(57)【要約】【課題】電磁接触器のガス密閉型構造体の一部を構成する消弧室のリーク検査において用いられる治具であって、従来技術と比較してリークレートが微小であっても高精度にリーク量を測定することができるリーク検査治具及びその検査治具を備えたリーク検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係るリーク検査治具１００は、真空中で使用され、消弧室１０のフランジ部１２を保持する溝部２２を設けたワークガイド部２０と、消弧室１０のフランジ部１２が溝部２２に保持された状態で、消弧室１０のフランジ面１２ａと対向配置することが可能な開閉自在な蓋部３０と、消弧室１０のフランジ部１２が溝部２２に保持され、且つ蓋部３０が閉じた状態で、消弧室１０のフランジ面１２ａと蓋部３０とに当接して配置された封止用パッキン５０と、封止用パッキン５０を押圧しつつ蓋部３０を固定する蓋固定手段とを備えている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空中で使用するリーク検査治具であって、
電磁接触器に備わる一端を開放した有底筒状の消弧室を保持する保持部を設けたワークガイド部と、
前記消弧室が前記保持部に保持された状態において、前記消弧室の開放端面と対向して配置することが可能な開閉自在な蓋部と、
前記消弧室が前記保持部に保持され、且つ前記蓋部が閉じた状態において、前記消弧室の開放端面と前記蓋部とに当接して配置された封止用パッキンと、
前記封止用パッキンを押圧しつつ前記蓋部を固定する蓋固定手段と、を備えることを特徴とするリーク検査治具。
【請求項２】
前記蓋固定手段は、ネジを用いて前記封止用パッキンを押圧しつつ前記蓋部を固定することを特徴とする請求項１に記載のリーク検査治具。
【請求項３】
真空チャンバと、前記真空チャンバ内に配置された請求項１または請求項２に記載のリーク検査治具と、前記真空チャンバと連通し、前記真空チャンバ内に存在するリーク検査用ガスを検出するリークディテクタと、を備えることを特徴とするリーク検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リーク検査治具及びリーク検査装置に関し、特に電磁接触器の一部を構成する消弧室のリーク検査時に用いられるリーク検査治具及びその検査治具を備えたリーク検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術に係る電磁接触器には、例えば水素等のガスを封入したガス密閉型構造体（所謂、ガス封入カプセル）を備えたものがある。このガス密閉型構造体を構成する部品の一つとして、桶状構造をした消弧室がある。
電磁接触器の製造工程において、この消弧室に対してリーク（漏れ）検査を実施する場合があり、その場合には「フード法」と呼ばれる検査方法が用いられることがある。以下、この検査方法について簡単に説明する。
【０００３】
図１１は、従来技術に係るリーク検査方法（フード法）を説明する概念図である。フード法は、まず、消弧室１０の開放端面（例えば、消弧室１０に備わるフランジ溶接板のフランジ面１２ａ）と平板状の封止用パッキン５０とを密着させ、リークディテクタ（漏れ検出器）１２０に備わる真空ポンプ（図示せず）で消弧室１０内部を真空引きして減圧する。こうして、消弧室１０のフランジ面１２ａに封止用パッキン５０を密着させる（以下、消弧室１０のフランジ面１２ａと封止用パッキン５０とが密着した部分を「シール部」ともいう。）。次に、封止用パッキン５０をフランジ面１２ａに密着させた状態で消弧室１０をフード（例えば、袋）７０で覆い、そのフード７０内にリーク検査用ガス（例えば、ヘリウムガス）をリーク検査用ガスボンベ１１３から連結パイプ１１１を通じて導入する。なお、リーク検査用ガスをフード７０内に導入する際、フード７０内は大気圧となっている。
【０００４】
消弧室１０にリーク箇所がある場合、リーク検査用ガスは、大気圧である消弧室１０外部（フード７０内）からリーク箇所を通って減圧された消弧室１０内部に流入する。フード法では、この消弧室１０内部に流入したリーク検査用ガスをリークディテクタ１２０で検出することで消弧室１０のリーク箇所の有無を判別する。このフード法に係る技術としては、例えば特許文献１に記載されたものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−３００６２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述のフード法では、リークディテクタ１２０に備わる真空ポンプで消弧室１０内部を真空排気するので消弧室１０内部の真空度を十分に高めることが困難であり、シール部の密着度が低い場合がある。このため、フード法では、１０−８Ｐａ・ｍ３／ｓ程度のリークレートのリーク量が測定の限界量であり、リークレートが微小（具体的には、リークレートが１０−８Ｐａ・ｍ３／ｓ以下）であるとリーク量の測定が困難となる場合がある。これは、シール部の密着度が低いため、検査対象である消弧室１０からのリークであるのか、シール部からのリークであるのか区別が付きにくくなるからである。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑み、電磁接触器のガス密閉型構造体の一部を構成する消弧室のリーク検査において用いられる治具であって、従来技術と比較してリークレートが微小であっても高精度にリーク量を測定することができるリーク検査治具及びその検査治具を備えたリーク検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明の一態様は、真空中で使用するリーク検査治具であって、電磁接触器に備わる一端を開放した有底筒状の消弧室を保持する保持部を設けたワークガイド部と、前記消弧室が前記保持部に保持された状態において、前記消弧室の開放端面と対向して配置することが可能な開閉自在な蓋部と、前記消弧室が前記保持部に保持され、且つ前記蓋部が閉じた状態において、前記消弧室の開放端面と前記蓋部とに当接して配置された封止用パッキンと、前記封止用パッキンを押圧しつつ前記蓋部を固定する蓋固定手段と、を備えることを特徴とするリーク検査治具である。
【０００９】
この構成によると、蓋固定手段で蓋部を固定する際に、蓋部で封止用パッキンを押圧することできる。このため、検査対象である消弧室を本リーク検査治具に設置し蓋部で固定することで、消弧室の開放端面と封止用パッキンとの密着度及び封止用パッキンと蓋部との密着度を高めることができる。よって、消弧室内部に導入したリーク検査用ガスが、開放端面と封止用パッキンとの間または封止用パッキンと蓋部との間からリークするのを低減することができる。ゆえに、消弧室を本リーク検査治具に固定して、真空中において消弧室のリーク検査を実施した場合には、消弧室以外の箇所（具体的には、開放端面と封止用パッキンとの間または封止用パッキンと蓋部との間）からのリーク量を少なくすることができる。したがって、消弧室からのリーク量が微小であったとしてもそのリーク量を高精度で測定することができる。
【００１０】
また、上記のリーク検査治具において、前記蓋固定手段は、ネジを用いて前記封止用パッキンを押圧しつつ前記蓋部を固定することとしてもよい。
この構成によると、ネジを用いて封止用パッキンを押圧しつつ蓋部を固定するので、ネジを締め付けることで容易に封止用パッキンを押圧することが可能となるとともに、リーク検査治具を小型化することができる。
【００１１】
また、本発明の別の態様は、真空チャンバと、前記真空チャンバ内に配置された、上述のリーク検査治具と、前記真空チャンバと連通し、前記真空チャンバ内に存在するリーク検査用ガスを検出するリークディテクタと、を備えたことを特徴とするリーク検査装置である。
この構成によると、真空チャンバ内に配置されたリーク検査治具に検査対象である消弧室を固定し、消弧室内にリーク検査用ガスを導入し、真空チャンバ内部を真空排気することができる。上述のリーク検査治具であれば、消弧室内部に導入したリーク検査用ガスが消弧室以外の箇所（具体的には、開放端面と封止用パッキンとの間または封止用パッキンと蓋部との間）からリークするのを低減することができる。このため、消弧室からのリーク量が微小であったとしてもそのリーク量を高精度で測定することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、蓋固定手段で蓋部を固定する際に、蓋部で封止用パッキンを押圧することできる。このため、ワークガイド部に検査対象である消弧室を設置し蓋部で固定することで、消弧室の開放端面と封止用パッキンとの密着度及び封止用パッキンと蓋部との密着度を高めることができる。このため、消弧室内部に導入したリーク検査用ガスが、消弧室以外の箇所（具体的には、開放端面と封止用パッキンとの間または封止用パッキンと蓋部との間）からリークするのを低減することができる。よって、消弧室を本発明に係る治具に固定し、真空中において消弧室のリーク検査を実施した場合には、消弧室からのリーク量が微小であったとしてもそのリーク量を高精度で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】電磁接触器のガス密閉型構造体を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ′線で切断した断面図である。
【図３】消弧室を模式的に示す分解斜視図である。
【図４】実施形態に係るリーク検査治具の構造を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は側面図である。
【図５】実施形態に係るリーク検査治具の蓋部が開いた状態を示す側面図である。
【図６】ワークガイド部の構造を模式的に示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ′線で切断した断面図である。
【図７】蓋部の構造を模式的に示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ′線で切断した断面図である。
【図８】封止用パッキンの構造を模式的に示す斜視図である。
【図９】実施形態に係るリーク検査治具の使用方法を説明する概念図であって、（ａ）は消弧室を保持する様子を示す概念図、（ｂ）蓋部を閉じた様子を示す概念図である。
【図１０】実施形態に係るリーク検査治具を備えたリーク検査装置を示す概念図である。
【図１１】従来技術に係るリーク検査方法（フード法）を説明する概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。
（ガス密閉型構造体及び消弧室の構造）
以下、ガス密閉型構造体１及び消弧室１０の構造について、図１〜図３を参照しつつ説明する。
図１は、電磁接触器のガス密閉型構造体（所謂、ガス封入カプセル）の一例を示す斜視図である。図２は、図１のＡ−Ａ′線で切断した断面図である。図３は、消弧室を模式的に示す分解斜視図である。
【００１５】
図１、図２に示すように、ガス密閉型構造体（所謂、ガス封入カプセル）１は、消弧室１０を備えている。そして、消弧室１０は、金属角筒体１１と、金属角筒体１１の上端に配置された桶状体１３と、一対の固定接触子１６とを備えている。
消弧室１０を構成する金属角筒体１１は、図３に示すように、金属角筒体１１の下端に、その外側に向かって突出するフランジ部１２を備えたものである。このフランジ部１２のフランジ面１２ａは、後述する封止用パッキン５０と接する部分であり、平坦な面となっている。
【００１６】
消弧室１０を構成する桶状体１３は、セラミックスや合成樹脂材によって形成された角筒部１４とその上端を閉塞する天面板部１５とを一体形成したものである。
消弧室１０は、この桶状体１３の開放端面１４ａ側にメタライズ処理して金属箔を形成し、その金属箔に金属角筒体１１を接合することで形成されたものである。
なお、天面板部１５には、中央部に一対の固定接触子１６を挿通する一対の貫通孔１５ａが所定間隔を保って形成されている。この貫通孔１５ａの周囲には、メタライズ処理が施されている。なお、図３においては、貫通孔１５ａに挿通された固定接触子１６の記載は省略されているが、固定接触子１６は貫通孔１５ａを塞ぐように天面板部１５に溶接されている。こうして、貫通孔１５ａは封止されている。
【００１７】
また、天面板部１５には、中央部にガス導入パイプ１１２を挿通する貫通孔１５ｂが形成されている。図３においては、貫通孔１５ｂに挿通されたガス導入パイプ１１２の記載は省略されているが、ガス導入パイプ１１２は貫通孔１５ｂを塞ぐように天面板部１５に溶接されている。こうして、貫通孔１５ｂは封止されている。
上述したガス密閉型構造体１は、従来技術に係るガス密閉型構造体である。そのため、ここではその内部構造の詳細についての説明は省略する。なお、図１、図２において、２はベース板、３はキャップ、４は固定接点、５は可動端子、５ａは可動接点、６は可動軸、７は接触バネ、８は可動鉄心、９は復帰バネをそれぞれ示すものである。
【００１８】
（リーク検査治具の構成）
以下、本発明の実施形態に係るリーク検査治具の構成を図４〜図８を参照しつつ説明する。
図４は、実施形態に係るリーク検査治具の構造を模式的に示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は側面図である。図５は、実施形態に係るリーク検査治具の蓋部が開いた状態を示す側面図である。なお、図４、図５においては、リーク検査治具に固定された消弧室は破線で示されている。図６は、ワークガイド部の構造を模式的に示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ′線で切断した断面図である。図７は、蓋部の構造を模式的に示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ′線で切断した断面図である。図８は、封止用パッキンの構造を模式的に示す斜視図である。
【００１９】
リーク検査治具１００は、図４、図５に示すように、ワークガイド部２０と、蓋部３０と、封止用パッキン５０と、を備えている。以下、上記部品の詳細な構造については、図６〜図８を参照しつつ説明する。
ワークガイド部２０は、図６に示すように、上述の消弧室１０を保持するための部材である。ワークガイド部２０の中央部には、貫通部２１が設けられている。貫通部２１の開口部２１ａの形状は、消弧室１０の天面板部１５の形状と概ね同じである。また、この貫通部２１の開口部２１ａの幅Ａ１、Ａ２は、消弧室１０の天面板部１５の幅ａ１、ａ２とそれぞれ概ね同じ長さである（図３参照）。
【００２０】
貫通部２１の開口部２１ａの周囲には、開口部２１ａの周囲を取り囲むように溝部（保持部）２２が形成されている。この溝部２２の開口部２２ａの形状は、消弧室１０に備わるフランジ部１２の形状と概ね同じである。また。この溝部２２の開口部２２ａの幅Ｂ１、Ｂ２は、フランジ部１２の幅ｂ１、ｂ２とそれぞれ概ね同じ長さである（図３参照）。また、溝部２２の深さＢ３は、フランジ部１２の厚みｂ３よりも深くなっている（図３参照）。また、溝部２２の底面２２ｂは、平坦な面である。
【００２１】
ワークガイド部２０の面２３側の角部には、一対の突出部２４が備わっている。突出部２４には、幅方向（図面左右方向）に沿って、それぞれ貫通孔２４ａが備わっている。また、ワークガイド部２０の面２３には、一対の突出部２４と対向する側にネジ孔（雌ネジ）２５が備わっている。
蓋部３０は、ワークガイド部２０の面２３と対向して配置することが可能な開閉自在な蓋である。この蓋部３０は、消弧室１０をワークガイド部２０に保持した状態において、後述する封止用パッキン５０を消弧室１０のフランジ面１２側に向かって押圧するためのものである。
【００２２】
蓋３０は、図７に示すように平板状の蓋であり、蓋部３０の内側面３２は、平坦な面である。この蓋部３０の内側面３２に後述の封止用パッキン５０が当接する。また、蓋部３０の幅Ｄ１、Ｄ２は、ワークガイド部２０の幅Ｃ１、Ｃ２とそれぞれ概ね同じ長さである。
蓋部３０には、一対の切欠き部３３が設けられている。この切欠き部３３の形状は、平面視で、ワークガイド部２０に備わる突出部２４と概ね同じ形状をしている。また、一対の切欠き部３３の間には、突出部３１が備わっている。このため、ワークガイド部２０に備わる一対の突出部２４の間に突出部３１を嵌め合わせることができる。
【００２３】
突出部３１には、幅方向（図面左右方向）に沿って貫通孔３１ａが設けられている。突出部３１の貫通孔３１ａと、ワークガイド部２０に備わる突出部２４の貫通孔２４ａとにノックピン４１を挿通することで、ヒンジ部４０が構成されている（図４、図５参照）。換言すると、このヒンジ部４０によって、ワークガイド部２０と蓋部３０とは、開閉自在に繋がっている。
【００２４】
また、蓋部３０には、ヒンジ部４０（突出部３１）と対向する側にネジ用貫通孔３４が備わっている。
封止用パッキン５０は、消弧室１０内に導入したリーク検査用ガスが消弧室１０の外部に漏れるのを防止するためのものであり、フランジ部１２のフランジ面１２ａと蓋部３０の内側面３２との間に配置されるものである。換言すると、封止用パッキン５０は、溝部２２で消弧室１０のフランジ部１２を保持しつつ蓋部３０を閉じた状態で、消弧室１０のフランジ面１２ａと蓋部３０の内側面３２とに当接するように配置されたパッキンである。
【００２５】
封止用パッキン５０は、図８に示すように、平板状のパッキンであり、その幅ｅ１、ｅ２は、溝部２２（開口部２２ａ）の幅Ｂ１、Ｂ２よりもそれぞれ小さくなっている。また、封止用パッキン５０の厚みｅ３は、封止用パッキン５０の厚みｅ３と上述のフランジ部１２の厚みｂ３とを足し合わせた場合に、溝部２２の深さＢ３以上となる厚みとなっている。それらを足し合わせた厚みが溝部２２の深さＢ３未満であると、蓋部３０を閉じた場合に、例えばフランジ面１２ａと封止用パッキン５０との間に隙間が生じることになり、それらの部分からリークが生じるおそれがある。なお、封止用パッキン５０としては、従来技術に係る封止用パッキンを用いることができる。
蓋部３０を固定する蓋固定手段としては、ネジ６０が用いられている。ネジ６０を用いることで、容易に封止用パッキン５０を押圧することができ、フランジ面１２ａと封止用パッキン５０との間及び封止用パッキン５０と蓋部３０の内側面３２との間を強固にシールすることができる。
【００２６】
（リーク検査治具の使用方法）
以下、リーク検査治具１００の使用方法を図９を参照しつつ説明する。
図９は、実施形態に係るリーク検査治具の使用方法を説明する概念図であって、（ａ）は消弧室を保持する様子を示す概念図、（ｂ）蓋部を閉じた様子を示す概念図である。なお、便宜上、図９ではリーク検査治具１００は図６（ｂ）及び図７（ｂ）に示した断面図を用いて示されており、消弧室１０は側面図を用いて示されている。
まず、図９（ａ）に示すように、リーク検査治具１００の蓋部３０を開いた状態にする。次に、リーク検査治具１００の貫通部２１に消弧室１０の桶状体１３を挿入する。この際、リーク検査治具１００の面２３側から桶状体１３を挿入する。こうして、消弧室１０のフランジ部１２を溝部２２の底面２２ｂに当接させる。なお、フランジ部１２が底面２２ｂに当接した状態が、図５に示した状態に対応するものである。
【００２７】
その後、封止用パッキン５０を介して蓋部３０を閉じる。最後に、ネジ用貫通孔３４にネジ６０を通して蓋部３０を締め付ける。こうして、ネジ６０を締め付けることで、消弧室１０のフランジ面１２ａと封止用パッキン５０との密着度を高めつつ、封止用パッキン５０と蓋部３０の内側面３２との密着度を高める。なお、蓋部３０を閉じてネジ６０を締め付けた状態が、図４に示した状態に対応するものである。
【００２８】
（効果）
（１）以上のように、上記リーク検査治具１００では、消弧室１０のフランジ部１２を保持する溝部２２を設けたワークガイド部２０と、消弧室１０のフランジ部１２が溝部２２に保持された状態において、消弧室１０のフランジ面１２ａと対向して配置することが可能な開閉自在な蓋部３０と、消弧室１０のフランジ部１２が溝部２２に保持され、且つ蓋部３０が閉じた状態において、消弧室１０のフランジ面１２ａと蓋部３０の内側面３２とに当接して配置された封止用パッキン５０と、封止用パッキン５０を押圧しつつ蓋部３０を固定する蓋固定手段と、を備えている。
【００２９】
このため、蓋固定部で蓋部３０を固定する際に、蓋部３０で封止用パッキン５０を押圧することできる。よって、検査対象である消弧室１０をリーク検査治具１００に設置し蓋部３０で固定することで、消弧室１０のフランジ面１２ａと封止用パッキン５０との密着度及び封止用パッキン５０と蓋部３０の内側面３２との密着度を高めることができる。ゆえに、消弧室１０内部に導入したリーク検査用ガスが、消弧室１０以外の箇所（具体的には、フランジ面１２ａと封止用パッキン５０との間または封止用パッキン５０と蓋部３０の内側面３２との間）からリークするのを低減することができる。したがって、消弧室１０をリーク検査治具１００に固定して、真空中において消弧室１０のリーク検査を実施した場合には、消弧室１０からのリーク量が微小であったとしてもそのリーク量を高精度で測定することができる。
【００３０】
（２）また、上記リーク検査治具１００では、蓋固定部では、ネジ６０を用いて封止用パッキン５０を押圧しつつ蓋部３０を固定している。
このため、ネジ６０を締め付けることで容易に封止用パッキン５０を押圧することが可能となるとともに、リーク検査治具１００を小型化することができる。
【００３１】
（その他の実施形態）
上述の実施形態では、封止用パッキン５０と蓋部３０とが分離している場合について説明した（図５、図９参照）が、これに限定されるものではない。例えば、封止用パッキン５０を蓋部３０の内側面３２に予め固定しておいてもよい。この場合であっても、上述の作用効果と同様の作用効果を得ることができる。また、この場合であれば、封止用パッキン５０を配置する工程と、蓋部３０を閉じる工程の２つの工程を、１つの工程で完了させることができる。よって、作業工程の簡素化を図ることができる。
また、上述の実施形態では、ワークガイド部２０に貫通部２１及び溝部２２を設け、溝部２２で消弧室１０のフランジ部１２を保持する場合について説明したが、これに限定されるものではない。消弧室１０を固定可能であれば、ワークガイド部２０の保持部の形状については限定されるものではない。
【００３２】
（リーク検査装置の構成）
以下、本発明の実施形態に係るリーク検査装置の構成を図１０を参照しつつ説明する。
図１０は、実施形態に係るリーク検査治具を備えたリーク検査装置を示す概念図である。
本発明の実施形態に係るリーク検査装置２００は、リーク検査治具１００と、真空チャンバ１１０と、リークディテクタ１２０と、を備えている。
真空チャンバ１１０は、真空チャンバ１１０内部を真空排気するための真空ポンプ（図示せず）を備えている。なお、真空チャンバ１１０は、従来技術に係る真空チャンバを用いることができる。
【００３３】
また、真空チャンバ１１０は、真空チャンバ壁を貫通する貫通孔１１５を備えており、その貫通孔１１５に連結パイプ１１１が挿通されている。この連結パイプ１１１は、真空チャンバ１１０内部とリークディテクタ１２０とを連通させるためのパイプである。なお、連結パイプ１１１は、貫通孔１１５を塞ぐように真空チャンバ１１０にろう付けされている。こうして、貫通孔１１５は封止されており、真空チャンバ１１０内の気密は保たれている。
【００３４】
さらに、真空チャンバ１１０は、真空チャンバ壁を貫通する貫通孔１１６を備えており、その貫通孔１１６にガス導入パイプ１１２が挿通されている。このガス導入パイプ１１２は、消弧室１０内部にリーク検査用ガスを導入するためのパイプである。ガス導入パイプ１１２の一端は消弧室１０に接続されており、他端はリーク検査用ガスを供給するリーク検査用ガスボンベ１１３に接続されている。なお、ガス導入パイプ１１２は、貫通孔１１６を塞ぐように真空チャンバ１１０にろう付けされている。こうして、貫通孔１１６は封止されており、真空チャンバ１１０内の気密は保たれている。
【００３５】
リーク検査治具１００は、固定具１１４に固定されて、真空チャンバ１１０内部に配置されている。この固定具１１４は、例えば真空チャンバ１１０の内壁に固定された棒状部材である。この固定具１１４の先端部とワークガイド部２０の面２６とは、例えば溶接により接合されている。
リークディテクタ１２０は、連結パイプ１１１の一端に接続している。つまり、リークディテクタ１２０は、連結パイプ１１１を通して真空チャンバ１１０内部と連通している。
【００３６】
（リーク検査装置の使用方法）
以下、リーク検査装置２００の使用方法について図１０を参照しつつ説明する。
真空チャンバ１１０のチャンバ蓋（図示せず）を開き、真空チャンバ１１０内部に配置されたリーク検査治具１００に検査対象の消弧室１０を固定する。この固定方法については、上述した通りである。
リーク検査治具１００に消弧室１０を固定した後、チャンバ蓋を閉じ、真空ポンプで真空チャンバ１１０内部を真空排気する。なお、通常、真空チャンバ１１０に備わる真空ポンプはリークディテクタ１２０に備わる真空ポンプよりも排気量が大きいので、真空チャンバ１１０内部の真空度は、上述のフード法における消弧室１０内部の真空度よりも高くなる。
【００３７】
次に、ガス導入パイプ１１２を通じて、消弧室１０内部にリーク検査用ガスをリーク検査用ガスボンベ１１３から導入する。この際、予め設定した圧力となるように、消弧室１０内部にリーク検査用ガスを導入する。
最後に、真空チャンバ１１０内部の真空度が予め設定した値となったら、リークディテクタ１２０を動作させてリーク検査用ガスのリーク量を測定する。
【００３８】
リーク検査時には、消弧室１０外部の真空度（つまり、真空チャンバ１１０内部の真空度）は、消弧室１０内部の真空度よりも高くなっている。換言すると、消弧室１０外部の圧力（真空チャンバ１１０内部の圧力）は、消弧室１０内部の圧力よりも低くなっている。このため、消弧室１０にリーク箇所がある場合には、そのリーク箇所を通して、消弧室１０の内側から消弧室１０の外側（つまり、真空チャンバ１１０側）に向かってリーク検査用ガスが流出する。
このようにして、真空チャンバ１１０内部のリーク検査用ガスの濃度を測定し、消弧室１０からのリーク量を測定する。
【００３９】
（従来技術との比較）
従来技術に係るリーク検査（フード法）では、上述のように、１０−８Ｐａ・ｍ３／ｓ程度のリーク量が測定の限界量であった。しかしながら、本実施形態に係るリーク検査治具１００及びそれを備えたリーク検査装置２００であれば、１０−１２Ｐａ・ｍ３／ｓレベルの極小なリーク量であっても測定できることを確認した。
【００４０】
（効果）
（１）以上のように、上記リーク検査装置２００では、真空チャンバ１１０と、真空チャンバ１１０内に配置されたリーク検査治具１００と、真空チャンバ１１０と連通し、真空チャンバ１１０内に存在するリーク検査用ガスを検出するリークディテクタ１２０と、を備えている。
このため、リーク検査治具１００に検査対象である消弧室１０を固定し、消弧室１０内にリーク検査用ガスを導入し、真空チャンバ１１０内部を真空排気することができる。リーク検査治具１００であれば、消弧室１０内部に導入したリーク検査用ガスが、消弧室１０以外の箇所（具体的には、フランジ面１２ａと封止用パッキン５０との間または封止用パッキン５０と蓋部３０の内側面３２との間）からリークするのを低減できる。このため、消弧室１０からのリーク量が微小であったとしてもそのリーク量を高精度で測定することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１０…消弧室、１１…金属角筒体、１２…フランジ部、１２ａ…フランジ面、１３…桶状体、１４…角筒部、１４ａ…開放端面、１５…天面板部、１５ａ…貫通孔、１５ｂ…貫通孔、１６…固定接触子、２０…ワークガイド、２１…貫通部、２１ａ…開口部、２２…溝部、２２ａ…開口部、２２ｂ…底面、２３…面、２４…突出部、２４ａ…貫通孔、２５…ネジ孔、２６…面、３０…蓋部、３１…突出部、３１ａ…貫通孔、３２…内側面、３３…切欠き部、３４…ネジ用貫通孔、４０…ヒンジ部、４１…ノックピン、５０…封止用パッキン、６０…ネジ、７０…フード、１００…リーク検査治具、１１０…真空チャンバ、１１１…連結パイプ、１１２…ガス導入パイプ、１１３…リーク検査用ガスボンベ、１１４…固定具、１１５…貫通孔、１１６…貫通孔、１２０…リークディテクタ、２００…リーク検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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