(57)【要約】【課題】ステータ翼の剛性を大きくし、かつ、絞り加工のよりステータ翼の外周側端部に亀裂が生じるのを抑制する。【解決手段】静翼部７０は、静翼部本体７０Ａと、複数のステータ翼７１とが平板から一体に絞り加工で成形されている。ステータ翼７１は、基端部７２に対して反対側の側端部７３が上げ勾配に形成されており、外周側端部７５および内周側端部７６には、ステータ翼７１と静翼部本体７０Ａとを連結する外周側支持部７５Ｓが設けられている。外周側端部７５には、側端部７３から基端部７２の中間まで、ステータ翼７１を静翼部本体７０Ａから分離する切欠き７５Ｋが形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
動翼部と静翼部とを多段に積層した排気部を有する真空ポンプにおいて、
多段に積層された前記複数の静翼部の少なくとも一の段の前記静翼部には、
周方向に所定の幅で放射状に延在し、静翼部本体に対して所定の翼角度で傾斜する複数のステータ翼と、
径方向に細長く形成され、前記複数のステータ翼により上流から下流に気流を導く複数の排気開口とが設けられ、
前記一の段の静翼部における複数のステータ翼の各々は、
内周端側では内周側支持部により前記静翼部本体に３次元的に接続され、
外周端側では外周側支持部により前記静翼部本体に３次元的に接続され、
前記外周側支持部の円周方向先端部には切欠きが設けられている真空ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記内周側支持部は前記内周端部の全長に設けられ、前記外周側支持部は、前記ステータ翼が、前記外周端側において前記静翼部本体に対して所定の翼角度で傾斜し始める基部から、前記外周側支持部の円周方向先端部までの全長のうち前記基部側の一部の領域に設けられている真空ポンプ。
【請求項３】
請求項１の真空ポンプにおいて、
前記複数のステータ翼の各々は、平面視において径方向に細長い略四辺形形状であり、
前記ステータ翼の内周端側で円周方向に延在する内周端部、
前記ステータ翼の外周端側で円周方向に延在する外周端部、
前記内周端部の基部と前記外周端部の基部とを接続する径方向に延在する基端部、および、
前記基端部と周方向に対向する径方向に延在する側端部を含み、
前記内周端部、外周端部、および基端部は前記静翼部本体と接続され、前記側端部は前記静翼部本体と分離されて前記排気開口を規定し、
前記側端部と交差する前記外周端部の先端部に前記切欠きが設けられている真空ポンプ。
【請求項４】
請求項３の真空ポンプにおいて、
前記切欠きは、平面視において四辺形形状であり、円周方向に長く、径方向に短い真空ポンプ。
【請求項５】
請求項３に記載の真空ポンプにおいて、
前記内周側支持部は前記内周端部の全長に設けられ、前記外周側支持部は前記外周端部の基部から前記側端部までの全長の一部の領域に設けられている真空ポンプ。
【請求項６】
請求項２乃至５のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、
前記切欠きの長さは、前記外周端部の長さの半分未満である真空ポンプ。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ステータ翼は絞り加工により形成されている真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、動翼部と静翼部とで構成された排気部を有する真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプ等の真空ポンプは、ポンプ容器内において、多段に配列された動翼部を有するロータを高速に回転し、動翼部と、動翼部の各段の間に配列された静翼部とにより気体分子を吸気口側から排気ポート側に移送する。
【０００３】
各段の動翼部はロータ翼を有し、各段の静翼部はステータ翼を有する。各静翼部は、静翼部の外周に配設されたスペーサにより所定の間隔に支持される。静翼部は、一対の半割のリング状部材を組み合わせて１つの輪状に形成される。
ロータ翼およびステータ翼は、ロータの回転面に対して傾斜して形成されている。回転面に対する翼角度は、通常、上段側が下段側よりも大きく形成されている。
【０００４】
静翼部を作製する方法としては、機械加工により形成する方法と、塑性加工により形成する方法とがあるが、塑性加工により作製する方法はコスト面で有利である。例えば、特許文献１の第５０段落には、塑性加工により作製する手順が記載されている。この手順は（１）アルミニウム等の金属製の円板プレートを準備する工程と、（２）円板プレートにエッチング加工により複数列のブレード部（ステータ翼）の輪郭に即した３本の切込み線を形成する工程と、（３）プレス加工によりブレード部を所定の傾斜角度に形成する工程とを含む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１０５８５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の作製方法は、ブレード部の輪郭形状に即して３本の切込みを形成し、切り込まれた内側領域をプレス加工により塑性変形させて所定翼角度のブレード部を形成するものである。ブレード部の外周側端部と内周側端部とは、円板プレートから切り離されている。すなわち、円板プレートとブレード部の外周側端部との間、および円板プレートとブレード部の内周側端部との間には、ブレード部を支持する部材はない。このため、ブレード部、すなわち、ステータ翼は剛性が小さく、ステータ翼の翼角度が変化し易い。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、動翼部と静翼部とを多段に積層した排気部を有する真空ポンプに適用されるものである。
（１）第１の態様による真空ポンプにおいて、多段に積層された複数の静翼部の少なくとも一の段の静翼部には、周方向に所定の幅で放射状に延在し、静翼部本体に対して所定の翼角度で傾斜する複数のステータ翼と、径方向に細長く形成され、複数のステータ翼により上流から下流に気流を導く複数の排気開口とが設けられている。一の段の静翼部における複数のステータ翼の各々は、内周端側では内周側支持部により静翼部本体に３次元的に接続され、外周端側では外周側支持部により静翼部本体に３次元的に接続されている。外周側支持部の円周方向先端部には切欠きが設けられている。
（２）第２の態様の発明は、第１の態様の真空ポンプにおいて、内周側支持部は内周端部の全長に設けられ、外周側支持部は、ステータ翼が、外周端側において静翼部本体に対して所定の翼角度で傾斜し始める基部から、外周側支持部の円周方向先端部までの全長のうち基部側の一部の領域に設けるのが好ましい。
（３）第３の態様の発明は、第１の態様の真空ポンプにおいて、複数のステータ翼の各々は、平面視において径方向に細長い略四辺形形状である。ステータ翼の各々は、内周端側
で円周方向に延在する内周端部、外周端側で円周方向に延在する外周端部、内周端部の基部と外周端部の基部とを接続する径方向に延在する基端部、および、基端部と周方向に対向する径方向に延在する側端部を含む。内周端部、外周端部、および基端部は静翼部本体と接続され、側端部は静翼部本体と分離されて排気開口が規定される。側端部と交差する外周端部の先端部に切欠きが設けられている。
（４）第４の態様の発明では、第３の態様の真空ポンプにおいて、切欠きは、平面視において四辺形形状とし、円周方向に長く、径方向に短くすることが好ましい。
（５）第５の態様の発明では、第３の態様の真空ポンプにおいて、内周側支持部は内周端部の全長に設け、外周側支持部は外周端部の基部から側端部までの全長の一部の領域に設けるのが、剛性を確保しつつ亀裂発生防止の観点から好ましい。
（６）第６の態様の発明は、第２乃至第５のいずれかの態様の真空ポンプにおいて、切欠きの長さは、例えば、外周端部の長さの半分未満程度である。この切欠きの長さは、翼高さが高い外周側支持部を３次元加工する際に亀裂が発生しないように決定することが好ましい。
（７）第７の態様の発明は、第１乃至第６のいずれかの態様の真空ポンプにおいて、ステータ翼は絞り加工により形成されている。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、ステータ翼の内周側端部と外周側端部の双方を支持部で静翼部本体と接続するようにし、とくに翼高さが大きい外周側支持部には円周方向端部に切欠きを設けたので、塑性加工に伴う外周側支持部における亀裂の発生を抑制しつつ、ステータ翼の剛性を大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】この発明に係る真空ポンプの一実施の形態としてのターボ分子ポンプの断面図。
【図２】翼角度および翼高さが大きいステータ翼７１ｂ〜７１ｄを有する静翼部７０ｂ〜７０ｄの平面図。
【図３】（ａ）は図２における領域ＩＩＩの静翼部７０を外周側から見た拡大斜視図、（ｂ）はステータ翼を内周側から見た図、（ｃ）はステータ翼を外周側から見た図。
【図４】静翼部の製造方法を説明するための半円板プレートの平面図。
【図５】図４に続く工程を説明するための半円板プレートの平面図。
【図６】図５における領域ＶＩの拡大図。
【図７】（ａ）は、パンチの平面図、（ｂ）は、パンチの斜視図。
【図８】（ａ）は、ダイの平面図、（ｂ）は、ダイの斜視図。
【図９】パンチＰＵおよびダイＤＩを用いて、絞り加工によりステータ翼７１を作製する方法を説明するための図であり、（ａ）は、図２におけるＩＸａ−ＩＸａ線で切断した絞り加工時における断面図、（ｂ）は、図２におけるＩＸｂ−ＩＸｂ線で切断した絞り加工時における断面図。
【図１０】本発明の実施形態２としての静翼部の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明に係る真空ポンプを、ターボ分子ポンプを一実施の形態として説明する。
―真空ポンプ全体構成―
図１はターボ分子ポンプ１の断面図である。ターボ分子ポンプ１は、ケーシング部材１２と、ケーシング部材１２に固定されたベース１３とにより形成されたポンプ容器１１を備えている。
ケーシング部材１２は、ほぼ円筒形状を有し、例えば、ＳＵＳにより形成され、上端部に上部フランジ２１が形成されている。ケーシング部材１２の上部フランジ２１の内方には円形状の吸気口１５が形成されている。上部フランジ２１には、円周方向に沿って、ほ
ぼ等間隔にボルト挿通用の貫通孔２２が形成されている。ターボ分子ポンプ１は、上部フランジ２１の貫通孔２２にボルト９２を挿通して、半導体製造装置等の外部装置に取り付けられる。
【００１１】
ポンプ容器１１内には、ロータ４およびロータ４の軸芯に同軸で取り付けられたロータシャフト５が収容されている。ロータ４とロータシャフト５とは、ボルト９１により固定されている。
【００１２】
ロータ４は、ロータ上部４Ａと、ロータ上部４Ａの下面に接合されたロータ下部円筒部４Ｂとを備えている。ロータ上部４Ａは、例えば、アルミニウム合金により形成されている。ロータ上部４Ａには、上下方向（軸方向）と直交する方向（水平方向）に、放射状に複数の動翼部６が軸方向に間隔をおいて、複数段に配列されている。各動翼部６はロータ翼を有する。複数の動翼部６の各段の間にはステータ翼７１を有する静翼部７０が配置されている。静翼部７０は、半割のリングを一対組み合わせて形成されたリング形状とされている。各静翼部７０は、ケーシング部材１２の内周面に沿って配置されたリング形状のスペーサ８により挟持され、動翼部６と静翼部７０とが交互に多段に積層されて高真空用の翼排気部が構成されている。
【００１３】
ロータ下部円筒部４Ｂの外周側には、リング状のねじステータ９がボルト９４によりベース１３に固定されている。ねじステータ９には、ねじ溝部９ａが形成されている。ロータ４のロータ下部円筒部４Ｂとねじステータ９とにより、低真空用のねじ溝排気部が構成されている。
なお、図１においては、ねじ溝部９ａがねじステータ９に形成された構造として例示されているが、ねじ溝部９ａをロータ下部円筒部４Ｂの外周面に形成してもよい。
【００１４】
ベース１３は、例えば、アルミニウム合金により形成され、ベース１３の中央部には、ロータシャフト５を挿通する円形の中空部が形成された中央筒部１４が形成されている。中央筒部１４の内側には、モータ３５、ラジアル方向の磁気軸受３１（２箇所）、スラスト方向の磁気軸受３２（上下一対）、ラジアル変位センサ３３ａ、３３ｂとアキシャル変位センサ３３ｃ、メカニカルベアリング３４、３６およびロータディスク３８が取り付けられている。
【００１５】
ロータシャフト５は、ラジアル方向の磁気軸受３１（２箇所）およびスラスト方向の磁気軸受３２（上下一対）によって非接触に支持される。ロータシャフト５の回転時の位置は、ラジアル変位センサ３３ａ、３３ｂおよびアキシャル変位センサ３３ｃによって検出された径方向の位置と軸方向の位置とに基づいて制御される。磁気軸受３１、３２によって回転自在に磁気浮上されたロータシャフト５は、モータ３５により高速回転駆動される。
メカニカルベアリング３４、３６は非常用のメカニカルベアリングであり、磁気軸受が作動していない時にはメカニカルベアリング３４、３６によりロータシャフト５が支持される。
【００１６】
ベース１３には、排気ポート１６が設けられ、排気ポート１６には、排気口１６ａが設けられている。
ケーシング部材１２の下部フランジ２３とベース１３の上部フランジ１３ａとがシール部材４２を介在してボルト９３により固定され、ポンプ容器１１が構成される。
ケーシング部材１２の上部フランジ２１の内側に形成された吸気口１５を覆うように保護ネット４５が配設されている。保護ネット４５は、上部フランジ２１の内側に形成された段部２５にボルト９５により締結されている。
【００１７】
―静翼部７０の説明―
静翼部７０は、図１に図示された例では、上方から下方に向けて、符号７０ａ〜７０ｇで示される７段に形成されている。最上部の静翼部７０ａには、ステータ翼７１ａが、上方から２番目の静翼部７０ｂにはステータ翼７１ｂが、以下、上方から３番目〜７番目の静翼部７０ｃ〜７０ｇには、それぞれ、ステータ翼７１ｃ〜７１ｇが形成されている。上述した如く、各段のステータ翼７１ａ〜７１ｇは、それぞれ、ロータシャフト５の軸芯を中心とする放射状に配列されている。
【００１８】
ロータ回転軸に直交する面方向に対するステータ翼７１ａ〜７１ｇの傾斜角度、いわゆる翼角度は、最上段のステータ翼７１ａが一番大きく、その次に、ステータ翼７１ｂ〜７１ｄが大きく、ステータ翼７１ｅ〜７１ｇが最も小さい。以下では、ステータ翼７１ｂ〜７１ｄを翼角度と翼高さが大きいステータ翼、ステータ翼７１ｅ〜７１ｇを翼角度と翼高さが小さいステータ翼と呼ぶこととする。
本発明の一実施の形態では、ステータ翼７１ａは機械加工により作製され、ステータ翼７１ｂ〜７１ｇは絞り加工にて作製される。
【００１９】
以下に説明するように、絞り加工により作製されたステータ翼７１ｂ〜７１ｇは、翼角度および翼高さが大きいステータ翼７１ｂ〜７１ｄと、翼角度および翼高さが小さいステータ翼７１ｅ〜７１ｇとに分類され、これらは異なる形状とされている。
【００２０】
以下、翼角度および翼高さが大きいステータ翼７１ｂ〜７１ｄについて図２および図３を参照して説明する。
図２は、翼角度および翼高さが大きいステータ翼７１ｂ〜７１ｄを有する静翼部７０ｂ〜７０ｄの平面図であり、図３（ａ）は、図２における領域ＩＩＩの静翼部７０を外周側から見た拡大斜視図である。図３（ｂ）はステータ翼を内周側から見た図、図３（ｃ）はステータ翼を外周側から見た図である。
【００２１】
図２、図３を参照すると、本発明によるステータ翼７１ｂ〜７１ｇでは、ステータ翼７１の内周側端部７６と外周側端部７５は支持部７６Ｓ，７５Ｓにより静翼部本体７０Ａに接続されている。上述したように最上段に近いほど翼角度および翼高さが大きくなるが、その中でも、翼角度と翼高さが大きいステータ翼７１ｂ〜７１ｄの外周側端部７５の支持部７５Ｓに亀裂が生じ易くなる。そのため、翼角度および翼高さが大きいステータ翼７１ｂ〜７１ｄでは、とくに外周側端部７５の支持部７５Ｓの先端側に予め切欠き７５Ｋを形成して亀裂の発生を防止する。内周側端部７６は外周側端部７５に比べて翼高さが低いので、その支持部７６Ｓに切欠き７５Ｋを形成する必要はない。
【００２２】
なお、翼角度および翼高さが小さいステータ翼７１ｅ〜７１ｇの外周側端部７５の支持部７５Ｓには、絞り加工に伴う亀裂が発生しにくいので、支持部７５に切欠き７５Ｋを形成する必要はない。
【００２３】
以下の説明では、静翼部７０ｂ〜７０ｄを代表して静翼部７０とし、ステータ翼７１ｂ〜７１ｄを代表してステータ翼７１とする。また、静翼部７０は、半円形の部材が一対組み合わされてリング状に構成されるが、以下の説明では、半円形の部材を静翼部７０とする。
【００２４】
静翼部７０は、内周側に半円形開口部７９が設けられた半円形状を有し、例えば、アルミニウム合金により形成されている。静翼部７０は、周方向に所定の幅で放射状に延在する複数のステータ翼７１を備えている。ステータ翼７１は、図４および図５に示すように、放射状に複数本の切り込み線８１と開口８２が形成された半円板プレート７０Ｐを絞り加工することにより、静翼部本体７０Ａから所定の翼角度で傾斜して設けられている。また、静翼部７０には、ステータ翼７１の絞り加工により複数の排気開口７８が形成される
。各排気開口７８は、径方向に細長く形成され、ステータ翼７１の上流から下流に気流を導く通路である。
【００２５】
図２および図３を参照すると、ステータ翼７１は平面視で略四辺形形状を呈している。略四辺形形状のステータ翼７１は、外周側端部７５を構成する第１の辺と、内周側端部７６を構成する第２の辺と、基端部７２を構成する第３の辺と、側端部７３を構成する第４の辺の４つの辺で構成されるものとする。そして、詳細には、外周側端部７５を構成する第１の辺には、その側端部７３側に切欠き７５Ｋが形成されている。この意味において、ステータ翼７１の平面視形状は略四辺形形状である。
【００２６】
ステータ翼７１は、静翼部本体７０Ａに対して周方向に上り勾配に形成されて、所定の翼角度を有している。すなわち、ステータ翼７１は、半径方向に直線的に延在された基端部７２において静翼部本体７０Ａから立ち上がって接続され、基端部７２と反対側の側端部７３側において、ステータ翼７１は静翼部本体７０Ａから切り離されている。
【００２７】
ステータ翼７１の外周側端部７５は、静翼部本体７０Ａの外周面７４に沿って、円弧状または直線状に形成されている。外周側端部７５を円弧状とする場合は、外周面７４と同心円の円弧とすることが好ましい。ステータ翼７１の内周側端部７６は、半円形開口部７９に沿って円弧状または直線状に形成されている。内周側端部７６を円弧状とする場合は、半円形開口部７９と同心円の円弧とすることが好ましい。ステータ翼７１の外周側端部７５の高さは、内周側端部７６の高さより高くなっている。
【００２８】
図３を参照すると、各ステータ翼７１の外周側端部７５には、外周側支持部７５Ｓが形成されている。ステータ翼７１は、絞り加工により形成され、ステータ翼７０は、外周側支持部７５Ｓにより、外周側で静翼部本体７０Ａと３次元的に連結されている。
外周側支持部７５Ｓは、ステータ翼７１の外周側端部７５の全長、すなわちステータ翼の全幅における一部にのみ設けられている。換言すると、ステータ翼７１の基端部７２から、基端部７２と側端部７３の中間部まで形成されている。そして、この中間部から側端部７３までの間には切欠き７５Ｋが設けられ、この切欠き７５Ｋにより外周側支持部７５Ｓの側端部７３側は、静翼部本体７０Ａから分離されている。切欠き７５Ｋの長さは、ステータ翼７１の基端部７２から側端部７３までの長さの半分未満が好ましい。
なお、切欠き７５Ｋは、平面視において四辺形形状であり、円周方向に長く、径方向に短い。
すなわち、外周側支持部７５Ｓは、外周端側において静翼部本体７０Ａに対して所定の翼角度でステータ翼７１が傾斜し始める基部（基端部）７２から、外周側支持部７５Ｓの円周方向先端部（側端部）７３までの全長のうち、基部７２側の一部の領域に設けられている。
【００２９】
また、ステータ翼７１の内周側端部７６には、基端部７２から側端部７３までの全長にわたり内周側支持部７６Ｓが形成されている。ステータ翼７１は、絞り加工により形成され、ステータ翼７０は、内周側支持部７６Ｓにより、内周側で静翼部本体７０Ａと３次元的に連結されている。
【００３０】
内周側端部７６、外周側端部７５、および基端部７２は静翼部本体７０Ａと接続され、側端部７３は静翼部本体７０Ａと分離されている。
【００３１】
このように、各ステータ翼７１は、外周側端部７５に設けられた外周側支持部７５Ｓおよび内周側端部７６に設けられた内周側支持部７６Ｓにより静翼部本体７０Ａに連結されているので大きな剛性を有している。また、翼高さは内周側よりも外周側が大きいが、外周側端部７５には、切欠き７５Ｋが形成されているので、絞り加工の際、外周側支持部７５Ｓに亀裂が発生するのを抑制することができる。
【００３２】
―静翼部７０の製造工程―
次に、図４〜図８を参照して、静翼部７０の製造方法を説明する。
この製造方法は、半円板プレート７０Ｐを準備する工程と、半円板プレート７０Ｐに放射状の切込み線８１を形成する工程と、半円板プレート７０Ｐの放射状切込み線８１の最外周部に周方向に開口８２を形成する工程と、ステータ翼７１を絞り加工で形成する工程とを備えている。
【００３３】
先ず、内周側に半円形開口部７９が設けられた金属製の半円形部材である半円板プレート７０Ｐを準備する。半円板プレート７０Ｐの素材はアルミニウ合金、ステンレス鋼等を使用することができる。
図４に図示されるように、半円板プレート７０Ｐに複数の直線状のスリット８１を放射状に形成する。スリット８１の半径方向の長さは、ステータ翼７１の半径方向の長さとなる。スリット８１は、プレス加工あるいはエッチング加工により形成することができる。スリット８１の縁部は、絞り加工後に側端部７３となるものである。
【００３４】
次に、図５に示すように、各スリット８１の外周側の端部に半円板プレート７０Ｐの外周面７４に沿うほぼ矩形状の開口８２を形成する。開口８２は、プレス加工により形成すると効率的であるが、エッチング加工により形成してもよい。開口８２は、絞り加工後に切欠き７５Ｋとなる。
【００３５】
そして、ダイとパンチにより半円板プレート７０Ｐからステータ翼７１を絞り加工する。以下、図６〜図８を参照して絞り加工について詳細に説明する。
【００３６】
図６は、図５における領域ＶＩの拡大図である。図６において、斜線のハッチングで示す領域７５ａは、絞り加工により、静翼部本体７０Ａと外周側端部７５とを連結する外周側支持部７５Ｓとなる領域である。開口８２の長さｌ0は、ステータ翼７１の外周側端部
７５の長さＬの半分未満とすることが望ましい。
【００３７】
図７（ａ）は、パンチの平面図であり、図７（ｂ）は、パンチの斜視図であり、図８（ａ）は、ダイの平面図であり、図８（ｂ）は、ダイの斜視図である。また、図９（ａ）、図９（ｂ）は、パンチＰＵおよびダイＤＩを用いて、絞り加工によりステータ翼７１を作製する方法を説明するための図であり、図９（ａ）は、図２におけるＩＸａ−ＩＸａ線で切断した絞り加工時における断面図であり、図９（ｂ）は図２におけるＩＸｂ−ＩＸｂ線で切断した絞り加工時における断面図である。
【００３８】
図７（ａ）、図７（ｂ）、図９（ａ）に図示されるように、パンチＰＵは、ステータ翼７０の外周側支持部７５Ｓを形成するための、外周側端部７５側から内周側端部７６側に向かって上昇する傾斜部ＰＵ１、およびステータ翼７０の内周側支持部７６Ｓを形成するための、内周側端部７６側から外周側端部７５側に向かって上昇する傾斜部ＰＵ２を有する。パンチＰＵは、各ステータ翼７１の基端部７２から側端部７３に向かって上昇する傾斜面ＰＵ３ａを有するパンチ本体部ＰＵ３を備えている。また、図７（ａ）、図７（ｂ）、図９（ｂ）に図示されるように、パンチ本体部ＰＵ３における側端部７３に対応する位置には、ロータシャフト５の軸方向とほぼ平行な側端面ＰＵ３ｂが形成されている。側端面ＰＵ３ｂは、ステータ翼７１の側端部７３を基端部７２から分離するためのものである。
【００３９】
図８（ａ）、図８（ｂ）、図９（ａ）に図示されるように、ダイＤＩは、ステータ翼７０の外周側支持部７５Ｓを形成するための、外周側端部７５側から内周側端部７６側に向かって下降する傾斜部ＤＩ１、およびステータ翼７０の内周側支持部７６Ｓを形成するための、内周側端部７６側から外周側端部７５側に向かって下降する傾斜部ＤＩ２を有する。ダイＤＩは、各ステータ翼７１の基端部７２から側端部７３に向かって下降する傾斜面ＤＩ３ａを有するダイ本体部ＤＩ３を備えている。また、図８（ａ）、図８（ｂ）、図９
（ｂ）に図示されるように、ダイ本体部ＤＩ３における側端部７３に対応する位置には、ロータシャフト５の軸方向とほぼ平行な側端面ＤＩ３ｂが形成されている。側端部ＤＩ３ｂは、ステータ翼７１の側端部７３を基端部７２から分離するためのものである。
【００４０】
ダイＤＩ１上に半円板プレート７０Ｐをセットし、パンチＰＵを矢印方向に押し出して半円板プレート７０Ｐを絞り加工し、ステータ翼７１を作製する。この絞り加工において、図６の斜線の領域７５ａに３次元的な塑性流動が生じて外周側支持部７５Ｓが形成される。領域７５ａが塑性変形することにより、開口８２が平面形状から翼高さ方向に３次元的に変形して切欠き７５Ｋが形成される。
【００４１】
以上説明した通り、上記一実施の形態によれば下記の効果を奏する。
（１）本発明による真空ポンプでは、複数段の静翼部７０の少なくも一つの静翼部７０、すなわち、翼角度が大きく外周部の翼高さが大きい静翼部７０ｂ〜７０ｄを絞り加工により製作した。したがって、機械加工により静翼部を作製する場合に比し、真空ポンプのコストを低減することができる。
【００４２】
（２）静翼部７０は、図８に示すようにダイＤＩとパンチＰＵにより円板プレート７０Ｐをプレス絞り加工することにより、ステータ翼７１の外周側端部７５および内周側端部７６を外周側支持部７５Ｓおよび内周側支持部７６Ｓにより静翼部本体７０Ａと接続するようにした。したがって、ステータ翼７１の剛性を大きくすることができる。
（３）翼高さが大きくなる外周側端部７５の支持部７５Ｓには、基端部７２とは対向する側端部７３から基端部７２の中間部までの間に切欠き７５Ｋを設けたので、翼角度が大きく翼高さが所定値以上に大きい場合でも、絞り加工の際、外周側支持部７５Ｓに亀裂が発生するのを防止することができる。
【００４３】
（４）通常、絞り加工により外周側支持部７５Ｓを形成する場合、外周側支持部７５Ｓの半径方向における傾斜角度を大きく（急にする）すると亀裂が生じるので、亀裂が生じないように傾斜角度を小さく（緩やかに）する。ステータ翼７１の外周側端部７５側に設ける外周側支持部７５Ｓの半径方向における傾斜角度を小さく（緩やかに）すると、外周側支持部７５Ｓの長さが長くなるので、ステータ翼７１の排気機能として作用する半径方向の長さが小さくなる。これに対し、本発明の一実施の形態では、ステータ翼７１の外周側端部７５側に開口８２を設けたので、傾斜角を大きくしても絞り部に亀裂が生じるのを抑制することが可能となる。このように、外周側支持部７５Ｓの半径方向における傾斜角度を大きくすることができるので、排気性能を向上することができる。
【００４４】
（５）通常、ステータ翼７１の翼角度や翼高さが大きい場合、ステータ翼７１の外周側端部７５の外周側支持部７５Ｓを１回の絞り加工により形成すると、亀裂が生じ易い。このため、絞り加工を複数回に行うようにして亀裂が生じないようにする。これに対し、本発明の一実施の形態では、ステータ翼７１の外周側端部７５の側端部７３側に開口８２を形成して絞り加工を行うので、ステータ翼７１の翼角度や翼高さが大きい場合でも、亀裂を生じることなく、一度の絞り加工で外周側支持部７５Ｓを所望の形状にすることができる。このため、加工作業が能率的となる。
【００４５】
図１０は、静翼部の実施形態２を示す断面図である。
実施形態２における静翼部７０Ｈでは、ステータ翼７１Ｈが、下り勾配部７１ｉと上り勾配部７１ｈとを有している。つまり、ステータ翼７１Ｈが静翼部本体７０Ａに接続される基端部７２から下り勾配部７１ｉが形成され、下り勾配部７１ｉの先端側に上り勾配部７１ｈが形成されている。
このようなステータ翼７１Ｈの外周側端部に、上述した外周側支持部７５Ｓと、切欠き７５Ｋとが形成されている。
【００４６】
なお、上記一実施の形態では、最上段のステータ翼７１ａは機械加工により作製されているものとして説明した。しかし、機械加工より作製するステータ翼７１の段数を増やしてもよい。また、ステータ翼７１のすべてを絞り加工により作製してもよい。
【００４７】
上記一実施の形態では、ステータ翼７１ｂ〜７１ｄは、その外周側支持部７５Ｓに切欠き７５Ｋが形成されており、ステータ翼７１ｅ〜７１ｇは、その外周側支持部７５Ｓに切欠き７５Ｋが形成されていないものとして説明した。しかし、外周側支持部７５Ｓに切欠き７５Ｋが形成されたステータ翼と、外周側支持部７５Ｓに切欠き７５Ｋが形成されたステータ翼との段数の比を変えることは任意であり、また、すべてのステータ翼７１ａ〜７１ｇのすべてを、外周側端部７５に切欠き７５Ｋが形成されたものとしてもよい。
【００４８】
上記一実施の形態では、ステータ翼７１の外周側支持部７５Ｓにのみ切欠き７５Ｋを形成し、内周側端部７６の内周側支持部７６Ｓには切欠き７５Ｋが形成されていないものとして説明した。しかし、内周側端部７６にも切欠きを形成してもよい。
【００４９】
上記一実施の形態では、真空ポンプとして翼排気部とねじ溝排気部を備えた複合型のターボ分子ポンプで例示した。しかし、本発明は、翼排気部のみを備える真空ポンプにも適用することができる。
【００５０】
その他、本発明は、発明の趣旨の範囲内において、種々、変形して適用することが可能である。すなわち、本発明は、動翼部と静翼部とを多段に積層した排気部を有する真空ポンプであって、以下の構成を有する種々の形式の真空ポンプに適用することができる。すなわち、多段に積層された複数の静翼部の少なくとも一の段の静翼部には、複数のステータ翼と、径方向に細長く形成された排気開口とが設けられている。ステータ翼の各々は、周方向に所定の幅で放射状に延在し、静翼部本体に対して所定の翼角度で傾斜し、排気開口は、複数のステータ翼により上流から下流に気流を導く開口である。複数のステータ翼の各々は、内周端側では内周側支持部により静翼部本体に３次元的に接続され、外周端側では外周側支持部により静翼部本体に３次元的に接続されている。外周側支持部の円周方向先端部には切欠きが設けられている。
【符号の説明】
【００５１】
１        ターボ分子ポンプ
４        ロータ
４Ａ      ロータ上部
４Ｂ      ロータ下部円筒部
５        ロータシャフト
６        ロータ翼
９        ねじステータ
１１        ポンプ容器
７０、７０ａ〜７０ｇ    静翼部
７０Ａ      静翼部本体
７０Ｐ      円板プレート
７１、７１ａ〜７１ｇ    ステータ翼
７２        基端部
７３        側端部
７５        外周側端部
７５Ｋ      切欠き
７５Ｓ      外周側支持部
７６        内周側端部
７６Ｓ      内周側支持部
７８        排気開口
８２        開口
ＤＩ        ダイ
ＰＵ        パンチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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