(57)【要約】 【課題】複数のミラー部を一体的に形成した反射ミラー体を精度高く位置決めできて、複数の光源からの各光束の折り曲げ方向がずれることが無いこと。【解決手段】複数の光源を列方向に配列して成る光源群と、複数のミラー部を階段状に設けて一体形成し、光源群から出力される複数の光束の列方向の各間隔を狭めて複数の光束を折り曲げる反射ミラー体と、反射ミラー体を保持するホルダとを具備する光源装置である。【選択図】図１
2014063607.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光源を列方向に配列して成る光源群と、
複数のミラー部を階段状に設けて一体形成し、前記光源群から出力される複数の光束の前記列方向の各間隔を狭めて前記複数の光束を折り曲げる反射ミラー体と、
前記反射ミラー体を保持するホルダと、
を具備することを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記複数のミラー部は、長方形状に形成され、
前記反射ミラー体は、前記複数のミラー部を前記列方向に互いに平行に配列し、当該複数のミラー部の各折り曲げ方向を互いに平行になるように設けた、
ことを特徴とする請求項１記載の光源装置。
【請求項３】
前記反射ミラー体は、前記複数の光束を反射する前記複数のミラー部の反射面側とその裏面側とを有し、前記裏面側を平面状に形成して成ることを特徴とする請求項１又は２記載の光源装置。
【請求項４】
前記ホルダは、前記反射ミラー体を基準位置に設けるための係止部を前記列方向の両端部にそれぞれ設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の光源装置。
【請求項５】
前記係止部は、前記反射ミラー体の基準面である反射面側が当て付けられることを特徴とする請求項４記載の光源装置。
【請求項６】
前記係止部には、前記複数のミラー部で折り曲げた前記複数の光束を通過させるための切欠き部が設けられていることを特徴とする請求項４又は５記載の光源装置。
【請求項７】
前記光源群は、前記複数の光源が行方向にも配列されており、
前記切欠き部は、前記複数の光源の行方向の配置位置に対応して設けられている、
ことを特徴とする請求項６記載の光源装置。
【請求項８】
前記ホルダには、前記反射ミラー体を前記係止部に押し付けて支持するための付勢部材が設けられていることを特徴とする請求項４乃至７のいずれか１項記載の光源装置。
【請求項９】
前記付勢部材は、板バネを含むことを特徴とする請求項８記載の光源装置。
【請求項１０】
前記反射ミラー体は、ガラス部材により形成されることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項記載の光源装置。
【請求項１１】
前記ホルダは、アルミニウムにより形成されることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項記載の光源装置。
【請求項１２】
前記複数の光源は、それぞれレーザダイオード又は発光ダイオードを含むことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項記載の光源装置。
【請求項１３】
複数の光源を列方向に配列して成る光源群を配置する工程と、
複数のミラー部を有し、前記光源群から出力された複数の光束の列方向の各間隔を狭めて前記複数の光束を折り曲げる反射ミラー体を一体形成する工程と、
前記ホルダに前記反射ミラー体を保持する工程と、
を有する、
ことを特徴とする光源装置の組立方法。
【請求項１４】
前記反射ミラー体を形成する工程は、
可動側と固定側とから成り、前記複数のミラー部を階段状に一体形成するための型が形成された金型を用い、前記金型に成型部材を注入することにより前記反射ミラー体用の成型品を成型する工程と、
前記反射ミラー体用の成型品に蒸着を行ってミラー化する工程と、
を有することを特徴とする請求項１３記載の光源装置の組立方法。
【請求項１５】
前記成型部材は、ガラス部材により成ることを特徴とする請求項１３又は１４記載の光源装置の組立方法。
【請求項１６】
複数のミラー部が階段状に形成され、複数の光源を列方向に配列して成る光源群から出力される複数の光束の列方向の各間隔を狭めて前記複数の光束を折り曲げ、かつ両端部の基準面である反射面側には、それぞれホルダに対して基準位置に係止するための係止用縁部を形成して成ることを特徴とする光源装置用の反射ミラー体。
【請求項１７】
前記複数のミラー部は、長方形状に形成され、かつ前記列方向に互いに平行に配列され、前記複数の光束の各折り曲げ方向を互いに平行になるように設けられていることを特徴とする請求項１６記載の光源装置用の反射ミラー体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の光源を配列して成る光源群から出力された複数の光束を反射ミラー体により折り曲げることにより複数の光束の間隔を狭めて出力する光源装置及びその組立方法、光源装置用の反射ミラー体に関する。
【背景技術】
【０００２】
プロジェクタ等の製品には、投影像を出力するための光源装置が設けられている。この光源装置は、プロジェクタ等の製品の小型化のために、例えばレーザタイオード（ＬＤ）等の光源からの光束を折り曲げて出力するようなレイアウトに構成されている。  
このような光源装置には、複数の光源を面配置したものがあり、当該光源装置では、複数の光源からの各光束をそれぞれ折り曲げるために複数のミラーを配置することが必要となり、かつ複数のミラーを精度高く配置することに製造上の困難性がある。
【０００３】
このため、短冊状の複数のミラーを配置し、その裏面をミラー保持体に接着するようにする構成が、例えば特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４７１１１５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、このような構成は、短冊状の反射ミラーの裏面をミラー保持体に接着するので、接着精度等の問題で、光軸がばらついてしまうという問題があった。
【０００６】
本発明の目的は、複数のミラーを精度高く位置決めできて、複数の光源からの各光束の折り曲げ方向がずれることが無い光源装置及びその組立方法、光源装置用の反射ミラー体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の主要な局面に係る光源装置は、複数の光源を列方向に配列して成る光源群と、複数のミラー部を階段状に設けて一体形成し、前記光源群から出力される複数の光束の前記列方向の各間隔を狭めて前記複数の光束を折り曲げる反射ミラー体と、前記反射ミラー体を保持するホルダとを具備する。
【０００８】
本発明の主要な局面に係る光源装置の組立方法は、複数の光源を列方向に配列して成る光源群を配置する工程と、複数のミラー部を有し、前記光源群から出力された複数の光束の列方向の各間隔を狭めて前記複数の光束を折り曲げる反射ミラー体を一体形成する工程と、前記ホルダに前記反射ミラー体を保持する工程とを有する。
【０００９】
本発明の主要な局面に係る光源装置用の反射ミラー体は、複数のミラー部が階段状に形成され、複数の光源を列方向に配列して成る光源群から出力される複数の光束の列方向の各間隔を狭めて前記複数の光束を折り曲げ、かつ両端部の基準面である反射面側には、それぞれホルダに対して基準位置に係止するための係止用縁部を形成して成る。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、複数のミラーを一体的に形成した反射ミラー体を精度高く位置決めできて、複数の光源からの各光束の折り曲げ方向がずれることが無い光源装置及びその組立方法、光源装置用の反射ミラー体を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る光源装置の一実施の形態を示す構成図。
【図２】同装置におけるミラーアレイを保持するホルダを示す外観図。
【図３】同装置におけるミラーアレイを示す外観図。
【図４】同装置におけるミラーアレイのホルダへの取付けを示す図。
【図５】同装置における第２の係止部を示す拡大図。
【図６】同装置における板バネを示す拡大図。
【図７】同装置におけるミラーアレイの形成工程で用いる金型を示す図。
【図８】同装置におけるミラーアレイ形成プロセスのフローを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。  
図１は光源装置の構成図を示す。この光源装置は、例えばプロジェクタ等の投影像を出力するために用いられる。この光源装置には、複数の光源１が２次元の平面上に行方向Ｌｇ及び列方向Ｌｒにそれぞれ等間隔で配列されている。これら光源１は、例えば行方向Ｌｇに３行配列され、列方向Ｌｒに８列配列されている。これら光源１により光源群２が形成されている。この光源群２は、各光源１から互いに平行にそれぞれ光束を出力する。これら光源１は、例えばレーザダイオード（ＬＤ）又は発光ダイオード（ＬＥＤ）などであって、それぞれレーザビーム又はＬＥＤ光を出力する。
【００１３】
光源群２の各光源１に対峙するように反射ミラー体（以下、ミラーアレイと称する）３が設けられている。このミラーアレイ３と光源群２とは、予め設定された間隔で互いに対峙するように設けられている。このミラーアレイ３は、図２に示すようなホルダ４に保持される。このホルダ４は、外周縁に凸状体の保持用枠５が設けられ、この保持用枠５内にミラーアレイ３が嵌るようになっている。なお、ホルダ４における図１に示す列方向Ｌｒの一端部には、保持用枠５を延長してなる壁５ａが形成されている。このホルダ４は、例えばアルミニウムにより形成されている。
【００１４】
図３（ａ）（ｂ）はミラーアレイ３の外観図を示すもので、同図（ａ）はミラーアレイ３の反射面側３ａを示し、同図（ｂ）はミラーアレイ３の裏面側３ｂを示す。このミラーアレイ３の反射面側３ａは、複数のミラー部６を階段状に一体的に配置して成る。これらミラー部６は、それぞれ銀等の蒸着により長方形状に形成されている。同図（ａ）では各ミラー部６を分かり易くするために斜線を引いてある。具体的に各ミラー部６は、長方形状の長手方向を互いに平行に配置して、それぞれ各連続化平坦部７を介して階段状に設けられている。これらミラー部６のミラー面の設けられている角度（反射角度）は、それぞれ各光源１から出力された各光束を同一角度方向に折り曲げるように設定される。
【００１５】
光源１は、例えば図１に示すように行方向Ｌｇの配列に対して例えば３行設けられ、かつ列方向Ｌｒの配列に対して例えば８列設けられている。複数のミラー部６は、互いに行方向Ｌｇに対して長手方向を一致するように列方向に８列設けられている。これらミラー部６は、上記の通り、それぞれ複数の光源１から出力された各光束をそれぞれ同一角度方向に折り曲げて反射する。すなわち、これらミラー部６は、列方向Ｌｇに互いに平行に配列され、それぞれ複数の光源１からの各光束の折り曲げ方向を互いに平行になるように設けられている。この場合、複数のミラー部６は、複数の光源１から出力される各光束の各間隔のうち列方向Ｌｒの各間隔を狭めて各光束を折り曲げて反射する。  
一方、ミラーアレイ３の裏面側３ｂは、図３（ｂ）に示すように平面状に形成されている。このミラーアレイ３の裏面側３ｂは、図２に示すホルダ４の保持用枠５内の面に対して面接触する。
【００１６】
図４（ａ）（ｂ）はミラーアレイ３のホルダ４への取付けを示すもので、同図（ａ）は一方向から見た取付け方法を示し、同図（ｂ）は反対方向から見た取付け方法を示す。このミラーアレイ３は、例えばガラス部材により形成されている。  
ホルダ４には、図１に示す列方向Ｌｒの両端部にそれぞれ第１と第２の係止部８、９が設けられている。これら第１と第２の係止部８、９は、それぞれミラーアレイ３を基準位置に設けるためのものである。具体的に、第１と第２の係止部８、９は、それぞれ係止片をホルダ４の保持用枠５内の方向に向けて突出させて設けられている。これら第１と第２の係止部８、９では、それぞれ係止片を２つの所定間隔で設けられている。  
このように、第１と第２の係止部８、９の内側（下側）に、ミラーアレイ３をスライドして取り付けることとなる。詳細は後述する。
【００１７】
図５は第２の係止部９付近の拡大図を示す。第２の係止部９として２つの係止片を設けることにより、ホルダ４における図１に示す列方向Ｌｒの他端部には、当該第２の係止部９である２つの係止片の間に切欠き部１０が設けられる。この切欠き部１０は、各ミラー部６で折り曲げた各光束を通過させるためのもので、各光源１の行方向Ｌｇの配置位置に対応して設けられている。  
なお、第１の係止部８側は、各光源１から出力され、折り曲げられた光束が通過しない側であるので、２箇所に分けられずに、壁５ａに沿うように壁５ａの全長分設けられるようにしてもよい。
【００１８】
ホルダ４の保持用枠５内における両端側には、図４（ａ）（ｂ）に示すようにそれぞれ付勢部材としての板バネ１１、１２が設けられている。これら板バネ１１、１２は、ミラーアレイ３をホルダ４の保持用枠５内に押し付けて支持するためのものである。これら板バネ１１、１２は、それぞれ例えばミラーアレイ３を第１と第２の係止部８、９に対して押し付けることによりホルダ４内に支持する。  
図６は板バネ１１付近の拡大図を示す。この板バネ１１は、長方形状に形成され、かつ２つの凸条部１１ａ、１１ｂが形成されている。これら凸条部１１ａ、１１ｂは、板バネ１１をホルダ４内に設けたときに、第１の係止部８の２つの係止片に対峙するように設けられる。  
この板バネ１１は、当該板バネ１１と第１の係止部８との間にミラーアレイ３が嵌め込まれることにより、ミラーアレイ３を各凸条部１１ａ、１１ｂにより第１の係止部８に押し付けることによってホルダ４内に支持する。  
また、板バネ１２付近も同様の構造となる。  
このように、第１の係止部８と板バネ１１の間、及び、第２の係止部９と板バネ１２の間に挟み込まれるように、ミラーアレイ３をスライドして取り付けることとなる。  
そして、第１の係止部８及び第２の係止部９にミラーアレイ３の基準面である反射面側３ａの係止用縁部３ｃ、３ｄがそれぞれ当て付けられることになる。
【００１９】
次に、上記の如く構成された光源装置の組立方法について説明する。  
第１の工程では、複数の光源１を行方向Ｌｇ及び列方向Ｌｒに配列して成る光源群２を配置する。  
第２の工程では、ミラーアレイ３を形成する。このミラーアレイ３は、複数のミラー３が設けられ、光源群２から出力された複数の光束の各間隔のうち列方向Ｌｒの各間隔を狭めて複数の光束を折り曲げるものとなる。このミラーアレイ３の形成方法は、複数のミラー３を階段状に一体形成するもので、その詳細は後述する。
【００２０】
第３の工程では、図４（ａ）（ｂ）に示すようにホルダ４にミラーアレイ３を保持する。この場合、ミラーアレイ３は、ホルダ４の保持用枠５内に嵌められる。このとき、ミラーアレイ３がホルダ４に設けられた板バネ１１と第１の係止部８との間に嵌め込まれることにより、ミラーアレイ３は、各凸条部１１ａ、１１ｂにより第１の係止部８に押し付けることによってホルダ４内に支持される。
【００２１】
次に、第２の工程であるミラーアレイ３の形成工程について詳しく説明する。  
このミラーアレイ３の形成工程では、図７に示すような金型２０を用いる。この金型２０は、可動側金型２０ａと固定側金型２０ｂとから成る。可動側金型２０ａは、例えば図３（ｂ）に示すミラーアレイ３の裏面側３ｂを形成するための型が形成されたもので、平板状に形成されている。固定側金型２０ｂは、例えば図３（ａ）に示すミラーアレイ３の反射面側３ａを形成するためのもので、複数のミラー部６を階段状に一体的に配置するための型が形成されている。
【００２２】
次に、ミラーアレイ３の形成プロセスについて図８に示すミラーアレイ形成プロセスのフローを参照して説明する。  
固定側金型２０ｂが用意され、この固定側金型２０ｂの型内にミラーアレイ３を形成するための成型部材となるガラス部材２１が注入される。  
固定側金型２０ｂの型内にガラス部材２１が投入されると、当該固定側金型２０ｂに対して可動側金型２０ａが圧力を掛けて組み合わせられる。これら固定側金型２０ｂと可動側金型２０ａとの圧接により当該固定側金型２０ｂと可動側金型２０ａとの間でガラス部材２１がミラーアレイ３の原型３ｇ（成型品）を成型する。  
このような金型で、ミラーアレイ３を形成したとしても、金型の前面側と背面側との寸法精度を高くすることが難しく、例えば、背面側の可動側金型２０ａで形成された背面側で位置決めを行っては、前面側の反射面側３ａが所定の傾き通りにならないことがある。  
本実施形態では、ミラーアレイ３において、ホルダ４の第１と第２の係止部８、９と接する位置決めの面は、固定側金型２０ｂで形成される反射面側３ａにあることにより、反射面側３ａと位置決め面の相対位置精度の向上に貢献する。
【００２３】
この後、固定側金型２０ｂと可動側金型２０ａとが離れ、固定側金型２０ｂの型内からミラーアレイ３の原型３ｇが取り出される。  
ミラーアレイ３の原型３ｇに対して例えば銀部材を用いて当該ミラーアレイ３の原型３ｇの表面に蒸着が行われる。この蒸着によりミラーアレイ３の原型３ｇの表面の複数のミラー部６に対応する部分にミラー化が行われ、例えば図３に示すようなミラーアレイ３が完成する。  
なお、蒸着は、ミラーアレイ３の反射面側３ａ全面に行われるようにしてもよい。
【００２４】
このように上記一実施の形態によれば、複数の光源１を列方向Ｌｒに配列して成る光源群２と、複数のミラー部６を階段状に設けて一体形成し、光源群２から出力される複数の光束の列方向Ｌｒの各間隔を狭めて各光束を折り曲げるミラーアレイ３と、このミラーアレイ３を保持するホルダ４とを設けて光源装置を構成したので、複数のミラー部６を一体的に形成したミラーアレイ３を精度高く位置決めできて、複数の光源１からの各光束の折り曲げ方向がずれることが無く、光源１からの各光束の折り曲げを精度高くできる。  
上記実施形態では、複数の光源１が２次元の平面上に行方向Ｌｇ及び列方向Ｌｒにそれぞれ等間隔で配列されている例で説明したが、行方向に１行のみ光源１であっても同様に適用可能である。
【００２５】
ミラーアレイ３をホルダ４の保持用枠５内に嵌めるとき、ミラーアレイ３は、一端側がホルダ４に設けられた板バネ１１と第１の係止部８との間に嵌め込まれることにより各凸条部１１ａ、１１ｂにより第１の係止部８に押し付けられるとともに、同様に、他端側に設けられた板バネ１２と第２の係止部９との間に嵌め込まれることにより第２の係止部９に押し付けられることによってホルダ４内に支持され、ミラーアレイ３の複数のミラー部６を精度高く配置することができる。このとき、第１と第２の係止部８、９は、それぞれミラーアレイ３の基準位置である反射面側が当てつけられるように設けるので、光源群２から出力される複数の光束を精度高い角度で折り曲げて反射できる。
【００２６】
ミラーアレイ３は、複数のミラー部６を一体的に形成しているので、これらミラー部６での各光束の折り曲げの角度の精度を高く設定することができると共に、当該ミラーアレイ３を用いることにより光源装置自体を小型化できる。  
このようにミラーアレイ３の各ミラー部６での各光束の折り曲げの角度の精度を高く設定した光源装置であれば、プロジェクタ等の製品の光源装置に用いるのに最適であり、投影像の画質を向上できる。  
ミラーアレイ３を成型部材となるガラス部材２１により成形するので、剛性、耐熱性に優れたものにすることができる。  
ホルダ４に切欠き部１０を設けたので、この切欠き部１０によって各ミラー部６で折り曲げた各光束を通過させることができ、各光束を蹴ることがない。
【００２７】
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【００２８】
以下、本発明の出願当初の特徴点について説明する。  
請求項１に対応する発明は、複数の光源を列方向に配列して成る光源群と、複数のミラー部を階段状に設けて一体形成し、前記光源群から出力される複数の光束の前記列方向の各間隔を狭めて前記複数の光束を折り曲げる反射ミラー体と、前記反射ミラー体を保持するホルダとを具備することを特徴とする光源装置である。
【００２９】
請求項２に対応する発明は、請求項１記載の光源装置において、前記複数のミラー部は、長方形状に形成され、前記反射ミラー体は、前記複数のミラー部を前記列方向に互いに平行に配列し、当該複数のミラー部の各折り曲げ方向を互いに平行になるように設けたことを特徴とする。  
請求項３に対応する発明は、請求項１又は２記載の光源装置において、前記反射ミラー体は、前記複数の光束を反射する前記複数のミラー部の反射面側とその裏面側とを有し、前記裏面側を平面状に形成して成ることを特徴とする。
【００３０】
請求項４に対応する発明は、請求項１乃至３のいずれか１項記載の光源装置において、前記ホルダは、前記反射ミラー体を基準位置に設けるための係止部を前記列方向の両端部にそれぞれ設けたことを特徴とする。  
請求項５に対応する発明は、請求項４記載の光源装置において、前記係止部は、前記反射ミラー体の基準面である反射面側が当て付けられることを特徴とする。
【００３１】
請求項６に対応する発明は、請求項４又は５記載の光源装置において、前記係止部には、前記複数のミラー部で折り曲げた前記複数の光束を通過させるための切欠き部が設けられていることを特徴とする。  
請求項７に対応する発明は、請求項６記載の光源装置において、前記光源群は、前記複数の光源が行方向にも配列されており、前記切欠き部は、前記複数の光源の行方向の配置位置に対応して設けられていることを特徴とする。  
請求項８に対応する発明は、請求項４乃至７のいずれか１項記載の光源装置において、前記ホルダには、前記反射ミラー体を前記係止部に押し付けて支持するための付勢部材が設けられていることを特徴とする。  
請求項９に対応する発明は、請求項８記載の光源装置において、前記付勢部材は、板バネを含むことを特徴とする。  
請求項１０に対応する発明は、請求項１乃至９のいずれか１項記載の光源装置において、前記反射ミラー体は、ガラス部材により形成されることを特徴とする。  
請求項１１に対応する発明は、請求項１乃至１０のいずれか１項記載の光源装置において、前記ホルダは、アルミニウムにより形成されることを特徴とする。
請求項１２に対応する発明は、請求項１乃至１１のいずれか１項記載の光源装置において、前記複数の光源は、それぞれレーザダイオード又は発光ダイオードを含むことを特徴とする。
【００３２】
請求項１３に対応する発明は、複数の光源を列方向に配列して成る光源群を配置する工程と、複数のミラー部を有し、前記光源群から出力された複数の光束の列方向の各間隔を狭めて前記複数の光束を折り曲げる反射ミラー体を一体形成する工程と、前記ホルダに前記反射ミラー体を保持する工程とを有することを特徴とする光源装置の組立方法である。
【００３３】
請求項１４に対応する発明は、請求項１３記載の光源装置の組立方法において、前記反射ミラー体を形成する工程は、可動側と固定側とから成り、前記複数のミラー部を階段状に一体形成するための型が形成された金型を用い、前記金型に成型部材を注入することにより前記反射ミラー体用の成型品を成型する工程と、前記反射ミラー体用の成型品に蒸着を行ってミラー化する工程とを有することを特徴とする。  
請求項１５に対応する発明は、請求項１３又は１４記載の光源装置の組立方法において、前記成型部材は、ガラス部材により成ることを特徴とする。
【００３４】
請求項１６に対応する発明は、複数のミラー部が階段状に形成され、複数の光源を列方向に配列して成る光源群から出力される複数の光束の列方向の各間隔を狭めて前記複数の光束を折り曲げ、かつ両端部の基準面である反射面側には、それぞれホルダに対して基準位置に係止するための係止用縁部を形成して成ることを特徴とする光源装置用の反射ミラー体である。  
請求項１７に対応する発明は、請求項１６記載の光源装置用の反射ミラー体において、前記複数のミラー部は、長方形状に形成され、かつ前記列方向に互いに平行に配列され、前記複数の光束の各折り曲げ方向を互いに平行になるように設けられていることを特徴とする。
【符号の説明】
【００３５】
１：光源、２：光源群、３：反射ミラー体（ミラーアレイ）、４：ホルダ、５：保持用枠、５ａ：壁、３ａ：ミラーアレイの反射面側、３ｂ：ミラーアレイの裏面側、６：ミラー部、７：連続化平坦部、８：第１の係止部、９：第２の係止部、１０：切欠き部、１１，１２：板バネ、１１ａ，１１ｂ：凸条部、２０：金型、２０ａ：可動側金型、２０ｂ：固定側金型、２１：ガラス部材、３ｇ：ミラーアレイの原型（成型品）。
【図１】
2014063607.tif 000003
【図２】
2014063607.tif 000004
【図３】
2014063607.tif 000005
【図４】
2014063607.tif 000006
【図５】
2014063607.tif 000007
【図６】
2014063607.tif 000008
【図７】
2014063607.tif 000009
【図８】
2014063607.tif 000010