(57)【要約】【課題】本発明は、出力ポートからの出力を低下させることなく、出力光をモニタリングすることができるアレイ導波路回折格子合分波器を提供することを目的とする。【解決手段】本発明のアレイ導波路回折格子合分波器は、基板上に形成された第１のスラブ導波路と、基板上に形成された第２のスラブ導波路と、前記第１のスラブ導波路及び前記第２のスラブ導波路を接続する複数のチャネル導波路と、前記第１のスラブ導波路に接続される１本又は複数本の入力導波路と、前記第２のスラブ導波路に接続される、ｍ次回折光（ｍは整数）を出力する１本又は複数本の出力ポート及びｎ次回折光（ｎは前記ｍ以外の整数）を出力する１本又は複数本のモニタポートを含む出力導波路と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された第１のスラブ導波路と、
基板上に形成された第２のスラブ導波路と、
前記第１のスラブ導波路及び前記第２のスラブ導波路を接続する複数のチャネル導波路と、
前記第１のスラブ導波路に接続される１本又は複数本の入力導波路と、
前記第２のスラブ導波路に接続される、ｍ次回折光（ｍは整数）を出力する１本又は複数本の出力ポート及びｎ次回折光（ｎは前記ｍ以外の整数）を出力する１本又は複数本のモニタポートを含む出力導波路と、
を備えることを特徴とするアレイ導波路回折格子合分波器。
【請求項２】
前記モニタポートの光軸が前記入力導波路の光軸と重ならないことを特徴とする請求項１に記載のアレイ導波路回折格子合分波器。
【請求項３】
前記モニタポートの出力端面が、前記入力導波路の入力端面の形成される側に対向する側と異なる側に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のアレイ導波路回折格子合分波器。
【請求項４】
請求項２に記載のアレイ導波路回折格子合分波器が同一チップ上に２以上集積された複合アレイ導波路回折格子合分波器であって、
１の前記アレイ導波路回折格子合分波器の前記モニタポートの光軸が、他の前記アレイ導波路回折格子合分波器の前記入力導波路の光軸とも重ならない複合アレイ導波路回折格子合分波器。
【請求項５】
請求項３に記載のアレイ導波路回折格子合分波器が同一チップ上に２以上集積された複合アレイ導波路回折格子合分波器であって、
１の前記アレイ導波路回折格子合分波器の前記モニタポートの出力端面が、他の前記アレイ導波路回折格子合分波器の入力端面の形成される側に対向する側と異なる側に形成されている複合アレイ導波路回折格子合分波器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アレイ導波路回折格子合分波器に関する。さらに詳しくは、異なる波長帯であって、かつ、異なる波長間隔を持つ光信号を振り分けることの可能なアレイ導波路回折格子合分波器に関する。
【背景技術】
【０００２】
光波長多重通信システムにあっては、送信機側で複数の波長の光信号を合波したり、受信機側で１本の光ファイバ中の複数の光信号を分波する光波長合分波回路として、アレイ導波路回折格子（Ａｒｒａｙ  Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ  Ｇｒａｔｉｎｇｓ：ＡＷＧ）合分波器が広く使用されている。
【０００３】
このようなアレイ導波路回折格子合分波器１００は、一般に、図１０に示すように、平面状の基板２上に形成された第１のスラブ導波路６１及び第２のスラブ導波路６２といった２つのスラブ導波路６と、２つのスラブ導波路６を連結する複数のチャネル導波路３と、１本又は複数本の入力導波路４と、１本又は複数本の出力導波路５と、を備えている。また、アレイ導波路回折格子合分波器１００は、多波長の光を使用する光通信システムにあっては必須の光回路であるため、種々の技術が提供されている（例えば、特許文献１及び特許文献２を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３８２３９号公報
【特許文献２】特開平１０−２２７９３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
アレイ導波路回折格子合分波器１００における出力導波路５にあっては、出力導波路５から分岐して出力光をモニタリングする場合があるが、出力導波路５を分岐してモニタリングすると、その分だけ出力導波路５からの光の出力レベルが低下してしまうという問題があり、好ましくなかった。
【０００６】
本発明は、前記の課題に鑑みてなされたものであり、出力ポートからの出力を低下させることなく、出力光をモニタリングすることができるアレイ導波路回折格子合分波器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、本発明のアレイ導波路回折格子合分波器は、基板上に形成された第１のスラブ導波路と、基板上に形成された第２のスラブ導波路と、前記第１のスラブ導波路及び前記第２のスラブ導波路を接続する複数のチャネル導波路と、前記第１のスラブ導波路に接続される１本又は複数本の入力導波路と、前記第２のスラブ導波路に接続される、ｍ次回折光（ｍは整数）を出力する１本又は複数本の出力ポート及びｎ次回折光（ｎは前記ｍ以外の整数）を出力する１本又は複数本のモニタポートを含む出力導波路と、を備えることを特徴とする。
本発明のアレイ導波路回折格子合分波器は、出力導波路が、ｍ次回折光（ｍは整数）を出力する出力ポートと、ｎ次回折光（ｎは前記ｍ以外の整数）を出力する光モニタ用のモニタポートに分かれて形成されており、出力ポートとは別の次数の回折光を出力するモニタポートを設けることにより、出力ポートの出力低下を生じさせることなく、モニタポートから出力される光をモニタリングすることができる。
【０００８】
本発明のアレイ導波路回折格子合分波器は、前記した本発明において、前記モニタポートの光軸が前記入力導波路の光軸と重ならないことが好ましい。
このように、モニタポートの光軸と入力導波路の光軸が重ならないことにより、入力導波路から漏出した迷光がモニタポートに入射することを防止することができる。
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明の複合アレイ導波路回折格子合分波器は、上記記載のアレイ導波路回折格子合分波器が同一チップ上に２以上集積された複合アレイ導波路回折格子合分波器であって、１の前記アレイ導波路回折格子合分波器の前記モニタポートの光軸が、他の前記アレイ導波路回折格子合分波器の前記入力導波路の光軸とも重ならない複合アレイ導波路回折格子合分波器である。
複数のアレイ導波路回折格子合分波器が同一チップ上に２以上集積された場合でも、１の前記アレイ導波路回折格子合分波器のモニタポートの光軸と他の前記アレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路の光軸が重ならないことにより、他の前記アレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路から漏出した迷光が１の前記アレイ導波路回折格子合分波器のモニタポートに入射することを防止することができる。
【００１０】
本発明のアレイ導波路回折格子合分波器は、前記した本発明において、前記モニタポートの出力端面が、前記入力導波路の入力端面の形成される側に対向する側と異なる側に形成されていることが好ましい。
このように、モニタポートの出力端面が入力導波路の入力端面とが形成される側に対向する側と異なる側に形成されていることにより、モニタポートの出力端面と入力導波路の入力端面が対向しないため、入力導波路から漏出した迷光がモニタポートに入射することを防止することができる。又、モニタポートの出力端面及び出力ポートの出力端面の配置の自由度を大きくすることができる。
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明の複合アレイ導波路回折格子合分波器は、上記記載のアレイ導波路回折格子合分波器が同一チップ上に２以上集積された複合アレイ導波路回折格子合分波器であって、１の前記アレイ導波路回折格子合分波器の前記モニタポートの出力端面が、他の前記アレイ導波路回折格子合分波器の入力端面の形成される側に対向する側と異なる側に形成されている複合アレイ導波路回折格子合分波器である。
複数のアレイ導波路回折格子合分波器が同一チップ上に２以上集積された場合でも、１の前記アレイ導波路回折格子合分波器のモニタポートの出力端面が、他の前記アレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路の入力端面の形成される側に対向する側と異なる側に形成されていることにより、１の前記アレイ導波路回折格子合分波器のモニタポートの出力端面と他の前記アレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路の入力端面が対向しないため、入力導波路から漏出した迷光がモニタポートに入射することを防止することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のアレイ導波路回折格子合分波器は、出力導波路が、ｍ次回折光（ｍは整数）を出力する出力ポートと、ｎ次回折光（ｎは前記ｍ以外の整数）を出力する光モニタ用のモニタポートに分けて形成されており、出力ポートとは別の次数の回折光を出力するモニタポートを設けることにより、出力ポートの出力低下を生じさせることなく、モニタポートから出力される光をモニタリングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態に係るアレイ導波路回折格子合分波器の一態様を示した概略図である。
【図２】本実施形態に係るアレイ導波路回折格子合分波器の他の態様を示した概略図である。
【図３】本実施形態に係るアレイ導波路回折格子合分波器の一態様を示した概略図である。
【図４】本実施形態に係るアレイ導波路回折格子合分波器の他の態様を示した概略図である。
【図５】本実施形態に係るアレイ導波路回折格子合分波器のその他の態様を示した概略図である。
【図６】本実施形態に係る複合アレイ導波路回折格子合分波器の一態様を示した概略図である。
【図７】本実施形態に係る複合アレイ導波路回折格子合分波器の一態様を示した概略図である。
【図８】本実施形態に係る複合アレイ導波路回折格子合分波器の一態様を示した概略図である。
【図９】本実施形態に係る複合アレイ導波路回折格子合分波器の一態様を示した概略図である。
【図１０】従来のアレイ導波路回折格子合分波器を示した概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。以下に説明する実施形態は本発明の実施の例であり、本発明は、以下の実施形態に制限されるものではない。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。なお、図１から図５にあっては、アレイ導波路回折格子合分波器１の基板２におけるチャネル導波路３が形成されている方向（図面上の上方向）を「上方」、図６から図９にあっては、いずれか１のアレイ導波路回折格子合分波器の基板２におけるチャネル導波路３が形成されている方向（図面上の上方向）を「上方」とする。図１から図９にあっては、上方と反対方向（図面上の下方向）を「下方」とする。図１から図９にあっては、上方の辺を「上辺２３」とし、時計回りに「右側辺２２」、「下辺２４」、「左側辺２１（右側辺２２に対向する側となる。）」としている。
【００１５】
（実施形態１）
図１は、実施形態１に係るアレイ導波路回折格子合分波器１の一態様を示した概略図である。図２は、実施形態１に係るアレイ導波路回折格子合分波器１の他の態様を示した概略図である。図１及び図２に示したアレイ導波路回折格子合分波器１は、平面状の基板２上に形成された２つのスラブ導波路６（第１のスラブ導波路６１及び第２のスラブ導波路６２）と、第１のスラブ導波路６１及び第２のスラブ導波路６２を連結する複数のチャネル導波路３と、第１のスラブ導波路６１に接続される１本又は複数本の入力導波路４と、第２のスラブ導波路６２に接続される複数本の出力導波路５と、を基本構成として備える。
【００１６】
図１及び図２に示すアレイ導波路回折格子合分波器１は、入力導波路４から入射された信号光を、第１のスラブ導波路６１で展開してチャネル導波路３へ入射し、このチャネル導波路３を導波させて第２のスラブ導波路６２に入射させ、波長に応じて異なる出力導波路５に集光して分波する構成とされている。
【００１７】
アレイ導波路回折格子合分波器１にあっては、チャネル導波路３はそれぞれその長さが所定の導波路長差（ΔＬ）を持つように構成されている。入力導波路４、出力導波路５、チャネル導波路３、２つのスラブ導波路６（第１のスラブ導波路６１及び第２のスラブ導波路６２）は、コア層とそのコア層の周囲のクラッド層とから構成され、コア層の方がクラッド層より高い屈折率となっている。
【００１８】
また、図１及び図２に示すように、本発明のアレイ導波路回折格子合分波器１にあっては、出力導波路５は、光出力用の出力ポート５１と、光モニタ用のモニタポート５２を含む。
【００１９】
ここで、出力ポート５１は、ｍ次回折光（ｍは整数）を出力するのに対して、モニタポート５２は、ｎ次回折光（ｎは前記ｍ以外の整数）を出力する。このように、出力ポート５１とは別の次数のｎ次回折光を出力するモニタポート５２を設けることにより、ｎ次回折光をモニタ光として利用することができる。モニタポート５２が出力ポート５１と別々に設けられるため、従来のように出力ポートから分岐する場合と異なり、出力ポート５１の出力低下を生じさせることなく、モニタポート５２で出力される光をモニタリングすることが可能になる。
【００２０】
加えて、出力ポート５１の出力端面５１ａや、モニタポート５２の出力端面５２ａに光ファイバやフォトダイオード（ＰＤ）等の光学素子を接続する場合には、モニタポート５２の配置に自由度が増す。また、モニタポートの取り回しが有利となり、回路サイズの小型化を図ることができる。
【００２１】
なお、モニタポートは出力ポートよりも出力レベルの条件が緩いため、出力ポートには出力レベルの大きくなる回折次数を割当てればよい。モニタポート５２の回折次数ｎは、出力ポート５１の回折次数ｍと異なるように割当てる。
【００２２】
ｍ次回折光を出力する出力ポート５１とは別に、ｎ次回折光を出力するモニタポート５２を設けることによって、出力ポート５１の出力を低下させることなく、出力光をモニタすることができる。しかし、モニタポート５２の出力端面５２ａの配置によっては、入力導波路４から漏出した光が迷光となって、受光素子に入射するとクロストークとなりＳＮＲ（Ｓｉｇｎａｌ  ｔｏ  Ｎｏｉｓｅ  Ｒａｔｉｏ）が低下してしまう虞がある。そのため、入力導波路４から漏出した迷光が、受光素子に入射しないように、モニタポート５２を配置しなければならない。
【００２３】
入力導波路は通常、基板の端面から垂直に形成され、斜め方向に配置されたスラブ導波路に向けて湾曲している。入力導波路４と入力デバイスとのモード不整合や入力導波路４の湾曲部でのモードの滲み出しが原因で迷光が発生し易い。
【００２４】
アレイ導波路回折格子合分波器１に受光素子を集積する場合にあっては、入力導波路４の延長線上にモニタポート５２が配置された構成では、入力導波路４で発生した迷光が受光素子に入射する虞がある。
【００２５】
そこで、このように、図１及び図２に示したアレイ導波路回折格子合分波器１は、出力ポート５１とモニタポート５２が離され、モニタポート５２の光軸５２ｂが入力導波路４の光軸４ｂと重ならないように配置されている。
【００２６】
入力導波路４の光軸４ｂとは、入力導波路４の入力端面４ａに続く導波路を直線的に延長した線をいう。モニタポート５２の光軸５２ｂとは、モニタポート５２の出力端面５２ａに続く導波路を直線的に延長した線をいう。
【００２７】
図１に示した実施形態１のアレイ導波路回折格子合分波器１は、出力ポート５１の出力端面５１ａが入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）に形成されている。出力ポート５１の出力端面５１ａが入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）以外の側、例えば基板２の下辺２４に形成されていてもよい。一方、モニタポート５２の出力端面５２ａは、入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）に形成されているが、モニタポート５２は出力ポート５１より上方に位置するように形成されている。このように配置すると、モニタポート５２の光軸５２ｂと入力導波路４の光軸４ｂが重なることはない。
【００２８】
また、図２に示したアレイ導波路回折格子合分波器１は、図１に示すアレイ導波路回折格子合分波器１と同様、出力ポート５１の出力端面５１ａが入力導波路４の入力端面４ａ（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）に形成されている。出力ポート５１の出力端面５１ａが入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）以外の側、例えば基板２の上辺２３や左側辺２１に形成されていてもよい。一方、モニタポート５２の出力端面５２ａも、入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）に形成されており、モニタポート５２は出力ポート５１より下方に位置するように形成されている。このように配置すると、モニタポート５２の光軸５２ｂと入力導波路４の光軸４ｂが重なることはない。
【００２９】
従来の出力ポートからモニタポートを分岐する方法では、出力ポートの端面とモニタポートの端面が交互に配置されることになり、配置の自由度が小さい。また、隣接する別の出力ポートから漏出した光が迷光となって、モニタポートへ入射してしまう虞もあった。
【００３０】
本発明のように、ｍ次回折光を出力する出力ポート群とｎ次回折光を出力するモニタポート群とを分けると、隣接する別の出力ポートから漏出した迷光がモニタポートへ入射してしまう虞も解消できる。また、出力ポート及びモニタポートの配置の自由度が大きくなる。
【００３１】
前記した特許文献１に示すように、入力導波路４と出力導波路５の間に溝を形成して、その溝に光を吸収あるいは散乱する材質を挿入することによって迷光を低減する技術や、前記した特許文献２に示すように、入力導波路４と出力導波路５を同一端面に配置する構成も提案されていた。しかし、入力導波路４と出力導波路５の間に溝を設け、その溝に光を吸収あるいは散乱する材質を挿入する技術では、溝を設けるための加工工程が新たに必要となる問題があった。
【００３２】
これに対して、図１及び図２に示した実施形態１のアレイ導波路回折格子合分波器１は、入力導波路４の光軸４ｂとモニタポート５２の光軸５２ｂが重ならないことにより、モニタポート５２が入力光の漏れ方向から外されることになり、クロストークの影響が抑制される。入力導波路４の接続部で発生する迷光がモニタポート５２に入射することを防止できる。受光素子を出力ポート５１の出力端面５１ａやモニタポート５２の出力端面５２ａに接続する場合でも、受光素子に入射することを防止できることになる。
【００３３】
なお、入力導波路４とその端面４ａとの角度や、出力導波路５（出力ポート５１、モニタポート５２）とその出力端面５１ａ、５２ａとの角度は、例えば、ファイバブロックを接続する場合は、９０°前後で行うようにすればよい。これらの角度は、ファイバブロック等のファイバブロック接続、レンズによる空間接続、端面へのＰＤ貼り付け、異なる材料で作成された導波路との接続といった、入力端面４ａや出力端面５１ａ、５２ａと接続されるものによって最適に設定可能である。
【００３４】
次に、前記した本実施形態のアレイ導波路回折格子合分波器１の製造方法の一例について説明する。
【００３５】
まず、原料としてＳｉＣｌ４等を用いた火炎加水分解反応を利用した堆積法（火炎堆積法）、ＳｉＯ２等のターゲットを用いたスパッタリング法、あるいはシランなどを用いたＣＶＤ法等により、Ｓｉ基板等の平面状の基板２上にＳｉＯ２（ガラス）膜を堆積して下方のクラッド層を堆積・形成する。次に、同様の堆積法等を用いて、ＧｅＯ２等をドーパントとして添加したＳｉＯ２（ガラス）のコア層を堆積・形成した後、電気炉等で透明ガラス化する。さらに、公知のフォトリソグラフィ技術により、形成したコア層上に所望の形状のレジストパターンを形成した後、レジストパターンをマスクとし、例えば反応性イオンエッチングによりガラス層を選択的にエッチングして、チャネル導波路３の各コア層を形成する。最後に、ＳｉＯ２（ガラス）膜からなる上方のクラッド層を堆積・形成するようにする。
【００３６】
以上説明した実施形態１に係るアレイ導波路回折格子合分波器１は、出力導波路５は、ｍ次回折光（ｍは整数）を出力する出力ポート５１と、ｎ次回折光（ｎは前記ｍ以外の整数）を出力する光モニタ用のモニタポート５２に分けて形成されている。出力ポート５１とは別の次数の回折光を出力するモニタポート５２を設けることにより、出力ポート５１の出力低下を生じさせることなく、出力導波路５から出力される光をモニタリングすることができる。
【００３７】
また、実施形態１に係るアレイ導波路回折格子合分波器１は、出力ポート５１の出力端面５１ａが入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）に形成され、出力ポート５１とモニタポート５２が大きく離されている。よって、モニタポート５２の光軸５２ｂと入力導波路４の光軸４ｂが重ならないことにより、入力導波路４の入力端面４ａの接続部で発生する迷光がモニタポート５２の出力端面５２ａに接続する受光素子に入射することを防止できることになる。加えて、アレイ導波路回折格子合分波器１に受光素子を集積・搭載した場合であっても、入力導波路４からの迷光が受光素子へのクロストークになることを防止することができる。
【００３８】
（実施形態２）
本発明の実施形態２を図３及び図４を用いて説明する。図３は、実施形態２に係るアレイ導波路回折格子合分波器１の一態様を示した概略図、図４は、実施形態２に係るアレイ導波路回折格子合分波器１の他の態様を示した概略図、をそれぞれ示している。
【００３９】
図３及び図４に示した実施形態２のアレイ導波路回折格子合分波器１は、図１等に示した実施形態１と同様、出力導波路５が、光出力用の出力ポート５１と、光モニタ用のモニタポート５２に分かれて形成されており、出力ポート５１はｍ次回折光（ｍは整数）を出力し、モニタポート５２はｎ次回折光（ｎは前記ｍ以外の整数）を出力する。
【００４０】
また、図３及び図４に示した実施形態２のアレイ導波路回折格子合分波器１は、出力ポート５１の出力端面５１ａが入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）に形成されている。一方、モニタポート５２の出力端面５２ａは、入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）に対向する側（基板２の右側辺２２）と異なる側に形成されている。図３では、モニタポート５２の出力端面５２ａが、基板２の上辺２３に位置するように形成されている態様を示している。図４では、モニタポート５２の出力端面５２ａが、基板２の下辺２４に位置するように形成されている態様を示している。
【００４１】
このような構成とすることにより、出力ポート５１とモニタポート５２が大きく離され、モニタポート５２の光軸５２ｂと入力導波路４の光軸４ｂが平行とならないように配置できることになる。そのため、入力導波路４から漏出した迷光がモニタポート５２に入射することを防止することができる。加えて、実施形態２のアレイ導波路回折格子合分波器１は、基板２の上辺２３あるいは下辺２４にモニタポート５２の出力端面５２ａを形成することにより、実施形態１のアレイ導波路回折格子合分波器１と比較して、モニタポート５２の出力端面５２ａの配置ないしは出力端面５２ａと接続される受光素子の配置の自由度を大幅に向上させることが可能である。よって、実施形態２のアレイ導波路回折格子合分波器１によれば、例えば、受光素子以外の光素子をアレイ導波路回折格子合分波器１の出力ポート５１の出力端面５１ａやモニタポート５２の出力端面５２ａ等に配置することも可能となる。また、ファイバブロックなどの比較的大きな光素子をアレイ導波路回折格子合分波器１の出力導波路５の出力端面５１ａ、５２ａと接続することも可能である。
【００４２】
（実施形態の変形）
なお、本発明は、上記に示した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に載せるような変更等は、本発明の範囲に含まれるものである。
【００４３】
例えば、前記した実施形態２では、図３及び図４に示すように、アレイ導波路回折格子合分波器１を構成する出力ポート５１の出力端面５１ａが入力導波路の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）に形成され、モニタポート５２の出力端面５２ａは、入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）と異なる側（基板２の上辺２３や下辺２４）に形成されている態様を例に挙げて説明した。
【００４４】
一方、実施形態２のアレイ導波路回折格子合分波器１は、出力ポート５１の出力端面５１ａが入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）に形成される構成には限定されず、例えば、図５に示すように、出力ポート５１の出力端面５１ａが入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）に形成されないようにする。かつ、モニタポート５２の出力端面５２ａが、入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）と異なる側に形成するようにしてもよい。
【００４５】
図５は、実施形態２に係るアレイ導波路回折格子合分波器１のその他の態様を示した概略図である。図５に示したアレイ導波路回折格子合分波器１は、出力ポート５１の出力端面５１ａが入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）に形成されず、出力端面５１ａが基板２の上辺２３に位置するように形成されている。また、モニタポート５２の出力端面５２ａは、入力導波路４の入力端面４ａが形成される側（基板２の左側辺２１）と対向する側（基板２の右側辺２２）と異なる側に形成され、モニタポート５２の出力端面５２ａが、基板２の下辺２４に位置するように形成されている。
【００４６】
図５のアレイ導波路回折格子合分波器１は、実施形態１や実施形態２のアレイ導波路回折格子合分波器１と同様、出力ポート５１とモニタポート５２が大きく離され、モニタポート５２の光軸５２ｂと入力導波路４の光軸４ｂが平行とならないように配置できることになる。また、基板２の上辺２３に出力ポート５１の出力端面５１ａ、基板２の下辺２４にモニタポート５２の出力端面５２ａを形成することにより、実施形態２と同様、モニタポート５２の出力端面５２ａの配置ないしは出力端面５２ａと接続される受光素子の配置の自由度を大幅に向上させることが可能となる。受光素子等の光学素子をアレイ導波路回折格子合分波器１のモニタポート５２の出力端面５２ａ等に配置したり、比較的大きな光学素子をアレイ導波路回折格子合分波器１の出力ポート５１の出力端面５１ａやモニタポート５２の出力端面５２ａと接続することができる。
【００４７】
なお、出力ポート５１の出力端面５１ａ及びモニタポート５２の出力端面５２ａは前記した図１から図９に示した構成には限定されず、例えば、図示しないが、基板２の上辺２３にモニタポート５２の出力端面５２ａ、基板２の下辺２４に出力ポート５１の出力端面５１ａを形成するようにしてもよい。加えて、図示しないが、基板２の上辺２３に出力ポート５１の出力端面５１ａ及びモニタポート５２の出力端面５２ａを形成したり、基板２の下辺２４に出力ポート５１の出力端面５１ａ及びモニタポート５２の出力端面５２ａを形成するようにしてもよい。
【００４８】
（実施形態３）
本実施形態は、アレイ導波路回折格子合分波器が同一チップ上に２以上集積された複合アレイ導波路回折格子合分波器である。複数のアレイ導波路回折格子合分波器が同一チップ上に２以上集積されると、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路から漏出した迷光が他のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポートに入射しやすくなる。そこで、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路の光軸と他のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポートの光軸が重ならないようにしたり、平行にならないようにする。
【００４９】
図６に示す複合アレイ導波路回折格子合分波器１１は、図１に示すアレイ導波路回折格子合分波器及びこれと点対称のアレイ導波路回折格子合分波器を同一基板上に重畳して配置したものである。このような配置とすることにより、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の光軸４ｂと１のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の光軸５２ｂが重ならないばかりでなく、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の光軸４ｂと他のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の光軸５２ｂも重ならないようにできる。
【００５０】
１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の光軸４ｂと１のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の光軸５２ｂが重ならないため、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の接続部で発生する迷光が１のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２に入射することを防止できる。受光素子を出力ポート５１の出力端面５１ａやモニタポート５２の出力端面５２ａに接続する場合でも、受光素子に入射することを防止できることになる。
【００５１】
さらに、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の光軸４ｂと他のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の光軸５２ｂが重ならないため、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の接続部で発生する迷光が他のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２に入射することを防止できる。受光素子を出力ポート５１の出力端面５１ａやモニタポート５２の出力端面５２ａに接続する場合でも、受光素子に入射することを防止できることになる。
【００５２】
図６に示す複合アレイ導波路回折格子合分波器１１は、２つのアレイ導波路回折格子合分波器を同一基板上に重畳して配置しているが、２つのアレイ導波路回折格子合分波器を重畳しないで併設して配置してもよい。以下の実施形態でも同様である。
【００５３】
図７に示す複合アレイ導波路回折格子合分波器１１は、図４に示すアレイ導波路回折格子合分波器及びこれと点対称のアレイ導波路回折格子合分波器を同一基板上に重畳して配置したものである。このような配置とすることにより、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の光軸４ｂと１のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の光軸５２ｂが平行にならないばかりでなく、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の光軸４ｂと他のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の光軸５２ｂも平行にならないようにできる。
【００５４】
１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の光軸４ｂと１のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の光軸５２ｂが平行にならないため、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の接続部で発生する迷光が１のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２に入射することを防止できる。受光素子を出力ポート５１の出力端面５１ａやモニタポート５２の出力端面５２ａに接続する場合でも、受光素子に入射することを防止できることになる。
【００５５】
さらに、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の光軸４ｂと他のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の光軸５２ｂが平行にならないため、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の接続部で発生する迷光が他のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２に入射することを防止できる。受光素子を出力ポート５１の出力端面５１ａやモニタポート５２の出力端面５２ａに接続する場合でも、受光素子に入射することを防止できることになる。
【００５６】
図８に示す複合アレイ導波路回折格子合分波器１１は、アレイ導波路回折格子合分波器及びこれと線対称のアレイ導波路回折格子合分波器を同一基板上に重畳して配置したものである。また、１のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の出力端面５２ａが、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の入力端面４ａの形成される側に対向する側と異なる側に形成され、かつ、１のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の出力端面５２ａが、他のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の入力端面４ａの形成される側に対向する側と異なる側に形成されている。このような配置とすることにより、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の光軸４ｂと１のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の光軸５２ｂが平行にならないばかりでなく、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の光軸４ｂと他のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の光軸５２ｂも平行にならないようにできる。従って、前述した複合アレイ導波路回折格子合分波器と同様の効果を得ることができる。
【００５７】
図９に示す複合アレイ導波路回折格子合分波器１１は、アレイ導波路回折格子合分波器及びこれと点対称のアレイ導波路回折格子合分波器を同一基板上に重畳して配置したものである。また、１のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の出力端面５２ａが、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の入力端面４ａの形成される側に対向する側と異なる側に形成され、かつ、１のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の出力端面５２ａが、他のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の入力端面４ａの形成される側に対向する側と異なる側に形成されている。このような配置とすることにより、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の光軸４ｂと１のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の光軸５２ｂが平行にならないばかりでなく、１のアレイ導波路回折格子合分波器の入力導波路４の光軸４ｂと他のアレイ導波路回折格子合分波器のモニタポート５２の光軸５２ｂも平行にならないようにできる。従って、前述した複合アレイ導波路回折格子合分波器と同様の効果を得ることができる。
【００５８】
その他、本発明の実施の際の具体的な構造及び形状等については、前記した実施形態等に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造等に変形等するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明は、異なる波長帯であってかつ異なる波長間隔を持つ光信号を振り分けることの可能な光合分波回路等として、電気通信産業分野やエレクトロニクス産業分野で利用することができ、産業上の利用可能性は高い。
【符号の説明】
【００６０】
１      アレイ導波路回折格子合分波器（合分波器）
１１    複合アレイ導波路回折格子合分波器
２      基板
２１    基板の左側辺
２２    基板の右側辺
２３    基板の上辺
２４    基板の下辺
３      チャネル導波路
４      入力導波路
４ａ    入力導波路の入力端面
４ｂ    入力導波路の光軸
５      出力導波路
５１    出力ポート
５１ａ  出力ポートの出力端面
５２    モニタポート
５２ａ  モニタポートの出力端面
５２ｂ  モニタポートの光軸
６      スラブ導波路
６１    第１のスラブ導波路
６２    第２のスラブ導波路
１００  従来のアレイ導波路回折格子合分波器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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