(57)【要約】【課題】吸着部の汚れが板状体に付着するのを防止して板状体の外観不良を低減できる板状体用吸着パッド、及び研磨直後のガラス板に吸着部の汚れが付着するのを防止してガラス板の外観不良を低減できるガラス板加工装置を提供する。【解決手段】本発明の吸着パッド１０は、吸着部２２の開口面３４の全面にＰＶＡセーム皮３８が被覆されている。ＰＶＡセーム皮３８によって、蛇腹部３０の開口周縁部３２がガラス板Ｇに直接接触せず、また、汚れ保持性が高いというＰＶＡセーム皮３８の特性によって、蛇腹部３０の開口周縁部３２の汚れ（可塑剤成分を含む）がガラス板Ｇに付着するのを防止できる。また、ＰＶＡセーム皮３８は、前述の如く汚れ保持性が高いため、ガラス板Ｇに元々付着していた汚れ（例えば研磨材）を保持し、次のガラス板Ｇを保持する際に、次のガラス板Ｇにその汚れが再付着するのを防止できる。【選択図】図５
2014159062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体の表面に接触される接触部を介して前記板状体の表面に吸着される吸着部と、前記吸着部を真空手段に連結するための連結部とを備え、前記吸着部の前記接触部に、ポリビニルアルコールからなるセーム皮が被覆されていることを特徴とする板状体用吸着パッド。
【請求項２】
前記セーム皮は、前記吸着部の吸着面である開口面の全面に被覆されている請求項１に記載の板状体用吸着パッド。
【請求項３】
前記セーム皮は、前記吸着部の前記開口面に連通する貫通部が備えられている請求項２に記載の板状体用吸着パッド。
【請求項４】
前記セーム皮は、巾着状に構成されている請求項２又は３に記載の板状体用吸着パッド。
【請求項５】
前記表面は、研磨装置で研磨された表面である請求項１〜４のいずれか一項に記載の板状体用吸着パッド。
【請求項６】
前記板状体は、フラットパネルディスプレイ用のガラス板である請求項１〜５のいずれか一項に記載の板状体用吸着パッド。
【請求項７】
ガラス板の研磨装置と、前記研磨装置によって研磨された前記ガラス板を洗浄する洗浄装置と、前記ガラス板を前記研磨装置から前記洗浄装置に搬送する搬送手段と、を備えたガラス板加工装置において、
前記搬送手段に、請求項１〜６のいずれか一項に記載の板状体用吸着パッドが備えられることを特徴とするガラス板加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状体用吸着パッド及びガラス板加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状体を吸着保持して搬送する板状体用吸着パッド（以下、吸着パッドという。）は、従来から多数提案されている。
【０００３】
特許文献１には、板状体であるガラス板を吸着保持し、ガラス板の研磨装置からガラス板の洗浄装置にガラス板を搬送する吸着パッドが開示されている。
【０００４】
吸着パッドは、ガラス板を吸着する吸着部と、吸着部を真空ポンプに連結するための連結部とから構成される。
【０００５】
前記吸着部は、弾性力をもってガラス板を吸着するために、ニトリルゴム、シリコーンゴム、又はフッ素ゴム等の合成樹脂材から構成され、その吸着部の開口周縁部で包囲される開口面が、前記連結部に備えられた貫通孔を介して前記真空ポンプに連結されている。したがって、吸着部の開口周縁部をガラス板の面に当接させ、真空ポンプを可動、又は真空ポンプと連結部とを連結している吸引経路に備えられたバルブを開放すると、ガラス板が吸着部に吸引され、吸着部が適宜に弾性変形することによってガラス板が吸着部に吸着保持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２３９４８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の吸着パッドは、吸着部によって板状体を吸着保持した際に、合成樹脂材である吸着部から漏出した可塑剤成分が板状体に付着したり、吸着部に蓄積された汚れが板状体に付着したりする。特に可塑剤成分は、水分子となじみ難い疎水基なので、板状体に付着した可塑剤成分を水で洗い落とすのは容易でない。また、特許文献１の如く、板状体が研磨直後のガラス板である場合には、吸着部からガラス板に付着する汚れは、研磨材であるシリカ成分を主とする汚れである。この汚れはガラス板に強固に付着しているため、スラリー洗浄やアルカリ洗浄等の通常の洗浄方法では除去できず、ガラス板の表面に残存してしまうので、ガラス板に外観不良が発生するという問題があった。
【０００８】
特に、ガラス板が液晶ディスプレイ、及びプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel Display）用のガラス板、及びハードディスク（ＨＤ：Hard Disk）用のガラス板のように、表面に高品質化が要求されるものにあっては、ガラス板の表面に付着した汚れ（可塑剤成分を含む）に起因する表面汚染を防止しなければならない。また、ガラス板が研磨直後で活性状態にある場合には、前記表面汚染が顕著に発生する傾向にあった。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、吸着部の汚れが板状体に付着することを防止して板状体の外観不良を低減できる板状体用吸着パッド、及び研磨直後のガラス板に吸着部の汚れが付着するのを防止してガラス板の外観不良を低減できるガラス板加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様は、前記目的を達成するために、板状体の表面に接触される接触部を介して前記板状体の表面に吸着される吸着部と、前記吸着部を真空手段に連結するための連結部とを備え、前記吸着部の前記接触部に、ポリビニルアルコールからなるセーム皮が被覆されていることを特徴とする板状体用吸着パッドを提供する。
【００１１】
本発明の一態様によれば、吸着部の接触部に、ポリビニルアルコールからなるセーム皮を被覆し、通気性のあるセーム皮を介して板状体を吸着部に吸着保持する。本発明の一態様は、セーム皮によって、接触部が板状体に直接接触せず、また、汚れを保持する性能（以下、汚れ保持性という。）が高いというセーム皮の特性によって、接触部の汚れ（可塑剤成分を含む）が板状体に付着するのを防止できる。また、セーム皮は、前述の如く汚れ保持性が高いため、板状体に元々付着していた汚れ（例えば研磨材）を保持し、次の板状体を保持する際に次の板状体に前記汚れが再付着するのを防止できる。
【００１２】
したがって、本発明の一態様によれば、吸着パッドの汚れが板状体に付着するのを防止できるので、板状体の外観不良を低減できる。
【００１３】
本発明の一態様は、前記セーム皮は、前記吸着部の吸着面である開口面の全面に被覆されていることが好ましい。
【００１４】
本発明の一態様によれば、吸着部の吸着面である開口面の全面にセーム皮を被覆することで、板状体の表面に残存している異物（例えば研磨剤、研磨屑）を吸い込まず、セーム皮で捕獲できる。また、本発明の一態様によれば、接触部の形状に合わせて加工されたセーム皮を、接触部の形状に沿って貼り付ける手間を省くことができる。
【００１５】
セーム皮の厚さ（乾燥時の厚さ）は、１〜２ｍｍであることが好ましい。厚さが１ｍｍ未満であると、汚れ保持性が低下し、厚さが２ｍｍを超えると、既存設備の真空ポンプの吸引力において板状体の吸着保持力が低下するからである。
【００１６】
本発明の一態様は、前記セーム皮は、前記吸着部の前記開口面に連通する貫通部が備えられていることが好ましい。
【００１７】
本発明の一態様によれば、セーム皮に貫通孔又は切り欠き等の貫通部を備えることにより、セーム皮の通気性が向上するので、板状体に対する吸着保持力が向上する。前記貫通部は、吸着部の開口面の中央又はその近傍位置に備えることが好ましいが、その位置は、開口面を包囲する吸着部の開口周縁部に重ならない位置であればよい。
【００１８】
本発明の一態様は、前記セーム皮は、巾着状に構成されていることが好ましい。
【００１９】
本発明の一態様によれば、巾着状のセーム皮によって吸着部の全体又は一部を着脱自在に包むことができる。すなわち、吸着部に対するセーム皮の交換作業が容易になる。
【００２０】
本発明の一態様は、前記表面は、研磨装置で研磨された表面であることが好ましい。
【００２１】
本発明の一態様によれば、板状体の表面に付着している研磨材をセーム皮によって良好に保持できるので、次の板状体を保持する際に次の板状体に研磨材が再付着するのを防止できる。
【００２２】
本発明の一態様は、前記板状体は、フラットパネルディスプレイ用のガラス板であることが好ましい。
【００２３】
本発明の一態様によれば、液晶ディスプレイ、及びプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ用のガラス板のように高品質化が要求されるものの板状体用吸着パッドに好適である。また、フラットパネルディスプレイ用のガラス板に限定されず、高品質化が要求されるハードディスク用のガラス板に適用することもできる。
【００２４】
本発明の一態様は、前記目的を達成するために、ガラス板の研磨装置と、前記研磨装置によって研磨された前記ガラス板を洗浄する洗浄装置と、前記ガラス板を前記研磨装置から前記洗浄装置に搬送する搬送手段と、を備えたガラス板加工装置において、前記搬送手段に、本発明の板状体用吸着パッドが備えられることを特徴とするガラス板加工装置を提供する。
【００２５】
本発明の一態様によれば、研磨直後のガラス板に吸着部の汚れ（可塑剤成分を含む）が付着するのを防止できるので、ガラス板の外観不良を低減できる。
【００２６】
また、本発明の一態様によれば、フラットパネルディスプレイ用のガラス板のように高品質化が要求されるガラス板加工装置に好適である。また、フラットパネルディスプレイ用のガラス板加工装置に限定されず、高品質化が要求されるハードディスク用のガラス板加工装置に適用することもできる。
【発明の効果】
【００２７】
以上説明したように本発明の吸着パッドによれば、吸着部の汚れが板状体に付着するのを防止できるので、板状体の外観不良を低減できる。
【００２８】
また、本発明のガラス板加工装置によれば、研磨直後のガラス板に吸着部の汚れが付着するのを防止できるので、ガラス板の外観不良を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施の形態の吸着パッドを備えたガラス板加工装置の構成を示したブロック図
【図２】実施の形態の吸着パッドの縦半断面図
【図３】図２に示した吸着パッドの吸着部の斜視図
【図４】図３に示した吸着部の底面を見た斜視図
【図５】セーム皮が被覆された吸着部の側面図
【図６】図５に示した吸着部の斜視図
【図７】図５に示した吸着部の底面を見た斜視図
【図８】蛇腹部の開口周縁部にＰＶＡセーム皮を被覆した吸着パッドの斜視図
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、添付図面に従って本発明に係る板状体用吸着パッド及びガラス板加工装置の好ましい実施の形態について説明する。
【００３１】
図１は、実施の形態の吸着パッド１０、１０…を備えたガラス板加工装置１２の構成を示したブロック図である。
【００３２】
〔ガラス板加工装置１２の構成〕
図１のガラス板加工装置１２は、研磨ヘッド１４と研磨パッド（不図示）とを備えた研磨装置１６、及び洗浄装置１８を備えている。
【００３３】
ガラス板Ｇは、フロート法で成形されており、その表面に微小な凹凸やうねりが存在する。このような微小な凹凸やうねりは、フロート法で成形されたガラス板を、自動車用、建築等のガラス板として使用する場合は問題とならないが、ＦＰＤ用のガラス板として使用する場合は、製造されるＦＰＤの画像に歪みや色むらを与える原因となる。このため、研磨により、微小な凹凸やうねりを除去することが必要となる。このような目的で実施する研磨には、研磨砥粒として酸化セリウムを含む研磨材を用いた研磨が好ましく使用される。
【００３４】
研磨装置１６において、載置台１１に載置されたガラス板Ｇは、研磨ヘッド１４の押圧力によって、その上面（研磨面）が前記研磨パッドに押圧されることにより研磨される。洗浄装置１８においてガラス板Ｇは、研磨装置１６にて使用されて付着した研磨材が高圧洗浄水、及びブラシ洗浄等の洗浄手段によって、ガラス板Ｇから完全に洗い落とされる。
【００３５】
実施の形態の吸着パッド１０、１０…は、研磨装置１６によって研磨された直後のガラス板Ｇの上面（研磨面）を吸着保持し、不図示の搬送装置によって移動されてガラス板Ｇを洗浄装置１８に搬送する。なお、吸着パッド１０、１０…と前記搬送装置とによって搬送手段が構成される。
【００３６】
研磨直後のガラス板Ｇは、プレ洗浄機２０に搬送され、ガラス板Ｇの上面は、プレ洗浄機２０による洗浄水によって予備洗浄された後、吸着パッド１０、１０…に吸着保持される。したがって、吸着パッド１０、１０…に吸着保持されるガラス板Ｇの上面は、プレ洗浄機２０によって洗浄されてはいるものの、研磨材は完全に洗い落とされていない。このため、ガラス板Ｇは、その上面に研磨材が残存している状態で吸着パッド１０、１０…に吸着保持される。
【００３７】
吸着パッド１０、１０…は、例えば特開２００７−１８５７２５号公報に示される板状体の剥離方法及びその装置のように、碁盤目状（check pattern）に複数台設置されており、前記搬送装置によって研磨装置１６と洗浄装置１８との間で往復移動される。吸着パッド１０、１０…が設置されるピッチは特に限定されず、ガラス板の１辺の長さ及び厚さに応じて設定される。例えば１辺のサイズが１０００ｍｍ以上、厚さが０．７ｍｍ以下のガラス板の場合、１５０〜４００ｍｍピッチが好ましい。また、図１のガラス板加工装置１２は、ＦＰＤ用のガラス板のように、表面に高品質化が要求されるガラス板を加工する装置である。なお、ＦＰＤ用のガラス板加工装置に限定されず、高品質化が要求されるＨＤ用のガラス板加工装置であってもよい。
【００３８】
〔吸着パッド１０の構成〕
図２は、吸着パッド１０の縦半断面図である。図３は吸着パッド１０の吸着部２２の斜視図、図４は図３に示した吸着部２２の底面を見た斜視図、図５はセーム皮３８が被覆された吸着部２２の側面図、図６は図５に示した吸着部２２の斜視図、図７は図５に示した吸着部２２の底面を見た斜視図である。
【００３９】
図２の如く吸着パッド１０は、ガラス板Ｇを吸着する吸着部２２と、吸着部２２を吸着手段である真空ポンプ（不図示）に連結するためのパイプ状の連結部２４とから構成される。
【００４０】
吸着部２２は図３の如く、円筒部２６と円錐部２８と円筒状の蛇腹部３０とを備えている。また、吸着部２２は、弾性力をもってガラス板Ｇを吸着するために、ニトリルゴム、シリコーンゴム、又はフッ素ゴム等の合成樹脂材から構成され、図４の如く、蛇腹部３０の開口周縁部（接触部）３２で包囲される円形の開口面３４が、図２の連結部２４に備えられた貫通孔３６を介して前記真空ポンプに連結されている。なお、図２の符号３１は、吸着部２２に内包された補強部材である。この補強部材３１は、金属製のリング状部材であり、円筒部２６の内部に配置されている。
【００４１】
実施の形態の吸着パッド１０によれば、まず、蛇腹部３０の開口周縁部３２をガラス板Ｇの上面に接触させる。次に、前記真空ポンプを可動、又は真空ポンプと連結部２４とを連結している吸引経路（不図示）に備えられたバルブ（不図示）を開放する。これにより、ガラス板Ｇが蛇腹部３０に吸着されていき、蛇腹部３０が適宜に収縮変形することによって、ガラス板Ｇが吸着部２２に吸着保持される。
【００４２】
〔吸着パッド１０の特徴〕
図５〜図７に示すように、吸着部２２の開口面３４の全面には、ポリビニルアルコール（polyvinyl alcohol）からなるセーム皮３８（ＰＶＡセーム皮ともいう。）が被覆されている。すなわち、実施の形態の吸着パッド１０は、通気性のあるＰＶＡセーム皮３８を介してガラス板Ｇを吸着保持する構成となっている。
【００４３】
このように、吸着部２２の吸着面である開口面３４の全面にＰＶＡセーム皮３８を被覆すると、ＰＶＡセーム皮３８によって、蛇腹部３０の開口周縁部３２がガラス板Ｇに直接接触せず、また、汚れ保持性が高いというＰＶＡセーム皮３８の特性によって、蛇腹部３０の開口周縁部３２の汚れ（可塑剤成分を含む）がガラス板Ｇに付着するのを防止できる。また、ＰＶＡセーム皮３８は、前述の如く汚れ保持性が高いため、ガラス板Ｇに元々付着していた汚れ（例えば研磨材）を保持し、次のガラス板Ｇを保持する際に、次のガラス板Ｇにその汚れが再付着するのを防止できる。
【００４４】
したがって、実施の形態の吸着パッド１０によれば、吸着パッド１０の汚れがガラス板Ｇに付着するのを防止できるので、ガラス板Ｇの外観不良を低減できる。
【００４５】
なお、ＰＶＡセーム皮３８の厚さ（乾燥時の厚さ）は、１〜２ｍｍであることが好ましい。厚さが１ｍｍ未満であると、汚れ保持性が低下するからである。一方で、厚さが２ｍｍを超えると、通気性が低下するため、既存設備の真空ポンプの吸引力によるガラス板Ｇの吸着保持力が低下するからである。
【００４６】
図７の如くＰＶＡセーム皮３８には、吸着部２２の開口面３４に連通する貫通部４０が備えられていることが好ましい。
【００４７】
このように、ＰＶＡセーム皮３８に貫通部４０を備えることにより、ＰＶＡセーム皮３８の通気性が向上するので、ガラス板Ｇに対する吸着保持力が向上する。貫通部４０は、吸着部２２の開口面３４の中央又はその近傍位置に備えることが好ましいが、その位置は、蛇腹部３０の開口周縁部３２に重ならない位置であればよい。また、貫通部４０の形状として図７では貫通孔（丸形状）を例示したが、＋形状、−形状、又はＹ字形状の切り欠きであってもよい。さらに、貫通部４０の個数として図７では１個を例示したが、２個以上であってもよい。
【００４８】
更に、ＰＶＡセーム皮３８は図６の如く巾着状に構成され、開口部４２を備えている。巾着状のＰＶＡセーム皮３８の開口部４２の内側縁部には、開口部４２を閉じる方向に付勢力を与える、図５の帯状の輪ゴム４４が取り付けられている。
【００４９】
このＰＶＡセーム皮３８によれば、輪ゴム４４の弾性力に抗して開口部４２を開放させてＰＶＡセーム皮３８を蛇腹部３０と円錐部２８に被せる。このとき、輪ゴム４４は円筒部２６に密着する。また、使用寿命となった古いＰＶＡセーム皮３８を、新しいＰＶＡセーム皮３８と交換する場合には、輪ゴム４４の弾性力に抗して開口部４２を開放させて古いＰＶＡセーム皮３８を吸着部２２から取り外せばよい。よって、ＰＶＡセーム皮３８を巾着状に構成することによって、吸着部２２に対するＰＶＡセーム皮３８の交換作業が容易になる。
【００５０】
また、実施の形態の吸着パッド１０によれば、ＦＰＤ用のガラス板のように高品質化が要求されるものの吸着パッドとして好適に適用できる。また、高品質化が要求されるＨＤ用ガラス板の吸着パッドとしても好適である。
【００５１】
更に、吸着パッド１０を備えた図１のガラス板加工装置１２によれば、研磨直後のガラス板Ｇの研磨面である上面（表面）に、吸着部２２の汚れ（可塑剤成分を含む）が付着するのを防止できるので、ガラス板Ｇに表面汚染は発生せず、よって、ガラス板Ｇの外観不良を低減できる。
【００５２】
図８は、蛇腹部３０の開口周縁部（接触部）３２にＰＶＡセーム皮３８Ａを被覆した吸着パッド１０の斜視図である。
【００５３】
ＰＶＡセーム皮３８Ａは、開口周縁部３２の形状に沿ったリング形状である。つまり、ＰＶＡセーム皮３８Ａは、少なくともガラス板Ｇの上面に接触する開口周縁部３２にのみ被覆されていれば、本発明の目的を達成できる。
【００５４】
しかしながら図８の態様では、交換時において、開口周縁部３２の形状に合わせて加工されたＰＶＡセーム皮３８Ａを、開口周縁部３２の形状に沿って貼り付ける手間が生じる。これに対して、図５〜図７に示した巾着状のＰＶＡセーム皮３８は、蛇腹部３０と円錐部２８に被せるだけでよいので、吸着部２２に対する交換作業が容易になる。また、ＰＶＡセーム皮３８は、開口面の全面を被覆しているため、ＰＶＡセーム皮３８Ａと比較して、ガラス板Ｇの表面に残存している異物（例えば研磨剤、研磨屑）を真空ポンプで吸い込まず捕獲できるという利点もある。
【００５５】
なお、実施の形態では、板状体としてガラス板を例示したが、これに限定されるものではなく、金属製又は樹脂製の板状体であっても本発明の板状体用吸着パッドを適用できる。
【符号の説明】
【００５６】
Ｇ…ガラス板、１０…板状体用吸着パッド、１１…載置台、１２…ガラス板加工装置、１４…研磨ヘッド、１６…研磨装置、１８…洗浄装置、２０…プレ洗浄機、２２…吸着部、２４…連結部、２６…円筒部、２８…円錐部、３０…蛇腹部、３１…補強部材、３２…開口周縁部、３４…開口面、３６…貫通孔、３８、３８Ａ…ＰＶＡセーム皮、４０…貫通部、４２…開口部、４４…輪ゴム
【図１】
2014159062.tif 000003
【図２】
2014159062.tif 000004
【図３】
2014159062.tif 000005
【図４】
2014159062.tif 000006
【図５】
2014159062.tif 000007
【図６】
2014159062.tif 000008
【図７】
2014159062.tif 000009
【図８】
2014159062.tif 000010