(57)【要約】      （修正有）【課題】二枚の封着板間を簡単、確実に真空雰囲気にできる封着装置を提供する。【解決手段】封着用トレイ２ａのベース板１１上に第一の封着板３１を乗せ、ベース板１１に移動可能に設けられた取付レール１５1、１５2に設けられた弾性部材１６に、第二の封着板３２を配置する。第一の封着板３１上には、環状の封着材料３６が配置されており、その内側にはスペーサ３７が配置されており、真空雰囲気中で、第一の封着板３１上に懸吊部２２によって懸吊した重り３８を乗せ、重り３８の重量によって、加熱されて軟化した封着材料３６を押圧して変形させ第二の封着板３２をスペーサ３７に当接させる。この状態では、封着材料３６で囲まれた領域は真空雰囲気にされており、第二の封着板３２上に重り３８を乗せた状態で徐冷し、固化させると、第一、第二の封着板３１、３２の間が真空雰囲気にされた積層板が得られる。【選択図】図５
2014114188.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬入室と、封着室と、前記搬入室と前記封着室とを真空排気する真空排気装置とを有する封着装置であって、
第一の封着板を配置するベース板と、
前記ベース板上に互いに平行に配置された複数本数の取付レールと、
各前記取付レールに複数個ずつ設けられた弾性部材と、
前記ベース板に設けられ、前記取付レールを前記ベース板上で移動させる際に、前記取付レールの移動方向を、前記取付レールが伸びる方向に対して直角な方向に規制する規制部材とを有する封着用トレイの、前記ベース板上に前記第一の封着板が配置され、前記弾性部材に設けられた配置部に第二の封着板が配置された処理対象物を、
前記搬入室から前記封着室に移動させ、前記第二の封着板の上に重りを乗せ、前記第一、第二の封着板の間に配置され、軟化された環状の封着材料によって、前記第一、第二の封着板を真空雰囲気の隙間を持って接着させる封着装置であって、
前記封着室には、前記重りを降下させる封着装置と、前記封着材料を加熱する加熱装置とが設けられ、
前記重りが前記第二の封着板上に乗せられる前は、前記第一の封着板と前記封着材料の間、又は、前記第二の封着板と前記封着材料の間の少なくともいずれか一方には隙間が形成され、前記第一、第二の封着板の間の気体は前記隙間を通過して真空排気され、
前記封着室では、前記封着装置によって前記重りを前記第二の封着板上に乗せて前記弾性部材を押圧し、前記第一、第二の封着板の間を真空雰囲気にした状態で、前記第二の封着板と前記第一の封着板とを近接させて、前記第一、第二の封着板を、軟化した前記封着材料と接触させた後、前記重りを前記第二の封着板上に乗せた状態で前記第一、第二の封着板と前記封着材料とを冷却し、固化された前記封着材料によって前記第一、第二の封着板を互いに固定させる封着装置。
【請求項２】
前記第一、第二の封着板を昇温させる昇温装置が設けられた加熱室を有し、
前記処理対象物を前記搬入室から前記封着室に移動させる間に、前記第一、第二の封着板と前記封着材料とを昇温させる請求項１記載の封着装置。
【請求項３】
前記封着室には、前記重りが配置された仕込室が接続され、前記仕込室に配置された前記重りを前記封着室に移動させるように構成された請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の封着装置。
【請求項４】
前記封着材料によって固定された前記第一、第二の封着板を大気中に搬出する搬出室と、
前記封着材料と前記第一、第二の封着板とを冷却する冷却装置が設けられた徐冷室とを有し、
前記処理対象物を前記封着室から前記搬出室に移動させる間に、前記第一、第二の封着板と前記封着材料とを前記徐冷室で冷却する請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の封着装置。
【請求項５】
前記搬出室と前記搬入室とは同一の室である請求項４記載の封着装置。
【請求項６】
前記封着用トレイは、前記ベース板に貫通孔が設けられ、前記貫通孔内を真空排気すると、前記ベース板上に配置された前記第一の封着板が真空吸着されるように構成された請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の封着装置。
【請求項７】
前記取付レールには、前記処理対象物の一辺に当接される板ストッパが設けられた請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の封着装置。
【請求項８】
第一の封着板を配置するベース板と、
前記ベース板上に互いに平行に配置された複数本数の取付レールと、
各前記取付レールに複数個ずつ設けられた弾性部材と、
前記弾性部材によって前記ベース板上に支持され、第二の封着板を前記第一の封着板上で支持する配置部とを有し、
前記ベース板には、前記取付レールを前記ベース板上で移動させる際に、前記取付レールの移動方向を、前記取付レールが伸びる方向に対して直角な方向に規制する規制部材が設けられた封着用トレイ。
【請求項９】
前記ベース板には貫通孔が設けられ、前記貫通孔内を真空排気すると、前記ベース板上に配置された前記第一の封着板が真空吸着されるように構成された請求項８記載の封着用トレイ。
【請求項１０】
前記取付レールには、前記処理対象物の一辺に当接される板ストッパが設けられた請求項８又は請求項９のいずれか１項記載の封着用トレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、封着板を積層する技術に係り、特に、封着板の間を真空状態にした積層板を製造する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス板から成る二枚の封着板が積層された窓ガラス材料は、防音、断熱性の観点から広く用いられており、特に、二枚の封着板の間の隙間が真空雰囲気にされた真空積層ガラス板は、防音性と断熱性の効果が高く、注目されている。
【０００３】
二枚の封着板の間の隙間を真空雰囲気にするためには、封着板に設けた排気口から、積層された二枚の封着板の間の隙間に位置する気体を真空排気するのが普通の製造工程であり、隙間に所定圧力の真空雰囲気が形成された後に、排気口を閉塞させ、二枚の封着板の間の隙間を真空雰囲気に維持する方法が用いられている。
また、ガラス板同士を接着するためのガラスペーストに切れ目を設け、切れ目から真空排気した後、切れ目を塞いで、封着板の間の隙間を真空雰囲気に維持する技術がある。
【０００４】
しかしながら、排気口から封着板の間を真空排気する場合には、排気口が小さいため、真空雰囲気を形成するために長時間を必要とする。ガラスペーストに切れ目を設ける場合には、二枚の封着板の間の空間の真空雰囲気を維持できない不良品が発生するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２０１６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、封着板の間の空間を、確実、簡単に真空雰囲気にして封着できる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明は、搬入室と、封着室と、前記搬入室と前記封着室とを真空排気する真空排気装置とを有する封着装置であって、第一の封着板を配置するベース板と、前記ベース板上に互いに平行に配置された複数本数の取付レールと、各前記取付レールに複数個ずつ設けられた弾性部材と、前記ベース板に設けられ、前記取付レールを前記ベース板上で移動させる際に、前記取付レールの移動方向を、前記取付レールが伸びる方向に対して直角な方向に規制する規制部材とを有する封着用トレイの、前記ベース板上に前記第一の封着板が配置され、前記弾性部材に設けられた配置部に第二の封着板が配置された処理対象物を、前記搬入室から前記封着室に移動させ、前記第二の封着板の上に重りを乗せ、前記第一、第二の封着板の間に配置され、軟化された環状の封着材料によって、前記第一、第二の封着板を真空雰囲気の隙間を持って接着させる封着装置であって、前記封着室には、前記重りを降下させる封着装置と、前記封着材料を加熱する加熱装置とが設けられ、前記重りが前記第二の封着板上に乗せられる前は、前記第一の封着板と前記封着材料の間、又は、前記第二の封着板と前記封着材料の間の少なくともいずれか一方には隙間が形成され、前記第一、第二の封着板の間の気体は前記隙間を通過して真空排気され、前記封着室では、前記封着装置によって前記重りを前記第二の封着板上に乗せて前記弾性部材を押圧し、前記第一、第二の封着板の間を真空雰囲気にした状態で、前記第二の封着板と前記第一の封着板とを近接させて、前記第一、第二の封着板を、軟化した前記封着材料と接触させた後、前記重りを前記第二の封着板上に乗せた状態で前記第一、第二の封着板と前記封着材料とを冷却し、固化された前記封着材料によって前記第一、第二の封着板を互いに固定させる封着装置である。
本発明は封着装置であって、前記第一、第二の封着板を昇温させる昇温装置が設けられた加熱室を有し、前記処理対象物を前記搬入室から前記封着室に移動させる間に、前記第一、第二の封着板と前記封着材料とを昇温させる封着装置である。
本発明は封着装置であって、前記封着室には、前記重りが配置された仕込室が接続され、前記仕込室に配置された前記重りを前記封着室に移動させるように構成された封着装置である。
本発明は封着装置であって、前記封着材料によって固定された前記第一、第二の封着板を大気中に搬出する搬出室と、前記封着材料と前記第一、第二の封着板とを冷却する冷却装置が設けられた徐冷室とを有し、前記処理対象物を前記封着室から前記搬出室に移動させる間に、前記第一、第二の封着板と前記封着材料とを前記徐冷室で冷却する封着装置である。
本発明は封着装置であって、前記搬出室と前記搬入室とは同一の室である封着装置である。
本発明は封着装置であって、前記封着用トレイは、前記ベース板に貫通孔が設けられ、前記貫通孔内を真空排気すると、前記ベース板上に配置された前記第一の封着板が真空吸着されるように構成された封着装置である。
本発明は封着装置であって、前記取付レールには、前記処理対象物の一辺に当接される板ストッパが設けられた封着装置である。
本発明は、第一の封着板を配置するベース板と、前記ベース板上に互いに平行に配置された複数本数の取付レールと、各前記取付レールに複数個ずつ設けられた弾性部材と、前記弾性部材によって前記ベース板上に支持され、第二の封着板を前記第一の封着板上で支持する配置部とを有し、前記ベース板には、前記取付レールを前記ベース板上で移動させる際に、前記取付レールの移動方向を、前記取付レールが伸びる方向に対して直角な方向に規制する規制部材が設けられた封着用トレイである。
本発明は封着用トレイであって、前記ベース板には貫通孔が設けられ、前記貫通孔内を真空排気すると、前記ベース板上に配置された前記第一の封着板が真空吸着されるように構成された封着用トレイである。
本発明は封着用トレイであって、前記取付レールには、前記処理対象物の一辺に当接される板ストッパが設けられた封着用トレイである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、短い時間で二枚の封着板の間を真空雰囲気にして確実に封着することができる。
また、封着用トレイに複数枚数の封着板を配置し、一枚の封着用トレイ上に複数の積層板を製造することができるので、大量生産に向いており、また、異なる大きさの封着板を封着用トレイに配置することができるので、多品種生産にも適している。
【０００９】
また、本発明の封着用トレイでは、取付レールの間隔を変更することができるので、配置できる封着板の大きさを変更することができる。従って、本願発明は、生産品種の変更に柔軟に対応した生産を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一例の封着装置を説明するための図
【図２】(ａ)、(ｂ)：本発明の封着用トレイを説明するための図
【図３】(ａ)、(ｂ)：その封着用トレイに第一の封着板を配置した状態を説明するための図
【図４】(ａ)、(ｂ)：更に第二の封着板を配置して処理対象物を構成した状態を説明するための図
【図５】(ａ)：重りを処理対象物の上に吊り下げた状態を示す図  (ｂ)：重りを処理対象物上に接触させた状態を示す図  (ｃ)：軟化した封着材料が押圧され、第一、第二の封着板が接着された状態を示す図
【図６】吸引孔を示す図
【図７】(ａ)〜(ｃ)：弾性部材を説明するための図
【図８】各室の内部を説明するための図
【図９】(ａ)〜(ｅ)：重りを処理対象物上に配置する手順を説明するための図
【図１０】(ａ)〜(ｆ)：一台の配置装置に複数の第一、第二の封着板が配置された処理対象物を作成する手順を説明するための図
【図１１】(ａ)、(ｂ)：複数台の配置装置が配置され、同じ大きさの第一の封着板と、同じ大きさの第二の封着板とが配置される処理対象物を作成する手順を説明するための図
【図１２】(ａ)、(ｂ)：一台の配置装置には、同じ大きさの複数の第一の封着板が配置されるが、異なる配置装置間の第一の封着板の大きさは異なる処理装置を作成する手順を説明するための図
【図１３】複数の配置装置を有する処理対象物と重りとの位置関係を説明するための図
【図１４】本発明の封着装置の他の例
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜封着装置例＞
図１の符号９１は、本発明の封着装置を示している。
この封着装置９１は、搬入室１０１と、一乃至複数の加熱室１０２ａ〜１０２ｃと、封着室１０５と、一乃至複数の徐冷室１０７ａ〜１０７ｄと、搬出室１０８と、仕込室１１１とを有している。各室１０１、１０２ａ〜１０２ｃ、１０５、１０７ａ〜１０７ｄ、１０８、１１１は、真空排気装置２に接続されており、それぞれ内部を真空排気できるようにされている。
【００１２】
一乃至複数の加熱室１０２ａ〜１０２ｃは、直列接続され、一端に位置する加熱室１０２ａはゲートバルブ１０４ａを介して搬入室１０１に接続され、他端に位置する加熱室１０２ｃは封着室１０５に接続されている。
【００１３】
また、一乃至複数の徐冷室１０７ａ〜１０７ｄも直列接続され、一端に位置する徐冷室１０７ｄがゲートバルブ１０４ｂを介して搬出室１０８に接続され、他端に位置する徐冷室１０７ａは、封着室１０５に接続されている。
【００１４】
加熱室１０２ｃと封着室１０５との間と、徐冷室１０７ａと封着室１０５との間には、ゲートバルブはあってもなくてもよい。
仕込室１１１は、ゲートバルブ１０４ｃを介して封着室１０５に接続されている。
【００１５】
この封着装置９１で封着処理を行う場合には、各ゲートバルブ１０４ａ〜１０４ｃを閉じ、加熱室１０２ａ〜１０２ｃと、封着室１０５と、徐冷室１０７ａ〜１０７ｄとを、真空排気装置２によって、真空排気し、内部に真空雰囲気を形成する。真空排気装置２は、封着処理中継続して動作し、加熱室１０２ａ〜１０２ｃと、封着室１０５と、徐冷室１０７ａ〜１０７ｄとの内部を真空排気し続ける。
【００１６】
搬入室１０１の壁面の大気雰囲気に接する部分には、搬入扉１０３ａが設けられており、また、搬出室１０８の壁面の大気雰囲気に接する部分には、搬出扉１０３ｂが設けられている。
【００１７】
図８の符号１０ａは、この封着装置９１によって、封着処理を行う処理対象物を示している。
搬入室１０１と、加熱室１０２ａ〜１０２ｃと、封着室１０５と、徐冷室１０７ａ〜１０７ｄと、搬出室１０８の内部には、これら各室１０１、１０２ａ〜１０２ｃ、１０５、１０７ａ〜１０７ｄ、１０８の間に亘って処理対象物１０ａを搬送する搬送装置１２１が、底面側に設けられている。
【００１８】
処理対象物１０ａを搬入扉１０３ａから搬入室１０１内に配置し、搬送装置１２１に乗せ、加熱室１０２ａ〜１０２ｃと、封着室１０５と、徐冷室１０７ａ〜１０７ｄと、搬出室１０８との内部をこの順序で移動させ、搬出室１０８の搬出扉１０３ｂから大気中に搬出する。
【００１９】
ここでは、搬送装置１２１は、ローラで構成されており、各ローラは二列に並べられ、各ローラの二列は、処理対象物１０ａの進行方向を向いたときに左右となる各室１０１、１０２ａ〜１０２ｃ、１０５、１０７ａ〜１０７ｄ、１０８の壁面に設けられている。
【００２０】
処理対象物１０ａの底面は四角形であり、処理対象物１０ａの平行な二辺のうち、一辺が一方の列のローラ上に乗り、他辺が他方の列のローラ上に乗り、モータ等の駆動装置(不図示)によってローラが回転することで、処理対象物１０ａは、搬送装置１２１上を移動する。
【００２１】
＜第一例＞
この処理対象物１０ａは、図４(ａ)、(ｂ)に示されており、封着用トレイ２ａ上に、長方形又は正方形の第一、第二の封着板３１、３２が配置されて、第一、第二の封着板３１、３２の封着処理がされるものである。
第一、第二の封着板３１、３２は、板状の透明な部材であり、典型的にはガラスである。
【００２２】
図２(ａ)、(ｂ)には、第一、第二の封着板３１、３２が配置される前の封着用トレイ２ａが示されている。
封着用トレイ２ａは、長方形又は正方形のベース板１１を有しており、ベース板１１上には、複数本の棒状の取付レール１５1、１５2が配置されている。ベース板１１は、ベース板１１とは別の枠体に取り付けてもよいが、ここでは、枠体に取り付けられていても、枠体を含む四辺形の板をベース板１１と呼ぶことにする。
【００２３】
ベース板１１には、直線状の溝から成る二本の規制部材１３ａ、１３ｂが互いに平行に設けられている。
規制部材１３ａ、１３ｂは、ベース板１１の平行な二辺と平行にされており、一方の規制部材１３ａと他方の規制部材１３ｂは、ベース板１１の平行な二辺の一方の近くと他方の近くにそれぞれ位置している。
【００２４】
各取付レール１５1、１５2は、ベース板１１の表面と平行にされ、ベース板１１の表面と平行な平面内で、規制部材１３ａ、１３ｂに対して直角にされた状態で、一端が一方の規制部材１３ａに取り付けられ、他端が他方の規制部材１３ｂに取り付けられている。
【００２５】
そして、各取付レール１５1、１５2は、規制部材１３ａ、１３ｂに取り付けられた状態で、ベース板１１上で移動と固定が可能に構成されているが、移動する際には、規制部材１３ａ、１３ｂによって移動方向を規制され、取付レール１５1、１５2は、規制部材１３ａ、１３ｂと直角な状態を維持しながら、ベース板１１上で移動し、また、固定できるようにされている。
各取付レール１５1、１５2には、弾性部材１６がそれぞれ複数個取り付けられている。
【００２６】
一個の弾性部材１６を、図７(ａ)〜(ｃ)に示す。
弾性部材１６は、弾性部２８と、弾性部２８に設けられた配置部２４とを有しており、配置部２４は、弾性部２８が変形すると、位置が移動する。ここでは、弾性部材１６は、底板２６と、底板２６に根本部分が取り付けられた変位板２３とを有しており、配置部２４は、根本部分とは反対側の変位板２３の先端に設けられている。
【００２７】
底板２６と変位板２３とが成す角度は、０度よりも大きく、９０度よりも小さい角度にされており、底板２６は、取付レール１５1又は１５2にネジ止め固定され、配置部２４は、取付レール１５1、１５2よりも高く位置するようにされ、配置部２４が上方から下方に向けて押圧されると、変位板２３が下方に向けて曲がることで弾性部２８が圧縮変形する。弾性部２８のこの変形によって、配置部２４は下方に移動し、ベース板１１に近接する。押圧が解除されるときには弾性部２８は伸張変形し、配置部２４は上方に移動する。
【００２８】
図２(ａ)、(ｂ)を参照し、各取付レール１５1、１５2には、各取付レール１５1、１５2の伸びる方向に沿って、複数の弾性部材１６が並んで配置されている。
図２(ａ)、(ｂ)には、第一、第二の封着板３１、３２は図示されていないが、一枚の第二の封着板３２は、一辺が一本の取付レール１５1上に並んだ複数の弾性部材１６の配置部２４に乗せられるものであり、その一辺と平行な他辺が、他の取付レール１５2上に並んだ弾性部材１６の配置部２４に乗せられて、第二の封着板３２は、二本の取付レール１５1、１５2によって支持されるようになっている。一枚の第二の封着板３２を支持すべき取付レール１５1、１５2の間には、他の取付レールは位置しないようにされている。
【００２９】
ベース板１１上に配置された複数の取付レール１５1、１５2のうち、同じ第二の封着板３２が配置される二本の取付レール１５1、１５2と、その二本の取付レール１５1、１５2に設けられた弾性部材１６とを有する装置を配置装置９1と呼ぶと、ベース板１１上には、一乃至複数台の配置装置９1が配置されている。
【００３０】
ここで、配置装置９1の二本の取付レール１５1、１５2が伸びる方向を、封着用トレイ２ａの長手方向とし、ベース板１１の表面と平行な平面内で長手方向と垂直な方向を封着用トレイ２ａの幅方向と呼ぶと、規制部材１３ａ、１３ｂは、幅方向に伸びていることになる。
そして、一台の配置装置９1では、二本の取付レール１５1、１５2に設けられた弾性部材１６は、配置部２４が、二本の取付レール１５1、１５2の間の領域に位置するようにされている。
【００３１】
第一、第二の封着板３１、３２をベース板１１上に配置する際には、予め、配置装置９1の二本の取付レール１５1、１５2は、規制部材１３ａ、１３ｂに沿って相対的に移動され、二本の取付レール１５1、１５2は、配置装置９1の一方の取付レール１５1の配置部２４と、他方の取付レール１５2の配置部２４との間の距離が、第一の封着板３１の幅よりも大きく離間する位置で固定されている。
【００３２】
第一の封着板３１を、取付レール１５1、１５2の間のベース板１１の表面上に配置するときには、第一の封着板３１は、ベース板１１上の第一の封着板３１の真上よりも外側に配置部２４が位置するように、ベース板１１上に配置されている。
【００３３】
封着装置９１の前工程が行われる場所には、図２(ｂ)に示された配置台５１が設けられている。
配置台５１には、開口が上方に向けられた凹部５２が形成されており、配置装置９1に、第一、第二の封着板３１、３２を配置する際には、先ず、封着用トレイ２ａは、取付レール１５1、１５2が取り付けられた表面を上方に向け、ベース板１１が配置台５１の凹部５２を蓋するように、凹部５２の開口に水平に配置し、封着用トレイ２ａを配置台５１に固定する。
【００３４】
図２(ａ)の符号１４は、板ストッパ１４であり、それぞれ、取付レール１５1、１５2の同じ側の端部に設けられている。
板ストッパ１４の先端は、二本の取付レール１５1、１５2の間の領域に向けられ、一方の取付レール１５1に設けられた配置部２４と、他方の取付レール１５2に設けられた配置部２４との間に位置しており、互いに向き合う板ストッパ１４の先端の間は、配置装置９1に配置される第一の封着板３１の幅よりも狭くなるようにされている。
【００３５】
第一の封着板３１を配置装置９1に配置する際に、先ず、第一の封着板３１を水平にし、第一の封着板３１の四辺を長手方向又は幅方向と平行にし、第一の封着板３１を取付レール１５1、１５2の板ストッパ１４が配置された端部とは反対側の端部から、二本の取付レール１５1、１５2の間に挿入し、板ストッパ１４が位置する方向に進行させると、第一の封着板３１の進行方向の先頭の辺が板ストッパ１４に当接し、第一の封着板３１の進行は停止する。
【００３６】
図３(ａ)、(ｂ)はその状態を示している。第一の封着板３１は先頭の一辺が二個の板ストッパ１４に当接され、板ストッパ１４は、その状態では、第一の封着板３１の四辺が、幅方向又は長手方向に平行になるように配置されている。
【００３７】
一方の取付レール１５1の配置部２４と、他方の取付レール１５2の配置部２４との間の距離は、第一の封着板３１の幅よりも大きくされているから、配置部２４は、第一の封着板３１の真上位置よりも外側に位置している。
【００３８】
ベース板１１には、図６に示すように、貫通孔である吸引孔１７が複数個設けられており、ベース板１１上に配置された第一の封着板３１の底面下には、複数の吸引孔１７が配置されている。
【００３９】
配置台５１の凹部５２には、真空ポンプ５３が接続されており、真空ポンプ５３を動作させ、ベース板１１によって蓋がされた凹部５２の空間に充満する気体を真空排気すると、凹部５２の空間が減圧され、第一の封着板３１は吸引孔１７によって、ベース板１１上に真空吸着され、第一の封着板３１は、ベース板１１上に吸着力で固定される。
【００４０】
第一の封着板３１の表面には、第一、第二の封着板３１、３２よりも軟化点が低いガラス材料を含有する封着材料３６が配置されている。
この封着材料３６は細長で、環状に成形されており、封着材料３６は、第一の封着板３１の縁付近に沿って配置されており、封着材料３６は、第一の封着板３１の中央を取り囲んで配置されている。封着材料３６と第一の封着板３１との接触部分も環状であり、第一の封着板３１の四辺は、環状の接触部分の外側に位置している。
【００４１】
封着材料３６が取り囲む第一の封着板３１上の領域には、封着材料３６の軟化点では軟化しない透明材料から成る複数のスペーサ３７が配置されている。ここでは、スペーサ３７は球形であり、各スペーサ３７の直径は等しくされている。
【００４２】
封着材料３６の高さは、スペーサ３７の直径よりも大きくされており、封着材料３６の上端はスペーサ３７の上端よりも高いことになる。配置部２４の上端は、封着材料３６の上端よりも高くなるようにされている。
【００４３】
第一の封着板３１の上に、第二の封着板３２を配置して、第一、第二の封着板３１、３２が積層された積層板を作成するためには、二辺間の距離の幅が、配置部２４間の距離よりも長い第二の封着板３２を用い、二辺のうちの一辺を、配置装置９1の一方の取付レール１５1に設けられた配置部２４上に乗せ、他の一辺を、他方の取付レール１５2に設けられた配置部２４上に乗せ、第二の封着板３２を、弾性部材１６によって支持させる。
図４(ａ)、(ｂ)は、第二の封着板３２を、弾性部材１６によって支持した状態を示しており、第二の封着板３２は、第一の封着板３１の真上に位置している。
【００４４】
第二の封着板３２の、配置部２４上への配置手順を説明すると、先ず、第二の封着板３２は、吸着装置等によって保持し、持ち上げて弾性部材１６上で静止させる。
第一、第二の封着板３１、３２には、アラインメントマークがそれぞれ設けられており、配置台５１の上方に設けられたカメラ３９によって、第二の封着板３２上から第一、第二の封着板３１、３２のアラインメントマークを撮影する。
【００４５】
撮影した画像はコンピュータに電送され、コンピュータによって解析されて位置合わせ誤差が求められ、誤差を解消して予め設定された位置関係になるように、第一、第二の封着板３１、３２は相対的に移動される。
【００４６】
ここでは、第一の封着板３１は静止されており、第二の封着板３２が移動され、第一、第二の封着板３１、３２が予め設定された位置関係になったところで、相対的に静止させ、第二の封着板３２を降下させ、第二の封着板３２を配置部２４と接触させて配置部２４上に配置する。
【００４７】
第二の封着板３２の幅は、第一の封着板３１の幅よりも長く、第二の封着板３２の真下に位置する領域内には、複数の配置部２４が位置しており、第二の封着板３２を持ち上げておいた力を解除すると、複数の弾性部材１６によって、第二の封着板３２は支持される。
【００４８】
なお、第二の封着板３２の重量によって、第二の封着板３２と接触している配置部２４は下方に押圧され、押圧された配置部２４は、変位板２３の上端に下方に向く力を加えるので、変位板２３は、変位板２３の根本を中心として下方に回転移動する。この回転移動は弾性部２８が変形したことであり、回転した変位板２３が元の位置にもどろうとする復元力は、弾性部２８の変形を元の状態に戻そうとする復元力である。
【００４９】
弾性部２８の変形量、ここでは、変位板２３の回転移動量が大きくなると、復元力も大きくなるので、弾性部２８の変形量が大きくなると、復元力も大きくなり、第二の封着板３２を支持する弾性部材１６の復元力(配置部２４が第二の封着板３２と接触する弾性部材１６の復元力の合計値)と第二の封着板３２の重量とが釣り合ったところで、弾性部２８の変形は停止し、第二の封着板３２は、弾性部材１６によって支持され、第二の封着板３２は静止する。
【００５０】
ここでは、第二の封着板３２の重量と、弾性部材１６の変形量と、復元力と、第二の封着板３２が配置されない配置部２４と第一の封着板３１上の封着材料３６の上端との間の距離との関係は、弾性部材１６で支持された第二の封着板３２が、第一の封着板３１上の封着材料３６の上端よりも上方に離間して静止するように設定されており、従って、弾性部材１６で支持された第二の封着板３２の底面と封着材料３６の上端との間には、隙間７が形成されている。
【００５１】
本例では、封着材料３６は第一の封着板３１表面と接触して配置されているが、本発明は、第一の封着板３１と第二の封着板３２との間に封着材料３６が位置した状態で、第一の封着板３１と封着材料３６の間、又は、第二の封着板３２と封着材料３６の間の、少なくともいずれか一方に隙間７が形成されていればよく、この状態の封着用トレイ２ａと、第一、第二の封着板３１、３２とで、上述した処理対象物１０ａが形成されている。
【００５２】
真空吸着を停止し、この処理対象物１０ａを配置台５１から取り外し、封着装置９１に向けて移動させる。
封着装置９１では、各ゲートバルブ１０４ａ〜１０４ｃは閉じられており、加熱室１０２ａ〜１０２ｃの内部と、封着室１０５の内部と、徐冷室１０７ａ〜１０７ｄの内部とは、所定圧力の真空雰囲気にされている。
【００５３】
搬入扉１０３ａは開けられており、移動された複数の処理対象物１０ａを搬入扉１０３ａから搬入室１０１内に搬入する。
搬入室１０１の内部に所定枚数の処理対象物１０ａが配置されたところで、搬入扉１０３ａを閉じ、搬入室１０１の内部に大気が侵入しないようにして、真空排気装置２によって、搬入室１０１の内部を真空排気する。
【００５４】
搬入室１０１の内部が所定圧力の真空雰囲気にされた後、搬入室１０１と加熱室１０２ａとの間のゲートバルブ１０４ａを開け、搬入室１０１の内部と加熱室１０２ａの内部とを接続し、搬送装置１２１によって、搬入室１０１の内部に位置する処理対象物１０ａを、加熱室１０２ａ内に移動させる。
【００５５】
搬入室１０１内に位置する所定枚数の処理対象物１０ａが搬入室１０１から加熱室１０２ａ内に移動された後、搬入室１０１と加熱室１０２ａとの間のゲートバルブ１０４ａを閉じ、搬入室１０１に大気を導入し、新しい処理対象物１０ａを搬入室１０１内に搬入する。
搬入室１０１から加熱室１０２ａの内部に移動された処理対象物１０ａは、各加熱室１０２ａ〜１０２ｃの内部を通って、封着室１０５の内部に移動する。
【００５６】
各加熱室１０２ａ〜１０２ｃには、処理対象物１０ａを加熱する昇温装置１１２ａ〜１１２ｃがそれぞれ設けられており、処理対象物１０ａは、各加熱室１０２ａ〜１０２ｃの内部に位置するときに、昇温装置１１２ａ〜１１２ｃによって加熱され、昇温されるようになっており、封着室１０５に接続された加熱室１０２ｃから封着室１０５の内部に移動される処理対象物１０ａは、封着材料３６の軟化温度よりも低い温度の範囲内で、できるだけ高い温度に昇温されており、短時間で封着材料３６を軟化させることができる状態で封着室１０５の内部に搬入される。
【００５７】
封着室１０５には、加熱装置１１５と、封着装置２５とが設けられている。
封着装置２５は、封着室１０５の天井側に配置されており、封着室１０５内に搬入された処理対象物１０ａは、封着室１０５内で加熱装置１１５上に乗せられる。
封着装置２５は、支持部２７と、懸吊部２２とを有しており、支持部２７上には、重り３８が乗せられている。図９(ａ)は、その状態を示しており、重り３８は、水平にされている。
【００５８】
重り３８には被懸吊部２０が設けられており、処理対象物１０ａが封着室１０５内に搬入される前に、懸吊部２２が移動して被懸吊部２０と接触し、懸吊部２２と被懸吊部２０とが係合する。同図(ｂ)は、その状態を示している。
【００５９】
懸吊部２２と被懸吊部２０とが係合した状態では、重り３８を懸吊部２２によって懸吊できるようになっており、その様態で、同図(ｃ)に示すように、支持部２７を処理対象物１０ａの真下位置よりも外側に移動させ、重り３８を懸吊部２２によって懸吊する。
【００６０】
次に、同図(ｄ)に示すように、処理対象物１０ａが封着室１０５内に搬入されて、重り３８の真下位置で静止され、次いで、処理対象物１０ａは、上昇された加熱装置１１５上に乗せられ、加熱装置１１５によって加熱されながら、懸吊部２２を重り３８と共に降下させる。図５(ａ)は、降下によって、重り３８が処理対象物１０ａに近接した状態を示している。
【００６１】
重り３８が懸吊部２２によって懸吊された状態では、第二の封着板３２の表面と重り３８の底面との間には、懸吊部２２や他の装置は位置しないようにされており、従って、第二の封着板３２の表面と、重り３８の底面とは対面する。
【００６２】
そして、更に懸吊部２２と重り３８とが降下すると、図５(ｂ)、図９(ｅ)に示すように、重り３８の底面は第二の封着板３２の表面に接触する。
この状態では、重り３８の重量は懸吊部２２によって支持されている。
【００６３】
重り３８の底面と第二の封着板３２の表面とが接触したときでは、第一又は第二の封着板３１、３２の少なくとも一方と、封着材料３６との間には、隙間７が形成されているが、更に、懸吊部２２が鉛直にゆっくり降下すると、第二の封着板３２を介して、重り３８の重量の一部が弾性部材１６に印加され、弾性部材１６が鉛直下方に向けて押圧され、配置部２４が第二の封着板３２と共に下方に移動する。このとき、弾性部２８の変形量は増大する。
【００６４】
第二の封着板３２が降下すると、第二の封着板３２の底面は封着材料３６の上端に接触する。第二の封着板３２は、封着材料３６によって形成された環よりも大面積であり、第二の封着板３２の四辺は、環状の接触部分の外側に位置しているから、封着材料３６と第二の封着板３２との接触部分は環形状になり、更に懸吊部２２が降下すると、重り３８の重量の一部が押圧力となって、第二の封着板３２に印加される。
【００６５】
封着時間短縮のため、封着材料３６が第二の封着板３２の重量によって押圧される前に、封着材料３６は、加熱装置１１５によって、軟化点以上の温度に昇温されており、従って、封着材料３６は軟化しており、押圧されると変形するようになっている。
【００６６】
懸吊部２２が降下し、封着材料３６が重り３８の重量の一部によって押圧されて変形すると、第二の封着板３２と重り３８とは降下し、図５(ｃ)に示すように、第二の封着板３２はスペーサ３７と接触する。
【００６７】
スペーサ３７は、加熱装置１１５によって、封着材料３６と同じ温度に加熱されているが、スペーサ３７は軟化しておらず、変形しない材料で形成されている。
従って、第二の封着板３２は、スペーサ３７によって支持される。この状態では、第二の封着板３２と重り３８の降下は終了し、懸吊部２２が更に降下すると、懸吊部２２は被懸吊部２０から離間し、懸吊部２２と被懸吊部２０との係合は解除される。
【００６８】
この状態では、封着材料３６の変形量は大きくなっているが、封着材料３６が第二の封着板３２によって押圧されて変形したので、封着材料３６と第一、第二の封着板３１、３２との間の密着性は向上している。封着材料３６は、第一、第二の封着板３１、３２の両方に環状に接触しており、また、封着材料３６は、第一、第二の封着板３１、３２よりも外側にはみ出さないようにされている。
懸吊部２２は、支持部２７よりも上方に移動される。
【００６９】
なお、第一の封着板３１は、一方の取付レール１５1に配置された弾性部材１６の配置部２４と、他方の取付レール１５2に配置された弾性部材１６の配置部２４との間に位置するようにされているので、第二の封着板３２が、重り３８が第二の封着板３２上に配置されていないときの高さから、第二の封着板３２がスペーサ３７と接触したときの高さまで移動する間に、第二の封着板３２を支持する弾性部材１６の配置部２４は、第一の封着板３１やベース板１１とは接触しない。従って、第一、第二の封着板３１、３２は、スペーサ３７の直径の距離まで近接させることができる。
【００７０】
環状の封着材料３６は、第一、第二の封着板３１、３２の両方に密着されており、加熱されて軟化した後の封着材料３６は気体を透過させないから、環状の封着材料３６で取り囲まれた空間は、封着材料３６と、第一、第二の封着板３１、３２とで外部から遮断されており、真空雰囲気になっている。
【００７１】
第二の封着板３２上に重り３８を配置した状態で、搬送装置１２１によって、処理対象物１０ａを封着室１０５から徐冷室１０７ａに移動させる。図８に示すように、各徐冷室１０７ａ〜１０７ｄには、処理対象物１０ａを徐冷する冷却装置１１７ａ〜１１７ｄが設けられており、搬入された処理対象物１０ａを、各徐冷室１０７ａ〜１０７ｄの内部で冷却装置１１７ａ〜１１７ｄに接触させ、徐冷すると、封着材料３６は、その軟化点よりも低い温度に冷却され、固化する。処理対象物１０ａの第一、第二の封着板３１、３２は、固化した封着材料３６によって互いに固定され、積層板が構成される。
【００７２】
図５(ｃ)の符号４は、封着材料３６によって第一、第二の封着板３１、３２とが固定された積層板を示している。
この積層板４でも、環状の封着材料３６で取り囲まれた空間は、封着材料３６と、第一、第二の封着板３１、３２とによって外部から遮断されており、積層板４が大気雰囲気に置かれた状態でも、真空雰囲気は維持される。
【００７３】
搬出扉１０３ｂを閉じ、真空排気装置２によって、搬出室１０８内を真空排気し、搬出室１０８内に真空雰囲気を形成しておき、徐冷室１０７ｄと搬出室１０８との間のゲートバルブ１０４ｂを開け、徐冷室１０７ｄの内部を搬出室１０８の内部に接続した後、封着材料３６が固化された処理対象物１０ａを、重り３８を乗せた状態で、徐冷室１０７ｄ内から搬出室１０８内に移動させる。
【００７４】
搬出室１０８に、徐冷室１０７ｄから所定枚数の処理対象物１０ａが移動されたところで、ゲートバルブ１０４ｂを閉じ、搬出室１０８の内部を、徐冷室１０７ｄの内部と遮断した後、搬出扉１０３ｂを開け、徐冷室１０７ｄ側の真空雰囲気を維持しながら、搬出室１０８の内部に、大気等の気体を導入する。
【００７５】
導入した気体は、第一、第二の封着板３１、３２や封着材料３６に接触するが、第一、第二の封着板３１、３２や封着材料３６は冷却されているから、導入したガスが室温であっても温度差は大きくなく、第一、第二の封着板３１、３２や封着材料３６にひび割れが発生することはない。
【００７６】
搬出室１０８の内部の圧力が大気圧力になった後、搬出扉１０３ｂを開け、重り３８が乗った処理対象物１０ａを搬出室１０８の外部に移動させ、重り３８と、封着された第一、第二の封着板３１、３２を有する積層板４と、封着用トレイ２ａとを分離し、積層板４は後工程に送る。
【００７７】
封着用トレイ２ａでは、第二の封着板３２と重り３８とが、配置部２４上から除去された状態では、弾性部２８を変形させる力は解除され、復元力によって弾性部材１６は元の状態に戻っており、封着用トレイ２ａは、再使用をするために、配置台５１方向に送る。また、重り３８も、再使用をするために、仕込室１１１方向に送る。
【００７８】
仕込室１１１の大気雰囲気に接する壁面には、仕込扉１０３ｃが設けられており、仕込扉１０３ｃを開け、重り３８を搬入する。
仕込室１１１の内部に所定枚数の重り３８が配置されたところで、仕込扉１０３ｃを閉じ、真空排気装置２によって、仕込室１１１の内部を真空排気する。
【００７９】
仕込室１１１には、重り加熱装置が設けられており、仕込室１１１内に配置された重り３８は、重り加熱装置によって、封着材料３６の軟化温度以上の温度に加熱されている。従って、重り３８が、第二の封着板３２上に乗せられたときに、第二の封着板３２や封着材料３６は冷却されず、第二の封着板３２や封着材料３６の温度が低下しないようにされている。
【００８０】
仕込室１１１の内部が所定圧力の真空雰囲気になったところで、封着室１０５と仕込室１１１との間のゲートバルブ１０４ｃを開ける。
封着室１０５と仕込室１１１の内部には、仕込室１１１から封着室１０５に重り３８を移動させる重り移動装置が設けられており、封着室１０５内の支持部２７上に配置された重り３８が、封着室１０５内に配置された処理対象物１０ａ上に乗せられた後、重り移動装置によって仕込室１１１の内部に配置された重り３８が封着室１０５の内部に移動され、支持部２７上に配置され、上記手順に従って、搬入された処理対象物１０ａ上に乗せられる。
【００８１】
なお、上記積層板４では、第一、第二の封着板３１、３２間は、スペーサ３７の直径だけ離間しているが、第一、第二の封着板３１、３２間にスペーサ３７を配置しない場合は、封着用トレイ２ａ上に隙間形成用のストッパを設け、重り装置３８の重量が印加されて軟化した封着材料３６を変形させながら降下する第二の封着板３２が、第一の封着板３１から所定距離の位置まで近接したときに、隙間形成用のストッパによって第二の封着板３２の降下を停止させ、その状態で処理対象物１０ａを徐冷して、第一、第二の封着板３１、３２を、隙間形成用のストッパによる距離だけ離間した積層板を構成してもよい。
【００８２】
また、上記例では、第一の封着板３１上に、環状の封着材料３６が配置されており、封着材料３６と第二の封着板３２との間の隙間７から、第一、第二の封着板３１、３２の間に位置する気体が真空排気されたが、環状の封着材料が下方を向く表面に接着された第二の封着板３２を配置部２４に配置して、第一の封着板３１の上方に位置させ、第一の封着板３１と、封着材料の下端との間に形成される隙間から気体を真空排気するようにしても良い。
【００８３】
この場合は、第二の封着板３２の下方を向く表面の、環状の封着材料の外側に位置する部分が配置部２４と接触している。
スペーサは、第一の封着板３１の封着材料３６で囲まれる部分に配置してもよいし、第二の封着板３２の封着材料が取り囲む領域に接着しておいても良い。
【００８４】
＜第二例＞
次に、一台の配置装置９1の取付レール１５1、１５2間の距離を変更する手順の例を説明する。
図１０(ａ)の封着用トレイ２ｂは、ベース板１１上に一台の配置装置９1が配置されており、その配置装置９1の一方の取付レール１５1が、ベース板１１上に固定され、他方の取付レール１５2は規制部材１３ａ、１３ｂに沿って移動可能な状態にされている。
【００８５】
この封着用トレイ２ｂは、そのベース板１１が、配置台５１の凹部５２上に配置されており、ベース板１１は、配置台５１上で動かないようにされている。配置台５１の側方には、取付レール１５1、１５2と同じ高さで、押圧装置４１が配置されている。
【００８６】
押圧装置４１は、移動可能な取付レール１５2の側面と対面し、離間して配置されており、その状態から、押圧装置４１を取付レール１５2に向けて移動させ、取付レール１５2に接触させる。
【００８７】
二本の取付レール１５1、１５2は、できるだけ大きく離間するように配置されており、更に押圧装置４１を移動させ、押圧装置４１で取付レール１５2を押すと、押された取付レール１５2が、他方の取付レール１５1方向に向けて移動し、一台の配置装置９1の二本の取付レール１５1、１５2間の距離は短くなる。
【００８８】
ベース板１１上には、移動された取付レール１５2が停止すべき位置に、予め、レールストッパ４０が設けられており、同図(ｂ)に示すように、移動する取付レール１５2がレールストッパ４０に当接されると移動が停止され、二本の取付レール１５1、１５2が所望距離で離間した状態になるので、その位置で移動した取付レール１５2はベース板１１に固定される。
【００８９】
この取付レール１５1、１５2にも、長手方向の同じ側の一端に板ストッパ１４が設けられており、同図(ｄ)に示すように、一枚目の第一の封着板３１1を、取付レール１５1、１５2間に挿入して移動させ、第一の封着板３１1の移動方向先頭の一辺を板ストッパ１４に当接させ、その一辺とは逆の一辺に、ストッパ部材４３を接触させて配置する。
【００９０】
次に、同図(ｅ)に示すように、取付レール１５1、１５2間に二枚目の第一の封着板３１2を挿入して移動させ、ストッパ部材４３に移動方向先頭の一辺を当接させ、配置装置９1に二枚目の第一の封着板３１2を配置する。
【００９１】
このように、一台の配置装置９1に複数の第一の封着板３１1、３１2を配置し、同図(ｆ)に示すように、第二の封着板３２1、３２2を弾性部材１６の配置部２４上に乗せ、各第一の封着板３１1、３１2の上方に位置させると、処理対象物１０ｂが得られる。
【００９２】
＜第三例＞
上記第一、第二例では一枚のベース板１１上に一台の配置装置９1が配置されていたが、一枚のベース板１１上に複数台の配置装置を配置することができる。
【００９３】
図１１(ａ)の封着用トレイ２ｃは、ベース板１１上に二台の配置装置９1、９2が配置されており、各配置装置９1、９2には、それぞれ複数枚(ここでは、それぞれ４枚)の同じ大きさの第一の封着板３１1〜３１4、３１5〜３１8が配置されている。
【００９４】
同図(ｂ)には、第一の封着板３１1〜３１8よりも大きく、互いに同じ大きさの第二の封着板３２1〜３２8が各第一の封着板３１1〜３１8上に、それぞれ１枚ずつ配置された処理対処物１０ｃが示されている。
【００９５】
図１３は、この処理対象物１０ｃが、封着室１０５内に配置され、重り３８が第二の封着板３２1〜３２8に接触する前の重り３８の降下中の状態を示す図面であり、各第二の封着板３２1〜３２8は重り３８の真下の領域の範囲内に位置し、一枚のベース板１１上に配置された複数の第二の封着板３２1〜３２8に対して、一枚の重り３８が乗せられるようになっている。
【００９６】
各第一の封着板３１1〜３１8上には、環状の封着材料３６がそれぞれ配置されており各封着材料３６が配置された範囲は、重り３８の真下位置内に位置しており、各封着材料３６は、一枚の重り３８の重量によって、均等に押圧される。
【００９７】
＜第四例＞
図１２(ａ)の封着用トレイ２ｄも、ベース板１１上に二台の配置装置９1、９2が配置されており、各配置装置９1、９2には、それぞれ複数枚の第一の封着板３１1〜３１4、３１5、３１6が配置されている。この例では、同じ配置装置９1、９2に配置された第一の封着板３１1〜３１6の大きさは同じであるが、一方の配置装置９1の第一の封着板３１1〜３１4と他方の配置装置９2の第一の封着板３１5、３１6とでは、大きさは異なっている。
【００９８】
同図(ｂ)には、各第一の封着板３１1〜３１6上に第二の封着板３２1〜３２6がそれぞれ１枚ずつ配置された処理対処物１０ｄが示されている。各第二の封着板３２1〜３２6は、真下に位置する第一の封着板３１1〜３１6よりも大きくなっている。
【００９９】
＜他の例＞
図１４の符号９２は、本発明の他の例の封着装置である。
この封着装置９２は、大気炉１３２と、搬入室（Ｌ／ＵＬ室）１３１と、封着室１３５と、加熱徐冷室１３９とを有している。
搬入室１３１と大気炉１３２との間には、搬入扉１３３が設けられており、搬入室１３１と封着室１３５との間には、ゲートバルブ１３４が設けられている。
【０１００】
各室１３１、１３５、１３９には、真空排気装置１２９が接続されており、先ず、ゲートバルブ１３４を閉じ、封着室１３５と加熱徐冷室１３９の内部を真空排気しておく。この真空排気は継続して行う。
【０１０１】
大気炉１３２の内部は大気雰囲気又は窒素ガス等のガスの大気圧雰囲気にされており、上述した処理対象物１０ａ〜１０ｄは、先ず、大気炉１３２内に搬入され、大気炉１３２の内部に於いて、常圧下で加熱され、昇温する。
【０１０２】
処理対象物１０ａ〜１０ｄを、封着材料３６が軟化する温度よりも低い所定温度に昇温させた後、搬入扉１３３から搬入室１３１の内部に移動させ、搬入扉１３３を閉じ、搬入室１３１の内部を真空排気する。
搬入室１３１の内部が、所定圧力の真空雰囲気になった後、ゲートバルブ１３４を開け、搬入室１３１の内部を封着室１３５の内部と接続する。
【０１０３】
各室１３１、１３５、１３９の内部には、各室１３１、１３５、１３９に亘って搬送装置が設けられており、処理対象物１０ａ〜１０ｄを、搬送装置によって、搬入室１３１の内部から封着室１３５の内部に移動させる。
【０１０４】
加熱徐冷室１３９内には、複数の重り３８が配置されている。
加熱徐冷室１３９の内部には、重り加熱装置が設けられており、加熱徐冷室１３９に配置された重り３８を、重り加熱装置によって加熱し、封着材料の軟化点以上の温度に昇温させておく。
【０１０５】
封着室１３５の内部には、上記封着装置２５と同じ封着装置が配置されており、封着室１３５の内部に移動させた重り３８を、支持部２７上に乗せて懸吊部２２によって懸吊し、処理対象物１０ａ〜１０ｄ上に乗せると、第一、第二の封着板３１、３２は、環状の封着材料３６によって、間隔を持って接着される。
【０１０６】
第一、第二の封着板３１、３２の間の気体は、搬入室１３１内や封着室１３５内で、封着材料３６と第一の封着板３１との間の隙間、又は封着材料３６と第二の封着板３２との間の隙間のいずれか一方又は両方から真空排気されており、第一、第二の封着板３１、３２と封着材料３６で囲まれた空間は真空雰囲気にされている。
【０１０７】
軟化した封着材料３６で接着された第一、第二の封着板３１、３２を有する処理対象物１０ａ〜１０ｄは、封着室１３５から加熱徐冷室１３９に移動させ、徐冷すると封着材料３６は固化し、第一、第二の封着板３１、３２が固定された積層板４が得られる。
【０１０８】
この封着装置９２では、処理対象物１０ａ〜１０ｄの積層板４上に重り３８を乗せた状態で、封着室１３５を通過させ、搬入室１３１内に戻す。
ゲートバルブ１３４を閉じた後、搬入室１３１に大気を導入し、処理対象物１０ａ〜１０ｄに開けた搬入扉１３３を通過させ、大気雰囲気に移動させる。処理対象物１０ａ〜１０ｄから分離した重り３８は、搬入室１３１から封着室１３５を通過させて加熱徐冷室１３９内に搬入することができる。
【０１０９】
このように、本発明は、処理対象物１０ａ〜１０ｄの第一、第二の封着板３１、３２間の空間の気体を、第一の封着板３１と封着材料３６との間の隙間、又は、第二の封着板３２と封着材料３６との間の隙間のいずれか一方又は両方から、真空排気すればよく、その真空排気は、処理対象物１０ａ〜１０ｄを昇温させる前であっても、昇温させた後であってもよい。
但し、急冷による第一、第二の封着板３１、３２へのクラック発生を防止するために、徐冷については真空雰囲気中で行い、処理対象物１０ａ〜１０ｄを一定温度まで冷却することが望ましい。
【０１１０】
また、第二の封着板３２上に重り３８を配置し、軟化している封着材料３６を、軟化点よりも低い温度に冷却して、第一、第二の封着板３１、３２が固化した封着材料３６によって互いに固定されるまでは、配置部２４上の第二の封着板３２が持ち上げられないように、重り３８を第二の封着板３２上に配置して弾性部２８を変形させておくことが望ましい。
【符号の説明】
【０１１１】
２ａ〜２ｄ……封着用トレイ
９1、９2……配置装置
１０ａ〜１０ｄ……処理対象物
１１……ベース板
１３ａ、１３ｂ……規制部材
１５1〜１５4……取付レール
３１、３１1〜３１8……第一の封着板
３２、３２1〜３２8……第二の封着板
３８……重り
９１、９２……封着装置
１１５……加熱装置
１１２ａ〜１１２ｃ……昇温装置
１１７ａ〜１１７ｄ……冷却装置
１０１……搬入室
１０２ａ〜１０２ｃ……加熱室
１０５……封着室
１０７ａ〜１０７ｄ……徐冷室
１０８……搬出室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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