(57)【要約】【課題】少量の被加工物を品種ごとに組み合わせることができるカセットを提供する。【解決手段】板状の被加工物を収容するためのカセットであって、所定の間隔をおいて平行に配設され互いに対向する位置にそれぞれ複数の被加工物支持溝が設けられた第１の側板および第２の側板と、第１の側板および第２の側板の上端部を連結する天板と、第１の側板および第２の側板の下端部を連結する底板と、第１の側板と第２の側板と天板と底板の前端側に設けられ被加工物を出し入れするための出入開口とを具備するカセットユニットからなり、カセットユニットは、互いに積み重ね可能に構成されるとともに積み重ねた状態で互いに固定する固定手段を備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被加工物を収容するためのカセットであって、
所定の間隔をおいて平行に配設され互いに対向する位置にそれぞれ複数の被加工物支持溝が設けられた第１の側板および第２の側板と、該第１の側板および該第２の側板の上端部を連結する天板と、該第１の側板および該第２の側板の下端部を連結する底板と、該第１の側板と該第２の側板と該天板と該底板の前端側に設けられ被加工物を出し入れするための出入開口と、を具備するカセットユニットからなり、
該カセットユニットは、互いに積み重ね可能に構成されるとともに積み重ねた状態で互いに固定する固定手段を備えている、
ことを特徴とするカセット。
【請求項２】
該第１の側板および該第２の側板の上端には位置決め用凸部が設けられており、該第１の側板および該第２の側板の下端には該位置決め用凸部と対応する位置決め用凹部が設けられている、請求項１記載のカセット。
【請求項３】
該固定手段は、該第１の側板および該第２の側板の外側面下部に設けられた係止部材と、該第１の側板および該第２の側板の外側面上部に設けられ該カセットユニットが積み重ねられた状態で上側の該カセットユニットを構成する該第１の側板および該第２の側板に設けられた該係止部材と係合する係合部材とからなっている、請求項１又は２記載のカセット。
【請求項４】
該固定手段は、該カセットユニットを構成する該第１の側板および該第２の側板の外側面の中央部に設けられた雌ネジと、該雌ネジに螺合する雄ネジを備えた締め付け部材と、該カセットユニットが積み重ねられた状態で該第１の側板および該第２の側板に設けられた該雌ネジに螺合された該締め付け部材の該雄ネジと係合する複数の凹溝を有する連結ブラケットとからなっている、請求項１又は２記載のカセット。
【請求項５】
該固定手段は、該カセットユニットを構成する該第１の側板および該第２の側板の外側面下部に装着され雌ネジが形成されている雌ネジブロックと、該第１の側板および該第２の側板の外側面上部に該カセットユニットを積み重ねた状態で上側の該カセットユニットを構成する該第１の側板および該第２の側板に装着された該雌ネジブロックと隣接する位置に装着され該雌ネジブロックに形成された雌ネジと対応するボルト挿通穴を備えた連結ブロックと、該連結ブロックに形成された該ボルト挿通穴を挿通し該雌ネジブロックに形成された該雌ネジと螺合する締結ボルトとからなっている、請求項１又は２記載のカセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の板状の被加工物を収容するためのカセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切削装置やレーザー加工装置等の加工装置によってダイシングすることにより個々の半導体デバイスを製造している。
【０００３】
切削装置やレーザー加工装置等の加工装置は、環状のフレームに装着された保護テープに貼着されたウエーハを保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に環状のフレームに装着されたダイシングテープを介して保持されたウエーハに加工を施す加工手段と、被加工物保持手段と加工手段とを相対的に加工送り方向に加工送りする加工送り手段と、環状のフレームにダイシングテープを介して支持されたウエーハを複数収容するカセットが載置されるカセット載置台と、該カセット載置台に載置されたカセットに収容されている環状のフレームにダイシングテープを介して支持されたウエーハを搬出して被加工物保持手段に搬送する搬送手段を具備している。
【０００４】
また、環状のフレームにダイシングテープを介して支持されたウエーハを複数収容するカセットは、所定の間隔をおいて平行に配設された第１の側壁および第２の側壁の内面にそれぞれ複数のフレーム支持溝が対向して設けられており、互いに対向するフレーム支持溝にダイシングテープを介してウエーハを支持する環状のフレームの両側部を挿入し、フレーム支持溝を形成する底面に環状のフレームの側部を載置することによりウエーハを収容する。このように構成されたカセットは、加工装置の稼働効率を考慮して環状のフレームにダイシングテープを介して支持されたウエーハを２５枚程度収容するように構成されている。（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−９１４１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
而して、少量多品種のウエーハを加工処理する場合でも２５枚程度収容できるカセットに数枚のウエーハを収容して切削装置やレーザー加工装置等の加工装置にセットしなければならず、カセットに無駄が生じて不必要に設置領域を占領するという問題がある。
また、品種の異なるウエーハであってもA工程においては同じ加工が施され、B工程においては他の品種のウエーハと同じ加工が施され、C工程においては品種ごとに異なる加工が施される場合であっても、品種ごとに少量多品種のウエーハがそれぞれカセットに収容されて各工程に搬送されるため、生産性が悪いという問題がある。
【０００７】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、少量の被加工物を品種ごとに組み合わせることができるカセットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、板状の被加工物を収容するためのカセットであって、
所定の間隔をおいて平行に配設され互いに対向する位置にそれぞれ複数の被加工物支持溝が設けられた第１の側板および第２の側板と、該第１の側板および該第２の側板の上端部を連結する天板と、該第１の側板および該第２の側板の下端部を連結する底板と、該第１の側板と該第２の側板と該天板と該底板の前端側に設けられ被加工物を出し入れするための出入開口と、を具備するカセットユニットからなり、
該カセットユニットは、互いに積み重ね可能に構成されるとともに積み重ねた状態で互いに固定する固定手段を備えている、
ことを特徴とするカセットが提供される。
【０００９】
上記第１の側板および第２の側板の上端には位置決め用凸部が設けられており、第１の側板および第２の側板の下端には位置決め用凸部と対応する位置決め用凹部が設けられている。
上記固定手段は、第１の側板および第２の側板の外側面下部に設けられた係止部材と、第１の側板および第２の側板の外側面上部に設けられカセットユニットが積み重ねられた状態で上側のカセットユニットを構成する第１の側板および第２の側板に設けられた係止部材と係合する係合部材とからなっている。
また、上記固定手段は、カセットユニットを構成する第１の側板および第２の側板の外側面の中央部に設けられた雌ネジと、雌ネジに螺合する雄ネジを備えた締め付け部材と、カセットユニットが積み重ねられた状態で第１の側板および第２の側板に設けられた雌ネジに螺合された締め付け部材の雄ネジと係合する複数の凹溝を有する連結ブラケットとからなっている。
更に、上記固定手段は、カセットユニットを構成する第１の側板および第２の側板の外側面下部に装着され雌ネジが形成されている雌ネジブロックと、第１の側板および第２の側板の外側面上部にカセットユニットを積み重ねた状態で上側のカセットユニットを構成する第１の側板および第２の側板に装着された雌ネジブロックと隣接する位置に装着され雌ネジブロックに形成された雌ネジと対応するボルト挿通穴を備えた連結ブロックと、連結ブロックに形成されたボルト挿通穴を挿通し雌ネジブロックに形成された雌ネジと螺合する締結ボルトとからなっている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によるカセットは、所定の間隔をおいて平行に配設され互いに対向する位置にそれぞれ複数の被加工物支持溝が設けられた第１の側板および第２の側板と、第１の側板および第２の側板の上端部を連結する天板と、第１の側板および第２の側板の下端部を連結する底板と、第１の側板と第２の側板と天板と底板の前端側に設けられ被加工物を出し入れするための出入開口とを具備するカセットユニットとからなり、カセットユニットは、互いに積み重ね可能に構成されるとともに積み重ねた状態で互いに固定する固定手段を備えているので、少量多品種のウエーハを加工処理する場合には、カセットユニットを使用することでカセットの無駄をなくし、不必要に領域を占領するという問題が解消する。また、品種の異なるウエーハであってもA工程においては同じ加工が施される場合はカセットユニットを複数個積み重ねるとともに固定手段によって互いに固定することにより一つのカセットとして加工処理を施し、B工程においてはカセットをバラして個々のカセットユニットに戻し同じ加工が施され他の品種のウエーハが収容されたカセットユニット２を積み重ねて固定手段によって互いに固定することにより一つのカセットとして加工処理を施し、C工程においては一つのカセットをバラして個々のカセットユニットに戻し品種ごとに異なる加工を施すことができるので、少量多品種のウエーハであってもカセットユニット２を積み重ねて固定手段によって互いに固定することにより一つのカセットとして各工程に移送して加工処理することが可能になり生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明による本発明によるカセットを構成するカセットユニットの斜視図。
【図２】図１に示すカセットユニットを２個重ねて一つのカセットを構成した状態を示す斜視図。
【図３】本発明によるカセットを構成する固定手段の構成部材を分解して示す斜視図。
【図４】図３に示す固定手段による固定状態を示す要部断面図。
【図５】本発明によるカセットを構成する固定手段の他の実施形態における構成部材を分解して示す斜視図。
【図６】図６に示す固定手段による固定状態を示す要部断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に従って構成されたカセットの好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
図１には、環状の支持フレームFに装着されたダイシングテープTに貼着された板状の被加工物としてのウエーハWを複数収容するための本発明に従って構成されたカセットを構成するためのカセットユニットの斜視図が示されている。図示の実施形態におけるカセットユニット２は、所定の間隔をおいて平行に配設された第１の側板２１および第２の側板２２と、該第１の側板２１および第２の側板２２の上端を連結する天板２３と、第１の側板２１および第２の側板２２の下端部を連結する底板２４とを具備している。このようにカセットユニットを構成する第１の側板２１と第２の側板２２と天板２３と底板２４の前端側には、板状の被加工物１０としての環状の支持フレームFに装着されたダイシングテープTに貼着されたウエーハWを出し入れするための出入開口２５が設けられている。なお、カセットユニット２を構成する第１の側板２１と第２の側板２２の内側面後端部には、板状の被加工物１０が後方から脱落するのを防止するためのストッパー２６、２７がそれぞれ取り付けられている。このように構成されたカセットユニット２は、図示の実施形態においてはアルミニウム合金によって形成されている。
【００１４】
カセットユニット２を構成する第１の側板２１と第２の側板２２は矩形状に形成され、その内面にはそれぞれ板状の被加工物１０の側部を収容するための前後方向に平行に延びる複数の被加工物支持溝２１１と２２１が対向して設けられている。この被加工物支持溝２１１および２２１は、図示の実施形態においてはそれぞれ５本ずつ棚状に設けられている。
【００１５】
上記第１の側板２１および第２の側板２２の上端を連結する天板２３は、間隔をおいて配設された２本の連結棒２３１および２３２と、該２本の連結棒２３１と２３２の下面を連結する連結板２３３とからなっており、両端が上記第１の側板２１および第２の側板２２の内側面に連結される。このように構成された天板２３には、カセットユニット２を搬送する際に把持することができる把持部材２８が装着されている。この把持部材２８は、クランク状に形成され、両端部が２本の連結棒２３１および２３２に軸支されている。従って、把持部材２８は折り畳み収納可能に構成される。
【００１６】
上記第１の側板２１および第２の側板２２の下端部を連結する底板２４は、上記第１の側板２１および第２の側板２２の前後方向中間部に帯状に形成されている。なお、底板２４は、連結棒で構成してもよい。
【００１７】
以上のように構成されたカセットユニット２は、互いに積み重ね可能に構成されている。即ち、カセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２は上端に位置決め用凸部としての位置決めピン２１２、２１２および２２２、２２２が設けられており、第１の側板２１および第２の側板２２は下端に位置決めピン２１２、２１２および２２２、２２２と対応する位置決め用凹部としての位置決め穴２１３および２２３（図１にはそれぞれ１個が示されている）が設けられている。従って、第１の側板２１および第２の側板２２は上端に設けられた位置決めピン２１２および２２２は、他のカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２の下端に設けられ位置決め穴２１３および２２３と嵌合することにより、カセットユニット２を所定の状態で積み重ねることができる。
【００１８】
図示の実施形態におけるカセットユニット２は、互いに積み重ねた状態で互いに固定するための固定手段３を具備している。この固定手段３は、第１の側板２１および第２の側板２２の外側面にそれぞれ設けられている。図１に示す実施形態における固定手段３は、第１の側板２１および第２の側板２２の外側面下部に設けられた係止部材３１と、第１の側板２１および第２の側板２２の外側面上部に設けられカセットユニット２が積み重ねられた状態で上側のカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２の外側面に設けられた係止部材３１と選択的に係合する係合部材３２とからなっている。係止部材３１は、断面がL字状の部材からなり、外方に突出する係止部３１１を備えている。
【００１９】
上記固定手段３を構成する係合部材３２は、上記係止部材３１の係止部３１１と係合する係合部３２１と、該係合部３２１の両端からそれぞれL字状に屈曲して形成された支持部３２２、３２２とからなっており、該支持部３２２、３２２が第１の側板２１および第２の側板２２の外側面上部に装着された取り付け部材３３の両端部に軸支されている。従って、係合部材３２は、支持部３２２、３２２を回動軸として回動可能となる。なお、図示の実施形態における固定手段３を構成する係合部材３２は、把持手段としても利用することができる。
【００２０】
図示の実施形態におけるカセットユニット２は以上のように構成されており、カセットユニット２を複数重ねて構成するカセットについて、図２を参照して説明する。
図２に示すカセット２０は、カセットユニット２を２個重ねた構成である。カセットユニット２を重ねる際には、下側のカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２の上端に設けられた位置決めピン２１２、２１２および２２２、２２２に上側に重ねるカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２の下端に設けられ位置決め穴２１３および２２３と嵌合する。そして、下側のカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２に設けられた固定手段３の係合部材３２を支持部３２２、３２２を回動軸として上方に回動し、係合部３２１を上側に重ねたカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２に設けられた係止部材３１の係止部３１１に係合することにより、互いに重ねられたカセットユニット２が互いに固定される。
【００２１】
以上のように構成されたカセット２０の下側のカセットユニット２と上側のカセットユニット２には、それぞれ種類の異なるウエーハWからなる被加工物１０が収容される。そして、上側のカセット２０の天板２３に装着された把持部材２８を持って重ねられたカセットユニット２を一体のカセット２０として搬送することができる。なお、カセットユニット２を５個重ねて一体のカセット２０を構成することにより、従来使用されているカセットと同程度の枚数のウエーハを収容することができる。
【００２２】
以上のように本発明においてはカセットユニット２を複数個積み重ねてカセット２０を構成するので、少量多品種のウエーハを加工処理する場合には、カセットユニット２を使用することでカセットの無駄をなくし、不必要に領域を占領するという問題が解消する。また、品種の異なるウエーハであってもA工程においては同じ加工が施される場合はカセットユニット２を複数個積み重ねるとともに固定手段３によって互いに固定することにより一つのカセット２０として加工処理を施し、B工程においてはカセット２０をバラして個々のカセットユニット２に戻し同じ加工が施され他の品種のウエーハが収容されたカセットユニット２を積み重ねて固定手段３によって互いに固定することにより一つのカセット２０として加工処理を施し、C工程においては一つのカセット２０をバラして個々のカセットユニット２に戻し品種ごとに異なる加工を施すことができるので、少量多品種のウエーハであってもカセットユニット２を積み重ねて固定手段３によって互いに固定することにより一つのカセット２０として各工程に移送して加工処理することが可能になり生産性が向上する。
【００２３】
次に、カセットユニット２を互いに積み重ねた状態で互いに固定するための固定手段の他の実施形態について、図３および図４を参照して説明する。
図３および図４に示す固定手段３は、カセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２の外側面の中央部に設けられた雌ネジ３４と、該雌ネジ３４に螺合する雄ネジを備えた締め付け部材３５と、カセットユニット２が積み重ねられた状態で第１の側板２１および第２の側板２２に設けられた雌ネジ３４に螺合された締め付け部材３５と係合する複数の凹溝３６１を有する連結ブラケット３６とからなっている。締め付け部材３５は、先端部に形成され上記雌ネジ３４に螺合する雄ネジ部３５１と、該雄ネジ部３５１に接続され雄ネジ部３５１より大径に形成された締め付け部３５２と、該締め付け部３５２に接続され締め付け部３５２より大径に形成されるとともに外周部がローレット加工された作動部３５３とからなっている。上記連結ブラケット３６は薄板材によって形成され、カセットユニット２が積み重ねられた状態で第１の側板２１および第２の側板２２に設けられた雌ネジ３４に螺合された締め付け部材３５と係合する複数の凹溝３６１を備えている。この凹溝３６１の幅は、上記締め付け部材３５を構成する雄ネジ部３５１の直径より僅かに大きい寸法に形成されている。なお、図示の実施形態における連結ブラケット３６は、上端部にカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２の上端部に係合するためのフック部３６２が折り曲げ形成されている。
【００２４】
図３および図４に示す固定手段３は以上のように構成されており、図４に示すようにカセットユニット２を積み重ねた状態で上側のカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２の上端部に連結ブラケット３６に形成されたフック部３６２を係合するとともに、第１の側板２１および第２の側板２２に設けられた雌ネジ３４に螺合された締め付け部材３５の雄ネジ部３５１に連結ブラケット３６に形成された凹溝３６１を係合せしめる。そして、締め付け部材３５の作動部３５３を雄ネジ部３５１の締め付け方向に回動することにより、連結ブラケット３６を締め付け部３５２と第１の側板２１および第２の側板２２の外側面とによって挟持固定する。この結果、積み重ねられたカセットユニット２は、一つのカセット２０に構成される。
【００２５】
次に、カセットユニット２を互いに積み重ねた状態で互いに固定するための固定手段の更に他の実施形態について、図５および図６を参照して説明する。
図５および図６に示す固定手段３は、カセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２の外側面下部に装着された雌ネジブロック３７と、第１の側板２１および第２の側板２２の外側面上部に装着された連結ブロック３８と、カセットユニット２を積み重ねた状態で上側のカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２に装着された雌ネジブロック３７と下側のカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２に装着された連結ブロック３８とを締結する締結ボルト３９とからなっている。雌ネジブロック３７は、第１の側板２１および第２の側板２２の前後方向に形成された雌ネジ３７１が設けられている。上記連結ブロック３８は、第１の側板２１および第２の側板２２の外側面上部におけるカセットユニット２を積み重ねた状態で上側のカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２に装着された雌ネジブロック３７と隣接する位置に装着され該雌ネジブロック３７に形成された雌ネジと対応する位置に第１の側板２１および第２の側板２２の前後方向に形成されたボルト挿通穴３８１が設けられている。従って、カセットユニット２を積み重ねた状態で図６に示すようにした下側のカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２に装着された連結ブロック３８のボルト挿通穴３８１に締結ボルト３９を挿通し、上側のカセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２に装着された雌ネジブロック３７の雌ネジ３７１に螺合することによって雌ネジブロック３７と連結ブロック３８が連結固定される。この結果、積み重ねられたカセットユニット２は、一つのカセット２０に構成される。
【符号の説明】
【００２６】
２：カセットユニット
２０：カセット
２１：第１の側板
２２：第２の側板
２３：天板
２４：底板
２５：出入開口
２６、２７：ストッパー
２８：把持部材
２１２、２２２：位置決めピン
２１３、２２３：位置決め穴
３：固定手段
３１：係止部材
３２：係合部材
３５：締め付け部材
３６：連結ブラケット
３７：雌ネジブロック
３８：連結ブロック
３９：締結ボルト
１０：被加工物
Ｆ：環状の支持フレーム
Ｔ：ダイシングテープ
Ｗ：ウエーハ
【図１】
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【図２】
2014157971.tif 000004
【図３】
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【図４】
2014157971.tif 000006
【図５】
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【図６】
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