(57)【要約】【課題】観察データを損失することなく検出器の劣化を防止しつつ標本を観察する。【解決手段】レーザ光を発する光源３と、光源３から発せられたレーザ光を標本上で走査させる所定の揺動軸回りに揺動可能なガルバノミラーを有するスキャナ５と、スキャナ５によりレーザ光が走査されることによって標本から戻る蛍光を検出する検出器９と、検出器９に入射する戻り光の光量が所定の閾値よりも大きいか否かを判定する入射光量判定部１１と、入射光量判定部１１により、検出器９に入射した戻り光の光量が所定の閾値よりも大きいと判定された場合に、レーザ光のパワーおよび検出器９に印加する駆動電圧を所定量低減して、スキャナ５によりガルバノミラーの揺動範囲の初期位置からレーザ光を再度走査させるコントローラ１３とを備える顕微鏡装置１０を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を発する光源と、
該光源から発せられたレーザ光を標本上で走査させる所定の揺動軸回りに揺動可能な走査ミラーを有する走査部と、
該走査部により前記レーザ光が走査されることによって前記標本から戻る戻り光を検出する光検出部と、
該光検出部に入射する前記戻り光の光量が所定の閾値よりも大きいか否かを判定する入射光量判定部と、
該入射光量判定部により、前記光検出部に入射した前記戻り光の光量が所定の閾値よりも大きいと判定された場合に、前記レーザ光のパワーおよび／または前記光検出部に印加する印加電圧を所定量低減して、前記走査部により前記走査ミラーの揺動範囲の初期位置から前記レーザ光を再度走査させる制御部とを備える顕微鏡装置。
【請求項２】
前記制御部が、前記標本に照射する前記レーザ光の照射位置を光軸方向に変化させ、該レーザ光の光軸方向に異なる照射位置ごとに、前記入射光量判定部による判定結果に従い、前記レーザ光のパワーおよび／または前記光検出部に印加する印加電圧と前記走査部による前記レーザ光の走査とを制御する請求項１に記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
前記制御部が、前記標本に照射する前記レーザ光の照射位置を光軸方向に変化させる毎に、前記レーザ光のパワーおよび／または前記光検出部に印加する印加電圧を初期値に戻し、
前記入射光量判定部が、前記レーザ光の光軸方向に異なる照射位置ごとに、前記制御部により前記レーザ光のパワーおよび／または前記光検出部に印加する印加電圧が初期値に戻された状態で前記光検出部に入射する前記戻り光の光量を判定する請求項２に記載の顕微鏡装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の顕微鏡装置と、
前記光検出部により検出された前記戻り光の強度に基づいて前記標本の画像を生成する画像生成部と、
該画像生成部により生成された前記レーザ光の光軸方向の照射位置が異なる画像に対して、画像間の輝度の変化量のばらつきを低減するように画像処理を施す画像処理部とを備える顕微鏡装置システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡装置および顕微鏡システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、生命科学の研究ツールとして、共焦点走査型顕微鏡装置（ＬＳＭ）が広く一般的に使用されている。ＬＳＭにおいては、多くの場合に、検出器として光電子増倍管（ＰＭＴ）が用いられている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の顕微鏡装置は、励起光のような過大光がＰＭＴに入射するとＰＭＴの感度劣化が起きるため、所定量以上の過大光がＰＭＴに入射した場合に、ＰＭＴに印加する電圧（ＨＶ）をゼロにしてＰＭＴの感度をＯＦＦにすることで、過大光の入射を減少させてＰＭＴの感度劣化を防止することとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−０６９７５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の顕微鏡装置は、ＰＭＴに印加するＨＶをゼロにしている間は試料からの蛍光を検出することができないため、その間の観察データを損失してしまうことになり、所望の観察を行うことができないという不都合がある。
【０００５】
本発明は、観察データを損失することなく検出器の劣化を防止しつつ標本を観察することができる顕微鏡装置および顕微鏡システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、レーザ光を発する光源と、該光源から発せられたレーザ光を標本上で走査させる所定の揺動軸回りに揺動可能な走査ミラーを有する走査部と、該走査部により前記レーザ光が走査されることによって前記標本から戻る戻り光を検出する光検出部と、該光検出部に入射する前記戻り光の光量が所定の閾値よりも大きいか否かを判定する入射光量判定部と、該入射光量判定部により、前記光検出部に入射した前記戻り光の光量が所定の閾値よりも大きいと判定された場合に、前記レーザ光のパワーおよび／または前記光検出部に印加する印加電圧を所定量低減して、前記走査部により前記走査ミラーの揺動範囲の初期位置から前記レーザ光を再度走査させる制御部とを備える顕微鏡装置を提供する。
【０００７】
本発明によれば、光源からレーザ光が発せられると、走査部によりレーザ光が標本上で走査され、標本から戻る戻り光が光検出部により検出される。この場合において、入射光量判定部により、光検出部に入射される戻り光の光量が所定の閾値よりも大きいと判定されると、制御部により、レーザ光のパワーおよび／または光検出部に印加する印加電圧が所定量低減されることで、光量の大きい過大光が光検出部にそれ以上入射されるのを阻止することができる。
【０００８】
また、レーザ光のパワーおよび／または光検出部に印加する印加電圧を所定量低減した状態で、走査部によりレーザ光を走査ミラーの揺動範囲の初期位置から再度走査させることで、過大光による光検出部の劣化が生じない適度なパワーのレーザ光や適度な感度の光検出部により標本の所望の範囲を観察し直すことができる。
したがって、光検出部に入射する戻り光の光量が大きく変化した場合でも、観察データを損失することなく光検出部の劣化を防止して標本を観察することができる。
【０００９】
上記発明においては、前記制御部が、前記標本に照射する前記レーザ光の照射位置を光軸方向に変化させ、該レーザ光の光軸方向に異なる照射位置ごとに、前記入射光量判定部による判定結果に従い、前記レーザ光のパワーおよび／または前記光検出部に印加する印加電圧と前記走査部による前記レーザ光の走査とを制御することとしてもよい。
【００１０】
このように構成することで、過大光の影響による光検出部の劣化を防止して、標本の深さ方向に異なる観察位置を観察することができる。これにより、生体を透明化したＳｃａｌｅ標本のように、見ている対象の深さがｍｍ単位であり、深さ毎に組織が異なるために深さに応じて見ている対象の明るさが劇的に変化する場合でも、観察データを損失せずに光検出部の劣化を防止して深さ方向の所望の位置を観察することができる。
【００１１】
上記発明においては、前記制御部が、前記標本に照射する前記レーザ光の照射位置を光軸方向に変化させる毎に、前記レーザ光のパワーおよび／または前記光検出部に印加する印加電圧を初期値に戻し、前記入射光量判定部が、前記レーザ光の光軸方向に異なる照射位置ごとに、前記制御部により前記レーザ光のパワーおよび／または前記光検出部に印加する印加電圧が初期値に戻された状態で前記光検出部に入射する前記戻り光の光量を判定することとしてもよい。
【００１２】
このように構成することで、レーザ光の光軸方向の複数の照射位置でレーザ光のパワーおよび／または光検出部に印加する印加電圧を低減した場合でも、レーザ光の光軸方向に異なる照射位置ごとに光検出部により検出される戻り光の輝度情報が大きく変わるのを防ぎ、ある程度近似した輝度情報で標本を観察することができる。
【００１３】
本発明は、上記いずれかの顕微鏡装置と、前記光検出部により検出された前記戻り光の強度に基づいて前記標本の画像を生成する画像生成部と、該画像生成部により生成された前記レーザ光の光軸方向の照射位置が異なる画像に対して、画像間の輝度の変化量のばらつきを低減するように画像処理を施す画像処理部とを備える顕微鏡装置システムを提供する。
【００１４】
本発明によれば、標本の深さ方向に異なる各観察位置において、光検出部に入射する戻り光の光量が大きく変化した場合でも、レーザ光のパワーや光検出部に印加するＨＶを変更することによる各画像間の輝度のばらつきを抑えることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、観察データを損失することなく検出器の劣化を防止しつつ標本を観察することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る顕微鏡装置を示す概略構成図である。
【図２】図１の顕微鏡装置による標本の観察を説明するフローチャートである。
【図３】本発明の第１実施形態の変形例に係る顕微鏡装置による標本の観察を説明するフローチャートである。
【図４】本発明の第２実施形態に係る顕微鏡システムを示す概略構成図である。
【図５】標本の深さ方向に異なる各観察位置の画像の輝度のバランスを整えた状態を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
〔第１実施形態〕
本発明の第１実施形態に係る顕微鏡装置について図面を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る顕微鏡装置１０は、図１に示すように、標本を載置するステージ１と、レーザ光を発する光源３と、レーザ光を標本上で走査させるスキャナ（走査部）５と、スキャナ５により走査されたレーザ光を標本に照射する一方、標本から戻る蛍光を集光する対物レンズ７と、対物レンズ７により集光された蛍光を検出する検出器（光検出部）９と、検出器９に入射する蛍光を含む戻り光が所定の閾値よりも大きいか否かを判定する入射光量判定部１１と、入射光量判定部１１による判定結果に基づいて、光源３、スキャナ５および検出器９を制御するコントローラ（制御部）１３とを備えている。
【００１８】
光源３は、コントローラ１３により設定されるパワーのレーザ光を発生させるようになっている。
スキャナ５は、互いに交差する所定の揺動軸（図示略）回りに揺動可能な一対のガルバノミラー（図示略、走査ミラー）を備えている。各ガルバノミラーは、対物レンズ７の瞳位置と光学的に共役な位置に配置されている。このスキャナ５は、一対のガルバノミラーが揺動角度を変化させながらレーザ光を反射することで、標本上においてレーザ光を２次元的（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に走査させることができるようになっている。
【００１９】
検出器９としては、例えば、光電子増倍管（ＰＭＴ）が用いられる。検出器９は、コントローラ１３により印加される駆動電圧（印加電圧、ＨＶ）に従い、蛍光を検出する感度が決定されるようになっている。検出器９に入射する戻り光としては、レーザ光が標本に照射されることにより標本において発生する蛍光の他、例えば、標本において反射されたレーザ光の反射光等が含まれるものとする。
【００２０】
入射光量判定部１１は、検出器９に入射した戻り光の光量を測定して、予め設定されている所定の閾値と比較するようになっている。そして、入射光量判定部１１は、例えば、検出器９に入射した戻り光の光量が閾値以下と判定した場合はコントローラ１３に判定情報を送らず、検出器９に入射した戻り光の光量が閾値よりも大きい、すなわち、戻り光が光量の大きい過大光であると判定した場合は、戻り光が過大光であるとの判定情報をコントローラ１３に送るようになっている。
【００２１】
コントローラ１３は、戻り光が過大光であるとの判定情報が入射光量判定部１１から送られてくると、光源３のパワーを調整してレーザ光のパワー（レーザパワー）を所定量低減するとともに、検出器９に印加する駆動電圧を所定量低減して検出器９の感度を下げるようになっている。レーザパワーの下げ幅および駆動電圧の下げ幅は、予め決めてコントローラ１３に設定することができるようになっている。また、コントローラ１３は、戻り光が過大光であるとの判定情報が送られてくると、スキャナ５のガルバノミラーの揺動角度を初期位置に戻すようになっている。
【００２２】
このように構成された顕微鏡装置１０の作用について、図２のフローチャートを参照して説明する。
本実施形態に係る顕微鏡装置１０により標本を観察するには、まず、ステージ１に標本を載置し、検出器９に印加する駆動電圧の初期値および光源３から発生させるレーザ光のパワーの初期値をコントローラに設定する（ステップＳＡ１）。
【００２３】
次いで、設定したパワーで光源３からレーザ光を発生させ、スキャナ５の一対のガルバノミラーの揺動角度を変えながらレーザ光を反射して、対物レンズ７により標本に照射させる。これにより、各ガルバノミラーの揺動角度に応じて、標本上でレーザ光が２次元的に走査される（ステップＳＡ２）。
【００２４】
標本においてレーザ光が照射されることにより蛍光が発生すると、その蛍光は対物レンズ７により集光されてレーザ光の光路を戻り、スキャナ５を介して検出器９に入射される。これにより、検出器９によって蛍光が検出され、その輝度情報が得られる。したがって、例えば、検出器９によって得られた蛍光の輝度情報に基づいて標本の画像を生成することで、画像上で標本を観察することができる。
【００２５】
この場合において、検出器９には蛍光とともに標本からのレーザ光の反射光等が入射する。これら蛍光やレーザ光の反射光等の戻り光が検出器９に入射すると、入射光量判定部１１によりその入射光量が測定されて、予め設定された閾値と比較される（ステップＳＡ３）。
【００２６】
入射光量判定部１１により、戻り光の光量が閾値よりも大きいと判定されると、戻り光が過大光であるとの判定情報がコントローラ１３に送られる（ステップＳＡ３「ＹＥＳ」）。コントローラ１３においては、入射光量判定部１１から戻り光が過大光であるとの判定情報が入力されると、検出器９に印加する駆動電圧を低減するとともに、光源３のレーザパワーを低減する（ステップＳＡ４）。そして、コントローラ１３により、スキャナ５の各ガルバノミラーの揺動角度が揺動範囲の初期位置に戻され、ステップＳＡ２に戻る。
【００２７】
これにより、検出器９の感度が低減されるとともに、光源３から発せられるレーザ光のパワーが低減された状態で、スキャナ５によって各ガルバノミラーの揺動範囲の初期位置からレーザ光が再度走査される（ステップＳＡ２）。そして、入射光量判定部１１により戻り光が過大光であると判定されずに標本の走査範囲の全域をレーザ光が走査されるまで、ステップＳＡ２〜ステップＳＡ４が繰り返される。
【００２８】
入射光量判定部１１により、戻り光が過大光であると判定されずに標本の走査範囲の全域がレーザ光により走査されると（ステップＳＡ３「ＮＯ」）、観察が終了する。
【００２９】
以上説明したように、本実施形態によれば、入射光量判定部１１により、検出器９に入射する戻り光の光量が所定の閾値よりも大きいと判定されると、コントローラ１３により、レーザパワーおよび検出器９の駆動電圧が所定量低減されることで、光量の大きい過大光が検出器９にそれ以上入射されるのを阻止することができる。また、レーザパワーおよび検出器９の駆動電圧を所定量低減した状態で、スキャナ５によりレーザ光をガルバノミラーの揺動範囲の初期位置から再度走査させることで、過大光による検出器９の劣化が生じない適度なパワーのレーザ光や適度な感度の検出器９により標本の所望の範囲を観察し直すことができる。
【００３０】
したがって、検出器９に入射する戻り光の光量が大きく変化した場合でも、観察データを損失することなく検出器９の劣化を防止して標本を観察することができる。
【００３１】
本実施形態は、以下のように変形することができる。
本実施形態は、標本の深さ方向（Ｚ軸方向）の観察位置を変えずに一定の深さで観察する場合（ＸＹスキャン）について説明したが、例えば、標本の深さ方向の観察位置を変えながら、深さ方向に異なる各観察位置（Ｚ位置）について本実施形態のＸＹスキャンを行う（ＸＹＺスキャン）こととしてもよい。
【００３２】
この場合、ステージ１および／または対物レンズ７が光軸方向に移動可能に設けられ、コントローラ１３により、ステージ１および／または対物レンズ７を光軸方向に動かすことで、標本に照射するレーザ光の照射位置を光軸方向（Ｚ軸方向）に変化させることとすればよい。また、コントローラ１３により、２次元的な平面上を走査し終える毎に、ステージ１および／または対物レンズ７が光軸方向へ移動させられることとすればよい。
【００３３】
コントローラ１３においては、標本の観察位置を深さ方向に切り替えていく開始位置と終了位置、および、標本の観察位置を深さ方向に切り替えるステップ数を設定することができるようになっている。
【００３４】
そして、コントローラ１３により、レーザ光の光軸方向に異なる照射位置ごと、すなわち、Ｚ位置ごとに、入射光量判定部１１による判定結果に従ってレーザ光のパワーおよび検出器９の駆動電圧を制御するとともに、スキャナ５によるレーザ光の走査を制御することとすればよい。
【００３５】
本変形例においては、コントローラ１３が、標本に照射するレーザ光の照射位置を光軸方向に変化させる毎に、光源１から発生させるレーザ光のパワーおよび検出器９に印加する駆動電圧を初期値に戻すようになっていることが望ましい。
また、入射光量判定部１１が、レーザ光の光軸方向に異なる照射位置ごとに、コントローラ１３によりレーザ光のパワーおよび検出器９の駆動電圧が初期値に戻された状態で、検出器９に入射する戻り光の光量を判定するようになっていることが望ましい。
【００３６】
以下、本変形例に係る顕微鏡装置１０の作用について、図３のフローチャートを参照して説明する。
本変形例に係る顕微鏡装置１０により標本を観察するには、ステージ１に標本を載置して、検出器９に印加する駆動電圧の初期値および光源３のパワーの初期値をコントローラ１３に設定した後（ステップＳＡ１）、標本の観察位置を深さ方向に切り替えていく開始位置と終了位置、および、標本の観察位置を深さ方向に切り替えるステップ数を設定する（ステップＳＢ２、Ｚスキャンの設定）。
【００３７】
次いで、設定したパワーで光源３からレーザ光を発生させ、ＸＹＺスキャンを開始する（ステップＳＢ３）。ＸＹＺスキャンがまだ完了していないので（ステップＳＢ４「ＮＯ」）、コントローラ１３により、標本の観察位置が深さ方向の開始位置（第１Ｚ位置とする）に移動され（ステップＳＢ５)、スキャナ５が揺動されてＸＹＺスキャンが実施される（ステップＳＢ６)。
【００３８】
光源３から発せられたレーザ光は、スキャナ５および対物レンズ７を介して標本の第１Ｚ位置上に照射され、各ガルバノミラーの揺動角度に応じて、標本の第１Ｚ位置上でレーザ光が２次元的に走査される。標本の第１Ｚ位置において発生した蛍光は、対物レンズ７およびスキャナ５を介して検出器９に入射される。これにより、検出器９によって第１Ｚ位置における蛍光の輝度情報が得られる。
【００３９】
この場合において、検出器９に入射した戻り光の光量が入射光量判定部１１により測定されて閾値と比較され、戻り光の光量が閾値よりも大きいと判定されると（ステップＳＢ７「ＹＥＳ」）、戻り光が過大光であるとの判定情報がコントローラ１３に送られる。これにより、コントローラ１３によって検出器９に印加する駆動電圧が低減されるとともに、光源３のレーザパワーが低減される（ステップＳＢ８）。
【００４０】
そして、コントローラ１３により、スキャナ５の各ガルバノミラーの揺動角度が揺動範囲の初期位置に戻される（ステップＳＢ９)。これにより、標本の第１Ｚ位置において、スキャナ５により各ガルバノミラーの揺動範囲の初期位置からレーザ光が再度走査させられて（ステップＳＢ６）、ステップＳＢ６〜ステップＳＢ９が繰り返される。
【００４１】
ステップＳＢ７において、入射光量判定部１１により、戻り光が過大光であると判定されずに標本の第１Ｚ位置における走査範囲の全域がレーザ光により走査されると（ステップＳＢ７「ＮＯ」）、ステップＳＢ４に戻る。
【００４２】
この場合もＸＹＺスキャンが完了していないので（ステップＳＢ４「ＮＯ」）、コントローラ１３によりステージ１および／または対物レンズ７の光軸方向の位置が調整され、標本におけるレーザ光の照射位置が深さ方向の次のステップ（第２Ｚ位置とする）に移動させられる（ステップＳＢ５）。
標本の第２Ｚ位置についてもステップＳＢ６〜ステップＳＢ９が繰り返される。
このようにして、コントローラ１３に予め設定したステップ数だけ標本の観察位置が深さ方向に切り替えられ、各Ｚ位置においてステップＳＢ４〜ステップＳＢ９が繰り返される。そして、標本の観察位置の深さ方向の終了位置において、ＸＹＺスキャンが完了すると（ステップＳＢ４「ＹＥＳ」）、観察が終了する。
【００４３】
以上説明したように、本変形例に係る顕微鏡装置１０によれば、過大光の影響による検出器９の劣化を防止して、標本の深さ方向に異なる複数の観察位置を観察することができる。これにより、生体を透明化したＳｃａｌｅ標本のように、見ている対象の深さがｍｍ単位であり、深さ毎に組織が異なるために深さに応じて見ている対象の明るさが劇的に変化する場合でも、観察データを損失せずに検出器９の劣化を防止して深さ方向の所望の位置を観察することができる。
【００４４】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態に係る顕微鏡装置および顕微鏡システムについて説明する。
本実施形態に係る顕微鏡システム１００は、図４に示すように、第１実施形態の変形例に係る顕微鏡装置１０と、顕微鏡装置１０の検出器９により検出された蛍光の強度に基づいて標本の画像を生成する画像生成部２０と、標本の各Ｚ位置の画像に画像処理を施す画像処理部３０とを備えている。
以下、第１実施形態に係る顕微鏡装置１０と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
【００４５】
ステージ１は、ステージ１の光軸方向の位置に関する位置情報を画像生成部２０に送ることができるようになっている。
スキャナ５は、各ガルバノミラーの揺動角度に関する揺動角度情報を画像生成部２０に送ることができるようになっている。
検出器９は、検出した蛍光の輝度に関する輝度情報を画像生成部２０に送るようになっている。
【００４６】
画像生成部２０は、ステージ１から送られてくるステージ１の位置情報と、スキャナ５から送られてくる各ガルバノミラーの揺動角度情報と、検出器９から送られてくる蛍光の輝度情報とに基づいて、標本Ｓの３次元的な画像を生成するようになっている。
【００４７】
画像処理部３０は、画像生成部２０により生成されたレーザ光の光軸方向の照射位置が異なる複数の画像に対して、画像間の輝度の変化量のばらつきを低減するように画像処理を施すようになっている。
【００４８】
このように構成された本実施形態に係る顕微鏡システム１００の作用について説明する。
標本の観察位置を深さ方向に切り替えながら、Ｚ位置ごとに標本からの蛍光を検出器９により検出するところまでは、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
検出器９により蛍光が検出されると、その輝度情報がスキャナ５の各ガルバノミラーの揺動角度情報およびステージ１の光軸方向における位置情報と共に画像生成部２０に送られる。そして、画像生成部２０により、これらの各情報に基づいて標本の３次元的な画像が生成されて画像処理部３０に送られる。
【００４９】
画像処理部３０においては、標本におけるＺ位置ごとの各フレームの画像の平均輝度が算出される。次いで、画像処理部３０により、算出した各画像の平均輝度のデータに移動平均処理が施され、各フレームの目標輝度が算出される。そして、画像処理部３０により、標本のＺ位置ごとの各フレームの画像のフレームデータに対して下記の処理が施される。
各フレームの各ピクセルの輝度値×（目標輝度／フレームの平均輝度）
【００５０】
これにより、図５に示すように、ＸＹＺスキャンにより得られたシリーズデータに対して、各フレーム間のデータの輝度の変化量をなめらかにすることができる。図５において、縦軸は輝度値を示し、横軸は標本の深さ方向に異なる各観察位置（Ｚ位置）を示している。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態に係る顕微鏡システム１００によれば、標本の深さ方向に異なる各観察位置において、検出器９に入射する戻り光の光量が大きく変化した場合でも、レーザ光のパワーや検出器９の駆動電圧を変更することによる各画像間の輝度のばらつきを抑えることができる。
【００５２】
なお、本変形例においては、ステージ１を光軸方向へ移動させて、ステージ１の位置情報に基づいて３次元画像を生成することとしたが、これに代えて、ステージ１を固定しておいて対物レンズ７を光軸方向に移動させ、対物レンズ７の光軸方向の位置に関する位置情報と各ガルバノミラーの揺動角度情報と蛍光の輝度情報とに基づいて標本の３次元画像を生成することとしてもよい。また、これらステージ１および対物レンズ７の両方を光軸方向移動させて、これらの各位置情報と各ガルバノミラーの揺動角度情報と蛍光の輝度情報とに基づいて標本Ｓの３次元的な画像を生成することとしてもよい。
【００５３】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、本発明を上記の各実施形態に適用したものに限定されることなく、これらの実施形態を適宜組み合わせた実施形態に適用してもよく、特に限定されるものではない。
【００５４】
また、例えば、上記各実施形態においては、検出器９に入射する戻り光の光量が所定の閾値よりも大きいと判定された場合に、レーザ光のパワーと検出器９の駆動電圧の両方を所定量低減させることとしたが、これに代えて、コントローラ１３により、レーザ光のパワーと検出器９の駆動電圧の少なくとも一方を所定量低減することにより、検出器９に過大光が入射して検出器９が劣化するのを防ぐこととしてもよい。
【符号の説明】
【００５５】
３    光源
５    スキャナ（走査部）
９    検出器（光検出部）
１０    顕微鏡装置
１１    入射光量判定部
１３    コントローラ（制御部）
２０    画像生成部
３０    画像処理部
１００    顕微鏡システム
【図１】
2014145959.tif 000003
【図２】
2014145959.tif 000004
【図３】
2014145959.tif 000005
【図４】
2014145959.tif 000006
【図５】
2014145959.tif 000007