(57)【要約】【課題】両側にソルダボールピックアップ部とフラックスドッティング部とが備えられたヘッドが回転しながら、基板上に未注入されるか消失されたソルダボールを追加で容易に注入することができる、ソルダボールリペア装置を提供する。【解決手段】ソルダボールリペア装置は、基板２００の上部において支持台に沿って水平移送されるヘッド移送部１１０と、ヘッド移送部１１０に設置され、回転軸１３０を通じて回転駆動され、回転軸１３０の回転時にヘッド移送部１１０からソルダボールをピックアップし、基板２００上のソルダボールの消失位置にソルダボールを注入するヘッド部１２０とを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上部において支持台に沿って水平移送されるヘッド移送部と、
前記ヘッド移送部に設置され、回転軸を通じて回転駆動され、前記回転軸の回転時に前記ヘッド移送部からソルダボールをピックアップし、前記基板上のソルダボールの消失位置に前記ソルダボールを注入するヘッド部と、
を含むソルダボールリペア装置。
【請求項２】
前記ヘッド移送部は、両側部にソルダボール格納部及びフラックス格納部が備えられる請求項１に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項３】
前記ヘッド部は、
カム軸及び円筒型のヘッドで構成された回転軸と、
前記ヘッドの両側部へ延設されたソルダボールピックアップ部及びフラックスドッティング部と、
前記ヘッドに装着され、前記基板の上面を撮影するカメラと、
を含む請求項２に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項４】
前記ヘッドは、前記カム軸を中心に左または右方向に９０°、１８０°または３６０°の角度に回転される請求項３に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項５】
前記ヘッド移送部は、前記カメラを通じて前記基板のパッド露出面が撮影されると停止信号を生成し、前記基板のパッド上に実装されたソルダボールが撮影されると移動信号を生成する制御部を、さらに含む請求項３に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項６】
前記ソルダボールピックアップ部及び前記フラックスドッティング部の延長端部は、前記ヘッド移送部の停止時、前記ソルダボール格納部及び前記フラックス格納部に接触されて水平状態で維持される請求項３に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項７】
前記フラックスドッティング部は、前記回転軸の時計方向の回転によって前記フラックス格納部に格納されたフラックスを前記基板のパッド上に塗布する請求項５に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項８】
前記ソルダボールピックアップ部は、前記回転軸の反時計方向の回転によって前記ソルダボール格納部に格納された前記ソルダボールを前記基板のパッド上に載置する請求項５に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項９】
前記ソルダボールピックアップ部は、
ケーシングと、
前記ケーシングの内部で弾性駆動されるプッシャーと、
前記プッシャーの内側端部に結合される一対の弾性部材と、
前記弾性部材を区分して圧搾する一対のプレートと、
を含む請求項３に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項１０】
前記ソルダボールピックアップ部は、
前記ケーシングの内部に設置された前記プッシャーの周囲へエアが噴射、吹込され、前記ケーシングが設置された前記ヘッドの外部または内部にモータが設置され、該モータの駆動によって前記ケーシングの内部ヘエアを供給するか、前記ケーシングの内部からエアが排出されるようにした請求項９に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項１１】
前記ソルダボールピックアップ部は、前記一対のプレートのうちの第１のプレートが前記カム軸の突出部に接触しながら第２のプレートと接する第２の弾性部材が圧縮状態で維持され、前記第１のプレートと前記第２のプレートとの間に介在された第１の弾性部材が非圧縮状態で維持される請求項９に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項１２】
前記一対のプレートは、前記第２の弾性部材に比べて第１の弾性部材の剛性がより高い請求項１１に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項１３】
前記ソルダボール格納部は、前記ヘッド移送部の一側の下部に備えられ、内側面にソルダボールの排出される排出孔が形成される請求項２に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項１４】
前記ソルダボール格納部は、その下面、両側面及び上面のうちのいずれか一つが複数のエア流入孔が設けられる多孔面で構成される請求項１３に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項１５】
前記フラックス格納部は、前記ヘッド移送部の他側の下部に設けられ、内側面に前記フラックスドッティング部の端部が経由するドッティング溝が形成される請求項３に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項１６】
前記ドッティング溝は、多孔性付き溝部または液体吸収材質で構成される請求項１５に記載のソルダボールリペア装置。
【請求項１７】
前記ヘッド部は、前記ヘッド移送部の下部に設置され、前記ヘッド部に設置された前記カメラは、前記ヘッドの直下部に設置される請求項３に記載のソルダボールリペア装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ソルダボールリペア装置に関し、特に、ヘッドの回転によって消失されたソルダボールを追加で注入することができる、ソルダボールリペア装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、電子製品の製作において、電子部品の実装方式として、基板上にソルダバンプを形成し、その上にＩＣ、チップなどの電子部品を電気的に接続するフリップチップ（ｆｌｉｐ  ｃｈｉｐ）方式の部品実装方式が主に採用されている。
【０００３】
特に、大容量のデータを高速に演算するＣＰＵ及びグラフィクス用演算処理部品の場合、既存のワイヤーボンディング方式で基板と電子部品とをソルダバンプを用いて直接接続させ、接続抵抗を改善したフリップチップ接続方式が急激に増加している状況である。
【０００４】
このように、ＣＰＵなどの電子部品と基板とを直接電気的に接続すためのソルダバンプは、基板上にソルダペーストをマスクなどを用いて印刷してリフロー工程で形成する方式、ソルダボールを基板に実装して形成する方式、または溶融されたソルダペーストを基板に直接塗布するかマスクを用いてその露出された空間に注入してリフロー工程で形成する方式によって製作される。基板上に突設されたソルダバンプは、ＣＰＵなどの電子部品の下面に形成されたパッドと接続されることによって、電気的な接続を成すようになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第６,９１１,３８８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一方、前述の方式のうち、ソルダボールを基板または該基板上に装着されたマスクの開口部内に注入する方式によってソルダバンプを形成する時、ソルダボールが基板上に注入されないことが頻発する。ソルダボールが注入されない状態で、リフロー工程によってソルダバンプを形成する場合は、ソルダバンプが消失した状態で基板が製作されるしかないという不都合がある。
【０００７】
そのため、自動でソルダボールを追加で注入可能な装置が開発されているが、その効率性が低下され、正確な位置を探してソルダボールを追加で注入することが難しい場合がある。
【０００８】
本発明は上記の問題点に鑑みて成されたものであって、両側にソルダボールピックアップ部とフラックスドッティング部とが備えられたヘッドが回転しながら、基板上に未注入されるか消失されたソルタボールを追加で容易に注入することができる、ソルダボールリペア装置を提供することに、その目的がある。
【０００９】
また、本発明の他の目的は、ヘッドの下部にカメラを設置して、バンプ形成位置に正確にソルダボールを追加で注入すると共にフラックスが塗布されるようにした、ソルダボールリペア装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を解決するために、本発明の一形態によれば、基板の上部において支持台に沿って水平移送されるヘッド移送部と、前記ヘッド移送部の下部に設置され、回転軸を通じて回転駆動され、前記回転軸の回転時に前記ヘッド移送部からソルダボールをピックアップし、前記基板上のソルダボール消失位置に前記ソルダボールを注入するヘッド部と、を含むソルダボールリペア装置が提供される。
【００１１】
一実施形態によれば、前記ヘッド移送部は、両側部にソルダボール格納部とフラックス格納部とが備えられ、前記ヘッド部は、カム軸及び円筒型のヘッドで構成された回転軸と、前記ヘッドの両側部で延設されたソルダボールピックアップ部及びフラックスドッティング部と、前記ヘッドの下部に付着されたカメラと、をさらに含む。
【００１２】
一実施形態によれば、前記ヘッド移送部は、前記カメラによって前記基板のパッド露出面が撮影されると停止信号を生成し、前記基板のパッド上に実装されたソルダボールが撮影されると移動信号を生成する制御部をさらに含む。
【００１３】
また、一実施形態によれば、前記ソルダボールピックアップ部及びフラックスドッティング部の延長端部は、前記ヘッド移送部の停止時、前記ソルダボール格納部及びフラックス格納部に接触されて水平状態で維持される。この場合、フラックスドッティング部は、前記回転軸の時計方向の回転によって前記フラックス格納部に格納されたフラックスが前記基板のパッド上に塗布され、前記ソルダボールピックアップ部は、前記回転軸の反時計方向の回転によって前記ソルダボール格納部に格納された前記ソルダボールを前記基板のパッド上に載置する。
【００１４】
また、一実施形態によれば、前記ソルダボールピックアップ部は、ケーシングと、前記ケーシングの内部で弾性駆動されるプッシャー（ｐｕｓｈｅｒ）と、前記プッシャーの内側端部に結合される一対の弾性部材と、前記弾性部材を区分して圧搾する一対のプレートとを含む。
【００１５】
また、一実施形態によれば、前記ソルタボールピックアップ部は、前記ケーシングの内部に設置された前記プッシャーの周囲へエアが噴射、吹込(吸入)され、前記ケーシングの設置された前記ヘッドの外部または内部にモータが設置され、該モータの駆動によって前記ケーシングの内部へエアを供給するか、前記ケーシングの内部からエアが排出されるようにする。
【００１６】
また、一実施形態によれば、前記ソルダボールピックアップ部は、前記一対のプレートのうちの第１のプレートが前記カム軸の突出部に接触されながら第２のプレートと接する第２の弾性部材が圧縮状態で維持され、前記第１のプレートと前記第２のプレートとの間に介在された第１の弾性部材が非圧縮状態で維持される。この場合、前記一対のプレートは、前記第２の弾性部材に比べて第１の弾性部材の剛性がより高く構成されることが望ましい。
【発明の効果】
【００１７】
前述のように、本発明のソルダボールリペア装置によれば、基板にソルダバンプを形成するためのソルダボール注入の際において、基板上で消失されたソルダボールを容易に追加で注入することによって、ソルダボールが充填されない基板不良を防止することができるという効果が奏する。
【００１８】
また、本発明によれば、ソルダボールリペア装置の一方向への移動時、基板上で未充填されたソルダボールを捜し、ヘッド移送部内で回転されるヘッド部の回転によって、プラックスの塗布とソルダボールの充填とが順次に行われることによって、ソルダボールリペア時間を縮めることができるという長所がある。
【００１９】
また、本発明のソルダボールリペア装置によれば、ソルダボールピックアップ部に二重のプレートと弾性部材とが設置され、プッシャーの端部に結合されたソルダボールからプッシャーに加えられる外部衝撃を一対の弾性部材によって緩衝することによって、プッシャーの損傷や捻りを防止することができるという効果が奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明によるバンプ形成装置の全体的な構成図である。
【図２ａ】本発明によるソルダボールリペア装置の動作構成図である。
【図２ｂ】本発明によるソルダボールリペア装置の動作構成図である。
【図２ｃ】本発明によるソルダボールリペア装置の動作構成図である。
【図３】本発明によるソルダボールリペア装置の断面図である。
【図４ａ】本発明によるソルダボールリペア装置のフラックスドッティング時の断面図である。
【図４ｂ】本発明によるソルダボールリペア装置のフラックスドッティング時の断面図である。
【図５ａ】本発明によるソルダボールリペア装置のソルダボール注入時の断面図である。
【図５ｂ】本発明によるソルダボールリペア装置のソルダボール注入時の断面図である。
【図６】本発明の実施形態によるソルダボールリペア装置に採用されるソルダボールピックアップ部の断面図である。
【図７ａ】本発明の実施形態によるソルダボールリペア装置に採用されるソルダボールピックアップ部の動作状態図である。
【図７ｂ】本発明の実施形態によるソルダボールリペア装置に採用されるソルダボールピックアップ部の動作状態図である。
【図７ｃ】本発明の実施形態によるソルダボールリペア装置に採用されるソルダボールピックアップ部の動作状態図である。
【図７ｄ】本発明の実施形態によるソルダボールリペア装置に採用されるソルダボールピックアップ部の動作状態図である。
【図８ａ】本発明の実施形態によるヘッド部に設置されたソルダボールピックアップ部及びフラックスドッティング部によるソルダボール及びフラックスを取得する動作を示す模式図である。
【図８ｂ】本発明の実施形態によるヘッド部に設置されたソルダボールピックアップ部及びフラックスドッティング部によるソルダボール及びフラックスを取得する動作を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の好適な実施の形態は図面を参考にして詳細に説明する。次に示される各実施の形態は当業者にとって本発明の思想が十分に伝達されることができるようにするために例として挙げられるものである。従って、本発明は以下示している各実施の形態に限定されることなく他の形態で具体化されることができる。そして、図面において、装置の大きさ及び厚さなどは便宜上誇張して表現されることができる。明細書全体に渡って同一の参照符号は同一の構成要素を示している。
【００２２】
本明細書で使われた用語は、実施形態を説明するためのものであって、本発明を制限しようとするものではない。本明細書において、単数形は文句で特別に言及しない限り複数形も含む。明細書で使われる「含む」とは、言及された構成要素、ステップ、動作及び／又は素子は、一つ以上の他の構成要素、ステップ、動作及び／又は素子の存在または追加を排除しないことに理解されたい。
【００２３】
まず、図１は、本発明によるバンプ形成装置の全体的な構成図である。
【００２４】
図１に示すように、本発明によるソルダボールリペア装置１００は、基板２００上で水平移送するヘッド移送部１１０と、ヘッド移送部１１０内に回転自在に結合されるヘッド部１２０とで構成される。
【００２５】
ヘッド移送部１１０は、基板２００の上部に設置された支持台３００に沿って水平移送される。支持台３００には、レールなどの移動部材が設けられ、前記ヘッド移送部１１０が支持台３００のレールに沿って左右に移動する。前記ヘッド移送部１１０の両側にソルダボール格納部１１１とフラックス格納部１１５とが設けられ、各々ソルダボールドル及びフラックスが格納される。
【００２６】
前記ヘッド部１２０は、ヘッド移送部１１０内で回転軸１３０を中心に回転し、回転軸１３０と、回転軸１３０両側部へ延設されたソルダボールピックアップ部１４０及びフラックスドッティング部１５０と、回転軸１３０の下部に付着されたカメラ１６０とで構成される。前記回転軸１３０は、円形ヘッド１３１及びカム軸１３２で構成され、カム軸１３２を中心にヘッド１３１が回転する。
【００２７】
前記ヘッド部１２０は、ヘッド移送部１１０と一体に支持台３００上で移送される。ヘッド移送部１２０を通じる移送と同時にヘッド移送部１１０内で回転が共に行われる。ヘッド部１２０内のヘッド１３１は、左または右方向に９０°、１８０°または３６０°の角度に回転される。
【００２８】
また、ヘッド部１２０に装着されたカメラ１６０は、下部に配置される基板２００の上面を撮影する。カメラ１６０は、ヘッド部１２０の移動によって基板２００の上部を左右に移送しながら基板２００の上面が撮影される。
【００２９】
また、前記基板２００の上面には、一定な間隔をおいてソルダボール２１０が実装されている。これらのソルダボール２１０は、基板２００の上面に実装された状態でリフロー工程によって該当位置でソルダバンプとして形成され、基板２００の上部に載置される電子部品のパッドと電気的に接続される。
【００３０】
複数のソルダボール２１０は、前述のような多様な方式によって基板上に実装される。そのうち、主に基板上にマスクを配置するかソルダレジストに形成された開口部を通じてソルダボールが注入される方式が用いられる。
【００３１】
また、ソルダボールの実装に続いて、リフロー工程によって均一な間隔でソルダバンプを形成するためには、基板上にソルダボールが消失することがなしに注入されなければならないが、ソルダボールの注入時に一部のソルダボールが消失する場合が発生し、ソルダボールの消失された基板がリフロー工程後に不良となることがある。
【００３２】
そのため、本発明によるソルダボールリペア装置１００は、ソルダボール注入可否を検査すると共に該消失位置にソルダボール２１０を追加で注入する。
【００３３】
このように、前記基板２００にソルダボール２１０を追加で注入するための本発明のソルダリペア装置の動作構造について、図１及び図２ａ〜図２ｃを参照して詳記する。
【００３４】
図２ａ〜図２ｃは、本発明によるソルダボールリペア装置の動作構成図である。まず、基板２００上にソルダボール２１０を注入し、リフロー工程を経る前にソルダボールリペア装置１００の下部に配置し、ソルダボールリペア装置１００を用いて基板２００上でソルダボール２１０が消失されるか不良のソルダボールがあるかどうかを検査する。
【００３５】
前記ソルダボールリペア装置１００は、基板２００の上部で左右にスライディングしながらソルダボールの消失位置を探す。ヘッド１３１の下部に設置されたカメラ１６０によってソルダボール２１０の消失位置を検査する。ソルダボールの消失位置が確認されると、支持台３００に沿って移送するヘッド移送部１１０が止め、ヘッド移送部１１０内でヘッド部１２０が回転しながら消失位置にソルダボール２１０を注入することになる。
【００３６】
ヘッド移送部１１０内に設置されたヘッド部１２０は、回転軸１３０を構成するヘッド１３１が回転しながらヘッド１３１の両側に備えられるソルダボールピックアップ部１４０及びフラックスドッティング部１５０を用いて、ソルダボールの消失位置にフラックス及びソルダボール２１０を追加で注入する。
【００３７】
詳しくは、ヘッド移送部１１０内でヘッド部１２０に備えられたヘッド１３１が左右方向に各々回転されながらフラックスドッティング部１５０を通じて基板２００の上面にフラックスを塗布し、ソルダボールピックアップ部１４０を通じてフラックスが塗布された基板上にソルダボール２１０を追加で注入する。
【００３８】
このように、ソルダボール２１０が消失した位置にソルダボールのリペアが完了されると、ヘッド移送部１１０が再度一方向に移動しながら（図２ｃ参照）、ヘッド部１２０に備えられたカメラ１６０を通じて他のソルダボールの消失位置を検査する。また、ソルダボールの消失位置が検査されると、該当位置でヘッド移送部１１０が止められ、前述のように、ヘッド部１２０の回転駆動によるソルダボールのリペア過程が繰り返して行われる。また、不良のソルダボールが基板上に注入された場合、ヘッド部１２０の回転駆動によって不良ソルダボールを除去した後、該不良ソルダボールの除去された位置に良品のソルダボールを追加で注入する。
【００３９】
以下、図３〜図５ｂを参照して、前記ソルダボールリペア装置を用いるソルダボールのリペア方法について詳記する。
【００４０】
図３は、本発明によるソルダボールリペア装置の断面図で、図４ａおよび図４ｂは、本発明によるソルダボールリペア装置のフラックスドッティング時の断面図で、図５ａおよび図５ｂは、本発明によるソルダボールリペア装置のソルダボール注入時の断面図である。
【００４１】
図３、図５ａおよび図５ｂに示すように、基板２００にはパッド２０１が形成され、パッド２０１上にパッド２０１の中央部が露出するようにソルダレジスト（ＳＲ）２０２が設けられる。パッド２０１の露出部位にソルダボール２１０が注入される。また、ソルダボール２１０が注入された基板２００は、ソルダボールリペア装置１００の下部に配置され、ソルダボールリペア装置１００を用いて基板２００上でソルダボールの消失位置が検査される。
【００４２】
図３は、基板上でソルダボール消失位置が検査された状態で、ソルダボールリペア装置が止められた状態での断面図である。同図のように、ソルダボールリペア装置１００は、ヘッド移送部１１０内で回転駆動されるヘッド部１２０に設けられるカメラ１６０によって基板２００の上面が撮影されることによって、ソルダボール２１０の消失位置を探すことができる。
【００４３】
カメラ１６０によって、ソルダボールではない、基板２００のソルダレジスト２０２間から露出したパッド２０１の面が撮影されると、支持台３００に沿って水平移送されるヘッド移送部１１０が該当位置の上部で停止される。ヘッド移送部１１０の移動及び停止は、カメラ１６０によって撮影された映像からパッド２０１の露出面が撮影されると停止信号を生成し、ソルダボール２１０が撮影されると移動信号を生成する制御部（図示せず）によって行われる。
【００４４】
一方、図３に示すように、ヘッド移送部１１０が基板２００の上面で停止されると、ヘッド部１２０のヘッド１３１の両側へ延長されたソルダボールピックアップ部１４０及びフラックスドッティング部１５０が水平状態で維持され、ヘッド１３１の下部にカメラ１６０が位するようになる。前記ソルダボールピックアップ部１４０及びフラックスドッティング部１５０の延長端部は、各々ヘッド移送部１１０の両側に設けられるソルダボール格納部１１１及びフラックス格納部１１２に接触された状態で維持される。
【００４５】
続いて、図４ａおよび図４ｂに示すように、基板２００の上面に露出したパッド２０１上にまずフラックスを塗布するために、フラックスドッティング部１５０がヘッド１３１の回転によって基板２００の上面側に回転駆動される。フラックスドッティング部１５０の延長端部には、フラックス格納部１１２と接触されながら一定量のフラックスが吹込または吸収され、ヘッド１３１の回転によってフラックスドッティング部１５０の延長端部が基板２００のパッド２０１の上面に回転され、フラックスドッティング部１５０の延長端部についているフラックスがパッド２０１の上面に塗布される。ヘッド１３１は、時計方向に回転し、フラックスドッティング部１５０がパッド２０１の上部に回転するようにするが、フラックスドッティング部１５０がパッド２０１上に位するための回転方向は、時計方向に限定するものではない。
【００４６】
また、基板２００のパッド２０１上にフラックス塗布が完了すれば、図５ａおよび図５ｂに示すように、基板２００のパッド２０１上にソルダボール２１０を塗布するために、ソルダボールピックアップ部１４０がヘッド１３１の回転によって基板２００の上面側へ回転駆動される。ソルダボールピックアップ部１４０の延長端部には、ソルダボール格納部１１１に格納されたソルダボール２１０が吹込み圧力によって付着され、ヘッド１３１の回転によってソルダボール２１０が付着されたソルダボールピックアップ部１４０が基板２００のパッド２０１の上面に回転し、ソルダボールピックアップ部１４０に付着されたソルダボール２１０がパッド２０１の上面に注入されることができるようにする。ヘッド１３１は、反時計方向に回転し、ソルダボールピックアップ部１４０がパッド２０１の上部に回転されるようにするが、これに限定するものではない。
【００４７】
このように、基板２００の上部で回転されるヘッド部１２０は、両側へ延長されたソルダボールピックアップ部１４０及びフラックスドッティング部１５０が各々反対方向（時計方向または反時計方向）に９０°ずつ回転し、フラックス及びソルダボールが追加で注入されることによって基板２００のソルダボール消失位置にソルダボールリペア工程が完了される。リペア工程を完了したソルダボールリペア装置１００は、図３に示す状態で、基板上で水平移送されて次のソルダボール消失位置をカメラ１６０を用いて把握する。
【００４８】
以下、本発明の実施形態によるソルダボールリペア装置１００のヘッド部１２０の構成部材であるソルダボールピックアップ部１４０の構造と動作関係について詳記する。図６は、本発明の実施形態によるソルダボールリペア装置に採用されるソルダボールピックアップ部の断面図で、図７ａ〜図７ｄは、本発明の実施形態によるソルダボールリペア装置に採用されるソルダボールピックアップ部の動作状態図である。
【００４９】
同図のように、本発明の実施形態によるソルダボールリペア装置１００のヘッド部１２０に採用されるソルダボールピックアップ部１４０は、ケーシング１４１と、ケーシング１４１の内部で弾性駆動されるプッシャー１４２と、プッシャー１４２の内側端部に結合される一対の弾性部材１４３と、前記弾性部材１４３を区分して圧搾する一対のプレート１４４とで構成される。
【００５０】
前記弾性部材１４３は、一対のプレート１４３のうち、ケーシング１４１の内側に位したプレート１４４と接するカム軸１３２によって圧着及び解け（引張）が繰り返される。
【００５１】
また、ソルダボールピックアップ部１４０は、ケーシング１４１の内部に設置されたプッシャー１４２の周囲へエアが噴射、吹込されるようにし、ケーシング１４１が設置されたヘッド１３２の外部または内部にモータ（図示せず）が設置され、該モータの駆動によってケーシング１４１の内部へエアを供給するか、ケーシング１４１の内部からエアが排出されるようにできる。
【００５２】
これによって、ソルダボールピックアップ部１４０は、カム軸１３２に結合されたヘッド１３２に沿って回転しながら、ケーシング１４１の内部に対するエアの供給及び排出が繰返して行われることによって、ソルダボール２１０のピックアップ及び基板上への注入が行われる。
【００５３】
詳しくは、図７ａ〜図７ｄに示すように、ヘッド部１２０のソルダボールピックアップ部１４０は、ソルダボールをソルダボール格納部からピックアップするための水平状態（図７ａ）で回転（図７ｂ）しながらピックアップされたソルダボールを、基板のパッド上に載置させるための垂直状態（図７ｃ）に転換される。
【００５４】
図７ａのソルダボールピックアップ部１４０水平状態で、ケーシング１４１の内側に設置された第１のプレート１４４ａがカム軸１３２の外周面に接し、一対の弾性部材１４３間に設置された第２のプレート１４４ｂに結合されたプッシャー１４２の外側へエアが排出されてケーシング１４１の内部が真空状にで維持される。これによって、ソルダボールピックアップ部１４０の端部にソルダボール２１０のピックアップが行われる。
【００５５】
ソルダボールピックアップ部１４０によるソルダボール２１０のピックアップは、ヘッド移送部１１０のソルダボール格納部１１１に格納されているソルダボールがエアの吹込みによって吸着される。
【００５６】
また、図７ｂのソルダボールピックアップ部１４０の回転状態では、ソルダボールピックアップ部１４０内の第１のプレート１４４ａがカム軸の外周面に沿って接しながら反時計方向に回転し、図７ｃのソルダボールピックアップ部１４０の垂直状態では、ソルダボールピックアップ部１４０内の第１のプレート１４４ａがカム軸１３２の突出部１３２ａに接触されながら弾性部材１４３が弾性的に流動するようになる。弾性部材１４３の流動によって第２のプレート１４４ｂに結合されたプッシャー１４２がソルダボールピックアップ部１４０の前方に突出され、ソルダボール２１０が基板２００のパッド２０１の露出位置に載置されるようにする。
【００５７】
この場合、前記ケーシング１４１内のプッシャー１４２の外側へエアが噴射されることによって、ケーシング１４１の端部に付着されているソルダボール２１０の分離が容易に行われる。
【００５８】
図７ｄは、図７ｃと同様に、ソルダボールピックアップ部１４０が垂直な状態で、基板２００の高さ偏差が発生した場合の弾性部材１４３の圧縮関係を説明するための図面である。
【００５９】
図７ｃ及び図７ｄに示すように、ソルダボールピックアップ部１４０が垂直な状態で、基板２００のパッド２０１上にソルダボール２１０を載置させようとする時には、第２のプレート１４４ｂと接する第２の弾性部材１４３ｂが圧縮状態で維持され、第１のプレート１４４ａと第２のプレート１４４ｂとの間に介在された第１の弾性部材１４３ａが圧縮されない状態、すなわち解け状態で維持される。
【００６０】
しかし、図７ｄに示すように、基板２００の設置高さに偏差が発生する場合、すなわちソルダボールピックアップ部１４０と基板２００上面との間の距離が設計値より近い場合、ソルダボール２１０が基板２００のパッド２０１上に載置される時、ソルダボール２１０を把持したプッシャー１４２の端部に衝撃が加えられることがある。プッシャー１４２の端部に加えられる衝撃は、第１の弾性部材１４３ａの圧縮によって吸収されるようにできる。
【００６１】
図７ｃのように、通常の設計位置に、ソルダボールピックアップ部１４０と基板２００との間の距離が維持される場合は、第１の弾性部材１４３ａの変形なしに第２の弾性部材１４３ｂのみが弾性的に駆動される。設計位置を脱してソルダボールピックアップ部１４０と基板２００との間の距離が短くなった場合、衝撃が発生する時、第２の弾性部材１４３ｂの変形に加えて、第１の弾性部材１４３ａも変形され、プッシャー１４２に加えられる衝撃量が第１の弾性部材１４３ａによって吸収されることによって、フクシア１４２の捻りや損傷を防止することができる。
【００６２】
したがって、前記ソルダボールピックアップ部１４０内に設置された一対の弾性部材のうちの第２の弾性部材１４３ｂに比べて、第１の弾性部材１４３ａの剛性がより高く設けられるようにすることによって、プッシャーに加えられる最終衝撃量が第１の弾性部材１４３ａによって吸収されるようになる。
【００６３】
図８ａおよび図８ｂは、本発明の実施形態によるヘッド部に設置されたソルダボールピックアップ部及びフラックスドッティング部がソルダボール及びフラックスを各々取得するための動作を示す模式図である。同図のように、ソルダボールピックアップ部１４０及びフラックスドッティング部１５０は、ヘッドに水平状態に結合された状態で、ヘッド移送部２１０の両側部に設けられるソルダボール格納部１１１及びフラックス格納部１１２によってソルダボール及びフラックスが供給される。
【００６４】
まず、ソルダボールピックアップ部１４０は、ソルダボールをソルダボール格納部１１１を通じて供給される。ソルダボール格納部１１１は、ヘッド移送部１１０の一側の下部に設けられ、内側面にソルダボールが排出される排出孔１１１ａが形成される。ソルダボール格納部１１１の内部には、複数のソルダボール２１０が格納される。排出孔１１１ａを通じてソルダボール２１０が一つずつ排出される。ソルダボール格納部１１１は、その下面、両側面及び上面のうちのいずれか一つが複数のエア流入孔の形成された多孔面に形成される。これらの多孔面を通じてエアが流入され、複数のソルダボールが浮かんで流動しながら、排出孔１１１ａを通じて排出される。また、ソルダボールピックアップ部１４０は、前述のように、ケーシング１４１の内部が真空状態で維持されながらソルダボールピックアップ部１４０の前方で発生される真空圧力によって排出孔１１１ａを通じて排出されるソルダボール２１０がピックアップされるようにする。
【００６５】
フラックス格納部１１２は、ヘッド移送部１１０の他側の下部に設けられ、内側面にフラックスドッティング部１５０の端部が介するドッティング溝１１２ａが形成される。フラックス格納部１１２の内部には、ペースト状態のフラックスが格納され、ドッティング溝１１２ａを通じてフラックスが露出するようにできる。フラックス格納部１１２のドッティング溝１１２ａは、多孔性付き溝部として形成されるか、スポンジなどの液体吸収材質で構成され、表面に一定量のフラックスが内在するようになる。ドッティング溝１１２ａにフラックスドッティング部１１２の端部が回転しながら経由する時、その端部に一定量のフラックスが付いて基板２００のパッド２０１の上面にフラックスが塗布されるようにする。
【００６６】
前記ソルダボール格納部１１１及びフラックス格納部１１２のソルダボール及びフラックスの排出構造は、図面に示すことに限定するものではなく、多様に変更可能である。
【００６７】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、前記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００６８】
１１０  ヘッド移送部
１１１  ソルダボール格納部
１１２  フラックス格納部
１２０  ヘッド部
１３０  回転軸
１３１  ヘッド
１３２  カム軸
１４０  ソルダボールピックアップ部
１５０  フラックスドッティング部
１６０  カメラ
２００  基板
２１０  ソルダボール
【図１】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図２ｃ】
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【図３】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
2014104511.tif 000009
【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図６】
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【図７ａ】
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【図７ｂ】
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【図７ｃ】
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【図７ｄ】
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【図８ａ】
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【図８ｂ】
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