(57)【要約】【課題】減圧中に密閉槽から排出される気体が液化するおそれがある減圧装置において、この液化を防止することにより、真空ポンプの性能低下を防ぐと共に、真空ポンプの故障を防止することができる装置を提供する。【解決手段】気密な密閉槽１２内に常圧よりも減圧された環境を形成する装置であって、密閉槽１２に気体排出路を介して接続された真空ポンプ１３と、前記気体排出路に設けられた、真空ポンプ１３の吸引流量よりも少ない流量の外部気体を流入させる外部気体流入部１４とを備える。気体排出路内に外部気体が流入することにより、排出気体の液化が防止される。【選択図】図１
2014109425.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気密な密閉槽内に常圧よりも減圧された環境を形成する装置であって、
a) 前記密閉槽に気体排出路を介して接続された真空ポンプと、
b) 前記気体排出路に設けられた、前記真空ポンプの吸引流量よりも少ない流量の外部気体を該気体排出路内に流入させる外部気体流入部と
を備えることを特徴とする減圧装置。
【請求項２】
前記真空ポンプにより前記密閉槽内の減圧を開始してから、所定時間が経過するまでの間、又は該密閉槽内が所定圧力に減圧されるまでの間、前記外部気体流入部から前記気体排出路内に外部気体を流入させるよう、前記外部気体流入部を制御する制御部を備えことを特徴とする請求項１に記載の減圧装置。
【請求項３】
前記所定時間の経過後、又は前記密閉槽内が前記所定圧力に減圧された後にも、前記真空ポンプによる前記密閉槽内の減圧を継続することを特徴とする請求項２に記載の減圧装置。
【請求項４】
前記外部気体が大気であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の減圧装置。
【請求項５】
液体が付着した被乾燥物を乾燥させるための装置であって、
請求項１〜４のいずれかに記載の減圧装置を有し、
前記密閉槽に前記被乾燥物が収容される
ことを特徴とする真空乾燥装置。
【請求項６】
請求項５に記載の真空乾燥装置と、
前記被乾燥物を洗浄するための洗浄液を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽内の前記洗浄液を加熱することにより該貯留槽内に該洗浄液の蒸気を生成する洗浄液加熱部と、
前記密閉槽と前記貯留槽を接続する、該貯留槽内の前記蒸気を該密閉槽に供給する蒸気供給管と
を備えることを特徴とする洗浄・真空乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプを用いて密閉容器内を減圧する装置に関し、特に、密閉容器から排出される気体の一部が真空ポンプに到達する前に液化するおそれがある場合に使用する減圧装置に関する。このような減圧装置は、液体が付着した被乾燥物を乾燥させるための真空乾燥装置や、液体中に溶解した気体を除去する脱気装置等に用いることができる。
【背景技術】
【０００２】
従来、洗浄液を用いて洗浄を行ったワークを乾燥させるための装置として、真空乾燥装置が用いられている。例えば、特許文献１には、ワークの洗浄と真空乾燥の双方を同一の処理槽（洗浄槽）内で行う装置が記載されている。この装置には、洗浄液を貯留し、その洗浄液を加熱するヒータが設けられた貯留槽（蒸気発生槽）と、貯留槽と連通し、内部にワークが配置される処理槽（洗浄槽）と、処理槽に接続された真空ポンプが設けられている。この装置では、まず、貯留槽内の洗浄液をヒータで加熱することによって洗浄液の蒸気を生成させ、この蒸気が処理槽内に送り込まれる。処理槽内において、ワークの表面がこの蒸気に晒される。このとき、ワークの表面では洗浄液の蒸気の一部が液化して液体となり、その液体によりワークが洗浄される（蒸気洗浄）。洗浄が終了した後、蒸気の送り込みを止め、真空ポンプを用いて処理槽内を減圧する。これにより、ワークの表面に付着した液体の洗浄液を気化させ、ワークを乾燥させる。
【０００３】
また、特許文献２には、食品廃棄物を肥料や飼料に加工するための真空乾燥装置が記載されている。この装置では、食品廃棄物が貯留された処理槽に真空ポンプが接続されており、真空ポンプを用いて処理槽内を減圧することにより、食品廃棄物を乾燥させる。
【０００４】
これらの真空乾燥装置では、被乾燥物から気化して離脱した成分が、真空ポンプに到達するまでに液化することを防ぐことが重要となる。もし、真空ポンプに到達するまでに液化が生じると、真空ポンプ内の可動部（ロータ、ダイヤフラム等）等に液体が付着し、それによって、真空ポンプの能力が低下してしまううえに、可動部に過度の負荷が付与され、さらには真空ポンプのシール部やベアリングが破損する原因になる。
【０００５】
そこで、特許文献１の真空乾燥装置では、処理槽と真空ポンプを接続する管にヒータを設け、処理槽から吸引される気体をこのヒータで加熱することにより、その気体が液化することを防止している。
【０００６】
また、特許文献２の真空乾燥装置では、処理槽と真空ポンプを接続する排気管路に、バルブを介して外気を該排気管路内に導入する外気導入口が設けられている。この外部導入口では、通常はバルブが閉鎖されており、真空乾燥装置を連続的に運転している途中において、所定時間毎に、短時間だけバルブを開放することにより排気管路に外気を導入する。この真空乾燥装置では、処理槽から排出される気体に含まれる水が排気管内で液化しても、外気を排気管路内に導入することにより水が再度気化し、液体のまま真空ポンプに至ることが防止される。一例として、バルブの開放は「20分に1回、10秒程度行う」と記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開2000-343052号公報（図2）
【特許文献２】特開2001-259566号公報（特に、段落[0049]）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１の真空乾燥装置では、起動直後など、短時間で多量の気体を吸引した場合に、気体の液化を完全には阻止することができずに、真空ポンプに液体が到達するおそれがある。また、特許文献２に記載の真空乾燥装置では、排気管路内で気体の液化が生じた後にも、バルブを開放するまでの間、真空ポンプによる吸引が継続される可能性がある。そのため、排気管路内の液体が真空ポンプに到達することを阻止することができない。
【０００９】
このように真空ポンプに液体が到達する問題は、真空乾燥の時に限らず、例えば蒸気洗浄の際に、処理槽に対して蒸気の供給と真空ポンプを用いた蒸気の排出を繰り返し行う場合にも生じる。さらには、脱気装置等のように、減圧中に密閉容器から排出される気体が液化するおそれがある減圧装置において共通に生じるといえる。
【００１０】
本発明が解決しようとする課題は、減圧中に密閉容器から排出される気体が液化するおそれがある減圧装置において、この液化を防止することにより、真空ポンプの性能低下を防ぐと共に、真空ポンプの故障を防止することができる減圧装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために成された本発明に係る減圧装置は、気密な密閉槽内に常圧よりも減圧された環境を形成する装置であって、
a) 前記密閉槽に気体排出路を介して接続された真空ポンプと、
b) 前記気体排出路に設けられた、前記真空ポンプの吸引流量よりも少ない流量の外部気体を該気体排出路内に流入させる外部気体流入部と
を備えることを特徴とする。
【００１２】
本発明では、密閉槽内を気体排出路を介して真空ポンプで減圧する際に、外部気体流入部から気体排出路内に外部気体を流入させることにより、気体排出路内において、密閉槽から排出される気体が液化することが防止され、その液体が真空ポンプに到達することが防止される。そして、本発明では、密閉槽内の減圧が開始されるのと同時に外部気体を流入させるため、排出される気体が液化してから液体を除去するのではなく、最初から液化自体を防止することができる。
【００１３】
外部気体には、典型的には大気、すなわち減圧装置の周囲に存在する空気をそのまま用いることができる。この場合には当然、外部気体を消費することによるコストは発生しない。また、例えば水蒸気の液化を防止する場合には乾燥ガスをガスボンベ等から供給するなど、大気以外の外部気体を用いてもよい。
【００１４】
上記気体排出路には、(i)密閉槽と真空ポンプを接続する管だけではなく、(ii)真空ポンプ内における吸引口と可動部（真空を形成するためのロータ、ダイヤフラム等）の間の気体流路も含まれる。
【００１５】
本発明に係る減圧装置は、前記真空ポンプにより前記密閉槽内の減圧を開始してから、所定時間が経過するまでの間、又は該密閉槽内が所定圧力に減圧されるまでの間（以下、この期間を「外部気体流入期間という」）、前記外部気体流入部から前記気体排出路内に外部気体を流入させるよう、前記外部気体流入部を制御する制御部を備えていてもよい。
【００１６】
上記の排気処理では、減圧を開始した後、外部気体流入期間内は、真空ポンプの排気能力が低下し、密閉槽内を目標圧力（目標真空度）に到達させるまでの時間は長くなる。しかしながら、減圧を開始した当初は、真空ポンプが多量の排出気体を吸引する必要があるため、そもそも密閉槽内の真空度をあまり高めることはできない。そのため、この期間においては、気体排出路内に外部気体を流入させてもほとんど問題にはならない。むしろ、真空ポンプへの液体の到達を防止することにより、真空ポンプの性能低下を防ぐと共に、真空ポンプの故障を防止することができる。その後、密閉槽内の気体の排出が進んで真空度がある程度高まると、排出気体中における液化のおそれがある成分の排出量が大幅に減少するため、外部気体の流入を停止しても、液化がほとんど生じなくなる。そこで、外部気体流入期間が経過したときには、上記制御部によって外部気体の流入を停止することにより、液化の問題を生じさせることなく、目標圧力まで低下させることができ、あるいは目標圧力への到達時間をより短くことができる。
【００１７】
前記所定時間又は前記所定圧力は予備実験により適宜定めることができる。例えば、外部気体の流入を停止させるタイミングを変化させつつ、実用的な時間内に目標の圧力に到達するか否かを測定することにより行うことができる。
【００１８】
本発明に係る減圧装置は、真空乾燥装置に用いることができる。すなわち、本発明に係る真空乾燥装置は、液体が付着した被乾燥物を乾燥させるための装置であって、
上記減圧装置を有し、
前記密閉槽に前記被乾燥物が収容される
ことを特徴とする。
【００１９】
この真空乾燥装置では、上述の減圧装置における密閉槽内の減圧操作を行うことにより、密閉槽内に収容された被乾燥物を真空乾燥させる。なお、ここで用いる減圧装置は、上記制御部を有しないものであってもよいが、より低い圧力に到達させるために、該制御部を有するものであることが望ましい。
【００２０】
本発明に係る真空乾燥装置において、
前記被乾燥物を洗浄するための洗浄液を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽内の前記洗浄液を加熱することにより該貯留槽内に該洗浄液の蒸気を生成する洗浄液加熱部と、
前記密閉槽と前記貯留槽を接続する、該貯留槽内の前記蒸気を該密閉槽に供給する蒸気供給管と
を備えるようにしてもよい。この装置では、以下に述べるように、ワークを洗浄したうえで、その洗浄後のワークを真空乾燥させることができる。そのため、以下ではこの装置を「洗浄・真空乾燥装置」と呼ぶ。
【００２１】
この洗浄・真空乾燥装置ではまず、蒸気供給管開閉弁を開放した状態で、洗浄液気化部を用いて洗浄液を加熱する。これにより、洗浄液が気化し、得られた洗浄液の蒸気が蒸気供給管を通して密閉槽に流入し、密閉槽内の被乾燥物（被洗浄物）の表面に洗浄液の蒸気の一部が液化した液体が付着し、その液体により被乾燥物が洗浄される。それにより被乾燥物が洗浄される。その後、蒸気供給管開閉弁を閉鎖し、上述の真空乾燥装置における操作を行うことにより、被乾燥物に付着した洗浄液を真空乾燥させる。
【００２２】
上記洗浄・真空乾燥装置において、密閉槽への蒸気の供給と密閉槽からの蒸気の排出を交互に複数回行うよう、減圧装置及び洗浄液加熱部を制御するようにしてもよい。このように蒸気の供給と排出を交互に行うことにより、被乾燥物が繰り返し洗浄される。
【００２３】
本発明に係る減圧装置は、上記真空乾燥装置及び洗浄・真空乾燥装置の他に、脱気装置等においても用いることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係る減圧装置によれば、外部気体流入部から気体流路に外部気体を流入させることにより、真空ポンプに液体が到達することを防ぐことができる。それにより、真空ポンプの性能の向上及び故障の防止をはかることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る減圧装置を用いた、本発明に係る洗浄・真空乾燥装置の一実施例を示す概略構成図。
【図２】本実施例の洗浄・真空乾燥装置におけるバルブの開閉のタイミングを示すタイムチャート。
【図３】本実施例の洗浄・真空乾燥装置における密閉槽内の圧力の変化を測定した結果を示すグラフ。
【図４】本実施例の洗浄・真空乾燥装置の変形例を示す概略構成図。
【図５】本実施例の洗浄・真空乾燥装置を変形した真空乾燥装置の例を示す概略構成図。
【図６】本発明に係る減圧装置を用いた脱気装置の一実施例を示す概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図１〜図６を用いて、本発明の実施例を説明する。なお、以下に述べるのはあくまでも例であって、本発明は以下の実施例には限定されない。
【実施例１】
【００２７】
第１実施例として、ワークＷを洗浄した後に真空乾燥させる洗浄・真空乾燥装置の一例を図１〜図３を用いて説明する。
【００２８】
(1) 第１実施例の洗浄・真空乾燥装置の構成
本実施例の洗浄・真空乾燥装置１０は、図１に示すように、貯留槽１１、密閉槽１２、真空ポンプ１３、外部気体流入口１４等を有する。
【００２９】
貯留槽１１は、ワークＷを洗浄するための洗浄液Ｌを貯留する槽である。貯留槽１１内には洗浄液加熱ヒータ１１１が設けられている。洗浄液加熱ヒータ１１１は、貯留槽１１に貯留された洗浄液Ｌが気化する温度以上に、洗浄液Ｌを加熱するものである。
【００３０】
密閉槽１２はワークＷを収容する槽であり、その容量は100Lである。密閉槽１２には、ワークＷの収容及び取り出しの際に開放される蓋１２１が設けられている。密閉槽１２は、蓋１２１を閉鎖した状態において内部を気密に保つことができるよう、シール材（図示せず）が施されている。また、密閉槽１２には、内部の圧力（真空度）を測定するための真空計１２２が設けられている。
【００３１】
真空ポンプ１３には、本実施例では株式会社アンレット製のドライルーツ式真空ポンプ（型式番号CT4-200）を用いた。この真空ポンプでは、三つ葉形状のロータ１３１が２個、ケーシング１３２内で互いに逆方向に回転し、吸気口１３３側の気体がロータ１３１の「三葉」によって排気口１３４側に押し出される。そして、真空ポンプ１３には、これら２個のロータ１３１及びケーシング１３２を１組としたものが直列に４組設けられ、それらが一体化された構造を有している（図１では簡単のために、１組のみ示した）。各組はそれぞれ、１つのメカニカルブースターポンプに相当する。
【００３２】
真空ポンプ１３の吸気口１３３には外気流入管１４１が接続されている。この外気流入管１４１の吸気口１３３とは反対側の管口が、上述の外部気体流入口１４である。外気流入管１４１には、外部気体流入口１４を開閉するバルブであるブローバルブＶ１が設けられている。
【００３３】
密閉槽１２と真空ポンプ１３は気体排出管１５で接続されており、貯留槽１１と密閉槽１２は蒸気供給管１６で接続されている。真空ポンプ１３においては、外部気体流入口１４の接続管と、気体排出管１５がそれぞれ真空ポンプ１３の吸気口１３３に取付られている。気体排出管１５と、真空ポンプ１３の吸気口１３３とロータ１３１の間における気体の流路を合わせたものが、本発明における気体排出路に該当する。
【００３４】
気体排出管１５の外表面には、気体排出管１５内を加熱するための気体排出管ヒータ１５１が設けられている。
【００３５】
気体排出管１５には開閉バルブから成る排出バルブＶ２が、蒸気供給管１６には開閉バルブから成る蒸気供給バルブＶ３が、それぞれ設けられている。さらに、密閉槽１２には、密閉槽１２内の真空を破壊するための真空破壊バルブＶ４が設けられている。
【００３６】
また、洗浄・真空乾燥装置１０は、ブローバルブＶ１、排出バルブＶ２、蒸気供給バルブＶ３及び真空破壊バルブＶ４の開閉を制御する制御部１７が設けられている。
【００３７】
真空ポンプ１３の排気口１３４には排気回収槽１８が接続されている。排気回収槽１８には、洗浄液と同じ成分の液体、又は洗浄液を溶解させることが可能な液体が貯留されている。真空ポンプ１３の排出口から排出される気体は、この液体により洗気され、当該気体に含有されている洗浄液の成分が除去されたうえで、排気回収槽１８から外部に排出される。排気回収槽１８には、洗気後の気体を排出する排気管１８１が接続されており、この排気管１８１の経路中にはファン１８２が設けられている。
【００３８】
密閉槽１２の底には、密閉槽１２内に溜まる液を外部に排出するための液抜き管１９が設けられており、液抜き管１９中には液抜きバルブＶ５が設けられている。
【００３９】
(2) 第１実施例の洗浄・真空乾燥装置の動作
本実施例の洗浄・真空乾燥装置１０の動作を、図２を用いて説明する。この洗浄・真空乾燥装置１０では、(2-1)蒸気洗浄工程（図２の蒸気洗浄期間３１）、(2-2)液抜き工程（液抜き期間３２）、(2-3)真空乾燥工程（真空乾燥期間３３）の順で処理を行う。以下、これらの工程を詳細に説明する。なお、以下の説明中では、真空破壊バルブＶ４は、特記した場合を除き、閉鎖されている。
【００４０】
(2-1) 蒸気洗浄工程
まず、密閉槽１２内にワークＷを収容すると共に、貯留槽１１内に洗浄液を貯留させる。本実施例では、洗浄液には炭化水素系の洗浄液を用いた。この洗浄液では、それを蒸発させた蒸気が気体排出路中で冷却された際に、炭化水素成分が液化するおそれがある。
【００４１】
次に、真空ポンプ１３を運転した状態で、ブローバルブＶ１及び排出バルブＶ２を開放（蒸気供給バルブＶ３は閉鎖）する（図２の動作２１）。これにより、密閉槽１２内の空気を排出する。本実施例では、この空気の排出は10秒間行った。それと共に、洗浄液加熱ヒータ１１１で貯留槽１１内の洗浄液を加熱することにより、貯留槽１１内に洗浄液の蒸気を生成する。この蒸気の生成は、蒸気洗浄期間３１が終了するまで継続させた。
【００４２】
続いて、ブローバルブＶ１を開放したままの状態で、排出バルブＶ２を閉鎖すると共に、蒸気供給バルブＶ３を開放する（動作２２）。これにより、密閉槽１２内の真空引きが停止されると共に、貯留槽１１から蒸気供給管１６を通して密閉槽１２内に洗浄液の蒸気が供給され、ワークの表面Ｗがこの蒸気に晒される。このとき、ワークＷの表面では洗浄液の蒸気の一部が液化した液体が付着し、その液体によりワークＷが洗浄される。
【００４３】
この蒸気の供給を所定の時間（本実施例では10秒間）行った後、ブローバルブＶ１を開放したままの状態で、蒸気供給バルブＶ３を閉鎖すると共に、排出バルブＶ２を開放する（動作２３）ことにより、密閉槽１２内への洗浄液の蒸気の供給が停止されると共に、密閉槽１２内の蒸気が排出される。この蒸気の排出は所定の短時間（本実施例では10秒間）のみ行うものであり、密閉槽１２から排出された蒸気は気体排出管１５を通って真空ポンプ１３内に導入されるため、ワークＷを乾燥させるときと同様に、気体排出管１５内において洗浄液の蒸気の液化が生じるおそれがある。しかしながら、本実施例では排出の際にブローバルブＶ１を開放していることにより外気が真空ポンプ内に流入するため、排出気体内の炭化水素の分圧が低下し、炭化水素が液化してロータ１３１に付着することを防ぐことができる。なお、本実施例の蒸気洗浄工程では、密閉槽１２内の蒸気を排出する時間が短く、且つ、後述の乾燥工程よりも到達すべき圧力が高いため、この排出の期間中は常時、ブローバルブＶ１を開放して外気を流入させる。
【００４４】
ここで述べた密閉槽１２への蒸気の供給と、密閉槽１２からの蒸気の排出は、数回（本実施例では5回）繰り返す（図２の蒸気洗浄期間３１）。但し、本実施例では、最後（5回目）の排気の時間は、それまでよりも短い5秒間とした。
【００４５】
(2-2) 液抜き工程
次に、ブローバルブＶ１を開放したままの状態で、排出バルブＶ２を閉鎖する。そして、真空破壊バルブＶ４を開放することにより、密閉槽１２内の真空を破壊する（図２の動作２４）。これにより、密閉槽１２内に残留した洗浄液の蒸気が液化し、密閉槽１２の底部に溜まる。続いて液抜きバルブＶ５を開放することにより、密閉槽１２の底部に溜まった洗浄液が液抜き管１９を通して密閉槽１２から排出される。その後、真空破壊バルブＶ４及び液抜きバルブＶ５を閉鎖する（動作２５）。本実施例では、真空破壊バルブＶ４の開放時間は7秒間とした。
【００４６】
(2-3) 真空乾燥工程
この真空破壊バルブＶ４の閉鎖と同時に、ブローバルブＶ１を開放したままの状態で、排出バルブＶ２を開放する（動作２５。真空乾燥期間３３の開始。）。これにより、密閉槽１２内の気体の圧力が低下し、ワークＷに付着していた洗浄液が蒸発するため、ワークＷが乾燥する。そして、密閉槽１２内の空気、及びワークＷから蒸発した洗浄液の気体は、両者が混合した状態で密閉槽１２から排出される。そして、この混合気体が気体排出管１５を通って真空ポンプ１３内に吸引されると共に、外部気体導入口１４から外気も流入する。これにより、前記混合気体に、外部気体流入口１４からの外気がさらに混入されるため、洗浄液の成分の分圧が低下し、当該成分が液化すること、さらには液化した液体がロータ１３１に付着することが防止される。
【００４７】
排出バルブＶ２を開放してから所定時間（本実施例では38秒間）経過した後、排出バルブＶ２を開放したままの状態で、ブローバルブＶ１を閉鎖する（動作２６）。この「所定時間」を決定する方法は後述する。このブローバルブＶ１の閉鎖により、密閉槽１２内の気体の圧力が一層低下し、ワークＷにわずかに残留した洗浄液をより確実に除去することができる。本実施例では、ブローバルブＶ１を閉鎖した後、40秒間、密閉槽１２内の真空引きを継続した。
【００４８】
最後に、排気バルブＶ２を閉鎖したうえで、ブローバルブＶ１及び真空破壊バルブＶ４を開放する（動作２７。真空乾燥期間３３の終了。）ことにより、密閉槽１２から真空ポンプ１３にかけての空間の真空を破壊し、一連の操作を終了する。
【００４９】
なお、本実施例では、蒸気洗浄期間３１の開始時から真空乾燥期間３３の終了時までの間、気体排出管ヒータ１５１により気体排出管１５内を加熱する。この気体排出管１５は本発明における必須の構成要素ではないが、これを用いることにより、気体排出管１５内を通過する排出気体の温度を上昇させ、それにより洗浄液の成分の液化をより確実に防止することができる。また、ブローバルブＶ１を閉鎖した後に真空ポンプ１３に吸引される排出気体中に洗浄液の成分が残っていると、この成分が液化する可能性があるが、この段階では洗浄液の成分の残留量がわずかであるため、気体排出管１５の加熱によって液化を確実に防止することができる。
【００５０】
本実施例においては、以下に述べる理由により、外部気体流入口１４から真空ポンプ１３に至るコンダクタンスを定めた。これを定めることは、真空ポンプ１３に流入する外部気体の流量を定めることに相当する。本実施例で用いた真空ポンプ１３は常圧において2000L/分強の吸引流量で気体を吸引し、この吸引流量よりも少ない流量、例えば1〜10％程度の外気を外部気体流入口１４から流入させれば、真空ポンプ１３の過負荷とならず、洗浄液の成分の液化を防止することができると考えられる。そこで、上記の量の外気を通過させることができると見込まれる市販の真空排気管及びブローバルブＶ１を、外部気体流入口１４から真空ポンプ１３に至るラインに用いて予備実験を行ったところ、洗浄液の成分の液化を防止することができることが確認された。このときのコンダクタンスを測定したところ、57.6L/分であった。すなわち、この外部気体流入口１４からは、ブローバルブＶ１が開放されている期間中、常時57.6L/分（常圧換算）の流量で外気が真空ポンプ１３内に流入する。
【００５１】
次に、図３を用いて、「所定時間」及び「所定圧力」を定めるために行った予備実験について説明する。ここは、開放していたブローバルブＶ１を閉鎖するタイミングを、(i)乾燥工程で圧力が1250Paまで低下した時、(ii)乾燥工程で圧力が2000Paまで低下した時、及び(iii)洗浄工程が終了した時（すなわち、乾燥工程ではブローバルブＶ１を開放しない）という３種類の条件とし、各条件において密閉槽１２内の圧力の時間変化を測定した。また、(iv)ブローバルブＶ１を常時閉鎖（外部気体流入口１４から外気を流入させない）実験も併せて行った。その結果を図３のグラフに示す。なお、このグラフにおける横軸の「圧力測定開始からの時間」の原点は、乾燥工程の開始時や洗浄工程の開始時ではなく、真空計１２２としてこの実験で用いたピラニ真空計（測定可能範囲：約0.1Pa〜約2000Pa）によって密閉槽１２内の圧力の測定が開始された時点である。例えば、(i)の実験では、乾燥工程の開始から5秒後に圧力の測定が開始されたたため、乾燥工程の開始時は「-5秒」となる。
【００５２】
この実験の結果、(ii)〜(iv)の条件ではいずれも、密閉槽１２内の圧力を、乾燥工程に必要な圧力の上限である1Pa程度までしか低下させることができなかったのに対して、(i)の条件では密閉槽１２内の圧力を1Paよりも十分に小さい0.5Pa程度まで低下させることができた。これは、(ii)〜(iv)では真空ポンプ１３に液体が到達してしまい、それによって真空ポンプ１３の能力が低下してしまったのに対して、(i)では外気の流入によって真空ポンプ１３に液体が到達しなかったことによる。(i)においてブローバルブＶ１を開放する時間は、圧力の測定を開始してから33秒後であって、乾燥工程を開始してから38秒後であった。従って、この実験から、「所定時間」が38秒、あるいは「所定圧力」が1250Paの場合には本発明の目的を達することができることが確認できたため、本実施例ではこれらの値を採用した。
【００５３】
(ii)の場合には、(i)の場合よりも短い時間（圧力が高い段階まで）ではあるものの、乾燥工程を開始後も外気の流入を継続したにも関わらず、最終的な到達圧力は、外気の流入を行わなかった(iv)の場合とほとんど変わらなかった。このことは、たとえ外気を流入させたとしても、それが不十分であると、真空ポンプ１３に液体が到達してしまい、それにより真空ポンプ１３の性能を向上させることがほとんどできなくなることを意味している。
【実施例２】
【００５４】
ここでは、第１実施例の洗浄・真空乾燥装置の変形例を説明する。
第１実施例では、外気流入管１４１を真空ポンプ１３の吸気口１３３に直接接続したが、図４に示すように、外気流入管１４１を気体排出管１５に接続（気体排出管１５から分岐）するように設けてもよい。
【００５５】
また、第１実施例では密閉槽１２内でワークＷの洗浄と真空乾燥の双方を行う洗浄・真空乾燥装置の実施例を説明したが、この実施例を変形して、密閉槽１２内でワークＷの真空乾燥のみを行う真空乾燥装置１０Ａを構成することもできる（図５）。真空乾燥装置１０Ａは、洗浄・真空乾燥装置から貯留槽１１、洗浄液加熱ヒータ１１１、蒸気供給管１６及び蒸気供給バルブＶ３を省いたものである。この真空乾燥装置１０Ａでは、別に設けられた洗浄装置１１Ａにおいて、洗浄液Ｌを用いてワークＷが洗浄され、その後、ワークＷが真空乾燥装置１０Ａの密閉槽１２に収容されたうえで乾燥される。乾燥時の動作は、洗浄・真空乾燥装置１０における動作２５以降のものと同じである。なお、洗浄装置１１Ａにおける洗浄方法は、洗浄液Ｌの蒸気を用いたものであってもよいし、洗浄液Ｌに浸漬する方法であってもよい。
【００５６】
あるいは、装置の構成を第１実施例と同じものとし、蒸気洗浄のみを行うようにしてもよい。
【実施例３】
【００５７】
また、本発明に係る減圧装置は、液体中に溶解した気体を除去する脱気装置にも用いることができる。そのような脱気装置の一実施例を、図６を用いて説明する。この脱気装置１０Ｂは、構成上は上述の真空乾燥装置１０Ａと同じであり、使用上において、ワークＷの代わりに脱気の対象となる被脱気液Ｌ’を密閉槽１２に注入する点で真空乾燥装置１０Ａと相違する。また、脱気装置１０Ｂの動作も、真空乾燥装置１０Ａの動作と同様である。
【符号の説明】
【００５８】
１０…洗浄・真空乾燥装置
１０Ａ…真空乾燥装置
１０Ｂ…脱気装置
１１…貯留槽
１１１…洗浄液加熱ヒータ
１１Ａ…洗浄装置
１２…密閉槽
１２１…密閉槽の蓋
１２２…真空計
１３…真空ポンプ
１３１…ロータ
１３２…ケーシング
１３３…吸気口
１３４…排気口
１４…外部気体流入口
１５…気体排出管
１５１…気体排出管ヒータ
１６…蒸気供給管
１７…制御部
１８…排気回収槽
１８１…排気管
１８２…ファン
１９…液抜き管
３１…蒸気洗浄期間
３２…液抜き期間
３３…乾燥期間
Ｖ１…ブローバルブ
Ｖ２…排出バルブ
Ｖ３…蒸気供給バルブ
Ｖ４…真空破壊バルブ
Ｖ５…液抜きバルブ
Ｗ…ワーク
Ｌ…洗浄液
Ｌ’…被脱気液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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