(57)【要約】【課題】本発明は、無電解めっき用バスケット治具及びそれを用いためっき方法に関する。【解決手段】本発明による無電解めっき用バスケット治具は、多数のプリント回路基板が積載されたバスケットと、前記バスケットの両側面の上端部に結合された回転構造物と、前記バスケットの下端部に結合され、流体が注入されるチューブと、を含む。【選択図】図１
2014122420.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のプリント回路基板が積載されたバスケットと、
前記バスケットの両側面の上端部に結合された回転構造物と、
前記バスケットの下端部に結合され、流体が注入されるチューブと、を含む無電解めっき用バスケット治具。
【請求項２】
前記チューブは、コイル形チューブ、ボックス形チューブ、円形チューブのうち何れか一つで構成される、請求項１に記載の無電解めっき用バスケット治具。
【請求項３】
前記チューブは、バスケットの側面にボックス形チューブで結合される、請求項１に記載の無電解めっき用バスケット治具。
【請求項４】
前記回転構造物は、上下運動するキャリアと、キャリアの下端部に備えられる軸受と、軸受と結合され、その端部がバスケットに連結された回転軸と、を含む、請求項１に記載の無電解めっき用バスケット治具。
【請求項５】
前記チューブは、流体の注入または排出を制御するための可変バルブをさらに含む、請求項１に記載の無電解めっき用バスケット治具。
【請求項６】
前記チューブに流入される流体は、気体または液体である、請求項１に記載の無電解めっき用バスケット治具。
【請求項７】
前記液体はめっき液より小さい密度を有する、請求項６に記載の無電解めっき用バスケット治具。
【請求項８】
前記液体は、水、アンモニア、エタノール、メタノールのうち何れか一つで構成される、請求項６に記載の無電解めっき用バスケット治具。
【請求項９】
前記気体は空気である、請求項６に記載の無電解めっき用バスケット治具。
【請求項１０】
前記チューブは、めっき液による腐食を防止するための耐食性物質からなる、請求項１に記載の無電解めっき用バスケット治具。
【請求項１１】
前記無電解めっき用バスケット治具を位置させる段階と、
前記無電解めっき用バスケット治具をめっき液が入っているめっき槽に浸漬させる段階と、
前記無電解めっき用バスケット治具に結合されたチューブに流体を注入する段階と、
前記無電解めっき用バスケット治具に結合されたチューブに注入された流体を排出させる段階と、
前記無電解めっき用バスケット治具をめっき液が入っているめっき槽から取り出す段階と、を含む無電解めっき方法。
【請求項１２】
無電解めっき用バスケット治具に結合されたチューブに流体を注入する段階で、密度差による浮力差が発生してバスケットの回転が発生する、請求項１１に記載の無電解めっき方法。
【請求項１３】
無電解めっき用バスケット治具に結合されたチューブに流体供給が完了すると、バスケットの上下位置が反対となる、請求項１１に記載の無電解めっき方法。
【請求項１４】
前記無電解めっき用バスケット治具に結合されたチューブに注入された流体を排出させる段階で、浮力が小くなってバスケットが自重によって回転する、請求項１１に記載の無電解めっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無電解めっき用バスケット治具に関し、より詳細には、めっき槽内でバスケットが浮力及び自重により回転されることで、めっき品質が向上されるように構成された無電解めっき用バスケット治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、プリント回路基板（Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｏａｒｄ；ＰＣＢ）は、多数の電子製品素子を電気的に連結させる役割をし、デジタルＴＶを始めとする家電製品から先端通信機器までの全ての電子製品に幅広く用いられる部品であり、用途によって、汎用ＰＣＢ、モジュール用ＰＣＢ、パッケージ用ＰＣＢなどにも分類される。
【０００３】
プリント回路基板は、フェノール樹脂絶縁板またはエポキシ樹脂絶縁板などの一側面に銅などの薄板を付着した後、回路の配線パターンに沿ってエッチング（線上の回路のみを残して腐食させて除去）して必要な回路を構成し、部品を付着または搭載させるための孔を穿孔することにより形成するものである。プリント回路基板は、配線回路面の数によって単面基板、両面基板、多層基板などに分類され、層数が多いほど部品の実装力に優れるため、高精度の製品に採用される。最近、電子産業の発展により、超薄板のプリント回路基板（厚さが０．０４ｍｍ〜０．２ｍｍ）が広く用いられている。
【０００４】
従来の無電解めっきは、プリント回路基板をバスケットスロット（ｂａｓｋｅｔ  ｓｌｏｔ）に挿入し、固定用クランプで固定させて複数のプリント回路基板を積載させる工程を行った後、プリント回路基板が積載されたバスケットをめっき液が入っているめっき槽に投入して、バスケットが浸漬された状態でプリント回路基板の表面に銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）、スズ（Ｓｎ）などをめっきする方式が主に用いられている。
【０００５】
バスケットをめっき槽内に浸漬する時には、バスケットの下端部が先にめっき液に触れることになり、取り出す時にも下端部が最後にめっき液から出される。
【０００６】
通常、バスケットが浸漬されてから取り出されるまでかかる総めっき時間（例えば、１５分または２０分程度）に比べ、めっき槽にバスケットを浸漬する時及び取り出す時にかかる時間は総２０秒程度であって、全体所要時間に比べ短いため、めっき厚さのバラツキを発生させる程度に影響力があるとは思われない。従って、バスケットを浸漬する時及び取り出す時にかかる時間は十分無視できる程度である。
【０００７】
しかし、厚さが０．１〜１μｍの超薄膜である場合にはめっきにかかる総所要時間が１分以下であるため、バスケットを浸漬する時及び取り出す時にかかる時間が、バスケットが浸漬されてから取り出されるまでかかる総めっき時間において占める割合が非常に大きい（最大２０％程度）。そのため、めっき槽にバスケットを浸漬する時及び取り出す時にかかる時間が、プリント回路基板の上端部と下端部でめっき厚さの差を発生させる大きい要因となる。特に、基板の下端部が上端部より厚くめっきされるという問題点があった。
【０００８】
また、めっき槽の内部でめっきの均一化のための装置を用いためっき液の撹拌（エアポンプを用いたバブル形成、機械的装置などの利用）を適用しても、めっき厚さのバラツキの発生を最小化するには限界があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００４‐３００４６２号公報
【特許文献２】特開２０１１-２３１３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記のような従来の諸般欠点及び問題点を解決するための無電解めっき用バスケット治具を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の上記目的は、多数のプリント回路基板が積載されたバスケットと、前記バスケットの両側面の上端部に結合された回転構造物と、前記バスケットの下端部に結合され、流体が注入されるチューブと、を含む無電解めっき用バスケット治具により達成される。
【００１２】
この際、前記チューブは、コイル形チューブ、ボックス形チューブ、円形チューブのうち何れか一つで構成されることができる。
【００１３】
また、前記チューブは、バスケットの側面にボックス形チューブで結合されることができる。
【００１４】
また、前記回転構造物は、上下運動するキャリアと、キャリアの下端部に備えられる軸受と、軸受と結合され、その端部がバスケットに連結された回転軸と、を含むことができる。
【００１５】
また、前記チューブは、流体の注入または排出を制御するための可変バルブをさらに含むことができる。
【００１６】
この際、前記チューブに流入される流体は、気体または液体であることができる。
【００１７】
また、前記液体はめっき液より小さい密度を有することができる
【００１８】
また、前記液体は、水、アンモニア、エタノール、メタノールのうち何れか一つで構成されることができる。
【００１９】
また、前記気体は空気であることができる。
【００２０】
また、前記チューブは、めっき液による腐食を防止するための耐食性物質からなることができる。
【００２１】
一方、本発明の他の目的は、無電解めっきであって、前記無電解めっき用バスケット治具を位置させる段階と、前記無電解めっき用バスケット治具をめっき液が入っているめっき槽に浸漬させる段階と、前記無電解めっき用バスケット治具に結合されたチューブに流体を注入する段階と、前記無電解めっき用バスケット治具に結合されたチューブに注入された流体を排出させる段階と、前記無電解めっき用バスケット治具をめっき液が入っているめっき槽から取り出す段階と、を含む無電解めっき方法を提供することにより達成される。
【００２２】
また、無電解めっき用バスケット治具に結合されたチューブに流体を注入する段階で、密度差による浮力差が発生してバスケットの回転が発生することができる。
【００２３】
また、無電解めっき用バスケット治具に結合されたチューブに流体供給が完了すると、バスケットの上下位置が反対となることができる。
【００２４】
また、前記無電解めっき用バスケット治具に結合されたチューブに注入された流体を排出させる段階で、浮力が小くなってバスケットが自重によって回転することができる。
【発明の効果】
【００２５】
以上で説明したように、本発明による無電解めっき用バスケット治具及びそれを用いためっき方法は、プリント回路基板が０．１〜１μｍの薄膜である場合、プリント回路基板を含むバスケットがめっき液に浸漬された状態で、２回にわたって上下位置が反転されるように回転させることにより、めっき抜けを防止することができ、めっき液に浸漬されるプリント回路基板の上下位置毎のめっき厚さのバラツキを最小化することができるため、めっき被膜の均一性を確保することができ、また、厚さのバラツキが最小化されるため、優れた品質及び信頼性を有するプリント回路基板が得られるという長所がある。
【００２６】
また、本発明によると、簡単な無電解めっき用治具が提供されるため、めっき設備構成が簡単であり、設備空間の確保に余裕があるため、経済的に有利であるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明による無電解めっき用バスケット治具の一実施形態の斜視図である。
【図２】本発明によるチューブの形状を示す図面である。
【図３】本発明による無電解めっき用バスケット治具の他の一実施形態の斜視図である。
【図４】チューブジョイント部を示す斜視図である。
【図５ａ】本発明による無電解めっき過程を順に示す図面である。
【図５ｂ】本発明による無電解めっき過程を順に示す図面である。
【図５ｃ】本発明による無電解めっき過程を順に示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明による無電解めっき用バスケット治具及びそれを用いためっき方法の前記目的に対する技術的構成を含めた作用効果に関する事項は、本発明の好ましい実施形態が図示された図面を参照した以下の詳細な説明によって明確に理解されるであろう。
【００２９】
本明細書で用いられる用語は、実施形態を説明するためのものであり、本発明を限定しようとするものではない。本明細書で、単数型は文句で特別に言及しない限り複数型も含む。明細書で用いられる「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」及び／または「含んでいる（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は言及された構成要素、段階、動作及び／または素子は一つ以上の他の構成要素、段階、動作及び／または素子の存在または追加を排除しない。
【００３０】
図１は本発明による無電解めっき用バスケット治具の一実施形態の斜視図であり、図２は本発明によるチューブの形状を示す図面である。
【００３１】
図示されたように、本発明による無電解めっき用バスケット治具１００は、複数のプリント回路基板１１１を含むバスケット１１０と、バスケット１１０の両側面の上端部に結合された回転構造物１２０と、前記バスケット１１０の下端部に結合され、流体が注入されるチューブ１３０と、で構成されることができる。
【００３２】
また、図２に図示されたように、チューブ１３０は、流体が注入される配管で構成されることができる。バスケット１１０がめっき液１４１に浸漬された状態でチューブ１３０に流体が注入されると、流体に浮力が発生する。
【００３３】
この際、チューブ１３０は、コイル形チューブ、ボックス形チューブ、円形チューブのうち何れか一つで構成されることができ、下部のめっき液１４１の撹拌によってめっきが妨害されることを最小化するために、下端部が完全に閉塞していない形態を有することができる。
【００３４】
コイル形チューブ、ボックス形チューブ、円形チューブで構成された配管はバスケットの下部で空間的に一定に広がっている形態を有するが、チューブ１３０に流体が注入されて形成された浮力によりバスケットが直ちに均衡を失うようになるため、チューブ１３０に流体がさらに注入されるほど、バスケットは平衡を維持するのでなく、大きい回転力を有することができる。
【００３５】
一方、チューブ１３１は、バスケット１１０を囲む形態のボックス形チューブでバスケット１１０の側面に結合されることができる。チューブ１３１がバスケット１１０に結合される位置は、浮力による回転力が大きくなるように、バスケット１１０の中心より下部に位置させることが好ましい。
【００３６】
バスケット１１０がめっき液１４１に浸漬された状態でチューブ１３０、１３１の配管に流体が注入されると、バスケット１１０の下部に結合されたチューブ１３０よりバスケット１１０の側面に結合されたチューブ１３１に、浮力による回転力がより容易に形成されることができる。
【００３７】
この際、バスケットに積層されるプリント回路基板の数、プリント回路基板の厚さ、めっき液の種類などを考慮して、バスケットに結合されるチューブ１３０、１３１の形態を決定することができる。
【００３８】
回転構造物１２０は、キャリア１２３と、キャリア１２３の下端部に備えられる軸受１２２と、バスケット１１０を支持する回転軸１２１と、で構成されることができる。キャリア１２３は、無電解めっき用バスケット治具１００を上下に移動させる連結部材である。軸受１２２は、バスケット１１０を前後に回転させる役割をするとともに、バスケット１１０に連結された回転軸１２１とキャリア１２３とを連結する継手部材である。
【００３９】
前記キャリア１２３は、めっき槽１４０内のめっき液１４１に浸漬する位置とめっき槽１４０上に取り出す位置との間での昇降を制御する昇降部（不図示）を備えることができる。前記昇降部としては、従来に公知されたものを用いることができるため、特に限定されない。
【００４０】
前記回転軸１２１はバスケット１１０の中心より上部に備えられることができる。回転軸１２１はバスケット１１０と結合されてバスケット１１０の回転を誘導する構成であるため、回転軸１２１がバスケット１１０の最上部に結合される場合にも本発明の目的を果たすことができる。
【００４１】
また、バスケット１１０は、垂直、水平フレームを連結して四角枠形状を有するように構成される。バスケット１１０は、内部にプリント回路基板１１１が固定されることができるように、上下間隔を置いて多数の固定クランプを配置することにより、プリント回路基板１１１の積載時に隣接したプリント回路基板１１１の接触や各プリント回路基板１１１の歪み（ｗａｒｐａｇｅ）が発生しないようにする。
【００４２】
この際、バスケット１１０の左側及び右側に回転構造物１２０が結合されるため、左側及び右側部は回転軸１２１が固定されることができるように板状を有することができる。
【００４３】
前記回転軸１２１には、外部の動力装置によって駆動される装置がさらに結合されることができ、回転軸１２１によってバスケット１１０が回転されるように制御する制御部（不図示）がさらに含まれることができる。
【００４４】
チューブ１３０、１３１に流体が注入されると、注入される部分から浮力が発生し、この浮力はバスケット１１０を上方に押す力として作用することができる。しかし、バスケット１１０は回転軸１２１に結束されているため、バスケット１１０全体がめっき液１４１の上部に移動されず、回転軸１２１を基準としてトルクが発生して回転力が形成されることができる。
【００４５】
バスケット１１０は、浮力の発生により回転力を得て、回転軸１２１を中心に回転しはじめる。この際、バスケット１１０が上下反転される過程で外部ポンプ１６０と連結されるチューブジョイント部１３４の結束がバスケット１１０の回転を妨害すると、めっきの品質に影響を与える可能性がある。
【００４６】
従って、チューブジョイント部１３４は、蛇腹構造のゴム連結部１３５を含むことができる。ゴム連結部１３５には皺が形成されていて弾性を有しており、繰り返される弛緩及び収縮に対しても回復力を有するため、回転軸１２１と重なる際にも曲げられることができて、バスケット１１０の回転を妨害しない。
【００４７】
一方、バスケット治具１００は、外部からの流体の注入または排出を制御することができるソレノイドバルブなどの可変バルブ１５０をさらに含むことができる。可変バルブ１５０は、チューブ１３０、１３１に流体が注入されめっき液１４１の内部で十分な浮力を発生して、バスケット１１０を回転させることができる程度の力が生じると、それ以上流体が注入されないようにする役割をすることができる。
【００４８】
めっき工程が十分進行されると、上下位置が反転されたバスケット１１０を元位置に復元させるために、チューブ１３０、１３１の配管に注入された流体を排出させなければならない。注入された流体は自然的に排出されないため、外部圧力を用いて排出させるためのポンプ１６０を利用することができる。
【００４９】
一方、チューブ１３０、１３１に流入される流体は気体または液体であることができる。流体は、チューブ１３０、１３１内で浮力を形成するためのものであるため、めっき液１４１より小さい密度を有することが好ましい。
【００５０】
流体を形成する液体は、水、アンモニア、エタノール、メタノールのうち何れか一つで構成されることができる。気体は、通常めっき液１４１より非常に小さい密度を有するため、素材を特に限定する必要はないが、経済性、低環境負荷特性、作業便宜性を考慮すると、空気（乾燥した空気の密度は標準状態（０℃、１気圧）で１．２９ｇ／ｌ）を選択することが好ましい。
【００５１】
前記チューブ１３０、１３１は、めっき液１４１による腐食を防止することができる優れた耐食性を有し、めっき液１４１より低い密度を有する熱可塑性樹脂で構成されることができる。
【００５２】
チューブ１３０、１３１を構成する物質としては、ポリテトラフルオロエチレン（Ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ：ＰＴＦＥ）、ポリ塩化ビニル（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌ  ｃｈｌｏｒｉｄｅ：ＰＶＣ）、ポリプロピレン（Ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ）、ガラス繊維強化プラスチック（Ｆｉｂｅｒｇｌａｓｓ−ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  ｐｌａｓｔｉｃｓ）、ポリエチレン（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ）、フラン（Ｆｕｒａｎ）、エポキシ（Ｅｐｏｘｙ）、ポリエステル（Ｐｏｌｙｅｓｔｅｒ）、ビニルエステル（Ｖｉｎｙｌ  ｅｓｔｅｒ）、ウレタン（Ｕｒｅｔｈａｎｅ）、天然ゴム（Ｎａｔｕｒａｌ  Ｒｕｂｂｅｒ）、ネオプレン（Ｎｅｏｐｒｅｎｅ）、ブチルゴム（Ｂｕｔｙｌ  ｒｕｂｂｅｒ）、クロロブチルゴム（Ｃｈｌｏｒｏｂｕｔｙｌ  ｒｕｂｂｅｒ）、クロロスルホン化ポリエチレン（Ｃｈｌｏｒｏｓｕｌｆｏｎａｔｅｄ  ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ：ＣＳＰＥ）、フルオロカーボン（Ｆｌｕｏｒｏｃａｒｂｏｎ）のうち何れか一つが選択されることができる。
【００５３】
参照に、流体内における浮力（Ｆ）は、次の数式１により計算されることができる。
【００５４】
【数１】
2014122420.tif 000003
（ここで、Ｆ：流体が受ける浮力の大きさ
ｍ：浸っている部分が占める流体の質量
ｇ：重力加速度
ρ：流体の密度
Ｖ：浸っている部分の体積）
【００５５】
めっき液１４１に浸漬したりめっき液１４１から取り出す時にバスケット１１０が回転するにかかる時間が、総めっき時間において占める割合が高い場合、めっきのバラツキを発生させる要因となり、割合が低い場合には、隣接したプリント回路基板１１１同士が接触したり、各プリント回路基板１１１の歪み現象が発生する恐れがある。従って、プリント回路基板１１１が積載されたバスケット１１０を含む無電解めっき用バスケット治具１００がめっき液１４１内で受ける浮力及び無電解めっき用バスケット治具１００に作用する重力を総合的に判断する先行調査は、プリント回路基板１１１が積載されたバスケット１１０の下部に結合されるチューブ１３０、１３１の種類または材質を選択するための適切な基準となることができる。
【００５６】
図５は本発明の好ましい一実施形態によるプリント回路基板のめっき方法を順に示した図面である。
【００５７】
まず、図５ａを参照すると、めっきの対象となるプリント回路基板１１１をバスケット１１０にクランプで固定させた後、めっき槽１４０にめっき液１４１を投入し、無電解めっき用バスケット治具１００をめっき槽１４０の上部に位置させる。次に、無電解めっき用バスケット治具１００をめっき槽１４０に徐々に浸漬させてめっきを準備する。
【００５８】
バスケット１１０がめっき液１４１に浸漬されて露出された部分がなくなると、ポンプ１６０を用いて、バスケット１１０の下部に結合されたチューブ１３０、１３１の配管に流体を注入する。バスケット１１０がめっき液１４１に完全に浸漬された状態になった時に直ちに流体を注入させることにより、バスケット１１０が浸漬される部位によってプリント回路基板１１１のめっきのバラツキが発生することを最小化することができる。
【００５９】
バスケット１１０の下部に結合されたチューブ１３０、１３１に流体が注入されて、バスケット１１０の下部に浮力が生成される。ここで、浮力は流体が注入される部位で異なって生成されるため、バスケット１１０の下部で一方向に浮力が形成されることができる。
【００６０】
バスケットの回転軸１２１を中心に傾きが形成され、チューブ１３０、１３１に流体が注入されるほど浮力が大きくなる。従って、バスケット１１０の下部で一方向に形成された浮力は、慣性力が加えられることにより、流体が注入される瞬間の浮力によって誘導された回転力より大きくなることができる。
【００６１】
この際、チューブ１３０、１３１に流体が注入される過程で、バスケット１１０は、回転軸１２１とキャリア１２３を連結する継手部材である軸受１２２の特性によって回転することができるが、キャリア１２３に結合された昇降部がめっき液１４１の下方に外力を加えているため、バスケット１１０に浮力が加えられてバスケット１１０が回転しても、バスケット１１０がめっき液１４１の表面に浮上することはできない。
【００６２】
次、図５ｂを参照すると、チューブ１３０、１３１に流体を注入してバスケット１１０が回転した場合、バスケット１１０はチューブ１３０、１３１に流体が注入される前の状態と上下位置が変わるようになる。
【００６３】
この際、バスケット１１０の上下が反転されることにより、バスケット１１０の下端部に結合されたチューブ１３０、１３１がめっき液１４１の上部に位置するようになり、回転軸１２１がバスケット１１０の中心より下部に位置するため、元の状態に復元しようとする重力が加えられるが、これは浮力に比べ非常に小さい力であり、バスケット１１０が結合された回転軸１２１はキャリアに固定されているため、バスケット１１０はめっき液１４１内で上下が反転された状態を維持することができる。
【００６４】
また、前記工程はプリント回路基板１１１をめっきする段階であるため、めっきのバラツキを減少させるために当業界に公知された装置（エアパイプ構造のエアバブル放射機構、めっき液１４１を撹拌させる回転装置など）を利用することができる。
【００６５】
次に、図５ｃを参照すると、めっき段階が終了すると流体を排出させなければならない。流体が外部に排出されることにより、バスケット１１０に作用していた浮力が次第に減少され、バスケット１１０に一定に作用していた重力の大きさは相対的に大きくなる。
【００６６】
従って、バスケット１１０の側面部に結合された回転軸１２１は重心より下部に位置するようになるため（バスケット１１０が上下が反転された状態）、元位置に復元させるために、多数のプリント回路基板１１１が積載されたバスケット１１０の自重によって回転力が発生することができる。
【００６７】
チューブ１３０、１３１に注入された流体が外部に全部排出されると、バスケット１１０をめっき液１４１に入れた時のバスケット１１０の位置と同一になり、キャリアを用いてめっき液１４１からバスケット１１０を取り出すことにより、めっき工程を終了する。
【００６８】
一方、厚さが０．１〜１μｍの超薄膜である場合、めっきにかかる総所要時間が１分以下で、非常に短いため、バスケット１１０がめっき液１４１に取り入れ及び取り出されて停止されている時間が正確でなければならない。
【００６９】
また、チューブ１３０、１３１に流体が注入されてバスケット１１０が上下に反転される工程も、めっきの品質に影響を与える原因となるため、チューブ１３０、１３１に流体が注入される時期、バスケット１１０が回転するにかかる時間は、繰り返して実験することにより最適の時点が選択されるようにする。
【００７０】
以上で説明した本発明の好ましい実施形態は例示の目的のために開示されたものであり、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものにおいて、本発明の技術的思想を外れない範囲内で様々な置換、変形及び変更が可能であり、このような置換、変形及び変更などは添付の特許請求範囲に属するとするべきであろう。
【符号の説明】
【００７１】
１００  バスケット治具
１１０  バスケット
１１１  プリント回路基板
１２１  回転軸
１２２  軸受
１２３  キャリア
１３０、１３１  チューブ
１３４  チューブジョイント部
１３５  ゴム連結部
１４０  めっき槽
１４１  めっき液
１５０  可変バルブ
１６０  ポンプ
【図１】
2014122420.tif 000004
【図２】
2014122420.tif 000005
【図３】
2014122420.tif 000006
【図４】
2014122420.tif 000007
【図５ａ】
2014122420.tif 000008
【図５ｂ】
2014122420.tif 000009
【図５ｃ】
2014122420.tif 000010