(57)【要約】【課題】ガラス基板の欠けやクラックの発生を防止しつつ、可撓性を確保できるシンチレータパネル、及びこれを用いた放射線検出器を提供する。【解決手段】シンチレータパネル２Ａでは、厚さ１５０μｍ以下のガラス基板１１が支持体となっていることにより、優れた放射線透過性及び可撓性が得られ、熱膨張係数の問題も緩和できる。また、このシンチレータパネル２Ａでは、ガラス基板１１の一面１１ａ側と側面１１ｃ側とを覆うように有機樹脂層１２が形成されている。これにより、ガラス基板１１が補強され、エッジ部分の欠けやクラックの発生を抑制できる。さらに、ガラス基板１１の側面１１ｃからの迷光を防止できるほか、有機樹脂層１２がガラス基板１１の他面１１ｂ側に形成されていないことで、ガラス基板１１の他面１１ｂ側への光の透過性が保たれる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、
前記ガラス基板の一面側と側面側とを覆うように形成された有機樹脂層と、
前記有機樹脂層が形成された前記ガラス基板の前記一面側に形成されたシンチレータ層と、
前記有機樹脂層が形成された前記ガラス基板と共に前記シンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴とするシンチレータパネル。
【請求項２】
放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、
前記ガラス基板の他面側と側面側とを覆うように形成された有機樹脂層と、
前記有機樹脂層が形成された前記ガラス基板の一面側に形成されたシンチレータ層と、
前記有機樹脂層が形成された前記ガラス基板と共に前記シンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴とするシンチレータパネル。
【請求項３】
前記有機樹脂層は、シリコン樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、及びフッ素樹脂から選択されることを特徴とする請求項１又は２記載のシンチレータパネル。
【請求項４】
放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、
前記ガラス基板の一面側を覆うように貼り付けられた樹脂フィルム層と、
前記樹脂フィルムが貼り付けられた前記ガラス基板の前記一面側に形成されたシンチレータ層と、
前記樹脂フィルムが貼り付けられた前記ガラス基板と共に前記シンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴とするシンチレータパネル。
【請求項５】
放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、
前記ガラス基板の他面側を覆うように貼り付けられた樹脂フィルム層と、
前記樹脂フィルムが貼り付けられた前記ガラス基板の一面側に形成されたシンチレータ層と、
前記樹脂フィルムが貼り付けられた前記ガラス基板と共に前記シンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴とするシンチレータパネル。
【請求項６】
放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、
前記ガラス基板の一面側及び他面側を覆うように貼り付けられた樹脂フィルム層と、
前記樹脂フィルムが貼り付けられた前記ガラス基板の前記一面側に形成されたシンチレータ層と、
前記樹脂フィルムが貼り付けられた前記ガラス基板と共に前記シンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴とするシンチレータパネル。
【請求項７】
前記樹脂フィルムは、ＰＥＴ、ＰＥＮ、ＣＯＰ、及びＰＩから選択されることを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項記載のシンチレータパネル。
【請求項８】
放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、
前記ガラス基板の一面側と側面側とを覆うように形成された有機樹脂層と、
前記ガラス基板の他面側を覆うように貼り付けられた樹脂フィルム層と、
前記有機樹脂層及び前記樹脂フィルム層が形成された前記ガラス基板の前記一面側に形成されたシンチレータ層と、
前記有機樹脂層及び前記樹脂フィルム層が形成された前記ガラス基板と共に前記シンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴とするシンチレータパネル。
【請求項９】
放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、
前記ガラス基板の他面側と側面側とを覆うように形成された有機樹脂層と、
前記ガラス基板の一面側を覆うように貼り付けられた樹脂フィルム層と、
前記有機樹脂層及び前記樹脂フィルム層が形成された前記ガラス基板の前記一面側に形成されたシンチレータ層と、
前記有機樹脂層及び前記樹脂フィルム層が形成された前記ガラス基板と共に前記シンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴とするシンチレータパネル。
【請求項１０】
前記有機樹脂層は、シリコン樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、及びフッ素樹脂から選択され、前記樹脂フィルムは、ＰＥＴ、ＰＥＮ、ＣＯＰ、及びＰＩから選択されることを特徴とする請求項８又は９記載のシンチレータパネル。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載のシンチレータパネルと、
前記保護層が形成された前記シンチレータ層に対向して配置された受光素子と、を備えたことを特徴とする放射線検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シンチレータパネル及び放射線検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のシンチレータパネルとして、例えば特許文献１に記載のものがある。この従来の構成では、シンチレータ層の支持体として０．０５ｍｍのガラス基板が用いられている。また、筐体の外部からの力を緩和する緩衝材と、シンチレータ層よりも剛性の高い高剛性部材とが筐体とシンチレータ層との間に配置されている。
【０００３】
また、特許文献２に記載のシンチレータパネルでは、ポリイミド系樹脂膜又はポリパラキシリレン膜で被膜されたグラファイト基板が支持体として用いられている。さらに、特許文献３に記載のシンチレータパネルでは、アモルファスカーボンなどからなる基板の全面がポリパラキシリレン膜などの中間膜で覆われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−５８１２４号公報
【特許文献２】国際公開ＷＯ２００９／０２８２７５号パンフレット
【特許文献３】特開２００７−２７９０５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
例えば薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）パネルといった固体検出器に適用するシンチレータパネルでは、固体検出器に対する形状の追従性を満足し得る可撓性が要求される。また、ＴＦＴパネルの熱膨張係数とシンチレータパネルの基板の熱膨張係数との間に差があると、動作時の熱によってシンチレータパネルの基板上の細かい傷やシンチレータ層を蒸着によって形成する場合に生じる異常成長部によってＴＦＴパネルとの間に生じる傷が受光面に対して移動し、キャリブレーションの手間が煩雑になるという問題が生じるおそれがある。
【０００６】
このような可撓性の問題や熱膨張係数の問題を解決するためには、例えば厚さが１５０μｍ以下の極薄ガラスをシンチレータパネルの基板として用いることが考えられる。しかしながら、極薄ガラスを用いる場合、ガラスの端部（エッジ部分）が衝撃に対して脆く、欠けやクラックの発生が問題となる。
【０００７】
本発明は、上記課題の解決のためになされたものであり、ガラス基板の欠けやクラックの発生を防止しつつ、可撓性を確保できるシンチレータパネル、及びこれを用いた放射線検出器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題の解決のため、本発明に係るシンチレータパネルは、放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、ガラス基板の一面側と側面側とを覆うように形成された有機樹脂層と、有機樹脂層が形成されたガラス基板の一面側に形成されたシンチレータ層と、有機樹脂層が形成されたガラス基板と共にシンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴としている。
【０００９】
このシンチレータパネルでは、厚さ１５０μｍ以下のガラス基板が支持体となっていることにより、優れた放射線透過性及び可撓性が得られ、熱膨張係数の問題も緩和できる。また、このシンチレータパネルでは、ガラス基板の一面側と側面側とを覆うように有機樹脂層が形成されている。これにより、ガラス基板が補強され、エッジ部分の欠けやクラックの発生を抑制できる。さらに、ガラス基板の側面からの迷光を防止できるほか、有機樹脂層がガラス基板の他面側に形成されていないことで、ガラス基板の他面側への光の透過性が保たれる。
【００１０】
また、本発明に係るシンチレータパネルは、放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、ガラス基板の他面側と側面側とを覆うように形成された有機樹脂層と、有機樹脂層が形成されたガラス基板の一面側に形成されたシンチレータ層と、有機樹脂層が形成されたガラス基板と共にシンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴としている。
【００１１】
このシンチレータパネルでは、厚さ１５０μｍ以下のガラス基板が支持体となっていることにより、優れた放射線透過性及び可撓性が得られ、熱膨張係数の問題も緩和できる。また、このシンチレータパネルでは、ガラス基板の他面側と側面側とを覆うように有機樹脂層が形成されている。これにより、ガラス基板が補強され、エッジ部分の欠けやクラックの発生を抑制できる。さらに、ガラス基板の側面からの迷光を防止できるほか、有機樹脂層がガラス基板の他面側にあることで、シンチレータ層の内部応力をキャンセルでき、ガラス基板の反りの抑制が可能となる。
【００１２】
また、上記のシンチレータパネルにおいて、有機樹脂層は、シリコン樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、及びフッ素樹脂から選択されてもよい。
【００１３】
また、本発明に係るシンチレータパネルは、放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、ガラス基板の一面側を覆うように貼り付けられた樹脂フィルム層と、樹脂フィルムが貼り付けられたガラス基板の一面側に形成されたシンチレータ層と、樹脂フィルムが貼り付けられたガラス基板と共にシンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴としている。
【００１４】
このシンチレータパネルでは、厚さ１５０μｍ以下のガラス基板が支持体となっていることにより、優れた放射線透過性及び可撓性が得られ、熱膨張係数の問題も緩和できる。また、このシンチレータパネルでは、ガラス基板の一面側を覆うように樹脂フィルム層が形成されている。これにより、ガラス基板が補強され、エッジ部分の欠けやクラックの発生を抑制できる。さらに、樹脂フィルム層がガラス基板の他面側に形成されていないことで、ガラス基板の他面側への光の透過性が保たれる。
【００１５】
また、本発明に係るシンチレータパネルは、放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、ガラス基板の他面側を覆うように貼り付けられた樹脂フィルム層と、樹脂フィルムが貼り付けられたガラス基板の一面側に形成されたシンチレータ層と、樹脂フィルムが貼り付けられたガラス基板と共にシンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴としている。
【００１６】
このシンチレータパネルでは、厚さ１５０μｍ以下のガラス基板が支持体となっていることにより、優れた放射線透過性及び可撓性が得られ、熱膨張係数の問題も緩和できる。また、このシンチレータパネルでは、ガラス基板の他面側を覆うように樹脂フィルム層が形成されている。これにより、ガラス基板が補強され、エッジ部分の欠けやクラックの発生を抑制できる。さらに、樹脂フィルム層がガラス基板の他面側にあることで、シンチレータ層の内部応力をキャンセルでき、ガラス基板の反りの抑制が可能となる。
【００１７】
また、本発明に係るシンチレータパネルは、放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、ガラス基板の一面側及び他面側を覆うように貼り付けられた樹脂フィルム層と、樹脂フィルムが貼り付けられたガラス基板の一面側に形成されたシンチレータ層と、樹脂フィルムが貼り付けられたガラス基板と共にシンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴としている。
【００１８】
このシンチレータパネルでは、厚さ１５０μｍ以下のガラス基板が支持体となっていることにより、優れた放射線透過性及び可撓性が得られ、熱膨張係数の問題も緩和できる。また、このシンチレータパネルでは、ガラス基板の一面側及び他面側を覆うように樹脂フィルム層が形成されている。これにより、ガラス基板が補強され、エッジ部分の欠けやクラックの発生をより効果的に抑制できる。さらに、樹脂フィルム層がガラス基板の一面側及び他面側に形成されることで、ガラス基板の反りの抑制が可能となる。
【００１９】
また、上記のシンチレータパネルにおいて、樹脂フィルムは、ＰＥＴ、ＰＥＮ、ＣＯＰ、及びＰＩから選択されてもよい。
【００２０】
また、本発明に係るシンチレータパネルは、放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、ガラス基板の一面側と側面側とを覆うように形成された有機樹脂層と、ガラス基板の他面側を覆うように貼り付けられた樹脂フィルム層と、有機樹脂層及び樹脂フィルム層が形成されたガラス基板の一面側に形成されたシンチレータ層と、有機樹脂層及び樹脂フィルム層が形成されたガラス基板と共にシンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴としている。
【００２１】
このシンチレータパネルでは、厚さ１５０μｍ以下のガラス基板が支持体となっていることにより、優れた放射線透過性及び可撓性が得られ、熱膨張係数の問題も緩和できる。また、このシンチレータパネルでは、ガラス基板の一面側と側面側とを覆うように有機樹脂層が形成されており、ガラス基板の他面側を覆うように樹脂フィルム層が形成されている。これにより、ガラス基板が補強され、エッジ部分の欠けやクラックの発生を抑制できる。さらに、ガラス基板の側面からの迷光を防止できるほか、表面全体に少なくとも有機樹脂層及び樹脂フィルム層のいずれか一方が形成されることで、ガラス基板の反りの抑制が可能となる。
【００２２】
また、本発明に係るシンチレータパネルは、放射線透過性を有する厚さ１５０μｍ以下のガラス基板と、ガラス基板の他面側と側面側とを覆うように形成された有機樹脂層と、ガラス基板の一面側を覆うように貼り付けられた樹脂フィルム層と、有機樹脂層及び樹脂フィルム層が形成されたガラス基板の一面側に形成されたシンチレータ層と、有機樹脂層及び樹脂フィルム層が形成されたガラス基板と共にシンチレータ層を覆うように形成された耐湿性の保護層と、を備えたことを特徴としている。
【００２３】
このシンチレータパネルでは、厚さ１５０μｍ以下のガラス基板が支持体となっていることにより、優れた放射線透過性及び可撓性が得られ、熱膨張係数の問題も緩和できる。また、このシンチレータパネルでは、ガラス基板の他面側と側面側とを覆うように有機樹脂層が形成されており、ガラス基板の一面側を覆うように樹脂フィルム層が形成されている。これにより、ガラス基板が補強され、エッジ部分の欠けやクラックの発生を抑制できる。さらに、ガラス基板の側面からの迷光を防止できるほか、表面全体に少なくとも有機樹脂層及び樹脂フィルム層のいずれか一方が形成されることで、ガラス基板の反りの抑制が可能となる。
【００２４】
また、上記のシンチレータパネルにおいて、有機樹脂層は、シリコン樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、及びフッ素樹脂から選択され、樹脂フィルムは、ＰＥＴ、ＰＥＮ、ＣＯＰ、及びＰＩから選択されてもよい。
【００２５】
また、本発明に係る放射線検出器は、上記のシンチレータパネルと、保護層が形成されたシンチレータ層に対向して配置された受光素子と、を備えたことを特徴としている。
【００２６】
この放射線検出器では、厚さ１５０μｍ以下のガラス基板が支持体となっていることにより、優れた放射線透過性及び可撓性が得られ、熱膨張係数の問題も緩和できる。また、この放射線検出器では、有機樹脂層又は樹脂フィルム層によって、ガラス基板が補強され、エッジ部分の欠けやクラックの発生を抑制できる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、ガラス基板の欠けやクラックの発生を防止しつつ、可撓性を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。
【図３】本発明の第３実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。
【図４】本発明の第４実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。
【図５】本発明の第５実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。
【図６】本発明の第６実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。
【図７】本発明の第７実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、図面を参照しながら、本発明に係るシンチレータパネル及び放射線検出器の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００３０】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。同図に示すように、放射線検出器１Ａは、シンチレータパネル２Ａに受光素子３を固定することによって構成されている。受光素子３は、例えばガラス基板上にフォトダイオード（ＰＤ）と薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）とを配列してなるＴＦＴパネルである。
【００３１】
受光素子３は、シンチレータパネル２Ａにおける後述のシンチレータ層１３に対して受光面３ａが対向するようにして、シンチレータパネル２Ａの一面側に貼り付けられている。なお、受光素子３としては、ＴＦＴパネルのほか、ＣＣＤなどのイメージセンサをファイバオブティクプレート（ＦＯＰ：数ミクロンの光ファイバを束にした光学デバイスであり、例えば、浜松ホトニクス社製Ｊ５７３４）を介して接続したものを用いることもできる。
【００３２】
シンチレータパネル２Ａは、支持体となるガラス基板１１と、ガラス基板１１を保護する有機樹脂層１２と、入射した放射線を可視光に変換するシンチレータ層１３と、シンチレータ層１３を湿気から保護する耐湿性の保護層１４とによって構成されている。
【００３３】
ガラス基板１１は、例えば厚さが１５０μｍ以下、好ましくは１００μｍ以下の極薄の基板である。ガラス基板１１の厚さが極薄となっていることにより、十分な放射線透過性と可撓性が得られ、受光素子３の受光面３ａに貼付を行う際のシンチレータパネル２Ａの追従性が確保されている。
【００３４】
有機樹脂層１２は、例えばシリコン系樹脂、ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、フッ素系樹脂などにより、ガラス基板１１の一面１１ａ及び側面１１ｃを覆うように形成されている。有機樹脂層１２の形成方法としては、例えばスピンコート法などによる塗布や蒸着が挙げられる。有機樹脂層１２の厚さは、例えば１００μｍ程度となっている。
【００３５】
シンチレータ層１３は、例えばＴｌをドープしたＣｓＩの柱状結晶を蒸着法によって成長及び堆積させることにより、有機樹脂層１２が形成されたガラス基板１１の一面１１ａ側に形成されている。シンチレータ層１３の厚さは、例えば２５０μｍとなっている。シンチレータ層１３は、吸湿性が高く、露出したままにしておくと空気中の湿気によって潮解してしまうおそれがある。このため、シンチレータ層１３には耐湿性の保護層１４が必要となっている。
【００３６】
保護層１４は、例えばポリパラキシリレンなどをＣＶＤ法などの気相堆積法を用いて成長させることにより、有機樹脂層１２が形成されたガラス基板１１と共にシンチレータ層１３を覆うように形成されている。保護層１４の厚さは、例えば１０μｍ程度となっている。
【００３７】
以上のような構成を有する放射線検出器１Ａでは、ガラス基板１１側から入射した放射線がシンチレータ層１３において光に変換され、受光素子３によって検出される。シンチレータパネル２Ａでは、厚さ１５０μｍ以下のガラス基板１１が支持体となっていることにより、優れた放射線透過性及び可撓性が得られる。
【００３８】
ガラス基板１１が十分な可撓性を有することにより、シンチレータパネル２Ａを受光素子３の受光面３ａに貼り付ける際の形状の追従性を満足できる。また、受光素子３としてＴＦＴパネルを用い、受光面３ａがガラス製のパネルである場合、受光面３ａの熱膨張係数とシンチレータパネル２Ａのガラス基板１１の熱膨張係数とを一致させることができる。このため、動作時の熱によってガラス基板１１上の細かい傷やシンチレータ層１３を蒸着によって形成する場合に生じる異常成長部によってＴＦＴパネルとの間に生じる傷が受光面３ａに対して移動してしまうことを防止でき、キャリブレーションの手間が煩雑になることも回避できる。
【００３９】
また、このシンチレータパネル２Ａでは、ガラス基板１１の一面１１ａ及び側面１１ｃを覆うように有機樹脂層１２が形成されている。これにより、ガラス基板１１が補強され、エッジ部分の欠けやクラックの発生を抑制できる。このことは、製造時や使用時のハンドリング性の向上にも寄与する。さらに、ガラス基板１１の側面１１ｃからの迷光を防止できるほか、有機樹脂層１２をガラス基板１１の他面１１ｂ側に形成しないことで、ガラス基板１１の他面１１ｂ側への光の透過性が保たれ、受光素子３側への光の反射が減衰する結果、解像度を維持できる。
【００４０】
また、ガラス基板１１の一面１１ａ及び側面１１ｃを覆うように有機樹脂層１２が形成されていることで、シンチレータ層１３を形成する際に好適な表面エネルギー及び表面粗さとなるように、ガラス基板１１の表面状態を調整することも可能となる。
【００４１】
［第２実施形態］
図２は、本発明の第２実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。同図に示すように、第２実施形態に係る放射線検出器１Ｂは、シンチレータパネル２Ｂにおいて、有機樹脂層１２がガラス基板１１の一面１１ａではなく、他面１１ｂを覆うように形成される点で、第１実施形態と異なっている。
【００４２】
このような構成においても、上記実施形態と同様に、有機樹脂層１２によってガラス基板１１が補強されているので、エッジ部分の欠けやクラックの発生を抑制でき、ガラス基板１１の側面１１ｃからの迷光を防止できる。
【００４３】
また、有機樹脂層１２がガラス基板１１の他面１１ｂ側にあることで、シンチレータ層１３の内部応力をキャンセルでき、ガラス基板１１の反りを抑制できる。ガラス基板１１の反りの抑制効果は、ガラス基板１１が１０ｃｍ×１０ｃｍ程度の小型の基板である場合に特に顕著となる。
【００４４】
［第３実施形態］
図３は、本発明の第３実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。同図に示すように、第３実施形態に係る放射線検出器１Ｃは、シンチレータパネル２Ｃにおいて、有機樹脂層１２ではなく樹脂フィルム層１６がガラス基板１１の一面１１ａを覆うように貼り付けられ、側面１１ｃが有機樹脂層１２で覆われていない点で、第１実施形態と異なっている。
【００４５】
より具体的には、樹脂フィルム層１６は、ガラス基板１１において、シンチレータ層１３が形成される面（一面１１ａ）側にラミネータ等を用いることによって貼り付けられている。
【００４６】
樹脂フィルム層１６としては、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＣＯＰ（ポリオレフィン系）、ＰＩ（ポリイミド）などを用いることができる。また、樹脂フィルム層１６の厚さは、例えば１００μｍ程度となっている。また、樹脂フィルム層１６の縁部は、ガラス基板１１の縁部と一致しているか、僅かにはみ出る程度となっていることが好ましい。
【００４７】
このような構成においても、樹脂フィルム層１６によってガラス基板１１が補強されているので、上記実施形態と同様に、エッジ部分の欠けやクラックの発生を抑制できる。また、樹脂フィルム層１６をガラス基板１１の他面１１ｂ側に形成しないことで、第１実施形態と同様に、ガラス基板１１の他面１１ｂ側への光の透過性が保たれ、受光素子３側への光の反射が減衰する結果、解像度を維持できる。
【００４８】
また、ガラス基板１１の一面１１ａを覆うように樹脂フィルム層１６が形成されていることで、シンチレータ層１３を形成する際に好適な表面エネルギー及び表面粗さとなるように、ガラス基板１１の表面状態を調整することも可能となる。
【００４９】
［第４実施形態］
図４は、本発明の第４実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。同図に示すように、第４実施形態に係る放射線検出器１Ｄは、シンチレータパネル２Ｄにおいて、樹脂フィルム層１６がガラス基板１１の一面１１ａではなく、他面１１ｂを覆うように貼り付けられている点で、第３実施形態と異なっている。
【００５０】
このような構成においても、樹脂フィルム層１６によってガラス基板１１が補強されているので、上記実施形態と同様に、エッジ部分の欠けやクラックの発生を抑制できる。また、樹脂フィルム層１６がガラス基板１１の他面１１ｂ側にあることで、第２実施形態と同様に、シンチレータ層１３の内部応力をキャンセルでき、ガラス基板１１の反りを抑制できる。
【００５１】
［第５実施形態］
図５は、本発明の第５実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。同図に示すように、第５実施形態に係る放射線検出器１Ｅは、シンチレータパネル２Ｅにおいて、樹脂フィルム層１６がガラス基板１１の両面を覆うように貼り付けられている点で、第３実施形態及び第４実施形態と異なっている。
【００５２】
このような構成では、樹脂フィルム層１６によってガラス基板１１の一面１１ａ及び他面１１ｂの両面が補強されているので、エッジ部分の欠けやクラックの発生をより効果的に抑制できる。また、ガラス基板１１の一面１１ａ側及び他面１１ｂ側の両面に同材質の樹脂層が形成されることで、ガラス基板１１の反りの抑制が可能となる。
【００５３】
また、ガラス基板１１の一面１１ａ及び他面１１ｂを覆うように樹脂フィルム層１６が形成されていることで、シンチレータ層１３を形成する際に好適な表面エネルギー及び表面粗さとなるように、ガラス基板１１の表面状態を調整することも可能となる。
【００５４】
［第６実施形態］
図６は、本発明の第６実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。同図に示すように、第６実施形態に係る放射線検出器１Ｆは、シンチレータパネル２Ｆにおいて、樹脂フィルム層１６が追加されている点で、第１実施形態とは異なっている。より具体的には、有機樹脂層１２が一面１１ａ側及び側面１１ｃ側を覆うように形成されたガラス基板１１において、さらに他面１１ｂ側を覆うように樹脂フィルム層１６が貼り付けられている。
【００５５】
このような構成では、有機樹脂層１２及び樹脂フィルム層１６によってガラス基板１１の全面が補強されているので、エッジ部分の欠けやクラックの発生をより効果的に抑制できる。また、第１実施形態と同様に、ガラス基板１１の側面１１ｃを覆うように有機樹脂層１２が形成されていることにより、ガラス基板１１の側面１１ｃからの迷光を防止できる。また、ガラス基板１１の一面１１ａ側及び他面１１ｂ側のそれぞれに樹脂層が形成されることで、ガラス基板１１の反りの抑制が可能となる。
【００５６】
また、ガラス基板１１の全面を覆うように有機樹脂層１２及び樹脂フィルム層１６が形成されていることで、シンチレータ層１３を形成する際に好適な表面エネルギー及び表面粗さとなるように、ガラス基板１１の表面状態を調整することも可能となる。
【００５７】
［第７実施形態］
図７は、本発明の第７実施形態に係る放射線検出器の構成を示す断面図である。同図に示すように、第７実施形態に係る放射線検出器１Ｇは、シンチレータパネル２Ｇにおいて、樹脂フィルム層１６が追加されている点で、第２実施形態とは異なっている。より具体的には、有機樹脂層１２が他面１１ｂ側及び側面１１ｃ側を覆うように形成されたガラス基板１１において、さらに一面１１ａ側を覆うように樹脂フィルム層１６が貼り付けられている。
【００５８】
このような構成では、有機樹脂層１２及び樹脂フィルム層１６によってガラス基板１１の全面が補強されているので、第６実施形態と同様に、エッジ部分の欠けやクラックの発生をより効果的に抑制できる。また、第６実施形態と同様に、ガラス基板１１の側面１１ｃを覆うように有機樹脂層１２が形成されていることにより、ガラス基板１１の側面１１ｃからの迷光を防止でき、ガラス基板１１の一面１１ａ側及び他面１１ｂ側のそれぞれに樹脂層が形成されることで、ガラス基板１１の反りの抑制が可能となる。
【００５９】
また、ガラス基板１１の全面を覆うように有機樹脂層１２及び樹脂フィルム層１６が形成されていることで、シンチレータ層１３を形成する際に好適な表面エネルギー及び表面粗さとなるように、ガラス基板１１の表面状態を調整することも可能となる。
【符号の説明】
【００６０】
１Ａ〜１Ｇ…放射線検出器、２Ａ〜２Ｇ…シンチレータパネル、３…受光素子、１１…ガラス基板、１１ａ…一面、１１ｂ…他面、１１ｃ…側面、１２…有機樹脂層、１３…シンチレータ層、１４…保護層、１６…樹脂フィルム層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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