(57)【要約】【課題】固定砥粒方式でシリコンからなるインゴットを切削する際に生じるスラリーに対し、高い回収率及び優れた効率でクーラントを回収可能なスラリーの処理方法を提供する。【解決手段】本発明のスラリーの処理方法は、固定砥粒ワイヤーとクーラントとによりシリコンからなるインゴットを切削する際に生じるスラリーＳを固液分離する。クーラントとして水溶性切削液を採用し、スラリーをフィルタープレス装置によって固液分離する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定砥粒ワイヤーとクーラントとによりシリコンからなるインゴットを切削する際に生じるスラリーを固液分離するスラリーの処理方法において、
前記クーラントとして水溶性切削液を採用し、
前記スラリーをフィルタープレス装置によって固液分離することを特徴とするスラリーの処理方法。
【請求項２】
前記クーラントは水によって希釈されている請求項１記載のスラリーの処理方法。
【請求項３】
前記フィルタープレス装置は、ろ室を形成する複数のろ板と、前記ろ室内に設けられ、スラリーが内部に供給されるろ布と、前記ろ板と前記ろ布との間に設けられ、加圧流体によって前記ろ布内を圧搾可能なダイヤフラムとを備え、
各前記ろ板を締め付けて前記ろ室を形成し、前記ろ室内の前記ろ布内に前記スラリーをろ過圧力によって供給し、ろ過ケークを形成する単純加圧ろ過工程と、
前記単純加圧ろ過工程後、各前記ろ板の締め付けを維持しつつ、前記ダイヤフラムを前記ろ板から離れる方向に圧搾圧力によって膨出させて前記ろ過ケークを圧搾し、圧搾ケークを形成する圧搾工程と、
前記圧搾工程後、各前記ろ板の締め付けを維持しつつ、前記ろ布と前記ダイヤフラムとの間に空気をエアパージ圧力によって供給して前記圧搾ケークをエアパージし、エアパージケークを形成するエアパージ工程とを有する請求項１又は２記載のスラリーの処理方法。
【請求項４】
前記単純加圧ろ過工程後、各前記ろ板の締め付けを維持しつつ、前記ろ室内の前記ろ布内に洗浄水を正洗浄圧力によって供給して前記ろ過ケークを洗浄し、正洗浄ケークを形成する正洗浄工程を行い、
前記圧搾工程は、前記正洗浄工程後、前記正洗浄ケークに対して行う請求項３記載のスラリーの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スラリーの処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
東日本大震災に伴う原子力発電所の事故以降、太陽光をエネルギーとする太陽電池に注目が集まっている。太陽電池では、太陽光を電気に変換するために、シリコンからなるインゴットをワイヤーで切削したウエハに発電機構を導入した太陽電池モジュール（ソーラーパネル）が使用される。
【０００３】
このようなシリコンからなるインゴットを切削する際、いわゆる遊離砥粒方式と固定砥粒方式とが行われ得る。遊離砥粒方式による切削は、冷却性及び潤滑性、低起泡性、洗浄性、防錆性、反応抑制性等の機能を有するクーラントと、ＳｉＣやダイヤモンド等からなる砥粒とをワイヤーに吹きかけて行われる。この遊離砥粒方式による切削を行う場合には、切削後のクーラントとシリコン切削屑とからなるスラリーに砥粒が混入するため、スラリーからクーラントを固液分離する工程とは別に、砥粒とシリコン切削屑とを分離する工程を行う必要があるという欠点がある。一方、固定砥粒方式は、砥粒をワイヤーに固定した固定砥粒ワイヤーを用い、その固定砥粒ワイヤーにクーラントを吹きかけて行われる。この固定砥粒方式による切削を行う場合には、スラリーに砥粒が混入しないため、砥粒とシリコン切削屑とを分離する工程を要しない。このため、現在では固定砥粒方式が主流となりつつある。
【０００４】
そして、固定砥粒方式による切削によって生じたスラリーは、シリコン切削屑とクーラントとに固液分離される。クーラントは高価なものであり、また、シリコン切削屑は、シリコンの単結晶からなり、優れた利用価値を有しているため、いずれも再利用されることが望ましいからである。従来、遊離砥粒方式や固定砥粒方式で生じたスラリーは、遠心分離によって固液分離されることが一般的であった（特許文献１）。
【０００５】
また、シリコンからなるインゴットの切削に使用されるクーラントとしては、水溶性のものと非水溶性のものとがある。一般的には、鉱物油等を溶媒に用いた非水溶性切削液が採用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−８２５６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、発明者らの試験結果によれば、スラリーを遠心分離によって固液分離しても、クーラントの回収率は約７５％であり、決して高いものではない。特に、クーラントとして非水溶性切削液を用いた場合には、遠心分離によってスラリーを固液分離しても、クーラントの高い粘性により、シリコン切削屑が沈降し難く、清浄なクーラントを高い回収率で回収し難い。
【０００８】
また、スラリーを遠心分離によって固液分離する場合、一旦その処理を開始すると、その処理が終了するまでスラリーを追加することができない。そのため、この処理方法は効率が悪い。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、固定砥粒方式でシリコンからなるインゴットを切削する際に生じるスラリーに対し、高い回収率及び優れた効率でクーラントを回収可能なスラリーの処理方法を提供することを解決すべき課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のスラリーの処理方法は、固定砥粒ワイヤーとクーラントとによりシリコンからなるインゴットを切削する際に生じるスラリーを固液分離するスラリーの処理方法において、
前記クーラントとして水溶性切削液を採用し、
前記スラリーをフィルタープレス装置によって固液分離することを特徴とする（請求項１）。
【００１１】
発明者らの試験結果によれば、クーラントとして水溶性切削液を採用し、スラリーをフィルタープレス装置によって固液分離すれば、クーラントを極めて高い回収率で回収できる。固定砥粒方式でシリコンからなるインゴットを切削する際に生じるスラリーに対しては、このように固液分離することが適しているからであると考えられる。
【００１２】
また、本発明の処理方法では、一旦その処理を開始し、その途中でもスラリーを追加することが可能である。そのため、この処理方法は優れた効率を発揮する。
【００１３】
したがって、本発明のスラリーの処理方法では、固定砥粒方式でシリコンからなるインゴットを切削する際に生じるスラリーに対し、高い回収率及び優れた効率でクーラントを回収可能である。また、シリコン切削屑からなる固形物も高い回収率及び優れた効率で回収可能である。
【００１４】
また、この処理方法は、クーラントとして水溶性切削液を採用していることから、鉱物油等を溶媒にする非水溶性切削液を使用した場合と比較して、環境に対する負荷が小さく、火災等の事故の可能性も小さい。
【００１５】
発明者らの試験結果によれば、クーラントは水によって希釈されていることが好ましい（請求項２）。この場合、スラリーの粘度がより低くなり、より高い回収率を得ることができる。
【００１６】
フィルタープレス装置は、ろ室を形成する複数のろ板と、ろ室内に設けられ、スラリーが内部に供給されるろ布と、ろ板とろ布との間に設けられ、加圧流体によってろ布内を圧搾可能なダイヤフラムとを備え得る。そして、本発明のスラリーの処理方法は、単純加圧ろ過工程と、圧搾工程と、エアパージ工程とを有することが好ましい（請求項２）。単純加圧ろ過工程では、各ろ板を締め付けてろ室を形成し、ろ室内のろ布内にスラリーをろ過圧力によって供給し、ろ過ケークを形成する。圧搾工程では、単純加圧ろ過工程後、各ろ板の締め付けを維持しつつ、ダイヤフラムをろ板から離れる方向に圧搾圧力によって膨出させてろ過ケークを圧搾し、圧搾ケークを形成する。エアパージ工程では、圧搾工程後、各ろ板の締め付けを維持しつつ、ろ布とダイヤフラムとの間に空気をエアパージ圧力によって供給して圧搾ケークをパージし、エアパージケークを形成する。
【００１７】
この場合、圧搾工程により、シリコン切削屑の各粒子間に存在するクーラントを搾ることができるため、より高い回収率を得ることができる。また、エアパージ工程により、シリコン切削屑の粒子間に存在するクーラントを吹き飛ばすことができるため、さらに高い回収率を得ることができる。
【００１８】
本発明のスラリーの処理方法は、単純加圧ろ過工程後、各ろ板の締め付けを維持しつつ、ろ室内のろ布内に洗浄水を正洗浄圧力によって供給してろ過ケークを洗浄し、正洗浄ケークを形成する正洗浄工程を行い得る。そして、圧搾工程は、正洗浄工程後、正洗浄ケークに対して行うことが好ましい（請求項４）。
【００１９】
この場合、正洗浄工程によって、シリコン切削屑の粒子間に存在するクーラントを洗い流すことができるため、より高い回収率を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施例１、２の処理方法で採用したフィルタープレス装置の要部模式断面図である。
【図２】実施例１の処理方法に係り、試験１によるろ過時間と累積ろ液量との関係を示すグラフである。
【図３】実施例１の処理方法に係り、試験２によるろ過時間と累積ろ液量との関係を示すグラフである。
【図４】実施例１の処理方法に係り、試験２による圧搾時間と累積ろ液量との関係を示すグラフである。
【図５】実施例１の処理方法に係り、試験３によるろ過時間と累積ろ液量との関係を示すグラフである。
【図６】実施例１の処理方法に係り、試験３による圧搾時間と累積ろ液量との関係を示すグラフである。
【図７】実施例２の処理方法に係り、試験４によるろ過時間と累積ろ液量との関係を示すグラフである。
【図８】実施例２の処理方法に係り、試験４による圧搾時間と累積ろ液量との関係と、エアパージ時間と累積ろ液量との関係とを示すグラフである。
【図９】実施例２の処理方法に係り、試験５によるろ過時間と累積ろ液量との関係を示すグラフである。
【図１０】実施例２の処理方法に係り、試験５による圧搾時間と累積ろ液量との関係を示すグラフである。
【図１１】実施例２の処理方法に係り、試験６によるろ過時間と累積ろ液量との関係を示すグラフである。
【図１２】実施例２の処理方法に係り、試験７によるろ過時間と累積ろ液量との関係を示すグラフである。
【図１３】実施例２の処理方法に係り、試験７による圧搾時間と累積ろ液量との関係と、エアパージ時間と累積ろ液量との関係とを示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を具体化した実施例１、２を説明する。実施例１、２の処理方法では、以下の諸元のフィルタープレス装置（株式会社マキノ製）を採用した。
【００２２】
機種名：ＭＤＦＷ−４７０×４室
ろ室厚さ：３０ｍｍ
ろ過面積：１．２ｍ2
ろ過容積：１７．７Ｌ
ろ布：Ｐ２５６０Ｃ
ろ布通気度：１ｃｃ／ｃｍ2／ｍｉｎ
【００２３】
このフィルタープレス装置は、図１に示すように、ファースト板１１、ろ枠１３、圧搾板１５、ろ枠１７、普通ろ板１９、ろ枠２１、圧搾板２３、ろ枠２５及びエンド板２７がこの順序で水平方向に互いに平行に並べられている。これらがろ板である。これらろ板は、互いの間を移動可能に構成されているとともに、油圧シリンダ６５によって互いに締め付けられるようになっている。
【００２４】
ろ枠１３内には、ファースト板１１と圧搾板１５との間に位置するろ室２９が形成されている。ろ枠１７内には、圧搾板１５と普通ろ板１９との間に位置するろ室３１が形成されている。ろ枠２１内には、普通ろ板１９と圧搾板２３との間に位置するろ室３３が形成されている。ろ枠２５内には、圧搾板２３とエンド板２７との間に位置するろ室３５が形成されている。各ろ室２９、３１、３３、３５内には、ろ布３７が設けられている。また、ろ枠１３、１７、２１、２５には、加圧空気によってろ布３７内を圧搾可能なダイヤフラム５３が設けられている。
【００２５】
ファースト板１１、ろ枠１３、圧搾板１５、ろ枠１７、普通ろ板１９、ろ枠２１、圧搾板２３及びろ枠２５には、互いに当接することによって順次連通するスラリー供給路３９が形成されている。スラリー供給路３９は、各ろ室２９、３１、３３、３５内のろ布３７の内側に連通している。
【００２６】
また、ファースト板１１、ろ枠１３、圧搾板１５、ろ枠１７、普通ろ板１９、ろ枠２１、圧搾板２３及びろ枠２５には、互いに当接することによって順次連通するろ液排出路４１が形成されている。ろ液排出路４１は、各ろ室２９、３１、３３、３５内のろ布３７の外側に連通している。
【００２７】
スラリー供給路３９には、供給管４３が接続されている。供給管４３は、スラリー供給路３９と接続された共通管４３ｃと、共通管４３ｃから分岐したスラリー供給管４３ａ及び正洗浄管４３ｂとからなる。スラリー供給管４３ａはスラリーＳを貯留するタンク４５まで延びている。スラリー供給管４３ａには、ポンプ４７と、開閉弁４９とが設けられている。正洗浄管４３ｂには、洗浄水を供給可能なポンプ７５と、開閉弁５１が設けられている。共通管４３ｃには圧力計７７が設けられている。
【００２８】
ろ液排出路４１にはろ液管５５が接続されている。また、圧搾板１５、２３には、空気管５７が接続されている。空気管５７には、空気圧縮機５９と、開閉弁６１と、圧力計６３とが設けられている。さらに、ろ布３７とダイヤフラム５３との間には、エアパージ管６７が接続されている。エアパージ管６７には、空気を供給可能な空気圧縮機６９と、開閉弁７１と、圧力計７３とが設けられている。
【００２９】
（実施例１）
実施例１では、クーラントとして、ジエチレングリコールを主成分とする水溶性切削液（ユシロ化学（株）製ＹＳＣ２０４１Ｎ）を用いたスラリーＳを用意した。このスラリーＳは、固定砥粒方式でシリコンからなるインゴットを切削する際に生じたものである。
【００３０】
そして、表１に示すように、試験１〜３のろ過方式で処理を行った。試験１〜３におけるろ過圧力及び圧搾圧力も表１に示す。なお、試験２ではスラリーに凝集剤を添加せず、試験３ではスラリーに０．１体積％の凝集剤を添加した。
【００３１】
【表１】
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【００３２】
単純加圧ろ過工程では、まず油圧シリンダ６５によって各ろ板を締め付けてろ室２９等を形成する。そして、開閉弁４９を開き、ポンプ４７を作動させる。こうして、タンク４５内のスラリーＳをろ室２９等内のろ布３７内に供給し、ろ布３７内にろ過ケークを形成する。ろ過圧力は、圧力計７７によって計測され、一定になるように管理される。
【００３３】
圧搾工程では、単純加圧ろ過工程後、油圧シリンダ６５によって各ろ板の締め付けを維持しつつ、開閉弁６１を開き、空気圧縮機５９を作動させる。これにより、加圧流体としての高圧の空気により、各ダイヤフラム５３をろ板から離れる方向に膨出させてろ過ケークを圧搾し、圧搾ケークを形成する。圧搾圧力は、圧力計６３によって計測され、一定になるように管理される。
【００３４】
試験１〜３で用いたスラリーＳの比重及びスラリーＳ中のシリコン切削屑からなる固形物量（ｗｔ％）と、試験１〜３で得られたクーラントの回収率（％）及び各ケークの厚さ（ｍｍ）とを表２に示す。
【００３５】
【表２】
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【００３６】
試験１によるろ過時間（ｈｒ）と累積ろ液量（ｋｇ）との関係を図２に示す。図２に示されるように、試験１では、試験開始から約５分でろ過ケークが形成され、８時間でクーラントの回収量が飽和した。試験１で得られたろ過ケークは、柔らかいが、流動性がないものであった。
【００３７】
試験２によるろ過時間（ｈｒ、ｍｉｎ）と累積ろ液量（ｋｇ）との関係を図３及び図４に示す。図３に示されるように、試験２では、試験開始から約５分でろ過ケークが形成され、３時間で単純加圧ろ過工程を終えた。この後、図４に示されるように、３０分間、圧搾工程を行い、クーラントの回収量が飽和した。試験２で得られた圧搾ケークも、試験１のろ過ケークと同様のものであった。
【００３８】
試験３によるろ過時間（ｈｒ）と累積ろ液量（ｋｇ）との関係を図５及び図６に示す。図５に示されるように、試験３では、試験開始から約５分でろ過ケークが形成され、３時間で単純加圧ろ過工程を終えた。この後、図６に示されるように、３０分間、圧搾工程を行い、クーラントの回収量が飽和した。試験３で得られた圧搾ケークも、試験１のろ過ケーク、試験２の圧搾ケークと同様のものであった。
【００３９】
なお、試験２と試験３とでは、スラリー中の凝集剤の有無で相違がある。このため、図３及び図５に示すように、試験２と試験３とでは、初期のろ過速度に差が生じている。しかし、試験３では、固形物量が少なく、同じ量の圧搾ケークを得るために必要なスラリー量が多くなったため、回収率が高くなっているに過ぎない。このため、凝集剤の有無によって回収率に明瞭な差は生じないものと考えられる。
【００４０】
以上の試験１〜３より、実施例１では、以下の考察が可能である。
【００４１】
まず、ろ室２９等の厚さが３０ｍｍの場合、ろ過時間は、単純加圧ろ過工程で８時間、圧搾工程で３．５時間を要する。また、ろ過開始後、５分程度でろ布３７の表面にろ過ケークが形成される。
【００４２】
単純加圧ろ過工程及び圧搾工程のいずれもクーラントの回収率は８５％程度である。さらに、圧搾工程を行うことで、クーラントの回収量は２割程度増加する。圧搾工程により、シリコン切削屑の各粒子間に存在するクーラントを搾ることができるためである。一方、圧搾工程を行うことにより、ケークの内部が不均質になる。ケーク中の空隙に存在するクーラントを取り除けば、回収率９０％を達成することが可能であると考えられる。
【００４３】
このように、クーラントとしてジエチレングリコールを主成分とする水溶性切削液を採用し、スラリーＳをフィルタープレス装置によって固液分離すれば、クーラントを極めて高い回収率で回収できる。
【００４４】
また、実施例１の処理方法は、一旦その処理を開始し、その途中でもスラリーＳをタンク４５内に追加することが可能であるため、優れた効率を発揮する。
【００４５】
したがって、実施例１の処理方法では、固定砥粒方式でシリコンからなるインゴットを切削する際に生じるスラリーＳに対し、高い回収率及び優れた効率でクーラントを回収可能であることがわかる。また、シリコン切削屑からなる固形物も高い回収率及び優れた効率で回収可能である。
【００４６】
また、実施例１の処理方法は、クーラントとして水溶性切削液を採用していることから、鉱物油等を溶媒にする非水溶性切削液を使用した場合と比較して、環境に対する負荷が小さく、火災等の事故の可能性も小さい。
【００４７】
（実施例２）
実施例２では、ポリオキシアルキレン付加物を主成分とする水溶性切削液（三洋化成工業（株）製ハイスタットＨＤ−６０Ａ）に対し、水で希釈を行ったクーラントを用いたスラリーＳを用意した。このスラリーＳも、固定砥粒方式でシリコンからなるインゴットを切削する際に生じたものである。
【００４８】
そして、表３に示すように、試験４〜７のろ過方式で処理を行った。試験４〜７におけるろ過圧力、圧搾圧力、正洗浄圧力及びエアパージ圧力も表３に示す。
【００４９】
【表３】
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【００５０】
単純加圧ろ過工程及び圧搾工程は実施例１と同様に行った。エアパージ工程では、圧搾工程後、油圧シリンダ６５によって各ろ板の締め付けを維持しつつ、開閉弁７１を開き、空気圧縮機６９を作動させる。これにより、ろ布３７とダイヤフラム５３との間に空気を供給して圧搾ケークをエアパージし、エアパージケークを形成する。エアパージ圧力は、圧力計７３によって計測され、一定になるように管理される。
【００５１】
正洗浄工程では、単純加圧ろ過工程後、油圧シリンダ６５によって各ろ板の締め付けを維持しつつ、開閉弁５１を開き、ポンプ７５を作動させる。これにより、ろ室２９等内のろ布３７内に洗浄水を供給してろ過ケークを洗浄し、正洗浄ケークを形成する。正洗浄圧力は、圧力計７７によって計測され、一定になるように管理される。正洗浄工程を行った場合、圧搾工程は、正洗浄工程後、正洗浄ケークに対して行った。
【００５２】
試験４〜７で用いたスラリーＳの比重及びスラリーＳ中のシリコン切削屑からなる固形物量（ｗｔ％）と、試験４〜７で得られたクーラントの回収率（％）及び各ケークの厚さ（ｍｍ）とを表４に示す。
【００５３】
【表４】
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【００５４】
試験４によるろ過時間（ｈｒ、ｍｉｎ）と累積ろ液量（ｋｇ）との関係を図７及び図８に示す。図７に示されるように、試験４では、３時間で単純加圧ろ過工程を終えた。この後、図８に示されるように、１５分間、圧搾工程を行った。次いで、５分間、エアパージ工程を行い、クーラントの回収量が飽和した。試験４で得られたエアパージケークは、わずかにチクソトロピー性が見られた。
【００５５】
試験５によるろ過時間（ｈｒ、ｍｉｎ）と累積ろ液量（ｋｇ）との関係を図９及び図１０に示す。図９に示されるように、試験５では、３時間で単純加圧ろ過工程を終えた。この後、図１０に示されるように、１５分間、圧搾工程を行い、クーラントの回収量が飽和した。試験５で得られた圧搾ケークは、試験４で得られたエアパージケークよりもより強いチクソトロピー性が見られた。これは圧搾ケークの方がエアパージケークよりも水分が多いためであると考えられる。
【００５６】
試験６によるろ過時間（ｈｒ）と累積ろ液量（ｋｇ）との関係を図１１に示す。図１１に示されるように、試験６では、３時間で単純加圧ろ過工程を終えた。この後、エアパージ工程を行ったが、ろ過ケークが厚く、エアーがろ過ケークを通ることができず、クーラントを得ることができなかった。ろ過ケークが厚くなり過ぎない状態でエアパージ工程を行う必要がある。試験６で得られた圧搾ケークも、強いチクソトロピー性が見られた。
【００５７】
試験７によるろ過時間（ｈｒ、ｍｉｎ）と累積ろ液量（ｋｇ）との関係を図１２及び図１３に示す。図１２に示されるように、試験７では、４時間で単純加圧ろ過工程を終えた。
【００５８】
この後、３０分間、正洗浄工程を行った。この際、洗浄水の流速は遅く、３０分間で３．３Ｌ程度の使用量だった。この正洗浄工程により、シリコン切削屑の粒子間に存在するクーラントを洗い流すことができるため、より高い回収率を得ることができる。但し、洗浄後の洗浄水の電気伝導度を測定したところ、時間の経過に従って電気伝導度が増加しており、まだ十分にクーラントを洗浄できていないことがわかる。
【００５９】
次いで、図１３に示されるように、１０分間、圧搾工程を行った。そして、さらに、４分間、エアパージ工程を行い、クーラントの回収量が飽和した。試験７では、単純加圧ろ過工程直後に圧搾工程及びエアパージ工程を行った試験４と比べ、回収したろ液量が少なかった。クーラントを洗浄水に置換したことにより、クーラント中の界面活性剤や反応抑制材が洗い流され、シリコン切削屑の表面で何らかの反応を起こした可能性がある。
【００６０】
以上の試験４〜７より、実施例２では、以下の考察が可能である。
【００６１】
まず、クーラントの回収率は、単純加圧ろ過工程では８５％、圧搾工程を行うことにより９２％を達成できる。
【００６２】
実施例２のクーラントは、水で希釈したものであるが、クーラントが水を多く含んでいる。このため、スラリーＳの粘度がより低くなり、より高い回収率を得ることができる。一方、ケークのチクソトロピー性が高くなるため、エアパージを行うことが好ましい。
【００６３】
ケークが厚い場合、エアパージの空気がケークを通らないため、ケークの厚さが１６ｍｍ程度になるように圧搾工程を行うことが好ましい。
【００６４】
高い回収率を実現するためには、圧搾工程とエアパージ工程とを行うことが好ましい。
【００６５】
そして、実施例２においても、実施例１と同様の作用効果を奏することが可能である。
【００６６】
以上において、本発明を実施例１、２に即して説明したが、本発明は上記実施例１、２に制限されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更して適用できることはいうまでもない。
【００６７】
例えば、クーラントは水溶性切削液であれば種々のものを採用することができる。水で希釈するクーラントを採用することがより好ましい。
【００６８】
また、フィルタープレス装置としても、種々のものを採用することができる。特に、圧搾工程、エアパージ工程を行い得るフィルタープレス装置を採用することが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明は、クーラント及びシリコン切削屑の再利用分野に利用することができる。
【符号の説明】
【００７０】
Ｓ…スラリー
２９…ろ室
１１、１３、１５、１７、１９、２１、２３、２５、２７…ろ板
３７…ろ布
５３…ダイヤフラム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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