(57)【要約】【課題】フィルタをリレースイッチによって切替えた場合に、リレースイッチを劣化さる問題があった。【解決手段】切替制御部４８３は、切替器４０へ切替信号を出力し、電源入力ラインの接続を低負荷用ラインフィルタ４１の接続状態から高負荷用ラインフィルタ４２の接続へ切替える。切替器４０の切替動作に際して、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４から電力は出力されていないので、切替器４０のリレースイッチにアーク放電が発生することは無く、リレースイッチの劣化によりリレースイッチの寿命が短くなる問題を回避できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源入力ラインから給電されて回転駆動するモータと、  
前記モータにより回転して真空排気を行う回転体と、
前記電源入力ラインへのノイズの侵入を抑制する複数のフィルタと、
前記複数のフィルタを選択して切替える切替器と、
前記モータの運転状態に応じて前記切替器の切替タイミングを検出する検出部と、
前記検出部で前記切替タイミングが検出されたとき、前記切替器の切替えに先立って前記モータを通常駆動から回生駆動に切替えるモータ制御部と、
前記モータが回生駆動され、前記モータからの発電電力が給電されることにより、前記切替器に前記フィルタ切替えさせる切替制御部を備える、真空ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記検出部は、前記モータの負荷状態が高負荷、若しくは低負荷になった場合に前記切替タイミングであることを検出し、
前記切替制御部は、前記検出部により高負荷の負荷状態が検出されたとき、前記切替器に高負荷用のフィルタを選択して切替えさせ、前記検出部により低負荷の負荷状態が検出されたとき、前記切替器に低負荷用のフィルタを選択して切替えさせる、真空ポンプ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
前記電源入力ラインから給電される電圧を変換するコンバータをさらに備え、
前記切替制御部が前記切替器に前記フィルタ切替えさせるとき、前記コンバータの出力を停止させる、真空ポンプ。
【請求項４】
請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
前記電源入力ラインから給電される電圧を変換するＤＣ-ＤＣコンバータと、
前記ＤＣ−ＤＣコンバータからの電圧が供給され、前記モータを駆動する電圧を生成するインバータと、
前記ＤＣ-ＤＣコンバータから前記インバータに至る経路に順方向に接続されたダイオードと、
前記ダイオードのカソード側から前記切替制御部と前記モータ制御部に給電する給電線とをさらに備える、真空ポンプ。
【請求項５】
請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
前記電源入力ラインから給電される電圧を変換するＤＣ-ＤＣコンバータをさらに備え、
前記切替制御部は、前記複数のフィルタの中から、前記ＤＣ-ＤＣコンバータのスイッチング周波数に応じたフィルタを選択し、前記切換器に、選択されたフィルタに切替えさせる、真空ポンプ。
【請求項６】
請求項５に記載の真空ポンプにおいて、
前記ＤＣ-ＤＣコンバータのスイッチング周波数を切替えるコンバータ制御部をさらに備え、
前記複数のフィルタは、前記ＤＣ-ＤＣコンバータのスイッチング周波数の整数倍と一致しない共振周波数を有する複数のフィルタを含み、
前記切替制御部は、前記ＤＣ-ＤＣコンバータのスイッチング周波数の整数倍と一致しない共振周波数を有するフィルタを選択し、前記切換器に、選択されたフィルタに切替えさせる、真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置や分析装置などに使用される真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置や分析装置などに使用されるターボ分子ポンプを駆動するための電源装置は、ＤＣ-ＤＣコンバータなどの大電力スイッチング回路を備えており、電磁ノイズの放出が大きい。そのため、電源装置で発生した電磁ノイズを外部へ放出しないように、電源装置の電源入力ライン側にラインフィルタを設けている。例えば、特許文献１には、ラインフィルタの消費電力を考慮して、複数のラインフィルタを切替えて使用する電気機器が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６-２８０１３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、電気機器が負荷状態のまま複数のフィルタをリレースイッチによって切替えた場合には、リレースイッチにアーク放電が発生してリレースイッチを劣化させ、リレースイッチの寿命を短くする問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明による真空ポンプは、電源入力ラインから給電されて回転駆動するモータと、前記モータにより回転して真空排気を行う回転体と、前記電源入力ラインへのノイズの侵入を抑制する複数のフィルタと、前記複数のフィルタを選択して切替える切替器と、前記モータの運転状態に応じて前記切替器の切替タイミングを検出する検出部と、前記検出部で前記切替タイミングが検出されたとき、前記切替器の切替えに先立って前記モータを通常駆動から回生駆動に切替えるモータ制御部と、前記モータが回生駆動され、前記モータからの発電電力が給電されることにより、前記切替器に前記フィルタ切替えさせる切替制御部を備える。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、フィルタを切替える切替器の劣化を防止し、サージ電圧の発生も抑制されてノイズの発生を抑えることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】ポンプユニットの概略構成を示す断面図
【図２】コントロールユニットの概略構成を示すブロック図
【図３】ラインフィルタの切替動作を示すフローチャート
【図４】モータの電力の推移を示す図
【図５】コントロールユニットの概略構成の変形例を示すブロック図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図を参照して本発明による真空ポンプをターボ分子ポンプとして実施するための形態について説明する。
―第１の実施形態−
ターボ分子ポンプは、真空排気を行うポンプユニットと、ポンプユニットを駆動制御するコントロールユニットとを備えている。図１は、ポンプユニット１の概略構成を示す断面図である。図１に示したターボ分子ポンプは磁気軸受式のポンプであり、ロータ３０は、５軸制御型磁気軸受を構成する磁気軸受３７，３８によって非接触支持される。磁気軸受３７，３８によって回転自在に磁気浮上されたロータ３０は、モータ３６により回転駆動される。モータ３６には、例えば、ＤＣブラシレスモータが用いられる。
【０００９】
ロータ３０には、排気機能部として、複数段の回転翼３２と円筒状のネジロータ３１とが形成されている。一方、固定側には、排気機能部として、軸方向に対して回転翼３２と交互に配置された複数段の固定翼３３と、ネジロータ３１の外周側に設けられたネジステータ３９が設けられている。各固定翼３３は、それぞれ一対のスペーサリング３５によって軸方向上下から挟持されるように積層され、ベース２０上に載置されている。吸気口フランジ２１が形成されたポンプケーシング３４をベース２０に固定すると、積層されたスペーサリング３５がベース２０とポンプケーシング３４との間に挟持され、各固定翼３３が位置決めされる。
【００１０】
ベース２０には排気ポート２２が設けられ、この排気ポート２２にバックポンプが接続される。ロータ３０を磁気浮上させつつモータ３６により高速回転駆動することにより、吸気口側の気体分子は排気ポート２２側へと排気される。
【００１１】
図２は、コントロールユニット２の概略構成を示すブロック図と上記モータ３６とを示す図である。コントロールユニット２は上記モータ３６の電源装置を構成するもので、外部からのＡＣ入力が電源入力ラインより切替器４０へ入力される。切替器４０はリレースイッチ、半導体素子等によって構成され、電源入力ラインの接続を低負荷用ラインフィルタ４１へ、または高負荷用ラインフィルタ４２へ切替える。低負荷用ラインフィルタ４１、高負荷用ラインフィルタ４２は特定の周波数を遮蔽するＬＣフィルタ、Ｔ型フィルタ、π型フィルタなどで構成される。
【００１２】
低負荷用ラインフィルタ４１は、ターボ分子ポンプが低負荷状態の場合に、後述のＤＣ-ＤＣコンバータ４４のスイッチング周波数に対応するノイズを低減して、ノイズが電源入力ラインから外部に放出されないように設けられている。
高負荷用ラインフィルタ４２は、ターボ分子ポンプが高負荷状態の場合に、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４のスイッチング周波数に対応するノイズを低減して、ノイズが電源入力ラインから外部に放出されないように設けられている。ターボ分子ポンプが高負荷状態において、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４から強いノイズが発生するので、高負荷用ラインフィルタ４２は、低負荷用ラインフィルタ４１と比較して、より強力にノイズを低減するフィルタ構成とする。
【００１３】
なお、第１の実施形態のターボ分子ポンプでは、ＤＣ−ＤＣコンバータ４４のスイッチング周波数は予め設定した固定値である。
【００１４】
外部からのＡＣ入力は低負荷用ラインフィルタ４１または高負荷用ラインフィルタ４２を介してＡＣ−ＤＣコンバータ４３によってＤＣ電圧に変換される。そのＤＣ電圧はＤＣ-ＤＣコンバータ４４に入力され、ここでモータ３６用のＤＣ電圧が生成され、ダイオード４５を介してインバータ４６へ入力される。また、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４のＤＣ電圧は、制御部４８へ動作電圧として供給される。インバータ４６はモータ３６をＰＷＭ（Pulse Width Modulation）制御により回転駆動する。ダイオード４５は、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４からインバータ４６に至る経路に順方向に接続される。
【００１５】
モータ３６のモータステータに設けられたＵ，Ｖ，Ｗ相コイルに流れる電流は、図示省略する電流センサによって検出され、検出された電流値は信号検出線４０１を介して制御部４８へ入力される。
【００１６】
制御部４８は、モータ３６の制御を行うデジタル演算器であり、例えば、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）などで構成される。制御部４８は、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４に対して、出力電圧を設定するための信号を制御信号線４０２を介して出力し、予め設定した電圧をＤＣ-ＤＣコンバータ４４から出力させる。また、制御部４８は、インバータ４６を制御する機能を有し、インバータ４６のスイッチング素子を駆動するための制御信号を制御信号線４０３を介して出力する。
【００１７】
制御部４８は、負荷検出部４８１、モータ制御部４８２、切替制御部４８３、フィルタ記憶部４８４を有する。負荷検出部４８１には、上記のように、電流センサによって検出された電流値が入力され、この電流値に基づいてモータ３６の電力を算出することにより、ターボ分子ポンプの負荷状態を検出する。モータ制御部４８２は、モータ３６の回生駆動と通常駆動を選択的に制御する。
【００１８】
すなわち、インバータ４６に対して回生駆動の制御信号が制御信号線４０３に出力されると、モータ３６は回生駆動されてブレーキ動作状態となる。そのため、モータ３６が発電機となって電力を発生し、インバータ４６から電力がダイオード４５のカソード側から制御部４８へ給電線４０５を介して給電される。なお、ダイオード４５を設けているので、回生動作によって取り出された電力はＤＣ-ＤＣコンバータ４４には供給されない。
【００１９】
一方、インバータ４６に対して通常駆動制御の制御信号が制御信号線４０３に出力されると、モータ３６は通常駆動される。通常駆動は、ＤＣ−ＤＣコンバータ４４から供給される電力によってモータ３６が正方向に回転駆動することをいう。
【００２０】
切替制御部４８３は、切替信号線４０４を介して切替器４０へ切替信号を出力し、電源入力ラインの接続を低負荷用ラインフィルタ４１へ、または高負荷用ラインフィルタ４２へ切替える。フィルタ記憶部４８４には、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４の出力電圧と切替器４０で選択すべきラインフィルタとの対応を示すテーブルが記憶されている。具体的には、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４の出力電圧が高負荷であるときは高負荷用ラインフィルタ４２が選択され、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４の出力電圧が低負荷であるときは低負荷用ラインフィルタ４１が選択されるように、負荷状態と対応するラインフィルタ種別が記憶されている。
【００２１】
図３は、制御部４８におけるラインフィルタの切替動作を示すフローチャートである。図３に示す制御は、制御部４８に電源が供給されている間、所定期間ごとに繰り返し実行される。以下、この動作を図３に示すフローチャートを基に図２のブロック図を参照して説明する。
【００２２】
ステップＳ０１では、ターボ分子ポンプが低負荷状態から高負荷状態になったかを検出する。すなわち、負荷検出部４８１に電流センサによって検出された電流値が入力され、負荷検出部４８１は、この電流値に基づいてモータ３６の電力を算出する。図４は、モータ３６の電力ｗが時間ｔとともに推移する図の一例を示すものである。図４のａ点では、電力が閾値Ｎワット以上に上昇したことを、負荷検出部４８１によって検出する。すなわち、切替器４０の切替タイミングを検出する。
【００２３】
電力が閾値Ｎワット以上になった場合は、ステップＳ０２において、モータ制御部４８２によるブレーキ動作が行われる。すなわち、インバータ４６に対して回生制御信号を制御信号線４０３を介して出力し、通常駆動されていたモータ３６を回生駆動してモータ回転速度を落とす。このとき、モータ３６が発電機となって電力を発生し、インバータ４６からの電力が給電線４０５を介して制御部４８へ供給される。回生運転によってモータ３６から取り出された電力は、ダイオード４５を設けているので、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４には供給されない。
【００２４】
次のステップＳ０３では、制御部４８は、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４に対して出力電圧を停止する信号を制御信号線４０２を介して出力し、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４の出力電圧を停止させる。
【００２５】
ステップＳ０４では、切替制御部４８３は、切替信号線４０４を介して切替器４０へ切替信号を出力し、電源入力ラインの接続を低負荷用ラインフィルタ４１の接続状態から高負荷用ラインフィルタ４２の接続へ切替える。上記ステップＳ０３で、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４から制御部４８に対する電力の供給は停止しているが、上記のように、回生動作によって取り出された電力が制御部４８に供給されているので、この電力によって切替器４０による高負荷用ラインフィルタ４２への接続の切替えが行われる。
【００２６】
そして、切替器４０の切替動作に際して、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４から電力は出力されていないので、切替器４０のリレースイッチにアーク放電が発生することは無く、リレースイッチの劣化によりリレースイッチの寿命が短くなる問題を回避できる。更に、切替器４０の切替え時に、コントロールユニット２内のインダクタンスによりサージ電圧が発生することも防止され、ノイズの発生を抑えることが出来る。
【００２７】
次のステップＳ０５では、制御部４８は、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４に対して出力電圧を設定するための信号を制御信号線４０２を介して出力し、高負荷に応じた電圧をＤＣ-ＤＣコンバータ４４から出力させる。一方、モータ制御部４８２はインバータ４６に対して制御信号線４０３から通常駆動のための制御信号を出力する。これにより、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４の出力電圧がダイオード４５、インバータ４６を介してモータ３６に供給され、モータ３６は通常運転して加速動作する。
【００２８】
上記ステップＳ０１で、低負荷状態から高負荷状態になったことが検出されない場合は、ステップＳ０６で、高負荷状態から低負荷状態になったかを検出する。図４のｂ点に示すように、電力が閾値Ｎワット未満に下降したことを、負荷検出部４８１によって検出する。すなわち、切替器４０の切替タイミングを検出する。
【００２９】
電力が閾値Ｎワット未満に下降した場合は、ステップＳ０７において、モータ制御部４８２によるブレーキ動作が行われる。この動作は上記ステップＳ０２と同様である。次のステップＳ０８では、制御部４８は、制御信号線４０２を介して停止信号をＤＣ-ＤＣコンバータ４４に与える。これにより、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４はその駆動を停止して出力電圧がゼロとなる。この動作は上記ステップＳ０３と同様である。
【００３０】
ステップＳ０９では、切替制御部４８３は、切替信号線４０４を介して切替器４０へ切替信号を出力し、電源入力ラインの接続を高負荷用ラインフィルタ４２の接続状態から低負荷用ラインフィルタ４１の接続へ切替える。上記ステップＳ０８で、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４から制御部４８に対する電力の供給は停止しているが、上記のように、回生動作によって取り出された電力が制御部４８に供給されているので、この電力によって切替器４０による低負荷用ラインフィルタ４１への接続の切替えが行われる。そして、切替器４０の切替動作に際して、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４から電力は出力されていないので、切替器４０のリレースイッチにアーク放電が発生することは無く、リレースイッチの劣化によりリレースイッチの寿命が短くなる問題を回避できる。更に、切替器４０の切替え時に、コントロールユニット２内のインダクタンスによりサージ電圧が発生することも防止され、ノイズの発生を抑えることが出来る。
【００３１】
次のステップＳ１０では、制御部４８は、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４に対して出力電圧を設定するための信号を制御信号線４０２を介して出力するとともに、モータ制御部４８２はインバータ４６に通常駆動の制御信号を制御信号線４０３に出力する。これにより、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４から所定の電圧が出力され、ダイオード４５、インバータ４６を介してモータ３６が加速動作する。このように、ターボ分子ポンプに流入するガス流量が減少して低負荷になるとＤＣ-ＤＣコンバータ４４の出力電圧が低下し、その結果、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４のノイズが減るので、低負荷用ラインフィルタ４１に切替えて、ノイズの低減を行う。
【００３２】
上記ステップＳ０１で、低負荷状態から高負荷状態になったことが検出されない場合で、更に、ステップＳ０６で、高負荷状態から低負荷状態になったことが検出されない場合は、すなわち、低負荷状態または高負荷状態が維持されている場合は、切替器４０による切替え動作等は行われない。
【００３３】
なお、低負荷状態にあるのか、高負荷状態にあるのかは制御部４８内の図示しない記憶部にフラグとして記憶し、上記ステップＳ０１、ステップＳ０６でこのフラグを参照したり、書き換えたりして、負荷状態を検出する。例えば、低負荷状態のフラグが記憶されている状態で閾値Ｎワット以上が検出された場合は、高負荷状態になったと判断し、フラグを高負荷状態に書き換える。高負荷状態のフラグが記憶されている状態で閾値Ｎワット未満が検出された場合は、低負荷状態になったと判断し、フラグを低負荷状態に書き換える。
【００３４】
以上説明した第１の実施形態によれば次のような作用効果を奏することができる。
（１）ターボ分子ポンプのポンプユニット１に流入するガス流量が増加してモータ３６が高負荷になると、ＤＣ―ＤＣコンバータ４４から出力される電圧が高くなりノイズが増加する。そこで、モータ３６の負荷が閾値以上になると、低負荷用ラインフィルタ４１から高負荷用ラインフィルタ４２に切替える。これによりノイズが低減される。
（２）低負荷用ラインフィルタ４１から高負荷用ラインフィルタ４２に切替える際、モータ３６が回生駆動される。モータ３６から出力される電圧はＤＣ-ＤＣコンバータ４４の出力電圧以上となる。このとき、切替器４０は非通電状態である。一方、制御部４８にはモータ３６からの回生電力が給電線４０５を介して供給される。切替制御部４８３は切替信号線４０４に切替信号を送り、切替器４０を切替える。これにより、高負荷用ラインフィルタ４２が電力入力ラインに挿入される。
したがって、ラインフィルタを切替える際に切替器４０が非通電状態であるので、切替器４０のスイッチにアーク放電が発生せず、切替器４０の耐久性を向上することができる。
また、モータ３６からの回生電力を制御部４８の駆動電力としたので、制御部４８は切替器４０に切替信号を供給することができる。
【００３５】
なお、従来技術の真空ポンプにおいては、負荷状態のまま複数のラインフィルタをリレースイッチによって切替えると、電源装置等のインダクタンスによりサージ電圧が発生し、そのためノイズが発生するという問題があった。これに対して、第１の実施形態のターボ分子ポンプでは、ラインフィルタの切替え時に切替器４０は非通電状態であり、サージ電圧が発生しないので、ノイズの発生もない。
【００３６】
―第２の実施形態−
図５は、図２に示したコントロールユニット２の概略構成を示すブロック図と上記モータ３６とを示す図の変形例である。切替器４９は、低負荷用ラインフィルタ４１を接続するか、または低負荷用ラインフィルタ４１と高負荷用ラインフィルタ４２を直列に接続するかを切替える。その他の構成は図２と同様であり、同一の部分には同一の番号を付してその説明を省略する。
【００３７】
第２の実施形態のターボ分子ポンプにおいても、図３に示すフローチャートに基づいてフィルタ切替制御処理が行われる。
図５の第２の実施形態のターボ分子ポンプにおいては、上記ステップＳ０１で、低負荷状態から高負荷状態になったことが検出された場合は、低負荷用ラインフィルタ４１と高負荷用ラインフィルタ４２とが直列に接続されるように切替える。ＤＣ―ＤＣコンバータ４４の出力電圧が負荷の増大に伴って大きくなってノイズも増えるが、低負荷用ラインフィルタ４１および高負荷用ラインフィルタ４２により低減することができる。
【００３８】
上記ステップＳ０６で、高負荷状態から低負荷状態になったことが検出された場合は、低負荷用ラインフィルタ４１のみに切替える。これにより、ＤＣ―ＤＣコンバータ４４のノイズが低負荷用ラインフィルタ４１により低減される。高負荷状態が検出されると、低負荷用ラインフィルタ４１と高負荷用ラインフィルタ４２とを直列に接続するので、高負荷用ラインフィルタ４２をより小型のものに構成できる利点がある。
【００３９】
本発明は、以上説明した第１および第２の実施形態を次のように変形して実施することができる。
（１）上述した実施の形態では、負荷状態に応じて低負荷用ラインフィルタ４１と高負荷用ラインフィルタ４２とを切替えるようにした。しかし、ラインフィルタを３個以上備えて、検出した負荷状態に対応したラインフィルタに切替えるように構成してもよい。例えば、低負荷用ラインフィルタ、中負荷用ラインフィルタ、高負荷用ラインフィルタを備え、閾値Ｎ１ワット、Ｎ２ワット（Ｎ２＞Ｎ１）を設定し、負荷検出部４８１によって、負荷が各閾値を横切ったことを検出して、各ラインフィルタへの切替タイミングとする。
【００４０】
（２）第１の実施の形態では、負荷状態に応じて低負荷用ラインフィルタ４１と高負荷用ラインフィルタ４２とを切替えるようにした。しかし、上記切替制御部４８３は、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４のスイッチング周波数の整数倍に一致しない共振周波数を有するラインフィルタの接続に切替えるようにしてもよい。低負荷時に省エネルギーモードで駆動されるターボ分子ポンプでは、負荷が高くなった場合は、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４の周波数を高くし、負荷が低くなった場合は省電力のためにＤＣ-ＤＣコンバータ４４の周波数を低くする。
【００４１】
この場合、ノイズの周波数も変わるので、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４のスイッチング周波数に対応するノイズを低減するために、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４のスイッチング周波数の整数倍に一致しない共振周波数を有するラインフィルタを選択して切替える。具体的には、ラインフィルタを複数備え、フィルタ記憶部４８４には、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４のスイッチング周波数と切替器４０で選択すべきラインフィルタとの対応関係を示すテーブルを記憶する。
【００４２】
そして、負荷に応じてＤＣ-ＤＣコンバータ４４の周波数が変更された場合に、上記ステップＳ０２、Ｓ０３と同様の制御を行った後に、フィルタ記憶部４８４を参照して切替制御部４８３は、ＤＣ-ＤＣコンバータ４４のスイッチング周波数の整数倍に一致しない共振周波数を有するラインフィルタの接続に切替える。その後、上記ステップＳ０５と同様の制御を行う。ＤＣ-ＤＣコンバータ４４の周波数が変更された場合もノイズを低減するラインフィルタを選択できる利点がある。そして、前述と同様に、切替器４０のリレースイッチの寿命が短くなる問題を回避でき、切替器４０の切替え時に、コントロールユニット２内のインダクタンスにより発生するサージ電圧によるノイズを抑えることが出来る。
【００４３】
（３）上述した実施の形態では、ターボ分子ポンプの例として磁気軸受式のポンプを示したが、玉軸受型ターボ分子ポンプであってもよい。
（４）上述した実施の形態では、ターボ分子ポンプを一例として説明したが、本発明はねじポンプ段のない真空ポンプにも適用することができる。
【００４４】
上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００４５】
１    ポンプユニット
２    コントロールユニット
４０  切替器
４１  低負荷用ラインフィルタ
４２  高負荷用ラインフィルタ
４３  ＡＣ−ＤＣコンバータ
４４  ＤＣ−ＤＣコンバータ
４５  ダイオード
４６  インバータ
４８  制御部
４９  切替器
４８１  負荷検出部
４８２  モータ制御部
４８３  切替制御部
４８４  フィルタ記憶部
【図１】
2014176120.tif 000003
【図２】
2014176120.tif 000004
【図３】
2014176120.tif 000005
【図４】
2014176120.tif 000006
【図５】
2014176120.tif 000007