(57)【要約】【課題】従来に比して密閉性を向上させた試料セルを提供する。【解決手段】  試料セル１００は、Ｘ線を透過するＸ線フィルタ１０を保持する基部１１０を備える。基部１１０は、本体部１２０と、押さえ部材１３０と、継ぎ手部材１４０，１５０とを具備している。継ぎ手部材１４０，１５０の先端には奥部が設けられており、当該凹部に可撓性部材１６０，１７０が嵌入される。可撓性部材１６０，１７０には試料導入用の流路１６１，１７１が設けられている。継ぎ手部材１４０，１５０の先端にはキャップ部材１８０，１９０が螺合され、これによって継ぎ手部材１４０，１５０の先端が密閉される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体試料を収容する試料セルであって、
光源から照射された放射光を透過させる窓材と、
前記窓材を保持し、前記窓材に通じる流路が設けられた基部と、
前記流路の端部に取り付けられ、前記流路に流体試料を導入するために用いられる可撓性部材と、
前記可撓性部材を覆うキャップ部材と、
を備える、
試料セル。
【請求項２】
前記キャップ部材は、前記可撓性部材に設けられる流体試料導入用の孔を塞ぐための突出部を具備する、
請求項１に記載の試料セル。
【請求項３】
前記可撓性部材は、試料導入用のシリンジに設けられた針管が穿刺されることにより、前記孔が設けられるように構成されている、
請求項２に記載の試料セル。
【請求項４】
前記可撓性部材は、試料導入用のシリンジに設けられた針管を挿入するための前記孔が設けられている、
請求項２に記載の試料セル。
【請求項５】
前記キャップ部材は、前記基部と螺合することによって前記可撓性部材を覆うように構成されている、
請求項１乃至４の何れかに記載の試料セル。
【請求項６】
前記基部は、前記窓材を保持する本体部と、前記本体部から突出し、前記可撓性部材を取付可能な突出部とを具備し、
前記キャップ部材は、前記突出部に螺合可能に構成されている、
請求項５に記載の試料セル。
【請求項７】
前記基部は、前記窓材を着脱可能に構成されている、
請求項１乃至６の何れかに記載の試料セル。
【請求項８】
前記基部は、スーパーエンジニアリングプラスチック製である、
請求項１乃至７の何れかに記載の試料セル。
【請求項９】
前記基部は、ポリエーテルエーテルケトン製である、
請求項１乃至８の何れかに記載の試料セル。
【請求項１０】
流体試料を収容する試料セルであって、
光源から照射された放射光を透過させる窓材を保持可能であり、保持された前記窓材に通じる流路が設けられた基部と、
前記流路の端部に取り付けられ、前記流路に流体試料を導入するために用いられる可撓性部材と、
前記可撓性部材を覆うキャップ部材と、
を備える、
試料セル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線分光法に用いられる試料セルに関し、特に、流体の試料を収容するための試料セルに関する。
【背景技術】
【０００２】
物質の電子状態の解析を行うために、Ｘ線分光法による物質の測定が行われている。Ｘ線分光法には、Ｘ線発光分光法（X-ray Emission Spectroscopy, XES）、Ｘ線吸収分光法（X-ray Absorption Spectroscopy, XAS）等種々の測定法が存在する。
【０００３】
かかるＸ線分光法では、Ｘ線透過窓が設けられた試料セルに試料が収容される。例えば、特許文献１には、液体試料を収容するための試料セルが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−７８２１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
流体の試料が測定対象の場合、試料セルに収容した流体がセルの外部に漏れ出ることがないように、試料セルを密閉する必要がある。また、高圧下で試料を測定する場合もあり、そのような高圧化においても試料が漏れ出ることのないよう十分な密閉性を確保することが望まれる。
【０００６】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、従来に比して密閉性を向上させた試料セルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するために、本発明の一の態様の試料セルは、流体試料を収容する試料セルであって、光源から照射された放射光を透過させる窓材と、前記窓材を保持し、前記窓材に通じる流路が設けられた基部と、前記流路の端部に取り付けられ、前記流路に流体試料を導入するために用いられる可撓性部材と、前記可撓性部材を覆うキャップ部材と、を備える。
【０００８】
上記態様において、前記キャップ部材は、前記可撓性部材に設けられる流体試料導入用の孔を塞ぐための突出部を具備していてもよい。
【０００９】
上記態様において、前記可撓性部材は、試料導入用のシリンジに設けられた針管が穿刺されることにより、前記孔が設けられるように構成されていてもよい。
【００１０】
上記態様において、前記可撓性部材は、試料導入用のシリンジに設けられた針管を挿入するための前記孔が設けられていてもよい。
【００１１】
上記態様において、前記キャップ部材は、前記基部と螺合することによって前記可撓性部材を覆うように構成されていてもよい。
【００１２】
上記態様において、前記基部は、前記窓材を保持する本体部と、前記本体部から突出し、前記可撓性部材を取付可能な突出部とを具備し、前記キャップ部材は、前記突出部に螺合可能に構成されていてもよい。
【００１３】
上記態様において、前記基部は、前記窓材を着脱可能に構成されていてもよい。
【００１４】
上記態様において、前記基部は、スーパーエンジニアリングプラスチック製であってもよい。
【００１５】
上記態様において、前記基部は、ポリエーテルエーテルケトン製であってもよい。
【００１６】
また、本発明の他の態様の試料セルは、流体試料を収容する試料セルであって、光源から照射された放射光を透過させる窓材を保持可能であり、保持された前記窓材に通じる流路が設けられた基部と、前記流路の端部に取り付けられ、前記流路に流体試料を導入するために用いられる可撓性部材と、前記可撓性部材を覆うキャップ部材と、を備える。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、従来に比して試料セルの密閉性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施の形態１に係る試料セルの構成を示す正面図。
【図２】実施の形態１に係る試料セルの構成を示す平面断面図。
【図３】実施の形態１に係る試料セルの構成を示す側面図。
【図４】実施の形態２に係る試料セルの構成を示す正面図。
【図５】実施の形態２に係る試料セルの構成を示す平面断面図。
【図６】実施の形態２に係る試料セルの構成を示す背面図。
【図７】図５において示したＡ部の部分拡大図。
【図８】実施の形態３に係る試料セルの構成を示す正面図。
【図９】実施の形態３に係る試料セルの構成を示す平面断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
（実施の形態１）
図１乃至図３のそれぞれは、本実施の形態に係る試料セルの構成を示す正面図、平面断面図、及び側面図である。
【００２１】
本実施の形態に係る試料セル１００は、Ｘ線発光分光法に用いられる。試料セル１００は、Ｘ線を透過するＸ線フィルタ１０を保持する基部１１０を備えている。基部１１０は、本体部１２０と、押さえ部材１３０と、継ぎ手部材１４０，１５０とを具備している。
【００２２】
本体部１２０は、ポリエーテルエーテルケトン製の直方体形状の部材である。本体部１２０の正面中央部分には、試料を貯留するための正面視において実質的に四角形をなす凹部が設けられている。この凹部の縁部には、貯留された試料の漏れを防止するために、可撓性を有する合成樹脂製のパッキン２０が取り付けられている。また、凹部の正面側には、パッキン２０と接するように、実質的に四角形をなす板状のＸ線フィルタ１０が配置される。このようにしてＸ線フィルタ１０が本体部１２０の正面側に配置されることで、Ｘ線フィルタ１０と本体部１２０の凹部とによって囲まれた領域５０が形成される。かかる領域５０に試料が収容される。
【００２３】
Ｘ線フィルタ１０は、シリコーン製の板状のフレーム１０ｂと、フレーム１０ｂの中央に設けられたＳｉＮ、Ａｕ、Ｃｒからなる多層膜の窓部１０ａとを具備している。窓部１０ａはＸ線の透過性を有しており、フレーム１０ｂはＸ線の透過性を有していない。つまり、光源から照射されたＸ線は窓部１０ａのみによって透過されるようになっている。なお、窓部１０ａは例えば１５０ｎｍ程度の厚みのものを採用することができる。このような薄い窓部１０ａを用いた場合、軟Ｘ線領域の測定等を良好に行うことが可能になる。
【００２４】
本体部１２０の正面側には、押さえ部材１３０が配置されている。押さえ部材１３０は、ポリエーテルエーテルケトン製の部材であり、正面視において四角形の板状をなしている。押さえ部材１３０は、本体部１２０の正面に配置されたＸ線フィルタ１０の正面側に取り付けられる。つまり、Ｘ線フィルタ１０は、本体部１２０と押さえ部材１３０とで挟まれて固定される。
【００２５】
押さえ部材１３０の正面中央部分には、四角形の開口１３１が設けられており、この開口１３１からＸ線フィルタ１０が露出している。押さえ部材１３０の正面側の開口１３１の周囲には環状のテーパ部１３２が設けられており、開口１３１に近づくにしたがって、後方へ下がるように傾斜している。また、押さえ部材１３０の正面側の開口１３１の上方部分、右方部分、左方部分、下方部分のそれぞれには、周囲よりも後方に下がった段部１３３，１３４，１３５，１３６が設けられている。段部１３３は、開口１３１の長辺（即ち、上辺及び下辺）よりも幅が小さい正面視四角形をなしており、押さえ部材１３０の上端から開口１３１の上方のテーパ部１３２の途中部分までの範囲にわたって設けられている。段部１３６は、段部１３３と同一の幅を有する正面視四角形をなしており、押さえ部材１３０の下端から開口１３１の下方のテーパ部１３２の途中部分までの範囲にわたって設けられている。段部１３４は、開口１３１の短辺（即ち、右辺及び左辺）よりも高さが小さい正面視四角形をなしており、テーパ部１３２の右端よりも右方の位置から、開口１３１の右方のテーパ部１３２の途中部分までの範囲にわたって設けられている。段部１３５は、段部１３４と同一の高さを有する正面視四角形をなしており、テーパ部１３２の左端よりも左方の位置から、開口１３１の左方のテーパ部１３２の途中部分までの範囲にわたって設けられている。
【００２６】
かかる押さえ部材１３０は、４つのボルト１３７，１３７，…によって本体部１２０に固定されている。これにより、Ｘ線フィルタ１０が押さえ部材１３０と本体部１２０との間に挟まった状態で固定されている。ボルト１３７，１３７，…は、ポリエーテルエーテルケトンによって構成されている。このように構成することで、Ｘ線フィルタ１０を基部１１０に対して着脱することが可能である。このため、Ｘ線フィルタ１０を取り換えることで、基部１１０を繰り返し使用することができ、試料測定にかかるコストを抑制することが可能となる。
【００２７】
継ぎ手部材１４０は、本体部１２０の右方に突出するように、本体部１２０の右端に取り付けられている。また、継ぎ手部材１５０は、本体部１２０の左方に突出するように、本体部１２０の左端に取り付けられている。継ぎ手部材１４０，１５０のそれぞれは、ポリエーテルエーテルケトン製の部材である。
【００２８】
継ぎ手部材１４０と１５０とは、同一の形状をなしている。継ぎ手部材１４０，１５０には、本体部１２０に接続するための雄螺子部１４１，１５１が設けられている。また、継ぎ手部材１４０，１５０には、雄螺子部１４１，１５１に連なるように、側面視において正六角形形状の六角部１４２，１５２が設けられている。本体部１２０の右端及び左端のそれぞれには、雌螺子部１２３及び１２４が設けられており、六角部１４２，１５２にレンチ又はスパナを係合させて、雌螺子部１２３に継ぎ手部材１４０の雄螺子部１４１を螺合させ、雌螺子部１２４に継ぎ手部材１５０の雄螺子部１５１を螺合させることによって、継ぎ手部材１４０，１５０が本体部１２０に取り付けられる。
【００２９】
継ぎ手部材１４０，１５０の雄螺子部１４１，１５１の反対側の端部には、雄螺子部１４４，１５４が設けられている。また、継ぎ手部材１４０，１５０の雄螺子部１４４，１５４側の端面には円形の凹部が設けられており、当該凹部には円柱形の可撓性部材１６０，１７０が嵌合されている。また、継ぎ手部材１４０，１５０の前記可撓性部材１６０，１７０が嵌入されている端部には、キャップ部材１８０，１９０が取り付けられている。
【００３０】
可撓性部材１６０，１７０はフッ素樹脂によって構成されており、その側面視における中央部分に貫通孔である流路１６１，１７１が設けられている。また、継ぎ手部材１４０，１５０には、側面視における中央位置に長手方向に貫通する孔である流路１４３，１５３が設けられている。本体部１２０には、雌螺子部１２３から連なる孔である流路１２１が設けられており、この流路１２１が領域５０に続いている。同様に、本体部１２０の雌螺子部１２４からは流路１２２が設けられており、この流路１２２が領域５０に続いている。即ち、可撓性部材１６０の流路１６１、継ぎ手部材１４０の流路１４３、本体部１２０の流路１２１が領域５０に連通しており、可撓性部材１７０の流路１７１、継ぎ手部材１５０の流路１５３、本体部１２０の流路１２２も領域５０に連通している。
【００３１】
また、キャップ部材１８０，１９０は、一端が閉塞された円筒形状をなしており、その内底部の中央に円錐形の突出部１８１，１９１が設けられている。キャップ部材１８０，１９０の内周面には雌螺子部１８２，１９２が設けられている。キャップ部材１８０の雌螺子部１８２が継ぎ手部材１４０の雄螺子部１４４に螺合され、これによって可撓性部材１６０が嵌入された継ぎ手部材１４０の端部が密閉される。また、このときキャップ部材１８０の突出部１８１が可撓性部材１６０の流路１６１の端部を閉塞する。同様に、キャップ部材１９０の雌螺子部１９２が継ぎ手部材１５０の雄螺子部１５４に螺合されて継ぎ手部材１５０の端部が密閉され、キャップ部材１９０の突出部１９１によって可撓性部材１７０の流路１７１の端部が閉塞される。
【００３２】
試料セル１００を使用する際には、キャップ部材１８０，１９０の何れか一方又は両方が継ぎ手部材１４０，１５０から取り外された状態で、可撓性部材１６０又は１７０の流路１６１又は１７１から試料を注入する。ここでは、可撓性部材１６０の流路１６１から試料を注入する場合について説明する。ユーザは、試料が収容されたシリンジ（図示せず）の針管を可撓性部材１６０の流路１６１に挿入し、試料を流路１６１に注入する。これにより、試料は流路１６１，１４３，１２１を通流して領域５０に充填される。このようにして試料が領域５０に充填されると、ユーザはキャップ部材１８０を継ぎ手部材１４０の端部に螺合させ、継ぎ手部材１４０の端部を密閉する。これにより、十分な密閉性を確保することができる。また、上述したようにキャップ部材１８０の突出部１８１が流路１６１の端部を閉塞することによって、より一層密閉性が向上する。これにより、試料セル１００から試料が漏出することが防止される。
【００３３】
上記のようにして試料が試料セル１００に収容されると、試料セル１００は真空チャンバ内に設置される。真空チャンバ内に設置された試料セル１００からは、試料が漏出しやすい状態となるが、上記のような構成によって、試料セル１００からの試料の漏出は防止される。真空チャンバ内に配置された試料セル１００に放射光（Ｘ線）が照射され、Ｘ線発光分光法による試料の測定が行われる。
【００３４】
本実施の形態においては、基部１００を含む各部材をポリエーテルエーテルケトン製としている。ポリエーテルエーテルケトンの優れた特性のうちの一つとして、耐有機溶剤性が高いことが挙げられる。このように耐有機溶剤性の高い材質を用いることによって、例えば有機溶媒に溶かした金属錯体等の軟Ｘ線スペクトルの測定が可能になる。
【００３５】
（実施の形態２）
図４乃至図６のそれぞれは、本実施の形態に係る試料セルの構成を示す正面図、平面断面図、及び背面図である。
【００３６】
本実施の形態に係る試料セル２００は、Ｘ線吸収分光法、特にＸ線吸収微細構造解析（X-ray absorption fine structure、ＸＡＦＳ）に用いられる。試料セル２００は、Ｘ線を透過するＸ線フィルタ１１，１２を保持する基部２１０を備えている。基部２１０は、本体部２２０と、押さえ部材２３０，２４０と、継ぎ手部材１４０，１５０とを具備している。
【００３７】
本体部２２０は、ポリエーテルエーテルケトン製の正面視四角環状の部材である。本体部２２０の正面中央部分には、実質的に四角形の開口が設けられており、この部分に試料が貯留される。この開口部の縁部には、貯留された試料の漏れを防止するために、可撓性を有する合成樹脂製のパッキン２０，２０が取り付けられている。開口部の正面側には、一方（正面側）のパッキン２０と接するように、実質的に四角形をなす板状のＸ線フィルタ１１が配置される。また、開口部の背面側には、他方（背面側）のパッキン２０と接するように、Ｘ線フィルタ１１と同一形状のＸ線フィルタ１２が配置される。このようにしてＸ線フィルタ１１，１２の間はパッキン２０，２０が挟まれることによって空間が形成されており、この空間が試料を収容するための領域５１とされる。
【００３８】
図７は、図５において示したＡ部の部分拡大図である。図７に示すように、本体部２２０の開口部の内側に向けてフランジ部２２５が突出している。フランジ部２２５は前記開口部を縁取る正面視四角環状の部分であり、本体部２２０の前後方向中央部から板状に突設されている。２つのパッキン２０，２０は、フランジ部２２５の両面それぞれに取り付けられている。
【００３９】
図５に示すように、本体部２２０の右端及び左端のそれぞれには、継ぎ手部材１４０及び１５０を取り付けるための雌螺子部２２３及び２２４が設けられている。雌螺子部２２３，２２４から本体部２２０の内側開口に向かって貫通孔である流路２２１，２２２が延設されている。図７に示すように、流路２２１（２２２）は、フランジ部２２５を貫通して開口部に至っている。
【００４０】
Ｘ線フィルタ１１，１２は、シリコーン製の板状のフレーム１１ｂ，１２ｂと、フレーム１１ｂ，１２ｂの中央に設けられたＳｉＮ、Ａｕ、Ｃｒからなる多層膜の窓部１１ａ，１２ａとを具備している。窓部１１ａ，１２ａはＸ線の透過性を有しており、フレーム１１ｂ，１２ｂはＸ線の透過性を有していない。つまり、光源から照射されたＸ線は窓部１１ａ，１２ａのみによって透過されるようになっている。
【００４１】
本体部２２０の正面側には、押さえ部材２３０が配置されており、本体部２２０の背面側には、押さえ部材２４０が配置されている。押さえ部材２３０，２４０は、ポリエーテルエーテルケトン製の部材である。押さえ部材２３０は、正面視において四角環状をなしており、本体部２２０の正面全体を覆うように本体部２２０に取り付けられる。また、押さえ部材２３０の開口の周囲は、一方向（後方）に向かって突出しており、本体部２２０の正面側からフランジ部２２５の近傍に至るまでの範囲にわたって本体部２２０の内周面を覆っている。押さえ部材２４０は、押さえ部材２３０と前後の向きが反対であるが同一形状をなしており、押さえ部材２３０と同様にして本体部２２０の背面に取り付けられる。また、Ｘ線フィルタ１１は、押さえ部材２３０の後方に突出した四角環状部の後端面に接触するように配置されており、Ｘ線フィルタ１２は、押さえ部材２４０の前方に突出した四角環状部の前端面に接触するように配置されている。つまり、Ｘ線フィルタ１１，１２は、押さえ部材２３０，２４０によって挟まれて固定される。
【００４２】
上述したように押さえ部材２３０の正面中央には実質的に四角形の開口２３１が設けられており、この開口２３１からＸ線フィルタ１１が露出している。同様に、押さえ部材２４０の正面中央には実質的に四角形の開口２４１が設けられており、この開口２４１からＸ線フィルタ１２が露出している。押さえ部材２３０の正面側の開口２３１の周囲には環状のテーパ部２３２が設けられており、開口２３１に近づくにしたがって、後方へ下がるように傾斜している。同様に、押さえ部材２４０の背面側の開口２４１の周囲には環状のテーパ部２４２が設けられており、開口２４１に近づくにしたがって、前方へ向かって傾斜している。
【００４３】
押さえ部材２３０，２４０及び本体部２２０は、４つのボルト２３７，２３７，…によって互いに固定されている。これにより、Ｘ線フィルタ１１，１２が押さえ部材２３０，２４０の間に挟まった状態で固定されている。ボルト２３７，２３７，…は、ポリエーテルエーテルケトンによって構成されている。このように構成することで、Ｘ線フィルタ１１，１２を基部２１０に対して着脱することが可能である。このため、Ｘ線フィルタ１１，１２を取り換えることで、基部２１０を繰り返し使用することができ、試料測定にかかるコストを抑制することが可能となる。
【００４４】
継ぎ手部材１４０は、本体部２２０の右方に突出するように、本体部２２０の右端に取り付けられている。また、継ぎ手部材１５０は、本体部２２０の左方に突出するように、本体部２２０の左端に取り付けられている。継ぎ手部材１４０，１５０、可撓性部材１６０，１７０、及びキャップ部材１８０，１９０の構成は、実施の形態１において説明した継ぎ手部材１４０，１５０、可撓性部材１６０，１７０、及びキャップ部材１８０，１９０の構成と同様であるので、同一構成要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
【００４５】
試料セル２００を使用する際には、キャップ部材１８０，１９０の何れか一方又は両方が継ぎ手部材１４０，１５０から取り外された状態で、可撓性部材１６０又は１７０の流路１６１又は１７１から試料を注入する。ここでは、可撓性部材１６０の流路１６１から試料を注入する場合について説明する。ユーザは、試料が収容されたシリンジ（図示せず）の針管を可撓性部材１６０の流路１６１に挿入し、試料を流路１６１に注入する。これにより、試料は流路１６１，１４３，２２１を通流して領域５１に充填される。このようにして試料が領域５１に充填されると、ユーザはキャップ部材１８０を継ぎ手部材１４０の端部に螺合させ、継ぎ手部材１４０の端部を密閉する。これにより、十分な密閉性を確保することができる。また、上述したようにキャップ部材１８０の突出部１８１が流路１６１の端部を閉塞することによって、より一層密閉性が向上する。これにより、試料セル２００から試料が漏出することが防止される。
【００４６】
上記のようにして試料が試料セル２００に収容されると、試料セル２００は真空チャンバ内に設置される。真空チャンバ内に設置された試料セル２００からは、試料が漏出しやすい状態となるが、上記のような構成によって、試料セル２００からの試料の漏出は防止される。真空チャンバ内に配置された試料セル２００に放射光（Ｘ線）が照射され、Ｘ線吸収微細構造（X-ray Absorption Fine Structure, XAFS）解析による試料の測定が行われる。
【００４７】
（実施の形態３）
図８及び図９のそれぞれは、本実施の形態に係る試料セルの構成を示す正面図及び平面断面図である。
【００４８】
本実施の形態に係る試料セル３００は、Ｘ線吸収分光法、特にＸ線吸収微細構造解析に用いられる。試料セル３００は、Ｘ線を透過するＸ線フィルタ１３，１４を保持する基部３１０を備えている。基部３１０は、本体部３２０と、押さえ部材３３０，３６０と、継ぎ手部材３４０，３５０とを具備している。
【００４９】
本体部３２０は、ポリエーテルエーテルケトン製の正面視四角環状の部材である。本体部３２０の正面中央部分には、実質的に四角形の開口が設けられており、この部分に試料が貯留される。この開口部の縁部には、貯留された試料の漏れを防止するために、可撓性を有する合成樹脂製のパッキン２０，２０が取り付けられている。開口部の正面側には、一方（正面側）のパッキン２０と接するように、実質的に四角形をなす板状のＸ線フィルタ１３が配置される。また、開口部の背面側には、他方（背面側）のパッキン２０と接するように、Ｘ線フィルタ１３と同一形状のＸ線フィルタ１４が配置される。このようにしてＸ線フィルタ１３，１４の間はパッキン２０，２０が挟まれることによって空間が形成されており、この空間が試料を収容するための領域５２とされる。
【００５０】
本体部３２０の開口部の内側に向けてフランジ部３２５が突出している。フランジ部３２５は前記開口部を縁取る正面視四角環状の部分であり、本体部３２０の前後方向中央部から板状に突設されている。２つのパッキン２０，２０は、フランジ部３２５の両面それぞれに取り付けられている。
【００５１】
本体部３２０の右側背面及び左側背面のそれぞれには、継ぎ手部材３４０及び３５０を取り付けるための雌螺子部３２３及び３２４が設けられている。雌螺子部３２３，３２４の先端から本体部３２０の内側開口に向かって流路３２１，３２２が延設されている。流路３２１（３２２）は、フランジ部３２５を貫通して開口部に至っている。
【００５２】
Ｘ線フィルタ１３，１４は、シリコーン製の板状のフレーム１３ｂ，１４ｂと、フレーム１３ｂ，１４ｂの中央に設けられたＳｉＮ、Ａｕ、Ｃｒからなる多層膜の窓部１３ａ，１４ａとを具備している。窓部１３ａ，１４ａはＸ線の透過性を有しており、フレーム１３ｂ，１４ｂはＸ線の透過性を有していない。つまり、光源から照射されたＸ線は窓部１３ａ，１４ａのみによって透過されるようになっている。
【００５３】
本体部３２０の正面側には、押さえ部材３３０が配置されており、本体部３２０の背面側には、押さえ部材３６０が配置されている。押さえ部材３３０，３６０は、ポリエーテルエーテルケトン製の部材である。押さえ部材３３０は、正面視において四角環状をなしており、本体部３２０の正面全体を覆うように本体部３２０に取り付けられる。また、押さえ部材３３０の開口の周囲は、一方向（後方）に向かって突出しており、本体部３２０の正面側からフランジ部３２５の近傍に至るまでの範囲にわたって本体部３２０の内周面を覆っている。押さえ部材３６０は、押さえ部材３３０と前後の向きが反対であるが同一形状をなしており、押さえ部材３３０と同様にして本体部３２０の背面に取り付けられる。また、Ｘ線フィルタ１３は、押さえ部材３３０の後方に突出した四角環状部の後端面に接触するように配置されており、Ｘ線フィルタ１４は、押さえ部材３６０の前方に突出した四角環状部の前端面に接触するように配置されている。つまり、Ｘ線フィルタ１３，１４は、押さえ部材３３０，３６０によって挟まれて固定される。
【００５４】
上述したように押さえ部材３３０の正面中央には実質的に四角形の開口３３１が設けられており、この開口３３１からＸ線フィルタ１３が露出している。同様に、押さえ部材３６０の正面中央には実質的に四角形の開口３６１が設けられており、この開口３６１からＸ線フィルタ１４が露出している。押さえ部材３３０の正面側の開口３３１の周囲には環状のテーパ部３３２が設けられており、開口３３１に近づくにしたがって、後方へ下がるように傾斜している。同様に、押さえ部材３６０の背面側の開口３６１の周囲には環状のテーパ部３６２が設けられており、開口３６１に近づくにしたがって、前方へ向かって傾斜している。
【００５５】
また、押さえ部材３３０の正面側の開口３３１の上方部分、右方部分、左方部分、下方部分のそれぞれには、周囲よりも後方に下がった段部３３３，３３４，３３５，３３６が設けられている。段部３３３は、開口３３１の長辺（即ち、上辺及び下辺）よりも幅が小さい正面視四角形をなしており、押さえ部材３３０の上端から開口３３１の上方のテーパ部３３２の途中部分までの範囲にわたって設けられている。段部３３６は、段部３３３と同一の幅を有する正面視四角形をなしており、押さえ部材３３０の下端から開口３３１の下方のテーパ部３３２の途中部分までの範囲にわたって設けられている。段部３３４は、開口３３１の短辺（即ち、右辺及び左辺）よりも高さが小さい正面視四角形をなしており、テーパ部３３２の右端よりも右方の位置から、開口３３１の右方のテーパ部３３２の途中部分までの範囲にわたって設けられている。段部３３５は、段部３３４と同一の高さを有する正面視四角形をなしており、テーパ部３３２の左端よりも左方の位置から、開口３３１の左方のテーパ部３３２の途中部分までの範囲にわたって設けられている。押さえ部材３６０にも同様にして４つの段部が設けられている。
【００５６】
押さえ部材３３０，３６０及び本体部３２０は、４つのボルト３３７，３３７，…によって互いに固定されている。これにより、Ｘ線フィルタ１３，１４が押さえ部材３３０，３６０の間に挟まった状態で固定されている。ボルト３３７，３３７，…は、ポリエーテルエーテルケトンによって構成されている。このように構成することで、Ｘ線フィルタ１３，１４を基部３１０に対して着脱することが可能である。このため、Ｘ線フィルタ１３，１４を取り換えることで、基部３１０を繰り返し使用することができ、試料測定にかかるコストを抑制することが可能となる。
【００５７】
継ぎ手部材３４０は、本体部３２０の後方に突出するように、本体部３２０の右側背面に取り付けられている。また、継ぎ手部材３５０は、本体部３２０の後方に突出するように、本体部３２０の左側背面に取り付けられている。継ぎ手部材３４０，３５０のそれぞれは、ポリエーテルエーテルケトン製の部材である。
【００５８】
継ぎ手部材３４０と３５０とは、同一の形状をなしている。継ぎ手部材３４０，３５０には、本体部３２０に接続するための雄螺子部３４１，３５１が設けられている。また、継ぎ手部材３４０，３５０には、雄螺子部３４１，３５１に連なるように、正面視において正六角形形状の六角部３４２，３５２が設けられている。六角部３４２，３５２にレンチ又はスパナを係合させて、本体部３２０の右側背面の雌螺子部３２３に継ぎ手部材３４０の雄螺子部３４１を螺合させ、本体部３２０の左側背面の雌螺子部３２４に継ぎ手部材３５０の雄螺子部３５１を螺合させることによって、継ぎ手部材３４０，３５０が本体部３２０に取り付けられる。雄螺子部３４１，３５１の先端は、実質的に円錐形に構成されており、継ぎ手部材３４０，３５０が本体部３２０に取り付けられたときに、上記の円錐形の先端部分が雌螺子部３２３，３２４の先端の円錐面と密着する。
【００５９】
継ぎ手部材３４０，３５０の雄螺子部３４１，３５１の反対側の端部には、雄螺子部３４４，３５４が設けられている。また、継ぎ手部材３４０，３５０の雄螺子部３４４，３５４側の端面には円形の凹部が設けられており、当該凹部には円柱形の可撓性部材１６０，１７０が嵌合されている。また、継ぎ手部材３４０，３５０の前記可撓性部材１６０，１７０が嵌入されている端部には、キャップ部材１８０，１９０が取り付けられている。
【００６０】
なお、可撓性部材１６０，１７０、及びキャップ部材１８０，１９０の構成は、実施の形態１において説明した可撓性部材１６０，１７０、及びキャップ部材１８０，１９０の構成と同様であるので、同一構成要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
【００６１】
また、継ぎ手部材３４０，３５０には、正面視における中央位置に長手方向に貫通する孔である流路３４３，３５３が設けられている。上記の如き構成により、可撓性部材１６０の流路１６１、継ぎ手部材３４０の流路３４３、本体部３２０の流路３２１からなる一本の流路が領域５２に連通しており、可撓性部材１７０の流路１７１、継ぎ手部材３５０の流路３５３、本体部３２０の流路３２２からなる一本の流路も領域５２に連通している。
【００６２】
試料セル３００を使用する際には、キャップ部材１８０，１９０の何れか一方又は両方が継ぎ手部材３４０，３５０から取り外された状態で、可撓性部材１６０又は１７０の流路１６１又は１７１から試料を注入する。ここでは、可撓性部材１６０の流路１６１から試料を注入する場合について説明する。ユーザは、試料が収容されたシリンジ（図示せず）の針管を可撓性部材１６０の流路１６１に挿入し、試料を流路１６１に注入する。これにより、試料は流路１６１，３４３，３２１を通流して領域５２に充填される。このようにして試料が領域５２に充填されると、ユーザはキャップ部材１８０を継ぎ手部材３４０の端部に螺合させ、継ぎ手部材３４０の端部を密閉する。また、上述したようにキャップ部材１８０の突出部１８１が流路１６１の端部を閉塞し、より一層密閉性が向上する。これにより、試料セル３００から試料が漏出することが防止される。
【００６３】
上記のようにして試料が試料セル３００に収容されると、試料セル３００は真空チャンバ内に設置される。真空チャンバ内に設置された試料セル３００からは、試料が漏出しやすい状態となるが、上記のような構成によって、試料セル３００からの試料の漏出は防止される。真空チャンバ内に配置された試料セル３００に放射光（Ｘ線）が照射され、Ｘ線吸収微細構造解析による試料の測定が行われる。
【００６４】
（その他の実施の形態）
なお、上述した実施の形態１乃至３においては、予め可撓性部材に設けられた流路を、キャップ部材に設けられた突出部によって閉塞する構成について述べたが、これに限定されるものではない。予め流路が設けられていない可撓性部材に、試料を導入するためのシリンジの針管を穿刺することによって可撓性部材に孔（流路）を設け、当該孔をキャップ部材の突出部によって閉塞するようにしてもよい。
【００６５】
また、上述した実施の形態１乃至３においては、可撓性部材をフッ素樹脂によって構成することについて述べたが、これに限定されるものではない。シリコーン樹脂以外の可撓性を有する材料、例えば、シリコーンゴム、アクリルゴム等の合成ゴムによって可撓性部材を構成することも可能である。
【００６６】
また、上述した実施の形態１乃至３においては、キャップ部材が継ぎ手部材と螺合することにより、継ぎ手部材の端部が封止される構成について述べたが、これに限定されるものではない。例えば、継ぎ手部材とキャップ部材との間にＯリングを介在させて、継ぎ手部材の先端とキャップ部材とが嵌合するように構成することで、継ぎ手部材の先端を密閉する構成とすることも可能である。
【００６７】
また、上述した実施の形態１乃至３においては、本体部と押さえ部材と継ぎ手部材とによって基部を構成することについて述べたが、これに限定されるものではない。例えば、本体部と継ぎ手部材とを別部材とせず、これらを一体成形によって形成することも可能である。また、本体部と押さえ部材とを別部材とせず、これらを一体成形によって形成することも可能であるし、本体部、押さえ部材、及び継ぎ手部材を全て別部材とせず、これらを一体成形によって１つの部材として形成することも可能である。
【００６８】
また、上述した実施の形態１乃至３においては、基部にＸ線フィルタを着脱可能に構成したが、これに限定されるものではない。基部にＸ線フィルタを固着することも可能である。
【００６９】
また、上述した実施の形態１乃至３においては、基部をポリエーテルエーテルケトン製とした構成について述べたが、これに限定されるものではない。基部を他の材料によって構成することも可能である。特に、耐油性、耐有機溶剤性、耐熱性、及び強度の観点から、スーパーエンジニアリングプラスチックによって構成することが好ましい。なお「スーパーエンジニアリングプラスチック」とは、耐熱温度が１５０℃以上、強度が４９ＭＰａ以上、曲げ弾性率が２．４ＧＰａ以上の合成樹脂製をいい、非晶ポリアリレート、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンスルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、フッ素樹脂、液晶ポリマー等が含まれる。かかるスーパーエンジニアリングプラスチックは切削性がよいため、切削加工によって高精度に基部を加工成形することが可能である。したがって、特にＸ線フィルタを着脱可能な構成とする場合には、真空又は高圧な環境下においてＸ線フィルタと基部との間から試料が漏出しないようにする必要があることから高い加工精度が要求されるため、スーパーエンジニアリングプラスチックによって基部を構成することが好適である。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明の試料セルは、例えばＳＰｒｉｎｇ−８等の大型放射光施設が光源として利用される場合でのＸ線分光法に用いられる試料セル等として有用である。
【符号の説明】
【００７１】
１０，１１，１２，１３，１４  Ｘ線フィルタ
１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａ，１４ａ  窓部
１０ｂ，１１ｂ，１２ｂ，１３ｂ，１４ｂ  フレーム
５０，５１，５２  領域
１００，２００，３００  試料セル
１１０，２１０，３１０  基部
１２０，２２０，３２０  本体部
１２１，２２１，３２１  流路
１２３，２２３，３２３  雌螺子部
１３０，２３０，２４０，３３０，３６０  押さえ部材
１３１，２３１，２４１，３３１，３６１  開口
１３７，２３７，３３７  ボルト
１４０，３４０  継ぎ手部材
１４１，３４１  雄螺子部
１４３，３４３  流路
１４４，３４４  雄螺子部
１６０  可撓性部材
１６１  流路
１８０  キャップ部材
１８１  突出部
１８２  雌螺子部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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