(57)【要約】【課題】ダクトへの余分な空気の流入を最小限にすることができるダクト収容ボックスを提供する。【解決手段】ダクト収容ボックス１０Ａは、ガラリ１３と頂底壁１８，１９や両側壁２０，２１、後側壁２２から作られたチャンバー１４とを備え、空気搬送ダクト１１の延出端部２３をその内部空間１４に収容している。ダクト収容ボックス１０Ａでは、空気搬送ダクト１１の延出端部２３がチャンバー１４の後側壁２２に形成された挿通孔２４から内部空間１４に挿通されてガラリ１３に向かって延びているとともに、空気搬送ダクト１１の延出端部２３にその軸線に対して９０〜１８０度の範囲で屈曲する屈曲ダクト２６が取り付けられている。屈曲ダクト２６は、延出端部２３の開口端２５に接続された第１開口端２７と、第１開口端２７の反対側に位置して空気が出入する第２開口端２８とを有する。【選択図】図１
2014029262.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
既設建物の内外を隔てる壁の開口に取り付けられたガラリと、前記ガラリにつながって前記壁の内側に施設されたチャンバーとを備え、所定の室につながる少なくとも１本の空気搬送ダクトの延出端部をその内部空間に収容するダクト収容ボックスにおいて、
前記チャンバーが、互いに対向する頂壁および底壁と、互いに対向する両側壁と、それら両側壁の間に位置する後側壁とから作られ、前記空気搬送ダクトの延出端部が、前記チャンバーの後側壁に形成された挿通孔から前記ダクト収容ボックスの内部空間に挿通されて前記ガラリに向かって延び、
前記空気搬送ダクトの延出端部には、前記延出端部の開口端から出入する空気の流れを前記ガラリに対向しない方向へ向ける屈曲ダクトが取り付けられ、前記屈曲ダクトが、前記延出端部の軸線に対して９０〜１８０度の範囲で屈曲し、前記延出端部の開口端に接続された第１開口端と、前記第１開口端の反対側に位置して前記空気が出入する第２開口端とを有することを特徴とするダクト収容ボックス。
【請求項２】
前記屈曲ダクトの第２開口端が、前記チャンバーの頂底壁と両側壁と後側壁とのいずれかの壁に向かって開口している請求項１に記載のダクト収容ボックス。
【請求項３】
前記空気搬送ダクトが、前記室に所定量の空気を送り込む給気装置の給気ダクトとして使用され、前記ダクト収容ボックスが、前記給気装置を備え、前記給気装置が、前記給気ダクトを通る空気を前記室に給気する給気ファンと、前記ダクト収容ボックスと前記給気ファンとの間に延びる前記給気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって該給気ダクトを通る空気の量を調節するモータダンパと、前記給気ファンと前記モータダンパとの間に延びる前記給気ダクトに設置されて該給気ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節するコントローラとを含み、前記コントローラが、前記圧力センサから出力された前記給気ダクト内の測定圧力とあらかじめ設定された設定圧力とを比較する給気圧力比較手段と、前記ガラリの外側に吹く風の影響で所定量の空気が前記給気ダクトに流入または該給気ダクトから流出し、それによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲から外れると、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節して前記測定圧力を前記設定圧力の範囲内に戻す給気圧力制御手段とを有する請求項１または請求項２いずれかに記載のダクト収容ボックス。
【請求項４】
前記給気圧力制御手段では、前記風の影響で所定量の空気が前記給気ダクトに流入し、それによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲を超過すると、前記モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度でなければ該旋回羽根の開度を小さくし、前記風の影響で所定量の空気が前記給気ダクトから流出し、それによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲未満になると、前記モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ該旋回羽根の開度を大きくし、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節したことによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根の開度を保持する請求項３に記載のダクト収容ボックス。
【請求項５】
前記モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの該旋回羽根の最小開度が、３〜２５％の範囲にあり、前記給気圧力制御手段では、前記測定圧力が前記設定圧力の範囲を超過したときに、前記モータダンパの旋回羽根の開度が前記最小開度であれば、その開度を保持する請求項４に記載のダクト収容ボックス。
【請求項６】
前記空気搬送ダクトが、前記室から所定量の空気を排気する排気装置の排気ダクトとして使用され、前記ダクト収容ボックスが、前記排気装置を備え、前記排気装置が、前記排気ダクトを通る空気を前記対象室から排気する排気ファンと、前記ダクト収容ボックスと前記排気ファンとの間に延びる前記排気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって該排気ダクトを通る空気の量を調節するモータダンパと、前記室と前記モータダンパとの間に延びる前記排気ダクトに設置されて該排気ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節するコントローラとを備え、前記コントローラが、前記圧力センサから出力された前記排気ダクト内の測定圧力とあらかじめ設定された設定圧力とを比較する排気圧力比較手段と、前記ガラリの外側に吹く風の影響で所定量の空気が前記排気ダクトに流入または該排気ダクトから流出し、それによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲から外れると、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節して前記測定圧力を前記設定圧力の範囲内に戻す排気圧力制御手段とを有する請求項１または請求項２に記載のダクト収容ボックス。
【請求項７】
前記排気圧力制御手段では、前記風の影響で所定量の空気が前記排気ダクトに流入し、それによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲を超過すると、前記モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ該旋回羽根の開度を大きくし、前記風の影響で所定量の空気が前記排気ダクトから流出し、それによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲未満になると、前記モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度でなければ該旋回羽根の開度を小さくし、前記モータダンパの旋回羽根の開度を調節したことによって前記測定圧力が前記設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根の開度を保持する請求項６に記載のダクト収容ボックス。
【請求項８】
前記モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの該旋回羽根の最小開度が、３〜２５％の範囲にあり、前記排気圧力制御手段では、前記測定圧力が前記設定圧力の範囲未満になったときに、前記モータダンパの旋回羽根の開度が前記最小開度であれば、その開度を保持する請求項７に記載のダクト収容ボックス。
【請求項９】
前記設定圧力が、−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にある請求項３ないし請求項８いずれかに記載のダクト収容ボックス。
【請求項１０】
前記モータダンパの旋回羽根の旋回速度が、１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある請求項３ないし請求項９いずれかに記載のダクト収容ボックス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の室から延びる少なくとも１本の空気搬送ダクトの延出端部をその内部空間に収容するダクト収容ボックスに関する。
【背景技術】
【０００２】
既設建物の内外を隔てる壁の開口につながる給排気ダクトと、壁の開口に取り付けられたガラリと、ガラリを覆うように壁の外側に取り付けられたパイプフードとを有し、ガラリが、建物の屋内に向かって下方へ傾斜するとともに、縦方向へ沿って平行かつ所定間隔で並ぶ複数の横長板状部材を有する給排気ダクトの開口部構造がある（特許文献１参照）。この開口部構造は、パイプフードの内側に進入する雨水や気流の通過方向を各横長板状部材によって遮ることができ、雨水の進入を開口部近傍で止めることができる。
【０００３】
また、クリーンルームにつながる給気ダクトに設置されたケーシングと、ケーシングの内部に直列に配置されて空気の圧力を変更可能な複数の給気ファンと、ケーシングの内部に並列に配置されて空気の風量を変更可能な複数の給気ファンと、それら給気ファンの出力を変更してクリーンルームに供給する空気の圧力や風量を調節するコントローラと、コントローラに接続されてクリーンルーム内の圧力を測定する圧力センサと、クリーンルームの空気を外部に排気する排気ダクトとを有する圧力制御ユニットがある（特許文献２参照）。この圧力制御ユニットでは、屋外に位置する空気給気口から給気ダクトに空気（外気）を取り入れ、それら給気ファンによって給気ダクトを通る空気をクリーンルームに送り込み、さらに、クリーンルームから排気ダクトに空気を流入させ、屋外に位置する空気排気口から空気を排気する。コントローラには、クリーンルーム内を陽圧に保持するためのクリーンルームの設定圧力が格納されている。圧力センサは、測定したクリーンルーム内の測定圧力をコントローラに出力する。コントローラは、設定圧力と圧力センサから出力された測定圧力とを比較し、測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、それら給気ファンの出力を変更して空気の圧力や風量を調節し、測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−３３０８４号公報
【特許文献２】特開２００６−３２９４４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記特許文献１に開示の開口部構造では、パイプフードの近傍で強い風が吹くと、その風の影響で余分な空気がガラリを通り、給排気ダクトに流入する場合がある。給排気ダクトに空気が流入すると、給気ダクトから余分な空気が室に給気され、排気すべき空気を排気ダクトから排気することができない場合がある。
【０００６】
前記特許文献２に開示の圧力制御ユニットでは、屋外に位置する空気給気口や空気排気口の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気給気口から給気ダクト内へ余分な空気が一気に流入する場合があるとともに、空気排気口から排気ダクト内へ余分な空気が一気に流入する場合がある。空気給気口から給気ダクトへ流入した空気は給気ファンへ流入し、その圧力（流入量）にもよるが、給気ファンから供給される空気の圧力を押し上げ、設定圧力を大幅に上回る圧力で多量の空気が給気ファンからクリーンルーム内に供給される場合がある。また、空気排気口から排気ダクトへ流入した空気はクリーンルーム内に強制的に流入し、所定量の空気をクリーンルーム外に排気することができない場合がある。
【０００７】
前記特許文献２に開示の圧力制御ユニットでは、給気ダクトを通る空気を一定に保持する手段がないから、空気給気口の外側に吹く風の影響で余分な空気が一気に給気ダクトに流入すると、給気ファンから送り出す空気を一定に保持することができず、給気ファンからクリーンルームに供給する空気の供給過多が生じ、クリーンルーム内の室内気圧を設定圧力に保持することができない。また、この圧力制御ユニットでは、排気ダクトを通る空気を一定に保持する手段がないから、空気排気口の外側に吹く風の影響で余分な空気が排気ダクトを通ってクリーンルーム内に一気に流入すると、給気ファンから給気する空気を一定に保持することができず、給気ファンからクリーンルームに給気する空気の供給減少が生じ、クリーンルーム内の室内気圧を設定圧力に保持することができない。
【０００８】
本発明の目的は、ダクトへの余分な空気の流入を最小限にすることができるダクト収容ボックスを提供することにある。本発明の他の目的は、給気ダクトを介して一定圧かつ一定量の空気を給気することで、室に給気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができるダクト収容ボックスを提供することにある。本発明の他の目的は、排気ダクトを介して一定圧かつ一定量の空気を排気することで、室から排気する空気を一定に保持することができ、室の室内気圧を設定圧力に保持することができるダクト収容ボックスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための本発明の前提は、既設建物の内外を隔てる壁の開口に取り付けられたガラリと、ガラリにつながって壁の内側に施設されたチャンバーとを備え、所定の室につながる少なくとも１本の空気搬送ダクトの延出端部をその内部空間に収容するダクト収容ボックスである。
【００１０】
前記前提における本発明の特徴としては、チャンバーが、互いに対向する頂壁および底壁と、互いに対向する両側壁と、それら両側壁の間に位置する後側壁とから作られ、空気搬送ダクトの延出端部が、チャンバーの後側壁に形成された挿通孔からダクト収容ボックスの内部空間に挿通されてガラリに向かって延び、空気搬送ダクトの延出端部には、延出端部の開口端から出入する空気の流れをガラリに対向しない方向へ向ける屈曲ダクトが取り付けられ、屈曲ダクトが、延出端部の軸線に対して９０〜１８０度の範囲で屈曲し、延出端部の開口端に接続された第１開口端と、第１開口端の反対側に位置して空気が出入する第２開口端とを有することにある。
【００１１】
本発明の一例としては、屈曲ダクトの第２開口端がチャンバーの頂底壁と両側壁と後側壁とのいずれかの壁に向かって開口している。
【００１２】
本発明の他の一例としては、空気搬送ダクトが、室に所定量の空気を送り込む給気装置の給気ダクトとして使用され、給気装置が、給気ダクトを通る空気を室に給気する給気ファンと、ダクト収容ボックスと給気ファンとの間に延びる給気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって給気ダクトを通る空気の量を調節するモータダンパと、給気ファンとモータダンパとの間に延びる給気ダクトに設置されて給気ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、モータダンパの旋回羽根の開度を調節するコントローラとを含み、コントローラが、圧力センサから出力された給気ダクト内の測定圧力とあらかじめ設定された設定圧力とを比較する給気圧力比較手段と、ガラリの外側に吹く風の影響で所定量の空気が給気ダクトに流入または給気ダクトから流出し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、モータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す給気圧力制御手段とを有する。
【００１３】
本発明の他の一例として、給気圧力制御手段では、風の影響で所定量の空気が給気ダクトに流入し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度でなければ旋回羽根の開度を小さくし、風の影響で所定量の空気が給気ダクトから流出し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ旋回羽根の開度を大きくし、モータダンパの旋回羽根の開度を調節したことによって測定圧力が設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根の開度を保持する。
【００１４】
本発明の他の一例としては、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの旋回羽根の最小開度が３〜２５％の範囲にあり、給気圧力制御手段では、測定圧力が設定圧力の範囲を超過したときに、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度であれば、その開度を保持する。
【００１５】
本発明の他の一例としては、空気搬送ダクトが、室から所定量の空気を排気する排気装置の排気ダクトとして使用され、排気装置が、排気ダクトを通る空気を対象室から排気する排気ファンと、ダクト収容ボックスと排気ファンとの間に延びる排気ダクトに設置されて旋回羽根の旋回によって排気ダクトを通る空気の量を調節するモータダンパと、室とモータダンパとの間に延びる排気ダクトに設置されて排気ダクトを通る空気の圧力を測定する圧力センサと、モータダンパの旋回羽根の開度を調節するコントローラとを備え、コントローラが、圧力センサから出力された排気ダクト内の測定圧力とあらかじめ設定された設定圧力とを比較する排気圧力比較手段と、ガラリの外側に吹く風の影響で所定量の空気が排気ダクトに流入または排気ダクトから流出し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、モータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す排気圧力制御手段とを有する。
【００１６】
本発明の他の一例として、排気圧力制御手段では、風の影響で所定量の空気が排気ダクトに流入し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ旋回羽根の開度を大きくし、風の影響で所定量の空気が排気ダクトから流出し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度でなければ旋回羽根の開度を小さくし、モータダンパの旋回羽根の開度を調節したことによって測定圧力が設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根の開度を保持する。
【００１７】
本発明の他の一例としては、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの旋回羽根の最小開度が３〜２５％の範囲にあり、排気圧力制御手段では、測定圧力が設定圧力の範囲未満になったときに、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度であれば、その開度を保持する。
【００１８】
本発明の他の一例としては、設定圧力が−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にある。
【００１９】
本発明の他の一例としては、モータダンパの旋回羽根の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係るダクト収容ボックスによれば、空気搬送ダクトの延出端部の開口端から出入する空気の流れをガラリに対向しない方向へ向ける屈曲ダクトがその延出端部に取り付けられ、屈曲ダクトが延出端部の軸線に対して９０〜１８０度の範囲で屈曲しているから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がダクト収容ボックスの内部空間に進入したとしても、その空気が屈曲ダクトに直接進入することはなく、内部空間に進入した空気の空気搬送ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、空気搬送ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がボックスの内部空間から流出したとしても、空気が屈曲ダクトから直接流出することはなく、空気の空気搬送ダクトからの直接の流出を防ぐことができ、空気搬送ダクトから流出する空気を最小限にすることができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が空気搬送ダクトへ一気に流入することはなく、空気が空気搬送ダクトから一気に流出することもないから、空気搬送ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。また、ダクト収容ボックスは、空気搬送ダクトの排気端部がチャンバーに囲まれるから、排気端部がガラリに直接接続される場合と比較し、ガラリの外側に吹く風の影響を受け難く、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気の空気搬送ダクトへの流入を最小限にすることができ、空気の空気搬送ダクトからの流出を最小限にすることができる。
【００２１】
屈曲ダクトの第２開口端がチャンバーの頂底壁と両側壁と後側壁とのいずれかの壁に向かって開口しているダクト収容ボックスは、屈曲ダクトがガラリに対向しない方向へ延出し、屈曲ダクトの第２開口端がガラリに対向しない方向へ開口するから、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気がダクト収容ボックスの内部空間に進入したとしても、その空気が屈曲ダクトの第２開口端に直接進入することはなく、内部空間に進入した空気の空気搬送ダクトへの直接の流入を防ぐことができ、空気搬送ダクトに流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリの外側に吹く風の影響で空気がダクト収容ボックスの内部空間から流出したとしても、空気が屈曲ダクトの第２開口端から直接流出することはなく、空気の空気搬送ダクトからの直接の流出を防ぐことができ、空気搬送ダクトから流出する空気を最小限にすることができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に強い風が吹いたとしても、空気が空気搬送ダクトへ一気に流入することはなく、空気が空気搬送ダクトから一気に流出することもないから、空気搬送ダクトの内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。
【００２２】
空気搬送ダクトが室に所定量の空気を送り込む給気装置の給気ダクトとして使用され、ガラリの外側に吹く風の影響で給気ダクトに余分な空気が流入し、または、給気ダクトから空気が流出しようとすることによって圧力センサから出力された給気ダクト内の測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、コントローラがモータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻すダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、余分な空気の給気ダクトへの流入を防ぐことができるとともに、給気ダクトへの空気の流入減を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、屈曲ダクトおよびモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室に給気することができるから、室に給気する空気を一定に保持することができ、室に給気する空気の給気過少や給気過多を防ぐことができるとともに、室の室内気圧を一定に保持することができる。ダクト収容ボックスは、給気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない安定した空調環境を作ることが可能である。
【００２３】
給気圧力制御手段において、測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度でなければ旋回羽根の開度を小さくし、測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ旋回羽根の開度を大きくし、測定圧力が設定圧力の範囲内に戻ると、そのときのモータダンパの旋回羽根の開度を保持するダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気が給気ダクトに流入して測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくして空気の給気ダクト内への流入を制限し、測定圧力を設定圧力に戻すから、ガラリの外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、屈曲ダクトおよびモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室内に給気することができるとともに、室の室内気圧を一定に保持することができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響で空気が給気ダクトから流出しようとして測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、旋回羽根の開度を大きくして給気ダクト内への空気の流入減を防ぐから、ガラリの外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、屈曲ダクトおよびモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室内に給気することができるとともに、室の室内気圧を一定に保持することができる。また、測定圧力が設定圧力の範囲に戻ると、そのときのモータダンパの旋回羽根の開度を保持するから、屈曲ダクトおよびモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室内に給気することができ、室の室内気圧を一定に保持することができる。ダクト収容ボックスは、給気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない安定した空調環境を作ることが可能である。
【００２４】
モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの旋回羽根の最小開度が３〜２５％の範囲にあり、給気圧力制御手段において、測定圧力が設定圧力の範囲を超過したときに、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度であればその開度を保持するダクト収容ボックスは、旋回羽根の開度が全閉（０％）なると、給気ダクト内への空気の流入が停止し、給気ダクトから室に空気が送られない場合が生じるが、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの羽根の最小開度が３〜２５％に保持されるから、給気ダクトから室への空気の未給気状態が回避され、室の室内気圧の極端な変動を防ぐことができる。
【００２５】
空気搬送ダクトが室から所定量の空気を排気する排気装置の排気ダクトとして使用され、ガラリの外側に吹く風の影響で排気ダクトに余分な空気が流入しようとし、または、排気ダクトから必要以上の空気が流出することによって圧力センサから出力された排気ダクト内の測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、コントローラがモータダンパの旋回羽根の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻すダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、排気ダクトからの空気の流出減を防ぐことができるとともに、空気の排気ダクトからの必要以上の流出を防ぐことができる。ダクト収容ボックスは、モータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室外に排気することができるから、室から排気する空気を一定に保持することができ、室から排気する空気の排気過少や排気過多を防ぐことができるとともに、室の室内気圧を一定に保持することができる。ダクト収容ボックスは、排気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない安定した空調環境を作ることが可能である。
【００２６】
排気圧力制御手段において、測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度が全開でなければ旋回羽根の開度を大きくし、測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度でなければ旋回羽根の開度を小さくし、測定圧力が設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根の開度を保持するダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響で余分な空気が排気ダクトに流入しようとして測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくして室外に排気する空気の量を増加させ、測定圧力を設定圧力に戻すから、ガラリの外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、屈曲ダクトおよびモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室外に排気することができとともに、室の室内気圧を一定に保持することができる。ダクト収容ボックスは、ガラリの外側に吹く風の影響で必要以上の空気が排気ダクトから流出して測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくして室外に排気する空気の量を減少させ、測定圧力を設定圧力に戻すから、ガラリの外側に吹く風の影響をモータダンパによって回避することができ、屈曲ダクトおよびモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室外に排気することができるとともに、室の室内気圧を一定に保持することができる。また、測定圧力が設定圧力の範囲に戻ると、そのときのモータダンパの旋回羽根の開度を保持するから、屈曲ダクトおよびモータダンパを利用して一定圧かつ一定量の空気を室外に排気することができ、室の室内気圧を一定に保持することができる。ダクト収容ボックスは、排気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルームでの使用に特に有効であり、クリーンルームにおいて室内気圧の変動がない安定した空調環境を作ることが可能である。
【００２７】
モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの旋回羽根の最小開度が３〜２５％の範囲にあり、排気圧力制御手段において、測定圧力が設定圧力の範囲未満になったときに、モータダンパの旋回羽根の開度が最小開度であればその開度を保持するダクト収容ボックスは、旋回羽根の開度が全閉（０％）なると、排気ダクト内への空気の流入が停止し、排気ダクトを介して空気を室外に排気することができない場合が生じるが、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくしたときの羽根の最小開度が３〜２５％に保持されるから、室外への空気の未排気状態が回避され、室の室内気圧の極端な変動を防ぐことができる。
【００２８】
設定圧力が−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にあるダクト収容ボックスは、給気ダクトを介して一定圧かつ一定量の空気を安定して室内に流入させるには給気ダクト内が負圧に保持される必要があるが、設定圧力を前記範囲にすることで、給気ダクトに余分な空気が流入したとしても、モータダンパが迅速に作動し、給気ダクト内の空気の圧力が陽圧になることを防ぐことができる。また、排気ダクトを介して一定圧かつ一定量の空気を安定して室外に排気させるには排気ダクト内が陽圧に保持される必要があるが、設定圧力を前記範囲にすることで、ボックスから空気が流出したとしても、モータダンパの旋回羽根が迅速に作動し、排気ダクト内の空気の圧力が負圧になることを防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、給気ダクトを介して一定圧かつ一定量の空気を安定して室に流入させることができるとともに、排気ダクトを介して一定圧かつ一定量の空気を安定して室から流出させることができ、室の室内気圧を一定に保持することができる。
【００２９】
モータダンパの旋回羽根の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるダクト収容ボックスは、旋回羽根の旋回速度を前記範囲にすることで、余分な空気が給気ダクトに流入し、または、空気が給気ダクトから流出しようとしたとしても、モータダンパの旋回羽根が前記旋回速度で瞬時に旋回するから、測定圧力を設定圧力の範囲内に速やかに戻すことができ、給気ダクト内の空気の圧力が陽圧になることを防ぐことができる。また、余分な空気が排気ダクトに流入しようとし、または、必要以上の空気がボックスから流出したとしても、モータダンパの旋回羽根が前記旋回速度で瞬時に旋回するから、測定圧力を設定圧力の範囲内に速やかに戻すことができ、排気ダクト内の空気の圧力が負圧になることを防ぐことができる。このダクト収容ボックスは、一定圧かつ一定量の空気を安定して室に流入させることができるとともに、一定圧かつ一定量の空気を安定して室から流出させることができ、室の室内気圧を一定に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。
【図２】図１のダクト収容ボックスの部分破断正面図。
【図３】図１の３−３線矢視断面図。
【図４】他の一例として示すダクト収容ボックスの斜視図。
【図５】図４のダクト収容ボックスの部分破断正面図。
【図６】図４の６−６線矢視断面図。
【図７】給気装置を含む室圧制御機構の一例を示す構成図。
【図８】給気装置を含む室圧制御機構の構成図。
【図９】一例として示す給気装置の構成図。
【図１０】コントローラが実行する各手段を示すフローチャート。
【図１１】排気装置を含む室圧制御機構の一例を示す構成図。
【図１２】排気装置を含む室圧制御機構の構成図。
【図１３】一例として示す排気装置の構成図。
【図１４】コントローラが実行する各手段を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
一例として示すダクト収容ボックス１０Ａの斜視図である図１等の添付の図面を参照し、本発明に係るダクト収容ボックスの詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、図１のダクト収容ボックス１０Ａの部分破断正面図であり、図３は、図１の３−３線矢視断面図である。図１〜図３では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙで示し（図３を除く）、前後方向を矢印Ｚで示す（図２を除く）。図２では、ガラリ１３の一部を破断して示す。なお、図１〜図３では、ダクト収容ボックス１０Ａに２本の空気搬送ダクト１１が接続されているが、ダクト１１の数を２本に限定するものではなく、２本を超過する数のダクト１１がボックス１０Ａに接続される場合もある。
【００３２】
ダクト収容ボックス１０Ａは、クリーンルーム４０，４１（室）（図７，１１参照）から延びる複数本の給気ダクト４８（図７参照）（空気搬送ダクト１１）を一纏めにした状態で、工場１２（図７，１１参照）（既設建物）の屋外から外気を取り入れ、その外気を給気ダクト４８に供給する。または、クリーンルーム４０，４１から延びる複数本の排気ダクト５６（図１１参照）（空気搬送ダクト１１）を一纏めにした状態で、排気ダクト５６から排気される空気を工場１２の屋外に排出する。以下、ダクト収容ボックス１０Ａの説明では空気搬送ダクト１１の用語を用いる。ダクト収容ボックス１０Ａは、金属製またはプラスチック製のガラリ１３と、ガラリ１３につながる金属製のチャンバー１４とから形成されている。ボックス１０Ａの内部には、所定容積の内部空間１５が画成されている。
【００３３】
ガラリ１３は、工場１２（既設建物）の内外を隔てる壁１６に作られた開口１７に整合させた状態で、その壁１６に取り付けられている。チャンバー１４は、工場１２の壁１６から内側に延出する横方向へ長い５面体である。チャンバー１４は、上下方向へ対向する頂壁１８および底壁１９と、横方向へ対向する両側壁２０，２１と、ガラリ１３に対向してそれら両側壁２０，２１の間に位置する後側壁２２とから形成されている。それら壁１８〜２２は、その平面形状が矩形に成形されている。チャンバー１４では、頂底壁１８，１９と両側壁２０，２１と後側壁２２とが気密に接続されている。チャンバー１４は、頂底壁１８，１９と両側壁２０，２１とのうちの壁１６に当接する部分が壁１６に気密に固定されている。
【００３４】
後側壁２２には、空気搬送ダクト１１の延出端部２３を挿通する挿通孔２４が形成されている。ダクト収容ボックス１０Ａでは、後側壁２２の挿通孔２４に空気搬送ダクト１１の延出端部２３が挿通され、挿通孔２４の周縁にダクト１１の周面が気密に固定されている。空気搬送ダクト１１の延出端部２３は、挿通孔２４からダクト収容ボックス１０Ａの内部空間１５に引き込まれ、ボックス１０Ａの内部空間１５に収容されている。
【００３５】
ダクト収容ボックス１０Ａの内部空間１５では、空気搬送ダクト１１の排気端部２３がガラリ１３に向かって前後方向前方へ直状に延び、開口端２５がガラリ１３に対向し、開口端２５が工場１２の外（屋外）に向かって前後方向前方へ開口している。なお、空気搬送ダクト１１はその断面形状が円形に成型されているが、断面形状を円形に限定するものではなく、四角形等の他の断面形状を有するダクト１１を使用することもできる。
【００３６】
空気搬送ダクト１１の延出端部２３には、ガラリ１３に対向しない方向へ屈曲する屈曲ダクト２６が接続されている。屈曲ダクト２６は、空気搬送ダクト１１の延出端部２３の開口端２５から出入する空気の流れをガラリ１３に対向しない方向へ向ける。屈曲ダクト２６は、空気搬送ダクト１１の延出端部２３の開口端２５に気密に接合された第１開口端２７と、第１開口端２７の反対側に位置して空気が出入する第２開口端２８とを有する。屈曲ダクト２６は、空気搬送ダクト１１の延出端部２３の軸線Ｌ１に対して略９０度で上下方向上方へ屈曲している。屈曲ダクト２６の第２開口端２８は、チャンバー１４の頂壁１８に向かって上下方向上方へ開口している。
【００３７】
なお、屈曲ダクト２６が空気搬送ダクト１１の延出端部２３の軸線Ｌ１に対して略９０度で上下方向下方へ屈曲していてもよい。屈曲ダクト２６が上下方向下方へ屈曲する場合は、第２開口端２８がチャンバー１４の底壁１９に向かって上下方向下方へ開口する。また、屈曲ダクト２６が空気搬送ダクト１１の延出端部２３の軸線Ｌ１に対して略９０度で横方向へ屈曲していてもよい。屈曲ダクト２６が横方向へ屈曲する場合は、第２開口端２８がチャンバー１４の側壁２０，２１に向かって横方向左方または横方向右方へ開口する。
【００３８】
空気搬送ダクト１１が給気ダクト４８の場合、頂壁１８に向かって開口する屈曲ダクト２６の第２開口端２８から空気が給気され、空気が屈曲ダクト２６を通って給気ダクト４８に流入する。また、空気搬送ダクト１１が排気ダクト５６の場合、頂壁１８に向かって開口する屈曲ダクト２６の第２開口端２８から空気が排気され、空気がガラリ１３を通って工場１２の屋外に排気される。
【００３９】
このダクト収容ボックス１０Ａは、屈曲ダクト２６が上下方向上方へ屈曲してガラリ１３に対向しない方向へ延出し、屈曲ダクト２６の第２開口端２８がチャンバー１４の頂壁１８に向かって開口（ガラリ１３に対向しない方向へ開口）するから、図３に矢印Ａ１で示すように、ガラリ１３の外側に吹く風の影響で余分な空気がボックス１０Ａの内部空間１５に進入したとしても、その空気が屈曲ダクト２６の周面に衝突し、空気がダクト２６の第２開口端２８に直接進入することはなく、内部空間１５に進入した空気の空気搬送ダクト１１への直接の流入を防ぐことができ、ダクト１１に流入する空気を最小限にすることができる。
【００４０】
ダクト収容ボックス１０Ａは、図３に矢印Ａ２で示すように、ガラリ１３の外側に吹く風の影響で空気がボックス１０Ａの内部空間１５から流出したとしても、空気が屈曲ダクト２６の第２開口端２８から直接流出することはなく、空気の空気搬送ダクト１１からの直接の流出を防ぐことができ、ダクト１１から流出する空気を最小限にすることができる。ダクト収容ボックス１０Ａは、ガラリ１３の外側に風が吹いたとしても、空気が空気搬送ダクト１１へ一気に流入することはなく、空気がダクト１１から一気に流出することもないから、ダクト１１の内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。
【００４１】
図４は、他の一例として示すダクト収容ボックス１０Ｂの斜視図であり、図５は、図４のダクト収容ボックス１０Ｂの部分破断正面図である。図６は、図４の６−６線矢視断面図である。図４〜図６では、上下方向を矢印Ｘ、横方向を矢印Ｙで示し（図６を除く）、前後方向を矢印Ｚで示す（図５を除く）。図５では、ガラリ１３の一部を破断して示す。図４に示すダクト収容ボックス１０Ｂのうち、空気搬送ダクト１１やガラリ１３、チャンバー１４は図１のボックス１０Ａのそれらと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１の説明を援用することで、それらの説明は省略する。
【００４２】
空気搬送ダクト１１の延出端部２３には、図１のそれと同様に、ガラリ１３に対向しない方向へ屈曲する屈曲ダクト２６が接続されている。屈曲ダクト２６は、空気搬送ダクト１１の延出端部２３の開口端２５から出入する空気の流れをガラリ１３に対向しない方向へ向ける。屈曲ダクト２６は、空気搬送ダクト１１の延出端部２３の開口端２５に気密に接合された第１開口端２７と、第１開口端２７の反対側に位置して空気が出入する第２開口端２８とを有する。屈曲ダクト２６は、略９０度で上下方向上方へ屈曲するとともに、上方へ屈曲した後、略９０度で前後方向後方へ屈曲している。したがって、屈曲ダクト２６は、空気搬送ダクト１１の延出端部２３の軸線Ｌ１に対して略１８０度で屈曲し、ガラリ１３の側からチャンバー１４の後側壁２２の側に向かってＵターンしている。屈曲ダクト２６の第２開口端２８は、ガラリ１３とは反対側にチャンバー１４の後側壁２２に向かって開口している。
【００４３】
なお、屈曲ダクト２６が上下方向下方へ略９０度屈曲した後、前後方向後方へ略９０度屈曲していてもよく、屈曲ダクト２６が横方向へ略９０度屈曲した後、前後方向後方へ略９０度屈曲していてもよい。それらの場合においても、屈曲ダクト２６が空気搬送ダクト１１の延出端部２３の軸線Ｌ１に対して略１８０度で屈曲し、ガラリ１３の側からチャンバー１４の後側壁２２の側に向かってＵターンし、屈曲ダクト２６の第２開口端２８がガラリ１３とは反対側にチャンバー１４の後側壁２２に向かって開口する。
【００４４】
空気搬送ダクト１１が給気ダクト４８の場合、後側壁２２に向かって開口する屈曲ダクト２６の第２開口端２８から空気が給気され、空気が屈曲ダクト２６を通って給気ダクト４８に流入する。また、空気搬送ダクト１１が排気ダクト５６の場合、後側壁２２に向かって開口する屈曲ダクト２６の第２開口端２８から空気が排気され、空気がガラリ１３を通って工場１２の屋外に排気される。なお、屈曲ダクト２６は、延出端部２３の軸線Ｌ１に対して９０〜１８０度の範囲で上方向や下方向、横方向のいずれかへ屈曲していればよいが、延出端部２３の軸線Ｌ１に対して１２０〜１８０度の範囲で上方向や下方向、横方向のいずれかへ屈曲していることが好ましい。
【００４５】
このダクト収容ボックス１０Ｂは、屈曲ダクト２６が上下方向上方と前後方向後方とへ屈曲してガラリ１３に対向しない方向へ延出し、屈曲ダクト２６の第２開口端２８がチャンバー１４の後側壁２２に向かって開口（ガラリ１３の反対側に開口）するから、図６に矢印Ａ１で示すように、ガラリ１３の外側に吹く風の影響で余分な空気がボックス１０Ｂの内部空間１５に進入したとしても、その空気が屈曲ダクト２６の周面に衝突し、空気がダクト２６の第２開口端２８に直接進入することはなく、内部空間１５に進入した空気の空気搬送ダクト１１への直接の流入を防ぐことができ、ダクト１１に流入する空気を最小限にすることができる。
【００４６】
ダクト収容ボックス１０Ｂは、図６に矢印Ａ２で示すように、ガラリ１３の外側に吹く風の影響で空気がボックス１０Ｂの内部空間１５から流出したとしても、空気が屈曲ダクト２６の第２開口端２８から直接流出することはなく、空気の空気搬送ダクト１１からの直接の流出を防ぐことができ、ダクト１１から流出する空気を最小限にすることができる。ダクト収容ボックス１０Ａは、ガラリ１３の外側に風が吹いたとしても、空気が空気搬送ダクト１１へ一気に流入することはなく、空気がダクト１１から一気に流出することもないから、ダクト１１の内部気圧の急激な変動を防ぐことができる。
【００４７】
図７，８は、給気装置３８を含む室圧制御機構３９の一例を示す構成図であり、図９は、一例として示す給気装置３８の構成図である。図７、クリーンルーム４０，４１（室）を上方から示し、図８は、クリーンルーム４０，４１を側方から示す。なお、図７の室圧制御機構３９では、室として半導体の製造や薬剤の製造、各種実験等に使用するクリーンルーム４０，４１を例示しているが、室をクリーンルーム４０，４１に限定するものではなく、室としてクリーンルーム４０，４１を含むあらゆる室が含まれる。また、２つのクリーンルーム４０，４１を図示しているが、室を２つに限定するものではなく、１つまたは３つ以上の室にこの給気装置３８を適用することができる。
【００４８】
図７の室圧制御機構３９では、空気搬送ダクト１１が給気ダクト４８として使用され、それら給気ダクト４８がダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂに接続されている。なお、給気ダクト４８の延出端部２３に取り付けられた屈曲ダクト２６は、図１〜図６に示す態様のいずれかのそれが使用されている。室圧制御機構３９は、所定容積を有するクリーンルーム４０，４１に空気（外気）を供給する給気装置３８と、クリーンルーム４０，４１から空気を排出する排気装置４２とから形成されている。クリーンルーム４０，４１は、工場１２（既設建物）内部に設置され、その四方を天井４３および床４４と、各側壁４５とに囲繞され、高い気密性を有する。
【００４９】
天井４３には、空気をクリーンルーム４０，４１内に取り入れるための給気口（図示せず）が施設されている。側壁４５には、クリーンルーム４０，４１内から空気を排出するためのガラリ排気口４６が施設されている。側壁４５には、クリーンルーム４０，４１に出入りするためのドア４７が設置されている。クリーンルーム４０，４１の室内気圧は、あらかじめ設定された目標室内気圧に保持される。クリーンルーム４０，４１の目標室内気圧に特に限定はなく、クリーンルーム４０，４１の用途や容積等によって目標室内気圧を適宜設定することができる。
【００５０】
給気装置３８は、クリーンルーム４０，４１につながる金属製の給気ダクト４８と、給気ダクト４８を通る空気（外気）の所定量をクリーンルーム４０，４１に強制的に送り込む給気ファン４９（送風機）と、給気ファン４９に流入する空気の量を調節するモータダンパ５０と、給気ダクト４８を通る空気の圧力を測定する圧力センサ５１と、クリーンルーム４０，４１に給気する空気を一定に保持する定風量ユニット５２とを有する。給気ファン４９は、インターフェイスを介して制御装置（図示せず）に接続されている。制御装置は、給気ファン４９の出力を設定されたそれに保持し、給気ファン４９から送り出される空気の圧力および量を一定に保持する。なお、この実施の形態では、給気装置３８が定風量ユニット５２を備えているが、給気装置３８に定風量ユニット５２が含まれていなくてもよい。
【００５１】
給気ダクト４８は、天井４３空間に配置され、天井４３に施設された給気口と工場１２の壁１６に施設されたダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂとの間に延びている。給気ダクト４８は、ガラリ１３から流入した空気をクリーンルーム４０，４１内に搬送する。給気ダクト４８の延出端部２３は、ボックス１０Ａまたはボックス１０Ｂの内部空間１５に収容されている。モータダンパ５０は、ボックス１０Ａまたはボックス１０Ｂと給気ファン４９との間に延びる給気ダクト４８に設置されている。圧力センサ５１は、モータダンパ５０と給気ファン４９との間に延びる給気ダクト４８に設置されている。定風量ユニット５２は、給気ファン４９とクリーンルーム４０，４１と間に延びる給気ダクト４８に取り付けられている。
【００５２】
給気装置３８では、ダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂからクリーンルーム４０，４１に向かって、モータダンパ５０、圧力センサ５１、給気ファン４９、定風量ユニット５２の順に並んでいる。定風量ユニット５２は、給気ダクト４８の内部気圧の変動に対してユニット５２内を流れる空気量を調節し、クリーンルーム４０，４１に供給する空気量を常時一定に保持する。ガラリ１３からボックス１０Ａまたはボックス１０Ｂに流入した空気は、給気ダクト４８を通ってモータダンパ５０から給気ファン４９に流入し、給気ファン４９からダクト４８を通って定風量ユニット５２に流入した後、ユニット５２からダクト４８を通り、給気口からクリーンルーム４０，４１内に供給される。
【００５３】
モータダンパ５０は、モジュトロールモータ（図示せず）と、モータの回転を制御する（モータダンパ５０の旋回羽根５４の開度を調節する）コントローラ５３（制御装置）と、モータの駆動力によって旋回する旋回羽根５４とから形成されている。モータダンパ５０は、旋回羽根５４の旋回によって開閉される空気流路（図示せず）を有する。モータダンパ５０のコントローラ５３は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能なメモリ（記憶部）とを有するマイクロプロセッサである。
【００５４】
モータダンパ５０では、コントローラ５３からの制御信号によってモジュトロールモータが回転するとともに旋回羽根５４が所定角度に旋回し、空気流路に対する羽根５４の開度（旋回角度）を調整して空気流路を通過する空気量を調節する。コントローラ５３には、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている（図示せず）。モータダンパ５０には、平行翼ダンパまたは対向翼ダンパを使用することができる。なお、圧力センサ５１は、インターフェイス５５を介してモータダンパ５０のコントローラ５３に接続されている。モータダンパ５０のコントローラ５３のメモリには、圧力センサ５１によって測定された給気ダクト４８の測定圧力と比較する設定圧力が格納されている。なお、設定圧力は、入力装置によって自由に設定変更することができる。設定圧力は、−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲に設定される。
【００５５】
モータダンパ５０のコントローラ５３の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいてメモリに格納されたアプリケーションプログラムを起動し、起動したアプリケーションプログラムに従って以下の各手段を実行する。コントローラ５３の中央処理部は、圧力センサ５１から出力された給気ダクト４８内の測定圧力とあらかじめ設定された設定圧力とを比較する給気圧力比較手段を実行する。中央処理部は、測定圧力と設定圧力とを比較した結果、測定圧力が設定圧力の範囲から外れている場合、モータダンパ５０の旋回羽根５４の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す給気圧力制御手段を実行する。
【００５６】
測定圧力が設定圧力の範囲から外れているとは、測定圧力が設定圧力の範囲を超過している場合と測定圧力が設定圧力の範囲未満の場合とがある。ボックス１０Ａまたはボックス１０Ｂの外部（工場１２の屋外）に吹く風の影響で、空気がガラリ１３を通ってボックス１０Ａまたはボックス１０Ｂの内部空間１５に進入し、あるいは、空気がボックス１０Ａまたはボックス１０Ｂの内部空間１５からガラリ１３を通って流出したとしても、上述のとおり、空気搬送ダクト１１（給気ダクト４８）の延出端部２３に接続された屈曲ダクト２６がガラリ１３に対向しない方向へ延出し、屈曲ダクト２６の第２開口端２８がチャンバー１４の頂壁１８または後側壁２２に対向しているから、空気が給気ダクト４８に直接流入することはなく、空気が給気ダクト４８から直接流出することはない。
【００５７】
しかし、ボックス１０Ａまたはボックス１０Ｂ内に進入した空気によってボックス１０Ａ内やボックス１０Ｂ内の気圧が上昇し、それによって、空気が給気ダクト４８に流入する場合がある。給気ダクト４８に空気が流入すると、ダクト４８内の圧力が増加する。その結果、測定圧力が設定圧力の範囲を超過する場合がある。それとは逆に、ボックス１０Ａまたはボックス１０Ｂ内から流出した空気によってボックス１０Ａ内やボックス１０Ｂ内の気圧が下降し、それによって、空気が給気ダクト４８からボックス１０Ａ，１０Ｂの内部空間１５に流出しようとする場合がある。給気ダクト４８から空気が流出しようとすると、ダクト４８内の圧力が減少する。その結果、測定圧力が設定圧力の範囲未満となる場合がある。
【００５８】
測定圧力が設定圧力の範囲を超過している場合、コントローラ５３は、モータダンパ５０の旋回羽根５４が最小開度でなければ、旋回羽根５４の開度を小さくし、ダンパ５０の空気流路を通る空気の量を減少させる（給気ダクト４８を通る空気の量を減少させる）。その結果、給気ダクト４８内の圧力が下がり、測定圧力が低下して測定圧力が設定圧力の範囲内に復帰する。逆に、測定圧力が設定圧力の範囲未満の場合、コントローラ５３は、旋回羽根５４が全開（開度１００％）でなければ、旋回羽根５４の開度を大きくし、ダンパ５０の空気流路を通る空気の量を増加させる（給気ダクト４８を通る空気の量を増加させる）。その結果、給気ダクト４８内の圧力が上がり、測定圧力が増加して測定圧力が設定圧力の範囲内に復帰する。
【００５９】
測定圧力が設定圧力の範囲内にある場合、コントローラ５３は、旋回羽根５４が全開であれば、羽根５４の全開を保持するとともに、旋回羽根５４が最小開度であれば、羽根５４の最小開度を保持する。または、旋回羽根５４が全開でなければ、そのときの旋回羽根５４の開度を保持するとともに、旋回羽根５４が最小開度でなければ、そのときの旋回羽根５４の開度を保持する。コントローラ５３は、測定圧力が設定圧力の範囲から外れた後、旋回羽根５４の開度を調節したことによって測定圧力が設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの旋回羽根５４の開度を保持する。
【００６０】
モータダンパ５０の旋回羽根５４の旋回速度は、１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲、好ましくは、１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある。旋回速度が３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅを超えると、モータダンパ５０のレスポンスが低下し、ダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂの外部に吹く風の影響で、給気ダクト４８に空気が流入し、または、給気ダクト４８から空気が流出しようとして測定圧力が急激に変化したときに、旋回羽根５４の旋回がそれに迅速に対応することができず、ダンパ５０の空気流路を通過する空気量の調節が遅れ、給気ファン４８やモータダンパ５０を利用して一定量かつ一定圧の空気をクリーンルーム４０，４１に給気することができなくなる場合がある。モータダンパ５０では、その旋回羽根５４の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるから、測定圧力が急激に変化したとしても、旋回羽根５４の旋回がそれに迅速に対応し、ダンパ５０の空気流路を通過する空気量を速やかに調節し、測定圧力を設定圧力の範囲内に速やかに復帰させる。
【００６１】
モータダンパ５０の旋回羽根５４の開度を小さくしたときの羽根５４の最小開度は、３〜２５％の範囲、好ましくは、５〜２０％に設定されている。したがって、旋回羽根５４の開度を最小にしたとしても、羽根５４が全閉（開度０％）になることはない。開度３〜２５％は、羽根５４が全開のときを開度１００％とし、その開度に対する割合である。たとえば、開度３％では、羽根全開１００％に対して３％だけ開いた状態を示し、開度２５％では、羽根全開１００％に対して２５％だけ開いた状態を示す。
【００６２】
排気装置４２は、クリーンルーム４０，４１につながる金属製の排気ダクト５６と、クリーンルーム４０，４１から所定量の空気を強制的に排気する排気ファン５７（送風機）と、クリーンルーム４０，４１から排気する空気を一定に保持する定風量ユニット５８とを有する。排気ファン５７は、インターフェイスを介して制御装置（図示せず）に接続されている。制御装置は、排気ファン５７の出力を設定されたそれに保持し、排気ファン５７から送り出される空気の圧力および量を一定に保持する。
【００６３】
排気ダクト５６は、床の下方に配置され、クリーンルーム４０，４１の側壁４５に施設されたガラリ排気口４６と空気排気口５９との間に延びている。空気排気口５９は、工場１２の壁１６に設置されたガラリ（図示せず）につながっている。排気装置４２では、空気排気口５９からクリーンルーム４０，４１に向かって、排気ファン５７、定風量ユニット５８の順に並んでいる。排気ダクト５６は、ガラリ排気口４６から流出した空気を工場１２外（クリーンルーム４０，４１外）に搬送する。
【００６４】
排気ファン５７は、定風量ユニット５８と空気排気口５９との間に延びる排気ダクト５６に取り付けられている。定風量ユニット５８は、排気ファン５７とガラリ排気口４６との間に延びる排気ダクト５６に取り付けられている。排気ファン５７は、一定量かつ一定圧の空気をクリーンルーム４０，４１から排気する。定風量ユニット５８は、排気ダクト５６の内部気圧の変動に対してユニット５８内を流れる空気量を調節し、クリーンルーム４０，４１から排出する空気量を常時一定に保持する。ガラリ排気口４６から流出した空気は、定風量ユニット５８に流入し、ユニット５８から排気ダクト５６を通って排気ファン５７に流入した後、排気ファン５７からダクト５６を通り、空気排気口５９から工場１２の屋外に排気される。
【００６５】
給気ダクト４８や排気ダクト５６に取り付けられた定風量ユニット５２，５８は、図示はしていないが、モータダンパおよび風速センサと、制御装置と、それらを収容する筐体とから形成されている。定風量ユニット５２，５８のモータダンパは、モータダンパ５０と同一である。それら定風量ユニット５２，５８では、制御装置からの制御信号によってモジュトロールモータが回転するとともに旋回羽根が所定角度に旋回する。定風量ユニット５２，５８の制御装置は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能なメモリ（記憶部）とを有するマイクロプロセッサである。制御装置には、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている（図示せず）。
【００６６】
定風量ユニット５２，５８の制御装置のメモリには、クリーンルーム４０，４１の目標室内気圧と、定風量ユニット５２，５８を通過する空気通過量との相関関係が格納され、目標室内気圧に対応する空気通過量と、その空気通過量に対応するモータダンパの旋回羽根の開度（旋回角度）との相関関係が格納されている。目標室内気圧は、入力装置によって自由に設定変更することができる。定風量ユニット５２，５８の制御装置は、目標室内気圧が入力されると、メモリに格納された相関関係に基づいて目標室内気圧に対応する空気流路における空気通過量を決定し、モータダンパの空気流路を通過する空気通過量が決定したそれになるように、相関関係に基づいてモータダンパの旋回羽根の開度を決定した後、旋回羽根の開度を決定したそれに保持する。
【００６７】
それら定風量ユニット５２，５８は、給気ダクト４８や排気ダクト５６の内部気圧の変動に対してユニット５２，５８内を通る空気通過量を目標室内気圧に対応するそれに調節し、クリーンルーム４０，４１へ供給する空気量を一定に保持するとともに、クリーンルーム４０，４１から排気する空気量を一定に保持する。具体的には以下のとおりである。定風量ユニット５２，５８の制御装置は、風速センサから出力された風速からモータダンパの空気流路を通る空気通過量を演算し、演算した空気通過量と目標室内気圧に対応する空気通過量とを比較する。
【００６８】
給気装置３８の定風量ユニット５２の制御装置は、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも多い場合、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、空気流路を通過する空気通過量を少なくする。定風量ユニット５２の制御装置は、旋回羽根の開度を小さくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも少ない場合、定風量ユニット５２の制御装置は、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくし、空気流路を通過する空気通過量を多くする。定風量ユニット５２の制御装置は、旋回羽根の開度を大きくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。
【００６９】
排気装置４２の定風量ユニット５８の制御装置は、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも多い場合、モータダンパの旋回羽根の開度を大きくし、空気流路を通過する空気通過量を多くする。定風量ユニット５８の制御装置は、旋回羽根の開度を大きくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれよりも少ない場合、定風量ユニット５８の制御装置は、モータダンパの旋回羽根の開度を小さくし、空気流路を通過する空気通過量を少なくする。定風量ユニット５８の制御装置は、旋回羽根の開度を小さくした後、演算した空気通過量が目標室内気圧に対応するそれの範囲に入ると、そのときの旋回羽根の開度を維持する。
【００７０】
図１０は、モータダンパ５０のコントローラ５３が実行する各手段の一例を示すフローチャートである。図１０のフローチャートに基づき、コントローラ５３によって実行される給気装置３８のプロセスの一例を説明すると、以下のとおりである。室圧制御機構３９を起動すると、給気ファン４９および排気ファン５７、定風量ユニット５２，５８、圧力センサ５１、モータダンパ５０が稼動する。圧力センサ５１は、給気ダクト３８内を流れる空気の圧力を測定し、その測定圧力をコントローラ５３に出力する。
【００７１】
室圧制御機構３９では、図７，８に矢印Ａ３で示すように、給気ファン４９や給気ダクト４８を介してクリーンルーム４０，４１内へ所定量の空気が供給され、矢印Ａ４で示すように、排気ファン５９や排気ダクト５６を介してクリーンルーム４０，４１から工場１５の屋外に所定量の空気が排気される。室圧制御機構３９の運転開始時点では、設定圧力に対応する量の空気がモータダンパ５０の空気流路を通過するように、旋回羽根５４の開度が所定開度に調節され、給気ファン４９や排気ファン５９の出力が調節されているとともに、定風量ユニット５２，５８の空気通過量が調節されており、圧力センサ５１から出力された測定圧力が設定圧力の範囲内にある（Ｓ−１）。
【００７２】
また、室圧制御機構３９では、給気ファン４９と定風量ユニット５２との間に延びる給気ダクト４８において、そこを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット５２によってダクト４８の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム４０，４１に給気される。また、定風量ユニット５８と排気ファン５７との間に延びる排気ダクト５６において、そこを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット５８によってダクト５６の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム４０，４１から排気される。
【００７３】
図３または図６に矢印Ａ１で示すように、工場１２の壁１６に取り付けられたガラリ１３の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気がガラリ１３を通ってダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂの内部空間１５に進入する場合があるが、給気ダクト４８（空気搬送ダクト１１）の延出端部２３に接続された屈曲ダクト２６によって、空気が給気ダクト４８に直接流入することはない。しかし、ボックス１０Ａ内またはボックス１０Ｂ内に進入した空気によって内部空間１５の気圧が上昇し、それによって、空気が給気ダクト４８に流入する場合がある。
【００７４】
給気ダクト４８に空気が流入すると、ダクト４８内の圧力が増加する。その結果、測定圧力が設定圧力の範囲を超過する場合がある。なお、定風量ユニット５２では、モータダンパの旋回羽根の開度を調節することで、そこを通る空気の通過量を一定に保持するが、一度に余分な空気が給気ダクト４８に流入すると、モータダンパがそれに追い付かず、ユニット５２を通って余分な空気がクリーンルーム４０，４１内に流入する場合があり、クリーンルーム４０，４１内を目標室内気圧に保持することができない場合がある。
【００７５】
それとは逆に、図３または図６に矢印Ａ２で示すように、工場１２の壁１６に取り付けられたガラリ１３の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気がガラリ１３を通ってダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂの内部空間１５から工場１２の屋外に流出する場合があるが、給気ダクト４８（空気搬送ダクト１１）の延出端部２３に接続された屈曲ダクト２６によって、空気が給気ダクト４８から直接流出することはない。しかし、ボックス１０Ａ内またはボックス１０Ｂ内から流出した空気によって内部空間１５の気圧が下降し、それによって、空気が給気ダクト４８から流出しようとする場合がある。
【００７６】
給気ダクト４８から空気が流出しようとすると、ダクト４８内の圧力が減少する。その結果、測定圧力が設定圧力の範囲未満となる場合がある。なお、定風量ユニット５２では、モータダンパの旋回羽根の開度を調節することで、そこを通る空気の通過量を一定に保持するが、一度に余分な空気が給気ダクト４８から流出しようとすると、モータダンパがそれに追い付かず、クリーンルーム４０，４１内を目標室内気圧に保持することができない場合がある。クリーンルーム４０，４１ではその内部気圧を厳格に管理する必要があるが、給気ダクト４８内の圧力変動による影響でクリーンルーム４０，４１の内部気圧が変動する場合があり、給気ダクト４８内の圧力変動による影響を無視することはできない。
【００７７】
しかし、この室圧制御機構３９における給気装置３８では、給気ダクト４８を通過する空気の圧力（モータダンパ５０の空気流路を通過する空気量）を監視し、ダクト４８を通る空気の量（空気圧）を一定に保持するから、給気ファン４８に余分な空気が不定期かつ不規則に流入することや給気ダクト４８から余分な空気が不定期かつ不規則に流出することはない。具体的にモータダンパ５０のコントローラ５３は、圧力センサ５１から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較する（給気圧力比較手段）（Ｓ−２）。次に、コントローラ５３は、測定圧力と設定圧力とを比較した結果、測定圧力が設定圧力の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−３）。
【００７８】
モータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力が設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根５４の開度を保持する。次に、コントローラ５３は、室圧制御機構３９を停止するかを判断する（Ｓ−４）。室圧制御機構３９の停止指示があると、コントローラ５３は、給気装置３８の運転を停止する。室圧制御機構３９を継続して運転する場合、ステップ２（Ｓ−２）に戻って測定圧力と設定圧力とを比較し、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。
【００７９】
ステップ３（Ｓ−３）においてモータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力が設定圧力の範囲内になく、測定圧力が設定圧力の範囲を超過していると判断すると、旋回羽根５４の開度が最小開度（開度３〜２５％）であれば、その開度を保持し、旋回羽根５４の開度が最小開度（開度３〜２５％）でなければ、羽根５４の開度を小さくする（Ｓ−５）。なお、旋回羽根５４の開度を小さくしたとしても、開度３〜２５％未満（好ましくは、５〜２０％未満）にすることはなく、羽根５４が全閉になることはない。
【００８０】
モータダンパ５０のコントローラ５３は、給気ダクト４８を通る空気の設定圧力と設定圧力に対応する空気通過量との相関関係、圧力センサ５１から出力される各測定圧力とそれら測定圧力に対応する空気通過量との相関関係、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量に対応するモータダンパ５０の旋回羽根５４の開度（旋回角度）に基づいて、旋回羽根５４の開度を決定することもできる。この場合、コントローラ５３のメモリには、それら相関関係や旋回羽根５４の開度が格納されている。
【００８１】
具体的には以下のとおりである。モータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力が設定圧力の範囲を超過している場合、設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ５１から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、設定圧力に対応する空気通過量よりも多い。
【００８２】
さらに、モータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はプラスとなる。コントローラ５３は、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量（プラス）に対応するモータダンパ５０の旋回羽根５４の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応する羽根５４の開度を決定する。なお、旋回羽根５４の開度はマイナスになる。したがって、コントローラ５３は、旋回羽根５４の開度が最小開度であれば、羽根５４の開度を最小開度に保持し、旋回羽根５４の開度が最小開度でなければ、羽根５４の開度を小さくする（Ｓ−５）。
【００８３】
モータダンパ５０のコントローラ５３は、旋回羽根５４の開度を最小開度に保持し、または、旋回羽根５４の開度を小さくした後、室圧制御機構３９を停止するかを判断する（Ｓ−４）。室圧制御機構３９の停止指示があると、コントローラ５３は、給気装置３８の運転を停止する。室圧制御機構３９を継続して運転する場合、旋回羽根５４の開度を最小開度または小さくした開度を保持した状態で室圧制御機構３９が運転され、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ５１から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較する（圧力比較手段）（Ｓ−２）。
【００８４】
旋回羽根５４の開度が最小開度または小さくなると、モータダンパ５０の空気流路を通過する空気量が減少し、測定圧力が低下して測定圧力が設定圧力の範囲内に復帰する（給気圧力制御手段）。ゆえに、ダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂから余分な空気が給気ダクト４８に流入したとしても、給気ファン４９に流入する空気量を設定圧力に対応するそれに保持することができる。
【００８５】
ステップ３（Ｓ−３）においてモータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力が設定圧力の範囲内になく、測定圧力が設定圧力の範囲未満であると判断すると、旋回羽根５４が全開（開度１００％）であれば、その開度を保持し、旋回羽根５４が全開でなければ、羽根５４の開度を大きくする（Ｓ−５）。
【００８６】
メモリに格納された各相関関係や旋回羽根５４の開度に基づいて、開度を決定する場合は以下のとおりである。モータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力が設定圧力の範囲未満である場合、設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ５１から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、設定圧力に対応する空気通過量よりも少ない。
【００８７】
さらに、モータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はマイナスとなる。コントローラ５３は、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量（マイナス）に対応するモータダンパ５０の旋回羽根５４の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応する羽根５４の開度を決定する。なお、旋回羽根５４の開度はプラスになる。したがって、コントローラ５３は、旋回羽根５４が全開であれば、羽根５４の開度を全開に保持し、旋回羽根５４が全開でなければ、羽根５４の開度を大きくする（Ｓ−５）。
【００８８】
モータダンパ５０のコントローラ５３は、旋回羽根５４の開度を全開に保持し、または、羽根５４の開度を大きくした後、室圧制御機構３９を停止するかを判断する（Ｓ−４）。室圧制御機構３９の停止指示があると、コントローラ５３は、給気装置３８の運転を停止する。室圧制御機構３９を継続して運転する場合、旋回羽根５４の開度を全開または大きくした開度を保持した状態で室圧制御機構３９が運転され、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ５１から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較する（給気圧力比較手段）（Ｓ−２）。
【００８９】
旋回羽根５４の開度が全開または大きくなると、モータダンパ５０の空気流路を通過する空気量が増加し、測定圧力が上昇して測定圧力が設定圧力の範囲内に復帰する（給気圧力制御手段）。ゆえに、給気ファン４９内への空気の流入減を防ぐことができ、給気ファン４９に流入する空気量を設定圧力に対応するそれに保持することができる。
【００９０】
工場１２の壁１６に取り付けられたガラリ１３の外側近傍に吹いていた風が納まり、ダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｅから給気ダクト４８への余分な空気の流入が停止すると、モータダンパ５０の空気流路を通過する空気量が旋回羽根５４の開度を小さくした直後の空気流路を通過するそれに比較して減少し、圧力センサ５１から出力される測定圧力も低下する。測定圧力と設定圧力との比較（Ｓ−２）においてモータダンパ５０のコントローラ５３は、ステップ３（Ｓ−３）において測定圧力が設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根５４の開度を保持し、室圧制御機構３９を継続して運転する場合、ステップ２（Ｓ−２）に戻って測定圧力と設定圧力とを比較し（給気圧力比較手段）（Ｓ−２）、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。なお、旋回羽根５４の開度を小さくした後、圧力センサ５１から出力される測定圧力が低下し、測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、旋回羽根５４の開度を大きくする（Ｓ−５）。
【００９１】
モータダンパ５０のコントローラ５３は、ガラリ１３の外側近傍で再び風が吹き、その風の影響で余分な空気が再びダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｅに進入して空気が給気ダクト４８に流入し、測定圧力が設定圧力の範囲外になり、測定圧力が設定圧力を超過すると、旋回羽根５４が最小開度であれば、羽根５４の開度を最小開度に保持し、旋回羽根５４が最小開度でなければ、羽根５４の開度を小さくする（Ｓ−５）。コントローラ５３は、旋回羽根５４の開度を小さくした後、小さくした開度を保持した状態で、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ５１から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較し（給気圧力比較手段）（Ｓ−２）、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。
【００９２】
モータダンパ５０のコントローラ５３は、ガラリ１３の外側近傍で再び風が吹き、その風の影響で空気が再びダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂから流出して空気が給気ダクト４８から流出しようとし、測定圧力が設定圧力の範囲外になり、測定圧力が設定圧力未満になると、旋回羽根５４の開度を大きくする（Ｓ−５）。コントローラ５３は、旋回羽根５４の開度を大きくした後、大きくした開度を保持した状態で、ステップ２（Ｓ−２）に戻って圧力センサ５１から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較し（給気圧力比較手段）（Ｓ−２）、ステップ２（Ｓ−２）からのプロセスを繰り返す。
【００９３】
給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ａまたは給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ｂは、ガラリ１３の外側に吹く風の影響で余分な空気がボックス１０Ａやボックス１０Ｂの内部空間１５に進入したとしても、その空気が屈曲ダクト２６に直接進入することはなく、内部空間１５に進入した空気の給気ダクト４８への直接の流入を防ぐことができ、ダクト４８に流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリ１３の外側に吹く風の影響で空気がボックス１０Ａやボックス１０Ｂの内部空間１５から流出したとしても、空気が屈曲ダクト２６から直接流出することはなく、空気の給気ダクト４８からの直接の流出を防ぐことができ、ダクト４８から流出する空気を最小限にすることができる。
【００９４】
給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ａまたは給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ｂは、ガラリ１３の外側近傍（工場１２の屋外）に吹く風の影響で、余分な空気がボックス１０Ａ内やボックス１０Ｂ内に進入して空気が給気ダクト４８に流入し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパ５０の旋回羽根５４の開度を小さくして空気の給気ファン４９内への流入を制限するから、一定圧かつ一定量の空気を安定して給気ファン４９に流入させることができ、給気ファン４９やモータダンパ５０を利用してクリーンルーム４０，４１に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。
【００９５】
給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ａまたは給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ｂは、ガラリ１３の外側近傍に吹く風の影響で、余分な空気がボックス１０Ａ内やボックス１０Ｂ内から流出して空気が給気ダクト４８から流出しようとし、測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパ５０の旋回羽根５４の開度を大きくして給気ファン４９内への空気の流入減を防ぐから、一定圧かつ一定量の空気を安定して給気ファン４９に流入させることができ、給気ファン４９やモータダンパ５０を利用してクリーンルーム４０，４１に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。また、測定圧力が設定圧力の範囲に戻ると、そのときの旋回羽根５４の開度を保持するから、一定圧かつ一定量の空気を安定して給気ファン４９に流入させることができ、給気ファン４９やモータダンパ５０を利用してクリーンルーム４０，４１に一定圧かつ一定量の空気を安定して流入させることができる。
【００９６】
給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ａまたは給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ｂは、それを利用することで、クリーンルーム４０，４１に給気する空気を一定に保持することができ、クリーンルーム４０，４１の室内気圧を目標室内気圧に維持することができる。給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ａやダクト収容ボックス１０Ｂは、給気ファン４９から給気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルーム４０，４１での使用に特に有効であり、クリーンルーム４０，４１において室内気圧の変動がない空調環境を作ることが可能である。
【００９７】
一定圧かつ一定量の空気を安定して給気ダクト４８からクリーンルーム４０，４１に給気させるには給気ダクト４８内の空気の圧力が負圧に保持される必要があるが、給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ａやダクト収容ボックス１０Ｂは、その設定圧力が−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にあるから、空気が給気ダクト４８に流入し、または、空気が給気ダクト４８から流出しようとしたとしても、モータダンパ５０の旋回羽根５４が迅速に作動し、給気ダクト４８内の空気の圧力が正圧になることを防ぐことができ、ダクト４８内の空気の圧力を負圧に保持することができる。
【００９８】
給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ａまたは給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ｂは、モータダンパ５０の旋回羽根５４の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲、好ましくは、１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるから、給気ダクト４８に空気が流入し、または、空気が給気ダクト４８から流出しようとして給気ダクト４８の内部気圧が変動したとしても、モータダンパ５０の旋回羽根５４が前記旋回速度で瞬時に旋回し、測定圧力を設定圧力の範囲内に速やかに戻すことができ、給気ダクト４８内の空気の圧力変動を確実に防ぐことができる。給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ａやダクト収容ボックス１０Ｂは、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ファン４９内に流入することはなく、余分な空気が不定期かつ不規則に給気ダクト４８から流出することもないから、給気ファン４９やモータダンパ５０を利用して一定圧かつ一定量の空気をクリーンルーム４０，４１に給気することができ、クリーンルーム４０，４１に給気する空気を一定に保持することができる。
【００９９】
旋回羽根５４の開度が全閉（０％）なると、クリーンルーム４０，４１に空気が給気されず、給気ファン４９内への空気の流入が停止し、給気ファン４９を介して空気をクリーンルーム４０，４１に給気することができないが、給気装置３８を備えたダクト収容ボックス１０Ａやダクト収容ボックス１０Ｂは、モータダンパ５０の旋回羽根５４の開度を小さくしたときの羽根５４の最小開度が３〜２５％の範囲にあるから、羽根５４の開度が全閉（０％）なることはなく、クリーンルーム４０，４１への空気の未給気状態が回避され、クリーンルーム４０，４１の室内気圧の極端な下降を防ぐことができるとともに、給気ファン４９やモータダンパ５０を利用して一定圧かつ一定量の空気をクリーンルーム４０，４１に給気することができる。
【０１００】
図１１，１２は、排気装置４２を含む室圧制御機構３９の一例を示す構成図であり、図１３は、一例として示す排気装置４２の構成図である。図１１は、クリーンルーム４０，４１（室）を上方から示し、図１２は、クリーンルーム４０，４１を側方から示す。なお、図１１の室圧制御機構３９では、室としてクリーンルーム４０，４１を例示しているが、室をクリーンルーム４０，４１に限定するものではなく、室としてクリーンルーム４０，４１を含むあらゆる室が含まれる。
【０１０１】
図１１の室圧制御機構３９では、空気搬送ダクト１１が排気ダクト５６として使用され、それら排気ダクト５６がダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂに接続されている。なお、排気ダクト５６の延出端部２３に取り付けられた屈曲ダクト２６は、図１〜図６に示す態様のいずれかのそれが使用されている。室圧制御機構３９は、所定容積を有するクリーンルーム４０，４１に空気（外気）を供給する給気装置３８と、クリーンルーム４０，４１から空気（室内空気）を排出する排気装置４２とから形成されている。クリーンルーム４０，４１は、図７，８のそれと同一であるから、図７，８と同一の符号を付すとともに、図７，８の説明を援用することでその説明は省略する。なお、クリーンルーム４０，４１の室内気圧は、図７，８のそれと同様に、あらかじめ設定された目標室内気圧に保持される。
【０１０２】
給気装置３８は、クリーンルーム４０，４１につながる金属製の給気ダクト４８と、給気ダクト４８を通る空気の所定量をクリーンルーム４０，４１に強制的に給気する給気ファン４９（送風機）と、クリーンルーム４０，４１に供給する空気を一定に保持する定風量ユニット５２とを有する。給気装置３８では、空気取込口６０からクリーンルーム４０，４１に向かって、給気ファン４９、定風量ユニット５２の順に並んでいる。空気取込口６０は、工場１２の壁１６に設置されたガラリ（図示せず）につながっている。給気ファン４９は、インターフェイスを介して制御装置（図示せず）に接続されている。制御装置は、給気ファン４９の出力を設定されたそれに保持し、給気ファン４９から送り出される空気の圧力および量を一定に保持する。
【０１０３】
給気ダクト４８は、天井４３空間に配置され、空気取込口６０とクリーンルーム４０，４１の天井４３に施設された給気口との間に延びている。給気ダクト４８は、空気取込口６０から流入した空気をクリーンルーム４０，４１に搬送する。給気ファン４９は、定風量ユニット５２と空気取込口６０との間に延びる給気ダクト４８に取り付けられている。給気ファン４９は、一定量かつ一定圧の空気をクリーンルーム４０，４１に給気する。
【０１０４】
定風量ユニット５２は、給気ファン４９と給気口との間に延びる給気ダクト４８に取り付けられている。定風量ユニット５２は、給気ダクト４８の内部気圧の変動に対してユニット４８内を流れる空気量を調節し、クリーンルーム４０，４１に供給する空気量を常時一定に保持する。空気取込口６０から流入した空気は、給気ダクト４８を通って給気ファン４９に流入し、給気ファン４９からダクト４８を通って定風量ユニット５２に流入した後、ユニット５２からダクト４８を通り、給気口からクリーンルーム４０，４１内に供給される。
【０１０５】
排気装置４２は、クリーンルーム４０，４１につながる金属製の排気ダクト５６と、クリーンルーム４０，４１から排出する空気を一定に保持する定風量ユニット５８と、排気ダクト５６を流れる空気の圧力を測定する圧力センサ５１と、クリーンルーム４０，４１から所定量の空気を強制的に排気する排気ファン５７（送風機）と、排気ダクト５６を流れる空気の量を調節するモータダンパ５０とを有する。排気ファン５７は、インターフェイスを介して制御装置（図示せず）に接続されている。制御装置は、排気ファン５７の出力を設定されたそれに保持し、排気ファン５７から送り出される空気の圧力および量を一定に保持する。なお、この実施の形態では、排気装置４２が定風量ユニット５８を備えているが、排気装置４２に定風量ユニット５８が含まれていなくてもよい。
【０１０６】
排気ダクト５６は、床４４の下方に配置され、クリーンルーム４０，４１の側壁４５に施設されたガラリ排気口４６とダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂとの間に延びている。排気ダクト５６は、ガラリ排気口４６から流出した空気を工場１２外（クリーンルーム４０，４１外）に搬送する。排気ダクト５６の排気端部２３は、ボックス１０Ａまたはボックス１０Ｂの内部空間１５に収容されている。
【０１０７】
定風量ユニット５８は、排気ファン５７とガラリ排気口４６との間に延びる排気ダクト５６に取り付けられている。圧力センサ５１は、排気ファン５７と定風量ユニット５８との間に延びる排気ダクト５６に設置されている。排気ファン５７は、定風量ユニット５８とダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂとの間に延びる排気ダクト５６に取り付けられている。排気ファン５７は、一定量かつ一定圧の空気をクリーンルーム４０，４１から排気する。モータダンパ５０は、排気ファン５７とボックス１０Ａまたはボックス１０Ｂとの間に延びる排気ダクト５６に設置されている。
【０１０８】
排気装置４２では、クリーンルーム４０，４１からダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂに向かって、定風量ユニット５８、圧力センサ５１、排気ファン５７、モータダンパ５０の順に並んでいる。定風量ユニット５８は、排気ダクト５６の内部気圧の変動に対してユニット５８内を流れる空気量を調節し、クリーンルーム４０，４１から排出する空気量を常時一定に保持する。ガラリ排気口４６から流出した空気は、定風量ユニット５８に流入し、ユニット５８から排気ダクト５６を通って排気ファン５７に流入した後、排気ファン５７からダクト５６を通り、ガラリ１３から工場１２の屋外に排気される。
【０１０９】
モータダンパ５０は、図７，８の給気ダクト４８に設置されたそれと同一であるから、図７，８と同様の符号を付すとともに、図７，８の説明を援用することで、その説明は省略する。なお、モータダンパ５０のコントローラ５３のメモリには、圧力センサ５１によって測定された排気ダクト５６の測定圧力と比較する設定圧力が格納されている。なお、設定圧力は、入力装置によって自由に設定変更することができる。設定圧力は、−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲に設定される。
【０１１０】
モータダンパ５０のコントローラ５３の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいてメモリに格納されたアプリケーションプログラムを起動し、起動したアプリケーションプログラムに従って以下の各手段を実行する。コントローラ５３の中央処理部は、圧力センサ５１から出力された排気ダクト５６内の測定圧力とあらかじめ設定された設定圧力とを比較する排気圧力比較手段を実行する。中央処理部は、測定圧力と設定圧力とを比較した結果、測定圧力が設定圧力の範囲から外れている場合、モータダンパ５０の旋回羽根５４の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す排気圧力制御手段を実行する。
【０１１１】
測定圧力が設定圧力の範囲から外れているとは、測定圧力が設定圧力の範囲を超過している場合と測定圧力が設定圧力の範囲未満の場合とがある。ダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂの外部（工場１２の屋外）に吹く風の影響で、空気がガラリ１３を通ってボックス１０Ａまたはボックス１０Ｂの内部空間１５に進入し、あるいは、空気がボックス１０Ａまたはボックス１０Ｂの内部空間１５からガラリ１３を通って流出したとしても、上述のとおり、排気ダクト５６（空気搬送ダクト１１）の延出端部２３に接続された屈曲ダクト２６がガラリ１３に対向しない方向へ延出しているから、空気が排気ダクト５６に直接流入することはなく、空気が排気ダクト５６から直接流出することはない。
【０１１２】
しかし、ダクト収容ボックス１０Ａ内またはダクト収容ボックス１０Ｂ内に進入した空気によってボックス１０Ａ内やボックス１０Ｂ内の気圧が上昇し、それによって、空気が排気ダクト５６に流入しようとする場合がある。排気ダクト５６に空気が流入しようとすると、ダクト５６内の圧力が増加する。その結果、測定圧力が設定圧力の範囲を超過する場合がある。それとは逆に、ボックス１０Ａ内またはボックス１０Ｂ内から流出した空気によってボックス１０Ａ内やボックス１０Ｂ内の気圧が下降し、それによって、必要以上の空気が排気ダクト５６から流出する場合がある。排気ダクト５６から空気が流出すると、ダクト５６内の圧力が減少する。その結果、測定圧力が設定圧力の範囲未満となる場合がある。
【０１１３】
測定圧力が設定圧力の範囲を超過している場合、コントローラ５６は、モータダンパ５０の旋回羽根５４が全開（開度１００％）でなければ、旋回羽根５４の開度を大きくし、ダンパ５０の空気流路を通る空気の量を増加させる（排気ダクト５６を通る空気の量を増加させる）。その結果、排気ダクト５６内の圧力が下がり、測定圧力が低下して測定圧力が設定圧力の範囲内に復帰する。逆に、測定圧力が設定圧力の範囲未満の場合、コントローラ５３は、旋回羽根５４が最小開度（開度３〜２５％）でなければ、旋回羽根５４の開度を小さくし、ダンパ５０の空気流路を通る空気の量を減少させ、排気ダクト５６からの空気の流出を制限する。その結果、排気ダクト５６内の圧力が上がり、測定圧力が増加して測定圧力が設定圧力の範囲内に復帰する。
【０１１４】
測定圧力が設定圧力の範囲内にある場合、コントローラ５３は、旋回羽根５４が全開であれば、羽根５４の全開を保持するとともに、旋回羽根５４が最小開度であれば、羽根５４の最小開度を保持する。または、旋回羽根５４が全開でなければ、そのときの羽根５４の開度を保持するとともに、旋回羽根５４が最小開度でなければ、そのときの羽根５４の開度を保持する。コントローラ５３は、測定圧力が設定圧力の範囲から外れた後、旋回羽根５４の開度を調節したことによって測定圧力が設定圧力の範囲内に戻ると、そのときの羽根５４の開度を保持する。
【０１１５】
モータダンパ５０の旋回羽根５４の旋回速度は、１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲、好ましくは、１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にある。旋回速度が３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅを超えると、モータダンパ５０のレスポンスが低下し、ダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂの外部に吹く風の影響で、排気ダクト５６に空気が流入しようとし、または、ダクト５６から空気が流出して測定圧力が急激に変化したときに、旋回羽根５４の旋回がそれに迅速に対応することができず、ダンパ５０の空気流路を通過する空気量の調節が遅れ、排気ファン５７やモータダンパ５０を利用して一定量かつ一定圧の空気をクリーンルーム４０，４１から排気できなくなる場合がある。モータダンパ５０では、その旋回羽根５４の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるから、測定圧力が急激に変化したとしても、旋回羽根５４の旋回がそれに迅速に対応し、ダンパ５０の空気流路を通過する空気量を速やかに調節し、測定圧力を設定圧力の範囲内に速やかに復帰させる。
【０１１６】
モータダンパ５０の旋回羽根５４の開度を小さくしたときの羽根５４の最小開度は、３〜２５％の範囲、好ましくは、５〜２０％に設定されている。したがって、旋回羽根５４の開度を最小にしたとしても、羽根５４が全閉（開度０％）になることはない。給気ダクト４８や排気ダクト５６に取り付けられた定風量ユニット５２，５８は、図７，８のそれらと同一であるから、図７，８のユニット５２，５８と同一の符号を付すとともに、図７，８の説明を援用することで、その説明は省略する。また、定風量ユニット５２，５８の動作原理は、図７，８のユニット５２，５８のそれと同一であるから、図７，８の説明を援用することで、その説明は省略する。
【０１１７】
図１４は、モータダンパ５０のコントローラ５３が実行する各手段の一例を示すフローチャートである。図１４のフローチャートに基づき、コントローラ５３によって実行される排気装置４２のプロセスの一例を説明すると、以下のとおりである。室圧制御機構３９を起動すると、給気ファン４９および排気ファン５７、定風量ユニット５２，５８、圧力センサ５１、モータダンパ５０が稼動する。圧力センサ５１は、排気ダクト５６内を流れる空気の圧力を測定し、その測定圧力をコントローラ５３に出力する。
【０１１８】
室圧制御機構３９では、図１１，１２に矢印Ａ３で示すように、給気ファン４９や給気ダクト４８を介してクリーンルーム４０，４１内へ所定量の空気が給気され、矢印Ａ４で示すように、排気ファン５７や排気ダクト５６を介してクリーンルーム４０，４１から工場１２の屋外に所定量の空気が排気される。室圧制御機構３９の運転開始時点では、設定圧力に対応する量の空気がモータダンパ５０の空気流路を通過するように、旋回羽根５４の開度が所定開度に調節され、給気ファン４９や排気ファン５７の出力が調節されているとともに、定風量ユニット５２，５８の空気通過量が調節されており、圧力センサ５１から出力された測定圧力が設定圧力の範囲内にある（Ｓ−１０）。
【０１１９】
また、室圧制御機構３９では、給気ファン４９と定風量ユニット５２との間に延びる給気ダクト４８において、そこを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット５２によってダクト４８の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム４０，４１に給気される。また、定風量ユニット５８と排気ファン５７との間に延びる排気ダクト５６において、そこを流れる空気に圧力変動が生じたとしても、定風量ユニット５８によってダクト５６の空気通過量が一定に保持され、常時一定量の空気がクリーンルーム４０，４１から排気される。
【０１２０】
図３、図６に矢印Ａ１で示すように、工場１２の壁１６に取り付けられたガラリ１３の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気がガラリ１３を通ってダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂの内部空間１５に進入する場合があるが、排気ダクト５６（空気搬送ダクト１１）の延出端部２３に接続された屈曲ダクト２６によって、空気が排気ダクト５６に直接流入することはない。しかし、ボックス１０Ａ内またはボックス１０Ｂ内に進入した空気によって内部空間１５の気圧が上昇し、それによって、空気が排気ダクト５６に流入しようとする場合がある。
【０１２１】
排気ダクト５６に空気が流入しようとすると、排気ダクト５６からの空気の排気が妨げられ、ダクト５６内の圧力が増加する。その結果、測定圧力が設定圧力の範囲を超過する場合がある。なお、定風量ユニット５８では、モータダンパの旋回羽根の開度を調節することで、そこを通る空気の通過量を一定に保持するが、一度に余分な空気が排気ダクト５６に流入しようとすると、定風量ユニット５８のモータダンパがそれに追い付かず、クリーンルーム４０，４１からの空気の流出が妨げられる場合があり、クリーンルーム４０，４１内を目標室内気圧に保持することができない場合がある。
【０１２２】
それとは逆に、図３、図６に矢印Ａ２で示すように、工場１２の壁１６に取り付けられたガラリ１３の外側近傍で強い風が吹くと、その風の影響で空気がガラリ１３を通ってダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂの内部空間１５から流出する場合があるが、排気ダクト５６（空気搬送ダクト）の延出端部２３に接続された屈曲ダクト２６によって、空気が排気ダクト５６から直接流出することはない。しかし、ボックス１０Ａ内またはボックス１０Ｂ内から流出した空気によってボックス１０Ａ内やボックス１０Ｂ内の気圧が下降し、それによって、必要以上の空気が排気ダクト５６から流出する場合がある。
【０１２３】
排気ダクト５６から空気が流出すると、ダクト５６内の圧力が減少する。その結果、測定圧力が設定圧力の範囲未満となる場合がある。なお、定風量ユニット５８では、モータダンパの旋回羽根の開度を調節することで、そこを通る空気の通過量を一定に保持するが、一度に余分な空気が排気ダクト５６から流出すると、定風量ユニット５８のモータダンパがそれに追い付かず、必要以上の空気がクリーンルーム４０，４１から排気され、クリーンルーム４０，４１内を目標室内気圧に保持することができない場合がある。クリーンルーム４０，４１ではその内部気圧を厳格に管理する必要があるが、排気ダクト５６内の圧力変動による影響でクリーンルーム４０，４１の内部気圧が変動する場合があり、排気ダクト５６内の圧力変動による影響を無視することはできない。
【０１２４】
しかし、この室圧制御機構３９における排気装置４２では、排気ダクト５６を通過する空気の圧力（モータダンパ５０の空気流路を通過する空気量）を監視し、ダクト５６を通る空気の量（空気圧）を一定に保持するから、排気ファン５７に余分な空気が不定期かつ不規則に流入することや排気ダクト５６から余分な空気が不定期かつ不規則に流出することはない。具体的にモータダンパ５０のコントローラ５３は、圧力センサ５１から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較する（排気圧力比較手段）（Ｓ−１１）。次に、コントローラ５０は、測定圧力と設定圧力とを比較した結果、測定圧力が設定圧力の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１２）。
【０１２５】
モータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力が設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根５４の開度を保持する。次に、コントローラ５３は、室圧制御機構３９を停止するかを判断する（Ｓ−１３）。室圧制御機構３９の停止指示があると、コントローラ５３は、排気装置４２の運転を停止する。室圧制御機構３９を継続して運転する場合、ステップ１１（Ｓ−１１）に戻って測定圧力と設定圧力とを比較し、ステップ１１（Ｓ−１１）からのプロセスを繰り返す。ステップ１２（Ｓ−１２）においてモータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力が設定圧力の範囲内になく、測定圧力が設定圧力の範囲を超過していると判断すると、旋回羽根５４が全開（開度１００％）でなければ、羽根５４の開度を大きくする（Ｓ−１４）。なお、旋回羽根５４が全開であれば、全開を保持する（Ｓ−１４）。
【０１２６】
モータダンパ５０のコントローラ５３は、排気ダクト５６を通る空気の設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係、圧力センサ５１から出力される各測定圧力とそれら測定圧力に対応する空気通過量との相関関係、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量に対応する旋回羽根５４の開度（旋回角度）に基づいて、旋回羽根５４の開度を決定することもできる。この場合、コントローラ５３のメモリには、それら相関関係や旋回羽根５４の開度が格納されている。
【０１２７】
具体的には以下のとおりである。モータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力が設定圧力の範囲を超過している場合、設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ５１から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、設定圧力に対応する空気通過量よりも多い。
【０１２８】
さらに、モータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はプラスとなる。コントローラ５３は、設定圧力に対応する空気通過量から測定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量（プラス）に対応するモータダンパ５０の旋回羽根５４の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応する旋回羽根５４の開度を決定する。なお、旋回羽根５４の開度はプラスになる。したがって、コントローラ５０は、旋回羽根５４の開度が全開であれば、羽根５４の開度を全開に保持し、旋回羽根５４の開度が全開でなければ、羽根５４の開度を大きくする（Ｓ−１４）。
【０１２９】
モータダンパ５０のコントローラ５３は、旋回羽根５４の開度を全開に保持し、または、旋回羽根５４の開度を大きくした後、室圧制御機構３９を停止するかを判断する（Ｓ−１３）。室圧制御機構３９の停止指示があると、コントローラ５３は、排気装置４２の運転を停止する。室圧制御機構３９を継続して運転する場合、開度全開または大きくした開度を保持した状態で室圧制御機構３９が運転され、ステップ１１（Ｓ−１１）に戻って圧力センサ５１から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較する（排気圧力比較手段）（Ｓ−１１）。
【０１３０】
旋回羽根５４の開度が全開または大きくなると、モータダンパ５０の空気流路を通過する空気量が増加し、測定圧力が低下して測定圧力が設定圧力の範囲内に復帰する（排気圧力制御手段）。ゆえに、ダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｅから余分な空気が排気ダクト５６に流入しようとしたとしても、排気ファン５７を介して排気する空気量を設定圧力に対応するそれに保持することができる。ステップ１２（Ｓ−１２）においてモータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力が設定圧力の範囲内になく、測定圧力が設定圧力の範囲未満であると判断すると、旋回羽根５４が最小開度（開度３〜２５％）でなければ、旋回羽根５４の開度を小さくする（Ｓ−５）。なお、旋回羽根５４が最小開度（開度３〜２５％）であれば、その開度を保持し（Ｓ−５）、最小開度未満にすることはなく、旋回羽根５４が全閉になることはない。
【０１３１】
メモリに格納された各相関関係や旋回羽根５４の開度に基づいて、開度を決定する場合は以下のとおりである。モータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力が設定圧力の範囲未満である場合、設定圧力とその設定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、設定圧力に対応する空気通過量を決定するとともに、測定圧力とその測定圧力に対応する空気通過量との相関関係に基づいて、圧力センサ５１から出力された測定圧力に対応する空気通過量を決定する。測定圧力に対応する空気通過量は、設定圧力に対応する空気通過量よりも少ない。
【０１３２】
さらに、モータダンパ５０のコントローラ５３は、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量を算出する。算出した空気通過量はマイナスとなる。コントローラ５３は、測定圧力に対応する空気通過量から設定圧力に対応する空気通過量を差し引いた空気通過量（マイナス）に対応するモータダンパ５０の旋回羽根５４の開度に基づいて、算出した空気通過量に対応する旋回羽根５４の開度を決定する。なお、旋回羽根５４の開度はマイナスになる。したがって、コントローラ５３は、旋回羽根５４が最小開度でなければ、羽根５４の開度を小さくする（Ｓ−５）。
【０１３３】
モータダンパ５０のコントローラ５３は、旋回羽根５４を最小開度に保持し、または、旋回羽根５４の開度を小さくした後、室圧制御機構３９を停止するかを判断する（Ｓ−１３）。室圧制御機構３９の停止指示があると、コントローラ５３は、排気装置４２の運転を停止する。室圧制御機構３９を継続して運転する場合、旋回羽根５４を最小開度または小さくした開度を保持した状態で室圧制御機構３９が運転され、ステップ１１（Ｓ−１１）に戻って圧力センサ５１から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較する（排気圧力比較手段）（Ｓ−１１）。
【０１３４】
旋回羽根５４の開度が最小開度または小さくなると、モータダンパ５０の空気流路を通過する空気量が減少し、排気ダクト５６からの空気の排気を制限することで、測定圧力が上昇して測定圧力が設定圧力の範囲内に復帰する（排気圧力制御手段）。ゆえに、排気ダクト５６から空気が流出しようとしたとしても、排気ファン５７を介して排気する空気量を設定圧力に対応するそれに保持することができる。
【０１３５】
工場１２の壁１６に取り付けられたガラリ１３の外側近傍に吹いていた風が納まり、ダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂへの余分な空気の流入が停止すると、モータダンパ５０の空気流路を通過する空気量が旋回羽根５４の開度を大きくした直後の空気流路を通過するそれに比較して増加し、圧力センサ５１から出力される測定圧力も低下する。測定圧力と設定圧力との比較（Ｓ−１１）においてモータダンパ５０のコントローラ５３は、ステップ１２（Ｓ−１２）において測定圧力が設定圧力の範囲内にあると判断すると、そのときの旋回羽根５４の開度を保持し、室圧制御機構３９を継続して運転する場合、ステップ１１（Ｓ−１１）に戻って測定圧力と設定圧力とを比較し、ステップ１１（Ｓ−１１）からのプロセスを繰り返す。なお、旋回羽根５４の開度を大きくした後、圧力センサ５１から出力される測定圧力が低下し、測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、コントローラ５３は、旋回羽根５４の開度を再び小さくする（Ｓ−１４）。
【０１３６】
モータダンパ５０のコントローラ５３は、ガラリ１３の外側近傍で再び風が吹き、その風の影響で余分な空気が再びダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂに進入して空気が排気ダクト５６に流入しようとし、測定圧力が設定圧力の範囲外になり、測定圧力が設定圧力を超過すると、旋回羽根５４の開度が全開であれば、旋回羽根５４の開度を全開に保持し、旋回羽根５４の開度が全開でなければ、旋回羽根５４の開度を大きくする（Ｓ−１４）。コントローラ５０は、旋回羽根５４の開度を大きくした後、大きくした開度を保持した状態で、ステップ１１（Ｓ−１１）に戻って圧力センサ５１から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較し（排気圧力比較手段）（Ｓ−１１）、ステップ１１（Ｓ−１１）からのプロセスを繰り返す。
【０１３７】
モータダンパ５０のコントローラ５３は、ガラリ１３の外側近傍で再び風が吹き、その風の影響で空気が再びダクト収容ボックス１０Ａまたはダクト収容ボックス１０Ｂから流出して必要以上の空気が排気ダクト５６から流出し、測定圧力が設定圧力の範囲外になり、測定圧力が設定圧力未満になると、旋回羽根５４の開度を小さくする（Ｓ−１４）。コントローラ５３は、旋回羽根５４の開度を小さくした後、小さくした開度を保持した状態で、ステップ１１（Ｓ−１１）に戻って圧力センサ５１から出力された測定圧力とメモリに格納した設定圧力とを比較し（排気圧力比較手段）（Ｓ−１１）、ステップ１１（Ｓ−１１）からのプロセスを繰り返す。
【０１３８】
排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ａ〜１０Ｅは、ガラリ１３の外側に吹く風の影響で余分な空気がボックス１０Ａ〜１０Ｅの内部空間１５に進入したとしても、その空気が流れ方向変更部材２６，２９，３２，３３に直接進入することはなく、内部空間１５に進入した空気の排気ダクト５６への直接の流入を防ぐことができ、ダクト５６に流入する空気を最小限にすることができる。また、ガラリ１３の外側に吹く風の影響で空気がボックス１０Ａ〜１０Ｅの内部空間１５から流出したとしても、空気が流れ方向変更部材２６，２９，３２，３３から直接流出することはなく、空気の排気ダクト５６からの直接の流出を防ぐことができ、ダクト５６から流出する空気を最小限にすることができる。
【０１３９】
排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ａまたは排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ｂは、ガラリ１３の外側近傍（工場１２の屋外）に吹く風の影響で、余分な空気が排気ダクト５６に流入しようとし、それによって測定圧力が設定圧力の範囲を超過すると、モータダンパ５０の旋回羽根５４の開度を大きくしてモータダンパ５０の空気流路を通過する空気量を増加させるから、排気ダクト５６からの空気の排気減を防ぐことができ、排気ファン５７やモータダンパ５０を利用して一定圧かつ一定量の空気を安定してクリーンルーム４０，４１外に排気することができる。
【０１４０】
排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ａまたは排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ｂは、ガラリ１３の外側近傍に吹く風の影響で、余分な空気が排気ダクト５６から流出し、それによって測定圧力が設定圧力の範囲未満になると、モータダンパ５０の旋回羽根５４の開度を小さくしてモータダンパ５０の空気流路を通過する空気量を減少させるから、排気ダクト５６から排気する空気の量を減少させることができ、排気ファン５７やモータダンパ５０を利用して一定圧かつ一定量の空気を安定してクリーンルーム４０，４１外に排気することができる。また、測定圧力が設定圧力の範囲に戻ると、そのときのモータダンパ５０の旋回羽根５４の開度を保持するから、排気ファン５７やモータダンパ５０を利用して一定圧かつ一定量の空気を安定してクリーンルーム４０，４１外に排気することができる。
【０１４１】
排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ａまたは排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ｂは、それを利用することで、クリーンルーム４０，４１から排気する空気を一定に保持することができ、クリーンルーム４０，４１の室内気圧を目標室内気圧に維持することができる。排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ａやダクト収容ボックス１０Ｂは、排気ファン５７から排気する空気の圧力や量を厳密に管理することが要求されるクリーンルーム４０，４１での使用に特に有効であり、クリーンルーム４０，４１において室内気圧の変動がない空調環境を作ることが可能である。
【０１４２】
一定圧かつ一定量の空気を安定してクリーンルーム４０，４１外に排気させるには排気ダクト５６内の空気の圧力が正圧に保持される必要があるが、排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ａまたは排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ｂは、その設定圧力が−１０００Ｐａ〜１０００Ｐａの範囲にあるから、空気が排気ダクト５６に流入しようとし、または、空気が排気ダクト５６から流出したとしても、モータダンパ５０の旋回羽根５４が迅速に作動し、排気ダクト５６内の空気の圧力が負圧になることを防ぐことができる。
【０１４３】
排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ａまたは排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ｂは、モータダンパ５０の旋回羽根５４の旋回速度が１〜３０ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲、好ましくは、１〜５ｓ／Ｆｕｌｌ  Ｓｃａｌｅの範囲にあるから、空気が排気ダクト５６に流入しようとし、または、空気が排気ダクト５６から流出することで排気ダクト５６の内部気圧が変動したとしても、モータダンパ５０の旋回羽根５４が前記旋回速度で瞬時に旋回し、測定圧力を設定圧力の範囲内に速やかに戻すことができ、排気ダクト５６内の空気の圧力変動を確実に防ぐことができる。排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ａやダクト収容ボックス１０Ｂは、余分な空気が不定期かつ不規則に排気ファン５６内に流入することはなく、余分な空気が不定期かつ不規則に排気ダクト５６から流出することもないから、排気ファン５７やモータダンパ５０を利用して一定圧かつ一定量の空気をクリーンルーム４０，４１外に排気することができ、クリーンルーム４０，４１から排気する空気を一定に保持することができる。
【０１４４】
旋回羽根５４の開度が全閉（０％）なると、クリーンルーム４０，４１から空気が排気されず、排気ファン５７内への空気の流入が停止し、排気ファン５７を介して空気をクリーンルーム４０，４１外に排気することができないが、排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ａまたは排気装置４２を備えたダクト収容ボックス１０Ｂは、モータダンパ５０の旋回羽根５４の開度を小さくしたときの羽根５４の最小開度が３〜２５％の範囲にあるから、旋回羽根５４の開度が全閉（０％）なることはなく、クリーンルーム４０，４１外への空気の未排気状態が回避され、クリーンルーム４０，４１の室内気圧の極端な上昇を防ぐことができるとともに、排気ファン５７やモータダンパ５０を利用して一定圧かつ一定量の空気をクリーンルーム４０，４１外に排気することができる。
【符号の説明】
【０１４５】
１０Ａ  ダクト収容ボックス
１０Ｂ  ダクト収容ボックス
１１    空気搬送ダクト
１２    工場（既設建物）
１３    ガラリ
１４    チャンバー
１５    内部空間
１６    壁
１８    頂壁
１９    底壁
２０    側壁
２１    側壁
２２    後側壁
２３    延出端部
２５    開口端
２６    屈曲ダクト
２７    第１開口端
２８    第２開口端
３８    給気装置
３９    室圧制御機構
４０    クリーンルーム（室）
４１    クリーンルーム（室）
４２    排気装置
４８    給気ダクト（空気搬送ダクト）
４９    給気ファン
５０    モータダンパ
５１    圧力センサ
５２    定風量ユニット
５３    コントローラ
５４    旋回羽根
５６    排気ダクト
５７    排気ファン
５８    定風量ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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