(57)【要約】【課題】このような従来のファンフィルターユニットでは、ファンとフィルターの間に送風機構を取り付けるため、ファンフィルターユニット内に送風機構取付用の大きな空間が必要となり、結果として、製品の厚みが大きくなるという課題があった。【解決手段】ファン２１とモータ２２から成るファンモータユニット２３と、上部に吸込口を有しファンモータユニット２３を収納する箱型状のチャンバー２４と、チャンバー２４に連結され空気を清浄化するフィルター（フィルターＡ２５、フィルターＢ２６）を納めたフィルターユニット２７とで構成され、ファンモータユニット２３の直下部分よりも、ファンモータユニット２３の周囲の圧力損失を大きくするようにフィルター（フィルターＡ２５、フィルターＢ２６）を設けることで、フィルターユニット２７から吹き出す風速の均一化するとともに、外形サイズを変更することなく薄型化を図るものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモータから成るファンモータユニットと、
上部に吸込口を有し前記ファンモータユニットを収納する箱型状のチャンバーと、
チャンバーに連結され空気を清浄化するフィルターを納めたフィルターユニットとで構成され、
前記フィルターユニットは、前記ファンモータユニットの直下部分よりも、前記ファンモータユニットの周囲の圧力損失を大きくするようにフィルターを設けたことを特徴とするファンフィルターユニット。
【請求項２】
前記チャンバーの吹出し側全面に設けた１枚の第１のフィルターと、
この第１のフィルターの上流側であって、前記ファンモータユニットの直下部分以外に、前記第１のフィルターに重ねて設けた第２のフィルターとを有する請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
前記ファンモータユニット直下部分のフィルターは、前記ファンモータユニットの直下以外の部分に設けたフィルターよりも圧力損失を小さくした請求項１記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体やフラットパネルディスプレイ等を製造する製造装置あるいはそれらの検査装置等において、清浄な空気を必要とする環境下で使用され、数種類のファンを搭載した小型のファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニットでは、フィルターから吹き出される清浄空気の風速分布のバラツキを低減させる手段として、ファンとフィルターの間に補助送風ファンを取り付けた気流調整チャンバー組込のファンフィルターユニットが知られている。
例えば特許文献１を図面を参照して説明する。
【０００３】
図３に示すように、従来のファンモータユニット１０３は、ターボファン１０１とモータ１０２とで構成されている。ファンモータユニット１０３を収納するチャンバー１０４の天面には、吸込口が設けられている。また、チャンバー１０４とフィルター１０５の間には、気流調整ユニット１０６が配置されている。気流調整ユニット１０６はチャンバー１０４の吹き出し側に装着され、チャンバー１０４から吹き出される気流を供給口１１１から導き入れる。気流調整ユニット１０６の内部には、供給口１１１と平行するように送風機構１０７が備えられている。送風機構１０７は、ファンモータユニット１０３で覆われた領域に風を送風し、フィルター１０５から吹き出す清浄化された空気の風速分布を均一化することのできるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１０１３０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような従来のファンフィルターユニットでは、ファンとフィルターの間に送風機構を取り付けるため、ファンフィルターユニット内に送風機構取付用の大きな空間が必要となり、結果として、製品の厚みが大きくなるという課題があった。
【０００６】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ファンモータユニットの下流側に設置されるフィルターユニットを、ファンモータユニットの位置に応じて圧力損失の異なるフィルターを組み合わせた形で構成することにより、風速分布の均一化を維持するとともに、外形サイズを変更することなく薄型化を図ったファンフィルターユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、ターボファンとモータから成るファンモータユニットと、上部に吸込口を有し前記ファンモータユニットを収納する箱型状のチャンバーと、チャンバーに連結され空気を清浄化するフィルターを納めたフィルターユニットで構成され、
前記フィルターユニットは、前記ファンモータユニットの直下部分よりも、前記ファンモータユニットの周囲の圧力損失を大きくするようにフィルターを設けたことにより、所期の目的を達成するものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のファンフィルターユニットにおいて、ファンモータユニットの直下部分よりも、ファンモータユニットの周囲の圧力損失を大きくするようにフィルターを設ける。ファンモータユニットとフィルターユニット間は距離が小さいため、ファンから吹き出した風はファンモータユニット直下に回り込みにくいが、フィルターを上記のように設けることにより、フィルターユニットの圧力損失の均一化が図られ、ファンから吹き出した風がフィルター全面に行きわたることになる。結果として、フィルターユニットから吹き出す清浄化された空気の風速分布の均一化が維持されるとともに、ファンフィルターユニットの外形サイズを変更させることなく薄型を図ることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１の風速分布を均一化した薄型ファンフィルターユニットを示す  （ａ）平面図、（ｂ）同断面図
【図２】同実施の形態２の風速分布を均一化した薄型ファンフィルターユニットの平面側から見た断面図
【図３】従来のファンフィルターユニットを示す  （ａ）平面図、（ｂ）断面図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１１】
（実施の形態１）
本実施の形態によるファンフィルターユニットは、図１に示すように、ファンモータユニット２３と、ファンモータユニット２３を収納するチャンバー２４と、チャンバー２４の吹き出し側に設けられたフィルターユニット２７とで構成される。ファンモータユニット２３は、ファン２１とモータ２２とで構成される。チャンバー２４は、天面に吸込口３１が設けられている。フィルターユニット２７には、箱型状のチャンバー２４の吹き出し側に全面に装着された第１のフィルター（フィルターＡ２５）と、ファンモータユニット２３の直下以外の部分に設置された第２のフィルター（フィルターＢ２６）が納められている。第２のフィルター（フィルターＢ２６）は、フィルターＡ２５に対して上流側に重ね合わせて設けられている。なお、フィルターＡ２５とフィルターＢ２６は同じ種類の濾材を使用したプリーツ型のフィルターとする。フィルターＡ２５とフィルターＢ２６は互いのプリーツの山同士をシーリング剤等で接着して固定される。
【００１２】
上記構成により、ファンモータユニット２３の直下以外の部分、すなわちフィルターの厚い部分は、フィルターＡ２５とフィルターＢ２６を重ねた構成なので、圧力損失が大きくなる。一方、ファン２１は、ターボ型のファンを用いているためファン２１の外周側の圧力が高くなる。また、ファンモータユニット２３の直下部分、すなわちフィルターの薄い部分は、ファンモータユニット２３とフィルターユニット２７との間の距離が小さく、風路が狭いため、圧力損失が大きくなる。
【００１３】
以上から、全体としてフィルターユニット２７の圧力損失の均一化が図られることになる。従って、フィルターユニット２７全面に満遍なく風が行きわたらせることが可能となり、フィルターユニット２７に吹き込み、吹き出す風を均一化することができる。また、重ね合わせるフィルターＡ２５、フィルターＢ２６はチャンバー内に配置されるため、ファンフィルターユニットの外形サイズを変更することなく薄型化を図ることができる。
【００１４】
（実施の形態２）
本実施の形態によるファンフィルターユニットは、図２に示すように、ファンモータユニット２３と、ファンモータユニット２３を収納するチャンバー２４と、チャンバー２４の吹き出し側に設けられたフィルターユニット３０とで構成される。ファンモータユニット２３は、ファン２１とモータ２２とで構成される。チャンバー２４は、天面に吸込口３１が設けられている。フィルターユニット３０は、箱型上のチャンバー２４の吹き出し側に装着される。フィルターユニット３０はファンモータ直下に設けられたフィルターＣ２８と、ファンモータユニット２３直下以外に設けられたフィルターＣ２８よりも圧力損失の大きいフィルターＤ２９から構成される。フィルターＣ２８とフィルターＤ２９は互いの枠材をネジ止めすることにより平面に繋ぎ合わされる。
【００１５】
上記構成により、ファンモータユニット２３の直下部分は、ファンモータユニット２３とフィルターユニット３０との間の距離が小さく、風路が狭いため、圧力損失が大きくなる。ファンモータユニット２３の直下部分は、それ以外の部分に設けられたフィルターＤ２９よりも圧力損失の小さいフィルターＣ２８が設けられている。
【００１６】
一方、ファン２１は、ターボ型のファンを用いているためファン２１の外周側の圧力が高くなる。ファンモータユニット２３の直下以外の部分は、ファンモータユニット２３の直下部分に設けられたフィルターＣ２８よりも圧力損失の大きいフィルターＤ２９が設けられている。
【００１７】
以上から、実施の形態１と同じく、全体としてフィルターユニット３０の圧力損失の均一化が図られることになる。従って、フィルターユニット３０全面に満遍なく風が行きわたらせることが可能となり、フィルターユニット３０に吹き込み、吹き出す風を均一化することができる。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明によるファンフィルターユニットは、ファンモータユニットの下流側に設置されるフィルターユニットを、ファンモータユニットの位置に応じて圧力損失の異なるフィルターを組み合わせた形で構成することにより、風速分布を均一とし、ファンフィルターユニットの外形サイズを変更することなく薄型化を図ることを目的にしているファンフィルターユニットとして有用である。
【符号の説明】
【００１９】
２１  ファン
２２  モータ
２３  ファンモータユニット
２４  チャンバー
２５  フィルターＡ
２６  フィルターＢ
２７  フィルターユニット
２８  フィルターＣ
２９  フィルターＤ
３０  フィルターユニット
３１  吸込口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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