(57)【要約】【課題】クリープによる緩みを防止し、コンパクトな接続構造を提供する。【解決手段】  第１ブロック１０の側面付近には、上側接続部材６０の第１押圧部６１０を挿入するスペースと、第１押圧部６１０の第１接続部材側当接面６１０Ａと当接する第１フランジ側当接面１２Ｃが備わった第１フランジ部１２と、が形成されている。また、第２ブロック２０の側面付近には、上側接続部材６０の第２押圧部６２０を挿入するスペースと、第２押圧部６２０の第２接続部材側当接面６２０Ａと当接する第２フランジ側当接面２２Ｃが備わった第２フランジ部２２と、が形成されている。また、第１フランジ部１２と第２フランジ部２２との間に、隙間Ｘが形成されている。上側接続部材６０の第１接続部材側当接面６１０Ａから第２接続部材側当接面までの間隔Ｈは、第１フランジ側当接面１２Ｃから第２フランジ側当接面２２Ｃまでの間隔Ｊより狭い流体継手とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に形成された第１流路と連通する第１流路口を、側面に備えた第１ブロックと、内部に形成された第２流路と連通する第２流路口を、側面に備えた第２ブロックと、前記第１ブロックと前記第２ブロックを接続する接続部材とを有する流量機器モジュールにおいて、
前記第１ブロックの前記側面付近には、前記接続部材の第１押圧部を挿入するスペースと、前記第１押圧部の第１接続部材側当接面と当接する第１フランジ側当接面が備わった第１フランジ部と、が形成されていること、
前記第２ブロックの前記側面付近には、前記接続部材の第２押圧部を挿入するスペースと、前記第２押圧部の第２接続部材側当接面と当接する第２フランジ側当接面が備わった第２フランジ部と、が形成されていること、
前記第１フランジ部と前記第２フランジ部との間に、隙間が形成されており、
前記接続部材は、上部接続部材と下部接続部材を備え、
前記接続部材の圧入前において、
前記接続部材の前記第１接続部材側当接面から前記第２接続部材側当接面までの間隔は、前記第１フランジ側当接面から前記第２フランジ側当接面までの間隔より狭いこと、を特徴とする流体継手。
【請求項２】
請求項１に記載する流体継手において、
前記接続部材の前記第１接続部材側当接面と前記第２接続部材側当接面は、概平行に配置されていること、
前記第１フランジ部の前記第１フランジ側当接面と前記第２フランジ部の前記第２フランジ側当接面は概平行に配置されていること、を特徴とする流体継手。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する流体継手において、
少なくとも前記第１押圧部に前記第１流路の外周形状に概合致する切欠部が形成されていること、を特徴とする流体継手。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載する流体継手において、
前記第１押圧部と前記第２押圧部は固定端部により固定されていること、
少なくとも前記第１押圧部には前記第１押圧部の自由端側から前記固定端側に向かって延びるスリットが形成されていること、を特徴とする流体継手。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４に記載するいずれか一つの流体継手において、
少なくとも前記第１フランジ部の付け根部にリブが形成されていること、を特徴とする流体継手。
【請求項６】
請求項５に記載する流体継手において、
前記リブが前記接続部材の挿入方向に沿って形成されていること、を特徴とする流体継手。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６に記載するいずれか一つの流体継手において、
前記第１フランジ部及び前記第２フランジ部が樹脂で形成されていること、
前記接続部材が金属で形成されていること、を特徴とする流体継手。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７に記載するいずれか一つの流体継手を用いたことを特徴とする流体機器マニホールド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、組立が容易で省スペース化が可能な流体継手及びこの継手を用いた流体機器のマニホールドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、第１ブロックと第２ブロックを接続部材で接続することにより構成される流体機器マニホールドとして、図２６に示すものがある。
【０００３】
図２４に示す流体機器マニホールド５００は、第１ブロック５１０と第２ブロック５２０と接続部材５３０を有する。
第１ブロック５１０は、第１面５１０Ａに形成された第１流路口５１３と連通する第１流路５１２が内部に形成されている。また、第１面５１０Ａの上部には、第１ブロック接続突起部５１４が形成されている。第２ブロック５２０は、第１面５２０Ａに形成された第２流路口５２３と連通する第１流路５２２が内部に形成されている。また、第１面５２０Ａの上部には、第２ブロック接続突起部５２４が形成されている。第１ブロック５１０及び第２ブロック５２０を当接させることで、山形形状のブロック接続突起部５４０が形成される。
接続突起部５４０に対して接続部材５３０を被せ、固定ネジ５３１により固定することで第１ブロック５１０と第２ブロック５２０は固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許４６２４４９１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来技術には以下のような問題がある。
特許文献１に記載される接続では、フランジ及び接続部材が互いに剛体であるときには、締付け完了時に発生した締付け力がその後も維持される。
しかし、その材質が樹脂の場合であり高温、高圧の流体を流す場合は、クリープにより締付力が維持できないことがある。
クリープとは長時間にわたって受ける荷重や高温度によって樹脂が変形を起こす作用のことであり、接続部分の変形により気密性が弱まり、接続部分から液体が漏れる等の問題が発生する。
特に半導体製造工程では高い耐食性を求められＰＴＦＥやＰＦＡ等のフッ素系の樹脂が用いられるため、このクリープへの対応が必要となる。
クリープが起こると、前述したように流路からの液体の漏れが発生する虞があるが、特に半導体製造工程などでは腐食性を有する薬液や、人体に有害な薬液等を用いることもあるため、シール性を確保することは必須課題である。
【０００６】
特許文献１の流体機器マニホールド５００は、接続突起部５４０と第１流路口５１３、第２流路口５２３との間に距離があるため、接続部周辺の肉厚を増加させることでクリープによる影響を抑えているが、コンパクト化や流体のさらなる高圧、高温化への対応は困難となる。
【０００７】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、クリープによる流体漏れを防止することができるコンパクトで組立て容易な流体継手及びこの継手を用いた流体機器マニホールドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係る流体継手及び流体機器マニホールドは、以下の構成を有する。
（１）内部に形成された第１流路と連通する第１流路口を、側面に備えた第１ブロックと、内部に形成された第２流路と連通する第２流路口を、側面に備えた第２ブロックと、前記第１ブロックと前記第２ブロックを接続する接続部材とを有する流量機器モジュールにおいて、前記第１ブロックの前記側面付近には、前記接続部材の第１押圧部を挿入するスペースと、前記第１押圧部の第１接続部材側当接面と当接する第１フランジ側当接面が備わった第１フランジ部と、が形成されていること、前記第２ブロックの前記側面付近には、前記接続部材の第２押圧部を挿入するスペースと、前記第２押圧部の第２接続部材側当接面と当接する第２フランジ側当接面が備わった第２フランジ部と、が形成されていること、前記第１フランジ部と前記第２フランジ部との間に、隙間が形成されており、前記接続部材は、上部接続部材と下部接続部材を備え、前記接続部材の圧入前においては、前記接続部材の前記第１接続部材側当接面から前記第２接続部材側当接面までの間隔は、前記第１フランジ側当接面から前記第２フランジ側当接面までの間隔より狭いこと、を特徴とする。
【０００９】
それにより、第１フランジ部及び第２フランジ部へ接続部材を圧入するとき、第１フランジ部及び第２フランジ部はそれらの間の隙間が減少するように変形し、接続部材の押圧部間が広がるように変形する。この互いの変形によりフランジ部と押圧部の形状が馴染み合い当接面が広がる。このことにより締付け荷重が広域に分散され、クリープの発生を抑制し流体漏れを防止することができる。
【００１０】
（２）（１）に記載する流体継手において、前記接続部材の前記第１接続部材側当接面と前記第２接続部材側当接面は、概平行に配置されていること、前記第１フランジ部の前記第１フランジ側当接面と前記第２フランジ部の前記第２フランジ側当接面は概平行に配置されていること、を特徴とする。
【００１１】
互いに概平行であることにより、発生する荷重はほぼ全て第１と第２の流路口側面同士を密着させる方向に向けることができる。さらに互いの変形により相手の形状に互いに馴染むことができる。さらにシンプルな形状のため生産コストも低い。
【００１２】
（３）（１）又は（２）に記載する流体継手において、少なくとも前記第１押圧部に前記第１流路の外周形状に概合致する切欠部が形成されていること、を特徴とする。
【００１３】
それにより、接続部材の第１押圧部及び第１接続部材側当接面は第１流路を取囲むように配置されるため、第１流路口の周囲に設けられた環状機密部の周囲を隙間方向へ押圧することができ、第１接続部材側当接面と押圧部との距離が近づくことでクリープの影響を抑えることができる。
【００１４】
（４）（２）又は（３）に記載する流体継手において、前記第１押圧部と前記第２押圧部は固定端部により固定されていること、少なくとも前記第１押圧部には前記第１押圧部の自由端側から前記固定端側に向かって延びるスリットが形成されていること、を特徴とする。
【００１５】
それにより、第１押圧部は分割され複数の押圧部となる。分割された押圧部はそれぞれが第１フランジ部の当接面の形状に合わせて変形し馴染むため、実際に接することのできる当接面が広がり締付け荷重が分散され、クリープの発生を抑制し流体漏れを防止することができる。
【００１６】
（５）（１）乃至（４）に記載するいずれか一つの流体継手において、少なくとも前記第１フランジ部の付け根部にリブが形成されていること、を特徴とする。
【００１７】
それにより、接続部材の取付けスペースを残しながら強度を増すことができ、さらにクリープを抑える効果もある。
【００１８】
（６）（５）に記載する流体継手において、前記リブが前記接続部材の挿入方向に沿って形成されていること、を特徴とする。
【００１９】
それにより、接続部材のリブ逃げスペースを小さくすることができるため接続部材の強度低下を抑えることができる。
【００２０】
（７）（１）乃至（６）に記載するいずれか一つの流体継手において、前記第１フランジ部及び前記第２フランジ部が樹脂で形成されていること、前記接続部材が金属で形成されていること、を特徴とする。
【００２１】
接続部材を金属とすることにより金属がもつ広い弾性変形域を利用することができる。この弾性変形はフランジ側で発生するクリープ変形を補い、流体漏れを防止することができる。
【００２２】
（８）（１）乃至（７）に記載するいずれか一つの流体継手用いたことを特徴とする流体機器マニホールドであることを特徴とする。
【００２３】
それにより、流体漏れを防止ができ、コンパクトで増減連の容易な流体機器マニホールドを提供できる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、クリープによる流体漏れを防止でき、組み立て易くコンパクトで安価な流体継手及び流体機器マニホールドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本実施形態に係る流体継手及び流体機器マニホールドの正面図である。
【図２】本実施形態に係る流体継手及び流体機器マニホールド一部断面図である。
【図３】本実施形態に係る第１ブロックの正面図である。
【図４】本実施形態に係る第１ブロックの左側面図である。
【図５】本実施形態に係る図３に示す第１ブロックのＡＡ断面図である。
【図６】本実施形態に係る第１ブロックの上面図である。
【図７】本実施形態に係る第１ブロックの下面図である。
【図８】本実施形態に係る第１ブロックの外観上方斜視図である。
【図９】本実施形態に係る接続部材の正面図である。
【図１０】本実施形態に係る接続部材の右側面図である。
【図１１】本実施形態に係る接続部材の上面図である。
【図１２】本実施形態に係る接続部材の外観斜視図である。
【図１３】本実施形態に係る第１ブロック及び第２ブロックの接続状態の説明図（１）である。
【図１４】本実施形態に係る第１ブロック及び第２ブロックの接続状態の説明図（２）である。
【図１５】本実施形態に係る第１ブロック及び第２ブロックの接続状態の説明図（３）である。
【図１６】本実施形態に係る第１ブロック及び第２ブロックの接続状態の説明図（４）である。
【図１７】本実施形態に係る流体継手の拡大断面図である。
【図１８】本実施形態に係る流体継手の変形例１の拡大断面図である。
【図１９】本実施形態に係る流体継手の変形例２の拡大断面図である。
【図２０】本実施形態に係る流体継手及び流体機器マニホールドの変形例の正面図である。
【図２１】本実施形態に係る接続部材の変形例の正面図である。
【図２２】本実施形態に係る接続部材の変形例の右側面図である。
【図２３】本実施形態に係る接続部材の変形例の外観斜視図である。
【図２４】従来技術に係る流体継手及び流体機器マニホールドの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
次に、本発明に係る流体継手及び流体機器マニホールドの一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２７】
（流体機器マニホールドの構成）
図１に、流体機器マニホールドの正面図を示す。図２に、流体機器マニホールドの断面図を示す。
流体機器マニホールド１は、図１に示すように２つの第１ブロック１０及び第２ブロック２０を組み合わせた形で構成されるマニホールドである。第１ブロック１０及び第２ブロック２０は、接続部材５０により接続され固定ネジ４０及び固定ナット４１に固定されることで流体機器マニホールド１となる。
なお、本実施形態では２つの機能部を搭載できる第１ブロック１０及び第２ブロック２０の接続により流体機器マニホールドを構成している。
【００２８】
（ブロックの構成）
第１ブロック１０及び第２ブロック２０は同様の構成であるため、以下では、第１ブロック１０を説明することにより第２ブロック２０の説明は割愛する。以下では、第１ブロック１０の構成部品等で説明する符号の１ケタ目である１を、第２ブロックは１ケタ目を２とすることで構成部品の符号とする。また、第１ブロック１０の構成部品等に関しては構成部品の前に「第１」と付し、第２ブロック２０の構成部品等に関しては構成部品の前に「第２」と付する。
なお、第１ブロック１０及び第２ブロック２０は、腐食性流体を扱うため材質はＰＦＡである。
【００２９】
図３及び図８に示すように、第１ブロック１０は６面を有する略長方形体のブロックである。図３及び図７に示す第１ブロック１０の下面１０Ａには、２本の第１分岐路１１Ａ、１１Ｂが下面１０Ａに対して垂直方向に配置されている。
図３に示すように、第１ブロック１０の左側面１０Ｃには第１フランジ部１２が形成されている。図３、図４及び図８に示すように、第１フランジ部１２の幅は、第１ブロック１０と同じである長方形状の部位である。図２及び図４に示すように、第１フランジ部１２の左側面１０Ｃには、第１流路１３Ａと連通する第１流路口１２２が形成されている。
【００３０】
図４に示すように、第１流路口１２２の周辺には、ガスケット９が挿入される第１ガスケット挿入溝１２３が形成されている。図１７は、図１に示す点線Ｙの一部拡大図を示す。第１ガスケット挿入溝１２３には、環状凸部１２３Ａが形成されている。環状凸部１２３Ａが、ガスケット９の第１気密面９Ａを押圧することによりガスケット９との気密性を高めることができる。
図１７に示すように、ガスケット９は、材質がＰＴＦＥの円環である。ガスケット９の素材硬度は第１フランジ１２及び第２フランジ２２の材質よりも低い。ガスケット９の硬度が低いことで、環状凸部１２３のダメージが抑えられＡ第１フランジ１２及び第２フランジ２２を繰り返し利用することができる。
【００３１】
図４に示すように、第１フランジ部１２の左側面１０Ｃには、半円筒形状の第１ネジ挿通溝１２４が形成されている。第１ネジ挿通溝１２４は、第１ブロック１０及び第２ブロック２０が組み合わされた時に円筒形状のネジ挿入孔が形成する。
【００３２】
図３に示すように、第１フランジ部１２の上方部１２Ａ及び下方部１２Ｂには、第１テーパ面１２１が形成されている。第１テーパ面１２１は、接続部材５０を圧入位置へと導く案内の役目を持つ。接続部材５０は、第１テーパ面１２１に沿って圧入されるため、容易に作業することができる。
【００３３】
図３に示すように、第１フランジ部１２と第１本体部１３との間には第１流路部１４が形成されている。第１本体部１３と第１フランジ部１２の間には後述する接続部材５０の押圧部を差し入れるためのスペースを設けている。
【００３４】
第１流路部１４は、図２の断面図に示す第１流路１３Ａの外壁である。また、図５に示すように、第１流路部１４は断面概円筒形状である。
さらに、図５に示すように、第１フランジ部１２と第１本体部１３との間には上下方向に伸びる第１縦リブ１４１Ａ、及び、左右方向に伸びる第１横リブ１４２Ａが形成されている。第１横リブ１４２Ａは図６に示すように、第１ブロック１０の正面１０Ｅから背面１０Ｆまで横断して形成されている。
【００３５】
第１リブ１４Ａ及び第１横リブ１４２Ａが形成されていることにより、第１フランジ部１２の剛性が増し、第１フランジ側当接面１２Ｃへ加える押圧力を大きくすることができる。また、第１横リブ１４２Ａは、接続部材５０の挿入深さ位置決め機能もある。
【００３６】
図６及び図８に示すように、第１ブロック１０の上面１０Ｂには、２つのバルブ機能部を取付けることで２つのバルブ機能をもたせることができる第１挿入孔１０１Ａ、１０１Ｂが形成されている。図２に示すように、第１挿入孔１０１Ａには、第１機能部１６が挿入され、第１挿入孔１０１Ｂには第２機能部１７が挿入される。
同様に、第２挿入孔２０１Ａには、第３機能部１８が挿入され、第２挿入孔２０１Ｂには第４機能部１９が挿入される。
なお、第１挿入孔１０１Ａ、１０１Ｂ、及び、第２挿入孔２０１Ａ、２０１Ｂ内には、弁座が設けられており、そこに当接離間可能な弁体及びその駆動部を第１〜第４機能部として取付けることができる。これにより、第１流路１３Ａ、第２流路２３Ａと第１分岐路１１Ａ．１１Ｂ、第２分岐路２１Ａ，２２Ａとの間の弁の開閉を行うことが可能となる。ただし図２においては説明上省略して記載する。
【００３７】
（接続部材の構成）
図１及び図２に示すように、接続部材５０は、上側接続部材６０及び下側接続部材７０を有する。上側接続部材６０及び下側接続部材７０は、同様の構成であるため、以下では、上側接続部材６０を説明することにより下側接続部材７０の説明は割愛する。以下では、上側接続部材６０の構成部品等で説明する符号の１ケタ目である６を、下側接続部材７０は１ケタ目を７とすることで構成部品の符号とする。また、上側接続部材６０の構成部等に関しては構成部の前に「上側」と付し、下側接続部材７０の構成部等に関しては構成部の前に「下側」と付する。
なお、上側接続部材６０及び下側接続部材７０の材質は共にＳＵＳ３０４である。ステンレス鋼は樹脂に比較しクリープの発生がほとんど無く、比較的広い弾性変形域をもつため、フランジ側で発生するクリープ量が、ＳＵＳ３０４の弾性変形域内の所定の範囲内に含まれるように設定することで、締付け力を維持し、流体漏れを防止することができる。
【００３８】
図９に示すように、上側接続部材６０は、上側第１押圧部６１０及び上側第２押圧部６２０と、その間に設けられた上側固定端部６３０よりなる。正面から見ると略コの字形状の形となる。上側第１押圧部６１０と上側第２押圧部６２０には、第１フランジ側当接面１２Ｃと第２フランジ側当接面２２Ｃ当接させるための第１接続部材側当接面６１０Ａと第２接続部材側当接面６２０Ａが設けられ、第１接続部材側当接面６１０Ａと第２接続部材側当接面６２０Ａ同士は概平行に配置されている。上側第１押圧部６１０と上側第２押圧部６２０の先端部には組付け字の案内となるようにテーパ形状が設けられている。第１接続部材側当接面６１０Ａと第２接続部材側当接面６２０Ａを第１フランジ側当接面１２Ｃと第２フランジ側当接面２２Ｃへ当接させとき、上側第１押圧部６１０と上側第２押圧部６２０は弾性変形により自由端側がより広くなるように押し広げられる。これに対し、フランジ側は接続部材の自由端側の撓みは小さく固定端部６３０に近づくほど撓みは大きくなるため、接続部材の変形形状とフランジの変形形状は概合致し、実際の当接面が拡大する。
【００３９】
図９に示すように、上側固定部６３０の内側面に上側テーパ部６３１、６３２が形成されている。上側テーパ部６３１から上側テーパ部６３２まではある一定の角度αを持っている。本実施形態には、角度αは、約４０度形成されている。角度αを有する上側テーパ部６３１、６３２が形成されていることにより、上側第１押圧部６１０及び上側第２押圧部６２０の弾性変形量と荷重を調整している。
【００４０】
図１０、図１２に示すように、上側第１押圧部６１０の先端部には、上側第１切欠部６１１が形成されている。上側第１切欠部６１１は、第１流路部１４の形状と概合致する形状である。したがって、上側第１切欠部６１１は、第１流路部１４の気密部である環状凸部１２３Ａの近傍に力を加えることができる。また、上側接続部材６０及び下側接続部材７０を第１流路部１４に対して挟み込むと、第１流路部１４の概全周方向を囲むことになる。
【００４１】
また、図１０、図１２に示すように、上側第１押圧部６１０の上側第１切欠部６１１の上部より上側固定部６３０側に向かって上側第１スリット６１２が形成されている。
これにより、上側第１押圧部６１０は分割される。分割された押圧部はそれぞれがそれぞれに加わった荷重に対応して変形でするため、第１フランジ部１２の当接面形状に合わせて変形し、より馴染み易くなる。上側第１押圧部６１０が第１フランジ部１２と馴染むことで、上側第１押圧部６１０と第１フランジ部１２の実際の当接面が広がり、荷重が広域・均一に伝達される。そのため、さらにクリープを抑え流体漏れを防止することができる。
また、上側第１スリット６１２が形成されていることにより、後述するリブを設けることもできる。
【００４２】
また、図１１及び図１２に示すように、上側接続部材６０の上側固定端部６３０には、ネジ取付け孔６３３が形成されている。
【００４３】
（流体継手の接続）
図１３乃至図１６の第１ブロック及び第２ブロックの接続状態の説明図を用いて流体継手の接続手順について説明する。図１３、図１４では、流体継手の接続手順が理解され易いようにガスケット９付近のみ断面図で示す。
上側接続部材６０及び下側接続部材７０による接続は、同様の構成、作用であるため、以下では、上側接続部材６０側を説明することにより下側接続部材７０側の説明は割愛する。
【００４４】
第１に、図１３図１４に示すように、ガスケット９を第１ガスケット挿入溝１２３の第１環状凸部１２３Ａと第２ガスケット挿入溝２２３の第２環状凸部２２３Ａの間に挟む。
【００４５】
このとき、第１フランジ部１２と第２フランジ部２２の間には隙間Ｘが形成され、第１フランジ側当接面１２Ｃと第２フランジ側当接面２２Ｃの間隔Ｊが形成される。第１フランジ側当接面１２Ｃと第１環状凸部１２３Ａ、及び第２フランジ側当接面２２Ｃと第２環状凸部２２３Ａは平行であり、さらにガスケット９の第１気密面９Ａと第２気密面９Ｂは平行であるため、隙間Ｘは平行であり。間隔Ｊも平行である。
また、接続部材６０の第１接続部材側当接面６１０Ａと第２接続部材側当接面６２０Ａの間隔Ｈは平行であり、間隔Ｈは間隔Ｊよりも短く設定されている。
【００４６】
第２に、図１５に示すように、上側接続部材６０を第１フランジ部１２及び第２フランジ部２２の上方から圧入し上側接続部材６０の上側反対端部６１０Ｂが第１横リブ１４２Ａと当接するところまで圧入する。
【００４７】
間隔Ｈは間隔Ｊよりも狭いため、図１５に示すように、上側接続部材６０を圧入すると、上側第１押圧部６１０と上側第２押圧部６２０はＲ方向に扇状に広がりＱ方向の弾性力を発生し続ける。これにより隙間Ｘを減少させる方向に締付け力が働き、その締付け力により環状凸部１２３Ａがガスケット９に食込む。同時に、第１フランジ部１２及び第２フランジ部２２を隙間Ｘ側へ倒しこむ。このとき、扇状に開く上側第１押圧部６１０と上側第２押圧部６２０の当接面と倒れこむ第１フランジ部１２及び第２フランジ部２２の当接面の角度が概一致するため、実際の当接面面積が広がり締付け荷重が分散しクリープを抑える効果が生まれる。
樹脂材質であるフランジ部、ガスケット９、環状凸部１２３Ａにおいては時間経過とともに所定のクリープが発生する。このクリープ量が上側接続部材６０の所定の変形範囲内となるように設定され、常に隙間Ｋを保つことにより常に必要な締付け力を維持し、流体漏れを防止することができる。
【００４８】
また、図５に示すように、第１リブ１４Ａが形成されていることにより、第１フランジ部１２の付根部の構造強度が増し、締付け時のクリープを抑えることができる。さらにマニホールドとしての構造強度も高めている。
【００４９】
第５に、図１６に示すように、上側接続部材６０及び下側接続部材７０に対して固定ネジ４０を差込み固定ナット４１で固定することで接続が完了する。
これにより、流体継手は、第１ブロック１０Ｂ及び第１ブロック１０Ａ方向からのアクセスのみによって、組みつけ及び解体が可能であるため、施工性に優れる。
（流体機器モジュールの構成）
【００５０】
第１ブロック１０に機能部を組み付けたものが一つのモジュールであり、図１に示す流体機器マニホールドは２つのモジュールを接続させたものである。
【００５１】
＜変形例＞
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で色々な応用が可能である。
【００５２】
（流体機器モジュール及び流体機器マニホールドの構成）
例えば、流体機器モジュールは流体機器機能部を３連分搭載できるものであっても良い。さらに、ブロックの左右にフランジ部を配置してもよい。これらのもモジュールの組合せにより、全てのマニホールド連数に対応することができる。
【００５３】
（ブロックの構成）
例えば、ブロックの材質はＰＦＡ以外の樹脂であってもよい。流体の種類により適切な材質を選ぶことができる。
例えば、図１９に示すように、ガスケット９に環状凸部１２３Ｂを形成し、ブロックの挿入凹部はフラットであってもよい。
本実施例ではガスケット９を設けたが、ガスケット９等のシール部材を設けないこともできる。例えば、図１８に示すように、第１フランジ部１２の第１流路口１２２付近に挿入凸部１２８を形成する。他方、第２フランジ部２２の第２流路口２２２付近に挿入凹部２２８を形成する。図２０に示すように、挿入凸部１２８を挿入凹部２２８に挿入し嵌合させることでガスケットを省略することができる。ガスケットを省略することができることにより、部品費を低減することができる。
例えば、実施例では機能部は開閉弁としていたが、機能部をレギュレータ、フィルター等し、ブロックの機能部受け入れ形状をそれぞれの機能部に合わせた形状とすることができる。さらに分岐路の向きについて横方向であったり、複数であってもよい。回路設計上の都合で適宜選択される多様な流体制御を行えるマニホールドを構成することができる。
【００５４】
例えば、図２０に示すように第１フランジ部４２１及び第２フランジ部４２２にテーパが設けられていない第１ブロック４１０及び第２ブロック４２０を用いることができる。フランジ側にテーパがなくとも接続部材側に案内があればフランジ側のテーパは省くことができる。
例えば、フランジ部は長方形に限らない。コーナー部が曲面であったり、全体が略円形状であっても良い。これにより成形性が向上したり素材原料の削減が可能となる。
例えば、リブの数は複数でも良い。これによりさらに強度を増すことができる。
【００５５】
（接続部材の構成）
例えば、上側第１切欠部６１１が形成されていない場合もある。第１流路部１４がブロックの表面に凸部として構成されない場合や、その量が僅かである場合には、切欠部を無くし生産性の良いシンプルな形状とすることができる。
例えば、上側第１スリット６１２が形成されて無い場合もある。フランジ側のリブが無ければスリットを無くすことで生産性の良いシンプルな形状とすることができる。
【００５６】
例えば、図２１乃至図２３に示すような接続部材２００とすることもできる。接続部材２００は、第１押圧部２１０、第２押圧部２２０、及び固定部２３０を有する。第１押圧部２１０及び第２押圧部２２０は概平行の位置関係にあり、第１押圧部２１０及び第２押圧部２２０は固定部２３０に対して垂直に当接している。接続部材２００の形状は異なるが、上記接続部材５０と同様の作用効果を有する。
例えば、接続部材は、一枚板を概コの字状曲げ成形したものでも良い。これにより本実施形態と同じ機能を安価に製作することができる。
例えば、接続部材の材質は、ＳＵＳ３０４以外の金属でもよい。さらに耐食性のある材質や、さらに生産性の良い材質を選ぶこともできる。
例えば、接続部材の材質は、樹脂であっても良い。高強度な樹脂を選定することで高い耐食性を持たせることができる。
【００５７】
（流体継手の接続）
例えば、上下の接続部材同士の固定は、ネジとナットを用いたが、これを装着が容易なコの字状のクリップとすることもできる。構造上、組付けられたときに接続部材が抜ける方向に働く力は殆ど発生しないため、固定部材は接続部材が所定位置まで圧入されているかどうかを判断できる程度であれば良い。このときフランジ側のネジ取付け溝は無くても良い。
【００５８】
（ガスケットの構成）
例えば、ガスケット材質はＰＴＦＥ以外の樹脂であってもよい。流体の種類により適切な材質を選ぶことができる。
例えば、ブロックの環状凸部１２３Ａは図１９に示すように、ガスケット側の環状凸部１２３Ｂであっても良い。
【符号の説明】
【００５９】
１          流体機器マニホールド
１０        第１ブロック
１２        第１フランジ部
１２Ｃ      第１フランジ側当接面
１２２      第１流路口
１３Ａ      第１流路
２０        第２ブロック
２２        第２フランジ部
２２Ｃ      第２フランジ側当接面
２２２      第２流路口
２３Ａ      第２流路
５０        接続部材
６０        上側接続部材
６１０      上側第１押圧部
６１０Ａ    第１接続部材側当接面
６２０      上側第２押圧部
６２０Ａ    第２接続部材側当接面
Ｘ          第１フランジ部と第２フランジ部の隙間
Ｈ          第１接続部材側当接面から第２接続部材側当接面までの間隔
Ｊ          第１フランジ側当接面から第２フランジ側当接面までの間隔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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