(57)【要約】      （修正有）【課題】超電導コイルの昇温に要される時間を短縮することが可能な超電導磁石装置を提供する。【解決手段】超電導磁石装置１は、筒状の超電導コイル体４と、超電導コイル体４を収容する真空容器２と、超電導コイル体４の外周面４ａと真空容器２の内壁面２ａとの間に配置された断熱部材７と、断熱部材７を、超電導コイル体４の外周面４ａを覆う第１状態から、超電導コイル体４の外周面４ａの少なくとも一部を露出させる第２状態に切り替える切替部８と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の超電導コイルと、
前記超電導コイルを収容する真空容器と、
前記超電導コイルの外周面と前記真空容器の内壁面との間に配置された断熱部材と、
前記断熱部材を、前記超電導コイルの外周面を覆う第１状態から、前記超電導コイルの外周面の少なくとも一部を露出させる第２状態に切り替える切替部と、を備える、超電導磁石装置。
【請求項２】
前記第２状態の前記断熱部材は、その少なくとも一部がたたまれるように構成されている請求項１に記載の超電導磁石装置。
【請求項３】
前記切替部は、前記断熱部材を前記第１状態から前記第２状態に切り替える動作を行うための動作部を含み、
前記動作部は、前記真空容器の内部から外部に延在している請求項１又は２に記載の超電導磁石装置。
【請求項４】
前記切替部は、前記断熱部材の下端部を上方に移動させることにより前記第１状態から前記第２状態に切り替える、請求項１〜３の何れか一項に記載の超電導磁石装置。
【請求項５】
前記第１状態の前記断熱部材は、その上端部の位置が固定され、
前記切替部は、前記断熱部材の下端部に連結された紐状の連結部材を含む、請求項４に記載の超電導磁石装置。
【請求項６】
前記第１状態の前記断熱部材は、前記超電導コイルの周方向に沿う環状又は弧状の断熱シートを複数有し、
複数の前記断熱シートは、前記超電導コイルの軸方向に並んで互いに連結されている、請求項１〜５の何れか一項に記載の超電導磁石装置。
【請求項７】
前記第１状態の前記断熱部材は、前記超電導コイルの周方向に端部を有し、
前記切替部は、前記断熱部材の前記端部が前記周方向に移動するようにして、前記断熱部材を前記第１状態から前記第２状態に切り替える、請求項１〜３の何れか一項に記載の超電導磁石装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超電導磁石装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、超電導磁石装置として、例えば特許文献１に記載された装置が知られている。この超電導磁石装置では、真空容器内に配置された熱シールド内に超電導コイルが配置されており、これにより、常温側の真空容器の外部から熱が冷却状態の超電導コイルに伝わるのを抑制することが図られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２７４６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述したような超電導磁石装置では、真空容器内に配置された超電導コイルへの進入熱をさらに抑制するために、超電導コイルの周囲に断熱部材を設ける場合がある。しかし、この場合、例えば、超電導コイルの装置改造作業や装置導入作業等において冷却状態の超電導コイルを所定温度まで昇温する際、輻射による進入熱が断熱部材に妨げられるので、当該昇温に長い時間を要するおそれがあった。
【０００５】
そこで、本発明は、超電導コイルの昇温に要される時間を短縮することが可能な超電導磁石装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の超電導磁石装置は、筒状の超電導コイルと、超電導コイルを収容する真空容器と、超電導コイルの外周面と真空容器の内壁面との間に配置された断熱部材と、断熱部材を、超電導コイルの外周面を覆う第１状態から、超電導コイルの外周面の少なくとも一部を露出させる第２状態に切り替える切替部と、を備える。
【０００７】
この超電導磁石装置では、切替部により断熱部材の状態を第１状態から第２状態へ切り替えることができる。第１状態の断熱部材は、超電導コイルの外周面を覆っているため、輻射による超電導コイルへの熱の進入を抑制できる一方で、第２状態の断熱部材にあっては、超電導コイルの外周面の少なくとも一部を露出させるので、露出された部分において輻射による進入熱が妨げられることを抑制できる。従って、超電導コイルに好適に熱を進入させることが可能となり、その結果、超電導コイルの昇温に要される時間を短縮することができる。
【０００８】
また、第２状態の断熱部材は、その少なくとも一部がたたまれるように構成されている。この構成によれば、超電導コイルの外周面の少なくとも一部を露出させる第２状態の断熱部材を省スペースで実現でき、例えば真空容器内が狭い場合でも、超電導コイルの外周面を確実に露出させることができる。
【０００９】
また、切替部は、断熱部材を第１状態から第２状態に切り替える動作を行うための動作部を含み、動作部は、真空容器の内部から外部に延在している。この動作部によれば、真空容器を開放することなく断熱部材の状態を第１状態から第２状態に切り替えることができ、切替え作業を容易に実施できる。
【００１０】
また、切替部は、断熱部材の下端部を上方に移動させることにより第１状態から第２状態に切り替える。この場合、例えば、超電導コイルの外周面がその下端部から所定の高さまで露出されることになる。
【００１１】
また、第１状態の断熱部材は、その上端部の位置が固定され、切替部は、断熱部材の下端部に連結された紐状の連結部材を含む。このような切替部によれば、断熱部材の下端部を連結部材によって引っ張るように上方に移動させることができる。
【００１２】
また、第１状態の断熱部材は、超電導コイルの周方向に沿う環状又は弧状の断熱シートを複数有し、複数の断熱シートは、超電導コイルの軸方向に並んで互いに連結されている。これにより、断熱部材を複数の環状又は弧状の断熱シートで構成することができる。
【００１３】
また、第１状態の断熱部材は、超電導コイルの周方向に端部を有し、切替部は、断熱部材の端部が周方向に移動するようにして、第１状態から第２状態に切り替える。この場合、例えば、超電導コイルの外周面が周方向に開くように露出されることになる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、超電導コイルの昇温に要される時間を短縮することが可能な超電導磁石装置が提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１実施形態の超電導磁石装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】第１実施形態における第１状態の断熱部材の概略構成を示す斜視図である。
【図３】第１実施形態における第２状態の断熱部材の概略構成を示す斜視図である。
【図４】第２実施形態における第１状態の断熱部材の概略構成を示す斜視図である。
【図５】第２実施形態の切替部の概略構成を示す斜視図である。
【図６】第２実施形態における第２状態の断熱部材の概略構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１７】
＜第１実施形態＞
図１に示されるように、超電導磁石装置１は、高磁場を発生させるために用いられるものであり、円筒状の真空容器２と、真空容器２内に配置された円筒状の熱シールド３と、熱シールド３内に配置された超電導コイル体（超電導コイル）４と、超電導コイル体４の外周面を覆う断熱部材７と、断熱部材７の状態を切り替える切替部８と、を備えている。真空容器２は、真空下にて超電導コイル体４を収容するものであり、クライオスタットとも呼ばれる。真空容器２は、その中心部に、例えばアルミ製の筒体９を有している。
【００１８】
超電導コイル体４は、軸線Ｘを中心にして同心状に配置された４個の筒状の超電導コイル１１を備えている。超電導コイル１１は、例えばステンレス製の巻枠に巻線が巻回されて、この巻線がエポキシ樹脂等の接着剤により固化されることにより形成される。それぞれの超電導コイル１１は、径方向Ｒに重なるように配置されている。超電導コイル体４は、ＧＭ冷凍機１２により冷却されて超電導状態とされた超電導コイル１１に電流を流すことにより、強力な磁場を発生させる。
【００１９】
ここで、４個の超電導コイル１１は、互いに巻線の材質は同じであってもよいし、巻線の材質を異ならせてもよい。例えば、超電導コイル１１では、ニオブ酸スズからなる巻線を用いてもよいし、ニオブチタンからなる巻線を用いてもよい。
【００２０】
軸線Ｘ方向における超電導コイル１１の一方側（図１における上方側）には、熱伝導性のフランジ１３が取り付けられている。フランジ１３は、円盤状をなしており、例えば銅製である。フランジ１３は、最外周側の超電導コイル１１よりも大きい径を有しており、超電導コイル１１から径方向Ｒの外方に延出している。フランジ１３の延出部分には、伝熱板１４を介してＧＭ冷凍機１２の冷却ステージが接続されている。フランジ１３は、ＧＭ冷凍機１２によって冷却される。
【００２１】
フランジ１３と超電導コイル１１との間には、円環状のスペーサ１６が配置されている。スペーサ１６は、熱伝導性を有し、フランジ１３に対してボルト等により固定される。また、スペーサ１６は、超電導コイル１１の巻枠に対してそれぞれボルト等により固定される。
【００２２】
超電導コイル体４は、周方向の複数箇所において、複数の吊下部材１７によって真空容器２に対し吊り下げられている。超電導コイル体４の下部の側方には、周方向の複数箇所に規制部材１８が配置されている。規制部材１８は、径方向Ｒにおける超電導コイル体４の移動を規制する。
【００２３】
断熱部材７は、超電導コイル体４の外周面４ａへの輻射による熱の進入を抑制するものである。断熱部材７は、熱シールド３と超電導コイル体４との間において、超電導コイル体４に所定の隙間を有して巻き付けられるように配置されている。この断熱部材７は、その上端部がフランジ１３の延出部分に取り付けられていると共に、下方に垂れ下げられている。
【００２４】
この断熱部材７は、切替部８により第１状態と第２状態との間で切替え可能に構成されている。図２に示されるように、第１状態の断熱部材７は、冷却状態の超電導コイル体４への熱の進入を抑制するために、断熱部材７が超電導コイル体４に巻き付けられるようにして外周面４ａを覆っている状態である。例えば、超電導コイル体４を冷却して超電導磁石として使用しているときに、断熱部材７は第１状態とされる。
【００２５】
一方、図３に示されるように、第２状態の断熱部材７は、超電導コイル体４を所定温度まで昇温させるために、超電導コイル体４の外周面４ａの少なくとも一部を露出させた状態である。例えば、超電導磁石装置１について装置改造作業時や装置導入時におけるトラブル対処時に、断熱部材７は第２状態とされる。この第２状態の断熱部材７は、断熱部材７の下端部が上方に持ち上げられて、巻き取られるように構成されている。より詳細には、第２状態の断熱部材７は、その下端部が捲し上げられて、フランジ１３の近傍にてひだ状にたたまれるように構成されている。
【００２６】
図１に戻り、断熱部材７は、熱シールド３の内壁面３ｂと対面する側に配置された金属製シート７ａと、超電導コイル体４の外周面４ａと対面する側に配置された金属製シート７ｂと、金属製シート７ａ，７ｂに挟まれた樹脂積層体シート７ｃとを有する多層断熱材である。金属製シート７ａ，７ｂは、例えばアルミニウム製である。樹脂積層体シート７ｃは、例えばポリエチレン等の樹脂材料からなるシートが複数積層された構造を有する。これら複数のシート７ａ〜７ｃを有する断熱部材７は、可撓性及び柔軟性を備えた不定形状を有している。これにより、断熱部材７は、任意の形状に折りたたんだり、巻き取ったりすることが可能となっている。
【００２７】
図２に示されるように、この断熱部材７は、超電導コイル体４の周方向に沿って配置された４つの断熱シート１９，２１，２２，２３を有している。このように断熱部材７が複数の断熱シート１９，２１，２２，２３に分割されることにより、それぞれの断熱シート１９，２１，２２，２３を上方へ巻き取り易くすることができる。それぞれの断熱シート１９，２１，２２，２３には、断熱シート１９，２１，２２，２３を第１状態から第２状態へ切り替えるための切替部８が取り付けられている。各切替部８は、同様の構成を有するため、以下、断熱シート１９に取り付けられた切替部８の構成を例に説明をする。
【００２８】
切替部８は、断熱シート１９の状態を切り替えるための巻取ロッド（動作部）２４と、断熱シート１９に連結された紐状の糸（連結部材）２６とを有している。
【００２９】
巻取ロッド２４は棒状であり、その外周面には螺旋状の溝が形成されている。巻取ロッド２４は、真空容器２の蓋部と熱シールド３の上面部とを貫通するように配置されている（図１参照）。すなわち、巻取ロッド２４は、上下方向（軸線Ｘ方向）に延在し、その一端側が真空容器２内の熱シールド３内に配置され、他端側が真空容器２の外部に配置されている。この巻取ロッド２４は、フランジ１３の外縁部の上方において、フランジ１３の上面から離間して配置されている。
【００３０】
巻取ロッド２４の他端側には、巻付ロッド４１を回転させるための回転駆動部２７が設けられている。この巻取ロッド２４は、真空容器２に取り付けられた封止部２ｂに挿通されている。封止部２ｂによれば、巻取ロッド２４を真空容器２に対して回転可能であり且つ真空容器２内を気密に保つように取り付けることができる。
【００３１】
巻取ロッド２４には、糸２６の一端側が取り付けられている。詳細には、巻取ロッド２４の封止部２ｂには、２本の糸２６が巻取ロッド２４の溝にはめ込まれるように連結されている。一方の糸２６の他端側は、断熱シート１９の上側角部１９ａの近傍に設けられた引掛部（不図示）を経由して断熱シート１９の下側角部１９ｂまで延び、当該下側角部１９ｂに取り付けられている。また、他方の糸２６の他端側は、上側角部１９ｃと反対側の上側角部１９ｃの近傍に設けられた引掛部（不図示）を経由して、下側角部１９ｄまで延び、当該下側角部１９ｄに取り付けられている。
【００３２】
このような切替部８によれば、まず、断熱シート１９が第１状態であるとき、巻取ロッド２４を回転駆動部２７により一方向に回転させると、巻取ロッド２４の螺旋状の溝に沿って糸２６が巻き取られていく。糸２６が巻き取られると、糸２６の他端部が上方に持ち上げられるのに伴って断熱シート１９の下端も上方に捲り上げられて、超電導コイル体４の外周面４ａの下端部から所定の高さまで露出され、第２状態（図３参照）に切り替えられる。
【００３３】
これにより、超電導コイル体４の外周面４ａの露出部分において、断熱部材７に妨げられることなく、輻射により熱が超電導コイル体４へ進入される。ここでは、真空容器２の内壁面２ａから熱シールド３の外壁面３ａに輻射により熱が進入し、さらに、熱シールド３の内壁面３ｂから超電導コイル体４の露出部分に輻射により熱が進入することとなる。
【００３４】
ちなみに、断熱部材７が第２状態であるとき、回転駆動部２７により巻取ロッド２４を一方向の逆方向に回転させると、巻取ロッド２４に巻き取られた糸２６の巻取り状態が解放され、断熱部材７の下端部が下方に移動されて第１状態へ再び切り替えられる。
【００３５】
以上、本実施形態の超電導磁石装置１によれば、切替部８により断熱部材７の状態を第１状態から第２状態へ切り替えることができる。第１状態の断熱部材７は、超電導コイル体４の外周面４ａを覆っているため、超電導コイル体４への熱の進入を抑制できる一方で、第２状態の断熱部材７にあっては、超電導コイル体４の外周面４ａの少なくとも一部を露出させるので、露出された部分において輻射による進入熱が断熱部材７に妨げられることを抑制できる。これにより、例えば熱シールド３の内壁面３ｂと超電導コイル体４の外周面４ａとが直接対面する面積が増加し、輻射により超電導コイル体４に進入する熱が増加する。従って、超電導コイル体４を昇温させる場合に、超電導コイル体４に好適に熱を進入させることが可能となり、その結果、超電導コイル体４の昇温に要される時間を短縮することができる。
【００３６】
また、本実施形態では、上述したように、第２状態の断熱部材７がたたまれるように構成されている。この場合、第２状態の断熱部材７を省スペースで実現できるため、真空容器２内が狭い場合であっても超電導コイル体４の外周面４ａを確実に露出させることができる。
【００３７】
また、本実施形態の切替部８は、上述したように、真空容器２の内部から外部に延在している巻取ロッド２４を含んでいる。この巻取ロッド２４によれば、真空容器２を開放することなく断熱部材７の状態を第１状態から第２状態に切り替えることができ、切替え作業を容易に実施できる。
【００３８】
また、本実施形態では、上述したように、第１状態の断熱部材７の上端部がフランジ１３を介して超電導コイル体４に固定され、切替部８は、断熱部材７の下端部に連結された糸２６を含んでいる。このような本実施形態によれば、断熱部材７が第１状態であるとき、回転駆動部２７により巻取ロッド２４を回転させることにより、巻取ロッド２４で糸２６を巻き取って断熱部材７の下端部を引っ張るように上方に移動させることができる。
【００３９】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態の超電導磁石装置について説明する。なお、本実施形態の説明では、上記第１実施形態と異なる点について主に説明する。
【００４０】
図４に示されるように、第２実施形態の超電導磁石装置は、切替部８（図１参照）に代えて切替部３０を備えており、この切替部３０は、断熱部材３１を周方向Ｇに移動するようにして断熱部材３１を第１状態から第２状態に切り替える。
【００４１】
第１状態の断熱部材３１では、超電導コイル体４の外周面４ａを覆うように、超電導コイル体４に所定の隙間を有して巻き付けられている。この断熱部材３１は、展開時にて矩形状を有しており、その長辺の長さが超電導コイル体４の円周と略同等とされていると共に、その短辺（端部）３１ａ，３１ｂの長さが超電導コイル体４の軸線Ｘ方向の高さと略同等とされている。
【００４２】
図５に示されるように、切替部３０のフレーム３２は、フランジ１３の外側近傍において周方向Ｇに沿って延在する断面円形の部材である。フレーム３２は、その一部が切り取られ、平面視でＣ状の形状を有している。フレーム３２の下方には、周方向Ｇに沿って延在する断面円環状のチューブ３３が配置されている。チューブ３３は、連結片３４によりフレーム３２に対して連結されている。このチューブ３３は、その一部が切り取られ、フレーム３２と同様に平面視でＣ状の形状を有している。
【００４３】
巻取管３６は、一端が熱シールド３の内部に位置し、他端が真空容器２の外部に位置するように上下方向（軸線Ｘ方向）に延在している。巻取管３６は、フランジ１３の外側近傍に配置されている。巻取管３６は、中空のパイプ状をなし、その内部には、上下方向に延びた断面円形の巻取棒３７が配置されている。巻取棒３７の側面には、螺旋状の溝が形成されている。真空容器２の外部に位置する巻取管３６の他端には、回転駆動部（不図示）が設けられている。
【００４４】
この巻取棒３７には、糸３８の一端が取り付けられている。糸３８は、巻取管３６の下端部に設けられた穴３６ａを通り、チューブ３３の一端側３３ａからチューブ３３の中へ入り、チューブ３３の形状に沿ってチューブ３３の他端側３３ｂまで延びている。糸３８の他端には、断熱部材３１の端部３１ｂが取り付けられている。
【００４５】
また、断熱部材３１の端部３１ａ側には、軸線Ｘ方向に沿って延在し、当該端部３１ａの位置を固定するための断熱部材受け３９が配置されている。断熱部材受け３９は、例えば下端部が真空容器２の底面に固定されている。
【００４６】
このような切替部３０によれば、まず、断熱部材３１が第１状態（図４参照）であるとき、回転駆動部により巻取棒３７を回転させると、巻取棒３７に糸３８が巻き取られていく。これにより、糸３８の他端に取り付けられた断熱部材３１の端部３１ｂが周方向Ｇに沿って移動し、超電導コイル体４の外周面４ａが開くように露出される（図６参照）。
【００４７】
以上、第２実施形態の超電導磁石装置であっても、第１実施形態の超電導磁石装置１と同様に、切替部３０を用いて断熱部材３１を第１状態から第２状態へ切り替えることができる。これにより、例えば熱シールド３の内壁面３ｂと超電導コイル体４の外周面４ａとが直接に対面する面積が増加するため、輻射による超電導コイル体４への進入熱が増加する。従って、超電導コイル体４に熱を好適に進入させて、超電導コイル体４の昇温に要される時間を短縮することができる。
【００４８】
＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で変形し、又は他のものに適用したものであってもよい。
【００４９】
例えば、第１実施形態では、断熱部材７の下縁に沿って延在するフレーム部材を設け、このフレーム部材に糸２６が取り付けられていてもよい。このような構成によれば、フレーム部材を持ち上げることにより断熱部材７を確実に捲り上げることができる。また、フレーム部材の重量により断熱部材７が下方に引っ張られるので、巻取ロッド２４を逆方向に回転させることにより、断熱部材７の状態を第２状態から第１状態へ容易に切り替えることもできる。
【００５０】
また、第１状態の断熱部材７は、分割されていなくてもよく、円筒状に形成されたものであってもよい。このような断熱部材７によれば、断熱シート間の隙間が無くなるため、第１状態において外部からの進入熱をさらに好適に抑制できる。
【００５１】
なお、超電導磁石装置は、例えば、ＭＣＺ（磁場印加チョクラルスキー）法によるシリコン単結晶引き上げ装置、荷電粒子を加速して荷電粒子ビームを出力するサイクロトロン等に利用することができる。さらに、超電導磁石装置は、高磁場が求められる装置であれば、どのような装置にでも適用可能である。
【００５２】
また、第１状態の断熱部材は、超電導コイル体４の周方向に沿う環状又は弧状の断熱シートを複数有し、複数の断熱シートが超電導コイル体４の軸線Ｘ方向に並んで互いに連結されていてもよい。すなわち、断熱部材は、いわゆるブラインドと同様な構造を有し、帯状の断熱シートのそれぞれが軸線Ｘ方向に並設され互いに糸で連結されていてもよい。
【００５３】
この場合、断熱シートを連結する糸を巻取ロッド２４により巻き取ることにより、それぞれの断熱シートを重ねつつ上方に移動させ、超電導コイル体４の外周面４ａを露出させる第２状態へ切り替えてもよい。或いは、断熱シートの軸線Ｘ方向の位置は変えずに、超電導コイル体４の接線方向を回転中心として回転させて当該断熱シートを開くことにより、超電導コイル体４の外周面４ａを露出させる第２状態へ切り替えてもよい。
【００５４】
＜実施例＞
断熱部材７を第２状態へ切り替えた場合における超電導コイル体４に進入する熱量について、シミュレーションを実施して確認した。この実施例では、超電導コイル体４を昇温させる場合に、断熱部材７を第１状態にした場合と、断熱部材７を第２状態にした場合とにおける超電導コイル体４に進入する熱量を比較した。計算のモデルは、図１に示される超電導磁石装置１を用い、伝熱の計算には、公知の熱伝導及び熱輻射に関する式を用いた。
【００５５】
まず、断熱部材７が第１状態の場合において、例えば超電導コイル体４に進入する全熱量が７１Ｗであったとき、そのうち輻射による進入熱の熱量は４０Ｗであった。すなわち、超電導コイル体４に進入する全熱量に占める輻射による進入熱の比率は５７％であった。
【００５６】
次に、断熱部材７が第２状態の場合の熱量を計算した。この計算では、断熱部材７が第２状態であることの他は、上記断熱部材７が第１状態の場合の計算と同様の条件を用いた。その結果、全進入熱の全熱量は１７４Ｗに増加した。また、そのうち輻射による進入熱の熱量は１４４Ｗであった。すなわち、超電導コイル体４に進入する全熱量に占める輻射による進入熱の比率は８３％であった。
【００５７】
従って、断熱部材７を第２の状態にすることにより、超電導コイル体４への全進入熱を２．５倍に増加させ、輻射による進入熱を３．６倍に増加させ得ることがわかった。これにより、超電導コイル体４への進入熱を増加させる上記作用効果を確認することができた。
【符号の説明】
【００５８】
１…超電導磁石装置、２…真空容器、３…熱シールド、３ｂ…内壁面、４…超電導コイル体（超電導コイル）、４ａ…外周面、６…超電導磁石、７，３１…断熱部材、８，３０…切替部、１２…冷凍機、２４…巻取ロッド（動作部）、２６…糸（連結部材）、Ｇ…周方向、Ｒ…径方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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