(57)【要約】【課題】接着剤の硬化状態を判断できる検査装置を提供する。【解決手段】検査装置は、接着剤を介して第１部品が積層された第２部品を載置する支持部１１と、支持部１１を振動させる加振部１２と、第１部品と第２部品との間からはみ出ている接着剤を撮像するカメラ１３と、加振部１２が支持部１１を振動させている時に、カメラ１３が撮像した複数の画像に基づいて、接着剤の変形量の変化を検知し、検知した接着剤の変形量の変化に基づいて、接着剤の状態を判断する画像処理部１４と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤を介して第１部品が積層された第２部品を載置する支持部と、
前記支持部を振動させる加振部と、
第１部品と第２部品との間からはみ出ている接着剤を撮像する撮像部と、
前記加振部が前記支持部を振動させている時に、前記撮像部が撮像した複数の画像に基づいて、接着剤の変形量の変化を検知し、検知した接着剤の変形量の変化に基づいて、接着剤の状態を判断する判断部と、
を備える検査装置。
【請求項２】
前記撮像部は、前記支持部の振動と同期して、接着剤を撮像する請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記撮像部は、前記支持部の振動の最小の振幅の時に第１画像を撮像し、前記支持部の振動の最大の振幅の時に第２画像を撮像し、
前記判断部は、前記第１画像の各画素の輝度と前記第２画像の各画素の輝度との差を、各画素の輝度として有する差分画像の平均輝度に基づいて、接着剤の状態を判断する請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
第１部品を前記支持部に向かって押圧し、第１部品が接着剤を介して第２部品上に積層された状態を維持する押圧部を備える請求項１〜３の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項５】
エネルギーを加えられることにより硬化する接着剤を介して第１部品が積層された第２部品を載置する支持部と、
前記支持部を振動させる加振部と、
第１部品と第２部品との間からはみ出ている接着剤を撮像する撮像部と、
前記加振部が前記支持部を振動させている時に、前記撮像部が撮像した複数の画像に基づいて、接着剤の変形量の変化を検知し、検知した接着剤の変形量の変化に基づいて、接着剤の状態を判断する判断部と、
接着剤にエネルギーを加えるエネルギー供給部と、
を備え、
前記判断部は、接着剤の状態が硬化したと判断すると、前記エネルギー供給部に対して接着剤にエネルギーを加えることを停止させる接着装置。
【請求項６】
接着剤を介して第１部品が積層された第２部品を載置する支持部を振動させ、
振動している前記支持部上の第１部品と第２部品との間からはみ出ている接着剤を撮像し、
撮像した複数の画像に基づいて、接着剤の変形量の変化を検知し、検知した接着剤の変形量の変化に基づいて、接着剤の状態を判断する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、そのような検査装置を備えた接着装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、硬化性樹脂等の接着剤を用いて部品同士の接着が行われている。
【０００３】
接着剤の中には、紫外線が照射されて硬化する光硬化性樹脂又は加熱されて硬化する熱硬化性樹脂がある。これらの硬化性樹脂は、硬化前には液体の状態であり、硬化が進むと固体に変化する。
【０００４】
これらの硬化性樹脂の硬化状態を、目視により判断することは難しい。そこで、硬化性樹脂の硬化状態を、客観的に検査する方法が提案されている。
【０００５】
例えば、紫外線硬化樹脂に含まれる光開始重合剤から放射される蛍光を検出することで、樹脂の硬化状態を推定する方法が提案されている（第１の方法）。
【０００６】
また、光ファイバを硬化性樹脂に接触させて、光ファイバと硬化性樹脂との界面における反射光の強度に基づいて硬化性樹脂の屈折率を測定し、その屈折率の変化を用いて、樹脂の硬化状態を検査する方法が提案されている（第２の方法）。
【０００７】
更に、接着される一方の部品である、硬化性樹脂が塗布された板状の支持部材を加振し、その支持部材の共振周波数又は反り量に基づいて、樹脂の硬化状態を検査することが提案されている（第３の方法）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−２４８２４４号公報
【特許文献２】特開２００４−３４０８１０号公報
【特許文献３】特開２００３−１８５５８６号公報
【特許文献４】国際公開０１／８６２６１号パンフレット
【特許文献５】特開２００９−２７０９２４号公報
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】「材料」，Ｖｏｌ．５９，Ｎｏ．５，ｐｐ．３９１−３９７，Ｍａｙ  ２０１０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述した第１の方法では、蛍光強度は、樹脂の硬化状態だけでなく、樹脂の厚さによっても変化するので、蛍光強度の違いが、硬化状態の変化なのか又は樹脂の厚さに起因するのかが区別できないという問題があった。また、蛍光を発生させるために紫外線を照射することにより、樹脂の硬化が進行するという問題もあった。
【００１１】
また、上述した第２の方法では、樹脂は、光ファイバが接触したまま硬化するので、硬化後の樹脂に光ファイバが接着してしまう。そのため、光ファイバを切断して硬化した樹脂から光ファイバを取り除くと、切断した光ファイバの一部が硬化した樹脂内に残るという問題があった。
【００１２】
更に、上述した第３の方法では、支持部材の共振周波数又は反り量を測定するためには、支持部材が加振により変形する程度の剛性を有することが求められる。そのため、接着される少なくとも一方の部品が薄い板状の形状に制限されるという問題があった。
【００１３】
本明細書では、接着剤の硬化状態を判断できる検査装置を提供することを目的とする。
【００１４】
また、本明細書では、接着剤の硬化状態を判断できる検査装置を備えた接着装置を提供することを目的とする。
【００１５】
更に、本明細書では、接着剤の硬化状態を判断できる検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本明細書に開示する検査装置の一形態によれば、接着剤を介して第１部品が積層された第２部品を載置する支持部と、上記支持部を振動させる加振部と、第１部品と第２部品との間からはみ出ている接着剤を撮像する撮像部と、上記加振部が上記支持部を振動させている時に、上記撮像部が撮像した複数の画像に基づいて、接着剤の変形量の変化を検知し、検知した接着剤の変形量の変化に基づいて、接着剤の状態を判断する判断部と、を備える。
【００１７】
また、本明細書に開示する検査装置を備えた接着装置の一形態によれば、エネルギーを加えられることにより硬化する接着剤を介して第１部品が積層された第２部品を載置する支持部と、上記支持部を振動させる加振部と、第１部品と第２部品との間からはみ出ている接着剤を撮像する撮像部と、上記加振部が上記支持部を振動させている時に、上記撮像部が撮像した複数の画像に基づいて、接着剤の変形量の変化を検知し、検知した接着剤の変形量の変化に基づいて、接着剤の状態を判断する判断部と、接着剤にエネルギーを加えるエネルギー供給部と、を備え、上記判断部は、接着剤の状態が硬化したと判断すると、上記エネルギー供給部に対して接着剤にエネルギーを加えることを停止させる。
【００１８】
更に、本明細書に開示する検査方法の一形態によれば、接着剤を介して第１部品が積層された第２部品を載置する支持部を振動させ、振動している上記支持部上の第１部品と第２部品との間からはみ出ている接着剤を撮像し、撮像した複数の画像に基づいて、接着剤の変形量の変化を検知し、検知した接着剤の変形量の変化に基づいて、接着剤の状態を判断する。
【発明の効果】
【００１９】
本明細書に開示する検査装置の一形態によれば、接着剤の硬化状態を判断できる。
【００２０】
また、本明細書に開示する接着装置の一形態によれば、接着剤の硬化状態を判断して部品の接着を行うことができる。
【００２１】
更に、本明細書に開示する検査方法の一形態によれば、接着剤の硬化状態を判断できる。
【００２２】
本発明の目的及び効果は、特に請求項において指摘される構成要素及び組み合わせを用いることによって認識され且つ得られるだろう。
【００２３】
前述の一般的な説明及び後述の詳細な説明の両方は、例示的及び説明的なものであり、特許請求の範囲に記載されている本発明を制限するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本明細書に開示する接着装置の第１実施形態を示す図である。
【図２】画像処理部を説明するブロック図である。
【図３】振動している接着剤の状態を説明する図である。
【図４】硬化前、硬化中、硬化後の接着剤の状態を示す図である。
【図５】接着装置の動作を説明するフローチャートである。
【図６】加振部の制御信号とカメラの撮像との関係を説明する図である。
【図７】硬化前、硬化中、硬化後の差分画像を示す図である。
【図８】平均輝度と紫外線の照射時間との関係を示す図である。
【図９】本明細書に開示する接着装置の第２実施形態を示す図である。
【図１０】振動している接着剤の状態を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本明細書で開示する接着装置の好ましい実施形態を、図を参照して説明する。但し、本発明の技術範囲はそれらの実施形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された発明とその均等物に及ぶものである。
【００２６】
図１は、本明細書に開示する接着装置の第１実施形態を示す図である。
【００２７】
接着装置１は、エネルギーを加えられることにより硬化する接着剤２２を介して第１部品２０が積層された第２部品２１を、接着剤の硬化状態を判断しながら接着する装置である。なお、接着剤は、エネルギーを加えられることにより硬化する接着剤でなくとも、時間の経過とともに硬度が増加する接着剤であれば良い。
【００２８】
接着装置１は、接着剤の硬化状態を判断する検査部１０と、接着剤にエネルギーを加えるエネルギー供給部１８とを備える。
【００２９】
本実施形態では、接着剤２２は、光硬化性樹脂であり、エネルギー供給部１８は、接着剤２２に光を照射する。エネルギー供給部１８は、エネルギー供給制御部１８ａが出力する制御信号に基づいて、光の照射を行う。光硬化性樹脂としては、例えば、紫外線硬化樹脂を用いることができる。この場合、エネルギー供給部１８は、接着剤２２に対して紫外線を照射する。
【００３０】
第１部品２０は、接着剤２２を介して、第２部品２１上に積層されている。接着剤２２が硬化することにより、第１部品２０は、第２部品２１に接着される。
【００３１】
接着剤２２の一部は、第１部品２０と第２部品２１との間からはみ出ており、いわゆるフィレットを形成する。検査部１０は、第１部品と第２部品との間からはみ出ている接着剤を撮像し、撮像した画像に基づいて、接着剤の状態を判断する。
【００３２】
検査部１０は、接着剤２２を介して第１部品２０が積層された第２部品２１を載置する支持部１１と、支持部１１を振動させる加振部１２と、第１部品２０及び第２部品２１及び両部品の間からはみ出ている接着剤２２を撮像するカメラ１３とを有する。
【００３３】
また、検査部１０は、加振部１２が支持部１１を振動させている時に、カメラ１３が撮像した複数の画像に基づいて、接着剤の変形量の変化を検知し、検知した接着剤の変形量の変化に基づいて、接着剤の状態を判断する画像処理部１４を有する。
【００３４】
支持部１１は、板状の形状を有する。支持部１１は、加振部１２により加振されて振動することにより、支持部１１上に載置された第２部品２１に振動を伝達する。第２部品２１は、実質的に、支持部１１と連動して振動する。
【００３５】
支持部１１は、加振部１２により振動を受けても実質的に変形しないことが、カメラ１３が第１部品２０と第２部品２１との間からはみ出ている接着剤２２の形状を撮像する上で好ましい。加振された支持部１１が変形すると、カメラ１３が撮像した接着剤２２の形状も影響を受けるためである。
【００３６】
具体的には、支持部１１の剛性率は、３ＧＰａ以上、特に１０ＧＰａ以上、更には３０ＧＰａ以上であることが好ましい。また、支持部１１が加振されて変形する変形量は、加振部１２による加振振幅の１／１０以下、特に１／３０以下、更には１／１００以下であることが好ましい。
【００３７】
加振部１２は、板状の支持部１１を面と垂直な方向又は面方向に加振する。加振部１２は、加振制御部１２ａから出力される制御信号に基づいて、支持部１１を振動させる。
【００３８】
加振部１２が支持部１１を振動させる方向は、接着される２つの部品に対する相対位置精度又は接着剤の厚み精度に応じて決定され得る。例えば、加振部１２が支持部１１を振動させる方向を、最も要求精度が低い方向とすることができる。また、加振部１２が支持部１１を加振する振幅の大きさは、加振する方向の要求精度の１／１０程度、又はそれ以下とすることが好ましい。
【００３９】
本実施形態では、加振部１２は、板状の支持部１１を面と垂直な方向に加振する。
【００４０】
加振部１２は、例えば、ピエゾ素子を用いて形成され得る。加振部１２は、例えば、周波数１Ｈｚで、振幅１μｍで、支持部１１を振動させる。
【００４１】
カメラ１３は、カメラ制御部１３ａから出力される制御信号に基づいて、接着剤２２を介して第１部品２０が積層された第２部品２１を撮像する。カメラ１３が撮像した画像は、画像処理部１４に出力される。
【００４２】
本実施形態では、カメラ制御部１３ａは、加振制御部１２ａから信号を入力し、支持部１１の振動と同期して、第１部品２０及び第２部品２１及び両部品の間からはみ出ている接着剤２２の形状をカメラ１３に撮像させる。
【００４３】
カメラ１３としては、例えば、倍率１０倍、開口数０．２３のマイクロレンズを装着し、フレームレート３０ｆｐｓ、解像度ＶＧＡ、センサーサイズ２／３インチのＣＣＤカメラを用いることができる。
【００４４】
画像処理部１４は、カメラ１３から入力した複数の画像に基づいて、接着剤の変形量の変化を検知し、検知した接着剤の変形量の変化に基づいて、接着剤の状態を判断する。そして、画像処理部１４は、接着剤の状態が硬化したと判断すると、エネルギー供給制御部１８ａに対して紫外線の照射を停止させる信号を出力し、エネルギー供給制御部１８ａはエネルギー供給部１８に対して接着剤への紫外線の照射を停止させる。
【００４５】
図２は、画像処理部を説明するブロック図である。
【００４６】
画像処理部１４は、演算部３０と、記憶部３１と、表示部３２と、入力部３３と、出力部３４と、通信部３５とを有する。演算部３０は、記憶部３１に記憶された所定のプログラムを実行することにより、画像処理部１４の各機能を実現する。画像処理部１４は、例えば、サーバ又はパーソナルコンピュータ若しくはステートマシン等のコンピュータを用いて形成され得る。
【００４７】
また、検査部１０は、接着剤２２を介して第１部品２０が積層された第２部品２１を照らす照明部１６を備える。照明部１６は、具体的には、第１部品２０及び第２部品２１及び両部品の間からはみ出ている接着剤２２を照らす。
【００４８】
本実施形態では、照明部１６は同軸落射照明である。照明部１６は、カメラ１３の光軸と一致した方向に光を照射する。
【００４９】
照明部１６は、光源１６ａと、光源１６ａからの光を支持部１１の方向に反射するハーフミラー１６ｂと、光源１６ａ及びハーフミラー１６ｂが固定される照明本体１６ｃとを有する。カメラ１３は、ハーフミラー１６ｂを通して、接着剤２２等を撮像する。
【００５０】
光源１６ａが生成する光の波長としては、紫外線硬化樹脂である接着剤２２を硬化させない波長を用いることが好ましい。具体的には、光源１６ａが生成する光の波長は、４００ｎｍ以上であることが好ましい。光源１６ａとしては、例えば、緑色ＬＥＤを用いることができる。
【００５１】
また、接着装置１は、第１部品２０を支持部１１に向かって押圧し、第１部品２０が接着剤２２を介して第２部品２１上に積層された状態を維持する押圧部１７を備える。押圧部１７は、第１部品２０の変位に追従し且つ第１部品２０の変位量を所定の範囲内に抑える。
【００５２】
押圧部１７は、振動している第１部品２０の変位を許容しつつ、第１部品２０が接着剤２２から離れるような動きを規制する。また、押圧部１７が第１部品２０を支持部１１に向かって押圧する力は、硬化した接着剤２２を破壊しない程度の力であることが好ましい。
【００５３】
押圧部１７は、支柱部１７ａと、弾性部１７ｂと、レバー部１７ｃとを有する。
【００５４】
レバー部１７ｃの中央部は、レバー部１７ｃが回転自在に支柱部１７ａに固定される。レバー部１７ｃの一方の端部は、第１部品２０を支持部１１に向かって押圧する。レバー部１７ｃの他方の端部は、弾性部１７ｂによって平衡な位置に留まるような復元力を受けており、第１部品２０の変位に伴って所定の範囲で変位することが許容される。
【００５５】
押圧部１７が許容する第１部品２０の変位量としては、例えば、支持部１１の加振による振幅の１／２程度とすることができる。
【００５６】
図３は、振動している接着剤の状態を説明する図である。
【００５７】
図３に示すように、加振部１２により加振された支持部１１は、振動による最小の振幅位置ｍｉと、最大の振幅位置ｍａとの間で振幅が変化する。
【００５８】
支持部１１上に直接載置された第２部品２１は、支持部１１と実質的に連動して変位するが、完全に硬化していない粘性を有する接着剤２２を介して積層された第１部品２０は、慣性により支持部１１又は第２部品２１の変位とはずれて動く。
【００５９】
従って、第１部品２０と第２部品２１との間に挟まれた硬化前の液状の接着剤２２は、支持部１１の振動に伴って変形するので、第１部品２０と第２部品２１との間からはみ出ている部分の形状が変化する。第１部品２０と第２部品２１との間からはみ出ている部分（以下、フィレットともいう）の形状は、接着剤２２の粘度又は表面張力等の物性により定まる。
【００６０】
具体的には、硬化前の液状の接着剤２２は、支持部１１の最大の振幅位置ｍａでは、最小の振幅位置ｍｉよりも、第１部品２０と第２部品２１との間の距離が縮まることにより、外側に押し出されてフィレットの量が増加する。
【００６１】
次に、接着剤２２のフィレットの形状を、図面を参照して、更に以下に説明する。
【００６２】
図４は、硬化前、硬化中、硬化後の接着剤の状態を示す図である。
【００６３】
硬化前の接着剤２２が液体の状態では、図４（Ａ）に示すように、フィレットの量の変化が、支持部１１の最大の振幅位置ｍａと最小の振幅位置ｍｉとの間で大きい。即ち、接着剤の変形量が大きい。
【００６４】
そして、接着剤２２の硬化が進んだ状態では、接着剤の粘度が増加するので、図４（Ｂ）に示すように、支持部１１の最大の振幅位置ｍａと最小の振幅位置ｍｉとの間で、フィレットの量の変化が小さくなる。即ち、接着剤の変形量が小さくなる。
【００６５】
更に、接着剤２２が硬化した状態では、接着剤が固体となるので、図４（Ｃ）に示すように、支持部１１の最大の振幅位置ｍａと最小の振幅位置ｍｉとの間で、フィレットの量の変化が無くなる。即ち、接着剤の変形量が無くなる。
【００６６】
本実施形態の接着装置１は、上述した接着剤の硬化に伴うフィレットの形状の変化に注目して、接着剤の状態を判断するものである。
【００６７】
次に、上述した接着装置１の動作例を、図面を参照しながら、以下に説明する。
【００６８】
まず、ステップＳ１０において、接着剤２２を介して第１部品２０が積層された第２部品２１が支持部１１上に載置される。第１部品２０は、押圧部１７により支持部１１に向かって押圧される。
【００６９】
次に、ステップＳ１２において、エネルギー供給部１８が、接着剤２２に対して紫外線の照射を開始する。
【００７０】
次に、ステップＳ１４において、加振部１２が支持部１１を加振して、支持部１１の振動を開始する。
【００７１】
次に、ステップＳ１６において、カメラ１３が、支持部１１の振動の最小の振幅の時に第１画像を撮像し、支持部１１の振動の最大の振幅の時に第２画像を撮像する。撮像された各画像は、画像処理部１４に出力される。
【００７２】
図６は、加振部の制御信号とカメラの撮像との関係を説明する図である。
【００７３】
図６（Ａ）に示すように、支持部１１は、加振部１２により加振されて振動しており、最小の振幅Ｌ１と最大の振幅Ｌ２との間で振動している。
【００７４】
加振部１２は、例えばピエゾ素子を用いて形成されている。ピエゾ素子は、印加される電圧に応じて変形することにより、支持部１１を加振する。
【００７５】
図６（Ｂ）に示すように、加振制御部１２ａは、加振部１２を制御する制御信号を加振部１２に対して出力している。そして、加振制御部１２ａは、制御信号が下側の閾値Ｌｔ以下の間、及び上側の閾値Ｕｔ以上の間において、撮像信号を、カメラ制御部１３ａに対して出力する。
【００７６】
図６（Ｃ）に示すように、カメラ制御部１３ａは、加振制御部１２ａから撮像信号を入力すると、カメラ１３に対して撮像させる。
【００７７】
このようにして、カメラ１３は、支持部１１の振動の最小の振幅の時に第１画像を撮像し、支持部１１の振動の最大の振幅の時に第２画像を撮像する。
【００７８】
次に、ステップＳ１８において、画像処理部１４は、入力した第１画像の各画素の輝度と第２画像の各画素の輝度との差を、各画素の輝度として有する差分画像の平均輝度を求める。
【００７９】
以下、図７を参照して、画像処理部１４の処理を説明する。
【００８０】
図７は、硬化前、硬化中、硬化後の差分画像を示す図である。
【００８１】
図７（Ａ）は、接着剤２２が硬化前の状態における第１画像（最小の振幅の時の画像）Ａ１と、第２画像（最大の振幅の時の画像）Ａ２と、第１画像Ａ１と第２画像Ａ２との差分画像Ａ３とを示す。
【００８２】
第１画像Ａ１は、第１部品２０に対応する画像領域Ｇ２０と、フィレットに対応する画像領域Ｇ２２と、第２部品２１に対応する画像領域Ｇ２１を有する。
【００８３】
第２画像Ａ２も、第１画像Ａ１と同様の画像領域を有しているが、フィレットに対応する画像領域Ｇ２２の大きさが、第１画像Ａ１よりも大きい。第１部品２０に対応する画像領域Ｇ２０及び第２部品２１に対応する画像領域Ｇ２１は、第１画像Ａ１と同じ寸法を有する。
【００８４】
差分画像Ａ３では、フィレットに対応する画像領域Ｇ２２の大きさの変化に起因した領域Ｄが画像内に生じる。
【００８５】
第１画像Ａ１内の位置（ｘ、ｙ）における輝度をＧ１（ｘ、ｙ）として、第２画像Ａ２内の位置（ｘ、ｙ）における輝度をＧ２（ｘ、ｙ）とする。差分画像Ａ３内の位置（ｘ、ｙ）における輝度Ｇ３（ｘ、ｙ）は、Ｇ３（ｘ、ｙ）＝（Ｇ２（ｘ，ｙ）−Ｇ１（ｘ，ｙ））／２＋１２８として求められる。第１部品２０に対応する画像領域Ｇ２０同士の輝度の差及び第２部品２１に対応する画像領域Ｇ２１同士の輝度の差は同じなので、輝度は１２８となる。一方、フィレットに対応する画像領域Ｇ２２の輝度は、第２部品２１に対応する画像領域Ｇ２１よりも高いので、領域Ｄは、その他の領域の輝度１２８よりも高い値となる。従って、求められた差分画像Ａ３の平均輝度は、領域Ｄの大きさを反映することになる。なお、上述した差分画像の輝度を求める方法は一例であり、他の方法を用いて差分画像を求めても良い。
【００８６】
図７（Ｂ）は、接着剤２２の硬化が進行中の状態における第１画像（最小の振幅の時の画像）Ｂ１と、第２画像（最大の振幅の時の画像）Ｂ２と、第１画像Ｂ１と第２画像Ｂ２との差分画像Ｂ３とを示す。
【００８７】
差分画像Ｂ３では、フィレットに対応する画像領域Ｇ２２の大きさの変化に起因した領域Ｄの大きさが、図７（Ａ）の時よりも小さくなっているので、求められた差分画像Ａ３の平均輝度は、図７（Ａ）の時よりも小さくなる。
【００８８】
図７（Ｃ）は、接着剤２２が硬化した状態における第１画像（最小の振幅の時の画像）Ｃ１と、第２画像（最大の振幅の時の画像）Ｃ２と、第１画像Ｃ１と第２画像Ｃ２との差分画像Ｃ３とを示す。
【００８９】
差分画像Ｃ３では、フィレットに対応する画像領域Ｇ２２の大きさの変化に起因した領域Ｄがほぼ消失しているので、求められた差分画像Ａ３の平均輝度は、図７（Ｂ）の時よりも小さくなる。
【００９０】
画像処理部１４は、ステップＳ１８において、第１画像及び第２画像を取得する度に、差分画像の平均輝度を求める。
【００９１】
図８は、平均輝度と紫外線の照射時間との関係を示す図である。
【００９２】
図８に示す例のように、差分画像の平均輝度は、紫外線の照射時間と共に、フィレットに対応する画像領域Ｇ２２の大きさの変化に起因した領域Ｄが減少することにより低下する。
【００９３】
以上が、ステップＳ１８における画像処理部１４の処理の説明である。
【００９４】
次に、ステップＳ２０において、画像処理部１４は、差分画像の平均輝度が閾値Ｂｔ（図８参照）以下であるかを判断する。もし、差分画像の平均輝度が閾値Ｂｔ以下であれば、ステップＳ２２に進む。一方、差分画像の平均輝度が閾値Ｂｔよりも大きければ、ステップＳ１６に戻る。
【００９５】
平均輝度は、領域Ｄが消失すると一定の値となる。そこで、閾値Ｂｔを、この一定の値、即ち輝度１２８とすることもできる。
【００９６】
一方、接着剤が十分な硬度を有していれば、接着剤が完全に硬化していない状態でも部品の接着を終了させても良い。この場合には、平均輝度の閾値Ｂｔを、上述した一定の値よりも大きい値（即ち、１２８＋α）とすることができる。このαの値は、αを変化させて硬度を変えた接着部品を複数形成して、各接着部品の剥離強度又はせん断剥離強度等を測定して、接着部品に求められる強度を満足するαとして決定することができる。
【００９７】
次に、ステップＳ２２において、画像処理部１４は、接着剤２２は硬化状態にあると判断する。
【００９８】
次に、ステップＳ２４において、画像処理部１４は、エネルギー供給制御部１８ａに対して紫外線の照射を停止させる信号を出力し、エネルギー供給制御部１８ａはエネルギー供給部１８に対して接着剤への紫外線の照射を停止させる。
【００９９】
上述した本実施形態の接着装置によれば、支持部１１を振動させている時に撮像した複数の画像に基づいて、検知した接着剤の変形量の変化を検知して、接着剤の硬化状態を判断できる。
【０１００】
また、本実施形態によれば、接着剤に対して照射する紫外線が部品等の影になっていて、紫外線照射量が低下している場合でも、接着剤の硬化進行状況を検査できる。
【０１０１】
このように、本実施形態では、画像処理部１４が接着剤の状態が硬化したと判断すると、エネルギー供給部１８に対して接着剤への紫外線の照射を停止させるので、接着強度を確保した上で接着工程の時間を最適に制御できる。
【０１０２】
次に、上述した接着装置の第２実施形態を、図９及び図１０を参照しながら以下に説明する。第２実施形態について特に説明しない点については、上述の第１実施形態に関して詳述した説明が適宜適用される。また、同一の構成要素には同一の符号を付してある。
【０１０３】
図９は、本明細書に開示する接着装置の第２実施形態を示す図である。図１０は、振動している接着剤の状態を説明する図である。
【０１０４】
本実施形態の接着装置１の照明部１９は、第１部品２０及び第２部品２１及び両部品の間からはみ出ている接着剤２２を周囲から照らす環状の照明である。
【０１０５】
環状の照明を用いることは、フィレットの表面の傾斜の変化に基づく輝度の変化をカメラ１３で撮像する上で好ましい。
【０１０６】
図１０に示すように、接着剤２２と部品との間の濡れ性によっては、支持部１１の振幅が最大の時と最小の時とにおいて、フィレットを平面視した形状に変化がない場合がある。
【０１０７】
一方、フィレットの表面の形状は、支持部１１の振動により変化する。
【０１０８】
このような場合、環状の照明を用いることにより、フィレットに対する光の入射角度を、支持部の面と平行な水平な方向に近づけることできるので、カメラ１３の方向に反射する光量の変化を、フィレット形状、特に傾斜角度に対して感度良くとらえることができる。そのため、フィレットを平面視した形状に変化がなくとも、振動によりフィレットの表面の形状が変化することによる輝度の変化をカメラ１３で撮像することができる。
【０１０９】
接着剤２２の硬化の状態が変化するのと共に、支持部１１の振幅が最大の時と最小の時とにおけるフィレットの表面の形状の変化の度合いは減少する。従って、接着剤２２の硬化の状態を、差分画像の平均輝度の変化として、上述した第１実施形態と同様に検査することができる。
【０１１０】
また、本実施形態では、接着剤２２は、熱硬化性樹脂であり、エネルギー供給部４０は、接着剤２２に熱を加える。エネルギー供給部４０は、エネルギー供給制御部４０ａが出力する制御信号に基づいて、接着剤２２に熱を加える。本実施形態では、エネルギー供給部４０は、接着剤２２に対して赤外線を照射する。なお、支持部１１にヒータを組み込んで、接着剤２２に熱を加えるようにしても良い。
【０１１１】
上述した本実施形態の接着装置によれば、支持部１１の振幅が最大の時と最小の時とにおいて、フィレットを平面視した形状に変化が少ない場合でも、接着剤の硬化状態を判断できる。
【０１１２】
また、本実施形態によれば、部品の熱伝導率又は熱容量の違いによって加熱状況が異なっていても、接着剤の硬化進行状況を検査できる。
【０１１３】
本発明では、上述した実施形態の検査装置、そのような検査装置を備えた接着装置及び検査方法は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更が可能である。また、一の実施形態が有する構成要件は、他の実施形態にも適宜適用することができる。
【０１１４】
例えば、上述した実施形態では、検査部は、接着装置の一部として配置されていたが、検査部を、接着装置とは分離した一つの装置として配置しても良い。
【０１１５】
ここで述べられた全ての例及び条件付きの言葉は、読者が、発明者によって寄与された発明及び概念を技術を深めて理解することを助けるための教育的な目的を意図する。ここで述べられた全ての例及び条件付きの言葉は、そのような具体的に述べられた例及び条件に限定されることなく解釈されるべきである。また、明細書のそのような例示の機構は、本発明の優越性及び劣等性を示すこととは関係しない。本発明の実施形態は詳細に説明されているが、その様々な変更、置き換え又は修正が本発明の精神及び範囲を逸脱しない限り行われ得ることが理解されるべきである。
【符号の説明】
【０１１６】
１    接着装置
１０    検査部
１１    支持部
１２    加振部
１２ａ    加振制御部
１３    カメラ  （撮像部）
１３ａ    カメラ制御部
１４    画像処理部  （判断部）
１６    照明部
１６ａ    光源
１６ｂ    ハーフミラー
１６ｃ    照明本体
１７    押圧部
１７ａ    支柱部
１７ｂ    弾性部
１７ｃ    レバー部
１８    エネルギー供給部
１８ａ    エネルギー供給制御部
１９    照明部
２０    第１部品
２１    第２部品
２２    接着剤
３０    演算部
３１    記憶部
３２    表示部
３３    入力部
３４    出力部
３５    通信部
４０    エネルギー供給部
４０ａ    エネルギー供給制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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