(57)【要約】【課題】信頼性を高め、小型薄型で、且つ優れた検出精度を発揮することのできるセンサー、電子機器、および移動体を提供する。【解決手段】実装基板を構成する第１のリジッド基板２１〜第５のリジッド基板２５の表側実装面２１１、２２１、２４１に実装されたセンサー部品４と、固定面としての側面３３、３４および上面３１を複数備えた支持部材３と、を有し、表側実装面２１１、２２１、２４１は、側面３３、３４および上面３１に沿って配置され、センサー部品４が支持部材３側に配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサー部品と、
実装面を備えている実装基板と、
固定面を備えている支持部材と、を有し、
前記センサー部品は、前記実装面に実装され、
前記実装面は、前記固定面に沿って配置され、
前記センサー部品が前記支持部材側に配置されていることを特徴とするセンサー。
【請求項２】
前記センサー部品は、複数備えられており、
前記支持部材は、複数の固定面が備えられており、
前記実装面の各々は、前記固定面の各々に沿って配置され、
前記センサー部品の各々が前記支持部材側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のセンサー。
【請求項３】
各々の前記実装基板は、一方の実装基板の端部の側面が、他方の実装基板の実装面と対向するように配置され、
前記実装基板同士が、接続部材で接続されていることを特徴とする請求項２に記載のセンサー。
【請求項４】
前記支持部材は、前記固定面が互いに交差、または直交していることを特徴とする請求項２または３に記載のセンサー。
【請求項５】
前記支持部材は直方体であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載のセンサー。
【請求項６】
前記支持部材は貫通孔を有し、前記貫通孔に前記センサー部品の少なくとも一部が収容されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載のセンサー。
【請求項７】
前記支持部材は逃げ部を有し、前記逃げ部に前記センサー部品の少なくとも一部が収容されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載のセンサー。
【請求項８】
前記支持部材には、金属材料が用いられていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一項に記載のセンサー。
【請求項９】
前記実装基板は、第１の実装基板、第２の実装基板、および第３の実装基板を含み、
前記センサー部品は少なくとも３つ含み、
前記センサー部品の各々は、前記第１の実装基板、第２の実装基板、および第３の実装基板の各実装面に実装され、
前記センサー部品の各々の検出軸が互いに交差するように、前記各実装面が前記固定面に沿って配置されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一項に記載のセンサー。
【請求項１０】
前記センサー部品は、角速度センサーまたは加速度センサーであることを特徴とする請求項９に記載のセンサー。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載のセンサーを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
請求項１ないし１０のいずれか一項に記載のセンサーを備えていることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサー、それを用いた電子機器、および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１に開示されているようなセンサーユニットが知られている。特許文献１に記載のセンサーユニットは、直方体形状をなし、互いに直交する３つの面を有する固定部材（ｍｏｕｎｔｉｎｇ  ｍｅｍｂｅｒ）と、３つの面それぞれに実装されたセンサー素子（ｓｅｎｓｏｒ  ｄｅｖｉｃｅｓ）とを有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第７０４０９２２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のセンサーユニットでは、センサー素子（センサー部品）がセンサーユニットの外部に露出している。そのため、センサーユニットの製造時または動作確認時、センサーユニットを他の電子機器に組み込む工程時に、製造機器等の各種機器や作業者がセンサー素子に直接接触し、当該接触によって、センサー素子が破損し、優れた検出精度を発揮することができないという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係るセンサーは、センサー部品と、実装面を備えている実装基板と、固定面を備えている支持部材と、を有し、前記センサー部品は、前記実装面に実装され、前記実装面は、前記固定面に沿って配置され、前記センサー部品が前記支持部材側に配置されていることを特徴とする。
【０００７】
本適用例に記載のセンサーによれば、センサー部品が実装基板の支持部材側に配置されていることから、センサーの製造時または動作確認時にセンサー部品の破損等を防止できる。これにより、信頼性が向上したセンサーを提供することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に記載のセンサーにおいて、前記センサー部品は、複数備えられており、前記支持部材は、複数の固定面が備えられており、前記実装面の各々は、前記固定面の各々に沿って配置され、前記センサー部品の各々が前記支持部材側に配置されていることを特徴とする。
【０００９】
本適用例によれば、複数のセンサー部品が、支持部材の固定面に沿って配置された複数の実装基板の支持部材側に配置されていることから、センサーの製造時または動作確認時にセンサー部品の破損等を防止でき、信頼性が向上したセンサーを提供することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に記載のセンサーにおいて、各々の前記実装基板は、一方の実装基板の端部の側面が、他方の実装基板の実装面と対向するように配置され、前記実装基板同士が、接続部材で接続されていることを特徴とする。
【００１１】
本適用例によれば、一方の実装基板の端部が、他方の実装基板の実装面と対向するように配置されているため、接続部材を用いて電気的接続を取りながら接続することができる。これにより、固定された各実装基板間の剛性が高まり、各実装基板の固定が安定して維持継続できる。これにより、長期的に安定した検出を行うことができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に記載のセンサーにおいて、前記支持部材は、前記固定面が互いに交差、または直交していることを特徴とする。
【００１３】
本適用例によれば、センサー部品を、例えば角速度センサーや加速度センサーとし、互いに交差する固定面にセンサー部品を配置すれば、交差する複数軸まわり、または直交する複数軸まわりの角速度または加速度を精度よく検出することができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例に記載のセンサーにおいて、前記支持部材は直方体であることを特徴とする。
【００１５】
本適用例によれば、直方体を形成する各面を固定面として用いることができるため、容易に固定面の垂線を互いに直交させることができ、センサー部品を、例えば角速度センサーや加速度センサーとし、各固定面にセンサー部品を配置すれば、複数軸まわりの角速度または加速度を精度よく検出することができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例に記載のセンサーにおいて、前記支持部材は貫通孔を有し、前記貫通孔に前記センサー部品の少なくとも一部が収容されていることを特徴とする。
【００１７】
本適用例によれば、貫通孔の内部にセンサー部品の少なくとも一部を収容することが可能となり、モジュールの小型・薄型化に寄与できる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例に記載のセンサーにおいて、前記支持部材は逃げ部を有し、前記逃げ部に前記センサー部品の少なくとも一部が収容されていることを特徴とする。
【００１９】
本適用例によれば、支持部材に設けられた逃げ部にセンサー部品の少なくとも一部を収容することが可能となり、モジュールの小型・薄型化に寄与できる。
【００２０】
［適用例８］上記適用例に記載のセンサーにおいて、前記支持部材には、金属材料が用いられていることを特徴とする。
【００２１】
本適用例によれば、支持部材を金属材料のような高い導電率を有する材料で構成すると、支持部材によって、例えば実装面に実装されているマイクロコントローラー等から発生する放射ノイズを遮断することができる。そのため、このような放射ノイズが、他の実装面に実装されているセンサー部品に到達して悪影響を与えるのを防ぐことが可能となる。
【００２２】
［適用例９］上記適用例に記載のセンサーにおいて、前記実装基板は、第１の実装基板、第２の実装基板、および第３の実装基板を含み、前記センサー部品は少なくとも３つ含み、前記センサー部品の各々は、前記第１の実装基板、第２の実装基板、および第３の実装基板の各実装面に実装され、前記センサー部品の各々の検出軸が互いに交差するように、前記各実装面が前記固定面に沿って配置されていることを特徴とする。
【００２３】
本適用例によれば、センサー部品を、例えば角速度センサーや加速度センサーとし、互いに交差する固定面にセンサー部品を配置すれば、交差する３軸まわりの角速度または加速度を精度よく検出することができる。
【００２４】
［適用例１０］上記適用例に記載のセンサーにおいて、前記センサー部品は、角速度センサーまたは加速度センサーであることを特徴とする。
【００２５】
本適用例によれば、センサー部品を角速度センサーや加速度センサーとし、互いに交差または直交する第１〜第３の実装面にセンサー部品を実装すれば、複数軸まわりの角速度または加速度が検出可能なモジュールを提供できる。
【００２６】
［適用例１１］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載のセンサーを備えていることを特徴とする。
【００２７】
本適用例によれば、前述のセンサーを備えていることから、優れた信頼性を発揮することのできる電子機器を提供することができる。
【００２８】
［適用例１２］本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載のセンサーを備えていることを特徴とする。
【００２９】
本適用例によれば、前述のセンサーを備えていることから、優れた信頼性を発揮することのできる移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明のセンサーの第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すセンサーが備える支持部材を示す斜視図である。
【図３】図１に示すセンサーの横断面図である。
【図４】図１に示すセンサーが備える角速度センサーの一例を示す平面図である。
【図５】本発明のセンサーの第２実施形態を示すセンサーの断面図である。
【図６】本発明のセンサーの第３実施形態を示すセンサーの断面図である。
【図７】センサーを搭載した電子機器の構成の一例を示す図である。
【図８】電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。
【図９】電子機器の一例としての携帯電話機の構成を示す斜視図。
【図１０】電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。
【図１１】移動体の一例としての自動車の構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明のセンサー、電子機器、および移動体を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３２】
［１．センサー（センサーモジュール）］
まず、本発明のセンサーについて説明する。なお、以下では、説明の都合上、図１、および図５中の図面上側を「上」、図面下側を「下」として説明を行う。また、図１に示すように、互いに直交する３軸を「ｘ軸」、「ｙ軸」および「ｚ軸」とする。
【００３３】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明のセンサーの第１実施形態を示す斜視図、図２は、図１に示すセンサーが備える支持部材を示す斜視図、図３は、図１に示すセンサーの横断面図、図４は、図１に示すセンサーが備える角速度センサーの一例を示す平面図である。
【００３４】
本実施形態のセンサー１は、センサー部品４としての角速度センサー４１１、４１２、４１３を備えており、互いに直交するｘ軸、ｙ軸、ｚ軸まわりの角速度を検出することのできる３軸ジャイロセンサーモジュールである。このようなセンサー１は、利便性に優れ、例えば、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等に好適に利用することができる。
【００３５】
図１に示すように、センサー１は、角速度センサー４１１〜４１３等のセンサー部品４が実装された実装基板と、実装基板を支持（固定）する支持部材３とを有している。なお、センサー１は、さらに、実装基板および支持部材３を収容するケーシングを有していてもよい。以下、これら各部材について順次説明する。
【００３６】
［実装基板］
実装基板は、硬質で変形し難い複数のリジッド基板（硬質基板）で構成されている。このような実装基板としては、例えば、ガラスエポキシ基板等の硬質層を用いることができる。実装基板は、第１のリジッド基板２１、第２のリジッド基板２２、第３のリジッド基板２３、第４のリジッド基板２４および第５のリジッド基板２５と、で構成されている。
【００３７】
第１のリジッド基板２１の両端部、第２のリジッド基板２２の両端部、第３のリジッド基板２３の両端部（対角関係にある両角部）、第４のリジッド基板２４の両端部（対角関係にある両角部）、および第５のリジッド基板２５の両端部には孔部（図示せず）が形成されている。これら孔部は、第１のリジッド基板２１〜第５のリジッド基板２５を支持部材３に固定するために用いられる。なお、孔部とは、一方の面から他方の面を貫通した構造である。
【００３８】
また、各リジッド基板である第１のリジッド基板２１〜第５のリジッド基板２５（以下、「各リジッド基板２１〜２５」とも言う）には、導体パターン（図示せず）が形成されており、この導体パターンを介して複数のセンサー部品４が適切に電気接続されている。なお、以下では、説明の便宜上、各リジッド基板２１〜２５の図１にて図示されている面（支持部材３側と反対側の面）を「裏側実装面」と言い、この「裏側実装面」の反対側の面である、図１にて支持部材３側の面を「表側実装面」と言う。
【００３９】
第１のリジッド基板２１は、図３に示すように、表側実装面２１１が支持部材３の側面３３に密着するようにネジ４３２、４３３によって固定されている。また、第２のリジッド基板２２は、図３に示すように、表側実装面２２１が支持部材３の側面３４に密着するようにネジ４４２、４４３によって固定されている。また、第３のリジッド基板２３は、図１（ｂ）に示すように、表側実装面２３１が支持部材３の下面３２（図２（ｂ）参照）に密着するようにネジ８１、８２によって固定されている。また、第４のリジッド基板２４は、図１（ａ）に示すように、表側実装面２４１が支持部材３の上面３１（図２（ａ）参照）に密着するようにネジ８３、８４によって固定されている。また、第５のリジッド基板２５は、図１に示すように、表側実装面２５１が支持部材３の側面３５（図２（ｂ）参照）に密着するようにネジ４５２、４５３によって固定されている。
【００４０】
支持部材３に固定された各リジッド基板２１〜２５の内、第３のリジッド基板２３、および第４のリジッド基板２４（一方の実装基板）は、交差する第１のリジッド基板２１、第２のリジッド基板２２、および第５のリジッド基板２５（他方の実装基板）の表側実装面２１１、２２１、２５１に、その端部の側面が対向するように構成されている。換言すれば、第１のリジッド基板２１、第２のリジッド基板２２、および第５のリジッド基板２５は、側面側（ｘ軸、ｙ軸方向）から見て、第３のリジッド基板２３、および第４のリジッド基板２４とオーバーラップするように配置されている。
【００４１】
このような構成とすることで、図１に示すように、ピンヘッダー２６７を用いて各リジッド基板２１〜２５の電気的接続をとることができる。ピンヘッダー２６７は、例えば銅合金に導電性金属メッキを施してあるピン材であり、本形態では、第１のリジッド基板２１、第２のリジッド基板２２、および第５のリジッド基板２５の設けられた挿入穴（図示せず）に挿入されている。そして、ピンヘッダー２６７は、一方端が第１のリジッド基板２１、第２のリジッド基板２２、および第５のリジッド基板２５にあり、他方端が第３のリジッド基板２３、および第４のリジッド基板２４にあって、それぞれの端側で各リジッド基板２１〜２５の導体パターンに半田（図示せず）などを用いて接続されている。
【００４２】
このように、ピンヘッダー２６７を用いた接続を行うことで、固定された各リジッド基板２１〜２５間の剛性が高まり、各リジッド基板２１〜２５の固定状況をより安定して維持継続することが可能となる。これにより、長期的に安定した検出を行うことができる。
【００４３】
以上、実装基板について説明した。各リジッド基板２１〜２５を用いることにより、各リジッド基板２１〜２５の支持部材３への固定が簡単となる。また、各リジッド基板２１〜２５がピンヘッダー２６７によってひとまとまりに連結されるため、この点でも、実装基板の支持部材３への固定を簡単、かつ強固に剛性を向上させて行うことができる。また、リジッド基板２１〜２３にセンサー部品４を実装することにより、センサー部品４（特に、角速度センサー４１１〜４１３）の不要な振動を抑制でき、センサー１の検出精度が向上する。
【００４４】
なお、各リジッド基板２１〜２５には、グランド層（図示せず）が形成されており、このグランド層が外部磁場を遮断する機能を発揮する。そのため、各リジッド基板２１〜２５の内側（支持部材３側）にあるセンサー部品４ついては、外部磁場による影響を排除することができる。
【００４５】
また、各リジッド基板２１〜２５を支持部材３に接続する際の位置合わせ、仮止めなどを容易にするため、各リジッド基板２１〜２５に孔部以外のピン穴を設け、そのピン穴を、対向する位置の支持部材面に設けられた位置決めピンに挿入する構成も有効である。
【００４６】
［センサー部品］
図３に示すように、各リジッド基板２１〜２５には複数のセンサー部品４が実装されている。各リジッド基板２１〜２５には、センサー部品４として、１軸検出型の３つの角速度センサー４１１、４１２、４１３と、３軸検出型の加速度センサー４２とが実装されている。また、各リジッド基板２１〜２５には、センサー部品４（角速度センサー４１１〜４１３、加速度センサー４２）等を駆動するための電源回路４３と、センサー部品４からの出力信号を増幅する増幅回路４４と、増幅回路４４で増幅されたアナログ信号をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル変換回路４５と、所望の制御を行うマイクロコントローラー（図示せず）と、ＥＥＰＲＯＭ等の不揮発性メモリー４７（図１参照）と、方位を検出する方位センサー（磁気センサー）４８（図１参照）と、信号を出力するためのコネクター（インターフェイスコネクター）４９と、が実装されている。
【００４７】
以下、これらセンサー部品４および電子部品の配置について、図１および図３を用いて詳細に説明する。
（第１のリジッド基板２１）
第１のリジッド基板２１の表側実装面２１１には、ｘ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー４１１が実装されている。
【００４８】
（第２のリジッド基板２２）
第２のリジッド基板２２の表側実装面２２１には、ｙ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー４１２が実装されている。
【００４９】
（第３のリジッド基板２３）
第３のリジッド基板２３の表側実装面２３１には、ｚ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー４１３および加速度センサー４２が実装されている。また、裏側実装面２３２には、電源回路４３、増幅回路４４、およびアナログ／デジタル変換回路４５が実装されている。なお、角速度センサー４１３および加速度センサー４２を裏側実装面２３２に実装し、電源回路４３、増幅回路４４、およびアナログ／デジタル変換回路４５を表側実装面２３１に実装しても良いが、比較すれば前者の構成の方が好ましい。
【００５０】
ここで、アナログ／デジタル変換回路４５は、裏側実装面２３２に実装されている他の電子部品（電源回路４３および増幅回路４４）に対してサイズが大きい。そのため、アナログ／デジタル変換回路４５を裏側実装面２３２の中央部に配置するのが好ましい。これにより、アナログ／デジタル変換回路４５を第３のリジッド基板２３の強度を補強する補強部材として効果的に用いることができる。そのため、第３のリジッド基板２３の撓み変形に起因する不本意な振動が抑えられ、角速度センサー４１１〜４１３に不要な振動が伝わらず、角速度センサー４１１〜４１３（特に第３のリジッド基板２３に実装されている角速度センサー４１３）による角速度の検出精度が高まる。
【００５１】
また、加速度センサー４２は、表側実装面２３１の縁部（特に、孔部のいずれか一方の近傍。ただし、支持部材３の下面３２と重なる部分は除く。）に配置するのが好ましい。後述するように、第３のリジッド基板２３は、その縁部が支持部材３の下面３２（図２参照）に支持されるとともに、孔部を介してネジ８１、８２でネジ止めされることにより支持部材３に固定される。そのため、第３のリジッド基板２３の縁部は、変形し難く、不要な振動が発生し難い。よって、このような場所に加速度センサー４２を配置することで、より高精度に加速度を検出することができる。
【００５２】
（第４のリジッド基板２４）
第４のリジッド基板２４の表側実装面２４１には、マイクロコントローラー（図示せず）が実装され、裏側実装面２４２には、不揮発性メモリー４７および方位センサー４８が実装されている。ここで、マイクロコントローラーは、第４のリジッド基板２４に実装された他の電子部品（不揮発性メモリー４７および方位センサー４８）に対してサイズが大きい。そのため、マイクロコントローラーを表側実装面２４１の中央部に配置するのが好ましい。これにより、マイクロコントローラーを第４のリジッド基板２４の強度を補強する補強部材として効果的に用いることができる。そのため、第４のリジッド基板２４の撓み変形による不要な振動が抑えられ、角速度センサー４１１〜４１３に不要な振動が伝わらず、角速度センサー４１１〜４１３による角速度の検出精度が高まる。
また、マイクロコントローラーから発生する放射ノイズを第４のリジッド基板２４の前記グランド層によって遮断することができるため、方位センサー４８をマイクロコントローラーと反対の実装面に実装することにより、前記放射ノイズが方位センサー４８に達し、方位センサー４８に悪影響を及ぼすことを効果的に防止することができる。そのため、方位センサー４８の検出精度を向上させることができる。
【００５３】
（第５のリジッド基板２５）
第５のリジッド基板２５の裏側実装面２５２には、コネクター４９が実装されている。
以上、センサー部品４および電子部品の配置について詳細に説明した。
【００５４】
本構成では、第３のリジッド基板２３に電源回路４３、増幅回路４４、アナログ／デジタル変換回路４５を含むアナログ回路をまとめて形成し、第４のリジッド基板２４にマイクロコントローラーを含むデジタル回路をまとめて形成している。そのため、デジタル回路から生じる高周波ノイズがアナログ回路に伝播されるのを抑制でき、優れた信頼性および検出精度を発揮することができる。
【００５５】
角速度センサー４１１〜４１３としては、角速度を検出することができれば、特に限定されず、公知の１軸検出型の角速度センサーを用いることができる。このような角速度センサー４１１〜４１３としては、例えば、図４に示すようなジャイロ素子５を有する角速度センサー（ジャイロセンサー）を用いることができる。
【００５６】
図４に示すような、ジャイロ素子５は、水晶（圧電材料）で構成されている。また、ジャイロ素子５は、基部５１と、基部５１の両側から紙面縦方向へ延出する一対の検出用振動腕５２、５３と、基部５１の両側から紙面横方向へ延出する一対の連結腕５４、５５と、各連結腕５４、５５の先端部の両側から紙面縦方向へ延出する各一対の駆動用振動腕５６、５７、５８、５９とを有している。また、各検出用振動腕５２、５３の表面には検出用電極（図示せず）が形成されており、駆動用振動腕５６、５７、５８、５９の表面には駆動用電極（図示せず）が形成されている。
【００５７】
このようなジャイロ素子５では、駆動用電極に電圧を印加することにより、駆動用振動腕５６、５８および駆動用振動腕５７、５９を、互いに接近・離間を繰り返すように振動させた状態にて、ジャイロ素子５の法線（検出軸）Ａまわりの角速度ωが加わると、ジャイロ素子５にコリオリ力が加わり、検出用振動腕５２、５３の振動が励起される。そして、検出用振動腕５２、５３の振動により発生した検出用振動腕５２、５３の歪を検出用電極で検出することにより、ジャイロ素子５に加わった角速度を求めることができる。
【００５８】
［支持部材］
図２および図３に示すように、支持部材３は、略直方体状をなし、対向配置された上面３１および下面３２と、これらを接続する４つの側面３３、３４、３５、３６とを有している。このような支持部材３では、少なくとも下面３２、側面３３および側面３４は、垂線が互いに直交するように精度よく形成されている。換言すれば、下面３２、側面３３および側面３４同士が互いに直交するように精度よく形成されている。
【００５９】
側面３３、側面３４および下面３２は、後述するように、角速度センサー４１１〜４１３が実装された第１〜第３のリジッド基板２１〜２３を固定する面であるため、これら３つの面を互いに直交するよう形成することで、角速度センサー４１１〜４１３をｘ軸、ｙ軸、ｚ軸の各軸に対して正確に配置することができる。そのため、センサー１によれば、各軸まわりの角速度を高精度に検出することができる。
【００６０】
（側面３３）
側面３３は、第１のリジッド基板２１を固定する固定面（第１の固定面）を構成する。第１のリジッド基板２１は、その表側実装面２１１を支持部材３側（内側）に向けた状態で側面３３に固定されている。具体的には、支持部材３は、側面３３の両端部に設けられた２つのネジ穴３３２、３３３を有している。このネジ穴３３２、３３３に第１のリジッド基板２１に形成された孔部（図示せず）が対向し、ネジ４３２、４３３により第１のリジッド基板２１が側面３３に固定されている。
【００６１】
なお、ネジ４３２、４３３が第１のリジッド基板２１に形成された孔部に挿入される部分のネジ４３２、４３３の外径を、第１のリジッド基板２１に形成された孔部の内径に嵌合（隙間なく嵌り合う）するように構成することもできる。このようにすることで、側面３３に対する第１のリジッド基板２１の位置決めを行いつつ、側面３３に第１のリジッド基板２１を固定することができる。特に、側面３３の両端部にネジ穴３３２、３３３を形成することで、ネジ穴３３２、３３３の離間距離が長くなり、第１のリジッド基板２１の位置決めをより精度よく行うことができる。このことは、後述する第２〜第５のリジッド基板２２〜２５についても同様である。
【００６２】
第１のリジッド基板２１の側面３３への固定は、さらに、接着剤による接着を併用することが好ましい。これにより、第１のリジッド基板２１を側面３３により強固に固定することができる。このことは、後述する第２〜第５のリジッド基板２２〜２５についても同様である。
【００６３】
また、支持部材３は、側面３３に逃げ部３３１を有している。この逃げ部３３１は、角速度センサー４１１の位置および外形に対応して形成されており、第１のリジッド基板２１が側面３３に固定された状態では、逃げ部３３１内に角速度センサー４１１が収容されている。すなわち、逃げ部３３１は、支持部材３と角速度センサー４１１との接触を防止するための逃げ部として機能させてもよい。
【００６４】
また、センサー部品４の天頂面（第１のリジッド基板２１に実装された面とは反対側の面）と支持部材３の逃げ部３３１の表面とを接着剤等により接合しても良い。このような構成とすることにより、センサー部品４と支持部材３との接合を強固なものとすることができる。このような逃げ部３３１を形成することにより、支持部材３の内部スペースを有効活用することができ、センサー１の小型化を図ることができる。
【００６５】
（側面３４）
側面３４は、第２のリジッド基板２２を固定する固定面（第２の固定面）を構成する。第２のリジッド基板２２は、その表側実装面２２１を支持部材３側（内側）に向けた状態で側面３４に固定されている。具体的には、支持部材３は、側面３４の両端部に設けられた２つのネジ穴３４２、３４３を有している。このネジ穴３４２、３４３に第２のリジッド基板２２に形成された孔部（図示せず）が対向し、ネジ４４２、４４３により第２のリジッド基板２２が側面３４に固定されている。
【００６６】
また、支持部材３は、側面３４に逃げ部３４１を有している。この逃げ部３４１は、角速度センサー４１２の位置および外形に対応して形成されており、第２のリジッド基板２２が側面３４に固定された状態では、逃げ部３４１内に角速度センサー４１２が収容されている。すなわち、逃げ部３４１は、支持部材３と角速度センサー４１２との接触を防止するための逃げ部として機能させても良い。
【００６７】
また、センサー部品４の天頂面（第２のリジッド基板２２に実装された面とは反対側の面）と支持部材３の逃げ部３４１の表面とを接着剤等により接合しても良い。このような構成とすることにより、センサー部品４と支持部材３との接合を強固なものとすることができる。このような逃げ部３４１を形成することにより、支持部材３の内部スペースを有効活用することができ、センサー１の小型化を図ることができる。
【００６８】
（側面３５）
側面３５は、第５のリジッド基板２５を固定する固定面を構成する。第５のリジッド基板２５は、その表側実装面２５１を支持部材３側（内側）に向けた状態で側面３５に固定されている。すなわち、第５のリジッド基板２５は、コネクター４９をセンサー１の外側に露出させた状態で側面３５に固定されている。具体的には、支持部材３は、側面３５の両端部に設けられた２つのネジ穴３５２、３５３を有し、このネジ穴３５２、３５３に第５のリジッド基板２５に形成された孔部が対向し、ネジ４５２、４５３により第５のリジッド基板２５が側面３５に固定されている。
【００６９】
（下面３２）
下面３２は、第３のリジッド基板２３を固定する固定面（第３の固定面）を構成する。第３のリジッド基板２３は、その表側実装面２３１を支持部材３側（内側）に向けた状態で下面３２に固定されている。具体的には、支持部材３は、下面３２の対角関係にある２つの角部に形成された２つのネジ穴３２ａ、３２ｂを有している。このネジ穴３２ａ、３２ｂに、第３のリジッド基板２３に形成された孔部（図示せず）を合わせ、ネジ８１、８２によりネジ止めすることにより、第３のリジッド基板２３が下面３２に固定されている。
【００７０】
また、支持部材３は、上面３１と下面３２とを貫通する貫通孔３７を有しており、外観が枠形状となっている。第３のリジッド基板２３を下面３２に固定した状態では、貫通孔３７内に、表側実装面２３１に実装された角速度センサー４１３および加速度センサー４２が収容されている。すなわち、貫通孔３７は、角速度センサー４１３および加速度センサー４２の収容空間となっており、センサー１の小型化、薄型化に寄与する。また、貫通孔３７は、支持部材３と角速度センサー４１３および加速度センサー４２との接触を防止するための逃げ部としても機能している。このような貫通孔３７を形成することにより、支持部材３の内部スペースを有効活用することができ、センサー１の小型化（薄型化）を図ることができる。
【００７１】
（上面３１）
上面３１は、第４のリジッド基板２４を固定する固定面を構成する。第４のリジッド基板２４は、その表側実装面２４１を支持部材３側（内側）に向けた状態で上面３１に固定されている。具体的には、支持部材３は、上面３１の対角関係にある２つの角部に形成された２つのネジ穴３１ａ、３１ｂを有している。このネジ穴３１ａ、３１ｂに、第４のリジッド基板２４に形成された孔部（図示せず）を合わせ、ネジ８３、８４によりネジ止めすることにより、第４のリジッド基板２４が上面３１に固定されている。
【００７２】
また、前述したように、支持部材３は、貫通孔３７を有している。第４のリジッド基板２４を上面３１に固定した状態では、貫通孔３７内に、表側実装面２４１に実装されたマイクロコントローラー（図示せず）が収容されている。また、貫通孔３７は、支持部材３とマイクロコントローラーとの接触を防止するための逃げ部としても機能している。このような貫通孔３７を形成することにより、支持部材３の内部スペースを有効活用することができ、センサー１の小型化（薄型化）を図ることができる。
【００７３】
また、支持部材３の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、外部から圧力が加わったときに変形を防止するために、硬質な材料であるのが好ましい。これにより、下面３２、側面３３および側面３４が互いに直交した状態をより確実に維持することができ、センサー１の検出精度を高く維持することができる。
【００７４】
このような材料としては、特に限定されず、例えば、鉄、ニッケル、銅、アルミニウム等の各種金属、またはこれらのうちの少なくとも１種を含む合金または金属間化合物、さらには、これらの金属の酸化物等が挙げられる。このうち、合金としては、例えば、ステンレス鋼、インコネル、その他例えばジュラルミン等の各種アルミニウム系合金が挙げられる。
【００７５】
このように、支持部材３を金属材料で構成することにより、次のような効果を発揮することができる。すなわち、支持部材３を金属材料のような高い導電率を有する材料で構成すると、支持部材３によって、マイクロコントローラー等から発生する放射ノイズを遮断することができる。そのため、このような放射ノイズが、逃げ部３３１、３４１内の角速度センサー４１１、４１２に到達し、これらセンサーに悪影響を与えるのを防ぐことができる。その結果、角速度センサー４１１、４１２によって高精度に角速度を検出することができる。
【００７６】
また、前記硬質な材料としては、上記金属材料の他、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体等のポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリ−（４−メチルペンテン−１）、アイオノマー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルイミド、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンオキシド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００７７】
また、支持部材３の構成材料として、不要な振動を吸収する防振、免振機能を発揮することのできる弾性材料であるのも好ましい。このような材料としては、例えば、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、アクリルゴム、エチレン−プロピレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料（特に加硫処理したもの）や、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。
また、支持部材３の構成材料として、変形のし難さと、防振、免振機能とを両立させるために免振鋼を用いるのも好ましい。
【００７８】
以上、説明したセンサー１では、支持部材３が互いに直交する３つの面、すなわち下面３２、側面３３および側面３４を有しており、下面３２に角速度センサー４１３が実装された第３のリジッド基板２３を固定し、側面３３に角速度センサー４１１が実装された第１のリジッド基板２１を固定し、側面３４に角速度センサー４１２が実装された第２のリジッド基板２２を固定する。このように、実装基板を支持部材３に固定するだけで、簡単かつ確実に、３つの角速度センサー４１１〜４１３を互いに直交して配置することができる。そのため、センサー１によれば、ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸まわりの角速度を正確に検出することができる。すなわち、角速度センサー４１１の検出軸Ａ１がｘ軸と平行となり、角速度センサー４１２の検出軸Ａ２がｙ軸と平行となり、角速度センサー４１３の検出軸Ａ３がｚ軸と平行となるように、３つの角速度センサー４１１〜４１３を配置することができる。
【００７９】
また、角速度センサー４１１〜４１３および加速度センサー４２が、各リジッド基板２１〜２５と支持部材３との間に位置している。そのため、角速度センサー４１１は、第１のリジッド基板２１によってセンサー１の外部への露出が防止され、角速度センサー４１２は、第２のリジッド基板２２によってセンサー１の外部への露出が防止され、角速度センサー４１３および加速度センサー４２は、第３のリジッド基板２３によってセンサー１の外部への露出が防止されている。
【００８０】
このような配置によれば、例えば、センサー１の製造時や、センサー１を他の電子機器に組み込む際に、角速度センサー４１１〜４１３および加速度センサー４２が、作業者や製造機器等と接触することがなく、これらセンサー類の破損を効果的に防止することができる。また、前述したように、各リジッド基板２１〜２５が有するグランド層によって、外部磁場を遮断することができるため、角速度センサー４１１〜４１３および加速度センサー４２が前記磁場の影響を受けることなく、これらセンサー類によって、精度よく、角速度および加速度を検出することができる。
【００８１】
特に、センサー部品４（角速度センサー４１１〜４１３および加速度センサー４２）は、破損し易く、磁場の影響を受け易いため、これらセンサー部品４を上記のような配置とすることにより、センサー１の信頼性および検出特性をともに向上させることができる。
【００８２】
なお、複数のセンサー部品４の配置は、少なくとも１つのセンサー部品４が各リジッド基板２１〜２５と支持部材３との間に位置していれば、特に限定されない。例えば、コネクター４９を除く全てのセンサー部品４が各リジッド基板２１〜２５の表側実装面２１１〜２５１に実装され、各リジッド基板２１〜２５と支持部材３との間に位置していてもよい。
【００８３】
また、上述した支持部材３では、少なくとも下面３２、側面３３および側面３４は、垂線が互いに直交するように精度よく形成されている構成で説明したがこれに限らない。下面３２、側面３３、側面３４、側面３５、側面３６、および上面３１が、互いに交差するように構成されていてもよい。このような構成であっても、上述と同様にセンサー部品４を配置することができる。
【００８４】
＜第２実施形態＞
図５は、本発明のセンサーの第２実施形態を示す断面図である。以下、第２実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。本発明の第２実施形態にかかるセンサーは、支持部材の構成が異なること以外は、第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００８５】
図５に示すように、センサー１Ａが有する支持部材３Ａは、上面３１に設けた逃げ部（凹部）３８１Ａと、下面３２に設けた逃げ部（凹部）３８２Ａとを有している。換言すれば、支持部材３Ａは、前述した第１実施形態が有する貫通孔３７を途中で遮断する遮断部３８３Ａを有しており、断面がＨ型の形状となっている。
【００８６】
第４のリジッド基板２４を上面３１に固定した状態では、逃げ部３８１Ａ内にマイクロコントローラー４６が収容されている。また、逃げ部３８１Ａは、支持部材３Ａとマイクロコントローラー４６との接触を防止するための逃げ部として機能させても良い。このような逃げ部３８１Ａを形成することにより、支持部材３Ａの内部スペースを有効活用することができ、センサー１の小型化（特に、薄型化）を図ることができる。
【００８７】
また、第３のリジッド基板２３を下面３２に固定した状態では、逃げ部３８２Ａ内に角速度センサー４１３および加速度センサー４２が収容されている。すなわち、逃げ部３８２Ａは、支持部材３Ａと角速度センサー４１３および加速度センサー４２との接触を防止するための逃げ部として機能させても良い。このような逃げ部３８２Ａを形成することにより、支持部材３Ａの内部スペースを有効活用することができ、センサー１の小型化（特に、薄型化）を図ることができる。
【００８８】
なお、角速度センサー４１３および加速度センサー４２の天頂面（第３のリジッド基板２３実装された面とは反対側の面）と支持部材３Ａの逃げ部３８２Ａの表面とを接着剤等により接合しても良い。このような構成とすることで、角速度センサー４１３および加速度センサー４２と支持部材３Ａとの接合を強固なものとすることができる。また、他のセンサー部品４は図示していないが、前述の第１実施形態と同様である。
【００８９】
このような支持部材３Ａでは、遮断部３８３Ａが支持部材３Ａの変形を抑制する補強部として機能するため、例えば、前述した第１実施形態の支持部材３と比較して、より変形し難い構成となる。そのため、角速度センサー４１１〜４１３が互いに直交した状態をより確実に維持することができ、より優れた検出特性を発揮することができる。
【００９０】
また、本実施形態では、マイクロコントローラー４６が収容された逃げ部３８１Ａが角速度センサー４１１〜４１３が収容された逃げ部３３１、３４１、３８２Ａと空間的に仕切られている。そのため、例えば、支持部材３Ａを金属材料等の導電率の高い材料で構成した場合には、マイクロコントローラー４６から発生する放射ノイズを支持部材３Ａによって遮断することができ、前記放射ノイズが角速度センサー４１１〜４１３に到達し、悪影響を与えるのを防ぐことができる。その結果、角速度センサー４１１〜４１３によって高精度に角速度を検出することができる。
【００９１】
また、図５に示すように、第１のリジッド基板２１は、支持部材３Ａには直接的に支持されておらず、第３のリジッド基板２３および第４のリジッド基板２４の側面を用いて支持しても良い。この形態において、第３のリジッド基板２３および第４のリジッド基板２４のｘ軸方向の長さを、支持部材３Ａのｘ軸方向の長さよりも大きくすることで、第３のリジッド基板２３および第４のリジッド基板２４で挟まれる空間を逃げ部として機能させている。このようにすることで、支持部材３Ａの側壁に逃げ部を形成するよりも支持部材の剛性を高めることができる。なお、この形態は、本実施形態に限らず他の実施形態においても適用可能である。
【００９２】
＜第３実施形態＞
図６は、本発明のセンサーの第３実施形態を示す断面図である。以下、第３実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。本発明の第３実施形態にかかるセンサーは、支持部材の構成が異なること以外は、第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【００９３】
図６に示すように、センサー１Ｂが有する支持部材３Ｂは、略直方体のブロック状をなしている。そして、この支持部材３Ｂの外周を覆うように実装基板（第１のリジッド基板２１〜第５のリジッド基板２５）が配置されている。このようなセンサー１Ｂでは、実装基板の各表側実装面２１１〜２５１に実装されたセンサー部品４を介して、実装基板が支持部材３Ｂに固定されている。すなわち、第１のリジッド基板２１は、その表側実装面２１１に実装された角速度センサー４１１を支持部材３Ｂの側面３３Ｂに固定することにより支持部材３Ｂに固定されている。側面３３Ｂへの角速度センサー４１１の固定は、特に限定されず、例えば、接着剤を用いて行うことができる。他の第２〜第４のリジッド基板２２〜２４についても同様である。なお、第５のリジッド基板２５については、表側実装面２５１にセンサー部品４が実装されていないため、第５のリジッド基板２５が直接、側面３５に固定されている。
【００９４】
本構成では、第１のリジッド基板２１と、第３のリジッド基板２３および第４のリジッド基板２４とは、ピンヘッダー２６７がそれぞれのリジッド基板に半田付け２６８、２６９によって電気的接続が取られている。また、第５のリジッド基板２５と、第３のリジッド基板２３および第４のリジッド基板２４とは、ピンヘッダー２６７がそれぞれのリジッド基板に半田付け２６８、２６９によって電気的接続が取られている。
【００９５】
本構成の支持部材３Ｂを用いることで、支持部材３Ｂの剛性を保ちつつ、支持部材３Ｂを簡便に形成することができ、センサー１Ｂのコストダウンに寄与することができ、安価なセンサー１Ｂを提供することができる。
【００９６】
上述したセンサーの実施形態では、複数のリジッド基板２１〜２５を用い、３つのセンサー部品４としての角速度センサー４１１、４１２、４１３を支持部材３側に配置した例で説明したが、センサー部品４の数はこれに限らない。例えば、センサー部品を１つ用いた１軸ジャイロセンサーでもよいし、センサー部品を２つ用いた２軸ジャイロセンサーでもよい。
【００９７】
このように、センサー部品を１つ用いた１軸ジャイロセンサー、センサー部品を２つ用いた２軸ジャイロセンサーであっても、上述の実施形態と同様な効果を有する。例えば、センサーの製造時や、センサーを他の電子機器に組み込む際に、角速度センサーが、作業者や製造機器等と接触することがなく、これらセンサー類の破損を効果的に防止することができる。また、前述したように、各リジッド基板が有するグランド層によって、外部磁場を遮断することができるため、角速度センサー４１１〜４１３が前記磁場の影響を受けることなく、これらセンサー類によって、精度よく、角速度および加速度を検出することができる。
【００９８】
［２．電子機器］
以上のようなセンサー１（１Ａ、１Ｂについても同様）は、各種電子機器に組み込むことができる。以下、センサー１を搭載した電子機器の概略構成について説明する。図７は、センサー１を搭載した電子機器５００の概略構成の一例を示す図である。
【００９９】
図７に示す電子機器５００は、センサー１を備えるセンサーモジュール５１０と、処理部５２０と、メモリー５３０と、操作部５４０と、表示部５５０とを有している。これらは、バス５６０にて接続されている。処理部（ＣＰＵ、ＭＰＵ等）５２０は、センサーモジュール５１０等の制御や電子機器５００の全体制御を行う。また処理部５２０は、センサーモジュール５１０により検出された角速度情報に基づいて処理を行う。例えば、角速度情報に基づいて、手ぶれ補正、姿勢制御、ＧＰＳ自律航法などのための処理を行う。メモリー５３０は、制御プログラムや各種データを記憶し、また、ワーク領域やデータ格納領域として機能する。操作部５４０は、ユーザーが電子機器５００を操作するためのものである。表示部５５０は、種々の情報をユーザーに表示するものである。
【０１００】
次いで、本発明の一実施形態に係るセンサー１（１Ａ、１Ｂも同様）を適用した電子機器の具体例について、図８〜図１０に基づき、詳細に説明する。なお、説明では、センサー１を適用した例を示している。
【０１０１】
図８は、本発明の一実施形態に係るセンサー１を備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成の概略を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、角速度を検出する機能を備えたジャイロ素子５を用いたセンサー１が内蔵されている。
【０１０２】
図９は、本発明の一実施形態に係るセンサー１を備える電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、角速度センサー等として機能するジャイロ素子５を用いたセンサー１が内蔵されている。
【０１０３】
図１０は、本発明の一実施形態に係るセンサー１を備える電子機器としてのデジタルスチールカメラの構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１０４】
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１０５】
撮影者が表示部１００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター（ＰＣ）１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、角速度センサー等として機能するジャイロ素子５を用いたセンサー１が内蔵されている。
【０１０６】
なお、本発明の一実施形態に係るセンサー１は、図８のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図９の携帯電話機、図１０のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。
【０１０７】
以上、本発明のモジュールおよび電子機器について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【０１０８】
［３．移動体］
図１１は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１０６には前述した実施形態に係るジャイロ素子５を用いたセンサー１が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１０６には、ジャイロ素子５を用いたセンサー１を内蔵してタイヤ１０９などを制御する電子制御ユニット１０８が車体１０７に搭載されている。また、センサー１は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【０１０９】
なお、前述した実施形態では、支持部材３の第１の固定面（側面３３）および第２の固定面（側面３４）の垂線が互いに直交した例について説明したが、必ずしもこれに限定されない。例えば、支持部材を三角錐状あるいは四角錐状にして、三角錐の側面あるいは四角錐の側面に沿って実装基板を配置しても良い。
【０１１０】
また、前述した実施形態では、各リジッド基板２１〜２５間に、ピンヘッダー２６７を用いて接続を行う例で説明したが、必ずしもこれに限定されない。例えば、各リジッド基板２１〜２５間の接続に、リード線を用いる方法、リード基板（フレキシブル配線基板）を用いる方法などを用いて接続しても良い。
【符号の説明】
【０１１１】
１、１Ａ、１Ｂ…センサー、３、３Ａ、３Ｂ…支持部材、４…センサー部品、５…ジャイロ素子、２１…第１のリジッド基板、２２…第２のリジッド基板、２３…第３のリジッド基板、２４…第４のリジッド基板、２５…第５のリジッド基板、３１…上面、３１ａ、３１ｂ…ネジ穴、３２…下面、３２ａ、３２ｂ…ネジ穴、３３、３３Ｂ…側面、３４…側面、３５…側面、３６…側面、３７…貫通孔、４２…加速度センサー、４３…電源回路、４４…増幅回路、４５…アナログ／デジタル変換回路、４６…マイクロコントローラー、４７…不揮発性メモリー、４８…方位センサー、４９…コネクター、５１…基部、５２、５３…検出用振動腕、５４、５５…連結腕、５６、５７、５８、５９…駆動用振動腕、８１、８２、８３、８４…ネジ、１０６…移動体としての自動車、２１１、２２１、２３１、２４１、２５１…表側実装面、２３２、２４２、２５２…裏側実装面、２６１、２６２、２６３、２６４…連結部、３３１、３８１Ａ、３８２Ａ…逃げ部、３３２、３３３…ネジ穴、３４１…逃げ部、３４２、３４３、３５２、３５３…ネジ穴、３８３Ａ…遮断部、４１１、４１２、４１３…角速度センサー、４３２、４３３、４４２、４４３、４５２、４５３…ネジ、５００…電子機器、５１０…センサーモジュール、５２０…処理部、５３０…メモリー、５４０…操作部、５５０…表示部、５６０…バス、１１００…電子機器としてのモバイル型のパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのデジタルスチールカメラ。
【図１】
2014126495.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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