(57)【要約】【課題】内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる移動装置の提供を提供する。【解決手段】スライダ部２０と、ローラ３０ａ〜３０ｄと、ローラ３０ａ〜３０ｄを回転自在に支持する一対の側壁４０Ａ，４０Ｂと、スライダ部２０と連動するとともに、ローラ３０ａ〜３０ｄに架け渡される第一カバー部材５１および第二カバー部材５２を含むカバー部材５０と、を備え、カバー部材５０は、Ｘ方向における両端部５１ｂ，５２ｂがそれぞれローラ３０ａ〜３０ｄにより折り返されて互いにベース部１０の他方主面１２側で連結されることにより環状に形成され、カバー部材５０は、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂに接するように配置されていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部の一方主面上を第一方向に沿ってスライド移動可能なスライダ部と、
前記一方主面上で前記第一方向と直交する第二方向に沿うように中心軸を有するとともに、前記第一方向における前記スライダ部の移動範囲の両外側に配置される少なくとも一対のローラと、
前記第一方向および前記第二方向と直交する第三方向に沿って立設されて前記ベース部および前記一対のローラの前記第二方向における両外側に配置されるとともに、前記一対のローラを回転自在に支持する一対の側壁と、
前記スライダ部に固定されて前記スライダ部と連動するとともに、前記一対のローラに架け渡されるカバー部材と、
を備え、
前記カバー部材は、前記第一方向における両端部がそれぞれ前記一対のローラにより折り返されて互いに前記ベース部の他方主面側で連結されることにより環状に形成され、
前記カバー部材は、前記一対の側壁に接するように配置されていることを特徴とする移動装置。
【請求項２】
前記カバー部材の前記両端部は、ジョイント部材を介して互いに連結されていることを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【請求項３】
前記ベース部の他方主面側には、前記ベース部を支持する台座部が設けられ、
前記台座部には、前記ジョイント部材に対応する位置に、前記第一方向に沿って前記ジョイント部材を挿通可能な貫通孔が形成され、
前記貫通孔の内面は、樹脂材料により形成されていることを特徴とする請求項２に記載の移動装置。
【請求項４】
前記カバー部材の前記第二方向における両縁部は、それぞれ前記一対の側壁の前記第二方向における外側面と面一か、前記外側面よりも外側に配置され、
前記カバー部材の内周面は、前記一対の側壁と接するように配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の移動装置。
【請求項５】
前記一対のローラは、前記第二方向から見たときに、前記一対の側壁の角部に対応する位置において前記一対の側壁により支持され、
前記一対の側壁の角部は、前記一対のローラの外周面に沿うように面取りされていることを特徴とする請求項４に記載の移動装置。
【請求項６】
前記カバー部材は、前記スライダ部に対応する位置において分断され、前記スライダ部を介して連結されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の移動装置。
【請求項７】
前記スライダ部は、磁力によりスライド移動することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の移動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、移動装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、工作機械や半導体製造装置、搬送装置、検査装置、測定器、加工機、組立機、産業用ロボット等の各技術分野の装置に適用され、一方向に沿ってスライド移動可能なスライダ部を備えた移動装置が知られている。移動装置としては、様々な種類のものが存在するが、例えば電磁吸引力や電動モータ、流体圧シリンダ等のアクチュエータにより駆動する方式がある。
【０００３】
ところで、この種の移動装置では、塵埃や異物等がアクチュエータの内部に入り込むことにより、スライダ部の滑らかな移動を妨げたり、アクチュエータを損傷したりするおそれがある。したがって、塵埃や異物等がアクチュエータの内部に侵入するのを抑制するために、アクチュエータを覆うようにカバー部材を設けることがある。
【０００４】
例えば特許文献１には、フレーム内に設けられた駆動モータに連結された駆動プーリーと、回動自在に取り付けられた従動プーリーと、両プーリーに架け渡されたタイミングベルトにより構成される駆動部と、タイミングベルトに固定され、ガイドユニットによりレールに沿った往復動作を行う可動部と、それらをカバーする上部カバーにより構成され、フレーム内に上部カバーを支持する支持台を設けた移動装置が記載されている。特許文献１によれば、Ｕ字形状のフレーム内にカバー支持台を設け、カバー支持台で、上部カバーを支持することにより、上部カバーが自重によって撓むのを防ぐことができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２５４７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来技術にあっては、フレームとカバーとの間にスライダ部が配設されているため、フレームとカバーとの間には、スライダ部がフレームの長手方向に沿ってスライド移動可能なように、スライダの厚みに対応した間隙が設けられている。このため、フレームとカバーとの間の間隙から、塵埃や異物等が移動装置の内部に侵入するおそれがある。したがって、移動装置の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制するという点で、更なる改善の余地がある。
【０００７】
そこで、本発明は、内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる移動装置の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明の移動装置は、ベース部の一方主面上を第一方向に沿ってスライド移動可能なスライダ部と、前記一方主面上で前記第一方向と直交する第二方向に沿うように中心軸を有するとともに、前記第一方向における前記スライダ部の移動範囲の両外側に配置される少なくとも一対のローラと、前記第一方向および前記第二方向と直交する第三方向に沿って立設されて前記ベース部および前記一対のローラの前記第二方向における両外側に配置されるとともに、前記一対のローラを回転自在に支持する一対の側壁と、前記スライダ部に固定されて前記スライダ部と連動するとともに、前記一対のローラに架け渡されるカバー部材と、を備え、前記カバー部材は、前記第一方向における両端部がそれぞれ前記一対のローラにより折り返されて互いに前記ベース部の他方主面側で連結されることにより環状に形成され、前記カバー部材は、前記一対の側壁に接するように配置されていることを特徴としている。
【０００９】
本発明によれば、スライダ部の移動範囲の両外側に配置される少なくとも一対のローラと、スライダ部に固定されてスライダ部と連動するとともに、一対のローラに架け渡されるカバー部材と、を備えているので、スライダ部の移動範囲をカバー部材で覆うことができる。さらに、カバー部材は、一対の側壁に接するように配置されているので、カバー部材と一対の側壁との間に間隙が発生するのを抑制できる。したがって、移動装置の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。
また、カバー部材は、第一方向における両端部がそれぞれ一対のローラにより折り返されて互いにベース部の他方主面側で連結されることにより環状に形成されているので、カバー部材は、スライダ部と連動するときに、一対のローラに架け渡された状態で周回できる。これにより、カバー部材は、スライダ部のスライド移動時に、第一方向の所定範囲内でスライダ部と連動できるので、移動装置の外側にカバー部材の移動スペースを確保することなく移動装置を設置できる。さらに、一対のローラにより折り返されて環状に形成されているので、カバー部材には、所定のテンションが発生する。これにより、カバー部材は、スライダ部が高速移動した場合であっても、撓みや浮き上がり等が発生することなく、スライダ部と連動できる。したがって、移動装置を小型化しつつ、移動装置の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。
【００１０】
また、前記カバー部材の前記両端部は、ジョイント部材を介して互いに連結されていることを特徴としている。
【００１１】
本発明によれば、ジョイント部材を用いることで、カバー部材の両端部を強固に連結できる。また、カバー部材の端部とジョイント部材との連結を解除するだけで、環状のカバー部材を帯状にすることができるので、移動装置からカバー部材を容易に取り外すことができる。したがって、メンテナンス性に優れた移動装置を提供できる。
【００１２】
また、前記ベース部の他方主面側には、前記ベース部を支持する台座部が設けられ、前記台座部には、前記ジョイント部材に対応する位置に、前記第一方向に沿って前記ジョイント部材を挿通可能な貫通孔が形成され、前記貫通孔の内面は、樹脂材料により形成されていることを特徴としている。
【００１３】
本発明によれば、台座部を設けることで、移動装置のベース部を強固に支持できる。また、台座部には、ジョイント部材に対応する位置に、第一方向に沿ってジョイント部材を挿通可能な貫通孔が形成されているので、スライダ部およびカバー部材のスライド移動に連動して、貫通孔内をジョイント部材が往復移動できる。したがって、台座部を設けた場合であっても、ジョイント部材によりカバー部材の両端部を強固に連結できる。さらに、貫通孔の内面が樹脂材料により形成されているので、貫通孔内をジョイント部材が往復移動する際に、貫通孔の内面に干渉した場合であっても、ジョイント部材が台座部との摩擦により損傷するのを抑制できる。
【００１４】
また、前記カバー部材の前記第二方向における両縁部は、それぞれ前記一対の側壁の前記第二方向における外側面と面一か、前記外側面よりも外側に配置され、前記カバー部材の内周面は、前記一対の側壁と接するように配置されていることを特徴としている。
【００１５】
本発明によれば、カバー部材の内周面が一対の側壁と接するように配置されているので、カバー部材の両縁部が一対の側壁に接するように配置されると比較して、とりわけ第三方向から移動装置の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。
【００１６】
また、前記一対のローラは、前記第二方向から見たときに、前記一対の側壁の角部に対応する位置において前記一対の側壁により支持され、前記一対の側壁の角部は、前記一対のローラの外周面に沿うように面取りされていることを特徴とする。
【００１７】
本発明によれば、一対の側壁の角部は、一対のローラの外周面に沿うように面取りされているので、一対の側壁の角部近傍においても、カバー部材の内周面と一対の側壁との間に間隙が発生するのを抑制し、カバー部材の内周面が一対の側壁と接するように配置できる。したがって、一対の側壁の角部近傍においても、移動装置の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。
【００１８】
また、前記カバー部材は、前記スライダ部に対応する位置において分断され、前記スライダ部を介して連結されていることを特徴としている。
【００１９】
本発明によれば、スライダ部と分断されたカバー部材との連結を解除するだけで、環状のカバー部材を帯状にすることができる。これにより、移動装置からカバー部材を容易に取り外すことができるので、メンテナンス性に優れた移動装置を提供できる。
【００２０】
また、スライダ部は、磁力によりスライド移動することを特徴としている。
本発明によれば、スライダ部が磁力によりスライド移動するときに、磁力により塵埃や異物等が吸引された場合であっても、移動装置の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。したがって、本発明は、スライダ部を駆動させるアクチュエータとして、リニアモータを採用した移動装置に好適である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、スライダ部の移動範囲の両外側に配置される少なくとも一対のローラと、スライダ部に固定されてスライダ部と連動するとともに、一対のローラに架け渡されるカバー部材と、を備えているので、スライダ部の移動範囲をカバー部材で覆うことができる。さらに、カバー部材は、一対の側壁に接するように配置されているので、カバー部材と一対の側壁との間に間隙が発生するのを抑制できる。したがって、移動装置の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。
また、カバー部材は、第一方向における両端部がそれぞれ一対のローラにより折り返されて互いにベース部の他方主面側で連結されることにより環状に形成されているので、カバー部材は、スライダ部と連動するときに、一対のローラに架け渡された状態で周回できる。これにより、カバー部材は、スライダ部のスライド移動時に、第一方向の所定範囲内でスライダ部と連動できるので、移動装置の外側にカバー部材の移動スペースを確保することなく移動装置を設置できる。さらに、一対のローラにより折り返されて環状に形成されているので、カバー部材には、所定のテンションが発生する。これにより、カバー部材は、スライダ部が高速移動した場合であっても、撓みや浮き上がり等が発生することなく、スライダ部と連動できる。したがって、移動装置を小型化しつつ、移動装置の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】実施形態に係る移動装置の斜視図である。
【図２】移動装置の側面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図４】スライダ部が移動したときの説明図である。
【図５】実施形態の変形例に係る移動装置の正面図である。
【図６】実施形態の変形例に係る移動装置の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に、この発明の実施形態について、図面を用いて説明する。
図１は、実施形態に係る移動装置１の斜視図である。
図１に示すように、移動装置１は、ベース部１０と、スライダ部２０と、複数のローラ３０（３０ａ〜３０ｄ）と、一対の側壁４０（４０Ａ，４０Ｂ）と、カバー部材５０と、台座部６０と、を備えている。なお、図１においては、分かり易くするために、紙面右側に配置されている一方の側壁４０Ｂを二点鎖線で図示している。以下に、移動装置１の各構成部品について詳細に説明する。
【００２４】
ベース部１０は、平面視で第一方向に延びる板状の部材であり、例えばステンレスやアルミニウム、鉄等の金属材料により形成されている。ベース部１０の一方主面１１上には、第一方向に沿って例えば不図示の永久磁石が設けられており、第一方向に沿ってＮ極およびＳ極の各磁極が交互に並んで配置されている。後述するスライダ部２０は、ベース部１０の一方主面１１上を第一方向にスライド移動する。
なお、以下の説明では、スライダ部２０が移動する第一方向をＸ方向とし、一方側を＋Ｘ側とし、他方側を−Ｘ側とする。また、ベース部１０の一方主面１１上において、Ｘ方向と直交する方向をＹ方向（請求項の「第二方向」に相当。）とし、一方側を＋Ｙ側とし、他方側を−Ｙ側とする。また、Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向をＺ方向（請求項の「第三方向」に相当。）とし、一方主面１１側を＋Ｚ側とし、一方主面１１とは反対の他方主面１２側を−Ｚ側とする。以下では、ＸＹＺの直交座標系を用いて説明する。また、Ｚ方向は鉛直方向に相当し、＋Ｚ側は鉛直方向上側に相当し、−Ｚ側は鉛直方向下側に相当しており、移動装置１が床面に載置されている状態を示している。
【００２５】
ベース部１０のＸ方向における両端部には、それぞれストッパ部材１３が設けられている。ストッパ部材１３は、それぞれ例えばベース部１０と同様にステンレスやアルミニウム、鉄等の金属材料により板状に形成されており、ＹＺ平面と平行に配置されるとともに、Ｚ方向に沿ってベース部１０の一方主面１１から突出するように設けられている。
【００２６】
スライダ部２０は、ベース部１０の一方主面１１上をＸ方向にスライド移動する部材であり、例えばステンレスやアルミニウム、鉄等の金属材料により形成されている。スライダ部２０は、直方体状の土台部２１と、土台部２１の＋Ｚ側に設けられた載置部２５とにより形成されている。
【００２７】
土台部２１のＺ方向の高さは、ストッパ部材１３の一方主面１１に対する突出高さよりも高くなっている。また、土台部２１のＹ方向の幅は、ベース部１０のＹ方向の幅と同等となっている。
スライダ部２０における土台部２１の−Ｚ側面２２には、不図示の電磁石が複数設けられている。電磁石は、Ｘ方向に沿って複数並んで配置されており、それぞれ励磁することによりＮ極とＳ極とが切替可能となっている。土台部２１の−Ｚ側面２２に設けられた電磁石と、ベース部１０の一方主面１１に設けられた永久磁石との間には、所定の励磁シーケンスにより電磁石のＮ極とＳ極とを切り替えることで、Ｘ方向に沿った吸引力および反発力が発生する。これにより、スライダ部２０は、ベース部１０のＸ方向における両端部に設けられた一対のストッパ部材１３の間を、Ｘ方向に沿ってスライド移動可能とされる。
一対のストッパ部材１３の間は、スライダ部２０の移動範囲となっている。スライダ部２０の＋Ｘ側および−Ｘ側におけるスライド移動は、土台部２１がストッパ部材１３に当接することにより規制される。このように、移動装置１のスライダ部２０とベース部１０とは、いわゆるリニアモータを構成している。
【００２８】
載置部２５は、例えば板状に形成されており、移動装置１によりスライド移動される不図示の工作機械や、搬送物、組立機、産業用ロボット等の被移動体が載置可能とされている。載置部２５のＹ方向の幅は、土台部２１のＹ方向の幅よりも広くなっており、載置部２５のＹ方向における両端部が土台部２１のＹ方向における両端部よりも外側に配置されている。載置部２５のＸ方向の長さおよびＹ方向の幅は、載置部２５に載置される被移動体の大きさ等に対応して適宜設定される。
【００２９】
ローラ３０は、Ｙ方向に沿うように中心軸Ｃを有する円柱状に形成されており、Ｘ方向におけるスライダ部２０の移動範囲の両外側に配置されている。本実施形態のローラ３０は、ベース部１０におけるストッパ部材１３よりもＸ方向の両外側であって、ベース部１０よりも＋Ｚ側に一対のローラ３０ａ，３０ｂが設けられ、さらにベース部１０よりも−Ｚ側に一対のローラ３０ｃ，３０ｄが設けられている。すなわち、本実施形態では、ローラ３０（３０ａ〜３０ｄ）が二対（四本）設けられている。このように配置された各ローラ３０ａ〜３０ｄは、後述の一対の側壁によって回転自在に支持されている。
【００３０】
底板５は、例えばステンレスやアルミニウム、鉄等の金属材料により、Ｚ方向から見てＸ方向に長尺の長方形状に形成された板状の部材である。底板５のＸ方向における両端部は、それぞれＸ方向の両側に配置されたローラ３０ａ〜３０ｄよりも、わずかに外側に位置している。また、底板５のＹ方向の幅は、ローラ３０ａ〜３０ｄのＹ方向の長さよりも広くなっている。
【００３１】
底板５のＹ方向における両側縁部からは、それぞれ−Ｙ側の側壁４０Ａおよび＋Ｙ側の側壁４０ＢがＺ方向に沿って立設されている。一対の側壁４０Ａ，４０Ｂは、それぞれ例えばステンレスやアルミニウム、鉄等の金属材料により、Ｙ方向から見てＸ方向に長尺の長方形状に形成された板状の部材ある。
−Ｙ側の側壁４０Ａは、ベース部１０およびローラ３０ａ〜３０ｄよりも−Ｙ側に配置されており、＋Ｙ側の側壁４０Ｂは、ベース部１０およびローラ３０ａ〜３０ｄよりも＋Ｙ側に配置されている。側壁４０Ａ，４０ＢのＸ方向における長さは、底板５のＸ方向の長さと同等となっている。また、側壁４０Ａ，４０ＢのＺ方向の高さは、底板５の＋Ｚ側面から載置部２５の＋Ｚ側面までの離間距離と同等となっている。
【００３２】
一対の側壁４０Ａ，４０Ｂは、Ｙ方向における両外側からローラ３０ａ〜３０ｄを回転自在に支持している。より具体的には、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂ間には、側壁４０Ａ，４０Ｂの四個の角部４３ａ〜４３ｄに対応する位置において、軸部材３１（３１ａ〜３１ｄ）がＹ方向に沿うように架け渡されている。そして、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂは、軸部材３１ａ〜３１ｄにより軸支されたローラ３０ａ〜３０ｄを、中心軸Ｃ周りに回転自在に支持している。
【００３３】
カバー部材５０は、例えばポリエステルやナイロン等を主成分とする布部材であり、Ｘ方向に沿って延びる帯状に形成されている。
本実施形態のカバー部材５０は、スライダ部２０を挟んで−Ｘ側に配置された第一カバー部材５１と、スライダ部２０を挟んで＋Ｘ側に配置された第二カバー部材５２とに分断されている。第一カバー部材５１および第二カバー部材５２は、それぞれ同一の長さおよび幅を有するように形成されている。
【００３４】
第一カバー部材５１の一端部５１ａおよび第二カバー部材５２の一端部５２ａは、例えばＬ字状に形成された連結金具５５により、それぞれスライダ部２０における載置部２５の−Ｘ側面および＋Ｘ側面に連結されている。これにより、第一カバー部材５１と第二カバー部材５２とは、スライダ部２０を介して連結される。また、カバー部材５０（第一カバー部材５１および第二カバー部材５２）は、スライダ部２０に固定されてスライダ部２０のＸ方向へのスライド移動に対応して連動可能とされる。
カバー部材５０は、各ローラ３０ａ〜３０ｄのうち、＋Ｚ側に配置された一対のローラ３０ａ，３０ｂに架け渡される。そして、カバー部材５０の両端部は、−Ｚ側に配置された一対のローラ３０ｃ，３０ｄにより折り返されて、ベース部１０の他方主面１２側に配置されている。
【００３５】
具体的には、−Ｘ側の第一カバー部材５１は、スライダ部２０に連結された一端部５１ａとは反対側の他端部５１ｂが、＋Ｚ側に配置された一対のローラ３０ａ，３０ｂのうち−Ｘ側のローラ３０ａに架け渡されている。さらに、第一カバー部材５１の他端部５１ｂは、−Ｚ側に配置された一対のローラ３０ｃ，３０ｄのうち−Ｘ側のローラ３０ｃにより、＋Ｘ側に向かって折り返されている。これにより、第一カバー部材５１の他端部５１ｂは、ベース部１０の他方主面１２側であって、底板５の＋Ｚ側面上に配置される。
また、＋Ｘ側の第二カバー部材５２は、スライダ部２０に連結された一端部５２ａとは反対側の他端部５２ｂが、＋Ｚ側に配置された一対のローラ３０ａ，３０ｂのうち＋Ｘ側のローラ３０ｂに架け渡されている。さらに、第二カバー部材５２の他端部５２ｂは、−Ｚ側に配置された一対のローラ３０ｃ，３０ｄのうち＋Ｘ側のローラ３０ｄにより、−Ｘ側に向かって折り返されている。これにより、第二カバー部材５２の他端部５２ｂは、ベース部１０の他方主面１２側であって、底板５の＋Ｚ側面上に配置される。
【００３６】
第一カバー部材５１の−Ｙ側縁部５１ｃおよび第二カバー部材５２の−Ｙ側縁部５２ｃは、それぞれ、−Ｙ側の側壁４０Ａの＋Ｙ側面４１ａに接するように配置されている。また、第一カバー部材５１の＋Ｙ側縁部５１ｄおよび第二カバー部材５２の＋Ｙ側縁部５２ｄは、それぞれ、＋Ｙ側の側壁４０Ｂの−Ｙ側面４１ｂに接するように配置されている。すなわち、カバー部材５０のＹ方向における両縁部（−Ｙ側縁部５１ｃ，５２ｃおよび＋Ｙ側縁部５１ｄ，５２ｄ）は、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂに接するように配置されている。
【００３７】
図２は、＋Ｙ側から見たときの移動装置１の側面図である。なお、図２では、分かり易くするために、＋Ｙ側の側壁４０Ｂ（図１参照）の図示を省略している。
図２に示すように、第一カバー部材５１の他端部５１ｂと、第二カバー部材５２の他端部５２ｂとの離間距離Ｋは、スライダ部２０がスライド移動する際の移動範囲Ｌよりも広くなっている。
【００３８】
第一カバー部材５１の他端部５１ｂおよび第二カバー部材５２の他端部５２ｂ（すなわちカバー部材５０の両端部に相当。）は、ジョイント部材５７を介して互いに連結されている。ジョイント部材５７は、例えばステンレスやアルミニウム、鉄等の金属材料により形成された部材であり、Ｘ方向に長尺の板状に形成されている。ジョイント部材５７のＹ方向の幅は、カバー部材５０の幅よりも狭くなっている。また、ジョイント部材５７のＸ方向に沿う長さは、第一カバー部材５１の他端部５１ｂと、第二カバー部材５２の他端部５２ｂとの離間距離よりも長くなっている。本実施形態では、ジョイント部材５７は、Ｙ方向に平行に並んで二本設けられている。
【００３９】
ジョイント部材５７の−Ｘ側端部５７ａは、連結金具５９を介して第一カバー部材５１の他端部５１ｂに連結されている。ジョイント部材５７の＋Ｘ側端部５７ｂは、連結金具５９を介して第二カバー部材５２の他端部５２ｂに連結されている。これにより、第一カバー部材５１および第二カバー部材５２は、所定のテンションを有した状態でジョイント部材５７を介して互いに連結される。そして、第一カバー部材５１および第二カバー部材５２は、スライダ部２０およびジョイント部材５７を介して環状に連結される。
【００４０】
ベース部１０の他方主面１２側には、底板５上に配置されてベース部１０を支持する台座部６０が設けられている。台座部６０は、例えばステンレスやアルミニウム、鉄等の金属材料により形成された直方体状の部材であり、底板５のＸ方向における中間部に配置されている。台座部６０の大きさは、支持するベース部１０およびスライダ部２０に載置される被移動体の重量等に対応して設定される。
【００４１】
ここで、台座部６０と第一カバー部材５１との位置関係について、スライダ部２０をベース部１０のＸ方向における中間部に配置したとき、台座部６０と第一カバー部材５１の他端部５１ｂとの離間距離Ｋ１は、スライダ部２０の−Ｘ側への移動可能距離Ｌ１よりも長くなっている。また、台座部６０と第二カバー部材５２との位置関係について、スライダ部２０をベース部１０のＸ方向における中間部に配置したとき、台座部６０と第二カバー部材５２の他端部５２ｂとの離間距離Ｋ２は、スライダ部２０の＋Ｘ側への移動可能距離Ｌ２よりも長くなっている。これにより、後述するように、スライダ部２０がＸ方向にスライド移動した場合であっても、台座部６０と第一カバー部材５１および第二カバー部材５２との干渉が防止される。
【００４２】
図３は、図２のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
ここで、台座部６０には、ジョイント部材５７に対応する位置に、Ｘ方向に沿ってジョイント部材５７を挿通可能な貫通孔６３が形成されている。
図３に示すように、貫通孔６３は、ジョイント部材５７に対応するようにＹ方向に並んで二箇所に形成されている。貫通孔６３は、台座部６０の−Ｚ側面６２を凹ませてＸ方向に沿う溝部６４を形成するとともに、溝部６４の内形状に沿った断面視Ｕ字状のガイド部材６６を溝部６４内に配置し、溝部６４およびガイド部材６６の開口を蓋部材６８で覆うことにより形成されている。これにより、台座部６０の溝部６４内には、ガイド部材６６および蓋部材６８により囲まれて貫通孔６３が形成される。
【００４３】
ここで、ガイド部材６６および蓋部材６８は、例えばポリエチレンやポリプロピレン等の樹脂材料により形成されている。これにより、貫通孔６３の内面６３ａが樹脂材料によって平坦かつ滑らかに形成されるので、スライダ部２０およびカバー部材５０のスライド移動に連動して、貫通孔６３内をジョイント部材５７が往復移動する際に、貫通孔６３の内面６３ａに干渉した場合であっても、貫通孔６３の内面６３ａとの摩擦によるジョイント部材５７の損傷が抑制される。
【００４４】
次いで、上述のように形成された移動装置１の作用について説明する。
図４は、スライダ部２０が−Ｘ側に移動したときの説明図である。なお、図４において、図２と同様に、＋Ｙ側の側壁４０Ｂ（図１参照）の図示を省略している。
移動装置１のスライダ部２０は、次のようにスライド移動する。なお、以下では、スライダ部２０が−Ｘ側にスライド移動する場合について説明する。
図４に示すように、まず、所定の励磁シーケンスによりスライダ部２０の−Ｚ側面２２に設けられた電磁石（不図示）のＮ極とＳ極とを切り替え、ベース部１０の一方主面１１に設けられた永久磁石（不図示）と、スライダ部２０の−Ｚ側面２２に設けられた電磁石との間に、スライダ部２０を−Ｘ方向にスライド移動させるように吸引力および反発力を発生させる。
【００４５】
次いで、スライダ部２０は、スライダ部２０の−Ｚ側面２２とベース部１０の一方主面１１との間で発生する吸引力および反発力により、−Ｘ側に向かって移動可能距離Ｌ１（図２参照）だけ移動する。このとき、第一カバー部材５１および第二カバー部材５２は、スライダ部２０に固定されていることから、スライダ部２０と連動してローラ３０ａ〜３０ｄに架け渡された状態で周回移動する。したがって、スライダ部２０の停止時に加え、スライダ部２０のＸ方向へのスライド移動時においても、スライダ部２０の移動範囲Ｌは、カバー部材５０（第一カバー部材５１および第二カバー部材５２）により常時覆われる。
【００４６】
さらに、図１に示すように、カバー部材５０の両縁部（−Ｙ側縁部５１ｃ，５２ｃおよび＋Ｙ側縁部５１ｄ，５２ｄ）は、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂに接するように配置されている。したがって、スライダ部２０がスライド移動したとき、カバー部材５０の−Ｙ側縁部５１ｃ，５２ｃおよび＋Ｙ側縁部５１ｄ，５２ｄは、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂに沿うように周回移動する。これにより、スライダ部２０の停止時に加え、スライダ部２０のＸ方向へのスライド移動時においても、カバー部材５０の−Ｙ側縁部５１ｃ，５２ｃおよび＋Ｙ側縁部５１ｄ，５２ｄと、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂとの間に間隙が発生するのが抑制される。
【００４７】
また、図２に示すように、スライダ部２０をベース部１０のＸ方向における中間部に配置したとき、台座部６０と第一カバー部材５１の他端部５１ｂとの離間距離Ｋ１は、スライダ部２０の−Ｘ側への移動可能距離Ｌ１よりも長くなっている。したがって、スライダ部２０が−Ｘ側に移動可能距離Ｌ１だけ移動した場合であっても、第一カバー部材５１の他端部５１ｂと台座部６０とが干渉することがない。さらに、第一カバー部材５１および第二カバー部材５２は、所定のテンションを有した状態でジョイント部材５７を介して互いに連結されているので、第一カバー部材５１および第二カバー部材５２に撓みや浮き上がり等が発生することなく、スライダ部２０が高速移動できる。
なお、スライダ部２０が＋Ｘ側にスライド移動した場合については、上述のスライダ部２０が−Ｘ側にスライド移動した場合と同様であるため、説明を省略する。
【００４８】
本実施形態によれば、スライダ部２０の移動範囲Ｌの両外側に配置されるローラ３０ａ〜３０ｄと、スライダ部２０に固定されてスライダ部２０と連動するとともに、ローラ３０ａ〜３０ｄに架け渡されるカバー部材５０（第一カバー部材５１および第二カバー部材５２）と、を備えているので、スライダ部２０の移動範囲Ｌをカバー部材５０で覆うことができる。さらに、カバー部材５０は、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂに接するように配置されているので、カバー部材５０と一対の側壁４０Ａ，４０Ｂとの間に間隙が発生するのを抑制できる。したがって、移動装置１の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。
また、カバー部材５０は、Ｘ方向における両端部（第一カバー部材５１の他端部５１ｂおよび第二カバー部材５２の他端部５２ｂ）がそれぞれローラ３０ａ〜３０ｄにより折り返されて互いにベース部１０の他方主面１２側で連結されることにより環状に形成されているので、カバー部材５０は、スライダ部２０と連動するときに、ローラ３０ａ〜３０ｄに架け渡された状態で周回できる。これにより、カバー部材５０は、スライダ部２０のスライド移動時に、Ｘ方向における所定範囲内でスライダ部２０と連動できるので、移動装置１の外側にカバー部材５０の移動スペースを確保することなく移動装置１を設置できる。さらに、ローラ３０ａ〜３０ｄにより折り返されて環状に形成されているので、カバー部材５０には、所定のテンションが発生する。これにより、カバー部材５０は、スライダ部２０が高速移動した場合であっても、撓みや浮き上がり等が発生することなく、スライダ部２０と連動できる。したがって、移動装置１を小型化しつつ、移動装置１の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。
【００４９】
また、ジョイント部材５７を用いることで、カバー部材５０の両端部（第一カバー部材５１の他端部５１ｂおよび第二カバー部材５２の他端部５２ｂ）を強固に連結できる。また、カバー部材５０とジョイント部材５７との連結を解除するだけで、環状のカバー部材５０を帯状にすることができるので、移動装置１からカバー部材５０を容易に取り外すことができる。したがって、メンテナンス性に優れた移動装置１を提供できる。
【００５０】
また、台座部６０を設けることで、移動装置１のベース部１０を強固に支持できる。また、台座部６０には、ジョイント部材５７に対応する位置に、Ｘ方向に沿ってジョイント部材５７を挿通可能な貫通孔６３が形成されているので、スライダ部２０およびカバー部材５０のスライド移動に連動して、貫通孔６３内をジョイント部材５７が往復移動できる。したがって、台座部６０を設けた場合であっても、ジョイント部材５７によりカバー部材５０の両端部（第一カバー部材５１の他端部５１ｂおよび第二カバー部材５２の他端部５２ｂ）を強固に連結できる。さらに、貫通孔６３の内面６３ａが樹脂材料により形成されているので、貫通孔６３内をジョイント部材５７が往復移動する際に、貫通孔６３の内面６３ａに干渉した場合であっても、ジョイント部材５７が台座部６０との摩擦により損傷するのを抑制できる。
【００５１】
また、スライダ部２０に対応する位置において、カバー部材５０が第一カバー部材５１と第二カバー部材５２とに分断されてスライダ部２０に連結されているので、スライダ部２０と第一カバー部材５１との連結、およびスライダ部２０と第二カバー部材５２との連結のいずれかを解除するだけで、環状のカバー部材５０を帯状にすることができる。これにより、移動装置１からカバー部材５０を容易に取り外すことができるので、メンテナンス性に優れた移動装置１を提供できる。
【００５２】
また、スライダ部２０が磁力によりスライド移動するときに、磁力により塵埃や異物等が吸引された場合であっても、移動装置１の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。したがって、スライダ部２０を駆動させるアクチュエータとして、リニアモータを採用した本実施形態の移動装置１に好適である。
【００５３】
（実施形態の変形例）
図５は、実施形態の変形例に係る移動装置１を−Ｘ側から見たときの正面図であり、図６は、実施形態の変形例に係る移動装置１を＋Ｙ側から見たときの側面図である。なお、図５および図６においては、四個のローラ３０ａ〜３０ｄ（図１参照）のうち、（＋Ｚ，−Ｙ）に位置するローラ３０ａの近傍を拡大して図示している。
実施形態では、カバー部材５０の両縁部（−Ｙ側縁部５１ｃ，５２ｃおよび＋Ｙ側縁部５１ｄ，５２ｄ）が、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂに接するように配置されていた（図１参照）。
これに対して、実施形態の変形例では、図５に示すように、カバー部材５０の内周面５０ａが、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂに接するように配置されている点で、実施形態とは異なっている。なお、以下では、実施形態と同様の構成部分については説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００５４】
図５に示すように、カバー部材５０（図５においては、第一カバー部材５１のみ図示）の−Ｙ側縁部５１ｃは、−Ｙ側の側壁４０Ａの−Ｙ側面４１ｂ（請求項における「第二方向における外側面」に相当。）と面一となるように配置されている。また、カバー部材５０の＋Ｙ側縁部５１ｄは、＋Ｙ側の側壁４０Ｂの＋Ｙ側面４１ａ（請求項における「第二方向における外側面」に相当。）と面一となるように配置されている。これにより、カバー部材５０の内周面５０ａは、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂと接するように配置される。
【００５５】
ここで、図６に示すように、＋Ｙ側から見たときに、＋Ｙ側の側壁４０Ｂの角部４３ａは、ローラ３０ａの外周面３３に沿うように面取り形成されている。すなわち、角部４３ａの曲率半径は、ローラ３０ａの半径と同等となるように設定されている。これにより、カバー部材５０の内周面５０ａは、側壁４０Ｂの角部４３ａにおいても、間隙が形成されることなく、側壁４０Ｂと接するように配置される。なお、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂの全ての角部４３ａ〜４３ｄ（図１参照）について同一に形成されているため、＋Ｙ側の側壁４０Ｂの角部４３ａ以外の角部４３ａ〜４３ｄについては、詳細な説明を省略する。
【００５６】
実施形態の変形例によれば、カバー部材５０の内周面５０ａが一対の側壁４０Ａ，４０Ｂと接するように配置されているので、カバー部材５０の両縁部（−Ｙ側縁部５１ｃ，５２ｃおよび＋Ｙ側縁部５１ｄ，５２ｄ）が一対の側壁４０Ａ，４０Ｂに接するように配置されると比較して、とりわけＺ方向から移動装置１の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。
【００５７】
また、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂの角部４３ａ〜４３ｄは、ローラ３０ａ〜３０ｄの外周面３３に沿うように面取りされているので、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂの角部４３ａ〜４３ｄ近傍においても、カバー部材５０の内周面５０ａと一対の側壁４０Ａ，４０Ｂとの間に間隙が発生するのを抑制し、カバー部材５０の内周面５０ａが一対の側壁４０Ａ，４０Ｂと接するように配置できる。したがって、一対の側壁４０Ａ，４０Ｂの角部４３ａ〜４３ｄ近傍においても、移動装置１の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。
【００５８】
なお、この発明の技術範囲は上記の実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００５９】
ベース部１０やスライダ部２０、ローラ３０（３０ａ〜３０ｄ）、側壁４０Ａ，４０Ｂ、カバー部材５０、台座部６０等の材質や形状等は、実施形態および実施形態の変形例に限定されない。
また、実施形態では、二対のローラ３０にカバー部材５０を架け渡していたが、一対のローラにカバー部材５０を架け渡してもよい。
【００６０】
カバー部材５０は、第一カバー部材５１と第二カバー部材５２とに分断されてスライダ部２０に連結されていたが、カバー部材５０を分断することなくスライダ部２０に連結してもよい。ただし、第一カバー部材５１または第二カバー部材５２とスライダ部２０との連結を解除するだけでカバー部材５０を帯状に展開できるので、移動装置１の内部のメンテナンスを容易に行うことができる。したがって、メンテナンスが容易であるという点で、実施形態に優位性がある。
【００６１】
実施形態では、第一カバー部材５１の他端部５１ｂおよび第二カバー部材５２の他端部５２ｂがジョイント部材５７を介して互いに連結されていたが、ジョイント部材５７を介することなく、第一カバー部材５１の他端部５１ｂおよび第二カバー部材５２の他端部５２ｂが直接連結されていてもよい。ただし、カバー部材５０と台座部６０との干渉を回避するために、第一カバー部材５１および第二カバー部材５２に開口を設ける必要がある。したがって、第一カバー部材５１と第二カバー部材５２との連結において強度を確保できる点で、本実施形態に優位性がある。
【００６２】
実施形態の台座部６０には、ジョイント部材５７に対応する位置に、ジョイント部材５７を挿通可能な貫通孔６３が形成されていたが、貫通孔６３を設けなくてもよい。この場合、ジョイント部材５７は、台座部６０の＋Ｙ側および−Ｙ側に配置される。ただし、台座部６０に貫通孔６３を設け、ジョイント部材５７を貫通孔６３に挿通するとともに、貫通孔６３の内周面６３ａを樹脂部材により形成することにより、摩擦によるジョイント部材５７の損傷を防止できるため、本実施形態に優位性がある。
【００６３】
実施形態の変形例では、角部４３ａ〜４３ｄの曲率半径がローラ３０ａ〜３０ｄの半径と同等となるように設定されていた。これに対して、角部４３ａ〜４３ｄの曲率半径は、ローラ３０ａの半径よりも小さくなるように設定されていてもよい。これにより、角部４３ａ〜４３ｄがローラ３０ａ〜３０ｄの外周面３３よりも外側に配置されるのを防止できるので、ローラ３０ａ〜３０ｄに対してカバー部材５０を確実に架け渡すことができる。ただし、カバー部材５０の内周面５０ａが側壁４０Ａ，４０Ｂの角部４３ａ〜４３ｄと接するようにカバー部材５０を配置できる点で、実施形態の変形例に優位性がある。
【００６４】
実施形態では、スライダ部２０を駆動させるアクチュエータとして、リニアモータを例に説明をしたが、スライダ部２０を駆動させるアクチュエータはこれに限定されない。スライダ部２０を駆動させるアクチュエータとして、例えば、電動モータとボールネジにより構成されていてもよいし、流体圧シリンダ等により構成されていてもよい。ただし、リニアモータを移動装置１のアクチュエータとして採用したとき、磁力により塵埃や異物等が吸引された場合であっても、移動装置１の内部に塵埃や異物等が侵入するのを抑制できる。したがって、本発明は、とりわけリニアモータを移動装置１のアクチュエータとして採用したときに有効である。
【００６５】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。
【符号の説明】
【００６６】
１・・・移動装置  １０・・・ベース部  １１・・・一方主面  ２０・・・スライダ部  ３０，３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ・・・ローラ  ３３・・・外周面  Ｃ・・・中心軸  Ｌ・・・移動範囲  ４０Ａ，４０Ｂ・・・側壁  ４３ａ，４３ｂ，４３ｃ、４３ｄ・・・角部  ５０・・・カバー部材  ５１・・・第一カバー部材（カバー部材）  ５１ｂ，５２ｂ・・・他端部（端部）  ５１ｃ，５１ｄ，５２ｃ、５２ｄ・・・縁部  ５２・・・第二カバー部材（カバー部材）  ５７・・・ジョイント部材  ６０・・・台座部  ６３・・・貫通孔  ６３ａ・・・内面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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