(57)【要約】【課題】プローブの破損や異物の付着を防止しつつプローブを容易に交換する。【解決手段】複数のプローブ１１と、プローブ１１の先端部２１側を支持する先端部側支持部３１と、プローブ１１の基端部２３側を支持する基端部側支持部３２とを備え、プローブ１１は、先端部２１が中間部２２および基端部２３よりも小径に形成され、先端部側支持部３１は、中間部２２および基端部２３を挿通可能な第１挿通孔５１および第２挿通孔５２がそれぞれ形成された第１支持板４１および第２支持板４２を備え、第２支持板４２は、第１支持板４１に対して、第１挿通孔５１および第２挿通孔５２の双方に中間部２２および基端部２３が挿通可能な第１位置Ｐ１と第１挿通孔５１および第２挿通孔５２の双方に先端部２１のみが挿通可能な第２位置との間で相対的にスライド可能に構成されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の導体部に先端部を接触させて電気信号の入出力を行うための複数のプローブと、当該プローブの前記先端部側を支持する先端部側支持部と、前記プローブの基端部側を支持する基端部側支持部とを備えたプローブユニットであって、
前記プローブは、前記先端部が当該先端部と前記基端部との間の中間部よりも小径に形成され、
前記先端部側支持部は、前記中間部および前記基端部を挿通可能な第１挿通孔が形成された第１支持板と、前記中間部および前記基端部を挿通可能な第２挿通孔が形成された第２支持板とを備え、
前記第１支持板および前記第２支持板のいずれか一方は、他方に対して、前記第１挿通孔および前記第２挿通孔の双方に前記中間部および前記基端部が挿通可能に当該第１挿通孔および当該第２挿通孔が連通する第１位置と、前記第１挿通孔および前記第２挿通孔の双方に前記先端部が挿通可能でかつ当該第１挿通孔および前記第２挿通孔のいずれにも前記中間部および前記基端部が挿通しない状態で当該第１挿通孔および当該第２挿通孔が連通する第２位置との間で相対的にスライド可能に構成されているプローブユニット。
【請求項２】
前記第１挿通孔と前記第２挿通孔とが同じ平面視形状に形成されている請求項１記載のプローブユニット。
【請求項３】
請求項１または２記載のプローブユニットと、基板の導体部に接触させた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のプローブと各プローブを支持する先端部側支持部および基端部側支持部とを備えたプローブユニット、およびそのプローブユニットを備えた基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のプローブユニットとして、特開２００９−８５８５号公報に開示された検査治具が知られている。この検査治具は、検査対象の電気的検査を行う検査装置に搭載されて使用される検査治具であって、プローブと、プローブの先端側を支持する先端側支持体と、プローブの後端側を支持する後端側支持体と、先端側支持体および後端側支持体を連結する支持柱とを備えて構成されている。プローブは、導電ワイヤと、導電ワイヤにおける先端側部分および後端側部分を除く部分の外周面に形成された絶縁被覆とで構成されている。先端側支持体は、３枚の支持板が積層されて構成されている。また、各支持板には、貫通孔が形成され、各貫通孔によって、プローブの先端側部分が挿通される先端側挿通孔が構成される。この場合、各貫通孔は、各々の内径がプローブの先端側部分の外径よりも大径でかつ絶縁被覆の形成部分の外径よりも小径に形成されており、このように貫通孔（先端側挿通孔）を形成することで、検査対象側へのプローブの抜け落ちが防止されている。
【０００３】
後端側支持体は、５枚の支持板が積層されて構成されている。また、各支持板には、貫通孔が形成され、各貫通孔によって、プローブの後端側部分が挿通される後端側挿通孔が構成される。この場合、各支持板のうちの最も後端側の支持板（以下、「後端側支持板」ともいう）に形成されている貫通孔は、その内径がプローブの後端側部分の外径よりも大径でかつ絶縁被覆の形成部分の外径よりも小径に形成され、他の支持板に形成されている貫通孔は、その内径が絶縁被覆の形成部分の外径よりも大径に形成されている。この検査治具を組み立てるときには、まず、先端側支持体と後端側支持体とを支持柱によって連結する。次いで、後端側支持板を取り外した状態で、後端側支持体の後端側挿通孔から先端側支持体の先端側挿通孔に向けてプローブに差し込み、絶縁被覆の形成部分における先端部を先端側挿通孔を構成する貫通孔の縁部に当接させる。次いで、後端側支持板を取り付ける。これにより、先端側支持体および後端側支持体によってプローブが支持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−８５８５号公報（第４−６頁、第１−４図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、従来の検査治具には、以下の問題点がある。すなわち、この検査治具を組み立てる際には、上記したように、後端側支持板を取り外した状態で後端側挿通孔および先端側挿通孔にプローブを差し込み、その後に後端側支持板を取り付ける。つまり、この検査治具では、後端側挿通孔および先端側挿通孔にプローブを挿通させる際には、後端側支持板を取り外す必要がある。このため、この検査治具では、例えば、破損したプローブの交換を行う際には、後端側支持板の取り外しおよび取り付けの作業が発生することとなる。また、この種の検査治具には、数多くのプローブが配設されているため、後端側支持板にも数多くの貫通孔が形成されている。このため、この検査治具では、プローブを交換する際には、取り外した後端側支持板における全ての貫通孔に全てのプローブの後端側を１つずつ（一対一で）挿入させる作業が発生する。このように、この検査治具には、プローブの交換の際に煩雑な作業が発生するため、プローブの交換を容易に行うことが困難であるという問題点が存在する。また、この検査治具では、プローブを交換する際には、後端側支持板に取り付けられている電極（プローブの後端に接続される電極）も取り外す必要がある。このため、この検査治具には、プローブを交換する際にプローブの後端と電極との間に異物が付着して接触不良が発生するおそれがあるという問題点も存在する。さらに、この検査治具では、後端側から差し込んだプローブが落下して脱落しないようにするため、先端側を下向きにした状態（後端側を上向きにした状態）でプローブを差し込む必要がある。このため、この検査治具には、プローブの先端部が作業台等に接触してプローブが破損するおそれがあるという問題点も存在する。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、プローブの破損や異物の付着を防止しつつプローブを容易に交換し得るプローブユニットおよび基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく請求項１記載のプローブユニットは、基板の導体部に先端部を接触させて電気信号の入出力を行うための複数のプローブと、当該プローブの前記先端部側を支持する先端部側支持部と、前記プローブの基端部側を支持する基端部側支持部とを備えたプローブユニットであって、前記プローブは、前記先端部が当該先端部と前記基端部との間の中間部よりも小径に形成され、前記先端部側支持部は、前記中間部および前記基端部を挿通可能な第１挿通孔が形成された第１支持板と、前記中間部および前記基端部を挿通可能な第２挿通孔が形成された第２支持板とを備え、前記第１支持板および前記第２支持板のいずれか一方は、他方に対して、前記第１挿通孔および前記第２挿通孔の双方に前記中間部および前記基端部が挿通可能に当該第１挿通孔および当該第２挿通孔が連通する第１位置と、前記第１挿通孔および前記第２挿通孔の双方に前記先端部が挿通可能でかつ当該第１挿通孔および前記第２挿通孔のいずれにも前記中間部および前記基端部が挿通しない状態で当該第１挿通孔および当該第２挿通孔が連通する第２位置との間で相対的にスライド可能に構成されている。
【０００８】
また、請求項２記載のプローブユニットは、請求項１記載のプローブユニットにおいて、前記第１挿通孔と前記第２挿通孔とが同じ平面視形状に形成されている。
【０００９】
また、請求項３記載の基板検査装置は、請求項１または２記載のプローブユニットと、基板の導体部に接触させた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載のプローブユニット、および請求項３記載の基板検査装置では、先端部側支持部を構成する第１支持板および第２支持板のいずれか一方が、他方に対して、第１挿通孔および第２挿通孔の双方にプローブの中間部および基端部が挿通可能な第１位置と第１挿通孔および第２挿通孔の双方にプローブの先端部のみが挿通可能な第２位置との間で相対的にスライド可能に構成されている。このため、このプローブユニットおよび基板検査装置では、プローブを交換する際に先端部側支持部や基端部側支持部を取り外すような煩雑な作業が発生しないため、プローブを容易に交換することができる。また、このプローブユニットおよび基板検査装置によれば、プローブを交換する際にプローブに接続される電極が配設された電極板を取り外す必要がないため、プローブの交換時におけるプローブの基端部と電極板との間への異物の付着を確実に防止することができる。さらに、このプローブユニットおよび基板検査装置によれば、先端部側支持部を上向きにした状態でプローブの交換作業を行うことができるため、交換作業中にプローブの先端部が作業台等に接触してプローブが破損する事態を確実に防止することができる。
【００１１】
また、請求項２記載のプローブユニット基板検査装置、および請求項３記載の基板検査装置では、第１挿通孔と第２挿通孔とが同じ平面視形状に形成されている。このため、このプローブユニットおよび基板検査装置では、第１支持板および第２支持板を製作する際に、第１支持板の材料となる板材と第２支持板の材料となる板材とを重ね合わせた状態で穿孔作業を行うことで、第１挿通孔と第２挿通孔とを一度に形成することができる。したがって、このプローブユニットおよび基板検査装置によれば、プローブユニットの製造工程を簡略化することができるため、その分製造コストを十分に低減させることができる。また、第１支持板の材料となる板材、および第２支持板の材料となる板材に対して別々に穿孔作業を行う場合においても、第１挿通孔と第２挿通孔とが同じ平面視形状のため、同じ工具（例えばドリル）を用いて同じ手順で穿孔作業行うことができる。したがって、このプローブユニットおよび基板検査装置によれば、穿孔作業の作業効率を十分に向上させることができる結果、その分製造コストを十分に低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】プローブユニット２の構成を示す構成図である。
【図３】プローブ１１の平面図である。
【図４】プローブユニット２の組み立て方法を説明する第１の説明図である。
【図５】プローブユニット２の組み立て方法を説明する第２の説明図である。
【図６】プローブユニット２の組み立て方法を説明する第３の説明図である。
【図７】プローブユニット２の組み立て方法を説明する第４の説明図である。
【図８】プローブユニット２の組み立て方法を説明する第５の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に係るプローブユニットおよび基板検査装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１４】
最初に、基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す基板検査装置１は、同図に示すように、プローブユニット２、移動機構３、載置台４、測定部５、検査部６、記憶部７および処理部８を備えて、基板１００を検査可能に構成されている。
【００１５】
プローブユニット２は、図２に示すように、複数のプローブ１１、本体部１２および電極板１３を備えて構成されている。
【００１６】
プローブ１１は、検査の際に基板１００における導体パターン等の導体部に接触させて電気信号の入出力を行うために用いられ、一例として、導電性を有する金属材料（例えば、ベリリウム銅合金、ＳＫＨ（高速度工具鋼）およびタングステン鋼など）によって弾性変形可能な断面円形の棒状に形成されている。また、図３に示すように、プローブ１１の先端部２１および基端部２３は、それぞれ鋭利に形成されている。また、プローブ１１の中間部２２の周面には、絶縁性を有するコーティング材料（一例として、フッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリエステルおよびポリイミドなど）で形成された絶縁層が形成されている。このため、中間部２２は、その直径Ｌ２が先端部２１の直径Ｌ１および基端部２３の直径Ｌ３よりも大径となっている。つまり、プローブ１１は、先端部２１および基端部２３が中間部２２よりも小径に形成されている。
【００１７】
本体部１２は、図２に示すように、先端部側支持部３１、基端部側支持部３２、および連結部３３を備えて、プローブ１１を支持可能に構成されている。先端部側支持部３１は、プローブ１１の先端部２１側を支持する部材であって、第１支持板４１および第２支持板４２を備えて構成されている。第１支持板４１は、一例として、非導電性を有する樹脂材料によって板状に形成されて、連結部３３に固定されている。また、第１支持板４１には、図４に示すように、平面視円形の複数（プローブ１１の数と同数）の第１挿通孔５１（図５，６も参照）が形成されている。なお、図５，６および後述する図８は、第２支持板４２側から見た先端部側支持部３１を示している。第１挿通孔５１は、その直径Ｒ１がプローブ１１の中間部２２の直径Ｌ２よりもやや大径に形成されて、中間部２２および基端部２３を挿通させることが可能となっている。なお、プローブユニット２は、使用時において、図２に示すように、先端部側支持部３１が下向きとなる状態で使用されるが、後述するように、プローブユニット２を組み立てる際には、図４，７に示すように、先端部側支持部３１が上向きの状態で組み立て作業が行われる。
【００１８】
また、第１支持板４１には、図４に示すように、固定ピン４３を挿入可能な挿入孔６１ａ，６１ｂが形成されている。この場合、挿入孔６１ａは、後述する第１位置Ｐ１に第２支持板４２を位置させた状態に維持するときに用いられる。また、挿入孔６１ｂは、後述する第２位置Ｐ２に第２支持板４２を位置させた状態に維持するときに用いられる。
【００１９】
第２支持板４２は、第１支持板４１と同じ材料（この例では、非導電性を有する樹脂材料）によって板状に形成されている。また、第２支持板４２には、図４に示すように、平面視円形の複数（プローブ１１の数と同数）の第２挿通孔５２（図５，６も参照）が形成されている。この場合、第２挿通孔５２は、例えば、その直径Ｒ２が第１支持板４１の第１挿通孔５１の直径Ｒ１と同じ直径に形成されて、中間部２２および基端部２３を挿通させることが可能となっている。つまり、このプローブユニット２では、第１挿通孔５１と第２挿通孔５２とが互いに同じ平面視形状に形成されている。
【００２０】
また、第２支持板４２（第１支持板および第２支持板のいずれか一方）は、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で第１支持板４１（第１支持板および第２支持板の他方）に対して相対的にスライド可能に構成されている。この場合、第１位置Ｐ１は、本体部１２に対するプローブ１１の着脱を可能とする位置であって、第２支持板４２がこの第１位置Ｐ１に位置しているときには、図６に示すように、第１挿通孔５１および第２挿通孔５２の双方にプローブ１１の中間部２２および基端部２３が挿通可能に第１挿通孔５１および第２挿通孔５２が連通する。また、第２位置Ｐ２は、本体部１２に対するプローブ１１の着脱を規制する位置であって、第２支持板４２がこの第２位置Ｐ２に位置しているときには、図８に示すように、第１挿通孔５１および第２挿通孔５２の双方にプローブ１１の先端部２１のみが挿通可能でかつ第１挿通孔５１および第２挿通孔５２のいずれにもプローブ１１の中間部２２および基端部２３が挿通しない状態で第１挿通孔５１および第２挿通孔５２が連通する。
【００２１】
また、第２支持板４２には、図４に示すように、上記した固定ピン４３を挿入可能な挿入孔６２ａ，６２ｂが形成されている。この場合、挿入孔６２ａは、図４に示すように、上記した第１位置Ｐ１に第２支持板４２を位置させた状態において、その中心軸と挿入孔６１ａの中心軸とが同軸状態となるようにその形成位置が規定されている。また、挿入孔６２ｂは、図７に示すように、上記した第２位置Ｐ２に第２支持板４２を位置させた状態において、その中心軸と挿入孔６１ｂの中心軸とが同軸状態となるようにその形成位置が規定されている。
【００２２】
基端部側支持部３２は、プローブ１１の基端部２３側を支持する部材であって、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されている。また、基端部側支持部３２には、図４に示すように、複数（プローブ１１の数と同数）の第３挿通孔５３が形成されている。この場合、各第３挿通孔５３は、図４，５に示すように、先端部側支持部３１における第１支持板４１の各第２挿通孔５２にそれぞれ対向する位置に形成されている。また、第３挿通孔５３は、図４に示すように、基端部側支持部３２の表面に直交する方向（基端部側支持部３２の厚み方向）に対してやや傾斜するように形成されている。また、第３挿通孔５３は、その直径Ｒ３がプローブ１１の基端部２３の直径Ｌ３よりもやや大径でかつプローブ１１の中間部２２の直径Ｌ２よりもやや小径に形成されて、基端部２３を挿通させることが可能でかつ中間部２２を挿通させないように構成されている。
【００２３】
連結部３３は、図２に示すように、先端部側支持部３１と基端部側支持部３２とを平行な状態で連結する。
【００２４】
このプローブユニット２では、図２に示すように、先端部側支持部３１を構成する第１支持板４１および第２支持板４２にそれぞれ形成されている第１挿通孔５１および第２挿通孔５２にプローブ１１の先端部２１が挿通され、基端部側支持部３２に形成されている第３挿通孔５３にプローブ１１の基端部２３が挿通された状態で、プローブ１１が本体部１２によって支持されている。また、プローブ１１は、同図に示すように、先端部側支持部３１の表面および基端部側支持部３２の表面に対して中間部２２が傾斜する状態で支持されている。この場合、プローブ１１は、基板１００に近接する向きにプローブユニット２が全体として移動させられたときに、基板１００の導体部に先端部２１が接触し、この際に加わる導体部からの押圧力（反力）に応じて中間部２２が湾曲し、これによって本体部１２（先端部側支持部３１）からの突出量が変化（増減）する。
【００２５】
電極板１３は、非導電性を有する樹脂材料等によって板状に形成されて、図２に示すように、本体部１２の基端部側支持部３２の上部に配設されている。また、電極板１３における各プローブ１１の各基端部２３との接触部位には、導電性を有する端子が嵌め込まれており、この各端子には、プローブ１１と測定部５とを電気的に接続するためのケーブルがそれぞれ接続されている。
【００２６】
移動機構３は、処理部８の制御に従い、載置台４（載置台４に載置されている基板１００）に対して近接する向きおよび離反する向きにプローブユニット２を移動させる。載置台４は、基板１００を載置可能に構成されると共に、載置された基板１００を固定可能に構成されている。測定部５は、プローブ１１を介して入出力する電気信号に基づき、物理量（例えば、抵抗値）を測定する測定処理を実行する。
【００２７】
検査部６は、処理部８の制御に従い、測定部５によって測定された物理量としての抵抗値に基づいて基板１００の良否（導体部の断線や短絡の有無）を検査する検査処理を実行する。記憶部７は、処理部８の制御に従い、測定部５によって測定された抵抗値や検査部６によって行われた検査の結果などを一時的に記憶する。処理部８は、基板検査装置１を構成する各部を制御する。
【００２８】
次に、プローブユニット２の組み立て方法の一例について、図面を参照して説明する。
【００２９】
まず、先端部側支持部３１と基端部側支持部３２とを連結部３３によって連結する。次いで、基端部側支持部３２の外側に電極板１３を固定する。続いて、図４に示すように、先端部側支持部３１を上向きにした状態で、第１支持板４１における挿入孔６１ａの中心軸と第２支持板４２における挿入孔６２ａの中心軸とが互いに同軸状態となる第１位置Ｐ１に第２支持板４２をスライドさせる。
【００３０】
次いで、図４に示すように、挿入孔６１ａ，６２ａに固定ピン４３を挿入する。これにより、第２支持板４２が第１位置Ｐ１に位置した状態に維持される。第２支持板４２が第１位置Ｐ１に位置しているときには、図６に示すように、第１挿通孔５１および第２挿通孔５２を平面視した状態において、第１挿通孔５１および第２挿通孔５２によって形成される隙間の最小幅がプローブ１１における中間部２２の直径Ｌ２よりも広くなっている。つまり、このときには、同図に示すように、第１支持板４１の第１挿通孔５１および第２支持板４２の第２挿通孔５２の双方にプローブ１１の中間部２２および基端部２３が挿通可能な状態で、第１挿通孔５１と第２挿通孔５２とが連通している。
【００３１】
続いて、図４に示すように、第２支持板４２の第２挿通孔５２からプローブ１１の基端部２３を挿入して、第２挿通孔５２および第１支持板４１の第１挿通孔５１にプローブ１１を挿通させ、次いで、基端部側支持部３２の第３挿通孔５３に基端部２３を差し込む。続いて、同様にして、各第２挿通孔５２、各第１挿通孔５１および各第３挿通孔５３へのプローブ１１の挿通および差し込みを行う。
【００３２】
次いで、全ての第２挿通孔５２、第１挿通孔５１および第３挿通孔５３へのプローブ１１の挿通および差し込みが終了したときには、挿入孔６１ａ，６２ａから固定ピン４３を引き抜き、続いて、図７に示すように、第１支持板４１における挿入孔６１ｂの中心軸と第２支持板４２における挿入孔６２ｂの中心軸とが互いに同軸状態となる第２位置Ｐ２に向けて（図４において左側に向けて）、第２支持板４２をスライドさせる。
【００３３】
この際に、第２支持板４２のスライドに伴い、図７に示すように、プローブ１１の先端部２１に第２挿通孔５２の内周面が当接し、続いてその内周面によってスライドの向き（この例では、左向きに）に先端部２１が押圧される。このため、先端部２１がそのスライドの向きに移動して、プローブ１１が先端部側支持部３１および基端部側支持部３２の表面に直交する方向に対してやや傾斜させられる。
【００３４】
また、第２支持板４２が第２位置Ｐ２に位置したときには、図８に示すように、第１挿通孔５１および第２挿通孔５２を平面視した状態において、第１挿通孔５１および第２挿通孔５２によって形成される隙間の最大幅が中間部２２の直径Ｌ２よりも狭くなっている。つまり、このときには、第１挿通孔５１および第２挿通孔５２の双方に先端部２１のみが挿通可能でかつ第１挿通孔５１および第２挿通孔５２のいずれにも中間部２２および基端部２３が挿通しない状態で第１挿通孔５１および第２挿通孔５２が連通している。次いで、図７に示すように、挿入孔６１ｂ，６２ｂに固定ピン４３を挿入する。これにより、第２支持板４２が第２位置Ｐ２に位置した状態に維持される。以上により、プローブユニット２の製造が完了する。
【００３５】
次に、基板検査装置１を用いて基板１００の検査を行う基板検査方法について、図面を参照して説明する。
【００３６】
まず、先端部側支持部３１を下向きにした状態のプローブユニット２を移動機構３に固定する（図１参照）。続いて、載置台４の載置面に基板１００を載置して、次いで、図外の固定具によって基板１００を載置台４に固定する。続いて、基板検査装置１を作動させる。この際に、処理部８が、移動機構３を制御して、基板１００（載置台４の載置面）に対して近接する向き（図１における下向き）にプローブユニット２を移動（降下）させる。
【００３７】
次いで、処理部８は、移動機構３を制御して、予め決められた移動量だけプローブユニット２を移動させた時点で、その移動を停止させる。続いて、処理部８は、測定部５を制御して測定処理を実行させる。この測定処理では、測定部５は、各プローブ１１を介して入出力する電気信号に基づいて物理量としての抵抗値を測定する。
【００３８】
次いで、処理部８は、検査部６を制御して検査処理を実行させる。この検査処理では、検査部６は、測定部５によって測定された抵抗値に基づいて導体部の断線および短絡の有無を検査する。続いて、処理部８は、検査結果を図外の表示部に表示させる。以上により、基板１００の検査が終了する。次いで、新たな基板１００を検査するときには、新たな基板１００を載置台４に載置して固定し、続いて、基板検査装置１を作動させる。この際に、処理部８が、上記した各処理を実行する。
【００３９】
一方、例えば、プローブユニット２に配設されているプローブ１１の一部が破損したときには、次のような手順でプローブ１１を交換する。まず、プローブユニット２を移動機構３から取り外す。次いで、先端部側支持部３１を上向きにした状態で、プローブユニット２を作業台に載置する。続いて、挿入孔６１ｂ，６２ｂに挿入されている固定ピン４３を引き抜き、第２支持板４２をスライド可能な状態とする。次いで、第２支持板４２を第１位置Ｐ１にスライドさせる。この際に、図６に示すように、第１支持板４１の第１挿通孔５１と第２支持板４２の第２挿通孔５２によって形成される隙間の最小幅がプローブ１１の中間部２２の直径Ｌ２よりも広くなって第１挿通孔５１および第２挿通孔５２の双方にプローブ１１の中間部２２および基端部２３が挿通可能な状態となる。
【００４０】
続いて、破損したプローブ１１を本体部１２から引き抜く。次いで、新たなプローブ１１を第２挿通孔５２および第１支持板４１の第１挿通孔５１に挿通させ、続いて、基端部側支持部３２の第３挿通孔５３に基端部２３を差し込む。次いで、第２支持板４２を第２位置Ｐ２にスライドさせ、続いて、挿入孔６１ｂ，６２ｂに固定ピン４３を挿入する。以上によりプローブ１１の交換が終了する。
【００４１】
このように、このプローブユニット２および基板検査装置１では、先端部側支持部３１を構成する第１支持板４１および第２支持板４２のいずれか一方（この例では、第２支持板４２）が、第１支持板４１および第２支持板４２の他方（この例では、第１支持板４１）に対して、第１挿通孔５１および第２挿通孔５２の双方にプローブ１１の中間部２２および基端部２３が挿通可能な第１位置Ｐ１と、第１挿通孔５１および第２挿通孔５２の双方にプローブ１１の先端部２１のみが挿通可能な第２位置Ｐ２との間で相対的にスライド可能に構成されている。このため、このプローブユニット２および基板検査装置１では、プローブ１１を交換する際に先端部側支持部３１や基端部側支持部３２を取り外すような煩雑な作業が発生しないため、プローブ１１を容易に交換することができる。また、このプローブユニット２および基板検査装置１によれば、プローブ１１を交換する際に電極板１３を取り外す必要がないため、プローブ１１の交換時におけるプローブ１１の基端部２３と電極板１３との間への異物の付着を確実に防止することができる。さらに、このプローブユニット２および基板検査装置１によれば、先端部側支持部３１を上向きにした状態でプローブ１１の交換作業を行うことができるため、交換作業中にプローブ１１の先端部２１が作業台等に接触してプローブ１１が破損する事態を確実に防止することができる。
【００４２】
また、このプローブユニット２および基板検査装置１では、第１挿通孔５１と第２挿通孔５２とが同じ平面視形状に形成されている。このため、このプローブユニット２および基板検査装置１では、第１支持板４１および第２支持板４２を製作する際に、第１支持板４１の材料となる板材と第２支持板４２の材料となる板材とを重ね合わせた状態で穿孔作業を行うことで、第１挿通孔５１と第２挿通孔５２とを一度に形成することができる。したがって、このプローブユニット２および基板検査装置１によれば、プローブユニット２の製造工程を簡略化することができるため、その分製造コストを十分に低減させることができる。また、第１支持板４１の材料となる板材、および第２支持板４２の材料となる板材に対して別々に穿孔作業を行う場合においても、第１挿通孔５１と第２挿通孔５２とが同じ平面視形状のため、同じ工具（例えばドリル）を用いて同じ手順で穿孔作業行うことができる。したがって、このプローブユニット２および基板検査装置１によれば、穿孔作業の作業効率を十分に向上させることができる結果、その分製造コストを十分に低減させることができる。
【００４３】
なお、基板検査装置および基板検査方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、第１挿通孔５１および第２挿通孔５２を同じ平面視形状に形成した例について上記したが、各挿通孔５１，５２を互いに異なる平面視形状に形成する構成を採用することもできる。具体的には、各挿通孔５１，５２を直径が互いに異なる円形に形成する構成を採用することができる。また、挿通孔５１，５２の一方を平面視円形に形成し、挿通孔５１，５２の他方を円形以外の平面視形状（例えば、楕円形や多角形）に形成する構成を採用することもできる。
【００４４】
また、１つの第１挿通孔５１および第２挿通孔５２にプローブ１１を１本ずつ挿通させる構成例について上記したが、１つの挿通孔５１，５２に複数のプローブ１１を挿通させる構成を採用することもできる。具体的には、平面視が８の字状に形成した１つの挿通孔５１，５２に２本のプローブ１１を挿通させる構成を採用することができる。
【００４５】
また、連結部３３に固定された第１支持板４１に対して第２支持板４２が相対的にスライド可能な構成例について上記したが、これとは逆に、第２支持板４２（第１支持板および第２支持板の他方）を連結部３３に固定して、この第２支持板４２に対して第１支持板４１（第１支持板および第２支持板のいずれか一方）が相対的にスライド可能な構成を採用することもできる。
【００４６】
また、基端部２３が中間部２２よりも小径に形成されたプローブ１１を用いる例について上記したが、基端部２３が中間部２２と同径（直径が互いに等しい）に形成されたプローブ１１を用いる構成を採用することもできる。また、基端部２３が中間部２２よりも大径に形成されたプローブ１１を用いる構成を採用することもできる。この場合、基端部２３が中間部２２よりも大径に形成されたプローブ１１を用いるときには、第１支持板４１の第１挿通孔５１の直径Ｒ１、および第２支持板４２の第２挿通孔５２の直径Ｒ２を基端部２３の直径よりもやや大径にそれぞれ形成して、第１挿通孔５１および第２挿通孔５２に中間部２２および基端部２３を挿通可能に構成することで、上記した構成と同じ効果を実現することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１  基板検査装置
２  プローブユニット
５  測定部
６  検査部
１１  プローブ
２１  先端部
２２  中間部
２３  基端部
３１  先端部側支持部
３２  基端部側支持部
４１  第１支持板
４２  第２支持板
５１  第１挿通孔
５２  第２挿通孔
１００  基板
Ｐ１  第１位置
Ｐ２  第２位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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