(57)【要約】【課題】フィンとフィンとの隙間の流路抵抗の上昇を抑え、放熱性能の向上を図ったヒートシンクを提供すること。【解決手段】表面２１ＡにＩＧＢＴチップ１０が熱的に接続されるベース板２１と、ベース板２１の裏面２１Ｂに並列に立設された複数のフィン板２２を備えたヒートシンク２０において、フィン板２２は、隣接するフィン板２２との対向面２２Ａ，２２Ｂに、ベース板２１の裏面２１Ｂと略平行に延びる凹条部２５もしくは凸条部２６を備えた。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に発熱体が熱的に接続されるベース板と、前記ベース板の他方の面に並列に立設された複数のフィン板とを備えたヒートシンクにおいて、
前記フィン板は、隣接するフィン板との対向面に、前記ベース板の他方の面と略平行に延びる凹条部もしくは凸条部を備えたことを特徴とするヒートシンク。
【請求項２】
一方の対向面の前記凹条部は、他方の対向面の前記凸条部とそれぞれ対向する位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のヒートシンク。
【請求項３】
前記凹条部及び凸条部は、前記フィン板の高さ方向に交互に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のヒートシンク。
【請求項４】
隣接するフィン板の隙間には、冷却用流体が流通することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のヒートシンク。
【請求項５】
前記フィン板は、それぞれ前記凹条部及び前記凸条部の延出方向に複数に分割されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のヒートシンク。
【請求項６】
分割された前記フィン板間の間隔は、当該フィン板の厚みよりも小さいことを特徴とする請求項５に記載のヒートシンク。
【請求項７】
前記フィン板は、当該フィン板の高さ方向に延び、少なくとも前記凸条部を当該凸条部の延出方向に複数に分割する溝部を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のヒートシンク。
【請求項８】
前記凹条部もしくは前記凸条部は、断面略三角形状に形成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のヒートシンク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ベース板に複数のフィン板が並列に立設されたヒートシンクに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、一方の面に発熱体が熱的に接続されるベース板と、このベース板の他方の面に並列に立設された複数のフィン板とを備えたヒートシンクが知られている。この種のヒートシンクでは、発熱体を効率良く冷却することが望まれており、冷却用流体と接触するフィン板の表面積を広げることが模索されている。
このため、従来、アルミニウム押出材料からなり、フィン板に当該フィン板の延出方向（ヒートシンクの押出方向）で断面形状が波打つように変化する波打部を設けたヒートシンクが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３０８２３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した構成では、フィン板に波打部を設けることにより、フィン板の表面積は拡大されるものの、各フィン板が不規則に波打つことになり、隣接するフィンとの隙間が部分的に狭くなることが生じる。このため、例えば、フィンとフィンとの隙間に冷却用流体を流通させる場合、隙間の狭くなった部分がボトルネックとなり、流路抵抗が上昇することにより、ヒートシンクの冷却性能を阻害するおそれがある。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、フィンとフィンとの隙間の流路抵抗の上昇を抑え、冷却性能の向上を図ったヒートシンクを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は、一方の面に発熱体が熱的に接続されるベース板と、前記ベース板の他方の面に並列に立設された複数のフィン板とを備えたヒートシンクにおいて、前記フィン板は、隣接するフィン板との対向面に、前記ベース板の他方の面と略平行に延びる凹条部もしくは凸条部を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成において、一方の対向面の前記凹条部は、他方の対向面の前記凸条部とそれぞれ対向する位置に設けられていても良い。また、前記凹条部及び凸条部は、前記フィン板の高さ方向に交互に設けられていても良い。また、隣接するフィン板の隙間には、冷却用流体が流通する構成としても良い。
【０００８】
また、前記フィン板は、それぞれ前記凹条部及び前記凸条部の延出方向に複数に分割されていても良い。この場合、分割された前記フィン板間の間隔は、当該フィン板の厚みよりも小さくしても良い。
また、前記フィン板は、当該フィン板の高さ方向に延び、少なくとも前記凸条部を当該凸条部の延出方向に複数に分割する溝部を備えても良い。
また、前記凹条部もしくは前記凸条部は、断面略三角形状に形成されていても良い。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、フィン板は、隣接するフィン板との対向面に、ベース板の他方の面と略平行に延びる凹条部もしくは凸条部を備えたため、各フィン板の表面積を拡大できるとともに、凹条部及び凸条部に沿って冷却用流体が流通することにより、フィン板とフィン板との隙間の流通抵抗の上昇を防止でき、従って、冷却性能の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態にかかるヒートシンクを用いたパワーモジュールの側断面図である。
【図２】ヒートシンクを示す斜視図である。
【図３】フィン板の形状を示す斜視図である。
【図４】フィン板の側面図である。
【図５】第２実施形態にかかるヒートシンクのフィン板の形状を示す斜視図である。
【図６】フィン板の側面図である。
【図７】第３実施形態にかかるヒートシンクのフィン板の形状を示す斜視図である。
【図８】フィン板の平面図である。
【図９】第４実施形態にかかるヒートシンクのフィン板の形状を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施の形態を図面に基づいて説明する。
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態にかかるヒートシンクを用いたパワーモジュールの側断面図である。パワーモジュール１００は、例えば、電動車両やハイブリット車両に搭載されるモータを駆動制御するインバータ（電力変換装置）に用いられるものである。
パワーモジュール１００は、パワー半導体素子としてのＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor：絶縁ゲート型トランジスタ）チップ（発熱体）１０と、このＩＧＢＴチップ１０と熱的に接続されて当該ＩＧＢＴチップ１０の冷却を行うヒートシンク２０と、このヒートシンク２０が配置される水冷ジャケット３０と、この水冷ジャケット３０に固定されて上記したＩＧＢＴチップ１０及びヒートシンク２０を覆う保護ケース４０とを備える。
【００１２】
ヒートシンク２０は、平板状のベース板２１を備え、このベース板２１の表面（一方の面）２１ＡにはＩＧＢＴチップ１０がロウ付け等によって固定配置されている。ヒートシンク２０は、ベース板２１の裏面（他方の面）２１Ｂに、この裏面２１Ｂから下方に向かって並列に突設された複数のフィン板２２を備え、これらベース板２１及びフィン板２２は、例えばアルミニウム合金により一体に成型されている。
ヒートシンク２０は、アルミニウム合金等で形成された水冷ジャケット３０の上面３１にネジ３２によって固定され、フィン板２２は、水冷ジャケット３０の上面３１の略中央部に形成された水槽３３内に挿入されている。
本実施形態では、水冷ジャケット３０は、フィン板２２の延びた方向の一端から他端に向けて冷却水を循環して流通させる構成を有し、各フィン板２２，２２間が冷却水（冷却用流体）３４の流路２３として機能する。これにより、フィン板２２を介して、ベース板２１が水槽３３内を流動する冷却水３４により水冷され、その結果、ＩＧＢＴチップ１０が冷却される。
【００１３】
また、水冷ジャケット３０には、水槽３３を取り囲むようにＯリング収納溝３５が形成され、このＯリング収納溝３５にはＯリング３６が収納されている。Ｏリング３６はベース板２１によって圧縮されつつ、ベース板２１の裏面２１ＢおよびＯリング収納溝３５の内面に密接して水槽３３をシールしている。これにより、水槽３３内の冷却水が外部へ漏れ出ることが防止される。
【００１４】
保護ケース４０は、天板及び側板を有し、ヒートシンク２０と対向する下面が開放された箱状のケース本体４１と、このケース本体４１の開口端に周方向に亘って形成されるフランジ４２とを備える。保護ケース４０は、水冷ジャケット３０の上面３１にフランジ４２を介してネジ４３で固定される。
【００１５】
次に、ヒートシンク２０について説明する。
図２は、ヒートシンク２０の斜視図であり、図３は、フィン板２２の形状を示す斜視図であり、図４は、フィン板２２の側面図である。
ヒートシンク２０は、アルミニウム合金を用いて、押出形成によって成型されており、図２に示すように、フィン板２２は、ヒートシンク２０の押出方向（図中Ｘ方向）に沿って延出している。ヒートシンク２０のベース板２１は、フィン板２２の延出方向Ｘに長尺に形成され、このベース板２１の略中央部には、上記延出方向Ｘと直交する方向Ｙに複数列のフィン板２２，２２が並べて形成され、これらフィン板２２，２２間にそれぞれ流路２３が形成される。また、ベース板２１の周縁部には、ヒートシンク２０を水冷ジャケット３０に固定するためのネジ貫通孔２４が形成されている。
【００１６】
ところで、フィン板２２，２２間の流路２３に沿って冷却水が流れるヒートシンク２０では、ヒートシンク２０の冷却性能の向上が要望されている。
本構成では、フィン板２２には、図３に示すように、流路２３を挟んで隣接する他のフィン板２２と対向する面に、それぞれ凹条部２５及び凸条部２６が形成されている。これら凹条部２５及び凸条部２６は、フィン板２２の延出方向Ｘの断面が略三角形状に形成され、それぞれベース板２１の裏面２１Ｂと略平行に延びている。また、凹条部２５及び凸条部２６は、フィン板２２の高さ方向（図中Ｚ方向）に交互に設けられている。
【００１７】
具体的には、フィン板２２は、図４に示すように、流路２３を挟んで隣接する他のフィン板２２と対向する２つの対向面２２Ａ，２２Ｂを備え、この対向面２２Ａ，２２Ｂにそれぞれ断面略三角形状の凹条部２５及び凸条部２６がフィン板２２の横幅に亘って形成されている。これにより、各フィン板２２の表面積を増大させることができるため、その分、冷却水との熱交換量を増大させることができ、ヒートシンク２０の冷却性能の向上を図ることができる。
【００１８】
また、各フィン板２２は、このフィン板２２の延出方向Ｘの断面形状が略同一に形成されている。このため、ヒートシンク２０を容易に押出形成することができると共に、フィン板２２の凹条部２５及び凸条部２６に沿って冷却水が流れる場合、フィン板２２の対向面を当該延出方向Ｘに滑らかに形成することができ、冷却水の流路抵抗の増加を防止することができる。
また、フィン板２２は、一方の対向面２２Ａに設けられた凹条部２５及び凸条部２６と、他方の対向面２２Ｂに設けられた凹条部２５及び凸条部２６とが高さ方向に異ならせている。すなわち、フィン板２２の同一の高さ位置では、一方の対向面２２Ａに略三角形状の凹条部２５が形成されるのに対し、他方の対向面２２Ｂには略同一の大きさの略三角形状の凸条部２６が形成される。この構成によれば、フィン板２２は、高さ方向に亘って、略同一の厚みＤに形成することができるため、フィン板２２は、基端と先端とで高さ方向に垂直な断面積が略一定なため、フィン板２２での均一な熱伝導を実現できる。
【００１９】
更に、本実施形態では、流路２３を挟んで隣接するフィン板２２，２２について、一のフィン板２２の一方の対向面２２Ａに設けられた凹条部２５及び凸条部２６と、この対向面２２Ａに対向する他のフィン板２２の他方の対向面２２Ｂに設けられた凹条部２５及び凸条部２６とが高さ方向に異ならせている。
すなわち、隣接するフィン板２２，２２における同一の高さ位置では、一方の対向面２２Ａに凹条部２５が形成され、他方の対向面２２Ｂには凸条部２６が形成される。同様に一方の対向面２２Ａに凸条部２６が形成され、他方の対向面２２Ｂには凹条部２５が形成される。この構成によれば、凹条部２５の谷部２５Ａと、凸条部２６の頂部２６Ａとの距離Ｐをフィン板２２の高さ方向に亘って、略同一に形成することができる。
このため、フィン板２２，２２間に形成される流路２３の幅をフィン板２２の高さ方向に亘って略同一に形成することができるため、流路２３の高さ方向に冷却水を略均等に流すことができ、当該流路２３の流路抵抗を低減することができる。従って、フィン板２２と冷却水との熱交換効率が上昇し、ヒートシンク２０の冷却性能の向上を図ることができる。
【００２０】
本実施形態では、フィン板２２は、図２及び図３に示すように、当該フィン板２２の延出方向Ｘに複数に分割して形成されている。具体的には、押出形成によって、上記した延出方向Ｘに形成された長尺のフィン板を当該延出方向Ｘに所定間隔ごとに切欠きを設けることで分割している。この構成によれば、図３に示すように、分割した結果新たに生じた面（延出方向Ｘに横並びに配置されたフィン板２２，２２の対向面）も流体との熱交換に利用できるので、ヒートシンク２０全体として冷却水と接する表面積を増大させることができる。
また、フィン板２２に沿って冷却水を流す構成では、一般に、冷却水の流れ方向（フィン板２２の延出方向）に、温度境界層がフィン板２２の先端部から下流に向けて厚く形成される傾向にある。これに対して、本実施形態では、フィン板２２は、当該フィン板２２の延出方向Ｘに複数に分割して形成されているため、フィン板２２，２２間に形成された隙間２７では、冷却水の流れが乱されるため、温度境界層が下流に向けて発達するのを抑制することができ、ヒートシンク２０の冷却性能を向上させることができる。
この場合、フィン板２２，２２間の隙間２７の距離Ｌは、当該フィン板２２の厚みＤよりも小さく形成するのが望ましい。上記したように、フィン板２２，２２間に隙間２７を設けることにより、ヒートシンク２０の冷却性能を高めることができる一方で、隙間２７を大きくすると、その分、ヒートシンク２０の熱交換面積が低減する。
このため、フィン板２２，２２間の隙間２７の距離Ｌを当該フィン板２２の厚みＤよりも小さくすることにより、熱交換面積を確保しつつ、ヒートシンク２０の冷却性能を高めることができる。
なお、本実施形態では、フィン板２２は、当該フィン板２２の先端から基端（ベース板に連結される端部）まで切欠きを設けることで、完全に分割されているが、これに限らず、例えば、基端を繋いだ状態のように、先端から基端までの一部を連結しても良い。この構成によれば、ヒートシンク２０全体として冷却水と接する表面積を増大できるとともに、フィン板２２の剛性を高めることができ、冷却水の流れ方向に対するヒートシンク２０の強度の向上を図ることができる。
【００２１】
［第２実施形態］
次に、ヒートシンクの別の実施形態について説明する。この第２実施形態のヒートシンク１２０は、上記した第１実施形態のものとフィン板の形状が異なる。このため、この第２実施形態では、構成の異なる点のみを説明し、同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
【００２２】
図５は、第２実施形態にかかるヒートシンク１２０のフィン板１２２の形状を示す斜視図であり、図６は、フィン板１２２の側面図である。
本実施形態のフィン板１２２は、断面形状が略矩形状に形成され、当該フィン板１２２の２つの対向面１２２Ａ，１２２Ｂには、それぞれ半円柱状の凸条部１２６が高さ方向に所定間隔をあけて一体に形成されている。高さ方向に隣接する凸条部１２６，１２６の間は、これら凸条部１２６よりも窪んだ上記対向面１２２Ａ，１２２Ｂが露出し、本実施形態では、凸条部１２６，１２６の間に露出する対向面１２２Ａ，１２２Ｂが凹条部１２５として機能する。
このフィン板１２２は、上記したフィン板２２よりも形状が簡素であるため、押出形成する場合に簡単にヒートシンク１２０を形成することができる。
【００２３】
［第３実施形態］
図７は、第３実施形態にかかるヒートシンク２２０のフィン板２２２の形状を示す斜視図であり、図８は、フィン板２２２の平面図である。
本実施形態のフィン板２２２は、上記したフィン板１２２よりも幅方向に長尺に形成される点、及び、フィン板２２２の対向面２２２Ａ，２２２Ｂに設けられた凸条部２２６を分割する点で構成を異にする。
【００２４】
この第３実施形態では、フィン板２２２は、このフィン板２２２の延出方向Ｘに沿って、それぞれ単一形状に形成されており、このフィン板２２２の対向面２２２Ａ，２２２Ｂにそれぞれ凸条部２２６が高さ方向に所定間隔をあけて一体に形成されている。高さ方向に隣接する凸条部２２６，２２６の間は、これら凸条部２２６よりも窪んだ上記対向面２２２Ａ，２２２Ｂが露出し、本実施形態では、凸条部２２６，２２６の間に露出する対向面２２２Ａ，２２２Ｂが凹条部２２５として機能する。
本実施形態では、フィン板２２２は、当該フィン板２２２の高さ方向に延び、凸条部２２６を当該凸条部２２６の延出方向Ｘに複数に分割する溝部２２７を備える。この溝部２２７は、ヒートシンク２２０を押出形成した後に、例えば、フィン板２２２の対向面２２２Ａ，２２２Ｂを切削加工することにより形成される。この構成によれば、溝部２２７によって、フィン板２２２の凸条部２２６が部分的に除去されることにより、冷却水の流れ方向に対して凸条部２２６がある部分とない部分ができ流れが乱される。このため、フィン板２２２に沿って冷却水を流す場合であっても、上記温度境界層が下流に向けて発達するのを抑制することができ、ヒートシンク２２０の冷却性能を向上させることができる。更に、フィン板２２２は、上記したフィン板１２２のように複数に分割されていないため、冷却水の流れ方向に対するヒートシンク２２０の強度の向上を図ることができる。
【００２５】
なお、本実施形態では、フィン板２２２は、このフィン板２２２の延出方向Ｘに沿って、それぞれ単一形状に形成したが、これに限るものではなく、延出方向Ｘに複数に分割した各フィン板に対してそれぞれ溝部を形成しても良い。また、本実施形態では、溝部２２７は、凸条部２２６を当該凸条部２２６の延出方向Ｘに複数に分割する構成としているが、凹条部２２５についても延出方向Ｘに分割しても良い。
また、本実施形態では、溝部２２７は、フィン板２２の先端から基端（ベース板に連結される端部）まで設けているが、先端から基端までの一部に溝部を設けても良いことは勿論である。
更に、第１実施形態にかかるフィン板２２に溝部を設けても良いことは勿論である。
【００２６】
［第４実施形態］
図９は、第４実施形態にかかるヒートシンク３２０のフィン板３２２の形状を示す側面図である。
本実施形態のフィン板３２２では、流路２３を挟んで隣接するフィン板３２２，３２２について、一のフィン板３２２の一方の対向面３２２Ａに設けられた断面略三角形状の凹条部３２５及び凸条部３２６と、この対向面３２２Ａに対向する他のフィン板３２２の他方の対向面３２２Ｂに設けられた断面略三角形状の凹条部３２５及び凸条部３２６とがそれぞれ同一の高さ位置に形成している。すなわち、各対向面に形成された凹条部３２５の谷部３２５Ａ同士、及び、凸条部３２６の頂部同士がそれぞれ対向するように形成される。
この構成によれば、流路２３の幅は高さ方向で部分的に異なるが、同一の高さ方向については、同一幅で流通するため、冷却水の流路抵抗の増加を防止することができる。
なお、本実施形態では、フィン板３２２の形状は、断面略三角形状の凹条部３２５及び凸条部３２６を高さ方向に交互に連続して設けているが、フィン板の形状はこれに限るものではなく、例えば、上記したフィン板１２２の形状のように、略矩形状フィン板の対向面に、それぞれ半円柱状の凸条部を高さ方向に所定間隔をあけて一体に形成したものを用いても良いことは勿論である。また、このフィン板３２２に上記した溝部２２７を設けることができることは勿論である。
【００２７】
以上、本実施形態によれば、表面２１ＡにＩＧＢＴチップ１０が熱的に接続されるベース板２１と、ベース板２１の裏面２１Ｂに並列に立設された複数のフィン板２２，１２２，２２２,３２２とを備えたヒートシンク２０，１２０，２２０，３２０において、フィン板２２，１２２，２２２,３２２は、隣接するフィン板２２，１２２，２２２,３２２との対向面２２Ａ，２２Ｂ，１２２Ａ，１２２Ｂ，２２２Ａ，２２２Ｂ,３２２Ａ，３２２Ｂに、ベース板２１の裏面２１Ｂと略平行に延びる凹条部２５，１２５，２２５，３２５及び凸条部２６，１２６，２２６，３２６を備えたため、各フィン板２２，１２２，２２２,３２２の表面積を拡大できるとともに、２５，１２５，２２５，３２５及び凸条部２６，１２６，２２６，３２６に沿って冷却水が流通することにより、フィン板とフィン板との隙間の流通抵抗の上昇を防止でき、従って、冷却性能の向上を図ることができる。
【００２８】
また、本実施形態によれば、隣接するフィン板２２，１２２，２２２について、一方の対向面２２Ａ，１２２Ａ，２２２Ａの凹条部２５，１２５，２２５は、他方の対向面２２Ｂ，１２２Ｂ，２２２Ｂの凸条部２６，１２６，２２６とそれぞれ対向する位置に設けられているため、フィン板間に形成される流路２３の幅をフィン板２２，１２２，２２２の高さ方向Ｚに亘って略同一に形成することができるため、流路２３の高さ方向に冷却水を略均等に流すことができ、当該流路２３の流路抵抗を低減することができる。従って、フィン板２２，１２２，２２２と冷却水との熱交換効率が上昇し、ヒートシンク２０，１２０，２２０の冷却性能の向上を図ることができる。
【００２９】
また、本実施形態によれば、凹条部２５，１２５，２２５，３２５及び凸条部２６，１２６，２２６，３２６は、フィン板２２，１２２，２２２，３２２の高さ方向Ｚに交互に設けられているため、フィン板２２，１２２，２２２，３２２の表面積を簡単に大きくすることができる。
【００３０】
また、本実施形態によれば、隣接するフィン板の隙間に形成される流路２３には、冷却水が流通するため、冷却水とフィン板との熱交換効率を向上させ、ヒートシンク２０，１２０，２２０の冷却性能の向上を図ることができる。
【００３１】
また、本実施形態によれば、フィン板２２，１２２，３２２は、それぞれ凹条部２５，１２５，３２５及び凸条部２６，１２６，３２６の延出方向Ｘに複数に分割されているため、分割した結果新たに生じた面（延出方向Ｘに横並びに配置されたフィン板の対向面）も冷却水との熱交換に利用できるため、ヒートシンク２０，１２０，３２０全体として冷却水と接する表面積を増大させることができる。更に、フィン板間に形成された隙間２７では、冷却水の流れが乱されるため、温度境界層が下流に向けて発達するのを抑制することができ、ヒートシンク２０，１２０，３２０の冷却性能を向上させることができる。
【００３２】
また、本実施形態によれば、分割されたフィン板間の隙間２７の距離Ｌは、当該フィン板の厚みＤよりも小さく形成されるため、熱交換面積を確保しつつ、ヒートシンク２０，１２０，３２０の冷却性能を高めることができる。
【００３３】
また、本実施形態によれば、フィン板２２２は、当該フィン板２２２の高さ方向Ｚに延び、凸条部２２６を当該凸条部２２６の延出方向Ｘに複数に分割する溝部２２７を備えるため、溝部２２７によって、フィン板２２２の凸条部２２６が部分的に除去されることにより、冷却水の流れ方向に対して凸条部２２６がある部分とない部分ができ流れが乱される。このため、フィン板２２２に沿って冷却水を流す場合であっても、上記温度境界層が下流に向けて発達するのを抑制することができ、ヒートシンク２２０の冷却性能を向上させることができる。更に、フィン板２２２は、上記したフィン板１２２のように複数に分割されていないため、冷却水の流れ方向に対するヒートシンク２２０の強度の向上を図ることができる。
【００３４】
以上、本発明を実施形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、本実施形態では、フィン板間の流路２３に冷却水を流す構成について説明したが、これに限るものではなく、例えば、フィン板の一端側に送風ファンを配置し、上記した流路に空気（冷却用流体）を流通させる構成としても良い。
また、本実施形態では、フィン板は、高さ方向に複数の凹条部及び凸条部を交互に設ける構成としているが、凹条部、もしくは、凸条部のみを設けた構成としても良い。また、凹条部及び凸条部の形状は、本実施形態の説明に限るものではない。
【符号の説明】
【００３５】
１０  ＩＧＢＴチップ（発熱体）
２０、１２０、２２０、３２０  ヒートシンク
２１  ベース板
２１Ａ  表面（一方の面）
２１Ｂ  裏面（他方の面）
２２、１２２、２２２、３２２  フィン板
２２Ａ、１２２Ａ、２２２Ａ、３２２Ａ  対向面（一方の対向面）
２２Ｂ、１２２Ｂ、２２２Ｂ、３２２Ｂ  対向面（他方の対向面）
２３  流路
２５、１２５、２２５、３２５  凹条部
２６、１２６、２２６、３２６  凸条部
２７  隙間
【図１】
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【図２】
2014063887.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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