(57)【要約】【課題】配管による圧力損失を抑え、省スペース、低コストをなし得る真空排気装置の接続構造。【解決手段】複数の真空排気装置（１Ａ，１Ｂ，１Ｃ）は、各々ポンプ室（２１Ｃ，２２Ｃ，２２Ｂ，２３Ｂ）を備え、かつ、ポンプ室のいずれかに接続される吸気口（３２Ｂ，３３Ｂ）及び排気口（４１Ｃ，４２Ｃ）を備え、真空排気装置同士を直接連結させて配置した際に、ポンプ室同士が連通する連結構造を備えている。複数の真空排気装置を直接連結させるとともに、連結された複数の真空排気装置のうち、一端側に配置された真空排気装置（１Ｂ）の吸気口と、他端側に配置された真空排気装置（１Ｃ）の排気口とを接続することによって、他端側に配置された真空排気装置（１Ｃ）から排気された気体を一端側に配置された真空排気装置（１Ｂ）に流入させる少なくとも１つの主接続経路（７８）を備えた接続手段（７）を有する真空排気装置の接続構造を提供する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気対象機器を減圧排気する複数の真空排気装置の接続構造であって、
前記複数の真空排気装置は、各々、少なくとも１つのポンプ室を備え、かつ、該ポンプ室のいずれかに接続される少なくとも１つの吸気口及び少なくとも１つの排気口を備え、
前記真空排気装置同士を直接連結させて配置した際に、前記ポンプ室同士が連通する連結構造を備え、
前記複数の真空排気装置を直接連結させるとともに、
前記連結された複数の真空排気装置のうち、一端側に配置された真空排気装置の少なくとも１つの吸気口と、他端側に配置された真空排気装置の少なくとも１つの排気口とを接続することによって、他端側に配置された真空排気装置から排気された気体を一端側に配置された真空排気装置に流入させる少なくとも１つの主接続経路を備えた接続手段を有することを特徴とする真空排気装置の接続構造。
【請求項２】
前記接続手段は、
一端側に配置された真空排気装置の吸気口と接続された第一接続経路を備えた接続手段第一部と、
他端側に配置された真空排気装置の排気口と接続された第二接続経路を備えた接続手段第二部と、
前記一部接続経路及び前記第二接続経路を接続する主接続経路を備えた接続手段配管部とから構成されており、
前記接続手段第一部と、前記接続手段第二部と、前記接続手段配管部のうち、少なくとも一つは一体形成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空排気装置の接続構造。
【請求項３】
前記接続手段第二部には、該接続手段第二部の各接続経路に、バルブを介して接続された総排気口を備えたバルブ集合体が接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空排気装置の接続構造。
【請求項４】
前記接続手段第一部又は接続手段第二部は、前記複数の真空排気装置を載置するための台座であることを特徴とする請求項２又は３に記載の真空排気装置の接続構造。
【請求項５】
前記連結構造は、
前記ポンプ室を画定するケーシングの一側に形成され、前記吸気口が開口された吸気部と、前記ケーシングの他側に形成され、前記排気口が開口されたた排気部とを備え、
前記真空排気装置同士を直接接するように配置した際に、前記吸気部の端面と前記排気部の端面とが当接するとともに、一方の前記真空排気装置の吸気口と他方の前記真空排気装置の排気口が連通する構造であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の真空排気装置の接続構造。
【請求項６】
前記排気対象機器と接続され、一つのポンプ室を備えた主真空排気装置と、
前記接続手段第一部を介して前記主真空排気装置と接続された請求項２〜５のいずれか１項に記載の真空排気装置の接続構造を適用した複数の真空排気装置とから構成された真空排気システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバー等の排気対象機器を減圧排気する複数の真空排気装置を接続するための真空排気装置の接続構造及び真空排気システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空チャンバー等の排気対象機器を減圧排気するために使用される真空排気装置（真空ポンプ）は、用途に応じて複数の異なる真空排気装置を気体流通的に直列に接続して目的の性能を達成することが一般的に行われている。例えば、排気対象機器を作動圧力まで排気し、その圧力を保つための主ポンプとしてメカニカルブースターポンプを採用し、大気圧から主ポンプが作動可能になる圧力まで真空系を排気するための粗引きポンプとして、油回転ポンプやドライポンプを採用する。これらの真空ポンプを組み合わせて使用することによって、目的の性能を達成する真空排気システムを構築している。真空ポンプの組合せはこれに限らず多様であり、３台以上の真空ポンプを組み合わせるケースもある。
【０００３】
このような複数の真空ポンプを組み合わせる場合、通常、各々の真空ポンプは適所に配置された上で接続配管等によって接続される。例えば、各々の真空ポンプを所定のフレーム（設置台）に固定し、主ポンプの排気口と粗引きポンプの吸気口を配管によって接続するなどの接続構造が一般的である。
【０００４】
例えば、非特許文献１には、上ポンプの排気口と下ポンプの吸気口とが配管で接続されている真空排気システムが示されている。また、非特許文献２には、フレーム上及びフレーム内に真空ポンプを設置し、上下の真空ポンプの排気口と吸気口を配管で接続した真空排気システムが示されている。
【０００５】
また、上述したような方法で接続される真空ポンプには、単一のケーシング内に形成された空間を区分し、複数のポンプ室とすることによって多段構造とした、多段ルーツ真空ポンプが多く採用されている。多段ルーツ真空ポンプにおいては、各段のポンプ室が直列となるように接続されていることが一般的である（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３６４５６９号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】「エドワーズ  真空製品総合カタログ  Revision3」、エドワーズ株式会社、P54
【非特許文献２】「真空技術と次世代発想のアルバック（ULVAC）：油回転ポンプ排気装置YM-VD/YM-VSシリーズ（1580L/min〜20000L/min)」、[online]、株式会社アルバック、［平成２２年４月１６日検索］、インターネット<URL: http://www.ulvac.co.jp/products/compo/F020006.html>
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上述したような多段ルーツ真空ポンプにおいては、気体が前段のポンプ室から後段のポンプ室へと圧縮されて移動するのに伴って気体の圧力が上昇することから、排気容量、すなわちポンプ室の容積は前段のポンプ室より後段のポンプ室の方が小さくなっている。つまり、複数のポンプ室の容積は、一つの真空ポンプ内で順に小さくする構成に限られる。
このため、これら多段ルーツ真空ポンプを組み合わせて真空排気システムを構築する場合においても、複数のポンプ室の構成・配置等の組合せは上述したような制限に縛られる。このような制限によって、最適なポンプ室構成を優先しようとすると、真空排気システム全体のスペース効率が悪くなる場合が多い。また、システム全体のスペース効率を優先しようとすると、最適なポンプ室構成とすることが難しくなるという問題があり、効率的な真空排気システムを構築することが難しかった。
【０００９】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、より少ないスペースで、効率的な真空排気を可能にする真空排気装置の接続構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために、この発明は以下の手段を提供している。
本発明の請求項１に係る真空排気装置の接続構造は、排気対象機器を減圧排気する複数の真空排気装置の接続構造であって、前記複数の真空排気装置は、各々、少なくとも１つのポンプ室を備え、かつ、該ポンプ室のいずれかに接続される少なくとも１つの吸気口及び少なくとも１つの排気口を備え、前記真空排気装置同士を直接連結させて配置した際に、前記ポンプ室同士が連通する連結構造を備え、前記複数の真空排気装置を直接連結させるとともに、前記連結された複数の真空排気装置のうち、一端側に配置された真空排気装置の少なくとも１つの吸気口と、他端側に配置された真空排気装置の少なくとも１つの排気口とを接続することによって、他端側に配置された真空排気装置から排気された気体を一端側に配置された真空排気装置に流入させる少なくとも１つの主接続経路を備えた接続手段を有することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の請求項２に係る真空排気装置の接続構造は、前記接続手段は、一端側に配置された真空排気装置の吸気口と接続された第一接続経路を備えた接続手段第一部と、他端側に配置された真空排気装置の排気口と接続された第二接続経路を備えた接続手段第二部と、前記一部接続経路及び前記第二接続経路を接続する主接続経路を備えた接続手段配管部とから構成されており、前記接続手段第一部と、前記接続手段第二部と、前記接続手段配管部のうち、少なくとも一つは一体形成されていることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の請求項３に係る真空排気装置の接続構造は、前記接続手段第二部には、該接続手段第二部の各接続経路に、バルブを介して接続された総排気口を備えたバルブ集合体が接続されていることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の請求項４に係る真空排気装置の接続構造は、前記接続手段第一部又は接続手段第二部は、前記複数の真空排気装置を載置するための台座であることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の請求項５に係る真空排気装置の接続構造は、前記連結構造は、前記ポンプ室を画定するケーシングの一側に形成され、前記吸気口が開口された吸気部と、前記ケーシングの他側に形成され、前記排気口が開口されたた排気部とを備え、前記真空排気装置同士を直接接するように配置した際に、前記吸気部の端面と前記排気部の端面とが当接するとともに、一方の前記真空排気装置の吸気口と他方の前記真空排気装置の排気口が連通する構造であることを特徴とする。
【００１５】
さらに、本発明は、前記排気対象機器と接続され、一つのポンプ室を備えた主真空排気装置と、前記接続手段第一部を介して前記主真空排気装置と接続された請求項２〜５のいずれか１項に記載の真空排気装置の接続構造を適用した複数の真空排気装置とから構成された真空排気システムを提供する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、連結された複数の真空排気装置のうち、一端側に配置された真空排気装置の吸気口と、他端側に配置された真空排気装置の排気口とを接続することによって、他端側に配置された真空排気装置から排気された気体を一端側に配置された真空排気装置に流入させるような構成とした。これにより、複数のポンプ室を有する複数の真空排気装置を接続して気体の圧縮を行う際に、ポンプ室の配置の自由度が高くなるため、より効率的な真空排気システムを構築することが可能となる。
【００１７】
また、バルブ集合体を接続手段第二部に直接接続することで、任意のポンプ室からの排気が容易となるため、煩雑な配管接続が不要になって装置の最適化と小型化が両立できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の真空排気装置の接続構造を採用した真空排気システムの斜視図である。
【図２】真空排気システムの全体構成を示す断面図である。
【図３】図１のＡ方向から見た真空排気システムの側面図である。
【図４】図３のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図５】真空排気装置を上方から見た斜視図である。
【図６】真空排気装置を下方から見た斜視図である。
【図７】真空排気装置の全体構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１は、真空排気装置１Ａ，１Ｂ，１Ｃを接続手段７（マニホールド）を介して連結した、本実施形態の真空排気システム１０全体を示す斜視図である。図２は、真空排気システム１０の全体構成を示す断面図である。図３は、図１の符号Ａで示す方向から見た真空排気システム１０の側面図である。真空排気システム１０は、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器に接続された吸気口１１から吸気した気体を３つの真空排気装置１Ａ〜１Ｃによって圧縮し、排気口１２から排気するシステムである。
【００２０】
３つの真空排気装置１Ａ〜１Ｃのうち、真空排気装置１Ａ（主真空排気装置）は、ケーシング内に単一のポンプ室２１Ａ（図２参照）を有するメカニカルブースターポンプである。真空排気装置１Ａは、図示しない真空チャンバー等の排気対象機器と接続されている。図２の断面図に示すように、真空排気装置１Ｂ、１Ｃは、多段ルーツ真空ポンプであり、各々が複数のポンプ室を備えている。
【００２１】
従来の多段ルーツ真空ポンプにおいては、真空ポンプの内部に形成されている複数のポンプ室が直列になるように接続されており、１つの多段ルーツ真空ポンプは、ポンプ室の数に関わらず、１つの吸気口及び排気口を備えていた。
これに対し、真空排気装置１Ｂ、１Ｃは、複数のポンプ室に対して、複数の吸気口及び排気口を備えている。つまり、本実施形態の真空排気装置１Ｂ（１Ｃ）を構成する複数のポンプ室は、それら全てのポンプ室が直列となるように接続されていない。
言い換えれば、複数のポンプ室のうち少なくとも２つのポンプ室は、同じケーシングに形成された他のポンプ室と接続されていない吸気口及び／又は排気口を有している。これらの吸気口、排気口は、隣接する真空排気装置の吸気口、排気口に接続されるため、複数のポンプ室のうち少なくとも２つのポンプ室は、他の真空排気装置１Ｃ（１Ｂ）を構成するポンプ室と接続されている。
【００２２】
このような構成を実現するために、本実施形態の真空排気装置１Ａ〜１Ｃは、真空排気装置同士を直接連結させて配置することができる。さらに、真空排気装置同士を直接連結することによってポンプ室同士が接続され連通する。
【００２３】
以上の構成について図２を参照して説明する。真空排気装置１Ｂのポンプ室２１Ｂは、同じ真空排気装置１Ｂの他のポンプ室２２Ｂ、２３Ｂとは接続されておらず、ポンプ室２１Ｂに直接連通する排気口４１Ｂを介して、真空排気装置１Ｃのポンプ室２１Ｃと接続されている。また、真空排気装置１Ｂと真空排気装置１Ｃとは、配管等を使用することなく、符号Ｂで示す平面において直接連結している。このような構成を実現するための機構の詳細に関しては後述する。
【００２４】
さらに、真空排気システム１０は、真空排気装置１同士の接続を補うための接続手段７（マニホールド）を備えている。接続手段７は、接続手段第一部７１、接続手段第二部７２、接続手段配管部７３、及びバルブユニット７４（バルブ集合体）に分割されている。これらが、真空排気装置１Ａ〜１Ｃと組み合わされることで、真空排気装置１Ａ〜１Ｃを構成する複数のポンプ室を接続する接続配管が完成し、真空排気システム１０として機能するようになる。
【００２５】
接続手段第一部７１は、真空排気装置１Ａと真空排気装置１Ｂとの間に介在するように配置されているブロック形状の一体形成された部材である。接続手段第一部７１には、真空排気装置１Ａのポンプ室２１Ａと真空排気装置１Ｂのポンプ室２１Ｂとを接続する第三接続経路７５（図２参照）が形成されているとともに、接続手段配管部７３と真空排気装置１Ｂのポンプ室２２Ｂ、２３Ｂとを接続する第一接続経路７６（図３参照）が形成されている。
接続手段配管部７３は、接続手段第一部７１の側部に連結され、主接続経路７８が第一接続経路７６と接続される。第一接続経路７６は、図２の符号７６ａ、７６ｂに示すような、２つの経路から構成されている。
【００２６】
接続手段第二部７２は、真空排気装置１Ｃの底面に連結するように配置されており、真空排気システム１Ｃを構成するポンプ室、接続手段配管部７３、及びバルブユニット７４と接続されている。接続手段第二部７２には、真空排気装置１Ｃのポンプ室と接続手段配管部７３とを接続するとともに、真空排気装置１Ｃのポンプ室とバルブユニット７４を接続する第二接続経路７７（図３参照）が形成されている。真空排気装置１、接続手段配管部７３、及びバルブユニット７４は、いずれも接続手段第二部７２の上面に接続されており、接続手段第二部７２自体が真空排気システム１０全体を支持する構造となっている。
第二接続経路７７は、接続手段配管部７３の主接続経路７８に接続される２つの経路７７ａ、７７ｂ（図２参照）と、真空排気装置１Ｃのポンプ室２４Ｃと連通する排気口４３Ｃとバルブユニット７４とを接続する経路７７ｃの３つの経路を有する。また、接続手段第二部７２は一体形成された部材である。
【００２７】
接続手段配管部７３は配管形状の部材であり、その内部には、真空排気装置１Ｃの排気口と真空排気装置１Ｂの吸気口を接続する主接続経路７８が形成されている。主接続経路７８は、接続手段第一部７１の第一接続経路７６ａ、７６ｂ（図２参照）に対応して２つの経路に対応して、長さ方向に沿う分割面によって２分割されている。接続手段配管部７３も一体形成された部材である。
【００２８】
バルブユニット７４は、接続手段第二部７２と接続されており、システム全体の排気口である総排気口１２を有している。図４の断面図に示すように、バルブユニット７４には、複数のバルブ７９（逆止弁）が設けられており、総排気口１２は、各バルブ７９を介して経路７７ａ〜７７ｃと接続されている。これにより、真空排気装置１Ｃを構成するポンプ室であって、排気口４１Ｃ、４２Ｃ、４３Ｃと直接接続されているポンプ室２１Ｃ、２２Ｃ、２４Ｃのうち任意のポンプ室からの排気を可能としている。
【００２９】
次に、図２を参照して本実施形態における各真空排気装置を構成する複数のポンプ室の構成、及びポンプ室の接続順序について説明する。
最上段に位置する真空排気装置１Ａは、１つのポンプ室２１Ａを有するメカニカルブースターポンプであり、ポンプ室２１Ａは、吸気口１１、及び排気口４１Ａを備えている。
真空排気装置１Ｂは、３つのポンプ室２１Ｂ、２２Ｂ、２３Ｂを有している。３つのポンプ室２１Ｂ、２２Ｂ、２３Ｂは、それぞれ３つの吸気口３１Ｂ、３２Ｂ、３３Ｂ、及び３つの排気口４１Ｂ、４２Ｂ、４３Ｂを備えている。
真空排気装置１Ｃは、４つのポンプ室２１Ｃ、２２Ｃ、２３Ｃ、２４Ｃを備えており、３つの吸気口３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃ、及び３つの排気口４１Ｃ、４２Ｃ、４３Ｃを備えている。真空排気装置１Ｃの４つのポンプ室のうち、２つのポンプ室２３Ｃ、２４Ｃは、接続配管２９を介して真空排気装置１Ｃを構成するケーシングの内部で直接接続されている。
【００３０】
接続手段７は、接続手段第一部７１と接続手段第二部７２と接続手段配管部７３とが協働して、真空排気装置１Ｃの排気口４１Ｃと真空排気装置１Ｂの吸気口３２Ｂとを接続するように構成されている。同様に接続手段７は、真空排気装置１Ｃの排気口４２Ｃと真空排気装置１Ｂの吸気口３３Ｂとを接続するように構成されている。
さらに、接続手段７は、真空排気装置１Ｃの排気口４３Ｃとバルブユニット７４とを接続するように構成されている。
【００３１】
なお、図３に示すように、第二接続経路７７の経路７７ａ、及び７７ｂは、真空排気装置１Ｃのポンプ室と接続手段配管部７３の主接続経路７８を接続するのみならず、真空排気装置１Ｃのポンプ室とバルブユニット７４を接続している。
【００３２】
次に、図２を参照して、実際の気体の流れを説明する。
まず、吸気口１１から真空排気装置１Ａに流入した気体が、ポンプ室２１Ａで圧縮され、排気口４１Ａから排気される。次に、気体は、真空排気装置１Ｂのポンプ室２１Ｂに流入し、圧縮される。次いで、気体はポンプ室２１Ｂと直接接続されている真空排気装置１Ｃのポンプ室２１Ｃに流入する。ポンプ室２１Ｃから排気された気体は、接続手段第二部７２の内部に形成された第二接続経路７７の経路７７ａに流入する。以上の気体の流れを図２の矢印Ｆ１に示す。
【００３３】
接続手段第二部７２に流入した気体は、接続手段配管部７３を介して、真空排気装置１Ｂのポンプ室２２Ｂに流入する。図３に、接続手段第二部７２から接続手段配管部７３を介して、気体が真空排気装置１Ｂの別のポンプ室に戻される流れを示す（矢印Ｆ４）。
ポンプ室２２Ｂに流入した気体は、図２の矢印Ｆ２に示すように、接続手段第二部７２に至る経路で圧縮される。次いで、図２の矢印Ｆ３で示される経路で圧縮された気体は、最終的に、バルブユニット７４に導かれ、排気口１２から排気される。
【００３４】
また、バルブユニット７４に設けられた複数のバルブ７９を操作することによって、真空排気装置１Ｃのポンプ室２１Ｃ又は２２Ｃから排気することが可能である。
【００３５】
以下、個々の真空排気装置１の構造について詳細に説明する。図５は、真空排気装置１Ｂを上方から見た斜視図であり、図６は下方から見た斜視図である。図７は、真空排気装置１Ｂの全体構成を示す断面図である。
なお、本発明に係る真空排気装置１には、ポンプ室の構成を異にする真空排気装置１Ａ〜１Ｃが含まれるが、以下の説明においては、３つのポンプ室を有する真空排気装置１Ｂについて説明する。
【００３６】
図１に最もよく示されているように、真空排気装置１Ａ〜１Ｃは、略同一の外形のケーシング２５を構成要素として有している。このようなケーシング形状とすることによって、図１に示すように、真空排気装置１Ｃに対して、直接的に真空排気装置１Ｂを重ねて配置することが可能である。
さらに、真空排気装置１Ｃに対して真空排気装置１Ｂを重ねて配置することによって、上側の真空排気装置１Ｂの排気口と下側の真空排気装置１Ｃの吸気口とが配管を介さずに直接接続することができる。
【００３７】
図７に示すように、真空排気装置１Ｂは、上側ケーシング２５ａと下側ケーシング２５ｂとからなるケーシング２５と、２本の回転軸８１，８１（図３参照）と、ケーシング２５によって画定された３つのポンプ室２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂにそれぞれ収容されたマユ型ロータ８２ａ，８２ｂ，８２ｃと、回転軸８１，８１を駆動するモータ８とを有するルーツ真空ポンプである。
【００３８】
ロータ８２ａ，８２ｂ，８２ｃはそれぞれ一対のロータから構成されており、２つのロータはそれぞれ回転軸８１上に配列され、各ポンプ室２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂに収容されている。一対のロータは、それぞれのロータの回転軸８１，８１の軸端に設けられた駆動ギア８５により互いに反対方向に同期回転するようになっている。
ケーシング２５は、３つのポンプ室２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂを画定するとともに真空排気装置１Ｂの外形を形成している。また、回転軸８１，８１は、ベアリング８３，８４によって支持されている。
【００３９】
ポンプ室２１Ｂ，２２Ｂ，２３Ｂは、それぞれケーシング２５の上部に形成された吸入口３１，３２，３３と連通しているとともに、ケーシング２５の下部に形成された排気口４１，４２，４３と連通している。
【００４０】
次に、真空排気装置１Ｂを構成するケーシング２５について説明する。
ケーシング２５は、後述するように上下２分割構造であり、上部（一側）に吸気口３１，３２，３３を有する吸気部３が形成され、下部（他側）に排気口４１，４２，４３を有する排気部４が形成されている。また、ケーシング２５の上部には、４つの台座部５が形成されており、下部には、４つの脚部６が形成されている。
【００４１】
ケーシング２５は、ポンプ室２１〜２３の形状に依存した楕円円筒形状を有している。吸気部３、排気部４、台座部５、脚部６は、ケーシング２５と一体に形成されている。具体的には、これらは、鋳造によって一体に形成されることが好ましい。
本発明の真空排気装置１Ｂは、ケーシング２５の長手方向（回転軸８１の軸方向）が水平となるように、かつ、ケーシング２５の楕円断面の長軸が水平となるように設置される。なお、以下の説明において、２本の回転軸８１を含む平面、すなわち、水平面を水平中心面と称する（図７にＤで示す）。
【００４２】
ケーシング２５は、上側ケーシング２５ａと下側ケーシング２５ｂとに２分割されている。上側ケーシング２５ａと下側ケーシング２５ｂとは、ボルト・ナット等の締結部材によって締結されており、上下ケーシング２５ａ，２５ｂを組み合わせることによって、モータ８側のベアリングケース８６、及び反モータ側ベアリングケース８７を保持することができるように構成されている。また、上下ケーシング２５ａ，２５ｂを組み合わせることによって、反モータ側ベアリング８４、及び油かき上げ板８８を含む空間８９を密閉させることができる。なお、本実施形態において、分割面は、前記水平中心面Ｄと略一致する。
【００４３】
吸気部３は、ケーシング２５の上部に、上方向に突出するように、かつ、ケーシング２５（上側ケーシング２５ａ）と一体に形成されている。吸気部３は、前記水平中心面Ｄと平行な端面３５を有しており、該端面３５は、ケーシング２５の軸方向に長さを有する矩形形状である。
また、吸気部３には、複数に区分された吸気口３１〜３３が設けられている。該複数の吸気口３１〜３３は、前記端面３５に開口されており、それぞれ、ポンプ室２１〜２３に連通されている。
また、吸気部３の端面３５のやや内側には、端面３５の外形に沿って溝３６が形成されている。溝３６には、Ｏリング５３が嵌め込まれている。
【００４４】
排気部４は、ケーシング２５の下部に、下方向に突出するように、かつ、ケーシング２５（下側ケーシング２５ｂ）と一体に形成されており、前記吸気部３と同様に、前記水平中心面Ｄと平行な端面４５を有している。排気部４には、複数に区分された排気口４１〜４３が設けられている。該複数の排気口４１〜４３は、前記端面４５に開口されており、それぞれ、ポンプ室２１Ｂ〜２３Ｂに連通されている。
吸気部３の端面３５と、排気部の端面４５とは、平面視において、略同形状である。
【００４５】
台座部５は、ケーシング２５（上側ケーシング２５ａ）の上部であって、平面視における最外部に４箇所設けられている突起状の台座である。台座部５は、真空排気装置１Ｂの上方向に突出するような、突起状の形状を有している。４つの台座部５は、それぞれ、その上端が面５１（以下、端面５１と称する）を形成している。４つの端面５１は、同一面上に形成されている。
さらに、台座部５の端面５１と前述した吸気部３の端面３５とは、同一面上に形成されている。ただし、台座部５は、吸気部３とは独立して設けられている。つまり、台座部５の端面５１と、吸気部３の端面３５とは離間して形成されている。
【００４６】
脚部６は、ケーシング２５（下側ケーシング２５ｂ）の下部であって、平面視における最外部に４箇所設けられている突起状の脚である。脚部６は、真空排気装置１Ｂの下方向に突出するような、突起状の形状を有している。また、平面視における位置は、前記台座部５と略同じである。４つの脚部６は、それぞれ、その下端が面６１（以下、端面６１と称する）を形成している。４つの端面６１は、同一面上に形成されている。
さらに、脚部６の端面６１と排気部４の端面４５とは、同一面上に形成されている。ただし、脚部６は、排気口４とは独立して設けられている。つまり、脚部６の端面６１と、排気部４の端面４５とは離間して形成されている。
また、台座部５と脚部６とは、側面を開口面とした中空状に形成されており、それぞれの端面５１，６１には締結孔５４が形成されている。
【００４７】
また、図５，６に示すように、台座部５には突起部５２が設けられている。これに対応して、脚部６には位置決め穴６２が形成されている。
【００４８】
上記実施形態によれば、真空排気装置１Ｂ，１Ｃは上下方向に直接重ねて配置することが可能であり、真空排気装置１Ｃの吸気部３の端面３５に、真空排気装置１Ｂの排気口４の端面４５を接して重ねるように、真空排気装置１Ｃの直上に真空排気装置１Ｂを載置することができる。
上述したように、吸気部３の端面３５と排気部４の端面４５とは、平面視において略同形状であるため、上下方向に載置することによって、真空排気装置１Ｂの排気口４１Ｂ〜４３Ｂと、真空排気装置１Ｃの吸気口３１Ｃ〜３３Ｃとが気体流通的に連通する。
これにより、真空排気装置１同士を連結する配管を設ける必要がなくなり、かつ、連結されるポンプ室間の距離が短くなるため、圧力損失を抑えることができる。
【００４９】
また、真空排気装置１を構成するケーシング２同士が接続されるため、複数の真空排気装置から構成されるシステム全体の剛性が高まるとともに、真空排気装置１から発せられる熱を分散させることができる。
【００５０】
また、ケーシング２５において、上下のケーシング２５ａ、２５ｂを組み合わせることで、ベアリングケース８６、８７を保持し、かつ、反モータ側の空間８９を形成する（カバーの役割をする）構成とした。これにより、部品点数を削減することが可能となるとともに、ケーシング２全体でベアリングケース８６、８７を保持するため、排気運転時における真空排気装置１の変形を抑えることができる。
【００５１】
また、台座部５の端面５１と脚部６の端面６１とは、平面視において略同じ位置に形成されているため、真空排気装置１Ｂと真空排気装置１Ｃとを上下方向に配置することによって、台座部５の端面５１と、脚部６の端面６１とが接して重ねることができる。この状態で、台座部５と脚部６とをボルト・ナット等の締結部材９１によって締結することによって、真空排気装置１Ａと真空排気装置１Ｂを確実に固定することができる。
【００５２】
吸気部３の端面３５に形成されている溝３６にＯリング等の封止部材を配置することによって、吸気部３と排気部４を接続した際の気密状態を向上させることができる。なお、この溝３６は、吸気部３側ではなく、排気部４側に設けてもよい。
【００５３】
真空排気装置１を連結した際に台座部５の突起部５２と脚部６の位置決め穴６２とを嵌め合わせることによって、位置決めを容易にすることができる。突起部５２及び位置決め穴６２は、全ての脚部６及び台座部５に設けることが好ましいが、少なくとも２ヶ所に設ければよい。
【００５４】
なお、ポンプ室は、仕様によって、一つのポンプ室とすることもできるし、ポンプ室２２内に隔壁を設けることによって、複数のポンプ室に分割することもできる。
【００５５】
また、真空排気装置は、上述したようなルーツ型真空ポンプに限ることはなく、ケーシングに吸気口と排気口を一体に形成することができる真空ポンプであれば、どのような真空ポンプを採用してもよい。
【００５６】
また、本実施形態においては、台座部５と脚部６は、４つ形成したが、これに限ることはなく、台座部５が脚部６を確実に支持することができれば、どのような構成でもよい。
また、台座部５が脚部６を確実に支持することができれば、台座部５の端面５１と吸気部３の端面３５は離間して形成せず、一体に成型されていてもよい。同様に、脚部６の端面６１と排気部４の端面４５に関しても、一体に成型されていてもよい。
【００５７】
以上のように、本実施形態では、ポンプ室同士は一つの真空排気装置内で連通するのみならず、他の真空排気装置のポンプ室と連通してもよいし、接続手段７と連通してもよい。換言すると、ポンプ室の連通配置は任意でよく、これにより、ポンプ室の配置の自由度が高くなるため、より効率的な真空排気システムを構築することが可能となる。
【符号の説明】
【００５８】
１（１Ａ、１Ｂ、１Ｃ）…真空排気装置、３…吸気部、４…排気部、５…台座部、６…脚部、７…接続手段、８…モータ、１０…真空排気システム、１２…総排気口、２１〜２４…ポンプ室、２５…ケーシング、２９…接続配管、３１〜３３…吸気口、３５…端面、３６…溝、４１〜４３…排気口、４５…端面、７１…接続手段第一部、７２…接続手段第二部、７３…接続手段配管部、７４…バルブユニット、７５…第三接続経路、７６…第一接続経路、７７…第二接続経路、７８…主接続経路、７９…バルブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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