(57)【要約】【課題】尖状電極２１と、スリット電極２２と、を備え、流路内の尖状電極２１とスリット電極２２の間において、ＥＨＤ効果によって流動するＥＨＤ流体に電圧を印加することで、当該ＥＨＤ流体を流路内で流動させるＥＨＤポンプにおいて、当該ＥＤＨポンプを有する冷却装置の熱交換性能をより高める。【解決手段】尖状電極２１は、スリット電極２２に向かって先細る形状となっており、スリット電極２２には、当該スリット電極２２の上流側から下流側まで貫通する複数個のスリットが形成されていることを特徴とするＥＨＤポンプ。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
尖状電極（２１）と、スリット電極（２２）と、を備え、冷却装置（１）中に設けられた流路内の前記尖状電極と前記スリット電極の間において、電気流体力学（Electrohydrodynamic、略してＥＨＤ）効果によって流動するＥＨＤ流体に電圧を印加することで、当該ＥＨＤ流体を流路内で流動させるＥＨＤポンプであって、
前記尖状電極は、前記スリット電極に向かって先細る形状となっており、
前記スリット電極には、当該スリット電極の上流側から下流側まで貫通する複数個のスリットが形成されていることを特徴とするＥＨＤポンプ。
【請求項２】
前記複数個のスリットの前記尖状電極側端部の各々は、全体として、尖状電極に対して凹形状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のＥＨＤポンプ。
【請求項３】
前記スリット電極の前記尖状電極側の端部は、面取りされた形状となっていることを特徴とする請求項１または２に記載のＥＨＤポンプ。
【請求項４】
前記スリット電極（２２）は、前記流路を囲む壁（ＨＤ１、ＨＤ２）に熱的に接触していることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載のＥＨＤポンプ。
【請求項５】
前記流路の壁（ＨＤ１、ＨＤ２）の外面には、熱を輸送する流体が接触することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載のＥＨＤポンプ。
【請求項６】
前記流路の壁（ＨＤ１、ＨＤ２）の外面には、フィンが接触していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載のＥＨＤポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＥＨＤポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、尖状電極とスリット電極とが対になったＥＨＤポンプが記載されている。このＥＨＤポンプは、ＥＨＤ流体の流路内に尖状電極とスリット電極とを配置して、尖状電極とスリット電極の間のＥＤＨ流体に電圧を印加することで、ＥＨＤ流体を流路内で流動させる。なお、ＥＨＤ流体は、電気流体力学（Electrohydrodynamic、略してＥＨＤ）効果によって流動するＥＨＤ流体をいい、特許文献１では、冷却装置内で熱を輸送するために、ＥＨＤポンプによって流動させられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−０５７８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、ＥＤＨポンプを有する冷却装置の熱交換性能を、従来よりも高めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するための請求項１に記載の発明は、尖状電極（２１）と、スリット電極（２２）と、を備え、冷却装置（１）中に設けられた流路内の前記尖状電極と前記スリット電極の間において、電気流体力学（Electrohydrodynamic、略してＥＨＤ）効果によって流動するＥＨＤ流体に電圧を印加することで、当該ＥＨＤ流体を流路内で流動させるＥＨＤポンプであって、前記尖状電極は、前記スリット電極に向かって先細る形状となっており、前記スリット電極には、当該スリット電極の上流側から下流側まで貫通する複数個のスリットが形成されていることを特徴とするＥＨＤポンプである。
【０００６】
本発明者は、ＥＨＤ流体と流路を囲む壁との熱交換が、スリット電極を介しても行われることに着目した上で、そして、スリット電極に複数個のスリットを形成することを着想した。このように、スリット電極が多スリット化されているので、スリット電極とＥＨＤ流体との熱交換面積が大きくなる。したがって、スリット電極を介したＥＨＤ流体と流路を囲む壁との熱交換量が増大する。
【０００７】
なお、上記および特許請求の範囲における括弧内の符号は、特許請求の範囲に記載された用語と後述の実施形態に記載される当該用語を例示する具体物等との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る冷却装置１および関連する装置２〜７の斜視図である。
【図２】冷却装置１の平面図である。
【図３】冷却装置１の側面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ断面図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ断面図である。
【図６】図３のＶＩ−ＶＩ断面図である。
【図７】図５の部分拡大図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。
【図９】図７のＩＸ−ＩＸ断面図である。
【図１０】図７のＸ−Ｘ断面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係るＥＨＤポンプ２０の図である。
【図１２】本発明の第３実施形態に係るＥＨＤポンプ２０の図である。
【図１３】本発明の第４実施形態に係るＥＨＤポンプ２０の図である。
【図１４】本発明の第５実施形態に係るＥＨＤポンプ２０の図である。
【図１５】本発明の第６実施形態に係るＥＨＤポンプ２０の図である。
【図１６】本発明の第７実施形態に係るＥＨＤポンプ２０の図である。
【図１７】本発明の第８実施形態に係るＥＨＤポンプ２０の図である。
【図１８】図１７のＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩ断面図である。
【図１９】本発明の第９実施形態に係るＥＨＤポンプ２０の図である。
【図２０】図１９のＸＸ−ＸＸ断面図である。
【図２１】本発明の第１０実施形態に係るスリット電極２２の図である。
【図２２】本発明の第１１実施形態に係るスリット電極２２の図である。
【図２３】本発明の第１２実施形態に係るＥＨＤポンプ２０の図である。
【図２４】図２３のＸＸＩＶ−ＸＸＩＶ断面図である。
【図２５】図２３のＸＸＶ−ＸＸＶ断面図である。
【図２６】本発明の第１３実施形態に係るＥＨＤポンプ２０の図である。
【図２７】図２６のＸＸＶＩＩ−ＸＸＶＩＩ断面図である。
【図２８】図２６のＸＸＶＩＩＩ−ＸＸＶＩＩＩ断面図である。
【図２９】変形例１における図７のＩＸ−ＩＸ断面図である。
【図３０】変形例２における図１７のＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩ断面図である。
【図３１】変形例３におけるＥＨＤポンプ２０と発熱体２、３の位置関係を示す図である。
【図３２】変形例３におけるＥＨＤポンプ２０とフィン５、６の位置関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について、図１〜図１０を参照して説明する。本実施形態の冷却装置１は、電気流体力学（Electrohydrodynamic、略してＥＨＤ）現象を示すＥＨＤ流体を作動流体（冷却媒体）として用いて発熱体（２〜４）を冷却するための冷却装置である。このようなＥＨＤ流体は、数ｋＶの高電圧を印加しても放電し難い誘電液体であり、周知のＥＨＤ効果により、電圧の印加を受けて流動する。
【００１０】
本実施形態では、このようなＥＨＤ流体ならどのようなものを用いてもよい。例えば、ＥＨＤ流体のうちでも、電界共役流体（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｃｏｎｊｕｇａｔｅ Ｆｌｕｉｄ、略してＥＣＦ）を用いてもよい。
【００１１】
ＥＣＦとしては、例えば、特開２０００−２２２０７２号公報、特開平１１−１２５１７３号公報に記載のように、横軸が導電率σであり縦軸が粘度ηであって作動温度における流体の導電率σと粘度ηとの関係を示すグラフにおいて、導電率σ＝４×１０−１０Ｓ／ｍ、粘度η＝１×１００Ｐａ・ｓで表される点Ｐ、導電率σ＝４×１０−１０Ｓ／ｍ、粘度η＝１×１０−４Ｐａ・ｓで表される点Ｑ、導電率σ＝５×１０−６Ｓ／ｍ、粘度η＝１×１０−４Ｐａ・ｓで表される点Ｒを頂点とする直角三角形の内部に位置する導電率σおよび粘度ηを有する化合物、または、当該三角形の内部に位置する導電率σおよび粘度η を有するように調製された二種類以上の化合物の混合物を用いることができる。例えば、デカン２酸ジブチル（ｄｉｂｕｔｙｌｄｅｃａｎｅ−ｄｉｏａｔｅ）を、ＥＣＦとして用いることができる。また、難燃性・不燃性の含ハロゲン（フッ素、塩素、臭素など）化液体をＥＣＦとして用いることができる。
【００１２】
発熱体２〜４は、インバータを構成するスイッチング素子（例えば、ＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）が収容されたパワーカードである。このインバータは、例えば、ハイブリッド自動車または電気自動車に搭載された走行用バッテリからの電力を用いて車両駆動用モータを駆動するためのインバータであってもよい。
【００１３】
発熱体２〜４のそれぞれからは、インバータの他の回路に接続するための配線２ａ〜２ｄ、３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂが伸びている。また、冷却装置１には、電源７から導線７ａ、７ｂを介して電力が供給され、この供給電力を利用して冷却装置１内でＥＨＤ流体を流動させることで、発熱体２〜４の冷却を実現する。
【００１４】
図１〜図３に示すように、この冷却装置１は、切削加工、ウエットエッチング加工、メッキ加工等で成形された金属製（例えば、アルミ製）の連結部１１、冷却部１２、放熱部１３を有している。図３中の破線は、連結部１１、冷却部１２、放熱部１３の境界を示す仮想的な線である。
【００１５】
連結部１１は、冷却部１２と放熱部１３の間で冷却部１２および放熱部１３に連結され、ＥＨＤ流体を作動流体として冷却部１２から放熱部１３に熱を輸送するための部材である。
【００１６】
冷却部１２は、発熱体２〜４に対面すると共に発熱体２を挟み込んで発熱体２〜４と接触している。これによって発熱体２〜４が発生した熱が、熱伝導により、冷却部１２に伝達される。
【００１７】
放熱部１３は、略フィン形状の突起を有する空冷フィン５、６に対面すると共に空冷フィン５、６を挟み込んで空冷フィン５、６と接触している。これによって、連結部１１からＥＨＤ流体を介して放熱部１３に輸送された熱が、放熱部１３はから空冷フィン５、６に熱伝達され、さらに空冷フィン５、６から冷却装置１の外部に、熱伝達により熱が放出される。
【００１８】
また、冷却部１２は、互いに一体に形成された冷却基部１２ａおよび複数の冷却壁部１２ｂ、１２ｃを備えている。冷却基部１２ａは、連結部１１と連結されている。
【００１９】
複数の冷却壁部１２ｂ、１２ｃは、冷却基部１２ａの上面から垂直に立ち上がって互いに平行に並ぶ複数の直方体形状の部材であり、発熱体２〜４に接触することで、発熱体２〜４が発生した熱を熱伝導によって受けるようになっている。冷却壁部１２ｂ、１２ｃと発熱体２〜４との間の熱伝導は、直接接触による熱伝導であってもよいし、他の熱伝導性の高い物質を間に挟んだ間接的な熱伝導であってもよい。
【００２０】
このように、冷却部１２が複数枚の冷却壁部１２ｂ、１２ｃを有し、それらの間に発熱体２が挟まれることで、発熱体２と冷却部１２との間の接触面積を大きくすることができる。
【００２１】
放熱部１３は、互いに一体に形成された放熱基部１３ａおよび放熱壁部１３ｂ〜１３ｄを備えている。放熱基部１３ａは、連結部１１と連結されている。
【００２２】
放熱壁部１３ｂ〜１３ｄは、放熱基部１３ａの上面から垂直に立ち上がって互いに平行に並ぶ複数の直方体形状の部材であり、隣り合う壁部間に空冷フィン５、６をそれぞれを挟み込んで空冷フィン５、６に接触することで、空冷フィン５、６に熱伝導する。放熱壁部１３ｂ〜１３ｄと空冷フィン５、６との間の熱伝導は、直接接触による熱伝導であってもよいし、他の熱伝導性の高い物質を間に挟んだ間接的な熱伝導であってもよい。
【００２３】
このように、放熱部１３が複数枚の放熱壁部１３ｂ〜１３ｄを有し、それらの間に空冷フィン５、６が挟まれることで、空冷フィン５、６と放熱部１３との間の接触面積を大きくすることができる。なお放熱基部１３ａも、僅かながら空冷フィン５、６に対面して接触している。
【００２４】
なお、図２中の矢印（×を〇で囲んだ紙面奥行方向を示す矢印、および、黒点を〇で囲んだ紙面手前方向を示す矢印を含む）は、冷却装置１内の作動流体の流れを表している。また、図３中の矢印（×を〇で囲んだ紙面奥行方向を示す矢印、および、黒点を〇で囲んだ紙面手前方向を示す矢印を含む）は、冷却装置１内の図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面におけるＥＨＤ流体の流れを表している。
【００２５】
図４に、図３のＩＶ−ＩＶ断面図を示す。この図に示すように、連結部１１の内部には、ＥＨＤ流体を放熱部１３の放熱基部１３ａ内から導入して冷却部１２の冷却基部１２ａ内に流し出すための上り連結流路１１１と、ＥＨＤ流体を冷却部１２の冷却基部１２ａ内から導入して放熱部１３の放熱基部１３ａ内に流し出すための下り連結流路１１２とが形成されている。この流路１１１、１１２は上述の通り切削加工、ウエットエッチング加工、メッキ加工等によって形成される。
【００２６】
また、冷却基部１２ａの内部には、上り冷却基部流路１２１および下り冷却基部流路１２２が、上述の通り切削加工、ウエットエッチング加工、メッキ加工等によって形成されている。上り冷却基部流路１２１は、上り連結流路１１１と連通することで、ＥＨＤ流体を上り連結流路１１１から導入して上記冷却壁部１２ｂ、１２ｃ内に流し出すための流路である。下り冷却基部流路１２２は、下り連結流路１１２と連通することで、ＥＨＤ流体を上記冷却壁部１２ｂ、１２ｃ内から導入して下り連結流路１１２に流し出すための流路である。
【００２７】
流路１２１、１２２の断面形状は、四角形である必要はないが、例えば四角形となっている。また、流路１２１、１２２の高さ（図３の上下方向の長さ）は流路１１１、１１２と同じであり、流路１２１、１２２の太さ（図４の上下方向の長さ）も流路１１１、１１２と同じである。
【００２８】
また、放熱基部１３ａの内部には、上り放熱基部流路１３１および下り放熱基部流路１３２が、上述の通り切削加工、ウエットエッチング加工、メッキ加工等によって形成されている。上り放熱基部流路１３１は、上り連結流路１１１と連通することで、ＥＨＤ流体を上述の放熱壁部１３ｂ〜１３ｄ内から導入して上り連結流路１１１に流し出すための流路である。下り放熱基部流路１３２は、下り連結流路１１２と連通することで、ＥＨＤ流体を下り連結流路１１２から導入して上述の放熱壁部１３ｂ〜１３ｄ内に流し出すための流路である。
【００２９】
流路１３１、１３２の断面形状は、四角形である必要はないが、例えば四角形となっている。また、流路１３１、１３２の高さ（図３の上下方向の長さ）は流路１１１、１１２と同じであり、流路１３１、１３２の太さ（図４の上下方向の長さ）も流路１１１、１１２と同じである。
【００３０】
次に、放熱壁部１３ｂ〜１３ｄの各々の内部構造について説明する。以下では、放熱壁部１３ｂを例に挙げて説明するが、他の放熱壁部１３ｃ、１３ｄについても、内部構造は放熱壁部１３ｂと同じである。
【００３１】
図５に、図３のＶ−Ｖ断面図を示し、図６に、図３のＶＩ−ＶＩ断面図を示す。これらの図に示すように、放熱壁部１３ｂの内部には、４本の導入側流路１３３ａ〜１３３ｄ、４本の排出側流路１３４ａ〜１３４ｄ、および１本の中間流路１３５が、上述の通り切削加工、ウエットエッチング加工、メッキ加工等によって形成される。
【００３２】
４本の導入側流路１３３ａ〜１３３ｄは、放熱壁部１３ｂの一部である流路壁Ｗ１〜Ｗ３（流路を囲む壁の一例に相当する）で互いに隔てられており、放熱基部１３ａに対して垂直に伸びている。これら導入側流路１３３ａ〜１３３ｄの各々は、ＥＨＤ流体を下り放熱基部流路１３２から導入して中間流路１３５に流し出すための流路である。
【００３３】
４本の排出側流路１３４ａ〜１３４ｄは、放熱壁部１３ｂの一部である流路壁Ｗ４〜Ｗ６（流路を囲む壁の一例に相当する）で互いに隔てられており、放熱基部１３ａに対して垂直に伸びている。これら排出側流路１３４ａ〜１３４ｄの各々は、ＥＨＤ流体を中間流路１３５から導入して上り放熱基部流路１３１に流し出すための流路である。
【００３４】
また、４本の導入側流路１３３ａ〜１３３ｄの組と、４本の排出側流路１３４ａ〜１３４ｄの組とは、流路壁Ｗ０（流路を囲む壁の一例に相当する）によって互いに隔てられている。
【００３５】
中間流路１３５は、放熱壁部１３ｂの放熱基部１３ａ側端部とは反対側の端部（図５の上端部）に形成され、ＥＨＤ流体を一端（導入側流路１３３ａ〜１３３ｄ側端）から導入して他端（排出側流路１３４ａ〜１３４ｄ側端）に流し出すための流路である。
【００３６】
ＥＨＤ流体を上記のように導入、流出させるため、これら導入側流路１３３ａ〜１３３ｄ、排出側流路１３４ａ〜１３４ｄ、中間流路１３５の各々の内部には、図５に示すように、ＥＨＤポンプが、複数個配置されている。これらＥＨＤポンプは、ＥＨＤ流体に電圧を印加してＥＨＤ流体を流動させるようになっている。
【００３７】
これらＥＨＤポンプも、冷却装置１の構成要素である。図５中では、これら複数のＥＨＤポンプが個々に同じ図柄で示されているが、これらのうち１個を抽出して符号２０を付している。
【００３８】
以下、このＥＨＤポンプ２０の構成および作用について、図７〜図１０を用いて説明するが、図５に示されている他のＥＨＤポンプも、同じ構成および作用を実現する。図７は、図５におけるポンプ２０の拡大図である。また、図８は図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図であり、図９は図７のＩＸ−ＩＸ断面図であり、図１０は図７のＸ−Ｘ断面図である。
【００３９】
これらの図に示す通り、ポンプ２０は、１つの尖状電極２１および１つのスリット電極２２を有している。金属製の尖状電極２１および金属製のスリット電極２２は、互いに離れて流路の内壁に固定される。より具体的には、図８に示すように、熱交換壁ＨＤ１、ＨＤ２（流路を囲む壁の一例に相当する）の内面（流路側の面）に、例えば熱的に非絶縁性の接着剤で固定される。
【００４０】
なお、これら熱交換壁ＨＤ１、ＨＤ２は、熱的には非絶縁性（つまり、熱伝達率が高い）の部材を用いるが、少なくとも尖状電極２１および金属製のスリット電極２２と接触する内面は、電気的には絶縁性にする。
【００４１】
このような性質を有する熱交換壁ＨＤ１、ＨＤ２としては、全体が窒化アルミニウム、窒化ケイ素、アルミナのいずれかで形成されていてもよいし、これらの混合物で形成されていてもよい。あるいは、内面が熱伝達率の高い樹脂でコーティングされたアルミニウムで熱交換壁ＨＤ１、ＨＤ２を形成してもよい。このようになっているので、電極２１、２２は、熱的に熱交換壁ＨＤ１、ＨＤ２と接触する。
【００４２】
図７に示す通り、尖状電極２１はＥＨＤ流体の流れ（点線矢印の方向に進む）の上流側に配置され、スリット電極２２は流れの下流側に配置されている。なお、尖状電極２１およびスリット電極２２を、図７で表れている断面（すなわち、図３のＶ−Ｖ断面）に平行に切った断面形状は、熱交換壁ＨＤ１と熱交換壁ＨＤ２との間のどの断面においても、同じである。つまり、尖状電極２１およびスリット電極２２は、それぞれ断面同型である。このことは、第２〜第１１実施形態においても同じである。
【００４３】
尖状電極２１は、スリット電極２２に向かって先細る形状となっていることで、その先細った先端に電界が集中するようになっている。より具体的には、尖状電極２１は、図７示すように、線状の先端から４つの面（２つの平行な面と２つの斜交する面）が伸びるくさび形状になっている。また、他の例として、尖状電極２１は、１点を先端としてそこから放射状に伸びる直線群から形づくられる錐体形状になっていてもよい。
【００４４】
スリット電極２２は、複数箇所において流路の上流から下流へ貫通する形状となっている。これにより、スリット電極２２は、複数個の溝を有するスリット形状になっている。スリット電極２２が、スリット形状となっていることで、当該ポンプ２０が配置されている位置の流路が更に狭められ、その部分におけるＥＨＤ流体の流速が更に大きくなる。
【００４５】
なお、図示しないが、放熱壁部１３ｂ中のポンプ２０の近傍には、放熱壁部１３ｂの内部と外部を連通させる孔が２つ形成され、それらの孔には、フェノール樹脂等の絶縁体で周囲を覆われた導通用電極が密着して挿入されている。そして、それら導通用電極および導線７ａ、７ｂを介して電源７の電力が尖状電極２１、スリット電極２２に供給される。例えば、尖状電極２１が負極となり、スリット電極２２が正極とする。ただし、使用するＥＨＤによっては電極の正極、負極を逆転しても流体の流れの方向は同じである。
【００４６】
例えば、尖状電極２１が負極となり、スリット電極２２が正極となって、ＥＨＤ流体に電圧が印加されると、尖状電極２１とスリット電極２２の間に不均一（非一様）電界が発生する。その結果、ＥＨＤ効果によってＥＨＤ流体が尖状電極２１からスリット電極２２の方向に加速され、その結果、ＥＨＤ流体が流路内で流路に沿って流動する。
【００４７】
ここで、スリット電極２２の形状について更に詳しく説明する。本実施形態のスリット電極２２は、３個以上（具体的には１０個）の矩形平板形状の電極２２ａ〜２２ｊを流路内に間隔を空けて設置することで構成されている。電極２２ａ〜２２ｊの並びは、各電極２２ａ〜２２ｊの板面が平行になるような並びになっている。
【００４８】
このようになっていることで、スリット電極２２全体としては、電極２２ａ〜２２ｊの間隙に相当する複数個（具体的には９個）の溝（スリットの一例に相当する）が、スリット電極２２の上流側から下流側まで、貫通している。ＥＨＤ流体は、この溝を通ってスリット電極２２の上流側から下流側に流動する。
【００４９】
このように、スリット電極２２が多スリット化されている。したがって、スリット電極２２の上流側から下流側まで貫通する溝が１個しかない場合に比べ、仮にスリット電極の電極長さおよび導入側流路１３３ｂの流路断面積が同じであっても、スリット電極とＥＨＤ流体との熱交換面積Ｓが大きくなる。したがって、スリット電極２２を介したＥＨＤ流体と熱交換壁ＨＤ１、ＨＤ２との熱交換量熱交換量Ｑが増大する。
【００５０】
なお、流体と物体の熱交換の一般式はＱ＝α・Ｓ・ΔＴ、α＝Ｎｕ・λ／ｄとなっている。ここで、αは熱伝達率であり、ΔＴは流体と物体の温度差であり、Ｎｕはヌセルト数であり、λは流体の熱伝導率であり、ｄは物体の流路幅である。この式から、熱交換面積Ｓが増大すると熱交換量Ｑが増大することがわかる。
【００５１】
また、スリット電極２２が多スリット化されていることで、スリット電極２２の上流側から下流側まで貫通する溝が１個しかない場合に比べ、スリット電極に形成されたスリットの流路幅ｄ（電極２２ａ〜２２ｊにおいて隣り合う電極間の距離に相当する）が減少する。したがって、熱伝達率αが増大し、熱交換量Ｑが増大する。
【００５２】
また、スリット電極２２が多スリット化されていることで、尖状電極２１のスリット電極２２側の頂点２１ａに発生する電界は、多数の電極２２ａ〜２２ｊの存在に起因して頂点２１ａに発生する電界の合成となる。
【００５３】
したがって、スリット電極２２の存在に起因して尖状電極２１の頂点２１ａに発生する電界強度が増加し、その結果、ＥＨＤ流体の流速が大きくなり、ヌセルト数Ｎｕが増大する。したがって、熱伝達率αが増大し、熱交換量Ｑが増大する。
【００５４】
また、図７に示すように、電極２２ａ〜２２ｊの下流側端部は、導入側流路１３３ｂの伸びる方向（流路方向）に垂直な方向にかつ流路壁Ｗ１、Ｗ２に垂直な方向（図７の左右方向）に、真っ直ぐに揃えられて並んでいる。
【００５５】
これに対し、電極２２ａ〜２２ｊの上流側端部（尖状電極２１側端部）は、導入側流路１３３ｂの伸びる方向に垂直に、真っ直ぐに揃えられておらず、全体として、尖状電極２１の頂点２１ａに対して凹形状に配置されている。
【００５６】
具体的には、電極２２ａ〜２２ｊの各々の尖状電極２１側端部から尖状電極２１の頂点２１ａまでの最短距離は、すべて等しい値ｒとなっている。したがって、スリット電極２２は、尖状電極２１の頂点２１ａから半径ｒの範囲内には存在しない。
【００５７】
表現を変えれば、複数個のスリットの尖状電極側２１側端部の各々は、頂点２１ａからの最短距離が同じ値ｒである。したがって、スリット電極２２のうち複数個のスリットの各々を囲む部分は、尖状電極側２１側端部の頂点２１ａからの最短距離が、同じ値ｒである。
【００５８】
一般に、電極間の距離を短くするほど、尖状電極２１の頂点２１ａの電界強度が上がるが、あまり近づけ過ぎると、放電が発生してしまう。したがって、尖状電極２１の頂点２１ａに対して、電極２２ａ〜２２ｊの頂点２１ａ側端部を、放電が発生しないぎりぎりの距離ｒに円弧状に配置することで、尖状電極２１の頂点２１ａの電界強度を高くすることができる。
【００５９】
また、各電極２２ａ〜２２ｊは、スリットに隣接する部分の尖状電極２１側の端部が、直方体の角部を除去して面取りされた電界補強面となっている。
【００６０】
より具体的には、各電極２２ａ〜２２ｊは、尖状電極２１の頂点２１ａに最も近い位置を含む面が、尖状電極２１の頂点２１ａを中心とする同じ半径ｒの曲面となるような形状に、面取りされている。
【００６１】
これら電界補強面の各々は、電極２２ａ〜２２ｊのうち尖状電極２１の頂点２１ａに最も近い位置を含む面となっている。したがって、電界強度の増大効果が更に増す。発明者の検討によれば、このような現象は、先端が尖った２つの電極Ｊ１、Ｊ２間に発生する電気力線Ｅ１と、先端が尖った電極Ｊ１と平板電極Ｊ３の間に発生する電気力線Ｅ２との違いに起因するものである。電極Ｊ１の頂点付近において電気力線Ｅ１と電気力線Ｅ２とを比較すると、電気力線Ｅ２の方が、間隔が急峻に変化する。電気力線の間隔が急峻に変化するということは、電界が強いということである。
【００６２】
また、頂点２１ａから各電界補強面までは、それぞれ、電極２２ａ〜２２ｊを貫通することなく、直線を引くことができる。すなわち、頂点２１ａは、電界補強面の表側にある。
【００６３】
また、頂点２１ａから、各電界補強面に垂線を下ろすことができる。すなわち、各電界補強面は、頂点２１ａに対向している。
【００６４】
なお、「面取りされた面」とは、意図的に面取り加工された結果の面であってもよい。この場合、例えば、プレス加工で電極２２ａ〜２２ｊを作成する際も、あらかじめ電界補強面に相当する面が形成された金型を用いて加工する。また、エッチング加工、メッキ加工においても、電界補強面が結果的に形成されるように、電界補強面の形状に合わせたマスクを配置して加工する。
【００６５】
また、意図せずできてしまった面も、「面取りされた面」に該当する。例えば、断面形状が矩形の電極を加工しようとして、意図せず角部が取れてしまったような面も、「面取りされた面」に該当する。
【００６６】
このように、各電極２２ａ〜２２ｊは、スリットに隣接する部分の尖状電極２１側の端部が、面取りされた電界補強面となっている。
【００６７】
このように、各電極２２ａ〜２２ｊの頂点２１ａ側の端部は、面取りされた面を有し、当該頂点２１ａに対向する（すなわち、当該頂点２１ａから当該面に垂線を下ろすことができる）ようになっている。したがって、そうでない場合に比べ、尖状電極２１の頂点２１ａの電界強度が高くなる。その結果、ＥＨＤ流体の流速が大きくなり、ヌセルト数Ｎｕが増大する。したがって、熱伝達率αが増大し、熱交換量Ｑが増大する。
【００６８】
以上、放熱壁部１３ｂ〜１３ｄ内の流路の構造および当該流路内のＥＨＤポンプの構成、配置、作動について説明したが、冷却壁部１２ｂ、１２ｃ内にも、放熱壁部１３ｂ〜１３ｄと同等の構造の流路が形成され、さらに、放熱壁部１３ｂ〜１３ｄの流路内に設けられたものと同じＥＨＤポンプが複数個配置されている。
【００６９】
より具体的には、上記の放熱壁部１３ｂ〜１３ｄ内の流路の構造および当該流路内のＥＨＤポンプの構成、配置、作動の説明において、放熱壁部１３ｂを冷却壁部１２ｂに読み替え、放熱壁部１３ｃを冷却壁部１２ｂに読み替え、放熱基部１３ａを冷却基部１２ａに読み替え、下り放熱基部流路１３２を上り冷却基部流路１２１に読み替え、上り放熱基部流路１３１を下り冷却基部流路１２２に読み替えれば、放熱壁部１２ｂ、１２ｃ内の流路の構造および当該流路内のＥＨＤポンプの構成、配置、作動の説明となる。
【００７０】
冷却装置１がこのような構成になっているので、冷却装置１内の尖形電極２１が負極となり、スリット電極２２を正極とすると（使用するＥＨＤ流体によっては電極の正極、負極を逆転しても問題がない）、冷却装置１の流路に充填されたＥＨＤ流体が流動する。
【００７１】
ＥＨＤ流体が流路内を循環する経路は、以下の通りである。ＥＨＤ流体は、下り連結流路１１２から下り放熱基部流路１３２に流入し、下り放熱基部流路１３２から、放熱壁部１３ｂ〜１３ｄのそれぞれに４本ずつ形成された導入側流路１３３ａ〜１３３ｄに流入する。放熱壁部１３ｂ〜１３ｄのそれぞれでは、ＥＨＤ流体が導入側流路１３３ａ〜１３３ｄから中間流路１３５に流入し、中間流路１３５から排出側流路１３４ａ〜１３４ｄに流入し、排出側流路１３４ａ〜１３４ｄから上り放熱基部流路１３１に流入する。
【００７２】
更にＥＨＤ流体は、放熱基部流路１３１から上り連結流路１１１に流入し、上り連結流路１１１から上り冷却基部流路１２１に流入し、上り冷却基部流路１２１から、冷却壁部１２ｂ、１２ｃのそれぞれに４本ずつ形成された導入側流路に流入する。冷却壁部１２ｂ、１２ｃのそれぞれでは、ＥＨＤ流体が４本の導入側流路から１本の中間流路に流入し、この中間流路から４本の排出側流路に流入し、これら排出側流路から下り冷却基部流路１２２に流入する。そしてＥＨＤ流体は、下り冷却基部流路１２２から下り連結流路１１２に流入する。
【００７３】
この際、冷却壁部１２ｂ、１２ｃ内の流路を通るＥＨＤ流体は、発熱体２〜４が発生した熱を、冷却壁部１２ｂ、１２ｃの熱交換壁（熱交換壁ＨＤ１、ＨＤ２のうち一方または両方）を介して、熱伝導により受け取る。
【００７４】
また、放熱壁部１３ｂ〜１３ｄ内の流路を通るＥＨＤ流体は、冷却壁部１３ｂ〜１３ｄの熱交換壁（熱交換壁ＨＤ１、ＨＤ２のうち一方または両方）を介して、空冷フィン５、６に、熱伝導で熱を伝達する。冷却壁部１３ｂ〜１３ｄの外面およびに空冷フィン５、６には、空気等の熱交換媒体（熱を輸送する流体）が接しているので、冷却壁部１３ｂ〜１３ｄおよび空冷フィン５、６から、空気等の熱交換媒体に、熱が放出される。
【００７５】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態が第１実施形態と異なるのは、スリット電極２２を構成する電極２２ａ〜２２ｊの断面形状が、第１実施形態では図７のようになっていたのに対し、本実施形態では図１１のようになっていることのみである。
【００７６】
具体的には、第１実施形態の各電極２２ａ〜２２ｊは、尖状電極２１の頂点２１ａに最も近い位置を含む面が、頂点２１ａを中心とする同じ半径ｒの曲面（破線で仮想的に表示している）となるような形状に、面取りされている。
【００７７】
これに対し、本実施形態の電極２２ａと電極２２ｊは、第１実施形態と同じ形状となっているが、その他の電極２２ｂ〜２２ｉの各々は、頂点２１ａに最も近い位置が、９０度の角の頂点となっている。より具体的には、図１１に示すように、電極２２ｂ〜２２ｉの各々の断面は、流路の伸びる方向（図１１中の上下方向）に平行な辺と、当該方向に垂直な辺とが、直角に交差する点が、頂点２１ａに最も近い位置となる。
【００７８】
したがって、電極２２ｂ〜２２ｉの各々は頂点２１ａに最も近い位置を含む面が頂点２１ａに対向するように面取りされていない。したがって、頂点２１ａから距離ｒの位置にある電極２２ｂ〜２２ｉの部分が、第１実施形態よりも減ってしまう。しかしながら、本実施形態の電極２２ｂ〜電極２２ｉの断面形状は、第１実施形態に比べて単純な四角形なので、加工が比較的容易である。
【００７９】
なお、本実施形態でも、電極２２は多スリット化されており、電極２２ｂ〜２２ｉの頂点２１ａに最も近い位置（尖状電極２１側端部）の各々は、頂点２１ａからの最短距離が同じ値ｒである。
【００８０】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態が第１実施形態と異なるのは、スリット電極２２を構成する電極２２ａ〜２２ｊの断面形状が、第１実施形態では図７のようになっていたのに対し、本実施形態では図１２のようになっていることのみである。
【００８１】
具体的には、第１実施形態の各電極２２ａ〜２２ｊは、尖状電極２１の頂点２１ａに最も近い位置を含む面が、頂点２１ａを中心とする同じ半径ｒの曲面となるような形状に、面取りされていた。
【００８２】
これに対し、本実施形態の電極２２ａと電極２２ｊは、第１実施形態と同じ形状となっているが、その他の電極２２ｂ〜２２ｉの各々は、流路の上流側端部（図１２の下側端部）が、上流側に凸に、丸く略Ｒ状に面取り加工されている。
【００８３】
このようになっている場合、頂点２１ａから距離ｒの位置にある電極２２ｂ〜２２ｉの部分が、第１実施形態よりも減ってしまう。しかしながら、本実施形態の電極２２ｂ〜２２ｉの上流側端部の形状は、プレス加工が可能なので、低コスト化が容易になる。
【００８４】
なお、本実施形態でも、電極２２は多スリット化されており、電極２２ｂ〜２２ｉの頂点２１ａに最も近い位置（尖状電極２１側端部）の各々は、頂点２１ａからの最短距離が同じ値ｒである。
【００８５】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態が第１実施形態と異なるのは、スリット電極２２を構成する電極２２ａ〜２２ｊの断面形状が、第１実施形態では図７のようになっていたのに対し、本実施形態では図１３のようになっていることのみである。
【００８６】
具体的には、本実施形態の電極２２ａ〜２２ｊは、流路の伸びる方向（図１３の上下方向）の長さが等しくなっている。そして更に、電極２２ａ〜２２ｊの上流側端部は、流路の伸びる方向に垂直な方向（図１３の左右方向）に真っ直ぐ並んでおり、電極２２ａ〜２２ｊの下流側端部も、流路の伸びる方向に垂直な方向（図１３の左右方向）に真っ直ぐ並んでいる。そして、電極２２ａ〜２２ｊの断面形状は四角形であるので、加工が比較的容易となる。なお、本実施形態でも、電極２２は多スリット化されている。
【００８７】
（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態について説明する。本実施形態が第４実施形態と異なるのは、電極２２ａ〜２２ｊの断面形状が、第５実施形態では図１３のようになっていたのに対し、本実施形態では図１４のようになっていることのみである。
【００８８】
具体的には、本実施形態の電極２２ａ〜２２ｊは、第４実施形態の電極２２ａ〜２２ｉの、頂点２１ａ側の一部を断面三角形に切除したような形状となっている。
【００８９】
しかしながら、電極２２ａ〜２２ｊが、全体として、尖状電極２１の頂点２１ａに対して凹形状に配置されているのは、第１実施形態と同じである。このようになっていることで、第４実施形態と比べ、電極２２ａ〜２２ｊの各々の頂点２１ａ側端部から頂点２１ａまでの距離のばらつきが低減される。したがって、放電を発生させずに、電極２２ａ〜２２ｊをもっと頂点２１ａに近づけるか、尖状電極２１とスリット電極２２の間に印加する電圧をより高くすることができる。この結果、尖状電極２１の頂点２１ａにおける電界強度が向上し、ＥＨＤ流体の流速が大きくなり、ヌセルト数Ｎｕが増大する。したがって、第４実施形態に比べて、熱伝達率αが増大し、熱交換量Ｑが増大する。
【００９０】
（第６実施形態）
次に、本発明の第６実施形態について説明する。本実施形態が第４実施形態と異なるのは、電極２２ａ〜２２ｊの断面形状が、第５実施形態では図１３のようになっていたのに対し、本実施形態では図１５のようになっていることのみである。
【００９１】
具体的には、本実施形態の電極２２ａ〜２２ｊは、第４実施形態の電極２２ａ〜２２ｉの、頂点２１ａ側の一部を断面台形に切除したような形状となっている。
【００９２】
しかしながら、電極２２ａ〜２２ｊが、全体として、尖状電極２１の頂点２１ａに対して凹形状に配置されているのは、第１実施形態と同じである。このようになっていることで、第４実施形態および第５実施形態と比べ、電極２２ａ〜２２ｊの各々の頂点２１ａ側端部から頂点２１ａまでの距離のばらつきが低減される。したがって、放電を発生させずに、電極２２ａ〜２２ｊをもっと頂点２１ａに近づけるか、尖状電極２１とスリット電極２２の間に印加する電圧をより高くすることができる。この結果、尖状電極２１の頂点２１ａにおける電界強度が向上し、ＥＨＤ流体の流速が大きくなり、ヌセルト数Ｎｕが増大する。したがって、第４実施形態および第５実施形態に比べて、熱伝達率αが増大し、熱交換量Ｑが増大する。
【００９３】
（第７実施形態）
次に、本発明の第７実施形態について説明する。本実施形態が第１実施形態と異なるのは、スリット電極２２を構成する電極２２ａ〜２２ｊの断面形状が、第１実施形態では図７のようになっていたのに対し、本実施形態では図１６のようになっていることのみである。
【００９４】
具体的には、第１実施形態では、スリット電極２２に形成される複数のスリットが、流路の伸びる方向に対して常に平行になっていたのが、本実施形態では、平行になっていない部分がある。
【００９５】
本実施形態の各スリットは、上流側端部から、頂点２１ａを中心に放射状に伸び、その後、折れ曲がって、流路の伸びる方向に対して平行に伸び、下流側端部に至るようになっている。各電極２２ｂ〜２２ｉも、このようなスリットを形成するため、上流側端部から、頂点２１ａを中心に放射状に伸び、その後、折れ曲がって、流路の伸びる方向に対して平行に伸びるような、折れ曲がった板になっている。
【００９６】
各スリットがこのような形状になっていることで、尖状電極２１とスリット電極２２とによって発生される電界の方向と、各スリット内の流路方向がほぼ平行となるため、圧力損失を低減することができる。
【００９７】
（第８実施形態）
次に、本発明の第８実施形態について説明する。本実施形態が第１実施形態と異なるのは、スリット電極２２を構成する電極２２ａ〜２２ｊのうち、複数個の電極２２ｂ〜２２ｉが、図１７、図１８に示すように、１個の電極２２ｋに置き換わっていることのみである。なお、図１７は、第１実施形態の図７と同じ形式で表されており、図１８は、図１７のＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩ断面図である。
【００９８】
このようになっていることで、スリットの数が９個から２個に減るが、多スリット化されている点では同じである。
【００９９】
また、各電極２２ａ、２２ｋ、２２ｊは、尖状電極２１の頂点２１ａに最も近い位置を含む面が、尖状電極２１の頂点２１ａを中心とする同じ半径ｒの曲面となるような形状に、面取りされている。したがって、頂点２１ａから、当該面に垂線を下ろすことができる。
【０１００】
また、電極２２ａ、２２ｋ、２２ｊの各々の尖状電極２１側端部から尖状電極２１の頂点２１ａまでの最短距離は、すべて等しい値ｒとなっている。したがって、スリット電極２２は、尖状電極２１の頂点２１ａから半径ｒの範囲内には存在しない。
【０１０１】
（第９実施形態）
次に、本発明の第９実施形態について説明する。本実施形態が第１実施形態と異なるのは、図１９、図２０に示す通り、スリット電極２２が複数個に分離しておらず、スリット電極２２に、上流側端から下流側端まで真っ直ぐ貫かれた３６個の円筒状の穴（スリットの一例に相当する）が形成されていることである。なお、図１９は、第１実施形態の図７と同じ形式で表されており、図２０は、図１９のＸＸ−ＸＸ断面図である。
【０１０２】
このように、本実施形態では、一体のスリット電極２２に穴が形成されることで、スリット電極２２が多スリット化されている。したがって、スリット電極２２の上流側から下流側まで貫通する溝が１個しかない場合に比べ、スリット電極２２とＥＨＤ流体との熱交換面積Ｓが大きくなる。したがって、スリット電極２２を介したＥＨＤ流体と熱交換壁ＨＤ１、ＨＤ２との熱交換量熱交換量Ｑが増大する。
【０１０３】
また、スリット電極２２が多スリット化されていることで、スリット電極に形成されるスリットの流路幅ｄが減少する。したがって、熱伝達率αが増大し、熱交換量Ｑが増大する。
【０１０４】
また、図２０に示すように、スリット電極２２の尖状電極２１側面から尖状電極２１の頂点２１ａまでの最短距離は、すべて等しい値ｒとなっている。したがって、スリット電極２２は、尖状電極２１の頂点２１ａから半径ｒの範囲内には存在しない。
【０１０５】
表現を変えれば、複数個のスリットの尖状電極側２１側端部の各々は、頂点２１ａからの最短距離が同じ値ｒである。したがって、スリット電極２２のうち複数個のスリットの各々を囲む部分は、尖状電極側２１側端部の頂点２１ａからの最短距離が、同じ値ｒである。したがって、尖状電極２１の頂点２１ａに対して、電極２２の頂点２１ａ側端部を、放電が発生しないぎりぎりの距離ｒに円弧状に配置することで、尖状電極２１の頂点２１ａの電界強度を高くすることができる。
【０１０６】
また、各電極２２ａ〜２２ｊは、尖状電極２１の頂点２１ａに最も近い位置を含む面が、尖状電極２１の頂点２１ａを中心とする同じ半径ｒの曲面となるような形状に、面取りされている。したがって、頂点２１ａから、当該面に垂線を下ろすことができる。
【０１０７】
このように各電極２２ａ〜２２ｊの頂点２１ａ側端部は、面取りされた面を有し、当該頂点２１ａに対向する（すなわち、当頂点２１ａから当該面に垂線を下ろすことができる）ようになっている。したがって、尖状電極２１の頂点２１ａの電界強度が高くなる。その結果、ＥＨＤ流体の流速が大きくなり、ヌセルト数Ｎｕが増大する。したがって、熱伝達率αが増大し、熱交換量Ｑが増大する。
【０１０８】
（第１０実施形態）
次に、本発明の第１０実施形態について説明する。本実施形態が第９実施形態と異なるのは、図１９のＸＸ−ＸＸ断面が、図２１のようになっていることである。つまり、第９実施形態では、スリット電極２２に、上流側端から下流側端まで真っ直ぐ貫かれた３６個の円筒状の穴が形成されていたのに対し、本実施形態では、スリット電極２２に、上流側端から下流側端まで真っ直ぐ貫かれた９個の板状の穴が形成されている。このようになっていても、第９実施形態と同等の効果を得ることができる。
【０１０９】
（第１１実施形態）
次に、本発明の第１１実施形態について説明する。本実施形態が第９、第１０実施形態と異なるのは、スリット電極２２の形状が、第９、第１０実施形態では図１９のようになっていたのに対し、本実施形態では図２２のようになっていることのみである。
【０１１０】
具体的には、本実施形態のスリット電極２２は、スリットの流路の伸びる方向（図２２の上下方向）の長さが等しくなっている。そして更に、スリット電極２２の上流側端部は、流路の伸びる方向に垂直な方向（図２２の左右方向）に真っ直ぐ並んでおり、スリット電極２２の下流側端部も、流路の伸びる方向に垂直な方向（図２２の左右方向）に真っ直ぐ並んでいる。このように、本実施形態のスリット電極２２は、直方体の電極に穴が空けられた形状となっているので、加工が比較的容易となる。
【０１１１】
（第１２実施形態）
次に、本発明の第１２実施形態について、図２３〜図２５を参照して説明する。図２３は、本実施形態のＥＨＤポンプ２０を図７と同じ形式で表したものであり、図２４は、図２３のＸＸＩＶ−ＸＸＩＶ断面図であり、図２５は、図２３のＸＸＶ−ＸＸＶ断面図である。
【０１１２】
本実施形態が第１実施形態と異なるのは、第１実施形態においてスリット電極２２を構成した電極２２ａ〜２２ｊが、本実施形態では、スリット電極２２を構成する９個の電極２２ｍ〜２２ｖに置き換わっていることのみである。
【０１１３】
第１実施形態の電極２２ａ〜２２ｊは、図７に示した通り、流路の伸びる方向と垂直かつ流路壁Ｗ１と流路壁Ｗ２に垂直な方向（図７の左右方向）に所定間隔ｄで並び、各電極２２ａ〜２２ｊの板面は、当該並び方向に対して垂直となっている。
【０１１４】
これに対し、本実施形態の電極２２ｍ〜２２ｖは、図２４に示した通り、流路の伸びる方向と垂直かつ熱交換壁ＨＤ１と熱交換壁ＨＤ２に垂直な方向（図２４の左右方向）に所定間隔Ｌで並び、各電極２２ｍ〜２２ｖの板面は、当該並び方向に対して垂直となっている。
【０１１５】
そして、本実施形態の電極２２ｍ〜２２ｖは、それぞれ同じ形状をしている。したがって、スリット電極２２の製造時に異なった形状の電極を作成する必要がないので、製造コストを抑えることができる。
【０１１６】
なお、本実施形態においても、電極２２ｍ〜２２ｖ間の複数の間隙が、複数個のスリットとなるが、電極２２ｎ〜２２ｕまでの電極は熱交換壁ＨＤ１、ＨＤ２と電気的に接触していないので、流路壁Ｗ１、Ｗ２を介して冷却装置１の外部と熱交換を行う。
【０１１７】
（第１３実施形態）
次に、本発明の第１２実施形態について、図２６〜図２８を参照して説明する。図２６は、本実施形態のＥＨＤポンプ２０を図７と同じ形式で表したものであり、図２７は、図２３のＸＸＶＩＩ−ＸＸＶＩＩ断面図であり、図２８は、図２３のＸＸＶＩＩＩ−ＸＸＶＩＩＩ断面図である。
【０１１８】
本実施形態が第１２実施形態と異なるのは、電極２２ｍ〜２２ｖの形状が、第１２実施形態では図２３〜図２５のようになっていたのに対し、本実施形態では図２６〜図２８のようになっていることのみである。
【０１１９】
具体的には、本実施形態の電極２２ｍ〜２２ｖは、それぞれ、同じ形状および大きさの長方形の平板となっている。そして更に、電極２２ｍ〜２２ｖの上流側端部は、流路の伸びる方向に垂直な方向（図２２の左右方向）に真っ直ぐ一直線に並んでおり、電極２２ｍ〜２２ｖの下流側端部も、流路の伸びる方向に垂直な方向（図２２の左右方向）に真っ直ぐ一直線に並んでいる。このように、本実施形態の電極２２ｍ〜２２ｖは、矩形の平板となっているので、加工が比較的容易となる。
【０１２０】
（他の実施形態）
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。
【０１２１】
（変形例１）
上記第１〜第１１実施形態においては、尖状電極２１および電極２２ａ〜２２ｋは、流路内で熱交換壁ＨＤ１から熱交換壁ＨＤ２まで伸びている。しかし、必ずしもこのようになっていなくてもよく、尖状電極２１および電極２２ａ〜２２ｋは、一端が熱交換壁ＨＤ２から伸びているものの、他端は熱交換壁ＨＤ２に届かなくてもよい。
【０１２２】
例えば、第１〜第６実施形態の電極２２ａ〜２２ｊは、図２９（図９と同じ形式の断面図である）に示すように、熱交換壁ＨＤ２から伸びていながら、熱交換壁ＨＤ１側端は、熱交換壁ＨＤ１から大きく離れていてもよい。この場合、電極２２ａ〜２２ｊ間のスリットは、穴ではなく溝である。
【０１２３】
（変形例２）
上記第１〜第１１実施形態においては、同じスリット電極２２に属する電極２２ａ〜２２ｋは、互いに分離している。しかし、必ずしもこのようになっていなくてもよく、同じスリット電極２２に属する電極２２ａ〜２２ｋは、一体になっていてもよい。
【０１２４】
例えば、第８実施形態の電極２２ａ、２２ｋ、２２ｊは、図３０（図１８と同じ形式の断面図である）に示すように、熱交換壁ＨＤ１側の端部および熱交換壁ＨＤ２側の端部で繋がっていてもよい。
【０１２５】
（変形例３）
なお、上記第１〜第１３実施形態においては、ポンプ２０と発熱体２〜４との位置関係、および、ポンプ２０と放熱フィン５、６との位置関係について、詳細に記載していない。
【０１２６】
まず、ポンプ２０が冷却壁部１２ｂ、１２ｃ内の流路に配置されている場合について説明する。この場合、発熱体２〜４は、図３１（図８と同じ形式で表す断面図）に例示する通り、熱交換壁ＨＤ１または熱交換壁ＨＤ２を挟んで、尖状電極２１およびスリット状電極２２ａ〜２２ｊ、２２ｋ、２２ｍ〜２２ｖと対向するように位置していてもよい。このようになっていることで、尖状電極２１およびスリット状電極２２ａ〜２２ｊ、２２ｋ、２２ｍ〜２２ｖを介して、ＥＨＤ流体と発熱体２〜４との間で効率的に熱交換が行われる。
【０１２７】
しかし、必ずしもこのようになっていなくてもよい。発熱体２〜４が熱交換壁ＨＤ１または熱交換壁ＨＤ２のいずれかの位置に（熱的にあるいは直接）接触していれば、尖状電極２１およびスリット状電極２２ａ〜２２ｊ、２２ｋ、２２ｍ〜２２ｖを介してＥＨＤ流体と発熱体２〜４との間で熱交換が行われる。
【０１２８】
次に、ポンプ２０が放熱壁部１３ｂ〜１３ｄ内の流路に配置されている場合について説明する。この場合、放熱フィン５、６は、図３２（図３１と同じ形式で表す断面図）に例示する通り、熱交換壁ＨＤ１または熱交換壁ＨＤ２を挟んで、尖状電極２１およびスリット状電極２２ａ〜２２ｊ、２２ｋ、２２ｍ〜２２ｖと対向するように位置していてもよい。このようになっていることで、尖状電極２１およびスリット状電極２２ａ〜２２ｊ、２２ｋ、２２ｍ〜２２ｖを介して、ＥＨＤ流体と放熱フィン５、６との間で効率的に熱交換が行われる。
【０１２９】
しかし、必ずしもこのようになっていなくてもよい。放熱フィン５、６が熱交換壁ＨＤ１または熱交換壁ＨＤ２のいずれかの位置に（熱的にあるいは直接）接触していれば、尖状電極２１およびスリット状電極２２ａ〜２２ｊ、２２ｋ、２２ｍ〜２２ｖを介してＥＨＤ流体と放熱フィン５、６との間で熱交換が行われる。
【符号の説明】
【０１３０】
１                冷却装置
２１              尖状電極
２１ａ            スリット電極側頂点
２２              スリット電極
ＨＤ１、ＨＤ２    熱交換壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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