(57)【要約】【課題】上流装置や下流装置との接続が容易であり、且つ、検査タクトの最適化を図ることのできる基板検査装置を提供する。【解決手段】基板検査装置が、装置の上流側から下流側へと基板を搬送する搬送手段と、前記搬送手段上の基板を撮影するためのカメラと、前記カメラを前記基板上の撮影位置に移動させる移動機構と、を備える。基板の搬送方向をＸ方向、水平面内においてＸ方向に直交する方向をＹ方向とした場合に、前記搬送手段は、Ｙ方向に並べて配置され、且つ、それぞれが独立に基板を搬送可能な複数の搬送レーンからなり、前記複数の搬送レーンすべてのＹ方向位置が変更可能である。【選択図】図１
2014010082.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板をカメラで撮影し、得られた画像を解析することにより前記基板を検査する基板検査装置であって、
装置の上流側から下流側へと基板を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段上の基板を撮影するためのカメラと、
前記カメラを前記基板上の撮影位置に移動させる移動機構と、を備え、
基板の搬送方向をＸ方向、水平面内においてＸ方向に直交する方向をＹ方向とした場合に、
前記搬送手段は、Ｙ方向に並べて配置され、且つ、それぞれが独立に基板を搬送可能な複数の搬送レーンからなり、
前記複数の搬送レーンすべてのＹ方向位置が変更可能である
ことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記搬送レーンは、基板のＹ方向両端部をそれぞれ支持して基板を搬送する２本のレールを有しており、
前記複数の搬送レーンを構成するすべてのレールのＹ方向位置が変更可能である
ことを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記移動機構は、設定された基準座標に対する相対位置制御によって、前記カメラを前記基板上の撮影位置に位置合わせするものであり、
前記基板検査装置は、
搬送レーンのＹ方向位置が変更された場合に、基準座標設定用部材を前記搬送レーン上の検査時の位置に配置し、前記基準座標設定用部材を前記カメラで撮影して得られる画像を用いて、前記搬送レーンのＹ方向位置に応じた基準座標を設定する基準座標設定手段をさらに有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記基準座標設定手段は、
前記基準座標設定用部材上の所定の基準点のＸＹ座標を基準座標として設定するものであり、
前記基準座標設定用部材上の前記基準点を画角に含むように前記カメラを移動させて撮影を行い、前記基準点の画像中の座標と、前記カメラのＸＹ座標とから、前記基準座標のＸＹ座標を計算する
ことを特徴とする請求項３に記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記移動機構は、基板が前記搬送レーン上の検査時の位置に搬送されるまで、前記カメラを初期位置にて待機させる制御を行うものであり、
前記基板検査装置は、
搬送レーンのＹ方向位置が変更された場合に、前記搬送レーンのＹ方向位置に応じて前記カメラの初期位置を変更する初期位置設定手段をさらに有する
ことを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか１項に記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記搬送手段は、第１の搬送レーンと第２の搬送レーンの２つの搬送レーンからなり、
前記初期位置設定手段は、前記第１の搬送レーンのＹ方向位置と前記第２の搬送レーンのＹ方向位置の中間点になるように、前記カメラのＹ方向の初期位置を決定する
ことを特徴とする請求項５に記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板をカメラで撮影し、得られた画像を解析することにより各種の検査を行う基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子基板の表面実装ラインは、プリント基板の表面にはんだペーストを印刷する工程、プリント基板上に電子部品をマウントする工程、リフロー炉によってはんだを溶融して電子部品を固着する工程などから構成される。自動化が進んだラインでは、各々の工程のあいだに基板検査装置を配置し、印刷不良、マウント不良、はんだ付け不良等の自動検査を行うことがある。中でも、基板をカメラで撮影し、得られた画像を解析することで検査を行うタイプの基板外観検査装置は、非接触で高速かつ高精度な検査が行えることから、様々な種類の検査に広く利用されている。
【０００３】
表面実装ラインは、従前は１本のレーンで上流工程から下流工程まで順に基板を搬送するライン構成が一般的であったが、最近では、生産性向上のために、ラインを複数レーン化するのがトレンドである。例えば、基板を搬送するレーンを２つ平行に設けることで（デュアルレーン化）、面積生産性を単純に約２倍に向上することができる。
【０００４】
カメラを用いた基板外観検査装置に関する先行技術ではないが、参考として、２つのレーンを有する基板検査装置の例が特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１１７９５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図９を用いて、従来の基板検査装置におけるデュアルレーン構造について説明する。図９は、基板検査装置内部の搬送レーンを上方からみた様子を模式的に示している。この装置には、第１レーン９１と第２レーン９２の２本の搬送レーンが設けられており、各搬送レーンは２本のレール（９１１と９１２、９２１と９２２）から構成されている。第１レーン９１においては、２本のレール９１１，９１２がそれぞれ基板９３１の幅方向両端部を支持しつつ、不図示の搬送ベルトによって基板９３１を上流側（例えば図９の左側）から下流側（右側）へと搬送する。第２レーン９２の構造も同様であり、２つの搬送レーンにより独立して２つの基板９３１，９３２を搬送できるようになっている。
【０００７】
ところで、プリント基板のサイズは一定ではなく、製品ごとに様々な大きさを採り得る。そこで従来の基板検査装置では、検査対象とする基板の幅に合わせてレーンの幅を調整できる機構を有するものがあった。図９の例では、第１レーン９１のレール９１２が固定され、レール９１１が幅方向に可動となっている。同様に、第２レーン９２でも、レール９２２が固定レール、レール９２１が可動レールとなっている。これにより、各々の搬送レーンに搬入される基板９３１，９３２の幅に合わせて可動レール９１１，９２１の位置を調整することで、任意のサイズの基板への対応が可能となる。なお、一方のレールを固定にしている理由は、固定レールを基準にして基板の幅方向位置がハードウェア的に規定されるため、検査ヘッド（カメラ）を基板上の検査位置まで移動させる際の位置精度の確保、ひいては検査精度の確保が容易になるからである。
【０００８】
しかしながら、上記のような複数レーン構造の基板検査装置では、次のような問題が生じることがある。表面実装ラインで利用される装置（印刷装置、マウント装置、リフロー装置など）においては、機種ごと、メーカごと、或いはユーザごとに、レーンの数や配置（レーンの間隔）などがまちまちであり、統一されていない。そのため、基板検査装置とその下流側に設置される装置（下流装置と呼ぶ）との間で、レーンの間隔が相違する場合には、図１０に示すように、基板検査装置１０１と下流装置１０２の間に、基板の受け渡しを行うためのトラバーサ１０３を設置する必要が生じる。このようなトラバーサ１０３の設置は、ラインの大型化及び設備コストの増大を招くとともに、トラバーサ１０３による基板の受け渡し時間が検査タクトを増加させ全体的な生産性低下につながるため、望ましくない。同様の問題は、上流装置と基板検査装置の間のレーンの間隔が相違する場合にも生ずる。
【０００９】
本発明は上記実情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、上流装置や下流装置との接続が容易であり、且つ、検査タクトの最適化を図ることのできる基板検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明では以下の構成を採用する。すなわち、基板をカメラで撮影し、得られた画像を解析することにより前記基板を検査する基板検査装置であって、装置の上流側から下流側へと基板を搬送する搬送手段と、前記搬送手段上の基板を撮影するためのカメラと、前記カメラを前記基板上の撮影位置に移動させる移動機構と、を備え、基板の搬送方向をＸ方向、水平面内においてＸ方向に直交する方向をＹ方向とした場合に、前記搬送手段は、Ｙ方向に並べて配置され、且つ、それぞれが独立に基板を搬送可能な複数の搬送レーンからなり、前記複数の搬送レーンすべてのＹ方向位置が変更可能であることを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、基板検査装置を接続する他の装置（上流装置又は下流装置）のレーン間隔等に合わせて、基板検査装置の各搬送レーンのＹ方向位置を自由に調整することができるため、トラバーサのような装置を介在させずとも、基板検査装置と他の装置との間で直接に基板の受け渡しが可能となる。これにより、基板の受け渡しに要する時間を短縮でき、検査タクトの最適化、ひいては全体の生産性の向上を図ることができる。
【００１２】
前記搬送レーンは、基板のＹ方向両端部をそれぞれ支持して基板を搬送する２本のレールを有しており、前記複数の搬送レーンを構成するすべてのレールのＹ方向位置が変更可能であることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、レーンの間隔だけでなく、各レーンの幅もそれぞれ自由に調整できるので、任意のサイズの基板（もちろん物理的な限界はあるが）を検査の対象とすることができる。また、各レーンで異なるサイズの基板を検査することも可能となる。これにより、基板検査装置の柔軟性及び適応性を高め、装置そのものの付加価値を高めることができる。
【００１４】
前記移動機構は、設定された基準座標に対する相対位置制御によって、前記カメラを前記基板上の撮影位置に位置合わせするものであり、前記基板検査装置は、搬送レーンのＹ方向位置が変更された場合に、基準座標設定用部材を前記搬送レーン上の検査時の位置に配置し、前記基準座標設定用部材を前記カメラで撮影して得られる画像を用いて、前記搬送レーンのＹ方向位置に応じた基準座標を設定する基準座標設定手段をさらに有することが好ましい。
【００１５】
従来装置の場合は、固定レールが存在していたため、その固定レールの座標を基準にし
てカメラと基板の位置合わせを行うことができた。しかしながら、本発明ではすべてのレーンのＹ方向位置を変更可能であるため、固定的な基準位置を予め設けることができず、各レーンのＹ方向位置に合わせて基準座標を設定する必要がある（原点キャリブレーションとも呼ぶ）。ここで上記のように、実際の検査時と同じように基準座標設定用部材を配置し、それをカメラで撮影した画像を用いて原点キャリブレーションを行うようにすれば、簡単かつ正確に基準座標の設定を行うことが可能となる。また、検査用のカメラそのものを利用しているので、原点キャリブレーションのために特別なハードウェアを追加する必要がないという利点もある。さらに、カメラと基準座標設定用部材との現実の位置関係のみから基準座標を決めているため、搬送レーンの位置精度が多少甘くても、基準座標の精度に影響がないという利点もある。言い換えると、搬送レーンの駆動機構に高い位置精度が要求されないので、その部分のコストダウンを図ることが可能となる。
【００１６】
具体的な設定方法としては、例えば、前記基準座標設定手段は、前記基準座標設定用部材上の所定の基準点のＸＹ座標を基準座標として設定するものであり、前記基準座標設定用部材上の前記基準点を画角に含むように前記カメラを移動させて撮影を行い、前記基準点の画像中の座標と、前記カメラのＸＹ座標とから、前記基準座標のＸＹ座標を計算することが好ましい。
【００１７】
前記移動機構は、基板が前記搬送レーン上の検査時の位置に搬送されるまで、前記カメラを初期位置にて待機させる制御を行うものであり、前記基板検査装置は、搬送レーンのＹ方向位置が変更された場合に、前記搬送レーンのＹ方向位置に応じて前記カメラの初期位置を変更する初期位置設定手段をさらに有することが好ましい。
【００１８】
従来装置では、カメラの初期位置（待機位置）は固定であった（例えば、固定レールの近傍）。しかしながら、本発明の構成においてカメラの初期位置を固定にすると、搬送レーンのＹ方向位置がカメラの初期位置に近い場合と遠い場合とで、カメラの移動距離に差が出る。言い換えると、搬送レーンがカメラの初期位置から遠い位置に配置された場合には、カメラの無駄な移動が多くなり、検査タクト（処理時間）の増大につながる。そこで、上記構成のように、搬送レーンのＹ方向位置に応じて適応的にカメラの初期位置を変更するようにしたことで、カメラの無駄な移動の発生を抑え、検査タクトのさらなる短縮、ひいては生産性のさらなる向上を図ることができる。
【００１９】
具体的な設定方法としては、例えば、前記搬送手段は、第１の搬送レーンと第２の搬送レーンの２つの搬送レーンからなり、前記初期位置設定手段は、前記第１の搬送レーンのＹ方向位置と前記第２の搬送レーンのＹ方向位置の中間点になるように、前記カメラのＹ方向の初期位置を決定することが好ましい。これにより、第１の搬送レーン上の基板を検査する場合、第２の搬送レーン上の基板を検査する場合のいずれの場合でも、カメラの移動距離を極力短くでき、検査タクトの短縮を図ることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、上流装置や下流装置との接続が容易であり、且つ、検査タクトの最適化を図ることのできる基板検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係る基板検査装置の上面図。
【図２】本発明の実施形態に係る基板検査装置の正面図と側面図。
【図３】本発明の実施形態に係る基板検査装置のブロック図。
【図４】本発明の実施形態に係る基板検査装置の検査フロー。
【図５】すべてのレールを可動にしたことによる利点を説明する図。
【図６】基準座標の設定処理の手順を示すフロー。
【図７】基準座標の設定処理を説明するための図。
【図８】カメラの初期位置（待機位置）を説明するための図。
【図９】従来の基板検査装置のデュアルレーン構造を説明するための図。
【図１０】基板検査装置から下流装置への基板の受け渡しの際の問題を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。
【００２３】
（装置構成）
図１及び図２に、本発明の実施形態に係る基板検査装置の構成を模式的に示す。図１は装置の上面図、図２（ａ）は装置の正面図、図２（ｂ）は装置の側面図である。なお、図１及び図２では、説明の便宜から装置内部の構造を透過的に示しているが、実際の装置は筐体で覆われており、外側から装置内部の構造を視認したり、（安全上の制約から）装置内部に容易にアクセスしたりすることはできない。
【００２４】
この基板検査装置１は、検査対象となる基板をカメラで撮影し、得られた画像を解析することにより基板の各種検査を行う外観基板検査装置である。例えば、表面実装ラインの印刷工程とマウント工程の間ではんだペーストの印刷不良を検査したり、マウント工程とリフロー工程の間で部品のマウント不良を検査したり、或いは、リフロー工程の下流ではんだ付け不良を検査したりする目的で使用されるものである。
【００２５】
図１及び図２に示すように、基板検査装置１は、本体フレーム１０によって構成された水平テーブルの上に、第１の搬送レーン１１と第２の搬送レーン１２の２本の搬送レーンからなる搬送手段が設けられた構成を有している。以下、基板の搬送方向をＸ方向、水平面内でＸ方向に直交する方向をＹ方向、鉛直方向をＺ方向と呼ぶ。第１の搬送レーン１１は、２本のレール１１ａ，１１ｂから構成される。各々のレール１１ａ，１１ｂは、不図示の搬送ベルトが巻架された構成であり、上流装置から搬入された基板Ｋ１のＹ方向両端部を２つのレール１１ａ，１１ｂで支持しながら、Ｘ方向下流側へと基板Ｋ１を搬送する機能を有している。また、第２の搬送レーン１２も同様、２本のレール１２ａ，１２ｂから構成され、上流装置から搬入された基板Ｋ２のＹ方向両端部を支持しつつ、Ｘ方向下流側へと基板Ｋ２を搬送する機能を有している。
【００２６】
搬送レーン１１，１２が設置された水平テーブルの上方には、検査ヘッド１３が配置されている。検査ヘッド１３は、撮影時に基板を照らすための照明１３ａと、光学系１３ｂと、カメラ１３ｃとを有して構成される。検査ヘッド１３の構成は検査の種類や目的によって適宜設計すればよい。例えば、いわゆるカラーハイライト方式と呼ばれる検査を行う場合には、ＲＧＢの３色のリング状光源からなる照明１３ａと、カラー撮影が可能なカメラ１３ｃとを用いればよい。検査ヘッド１３は、Ｘ方向とＹ方向の２軸制御が可能な移動機構３１に取り付けられている。
【００２７】
本実施形態では、画角が約３７ｍｍ×約３０ｍｍの検査ヘッド１３を用いている。検査対象となる基板のサイズは約５０ｍｍ×約５０ｍｍ〜約５００ｍｍ×約６００ｍｍと大きく、また一つの基板内に複数箇所の検査対象部位（部品）があることが多いため、検査時には検査対象部位が画角内に収まるような撮影位置まで、移動機構３１が検査ヘッド１３を移動させる制御を行う。各撮影位置の座標情報は、基板の種類ごとに予め設定されている。なお、本実施形態の基板検査装置１は、２レーン、１カメラの構成であるため、１つの検査ヘッド１３を２つの搬送レーン１１，１２の間で往復させて、２つの基板Ｋ１，Ｋ２の検査を行うことになる。もちろん装置構成はこれに限らず、レーンごとに検査ヘッドを設けてもよいし、３本以上の搬送レーンを設けることもできる。
【００２８】
図３は、基板検査装置１のブロック図である。搬送レール軸１〜４（３０ａ〜３０ｄ）は、それぞれレール１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂのＹ方向位置を変更するための機構であり、例えばボールねじなどのアクチュエータによって構成可能である。Ｘ軸３１ａ、Ｙ軸３１ｂは、検査ヘッド１３をＸ方向、Ｙ方向に移動させるための移動機構３１を構成するアクチュエータであり、これもボールねじなどによって構成できる。基板搬送軸１（３２ａ）は、第１の搬送レーン１１のレール１１ａ，１１ｂに巻架されたベルトを回転させるための機構であり、基板搬送軸２（３２ｂ）は、第２の搬送レーン１２のレール１２ａ，１２ｂに巻架されたベルトを回転させるための機構である。制御部３３は、基板検査装置１の各部を統括制御するためのマイクロプロセッサユニットであり、上述した各機構（アクチュエータ）の駆動を制御するための軸制御部３３ａとしての機能と、検査ヘッド１３の照明１３ａ及びカメラ１３ｃの駆動を制御するための撮像・照明点灯制御部３３ｂとしての機能をもつ。ＰＣ３４及び操作モニタ３５は、ユーザが基板検査装置１に対して操作指示を入力したり、各種の設定を行ったりするために利用されるものである。ＰＣ３４及び操作モニタ３５は、基板検査装置１と一体的に構成されていてもよいし、基板検査装置１とは別体のパーソナルコンピュータ（例えばモバイルＰＣ、スレート型端末、スマートフォンなど）により構成してもよい。
【００２９】
（検査フロー）
図４に、検査フローの一例を示す。検査を開始すると、制御部３３が基板搬送軸１（３２ａ）を駆動し、第１の搬送レーン１１に基板Ｋ１を搬入する（Ｓ４１）。そして、基板Ｋ１が検査時の位置まで搬送されたら、制御部３３は基板搬送軸１（３２ａ）の駆動を停止する（Ｓ４２）。基板が検査時の位置に到達したかどうか、つまりＸ方向の位置決めについては、例えばセンサによって基板の前端を検知してもよいし、基板の前端をストッパに物理的に突き当てることで位置決めしてもよい。続いて、制御部３３が移動機構３１のＸ軸３１ａとＹ軸３１ｂを駆動し、検査ヘッド１３を基板Ｋ１上の所定の撮影位置まで移動させる（Ｓ４３）。そして、照明１３ａの点灯、カメラ１３ｃによる撮像を行い、画像データをＰＣ３４に取り込み、ＰＣ３４にて画像データの解析を行い基板Ｋ１の良／不良の検査を行う（Ｓ４４）。検査が終わると、制御部３３が基板搬送軸１（３２ａ）を駆動し、基板Ｋ１を搬出する（Ｓ４５）。２つの搬送レーン１１，１２で交互に検査を行う場合は、Ｓ４１からＳ４５の処理を第２の搬送レーン１２上の基板Ｋ２に対しても実行すればよい。より好ましくは、一方の搬送レーンの基板に対する検査（Ｓ４３〜Ｓ４４の処理）を行っている時間を利用して、他方の搬送レーンの基板の搬送（Ｓ４１〜Ｓ４２、Ｓ４５の処理）を行うとよい。このように並列的に処理を行うことで、１つの基板あたりの検査タクト（処理時間）を短縮することができる。
【００３０】
（搬送レーンの構成）
本実施形態の基板検査装置１は、搬送手段を構成する全ての搬送レーンのレールのＹ方向位置を自在に変更可能である点に一つの特徴を有している。これにより、それぞれの搬送レーン１１，１２の配置を変更したり、２つの搬送レーン１１，１２の間隔を調整したり、各搬送レーン１１，１２のレール間隔を基板Ｋ１，Ｋ２のサイズに合わせて調整したり、というように、基板検査装置１を適用するラインの構成に合わせてユーザがレーン設定を自在に調整することができる。
【００３１】
各レール１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂのＹ方向位置の調整は、図３に示した搬送レール軸１（３０ａ）〜搬送レール軸４（３０ｄ）を駆動することにより行われる。例えば、ユーザが、ＰＣ３４を操作して、各レールのＹ方向位置を指示すると、制御部３３の軸制御部３３ａが対応する搬送レール軸を駆動し、レールをＹ方向に移動させる。Ｙ方向位置の指示方法は、どのような形式でもよい。例えば、レールのＹ座標（絶対座標）を指示してもよいし、他のレールとの間隔（相対座標）を指示してもよいし、レールのＹ方向の
移動量を指示してもよい。また、本装置のようにアクチュエータでレールを移動させるのではなく、手動でレールをＹ方向にスライドさせられるようにしてもよい。
【００３２】
図５に、全てのレールのＹ方向位置を可動にしたことによる利点を示す。固定レールを有する従来の装置の場合、下流装置のレーン構成によっては、図１０に示したように、基板検査装置と下流装置の間にトラバーサを介在させる必要が生じることがある。これに対し、本実施形態の基板検査装置１の場合は、図５に示すように、下流装置５０のレーンの配置及び幅に合わせて、各レール１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂのＹ方向位置を自在に調整できるため、トラバーサを介在させずに、ダイレクトに下流装置５０との接続が可能となる。これにより、ラインの省スペース化及びコストダウンを図ることができる。
【００３３】
（基準座標の設定）
図９で説明したように、従来装置では、固定レールの位置を基準にして基板の幅方向位置が規定されるため、検査ヘッド（カメラ）を基板上の撮影位置まで移動させる際の位置精度の確保が比較的容易である。しかしながら、本実施形態の基板検査装置１では、すべての搬送レーンのすべてのレールが可動のため、従来装置のような固定的な基準位置を定めることができない。そこで、本実施形態では、各搬送レーン１１，１２のＹ方向位置を変更した場合に、以下のような方法を用いて、基準座標の設定（原点キャリブレーションとも呼ぶ）を行う。
【００３４】
図６は、基準座標の設定処理の手順を示すフローであり、図７は、基準座標の設定処理を説明するための図である。
【００３５】
ユーザが、ＰＣ３４において、基準座標設定プログラムを起動すると、操作モニタ３５に基準座標設定画面７０（図７参照）が表示される。基準座標設定画面７０は、カメラ１３ｃから取り込まれた画像が表示されるウィンドウ７１と、カメラ１３ｃ（検査ヘッド１３）の位置を変更するための移動ボタン７２と、カメラ１３ｃのＸＹ座標を示すテキストボックス７３と、搬入ボタン７４と、基準座標設定ボタン７５とを有している。
【００３６】
まずユーザは、基準座標設定用部材７６を第１の搬送レーン１１に載置し、搬入ボタン７４を押す。これにより、第１の搬送レーン１１が駆動し、基準座標設定用部材７６を検査時の位置（Ｘ方向位置）まで搬送する（Ｓ６１）。基準座標設定用部材７６のＸ方向位置は、前述した検査フローの場合と同じ方法で位置決めされる。なお、基準座標設定用部材７６としては、検査対象となる基板そのものを用いてもよいし、その基板と同じサイズを有する専用部材（ジグ）を用いてもよい。
【００３７】
基準座標設定用部材７６が検査時の位置に停止したら、次に、ユーザは、移動ボタン７２を押すか、テキストボックス７３に座標値を入力することにより、基準座標設定用部材７６上の基準点が画角の中心にくるようにカメラ１３ｃを移動させる（Ｓ６２）。なお本実施形態では、基準座標設定用部材７６の前端の右側の角（図では右下の角）を基準点として用いるが、これに限らず、他の部分を基準点として用いてもよい。基準座標設定画面７０のウィンドウ７１には、十字のガイドライン７１ａが表示されているので、このガイドライン７１ａを基準座標設定用部材７６のエッジに合わせるように、カメラ１３ｃの位置を調整すればよい。
【００３８】
カメラ１３ｃの位置を大よそ調整できたら、基準座標設定ボタン７５を押す（Ｓ６３）。そうすると、基準座標設定プログラムが、画像認識処理を行い、画像から基準座標設定用部材７６の基準点を認識し、その基準点の画像内での座標値を計算する（Ｓ６４）。このとき、ガイドライン７１ａの近傍（画像の中心部分）に対しエッジ探索を行えばよいので、比較的簡単な処理で高精度にエッジの座標を求めることが可能である。そして、基準
座標設定プログラムは、カメラ１３ｃの現在のＸＹ座標と、Ｓ６４で求めた基準点の画像中の座標とから、基準点のＸＹ座標を計算する（Ｓ６５）。例えば、カメラ１３ｃのＸＹ座標が画像の左上の原点の座標を表している場合には、Ｓ６４で求めた基準点の画像座標をＸＹ座標系の距離に換算し、その距離をカメラ１３ｃのＸＹ座標に加算したものが、基準点のＸＹ座標となる。ここで求められた基準点のＸＹ座標は、制御部３３に送られ、不図示の記憶装置に登録される（Ｓ６６）。
【００３９】
第１の搬送レーン１１の基準座標（基準点のＸＹ座標）の設定が終わったら、同じ手順を第２の搬送レーン１２に対しても繰り返し、第２の搬送レーン１２の基準座標の設定も行う。以上で、基準座標の設定処理（原点キャリブレーション）が完了する。この設定が終われば、変更後のレーン配置での検査を行うことが可能となる。
【００４０】
（カメラの初期位置の設定）
移動機構３１は、検査対象となる基板が搬送レーン上の検査時の位置に搬送されるまで、カメラ１３ｃ（検査ヘッド１３）を初期位置（待機位置もしくはホームポジションとも呼ぶ）にて待機させる制御を行う。従来装置では、固定レールが基準となっていたため、例えば固定レールの近傍などの決まった位置がカメラの初期位置に設定されていた。しかしながら、本実施形態の基板検査装置１においてはカメラ１３ｃの初期位置を固定にすると、搬送レーン１１，１２のＹ方向位置がカメラ１３ｃの初期位置に近い場合と遠い場合とで、カメラ１３ｃの移動距離に差が出る。例えば図８は、最上流側の右端（図では左下隅）をカメラ１３ｃの初期位置とした例であるが、（ａ）のように搬送レーン１１，１２が初期位置に近い場合は、初期位置から検査時の撮影位置まで移動する距離が短いのに対し、（ｂ）のように搬送レーン１１，１２が初期位置から遠い場合は、（ａ）に比べてカメラ１３ｃの無駄な移動が発生しているのが分かる。このような無駄な移動は検査タクト（検査の処理時間）の増大につながるため好ましくない。そこで、各搬送レーン１１，１２のＹ方向位置を変更した場合には、それに合わせてカメラ１３ｃの初期位置も変更することが好ましい。
【００４１】
図８（ｃ）は、第１の搬送レーン１１のＹ方向位置と第２の搬送レーン１２のＹ方向位置の中間点をカメラ１３ｃのＹ方向の初期位置に設定した例である。具体的には、下記式により、初期位置のＹ座標Ｙｉを求めている。
【００４２】
Ｙｉ＝（Ｙ１＋（Ｙ２＋Ｗ２））／２
ここで、Ｙ１は第１の搬送レーン１１の基準座標（Ｙ座標）、Ｙ２は第２の搬送レーン１２の基準座標（Ｙ座標）、Ｗ２は第２の搬送レーン１２で搬送される基板Ｋ２の幅である。なお、初期位置のＸ座標については、先に検査を行う基板Ｋ１の中心座標、あるいは、基板Ｋ１上の最初の撮影位置のＸ座標とすればよい。
【００４３】
以上のようにカメラ１３ｃの初期位置を設定することで、カメラ１３ｃの無駄な移動を可及的に少なくすることができる。
【００４４】
（本装置の利点）
以上述べた本実施形態の装置構成によれば、基板検査装置１を接続する他の装置（上流装置又は下流装置）のレーン間隔等に合わせて、基板検査装置１の各搬送レーン１１，１２のＹ方向位置を自由に調整することができるため、トラバーサのような装置を介在させずとも、基板検査装置１と他の装置との間で直接に基板Ｋ１，Ｋ２の受け渡しが可能となる。これにより、基板Ｋ１，Ｋ２の受け渡しに要する時間を短縮でき、検査タクトの最適化、ひいては全体の生産性の向上を図ることができる。
【００４５】
しかも、搬送レーン１１，１２の間隔だけでなく、各レーンの幅もそれぞれ自由に調整
できるので、任意のサイズの基板（もちろん物理的な限界はあるが）を検査の対象とすることができる。また、各レーンで異なるサイズの基板を検査することも可能となる。これにより、基板検査装置１の柔軟性及び適応性を高め、装置そのものの付加価値を高めることができる。
【００４６】
また、実際の検査時と同じように基準座標設定用部材７６を配置し、それをカメラ１３ｃで撮影した画像を用いて原点キャリブレーションを行うようにしたので、簡単かつ正確に基準座標の設定を行うことが可能となる。また、検査用のカメラ１３ｃそのものを利用しているので、原点キャリブレーションのために特別なハードウェアを追加する必要がないという利点もある。さらに、カメラ１３ｃと基準座標設定用部材７６との現実の位置関係のみから基準座標を決めているため、搬送レーン１１，１２の位置精度が多少甘くても、基準座標の精度に影響がないという利点もある。言い換えると、搬送レーン１１，１２の駆動機構（搬送レール軸１〜４）に高い位置精度が要求されないので、その部分のコストダウンを図ることが可能となる。
【００４７】
また、搬送レーン１１，１２のＹ方向位置に応じて適応的にカメラ１３ｃの初期位置を変更するようにしたことで、カメラ１３ｃの無駄な移動の発生を抑え、検査タクトのさらなる短縮、ひいては生産性のさらなる向上を図ることができる。
【００４８】
（変形例）
以上述べた構成は本発明の一具体例を示したものにすぎず、本発明の範囲をそれらの構成のみに限定する趣旨のものではない。例えば、上記実施形態では２本の搬送レールを設けたが、３本以上の搬送レールを設けることも好ましい。また、上記実施形態ではカメラの画像を用いて基準座標の設定を行ったが、各レールの位置を検出するセンサを追加的に設けることで基準座標の設定を行ってもよい。あるいは、搬送レール軸１〜４の位置精度が十分高い場合には、それらの値をもとに基準座標を求めてもよい。また、カメラの初期位置の変更は必須ではなく、必要に応じて行えばよい。
【符号の説明】
【００４９】
１：基板検査装置
１０：本体フレーム
１１：第１の搬送レーン、１１ａ，１１ｂ：レール
１２：第２の搬送レーン、１２ａ，１２ｂ：レール
１３：検査ヘッド、１３ａ：照明、１３ｂ：光学系、１３ｃ：カメラ
３１：移動機構
５０：下流装置
７０：基準座標設定画面
７１：ウィンドウ
７１ａ：ガイドライン
７２：移動ボタン
７３：テキストボックス
７４：搬入ボタン
７５：基準座標設定ボタン
７６：基準座標設定用部材
Ｋ１，Ｋ２：基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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