(57)【要約】【課題】ある作業者が作業中であるにもかかわらず、誤って他の作業者が加工装置を操作して予想外の不具合を引き起こすおそれを防ぐ加工装置を提供する。【解決手段】制御手段は、作業者を識別することで加工装置を始動させる始動部と、入力がない状態で一定時間が経過した後、入力手段からの操作指令入力が無効なロック状態とするロック部と、ロック状態において読取手段で読取られた識別コードと、加工装置が始動された際に読取手段で読取られた識別コードが同一であるか否かを判別する判別部と、判別部でロック状態において読取られた識別コードが加工装置が始動された際に読取られた識別コードと同一であると判別された時に、ロック状態を解除して入力手段からの操作指令入力を有効とするロック解除部と、を有する、加工装置が提供される。【選択図】図５
2014010746.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置であって、
被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、
該加工手段で被加工物に施す加工の加工条件を含む加工装置を駆動するための操作指令を入力する入力手段と、
該入力手段で入力された加工条件に基づいて該加工手段を作動させる制御手段と、
作業者を特定する識別コードを読取って作業者を識別する読取手段と、を備え、
該制御手段は、
該読取手段で作業者の識別コードを読取って作業者を識別することで加工装置を始動させる始動部と、
該入力手段からの入力がない状態で一定時間が経過した後、該入力手段からの操作指令入力が無効なロック状態とするロック部と、
該ロック状態において該読取手段で読取られた識別コードと、該加工装置が始動された際に該読取手段で読取られた識別コードが同一であるか否かを判別する判別部と、
該判別部で該ロック状態において読取られた識別コードが該加工装置が始動された際に読取られた識別コードと同一であると判別された時に、該ロック状態で操作した作業者と、該加工装置の始動の際に操作した作業者が同一であるとして、該ロック状態を解除して該入力手段からの操作指令入力を有効とするロック解除部と、
を有する、加工装置。
【請求項２】
前記入力手段で操作指令を入力する操作指令入力画面と、
該入力手段からの操作指令の入力を禁じるロック画面と、
を少なくとも表示する表示手段を更に備え、
前記ロック部は、該入力手段からの入力がない状態で一定時間が経過した後、該ロック画面を該表示手段に表示することで該入力手段からの操作指令入力を無効にする、
ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、操作指令を入力する入力手段を備えた加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、半導体ウェーハの加工を行うための加工装置として、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の各種の加工装置が知られている。
【０００３】
これらの加工装置においては、加工ユニットの加工条件など、加工装置を駆動するための操作指令を入力する操作パネル（入力手段）を備える構成が知られており、操作パネルを備える加工装置について開示する文献も存在する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
さらに、近年では、タッチパネル式の表示モニタを備え、入力手段と表示手段を兼用した装置も知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−０８４０１５号公報
【特許文献２】特開２０１２−０００７０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
加工装置が設置される構内には、複数の作業員が存在することが想定される。このため、例えば、加工装置を操作し作業していた第一作業者が一時的に加工装置から離れた隙に、第一作業者が作業中であったことを知らずに第二作業者が加工装置を操作してしまうことがあった。
【０００７】
そして、第一作業者が作業していた内容を知らずに第二作業者が加工装置を操作してしまうと、第一作業者が設定した作業状態を変更してしまうことや、第一作業者の作業内容によっては、第二作業者による操作が予想外の結果を引き起こすおそれがある。
【０００８】
具体的には、例えば第一作業者が加工装置の改造中に装置から離れた隙に第二作業者が加工装置を操作して可動部を移動させてしまうことで、改造していた部位が他の部位に接触して破損するという不具合の発生が考えられる。
【０００９】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ある作業者が作業中であるにもかかわらず、誤って他の作業者が加工装置を操作して予想外の不具合を引き起こすおそれを防ぐ加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明によると、加工装置であって、被加工物を保持する保持手段と、保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、加工手段で被加工物に施す加工の加工条件を含む加工装置を駆動するための操作指令を入力する入力手段と、入力手段で入力された加工条件に基づいて加工手段を作動させる制御手段と、作業者を特定する識別コードを読取って作業者を識別する読取手段と、を備え、制御手段は、読取手段で作業者の識別コードを読取って作業者を識別することで加工装置を始動させる始動部と、入力手段からの入力がない状態で一定時間が経過した後、入力手段からの操作指令入力が無効なロック状態とするロック部と、ロック状態において読取手段で読取られた識別コードと、加工装置が始動された際に読取手段で読取られた識別コードが同一であるか否かを判別する判別部と、判別部でロック状態において読取られた識別コードが加工装置が始動された際に読取られた識別コードと同一であると判別された時に、ロック状態で操作した作業者と、加工装置の始動の際に操作した作業者が同一であるとして、ロック状態を解除して入力手段からの操作指令入力を有効とするロック解除部と、を有する、加工装置が提供される。
【００１１】
また、請求項２に記載の発明によると、入力手段で操作指令を入力する操作指令入力画面と、入力手段からの操作指令の入力を禁じるロック画面と、を少なくとも表示する表示手段を更に備え、ロック部は、入力手段からの入力がない状態で一定時間が経過した後、ロック画面を表示手段に表示することで入力手段からの操作指令入力を無効にする、ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の加工装置では、作業者を特定する識別コードを読取って作業者を識別する読取手段と、読取手段で作業者の識別コードを読取って作業者を識別することで加工装置を始動させる始動部と、入力手段からの入力がない状態で一定時間が経過した後、入力手段からの操作指令入力を無効にしたロック状態とするロック部と、ロック状態において読取手段で読取られた識別コードから加工装置を始動させた作業者とロック状態において識別コードが読取られた作業者とが同一であるか否かを判別する判別部と、判別部でロック状態において識別コードが読取られた作業者が加工装置を始動させた作業者と同一であると判別された時にロック状態を解除して入力手段からの操作指令入力を有効とするロック解除部とを備える構成としている。
【００１３】
この構成により、入力手段からの入力がない状態で一定時間が経過すると加工装置はロック状態となり、加工装置を始動させた作業者だけがロック状態を解除できることになるため、ある作業者が作業中に誤って他の作業者が加工装置を操作して予想外の不具合を引き起こすおそれを防ぐことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施に適した加工装置（切削装置）の斜視図である。
【図２】制御装置の構成について示すブロック図である。
【図３】読取装置とＩＤカードの構成について示す斜視図である。
【図４】操作指令入力を無効とする機能について説明する機能ブロック図である。
【図５】（Ａ）はロック画面の例について示す図である。（Ｂ）は操作指令入力画面の例について示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。加工装置の一例として、半導体ウェーハの切削装置２の外観斜視図が図１に示されている。切削装置２は、切削ブレードを有する切削ユニット１０等の加工手段がハウジング８内に収容された加工装置本体４と、加工装置本体４のハウジング８に装着された表示モニタ６などを有して構成される。
【００１６】
切削ユニット１０に隣接してチャックテーブル１２がＸ軸方向に移動可能に配設されている。１４は内部にウェーハ２２を複数収容可能なカセット２４を載置するカセット載置台（エレベータ）であり、上下方向に移動可能に構成されている。なお、加工時にウェーハ２４を保持する保持手段としては、チャックテーブル１２のようにテーブルで構成する他、エッジクランプ（端を挟持する形態）による保持手段が使用されることも考えられる。
【００１７】
５０は作業者が携帯する物品であるＩＤカード５２に記録（表示や磁気などによる記録）された識別コード５４を読取るための読取装置である。作業者は、この読取装置５０にＩＤカード５２をかざした上で、切削装置２の操作を行うことが想定されている。
【００１８】
図２の概略図に示されるように、切削装置２には、切削装置２を自動制御するための制御装置３０が設けられている。制御装置３０はマイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ（中央処理装置）３１と、制御プログラムや各種データベース等を格納するＲＯＭ（リードオンリーメモリ）３２と、演算結果等を格納する読み書き可能なＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）３３と、入出力インターフェース３４とを備えて構成される。
【００１９】
ＲＯＭ３２には、切削ユニット１０などを自動制御するための制御プログラムや、制御プログラムによって読み出されることが想定される各種データベースが記憶される。
【００２０】
ＲＡＭ３３は、制御プログラムや各種データの読み込みや、オペレータにより入力される加工条件の一時的な記憶などを行う。
【００２１】
入出力インターフェース３４には、加工条件を入力する入力手段として機能するとともに、各種情報を表示する表示手段としても機能する表示モニタ６（図１参照）が接続されている。
【００２２】
入出力インターフェース３４には、作業者が携帯する物品であるＩＤカード５２に記録（表示や磁気などによる記録）された識別コード５４（図３参照）を読取るための読取装置５０が接続されている。
【００２３】
入出力インターフェース３４には、切削ユニット１０を回転させるモータや、チャックテーブル１２を移動させるモータなどの各種駆動装置が接続されており、制御プログラムの実行による演算結果に基づいて、各種駆動装置が加工条件に則って駆動されるようになっている。
【００２４】
図３に示すように、読取装置５０は、ＩＤカード５２に記録された識別コード５４を読取るべく構成されている。本実施形態では、読取装置５０は、挿入溝５１を有する略コ字状に構成されており、この挿入溝５１内にＩＤカード５２を差し込むことにより、非接触により識別コード５４が認識されるように構成されている。
【００２５】
このような形態によれば、一般的に作業者の顔写真５３などの属性情報が記憶され、この作業者が常時携帯することが想定されるＩＤカード５２に識別コード５４を付加するだけで実施が可能であり、例えば、別のカードなどを携帯させる必要が無くなる。また、非接触による認識可能な構成とすることによれば、ＩＤカード５２をかざすだけで容易に識別コード５４を認識させることができ、作業性に優れた構成が実現できる。
【００２６】
識別コード５４には、このＩＤカード５２を所有する作業者を特定するためのデータが含まれ、詳しくは後述するように、識別コード５４の読取によって表示モニタ６における操作指令入力が有効となるように構成される。
【００２７】
なお、識別コード５４は、例えば、本実施形態のように二次元バーコードの形態でＩＤカード５２の表面に表示されて視認可能とするほか、磁気によってＩＤカード５２内に視認不能に格納されるものであってもよい。また、識別コード５４はＩＤカード５２に直接記憶されることとするほか、シールなどによってＩＤカード５２に貼付されるものであってもよい。
【００２８】
さらに、上述した読取装置５０とＩＤカード５２の実施形態とするほかにも、磁気カードを溝に通過させるカードリーダーの形態や、凹凸形状により識別コード５４を認識させる形態なども考えられる。加えて、作業者によって識別コード５４（例えば番号、記号などの文字列）を読取装置５０に入力する形態なども考えられる。つまり、読取装置５０においては、識別コード５４に格納される情報が認識できるものであればよく、その認識させる形態についても特に限定されるものではない。
【００２９】
図４は、本発明において特徴的な機能について説明する機能ブロック図である。この図４では、読取装置５０と、制御装置３０と、表示モニタ６が示されている。
【００３０】
そして、図４に示すように、制御装置３０においては、図２に示すＣＰＵ３１、ＲＯＭ３２、ＲＡＭ３４により、始動部３６と、ロック部３７と、判別部３８と、ロック解除部３９として機能する各種機能部が構成される。
【００３１】
始動部３６では、ロック解除部３９によるロック解除がなされ表示モニタ６からの操作指令入力が有効な状況において、操作指令入力に従って加工装置の切削ユニット１０などを始動させるものである。
【００３２】
ロック部３７では、表示モニタ６からの入力がない状態で一定時間（例えば、数十秒、数分など任意の設定時間）が経過すると、表示モニタ６からの操作指令入力を規制して、この操作指令入力を無効とする。つまり、入力された操作指令が始動部３６へと伝達されないこととなり、始動部３６の制御がロックされるロック状態とされる。
【００３３】
ロック部３７は、例えば、図５（Ａ）に示すように、ロック状態の間、表示モニタ６にロック画面６２を表示する。これにより、表示モニタ６を見る作業者は、表示モニタ６を用いた操作指令の入力がロックされていることが容易に把握できる。ロック画面６２は、特に限定されるものではないが、操作指令とは関係性が低いアイコン６３を表示させることで、瞬時にロック状態であることが把握できるようにすることが好ましい。
【００３４】
ロック画面６２については、図５（Ａ）に示すような静止画像の表示のほか、動画を表示させることで、いわゆるスクリーンセーバーとすることなども考えられる。
【００３５】
なお、図５（Ｂ）に示すように、ロック部３７によるロックがなされていない場合には、通常の操作指令入力画面６４が表示されることになる。
【００３６】
判別部３８では、読取装置５０によって読取られた識別コード５４の記憶や判別が行われる。具体的には、作業者がＩＤカード５２を読取装置５０にかざすと、読取装置５０によって識別コード５４が読取られ、この識別コード５４が判別部３８において初期情報５４Ａとして記憶される。また、時間を空けて、読取装置５０によって識別コード５４が読取られた際に、この識別コード５４が判別部３８において判定用情報５４Ｂとして記憶される。
【００３７】
さらに、判別部３８では、初期情報５４Ａと判定用情報５４Ｂが同一であるか否かを判別し、同一である場合には、ロック解除部３９に対しロック解除のための指令を出力する。
【００３８】
ここで、実際の運用においては、初期情報５４Ａは、加工装置が始動された際に読取装置５０によって読取られた識別コード５４になる。つまり、初期情報５４Ａは、作業者が作業開始の際にＩＤカード５２を読取装置５０にかざすことによって判別部３８に記憶される。
【００３９】
これに対し、判定用情報５４Ｂは、加工装置が始動された後に読取装置５０によって読取られた識別コード５４になる。つまり、作業開始の後に、時間が経過してからＩＤカード５２が読取装置５０にかざされた際に判別部３８に記憶される。
【００４０】
そして、作業開始の際にＩＤカード５２をかざした作業者と、作業開始後にＩＤカード５２をかざした作業者が同一でない場合には、初期情報５４Ａと判定用情報５４Ｂが同一とならず、判別部３８はロック解除部３９に対しロック解除のための指令を出力しない。
【００４１】
一方、作業開始の際にＩＤカード５２をかざした作業者と、作業開始後にＩＤカード５２をかざした作業者が同一である場合には、初期情報５４Ａと判定用情報５４Ｂが同一となり、判別部３８はロック解除部３９に対しロック解除のための指令を出力する。
【００４２】
ロック解除部３９は、判別部３８からロック解除のための指令を受けると、ロック部３７に対しロック解除のための指令を出力する。ロック部３７では、ロック解除部３９からの指令を受けて、表示モニタ６から入力された操作指令を始動部３６へと伝達させることを許容する。つまりロック解除がされる。
【００４３】
このロック解除がされると、本実施形態では、図５（Ａ）に示すロック画面６２の表示から、図５（Ｂ）に示す操作指令入力画面６４へと切替が行われる。
【００４４】
なお、ロック状態においてロック解除がなされない限り、図５（Ａ）に示すロック画面６２の表示が継続される。また、ロック解除状態において、一定時間操作入力指令がなされない、つまりは、表示モニタ６の操作がなされないと、図５（Ｂ）に示す操作指令入力画面６４が図５（Ａ）に示すロック画面６２へと切り替わる。
【００４５】
以上のようにして、本発明を実施することができる。即ち、切削装置（加工装置）２であって、ウェーハ（被加工物）２２を保持するチャックテーブル（保持手段）１２と、チャックテーブル１２で保持されたウェーハ２２に加工を施す切削ユニット（加工手段）１０と、切削ユニット１０でウェーハ２２に施す加工の加工条件を含む切削装置（加工装置）２を駆動するための操作指令を入力する表示モニタ（入力手段）６と、表示モニタ６で入力された加工条件に基づいて切削ユニット１０を作動させる制御装置（制御手段）３０と、作業者を特定する識別コード５４を読取って作業者を識別する読取装置（読取手段）５０と、を備え、制御装置３０は、読取装置５０で作業者の識別コード５４を読取って作業者を識別することで切削ユニット１０を始動させる始動部３６と、表示モニタ６からの入力がない状態で一定時間が経過した後、表示モニタ６からの操作指令入力が無効なロック状態とするロック部３７と、ロック状態において読取装置５０で読取られた識別コード５４と、切削装置２が始動された際に読取装置５０で読取られた識別コード５４が同一であるか否かを判別する判別部３８と、判別部３８でロック状態において読取られた識別コード５４が切削装置２が始動された際に読取られた識別コード５４と同一であると判別された時に、ロック状態で操作した作業者と、切削装置２の始動の際に操作した作業者が同一であるとして、ロック状態を解除して表示モニタ６からの操作指令入力を有効とするロック解除部３９と、を有する、切削装置２が提供される。
【００４６】
また、操作指令を入力する操作指令入力画面６４と、操作指令の入力を禁じるロック画面６２と、を少なくとも表示する表示モニタ６を更に備え、ロック部３７は、表示モニタ６からの入力がない状態で一定時間が経過した後、ロック画面６２を表示モニタ６に表示することで表示モニタ６からの操作指令入力を無効にする切削装置２が提供される。
【００４７】
そして、以上の構成によれば、表示モニタ６からの入力がない状態で一定時間が経過すると加工装置はロック状態となり、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、例えば、加工装置を始動させた作業者Ａだけがロック状態を解除できることになるため、作業者Ａが作業中に誤って他の作業者Ｂが加工装置を操作して予想外の不具合を引き起こすおそれを防ぐことが可能となる。
【００４８】
具体的には、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、例えば、加工の開始指令を入力することで加工装置を始動させた作業者Ａが読取装置５０にＩＤカード５２をかざした場合には、ロック画面６２から操作指令入力画面６４への切り替えがなされる。他方、作業者Ａが加工装置を離れて一定時間を経過した後に、他の作業者Ｂが読取装置５０にＩＤカード５２をかざした場合には、ロック画面６２が表示され続け、作業者Ｂによる操作入力ができない状態となる。
【００４９】
なお、以上の実施形態では、加工装置として切削装置２を用いて説明したが、このほか、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、洗浄装置、など、各種の加工装置において本発明を実施することは可能である。
【００５０】
また、本実施形態では、表示モニタ６への表示内容を変更する、つまりは、図５（Ａ）に示すロック画面６２を表示させることによって入力される操作指令が規制される（無効とさせる）ことしたが、図５（Ｂ）に示す操作指令入力画面６４を表示させながら操作がロックされる、つまりは、例えば、入力ボタンが操作されてもロックされていて反応しない、といった構成により、操作指令が規制されることとしてもよい。
【符号の説明】
【００５１】
２    切削装置
４    加工装置本体
６    表示モニタ
３０    制御装置
３４    入出力インターフェース
３６    始動部
３７    ロック部
３８    判別部
３９    ロック解除部
５０    読取装置
５２    ＩＤカード
５４    識別コード
５４Ａ    初期情報
５４Ｂ    判定用情報
６２    ロック画面
６３    アイコン
６４    操作指令入力画面
【図１】
2014010746.tif 000003
【図２】
2014010746.tif 000004
【図３】
2014010746.tif 000005
【図４】
2014010746.tif 000006
【図５】
2014010746.tif 000007