(57)【要約】【課題】  非破壊検査により検査対象物の焼入れ品質を精度良く検査することができる焼入れ品質検査装置を提供する。【解決手段】  この焼入れ品質検査装置は、電流印加用探針３，３を介して電流を印加する電源２と、この電源２により電流が印加された検査対象物１の表面における、電流印加用探針３，３とは異なる２点に接触させて、この２点間の電圧を測定する一対の電圧測定用探針４，４と、これら電圧測定用探針４，４で測定された電圧から検査対象物１の焼入れ品質を測定する品質測定手段１２とを備える。検査対象物１に対して、前記電流印加用探針３，３により電流を印加する位置を変化させる電流印加位置変化手段を設けた。【選択図】      図１
2014126375.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の表面に接触させた電流印加用探針を介して電流を印加する電源と、
この電源により電流が印加された前記検査対象物の表面における、前記電流印加用探針とは異なる２点に接触させて、この２点間の電圧を測定する一対の電圧測定用探針と、
これら電圧測定用探針で測定された電圧から前記検査対象物の焼入れ品質を測定する品質測定手段と、
を備えた焼入れ品質検査装置において、
前記検査対象物に対して、前記電流印加用探針により電流を印加する位置を変化させる電流印加位置変化手段を設けたことを特徴とする焼入れ品質検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の焼入れ品質検査装置において、前記品質測定手段は、前記電流印加位置変化手段により複数測定した位置の電圧を、平均する機能を有する焼入れ品質検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の焼入れ品質検査装置において、前記電流印加位置変化手段は、前記検査対象物に対して、前記電圧測定用探針により電圧を測定する位置を変化させる手段を有する焼入れ品質検査装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の焼入れ品質検査装置において、前記電流印加位置変化手段は、前記電流印加用探針と前記電圧測定用探針とを一体で回転自在としたものである焼入れ品質検査装置。
【請求項５】
請求項４に記載の焼入れ品質検査装置において、前記電流印加位置変化手段は、前記電流印加用探針と前記電圧測定用探針とを一体としたヘッドを回転させるヘッド回転部を含む焼入れ品質検査装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の焼入れ品質検査装置において、前記電流印加用探針を複数対設け、前記電流印加位置変化手段は、電流を印加する電流印加用探針対を切替えるものである焼入れ品質検査装置。
【請求項７】
請求項６に記載の焼入れ品質検査装置において、前記電圧測定用探針を複数対設け、前記電流印加位置変化手段は、電流を印加する電流印加用探針対を切替えると共に、電圧を測定する電圧測定用探針対を切替えるものである焼入れ品質検査装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の焼入れ品質検査装置において、前記電流を印加する電流印加用探針対と、電圧を測定する電圧測定用探針対とは、これら探針の長手方向から見て、直線に並び、且つ、外側の２つの探針が電流印加用探針対であり、内側の２つの探針が電圧測定用探針対である焼入れ品質検査装置。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の焼入れ品質検査装置において、前記焼入れ品質として、前記検査対象物の表面硬度および焼入れ深さの少なくとも一つを検査する焼入れ品質検査装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の焼入れ品質検査装置において、前記品質測定手段は、前記検査対象物の表面硬度および焼入れ深さの少なくとも一つが、定められた値を下回るときに焼入れ異常と判定する判定部を有する焼入れ品質検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、軸受および軸受部品などの転動装置部品における表面硬度および焼入れ深さなどの焼入れ品質を検査する焼入れ品質検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
軸受などの転動部品には焼入れ処理や焼戻し処理が施される。これらの処理の中でも、高周波焼入れ処理や、浸炭処理、浸炭窒化処理などの表面硬化処理では、品質保証のために表面硬化層の検査が行われる。この検査では、実際の製品を切断して、その切断面上で、製品表面から深さ方向に硬度を測定して硬化層の深さを測定している。また、製品を切断することができないものでは、テストピースに製品と同じ炉で熱処理を施し、そのテストピースを切断して前記と同様に硬化層深さを測定して、製品の硬化層深さの保証を行っている。
【０００３】
製品を切断する破壊検査では、この検査により製品が破棄されるため、マテリアルコストが大きくなる問題がある。また、製品の切断、および硬度計による深さ方向の硬度測定に時間がかかり、工数が大きくなる問題点もある。
製品を切断することができないものは、実際の製品の検査ではないため、保証精度が悪い等の問題点がある。
【０００４】
このため、焼入れ硬化層を非破壊で検査する方法が提案されている（特許文献１，２）。その中に、測定対象に複数の探針を押し当て、通電用探針から電流を流し、他の探針間の電圧を測定する電位差法がある。この方法は、材料の透磁率や導電率が焼入れにより変化することを利用している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−０４７６６４号公報
【特許文献２】特開２０１０−２４３１７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、導電率、透磁率は、測定対象の測定場所によりばらつきがある。このため、探針を押し当てる場所により測定電圧が変化し、焼入れ品質測定精度が悪くなる問題点がある。
【０００７】
この発明の目的は、非破壊検査により検査対象物の焼入れ品質を精度良く検査することができる焼入れ品質検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の焼入れ品質検査装置は、検査対象物１の表面に接触させた電流印加用探針３，３を介して電流を印加する電源２と、
この電源２により電流が印加された前記検査対象物１の表面における、前記電流印加用探針３，３とは異なる２点に接触させて、この２点間の電圧を測定する一対の電圧測定用探針４，４と、
これら電圧測定用探針４，４で測定された電圧から前記検査対象物１の焼入れ品質を測定する品質測定手段１２と、
を備えた焼入れ品質検査装置において、
前記検査対象物１に対して、前記電流印加用探針３，３により電流を印加する位置を変化させる電流印加位置変化手段１０，１０Ａを設けたことを特徴とする。
【０００９】
この構成によると、検査対象物１の表面に電流印加用探針３，３を接触させ、電源２から電流印加用探針３，３を介して電流を流す。この状態において、検査対象物１の表面に接触させた一対の電圧測定用探針４，４により２点間の電圧つまり電位差を測定する。品質測定手段１２は、測定された電圧から検査対象物１の焼入れ品質を測定する。
検査対象物１に一定の電流を印加したとき、電圧測定用探針４，４間の電圧は、測定対象となる位置の導電率、透磁率により変化する。
焼入れにより鋼材の透磁率、導電率が変化する。一般に焼入れにより鋼材の硬度が高くなる程、透磁率、導電率共に小さくなる。この理由により、焼入れ硬度などの焼入れ品質によって前記２点間の電圧が変化する。したがって、前記２点間の電圧を測定することで、焼入れ品質に関する情報を得ることができる。この場合に、電流印加位置変化手段１０，１０Ａは、検査対象物１に対して、前記電流印加用探針３，３による電流を印加する位置を変化させる。品質測定手段１２は、これら変化させた位置でそれぞれ測定した電圧に基づき、焼入れ品質に関する情報を得ることで、測定場所による導電率や透磁率のばらつきの影響を小さくすることができる。
【００１０】
前記品質測定手段１２は、前記電流印加位置変化手段１０，１０Ａにより複数測定した位置の電圧を、平均する機能を有するものとしても良い。このように複数測定した位置での電圧の平均をとることで、測定場所による導電率や透磁率のばらつきの影響を小さくし、非破壊検査の検査精度を、簡易に向上させることができる。
【００１１】
前記電流印加位置変化手段１０は、前記検査対象物１に対して、前記電圧測定用探針４，４により電圧を測定する位置を変化させる手段を有するものとしても良い。この場合、検査対象物１に対して、電圧測定用探針４，４を手動で変化させる必要なく、各測定場所での電圧を簡易に且つ確実に測定し得る。
【００１２】
前記電流印加位置変化手段１０は、前記電流印加用探針３，３と前記電圧測定用探針４，４とを一体で回転自在としたものであっても良い。この場合、電流印加用探針３，３については、少なくとも一対の電流印加用探針３，３があれば足り、部品点数の低減を図れ、製造コストの低減を図れる。
前記電流印加位置変化手段１０は、前記電流印加用探針３，３と前記電圧測定用探針４，４とを一体としたヘッド８を回転させるものとしても良い。この場合、電流印加用探針３，３と電圧測定用探針４，４とを別々に取り扱う必要がなく、測定の作業性を高めることができる。
【００１３】
前記電流印加用探針３，３を複数対設け、前記電流印加位置変化手段１０Ａは、電流を印加する電流印加用探針対を切替えるものであっても良い。この場合、複数対の電流印加用探針３，３のうち、所定の電流印加用探針３，３間に別々に順次電流を印加することで、検査対象物１に対して、電圧測定用探針４，４による電圧を測定する位置を変化させ得る。
前記電圧測定用探針４，４を複数対設け、前記電流印加位置変化手段１０Ａは、電流を印加する電流印加用探針対を切替えると共に、電圧を測定する電圧測定用探針対を切替えるものであっても良い。この場合、電圧の測定位置を変化させるとき、電流印加用探針対および電圧測定用探針対を検査対象物１の表面から都度離す必要がなく、ヘッド８を回転させる例よりもより簡便に各測定場所での電圧を測定し得る。
【００１４】
前記電流を印加する電流印加用探針対と、電圧を測定する電圧測定用探針対とは、これら探針の長手方向から見て、直線に並び、且つ、外側の２つの探針が電流印加用探針対であり、内側の２つの探針が電圧測定用探針対であっても良い。
【００１５】
前記焼入れ品質として、前記検査対象物１の表面硬度および焼入れ深さの少なくとも一つを検査するものであっても良い。
前記品質測定手段１２は、前記検査対象物１の表面硬度および焼入れ深さの少なくとも一つが、定められた値を下回るときに焼入れ異常と判定する判定部６ａを有するものとしても良い。このように判定部６ａを設けることで、品質異常の判定が容易に且つ客観的に行える。
【発明の効果】
【００１６】
この発明の焼入れ品質検査装置は、検査対象物の表面に接触させた電流印加用探針を介して電流を印加する電源と、この電源により電流が印加された前記検査対象物の表面における、前記電流印加用探針とは異なる２点に接触させて、この２点間の電圧を測定する一対の電圧測定用探針と、これら電圧測定用探針で測定された電圧から前記検査対象物の焼入れ品質を測定する品質測定手段とを備えた焼入れ品質検査装置において、
前記検査対象物に対して、前記電流印加用探針により電流を印加する位置を変化させる電流印加位置変化手段を設けた。このため、非破壊検査により検査対象物の焼入れ品質を精度良く検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】この発明の第１の実施形態に係る焼入れ品質検査装置の基本構造を示すブロック図である。
【図２】同焼入れ品質検査装置の要部の拡大図である。
【図３】同焼入れ品質検査装置の要部の平面図である。
【図４】同焼入れ品質検査装置のヘッドと検査対象物との位置関係を示す図である。
【図５】この発明の他の実施形態に係る焼入れ品質検査装置の要部の平面図である。
【図６】同焼入れ品質検査装置の概念構成を示すブロック図である。
【図７】同焼入れ品質検査装置のヘッドと検査対象物との位置関係を示す図である。
【図８】前記いずれかの焼入れ品質検査装置の一使用例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
この発明の第１の実施形態に係る焼入れ品質検査装置を図１ないし図４と共に説明する。以下の説明は、焼入れ品質検査方法についての説明をも含む。先ず、この実施形態に係る焼入れ品質検査装置の基本構造について説明する。
図１に示すように、この焼入れ品質検査方法は、検査対象物１の表面に、後述する直流電位差法または交流電位差法により電流を印加し、その検査対象物１の表面における、任意の２点間の電圧つまり電位差を測定することで、焼入れ品質を検査する。検査対象物１は、焼入れ処理が施された例えば軸受や軸受部品などの鋼材製品である。ただし、これらの鋼材製品に限定されるものではない。
【００１９】
検査対象物１に印加する電流は、後述する交流電流または直流電流である。電源２から一対の電流印加用探針３，３を介して検査対象物１に電流を印加する。この電流が印加された検査対象物１の表面における、前記電流印加用探針３とは異なる２点に、一対の電圧測定用探針４，４を接触させてこの２点間の電圧を、電圧測定部５で測定する。測定された電圧は、信号処理部６で処理され検査対象物１の焼入れ品質が評価され、表示装置７で評価結果が表示される。
【００２０】
検査対象物１に一定の電流を印加したとき、電圧測定用探針４，４間の電圧は、検査対象物１の測定場所の導電率、透磁率により変化する。ここで電流が流れる深さδは、次式（１）で表される。
δ＝√（１／πｆσμ）    …（１）
ただし、ｆは交流電流の周波数、σは導電率、μは透磁率である。
【００２１】
鋼材製品は焼入れにより鋼材の透磁率、導電率が変化する。一般に焼入れにより鋼材の硬度が高くなる程、透磁率、導電率共に小さくなる。この理由により、焼入れ硬度などの焼入れ品質によって前記２点間の電圧が変化する。したがって、前記２点間の電圧を測定することで、焼入れ品質に関する情報を得ることができる。
【００２２】
一方（１）式から、検査対象物１を流れる交流電流の侵入深さδは、交流電流の周波数ｆにより変化する。前記周波数ｆを変化させることで、交流電流の侵入深さδを変え得る。したがって、交流電流の侵入深さδを変えながら、２点間の電圧を測定することにより、焼入れ硬度について焼入れ深さ方向の分布を検査することができる。すなわち、例えば、検査対象物１に高周波交流電流を印加したときは、表皮効果により電流は、検査対象物１の表面近傍しか流れることができないので、検査対象物１の焼入れによる表面硬度などの表面情報を得ることができる。
検査対象物１に直流電流または低周波交流電流を印加したときは、電流が検査対象物１の内部まで流れるようになり、検査対象物１の焼入れによる焼入れ深さなどの内部情報を得ることができる。
【００２３】
直流電位差法は、検査対象物１に直流電流を印加する方法で、電圧測定用探針４，４間の電圧の大きさを測定する。
交流電位差法は、検査対象物１に交流電流を印加する方法で、電圧測定用探針４，４間の電圧の振幅と電流との位相差を測定する。
交流電位差法は、振幅と位相を測定することができ、さらに位相検波をすることで、ノイズの影響を受けにくくなるので、直流電位差法より精度が高い測定が可能である。
実際の測定では、焼入れ深さや表面硬度を変えた試料を測定して検量線をあらかじめ作成し、検査対象物１の測定結果と前記検量線とを比較することで、この検査対象物１の焼入れ深さや表面硬度を推定する。
【００２４】
図１に示すように、この焼入れ品質検査装置は、ヘッド８と、測定装置９と、表示装置７と、電流印加位置変化手段１０（図２）とを有する。ヘッド８は、一対の電流印加用深針３，３と一対の電圧測定用深針４，４とをハウジング１１により一体としたものである。これらのうち電流印加用深針３，３は、検査対象物１の表面に接触させて測定装置９の電源２から前記検査対象物１に電流を印加する。電圧測定用深針４，４は、電流が印加された検査対象物１の表面における、前記電流印加用深針３，３とは異なる２点に接触させて、この２点間の電圧を測定するようになっている。
【００２５】
図２に示すように、電流印加用深針対３，３と電圧測定用深針対４，４とは、所定距離離隔して平行に配置され、図３に示すように、これら深針３，４の長手方向から見て、直線に並び、且つ、外側の２つの深針が電流印加用深針対３，３で内側の２つの深針が電圧測定用深針対４，４となるように配置されている。図２に示すように、各電流印加用深針３、各電圧測定用深針４はそれぞれ棒状に形成され、各深針３，４の一端部がハウジング１１の端面から突出して検査対象物１の表面に接触する。
【００２６】
図１に示すように、各電流印加用深針３の他端部が、測定装置９の電源２に接続され、各電圧測定用深針４の他端部が、測定装置９における後述の電圧測定部５に接続されている。
測定装置９は、電源２と、品質測定手段１２とを有する。
電源２として例えば、交流電源が用いられる。電源２は、例えば、周波数可変の発振回路と、この発振回路から出力された交流電流を増幅して検査対象物１に電流を印加する増幅回路とを含む。発振回路は、品質測定手段１２の信号処理部６に接続され、この信号処理部６からの指示により周波数および振幅を変化させる。なお前記交流電源を用いて検査対象物１に直流電流を印加することも可能である。
【００２７】
品質測定手段１２は、一対の電圧測定用深針４，４間の電位差つまり電圧を測定する電圧測定部５と、この電圧測定部５で測定された電圧から検査対象物１の焼入れ品質を測定する信号処理部６とを有する。
信号処理部６は、前記焼入れ品質として、検査対象物１の表面硬度および焼入れ深さの少なくとも一つを、各品質項目毎に電圧値と、各品質項目毎の設定品質値との関係に照らして推定する。信号処理部６は、判定部６ａと、周波数変更指令部６ｂと、後述する電流印加位置変更指令部６ｃとを有する。
【００２８】
判定部６ａは、測定した検査対象物１の表面硬度および焼入れ深さの少なくとも一つが、定められた値（設定品質値）を下回るとき、焼入れ異常と判定する。判定部６ａは、電圧測定部５で測定された電圧に比例する表面硬度等を算出する例えば電子回路等からなる。この判定部６ａは、前記電圧に基づく信号と、表面硬度，焼入れ深さとの関係を演算式またはテーブル等で設定した図示外の関係設定手段を有し、測定した電圧に基づく信号を、前記関係設定手段に照らし検査対象物１の表面硬度または焼入れ深さを算出する。前記設定品質値は、種々の試験等により適宜設定される閾値であり、書換え可能な記憶媒体等に記憶される。
【００２９】
周波数変更指令部６ｂは、電源２の前記発振回路に交流信号の周波数および振幅を可変設定する指令を与える。周波数変更指令部６ｂにより、交流信号が例えば1kHz以上20kHz以下の高周波となるように電源２に指令を与えることで、検査対象物１の焼入れによる表面硬度などの表面情報を判定部６ａで得ることが可能となる。周波数変更指令部６ｂにより、交流信号が例えば1Hz以上100Hz以下の低周波となるように電源２に指令を与えることで、検査対象物１の焼入れ深さなどの内部情報を判定部６ａで得ることが可能となる。
なお周波数変更指令部６ｂは、例えば、周波数を変える変更幅、頻度、変更の繰り返し周期等の規則等が、目的とする焼入れ品質の種類や、検査対象物１の種類等に応じて複数種類設定されていて、適宜の入力により任意の規則が選択可能なものとしても良い。
【００３０】
測定装置９には、図示外の駆動回路を介して表示装置７が接続される。この表示装置７は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、ＣＲＴディスプレイ、プリンタ等によって実現される。この表示装置７は、品質測定手段１２の測定した焼入れ品質を表示する。
【００３１】
図２に示すように、電流印加位置変化手段１０は、検査対象物１に対して、電流印加用探針３，３による印加する位置を変化させるものである。電流印加位置変化手段１０は、前記ヘッド８をその回転軸心回りに回転させるヘッド回転部１３と、例えばスリップリングやロータコネクタなどの端子１４とを有する。ヘッド回転部１３は例えばモータからなり、このヘッド回転部１３の先端に、端子１４を介してヘッド８が固着されている。したがって、電流印加位置変化手段１０により、電流印加用探針３，３と電圧測定用探針４，４とは一体で回転自在となっている。
【００３２】
ヘッド回転部１３に、信号処理部６における電流印加位置変更指令部６ｃ（図１）が接続され、この電流印加位置変更指令部６ｃは、ヘッド８をその回転軸心回りに定められた角度回転駆動させる回転指令を前記ヘッド８に与える。図４に示すように、電流印加位置変更指令部６ｃからの回転指令に基づき、検査対象物１に対しヘッド８を相対的に回転させ、検査対象物１の表面における複数位置の電圧を測定し得る。
【００３３】
図１、図２に示すように、信号処理部６における判定部６ａは、電流印加位置変化手段１０により複数測定した位置の電圧を平均する機能を有する。例えば、検査対象物１に対しヘッド８を対向させた任意の位置にて、一対の電圧測定用探針４，４で電圧を測定した後、検査対象物１に対するヘッド８の位置を変化させずに、同ヘッド８を検査対象物１の表面から離して、ヘッド回転部１３によりヘッド８を決められた角度回転させる。その後、ヘッド８を再び検査対象物１の表面に接触させて一対の電圧測定用探針４，４で電圧を測定する。このようにヘッド８をその軸心回りに回転させつつ、各回転角度毎に電圧測定用探針４，４間に流れる電圧を測定し、これら測定値の平均値を判定部６ａにて演算するようになっている。
【００３４】
作用効果について説明する。
検査対象物１の表面に電流印加用探針３，３を接触させ、電源２から電流印加用探針３，３を介して電流を流す。この状態において、検査対象物１の表面に接触させた一対の電圧測定用探針４，４により２点間の電圧つまり電位差を測定する。品質測定手段１２は、測定された電圧から検査対象物１の焼入れ品質を測定する。
検査対象物１に一定の電流を印加したとき、電圧測定用探針４，４間の電圧は、測定対象となる位置の導電率、透磁率により変化する。
【００３５】
焼入れにより鋼材の透磁率、導電率が変化する。一般に焼入れにより鋼材の硬度が高くなる程、透磁率、導電率共に小さくなる。この理由により、焼入れ硬度などの焼入れ品質によって前記２点間の電圧が変化する。したがって、前記２点間の電圧を測定することで、焼入れ品質に関する情報を得ることができる。この場合に、電流印加位置変化手段１０は、検査対象物１に対して、前記電流印加用探針３，３による電流を印加する位置を変化させる。品質測定手段１２は、これら変化させた位置でそれぞれ測定した電圧に基づき、焼入れ品質に関する情報を得ることで、測定場所による導電率や透磁率のばらつきの影響を小さくすることができる。
【００３６】
品質測定手段１２は、電流印加位置変化手段１０により複数測定した位置の電圧を平均する。このように複数測定した位置での電圧の平均をとることで、測定場所による導電率や透磁率のばらつきの影響を小さくし、非破壊検査の検査精度を、簡易に向上させることができる。
電流印加位置変化手段１０は、検査対象物１に対して、電圧測定用探針４，４による電圧を測定する位置を変化させる機能を有する。この場合、検査対象物１に対して、電圧測定用探針４，４を手動で変化させる必要なくモータからなるヘッド回転部１３で駆動させることができるため、各測定場所での電圧を簡易に且つ確実に測定し得る。
【００３７】
電流印加位置変化手段１０は、電流印加用探針３，３と電圧測定用探針４，４とを一体で回転自在としたため、電流印加用探針については、少なくとも一対の電流印加用探針３，３があれば足り、部品点数の低減を図れ、製造コストの低減を図れる。
前記電流印加位置変化手段１０は、電流印加用探針３と電圧測定用探針４とを一体としたヘッド８を回転させるものとしたため、電流印加用探針３と電圧測定用探針４とを別々に取り扱う必要がなく、測定の作業性を高めることができる。
【００３８】
他の実施形態について説明する。
以下の説明においては、各形態で先行する形態で説明している事項に対応している部分には同一の参照符を付し、重複する説明を略する。構成の一部のみを説明している場合、構成の他の部分は、特に記載のない限り先行して説明している形態と同様とする。同一の構成から同一の作用効果を奏する。実施の各形態で具体的に説明している部分の組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、実施の形態同士を部分的に組合せることも可能である。
【００３９】
図５は、この発明の他の実施形態に係る焼入れ品質検査装置の要部の平面図である。図６は、同焼入れ品質検査装置の概念構成を示すブロック図である。図７は、同焼入れ品質検査装置のヘッド８と検査対象物１との位置関係を示す図である。図５に示すように、電流印加用探針３を複数対設け、電圧測定用探針４を複数対設け、図６に示すように、電流印加位置変化手段１０Ａは、電流を印加する電流印加用探針対３，３を切替えると共に、電圧を測定する電圧測定用探針対４，４を切替えるものであっても良い。この例では、前述のヘッド回転部が設けられていない。
【００４０】
図５に示すように、ヘッド８には、電流印加用深針３と電圧測定用深針４とが、円周上に複数対（この例ではそれぞれ四対）設けられている。各対の電流印加用深針３，３間の中心と、各対の電圧測定用深針４，４の中心とが、ヘッド８の中心に一致するように配置されている。ヘッド８の端面における外周側に、電流印加用深針３が円周方向一定間隔（この例では４５度間隔）おきに配置され、同ヘッド８の端面における内周側でこれら電流印加用深針３と同位相の位置に電圧測定用深針４が円周方向一定間隔おきに配置される。
【００４１】
電流印加位置変化手段１０Ａは、対角となる電流印加用深針３，３に電流を流し、これらの電流印加用深針３，３と同位相にある対角の電圧測定用深針４，４間の電圧を測定し得るように探針対を順次に切替える。この電流印加位置変化手段１０Ａは、電流を流す電流印加用深針３，３、電圧を測定する電圧測定用深針４，４をそれぞれ切替えるスイッチ１５，１６からなる。電流印加位置変更指令部６ｃ（図１）は、電流を流すべき一対の電流印加用深針３，３に電流を流すように、スイッチ１５に切替指令を与える。これと共に、電流印加位置変更指令部６ｃ（図１）は、電圧を測定すべき一対の電圧測定用深針４，４を測定可能に、スイッチ１６に切替指令を与える。
【００４２】
この構成によると、複数対の電流印加用探針３，３のうち、所定の電流印加用探針３，３間に別々に順次電流を印加することで、検査対象物１に対して、電圧測定用探針４，４による電圧を測定する位置を変化させ得る。品質測定手段１２は、電流印加位置変化手段１０Ａにより複数測定した位置の電圧を平均する。このように複数測定した位置での電圧の平均をとることで、測定場所による導電率や透磁率のばらつきの影響を小さくし、非破壊検査の検査精度を、簡易に向上させることができる。この例では、電圧の測定位置を変化させるとき、ヘッド８を検査対象物１の表面から都度離す必要がなく、第１の実施形態よりもより簡便に各測定場所での電圧を測定し得る。
【００４３】
図８は、前記焼入れ品質検査装置を使用して行う非破壊検査の一例を示す。ここでは、軸受の内輪２１の転走面２１ａの焼入れ品質を検査する。回転軸２２の小径部に内輪２１が嵌合され、この回転軸２２は図示外の駆動源により軸線Ｌ１回りに回転可能に構成されている。ヘッド進退駆動源２３の先端部に、ヘッ８を固定する固定部材２２が設けられ、固定部材２２に固定されたヘッド８がヘッド進退駆動源２３の駆動により軸線Ｌ１方向に平行に移動可能に構成される。ヘッド進退駆動源２３として、流体圧シリンダや、モータとボールねじ機構から成るもの等を適用し得る。
【００４４】
固定部材２２がヘッド８を適当な押し付け力で転走面２１ａに押し付ける。回転軸Ｌ１を回転させヘッド８を移動させることで、内輪２１の転走面２１ａの全周面にヘッド８を摺動させて周上全ての箇所または数箇所の焼入れ品質を検査し得る。この場合、表示装置７（図１、図６）によりオンライン上で焼入れ品質を全数検査できるので、品質保証能力を高めることができる。なお、ヘッド進退駆動源２３、固定部材２２等を設けることなくヘッド８を例えば手動により移動させて、転走面２１ａ等の焼入れ品質を検査しても良い。
【符号の説明】
【００４５】
１…検査対象物
２…電源
３…電流印加用深針
４…電圧測定用深針
８…ヘッド
１０，１０Ａ…電流印加位置変化手段
１２…品質測定手段
１３…ヘッド回転部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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