(57)【要約】【課題】配管による圧力損失を抑え、省スペース、低コストをなし得る真空排気装置の連結構造。【解決手段】各々の真空排気装置（１Ａ，１Ｂ）が、ポンプ室（２１Ａ，２１Ｂ，２２Ａ，２２Ｂ）とこれらポンプ室に連通する吸気口（３１Ａ，３１Ｂ）及び／又は排気口（４１Ａ，４１Ｂ）と、を備え、真空排気装置同士を直接接するように配置した際に、一方の真空排気装置（１Ａ）の少なくとも１つのポンプ室（２２Ａ）と、他方の真空排気装置（１Ｂ）の少なくとも１つのポンプ室（２１Ｂ）とが直接連通する構成とした真空排気装置の連結構造を提供する。【選択図】図５
2014029114.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の真空排気装置の連結構造であって、
各々の真空排気装置は、少なくとも１つのポンプ室と該ポンプ室に連通する吸気口及び／又は排気口と、を備え、
前記真空排気装置同士を直接接するように配置した際に、一方の前記真空排気装置の少なくとも１つのポンプ室と、他方の前記真空排気装置の少なくとも１つのポンプ室とが直接連通する構成としたことを特徴とする真空排気装置の連結構造。
【請求項２】
前記吸気口は、前記ポンプ室を画定するケーシングの一側に形成された吸気部に開口しているとともに、前記排気口は、前記ケーシングの他側に形成された排気部に開口しており、
前記真空排気装置同士を直接接するように配置した際に、前記吸気部の端面と前記排気部の端面とが当接するとともに、一方の前記真空排気装置の吸気口と他方の前記真空排気装置の排気口が連通することを特徴とする請求項１に記載の真空排気装置の連結構造。
【請求項３】
前記真空排気装置の少なくとも１つは、前記ポンプ室が複数に区分されているとともに、
前記複数のポンプ室は、少なくとも２つのポンプ室が一つのケーシング内で直列に連結され、該少なくとも２つのポンプ室のうち、最前段のポンプ室が吸気口を有するとともに、最後段のポンプ室が排気口を有する構成、
及び／又は少なくとも１つのポンプ室が、個別に吸気口と排気口を備える構成であることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空排気装置の連結構造。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空排気装置の連結構造を適用したことを特徴とする真空排気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバー等の排気対象機器を減圧排気する複数の真空排気装置を連結する真空排気装置の連結構造、及びこの連結構造を適用した真空排気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空チャンバー等の排気対象機器を減圧排気するために使用される真空排気装置（真空ポンプ）は、用途に応じて複数の異なる真空排気装置を気体流通的に直列に接続して目的の性能を達成することが一般的に行われている。例えば、排気対象機器を作動圧力まで排気し、その圧力を保つための主ポンプとしてメカニカルブースターポンプを採用し、大気圧から主ポンプが作動可能になる圧力まで真空系を排気するための粗引きポンプとして、油回転ポンプやドライポンプを採用する。これらの真空ポンプを組み合わせて使用することによって、目的の性能を達成する真空排気システムを構築している。真空ポンプの組合せはこれに限らず多様であり、３台以上の真空ポンプを組み合わせるケースもある。
【０００３】
このような複数の真空ポンプを組み合わせる場合、通常、各々の真空ポンプは適所に配置された上で連結配管等によって接続される。例えば、各々の真空ポンプを所定のフレーム（設置台）に固定し、主ポンプの排気口と粗引きポンプの吸気口を配管によって接続するなどの接続方法が一般的である。
【０００４】
例えば、非特許文献１には、上ポンプの排気口と下ポンプの吸気口とが配管で接続されている真空排気システムが示されている。また、非特許文献２には、フレーム上及びフレーム内に真空ポンプを設置し、上下の真空ポンプの排気口と吸気口を配管で接続した真空排気システムが示されている。
【０００５】
また、上述したような方法で接続される真空ポンプには、単一のケーシング内に形成された空間を区分し、複数のポンプ室とすることによって多段構造とした、多段ルーツ真空ポンプが多く採用されている。多段ルーツ真空ポンプにおいては、各段のポンプ室が直列となるように接続されていることが一般的である（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３６４５６９号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】「エドワーズ  真空製品総合カタログ  Revision3」、エドワーズ株式会社、P54
【非特許文献２】「真空技術と次世代発想のアルバック（ULVAC）：油回転ポンプ排気装置YM-VD/YM-VSシリーズ（1580L/min〜20000L/min)」、[online]、株式会社アルバック、［平成２２年４月１６日検索］、インターネット<URL: http://www.ulvac.co.jp/products/compo/F020006.html>
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上述したような従来の真空排気システムにおいて、各々の真空ポンプは、排気口及び吸気口の接続仕様等、一部の仕様を除き、それぞれ別個に設計製造されることが一般的である。このような真空ポンプの設置を行う場合、以下に列挙するような要求がある。
（１）圧力損失を最低限に抑えるために、真空ポンプ同士を接続する配管は、短く、太く、曲がりのないように接続する。
（２）限られた設置スペースを有効に使用するため、真空排気システムを設置するための設置面積をできるだけ小さくする。
（３）フレームはできるだけ単純化し耐久性のあるものを使用する。
【０００９】
しかしながら、主にコストの問題から、これらの要求を同時に満たすことは難しかった。例えば、コストを考慮すると、フレームは様々な形状の真空ポンプに対応するために、余裕を持った寸法にせざるを得ず、結果的に配管は長いものとなり、圧力損失が大きくなる。また、真空ポンプを小型に設計することができても、設置面積はフレームに依存して大きくなる等、限られた設置スペースを有効に使用することができなかった。
【００１０】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、配管による圧力損失を抑え、省スペース、低コストをなし得る真空排気装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、この発明は以下の手段を提供している。
本発明の請求項１に係る真空排気装置の連結構造は、各々の真空排気装置は、少なくとも１つのポンプ室と該ポンプ室に連通する吸気口及び／又は排気口と、を備え、前記真空排気装置同士を直接接するように配置した際に、一方の前記真空排気装置の少なくとも１つのポンプ室と、他方の前記真空排気装置の少なくとも１つのポンプ室とが直接連通する構成としたことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項２に係る真空排気装置の連結構造は、前記吸気口は、前記ポンプ室を画定するケーシングの一側に形成された吸気部に開口しているとともに、前記排気口は、前記ケーシングの他側に形成された排気部に開口しており、前記真空排気装置同士を直接接するように配置した際に、前記吸気部の端面と前記排気部の端面とが当接するとともに、一方の前記真空排気装置の吸気口と他方の前記真空排気装置の排気口が連通することを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項３に係る真空排気装置の連結構造は、前記真空排気装置の少なくとも１つは、前記ポンプ室が複数に区分されているとともに、前記複数のポンプ室は、少なくとも２つのポンプ室が一つのケーシング内で直列に連結され、該少なくとも２つのポンプ室のうち、最前段のポンプ室が吸気口を有するとともに、最後段のポンプ室が排気口を有する構成、及び／又は少なくとも１つのポンプ室が、個別に吸気口と排気口を備える構成であることを特徴とする。
【００１４】
さらに、本発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空排気装置の連結構造を適用したことを特徴とする真空排気装置を提供する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、真空排気装置同士を連結する配管を設ける必要がなくなり、かつ、連結されるポンプ室間の距離が短くなるため、圧力損失を抑えることができる。
また、真空排気装置を構成するケーシング同士が接続されるため、複数の真空排気装置から構成されるシステム全体の剛性が高まるとともに、真空排気装置から発せられる熱を分散させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態の真空排気システムを上方から見た斜視図である。
【図２】本発明の真空排気装置を上方から見た斜視図である。
【図３】本発明の真空排気装置を下方から見た斜視図である。
【図４】図２のＣ−Ｃ線に沿う真空排気装置の断面図である。
【図５】図１のＡ−Ａ線に沿う真空排気システムの断面図である。
【図６】図１のＢ−Ｂ線に沿う真空排気システムの断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態の真空排気システムを上方から見た斜視図である。
【図８】図７のＧ−Ｇ線に沿う真空排気システムの断面図である。
【図９】図７のＨ方向から見た真空排気システムの側面図である。
【図１０】図９のＫ−Ｋ線に沿う真空排気システムの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
（第１実施形態）
以下、本発明の真空排気装置の連結構造を採用した第１実施形態の真空排気システム１０Ａについて、図面を参照して詳細に説明する。図１に示すように、本実施形態の真空排気システム１０Ａは、２つの真空排気装置１Ａ，１Ｂを連結させたシステムである。この真空排気システム１０Ａは、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器に接続された真空排気装置１Ａの吸気口３１Ａから吸気した気体を２つの真空排気装置１Ａ，１Ｂによって圧縮し、真空排気装置１Ｂの排気口４１Ｂ（図５参照）から排気するシステムである。
【００１８】
真空排気システム１０Ａを構成する真空排気装置１Ａ，２Ａは、略同一の外形のケーシングを構成要素として有している。また、真空排気装置１Ｂに対して、符号Ｅ（図５参照）で示す平面において、直接的に真空排気装置１Ａを重ねて配置することが可能である。さらに、真空排気装置１Ｂに対して真空排気装置１Ａを重ねて配置することによって、上側の真空排気装置１Ａの排気口４１Ａ（図５参照）と下側の真空排気装置１Ｂの吸気口３１Ｂとを配管を介さずに直接接続することができる。
【００１９】
以下、個々の真空排気装置１Ａ，１Ｂについて詳細に説明する。真空排気装置１Ａと真空排気装置１Ｂは、略同一の構成であるため、真空排気装置１Ｂについて説明する。
図２〜４に示すように、真空排気装置１Ｂは、上側ケーシング２５Ｂａと下側ケーシング２５Ｂｂとからなるケーシング２５Ｂと、２本の回転軸８１，８１（図６参照）と、ケーシング２５Ｂによって画定された２つのポンプ室２１Ｂ，２２Ｂにそれぞれ収容されたマユ型ロータ８２ａ，８２ｂと、回転軸８１，８１を駆動するモータ８とを有するルーツ真空ポンプである。
【００２０】
ロータ８２ａ，８２ｂはそれぞれ一対のロータから構成されており、２つのロータはそれぞれ回転軸８１上に配列され、各ポンプ室２１Ｂ，２２Ｂに収容されている。一対のロータは、それぞれのロータの回転軸８１，８１の軸端に設けられた駆動ギア８５により互いに反対方向に同期回転するようになっている。
ケーシング２５Ｂは、２つのポンプ室２１Ｂ，２２Ｂを画定するとともに真空排気装置１Ｂの外形を形成している。また、回転軸８１，８１は、ベアリング８３，８４によって支持されている。
【００２１】
ポンプ室２１Ｂとポンプ室２２Ｂとは、接続配管２９を介して真空排気装置１Ｂを構成するケーシング２５Ｂの内部で直接接続されている。ポンプ室２１Ｂはケーシング２５Ｂの上部に形成された吸入口３１Ｂと連通しており、ポンプ室２２Ｂはケーシング２５Ｂの下部に形成された排気口４１Ｂと連通している。
【００２２】
次に、真空排気装置１Ｂを構成するケーシング２５Ｂについて説明する。ケーシング２５Ｂは、後述するように上下２分割構造であり、上部（一側）に吸気口３１Ｂを有する吸気部３が形成され、下部（他側）に排気口４１Ｂを有する排気部４が形成されている。また、ケーシング２５Ｂの上部には、４つの台座部５が形成されており、下部には、４つの脚部６が形成されている。
【００２３】
ケーシング２５Ｂは、ポンプ室２１Ｂ，２２Ｂの形状に依存した楕円円筒形状を有している。吸気部３、排気部４、台座部５、脚部６は、前記ケーシング２５Ｂと一体に形成されている。具体的には、これらは、鋳造によって一体に形成されることが好ましい。
真空排気装置１Ｂは、ケーシング２５Ｂの長手方向（回転軸８１の軸方向）が水平となるように設置される。なお、以下の説明において、２本の回転軸８１を含む平面を水平中心面と称する（図４にＤで示す）。
【００２４】
ケーシング２５Ｂは、上側ケーシング２５Ｂａと下側ケーシング２５Ｂｂとに２分割されている。上側ケーシング２５Ｂａと下側ケーシング２５Ｂｂとは、ボルト・ナット等の締結部材によって締結されており、上下ケーシング２５Ｂａ，２５Ｂｂを組み合わせることによって、モータ８側のベアリングケース８６、及び反モータ側ベアリングケース８７を保持することができるように構成されている。また、上下ケーシング２５Ｂａ，２５Ｂｂを組み合わせることによって、反モータ側ベアリング８４、及び油かき上げ板８８を含む空間８９を密閉させることができる。なお、本実施形態において、分割面は、前記水平中心面Ｄと略一致する。
【００２５】
吸気部３は、ケーシング２５Ｂの上部に、上方向に突出するように、かつ、ケーシング２５Ｂ（上側ケーシング２５Ｂａ）と一体に形成されている。吸気部３は、前記水平中心面Ｄと平行な端面３ａを有している。この該端面３ａは、ケーシング２５Ｂの長手方向に長さを有する矩形形状をなしている。
また、吸気部３には、吸気口３１Ｂが設けられている。吸気口３１Ｂは端面３ａに開口されており、ポンプ室２１Ｂに連通している。さらに、吸気部３の端面３ａのやや内側には、端面３ａの外形に沿って溝３６が形成されている。溝３６には、Ｏリング５３（封止部材）が嵌め込まれている。
【００２６】
排気部４は、ケーシング２５Ｂの下部に、下方向に突出するように、かつ、ケーシング２５Ｂ（下側ケーシング２５Ｂｂ）と一体に形成されており、吸気部３と同様に、水平中心面Ｄと平行な端面４ａを有している。排気部４には、排気口４１Ｂが設けられている。排気口４１Ｂは、端面４ａに開口されており、ポンプ室２２Ｂに連通されている。
吸気部３の端面３ａと、排気部４の端面４ａとは、平面視において、略同形状である。
【００２７】
台座部５は、ケーシング２５Ｂ（上側ケーシング２５Ｂａ）の上部であって、平面視における最外部に４箇所設けられている突起状の台座である。台座部５は、真空排気装置１Ｂの上方向に突出するような、突起状の形状を有している。４つの台座部５は、それぞれ、その上端が面５１（以下、端面５１と称する）を形成している。４つの端面５１は、同一面上に形成されている。
さらに、台座部５の端面５１と前述した吸気部３の端面３ａとは、同一面上に形成されている。ただし、台座部５は、吸気部３とは独立して設けられている。つまり、台座部５の端面５１と、吸気部３の端面３ａとは離間して形成されている。
【００２８】
脚部６は、ケーシング２５Ｂ（下側ケーシング２５Ｂｂ）の下部であって、平面視における最外部に４箇所設けられている突起状の脚である。脚部６は、真空排気装置１Ｂの下方向に突出するような、突起状の形状を有している。また、平面視における位置は、前記台座部５と略同じである。４つの脚部６は、それぞれ、その下端が面６１（以下、端面６１と称する）を形成している。４つの端面６１は、同一面上に形成されている。
さらに、脚部６の端面６１と排気部４の端面４ａとは、同一面上に形成されている。ただし、脚部６は、排気口４とは独立して設けられている。つまり、脚部６の端面６１と、排気部４の端面４ａとは離間して形成されている。
また、台座部５と脚部６とは、側面を開口面とした中空状に形成されており、それぞれの端面５１，６１には締結孔５４が形成されている。
【００２９】
また、図２，３に示すように、台座部５には突起部５２（位置決め機構）が設けられている。これに対応して、脚部６には位置決め穴６２（位置決め機構）が形成されている。
【００３０】
なお、図５に示すように、真空排気装置１Ａは、ポンプ室２１Ａ，２２Ａの配置以外は、真空排気装置１Ｂと略同一の構成である。
【００３１】
図５に示すように、真空排気システム１０Ａは、真空排気装置１Ｂの上方に真空排気装置１Ａを直接重ねたシステムである。この際、真空排気装置１Ｂの吸気部３の端面３ａと真空排気装置１Ａの排気部４の端面４ａとが当接するように重ねられている。また、真空排気装置１Ａの排気口４１Ａと真空排気装置１Ｂの吸気口３１Ｂは、平面視において略同じ位置に形成されている。
【００３２】
上記実施形態によれば、真空排気装置１Ａ，１Ｂは、符号Ｅで示した平面において上下方向に直接重ねて配置することが可能であり、真空排気装置１Ｂの吸気部３の端面３ａに、真空排気装置１Ａの排気口４の端面４ａを接して重ねるように、真空排気装置１Ｂの直上に真空排気装置１Ａを載置することができる。これにより、真空排気装置１Ａの排気口４１Ａと真空排気装置１Ｂの吸気口３１Ｂとを気体流通的に連通させることができる。
【００３３】
つまり、真空排気装置１Ａの吸入口３１Ａから流入された気体は、ポンプ室２１Ａ及び２２Ａで圧縮され、排気口４１Ａより排気される。次いで、気体は真空排気装置１Ｂの吸入口３１Ｂを介してポンプ室２１Ｂ及び２２Ｂで圧縮され、排気口４１Ｂより排気される。圧縮の際は、気体はケーシング２５とロータ８２間の空間に閉じ込められ、ロータ８２の回転で排気側に排出される。
【００３４】
これにより、真空排気装置１同士を連結する配管を設ける必要がなくなり、かつ、連結されるポンプ室間の距離が短くなるため、圧力損失を抑えることができる。
真空排気装置１を構成するケーシング２５同士が接続されるため、複数の真空排気装置から構成されるシステム全体の剛性が高まるとともに、真空排気装置１から発せられる熱を分散させることができる。
【００３５】
また、ケーシング２５において、上下のケーシング２５ａ、２５ｂを組み合わせることで、ベアリングケース８６、８７を保持し、かつ、反モータ側の空間８９を形成する（カバーの役割をする）構成とした。これにより、部品点数を削減することが可能となるとともに、ケーシング２５全体でベアリングケース８６、８７を保持するため、排気運転時における真空排気装置１の変形を抑えることができる。
【００３６】
また、台座部５の端面５１と脚部６の端面６１とは、平面視において略同じ位置に形成されているため、真空排気装置１Ａと真空排気装置１Ｂとを上下方向に配置することによって、台座部５の端面５１と、脚部６の端面６１とが接して重ねることができる。この状態で、台座部５と脚部６とをボルト・ナット等の締結部材９１によって締結することによって、真空排気装置１Ａと真空排気装置１Ｂを確実に固定することができる。
【００３７】
吸気部３の端面３ａに形成されている溝３６に、Ｏリング５３等の封止部材を配置することによって、吸気部３と排気部４を接続した際の気密状態を向上させることができる。なお、この溝３６は、吸気部３側ではなく、排気部４側に設けてもよい。
【００３８】
真空排気装置１を連結した際に、台座部５の突起部５２と脚部６の位置決め穴６２とを嵌め合わせることによって、位置決めを容易にすることができる。突起部５２及び位置決め穴６２は、全ての脚部６及び台座部５に設けることが好ましいが、少なくとも２ヶ所に設ければよい。
【００３９】
なお、ケーシング２５内部に画定されるポンプ室の数は、１つでもよいし、３つ以上でもよく、仕様に応じて自由に設定することができる。
【００４０】
また、真空排気装置は、上述したようなルーツ型真空ポンプに限ることはなく、ケーシングに吸気口と排気口を備えて同様の構造にすることができる真空ポンプであれば、どのような真空ポンプを採用してもよい。
【００４１】
また、本実施形態においては、台座部５と脚部６は、４つ形成したが、これに限ることはなく、台座部５が脚部６を確実に支持することができれば、どのような構成でもよい。
さらに、台座部５が脚部６を確実に支持することができれば、台座部５の端面５１と吸気部３の端面３５は離間して形成せず、一体に成型されていてもよい。同様に、脚部６の端面６１と排気部４の端面４５に関しても、一体に成型されていてもよい。
【００４２】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態の真空排気システム１０Ｂについて、図面を参照して詳細に説明する。図７に示すように、真空排気システム１０Ｂは、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器に接続された吸気口１１から吸気した気体を３つの真空排気装置１Ｃ，１Ｄ，１Ｅによって圧縮し、排気口１２から排気するシステムである。
図７、図８に示されているように、真空排気システム１０Ｂを構成する真空排気装置１Ｃ，１Ｄ，１Ｅは、直接重ねて配置することが可能となっている。具体的には、真空排気装置１Ｃ，１Ｄ，１Ｅを構成するケーシング同士を直接接続することが可能となっている。
【００４３】
図８に示すように、３つの真空排気装置１Ｃ〜１Ｅのうち、真空排気装置１Ｃ（主真空排気装置）は、ケーシング内に単一のポンプ室２１Ｃを有するメカニカルブースターポンプである。真空排気装置１Ｃは、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器と接続されている。
【００４４】
真空排気装置１Ｄ、１Ｅは、多段ルーツ真空ポンプであり、各々が複数のポンプ室を備えている。また、真空排気装置１Ｄ、１Ｅは、複数のポンプ室に対して、複数の吸気口及び排気口を備えている。つまり、本実施形態の真空排気装置１Ｄ（１Ｅ）を構成する複数のポンプ室は、それら全てのポンプ室が直列となるように接続されていない。
【００４５】
言い換えれば、複数のポンプ室のうち少なくとも２つのポンプ室は、同じケーシングに形成された他のポンプ室と接続されていない吸気口及び／又は排気口を有している。これらの吸気口、排気口は、隣接する真空排気装置の吸気口、排気口に接続されるため、複数のポンプ室のうち少なくとも２つのポンプ室は、他の真空排気装置を構成するポンプ室と接続されている。
【００４６】
真空排気装置１Ｄのポンプ室２１Ｄは、同じ真空排気装置１Ｄの他のポンプ室２２Ｄ、２３Ｄとは接続されておらず、ポンプ室２１Ｄに直接連通する排気口４１Ｄを介して、真空排気装置１Ｅのポンプ室２１Ｅと接続されている。
また、真空排気装置１Ｃと真空排気装置１Ｄとは、配管等を使用することなく、符号Ｊ１で示す平面において直接連結している。同様に、真空排気装置１Ｄと真空排気装置１Ｅとは、配管等を使用することなく、符号Ｊ２で示す平面において直接連結している。
【００４７】
さらに、真空排気システム１０Ｂは、真空排気装置１同士の接続を補うための接続手段７（マニホールド）を備えている。接続手段７は、接続手段第一部７２、接続手段配管部７３、及びバルブユニット７４（バルブ集合体）に分割されている。これらが、真空排気装置１Ｃ〜１Ｅと組み合わされることで、真空排気装置１Ｃ〜１Ｅを構成する複数のポンプ室を接続する接続配管が完成し、真空排気システム１０Ｂとして機能するようになる。
【００４８】
真空排気装置１Ｄの上部には、真空排気装置１Ｃのポンプ室２１Ｃと真空排気装置１Ｄのポンプ室２１Ｄとを接続する吸気口３１Ｄ（図８参照）が形成されているとともに、接続手段配管部７３と真空排気装置１Ｄのポンプ室２２Ｄ、２３Ｄとを接続する吸気口３２Ｄ，３３Ｄ（図９参照）が形成されている。吸気口３２Ｄ，３３Ｄは、その一端が真空排気装置１Ｄの側面に開口するように、直角に曲がった形状を有している。接続手段配管部７３は、真空排気装置１Ｄの上部側面に開口した吸気孔３２Ｄ，３３Ｄに連結されている。
【００４９】
接続手段第一部７２は、真空排気装置１Ｅの底面に連結するように配置されており、真空排気システム１Ｅを構成するポンプ室、接続手段配管部７３、及びバルブユニット７４と接続されている。接続手段第一部７２には、真空排気装置１Ｃのポンプ室と接続手段配管部７３とを接続するとともに、真空排気装置１Ｅのポンプ室とバルブユニット７４を接続する第三接続経路７７（図９参照）が形成されている。真空排気装置１Ｅ、接続手段配管部７３、及びバルブユニット７４は、いずれも接続手段第一部７２の上面に接続されており、接続手段第一部７２自体が真空排気システム１０Ｂ全体を支持する構造となっている。
【００５０】
第三接続経路７７は、接続手段配管部７３の第四接続経路７８に接続される２つの経路７７ａ、７７ｂ（図８参照）と、真空排気装置１Ｅのポンプ室２４Ｅと連通する排気口４３Ｅとバルブユニット７４とを接続する経路７７ｃの３つの経路を有する。
接続手段配管部７３は配管形状の部材であり、その内部には、真空排気装置１Ｅの排気口と真空排気装置１Ｄの吸気口を接続する第四接続経路７８が形成されている。第四接続経路７８は、真空排気装置１Ｄの吸気口３２Ｄ，３３Ｄ（図８参照）に対応して２つの経路に対応して、長さ方向に沿う分割面によって２分割されている。
【００５１】
バルブユニット７４は、接続手段第一部７２と接続されており、システム全体の排気口である総排気口１２を有している。図１０の断面図に示すように、バルブユニット７４には、複数のバルブ７９（逆止弁）が設けられており、総排気口１２は、各バルブ７９を介して経路７７ａ〜７７ｃと接続されている。これにより、真空排気装置１Ｅを構成するポンプ室であって、排気口４１Ｅ、４２Ｅ、４３Ｅと直接接続されているポンプ室２１Ｅ、２２Ｅ、２４Ｅのうち任意のポンプ室からの排気を可能としている。
【００５２】
次に、図８を参照して本実施形態における各真空排気装置を構成する複数のポンプ室の構成、及びポンプ室の接続順序について説明する。
最上段に位置する真空排気装置１Ｃは、１つのポンプ室２１Ｃを有するメカニカルブースターポンプであり、ポンプ室２１Ｃは、吸気口１１、及び排気口４１Ｃを備えている。
真空排気装置１Ｄは、３つのポンプ室２１Ｄ、２２Ｄ、２３Ｄを有している。３つのポンプ室２１Ｄ、２２Ｄ、２３Ｄは、それぞれ上述した３つの吸気口３１Ｄ、３２Ｄ、３３Ｄ、及び３つの排気口４１Ｄ、４２Ｄ、４３Ｄを備えている。
真空排気装置１Ｅは、４つのポンプ室２１Ｅ、２２Ｅ、２３Ｅ、２４Ｅを備えており、３つの吸気口３１Ｅ、３２Ｅ、３３Ｅ、及び３つの排気口４１Ｅ、４２Ｅ、４３Ｅを備えている。真空排気装置１Ｅの４つのポンプ室のうち、２つのポンプ室２３Ｅ、２４Ｅは、接続配管２９を介して真空排気装置１Ｅを構成するケーシングの内部で直接接続されている。
【００５３】
接続手段７は、接続手段第一部７２と接続手段配管部７３とが協働して、真空排気装置１Ｅの排気口４１Ｅと真空排気装置１Ｄの吸気口３２Ｄとを接続するように構成されている。同様に接続手段７は、真空排気装置１Ｅの排気口４２Ｅと真空排気装置１Ｄの吸気口３３Ｄとを接続するように構成されている。
さらに、接続手段７は、真空排気装置１Ｅの排気口４３Ｅとバルブユニット７４とを接続するように構成されている。
【００５４】
なお、図９に示すように、第三接続経路７７の経路７７ａ、及び７７ｂは、真空排気装置１Ｅのポンプ室と接続手段配管部７３の第四接続経路７８を接続するのみならず、真空排気装置１Ｅのポンプ室とバルブユニット７４を接続している。
【００５５】
次に、図８を参照して、実際の気体の流れを説明する。
まず、吸気口１１から真空排気装置１Ｃに流入した気体が、ポンプ室２１Ｃで圧縮され、排気口４１Ｃから排気される。次に、気体は、真空排気装置１Ｄのポンプ室２１Ｄに流入し、圧縮される。次いで、気体はポンプ室２１Ｄと直接接続されている真空排気装置１Ｅのポンプ室２１Ｅに流入する。ポンプ室２１Ｅから排気された気体は、接続手段第一部７２の内部に形成された第三接続経路７７の経路７７ａに流入する。以上の気体の流れを図８の矢印Ｆ１に示す。
【００５６】
接続手段第一部７２に流入した気体は、接続手段配管部７３を介して、真空排気装置１Ｄのポンプ室２２Ｄに流入する。図９に、接続手段第一部７２から接続手段配管部７３を介して、気体が真空排気装置１Ｄの別のポンプ室に戻される流れを示す（矢印Ｆ４）。
ポンプ室２２Ｄに流入した気体は、図８の矢印Ｆ２に示すように、接続手段第一部７２に至る経路で圧縮される。次いで、図８の矢印Ｆ３で示される経路で圧縮された気体は、最終的に、バルブユニット７４に導かれ、排気口１２から排気される。
【００５７】
また、バルブユニット７４に設けられた複数のバルブ７９を操作することによって、真空排気装置１Ｅのポンプ室２１Ｅ又は２２Ｅから排気することが可能である。
【００５８】
上記実施形態によれば、連結された複数の真空排気装置のうち、一端側に配置された真空排気装置１Ｄの吸気口３２Ｄ，３３Ｄと、他端側に配置された真空排気装置１Ｅの排気口４１Ｅ，４２Ｅとを接続することによって、他端側に配置された真空排気装置１Ｅから排気された気体を一端側に配置された真空排気装置１Ｄに流入させるような構成とした。これにより、複数のポンプ室を有する複数の真空排気装置を接続して気体の圧縮を行う際に、ポンプ室の配置の自由度が高くなるため、第１実施形態の効果に加え、より効率的な真空排気システムを構築することが可能となる。
【００５９】
また、バルブユニット７４を接続手段第一部７２に直接接続することで、任意のポンプ室からの排気が容易となるため、煩雑な配管接続が不要になって装置の最適化と小型化が両立できる。
【００６０】
さらに、ケーシング２５の外形状は、楕円円筒形状に限ることはなく、特に、小排気量の真空ポンプであれば、ポンプ室の形状に依存しない形状、例えば、ブロック形状としてもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１Ａ〜１Ｅ…真空排気装置、３…吸気部、３ａ…端面、４…排気部、４ａ…端面、５…台座部、６…脚部、１０…真空排気システム、１１…吸気口、１２…排気口、２１〜２４…ポンプ室、２５Ａ，２５Ｂ…ケーシング、２５ａ…上側ケーシング、２５ｂ…下側ケーシング、３１〜３３…吸気口、４１〜４３…排気口、５２…突起部（位置決め機構）、５３…封止部材、６２…位置決め穴（位置決め機構）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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