(57)【要約】【課題】電解エッチングによる表面の粗面化処理の均一性を向上することができる印刷版用アルミニウム合金板およびその製造方法を提供する。【解決手段】Ｓｉ：０．０２〜０．３％、Ｆｅ：０．１〜０．６％を含有し、Ｃｕ：０．２０％以下、Ｍｇ：０．１０％以下、Ｚｎ：０．１０％以下、Ｔｉ：０．０５％以下に規制され、残部が９９．００％以上のＡｌおよびその他不可避的不純物からなるアルミニウム合金を、開始温度を３８０〜５５０℃、開始時の鋳塊の厚さを３５０〜６１０ｍｍ、圧延パスの回数を１２〜３０回、終了時の板厚を２〜１２ｍｍとする熱間圧延を行い、その後、冷間圧延を行い、例えば、円相当径０．３５〜３μｍの金属間化合物が７〜１００個／（３０μｍ）２で分布し、３０μｍ角内を９個の１０μｍ角に分割したときに、前記１０μｍ角の９個のマスのうち、分布する金属間化合物の数が０個のマスの数が３マス以下である分布状態を得る。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量％で、Ｓｉ：０．０２〜０．３％、Ｆｅ：０．１〜０．６％を含有し、Ｃｕ：０．２０％以下、Ｍｇ：０．１０％以下、Ｚｎ：０．１０％以下、Ｔｉ：０．０５％以下に規制され、残部が９９．００％以上のＡｌおよびその他不可避的不純物からなる組成を有するアルミニウム合金板であって、円相当径０．３５〜３μｍからなる金属間化合物が、少なくとも表層で７〜１００個／（３０μｍ）２で分布し、３０μｍ角内を９個の１０μｍ角に分割したときに、前記１０μｍ角の９個のマスのうち、分布する金属間化合物の数が０個のマスの数が３マス以下であることを特徴とする印刷版用アルミニウム合金板。
【請求項２】
円相当径０．３５〜３μｍからなる前記金属間化合物が、７〜７０個／（３０μｍ）２で分布していることを特徴とする請求項１記載の印刷版用アルミニウム合金板。
【請求項３】
質量％で、Ｓｉ：０．０２〜０．３％、Ｆｅ：０．１〜０．６％を含有し、Ｃｕ：０．２０％以下、Ｍｇ：０．１０％以下、Ｚｎ：０．１０％以下、Ｔｉ：０．０５％以下に規制され、残部が９９．００％以上のＡｌおよびその他不可避的不純物からなる組成を有するアルミニウム合金を熱間圧延および冷間圧延によって板厚０．１〜０．５ｍｍの印刷版用アルミニウム合金板に製造する方法であって、前記熱間圧延において、開始温度を３８０〜５５０℃、開始時の鋳塊の厚さを３５０〜６１０ｍｍ、圧延パスの回数を１２〜３０回、終了時の板厚を２〜１２ｍｍとすることを特徴とする印刷版用アルミニウム合金板の製造方法。
【請求項４】
前記熱間圧延の終了温度を２００〜３５０℃とすることを特徴とする請求項３記載の印刷版用アルミニウム合金板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＰＳ版などの印刷版に使用される印刷版用アルミニウム合金板およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
平版印刷では、予め感光層が形成され、現像処理した後に、そのまま或いは感光層の焼き付け（バーニング）処理をして用いられるＰＳ版が幅広く使用されており、該ＰＳ版は、感光剤が塗布される粗面を有している。
このＰＳ版は、アルミニウム合金を用いて所定の製造工程を経て製造されるものであるが、上記感光剤の塗布に先立っては表面処理が施されている。この表面処理は、電解エッチングによって印刷版表面を粗面化処理した後、所望により陽極酸化処理する。
【０００３】
ところで、大量に印刷物を作成する新聞印刷や商業印刷においては、印刷工程の機械化や高速化が進んでいる。このため、平版印刷版には、そのような機械化や高速化に耐え得る材料強度が求められている。一方、印刷品質の面では、高い解像度での印刷を実現するべく、平版印刷版には、粗面化処理が施された表面が微細で均一な砂目形状を有していることが求められている。
これまで、電解エッチングによる粗面化処理の均一性を向上することを目的として、種々の平版印刷版用アルミニウム合金板やその製造方法が提案されている（例えば特許文献１〜６参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−６３５８６号公報
【特許文献２】特開２００７−１３１９１７号公報
【特許文献３】特開２０１２−５７１８５号公報
【特許文献４】特開平９−２７９２７２号公報
【特許文献５】特開平１１−１５１８７０号公報
【特許文献６】特開２００５−２３１１５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
電解エッチングによる粗面化処理においては、アルミニウム合金における金属間化合物がエッチングの起点となってピットが形成される。しかしながら、金属間化合物の分布が不均一であると、エッチングピットが不均一に形成され、その結果、印刷版の性能が悪影響を受けることになる。
【０００６】
特許文献１および２に記載のアルミニウム合金板では、所定範囲の大きさの金属間化合物の個数密度が制限されている。しかしながら、これらのアルミニウム合金板では、金属間化合物の分布の均一化を図る手段は特に講じられていない。
また、特許文献３および４に記載のアルミニウム合金板では、ピットの形成の均一性を向上するため、アルミニウム合金の成分が規制されている。しかしながら、規制される合金成分の数が多くなると、製造コストの面からは望ましくない。
また、特許文献５に記載のアルミニウム合金板では、金属間化合物の種類が特定のものに限定されているとともに、金属間化合物の個数密度が制限されている。しかしながら、このアルミニウム合金板でも、金属間化合物の分布の均一化を図る手段は特に講じられていない。
【０００７】
本発明は、上記事情を背景としてなされたものであり、電解エッチングによる表面の粗面化処理の均一性を向上させることができる印刷版用アルミニウム合金板およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、本発明の印刷版用アルミニウム合金板のうち、第１の本発明は、質量％で、Ｓｉ：０．０２〜０．３％、Ｆｅ：０．１〜０．６％を含有し、Ｃｕ：０．２０％以下、Ｍｇ：０．１０％以下、Ｚｎ：０．１０％以下、Ｔｉ：０．０５％以下に規制され、残部が９９．００％以上のＡｌおよびその他不可避的不純物からなる組成を有するアルミニウム合金板であって、円相当径０．３５〜３μｍからなる金属間化合物が、少なくとも表層で７〜１００個／（３０μｍ）２で分布し、３０μｍ角内を９個の１０μｍ角に分割したときに、前記１０μｍ角の９個のマスのうち、分布する金属間化合物の数が０個のマスの数が３マス以下であることを特徴とする。
【０００９】
第２の本発明の印刷版用アルミニウム合金板は、前記第１の本発明において、円相当径０．３５〜３μｍからなる前記金属間化合物が、７〜７０個／（３０μｍ）２で分布していることを特徴とする。
【００１０】
第３の本発明の印刷版用アルミニウム合金板の製造方法は、質量％で、Ｓｉ：０．０２〜０．３％、Ｆｅ：０．１〜０．６％を含有し、Ｃｕ：０．２０％以下、Ｍｇ：０．１０％以下、Ｚｎ：０．１０％以下、Ｔｉ：０．０５％以下に規制され、残部が９９．００％以上のＡｌおよびその他不可避的不純物からなる組成を有するアルミニウム合金を熱間圧延および冷間圧延によって板厚０．１〜０．５ｍｍの印刷版用アルミニウム合金板に製造する方法であって、前記熱間圧延において、開始温度を３８０〜５５０℃、開始時の鋳塊の厚さを３５０〜６１０ｍｍ、圧延パスの回数を１２〜３０回、終了時の板厚を２〜１２ｍｍとすることを特徴とする。
【００１１】
第４の本発明の印刷版用アルミニウム合金板の製造方法は、前記第３の本発明において前記熱間圧延の終了温度を２００〜３５０℃とすることを特徴とする。
【００１２】
すなわち、本発明によれば、電解エッチングの起点として効果的な金属間化合物が適度に分散し、電解エッチングに際し、粗面化処理の均一性を向上することができ、微細で均一な砂目形状の表面を有する印刷版用アルミニウム合金板を得ることができる。
【００１３】
以下に、本発明に規定する成分、製造条件などの限定理由について説明する。なお、成分含有量は、いずれも質量％で表される。
【００１４】
Ｓｉ：０．０２〜０．３％
Ｓｉは、適量の含有によりアルミニウムマトリクス中に析出して結晶粒を微細化することでエッチングピットの均一化に寄与する元素である。ただし、Ｓｉの含有量が０．０２％未満であると、結晶粒の微細化が不十分となり、エッチングピット開始点が少なく、エッチングピットが不均一となる結果、所望のエッチング性を得ることができない。また、Ｓｉの含有量を０．０２％未満にまで低下させると高純度地金の使用によりコストが増し、工業性の点で問題が発生する。一方、Ｓｉの含有量が０．３％を超えると、Ｓｉ系の巨大晶析出物（金属間化合物）が形成されてエッチングピットを不均一化し、また、インキ汚れの一因にもなる。このため、Ｓｉの含有量は、０．０２〜０．３％の範囲に定める。なお、同様の理由により、Ｓｉの含有量の下限を０．０５％、上限を０．２％に定めるのが望ましい。
【００１５】
Ｆｅ：０．１〜０．６％
Ｆｅは、適量の含有により微細析出物であるＡｌＦｅ系晶析出物（金属間化合物）を形成してエッチングピットの均一化に寄与する元素であり、適量の金属間化合物粒子を得るためには０．１％以上の含有が必要である。Ｆｅの含有量が０．１％未満であると、晶析出物の形成が不十分となり、エッチングピット開始点が少なく、エッチングピットが不均一となる結果、所望のエッチング性を得ることができない。一方、Ｆｅの含有量が０．６％を超えると、巨大晶析出物の形成によりエッチングピットを不均一化する。このため、Ｆｅの含有量は、０．１〜０．６％の範囲に定める。なお、同様の理由により、Ｆｅの含有量の下限を０．２％、上限を０．４％に定めるのが望ましい。
【００１６】
Ｃｕ：０．２０％以下
Ｃｕは、多くを含有すると材料を貴にして、溶解性が不足する。このため、Ｃｕの含有量は、０．２０％以下に規制する。なお、同様の理由により、Ｃｕの含有量は、０．０５％以下に規制することが望ましい。
【００１７】
Ｍｇ：０．１０％以下
Ｍｇは、０．１０％を超えると、溶解性が不足する。このため、Ｍｇの含有量は、０．１０％以下に規制する。なお、同様の理由により、Ｍｇの含有量は、０．０４％以下に規制することが望ましい。
【００１８】
Ｚｎ：０．１０％以下
Ｚｎは、粗大な金属間化合物が生成するので、０．１０％以下に規制する。なお、同様の理由により、Ｚｎの含有量は、０．０８％以下に規制することが望ましい。
【００１９】
Ｔｉ：０．０５％以下
Ｔｉは、適量の含有により結晶粒の微細化に寄与する元素として合金溶製時に用いられる場合があり、不可避的に合金中に残留するが、Ｔｉの含有量が０．０５％を超えると、粗大な金属間化合物が生成される。このため、Ｔｉの含有量は、０．０５％以下に規制する。なお、同様の理由により、Ｔｉの含有量は、０．０３％以下に規制することが望ましい。
【００２０】
なお、上記Ｃｕ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｔｉの各成分は、含有量が所定値以下に規制されるものであり、これら成分を含有しないものであってもよい。
【００２１】
残部：９９．００％以上のＡｌおよびその他不可避的不純物
前記アルミニウム合金の組成は、残部が９９．００％以上のＡｌおよびその他不可避的不純物からなる。
Ａｌの含有量が９９．００％未満であると、粗大な金属間化合物が形成され易く、エッチングピットの形成が不均一となり易い。また、市中で流通する印刷版スクラップよりもＡｌ純度が低下し、再利用する際のスクラップ価格が低下する。このため、Ａｌの含有量は、９９．００％以上の範囲に定める。なお、同様の理由により、Ａｌの含有量は、９９．５０％以上の範囲に定めることが望ましい。
また、不可避的不純物としては、その他に、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｇａ、Ｖなどを例示することができ、これらの不純物の含有量は、個々に０．０５％以下に抑えることが望ましい。
【００２２】
上記組成を有するアルミニウム合金は、熱間圧延、冷間圧延を経て印刷版用アルミニウム合金板とすることができる。
以下、熱間圧延および冷間圧延の諸条件について説明する。
【００２３】
熱間圧延
熱間圧延の開始温度を３８０〜５５０℃とする。開始温度が３８０℃未満であると、低温のために金属間化合物を十分に分散させることができない。一方、開始温度が５５０℃を超えると、高温のために金属間化合物が適度に分散される部分がアルミニウム合金板の極表層に限られる。このため、熱間圧延の開始温度を３８０〜５５０℃とする。なお、同様の理由により、熱間圧延の開始温度の下限を３８０℃、上限を５００℃とすることが望ましい。
【００２４】
熱間圧延の開始時のアルミニウム合金の鋳塊の厚さ（圧延方向厚さ）を３５０〜６１０ｍｍとする。熱間圧延開始時の鋳塊の厚さが３５０ｍｍ未満であると、厚さが薄いため熱間圧延の終了までに金属間化合物を十分に分散させることができない。一方、熱間圧延開始時の鋳塊の厚さが６１０ｍｍを超えると、厚さが過大で熱間圧延の圧延パス数を増加する必要があり、工業性の点で問題がある。このため、熱間圧延開始時の鋳塊の厚さを３５０〜６１０ｍｍとする。なお、同様の理由により、熱間圧延開始時の鋳塊の厚さの下限を５５０ｍｍ、上限を６１０ｍｍとすることが望ましい。
【００２５】
熱間圧延の圧延パスの回数を１２〜３０回とする。圧延パスの回数が１２回未満であると、金属間化合物を十分に分散させることができない。一方、圧延パスの回数が３０回を超えると、長時間圧延することになり、その結果、板温度が低下し、また、長時間の圧延は工業性の点で問題がある。このため、熱間圧延の圧延パスの回数を１２〜３０回とする。
【００２６】
熱間圧延終了時のアルミニウム合金板の板厚を２〜１２ｍｍとする。熱間圧延終了時の板厚が２ｍｍ未満では、熱延上がり板で巻芯なしではコイル潰れが発生する。一方、熱間圧延終了時の板厚が１２ｍｍを超えると、厚さのために冷間圧延の圧延パス数を増加する必要があり、経済的でない。このため、熱間圧延終了時の板厚を２〜１２ｍｍとする。なお、同様の理由により、熱間圧延終了時の板厚の下限を２ｍｍ、上限を５ｍｍとすることが望ましい。
【００２７】
なお、熱間圧延の終了温度は、２００〜３５０℃とすることが望ましい。終了温度が２００℃未満であると、低温のためにアルミニウム合金板の表面品質が悪影響を受ける。一方、終了温度が３５０℃を超えると、高温のために金属間化合物が適度に分散される部分がアルミニウム合金板の極表層に限られる。このため、熱間圧延の終了温度を２００〜３５０℃とすることが望ましい。なお、同様の理由により、熱間圧延の終了温度の下限を２００℃、上限を３００℃とすることがより望ましい。
【００２８】
冷間圧延
上記熱間圧延後のアルミニウム合金板に対しては、冷間圧延を実施する。冷間圧延における圧延パスの回数、冷間圧延率などの条件は、特に限定されるものではないが、最終板厚を０．１〜０．５ｍｍとする。
【００２９】
上記冷間圧延後のアルミニウム合金板の板厚は、一般的に印刷版用アルミニウム合金板として使用される０．１〜０．５ｍｍであればよい。冷間圧延後の板厚が０．５ｍｍを超えると、冷間圧下率が不足して巨大晶析出物が残存し易く、エッチングピットの形成が不均一となり易い。また、印刷版に必要な強度が与えられずに変形や版切れが生じ易くなったり、印刷版のハンドリングが悪くなり易い。一方、冷間圧延後の板厚が０．１ｍｍ未満であると、印刷版のハンドリングが悪くなり易い。このため、冷間圧延後の板厚を０．１〜０．５ｍｍとする。なお、同様の理由により、冷間圧延後の板厚の下限を０．２ｍｍ、上限を０．３ｍｍとすることが特に望ましい。
【００３０】
金属間化合物の分布
円相当径０．３５〜３μｍの金属間化合物は、エッチングピットの形成に大きな影響を及ぼすためその個数をカウントする。円相当径は、写真における金属間化合物の面積と同じ面積を有する円の直径として算出する。
３０μｍ角内での個数が７個未満であると、エッチングピット生成の起点が不足し、１００個を超えると粗大なエッチングピット集合体が形成されやすくなるため、３０μｍ角内での前記大きさの個数を７〜１００個とする。同様の理由により下限を７個、上限を７０個とするのが望ましい。また、３０μｍ角内で形成される１０μｍ角の９マスの正方形のマスのうち、金属間化合物の個数が０個であるマスの数は、３マス以下である。これは、３マスを超えると、粗大なエッチングピット集合体が形成されやすくなり、表面における未エッチング部が多くなるためである。
また、上記３０μｍ角内で１０μｍ角内の各９マスで観察される金属間化合物の個数は、０〜４０個であることが望ましい。これは、４０個を超えると、粗大なエッチングピット集合体が形成されやすくなるためである。なお、同様の理由により、１０μｍ角内で観察される金属間化合物の個数は、０〜２０個であることがより望ましい。
上記分布状態は、アルミニウム合金板全体で得られるものであってもよく、また少なくとも表層部（例えば表面から０．１〜１０μｍ以内）で上記分布状態が得られるものであればよい。これは、印刷版の製造において圧延後、電解エッチング前に表面清浄や機械研磨等による表面層除去が行われており、一般的に表面清浄では０．１〜２μｍ程度、機械研磨では０．１〜５μｍ程度が除去される。このことから、１０μｍを超えても電解エッチング均一性の改善には殆ど寄与しない。このため、上記分布状態は、少なくとも例えば表面から０．１〜１０μｍ以内で得られれば十分であると考えられる。
【発明の効果】
【００３１】
以上説明したように、本発明によれば、電解エッチングによる表面の粗面化処理の均一性を向上することができる。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の一実施形態の印刷版用アルミニウム合金板の製造方法について説明する。
まず、印刷版用アルミニウム合金板の材料となるアルミニウム合金の鋳塊は、ＤＣ鋳造法等の常法により鋳造することができ、本発明の成分範囲となるように成分調整し、鋳造することにより得ることができる。アルミニウム合金としては、例えば、本発明の成分範囲に含まれるＪＩＳ  Ａ１０５０合金に相当する合金を用いることができる。
【００３３】
次いで、得られたアルミニウム合金の鋳塊に対して、圧延面表面を例えば３〜２５ｍｍ除去する面削を行った後、例えば、４００〜５５０℃に加熱し、１時間以上保持する均熱処理を実施する。
なお、鋳造後、均熱処理までに、例えば５００〜６００℃に加熱し、１時間以上保持する均質化処理を実施してもよい。均質化処理後に均熱処理を実施してもよいし、均質化処理後、常温まで冷却してから再度加熱して均熱処理を実施してもよい。
【００３４】
次いで、上記均熱処理後のアルミニウム合金の鋳塊に対して、熱間圧延を実施して熱間圧延アルミニウム合金板を得る。
熱間圧延では、開始温度を３８０〜５５０℃、開始時の前記鋳塊の厚さを３５０〜６１０ｍｍ、圧延パスの回数を１２〜３０回とし、終了温度を２００〜３５０℃とする。熱間圧延により、好適には板厚が２〜１２ｍｍの熱間圧延アルミニウム合金板を得る。
【００３５】
次いで、上記熱間圧延後のアルミニウム合金板に対して、冷間圧延を実施する。冷間圧延における圧延パスの回数、冷間圧延率などの条件は、特に限定されるものではなく、要求されるアルミニウム合金板の特性などに応じて、適宜設定することができる。
また、上記冷間圧延の途中の圧延パス間には、例えば、連続焼鈍で４００〜５５０℃、１分以下、又はバッチ式焼鈍で２７０〜５００℃、１〜１２時間の中間焼鈍を実施することができる。
上記冷間圧延により好適には、板厚が０．１〜０．５ｍｍのアルミニウム合金板を得る。
【００３６】
上記のようにして得られたアルミニウム合金板は、表面清浄、粗面化処理、陽極酸化皮膜の形成、および感光剤の塗布を経て、ＰＳ版として供給することができる。
【００３７】
表面の清浄化がなされたアルミニウム合金板は、その後、表面を粗面化するために粗面化処理がなされる。この粗面化処理は、通常は、電解エッチングにより行われる。この粗面化は後述する感光剤を印刷版表面に強固に固定することおよび印刷時の非画像部に付く湿し水の保水性向上を目的として行われる。本発明では、電解エッチングを含むエッチングの条件は特に限定されるものではなく、例えば常法により行うことができる。
本発明の材料は、エッチング性に優れており、該エッチングによって、未エッチング部が少なく、均一なエッチングピットが形成された粗面が得られる。
【００３８】
さらに、上記印刷版では通常、粗面化処理後に、防食、耐摩耗、親水性のために陽極酸化皮膜を形成することができ陽極酸化皮膜処理は常法により行うことができる。
【実施例】
【００３９】
以下に、本発明の実施例について説明する。
まず、表１に示す組成（残部はその他不可避的不純物）のアルミニウム合金を溶解鋳造してスラブを得た。次いで、スラブに対して、表１に示す条件で熱間圧延、冷間圧延、冷間圧延途中の中間焼鈍をし、表１に示す製品板厚を有するアルミニウム合金板を得た。
【００４０】
【表１】
2014122408.tif 000002
【００４１】
上記のようにして得られたアルミニウム合金板について、金属間化合物数をカウントして金属間化合物の分布の均一性を評価し、また、電解エッチングを行ってその均一性を評価した。
【００４２】
金属間化合物数のカウントは、次のようにして行った。すなわち、まず、アルミニウム合金板を液温６５℃の３％水酸化ナトリウム水溶液に３０秒間浸漬して苛性エッチングを行った。次いで、苛性エッチングを行ったアルミニウム合金板の表面について、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）により倍率１，０００倍で反射電子像を撮影した。撮影された反射電子像を画像解析により解析し、円相当径０．３５〜３μｍの金属間化合物について、３０μｍ角内に観察される個数、同じく同角内で９マスの１０μｍ角内に観察される金属間化合物の個数をカウントした。さらに１０μｍ角内の観察では、１０μｍ角の９個の正方形のマスのうち、金属間化合物の個数が０個であるマスの数をカウントした。なお、金属間化合物の個数のカウントでは、金属間化合物の位置をその重心位置として、写真における金属間化合物の面積と同じ面積を有する円の直径として算出した円相当径を評価した。
表２に上記金属間化合物数などのカウントの結果を示す。
【００４３】
また、電解エッチングの均一性は、次のようにして評価した。すなわち、２５℃の１．５％塩酸中で、交流周波数５０Ｈｚ、電流密度４５Ａ／ｄｍ２、および電解時間３０秒の条件でアルミニウム合金板に対して電解エッチングを行った後、アルミニウム合金板の表面を走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）または目視により観察した。観察の結果、エッチングピットの均一性およびストリーク模様の状態を個別に評価した。
エッチングピットの均一性については、粗大なエッチングピットの集合体が無くエッチングピットが均一に形成されているものを「◎」、粗大なエッチングピットの集合体は無いがエッチングピットの形成に偏りが見られるものを「○」、未エッチング部が多いものや粗大なエッチングピットの集合体が見られるものを「×」と評価した。また、ストリーク模様の状態については、ストリークが全く観察されないものを「◎」、極軽度のストリークが観察されるが実用上問題の無いものを「○」、ストリークが観察されるものを「×」と評価した。本明細書においては「◎」及び「○」を合格、「×」を不合格とし、エッチングピットの均一性とストリーク模様の状態のいずれもが合格である必要がある。
表２に上記電解エッチングの均一性の評価結果を示す。
【００４４】
【表２】
2014122408.tif 000003
【００４５】
なお、比較例５および６では、３０μｍ角内の金属間化合物数および１０μｍ角内に観察される金属間化合物が０個のマス数のいずれも本発明の範囲内になっているものの、合金成分が本発明の範囲外となっている。このため、比較例５および６では、溶解性の不足により未エッチング部が多くなっており、さらに、比較例６では、粗大なエッチングピットの集合体が発生している。この結果、比較例５および６は、エッチングピットの均一性が不適なものになっている。