(57)【要約】【課題】安定した駆動を行う光走査装置１を提供する。【解決手段】光走査装置１は、本体部１１と、本体部の第１の端部から延設された２つの片持ち梁部１２と、２つの片持ち梁部１２で両端が支持された、入射光を反射するミラー部１５を中央に有する捻れ梁部１４と、を有する平板状の可動部１０と、本体部１１の第１の端部と対向する第２の端部を保持する固定部２０と、本体部１１に配設された圧電体からなる駆動部３０と、ミラー部１５の回転情報を計測するための角度計測部４０と、を具備する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体部と、前記本体部の第１の端部から延設された２つの片持ち梁部と、前記２つの片持ち梁部で両端が支持された、入射光を反射するミラー部を中央に有する捻れ梁部と、を有する平板状の可動部と、
前記本体部の前記第１の端部と対向する第２の端部を保持する固定部と、
前記本体部に配設された圧電体からなる駆動部と、
前記ミラー部の回転情報を計測するための角度計測部と、を具備することを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
前記角度計測部が、前記可動部に配設されている圧電体であることを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項３】
前記駆動部と前記角度計測部が、前記可動部の異なる面に配設されていることを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。
【請求項４】
前記駆動部が、前記可動部の両面に配設されていることを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。
【請求項５】
それぞれの前記片持ち梁部に前記角度計測部が配設されていることを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。
【請求項６】
前記角度計測部が、前記片持ち梁部の一方に配設されており、前記片持ち梁部の他方に前記変位検出部と同じ質量及び同じ弾性率のダミー部材が配設されていることを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。
【請求項７】
前記角度計測部が、磁界発生部と磁界検出部とからなり、一方が前記可動部に配設されており、他方が前記固定部に固定されており、前記磁界検出部により前記回転情報を計測することを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。
【請求項８】
前記角度計測部が、前記可動部に配設されている可動電極と、前記可動電極と空間を介して対向するように配設されている、前記固定部に固定されている固定電極とからなり、前記可動電極と前記固定電極との間の静電容量変化に基づき前記回転情報を計測することを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。
【請求項９】
前記角度計測部が、前記ミラー部以外の前記可動部で反射された、前記ミラー部で反射される光と異なる波長の光の反射角を計測することを特徴とする請求項１に記載の光スキャナ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、入射光をミラー部で反射し走査する光走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
入射光（光ビーム）を走査する光走査装置（以下、「光スキャナ：optical scanner」ともいう）は、レーザプリンタ、プロジェクタ、レーザ顕微鏡等に使用されている。そして、極小ミラー部を回転振動する、マイクロマシニング技術を用いて製造される光スキャナは、多数個を一括製造することができ、更に超小型で高速駆動であることから注目されている。
【０００３】
例えば、図１に示す光スキャナ１０１が、米国特許第８３０５６６９号明細書に開示されている。光スキャナ１０１は、平板状の可動部１１０と、可動部１１０を保持する固定部１２０と、可動部１１０に配設された圧電体からなる駆動部１３０と、を具備する。可動部１１０は、本体部１１１と、本体部１１１から延設された片持ち梁部１１２（１１２Ａ、１１２Ｂ）と、片持ち梁部１１２で両端が支持された、入射光を反射するミラー部１１５を中央に有する捻れ梁部１１４と、を有する。駆動部１３０の上下の電極間に交流電圧が印加されると、本体部１１１が振動し、その振動が片持ち梁部１１２及び捻れ梁部１１４に伝わり、ミラー部１１５が往復回転振動する。
【０００４】
光スキャナ１０１は、小型でかつ高速駆動が可能である。更に、光スキャナ１０１は、ミラー部１１５の回転角度、すなわち、反射角が大きい「大変位」という優れた特徴を有する。
【０００５】
しかし、光スキャナ１０１は、周囲の温度変化等により共振周波数が変化すると、入射した光ビームの反射角が大きく変化してしまうため、安定した駆動を行うことが容易ではないおそれがあった。
【０００６】
これに対して、図２に示す光スキャナ２０１が、米国特許第８１２５６９９号明細書に開示されている。光スキャナ２０１は、光スキャナ１０１と類似した構造であるが、ミラー部２１５の振れ角を検出する走査角度検出センサＡＡと、温度センサＢＢと、応力印加用圧電膜２２０とを、更に具備する。光スキャナ２０１では、走査角度検出センサＡＡの検出結果を、光走査駆動信号発生回路２２１を介して駆動部２３０へフィードバックするとともに、温度センサＢＢの検出結果を、周波数調整信号発生回路２２２を介して応力印加用圧電膜２２０へフィードバックする。このため光スキャナ２０１は、周囲の温度変化等により共振周波数が変化しても、ミラー部２１５の振れ角、すなわち、入射光の反射角を一定に保持できる。
【０００７】
しかし、前記明細書には、走査角度検出センサＡＡの具体的構成についての開示はない。また。図２に示されているように、走査角度検出センサＡＡは、温度センサＢＢと同様に、可動部２１０には配設されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許第８３０５６６９号明細書
【特許文献２】米国特許第８１２５６９９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、安定した駆動を行う光走査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の実施形態の光走査装置は、本体部と、前記本体部の第１の端部から延設された２つの片持ち梁部と、前記２つの片持ち梁部で両端が支持された、入射光を反射するミラー部を中央に有する捻れ梁部と、を有する平板状の可動部と、前記本体部の前記第１の端部と対向する第２の端部を保持する固定部と、前記本体部に配設された圧電体からなる駆動部と、前記ミラー部の回転情報を計測するための角度計測部と、を具備する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、安定した駆動を行う光走査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】従来の撮像装置の斜視図である。
【図２】従来の撮像装置の構成図である。
【図３】第１実施形態の撮像装置を説明するための図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図４】第１実施形態の変形例１の撮像装置を説明するための図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図５】第１実施形態の変形例２の撮像装置を説明するための図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図６】第１実施形態の変形例３の撮像装置を説明するための図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図７】第１実施形態の変形例４の撮像装置を説明するための図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図８】第１実施形態の変形例５の撮像装置を説明するための図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図９】第２実施形態の撮像装置を説明するための図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図１０】第３実施形態の撮像装置を説明するための図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は図１０（Ａ）の１０Ｂ−１０Ｂ線に沿った断面図である。
【図１１】第４実施形態の撮像装置を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
＜第１実施形態＞
図３に示すように本実施形態の光走査装置（光スキャナ）１は、すでに説明した従来の光スキャナ１０１、１０２と類似している。すなわち、光スキャナ１は、平板状の可動部１０と、固定部２０と、駆動部３０と、を具備する。可動部１０は、本体部１１と、本体部１１の第１の端部から延設された２つの片持ち梁部１２（１２Ａ、１２Ｂ）と、２つの片持ち梁部１２で両端が支持された、中央に入射光を反射するミラー部１５を有する捻れ梁部１４と、を具備する。
【００１４】
なお、後述するように、光スキャナ１では、可動部１０（本体部１１、片持ち梁部１２、捻れ梁部１４）と、ミラー部１５とは同じ１枚の金属板からなり一体であるが、説明の都合上、区別している。
【００１５】
固定部２０は、可動部１０の第１の端部と対向する第２の端部を保持し固定している。
【００１６】
言い換えれば、本体部１１の一端は固定部２０で拘束された片持ち梁構造となっており、片持ち梁部１２のあるもう一端の方は自由端となっている。そして、本体部１１の自由端側からは、ミラー部１５を中心に左右対称の位置に片持ち梁部１２が延設されている。２つの片持ち梁部１２の間には捻れ梁部１４が連結されており、捻れ梁部１４によりミラー部１５が保持されている。
【００１７】
可動部１０は、金属板、例えば、ステンレス板をエッチング加工、又はプレス加工等することにより安価に大量生産可能である。ミラー部１５は、可動部１０と一体で作製されてもよいし、可動部１０とは別に作製してから捻れ梁部１４の中央部に配設してもよい。また、可動部１０等は、シリコンをＭＥＭＳ技術により加工して作製してもよい。
【００１８】
本体部１１の略中央部には、駆動部３０が配設されている。駆動部３０は両面の電極間（不図示）に電圧が印加されると長さや厚さが伸縮する圧電体からなる。駆動部３０には、バルク圧電体又は圧電薄膜を用いる。圧電薄膜は、例えばスパッタリング法、ゾル-ゲル法、ＭＯ−ＣＶＤ（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）法、又はＡＤ（エアロゾルデポジション）法などにより可動部１０に成膜できる。なお、本体部１１が導体の場合には、本体部１１を下部電極として使用できる。また、導体からなる本体部１１の表面を絶縁層で覆っておいてもよい。更に、駆動部３０に電圧信号を印加するための配線は、微細導線であってもよいし、本体部１１の表面に形成された配線層であってもよい。
【００１９】
駆動部３０は両面の電極に、制御部（不図示）に制御された駆動信号発生部（不図示）から交流電圧（駆動信号）が印加されると、長さが伸縮変形する。駆動部３０が貼付されている本体部１１は、駆動部３０の長さが伸びようとする時、駆動部３０の下面は本体部１１と強固に接着しているため伸びることができず、駆動部３０はその上面のみ伸びることになり、その結果上凸形状に変形する。長さが縮もうとする時は、駆動部３０の上面のみ縮むことになり、その結果、下凸形状に変形する。すなわち、本体部１１は、駆動信号の周波数（ｆ）の周期で上凸形状変形と下凸形状変形とを繰り返す。
【００２０】
本体部１１が変形により振動すると、片持ち梁部１２は上下方向に振動し、捻れ梁部１４は捻れ振動する。そして、ミラー部１５は駆動信号の周波数の周期で往復回転振動する。このため、ミラー部１５に入射するレーザ光等の光ビームは、ミラー部１５の回転振動により走査される。
【００２１】
駆動信号の周波数が、可動部１０の共振周波数と一致する場合に、ミラー部１５の往復回転振動の最大振れ角度θは最大となる。このため、光スキャナ１の駆動信号、すなわち、駆動部３０に印加される電圧信号、の周波数は可動部１０の共振周波数となるように制御部（不図示）により制御される。
【００２２】
そして、光スキャナ１では、従来の光走査装置１０１、１０２と異なり、ミラー部１５の回転情報を計測するための角度計測部であるピエゾフィルム４０が本体部１１に配設されている。ピエゾフィルム４０は、圧力に応じた表面電荷を発生する圧電効果を有するＰＶＤＦ（Poly Vinylidene  Di Fluoride）のような圧電体フィルムを貼り合わせた構造である。
【００２３】
可動部１０が振動により変形すると、可動部１０に貼付されているピエゾフィルム４０も変形し圧力が印加される。すると、ピエゾフィルム４０は、圧電効果により図示しない電極間に電位差が発生するため、可動部１０の変形量を電圧として出力する。
【００２４】
なお、角度計測部としては、可動部１０の変形量を検出できれば、駆動部３０と同様のバルク圧電体又は圧電薄膜を用いてもよい。更には、角度計測部として、変形量に応じて反射光の波長が変化するＦＢＧ（ファイバブラッググレーティング）センサを可動部１０に配設してもよい。
【００２５】
角度計測部が圧電薄膜の場合、マスキング技術又はエッチング技術を利用することで駆動部３０と角度計測部とを同時に作製できるため、作製が容易になるとともに、コストも削減できる。また、可動部１０をシリコンで作製する場合には、角度計測部はイオン注入で作製されるピエゾ抵抗素子であってもよい。
【００２６】
ここで、本体部１１及びミラー部１５の振動振幅が最大となる駆動信号の位相Δθは、光スキャナ１の共振周波数及びミラー部１５の回転角度θが一定のときには、常に一定となる。また、本体部１１とミラー部１５の振幅の絶対値の比は、光スキャナ１の構成により一意的に決まる。このため、本体部１１に貼付されているピエゾフィルム４０が発生する電圧は、ミラー部１５の振動と相関のある交流信号となる。このため、ピエゾフィルム４０により、ミラー部１５の回転情報（回転角度θと位相Δθ）を得ることができる。
【００２７】
回転情報をもとに駆動信号が制御される光スキャナ１は、ミラー部１５に入射したレーザ光線を反射することで、レーザ走査により物体を認識する装置やレーザ走査により描画を行う装置に適応できる。
【００２８】
ミラー部１５の回転角度θが大きいほど、ピエゾフィルム４０の変形も大きく、検出感度は向上する。したがって、光スキャナ１は、大変位ミラーでも適応が可能である。
【００２９】
ここで、可動部１０の振動変形量は面内で所定の分布があり、振動変形の大きい、いわゆる「腹」と、振動変形の小さい、いわゆる「節」とがある。ピエゾフィルム４０は、検出感度を高くするため、本体部１１の振動の「腹」付近に配設される。また、ピエゾフィルム４０の面積は、広い方が検出感度を高くできる。
【００３０】
光スキャナ１は、ミラー部１５の回転情報を計測するための角度計測部であるピエゾフィルム４０を具備するため、周囲の温度変化等により共振周波数が変化しても、安定した駆動を行うことができる。
【００３１】
また、光スキャナ１はピエゾフィルム４０が可動部１０に配設されているため、光スキャナ１とは別に回転情報を検出する構成要素を付加する必要がなく、大型化することがない。更に、ピエゾフィルム４０を面積の広い本体部１１に配設するため、配設が容易である。更に、ピエゾフィルム４０をミラー部１５に設置した場合には、それに合わせて、ミラー部１５及び捻れ梁部１４の厚み、寸法を変える必要があり、振れ角θや共振周波数といった光スキャナ１の特性が変化してしまうおそれがある。しかし、光スキャナ１では、光スキャナ１の特性が変化してしまうことがない。
【００３２】
＜第１実施形態の変形例＞
次に、第１実施形態の変形例の光走査装置（光スキャナ）１Ａ〜１Ｅについて説明する。光スキャナ１Ａ〜１Ｅは光スキャナ１と類似しているので同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
【００３３】
図４〜図８に示すように光スキャナ１Ａ〜１Ｅの基本構成は、光スキャナ１と同じであり、光スキャナ１と同じ効果を有する。そして、いずれも、角度計測部が、可動部１０に配設されている圧電体からなる。
【００３４】
＜第１実施形態の変形例１＞
図４に示す変形例１の光スキャナ１Ａでは、駆動部３０とピエゾフィルム４０Ａとが、可動部１０の本体部１１の異なる面に配設されている。
【００３５】
光スキャナ１Ａは、駆動部３０が配設されていない面に、面積の広い高感度のピエゾフィルム４０Ａを配設するため、駆動部３０の配設位置に関係なくピエゾフィルム４０を配設できるため、製造が容易であり、光スキャナ１よりも検出感度が高い。
【００３６】
＜第１実施形態の変形例２＞
図５に示す変形例２の光スキャナ１Ｂでは、２つの駆動部３０Ａ、３０Ｂが、それぞれ本体部１１の両面に配設されている。その場合は、駆動部３０Aと３０Bの分極方向によって、印加する信号の位相が変わる。本体部１１に向かって同じ方向に分極させた配置の場合は、駆動部３０Aと３０Bの本体部１１と接触していない側の面に逆位相の駆動信号が印加される。本体部１１に対して互い違いの方向に分極させた配置の場合は、駆動部３０Aと３０Bの本体部１１と接触していない側の面に同位相の駆動信号が印加される。このため、例えば、駆動部３０Ａの長さが縮む時に、駆動部３０Ｂの長さは伸びる。
【００３７】
光スキャナ１Ｂは、光スキャナ１よりも振動振幅を大きくしたり、駆動信号電圧を低電圧化したりすることができる。
【００３８】
＜第１実施形態の変形例３＞
図６に示す変形例３の光スキャナ１Ｃでは、可動部１０の２つの片持ち梁部１２（１２Ａ、１２Ｂ）に、それぞれ角度計測部であるピエゾフィルム４０Ｃ（４０Ｃ１、４０Ｃ２）が配設されている。
【００３９】
光スキャナ１Ｃ等の固有振動モードとして、片持ち梁部１２と本体部１１とが接する第１の端部付近に振動振幅の大きい、いわゆる振動の腹ができる。このため、ピエゾフィルム４０Ｃは、片持ち梁部１２の一部だけでなく、第１の端部を覆うように本体部１１の一部にまたがって配設することが好ましい。
【００４０】
光スキャナ１Ｃは、可動部１０の中でも最も振動変形が大きい位置に２つのピエゾフィルム４０Ｃを設置しているため、光スキャナ１よりも検出感度が高い。
【００４１】
すなわち、ピエゾフィルム４０を配設する場所は、ミラー部１５の振動と相関のある振動を生じる可動部１０上であればどこでもよい。但し片持ち梁部１２に配設する場合には、ミラー部１５を中心に左右対称となるように、２つのピエゾフィルム４０Ｃ（４０Ｃ１、４０Ｃ２）を配設することが、振動特性の安定化のため好ましい。
【００４２】
＜第１実施形態の変形例４＞
図７に示す変形例４の光スキャナ１Ｄでは、一方の片持ち梁部１２Ａに、角度計測部であるピエゾフィルム４０Ｄが配設されており、他方の片持ち梁部１２Ｂには、ピエゾフィルム４０Ｄと同じ質量及び同じ弾性率のダミー部材５０が配設されている。
【００４３】
光スキャナ１Ｄは、配線の必要のないダミー部材５０を用いているため、光スキャナ１Ｃよりも製造が容易で、かつダミー部材５０はピエゾフィルムよりも安価である。
【００４４】
なお、ダミー部材５０として配線を接続しない、角度計測部としての機能を有していないピエゾフィルムを用いてもよい。
【００４５】
＜第１実施形態の変形例５＞
図８に示す変形例５の光スキャナ１Ｅでは、可動部１０の２つの片持ち梁部１２（１２Ａ、１２Ｂ）に、それぞれ駆動部３０Ｅ（３０Ｅ１、３０Ｅ２）が配設されている。角度計測部であるピエゾフィルム４０Ｅは、光スキャナ１と同様に本体部１１に配設されている。
【００４６】
光スキャナ１Ｅでは、駆動部３０Ｅが駆動信号により伸縮振動すると、片持ち梁部１２が変形し振動するため、ミラー部１５が回転振動する。もちろん、片持ち梁部１２が振動すると本体部１１も振動するため、ピエゾフィルム４０Ｅの出力する電圧信号からミラー部１５の回転情報を計測できる。
【００４７】
光スキャナ１Ｅは、本体部１１に駆動部３０を配設していないため、本体部１１に面積の広いピエゾフィルム４０Ｅを配設できるため、光スキャナ１よりも検出感度が高い。また、本体部１１の面積を小さくできるため、光スキャナ１Ｅは小型化／高周波駆動化が容易である。
【００４８】
以上の説明のように、角度計測部であるピエゾフィルムは、可動部１０の所定位置に配設されていればよい。また、ピエゾフィルムは、可動部１０の両面にそれぞれ配設されていてもよいし、一方の面に複数のピエゾフィルムが配設されていてもよい。
【００４９】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態の光走査装置（光スキャナ）１Ｆについて説明する。光スキャナ１Ｆは光スキャナ１等と類似しているので同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
【００５０】
光スキャナ１Ｆの角度計測部は、磁界発生部である磁石６０と磁界検出部であるコイル４０Ｆとからなる。コイル４０Ｆは可動部１０に配設されており、磁石６０はコイル４０Ｆのループ内に垂直な磁界Ｍを印加するように固定部２０に固定されている。
【００５１】
すなわち、図９に示すように光スキャナ１Ｆでは、角度計測部が、駆動部３０を囲むように配設された、可動部１０の変位量を検出するコイル４０Ｆであり、コイル４０Ｆのループ内に対して垂直方向の磁界を印加する磁石６０を、具備する。磁石６０は公知のＮｄ磁石、ＳｍＣｏ磁石、フェライト磁石等を用いる。
【００５２】
光スキャナ１Ｆの角度計測部は、電磁誘導の原理によりミラー部１５の回転情報を検出する。すなわち、駆動部３０の伸縮により本体部１１が振動すると、磁界中を移動（振動）するコイル４０Ｆに起電力が発生する。起電力、すなわち角度計測部の検出感度は磁界強度、コイルの断面積及び巻数（ターン数）、振動速度に比例する。このため、図９では説明のため、１ターンコイルを図示しているが、検出感度を高くするためにはコイル４０Ｆの巻き数は多いことが好ましい。
【００５３】
なお、本実施形態の変形例の光スキャナとして、角度計測部が電磁誘導の原理により回転情報を検出する構成として、コイルに本体部１１の変位と相関のある起電力が効率良く発生する様々なコイル及び磁石の配置等がある。
【００５４】
例えば、ミラー部１５にコイルを配設し、片持ち梁部１２Ａ、１２Ｂの側面側に、コイルのループ面に対して垂直な磁界を発生するように２個の磁石を対向配置してもよい。ミラー部１５にコイルを配設する場合には、反射面と反対面に配設することが好ましい。また、ミラー部１５は、捻れ梁部１４を中心に回転振動するため、コイルは捻れ梁部１４を対称軸として巻回されていることが好ましい。なお、コイルに替えて、ＭＲセンサ等により回転情報を検出してもよい。
【００５５】
更に、可動部１０に磁石薄膜等の磁化された強磁性体を配設し、固定部２０に配設されたコイル等で検出を行ってもよい。可動部１０を強磁性体で構成し、部分的に磁化領域を形成してもよい。
【００５６】
また、磁界漏洩を防止するため、又は、磁界を効率的にコイルに印加するために、パーマロイ等の軟磁性材料からなるヨーク材、コア材を配設してもよい。
【００５７】
角度計測部が、磁界発生部と磁界検出部とからなり、一方が可動部１０に配設されており、他方が固定部２０に固定されており、磁界検出部によりミラー部の回転情報を計測する本実施形態及び変形例の光スキャナは、光スキャナ１と同様の効果を有する。
【００５８】
＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態の光走査装置（光スキャナ）１Ｇについて説明する。光スキャナ１Ｇは光スキャナ１等と類似しているので同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
【００５９】
図１０に示すように光スキャナ１Ｇでは、可動部１０の外周部と空間（ギャップ）Ｇを介して対向している固定端部を有し、固定部２０に固定されている枠部７０を、更に具備し、角度計測部が、可動部の側面と枠部７０の側面とに配設された対向電極７１である。
【００６０】
言い換えれば、角度計測部は、可動部１０に配設されている可動電極７１Ａと、可動電極７１Ａと空間Ｇを介して対向するように配設されている固定電極７１Ｂとからなり、可動電極７１Ａと固定電極７１Ｂとの間の静電容量変化に基づき、ミラー部１５の回転情報を計測する。
【００６１】
可動部１０と枠部７０は、一体でも別体でもよい。なお、対向電極は、可動部１０と枠部７０との対向面の少なくとも１箇所に配設されていればよい。
【００６２】
対向電極７１の配設場所としては、振動により大きな変位が発生する箇所が好ましい。変位量の絶対値は、ミラー部１５＞片持ち梁部１２の自由端先端＞＞本体部１１、の順に大きい。しかし、ミラー部１５に対向電極７１の一方を配設すると、ミラー部が大きく回転したときに対向電極７１の間が離れすぎるため変位検出が困難になる。
【００６３】
このため、光スキャナ１Ｇの対向電極７１の配設場所としては、図１０に示すように、適度に大きな変位が発生する片持ち梁部１２の自由端側及び／又は振動の腹近傍であることが好ましい。片持ち梁部１２及び本体部１１の変位を検出する光スキャナ１Ｇは、ミラー部１５の回転情報を取得するため、大変位ミラーでも回転情報の取得が容易である。
【００６４】
＜第４実施形態＞
次に、第４実施形態の光走査装置（光スキャナ）１Ｈについて説明する。光スキャナ１Ｈは光スキャナ１等と類似しているので同じ構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。
【００６５】
図１１に示すように、光スキャナ１Ｈでは、角度計測部が、ミラー部１５以外の可動部１０で反射された、ミラー部３０で反射される光（走査ビームＳＢ）と異なる波長の光（検出ビームＤＢ）の反射角を計測する。
【００６６】
すなわち、走査ビームＳＢはミラー部１５で反射され走査されるのに対し、検出ビームＤＢはミラー部以外の可動部１０のいずれかの部分で反射され、その反射光を光検出器で検出することでミラー部１５の変位を検出する。なお、図１１には、光ビームの光源及び検出ビームＤＢの光検出器等は図示していない。
【００６７】
光スキャナ１Ｈでは、検出ビームＤＢの反射光に、不必要な光や迷光が混ざるのを防止するため、走査ビームＳＢと異なる波長の検出ビームＤＢを用いる。
【００６８】
検出ビームＤＢの反射面は、散乱を抑えるために鏡面研磨されていたり、反射率を向上する反射膜が形成されていたりすることが好ましい。
【００６９】
生物系レーザ顕微鏡などの非常に微弱な蛍光を検出する用途においては、できるだけ迷光が走査ビームＳＢの光学系に入ることを避けることが好ましい。光スキャナ１Ｈは、ミラー変位量を検出ビームＤＢの反射光で検出するが、波長が異なるため検出ビームＤＢが走査ビームＳＢに悪影響を及ぼさない。なお、検出ビームＤＢの反射面を、走査ビームＳＢの反射面の反対面としてもよい。
【００７０】
光スキャナ１Ｈは、光スキャナに検出機構を設置する必要がなく、製造コストの削減が可能となる。また、光スキャナ１Ｈに検出機構を設置する必要がなく、小型化が可能となる。
【００７１】
また、角度計測部として更に種々の構成が可能である。例えば、可動部１０に配設された、端部から光を出射する光ファイバと、固定部２０に配設された前記光ファイバの出射光の方向を検出する光センサと、からなる角度計測部であってもよい。
【００７２】
本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等ができる。
【符号の説明】
【００７３】
１、１Ａ〜１Ｈ・・・光走査装置（光スキャナ）
１０・・・可動部
１１・・・本体部
１２・・・片持ち梁部
１４・・・梁部
１５・・・ミラー部
２０・・・固定部
３０・・・駆動部
４０・・・ピエゾフィルム
４０Ｆ・・・コイル
５０・・・ダミー部材
６０・・・磁石
７０・・・枠部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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