(57)【要約】【課題】レンズの光学的性能調整装置において、被検レンズと基準平面板との間の空間による空気の揺らぎを少なくすることによって、干渉縞をより高精度で測定することができるようにする。【解決手段】入射光を反射する参照面を具備するとともに、入射光を透過させる基準平面板と、入射光に対する上記参照面の傾斜角度を固定する固定手段と、上記基準平面板を透過した後に、所定位置に配置されている被検レンズを透過した光を、上記被検レンズに向かって反射する凹面鏡と、上記基準平面板の参照面によって反射された反射光と、上記基準平面板、上記被検レンズを透過し、上記凹面鏡によって反射し、上記被検レンズ、上記参照面を透過した被検光とによって得られる空間キャリアを持つ干渉縞を解析する干渉縞解析手段と、上記凹面鏡への入射光の光軸に対する上記凹面鏡の傾斜角度を制御する凹面鏡傾斜角度制御手段とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を反射する参照面を具備するとともに、入射光を透過させる基準平面板と；
入射光に対する上記参照面の傾斜角度を固定する固定手段と；
上記基準平面板を透過した後に、所定位置に配置されている被検レンズを透過した光を、上記被検レンズに向かって反射する凹面鏡と；
上記基準平面板の参照面によって反射された反射光と、上記基準平面板、上記被検レンズを透過し、上記凹面鏡によって反射し、上記被検レンズ、上記参照面を透過した被検光とによって得られる空間キャリアを持つ干渉縞を解析する干渉縞解析手段と；
上記凹面鏡への入射光の光軸に対する上記凹面鏡の傾斜角度を制御する凹面鏡傾斜角度制御手段と；
を有することを特徴とするレンズの光学的性能調整装置。
【請求項２】
請求項１において、
上記凹面鏡傾斜角度制御手段は、上記凹面鏡の一端の移動を阻止する移動阻止手段と、上記凹面鏡の他端を、上記凹面鏡に入射する光の方向に移動させる移動手段とを具備する手段であることを特徴とするレンズの光学的性能調整装置。
【請求項３】
請求項１において、
上記凹面鏡傾斜角度制御手段は、上記凹面鏡に入射する光の方向と直角の方向に、上記凹面鏡を移動させる手段であることを特徴とするレンズの光学的性能調整装置。
【請求項４】
請求項１において、
上記凹面鏡傾斜角度制御手段は、上記凹面鏡の一端の移動を阻止し、上記凹面鏡の他端を、上記凹面鏡に入射する光の方向に移動させるとともに、上記凹面鏡に入射する光の方向と直角の方向に、上記凹面鏡を移動させる手段であることを特徴とするレンズの光学的性能調整装置。
【請求項５】
請求項３において、
上記移動させる手段は、上記凹面鏡を、その光軸を傾けずに、上記凹面鏡に入射する光の方向と直角の方向に、上記凹面鏡を移動させる手段であることを特徴とするレンズの光学的性能調整装置。
【請求項６】
請求項１において、
上記被検レンズを光学的に調整する場合、ピンによって上記被検レンズの光軸を変化させ、この変化させた状態を接着剤によって保持することを特徴とするレンズの光学的性能調整装置。
【請求項７】
入射光に対する基準平面板の参照面の傾斜角度を固定する固定工程と；
上記参照面によって反射された反射光と、上記基準平面板を透過した後に、所定位置に配置されている被検レンズを透過し、凹面鏡によって反射された後に、上記被検レンズと上記基準平面板の参照面とを透過した被検光とによって得られる空間キャリアを持つ干渉縞を解析する干渉縞解析工程と；
上記凹面鏡への入射光の光軸に対する上記凹面鏡の傾斜角度を制御する凹面鏡傾斜角度制御工程と；
を有することを特徴とするレンズの光学的性能調整方法。
【請求項８】
入射光を反射する参照面を具備するとともに、入射光を透過させる基準球面板と；
入射光に対する上記参照面の傾斜角度を固定する固定手段と；
上記基準球面板を透過した後に、所定位置に配置されている被検レンズを透過した光を、上記被検レンズに向かって反射する平面鏡と；
上記基準球面板の参照面によって反射された反射光と、上記基準球面板を、上記被検レンズを透過し、上記平面鏡によって反射し、上記被検レンズ、上記基準球面板の参照面を透過した被検光とによって得られる空間キャリアを持つ干渉縞を解析する干渉縞解析手段と；
上記平面鏡の傾斜角度を制御する平面鏡傾斜角度制御手段と；
を有することを特徴とするレンズの光学的性能調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズの光学的性能調整装置及びレンズの光学的性能調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レンズの光学的な調整の結果を評価する方法として、干渉縞解析を利用した評価方法が知られている。この評価方法では、光学的調整を予め終了したレンズを、周知の干渉計にセットし、参照平面で反射した反射光と上記レンズを透過した反射光とによって得られる干渉縞に基づいて、上記レンズの波面収差を求め、これによって、上記レンズの光学的な調整の結果を定量的に評価している。
【０００３】
この場合、上記レンズへの入射光に対して参照平面を所定角度傾けることによって、参照平面の位置を変化させ、複数の干渉縞画像を得る発明が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４８８１０８５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記従来例では、基準平面板の端部であって、その平面と直交する方向に、基準平面を傾けるためのネジを設ける必要がある。この基準平面傾斜用ネジは、基準平面板と被検レンズとの間に設けられ、上記基準平面傾斜用ネジの軸の方向は、被検レンズの光軸と同じ方向である。したがって、少なくとも上記基準平面傾斜用ネジの長さだけ、被検レンズと基準平面板との間に空間を設ける必要がある。被検レンズと基準平面板との間の空間によって、空気の揺らぎ（擾乱）が生じ、測定の安定性を阻害するので、干渉縞を正確に測定することが困難であるという問題がある。
【０００６】
また、被検レンズと基準平面板との間の狭い空間に、上記基準平面傾斜用ネジを設けるので、基準平面を微妙に傾斜させるネジ操作が困難であるという問題がある。
【０００７】
つまり、上記従来例では、被検レンズと基準平面板との間の空間による空気の揺らぎが多く生じることによって、干渉縞を正確に測定することが困難であるという問題とともに、基準平面を微妙に傾斜させる操作が困難であるという問題がある。
【０００８】
本発明は、被検レンズと基準平面板との間の空間による空気の揺らぎを少なくすることによって、干渉縞をより高精度で測定することができ、また、干渉縞画像を調整する操作が容易であるレンズの光学的性能調整装置及びレンズの光学的性能調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のレンズの光学的性能調整装置は、入射光を反射する参照面を具備するとともに、入射光を透過させる基準平面板と、入射光に対する上記参照面の傾斜角度を固定する固定手段と、上記基準平面板を透過した後に、所定位置に配置されている被検レンズを透過した光を、上記被検レンズに向かって反射する凹面鏡と、上記基準平面板の参照面によって反射された反射光と、上記基準平面板、上記被検レンズを透過し、上記凹面鏡によって反射し、上記被検レンズ、上記参照面を透過した被検光とによって得られる空間キャリアを持つ干渉縞を解析する干渉縞解析手段と、上記凹面鏡への入射光の光軸に対する上記凹面鏡の傾斜角度を制御する凹面鏡傾斜角度制御手段とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、基準平面板を使用した場合、被検レンズと基準平面板との距離を従来よりも短くすることができるので、被検レンズと基準平面板との間の空間による空気の揺らぎを少なくすることができ、これによって、干渉縞をより高精度で測定することができるという効果を奏する。また、基準平面板の代わりに、基準球面板を使用した場合には、基準球面板と被検レンズとの間の空間による空気の揺らぎを少なくすることができ、これによって、干渉縞をより高精度で測定することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施例１であるレンズの光学的性能調整装置１００を示すブロック図である。
【図２】実施例１における干渉縞解析部２８の構成例を示すブロック図である。
【図３】被検レンズ４０の干渉縞解析及び光学的調整の動作を示すフローチャートである。
【図４】本発明の実施例２であるレンズの光学的性能調整装置２００を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
発明を実施するための形態は、以下の実施例である。
【実施例１】
【００１３】
図１は、本発明の実施例１であるレンズの光学的性能調整装置１００を示すブロック図である。
【００１４】
レンズの光学的性能調整装置１００は、ドライバ１１と、半導体レーザ１２と、コリメータレンズ１３と、ハーフミラー２１と、基準平面板２２と、反射基準凹面鏡２３と、支持装置２４と、集光レンズ２５と、ピンホール２６と、干渉縞観察用ＣＣＤ２７と、干渉縞解析部２８と、出力部２９と、調整駆動部４１と、凹面鏡駆動部５０と、制御部ＣＮＴと、入力部６１とを有する。なお、上記ＣＣＤは、ｃｈａｒｇｅｃｏｕｐｌｅｄ ｄｅｖｉｃｅである。
【００１５】
被検レンズ４０の光学的性能を調整する場合、基準平面板２２と反射基準凹面鏡２３との間に、被検レンズ４０を設置する。
【００１６】
レンズの光学的性能調整装置１００は、基本的には周知の干渉計であるが、反射基準凹面鏡２３を支持する支持装置２４と、凹面鏡駆動部５０とが、周知の干渉計とは異なる。
【００１７】
ドライバ１１は、半導体レーザ１２を駆動する。半導体レーザ１２は、ＬＤ等の光源であり、基準光として所定のレーザ光を射出する。つまり、ドライバ１１は、制御部ＣＮＴが出力した制御信号に基づいて、半導体レーザ１２を駆動する駆動電流を半導体レーザ１２に供給する。コリメータレンズ１３は、半導体レーザ１２が発生したレーザ光を平行光化する。
【００１８】
ハーフミラー２１は、コリメータレンズ１３によって平行光化された光を、その光路に対して４５度傾けて配置され、ハーフミラー２１を透過した光を基準平面板２２に入射する。
【００１９】
基準平面板２２は、表面を高精度に研磨された平面ガラス板であって、ハーフミラー２１から遠い面には、参照面２２ａが設けられている。参照面２２ａは、基準平面板２２に入射した光の一部を透過し、残りを反射する。この性質を利用して、参照面２２ａによって反射した光と、参照面２２ａを透過した後に被検レンズ４０を透過し、反射基準凹面鏡２３によって反射した光との干渉縞を得ることが可能である。
【００２０】
また、入射光に対する参照面２２ａの傾斜角度を固定する固定手段が設けられている。この固定手段は、光学的性能調整装置１００の筐体に参照面２２ａを固着する接着剤であってもよく、また、上記筐体に参照面２２ａをボルト、ネジ等によって締める締着手段であってもよい。なお、ボルト、ネジ等によって固定する場合、接着剤で固着すれば、その固定力が向上される。
【００２１】
参照面２２ａによる反射光は、ハーフミラー２１で反射された後に、集光レンズ２５を経て、その光路上に配置されたピンホール２６を通って干渉縞観察用ＣＣＤ２７に入射する。なお、干渉縞観察用ＣＣＤ２７に代えて、ほかのイメージングデバイス（たとえばＣＭＯＳ（ＣｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙＭｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ））を使用するようにしてもよい。
【００２２】
反射基準凹面鏡２３は、支持装置２４に保持されている。支持装置２４は、たとえば電動θステージである。凹面鏡駆動部５０は、制御部ＣＮＴから出力された駆動信号を受け、支持装置２４に所定の駆動電流を供給し、これによって支持装置２４は、反射基準凹面鏡２３への入射光の進行方向に対して任意の角度（所定角度）θだけ、反射基準凹面鏡２３の光軸を傾斜させる。
【００２３】
反射基準凹面鏡２３の光軸を傾斜させる手段（凹面鏡傾斜角度制御手段）は、反射基準凹面鏡２３の一端の移動を阻止する移動阻止手段と、反射基準凹面鏡２３の他端を、反射基準凹面鏡２３に入射する光の方向に移動させる移動手段とを具備する手段である。上記移動させる手段は、反射基準凹面鏡２３を、その光軸を傾けずに、反射基準凹面鏡２３に入射する光の方向と直角の方向に、反射基準凹面鏡２３を移動させる手段である。上記移動させる手段は、たとえばマイクロメータである。
【００２４】
また、上記凹面鏡傾斜角度制御手段は、反射基準凹面鏡２３に入射する光の方向と直角の方向に、反射基準凹面鏡２３を移動させる手段であってもよい。さらには、上記凹面鏡傾斜角度制御手段は、反射基準凹面鏡２３の一端の移動を阻止し、反射基準凹面鏡２３の他端を、反射基準凹面鏡２３に入射する光の方向に移動させるとともに、反射基準凹面鏡２３に入射する光の方向と直角の方向に、反射基準凹面鏡２３を移動させる手段であってもよい。上記移動させる手段は、たとえばマイクロメータである。
【００２５】
被検レンズ４０には、これを保持する保持部（図示せず）が設けられ、調整駆動部４１は、上記保持部を駆動する。上記保持部は、たとえば電動ＸＹＺθステージであって、被検レンズ４０の配置、傾きを調整することができる。上記保持部は、調整駆動部４１から与えられた駆動電流に応じて動作する。調整駆動部４１は、制御部ＣＮＴが出力した制御信号に基づいて、所定の駆動電流を上記保持部に供給する。上記保持部においては、後述する干渉縞の解析結果に基づいて、被検レンズ４０の光学的な調整を行うことができる。たとえば、被検レンズ４０が複数のレンズからなるレンズ系である場合に、任意のレンズを水平方向（図１に示す矢印の方向）に移動させることによって、このレンズ系の偏芯を調整することができる。上記保持部としては、周知のレンズ保持装置を用いることができる。
【００２６】
次に、干渉縞解析部２８の構成例について説明する。
【００２７】
図２は、干渉縞解析部２８の構成例を示すブロック図である。
【００２８】
干渉縞解析部２８は、Ａ／Ｄ変換器２８１と、フレームメモリ２８２と、Ｄ／Ａ変換器２８３と、演算部２８４とを有する。
【００２９】
Ａ／Ｄ変換器２８１は、干渉縞観察用ＣＣＤ２７から、干渉縞を構成する各画素に蓄積された信号電荷（干渉縞画像信号）を順次入力し、この入力したアナログ信号をそれぞれ、デジタル信号（干渉縞画像データ）に変換する。この干渉縞画像データは、フレームメモリ２８２において、干渉縞観察用ＣＣＤ２７の画素に対応するアドレスに記憶される。
【００３０】
フレームメモリ２８２に記憶された干渉縞画像データは、Ｄ／Ａ変換器２８３によってアナログ信号に変換される。この変換されたアナログ信号に基づいて、モニタ、ＣＲＴディスプレイ、液晶ディスプレイ、プリンタ等の出力部２９上に、従来と同様に、干渉縞解析の結果を表示する。
【００３１】
一方、演算部２８４は、以下に述べる空間的位相シフト法を用いて、フレームメモリ２８２が出力した干渉縞画像データを解析することによって、被検レンズ４０の位相分布（波面収差）を求め、これによって、被検レンズ４０の波面収差、被検レンズ４０のその他の表面状態を解析する。さらに、干渉縞解析の解析結果としての波面収差を用いて、被検レンズ４０の光学的な調整を行う。
【００３２】
制御部ＣＮＴには、干渉縞解析部２８の演算部２８４、入力部６１（たとえばキーボード、マウス）、調整駆動部４１、凹面鏡駆動部５０が接続されている。制御部ＣＮＴは、演算部２８４または入力部６１から入力した信号に基づいて、被検レンズ４０の光学的調整に必要な制御信号を、調整駆動部４１に出力する。調整駆動部４１は、制御部ＣＮＴからの制御信号に基づいて、被検レンズ４０の光学的調整を行うのに必要な駆動電流を、被検レンズ４０に設けられている保持部に供給する。
【００３３】
なお、干渉縞解析部２８として、たとえばパーソナルコンピュータを使用してもよく、または、Ａ／Ｄ変換器２８１、フレームメモリ２８２、Ｄ／Ａ変換器２８３、演算部２８４を、それぞれ独立の装置として構成してもよい。
【００３４】
次に、被検レンズ４０の干渉縞解析及び光学的調整の動作について説明する。
【００３５】
図３は、実施例１において、被検レンズ４０の干渉縞を解析する動作と、光学的調整を実行する動作とを示すフローチャートである。
【００３６】
まず、実施例１において干渉縞を解析する動作について説明する。つまり、空間的位相シフト法を用いて、フレームメモリ２８２が出力した干渉縞画像データを解析する解析手法について説明する。
【００３７】
Ｓ１で、反射基準凹面鏡２３の光軸を傾斜させる。つまり、操作者が入力部６１を操作して、傾斜角度値θを入力すると、制御部ＣＮＴが凹面鏡駆動部５０に制御信号を出力し、凹面鏡駆動部５０は支持装置２４に対して、反射基準凹面鏡２３の光軸が、入射光の光路に対して角度θだけ傾斜するのに必要な駆動電流を供給する。これによって、反射基準凹面鏡２３の光軸が、入射光の光路に対して角度θだけ傾斜する。
【００３８】
次に、Ｓ２で、被検レンズ４０をセットし、Ｓ３で、ドライバ１１を動作させることによって、半導体レーザ１２が基準光を発生する。この発生した光は、コリメータレンズ１３で平行光化された光が、ハーフミラー２１を透過して基準平面板２２へ入射する。この入射光のうちの一部は、基準平面板２２の参照面２２ａで反射され、ハーフミラー２１で反射された後に、集光レンズ２５とピンホール２６とを通過し、干渉縞観察用ＣＣＤ２７に入射する。
【００３９】
参照面２２ａで反射されなかった光は、被検レンズ４０を透過した後に反射基準凹面鏡２３に入射し、被検レンズ４０が正しく配置されていれば、基準平面板２２を再び透過する。この透過光は、ハーフミラー２１で反射された後に、集光レンズ２５、ピンホール２６を経て干渉縞観察用ＣＣＤ２７に入射する。この光と、参照面２２ａによる反射光とが干渉することによって、干渉縞が形成される。形成された干渉縞は、Ｓ４で、干渉縞観察用ＣＣＤ２７に入射され、この入射した干渉縞が、干渉縞観察用ＣＣＤ２７で電気信号に変換され、干渉縞解析部２８に入力され、Ｓ５で、干渉縞解析部２８が干渉縞を解析する。
【００４０】
この場合、反射基準凹面鏡２３の光軸が、Ｓ１で傾斜され、この傾斜角度に応じた干渉縞（空間キャリア、ｔｉｌｔ縞）が形成され、この干渉縞を、反射基準凹面鏡２３の光軸が傾斜していないときに発生していた被検レンズ４０の形状を表す干渉縞に重ねて得られる干渉縞を、Ｓ５で解析することによって、被検レンズ４０の位相分布（波面収差）を得ることができる。
【００４１】
Ｓ１で、反射基準凹面鏡２３への入射光の進行方向に対して、反射基準凹面鏡２３の光軸を角度θ（半導体レーザ１２の波長λに依存した所定の角度）だけ傾斜させると、フレームメモリ２８２から出力された干渉縞画像データに基づいて、干渉縞のある１周期分に着目し、次の式（１）で表されるｘ方向における空間的な信号強度分布Ｉ（ｘ）を、演算部２８が算出する。なお、次の式（１）では、１次元を表示するので、ｙ方向の空間的な信号強度分布Ｉ（ｙ）を省略してある。
【００４２】
Ｉ（ｘ）＝ａ＋ｂ・ｃｏｓ［φ＋２πνｘ］  ………  式（１）
ここで、ａは、平均強度分布、ｂは、振幅、νは、空間キャリアの空間周波数、φは、ある点における初期位相である。
【００４３】
上記式（１）において、ａ，ｂが一定の値をとると見なし、ある画素の位置を位置ｘ０とし、位置ｘ０に隣接する画素の位置をｘ１とし、位置ｘ１に隣接する画素の位置をｘ２とし、位置ｘ２に隣接する画素の位置をｘ３とし、位置ｘ０、ｘ１、ｘ２、ｘ３に存在している画素の信号強度を、それぞれＩ0、Ｉ1、Ｉ2、Ｉ3とすると、初期位相φは、次の式（２）で表される。
【００４４】
Φ＝tan-1｛(Ｉ3−Ｉ1)／（Ｉ2−Ｉ0）｝  ………  式（２）
この式（２）によって、被検レンズ４０の各点における位相を求めることができ、２次元的に、被検レンズ４０の各点における位相を求める処理を繰り返すと、被検レンズ４０の波面収差を定量的に求めることができる。
【００４５】
一方、初期位相を算出する手法として、従来、干渉縞１周期分（２π）走査される分だけ、反射基準凹面鏡２３と被検レンズ４０との間隔を、それらの光軸方向に移動すると同時に、干渉縞が２π／Ｎ（Ｎは整数）だけ走査される毎に、合計Ｎ回画像を取り込み、各画像の明るさの変化に基づいて、初期位相を算出する手法（時間的位相シフト法またはフリンジスキャン法）が知られている。しかし、上記従来の手法では、基準平面板２２と被検レンズ４０との間隔を変更する機構が必要であるとともに、画像をＮ回取り込まなければならないという問題がある。
【００４６】
ところが、実施例１では、画像を取り込む回数は１回で足り、かつ、反射基準凹面鏡２３の傾斜角度を決めれば、基準平面板２２と被検レンズ４０との間隔を変更する必要がない。したがって、実施例１によれば、低コストかつ短時間で干渉縞を解析することができ、干渉縞解析の度に被検レンズ４０の波面収差その他の情報を得ることができる。これによって、微調整を繰り返すことが多い被検レンズ４０の光学的調整において、干渉縞解析を行って波面収差の定量的な情報を得ることができるので、最終的な調整結果だけでなく、途中の微調整結果についても随時評価することができる。すなわち、実体的には、干渉縞解析を行うとともに、光学的調整と、その結果（経過）の評価を一体的かつ連続的に行うことができる。
【００４７】
なお、上述のように求めた位相から算出された波面収差は、干渉縞解析に用いられるが、演算部２８４が、波面収差をツェルニケ（Ｚｅｒｎｉｋｅ）展開すると、より詳細に解析することができる。すなわち、ツェルニケ展開後の多項式の各係数は、被検レンズ４０の収差の情報を、収差の種類毎に詳細に示し、その数が多いほど、得られる情報は多い。したがって、これら係数を解析すると、被検レンズ４０の収差をより詳細に解析することができる。
【００４８】
出力部２９が表示する一方、Ｓ５で、干渉縞解析部２８が解析した位相を算出することによって、詳細かつ定量的に、形成された干渉縞を解析する。干渉縞の形成と、出力部２９への表示と、干渉縞解析部２８による位相の算出とは、操作者が干渉縞形成部２０の動作を停止しない限り、連続的に実行される。また、位相分布（波面収差）の算出結果は、制御部ＣＮＴ内の記憶領域（不図示）に保存される。なお、位相を算出する必要がなければ、反射基準凹面鏡２３の傾斜角度θをゼロにし、反射基準凹面鏡２３の傾斜角度に応じて発生する干渉縞を無くすと、反射基準凹面鏡２３による反射光と透過光との干渉縞のみを出力部２９上に表示し、これによって、干渉縞の解析が容易になる。
【００４９】
干渉縞の形成中及び／または干渉縞の解析中に、操作者が入力部６１を操作することによって、制御部ＣＮＴが調整駆動部４１に制御信号を出力し、調整駆動部４１が被検レンズ４０の保持部に対して、被検レンズ４０の光学的調整を行うための駆動電流を供給する。これによって、光学的調整を随時行うことができる。
【００５０】
光学的調整を行っている間も、被検レンズ４０には、基準平面板２２を透過した光が入射し、干渉縞の形成と干渉縞解析とを継続することができる。操作者が光学的調整の結果の評価を希望すれば（Ｓ６で必要の判断）、操作者が入力部６１を操作することによって、その操作時点で制御部ＣＮＴの記憶領域に保存されている位相分布（波面収差）の算出結果が、Ｓ７で、参照される。この位相分布、または、前回の評価時の位相分布からの変化によって、被検レンズ４０の光学的調整を定量的に評価することができる。
【００５１】
光学的調整の評価終了後、または、光学的調整の評価を希望せず（Ｓ６で不要と判断し）、操作者が干渉縞解析の継続を希望しなければ（Ｓ７で不要と判断すれば）、操作者が入力部６１を操作することによって、光学的調整装置の動作を停止する。
【００５２】
一方、操作者が光学的調整装置の動作停止のための操作をしなければ（Ｓ８で必要と判断すれば）、Ｓ３で、基準光の発生を継続し、干渉縞観察用ＣＣＤ２７に入射した干渉縞の解析が継続される（Ｓ４、Ｓ５）。この間も、操作者の希望に応じて、随時光学的調整結果の評価が行われる。
【００５３】
実施例１では、光学的調整結果の評価結果に応じて、自動的に光学的調整を行わせることもできる。すなわち、制御部ＣＮＴの記憶領域には、予め、被検レンズ４０の仕様に基づいた光学的調整の許容範囲に関するデータを保存し、制御部ＣＮＴが、これらのデータと光学的調整結果の評価結果とを比較し、光学的調整結果が許容範囲内に存在していないと判断すると、許容範囲内に入るように、被検レンズ４０を保持する保持部を動作させる。このようにすれば、制御部ＣＮＴから調整駆動部４１へ制御信号が出力され、調整駆動部４１は、被検レンズ４０を構成するレンズの位置、傾きを変更するように、被検レンズ４０を保持する保持部に指令する。
【００５４】
このように調整された結果を、次の干渉縞解析によって再び評価し、被検レンズ４０の仕様に基づいた光学的調整の許容範囲に入るか否かを判断し、上記許容範囲に入るまで、光学的調整を繰り返すことによって、光学的調整を行う。実施例１では、空間的位相シフト法によって干渉縞解析を短時間で行うことができるので、干渉縞解析の結果を利用した光学的調整を容易に繰り返すことができる。
【００５５】
また、実施例１において、上記被検レンズ４０を光学的に調整する場合、ピンによって被検レンズ４０の光軸を変化させ、この変化させた状態を接着剤によって保持するようにしてもよい。
【００５６】
実施例１によれば、被検レンズと基準平面板との距離を従来よりも短くすることができるので、被検レンズと基準平面板との間の空間による空気の揺らぎを少なくすることができ、これによって、干渉縞をより高精度で測定することができる。
【００５７】
また、実施例１によれば、反射基準凹面鏡２３を簡単に傾斜できるので、干渉縞画像を調整する操作が容易である。
【実施例２】
【００５８】
図４は、本発明の実施例２であるレンズの光学的性能調整装置２００を示すブロック図である。
【００５９】
レンズの光学的性能調整装置２００は、球面干渉計で一旦、集光し発散した光を、被検レンズ７０で受け、平行に戻した後に、平面鏡３３で折り返す装置である。
【００６０】
つまり、レンズの光学的性能調整装置２００は、基本的にはレンズの光学的性能調整装置１００と同じであるが、基準平面板２２の代わりに、基準球面板３２を設け、反射基準凹面鏡２３の代わりに、反射基準平面板３３を設け、凹面鏡駆動部５０の代わりに、平面鏡駆動部８０を設け、被検レンズ４０の性能を調整する代わりに、被検レンズ７０の性能を調整する点が、レンズの光学的性能調整装置１００とは異なる。
【００６１】
基準球面板３２は、球面である参照面３２ａを具備する。
【００６２】
レンズの光学的性能調整装置２００において、被検レンズ７０の干渉縞を解析する動作と、光学的調整を実行する動作とは、レンズの光学的性能調整装置１００における動作と同様である。ただ、レンズの光学的性能調整装置２００では、球面干渉計で一旦、集光し発散した光を、被検レンズ７０で受け、平行に戻した後に、平面鏡３３で折り返す点が、レンズの光学的性能調整装置１００における動作とは異なる。
【００６３】
レンズの光学的性能調整装置２００によれば、被検レンズ７４０基準球面板３２との距離を短くすることができるので、被検レンズ７０と基準球面板３２との間の空間による空気の揺らぎを少なくすることができ、これによって、干渉縞をより高精度で測定することができる。
【００６４】
また、レンズの光学的性能調整装置２００によれば、反射基準平面鏡３３を簡単に傾斜できるので、干渉縞画像を調整する操作が容易である。
【００６５】
さらに、レンズの光学的性能調整装置２００によれば、平面鏡の上に被検レンズ４０を置くだけで、レンズマウントへのレンズ組込状況を認識することができるので、レンズマウントへのレンズ組込状況を認識する操作が容易であるという利点がある。
【００６６】
ところで、撮影用のレンズの口径は、システムによって大きく変わる。つまり、一眼レフカメラの望遠レンズでは、口径が１００ｍｍに達するものが少なくないが、携帯電話用レンズでは、その口径が１〜２ｍｍである。このように、システムによって、レンズ口径が１００倍近く異なるので、口径が大きく異なるレンズのそれぞれについて光学的性能を調整するには、数台の光学的性能調整装置を必要とする。
【００６７】
一方、撮影用のレンズのＦナンバーは、システムによる差は少なく、多くのレンズのＦナンバーは、２〜８程度である。レンズの光学的性能調整装置２００では、光束の開き角度が従来装置の光束径に相当し、その大きさが測定領域である。また、光束の開き角度は、およそＦナンバーの逆数であるので、光束開き角度でみると、数倍のレンジである。この程度であれば、レンズの光学的性能調整装置２００を１〜２台使用することによって、携帯電話用レンズから一眼レフレンズまでの光学的性能を調整することができる。
【符号の説明】
【００６８】
１００…レンズの光学的性能調整装置、
２２…基準平面板、
２２ａ…参照面、
２３…反射基準凹面鏡、
２４…支持装置、
２８…干渉縞解析部、
４０…被検レンズ、
５０…凹面鏡駆動部、
ＣＮＴ…制御部、
２００…レンズの光学的性能調整装置、
３２…基準球面板、
３２ａ…参照面、
３３…反射基準平面鏡、
３４…支持装置、
７０…被検レンズ、
８０…平面鏡駆動部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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