(57)【要約】【課題】軸受からの発塵物の発生を防ぎ、軸受からの発塵物が処理後の基板上に付着してしまうのを防止できる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置１は、ベース部２と、基板Ｂを搬送方向Ｔに沿って搬送するための搬送シャフト２１と、搬送シャフト２１をベース部２において回転可能に支持する軸受を有する軸受保持ユニット５０を有し、軸受保持ユニット５０は、軸受５２を保持する軸受ホルダー５１と、搬送シャフト２１を通し、軸受５１の内輪５１Ａを保持する筒状のメインシャフト５７と、メインシャフト５７に固定することでメインシャフト５７へ軸受５１の内輪５１Ａを押し付けるための与圧を与える与圧付与部材５４と、メインシャフト５７に固定することでメインシャフト５７を搬送シャフト２１に固定させるメインシャフト固定部１００を備える。【選択図】図６
2014040298.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に処理を施す基板処理装置であって、
ベース部と、
前記基板を搬送方向に沿って搬送するための搬送シャフトと、
前記搬送シャフトを前記ベース部において回転可能に支持する軸受を有する軸受保持ユニットと、有し、
前記軸受保持ユニットは、
前記軸受を保持する軸受ホルダーと、
前記搬送シャフトを通し、前記軸受の内輪を保持する筒状のメインシャフトと、
前記メインシャフトに固定することで前記メインシャフトへ前記軸受の内輪を押し付けるための与圧を与える与圧付与部材と、
前記メインシャフトに固定することで前記メインシャフトを前記搬送シャフトに対して固定させるメインシャフト固定部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記メインシャフトは、テーパ状の突き当て内面部を有し、
前記メインシャフト固定部は、メインシャフト固定用スリーブと、メインシャフト固定ナットを有し、
前記メインシャフト固定用スリーブは、前記メインシャフトの前記テーパ状の突き当て内面部に突き当てられるテーパ状の突き当て外面部を有し、
前記メインシャフト固定ナットを前記メインシャフトに固定して、前記メインシャフト固定用スリーブの前記テーパ状の突き当て外面部を、前記メインシャフトの前記テーパ状の突き当て内面部に押し当てて、前記メインシャフト固定用スリーブの内面を前記搬送シャフトの外面に固定することで、前記メインシャフトは前記メインシャフト固定用スリーブを介して前記搬送シャフトに固定させることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記メインシャフトは外周部にオネジを有し、前記与圧付与部材は内周部にメネジを有し、前記与圧付与部材の前記メネジが前記メインシャフトの前記オネジにかみ合うことで、前記メインシャフトへ前記軸受の内輪を押し付けるための与圧を与えることを特徴とする請求項１または２記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記ベース部材に保持部材が固定されており、前記保持部材は、前記軸受保持ユニットの前記軸受ホルダーを着脱可能に保持する凹部状の軸受保持部を有し、
前記軸受ホルダーは、前記軸受保持部内で回転可能に保持され、前記軸受ホルダーには、前記軸受保持部内における回転角度を規制する回転規制部材を有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記軸受保持ユニットは、前記基板の洗浄処理工程において、エア吹き付けにより前記基板上の洗浄処理液を除去した後の前記基板を搬送するためのドライ搬送部に用いられ、
前記軸受保持ユニットは樹脂製であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、液晶基板等の基板を処理する基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置等の表示装置のガラス基板を製造する際には、この基板は、基板処理装置において搬送されながら基板には各種の処理が施される。基板処理装置が基板に施す処理としては、例えばレジスト塗布処理、レジスト剥離処理、エッチング処理、そして洗浄処理等である。例えば、基板処理装置の洗浄処理装置が基板を洗浄処理する場合には、基板は基板搬送装置により搬送されながら、基板の表面に処理液が供給される。基板搬送装置の搬送シャフトは、軸受により回転可能に支持されており、搬送シャフトがモータの駆動により回転すると、基板が搬送シャフトのローラにより搬送される。この種の基板処理装置は、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２５６７６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の従来の基板処理装置では、洗浄最終工程において、洗浄処理装置内のウェット搬送部で基板に洗浄処理液を供給して洗浄し、その後基板上に残った洗浄処理液はエアナイフ部で発生する高圧エアにより吹き飛ばして基板をドライ状態にした後、基板はドライ搬送部により搬送するようになっている。この際、ウェット搬送部及びドライ搬送部の軸受と搬送シャフトとの嵌合部のスリップによる摺動により発塵物が発生する。
【０００５】
しかし、ドライ搬送部の軸受の内、特にエアナイフ部に近い位置に配置されているドライ搬送部の軸受が生じる発塵物は、エアナイフ部の高圧エアにより舞い上がってしまい、舞い上がった発塵物が、洗浄処理後のドライ搬送部で搬送される間に基板上に付着してしまう。
【０００６】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、軸受からの発塵物の発生を防ぎ、軸受からの発塵物が処理後の基板上に付着してしまうのを防止できる基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の実施形態に係る基板処理装置は、基板に処理を施す基板処理装置であって、ベース部と、前記基板を搬送方向に沿って搬送するための搬送シャフトと、前記搬送シャフトを前記ベース部において回転可能に支持する軸受を有する軸受保持ユニットと、有し、前記軸受保持ユニットは、前記軸受を保持する軸受ホルダーと、前記搬送シャフトを通し、前記軸受の内輪を保持する筒状のメインシャフトと、前記メインシャフトに固定することで前記メインシャフトへ前記軸受の内輪を押し付けるための与圧を与える与圧付与部材と、前記メインシャフトに固定することで前記メインシャフトを前記搬送シャフトに対して固定させるメインシャフト固定部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、軸受からの発塵物の発生を防ぎ、軸受からの発塵物が処理後の基板上に付着してしまうのを防止できる基板処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の好ましい実施形態の基板処理装置を示す平面図である。
【図２】図２（Ａ）は、図１に示す基板処理装置を矢印Ｇ方向から見た側面図であり、図２（Ｂ）は、図１に示す基板処理装置を矢印Ｆ方向から見た側面図である。
【図３】図１に示すエアナイフ部の一例を示す図である。
【図４】図４（Ａ）は、軸受保持ユニットと、この軸受保持ユニットを着脱可能に保持している保持部材を示す正面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）における矢印ＣＳ方向から見た軸受保持ユニットと保持部材の一部分を示す側面図である。
【図５】搬送シャフトと、この搬送シャフトに装着された軸受保持ユニットを示す斜視図である。
【図６】図６（Ａ）は、軸受保持ユニットの構造を示す断面図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）におけるＡ−Ａ線から見た軸受保持ユニットの側面図であり、そして図６（Ｃ）は、図６（Ａ）におけるＢ−Ｂ線から見た軸受保持ユニットの側面図である。
【図７】図６（Ａ）に示す軸受保持ユニットの分解図である。
【図８】軸受保持ユニットの軸受ホルダーの溝部分が、保持部材の軸受保持部にはまり込むことで、軸受保持ユニットが保持部材に着脱可能に装着されている様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１１】
図１は、本発明の好ましい実施形態の基板処理装置１を示す平面図である。図２（Ａ）は、図１に示す基板処理装置１を矢印Ｇ方向から見た側面図であり、図２（Ｂ）は、図１に示す基板処理装置１を矢印Ｆ方向から見た側面図である。
【００１２】
図１に示すように、本発明の実施形態の基板処理装置１は、一例として、処理対象基板である例えば液晶表示装置用のガラス基板Ｂ（以下、基板という）を搬送しながら、この基板Ｂの表面に洗浄処理液を供給することにより、基板Ｂの表面上の汚れを洗浄処理する装置である。図１に示す基板処理装置１は、長方形の平板の基板Ｂを搬送方向Ｔに沿って搬送しながら、基板Ｂの表裏面に洗浄処理液を供給する。この洗浄処理液としては、例えば純水を用いるが、これに限定されない。
【００１３】
図１に示すように、基板処理装置１は、ベース部２と、ウェット搬送部３と、ドライ搬送部４と、エアナイフ部５を有している。ベース部２は、上から見て長方形の基台であり、このベース部２の上には、ウェット搬送部３とドライ搬送部４とエアナイフ部５が配置されている。図１と図２（Ｂ）に示すウェット搬送部３は、ベース部２において、基板Ｂの搬送方向Ｔの上流側に配置され、ウェット搬送部３はほぼ三角形状の領域である。図１と図２（Ａ）に示すドライ搬送部４は、ベース部２において、基板Ｂの搬送方向Ｔの下流側に配置され、ドライ搬送部４はほぼ三角形状の領域である。図１に示すように、エアナイフ部５は、ウェット搬送部３とドライ搬送部４の間に配置されており、エアナイフ部５の長手方向Ｃは、ウェット搬送部３とドライ搬送部４の間において、エア吹き付け距離をより長くするために、搬送方向Ｔに対して所定の角度θで斜めに配置されている。
【００１４】
まず、図１と図３を参照してエアナイフ部５の構造例を説明する。
【００１５】
図３は、図１に示すエアナイフ部５の構造の一例を示している。エアナイフ部５は、搬送方向Ｔに関して上流側のウェット搬送部３と、搬送方向Ｔに関して下流側のドライ搬送部４との間に配置されている。このエアナイフ部５は、エア供給部６と、一対のエア供給ノズル７Ａ，７Ｂと、一対のエア注入部材８Ａ、８Ｂを有している。一方のエア供給ノズ
ル７Ａは、基板Ｂの上方位置において下向きに傾斜して配置され、他方のエア供給ノズル７Ｂは、基板Ｂの下方位置において上向きに傾斜して配置され、各エア供給ノズル７Ａ，７Ｂは、基板Ｂに対して傾斜角度Ｗで傾斜されている。
【００１６】
エアは、エア供給部６からエア注入部材８Ａを通じて、エア供給ノズル７Ａのエア室９Ａに供給されることで、高圧のエアが、エア供給ノズル７Ａのノズル７Ｍから、基板Ｂの上面ＢＦに対して吹き付けられる。同様にして、エアは、エア供給部６からエア注入部材８Ｂを通じて、エア供給ノズル７Ｂのエア室９Ｂに供給されることで、高圧のエアが、エア供給ノズル７Ｂのノズル７Ｎから、基板Ｂの下面ＢＲに対して吹き付けられる。これにより、基板Ｂの上面ＢＦと下面ＢＲにそれぞれ載っている洗浄処理液１０を除去することが出来る。すなわち、上流側のウェット搬送部３では、基板Ｂの上面ＢＦに載っている洗浄処理液１０が、エア供給ノズル７Ａのノズル７Ｍから、基板Ｂの上面ＢＦに対して吹き付けられる高圧のエアにより、吹き飛ばされる。また、上流側のウェット搬送部３では、基板Ｂの下面ＢＲに載っている洗浄処理液１０は、エア供給ノズル７Ｂのノズル７Ｎから、基板Ｂの下面ＢＲに対して吹き付けられる高圧のエアにより、吹き飛ばされる。したがって、エア供給ノズル７Ａのノズル７Ｍとエア供給ノズル７Ｂのノズル７Ｎから基板Ｂの上面ＢＦと下面ＢＲに付着している洗浄処理液１０を吹き飛ばした後に、乾燥状態になった基板Ｂは、下流側のドライ搬送部４に搬送されるようになっている。
【００１７】
次に、図１に示す上流側のウェット搬送部３の構造例を説明する。図１に示すように、ウェット搬送部３は、複数本の搬送シャフト１１，１４と、複数の軸受部１２と、この搬送シャフト１１，１４に固定された複数の搬送ローラ１３を有している。各搬送シャフト１１，１４は、搬送方向Ｔとは直交するＸ方向に沿って、同じ間隔をおいて配列されている。各搬送シャフト１１，１４は、通常の構造を有する複数の軸受部１２により、回転可能に支持されている。各搬送シャフト１１，１４には、所定の間隔をおいて、搬送ローラ１３が固定されている。
【００１８】
複数本の搬送シャフト１１は、図示しない駆動部のモータの駆動により回転されるシャフトであり、搬送シャフト１１の搬送ローラ１３は、基板Ｂの下面を支持しながら基板Ｂを搬送方向Ｔに搬送することができる。複数本の搬送シャフト１４は、図示しない駆動部のモータの回転力では回転されない従動シャフトであり、搬送シャフト１４の搬送ローラ１３は、基板Ｂの下面を支持しながら基板Ｂを搬送方向に搬送する。
【００１９】
次に、図１に示す下流側のドライ搬送部４の構造例を説明する。図１に示すように、ドライ搬送部４は、複数本の搬送シャフト２１，２４と、複数の軸受保持ユニット５０と、この搬送シャフト２１，２４に固定された複数の搬送ローラ２３を有している。各搬送シャフト２１，２４は、搬送方向Ｔとは直交するＸ方向に沿って、同じ間隔をおいて配列されている。各搬送シャフト２１，２４は、複数の軸受部２９と軸受保持ユニット５０により、回転可能に支持されている。各搬送シャフト２１，２４には、所定の間隔をおいて、搬送ローラ２３が固定されている。
【００２０】
複数本の搬送シャフト２１は、駆動部のモータの回転力により回転されるシャフトであり、搬送シャフト２１の搬送ローラ２３は、基板Ｂの下面を支持しながら基板Ｂを搬送方向Ｔに搬送することができる。複数本の搬送シャフト２４は、図示しない駆動部のモータの回転力により回転されない従動シャフトであり、搬送シャフト２４の搬送ローラ２３は、基板Ｂの下面を支持しながら基板Ｂを搬送方向に搬送することができる。
【００２１】
次に、図１と図２（Ａ）に示すドライ搬送部４の軸受保持ユニット５０の好ましい構造例を説明する。
【００２２】
図１と図２（Ａ）に示すドライ搬送部４に配置された各軸受保持ユニット５０は、軸受を保持しており、次のような構造を有している。複数の軸受部２９は、通常の軸受構造を有しているが、軸受保持ユニット５０は、次に説明するように、搬送シャフト２１を回転可能に支持し、搬送シャフト２１が回転しても、軸受保持ユニット５０から発塵物が発生しない構造を採用している。
【００２３】
図４（Ａ）は、軸受保持ユニット５０と、この軸受保持ユニット５０を着脱可能に保持している保持部材３０を示す正面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）における矢印ＣＳ方向から見た軸受保持ユニット５０と保持部材３０の一部分を示す側面図である。
【００２４】
図４（Ａ）に示すように、保持部材３０は、Ｚ方向（上下方向）に立ててベース部２に固定されている。保持部材３０は、基部３１と板状の受部材３２を有している。基部３１は、ベース部２に固定され、受部材３２は、基部３１の上部に固定されている。図４（Ｂ）に示すように、受部材３２は、例えば３つの軸受保持ユニット５０を着脱可能に保持する軸受保持部３３を有している。この３つの軸受保持部３３は、同じ間隔Ｊをおいて、受部材３２の上端部からＺ方向の下向き（Ｚ１方向）に沿って形成されている凹部である。軸受保持部３３は、Ｚ方向に沿った両側の直線案内部分３３Ａと半円形状の底部３３Ｂを有している。
【００２５】
図５（Ａ）と図５（Ｂ）は、搬送シャフト２１とこの搬送シャフト２１に装着された軸受保持ユニット５０を示す斜視図である。図６（Ａ）は、軸受保持ユニット５０の構造を示す断面図であり、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）におけるＡ−Ａ線から見た軸受保持ユニット５０の側面図であり、図６（Ｃ）は、図６（Ａ）におけるＢ−Ｂ線から見た軸受保持ユニット５０の側面図である。図７は、図６（Ａ）に示す軸受保持ユニット５０の分解図である。
【００２６】
図６（Ａ）と図７に示すように、軸受保持ユニット５０は、軸受ホルダー５１と、軸受５２と、Ｃ型のトメ輪５３と、軸受与圧用のナット５４と、メインシャフト固定用のナット５５と、メインシャフト固定用スリーブ５６と、筒状のメインシャフト５７を有している。搬送シャフト２１は、例えばＳＵＳ製である。軸受保持ユニット５０は、金属製に比べて、軽量化が図れ、製造が容易でコストダウンが可能であることから、樹脂製である。図５（Ｂ）では、軸受保持ユニット５０は完全に組み立てられており、搬送シャフト２１に対して固定された状態を示している。図５（Ａ）では、軸受保持ユニット５０のメインシャフト固定用のナット５５とメインシャフト固定用スリーブ５６が、分解された状態を示している。
【００２７】
図６（Ａ）と図７に示すように、軸受ホルダー５１は、内部に軸受５２を収容して保持する部材である。軸受５２は、例えばインナーレース（内輪）５２Ａとアウターレース（外輪）５２Ｂと複数個のボール５２Ｃを備えるボール軸受である。インナーレース（内輪）５２Ａとアウターレース（外輪）５２Ｂは、例えば樹脂製であり、軽量化を図っている。インナーレース５２Ａが樹脂製であると、金属製のインナーレースを採用するのに比べて、搬送シャフト２１が回転する際の慣性モーメントを小さくすることができる。ボール５２Ｃは、耐久性を確保するために例えばセラミックス製あるいは金属製である。
【００２８】
図７に示すように、軸受ホルダー５１は、両端部に開口部５１Ａ，５１Ｂを有するほぼ円筒状の部材であり、軸受５２を収容する収容部６１と、溝部分６２と、はめ込み溝部分６３を有している。収容部６１の内部には、突き当て部６１Ｂを有している。突き当て部６１Ｂは、収容部６１内で全周に渡って形成されている。軸受５２を開口部５１Ａから入れて軸受５２を収容部６１内に収容すると、軸受５２のアウターレース５２Ｂの一方の側面部がこの突き当て部６１Ｂに突き当てられる。
【００２９】
図７と図５に示すように、溝部分６２は、開口部５１Ｂ側に形成されている断面矩形の溝であり、軸受ホルダー５１の全周囲に渡って形成されている。溝部分６２には、１本の金属製のピン６２Ｐが固定されており、図７に示すように、このピン６２Ｐの軸方向は、搬送シャフト２１の軸方向ＣＬと平行である。このピン６２Ｐは、軸受保持ユニット５０の回転規制を行うための回転規制部材の例である。
【００３０】
図７に示すＣ型のトメ輪５３は、例えばプラスチック製あるいは金属製である。Ｃ型のトメ輪５３は弾性変形する一部切り欠かれたリングであり、Ｃ型のトメ輪５３を半径方向に圧縮した状態で軸受ホルダー５１の開口部５１Ａから入れてはめ込み溝部分６３にはめ込む。はめ込み溝部分６３は、軸受ホルダー５１の内側に全周囲に渡って、開口部５１Ａ側に形成されている。これにより、図６（Ａ）に示すように、Ｃ型のトメ輪５３は、はめ込み溝部分６３内で自己の弾性反発力により拡がることで、はめ込み溝部分６３内に固定される。この固定されたＣ型のトメ輪５３が、軸受５２のアウターレース５２Ｂの他方の側面部に突き当たることで、アウターレース５２Ｂは、Ｃ型のトメ輪５３と収容部６１の内の突き当て部６１Ｂにより、軸方向ＣＬ方向に動かないように固定している。
【００３１】
図６（Ａ）と図７に示す軸受与圧用のナット５４は、取り付けることにより軸受５２のインナーレース５２Ａに対して、中心軸ＣＬと平行な方向に与圧を与えるための与圧付与部材の一例である。軸受与圧用のナット５４は、例えば樹脂製であり、メインシャフト固定用スリーブ５６が樹脂製であると、金属製であるのに比べて、搬送シャフト２１が回転する際の慣性モーメントを小さくすることができる。
【００３２】
図７に示すように、軸受与圧用のナット５４は、内周部にメネジ５４Ｍを有している。この軸受与圧用のナット５４のメネジ５４Ｍが、メインシャフト５７のオネジ５７Ｎにかみ合うことで、ナット５４の突き当て内端部５４Ｔは、図６（Ａ）に示すように、軸受５２のインナーレース５２Ａの他方の側面部に突き当てられるようになっている。突き当て内端部５４Ｔは、ナット５４の全周囲に渡って形成されている。これにより、軸受与圧用のナット５４は、インナーレース５２Ａに対して与圧を与える方向ＰＫに押す。
【００３３】
一方、図７に示すメインシャフト５７は、オネジ５７Ｎの他に、段差状の突き当て部６１Ａと、貫通孔５７Ｓと、オネジ５７Ｐと、テーパ状の突き当て内面部５７Ｒを有している。突き当て部６１Ａは、メインシャフト５７の外周部の全周囲に渡って形成されている。メインシャフト５７の断面円形の貫通孔５７Ｓには、図６（Ａ）に示すように、搬送シャフト２１が通る。
【００３４】
図７の軸受与圧用のナット５４のメネジ５４Ｍが、メインシャフト５７のオネジ５７Ｎにかみ合うことで、軸受５２のインナーレース５２Ａの一方の側面部がこの突き当て部６１Ａに突き当てられる。しかも、すでに説明したように、ナット５４の突き当て内端部５４Ｔは、図６（Ａ）に示すように、軸受５２のインナーレース５２Ａの他方の側面部に突き当てられるようになっている。これにより、軸受５２のインナーレース５２Ａは、インナーレース５２Ａに対して与圧を与える方向ＰＫに押され、軸受５２の収容部６１内において軸方向ＣＬに沿って移動しないように固定されている。
【００３５】
同様にして、図６（Ａ）に示すように、軸受５２のアウターレース５２Ｂの一方の側面部は、収容部６１の突き当て部６１Ｂに突き当てられ、軸受５２のアウターレース５２Ｂの他方の側面部は、Ｃ型のトメ輪５３に突き当てられるので、軸受５２のアウターレース５２Ｂは軸受５２の収容部６１内において軸方向ＣＬに沿って移動しないように固定されている。これにより、軸受５２のインナーレース５２Ａとアウターレース５２Ｂは、軸受５２の収容部６１内において固定されるようになっている。
【００３６】
図７に示すテーパ状の突き当て内面部５７Ｒは、貫通孔５７Ｓから連続して形成されており、内部から外部に向けて広がる形状を有している。
【００３７】
次に、図７に示すメインシャフト固定用スリーブ５６は、例えば樹脂製であり、メインシャフト固定用スリーブ５６が樹脂製であると、金属製であるのに比べて、搬送シャフト２１が回転する際の慣性モーメントを小さくすることができる。
【００３８】
メインシャフト固定用スリーブ５６は、テーパ状の突き当て外面部５６Ｓと、貫通孔５６Ｈと、割り溝５６Ｗを有している。メインシャフト固定用スリーブ５６は、割り溝５６Ｗを有していることから、メインシャフト固定用スリーブ５６の突き当て外面部５６Ｓが、メインシャフト５７のテーパ状の突き当て内面部５７Ｒに対してはめ込まれる。
【００３９】
図７に示すメインシャフト固定用のナット５５は、内側のメネジ５５Ｒと、貫通孔５５Ｓを有している。メインシャフト固定用のナット５５は例えば樹脂製であり、メインシャフト固定用のナット５５が樹脂製であると、金属製であるのに比べて、搬送シャフト２１が回転する際の慣性モーメントを小さくすることができる。
【００４０】
この貫通孔５６Ｈには搬送シャフト２１が通っている。メインシャフト固定用のナット５５内には、メインシャフト固定用スリーブ５６を収容した状態で、作業者がメインシャフト固定用のナット５５を回してメインシャフト固定用のナット５５の内側のメネジ５５Ｒを、メインシャフト５７のオネジ５７Ｐにかみ合わせる。これにより、メインシャフト固定用スリーブ５６の突き当て外面部５６Ｓを、メインシャフト５７のテーパ状の突き当て内面部５７Ｒに対して押し付けることができる。これにより、メインシャフト固定用スリーブ５６の貫通孔５６Ｈの内面の半径寸法を縮小する。メインシャフト固定用スリーブ５６の貫通孔５６Ｈの内面の半径寸法が縮小すると、メインシャフト固定用スリーブ５６の貫通孔５６Ｈの内面は、搬送シャフト２１の外周面に密着して固定できる。
【００４１】
このメインシャフト固定用のナット５５とメインシャフト固定用スリーブ５６は、メインシャフト固定部１００を構成する部材である。このメインシャフト固定部１００は、
メインシャフト５７に固定されて、メインシャフト５７側にメインシャフト固定用スリーブ５６を加圧することで、メインシャフト５７は、メインシャフト固定用スリーブ５６を介して、搬送シャフト２１に対して固定させる。
【００４２】
ここで、図７と図６（Ａ）を参照して、上述した軸受保持ユニット５０の各要素の組み立て手順の例を説明する。
【００４３】
メインシャフト５７は、軸受５２のインナーレース５２Ａ内に嵌めて挿入する。このため、軸受５２のインナーレース５２Ａの一方の側面部が、この突き当て部６１Ａに突き当てられる。
【００４４】
軸受与圧用のナット５４を回して、軸受与圧用のナット５４のメネジ５４Ｍをメインシャフト５７のオネジ５７Ｎに噛み合わせることで、ナット５４の突き当て内端部５４Ｔは、軸受５２のインナーレース５２Ａの他方の側面部５２Ｔに突き当てられる。これにより、軸受与圧用のナット５４は、突き当て部６１Ａとの間でインナーレース５２Ａに対して与圧を与える。
【００４５】
このように組み立てたメインシャフト５７と軸受５２と軸受与圧用のナット５４から成る組み立てユニットは、図７に示す軸受ホルダー５１の穴部５１Ｈにはめ込まれる。そして、Ｃ型のトメ輪５３が軸受ホルダー５１のはめ込み溝部分６３にはめ込まれる。これに
より、軸受５２のアウターレース５２Ｂの一方の側面部５２Ｎは、軸受ホルダー５１の収容部６１の突き当て部６１Ｂに突き当てられ、軸受５２のアウターレース５２Ｂの他方の側面部５２Ｓは、Ｃ型のトメ輪５３に突き当てられる。このため、軸受５２のアウターレース５２Ｂは、軸受５２の収容部６１内において軸方向ＣＬに沿って移動しないように固定される。つまり、軸受５２に与圧を掛けることでアキシャル方向（軸方向ＣＬ）の隙間を無くして、軸受ホルダー５１内における軸受５２のセンタリングを行う。
【００４６】
その後、メインシャフト５７と軸受５２と軸受与圧用のナット５４とそして軸受ホルダー５１から成る組み立てユニットには、搬送シャフト２１を通す。つまり、搬送シャフト２１は、メインシャフト５７の貫通孔５７Ｓに通す。
【００４７】
図７に示すメインシャフト固定用スリーブ５６を、メインシャフト５７に入れて、作業者がメインシャフト固定用のナット５５を回してメインシャフト固定用のナット５５の内側のメネジ５５Ｒを、メインシャフト５７のオネジ５７Ｐに噛み合わせる。これにより、メインシャフト固定用スリーブ５６の突き当て外面部５６Ｓを、メインシャフト５７のテーパ状の突き当て内面部５７Ｒに対してはめ込んで突き当てて押し付ける。
【００４８】
このように、メインシャフト固定用のナット５５を回すことで、メインシャフト固定用スリーブ５６が搬送シャフト２１の外周面に押し付けられるので、メインシャフト固定用スリーブ５６の貫通孔５６Ｈの内面の半径寸法が小さくなる。メインシャフト固定用スリーブ５６の貫通孔５６Ｈの内面の半径寸法が縮小すると、メインシャフト固定用スリーブ５６の貫通孔５６Ｈの内面は、搬送シャフト２１の外周面に密着して固定できる。従って、メインシャフト５７は、メインシャフト固定用スリーブ５６を介して、搬送シャフト２１の外周面に対して固定することができる。この結果、軸受保持ユニット５０は、メインシャフト５７を介して、搬送シャフト２１の外周面に確実に固定することができる。
【００４９】
図７に示す軸受ホルダー５１とＣ型のトメ輪５３とベアリング５２のアウターレース５２Ｂは、ステータ部である。これに対して、軸受５２のインナーレース５２Ａと軸受与圧用のナット５４とメインシャフト固定用のナット５５とメインシャフト固定用スリーブ５６とメインシャフト５７は、搬送シャフト２１とともに回転するロータ部である。特に、このロータ部を構成する軸受５２のインナーレース５２Ａと軸受与圧用のナット５４とメインシャフト固定用のナット５５とメインシャフト固定用スリーブ５６とメインシャフト５７が樹脂製であると、金属製にした場合に比べて、搬送シャフト２１が回転する際に、慣性モーメントを小さくできる。
【００５０】
一般に、搬送シャフトは軸方向に長いので、搬送シャフトの全長に渡って外形寸法精度を一定に保つことができず、搬送シャフト２１の部分によっては外形寸法にばらつきがある。このため、もし、搬送シャフトの実際の外形寸法に合うように軸受保持ユニットの精度を確保して軸受保持ユニットを製作する工程を省くことが出来る。
【００５１】
しかし、本発明の実施形態では、作業者がメインシャフト固定用のナット５５を回すことで、メインシャフト固定用スリーブ５６をメインシャフト５７に押し付けることで、メインシャフト固定用スリーブ５６の内面は搬送シャフト２１の外面に押し付けることができ、軸受保持ユニット５０が搬送シャフト２１の外周面に固定できる構造である。
【００５２】
メインシャフト固定用のナット５５を回すことで、メインシャフト固定用スリーブ５６をメインシャフト５７に押し付けることで、メインシャフト固定用スリーブ５６の内面は搬送シャフト２１の外周面に押し付けることができ、軸受保持ユニット５０は搬送シャフト２１の外周面に固定できる。このため、軸受保持ユニット５０と搬送シャフト２１との間での摺動による発塵物の発生は無くすことができ、軸受５２のインナーレース５２Ａと
メインシャフト５７との嵌合状態は、軸受５２のインナーレース５２Ａに対して与圧を掛けていることで強固なものにしているので、軸受５２のインナーレース５２Ａとメインシャフト５７との間での摺動は抑えることで、発塵物の発生を防いでいる。
【００５３】
しかも、搬送シャフト２１の外周面の外径寸法にばらつきがあっても、メインシャフト固定用スリーブ５６が搬送シャフト２１の外周面の外径寸法にばらつきを吸収しながら、軸受保持ユニット５０を搬送シャフト２１の外周面に固定できる。従って、本発明の実施形態での軸受保持ユニット５０は、搬送シャフト２１の外形寸法に合わせて軸受保持ユニット５０を厳密に製作しなくても良いので、軸受保持ユニット５０の製作する工程を省くことができる。
【００５４】
ところで、図５（Ｂ）と図７に示すように、軸受ホルダー５１の溝部分６２には、１本のピン６２Ｐが固定されている。図８は、軸受保持ユニット５０の軸受ホルダー５１の溝部分６２が保持部材３０の受部材３２の軸受保持部３３にはまり込むことで、軸受保持ユニット５０の軸受ホルダー５１が保持部材３０に着脱可能に装着されている様子を示している。図８に示すように、軸受保持ユニット５０の軸受ホルダー５１は、保持部材３０の軸受保持部３３内において、Ｒ１方向あるいはＲ２方向に回転できるようにはめ込まれている。ただし、軸受ホルダー５１の溝部分６２にはピン６２Ｐが設けられていることで、軸受ホルダー５１が軸受保持部３３内において自由に回転してしまうのを防止している。このように、基板Ｂの搬送方向が一方向なので、１本のピン６２Ｐだけを設けて、軸受ホルダー５１の回転を止めている。なお、軸受ホルダー５１には２本のピンを設けて、軸受ホルダー５１を完全に固定することもできる。
【００５５】
軸受保持ユニット５０の各要素部品を、金属ではなく樹脂により作ることで、軸受保持ユニット５０の軽量化を図ることができる。特に、軸受保持ユニット５０のロータ部の各要素部品の軽量化が図れると、搬送シャフト２１が回転する際の慣性モーメントを小さくできる。
【００５６】
上述した軸受保持ユニット５０では、軸受５２のインナーレース５２Ａの一方の側面部５２Ｋは、突き当て部６１Ａに突き当てられるとともに、軸受５２のインナーレース５２Ａの他方の側面部５２Ｔは、突き当て内端部５４Ｔに突き当てられるので、軸受５２のインナーレース５２Ａは軸受５２の収容部６１内において軸方向ＣＬに沿って移動しないように固定されている。同様にして、軸受５２のアウターレース５２Ｂの一方の側面部５２Ｎは、収容部６１の突き当て部６１Ｂに突き当てられ、軸受５２のアウターレース５２Ｂの他方の側面部５２Ｓは、Ｃ型のトメ輪５３に突き当てられるので、軸受５２のアウターレース５２Ｂは軸受５２の収容部６１内において軸方向ＣＬに沿って移動しないように固定されている。
【００５７】
しかも、メインシャフト固定用スリーブ５６を、メインシャフト５７へ入れて、メインシャフト固定用のナット５５を回してメインシャフト固定用のナット５５の内側のメネジ５５Ｒを、メインシャフト５７のオネジ５７Ｐにかみ合わせる。これにより、メインシャフト固定用スリーブ５６の突き当て外面部５６Ｓを、メインシャフト５７のテーパ状の突き当て内面部５７Ｒに対してはめ込んで突き当てて押し付ける。このように、メインシャフト固定用のナット５５を回すことで、メインシャフト固定用スリーブ５６が搬送シャフト２１の外周面に押し付けられるので、メインシャフト固定用スリーブ５６の内面が搬送シャフト２１の外周面に押し付けられるので、軸受保持ユニット５０は、搬送シャフト２１の外周面に固定することができる。
【００５８】
以上のように軸受保持ユニット５０が構成されているので、搬送シャフト２１に取り付けられた軸受保持ユニット５０には、搬送シャフト２１に対する緩みやズレが生じること
がなく、発塵物の発生が見られない。
【００５９】
洗浄最終工程では、図１に示すウェット搬送部３を通過して来た基板Ｂ上には洗浄処理液が載っているが、このエアナイフ部５は、基板Ｂ上に載っている洗浄処理液に高圧のエアを吹き付けて基板Ｂ上から洗浄処理液を吹き飛ばす。その後、乾燥した基板Ｂはドライ搬送部４に移すようになっている。
【００６０】
ドライ搬送部４において使用され、エアナイフ部５に近いところに配置されている軸受保持ユニット５０が、発塵物を発生することがないので、エアナイフ部５の高圧エアにより発塵物が舞い上がる現象を回避でき、洗浄処理後の基板Ｂ上に発塵物が付着してしまうのを防止できる。
【００６１】
本発明の実施形態は、基板に処理を施す基板処理装置であって、ベース部と、基板を搬送方向に沿って搬送するための搬送シャフトと、搬送シャフトをベース部において回転可能に支持する軸受を有する軸受保持ユニットと、有し、軸受保持ユニットは、軸受を保持する軸受ホルダーと、搬送シャフトを通し、軸受の内輪を保持する筒状のメインシャフトと、メインシャフトに固定することでメインシャフトへ軸受の内輪を押し付けるための与圧を与える与圧付与部材と、メインシャフトに固定することでメインシャフトを搬送シャフトに対して固定させるメインシャフト固定部と、を備える。
【００６２】
これにより、基板処理装置１では、軸受からの発塵物の発生を防ぎ、軸受からの発塵物が例えば洗浄処理後の基板上に付着してしまうのを防止できる。軸受は軸受ホルダーに保持され、軸受の内輪は与圧付与部材により与圧を受けてメインシャフトに固定され、メインシャフトは、メインシャフト固定部により搬送シャフトに固定される。このため、軸受保持ユニットと搬送シャフトとの間で摺動による発塵物の発生が生じないので、軸受からの発塵物が処理後の基板上に付着してしまうのを防止できる。
【００６３】
本発明の実施形態では、メインシャフトは外周部にオネジを有し、与圧付与部材は内周部にメネジを有し、与圧付与部材のメネジがメインシャフトのオネジにかみ合うことで、メインシャフトへ軸受の内輪を押し付けるための与圧を与えるようになっている。これにより、与圧付与部材を回転して与圧付与部材のメネジをメインシャフトのオネジにかみ合せるだけで、簡単にメインシャフトへ軸受の内輪を押し付けることができる。
【００６４】
本発明の実施形態の基板処理装置１では、メインシャフト固定ナットをメインシャフトに固定して、メインシャフト固定用スリーブのテーパ状の突き当て外面部を、メインシャフトのテーパ状の突き当て内面部に押し当てて、メインシャフト固定用スリーブの内面を搬送シャフトの外面に固定することで、メインシャフトはメインシャフト固定用スリーブを介して搬送シャフトに固定させる。これにより、メインシャフト固定ナットは、メインシャフト固定用スリーブを介してメインシャフトに固定するだけで、メインシャフト固定用スリーブの内面を搬送シャフトの外面に、簡単に固定することができるので、軸受保持ユニットを搬送シャフトに取り付ける作業が容易にできる。
【００６５】
本発明の実施形態の基板処理装置１では、ベース部材に保持部材が固定されており、保持部材は、軸受保持ユニットの軸受ホルダーを着脱可能に保持する凹部状の軸受保持部を有し、軸受ホルダーは、軸受保持部内で回転可能に保持され、軸受ホルダーには、軸受保持部内における回転角度を規制する回転規制部材を有する。これにより、軸受保持ユニットの軸受ホルダーは、保持部材に対して単に上から簡単に装着することができ、回転規制部材が軸受ホルダーの回転を規制できるので、凹部状の軸受保持部において、軸受ホルダー自体が回転することが無く、擦れによる粉塵が発生しないし、軸受保持ユニットの取付けと取り外しが容易にできる。
【００６６】
本発明の実施形態では、軸受保持ユニットは、基板の洗浄処理工程において、エア吹き付けにより基板上の洗浄処理液を除去した後の基板を搬送するためのドライ搬送部に用いられ、軸受保持ユニットは樹脂製である。これにより、軸受保持ユニットが基板の洗浄処理工程のドライ搬送部に用いられるので、ドライ搬送部において軸受からの発塵物の発生が無くなり、洗浄処理後の基板に発塵物の付着が無い。しかも、軸受保持ユニットは樹脂製であると、搬送シャフトと一体に回転するロータ部の軽量化が図れるので、搬送シャフトが回転する際の慣性モーメントを小さくすることができる。
【００６７】
以上、本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの本発明の新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの本発明の実施形態やその変形は、本発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された本発明とその均等の範囲に含まれる。
【００６８】
本発明の実施形態の基板処理装置は、基板として液晶基板、半導体基板、フォトマスク等の製造に用いることができる。
【符号の説明】
【００６９】
１      基板処理装置
２      ベース部
３      ウェット搬送部
４      ドライ搬送部
５      エアナイフ部
５０    軸受保持ユニット
５１    軸受ホルダー
５２    軸受
５３    Ｃ型のトメ輪
５４    軸受与圧用のナット（与圧付与部材）
５５    メインシャフト固定用のナット（メインシャフト固定部の構成部材）
５６    メインシャフト固定用スリーブ（メインシャフト固定部の構成部材）
５７    メインシャフト
６２Ｐ  ピン（回転規制部材の例）
１００  メインシャフト固定部
Ｂ      基板
Ｔ      基板の搬送方向
【図１】
2014040298.tif 000003
【図２】
2014040298.tif 000004
【図３】
2014040298.tif 000005
【図４】
2014040298.tif 000006
【図５】
2014040298.tif 000007
【図６】
2014040298.tif 000008
【図７】
2014040298.tif 000009
【図８】
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