(57)【要約】【課題】反転対象物を反転させる際に必要な力を低減するとともに急激な回動の発生を防止することができる反転装置を提供する。【解決手段】反転装置は、反転対象物を回転軸を回動支点として回動させて反転させる反転装置であって、回転軸を回動支点として回動可能な第１の支持部材と、第１の支持部材とともに反転対象物を挟んだ状態で保持し、回転軸を回動支点として回動可能な第２の支持部材と、回転軸に対して第１の支持部材と反対の側に位置する、第１の支持部材と釣り合う重量である第１の重り部材と、回転軸に対して第２の支持部材と反対の側に位置する、第２の支持部材と釣り合う重量である第２の重り部材と、回転軸に対して第１の支持部材及び第２の支持部材に挟持された反転対象物と反対の側に位置する、反転対象物と釣り合う重量である第３の重り部材とを備える。【選択図】図１
2014118227.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反転対象物を回転軸を回動支点として回動させて反転させる反転装置であって、
前記回転軸を回動支点として回動可能な第１の支持部材と、
前記第１の支持部材とともに前記反転対象物を挟んだ状態で保持し、前記回転軸を回動支点として回動可能な第２の支持部材と、
前記回転軸に対して前記第１の支持部材と反対の側に位置する、前記第１の支持部材と釣り合う重量である第１の重り部材と、
前記回転軸に対して前記第２の支持部材と反対の側に位置する、前記第２の支持部材と釣り合う重量である第２の重り部材と、
前記回転軸に対して前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材に挟持された前記反転対象物と反対の側に位置する、前記反転対象物と釣り合う重量である第３の重り部材と、
を備える、
ことを特徴とする反転対象物の反転装置。
【請求項２】
請求項１に記載の反転装置において、前記第１の重り部材と前記第２の重り部材とは、互いに対向し、
前記第３の重り部材は、前記第１の重り部材と前記第２の重り部材との間に位置し、
前記第３の重り部材の一端部は前記回転軸に回動可能に取り付けられ、前記第３の重り部材の他端部には前記回転軸の軸線方向に沿って突出するロッドを備え、
前記反転対象物が前記回転軸を中心に回動する際、前記ロッドが重力方向において前記第３の重り部材の下方に位置する前記第１の重り部材又は前記第２の重り部材と当接し、前記第３の重り部材の姿勢を保持する、
ことを特徴とする反転対象物の反転装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の反転装置において、前記第１の重り部材は、第１の基端部と、該第１の基端部に対して変位可能な第１の先端部とを備え、
前記第１の先端部は、互いに対向する前記第２の重り部材の側に変位可能であり、
前記反転対象物が前記回転軸を支点として回動する際、前記第１の先端部が、重力方向において下方に位置する前記第２の重り部材の側に変位し、
前記第２の重り部材は、第２の基端部と、該第２の基端部に対して変位可能な第２の先端部とを備え、
前記第２の先端部は、互いに対向する前記第１の重り部材の側に変位可能であり、
前記反転対象物が前記回転軸を支点として回動する際、前記第２の先端部が、重力方向において下方に位置する前記第１の重り部材の側に変位する、
ことを特徴とする反転対象物の反転装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の反転装置において、前記第１の重り部材が水平状態にある際、前記第１の重り部材の一部の重量が前記第１の支持部材に作用し、
前記第２の重り部材が水平状態にある際、前記第２の重り部材の一部の重量が前記第２の支持部材に作用する、
ことを特徴とする反転対象物の反転装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の反転装置において、前記第１の重り部材の重量は、前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材が水平状態にある際、重力方向上側に位置する前記第１の支持部材が重力方向下側に位置する前記第２の支持部材に対して閉じた状態を保持するように設定され、
前記第２の重り部材の重量は、前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材が水平状態にある際、重力方向上側に位置する前記第２の支持部材が重力方向下側に位置する前記第１の支持部材に対して閉じた状態を保持するように設定されている、
ことを特徴とする反転対象物の反転装置。
【請求項６】
請求項１に記載の反転装置において、前記第３の重り部材は前記回転軸に着脱可能に取り付けられている、
ことを特徴とする反転対象物の反転装置。
【請求項７】
請求項１に記載の反転装置において、前記第３の重り部材は重量を調整可能に構成されている、
ことを特徴とする反転対象物の反転装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の反転装置において、前記第１の支持部材が水平状態にある際、重力方向下側に位置する前記第１の支持部材をロックする、解除可能な第１のロック機構を備え、
前記第２の支持部材が水平状態にある際、重力方向下側に位置する前記第２の支持部材をロックする、解除可能な第２のロック機構を備える、
ことを特徴とする反転対象物の反転装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項に記載の反転装置において、前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材を回動途中で任意の位置で保持する保持機構を備える、
ことを特徴とする反転対象物の反転装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載の反転装置において、前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材は、作業者の力によって回動される、
ことを特徴とする反転対象物の反転装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転軸を回動支点として反転対象物を回動させて反転させる反転装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体等の被検査体と電気的に接続して通電試験等を行う検査装置がある。この検査装置には、一方の面に前記被検査体の電極と接触する複数のプローブが設けられたプローブカードが前記一方の面を重力方向下方に向けて着脱可能に取り付けられている。
【０００３】
この検査装置では、被検査体への検査を複数回繰り返すことにより、前記プローブカードのプローブが磨耗し、前記被検査体の電極と接触しなくなり、前記通電試験が行えなくなることがある。このため、前記プローブカードを前記検査装置から取り外し、前記プローブの修理、交換等のメンテナンス作業を行う必要がある。
【０００４】
前記検査装置から前記プローブカードを取り外した状態では、前記プローブカードの一方の側は重力方向下方に向いている。このため、この状態における前記プローブカードのメンテナンス作業は、作業者がプローブカードの下方に位置して行う必要があり、作業性に劣る。したがって、前記プローブカードを前記検査装置から取り外した状態すなわちプローブカードの一方の面が重力方向下方に向いている状態から前記一方の面が重力方向上方に向いている状態に、プローブカードを反転させる必要がある。
【０００５】
また、前記検査装置において、異なる種類の被検査体を検査するために前記検査装置に取り付けられているプローブカードを異なる種類の被検査体に対応するプローブカードに交換することがある。この際、交換しようとするプローブカードの一方の面に備えられたプローブの破損の有無及びごみの有無を目視でチェックするために前記一方の面を重力方向上方に向けて作業する必要があり、前記プローブカードを反転させる必要がある。
【０００６】
しかし、前記プローブカードの重量は数ｋｇから数１０ｋｇの重さであり、前記プローブカードすなわち反転対象物が重すぎて当該反転対象物を直接作業者の手により反転させることは容易ではない。このため、反転対象物の一方の面を重力方向下方に向いた状態から重力方向上方に向いた状態に前記反転対象物を反転させる反転装置がある（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】実開平５−６４１３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
この反転装置では、互いに対向する一対の支持部材に挟持された反転対象物を駆動モーターの駆動軸を回動支点として、該駆動モーターの駆動力により前記回転軸の周囲に反転対象物を回動させて前記反転対象物の一方の面を反転させている。
【０００９】
しかし、この反転装置では、駆動モーター等の駆動手段を必要とすることから装置が大型化し、該装置の価格が高くなる等の問題がある。このため、前記駆動手段を必要としない反転対象物の反転装置が望まれていた。
【００１０】
例えば、前記駆動手段を用いずに作業者が人力で容易に反転対象物を反転させることができる反転装置を図１２（Ａ）に示す。反転装置１００は、Ｚ軸方向において互いに対向する一対の支持部材１０２、１０４を備えている。支持部材１０２と１０４とは、Ｘ軸方向における一端側がヒンジ１０６により回動可能に連結されている。このため、互いに対向する支持部材１０２、１０４の一方は、他方に対して接離可能である。
【００１１】
また、ヒンジ１０６は回転軸１０８を備えている。支持部材１０２、１０４は、回転軸１０８を回動支点として回転軸１０８の周囲を回動可能に構成されている。また、支持部材１０２と１０４との間に反転対象物１１０を挟持し、図示しない保持手段で反転対象物１１０を支持部材１０２、１０４により挟持した状態を保持することができる。
【００１２】
さらに、支持部材１０２、１０４の一端側にはそれぞれ重り部材１１２、１１４が取り付けられている。重り部材１１２の重量及び重り部材１１４の重量は、それぞれ反転対象物１１０の半分の重量に設定されている。すなわち、重り部材１１２及び重り部材１１４の合計重量は、反転対象物１１０の重量と等しく設定されている。
【００１３】
このため、支持部材１０２及び支持部材１０４に挟持された反転対象物１１０を反転させるために回転軸１０８の周囲を回動させる際、反転対象物１１０の重量は重り部材１１２及び重り部材１１４の合計重量により相殺される。その結果、反転装置１００では、反転対象物１１０を反転させる際、支持部材１０２、１０４の重量のみが作用することから駆動モーター等の動力を使用せずに小さい力すなわち人力でも反転させることが可能となる。
【００１４】
ところで、この反転装置１００では、反転対象物１１０を反転させて水平状態にした後、図示しない保持手段を解除することにより支持部材１０２と支持部材１０４とを離間可能状態とする。この際、支持部材１０２、１０４の重量に対して重り部材１１２、１１４の重量の方が重いことから、図１２（Ｂ）において図示しない保持手段を解除すると、反転対象物１１０の上方側に位置する支持部材１０２が重り部材１１２の重さにより回転軸１０８を回動支点として急激に上方へ回動することとなる。
【００１５】
その結果、支持部材１０２、１０４の急激な回動により支持部材１０２、１０４の回動終了時に反転装置１００に与える衝撃により反転対象物１１０が損傷する虞がある。
【００１６】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、反転対象物を反転させる際に必要な力を低減するとともに急激な回動の発生を防止することができる反転装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を達成するため、本発明の第１の態様の反転装置は、反転対象物を回転軸を回動支点として回動させて反転させる反転装置であって、前記回転軸を回動支点として回動可能な第１の支持部材と、前記第１の支持部材とともに前記反転対象物を挟んだ状態で保持し、前記回転軸を回動支点として回動可能な第２の支持部材と、前記回転軸に対して前記第１の支持部材と反対の側に位置する、前記第１の支持部材と釣り合う重量である第１の重り部材と、前記回転軸に対して前記第２の支持部材と反対の側に位置する、前記第２の支持部材と釣り合う重量である第２の重り部材と、前記回転軸に対して前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材に挟持された前記反転対象物と反対の側に位置する、前記反転対象物と釣り合う重量である第３の重り部材とを備えることを特徴とする。
【００１８】
本態様によれば、第１の支持部材及び第２の支持部材がそれぞれ第１の重り部材及び第２の重り部材と回転軸を支点として同重量で釣り合っていることから、重量バランスの不釣り合いによる急激な回動などの予期しない回動を防止することができる。その結果、反転対象物の破損の虞をなくす、或いは小さくすることができる。さらに、第１の支持部材、第２の支持部材及び反転対象物と第１の重り部材、第２の重り部材及び第３の重り部材とが回転軸を支点として同重量で構成されていることから、互いに回転軸を支点として重量が相殺され、反転対象物を回転軸回りに反転させる際に必要な力を低減することができる。
【００１９】
尚、本明細書において「釣り合う重量」とは第１の重り部材、第２の重り部材及び第３の重り部材が第１の支持部材、第２の支持部材及び反転対象物と厳密に同重量である必要はなく、回転軸を回動支点として第１の支持部材及び第２の支持部材が急激な回動を生じさせないように第１の重り部材、第２の重り部材及び第３の重り部材が第１の支持部材、第２の支持部材及び反転対象物と重量バランスが取れている範囲内の重量も含んでいる。
【００２０】
本発明の第２の態様の反転装置は、第１の態様において、前記第１の重り部材と前記第２の重り部材とは、互いに対向し、前記第３の重り部材は、前記第１の重り部材と前記第２の重り部材との間に位置し、前記第３の重り部材の一端部は前記回転軸に回動可能に取り付けられ、前記第３の重り部材の他端部には前記回転軸の軸線方向に沿って突出するロッドを備え、前記反転対象物が前記回転軸を中心に回動する際、前記ロッドが重力方向において前記第３の重り部材の下方に位置する前記第１の重り部材又は前記第２の重り部材と当接し、前記第３の重り部材の姿勢を保持することを特徴とする。
【００２１】
反転対象物を反転させる際、第３の重り部材においてその姿勢が保持されない場合、第３の重り部材の重量が、回転軸を介して第１の支持部材、第２の支持部材及び反転対象物に作用しなくなる。その結果、作業者が反転対象物を反転させるために、第３の重り部材の重量の分だけ余計な力が必要となる。
【００２２】
本態様によれば、反転対象物を反転させる際、第３の重り部材が第１の重り部材又は第２の重り部材によりその姿勢を保持されることになる。これにより、第３の重り部材の重量が回転軸を介して第１の支持部材、第２の支持部材及び反転対象物に作用する。その結果、第１の支持部材、第２の支持部材及び反転対象物と第１の重り部材、第２の重り部材及び第３の重り部材との重量バランスが維持される。その結果、反転対象物を回転軸回りに反転させる際に必要な力を低減することができる。
【００２３】
本発明の第３の態様の反転装置は、第１の態様または第２の態様において、前記第１の重り部材は、第１の基端部と、該第１の基端部に対して変位可能な第１の先端部とを備え、前記第１の先端部は、互いに対向する前記第２の重り部材の側に変位可能であり、前記反転対象物が前記回転軸を支点として回動する際、前記第１の先端部が、重力方向において下方に位置する前記第２の重り部材の側に変位し、前記第２の重り部材は、第２の基端部と、該第２の基端部に対して変位可能な第２の先端部とを備え、前記第２の先端部は、互いに対向する前記第１の重り部材の側に変位可能であり、前記反転対象物が前記回転軸を支点として回動する際、前記第２の先端部が、重力方向において下方に位置する前記第１の重り部材の側に変位することを特徴とする。
【００２４】
本態様において、第１の先端部が対向する第２の重り部材に向けて変位する際、回転軸を中心とした半径方向において第１の先端部が第３の重り部材の前記ロッドより内側で変位するように構成することにより、第１の先端部が第３の重り部材の前記ロッドと干渉することを防止することができる。同様に第２の先端部が対向する第１の重り部材に向けて変位する際、回転軸を中心とした半径方向において第２の先端部が第３の重り部材の前記ロッドより内側で変位するように構成することにより、第２の先端部が第３の重り部材の前記ロッドと干渉することを防止することができる。
【００２５】
また、本態様によれば、第１の先端部が第２の重り部材の側に変位することにより、回転軸からの第１の重り部材の長さが短くなることから第１の重り部材の回転モーメントが小さくなる。このため、第１の重り部材の回転モーメントは第１の支持部材の回転モーメントより小さくなる。同様に、第２の先端部が第１の重り部材の側に変位することにより、回転軸からの第２の重り部材の長さが短くなることから第２の重り部材の回転モーメントが小さくなる。このため、第２の重り部材の回転モーメントは第２の支持部材の回転モーメントより小さくなる。
【００２６】
これにより、反転対象物を反転させる過程において、反転対象物を垂直状態から水平状態に変位させる際、第１の支持部材及び第２の支持部材の回転モーメントが第１の重り部材及び第２の重り部材の回転モーメントより大きいことから、自然に水平状態に変位しようとする。
【００２７】
本発明の第４の態様の反転装置は、第１から第３のいずれか一の態様において、前記第１の重り部材が水平状態にある際、前記第１の重り部材の一部の重量が前記第１の支持部材に作用し、前記第２の重り部材が水平状態にある際、前記第２の重り部材の一部の重量が前記第２の支持部材に作用することを特徴とする。
【００２８】
本態様によれば、反転対象物が水平状態に位置し、第１の支持部材が反転対象物の重力方向上側に位置する際、第１の重り部材の一部の重量が第１の支持部材に作用することから第１の支持部材の重量が第１の重り部材より重くなり、重力方向上側に位置する第１の支持部材が反転対象物に対して接触した状態を維持することができる。すなわち、重力方向上側に位置する第１の支持部材が反転対象物から予期せずに離間することを防止することができる。
【００２９】
また、反転対象物が水平状態に位置し、第２の支持部材が反転対象物の重力方向上側に位置する際、第２の重り部材の一部の重量が第２の支持部材に作用することから第２の支持部材側の重量が第２の重り部材側より重くなり、重力方向上側に位置する第２の支持部材が反転対象物に対して接触した状態を維持することができる。すなわち、重力方向上側に位置する第２の支持部材が反転対象物から予期せずに離間することを防止することができる。これにより、反転対象物の破損の虞をなくす、あるいは小さくすることができる。
【００３０】
尚、本明細書において「水平状態」とは、厳密に水平状態にある必要は無く、第１の支持部材を第２の支持部材に対して離間する方向に回動させた状態あるいは第２の支持部材を第１の支持部材に対して離間する方向に回動させた状態において第１の支持部材又は第２の支持部材が該第１の支持部材又は第２の支持部材の上に反転対象物を載置可能に傾いている状態も含んでいる。
【００３１】
本発明の第５の態様の反転装置は、第１から第４のいずれか一の態様において、前記第１の重り部材の重量は、前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材が水平状態にある際、重力方向上側に位置する前記第１の支持部材が重力方向下側に位置する前記第２の支持部材に対して閉じた状態を保持するように設定され、前記第２の重り部材の重量は、前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材が水平状態にある際、重力方向上側に位置する前記第２の支持部材が重力方向下側に位置する前記第１の支持部材に対して閉じた状態を保持するように設定されていることを特徴とする。
【００３２】
本態様によれば、第１の支持部材が重力方向下側に位置する第２の支持部材に対して閉じた状態を保持するように第１の重り部材の重量が設定されていることから、自然に第１の支持部材が第２の支持部材に対して離間することがない。また、第２の支持部材も重力方向下側に位置する第１の支持部材に対して閉じた状態を保持するように第２の重り部材の重量が設定されていることから、自然に第２の支持部材が第１の支持部材に対して離間することがない。このため、本態様の反転装置において、第１の支持部材は対向する第２の支持部材から、又は第２の支持部材は対向する第１の支持部材から不用意に離間して反転対象物を破損させる虞や作業者を負傷させる虞がなく、或いはその虞を少なくすることができる。
【００３３】
本発明の第６の態様の反転装置は、第１の態様において、前記第３の重り部材は前記回転軸に着脱可能に取り付けられていることを特徴とする。  
本態様によれば、第３の重り部材は着脱可能に構成されていることから、反転対象物の重量に対応した重量の第３の重り部材を用意し、反転対象物に対応して第３の重り部材を変更することができる。
【００３４】
本発明の第７の態様の反転装置は、第１の態様において、前記第３の重り部材は重量を調整可能に構成されていることを特徴とする。  
本態様によれば、第３の重り部材の重量を調整可能に構成することにより、様々な重量の反転対象物に対応することができる。
【００３５】
本発明の第８の態様の反転装置は、第１から第７のいずれか一の態様において、前記第１の支持部材が水平状態にある際、重力方向下側に位置する前記第１の支持部材をロックする、解除可能な第１のロック機構を備え、前記第２の支持部材が水平状態にある際、重力方向下側に位置する前記第２の支持部材をロックする、解除可能な第２のロック機構を備えることを特徴とする。
【００３６】
本態様によれば、第１の支持部材が水平状態にある際、重力方向下側に位置する第１の支持部材を第１のロック機構により解除可能にロックすることにより、反転対象物を取り外した際に第３の重り部材の重量が作用している第１の支持部材の浮き上がりを防止することができる。同様に第２の支持部材の浮き上がりも第２のロック機構により防止することができる。
【００３７】
本発明の第９の態様の反転装置は、第１から第８のいずれか一の態様において、前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材を回動途中で任意の位置で保持する保持機構を備えることを特徴とする。
【００３８】
本態様によれば、第１の支持部材及び第２の支持部材を回動途中で保持する挟持保持機構により反転対象物の姿勢を任意の位置で保持することができ、反転対象物に対して行う作業等の作業性を向上させることができる。
【００３９】
本発明の第１０の態様の反転装置は、第１から第９のいずれか一の態様において、前記第１の支持部材及び前記第２の支持部材は、作業者の力によって回動されることを特徴とする。
【００４０】
本態様によれば、第１の支持部材、第２の支持部材及び反転対象物と第１の重り部材、第２の重り部材及び第３の重り部材との重量バランスが回転軸対称となることから、小さな力で反転対象物を反転させることができる。また、駆動モーター等の駆動手段を使用しないことから、反転装置の構成を簡便にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の第１の実施例に係る反転装置の斜視図。
【図２】第１の実施例に係る反転装置における挟持状態の斜視図。
【図３】第１の実施例に係る第３の重り部材の斜視図。
【図４】（Ａ）は第１の実施例に係る反転装置において支持部材を開いた状態を示す斜視図であり、（Ｂ）は反転装置において支持部材を閉じた状態を示す。斜視図。
【図５】（Ａ）は第１の実施例に係る反転装置における回動途中の状態を示す斜視図であり、（Ｂ）は反転装置において回動を終えた状態を示す斜視図。
【図６】（Ａ）は第１の実施例に係る反転装置における回動過程の第１の状態を示す側面図であり、（Ｂ）は、反転装置における回動過程の第２の状態を示す側面図
【図７】（Ａ）は第１の実施例に係る反転装置における回動過程の第３の状態を示す側面図であり、（Ｂ）は、反転装置における回動過程の第４の状態を示す側面図
【図８】第１の実施例に係る反転装置における回動過程の第５の状態を示す側面図。
【図９】第２の実施例に係る反転装置における挟持状態の斜視図。
【図１０】第３の実施例に係る反転装置における挟持状態の斜視図。
【図１１】第４の実施例に係る反転装置において該反転装置を回動途中の任意の位置で保持する回動位置保持機構を示す斜視図。
【図１２】（Ａ）は従来技術における反転装置の側断面図であり、（Ｂ）は従来技術における反転装置の急激な回動を示す説明図、
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。尚、各実施例において同一の構成については、同一の符号を付し、最初の実施例においてのみ説明し、以後の実施例においてはその構成の説明を省略する。
【００４３】
＜＜＜第１の実施例＞＞＞
図１、図２、図４（Ａ）、図４（Ｂ）及び図６（Ａ）を参照して、反転装置１０の構成要素について説明する。反転装置１０は、第１の支持部材１２と、第２の支持部材１４と、第１の重り部材１６と、第２の重り部材１８（図４（Ｂ）参照）と、第３の重り部材２０と、回転軸２２とを備えている。反転装置１０は、台車２６の上部に設置され、移動可能に構成されている。尚、図２ないし図１１において、説明のために台車２６の図示を省略している。
【００４４】
回転軸２２は、その両端部がそれぞれ回転軸支持部材２４に挿入され、該回転軸支持部材によって支持されている。回転軸支持部材２４は台車２６の上部に取り付けられている。
【００４５】
第１の支持部材１２は枠状体として構成されている。Ｘ軸方向（図１参照）において対向する一対の辺のうち一方の辺２８は、回転軸２２に回動可能に取り付けられている。すなわち、第１の支持部材１２は、回転軸２２を回動支点として回転軸２２の回りを回動する。他方の辺３０には、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とを両支持部材の間に「反転対象物」としてのプローブカード３２を挟持した状態で保持する挟持保持機構３４のフック部３６を備えている。
【００４６】
さらに、第１の支持部材１２は、Ｙ軸方向（図１参照）において対向する一対の辺３８にそれぞれ第１の挟持部材４０を備えている。第１の挟持部材４０は、図１においてＸ軸方向に延びている。第１の挟持部材４０には、図１における＋Ｘ方向側に位置する一端部４０ａに回動軸４２が設けられている。回動軸４２は第１の支持部材１２に取り付けられている。また、第１の挟持部材４０の図１における−Ｘ方向側に位置する他端部４０ｂは自由端として構成されている。これにより、第１の挟持部材４０は、第１の支持部材１２に対して回動軸４２を支点に回動可能である。
【００４７】
さらに他端部４０ｂと第１の支持部材１２とは、図６（Ａ）に示すように第１のばね部材４４により連結されている。図６（Ａ）において第１のばね部材４４は第１の挟持部材４０を該第1の狭持部材４０と対向する、後述する第２の挟持部材４６に向けて付勢している。
【００４８】
また、第１の支持部材１２の対向する一対の辺３８には、台車２６と対向する側に台車２６に対して第１の支持部材１２を解除可能にロックする第１のロック機構４８が設けられている。第１のロック機構４８は、図１において水平状態にある際、第１の支持部材１２を台車２６にロックし、第１の支持部材１２を前記水平状態に保持する。
【００４９】
再度図１を参照して、第２の支持部材１４は、枠状体として構成されている。Ｘ軸方向（図１参照）において対向する一対の辺のうち一方の辺５０は、回転軸２２に回動可能に取り付けられている。すなわち、第２の支持部材１４は、回転軸２２を回動支点として回転軸２２の回りを回動する。
【００５０】
また、第２の支持部材１４の他方の辺５２には、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とをその間に反転対象物すなわちプローブカード３２を挟持した状態で保持する挟持保持機構３４のフック保持部５４を備えている。
【００５１】
さらに、第２の支持部材１４は、Ｙ軸方向（図１参照）において対向する一対の辺５６にそれぞれ第２の挟持部材４６を備えている。第２の挟持部材４６には、Ｘ軸方向に延びるとともに図１における＋Ｘ方向側に位置する一端部４６ａに回動軸５８が設けられている。回動軸５８は第１の支持部材１２に取り付けられている。また、第２の挟持部材４６の図１における−Ｘ方向側に位置する他端部４６ｂは自由端として構成されている。これにより、第２の挟持部材４６は、第２の支持部材１４に対して回動軸５８を支点に回動可能である。
【００５２】
さらに他端部４６ｂと第２の支持部材１４とは、図６（Ａ）に示すように第２のばね部材６０により連結されている。図６（Ａ）において第２のばね部材６０は第２の挟持部材４６を対向する第１の挟持部材４０に向けて付勢している。
【００５３】
また、第２の支持部材１４の対向する一対の辺５６には、台車２６と対向する側に台車２６に対して第２の支持部材１４を解除可能にロックする第２のロック機構６２が設けられている。第２のロック機構６２は、図１において水平状態にある際、第２の支持部材１４を台車２６にロックし、第２の支持部材１４を前記水平状態に保持する。
【００５４】
また、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とは、互いに対向する状態すなわち閉じている状態（図２参照）と、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４の一方が他方に対して離間する方向に回動させて離間した状態すなわち開いた状態（図１参照）とを取り得る。また、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とが前記閉じている状態にあるとき、第１の支持部材１２に設けられた挟持保持機構３４のフック部３６と第２の支持部材１４に設けられた挟持保持機構３４のフック保持部５４とが解除可能に掛合する。
【００５５】
図２及び図４（Ｂ）を参照して、第１の支持部材１２の一方の辺２８におけるＹ軸方向の両端部には、第１の重り部材１６が取り付けられている。第１の重り部材１６は、Ｘ軸方向において＋Ｘ方向側に位置する一方の辺２８から回転軸２２を超えて−Ｘ方向側に延びている（図４（Ｂ）参照）。第１の重り部材１６の重量は、第１の支持部材１２と回転軸２２を支点として釣り合う重量に設定されている。
【００５６】
第１の重り部材１６は、第１の支持部材１２に取り付けられている第１の基端部１６ａと、該第１の基端部１６ａに対して変位可能な第１の先端部１６ｂとを備えている。第１の基端部１６ａの一端部は一方の辺２８に固定され、他方の辺は回転軸２２を超えて図４（Ｂ）において−Ｘ方向に延びている。すなわち、第１の基端部１６ａは、その一部がＸ軸方向において図４（Ｂ）において回転軸２２の＋Ｘ方向側に位置し、残りの部分がＸ軸方向において回転軸２２の−Ｘ方向側に位置している。
【００５７】
また、第１の基端部１６ａと第１の先端部１６ｂとは図６（Ａ）に示すように蝶番６４によって接続されている。第１の先端部１６ｂは、蝶番６４により一方向にのみ変位する。すなわち、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とが閉じている状態にある際、第１の先端部１６ｂは、第１の重り部材１６と対向する、後述する第２の重り部材１８の側にのみ変位するように構成されている。
【００５８】
また、第２の支持部材１４の一方の辺５０におけるＹ軸方向の両端部には、第２の重り部材１８が取り付けられている。第２の重り部材１８は、Ｘ軸方向において−Ｘ方向側に位置する一方の辺５０から回転軸２２を超えて＋Ｘ方向側に延びている（図２及び図８参照）。第２の重り部材１８の重量は、第２の支持部材１４と回転軸２２を支点として釣り合う重量に設定されている。また、第２の重り部材１８は、Ｙ軸方向において第１の重り部材１６より内側の位置に配置されている（図４（Ｂ）参照）。
【００５９】
第２の重り部材１８は、第２の支持部材１４に取り付けられている第２の基端部１８ａと、該第２の基端部１８ａに対して変位可能な第２の先端部１８ｂとを備えている。第２の基端部１８ａの一端部は一方の辺５０に固定され、他端部は回転軸２２を超えて図８に示すように他方の辺５２と反対の側すなわち＋Ｘ方向に延びている。したがって、第２の基端部１８ａは、その一部が図８におけるＸ軸方向において回転軸２２の−Ｘ方向側に位置し、残りの部分がＸ軸方向において回転軸２２の＋Ｘ方向側に位置している。
【００６０】
また、第２の基端部１８ａと第２の先端部１８ｂとは図６（Ａ）に示すように蝶番６４によって接続されている。第２の先端部１８ｂは、蝶番６４により一方向にのみ変位する。すなわち、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とが閉じている状態にある際、第２の先端部１８ｂは、図６（Ａ）に示すように第１の重り部材１６の側にのみ変位するように構成されている。
【００６１】
図３を参照して、第３の重り部材２０について説明する。第３の重り部材２０の一端部２０ａは回転軸２２に対して回動可能に回転軸２２に取り付けられている。また、他端部２０ｂには、回転軸２２の軸線方向に沿って第３の重り部材２０から突出する一対のロッド６６を備えている。第３の重り部材２０の重量は、プローブカード３２（図１参照）と回転軸２２を支点として釣り合う重量に設定されている。
【００６２】
次いで図４（Ａ）、図４（Ｂ）、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）を参照して、反転装置１０において反転対象物すなわちプローブカード３２（図１参照）の一方の面３２ａと他方の面３２ｂとを反転させる手順について説明する。尚、図４（Ａ）、図４（Ｂ）、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）において、プローブカード３２の図示は省略されている。
【００６３】
図４（Ａ）において、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とは開いた状態にある。この状態において、第１の挟持部材４０上に反転対象物であるプローブカード３２を載置する（図１参照）。尚、この状態で第１の支持部材１２は第１のロック機構４８を介して台車２６（図１参照）に回動しないように係合されている。
【００６４】
次いで、図４（Ｂ）に示すように、第２の支持部材１４を回転軸２２を回動支点として時計方向に回動させ、第１の支持部材１２と対向する位置すなわちＺ軸において第１の支持部材１２の上方の位置まで回動させる。この状態において、プローブカード３２は、第１の挟持部材４０と第２の挟持部材４６との間に挟まれて挟持される。
【００６５】
そして第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４にそれぞれ設けられた挟持保持機構３４のフック部３６とフック保持部５４とを掛合させて、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とが離間しないように保持する。すなわち、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とが一体化される。したがって、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とによりプローブカード３２が挟持され、保持された状態となる。
【００６６】
その後、第１の支持部材１２の第１のロック機構４８のロックを解除し、第１の支持部材１２と台車２６との係合を解除する。そして、一体化された第１の支持部材１２、プローブカード３２及び第２の支持部材１４を図４（Ｂ）の状態から図５（Ａ）に示すように回転軸２２を回動支点として反時計方向へ回動させる。第１の支持部材１２、プローブカード３２及び第２の支持部材１４を回動させる際、第１の重り部材１６、第２の重り部材１８及び第３の重り部材２０の重量がそれぞれ第１の支持部材１２、第２の支持部材１４及びプローブカード３２の重量と釣り合っていることから、回転軸２２を介して互いの重量が相殺される。
【００６７】
これにより、一体化された第１の支持部材１２、プローブカード３２及び第２の支持部材１４を回動させる力を低減することができる。すなわち、作業者は一体化された第１の支持部材１２、プローブカード３２及び第２の支持部材１４を容易に回動させることができる。
【００６８】
さらに図５（Ａ）から図５（Ｂ）に示す位置まで反時計方向に一体化された第１の支持部材１２、プローブカード３２及び第２の支持部材１４を回動させる。これにより、プローブカード３２のＺ軸方向における一方の面３２ａと他方の面３２ｂとが反転された状態となる。この状態において、第２の支持部材１４は、該第２の支持部材の第２のロック機構６２を台車２６と係合させることにより、台車２６に対して固定される。
【００６９】
そして、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４にそれぞれ設けられた挟持保持機構３４のフック部３６とフック保持部５４との掛合を解除する。このとき、図５（Ｂ）におけるＺ軸方向において上方側に位置する第１の支持部材１２は、回転軸２２を介して反対側に位置する第１の重り部材１６と重量が釣り合っている。このため、第１の支持部材１２は、挟持保持機構３４の保持状態を解除した際、回転軸２２を回動支点として時計方向に急激に回動することがない。
【００７０】
図５（Ｂ）における状態から、回転軸２２を回動支点として第１の支持部材１２を第２の支持部材１４から離間する方向すなわち時計方向に回動させる。そして、第１の支持部材１２をＸ軸方向において回転軸２２を介して第２の支持部材１４と反対の位置まで回動させる。すなわち、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とは前記開いた状態となる。そして、第２の挟持部材４６上に載置され、Ｚ軸方向において一方の面３２ａと他方の面３２ｂとが反転されたプローブカード３２を第２の挟持部材４６から取り外すことで反転作業を終了する。
【００７１】
次いで、図６（Ａ）、図６（Ｂ）、図７（Ａ）、図７（Ｂ）及び図８を参照して、反転対象物であるプローブカード３２の反転作業における第１の重り部材１６、第２の重り部材１８及び第３の重り部材２０の姿勢と変位について説明する。
【００７２】
図６（Ａ）を参照するに、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とはプローブカード３２を挟持した状態すなわち閉じている状態にある。第１の支持部材１２は水平状態にある。このとき、第１の支持部材１２に取り付けられている第１の重り部材１６の一部、正確には第１の基端部１６ａの一部が、Ｘ軸方向において回転軸２２より＋Ｘ側の位置にある。
【００７３】
このため、第１の支持部材１２が水平状態である際、第１の重り部材１６の重量の一部は、第１の支持部材１２に作用している。すなわち、第１の支持部材１２が水平状態にある際、回転軸２２を支点とする重量の釣り合いにおいて、図６（Ａ）における−Ｘ側に位置する第１の重り部材１６と＋Ｘ側に位置する第１の支持部材１２とでは、第１の支持部材１２側の方が重くなる。
【００７４】
また、図６（Ａ）において、第１の重り部材１６の第１の先端部１６ｂは、第３の重り部材２０のロッド６６と係合している。すなわち、第３の重り部材２０の重量がロッド６６と係合する第１の先端部１６ｂを介して第１の支持部材１２に作用する。尚、第１の支持部材１２にプローブカード３２が載置される前の状態では、第１の支持部材１２に対して第１の重り部材１６及び第３の重り部材２０の合計重量が作用する。このため、重量の不釣合いにより第１の支持部材１２が反時計方向に回動することを防止するため、第１の支持部材１２を第１のロック機構４８により台車２６にロックする必要がある。
【００７５】
また、図６（Ａ）において第１の支持部材１２の上方に位置する第２の支持部材１４も水平状態にある。このとき、第２の支持部材１４に取り付けられている第２の重り部材１８の一部、正確には第２の基端部１８ａの一部が、Ｘ軸方向において回転軸２２より＋Ｘ側の位置にある。
【００７６】
このため、第２の支持部材１４が水平状態である際、第２の重り部材１８の重量の一部は、第２の支持部材１４に作用している。すなわち、第２の支持部材１４が水平状態にある際、回転軸２２を支点とする重量の釣り合いにおいて、図６（Ａ）における−Ｘ側に位置する第２の重り部材１８と＋Ｘ側に位置する第２の支持部材１４とでは、第２の支持部材１４側の方が重くなる。
【００７７】
したがって、第２の支持部材１４は水平状態すなわちプローブカード３２を押圧した状態を維持する。すなわち、第２の支持部材１４は、プローブカード３２から離間する方向に外力が作用しない限り回動することがない。
【００７８】
また、第２の先端部１８ｂは、蝶番６４を介してＺ軸方向−Ｚ方向すなわち第１の重り部材１６の側へと折れ曲がった状態、すなわち第２の基端部１８ａに対して変位している。このため、回転軸２２からの第２の重り部材１８の長さが短くなることから第２の重り部材１８の回転モーメントは小さくなる。このため、第２の重り部材１８の回転モーメントは第２の支持部材１４の回転モーメントより小さくなる。
【００７９】
図６（Ａ）において、第１の支持部材１２に作用する第３の重り部材２０の重量は、第１の支持部材１２上に載置されるプローブカード３２の重量と相殺される。また、図６（Ａ）における回転軸２２を支点とするＸ軸方向における重量バランスは、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４側の方が重い。これにより、第１のロック機構４８による第１の支持部材１２と台車２６とのロックを解除しても第１の支持部材１２、第２の支持部材１４及びプローブカード３２は、水平状態を維持する。
【００８０】
次いで、作業者が人力で第１の支持部材１２、第２の支持部材１４及びプローブカード３２を回動させ始め、図６（Ｂ）の姿勢へと変化すると、第２の重り部材１８において、第２の支持部材１４にその重量を作用させていた部分が、Ｘ軸方向において回転軸２２の−Ｘ方向側となる。
【００８１】
このため、第２の重り部材１８は、その重量の一部を第２の支持部材１４に作用させなくなる。このため、第２の支持部材１４と第２の重り部材１８とは回転軸２２を支点として重量が同じとなり、釣り合う状態となる。さらに回転軸２２を支点として第１の支持部材１２、第２の支持部材１４及びプローブカード３２側の重量と第１の重り部材１６、第２の重り部材１８及び第３の重り部材２０側の重量との差が小さくなることから、回動させるための力が図６（Ａ）の状態よりも小さくなる。
【００８２】
次いで図７（Ａ）の状態では、第３の重り部材２０と第１の重り部材１６の第１の先端部１６ｂとの係合は解除されている。第３の重り部材２０は、回転軸２２を介して第１の支持部材１２、第２の支持部材１４及びプローブカード３２側へその重量を作用させている。また、第２の重り部材１８の第２の先端部１８ｂは、第２の基端部１８ａに対して変位していない状態すなわち、第２の基端部１８ａと第２の先端部１８ｂとが直線状に位置している。
【００８３】
尚、回転軸２２を中心とした半径方向において、第２の重り部材１８の第２の先端部１８ｂが描く変位の軌跡を第３の重り部材２０のロッド６６が描く変位の軌跡より内側に位置させることにより、第２の先端部１８ｂは半径方向において変位する際、ロッド６６と干渉しない。
【００８４】
さらに図７（Ｂ）の状態では、第１の重り部材１６において、第１の支持部材１２がＸ軸方向において−Ｘ側に変位すると、第１の支持部材１２にその重量を作用させていた部分がＸ軸方向において回転軸２２のＸ方向側となる。このため、第１の重り部材１６は、その重量の一部を第１の支持部材１２に作用させなくなる。このため、第１の支持部材１２と第１の重り部材１６とは回転軸２２を支点として重量が同じとなり、釣り合う状態となる。
【００８５】
また、第１の重り部材１６の第１の先端部１６ｂは、第１の基端部１６ａに対して変位する。すなわち、第１の先端部１６ｂは、対向する第２の重り部材１８に向けて変位する。このため、回転軸２２からの第１の重り部材１６の長さが短くなることから第１の重り部材１６の回転モーメントは小さくなる。このため、第１の重り部材１６の回転モーメントは第１の支持部材１２の回転モーメントより小さくなる。このため、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４の回転モーメントが第１の重り部材１６及び第２の重り部材１８の回転モーメントより大きくなる。
【００８６】
また、第２の重り部材１８は、再度その一部が回転軸２２に対して第２の支持部材１４側に位置することとなる。このため、第２の重り部材１８の一部の重量が第２の支持部材１４側に作用させることとなる。このため、回転軸２２を支点として第２の支持部材１４側の方が重くなることから、一体化された第１の支持部材１２、プローブカード３２及び第２の支持部材１４とは、その重量により自発的に反時計方向に図８の状態となるまで回動する。
【００８７】
尚、第３の重り部材２０は第２の重り部材１８に向けて変位し、ロッド６６が第２の重り部材１８の第２の先端部１８ｂと係合する。さらに、回転軸２２を中心とした半径方向において、第１の重り部材１６の第１の先端部１６ｂが描く変位の軌跡を第３の重り部材２０のロッド６６が描く変位の軌跡より内側に位置させることにより、第１の先端部１６ｂも半径方向において変位する際、ロッド６６と干渉しない。
【００８８】
次いで図８の状態では、第１の重り部材１６及び第２の重り部材１８はそれぞれ、その一部の重量を第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４に作用させている。このため、図８の状態において、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４との間の挟持保持機構３４による保持状態を解除しても、第１の支持部材１２は水平状態すなわちプローブカード３２を押圧した状態を維持する。すなわち、第１の支持部材１２は、プローブカード３２から離間する方向に外力が作用しない限り回転軸２２を回動支点として回動することがない。
【００８９】
また、第１の先端部１６ｂは、蝶番６４を介してＺ軸方向−Ｚ方向すなわち第２の重り部材１８の側へと折れ曲がった状態すなわち第１の基端部１６ａに対して変位している。さらに、この状態において第２の重り部材１８の第２の先端部１８ｂは、第３の重り部材２０のロッド６６と係合している。すなわち、第３の重り部材２０の重量がロッド６６と係合する第２の先端部１８ｂを介して第２の支持部材１４に作用する。
【００９０】
尚、この状態において、第２の支持部材１４に対して第２の重り部材１８及び第３の重り部材２０の合計重量が作用する。このため、回転軸２２を回動支点として第１の支持部材１２をプローブカード３２から離間する方向すなわち時計方向に回動させた後、プローブカード３２を第２の支持部材１４から取り外す際、重量の不釣合いにより第２の支持部材１４が時計方向に急激に回動することを防止するため、第２のロック機構６２により第２の支持部材１４を台車２６にロックする必要がある。
【００９１】
＜＜＜第２の実施例＞＞＞
図９を参照して、第２の実施例に係る反転装置６８について説明する。第２の実施例に係る反転装置６８は、第３の重り部材７０が回転軸２２に対して着脱可能に構成されている点で第１の実施例と異なる。尚、図９において、説明のため、第１の重り部材１６及び第２の重り部材１８の図示を省略している。
【００９２】
図９において、第３の重り部材７０の一端部７０ａは、図示しないがコの字状部に形成されている。コの字状の開口部分は、回転軸２２を受け入れられる大きさに形成されている。また、第３の重り部材７０の一端部７０ａには、ねじ部材７２が設けられている。
【００９３】
ねじ部材７２は、前記開口部分に対して進退自在に構成されている。一端部７０ａに対してねじ部材７２を締めた際、ねじ部材７２は一端部７０ａに回転軸２２を受け入れることを阻止し、あるいは一端部７０ａに受け入れられている回転軸２２を一端部７０ａから離脱することを阻止する。また、一端部７０ａに対してねじ部材７２を緩めた際、一端部７０ａは回転軸２２を受け入れることができ、あるいは一端部７０ａに受け入れられている回転軸２２を一端部７０ａから離脱させることができる。
【００９４】
したがって、第３の重り部材７０は、回転軸２２に対して着脱可能に取り付けることができる。また、第３の重り部材７０は、回転軸２２に取り付けられた際、一端部７０ａに回転軸２２を受け入れた状態において該回転軸２２を回動支点として回動可能である。
【００９５】
また、反転対象物であるプローブカード３２はその種類に応じてプローブカード３２の重量が異なる。このため、各プローブカード３２の重量に対応した第３の重り部材７０を用意し、反転装置６８において反転させるプローブカード３２の重量に応じて第３の重り部材７０を交換することができる。その結果、反転装置６８は、複数の種類のプローブカード３２に対応することができる。
【００９６】
＜＜＜第３の実施例＞＞＞
図１０を参照して、第３の実施例に係る反転装置７４について説明する。第３の実施例に係る反転装置７４は、第３の重り部材７６が重りケースとして構成されている点で第１の実施例と異なる。尚、図１０において、説明のため、第１の重り部材１６及び第２の重り部材１８の図示を省略している。
【００９７】
第３の重り部材７６は、重りケースとして構成されている。第３の重り部材７６は、箱状に形成されたケース部７６ａと、ケース部７６ａにヒンジ等を介して取り付けられた蓋部７６ｂとを備えている。蓋部７６ｂは、ケース部７６ａに対して開いた状態（図示せず）と閉じている状態（図１０参照）を取り得る。ケース部７６ａに対して蓋部７６ｂを開いた状態（図示せず）とすることにより、ケース部７６ａ内部に所定の単位量の重り（図示せず）を格納することができる。
【００９８】
このため、ケース部７６ａ内部に反転させるプローブカード３２の重量に対応する重さの重りを格納することにより、プローブカード３２の重量と第３の重り部材７６の重量とを回転軸２２を支点として釣り合わせることができる。
【００９９】
＜＜＜第４の実施例＞＞＞
図１１を参照して、第４の実施例に係る反転装置７８について説明する。第１の支持部材１２、第２の支持部材１４及びプローブカード３２を回動途中の任意の位置で保持する機構を備えている点で第１の実施例と異なる。
【０１００】
反転装置７８は、第１の支持部材１２、第２の支持部材１４及びプローブカード３２を反転途中の任意の位置で保持する回動位置保持機構８０を備えている。回動位置保持機構８０は、図示の例ではＹ軸回りに第１の支持部材１２、第２の支持部材１４及びプローブカード３２を回動させた際、Ｘ軸に対して９０度をなす位置すなわち回動過程の半分位置で第１の支持部材１２、第２の支持部材１４及びプローブカード３２を保持するように構成されている。
【０１０１】
具体的には、回動位置保持機構８０は、保持部８０ａと回動部８０ｂとを備えている。保持部８０ｂは図示しないが台車２６にＸ軸を回動支点として回動可能に構成されている。保持部８０ａには切欠き部８２が設けられている。切欠き部８２のＸ軸方向における幅は、プローブカード３２を挟持した状態の第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４の合計の厚みに設定されている。
【０１０２】
プローブカード３２を挟持した状態の第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４がＸ軸に対して９０度をなす位置にある際、回動部８０ｂをＹ軸方向における第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４の側方から回動させて第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４に保持部８０ａを接近させる。
【０１０３】
そして、保持部８０ａの切欠き部８２にプローブカード３２を挟持した状態の第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４を受け入れ、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４のＹ軸回りの回動を規制する。その後、回動部８０ｂのＸ軸回りの回動を図示しない規制手段により回動を規制する。
【０１０４】
これにより、プローブカード３２を挟持した状態の第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４の回動途中における位置を保持することができる。尚、本実施例において回動位置保持機構８０は、回動途中における位置を図９におけるＸＹ平面に対して直角をなす位置で第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４を保持する構成としたが、回転軸２２を回動支点とした回動途中の任意の位置で第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４を保持する構成としてもよい。
【０１０５】
＜＜＜第１ないし第４の実施例の変更例＞＞＞
（１）本実施例では、第１の重り部材１６において第１の基端部１６ａに対して第１の先端部１６ｂを蝶番６４で対向する第２の重り部材１８の側にのみ変位する構成としたが、この構成に代えて、例えば、第１の基端部１６ａに対して第１の先端部１６ｂを対向する第２の重り部材１８の側にのみ変位する構成として継ぎ手等により構成してもよい。また、第２の基端部１８ａに対して第２の先端部１８ｂを対向する第１の重り部材１６の側にのみ変位する構成も継ぎ手等により構成してもよい。
（２）本実施例では、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４を回転軸２２を回動支点として回動する構成としたが、この構成に代えて、互いに対向する第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４のいずれか一方あるいは両方に、第１の支持部材１２と第２の支持部材１４とを接離させる方向例えばＺ軸方向に変位させる直線移動機構を備える構成としてもよい。
（３）本実施例では、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４を枠状体として構成したが、板状部材として構成してもよい。
（４）本実施例では、反転対象物をプローブカード３２としたが、反転対象物はプローブカード３２に限定されない。
【０１０６】
上記説明をまとめると本実施例の反転装置１０、６８、７４、７６、７８は、プローブカード３２を回転軸２２を回動支点として回動させて反転させる反転装置であって、回転軸２２を回動支点として回動可能な第１の支持部材１２と、該第１の支持部材１２とともにプローブカード３２を挟んだ状態で保持し、回転軸２２を回動支点として回動可能な第２の支持部材１４と、回転軸２２に対して第１の支持部材１２と反対の側に位置する、該第１の支持部材１２と釣り合う重量である第１の重り部材１６と、回転軸２２に対して第２の支持部材１４と反対の側に位置する、該第２の支持部材１４と釣り合う重量である第２の重り部材１８と、回転軸２２に対して第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４に挟持されたプローブカード３２と反対の側に位置する、プローブカード３２と釣り合う重量である第３の重り部材２０、７０、７６とを備えている。
【０１０７】
第１の重り部材１６と第２の重り部材１８とは、互いに対向している。第３の重り部材２０は、第１の重り部材１６と第２の重り部材１８との間に位置している。第３の重り部材２０の一端部２０ａは回転軸２２に回動可能に取り付けられ、第３の重り部材２０の他端部２０ｂには回転軸２２の軸線方向に沿って突出するロッド６６を備えている。プローブカード３２が回転軸２２を中心に回動する際、ロッド６６が重力方向において第３の重り部材２０の下方に位置する第１の重り部材１６又は第２の重り部材１８と当接し、第３の重り部材２０の姿勢を保持する。
【０１０８】
第１の重り部材１６は、第１の基端部１６ａと、該第１の基端部１６ａに対して変位可能な第１の先端部１６ｂとを備えている。第１の先端部１６ｂは、互いに対向する第２の重り部材１８の側に変位可能であり、プローブカード３２が回転軸２２を支点として回動する際、第１の先端部１６ｂが、重力方向において下方に位置する第２の重り部材１８の側に変位する。また、第２の重り部材１８は、第２の基端部１８ａと、該第２の基端部１８ａに対して変位可能な第２の先端部１８ｂとを備えている。第２の先端部１８ｂは、互いに対向する第１の重り部材１６の側に変位可能であり、プローブカード３２が回転軸２２を支点として回動する際、第２の先端部１８ｂが、重力方向において下方に位置する第１の重り部材１６の側に変位する。
【０１０９】
第１の重り部材１６が水平状態にある際、第１の重り部材１６の一部の重量が第１の支持部材１２に作用する。また、第２の重り部材１８が水平状態にある際、第２の重り部材１８の一部の重量が第２の支持部材１４に作用する。第１の重り部材１６の重量は、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４が水平状態にある際、重力方向上側に位置する第１の支持部材１２が重力方向下側に位置する第２の支持部材１４に対して閉じた状態を保持するように設定されている。また、第２の重り部材１８の重量は、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４が水平状態にある際、重力方向上側に位置する第２の支持部材１４が重力方向下側に位置する第１の支持部材１２に対して閉じた状態を保持するように設定されている。
【０１１０】
第３の重り部材７０は回転軸２２に着脱可能に取り付けられている。あるいは、第３の重り部材７６は重量を調整可能に構成されている。
【０１１１】
反転装置１０、６８、７４、７６、７８は、第１の支持部材１２が水平状態にある際、重力方向下側に位置する第１の支持部材１２をロックする、解除可能な第１のロック機構４８を備えている。また、反転装置１０、６８、７４、７６、７８は、第２の支持部材１４が水平状態にある際、重力方向下側に位置する第２の支持部材１４をロックする、解除可能な第２のロック機構６２を備えている。反転装置１０、６８、７４、７６、７８は、第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４を回動途中で任意の位置で保持する回動位置保持機構８０を備える。第１の支持部材１２及び第２の支持部材１４は、作業者の力によって回動される。
【０１１２】
尚、本発明は上記実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で、種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲内に含まれるものであることは言うまでもない。
【符号の説明】
【０１１３】
１０、６８、７４、７６、７８、１００  反転装置、１２  第１の支持部材、
１４  第２の支持部材、１６  第１の重り部材、１６ａ  第１の基端部、
１６ｂ  第１の先端部、１８  第２の重り部材、１８ａ  第２の基端部、
１８ｂ  第２の先端部、２０、７０、７６  第３の重り部材、
２０ａ、７０ａ  一端部、２０ｂ、７０ｂ  他端部、２２、１０８  回転軸、
２４  回転軸支持部材、２６  台車、２８  第１の支持部材の一方の辺、
３０  第１の支持部材の他方の辺、３２、１１０  プローブカード（反転対象物）、
３２ａ  プローブカードの一方の面、３２ｂ  プローブカードの他方の面、
３４  挟持保持機構、３６  挟持保持機構のフック部、
３８  第１の支持部材の対向する一対の辺、４０  第１の挟持部材、
４０ａ  第１の挟持部材の一端部、４０ｂ  第１の挟持部材の他端部、
４２、５８  回動軸、４４  第１のばね部材、４６  第２の挟持部材、
４６ａ  第２の挟持部材の一端部、４６ｂ  第２の挟持部材の他端部、
４８  第１のロック機構、５０  第２の支持部材の一方の辺、５２  第２の支持部材の他方の辺、５４  挟持保持機構のフック保持部、５６  第２の支持部材の対向する一対の辺、
６０  第２のばね部材、６２  第２のロック機構、６４  蝶番、
６６  第３の重り部材のロッド、７２  ねじ部材、７６ａ  ケース本体、７６ｂ  蓋部、８０  回動位置保持機構、８０ａ  保持部、８０ｂ  回動部、８２  切欠き部、
１０２、１０４  支持部材、１０６  ヒンジ、１１２、１１４  重り部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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