(57)【要約】【課題】ワークの流動が停滞する可能性を低減するワーク搬送装置及びワーク搬送方法を提供する。【解決手段】本発明のワーク搬送装置は、第１ワークおよび第２ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送装置であって、複数のワークを搬送する第１搬送部と、第１搬送部によって搬送された複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、連絡搬送部によって搬送された複数のワークを搬送する第２搬送部とを有する搬送ユニットと、複数のワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部からワークを移動させるか、または、複数のワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部までワークを移動させる移動部とを備える。移動部が連絡搬送部から第１ワークの移動を開始した後、または、移動部が第１ワークを連絡搬送部まで移動させる前に、連絡搬送部は、第１搬送部によって搬送された第２ワークを第２搬送部へと搬送する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ワークおよび第２ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送装置であって、
前記複数のワークを搬送する第１搬送部と、前記第１搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、前記連絡搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送する第２搬送部とを有する搬送ユニットと、
前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部からワークを移動させるか、または、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部までワークを移動させる移動部と
を備え、
前記移動部が前記連絡搬送部から前記第１ワークの移動を開始した後、または、前記移動部が前記第１ワークを前記連絡搬送部まで移動させる前に、前記連絡搬送部は、前記第１搬送部によって搬送された前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する、ワーク搬送装置。
【請求項２】
前記移動部は複数の分離移動部を有しており、
前記移動部が前記第１ワークを移動させた後に、前記複数の分離移動部は、前記連絡搬送部に向かう方向または前記連絡搬送部から離れる方向に個別に移動する、請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記移動部が、前記連絡搬送部にある前記第１ワークを前記連絡搬送部から離れる方向に移動させる間に、前記連絡搬送部は、前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する、請求項１または請求項２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記移動部が、前記第１ワークを保持している間に、前記連絡搬送部は、前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する、請求項１から請求項３のうちの１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
前記移動部が、前記第１ワークを前記連絡搬送部に向かう方向に移動させる間に、前記連絡搬送部は、前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する、請求項１から請求項４のうちの１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記連絡搬送部は複数のローラーを有しており、前記移動部は前記複数のローラーのうちの隣接する２つのローラーの間に位置する、請求項１から請求項５のうちの１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項７】
前記移動部は、
前記第１ワークの主面の一方と接触する接触部と、
前記接触部と連結する連結部と
を備え、
前記接触部と前記連結部とで前記移動部の内周が形成されており、前記第２ワークは前記内周の内側を通過可能である、請求項１から請求項６のうちの１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項８】
前記移動部の前記移動は、上下移動または水平移動である、請求項１から請求項７のうちの１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項９】
前記移動部は、コンベアである、請求項１から請求項８のうちの１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項１０】
第１ワークおよび第２ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送方法であって、
前記複数のワークを搬送する第１搬送部と、前記第１搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、前記連絡搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送する第２搬送部とを有する搬送ユニットを用意する工程と、
前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部からワークを移動させるか、または、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部までワークを移動させる移動部を用意する工程と、
前記移動部が前記連絡搬送部から前記第１ワークの移動を開始した後、または、前記移動部が前記第１ワークを前記連絡搬送部まで移動させる前に、前記連絡搬送部は、前記第１搬送部によって搬送された前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する工程と
を包含する、ワーク搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク搬送装置およびワーク搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状体のワークが一定間隔で流動するコンベアラインにおいて、搬送経路上のワークを別の経路に移動することがある。特許文献１には、基板（ワーク）搬送装置が開示されている。この搬送装置は、基板受渡部によって基板を把持し、メインコンベアから別経路の分岐コンベアへ基板を受け渡している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−６６６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、基板受渡部が基板の受け渡しを実施するために基板が移動中でメインコンベア上にあるとき、基板が邪魔になり後続の基板がメインコンベア上を通過することができない。その結果、ワークをコンベアライン上で一時停止させなければならないことがあった。
【０００５】
本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的はコンベアライン上での一時停止の可能性を低減しワークを流動させることが可能なワーク搬送装置及びワーク搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によるワーク搬送装置は、第１ワークおよび第２ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送装置であって、前記複数のワークを搬送する第１搬送部と、前記第１搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、前記連絡搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送する第２搬送部とを有する搬送ユニットと、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部からワークを移動させるか、または、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部までワークを移動させる移動部とを備える。そして前記移動部が前記連絡搬送部から前記第１ワークの移動を開始した後、または、前記移動部が前記第１ワークを前記連絡搬送部まで移動させる前に、前記連絡搬送部は、前記第１搬送部によって搬送された前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する。
【０００７】
ある実施形態において、前記移動部は複数の分離移動部を有しており、前記移動部が前記第１ワークを移動させた後に、前記複数の分離移動部は、前記連絡搬送部に向かう方向または前記連絡搬送部から離れる方向に個別に移動する。
【０００８】
ある実施形態において、前記移動部が、前記連絡搬送部にある前記第１ワークを前記連絡搬送部から離れる方向に移動させる間に、前記連絡搬送部は、前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する。
【０００９】
ある実施形態において、前記移動部が、前記第１ワークを保持している間に、前記連絡搬送部は、前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する。
【００１０】
ある実施形態において、前記移動部が、前記第１ワークを前記連絡搬送部に向かう方向に移動させる間に、前記連絡搬送部は、前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する。
【００１１】
ある実施形態において、前記連絡搬送部は複数のローラーを有しており、前記移動部は前記複数のローラーの隣接する２つのローラーの間に位置する。
【００１２】
ある実施形態において、前記移動部は、前記第１ワークの主面の一方と接触する接触部と、前記接触部と連結する連結部とを備え、前記接触部と前記連結部とで前記移動部の内周が形成されており、前記第２ワークは前記内周の内側を通過可能である。
【００１３】
ある実施形態において、前記移動部の前記移動は、上下移動または水平移動である。
【００１４】
ある実施形態において、前記移動部は、コンベアである。
【００１５】
本発明によるワーク搬送方法は、第１ワークおよび第２ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送方法であって、前記複数のワークを搬送する第１搬送部と、前記第１搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、前記連絡搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送する第２搬送部とを有する搬送ユニットを用意する工程と、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部からワークを移動させるか、または、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部までワークを移動させる移動部を用意する工程と、前記移動部が前記連絡搬送部から前記第１ワークの移動を開始した後、または、前記移動部が前記第１ワークを前記連絡搬送部まで移動させる前に、前記連絡搬送部は、前記第１搬送部によって搬送された前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する工程とを包含する。
【００１６】
本発明によるワーク搬送装置は、第１ワークおよび第２ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送装置であって、前記複数のワークを搬送する第１搬送部と、前記第１搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、前記連絡搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送する第２搬送部とを有する搬送ユニットと、前記連絡搬送部からワークを移動させるか、または、前記連絡搬送部までワークを移動させる移動部とを備え、前記移動部は複数の分離移動部を有しており、前記移動部が前記第１ワークを移動させた後に、前記複数の分離移動部は、前記連絡搬送部に向かう方向または前記連絡搬送部から離れる方向に個別に移動する。
【００１７】
ある実施形態において、前記移動部が、前記連絡搬送部にある前記第１ワークを前記連絡搬送部から離れる方向に移動させる間に、前記連絡搬送部は、前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する。
【００１８】
ある実施形態において、前記移動部が、前記第１ワークを保持している間に、前記連絡搬送部は、前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する。
【００１９】
前記移動部が、前記連絡搬送部にある前記第１ワークを前記連絡搬送部に向かう方向に移動させる間に、前記連絡搬送部は、前記第２ワークを前記第２搬送部へと搬送する、前記第２ワークを搬送する。
【００２０】
ある実施形態において、前記連絡搬送部は複数のローラーを有しており、前記移動部は前記複数のローラーの隣接する２つのローラーの間に位置する。
【００２１】
本発明によるワーク搬送方法は、第１ワークおよび第２ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送方法であって、前記複数のワークを搬送する第１搬送部と、前記第１搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、前記連絡搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送する第２搬送部とを有する搬送ユニットを用意する工程と、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部からワークを移動させるか、または、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部までワークを移動させる移動部を用意する工程と、前記移動部は複数の分離移動部を有しており、前記移動部が前記第１ワークを移動させた後に、前記複数の分離移動部は、前記連絡搬送部に向かう方向または前記連絡搬送部から離れる方向に個別に移動する工程とを包含する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のワーク搬送装置は、第１ワークおよび第２ワークを含む複数のワークを搬送する。本発明のワーク搬送装置は、搬送ユニットと移動部とを備える。搬送ユニットは、第１搬送部と連絡搬送部と第２搬送部とを有する。移動部が連絡搬送部から第１ワークの移動を開始した後、または、移動部が第１ワークを連絡搬送部まで移動させる前に、連絡搬送部は、第１搬送部によって搬送された第２ワークを第２搬送部へと搬送する。したがって、搬送ユニットでの第２ワークの一時停止の可能性を低減し第２ワークを搬送することができる。その結果、ラインタクトを短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施形態に係るワーク搬送装置を示す模式図である。
【図２】（ａ）は移動部が連絡搬送部にてワークを載せている状態を示す模式図であり、（ｂ）は移動部が連絡搬送部からワークの法線方向に離れた状態を示す模式図である。
【図３】（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）は、本発明の実施形態に係るワーク搬送装置の側面図である。（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）は、（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）にそれぞれ対応した本発明の実施形態に係るワーク搬送装置の正面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るワーク搬送装置の側面図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係るワーク搬送装置を示す模式図である。
【図６】（ａ）、（ｃ）、（ｅ）は、本発明の他の実施形態に係るワーク搬送装置の側面図である。（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）は、（ａ）、（ｃ）、（ｅ）にそれぞれ対応した本発明の他の実施形態に係るワーク搬送装置の正面図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係るワーク搬送装置の側面図である。
【図８】ワーク搬送装置の移動部の形状を示す模式図である。
【図９】本発明の更に他の実施形態に係るワーク搬送装置を示す模式図である。
【図１０】本発明の更に他の実施形態に係るワーク搬送装置を示す模式図である。
【図１１】本発明の更に他の実施形態に係るワーク搬送装置の側面図である。
【図１２】別の経路への移送方法を示す模式図である。
【図１３】本発明の実施形態に係るワーク搬送システムを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明によるワーク搬送装置およびワーク搬送方法の実施形態を説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されない。
【００２５】
図１を参照して本発明によるワーク搬送装置１００の実施形態を説明する。図１は、本発明の実施形態に係るワーク搬送装置１００を示す模式図である。ワーク搬送装置１００は、搬送ユニット１１０と移動部１２０とを備える。搬送ユニット１１０は、第１搬送部１１０Ａと連絡搬送部１１０Ｂと第２搬送部１１０Ｃとを有する。
【００２６】
搬送ユニット１１０は、主面を有するワークＷを搬送経路に沿って搬送する。搬送経路は、例えば、第１搬送部１１０Ａと連絡搬送部１１０Ｂと第２搬送部１１０Ｃとで形成される。第１搬送部１１０Ａは、ワークＷを搬送する。連絡搬送部１１０Ｂは、第１搬送部１１０Ａによって搬送されたワークＷを搬送可能である。第２搬送部１１０Ｃは、連絡搬送部１１０Ｂによって搬送されたワークＷを搬送する。第１搬送部１１０Ａと連絡搬送部１１０Ｂと第２搬送部１１０Ｃとのそれぞれは、複数のローラー１１０ａを有している。ローラー１１０ａが回転することにより、ローラー１１０ａの上部に載置されているワークＷが搬送される。ワークＷの搬送速度は、例えば、２０ｍ／分〜３０ｍ／分である。
【００２７】
移動部１２０は、連絡搬送部１１０Ｂが有する複数のローラー１１０ａのうちの隣接する２つのローラー１１０Ｂ１とローラー１１０Ｂ２との間に位置している。移動部１２０のワークＷの搬送方向に沿った幅は、ワークＷを移動部１２０に載置したときにワークＷが落下しないように、例えば、ワークＷの長辺の長さの２分の１以上が好ましい。ここでは、ワークＷの長辺の長さはローラー３つ分の間隔の長さであり、移動部１２０のワークＷの搬送方向に沿った幅は、ローラー２つ分弱の間隔の長さである。移動部１２０は、ワークＷの主面の法線方向に沿って移動可能である。
【００２８】
移動部１２０は、連絡搬送部１１０ＢでワークＷと接触する。ワークＷの重心が移動部１２０の中央付近にくるように１枚のワークＷを移動部１２０に乗せ、移動部１２０はワークＷをワークＷの主面の法線方向に沿って移動させる。移動部１２０の昇降速度は、例えば、１５０ｍｍ／秒〜２００ｍｍ／秒である。移動部１２０が連絡搬送部１１０ＢからワークＷの法線方向に離れた位置へ上昇した時に、ワークＷが連絡搬送部１１０Ｂ上を通過可能となるように、移動部１２０は形成されている。
【００２９】
ワークＷは枚葉状の板状体である。例えば、ワークＷは液晶用ガラス基板やプラズマディスプレイ、ＦＥＤ、ＳＥＤなどのフラットパネルディスプレイ用ガラス基板および太陽電池用ガラス基板である。さらに、ワークＷは、ガラス材質以外の金属、樹脂、セラミック等でもあり得る。ワークＷがガラス基板の場合、ワークＷの大きさは、例えば、５５０ｍｍ×６５０ｍｍ、７３０ｍｍ×９２０ｍｍ、１，０００ｍｍ×１，２００ｍｍおよび２，０００ｍｍ×２，５００ｍｍである。ワークＷの厚さは、例えば、０．３ｍｍ〜１．８ｍｍである。
【００３０】
図２（ａ）は、移動部１２０が連絡搬送部１１０ＢでワークＷを載せている状態を示す模式図であり、図２（ｂ）は、移動部１２０が連絡搬送部１１０ＢからワークＷの法線方向に離れた状態を示す模式図である。
【００３１】
図２（ａ）および図２（ｂ）を参照して、移動部１２０がワークＷの主面の法線方向に沿って連絡搬送部１１０ＢからワークＷを移動させる動作を説明する。図２（ａ）において、移動部１２０は、連絡搬送部１１０Ｂで第１搬送部１１０Ａによって搬送されたワークＷと接触する。ワークＷの主面の法線方向に移動すべきワークＷが連絡搬送部１１０Ｂで移動部１２０の上方に流れて来ると、移動部１２０は上昇し、移動部１２０はワークＷを連絡搬送部１１０Ｂから離れた位置まで押し上げることが可能であり、図２（ｂ）に示す状態となる。その後必要に応じて、ワークＷは連絡搬送部１１０Ｂから離れた位置で別の経路に移送される。なお、本明細書の以下の説明において図２（ａ）で示したように、移動部１２０が連絡搬送部１１０Ｂで第１搬送部１１０Ａによって搬送されたワークＷと接触する位置を搬送位置と記載することがある。また、図２（ｂ）で示したように、移動部１２０が連絡搬送部１１０ＢからワークＷの法線方向に離れた位置を離間位置と記載することがある。
【００３２】
続いて、図２（ａ）および図２（ｂ）を参照して、移動部１２０がワークＷの主面の法線方向に沿って連絡搬送部１１０ＢまでワークＷを移動させる動作を説明する。図２（ｂ）において、移動部１２０は、別の経路から流れてきたワークＷを載せている。移動部１２０は、ワークＷを連絡搬送部１１０Ｂまで下げて搬送経路に移動させることが可能であり、図２（ａ）に示す状態となる。その後、ワークＷは連絡搬送部１１０Ｂによって第２搬送部１１０Ｃに搬送される。なお移動部１２０が連絡搬送部１１０ＢからワークＷの法線方向に離れた位置でワークＷを保持した状態で、ワークＷの下方を通るように後続のワークＷを搬送させることが可能である。
【００３３】
なお、移動部１２０は、図２（ａ）で示した移動部１２０の位置よりも下方に移動することもある。移動部１２０が図２（ａ）で示した移動部１２０の位置よりも下方にある場合でも、ワークＷは、移動部１２０の上方を通過することが可能である。
【００３４】
以下に、搬送ユニット１１０で搬送されているワークＷを搬送経路から分岐した別の経路に移動させるための動作を説明する。図３を参照して本発明によるワーク搬送装置１００の移動部１２０の移動を説明する。移動部１２０は搬送位置の下方から離間位置に移動することにより、移動部１２０はワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部１１０Ｂからワークを移動させる。図３（ａ）、図３（ｃ）、図３（ｅ）および図３（ｇ）は、本発明の実施形態に係るワーク搬送装置１００の側面図である。図３（ｂ）、図３（ｄ）、図３（ｆ）および図３（ｈ）は、図３（ａ）、図３（ｃ）、図３（ｅ）および図３（ｇ）にそれぞれ対応した本発明の実施形態に係るワーク搬送装置１００の正面図である。
【００３５】
ワーク搬送装置１００は、ワークＷ０、ワークＷ１、ワークＷ２、ワークＷ３をワークＷ０、ワークＷ１、ワークＷ２、ワークＷ３の順番に搬送する。なお、本明細書の以下の説明において、ワークＷ１、ワークＷ２をそれぞれ第１ワーク、第２ワークと記載することがある。
【００３６】
図３（ａ）、図３（ｂ）に示すように、第１搬送部１１０Ａおよび連絡搬送部１１０ＢはワークＷ１を搬送位置に搬送する。ワークＷ０は、ワークＷ１より下流に位置している。ワークＷ２はワークＷ１より上流に位置している。
【００３７】
図３（ｃ）、図３（ｄ）に示すように、移動部１２０が上昇することにより、移動部１２０は、搬送位置にあるワークＷ１を離間位置まで移動させる。ワークＷ０は、第２搬送部１１０Ｃよって図３（ａ）、図３（ｂ）で示すワークＷ０の位置よりさらに下流へ搬送されている。ワークＷ２は、第１搬送部１１０Ａおよび連絡搬送部１１０Ｂによって図３（ａ）、図３（ｂ）で示すワークＷ２の位置よりさらに下流に搬送され、搬送位置の直前に位置している。
【００３８】
図３（ｅ）、図３（ｆ）に示すように、移動部１２０が連絡搬送部１１０ＢからワークＷ１を移動を開始した後、連絡搬送部１１０Ｂは、ワークＷ２が搬送位置を通過するようにワークＷ２を第２搬送部１１０Ｃへ搬送する。一方、ワークＷ１は、別の経路へ移動する。例えば、ワークＷ１は、ロボットにより移送され、別の経路へ移動する。
【００３９】
図３（ｇ）、図３（ｈ）に示すように、移動部１２０は搬送位置にワークが流れていないときに、ワークＷ２とワークＷ３との間を通って搬送位置の下方に移動し、図３（ａ）に示す位置に戻る。例えば、光電センサ（図示せず）によってワークの有無をモニタすることにより、ワークが搬送位置に無い期間が一定の期間以上になると、移動部１２０を搬送位置の下方に戻す。
【００４０】
以上、図３を参照して説明したように、ワーク搬送装置１００では、移動部１２０が、ワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部１１０Ｂからワークを移動させる。移動部１２０が連絡搬送部１１０Ｂから第１ワークの移動を開始した後、連絡搬送部１１０Ｂは、第１搬送部１１０Ａによって搬送された第２ワークを第２搬送部１１０Ｃへと搬送する。したがって、搬送ユニット１１０での第２ワークの一時停止の可能性を低減し第２ワークを搬送することができる。その結果、ラインタクトを短縮することができる。
【００４１】
以下に、図４を参照して、別の経路から来たワークＷを搬送経路に移動させるための動作を説明する。移動部１２０は離間位置から搬送位置の下方に移動することにより、移動部１２０はワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部１１０Ｂまでワークを移動させる。図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）および図４（ｄ）は、本発明の実施形態に係るワーク搬送装置１００の側面図である。
【００４２】
ワーク搬送装置１００は、ワークＷ０、ワークＷ１、ワークＷ２、ワークＷ３を搬送する。
【００４３】
図４（ａ）は、移動部１２０が離間位置にある状態を示す。移動部１２０の上部には、別の経路から搬送されたワークＷ１が載置されている。ワークＷ０は、ワークＷ１より下流に位置している。ワークＷ２はワークＷ１より上流に位置している。
【００４４】
図４（ｂ）に示すように、ワークＷ１が離間位置にある状態で、移動部１２０がワークＷ１を連絡搬送部１１０Ｂまで移動させる前に、連絡搬送部１１０Ｂは、ワークＷ２がワークＷ１の下方の搬送位置を通過するようにワークＷ２を第２搬送部１１０Ｃへと搬送する。
【００４５】
図４（ｃ）に示すように、移動部１２０が搬送位置に移動することにより、ワークＷ１は連絡搬送部１１０Ｂに置かれ、ワークＷ１は連絡搬送部１１０Ｂで搬送されていく。ワークＷ２は、第２搬送部１１０Ｃよって図４（ｂ）で示すワークＷ２の位置よりさらに下流に搬送されている。
【００４６】
ワークＷ４（図示せず）は別の経路から搬送され、ワークＷ１の次に離間位置に流れてくる。図４（ｄ）に示すように、移動部１２０は、ワークＷ４の受け入れのため、搬送位置にワークが流れていないときに、ワークＷ１とワークＷ３の間を通って離間位置に戻る。
【００４７】
以上、図４を参照して説明したように、ワーク搬送装置１００では、移動部１２０が、ワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部１１０Ｂまでワークを移動させる。移動部１２０がワークＷ１を連絡搬送部１１０Ｂまで移動させる前に、連絡搬送部１１０Ｂは、第１搬送部１１０Ａによって搬送された第２ワークを第２搬送部１１０Ｃへと搬送する。したがって、ワークを別の経路から移送する際に、ワークの流動が停滞する可能性を低減する。
【００４８】
なお、移動部１２０を複数の移動部分に分離させることも可能である。図５を参照して本発明による他の実施形態に係るワーク搬送装置１００を説明する。
【００４９】
移動部１２０は、複数の分離移動部を有する。図５に示す移動部１２０は、第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とを有している。本実施形態に係るワーク搬送装置１００は、移動部１２０が複数の分離移動部を有する点を除いて、図１を参照して説明したワーク搬送装置１００と同様な構成を有するため、重複部分については説明を省略する。
【００５０】
第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とは、それぞれ独立して、搬送位置と離間位置との間を移動可能である。ワークＷを移動部１２０の上部に載せた状態で搬送位置と離間位置との間を移動する場合は、第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とは、それぞれの高さが各時刻で同じになるように同じタイミングで搬送位置と離間位置との間を移動する。従って、移動部１２０の上部に載っているワークＷが、移動部１２０から落ちたり、歪むことにより割れたりすることを防ぐことができる。
【００５１】
ワークＷを移動部１２０の上部に載せていない状態で搬送位置と離間位置との間を移動する場合は、第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とは、個別に搬送位置と離間位置との間を移動することが可能である。これにより、ワークの搬送の自由度を上げることができる。
【００５２】
以下、搬送部１１０に搬送されているワークＷを搬送経路から分岐した別の経路に移動させるための動作を説明する。図６を参照して本実施形態に係るワーク搬送装置１００の移動部１２０の移動を説明する。移動部１２０は搬送位置の下方から離間位置に移動することにより、移動部１２０はワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部１１０Ｂからワークを移動させる。図６（ａ）、図６（ｃ）および図６（ｅ）は、本実施形態に係るワーク搬送装置１００の側面図である。図６（ｂ）、図６（ｄ）および図６（ｆ）は、図６（ａ）、図６（ｃ）および図６（ｅ）にそれぞれ対応した本実施形態に係るワーク搬送装置１００の正面図である。
【００５３】
ワーク搬送装置１００は、ワークＷ０、ワークＷ１、ワークＷ２、ワークＷ３をワークＷ０、ワークＷ１、ワークＷ２、ワークＷ３の順番に搬送する。
【００５４】
図６（ａ）、図６（ｂ）に示すように、連絡搬送部１１０ＢはワークＷ１を搬送位置に搬送する。ワークＷ０は、ワークＷ１より下流に位置している。ワークＷ２はワークＷ１より上流に位置している。
【００５５】
図６（ｃ）、図６（ｄ）に示すように、第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とが、それぞれの高さが各時刻で同じになるように同じタイミングで上昇することにより、搬送位置にあるワークＷ１を離間位置まで移動させる。その後、ワークＷ１は、別の経路に移送される。ワークＷ２は、第１搬送部１１０Ａによって図６（ａ）、図６（ｂ）で示すワークＷ２の位置よりさらに下流に搬送され、搬送位置の直前に位置している。
【００５６】
図６（ｅ）、図６（ｆ）に示すように、移動部１２０がワークＷ１を移動させた後、ワークＷ２の後端が第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とのそれぞれに対応する搬送位置を通過後に、第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とは、ワークＷ２とワークＷ３の隙間を通って、連絡搬送部１１０Ｂに向かう方向に個別に移動して、離間位置から搬送位置の下方へ戻る。ワークＷ２が分離移動部のそれぞれに対応する搬送位置を通過後ワークＷ３が分離移動部のそれぞれに対応する搬送位置に到達するまでの間に、第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とは、搬送位置の下方に向けて下降していく。
【００５７】
図６（ｅ）において、第１分離移動部１２１は、移動が完了し搬送位置の下方に戻っている。図６（ｅ）において、第２分離移動部１２２は、搬送位置の下方へ移動中である。図６（ｅ）において、ワークＷ２は第３分離移動部１２３に対応する搬送位置を通過中である。第３分離移動部１２３は、ワークＷ２の後端が第３分離移動部１２３に対応する搬送位置を通過後に、搬送位置の下方への移動を開始する。その後、全ての分離移動部の搬送位置の下方への移動が完了し、図６（ａ）に示す位置に戻る。
【００５８】
図６を参照して説明したように、本実施形態のワーク搬送装置１００によれば、第１ワークを移動させた後に、第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とは連絡搬送部１１０Ｂに向かう方向に個別に移動して、離間位置から搬送位置の下方に移動することができる。したがって、ワークとワークとの間隔は、分離移動部１つ分を移動させる間隔であればよく、ワークの流動間隔を短くすることができる。その結果、ライン全体の生産能力を増大することが可能となる。
【００５９】
以下に、別の経路から流れて来たワークＷを搬送経路に移動させるための動作を説明する。図７を参照して本実施形態によるワーク搬送装置１００の移動を説明する。移動部１２０は離間位置から搬送位置の下方に移動することにより、移動部１２０はワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部１１０Ｂまでワークを移動させる。図７（ａ）、図７（ｂ）、図７（ｃ）および図７（ｄ）は、本実施形態に係るワーク搬送装置１００の側面図である。ワーク搬送装置１００は、ワークＷ１、ワークＷ２、ワークＷ３、ワークＷ４を搬送する。
【００６０】
図７（ａ）は、第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とが離間位置にある状態を示す。第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３との上部には、別の経路から搬送されたワークＷ１が載置されている。
【００６１】
図７（ｂ）に示すように、ワークＷ１が離間位置にある状態で、連絡搬送部１１０Ｂは、ワークＷ１の下方の搬送位置をワークＷ２が通過するようにワークＷ２を第２搬送部１１０Ｃへと搬送する。
【００６２】
図７（ｃ）に示すように、第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とが、それぞれの高さが各時刻で同じになるように同じタイミングで下降することにより、離間位置にあるワークＷ１を搬送位置まで移動させる。第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とが搬送位置の下方に移動することにより、ワークＷ１は連絡搬送部１１０Ｂに置かれ、ワークＷ１は連絡搬送部１１０Ｂで搬送されていく。
【００６３】
図７（ｄ）に示すように、移動部１２０がワークＷ１を移動させた後、ワークＷ３の後端が第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とのそれぞれに対応する搬送位置を通過後に、第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とは、ワークＷ３とワークＷ４との隙間を通って、連絡搬送部１１０Ｂから離れる方向に個別に移動して、搬送位置の下方から離間位置へ戻る。分離移動部のそれぞれは、ワークＷ３が分離移動部のそれぞれに対応する搬送位置を通過後ワークＷ４がそれぞれの分離移動部の搬送位置に到達するまでの間に、離間位置に向けて上昇していく。
【００６４】
図７（ｄ）において、第１分離移動部１２１の移動が完了し第１分離移動部１２１が離間位置に戻っている。図７（ｄ）において、第２分離移動部１２２は、離間位置へ移動している途中である。図７（ｄ）において、ワークＷ３が第３分離移動部１２３の上方を通過中である。第３分離移動部１２３は、ワークＷ３の後端が通過後に離間位置への移動を開始する。その後、全ての分離移動部の搬送位置への移動が完了し、第１分離移動部１２１、第２分離移動部１２２、および第３分離移動部１２３は図７（ａ）で示した位置に戻る。ワークＷ５（図示せず）は別の経路から搬送され、ワークＷ１の次に離間位置に流れてくる。ワークＷ５が移動部１２０の上部に載置されるまで移動部１２０は離間位置で待機する。
【００６５】
図７を参照して説明したように、ワーク搬送装置１００において、第１ワークを移動させた後に、第１分離移動部１２１と第２分離移動部１２２と第３分離移動部１２３とは連絡搬送部１１０Ｂから離れる方向に個別に移動して、搬送位置の下方から離間位置へ移動することができる。したがって、ワークとワークとの間隔は、分離移動部１つ分を移動させる間隔であればよく、ワークの流動間隔を短くすることができる。その結果、ライン全体の生産能力を増大することが可能となる。
【００６６】
なお、図１と図５を参照して説明したワーク搬送装置１００では、ワークＷの主面の法線方向が垂直方向になるようにワークＷを搬送したが、ワークＷの主面の法線方向が水平方向になるようにワークＷを搬送してもよい。その際移動部１２０は上下移動ではなく水平移動する。
【００６７】
図８（ａ）と図８（ｂ）とは、ワーク搬送装置１００の移動部１２０の形状を示す模式図である。図８（ａ）と図８（ｂ）とを参照してワーク搬送装置１００の移動部１２０の形状を説明する。
【００６８】
移動部１２０は、接触部１２４と連結部１２５と双方向変化部１２６とを備える。接触部１２４は、ワークＷの主面の一方と接触する。連結部１２５は、接触部１２４と連結する。
【００６９】
双方向変化部１２６は、連結部１２５を介して接触部１２４と連結している。双方向変化部１２６は、接触部１２４と連結部１２５とを移動させることにより、接触部１２４を搬送位置と離間位置の間で移動させる。双方向変化部１２６は、例えば、シリンダーやサーボモータである。接触部１２４と連結部１２５とで移動部１２０の内周が形成されている。ワークＷは移動部１２０の内周の内側を通過可能である。したがって、移動部１２０が離間位置にある間にも、後続のワークＷが移動部１２０の内周の内側を通過することができ、ワークＷの流動が停滞する可能性を低減する。
【００７０】
図８（ａ）に示す移動部１２０は門型の形状をしており、図８（ｂ）に示す移動部１２０はＬ型の形状をしている。移動部１２０が離間位置にあるときに、搬送位置をワークＷが通過可能であれば、移動部１２０の形状は、図８（ａ）に示す門型の形状や図８（ｂ）に示すＬ型の形状に限定されない。
【００７１】
図１で説明したワーク搬送装置１００の搬送部１１０は複数のローラー１１０ａを有していたが、搬送部１１０を複数のローラー１１０ａの代わりにベルトコンベアで構成することも可能である。
【００７２】
図９は、更に他の実施形態に係るワーク搬送装置１００を示す模式図である。図９を参照して更に他の実施形態に係るワーク搬送装置１００を説明する。
【００７３】
本実施形態に係るワーク搬送装置１００の搬送ユニット１１０は、ベルトコンベア１１０ｂである。ワーク搬送装置１００は、搬送ユニット１１０がベルトコンベア１１０ｂである点を除いて、図１を参照して説明したワーク搬送装置１００と同様な構成を有するため、重複部分については説明を省略する。連絡搬送部１１０Ｂは、連絡搬送部１１０Ｂの上流側の端部１１０Ｂ３で第１搬送部１１０Ａと連絡しており、連絡搬送部１１０Ｂの下流側の端部１１０Ｂ４で第２搬送部１１０Ｃと連絡している。
【００７４】
ベルトコンベア１１０ｂは、移動部１２０に接触しないように、移動部１２０の部分が凹んでいる形状となっている。この凹んでいる箇所の幅はワークＷが搬送されたときに落下しない程度の幅である。搬送部１１０はベルトコンベア１１０ｂの曲がり角にローラー１１０ｃを備える。
【００７５】
図１０は、更に他の実施形態に係るワーク搬送装置１００を示す模式図である。図１０を参照して更に他の実施形態に係るワーク搬送装置１００を説明する。図１０（ａ）は、移動部１２０が搬送位置にある状態を示す模式図であり、図１０（ｂ）は、移動部１２０が離間位置にある状態を示す模式図である。離間位置は、搬送位置から離れた位置にある。
【００７６】
移動部１２０は、複数の分離移動部を有する。移動部１２０は、第１分離移動部１２７と第２分離移動部１２８と第３分離移動部１２９とを有している。第１分離移動部１２７は土台１４４に回転軸１４１で連結されている。第２分離移動部１２８は土台１４４に回転軸１４２で連結されている。第３分離移動部１２９は土台１４４に回転軸１４３で連結されている。ワーク搬送装置１００は、第１分離移動部１２７を回転軸１４１の回りに所定の傾斜角度に回動させることができる。ワーク搬送装置１００は、第２分離移動部１２８を回転軸１４２の回りに所定の傾斜角度に回動させることができる。ワーク搬送装置１００は、第３分離移動部１２９を回転軸１４３の回りに所定の傾斜角度に回動させることができる。
【００７７】
第１分離移動部１２７と第２分離移動部１２８と第３分離移動部１２９とを、それぞれ独立して、搬送位置と離間位置との間を所定の傾斜角度に回動させることにより、第１分離移動部１２７と第２分離移動部１２８と第３分離移動部１２９とは移動可能である。これにより、主面の法線方向を垂直方向に維持しながら搬送されているワークＷを、主面の法線方向を水平に維持しながら搬送するように変更することができるため、ワークの搬送の自由度を上げることができる。
【００７８】
主面の法線方向を垂直方向に維持しながら搬送されているワークＷを、主面の法線方向を水平に維持しながら搬送するように変更して別の経路に移動させるための動作を以下説明する。図１１を参照して本発明によるワーク搬送装置１００の移動部１２０の搬送位置から離間位置への移動を説明する。図１１（ａ）、図１１（ｂ）および図１１（ｃ）は、本発明の更に他の実施形態に係るワーク搬送装置１００の側面図である。
【００７９】
ワーク搬送装置１００は、ワークＷ０、ワークＷ１、ワークＷ２、ワークＷ３をワークＷ０、ワークＷ１、ワークＷ２、ワークＷ３の順番に搬送する。
【００８０】
図１１（ａ）に示すように、第１搬送部１１０Ａおよび連絡搬送部１１０ＢはワークＷ１を搬送位置に搬送する。ワークＷ０は、ワークＷ１より下流に位置している。ワークＷ２はワークＷ１より上流に位置している。
【００８１】
図１１（ｂ）に示すように、第１分離移動部１２７と第２分離移動部１２８と第３分離移動部１２９とのそれぞれの傾斜角度が各時刻で同じになるように同じタイミングで第１分離移動部１２７、第２分離移動部１２８および第３分離移動部１２９が回動することにより、搬送位置にあるワークＷ１を離間位置まで移動させる。その後、ワークＷ１は、別の経路に移送される。本実施形態における離間位置は、ワークの主面の法線方向が水平になる方向である。
【００８２】
図１１（ｃ）に示すように、第１分離移動部１２７と第２分離移動部１２８と第３分離移動部１２９とは、ワークＷ２の後端が第１分離移動部１２７と第２分離移動部１２８と第３分離移動部１２９とのそれぞれに対応する搬送位置を通過後に、ワークＷ２とワークＷ３との隙間を通って、個別に離間位置から搬送位置へ戻る。ワークＷ２が分離移動部のそれぞれに対応する搬送位置を通過後、ワークＷ３が分離移動部のそれぞれに対応する搬送位置に到達するまでの間に、分離移動部は搬送位置の下部に向けて回動していく。
【００８３】
図１１（ｃ）において、第１分離移動部１２７の移動が完了し第１分離移動部１２７が搬送位置に戻っている。図１１（ｃ）において、第２分離移動部１２８は、搬送位置へ移動中である。図１１（ｃ）において、ワークＷ２が第３分離移動部１２９の横を通過中である。第３分離移動部１２９は、ワークＷ２の後端が第３分離移動部１２９に対応する搬送位置を通過後に搬送位置への移動を開始する。その後、全ての分離移動部に対応する搬送位置への移動が完了し、第１分離移動部１２７、第２分離移動部１２８および第３分離移動部１２９は図１１（ａ）に示す位置に戻る。なお、主面の法線方向を水平方向に維持しながら搬送されているワークＷを、主面の法線方向を垂直に維持しながら搬送するように変更して、別の経路に移動させる動作も可能である。
【００８４】
図１２は、搬送経路から別の経路への移送方法を示す模式図である。図１２を参照して別の経路への移送方法を説明する。
【００８５】
分岐部１５１では、６軸垂直多関節ロボット１６０は離間位置にあるワークＷを別の経路に移送する。ワークＷの下方に６軸垂直多関節ロボット１６０のアームを挿入して、ワーク下面を真空吸着して別の経路に移送する。
【００８６】
分岐部１５２では、直交型ＸＹロボット１７０は離間位置にあるワークＷを別の経路に移送する。直交型ＸＹロボット１７０のアームをワークＷの下に挿入してワーク下面をすくって別の経路に移送する。
【００８７】
分岐部１５３では、移動部１８０がコンベアになっている。移動部１８０は駆動ローラーを内蔵している。移動部１８０が搬送位置にあるときは、駆動ローラーは回転しない。移動部１８０が離間位置にあるときに駆動ローラーが回転し、ワークＷを別の経路へ移送する。
【００８８】
図１３は、本発明の実施形態に係るワーク搬送システム３００を示す模式図である。本実施形態に係るワーク搬送システム３００は、複数のワーク搬送装置（ワーク搬送装置２０１〜ワーク搬送装置２０８）を備える。ワーク搬送装置２０１〜ワーク搬送装置２０８はそれぞれ、移動部（移動部２２１〜移動部２２８）と連絡搬送部（連絡搬送部２１１〜連絡搬送部２１８）と搬送部（搬送部２５１〜搬送部２６０）とを有する。
【００８９】
搬送部２５１は、ワーク搬送装置２０１の第１搬送部である。搬送部２５６は、ワーク搬送装置２０５の第２搬送部である。搬送部２５７は、ワーク搬送装置２０６の第１搬送部である。搬送部２６０は、ワーク搬送装置２０８の第２搬送部である。搬送部２５２、搬送部２５３、搬送部２５４、搬送部２５５、搬送部２５８および搬送部２５９は、それぞれの搬送部の上流側の１番近いワーク搬送装置にとっては第２搬送部であり、それぞれの搬送部の下流側の１番近いワーク搬送装置にとっては第１搬送部である。例えば、搬送部２５２は、上流側の１番近いワーク搬送装置２０１にとっては第２搬送部であり、下流側の１番近いワーク搬送装置２０２にとっては第１搬送部である。ワーク搬送システム３００は、さらに搬送部２１９ａ、搬送部２１９ｂおよび搬送部２１９ｃを備える。
【００９０】
ワーク搬送システム３００は、処理装置２４１と処理装置２４２と処理装置２４３とを備え、搬送部２１９ａ、搬送部２１９ｂ、および搬送部２１９ｃに、それぞれ設けられている。処理装置２４１と処理装置２４２と処理装置２４３とは、例えば、ワークＷの検査処理装置である。複数の処理装置を設けることにより、全体のタクトタイムが短くなる。搬送部２５１〜搬送部２５６と搬送部２５７〜搬送部２６０とのタクトタイムは例えば１０秒／枚であり。処理装置２４１と処理装置２４２と処理装置２４３のタクトタイムは例えば３０秒／枚である。
【００９１】
移動部２２１は隣接して６軸垂直多関節ロボット２３０が設けられている。６軸垂直多関節ロボット２３０は、別の経路（図示せず）から流れて来たワークＷを移動部２２１に載せることにより、搬送部２５１〜搬送部２５６が形成する搬送経路にワークＷを移動させる。
【００９２】
図１３に示すように、ワーク搬送装置２０３において、移動部２２３は離間位置にあり、ワークＷを移動部２２３の上部に載せている（図６（ｃ）も参照）。その後、分岐した別の経路の搬送部２１９ａの方へワークＷは移動され、処理装置２４１で処理される。移動部２２３は離間位置にあるので、後続のワークＷが搬送位置を通過可能である。
【００９３】
図１３に示すように、ワーク搬送装置２０４において、移動部２２４は離間位置にあり、連絡搬送部２１４はワークＷが搬送位置を通過するように搬送する（図６（ｃ）も参照）。ワークＷが搬送位置を通過後に、移動部２２４は搬送位置の下方まで移動し、次のワークＷが搬送部２５４によって搬送されるまで待機する。
【００９４】
図１３に示すように、ワーク搬送装置２０５において、移動部２２５は、離間位置にあり、ワークＷを移動部２２５の上部に載せている（図６（ｃ）も参照）。その後、ワークＷは搬送部２１９ｃの方へ移動され、処理装置２４３で処理される。
【００９５】
図１３に示すように、ワーク搬送装置２０６において、移動部２２６は、離間位置にあり、処理装置で処理済のワークＷを移動部２２６の上部に載せている（図７（ａ）も参照）。その後、移動部２２６が搬送位置に移動することにより、ワークＷは連絡搬送部２１６へ移動して連絡搬送部２１６によって搬送されていく。
【００９６】
図１３に示すように、ワーク搬送装置２０７において、移動部２２７は、離間位置にあり、ワークＷが搬送位置を通過中である（図７（ｂ）も参照）。その後、移動部２２７は、処理装置２４２で処理が完了したワークＷが離間位置まで搬送されるのを待つ。
【００９７】
図１３に示すように、ワーク搬送装置２０８において、移動部２２８は、離間位置にあり、処理装置２４３で処理済のワークＷを移動部２２８の上部に載せている（図７（ａ）も参照）。ワークＷが搬送位置を通過可能であるので、後続のワークＷが搬送位置を通過後、移動部２２６が搬送位置に移動することにより、ワークＷは連絡搬送部２１８へ移動して連絡搬送部２１８によって搬送されていく。
【００９８】
以上説明したように、図１３を参照して説明したワーク搬送システム３００は、連絡搬送部２１３と連絡搬送部２１４と連絡搬送部２１５とによって搬送されているワークＷを移動部２２３と移動部２２４と移動部２２５とで別の経路に移動させ、搬送部２１９ａと搬送部２１９ｂと搬送部２１９ｃへ搬送する。その後、ワークＷは、処理装置２４１と処理装置２４２と処理装置２４３とで処理される。その後、ワーク搬送装置２０６とワーク搬送装置２０７とワーク搬送装置２０８とは、移動部２２６と移動部２２７と移動部２２８とでワークＷを連絡搬送部２１６と連絡搬送部２１７と連絡搬送部２１８とに移動させる。したがって、時間のかかる処理を複数の処理装置に分けて実施できる。その結果、ラインタクトを短縮することができる。
【産業上の利用可能性】
【００９９】
本発明のワーク搬送装置は、搬送経路から別の搬送経路へワークを移動するためのワーク搬送装置に好適に用いられる。
【符号の説明】
【０１００】
Ｗ、Ｗ０、Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４    ワーク
１００      ワーク搬送装置
１１０      搬送ユニット
１１０Ａ    第１搬送部
１１０Ｂ    連絡搬送部
１１０Ｃ    第２搬送部
１１０Ｂ１  ローラー
１１０Ｂ２  ローラー
１１０Ｂ３  連絡搬送部の上流側の端部
１１０Ｂ４  連絡搬送部の下流側の端部
１１０ａ    ローラー
１１０ｂ    ベルトコンベア
１１０ｃ    ローラー
１２０      移動部
１２１      第１分離移動部
１２２      第２分離移動部
１２３      第３分離移動部
１２４      接触部
１２５      連結部
１２６      双方向変化部
１２７      第１分離移動部
１２８      第２分離移動部
１２９      第３分離移動部
１４１、１４２、１４３      回転軸
１４４      土台
１５１、１５２、１５３      分岐部
１６０      ６軸垂直多関節ロボット
１７０      直交型ＸＹロボット
１８０      移動部
２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６、２０７、２０８  ワーク搬送装置
２１１、２１２、２１３、２１４、２１５、２１６、２１７、２１８  連絡搬送部
２１９ａ、２１９ｂ、２１９ｃ   搬送部
２２１、２２２、２２３、２２４、２２５、２２６、２２７、２２８  移動部
２３０      ６軸垂直多関節ロボット
２４１、２４２、２４３      処理装置
２５１、２５２、２５３、２５４、２５５、２５６、２５７、２５８、２５９、２６０  搬送部
【図１】
2014118279.tif 000003
【図２】
2014118279.tif 000004
【図３】
2014118279.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2014118279.tif 000009
【図８】
2014118279.tif 000010
【図９】
2014118279.tif 000011
【図１０】
2014118279.tif 000012
【図１１】
2014118279.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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