(57)【要約】【課題】  従来のＥＧＲ制御弁は、ハウジングのバルブシートに対してバルブヘッドが相対的に回転する。このため、バルブシートに対してバルブヘッドが摺動するので、バルブヘッドとバルブシートとの摩耗が進行するという課題があった。【解決手段】  出力ギア７および出力シャフトと一体回転可能に連結し、且つ出力ギア７の回転中心軸の周囲を囲む円筒部１５を有する円筒カム８を採用することにより、バルブステム３の駆動方向を、出力ギア７の回転面に対して直交する垂直方向に変換することが可能となる。また、バルブステム３は、円筒カム８の円筒内面７１および円筒外面７２にて回転規制されているので、ポペットバルブ１の動きは、中心軸線方向のリフト運動のみとなる。これにより、バルブヘッド２とバルブシート１９との回転摺動がなくなるため、バルブヘッド２とバルブシート１９との摩耗を低減することが可能となる。【選択図】  図３
2014040792.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）内燃機関の排気ガスが流れる流路（２１〜２３）、およびこの流路（２１〜２３）の周囲に設けられる環状のシート（１９）を有するハウジング（４）と、
（ｂ）前記シート（１９）に対して着座、離脱して前記流路（２１〜２３）を閉鎖、開放する弁体（２）、およびこの弁体（２）の中心軸線方向に延びる弁軸（３）を有するバルブ（１）と、
（ｃ）電力の供給を受けて前記バルブ（１）を駆動する動力を発生するモータ（Ｍ）、およびこのモータ（Ｍ）の動力を前記弁軸（３）を介して前記弁体（２）に伝える出力部材（７、８、１３）を有するアクチュエータと
を備え、
前記出力部材は、前記モータ（Ｍ）の動力を受けて回転する出力ギア（７）、およびこの出力ギア（７）と一体回転可能に連結し、前記出力ギア（７）の回転中心軸の周囲を囲む円筒カム（８）を有し、
前記円筒カム（８）は、前記出力ギア（７）の回転中心軸を中心とする曲率半径の円筒内外面（７１、７２）、および前記出力ギア（７）の回転運動を前記バルブ（１）の直線（往復）運動に変換する溝形状のカムスロット（１６）を有し、
前記弁軸（３）の中心軸線は、前記円筒内面（７１）と前記円筒外面（７２）との間で、且つ前記出力ギア（７）の回転面に対して直交する垂直方向に配置されていることを特徴とする排気ガス制御弁。
【請求項２】
請求項１に記載の排気ガス制御弁において、
前記出力部材は、前記出力ギア（７）および前記円筒カム（８）と一体回転可能に連結し、前記出力ギア（７）の回転中心軸上に配置される出力シャフト（１３）を有し、
前記ハウジング（４）は、前記出力シャフト（１３）をその回転方向に摺動可能に支持する軸受（５１、５２）、およびこの軸受（５１、５２）の外周を保持する筒状の軸受ホルダ（５３）を有していることを特徴とする排気ガス制御弁。
【請求項３】
請求項２に記載の排気ガス制御弁において、
前記軸受（５１、５２）は、前記出力シャフト（１３）の外周に圧入固定される内輪、前記軸受ホルダ（５３）の内周に圧入固定される外輪、および前記内輪と前記外輪との間を転動する複数の転動体を有していることを特徴とする排気ガス制御弁。
【請求項４】
請求項３に記載の排気ガス制御弁において、
前記出力部材は、前記出力シャフト（１３）の外周に嵌合する環状のカラー（５７）、および前記出力シャフト（１３）と一体回転可能に設けられる鍔状の係止部（５５）を有し、
前記円筒カム（８）は、前記カラー（５７）と前記係止部（５５）との間に挟み込まれる被係止部（１４）を有していることを特徴とする排気ガス制御弁。
【請求項５】
請求項４に記載の排気ガス制御弁において、
前記被係止部（１４）は、前記カラー（５７）を介して前記軸受（５１）の内輪と前記係止部（５５）との間に挟み込まれていることを特徴とする排気ガス制御弁。
【請求項６】
請求項２ないし請求項５のうちのいずれか１つに記載の排気ガス制御弁において、
前記軸受（５１、５２）は、前記円筒カム（８）の内側に配置されていることを特徴とする排気ガス制御弁。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のうちのいずれか１つに記載の排気ガス制御弁において、
前記弁軸（３）は、前記円筒カム（８）が挿入可能なスリット（２７）を有していることを特徴とする排気ガス制御弁。
【請求項８】
請求項７に記載の排気ガス制御弁において、
前記弁軸（３）は、前記カムスロット（１６）のカムプロフィール（１７、１８）に沿って案内される筒状のフォロア（３１）、および前記カムスロット（１６）内に移動可能に挿入されて、前記フォロア（３１）を介して前記円筒カム（８）から動力を受ける支軸（３２）を有していることを特徴とする排気ガス制御弁。
【請求項９】
請求項８に記載の排気ガス制御弁において、
前記弁軸（３）は、前記スリット（２７）を隔てて対向する一対の対向部（２６）を有し、
前記支軸（３２）は、前記一対の対向部（２６）に跨がって保持されて、前記フォロア（３１）を回転自在に支持していることを特徴とする排気ガス制御弁。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載の排気ガス制御弁において、
前記バルブ（１）は、前記支軸（３２）が前記カムスロット（１６）の形成方向の一端側に位置している時に全閉位置に配置され、前記支軸（３２）が前記カムスロット（１６）の形成方向の他端側に位置している時に全開位置に配置され、
前記円筒カム（８）は、前記バルブ（１）が全閉位置の時に前記円筒カム（８）の回転位置が全閉状態となり、前記バルブ（１）が全開位置の時に前記円筒カム（８）の回転位置が全開状態となることを特徴とする排気ガス制御弁。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のうちのいずれか１つに記載の排気ガス制御弁において、
前記弁軸（３）に対して、前記バルブ（１）を閉じる側に付勢する荷重を発生するスプリング（９）を備えたことを特徴とする排気ガス制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば内燃機関の排気通路に連通する流路を流れる排気ガスを制御する排気ガス制御弁に関するもので、特に内燃機関の排気循環装置（ＥＧＲシステム）に使用される排気ガス制御弁に係わる。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来より、例えばディーゼルエンジン等の内燃機関（エンジン）の燃焼室より排出される排気ガス中に含まれる有害物質（例えば窒素酸化物：ＮＯｘ）の低減を図るという目的で、排気ガスの一部であるＥＧＲガスを排気通路から吸気通路へ再循環（還流）させるためのＥＧＲガスパイプを備えた排気ガス循環装置（ＥＧＲシステム）が公知である。
このＥＧＲシステムには、ＥＧＲガスパイプの内部を流れるＥＧＲガスの流量を可変制御するＥＧＲガス流量制御弁（以下ＥＧＲ制御弁）が設置されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このＥＧＲ制御弁は、ＥＧＲガスが流れる流路が形成されるハウジングと、このシリンダに支持された円環状のバルブシートと、このバルブシートに対して着座、離脱して流路を閉鎖、開放するバルブヘッド（弁体）と、先端側の外周にバルブヘッドを固定したバルブステム（弁軸）と、このバルブステムをその軸線方向に摺動可能に支持する筒状の軸受とを備えている。
ハウジングには、軸受の外周を保持する筒状の軸受ホルダが設けられている。また、ハウジングには、バルブステムやバルブヘッドを駆動する電動モータを有するアクチュエータが搭載されている。
【０００４】
アクチュエータは、電動モータの回転を減速する減速機構を備えている。この減速機構には、電動モータの回転動力を受けて回転する出力ギアが設けられている。この出力ギアは、出力ギアの往復回転（回動）運動をバルブステムやバルブヘッドの往復直線運動に変換する変換機構に連結されている。
変換機構は、ハウジングの内側に固定された鐘状の支持部材を備えている。支持部材は、バルブステムのストローク方向と同心の管状の壁、およびこの壁と共軸の中心ピンと一体化された凹所を有している。
管状の壁には、２つの溝が形成されている。各溝は、螺旋形状で、その傾斜形状の下面は、ローラが回転するカム面を構成している。ローラは、支軸の両端に取り付けられている。支軸は、バルブステムの端部に回動可能に取り付けられている。支軸は、連結素子を介して、出力ギアの回転に連動するように構成されている。
【０００５】
［従来の技術の不具合］
ところで、従来のＥＧＲ制御弁は、燃焼残滓やカーボン等の微粒子状物質（煤、煤に付着している炭化水素、黒煙や不完全燃焼物等の粉末状固定微粒子：パティキュレート）が含まれているＥＧＲガスが流れる流路内に開閉自在に収容されている。
このため、ＥＧＲ制御弁の弁体であるバルブヘッドの表面、バルブシートの表面に微粒子状物質が付着してデポジットを形成したり、バルブヘッドとバルブシートとの間に跨がってデポジットが形成されたりすると、バルブシートに対してバルブヘッドが閉弁固着（スティック）される懸念がある。
【０００６】
ところが、従来のＥＧＲ制御弁は、モータへの通電が無い状態からモータへの通電がＬｏｗ状態の時、つまり管状の壁のカム面とローラとの間の隙間移動時には、バルブヘッドが全閉位置で回動運動のみ行うように構成されている。これにより、カム面とローラとの間の隙間移動時には、バルブヘッドに回転力しか伝わらず、バルブヘッドとバルブシートとの間に跨がって形成されたデポジットからバルブヘッドを引き剥がすことができ難くなるので、バルブシートに対してバルブヘッドが閉弁固着（スティック）されるという問題が生じている。
また、バルブシートに対してバルブヘッドが相対的に回転した場合、バルブシートに対してバルブヘッドが摺動するため、バルブヘッドとバルブシートとの摩耗が進行するという問題が生じている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表２０１０−５２５２４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、耐デポジット固着解除性能を容易に得ることのできる排気ガス制御弁を提供することにある。また、バルブの弁体とハウジングのシートとの摩耗を低減することのできる排気ガス制御弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明（排気ガス制御弁）は、内燃機関の排気ガスが流れる流路、およびこの流路の周囲に設けられる環状のシートを有するハウジングと、シートに対して着座、離脱して流路を閉鎖、開放する弁体、およびこの弁体の中心軸線方向に延びる弁軸を有するバルブと、電力の供給を受けてバルブを駆動する動力を発生するモータ、およびこのモータの動力を弁軸を介して弁体に伝える出力部材を有するアクチュエータとを備えている。
出力部材は、モータの動力を受けて回転する出力ギア、およびこの出力ギアと一体回転可能に連結し、出力ギアの回転中心軸の周囲を囲む円筒カムを有している。
円筒カムは、出力ギアの回転中心軸を中心とする曲率半径の円筒内外面、および出力ギアの回転運動をバルブの直線（往復）運動に変換する溝形状のカムスロットを有している。
弁軸の中心軸線は、円筒内面と前記円筒外面との間で、且つ出力ギアの回転面に対して直交する垂直方向に配置されている。
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、出力部材として、出力ギアと一体回転可能に連結し、且つ出力ギアの回転中心軸の周囲を囲む円筒カムを使用することにより、バルブの弁軸のストローク方向（駆動方向）を、出力ギアの回転面に対して直交する垂直（直角）方向に変換することができる。これによって、バルブの弁軸とモータの回転軸とを平行に配置することが可能となるので、弁軸の中心に対して、モータの飛び出し量（モータ突き出し寸法：Ｌ）が減る。これにより、モータの対振性を向上させることができる。
また、バルブの弁軸は、円筒カムの円筒内外面にて回転規制され、バルブの弁体の動きは、中心軸線方向のストローク（リフト）運動のみとなる。これにより、バルブの弁体とハウジングのシートとの回転摺動がなくなるため、バルブの弁体とハウジングのシートとの摩耗を低減することができる。
また、仮にバルブの弁体の表面やハウジングのシートの表面に微粒子状物質が付着してデポジットを形成したり、弁体とシートとの間に跨がってデポジットが形成されたりしていた場合であっても、弁体の耐デポジット固着解除性能を容易に向上（または得ることが）できるので、シートに対して弁体が閉弁固着（スティック）される可能性が少なくなる。
【００１１】
請求項２〜５に記載の発明によれば、出力シャフトの外周は、軸受の内輪に圧入で支持され、軸受の外輪は、ハウジングに圧入固定されている。また、円筒カムの被係止部は、カラーを介して軸受の内輪と出力シャフトの係止部との間に挟み込まれて固定される。
これによって、モータから伝達される回転動力（トルク）と、（例えばスプリングの付勢力により発生し、）弁軸から伝達されるスラスト力とを軸受で受けることができるので、出力シャフトの摺動トルクを低減することができる。
【００１２】
請求項６に記載の発明によれば、軸受は、円筒カムの内側に配置されている。
これによって、排気ガス制御弁の体格の小型化を図ることができる。これにより、内燃機関を搭載する自動車等の車両における排気ガス制御弁の搭載スペースを容易に確保することができる。また、モータ突き出し寸法（Ｌ）が小さくなるので、弁軸の中心からのモータの飛び出し量が減る。これにより、モータの対振性を向上させることができる。
【００１３】
請求項７〜１１に記載の発明によれば、排気ガス制御弁には、バルブの弁軸に対して、バルブの弁体を閉じる側（流路を閉塞する側、全閉側、閉弁方向）に付勢する（バネ）荷重（弾性力、スプリング力）を発生するスプリングが設置されている。
このスプリングの付勢力によって、バルブの弁体を常時閉じる側に押し付けているので、フォロアと円筒カムのカムスロットとの間のガタ付きがなくなる。これにより、モータへの通電を停止する時に、バルブの弁体および弁軸を全閉位置まで戻すことができる。
なお、スプリングとして、コンプレッションスプリング（圧縮コイルスプリング）を使用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】ＥＧＲ制御弁の外観図である（実施例１）。
【図２】アクチュエータの平面図である（実施例１）。
【図３】ＥＧＲ制御弁の内部構造図である（実施例１）。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ断面図である（実施例１）。
【図５】図２のＶ−Ｖ断面図である（実施例１）。
【図６】図２のＶＩ−ＶＩ断面図である（実施例１）。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例】
【００１６】
［実施例１の構成］
図１ないし図６は、本発明の排気ガス制御弁を適用したＥＧＲ制御弁（実施例１）を示したものである。
【００１７】
本実施例の内燃機関の排気装置は、例えば自動車等の車両に搭載される内燃機関（エンジン）の排気管から吸気管へ排気ガス（以下ＥＧＲガス）を再循環（還流）させる排気循環装置（以下ＥＧＲシステム）を備えている。
ＥＧＲシステムは、エキゾーストマニホールドまたは排気管内の排気通路からインテークマニホールドまたは吸気管内の吸気通路へＥＧＲガスを還流させるＥＧＲガスパイプを備えている。このＥＧＲガスパイプ内には、排気通路から吸気通路へＥＧＲガスを流入させるＥＧＲガス流路が形成されている。
【００１８】
ＥＧＲガスパイプには、ＥＧＲガス流路を流れるＥＧＲガスの流量をポペットバルブ１の開閉動作により制御するＥＧＲ制御弁が設置されている。
ここで、ＥＧＲシステムは、エンジンの運転状況に基づいてＥＧＲ制御弁の弁体であるポペットバルブ１を開閉制御するＥＧＲバルブ制御装置（内燃機関のＥＧＲ制御装置）として使用される。このＥＧＲバルブ制御装置は、ＥＧＲ制御弁のアクチュエータを他のシステムと連動して制御するエンジン制御ユニット（電子制御装置：以下ＥＣＵ）を備えている。
【００１９】
ＥＧＲ制御弁は、ＥＧＲガス流路を開閉するポペットバルブ１と、このポペットバルブ１のバルブヘッド２およびバルブシャフト（弁軸：以下バルブステム）３をその軸線方向に往復移動させるバルブ駆動装置と、ポペットバルブ１およびバルブ駆動装置を収容するハウジング４とを備えている。
バルブ駆動装置は、ポペットバルブ１を駆動する回転動力を発生するモータＭ、このモータＭの回転を２段減速する減速機構（ピニオンギア５、中間ギア６、出力ギア７）、およびこのモータＭの回転動力をバルブステム３を介してバルブヘッド２に伝える出力部材（出力ギア７、円筒カム８等）を有するアクチュエータと、バルブステム３に対して、バルブヘッド２を閉じる側（バルブ全閉側）に付勢するバネ荷重を発生するスプリング９と、出力部材の回転角度を検出する回転角度検出装置とを備えている。
【００２０】
アクチュエータは、モータＭ、減速機構および変換機構を備えている。
モータＭは、その軸線方向（以下回転軸方向）に延びるモータシャフト（回転軸：以下モータ軸）１１を有するインナロータ（電機子）と、この電機子の周囲を円周方向に取り囲む筒状のステータと、このステータに対して固定されたブラシホルダに収容保持された一対の給電ブラシ（以下ブラシ）とを備えている。
減速機構は、モータ軸１１に連動して回転する３つの減速ギアと、モータＭのモータ軸１１に対して並列配置された中間シャフト（中間軸）１２と、出力ギア７および円筒カム８と一体回転可能に連結した出力シャフト（出力軸）１３とを備えている。
３つの減速ギアは、上述したように、ピニオンギア（入力ギア、モータギア）５、中間ギア６、および出力ギア（バルブギア）７等によって構成されている。
【００２１】
変換機構は、出力ギア７の回転往復（回動）運動をポペットバルブ１の直線往復運動（ポペットバルブ１の軸線方向の往復運動）に変換する動力変換機構である。
円筒カム８の入力部には、円環状の被係止部（円環部）１４が設けられている。この被係止部１４は、例えば出力ギア７にインサート成形されることで、出力シャフト１３と一体回転可能に連結し、円筒カム８の出力部にアクチュエータの動力を伝える出力レバープレートを構成している。また、被係止部１４には、後述する減速機構の出力シャフト１３の外周に嵌合固定するための嵌合孔（例えば四角孔）が形成されている。
円筒カム８の出力部には、円筒部１５が設けられている。この円筒部１５には、バルブステム３に取り付けられる部品（変換機構の一部）と係合するカムスロット１６が形成されている。このカムスロット１６には、ポペットバルブ１の動作パターンに対応した部分螺旋溝形状の第１、第２カム溝壁面（カムプロフィール）１７、１８が形成されている。  なお、バルブ駆動装置の詳細は、後述する。
【００２２】
ポペットバルブ１は、ハウジング４のバルブシート１９に対して着座、離脱して流路孔２１〜２３を閉鎖、開放する円筒状のバルブヘッド（バルブ本体）２を備えている。つまりバルブヘッド２は、ＥＧＲ制御弁の弁体を構成している。本実施例では、バルブヘッド２の外周端面（テーパー状の円錐面）が、バルブシート１９に着座するバルブフェースとなっている。
ポペットバルブ１は、円筒カム８の回転変位に連動してポペットバルブ１の中心軸線方向に往復移動するバルブステム３を有している。
なお、バルブヘッド２とバルブステム３とを一体部品で構成したポペットバルブ１を使用しても良い。
【００２３】
バルブステム３は、ポペットバルブ１の中心軸線方向に真っ直ぐに延伸されており、ポペットバルブ１と円筒カム８を含む変換機構とに結合されている。このバルブステム３は、モータＭのモータ軸１１、中間シャフト１２および出力シャフト１３と並列して設置され、且つ円筒カム８の回転面（被係止部１４の図示上端面）に対して垂直な直交方向に延びるように設置されている。
バルブステム３の軸線方向の基端部には、円筒カム８のカムプロフィール１７、１８からアクチュエータの動力が伝達される入力部が設けられている。また、バルブステム３の軸線方向の先端部には、ポペットバルブ１へアクチュエータの動力を出力する出力部が設けられている。
【００２４】
バルブステム３の出力部の外周（先端外周）には、圧入、かしめまたは溶接等の手段を用いてバルブヘッド２が固定されている。また、バルブステム３は、その軸線方向の中間部分が、メタルベアリング２４を介してハウジング４のベアリングホルダ２５に摺動自在に支持されている。
バルブステム３の入力部は、２股状に分岐（分離）した２つの対向片（第１、第２対向部）２６を備えている。これらの対向片２６は、円筒カム８の円筒部１５が挿入可能なスリット２７を隔てて対向している。スリット２７は、バルブステム３の出力部（ポペットバルブ側端部）に対して反端側の端面で開口し、バルブステム３の軸線方向に真っ直ぐに延びている。
【００２５】
ここで、バルブステム３の各対向片２６には、支軸であるピボットピン３２がその軸線方向に貫通するように嵌合する第１、第２嵌合孔がそれぞれ設けられている。
２つの対向片２６のうちの一方側の対向片２６は、ピボットピン３２の軸線方向の一端側（図５において図示左側）の一端部を嵌合支持している。また、２つの対向片２６のうちの他方側の対向片２６は、ピボットピン３２の軸線方向の他端側（図５において図示右側）の他端部を嵌合支持している。
ピボットピン３２は、一対の対向片２６に跨がって保持されて、フォロアローラ（以下ボールベアリング）３１を回転自在に支持している。
【００２６】
ポペットバルブ１は、ボールベアリング３１およびピボットピン３２が円筒カム８のカムスロット１６の形成方向の一端側（図示上端側）に位置している時に全閉位置に配置され、ボールベアリング３１およびピボットピン３２がカムスロット１６の形成方向の他端側（図示下端側）に位置している時に全開位置に配置される。
円筒カム８を除く変換機構の一部を構成する構成部品は、円筒カム８のカムプロフィール１７、１８に沿って移動可能に案内されるボールベアリング３１、および円筒カム８のカムスロット１６内に移動可能に挿入されて、ボールベアリング３１を介して円筒カム８のカムプロフィール１７、１８からアクチュエータの動力を受けるピボットピン３２等により構成されている。
【００２７】
また、ＥＧＲガス等の排気ガスには、燃焼残滓やカーボン等の排気微粒子（粒子状物質：ＰＭ）が混入している。そのため、バルブステム３の中間部分とベアリングホルダ２５との間には、ＥＧＲガス中に含まれる粒子状物質（ＰＭ）がバルブステム３とメタルベアリング２４との間に侵入するのを抑制するためのスリーブ３４が装着されている。
また、バルブステム３の中間部の外周には、バルブステム３とメタルベアリング２４との摺動部に供給される潤滑油の流出を防止するためのオイルシール３５が装着されている。
【００２８】
ハウジング４には、メタルベアリング２４の外周を保持する円筒状のベアリングホルダ２５が一体的に形成されている。このハウジング４内には、ＥＧＲガス流路の一部を構成する流路孔２１〜２３が形成されている。また、ハウジング４は、流路孔２１と流路孔２３とを区画する円筒状の隔壁（仕切り部）にバルブシート１９が圧入固定されている。このバルブシート１９内には、流路孔２１と流路孔２３とを連通する流路孔２２が形成されている。流路孔２１〜２３は、ＥＧＲガス（流体）が流通する流路である。
【００２９】
ハウジング４には、バルブステム３をその軸線方向に摺動可能に支持する円筒状のメタルベアリング（軸受）２４の外周を保持する円筒状の軸受保持部（以下ベアリングホルダ）２５が設けられている。このベアリングホルダ２５は、メタルベアリング２４の周囲を円周方向に取り囲むように配置されている。
ハウジング４の図示下端側（バルブシート１９側）には、結合フランジ３６が設けられている。この結合フランジ３６は、ＥＧＲ制御弁の取付部材（固定部材）に取り付けられる結合端面を有し、ボルト等の締結具を用いて固定部材の取付面に締結固定される。これにより、ＥＧＲ制御弁がエンジン側（車両側）の固定部材に固定される。
【００３０】
ハウジング４には、モータＭを収容保持するモータケース４１が一体的に形成されている。このモータケース４１は、モータＭの円筒ヨーク４２の周囲を円周方向に取り囲む円筒状の側壁部、およびこの側壁部の一端側で開口し、組み付け時にモータＭをモータ収納凹部４３内に挿入するための開口部（モータ挿入口）を有している。このモータ挿入口は、モータＭのフロントブラケット４４により塞がれている。
フロントブラケット４４は、モータケース４１のモータ挿入口の開口周縁部にボルト等を用いて締結固定されている。これにより、モータＭがモータケース４１内に収容保持される。
【００３１】
ハウジング４には、減速機構、変換機構およびバルブステム３を収容するギアケース４５が形成されている。このギアケース４５には、組み付け時にアクチュエータをアクチュエータ収納凹部４６内に挿入するための開口部を有している。この開口部は、センサカバー４７により塞がれている。
センサカバー４７には、ＥＧＲ（バルブ）開度センサ４８およびモータＭと外部（ＥＣＵやバッテリ）との電気的な接続を行うコネクタ４９が設けられている。コネクタ４９は、相手側コネクタとの嵌合方向（コネクタ接続方向）へ向けて延設された角筒状のハウジングと、センサカバー４７を形成するモールド樹脂材からハウジングの内部空間内に突出して露出したターミナル（外部接続端子）とを備えている。
【００３２】
ハウジング４には、出力シャフト１３をその回転方向に摺動可能に支持する２連ボールベアリング（軸受）５１、５２の外輪の外周を保持する円筒状の軸受ホルダ（以下ベアリングホルダ）５３が設けられている。このベアリングホルダ５３は、２連ボールベアリング５１、５２の各外輪の周囲を円周方向に取り囲むように配置されている。また、ベアリングホルダ５３は、ギアケース４５の底面よりも内部に突出した円筒状の突出部を有している。この突出部には、外部へ向けて開放された開口部が形成されている。この開口部は、キャップ５３ａによって気密的に閉塞されている。
【００３３】
ベアリングホルダ５３の内部には、出力シャフト１３の軸線方向に真っ直ぐに延びる軸受孔が形成されている。
突出部の内周には、圧入孔が形成されている。この圧入孔には、２連ボールベアリング５１、５２の各外輪が圧入嵌合によって嵌合保持される。
ここで、２連ボールベアリング５１、５２は、出力シャフト１３の外周に圧入固定される内輪、ベアリングホルダ５３の圧入孔に圧入固定される外輪、および内輪と外輪との２つの軌道輪の間に滑動自在に収容される複数の鋼球（転動体）を備えている。
なお、転動体をローラに代えても良い。
【００３４】
アクチュエータは、電力の供給を受けるとバルブヘッド２を駆動する動力（トルク）を発生するモータＭと、このモータＭの回転を２段減速して出力シャフト１３に伝達する減速機構（動力伝達機構）と、この減速機構の出力シャフト１３の回転角度を検出する回転角度検出装置と、ポペットバルブ１を所定の開弁位置から全閉位置へ戻すためのスプリング９とを備えている。
出力シャフト１３の回転角度は、出力ギア７および円筒カム８の回転角度と同一であり、円筒カム８の回転角度は、バルブヘッド２のリフト量またはバルブステム３のストローク量に対応している。これにより、回転角度検出装置は、バルブヘッド２のリフト量を検出するリフト量検出装置またはバルブステム３のストローク量を検出するストローク量検出装置として使用できる。
【００３５】
モータＭは、ハウジング４に一体的に形成された有底筒状のモータケース４１のモータ収納凹部４３内に収容保持されている。円筒ヨーク４２のフロント側には、フロントブラケット４４が接続されている。
モータＭは、アウタステータの内周側にインナロータが相対回転可能に配置されるブラシ付きのＤＣモータであり、回転軸方向に真っ直ぐに延びるモータ軸１１を有する電機子と、この電機子の周囲を円周方向（モータ周方向）に取り囲む筒状のステータと、モータ軸１１に固定された整流子に押圧接触する一対のブラシとを備えている。
【００３６】
ステータは、有底円筒状の円筒ヨーク４２、およびこの円筒ヨーク４２の内周面に固定された複数の永久磁石（界磁マグネット）を有している。
電機子は、ステータの半径方向内側に所定のギャップを介して設置されている。この電機子は、円筒ヨーク４２の軸受支持部（ベアリングホルダ）およびフロントブラケット４４の軸受支持部（ベアリングホルダ）に軸受（ベアリング）を介して、回転自在に支持されたモータ軸１１と、このモータ軸１１の回転軸方向に磁性鋼板を複数積層して形成された電機子鉄心（電機子コア）と、この電機子コアに巻装される電機子巻線（電機子コイル）と、一対のブラシに押圧接触される整流子（コンミテータ）とを有している。
【００３７】
減速機構は、モータＭのモータ軸１１の回転動力（トルク）を出力シャフト１３を介して円筒カム８に伝えてポペットバルブ１をその中心軸線方向に往復移動させる動力伝達機構である。
減速機構は、モータＭのモータ軸１１と並列配置された中間シャフト１２、モータ軸１１と中間シャフト１２に並列配置された出力シャフト１３、モータ軸１１の先端外周に固定されたピニオンギア５、このピニオンギア５と噛み合って回転する中間ギア６、およびこの中間ギア６と噛み合って回転する出力ギア７等によって構成されている。
また、３つのギア５〜７は、ハウジング４に一体的に形成されたギアケース４５とセンサカバー４７との間に形成されるアクチュエータ収納凹部４６内に回転自在に収容されている。
【００３８】
中間シャフト１２は、例えばステンレス鋼等の鉄系金属（または非鉄系金属）によって円柱形状（丸棒形状）に一体的に形成されている。この中間シャフト１２は、その軸線方向の一端がハウジング４のギアケース４５の嵌合凹部に圧入嵌合（固定）されている。また、中間シャフト１２の軸線方向の他端は、センサカバー４７の嵌合凹部に嵌め込まれている。
出力シャフト１３は、例えばステンレス鋼等の鉄系金属（または非鉄系金属）によって円柱形状（丸棒形状）に一体的に形成されている。この出力シャフト１３は、２連ボールベアリング５１、５２を介して、ハウジング４のベアリングホルダ５３の内部に回転自在に収容されている。また、２連ボールベアリング５１、５２は、円筒カム８の円筒部１５の内側に配置されている。
【００３９】
出力シャフト１３の軸線方向（回転軸方向）の基端側には、最大外径部である鍔状のフランジ５４、および２面幅を有する第１嵌合部５５が設けられている。なお、第１嵌合部５５が四角形状の断面を有しても良い。
また、出力シャフト１３の軸線方向の先端側には、断面円形の第２嵌合部５６が設けられている。
出力シャフト１３の第１嵌合部５５の外周には、円筒カム８の被係止部１４が嵌合されている。また、第１嵌合部５５の外周には、フランジ５４との間に、被係止部１４を挟み込むための円環状の金属カラー５７が設置されている。
出力シャフト１３の第２嵌合部５６の外周には、２連ボールベアリング５１、５２の各内輪が圧入嵌合によって嵌合保持されている。
２連ボールベアリング５１、５２は、第２嵌合部５６の外周に圧入固定される内輪、ベアリングホルダ５３の内周に圧入固定される外輪、および内輪と外輪との２つの軌道輪の間に滑動自在に収容される複数の鋼球を備えている。
金属カラー５７は、所定の軸方向距離を有する円筒状のパイプである。
【００４０】
ピニオンギア５は、金属または合成樹脂によって一体的に形成されている。このピニオンギア５は、モータＭのモータ軸１１と同軸的（例えば同一軸線上）に配設されて、中間ギア６の最大外径部（大径ギア）のギア径よりも小さいギア径を有している。また、ピニオンギア５は、モータ軸１１の先端外周に圧入嵌合等により固定されて、モータ軸１１と一体的に回転する円筒部（モータＭのフロント先端部）を有している。そして、ピニオンギア５の円筒部の外周には、複数の凸状歯（ピニオンギア歯６１）が円周方向全体に形成されている。
【００４１】
中間ギア６は、金属または合成樹脂によって一体的に形成されている。この中間ギア６は、中間シャフト１２の外周に相対回転可能に嵌め合わされている。
また、中間ギア６は、中間シャフト１２の外周に回転自在に嵌め合わされて、中間シャフト１２の中心軸線周りに回転する円筒部を有している。
中間ギア６の円筒部の軸線方向の一端部には、円筒部の外径よりも大きく、ピニオンギア５のピニオンギア歯６１と噛み合う大径ギアが形成されている。この大径ギアは、円筒部の軸線方向の一端部に設けられた円環板状の大径部、およびこの大径部の外周の周方向全体に形成された複数の凸状歯（中間ギア歯６２）を有している。
また、中間ギア６の円筒部の軸線方向の他端部には、出力ギア７と噛み合う小径ギアが形成されている。この小径ギアは、中間ギア６の円筒部、およびこの円筒部の外周の周方向全体に形成された複数の凸状歯（中間ギア歯６３）を有している。
【００４２】
出力ギア７は、合成樹脂によって一体的に形成されている。この出力ギア７の内周部には、円筒状のマグネットロータ６４が一体的に形成されている。また、出力ギア７は、マグネットロータ６４よりも半径方向の外側に部分円筒状の最大外径部を有している。この最大外径部には、中間ギア６の中間ギア歯６３と噛み合う複数の凸状歯（出力ギア歯６５）が所定の角度分だけ扇状に形成されている。
マグネットロータ６４の内周には、永久磁石であるセンサマグネット６６が固定され、また、マグネットロータ６４には、内部に２面幅（出力シャフト１３の空回りを防ぐ構造、回り止め構造）を有する嵌合孔が形成された円筒カム８の被係止部１４がインサート成形されている。これにより、出力ギア７は、円筒カム８を介して、出力シャフト１３の第１嵌合部５５に回り止めされた状態で固定されている。
【００４３】
ここで、アクチュエータの動力源であるモータＭは、ＥＣＵによって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。
ＥＣＵには、制御処理、演算処理を行うＣＰＵ、制御プログラムまたは制御ロジックや各種制御データ（マップ等）を保存する記憶装置（ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリ）、入力回路（入力部）、出力回路（出力部）、電源回路、タイマー回路等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。
【００４４】
ＥＣＵは、イグニッションスイッチがオン（ＩＧ・ＯＮ）されると、マイクロコンピュータのメモリに格納された制御プログラムまたは制御ロジックに基づいて、ＥＧＲ制御弁のアクチュエータ（モータＭ）を通電制御するように構成されている。
ＥＣＵは、ＥＧＲ開度センサ４８、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、吸気温度センサ、冷却水温度センサおよび排気ガスセンサ（空燃比センサ、酸素濃度センサ）等の各種センサからのセンサ出力信号が、Ａ／Ｄ変換回路によってＡ／Ｄ変換された後に、マイクロコンピュータに入力されるように構成されている。
なお、ＥＧＲ開度センサ４８、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、吸気温度センサ、冷却水温度センサおよび排気ガスセンサは、エンジンの運転状態（運転状況）を検出する運転状態検出手段を構成している。
【００４５】
回転角度検出装置は、出力ギア７と一体回転可能に連結された円筒状のマグネットロータ６４、およびこのマグネットロータ６４の回転角度を測定して減速機構の出力シャフト１３の回転角度および円筒カム８の回転角度に相当するＥＧＲバルブ開度を検出するＥＧＲ開度センサ４８を備えている。マグネットロータ６４の内周面には、複数のセンサマグネット６６および磁性体であるロータコアが取り付けられている。
ＥＧＲ開度センサ４８は、センサカバー４７のセンサ搭載部に設置された一対のステータコアの対向部間に挟み込まれて保持されている。このＥＧＲ開度センサ４８は、センサ搭載部から出力シャフト１３側へ突出するように設置されている。また、ＥＧＲ開度センサ４８は、半導体ホール素子の感磁面を鎖交する磁束密度に対応した電圧信号（アナログ信号）をＥＣＵへ向けて出力するホールＩＣを主体として構成されている。なお、ホールＩＣの代わりに、ホール素子単体、磁気抵抗素子等の非接触式の磁気検出素子を使用しても良い。
【００４６】
スプリング９は、バルブステム３の中間部の周囲を渦巻き状（螺旋状）に取り囲むように設置されている。このスプリング９は、バルブステム３の中間部の段差（円環状の段差６７）に係止される円環状のプレート６８のスプリング座部とギアケース４５の底部（ベアリングホルダ２５の外周側の円筒凹溝の底部）のスプリング座部との間に渦巻き状に巻装されたコイル部を有している。
スプリング９は、バルブステム３に対して、バルブヘッド２を閉弁作動方向に付勢する弾性力を発生するコンプレッション（圧縮コイル）スプリングである。
スプリング９の軸線方向の一端側には、プレート６８のスプリング座部に接触する円環状の第１コイル端部が設けられている。
スプリング９の軸線方向の他端側には、ギアケース４５のスプリング座部に接触する円環状の第２コイル端部が設けられている。
【００４７】
変換機構は、アクチュエータの回転運動（減速機構の出力シャフト１３の回転運動）を、バルブヘッド２のバルブステム３の直線運動に変換する運動方向変換機構である。この変換機構は、出力シャフト１３の中心軸線を中心にして出力ギア７と一体回転可能に連結した円筒カム８と、この円筒カム８のカムスロット１６内に移動自在に挿入されるボールベアリング３１と、各ボールベアリング３１の内輪と圧入嵌合して各ボールベアリング３１の外輪を回転自在に支持するピボットピン３２とを備えている。
【００４８】
円筒カム８は、例えばステンレス鋼等の鉄系金属（または非鉄系金属）によって部分有底円筒形状に一体的に形成されている。この円筒カム８は、バルブヘッド２が全閉位置の時に、円筒カム８の回転位置（角度）が全閉状態（カム全閉位置）となる。また、円筒カム８は、バルブヘッド２が全開位置の時に円筒カム８の回転位置（角度）が全開状態（カム全開位置）となる。
円筒カム８は、出力シャフト１３の第１嵌合部５５の外周を円周方向に取り囲む円環状の被係止部１４を有している。この被係止部１４には、四角孔形状の嵌合孔が貫通形成されている。これにより、円筒カム８は、出力シャフト１３の第１嵌合部５５に回り止めされた状態で固定されている。
【００４９】
被係止部１４は、金属カラー５７を介して、ボールベアリング５１の外輪と出力シャフト１３のフランジ５４との間に挟み込まれた状態で、第１嵌合部５５の外周に固定されている。
円筒カム８は、２連ボールベアリング５１、５２およびベアリングホルダ５３の周囲を部分的に取り囲むように部分円筒形状の円筒部１５が設けられている。この円筒部１５は、被係止部１４を介して、出力ギア７および出力シャフト１３と一体回転可能に連結している。また、円筒部１５は、出力ギア７および出力シャフト１３の回転中心軸の周囲を円周方向に部分的に取り囲む周壁部を構成している。
【００５０】
円筒カム８の円筒部１５には、出力ギア７および出力シャフト１３の回転中心軸を中心とする曲率半径を持つ円筒面（円筒内面７１および円筒外面７２）が設けられている。この円筒部１５には、出力ギア７の回転運動をポペットバルブ１の直線往復運動に変換する部分螺旋形状のカムスロット（カム溝）１６が、円筒カム８の半径方向に貫通形成されている。
このカムスロット１６の各カム溝壁面には、バルブヘッド２の動作パターン（円筒カム８の回転角度に対するバルブヘッド２のリフト量）に対応したカムプロフィール１７、１８が形成されている。このカムプロフィール１７は、カムスロット１６の図示上側のカム溝壁面に設けられている。また、カムプロフィール１８は、カムスロット１６の図示下側のカム溝壁面に設けられている。
【００５１】
カムスロット１６は、円筒カム８の回転方向の一端側（バルブヘッド２の全閉位置側に対応したカム全閉側）から他端側（バルブヘッド２の全開位置側に対応したカム全開側）まで所定の曲率で延びる部分螺旋状のガイド溝である。
ここで、円筒カム８の回転角度およびカムスロット１６のカム形状（カムプロフィール１７、１８）は、バルブヘッド２を全閉位置から全開位置まで駆動するのに必要なバルブステム３のストローク量に対して決定される。
ここで、ポペットバルブ１のバルブステム３の中心軸線は、円筒部１５の円筒内面７１と円筒外面７２との間で、且つ出力ギア７の回転面に対して直交する垂直方向に配置されている。
【００５２】
ボールベアリング３１は、ピボットピン３２の外周に圧入固定される内輪、カムスロット１６の各壁面に接触する外輪、および内輪と外輪との２つの軌道輪の間に滑動自在に収容される複数の鋼球を備えている。
ピボットピン３２は、金属によって所定の形状に形成されており、２つの対向片２６の各嵌合孔に打ち込まれてバルブステム３の入力部に圧入固定されている。
これらのボールベアリング３１およびピボットピン３２は、円筒カム８と共に、２つの対向片２６間に形成されるスリット２７内に移動可能に挿入されている。
【００５３】
［実施例１の作用］
次に、本実施例のＥＧＲ制御弁の作動を図１ないし図６に基づいて簡単に説明する。
本実施例のシャフトバルブを駆動するモータは、ＥＣＵによって通電制御されるように構成されている。
ＥＣＵは、ＩＧ・ＯＮされると、先ず、エンジンの運転状況（運転状態）または運転条件を算出するのに必要は各種センサ出力信号を入力する。
ＥＣＵは、エンジンの運転状況に対応してＥＧＲ率が最適値となるように、ＥＧＲ制御弁の開度を可変制御する。
具体的には、ＥＧＲ開度センサ４８より出力されるセンサ出力信号が、エンジンの運転状況（特にエンジン回転速度、アクセル開度（エンジン負荷）等）に対応して設定される制御目標値（目標ＥＧＲ率）に相当する目標開度（目標リフト量または目標ストローク量）と一致するように、ＥＧＲ制御弁のモータＭへの供給電力をフィードバック制御する。
【００５４】
ここで、モータＭへの電力供給が成されない場合には、スプリング９の付勢力（スプリング荷重）によって、バルブステム３を摺動可能に支持するハウジング４に保持されたバルブシート１９に着座して流路孔２１〜２３を閉鎖（全閉）するゼロリフト（全閉位置）となるようにバルブヘッド２のリフト量またはバルブステム３のストローク量が設定される。これにより、ＥＧＲガスが、エアクリーナを通過した清浄な吸気（新気）に混入しない。
【００５５】
次に、ＥＧＲ制御弁を開弁させるような運転状況（エンジンの運転状況）になると、モータＭへの電力供給が制御される。
モータＭに電力が供給されると、モータ軸１１が開弁作動方向に回転する。これにより、モータＭのモータ軸１１の回転動力（トルク）が、ピニオンギア５、中間ギア６および出力ギア７に伝達される。そして、出力ギア７からトルクが伝達された出力シャフト１３が、出力ギア７の回転に伴って所定の回転角度だけ開弁作動方向に回転する。そして、出力シャフト１３からトルクが伝達された円筒カム８が、出力シャフト１３の回転に伴って所定の回転角度（出力ギア７の作動角度と等しいカム角度）だけ開弁作動方向に回転する。
【００５６】
ここで、ピボットピン３２に支持されたボールベアリング３１は、スプリング９によってカムスロット１６のカムプロフィール１７に押圧されているので、円筒カム８が回転すると、２つのボールベアリング３１が円筒カム８のカムスロット１６の各カム溝壁面を摺動（滑動）して、カムスロット１６のカム全閉位置からカム全開位置までの範囲内で移動することにより、スプリング９の付勢力に抗して、ピボットピン３２を保持するバルブステム３がその軸線方向のバルブ開側へ直線移動する。
【００５７】
そして、バルブステム３の直線移動に伴って、バルブステム３の出力部の外周（先端外周）に固定されたバルブヘッド２が、ハウジング４に保持されたバルブシート１９より離脱して、エンジンの運転状況に対応した所定のリフト量またはストローク量分だけリフトする。これにより、ＥＧＲガス流路（流路孔２１〜２３）が開放される。
このように、エンジンの運転状況に対応してＥＧＲ制御弁の開度、バルブヘッド２のリフト量またはバルブステム３のストローク量をリニアに可変制御することで、エアクリーナを通過した清浄な吸気（新気）に対する、ＥＧＲガスの導入量（混入量）が調節される。
これによって、排気ガス中に含まれる有害物質（例えばＮＯｘ等）が低減される。
【００５８】
［実施例１の効果］
以上のように、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、モータＭのモータ軸１１の回転運動をポペットバルブ１の直線往復運動に変換する出力部材（変換機構、カム機構）として、出力ギア７および出力シャフト１３と一体回転可能に連結し、且つ出力ギア７の回転中心軸の周囲を囲む円筒部１５を有する円筒カム８を採用することにより、ポペットバルブ１のバルブステム３のストローク方向（駆動方向）を、出力ギア７の回転面に対して直交する垂直（直角）方向に変換することができる。
【００５９】
これによって、ポペットバルブ１のバルブステム３とモータＭの回転軸とを平行に配置することが可能となるので、バルブステム３の中心軸線から、モータＭを収容するモータケース４１の端部（フロントブラケット４４の端部）までのモータ突き出し寸法（Ｌ）を小さくすることができる。この結果、ＥＧＲ制御弁全体の体格の小型化を図ることができるので、エンジンを搭載する自動車等の車両のエンジンルーム内におけるＥＧＲ制御弁の搭載スペースを容易に確保することができる。
また、モータ突き出し寸法（Ｌ）が小さくなるので、ハウジング４の取付面（例えばＥＧＲ制御弁の取付部材（固定部材）に結合する結合フランジ３６の結合端面）からのモータＭの飛び出し量が減る。これにより、モータＭの耐振性を向上させることができる。
【００６０】
また、２連ボールベアリング５１、５２は、円筒カム８の円筒部１５の内側、つまり円筒部１５で周囲を囲まれた内部空間内に配置されているので、２連ボールベアリング５１、５２を円筒カム８の円筒部１５の外側に配置したものと比べて、ＥＧＲ制御弁全体の体格の小型化を図ることができる。これにより、エンジンを搭載する自動車等の車両のエンジンルーム内におけるＥＧＲ制御弁の搭載スペースを容易に確保することができる。
また、モータ突き出し寸法（Ｌ）が小さくなるので、バルブステム３の中心からのモータＭの飛び出し量が減る。これにより、モータＭの対振性を向上させることができる。
【００６１】
また、ポペットバルブ１のバルブステム３は、円筒カム８の円筒部１５の円筒内面７１および円筒外面７２にて回転規制されているので、ポペットバルブ１のバルブヘッド２の動きは、中心軸線方向のストローク（リフト）運動のみとなる。これにより、ポペットバルブ１のバルブヘッド２とハウジング４のバルブシート１９との回転摺動がなくなるため、バルブヘッド２とバルブシート１９との摩耗を低減することができる。
また、仮にバルブヘッド２の表面やバルブシート１９の表面に微粒子状物質が付着してデポジットを形成したり、バルブヘッド２とバルブシート１９との間に跨がってデポジットが形成されたりしていた場合であっても、バルブヘッド２の耐デポジット固着解除性能を容易に向上（または得ることが）できるので、バルブシート１９に対してバルブヘッド２が閉弁固着（スティック）される可能性が少なくなる。
【００６２】
また、出力シャフト１３の外周は、ボールベアリング５１の内輪に圧入で支持され、ボールベアリング５１の外輪は、ハウジング４に圧入固定されている。また、円筒カム８の被係止部１４は、金属カラー５７を介してボールベアリング５１の内輪と出力シャフト１３のフランジ５４との間に挟み込まれて固定される。
これによって、モータＭから伝達される回転動力（トルク）と、（例えばスプリングの付勢力により発生し、）バルブステム３から伝達されるスラスト力とをボールベアリング５１で受けることができるので、出力シャフト１３の摺動トルクを低減することができる。
【００６３】
また、ＥＧＲ制御弁には、ポペットバルブ１のバルブステム３に対して、ポペットバルブ１のバルブヘッド２を閉じる側（円筒カム８のカムスロット１６のカムプロフィール１７にボールベアリング３１およびピボットピン３２を押し付ける側）に付勢する（バネ）荷重（弾性力、スプリング力）を発生するスプリング９が設置されている。すなわち、スプリング９の付勢力によって、ポペットバルブ１のバルブヘッド２を常時閉じる側（円筒カム８のカムスロット１６のカムプロフィール１７にボールベアリング３１およびピボットピン３２を押し付ける側）に押し付けているので、ボールベアリング３１と円筒カム８のカムスロット１６との間のガタ付きがなくなる。これにより、モータＭへの通電を停止する時に、ポペットバルブ１のバルブヘッド２およびバルブステム３を全閉位置まで戻すことができる。
【００６４】
［変形例］
本実施例では、本発明の排気ガス制御弁を、内燃機関の排気循環装置に組み込まれるＥＧＲ制御弁に適用しているが、本発明の排気ガス制御弁を、内燃機関の排気装置に組み込まれる排気ガス制御弁に適用しても良い。
なお、排気制御弁としては、ウェイストゲート弁、スクロール切替弁、排気流量制御弁、排気圧力制御弁、排気切替弁、排気絞り弁等が考えられる。
【００６５】
また、排気ガス制御弁の弁体として、ポペットバルブ１を採用しているが、バルブとシャフトとの間にリンク機構を介することにより、バタフライバルブ、フラップバルブ、プレートバルブ、ロータリバルブ等の回転型バルブを採用しても良い。また、ダブルポペットバルブを採用しても良い。
また、シャフトとしてバルブステム３の代わりに、軸線方向に延びる作動ロッドを用いても良い。
【００６６】
また、ボールベアリング３１の代わりに、ピボットピン（支軸）３２の外周に回転自在に支持されるフォロワローラを使用しても良い。この場合でも、バルブステム３の入力部（支軸、フォロワローラ）が、円筒カム８のカムスロット１６のカムプロフィール１７、１８に沿って移動（摺動、滑動）可能に案内される。
また、内燃機関（エンジン）として、多気筒ディーゼルエンジンの代わりに、多気筒ガソリンエンジンを用いても良い。また、単気筒エンジンに適用しても良い。
【符号の説明】
【００６７】
Ｍ  モータ（アクチュエータの動力源）
１  ポペットバルブ
２  バルブヘッド（弁体）
３  バルブステム（弁軸）
７  出力ギア（出力部材）
８  円筒カム（出力部材）
１４  円筒カムの被係止部（入力部、円環部）
１５  円筒カムの円筒部（出力部）
１６  カムスロット（カム溝）
１９  バルブシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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