持されたキャピラリ２の先端を第１のチップ２０の第２の端子部２４に対向させた状態で、矢印８ａで示すようにキャピラリ２をテーブル３に対して垂直方向に移動させて、キャピラリ２の先端を第１のチップ２０の第２の端子部２４に接近させる。キャピラリ２内にはワイヤ４２となる金属ワイヤが挿通されており、キャピラリ２の先端からは金属ワイヤの先端部分が繰り出されている。キャピラリ２この金属ワイヤの先端部分を第１のチップ２０の第２の端子部２４に押し当て、金属ワイヤの先端部分を第２の端子部２４に超音波接合する。
【００３０】
次いで、第１のチップ２０の第２の端子部２４に金属ワイヤの先端部分が接続された状態のまま、キャピラリ２を矢印６で示すように移動させて、破線で示すようにキャピラリ２を第２のチップ３０の端子部３２に対向させる。そして、矢印８ｂで示すようにキャピラリ２をテーブル３に対して垂直方向に移動させて、キャピラリ２の先端を第２のチップ３０の端子部３２に接近させ、キャピラリ２から繰り出された金属ワイヤの中間部分を、第２のチップ３０の端子部３２に押し当て、金属ワイヤの中間部分を端子部３２に超音波接合する。
【００３１】
次いで、キャピラリ２を第２のチップ３０の端子部３２から退避させ、第１のチップ２０の第２の端子部２４と第２のチップ３０の端子部３２とを接続するワイヤ４２が残るように、金属ワイヤを切断する。
【００３２】
ワイヤボンディングは、キャピラリが接続箇所に対して垂直となる状態で行うのが一般的である。しかし、キャピラリが接続箇所に対して垂直でなくても、すなわちキャピラリが傾いていても、傾きが所定範囲内であれば、傾いていない場合と同程度の接合強度で、ワイヤを接続することが可能である。同程度の接合強度でワイヤを接続することが可能なキャピラリの傾きの許容範囲は、ワイヤの材質・寸法、キャピラリの構造・材質、キャピラリに加える圧力・超音波振動の大きさや時間等の加工条件によって変わる。
【００３３】
図４を参照しながら、さらに説明する。図４は、接続部分の拡大断面図である。図４に示すように、キャピラリ２の中心にはワイヤホール２ｚが形成されている。金属ワイヤ４４は、ワイヤホール２ｚを通ってキャピラリ２の先端２ｘから繰り出される。キャピラリ２の先端２ｘの周囲には、逃げ面２ｙが形成されている。逃げ面２ｙは、キャピラリ２の中心線２ｒの周りに回転対称に形成されている。
【００３４】
キャピラリ２は、矢印６ｘで示すように、テーブル３に対して垂直方向に移動する。すなわち、キャピラリ２は、キャピラリ２の中心線２ｒ方向に移動し、キャピラリ２の中心線２ｒはテーブル３に対して垂直である。
【００３５】
ここで、キャピラリ２の逃げ面２ｙの傾き角度をＡとする。この傾き角度Ａは、キャピラリ２の中心線２ｒに垂直な平面（すなわち、テーブル３と平行な平面）に対する逃げ面２ｙの角度である。また、テーブル３に対する接続箇所５の傾き角度をＢとする。この傾き角度Ｂは、接続箇所５に金属ワイヤ４４を接続するときの接続箇所５に対するキャピラリ２の傾きの角度、すなわち接続箇所５の法線方向とキャピラリ２の中心線２ｒとがなす角度に等しい。
【００３６】
図４に示すように、Ａ＜Ｂのとき、キャピラリ２の中心線２ｒよりも図において右側の部分において、キャピラリ２の中心線２ｒから離れるほど、逃げ面２ｙと接続箇所５との間の距離が小さくなる。この部分では、キャピラリ２の逃げ面２ｙの内周縁２ｓ側（キャピラリ２の先端２ｘに近い側）と接続箇所５との間に空間９が形成され、キャピラリ２の逃げ面２ｙの外周縁２ｔ側（キャピラリ２の先端２ｘから遠い側）が金属ワイヤ４４に当接する。そのため、金属ワイヤ４４を良好に接続することが困難になる。例えば、キャピラリ２から金属ワイヤ４４への押圧荷重や超音波振動のパワーの伝達が不十分になったり、キャピラリ２の逃げ面２ｙで金属ワイヤ４４が押し潰されて金属ワイヤ４４が細くなったり切断したり、キャピラリ２からの押圧荷重や超音波振動の伝達位置がずれて金属ワイヤ４４の接合位置がずれたり、接続箇所５にダメージを与えたりするからである。
【００３７】
一方、Ａ≧Ｂのとき、逃げ面２ｙと接続箇所５との間の距離は、同じか、キャピラリ２の中心線２ｒから離れるほど大きくなるので、金属ワイヤ４４を接続箇所５に良好に接続することができる。すなわち、キャピラリ２の中心線２ｒに垂直な平面と逃げ面２ｙとがなす角度Ａが、接続箇所５に金属ワイヤ４４を接続するときに接続箇所５の法線方向とキャピラリ２の中心線２ｒとがなす角度Ｂ以上であると、キャピラリ２の逃げ面２ｙの内周縁２ｓ側と接続箇所５との間に空間９が形成されないため、金属ワイヤ４４を接続箇所５に良好に接続することができる。
【００３８】
図２のように治具５０を用いて被接続物１０を傾ける場合、テーブル３に対する第１のチップ２０の第２の端子部２４の傾き角度をαとすると、この傾き角度αは、第１のチップ２０の第２の端子部２４にワイヤ４２を接続するときに第２の端子部２４の法線方向に対してキャピラリの中心線が傾く第１の角度に等しい。また、テーブル３に対する第２のチップ３０の端子部３２の傾き角度をβとすると、この傾き角度βは、第２のチップ３０の端子部３２にワイヤ４２を接続するときに端子部３２の法線方向に対してキャピラリの中心線が傾く第２の角度に等しい。底面１８に対する傾斜支持面１６の傾きの角度をγとすると、この傾き角度γは、第１のチップ２０の第２の端子部２４が延在する角度と第２のチップ３０の端子部３２が延在する角度との差に等しい。傾き角度α，β，γは、符号（傾きの方向）を考慮せずに、０°〜９０°の値で定義する。
【００３９】
ところで、図１のように治具５０を用いない場合、キャピラリの中心線が第２のチップ３０の端子部３２の法線方向に対して大きく傾くため、ワイヤを接続することが可能なキャピラリの傾きの許容範囲を超えることがある。そこで、図２のように治具５０を用いることにより、第１の角度（α）と第２の角度（β）との両方を、第１のチップ２０の第２の端子部２４が延在する角度と第２のチップ３０の端子部２３が延在する角度との差（γ）よりも小さくする。これによって、第１の角度（α）と第２の角度（β）とを、ワイヤを接続することが可能なキャピラリの傾きの許容範囲内にすることができる。
【００４０】
さらに、第１の角度（α）と第２の角度（β）とは、略同じにすることが好ましい。ワイヤの接合強度のばらつきを少なくすることができ、ワイヤボンディングが容易になるからである。この場合、第１の角度（α）と第２の角度（β）との差（α―β）は±２°以内が好ましく、±１°以内がより好ましく、第１の角度（α）と第２の角度（β）との差（α―β）が０°、すなわち同じ角度（α＝β）が最も好ましい。
【００４１】
より具体的には、被接続物１０の底面１８に対して傾斜支持面１６が２０°傾き、第１のチップ２０の第２の端子部２４が延在する角度と、第２のチップ３０の端子部３２が延在する角度の差が２０°である場合、治具５０を用いて、被接続物１０の底面１８をテーブル３に対して逆方向に１０°傾け、第１の角度（α）と第２の角度（β）をそれぞれ１０°にするのが、最も好ましい。この場合、キャピラリの逃げ面の傾き角度Ａが１０°を超えればワイヤ４２を良好に接続できるので、例えば、逃げ面の傾き角度Ａが１１°の汎用品のキャピラリを用いることができる。
【００４２】
キャピラリの逃げ面の傾き角度Ａは、大きくなると強度の確保や加工が困難になるため、１５°程度が限界である。ワイヤ４２を良好に接続するために、前述したようにＡ≧Ｂにすればよいので、治具５０を用いて被接続物５０を傾ける角度は、５°〜３５°程度になる。
【００４３】
＜比較例１＞  治具５０を用いない比較例１のワイヤボンディング方法について、図５及び図６を参照しながら説明する。図５及び図６は、ワイヤボンディング工程を示す部分断面模式図であり、実施例１と同じ部分には同じ符号を用いている。
【００４４】
まず、図５に示すように、被接続物１０をテーブル３に載置した状態で、すなわち被接続物１０が傾いていない状態で、矢印８ｐで示すようにキャピラリ２をテーブル３に垂直に移動させて、第１のチップ２０の第２の端子部２４にワイヤ４２を接続する。
【００４５】
次いで、図６に示すように、テーブル３を傾け、必要に応じてキャピラリ２を移動させて、キャピラリ２の先端を第２のチップ３０の端子部３２に対向させ、矢印８ｑで示すようにキャピラリ２をテーブル３に垂直に移動させて、第２のチップ３０の端子部３２にワイヤ４２を接続する。このとき、テーブル３は、第２のチップ３０の端子部３２がテーブル３と水平、すなわちキャピラリ２の中心線に対して垂直になるように傾ける。例えば、被接続物１０の底面１８に対して傾斜支持面１６が２０°傾いている場合には、テーブルを２０°傾けた状態で、ワイヤ４２を第２のチップ３０の端子部３２に接続する。
【００４６】
比較例１のようにテーブル３の角度を変える場合や、テーブル３の角度を変えずに、キャピラリを支持するヘッドの角度を変える場合には、ワイヤボンディング装置の構成が複雑になる。また、治具を介して被接続物１０をテーブルに載置し、テーブル３やヘッドの角度を変えずに、治具を用いて被接続物１０を傾けるようにすることも考えられる。しかし、いずれの場合も、ワイヤボンディングの工程途中に被接続物１０の角度を変更するための工程が必要となるため、作業効率が低下する。
【００４７】
これに対し、実施例１のように治具５０を用いると、ダイボンディングの工程途中に被接続物１０の角度を変更する工程が不要となるため、作業効率が向上する。
【００４８】
＜実施例２＞  実施例１で説明したパッケージ１２に第１のチップ２０および第２のチップ３０を接着固定する実施例２のダイボンディング方法について、図７を参照しながら説明する。図７は、ダイボンディングの工程を示す部分断面模式図である。
【００４９】
図７に示すように、治具６０を用いて被接続物１０を傾けて水平面４に載置し、水平にした傾斜支持面１６に、第２のチップ３０を接着固定する。すなわち、水平に延在する傾斜支持面１６にダイボンド剤３８を塗布し、その上に、コレット８で真空吸着した第２のチップ３０を配置して、第２のチップ３０を接着固定する。
【００５０】
第２のチップ３０を接着固定するとき、傾斜支持面１６は水平であるため、ダイボンド剤３８の垂れ、第２のチップ３０の位置ずれを防止することができる。
【００５１】
第１のチップ２０は、治具６０を用いずに、被接続物１０を水平面４に載置した状態で、水平に延在する水平支持面１４に、同様に、ダイボンド剤を塗布して接着固定する。
【００５２】
実施例２では、第１のチップ２０および第２のチップ３０のうち第２のチップ３０は、治具を用いて被接続物１０を傾けた状態でダイボンディングし、ダイボンディングするときの端子部２４，３２の傾きの角度の差は、端子部２４，３２が延在する角度の差よりも小さくする。なお、いずれの角度も、０°〜９０°の値で定義する。このようにダイボンディングすると、ダイボンディングするときの端子部２４，３２の水平からの傾き角度の最大値を、端子部２４，３２が延在する角度の差よりも小さくして、ダイボンド剤の垂れ、チップの位置ずれを防止することができる。
【００５３】
＜比較例２＞  治具６０を用いない比較例２のダイボンディング方法について、図８を参照しながら説明する。図８は、ダイボンディングの工程を示す部分断面模式図である。
【００５４】
比較例２では、図８に示すように、パッケージ１２を水平面４に載置した状態で、傾斜した傾斜支持面１６にダイボンド剤３８を塗布し、その上に、コレット８ｘで真空吸着した第２のチップ３０を配置して、第２のチップ３０を接着固定する。
【００５５】
この場合、傾斜支持面１６が水平ではなく傾いているため、塗布したダイボンド剤３８が垂れたり、配置した第２のチップ３０の位置がずれたりする。また、第２のチップ３０は、コレット８ｘで斜めに保持しながら傾斜支持面１６に配置する必要があるため、特別な形状のコレット８ｘが必要となる。
【００５６】
これに対し、実施例２では、前述したように、ダイボンド剤３８の垂れ、第２のチップ３０の位置ずれを防止することができる。また、一般的な形状のコレットを用いることができる。
【００５７】
＜変形例１＞  実施例１に示した治具５０を用いて被接続物１０を水平面に載置した状態で、第１のチップ２０および第２のチップ３０の両方を接着固定してもよい。この場合、図２のように、傾斜支持面１６の傾きは、図７の比較例２の場合よりも小さくなるため、比較例２より、傾斜支持面１６でのダイボンド剤３８の垂れ、第２のチップ３０の位置ずれを防止できる。また、水平支持面１４と傾斜支持面１６の両方について、第１及び第２のチップ２０，３０をダイボンディングする工程を同時に行うことができる。
【００５８】
変形例１では、第１のチップ２０および第２のチップ３０の両方を、治具５０を用いて被接続物１０を傾けた状態でダイボンディングし、ダイボンディングするときの端子部２４，３２の傾きの角度の差は、端子部２４，３２が延在する角度の差よりも小さくする。なお、いずれの角度も、０°〜９０°の値で定義する。このようにダイボンディングすると、ダイボンディングするときの端子部２４，３２の水平からの傾き角度の最大値を、端子部２４，３２が延在する角度の差よりも小さくして、ダイボンド剤の垂れ、チップの位置ずれを防止することができる。
【００５９】
＜まとめ＞  以上に説明したように、治具を用いて被接続物を傾けることによって、角度が異なる第１及び第２の接続箇所に、簡易に、かつ効率よくワイヤを接続することができる。また、角度が異なる第１及び第２の接続箇所について、ダイボンド剤の垂れ、チップの位置ずれを防止することができる。
【００６０】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。
【００６１】
例えば、ワイヤボンディングする第１及び第２の接続箇所は、いずれか一方又は両方が基板等に形成されてもよい。また、ワイヤボンディングする第１及び第２の接続箇所のいずれか一方又は両方が、パッケージや基板に設けられた電極部等であってもよい。ワイヤの材料は、適宜に選択すればよい。
【００６２】
治具は、適宜な形状に形成することができる。例えば、複数個の被接続物を同時に収納するパレットや、複数個分の被接続物をまとめて製造するための集合基板を保持する保持具とは別に、パレットや保持具を傾けるものであっても、パレット自体が被接続物を傾けた状態で収納する構成であっても、保持具自体が集合基板を傾けた状態保持する構成であっても構わない。
【符号の説明】
【００６３】
２    キャピラリ
２ｒ  中心線
２ｓ  内周縁
２ｔ  外周縁
２ｘ  先端
２ｙ  逃げ面
２ｚ  ワイヤホール
３  テーブル
４  水平面
５  接続箇所
８，８ｘ  コレット
９  空間
１０  被接続物
１２  パッケージ
１３  凹部
１４  水平支持面
１５  電極部
１６  傾斜支持面
１８  底面
２０  第１のチップ
２２  第１の端子部
２４  第２の端子部（第１の接続箇所）
３０  第２のチップ
３２  端子部（第２の接続箇所）
３８  ダイボンド剤
４０，４２  ワイヤ
４４  金属ワイヤ
５０，６０  治具
５２  傾斜面
【図１】
2014049522.tif 000003
【図２】
2014049522.tif 000004
【図３】
2014049522.tif 000005
【図４】
2014049522.tif 000006
【図５】
2014049522.tif 000007
【図６】
2014049522.tif 000008
【図７】
2014049522.tif 000009
【図８】
2014049522.tif 000010
【図９】
2014049522.tif 000011