(57)【要約】【課題】調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的な場合でもより正確な流量制御を行うことができる流量演算装置および流量制御装置を提供する。【解決手段】判定部２０により、調節弁２を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的であると判定されると、流量演算部２３は、キャビテーション流れが支配的である状態における、圧力比ＸＦおよび弁開度θと、流量係数Ｃｖとを対応付けて記憶した第２のテーブルに基づいて流量係数Ｃｖを導出する。そして、このようにして導出した流量係数Ｃｖを用いて調節弁２を流れる流体の流量Ｑを演算する。これにより、キャビテーション流れが支配的であるた場合でも流量Ｑを正確に演算でき、結果として、より正確な流量制御を行うことができる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路に接続された調節弁の絞り部よりも上流側を流れる流体の圧力である第１の圧力、前記調節弁の絞り部よりも下流側を流れる流体の圧力である第２の圧力、および、前記第１の圧力と前記第２の圧力との差圧のうち少なくとも２つを取得する取得部と、
前記調節弁の弁開度を取得する弁開度取得部と、
前記取得部により取得された前記第１の圧力、前記第２の圧力および前記差圧のうち少なくとも２つに基づいて、前記第１の圧力、前記第１の圧力と前記第２の圧力との差圧および流体の飽和蒸気圧に基づく第１の係数を演算する係数演算部と、
前記調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的ではない状態における、前記第１の圧力と前記第２の圧力の差圧および前記弁開度と、流量係数とを対応付けて記憶した第１のテーブルと、
前記調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的である状態における、前記第１の係数および前記弁開度と、流量係数とを対応付けて記憶した第２のテーブルと、
前記調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的であるか否かを判定する判定部と、
前記判定部により前記調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的ではないと判定された場合、前記差圧および前記弁開度と前記第１のテーブルとに基づいて流量係数を導出し、この流量係数と前記差圧とに基づいて前記調節弁を流れる流体の流量を演算し、前記判定部により前記調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーションが支配的であると判定された場合、前記第１の係数および前記弁開度と前記第２のテーブルとに基づいて流量係数を導出し、この流量係数と前記差圧とに基づいて前記調節弁を流れる流体の流量を演算する流量演算部と
を備えることを特徴とする流量演算装置。
【請求項２】
請求項１記載の流量演算装置において、
前記係数演算部は、前記第１の係数をＸＦ、前記差圧をΔＰ、前記第１の圧力をＰ１、前記飽和蒸気圧をＰＶとしたとき、ＸＦ＝ΔＰ／（Ｐ１−ＰＶ）から前記第１の係数を演算することを特徴とする流量演算装置。
【請求項３】
請求項２記載の流量演算装置において、
前記弁開度に応じて設定された閾値を記憶する記憶部
をさらに備え、
前記判定部は、前記係数演算部により演算された前記第１の係数と、前記記憶部に記憶された閾値とを比較し、前記第１の係数が前記閾値以上の場合に前記調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的であると判定する
ことを特徴とする流量演算装置。
【請求項４】
請求項２記載の流量演算装置において、
前記流路を流れる流体の温度を取得する温度取得部と、
前記流体の温度毎の飽和蒸気圧を記憶した第３のテーブルと
をさらに備え、
前記係数演算部は、前記温度取得部により取得された前記流体の温度と、前記第３のテーブルとに基づいて導出した飽和蒸気圧を用いて、前記第１の係数を演算する
ことを特徴とする流量演算装置。
【請求項５】
流路に接続された調節弁を流れる流体の流量を演算する流量演算装置と、この流量演算装置により演算された前記流量が設定値に一致するよう前記調節弁の開度を制御する弁制御装置とを備えた流量制御装置であって、
前記流量演算装置は、請求項１乃至４の何れか１項に記載された流量演算装置からなる
ことを特徴とする流量制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、調節弁を通過する流体の流量を演算する流量演算装置およびこの流量演算装置を備えた流量制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、プラント等の配管を流れる流体の流量は、配管に設けられた調節弁により制御されている。具体的には、下式（１）により調節弁を通過する流量Ｑを算出し、この流量Ｑが設定流量Ｑｓｐに一致するように調節弁の開度を制御することにより、調節弁を所定の流量の流体が通過するようにしている（例えば、特許文献１参照。）。ここで、ΔＰは、調節弁の一次側（上流側）流路での圧力Ｐ１と二次側（下流側）流路での圧力Ｐ２との差圧（Ｐ１−Ｐ２）、Ｃｖは、流量係数であり、調節弁の弁開度θ毎に設定されるものである。
【０００３】
Ｑ＝Ａ・Ｃｖ・ΔＰ1/2    ・・・（１）
【０００４】
このうち、調節弁の流量係数Ｃｖは、調節弁の口径や種別ごとに違うため、対象となる調節弁に合わせて適切な値を求めておく必要がある。そこで、例えば数Ｐａ毎など予め複数の差圧を設定し、これらの差圧ごとに調節弁の開度を例えば数％毎など所定値毎に変えたときの各開度に対応する流量係数Ｃｖの値を求め、この値を差圧と各開度に対応させたテーブルを、出荷時に調節弁のアクチュエータや流量の測定装置などのメモリに記憶させている。そして、実際の流量を測定する際には、そのテーブルと測定された差圧および調節弁の実際の開度とに基づいて対応するＣｖ値を導出し、上式（１）に代入することで流量Ｑを取得し、この流量Ｑが設定流量Ｑｓｐに一致するように調節弁の開度を制御している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−０９４１６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した流量係数のテーブルは、調節弁内でキャビテーションが生じていない状態を前提としているので、調節弁内でキャビテーションが生じ、キャビテーション流れが支配的になると流量係数Ｃｖ値テーブルの各Ｃｖ値は実際の値に対応しなくなる。すると、上式（１）を用いて求めた流量Ｑが実際の流量ではなくなるため、結果として、正確な流量制御が行えなかった。
【０００７】
そこで、本発明は、キャビテーション流れが支配的になっているときでも正確な流量制御を行うことができる流量演算装置および流量制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述したような課題を解決するために、本発明に係る流量演算装置は、流路に接続された調節弁の絞り部よりも上流側を流れる流体の圧力である第１の圧力、調節弁の絞り部よりも下流側を流れる流体の圧力である第２の圧力、および、第１の圧力と第２の圧力との差圧のうち少なくとも２つを取得する取得部と、調節弁の弁開度を取得する弁開度取得部と、取得部により取得された第１の圧力、第２の圧力および差圧のうち少なくとも２つに基づいて、第１の圧力、第１の圧力と第２の圧力との差圧および流体の飽和蒸気圧に基づく第１の係数を演算する係数演算部と、調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的ではない状態における、第１の圧力と第２の圧力の差圧および弁開度と、流量係数とを対応付けて記憶した第１のテーブルと、調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的である状態における、第１の係数および弁開度と、流量係数とを対応付けて記憶した第２のテーブルと、調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的であるか否かを判定する判定部と、判定部により調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的ではないと判定された場合、差圧および弁開度と第１のテーブルとに基づいて流量係数を導出し、この流量係数と差圧とに基づいて調節弁を流れる流体の流量を演算し、判定部により調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーションが支配的であると判定された場合、第１の係数および弁開度と第２のテーブルとに基づいて流量係数を導出し、この流量係数と差圧とに基づいて調節弁を流れる流体の流量を演算する流量演算部とを備えることを特徴とするものである。
【０００９】
上記流量演算装置において、係数演算部は、第１の係数をＸＦ、差圧をΔＰ、第１の圧力をＰ１、飽和蒸気圧をＰＶとしたとき、ＸＦ＝ΔＰ／（Ｐ１−ＰＶ）から第１の係数を演算するようにしてもよい。
【００１０】
また、上記流量演算装置において、弁開度に応じて設定された閾値を記憶する記憶部をさらに備え、判定部は、係数演算部により演算された第１の係数と、記憶部に記憶された閾値とを比較し、第１の係数が閾値以上の場合に調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的であると判定するようにしてもよい。
【００１１】
また、上記流量演算装置において、流路を流れる流体の温度を取得する温度取得部と、流体の温度毎の飽和蒸気圧を記憶した第３のテーブルとをさらに備え、係数演算部は、温度取得部により取得された流体の温度と、第３のテーブルとに基づいて導出した飽和蒸気圧を用いて、第１の係数を演算するようにしてもよい。
【００１２】
また、本発明に係る流量制御装置は、流路に接続された調節弁を流れる流体の流量を演算する流量演算装置と、この流量演算装置により演算された流量が設定値に一致するよう調節弁の開度を制御する弁制御装置とを備えた流量制御装置であって、流量演算装置は、上述した流量演算装置からなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的ではないと判定されると、調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的ではない状態における、第１の圧力と第２の圧力の差圧および弁開度と、流量係数とを対応付けて記憶した第１のテーブルに基づいて流量係数を導出し、キャビテーション流れが支配的であると判定されると、調節弁を通過する流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的である状態における、第１の係数および弁開度と、流量係数とを対応付けて記憶した第２のテーブルに基づいて流量係数を導出し、このようにして導出した流量係数を用いて調節弁を流れる流体の流量を演算するので、キャビテーション流れが支配的である場合でも正確な流量制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る流量制御システムの構成を模式的に示す図である。
【図２】図２は、流量演算装置の構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、第１のテーブルの構成を説明するための図である。
【図４】図４は、第２のテーブルの構成を説明するための図である。
【図５】図５は、弁制御装置の構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１６】
［流量制御システムの構成］
図１に示すように、本実施の形態に係る流量制御システムは、流路１と、この流路１に設けられた調節弁２と、流路１に設けられた温度センサ３と、調節弁２内の絞り部よりも上流側（一次側）に設けられた一次側圧力センサ４と、調節弁２内の絞り部よりも下流側（二次側）に設けられた二次側圧力センサ５と、調節弁２に設けられた弁開度センサ６と、流路１を流れる流体の流量を制御する流量制御ユニット７とを備えている。
【００１７】
流路１は、プラント等に設けられる１つの配管からなり、内部を流体が流通する。
【００１８】
調節弁２は、内部に流路を有するとともに、その流路の途中に絞り部を有する弁本体と、この弁本体内部に配設されて絞り部を通過する流体の流量を規制する弁体、この弁体を駆動させることにより開度を制御する電動アクチュエータやポジショナ等の流量制御ユニット７で構成され、流量制御ユニット７からの制御信号に基づいて弁開度を変えることにより、調節弁２を通過する流体の流量、すなわち、流路１内部を流れる流体の流量を制御する。
【００１９】
温度センサ３は、公知の温度センサからなり、流路１内部を流れる流体の温度Ｔを測定する。この測定結果は、流量制御ユニット７に送信される。
【００２０】
一次側圧力センサ４は、公知の圧力センサからなり、調節弁２内の絞り部よりも上流側（一次側）の流路中を流れる流体の圧力Ｐ１を測定する。この測定結果は、流量制御ユニット７に送信される。
【００２１】
二次側圧力センサ５は、公知の圧力センサからなり、調節弁２内の絞り部よりも下流側（二次側）の流路中を流れる流体の圧力Ｐ２を測定する。この測定結果は、流量制御ユニット７に送信される。
【００２２】
弁開度センサ６は、調節弁２の弁開度θを測定するセンサからなる。この測定結果は、流量制御ユニット７に送信される。
【００２３】
＜流量制御ユニットの構成＞
流量制御ユニット７は、温度センサ３、一次側圧力センサ４、二次側圧力センサ５および弁開度センサ６から受信する測定結果に基づいて流路１を流れる流体の流量を演算する流量演算装置８と、この流量演算装置８による演算結果に基づいて制御信号を生成して調節弁２に送信することにより、調節弁２の弁開度を制御する弁制御装置９とを備えている。
【００２４】
≪流量演算装置の構成≫
ここで、流量演算装置８は、図２に示すように、温度取得部１１と、一次圧取得部１２と、二次圧取得部１３と、第３のテーブル１４と、飽和蒸気圧導出部１５と、差圧演算部１６と、係数演算部１７と、弁開度取得部１８と、閾値記憶部１９と、判定部２０と、第１のテーブル２１と、第２のテーブル２２と、流量演算部２３とを備えている。
【００２５】
温度取得部１１は、温度センサ３から、この温度センサ３により測定された流路１を流れる流体の温度Ｔを取得する機能部である。取得した温度Ｔは、飽和蒸気圧導出部１５に出力される。
【００２６】
第３のテーブル１４は、流体の温度Ｔと、飽和蒸気圧ＰＶとを対応付けて記憶したデータテーブルからなる。一例として、第３のテーブル１４には、例えば０．１℃毎など所定値刻みで設定された温度Ｔ１と、各温度Ｔ１に対応する飽和蒸気圧ＰＶとが対応付けて記憶されている。
【００２７】
飽和蒸気圧導出部１５は、温度取得部１１から入力された流路１を流れる流体との温度Ｔ１と、第３のテーブル１４とに基づいて、流路１を流れる流体の飽和蒸気圧ＰＶを導出する。具体的には、第３のテーブル１４を参照して、温度取得部１１から入力された温度Ｔに対応する飽和蒸気圧ＰＶを導出する。この導出した飽和蒸気圧ＰＶは、係数演算部１７に出力される。このように、流体温度Ｔに応じた飽和蒸気圧ＰＶが導出されるので、後述する係数演算部１７による圧力比ＸＦの演算精度が向上する。
【００２８】
一次圧取得部１２は、一次側圧力センサ４から、この一次側圧力センサ４により測定された一次側流路を流れる流体の圧力Ｐ１を取得する機能部である。取得した圧力Ｐ１は、差圧演算部１６および係数演算部１７に出力される。
【００２９】
二次圧取得部１３は、二次側圧力センサ５から、この二次側圧力センサ５により測定された二次側流路を流れる流体の圧力Ｐ２を取得する機能部である。取得した圧力Ｐ２は、差圧演算部１６および係数演算部１７に出力される。
【００３０】
差圧演算部１６は、一次圧取得部１２から入力された圧力Ｐ１と、二次圧取得部１３から入力された圧力Ｐ１との差圧ΔＰ（＝Ｐ１−Ｐ２）を演算する機能部である。この得演算した差圧ΔＰは、係数演算部１７および流量演算部２３に出力される。
【００３１】
係数演算部１７は、飽和蒸気圧導出部１５から入力された飽和蒸気圧ＰＶと、一次圧取得部１２から入力された圧力Ｐ１と、差圧演算部１６から入力された差圧ΔＰとに基づいて、第１の係数を演算する機能部である。本実施の形態では、その第１の係数として圧力比ＸＦを演算する。この圧力比ＸＦとは、一方が差圧ΔＰ、他方が圧力Ｐ１または圧力Ｐ２と飽和蒸気圧との差分からなる比を意味する。具体的には、係数演算部１７は、下式（２）に基づいて圧力比ＸＦを演算する。この演算した圧力比ＸＦは、判定部２０および流量演算部２３に出力される。
【００３２】
ＸＦ＝ΔＰ／（Ｐ１−ＰＶ）  ・・・（２）
【００３３】
上式（２）により、判定部２０により流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的か否かを判定するために必要な圧力比ＸＦを算出することができる。
【００３４】
弁開度取得部１８は、弁開度センサ６から、この弁開度センサ６により測定された調節弁２の弁開度θを取得する機能部である。取得した開度θは、判定部２０および流量演算部２３に出力される。
【００３５】
閾値記憶部１９は、判定部２０による判定動作に用いられる閾値Ａ（θ）を記憶した機能部である。この閾値Ａ（θ）は、調節弁２の開度θ毎に設定される固有の値である。同じ調節弁２であっても、開度θが異なるとキャビテーション流れが支配的となる圧力比の大きさも異なってくる。そこで、閾値記憶部１９には、例えば１°毎など所定値刻みで設定された調節弁２の開度θと、各開度θに対応する閾値Ａ（θ）とが対応付けて記憶されている。これにより、より正確に流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的か否かを判定することが可能となる。
【００３６】
判定部２０は、流体の流れにおいてキャビテーションが支配的か否かを判定する機能部である。本実施の形態において、判定部２０は、係数演算部１７から入力された圧力比ＸＦと、弁開度取得部１８から入力された開度θと、閾値記憶部１９に記憶された閾値Ａ（θ）とに基づいて判定する。具体的には、判定部２０は、閾値記憶部１９を参照して、弁開度取得部１８から入力された開度θに対応する閾値Ａ（θ）を取得し、この閾値Ａ（θ）と圧力比ＸＦとを比較する。そして、ＸＦの値が閾値Ａ（θ）の値より小さい場合（ＸＦ＜Ａ（θ））、流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的ではないと判定する。一方、ＸＦの値が閾値Ａ（θ）の値以上の場合（ＸＦ≧Ａ（θ））、流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的であると判定する。この判定結果は、流量演算部２３に出力される。
【００３７】
第１のテーブル２１は、流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的ではない場合における、開度θおよび差圧ΔＰと、流量係数Ｃｖとの関係を示すデータテーブルである。具体的には、図３に示すように、縦軸に例えば１°毎など所定値刻みで設定された調節弁２の開度θ（θ1〜θi）、横軸に例えば１［Ｐａ］毎など所定値刻みで設定された差圧ΔＰ（＝Ｘ〜ＸＸＸ）をとり、各レコードに対応する流量係数Ｃｖ（Ｃｖｖ1i〜Ｃｖｖ3i）が記憶されている。
【００３８】
第２のテーブル２２は、流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的である場合における、開度θおよび圧力比ＸＦと、流量係数Ｃｖとの関係を示すデータテーブルである。具体的には、図４に示すように、縦軸に例えば１°毎など所定値刻みで設定された調節弁２の開度θ（θ1〜θj）、横軸に所定値刻みで設定された圧力比ＸＦ（ＸＦｖ＝Ｙ〜ＹＹＹ）をとり、各レコードに対応する流量係数Ｃｖ（Ｃｖｖｃ1j〜Ｃｖｖｃ3j）が記憶されている。
【００３９】
流量演算部２３は、調節弁２を通過する流体の流量Ｑを演算する機能部である。具体的には、差圧演算部１６から入力された差圧ΔＰと、流量係数Ｃｖと上式（１）に代入することにより、現在、調節弁２を通過している流体の流量Ｑを演算する。この演算された流量Ｑは、弁制御装置９に出力される。
ここで、上式（１）に代入する流量係数Ｃｖは、次のように導出される。
【００４０】
判定部２０により流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的ではないと判定された場合、流量演算部２３は、第１のテーブル２１を参照して、弁開度取得部１８から入力された開度θおよび差圧演算部１６から入力された差圧ΔＰに対応する流量係数Ｃｖを導出し、この導出した流量係数Ｃｖを上式（１）に代入する。
【００４１】
一方、判定部２０により流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的であると判定された場合、流量演算部２３は、第２のテーブル２２を参照して、弁開度取得部１８から入力された開度θおよび係数演算部１７から入力された圧力比ＸＦに対応する流量係数Ｃｖを導出し、この導出した流量係数Ｃｖを上式（１）に代入する。このとき、圧力比ＸＦは、判定部２０による判定で用いられた圧力比ＸＦが用いられるので、再度の演算が不要となるので、演算負荷を軽減することができる。
【００４２】
このように、流量演算装置８では、流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的か否かを判定し、キャビテーション流れが支配的ではない場合には第１のテーブル２１、キャビテーション流れが支配的である場合には第２のテーブル２２に基づいて導出された流量係数を用いて流量を演算するので、より正確な流量を得ることができる。
【００４３】
このような流量演算装置８は、流量制御ユニット７である電動アクチュエータやポジショナが内蔵するＣＰＵ等の演算回路と、メモリ等の記憶回路と、インストールされたプログラムとから構成される。すなわちハードウェア資源とソフトウェアとが協働することによって、上記のハードウェア資源がプログラムによって制御され、上述した温度取得部１１、一次圧取得部１２、二次圧取得部１３、第３のテーブル１４、飽和蒸気圧導出部１５、差圧演算部１６、係数演算部１７、弁開度取得部１８、閾値記憶部１９、判定部２０、第１のテーブル２１、第２のテーブル２２および流量演算部２３が実現される。
【００４４】
≪弁制御装置の構成≫
弁制御装置９は、図５に示すように、流量取得部３１と、設定値取得部３２と、弁開度演算部３３と、信号生成部３４とを備えている。
【００４５】
流量取得部３１は、流量演算装置８から、この流量演算装置８により演算された調節弁２を通過する流体の流量Ｑを取得する機能部である。取得した流量Ｑは、弁開度演算部３３に出力される。
【００４６】
設定値取得部３２は、流量制御ユニット７と通信可能に接続された上位装置から調節弁２を通過させる流体の流量の設定値Ｑｓｐを取得する機能部である。取得した設定値Ｑｓｐは、弁開度演算部３３に出力される。
【００４７】
弁開度演算部３３は、流量取得部３１から入力された流量Ｑと、設定値取得部３２から入力された設定値Ｑｓｐとに基づいて、流量Ｑが設定値Ｑｓｐに一致するようになる調節弁２の開度を演算する機能部である。この演算結果は、信号生成部３４に出力される。
【００４８】
信号生成部３４は、調節弁２の開度を、弁開度演算部３３から入力された調節弁２の開度とするための制御信号を生成する機能部である。この生成した制御信号は、調節弁２に出力される。これにより、調節弁２の開度は、制御信号により特定される開度に制御され、設定値Ｑｓｐに対応する流量の流体が調節弁２を通過することとなる。
【００４９】
このような弁制御装置９は、流量演算装置８と同様、流量制御ユニット７である電動アクチュエータやポジショナが内蔵するＣＰＵ等の演算回路と、メモリ等の記憶回路と、インストールされたプログラムとから構成される。すなわちハードウェア資源とソフトウェアとが協働することによって、上記のハードウェア資源がプログラムによって制御され、上述した流量取得部３１、設定値取得部３２、弁開度演算部３３および信号生成部３４が実現される。
【００５０】
以上説明したように、本実施の形態によれば、判定部２０により流体の流れにおいてキャビテーション流れが支配的か否かを判定し、キャビテーション流れが支配的ではないと判定されると、キャビテーション流れが支配的ではない状態における、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２の差圧ΔＰおよび弁開度θと、流量係数Ｃｖとを対応付けて記憶した第１のテーブル２１に基づいて流量係数Ｃｖを導出し、キャビテーション流れが支配的であると判定されると、キャビテーション流れが支配的である状態における、圧力比ＸＦおよび弁開度θと、流量係数Ｃｖとを対応付けて記憶した第２のテーブル２２に基づいて流量係数Ｃｖを導出し、このようにして導出した流量係数Ｃｖを用いて調節弁２を流れる流体の流量Ｑを演算するので、キャビテーション流れが支配的である場合であっても正確な流量制御を行うことができる。
【００５１】
なお、本実施の形態では、差圧演算部１６により一次圧取得部１２により取得された圧力Ｐ１と二次圧取得部１３により取得された圧力Ｐ２から差圧ΔＰを演算する場合を例に説明したが、流路１に差圧計を設け、この差圧計の測定結果をそのまま差圧ΔＰとして用いるようにしてもよい。この場合には、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２のうち少なくとも一方を取得できれば、他方についても差圧ΔＰから演算することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、調節弁を用いる各種システムに適用することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１…流路、２…調節弁、３…温度センサ、４…一次側圧力センサ、５…二次側圧力センサ、６…弁開度センサ、７…流量制御ユニット、８…流量演算装置、９…弁制御装置、１１…温度取得部、１２…一次圧取得部、１３…二次圧取得部、１４…第３のテーブル、１５…飽和蒸気圧導出部、１６…差圧演算部、１７…係数演算部、１８…弁開度取得部、１９…閾値記憶部、２０…判定部、２１…第１のテーブル、２２…第２のテーブル、２３…流量演算部、３１…流量取得部、３２…設定値取得部、３３…弁開度演算部、３４…信号生成部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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