(57)【要約】【課題】  レーザ加工装置において、照射領域を遮ることなく、効率的に発生した粉塵を吸引し、照射領域外への粉塵の流出を低減し、被加工物の汚損や装置内部の汚損を防止することができるレーザ加工装置およびその集塵方法を提供する。【解決手段】  被加工物２に対して、レーザ光を走査して加工を行う加工用のレーザ光を照射するレーザ照射部を備えた照射領域９と、被加工物２を載置した載置テーブル５と、照射領域９の流体を吸引する集塵ノズル１０を備えたレーザ加工装置において、集塵ノズル１０は、レーザ光の照射領域９を遮らない領域に設置され、照射領域９を覆う内壁部１１と外壁部１２、および上壁部１３によって形成された環状の集塵流路１４を有するとともに、載置テーブル５は、被加工物２の外周縁の外側の近傍位置からより、集塵ノズル１０へ向かって、パージガスを噴出するパージガス噴射ノズル２０を備える。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物が載置される載置テーブルと、
前記載置テーブルの上方に配設され、前記載置テーブルに載置される被加工物にレーザ光を照射するレーザ照射部と、
前記載置テーブルと前記レーザ照射部との間のレーザ光が通過する照射領域の流体を、吸引するための集塵ノズルであって、
前記照射領域を外囲するように配設される筒状の第１壁部と、
前記第１壁部を外囲するように配設される筒状の第２壁部と、
前記第１壁部の上端部および前記第２壁部の上端部の間を塞ぎ、前記第１壁部と前記第２壁部との間に下方に開口した環状流路を形成する第３壁部と、
前記環状流路内を吸引する吸引部と、を有する集塵ノズルと、
前記載置テーブルに設けられ、前記載置テーブルに載置される前記被加工物の外周縁の外側の近傍位置から前記集塵ノズルに向けてパージガスを噴射するパージガス噴射ノズルと、を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
前記第２壁部は、前記第１壁部よりも下方へ延長されており、かつ前記パージガス噴射ノズルの噴射位置の上方に配設されていることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
前記集塵ノズルの環状流路内には、複数の孔が形成される整流板が配設されていることを特徴とする請求項１または２に記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載のレーザ加工装置を用いて被加工物をレーザ加工する際に発生する粉塵を集塵するレーザ加工装置の集塵方法であって、
前記載置テーブルに載置した被加工物を、前記パージガス噴射ノズルからのパージガスを供給しながらレーザ加工する工程と、
前記レーザ加工の終了後に、前記パージガス噴射ノズルからのパージガスを止めて、前記集塵ノズルに前記照射領域の外側で流体を吸引させながら、前記載置テーブルに次の被加工物を載置する工程と、を含むことを特徴とするレーザ加工装置の集塵方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物にレーザ光を照射して被加工物を加工するレーザ加工において、被加工物へのレーザ光の照射によって副次物として生じる加工塵を、効率的に集塵することができるレーザ加工装置およびレーザ加工装置の集塵方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術のレーザ加工装置およびその集塵方法は、被加工物のレーザ照射位置直近にエアブローノズルおよび集塵ノズルを配置し、レーザ照射を行う加工中に、エアブローおよび集塵吸引を行って、副次物として生じる加工塵などの粉塵を除去している（たとえば、特許文献１および２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−９９９７８号公報
【特許文献２】特開２０１１−２０１４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来からレーザ加工には、レーザ光の照射位置を一点に固定して、被加工物を照射位置に対して移動させて加工を行う被加工物移動型レーザ加工装置と、レーザ光をＸＹ方向に走査して、固定された被加工物に対して加工を行うレーザ光走査型レーザ加工装置とがある。
【０００５】
被加工物移動型レーザ加工装置は、被加工物を移動させればよいので、加工ステージのサイズを設計することによって、任意の大きさの加工が実現できる。しかしながら、加工スピードは、加工ステージの移動速度に依存し、一般的には数メートル／秒程度である。
【０００６】
前記レーザ光走査型レーザ加工装置は、被加工物は動かさずに、レーザ光をＸＹ方向に振って所望の加工を行うが、加工サイズは加工精度と走査可能角度との兼ね合いとなり、一般的に数十ミクロンメートル程度の精度が必要な場合では、２００ｍｍ×２００ｍｍ程度が上限となる。しかしながら、レーザ光走査に使用するガルバノミラーに代表される走査速度は、数十メートル／秒であり、高速加工を実現することができる。
【０００７】
また、被加工物移動型レーザ加工装置は、レーザ照射位置が一定であるので、前述の集塵に関わるエアブローノズルおよび集塵ノズルをレーザ照射位置の直近に配置することができ、それだけでも効率的に集塵することができると考えられる。
【０００８】
しかしながら、レーザ光走査型レーザ加工装置は、レーザ照射位置が前述したように、２００ｍｍ×２００ｍｍ程度と広いため、この照射領域内には、エアブローノズルおよび集塵ノズルを設けることができず、照射領域を避けて、集塵ノズルを設置する必要がある。
【０００９】
そのため、集塵ノズルは、前記集塵ノズルの開口部近傍から照射領域内の流体を吸い込み、加工塵などのパーティクルとも呼ばれる粉塵が発生しても、発生個所の流体を直ちに吸い込むとは限らず、効率的に粉塵を除去することができないという問題点がある。
【００１０】
前述の特許文献１に記載される従来技術は、レーザ照射位置が一定のレーザ装置に関するものである。この場合、照射領域の近傍にエアブローノズルおよび集塵ノズルを設置することができるが、レーザ光走査型レーザ加工装置の場合、照射領域内には、エアブローノズルおよび集塵ノズルを設置することができないため、照射領域から離れた場所に設置することになり、充分な集塵性能を発揮することは困難である。また、被加工物に対してブローを行うと、ブローしたガスを漏らさないように吸入することができないと、逆に粉塵を巻き上げてしまい、効果的に集塵することができず、粉塵が被加工物に残ったままとなり、装置内および後続する処理を行なう次装置を汚損してしまう。したがって、被加工物上の充分な粉塵の除去ができずに残着したまま、被加工物が装置外に搬出されることになり、レーザ加工の次の工程で粉塵に起因する種々のトラブルが発生する要因となる。また、この種々のトラブルを未然に防ぐためには、次工程の前に、粉塵が残着した被洗浄物を洗浄するための洗浄装置を設置する必要がある。
【００１１】
前述の特許文献２に記載される従来技術においては、照射領域を囲う壁面、レーザ光の透過を許容する窓部によって、照射領域全体が覆われている。さらに、底部に設けられた開口部の周囲からエアを噴出させたエアカーテンを形成している。このような構成を設けることによって、集塵性能を向上させることが可能となりことが提案されている。
【００１２】
しかしながら、前記特許文献２に記載される従来技術では、照射領域全体を覆う必要があるため、レーザ光の入射部に窓部を設ける必要があり、窓材の透過率の分、レーザ光が減衰し、加工能力が低下してしまう。また、レーザ光走査型レーザ加工装置においては、Ｆ−θレンズと被加工物との間に、窓部を構成する窓材が存在すると、その屈折率差によって、レーザ描画位置にずれが発生し、特に照射領域の外側での精度が低下してしまい、レーザ描画位置の高精度の補正が必要になるという問題がある。
【００１３】
本発明の目的は、レーザ光走査型レーザ加工装置において、照射領域を遮ることなく、効果的に発生した粉塵を吸引し、照射領域外への粉塵の流出を低減し、被加工物の汚損や装置内部の汚損を防止することができるレーザ加工装置およびレーザ加工装置の集塵方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、被加工物が載置される載置テーブルと、
前記載置テーブルの上方に配設され、前記載置テーブルに載置される被加工物にレーザ光を照射するレーザ照射部と、
前記載置テーブルと前記レーザ照射部との間のレーザ光が通過する照射領域の流体を、吸引するための集塵ノズルであって、
前記照射領域を外囲するように配設される筒状の第１壁部と、
前記第１壁部を外囲するように配設される筒状の第２壁部と、
前記第１壁部の上端部および前記第２壁部の上端部の間を塞ぎ、前記第１壁部と前記第２壁部との間に下方に開口した環状流路を形成する第３壁部と、
前記環状流路内を吸引する吸引部と、を有する集塵ノズルと、
前記載置テーブルに設けられ、前記載置テーブルに載置される前記被加工物の外周縁の外側の近傍位置から前記集塵ノズルに向けてパージガスを噴射するパージガス噴射ノズルと、を備えることを特徴とするレーザ加工装置である。
【００１５】
また本発明は、前記レーザ加工装置を用いて被加工物をレーザ加工する際に発生する粉塵を集塵するレーザ加工装置の集塵方法であって、
前記載置テーブルに載置した被加工物を、前記パージガス噴射ノズルからのパージガスを供給しながらレーザ加工する工程と、
前記レーザ加工の終了後に、前記パージガス噴射ノズルからのパージガスを止めて、前記集塵ノズルに前記照射領域の外側で流体を吸引させながら、前記載置テーブルに次の被加工物を載置する工程と、を含むことを特徴とするレーザ加工装置の集塵方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、レーザ光走査型レーザ加工装置において、照射領域を遮ることなく、載置テーブルの被加工物の外周縁の外側の近傍位置から噴出されたパージガスによって、エアカーテンを形成し、照射領域の外側への粉塵の漏洩を防止すると共に、被加工物上の流体を引き込み、効果的に発生した粉塵を吸引し、排出することができる。また、集塵ノズル上部からもエアを引き込み、ダウンフローを形成することができ、集塵ノズル上部から、照射領域外への粉塵の流出を低減し、被加工物の汚損や装置内部の汚損を防止することができる。
【００１７】
また、第２壁部を第１壁部よりも下方へ延長することによって、照射領域外からのエア吸入をし難くすると共に、パージガス噴射ノズルから噴出されたパージガスを第２壁部に沿わせて流しやすくすることができ、エアカーテンを効果的に形成することができる。これによって、照射領域外側への粉塵の漏洩防止を効果的に行うことができ、被加工物の汚損や装置内部の汚損を防止することができる。
【００１８】
また、環状流路内の流体は、内部に設けた整流板によって、環状流路内で整流され、均等に吸引することが可能となり、照射領域全周にわたり均一吸引することができるため、照射領域外側への粉塵の漏洩防止を効果的に行うことができ、被加工物の汚損や装置内部の汚損を防止することができる。
【００１９】
また、パージガス噴射ノズルからのエアパージが停止している間は、エアカーテンがなくなるため、集塵ノズルは、照射領域外の流体も吸引することができ、捕集しきれず照射領域外に漏れ出した粉塵があったとしても、ここで吸引することができ、装置内部の汚損を防止することができる。また、エアカーテンがなくなることで、被加工物の載置テーブルへ載置を邪魔することがなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態１のレーザ加工装置１の構成を模式的に示す断面図である。
【図２】レーザ加工装置１の集塵ノズル１０および載置テーブル５の構造を示す断面図である。
【図３】本発明の実施形態２のレーザ加工装置１の構成を模式的に示す断面図である。
【図４】実施形態２における集塵ノズル１０の構成を示す断面図である。
【図５】本発明の実施形態３のレーザ加工装置１の構成模式的に示す断面図である。
【図６】本発明のレーザ加工装置の集塵方法の動作を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。当然ながら、本発明はこれのみに限定されるものではなく、この実施形態に記載されている構成は、特に限定的な記載がない限り、この発明の範囲をこれのみに限定する趣旨ではなく、例示に過ぎない。
【００２２】
（実施形態１）
（レーザ加工装置の構成例）
図１は、本発明の実施形態１のレーザ加工装置１の構成を模式的に示す断面図である。同図において、レーザ加工装置１は載置テーブル５を下側とし、レーザ光学部８を上方にして、加工処理室の床上に設置されるものとして、以下に説明する。本実施形態のレーザ加工装置１は、走査型レーザ加工装置であって、被加工物２に対して、図示しないレーザ発振器から発振されたレーザ光を、レーザ光学部８およびレーザ走査手段７を通過させて、加工用ビーム光として被加工物２に照射し、レーザ加工することができるように構成される。前記レーザ光学部８と載置テーブル５との間の、加工用ビーム光が通過する領域全体を含む空間が、照射領域９である。
【００２３】
集塵ノズル１０は、前記照射領域９へ干渉せず、さらに前記照射領域９の流体を吸引できるように、設置されている。集塵ノズル１０は、筒状の第１壁部である内壁部１１、筒状の第２壁部である外壁部１２、および第３壁部である上壁部１３によって、略環状の集塵流路１４を構成する。よって、集塵ノズル１０は、下方に開口する開口部である吸入口１５を有している。内壁部１１は、照射領域９を外囲するように配設され、外壁部１２は内壁部１１を外囲するように配設され、上壁部１３は、内壁部１１の上端部および外壁部１２の上端部の間を塞ぎ、内壁部１１と外壁部１２との間に下方に開口した前記集塵流路１４を形成する。
【００２４】
また、前述のように構成することによって、集塵ノズル１０内の側部には、上側開口部１６が形成され、照射領域９へ干渉することなく、設置することができる。前記集塵流路１４には、図示しない集塵機へ繋がる排気口１７が設けられている。なお、排気口１７は、１か所でもよく、複数個設置してもよい。
【００２５】
次に、被加工物２を保持する載置テーブル５について説明する。前記照射領域９の下部に載置される被加工物２は、被加工物２が動かないように、被加工物保持手段３によって保持される。被加工物保持手段３としては、たとえば、真空吸着するような吸着盤や、静電気で保持する静電チャックが挙げられる。被加工物保持手段３の下部には、加工ベース板４が設けられ、加工ベース板４には、環状のパージガス流路２１が設けられると共に、パージガス流路蓋２２によって覆われることで、パージガス噴射ノズル２０が構成されている。
【００２６】
パージガス流路２１には、パージガス導入口２３より、パージガスが導入される。パージガス導入口２３より、導入されたパージガスは、パージガス流路２１で広がり、パージガス流路蓋２２によって、構成されたパージガス噴射ノズル２０から噴出され、エアカーテン２４を形成することができる。
【００２７】
レーザ加工された被加工物２の加工面すなわち上面には、加工によって削られた微小な粉塵である加工塵（図示せず）が浮遊している。この粉塵を効率よく集塵すること、つまり、照射領域９の粉塵と空気との混合物である流体を吸引することが効果的である。
【００２８】
集塵ノズル１０は、走査レーザ光が通過する領域である照射領域９に干渉しないように設置されているため、集塵ノズル１０のみを設置して、吸引した場合、集塵ノズル１０は、吸い込み易い領域の流体を吸引することとなり、照射領域９以外の流体も吸い込んでしまい、高い捕集効果を発揮することは困難である。そのため、発生した加工塵が飛散し、被加工物２の表面へ付着したり、装置内へ堆積したりすることによって、レーザ加工装置や、次装置を汚損してしまう。
【００２９】
また、被加工物２に対して、直接エアブローを行うことも考えられるが、ブローしたエアを漏らさないように吸入することができないと、逆に粉塵を巻き上げ、効果的な集塵ができず、加工塵などの粉塵が装置内へ堆積することや、被加工物２に残り次装置を汚損してしまう。
【００３０】
本発明では、上述の集塵ノズル１０に加えて、パージガスをパージガス噴射ノズル２０から噴出させ、エアカーテン２４を形成することによって、照射領域９外側への加工塵などの粉塵の漏洩を防止すると共に、エアカーテン２４の流れによって、被加工物２上の流体を引き込み、発生した粉塵を効率的に吸引し、排出することができる。また、集塵ノズル１０の上側開口部１６からもエアを引き込み、照射領域９の上側から下側へ向かうダウンフローを形成することができ、集塵ノズル１０の上側開口部１６から、照射領域９外への加工塵などの粉塵の流出を低減し、被加工物２の汚損や装置内部の汚損を防止することができる。なお、集塵ノズル１０から吸引される流体の流量は、パージガス噴射ノズル２０から噴出されるパージガス流量よりも多く設定される。
【００３１】
図２は、レーザ加工装置１の集塵ノズル１０および載置テーブル５の構造を示す断面図である。本実施形態による集塵ノズル１０においては、外壁部１２は、内壁部１１よりも下方へ延長されており、パージガス噴射ノズル２０の噴出位置上部に外壁部１２が配設されていることを特徴としている。なお、被加工物２を取出しするため、外壁部１２は、被加工物２からＬの隙間を有して設置される。なお、隙間Ｌは適宜、使用条件によって決定される。
【００３２】
前記構成によれば、外壁部１２を内壁部１１よりも下方へ延長することによって、照射領域９外からのエア吸入をし難くする。また、パージガス噴射ノズル２０の噴出位置上部に外壁部１２が配設することによって、パージガス噴射ノズル２０から噴出されたパージガスは、コアンダ効果により、外壁部１２に沿って流れるため、パージガスの拡散を防止し、エアカーテンを効果的に形成することができる。これによって、照射領域９の外側への粉塵の漏洩防止を効果的に行うことができ、被加工物２の汚損や装置内部の汚損を防止することができる。
【００３３】
（実施形態２）
（集塵ノズルの他の構成例）
図３は、本発明の実施形態２のレーザ加工装置１の構成を模式的に示す断面図である。なお、前述の実施形態と対応する部分には同一の参照符を付す。本実施形態による集塵ノズル１０においては、前記集塵ノズル１０の集塵流路１４の内部には、複数の孔１８ａを設けた整流板１８が配設され、集塵流路１４と吸入口１５が分離されている。
【００３４】
図４は、実施形態２における集塵ノズル１０の構成を示す断面図である。整流板１８がない場合、集塵ノズル１０内部の集塵流路１４における流体は、排気口１７に近いほど、多くの流体が吸い込まれ、遠くなるほど吸い込まれる流体は少なくなるような流量分布が生じるため、発生した粉塵などの粉塵の捕集にばらつきが生じることとなる。そこで、本発明のように構成することによって、排気口１７から集塵機へ吸い込まれる流体は、整流板１８によって、流路抵抗が作用し、集塵流路１４がバッファ空間として作用し、吸入口１５から均等に吸引することができるようになる。これによって、照射領域９の外側への粉塵の漏洩防止を効果的に行うことができ、被加工物２の汚損や装置内部の汚損を防止することができる。
【００３５】
さらに、整流板１８の他の構成としては、複数枚の整流板１８を設置してもよい。また、整流板１８に設けられた１８ａは、排気口１７に近い側の１８ａを小さくし、最も遠い側の１８ａを大きくするように、孔径に分布を持たせてもよく、排気流量と集塵ノズル１０の大きさによって、適宜、決められるものである。
【００３６】
（実施形態３）
（集塵ノズルの他の構成例）
図５は、本発明の実施形態３のレーザ加工装置１の構成を模式的に示す断面図である。なお、前述の実施形態と対応する部分には同一の参照符を付す。本実施形態における集塵ノズル１０においては、照射領域９の傾斜に沿わせた内斜壁部１９が構成されている。前記内斜壁部１９がない場合は、照射領域９でない領域の流体も吸引することになるとともに、上側開口部１６の面積も大きくなってしまい、上側開口部１６から引き込みまれたエア流速も小さくなってしまっていた。しかし、本実施形態のように構成することによって、照射領域９でない領域を、内斜壁部１９によって埋めることができ、無駄な空間を排除すると共に、上側開口部１６は、最も小さく構成することができるため、照射領域９内の流体をより効果的に吸引することができると共に、上側開口部１６からの引き込まれるエア流速も大きくでき、レーザ走査手段７へ加工塵が舞い上がり、レンズなどの汚損を防止できる。
【００３７】
（レーザ加工装置の動作フロー）
次に、本発明のレーザ加工装置の集塵方法に係る実施形態を説明する。
図６は本発明の一実施形態のレーザ加工装置の集塵方法を説明するためのフローチャートである。以下、図面に沿って代表的に前述の実施形態１のレーザ加工装置１によって本発明に係る集塵方法を実施した場合について説明する。なお、前述の実施形態と対応する部分には同一の参照符を付し、重複を避けて説明は省略する。
【００３８】
まず、載置テーブル５へ被加工物２が載置され、照射領域９領域内へ載置される（ステップＳ１）。次に、集塵ノズル１０が吸引しているかどうかを確認し（ステップＳ２）、集塵ノズル１０が吸引していれば、パージガス噴射ノズル２０からパージガスを噴出させる（ステップステップＳ３）。
【００３９】
なお、集塵ノズル１０のＯＮ／ＯＦＦは特に定めるものではないが、排気流量など能力的に余裕があれば、常時ＯＮしていることが望ましい。これは、エアブローにより舞い上がった粉塵である粉塵のうち、捕集しきれなかった粉塵が装置内に漂うのを防ぐためであり、常時排気していることによって、漂う粉塵量を少なくすることができる。
【００４０】
ここで、集塵ノズル１０の吸引を確認するのは、集塵ノズル１０が吸引していない場合、パージガス噴射ノズル２０からのパージガスは、粉塵を巻き上げ、装置内部を汚損する可能性があるからである。そして、エアパージが開始されたところで、被加工物２をレーザ加工する（ステップＳ４）レーザ加工終了後、パージガス噴射ノズル２０からのパージガスを停止させる（ステップＳ５）。
【００４１】
パージガスが停止後、被加工物２は、載置テーブル５から取り出され、次の被加工物２が載置されることを繰り返す。このように構成することによって、パージガス噴射ノズル２０からのエアパージが停止している間は、エアカーテン２４がなくなるため、集塵ノズル１０は、照射領域９外の流体も吸引することができ、捕集しきれず照射領域９外に漏れ出した粉塵があったとしても、ここで吸引することができ、装置内部の汚損を防止することができる。また、エアカーテン２４がなくなることで、被加工物２の載置テーブル５へ載置を邪魔することもない。
【００４２】
以上のように本発明は、被加工物２に対して、レーザ光を走査して加工を行う加工用のレーザ光を照射するレーザ照射部を備えた照射領域９と、被加工物２を載置した載置テーブル５と、照射領域９の流体を吸引する集塵ノズル１０を備えたレーザ加工装置において、集塵ノズル１０は、レーザ光の照射領域９を遮らない領域に設置され、照射領域９を覆う内壁部１１、外壁部１２および上壁部１３によって形成された環状流路である集塵流路１４を有するとともに、前記載置テーブル５は、被加工物２の外周縁の外側近傍位置から集塵ノズル１０へ向かって、パージガスを噴出するパージガス噴射ノズル２０を備える。
【００４３】
このような構成によれば、レーザ光走査型レーザ加工装置１において、照射領域９を遮ることなく、載置テーブル５の被加工物２外周縁の外側近傍位置から噴出されたパージガスによって、エアカーテン２４を形成し、照射領域９の外側への粉塵の漏洩を防止するとともに、被加工物２上の流体を引き込み、効果的に発生した粉塵を吸引し、排出することができる。また、環状の集塵ノズル１０の上部からもエアを引き込み、ダウンフローを形成することができ、集塵ノズル１０の上部から、照射領域９外への粉塵の流出を低減し、被加工物２の汚損や装置内部の汚損を防止することができる。
【００４４】
よって、被加工物２を次工程の装置、たとえば検査装置などで検査する場合でも、粉塵が存在することによる検査ミスや、検査カメラのレンズの汚染を防ぐことができる。さらに、レーザ加工装置１の内部や、搬出エリアにおいても、清浄な状態に保たれるので、搬出作業で被加工物２を取り出すためのアームやピックアップツールなどの治具の汚染も未然に防ぐことができ、これによる二次汚染も防げる。
【００４５】
また、前記集塵ノズル１０の環状の集塵流路１４を構成する外壁部１２は、内壁部１１よりも下方へ延長されており、パージガス噴射ノズル２０の噴出位置の上方に外壁部１２が配設されている。
【００４６】
このような構成によれば、外壁部１２を内壁部１１よりも下方へ延長することによって、照射領域９外からのエア吸入をし難くするとともに、パージガス噴射ノズル２０から噴出されたパージガスを、外壁部１２に沿わせて流しやすくすることができ、エアカーテン２４を効果的に形成することができる。これによって、照射領域９の外側への粉塵の漏洩防止を効果的に行うことができ、被加工物２の汚損や装置内部の汚損を防止することができる。
【００４７】
また、前記集塵ノズル１０の集塵流路１４の内部空間には、複数の孔を設けた整流板１８が配設されている。
【００４８】
前記構成によらない場合、集塵流路１４内の流体は、集塵機へ繋がる流路と接続しているが、その接続部に近い領域から流体は吸い込まれ易くなるが、前記構成による場合には、集塵流路１４内の流体は、内部に設けた整流板１８によって、集塵流路１４内で整流され、均等に吸引することが可能となり、照射領域９全周にわたり均一に吸引することができるため、照射領域９の外側への粉塵の漏洩防止を効果的に行うことができ、被加工物２の汚損や装置内部の汚損を防止することができる。
【００４９】
また、載置テーブル５に載置した被加工物２を、パージガス噴射ノズル２０からのパージガスを供給しながらレーザ加工し、レーザ加工終了後に、パージガス噴射ノズル２０からのパージガスを止めて、集塵ノズル１０は、照射領域９以外の流体を吸引させながら、次の被加工物を載置することができる。
【００５０】
本発明は、レーザ走査型のレーザ加工装置において、被加工物２の加工中に発生する粉塵を効果的に除去したい要求があるレーザ加工装置に対して有利に適用することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１  レーザ加工装置
２  被加工物
３  被加工物保持手段
４  加工ベース板
５  載置テーブル
７  レーザ走査手段
８  レーザ光学部
９  照射領域
１０  集塵ノズル
１１  内壁部
１２  外壁部
１３  上壁部
１４  集塵流路
１５  吸入口
１６  上側開口部
１７  排気口
１８  整流板
１９  内斜壁部
２０  パージガス噴射ノズル
２１  パージガス流路
２２  パージガス流路蓋
２３  パージガス導入口
２４  エアカーテン
【図１】
2014104489.tif 000003
【図２】
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【図３】
2014104489.tif 000005
【図４】
2014104489.tif 000006
【図５】
2014104489.tif 000007
【図６】
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