(57)【要約】【課題】光伝播効率を低下させることなく光束を主磁極の近傍まで伝播して近接場光を効率良く発生させること。【解決手段】ディスクの移動方向に対して直交する方向に沿って配置された流出端面６０ａを有するスライダ６０と、光束Ｌをディスク面に向けて集光しながら伝播させる伝播部５０を有する光伝播素子４０と、主磁極４７を有する記録素子４１と、主磁極の近傍に配設され、上記光束から近接場光Ｓを発生させる近接場光発生素子４３とを備え、伝播部及び主磁極は、ディスク面に垂直な方向（Ｚ方向）及びディスクの移動方向（Ｙ方向）の２方向で画成される同一の面に沿って配置され、伝播部は、光束を、上記面内において主磁極から離間する方向に伝播させる第１伝播部５３と、光束を、上記面内において主磁極に接近する方向に伝播させると共に近接場光発生素子に入射させる第２伝播部５４と、を備える記録ヘッド２を提供する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定方向に回転する磁気記録媒体の表面に対向配置されると共に、前記磁気記録媒体の移動方向に対して直交する方向に沿って配置された流出端面を有するスライダと、
該スライダの流出端面側に配設され、入射された光束を前記磁気記録媒体の表面に向けて集光しながら伝播させる伝播部を有する光伝播素子と、
前記スライダの流出端面と前記伝播部との間に配設され、記録磁界を発生させる主磁極を有する記録素子と、
前記主磁極の近傍に配設され、前記伝播部によって伝播されてきた前記光束から近接場光を発生させる近接場光発生素子と、を備え、
前記伝播部及び前記主磁極は、前記磁気記録媒体の表面に垂直な方向、及び前記磁気記録媒体の移動方向の２方向で画成される同一の面に沿って配置され、
前記伝播部は、
前記光束が進むにつれて前記光束を、前記面内において前記主磁極から離間する方向に伝播させる第１伝播部と、
前記光束が進むにつれて前記光束を、前記面内において前記主磁極に接近する方向に伝播させると共に、前記近接場光発生素子に入射させる第２伝播部と、を備えていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の記録ヘッドにおいて、
前記記録素子は、前記第１伝播部と前記第２伝播部との間に画成されたスペースに配設されていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の記録ヘッドにおいて、
前記近接場光発生素子は、前記主磁極上に成膜され、前記第２伝播部から前記光束が入射された際に表面プラズモンの励起により前記近接場光を発生させる金属膜であり、
前記第２伝播部は、前記近接場光発生素子に対して斜めに入射するように前記光束を伝播していることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の記録ヘッドにおいて、
前記光伝播素子は、前記伝播部を内部に閉じ込めるクラッドを備えていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載の記録ヘッドにおいて、
前記第１伝播部及び前記第２伝播部は、前記クラッドの屈折率よりも高い屈折率を有する材料で形成され、前記光束を全反射条件で導くコアであることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項６】
請求項４に記載の記録ヘッドにおいて、
前記第１伝播部は、前記クラッドの屈折率よりも高い屈折率を有する材料で形成され、前記光束を全反射条件で導くコアであり、
前記第２伝播部は、前記第１伝播部によって伝播されてきた前記光束を前記近接場光発生素子に向けて反射させる反射ミラーであることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の記録ヘッドと、
前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動可能とされ、該磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で前記記録ヘッドを支持するサスペンションと、
前記伝播部に前記光束を入射させる光源と、
前記磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と、
該ピボット軸の回りを回転可能に形成されると共に、前記サスペンションを支持するアーム部を有するキャリッジと、を備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、近接場光を利用して磁気記録媒体に各種の情報を記録する記録ヘッド、及びこれを備えた情報記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータ機器におけるハードディスク等の磁気記録媒体（以下、ディスクという）は、より大量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものがディスクとして採用され始めている。そのため、ディスクに情報を記録することが困難になっていた。
【０００３】
そこで、上述した不具合を解消するために、光を集光したスポット光、若しくは、光を集光した近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間にディスクへの書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式の情報記録再生装置が提供されている。
特に、近接場光を利用する場合には、従来の光学系において限界とされていた光の波長以下となる領域における光学情報を扱うことが可能となる。よって、従来の光情報記録再生装置等を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。
【０００４】
ところで、上記ハイブリッド磁気記録方式の場合、スポット光又は近接場光のいずれを利用する場合であっても、主磁極の近傍に光束が集光するように該光束を伝播させる必要がある。
光束を伝播させる構成としては様々なものが考えられているが、例えばスライダ上に配置され、光束が入射される台形プリズムと、スライダの先端側（流出端側）に配置されたレンズ部と、を利用して光束を伝播させ、主磁極の近傍に集光させるヘッドが知られている（特許文献１参照）。
このヘッドの場合、台形プリズムに入射した光束は該台形プリズムの斜面で反射された後にレンズ部に入射し、該レンズ部によって主磁極の近傍に集光させられる。
【０００５】
しかしながら、このヘッドの場合においては、レンズ部に光束を入射させるために、主磁極よりも流出端側に配置されているレンズ部よりもさらに流出端側に斜面が位置するようにプリズムを配置している。そのため、プリズムがスライダよりも流出端側に突出する構成となってしまい、大型化し易く、小型化を図るのが難しかった。また、レンズ部に上記光束とは別に外乱が入射し易く、光伝播効率に悪影響が出易かった。
【０００６】
そこで、薄型化され、光伝播効率にも優れたヘッドとして、コア及びクラッドからなるスポットサイズ変換器を備えたものが知られている（特許文献２参照）。
このスポットサイズ変換器のコアは、主磁極に対して略平行に配設された状態で一端側から他端側に向かって絞り成形されている。そのため、一端側からコア内に入射した光束は、他端側に向かうにしたがって徐々に集光され、主磁極の近傍に位置された他端側からスポット光や近接場光として出射される。
【０００７】
特に、光束は、クラッド内に設けられたコアを伝播するので外乱の影響を受け難く、効率良く伝播される。また、このコアはスライダの流出端側から見て、一端側から他端側に向かって斜めになっていたり、湾曲していたり、屈曲を繰り返す段付き状になったりする等の工夫がなされており、薄型化を図りながら同時にコア長をできるだけ長く確保できるように設計されている。そのため、この点においても光束を効率良く集光しながら伝播することが可能とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−６７９０１号公報
【特許文献２】特開２００８−２１７９６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記特許文献２に記載のヘッドでは、コア長をできるだけ長く確保して光伝播効率を高めるために、コアの形状の工夫がなされているが、コアの他端側を主磁極の近傍に配置させることを考慮すると、コアを主磁極に対して略平行、即ちスライダの流出端面に対して略平行に配置する必要があり、形状の制約を受け易かった。そのため、コアの形状を設計するにあたって自由度が下がってしまい、改良の余地が望まれていた。
【００１０】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、光伝播効率を低下させることなく光束を主磁極の近傍まで伝播して近接場光を効率良く発生させることができるうえ、光束を伝播させる光伝播素子の設計の自由度が向上した記録ヘッド、及びこれを備えた情報記録再生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
（１）本発明に係る記録ヘッドは、一定方向に回転する磁気記録媒体の表面に対向配置されると共に、前記磁気記録媒体の移動方向に対して直交する方向に沿って配置された流出端面を有するスライダと、該スライダの流出端面側に配設され、入射された光束を前記磁気記録媒体の表面に向けて集光しながら伝播させる伝播部を有する光伝播素子と、前記スライダの流出端面と前記伝播部との間に配設され、記録磁界を発生させる主磁極を有する記録素子と、前記主磁極の近傍に配設され、前記伝播部によって伝播されてきた前記光束から近接場光を発生させる近接場光発生素子と、を備え、前記伝播部及び前記主磁極は、前記磁気記録媒体の表面に垂直な方向、及び前記磁気記録媒体の移動方向の２方向で画成される同一の面に沿って配置され、前記伝播部は、前記光束が進むにつれて前記光束を、前記面内において前記主磁極から離間する方向に伝播させる第１伝播部と、前記光束が進むにつれて前記光束を、前記面内において前記主磁極に接近する方向に伝播させると共に、前記近接場光発生素子に入射させる第２伝播部と、を備えていることを特徴とする。
【００１２】
本発明に係る記録ヘッドによれば、光伝播素子の伝播部を利用して、入射された光束を集光させながら近接場光発生素子まで確実に伝播させることができる。そのため、近接場光発生素子で発生された近接場光と、記録素子で発生された記録磁界とを協働させて、磁気記録媒体に各種の情報の書き込みを行える。
特に、伝播部は第１伝播部及び第２伝播部を有しており、第１伝播部で光束を一旦主磁極から遠ざけるように伝播させた後、第２伝播部で主磁極に近づけながら伝播させて、主磁極の近傍に位置する近接場光発生素子に入射させている。従って、光束を直線状に伝播するよりも伝播距離を稼ぐことができ、光束を効率良く集光することができる。
【００１３】
このように、伝播距離を稼ぎながら効率良く光束を集光できるので、光伝播効率の低下を防ぐことができ、近接場光を効率良く発生させて書き込みの信頼性を高めることができる。更に、主磁極に対して接近及び離間するように、即ち磁気記録媒体の移動方向に変化するように、伝播部の形状を設計できるので、設計上の制約を受け難く、光伝播素子の設計の自由度を向上することができる。
【００１４】
（２）上記本発明に係る記録ヘッドにおいて、前記記録素子は、前記第１伝播部と前記第２伝播部との間に画成されたスペースに配設されていることが好ましい。
【００１５】
この場合には、上記スペースを利用して記録素子を配設できるので、光伝播素子と記録素子とを単に一体化しただけでなく記録素子の厚みを光伝播素子の厚みで吸収できる。従って、記録ヘッド全体の薄型化（コンパクト化）を図ることができる。
【００１６】
（３）上記本発明に係る記録ヘッドにおいて、前記近接場光発生素子は、前記主磁極上に成膜され、前記第２伝播部から前記光束が入射された際に表面プラズモンの励起により前記近接場光を発生させる金属膜であり、前記第２伝播部は、前記近接場光発生素子に対して斜めに入射するように前記光束を伝播していることが好ましい。
【００１７】
この場合には、第２伝播部で伝播させた光束を近接場光発生素子に対して所定の入射角度を有するように斜めに入射させることができる。よって、近接場光発生素子に対する光束の入射角度の調整を容易に行うことができ、励起される表面プラズモン効率を変化させて近接場光の光強度調整を行うことが可能である。従って、最適な光強度の近接場光を発生させることができ、書き込みの信頼性をより向上させることができる。
【００１８】
（４）上記本発明に係る記録ヘッドにおいて、前記光伝播素子は、前記伝播部を内部に閉じ込めるクラッドを備えていることが好ましい。
【００１９】
この場合には、伝播部がクラッドの内部に閉じ込められているので、伝播部内を伝播される光束は外乱の影響を受け難い。従って、光束の光伝播効率の低下をより防ぎ易く、書き込みの信頼性をさらに高め易い。
【００２０】
（５）上記本発明に係る記録ヘッドにおいて、前記第１伝播部及び前記第２伝播部は、前記クラッドの屈折率よりも高い屈折率を有する材料で形成され、前記光束を全反射条件で導くコアであることが好ましい。
【００２１】
この場合には、第１伝播部及び第２伝播部が共にコアであるので、光漏れ等による損失を抑制しながら光束を近接場光発生素子までさらに効率良く伝播することができる。従って、書き込みの信頼性をさらに高めることができる。
【００２２】
（６）上記本発明に係る記録ヘッドにおいて、前記第１伝播部は、前記クラッドの屈折率よりも高い屈折率を有する材料で形成され、前記光束を全反射条件で導くコアであり、前記第２伝播部は、前記第１伝播部によって伝播されてきた前記光束を前記近接場光発生素子に向けて反射させる反射ミラーであることが好ましい。
【００２３】
この場合には、第１伝播部がコアであるので、光漏れ等による損失を抑制しながら光束を効率良く伝播することができると共に、第２伝播部によってこの効率良く伝播された光束を反射させ、クラッド内を進ませながら近接場光発生素子に確実に入射させることができる。従って、書き込みの信頼性をさらに高めることができる。
【００２４】
（７）本発明に係る情報記録再生装置は、上記本発明に係る記録ヘッドと、前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動可能とされ、該磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で前記記録ヘッドを支持するサスペンションと、前記伝播部に前記光束を入射させる光源と、前記磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と、該ピボット軸の回りを回転可能に形成されると共に、前記サスペンションを支持するアーム部を有するキャリッジと、を備えていることを特徴とする。
【００２５】
本発明に係る情報記録再生装置によれば、上記記録ヘッドを備えているので、書き込みの信頼性が高く、高密度記録化に対応した高品質な装置にすることができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明に係る記録ヘッドによれば、光伝播効率を低下させることなく光束を磁極の近傍まで伝播して近接場光を効率良く発生させることができ、書き込みの信頼性を向上することができる。また、光伝播素子の設計の自由度が向上しているので、低コスト化等に繋げ易い。
また、本発明に係る情報記録再生装置によれば、書き込みの信頼性が高く、高密度記録化に対応した高品質な装置にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係る情報記録再生装置の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。
【図３】図２に示すジンバルの平面図である。
【図４】図３に示すＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図５】図４に示す記録ヘッド周辺を拡大した断面図である。
【図６】図５に示す記録ヘッドの流出端面側をさらに拡大した断面図である。
【図７】図１に示すターミナル基板の平面図である。
【図８】本発明に係る記録ヘッドの第１の変形例を示す図であって、図６に相当する断面図である。
【図９】本発明に係る記録ヘッドの第２の変形例を示す図であって、図６に相当する断面図である。
【図１０】本発明に係る記録ヘッドの第３の変形例を示す図であって、図６に相当する断面図である。
【図１１】本発明に係る記録ヘッドの第４の変形例を示す図であって、図６に相当する断面図である。
【図１２】本発明に係る記録ヘッドの第５の変形例を示す図であって、図６に相当する断面図である。
【図１３】図１２に示す記録ヘッドを製造する際の流れを示す工程図である。
【図１４】図１３に示す工程の続きの流れを示す工程図である。
【図１５】図１４に示す工程の続きの流れを示す工程図である。
【図１６】図１５に示す工程の続きの流れを示す工程図である。
【図１７】本発明に係る記録ヘッドの第６の変形例を示す図であって、図５に相当する断面図である。
【図１８】図１７に示す第１伝播部から第２伝播部に光束が伝播される状態を示す図である。
【図１９】本発明に係る記録ヘッドの第７の変形例を示す図であって、図５に相当する断面図である。
【図２０】図１９に示す第１伝播部及び第２伝播部の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明に係る情報記録再生装置の実施形態を、図１から図１６を参照して説明する。なお、本実施形態の情報記録再生装置１は、垂直記録層を有するディスク（磁気記録媒体）Ｄに対して、垂直記録方式で書き込みを行う装置である。
【００２９】
（情報記録再生装置）
本実施形態の情報記録再生装置１は、図１に示すように、キャリッジ１１と、キャリッジ１１の基端側から光電気複合配線３３を介して光束Ｌ（図６参照）を供給するレーザ光源２０と、キャリッジ１１の先端側に支持されたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２と、ヘッドジンバルアセンブリ１２をディスク面Ｄ１（ディスクＤの表面）に平行なＸＹ方向に向けてスキャン移動させるアクチュエータ６と、ディスクＤを所定の方向に向けて回転させるスピンドルモータ７と、情報に応じて変調した電流をヘッドジンバルアセンブリ１２の記録ヘッド２に対して供給する制御部５と、これら各構成品を内部に収容するハウジング９と、を備えている。
【００３０】
ハウジング９は、アルミニウム等の金属材料からなる上部開口部を有する箱型形状のものであり、上面視四角形状の底部９ａと、底部９ａの周縁において底部９ａに対して鉛直方向に立設する周壁（不図示）とで構成されている。そして、周壁に囲まれた内側には、上述した各構成品を収容する凹部が形成される。
なお、図１においては、説明を分かりやすくするため、ハウジング９の周囲を取り囲む周壁を省略している。
【００３１】
ハウジング９には、該ハウジング９の上部開口部を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。底部９ａの略中心には、上記スピンドルモータ７が取り付けられており、該スピンドルモータ７に中心孔を嵌め込むことでディスクＤが着脱自在に固定されている。
【００３２】
ディスクＤの外側で、底部９ａの一つの隅角部には、上述したアクチュエータ６が取り付けられている。このアクチュエータ６には、ピボット軸１０を中心に水平面（ＸＹ方向）内で回動可能なキャリッジ１１が取り付けられている。
このキャリッジ１１は、基端部から先端部に向けて（ディスクＤ方向に向けて）延設されたアーム部１４と、基端部を介してアーム部１４を片持ち状に支持する基部１５とが、削り出し加工等により一体形成されたものである。
基部１５は、略直方体形状に形成されたものであり、ピボット軸１０回りに回動可能に支持されている。つまり、基部１５はピボット軸１０を介してアクチュエータ６に連結されており、このピボット軸１０がキャリッジ１１の回転中心となっている。
【００３３】
アーム部１４は、基部１５におけるアクチュエータ６が取り付けられた側面１５ａと反対側の側面（隅角部の反対側の側面）１５ｂにおいて、基部１５の上面の面方向（ＸＹ方向）と平行に延出する平板状のものであり、基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３枚延出している。
具体的には、アーム部１４は、基端部から先端部に向かうにしたがって先細るテーパ形状に形成されており、各アーム部１４間に、ディスクＤが挟み込まれるように配置されている。つまり、アーム部１４とディスクＤとが、交互に配置可能に構成されており、アクチュエータ６の駆動によってアーム部１４がディスク面Ｄ１に平行な方向（ＸＹ方向）に移動可能になっている。
なお、キャリッジ１１及びヘッドジンバルアセンブリ１２は、ディスクＤの回転停止時にアクチュエータ６の駆動によって、ディスクＤ上から退避するようになっている。
【００３４】
ヘッドジンバルアセンブリ１２は、後述する記録ヘッド２にレーザ光源２０からの光束Ｌを導いて近接場光Ｓ（図６参照）を発生させ、該近接場光Ｓを利用してディスクＤに各種情報を記録再生させるものである。
図２から図５に示すように、本実施形態のヘッドジンバルアセンブリ１２は、上記記録ヘッド２をディスクＤから浮上させる機能を有しており、該記録ヘッド２と、金属性材料により薄い板状に形成され、ディスク面Ｄ１に平行なＸＹ方向に移動可能なサスペンション３と、記録ヘッド２をディスク面Ｄ１に平行で且つ互いに直交する２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）回りに回動自在な状態、即ち２軸を中心として捻れることができるようにサスペンション３の下面に固定させるジンバル手段１６と、を備えている。
【００３５】
記録ヘッド２は、ディスクＤとサスペンション３との間に配置された状態で、サスペンション３の下面に後述するジンバル１７を挟んで支持されている。
図５及び図６に示すように、この記録ヘッド２は、ディスク面Ｄ１から所定距離だけ浮上した状態でディスクＤに対向配置され、ディスク面Ｄ１に対向する浮上面２ａを有するスライダ６０と、スライダ６０の流出端面（先端面）６０ａ側に配設された、スポットサイズ変換器（光伝播素子）４０、記録素子４１、再生素子４２及び近接場光発生素子４３と、を備えている。
【００３６】
なお、記録ヘッド２は、スライダ６０の流出端面６０ａ側が最もディスク面Ｄ１に近接した状態でディスクＤ上を浮上する。従って、スライダ６０の流出端面６０ａ側に上記各構成品が配置されていることで、これらを可能な限りディスク面Ｄ１に近づけることができ、ディスクＤの保磁力を効率良く低下させてディスクＤへの書き込みが容易とされている。
【００３７】
ところで、本実施形態においては、スライダ６０の流出端面６０ａにスポットサイズ変換器４０が固定されており、記録素子４１及び再生素子４２がスポットサイズ変換器４０の後述するクラッド５１内に組み込まれた状態で配設されている。
具体的には、記録素子４１及び再生素子４２は、スライダ６０の流出端面６０ａとスポットサイズ変換器４０の後述する伝播部５０との間に位置するようにクラッド５１内に組み込まれている。この際、再生素子４２がスライダ６０の流出端面６０ａに固定され、この再生素子４２に隣接して並ぶように記録素子４１が固定されている。
【００３８】
スライダ６０は、石英ガラス等の光透過性材料や、ＡｌＴｉＣ（アルチック）等のセラミック等によって直方体状に形成されている。また、スライダ６０は、浮上面２ａをディスクＤ側に向けた状態で、ジンバル１７（図３参照）を介してサスペンション３（図３参照）の先端にぶら下がるように支持されている。
【００３９】
再生素子４２は、ディスクＤから漏れ出ている磁界の大きさに応じて電気抵抗が変換する磁気抵抗効果膜である。この再生素子４２には、後述する電気配線３１を介して制御部５（図１参照）からバイアス電流が供給されている。これにより制御部５は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することでき、この電圧の変化から信号の再生を行うことが可能とされている。
【００４０】
記録素子４１は、再生素子４２側に位置する補助磁極４５と、磁気回路４６を介して補助磁極４５に接続され、ディスクＤに対して垂直な記録磁界を補助磁極４５との間で発生させる主磁極４７と、磁気回路４６を中心として該磁気回路４６の周囲を渦巻状に巻回されたコイル４８とを備えている。
両磁極４５、４７及び磁気回路４６は、磁束密度が高い高飽和磁束密度（Ｂｓ）材料（例えば、ＣｏＮｉＦｅ合金、ＣｏＦｅ合金等）により形成されている。また、コイル４８は、ショートしないように、隣り合うコイル線間、磁気回路４６との間、両磁極４５、４７との間に隙間が空くように配置されており、この状態で絶縁層４９によってモールドされている。また、コイル４８は情報に応じて変調された電流が制御部５から供給されるようになっている。
なお、主磁極４７及び補助磁極４５は、ディスクＤに対向する端面がスライダ６０の浮上面２ａと面一となるように設計されている。
【００４１】
スポットサイズ変換器４０は、一端側から入射された光束Ｌをディスク面Ｄ１に向かう他端側に向けて集光しながら伝播させる伝播部５０と、該伝播部５０を内部に閉じ込めるクラッド５１と、で構成される略板状の素子であって、上記したようにスライダ６０の流出端面６０ａに固定されている。
【００４２】
伝播部５０は、一端側がスライダ６０の上方に向くと共に、他端側がディスクＤに向いた状態で主磁極４７の近傍に隣接している。そして、この伝播部５０は、一端側から他端側に向かうにつれて、その長手方向（Ｚ方向）に直交する断面積が漸次減少するように絞り成形されており、これにより光束Ｌを集光しながら伝播することが可能とされている。
また、伝播部５０の他端側における端面は、スライダ６０の浮上面２ａに対して面一となるように設計されていると共に、主磁極４７の近傍に位置している。そして、この伝播部５０の端面上には、該伝播部５０によって集光されながら伝播されてきた光束Ｌから近接場光Ｓを発生させる上記近接場光発生素子４３が形成されている。
【００４３】
ここで上記伝播部５０について、詳細に説明する。
本実施形態の伝播部５０は、第１伝播部５３及び第２伝播部５４で一体的に構成されている。
第１伝播部５３は、ディスクＤに向かうにあたって、ディスクＤの移動方向（Ｙ方向）に沿い、且つ主磁極４７から離間する方向に斜めに延在しており、一端側から入射された光束Ｌを、その入射方向とは異なる方向に曲げながら集光し、且つ該集光を行いながら主磁極４７から離間する方向に伝播させている。
第２伝播部５４は、この第１伝播部５３に連結されると共に、ディスクＤの移動方向（Ｙ方向）に沿い、且つ主磁極４７に接近する方向に斜めに延在しており、第１伝播部５３によって伝播されてきた光束Ｌをさらに集光しながら主磁極４７に接近する方向に曲げて伝播させ、端面上に形成された近接場光発生素子４３に入射させている。
【００４４】
なお、本実施形態では、第１伝播部５３とは第２伝播部５４とが、第１伝播部５３から第２伝播部５４に亘って直線的に折れ曲がるように連結されている。また、第１伝播部５３及び第２伝播部５４は、共にクラッド５１の屈折率よりも高い屈折率の材料からなり、クラッド５１との屈折率の違いから光束Ｌを全反射条件で導くコアとされている。
クラッド５１は、コアである第１伝播部５３及び第２伝播部５４に密着して伝播部５０を内部に閉じ込めている。
【００４５】
また、上記したように、第１伝播部５３と第２伝播部５４とはディスクＤの移動方向に沿って折れ曲がるように連結されているので、クラッド５１内における第１伝播部５３と第２伝播部５４との間にはスペースＭ（図６参照）が画成されている。そして、この画成されたスペースＭを利用して記録素子４１及び再生素子４２が配設されている。
【００４６】
なお、クラッド５１及びコアとして使用される材料の組み合わせの一例を記載すると、例えば、石英（ＳｉＯ２）でコアを形成し、フッ素をドープした石英でクラッド５１を形成する組み合わせが考えられる。この場合には、光束Ｌの波長が４００ｎｍのときに、コアの屈折率が１．４７となり、クラッド５１の屈折率が１．４７未満となるので好ましい組み合わせである。また、ゲルマニウムをドープした石英でコアを形成し、石英（ＳｉＯ２）でクラッド５１を形成する組み合わせも考えられる。この場合には、光束Ｌの波長が４００ｎｍのときに、コアの屈折率が１．４７より大きくなり、クラッド５１の屈折率が１．４７となるのでやはり好ましい組み合わせである。
【００４７】
特に、コアとクラッド５１との屈折率差が大きいほど、コア内に光束Ｌを閉じ込める力が大きくなるので、コアに酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５：波長が５５０ｎｍのときに屈折率が２．１６）を用い、クラッド５１に石英等を用いて、両者の屈折率差を大きくすることがより好ましい。また、赤外領域の光束Ｌを利用する場合には、赤外光に対して透明な材料であるシリコン（Ｓｉ：屈折率が約４）でコアを形成することも有効である。
【００４８】
近接場光発生素子４３は、第２伝播部５４によって伝播されてきた光束Ｌから近接場光Ｓを発生させる素子であり、例えば、第２伝播部５４の端面上に形成された遮光膜と、該遮光膜に形成された微小開口と、で構成されている。この際、微小開口のサイズとしては、例えば直径数十ｎｍ〜数百ｎｍの開口にすれば良い。こうすることで、第２伝播部５４によって集光されながら伝播されてきた光束Ｌは、微小開口の通過時にスポットサイズがさらに小さくなって近接場光Ｓとなり、ディスクＤ側に出射される。
なお、近接場光発生素子４３は、上記構成に限られるものではなく、例えばナノメートルサイズに形成された微小突起等であっても構わない。
【００４９】
また、図２から図５に示すように、スライダ６０の下面は、上述したようにディスク面Ｄ１に対向する浮上面２ａとなっている。この浮上面２ａは、回転するディスクＤによって生じた空気流の粘性から、浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳ（ＡｉｒＢｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）と呼ばれている。
具体的には、スライダ６０をディスク面Ｄ１から離そうとする正圧とスライダ６０をディスク面Ｄ１に引き付けようとする負圧とを調整して、スライダ６０を最適な状態で浮上させるように設計されている。
スライダ６０は、この浮上面２ａによってディスク面Ｄ１から浮上する力を受けていると共に、サスペンション３によってディスクＤ側に押さえ付けられる力を受けている。そしてスライダ６０は、この両者の力のバランスによって、ディスク面Ｄ１から浮上している。
【００５０】
図２及び図３に示すように、サスペンション３は、上面視略四角状に形成されたベースプレート２２と、ベースプレート２２の先端側にヒンジ板２３を介して連結された平面視略三角状のロードビーム２４と、で構成されている。
【００５１】
ベースプレート２２は、ステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、基端側には厚さ方向に貫通する開口２２ａが形成されている。そして、この開口２２ａを介してベースプレート２２がアーム部１４の先端に固定されている。
ベースプレート２２の下面には、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状の上記ヒンジ板２３が配置されている。このヒンジ板２３は、ベースプレート２２の下面の全面に亘って形成された平板状の板材であり、その先端部分はベースプレート２２の先端からベースプレート２２の長手方向に沿って延出する延出部２３ａとして形成されている。この延出部２３ａは、ヒンジ板２３の幅方向両端部から２本延出しており、その先端部分にロードビーム２４が連結されている。
【００５２】
ロードビーム２４は、ベースプレート２２と同様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によって形成されており、その基端がベースプレート２２の先端との間に間隙を有した状態でヒンジ板２３に連結されている。
これにより、サスペンション３は、ベースプレート２２とロードビーム２４との間を中心に屈曲して、ディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓み易くなっている。
【００５３】
また、サスペンション３上には、フレクシャ２５が設けられている。
このフレクシャ２５は、ステンレス等の金属材料により形成されたシート状のものであり、シート状に形成されることで厚さ方向に撓み変形可能に構成されている。また、このフレクシャ２５は、ロードビーム２４の先端側に固定され、外形が上面視略五角形状に形成されたジンバル１７と、ジンバル１７より幅狭に形成され、ジンバル１７の基端からサスペンション３上に沿って延在する支持体１８とで構成されている。
【００５４】
ジンバル１７は、中間付近から先端にかけてディスク面Ｄ１に向けて厚さ方向に僅かながら反るように形成されている。そして、この反りが加わった先端側がロードビーム２４に接触しないように、基端側から略中間付近にかけてロードビーム２４に固定されている。また、この浮いた状態のジンバル１７の先端側には、周囲がコ形状に刳り貫かれた切欠部２６が形成されており、この切欠部２６に囲まれた部分には連結部１７ａによって片持ち状に支持されたパッド部１７ｂが形成されている。
つまり、このパッド部１７ｂは、連結部１７ａによってジンバル１７の先端側から基端側に向けて張出し形成されており、その周囲に切欠部２６を備えている。
【００５５】
これにより、パッド部１７ｂはジンバル１７の厚さ方向に撓みやすくなっており、このパッド部１７ｂのみがサスペンション３の下面と平行になるように角度調整されている。そして、このパッド部１７ｂ上に上述した記録ヘッド２が載置固定されている。つまり、記録ヘッド２は、パッド部１７ｂを介してロードビーム２４にぶら下がった状態となっている。
【００５６】
また、図３及び図４に示すように、ロードビーム２４の先端には、パッド部１７ｂ及び記録ヘッド２の略中心に向かって突出する突起部１９が形成されている。この突起部１９の先端は、丸みを帯びた状態となっている。そして突起部１９は、記録ヘッド２がディスクＤから受ける風圧によりロードビーム２４側に浮上したときに、パッド部１７ｂの表面（上面）に点接触するようになっている。
つまり、突起部１９は、ジンバル１７のパッド部１７ｂを介して、記録ヘッド２を支持すると共に、ディスク面Ｄ１に向けて（Ｚ方向に向けて）記録ヘッド２に荷重を付与するようになっている。そして、突起部１９とパッド部１７ｂとの接触点（支持点）が、突起部１９による記録ヘッド２の荷重点になっている。
なお、これら突起部１９とパッド部１７ｂを有するジンバル１７とが、ジンバル手段１６を構成している。
【００５７】
図２に示す支持体１８は、ジンバル１７に一体形成されたシート状のものであり、サスペンション３上をアーム部１４に向かって延設されている。つまり、支持体１８は、サスペンション３が変形した際にサスペンション３の変形に追従するように構成されている。また、この支持体１８は、アーム部１４上から側面に回りこんで、キャリッジ１１の基部１５に至るまで引き回されている。
【００５８】
図１及び図７に示すように、キャリッジ１１の基部１５における側面１５ｃには、ターミナル基板３０が配置されている。このターミナル基板３０は、ハウジング９に設けられた制御部５と記録ヘッド２とを電気的に接続する際の中継点となるものであり、その表面には、各種制御回路（不図示）が形成されている。
制御部５とターミナル基板３０とは、可撓性を有するフラットケーブル４により電気的に接続されている一方、ターミナル基板３０と記録ヘッド２とは、電気配線３１により接続されている。この電気配線３１は、各キャリッジ１１に設けられた記録ヘッド２に対応して３組設けられており、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号が、電気配線３１を介して記録ヘッド２に出力されるようになっている。
【００５９】
ターミナル基板３０上には、記録ヘッド２のスポットサイズ変換器４０に向けて光束Ｌを供給する上記レーザ光源２０が配置されている。レーザ光源２０は、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号を受信し、この信号に基づいて光束Ｌを出射するものであり、各アーム部１４に設けられた記録ヘッド２に対応して基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３個配列されている。各レーザ光源２０の出射側には、出射された光束Ｌを記録ヘッド２まで導く光導波路３２が接続されている。
【００６０】
図２及び図３に示すように、光導波路３２と電気配線３１とは、レーザ光源２０と記録ヘッド２との間において、その基端側から先端に至るまで一体的に形成された光電気複合配線３３として構成されている。
この光電気複合配線３３は、ターミナル基板３０の表面からアーム部１４の側面を通って、アーム部１４上に引き回されている。具体的には、光電気複合配線３３は、アーム部１４及びサスペンション３上において、フレクシャ２５の支持体１８上に配置されており、該支持体１８を間に挟んだ状態でサスペンション３の先端まで引き回されている。
【００６１】
そして、光電気複合配線３３は、サスペンション３の先端、即ちジンバル１７の中間位置において電気配線３１と光導波路３２とに分岐している。
具体的には、光導波路３２は、光電気複合配線３３の先端側における分岐地点からジンバル１７の長手方向に沿って延在しており、ジンバル１７の切欠部２６を跨いで記録ヘッド２の流入端側に直接接続されている。光導波路３２は、光電気複合配線３３の分岐地点においてジンバル１７の下面から離間されており、分岐地点から記録ヘッド２の流入端側に向かうにつれ、パッド部１７ｂとジンバル１７との間を架け渡すように僅かながら浮いた状態で延在している。
つまり、ジンバル１７の下面において、光導波路３２は略直線的（曲率半径が略無限大）に延在した状態で、記録ヘッド２の幅方向（Ｘ方向）中央部から記録ヘッド２の流入端側に引き回されている。
【００６２】
一方、上記分岐地点において、電気配線３１はジンバル１７の外周部分に向けて屈曲されており、ジンバル１７の外周部分、つまり切欠部２６の外側から引き回されている。そして、切欠部２６の外側から引き回された電気配線３１は、連結部１７ａ上を通って記録ヘッド２の流出端面６０ａ側に接続されている。即ち、電気配線３１は、スライダ６０の流出端面６０ａ側に設けられた再生素子４２と記録素子４１とのそれぞれに対して、記録ヘッド２の外部から直接接続されている。
【００６３】
なお、光導波路３２の構成材料は、上記したスポットサイズ変換器４０のコア及びクラッド５１と同様の材料を用いることも可能であるが、本実施形態では以下に示すような樹脂材料が好適に用いられている。
例えばＰＭＭＡ（メタクリル酸メチル樹脂）により、厚さが３〜１０μｍでコア３２ａを形成し、フッ素含有重合体により、厚さが数十μｍでクラッド３２ｂを形成する組み合わせが考えられる。また、コア３２ａ及びクラッド３２ｂをともにエポキシ樹脂（例えば、コア屈折率１．５２２〜１．５２３、クラッド屈折率１．５１８〜１．５１９）で構成したり、フッ素化ポリイミドで構成したりすることも可能である。この場合、コア３２ａとクラッド３２ｂとを構成する樹脂材料の配合等を調整して、両者の屈折率差を大きくすることが好ましい。例えば、フッ素化ポリイミドの場合、フッ素含有量を調整したり、放射光等のエネルギー照射によって、屈折率を制御したりすることができる。このように、光導波路３２の構成材料に樹脂材料を用いることで、光電気複合配線３３を半導体プロセスにより製造することが可能である。
【００６４】
ところで、図６に示すように、光導波路３２の先端面は斜めにカットされたミラー面３５とされており、レーザ光源２０によって導入された光束Ｌを、該光束Ｌの向きが変わるように反射させている。これにより、ミラー面３５で反射された光束Ｌが、記録ヘッド２のスポットサイズ変換器４０を構成する伝播部５０内に導入されるようになっている。なお、ミラー面３５は、少なくともコア３２ａを含む領域にアルミ等からなる反射板を蒸着法等により形成するような構成としても構わない。
【００６５】
（情報記録再生方法）  
次に、このように構成された情報記録再生装置１により、ディスクＤに各種の情報を記録再生する手順について説明する。
【００６６】
まず、スピンドルモータ７を駆動させてディスクＤを所定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ６を作動させて、ピボット軸１０を回転中心としてキャリッジ１１を回動させ、キャリッジ１１を介してヘッドジンバルアセンブリ１２をＸＹ方向にスキャンさせる。これにより、図１に示すように、ディスクＤ上の所望する位置に記録ヘッド２を位置させることができる。
【００６７】
この際、記録ヘッド２は、サスペンション３によって支持されていると共に所定の力でディスクＤ側に押さえ付けられている。また、これと同時に記録ヘッド２は、浮上面２ａを利用して、回転するディスクＤによって生じる風圧の影響を受けて浮上する力を受けている。この両者の力のバランスによって、記録ヘッド２はディスクＤ上から離間した位置に浮上している。
しかも記録ヘッド２は、風圧を受けてサスペンション３側に押されるので、記録ヘッド２を固定するジンバル１７のパッド部１７ｂとサスペンション３に形成された突起部１９とが、点接触した状態となる。そして、この浮上する力は、突起部１９を介してサスペンション３に伝わり、該サスペンション３をディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓ませるように作用する。これにより、上記したように記録ヘッド２は浮上する。
【００６８】
ここで、情報の記録を行う場合、制御部５はレーザ光源２０を作動させると共に、情報に応じて変調した電流をコイル４８に供給して記録素子４１を作動させる。
レーザ光源２０が作動すると、光導波路３２に光束Ｌを入射させる。すると、この光束Ｌは、光導波路３２のコア３２ａ内を先端側に向かって進んだ後、図６に示すように、ミラー面３５で反射されてスポットサイズ変換器４０の伝播部５０内に入射する。伝播部５０内に入射された光束Ｌは、第１伝播部５３によってその入射方向とは異なる方向に曲げられながら、ディスクＤ側に位置する他端側に向かってクラッド５１との界面との間で反射を繰り返しつつ、第１伝播部５３及び第２伝播部５４を順に伝播する。
【００６９】
この際、伝播部５０は一端側から他端側に向かうにしたがって絞り成形されているので、光束Ｌを徐々に集光しながら伝播させることができる。そのため光束Ｌは、徐々に絞り込まれて十分にスポットサイズが小さくなった状態で近接場光発生素子４３に入射する。これにより、近接場光発生素子４３は、効率良く近接場光Ｓを発生させることができ、外部に発することができる。すると、ディスクＤはこの近接場光Ｓによって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。
【００７０】
一方、制御部５によってコイル４８に電流が供給されると、電磁石の原理により電流磁界が磁気回路４６内に磁界を発生させるので、主磁極４７と補助磁極４５との間にディスクＤに対して垂直方向の記録磁界を発生させることができる。
【００７１】
その結果、近接場光発生素子４３で発生された近接場光Ｓと、記録素子４１で発生された記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により情報の記録を行うことができる。しかも垂直記録方式で記録を行うので、熱揺らぎ現象等の影響を受け難く、安定した記録を行うことができる。よって、書き込みの信頼性を高めることができる。
【００７２】
次に、ディスクＤに記録された情報を再生する場合には、再生素子４２がディスクＤから漏れ出ている磁界を受けて、その大きさに応じて電気抵抗が変化する。よって、再生素子４２の電圧が変化する。これにより制御部５は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができる。そして制御部５は、この電圧の変化から信号の再生を行うことで、情報の再生を行うことができる。
上述したように、記録ヘッド２を利用してディスクＤに対して各種の情報を記録再生することができる。
【００７３】
特に、本実施形態の記録ヘッド２によれば、伝播部５０がクラッド５１内に閉じ込められているので、伝播部５０内を伝播される光束Ｌは外乱の影響を受け難い。しかも、この伝播部５０は第１伝播部５３及び第２伝播部５４を有しており、第１伝播部５３で光束Ｌを一旦主磁極４７から遠ざけるように伝播させた後、第２伝播部５４で主磁極４７に近づけながら伝播させて近接場光発生素子４３に入射させている。従って、光束Ｌを直線状に伝播するよりも伝播距離を稼ぐことができ、光束Ｌを効率良く集光することができる。
このように、外乱の影響を受け難いうえ、伝播距離を稼ぎながら効率良く光束Ｌを集光できるので、光伝播効率の低下を防ぐことができ、近接場光Ｓを効率良く発生させて書き込みの信頼性を高めることができる。
しかも、第１伝播部５３及び第２伝播部５４は共にコアであるので、光漏れ等による損失を抑制しながら光束Ｌを近接場光発生素子４３まで確実に伝播可能である。この点においても、書き込みの信頼性の向上化を図ることができる。
【００７４】
また、主磁極４７に対して接近及び離間するように伝播部５０の形状を設計できるので、設計上の制約を受け難く、スポットサイズ変換器４０の設計の自由度を向上することができ、低コスト化に繋げることができる。
また、第１伝播部５３に対して光束Ｌの入射方向がどのような方向から入射したとしても、第１伝播部５３が該光束Ｌをその入射方向とは異なる方向に曲げながら、ディスクＤの移動方向（Ｙ方向）に沿い、且つ主磁極４７から離間する方向に伝播させている。そのため、第１伝播部５３に対する光束Ｌの入射方向が制約を受け難く、光導波路３２の配置等、設計の自由度を向上させ易い。
【００７５】
更に、第１伝播部５３と第２伝播部５４との間に画成されたクラッド５１内のスペースＭを利用して、記録素子４１及び再生素子４２を配設しているので、スポットサイズ変換器４０、記録素子４１及び再生素子４２を単に一体化しただけなく、記録素子４１及び再生素子４２の厚みをスポットサイズ変換器４０の厚みで吸収することが可能である。従って、記録ヘッド２全体の薄型化（コンパクト化）を図ることができる。
【００７６】
そして、本実施形態の情報記録再生装置１は、上述した記録ヘッド２を備えているので、書き込みの信頼性が高く、高密度記録化に対応した高品質な装置にすることができる。
【００７７】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００７８】
例えば、上記実施形態では、スライダ６０を浮上させた空気浮上タイプの情報記録再生装置１を例に挙げて説明したが、この場合に限られず、ディスク面Ｄ１に対向配置されていればディスクＤとスライダ６０とが接触していても構わない。つまり、本発明の記録ヘッド２は、コンタクトスライダタイプのヘッドであっても構わない。この場合であっても、同様の作用効果を奏することができる。
【００７９】
また、上記実施形態では、アーム部１４の片面側のみにヘッドジンバルアセンブリ１２が設けられている構成について説明したが、各ディスクＤ間に差し入れられるアーム部１４の両面に、各ディスクＤに対向するようにそれぞれヘッドジンバルアセンブリ１２を設けるような構成も可能である。
この場合には、アーム部１４の両面側に設けられたヘッドジンバルアセンブリ１２の各記録ヘッド２により、各記録ヘッド２に対向するディスク面Ｄ１の情報の記録再生を行うことができる。つまり、１つのアーム部１４により２枚のディスクＤの情報を記録再生することができるため、情報記録再生装置１の記録容量の増加及び装置の小型化を図ることができる。
【００８０】
また、上記実施形態では、スポットサイズ変換器４０に光束Ｌを導入するレーザ光源２０をキャリッジ１１の基部１５に取り付けられたターミナル基板３０に配設させた構成としたが、この位置に限定されるものではない。例えば、スライダ６０の上面に配設し、記録ヘッド２に一体的に搭載させても構わない。こうすることで、光導波路３２をキャリッジ１１から引き回す必要がないうえ、浮上時におけるスライダ６０の動きが光導波路３２によって阻害され難いので、より好ましい。
【００８１】
また、上記実施形態において、図８に示すように、第１伝播部５３と第２伝播部５４との連結部分を中心として、両伝播部５３、５４の側面に遮光膜７０を形成すると良い。この遮光膜７０は、高反射率の材料からなる膜、例えばアルミ膜とすれば良い。
このように遮光膜７０を形成することで、第１伝播部５３と第２伝播部５４との連結部分から光束Ｌがより効果的に漏れ難くなる。従って、光漏れ等による損失を抑えることができ、光束Ｌをより効率良く伝播させて近接場光発生素子４３に入射させることができる。従って、書き込みの信頼性をさらに高めることができる。
【００８２】
また、図９に示すように、第１伝播部５３から第２伝播部５４に亘って滑らかに湾曲するように、両伝播部５３、５４を連結させても構わない。この場合には、第１伝播部５３と第２伝播部５４との連結部分に角部が現れ難いので、上記遮光膜７０を形成しなくても光束Ｌの光漏れ等が生じ難い。
従って、この場合であっても光束Ｌをより効率良く伝播させて近接場光発生素子４３に入射させることができ、書き込みの信頼性をさらに高めることができる。
【００８３】
また、上記実施形態では、伝播部５０の端面上に近接場光発生素子４３を形成したが、主磁極４７の近傍であれば端面上でなくても構わない。
例えば、図１０に示すように、主磁極４７上に成膜され、第２伝播部５４から光束Ｌが入射された際に表面プラズモンを励起させることで近接場光Ｓを発生させる金属膜（例えば金膜等）７１を近接場光発生素子としても構わない。
【００８４】
この場合には、第２伝播部５４がディスクＤ側に向かうにつれて光束Ｌを主磁極４７に接近させるように伝播させているので、該光束Ｌを金属膜７１に対して所定の入射角度θを有するように斜めに入射させることができる。よって、第２伝播部５４の傾きを変える等の容易な設計で、光束Ｌの入射角度θの調整を行うことができ、励起される表面プラズモン効率を変化させて近接場光Ｓの光強度調整を行うことが可能である。
従って、最適な光強度の近接場光Ｓを発生させることができ、書き込みの信頼性をより向上することができる。
【００８５】
また、上記実施形態では、第１伝播部５３及び第２伝播部５４を共にコアとしたが、この場合に限られるものではない。
例えば、図１１に示すように、第１伝播部５３を上記実施形態と同様にコアで形成し、第２伝播部を、第１伝播部５３によって伝播されてきた光束Ｌを近接場光発生素子４３に向けて反射させる反射ミラー７２としても構わない。
【００８６】
この場合には、主磁極４７の近接に隣接するようにクラッド５１に近接場光発生素子４３を形成すれば良い。また、上記した金属膜７１を主磁極４７に形成し、この金属膜７１を近接場光発生素子としても構わない。また、反射ミラー７２は高反射率材料、例えばアルミ等を利用して形成すれば良い。
このように構成した場合であっても、第１伝播部５３がコアであるので、光漏れ等による損失を抑制しながら光束Ｌを効率良く伝播することができると共に、反射ミラー７２によってこの効率良く伝播された光束Ｌを反射させて、クラッド５１内を進ませながら近接場光発生素子４３に確実に入射させることができる。従って、書き込みの信頼性をさらに高めることができる。
なお、反射ミラー７２は、単に第１伝播部５３を伝播されてきた光束Ｌを反射させるだけでなく、集光させながら反射できるように形成することが好ましい。
【００８７】
また、上記実施形態では、記録素子４１及び再生素子４２を、伝播部５０の第１伝播部５３と第２伝播部５４とで画成されたスペースＭを利用してスポットサイズ変換器４０のクラッド５１内に配設させた構成としたが、この場合に限定されるものではない。
少なくとも記録素子４１に関しては、スライダ６０と伝播部５０との間に配設されていれば良い。
【００８８】
例えば、図１２に示すように、スライダ６０の流出端面６０ａ側から順に、再生素子４２、記録素子４１、スポットサイズ変換器４０が並ぶように配置した記録ヘッド７５としても構わない。
但し、上記実施形態のように再生素子４２及び記録素子４１が、スポットサイズ変換器４０のクラッド５１内に配設されている構成とすることで、再生素子４２及び記録素子４１の厚みをスポットサイズ変換器４０の厚みで吸収できるので、記録ヘッドの薄型化を図り易く、好ましい。
【００８９】
なお、上記各実施形態の記録ヘッド２、７５を製造する場合には、フォトリソグラフィ技術及びエッチング加工技術等の半導体技術を利用して従来通りの工程で製造を行うことができる。つまり、ディスクＤの移動方向に形状変化する伝播部５０を有するスポットサイズ変換器４０を備えている場合であっても、特別な手法を用いずに、従来の製造プロセスの流れの中でスポットサイズ変換器４０も同時に作り込むことができる。
【００９０】
具体的に、図１２に示す記録ヘッド７５を製造する場合を例に挙げて説明する。
まず、図１３（ａ）に示すように、後にスライダ６０となるスライダ基板８０の流出端面６０ａ上に半導体技術を利用して再生素子４２及び記録素子４１を作り込む。次いで、図１３（ｂ）に示すように、後にスポットサイズ変換器４０のクラッド５１となるクラッド層８１を積層した後、図１３（ｃ）に示すようにクラッド層８１上にレジスト膜８２を形成する。
【００９１】
次いで、図１３（ｄ）に示すように、レジスト膜８２の一部にスポットサイズ変換器４０の伝播部５０のうち第２伝播部５４を形成させるための第１窪み部８３を形成する。この第１窪み部８３の形成方法としては、型の押し付け（ホットエンボス）やグレースマスク露光等を行って形成すれば良い。次いで、図１４（ａ）に示すように、ＲＩＥ等の反応性イオンエッチング等を行って、この第１窪み部８３をクラッド層８１に転写させ、該クラッド層８１に第１窪み部８３を形成する。
【００９２】
次いで、図１４（ｂ）に示すように、第１窪み部８３が形成されたクラッド層８１上に再度レジスト膜８２を形成した後、図１４（ｃ）に示すように、該レジスト膜８２の一部にスポットサイズ変換器４０の伝播部５０のうち第１伝播部５３を形成させるための第２窪み部８４を形成する。この第２窪み部８４の形成方法としては、上記と同様である。
【００９３】
次いで、図１５（ａ）に示すように、ＲＩＥ等の反応性イオンエッチング等を行って、この第２窪み部８４をクラッド層８１に転写させた後、先ほど形成した第１窪み部８３を犠牲層８５で覆う。更に、その後、犠牲層８５及びクラッド層８１の残りの部分を覆うように後に第１伝播部５３となるコア層８６を積層する。
【００９４】
次いで、図１５（ｂ）に示すように、上記コア層８６を所定量研磨加工した後、犠牲層８５をリフトオフする。これにより、第１伝播部５３の一部（光束Ｌが入射する入射端から第２伝播部５４との連結部分までの一部）が形成される。次いで、図１５（ｃ）に示すように、さらに全体にコア層８６を積層した後、図１６（ａ）に示すように、コア層８６の一部にレジスト膜８７を形成する。
【００９５】
次いで、図１６（ｂ）に示すように、上記レジスト膜８７をマスクとしてＲＩＥ等の反応性イオンエッチング等を行い、コア層８６を部分的に除去する。これにより、第１伝播部５３及び第２伝播部５４からなる伝播部５０を形成することができる。次いで、図１６（ｃ）に示すように、全体に再度クラッド層８１を積層した後、点線部分まで研磨加工を行うことで、図１２に示すスポットサイズ変換器４０を有する記録ヘッド７５を製造することができる。
【００９６】
このように、スライダ６０の流出端面６０ａ側から順に各構成品を作りこむ途中で、スポットサイズ変換器４０の製造工程を一工程追加するだけで、容易に記録ヘッド７５を製造することができる。なお、近接場光発生素子４３に関しては、説明を省略したが上記工程中に同様の製造プロセスで作り込みを行えば良い。
【００９７】
また、上記実施形態において、第１伝播部又は第２伝播部を、少なくともその一部がレンズを有するように構成しても構わない。
例えば、第１伝播部そのものをレンズで構成する場合を例に挙げる。この場合には、図１７及び図１８に示すように、レンズとされた第１伝播部９１及びコアからなる第２伝播部５４で伝播部９０が構成されている。第１伝播部９１は、ディスクＤ側に向けて凸となった凸球面レンズであり、光導波路３２のミラー面３５で反射された光束Ｌが入射する位置に配設されている。また、この第１伝播部９１は、凸球面部分における頂点位置Ｐ（図１８参照）が球面中心ではなく、スライダ６０の流出端面６０ａから離間する方向にシフトした凸球面状に形成されている。
【００９８】
そのため、第１伝播部９１を利用して、光導波路３２から入射された光束Ｌをその入射方向とは異なる方向に曲げ、且つ、主磁極４７から離間する方向に集光させながら伝播させることが可能とされている。従って、この場合であっても同様の作用効果を奏効することができる。
【００９９】
なお、図示の例では、第１伝播部９１そのものをレンズとしたが、例えば、第１伝播部をコアとレンズとの組み合わせで構成しても良い。いずれにしても、第１伝播部の少なくとも一部をレンズで構成しても構わない。また、第２伝播部についても、コアではなくレンズとしても構わないし、さらにはコアに代えて反射ミラーとしても構わない。
【０１００】
また、上記実施形態では、第１伝播部５３が光導波路３２から入射された光束Ｌを、入射方向とは異なる方向に曲げながら集光及び伝播させる構成としたが、例えば、図１９に示すように、光導波路３２のミラー面３５の角度θを鋭角（例えば４５度以下）とし、光束Ｌの向きをディスクＤの移動方向（Ｙ方向）に沿い、且つ主磁極４７から離間する方向に一致させた状態で、第１伝播部５３に入射するように構成しても構わない。
この場合、第１伝播部５３は、光束Ｌの向きを変化させることなく、引き続きディスクＤの移動方向（Ｙ方向）に沿い、且つ主磁極４７から離間する方向に向けて、集光及び伝播させる。そのため、光エネルギーの損失をできるだけ抑制しながら光束Ｌを効率良く伝播させ易い。この場合であっても、同様の作用効果を奏効することができる。
【０１０１】
なお、この場合において、第１伝播部５３及び第２伝播部５４を共にコアとするのではなく、例えば、図２０に示すように、第１伝播部９５をディスクＤ側に向けて凸となった凸球面のレンズとし、第２伝播部９６を反射ミラーとした構成としても構わない。この場合であっても同様の作用効果を奏効することができる。なお、この場合には、第１伝播部９５及び第２伝播部９６をクラッドではなく誘電体９７の内部に埋設されるように構成すれば良い。
【符号の説明】
【０１０２】
Ｌ…光束
Ｄ…ディスク（磁気記録媒体）
Ｄ１…ディスク面（磁気記録媒体の表面）
１…情報記録再生装置
２、７５…記録ヘッド
３…サスペンション
２０…レーザ光源（光源）
１０…ピボット軸
１１…キャリッジ
１４…アーム部
４０…スポットサイズ変換器（光伝播素子）
４１…記録素子
４３…近接場光発生素子
４７…主磁極
５０、９０…伝播部
５１…クラッド
５３、９１、９５…第１伝播部
５４、９６…第２伝播部
６０…スライダ
６０ａ…スライダの流出端面
７１…金属膜（近接場光発生素子）
７２…反射ミラー（第２伝播部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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