(57)【要約】【課題】支持ハンドが直線軌跡から逸脱して蛇行する程度を減少できる基板移送装置及びこれを用いた基板移送方法を提供する。【解決手段】基板移送装置は、基板を支持するための支持ハンドと、前記支持ハンドが回転可能に結合されるアームユニットと、前記アームユニットが回転可能に結合されるアームベースと、前記支持ハンドを移動させるために前記アームユニット及び前記支持ハンドを回転させる駆動部と、前記支持ハンドが向かう方向が変更されるように前記アームベースを回転させる旋回部と、を含み、前記旋回部は、前記駆動部が前記支持ハンドを移動させる過程で前記支持ハンドの蛇行方向と反対の方向に前記アームベースを回転させる。【選択図】図２
2014212321.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持するための支持ハンドと、
前記支持ハンドが回転可能に結合されるアームユニットと、
前記アームユニットが回転可能に結合されるアームベースと、
前記支持ハンドを移動させるために前記アームユニット及び前記支持ハンドを回転させる駆動部と、
前記支持ハンドが向かう方向が変更されるように前記アームベースを回転させる旋回部と、を含み、
前記旋回部は、前記駆動部が前記支持ハンドを移動させる過程で前記支持ハンドの蛇行方向と反対の方向に前記アームベースを回転させる、
ことを特徴とする基板移送装置。
【請求項２】
前記支持ハンドの高さが変更されるように前記アームベースを昇降させるための昇降部を含み、
前記アームベースは前記昇降部に結合され、
前記昇降部は前記旋回部に結合され、
前記旋回部は、前記支持ハンドの蛇行方向と反対の方向に前記昇降部を回転させ、前記アームベースを回転させる、
ことを特徴とする、請求項１に記載の基板移送装置。
【請求項３】
前記支持ハンドの高さが変更されるように前記アームベースを昇降させるための昇降部を含み、
前記旋回部は、前記支持ハンドが水平方向を基準にして蛇行する方向と反対の方向に前記アームベースを回転させ、
前記昇降部は、前記支持ハンドが垂直方向を基準にして蛇行する方向と反対の方向に前記アームベースを昇降させる、
ことを特徴とする、請求項１に記載の基板移送装置。
【請求項４】
前記駆動部は、前記支持ハンドが、工程チャンバーまたはカセットの外部に位置する第１の位置と、前記工程チャンバーまたは前記カセットの内部に位置する第２の位置との間に移動するように、前記アームユニット及び前記支持ハンドを回転させるための駆動力を発生させる駆動ユニットを含み、
前記旋回部は、前記駆動部が前記支持ハンドを前記第１の位置と前記第２の位置との間に移動させる過程で前記支持ハンドの蛇行方向と反対の方向に前記アームベースを回転させるための駆動力を発生させる旋回ユニットを含む、
ことを特徴とする、請求項１に記載の基板移送装置。
【請求項５】
基板を支持するための支持ハンドと、
前記支持ハンドが回転可能に結合されるアームユニットと、
前記アームユニットが回転可能に結合されるアームベースと、
前記支持ハンドを移動させるために前記アームユニット及び前記支持ハンドを回転させる駆動部と、
前記支持ハンドの高さが変更されるように前記アームベースを昇降させるための昇降部と、を含み、
前記昇降部は、前記駆動部が前記支持ハンドを移動させる過程で前記支持ハンドが垂直方向を基準にして蛇行する方向と反対の方向に前記アームベースを昇降させる、
ことを特徴とする基板移送装置。
【請求項６】
前記駆動部は、前記支持ハンドが、工程チャンバーまたはカセットの外部に位置する第１の位置と、前記工程チャンバーまたは前記カセットの内部に位置する第２の位置との間に移動するように、前記アームユニット及び前記支持ハンドを回転させるための駆動力を発生させる駆動ユニットを含み、
前記昇降部は、前記駆動部が前記支持ハンドを前記第１の位置と前記第２の位置との間に移動させる過程で前記支持ハンドが前記垂直方向を基準にして蛇行する方向と反対の方向に前記アームベースを昇降させるための駆動力を発生させる昇降ユニットを含む、
ことを特徴とする、請求項５に記載の基板移送装置。
【請求項７】
基板を支持するための支持ハンドと、
前記支持ハンドが回転可能に結合されるアームユニットと、
前記アームユニットが回転可能に結合されるアームベースと、
前記支持ハンドを移動させるために前記アームユニット及び前記支持ハンドを回転させる駆動部と、
前記支持ハンドが向かう方向が変更されるように前記アームベースを回転させるための旋回部と、
前記駆動部が前記支持ハンドを移動させる過程で垂直方向及び水平方向のうち少なくとも一つの方向を基準にして前記支持ハンドが蛇行する方向と反対の方向に前記アームベースまたは前記アームユニットを移動させる補正部と、を含む、
ことを特徴とする基板移送装置。
【請求項８】
支持ハンドが結合されたアームユニット及び前記支持ハンドを回転させ、前記支持ハンドを移動させるステップと、
前記支持ハンドを移動させる過程で前記支持ハンドの蛇行方向と反対の方向に前記支持ハンドを移動させ、前記支持ハンドの移動を補正するステップと、を含む、
ことを特徴とする基板移送方法。
【請求項９】
前記支持ハンドの移動を補正するステップは、
前記支持ハンドを移動させる過程で前記支持ハンドが水平方向を基準にして蛇行する方向と反対の方向に前記支持ハンドを回転させるステップを含む、
ことを特徴とする、請求項８に記載の基板移送方法。
【請求項１０】
前記支持ハンドの移動を補正するステップは、
前記支持ハンドを移動させる過程で前記支持ハンドが垂直方向を基準にして蛇行する方向と反対の方向に前記支持ハンドを昇降させるステップを含む、
ことを特徴とする、請求項８に記載の基板移送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の製造過程で基板を移送する基板移送装置及び基板移送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ装置、太陽電池、半導体素子など（以下、「電子部品」という）は、多様な工程を経て製造される。このような製造工程は、前記電子部品を製造するための基板を用いて行われる。例えば、前記製造工程は、基板上に導電体、半導体、誘電体などの薄膜を蒸着するための蒸着工程、蒸着された薄膜を所定パターンに形成するためのエッチング工程などを含むことができる。これら各製造工程は、該当の工程を行う工程チャンバーで行われる。基板移送装置は、前記各工程チャンバー間に基板を移送するためのものである。
【０００３】
図１は、従来技術に係る基板移送装置の概略的な平面図である。
【０００４】
図１を参考にすると、従来技術に係る基板移送装置１０は、アームベース１１、前記アームベース１１に結合される第１のアーム機構１２、前記第１のアーム機構１２に結合される第２のアーム機構１３、及び前記第２のアーム機構１３に結合される支持ハンド１４を含む。
【０００５】
前記アームベース１１は、前記第１のアーム機構１２を支持することによって、前記第２のアーム機構１３、前記支持ハンド１４、及び前記支持ハンド１４によって支持された基板１００を支持する。
【０００６】
前記第１のアーム機構１２は、前記アームベース１１に回転可能に結合される。前記第１のアーム機構１２は、前記アームベース１１に結合された部分を回転軸１２ａにして回転する。
【０００７】
前記第２のアーム機構１３は、前記第１のアーム機構１２に回転可能に結合される。前記第２のアーム機構１３は、前記第１のアーム機構１２に結合された部分を回転軸１３ａにして回転する。
【０００８】
前記支持ハンド１４は、基板１００の底面を支持する。前記支持ハンド１４は前記第２のアーム機構１３に回転可能に結合される。前記支持ハンド１４は、前記第２のアーム機構１３に結合された部分を回転軸１４ａにして回転する。
【０００９】
図面には示していないが、前記アームベース１１には、前記第１のアーム機構１２、前記第２のアーム機構１３及び前記支持ハンド１４を移動させるための動力源（図示せず）が設置される。前記第１のアーム機構１２、前記第２のアーム機構１３及び前記支持ハンド１４にはそれぞれプーリー（図示せず）が設置される。前記動力源は、各ベルト（図示せず）を介して前記各プーリーと連結される。その結果、前記動力源が前記第１のアーム機構１２を回転軸１２ａを中心に回転させると、これに連動して前記第２のアーム機構１３と前記支持ハンド１４がそれぞれの回転軸１３ａ、１４ａを中心に回転する。したがって、従来技術に係る基板移送装置１０は、前記第１のアーム機構１２及び前記第２のアーム機構１３が互いに重なったり広がるように前記第１のアーム機構１２及び前記第２のアーム機構１３を移動させることによって前記支持ハンド１４を移動させることができ、その結果、前記工程チャンバー間に前記基板１００を移送する工程を行う。
【００１０】
ここで、従来技術に係る基板移送装置１０は、前記支持ハンド１４が直線軌跡２０に沿って移動できるように前記第１のアーム機構１２、前記第２のアーム機構１３及び前記支持ハンド１４の回転方向及び回転程度を調節する。しかし、前記第１のアーム機構１２、前記第２のアーム機構１３及び前記支持ハンド１４のそれぞれに発生する変形、前記第１のアーム機構１２、前記第２のアーム機構１３及び前記支持ハンド１４のそれぞれの回転速度及び回転による反力、ベルトの剛性などの多様な原因により、前記支持ハンド１４は、図１に一点鎖点で示したように、前記直線軌跡２０に沿って移動できずに蛇行（Ｍｅａｎｄｅｒｉｎｇ）するようになる。
【００１１】
したがって、従来技術に係る基板移送装置１０は、次のような問題を有する。
【００１２】
第一に、従来技術に係る基板移送装置１０は、前記支持ハンド１４が前記直線軌跡２０に沿って移動できずに蛇行しながら移動するので、前記支持ハンド１４が前記工程チャンバー、カセットなどの器具物に衝突する危険があるという問題を有する。その結果、従来技術に係る基板移送装置１０は、前記支持ハンド１４及び前記基板１００の損傷及び破損によって工程費用を上昇させるという問題を有する。
【００１３】
第二に、従来技術に係る基板移送装置１０において、前記第１のアーム機構１２、前記第２のアーム機構１３及び前記支持ハンド１４の回転速度を減少させることによって、前記支持ハンド１４が前記直線軌跡２０から蛇行する程度を減少させる方案が提案された。しかし、このような方案によると、従来技術に係る基板移送装置１０は、前記基板１００の移送にかかる時間が増加することによって、前記電子部品に対する生産性及び収率を低下させるという問題を有する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、上述したような問題を解決するためになされたものであって、支持ハンドが直線軌跡から逸脱して蛇行する程度を減少できる基板移送装置及びこれを用いた基板移送方法を提供するためのものである。
【００１５】
本発明は、電子部品を製造するために基板を移送するのにかかる時間を減少できる基板移送装置及びこれを用いた基板移送方法を提供するためのものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上述したような課題を解決するために、本発明は、下記のような構成を含むことができる。
【００１７】
本発明に係る基板移送装置は、基板を支持するための支持ハンドと、前記支持ハンドが回転可能に結合されるアームユニットと、前記アームユニットが回転可能に結合されるアームベースと、前記支持ハンドを移動させるために前記アームユニット及び前記支持ハンドを回転させる駆動部と、前記支持ハンドが向かう方向が変更されるように前記アームベースを回転させる旋回部と、を含むことができる。前記旋回部は、前記駆動部が前記支持ハンドを移動させる過程で前記支持ハンドの蛇行方向と反対の方向に前記アームベースを回転させることができる。
【００１８】
本発明に係る基板移送装置は、基板を支持するための支持ハンドと、前記支持ハンドが回転可能に結合されるアームユニットと、前記アームユニットが回転可能に結合されるアームベースと、前記支持ハンドを移動させるために前記アームユニット及び前記支持ハンドを回転させる駆動部と、前記支持ハンドの高さが変更されるように前記アームベースを昇降させるための昇降部と、を含むことができる。前記昇降部は、前記駆動部が前記支持ハンドを移動させる過程で前記支持ハンドが垂直方向を基準にして蛇行する方向と反対の方向に前記アームベースを昇降させることができる。
【００１９】
本発明に係る基板移送装置は、基板を支持するための支持ハンドと、前記支持ハンドが回転可能に結合されるアームユニットと、前記アームユニットが回転可能に結合されるアームベースと、前記支持ハンドを移動させるために前記アームユニット及び前記支持ハンドを回転させる駆動部と、前記支持ハンドが向かう方向が変更されるように前記アームベースを回転させるための旋回部と、前記駆動部が前記支持ハンドを移動させる過程で垂直方向及び水平方向のうち少なくとも一つの方向を基準にして前記支持ハンドが蛇行する方向と反対の方向に前記アームベースまたは前記アームユニットを移動させる補正部と、を含むことができる。
【００２０】
本発明に係る基板移送方法は、支持ハンドが結合されたアームユニット及び前記支持ハンドを回転させ、前記支持ハンドを移動させるステップと、前記支持ハンドを移動させる過程で前記支持ハンドの蛇行方向と反対の方向に前記支持ハンドを移動させ、前記支持ハンドの移動を補正するステップと、を含むことができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によると、次のような効果を得ることができる。
【００２２】
本発明は、支持ハンドが直線軌跡から逸脱して蛇行する程度を減少させることによって、支持ハンドまたは支持ハンドによって支持された基板の損傷及び破損による工程費用の上昇を防止することができ、その結果、基板を用いて電子部品を製造するのにかかる工程費用及び電子部品に対する製造単価を減少させるのに寄与することができる。
【００２３】
本発明は、支持ハンドが移動する途中で蛇行する程度を減少させると同時に、支持ハンドを移動させる速度を増大させ得るので、基板の移送にかかる時間を減少させることによって、電子部品に対する生産性及び収率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】従来技術に係る基板移送装置の概略的な平面図である。
【図２】本発明に係る基板移送装置の概略的なブロック図である。
【図３】本発明に係る基板移送装置の概略的な斜視図である。
【図４】本発明に係る基板移送装置が水平方向を基準にする支持ハンドの蛇行を補正する動作を説明するための概略的な平面図である。
【図５】本発明に係る基板移送装置が水平方向を基準にする支持ハンドの蛇行を補正する動作を説明するための概略的な平面図である。
【図６】本発明に係る基板移送装置が垂直方向を基準にする支持ハンドの蛇行を補正する動作を説明するための概略的な平面図である。
【図７】本発明に係る基板移送装置が支持ハンドを移動させる速度及び時間の関係を示したグラフである。
【図８】本発明の変形した実施例に係る基板移送装置の概略的なブロック図である。
【図９】本発明の変形した実施例に係る基板移送装置の概略的な斜視図である。
【図１０】本発明に係る基板移送方法の概略的なフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下では、本発明に係る基板移送装置の実施例を添付の図面を参考にして詳細に説明する。
【００２６】
図２ないし図５を参考にすると、本発明に係る基板移送装置１は、基板１００を移送するためのものである。前記基板１００は、ディスプレイ装置、太陽電池、半導体素子などの電子部品を製造するためのものである。例えば、本発明に係る基板移送装置１は、前記基板１００に対する蒸着工程、エッチング工程などの製造工程を行う各工程チャンバー間に前記基板１００を移送することができる。
【００２７】
本発明に係る基板移送装置１は、前記基板１００を支持するための支持ハンド２、前記支持ハンド２が回転可能に結合されるアームユニット３、前記アームユニット３が回転可能に結合されるアームベース４、前記支持ハンド２を移動させるために前記アームユニット３及び前記支持ハンド２を回転させる駆動部５、前記支持ハンド２が向かう方向が変更されるように前記アームベース４を回転させる旋回部６、及び前記支持ハンド２の高さが変更されるように前記アームベース４を昇降させるための昇降部７を含む。
【００２８】
ここで、前記支持ハンド２は、前記駆動部５によって移動する過程で直線軌跡２０に沿って移動できずに蛇行し得る。例えば、図４に示したように、前記支持ハンド２は、第１の位置Ｐ１と第２の位置Ｐ２で互いに同一の基準方向に向かうようになるが、前記駆動部５によって前記第１の位置Ｐ１から前記第２の位置Ｐ２に移動する途中で前記基準方向と異なる他の方向に向かうように回転することによって蛇行し得る。
【００２９】
これを防止するために、本発明に係る基板移送装置１において、前記旋回部６は、前記駆動部５が前記支持ハンド２を移動させる過程で前記支持ハンド２の蛇行方向と反対の方向に前記アームベース４を回転させることができる。その結果、本発明に係る基板移送装置１は、前記支持ハンド２が移動する間に前記基準方向と異なる方向に向かうように回転する程度を減少させることによって、前記支持ハンド２の蛇行程度を減少させることができる。
【００３０】
例えば、図４に示したように、前記支持ハンド２が前記第１の位置Ｐ１と前記第２の位置Ｐ２との間で前記基準方向を基準にして右側に回転して蛇行する場合、前記旋回部６は、図５に示したように、前記アームベース４を反時計方向に回転させることによって前記支持ハンド２の蛇行程度を減少させることができる。
【００３１】
したがって、本発明に係る基板移送装置１は、次のような作用効果を図ることができる。
【００３２】
第一に、本発明に係る基板移送装置１は、前記支持ハンド２が前記直線軌跡２０から逸脱して蛇行する程度を減少させることによって、前記支持ハンド２または前記支持ハンド２によって支持された基板１００が前記工程チャンバー、カセットなどの器具物に衝突することを防止することができる。その結果、本発明に係る基板移送装置１は、前記支持ハンド２及び前記基板１００の損傷及び破損によって工程費用が上昇することを防止することができる。したがって、本発明に係る基板移送装置１は、従来技術と比較すると、前記基板１００を用いて電子部品を製造するのにかかる工程費用を減少させることによって、前記電子部品に対する製造単価を低下させるのに寄与することができる。
【００３３】
第二に、本発明に係る基板移送装置１は、前記支持ハンド２の蛇行程度を減少させることによって、前記駆動部５が前記アームユニット３及び前記支持ハンド２を回転させる速度を減少させなくても、前記支持ハンド２を前記直線軌跡２０または前記直線軌跡２０に近い軌跡に沿って移動させることができる。その結果、本発明に係る基板移送装置１は、従来技術と比較すると、前記基板１００の移送にかかる時間を減少させることによって、前記電子部品に対する生産性及び収率を向上させることができる。
【００３４】
以下では、前記支持ハンド２、前記アームユニット３、前記アームベース４、前記駆動部５、前記旋回部６及び前記昇降部７について、添付の図面を参照して具体的に説明する。
【００３５】
図２及び図３を参考にすると、前記支持ハンド２は、前記基板１００を支持するためのものである。前記支持ハンド２は、前記アームユニット３に回転可能に結合される。前記支持ハンド２は、前記アームユニット３にハンド回転軸２ａを中心に回転可能に結合され得る。
【００３６】
前記支持ハンド２は、前記基板１００に接触するフォーク２１を含む。前記フォーク２１は、前記基板１００の底面に接触することによって前記基板１００を支持することができる。図３には、前記支持ハンド２が４個のフォーク２１を含む場合を示しているが、これに限定されることはなく、前記支持ハンド２は、１個、２個、３個または５個以上のフォーク２１を含むこともできる。
【００３７】
図２及び図３を参考にすると、前記アームユニット３は前記支持ハンド２を移動させる。前記アームユニット３は、前記アームベース４に回転可能に結合される。前記駆動部５は、前記アームユニット３が折り畳まれたり広がるように前記アームユニット３を回転させることによって、前記支持ハンド２を前記第１の位置Ｐ１と前記第２の位置Ｐ２との間に移動させることができる。この場合、前記駆動部５は前記支持ハンド２も回転させることができる。前記アームユニット３は、第１のアーム機構３１及び第２のアーム機構３２を含むことができる。
【００３８】
前記第１のアーム機構３１は前記アームベース４に回転可能に結合される。前記第１のアーム機構３１は、前記アームベース４に第１のアーム回転軸３１ａを中心に回転可能に結合され得る。
【００３９】
前記第２のアーム機構３２は前記第１のアーム機構３１に回転可能に結合される。前記第２のアーム機構３２は、前記第１のアーム機構３１に第２のアーム回転軸３２ａを中心に回転可能に結合され得る。前記駆動部５は、前記第１のアーム機構３１と前記第２のアーム機構３２が互いに重なったり広がるように前記第１のアーム機構３１及び前記第２のアーム機構３２を互いに反対の方向に回転させることができる。
【００４０】
図２及び図３を参考にすると、前記アームベース４は前記昇降部７に結合される。前記アームベース４には前記第１のアーム機構３１が回転可能に結合される。前記アームベース４は前記昇降部７によって昇降し得る。前記アームユニット３及び前記支持ハンド２は、前記アームベース４が前記昇降部７によって昇降すると同時に昇降し得る。その結果、前記昇降部７は、前記支持ハンド２が垂直方向に位置する高さを調節することができる。
【００４１】
図２及び図３を参考にすると、前記駆動部５（図２参照）は、前記アームユニット３及び前記支持ハンド２を回転させることによって前記支持ハンド２を移動させる。前記駆動部５は、前記アームユニット３及び前記支持ハンド２をそれぞれ時計方向及び反時計方向に回転させる。その結果、前記駆動部５は、前記支持ハンド２を前記第１の位置Ｐ１から前記第２の位置Ｐ２に移動させることができ、前記支持ハンド２を前記第２の位置Ｐ２から前記第１の位置Ｐ１に移動させることができる。前記支持ハンド２は、前記第２の位置Ｐ２に位置する場合、前記工程チャンバーまたは前記カセットの内部に位置し得る。また、前記支持ハンド２は、前記第１の位置Ｐ１に位置する場合、前記工程チャンバーまたは前記カセットの外部に位置し得る。本発明に係る基板移送装置１は、前記支持ハンド２を前記第１の位置Ｐ１と前記第２の位置Ｐ２との間に移動させることによって、前記基板１００を前記工程チャンバーまたは前記カセットに搬入する搬入工程及び前記基板１００を前記工程チャンバーまたは前記カセットから搬出する搬出工程を行うことができる。
【００４２】
前記駆動部５は、前記アームベース４の内部に設置される駆動ユニット５１（図２参照）を含むことができる。前記駆動ユニット５１は、前記支持ハンド２が前記第１の位置Ｐ１と前記第２の位置Ｐ２との間に移動するように前記アームユニット３及び前記支持ハンド２を回転させるための駆動力を発生させる。前記駆動ユニット５１は、駆動力を発生させる駆動モーター（図示せず）を含むことができる。前記駆動ユニット５１は、前記第１のアーム回転軸３１ａ、第２のアーム回転軸３２ａ及びハンド回転軸２ａのそれぞれに設置される各減速機（図示せず）、及び前記各減速機と前記駆動ユニット５１とを連結する各ベルト（図示せず）をさらに含むこともできる。前記駆動モーターは、前記各ベルトを介して前記各減速機を駆動させることによって前記アームユニット３及び前記支持ハンド２を回転させることができる。
【００４３】
図面には示していないが、前記駆動部５は、前記駆動ユニット５１を複数含むこともできる。この場合、前記駆動部５は、前記第１のアーム機構３１を回転させる第１の駆動ユニット、及び前記第２のアーム機構３２を回転させる第２の駆動ユニットを含むことができる。前記第２の駆動ユニットは、減速機及びベルトを介して前記第２のアーム機構３２及び前記支持ハンド２を共に回転させることができる。
【００４４】
図２ないし図５を参考にすると、前記旋回部６は、前記支持ハンド２が向かう方向が変更されるように前記アームベース４を回転させることができる。前記旋回部６は、前記昇降部７を回転させることによって前記アームベース４を回転させることができる。前記旋回部６は、走行部８に旋回軸６ａを中心に回転可能に結合され得る。前記旋回部６が前記旋回軸６ａを中心に回転することによって、前記昇降部７及び前記アームベース４が前記旋回軸６ａを中心に回転することができる。前記走行部８は、前記旋回部６を走行方向に移動させるためのものである。
【００４５】
前記旋回部６は、前記支持ハンド２が向かう方向が変更されるように前記アームベース４を回転させることができる。例えば、前記旋回部６は、前記支持ハンド２が前記搬入工程及び前記搬出工程を行う工程チャンバーまたはカセットに向かうように前記アームベース４を回転させることができる。
【００４６】
前記旋回部６は、前記駆動部５が前記支持ハンド２を移動させる過程で水平方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する方向と反対の方向に前記アームベース４を回転させることができる。
【００４７】
例えば、図４に示したように、前記支持ハンド２が移動する間に前記基準方向を基準にして右側に回転して蛇行する場合、前記旋回部６は、図５に示したように、前記アームベース４を反時計方向に回転させることによって、前記支持ハンド２が前記水平方向を基準にして蛇行する程度を減少させることができる。この場合、前記旋回部６は、前記支持ハンド２が前記基準方向を基準にして右側に蛇行しない角度まで前記アームベース４を反時計方向に回転させることもできる。
【００４８】
例えば、前記支持ハンド２が移動する間に前記基準方向を基準にして左側に回転して蛇行する場合、前記旋回部６は、前記アームベース４を時計方向に回転させることによって、前記支持ハンド２が水平方向を基準にして蛇行する程度を減少させることができる。この場合、前記旋回部６は、前記支持ハンド２が前記基準方向を基準にして左側に蛇行しない角度まで前記アームベース４を時計方向に回転させることもできる。
【００４９】
前記旋回部６は、前記支持ハンド２が蛇行し始める時点または前記支持ハンド２が蛇行し始める時点に近接した時点に、前記支持ハンド２の蛇行方向と反対の方向に前記アームベース４を回転させることができる。
【００５０】
前記旋回部６は、所定の制御信号に従って前記支持ハンド２の蛇行方向と反対の方向に前記アームベース４を回転させることができる。前記制御信号は、前記支持ハンド２が前記第１の位置Ｐ１と前記第２の位置Ｐ２との間に移動する途中で通過する位置座標別に前記支持ハンド２の蛇行方向及び前記支持ハンド２の蛇行程度がマッチングされているルックアップテーブルから生成することができる。前記ルックアップテーブルは、シミュレーション、作動試験などを通じて予め生成して制御部１ａ（図２参照）に保存することができる。
【００５１】
前記制御部１ａは、前記ルックアップテーブルが持つ情報及び前記支持ハンド２の位置座標に従って前記制御信号を生成することができる。前記制御部１ａは、前記第１の位置Ｐ１及び前記第２の位置Ｐ２が決定されると、前記第１の位置Ｐ１の位置座標、前記第２の位置Ｐ２の位置座標、及び前記第１の位置Ｐ１と前記第２の位置Ｐ２とが互いに離隔した距離などを考慮して、前記支持ハンド２が前記第１の位置Ｐ１と前記第２の位置Ｐ２との間に移動する途中で前記旋回部６が前記アームベース４を回転させるべき時点、地点、回転角度などが含まれた全体の制御信号を前記ルックアップテーブルから予め生成することもできる。本発明に係る基板移送装置１は、前記制御部１ａと別個の構成で具現することもでき、前記制御部１ａを含むように具現することもできる。
【００５２】
前記旋回部６は、旋回ユニット６１（図２参照）を含むことができる。前記旋回ユニット６１は、前記アームベース４を回転させるための駆動力を発生させる。前記旋回ユニット６１は、前記支持ハンド２が向かう変更が変更されるように前記アームベース４を回転させるための駆動力を発生させることができる。前記旋回ユニット６１は、前記駆動部５が前記支持ハンド２を移動させる過程で前記水平方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する方向と反対の方向に前記アームベース４を回転させるための駆動力を発生させることができる。前記旋回ユニット６１は、駆動力を発生させる旋回モーター（図示せず）を含むことができる。前記旋回ユニット６１は、前記旋回モーターに連結される減速機、ベルトなどをさらに含むこともできる。
【００５３】
図２及び図３を参考にすると、前記昇降部７は、前記支持ハンド２が位置する高さが変更されるように前記アームベース４を昇降させることができる。前記昇降部７は、前記旋回部６に結合することができ、前記アームベース４は、前記昇降部７に前記垂直方向に昇降可能に結合することができる。
【００５４】
図２、図３及び図６を参考にすると、前記昇降部７は、前記駆動部５が前記支持ハンド２を移動させる過程で前記垂直方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する方向と反対の方向に前記アームベース４を昇降させることができる。
【００５５】
例えば、図６に示したように、前記支持ハンド２が移動する間に下側方向に蛇行する場合、前記昇降部７は、前記アームベース４を上昇させることによって、前記支持ハンド２が前記垂直方向に蛇行する程度を減少させることができる。この場合、前記昇降部７は、前記支持ハンド２が前記下側方向に蛇行しない高さまで前記アームベース４を上昇させることもできる。
【００５６】
例えば、前記支持ハンド２が移動する間に上側方向に蛇行する場合、前記昇降部７は、前記アームベース４を下降させることによって、前記支持ハンド２が前記垂直方向に蛇行する程度を減少させることができる。この場合、前記昇降部７は、前記支持ハンド２が前記上側方向に蛇行しない高さまで前記アームベース４を下降させることもできる。
【００５７】
前記昇降部７は、昇降ユニット７ａ（図２参照）を含むことができる。前記昇降ユニット７ａは、前記アームベース４を昇降させるための駆動力を発生させる。前記昇降ユニット７ａは、前記支持ハンド２が位置する高さが変更されるように前記アームベース４を昇降させるための駆動力を発生させることができる。前記昇降ユニット７ａは、前記駆動部５が前記支持ハンド２を移動させる過程で前記垂直方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する方向と反対の方向に前記アームベース４を昇降させるための駆動力を発生させることができる。前記昇降ユニット７ａは、駆動力を発生させる昇降モーター（図示せず）を含むことができる。前記昇降ユニット７ａは、前記昇降モーターに連結されるラックギア及びピニオンギアをさらに含むこともできる。前記昇降ユニット７ａは、前記昇降モーターに連結されるボールスクリュー及びホールナットをさらに含むこともできる。
【００５８】
図２及び図３を参考にすると、前記昇降部７は、第１の昇降機構７１及び第２の昇降機構７２を含むことができる。
【００５９】
前記第１の昇降機構７１は前記旋回部６に結合される。前記第１の昇降機構７１は、前記旋回部６が前記旋回軸６ａを中心に回転すると同時に、前記旋回軸６ａを中心に回転することができる。前記第１の昇降機構７１は前記第２の昇降機構７２を昇降させることができる。
【００６０】
前記第２の昇降機構７２は前記第１の昇降機構７１に昇降可能に結合され、前記アームベース４は前記第２の昇降機構７２に結合される。その結果、前記第２の昇降機構７２が前記第１の昇降機構７１によって昇降すると、前記アームベース４は、前記第２の昇降機構７２が昇降すると同時に昇降する。前記第２の昇降機構７２は前記アームベース４を昇降させることができる。この場合、前記アームベース４は、前記第２の昇降機構７２に昇降可能に結合される。したがって、前記支持ハンド２の高さは、前記第１の昇降機構７１が前記第２の昇降機構７２を昇降させる距離及び前記第２の昇降機構７２が前記第１の昇降機構７１を昇降させる距離に従って変更することができる。
【００６１】
図面には示していないが、前記昇降部７が前記第１の昇降機構７１及び前記第２の昇降機構７２を含む場合、前記昇降部７は、前記第２の昇降機構７２を昇降させるための駆動力を発生させる第１の昇降ユニット、及び前記アームベース４を昇降させるための駆動力を発生させる第２の昇降ユニットを含むことができる。前記昇降部７は、前記第１の昇降ユニット及び前記第２の昇降ユニットを個別的に作動させることによって、前記支持ハンド２が位置する高さをさらに微細に調節することができる。また、前記昇降部７は、前記第１の昇降ユニット及び前記第２の昇降ユニットを個別的に作動させることによって、前記支持ハンド２が前記垂直方向に蛇行する程度をさらに減少させることができる。
【００６２】
前記昇降部７は、前記垂直方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行し始める時点または前記支持ハンド２が蛇行し始める時点に近接した時点に、前記支持ハンド２の蛇行方向と反対の方向に前記アームベース４を昇降させることができる。
【００６３】
前記昇降部７は、所定の制御信号に従って前記垂直方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する方向と反対の方向に前記アームベース４を昇降させることができる。前記制御信号は、前記支持ハンド２が前記第１の位置Ｐ１と前記第２の位置Ｐ２との間に移動する途中で通過する位置座標別に前記支持ハンド２の蛇行方向及び前記支持ハンド２の蛇行程度がマッチングされているルックアップテーブルから生成することができる。前記ルックアップテーブルは、シミュレーション、作動試験などを通じて予め生成して前記制御部１ａ（図２参照）に保存することができる。
【００６４】
前記制御部１ａは、前記ルックアップテーブルが持つ情報及び前記支持ハンド２の位置座標に従って前記制御信号を生成することができる。前記制御部１ａは、前記第１の位置Ｐ１及び前記第２の位置Ｐ２が決定されると、前記第１の位置Ｐ１の位置座標、前記第２の位置Ｐ２の位置座標、及び前記第１の位置Ｐ１と前記第２の位置Ｐ２とが互いに離隔した距離などを考慮して、前記支持ハンド２が前記第１の位置Ｐ１と前記第２の位置Ｐ２との間に移動する途中で前記昇降部７が前記アームベース４を昇降させるべき時点、地点、昇降距離などが含まれた全体の制御信号を前記ルックアップテーブルから予め生成することもできる。
【００６５】
上述したように、本発明に係る基板移送装置１は、前記旋回部６が前記水平方向を基準にして前記アームベース４を回転させることによって、前記支持ハンド２が移動する途中で前記水平方向を基準にして蛇行する程度を減少させることができる。本発明に係る基板移送装置１は、前記昇降部７が前記垂直方向を基準にして前記アームベース４を昇降させることによって、前記支持ハンド２が移動する途中で前記垂直方向を基準にして蛇行する程度を減少させることができる。
【００６６】
したがって、本発明に係る基板移送装置１は、前記支持ハンド２が移動する途中で蛇行する程度をさらに減少させることができ、その結果、前記支持ハンド２が移動する途中で振動、揺れなどが発生する程度をさらに減少させることによって、支持ハンド２を前記直線軌跡２０または前記直線軌跡２０にさらに近い軌跡に沿って移動させることができる。したがって、本発明に係る基板移送装置１は、前記支持ハンド２及び前記基板１００の損傷及び破損によって工程費用が上昇することを防止することができる。
【００６７】
また、本発明に係る基板移送装置１は、前記基板１００を移送するために前記支持ハンド２を移動させる速度を増大させることによって、前記電子部品に対する生産性及び収率を向上させることができる。以下では、これについて具体的に説明する。
【００６８】
まず、前記支持ハンド２の蛇行とは関係なく、前記駆動部５が前記アームユニット３及び前記支持ハンド２を回転させる場合、前記支持ハンド２は、図７に実線で示した第１の速度グラフＧ１のように移動する。その結果、前記支持ハンド２が前記第１の位置Ｐ１から前記第２の位置Ｐ２に移動するまで第１の作動時間Ｔ１がかかる。
【００６９】
次に、前記支持ハンド２の蛇行程度を減少させるために前記駆動部５が前記アームユニット３及び前記支持ハンド２を回転させる速度を減少させる場合、前記支持ハンド２は、図７に点線で示した第２の速度グラフＧ２のように移動する。その結果、前記支持ハンド２が前記第１の位置Ｐ１から前記第２の位置Ｐ２に移動するまで、前記第１の作動時間Ｔ１よりも長い第２の作動時間Ｔ２がかかる。
【００７０】
次に、前記旋回部６及び前記昇降部７のうち少なくとも一つが前記支持ハンド２の蛇行程度を減少させる場合、前記駆動部５は、前記アームユニット３及び前記支持ハンド２を回転させる速度を増大させることができる。その結果、前記支持ハンド２は、図７に一点鎖点で示した第３の速度グラフＧ３のように移動する。したがって、前記支持ハンド２が前記第１の位置Ｐ１から前記第２の位置Ｐ２に移動するまで、前記第１の作動時間Ｔ１及び前記第２の作動時間Ｔ２よりも短い第３の作動時間Ｔ３がかかる。
【００７１】
これから分かるように、本発明に係る基板移送装置１は、前記支持ハンド２が移動する途中で蛇行する程度を減少させると同時に、前記基板１００を移送するために前記支持ハンド２を移動させる速度を増大させ得るので、前記支持ハンド２及び前記基板１００の損傷及び破損によって工程費用が上昇することを防止するだけでなく、前記電子部品に対する生産性及び収率を向上させることができる。
【００７２】
本発明に係る基板移送装置１は、前記旋回部６が前記アームベース４を回転させ、前記昇降部７が前記アームベース４を昇降させることによって、前記支持ハンド２が移動する途中で前記水平方向及び前記垂直方向を基準にして蛇行する程度を減少させることもできる。したがって、本発明に係る基板移送装置１は、前記支持ハンド２が移動する途中で蛇行する程度をさらに減少させることができ、その結果、前記支持ハンド２が移動する途中で振動、揺れなどが発生する程度をさらに減少させることによって、支持ハンド２を前記直線軌跡２０または前記直線軌跡２０にさらに近い軌跡に沿って移動させることができる。また、本発明に係る基板移送装置１は、前記基板１００を移送するために前記支持ハンド２を移動させる速度をさらに増大させ得るので、前記電子部品に対する生産性及び収率を向上させることができる。
【００７３】
図８及び図９を参考にすると、本発明に係る基板移送装置１は、前記駆動部５が前記支持ハンド２を移動させる過程で前記支持ハンド２が向かう方向を補正する補正部９をさらに含むことができる。
【００７４】
前記補正部９は、前記駆動部５が前記支持ハンド２を移動させる過程で前記垂直方向及び前記水平方向のうち少なくとも一つの方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する方向と反対の方向に前記アームベース４を移動させることができる。その結果、前記補正部９は、前記駆動部５が前記支持ハンド２を移動させる過程で前記垂直方向及び前記水平方向のうち少なくとも一つの方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する程度を減少させることができる。
【００７５】
前記補正部９が前記水平方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する程度を減少させる場合、前記補正部９は、前記アームベース４を第１の回転軸４ａ（図９参照）を中心に回転させることによって、前記水平方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する方向と反対の方向に前記アームベース４を移動させることができる。この場合、前記補正部９は、前記制御部１ａから提供される制御信号に従って前記アームベース４を前記第１の回転軸４ａを中心に回転させることができる。前記補正部９は、補正ユニット９１（図８参照）を含むことができる。前記補正ユニット９１は、前記アームベース４を回転させるための駆動力を発生させる。前記補正ユニット９１は、前記駆動部５が前記支持ハンド２を移動させる過程で前記水平方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する方向と反対の方向に前記アームベース４を回転させるための駆動力を発生させることができる。前記補正ユニット９１は、駆動力を発生させる補正モーター（図示せず）を含むことができる。前記補正ユニット９１は、前記補正モーターに連結される減速機、ベルトなどをさらに含むこともできる。前記補正部９が前記垂直方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する程度を減少させる場合、前記補正部９は、前記アームベース４を昇降させることによって、前記垂直方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する方向と反対の方向に前記アームベース４を移動させることができる。この場合、前記補正ユニット９１は、前記アームベース４を昇降させるための駆動力を発生させることができる。前記補正ユニット９１は、前記駆動部５が前記支持ハンド２を移動させる過程で前記垂直方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する方向と反対の方向に前記アームベース４を昇降させるための駆動力を発生させることができる。前記補正部９は、前記制御部１ａから提供される制御信号に従って前記アームベース４を昇降させることができる。
【００７６】
前記補正部９は、前記旋回部６及び前記昇降部７の代わりに、前記支持ハンド２の蛇行程度を減少させるために前記アームベース４を移動させることができる。この場合、前記補正部９は、前記アームベース４を回転させるための駆動力を発生させる第１の補正ユニット、及び前記アームベース４を昇降させるための駆動力を発生させる第２の補正ユニットを含むことができる。前記補正部９は、前記補正モーター及び前記アームベース４を連結するための連結手段をさらに含むこともできる。前記補正部９が前記アームベース４を回転させて移動させる場合、前記連結手段は、プーリー及びベルトまたはギア及びチェーンであり得る。前記補正部９が前記アームベース４を直線に移動させる場合、前記連結手段は、プーリー及びベルト、ギア及びチェーン、ラックギア及びピニオンギア、ボールスクリュー及びボールナットのうちいずれか一つであり得る。前記補正部９は、前記アームユニット３を移動させることによって、前記支持ハンド２の蛇行程度を減少させることもできる。この場合、前記補正部９は、前記第１のアーム機構３１及び前記第２のアーム機構３２のうち少なくとも一つを移動させることができる。本発明に係る基板移送装置１は、前記旋回部６、前記昇降部７及び前記補正部９が互いに連動して動作することによって、前記支持ハンド２の蛇行程度を減少させることもできる。
【００７７】
前記補正部９は、前記アームベース４を第２の回転軸４ｂ（図９参照）を中心に回転させることによって、前記垂直方向を基準にして前記支持ハンド２が蛇行する方向と反対の方向に前記アームベース４を移動させることもできる。前記第２の回転軸４ｂは、前記第１の回転軸４ａに対して垂直な方向に向かう回転軸を意味する。前記補正部９は、前記アームベース４を前記第２の回転軸４ｂを中心に回転させることによって、前記支持ハンド２が移動する途中で前記垂直方向に傾斜する程度を減少させることができる。前記補正部９は、前記制御部１ａから提供される制御信号に従って前記アームベース４を前記第２の回転軸４ａを中心に回転させることができる。
【００７８】
以下では、本発明に係る基板移送方法の好ましい実施例を添付の図面を参照して詳細に説明する。
【００７９】
図２ないし図１０を参考にすると、本発明に係る基板移送方法は、上述した本発明に係る基板移送装置を用いて行うことができる。本発明に係る基板移送方法は、次のような構成を含むことができる。
【００８０】
まず、前記支持ハンド２を移動させる（Ｓ１０）。このような工程（Ｓ１０）は、前記駆動部５が前記アームユニット３及び前記支持ハンド２を回転させることによって行うことができる。前記支持ハンド２を移動させる工程（Ｓ１０）は、前記支持ハンド２を前記第１の位置Ｐ１から前記第２の位置Ｐ２または前記第２の位置Ｐ２から前記第１の位置Ｐ１に移動させることによって行うことができる。
【００８１】
次に、前記支持ハンド２の移動を補正する（Ｓ２０）。このような工程（Ｓ２０）は、前記支持ハンド２を移動させる工程（Ｓ１０）が行われる途中で行うことができる。前記支持ハンド２の移動を補正する工程（Ｓ２０）は、前記支持ハンド２を移動させる過程で前記支持ハンド２の蛇行方向と反対の方向に前記支持ハンド２を移動させることによって行うことができる。前記支持ハンド２の移動を補正する工程（Ｓ２０）は、前記旋回部６、前記昇降部７及び前記補正部９のうち少なくとも一つによって行うことができる。
【００８２】
前記支持ハンド２の移動を補正する工程（Ｓ２０）は、前記支持ハンド２を移動させる過程で前記支持ハンド２が前記水平方向を基準にして蛇行する方向と反対の方向に前記支持ハンド２を回転させる工程を含むことができる。このような工程は、前記旋回部６が前記昇降部７を回転させ、前記アームベース４を回転させることによって行うことができる。前記支持ハンド２を回転させる工程は、前記補正部９が前記アームベース４または前記アームユニット３を回転させることによって行うこともできる。前記支持ハンド２を回転させる工程は、前記旋回部６及び前記補正部９が連動して動作することによって行うこともできる。
【００８３】
前記支持ハンド２の移動を補正する工程（Ｓ２０）は、前記支持ハンド２を移動させる過程で前記支持ハンド２が前記垂直方向を基準にして蛇行する方向と反対の方向に前記支持ハンド２を昇降させる工程を含むことができる。このような工程は、前記昇降部７が前記アームベース４を昇降させることによって行うことができる。前記支持ハンド２を昇降させる工程は、前記補正部９が前記アームベース４または前記アームユニット３を昇降させることによって行うこともできる。前記支持ハンド２を昇降させる工程は、前記昇降部７及び前記補正部９が連動して動作することによって行うこともできる。
【００８４】
以上説明した本発明は、上述した実施例及び添付の図面に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で多様な置換、変形及び変更が可能であることは、本発明の属する技術分野で通常の知識を有する者にとって明白であろう。
【符号の説明】
【００８５】
１      基板移送装置
２      支持ハンド
３      アームユニット
４      アームベース
５      駆動部
６      旋回部
７      昇降部
８      走行部
９      補正部
１００  基板。
【図１】
2014212321.tif 000003
【図２】
2014212321.tif 000004
【図３】
2014212321.tif 000005
【図４】
2014212321.tif 000006
【図５】
2014212321.tif 000007
【図６】
2014212321.tif 000008
【図７】
2014212321.tif 000009
【図８】
2014212321.tif 000010
【図９】
2014212321.tif 000011
【図１０】
2014212321.tif 000012