(57)【要約】【課題】レーザ待機状態からレーザ運転状態へと短時間で移行可能なガスレーザ発振器を提供する。【解決手段】レーザガスが循環するガス流路１０に設けられた放電管１１〜１４と、電源出力指令を出力する出力指令部４１と、電源出力指令値Ｓに応じた放電管電圧Ｖを放電管１１〜１４に印加する電源部２と、放電管電圧Ｖを検出する電圧検出部２７１，２７２と、放電管電圧Ｖの変化割合に基づき放電管１１〜１４で放電が開始したか否かを判定する放電開始判定部３とを備える。出力指令部４１は、電源部２が電源出力指令に対し応答するまでに要する時間を基準として定めたステップ時間幅Δｔで、かつ、予め定めた基準となる放電開始電圧に対応する電源出力指令値Ｓａを２以上のステップ数で除算した電源出力指令値Ｓの上げ幅ΔＳで、電源出力指令値Ｓをステップ状に上昇させる。【選択図】図１
2014192199.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザガスが循環するガス流路に設けられた放電管と、
電源出力指令を出力する出力指令部と、
前記出力指令部から出力された電源出力指令値に応じた放電管電圧を前記放電管に印加する電源部と、
前記放電管電圧を検出する電圧検出部と、
前記出力指令部から出力された電源出力指令値に対する前記電圧検出部で検出された放電管電圧の変化割合に基づき、前記放電管で放電が開始したか否かを判定する放電開始判定部と、を備え、
前記出力指令部は、前記電源部が前記電源出力指令に対し応答するまでに要する時間を基準として定めたステップ時間幅で、かつ、予め定めた基準となる放電開始電圧に対応する電源出力指令値を２以上のステップ数で除算した電源出力指令値の上げ幅で、前記電源出力指令値をステップ状に上昇させることを特徴とするガスレーザ発振器。
【請求項２】
請求項１に記載のガスレーザ発振器において、
前記ガス流路内のレーザガス圧を調整するガス圧調整部をさらに備え、
前記ガス圧調整部は、前記出力指令部から電源出力指令が出力される前の待機時間の増加に伴い、前記ガス流路内のレーザガス圧を徐々に減少させることを特徴とするガスレーザ発振器。
【請求項３】
レーザガスが循環するガス流路に設けられた放電管と、
電源出力指令を出力する出力指令部と、
前記出力指令部から出力された電源出力指令値に応じた放電管電圧を前記放電管に印加する電源部と、
前記放電管電圧を検出する電圧検出部と、
前記出力指令部から出力された電源出力指令値に対する前記電圧検出部で検出される放電管電圧の変化割合に基づき、前記放電管で放電が開始したか否かを判定する放電開始判定部と、
前記ガス流路内のレーザガス圧を調整するガス圧調整部と、を備え、
前記ガス圧調整部は、前記出力指令部から電源出力指令が出力される前の待機時間の増加に伴い、前記ガス流路内のレーザガス圧を徐々に減少させることを特徴とするガスレーザ発振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電開始を判定する機能を有するガスレーザ発振器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、放電が正常に行われているときのレーザ電源への指令電圧に対する放電管電圧の変化割合を予め記憶し、この変化割合と指令電圧を上昇させた際に測定される放電管電圧の変化割合との差が閾値以内となったときに、放電が開始と判定するようにしたガスレーザ発振器が知られている（例えば特許文献１参照）。この特許文献１記載のガスレーザ発振器では、第１の時間間隔（例えば０．１秒〜１秒）で指令電圧をステップ状に上昇させるとともに、各ステップ電圧の先頭部分に、第２の時間間隔（例えば１０マイクロ秒〜１００マイクロ秒）だけパルス状の指令電圧（パルス電圧）を重畳する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−２２２５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１記載のガスレーザ発振器のように、指令電圧としてステップ電圧にパルス電圧を重畳すると、レーザ電源を流れる電流がオーバーシュートし、レーザ電源内のパワー素子に過電流が流れるおそれがある。これを防止するためには、放電開始が判定されるまで指令電圧を徐々に上昇させる必要があり、レーザ待機状態からレーザ運転状態に移行するまでに比較的長い時間を要していた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様であるガスレーザ発振器は、レーザガスが循環するガス流路に設けられた放電管と、電源出力指令を出力する出力指令部と、出力指令部から出力された電源出力指令値に応じた放電管電圧を前記放電管に印加する電源部と、放電管電圧を検出する電圧検出部と、出力指令部から出力された電源出力指令値に対する電圧検出部で検出される放電管電圧の変化割合に基づき、放電管で放電が開始したか否かを判定する放電開始判定部と、を備える。出力指令部は、電源部が電源出力指令に対し応答するまでに要する時間を基準として定めたステップ時間幅で、かつ、予め定めた基準となる放電開始電圧に対する電源出力指令値を２以上のステップ数で除算した電源出力指令値の上げ幅で、電源出力指令値をステップ状に上昇させる。
【０００６】
本発明の別の態様であるガスレーザ発振器は、レーザガスが循環するガス流路に設けられた放電管と、電源出力指令を出力する出力指令部と、出力指令部から出力された電源出力指令値に応じた放電管電圧を前記放電管に印加する電源部と、放電管電圧を検出する電圧検出部と、出力指令部から出力された電源出力指令値に対する電圧検出部で検出される放電管電圧の変化割合に基づき、放電管で放電が開始したか否かを判定する放電開始判定部と、ガス流路内のレーザガス圧を調整するガス圧調整部と、を備える。出力指令部は、放電開始が指令されると電源出力指令を出力し、ガス圧調整部は、電源出力指令が出力される前の待機時間の増加に伴い、ガス流路内のレーザガス圧を徐々に減少させる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のガスレーザ発振器によれば、レーザ待機状態からレーザ運転状態へと短時間で容易に移行することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るガスレーザ発振器の概略構成を示す図。
【図２】電源出力指令値と放電管電圧の関係を示す図。
【図３】図１のガスレーザ発振器による出力電源指令値の制御特性の一例を示す図。
【図４Ａ】図３の比較例を示す図。
【図４Ｂ】図３の別の比較例を示す図。
【図５】本発明の第２の実施形態に係るガスレーザ発振器によるレーザガス圧の制御特性の一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
−第１の実施形態−
以下、図１〜図４Ｂを参照して本発明によるガスレーザ発振器の第１の実施形態について説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係るガスレーザ発振器１００の概略構成を示す図である。このガスレーザ発振器１００は、共振器１と、共振器１の放電管１１〜１４に電力を供給する電源部２と、ガスレーザ発振器１００の動作全般を制御する数値制御装置（ＣＮＣ）３と、電源部２とＣＮＣ３との間で通信を行うインターフェイス部４とを備える。
【００１０】
共振器１は、レーザ媒質であるレーザガスが循環するガス流路１０を有する。レーザガスは、例えば二酸化炭素、ヘリウムおよび窒素を、所定の組成比で混合したものである。ガス流路１０は、放電管ホルダ１０ａを有する第１流路１０１と、第１流路１０１に対し並列に形成された放電管ホルダ１０ｂが設けられた第２流路１０２とを有する。第１流路１０１には、放電管ホルダ１０ａを挟んで一対の放電管１１，１２が設けられ、第２流路１０２には、放電管ホルダ１０ｂを挟んで一対の放電管１３，１４が設けられている。
【００１１】
放電管１１，１３側の端部には、それぞれ折返鏡１０５，１０６が設けられ、放電管１２側の端部には出力鏡１０７が、放電管１４側の端部にはリア鏡１０８がそれぞれ設けられている。放電管１１〜１４は、流路１０１，１０２を挟んで互いに対向して配置された一対の主電極１１ａ〜１４ａをそれぞれ有する。主電極１１ａ〜１４ａの流路方向側方（レーザガスの流れ方向上流側）には、それぞれ補助電極１１ｂ〜１４ｂが設けられている。主電極１１ａ〜１４ａおよび補助電極１１ｂ〜１４ｂには、それぞれ電源部２から高周波電力が供給される。
【００１２】
ガス流路１０には、ターボブロワ１５が設けられている。ターボブロワ１５の回転により、図の矢印に示すように、放電管１１〜１４の一端側からレーザガスが吸い込まれ、ターボブロワ１５から排出される。ターボブロワ１５から排出されたレーザガスは、放電管１１〜１４の他端側にそれぞれ供給され、ガス流路１０を循環する。
【００１３】
ターボブロワ１５の上流側および下流側にはそれぞれ熱交換器１６ａ，１６ｂが設けられ、ガス流路１０を循環するレーザガスは、熱交換器１６ａ，１６ｂにより冷却される。熱交換器１６ａ，１６ｂには、冷却水循環システム１７により冷却媒体として冷却水が供給される。ガス流路１０内におけるレーザガスの圧力は、レーザガスを供給、排出するレーザガス圧制御システム１８により制御される。すなわち、レーザガス圧制御システム１８は、レーザガスを給排する制御弁を有し、制御弁の開閉によりレーザガス圧が制御される。
【００１４】
電源部２は、放電管１１，１３（主電極１１ａ，１３ａと補助電極１１ｂ，１３ｂ）に電圧を印加する第１電源部２１と、放電管１２，１４（主電極１２ａ，１４ａと補助電極１２ｂ，１４ｂ）に電圧を印加する第２電源部２２とを有する。第１電源部２１は、レーザ電源２３１とマッチングユニット２４１とを有し、第２電源部２２は、レーザ電源２３２とマッチングユニット２４２とを有する。なお、レーザ電源２３１，２３２の構成は互いに等しく、マッチングユニット２４１，２４２の構成も互いに等しい。レーザ電源２３１，２３２を符号２３で表し、マッチングユニット２４１，２４２を符号２４で表すこともある。
【００１５】
レーザ電源２３１，２３２は、それぞれＤＣ電流Ａを検出する電流検出部２７１，２７２を有し、マッチングユニット２４１，２４２は、それぞれ放電管電圧Ｖを検出する電圧検出部２８１．２８２を有する。さらに、レーザ電源２３１，２３２は自己保護回路２９をそれぞれ有する。自己保護回路２９は過電流防止回路であり、電流検出部２７１，２７２により検出されたＤＣ電流Ａが回路で設定した閾値Ａ１に達すると過電流防止回路が動作し、電源出力指令値に拘わらずＤＣ電流Ａの出力を停止させ、放電管電圧Ｖを０まで低下させる。これにより、ガスレーザ発振器１００の動作が強制的に停止し、ＤＣ電流Ａが遮断され、レーザ電源が過電流で破損することを防止する。このようなガスレーザ発振器１００の停止動作を、アラーム停止と呼ぶ。
【００１６】
インターフェイス部４は、レーザ電源２３１，２３２にそれぞれ電源出力指令値Ｓ１，Ｓ２を出力する出力指令部４１と、電流検出部２７１，２７２および電圧検出部２８１，２８２からの信号を取り込むモニタ部４２とを有する。電源出力指令値Ｓ１，Ｓ２を総称して単にＳと表す場合もある。レーザ電源２３１，２３２は、電源出力指令値Ｓ１，Ｓ２に応じた放電管電圧を主電極１１ａ〜１４ａおよび補助電極１１ｂ〜１４ｂに印加する。
【００１７】
主電極１１ａ〜１４ａに電力が供給されると、放電管１１〜１４内のレーザガス中で放電が開始される。この主放電により、レーザガスが励起されて光を発生し、出力鏡１０７，リア鏡１０８との間で共振が起こって誘導放出により光が増幅され、その一部が出力鏡１０７から取り出される。取り出されたレーザ光は、レーザ加工等に使用される。以下、レーザ発振器１００がレーザビームを出力可能なレーザ状態をレーザ運転状態といい、レーザビームを出力不能な状態をレーザ待機状態という。レーザ待機状態では、主電極１１ａ〜１４ａおよび補助電極１１ｂ〜１４ｂに電源部２から電圧が印加されず、主放電および補助放電のいずれもが消滅している。
【００１８】
一方、レーザ運転状態においては、レーザ出力がゼロ（０Ｗ）であっても電源部２から主電極１１ａ〜１４ａ、および補助電極１１ｂ〜１４ｂに一定量の電力が供給され続ける。供給される電力量は主電極１１ａ〜１４ａによる主放電が消滅した状態で、補助電極１１ｂ〜１４ｂによる補助放電のみが開始した状態に調整される。この補助放電は、微弱な放電のためレーザ出力には直接的には寄与しないが、レーザ出力がゼロ（０Ｗ）の主放電が消滅した状態（ベース放電の状態）においても主放電を開始しやすくするための補助放電として維持される。すなわち、レーザ出力がゼロのときにも、ガスレーザ発振器１００が完全に停止されない限り、電源部２は、補助放電が維持される待機電力を出力する。
【００１９】
このような補助放電が開始したレーザ運転状態とすることで、レーザ電源２３に電源出力指令がなされた場合に、レーザ電源２３と放電負荷とのインピーダンスの整合をとることができる。これに対し、補助放電が開始されていない状態でレーザ電源２３に出力指令（ビーム出射）がなされると、レーザ電源２３と放電負荷とのインピーダンスの整合が取れず、放電管１１〜１４に過大な電圧が印加される。その結果、レーザ電源２３に過電流が流れ、レーザ電源２３が破損またはアラーム停止するおそれがある。
【００２０】
図２は、電源出力指令値Ｓと電圧検出部２８１，２８２で検出された放電管電圧Ｖとの関係を示す図である。図２に示すように、放電管電圧Ｖが０のレーザ待機状態から電源出力指令値Ｓを上昇させると、放電管電圧Ｖが増加する。主放電が開始されると、電源出力指令値Ｓに対する放電管電圧Ｖの変化割合（特性の傾き）が小さくなる。したがって、正常時（例えば工場出荷時または実績のある通常運転時）における電源出力指令値Ｓに対する放電管電圧Ｖの変化割合（基準変化割合）を予め求めておき、電源出力指令値Ｓに対する放電管電圧Ｖの変化割合と基準変化割合との差が予め定めた閾値以内となったときに、放電開始と判定することができる。
【００２１】
補助放電は主放電が開始される前に既に開始されている。例えば図２の点Ａにおいて補助放電が開始されているが、補助放電の開始時には放電管電圧Ｖの変化割合に顕著な変化が見られず、補助放電のみの開始を判定することは困難である。そこで、主放電の開始を判定することで、補助放電の開始も同時に判定する。この主放電の開始を判定した後に、所定量または所定割合だけ電源出力指令値Ｓを低下させ、主放電を消滅させることで、補助放電のみが点灯したレーザ運転状態とすることができる。
【００２２】
ところで、レーザ運転状態においては、補助放電を点灯するために電力が消費される。このため、消費電力を低減する観点からは、例えば、ある加工が終了して次の加工へ移動する場合等のレーザ加工時以外には、できるだけレーザ待機状態とすることが好ましい。しかしながら、レーザ待機状態からレーザ運転状態に復帰するのに時間がかかると、加工効率の低下を招く。一方、加工効率の低下を抑えるために、レーザ待機状態への移行をとりやめたのでは、レーザ運転状態が長引き、消費電力を低減できない。そこで、本実施形態では、レーザ待機状態からレーザ運転状態への短時間の復帰動作を可能とするため、以下のようにレーザ電源２３への電源出力指令を制御する。
【００２３】
出力指令部４１からの電源出力指令は、ＣＮＣ３により制御される。図３は、本実施形態に係るガスレーザ発振器１００においてレーザ待機状態からレーザ運転状態へ移行する際の一特性を示す図である。図中の実線は、電源出力指令値Ｓの時間変化を示し、点線は、電源部２のパワー素子を流れる電流Ａの時間変化を示す。
【００２４】
図３に示すように、ＣＮＣ３は、所定の時間幅Δｔ（ステップ時間幅）かつ電源出力指令値Ｓの上げ幅ΔＳ（指令値上げ幅）で電源出力指令値Ｓをステップ状に上昇させる。時間幅Δｔは、電源部２が電源出力指令に対し応答するまでに要する時間（応答時間）を基準として予め定める。すなわち、Δｔは、少なくとも応答時間以上で、かつ、放電開始に要する時間ｔ１が数秒程度（例えば２秒程度）となるように定める。具体的には、応答時間を１μ秒とすると、Δｔは１μ秒〜数十μ秒の間、好ましくは１μ秒〜１０μ秒の間で設定される。なお、応答時間をパラメータとした関数でΔｔを定めることもできる。例えば応答時間に所定の係数を乗算した値をΔｔとしてもよい。
【００２５】
一方、指令値上げ幅ΔＳは、予め定めた基準となる放電開始電圧に相当する電源出力指令値（基準指令値Ｓａ）と、ステップ上昇の目標ステップ数Ｎとにより定まる。基準となる放電開始電圧は、例えば、基準のガス状態（ガス組成、ガス温度等）の下、実験や解析等により定めた放電開始時の電圧である。なお、実際の放電開始電圧はガス状態によって変化し、放電開始時の電源出力指令値Ｓが基準指令値Ｓａに一致するとは限らないが、図３では、便宜上、一致するものとして示している。
【００２６】
目標ステップ数Ｎは、少なくとも２以上であり、例えば２〜１０の範囲で定める。図３の例では、Ｎ＝４である。ＣＮＣ３は、基準指令値Ｓａを目標ステップＮで除算した値を、指令値上げ幅ΔＳとして算出する。そして、放電開始が指令されてから時間幅Δｔ分だけ時間が経過する毎に、指令値上げ幅Δ分だけ電源出力指令値Ｓが増加するように、出力指令部４１に制御信号を出力する。
【００２７】
これにより図３に示すように、レーザ電源２３に出力される電源出力指令値Ｓがステップ状に上昇する。電源出力指令値Ｓのステップ上昇は、電源出力指令値Ｓに対する放電管電圧Ｖの変化割合が小さくなってＣＮＣ３が放電開始を判定するまで継続される。ＣＮＣ３が放電開始を判定すると、電源出力指令値Ｓのステップ上昇を停止し、レーザ運転状態へと移行する。
【００２８】
放電開始時において、電源出力指令値Ｓがステップ状に上昇すると、パワー素子を流れる電流Ａが瞬間的に増大し、図３に示すような電流のオーバーシュートが発生する。このオーバーシュートは、指令値上げ幅ΔＳが大きいほど大きくなる。本実施形態では、電源出力指令値Ｓを２以上のステップで上昇させているので、指令値上げ幅ΔＳが小さく、オーシュートを抑えることができる。その結果、パワー素子に流れる電流Ａの最大値が、過電流防止回路が作動する電流（過電流制限値Ａｍａｘ）以下となり、放電開始時のアラーム停止を防止することができる。
【００２９】
また、本実施形態では、ステップ上昇の時間幅Δｔを、電源部２の応答時間を考慮して短い時間（例えば１μ秒〜１０μ秒程度）に設定しているので、放電開始に要する時間ｔ１を大幅に短縮することができる。その結果、レーザ待機状態からレーザ運転状態へと即座に移行することができ、加工効率を低下させることなく、消費電力を低減することができる。すなわち、主放電および補助放電が消滅したレーザ待機状態の時間が長くなり、燃費を向上することができる。
【００３０】
これに対し、図４Ａに示すように、例えば１回のステップで電源出力指令値Ｓを基準指令値Ｓａ相当まで上昇させた場合（実線）、パワー素子を流れる電流Ａ（点線）のオーバーシュート量が大きくなり、電流Ａの最大値が過電流制限値Ａｍａｘを超えるおそれがある。その結果、過電流防止回路が作動し、アラーム停止を引き起こす。一方、図４Ｂの実線に示すように、電源出力指令値Ｓを放電が開始するまで徐々に上昇させると（実線）、パワー素子を流れる電流Ａ（点線）のオーバーシュートを抑えることができるが、この場合には放電開始までに比較的長い時間がかかる。
【００３１】
−第２の実施形態−
図５を参照して本発明の第２の実施形態について説明する。なお、以下では第１の実施形態との相違点を主に説明する。第２の実施形態では、レーザ待機状態の時間経過に伴う放電開始の悪化を考慮する。すなわち、レーザ待機時間が長くなると、レーザガス温度およびレーザ発振器内部の温度が低下して放電が開始しにくくなり、レーザ運転状態への復帰に長い時間を要する。また、放電負荷（ガス組成、ガス温度等）の影響により、レーザ待機状態からレーザ運転状態への復帰時間のばらつきも大きくなる。この点を考慮して、レーザ待機時間が長い場合であってもレーザ運転状態に早期に復帰可能としたのが第２の実施形態である。
【００３２】
第２の実施形態では、ＣＮＣ３がレーザガス圧制御システム１８の制御弁を制御し、ガス流路１０内のレーザガス圧を制御する。すなわち、レーザ運転状態においては、レーザガス圧制御システム１８の動作により、ガス流路１０内のレーザガス圧が予め定めた運転ガス圧となるようにレーザガスの吸気量および排気量を制御する。一方、レーザ待機状態においては、ガス流路１０へのレーザガスの供給を遮断し、予め定めた制御特性に従いレーザガス圧を徐々に低下させる。
【００３３】
図５の実線は、レーザ待機状態におけるレーザガス圧Ｐの制御特性を示す図である。なお、図５の点線は、レーザガス温度Ｔの変化を示す。図５に示すように、本実施形態では、待機時間の経過に伴いレーザガス圧Ｐを徐々に低下させる。より厳密には、レーザ待機状態に移行後、所定時間ｔａが経過するまではレーザガス圧Ｐを所定の運転ガス圧Ｐａに保ち、その後、レーザガス圧Ｐが所定の待機ガス圧Ｐｂに至るまで時間経過に伴いレーザガス圧Ｐを徐々に低下させる。レーザガス圧Ｐが待機ガス圧Ｐｂに至ると、以降、レーザガス圧制御システム１８の動作を再開し、レーザガス圧Ｐを待機ガス圧Ｐｂに維持する。この制御特性は、図５のレーザガス温度の特性に対応している。
【００３４】
このとき、運転ガス圧Ｐａと待機ガス圧Ｐｂとの差は例えば１０ｈＰａ程度である。レーザガス圧Ｐは大気圧より低いため、真空ポンプを用いてレーザガス圧Ｐを低下させる。このように待機時間の経過に伴いレーザガス圧Ｐを徐々に低下させることで、放電開始が促進され、図３に示すように電源出力指令値Ｓをステップ状に上昇させてレーザ運転状態へ復帰させる際の復帰時間の遅れと復帰時間のばらつきを抑制することができる。
【００３５】
第２の実施形態では、レーザ待機状態においてガス流路１０からレーザガスを排気するため、レーザ運転状態に復帰した際、待機中に排気した分のレーザガス圧Ｐが不足する。しかしながら、レーザ加工するために放電管１１〜１４への印加電圧を高めると、レーザガス温度Ｔが瞬時に上昇し、レーザガスが膨張する。これにより、レーザガス圧Ｐを所定の運転ガス圧に容易に戻すことができる。また、レーザ待機状態におけるレーザガス圧Ｐは大気圧よりも小さいため、制御弁を介して高圧のガスボンベからレーザガスを供給することで、レーザガス圧Ｐを即座に運転ガス圧に戻すことができる。
【００３６】
なお、上記第２の実施形態における電源出力指令値Ｓの上昇のパターンを、図３とは異なるものにしてもよい。すなわち、ガスレーザ発振器１００がガス流路１０内のレーザガス圧Ｐを調整するレーザガス圧制御システム１８（ガス圧調整部）を備え、ＣＮＣ３が出力指令部４１から電源出力指令が出力される前の待機時間の増加に伴い、ガス流路１０内のレーザガス圧Ｐを徐々に減少させるようにガス圧調整部を制御するのであれば、図３に示すように時間幅Δｔと指令値上げ幅ΔＳを用いて電源出力指令値Ｓをステップ状に上昇させるのではなく、他のパターンで電源出力指令値を上昇させてもよい。
【００３７】
上記実施形態（図１）では、ガスレーザ発振器１００が複数の電源部２１，２２と複数の放電管１１〜１４を備えるようにしたが、電源部と放電管の個数は上述したものに限らない。例えば、電源部が１つであってもよく、電源部と放電管の両方が１つであってもよい。上記実施形態では、正常時における電源出力指令値Ｓに対する放電管電圧Ｖの変化割合（基準変化割合）を予め求めて記憶しておき、ＣＮＣ３が、電源出力指令値Ｓに対する放電管電圧Ｖの変化割合と基準変化割合との差が予め定めた閾値以内となったときに、放電開始と判定するようにしたが、出力指令部４１から出力された電源出力指令値Ｓに対する電圧検出部２８１，２８２で検出された放電管電圧の変化割合に基づき放電開始を判定するのであれば、放電開始判定部の構成はいかなるものでもよい。
【００３８】
以上の説明はあくまで一例であり、本発明の特徴を損なわない限り、上述した実施形態および変形例により本発明が限定されるものではない。上記実施形態および変形例の構成要素には、発明の同一性を維持しつつ置換可能かつ置換自明なものが含まれる。すなわち、本発明の技術的思想の範囲内で考えられる他の形態についても、本発明の範囲内に含まれる。また、上記実施形態と変形例の１つまたは複数を任意に組み合わせることも可能である。
【符号の説明】
【００３９】
２    電源部
３    ＣＮＣ
１１〜１４    放電管
１８    レーザガス圧制御システム
４１    出力指令部
２３１，２３２    レーザ電源
２８１，２８２    電圧検出部
Δｔ    ステップ時間幅
ΔＳ    指令値上げ幅
Ｓａ    基準指令値
Ｎ    ステップ数
【図１】
2014192199.tif 000003
【図２】
2014192199.tif 000004
【図３】
2014192199.tif 000005
【図４Ａ】
2014192199.tif 000006
【図４Ｂ】
2014192199.tif 000007
【図５】
2014192199.tif 000008