(57)【要約】【課題】裏面に保護テープが貼着された矩形基板を切削ブレードによって切削することにより形成された複数のデバイスを保護テープから剥離し複数のデバイスを効率よく所定の場所に収容する。【解決手段】テープ剥離装置１は、デバイス移載手段７により複数のデバイスＤを剥離ステージ４から落とし込みテーブル５に移載する際に、デバイス落とし込み手段８が、複数のデバイスＤを上方から押さえながら複数のデバイスＤの移載に追従して動き、かつ、移載された複数のデバイスＤを落とし込みテーブル５からバルク収容手段６に落とし込むことができるため、デバイスＤの向きを一定に保ちつつ、複数のデバイスＤを落とし込みテーブル５に確実に移載して効率よくバルク収容手段６に落とし込むことができる。【選択図】図４
2014132616.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のデバイスが外周端材に囲繞され縦横に形成された分割予定ラインによって区画されて形成された矩形基板の裏面に保護テープが貼着され、あらかじめ切削ブレードによって該分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割されかつ長手方向の外周端材が除去された状態で、該複数のデバイスを該保護テープから剥離してバルク収容するテープ剥離装置であって、
複数のデバイスが表面に貼着された保護テープを複数収容したカセットが載置されるカセットステージと、
該カセットから複数のデバイスが貼着された保護テープを搬出する搬出手段と、
搬出された該保護テープから該複数のデバイスを剥離するために、該複数のデバイスが貼着された該保護テープが載置される剥離ステージと、
該保護テープから剥離された複数のデバイスをバルク収容するバルク収容手段と、
該バルク収容手段の上方に配設され、該バルク収容手段に落とし込まれる該複数のデバイスが載置される落とし込みテーブルと、
該剥離ステージに載置された該保護テープを剥離しながら該複数のデバイスを該剥離ステージから該落とし込みテーブルに移載するデバイス移載手段と、
該落とし込みテーブルに移載された該複数のデバイスを該落とし込みテーブルから該バルク収容手段に落とし込むデバイス落とし込み手段と、
から構成され、
該落とし込み手段は、該デバイス移載手段により複数のデバイスを該剥離ステージから該落とし込みテーブル上に移載する際に、該複数のデバイスを上方から押さえながら該複数のデバイスの移載に追従して動き、かつ、移載された該複数のデバイスを該落とし込みテーブルから該バルク収容手段に落とし込むこと、を特徴とする
テープ剥離装置。
【請求項２】
前記落とし込みテーブルは、前記剥離ステージと所定の間隔離隔した離隔位置と該剥離ステージに隣接した隣接位置とに移動可能に構成され、
該バルク収容手段は、該落とし込みテーブルの該離隔位置の下方に配設され、
前記デバイス移載手段は、該剥離ステージに載置された矩形基板の短手方向の外周端材を前記保護テープとともに把持する把持部と、該把持部を該剥離ステージの下方に降下させ該矩形基板の裏面から該保護テープを徐々に剥離する把持部可動部と、から構成され、
該落とし込みテーブルが該隣接位置に位置づけられた状態で、該複数のデバイスが該剥離ステージから該落とし込みテーブルに移載されること、を特徴とする
請求項１に記載のテープ剥離装置。
【請求項３】
前記矩形基板は、中間端材により複数のデバイスごとに区画されており、
前記剥離ステージの下方には、前記落とし込みテーブルが前記離隔位置に位置づけられた際の前記所定の間隔から落下した矩形基板の該中間端材及び前記保護テープを収容する収容ボックスが配設され、
該中間端材は、該落とし込みテーブルが該離隔位置に位置づけられた状態で、前記デバイス移載手段により該保護テープが該剥離ステージの下方に送られる際に該保護テープから剥離され前記収容ボックスに落下すること、を特徴とする
請求項１又は２に記載のテープ剥離装置。
【請求項４】
前記落とし込みテーブルには、前記複数のデバイスを落とし込むための開口が設けられ、
前記バルク収容手段は、該開口から下方に向けて傾斜面が形成されたデバイス落とし部材と、該開口から落とし込まれ該デバイス落とし部材の該傾斜面を滑って落下した複数のデバイスを収納するデバイス収容ボックスと、該デバイス落とし部材の該傾斜面全面を撮像する撮像手段と、該撮像手段によって取得した該傾斜面の画像情報により該傾斜面にデバイスが付着しているか否かの判断を行う判断部と、該判断部が該傾斜面にデバイスが付着していると判断した場合に報知を行う報知部と、から構成される
請求項１、２又は３に記載のテープ剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保護テープに貼着された分割済みのデバイスを保護テープから剥離して所定の場所に収容するテープ剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話機やパソコン等の各種電子機器は、より軽量化、小型化することが求められており、電子機器に搭載される半導体デバイスのパッケージについても、チップサイズパッケージ（ＣＳＰ）と呼ばれる小型化できる技術が開発されている。
【０００３】
ＣＳＰ技術の１つとして、ＱＦＮ(Quad Flat Non-lead Package)と呼ばれるパッケージ技術が実用化されており、この技術によって形成されたパッケージ基板を分割予定ラインに沿って切断することにより、個々にパッケージされたパッケージデバイスであるＣＳＰに分割される。パッケージ基板を分割する際には、パッケージ基板を保持して搬送し、治具に固定した状態で切削加工を行い、パッケージ基板の分割により形成された個々のパッケージデバイスをトレーに収容するという機能を有する装置が開発されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、パッケージデバイスサイズについては、３ｍｍ角以下への小型化の要請があるため、特許文献１に記載されているように、パッケージ基板を治具に直接固定した状態で切削加工を行うと、切削後の個々のパッケージデバイスが小さいためにパッケージデバイスを吸引保持することが困難となり、パッケージデバイスが飛散したり加工時に動いてしまったりして製品不良となるおそれがある。そのため、矩形基板の裏面側に保護テープを貼着し、切削ブレードをパッケージ基板の表面から保護テープに至るまで切り込ませることによりパッケージデバイスに分割することが必要となっている。そこで、矩形基板の裏面に保護テープを貼着した状態で切削加工を行い、矩形基板がパッケージデバイスに分割された後に、保護テープからデバイスを効率よくピックアップすることができる装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２３９３６号公報
【特許文献２】特開２００６−１５６７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、デバイスサイズの小型化により、デバイスを１つずつトレーに収容していたのでは時間がかかりすぎるという問題がある。また、パッケージデバイスは、半導体チップと比較すると、比較的破損しにくいため、１つずつピックアップして収容する必要もないと考えられる。
【０００７】
本発明は、上記問題にかんがみなされたもので、その目的は、裏面に保護テープが貼着された矩形基板を切削ブレードによって切削することにより形成された複数のデバイスを保護テープから剥離し、複数のデバイスを効率よく所定の場所に収容することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、複数のデバイスが外周端材に囲繞され縦横に形成された分割予定ラインによって区画されて形成された矩形基板の裏面に保護テープが貼着され、あらかじめ切削ブレードによって分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割されかつ長手方向の外周端材が除去された状態で、複数のデバイスを保護テープから剥離してバルク収容するテープ剥離装置であって、複数のデバイスが表面に貼着された保護テープを複数収容したカセットが載置されるカセットステージと、カセットから複数のデバイスが貼着された保護テープを搬出する搬出手段と、搬出された保護テープから複数のデバイスを剥離するために、複数のデバイスが貼着された保護テープが載置される剥離ステージと、保護テープから剥離された複数のデバイスをバルク収容するバルク収容手段と、バルク収容手段の上方に配設され、バルク収容手段に落とし込まれる複数のデバイスが載置される落とし込みテーブルと、剥離ステージに載置された保護テープを剥離しながら複数のデバイスを剥離ステージから落とし込みテーブルに移載するデバイス移載手段と、落とし込みテーブルに移載された複数のデバイスを落とし込みテーブルからバルク収容手段に落とし込むデバイス落とし込み手段と、から構成され、落とし込み手段は、デバイス移載手段により複数のデバイスを剥離ステージから落とし込みテーブル上に移載する際に、複数のデバイスを上方から押さえながら複数のデバイスの移載に追従して動き、かつ、移載された複数のデバイスを落とし込みテーブルからバルク収容手段に落とし込むこと、を特徴とする。
【０００９】
落とし込みテーブルは、剥離ステージと所定の間隔離隔した離隔位置と剥離ステージに隣接した隣接位置とに移動可能に構成され、バルク収容手段は、落とし込みテーブルの離隔位置の下方に配設され、デバイス移載手段は、剥離ステージに載置された矩形基板の短手方向の外周端材を保護テープとともに把持する把持部と、把持部を剥離ステージの下方に降下させ矩形基板の裏面から保護テープを徐々に剥離する把持部可動部と、から構成され、落とし込みテーブルが隣接位置に位置づけられた状態で、複数のデバイスが剥離ステージから落とし込みテーブルに移載される。
【００１０】
矩形基板は、中間端材により複数のデバイスごとに区画されており、剥離ステージの下方には、落とし込みテーブルが離隔位置に位置づけられた際の所定の間隔から落下した矩形基板の中間端材及び保護テープを収容する収容ボックスが配設され、中間端材は、落とし込みテーブルが離隔位置に位置づけられた状態で、デバイス移載手段により保護テープが剥離ステージの下方に送られる際に保護テープから剥離され収容ボックスに落下する。
【００１１】
落とし込みテーブルには、複数のデバイスを落とし込むための開口が設けられ、バルク収容手段は、開口から下方に向けて傾斜面が形成されたデバイス落とし部材と、開口から落とし込まれデバイス落とし部材の傾斜面を滑って落下した複数のデバイスを収納するデバイス収容ボックスと、デバイス落とし部材の傾斜面全面を撮像する撮像手段と、撮像手段によって取得した傾斜面の画像情報により傾斜面にデバイスが付着しているか否かの判断を行う判断部と、判断部が傾斜面にデバイスが付着していると判断した場合に報知を行う報知部と、から構成される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るテープ剥離装置は、デバイス移載手段により複数のデバイスを剥離ステージから落とし込みテーブル上に移載する際に、デバイス落とし込み手段が、複数のデバイスを上方から押さえながら複数のデバイスの移載に追従して動き、かつ、移載された複数のデバイスを落とし込みテーブルからバルク収容手段に落とし込むことができるため、デバイスの向きを一定に保ちつつ、複数のデバイスを落とし込みテーブルに確実に移載して効率よくバルク収容手段に落とし込むことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】テープ剥離装置の構成の一例を示す斜視図である。
【図２】被剥離ユニットの一例を示す斜視図である。
【図３】分割前矩形基板が保護テープに貼着された状態を示す斜視図である。
【図４】テープ剥離装置の構成の一例を略示的に示す断面図である。
【図５】テープ剥離装置における被剥離ユニットの動きを模式的に示す平面図である。
【図６】剥離ステージに被剥離ユニットが保持された状態を略示的に示す断面図である。
【図７】デバイスを剥離ステージから落とし込みテーブルに移載する状態を略示的に示す断面図である。
【図８】１つのデバイス形成部を構成する複数のデバイスが落とし込みテーブルに移載された状態を略示的に示す断面図である。
【図９】落とし込みテーブルに移載されたデバイスが突き当てに当接して開口から落下する状態を略示的に示す断面図である。
【図１０】デバイスがデバイス落とし部材を通ってバルク収容手段に収容されていく状態を略示的に示す断面図である。
【図１１】デバイス落とし部材の傾斜面を撮像する状態を略示的に示す断面図である。
【図１２】バルク収容手段にすべてのデバイスが収容された状態を略示的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１に示すテープ剥離装置１は、例えば図２に示す分割後矩形基板１００の裏面１００ｂに貼着された保護テープＴから、分割後矩形基板１００を構成する各デバイスＤを剥離して所定の場所にバルク収容する装置である。なお、バルク収容とは、複数のデバイスをまとめて収容することを意味する。
【００１５】
図３に示すように、分割前矩形基板２００においては、デバイス形成部２０１が、長手方向の外周端材２０２ａと短手方向の外周端材２０２ｂとによって囲繞されている。デバイス形成部２０１には、縦横に形成された分割予定ラインＬによって区画されて複数のデバイスＤが形成されている。複数のデバイスＤは、モールド樹脂２０３によって封止されている。また、矩形基板２００は、複数（図示の例では３つ）のデバイス形成部２０１を有しているため、隣り合うデバイス形成部２０１の間には、中間端材２０２ｃが存在しており、中間端材２０２ｃによって複数のデバイスごとのデバイス形成部２０１に区画されている。
【００１６】
図３に示した矩形基板２００の分割予定ラインＬに沿って切削ブレードを保護テープＴに至るまで切り込ませて切削することにより個々のデバイスＤに分割するとともに、長手方向の外周端材２０２ａ及びその下部に貼着された保護テープを切削により除去すると、図２に示したように、分割後矩形基板１００と、分割後矩形基板１００の裏面１００ｂに貼着された保護テープＴとから構成される被剥離ユニット３００が形成される。分割後矩形基板１００においては、分割により形成された個々のデバイスＤが保護テープＴの表面（粘着面）に貼着されていることにより、分割後もデバイス形成部２０１の形状が維持されている。保護テープＴとしては、ＵＶ照射により硬化するタイプのものが使用される。
【００１７】
図１に示すように、テープ剥離装置１は、被剥離ユニット３００が複数収容されたカセット２ａがＹ軸方向に移動可能に載置されるカセットステージ２と、図２に示した被剥離ユニット３００をカセット２ａから搬出する搬出手段３と、搬出された被剥離ユニット３００を構成する保護テープＴから複数のデバイスを剥離するために被剥離ユニット３００が載置される剥離ステージ４とを備えている。
【００１８】
搬出手段３は、被剥離ユニット３００を保持してＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能であり、搬出手段３の可動域には、被剥離ユニット３００が載置される載置台３０が配設されており、載置台３０には、ＵＶ照射器３１を備えている。
【００１９】
剥離ステージ４も、搬送手段３の可動域に配置されている。剥離ステージ４上には、被剥離ユニット３００の短手方向の外周端材２０２ｂを押さえるとともにＸ軸方向に送り出す外周端材送り部４０が配設されている。
【００２０】
図４に示すように、外周端材送り部４０は、剥離テーブル４に対して摺接するスライド部４００を備えており、スライド部４００には、被剥離ユニット３００の下面、すなわち保護テープＴ側を下方から支持する下部支持部４０１と、被剥離ユニット３００の上面、すなわち分割後矩形基板１００の表面側を押さえる上部支持部４０２とを備え、スライド部４００は、スライド駆動部４０３によって駆動されてＸ軸方向にスライド可能となっている。スライド駆動部４０３は、スライド部４００が固定されたベルト４０３ａと、ベルト４０３ａを駆動するモータ４０３ｂと、モータ４０３ｂの回転を検出するエンコーダ４０３ｃとから構成されている。
【００２１】
剥離ステージ４の−Ｘ方向側には、保護テープＴから剥離された複数のデバイスＤが載置される落とし込みテーブル５が配設されている。図４に示すように、落とし込みテーブル５の側部にはピストンロッド５０が連結され、ピストンロッド５０はシリンダ５１によってＸ軸方向に駆動される構成となっている。落とし込みテーブル５は、シリンダ５１によって駆動されてＸ軸方向に移動することにより、剥離ステージ４との間の距離を調整可能となっており、剥離ステージ４と所定の間隔離隔した離隔位置と、剥離ステージ４に隣接した隣接位置との間を移動可能となっている。
【００２２】
落とし込みテーブル５の下方には、保護テープＴから剥離された複数のデバイスをバルク収容するバルク収容手段６が配設されている。すなわち、バルク収容手段６の上方に落とし込みテーブル５が配設されている。
【００２３】
落とし込みテーブル５には、前記複数のデバイスを落とし込むための開口５２が設けられている。また、開口５２よりも剥離ステージ４から−Ｘ方向に離れる側には、落とし込みテーブル５の上面よりも上方に突出する突き当て５３が形成されている。一方、落とし込みテーブル５の下面側には、デバイスＤの落下をガイドするガイド部材５４が配設されている。なお、図１においては突き当て５３の図示を省略している。
【００２４】
バルク収容手段６には、開口５２の下方に位置するデバイス落とし部材６０を備えている。デバイス落とし部材６０は、落下するデバイスをガイドする傾斜面６０ａを備えている。デバイス落とし部材６０の下方には、デバイス落とし部材６０の傾斜面６０ａを滑って落下した複数のデバイスを収納するデバイス収容ボックス６１が配設されている。一方、デバイス落とし部材６０の上方には、傾斜面６０ａ全面を撮像する撮像手段６２が配設されている。撮像手段６２は、Ｘ軸方向に移動可能となっている。撮像手段６２は、撮像手段６２によって取得した傾斜面の画像情報に基づき傾斜面６０ａにデバイスが付着しているか否かの判断を行う判断部６３に接続され、判断部６３は、判断部６３が傾斜面６０ａにデバイスが付着していると判断した場合に報知を行う報知部６４に接続されている。バルク収容手段６は、デバイス落とし部材６０と、デバイス収容ボックス６１と、撮像手段６２と、判断部６３と、報知部６４とで構成されている。
【００２５】
剥離ステージ４の下方には、剥離ステージ４に載置された被剥離ユニット３００の保護テープＴを剥離しながら複数のデバイスを剥離ステージ４から落とし込みテーブル５に移載するデバイス移載手段７が配設されている。
【００２６】
デバイス移載手段７は、被剥離ユニット３００の端部を把持する把持部７０と、把持部７０を剥離ステージ４の下方に降下させ分割後矩形基板１００の裏面１００ｂから保護テープＴを徐々に剥離する把持部可動部７１とから構成される。
【００２７】
把持部７０は、直立部７００ａの上端部から水平方向に屈曲した水平板７００ｂを有する押さえ部材７００と、押さえ部材７００に連結されたロッド７０１と、ロッド７０１を昇降させるシリンダ７０２とを備えている。シリンダ７０２は、水平部７０３ａと起立部７０３ｂとから構成され断面Ｌ字型に形成された回動支持部材７０３に固定されている。
【００２８】
把持部可動部７１は、Ｘ軸方向にのびるレール７１０と、レール７１０に摺接する可動部材７１１と、可動部７１１をＸ軸方向に駆動する駆動部７１２とから構成されている。駆動部７１２は、可動部７１１に固定されたベルト７１２ａと、ベルト７１２ａをＸ軸方向に移動させるモータ７１２ｂとから構成されている。
【００２９】
可動部材７１１は、Ｙ軸方向の軸心を有する回転軸７１１ａを中心として回動支持部材７０３を回転可能に支持している。可動部材７１１は、支持部材７０３に向けて傾斜する斜面７１１ｂを備えており、斜面７１１ｂと支持部材７０３の起立部７０３ｂとの間にはバネ７１３が介在している。バネ７１３は、起立部７０３ｂを起立させるように回動支持部材７０３を付勢している。
【００３０】
剥離ステージ４及び落とし込みテーブル５の上方には、落とし込みテーブル５に移載された複数のデバイスを落とし込みテーブル５からバルク収容手段６に落とし込むデバイス落とし込み手段８が配設されている。
【００３１】
デバイス落とし込み手段８は、平板状に形成された押さえプレート８０を備えており、押さえプレート８０は、駆動部８１によって駆動されてＸ軸方向に移動可能となっている。駆動部８１は、押さえプレート８０に固定されたベルト８１０と、ベルト８１０をＸ軸方向に移動させるモータ８１１とから構成されている。また、押さえプレート８０は、ボールネジ８２の回動によって昇降可能となっている。
【００３２】
剥離ステージ４の下方には、矩形基板１００の中間端材２０２ｃ及び保護テープＴを収容する収容ボックス９が配設されている。
【００３３】
少なくとも外周端材送り部４０を構成するモータ４０３ｂ及びエンコーダ４０３と、デバイス落とし込み手段８を構成するモータ８１１とは、制御部１０に接続されており、制御部１０によってモータ４０３ｂ、８１１が制御される。
【００３４】
次に、以上のように構成されるテープ剥離装置１において、図２に示した被剥離ユニット３００の保護テープＴから複数のデバイスＤを剥離する処理について説明する。
【００３５】
図５に示すように、被剥離ユニット３００は、カセットステージ２に載置されたカセット２ａに収容されており、載置台３０に搬送されて保護テープＴがＵＶ照射器３１からＵＶ照射を受けた後、剥離ステージ４に搬送され、デバイス落とし込み手段５によって、複数のデバイスＤが図４に示したデバイス収容ボックス６１に収容される。
【００３６】
図６に示すように、剥離ステージ４に被剥離ユニット３００の保護テープＴ側が載置されると、スライド部４００を落とし込みテーブル５に近づく方向に押し込んでいき、一端の短手方向の外周端材２０２ｂを外周端材送り部４０の下部支持部４０１と上部支持部４０２との間に挟持する、一方、把持部７０を構成する押さえ部７００の水平板７００ｂを剥離ステージ４の上方に移動させてから押さえ部７００を降下させることにより、他端の短手方向の外周端材２０２ｂを保護テープＴとともに押さえ部７００によって上方から押さえ、把持部７０によって把持する。このとき、落とし込みテーブル５は、剥離ステージ４と所定の間隔離隔した離隔位置に位置している。
【００３７】
次に、図７に示すように、落とし込みテーブル５を剥離ステージ４に近づく方向に近づけていき、剥離ステージ４に隣接した隣接位置まで移動させる。落とし込みテーブル５がかかる隣接位置にある状態においては、落とし込みテーブル５と剥離ステージ４との間に、デバイスＤのＸ軸方向の幅よりも小さく、かつ、保護テープＴの厚さよりも大きい隙間Ｇが形成されている。
【００３８】
次に、デバイス落とし込み手段８の押さえプレート８０を隙間Ｇの上方に位置づけて降下させることにより、短手方向の外周端材２０２ｂの隣のデバイスＤの直上に押さえプレート８０を位置させる。このとき、押さえプレート８０の下面をデバイスＤの上面に若干接触させるか、押さえプレート８０の下面とデバイスＤの上面との間にわずかな隙間を設けるようにする。
【００３９】
また、駆動部７１２の駆動により、把持部可動部７１を＋Ｘ方向に移動させていくと、その移動にともなって回転支持部材７０３が回転軸７１１ａを中心として回転し、バネ７１３の付勢力に抗して斜面７１１ｂに近づく方向に傾いていく。そうすると、把持部７０が降下していくため、保護テープＴ及び短手方向の外周端材２０２ｂが下方に引っ張られていく。また、回転支持部材７０３が所定角度まで傾斜すると、モータ７１２ｂの駆動によって可動部材７１１が＋Ｘ方向に移動していく。
【００４０】
保護テープＴ及び短手方向の外周端材２０２ｂが下方に引っ張られると、剥離ステージ４上のデバイスＤ及び保護テープＴを挟持するスライド部４００も−Ｘ方向に引っ張られるため、この力が外周端材送り部４０を構成するモータ４０３ｂに加わり、エンコーダ４０３ｃがパルスの変動としてこれを検出する。制御部１０は、エンコーダ４０３ｃからの通知を受けてモータ４０３ｂを駆動することにより、被剥離ユニット３００を−Ｘ方向に押し出す。
【００４１】
制御部１０は、更にデバイス落とし込み手段８を構成するモータ８１１を所定量駆動し、スライド部４００と同方向に（−Ｘ方向に）同量だけ押さえプレート８０を移動させる。上記制御（スライド部４００が−Ｘ方向に引っ張られることを検出して被剥離ユニット３００を同方向に押し出すとともに押さえプレート８０を同方向に同量移動させる制御）を繰り返すことで、剥離ステージ４上の複数のデバイスＤの動きに追従するように押さえプレート８０を移動させる。
【００４２】
図７に示したようにデバイス落とし込みテーブル５が隣接位置にある状態で、デバイス移載手段７によって保護テープＴ及び短手方向の外周端材２０２ｂが下方に引っ張られていくことにより、一列を構成する複数のデバイスＤが保護テープＴから剥離され、そのデバイスＤが落とし込みテーブル５に移載されていく。このとき、押さえプレート８０がデバイスＤと同方向に同速度で移動してデバイスＤの上方に位置するため、仮にデバイスＤが起立する方向に回転しようとしても、その回転を押さえプレート８０が押さえつけるため、デバイスＤの向きを一定に保ちつつ剥離ステージ４から落とし込むテーブル５に移載することができる。特に、サイズの小さいデバイスについては、静電気の影響によりデバイスが起立しやすいため、押さえプレート８０がデバイスＤを押さえることが有効となる。
【００４３】
図８に示すように、押さえプレート８０は、１つのデバイス形成部２０１（図２参照）を構成するすべてのデバイスＤを上方から押さえながら落とし込みテーブル５に移動する。こうして１つのデバイス形成部２０１を構成するすべてのデバイスＤが落とし込みテーブル５に移載されると、落とし込みテーブル５は、剥離ステージ４から所定の間隔だけ離隔した離隔位置に移動する。そして、その状態でデバイス移載手段７が中間端材２０２ｃの幅に対応する距離＋Ｘ方向に移動し続けることにより、中間端材２０２ｃは、落とし込みテーブル５が離隔位置に位置づけられた状態で、デバイス移載手段７により保護テープＴが剥離ステージ４の下方に送られる際に保護テープＴから剥離され収容ボックス９に落下して収容される。
【００４４】
落とし込みテーブル５に移載された複数のデバイスＤは、図９に示すように、押さえプレート８０が−Ｘ方向に移動し押さえプレート８０によって上方から押さえられて−Ｘ方向に移動し、開口５２から次々と下方に落下していく。このとき、開口５２よりもデバイスＤの進行方向側には突き当て５３が形成されているため、押さえプレート８０の下面にデバイスＤが付着していたとしても、デバイスＤが突き当て５３に当たることにより、デバイスＤを開口５２から確実に落下させることができる。
【００４５】
離隔位置に位置する落とし込みテーブル５の下方にはバルク収容手段６が位置しており、こうして開口５２から落下した複数のデバイスＤは、図１０に示すように、ガイド部材５４にガイドされデバイス落とし部材６０の傾斜面６０ａに沿って落下し、デバイス収容ボックス６１に収容される。このようにして、複数のデバイスＤがバルク収容手段６に落とし込まれる。落とし込みテーブル５とデバイスＤとの間に生じた静電気等により、押さえプレート８０を−Ｘ方向に移動させてもデバイスＤがスライドせず開口５２から落下しない場合は、押さえプレート８０を若干上昇させてから＋Ｘ方向に移動させて落下しなかったデバイスＤの上方に移動させた後、押さえプレート８０を降下させて落下しなかったデバイスＤを上方から押さえ、押さえプレート８０が再び−Ｘ方向に移動することにより、落とし込みテーブル５に残ったデバイスを開口５２から落下させる。
【００４６】
図１１に示すように、複数のデバイスＤがデバイス落とし部材６０の傾斜面６０ａを滑る際には、撮像手段６２がＸ軸方向に移動しながら傾斜面６０ａを撮像している。そして、撮像手段６２が取得した画像情報が判断部６３に転送される。判断部６３は、デバイスＤが傾斜面６０ａに付着していない状態で取得した基準画像情報と、現在の画像情報とを比較し、変動があったピクセル面積が所定のしきい値よりも大きくなった場合に、デバイスが付着していると判断する。傾斜面６０ａにデバイスが付着していると判断すると、報知部６４からその旨がオペレータに報知される。また、デバイス落とし部材６０に振動を生じさせる手段を設けておき、判断部６３が傾斜面６０ａにデバイスが付着していると判断した場合に、振動によってデバイスＤを傾斜面６０ａから落とすようにしてもよい。
【００４７】
このようにして、落とし込みテーブル５を隣接位置と離隔位置との間で移動させながら把持部７０が＋Ｘ方向に移動しながら保護テープＴを引っ張ってデバイスＤ及び中間端材２０２ｃを保護テープＴから剥離していき、図１２に示すように、すべてのデバイスＤを剥離ステージ４から落とし込みテーブル５に移載するとともに落とし込みテーブル５からバルク収容手段６にバルク収容する。また、中間端材２０２ｃ及び保護テープＴは、収容ボックス９に収容される。
【００４８】
以上のように、テープ剥離装置１では、デバイス移載手段７により複数のデバイスを剥離ステージ４から落とし込みテーブル５上に移載する際に、デバイス落とし込み手段８が、複数のデバイスＤを上方から押さえながら複数のデバイスＤの移載に追従して動き、かつ、移載された複数のデバイスＤを落とし込みテーブル５からバルク収容手段６に落とし込むことができるため、デバイスＤの向きを一定に保ちつつ、デバイスＤを落とし込みテーブル５に確実に移載してバルク収容手段６に落とし込むことができる。
【符号の説明】
【００４９】
３００：被剥離ユニット
１００：分割後矩形基板  Ｄ：デバイス  Ｌ：分割予定ライン
２００：分割前矩形基板  ２０１：デバイス形成部
２０２ａ：長手方向の外周端材  ２０２ｂ：短手方向の外周端材  ２０２ｃ：中間端材
２０３：モールド樹脂
Ｔ：保護テープ
１：テープ剥離装置
２：カセットステージ
３：搬出手段
３０：載置台  ３１：ＵＶ照射ユニット
４：剥離ステージ
４０：外周端材送り部
４００：スライド部  ４０１：下部支持部  ４０２：上部支持部
４０３：スライド駆動部  ４０３ａ：ベルト  ４０３ｂ：モータ  ４０３ｃ：エンコーダ
５：落とし込みテーブル
５０：ピストンロッド  ５１：シリンダ  ５２：開口  ５３：突き当て
５４：ガイド部材
６：バルク収容手段
６０：デバイス落とし部材  ６０ａ：傾斜面
６１：デバイス収容ボックス  ６２：撮像手段  ６３：判断部  ６４：報知部
７：デバイス移載手段
７０：把持部
７００：押さえ部材  ７００ａ：直立部  ７００ｂ：水平版
７０１：ロッド  ７０２：シリンダ
７０３：回転支持部材  ７０３ａ：水平部  ７０３ｂ：起立部
７１：把持部可動部
７１０：レール  ７１１：可動部材  ７１１ａ：回転軸  ７１１ｂ：斜面
７１２：駆動部  ７１２ａ：ベルト  ７１２ｂ：モータ  ７１３：バネ
８：デバイス落とし込み手段
８０：押さえプレート
８１：駆動部  ８１０：ベルト  ８１１：モータ
９：収容ボックス
【図１】
2014132616.tif 000003
【図２】
2014132616.tif 000004
【図３】
2014132616.tif 000005
【図４】
2014132616.tif 000006
【図５】
2014132616.tif 000007
【図６】
2014132616.tif 000008
【図７】
2014132616.tif 000009
【図８】
2014132616.tif 000010
【図９】
2014132616.tif 000011
【図１０】
2014132616.tif 000012
【図１１】
2014132616.tif 000013
【図１２】
2014132616.tif 000014