(57)【要約】【課題】長尺の粘着テープをハーフカットして粘着テープ片を形成し、当該粘着テープ片をリングフレームに精度よく貼り付ける。【解決手段】長尺のキャリアテープに長尺の粘着テープを貼り合わせた原反テープＴＲを原反ロールから繰り出し、原反テープＴＲの幅方向の両側で円弧形状を有し、かつ、長手方向の前後で直線形状を有する環状の切断部材で粘着テープＴをキャリアテープ上で粘着テープ片ｔａにハーフカットし、キャリアテープをエッジ部材で折り返し走行させることにより、粘着テープ片ｔａをキャリアテープから剥離しつつ、剥離速度と同調して相対的に移動されるリングフレームに粘着テープ片ｔａを貼付ける。【選択図】図１
2014017357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リングフレームと半導体ウエハとに亘って貼り付ける粘着テープであって、
対向する直線状の端辺と直線状の当該両端辺と連結した円弧状の端辺を有する複数枚の粘着テープ片を、互いの直線状の端辺を近接対向させて長尺のキャリアテープ上に整列配備して構成した
ことを特徴とする粘着テープ。
【請求項２】
請求項１に記載の粘着テープをリングフレームに貼り付ける粘着テープ貼付け方法であって、
長尺のキャリアテープに長尺の粘着テープを貼り合わせた原反テープを原反ロールから繰り出す繰り出し過程と、
前記原反テープの幅方向の両側で円弧形状を有し、かつ、長手方向の前後で直線形状を有する環状の切断部材で前記粘着テープをキャリアテープ上で粘着テープ片にハーフカットする切断過程と、
前記キャリアテープをエッジ部材で折り返し走行させることにより、前記粘着テープ片をキャリアテープから剥離しつつ、剥離速度と同調して相対的に移動されるリングフレームに粘着テープ片を貼付ける貼付け過程と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ貼付け方法。
【請求項３】
請求項２に記載の粘着テープ貼付け方法において、
前記切断部材は、円弧形状と直線形状を連ねた環状の切断刃を有する切断ローラである
ことを特徴とする粘着テープ貼付け方法。
【請求項４】
請求項１に記載の粘着テープをリングフレームに貼り付ける粘着テープ貼付け装置であって、
長尺のキャリアテープに長尺の粘着テープを貼り合わせた原反テープを原反ロールから送り出すテープ供給部と、
前記テープ供給部から繰り出された原反テープを所定のテープ搬送経路に沿って走行させエッジ部材に導くテープ走行案内機構と、
前記テープ搬送経路に配備された粘着テープの幅方向の両側で円弧形状を有し、かつ、長手方向の前後で直線形状を有する環状の切断部材によりキャリアテープ上で粘着テープを粘着テープ片にハーフカットするテーププリカット機構と、
前記キャリアテープを折り返して粘着テープ片を剥離するエッジ部材と、
前記リングフレームを保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルと貼付けローラをテープ走行速度に同調させて相対的に移動させながら前記エッジ部材によりキャリアテープから剥離された粘着テープ片を当該貼付ローラで押圧して保持テーブル上のリングフレームに貼り付けるテープ貼付機構と、
前記粘着テープ片が剥離されたキャリアテープを回収するキャリアテープ回収部と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。
【請求項５】
請求項４に記載の粘着テープ貼付け装置において、
前記切断部材は、円弧形状と直線形状を連ねた環状の切断刃を有する切断ローラである
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハを保持するためのリングフレームに貼り付ける粘着テープと、当該粘着テープをリングフレームに貼り付ける粘着テープの貼付け方法および粘着テープ貼付け装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
バックグラインド処理によって薄型化された半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）に剛性を持たせて取り扱いを容易にするとともに、ダイシング処理を行うために、支持用の粘着テープ（ダイシングテープ）を介してリングフレームの中央でウエハを接着保持している。
【０００３】
ダイシングテープの貼付け処理は、例えば、次にように実施例されている。帯状のベースシートに添設された帯状の粘着フィルムをロールから繰り出し、ベースシート上で当該粘着フィルムを円形にプリカットしてダイシングテープを形成している。ダイシングテープの形成されたベーステープをエッジ部材からなる貼付け手段まで導き、ベーステープを折り返してダイシングテープを剥離する。剥離されたダイシングテープを、リングフレームと当該リングフレームの中央に配置されたウエハとに亘って同時に貼り付ける（特許文献１を参照）。
【０００４】
このダイシングテープは、図４（ｃ）に示すように、円形のダイシングテープが所定間隔をおいてベースシート上に整列して形成されるとこになる。
【０００５】
また、ダイシングテープとしては、図４（ａ）に示すように、ベースシート上で帯状素材を長手方向の前後左右の４カ所に直線部を有するよう略円形にハーフカットするとともに、複数枚のダイシングテープが前後で直接部を互いに線接触して連なっている（特許文献２を参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【特許文献２】特開２０１１−１９２８５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図４（ｃ）に示すダイシングテープは、所定間隔をおいてハーフカットして形成されており、１つの間隔だけを見れば短い距離なので、廃棄することに支障はないように思われる。しかしながら、原反ロール単位でみれば、円形に切り抜かれるダイシングテープの枚数が多数になることから、累積的に廃棄量が増す。したがって、リングフレームとウエハへの粘着テープの貼付処理において、ダイシングテープを巻回した原反ロールの交換頻度が増して作業効率を低下させているといった問題がある。
【０００８】
また、図４（ａ）に示すダイシングテープは、粘着テープ片の直線部同士を線接触させているので、長手方向に廃棄する部分が生じない。しかしながら、ベースシートから粘着テープ片を剥離するとき、ハーフカットされているにも関わらず、剥離対象の粘着テープ片と後続の粘着テープ片の粘着層が互いに引っ付いていることが頻繁にある。
【０００９】
このような状態でテープ貼付処理を継続すると、後続の粘着テープ片の先端側に皺が生じる。したがって、リングフレームにダイシングテープを精度よく密着させることができないといった問題が生じている。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、リングフレームに貼り付ける粘着テープを帯状の粘着テープから効率よく切り抜くとともに、リングフレームに精度よく貼り付けることができる粘着テープ、粘着テープの貼付け方法および粘着テープ貼付け装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、リングフレームと半導体ウエハとに亘って貼り付ける粘着テープであって、
対向する直線状の端辺と直線状の当該両端辺と連結した円弧状の端辺を有する複数枚の粘着テープ片を、互いの直線状の端辺を近接対向させて長尺のキャリアテープ上に整列配備して構成したことを特徴とする。
【００１２】
（作用・効果）  上記粘着テープによれば、キャリアテープの長手方向の前後に直線状の端辺を有する複数枚の粘着テープ片が、互いに直線状の端辺を近接対向させるように構成されているので、一枚当たりの粘着テープ片の使用量を低減すことができる。また、前後の粘着テープ片の間の切り抜き部分の距離が短くなるので、ハーフカットした後の粘着テープの廃棄部分を低減すことができる。したがって、キャリアテープ上に設ける粘着テープ片の枚数を増やすことができ、粘着テープのロールの交換頻度を低減することができる。
【００１３】
また、粘着テープは、キャリアテープの側端辺に沿って平行な一対の直線状の端辺を有していてもよい。すなわち、粘着テープは、前後左右に４本の直線状の端辺を有する形状であってもよい。当該粘着テープによれば、幅広の原反ロールから所定幅の粘着テープにスリットし、複数個の粘着テープのロールを製造する場合、幅方向に円弧状の端辺を形成する粘着テープに比べて、より多くのロールを製造することができる。また、原反ロールの廃棄量を低減することもできる。
【００１４】
また、この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
【００１５】
すなわち、粘着テープをリングフレームに貼り付ける粘着テープ貼付け方法であって、
長尺のキャリアテープに長尺の粘着テープを貼り合わせた原反テープを原反ロールから繰り出す繰り出し過程と、
前記原反テープの幅方向の両側で円弧形状を有し、かつ、長手方向の前後で直線形状を有する環状の切断部材で前記粘着テープをキャリアテープ上で粘着テープ片にハーフカットする切断過程と、
前記キャリアテープをエッジ部材で折り返し走行させることにより、前記粘着テープ片をキャリアテープから剥離しつつ、剥離速度と同調して相対的に移動されるリングフレームに粘着テープ片を貼付ける貼付け過程と、
を備えたことを特徴とする。
【００１６】
（作用・効果）  この方法によれば、前後方向に直線状の端辺を有する粘着テープ片を原反テープからハーフカットして形成し、キャリアテープから粘着テープ片を剥離しながらリングフレームに貼り付けることができる。したがって、長手方向での粘着テープの使用量および粘着テープ片に切り抜かれた後の当該粘着テープ片の間の廃棄部分を低減することができる。換言すれば、原反ロール当たりの粘着テープ片の切り出し量が増えるので、原反ロールの交換頻度を低減することができる。
【００１７】
また、剥離対象の粘着テープ片と後続の粘着テープ片は、従来タイプのように互いに線接触していないので、処理対象の粘着テープ片を剥離したとき、後続の粘着テープ片の先端側と粘着層を介して再接着していることがないので、後続の粘着テープ片の先端に皺などを発生させることがない。したがって、リングフレームに粘着テープ片を密着させることができる。
【００１８】
なお、切断部材は、例えば、円弧形状と直線形状を連ねた環状の切断刃を有する切断ローラを利用する。
【００１９】
この方法によれば、粘着テープの繰り出し速度に同調させて粘着テープ上で切断ローラを押圧転動させることにより粘着テープ片にハーフカットすることができる。つまり、原反テープの搬送を停止させる必要ない。したがって、粘着テープ片のハーフカットとリングフレームへの粘着テープ片の貼り付けを効率よく実施することができる。
【００２０】
また、この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
【００２１】
すなわち、粘着テープをリングフレームに貼り付ける粘着テープ貼付け装置であって、
長尺のキャリアテープに長尺の粘着テープを貼り合わせた原反テープを原反ロールから送り出すテープ供給部と、
前記テープ供給部から繰り出された原反テープを所定のテープ搬送経路に沿って走行させエッジ部材に導くテープ走行案内機構と、
前記テープ搬送経路に配備された粘着テープの幅方向の両側で円弧形状を有し、かつ、長手方向の前後で直線形状を有する環状の切断部材によりキャリアテープ上で粘着テープを粘着テープ片にハーフカットするテーププリカット機構と、
前記キャリアテープを折り返して粘着テープ片を剥離するエッジ部材と、
前記リングフレームを保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルと貼付けローラをテープ走行速度に同調させて相対的に移動させながら前記エッジ部材によりキャリアテープから剥離された粘着テープ片を当該貼付ローラで押圧して保持テーブル上のリングフレームに貼り付けるテープ貼付機構と、
前記粘着テープ片が剥離されたキャリアテープを回収するキャリアテープ回収部と、
を備えたことを特徴とする。
【００２２】
（作用・効果）  この構成によれば、テープ走行速度に同調させながらテープ搬送経路上で長尺の原反テープから粘着テープ片をハーフカットした後に、当該粘着テープ片をキャリアテープから剥離しつつリングフレームに貼り付けることができる。すなわち、この構成によって上記方法を好適に実施することができる。
【００２３】
なお、切断部材は、円弧形状と直線形状を連ねた環状の切断刃を有する切断ローラであることが好まし。
【００２４】
この構成によれば、長尺の粘着テープから粘着テープ片をハーフカットするとき、原反テープの搬送を停止させることなく、粘着テープのハーフカットおよびリングフレームへの粘着テープ片の貼り付けを連続して行うことができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の粘着テープによれば、長尺の粘着テープの長手方向での粘着テープ片の長さが短く、かつ、前後の粘着テープ片を互いに近接対向させているので、キャリアテープ上に設ける枚数を増やすことができる。また、ハーフカットして切り抜いた粘着テープの廃棄量も低減することができる。
【００２６】
また、本発明の粘着テープの貼付け方法および粘着テープ貼付け装置によれば、原反テープから粘着テープ片を効率よく形成することができる。また、剥離対象の粘着テープ片と後続の粘着テープ片は近接対向しており、互いに接触していない。したがって、処理対処の粘着テープ片を剥離したとき、前後の粘着テープ片の粘着層が再接着しないので、後続の粘着テープ片の先端側に皺などを発生させることがない。したがって、リングフレームに粘着テープ片を確実に密着させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】粘着テープの平面図である。
【図２】図１の一点鎖線で囲んだ部分の拡大平面図である。
【図３】粘着テープの縦断側面図である。
【図４】本発明の粘着テープと従来の粘着テープの比較図である。
【図５】粘着テープ貼付け装置の正面図である。
【図６】粘着テープ貼付け装置の平面図である。
【図７】切断ローラの斜視図である。
【図８】貼付けテーブルの縦断面図である。
【図９】粘着テープ貼付け処理を示すフローチャートである。
【図１０】テープ貼付け部の斜視図である。
【図１１】第１貼付けユニットによる粘着テープ貼付け動作を示す概略側面図である。
【図１２】第１貼付けユニットによる粘着テープ貼付け動作を示す概略側面図である。
【図１３】第２貼付けユニットによる粘着テープ貼付け動作を示す概略側面図である。
【図１４】第２貼付けユニットによる粘着テープ貼付け動作を示す概略側面図である。
【図１５】ウエハマウントの裏面側の平面図である。
【図１６】変形例の粘着テープ貼付け装置の正面図である。
【図１７】変形例の第２貼付けユニットの縦断側面図である。
【図１８】変形例の粘着テープの貼付け処理を示すフローチャートである。
【図１９】ウエハに粘着テープ片を貼り付ける動作を示す概略側面図である。
【図２０】ウエハに粘着テープ片を貼り付ける動作を示す概略側面図である。
【図２１】ウエハに粘着テープ片を貼り付ける動作を示す概略側面図である。
【図２２】変形例装置の正面図である。
【図２３】変形例装置の粘着テープの平面図である。
【図２４】変形例のウエハマウントの裏面側の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
＜粘着テープ＞
本実施例では、半導体ウエハをリングフレームに接着保持する粘着テープ片を備えた帯状の粘着テープについて詳述する。
【００２９】
図１に本発明に係る粘着テープの平面、図２に粘着テープの部分拡大平面および図３に粘着テープの縦断側面図がそれぞれ示されている。
【００３０】
粘着テープＴは、長尺のキャリアテープｃｔに当該キャリアテープｃｔと同じ幅で長尺の粘着テープＴが貼り合わされている。粘着テープ自体は、長手方向に直交する前後に対向する一対の直線状の端辺ｅ１と直線状の当該両端辺ｅ１の一端ずつと連結する左右一対の円弧状の端辺ｅ２を有する粘着テープ片ｔａにキャリアテープｃｔ上でハーフカットされている。複数枚の粘着テープ片ｔａは、粘着テープＴの長手方向に沿って前後に形成され、互いに直線状の端辺ｅ１を近接対向して整列配置されている。
【００３１】
前後の粘着テープ片ｔａの直線状の端辺ｅ１の間の距離は、搬送方向の前方にある粘着テープ片ｔａを剥離するとき、当該粘着テープ片ｔａの後端の粘着層と後方の粘着テープ片ｔａの前端の粘着層が再接着しない距離に設定される。すなわち、リングフレームに貼り付けるときに後方の粘着テープ片ｔａの先端に不要な剥離応力が作用して皺が発生しない距離に設定される。当該皺の発生は、粘着テープＴの種類や環境特性（例えば温度、湿度、テンションなど）によって変化する。したがって、粘着テープ片ｔａ同士のピッチは、実験やシミュレーションによって予め決定される。ただし、その距離は、例えば、図４に示すように、従来例の直線状の端辺同士を接触させた場合（図４（ａ））、従来例の粘着テープ片ｔａを真円に切断し、前後の粘着テープ片ｔａを所定ピッチで並べた場合（図４（ｃ））に比べて、本実施例の粘着テープ片ｔａの中心Ｐ１からＰ２の間の距離Ｌ２が、従来例の中心間の距離Ｌ１およびＬ３との関係でＬ１＜Ｌ２＜Ｌ３となるように設定されている。
【００３２】
なお、粘着テープＴは、図２に示すように、キャリアテープｃｔ、粘着層ｔｂおよび基材ｔｃの順に積層されている。
【００３３】
＜粘着テープ貼付け装置＞
図５に本発明に係る粘着テープ貼付け装置の正面が、また、図６はこの装置の側面がそれぞれ示されている。
【００３４】
この粘着テープ貼付け装置は、テープ供給部１、テーププリカット機構２、ダンサローラ３、粘着テープ回収部４、テープ貼付け部５およびキャリアテープ回収部６などから構成されている。以下、各構成について詳述する。
【００３５】
テープ供給部１は、粘着テープＴをロール巻きした原反ロールＴＲを装着するボビンを備えている。テープ供給部１から繰り出された粘着テープＴを、ダンサローラ３を介した所定のテープ搬送経路に導かれ、テーププリカット機構２を経てテープ貼付け部５に供給されるように構成されている。
【００３６】
テーププリカット機構２は、同調駆動する切断ローラ７と受けローラ８を上下に対向配備している。切断ローラ７は、図７に示すように、切断刃９を形成したシート１０を駆動ローラに装着して構成されている。切断刃９は、水平対向する直線部分１１と両直線部分１１の一端同士と連ねた一対の円弧部分１２からなる環状に形成されている。
【００３７】
当該シート１０を駆動ローラに装着したとき、切断刃９の両直線部分１１が駆動ローラの長手方向に沿って平行かつ近接対向している。
【００３８】
受けローラ８は、金属製の駆動ローラである。なお、切断ローラ７または受けローラ８の少なくとも一方が駆動シリンダによって昇降可能に構成されている。したがって、両ローラ７、８の間隙を粘着テープＴの厚みに応じて設定を変更可能に構成されている。
【００３９】
粘着テープ回収部４は、キャリアテープｃｔ上で粘着テープ片ｔａの形状に切り抜かれた帯状の不要な粘着テープＴ’を、テープ送りローラ１３の直後にキャリアテープｃｔから剥離して回収ボビン１４に巻取るよう構成されている。したがって、キャリアテープｃｔに粘着テープ片ｔａが残された状態の粘着テープＴが、テープ貼付け部５に導かれる。
【００４０】
テープ貼付け部５は、図５および図６に示すように、リングフレームｆに粘着テープ片ｔａを貼り付ける第１貼付けユニット１５、半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハ」という）に粘着テープ片ｔａを貼り付ける第２貼付けユニット１６および貼付けテーブル１７などが備えられている。
【００４１】
第１貼付けユニット１５は、エッジ部材１８および貼付けローラ２０などが備えられている。当該第１貼付けユニット１５は、粘着テープＴの搬送方向に沿って貼付けテーブル１７の上方を往復移動するよう配備されている。
【００４２】
エッジ部材１８は、テーププリカット機構２から送られてきたハーフカット済みの粘着テープＴのキャリアテープｃｔを折り返して粘着テープ片ｔａを剥離しつつ、当該キャリアテープｃｔをキャリアテープ回収部６に案内する。
【００４３】
貼付けローラ２０は、エッジ部材１８の先端部に上方から臨んで配置されている。また、貼付けローラ２０は、駆動シリンダ２３によって昇降されるよう構成されている。したがって、エッジ部材１８の先端でキャリアテープｃｔから剥離されて前方に押し出し移動される粘着テープ片ｔａをその上面から押圧し、貼付けテーブル１７に保持されているリングフレームｆの上面に貼り付ける。なお、貼付けローラ２０および駆動シリンダ２３によって本発明のテープ貼付機構が構成されている。なお、第１貼付けユニット１５は、本発明のテープ貼付機構に相当する。
【００４４】
第２貼付けユニット１６は、駆動シリンダによって昇降可能な貼付けローラ２４を備えている。当該第２貼付けユニット１６は、第１貼付けユニット１５の進路を妨げないよう粘着テープＴの搬送方向と交差して往復移動するように配備されている。なお、貼付けローラ２４は、弾性体で被覆されている。
【００４５】
貼付けテーブル１７は、図８に示すように、引き出し式の可動台２５、フレーム保持部２６とウエハ保持部２７から構成されている。
【００４６】
可動台２５は、左右両端のガイドレールに沿って前後に水平移動するよう構成されている。
【００４７】
フレーム保持部２６は、環状の保持面に載置されたリングフレームｆを吸着保持あるいは支持ピンによって位置決め固定するよう構成されている。
【００４８】
ウエハ保持部２７は、ウエハＷを吸着する保持面を有するとともに、シリンダなどのアクチュエータによって昇降可能に構成されている。
【００４９】
キャリアテープ回収部６は、エッジ部材１８で折り返されたキャリアテープｃｔを送りローラ２１で駆動走行させ、回収ボビン２２に巻き取るよう構成されている。
【００５０】
なお、ダンサローラ３および符号付されていないガイドローラなどは、本発明のテープ走行案内機構を構成している。
【００５１】
本発明に係る粘着テープ貼付け装置は以上のように構成されている。当該粘着テープ貼付け装置を用いてリングフレームｆに粘着テープ片ｔａを貼り付けた後に、ウエハＷに粘着テープ片ｔａを貼り付ける一巡の動作を、図９に示すフローチャートおよび図１０から図１５を参照しながら説明する。
【００５２】
貼付けテーブル１７を装置本体から可動台２５を引き出し、リングフレームｆおよびウエハＷをフレーム保持部２６とウエハ保持部２７のそれぞれに載置保持する。可動台２５を装置本体に戻す。このとき、ウエハ保持部２７を僅かに下降させてリングフレームｆの表面高さよりもウエハＷの表面高さが低くなるようにセットする（ステップＳ１）。このとき、ウエハＷは、裏面を上向きにして載置されている。なお、ウエハＷの表面には保護テープＰが貼り付けられている。
【００５３】
装置本体を作動させてテープ供給部１から粘着テープＴを繰り出し供給させる（ステップＳ２）。テーププリカット機構２の切断ローラ７と受けローラ８の間を通過する過程で、回転駆動する切断ローラ７によってキャリアテープｃｔ上で粘着テープＴが、粘着テープ片ｔａに連続的にハーフカットされてゆく（ステップＳ３）。
【００５４】
ハーフカット済みの粘着テープＴは、ダンサローラ３を経由して粘着テープ回収部４に送られる。粘着テープ回収部４は、テープ送りローラ１３によって粘着テープ片ｔａに切り抜かれた不要な粘着テープＴ’をテープ送りローラ１３によって剥離する。その後、粘着テープＴ’をボビン１４に巻き取り回収してゆく（ステップＳ４）。
【００５５】
キャリアテープｃｔ上に粘着テープ片ｔａのみが残された粘着テープＴは、テープ貼付部５に送られる。
【００５６】
第１貼付けユニット１５は、ダンサローラ３によって引き込み吸収されている粘着テープＴを引き出しながら前方のテープ貼付位置に移動する。第１貼付けユニット１５がテープ貼付け位置に到達すると、エッジ部材１８によって折り返されているキャリアテープｃｔをキャリアテープ回収部６のボビンに巻き取り回収してゆく。このとき、粘着テープ片ｔａは、折り返されて走行してゆくキャリアテープｃｔから剥離され、エッジ部材１８の上面に沿って前方に突出してゆく。
【００５７】
図１０に示すように、粘着テープ片ｔａの前端がエッジ１８の先端を越えて上方待機位置にある貼付けローラ２０の真下に到達すると、図１１に示すように、貼付けローラ２０が下降され、エッジ部材１８から前方に突出している両面粘着テープ片ｔａの前端部分を貼付けテーブル１７に保持されているリングフレームｆの前端部表面に押し付ける。その後、図１２に示すように、第１貼付けユニット１５が、キャリアテープｃｔから剥離されながら前方に移動してゆく粘着テープ片ｔａの前方移動速度およびキャリアテープｃｔの巻き取り速度に同調し、後方の待機位置に向かって移動される。すなわち、キャリアテープｃｔから剥離された粘着テープ片ｔａが、貼付けローラ２０によってリングフレームｆの表面に貼付けられてゆく（ステップＳ５）。
【００５８】
このとき、第１貼付けユニット１５に過剰な粘着テープＴが供給されないようにダンサローラ３によってテープ供給量が調整されている。
【００５９】
リングフレームｆへの粘着テープ片ｔａの貼り付けが完了すると、第２貼付けユニット１６を前方の貼付け位置に移動させる。第２貼付けユニット１６が所定位置に到達すると、図１３に示すように、貼付けローラ２４を下降させてリングフレームｆの一端から他端に向けて前進移動させる。このとき、図１４に示すように、貼付けローラ２４が弾性変形しながら粘着テープ片ｔａに近接対向しているウエハＷの裏面に当該粘着テープ片ｔａを貼り付けてゆく（ステップＳ６）。
【００６０】
第２貼付けユニット１６は、貼付けローラ２４が終端位置に到達すると当該貼付けローラ２４を上昇させる。その後、第２貼付けユニット１６は、後退して待機位置に戻る。
【００６１】
可動台２５を装置本体から引き出し、図１５に示すように、粘着テープ片ｔａを介して作成されたウエハマントＭＦを取り出し回収する（ステップＳ７）。以上で粘着テープ片ｔａをリングフレームｆとウエハＷに貼り付ける一巡の動作が終了し、以後所定枚に達するまで同じ動作が繰り返される（ステップＳ８）。
【００６２】
上記実施例装置によれば、粘着テープＴの搬送方向の前後に対向する粘着テープＴの部分を直線状にハーフカットするので、幅方向に比べて長手方向の距離を短くした粘着テープ片ｔａを、所定ピッチをおいてキャリアテープｃｔ上に連続して形成することができる。したがって、真円に切り抜かれる粘着テープ片に比べてより多くの粘着テープ片ｔａを原反ロールＴＲから得ることができる。換言すれば、原反ロールＴＲの交換頻度を低減させて作業効率を向上させることができる。また、前後の粘着テープ片ｔａの間で切り抜かれた粘着テープＴの距離が短いので、粘着テープＴを廃棄する量も低減することができる。
【００６３】
さらに、搬送方向の前後にある粘着テープ片ｔａは、所定ピッチをおいてハーフカットされているので、前後にある粘着テープ片ｔａの粘着層同士が再接着することがない。したがって、キャリアテープｃｔから粘着テープｔａ片を剥離するとき、後方の粘着テープ片ｔａが引っ付いて不要な剥離応力がかかり、皺が発生するのを回避することができる。
【００６４】
なお、本発明は以下のような形態で実施することもできる。
【００６５】
（１）上記実施例では、ウエハＷの裏面への粘着テープ片ｔａの貼り付けは上記実施形態に限定されるもではなく、例えばウエハＷのみをチャンバ内に収納し、減圧作用により粘着テープ片ｔａをウエハＷの裏面に貼り付けるように構成してもよい。
【００６６】
図１６および図１７に示すように、貼付けテーブル１７はウエハ保持用のウエハ保持部３０と、リングフレーム保持用のフレーム保持部３１とを備え、さらに、ウエハ保持部３０とフレーム保持部３１との間に、上ハウジング３３と一体化してチャンバ３２を構成する下ハウジング３４が備わっている。
【００６７】
ウエハ保持部３０は、チャンバ３２を構成する下ハウジング３４を密閉用のシール部材を介して貫通するロッド３５と連結されている。ロッド３５の他端は、モータ３６と駆動連結されている。したがって、ウエハ保持部３０は、モータ３６の正逆転駆動により下ハウジング３４内で昇降するように構成されている。
【００６８】
また、下ハウジング３４の円筒上部は、丸みを有するとともに、フッ素加工などの離型処理が施されている。
【００６９】
上ハウジング３３は、昇降駆動機構３７に備えてられている。この昇降駆動機構３７は、縦壁３８の背部に縦向きに配置されたレール３９に沿って昇降可能な可動台４０、この可動台４０に高さ調節可能に支持された可動枠４１、この可動枠４１から前方に向けて延出されたアーム４２を備えている。このアーム４２の先端部から下方に延出する支軸４３の下端に上ハウジング３３が装着されている。
【００７０】
上下一対のハウジング３３、３４によって構成されるチャンバ３２は、粘着テープ片ｔａの幅よりも小さい直径を有する。つまり、ウエハＷの外周からリングフレームｆの内径の間で露出する粘着テープ片ｔａを両ハウジング３３、３４で挟み込むことになる。
【００７１】
次に、当該実施例装置により、ウエハＷに粘着テープ片ｔａを貼り付ける一巡の動作を図１８に示すフローチャートに沿って説明する。なお、リングフレームｆに粘着テープ片ｔａを貼り付けるまでステップＳ１１からステップＳ１５の処理は、上記実施形態と同じなので省略し、異なる処理ステップＳ１６からステップＳ１８であるウエハＷに粘着テープ片ｔａを貼り付ける動作について説明する。
【００７２】
上記実施例と同じ動作により、第１貼付けユニット１５によってリングフレームｆに粘着テープ片ｔａの貼り付けが完了すると、図１９に示すように、上ハウジング３３が下降する。この下降に伴って、ウエハＷの外周からリングフレームｆの内径の間で粘着面が露出している粘着テープ片ｔａを上ハウジング３３と下ハウジング３４とによって挟持してチャンバ３２を構成する（ステップＳ１６）。このとき、粘着テープ片ｔａがシール材として機能するとともに、上ハウジング３３側と下ハウジング３４側とを分割して２つの空間を形成する。
【００７３】
下ハウジング３４内に位置するウエハＷは、粘着テープ片ｔａと所定のクリアランスを有して近接対向している。
【００７４】
図示しない制御部によって、上ハウジング３３と下ハウジング３４に電磁バルブを介して真空装置と連通する流路において、当該電磁バルブの開閉を調整して両ハウジング３３、３４内を減圧する。つまり、両ハウジング３３、３４内が同じ速度で減圧してゆくように、電磁バルブの開度を調整する。
【００７５】
両ハウジング３３、３４内が所定の気圧まで減圧されると、電磁バルブを閉じるとともに、真空装置の作動を停止する。
【００７６】
制御部は、電磁バルブの開度を調整してリークさせながら上ハウジング３３内を所定の気圧まで徐々に高める。このとき、下ハウジング３４内の気圧が上ハウジング３３内の気圧よりも低くなりその差圧によって、図２０に示すように、粘着テープ片ｔａがその中心から下ハウジング３４内に引き込まれてゆき、近接配備されたウエハＷの中心から外周に向けて徐々に貼付けられてゆく（ステップＳ１７）。
【００７７】
予め設定された気圧に上ハウジング３３内が達すると、制御部は、電磁バルブの開度を調整して下ハウジング３４内の気圧を上ハウジング３３内の気圧と同じにする。この気圧調整に応じてウエハ保持部３０を上昇させてリングフレームｆの表面とウエハＷの上面とを同じ高さにする。その後、制御部は、図２１に示すように、上ハウジング３３を上昇させて上ハウジング３３内を大気開放するとともに、電磁バルブを全開にして下ハウジング３４側も大気開放する（ステップＳ１８）。
【００７８】
上ハウジング３３を上昇させた時点でウエハＷの裏面への粘着テープ片ｔａの貼り付けは完了している。
【００７９】
上ハウジング３３が上方の待機位置に戻ると、ウエハマウントＭＦが作成される。貼付けテーブル１７を引き出してウエハマウントＭＦを搬出する（ステップＳ１９）。以上で粘着テープ片ｔａをリングフレームｆとウエハＷに貼り付ける一巡の動作が終了し、以後所定枚に達するまで同じ動作が繰り返される（ステップＳ２０）。
【００８０】
（２）上記実施例では、図２２に示すように、貼付けローラ２４を備えた第１貼付けユニット１５および真空チャンバ式の貼付けユニットの両方を備え、任意に選択して利用することもできる。
【００８１】
（３）上記変形例装置において、チャンバ内にヒータを配備し、粘着テープ片ｔａを加熱させながらウエハＷの裏面に貼り付けるように構成してもよい。
【００８２】
（４）上記変形例装置において、チャンバ３２をリングフレームｆも一緒に収納できるように構成してもよい。
【００８３】
（５）上記各実施例装置では、ハーフカット処理後に不要な粘着テープＴ’をテープ貼付け部５に送る途中で剥離していたが、テープ貼付け部５でキャリアテープｃｔと一緒に巻き取り回収してもよい。
【００８４】
（６）上記各実施例の粘着テープＴは、長手方向に直交する前後に対向する一対の直線状の端辺ｅ１を有する形状であったが、当該形状に限定されない。例えば、図２３および図２４に示すように、キャリアテープｃｔの側端辺と平行な一対の直線形状の端辺ｅ１Ａを形成する。キャリアテープｃｔの前後左右の直線状の端辺ｅ１，ｅ１Ａの各一端を円弧状の端辺ｅ２Ａで連結した形状の粘着テープＴをキャリアテープｃｔに整列配置したものであってもよい。
【００８５】
なお、上記実施例装置において当該粘着テープＴにハーフカットする場合、シート１０に当該粘着テープＴと同形状の切断刃９が形成されている。
【００８６】
当該粘着テープＴによれば、粘着テープＴの幅に合わせて幅広の原反テープを長手方向に沿ってスリットして複数本の粘着テープのロールを製造するとき、複数個の粘着テープＴのロールを製造する場合、幅方向に円弧状の端辺を形成する粘着テープＴに比べて、より多くのロールを製造することができる。また、原反ロールの幅方向での廃棄量も少なく調整することが可能になる。
【符号の説明】
【００８７】
１  …  テープ供給部
２  …  テーププリカット機構
３  …  テープ貼付け部
４  …  粘着テープ回収部
５  …  テープ貼付け部
６  …  キャリアテープ回収部
７  …  切断ローラ
８  …  受けローラ
１５  …  第１貼付けユニット
１７  …  貼付けテーブル
１８  …  エッジ部材
２０  …  貼付けローラ
ｆ  …  リングフレーム
Ｔ  …  粘着テープ
ｔａ  …  粘着テープ片
ｃｔ  …  キャリアテープ
Ｗ  …  半導体ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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