(57)【要約】【課題】装置内に又は装置内のチューブを適正に接続する作業の円滑化を可能とするチューブを提供する。【解決手段】流体が流れるチューブであって、チューブ上に印字され、チューブの種別情報を格納した情報コードを備えたチューブが提供される。チューブの種別を示す識別コードが印字されているため、マーカーが外れてチューブの識別できなくなることが防止されるとともに、作業者のマーカー装着ミスによるチューブ識別不良が防止される。【選択図】図４
2014031868.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れるチューブであって、
該チューブ上に印字され、該チューブの種別情報を格納した情報コードを備えたチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【０００７】
そして、長さや太さが異なる複数のチューブを適正に接続するためには、チューブの種類を識別する必要がある。そこで、従来では、チューブ番号を示す数字等の識別情報が印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着してチューブの識別を可能とするようにしていた。
【０００８】
一方、このような流体を流すためのチューブは、通常リールに巻かれた状態で蓄積されており、リールから引き出したチューブを目的の長さに切断した後、手作業で両端部に方向記号や識別記号を示す短い筒状のマーカーを装着することが行われていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところが従来技術のように流体の流動方向を示す方向記号やチューブの種別を示す識別記号が印字された筒状のマーカーをチューブの両端部に装着する方法では、作業者が誤ったマーカーをチューブに装着してしまうことや、チューブに装着したマーカーが外れてチューブの識別ができず、装置内にチューブを適正に接続する作業が滞るという問題が発生していた。
【００１１】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、装置内に又は装置内のチューブを適正に接続する作業の円滑化を可能とするチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の発明によると、流体が流れるチューブであって、チューブ上に印字され、チューブの種別情報を格納した情報コードを備えたチューブが提供される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によると、チューブの種別を示す識別コードが印字されているため、マーカーが外れてチューブの識別できなくなることが防止されるとともに、作業者のマーカー装着ミスによるチューブ識別不良が防止される。
【００１４】
従って、装置内でチューブを適正に接続させる作業の円滑化が可能となる。
【００１５】
特に、チューブの種別情報を一次元または二次元のバーコードとして表示することで、大量の情報をコンパクトに格納できることになる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。
【図３】（Ａ）は情報コードとして一次元バーコードを使用したチューブを示す図である。（Ｂ）は情報コードとして二次元バーコードを使用したチューブを示す図である。
【図４】読取装置によるチューブの情報コードの読み取りについて示す図
【図５】切削装置の配管に利用した実施形態を示す図である。
【図６】モニタに表示する種別情報の例について示す図である。
【図７】収容箱へのチューブの収容形態の例について示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００１８】
図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。
【００１９】
ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００２０】
ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００２１】
仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００２２】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２３】
アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２４】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２５】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００２６】
２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。
【００２７】
次に本発明において特徴的な構成であるチューブの実施形態について説明する。図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、チューブ１１Ａ，Ｂは、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ１１Ａ，Ｂ上には識別情報を格納した情報コード１３ａ，１３ｂが印字されている。
【００２８】
図３（Ａ）は、情報コード１３ａとして一次元バーコード１５ａを用いた実施形態を示している。図３（Ｂ）は、情報コード１３ｂとして二次元バーコード１５ｂを用いた実施形態を示している。
【００２９】
このように情報コード１３ａ，１３ｂとしてバーコードを用いることにより、多くの情報をバーコードに格納することが可能となる。
【００３０】
そして、本実施形態では、図４に示すように、この情報コード１３ａを読取装置９０によって読取ることによって、情報コード１３ａに格納された各種情報を取得することとしている。読取装置９０としては、周知のバーコードリーダーにて実施することができる。
【００３１】
ここで、情報コード１３ａに格納される情報としては、例えば、チューブ１１Ａの種別情報であって、図４の例に示すように、当該チューブ１１Ａが使用される組み付け装置に関する情報、当該チューブ１１Ａが使用される組み付け部位に関する情報、当該チューブ１１Ａ内を流すことが想定される流体種類に関する情報、などが考えられる。
【００３２】
これらのチューブ１１Ａの種別情報は、例えば、読取装置９０に設けられたモニタ９２に表示することや、切削装置２の表示手段６（図１）に表示されることにより、作業員によって認識することが可能となる。
【００３３】
なお、情報コード１３ａは、例えば、本実施形態のようにバーコードの形態でチューブ１１Ａの表面に印字されて視認可能とするほか、視認不能に格納されるものであってもよい。視認不能とする場合には、情報コード１３ａの位置を特定するための別の指標などを視認可能に付帯することが好ましい。
【００３４】
加えて、情報コード１３ａの読取は、バーコードとバーコードリーダーの組み合わせによって行うほか、作業者によって情報コード１３ａ（例えば番号、記号などの文字列）を手動入力する形態なども考えられる。つまり、情報コード１３ａの読取については、情報コード１３ａに格納される情報を作業者が認識できるものであればよく、その認識させる形態についても特に限定されるものではない。
【００３５】
次に、図５を参照して、本発明のチューブを使用した切削装置２の配管構成について説明する。エア源４０からは高圧エアがチューブ３１を介してクリーンユニット４６に供給される。
【００３６】
クリーンユニット４６は複数枚のフィルタを有しており、エア源４０から供給された高圧エアを洗浄化する。クリーンユニット４６からはチューブ３３を介してチャックテーブル１８へ吸引リリース時の吹き上げ用エアが供給され、チューブ３５を介してエジェクタ等の負圧発生手段５２に高圧エアが供給され、チューブ３７を介してスピンドルユニット３０にエアベアリング用のエアが供給される。
【００３７】
クリーンユニット４６からは更に、チューブ３９を介して切削ブレード２８をカバーするホイールカバー３２にホイールカバー開閉用エアが供給され、チューブ４１を介してエアを供給してエアカーテン３４を形成し、チューブ４３を介して顕微鏡３８用の分岐継ぎ手５６にエアが供給される。
【００３８】
負圧発生手段５２は、オリフィスを通過する高圧流体を利用して負圧を発生させるものであり、チューブ４５を介してチャックテーブル１８にチャックテーブルバキューム用負圧を供給し、チューブ４７を介してスピンナ洗浄装置２７にスピンナテーブルバキューム用負圧を供給する。
【００３９】
分岐継ぎ手５６からはチューブ４９を介して顕微鏡３８にカバー開閉用エアが供給され、チューブ５１を介してマクロ顕微鏡用ブローエアが供給され、チューブ５３を介してミクロ顕微鏡用ブローエアが供給される。
【００４０】
チャックテーブル１８からの排出エアはチューブ５５を介してダクト６０に排出され、スピンナ洗浄装置２７からの排出エアはチューブ５７を介してダクト６０に排出され、スピンドル３０からの排出エアはチューブ５９を介してダクト６０に排出される。
【００４１】
以上のように、切削装置２の各構成部品で使用されたエアは全てダクト６０に排出される。なお、エアを供給するチューブには、例えば無色透明なチューブが使用される。
【００４２】
ホイールカバー３２からの排出エアはチューブ６１を介してダクト６０に排出され、エアカーテン３４からの排出エアはチューブ６３を介してダクト６０に排出され。顕微鏡３８からの排出エアはチューブ６５を介してダクト６０に排出される。
【００４３】
冷却液源４２からは例えば市水等の冷却液がチューブ６７を介してクリーンユニット４８に供給される。クリーンユニット４８は複数枚のフィルタを含んでおり、これらのフィルタで冷却液を濾過する。
【００４４】
クリーンユニット４８からは、チューブ６９を介してスピンドル２６を回転可能に支持するスピンドルユニット３０に冷却液が供給される。スピンドルユニット３０から排出される冷却液は、チューブ７１を介してドレイン５８に排出される。チューブ６７，６９，７１は液体を供給するものであり、エアを供給するものと区別するために、例えば水色に着色されたものが使用されることが好ましい。
【００４５】
切削・洗浄液源４４からはチューブ７３を介して例えば純水等の液体がクリーンユニット５０に供給される。クリーンユニット５０は複数枚のフィルタを含んでいる。クリーンユニット５０からは、チューブ７５を介してスピンナ洗浄装置２７に洗浄液が供給され、チューブ７７を介してホイールカバー用分岐継ぎ手５４に切削液が供給され、チューブ７９を介して供給された液体がウォーターカーテン３６を形成する。
【００４６】
分岐継ぎ手５４からはチューブ８３を介してホイールカバー３２にシャワーノズル用切削液が供給され、チューブ８５を介してブレード冷却用切削液が供給され、チューブ８７を介してシャワー用切削液が供給される。
【００４７】
スピンナ洗浄装置２７から排出される洗浄液はチューブ８１を介してドレイン５８に排出され、ホイールカバー３２から排出される切削液はチューブ８９を介してドレイン５８に排出され、ウォーターカーテン３６を形成した液体はチューブ９１を介してドレイン５８に排出される。
【００４８】
チューブ７３乃至チューブ９１は、冷却液、切削液等の液体を供給したり、使用済みの液体を排出するために使用されるものであり、エアを供給するものと区別するために、例えば水色に着色されたものが使用されることが好ましい。
【００４９】
以上に説明したように、切削装置２については多数のチューブが使用されるものであり、切削装置２へのチューブの組み付け時においては、多数のチューブを適切な位置に組み付けて所定の流路を形成する必要が生じる。この組み付け作業の際に、仮に、チューブになんら情報が付帯されていない場合には、当該チューブをどの位置に組み付けるが不明となってしまう。また、予め所定の長さに切断されていたとしても、作業者が、当該チューブを誤った位置に組み付けてしまう恐れが生じる。
【００５０】
これに対し、本発明では、図４に示す実施形態のように、チューブ１１Ａに情報コード１３ａを付して、当該情報コード１３ａに各種情報を格納するとともに、この情報を組み付け時に読取ることによって、組み付け作業を容易に、かつ、正確に行うことが可能となる。
【００５１】
例えば、チューブ１１Ａに付された情報コード１３ａを読取ると、図６の例に示すように、読取装置９０のモニタ９２にはチューブ１１Ａに付与された種別情報として、各種の情報が表示される。具体的には、当該チューブ１１Ａが「切削装置」に組み付けられることが表示される。また、組み付け部位が「３５」の位置であることが表示される。また、３５番の位置を特定する情報、つまりは、チューブ１１Ａを介して互いに接続される負圧発生手段５２とクリーンユニット４６が補助的に表示（補助表示Ｈ）されることで、チューブ１１Ａが接続されるべき対象が表示される。また、チューブ１１Ａにて流される流体種別が「エア」であることが表示される。
【００５２】
このように、本実施形態では、流体が流れるチューブ１１Ａであって、チューブ１１Ａ上に印字され、チューブ１１Ａの種別情報を格納した情報コード１３ａを備えたチューブ１１Ａが構成されるものであり、情報コード１３ａに格納された各種情報を読取ることによって、作業者は、容易に当該チューブ１１Ａが接続されるべき部位を把握することができ、装置内でチューブを適正に接続させる作業の円滑化が可能となる。
【００５３】
なお、図６の例に示されるような補助表示Ｈがなされることによって、組み付け部位「３５」の位置を容易に把握することが可能となるが、このような補助表示Ｈを設けない場合であっても、図５に示すような配管レイアウトを紙で提供することによって、作業者は、当該組み付け部位「３５」を容易に把握できる。
【００５４】
さらに、チューブの組み付け作業の際において、作業の円滑化が図られることに加え、組み付けた後においても、必要に応じて情報コード１３ａを読取ることによって、チューブの種別情報を確認することができる。
【００５５】
例えば、チューブの損傷が確認されて必要となった際には、チューブの情報コードを読取ることによって、当該チューブの組み付け部位（どの区間を接続しているのか）や、当該チューブが流れる流体を確認することが可能となる。
【００５６】
また、交換の必要が生じた際に、情報コードに記憶された種別情報をメーカーなどに伝えることで、交換品を容易に指定するといったことも可能となる。
【００５７】
また、運用の一形態として、例えば図７に示すように、収容箱５に予め所定の長さに切断され、情報コードが付されたチューブを作業者に提供するといった運用が考えられる。
【００５８】
このような運用においては、まず、作業者においては、チューブを順不同で取り出して装置に組み付けることが可能であり、収容箱５の中から所望のチューブを探し出すといった手間が省かれる。また、チューブに情報コードが印字されているため、別部材で情報コードのチューブに付した場合における情報コードの脱落といった問題が生じない。
【００５９】
他方、チューブを提供する側にとっては、チューブを一つの収容箱５にまとめて収容することができるため、梱包に手間がかからない構成が実現される。例えば、仮に情報コードがない場合には、組み付けを行う作業者の便宜を考えて、梱包の際に収容箱５の中でチューブ種別の仕分け等を行う必要が生じるが、この仕分けを意識することなく、収容箱５に詰め込むことが可能となる。これにより、梱包を短時間で行うことが可能となる。
【００６０】
また、チューブの製作の実施形態としては、リールにまかれたチューブを巻きだして所定の長さにカットするとともに、カットと同時、或いは、その前後において、情報コードを印字する形態が考えられる。また、カットの後に、直接収容箱５に収容されることとし、自動でチューブの製造、梱包が行われる構成とすることも考えられる。
【００６１】
なお、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
【００６２】
また、特定の装置への設置を目的とするだけでなく、例えば、注文者のオーダー内容に応じて、所定の長さや、所定の情報を格納して提供するといったことも可能である。つまり、情報コードに、注文者の要求する情報を格納することで、注文者の様々なニーズに応えることが可能となる。
【符号の説明】
【００６３】
１１    チューブ
１３    情報コード
１５ａ    一次元バーコード
１５ｂ    二次元バーコード
９０    読取装置
【図１】
2014031868.tif 000003
【図２】
2014031868.tif 000004
【図３】
2014031868.tif 000005
【図４】
2014031868.tif 000006
【図５】
2014031868.tif 000007
【図６】
2014031868.tif 000008
【図７】
2014031868.tif 000009