(57)【要約】      （修正有）【課題】吐出流量をより増加させることのできる圧電ポンプを提供する。【解決手段】圧電ポンプは、圧電素子１１を備えたポンプ室１と、ポンプ室１に通じる流体吸込部２１および流体吐出部２２とを有し、流体吸込部２１および流体吐出部２２にはそれぞれ一方の端部が固定された弁３１および弁３２が設けられてなる圧電ポンプにおいて、弁３１および弁３２に切欠き３０が設けられていることを特徴とするものである。これにより、振動板の駆動周波数を上げたとしても弁の追従性がよく、吐出流量をより増加させることができるようになる。【選択図】図１
2014029123.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を備えたポンプ室と、該ポンプ室に通じる流体吸込部および流体吐出部とを有し、前記流体吸込部および前記流体吐出部にはそれぞれ一方の端部が固定された弁が設けられてなる圧電ポンプにおいて、前記弁に切欠きが設けられていることを特徴とする圧電ポンプ。
【請求項２】
前記切欠きは、固定された前記一方の端部に隣接する部位に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の圧電ポンプ。
【請求項３】
前記切欠きは上流側となる主面に設けられた溝であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧電ポンプ。
【請求項４】
前記切欠きは幅方向の両側から切り込まれた切込みであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧電ポンプ
【請求項５】
前記切欠きの先端が狭くなっていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちのいずれかに記載の圧電ポンプ。
【請求項６】
前記切欠きの幅の中心が先端に向かうにつれて固定された前記一方の端部に近づいていることを特徴とする請求項５に記載の圧電ポンプ。
【請求項７】
前記切欠きの先端が曲面になっていることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の圧電ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子の駆動により振動する振動板をダイヤフラムとして用いた圧電ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、圧電振動子（圧電素子）の駆動により流体の流量を制御して吐出することのできるダイヤフラム構造の圧電ポンプが知られている（例えば、特許文献１を参照）。この圧電ポンプは、流体の入口側（流体吸込部）と出口側（流体吐出部）に、流体の逆流を防ぐための弁が設けられている。また、弁の開閉は一般に毎秒５０回〜６０回（５０Ｈｚ〜６０Ｈｚ）で行われているが、さらに弁の開閉が速いものも求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−３０１１８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、圧電ポンプの吐出流量を増加させるために、振動板の駆動周波数（圧電素子の駆動周波数）を上げたとしても、弁の開閉が追従できずに十分な吐出流量の増加が見込めないおそれがあるという問題があった。
【０００５】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、吐出流量をより増加させることのできる圧電ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の圧電ポンプは、圧電素子を備えたポンプ室と、該ポンプ室に通じる流体吸込部および流体吐出部とを有し、前記流体吸込部および前記流体吐出部にはそれぞれ一方の端部が固定された弁が設けられてなる圧電ポンプにおいて、前記弁に切欠きが設けられていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の圧電ポンプによれば、弁に切欠きを設けることにより、切欠きが支点となって弁が大きく開閉するとともに、切欠きにより曲げ剛性が低くなって開閉速度も向上する。その結果、振動版の駆動周波数を上げても、弁の動きが追従できるため、吐出流量を増加させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（ａ）は本発明の圧電ポンプの実施の形態の一例を示す概略断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す弁（吸込弁）の実施の形態の一例を示す概略上面図、（ｃ）は（ｂ）に示す弁（吸込弁）の側面図である。
【図２】図１（ａ）に示す圧電ポンプの動作説明図であり、（ａ)は振動板が上側に凸となるように撓んだ状態を示し、（ｂ）は振動板が下側に凸となるように撓んだ状態を示している。
【図３】（ａ）は図１（ａ）に示す弁（吸込弁）の実施の形態の他の例を示す概略上面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す弁（吸込弁）の側面図である。
【図４】（ａ）は図１（ａ）に示す弁（吸込弁）の実施の形態の他の例を示す概略上面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す弁（吸込弁）の側面図である。
【図５】図１（ａ）に示す弁（吸込弁）の実施の形態の他の例を示す概略上面図である。
【図６】図１（ａ）に示す弁（吸込弁）の実施の形態の他の例を示す概略上面図である。
【図７】図１（ａ）に示す弁（吸込弁）の実施の形態の他の例を示す概略上面図である。
【図８】図１（ａ）に示す弁（吸込弁）の実施の形態の他の例を示す概略上面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の圧電ポンプの実施の形態の一例について図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】
図１（ａ）は本発明の圧電ポンプの実施の形態の一例を示す概略断面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）に示す弁３１（吸込弁）のポンプ室１側から見た一例を示す概略上面図である。図１に示す圧電ポンプは、圧電素子１１を備えたポンプ室１と、ポンプ室１に通じる流体吸込部２１および流体吐出部２２とを有し、流体吸込部２１および流体吐出部２２にはそれぞれ一方の端部が固定された弁３１および弁３２が設けられてなる圧電ポンプにおいて、弁３１（吸込弁）および弁３２（吐出弁）に切欠き３０が設けられている。
【００１１】
ポンプ室１は、圧電素子１１と振動板１２とから構成された、屈曲振動する圧電振動板１３を備えている。
【００１２】
圧電素子１１としては、圧電体を介して表面電極が互いに対向するように配置された構造のもの、圧電体と内部電極とが積層された構造のもの等が挙げられる。
【００１３】
また、ポンプ室１は屈曲可能な振動板１２を備えている。振動板１２は、ポンプ室１の内部空間を仕切るように配置されていて、仕切られた空間のうちの一方である流体通過空間１４を流体が通過するようになっていて、圧電素子１１がこの振動板１２の流体通過空間１４とは反対側の面上に固着されている。なお、振動板１２は、ＳＵＳ等の金属材料やアクリル等の樹脂材料を好適に用いて形成することができる。
【００１４】
図に示す例では、ポンプ室１は例えば第１の筐体６１と第２の筐体６２とを嵌め合わせることで形成された内部空間であり、振動板１２の周縁部が第１の筐体６１と第２の筐体６２とで挟持されることによって振動可能に固定されている。
【００１５】
また、本発明の圧電ポンプは、ポンプ室１に通じる流体吸込部２１および流体吐出部２２を有している。この流体吸込部２１および流体吐出部２２には、それぞれ流体の逆流を防止するように弁３１（吸込弁）、弁３２（吐出弁）が設けられている。
【００１６】
流体吸込部２１および流体吐出部２２には、流体を吸い込む吸込口４１と流体を吐出する吐出口４２とが設けられているとともに、吸込口４１および吐出口４２よりも流路の径が大きい弁収容室５１、５２が設けられていて、この弁収容室５１、５２に弁３１（吸込弁）、弁３２（吐出弁）が収容されている。
【００１７】
吸込口４１および吐出口４２としては、例えば開口部（流路の横断面）が円形の場合、例えば直径１ｍｍ〜３ｍｍのものを採用することができる。そして、吸込口４１および吐出口４２の直径が上記範囲の場合、弁３１、３２は、吸込口４１および吐出口４２の開口部を塞ぐことができるように、吸込口４１および吐出口４２の直径よりも大きく、例えば長さ３ｍｍ〜６ｍｍ、幅２ｍｍ〜５ｍｍ、厚み０．２ｍｍ〜０．５ｍｍのシート状または薄板状に形成されている。また、弁３１、３２は、ニトリルブタジエンゴム等のゴム、ポ
リエチレンテレフタレート等の樹脂、リン青銅等の金属が挙げられる。
【００１８】
なお、図に示す例では、第２の筐体６２と第３の筐体６３とを嵌め合わせることで、弁３１、３２のそれぞれの一方の端部（固定端部）が第２の筐体６２と第３の筐体６３とで挟持されることによって開閉可能に固定されている。そして、弁３１は弁収容室５１の上流側であって吸込口４１に通じる開口部に開閉可能に配置され、弁３２は弁収容室５２の上流側であってポンプ室１の流体通過空間１４に通じる開口部に開閉可能に配置されている。
【００１９】
圧電素子１１が駆動することによって、振動板１２が屈曲する。例えば、図２（ａ）に示すように、振動板１２が上側（流体通過空間１４とは反対側）に凸となるように撓むことで、上流側の弁３１が開くと同時に下流側の弁３２が閉じて、流体がポンプ室１の流体通過空間１４に吸引される。また、図２（ｂ）に示すように、振動板１２が下側（流体通過空間１４側）に凸となるように撓むことで、上流側の弁３１が閉じると同時に下流側の弁３２が開いて、流体がポンプ室１の流体通過空間１４から吐出される。この動作が繰り返されることによって、ポンプ機能を発現する。
【００２０】
ここで、流体の吐出流量を増加する手段として、単位時間当たりの振動板１２の撓む回数を増加させること、すなわち振動板の駆動周波数を向上させるという方法があるが、これに伴って、単位時間当たりの弁３１、３２の開閉回数を増加させること、すなわち弁の開閉速度を向上させる必要がある。
【００２１】
そこで、本発明の圧電ポンプにおいては、弁３１、３２に切欠き３０が設けられている。これにより、弁３１、３２の開き量とともに開閉速度を向上できるため、その結果として流体の吐出流量を増加させることができる。
【００２２】
なお、流体吸込部２１および流体吐出部２２の構成としては本例に示すものに限定されない。また、例えば弁３１がポンプ室１（流体通過空間１４）の入口の内側に設けられ、弁３２がポンプ室１（流体通過空間１４）の出口の内側に設けられた構成であってもよい。
【００２３】
以下、弁３１（吸込弁）の切欠き３０の実施形態の例について説明する。なお、弁３２（吐出弁）についての説明は省略するが、弁３２も弁３１と同様の構造である。
【００２４】
ここで、図１（ｂ）および図１（ｃ）の弁３１は、切欠き３０が弁３１の主面に設けられた溝であることを特徴としている。このように、切欠き３０の厚みが他の部位よりも薄くなることで、弁３１が曲がりやすくなるため、弁３１の開き量と開閉速度が向上する。
【００２５】
切欠き３０は弁３１のどの部位に設けられたとしても、切欠き３０を曲げの支点として開閉しやすくなる効果が得られるが、吸込口４１の開口部と弁３１の固定端部３１１との間にあるのが好ましく、特に図３に示すように、切欠き３０は弁３１における固定された一方の端部（固定端部３１１）に隣接する部位に設けられるのが好ましい。切欠き３０は、固定端部３１１に隣接する部位に設けられることで、固定と溝による曲げの支点を集中させて開き量を大きくするとともに、吸込口４１の開口部位置の弁３１とのずれによるねじれを生じにくくする。
【００２６】
また、この切欠き３０が溝である場合、溝は弁３１における一方の主面に設けられればよいが、図４に示すように、流体の流れ方向の上流側となる主面に設けられるのが好ましい。なお、図４において溝が破線で記載されているのは、上流側となる主面である下側の主面（ポンプ室１側から見て反対側の主面）に溝が設けられていることを示している。こ
れにより、切欠き３０がより開閉しやすくなる。
【００２７】
なお、切欠き３０である溝を下流側の主面に設けてもよく、これにより吸込口４１の開口部位置と切欠き３０との位置が重なった構造とすることもできる。また、切欠き３０である溝は両主面に設けられてもよい。
【００２８】
また、弁３１の他の例として、図５に示す例の弁３１は、弁３１の幅方向の両側から切り込まれた切込み（略同等に切り込まれた切込み）であることを特徴としており、この構成によれば、切欠き３０において弁の幅が狭くなることで弁３１が曲がりやすくなるため、弁３１の開閉速度を向上させることができる。また、吸込口４１の開口部位置のずれによるねじれが生じにくくなる。特に、図６に示すように、切欠き３０の先端が狭くなっていることで、弁３１の開閉速度をより向上させることができる。
【００２９】
また、図７に示すように、切欠き３０の幅の中心が先端に向かうにつれて固定された一方の端部（固定端部３１１）に近づいているのが好ましい。この構成によれば、支点を弁３１の固定端部３１１の根元にし、吸込口４１の開口部位置のずれによるねじれをさらに抑制できるとともに、弁の開閉速度をさらに向上させることができる。
【００３０】
また、図８に示すように、切欠きの先端を曲面にするのが好ましい。これにより、切欠き３０の先端への応力集中が緩和でき、弁３１の繰り返しの変形による強度低下を防止することができる。
【符号の説明】
【００３１】
１    ポンプ室
１１  圧電素子
１２  振動版
１３  圧電振動板
１４  流体通過空間
２１  流体吸入部
２２  流体吐出部
３１、３２  弁
３０  切欠き
４１  吸入孔
４２  吐出孔
５１、５２  弁収容室
６１  第１の筐体
６２  第２の筺体
６３  第３の筺体
【図１】
2014029123.tif 000003
【図２】
2014029123.tif 000004
【図３】
2014029123.tif 000005
【図４】
2014029123.tif 000006
【図５】
2014029123.tif 000007
【図６】
2014029123.tif 000008
【図７】
2014029123.tif 000009
【図８】
2014029123.tif 000010