(57)【要約】【課題】基板処理装置の状態を示す複数のパラメータの中から、目的のパラメータを迅速に検索して表示する技術を提供すること。【解決手段】基板処理装置１００は、ウエハＷを処理する基板処理ユニット１を備えている。基板処理装置１００は、該基板処理装置１００の状態を示す複数のパラメータを記憶するパラメータ記憶部５７と、該複数のパラメータの各々が分類されている複数のグループを規定したグループ定義ファイル６１０を記憶するグループ定義ファイル記憶部６１と、複数のパラメータのうち少なくとも一部のパラメータを表示する表示部５１と、複数のグループの中から、特定のグループを選択する入力操作を受け付ける入力部５３と、グループ定義ファイル６１０に基づいて、入力部５３を介して選択された特定のグループに含まれるパラメータを表示部５１に表示させる表示制御部５５と、を備える。【選択図】図３
2014063814.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する基板処理装置であって、
前記基板処理装置の状態を示す複数のパラメータを記憶するパラメータ記憶部と、
前記複数のパラメータの各々が分類されている、複数のグループを規定したグループ定義ファイルを記憶するグループ定義ファイル記憶部と、
前記複数のパラメータのうち少なくとも一部のパラメータを表示する表示部と、
前記複数のグループの中から、特定のグループを選択する選択入力を受け付ける入力部と、
前記グループ定義ファイルに基づいて、前記入力部を介して選択された前記特定のグループに含まれる前記パラメータを前記表示部に表示させる表示制御部と、
を備える、基板処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板処理装置において、
前記グループが、前記基板処理装置を構成する複数の要素のいずれかに対応する、基板処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の基板処理装置において、
前記グループが、前記基板処理装置を区画した複数のエリアのいずれかに対応する、基板処理装置。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板処理装置において、
前記表示制御部は、
前記複数のグループの中から、前記１以上のグループを選択するための選択画面を前記表示部に表示させる、基板処理装置。
【請求項５】
請求項４に記載の基板処理装置において、
前記表示制御部は、
前記選択画面に、前記基板処理装置の少なくとも一部を模した模式画像を表示するとともに、該模式画像の部位毎に、前記複数のグループのいずれかに関連付けられた選択ボタンを表示し、
前記選択入力は、前記選択ボタンを介して実行される、基板処理装置。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれか１項に記載の基板処理装置において、
前記グループ定義ファイルは、前記複数のグループのうち少なくとも一部のグループについて、前記パラメータがさらに分類されている１以上サブグループを規定している、基板処理装置。
【請求項７】
基板を処理する基板処理装置の状態を示す複数のパラメータを表示部に表示する表示方法であって、
(a) 前記複数のパラメータの各々が分類されている、複数のグループを規定したグループ定義ファイルを記憶する記憶工程と、
(b) 前記複数のグループの中から、特定のグループを選択する選択入力を受け付ける選択入力受付工程と、
(c) 前記グループ定義ファイルに基づいて、前記(b)工程にて選択された前記特定のグループに分類されているパラメータを、前記表示部に表示する表示工程と、
を含む、表示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板処理装置の状態を示すパラメータを、ディスプレイ等に表示する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置等の基板処理装置として、半導体ウエハ等の基板を処理する基板処理ユニットを備えたものが知られている（例えば特許文献１）。このような基板処理装置をメンテナンスする際には、基板処理装置に備えられているセンサー等を含む各デバイスから、基板処理装置の状態を示すパラメータを入手し、これをディスプレイに表示等して、パラメータを管理することが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２１２３０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来では、基板処理装置に関する全パラメータが、カテゴリー毎にグループ分け等して管理されておらず、ひとまとめに管理されていた。このため、単に全パラメータがディスプレイ上に一覧表示され、その中から、オペレータが、スクロール操作またはキーワード検索などして、目的のパラメータを見つけ出す必要があった。したがって、目的のパラメータを探し出すのに時間がかかっていた。特に、メンテナンス作業に不慣れな者にとって、目的のパラメータを探し出すことは困難な作業となっていた。
【０００５】
また、近年では、基板処理装置の大型化または多機能化により、管理すべきパラメータの種類等も増大している。このため、目的のパラメータを探し出す作業も、より一層困難なものとなっている。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、基板処理装置の状態を示す複数のパラメータの中から、目的のパラメータを迅速に検索して表示する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、第１の態様は、基板を処理する基板処理装置であって、前記基板処理装置の状態を示す複数のパラメータを記憶するパラメータ記憶部と、前記複数のパラメータの各々が分類されている、複数のグループを規定したグループ定義ファイルを記憶するグループ定義ファイル記憶部と、前記複数のパラメータのうち少なくとも一部のパラメータを表示する表示部と、前記複数のグループの中から、特定のグループを選択する選択入力を受け付ける入力部と、前記グループ定義ファイルに基づいて、前記入力部を介して選択された前記特定のグループに含まれる前記パラメータを前記表示部に表示させる表示制御部とを備える。
【０００８】
また、第２の態様は、第１の態様に係る基板処理装置において、前記グループが、前記基板処理装置を構成する複数の要素のいずれかに対応する。
【０００９】
また、第３の態様は、第１または第２の態様に係る基板処理装置において、前記グループが、前記基板処理装置を区画した複数のエリアのいずれかに対応する。
【００１０】
また、第４の態様は、第１から第３までの態様のいずれか１態様に係る基板処理装置において、前記表示制御部は、前記複数のグループの中から、前記１以上のグループを選択するための選択画面を前記表示部に表示させる。
【００１１】
また、第５の態様は、第４の態様に係る基板処理装置において、前記表示制御部は、前記選択画面に、前記基板処理装置の少なくとも一部を模した模式画像を表示するとともに、該模式画像の部位毎に、前記複数のグループのいずれかに関連付けられた選択ボタンを表示し、前記選択入力は、前記選択ボタンを介して実行される。
【００１２】
また、第６の態様は、第１から第５までの態様のいずれか１態様に係る基板処理装置において、前記グループ定義ファイルは、前記複数のグループのうち少なくとも一部のグループについて、前記パラメータがさらに分類されている１以上サブグループを規定している。
【００１３】
また、第７の態様は、基板を処理する基板処理装置の状態を示す複数のパラメータを表示部に表示する表示方法であって、(a)前記複数のパラメータの各々が分類されている、複数のグループを規定したグループ定義ファイルを記憶する記憶工程と、(b)前記複数のグループの中から、特定のグループを選択する選択入力を受け付ける選択入力受付工程と、(c)前記グループ定義ファイルに基づいて、前記(b)工程にて選択された前記特定のグループに分類されているパラメータを、前記表示部に表示する表示工程とを含む。
【発明の効果】
【００１４】
第１から第７までの態様によると、グループ別にパラメータを分類して表示することができるため、オペレータが目的とするパラメータの検索および特定が容易となる。これにより、作業時間の短縮を図ることができる。
【００１５】
また、第２の態様によると、各パラメータを、関連する要素のグループに紐付けるようにして、グループ定義ファイルを予め作成しておくことにより、基板処理装置の要素毎に、関連するパラメータを選択的に表示させることができる。このため、装置構成に精通したオペレータが、要素を特定することで目的のパラメータを容易に検索することができる。
【００１６】
特に、第３の態様によると、各パラメータを、関連するエリアのグループに紐付けるようにして、グループ定義ファイルを予め作成しておくことにより、基板処理装置のエリア毎に、関連するパラメータを選択的に表示させることができる。このため、物理的な配置関係に精通したオペレータが、目的とするパラメータを容易に検索することができる。
【００１７】
特に、第４の態様によると、視覚的にグループの選択を行うことができる。したがって、グループの選択が容易となり、迅速に目的のパラメータを検索することができる。
【００１８】
特に、第５の態様によると、模式画像上でエリアを選択することができるため、パラメータが関連付けされているエリアを容易に特定することができる。
【００１９】
特に、第６の態様によると、各グループにおいて、サブグループを規定することにより、各パラメータをより細かく分類して管理することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施形態に係る基板処理装置の概略を示す平面図である。
【図２】基板処理装置が備える基板処理ユニットの図解的な側面図である。
【図３】基板処理装置の構成を示すブロック図である。
【図４】パラメータとグループ定義ファイルとの関係を説明するための図である。
【図５】オーバービュー画面の一例を示す図である。
【図６】要素別表示画面の一例を示す図である。
【図７】項目選択画面の一例を示す図である。
【図８】エリア別表示画面の一例を示す図である。
【図９】エリア選択画面の一例を示す図である。
【図１０】他のエリア別表示画面の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、図面においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数量等が誇張または簡略化して図示されている場合がある。
【００２２】
＜１．実施形態＞
図１は、実施形態に係る基板処理装置１００の概略を示す平面図である。基板処理装置１００は、外部からの基板の搬入、または、外部への基板の搬出を行うために設けられた基板搬出入部７１と、基板を処理する基板処理部７３と、基板処理に用いられる各種溶液を貯留する貯留槽または空調機器などが配置される機器配置部７５を備えている。
【００２３】
基板搬出入部７１には、未処理の基板を基板処理部７３の基板受渡部７３１に搬入したり、基板処理部７３にて処理された基板を基板受渡部７３１から搬出したりする搬送ユニット８１が備えられている。
【００２４】
基板処理部７３は、中央部に配置された搬送ユニット８３と、その周囲の複数箇所（例えば４箇所）に配置された複数台の基板処理ユニット１とを備えている。搬送ユニット８３は、未処理の基板を基板受渡部７３１から搬出して、複数の基板処理ユニット１のいずれかに搬入する。また、搬送ユニット８３は、各基板処理ユニット１から処理後の基板を搬出して、基板受渡部７３１に搬入する。基板処理ユニット１は、上下多段（例えば３段）に積層されることによって、１つの基板処理装置１００につき複数台（例えば１２台）備えられている。
【００２５】
図２は、基板処理装置１００が備える基板処理ユニット１の図解的な側面図である。基板処理ユニット１は、基板の一例としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）Ｗを１枚ずつ処理する枚葉型の装置である。基板処理ユニット１は、ウエハＷをほぼ水平に保持するスピンチャック２と、スピンチャック２に保持されたウエハＷの表面にリンス液の一例としての純水を供給するためのノズル３と、スピンチャック２に保持されたウエハＷの表面に薬液を供給するための薬液ノズル３３と、スピンチャック２に保持されたウエハＷの表面付近の雰囲気をその周囲から遮断するための遮断板４とを備えている。
【００２６】
スピンチャック２は、ほぼ鉛直に延びるスピン軸５の上端に、円板状のスピンベース６がほぼ水平に取り付けられた構成を有している。スピンベース６の上面には、複数個の挟持部材７がスピン軸５の中心軸線を中心とする円周にほぼ等間隔で配置されている。複数個の挟持部材７は、ウエハＷの端面を互いに異なる複数の位置で挟持することにより、そのウエハＷをほぼ水平な姿勢で保持することができる。
【００２７】
スピン軸５には、モータ８が結合されている。モータ８が発生させる回転力により、スピン軸５をその中心軸線まわりに回転させることができる。そして、複数の挟持部材７によってウエハＷを保持した状態で、スピン軸５を回転させることにより、ウエハＷをスピンベース６とともに回転させることができる。
【００２８】
スピン軸５は、中空に形成されている。スピン軸５の内部には、温調液流通管９が挿通されている。温調液流通管９には、温水供給管３２が接続されている。この温水供給管３２を通して、温調液の一例としての約８０℃の温水が温調液流通管９に供給される。温水供給管３２の途中部には、温水バルブ１０が介装されている。また、温調液流通管９は、スピンチャック２（複数個の挟持部材７）に保持されたウエハＷの裏面（下面）中央に近接する位置まで延びていて、その先端には、温調液流通管９に供給される温水を吐出する裏面ノズル１１が設けられている。裏面ノズル１１から吐出される温水は、例えば、スピンチャック２に保持されたウエハＷの裏面中央に対してほぼ垂直に入射する。
【００２９】
なお、温水は、基板処理ユニット１と別置された温水生成キャビネットにおいて、純水を加熱することにより生成され、この温水生成キャビネットから温水供給管３２に供給されてもよい。また、基板処理ユニット１が設置される工場に温水が流通する温水ラインが設けられている場合には、その温水ラインから温水供給管３２に温水が供給されてもよい。
【００３０】
ノズル３は、スピンチャック２の上方に設けられたアーム１２の先端に取り付けられている。アーム１２は、スピンチャック２の側方でほぼ鉛直に延びたアーム支持軸１３に支持されており、このアーム支持軸１３からほぼ水平に延びている。アーム支持軸１３には、アーム駆動機構１４が結合されている。アーム駆動機構１４からアーム支持軸１３に駆動力を入力して、アーム支持軸１３を所定角度範囲内で回動させることにより、アーム１２を所定角度範囲内で揺動させることができるようになっている。
【００３１】
ノズル３には、純水供給管１５が接続されている。純水供給管１５の途中部には、純水バルブ１６が介装されている。純水バルブ１６が開かれると、純水供給管１５からノズル３に純水が供給される。
【００３２】
薬液ノズル３３は、スピンチャック２の上方で、吐出口をウエハＷの回転中心に向けて配置されている。薬液ノズル３３には、薬液供給管３４が接続されている。薬液供給管３４の途中部には、薬液バルブ３５が介装されている。薬液バルブ３５が開かれると、薬液供給管３４から薬液ノズル３３に薬液が供給される。
【００３３】
遮断板４は、ウエハＷとほぼ同じ径またはそれ以上の径を有する円板状に形成され、スピンチャック２の上方でほぼ水平に配置されている。遮断板４の上面には、スピンチャック２のスピン軸５と共通の鉛直軸線を中心とする回転軸１７が固定されている。回転軸１７は、中空に形成されている。回転軸１７の内部には、低表面張力液体流通管１８が挿通されている。
【００３４】
低表面張力液体流通管１８には、ＩＰＡ供給管１９が接続されている。このＩＰＡ供給管１９を通して、低表面張力液体の一例としての常温（約２５℃）のＩＰＡ（イソプロピルアルコール）液が低表面張力液体流通管１８に供給されるようになっている。ＩＰＡ供給管１９の途中部には、ＩＰＡバルブ２０が介装されている。また、低表面張力液体流通管１８は、遮断板４の下面にまで延びており、その先端は、ＩＰＡ液を吐出するためのＩＰＡノズル２１を形成している。
【００３５】
また、回転軸１７の内壁面と低表面張力液体流通管１８との間は、窒素ガスが流通する窒素ガス流通路２２を形成している。窒素ガス流通路２２には、窒素ガス供給管２３が接続されている。この窒素ガス供給管２３を通して、図示しない供給源からの窒素ガスが窒素ガス流通路２２に供給されるようになっている。窒素ガス供給管２３の途中部には、窒素ガスバルブ２４が介装されている。窒素ガス流通路２２は、遮断板４の下面において、ＩＰＡノズル２１の周囲で環状に開口して、窒素ガスを吐出するための窒素ガス吐出口２５を形成している。
【００３６】
回転軸１７は、ほぼ水平に延びたアーム２６の先端付近から垂下した状態に取り付けられている。そして、このアーム２６には、遮断板４をスピンチャック２の上方に大きく離間した位置（図２に実線で示す位置）とスピンチャック２に保持されたウエハＷの表面に微小な間隔を隔てて近接する位置（図２に破線で示す位置）との間で昇降させるための遮断板昇降駆動機構２７が結合されている。さらに、アーム２６に関連して、遮断板４をスピンチャック２によるウエハＷの回転にほぼ同期させて回転させるための遮断板回転駆動機構２８が設けられている。
【００３７】
スピンチャック２は、有底円筒容器状のカップ２９に収容されている。カップ２９の底部には、廃液ライン３０が接続されている。この廃液ライン３０を介して、カップ２９の底部に集められた液体（純水、温水およびＩＰＡ液）を廃棄することができる。また、カップ２９には、該カップを上下に昇降させるためのカップ上下機構４１が結合されている。
【００３８】
図３は、基板処理装置１００の構成を示すブロック図である。本体制御部３１は、例えば、ＣＰＵ、ＲＡＭまたはＲＯＭ等を含むコンピュータで構成される。本体制御部３１は、予め定められたプログラムに従って、基板処理装置１００が備えるデバイスを制御する。なお、図３では、本体制御部３１が制御するデバイスとして、基板処理ユニット１が備えるデバイス（モータ８、アーム駆動機構１４、遮断板昇降駆動機構２７、遮断板回転駆動機構２８、ＩＰＡバルブ２０、窒素ガスバルブ２４、純水バルブ１６、薬液バルブ３５および温水バルブ１０の開閉、および、カップ上下機構４１）のみが図示されている。しかしながら、本体制御部３１の制御対象物は、図３に示されるデバイスに限定されるものではなく、基板処理装置１００が備えるその他不図示のデバイスを含む。
【００３９】
また、図３に示されるように、基板処理装置１００は、各種情報を表示するための表示部５１、基板処理装置１００に対して入力操作を行う入力部５３、入力部５３からの入力情報等に基づき、表示部５１における表示を制御する表示制御部５５をさらに備えている。入力部５３は、例えば、マウス、キーボード等で構成される。なお、表示部５１をタッチパネル等で構成することによって、入力部５３の機能の一部または全部の機能を、該表示部５１に持たせてもよい。
【００４０】
また、基板処理装置１００は、基板処理装置１００の各デバイス８、１４、２７等の状態を示すパラメータを記憶するパラメータ記憶部（ＩＯメモリマップ）５７と、パラメータ記憶部５７を管理するメモリ管理部５９と、グループ定義ファイル６１０を記憶するグループ定義ファイル記憶部６１とをさらに備えている。なお、パラメータ記憶部５７とグループ定義ファイル記憶部６１は、共通の記憶装置（ＲＡＭ等の一時的に情報を記憶するものも含む。）にまとめられていてもよいし、あるいは、異なる記憶装置に分けられていてもよい。
【００４１】
パラメータ記憶部５７に格納されているパラメータ（ＩＯパラメータ）は、具体的には、基板処理装置１００が備えるデバイス（モータ８、ＩＰＡバルブ２０等）の動作の状態を示す動作パラメータ、または、基板処理装置１００の各部位に備え付けられた各種センサー（温度計、圧力計、流量計等）が出力する温度、圧力、流量等の環境に関する状態を示す環境パラメータ等を含む。各パラメータは、センサー等を含む各デバイスから本体制御部３１に渡され、そして、メモリ管理部５９が、該本体制御部３１からパラメータを受け取って、パラメータ記憶部５７に保存する。各パラメータに変化が生じた場合、変更されたパラメータが本体制御部３１を介してメモリ管理部５９に伝達され、パラメータ記憶部５７に保存されていたパラメータが書き換えられる。
【００４２】
また、メンテナンス時等には、オペレータは、入力部５３を介して、パラメータ記憶部５７から特定のパラメータを呼び出して確認したり、あるいは、そのパラメータの値を書き換えたりする。例えば、メンテナンス時において、基板処理ユニット１に設けられているバルブ（例えば、ＩＰＡバルブ２０）を開閉させる場合には、表示部５１に表示される後述のＧＵＩ画面を介して、そのバルブの状態を示すパラメータが表示される。そして、該パラメータの値を変更することで、バルブを開閉させることができる。このとき、パラメータの値が書き換えられた場合、メモリ管理部５９は、パラメータ記憶部５７の対応するパラメータの値を書き換える。さらに、本体制御部３１は、書き換えられたパラメータの値に応じた動作制御をバルブに対して行う。
【００４３】
グループ定義ファイル記憶部６１に格納されているグループ定義ファイル６１０は、パラメータ記憶部５７に格納されている全パラメータについて、各々が所属するグループを定義した定義ファイルである。つまり、各パラメータは、グループ定義ファイル６１０において規定されている複数のグループに紐付けられることで、グループ単位で管理されている。本実施形態では、グループ定義ファイル６１０には、エリア別定義ファイル６１１と要素別定義ファイル６１３とが含まれる。
【００４４】
図４は、パラメータとグループ定義ファイル６１０との関係を説明するための図である。図４に示されるように、パラメータ記憶部５７において、各パラメータは、パラメータの値（「Value」）と、パラメータ記憶部５７に展開されたメモリ空間上の固有の場所（番地）を示す「address」との組み合わせで構成されている。
【００４５】
本実施形態では、各パラメータ毎に番地（「address」）、識別名（「Name」）、パラメータの値のビット数（「Bit」）、パラメータの値のサイズ（「Size」）等をまとめて定義したパラメータ定義ファイル５７０が用意されている。このパラメータ定義ファイル５７０よると、例えば、識別名が「I/O2」のパラメータは、「Address」が「0x0002」と定義されている。したがって、パラメータ記憶部５７のメモリ空間における「0x0002」を参照することによって、「I/O2」のパラメータの値（「２０」）を取得することが可能となっている。
【００４６】
パラメータ定義ファイル５７０は、例えば、不図示の記憶部（ＲＡＭ等の一時的に情報を記憶するものも含む。）に保存され、表示制御部５５またはメモリ管理部５９等が適宜参照するように構成される。ただし、パラメータ定義ファイル５７０は、パラメータ記憶部５７０にパラメータと共に保存され、メモリ管理部５９が参照するようにしてもよい。あるいは、グループ定義ファイル記憶部６１に保存されていてもよい。
【００４７】
エリア別定義ファイル６１１では、基板処理装置１００を物理的に複数のエリアに区画したときの、各エリアに対応するグループが規定されている。例えば、基板処理装置１００がＮ個（Ｎは２以上の自然数）のエリアに区画された場合、エリア別定義ファイル６１１においては、各エリアに対応するＮ個のグループが規定される。以下の説明では、このエリアに対応するグループを、「エリアグループ」と称する。さらに、エリア別定義ファイル６１１では、各パラメータの所属するグループが定義されている。
【００４８】
図４に示されるエリア別定義ファイル６１１では、各エリアグループ毎に、所属するパラメータの識別名（「Name」）が記述されている。具体的に、「エリア１」のエリアグループＧ１１に、識別名「I/O1」および「I/O3」のパラメータが、識別名「エリア２」のエリアグループＧ１２に、「I/O２」のパラメータが、それぞれ分類されている。なお、図４に示される「エリア１」および「エリア２」は、各エリアグループＧ１１，Ｇ１２の名称であり、任意に規定されるものである。
【００４９】
また、特定のエリアグループにおいて、さらに１以上のサブエリアグループが規定される場合もある。例えば、「エリア１」のエリアグループＧ１１には、パラメータ「I/O1」のパラメータが所属するサブエリアグループＳＧ１１が規定されている。そして、「I/O3」のパラメータは、サブエリアグループＳＧ１１からは除外されている。このように、サブエリアグループを規定することによって、エリアグループに所属するパラメータ群をより細かく分類して管理することができる。図示を省略するが、サブエリアグループＳＧ１１において、さらに１以上のサブグループが規定されていてもよい。
【００５０】
要素別定義ファイル６１３では、基板処理装置１００が備えるセンサー等を含めた各デバイス（要素）に対応するグループが規定されている。例えば、基板処理装置１００がＭ個（Ｍは２以上の自然数）の要素で構成されているとすると、要素別定義ファイル６１３において、各要素に対応するＭ個のグループが規定される。以下の説明では、この各要素に対応するグループを、「要素グループ」と称する。さらに、要素別定義ファイル６１３では、各パラメータの所属するグループが定義されている。
【００５１】
要素別定義ファイル６１３においては、各要素グループ毎に、所属するパラメータの識別名（「Name」）が記述される。例えば、図４に示される例では、「要素１」の要素グループＧ２１に、識別名「I/O１」および「I/O２」のパラメータが、「要素２」の要素グループに、識別名「I/O３」のパラメータが、それぞれ分類されている。なお、図４に示される「要素１」および「要素２」は、各要素グループＧ２１，Ｇ２２の名称である。
【００５２】
また、特定の要素グループにおいて、さらに１以上のサブ要素グループが規定されていてもよい。例えば、「要素１」の要素グループＧ２１には、「I/O1」および「I/O2」のパラメータが所属するサブ要素グループＳＧ２１が規定されている。このように、サブ要素グループを規定することによって、要素グループに所属するパラメータ群をより細かく分類して管理することができる。なお、図示を省略するが、サブ要素グループＳＧ２１において、さらに１以上のサブグループが規定されていてもよい。
【００５３】
以上のように、グループ定義ファイル６１０によって、複数のパラメータのグループ分けを定義しておくことにより、各パラメータをグループ単位で管理することができる。これにより、例えば、オペレータが目的のパラメータをパラメータ記憶部５７から呼び出す際に、グループ単位で検索することが可能となる。すなわち、オペレータが、その目的とするパラメータの属するグループを指定することで、その特定のパラメータを容易に抽出することが可能となる。このため、目的のパラメータを短時間で検索することが可能となる。
【００５４】
特に、エリア別定義ファイル６１１によると、基板処理装置１００のエリア毎に関連するパラメータが分類されることとなる。このため、オペレータが目的とするパラメータに関連するエリアを特定できれば、目的のパラメータを迅速に呼び出すことができる。
【００５５】
また、要素別定義ファイル６１３によると、基板処理装置１００の要素毎に関連するパラメータが、デバイス毎に分類される。このため、オペレータが目的とする要素に関連するデバイスを特定できれば、目的のパラメータを迅速に呼び出すことができる。
【００５６】
本実施形態では、特定のパラメータの呼び出しが、表示部５１に表示されるＧＵＩ画面を介して行われる。オペレータは、当該ＧＵＩ画面を確認しながら、所定の操作入力を行うことによって、目的のパラメータを呼び出し、そのパラメータの値の確認または変更等を行う。次に、このＧＵＩ画面について、具体例を挙げて説明する。なお、以下で説明するＧＵＩ画面は、表示部５１の画面全体、または、表示部５１に表示された所定の表示用のウィンドウを指し示すものとする。
【００５７】
図５は、オーバービュー画面Ｗ１１の一例を示す図である。また、図６は、要素別表示画面Ｗ１２の一例を示す図である。
【００５８】
図５に示されるオーバービュー画面Ｗ１１は、パラメータ選択のスタート時に表示される基本的なＧＵＩ画面である。図５に示されるオーバービュー画面Ｗ１１では、基板処理装置１００が備える６個の基板処理ユニット１の中の特定の基板処理ユニット１の主要な構成（具体的には、遮断板４、ウエハＷを保持しているスピンベース６、ノズル３および薬液ノズル３３）を模式的に表した模式画像Ｉ１１が、その中央付近に配置されている。また基板処理ユニット１の一部のデバイス毎に、対応する要素グループ選択ボタンＢ１１が配置されている。これらの要素グループ選択ボタンＢ１１は、それぞれ、要素別定義ファイル６１３に規定されている複数の要素グループのいずれかに関連付けされている。
【００５９】
具体的に、「遮断板」の名称が付された要素グループ選択ボタンＢ１１は、遮断板４に対応する要素グループに関連付けられている。また、「ノズル」の名称が付された要素グループ選択ボタンＢ１１は、ノズル３に対応する要素グループに関連付けられている。さらに「薬液ノズル」の名称が付された要素グループ選択ボタンＢ１１は、薬液ノズル３３に対応する要素グループに関連付けられている。このように要素グループを定義する要素別定義ファイル６１３は、予めグループ定義ファイル記憶部６１に記憶される（記憶工程）。
【００６０】
オーバービュー画面Ｗ１１において、特定の要素グループ選択ボタンＢ１１が、押下操作（具体的には、マウスのクリック操作、または、タッチパネルにおけるタッチ操作等）された場合、オーバービュー画面Ｗ１１から図６に示される要素別表示画面Ｗ１２に表示が遷移する。なお、オーバービュー画面Ｗ１１および要素別表示画面Ｗ１２が、表示部５１の画面に同時に表示されるようにしてもよい。
【００６１】
図６に示される要素別表示画面Ｗ１２では、その中央部に、パラメータの一覧が表示されるパラメータ表示領域Ｒ１１が定義されている。そして、パラメータ表示領域Ｒ１１の左側には、複数の要素グループ選択ボタンＢ２１が一列で配置されており、パラメータ表示領域Ｒ１１の上側には、複数のサブ要素グループ選択ボタンＢ２３が配置されている。
【００６２】
各要素グループ選択ボタンＢ２１は、図５に示されるオーバービュー画面Ｗ１１における、各要素グループ選択ボタンＢ１１のそれぞれと同様の機能を備えている。つまり、各要素グループ選択ボタンＢ２１は、要素別定義ファイル６１３に規定されている複数の要素グループのいずれかに関連付けられている。このため、複数の要素グループ選択ボタンＢ２１のいずれかが押下操作されることにより、特定の要素グループが選択されることとなる。
【００６３】
サブ要素グループ選択ボタンＢ２３は、前述の要素別定義ファイル６１３に規定されている、複数のサブ要素グループのいずれかに関連付けされている。このため、特定のサブ要素グループ選択ボタンＢ２３が押下操作されることにより、特定のサブ要素グループが選択されることとなる。
【００６４】
図６に示される例では、各サブ要素グループ選択ボタンＢ２３に「アーム駆動機構」等のサブ要素グループの名称が付されており、それぞれの名称から、各ボタンに関連付けられているサブ要素グループを特定することが可能となっている。なお、サブ要素グループ選択ボタンＢ２３は、特定の要素グループが選択されている状態で、押下操作可能となる。
【００６５】
図５に示されるオーバービュー画面Ｗ１１において、「ノズル」の名称が付された要素グループ選択ボタンＢ１１が押下操作されたとすると、図６に示される要素別表示画面Ｗ１２において、「ノズル」の要素グループ選択ボタンＢ２１が、白黒が反転した状態で表示される。このような表示により、この要素グループ選択ボタンＢ２１が選択されていることをオペレータが容易に把握することができる。なお、この状態で他の要素グループ選択ボタンＢ２１が押下操作されることにより、他の要素グループを選択し直すことが可能である。
【００６６】
このように、基板処理装置１００においては、オーバービュー画面Ｗ１１または要素別表示画面Ｗ１２を介して、特定の要素グループまたはサブ要素グループを選択する入力操作が受け付けられる（選択入力受付工程）。
【００６７】
ここで、要素別定義ファイル６１３において、「ノズル」の要素グループには、「アーム駆動機構」および「バルブ」のサブ要素グループが規定されている。すると、これらのサブ要素グループの名称が付されたサブ要素グループ選択ボタンＢ２３が表示されることとなる。
【００６８】
「ノズル」の要素グループが選択されており、かつ、サブ要素グループが選択されていないとする。この場合は、「ノズル」の要素グループに分類されているパラメータ群がパラメータ表示領域Ｒ１１に一覧表示されることとなる。この状態で、さらに特定のサブ要素グループ（例えば、「アーム駆動機構」）が選択されたとすると、パラメータ表示領域Ｒ１１に表示されていたパラメータ群が、選択されたサブ要素グループに分類されているパラメータ群に絞り込まれてパラメータ表示領域Ｒ１１に一覧表示されることとなる。
【００６９】
このように、表示制御部５５は、入力部５３を介した選択入力に基づいて、選択された特定の要素グループまたはサブ要素グループに分類されている１以上のパラメータを、表示部５１に表示させる（表示工程）。
【００７０】
図６に示される要素別表示画面Ｗ１２の左下部分に配置されている、「オーバービュー」の名称が付されたボタンＢ３１は、表示部５１に表示されるＧＵＩ画像を、図５に示されるオーバービュー画面Ｗ１１に変更するためのボタンである。
【００７１】
また、要素別表示画面Ｗ１２の右下部分には、パラメータ表示領域Ｒ１１に表示されるパラメータの絞り込みを行うための、キーワード入力部Ｋ１０が表示されている。キーワード入力部Ｋ１０は、例えば、項目選択ボタンＢ３３とキーワード入力ボックスＢ３４とで構成される。
【００７２】
項目選択ボタンＢ３３は、各パラメータの項目（図示の例では、「I/O」、「Name」、「Address」、「Bit」、「Size」または「Value」）の中から、特定の項目を選択するために操作される。項目選択ボタンＢ３３が押下操作されると、図７に示される項目選択画面Ｗ１３が表示される。
【００７３】
図７は、項目選択画面Ｗ１３の一例を示す図である。項目選択画面Ｗ１３では、パラメータの各項目に対応する複数の項目選択ボタンＢ４３１が配置されている。特定の項目選択ボタンＢ４３１が選択された状態で、項目選択画面Ｗ１３の右下部分にあるＯＫボタンＢ４３２が押下操作されることによって、項目の選択操作が確定されることとなる。ＣａｎｃｅｌボタンＢ４３３は、項目の選択操作をキャンセルするためのボタンである。ＣａｎｃｅｌボタンＢ４３３が押下操作された場合、元の要素別表示画面Ｗ１２（図６参照）等が画面に表示される。なお、要素別表示画面Ｗ１２を表示させた状態で各パラメータの項目を選択する際に、要素別表示画面Ｗ１２から項目選択画面Ｗ１３に遷移するのではなく、例えば、要素別表示画面Ｗ１２内の項目選択ボタンＢ３３の部分を上下（または左右）に展開する等して全項目を表示し、その中から特定の項目を選択できるようにしてもよい。この場合、要素別表示画面Ｗ１２内において、項目が選択されることとなる。
【００７４】
また、キーワード入力ボックスＢ３４には、パラメータ表示領域Ｒ１１に表示するパラメータを絞り込むためのキーワードが入力される。全パラメータのうち、項目選択ボタンＢ３３で選択されている項目に、入力されたキーワードと全部または一部が一致するパラメータが、パラメータ表示領域Ｒ１１に表示される。例えば、項目選択ボタンＢ３３において、「Address」が選択されている場合、入力されたキーワードと少なくとも一部が一致するAddress値を持つパラメータが、パラメータ表示領域Ｒ１１に表示される。キーワードの入力は、入力部５３を構成するキーボード等を介して入力するようにしてもよい。また、画面上にキーボード等を模した不図示の文字入力ボタンを配置し、それを介して文字入力できるようにしてもよい。
【００７５】
図８は、エリア別表示画面Ｗ１４の一例を示す図である。図５に示される「エリア別」の名称が付されたボタンＢ４０が押下操作されると、表示部５１の画面に、エリア別表示画面Ｗ１４が表示される。このエリア別表示画面Ｗ１４の中央部には、パラメータの一覧が表示されるパラメータ表示領域Ｒ１１が定義されている。そして、パラメータ表示領域Ｒ１１の左側に複数のエリアグループ選択ボタンＢ４１が配置されており、パラメータ表示領域Ｒ１１の上側に複数のサブエリアグループ選択ボタンＢ４３が配置されている。
【００７６】
各エリアグループ選択ボタンＢ４１は、前述のエリア別定義ファイル６１１に規定されている複数のエリアグループのいずれかに関連付けられている。すなわち、エリアグループを定義するエリア別定義ファイル６１１は、予めグループ定義ファイル記憶部６１に記憶される（記憶工程）。このため、複数のエリアグループ選択ボタンＢ４１のいずれかが押下操作されることにより、そのエリアグループ選択ボタンＢ４１に関連付けされた特定のエリアグループが選択されることとなる。
【００７７】
本実施形態では、図２において破線で示されるように、基板処理装置１００の基板処理ユニット１が、Equipment UpperエリアＡ１１、Spin BoxエリアＡ１２およびSV/FLエリア（溶剤・洗浄液供給エリア）Ａ１３に区画されており、エリア別定義ファイル６１１において、各エリアに対応するエリアグループが規定されている。このため、図８に示されるように、エリア別表示画面Ｗ１４においては、各エリアグループの名称（「Equipment Upper」、「Spin Box」、「SV/FL」）が付されたエリアグループ選択ボタンＢ４１が表示される。なお、このような区画の仕方は、一例にすぎないものであり、基板処理装置１００を任意に区画してよいことは言うまでもない。
【００７８】
サブエリアグループ選択ボタンＢ４３は、前述のエリア別定義ファイル６１１に定義されている、複数のサブエリアグループのいずれかに関連付けされている。このため、特定のサブエリアグループ選択ボタンＢ４３が押下操作されることにより、特定のサブエリアグループが選択されることとなる。
【００７９】
図８に示される例では、「Spin Box」のエリアグループには、「スピンベース旋回軸」、「遮断板旋回軸」および「カップ」の名称を有するサブエリアグループが規定されている。このため、これらの名称が付された３つのサブエリアグループ選択ボタンＢ４３が、パラメータ表示領域Ｒ１１の上側に配置されている。この状態で、特定のサブエリアグループ選択ボタンＢ４３が押下操作されると、該サブエリアグループに属するパラメータ群が、パラメータ表示領域Ｒ１１に一覧表示されることとなる。
【００８０】
なお、エリア別表示画面Ｗ１４では、エリアグループの選択が、並列された複数のエリアグループ選択ボタンＢ４１を選択して押下操作することにより、実現される。しかしながら、エリアグループの選択画面は、このようなものに限定されるものではない。
【００８１】
図９は、図５のオーバービュー画面Ｗ１とは異なるオーバービュー画面の一例を示す図である。オーバービュー画面Ｗ１５は図５のオーバービュー画面Ｗ１とは異なり、基板処理装置１００全体を模している。また、図１０は、オーバービュー画面Ｗ１５と共に用いられるエリア別表示画面Ｗ１６の一例を示す図である。
【００８２】
図９に示されるオーバービュー画面Ｗ１５には、基板処理装置１００全体を模した模式画像Ｉ１２が配置されている。この模式画像Ｉ１２は基板処理装置１００を各基板処理ユニット１に１個ずつ備わるチャンバー（チャンバー１〜６）の周辺部を、６つのエリア（「エリア１」〜「エリア６」）に区画している。そして、区画された６つのエリア上に、エリアグループ選択ボタンＢ５１が配置されている。これら６つのエリアの各々に対応するエリアグループは、エリア別定義ファイル６１１において規定されており、各エリアグループ選択ボタンＢ５１に関連付けされている。つまり、エリアグループ選択ボタンＢ５１を選択的に押下操作することによって、そのエリアグループに分類されているパラメータが、図１０に示されるパラメータ表示領域Ｒ１１に表示されることとなる。
【００８３】
また、「エリア１」〜「エリア６」のエリアグループ選択ボタンＢ５１上には、「スレーブ１」〜「スレーブ９」の名称が付されたサブエリアグループ選択ボタンＢ５３が重畳的に表示されている。各サブエリアグループ選択ボタンＢ５３に関連付けされたサブエリアグループについても、エリア別定義ファイル６１１の各エリアグループ内に規定されている。例えば、「エリア１」のエリアには、「スレーブ４」および「スレーブ５」のサブエリアグループが規定されており、「エリア２」には、「スレーブ１」〜「スレーブ３」が規定されている。
【００８４】
「スレーブ１」〜「スレーブ９」は、図３においては図示が省略されているが、本体制御部３１と各デバイスとの間に介在するスレーブ機器に対応している。「スレーブ１」〜「スレーブ９」は、「エリア１」〜「エリア６」の各々に対応する部位に備えられた１または複数のデバイスに接続されており、各デバイスから各種状態を示すパラメータを取得する。例えば「スレーブ１」のサブエリアグループに分類されているパラメータは、それに対応するスレーブ機器が、「エリア１」の部位に設置されているいくつかのデバイスから取得するパラメータとなっている。一般的に、各スレーブ機器は、各デバイスから延びる電線が１箇所にまとめられる電装ボックスを構成している。
【００８５】
オーバービュー画面Ｗ１５において、エリアグループ選択ボタンＢ５１のいずれか、または、サブエリアグループ選択ボタンＢ５３のいずれかが、押下操作された場合、表示部５１において、図１０に示されるエリア別表示画面Ｗ１６が表示される。
【００８６】
図１０に示されるエリア別表示画面Ｗ１６の中央部には、パラメータ表示領域Ｒ１１が表示されている。そして、パラメータ表示領域Ｒ１１の左側に複数のエリアグループ選択ボタンＢ５１が配置されており、パラメータ表示領域Ｒ１１の上側に複数のサブエリアグループ選択ボタンＢ５３が配置されている。
【００８７】
各エリアグループ選択ボタンＢ５１または各サブエリアグループ選択ボタンＢ５３は、オーバービュー画面Ｗ１５に配置されているエリアグループ選択ボタンＢ５１またはサブエリアグループ選択ボタンＢ５３のうち、同一の名称が付されているものと同一の機能を有する。つまり、オーバービュー画面Ｗ１５およびエリア別表示画面Ｗ１６に配置されている「エリア１」の名称が付されたエリアグループ選択ボタンＢ５１は、同一のエリアグループに関連付けされている。
【００８８】
オーバービュー画面Ｗ１５において、特定のエリアグループ選択ボタンＢ５１が押下操作された場合、エリアグループ選択ボタンＢ５１に関連付けされているエリアグループに分類されたパラメータ群が、エリア別表示画面Ｗ１６のパラメータ表示領域Ｒ１１に一覧表示される。また、この状態で、エリア別表示画面Ｗ１６に示されるサブエリアグループ選択ボタンＢ５３のいずれかが押下操作された場合、そのサブエリアグループ選択ボタンＢ５３に関連付けされたサブエリアグループに分類されているパラメータ群が、パラメータ表示領域Ｒ１１に表示される。
【００８９】
また、オーバービュー画面Ｗ１５において、特定のサブエリアグループ選択ボタンＢ５３が押下操作された場合にも、該サブエリアグループ選択ボタンＢ５３に関連付けられたサブエリアグループに分類されているパラメータ群が、パラメータ表示領域Ｒ１１に表示される。
【００９０】
また、エリア別表示画面Ｗ１６が表示されている状態で、他のエリアグループ選択ボタンB５１または他のサブエリアグループ選択ボタンＢ５３が押下操作されることにより、パラメータ表示領域Ｒ１１に表示されるパラメータ群の一覧が変更される。
【００９１】
オーバービュー画面Ｗ１５によると、基板処理装置１００を模した模式画像Ｉ１２上で、視覚的に目的のパラメータに関連するエリアを選択することができる。さらに、スレーブ機器単位でサブグループが規定されていることにより、基板処理装置１００における電装関係のレイアウトに精通したオペレータであれば、スレーブ機器を特定することで、目的のパラメータを容易に呼び出すことができる。
【００９２】
また、グループ定義ファイル記憶部６１に記憶されるエリア別定義ファイル６１１および要素別定義ファイル６１３の内容は、基板処理装置１００が使用するデバイスの構成に変更がある度に入力部５３から書き換え可能である。また、前記したように各デバイスに対する「要素」「エリア」「サブエリア」等のカテゴライズの仕方は絶対的なものでないため、グループ定義ファイル記憶部６１に記憶されるエリア別定義ファイル６１１および要素別定義ファイル６１３の内容を逐次書き換え可能とすることで、オペレータの好みに応じて各デバイスに対する「要素」「エリア」「サブエリア」等のカテゴライズを変更可能とすることが好ましい。
【００９３】
＜２．変形例＞
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は上記のようなものに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【００９４】
例えば、上記実施形態では、グループ定義ファイル６１０により、全パラメータが基板処理装置１００の要素毎またはエリア毎にグループ分けされて管理されている。しかしながら、各パラメータのグループ分けは、このようなものに限定されるものではなく、任意に定義してよい。
【００９５】
また、上記実施形態において、基板処理ユニット１は、ウエハＷを純水、ＩＰＡ等で洗浄するものとして構成されている。しかしながら、その他の基板処理（レジスト塗布処理、露光処理、エッチング処理、イオン注入処理、ＣＭＰ処理）を有していてもよい。また、本発明の基板処理装置は、半導体ウエハを処理するものに限定されるものではなく、プリント基板、液晶ディスプレイ用基板、プラズマディスプレイ用基板、有機ＥＬディスプレイ用基板または太陽電池基板などの電気機器向けの基板を処理するものを含む。
【符号の説明】
【００９６】
１００  基板処理装置
１  基板処理ユニット
１０  温水バルブ（要素）
１４  アーム駆動機構（要素）
１６  純水バルブ（要素）
２０  ＩＰＡバルブ（要素）
２４  窒素ガスバルブ（要素）
２７  遮断板昇降駆動機構（要素）
２８  遮断板回転駆動機構（要素）
２９  カップ（要素）
３  ノズル（要素）
３１  本体制御部
３３  薬液ノズル（要素）
３５  薬液バルブ（要素）
４  遮断板（要素）
４１  カップ上下機構（要素）
５１  表示部
５３  入力部
５５  表示制御部
５７  パラメータ記憶部
５７０  パラメータ定義ファイル
５７０  パラメータ記憶部
５９  メモリ管理部
６  スピンベース（要素）
６１  グループ定義ファイル記憶部
６１０  グループ定義ファイル
６１１  エリア別定義ファイル（グループ定義ファイル）
６１３  要素別定義ファイル（グループ定義ファイル）
７１  基板搬出入部
７３  基板処理部
７５  機器配置部
８  モータ（要素）
Ａ１１  Equipment Upperエリア（エリア）
Ａ１２  Spin Boxエリア（エリア）
Ａ１３  SV/FLエリア（エリア）
Ｂ１１，Ｂ２１  要素グループ選択ボタン（選択ボタン）
Ｂ２３  サブ要素グループ選択ボタン（選択ボタン）
Ｂ４１，Ｂ５１  エリアグループ選択ボタン（選択ボタン）
Ｂ４３，Ｂ５３  サブエリアグループ選択ボタン（選択ボタン）
Ｇ１１，Ｇ１２  エリアグループ（グループ）
Ｇ２１，Ｇ２２  要素グループ（グループ）
Ｉ１１，Ｉ１２  模式画像
Ｒ１１  パラメータ表示領域
ＳＧ１１  サブエリアグループ（サブグループ）
ＳＧ２１  サブ要素グループ（サブグループ）
Ｗ  ウエハ（基板）
Ｗ１１  オーバービュー画面（選択画面）
Ｗ１２  要素別表示画面（選択画面）
Ｗ１３  項目選択画面
Ｗ１４，Ｗ１６  エリア別表示画面（選択画面）
Ｗ１５  オーバービュー画面（選択画面）
【図１】
2014063814.tif 000003
【図２】
2014063814.tif 000004
【図３】
2014063814.tif 000005
【図４】
2014063814.tif 000006
【図５】
2014063814.tif 000007
【図６】
2014063814.tif 000008
【図７】
2014063814.tif 000009
【図８】
2014063814.tif 000010
【図９】
2014063814.tif 000011
【図１０】
2014063814.tif 000012