(57)【要約】【課題】室内で熱交換装置と空気清浄装置とが分離して配置される清浄化空調システムにおいて一層の省エネルギー化を達成することができる清浄化空調システムを提供すること。【解決手段】下方から室内の空気を吸い込んで冷暖房負荷を処理した空気を側方から前記室内に吹き出す熱交換装置２と、上方から前記室内の空気を吸い込んで清浄処理した空気を下方から前記室内に吹き出すインバータ付き空気清浄装置３と、前記室内の粒子濃度を測定するパーティクルセンサー１１と、パーティクルセンサー１１が測定する粒子濃度をもとにインバータ付き空気清浄装置３のインバータ周波数を可変制御してインバータ付き空気清浄装置３の風量を増減し前記室内の粒子濃度を目標濃度に制御する制御装置１０と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下方から室内の空気を吸い込んで冷暖房負荷を処理した空気を側方から前記室内に吹き出す熱交換装置と、
上方から前記室内の空気を吸い込んで清浄処理した空気を下方から前記室内に吹き出すインバータ付き空気清浄装置と、
前記室内の粒子濃度を測定するパーティクルセンサーと、
前記パーティクルセンサーが測定する粒子濃度をもとに前記インバータ付き空気清浄装置のインバータ周波数を可変制御して前記インバータ付き空気清浄装置の風量を増減し前記室内の粒子濃度を目標濃度に制御する制御装置と、
を備えたことを特徴とする清浄化空調システム。
【請求項２】
前記パーティクルセンサーおよび／または前記インバータ付き空気清浄装置は、前記室内に複数配置され、
前記制御装置は、１以上の前記パーティクルセンサーと１以上の前記インバータ付き空気清浄装置との重複を許した組み合わせの対応付けごとに制御することを特徴とする請求項１に記載の清浄化空調システム。
【請求項３】
前記制御装置は、前記対応付けの際、前記パーティクルセンサーが複数である場合、該パーティクルセンサーが測定する平均粒子濃度をもとに制御することを特徴とする請求項２に記載の清浄化空調システム。
【請求項４】
前記インバータ付き空気清浄装置は、前記室内の局所に向けて前記空気を吹き出すインバータ付き局所空気清浄装置であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の清浄化空調システム。
【請求項５】
前記インバータ付き空気清浄装置は、前記室内に複数配置され、複数の前記インバータ付き空気清浄装置のうち少なくとも１つは、前記室内の局所に向けて前記空気を吹き出すインバータ付き局所空気清浄装置であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の清浄化空調システム。
【請求項６】
前記制御装置は、前記対応付けごとに、異なる前記目標濃度を設定することを特徴とする請求項２〜５のいずれか一つに記載の清浄化空調システム。
【請求項７】
前記制御装置は、予め設定された所定時間帯ごとに、異なる前記目標濃度を設定することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の清浄化空調システム。
【請求項８】
前記制御装置は、前記室内の稼動状態に応じて、異なる前記目標濃度を設定することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の清浄化空調システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、熱交換装置と空気清浄装置とを用いて室内の空気の熱処理及び清浄化処理を行う清浄化空調システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のクリーンルームなどでは、熱処理と清浄化処理とが連結した空調システムが適用されていた。この従来の空調システムでは、例えば、発塵量が少ない時に、風量を少なくして清浄度を目標値に近づけようとすると、熱処理能力が不足してしまい、室内温度を一定に維持することができなくなる場合があった。
【０００３】
これに対し、特許文献１，２では、熱処理を行う熱交換装置と清浄化処理を行う空気清浄装置とを分離して室内に設け、室内の清浄度を適切に維持するために空気清浄装置の風量を少なくしても、熱交換装置の熱処理能力に大きな影響を及ぼさずに、室内の温度を一定に保つことができるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４２７５９６９号公報
【特許文献２】特許第４６０９６９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１，２に記載したものでは、空気清浄装置の風量を固定にして運転しているため、クリーンルームの稼働状態によって発塵量が変動し、これによって過剰な清浄度になっている場合がある。この場合、無駄なエネルギーが使用されることになり、一層の省エネルギー化が要望されていた。
【０００６】
この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、室内で熱交換装置と空気清浄装置とが分離して配置される清浄化空調システムにおいて一層の省エネルギー化を達成することができる清浄化空調システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、この発明にかかる清浄化空調システムは、下方から室内の空気を吸い込んで冷暖房負荷を処理した空気を側方から前記室内に吹き出す熱交換装置と、上方から前記室内の空気を吸い込んで清浄処理した空気を下方から前記室内に吹き出すインバータ付き空気清浄装置と、前記室内の粒子濃度を測定するパーティクルセンサーと、前記パーティクルセンサーが測定する粒子濃度をもとに前記インバータ付き空気清浄装置のインバータ周波数を可変制御して前記インバータ付き空気清浄装置の風量を増減し前記室内の粒子濃度を目標濃度に制御する制御装置と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
また、この発明にかかる清浄化空調システムは、上記の発明において、前記パーティクルセンサーおよび／または前記インバータ付き空気清浄装置は、前記室内に複数配置され、前記制御装置は、１以上の前記パーティクルセンサーと１以上の前記インバータ付き空気清浄装置との重複を許した組み合わせの対応付けごとに制御することを特徴とする。
【０００９】
また、この発明にかかる清浄化空調システムは、上記の発明において、前記制御装置は、前記対応付けの際、前記パーティクルセンサーが複数である場合、該パーティクルセンサーが測定する平均粒子濃度をもとに制御することを特徴とする。
【００１０】
また、この発明にかかる清浄化空調システムは、上記の発明において、前記インバータ付き空気清浄装置は、前記室内の局所に向けて前記空気を吹き出すインバータ付き局所空気清浄装置であることを特徴とする。
【００１１】
また、この発明にかかる清浄化空調システムは、上記の発明において、前記インバータ付き空気清浄装置は、前記室内に複数配置され、複数の前記インバータ付き空気清浄装置のうち少なくとも１つは、前記室内の局所に向けて前記空気を吹き出すインバータ付き局所空気清浄装置であることを特徴とする。
【００１２】
また、この発明にかかる清浄化空調システムは、上記の発明において、前記制御装置は、前記対応付けごとに、異なる前記目標濃度を設定することを特徴とする。
【００１３】
また、この発明にかかる清浄化空調システムは、上記の発明において、前記制御装置は、予め設定された所定時間帯ごとに、異なる前記目標濃度を設定することを特徴とする。
【００１４】
また、この発明にかかる清浄化空調システムは、上記の発明において、前記制御装置は、前記室内の稼動状態に応じて、異なる前記目標濃度を設定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、制御装置が、パーティクルセンサーが測定する粒子濃度をもとにインバータ付き空気清浄装置のインバータ周波数を可変制御して前記インバータ付き空気清浄装置の風量を増減し室内の粒子濃度を目標濃度に制御するようにしているので、粒子濃度が目標濃度以下の場合に、インバータ周波数を小さくして消費電力を抑えることができるので、一層の省エネルギー化を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、この発明の実施の形態１である清浄化空調システムが適用されるクリーンルームを側面からみた模式図である。
【図２】図２は、図１に示したクリーンルームを上面からみた模式図である。
【図３】図３は、クリーンルーム室内に設けられるインバータ付き空気清浄装置の構成を示す図である。
【図４】図４は、インバータ付き空気清浄装置のインバータ周波数の変化に伴う風量変化と消費電力変化を示す図である。
【図５】図５は、インバータ周波数を変化させた時のクリーンルーム室内の温度変化とインバータ付き空気清浄装置の消費電力の変化を示す図である。
【図６】図６は、従来の熱処理と清浄化処理とを連結した空調システムにおいてインバータ周波数を変化させて風量を変化させた場合のクリーンルーム室内の温度変化を示す図である。
【図７】図７は、インバータ付き空気清浄装置に対する風量制御時における粒子濃度変化と消費電力変化とを示す図である。
【図８】図８は、発塵源をクリーンルーム内で移動させたときの、インバータ付き空気清浄装置に対する風量制御時における粒子濃度変化と消費電力変化とを示す図である。
【図９】図９は、パーティクルセンサーとインバータ付き空気清浄装置との制御対応関係の一例を示す図である。
【図１０】図１０は、所定の時間帯ごとに異なる目標濃度を設定することができる清浄化空調システムの一例を示す図である。
【図１１】図１１は、生産装置の稼動状態に応じて異なる目標濃度を設定することができる清浄化空調システムの一例を示す図である。
【図１２】図１２は、この発明の実施の形態２である清浄化空調システムが適用されるクリーンルームを側面からみた模式図である。
【図１３】図１３は、インバータ付き局所空気清浄装置の構成を示す側面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照してこの発明を実施するための形態について説明する。 
【００１８】
（実施の形態１）
［クリーンルームの全体構成］
図１は、この発明の実施の形態１である清浄化空調システムが適用されるクリーンルームを側面からみた模式図である。また、図２は、図１に示したクリーンルームを上面からみた模式図である。なお、図２では、制御系の図示を省略している。
【００１９】
図１及び図２に示すように、クリーンルーム室内１の上部には、２つの熱交換装置２と６つのインバータ付き空気清浄装置３とが配置される。熱交換装置２は、ＦＣＵ（Fan Coil Unit）であり、クリーンルーム室内１の空気を吸い込んで冷暖房負荷を熱処理（熱除去）した空気をクリーンルーム室内１に吹き出す。インバータ付き空気清浄装置３は、ＦＦＵ（Fan Filter Unit）であり、クリーンルーム室内１の空気を吸い込んで清浄処理した空気をクリーンルーム室内１に吹き出す。インバータ付き空気清浄装置３の吹出口には、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタが設けてある。また、インバータ付き空気清浄装置３には、インバータが設けられ、インバータ周波数を制御することによって、ファンモータの回転数を制御して風量を増減してクリーンルーム室内１の粒子濃度を目標粒子濃度に近づける。なお、このクリーンルーム室内１は、ＩＳＯクラス６〜８の清浄度を実現するものである。
【００２０】
インバータ付き空気清浄装置３は、熱交換装置２から吹き出した空気を吸い込むように配置される。インバータ付き空気清浄装置３が吹き出した空気は、クリーンルーム室内１の下部の床面４に到達した後、クリーンルーム室内１の上部に向けて対流する。熱交換装置２は、インバータ付き空気清浄装置３が吹き出してクリーンルーム室内１の上部に対流した空気を吸い込んで、熱処理した空気をインバータ付き空気清浄装置３に向けて吹き出す。このように、熱交換装置２で熱処理された空気をインバータ付き空気清浄装置３で清浄化処理し、この２つの処理が行われた空気がクリーンルーム室内１に吹き出されるとともにクリーンルーム室内１を循環する。なお、熱交換装置２が吹き出す空気の風速は、例えば、１〜２ｍ／ｓｅｃである。また、インバータ付き空気清浄装置３が吹き出す空気の風速は、例えば、０．３〜１．０ｍ／ｓｅｃである。
【００２１】
図１に示すように、熱交換装置２は、インバータ付き空気清浄装置３よりも上方に配置してある。熱交換装置２は、空気を下方から吸い込み、熱処理後の空気を側方または上方から吹き出す。一方、インバータ付き空気清浄装置３は、熱交換装置２が処理した空気を上方から吸い込み、清浄処理後の空気を下方に吹き出す。
【００２２】
図２に示すように、１つの熱交換装置２に対応して４つのインバータ付き空気清浄装置３が配置される。ここで、熱交換装置２は、クリーンルーム室内１に対して斜め四方に清浄化処理された空気が吹き出すように配置される。そして、熱交換装置２間に配置される２つのインバータ付き空気清浄装置３は、各熱交換装置２にそれぞれ重複対応して配置される。なお、半導体装置などを生産する生産装置５は、クリーンルーム室内１の中央側部に配置されたインバータ付き空気清浄装置３の下部に設けられている。
【００２３】
このような熱交換装置２とインバータ付き空気清浄装置３との配置によって、熱交換装置２の吹出気流を自由空間でダクトなしでインバータ付き空気清浄装置３に受け渡される。したがって、熱交換装置２の熱処理に必要な空調機風量とインバータ付き空気清浄装置３の清浄化処理に必要な空調機風量とに違いが発生した場合に、ダクトで接続されているときのように、各風量を合わせるために大きい方の風量となる制御を行う必要がないため、消費電力を抑えることができる。
【００２４】
［インバータ付き空気清浄装置の構成］
図３に示すように、インバータ付き空気清浄装置３の吹出口には、ＨＥＰＡフィルタ７が設けられ、このＨＥＰＡフィルタ７の下部には、さらに拡散部材６が設けられる。拡散部材６は、パンチングメタルまたはメッシュなどからなる。拡散部材６の周囲（斜線部分）は、全体の開口率より小さい開口率のパンチングメタルを使用し、これにより、フィルタ周辺の開口６ｂより斜め方向の気流を作り、フィルタ下部に広い分布の清浄域を作る。拡散部材６は、支持体６ａを介してインバータ付き空気清浄装置３の吹出口に取り付けられる。支持体６ａは、例えばインバータ付き空気清浄装置３の四隅などにあり、インバータ付き空気清浄装置３の吹出口の側縁部と拡散部材６との間に開口６ｂを形成する。この開口６ｂは、吹出口の側縁部の通気が弱いため、吹出口全面を拡散部材で覆ってしまうと、吹出口からの空気をインバータ付き空気清浄装置３自身の吸込口から吸い込んでしまうのを防ぎ、かつ、斜めに気流を吹き出すために設けてある。
【００２５】
インバータ付き空気清浄装置３の吸込口には、インバータ３ａ，モータ３ｂ，羽根３ｃを有する。インバータ３ａは、モータ３ｂを回転駆動することによって羽根３ｃを回転させ、風量を制御する。モータ３ｂの回転速度は、インバータ３ａのインバータ周波数によって決定される。
【００２６】
［インバータ付き空気清浄装置に対する風量制御と消費電力との関係］
ところで、図１に示すように、この実施の形態１では、クリーンルーム室内１に、粒子濃度を計測するパーティクルセンサー１１が設けられている。一方、この実施の形態１の空気清浄装置は、インバータを内蔵したインバータ付き空気清浄装置３である。各パーティクルセンサー１１及び各インバータ付き空気清浄装置３は、クリーンルーム室外に設けられた制御装置１０に接続されている。なお、制御装置１０は、クリーンルーム室内に設けてもよい。
【００２７】
制御装置１０には、各パーティクルセンサー１１が測定した粒子濃度が入力される。制御装置１０は、これら測定した粒子濃度の平均値を求め、この平均値が目標粒子濃度となるように、各インバータ付き空気清浄装置３の風量を増減する制御を行う。このインバータ付き空気清浄装置３の風量制御は、インバータ周波数の増減制御を行って、羽根３ｃを回転駆動するモータ３ｂの回転制御を行うことによってなされる。
【００２８】
図４に示すように、インバータ付き空気清浄装置３の風量は、インバータ周波数の増加に伴って比例的に増大する。また、インバータ付き空気清浄装置３の消費電力は、インバータ周波数の増加に伴って指数関数的に増大する。すなわち、インバータ周波数の低周波数域では、インバータ周波数の変化に対して電力の変化が小さい。いずれにしても、粒子濃度が低い場合、風量を落とせばいいが、この場合、消費電力も小さくすることができる。
【００２９】
［インバータ付き空気清浄装置に対する風量制御時の温度分布］
図５は、インバータ周波数を変化させた時のクリーンルーム室内１の温度変化とインバータ付き空気清浄装置３の消費電力の変化を示す図である。この場合、熱交換装置２の目標温度は、２２．５℃である。図５に示すように、１時間毎に、インバータ周波数を、２０Ｈｚ→３０Ｈｚ→４０Ｈｚ→４５．３Ｈｚ→２０Ｈｚ→２０Ｈｚ→３０Ｈｚに変化させた場合、クリーンルーム室内１内の温度変動は、目標温度に対して±１℃に収まっている。すなわち、インバータ付き空気清浄装置３のインバータ周波数を変化させて風量を増減しても、熱交換装置２の制御に大きな影響を及ぼさず、消費電力を小さくすることができることになる。
【００３０】
これに対して、図６は、従来の熱処理と清浄化処理とを連結した空調システムにおいてインバータ周波数を変化させて風量を変化させた場合のクリーンルーム室内の温度変化を示す図である。図６に示すように、従来の熱処理と清浄化処理とを連結した空調システムでは、インバータ周波数を変動させて風量を増減すると、熱処理に影響を及ぼし、目標温度から５℃以上、乖離している。
【００３１】
［インバータ付き空気清浄装置による風量制御時の粒子濃度変化と消費電力変化］
図７は、インバータ付き空気清浄装置３に対する風量制御（目標濃度制御）時における粒子濃度変化と消費電力変化とを示す図である。図７では、発塵源として掃除機を用い、クリーンルーム内の掃除機の台数を変化させることによって、クリーンルーム室内１の粒子濃度を変化させている。また、比較のため、インバータ周波数制御による目標濃度制御を行った場合とインバータ周波数を固定とした場合との粒子濃度変化と消費電力変化も示している。インバータ周波数の固定は、３５Ｈｚで、換気回数は４０回／ｈである。なお、目標濃度は、ＩＳＯクラス７を維持するように、８０００個／ｃｆとしている。
【００３２】
図７に示すように、インバータ周波数の可変制御による目標濃度制御を行うと、粒子濃度が目標濃度以下になった場合、インバータ周波数が低くなり、消費電力を小さくすることができるが、インバータ周波数を固定にした制御の場合、粒子濃度が目標濃度以下になっても消費電力が小さくならない。この結果、インバータ周波数の可変制御の場合、インバータ周波数の固定制御に比して、約４０％の省エネルギー化を達成できた。
【００３３】
さらに、図８は、発塵源をクリーンルーム内で移動させたときの、インバータ付き空気清浄装置３に対する風量制御時における粒子濃度変化と消費電力変化とを示す図である。この場合、図７と同様に、２台の掃除機を発塵源として用い、さらにそのうちの１台を人間が持って移動するパターンを加えている。この場合も、図７と同様に、インバータ周波数の可変制御の場合、インバータ周波数の固定制御に比して、約４０％の省エネルギー化を達成できた。
【００３４】
［パーティクルセンサーとインバータ付き空気清浄装置との制御対応関係］
上述した制御装置１０は、３つのパーティクルセンサー１１の平均粒子濃度をもとに３つのインバータ付き空気清浄装置３を制御するようにしていたが、パーティクルセンサー１１とインバータ付き空気清浄装置３との制御対応関係は、任意に設定できる。
【００３５】
例えば、図９に示すように、パーティクルセンサー１１−１〜１１−３とインバータ付き空気清浄装置３−１〜３−３とをそれぞれ制御グループＧ１〜Ｇ３としてそれぞれに対応付け、制御装置１０は、各グループＧ１〜Ｇ３に対して個別に制御するようにしてもよい。
【００３６】
この場合、例えば、生産装置５の近傍に複数のパーティクルセンサー１１−２がある場合、制御装置１０は、複数のパーティクルセンサー１１−２の平均粒子濃度をもとにインバータ付き空気清浄装置３−２を制御することができる。
【００３７】
また、制御グループＧ１，Ｇ３を１つの制御グループとして、制御装置１０は、パーティクルセンサー１１−１，１１−３の平均粒子濃度をもとにインバータ付き空気清浄装置３−１，３−３を制御することができる。
【００３８】
さらに、この対応付けは、重複してもよい。例えば、制御装置１０は、パーティクルセンサー１１−２の粒子濃度をもとにインバータ付き空気清浄装置３−２を制御するとともに、パーティクルセンサー１１−１〜１１−３の粒子濃度をもとにインバータ付き空気清浄装置３−１，３−３を制御することができる。この場合、パーティクルセンサー１１−２には、重複した対応付けが設定される。
【００３９】
すなわち、制御装置１０は、１以上のパーティクルセンサー１１と１以上のインバータ付き空気清浄装置３とを、重複を許した組み合わせの対応付けをし、各対応付けごとに独立した個別制御を行うことができる。そして、制御装置１０は、対応付けられたパーティクルセンサーが複数である場合、これらの平均粒子濃度を用いて制御することができる。
【００４０】
［制御装置が設定する目標濃度］
ところで、制御装置１０が設定する目標濃度は、室内１において１つであることを前提として説明したが、これに限らず、例えば、上述した制御の対応付けごとに、具体的には制御グループＧ１〜Ｇ３ごとに異なる目標濃度を設定するようにしてもよい。例えば、生産装置５近傍は清浄度を高くする必要があるため、制御グループＧ２のインバータ付き空気清浄装置３−２に対する目標濃度を低く設定し、他の制御グループＧ１，Ｇ３に対しては、目標濃度を高く設定することが好ましい。この異なる目標濃度設定によって、室内１の消費電力を抑えることができる。
【００４１】
また、図１０に示すように、制御装置１０は、時計１０ａを有し、スケジューリングによって決定された所定の時間帯によって異なる目標濃度を設定するようにしてもよい。例えば、室内１が稼動状態でない夜間は目標濃度を高く設定し、室内１が稼動状態である昼間は目標濃度を低く設定して清浄度を高くする。なお、この目標濃度設定は、上述した各制御グループごとに設定することができる。この異なる目標濃度設定によって、室内１の消費電力を抑えることができる。
【００４２】
さらに、図１１に示すように、制御装置１０は、生産装置５の稼動状態を検出し、生産装置５が稼動状態の場合に、目標濃度を低く設定して清浄度を高くし、生産装置５が稼動状態でない場合に、目標濃度を高く設定する。なお、この目標濃度設定は、上述した各制御グループごとに設定することができる。この異なる目標濃度設定によって、室内１の消費電力を抑えることができる。
【００４３】
この実施の形態１では、熱交換装置２とインバータ付き空気清浄装置３とがダクトでなく、自由空間で接続されているため、熱交換装置２とインバータ付き空気清浄装置３とに対する風量制御を独自に行うことができることによる省エネルギー化に加え、インバータ付き空気清浄装置３をインバータ周波数制御することによって、粒子濃度が低い場合に消費電力を抑えることができるため、従来に比して各段の省エネルギー化を達成することができる。
【００４４】
また、各制御グループＧ１〜Ｇ３ごと、所定の時間帯ごと、さらには生産装置５の稼動状態に応じて、必要最小限の清浄度を得るべく、異なる目標濃度を設定するようにしているので、一層の省エネルギー化を達成することができる。
【００４５】
（実施の形態２）
［全体構成］
この実施の形態２では、図１２に示すように、実施の形態１の生産装置５の上部に位置するインバータ付き空気清浄装置３に替えてインバータ付き局所空気清浄装置１３を設けている。その他の構成は、実施の形態１と同じである。このインバータ付き局所空気清浄装置１３は、インバータ付き空気清浄装置３に比して風量容量が大きく、熱交換装置２の吹き出した空気を吸い込んで清浄化処理した空気を生産装置５という局所に向けて吹き出すようにしている。例えば、インバータ付き局所空気清浄装置１３が吹き出す空気の風速は、０．６〜２．０ｍ／ｓｅｃである。この局所での清浄度は、ＩＳＯクラス４〜５程度である。
【００４６】
［インバータ付き局所空気清浄装置の構成］
図１３に示すようにインバータ付き局所空気清浄装置１３は、ケーシング３１を基に構成してある。ケーシング３１は、天板３１ａおよび周板３１ｂを有し、下方に向けて空気吹出口３１ｃを開設して形成してある。
【００４７】
ケーシング３１の天板３１ａには、ファン３２が設けてある。ファン３２は、天板３１ａを貫通するファンケース３２ａを有している。ファンケース３２ａは、ケーシング３１の上方に向けて開設した吸込口３２ｂと、ケーシング３１の内部において側方に向けて開設した吹出口３２ｃとを有している。ファンケース３２ａの内部には、インバータ３２ｆと、モータ３２ｄと、モータ３２ｄの出力軸に設けた羽根３２ｅと、が設けてある。ファン３２は、モータ３２ｄを駆動して回転する羽根３２ｅによって吸込口３２ｂから空気を吸込んでケーシング３１の内部に送る。すなわち、ファン３２の吸込口３２ｂがインバータ付き局所空気清浄装置１３の空気吸込口をなす。ケーシング３１の空気吹出口３１ｃには、ＨＥＰＡフィルタ３３が設けてある。
【００４８】
ケーシング３１の内部において、ファン３２の吹出口３２ｃから側方に送り込まれた空気の流れは、周板３１ｂで反射し、空気吹出口３１ｃの口形の中央に向けられる。なお、周板３１ｂに沿った空気の風速は大きく、空気吹出口３１ｃの周縁から吹き出す空気の流れでエアカーテンが形成される。
【００４９】
また、図１３に示すように空気吹出口３１ｃには、風向案内手段が設けてある。風向案内手段は、板片状の羽根板３８からなる。羽根板３８は、空気吹出口３１ｃの周縁部分に配置され、空気吹出口３１ｃの口形に沿って空気の吹出し方向に延在してあって、空気吹出口３１ｃの差し渡し方向に複数並設してある。また、各羽根板３８は、空気吹出口３１ｃの差し渡し方向に順次偏角して空気の吹出し方向に向けて拡開して設けてある。具体的には、最も内側の羽根板３８がほぼ垂直に垂下し、そこから外側の羽根板３８が垂直からの偏角が外側に向けて順次大きくなるように折曲して形成してある。すなわち、風速を大きくして吹出された空気吹出口３１ｃの周縁部分の空気は、羽根板３８によってその延在方向に案内されることになる。このため、上記風速調整手段によって形成されたエアカーテンの向きが安定する。また、各羽根板３８が差し渡し方向に順次偏角して空気の吹出し方向に向けて拡開して設けてあるので、エアカーテンが空気吹出口３１ｃから拡開して形成される。
【００５０】
図１３に示すように空気吹出口３１ｃには、誘引防止手段が設けてある。誘引防止手段は、板片状の仕切板３９からなる。仕切板３９は、空気吹出口３１ｃの外周縁に沿うようにケーシング３１における周板３１ｂの外面に設けてあって、空気吹出口３１ｃからの空気の吹出し方向に延在して配置してある。また、仕切板３９は、風向案内手段の羽根板３８とともに空気の吹出し方向に向けて拡開して設けてある。すなわち、空気吹出口３１ｃから吹出す空気が、仕切板３９の内側と外側とで仕切られることになる。このため、整流板３６のスリット孔３６ａ及び風向案内手段によって形成されたエアカーテンが、その外部にある清浄化されていない空気を誘引するおそれがあるが、最も誘引が生じる空気吹出口３１ｃの外周縁を仕切板３９によって仕切っているので誘引が生じる事態を防いでいる。
【００５１】
［インバータ付き局所空気清浄装置の風量制御］
このインバータ付き局所空気清浄装置１３は、インバータ付き空気清浄装置３と同様に、制御装置１０によるインバータ周波数制御によって風量制御される。ここでは、生産装置５の近傍で、局所に対応する位置に、１つのパーティクルセンサー１１が配置される。制御装置１０は、この局所に配置されたパーティクルセンサー１１が測定する粒子濃度が目標濃度となるように、インバータ付き局所空気清浄装置１３のインバータ周波数を可変制御する。
【００５２】
なお、実施の形態１と同様に、制御装置１０は、局所に複数のパーティクルセンサー１１が配置された場合、これらの平均粒子濃度をもとに制御することができる。また、局所以外に配置されたパーティクルセンサー１１の測定値である粒子濃度の平均値をもとに、局所以外に配置されたインバータ付き空気清浄装置３のインバータ周波数を制御することによって風量を制御することができる。また、目標濃度も実施の形態１と同様に異なる設定を行うことができる。すなわち、この実施の形態２では、インバータ付き局所空気清浄装置１３を、実施の形態１におけるインバータ付き空気清浄装置３と同様にして制御することができる。
【００５３】
なお、この実施の形態２において、室内１にインバータ付き局所空気清浄装置１３のみを設けてもよい。さらに、インバータ付き局所空気清浄装置１３の替わりに、複数のインバータ付き空気清浄装置３を密集配置させてもよい。
【符号の説明】
【００５４】
１  クリーンルーム室内
２  熱交換装置
３，３−１〜３−３  インバータ付き空気清浄装置
３ａ  インバータ
３ｂ  モータ
３ｃ  羽根
４  床面
５  生産装置
６  拡散部材
６ａ  支持体
６ｂ  開口
７，３３  ＨＥＰＡフィルタ
１０  制御装置
１０ａ  時計
１１，１１−１〜１１−３  パーティクルセンサー
１３  インバータ付き局所空気清浄装置
３１  ケーシング
３１ａ  天板
３１ｂ  周板
３１ｃ  空気吹出口
３２ｆ  インバータ
３２  ファン
３２ａ  ファンケース
３２ｂ  吸込口
３２ｃ  吹出口
３２ｄ  モータ
３２ｅ  羽根
３６  整流板
３６ａ  スリット孔
３８  羽根板
３９  仕切板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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