(57)【要約】【課題】２つの光素子の端面の相対的な角度を高い精度で平行に接続できる光素子接続方法を提供する。【解決手段】第１端面２ａと第２端面４ａの一方に対して同一光源７から斜めに照射した光を第１端面２ａと第２端面４ａに反射させてそれらの間を通り抜けた光の面角度を予め測定し、第１端面２ａと第２端面４ａが平行な場合の第１の面角度θ１を測定した後に、第１端面２ａと第２端面４ａの相対的な第２の面角度θ２が第１の面角度θ１となるように第１光素子２と第２光素子４の相対的な位置を第１、第２の支持部３、５の位置制御により補正する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１光素子の第１の端面と、第２光素子の第２の端面とを対向させて接続する光素子の接続方法において、
前記第１光素子の前記第１の端面と、前記第２光素子の前記第２の端面とを、所定間隔を離れた位置に対向して保持し、保持状態とし、
少なくとも前記保持状態において、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面とが平行となる位置にあるときに、前記第１光素子の前記第１の端面及び前記第２光素子の前記第２の端面の双方を反射するように光を光源から出射し、
前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面の双方を反射した前記光を受光することにより、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面との面角度を測定し、
前記測定の結果に基づき前記第２光素子の前記第２の端面に対する前記第１光素子の前記第１の端面の傾きを調整して、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面とを接続する、
光素子接続方法。
【請求項２】
前記光は、前記光を出射すると共に前記光を受光し、該出射した前記光と受光した前記光との光角度差を出力する光角度測定部から出射されており、
前記光角度測定部は、前記出射光が、少なくとも前記保持状態において、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面とが平行となる位置にあるときに、前記第１光素子の前記第１の端面と前記２光素子の前記第２の端面の双方を反射した後に、該出射光を前記光角度測定部へ照射させる反射板を経由した光を受光し、
前記光角度測定部が測定した光角度に基づき、前記第２光素子の前記第２の端面に対する前記第１光素子の前記第１の端面の傾きを調整して、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面とを接続する、
付記１記載の光素子接続方法。
【請求項３】
第１光素子を支持する第１素子支持部と、
第１光素子の第１端面を接続させる第２端面を有する第２光素子を支持する第２素子支持部と、
少なくとも第１光素子と第２光素子が第１素子支持部と第２素子支持部により保持された状態において、第１光素子の第１端面と第２光素子の第２端面とが平行となる位置にあるときに、第１光素子の第１端面と第２光素子の第２端面の双方を反射するように光を出射する光出射部と、
第１光素子の第１端面と第２光素子の第２端面の双方を反射した光を受光部により受光することにより、第１光素子の第１端面と第２光素子の第２端面との面角度を測定する測定部と、
前記測定部による測定結果に基づき、第１素子支持部を移動させて、第２光素子の第２の端面に対する第１光素子の第１の端面の傾きを調整して、第１光素子の第１の端面と第２光素子の第２の端面とを接続させる制御部と、
を有する光素子接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光素子接続方法及び光素子接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光受信モジュールでは、光ファイバが光接続されたプレーナ光波回路（ＰＬＣ：Planar Lightwave Circuit）素子を有する構造が知られている。ＰＬＣ素子は、光ファイバから入射した光をレンズにより集光してホトダイオードに照射する機能を有している。
【０００３】
ＰＬＣ素子と光ファイバを光接続する方法として、フェルールに挿入された光ファイバの端部の端面をＰＬＣ素子の光入射側の端面に平行に対向させ、光学接着剤を介して接続する方法がある。この場合、ＰＬＣ素子とフェルールの双方の端面が平行になっていない場合には、光学接着剤の硬化収縮によりそれらの端面がずれたり、ＰＬＣ素子と光ファイバの相対的な位置が温度変化により変動したりする。
【０００４】
そのような端面同士を平行に位置合わせするために、例えば、直角ミラーを有するプリズムを使用することが知られている。この場合、ＰＬＣ素子の光入射端面と光ファイバの端面の間に直角ミラーを挿入し、２つのミラーの角度をＰＬＣ素子の光入射端面に対してそれぞれ４５度と１３５度に傾ける。その状態で、ＰＬＣ素子の光入射端面に平行な光を直角ミラーの２つの反射面に照射し、反射した光を光ファイバとＰＬＣ素子の双方の端面に照射し、それらの端面で反射して戻された光を再び直角ミラーで反射させ、レーザ光源側に戻す。そして、レーザ光源側に戻った２つの光の入射角度を測定する。
【０００５】
これにより、レーザ光源側での２つの光入射角度に基づいて光ファイバ端面とＰＬＣ素子の光入力端面の角度が測定され、それらの角度が等しくなるように光ファイバの向きが調整される。これにより、ＰＬＣ素子の光入射端と光ファイバの互いの端面が平行になるので、その状態から光ファイバの端面はＰＬＣ素子の光入射端面に対し垂直に移動されて光学接着剤で固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３７６３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように直角ミラーを備えたプリズムを使用して光ファイバとＰＣＬ素子の双方の端面を平行に位置合わせる方法によれば、光ファイバの端面に照射された光がその内部を透過して反対側の端面で反射してレーザ光源側に戻る。これにより、フェルールの反対側の端面で反射した光は、上記の角度を測定する際のノイズとなり、光入射角度の高精度な測定に支障をきたし、フェルールとＰＣＬ素子を平行に配置する精度が低下することになる。
【０００８】
本発明の目的は、２つの光素子の端面同士を高い精度の平行状態で接続できる光素子接続方法及び光素子接続装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本実施形態の１つの観点によれば、第１光素子の第１の端面と、第２光素子の第２の端面とを対向させて接続する光素子の接続方法において、前記第１光素子の前記第１の端面と、前記第２光素子の前記第２の端面とを、所定間隔を離れた位置に対向して保持し、保持状態とし、少なくとも前記保持状態において、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面とが平行となる位置にあるときに、前記第１光素子の前記第１の端面及び前記第２光素子の前記第２の端面の双方を反射するように光を光源から出射し、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面の双方を反射した前記光を受光することにより、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面との面角度を測定し、前記測定の結果に基づき前記第２光素子の前記第２の端面に対する前記第１光素子の前記第１の端面の傾きを調整して、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面とを接続する、光素子接続方法が提供される。
発明の目的および利点は、請求の範囲に具体的に記載された構成要素および組み合わせによって実現され達成される。前述の一般的な説明および以下の詳細な説明は、典型例および説明のためのものであって、本発明を限定するためのものではない、と理解されるものである。
【発明の効果】
【００１０】
本実施形態によれば、第１光素子内と第２光素子内に透過した光がその内部で反射して戻ることを抑制しながら２つの光素子の端面の相対的な角度を高い精度で測定し、それらの光素子の端面同士を高い精度の平行状態で接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施形態に係る光素子接続装置の基本構造の一例を示す側面図である。
【図２】図２は、実施形態に係る光素子接続装置に使用されるオートコリメータの内部の構造の一例を示す側面図である。
【図３】図３（ａ）〜（ｄ）は、実施形態に係る光素子接続方法の一例を示す側面図である。
【図４】図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、実施形態に係る光素子接続方法においてオートコリメータに入射する光の入射位置と角度の一例を示すＸＹ座標図である。
【図５】図５（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係る光素子接続方法の他の例を示す側面図である。
【図６】図６（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係る光素子接続装置の動作を例示する斜視図である。
【図７】図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、実施形態に係る光素子接続方法と光素子接続装置により接続された光素子を有する受信モジュールの一例を示す平面図、側面図及び側面拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、図面を参照して実施形態を説明する。図面において、同様の構成要素には同じ参照番号が付されている。
【００１３】
図１は、本発明の実施形態に係る光素子接続装置の一例を示す側面図である。
図１に示す光素子接続装置１は、第１光素子２として例えばＰＬＣ素子を支持する第１素子支持部３と、第２光素子４として例えば光ファイバが挿通されたフェルールを支持する第２素子支持部５とを有している。第２素子支持部５は、第２光素子４の傾きを補正する傾き補正用移動部６に取り付けられている。第２素子支持部５により支持された第２光素子４の第２端面４ａは、傾き補正用移動部６により傾きが補正され、第１光素子２の第１端面２ａに対向して配置される。
【００１４】
第２光素子４の一側方（図中右側方）には光角度測定部としてオートコリメータ７が配置されている。オートコリメータ７は、第１光素子２の第１端面２ａに向けて斜めにレーザ光を出射するとともに、第１端面２ａと第２光素子４の第２測定端面とその側方の鏡面体８で反射して第１端面２ａに戻され、再び第１端面２ａで反射した光を入射してその入射角度を測定する構造を有している。
【００１５】
オートコリメータ７の光入出射端７ｎの光軸は、第１光素子２の第１端面２ａの垂線に対して例えば１５度〜７５度の角度で傾けられている。なお、光出射角度と光入射角度については、第１光素子２の第１端面２ａの垂線に対する角度で示すが、第１端面２ａに平行な線に対する角度であってもよい。
【００１６】
オートコリメータ７は、図２に例示するように、光出射方向に沿って光源の半導体レーザ７ａ、円形スリット７ｂ、ビームスプリッタ７ｃ及びコリメータ７ｄが順に配置された構造を有している。さらに、ビームスプリッタ７ｃにより反射される入射光を平面（二次元）的に受光する受光素子である光電変換素子７ｅを有している。光電変換素子７ｅとして例えばＣＣＤ素子が使用される。
【００１７】
オートコリメータ７内の光電変換素子７ｅの信号の出力端は、図１に示すように演算部９に接続される。演算部９は、コリメータ７ｄとビームスプリッタ７ｃを介して光電変換素子７ｅに入射する光の位置をｘｙ座標系で検出することにより第１端面２ａで反射した光の入射角度を求める構造を有している。
【００１８】
演算部９の信号出力端は、その演算データに基づいて傾き補正用移動部６を制御する主制御部１０に接続されている。主制御部１０は、演算部９によって求められた入射光の入射角度に基づいて傾き補正用移動部６及び第２素子支持部５を作動し、第２光素子４の第２端面４ａの向きを変える構造を有している。演算部９と主制御部１０は、ＣＰＵ、記憶部等を備えたコンピュータであってもよい。
【００１９】
第２光素子４の他側方（図中左側方）には、オートコリメータ７から出射されて第１端面２ａ、第２端面４ａ、第１端面２ａの順でジグザグに反射されて側方に伝搬した光をさらに反射して第１端面２ａに戻す第１の鏡面体８が配置されている。
【００２０】
次に、光素子接続装置１を使用して第１光素子２の第１の端面２ａと第２光素子４の第２の端面４ａを接続する光素子接続方法について図３（ａ）〜（ｄ）を参照して説明する。
【００２１】
まず、図３（ａ）に例示するように、オートコリメータ７の光入出射端７ｎを第１光素子２の第１の端面２ａに間隔をおいて向けるとともに、第２の端面２ａの垂線に対するオートコリメータ７の光軸の角度がＺ度（Ｚ＜９０）となるようにオートコリメータ７の光出射軸の角度を調整する。さらに、オートコリメータ７の光出射軸に対する第１の鏡面体８の反射面の角度を例えば角度Ｚの１／２（＝Ｚ／２度）に設定して第１の鏡面体８を配置する。ただし、その入射角Ｚは、後述するように第１端面２ａと鏡面体８で反射した光が再びオートコリメータ７の光入出射端７ｎに戻り得る角度に設定される。
【００２２】
次に、主制御部１０は、第１素子支持部３を操作して第１光素子２を移動し、鏡面体８の反射面の垂線とオートコリメータ７の光出射軸との交点に第１端面２ａが一致するように第１光素子２の位置を調整する。この状態で、オートコリメータ７から第１端面２ａに光ビームを照射すると、光ビームは第１端面２ａで反射して鏡面体８に達し、そこで反射された光は第１端面２ａに戻り、さらに反射されてオートコリメータ７の光入出射端７ｎに戻る。
【００２３】
この場合、オートコリメータ７の光入出射端７ｎでは、図４（ａ）のＸＹ座標系に示すように、オートコリメータ７の光出射軸が交差するＸＹ座標の中央点０から光ビームが出射される。そして、光ビームは、図３（ａ）に示すように、光出射角θｅで第１端面２ａに斜めに出射される。また、第１の鏡面体８を反射した光は、図３（ａ）に示すように、第１端面２ａで反射されて角度θ１でオートコリメータ７の光入出射端７ｎに入射する。この場合、オートコリメータ７の光入出射端７ｎでは図４（ａ）に示す光点Ｐに光が入射する。その光点Ｐでの入射位置は、図２に示したオートコリメータ７内のＣＣＤ素子７ｄにより検知され、光点Ｐでの光の入射角θ１は、面角度とＸＹ座標の関係を示すデータベースに基づいて演算部９により算出されてｘ軸成分θｘ１とｙ軸成分θｙ１に分けられる。
【００２４】
続いて、演算部９から入射角θ１のデータを取得した制御回路１０は、傾き補正用移動部６を制御することにより、図３（ｂ）に示すように、第２光素子４を第１光素子２に近づける。この場合、第２光素子４の第２端面４ａの位置は、オートコリメータ７から出射されて第１端面２ａで反射した光の経路中に設定される。別な観点によれば、第１端面２ａ、第２端面４ａ、第１端面２ａ、鏡面体８の順に反射した光を逆の経路で反射させて戻し、最終的にオートコリメータ７に入射できる位置に第２光素子４の第２端面４ａを配置する。この場合、第１端面２ａと第２端面４ａは互いに接触させずに隙間を介して配置され、できるだけ平行になるように調整される。
【００２５】
次に、オートコリメータ７から第１端面２ａに出射角度θｅで光ビームを照射する。これにより、第１端面２ａで反射した光は、第２端面４ａに伝搬して反射され、さらに第１端面２ａに戻されて再び反射されて鏡面体８に達する。鏡面体８では、光を反射して第１端面２ａに戻す。第１端面２ａに到達して反射された光は、さらに第２端面４ａと第１端面２ａで反射され、オートコリメータ７の光入出射端７ｎに戻される。この場合、オートコリメータ７に入射する光の面角度は、図３（ｂ）に示すようにθ２となる。
【００２６】
この場合、オートコリメータ７の光入出射端７ｎでは、図４（ｂ）に示す光点Ｑに入射する。その光点Ｑでの光の入射位置は、図２に示したオートコリメータ７内のＣＣＤ素子７ｄにより検知され、光点Ｑでの入射角θ２は、入射角度とＸＹ座標の関係を示すデータベースに基づいて演算部９により算出されてｘ軸成分θｘ２とｙ軸成分θｙ２に分けられる。
【００２７】
オートコリメータ７から出射された光ビームを第２端面４ａで反射される場合と反射させない場合、即ち図３（ａ）、（ｂ）を比較すると、オートコリメータ７に入射する光の入射角θ１、θ２の角度差はθｄとなる。そして、角度差θｄは、第１端面２ａと第２端面４ａの角度差θ０の４倍、即ち、θｄ＝｜θ１−θ２｜＝４θ０となる。従って、第１端面２ａと第２端面４ａが平行であってθ０＝０の場合には光点Ｑと光点Ｐが一致する。
【００２８】
次に、主制御部１０は、演算部９から入力した入射角のデータに基づいて傾き補正用移動部６を操作し、図３（ｃ）、図４（ｃ）に示すように、光点Ｑと光点Ｐの角度差が無くなるように、第２光素子４の光軸のｘ方向とｙ方向の傾きを調整する。これにより、光点Ｑと光点Ｐが一致したときに第１端面２ａと第２端面４ａは互いに平行となる。この状態では、第１光素子２の第２端面２ａで反射してオートコリメータ７に入射する面角度θ２は、上記の入射角θ１に等しくなる。
【００２９】
次に、第１光素子２の第１端面２ａが対向する領域の第２端面２ａの上に光学接着剤１１、例えばエポキシ接着剤を供給する。続いて、主制御部１０の制御により傾き補正用移動部６を作動し、図３（ｄ）に示すように、第２光素子４をその光軸に平行に移動させて第２光素子４ａの第２端面４ａを第１光素子２の第１端面２ａに近づけ、接着剤１１を薄くする。これにより、第２端面４ａと第１端面２ａは極薄の接着剤１１を介して接続され、さらにその外周には接着剤１１がはみ出して第１光素子２と第２光素子４は互いに接続される。
【００３０】
以上のような方法によれば、オートコリメータ７から第１端面２ａに斜めに光を照射し、第１端面２ａと第１の鏡面体８で反射させてオートコリメータ７に戻す光経路を設定している。そして、その光経路において、第１端面２ａで反射されて第１の鏡面体８に至る光の経路中に第２光素子４の第２端面４ａを配置し、これによるオートコリメータ７への光入射角の変化に基づいて第２端面４ａの角度を補正し、その角度差の変化がゼロになる位置に第２端面４ａの向きを変えることにより第１、第２端面２ａ、４ａを平行にしている。
【００３１】
これにより、直角ミラーを備えたプリズムを使用する従来に比べ、第１、第２光素子２、４の内部で反射してオートコリメータ７に戻されるノイズ光を少なくすることができる。しかも、第１端面２ａから反射する光の経路に第２端面４ａを置く場合と置かない場合のオートコリメータ７への入射光の入射角の差に基づいて第１光素子２の傾きを補正しているので、絶対角度のキャリブレーションをする必要がない。さらに、第１光素子２と第２光素子４の間にプリズム等の計測機器を挿入しないので、第１光素子２と第２光素子４が平行になるように調整している際に互いの間隔を小さくできるので、その後の光素子同士の接続がしやすくなる。この結果、光学接着剤１１の硬化時の硬化収縮や温度変換による第１、第２光素子２，４の互いの光軸のズレが生じ難くなる。
【００３２】
ところで、上記の光素子接続方法において、図５（ａ）に例示するように、第１の鏡面体８の反射面を第１光素子２の第１端面２ａの垂線と平行に配置してもよい。これにより、第１の鏡面体８、第１、第２光素子２、４の相互間での光の反射数を減らすことができる。この場合、オートコリメータ７から第１端面２ａに向けて光ビームを角度θｅで出射すると、第１端面２ａで反射した光は鏡面体８でさらに反射され、その光はオートコリメータ７の光入出射端７ｎに直接に入射する。この場合の入射角θ１は、出射角θｅと等しくなる。
【００３３】
続いて、図５（ｂ）に示すように、第２光素子４を第１光素子２に向けて移動して第２端面４ａを第１端面２ａに対向させながら近づけ、第１の鏡面体８からオートコリメータ７に向けて照射される光を第２端面４ａにより遮る。これにより、鏡面体８で反射された光は、第２端面４ａで反射して第１端面２ａに照射され、さらに第１端面２ａで反射してオートコリメータ７の光入出射端７ｎに角度θ２で入射する。オートコリメータ７に入射した光ビームは、内部のＣＣＤ素子７ｄで検知され、入射角θ２は、入射角度とＸＹ座標の関係を示すデータベースに基づいて演算部９により算出される。ここで２つの入射角θ１、θ２の角度の差をθｄとすると、θｄ＝｜θ１−θ２｜＝２θ０となる。なお、θ０は、第１端面２ａに対する第２端面４ａの角度である。
【００３４】
そのような入射角度差の測定方法では、第２端面４ａのうち光が照射される部分の高さを予め設定しておかないと、第２端面４ａの傾きが同じであってもオートコリメータ７での光の入射位置が変動する。従って、第２端面４ａのうち光が照射される部分の高さを一定の値ｈとなるように決めることが好ましい。  
【００３５】
その後に、主制御部１０は傾き補正用移動部６及び第２素子支持部５を制御して、θｄ＝０となるように第２光素子４の光軸の傾きを調整する。この状態では、第１光素子２の第２端面２ａで反射してオートコリメータ７に入射する面角度θ２は、上記の入射角θ１に等しくなる。その後、上記と同様な方法により光学接着剤１１を介して第１端面２ａと第２端面４ａを接続する。
【００３６】
以上の光素子接続方法は、第１端面２ａと第２端面４ａの一方に対して同一光源から斜めに照射した光を第１端面２ａと第２端面４ａに反射させてそれらの間を通り抜けた光の面角度を測定し、第１端面２ａと第２端面４ａが平行な場合の第１の面角度θ１を予め測定した後に、第１端面２ａと第２端面４ａの相対的な第２の面角度θ２が第１の面角度θ１となるように第１光素子２と第２光素子４の相対的な位置を第１、第２の支持部３、５の位置制御により補正した後に、その平行状態を保持したままで第１端面２ａと第２端面４ａを接着剤により接続する方法であり、第１の鏡面体８の代わりに受光素子をおいて面角度を測定してもよい。
【００３７】
上記のようにオートコリメータ７から第１端面２ａに光ビームを照射する場合には、直接ではなく、鏡面体を反射させて照射してもよい。そのようは構造を備えた光素子接続装置１について図６を参照して説明する。
【００３８】
図６（ａ）に示す光素子接続装置１において、オートコリメータ７は、光入出射端７ｎを下に向けた状態で移動部１７により前後方向、左右方向、上下方向に移動可能に取り付けられている。また、オートコリメータ７の下部の光入出射端７ｎには、光ビームを伝搬させる空洞を有する筒部１９が取り付けられ、筒部１９の下端には第２の鏡面体１８が取り付けられている。第２の鏡面体１８は反射面の角度を変更できるように支持され、オートコリメータ７から出射された光を第１光素子２の第１端面２ａに斜めに照射できるように調整される。
【００３９】
筒部１９の側部には、第２素子支持部５の上方に配置される棒状の鏡面体支持部２０が横長に取り付けられ、その先端には第１の鏡面体８が取り付けられている。第１の鏡面体８は、反射面の角度を変更できるように鏡面体支持部２０に支持されている。
【００４０】
第２素子支持部５は、オートコリメータ７の下方で、傾き補正用移動部６の前部に取り付けられ、その上には第２光素子４が支持されている。また、第２素子支持部５の前方には第１素子支持部３が配置され、その上には第１光素子２が取り付けられている。
【００４１】
光素子接続装置１では、図６（ｂ）に示すように、移動部１７によりオートコリメータ７の位置を調整するとともに、第１の鏡面体８と第２の鏡面体１８の角度を調整する。これにより、図３に示したと同様に、オートコリメータ７から出射される光ビームが第２の鏡面体１８で反射されて第１光素子２の第１端面２ａに斜めから照射され、反射した光を第１の鏡面体８で反射させてオートコリメータ７に戻すことが可能になる。また、傾き補正用移動部６を制御して第１光素子２の第１端面２ａと第２光素子４の第２端面４ａを対向させ、図３に示した方法によって、それらを平行に接続することができる。
【００４２】
以上の光素子接続装置１を使用して接続される第１光素子２としてＰＬＣ素子が使用され、第２光素子４として光ファイバの端部を挿入したフェルールが使用され、それらの光素子は図７に例示する光受信モジュールのパッケージ２１内に取り付けられる。第１端面２ａであるＰＬＣ素子２２の光入射端面２２ａには第１の光導波路２２ｂの一端が露出している。第１の光導波路２２ｂは、光出力端に向けて第２、第３の光導波路２２ｃ、２２ｄに分岐される。
【００４３】
第１の光導波路２２ｂと光ファイバ２３の互いの光軸の位置合わせは、フェルール２４とＰＬＣ素子２２の端面同士を上記の方法により接続する際に行われる。例えば、フェルール２４の端面２４ａとＰＬＣ素子２２の光入射端面２２ａを上記の方法により平行にする。その後に、ＰＬＣ素子２２の第１の光導波路２２ｂに向けて光ファイバ２３から光を導波させる一方、第２又は第３の光導波路２２ｃ、２２ｄの光出射端に配置した受光素子２５ａ、２５ｂで光を受光する。そして、受光素子２５ａ、２５ｂで受光する光の強度が最大になる位置で面方向の位置を決定し、その後にＰＬＣ素子２２とフェルール２４の互いの端面の間の接着剤を硬化させて接続する。この場合、受光素子２５ａ、２５ｂは、
【００４４】
フェルール２４内に取り付けられた光ファイバ２３は、パッケージ２１の一端の孔を通して外部に引き出される。また、図６（ｂ）の破線で囲む部分の拡大図である図６（ｃ）に示すように、第１の光導波路２２ｂの光入射端部は低屈折率の第１支持部２２ｅと基板２２ｆの間に挟まれる。また、第２、第３分岐導波路２２ｂ、２２ｃの光出射端は、低屈折率の第２支持部２２ｇと基板２２ｆの間に挟まれ、それらの端部はそれぞれ第１、第２のレンズ２５ａ、２５ｂに接続される。
【００４５】
パッケージ２１内において、第１、第２のレンズ２５ａ、２５ｂの前方には第３、第４のレンズ２６ａ、２６ｂが配置されている。また、第３、第４のレンズ２６ａ、２６ｂの前方には、第１、第２の受光素子２７ａ、２７ｂが配置されている。第１、第２の受光素子２７ａ、２７ｂは、光素子用電子回路２８に取り付けられている。光素子用電子回路２８は、パッケージ２１の外部に取り付けられるリード２９、３０に接続される。
【００４６】
そのような構造を有する光受信モジュールは、温度変化が生じる環境に置かれても、上記の方法により接続されるＰＬＣ素子２２とフェルール２４の各端面２２ａ、２４ａが平行に接続されているために、温度変化によるＰＬＣ素子２２とフェルール２４の互いの光軸のズレが生じ難い。
【００４７】
ここで挙げた全ての例および条件的表現は、発明者が技術促進に貢献した発明および概念を読者が理解するのを助けるためのものであり、ここで具体的に挙げたそのような例および条件に限定することなく解釈され、また、明細書におけるそのような例の編成は本発明の優劣を示すこととは関係ない。本発明の実施形態を詳細に説明したが、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、それに対して種々の変更、置換および変形を施すことができると理解される。
【００４８】
（付記１）第１光素子の第１の端面と、第２光素子の第２の端面とを対向させて接続する光素子の接続方法において、前記第１光素子の前記第１の端面と、前記第２光素子の前記第２の端面とを、所定間隔を離れた位置に対向して保持し、保持状態とし、少なくとも前記保持状態において、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面とが平行となる位置にあるときに、前記第１光素子の前記第１の端面及び前記第２光素子の前記第２の端面の双方を反射するように光を光源から出射し、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面の双方を反射した前記光を受光することにより、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面との面角度を測定し、前記測定の結果に基づき前記第２光素子の前記第２の端面に対する前記第１光素子の前記第１の端面の傾きを調整して、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面とを接続する、光素子接続方法。
（付記２）前記光は、前記光を出射すると共に前記光を受光し、該出射した前記光と受光した前記光との光角度差を出力する光角度測定部から出射されており、前記光角度測定部は、前記出射光が、少なくとも前記保持状態において、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面とが平行となる位置にあるときに、前記第１光素子の前記第１の端面と前記２光素子の前記第２の端面の双方を反射した後に、該出射光を前記光角度測定部へ照射させる反射板を経由した光を受光し、前記光角度測定部が測定した光角度に基づき、前記第２光素子の前記第２の端面に対する前記第１光素子の前記第１の端面の傾きを調整して、前記第１光素子の前記第１の端面と前記第２光素子の前記第２の端面とを接続する、付記１記載の光素子接続方法。
（付記３）前記光角度測定部は、オートコリメータであることを特徴とする付記２に記載の光素子接続方法。
（付記４）前記光角度測定部の前記光入出射端の光出射方向には、鏡面体を反射させて前記光を前記第１の端面、前記第２の端面のいずれかに照射することを特徴とする付記２又は付記３に記載の光素子接続方法。
（付記５）前記第１光素子の中から前記第２光素子の中に光を通して前記第１光素子と前記第２光素子の互いの光軸を合わせることを特徴とする付記１乃至付記３のいずれか１つに記載の光素子接続方法。
（付記６）前記第１光素子は、光導波路を有するプレーナ光波回路であり、前記第２光素子は、光ファイバが取り付けられたフェルールであることを特徴とする付記１乃至付記５のいずれか１つに記載の光素子接続方法。
（付記７）前記光が前記光角度測定部により受光される場合に、前記光角度測定部の前記光の出射角度と入射角度の差は、前記第１光素子の前記第１端面と前記第２光素子の前記第２端面の角度の差の４倍か２倍であることを特徴とする付記２乃至付記５のいずれか１つに記載の光素子接続方法。
（付記８）第１光素子を支持する第１素子支持部と、第１光素子の第１端面を接続させる第２端面を有する第２光素子を支持する第２素子支持部と、少なくとも第１光素子と第２光素子が第１素子支持部と第２素子支持部により保持された状態において、第１光素子の第１端面と第２光素子の第２端面とが平行となる位置にあるときに、第１光素子の第１端面と第２光素子の第２端面の双方を反射するように光を出射する光出射部と、第１光素子の第１端面と第２光素子の第２端面の双方を反射した光を受光部により受光することにより、第１光素子の第１端面と第２光素子の第２端面との面角度を測定する測定部と、前記測定部による測定結果に基づき、第１素子支持部を移動させて、第２光素子の第２の端面に対する第１光素子の第１の端面の傾きを調整して、第１光素子の第１の端面と第２光素子の第２の端面とを接続させる制御部と、を有する光素子接続装置。
（付記９）前記受光部と前記光出射部は、光角度測定部内に設けられていることを特徴とする付記８に記載の光素子接続装置。
（付記１０）前記第１光素子は、光導波路を有するプレーナ光波回路であり、前記第２光素子は、光ファイバが取り付けられたフェルールであることを特徴とする付記８又は付記９のいずれか１つに記載の光素子接続装置。
（付記１１）前記第１光素子は、光導波路を有するプレーナ光波回路であり、前記第２光素子は、光ファイバが取り付けられたフェルールであることを特徴とする付記８乃至付記１０のいずれか１つに記載の光素子接続装置。
（付記１２）前記第１光素子の中から前記第２光素子の中に光を通して前記第１光素子と前記第２光素子の互いの光軸を合わせる光軸合わせ部を有することを特徴とする付記８乃至付記１１のいずれか１つに記載の光素子接続装置。
【符号の説明】
【００４９】
１  光素子接続装置
２  第１光素子
２ａ  第１測定端面
３  第１素子支持部
４  第２光素子
４ａ  第２測定端面
５  第２素子支持部
６  傾き補正用移動部
７  オートコリメータ
８、１８  鏡面体
９  演算部
１０  主制御部
１１  光学接着剤
２２  ＰＬＣ素子
２３  光ファイバ
２４  フェルール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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