(57)【要約】【課題】  不要な振動を抑制し、良好な特性を得ることができる圧電振動素子および圧電振動デバイスを提供することを目的とする。【解決手段】  第１接着電極７ａと第２接着電極７ｂは、水晶振動板の長辺Ｌ１およびＬ２に沿って平面視で重畳せずに形成されている。一対の第１引出電極６ａ，６ａと一対の第２引出電極６ｂ，６ｂは、励振電極５ａ，５ｂの対向する２組の辺の各中央を通り、互いに直交する２直線ＣＬ１，ＣＬ２の何れに対しても線対称で形成されている。そして一方の励振電極５ａと一対の第１引出電極６ａ，６ａと第１接着電極７ａとで囲まれた領域と、他方の励振電極５ｂと一対の第２引出電極６ｂ，６ｂと第２接着電極７ｂとで囲まれた領域とは、水晶振動板の素地が露出した無電極領域（１１ａ，１１ｂ）となっている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面視略矩形の圧電振動板に電極が形成された圧電振動素子であって、
圧電振動板の表裏主面の中央に平面視略矩形の励振電極が一対で対向形成され、
圧電振動板の表裏主面の各々の矩形を構成する一組の対向辺のうちの１辺であって、平面視で互いに重畳しない第１接着電極と第２接着電極とが、圧電振動板の表裏主面の前記１辺全体に沿って形成されてなり、
前記一対の励振電極のうち、
一方の励振電極の前記第１接着電極と対向する１辺の両角部を含む領域から、第１接着電極に向かって一対の第１引出電極が形成され、
他方の励振電極の前記第２接着電極と対向する１辺の両角部を含む領域から、第２接着電極に向かって一対の第２引出電極が形成され、
前記一対の第１引出電極と前記一対の第２引出電極とが、励振電極の対向する２組の辺の各中央を通り、互いに直交する２直線の何れに対しても線対称であり、
前記一方の励振電極と一対の第１引出電極と第１接着電極とで囲まれた領域と、
前記他方の励振電極と一対の第２引出電極と第２接着電極とで囲まれた領域とは、
圧電振動板の素地が露出した無電極領域となっていることを特徴とする圧電振動素子。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電振動素子の第１接着電極と第２接着電極が、圧電振動素子を収容する容器の内部に設けられた一対の圧電振動素子搭載用パッド上に、導電性接着剤を介して接合され、前記容器に蓋を接合することにより圧電振動素子を気密に封止してなる圧電振動デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電振動素子および当該圧電振動素子を用いた圧電振動デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶振動子に代表される圧電振動デバイスは移動体通信機器等、様々な分野に広く用いられている。例えば従来の表面実装型の水晶振動子は、図３乃至４に示すように水晶振動素子１５と、水晶振動素子１５を収容する凹部１９を備えた容器３と、容器３との接合により凹部１９を気密に封止する平板状の蓋（図示省略）が主要構成部材となっている。水晶振動素子１５は、その一端側が凹部１９の内部の段部上に設けられた水晶振動素子搭載用パッド（電極）４に導電性接着剤１２によって片持ち接合されている。ここで水晶振動素子とは、水晶振動板に各種電極が付加された状態の水晶振動板のことであり、水晶振動板には平面視略矩形のＡＴカット水晶振動板が用いられている。水晶振動板の表裏主面には平面視矩形の励振電極１６（１６ａ，１６ｂ）が一対で対向形成されている。この一対の励振電極１６ａ，１６ｂの各々は、引出電極１７ａ，１７ｂを経由して、水晶振動板の一短辺側の一対の接続電極１８ａ，１８ｂにそれぞれ接続されている。一対の励振電極１６ａ，１６ｂは一対の接続電極１８ａ，１８ｂが一対の水晶振動素子搭載用パッド４，４に導電性接着剤１２を介して一対一で導電接合されることによって、最終的に容器外底面に設けられた外部接続端子９と電気的に接続される。このような構成の水晶振動子は例えば特許文献１乃至２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平０５−０２５８２７号
【特許文献２】特開平０７−１３１２７９号
【特許文献３】特開２００４−７２６７６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
厚みすべり振動を行なうＡＴカット水晶振動板には、主振動以外に不要な振動（いわゆるスプリアス）が複数存在する。これらのスプリアスには各々対応する振動姿態のモード（以降、振動モードと略）が存在しており、スプリアスの現れ方は励振電極の形状や水晶振動板への励振電極の形成位置や、水晶振動板自体の形状等によって変化する。本来このようなスプリアスは可能な限り現れないことが好ましい。
【０００５】
例えば、平面視矩形状の励振電極を水晶振動板の表裏主面に対向形成した場合、複数存在する振動モードのうち、（１，３，３）で表される振動モードは特に励振電極に角部が存在することによる影響を受けやすい。ここで（１，３，３）の表記は文献等で一般的に用いられている振動モードを表わす表記法であり、括弧内において前から順に、振動次数、水晶振動板のＸ軸方向の電荷分布数、水晶振動板のＺ軸方向の電荷分布数を表す数字となっている（Ｘ軸方向とＺ軸方向の表記は逆となっている場合もあり）。
【０００６】
ＡＴカット水晶振動板はその発振周波数が水晶振動板の厚みに反比例する関係にあることが知られており、水晶振動板の発振周波数が高周波帯になってくるにつれ、低周波帯に比べてその厚みが相対的に薄くなってくる。特に１００ＭＨｚ以上の高周波帯になってくると水晶振動板の厚みは計算上、基本波振動モードの場合、約０．０１ｍｍと非常に薄くなる。このように水晶振動板が極薄板化してくると水晶振動板の加工精度等の影響により、スプリアスが発生しやすくなり、水晶振動板の振動特性に与える影響が顕在化してくる。
【０００７】
図３に示す従来の水晶振動子では、一対の引出電極１６ａ，１６ｂは水晶振動板の表裏各主面において、水晶振動板の長辺方向については一短辺側の方向のみに導出されている。また水晶振動板の短辺方向については矩形状の励振電極の１つの角部Ｃ１を含む領域からのみ水晶振動板の前記一短辺側に導出されている。つまり、励振電極を基準とすると、引出電極は水晶振動板の長辺および短辺の双方向においてアンバランスな状態で圧電振動板の表裏主面に形成されていることになる。このような構成の場合、矩形状の励振電極の４つの角部のうち、引出電極が接続される角部は励振電極の振動が減衰しやすくなるのに対し、引出電極が接続されない角部は励振電極の振動が減衰しにくい。その結果、励振電極全体ではアンバランスな状態となり、スプリアスが発生しやすくなる。つまり、前述した励振電極の角部の存在による影響が大きいと考えられる（１，３，３）の振動モードのスプリアスが発生しやすくなってしまう。
【０００８】
一方、特許文献３では水晶振動板の各辺に対して対称性を有する励振電極と引出電極と接続電極が開示されている。このような形態の場合、アンバランスな電極形成状態は解消されるものの、前述の振動モード（１，３，３）のスプリアスを抑制することは困難である。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、不要な振動を抑制し、良好な特性を得ることができる圧電振動素子および圧電振動デバイスを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために本発明は、平面視略矩形の圧電振動板に電極が形成された圧電振動素子であって、圧電振動板の表裏主面の中央に平面視略矩形の励振電極が一対で対向形成され、圧電振動板の表裏主面の各々の矩形を構成する一組の対向辺のうちの１辺であって、平面視で互いに重畳しない第１接着電極と第２接着電極とが、圧電振動板の表裏主面の前記１辺全体に沿って形成されてなり、前記一対の励振電極のうち、
一方の励振電極の前記第１接着電極と対向する１辺の両角部を含む領域から、第１接着電極に向かって一対の第１引出電極が形成され、他方の励振電極の前記第２接着電極と対向する１辺の両角部を含む領域から、第２接着電極に向かって一対の第２引出電極が形成され、前記一対の第１引出電極と前記一対の第２引出電極とが、励振電極の対向する２組の辺の各中央を通り、互いに直交する２直線の何れに対しても線対称であり、前記一方の励振電極と一対の第１引出電極と第１接着電極とで囲まれた領域と、前記他方の励振電極と一対の第２引出電極と第２接着電極とで囲まれた領域とは、圧電振動板の素地が露出した無電極領域となっている。
【００１１】
上記構成によれば、スプリアスの発生を抑制することができる。これは、一方の励振電極の第１接着電極と対向する一辺の両角部を含む領域から、第１接着電極に向かって一対の第１引出電極が形成され、他方の励振電極の第２接着電極と対向する一辺の両角部を含む領域から、第２接着電極に向かって一対の第２引出電極が形成されていることによる。そして一方の励振電極と一対の第１引出電極と第１接着電極とで囲まれた領域と、他方の励振電極と一対の第２引出電極と第２接着電極とで囲まれた領域が、圧電振動板の素地が露出した無電極領域となっていることによる。
【００１２】
前記一対の引出電極の配置および前記無電極領域を有することにより、特に矩形状の励振電極の角部から引出電極が導出されることによる影響が大きい振動モード（１，３，３）のスプリアスの発生を抑制することができる。
【００１３】
さらに、一対の第１引出電極と一対の第２引出電極とが、励振電極の対向する２組の辺の各中央を通り、互いに直交する２直線の何れに対しても線対称であるため、バランス良く引出電極が圧電振動板の表裏主面に形成されることになる。これにより、前述の振動モード（１，３，３）のスプリアスの発生抑制だけでなく、他の振動モードのスプリアスの発生も抑制することができる。
【００１４】
なお上記構成によれば、第１接着電極および第２接着電極が圧電振動板の表裏主面の各々の矩形を構成する一組の対向辺のうちの１辺であって、平面視で互いに重畳しない１辺全体に沿って形成されているため、例えば励振電極および引出電極を圧電振動板の長辺中央および短辺中央に対して対称に形成した場合、圧電振動素子の容器への搭載時の方向性を圧電振動素子の外形のみで認識することができる。これにより、圧電振動素子の各種電極の形状を画像認識すること圧電振動素子の搭載方向を識別する従来方法に比べ、簡便でより確実に圧電振動素子の搭載方向を識別することが可能となる。これは圧電振動板上の電極を画像認識の基準とする場合、画像認識の際に照明部から照射される光が金属膜である電極表面で反射して認識し難くなることがあるのに対し、非金属材料である圧電振動板の外形を認識基準とすることで反射等の問題を抑制することができるためである。これにより画像認識に要する時間を短縮することができるため生産効率が向上する。
【００１５】
なお、圧電振動板の形状が、平板状のものや、端部が面取り加工された形状や、少なくとも一主面の外周部が圧電振動板の中央部よりも厚肉となる、いわゆる逆メサ形状や、少なくとも一主面の外周部が圧電振動板の中央部よりも薄肉となる、いわゆるメサ形状であっても本発明は適用することができる。
【００１６】
また、上記目的を達成するために請求項２に係る発明は、請求項１に記載の圧電振動素子の第１接着電極と第２接着電極が、圧電振動素子を収容する容器の内部に設けられた一対の圧電振動素子搭載用パッド上に、導電性接着剤を介して接合され、前記容器に蓋を接合することにより圧電振動素子を気密に封止してなる圧電振動デバイスとなっている。
【００１７】
上記発明によれば、前述の効果に加え、スプリアスの発生が抑制された良好な特性を有する圧電振動デバイスを得ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように本発明によれば、不要な振動を抑制し、良好な特性を得ることができる圧電振動素子および圧電振動デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態を示す水晶振動子の上面模式図
【図２】図１のＡ−Ａ線における断面模式図
【図３】従来の水晶振動子の上面模式図
【図４】図３のＢ−Ｂ線における断面模式図
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を圧電振動デバイスとして水晶振動子を例に挙げて、図面を参照しながら説明する。本実施形態において水晶振動子１は略直方体状の表面実装型水晶振動子である。なお図１乃至２では説明の便宜上、後述する蓋を取り除いた状態で記載している。水晶振動子１は、凹部１９を有する容器３と、水晶振動素子２と、凹部１９を封止する平板状の蓋（図示省略）が主な構成部材となっている。水晶振動素子２は蓋と容器３とが接合されることによって凹部１９に気密に封止されるようになっている。なお本実施形態では容器３と蓋とはシーム溶接法によって接合される。また、本実施形態では水晶振動子１の発振周波数（公称周波数）は１５０ＭＨｚとなっている。
【００２１】
図１乃至２において、容器３はアルミナ等のセラミックを主体とした絶縁性材料からなる箱状体であり、セラミックグリーンシートを積層して一体焼成することによって成形されている。容器３は環状の堤部３０の内側に平面視矩形状の凹部１９を有しており、凹部１９の内底面３１０の一端側には段部３１が形成されている。そして段部３１の上面には水晶振動素子搭載用パッド（電極）４，４が一対で並列形成されている。この一対の水晶振動素子搭載用パッド４，４は、例えばタングステンメタライズ層の上面にニッケル、金の順でメッキ等の手法により金属層を積層することによって形成されている。一対の水晶振動素子搭載用パッド４，４は、容器内部に形成された内部配線（図示省略）を経由して、容器３の外底面に設けられた複数の外部接続端子９の一部と電気的に接続されている。
【００２２】
図１において、堤部３０の上面３００には図示しない接合材が環状に形成されている。本実施形態では前記接合材は３層から成り、下から順にタングステンメタライズ層、ニッケルメッキ層、金メッキ層の構成となっている。なお、タングステンの代わりにモリブデンを用いてもよい。前記接合材は図示しない蓋の外周部分と対応している。
【００２３】
前述の蓋はコバールを基体とする平面視矩形状の金属性の蓋体であり、当該蓋の表裏面にはニッケルメッキ層が形成されている。また蓋の容器との接合面側には、前記ニッケルメッキ層の上に金属からなるロウ材（図示せず）が全面に亘って形成されている。本実施形態では前記ロウ材として銀ロウが使用されている。
【００２４】
図２に示すように、水晶振動素子２は水晶振動板の表裏主面に各種電極が付加された圧電素子であり、水晶振動板は厚みすべり振動を行なう、いわゆるＡＴカット水晶板である。水晶振動板は平面視矩形状であり、表裏主面の各々において対向する２組の辺（Ｌ１とＬ２、Ｗ１とＷ２）を有している。この水晶振動板には振動部である中央部分が周囲よりも薄肉に加工された平面視矩形状の薄肉部８と、薄肉部８の外側に枡状の厚肉部１０が形成されている。そして厚肉部１０と薄肉部８の間には薄肉部８に向かって漸次薄肉となる傾斜面９が形成されている。このような水晶振動板の外形形状は湿式エッチング（ウエットエッチング）によって成形されており、前述の傾斜面９は水晶を湿式エッチングすることによって現れる結晶面となっている。
【００２５】
本実施形態では、水晶振動素子２は長辺方向の一端側が導電性接着剤１２を介して水晶振動素子搭載用パッド４上に導電接合される。本実施形態では導電性接着剤１２としてシリコーン系の導電性樹脂接着剤が用いられているが、シリコーン系以外の導電性接着剤を用いてもよい。
【００２６】
図１において水晶振動板の薄肉部８の表裏主面の略中央には、平面視矩形の一対の励振電極５ａ，５ｂが対向して形成されている。そして水晶振動板の表裏主面の各々の矩形を構成する一組の対向辺のうちの１辺全体に沿って、平面視で互いに重畳しない一対の接着電極７ａ，７ｂが形成されている。具体的には、水晶振動板の一主面２００においては１長辺Ｌ１に沿って、Ｌ１の全長に及ぶ第１接着電極７ａが形成されており、水晶振動板の他主面２１０においては１長辺Ｌ２に沿って、Ｌ２の全長に及ぶ第２接着電極７ｂが形成されている。
【００２７】
本実施形態において第１接着電極７ａおよび第２接着電極７ｂは厚肉部１０だけでなく、傾斜面９と薄肉部８にもその一部が及んだ状態で形成されている。なお図１に示すように、接着電極は長辺Ｌ１，Ｌ２に沿って水晶振動板の短辺方向に同一幅で形成されておらず、容器と接合される領域となる水晶振動板の長辺方向端部が、当該長辺の端部以外の領域よりも短辺方向に幅広に形成されている。このように接着電極の水晶振動板の固定端となる領域を幅広に形成することにより、水晶振動板が小型になった場合であっても導電性接着剤の塗布領域を確保することができる。なお接着電極の形状は図１に示す形状に限定されるものではなく、他の形状であっても本発明は適用可能である。
【００２８】
図１において一対の第１引出電極６ａ，６ａは、水晶振動板の一主面２００の励振電極５ａの第１接着電極７ａと対向する一辺の両角部を含む領域から、第１接着電極７ａに向かって斜め方向に導出されている。同様に一対の第２引出電極６ｂ，６ｂは、水晶振動板の他主面２１０の励振電極５ｂの第２接着電極７ｂと対向する一辺の両角部を含む領域から、第２接着電極７ｂに向かって斜め方向に導出されている。
【００２９】
第１引出電極６ａと第２引出電極６ｂは、励振電極５ａ，５ｂの各々において対向する１組の辺の各中央を通る直線ＣＬ１と、励振電極５ａ，５ｂの対向するもう１組の辺の各中央を通る直線ＣＬ２の、何れの直線に対しても線対称に形成されている。
【００３０】
本実施形態では、一対の第１引出電極（６ａ，６ａ）と一対の第２引出電極（６ｂ，６ｂ）はいずれも同一幅で形成されておらず、励振電極５ａまたは５ｂの角部から第１接着電極または第２の接着電極に向かって漸次幅広となるように形成されている。このような形状により、スプリアスの発生を効果的に抑制することができる。これは、次の理由による。
【００３１】
一般に一対の励振電極が表裏主面に形成された水晶振動板において、水晶振動板の振動エネルギーは励振電極下に閉じ込められ、振動エネルギーの変位は励振電極中央を最大として、水晶振動板の外周部に近づくにつれて漸次減衰することが知られている。そして前述の振動モード（１，３，３）のスプリアスは励振電極の角部に接続される引出電極の幅が拡がるほど、その影響が顕在化しやすくなる。このため励振電極の中心に近い位置にある励振電極の角部においては引出電極の形成幅を相対的に狭くすることによって振動モード（１，３，３）のスプリアスの発生を抑制することができる。一方、励振電極から離間した位置にある接着電極との接続部においては引出電極の形成幅を相対的に広くすることによって、励振電極との電気的接続性を高めるとともに、水晶振動板の外周付近における振動エネルギーの変位が抑制され他の振動モードのスプリアスの発生を抑制することができる。これは特に水晶振動板が超小型になるほどその効果が大きくなる。
【００３２】
図１において符号１１ａ，１１ｂで示す領域は、引出電極が形成されない無電極領域となっている。具体的に無電極領域１１ａは、励振電極５ａと一対の引出電極６ａ，６ａと第１接着電極７ａとで囲まれた領域であり、水晶振動板の素地が露出した領域となっている。同様に無電極領域１１ｂは、励振電極５ｂと一対の引出電極６ｂ，６ｂと第１接着電極７ｂとで囲まれた領域であり、水晶振動板の素地が露出した領域となっている。
【００３３】
本実施形態では前述した励振電極、引出電極、接着電極をフォトリソグラフィ技術を用いて形成している。フォトリソグラフィ技術を用いることにより、メタルマスクを用いて成膜を行なう従来の真空蒸着やスパッタリングでは形成することが困難な無電極領域１１ａ，１１ｂを容易に形成することができる。またフォトリソグラフィ技術を用いることにより、水晶振動板の外形サイズが微小となっても高精度に各種電極を形成することができる。
【００３４】
このような構成によれば、スプリアスの発生を抑制することができる。これは、励振電極５（５ａ，５ｂ）の接着電極７（７ａ，７ｂ）と対向する一辺の両角部を含む領域から、接着電極に向かって一対の引出電極６（６ａ，６ｂ）が接続されていることによる。そして励振電極５ａ（５ｂ）と一対の第１引出電極６ａ（一対の第２引出電極６ｂ）と第１接着電極７ａ（第２接着電極７ｂ）とで囲まれた領域が、水晶振動板の素地が露出した無電極領域となっていることによる。
【００３５】
このような一対の引出電極の配置および無電極領域を有することにより、特に励振電極に角部が存在することによる影響が大きい振動モード（１，３，３）のスプリアスの発生を抑制することができる。
【００３６】
さらに、一対の第１引出電極６ａ，６ａと一対の第２引出電極６ｂ，６ｂとが、励振電極５ａ，５ｂの対向する２組の辺の各中央を通り、互いに直交する２直線ＣＬ１，ＣＬ２の何れに対しても線対称であるため、バランス良く引出電極が水晶振動板の表裏主面に形成されることになる。これにより、振動モード（１，３，３）のスプリアスの発生抑制だけでなく、他の振動モードのスプリアスの発生も抑制することができる。
【００３７】
なお上記構成によれば、第１接着電極７ａおよび第２接着電極７ｂが、平面視で互いに重畳しない辺であるＬ１およびＬ２の辺全体に沿って形成されているため、励振電極および引出電極を水晶振動板の長辺中央および短辺中央に対して対称に形成した場合、水晶振動素子の容器への搭載時の方向性を水晶振動素子の外形のみで認識することができる。これにより圧電振動素子の各種電極の形状を画像認識すること圧電振動素子の搭載方向を識別する従来方法に比べ、簡便でより確実に圧電振動素子の搭載方向を識別することが可能となる。これは水晶振動板上の電極を画像認識の基準とする場合、画像認識の際に照明部から照射される光が金属膜である電極表面で反射して認識し難くなることがあるのに対し、非金属材料である水晶振動板の外形を認識基準とすることで反射等の問題を抑制することができるためである。これにより画像認識に要する時間を短縮することができるため生産効率が向上する。
【００３８】
なお水晶振動板が長辺中央および短辺中央に対して対称性を有する構造であり、かつ第１接着電極および第２接着電極が水晶振動板の表裏主面の各々の矩形を構成する一組の対向辺のうちの１辺であって、平面視で互いに重畳しない１辺全体に沿って形成し、励振電極および引出電極を水晶振動板の長辺中央および短辺中央に対して対称に形成することによって、水晶振動素子の長辺方向一端側を片持ち支持接合する場合に水晶振動素子の長辺両端のいずれの端部であっても容器に搭載することができる。
【００３９】
なお、本発明の実施形態では、水晶振動素子と水晶振動素子搭載用パッドとの導電接合を導電性接着剤を介して行なっている。しかしながら、水晶振動素子と水晶振動素子搭載用パッドとの接合は導電性接着剤に限定されるものではなく、他の接合手段であってもよい。例えば、導電性のバンプを介して、超音波を印加した熱圧着（いわゆるＦＣＢ法（Ｆｌｉｐ  Ｃｈｉｐ  Ｂｏｎｄｉｎｇ））によって水晶振動素子と水晶振動素子搭載用パッドとを導電接合してもよい。また、蓋と容器との接合方法はシーム溶接法だけでなく、他の接合方法も適用可能である。例えばガラス樹脂を加熱雰囲気下で溶融させて蓋と容器とを接合する方法や、ＡｕＳｎ等の合金を加熱雰囲気下で溶融させて蓋と容器とを接合する方法も適用可能である。
【００４０】
本発明の実施形態では表面実装型の水晶振動子を例に挙げているが、水晶振動子以外に水晶発振器などの他の圧電振動デバイスへも適用可能である。
【００４１】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
圧電振動デバイスの量産に適用できる。
【符号の説明】
【００４３】
１    水晶振動子
２    水晶振動素子
３    容器
４    水晶振動素子搭載用パッド
５、５ａ、５ｂ    励振電極
６    引出電極
６ａ    第１引出電極
６ｂ    第２引出電極
７    接着電極
７ａ    第１接着電極
７ｂ    第２接着電極
１１ａ、１１ｂ    無電極領域
１２    導電性接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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