(57)【要約】【課題】  水晶板上に形成される金属電極の酸化を防止して安定化させ、製品の耐環境性能を向上させることができる圧電デバイス及びその製造方法を提供する。【解決手段】  基板１に搭載される水晶片４上に金属電極５ａ，５ｂが形成される圧電デバイス及びその製造方法であって、水晶片４の上に、金属電極５ａ，５ｂより酸化防止の性能に優れた第１の金属膜６ａ，６ｂを形成し、第１の金属膜６ａ，６ｂ上に金属電極５ａ，５ｂを形成し、金属電極５ａ，５ｂの上に、それより酸化防止の性能に優れた第２の金属膜７ａ，７ｂを形成して、金属電極５ａ，５ｂを第１，２の金属膜６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂで挟み込み、第２の金属膜７ａ，７ｂを熱処理により酸化させるものである。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶板上に金属電極が形成される圧電デバイスであって、
前記金属電極を、前記金属電極の金属より酸化防止の性能に優れた金属膜で挟み込むことを特徴とする圧電デバイス。
【請求項２】
金属電極を挟み込む外側の金属膜を、熱処理により酸化させたことを特徴とする請求項１記載の圧電デバイス。
【請求項３】
金属電極を挟み込む金属膜を、チタンとしたことを特徴とする請求項１又は２記載の圧電デバイス。
【請求項４】
金属電極を挟み込む外側の金属膜を、熱処理された酸化チタンとしたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の圧電デバイス。
【請求項５】
金属電極を、銀、アルミニウム、銅で形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の圧電デバイス。
【請求項６】
水晶板上に金属電極が形成される圧電デバイスの製造方法であって、
水晶板の上に、前記金属電極より酸化防止の性能に優れた第１の金属膜を形成し、
前記第１の金属膜上に前記金属電極を形成し、
前記金属電極の上に、前記金属電極より酸化防止の性能に優れた第２の金属膜を形成することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
【請求項７】
前記第１の金属膜と前記第２の金属膜の形成後に、熱処理により前記第２の金属膜を酸化させることを特徴とする請求項６記載の圧電デバイスの制御方法。
【請求項８】
第１の金属膜と第２の金属膜をチタンで形成し、
前記第１の金属膜と前記第２の金属膜の形成後に、熱処理により前記第２の金属膜を酸化チタンとすることを特徴とする請求項６又は７記載の圧電デバイスの制御方法。
【請求項９】
金属電極を、銀、アルミニウム、銅で形成されていることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか記載の圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶板上に電極が形成される圧電デバイスに係り、特に、耐環境性能に優れた圧電デバイス及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来の圧電デバイスとして、水晶振動子、ＳＡＷ（surface acoustic wave）フィルタ、水晶フィルタ等の弾性波デバイスが知られている。
［従来の水晶振動子：図２］
従来の圧電デバイスとして、例えば、従来の水晶振動子について図２を参照しながら説明する。図２は、従来の水晶振動子の断面説明図である。
従来の水晶振動子は、図２に示すように、セラミックの基板１上に引出電極２ａが形成され、更に水晶片（水晶板）４を支持する支持部２ｂが形成され、支持部２ｂ上に導電性接着剤３を介して水晶片４が搭載される構成となっている。
【０００３】
そして、水晶片４の表面と裏面には、銀（Ａｇ）等の金属電極５ａ，５ｂが形成されている。金属電極５ａ，５ｂは、導電性接着剤３で導電性の支持部２ｂを介して引出電極２ａに接続している。
尚、水晶振動子は、更に水晶片４を覆うように、カバーが設けられ、内部を封止するようになっている。
【０００４】
［関連技術］
尚、関連する先行技術として、特開平１１−６８５０１号公報「水晶振動子および水晶振動子の製造方法」（松下電器産業株式会社）［特許文献１］、特開２００１−１０２９０４号公報「水晶振動子」（セイコーエプソン株式会社）［特許文献２］がある。
【０００５】
特許文献１には、水晶振動子において、水晶板に銀電極を蒸着し、銀電極上に絶縁層を堆積し、周波数の測定を行って設定周波数と一致した場合に堆積を停止することが示されている。
特許文献２には、水晶振動子において、水晶振動片上に平面電極が形成され、その平面電極の上に絶縁膜を形成したことが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−６８５０１号公報
【特許文献２】特開２００１−１０２９０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の圧電デバイスでは、水晶片（水晶板）上に銀の金属電極を形成して、カバーで封止する構成であるが、樹脂封止製品の場合、封止材にエポキシ樹脂等が使用されるため、完全気密ではなく、透水性があり、銀の金属電極が酸化して水晶振動子の特性を劣化させるという問題点があった。
【０００８】
また、特許文献１，２では、金属電極上に絶縁膜を形成することが記載されているが、金属電極の酸化防止には充分ではなく、更に金属電極を安定化させるものとなっていないものであった。
【０００９】
本発明は上記実情に鑑みて為されたもので、水晶板上に形成される金属電極の酸化を防止して安定化させ、製品の耐環境性能を向上させることができる圧電デバイス及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、水晶板上に金属電極が形成される圧電デバイスであって、金属電極を、当該金属電極の金属より酸化防止の性能に優れた金属膜で挟み込むことを特徴とする。
【００１１】
本発明は、上記圧電デバイスにおいて、金属電極を挟み込む外側の金属膜を、熱処理により酸化させたことを特徴とする。
【００１２】
本発明は、上記圧電デバイスにおいて、金属電極を挟み込む金属膜を、チタンとしたことを特徴とする。
【００１３】
本発明は、上記圧電デバイスにおいて、金属電極を挟み込む外側の金属膜を、熱処理された酸化チタンとしたことを特徴とする。
【００１４】
本発明は、上記圧電デバイスにおいて、金属電極を、銀、アルミニウム、銅で形成されていることを特徴とする。
【００１５】
本発明は、水晶板上に金属電極が形成される圧電デバイスの製造方法であって、水晶板の上に、金属電極より酸化防止の性能に優れた第１の金属膜を形成し、第１の金属膜上に金属電極を形成し、金属電極の上に、金属電極より酸化防止の性能に優れた第２の金属膜を形成することを特徴とする。
【００１６】
本発明は、上記圧電デバイスの制御方法において、第１の金属膜と第２の金属膜の形成後に、熱処理により第２の金属膜を酸化させることを特徴とする。
【００１７】
本発明は、上記圧電デバイスの制御方法において、第１の金属膜と第２の金属膜をチタンで形成し、第１の金属膜と第２の金属膜の形成後に、熱処理により第２の金属膜を酸化チタンとすることを特徴とする。
【００１８】
本発明は、上記圧電デバイスの制御方法において、金属電極を、銀、アルミニウム、銅で形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、水晶板上に金属電極が形成される圧電デバイスであって、金属電極を、当該金属電極の金属より酸化防止の性能に優れた金属膜で挟み込むようにしているので、製品の耐環境性能を向上させることができる効果がある。
【００２０】
本発明によれば、水晶板上に金属電極が形成される圧電デバイスの製造方法であって、水晶板の上に、金属電極より酸化防止の性能に優れた第１の金属膜を形成し、第１の金属膜上に金属電極を形成し、金属電極の上に、金属電極より酸化防止の性能に優れた第２の金属膜を形成するようにしているので、製品の耐環境性能を向上させることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施の形態に係る圧電デバイスにおいて水晶振動子の断面説明図である。
【図２】従来の水晶振動子の断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
［実施の形態の概要］
本発明の実施の形態に係る圧電デバイスは、水晶板上に金属電極が形成されるものであって、金属電極を、その金属電極の金属より酸化防止の性能に優れた金属膜で挟み込み、当該金属膜を熱処理で酸化させるものであり、金属電極の劣化防止し、金属電極を安定化でき、製品の耐久性（耐環境性能）を向上させるものである。
【００２３】
また、本発明の実施の形態に係る圧電デバイスの製造方法は、水晶板上に金属電極が形成される方法であって、水晶板の上に、金属電極より酸化防止の性能に優れた第１の金属膜を形成し、第１の金属膜上に金属電極を形成し、金属電極の上に、金属電極より酸化防止の性能に優れた第２の金属膜を形成し、第２の金属膜を熱処理により酸化させるものであり、金属電極の劣化防止し、金属電極を安定化でき、製品の耐久性（耐環境性能）を向上させるものである。
【００２４】
［本圧電デバイス：図１］
本発明の実施の形態に係る圧電デバイス（本圧電デバイス）について図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る圧電デバイスにおいて水晶振動子の断面説明図である。
本圧電デバイスにおける水晶振動子（本振動子）は、図１に示すように、セラミックの基板１の表面、側面、裏面に金属膜の引出電極２ａが形成され、更に水晶片（水晶板）４を支持する支持部２ｂが金属膜で形成され、支持部２ｂ上に導電性接着剤３を介して水晶片４が搭載される構成となっている。
【００２５】
そして、本実施の形態の特徴として、水晶片４の表面と裏面には、銀（Ａｇ）等の金属電極５ａ，５ｂが形成されるが、その金属電極５ａ，５ｂを銀より酸化防止の性能に優れた第１の金属膜（内側の金属膜）６ａ，６ｂと第２の金属膜（外側の金属膜）７ａ，７ｂで挟み込む構成となっている。
【００２６】
第１の金属膜６ａ，６ｂと第２の金属膜７ａ，７ｂは、チタン（Ｔｉ）を用いている。更に金属膜７ａ，７ｂの形成後に熱処理によって酸化させ、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）とする。
チタンの第２の金属膜７ａ，７ｂを熱処理により酸化させて酸化チタンとすることで、銀の金属電極５ａ，５ｂとの密着性が高くなって安定化し、金属電極５ａ，５ｂを酸化チタンの金属膜で覆うことで、金属電極５ａ，５ｂの酸化を防止できる。
【００２７】
また、金属電極５ａ，５ｂは、銀の代わりに、アルミニウム（Ａｌ）又は銅（Ｃｕ）であってもよい。
そして、金属電極５ａ，５ｂは、導電性接着剤３で導電性の支持部２ｂを介して引出電極２ａに接続している。
尚、水晶振動子は、更に水晶片４を覆うように、カバーが設けられ、内部を封止するようになっている。封止にはエポキシ樹脂等による樹脂封止が用いられる。
【００２８】
［水晶片の製造方法］
次に、本振動子の水晶片への電極等の形成方法について説明する。
水晶片４上に金属電極５ａとほぼ同じ形状パターンでチタンの第１の金属膜６ａを蒸着等で形成する。
そして、第１の金属膜６ａの上に金属電極５ａを銀で形成し、更に、金属電極５ａの上に金属電極５ａのパターンで第２の金属膜７ａをチタンで形成し、熱処理で第２の金属膜７ａを酸化させて酸化チタン（ＴｉＯ2 ）とする。
第１の金属膜６ｂ、金属電極５ｂ、第２の金属膜７ｂも同様に形成する。
【００２９】
［本振動子の製造方法］
次に、本振動子の製造方法について説明する。
本振動子は、セラミックの基板１の表面、側面、裏面に引出電極２ａが形成され、基板１の表面に形成された引出電極２ａの上に支持電極２ｂが形成され、上述した金属電極５ａ，５ｂ、第１の金属膜６ａ，６ｂ、第２の金属膜７ａ，７ｂが形成された水晶片４が搭載される。水晶片４は導電性接着材３で支持電極２ｂに接続される。
更に、水晶片４を覆うように金属等のカバーがエポキシ樹脂によって封止される。
【００３０】
［実施の形態の効果］
本圧電デバイスによれば、水晶片４上に金属電極５ａ，５ｂが形成されるものであって、金属電極５ａ，５ｂを、その金属より酸化防止の性能に優れた第１，２の金属膜６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂで挟み込み、当該金属膜７ａ，７ｂを熱処理で酸化させるものであり、金属電極５ａ，５ｂの劣化防止し、金属電極５ａ，５ｂを安定化でき、製品の耐久性（耐環境性能）を向上させることができる効果がある。
【００３１】
本圧電デバイスの製造方法によれば、水晶片４上に金属電極５ａ，５ｂが形成される方法であって、水晶片４の上に、金属電極５ａ，５ｂより酸化防止の性能に優れた第１の金属膜６ａ，６ｂを形成し、第１の金属膜６ａ，６ｂ上に金属電極５ａ，５ｂを形成し、金属電極５ａ，５ｂの上に、それより酸化防止の性能に優れた第２の金属膜７ａ，７ｂを形成し、第２の金属膜７ａ，７ｂを熱処理により酸化させるものであり、金属電極５ａ，５ｂの劣化防止し、金属電極５ａ，５ｂを安定化でき、製品の耐久性（耐環境性能）を向上させるものである。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明は、水晶板上に形成される金属電極の酸化を防止して安定化させ、製品の耐環境性能を向上させることができる圧電デバイス及びその製造方法に好適である。
【符号の説明】
【００３３】
１...基板、  ２ａ...引出電極、  ２ｂ...支持部、  ３...導電性接着剤、  ４...水晶片、  ５ａ，５ｂ...金属電極、  ６ａ，６ｂ...第１の金属膜、  ７ａ，７ｂ...第２の金属膜
【図１】
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【図２】
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