(57)【要約】【課題】スピンカップ内壁に付着した塗布液の乾燥・固化を防止し、スピンカップ内壁面への洗浄液の供給を適切に行い、必要かつ充分なスピンカップ内壁の洗浄操作を少ない洗浄液の使用にて行うことができる回転塗布装置を提供すること。【解決手段】基板を回転させる回転部と、前記基板に塗布液を供給するノズルと、前記回転部を覆うスピンカップと、前記スピンカップの内壁面の上部に巡らされた洗浄液供給路から前記スピンカップの内壁面沿いに洗浄液を流して当該内壁面を洗浄するスピンカップ洗浄機構とを有し、前記スピンカップ洗浄機構は、前記スピンカップの内壁面上部において連続して開口している洗浄液吐出溝の上部開口部が設けられてなり、該上部開口部は、前面にスリットが形成されてなり、洗浄液が前記スリット部分を流動した後に、スピンカップ内壁面沿いに流れて内壁面を洗浄することを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を固定し回転させる回転部と、
前記基板に塗布液を供給するノズルと、
前記回転部を覆うスピンカップと、
前記スピンカップの内壁面の上部に巡らされた洗浄液供給路から当該スピンカップの内壁面沿いに洗浄液を流して当該内壁面を洗浄するスピンカップ洗浄機構とを有する回転塗布装置であって、
前記スピンカップ洗浄機構は、前記洗浄液供給路と連通し、前記スピンカップの内壁面上部において連続して開口している洗浄液吐出溝の上部開口部が設けられてなり、
該上部開口部は、前記スピンカップの内壁面沿いに一定幅のクリアランスを介して覆われることによって、当該上部開口部前面にスリットが形成されてなり、
前記洗浄液吐出溝から洗浄液が漏出して前記スピンカップ上部沿いに流れ出る際には、洗浄液が前記スリット部分を流動した後に、スピンカップ内壁面沿いに流れてスピンカップ内壁面を洗浄することを特徴とする回転塗布装置。
【請求項２】
前記スピンカップ洗浄機構は、前記スピンカップの内壁面の底部に巡らされた洗浄液供給路を含み、且つ、該洗浄液供給路と連通し、前記スピンカップの内壁面底部において連続して開口している洗浄液吐出溝の底部開口部が設けられてなり、
該底部開口部は、前記スピンカップの内壁面沿いに一定幅のクリアランスを介して覆われることによって、当該底部開口部前面にスリットが形成されてなり、
前記洗浄液吐出溝から洗浄液が漏出して前記スピンカップ底部沿いに流れ出る際には、洗浄液が前記スリット部分を流動した後に、スピンカップ内壁面底部沿いに流れてスピンカップ底部を洗浄することを特徴とする請求項１に記載の回転塗布装置。
【請求項３】
前記上部開口部の幅及び／または前記底部開口部の幅が、前記洗浄液吐出溝と連通している洗浄液供給路と比して狭められなり、
前記上部開口部の幅及び／または前記底部開口部の幅が、当該上部開口部及び／または底部開口部に対向して設けられたスリットのクリアランスより狭いことを特徴とする請求項１または２に記載の回転塗布装置。
【請求項４】
基板を固定し高速回転させる回転部と、
前記基板に塗布液を供給するノズルと、
前記回転部を覆うスピンカップと、
前記スピンカップの内壁面の上部に巡らされた洗浄液供給路から当該スピンカップの内壁面沿いに洗浄液を流して当該内壁面を洗浄するスピンカップ洗浄機構と、を有する回転塗布装置の洗浄方法であって、
前記スピンカップ洗浄機構は、前記洗浄液供給路と連通し、前記スピンカップの内壁面上部において連続して開口している洗浄液吐出溝の上部開口部が設けられてなり、
該上部開口部は、前記スピンカップの内壁面沿いに一定幅のクリアランスを介して覆われることによって、当該上部開口部前面にスリットが形成されてなり、
前記洗浄液吐出溝から洗浄液が漏出して前記スピンカップ上部沿いに流れ出る際には、洗浄液が前記スリット部分を流動した後に、スピンカップ内壁面沿いに流れてスピンカップ内壁面を洗浄することを特徴とする回転塗布装置の洗浄方法。
【請求項５】
前記スピンカップ洗浄機構は、前記スピンカップの内壁面の底部に巡らされた洗浄液供給路を含み、且つ、該洗浄液供給路と連通し、前記スピンカップの内壁面底部において連続して開口している洗浄液吐出溝の底部開口部が設けられてなり、
該底部開口部は、前記スピンカップの内壁面沿いに一定幅のクリアランスを介して覆われることによって、当該底部開口部前面にスリットが形成されてなり、
前記洗浄液吐出溝から洗浄液が漏出して前記スピンカップ底部沿いに流れ出る際には、洗浄液が前記スリット部分を流動した後に、スピンカップ内壁面底部沿いに流れてスピンカップ底部を洗浄することを特徴とする請求項４に記載の回転塗布装置の洗浄方法。
【請求項６】
前記上部開口部の幅及び／または前記底部開口部の幅が、前記洗浄液吐出溝と連通している洗浄液供給路と比して狭められなり、
前記上部開口部の幅及び／または前記底部開口部の幅が、当該上部開口部及び／または底部開口部に対向して設けられたスリットのクリアランスより狭いことを特徴とする請求項４または５に記載の回転塗布装置の洗浄方法。
【請求項７】
請求項１乃至３のいずれかに記載の回転塗布装置で成膜がなされたことを特徴とする基板。
【請求項８】
請求項７に記載の基板を用いて製造されたことを特徴とする素子。
【請求項９】
請求項８に記載の素子を用いて製造されたことを特徴とする装置。
【請求項１０】
請求項１乃至３のいずれかの回転塗布装置に用いられることを特徴とするスピンカップ洗浄機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転塗布装置および該回転塗布装置の洗浄方法、並びに前記回転塗布装置により製造された基板、素子及び装置、前記回転塗布装置のスピンカップ洗浄機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明は、回転塗布装置および該回転塗布装置の洗浄方法に関する。本発明についてより詳しくは、例えば、半導体ウェハー等の被処理基板（以下、単に基板とも称する）上にフォトレジストや現像液をスピンコートする、或いは化学溶液法にて基板上に機能性薄膜となる塗布液をスピンコートするための回転塗布装置に関する。また本発明についてより詳しくは、例えば、スピンコートプロセス中に基板から飛散する塗布液並びに塗布液の乾燥固化物にて汚染されたスピンカップ内壁面を洗浄する回転塗布装置の洗浄方法に関する。
【０００３】
ここで、塗布液を基板上に滴下して基板を高速回転させ、その遠心力により塗布液を基板の外周部まで広げた後、余分の塗布液を振り切ることによって均一な薄膜を形成する方法は、スピンコート法として良く知られている。塗布液としては、例えばフォトレジストや現像液、あるいは化学溶液法にて機能性薄膜となる前駆体液等が挙げられる。
またスピンコート法にて薄膜の成膜を行う装置は、一般にスピナーあるいはスピンコーターと呼ばれる回転塗布装置で、鉛直方向に配置される回転軸上端にチャック機構を設けたスピンテーブル上に基板を水平に保持、これを回転させることで均一な薄膜を形成する。
さらに回転塗布装置には、基板の周囲を囲むように円筒形のスピンカップを設けることが一般的であり、スピンコートプロセス中に振り切られて基板周囲から飛散する余分な塗布液の飛沫を前記スピンカップ内壁に付着させることによって、装置周辺の汚染を防止している。
【０００４】
しかしながら、従来のスピンコート法では、余分な塗布液が振り切られた後、振り切られた塗布液はカップ内壁に付着して乾燥・固化するという問題が発生する。そして塗布液が乾燥・固化した結晶片あるいは粉末が堆積すると振動などの影響で内壁から剥がれやすくなり、場合によっては結晶片あるいは粉末が基板に再付着して不良となる問題があった。そのため、前記塗布液が乾燥・固化した結晶片あるいは粉末が堆積するのを防ぐためにカップ内壁の洗浄を頻繁に行う必要がある。洗浄作業は塗布液が乾燥する前に行うことが効率の面で好ましいが、特に乾燥が早い塗布液の場合は乾燥前の洗浄が難しかった。
【０００５】
そこで、特許文献１〜６では、カップ内壁を洗浄する目的で内壁上部に環状の内周面洗浄管を設け、その内周面洗浄管に多数の洗浄液吐出孔を内壁上部内面に向けて開口させ、内壁に沿ってその開口から洗浄液を流す構成が開示されている。また、カップのうち、基板の下に位置する整流傾斜板にも環状の傾斜板洗浄管を設け、傾斜面洗浄管に多数の洗浄液吐出孔を整流傾斜面の上方寄りに臨ませて開口させる構成も開示されている。
【０００６】
しかしながら、洗浄管に多数設けられた非連続の小孔から洗浄液を流す構成では、洗浄液は一度通った経路を通りやすく、各吐出孔からその鉛直下に向けて洗浄液が筋状に流れる傾向を示すため、内壁全面を洗浄することが難しい。そのため、前述のような洗浄機構の構成で無理に内壁全面を洗浄しようとすると、洗浄液を吐出する圧力を高くして多量の洗浄液を内壁面に流す必要が生じ、その結果、非常に多量の洗浄液を消費するという問題がある。
【０００７】
また特許文献７等では、内壁面に向けられた洗浄液吐出ノズルから洗浄液を吐出し、吐出された洗浄液をスピンカップが回転しながらその内壁面に受けることによって内壁面を洗浄する構成が開示されている。
【０００８】
しかしながら、前記の様な内壁面に洗浄液を吹きつける構成では、スピンカップの最内周部に洗浄液を吹き付けると、吹き付けられた洗浄液がスピンテーブル上に跳ね返り、基板のチャック不良の原因となる。また、前述のような構成では、スピンカップ最内周部内壁面に付着した洗浄液が基板上に滴り落ちて製品不良の原因となる為、スピンカップの最内周部まで洗浄液を吹き付けて内壁面を洗浄する操作を行うことができない。
その結果、基板に最も近いスピンカップ最内周部分に塗布液が付着、乾燥・固化した結晶片あるいは粉末が堆積し、それが基板上に落下することによって不良の原因となる。またこの手法は、使用する洗浄液また同時に排出される洗浄廃液の量が多くなる問題を有している。
【０００９】
さらに特許文献８〜１４では、基板を高速回転する回転部、回転部に着脱可能な回転式洗浄装置、ダミー基板または成膜が行われる基板に洗浄液を供給し、これを高速回転する際に生じる遠心力を利用してスピンカップ内壁面に洗浄液を吐出させ内壁面を洗浄する構成が開示されている。
【００１０】
しかしながら、遠心力で周囲に飛翔する洗浄液は、小さな液滴あるいはミスト状になるため、これが内壁面に付着した際の洗浄能力は小さい。そこで、洗浄能力を高めるために多量の洗浄液を供給しようとすると、大きくなった自重のため、洗浄液の大半は内壁面に到達する前に落下してしまい、洗浄液の無駄な消費が大きくなるだけとなる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、前述の従来技術における問題に鑑みてなされたものであり、スピンカップ内壁に付着した塗布液の乾燥・固化を防止し、塗布液の乾燥結晶片あるいは粉末の堆積を防ぐため、スピンカップ内壁面への洗浄液の供給を適切に行い、必要かつ充分なスピンカップ内壁の洗浄操作を少ない洗浄液の使用にて行うことができる回転塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するための本発明に係る回転塗布装置は、基板を固定し回転させる回転部と、前記基板に塗布液を供給するノズルと、前記回転部を覆うスピンカップと、前記スピンカップの内壁面の上部に巡らされた洗浄液供給路から当該スピンカップの内壁面沿いに洗浄液を流して当該内壁面を洗浄するスピンカップ洗浄機構とを有する回転塗布装置であって、前記スピンカップ洗浄機構は、前記洗浄液供給路と連通し、前記スピンカップの内壁面上部において連続して開口している洗浄液吐出溝の上部開口部が設けられてなり、該上部開口部は、前記スピンカップの内壁面沿いに一定幅のクリアランスを介して覆われることによって、当該上部開口部前面にスリットが形成されてなり、前記洗浄液吐出溝から洗浄液が漏出して前記スピンカップ上部沿いに流れ出る際には、洗浄液が前記スリット部分を流動した後に、スピンカップ内壁面沿いに流れてスピンカップ内壁面を洗浄することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、スピンカップ内壁に付着した塗布液の乾燥・固化を防止し、スピンカップ内壁面への洗浄液の供給を適切に行い、必要かつ充分なスピンカップ内壁の洗浄操作を少ない洗浄液の使用にて行うことができる回転塗布装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る回転塗布装置の一実施の形態における構成を示す断面図である。
【図２】（ａ）図１のスピンカップ側面円筒部５ａの最上部拡大断面図である。（ｂ）図１のスピンカップ下面プレート傾斜面６ａの最上部拡大断面図である。
【図３】（ａ）洗浄液供給路７側面に多数設けた小孔９から洗浄液を吐出する従来例を説明する概略図である。（ｂ）洗浄液供給路７の上方に、円周方向に連続して設けた洗浄液供給路７と同程度の幅を有する洗浄液吐出溝１０から洗浄液を吐出する従来例を説明する概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明に係る回転塗布装置は、基板Ｓを固定し回転させる回転部２、３と、基板Ｓに塗布液を供給するノズルと、回転部２、３を覆うスピンカップ５と、スピンカップ５の内壁面の上部に巡らされた洗浄液供給路７から当該スピンカップ５の内壁面沿いに洗浄液を流して当該内壁面を洗浄するスピンカップ洗浄機構とを有する回転塗布装置であって、スピンカップ洗浄機構は、洗浄液供給路７と連通し、スピンカップ５の内壁面上部において連続して開口している洗浄液吐出溝１０の上部開口部が設けられてなり、該上部開口部は、スピンカップ５の内壁面沿いに一定幅のクリアランスを介して覆われることによって、当該上部開口部前面にスリット１３が形成されてなり、洗浄液吐出溝１０から洗浄液が漏出して前記スピンカップ５上部沿いに流れ出る際には、洗浄液がスリット１３部分を流動した後に、スピンカップ５内壁面沿いに流れてスピンカップ５内壁面を洗浄することを特徴とする。
次に、本発明に係る回転塗布装置についてさらに詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な実施の形態であるから技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は以下の説明において本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００１６】
図１は本発明の実施の形態である回転成膜装置１の断面図である。この回転成膜装置１の構成について以下に述べる。
回転成膜装置１は、基板Ｓ、基板Ｓを回転させる回転軸２、回転軸２に基板Ｓを吸着させるスピンテーブル３、基板Ｓに塗布液を供給する図示しないノズルを備える。回転軸２およびスピンテーブル３は本発明における回転部に相当し、基板に塗布液を供給するノズルについては図示を省略する。
また回転成膜装置１は、塗布液を滴下した基板Ｓを高速回転する際に飛散する余分な塗布液の微小液滴（ミスト）とともに吸引される排気及び塗布液あるいは洗浄液の廃液を通して装置外へ出すための開口４、基板Ｓおよび回転部の周囲を囲うスピンカップ５を備える。
さらに回転成膜装置１は、基板Ｓの下側に流れ落ちた塗布液及び基板Ｓの裏面を洗浄したバックリンス液を受け、開口４まで整流させるスピンカップ下面プレート６を備える。
【００１７】
また本発明による構成では、スピンカップ５の側面円筒部５ａ及びスピンカップ下面プレート６の傾斜面６ａのそれぞれ最上部に、内壁面（基板Ｓと対向する面）に付着した塗布液を洗い流すことのできる洗浄液を供給する洗浄液供給路７が巡らされている。
換言すると、スピンカップ５の内壁面の上部に巡らされた洗浄液供給路７を含み、該洗浄液供給路７から当該スピンカップ５の内壁面沿いに洗浄液を流して当該内壁面を洗浄するスピンカップ洗浄機構を有する。また、スピンカップ洗浄機構は、スピンカップ５の内壁面の底部に巡らされた洗浄液供給路７を含む。
【００１８】
この洗浄液供給路７の周囲を拡大した図を図２、特にスピンカップ側面円筒部５ａの最上部拡大断面図を図２（ａ）、スピンカップ下面プレート傾斜面６ａの最上部拡大断面図を図２（ｂ）に示す。なお、図２（ａ）および図２（ｂ）中にて同じ機能を有する構成部分については、同じ符号を用いている。
【００１９】
図１および図２に示した洗浄液供給路７には、複数箇所設けられた洗浄液注入口８から洗浄液（図示せず）が注入されて洗浄液供給路７が満たされる。
この洗浄液供給路７が洗浄液で満たされた状態で、更に洗浄液注入口８から洗浄液を洗浄液供給路７に注入すると、洗浄液供給路７から洗浄液が溢れてスピンカップ５あるいはスピンカップ下面プレート６内壁面に流れ出し、同部に付着した塗布液を洗い流す。
【００２０】
上述した洗浄液を溢れさせてスピンカップ５あるいはスピンカップ下面プレート６の内壁面に流し出す手法について説明する。図３（ａ）に示す洗浄液供給路７側面に多数設けた小孔９から、あるいは図３（ｂ）に示す洗浄液供給路７の上方に、円周方向に連続して設けた洗浄液供給路７と同程度の幅を有する洗浄液吐出溝１０から洗浄液を吐出、内壁面を流動させて同部に付着した塗布液を洗い流す手法を用いる。
【００２１】
しかし、図３（ａ）に示した洗浄液供給路７側面に多数設けた小孔９から洗浄液を吐出させる手法では、小孔９から吐出する洗浄液は、吐出した小孔９から鉛直方向へ筋状に流れる傾向を有している。このため、内壁面全面を充分に洗浄させるには、洗浄液注入口８から注入する洗浄液の注入圧力を高め、多量の洗浄液を吐出させる必要がある。
【００２２】
また図３（ｂ）に示した従来例では、洗浄液注入口８から注入する洗浄液の注入圧力を低く抑え、少ない量の洗浄液で内壁面の洗浄を行おうとすると、洗浄液は内壁面全面に均一に流れ出るのではなく、一部の領域に集中して流れてしまう。これは微妙な加工上あるいは組付け上のばらつきに起因する現象で、複数設けた洗浄液注入口８から注入する洗浄液の流量バランスを調節したり、スピンカップ５のレベリング調整を行ったりしたとしても、これを完全に解消することは困難である。
その結果、洗浄液注入口８から注入する洗浄液の注入圧力を高め、多量の洗浄液を吐出させることで、内壁面全面を洗浄する操作を行うことが必須となる。
【００２３】
そこで本発明では、図２（ａ）に示すように、洗浄液吐出溝（上部開口部）１０の前面を所定の間隔を空けてオーバーハング部１２で覆い、オーバーハング部１２とスピンカップ側面円筒部５ａとの間には、所定幅のスリット１３を形成させた。
換言すると、スピンカップ洗浄機構は、洗浄液供給路７と連通し、スピンカップ５の内壁面において連続して開口している洗浄液吐出溝１０の上部開口部が設けられてなり、該上部開口部はスピンカップ５の内壁面沿いに一定幅のクリアランスを介して覆われる。そして、この構成によって、当該上部開口部前面にスリット１３が形成される。
尚、ここで言う連続して開口しているとは、スピンカップ５の内壁面の周上において連続して開口している形態を意味し、断続的に開口を有している形態は含まない。
【００２４】
このような構成とすることにより、洗浄液供給路７から洗浄液吐出溝１０へ流れ出た洗浄液は、まずオーバーハング部１２に衝突して流れの向きを変え、スリット１３内を広がりながらスピンカップ側面円筒部５ａに沿って流れ落ちる。その結果、洗浄液吐出溝から溢れ出る洗浄液によってスピンカップ内壁面を洗浄する従来例と比較して、効率的かつ確実に洗浄液をスピンカップ側面全面に流動し、同部をより少量の洗浄液で洗浄することが可能になる。
即ち、洗浄液吐出溝から洗浄液が漏出してスピンカップ５沿いに流れ出る際には、洗浄液がスリット１３部分を流動した後に、スピンカップ５内壁面沿いに流れてスピンカップ５内壁面を洗浄することで、効率的かつ確実な洗浄を、少量の洗浄液で実現できる。
【００２５】
さらに本発明では、洗浄液供給路７と洗浄液吐出溝１０の間の洗浄液流路に、洗浄液供給路７と比較して十分に狭めた絞り部１１を設けることが好ましい。また、オーバーハング部１２とスピンカップ側面円筒部５ａの間に設けたスリット１３の幅（クリアランス）について、前記絞り部１１と比較してより広く設定していることが好ましい。
具体的にはスリットの幅０．４〜０．６ｍｍに対して絞り分の幅を０．２〜０．３ｍｍ、より好適にはスリット幅に対して０．５から０．６を乗じた絞り部の幅、例えばスリット幅０．５ｍｍに対して絞り部の幅を０．２５から０．３ｍｍに設定する。またこの際のオーバーハング部１２の長さは３〜４ｍｍ、洗浄液供給路７の短径幅は４〜５ｍｍである。
なお、絞り部１１としての上部開口部が、一様な幅を有しておらず狭隘部を有している場合は、当該狭隘部の幅と洗浄液供給路７およびスリット１３と比較することが好ましい。また、絞り部１１としての底部開口部も同様である。
【００２６】
上述した本発明の構成の洗浄液供給路７に複数、好適には４箇所以上、更に好適には８箇所以上設けた洗浄液注入口８から洗浄液を注入して内部を満たし、更に洗浄液を注入すると、洗浄液は絞り部１１を経て外部へ吐出する。この際、絞り部１１は洗浄液供給路７と比較して十分に狭い幅に絞られているため、絞り部１１へ向かって流れ出る洗浄液の吐出圧は洗浄液注入口８からの注入圧と同等にまで高められている。その結果、洗浄液は比較的吐出しやすい一部の領域でなく、周方向全域で洗浄液吐出溝１０から吐出される。また絞り部１１が洗浄液供給路７と比較して十分に狭い幅に絞られている故に、その吐出圧に対して吐出する洗浄液の流量が少なく抑えられる。
【００２７】
続いて洗浄液吐出溝１０から吐出した洗浄液は、前を覆っているオーバーハング部１２に衝突して円周方向に広がりながら、スリット１３内を経てスピンカップ５の内壁面を流動する。このスリット１３は、絞り部１１と比較して広い幅である為、同部を流動する際の流動抵抗は小さく、絞り部１１より洗浄液が流動し易い。そのため、絞り部１１を通過した直後の洗浄液は、流動抵抗の急激な変化（低下）によって流速が増加し、洗浄液がオーバーハング部１２に衝突して流れの向きを変える際の整流効果が高まり、より効率的、確実にスピンカップ５の内壁面全面を均一に流動する。
その結果、スピンカップ５の内壁面全面を、少ない量の洗浄液にて、付着した塗布液を十分に洗浄することが可能になる。
【００２８】
また本発明では、スピンカップ下面プレート６についても図２（ｂ）に示すように、スピンカップ５上部と同様の構成の洗浄機構を付与し、その内壁面６ａに付着した塗布液を少ない量の洗浄液にて、十分に洗浄できる。
詳しくは、洗浄液供給路７と連通し、スピンカップ５の内壁面底部において連続して開口している洗浄液吐出溝の底部開口部が設けられてなり、該底部開口部は、スピンカップ５の内壁面沿いに一定幅のクリアランスを介して覆われる。これによって、底部開口部前面にスリット１３が形成されてなる。
洗浄液吐出溝から洗浄液が漏出してスピンカップ５底部沿いに流れ出る際には、洗浄液がスリット１３部分を流動した後に、スピンカップ５内壁面底部沿いに流れてスピンカップ５底部を洗浄する。
【００２９】
その結果、振り切られた余分の塗布液が乾燥・固化して結晶片あるいは粉末が装置内に堆積し、堆積した結晶片あるいは粉末が何らかのきっかけによって塗布プロセス中の基板Ｓ上に付着、不良となる不具合を回避できる。
そして前記のような本発明による回転塗布装置にて成膜された基板を用いて各種の機能性素子、さらに前記素子を使用して様々な装置を製造することができる。本発明による手法にてスピンコートプロセス中に生じる不良が抑えられた基板を用いて素子さらにそれを用いた装置を製造することになるため、不良の少ない素子並びに装置を高い歩留まりで製造することが可能となる。
素子、並びに装置の具体例としては、機能性素子として圧電素子、圧電素子にインクを吐出する機構を与えて作製したインクジェットヘッドとそれを搭載したインクジェットプリンター、及び、圧電素子の機能性を活用して作製したＭＥＭＳミラー（マイクロミラー）とそれを使用したスキャナー、プロジェクター等の装置、並びに、機能性素子として焦電性を活用した赤外線センサーとそれを使用した自動点灯照明器具等が挙げられる。
【符号の説明】
【００３０】
Ｓ    基板
１    回転成膜装置
２    回転軸
３    スピンテーブル
４    開口
５    スピンカップ
６    スピンカップ下面プレート
６ａ  傾斜面
７    洗浄液供給路
８    洗浄液注入口
９    小孔９
１０  洗浄液吐出溝
１１  絞り部
１２  オーバーハング部
１３  スリット
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３１】
【特許文献１】実公平６−２８２２３号公報
【特許文献２】特開平５−１６９００４号公報
【特許文献３】特開２０１１−０８６８２６号公報
【特許文献４】特開２０００−１１４２１９号公報
【特許文献５】特開２００７−１４９８９０号公報
【特許文献６】特開平１１−２８３９４９号公報
【特許文献７】特開２００２−１４３７４９号公報
【特許文献８】特開平１１−０３３４６８号公報
【特許文献９】特開平１０−００５６６８号公報
【特許文献１０】特開平０５−１６００１７号公報
【特許文献１１】特開平０９−１１７７０８号公報
【特許文献１２】特開昭６２−２３４５７２号公報
【特許文献１３】特開２００３−１７４００５号公報
【特許文献１４】特開平０２−２６８４１５号公報
【図１】
2014157911.tif 000003
【図２】
2014157911.tif 000004
【図３】
2014157911.tif 000005