(57)【要約】【課題】流量制御の精度の向上を図った弁構造を提供する。【解決手段】第１弁部３１よりも弁座４０から離れた位置から弁座４０に向かって傘状に拡がるゴム製の第２弁部３２と、第２弁部３２に対向して第１弁部３１が着座する第１座面４１を囲むように設けられるとともに、溝４３が第１座面４１から所定の距離を空けて形成された環状の第２座面４２と、を有し、コイルが通電されていない状態では、第１弁部３１が第１座面４１に着座し、第２弁部３２が撓んだ状態で第２弁部３２における第２座面４２との対向面側が第２座面４２に着座し、径方向において、第１座面４１と溝４３が設けられた領域との間の環状領域がシール領域となり、コイルの通電量が増えるにつれてプランジャ１３の移動に伴って第１弁部３１及び第２弁部３２が第１座面４１及び第２座面４２から離れる。【選択図】図５
2014126063.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
往復動用のアクチュエータによって往復移動するように構成された往復動部材の先端に設けられる弁体と、
該弁体の弁部が座面に着座することで弁孔が閉じられ、該弁部が座面から離れることで弁孔が開かれる弁座と、
を備える弁構造において、
前記弁体は、第１弁部と、前記第１弁部よりも前記弁座から離れた位置から前記弁座に向かって傘状に拡がるゴム製の第２弁部と、を有し、
前記弁座は、前記第１弁部が着座する第１座面と、前記第２弁部に対向して前記第１座面を囲むように設けられるとともに、溝が前記第１座面から所定の距離を空けて形成された環状の第２座面と、を有し、
前記往復動部材が前記座面側に移動している状態では、前記第１弁部が前記第１座面に着座するともに、前記第２弁部が撓んだ状態で前記第２弁部における前記第２座面との対向面側が前記第２座面に着座し、径方向において、前記第１座面と前記溝が設けられている領域との間の環状領域がシール領域となり、
前記往復動部材の前記座面から離れる方向への移動に伴って前記第１弁部が前記第１座面から離れるとともに、第２弁部が前記第２座面から離れるように構成されていることを特徴とする弁構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弁構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、流量や流量に伴う流体圧力の制御を行うために、ソレノイドバルブが広く利用されている。また、ソレノイドバルブにおいては、コイルへの通電量と流量を比例させるリニアソレノイドを用いたものが知られている。図７〜図９を参照して、リニアソレノイドを用いた従来例に係るソレノイドバルブについて説明する。図７は従来例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における弁が閉じた状態を示す模式的断面図である。図８は従来例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における弁が開いた状態を示す模式的断面図である。図９は従来例に係るソレノイドバルブにおけるコイルへの通電量と流量との関係を示すグラフである。
【０００３】
この従来例に係るソレノイドバルブにおいては、コイルへの通電量に応じて往復移動するロッド１００の先端面１１０の中央から更に先端方向に突出する弁体部１２０がロッド１００に一体的に設けられている。そして、この弁体部１２０の外周にゴム製のＯリング３００が装着されている。また、弁座２００には、弁孔２１０が設けられている。
【０００４】
以上の構成により、コイルに対して通電されていない状態では、ロッド１００の弁体部１２０が弁座２００の弁孔２１０内に入り込み、Ｏリング３００が、ロッド１００の先端面１１０と弁座２００の座面２２０との間に挟まれた状態となっている。これにより、弁孔２１０は弁体部１２０とＯリング３００によって塞がれた状態となる（図７参照）。そして、コイルに対して通電されると、ロッド１００の先端面１１０が座面２２０から離れる方向にロッド１００が移動していく。これにより、弁孔２１０から弁体部１２０が抜け、かつＯリング３００が座面２２０から離れるため、弁孔２１０が開いた状態となる（図８参照）。
【０００５】
ここで、ゴム製のＯリング３００は、粘着性を有している。また、上記従来例においては、Ｏリング３００は、ロッド１００の先端面１１０と弁座２００の座面２２０との間に挟まれた状態となっている。そのため、弁が閉じた状態から、ロッド１００が移動し始めた直後においては、Ｏリング３００は、座面２２０との粘着により、軸線方向に少し伸びた後に、座面２２０から離れて元の形状に戻るように変形する。なお、図８中、点線で示すＯリング３００ａは、座面２２０との粘着により、軸線方向に伸びた様子を示している。そのため、図９中のグラフのＸ部に示すように、通電開始直後において、流体の流量が一瞬高くなるといった現象が生じてしまう。なお、図９中、Ｌ１は非通電の状態から電流値が増加していく際の様子を示し、Ｌ２は電流値が高い状態から電流値が低減していき非通電になるまでの様子を示している。このグラフから分かるように、同じ電流値でもＬ１とＬ２では流量が異なっている。この流量の差はヒステリシスと呼ばれており、このヒステリシスが大きいほど、ある通電量に対する流量の誤差が大きくなってしまうことが分かる。このヒステリシスが生じる原因の一つとして、上述したＯリング３００の粘着の問題があると考えられている。
【０００６】
このように、Ｏリング３００が座面２００に対して粘着してしまうことで変形時のふるまいが安定しない（一定でない）ことが、通電開始直後（弁が開き始めた直後）において流量制御を不安定にし、また、ヒステリシスを大きくしてしまい、流量制御の精度を低下させる原因となっている。なお、上記の説明においては、ソレノイドバルブにおける弁構造についての問題を説明したが、駆動源がソレノイド以外のもの（空圧アクチュエータ、
油圧アクチュエータ、圧電アクチュエータなど）における弁構造であっても、同様の問題が起こり得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２２６３５２号公報
【特許文献２】実公平３−２９６４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、流量制御の精度の向上を図った弁構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
【００１０】
すなわち、本発明の弁構造は、
往復動用のアクチュエータによって往復移動するように構成された往復動部材の先端に設けられる弁体と、
該弁体の弁部が座面に着座することで弁孔が閉じられ、該弁部が座面から離れることで弁孔が開かれる弁座と、
を備える弁構造において、
前記弁体は、第１弁部と、前記第１弁部よりも前記弁座から離れた位置から前記弁座に向かって傘状に拡がるゴム製の第２弁部と、を有し、
前記弁座は、前記第１弁部が着座する第１座面と、前記第２弁部に対向して前記第１座面を囲むように設けられるとともに、溝が前記第１座面から所定の距離を空けて形成された環状の第２座面と、を有し、
前記往復動部材が前記座面側に移動している状態では、前記第１弁部が前記第１座面に着座するともに、前記第２弁部が撓んだ状態で前記第２弁部における前記第２座面との対向面側が前記第２座面に着座し、径方向において、前記第１座面と前記溝が設けられている領域との間の環状領域がシール領域となり、
前記往復動部材の前記座面から離れる方向への移動に伴って前記第１弁部が前記第１座面から離れるとともに、第２弁部が前記第２座面から離れるように構成されていることを特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、弁が閉じた状態から、弁体の第１弁部及び第２弁部が弁座の第１座面及び第２座面からそれぞれ離れる方向に往復動部材が移動していくとき、撓んだ状態で第２座面に着座していた第２弁部が元の形状に戻るように変形しつつ、第２座面から離れていく。ここで、本発明における第２弁部は、第１弁部よりも弁座から離れた位置から弁座に向かって傘状に拡がる構成が採用されている。従って、従来例のＯリングの場合のように両側から圧縮された状態から座面から離れるのに比べて、本発明における弁体の第２弁部の方が座面から離れ易い。また、本発明においては、第２座面には、第１座面から所定の距離を空けて溝が形成されている。従って、第２弁部が撓んだ状態から元の形状に戻る過程で、第２弁部が第２座面から離れる前の段階から溝を通って流体が流れていく。以上のことから、弁が開き始めた直後から流体制御を安定的に行うことが可能となる。また、弁部が座面から離れ易いことからヒステリシスによる流量制御の誤差も少なくすることができる。
【００１２】
また、前記第１座面は、前記弁孔の内周面であり、
前記第１弁部は、前記第１座面に対向する着座面を有するとともに該着座面よりも先端側が先端に向かうほど先細となるテーパ面になっているとよい。
【００１３】
これにより、弁体が往復移動する際の弁座に対する中心軸線の位置ずれを抑制できる。従って、弁体の第２弁部が第２座面に着座する位置の精度を高めることができる。また、第１弁部の着座面より先端側がテーパ面になっていることにより、第１弁部が第１座面から離れてからの開弁度合の変化がなだらかとなり、流量の変化がなだらかとなる。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明によれば、流量制御の精度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は本発明の実施例に係るソレノイドバルブの模式的断面図である。
【図２】図２は図１においてバルブ付近を拡大して示す図である。
【図３】図３は本発明の実施例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における弁が閉じた状態を示す図である。
【図４】図４は本発明の実施例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における第２弁部及び第２座面が開弁した状態を示す図である。
【図５】図５は本発明の実施例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における弁が完全に開いた状態を示す図である。
【図６】図６は本発明の実施例に係るソレノイドバルブにおける第２座面の溝の断面形状を示す模式的断面図である。
【図７】図７は従来例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における弁が閉じた状態を示す模式的断面図である。
【図８】図８は従来例に係るソレノイドバルブにおいて、バルブ部付近における弁が開いた状態を示す模式的断面図である。
【図９】図９は従来例に係るソレノイドバルブにおけるコイルへの通電量と流量との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。なお、以下の説明においては、弁構造が適用される装置の一例として、ソレノイドバルブの場合を例にして説明する。
【００１７】
（実施例）
図１〜図６を参照して、本発明の実施例に係るソレノイドバルブについて説明する。
【００１８】
＜ソレノイドバルブの全体構成＞
図１を参照して、本発明の実施例に係るソレノイドバルブの全体構成を説明する。ソレノイドバルブＳＶは、往復動用のアクチュエータであるソレノイド部Ｓと、弁構造としてのバルブ部Ｖと、これらソレノイド部Ｓとバルブ部Ｖを構成する各種部材を収容するハウジング部Ｈとから構成される。
【００１９】
ソレノイド部Ｓは、ボビン１１と、ボビン１１に巻かれ、通電により磁界を発生するコイル１２と、コイル１２によって発生した磁界により磁気回路が形成されることでセンターポスト１４に磁気的に吸引される往復動部材としてのプランジャ１３とを備えている。また、ソレノイド部Ｓは、上記の磁気回路を形成するべく、いずれも磁性部材からなる一対のプレート１５ａ，１５ｂ及びケース１５ｃも備えている。また、ソレノイド部Ｓは、プランジャ１３をセンターポスト１４から離れる方向に付勢するスプリング１６ａと、このスプリング１６ａを受けるスプリング受け１６ｂと、スプリング受け１６ｂの位置調整
を行うアジャストスクリュ１６ｃとを備えている。また、ソレノイド部Ｓは、コイル１２に電気的に接続された端子１７も備えている。更に、ソレノイド部Ｓは、プランジャ１３の往復移動において弁を閉じる際のプランジャ１３のストロークの終端位置を画定するためのストッパー５０を備えている。
【００２０】
ハウジング部Ｈは、ソレノイド部Ｓとバルブ部Ｖを構成する各種部材を収容するハウジング本体２１と、ハウジング本体２１に固定されるカバー２２と、ハウジング本体２１を補強する補強部材２３とから構成される。ハウジング本体２１には、元圧側から流体を流入させるための入力ポート部２１ａと、出力側（制御圧側）に流体を排出させるための出力ポート部２１ｂが設けられている。また、ハウジング本体２１には、外部電源からの電気供給を得るために電気的な接続を行うためのコネクタ部２１ｃも設けられている。
【００２１】
バルブ部Ｖは、プランジャ１３の先端に設けられる弁体３０と、弁体３０が着座したり離れたりすることで弁の開閉がなされる弁座４０とを備えている。また、バルブ部Ｖは、弁座４０の外周面とハウジング本体２１の内周面との間の隙間を封止するシールリング６０と、弁座４０を支持する支持部材７０とを備えている。
【００２２】
なお、上述したスプリング１６ａによる付勢力と、コイル１２への通電量による磁力とのバランスによって、所望の流量（又は流量に伴う流体圧力）の制御がなされるように、アジャストスクリュ１６ｃにより、スプリング受け１６ｂの位置の調整がなされる。
【００２３】
＜バルブ部（弁構造）＞
＜＜バルブ部の構成＞＞
特に、図２〜図５を参照して、バルブ部Ｖの構成について、より詳細に説明する。バルブ部Ｖは、上記の通り、弁体３０と、弁座４０とを備えている。
【００２４】
弁体３０は、軸部３０ａと、第１弁部３１と、第２弁部３２とを備えている。弁体３０は、おねじ部を有する軸部３０ａがプランジャ１３の先端に取り付けられた支持部材１３ａの凹部のめねじ部に螺合されることによって、プランジャ１３の先端に固定される。これにより、プランジャ１３が往復移動することにより、プランジャ１３と共に弁体３０も往復移動する。第１弁部３１は、軸に平行な周面である着座面３１ａと、着座面３１ａよりも先端側において先端に向かうほど先細となるように径が変化するテーパ面３１ｂと、を有している。第２弁部３２は、軸部３０ａの外周に固定される円筒部３２ａを有し、該円筒部３２ａから、すなわち、第１弁部３１よりも弁座４０から離れた位置から弁座４０に向かって傘状に拡がるように構成されている。第２弁部３２において弁座４０に対向する面が着座面３２ｂとなる。第２弁部３２は、ゴム製の部材であり、軸部３０ａに対して一体成形によって設けてもよいし、成形後に組み付けてもよい。弁体３０は、軸部３０ａ、第１弁部３１、第２弁部３２の各中心軸線が互いに一致するように構成されている。
【００２５】
弁座４０は環状の部材であり、その中央に貫通孔である弁孔４０ａが設けられている。この弁孔４０ａの中心軸線は、プランジャ１３や弁体３０の中心軸線と一致するように設けられている。弁座４０は、弁孔４０ａの内周面が、第１弁部３１の着座面３１ａが着座する第１座面４１となり、弁孔４０ａの周囲の環状の端面において弁体３０に対向する領域が、第２弁部３２の着座面３２ｂが着座する第２座面４２となる。第２座面４２には、弁孔４０ａ（第１座面４１）から所定の距離を空けかつ周方向に互いに間隔を空けて複数の溝４３が設けられている。溝４３は、弁孔４０ａを中心に放射状に延びるように設けられている。溝４３と弁孔４０ａとの間の距離は、第１弁部３１と第２弁部３２の開弁のタイミング等の仕様に応じて適宜設定される。
【００２６】
ストッパー５０は環状の部材であり、ソレノイド部Ｓのケース１５ｃの内周面のバルブ
部Ｖ側に取り付けられており、プランジャ１３のバルブ部Ｖ側の先端面１３ｂに当接することでプランジャ１３の移動を規制する規制面５０ａを有する。この規制面５０ａの位置によってプランジャ１３の閉弁時のストロークの終端位置が規定される。
【００２７】
＜＜バルブ部のメカニズム＞＞
特に、図３〜図５を参照して、バルブ部Ｖのメカニズムについて説明する。図３（ａ）は、弁が閉じた状態におけるバルブ付近を拡大して示す模式的断面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡＡ断面図である。図４（ａ）は、弁体３０が移動して第２弁部３２と第２座面４２が開弁した状態におけるバルブ付近を拡大して示す模式的断面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＢＢ断面図である。図５（ａ）は、弁体３０がさらに移動して弁が完全に開いた状態におけるバルブ付近を拡大して示す模式的断面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＣＣ断面図である。
【００２８】
図３（ａ）に示すように、ソレノイド部Ｓのコイル１２に対して通電されていない状態では、磁力は発生しておらず、スプリング１６ａによる付勢力によって、プランジャ１３は、センターポスト１４から離れる方向に移動し、ストッパー５０によって規制される位置で停止している。これにより、図３（ａ）に示すように、弁体３０における第１弁部３１及び第２弁部３２は弁座４０の第１座面４１及び第２座面４２にそれぞれ着座している。このとき、傘状の第２弁部３２は、撓んだ状態で、第２弁部３２における第２座面４２との対向面側が第２座面４２に対して着座する。これにより、弁が閉じた状態となる。
【００２９】
図３（ｂ）は弁が閉じた状態における第２座面４２と第２弁部３２との位置関係を示している。第２弁部３２が第２座面４２に着座した状態においては、第２弁部３２における第２座面４２との対向面側の面は、第２座面４２に設けられた複数の溝４３に対向する領域よりも内側の部分が第２座面４２に密着するように構成されている。これにより、第２弁部３２が第２座面４２に着座した状態においては、径方向において、第１座面４１が設けられている領域と複数の溝４３が設けられている領域との間の環状領域（図３（ｂ）中、シールラインＲの周辺領域）がシール領域となる。これにより、入力ポート部２１ａから出力ポート部２１ｂへと至る流路は、このシール領域によって遮断される。
【００３０】
図４（ａ）に示すように、ソレノイド部Ｓのコイル１２に対する通電量を増加させるに従い、磁気吸引力が高まるため、スプリング１６ａによる付勢力に抗して、プランジャ１３はセンターポスト１４に向かって移動する。これに伴って、プランジャ１３の先端に設けられた弁体３０もセンターポスト１４に向かって移動するため、弁体３０における第２弁部３２は、中心側（弁孔４０ａに近い側）の領域から徐々に弁座４０の第２座面４２から離れ始める。そして、図４（ｂ）に示すように、第２座面４２の溝４３よりも内側に位置していたシールラインＲ（図３（ｂ））が徐々に拡径（外側に移動）し、溝４３と重なる位置までくると、溝４３を介して第２弁部３２と第２座面４２との間に隙間ができる。このとき、第１弁部３１の着座面３１ａは、第１座面４１から完全に離れていない。
【００３１】
図５（ａ）に示すように、コイル１２に対する通電量をさらに増加させると、プランジャ１３がさらにセンターポスト１４に向かって移動し、弁体３０が弁座４０からさらに離れる。これに伴って、第２弁部３２が第２座面４２から離れ、シールラインＲが消滅するとともに（図５（ｂ））、第１弁部３１の着座面３１ａも第１座面４１から離れる。これにより、弁孔４０ａから弁体３０の外周面側に抜けていく流路が形成される（図５（ａ）中矢印Ａ参照）。従って、入力ポート部２１ａから流入された流体は、出力ポート部２１ｂから排出される。ここで、コイル１２への通電量に応じて、プランジャ１３の先端に設けられた弁体３０の位置が定まり、第１弁部３１と第１座面４１との隙間、第２弁部３２と第２座面４２との隙間の大きさがそれぞれ定まる。従って、コイル１２への通電量を制御することによって、出力ポート部２１ｂから排出される流体の流量や流体圧力を制御す
ることが可能となる。
【００３２】
＜本実施例に係るソレノイドバルブの優れた点＞
本実施例に係るソレノイドバルブＳＶによれば、コイル１２に対して通電されていない状態から通電が開始され、通電量が増加するに従い、弁体３０の第１弁部３１及び第２弁部３２が弁座４０の第１座面４１及び第２座面４２から離れる方向にプランジャ１３が移動していく。このとき、撓んだ状態で第２座面４２に着座していた第２弁部３２が元の形状に戻るように変形しつつ、第２座面４２から離れていく。
【００３３】
ここで、本実施例に係る第２弁部３２は、第１弁部３１よりも弁座４０から離れた位置から弁座４０の第２座面４２に向かって傘状に拡がる構成が採用されている。従って、従来例のＯリングの場合のように両側から圧縮された状態から座面から離れるのに比べて、本実施例に係る弁体３０の第２弁部３２の方が第２座面４２から離れ易い。また、本実施例においては、弁座４０の第２座面４２に第１座面から所定の距離を空けかつ周方向に互いに間隔を空けて複数の溝４３が形成されている。従って、第２弁部３２が撓んだ状態から元の形状に戻る過程で、第２弁部３２が第２座面４２から離れる前の段階から複数の溝４３を通って流体が流れていく。そして、第２弁部３２と第２座面４２との間が流通可能となってから、第１弁部３１が第１座面４１から離れる状態となる。以上のことから、通電開始直後（弁が開き始めた直後）から流体制御を安定的に行うことが可能となる。また、第２弁部３２が第２座面４２から離れ易いことからヒステリシスによる流量制御の誤差も少なくすることができる。また、従来例のＯリングの場合には、プランジャが往復移動する毎に粘着状態が異なってしまい、流量特性にバラツキが生じるのに対して、本実施例に係るソレノイドバルブＳＶの場合には、そのような問題が解消され、流量特性を安定させることができる。
【００３４】
また、本実施例に係るソレノイドバルブＳＶにおいては、プランジャ１３の移動に伴って弁体３０の第１弁部３１が弁座４０の弁孔４０ａに挿通され、軸に平行な周面である着座面３１ａが弁孔４０ａの内周面である第１座面４１に着座するように構成されている。これにより、弁体３０が往復移動する際の弁座４０に対する中心軸線の位置ずれを抑制できる。従って、弁体３０の第２弁部３２が第２座面４２に着座する位置の精度を高めることができる。また、第１弁部３１の着座面３１ａの先端側は先細となるテーパ面３１ｂとなっている。したがって、弁体３０の往復移動において第１弁部３１と弁孔４０ａとの間の流路面積は徐々に変化するため、第１弁部３１の弁孔４０ａへの挿通動作は滑らかに行われる。
【００３５】
なお、第１弁部３１は、弁孔４０ａを完全に塞ぐ、すなわち、着座面３１ａが第１座面４１に完全に密着する構成でなくてよい。つまり、弁が塞がれた状態は、実質的には、第２弁部３２が第２座面４２に密着することにより形成されればよい。第１弁部３１は、閉弁動作時には、テーパ面３１ｂによって徐々に流量を絞り、着座面３１ａが第１座面４１に対向した状態において流量を最小限とする。第２弁部３２は、第１弁部３１と第１座面４１との間を流通する流量が最小限となってから、シールラインＲが溝４３よりも内側に移動する、すなわち、第２座面４２と完全に密着する状態となる。こうすることで、閉弁時における第２弁部３２の挙動を安定させることができる。また、第１弁部３１は、開弁動作時には、シールラインＲが溝４３よりも内側に位置している間は、着座面３１ａが第１座面４１と対向することで流量を最小限で維持し、第２弁部３２と第２座面４２との間が溝４３によって流通可能になってから、テーパ面３１ｂによって流量を徐々に増やしていく。すなわち、第１弁部３１が第１座面４１から離れてからの開弁度合の変化がなだらかとなり、流量の変化がなだらかとなる。こうすることで、開弁時に第２弁部３２に過度に入力ポート部２１からの流体圧力が加わることが抑制され、開弁動作を安定させることができる。
【００３６】
また、本実施例に係るソレノイドバルブＳＶにおいては、上記の通り、第２弁部３２が撓んだ状態から元の形状に戻る過程で、第２弁部３２が第２座面４２から離れる前の段階から複数の溝４３を通って流体が流れていく。つまり、第２弁部３２が撓んだ状態から元の形状に戻る過程で、溝４３の内側（弁孔４０ａに近い側）の部分から、流体が流れる流路の面積が徐々に広くなっていく。本実施例では、溝４３の形状を、図３〜図５に示すように、中心軸線方向に見た場合に、弁孔４０ａに向かって先細となるＶ字形状としている。また、溝３４の深さは、弁孔４０ａに近づくにつれて浅くなるように構成している。これにより、第２弁部３２が撓んだ状態から元の形状に戻る過程で、流体が流れる流路の面積が急に広くなってしまわないようにしている。なお、この溝４３の角度や長さなどの大きさや、数の設定によって、コイル１２への通電量に対する流量の変化をリニアにすることができ、かつ最大流量を調整することができる。また、溝４３の構成は種々の構成を採用することができる。溝４３の断面形状としては、例えば、図６に示すように、深さ方向に対して溝幅が変化しない略矩形形状（図６（ａ））、溝幅が深さ方向に対して徐々に狭くなる略三角形形状（図６（ｂ））や略半円形状（図６（ｃ））等が挙げられる。また、溝４３の開口形状としては、図３〜図５に示すような略三角形状に限られず、例えば、軸方向に溝幅が変化しない略矩形、溝幅の変化がなだらかな台形形状等が挙げられる。また、溝４３の数や配置も、図３〜図５に示すように、１２個を等配する構成に限られるものではない
【００３７】
また、本実施例に係るソレノイドバルブＳＶにおいては、弁体３０における第２弁部３２の肉厚や形状、及び溝４３の形状や大きさや個数の設定によって、ある電流値に対する流量が、元圧の大きさによってあまり変化しないようにすることができる。なお、元圧とは、入力ポート部２１ａから流入される流体の圧力である。これにより、元圧が変化してしまうような場合であっても、制御圧（出力ポート部２１ｂから排出される流体の圧力）を安定させることができる。
【００３８】
なお、上記実施例においては、弁体３０がプランジャ１３の先端に支持部材１３ａを介して設けられた場合の構成を示したが、本発明は弁体がプランジャの先端に直接設けられる場合にも適用可能である。また、上記実施例においては、弁構造がソレノイドバルブに適用される場合を例にして説明した。しかしながら、本発明の弁構造は、ソレノイドバルブ以外の弁構造にも適用可能である。すなわち、往復動部材を往復移動させるための往復動用のアクチュエータとしては、ソレノイドには限られず、空圧アクチュエータ，油圧アクチュエータ及び圧電アクチュエータなども適用可能である。本発明は、これらの各種往復動用のアクチュエータによって往復移動するように構成された往復動部材に弁体が設けられた弁構造に対しても適用可能である。
【符号の説明】
【００３９】
１１  ボビン
１２  コイル
１３  プランジャ
１３ａ  支持部材
１４  センターポスト
１５ａ，１５ｂ  プレート
１５ｃ  ケース
１６ａ  スプリング
１６ｃ  アジャストスクリュ
１７  端子
２１  ハウジング本体
２１ａ  入力ポート部
２１ｂ  出力ポート部
２１ｃ  コネクタ部
２２  カバー
２３  補強部材
３０  弁体
３０ａ  軸部
３１  第１弁部
３１ａ  着座面
３１ｂ  テーパ面
３２  第２弁部
３２ａ  円筒部
３２ｂ  着座面
４０  弁座
４０ａ  弁孔
４１  第１座面
４２  第２座面
４３  溝
５０  ストッパー
６０  シールリング
７０  支持部材
ＳＶ  ソレノイドバルブ
Ｈ  ハウジング部
Ｓ  ソレノイド部
Ｖ  バルブ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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