(57)【要約】【課題】外観形状の異なる複数の検査対象に対して迅速な検査を行うことができる検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】検査装置は、第１の照射方向から光を照射する第１の照明部と、第１の照明部で照射された光によって生じる良品の影を含む画像データである第1の良品データを記憶する記憶部と、第１の照明部で照射された光によって生じる検査対象の影を含む画像データである第1の検査対象データを取得する検査対象取得部と、記憶部に記憶された第1の良品データに含まれる影と第1の検査対象データに含まれる影を比較する画像比較部、を備える。【選択図】図１
2014132230.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の照射方向から光を照射する第１の照明部と、
前記第１の照明部で照射された光によって生じる良品の影を含む画像データである第1の良品データを記憶する記憶部と、
前記第１の照明部で照射された光によって生じる検査対象の影を含む画像データである第1の検査対象データを取得する検査対象取得部と、
前記記憶部に記憶された前記第1の良品データに含まれる影と前記第1の検査対象データに含まれる影を比較する画像比較部、を備えた検査装置。
【請求項２】
前記記憶部は、前記第１の照射方向に対する良品の傾きを変えた複数の前記第1の良品データを記憶し、
前記比較部は、前記第１の検査対象データに基づき前記記憶部に記憶された複数の前記第1の良品データの中から一の第1の良品データを選択して比較対象とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記第１の照射方向とは異なる第２の照射方向から光を照射する第２の照明部をさらに備え、
前記記憶部は、前記第２の照明部で照射された光によって生じる良品の影を含む画像データである第２の良品データを記憶し、
前記検査対象取得部は、前記第２の照明部で照射された光によって生じる検査対象の影を含む画像データである第２の検査対象データを取得し、
前記画像比較部は、前記記憶部に記憶された前記第２の良品データに含まれる影と前記第２の検査対象データに含まれる影を比較する請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記記憶部は、前記第２の照射方向に対する良品の傾きを変えた複数の前記第２の良品データを記憶し、
前記比較部は、前記第２の検査対象データに基づき前記記憶部に記憶された複数の前記第２の良品データの中から一の第２の良品データを選択して比較対象とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
第１の照射方向から照射された光によって生じる良品の影を含む画像データである第1の良品データを記憶し、
第１の照射方向から照射された光によって生じる検査対象の影を含む画像データである第1の検査対象データを取得し、
前記良品データを記憶する処理で記憶された前記第1の良品データに含まれる影と前記第1の検査対象データに含まれる影を比較する処理をコンピュータが実行する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品が実装された基板等を装置に組み込む際に、その基板に実装された電子部品に不良が無いかの外観検査が必要となる。例えば、基板上の部品に破損や欠落があった場合、コネクタに変形があった場合、あるいはハンダ付けに不良があった場合、その基板を装置に組み込むと装置を破損等させてしまうため、外観上で判断できる不良は目視による外観検査が行われていた。この外観検査を自動化する装置として、従来、以下のようなものがあった。
【０００３】
例えば、被検査画像をマスタ画像と比較する検査方法や、ウエハに３点の位置合わせポイントを設ける欠陥検査装置や、照明器の方向を変えて撮影する外観検査装置が知られている（例えば、特許文献１、特許文献２及び特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−０５３３６９号公報
【特許文献２】特開２０００−２３２１３８号公報
【特許文献３】特開平０８−１８４４１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記先行技術においては、外観形状の異なる複数の検査対象に対して迅速な外観検査を行うことができなかった。
【０００６】
そこで、一側面では、外観形状の異なる複数の検査対象に対して迅速な検査を行うことができる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一つの案では、検査装置は、第１の照射方向から光を照射する第１の照明部と、前記第１の照明部で照射された光によって生じる良品の影を含む画像データである第1の良品データを記憶する記憶部と、前記第１の照明部で照射された光によって生じる検査対象の影を含む画像データである第1の検査対象データを取得する検査対象取得部と、前記記憶部に記憶された前記第1の良品データに含まれる影と前記第1の検査対象データに含まれる影を比較する画像比較部、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
一態様によれば、外観形状の異なる複数の検査対象に対して迅速な検査を行うことができる検査装置及び検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】外観検査装置のシステム構成を説明する機能ブロック図
【図２】外観検査装置の第１のフェーズの動作を説明するフローチャート
【図３】外観検査装置の第２のフェーズの動作を説明するフローチャート
【図４】ずれ補正の動作を説明するフローチャート
【図５】図面データの取り込みを説明する図
【図６】画像データの取り込みを説明する図
【図７】画像の倒れを説明する検査位置での正面図
【図８】画像の倒れを説明する図面データと画像データの対比
【図９】画像の位置ずれを説明する図面データと画像データの対比
【図１０】画像の大きさの差異を説明する図面データと画像データの対比
【図１１】マスタ画像の取り込み方法を説明する図
【図１２】検査対象の形状の違いによる影のでき方の違いを説明する図
【図１３】画像データとマスタ画像との比較方法を説明する図
【図１４】正常品であるコネクタの上面図（ａ）、正面図（ｂ）及び右側面図（ｃ）
【図１５】一部のピンが折れたコネクタの上面図（ａ）、正面図（ｂ）及び右側面図（ｃ）
【図１６】検査対象を第１の照射方向及び第２の照射方向から照射した場合を説明する図
【図１７】正常品の画像データを説明する、第２の照射方向からの画像データ（ａ）、第１の照射方向からの画像データ（ｂ）
【図１８】異常品の画像データを説明する、第２の照射方向からの画像データ（ａ）、第１の照射方向からの画像データ（ｂ）
【図１９】検査対象に傾きが無い場合の影を説明する、正面図（ａ）及び上面図（ｂ）
【図２０】検査対象が照明の照射方向に対して左右に傾いている場合の影を説明する、正面図（ａ）及び上面図（ｂ）
【図２１】検査対象が照明の照射方向に対して前後に傾いている場合の影を説明する、正面図（ａ）及び上面図（ｂ）
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
【００１１】
図１は、外観検査装置のシステム構成を説明する機能ブロック図の一例である。図１において、外観検査システム１００は、外観検査装置１に接続された機器類によって構成される。外観検査装置１には、スキャナ２、カメラ３、照明システム４、データサーバ５が接続されている。
【００１２】
外観検査装置１は、機能ブロックとして、スキャナ制御部１１、カメラ制御部１２、照明制御部１３、通信制御部１４、図面データ記憶部１５、画像データ記憶部１６、画像データ補正部１７、画像データ比較部１８、及び良品画像データ記憶部１９を備えている。外観検査装置１の各機能ブロックは、ハードウエアで実装してもソフトウエアで実装しても良い。また、インターフェイスボード等によるミドルウエアにより実装しても良い。例えば、図示しないＣＰＵ、メモリ、記憶装置等のハードウエアを利用して実行されるアプリケーションソフトウエアとして実装することができる。本実施例で示す機能ブロックは、その機能を説明するための便宜上の機能の区分けであるため、例えば、２以上の機能ブロックを１つの機能ブロックとして実装したり、１つの機能ブロックをさらに複数の機能ブロックに分割して実装したりすることができる。
【００１３】
スキャナ２は、図面を読み込んで図面データとする。スキャナ２によって読み込まれた図面データは、スキャナ制御部１１によって外観検査装置１に取り込まれる。スキャナ制御部１１は、例えば、図示しないスキャナ制御用の拡張ボードを、外観検査装置のバスに取り付けたものであっても良い。また、スキャナ制御部１１は、規格化されたシリアルバスを制御するものであっても良い。
【００１４】
スキャナ制御部１１によって取り込まれた図面データは、図面データ記憶部１５に記憶される。記憶される図面データは、スキャナ２によって読み込まれた画像データを、例えば規格化された方式により画像圧縮したものであっても良い。また、スキャナ制御部１１等によって、画像データに対して微分加工、あるいは２値化等の画像補正をした画像データであっても良い。また、ラスタデータである画像データから、スキャナ制御部１１等によってベクタデータを抽出したものであっても良い。図面データ記憶部１５は、図示しない内部メモリやハードディスクなどの記憶手段を利用することができる。
【００１５】
カメラ３は、検査対象の基板等の画像を撮影して画像データとする。カメラ３によって撮影された画像データは、カメラ制御部１２によって外観検査装置１に取り込まれる。カメラ制御部１２は、例えば、図示しないカメラ制御用の拡張ボードを、外観検査装置のバスに取り付けたものであっても良い。また、カメラ制御部１２は、規格化されたシリアルバスを制御するものとして、スキャナ制御部１１と共用するものであっても良い。
【００１６】
カメラ制御部１２によって取り込まれた画像データは、画像データ記憶部１６に記憶される。記憶される画像データは、カメラ３によって読み込まれた画像データを、例えば規格化された方式により画像圧縮したものであっても良い。また、カメラ制御部１２等によって、画像データに対して微分加工、あるいは２値化等の画像補正をした画像データであっても良い。また、ラスタデータである画像データから、カメラ制御部１２等によってベクタデータを抽出したものであっても良い。画像データ記憶部１６は、図示しない内部メモリやハードディスクなどの記憶手段を利用することができる。
【００１７】
照明制御部１３は、検査対象をカメラ３で撮影するために、照明システム４の照明の点灯を制御する。例えば、照明システム４が検査対象に対して異なる角度から照明を当てるように設置位置を異にする複数の照明を備えている場合、各照明の点灯／消灯のタイミングを制御して、検査対象に異なる角度から照明が当てられる様に制御する。また、検査対象に合わせて照度や光の照射範囲を調整しても良い。照明システム４は、光源として、キセノンランプ、ハロゲンランプ、またはＬＥＤランプなどが利用される。照明制御部１３は、移動している検査対象物に対して例えばキセノンランプを短時間発光させることにより、カメラ３にて静止した検査対象の画像データを撮影することができる。
【００１８】
通信制御部１４は、外観検査装置１の外部装置との通信を制御する。本実施例においては、外観検査装置１が、外部装置としてデータサーバ５に有線又は無線のネットワークにより接続されている。データベースサーバ５は、図面ＤＢ５１と画像ＤＢ５２を備えている。図面ＤＢ５１には、スキャナ２で読み込んだ図面データを、図面データ記憶部１５に記憶させるのに加えて、又は図面データ記憶部１５に記憶するのに代えて、記憶させることができる。同様に、画像ＤＢ５２には、カメラ３で撮影した画像データを、画像データ記憶部１６に記憶させるのに加えて、又は画像データ記憶部１６に記憶させるのに代えて、記憶させることができる。つまり、本実施例においては、図面データ記憶部１５及び画像データ記憶部１６を内部ストレージとして利用するのと同様に、図面ＤＢ５１及び画像ＤＢ５２を外部ストレージとして利用することを可能としている。また、図面ＤＢ５１には、図３で説明する、良品画像データ記憶部１９に記憶する、良品の第１照明の画像データ、良品の第２照明の画像データ、又は良品の第１照明の画像データ及び良品の第２照明の画像データの両方を外部ストレージとして利用することを可能にしている。
【００１９】
ここで、図１で図示するデータベースサーバ５には、１台の外観検査装置１が接続されている様子を示しているが、例えばデータベースサーバ５に複数の外観検査装置が接続されるシステムにおいては、図面ＤＢ５１に記憶された図面データ、及び画像ＤＢ５２に記憶された画像データを、複数の外観検査装置で共有することができる。このシステム構成により、スキャナ２で読み込んだ図面データを他の外観検査装置で流用することができる。また、カメラ３で撮影された画像データを他の外観検査装置で流用することができる。
【００２０】
画像データ補正部１７は、カメラ３で撮影された画像データを、図面データを基に補正する。補正の方法の詳細は後述する。
【００２１】
画像データ比較部１８は、画像データ補正部で補正された画像データを図面データと比較して、部品の欠陥やハンダの不良を判定する。判定の方法の詳細は後述する。
【００２２】
良品画像データ記憶部１９は、既に目視検査で良品であると判断された検査対象をカメラ３で撮影した画像データを記憶する。良品画像データの使用方法については後述する。
【００２３】
次に、外観検査装置１の動作について、図２、図３及び図４を用いて説明する。図２は、外観検査装置の第１のフェーズの動作を説明するフローチャートの一例である。図４は、ずれ補正の動作を説明するフローチャートの一例である。また、図２及び図４のフローチャートの各ステップの詳細は、適宜別図面にてで説明する。また、図２のＡの部分から続くフローチャートは、第２のフェーズにおける動作として図３において後述する。
【００２４】
図２において、先ず、図面データを取り込む（Ｓ１１）。Ｓ１１における図面の取り込みは、図５を用いて説明する。
【００２５】
図５において、図面データの取り込みは２つの方法により行われる。第１の方法は、検査対象の図面が印字された紙をスキャナ２に読み込ませ、それを直接外観検査装置１に取り込む方法である。第２の方法は、検査対象の図面が予め図面データとして記憶されたものを読み出して取り込む方法である。
【００２６】
先ず、第１の方法を図５にて説明する。図５において、検査対象のマスタ図面であるＭ１は用紙に印字されている。この実施例では、マスタ図面Ｍ１は部品が搭載された電子基板の図面である。マスタ図面Ｍ１の図示網掛け部分は、ＣＰＵ、メモリ、コンデンサ、抵抗、コネクタ等の電子部品が取り付けられた図面が印字された部分であり、図５では記載を省略して網掛けで表している。マスタ図面Ｍ１には、位置決めの基準となるマークである、マスターマークｍｍ１、ｍｍ２及びｍｍ３が印字されている。また、用紙の下部には、図番と、図番に相当する２次元バーコードが印字されている。この用紙を、スキャナ２に読み込ませる。スキャナ２は、送信先の選択をタッチパネルにより行い、印字された図面をスキャンして読み取り、外観検査装置１に送信する。外観検査装置１は、送信された図面データとして取り込む。第１の方法においては、図面データの取り込みは、スキャナ制御部１１が行う。
【００２７】
次に第２の方法を同じく図５にて説明する。図５において、図面データは、データベースサーバ５の図面ＤＢ５１に既に存在しているものとする。図面データの図面ＤＢ５１への入力は、例えば、第１の方法で説明したスキャナ２による図面の読み込みにて、図面データの送信先をデータベースサーバ５にして、ネットワークを通じて入力する方法や、画像検査装置１から入力する方法がある。第２の方法において、図面データの取り込みは、通信制御部１４がネットワークを通じて、図面ＤＢ５１に記憶されている図面データから行う。
【００２８】
本実施例における画像検査装置は、図面データの取り込みを、上記２つの方法を選択して、いずれかの方法によって行うことができる。
【００２９】
なお、印字されたマスタ図面Ｍ１は必ずしも検査対象と同縮尺の図面でなくても良い。例えば、図面はＡ４の用紙に印字可能なように縮小されたものであっても良い。また、マスタ図面Ｍ１の図面は、写真のような図面であっても線画による図面であっても良い。
【００３０】
図２のフローチャートに戻る。Ｓ１１で取り込まれた図面データを、図面データ記憶部１５に記憶する（Ｓ１２）。ここで、図面データが上記第１の方法で取り込まれた場合は、図面データを図面データ記憶部１５に記憶するとともに、データベースサーバ５の図面ＤＢ５１に送信して記憶させても良い。
【００３１】
図面データは、検査対象に応じて、複数の図面データが存在し得る。例えば、電子基板の品種によって電子基板の形状や搭載されている電子部品が異なり、異なった品種の検査対象の外観検査を行う場合には、それぞれの検査対象に応じた図面データを用意する必要がある。上記Ｓ１１とＳ１２の工程で記憶される電子データは、検査対象に応じて異なる複数の図面データを予め図面データ記憶部１５又は図面ＤＢ５１に記憶させておくことができる。図面データには、検査対象に応じたマスターマークを使用することができる。例えば、マスターマークの形状、配置、個数等を検査対象に応じて変えて使用することができる。図５で説明した、図面に記載された図番や２次元バーコードをマスターマークの一部として使用することもできる。なお、複数の図面データを検査対象に応じて記憶して、複数種類の検査対象を混在させて外観検査を行う場合においては、次に説明する画像データの取り込みにてテストマークを判別して、比較対象となる図面データを選択することができる。
【００３２】
次に、画像データを取り込む（Ｓ１３）。画像データの取り込みを、図６を用いて説明する。図６は、画像データの取り込みを説明する図の一例である。
【００３３】
図６において、検査対象となる電子基板は、図面データに対応して制作されたものであり、電子基板上に搭載されている電子部品は、その図面データに基づき配置されている。検査対象の電子基板が複数種類となる場合、それぞれの電子基板に対応した図面データは、それぞれＳ１２の工程にて図面データ記憶部１５に記憶されている。
【００３４】
検査対象の電子基板は、Ｙ１方向に流れるベルトコンベア上に設けられた検査台に載置されて検査位置まで搬送される。検査位置の上方であるＺ１方向には、カメラ３が設置されており、検査位置の電子基板を撮影する。図１で説明した照明システム４には、本実施例では照明１、照明２及び照明３の３つの照明が備えられており、それぞれ検査対象である電子基板を異なった角度で照射できる。Ｓ１３における画像データ取り込みにおいては、カメラ３の近傍に設置された照明１により照明が照射がされて撮影が行われる。照明制御部１３は、検査対象がベルトコンベア上の検査位置に来たときに、照明１を短時間ＯＮにする。カメラ３は、検査位置にて照明１によって照らされた検査対象を撮影する。撮影された検査対象はカメラ制御部１２を通じて外観検査装置１に取り込まれる。
【００３５】
次に、Ｓ１３にて取り込まれた画像データについて、画像のずれ補正を行う（Ｓ１４）。画像のずれ補正は、複数の検査対象が混在する場合においては、先ず取り込まれた画像データの中から、テストマークの抽出を行う。テストマークは、検査対象の電子基板に対応した図面データのマスターマークに対応している。テストマークを検査対象毎に例えば、位置や形状を変えることにより、テストマークの位置や形状から一致するマスターマーク一意に選択し、そのマスターマークを含む図面データを選択することができる。テストマークは取り込まれた図面データと同様の画像のずれを含んでいるが、ここでの画像のずれは一意のマスターマークを選択できる程度の許容範囲であるものとする。画像のずれ補正は、テストマークとマスターマークの一致により選択された図面データを基にして行う。画像のずれ補正の詳細は図７〜１０図を用いて後述する。
【００３６】
次に、ずれ補正を行った画像データと図面データとの画像の比較を行う（Ｓ１５）。画像の比較は、図面データに配置された電子部品の外観上の形状と、画像データとのパターンマッチングによる比較によって行われる。例えば、画像データを微分処理して、撮影された検査対象に搭載された電子部品やコネクタの輪郭を抽出して図面データと比較しても良い。輪郭同士の比較によって、例えば部品の一部が欠損している場合や、形状の違いを判定できる。また、画像データをグレイスケールとして図面データのグレイスケール濃度と比較しても良い。これにより、例えば電子基板上に配置されるべき部品の欠品等が判定できる。画像比較によってＮＧであった場合（Ｓ１５でＮ）は、不良判定を行い、検査対象を排除するほか、図示しない表示器等で判定が不良であった旨を表示しても良い。Ｓ１５の画像比較までの外観検査を本実施例では「第１のフェーズ」というものとする。
【００３７】
画像比較でＯＫであった場合（Ｓ１５でＹ）、画像検査装置１は、図３で示されるＡに続く工程にて外観検査を行う。本実施例では、図３で示される外観検査を「第２のフェーズ」というものとする。
【００３８】
先ずは、第１のフェーズにおける外観検査における、Ｓ１４の「ずれ補正」の詳細について、図７乃至図１０を用いて説明する。この実施例においては、画像のずれとして、「画像の倒れ」、「画像の倍率差」、及び「画像の位置ずれ」を例示している。
【００３９】
先ず、「画像の倒れ」とは、「画像の歪み」の一つであり、図７及び図８で示す通り、検査対象を撮影した画像データが、コンベア上で検査対象がＺ方向で高さが不均一になり、水平面から傾くことにより、撮影された画像が倒れたように斜めに歪むことをいう。カメラが検査対象から鉛直方向の無限遠に存在する場合、撮影された画像は正射投影された画像となり、図面データ上で平行な２線は平行に撮影される。しかし、検査対象がカメラに対して斜めになった場合は検査対象の画像は倒れを伴って撮影され、図面データ上の平行な２線は検査対象の傾きに伴って、平行から所定の倒れ角度で斜めになって撮影される。画像の倒れは撮影された画像データを、座標変換により画像を本来の正射投影された画像に補整することにより倒れが補正される。
【００４０】
画像の位置ずれとは、図９に示す通り、検査対象を撮影した画像データがベルトコンベア上のＸ−Ｙ平面内で、移動、回転、又は移動と回転をしている場合である。
【００４１】
なお、以下で説明する画像のずれ補正は、本実施例においては、判定を画像データ比較部１８で行い、補正を画像データ補正部１７で行う。しかし、処理の主体は必ずしも本実施例に限定されるものではなく、例えば画像を編集するアプリケーションによって画像データの比較と補正を行っても良い。
【００４２】
画像の倍率差とは、図１０に示す通り、検査対象を撮影した画像データがカメラの倍率、又はカメラとの距離によって大きく又は小さくなり、マスタ図面との大きさ（倍率）が違ってしまう場合である。画像の倍率差は、例えばカメラ３のレンズの倍率、カメラ３と検査対象との距離、さらには、マスタ図面の縮尺倍率の誤差によって生じる。
【００４３】
図４において、画像のずれ補正は、先ず画像データに倒れが有るか否かが判定される（Ｓ１４１）。画像データに倒れがある場合は（Ｓ１４１でＹ）、倒れ補正を行う（Ｓ１４２）。また、画像データに倒れが無ければ次のステップに移動する。
【００４４】
ここで、図７及び図８を用いて画像の倒れを説明する。図７は、画像の倒れを説明する検査位置での正面図の一例である。図８は、画像の倒れを説明する図面データと画像データの対比の一例である。
【００４５】
図７において、ベルトコンベア上の検査台に載置された検査対象の電子基板はイの状態でカメラ３により撮影されて、画像データが外観検査装置１に取り込まれる。電子基板上には、複数の長方形のテストマークｔｍＡ、ｔｍＢ及びｔｍＣが印刷等されている。図７では、テストマークの位置が理解しやすいように、電子基板上から盛り上がった状態で表現しているが、実際は電子基板面に印刷されて同一面である。また、テストマークはシール等により電子基板上に貼付されていても良い。
【００４６】
電子基板はコンベア上の治具等により水平に保たれて載置される。しかし、例えば様々な形状の電子基板が同じベルトコンベアで混合されて外観検査を行う場合等、検査台の治具の形状を電子基板に合わせて多数用意することはコストがかかる。このため、検査台を平面にして電子基板をそのまま載置できれば、専用の治具が不要となる。
【００４７】
図７のロの状態は、電子基板の裏面の部品形状等により、検査対象の電子基板が水平からθの角度傾いた場合を示している。なお、ここでは倒れを理解しやすいようにθを大きくして表現しているが、実際の検査では部品の欠落等で生じる僅かな傾きでも倒れ判定にて補正をすることができる。
【００４８】
電子基板がロの状態になって傾くと、電子基板上に印刷された長方形のテストマークは、長方形のＺ１方向における下辺と上辺でカメラまでの距離差が生じる。なお、図７では、カメラ３から電子基板までの距離は十分遠く、レンズの画角は無視できるものとして、図ではカメラのレンズ面を平面で表現している。
【００４９】
図８（ｂ）において、撮影された画像データＴ０は、図８（ａ）の図面データの中でマスタ図面Ｍ０が長方形なのに対して画像の倒れにより台形状の画像となる。また、複数のテストマークｔｍＡ〜ｔｍＣの形状も画像の倒れにより台形となる。また、テストマークｔｍＡ〜ｔｍＣの中で、カメラに一番近い位置にあるテストマークｔｍＣの大きさ（倍率）が、やはり画像の倒れにより、他のテストマークｔｍＡ及びｔｍＢに比べて大きくなる。
【００５０】
ここで、画像の歪みの一つである、画像の倒れの補正（Ｓ１４２）の方法について説明する。図８（ａ）において、複数のマスターマークｍｍＡ〜ｍｍＣの長方形の長辺の長さをｌとする。一方、図８（ｂ）において、テストマークｔｍＡは、ｌａ１とｌａ２の上辺と下辺を持つ台形となる。同様にテストマークｔｍＢは、ｌｂ１とｌｂ２の上辺と下辺を持つ台形となり、テストマークｔｍＣは、ｌｃ１とｌｃ２の上辺と下辺を持つ台形となる。ここで、例えば、カメラに一番近いテストマークであるテストマークｔｍＣにおけるｌｃ１とｌｃ２の比を測定すれば、画像の倒れの大きさを測定することができる。また、複数のテストマークｔｍＡ〜ｔｍＣのｌａ２、ｌｂ２及びｌｃ２の長さの比を取れば、テストマーク同士の比較によって画像の倒れの大きさを測定することができる。さらに、上記台形の上辺と下辺が平行で無い場合には、長方形の短辺の形状を合わせて計測することにより電子基板がどの方向に傾いた場合であっても倒れ補正が可能となる。画像の倒れが計算できれば、撮影した画像データＴ０全体に倒れ補正を行い、画像データＴ０を長方形の画像に補正することができる。倒れ補正によってｌａ１、ｌａ２、ｌｂ１、ｌｂ２、ｌｃ１及びｌｃ２は同じ長さに補正される。倒れ補正を行うことにより、マスタ図面Ｍ０と画像データＴ０とは相似形となる。複数のテストマークを組み合わせて比較対象とすることにより、マスターマークとの比較をそれぞれのテストマークによって行うことにより、例えば１のテストマークによる補正値に異常があった場合でも、他のテストマークの補正値との比較によってその異常を発見できることができる。また、テストマーク間の形状の比較により。傾きの把握を正確に行うことができる。
【００５１】
上記倒れ補正により、電子基板が水平で無い場合であっても電子基板の傾きを修正することができる。これにより、検査台に検査対象に応じた特別な治具が不要になり、電子基板の裏面の形状に拘わらず外観検査を行うことができるため装置のコストが削減できる。また、作業者が電子基板を検査台に手で載置する場合も、正確な位置決めが不要となり作業効率が向上する。
【００５２】
次に、倒れ補正によって同じ長さに補正されたｌａ１〜ｌｃ２の長さをｌｔとすると、マスターマークｍｍＡ〜ｍｍＣの長方形の長辺ｌとｌｔに長さに差異があるか否かを判定する（Ｓ１４３）。ここで、画像データＴ０は既に倒れが補正されているため、長辺ｌとｌｔに長さに差異は、マスタ図面Ｍ０と画像データＴ０の大きさ（倍率）の違いである。この大きさの違いは、例えばカメラ３から検査対象の電子基板までの距離が近くなったり遠くなったりすることにより、取り込まれた画像データＴ０の大きさにばらつきが生じることにより発生する。また、カメラのレンズの倍率によって取り込まれた画像データＴ０の大きさとマスタ図面Ｍ０の大きさに差異がある場合に発生する。さらに、マスタ図面の縮尺が実際の検査対象と異なっている場合に発生する。
【００５３】
大きさに差異がある場合（Ｓ１４３でＹ）、大きさが修正されて（Ｓ１４４）、大きさに差異がない場合（Ｓ１４３でＮ）、次のステップに進む。
【００５４】
大きさの修正は、例えば、ｌとｌｔとの比率によって計算されて、この比率で画像データＴ０全体の縮尺を変更することにより行われる。この大きさ補正により、相似であったマスタ図面Ｍ０と画像データＴ０は合同となる。
【００５５】
大きさ修正によって、カメラ３のレンズの倍率やカメラ３の高さの微調整が不要となり、装置のメンテナンスが容易になる。また、マスタ図面作成時の図面印字倍率について事前に調整する必要がなくなり、簡単に外観検査で使用するマスタ図面の印字やデータ取り込みができることとなる。
【００５６】
次に、大きさ補正によって合同となったマスタ図面Ｍ０と画像データＴ０のマークの中心位置の比較により位置ずれの有無を判定する（Ｓ１４５）。中心座標の計算は長方形の長さを求める過程で、テストマークｔｍＡ〜ｔｍＣについてそれぞれを計算する。中心座標はＸ−Ｙ平面上のｘｙ座標によって計算される。計算された中心座標にずれがある場合、位置ずれがあると判定されて（Ｓ１４５でＹ）、位置修正を行う（Ｓ１４６）。また、位置ずれが無いと判定された場合は（Ｓ１４５でＮ）、ずれ補正のサブルーチンを終了し、もとのフローチャートに戻る。
【００５７】
位置ずれがある場合とは、倒れ補正及び大きさ補正によって合同となったマスタ図面Ｍ０と画像データＴ０が、Ｘ−Ｙ平面上で平行移動あるいは回転移動をしている場合である。従って、例えばマスターマークｍｍＡの中心位置とテストマークｔｍＡの中心位置を合わせて、マスターマークｍｍＢの中心位置とテストマークｔｍＢの中心位置、又はマスターマークｍｍＣの中心位置とテストマークｔｍＣの中心位置を回転によって合わせる事により、マスタ図面Ｍ０と画像データＴ０はＸ−Ｙ平面で同じ座標になる。従って、マスタ図面Ｍ０に描かれた電子部品やコネクタの位置と、撮影された画像データＴ０における電子部品やコネクタの位置が同じになり、両者の画像の比較によって部品欠落などの不良を容易に検査できるようになる。
【００５８】
次にマスターマークの形状が異なる場合、及び画像データのずれが異なる場合における動作について例示する。
【００５９】
図９は、検査対象に印刷されるマークが円形であり、画像データが位置ずれしている場合を説明している。図９は、画像の位置ずれを説明する図面データと画像データの対比の一例である。
【００６０】
図９（ａ）において、図面データの中のマスタ図面Ｍ１は、長方形の電子基板の図面であり、３つマスターマークｍｍ１〜ｍｍ３を備えている。マスターマークｍｍ１〜ｍｍ３のそれぞれの中心座標は、（ｘ１,ｙ１）、（ｘ２,ｙ２）及び（ｘ３,ｙ３）である。
【００６１】
一方、図９（ｂ）において、カメラ３によって撮影されて外観検査装置１に取り込まれた画像データＴ１は、Ｘ−Ｙ平面で位置ずれをして、角度θにて回転している。取り込まれた画像データＴ１が図９（ｂ）の場合、図４で説明したずれ補正において、倒れ補正は無し（Ｓ１４１でＮ）であり、また、大きさの差異も無し（Ｓ１４３でＮ）であり、位置ずれのみ有り（Ｓ１４５でＹ）となる。
【００６２】
図９（ｂ）において、図面データＴ１には、テストマークｔｍ１〜ｔｍ３を有している。マスターマークｍｍ１〜ｍｍ３の中心座標とテストマークｔｍ１〜ｔｍ３の中心座標である、（ｘｔ１,ｙｔ１）、（ｘｔ２,ｙｔ２）及び（ｘｔ３,ｙｔ３）に対して、両者の座標を図面データＴ１の回転と移動により行うことにより、マスタ図面Ｍ１との位置合わせができる。例えば、（ｘ１,ｙ１）と（ｘｔ１,ｙｔ１）を合わせておき、図面データＴ１の回転によって（ｘ３,ｙ３）と（ｘｔ３,ｙｔ３）を合わせる。
【００６３】
次に、図９（ａ）で説明したマスタ図面Ｍ１が、カメラ３による撮影によって大きさが変わってしまった場合のずれ補正を図１０によって説明する。図１０は、画像の大きさの差異を説明するマスタ図面と画像データの対比の一例である。図１０（ａ）は、図９（ａ）と同じであるので説明は省略する。
【００６４】
図１０（ｂ）において、カメラ３によって撮影されて外観検査装置１に取り込まれた画像データＴ２は、カメラ３の倍率とマスタ図面Ｍ１の大きさの差異により、Ｔ２の図面全体において倍率が異なっている。取り込まれた画像データＴ２が図１０（ｂ）の場合、図４で説明したずれ補正において、倒れ補正は無し（Ｓ１４１でＮ）であり、大きさの差異は有り（Ｓ１４３でＹ）となる。
【００６５】
図１０（ｂ）において、画像データＴ２は、テストマークｔｍ４、ｔｍ５及びｔｍ６を有している。テストマークｔｍ４〜ｔｍ６の中心座標である、（ｘｔ４,ｙｔ４）、（ｘｔ５,ｙｔ５）及び（ｘｔ６,ｙｔ６）を求めた後、テストマークｔｍ４とｔｍ５の中心間距離を（ｘｔ４−ｘｔ５、ｙｔ４−ｙｔ５）にて算出し、マスターマークｍｍ１とｍｍ２の中心距離を（ｘ１−ｘ２、ｙ１−ｙ２）にて算出する。求められたそれぞれの距離の比に応じて画像データＴ２の縮尺を変更すれば大きさの修正ができる。なお、中心点間距離は、ｍｍ１とｍｍ３の距離に対するｔｍ４とｔｍ６の間の距離であっても良い。
【００６６】
大きさを補正した後は、図９で説明した位置ずれの判定を行い（図４のＳ１４５）、位置修正を行う（Ｓ１４６）。
【００６７】
図７及び図８で説明した実施例では、倒れ補正を行うためのマスターマークは長方形の形状であったが、マスターマークが図９の様に円形であったとしても、電子基板の傾きに応じた楕円の形状によって倒れ判定をすることができる。
【００６８】
なお、マスターマークの形状や中心位置は、図２のＳ１１で取り込まれた図面データから、画像データ比較部１８によって予め抽出しておく。また、Ｓ１１で取り込まれた図面データに対して、図番毎に予め決められた位置及び形状をメタデータとして図面データとともに図面データ記憶部１５に記憶しておいても良い。本実施例では、マスターマークは、図面データ上の所定の半径をもつ円形や所定の大きさの長方形であり、Ｘ―Ｙ平面における図面データの端部近傍に３点設けられている。しかし、マスターマークの位置や形状は他の位置や形状であっても良い。マスターマークの位置や形状を、カメラで撮影した画像データから抽出できるものであれば良い。
【００６９】
以上説明したずれ補正によって、位置決めが正確に行われない場合であっても外観検査を行うことができる。
【００７０】
次に、図２におけるＳ１５において、画像比較がＯＫであり、第１のフェーズを良品とされた場合における第２のフェーズにおける外観検査を説明する。フェーズ１では、部品を検査位置上部に配置されたカメラ３で撮影した画像データにより、マスタ図面を基準としてマスタ図面に対応した部品の欠落等を検査したが、図面データからのみでは判断しにくい電子部品の破損やハンダ不良については、必ずしも第１のフェーズによる外観検査のみでは発見できない場合があった。
【００７１】
そこでフェーズ２においては、外観上良品である実際の製品をマスタ画像として登録し、マスタ画像と検査対象の画像とのパターンマッチングにより外観検査を行う。フェーズ２における外観検査の方法を、図３、図１１乃至図２１によって説明する。図３は、外観検査装置の第２のフェーズの動作を説明するフローチャートの一例である。第２のフェーズは、図２で説明した第1のフェーズで、画像の比較がＯＫであった場合（Ｓ１５でＹ）、Ａの部分からスタートする。
【００７２】
図３において、外観検査装置１はマスタ画像を取り込む（Ｓ２１）。フェーズ２で使用するマスタ画像の取り込み方法について図１１を用いて説明する。図１１は、マスタ画像の取り込み方法を説明する図の一例である。
【００７３】
図１１において、目視にて外観検査が既に完了している良品を検査位置に載置して、検査対象に対して第１の照射方向と第２の照射方向から順次照明を照射する。ここで第１の照射方向及び第２の照射方向とは、それぞれが検査対象の鉛直方向から所定の立体角度を有する方向であり、第１の照射方向と第２の照射方向は、Ｘ−Ｙ平面において別角度から検査対象を照射する。本実施例では、図６において、照明２による照明の照射方向を第１の照射方向とし、照明３による照明の照射を第２の照射方向とする。本実施例では、照明２と照明３は、Ｘ−Ｙ平面上で略９０°離れた角度から、検査対象に対して斜め上方から照明を照射する場合を例示している。
【００７４】
第１の照射方向からの照明の照射、及び第２の照射方向からの照明の照射によって、検査対象には検査対象の部品等の凹凸に対応した影が生じる。第１の照射方向からの照明による影と第２の照射方向からの照明による影は、Ｘ−Ｙ平面上で略９０°異なる方向に伸びて発生する。それぞれの影の長さは、照明照射角度が小さい程（低い位置から照明を照射する程）長くなり、照射角度が大きくなる程（高い位置から照射する程）短くなる。検査の判定で使用するための影の長さは検査対象に取り付けられる電子部品等の高さによって調整を行う。影の形状は照明照射方向から検査対象の輪郭により形成されるため、照射される照明はなるべく平行光であることが望ましい。
【００７５】
図１の照明制御部１３は、先ず、第１の照射方向となる図６における照明２を点灯させる。第１の照射方向から照明を照射された影がある良品の画像データを「良品の第１照明の画像データ」とする。良品の第１照明の画像データは、カメラ３により撮影されて、外観検査装置１に取り込まれて、良品画像データ記憶部１９に記憶される。照明制御部１３は、照明２を消灯し、次に、第２の照射方向となる図６における照明３を点灯させる。第２の照射方向から照明を照射された影がある良品の画像データを「良品の第２照明の画像データ」とする。良品の第２照明の画像データは、良品の第１照明の画像データと同様にカメラ３により撮影されて、外観検査装置１に取り込まれて、良品画像データ記憶部１９に記憶される。良品の第１照明の画像データと良品の第２照明の画像データは、そのいずれかを、あるいはその両方をマスタ画像とすることができる。この実施例では、良品の第１照明の画像データと良品の第２照明の画像データの両方をマスタ画像として検査対象の画像データと比較する方法を説明する。また、この実施例では、良品の第１照明の画像データと良品の第２照明の画像データはそれぞれ１の画像データの場合を説明するが、例えば、照明の色や照度を変更して撮影された複数の画像データで構成される画像データ群を、良品の第１照明の画像データ及び良品の第２照明の画像データとしても良い。
【００７６】
この工程により、平面的な図面データからのみでは表現しにくい立体的な形状を有する検査対象であっても、複雑な３次元の図面データを作成することなく、実際の良品との外観を比較するためのマスタ画像を簡単に作成することができる。
【００７７】
なお、マスタ画像の取り込みの工程（Ｓ２１）は、一度行えば良く、同じ種類の検査対象を連続して外観検査する場合は、この工程をスキップして、良品画像データ記憶部１９に記憶されたマスタ画像がその都度利用される。
【００７８】
図３に戻り、次に、実際の検査対象を検査位置にセットして、第１の照射方向から照明を照射した画像データである、検査対象の第１照明の画像データを取り込む（Ｓ２２）。検査対象の第１照明の画像データの取り込み方法は良品の第１照明の画像データの取り込み方法と全く同じである。
【００７９】
次に検査対象の第１照明の画像データと良品の第１照明の画像データの画像を比較し、良否を判定する（Ｓ２３）。この比較方法の詳細を図１２及び図１３を用いて説明する。図１２は、検査対象の形状の違いによる影のでき方の違いを説明する図の一例である。図１３は、図１２の検査対象の画像データとマスタ画像との比較方法を説明する図の一例である。なお、以下、検査対象の第１照明の画像データとマスタ画像となる良品の第１照明の画像データとの比較の方法のみを説明するが、検査対象の第２照明の画像データと良品の第２照明の画像データとの比較の方法も同様に行われる。
【００８０】
図１２において、検査対象Ａ及び検査対象Ｂは、図１１で説明した良品に比べて部品高さが高いとする。図１２（ａ）は、検査対象Ａを照明で照射したときの影のでき方と、検査対象Ａをカメラで撮影した画像データである画像データＡを図示している。また、図１２（ｂ）は、検査対象Ｂを照明で照射したときの影のでき方と、検査対象Ｂをカメラで撮影した画像データである画像データＢを図示している。
【００８１】
図１３において、取り込まれた画像データＡと画像データＢは、同じ照明で撮影されたマスタ画像である良品の第１照明の画像データと比較される。図１３（ａ）において、マスタ画像と画像データＡとを比較すると、部品部分の画像部分については高さが違うだけなので、検査対象の上部に設置されたカメラ３により撮影された画像には差異は生じない。しかし、部品部分の高さに差異があるので、影の部分については画像データＡの方が、影が大きくなっている。図１の画像データ比較部１８は、パターンマッチングによって両者の差を計算する。パターンマッチングは注目部分の長さを比較する方法、面積を比較する方法、又は影の画像を微分して抽出した輪郭の形状等を比較する方法等により行う。
【００８２】
ここで影の大きさの差が予め設定された閾値以内であれば比較した画像の外観検査がＯＫであると判定する（Ｓ２３でＹ）。一方、図１３（ｂ）において、画像データＢの影の大きさは、予め設定された閾値以上であったとすると外観検査でＮＧの判定となる（Ｓ２３でＮ）。ＮＧ判定された検査対象は不良品判定がされて（Ｓ２７）、外観検査装置１は検査動作を終了する。
【００８３】
図３に戻り、第１の照射方向による画像の比較がＯＫと判定された場合は（Ｓ２３でＹ）、次に第１の照射方向におけるＳ２２と同様に、第２の照射方向に照明を切り替えて検査対象の第２照明の画像データが記憶さる（Ｓ２４）。さらに検査対象の第２照明の画像データと良品の第２照明の画像データが比較されてＯＫの判定である場合（Ｓ２５でＹ）、良品判定を行い（Ｓ２６）、フェーズ２を終了する。
【００８４】
次に、部品の形状によって本実施例が外観検査において効果的な場合を図１４乃至図１８によって説明する。図１４乃至図１８は、例えば複数のピンが一列に整列したコネクタの外観検査において、一方向からの照明では検知できないピン折れ欠陥などの異常が、２つの方向からの照明の照射によって検知される様子を説明している。
【００８５】
図１４は、正常品であるコネクタの上面図（ａ）、正面図（ｂ）及び右側面図（ｃ）である。図１５は、一部のピンが折れたコネクタの上面図（ａ）、正面図（ｂ）及び右側面図（ｃ）である。図１４に示す正常品と、図１５に示す異常品を、図６で説明した照明２と正面３で照射してカメラ３で撮影する。図１６（ａ）は検査対象を第２の照射方向から照射した場合を説明する図であり、照明３がピンの並びと縦方向に配置された場合を図示している。また、図１６（ｂ）は検査対象を第１の照射方向から照射した場合を説明する図であり、照明２がピンの並びを正面から照射する位置に配置された場合を図示している。図１７は、正常品の画像データを説明する、第２の照射方向からの画像データ（ａ）、第１の照射方向からの画像データ（ｂ）の一例である。また、図１８は、異常品の画像データを説明する、第２の照射方向からの画像データ（ａ）、第１の照射方向からの画像データ（ｂ）の一例である。
【００８６】
図１６（ａ）における第２の照射方向からの照明３による画像データは、図１７（ａ）及び図１８（ａ）に示す通り、良品であっても異常品であってもその影に差異は無く、第２の照射方向からの照明の照射だけでは外観上の異常を検出することができない。しかし、図１６（ｂ）における第１の照射方向からの照明２による画像データは、図１７（ｂ）及び図１８（ｂ）に示す通り、良品と異常品とで影に差異が生じる。つまり、第２の照射方向からの照明の照射だけでは検出できなかった外観上の異常を、第２の照射方向とは別の方向からの照明の照射を行うことによって検出できることとなる。
【００８７】
なお、この実施例で説明している異常品については、図１４（ａ）及び図１５（ｂ）からも明らかな通り、上方からの影のない画像データだけによっても検出することはできない。照明を検査対象に対して斜めから照射することにより、検査対象を上方から撮影した場合であっても、影の形状を良品と比較することにより異常品を検出することが可能となる。
【００８８】
次に、検査対象の影により外観検査を行う外観検査装置において、水平方向から傾いている場合に撮影される影を用いて外観検査を行う方法について、図１９乃至図２１を用いて説明する。図１９は、検査対象に傾きが無い場合の影を説明する、正面図（ａ）及び上面図（ｂ）の一例である。図２０は、検査対象が照明の照射方向に対して左右に傾いている場合の影を説明する、正面図（ａ）及び上面図（ｂ）の一例である。また、図２１は、検査対象が照明の照射方向に対して前後に傾いている場合の影を説明する、正面図（ａ）及び上面図（ｂ）の一例である。
【００８９】
図１９において、検査対象がＸ−Ｙ平面で水平である場合、図１９（ｂ）の様な影が撮影されるとする。一方、図２０の様に、検査対象が水平から、Ｙ１方向がＺ２方向に下がり、Ｙ２方向がＺ１方向に上がっている、検査対象が照明の照射方向に対して左右に傾いている場合においては、図２０（ｂ）の様に、影はＸ２方向からＹ１方向に移動することになる。また、図２１の様に、検査対象が水平から、Ｘ１方向がＺ１方向に上がり、Ｘ２方向がＺ２方向に下がっている、検査対象が照明の照射方向に対して前後に傾いている場合においては、図２１（ｂ）の様に、影はＸ２方向にさらに長く伸びることになる。つまり、影を撮影してその影の長さや形状から外観検査の良否を判断するには、検査対象と照明の照射方向とを常に一定に保つ必要がある。
【００９０】
しかし、検査対象が図７等で説明した様な理由で水平から傾く場合が想定される。
【００９１】
そこで、本実施例においては、目視検査によって外観検査を行った良品の各傾斜におけるマスタ画像となる画像データをそれぞれ予め撮影して記憶しておき、検査対象の傾きに合わせて選択可能とする。ここで、検査対象との比較対象となるマスタ画像として撮影された良品の画像データを「良品データ」とする。本実施例においては、良品データは検査対象の良品をそのまま使って作成できるため、様々な外観形状を有する検査対象の種類が多い場合であっても、迅速に外観検査が実施できる。
【００９２】
検査対象の傾きは、図２０及び図２１において２方向の傾きを説明したが、例えば、検査対象の傾きを調節できる治具を用いて、さらに多方向の傾きにおける良品データを記憶しても良い。本実施例では、検査対象に生じる照明による影の形状を比較の対象としているため、検査対象の傾きは検査の精度に影響する。傾きを多方向に取って良品データを多数用意しておくことにより、検査対象が傾いた場合であっても正確な外観検査が可能となる。良品データとして記憶する良品の傾き方向の数は、検査対象によってそれぞれ定めることができる。
【００９３】
検査対象の傾きは、図４のＳ１４１の工程で説明した倒れの有無の判定によって算出した傾きを使用できる。Ｓ１４１で算出された検査対象の傾きに応じた良品データを選択し画像の比較を行う。
【００９４】
本実施例では、第１のフェーズと第２のフェーズを併せて行う場合において検査対象の傾きを算出したが、例えば第２のフェーズのみにより外観検査を行う場合には、Ｓ１４１に相当する工程を第２のフェーズにおいて実施すればよい。例えば、図８（ｂ）において、テストマークｔｍＣにおけるｌｃ１とｌｃ２の比を測定すれば、画像の倒れの大きさを測定することができる。また、検査対象の傾斜を測定するセンサを別途使用しても良い。
【００９５】
良品データは、図１７及び図１８で説明した照明２及び照明３による２方向からの照明の照射によって作成しても良い。例えば、良品の傾きが８方向あった場合、それぞれ２方向からの照明を照射した良品データが記憶されるため、一つの検査対象における良品データ数は１６となる。
【００９６】
以上、本発明を実施するための形態について詳述したが、本発明は斯かる特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００９７】
例えば、本実施例においては、第１の照射方向と第２の照射方向の２方向によるマスタ画像と検査対象の画像データとの比較を行ったが、検査対象によっていずれかの方向のみによる比較によって外観検査を行っても良い。また、本実施例では、第１の照射方向と第２の照射方向の２方向からの照明照射を例示したが、例えばさらに第３の照射方向からの照明、第４の照射方向からの照明等、照明台数を増やして順次各方向からの照明の照射を行っても良い。また、複数の照明による同時照射等による外観検査の実施も可能である。
【００９８】
また、照明の照射によって生じる検査対象の影の代わりに、検査対象によって反射される光を撮影して比較しても良い。
【００９９】
また、本実施例におけるシステム構成においては、スキャナ２、カメラ３、照明システム４、及びデータベースサーバ５は、外観検査装置１の外部装置として説明したが、スキャナ２、カメラ３、照明システム４、及びデータベースサーバ５は、その一部又は全部が外観検査装置１の一部として実施されても良い。
【０１００】
本発明は、以下に記載する付記のような構成が考えられる。
（付記１）
第１の照射方向から光を照射する第１の照明部と、
前記第１の照明部で照射された光によって生じる良品の影を含む画像データである第1の良品データを記憶する記憶部と、
前記第１の照明部で照射された光によって生じる検査対象の影を含む画像データである第1の検査対象データを取得する検査対象取得部と、
前記記憶部に記憶された前記第1の良品データに含まれる影と前記第1の検査対象データに含まれる影を比較する画像比較部、を備えた検査装置。
（付記２）
前記記憶部は、前記第１の照射方向に対する良品の傾きを変えた複数の前記第1の良品データを記憶し、
前記比較部は、前記第１の検査対象データに基づき前記記憶部に記憶された複数の前記第1の良品データの中から一の第1の良品データを選択して比較対象とする付記１に記載の検査装置。
（付記３）
前記第１の照射方向とは異なる第２の照射方向から光を照射する第２の照明部をさらに備え、
前記記憶部は、前記第２の照明部で照射された光によって生じる良品の影を含む画像データである第２の良品データを記憶し、
前記検査対象取得部は、前記第２の照明部で照射された光によって生じる検査対象の影を含む画像データである第２の検査対象データを取得し、
前記画像比較部は、前記記憶部に記憶された前記第２の良品データに含まれる影と前記第２の検査対象データに含まれる影を比較する付記１又は２に記載の検査装置。
（付記４）
前記記憶部は、前記第２の照射方向に対する良品の傾きを変えた複数の前記第２の良品データを記憶し、
前記比較部は、前記第２の検査対象データに基づき前記記憶部に記憶された複数の前記第２の良品データの中から一の第２の良品データを選択して比較対象とする付記３に記載の検査装置。
（付記５）
第１の照射方向から照射された光によって生じる良品の影を含む画像データである第1の良品データを記憶し、
第１の照射方向から照射された光によって生じる検査対象の影を含む画像データである第1の検査対象データを取得し、
前記良品データを記憶する処理で記憶された前記第1の良品データに含まれる影と前記第1の検査対象データに含まれる影を比較する処理をコンピュータが実行する検査方法。
（付記６）
前記記憶する処理は、前記第１の照射方向に対する良品の傾きを変えた複数の前記第1の良品データを記憶し、
前記比較する処理は、前記第１の検査対象データに基づき前記記憶部に記憶された複数の前記第1の良品データの中から一の第1の良品データを選択して比較対象とする比較対象とする付記５に記載の検査方法。
（付記７）
前記第１の照射方向とは異なる第２の照射方向から照射された光によって生じる良品の影を含む画像データである第２の良品データを記憶し、
前記第２の照明部で照射された光によって生じる検査対象の影を含む画像データである第２の検査対象データを取得し、
前記画像比較部は、前記記憶部に記憶された前記第２の良品データに含まれる影と前記第２の検査対象データに含まれる影を比較する付記５又は６に記載の検査方法。
（付記８）
前記記憶する処理は、前記第２の照射方向に対する良品の傾きを変えた複数の前記第２の良品データを記憶し、
前記比較する処理は、前記第２の検査対象データに基づき前記記憶部に記憶された複数の前記第２の良品データの中から一の第２の良品データを選択して比較対象とする付記７に記載の検査方法。
（付記９）
検査対象を撮影する撮影部と、
第１の照射方向から光を照射する第１の照明部と、
前記第１の照明部で照射された光によって生じる良品の影を含む画像データである第1の良品データを記憶する記憶部と、
前記第１の照明部で照射された光によって生じる検査対象の影を含む画像データである第1の検査対象データを取得する検査対象取得部と、
前記記憶部に記憶された前記第1の良品データに含まれる影と前記第1の検査対象データに含まれる影を比較する画像比較部、を備えた検査システム。
（付記１０）
ネットワークとの通信を制御する通信制御部と、
前記通信制御部により接続されるデータベースサーバをさらに備え、
前記データベースサーバは、前記通信制御部を介してデータの通信を行う付記９に記載の検査システム。
（付記１１）
前記データベースサーバは、第１照明の画像データ、第２照明の画像データ、又は第１照明の画像データ及び第２照明の画像データの両方を記憶する付記１０に記載の検査システム。
【符号の説明】
【０１０１】
１  外観検査装置
２  スキャナ
３  カメラ
４  照明システム
５  データサーバ
１１  スキャナ制御部
１２  カメラ制御部
１３  照明制御部
１４  通信制御部
１５  図面データ記憶部
１６  画像データ記憶部
１７  画像データ補正部
１８  画像データ比較部
１９  良品画像データ記憶部
５１  図面ＤＢ
５２  画像ＤＢ
１００  外観検査システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
2014132230.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2014132230.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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