(57)【要約】【課題】従来、部品を前工程から加熱炉へ搬送し加熱した後、後工程へと搬送する場合、装置タクトを早くすると装置が大きくなり部品を搬送するトレイを循環・回収する機構も必要であった。【解決手段】本発明の部品加熱装置は、加熱装置と搬送機構を有し、加熱装置は加熱待機部と保温待機部とを持ち、搬送機構は、部品を吸着する吸着機構と吸着した部品を移送する移送機構とを持ち、また加熱待機部は、部品を加熱前に一時的に載置する第１の載置部を持ち、保温待機部は、後工程での部品の待機場所へ部品を搭載する前に一時的に載置する第２の載置部を持つとともに、前記搬送機構はさらに、前工程の部品待機位置から第１の載置部へ部品を搬送する機構と、加熱待機部と保温待機部の間で部品を搬送する機構と、第２の載置部に載置された部品を後工程での部品待機位置へ搬送する機構の３種の搬送機構を備える。【選択図】  図１
2014059197.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度を変化させて部品の物理的特性を測定するために、当該部品を加熱する加熱装置と、前記部品を一の位置から別の位置へ搬送する搬送機構とを有する部品加熱装置において、
前記加熱装置は、物理的特性を測定するための特定の温度以上に前記部品を加熱可能で、かつ、該部品をその加熱位置で待機させる加熱待機部と、
当該加熱待機部で前記特定の温度に加熱された前記部品を、所定の温度範囲内に保温し、かつ、該部品をその保温位置で待機させる保温待機部と、を有し、
前記搬送機構は、前記部品を搬送する際に所望の部品を吸着する吸着機構と、
吸着した該部品を上下方向に移送する一の移送機構、及び当該方向と垂直な平面上を移送する他の移送機構と、を持ち、
さらに、前記加熱待機部は、前記部品を加熱する直前の部品待機位置から上記加熱装置に該部品を搬送した後の一時的載置場所である第１の載置部を含み、
前記保温待機部は、前記部品を保温した直後の部品待機位置へ当該部品を搬送する前の一時的載置場所である第２の載置部を含むとともに、
前記搬送機構は、前記加熱する直前の部品待機位置から前記第１の載置部へ部品を搬送する第１の搬送機構と、
前記第１の載置部に載置された前記部品を、該第１の載置部以外の前記加熱待機部へ搬送し、該加熱待機部で加熱が完了した部品を前記加熱待機部から前記保温待機部へ搬送するとともに、前記第２の載置部が空のとき、当該保温待機部内の該第２の載置部以外にある前記部品を当該第２の載置部に搬送する第２の搬送機構と、
前記第２の載置部の前記部品を前記保温した直後の部品待機位置へ搬送する第３の搬送機構と、
を備えたことを特徴とする部品加熱装置。
【請求項２】
前記加熱待機部及び前記保温待機部にある前記部品の総数をカウントし、予め設定された許容部品数を越えた場合、前記加熱前待機位置から前記加熱装置への当該部品の供給を停止するシステムと、
前記加熱装置内にある前記部品毎に加熱時間をカウントするシステムと、
前記部品加熱装置で部品を加熱する工程の後の工程である後工程の停止時、前記部品加熱装置で部品を加熱する工程の前の工程である前工程からの前記部品の供給を中止し、前記加熱待機部内の部品すべてを前記保温待機部内へ移し替えるシステムをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の部品加熱装置。
【請求項３】
前記第１の載置部と前記第２の載置部は、前記加熱待機部あるいは前記保温待機部に各々１列ずつ設けられているか、または、前記第１の載置部は前記加熱待機部に１箇所設けられ、前記第２の載置部は前記保温待機部に２箇所設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の部品加熱装置。
【請求項４】
前記加熱待機部と同数の前記部品を搭載可能な前記保温待機部を、同時に前記後工程の物理的特性を測定する前の待機場所であるバッファ部として利用し、前記加熱待機部と前記保温待機部内の部品総数をカウントし、そのカウント数が所定の値以上の場合には、前記直前の部品待機位置から前記加熱装置への部品の供給を停止することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の部品加熱装置。
【請求項５】
前記後工程の停止時に、前記保温待機部内の部品搭載位置を１箇所空けて、部品の供給を停止し、当該停止を解除して元の動作に復帰する場合に、復帰後における前記加熱待機部内の搬送動作と、前記加熱待機部及び前記保温待機部内の搬送動作と、前記保温待機部内の搬送動作を順番に実施することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の部品加熱装置。
【請求項６】
温度を変化させて部品の物理的特性を測定するために、当該部品を加熱する加熱装置と、前記部品を一の位置から別の位置へ搬送する搬送機構とを有する部品加熱装置を用いた部品加熱方法において、
前記加熱装置は、物理的特性を測定するための特定の温度以上に前記部品を加熱可能で、かつ、該部品をその加熱位置で待機させる加熱待機部と、
当該加熱待機部で前記特定の温度に加熱された前記部品を、所定の温度範囲内に保温し、かつ、該部品をその保温位置で待機させる保温待機部と、を有し、
前記搬送機構は、前記部品を搬送する際に所望の部品を吸着する吸着機構と、
吸着した該部品を上下方向に移送する一の移送機構、及び当該方向と垂直な平面上を移送する他の移送機構と、を持ち、
さらに、前記加熱待機部は、前記部品を加熱する直前の部品待機位置から上記加熱装置に該部品を搬送した後の一時的載置場所である第１の載置部を含み、
前記保温待機部は、前記部品を保温した直後の部品待機位置へ当該部品を搬送する前の一時的載置場所である第２の載置部を含む部品加熱装置を用いた部品加熱方法であって、
前記搬送機構を用いて、前記加熱する直前の部品待機位置から前記第１の載置部へ部品を搬送する第１の搬送工程と、
前記第１の載置部に載置された前記部品を、該第１の載置部以外の前記加熱待機部へ搬送し、該加熱待機部で加熱が完了した部品を前記加熱待機部から前記保温待機部へ搬送するとともに、前記第２の載置部が空のとき、当該保温待機部内の該第２の載置部以外にある前記部品を当該第２の載置部に搬送する第２の搬送工程と、
前記第２の載置部の前記部品を前記保温した直後の部品待機位置へ搬送する第３の搬送工程と、
を含むことを特徴とする部品加熱方法。
【請求項７】
前記加熱待機部及び前記保温待機部にある前記部品の総数をカウントし、予め設定された許容部品数を越えた場合、前記直前の部品待機位置から前記加熱装置への当該部品の供給を停止する工程と、
前記加熱装置内にある前記部品毎に加熱時間をカウントする工程と、
前記部品加熱装置で部品を加熱する工程の後の工程である後工程の停止時、前記部品加熱装置で部品を加熱する工程の前の工程である前工程からの前記部品の供給を中止し、前記加熱待機部内の部品すべてを前記保温待機部内へ移し替える工程と、をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載の部品加熱方法。
【請求項８】
前記第１の載置部と前記第２の載置部は、前記加熱待機部あるいは前記保温待機部に各々１列ずつ設けられているか、または、前記第１の載置部は前記加熱待機部に１箇所設けられ、前記第２の載置部は前記保温待機部に２箇所設けられていることを特徴とする部品加熱装置を用いた請求項６または請求項７に記載の部品加熱方法。
【請求項９】
前記加熱待機部と同数の前記部品を搭載可能な前記保温待機部を、同時に前記後工程の物理的特性を測定する前の待機場所であるバッファ部として利用し、前記加熱待機部と前記保温待機部内の部品総数をカウントし、そのカウント数が所定の値以上の場合には、前記直前の部品待機位置から前記加熱装置への部品の供給を停止する工程を含むことを特徴とする請求項６または請求項７に記載の部品加熱方法。
【請求項１０】
前記後工程の停止時に、前記保温待機部内の部品搭載位置を１箇所空けて、部品の供給を停止し、当該停止を解除して元の動作に復帰する場合に、復帰後における前記加熱待機部内の搬送動作工程と、前記加熱待機部及び前記保温待機部内の搬送動作工程と、前記保温待機部内の搬送動作工程を順次行うことを特徴とする請求項６または請求項７に記載の部品加熱方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、部品を加熱するための加熱装置及び搬送するための搬送機構を有する部品加熱装置および部品加熱方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、部品の電気特性測定等のため、部品を試験装置に投入後、ある特定の温度範囲内まで部品を加熱する場合、加熱し過ぎを防止する必要がある。このため、加熱される部品が過昇温（例えば１30℃以上）にならないように、比較的低温にヒーター温度が設定さ
れている。
【０００３】
しかし、部品を所定の温度まで上昇させるには相当時間がかかり、部品を高速タクトの条件で搬送しようとすると、加熱領域を広範囲にする必要があるため、試験装置全体が大型化するという問題点がある。
【０００４】
そこで、従来、試験装置をより小さな範囲に分割して、部品を必要な所定温度以上に加熱可能な第一熱源と、第一熱源よりも熱量の小さな第二熱源の二つの熱源にわけて段階的に加熱する方法を実施しているものがある。つまり、第一熱源で一気に部品を加熱し、その後、第二熱源で過昇温しないように加熱することで、加熱時間の短縮を実現している。また、所定温度に到達した部品をバッファ領域、すなわち、後工程への搬送位置とは別に設置している仮置き位置へと搬送し、効率的に加熱処理を実施している（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３４６７４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
例えば、インバータ等の部品について、その電気特性の温度変化による影響を測定するため、当該部品を搬送し、加熱炉で加熱し、加熱後に電気特性を測定する後工程へと搬送する場合について下記に説明する。
【０００７】
部品の加熱に使用される第一加熱部、第二加熱部、バッファ部の各部のスペースを、装置タクトと加熱に必要な時間により決定するため、タクトを早くすると第一加熱部、第二加熱部、バッファ部を含む部品加熱装置が大きくなり、また部品を搬送する際、トレイ等のステージに部品を搭載して搬送するため、トレイ等を循環・回収する機構が必要となり、トレイ等のステージを含む搬送系が複雑になってしまう課題があった。
【０００８】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、装置全体をコンパクトでシンプルに構成し、従来の方法と比較して短時間で特定温度まで加熱し保温することが可能な加熱装置および加熱方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の部品加熱装置は、温度を変化させて部品の物理的特性を測定するために、当該部品を加熱する加熱装置と、前記部品を一の位置から別の位置へ搬送する搬送機構とを有する部品加熱装置において、
前記加熱装置は、物理的特性を測定するための特定の温度以上に前記部品を加熱可能で、
かつ、該部品をその加熱位置で待機させる加熱待機部と、
当該加熱待機部で前記特定の温度に加熱された前記部品を、所定の温度範囲内に保温し、かつ、該部品をその保温位置で待機させる保温待機部と、を有し、
前記搬送機構は、前記部品を搬送する際に所望の部品を吸着する吸着機構と、
吸着した該部品を上下方向に移送する一の移送機構、及び当該方向と垂直な平面上を移送する他の移送機構と、を持ち、
さらに、前記加熱待機部は、前記部品を加熱する直前の部品待機位置から上記加熱装置に該部品を搬送した後の一時的載置場所である第１の載置部を含み、
前記保温待機部は、前記部品を保温した直後の部品待機位置へ当該部品を搬送する前の一時的載置場所である第２の載置部を含むとともに、
前記搬送機構は、前記加熱する直前の部品待機位置から前記第１の載置部へ部品を搬送する第１の搬送機構と、
前記第１の載置部に載置された前記部品を、該第１の載置部以外の前記加熱待機部へ搬送し、該加熱待機部で加熱が完了した部品を前記加熱待機部から前記保温待機部へ搬送するとともに、前記第２の載置部が空のとき、当該保温待機部内の該第２の載置部以外にある前記部品を当該第２の載置部に搬送する第２の搬送機構と、
前記第２の載置部の前記部品を前記保温した直後の部品待機位置へ搬送する第３の搬送機構と、を備えたものである。
【００１０】
また、本発明の部品加熱方法は、温度を変化させて部品の物理的特性を測定するために、当該部品を加熱する加熱装置と、前記部品を一の位置から別の位置へ搬送する搬送機構とを有する部品加熱装置を用いた部品加熱方法において、
前記加熱装置は、物理的特性を測定するための特定の温度以上に前記部品を加熱可能で、かつ、該部品をその加熱位置で待機させる加熱待機部と、
当該加熱待機部で前記特定の温度に加熱された前記部品を、所定の温度範囲内に保温し、かつ、該部品をその保温位置で待機させる保温待機部と、を有し、
前記搬送機構は、前記部品を搬送する際に所望の部品を吸着する吸着機構と、
吸着した該部品を上下方向に移送する一の移送機構、及び当該方向と垂直な平面上を移送する他の移送機構と、を持ち、
さらに、前記加熱待機部は、前記部品を加熱する直前の部品待機位置から上記加熱装置に該部品を搬送した後の一時的載置場所である第１の載置部を含み、
前記保温待機部は、前記部品を保温した直後の部品待機位置へ当該部品を搬送する前の一時的載置場所である第２の載置部を含む部品加熱装置を用いた部品加熱方法であって、
前記搬送機構を用いて、前記加熱する直前の部品待機位置から前記第１の載置部へ部品を搬送する第１の搬送工程と、
前記第１の載置部に載置された前記部品を、該第１の載置部以外の前記加熱待機部へ搬送し、該加熱待機部で加熱が完了した部品を前記加熱待機部から前記保温待機部へ搬送するとともに、前記第２の載置部が空のとき、当該保温待機部内の該第２の載置部以外にある前記部品を当該第２の載置部に搬送する第２の搬送工程と、
前記第２の載置部の前記部品を前記保温した直後の部品待機位置へ搬送する第３の搬送工程と、を含むものである。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、部品の加熱時間、リードタイムの短縮、装置スペースの小型化及び、過昇温防止が可能で、且つ、トレイ、ワーク搭載ステージなど(以下、単にトレイ等と
呼ぶ)を回収する必要がなく、空トレイを回収する機構を持つ装置と比べて簡易な構成で
部品を特定の温度まで加熱して保持できるという顕著な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態１による装置構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１による装置構成を示す上面図である。
【図３】本発明の実施の形態１による加熱−保温待機部の部品を搭載する各位置の位置番号の説明図である。
【図４】本発明の実施の形態１による制御フローチャートである。
【図５】本発明の実施の形態１による加熱待機部内の搬送動作フローチャートである。
【図６】本発明の実施の形態１による加熱待機部内の搬送動作の説明図である。
【図７】本発明の実施の形態１による加熱−保温待機部内の搬送動作フローチャートである。
【図８】本発明の実施の形態１による加熱-保温待機部内の搬送動作の説明図である。
【図９】本発明の実施の形態１による保温待機部内の搬送動作フローチャートである。
【図１０】本発明の実施の形態１による保温待機部内の搬送動作の説明図である。
【図１１】本発明の実施の形態１に係る部品加熱装置を用いた加熱経過時間と計測された部品の温度との実測例を示すグラフである。
【図１２】本発明の実施の形態１に係る第１の載置部と第２の載置部を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
実施の形態１．
実施の形態１について、図を用いて以下説明する。図１は本発明の部品加熱装置あるいは部品加熱方法を示す外観図（斜視図）、図２は本発明の部品加熱装置あるいは部品加熱方法を示す上面図である。また、図３は、加熱−保温待機部に部品を搭載する各位置の位置番号の説明図である（ここで「加熱−保温待機部」の「−」は加熱待機部と保温待機部との間の部品の搬送を含む意味で用いている。以下同様）。
【００１４】
まず、これらの図を用いて、本発明の構成を説明する（以下では、本発明で用いる部品を部品Ａと呼ぶ）。
図１に示す本発明に係る部品加熱装置は、部品Ａを加熱するための加熱待機部２と保温するための保温待機部３の２種類の熱源（ホットプレート等で構成されている）を備えており、加熱待機部２から保温待機部３への部品Ａの搬送を、１個ずつ吸着パッド等で構成された吸着機構７で行っている。吸着機構７は、エアシリンダー（図示せず）によりＺ軸方向（図１中のＺの矢印方向及び逆方向）への移送機構６と接続している。吸着機構７をＸ軸方向（図１中のＸの矢印方向及び逆方向）、Ｙ軸方向（図１中のＹの矢印方向及び逆方向）へと移動させるために、アクチュエータ等で構成されたＸ軸方向の移送機構４と、Ｙ軸方向の移送機構５を使用している。
【００１５】
ここで、上記部品Ａの加熱と保温の実測例を図１１に示す。この図で搭載期間Ａは加熱待機部で部品Ａを特定温度（この実測例では１25℃〜１28℃の温度をいう）まで加熱した場合の加熱経過時間と温度変化を示し、搭載期間Ｂは特定温度までの加熱が完了した部品が保温待機部で上記特定温度内に保温されている状況を示している。このようなデータを用いて、加熱温度を加熱開始からの経過時間、すなわち時間の関数として、部品Ａの加熱のタクトタイム管理をすることができる。本発明でもこのような方法により実測例で示したデータを利用している。図中、搬送期間１は搬送機構Ｒ３（直前の部品待機位置から加熱装置まで部品Ａを搬送する搬送機構）による部品の搬送を、搬送期間２、３は搬送機構Ｒ２（加熱待機部と保温待機との間で部品Ａを搬送する搬送機構）による部品の搬送を示している。なお、これら以外で、第２の載置部から、前記部品加熱装置で部品を加熱する工程の後の工程である後工程における部品Ａの待機場所である、直後の部品待機位置まで、部品Ａを搬送する搬送機構Ｒ４がある。本発明では、これら３種類の搬送機構を総称して
搬送機構と呼ぶ。これら搬送機構の動作については、以下でさらに詳しく説明する。
【００１６】
ここでＸ方向は、図１中のＸの矢印方向であり、部品Ａを特定温度まで加熱する場合に、部品Ａを投入する矢印で示した投入方向９および部品Ａを取り出す矢印で示した取出方向１０の方向である。また、Ｙ方向は、図１中のＹの矢印方向であり、Ｘ方向と垂直で、本装置の奥行方向と逆の方向である。さらに、Ｚ方向は、図１のＺの矢印方向であり、上記のＸ軸とＹ軸の両軸を含む面に直交する方向で下向きの方向である。
【００１７】
そして、移送機構６と、アクチュエータ等で構成される上記Ｘ軸方向の移送機構４、および前記Ｙ軸方向の移送機構５により、吸着機構７は、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向及びそれぞれの逆方向に移動可能となっており、吸着機構７により部品Ａを吸着して、本装置に投入された部品Ａを本装置内の所望の位置に搬送することができる。前記部品加熱装置で部品を加熱する工程の前の工程である前工程（例えば、部品Ａの絶縁試験の工程）から供給（投入）される部品Ａは、前記前工程にある直前の部品待機位置１１から搬送機構Ｒ３（図示せず）により、図２の加熱待機部２の左端１列である第１の載置部１３へ搬送される。
【００１８】
また、前記後工程（例えば、部品の絶縁特性以外の電気特性試験を行う工程）へと取出される部品Ａは、図２の保温待機部３の右端１列である第２の載置部１４から、後工程に
設けられた直後の部品待機位置１２に搬送機構Ｒ４（図示せず）により搬送される。図１において、部品Ａの前工程の部品待機位置１１と、部品Ａの後工程の部品待機位置１２以外の本発明に係る構成要素（例えば、部品Ａの加熱・保温にかかわる加熱待機部、保温待機部、吸着機構、移送機構など）は、保護カバー８で覆われている。なお、図３は、上記加熱待機部、保温待機部の各部に部品Ａが搭載される詳細位置を説明するために、参照用として示した行と列の番号である（図１２も併せて参照）。
【００１９】
以下に、図４〜図１０を用いて、本発明の部品Ａの搬送手順を説明する。
図４のフローチャートで示す通り、本装置は、加熱待機部２内の搬送動作工程と、加熱−保温待機部内の搬送動作工程と、保温待機部３内の搬送動作工程の３つの搬送動作工程により、部品Ａを搬送するべく構成されている。図４で、「加熱・保温待機部」は、加熱待機部、あるいは保温待機部を意味する。
【００２０】
まず、第１の工程である、加熱待機部２内の搬送動作工程について、図５、図６を用いて説明する。
第１の載置部１３へ前工程の部品待機位置１１から、搬送機構Ｒ３（図示せず）により、部品Ａを搬送する。
次に、第１の載置部１３に搬送された部品Ａの真上に、Ｘ軸方向の移送機構４と、Ｙ軸方向の移送機構５と、上下方向（Ｚ軸方向）の昇降を掌る移送機構６とにより、吸着パッド等で構成される吸着機構７を移動させる。
次に、移送機構６により、吸着機構７をＺ方向に下降し、部品Ａと吸着機構７を接触させる。
次に、吸着機構７の部品Ａへの吸着完了後、移送機構６により、部品Ａを吸着しながら、吸着機構７をＺ方向と逆方向に上昇させる。
次に、吸着機構７と吸着状態の部品Ａと移送機構６を、移送機構４と、移送機構５により、加熱待機部２の後工程側（Ｘ方向。例えば５Ａの位置）へ移動させる。
次に、移送機構６により、吸着機構７と吸着状態の部品ＡをＺ方向に下降させる。
次に、吸着機構７の吸着を解除し、加熱待機部２の後工程側（Ｘ方向。例えば５Ａの位置）に部品Ａを搭載する。
次に、移送機構６により、吸着機構７をＺ方向と逆方向に上昇させる。
【００２１】
上記動作を、直前の部品待機位置から部品Ａが第１の載置部１３へ供給される毎に実施
し、加熱待機部２の奥側から(例えば５Ｅの位置から)順番に部品Ａを図６に示すように搬送していく。
【００２２】
次に、第２の工程である加熱−保温待機部内の搬送動作工程について、図７と図８を用いて説明する。
加熱待機部２内で、特定温度まで加熱が完了（必要な加熱時間に到達）した部品Ａの真上に、吸着機構７を移送機構４と、移送機構５により移動させる。
次に、移送機構６により、吸着機構７をＺ方向に下降させ、部品Ａと吸着機構７を接触させる。
次に、部品Ａへの吸着完了後、移送機構６により、部品Ａを吸着しながら、吸着機構７をＺ方向と逆方向に上昇させる。
次に、吸着機構７と吸着状態の加熱が完了した部品Ａと移送機構６を、第２の載置部１４の真上へ、移送機構４と、移送機構５により移動させる。
次に、移送機構６により、吸着機構７と吸着状態の加熱が完了した部品ＡをＺ方向に下降させる。
次に、吸着機構７の吸着を解除し、第２の載置部１４に加熱が完了した部品Ａを搭載する。
次に、移送機構６により、吸着機構７をＺ方向と逆方向に上昇させる。
【００２３】
上記動作を、加熱待機部２内の部品Ａの加熱が完了する毎に実施していく。ただし、第２の載置部１４が空いていない場合は、保温待機部３内に部品Ａを搬送することで、過昇温を防ぐ。
【００２４】
この場合においては、本発明に係る部品加熱装置に投入している部品Ａの個数を管理することにより、加熱待機部には部品Ａは無く、保温待機部の各位置には部品Ａが搭載され満杯状態になっている。
なお、上記の加熱に関わる工程では、各部品の温度が上がり過ぎないように、加熱待機部２の各位置に搭載した部品ごとに、搭載している総時間を管理することで対応している（図１２参照）。
【００２５】
次に、第３の工程である保温待機部３内の搬送動作工程について、図９と図１０を用いて説明する。
保温待機部３内に加熱が完了した部品Ａを搭載した状態で、第２の載置部１４が空になった時、保温待機部３内の部品Ａの真上に、移送機構４と、移送機構５により、移送機構６と吸着機構７を移動させる。
次に、移送機構６により、吸着機構７をＺ方向に下降させ、部品Ａと吸着機構７を接触させる。
次に、部品Ａの吸着完了後、部品Ａを吸着しながら、吸着機構７を上昇させる。
次に、吸着機構７と吸着機構７に保持したままの部品Ａと移送機構６を、第２の載置部１４へ移動させる。
次に、移送機構６により、吸着機構７と吸着状態の部品ＡをＺ方向に下降させる。
次に、吸着機構７の吸着を解除し、第２の載置部１４に部品Ａを搭載する。
次に、移送機構６により、吸着機構７をＺ方向と逆方向に上昇させる。
【００２６】
上記動作を、第２の載置部１４が空の状態で、且つ保温待機部３内に部品Ａが在る場合に、繰り返し実施していく。なお、本装置においては、部品の有無はシーケンサで制御しており、シーケンサに覚えさせることで、部品の有無を判断している。
【００２７】
以下では、本発明に備えているシステムを説明する。
本発明では、加熱・保温待機部内の部品Ａの総数をカウントし、部品許容数（例えば２５個）を越えた場合、前工程から第１の載置部１３への部品Ａの供給を停止するシステムを備えている。なお、部品Ａの許容数は、加熱時間、装置タクトにより変動するため、装置にあわせて設定する必要がある。
【００２８】
例えば、装置タクトが１０秒で、加熱時間が３００秒の場合、３００/１０＝３０個が許容数となる。上記の計算式（加熱時間／装置タクト）で許容数が決まる。ただし、この許容数が搭載可能な保温待機部の部搭載位置を確保しておく必要がある。
【００２９】
また、後工程の停止時、前工程からの部品Ａの供給を中止し、加熱待機部２内の部品Ａ全てを保温待機部３へと搬送するシステム（後工程への搬送停止時、保温待機部の６−９列目が保温用バッファとして利用されるシステム）を備えており、部品Ａの総数カウントのシステムと組み合わせることで、後工程への部品Ａの供給がトラブルで停止したとしても、部品Ａを過剰に搬送しないことで、部品Ａの過昇温を防ぐことができる。また、加熱時間を、加熱待機部２の部品Ａの搭載位置毎に、カウントするシステム(シーケンサ等)を備えることで、部品Ａの過昇温を防ぐことができる。
【００３０】
つまり第１の載置部１３に部品Ａ（符号１）が供給される毎に装置内の部品装填数を１加算し、第２の載置部１４から部品Ａ(符号１)が排出される毎に装置内の部品装填数を１減算することで、装置内の部品装填数を管理し、保温待機部３の許容数を超える第１の載置部１３への部品Ａ（符号１）供給を停止させ、部品Ａの過昇温を防ぐ。
【００３１】
以下に、本発明に則した装置が備えている特徴を説明する。後工程の停止後から復帰した場合において、保温待機部３に１箇所空きスペースを設けておくことで（ここで、１箇所は一例。１箇所あけておくことで、部品搬送を一筆書きのようにでき、搬送機構が装置内を往復する回数を減らすことで、搬送経路を短くし、タクトを短くできるため。言い換えると、１箇所空いていないと、部品を置くためのスペースを作ることが必要となり、その分のピックアップとリリースが増えてしまうことになる)、図４で示す通り、本装置は、搬送動作において、加熱待機部２内の搬送動作の工程と、加熱−保温待機部内の搬送動作の工程と、保温待機部３内の搬送動作の工程の３工程を順番通りに実施することができる。
【００３２】
これにより、ピックアップとリリースの回数や搬送距離を短くして搬送することができる。つまり、１箇所空いていないと、部品を置くためのスペースを作ることが必要となり、その分のピックアップとリリースが増えてしまうことになるためである。
【００３３】
また、部品Ａを後工程側から詰めていくシーケンスにして、可視性を上げるようにして加熱待機部２内、保温待機部３内での部品Ａの投入順を、目視ですぐに把握できるようにしている。また、第１の載置部１３、第２の載置部１４の部品搭載場所を５箇所ずつ設けることで、搬送機構Ｒ３、Ｒ４の動作が同一ライン上で実施することができるため(図２の第１の載置部１３、第２の載置部１４を参照)、１軸方向（Ｘ軸）の搬送に特化でき、タクトを短くできる特徴を有する。
【００３４】
これについて、図２を用いて、以下詳しく説明する。この図において、左端の１列目の５箇所(点列で示した箇所)の全てを第１の載置部、右端の１０列目の５箇所（格子状に模様を付けた箇所）全てを第２の載置部としている。
搬送機構Ｒ３が前工程から１列目のＡ行(図３参照)に部品Ａを投入後、搬送機構Ｒ２が１列目のＡ行の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、吸着機構を部品Ａの表面に接触させて吸着状態をＯＮにする。
次に、搬送機構Ｒ２が吸着状態を維持したまま、部品Ａと一緒に上昇し、加熱待機部の５列目のＡ行に部品Ａを搬送する。
次に、搬送機構Ｒ２が吸着状態を維持したまま、部品Ａと一緒に下降し、加熱待機部の５列目のＡ行に部品Ａを降ろし、吸着状態を解除する。
【００３５】
搬送機構Ｒ３が前工程から１列目のＢ行に部品Ａを投入後、搬送機構Ｒ２が１列目のＢ行(図３参照)の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、吸着機構を部品Ａの表面に接触させて吸着状態をＯＮにする。
次に、搬送機構Ｒ２が吸着状態を維持したまま、部品Ａと一緒に上昇し、加熱待機部の５列目のＢ行(図３参照)に部品Ａを搬送する。
次に、搬送機構Ｒ２が吸着状態を維持したまま、部品Ａと一緒に下降し、加熱待機部の５列目のＢ行に部品Ａを降ろし、吸着状態を解除する。
【００３６】
上記のように、搬送機構Ｒ２の動作範囲に、Ｙ軸方向を含ませず、Ｘ軸方向のみで搬送させ続けることで、タクトを短くできる。
【００３７】
また、前工程から部品Ａを第１の載置部１３に供給する搬送機構Ｒ３と、搬送機構Ｒ２と、後工程へ部品Ａを取出す搬送機構Ｒ４の動作開始タイミングを同時にすることで、干渉を防ぐことができる特徴を有する。
【００３８】
また、図１２に示すように、部品Ａの第１の載置部１３を１箇所に、第２の載置部１４を１箇所ないし２箇所（図１２の１列目のＡ及び１０列目のＡ、Ｂを参照）にした場合、本装置と前工程および後工程のハンドリングを、第１の載置部１３と第２の載置部１４の位置における部品Ａの有無のみで判断でき、安価で、簡単に制御できる特徴を有する。
【００３９】
つまり、本発明に係る装置が通常動作をしている場合、部品の受入列である第１の載置部である１の列への部品供給は、１箇所のみ（１列目のＡ）使用し、この受入列から（第１の載置部以外の）加熱待機部へ部品を搬送し加熱待機部へ搭載した後（具体的な例としては図１２参照。この図において丸で囲んだ数字の１〜２０が部品Ａが加熱待機部へ搭載された後の状態を示す）、第２の載置部以外の保温待機部は部品搭載場所としては使用せず、加熱待機部の部品搭載位置から直接第２の載置部である１０列目のＡ、Ｂへ部品を搬送し、後工程での試験に供する。すなわち、この受入列から加熱待機部への部品の搬送については、受入列に部品が搭載された後、すぐに受入列から加熱待機部の該部品搭載場所へ、搬送機構Ｒ２により該部品を搬送する。また、加熱待機部からは、第２の載置部である１０列目の２箇所Ａ、Ｂへ、該部品を搬送機構Ｒ２により搬送する。
【００４０】
なお、第２の載置部を２箇所設定しているのは、搬送機構Ｒ４が第２の載置部に搭載している部品を後工程へと搬送する動作の速度が一定ではない場合を考慮したためである。このような場合において第２の載置部からの部品取出しが遅くなるような場合でも、搬送機構Ｒ２が、常時、稼働している状態にして、タクトタイムを短縮することができる。
【００４１】
また、以上に説明した通常動作においては、加熱待機部からは第２の載置部への部品の搬送においては、搬送機構Ｒ４が第２の載置部から離れるまで、搬送機構Ｒ２の第２の載置部への移動を禁止している。また搬送機構Ｒ３が受入列から離れるまで、搬送機構Ｒ２の第１の載置部への移動を禁止している。また、搬送機構Ｒ３と搬送機構Ｒ２による部品ピックアップ動作の時間と場所が重ならないように、各々の搬送機構の部品ピックアップのタイミングは同じに設定している。なお、加熱待機部および保温待機部内の部品総数をカウントするため、例えばシーケンサにより、部品投入時にワーク総数をインクリメントし、取出時にディクリメントしている。
【００４２】
以上の通常動作における、部品搬送工程を以下で時系列的にさらに詳述する。このため、以下では、部品Ａ全般の説明ではなく、部品Ａに属する個々の部品について、番号を付けて互いに区別し、その個々の部品についての動作を説明することとする(以下の説明では、個々の部品の番号は、図１２の丸で囲んだ数字に対応している。図１２参照)。
［通常動作のシーケンス(部品の搬送の詳細)―以下に示す番号順に動作する―］
（１）搬送機構Ｒ３により前工程から、上記部品Ａに属する個々の部品中の部品１が第１の載置部１−Ａに供給される。(以下では“部品Ａに属する個々の部品中の”は煩雑になるので、これを省略し単に“部品１”と称する。従って、以下で述べる“部品８”は上述の保護カバー８とは異なるものである（念のため)。）
（２）搬送機構Ｒ２により、部品１が第１の載置部１−Ａから加熱待機部５−Ａに移される。
（３）（上記（２）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品２が第１の載置部１−Ａに供給される。
（４）搬送機構Ｒ２により、部品２が第１の載置部１−Ａから加熱待機部５−Ｂに移される。
（５）（上記（４）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品３が第１の載置部１−Ａに供給される。
（６）搬送機構Ｒ２により、部品３が第１の載置部１−Ａから加熱待機部５−Ｃに移される。
（７）（上記（６）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品４が第１の載置部１−Ａに供給される。
（８）搬送機構Ｒ２により、部品４が第１の載置部１−Ａから加熱待機部５−Ｄに移される。
（９）（上記（８）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品５が第１の載置部１−Ａに供給される。
（１０）搬送機構Ｒ２により、部品５が第１の載置部１−Ａから加熱待機部５−Ｅに移される。
（１１）（上記（１０）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品６が第１の載置部１−Ａに供給される。
（１２）搬送機構Ｒ２により、部品６が第１の載置部１−Ａから加熱待機部４−Ａに移される。
（１３）（上記（１２）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品７が第１の載置部１−Ａに供給される。
（１４）搬送機構Ｒ２により、部品７が第１の載置部１−Ａから加熱待機部４−Ｂに移される。
（１５）（上記（１４）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品８が第１の載置部１−Ａに供給される。
（１６）搬送機構Ｒ２により、部品８が第１の載置部１−Ａから加熱待機部４−Ｃに移される。
（１７）（上記（１６）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品９が第１の載置部１−Ａに供給される。
（１８）搬送機構Ｒ２により、部品９が第１の載置部１−Ａから加熱待機部４−Ｄに移される。
（１９）（上記（１８）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品１０が第１の載置部１−Ａに供給される。
（２０）搬送機構Ｒ２により、部品１０が第１の載置部１−Ａから加熱待機部４−Ｅに移される。
（２１）（上記（２０）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品１１が第１の載置部１−Ａに供給される。
（２２）搬送機構Ｒ２により、部品１１が第１の載置部１−Ａから加熱待機部３−Ａに移される。
（２３）（上記（２２）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品１２が第１の載置部１−Ａに供給される。
（２４）搬送機構Ｒ２により、部品１２が第１の載置部１−Ａから加熱待機部３−Ｂに移される。
（２５）（上記（２４）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品１３が第１の載置部１−Ａに供給される。
（２６）搬送機構Ｒ２により、部品１３が第１の載置部１−Ａから加熱待機部３−Ｃに移される。
（２７）（上記（２６）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品１４が第１の載置部１−Ａに供給される。
（２８）搬送機構Ｒ２により、部品１４が第１の載置部１−Ａから加熱待機部３−Ｄに移される。
（２９）（上記（２８）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品１５が第１の載置部１−Ａに供給される。
（３０）搬送機構Ｒ２により、部品１５が第１の載置部１−Ａから加熱待機部３−Ｅに移される。
（３１）（上記（３０）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品１６が第１の載置部１−Ａに供給される。
（３２）搬送機構Ｒ２により、部品１６が第１の載置部１−Ａから加熱待機部２−Ａに移される。
（３３）（上記（３２）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品１７が第１の載置部１−Ａに供給される。
（３４）搬送機構Ｒ２により、部品１７が第１の載置部１−Ａから加熱待機部２−Ｂに移される。
（３５）（上記（３４）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品１８が第１の載置部１−Ａに供給される。
（３６）搬送機構Ｒ２により、部品１８が第１の載置部１−Ａから加熱待機部２−Ｃに移される。
（３７）（上記（３６）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品１９が第１の載置部１−Ａに供給される。
（３８）搬送機構Ｒ２により、部品１９が第１の載置部１−Ａから加熱待機部２−Ｄに移される。
（３９）（上記（３８）と同じタイミングで）搬送機構Ｒ３により前工程から、部品２０が第１の載置部１−Ａに供給される。
（４０）搬送機構Ｒ２により、部品２０が第１の載置部１−Ａから加熱待機部２−Ｅに移される。
（４１）(上記（４０）と同じタイミングで) 搬送機構Ｒ２により、部品１が加熱待機部５−Ａから第２の載置部１０−Ａに移される。
（４２）(その終了と同じタイミングで) 搬送機構Ｒ３により、（２回目の）部品１が第１の載置部１−Ａから加熱待機部１−Ｂに移される。
（４３）(上記（４２）と同じタイミングで)搬送機構Ｒ２より、部品２が加熱待機部５−Ｂから第２の載置部１０−Ｂに移される。
（４４）(上記（４２）と同じタイミングで) 搬送機構Ｒ４により、部品１が第２の載置部１０−Ａから後工程に移される。
【００４３】
以下、加熱待機部に搭載されている全部品が第２の載置部に搬送される過程をさらに詳しく説明する(部品１のみ、下記ステップ１に上記の４２から４４の工程について、重複してさらに詳細を説明する)。なお、以下の説明で部品の後の符号は、図１２において丸で囲んだ数字の位置にある部品の部品番号(丸を除いた数字)に対応している（図１２参照）。
(ステップ１)
搬送機構Ｒ２が、第１の載置部１３の１列目のＡ行に供給されている部品Ａの部品２０（以下、簡略化して部品２０と呼ぶ。以下同様に部品名は簡略化して呼ぶ）の上部（部品１の上側の空間であって、部品１の逆Ｚ方向の空間のこと。以下同様）へ移動する。なお、部品２０は部品Ａの加熱サイクルの１サイクル目の最後の部品である。
同時に、搬送機構Ｒ３が前工程の部品待機位置１１の上部へ移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、部品２０の表面に吸着機構７を接触させ、吸着を行い、上昇する。同時に、搬送機構Ｒ３が下降し、(第２回目のサイクルの部品Ａの)部品１を把持し、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品２０の吸着状態を維持しながら、加熱待機部２の2列目のＥ行の上部に移動する。同時に搬送機構Ｒ３が部品１を把持しながら、第１の載置部１３の１列目のＡ行の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品２０への吸着状態を維持しながら下降し、吸着状態を解除し、上昇する。同時に、搬送機構Ｒ３が部品１を把持しながら下降し、把持状態を解除し、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が加熱待機部２の5列目のＡ行に搭載している必要な加熱時間に到達した(１サイクル目の部品Ａの)部品１の位置の真上に移動する。同時に、搬送機構Ｒ３が第１の載置部１３から退避する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、部品１の表面に吸着機構７を接触させ、吸着を行い、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が第２の載置部１４の１0列目のＡ行の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品１への吸着状態を維持しながら下降し、吸着状態を解除し、上昇する。
【００４４】
(ステップ２)
搬送機構Ｒ２が、第１の載置部１３の１列目のＡ行に供給されている部品１の上部へ移動する。
同時に、搬送機構Ｒ３が前工程の部品待機位置１１の上部へ移動する。また同時に、搬送機構Ｒ４が第２の載置部１４の１0列目のＡ列へ移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、部品１の表面に吸着機構７を接触させ、吸着を行い、上昇する。同時に、搬送機構Ｒ３が下降し、部品２を把持し、上昇する。また同時に、搬送機構Ｒ４が下降し、部品１を把持し、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品１の吸着状態を維持しながら、加熱待機部２の１列目のＢ行の上部に移動する。同時に搬送機構Ｒ３が部品２を把持しながら、第１の載置部１３の１列目のＡ行の真上に移動する。また同時に搬送機構Ｒ４が部品１を把持しながら、後工程の部品供給位置１２の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品１への吸着状態を維持しながら下降し、吸着状態を解除し、上昇する。同時に、搬送機構Ｒ３が部品２を把持しながら下降し、把持状態を解除し、上昇する。また同時に、搬送機構Ｒ４が部品１を把持しながら下降し、把持状態を解除し、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が加熱待機部２の5列目のＢ行に搭載している必要な加熱時間に到達した(１サイクル目の)部品２の位置の真上に移動する。同時に、搬送機構Ｒ３が第１の載置部１３から退避する。
また同時に、搬送機構Ｒ４が後工程の部品供給位置１２から退避する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、部品２の表面に吸着機構７を接触させ、吸着を行い、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が第２の載置部１４の１0列目のＢ行の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品２への吸着状態を維持しながら下降し、吸着状態を解除し、上昇する。
【００４５】
（ステップ３）
搬送機構Ｒ２が、第１の載置部１３の１列目のＡ行に供給されている部品２の上部へ移動する。
同時に、搬送機構Ｒ３が前工程の部品待機位置１１の上部へ移動する。また同時に、搬送機構Ｒ４が第２の載置部１４の１0列目のＢ列へ移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、部品２の表面に吸着機構７を接触させ、吸着を行い、上昇する。同時に、搬送機構Ｒ３が下降し、部品３を把持し、上昇する。また同時に、搬送機構Ｒ４が下降し、部品２を把持し、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品２の吸着状態を維持しながら、加熱待機部２の１列目のＣ行の上部に移動する。同時に搬送機構Ｒ３が部品３を把持しながら、第１の載置部１３の１列目のＡ行の真上に移動する。また同時に搬送機構Ｒ４が部品２を把持しながら、後工程の部品供給位置１２の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品２への吸着状態を維持しながら下降し、吸着状態を解除し、上昇する。同時に、搬送機構Ｒ３が部品３を把持しながら下降し、把持状態を解除し、上昇する。また同時に、搬送機構Ｒ４が部品２を把持しながら下降し、把持状態を解除し、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が加熱待機部２の5列目のＣ行に搭載している必要な加熱時間に到達した部品３の位置の真上に移動する。同時に、搬送機構Ｒ３が第１の載置部１３から退避する。
また同時に、搬送機構Ｒ４が後工程の部品供給位置１２から退避する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、部品３の表面に吸着機構７を接触させ、吸着を行い、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が第２の載置部１４の１0列目のＡ行の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品３への吸着状態を維持しながら下降し、吸着状態を解除し、上昇する。
【００４６】
(ステップ４)
搬送機構Ｒ２が、第１の載置部１３の１列目のＡ行に供給されている部品３の上部へ移動する。
同時に、搬送機構Ｒ３が前工程の部品待機位置１１の上部へ移動する。また同時に、搬送機構Ｒ４が第２の載置部１４の１0列目のＡ列へ移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、部品３の表面に吸着機構７を接触させ、吸着を行い、上昇する。同時に、搬送機構Ｒ３が下降し、部品４を把持し、上昇する。また同時に、搬送機構Ｒ４が下降し、部品３を把持し、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品３の吸着状態を維持しながら、加熱待機部２の１列目のＤ行の上部に移動する。同時に搬送機構Ｒ３が部品４を把持しながら、第１の載置部１３の１列目のＡ行の真上に移動する。また同時に搬送機構Ｒ４が部品３を把持しながら、後工程の部品供給位置１２の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品３への吸着状態を維持しながら下降し、吸着状態を解除し、上昇する。同時に、搬送機構Ｒ３が部品４を把持しながら下降し、把持状態を解除し、上昇する。また同時に、搬送機構Ｒ４が部品３を把持しながら下降し、把持状態を解除し、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が加熱待機部２の5列目のＤ行に搭載している必要な加熱時間に到達した部品４の位置の真上に移動する。同時に、搬送機構Ｒ３が第１の載置部１３から退避する。
また同時に、搬送機構Ｒ４が後工程の部品供給位置１２から退避する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、部品４の表面に吸着機構７を接触させ、吸着を行い、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が第２の載置部１４の１0列目のＢ行の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品４への吸着状態を維持しながら下降し、吸着状態を解除し、上昇する。
【００４７】
(ステップ５)
搬送機構Ｒ２が、第１の載置部１３の１列目のＡ行に供給されている部品４の上部へ移動する。
同時に、搬送機構Ｒ３が前工程の部品待機位置１１の上部へ移動する。また同時に、搬送機構Ｒ４が第２の載置部１４の１0列目のＢ列へ移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、部品４の表面に吸着機構７を接触させ、吸着を行い、上昇する。同時に、搬送機構Ｒ３が下降し、部品５を把持し、上昇する。また同時に、搬送機構Ｒ４が下降し、部品４を把持し、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品４の吸着状態を維持しながら、加熱待機部２の１列目のＥ行の上部に移動する。同時に搬送機構Ｒ３が部品５を把持しながら、第１の載置部１３の１列目のＡ行の真上に移動する。また同時に搬送機構Ｒ４が部品４を把持しながら、後工程の部品供給位置１２の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品４への吸着状態を維持しながら下降し、吸着状態を解除し、上昇する。同時に、搬送機構Ｒ３が部品５を把持しながら下降し、把持状態を解除し、上昇する。また同時に、搬送機構Ｒ４が部品４を把持しながら下降し、把持状態を解除し、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が加熱待機部２の5列目のＥ行に搭載している必要な加熱時間に到達した部品５の位置の真上に移動する。同時に、搬送機構Ｒ３が第１の載置部１３から退避する。
また同時に、搬送機構Ｒ４が後工程の部品供給位置１２から退避する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、部品５の表面に吸着機構７を接触させ、吸着を行い、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が第２の載置部１４の１0列目のＡ行の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品５への吸着状態を維持しながら下降し、吸着状態を解除し、上昇する。
【００４８】
（ステップ６）
搬送機構Ｒ２が、第１の載置部１３の１列目のＡ行に供給されている部品５の上部へ移動する。
同時に、搬送機構Ｒ３が前工程の部品待機位置１１の上部へ移動する。また同時に、搬送機構Ｒ４が第２の載置部１４の１0列目のＡ列へ移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、部品５の表面に吸着機構７を接触させ、吸着を行い、上昇する。同時に、搬送機構Ｒ３が下降し、部品６を把持し、上昇する。また同時に、搬送機構Ｒ４が下降し、部品５を把持し、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品５の吸着状態を維持しながら、加熱待機部２の5列目のＡ行の上部に移動する。同時に搬送機構Ｒ３が部品６を把持しながら、第１の載置部１３の１列目のＡ行の真上に移動する。また同時に搬送機構Ｒ４が部品５を把持しながら、後工程の部品供給位置１２の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品５への吸着状態を維持しながら下降し、吸着状態を解除し、上昇する。同時に、搬送機構Ｒ３が部品６を把持しながら下降し、把持状態を解除し、上昇する。また同時に、搬送機構Ｒ４が部品５を把持しながら下降し、把持状態を解除し、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が加熱待機部２の4列目のＡ行に搭載している必要な加熱時間に到達した部品６の位置の真上に移動する。同時に、搬送機構Ｒ３が第１の載置部１３から退避する。
また同時に、搬送機構Ｒ４が後工程の部品供給位置１２から退避する。
次に、搬送機構Ｒ２が下降し、部品６の表面に吸着機構７を接触させ、吸着を行い、上昇する。
次に、搬送機構Ｒ２が第２の載置部１４の１0列目のＢ行の真上に移動する。
次に、搬送機構Ｒ２が部品６への吸着状態を維持しながら下降し、吸着状態を解除し、上昇する。
【００４９】
以上の説明においては、前工程の具体的な内容として絶縁試験を、後工程の具体的な内容として(絶縁特性以外の)電気特性試験を、その例として説明したが、これらの組み合せに限らず、本発明に係る加熱が前工程の後で、かつ後工程の試験前に必要なものであれば、どのような組合せであっても適用することが可能である。例えば、前工程が部品の(絶縁特性以外の)電気特性試験であって、後工程が部品の耐荷重試験（耐圧試験）などの組合せであっても、同様な効果が得られる。本発明では、後工程のこれらの試験を総称して物理的特性を測定するための試験と呼んでいる。なお、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１  部品Ａ、２  加熱待機部、３  保温待機部、４  Ｘ軸方向の移送機構、５  Ｙ軸方向の移送機構、６  Ｚ軸方向の移送機構、７  吸着機構、８  保護カバー、９  供給方向、１０  取出方向、１１、１２  部品待機位置、１３  第１の載置部、１４  第２の載置部。
【図１】
2014059197.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2014059197.tif 000007
【図６】
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【図７】
2014059197.tif 000009
【図８】
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【図９】
2014059197.tif 000011
【図１０】
2014059197.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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