(57)【要約】【課題】ガラス基板ハンドリング用ロボットを低速動作させなくてもガラス基板を静粛に載置することができ、ガラス基板の裏面に傷が付かず、生産性を低下させることもない基板カセットを提供する。【解決手段】基板カセット１は、ガラス基板４の下面全体に亘って分散配置された複数の支持部材によりガラス基板４を支持する。複数の支持部材の個々のものに対し、その上にガラス基板４が載置される際の衝撃を緩和する衝撃緩和機能が付与される。支持部材は例えば支持ピン３により構成され、支持ピン３と基板カセット１のベース２との間に圧縮コイルばね１１が介在し、圧縮コイルばね１１の弾性で支持ピン３に衝撃緩和機能が付与される。【選択図】図１
2014063818.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の下面全体に亘って分散配置された複数の支持部材により前記ガラス基板を支持する基板カセットにおいて、
前記複数の支持部材の個々のものに対し、その上に前記ガラス基板が載置される際の衝撃を緩和する衝撃緩和機能が付与されることを特徴とする基板カセット。
【請求項２】
前記支持部材が支持ピンにより構成され、前記支持ピンと当該基板カセットのベースとの間にばねが介在し、前記ばねの弾性で前記支持ピンに前記衝撃緩和機能が付与されることを特徴とする請求項１に記載の基板カセット。
【請求項３】
前記支持部材が支持ピンにより構成され、前記支持ピンには前記ガラス基板との接触部に緩衝材が取り付けられており、前記緩衝材の弾性で前記支持ピンに前記衝撃緩和機能が付与されることを特徴とする請求項１に記載の基板カセット。
【請求項４】
前記支持部材が支持バーにより構成され、前記支持バーと当該基板カセットのベースとの間にばねが介在し、前記ばねの弾性で前記支持バーに前記衝撃緩和機能が付与されることを特徴とする請求項１に記載の基板カセット。
【請求項５】
前記支持部材が支持バーにより構成され、前記支持バーには前記ガラス基板との接触部に緩衝材が取り付けられており、前記緩衝材の弾性で前記支持バーに前記衝撃緩和機能が付与されることを特徴とする請求項１に記載の基板カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板カセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの構成要素であるガラス基板のハンドリングには「基板カセット」と呼ばれる装置が用いられる。特許文献１〜３に基板カセットの構成例を見ることができる。
【０００３】
特許文献１に記載された基板カセットでは、安定化部材を膨張させて支持部材との間でガラス基板の縁を挟むことでガラス基板をしっかりと保持する。
【０００４】
特許文献２に記載された基板カセットでは、複数の支持ピンでガラス基板を支持する。
【０００５】
特許文献３に記載された基板カセットでは、格子状の枠に形成した樹脂ピンでガラス基を支持する。
【０００６】
従来の基板カセットの構造例を図９と図１０に示す。図９に示す基板カセット１の主たる構成要素は、骨格を構成するベース２と、ベース２の上面から立ち上がる支持ピン３である。支持ピン３はガラス基板４の支持部材としての役割を担うものであり、複数の支持ピン３がガラス基板４の下面全体に亘って分散配置される。
【０００７】
ベース２は水平な梁を複数本、縦横に格子状に組み合わせて構成されたものであり、その上面に複数の支持ピン３がマトリックス状に配置される。各支持ピン３の上端は半球形の頭部となっている。全ての支持ピン３の頭部は１個の仮想水平面に接するように配置されていて、これによりガラス基板４が大面積のものであってもたわみなく水平に支持することが可能になる。支持ピン３の材料としてはエンジニアリングプラスチックの一種であるポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂が一般的に用いられる。
【０００８】
ガラス基板４はガラス基板ハンドリング用ロボットのハンド部５に支持される。ハンド部５はフォーク形状であり、水平なフィンガー部５ａが複数個、水平方向に所定間隔を置いて並ぶ。各フィンガー部５ａは隣接する２個の支持ピン３の間に位置するように配置される。
【０００９】
ガラス基板４を載置したハンド部５が図１０のように降下すると、降下途中で支持ピン３がガラス基板４の下面に当たり、ガラス基板４の支持の役割をハンド部５から引き継ぐ。ハンド部５はガラス基板４が支持ピン３に当たって止まった後も降下を続け、ガラス基板４から所定距離離れたところで紙面の手前側または奥の側に移動して基板カセット１から抜け出す。
【００１０】
従来の基板カセットの中には、ガラス基板の支持部材として支持ピンでなく支持バーを用いたものもある。その一例を図１１〜図１３に示す。図９、１０の構成例と機能的に共通する構成要素には図９、１０で用いた符号をそのまま使用し、説明は省略する。
【００１１】
図１１の基板カセット１では、ベース２の上面に水平な支持バー６が支柱７によって支持されている。支持バー６は複数存在し、それらはガラス基板４の下面全体に亘って分散配置されている。図１２に示す通り、支持バー６は複数のものが互いに平行且つ所定間隔で並ぶ。ガラス基板ハンドリング用ロボットのハンド部５のフィンガー部５ａは、隣接する２個の支持バー６の間に位置するように配置されている。
【００１２】
各支持バー６の上面は水平面となっている。全ての支持バー６の上面は１個の仮想水平面に接するものとされていて、これによりガラス基板４が大面積のものであってもたわみなく水平に支持することが可能になる。支持バー６の材料としては、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂や、それよりも軟らかく滑り易い超高分子量ポリエチレン（ＵＰＥ）材が用いられる。
【００１３】
ガラス基板４を載置したハンド部５が図１３のように降下すると、降下途中で支持バー６がガラス基板４の下面に当たり、ガラス基板４の支持の役割をハンド部５から引き継ぐ。ハンド部５はガラス基板４が支持バー６に当たって止まった後も降下を続け、ガラス基板４から所定距離離れたところで紙面の手前側または奥の側に移動して基板カセット１から抜け出す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特表２００６−５２８９２６号公報
【特許文献２】特開２００２−１５４６４８号公報
【特許文献３】特開平１０−２８７３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
特許文献１に記載された基板カセットはガラス基板の両側の側縁を支持する棚を上下何段にもわたって有し、ガラス基板は横から基板カセットに差し込まれる。これに対し特許文献２に記載された基板カセットと特許文献３に記載された基板カセットでは、また図９から図１３に従来構造として示した基板カセットでは、水平に保ったガラス基板を上方から下ろしてきて支持部材（支持ピン、樹脂ピン、支持バー）の上に載置する。その際、ガラス基板を支持部材に載置する瞬間の衝撃で騒音が発生することがあった。また支持部材に用いられているＰＥＥＫ樹脂は硬質で、ガラス基板に対する接触面積が小さいため、ガラス基板の裏面に傷が付くことがあった。このような問題を解決するために通常実施されている対策はガラス基板ハンドリング用ロボットの動作速度を低速にすること（速度ダウン）であるが、それはロボットのタクトタイムが延長されるということであり、生産量の減少に直結する。
【００１６】
本発明は上記の点に鑑みなされたものであり、上方から降下するガラス基板を受け止める基板カセットにおいて、ガラス基板ハンドリング用ロボットを低速動作させなくてもガラス基板を静粛に載置することができ、ガラス基板の裏面に傷が付かず、生産性を低下させることもない基板カセットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明に係る基板カセットは、ガラス基板の下面全体に亘って分散配置された複数の支持部材により前記ガラス基板を支持するものであって、前記複数の支持部材の個々のものに対し、その上に前記ガラス基板が載置される際の衝撃を緩和する衝撃緩和機能が付与されることを特徴としている。
【００１８】
上記構成の基板カセットにおいて、前記支持部材が支持ピンにより構成され、前記支持ピンと当該基板カセットのベースとの間にばねが介在し、前記ばねの弾性で前記支持ピンに前記衝撃緩和機能が付与されることが好ましい。
【００１９】
上記構成の基板カセットにおいて、前記支持部材が支持ピンにより構成され、前記支持ピンには前記ガラス基板との接触部に緩衝材が取り付けられており、前記緩衝材の弾性で前記支持ピンに前記衝撃緩和機能が付与されることが好ましい。
【００２０】
上記構成の基板カセットにおいて、前記支持部材が支持バーにより構成され、前記支持バーと当該基板カセットのベースとの間にばねが介在し、前記ばねの弾性で前記支持バーに前記衝撃緩和機能が付与されることが好ましい。
【００２１】
上記構成の基板カセットにおいて、前記支持部材が支持バーにより構成され、前記支持バーには前記ガラス基板との接触部に緩衝材が取り付けられており、前記緩衝材の弾性で前記支持バーに前記衝撃緩和機能が付与されることが好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によると、ガラス基板の下面全体に亘って分散配置された支持部材の個々のものに対し、その上にガラス基板が載置される際の衝撃を緩和する衝撃緩和機能が付与されているから、ガラス基板の特定箇所に応力が集中するといった事態を招くことなく、大面積のガラス基板であってもソフトに受け止めることができる。従ってガラス基板ハンドリング用ロボットを低速動作させなくてもガラス基板を静粛に載置することができる。またガラス基板の裏面に傷が付くこともなく、生産性が低下することもない。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１実施形態に係る基板カセットの部分断面図である。
【図２】図１と同様の部分断面図で、図１と異なる状態を示すものである。
【図３】第２実施形態に係る基板カセットの部分断面図である。
【図４】図３と同様の部分断面図で、図３と異なる状態を示すものである。
【図５】第３実施形態に係る基板カセットの部分断面図である。
【図６】図５と同様の部分断面図で、図５と異なる状態を示すものである。
【図７】第４実施形態に係る基板カセットの部分断面図である。
【図８】図７と同様の部分断面図で、図７と異なる状態を示すものである。
【図９】従来の基板カセットの第１の構造例を示す部分断面図である。
【図１０】図９と同様の部分断面図で、図９と異なる状態を示すものである。
【図１１】従来の基板カセットの第２の構造例を示す部分断面図である。
【図１２】図１１の基板カセットの部分上面図である。
【図１３】図１１と同様の部分断面図で、図１１と異なる状態を示すものである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図１から図８までの図面に基づき本発明に係る基板カセットの第１実施形態から第４実施形態までを説明する。いずれの実施形態においても図９以下に示した従来構造と機能的に共通する構成要素については図９以下で用いた符号をそのまま付し、説明は省略するものとする。
【００２５】
＜第１実施形態＞
図１及び図２に第１実施形態を示す。第１実施形態に係る基板カセット１は、図９及び図１０に示した構造例と同様に、ガラス基板４の下面全体に亘って分散配置された複数の支持ピン３でガラス基板４を支持する。各支持ピン３は、ベース２の上面に固定された垂直なシリンダ１０の中から上方に向かって突出する。支持ピン３はシリンダ１０に対し上下動可能であるが、下端に抜け止めが施されており、シリンダ１０から抜け出してしまうことはない。シリンダ１０の内部において、支持ピン３とベース２の間には圧縮コイルばね１１が介在している。圧縮コイルばね１１の弾性が支持ピン３に衝撃緩和機能を付与する。
【００２６】
ガラス基板４を載置したハンド部５が図２のように降下すると、降下途中で支持ピン３がガラス基板４の下面に当たり、ガラス基板４の支持の役割をハンド部５から引き継ぐ。
ハンド部５はガラス基板４が支持ピン３に当たって止まった後も降下を続け、ガラス基板４から所定距離離れたところで紙面の手前側または奥の側に移動して基板カセット１から抜け出す。
【００２７】
複数の支持ピン３の全てに圧縮コイルばね１１による衝撃緩和機能が備わっているから、ガラス基板４は特定箇所に応力が集中することなく、ソフトに基板カセット１に受け止められる。従ってハンド部５の降下速度を格別低速にしなくてもガラス基板４に加わる衝撃は小さく、騒音は発生しない。ガラス基板４の裏面に傷が付くこともなく、生産性が低下することもない。
【００２８】
＜第２実施形態＞
図３及び図４に第２実施形態を示す。第２実施形態に係る基板カセット１も第１実施形態の基板カセット１と同様、ガラス基板４の下面全体に亘って分散配置された複数の支持ピン３でガラス基板４を支持する。各支持ピン３には、ガラス基板４との接触部、すなわち上端に、頂部が半球形に丸められた緩衝材１２が取り付けられている。緩衝材１２は支持ピン３の頭部となる。緩衝材１２の弾性が支持ピン３に衝撃緩和機能を付与する。
【００２９】
緩衝材１２としては、ほぼ発塵せず、且つ弾性を備えた物質が適する。そのような物質としては、例えばクリーンルーム一般的に使用されるゴムがある。高温のガラス基板４を受け止めるためには耐熱性を備えていることも必要である。そのような条件を満たすゴムとしてはフッ素ゴムやエチレンプロピレンジエンゴム（ＥＰＤＭ）を挙げることができるので、それらの中から適切なグレードのものを採択する。
【００３０】
ガラス基板４を載置したハンド部５が図４のように降下すると、降下途中で支持ピン３の緩衝材１２がガラス基板４の下面に当たり、ガラス基板４の支持の役割をハンド部５から引き継ぐ。ハンド部５はガラス基板４が緩衝材１２に当たって止まった後も降下を続け、ガラス基板４から所定距離離れたところで紙面の手前側または奥の側に移動して基板カセット１から抜け出す。
【００３１】
複数の支持ピン３の全てに緩衝材１２による衝撃緩和機能が備わっているから、ガラス基板４は特定箇所に応力が集中することなく、ソフトに基板カセット１に受け止められる。従ってハンド部５の降下速度を格別低速にしなくてもガラス基板４に加わる衝撃は小さく、騒音は発生しない。ガラス基板４の裏面に傷が付くこともなく、生産性が低下することもない。
【００３２】
＜第３実施形態＞
図５及び図６に第３実施形態を示す。第３実施形態に係る基板カセット１は、図１１から図１３に示した構造例と同様に、ガラス基板４の下面全体に亘って分散配置された複数の支持バー６でガラス基板４を支持する。支持バー６を支える支柱７はベース２を上下スライド可能に貫通する。支柱７の下端には抜け止めが施されており、ベース２から上方に抜け出してしまうことはない。支持バー６とベース２の間には圧縮コイルばね１３が介在している。圧縮コイルばね１３の弾性が支持バー６に衝撃緩和機能を付与する。
【００３３】
ガラス基板４を載置したハンド部５が図６のように降下すると、降下途中で支持バー６がガラス基板４の下面に当たり、ガラス基板４の支持の役割をハンド部５から引き継ぐ。
ハンド部５はガラス基板４が支持バー６に当たって止まった後も降下を続け、ガラス基板４から所定距離離れたところで紙面の手前側または奥の側に移動して基板カセット１から抜け出す。
【００３４】
複数の支持バー６の全てに圧縮コイルばね１３による衝撃緩和機能が備わっているから、ガラス基板４は特定箇所に応力が集中することなく、ソフトに基板カセット１に受け止められる。従ってハンド部５の降下速度を格別低速にしなくてもガラス基板４に加わる衝撃は小さく、騒音は発生しない。ガラス基板４の裏面に傷が付くこともなく、生産性が低下することもない。
【００３５】
＜第４実施形態＞
図７及び図８に第４実施形態を示す。第４実施形態に係る基板カセット１も第３実施形態の基板カセット１と同様、ガラス基板４の下面全体に亘って分散配置された複数の支持バー６でガラス基板４を支持する。各支持バー６には、ガラス基板４との接触部に緩衝材１４が取り付けられている。緩衝材１４の弾性が支持バー６に衝撃緩和機能を付与する。緩衝材１４としては第２実施形態の緩衝材１２と同様の材質のものを使用する。
【００３６】
ガラス基板４を載置したハンド部５が図８のように降下すると、降下途中で支持バー６の緩衝材１４がガラス基板４の下面に当たり、ガラス基板４の支持の役割をハンド部５から引き継ぐ。ハンド部５はガラス基板４が緩衝材１４に当たって止まった後も降下を続け、ガラス基板４から所定距離離れたところで紙面の手前側または奥の側に移動して基板カセット１から抜け出す。
【００３７】
複数の支持バー６の全てに緩衝材１４による衝撃緩和機能が備わっているから、ガラス基板４は特定箇所に応力が集中することなく、ソフトに基板カセット１に受け止められる。従ってハンド部５の降下速度を格別低速にしなくてもガラス基板４に加わる衝撃は小さく、騒音は発生しない。ガラス基板４の裏面に傷が付くこともなく、生産性が低下することもない。
【００３８】
＜その他＞
支持ピン３に対し、第１実施形態の圧縮コイルばね１１による衝撃緩和機能と、第２実施形態の緩衝材１２による衝撃緩和機能の両方を備えさせることも可能である。同様に支持バー６に対し、第３実施形態の圧縮コイルばね１３による衝撃緩和機能と、第４実施形態の緩衝材１４による衝撃緩和機能の両方を備えさせることも可能である。
【００３９】
ばねは圧縮コイルばねに限定されない。引張コイルばね、板ばね、ねじりばね、ガススプリングなど、あらゆる種類のばねが使用可能である。
【００４０】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明の範囲はこれに限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えて実施することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は基板カセットに広く適用可能である。
【符号の説明】
【００４２】
１    基板カセット
２    ベース
３    支持ピン
４    ガラス基板
５    （ガラス基板ハンドリング用ロボットの）ハンド部
６    支持バー
７    支柱
１０  シリンダ
１１、１３  圧縮コイルばね
１２、１４  緩衝材
【図１】
2014063818.tif 000003
【図２】
2014063818.tif 000004
【図３】
2014063818.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2014063818.tif 000009
【図８】
2014063818.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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