(57)【要約】【課題】液体吐出ヘッドに関し、圧力室内の液体の電気分解を防ぐことができるともに圧電基板の剛性を十分に確保することができ、かつより高い生産性での製造を可能にする。【解決手段】液体吐出ヘッド１は、圧電材料の壁によって区画され、吐出口１５に連通する複数の圧力室８ａｂ，８ｃｄと、圧力室８ａｂ，８ｃｄの間の壁間に形成された開口部９ｂ，９ｃと、圧力室８ａｂ，８ｃｄの内側面に配置されたＧＮＤ電極１０ａｂ，１０ｃｄと、開口部９ｂ，９ｃの内側面にＧＮＤ電極１０ａｂ，１０ｃｄに対応して配置された駆動電極１１ｂ，１１ｃと、を備える。圧力室８ａｂ，８ｃｄの間に２つの開口部９ｂ，９ｃが配置されており、駆動電極１１ｂ，１１ｃは、開口部９ｂ，９ｃの間の壁によって互いに電気的に絶縁されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料の壁によって区画され、液体を吐出する吐出口に連通する複数の圧力室と、隣り合う前記圧力室の間の壁間に形成された開口部と、前記圧力室の内側面に配置されたＧＮＤ電極と、前記開口部の内側面に前記ＧＮＤ電極に対応して配置された駆動電極と、を備える液体吐出ヘッドにおいて、
前記複数の圧力室のうちの少なくとも２つの圧力室は第１の方向に関して並んでおり、
前記開口部は前記第１の方向に関して隣り合う前記圧力室の間に少なくとも２つ配置されており、
前記少なくとも２つの開口部のそれぞれの内側面に配置された前記駆動電極は、前記少なくとも２つの開口部の間の壁によって互いに電気的に絶縁されていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記少なくとも２つの開口部の、前記第１の方向に関する幅が、前記圧力室の前記第１の方向に関する幅と等しいことを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記複数の圧力室が前記第１の方向および該第１の方向と交わる第２の方向に並んでおり、前記開口部は前記第２の方向に関して隣り合う前記圧力室の間に１つ配置されており、該１つの開口部の内側面のうちの、前記第２の方向に関して対向する面に配置されたそれぞれの前記駆動電極は、互いに電気的に絶縁されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
圧電材料の壁によって区画され、液体を吐出する吐出口に連通する複数の圧力室と、隣り合う前記圧力室の間の壁間に形成された開口部と、前記圧力室の内側面に配置されたＧＮＤ電極と、前記開口部の内側面に前記ＧＮＤ電極に対応して配置された駆動電極と、を備え、前記複数の圧力室のうちの少なくとも２つの圧力室は第１の方向に関して並んでおり、前記開口部は前記第１の方向に関して隣り合う前記圧力室の間に少なくとも２つ配置されており、前記少なくとも２つの開口部のそれぞれの内側面に配置された前記駆動電極は、前記少なくとも２つの開口部の間の壁によって互いに電気的に絶縁されている、液体吐出ヘッドの製造方法であって、
第１および第２の圧電基板を準備する準備工程と、
前記第１の圧電基板の第１の面Ａ１に、それぞれ同じ方向へ延びる複数の第１の溝を形成するとともに、前記第１の溝が延びる方向へ延びる第２の溝を隣り合う前記第１の溝の間に形成する溝形成工程と、
前記第１および第２の溝の内側面のうちの少なくとも側面に第１および第２の電極を形成する電極形成工程と、
前記第１の圧電基板の前記第１の面Ａ１に前記第２の圧電基板を接合することで前記第１の溝を前記圧力室とし、前記第２の溝を前記開口部とし、前記第１の電極を前記ＧＮＤ電極とし、前記第２の電極を前記駆動電極とする積層工程と、を含む、液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記溝形成工程において、前記第１の溝と前記第２の溝を、同じ溝幅で形成する、請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記溝形成工程において、前記第２の圧電基板の第１の面Ｂ１に、それぞれ同じ方向へ延びる複数の第３の溝を形成し、
前記電極形成工程において、前記第３の溝の内側面のうちの少なくとも底面に第３の電極を形成するとともに、前記第２の圧電基板の、前記第１の面Ｂ１とは反対側の第２の面Ｂ２に第４の電極を形成し、
前記積層工程において、前記第１の溝の位置と前記第３の溝の位置とを合わせた状態で、前記第１の圧電基板の前記第１の面Ａ１に、前記第２の圧電基板の前記第２の面Ｂ２を接合することで、前記第３の電極を前記駆動電極とし、前記第４の電極をＧＮＤ電極とする、請求項４または５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関し、特に圧電基板に電圧を印加することによって液体を吐出する液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３：チタン酸ジルコン酸鉛）といった圧電材料からなる圧電基板を備えた液体吐出ヘッドが知られている。
【０００３】
圧電基板は複数枚積層されて圧電ブロック体を形成している。圧電ブロック体は、液体に吐出圧力を加える複数の圧力室と、隣り合う圧力室の壁に形成された開口部と、圧力室の内側面に配置された内側電極と、圧力室の外側面に配置された外側電極と、を備える。内側電極および外側電極の間に電圧を印加することによって、圧力室を区画する壁が変形して圧力室の容積が変化する。その結果、圧力室内の液体に吐出圧力が加えられ、当該圧力室と連通する吐出口から液滴が吐出される。
【０００４】
このような圧電基板を備える液体吐出ヘッドにおいて、内側電極を、駆動電力が供給される駆動電極とし、外側電極をＧＮＤ電極（共通電極と呼ばれる）とする場合がある。この場合、駆動電極で発生する電界が圧力室内の液体に作用し、液体が電気分解を起こすことがある。
【０００５】
液体が電気分解を起こすと、液体の水分は酸素や水素となる。そして、圧力室内に酸素や水素が溜まり、圧力室内に十分な量の液体が貯留されず、圧力室から吐出される液体の量が減少してしまう。また、液体中の水分が減り、液体の粘度が変化して液体吐出ヘッド内での液体の流動を阻害してしまう。そこで、液体の電気分解を招くことなく該液体を吐出することができる液体吐出ヘッドが提案されている（例えば特許文献１，２）。
【０００６】
特許文献１，２に開示の液体吐出ヘッドでは、内側電極が共通電極とされ、外側電極、すなわち開口部の内側面に配置された電極が駆動電極とされている。駆動電極が圧力室の内側面に配置されていないため、圧力室内の液体に電界が作用せず、液体は電気分解を起こさない。
【０００７】
そして、開口部の内側面のうちの、圧力室が並ぶ方向に関して対向する面に配置された２つの駆動電極は、互いに電気的に絶縁された個別電極となっている。したがって、隣り合う２つの圧力室は独立して作動する。
【０００８】
また、特許文献１，２は、開口部の内側面に配置され、互いに電気的に絶縁された２つの個別電極を有する液体吐出ヘッドの製造方法を開示している。
【０００９】
特許文献１に開示の製造方法を説明する。まず、第１および第２の圧電基板を準備する。第１の圧電基板の第１の面に、圧力室となる複数の第１の溝と、開口部となる複数の第２の溝を形成し、第１および第２の溝の内側全面に電極を形成する。その後、ダイシングソーを用いて第２の溝の底面を研削して当該底面に形成された電極を除去ることによって、第２の溝の両側面に形成された電極を分離する。第１の圧電基板の第１の面に第２の圧電基板を積層することによって、第２の溝が開口部となり、第２の溝の両側面に形成された２つの電極が、互いに絶縁された２つの個別電極となる。
【００１０】
特許文献２では、特許文献１に開示の製造方法のうちの、第１の圧電基板に溝を形成する工程において、第２の溝の幅（溝が延びる方向および溝の深さ方向と交わる方向に関する寸法をいう）を比較的大きく形成する製造方法が開示されている。第２の溝の幅を比較的大きくすることによって、ダイシングソーを第２の溝内に位置合わせしやすくなり、第２の溝の底面に形成された電極をより容易に除去することが可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平１１−２６８２７１号公報
【特許文献２】特開平９−１２３４４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献１，２に開示の液体吐出ヘッドを製造するには、開口部となる第２の溝を第１の圧電基板に形成し、当該第２の溝の内側全面に電極を形成した後に、第２の溝の底面をダイシングソーで研削しなければならない。
【００１３】
第２の溝の底面を研削する際、ダイシングソーが第２の溝の側面に接すると、当該側面に形成された電極も除去されてしまう。したがって、第１の圧電基板に対するダイシングソーの位置を比較的高い精度で位置決めしなければならず、液体吐出ヘッドの生産性の低下を招いていた。
【００１４】
特許文献２に開示の製造方法では、比較的低い精度の位置決めで第２の溝の底面に形成された電極を除去できるように、第２の溝の幅が比較的大きくされているが、それでも液体吐出ヘッドの生産性の低下を十分に抑制することができなかった。
【００１５】
また、特許文献１，２に開示の製造方法における、第２の溝の底面を研削する工程において、第２の溝の底面を研削しすぎてしまうことがある。第２の溝の底面を研削しすぎると、第２の溝の底壁が薄くなって圧電基板の剛性が低下し、圧電基板にクラックが発生し易くなる。
【００１６】
そこで本発明は、上記従来技術の課題に鑑み、圧力室内の液体の電気分解を防ぐことができるともに圧電基板の剛性を十分に確保することができ、かつより高い生産性での製造を可能にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記の課題を解決するため本発明の液体吐出ヘッドは、圧電材料の壁によって区画され、液体を吐出する吐出口に連通する複数の圧力室と、隣り合う圧力室の間の壁間に形成された開口部と、圧力室の内側面に配置されたＧＮＤ電極と、開口部の内側面にＧＮＤ電極に対応して配置された駆動電極と、を備える液体吐出ヘッドに係る。この態様において、複数の圧力室のうちの少なくとも２つの圧力室は、第１の方向に関して並んでいる。開口部は、第１の方向に関して隣り合う圧力室の間に少なくとも２つ配置されている。そして、少なくとも２つの開口部のそれぞれの内側面に配置された前記駆動電極は、少なくとも２つの開口部の間の壁によって互いに電気的に絶縁されていることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、圧電材料の壁によって区画され、液体を吐出する吐出口に連通する複数の圧力室と、隣り合う圧力室の間の壁間に形成された開口部と、圧力室の内側面に配置されたＧＮＤ電極と、開口部の内側面にＧＮＤ電極に対応して配置された駆動電極と、を備え、複数の圧力室のうちの少なくとも２つの圧力室は第１の方向に関して並んでおり、開口部は第１の方向に関して隣り合う圧力室の間に少なくとも２つ配置されており、少なくとも２つの開口部のそれぞれの内側面に配置された駆動電極は、少なくとも２つの開口部の間の壁によって互いに電気的に絶縁されている、液体吐出ヘッドの製造方法に係る。この態様において、第１および第２の圧電基板を準備する準備工程と、溝形成工程と、電極形成工程と、積層工程と、を含む。溝形成工程では、第１の圧電基板の第１の面Ａ１に、それぞれ同じ方向へ延びる複数の第１の溝を形成するとともに、第１の溝が延びる方向へ延びる第２の溝を隣り合う第１の溝の間に形成する。電極形成工程では、第１および第２の溝の内側面のうちの少なくとも側面に第１および第２の電極を形成する。積層工程では、第１の圧電基板の第１の面Ａ１に第２の圧電基板を接合することで第１の溝を圧力室とし、第２の溝を開口部とし、第１の電極をＧＮＤ電極とし、第２の電極を駆動電極とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、圧力室内の液体の電気分解を防ぐことができるともに圧電基板の剛性を十分に確保することができ、かつより高い生産性での製造が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図２】図１におけるＡ−Ａ’断面図。
【図３】圧電ブロック体を、図１における矢印Ｂの方向から見た正面図。
【図４Ａ】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための斜視図。
【図４Ｂ】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための斜視図。
【図４Ｃ】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための斜視図。
【図４Ｄ】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための斜視図。
【図４Ｅ】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための斜視図。
【図５】複数の第１および第２の圧電基板が積層されてなる圧電ブロック体の斜視図。
【図６】１枚の第１および第２の圧電基板が積層されてなる圧電ブロック体を図１，４Ｅの矢印Ｂの方向から見た正面図。
【図７】圧電ブロック体に、オリフィスプレート、流路規定プレートおよびインクプールプレートを接合する工程を説明するための分解斜視図。
【図８】図２における圧力室の周辺を簡略化した断面拡大図。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図１０】図９におけるＣ−Ｃ’断面図。
【図１１】本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図１２】図１１におけるＤ−Ｄ’断面図。
【図１３】図１２における、破線で囲まれた部分の拡大断面図。
【図１４】図１３における圧力室の周辺を簡略化した断面拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に、本発明に係る液体吐出ヘッドおよびその製造方法を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２２】
（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図１ないし図３を用いて説明する。図１は、本実施形態の液体吐出ヘッドの分解斜視図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ’断面図である。
【００２３】
図１，２に示すように、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、圧電材料からなる第１および第２の圧電基板２，３が積層されてなる圧電ブロック体４と、インクプールプレート５と、流路規定プレート６と、オリフィスプレート７とを有する。なお、図１では、わかりやすくするため、インクプールプレート５、流路規定プレート６およびオリフィスプレート７を、圧電ブロック体４から分解した状態で示している。
【００２４】
圧電ブロック体４は、第１の方向Ｘへ並ぶ複数の圧力室８ａｂ，８ｃｄ，８ｅｆと、複数の開口部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ，９ｅ，９ｆと、を有する。開口部９ｂ，９ｃは圧力室８ａｂ，８ｃｄの間の壁間に形成されており、開口部９ｄ，９ｅは圧力室８ｃｄ，８ｅｆの間の壁間に形成されている。開口部９ａは、圧力室８ａｂの、開口部９ｂとは反対側に配置されており、開口部９ｆは、圧力室８ｅｆの、開口部９ｅとは反対側に配置されている。
【００２５】
圧力室８ａｂ〜８ｅｆの内側面には電極１０ａｂ，１０ｃｄ，１０ｅｆが配置されており、開口部９ａ〜９ｆの内側面には電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ，１１ｆが配置されている。
【００２６】
圧力室８ａｂ〜８ｅｆと、それぞれの圧力室８ａｂ〜８ｅｆの両側に配置された複数の開口部９ａ〜９ｆによって形成された区画壁１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ、１２ｆは、それぞれ矢印Ｐの方向に分極されている。例えば電極１１ａ，１１ｂと、電極１０ａｂとの間に電圧を印加すると区画壁１２ａ，１２ｂが変形し、圧力室８ａｂの容積が拡縮する。同様に、側壁１２ｃ〜１２ｆが変形し、圧力室８ｃｄ，８ｅｆの容積が拡縮する。
【００２７】
インクプールプレート５は、開口を有する共通液室１３を有し、共通液室１３の開口が塞がれるように流路規定プレート６と接合されている。流路規定プレート６の、インクプールプレート５と接合される面とは反対側の面は、圧電ブロック体４に接合されている。流路規定プレート６には貫通孔１４が形成されており、貫通孔１４を介して共通液室１３が圧力室８ａｂ〜８ｅｆと連通している。
【００２８】
開口部９ａ〜９ｆは流路規定プレート６によって封止されており、共通液室１３に貯留された液体は開口部９ａ〜９ｆに流れ込まない。
【００２９】
オリフィスプレート７には、圧力室８ａｂ〜８ｅｆの内部の液体を吐出するための吐出口１５が、圧力室８ａｂ〜８ｅｆに対応して形成されている。
【００３０】
インクプールプレート５の共通液室１３に貯留された液体は、流路規定プレート６の貫通孔１４を通って圧力室８ａｂ〜８ｅｆに供給される。圧力室８ａｂ〜８ｅｆの容積が縮小することで液体に吐出エネルギーが加えられ、液体はオリフィスプレート７の吐出口１５から液滴として吐出される。
【００３１】
なお、本実施形態では、３個の吐出口１５および３個の圧力室８ａｂ〜８ｅｆが第１の方向Ｘに３個並んでいるが、吐出口および圧力室が第１の方向Ｘに２個、または４個以上並んでいてもよい。また、第１の方向Ｘと交わる第２の方向Ｙにも吐出口および圧力室が並んでいてもよい。
【００３２】
図３は、圧電ブロック体４を、流路規定プレート６の側からオリフィスプレート７へ向かう方向（図１に矢印Ｂの方向）からみた正面図である。
【００３３】
図３に示されるように、圧力室８ａｂ〜４ｅｆの内側面に配置された電極１０ａｂ〜１０ｅｆは、引き出し電極１６によって電気的に接続されており、ＧＮＤ電極（共通電極とも呼ばれる）として機能する。
【００３４】
また、開口部９ａ，９ｂの内側面に配置された電極１１ａ，１１ｂは、引き出し電極１７ａｂを介して接続されており、圧力室８ａｂの駆動電極（個別電極とも呼ばれる）として機能する。同様に、電極１１ｃ，１１ｄは引き出し電極１７ｃｄによって電気的に接続されて圧力室８ｃｄの個別電極として機能し、電極１１ｅ，１１ｆは引き出し電極１７ｅｆによって電気的に接続されて圧力室８ｅｆの個別電極として機能する。
【００３５】
引き出し電極１６、すなわち電極１０ａｂ〜１０ｅｆがＧＮＤとされ、引き出し電極１７ａｂ〜１７ｅｆに選択的に電圧が印加される。その結果、圧力室８ａｂの区画壁１２ａ，１２ｂ、圧力室８ｃｄの区画壁１２ｃ，１２ｄおよび圧力室８ｅｆの区画壁１２ｅ，１２ｆが変形して液滴が吐出される。
【００３６】
液体吐出ヘッド１（図１参照）を駆動するための駆動回路（不図示）は、例えば流路規定プレート６（図１参照）を用いて引き出し電極１６および電極１１ａ〜１１ｆと接続される。具体的には、流路規定プレート６に、駆動回路と当該駆動回路に接続された接続端子（不図示）を配置しておき、当該接続端子と引き出し電極１６および電極１１ａ〜１１ｆとをバンプ接合等で電気的に接続する。その結果、当該接続端子を介して駆動回路と引き出し電極１６および電極１１ａ〜１１ｆとが接続される。
【００３７】
あるいは、引き出し電極１６および引き出し電極１７ａｂ〜１７ｅｆを、それぞれ圧電ブロック体４の側面まで引き延ばし（不図示）、ワイヤボンディングやフレキシブル基板によって駆動回路と接続しても良い。
【００３８】
このように、本発明の第１の実施形態によれば、共通電極が圧力室８ａｂ〜８ｅｆの内側面に配置された電極１０ａｂ〜１０ｅｆであり、個別電極が開口部９ａ〜９ｆの内側面に形成された電極１１ａ〜１１ｆである。したがって、個別電極−共通電極間の電界が、圧力室８ａｂ〜８ｅｆ内の液体に作用することがなく、液体の電気分解を防止することができる。その結果、吐出不良の発生を抑制することができる。
【００３９】
個別電極として機能する電極１１ａ〜１１ｆは、開口部９ａ〜９ｆ毎に独立して配置されている。すなわち、開口部９ｂ，９ｃの間の壁によって電極１１ｂ，１１ｃが電気的に絶縁されており、開口部９ｄ，９ｅの間の壁によって電極１１ｄ，１１ｅが電気的に絶縁されている。したがって、液体吐出ヘッド１を製造する際に、従来技術のような、電極形成後の高精度な位置決めを伴う電極分離工程が不要あり、液体吐出ヘッドの製造工程が短縮されて製造コストが削減される。
【００４０】
また、電極分離工程に伴う開口部の内側面の研削が不要であり、第１の圧電基板２の剛性が低下しない。したがって、液体吐出ヘッドの信頼性が向上する。
【００４１】
次に、液体吐出ヘッド１（図１参照）の製造方法を、図４Ａ〜４Ｅ，５，６，７を用いて説明する。図４Ａ〜４Ｅは、液体吐出ヘッド１の製造方法を示す説明図である。
【００４２】
（第１の圧電基板２の加工）
まず、図４Ａに示すように、所望の厚みと形状を有する平板形状の第１の圧電基板２を準備する。平板形状の第１の圧電基板２としては、例えば、厚さ０．３ｍｍのＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）基板が挙げられる。
【００４３】
（溝加工）
次に、図４Ｂに示すように、平板形状の第１の圧電基板２の第１の主面２ａ（第１の面Ａ１とも称する）に、それぞれ同じ方向に延びる複数の第１の溝１８ａｂ，１８ｃｄ，１８ｅｆを超砥粒ホイールによる研削加工によって形成する（溝形成工程）。溝１８ａｂ〜１８ｅｆの延びる方向が、液体の供給方向となる。本実施形態では、第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆを、第１の圧電基板２の第１の側面２ｂから第２の側面２ｃまで形成した。
【００４４】
第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆの寸法やピッチは、圧力室８ａｂ〜８ｅｆ（図１，２参照）の大きさおよびその配置密度から決定される。例えば、溝幅を０．１８ｍｍ、溝深さを０．２ｍｍとし、溝ピッチを０．７２ｍｍとすることができる。
【００４５】
なお、溝幅とは、溝が延びる方向および溝の深さ方向と交わる方向に関する溝の寸法をいう。また、溝ピッチとは、隣り合う複数の溝の間隔をいう。
【００４６】
続いて、図４Ｃに示すように、第１の圧電基板２の第１の主面２ａに、第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆが延びる方向に沿って第２の溝１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｅ，１９ｆを超砥粒ホイールによる研削加工によって形成する。ここで、第１の溝１８ａｂ，１８ｃｄの間に第２の溝１９ｂ，１９ｃを形成し、第１の溝１８ｃｄ，１８ｅｆの間に第２の溝１９ｄ，１９ｅを形成する。本実施形態では、第２の溝１９ａ〜１９ｆを、第１の圧電基板２の第１の側面２ｂから第２の側面２ｃまで形成した。
【００４７】
第２の溝１９ａ〜１９ｆの寸法は、開口部９ａ〜９ｆ（図１，２参照）の大きさから決定される。例えば、第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆの側壁１２ａ〜１２ｆの幅を０．１ｍｍとし、第２の溝１９ａ〜１９ｆの幅を０．１２ｍｍ、溝深さを０．２ｍｍとすることができる。
【００４８】
（電極形成）
溝形成工程が完了したところで、図４Ｄに示すように、第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆの内側面に第１の電極１０ａｂ〜１０ｅｆを形成し、第２の溝１９ａ〜１９ｆの内側面に第２の電極１１ａ〜１１ｆを形成する。なお、第２の電極１１ａ〜１１ｆは、第２の溝１９ａ〜１９ｆの内側面のうちの、側壁１２ａ〜１２ｆを形成する面に少なくとも形成されていればよい。
【００４９】
電極１０ａｂ〜１０ｅｆ，１１ａ〜１１ｆのパターンは、リフトオフ、レーザーや研磨などによって形成される。なお、本書の説明において、パターンを形成することを、パターニングと称することがある。
【００５０】
一例として、リフトオフによる電極パターニング方法を説明する。
【００５１】
まず、レジストパターンを形成する。例えば、側壁１２ａ〜１２ｆの幅が０．１ｍｍの場合、レジストパターン幅を０．０６ｍｍとする。
【００５２】
第１の圧電基板２の第１の面２ａには第１および第２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆが形成されているため、通常のスピンコーターによる塗布方法では均一なレジスト膜を形成することが難しい。そこで、フィルムレジストのラミネートやスプレーコータによる塗布が適している。溝の内部を均一に露光することは困難であるため、レジストには溝の外部だけを露光すればよいネガタイプのレジストを用いるのが好ましい。
【００５３】
レジストパターンを形成したところで、第１の圧電基板２の第１の面２ａ並びに第１および第２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆの内側面に、電極となる金属膜をスパッタリングや蒸着によって形成する。スパッタリングは溝側壁への成膜性が優れており、蒸着はリフトオフでのパターニングしやすさに優れている。このとき、第１の圧電基板２の第１の面２ａのうちのレジストが残存している領域では、金属膜は、当該第１の面上に形成されず、レジスト上に形成される。
【００５４】
続いて、レジストを除去することでレジスト上に成膜された金属膜がレジストと共に剥離され、所望の金属膜のパターンが得られる。第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆの内側面上に残存した金属膜が電極１０ａｂ〜１０ｅｆとなり、第２の溝１９ａ〜１９ｆ内側面上に残存した金属膜が電極１１ａ〜１１ｆとなる。
【００５５】
金属膜を形成する方法として、例えば下地層としてＣｒを２０ｎｍ程度成膜し、さらに電極層としてＡｕを１７ｎｍ程度成膜する方法が挙げられる。あるいは、下地層としてＣｒを２０ｎｍ程度成膜し、Ｃｒ膜上にＰｄを５０ｎｍ程度成膜し、さらにＰｄ膜をシード層としてＮｉめっきを１７ｎｍ程度行い、Ｎｉ膜の表面のみをＡｕに置換めっきすることによっても金属膜を形成することができる。後者で挙げた金属膜形成方法の方が、リフトオフ時の膜厚が薄いのでバリが残りにくくパターニング性が向上するうえに、表面のみにＡｕを使用するため低コストである。
【００５６】
また、レーザー照射や研磨によって金属膜のパターンを形成することができる。
【００５７】
レーザー照射や研磨による方法では、まず全面にスパッタリング、蒸着や無電解めっきなどで金属膜を成膜する。そして、成膜された金属膜の不要な部分、つまり、第１および第２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆの間に形成された金属膜をレーザーや研磨によって除去することで所望の電極パターンが得られる。
【００５８】
なお、次工程の分極処理を簡単にするために、第１の圧電基板２の端面に金属膜を形成し、電極１０ａｂ〜１０ｅｆを互いに電気的に接続するとともに、電極１１ａ〜１１ｆを互いに電気的に接続しておくこともできる。
【００５９】
（分極）
電極１０ａｂ〜１０ｅｆ，１１ａ〜１１ｆを形成したところで、第１の圧電基板２の第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆの側壁１２ａ〜１２ｆに分極処理を施す。電極１１ａ〜１１ｆを正電位とし、電極１０ａｂ〜１０ｅｆをＧＮＤ電位として両電極間に高電圧を印加する。
【００６０】
分極処理は、１００〜１５０℃程度に加熱した状態で、１〜２ｋＶ/ｍｍ程度の高電界となる電圧を電極１１ａ〜１１ｆと電極７ａｂ〜７ｅｆの間に所定の時間、印加することによって行われる。
【００６１】
電極１０ａｂ〜１０ｅｆと、電極１１ａ〜１１ｆとの間の間隔は０．０６ｍｍと狭く、空気中で１〜２ｋＶ/ｍｍの高電界をかけると空中放電や沿面放電を生じる可能性が高い。そのため、例えばシリコーンオイル（絶縁破壊電圧：１０ｋＶ／ｍｍ以上）のような絶縁性の高いオイルなどの中で分極処理を行うことが望ましい。シリコーンオイルは、分極後にキシレン、ベンゼン、トルエンといった炭化水素系溶剤や塩化メチレン、２０−トリクロロエタン、クロロベンゼンといった塩素化炭化水素系溶剤によって除去可能である。
【００６２】
分極処理後、必要に応じてエージング処理を行う。エージング処理とは、分極処理が施された第１の圧電基板２を昇温した状態で一定の時間に保持することによって、その圧電特性を安定化させる処理である。例えば、１００℃のオーブンに、分極処理が施された第１の圧電基板２を１０時間放置することによってエージング処理が完了する。
【００６３】
（第２の圧電基板の加工）
第１の圧電基板２とは別に、第２の圧電基板３（図１，２参照）を準備する。第２の圧電基板３としては、例えば、平板形状を有する厚さ０．２ｍｍのＰＺＴ基板が挙げられる。本実施形態では、第２の圧電基板３として、平板形状のＰＺＴ基板をそのまま使用することができる。
【００６４】
（積層）
続いて、図４Ｅに示すように、第１の圧電基板２の第１の主面２ａに第２の圧電基板３を接合して圧電ブロック体４を形成する。第１の主面２ａが第２の圧電基板３に接合されることによって、第１および第２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆの開口が第２の圧電基板３によって覆われる。その結果、第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆが圧力室８ａｂ〜８ｅｆ（図１〜３参照）となり、第２の溝１９ａ〜１９ｆが開口部９ａ〜９ｆ（図１〜３参照）となる。
【００６５】
接合には、例えばエポキシ系の接着剤を用いることができる。接着剤を用いる場合、溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆの内部が接着剤で埋まってしまう場合がある。このような事態を防ぐため、第１および／または第２の圧電基板２，３に接着剤を塗布する際に、接着剤の量を適切にコントロールしておくことが望ましい。
【００６６】
接着剤の塗布方法としては、別途用意した平坦な基板上にスピンコートやスクリーン印刷などで薄い均一な接着剤層を形成しておき、当該接着剤層に第１または第２の圧電基板２，３を押し付けて接着剤層を転写する方法が挙げられる。この方法によれば、第１および／または第２の圧電基板２，３上に薄く均一な接着剤層を形成することができる。
【００６７】
接着剤塗布後、第１および第２の圧電基板２，３の間に微小な間隔がある状態で第１および第２の圧電基板２，３の位置決めを行い、第１および第２の圧電基板２，３を加圧接着する。接着剤の厚さの目安としては、接着前の接着層の厚さが４μｍ程度、接着後の厚さが２μｍ程度となることが適切である。
【００６８】
また、第１および第２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆへの接着剤のはみ出しを軽減するために、第１および第２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆの列の外側に溝を形成しておき、接着剤を逃がすための溝として用いてもよい。
【００６９】
積層時のアライメントには、圧電基板の端面を位置決めピンに突き当てることによって行うこともできるし、さらに位置決め精度を向上させるには、カメラによるアライメントを行ってもよい。カメラによるアライメントに用いる目印としては、圧電基板の端部、溝、電極形成時にパターニングしたアライメントマーク（不図示）などを使用することができる。
【００７０】
なお、図５に示すように、第１および第２の圧電基板２，３が積層されてなる積層体を１つのユニットとして、複数のユニットを積層接合し、複数の第１および第２の圧電基板２，３が積層されてなく圧電ブロック体４としてもよい。図５は、複数の第１および第２の圧電基板２，３が積層されてなる圧電ブロック体４の斜視図である。
【００７１】
また、第１および圧電基板２，３の反りの矯正や剛性の向上、取り扱い性向上などの目的で、天板２０を圧電ブロック体４に接合してもよい。天板２０は圧電体である必要はないが、天板２０を圧電ブロック体４に接合するときに加熱を要する場合には熱膨張率が第１および第２の圧電基板２，３と近い材料によって形成されることが望ましい。
【００７２】
（研磨）
圧電ブロック体４を形成したところで、圧電ブロック体４の面のうちの、圧力室８ａｂ〜８ｅｆの開口が形成されている両端面を研磨により平坦にする。研磨には砥粒を用いることができる。後の電極形成工程のために表面粗さはＲａ０．４μｍ程度が好ましく、また、オリフィスプレート７や流路規定プレート６を精度よく貼りつけるために各端面の平面度は１０μｍ以内、端面間の平行度は３０μｍ以内とすることが好ましい。
【００７３】
（後端面電極形成）
次に、図６に示すように、圧電ブロック体４のうちの、圧力室８ａｂ〜８ｅｆの開口が形成された一方の面（以下、後端面という）に、引き出し電極１６，１７ａｂ〜１７ｅｆを形成する。図６は、１枚の第１および第２の圧電基板２，３が積層されてなる圧電ブロック体４を後端面側（図１，４Ｅの矢印Ｂの方向）から見た正面図であり、引き出し電極１６，１７ａｂ〜１７ｅｆの一例を示す。
【００７４】
図６において、圧力室８ａｂ〜８ｅｆの内側面に形成された電極１０ａｂ〜１０ｅｆは、引き出し電極１６によって電気的に接続されており共通電極として機能する。
【００７５】
また、開口部９ａ，９ｂの内側面に形成された電極１１ａ，１１ｂは引き出し電極１７ａｂを介して電気的に接続され、圧力室８ａｂの個別電極として機能する。同様に、開口部９ｃ，９ｄや開口部９ｅ，９ｆの内側面に形成された電極１１ｃ，１１ｄや電極１１ｅ，１１ｆは、引き出し電極１７ｃｄや引き出し電極１７ｅｆを介して電気的に接続され、圧力室８ｃｄや圧力室ｅｄの個別電極として機能する。
【００７６】
なお、駆動回路（不図示）は、例えば流路規定プレート６（図１参照）を用いて引き出し電極１６および電極１１ａ〜１１ｆと接続される。具体的には、流路規定プレート６に、駆動回路と当該駆動回路に接続された接続端子（不図示）を配置しておき、当該接続端子と引き出し電極１６および電極１１ａ〜１１ｆとをバンプ接合等で電気的に接続する。その結果、当該接続端子を介して駆動回路と引き出し電極１６および電極１１ａ〜１１ｆとが接続される。
【００７７】
あるいは、引き出し電極１６および電極１１ａ〜１１ｆを、圧電ブロック体４の端部を介して側面まで引き延ばして（不図示）、ワイヤボンディングやフレキシブル基板によって駆動回路と接続しても良い。
【００７８】
引き出し電極１６、すなわち電極１０ａｂ〜１０ｅｆをＧＮＤとし、引き出し電極１７ａｂ〜１７ｅｆ、すなわち電極１１ａ〜１１ｆに選択的に電圧を印加する。その結果、圧力室８ａｂの側壁１２ａ，１２ｂ、圧力室８ｃｄの側壁１２ｃ，１２ｄ、圧力室８ｅｆの側壁１２ｅ，１２ｆが変形し、圧力室８ａｂ，８ｃｄ，８ｅｆ内の液体が液滴として吐出される。
【００７９】
引き出し電極１６，１７ａｂ〜１７ｅｆは、例えば先述のリフトオフによって形成される。
【００８０】
圧電ブロック体４の後端面には圧力室８ａｂ〜８ｅｆや開口部９ａ〜９ｆなどの開口が形成されており、当該後端面は凹凸を有する。そのため、通常のスピンコーターによる方法では均一なレジスト膜を後端面に形成することが難しい。そこで、フィルムレジストのラミネートによってレジスト膜を形成する方法が適している。フィルムレジストにはネガタイプのレジストを用いる。
【００８１】
リフトオフでは、電極パターンを残したくない部分にレジストが残るようにフォトリソグラフィでレジストパターンを形成する。そして、スパッタリングや蒸着によって電極となる金属層を圧電ブロック体４の後端面に形成する。このとき、金属層は、当該後端面のうちのレジストが残っている領域では当該後端面上に直接成膜されず、レジスト上に形成される。そして、レジストを除去することでレジスト上に成膜された金属膜がレジストと共に剥離して、最終的に所望の金属膜のパターンが得られる。
【００８２】
（流路規定プレート接合）
図７は、圧電ブロック体４に、オリフィスプレート７，流路規定プレート６およびインクプールプレート５を接合する工程を説明するための分解斜視図である。図７に示すように、圧電ブロック体４の後端面に流路規定プレート６を接合する。流路規定プレート６として、例えば０．２ｍｍ厚のＳｉ基板等を使用することができる。
【００８３】
流路規定プレート６には、エッチング等により貫通孔１４が形成されている。圧電ブロック体４の開口部９ａ〜９ｆは、流路規定プレート６によって封止される。
【００８４】
接合には、例えばエポキシ系の接着剤を用いることができる。接着剤を用いる場合、流路規定プレート６の貫通孔１４や圧力室８ａｂ〜８ｅｆが接着剤で埋まってしまう場合がある。このような事態を防ぐため、接着剤を流路規定プレート６や圧電ブロック体４に塗布する際に、接着剤の量を適切にコントロールしておくことが望ましい。
【００８５】
接着剤の塗布方法としては、別途用意した平坦な基板上にスピンコートやスクリーン印刷などで薄い均一な接着剤層を形成しておき、当該接着剤層に流路規定プレート６を押し付けて接着剤層を流路規定プレート６に転写する方法が挙げられる。この方法によれば、流路規定プレート６上に薄く均一な接着剤層を形成することができる。
【００８６】
接着剤塗布後、流路規定プレート６と圧電ブロック体４との間に微小な間隔がある状態で流路規定プレート６の位置決めを行い、流路規定プレート６を圧電ブロック体４に加圧接着する。接着剤の厚さの目安としては、接着前の接着層の厚さが４μｍ程度、接着後の厚さが２μｍ程度となることが適切である。
【００８７】
また、圧力室８ａｂ〜８ｅｆや開口部９ａ〜９ｆへの接着剤のはみ出しを軽減するために、流路規定プレート６の貫通孔１４の外側に溝（不図示）を形成し、当該溝を接着剤の逃がし溝として使用することも有効である。
【００８８】
（オリフィスプレート接着）
次に、圧電ブロック体４にオリフィスプレート７を接合する。オリフィスプレート７は、圧電ブロック体４の圧力室８ａｂ〜８ｅｆに対応する位置に吐出口１５が形成された板である。
【００８９】
一例として、吐出口１５は直径１０μｍの円孔であり、円孔の深さは２０μｍである。また、オリフィスプレート７の、圧電ブロック体４に接合される接合面側に、接着剤が吐出口１５を塞がないようにするための逃がし溝（不図示）が設けられている。逃がし溝は液体中の泡の滞留を防ぐため、圧力室８ａｂ〜８ｅｆの開口よりも小さいことが好ましく、例えば、直径を８０μｍ、深さを６０μｍとすることができる。この場合、オリフィスプレート７の厚さは８０μｍとなる。
【００９０】
このようなオリフィスプレート７の作製方法としては、例えば、Ｎｉの電鋳加工が挙げられる。さらに、オリフィスプレート７の、圧電ブロック体４と接しない側の面に撥インク処理を施す。撥インク材料としては、シラン系、フッ素系の材料があり、蒸着などでコーティング処理をすることができる。
【００９１】
オリフィスプレート７は、例えば接着剤を用いて圧電ブロック体４と接合される。接着には、例えばエポキシ系の接着剤を用いることができる。接着剤を用いる場合、オリフィスプレート７の吐出口１５や圧力室８ａｂ〜８ｅｆが接着剤で埋まってしまうのを防ぐため、接着剤をオリフィスプレート７に塗布する際に、接着剤の量を適切にコントロールしておくことが望ましい。
【００９２】
接着剤の塗布方法としては、別途用意した平坦な基板上にスピンコートやスクリーン印刷などで薄い均一な接着剤層を形成しておき、当該接着剤層にオリフィスプレート７を押し付けて接着剤層をオリフィスプレート７に転写する方法が挙げられる。この方法によれば、オリフィスプレート７上に薄く均一な接着剤層を形成することができる。
【００９３】
接着剤塗布後、オリフィスプレート７と圧電ブロック体４の間に微小な間隔がある状態でオリフィスプレート７の位置決めを行い、オリフィスプレート７を圧電ブロック体４に加圧接着する。接着剤の厚さの目安としては、接着前の接着層の厚さが４μｍ程度、接着後の厚さが２μｍ程度となることが適切である。
【００９４】
（インクプールプレート接着）
その後、共通液室１３を有するインクプールプレート５を用意し、流路規定プレート６にインクプールプレート５を接合する。インクプールプレート５は、例えば、ＳＵＳ基板を機械加工で作成し、接着剤を用いて流路規定プレート６と接合される。
【００９５】
最後に、その他の必要な部品をさらに組み立てて、液体吐出ヘッド１（図１参照）が完成する。
【００９６】
（駆動）
液体吐出ヘッド１の動作について、図８を用いて説明する。図８は図２における圧力室８ａｂの周辺の断面拡大図である。図８（ａ）に示すように、圧力室８ａｂは開口部９ａ，９ｂによって挟まれている。圧力室８ａｂを区画する区画壁１２ａ，１２ｂは、圧力室８ａｂに対して内向きの矢印Ｐの方向に分極されている。
【００９７】
図８（ｂ）は駆動電圧印加時の様子を強調して示している。開口部９ａ，９ｂの内側面に配置された電極１１ａ，１１ｂを正電位とし、圧力室８ａｂの内側面に配置された電極１０ａｂをＧＮＤ電位として、両電極間に電圧を印加する。これにより圧力室８ａｂを区画する区画壁１２ａ，１２ｂは圧力室８ａｂを収縮させるように変形する。この変形によって圧力室８ａｂ内に充填されている液体の圧力が高められ、吐出口１５（図１，７参照）より液滴が吐出される。
【００９８】
本実施形態に係る製造方法によれば、共通電極は圧力室８ａｂ〜８ｅｆの内側面に配置された電極１０ａｂ〜１０ｅｆであり、個別電極は開口部９ａ〜９ｆの内側面に形成された電極１１ａ〜１１ｆである。したがって、製造された液体吐出ヘッドでは、個別電極−共通電極間の電界が、圧力室８ａｂ〜８ｅｆ内の液体に作用することがなく、液体の電気分解を防止することができる。その結果、吐出不良の発生を抑制することができる。
【００９９】
個別電極として機能する電極１１ａ〜１１ｆは、第２の溝１９ａ〜１９ｆ毎に独立して形成される。すなわち、第２の溝１９ｂ，１９ｃの間の壁によって電極１１ｂ，１１ｃが電気的に絶縁され、第２の溝１９ｄ，１９ｅの間の壁によって電極１１ｄ，１１ｅが電気的に絶縁される。したがって、従来技術のような、電極形成後の高精度な位置決めを伴う電極分離工程が不要あり、液体吐出ヘッドの製造工程が短縮されて製造コストが削減される。
【０１００】
また、第２の溝１９ａ〜１９ｆの底面の研削が不要であり、第１の圧電基板２の剛性が低下しない。したがって、液体吐出ヘッドの信頼性が向上する。
【０１０１】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について、図９，１０を用いて説明する。図９は本実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図であり、図１０は図９におけるＣ−Ｃ’断面図である。
【０１０２】
図１ないし図３に示された液体吐出ヘッド１では、圧力室８ａｂ〜８ｅｆは、開口部９ａ〜９ｆよりも大きい。本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、図９，１０に示されるように、圧力室８ａｂ〜８ｅｆは、開口部９ａ〜９ｆと同じ大きさを有する。
【０１０３】
圧力室８ａｂ〜８ｅｆの大きさ以外の構成に関しては、第１の実施形態と同じであるため、それらの説明については省略する。
【０１０４】
圧力室８ａｂ〜８ｅｆの大きさを開口部９ａ〜９ｆの大きさと同じにすることにより、圧力室８ａｂ〜８ｅｆとなる第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ（図４Ｂ参照）と、開口部９ａ〜９ｆとなる第２の溝１９ａ〜１９ｆ（図４Ｃ参照）とをまとめて形成することができる。
【０１０５】
具体的には、第１および第２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆは、超砥粒ホイールによる研削によって形成される。そして、超砥粒ホイールの厚みが、第１および第２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆの溝幅となる。
【０１０６】
第２の溝１９ａ〜１９ｆの溝幅が第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆの溝幅と同じであれば、第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆを形成する超砥粒ホイールで第２の溝１９ａ〜１９ｆを形成することができる。したがって、超砥粒ホイールの交換といった工程を削減することができ、コストダウンが可能になる。
【０１０７】
例えば、第１および第２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆの溝幅を０．１３ｍｍ、溝深さを０．２ｍｍとし、第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆの溝ピッチを０．７２ｍｍとし、側壁１２ａ〜１２ｆの幅を０．１２ｍｍとすることができる。
【０１０８】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について、図１１ないし１４を用いて説明する。図１１は本実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図であり、図１２は、図１１におけるＤ−Ｄ’断面図である。なお、図１ないし１０に示されるものと同一の構成要素については、同一の符号を用いて簡単な説明に留める。
【０１０９】
図１１に示すように本実施形態に係る液体吐出ヘッド１は、第１の圧電基板２と第２の圧電基板３とが複数積層されてなる圧電ブロック体４と、インクプールプレート５と、流路規定プレート６と、オリフィスプレート７と、を有する。を有する。圧電ブロック体４には、天板２０および第３の圧電基板２１が接合されている。
【０１１０】
なお、図１１では、わかりやすくするため、インクプールプレート５、流路規定プレート６およびオリフィスプレート７を、圧電ブロック体４から分解した状態で示している。
【０１１１】
圧電ブロック体４は、第１の方向Ｘへ並ぶ複数の圧力室８ａｂ〜８ｅｆと、複数の開口部９ａ〜９ｆと、を有する。開口部９ｂ，９ｃは圧力室８ａｂ，８ｃｄの間に配置されており、開口部９ｄ，９ｅは圧力室８ｃｄ，８ｅｆの間に配置されている。開口部９ａは、圧力室８ａｂの、開口部９ｂとは反対側に配置されており、開口部９ｆは、圧力室８ｅｆの、開口部９ｅとは反対側に配置されている。
【０１１２】
また、圧力室８ａｂ〜８ｅｆおよび開口部９ａ〜９ｆは、第１の方向Ｘと交わる第２の方向Ｙへ複数並んでいる。第２の方向Ｙに関して隣り合う圧力室８ａｂ〜８ｅｆの間には、開口部２２ａｂ，２２ｃｄ，２２ｅｆが配置されている。
【０１１３】
第３の圧電基板２１には、圧電ブロック体４の、第２の方向Ｙに関して端に位置する圧力室８ａｂ〜８ｅｆに対応して、開口部２３ａｂ，２３ｃｄ、２３ｅｆが形成されている。
【０１１４】
インクプールプレート５は、開口を有する共通液室１３を有し、共通液室１３の開口が塞がれるように流路規定プレート６と接合されている。流路規定プレート６の、インクプールプレート５と接合された面とは反対側の面は、圧電ブロック体４に接合されている。流路規定プレート６には貫通孔１４が形成されており、貫通孔１４を介して共通液室１３が圧力室８ａｂ〜８ｅｆと連通している。
【０１１５】
開口部９ａ〜９ｆ，２２ａｂ〜ｅｆは流路規定プレート６によって封止されており、共通液室１３に貯留された液体が開口部９ａ〜９ｆ，２２ａｂ〜２２ｅｆに流れ込むことはない。
【０１１６】
オリフィスプレート７には、圧力室８ａｂ〜８ｅｆの内部の液体を吐出するための吐出口１５が、圧力室８ａｂ〜８ｅｆに対応して形成されている。
【０１１７】
インクプールプレート５の共通液室１３に貯留された液体は、流路規定プレート６の貫通孔１４を通って圧力室８ａｂ〜８ｅｆに供給される。圧力室８ａｂ〜８ｅｆの容積が縮小することで液体に吐出エネルギーが加えられ、液体はオリフィスプレート７の吐出口１５から液滴として吐出される。
【０１１８】
圧電ブロック体４の詳細を、図１３を用いてさらに説明する。図１３は、図１２における破線で囲まれた領域Ｅを拡大した拡大断面図である。
【０１１９】
図１３に示されるように、圧力室８ａｂ〜８ｅｆの内側面には電極１０ａｂ〜１０ｅｆが配置されている。なお、本実施形態では、圧力室ａｂ〜８ｅｆの内側面のうちの、第２の方向Ｙに関して対向する面にも電極１０ａｂ〜１０ｅｆが配置されている。
【０１２０】
また、開口部９ａ〜９ｆの内側面には電極１１ａ〜１１ｆが配置されている。そして、開口部２２ａｂ〜２２ｅｆの内側面のうちの、第２の方向Ｙに関して対向する２つ面には、それぞれ、電極２４ａｂ，２４ｃｄ，２４ｅｆおよび電極２５ａｂ，２５ｃｄ，２５ｅｆが配置されている。電極２４ａｂ〜２４ｅｆおよび電極２５ａｂ〜２５ｅｆは互いに電気的に絶縁されている。
【０１２１】
圧力室８ａｂ〜８ｅｆと、第１の方向Ｘに関してその両側に配置された複数の開口部９ａ〜９ｆとの間の区画壁１２ａ〜１２ｆは、それぞれ矢印Ｐの方向に分極されている。また、圧力室８ａｂ〜８ｅｆと、第２の方向Ｙに関してその両側に配置された複数の開口部２２ａｂ〜２２ｅｆとの間の区画壁２６ａｂ〜２６ｅｆ，２７ａｂ〜２７ｅｆは、それぞれ矢印Ｐ１，Ｐ２の方向に分極されている。
【０１２２】
例えば電極１１ａ，１１ｂ，２４ａｂ，２５ａｂと、電極１０ａｂとの間に電圧を印加すると区画壁１２ａ，１２ｂ，２６ａ，２７ａが変形し、圧力室８ａｂの容積が拡縮する。同様に、区画壁１２ｃ〜１２ｆ，２６ｃｄ，２６ｅｆ，２７ｃｄ，２７ｅｆが変形し、圧力室８ｃｄ，８ｅｆの容積が拡縮する。
【０１２３】
本実施形態の液体吐出ヘッド１では、圧力室８ａｂ〜８ｅｆの４辺の区画壁１２ａ〜１２ｆ，２６ａｂ〜２６ｅｆ，２７ａｂ〜２７ｅｆが変形して圧力室８ａｂ〜８ｅｆの容積が縮小する。したがって、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１（図１参照）に比べ、より大きな吐出力を得ることができる。
【０１２４】
また、圧力室８ａｂの内側面に配置された電極１０ａｂ〜１０ｅｆが共通電極として機能するため、個別電極−共通電極間の電界が、圧力室８ａｂ〜８ｅｆ内の液体に作用することがなく、液体の電気分解を防止することができる。その結果、吐出不良の発生を抑制することができる。
【０１２５】
開口部９ｂ，９ｃの間の壁によって電極１１ｂ，１１ｃが電気的に絶縁されており、開口部９ｄ，９ｅの間の壁によって電極１１ｄ，１１ｅが電気的に絶縁されている。したがって、液体吐出ヘッド１を製造する際に、従来技術のような、電極形成後の高精度な位置決めを伴う電極分離工程が不要あり、液体吐出ヘッドの製造工程が短縮されて製造コストが削減される。
【０１２６】
また、電極分離工程に伴う開口部の内側面の研削が不要であり、第１の圧電基板２の剛性が低下しない。したがって、液体吐出ヘッドの信頼性が向上する。
【０１２７】
次に、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１の製造方法を説明する。
【０１２８】
（第１の圧電基板）
まず、第１の圧電基板２に第１および第２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆ（図４Ｂ参照）を形成する。そして、第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆの内側面に、電極１０ａｂ〜１０ｅｆの一部となる電極を形成し、第２の溝１９ａ〜１９ｆの内側面に電極１１ａ〜１１ｆを形成する。
【０１２９】
第１および第２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆを形成する方法、および電極１０ａｂ〜１０ｅｆ，１１ａ〜１１ｆを形成する方法は、第１の実施形態と同じであるためその説明については省略する。
【０１３０】
第１の圧電基板２の、第１の主面２ａとは反対側の第２の主面２ｄ（図４Ｄ参照、第２の面Ａ２とも称する）に、電極２４ａｂ〜２４ｅｆを形成する。このとき、第２の面２ｄのうちの、第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆに対応する領域に電極２４ａｂ〜２４ｅｆを形成する。
【０１３１】
第１の圧電基板２としては、第１の実施形態と同様に、例えば、厚さ０．３ｍｍのＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）基板が挙げられる。
【０１３２】
第１および第２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆ，１９ａ〜１９ｆの寸法は、圧力室８ａｂ〜８ｅｆ、開口部９ａ〜９ｆの大きさから決定される。例えば、第１溝１８ａｂ〜１８ｅｆの溝幅を０．１８ｍｍ、溝深さを０．２ｍｍとし、溝ピッチを０．７２ｍｍとすることができる。また、第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆの側壁１２ａ〜１２ｆの幅を０．１ｍｍとし、第２の溝１９ａ〜１９ｆの溝幅を０．１２ｍｍ、溝深さを０．２ｍｍとすることができる。
【０１３３】
そして、第１の圧電基板２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆの側壁１２ａ〜１２ｆに加えて、第１の圧電基板２の溝１８ａｂ〜１８ｅｆの底壁２６ａｂ〜２６ｅｆに分極処理を施す。具体的には、電極１１ａ〜１１ｆ，２４ａｂ〜２４ｅｆを正電位とし、電極１０ａｂ〜１０ｅｆをＧＮＤ電位として両電極間に高電圧を印加する。分極の条件は、第１の実施形態と同じである。
【０１３４】
これにより、第１の圧電基板２の圧力室８ａｂ〜８ｅｆの区画壁１２ａ〜１２ｆは、図１３における矢印Ｐの方向に分極され、区画壁２６ａｂ〜２６ｅｆは、矢印Ｐ１の方向に分極される。
【０１３５】
（第２の圧電基板）
第２の圧電基板３は、平板形状の圧電基板の第１の主面（第１の面Ｂ１とも称する）にそれぞれ同じ方向に延びる複数の第３の溝が形成されている。第３の溝の内側面には第３の電極２５ａｂ〜２５ｅｆが形成されており、第２の圧電基板３の、第１の主面とは反対側の第２の主面（第２の面Ｂ２とも称する）の、第３の溝に対応する領域に、電極１０ａｂ〜１０ｅｆの一部となる第４の電極が形成されている。
【０１３６】
溝が形成される前の圧電基板としては、例えば厚さ０．２ｍｍのＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）基板が挙げられる。第２の圧電基板３への溝の加工および電極の形成は、第１の実施形態と同様の方法で行うことができる。
【０１３７】
第２の圧電基板３の溝の寸法は、開口部２２ａｂ〜２２ｅｆの大きさから決定される。例えば、第１の圧電基板３に対応して溝幅を０．２２ｍｍ、溝深さを０．１ｍｍとし、溝ピッチを０．７２ｍｍとすることができる。
【０１３８】
第２の圧電基板３の分極は、電極２５ａｂ〜２４ｅｆを正電位とし、第２の圧電基板３の第２の主面に配置された電極をＧＮＤ電位として両電極間に高電界を印加する。分極の条件は、第１の実施形態と同様である。これにより、第２の圧電基板３の溝の底壁２７ａｂ〜２７ｅｆは、図１３における矢印Ｐ２の方向に分極される。
【０１３９】
（圧電ブロック体）
第１の圧電基板２と第２の圧電基板３を複数積層することによって、圧電ブロック体４となる。第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆの開口が第２の圧電基板３の第２の主面で覆われることによって、第１の溝１８ａｂ〜１８ｅｆが圧力室８ａｂ〜８ｅｆとなる。また、第２の圧電基板３の第３の溝が圧力室８ａｂ〜８ｅｆに対応する位置に配されるように第２の圧電基板３を第１の圧電基板２に接合することによって、第２の圧電基板２の第３の溝の底壁が区画壁２７〜２７ｅｆとなる。
【０１４０】
また、第２の圧電基板３の第２の主面に配置された第４の電極は、電極１０ａｂ，１０ｃｄ，１０ｅｆの一部となり圧力室８ａｂ，８ｃｄ，８ｅｆの共通電極となる。
【０１４１】
（駆動）
次に本実施形態に係る液体吐出ヘッド１の駆動動作について、図１４を用いて説明する。図１４は、図１３における圧力室８ａｂの周辺の断面拡大図である。
【０１４２】
図１４（ａ）に示すように、圧力室８ａｂは開口部９ａ，９ｂの間、および２つの開口部２２ａｂの間に配置されている。圧力室８ａｂを区画する４方の壁１２ａ，１２ｂ，２６ａｂ，２７ａｂは、圧力室８ａｂに対して内向き（白抜き矢印）の方向に分極されている。
【０１４３】
図１４（ｂ）は駆動電圧印加時の様子を強調して示している。開口部９ａ，９ｂ，２２ａの内側面に配置された電極１１ａ，１１ｂ，２４ａｂ，２５ａｂを正電位とし、圧力室８ａｂの内側面に配置された電極１０ａｂをＧＮＤ電位として、両電極間に電圧を印加する。これにより圧力室８ａｂを区画する区画壁１２ａ，１２ｂ，２６ａ，２７ａは圧力室８ａｂを収縮させるように変形する。この変形によって圧力室８ａｂ内に充填されている液体の圧力が高められ、吐出口１５（図１１参照）より液滴が吐出される。
【０１４４】
本実施形態の液体吐出ヘッド１では、圧力室８ａｂの４辺の区画壁を変形させて圧力室８ａｂを縮小するため、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１に比べ、より大きな吐出力を得ることができる。
【符号の説明】
【０１４５】
１      液体吐出ヘッド
８      圧力室
９      開口部
１０ａｂ〜１０ｅｆ  ＧＮＤ電極
１１ａ〜１１ｆ  駆動電極
１２      区画壁
１５      吐出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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