(57)【要約】【課題】  被吸着物が位置ずれすることを抑制できる吸着パッド及び吸着装置を提供する【解決手段】パッド本体１０は、ガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａとの間に気密空間Ｓを形成する。吸液部材２０は、ガラス基板の被吸着面の液体を吸収する。貫通孔４０、貫通孔１２ａ、第１通気溝２３及び第２通気溝２４は、吸液部材に含まれている液体を吸引する負圧を吸液部材に導く。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吸着物を吸着する吸着パッドであって、
前記被吸着物の被吸着面との間に気密空間を形成するパッド本体と、
前記被吸着物の前記被吸着面の液体を吸収する吸液部材と、
前記吸液部材に含まれている前記液体を吸引する負圧を前記吸液部材に導く負圧通路と
を備える、吸着パッド。
【請求項２】
前記気密空間に気体又は負圧を導入する給排気路を有し、
前記給排気路の先端部が前記パッド本体と前記被吸着物との接触箇所に向けて開口している、請求項１に記載の吸着パッド。
【請求項３】
前記吸液部材は、
前記被吸着物の前記被吸着面に当接する当接面と、
前記当接面と交差する側面と
を有し、
前記給排気路は、前記吸液部材の前記当接面に沿って延びており、
前記給排気路の前記先端部が前記吸液部材の前記側面で開口している、請求項２に記載の吸着パッド。
【請求項４】
前記給排気路は、前記吸液部材の平面視中央部から放射状に複数形成されている、請求項３に記載の吸着パッド。
【請求項５】
前記吸液部材は主面を有し、
前記主面に沿って溝部が形成され、
前記給排気路は、前記パッド本体における前記主面との接触面と前記溝部とによって形成されている、請求項３又は請求項４に記載の吸着パッド。
【請求項６】
前記パッド本体は貫通孔を有し、
前記貫通孔は前記気密空間と前記パッド本体の外部空間とを連通し、
前記給排気路は前記貫通孔の一端に連通し、
前記気密空間内の気体を吸引する吸引手段は前記貫通孔の他端に接続される、請求項３から請求項５のうちの１項に記載の吸着パッド。
【請求項７】
前記パッド本体は、前記被吸着物の前記被吸着面との間に前記気密空間を形成する開口円錐状のスカート部を有し、
前記スカート部は、前記気密空間内の気体が吸引されることにより前記気密空間の容積が縮小するように弾性変形する、請求項１から請求項６のうちの１項に記載の吸着パッド。
【請求項８】
前記吸液部材は弾性材料により形成されている、請求項１から請求項７のうちの１項に記載の吸着パッド。
【請求項９】
前記吸液部材は不織布により形成されている、請求項１から請求項８のうちの１項に記載の吸着パッド。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のうちの１項に記載の吸着パッドと、
前記気密空間内の気体を吸引する吸引手段と
を含む、吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の被吸着物を吸着する吸着パッド及び吸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等のフラットパネルディスプレイや太陽電池のガラス基板は、搬送途中での移載時や研磨工程での方向転換時等において、吸着パッドにより吸着される。
【０００３】
吸着パッドとしては、円錐状のパッド本体の先端部をガラス基板の被吸着面に圧接し、パッド本体とガラス基板の被吸着面との間に形成される気密空間内の空気を真空ポンプ等で吸引してガラス基板を吸着する構造が一般的に用いられている。
【０００４】
この種の吸着パッドでは、気密空間内の空気を吸引する際に、吸着パッドがガラス基板の被吸着面に当接した状態で拡径しながらガラス基板に対して摺動するため、ガラス基板の被吸着面に擦り傷が付く虞がある。
【０００５】
また、この種の吸着パッドでは、ガラス基板が乾燥した状態で気密空間内の空気を吸引した場合には、ガラス基板の被吸着面に付着している塵埃や汚れ等の異物がガラス基板の被吸着面にこびり付いて、その異物がガラス基板の被吸着面から剥離困難になることもある。
【０００６】
そこで、特許文献１では、吸着パッドがガラス基板の被吸着面に当接した状態で、気密空間内の空気を吸引しながらガラス基板の被吸着面に水を供給する技術が開示されている。
【０００７】
特許文献１の技術によれば、ガラス基板の被吸着面を常に水で濡れた状態に維持できるため、ガラス基板の被吸着面に擦り傷が付いたり、ガラス基板の被吸着面に塵埃や汚れ等の異物がこびり付いたりすることを抑制できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−７４５６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、ガラス基板の被吸着面に沿って大きな力が作用する工程において、ガラス基板が吸着パッドに対して位置ずれしやすいという問題があった。
【００１０】
すなわち、ガラス基板の被吸着面が水で覆われるとともに、吸着パッドの表面も水で覆われた状態では、ガラス基板の被吸着面と吸着パッドとの間に水の膜が存在するため、吸着パッドとガラス基板との間の摩擦力が減少する。その結果、ガラス基板の被吸着面に沿って大きな力が作用する工程（例えば、ガラス基板の高速搬送が行われる工程）において、ガラス基板が吸着パッドに対して滑りやすくなるため、ガラス基板が吸着パッドに対して位置ずれしやすい。
【００１１】
本発明は上記事情に鑑みて創案されたものであり、その目的は、被吸着物が位置ずれすることを抑制できる吸着パッド及び吸着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る第１の態様は、被吸着物を吸着する吸着パッドであって、前記被吸着物の被吸着面との間に気密空間を形成するパッド本体と、前記被吸着物の前記被吸着面の液体を吸収する吸液部材と、前記吸液部材に含まれている前記液体を吸引する負圧を前記吸液部材に導く負圧通路とを備える。
【００１３】
第１の態様の吸着パッドによれば、吸液部材が被吸着物の被吸着物面の液体を吸収することにより、被吸着物の被吸着面に対する吸着パッドの保持力が大きくなる。その結果、被吸着物が吸着パッドに対して位置ずれすることを抑制できる。
【００１４】
また、本発明の吸着パッドは、前記気密空間に気体又は負圧を導入する給排気路を有し、前記給排気路の先端部が前記パッド本体と前記被吸着物との接触箇所に向けて開口するように構成されることが好ましい。
【００１５】
その場合、パッド本体と被吸着物との接触箇所付近に対して速やかに給排気できるため、吸着パッドによる被吸着物の着脱を速やかに行うことができ、生産性が向上する。
【００１６】
なお、その場合、例えば、前記吸液部材が、前記被吸着物の前記被吸着面に当接する当接面と、前記当接面と交差する側面とを有し、前記給排気路は、前記吸液部材の前記当接面に沿って延びており、前記給排気路の前記先端部が前記吸液部材の前記側面で開口するように構成すると、給排気路を吸液部材と別に設ける場合と比べて構造が簡素化する。
【００１７】
その場合、前記給排気路を前記吸液部材の平面視中央部から放射状に複数形成すると、パッド本体の先端部の内周の全周にわたって均一に負圧及び気体を導くことができるため、吸着パッドによる被吸着物の着脱を更に速やかに行うことができる。また、吸着パッドが全周にわたって均一に被吸着物を吸着するとともに、吸着パッドが全周にわたって均一に被吸着物から剥離するため、被吸着物が湾曲しにくく、被吸着物の破損を抑制できる。
【００１８】
また、本発明の吸着パッドにおいて、前記吸液部材は主面を有し、前記主面に沿って溝部が形成され、前記給排気路は、前記パッド本体における前記主面との接触面と前記溝部とによって形成されることが好ましい。
【００１９】
その場合、給排気路を容易に形成できるため、吸着パッドの加工及び製造が容易となる。
【００２０】
本発明の吸着パッドにおいて、より具体的には、前記パッド本体は貫通孔を有し、前記貫通孔は前記気密空間と前記パッド本体の外部空間とを連通し、前記給排気路は前記貫通孔の一端に連通し、前記気密空間内の気体を吸引する吸引手段は前記貫通孔の他端に接続されることが好ましい。
【００２１】
また、本発明の吸着パッドにおいて、前記パッド本体は、前記被吸着物の前記被吸着面との間に前記気密空間を形成する開口円錐状のスカート部を有し、前記スカート部は、前記気密空間内の気体が吸引されることにより前記気密空間の容積が縮小するように弾性変形することが好ましい。
【００２２】
その場合、吸着パッドが被吸着物を吸着する際に、気密空間の容積が徐々に縮小し、気密空間内の気圧を速やかに低下させることができるため、被吸着物の吸着を速やかに行うことができる。
【００２３】
なお、本発明の吸着パッドにおいて、前記吸液部材を弾性材料により形成することが好ましい。その場合、被吸着物の被吸着面に摺り傷が生じるのを抑制できる。
【００２４】
また、本発明の吸着パッドにおいて、前記吸液部材を不織布により形成することが好ましい。その場合、吸液部材が高い摩擦係数と優れた吸液性を有するのに加えて、吸液部材の製造コストを安価にできる。
【００２５】
また、本発明の第２の態様は、第１の態様に係る吸着パッドと、前記気密空間内の気体を吸引する吸引手段とを含む吸着装置である。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、被吸着物が吸着パッドに対して位置ずれすることを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態である吸着パッドを上下反転させた状態を示す斜視図である。
【図２】図１に示される吸着パッドの断面図であり、（ａ）はガラス基板を吸着する前の状態を示す図、（ｂ）はガラス基板を吸着した状態を示す図である。
【図３】図１に示される吸液部材の平面図である。
【図４】図１に示される吸液部材の側面図である。
【図５】実施形態の吸着装置によってガラス基板を吸着する方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、図面を参照して本発明による実施形態を説明する。図１は本発明の一実施形態である吸着パッド１を上下反転させた状態を示す斜視図である。図２は吸着パッド１の断面図であって、図２（ａ）はガラス基板を吸着する前の状態を示す図であり、図２（ｂ）はガラス基板を吸着した状態を示す図である。
【００２９】
図１に示す吸着パッド１は、被吸着物としてのガラス基板Ｇ（図２参照）を吸着するために使用される。ガラス基板Ｇは、液晶ディスプレイ等に使用される。ガラス基板Ｇの寸法は特に限定されないが、例えば、縦１３００ｍｍ、横１０００ｍｍ、厚さ１．８ｍｍである。
【００３０】
吸着パッド１は、例えば、ガラス基板Ｇの４辺に対する研磨工程において、２辺（例えば長辺である２辺）に対する研磨を終えた後に、残りの２辺を研磨すべく、ガラス基板Ｇを９０度方向転換等する場合に使用される。
【００３１】
図１に示すように、吸着パッド１は、パッド本体１０と、吸液部材２０と、軸部３０とを備える。
【００３２】
パッド本体１０は、気密性、水密性及び弾性を有する合成樹脂（例えば、ブチルゴム）によって開口略円錐台状に形成されており、スカート部１１と基端部１２とを備える。
【００３３】
スカート部１１は円錐状に形成され、径方向及び軸方向に弾性変形可能である。図２に示すように、スカート部１１の先端部はガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａに当接してガラス基板Ｇとの間に気密空間Ｓを形成する。
【００３４】
基端部１２は円盤状に形成され、スカート部１１と一体成形されている。なお、基端部１２はスカート部１１と別個に成形されてもよい。基端部１２の中心部には基端部１２を厚さ方向に貫通する貫通孔１２ａが形成されている。貫通孔１２ａは気密空間Ｓとパッド本体１０の外部の空間とを連通する。
【００３５】
吸液部材２０は、例えば、不織布をプレス成形することにより形成された２枚の円盤状部材を貼り合わせ、フライスとボール盤とによって２枚の円盤状部材に機械加工を施すことにより形成される。吸液部材２０は略円盤状を呈する。吸液部材２０の詳細構造については、図３を参照して後述する。
【００３６】
吸液部材２０の材質は、ガラス基板Ｇの滑りを効果的に抑制し、かつ吸水性、成形性及び保形性に優れたものであれば、特に限定されないが、例えば、吸液部材２０の材質として、ポリスチレンにより形成された不織布を用いることができる。
【００３７】
吸液部材２０の一方の面は、ガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａに当接する当接面２１である。吸液部材２０の他方の面は主面２２であり、主面２２は、接着等によって、基端部１２における吸液部材２０との接触面１３に固定されている。
【００３８】
軸部３０は、金属や合成樹脂等によって形成された円筒状部材であり、軸部３０の一端は基端部１２のうち接触面１３と対向する面に接着等によって固定されている。軸部３０は、軸方向に貫通する貫通孔４０を有する。貫通孔４０は段付状に形成され、相互に連通し径の異なる大径部４０ａと小径部４０ｂとを有する。
【００３９】
大径部４０ａの内面には、配管を接続するためのネジ溝が形成されている。大径部４０ａには配管を介して真空ポンプ５０が接続され、大径部４０ａと真空ポンプ５０との間には圧力調整弁６０が設けられている。
【００４０】
小径部４０ｂは、パッド本体１０の基端部１２の貫通孔１２ａと連通している。小径部４０ｂの内径は基端部１２の貫通孔１２ａの内径と同径であることが好ましい。
【００４１】
真空ポンプ５０は気密空間Ｓ内の空気を吸引する動作と気密空間Ｓ内に加圧空気を供給する動作とを行うことができる。真空ポンプ５０は本発明の吸引手段として機能する。
【００４２】
圧力調整弁６０は、真空ポンプ５０と吸着パッド１とを連通する通路の断面積を変更することにより、真空ポンプ５０の気密空間Ｓに対する吸引力を調整する。
【００４３】
制御装置７０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等を含むマイクロコンピュータによって構成されている。ＣＰＵは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従って各種の処理を実行し、真空ポンプ５０及び圧力調整弁６０の動作を制御する。
【００４４】
吸着パッド１及び真空ポンプ５０によって吸着装置１００が構成されている。なお、吸着装置１００は、圧力調整弁６０や制御装置７０を更に備えることができる。吸着装置１００が圧力調整弁６０や制御装置７０を備えることにより、吸着パッド１によるガラス基板Ｇの吸着力やガラス基板Ｇの着脱のタイミング等を自動制御することができる。吸着パッド１と真空ポンプ５０のみによって吸着装置１００を構成する場合には、例えば、真空ポンプ５０を人手で操作することができる。
【００４５】
次に、図３及び図４を参照して、吸着パッド１の給排気構造について説明する。図３は吸液部材２０の平面図であり、図４は吸液部材２０の側面図である。
【００４６】
吸液部材２０は、主面２２を横断する溝部としての第１通気溝２３と、主面２２を縦断する溝部としての第２通気溝２４とを備える。第１通気溝２３と第２通気溝２４は、吸液部材２０の当接面２１に沿って延びるとともに、十字状に交差している。第１通気溝２３の両端の先端部と、第２通気溝２４の両端の先端部との各々は、吸液部材２０の当接面２１に交差する吸液部材２０の側面２５で開口している。
【００４７】
第１通気溝２３と第２通気溝２４とが交差する部分は、基端部１２（図２参照）の貫通孔１２ａの一端に連通している。第１通気溝２３と、第２通気溝２４と、基端部１２の接触面１３（図２（ａ）参照）とによって、気密空間Ｓに空気又は負圧を導入する放射状の給排気路が形成されている。給排気路は、吸液部材２０の平面視中央部から放射状に複数形成されている。給排気路は、吸液部材２０の主面２２に沿って形成された第１通気溝２３及び第２通気溝２４と、基端部１２の接触面１３とによって形成されるため、吸液部材２０にトンネル状の給排気路を形成する場合と比べて給排気路の加工が容易である。したがって、吸着パッド１の製造が容易である。なお、第１通気溝２３、第２通気溝２４、貫通孔１２ａ及び貫通孔４０は、本発明の負圧通路を兼ねている。
【００４８】
次に、図２と図５とを参照しながら、吸着装置１００によってガラス基板Ｇを吸着する方法を説明する。図５は吸着装置１００によってガラス基板Ｇを吸着する方法を示すフローチャートである。
【００４９】
まず、例えばガラス基板Ｇの洗浄工程など、吸着パッド１がガラス基板Ｇを吸着する前の工程において、図５のステップＳ５０１に示すように、給水装置（図示せず）が多量の水をガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａ上に供給して被吸着面Ｇａを湿潤な状態にする。
【００５０】
次いで、ステップＳ５０２及び図２（ａ）に示すように、吸着パッド１のパッド本体１０の先端部をガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａに圧接する。
【００５１】
そして、ステップＳ５０３に示すように、制御装置７０が真空ポンプ５０及び圧力調整弁６０の動作を制御して吸着パッド１の気密空間Ｓ内の空気を真空吸引する。気密空間Ｓ内の気圧が低下すると、図２（ｂ）に示すように、パッド本体１０のスカート部１１がガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａに強く圧接されてスカート部１１が弾性変形する。また、吸液部材２０の当接面２１がガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａに接近する。その結果、気密空間Ｓ（図２（ａ）参照）の容積が徐々に縮小するため、気密空間Ｓ内の気圧を速やかに低下させることができる。
【００５２】
そして、吸液部材２０の当接面２１がガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａに当接すると、吸液部材２０の周囲に断面三角形状の環状の気密空間Ｓａが形成される。気密空間Ｓａには第１通気溝２３及び第２通気溝２４を介して真空ポンプ５０の吸引力が作用するため、ガラス基板Ｇが吸着パッド１に吸着される。
【００５３】
なお、ガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａには吸液部材２０が圧接されているため、ガラス基板Ｇの吸引方向への湾曲が抑制される。したがって、ガラス基板Ｇの変形や破損を抑制できる。
【００５４】
そして、ステップＳ５０４に示すように、吸液部材２０がガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａの水を吸収する。すなわち、給水装置によってガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａに供給される水が吸液部材２０によって吸収される。
【００５５】
吸液部材２０に吸収された水と、吸液部材２０がガラス基板Ｇに当接して圧縮される過程で吸液部材２０から搾り出される水とは、第１通気溝２３及び第２通気溝２４内に供給される負圧によって吸引されて、第１通気溝２３及び第２通気溝２４内に流入する。第１通気溝２３及び第２通気溝２４に流入した水は、貫通孔１２ａ、貫通孔４０及び圧力調整弁６０を経て真空ポンプ５０に吸引され、真空ポンプ５０の直前に設置されたトラップ（例えばドレンポット、図示せず）に貯留される。
【００５６】
その結果、ガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａと吸液部材２０との間に水の膜が生成されないため、ガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａに対する吸着パッド１の保持力（せん断保持力）が大きくなる。したがって、ガラス基板Ｇが吸着パッド１に対して滑りにくくなる。
【００５７】
また、吸液部材２０に含まれている水が真空ポンプ５０によって吸引されるため、吸液部材２０がガラス基板Ｇと接触する際に、吸液部材２０を常に含水量が少ない状態に保つことができる。その結果、ガラス基板Ｇの吸着パッド１に対する位置ずれを抑制することができる。
【００５８】
なお、吸液部材２０は不織布で形成されているため、ガラス基板Ｇの被吸着面Ｇａに擦り傷が生じにくい。また、吸液部材２０はガラス基板Ｇと面接触するため、ガラス基板Ｇから多くの水を吸収できるとともに、ガラス基板Ｇとの摩擦を大きくしてガラス基板Ｇを滑りにくくすることができる。
【００５９】
吸着パッド１によるガラス基板Ｇの吸着を解除する場合には、真空ポンプ５０による吸引動作を加圧動作に切り換え、貫通孔４０、貫通孔１２ａ、第１通気溝２３及び第２通気溝２４を介して気密空間Ｓａ内に加圧空気を流入させる。その結果、気密空間Ｓａ内の気圧が上昇し、パッド本体１１が図２（ａ）に示す状態に復帰する。その状態において、吸着パッド１によるガラス基板Ｇの吸着力がほとんど無くなり、ガラス基板Ｇが吸着パッド１から離脱する。
【００６０】
ところで、ガラス基板Ｇの生産性を向上するためには、吸着パッド１によるガラス基板Ｇの着脱動作の速度を極力向上することが望ましい。本実施形態では、第１通気溝２３の先端部及び第２通気溝２４の先端部の各々は、パッド本体１０とガラス基板Ｇとの接触箇所に向けて開口している。その場合、給排気路の先端部がパッド本体とガラス基板との接触箇所に向けて開口していない場合と比べて、パッド本体１０とガラス基板Ｇとの接触箇所付近に対して速やかに給排気を行うことができる。したがって、吸着パッド１によるガラス基板Ｇの着脱動作の速度が向上してガラス基板Ｇの生産性が向上する。なお、給排気路の先端部がパッド本体と被吸着物との接触箇所に向けて開口している給排気構造は、本発明の吸着パッド以外の吸着パッドにも採用できる。例えば、パッド本体に気密空間内に突出する突出部分を設け、その突出部分が当該給排気構造を有していてもよい。その場合においても、吸着パッドによる被吸着物の着脱動作を向上するという作用効果を奏する。
【００６１】
また、第１通気溝２３及び第２通気溝２４によって形成される給排気路は放射状であるため、パッド本体１０の先端部の内周の全周にわたって均一に負圧及び空気を導くことができる。したがって、吸着パッド１によるガラス基板Ｇの着脱を速やかに行うことができ、生産性が向上する。また、吸着パッド１が全周にわたって均一にガラス基板Ｇを吸着するとともに、吸着パッド１が全周にわたって均一にガラス基板Ｇから剥離するため、ガラス基板Ｇが湾曲しにくく、ガラス基板Ｇが割れにくい。
【００６２】
また、本実施形態では、気密空間Ｓに空気又は負圧を導入する給排気路として機能する第１通気溝２３、第２通気溝２４、貫通孔１２ａ及び貫通孔４０が、吸液部材２０に含まれている水を吸引する負圧を吸液部材２０に導く負圧通路を兼ねているため、構造が簡素であり、製造コストが安価である。
【００６３】
以上、本発明の具体的な実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、図１〜図４に示す実施形態に種々の改変を施すことができる。
【００６４】
例えば、本実施形態では、給排気路が負圧通路を兼用しているが、給排気路と負圧通路とを別々に設けてもよい。
【００６５】
また、本実施形態では、給排気路が吸液部材に設けられているが、給排気路を吸液部材以外の部位に設けてもよい。例えば、パッド本体に給排気路を設けることができる。
【００６６】
また、吸液部材の材質は不織布以外であってもよい。吸液部材の材質は、被吸着物を傷付けにくい弾性材料であることが好ましく、吸液性が良好で摩擦係数が高いことが好ましい。そのような材質としては、例えば、ウレタン等によって形成された連続気泡状の多孔質部材を挙げることができる。
【００６７】
また、本実施形態では、被吸着物と吸着パッドとの間に供給される液体が水であるが、被吸着物の被吸着面が傷付いたり、被吸着物の被吸着面に異物が固着することを抑制できる液体であれば、水以外の液体（例えば、界面活性剤や界面活性剤を含む混合液）であってもよい。
【００６８】
また、本実施形態では、気密空間内に空気を出し入れして被吸着物の着脱を行っているが、空気以外の気体を気密空間に出し入れして被吸着物の着脱を行ってもよい。
【００６９】
また、本実施形態では、被吸着物の変形を抑制する部材が吸液部材を兼ねているが、被吸着物の変形を抑制する部材と吸液部材とを別々に設けることもできる。
【００７０】
また、本実施形態では、放射状の給排気路が十字状に形成されているが、給排気路は十字状以外の形状であってもよい。例えば、給排気路は格子状であってもよい。
【００７１】
また、本実施形態では、ガラス基板を吸着する吸着パッド及び吸着装置に本発明を適用した例について説明したが、ガラス基板以外の被吸着物（例えば、セラミック製の板部材）を吸着する吸着パッド及び吸着装置に本発明を適用することもできる。
【００７２】
その他にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲で上記実施形態に種々の改変を施すことができる。
【００７３】
本発明によれば、被吸着物の被吸着物面上の液体を吸液部材が吸収することにより、被吸着物の被吸着面に対する吸着パッドの保持力が大きくなる。したがって、被吸着物の被吸着面に傷が付いたり、異物が付着したりすることを抑制できるのに加えて、被吸着物が吸着パッドに対して位置ずれすることを抑制できる。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明の吸着パッド及び吸着装置は、被吸着物に高い表面品位が要求され、且つ被吸着物の被吸着面に沿って大きな力が作用する工程（例えば、被吸着物の高速搬送が行われる工程）に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００７５】
１      吸着パッド
１０    パッド本体
１１    スカート部
１２    基端部
１３    接触面
１２ａ  貫通孔（負圧通路、給排気路）
２０    吸液部材
２１    当接面
２２    主面
２３    第１通気溝（溝部、負圧通路、給排気路）
２４    第２通気溝（溝部、負圧通路、給排気路）
２５    側面
３０    軸部
４０    貫通孔（負圧通路、給排気路）
５０    真空ポンプ（吸引手段）
６０    圧力調整弁
７０    制御装置
１００  吸着装置
Ｓ      気密空間
Ｇ      ガラス基板（被吸着物）
Ｇａ    被吸着面
【図１】
2014176914.tif 000003
【図２】
2014176914.tif 000004
【図３】
2014176914.tif 000005
【図４】
2014176914.tif 000006
【図５】
2014176914.tif 000007