(57)【要約】【課題】適切な交換タイミングを見極めることが可能となって交換頻度の低減が図られ、作業工数の削減や加工装置の稼働率の向上を可能とし、かつ、経済的な無駄をなくすことを可能とするチューブを提供する。【解決手段】流体が流れるチューブであって、チューブ上に印字され該チューブの使用期限情報を表示する使用期限表示を備えたチューブが提供される。また、使用期限情報には、チューブの製造年が含まれることとする。或いは、使用期限情報には、チューブの交換年が含まれることとする。【選択図】図３
2014031870.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れるチューブであって、
該チューブ上に印字され該チューブの使用期限情報を表示する使用期限表示を備えたチューブ。
【請求項２】
前記使用期限情報には、該チューブの製造年が含まれる、
ことを特徴とする請求項１に記載のチューブ。
【請求項３】
前記使用期限情報には、該チューブの交換年が含まれる、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有する樹脂製のチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
チューブを構成する樹脂は、時間経過とともに経時変化を起こして劣化するため、所定のタイミングでチューブを交換する必要が生じる。
【０００９】
ところが、従来は、既に加工装置に組み込まれた状態のチューブについては、例えば、その製造された時期が不明なものとなっており、耐用期間の起算点となる情報が不明なものであった。また、チューブ内を流動する流体の種類によっても、実際の使用環境での耐用期間が異なるものとなる。
【００１０】
このため、チューブ劣化の進行による流体漏れなどを懸念し、安全性を確保するがあった。例えば、チューブが製造されてから使用に耐えられないほど劣化するまでの期間（本来の耐用期間）よりもかなり短い所定の期間が経過した時点で耐用期間が経過したものとし、加工装置の購入後に所定の期間が経過した時点を使用期限としてチューブの交換をするといった運用がなされていた。
【００１１】
しかしながら、このように実際には使用できる期間が残存しているにもかかわらず、チューブを交換することは、非経済的であり、また、交換頻度を高める一因となって作業工数が嵩むことによる加工装置の稼働率の低下をきたすことになる。
【００１２】
特に、上述した切削装置などの加工装置においては、多数のチューブが使用されており、かつ、装置内において張り巡らされていることから、これらのチューブ全てについて本来の耐用期間使用されていない状態で交換を実施することは、解決されるべき重大な課題のひとつであった。
【００１３】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、適切な交換タイミングを見極めることが可能となって交換頻度の低減が図られ、作業工数の削減や加工装置の稼働率の向上を可能とし、かつ、経済的な無駄をなくすことを可能とするチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１に記載の発明によると、流体が流れるチューブであって、チューブ上に印字され該チューブの使用期限情報を表示する使用期限表示を備えたチューブが提供される。
【００１５】
請求項２に記載の発明によると、使用期限情報には、チューブの製造年が含まれる、ことを特徴とする請求項１に記載のチューブが提供される。
【００１６】
請求項３に記載の発明によると、使用期限情報には、チューブの交換年が含まれる、ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のチューブが提供される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のチューブによれば、加工装置に組み込まれた状態のチューブについて、適切な交換タイミングを見極めることが可能となって交換頻度の低減が図られ、作業工数の削減や加工装置の稼働率の向上が可能となる。また、チューブを使用期限まで余すことなく使用することが可能となり、経済的な無駄をなくすことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。
【図３】（Ａ）は本発明のチューブの一実施形態を説明する図である。（Ｂ）は本発明のチューブの他の実施形態を説明する図である。
【図４】切削装置の配管に利用した実施形態を示す図である。
【図５】各チューブに表示される使用期限表示について説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００２０】
図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。
【００２１】
ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００２２】
ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００２３】
仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００２４】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２５】
アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２６】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２７】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００２８】
２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。
【００２９】
次に本発明において特徴的な構成であるチューブの実施形態について説明する。図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、チューブ１１Ａは、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ１１Ａ上には結束位置を表示する使用期限表示１３ａが印字されている。
【００３０】
図３（Ａ）は、使用期限表示１３ａとして、チューブ１１Ａの製造年月日を示す使用期限情報１５ａを用いた実施形態を示している。
【００３１】
チューブ１１Ａは、予め設計された長さにカットされ、カットされたチューブ１１Ａの長さ方向の所定の位置に使用期限表示１３ａが印字される。
【００３２】
使用期限表示１３ａが印字されるべきチューブ１１Ａの長さ方向の位置は、特に限定されるものではないが、実際の装置において各チューブを組み付けた際に、視認しやすい位置に配置されるように印字されることが好ましい。例えば、チューブの端部から所定距離はなれた位置（例えば、５ｃｍ、１０ｃｍ、２０ｃｍ、など）として、チューブが接続される部位から決まった位置に表示されるようにすれば、作業者において、印字箇所を探す手間が削減される。
【００３３】
使用期限情報１５ａとして、本実施形態では、チューブ１１Ａの製造年月日を視認可能とするために、製造年月日であることを示す文字「製」、年を示す数字「２０１２」、月を示す数字「７」、日を示す数字「４」が表示されることとしている。
【００３４】
以上のように、本実施形態では、図３（Ａ）に示すように、流体が流れるチューブ１１Ａであって、チューブ１１Ａ上に印字されチューブ１１Ａの使用期限情報１５ａを表示する使用期限表示１３ａを備えたチューブが構成される。
【００３５】
これにより、切削装置２（加工装置）に組み込まれた状態のチューブ１１Ａについて、適切な交換タイミングを見極めることが可能となって交換頻度の低減が図られ、作業工数の削減や加工装置の稼働率の向上が可能となる。また、チューブを使用期限まで余すことなく使用することが可能となり、経済的な無駄をなくすことが可能となる。
【００３６】
本実施形態であれば、使用期限情報１５ａとして、チューブ１１Ａの製造年月日を示す「製：２０１２／７／４」の情報が表示されるため、例えば、メンテナンス時において、当該使用期限情報１５ａから所定の期間（例えば、「３ヶ月」といった月単位、「２年」といった年単位）が経過しているか否かを確認することで、チューブ１１Ａの交換の必要性を判断することが可能となる。
【００３７】
なお、この「所定の期間」は、チューブ１１Ａ内を流れる流体の種別に応じて設定されることが好ましい。例えば、チューブ１１Ａの劣化を早める成分を含む化学系薬品が流される場合には、比較的短い期間に設定するといったことである。
【００３８】
また、本明細書において、「使用期限」とは、チューブの「耐用期間」が終了する時点、つまりは、「チューブが製造されてから使用に耐えられないほど劣化するまでの期間」が到来する時点のことをいう。
【００３９】
また、図３（Ａ）の実施形態においては、「製造年月日」とするほか、「製造年」、「製造年月」とするなど、多様な表示形態が考えられる。
【００４０】
さらに、別の実施形態として、図３（Ｂ）に示すように、使用期限表示１３ｂとして、チューブ１１Ｂの交換年月を示す使用期限情報１５ｂを用いることとしてもよい。
【００４１】
使用期限情報１５ｂとして、本実施形態では、チューブ１１Ｂの交換年月を視認可能とするために、交換年月であることを示す文字「交」、年を示す数字「２０２０」、月を示す数字「５」が表示されることとしている。
【００４２】
本実施形態であれば、使用期限情報１５ｂとして、チューブ１１Ｂの交換年月を示す「交：２０２０／５」の情報が表示されるため、例えば、メンテナンス時において、当該使用期限情報１５ｂの年月に至っているか否かを確認することで、チューブ１１Ｂの交換の必要性を判断することが可能となる。
【００４３】
なお、図３（Ｂ）の実施形態においては、「交換年月」とするほか、「交換年」、「交換年月日」とするなど、多様な表示形態が考えられる。
【００４４】
次に、図４を参照して、本発明のチューブが使用され得る切削装置２の配管構成について説明する。エア源４０からは高圧エアがチューブ３１を介してクリーンユニット４６に供給される。
【００４５】
クリーンユニット４６は複数枚のフィルタを有しており、エア源４０から供給された高圧エアを洗浄化する。クリーンユニット４６からはチューブ３３を介してチャックテーブル１８へ吸引リリース時の吹き上げ用エアが供給され、チューブ３５を介してエジェクタ等の負圧発生手段５２に高圧エアが供給され、チューブ３７を介してスピンドルユニット３０にエアベアリング用のエアが供給される。
【００４６】
クリーンユニット４６からは更に、チューブ３９を介して切削ブレード２８をカバーするホイールカバー３２にホイールカバー開閉用エアが供給され、チューブ４１を介してエアを供給してエアカーテン３４を形成し、チューブ４３を介して顕微鏡３８用の分岐継ぎ手５６にエアが供給される。
【００４７】
負圧発生手段５２は、オリフィスを通過する高圧流体を利用して負圧を発生させるものであり、チューブ４５を介してチャックテーブル１８にチャックテーブルバキューム用負圧を供給し、チューブ４７を介してスピンナ洗浄装置２７にスピンナテーブルバキューム用負圧を供給する。
【００４８】
分岐継ぎ手５６からはチューブ４９を介して顕微鏡３８にカバー開閉用エアが供給され、チューブ５１を介してマクロ顕微鏡用ブローエアが供給され、チューブ５３を介してミクロ顕微鏡用ブローエアが供給される。
【００４９】
チャックテーブル１８からの排出エアはチューブ５５を介してダクト６０に排出され、スピンナ洗浄装置２７からの排出エアはチューブ５７を介してダクト６０に排出され、スピンドル３０からの排出エアはチューブ５９を介してダクト６０に排出される。
【００５０】
以上のように、切削装置２の各構成部品で使用されたエアは全てダクト６０に排出される。なお、エアを供給するチューブには、例えば無色透明なチューブが使用される。
【００５１】
ホイールカバー３２からの排出エアはチューブ６１を介してダクト６０に排出され、エアカーテン３４からの排出エアはチューブ６３を介してダクト６０に排出され。顕微鏡３８からの排出エアはチューブ６５を介してダクト６０に排出される。
【００５２】
冷却液源４２からは例えば市水等の冷却液がチューブ６７を介してクリーンユニット４８に供給される。クリーンユニット４８は複数枚のフィルタを含んでおり、これらのフィルタで冷却液を濾過する。
【００５３】
クリーンユニット４８からは、チューブ６９を介してスピンドル２６を回転可能に支持するスピンドルユニット３０に冷却液が供給される。スピンドルユニット３０から排出される冷却液は、チューブ７１を介してドレイン５８に排出される。チューブ６７，６９，７１は液体を供給するものであり、エアを供給するものと区別するために、例えば水色に着色されたものが使用されることが好ましい。
【００５４】
切削・洗浄液源４４からはチューブ７３を介して例えば純水等の液体がクリーンユニット５０に供給される。クリーンユニット５０は複数枚のフィルタを含んでいる。クリーンユニット５０からは、チューブ７５を介してスピンナ洗浄装置２７に洗浄液が供給され、チューブ７７を介してホイールカバー用分岐継ぎ手５４に切削液が供給され、チューブ７９を介して供給された液体がウォーターカーテン３６を形成する。
【００５５】
分岐継ぎ手５４からはチューブ８３を介してホイールカバー３２にシャワーノズル用切削液が供給され、チューブ８５を介してブレード冷却用切削液が供給され、チューブ８７を介してシャワー用切削液が供給される。
【００５６】
スピンナ洗浄装置２７から排出される洗浄液はチューブ８１を介してドレイン５８に排出され、ホイールカバー３２から排出される切削液はチューブ８９を介してドレイン５８に排出され、ウォーターカーテン３６を形成した液体はチューブ９１を介してドレイン５８に排出される。
【００５７】
チューブ７３乃至チューブ９１は、冷却液、切削液等の液体を供給したり、使用済みの液体を排出するために使用されるものであり、エアを供給するものと区別するために、例えば水色に着色されたものが使用されることが好ましい。
【００５８】
以上に説明したように、切削装置２の例では、数多くのチューブが使用されるものとなっており、これらを適切な交換タイミングで交換する必要が生じることになる。
【００５９】
図５は、一例としてスピンドルユニット３０に接続されるチューブについて本発明を適用した例を示すものである。
【００６０】
この例においては、スピンドルユニット３０に対し、冷却液を供給するためのチューブ６９、エアを供給するためのチューブ３７がそれぞれ接続され、これらチューブ６９，３７を介してスピンドルユニット３０で使用される冷却液とエアがそれぞれ供給されるようにしている。
【００６１】
また、スピンドルユニット３０から、冷却液を排出するためのチューブ７１、エアを排出するためのチューブ５９がそれぞれ接続され、これらチューブ７１，５９を介してスピンドルユニットで使用された使用済みの冷却液と、使用済みのエアがそれぞれ排出されるようにしている。
【００６２】
そして、冷却液を供給するチューブ６９については、使用期限表示６９ａとして、チューブ６９の交換年月を示す使用期限情報（交：２０１８／５）が表示され、冷却液を排出するチューブ７１については、使用期限表示７１ａとして、チューブ７１の交換年月を示す使用期限情報（交：２０１５／５）が表示される。
【００６３】
同様に、エアを供給するチューブ３７については、使用期限表示３７ａとして、チューブ３７の交換年月を示す使用期限情報（交：２０２０／６）が表示され、エアを排出するチューブ５９については、使用期限表示５９ａとして、チューブ５９の交換年月を示す使用期限情報（交：２０１７／６）が表示される。
【００６４】
このように、各チューブについて個別に使用期限表示がなされることで、各チューブについて適切な交換タイミングを見極めることが可能となって交換頻度の低減が図られ、作業工数の削減や加工装置の稼働率の向上が可能となる。また、チューブを使用期限まで余すことなく使用することが可能となり、経済的な無駄をなくすことが可能となる。
【００６５】
なお、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
【符号の説明】
【００６６】
１１Ａ  チューブ
１３ａ    使用期限表示
１５ａ    使用期限情報
【図１】
2014031870.tif 000003
【図２】
2014031870.tif 000004
【図３】
2014031870.tif 000005
【図４】
2014031870.tif 000006
【図５】
2014031870.tif 000007