(57)【要約】【課題】ヒータからの輻射熱を効率良く利用し、かつ、ゲッター部材の活性化を均一に行うことができるゲッターポンプを提供する。【解決手段】容器11と、容器11内に収容されて、複数のディスク状のゲッター部材14が、縦置きに、かつ１以上の階層を形成して収納されたゲッター装置13と、容器11内に収容されて、ゲッター装置13に収納されたゲッター部材14に対面するように配置され、ゲッター部材14を加熱する加熱手段12とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同心円状に間隔を空けて配置された部材の間にディスク状のゲッター部材を収納するゲッター部材収納具。
【請求項２】
前記ゲッター部材収納具は、２つの円筒形の網状部材を平面視で同心円状に前記ゲッター部材の厚さよりも広い間隔を空けて対向させ、該網状部材の間にゲッター部材を収納することを特徴とする請求項１記載のゲッター部材収納具。
【請求項３】
前記ゲッター部材収納具は、同心円状に前記ゲッター部材の厚さより広い間隔を空けて並行する第１及び第２線状部材と、該第１線状部材と該第２線状部材との間を橋渡しし、前記同心円の円周に沿って前記ゲッター部材の直径よりも狭い間隔をおいて設けられた複数の第３線状部材とを備えた構造体が、支持部材により複数積層され、前記第１線状部材と前記第２線状部材の間に前記ゲッター部材を１以上の階層を形成するように収納することを特徴とする請求項１記載のゲッター部材収納具。
【請求項４】
同心円状に間隔を空けて配置された部材の間にディスク状のゲッター部材が収納されたことを特徴とするゲッター装置。
【請求項５】
複数の前記ゲッター部材が、縦置きに、かつ相互に重ならないように収納されたことを特徴とする請求項４記載のゲッター装置。
【請求項６】
前記ゲッター部材は、非蒸発性ゲッター合金の粉末を固めたものであることを特徴とする請求項４記載のゲッター装置。
【請求項７】
同心円状に間隔を空けて配置された部材の間にディスク状のゲッター部材が収納されたゲッター装置と、
前記ゲッター装置に収納された前記ゲッター部材に対面するように配置され、前記ゲッター部材を加熱する加熱手段と
を有することを特徴とするゲッターポンプ。
【請求項８】
前記ゲッター装置は、２つの円筒形の網状部材を平面視で同心円状に前記ゲッター部材の厚さよりも広い間隔を空けて対向させ、該網状部材の間に前記ゲッター部材を収納するゲッター部材収納具を有することを特徴とする請求項７記載のゲッターポンプ。
【請求項９】
前記ゲッター装置は、同心円状に前記ゲッター部材の厚さよりも広い間隔を空けて並行する第１及び第２線状部材と、該第１線状部材と該第２線状部材との間を橋渡しし、前記同心円の円周に沿って前記ゲッター部材の直径よりも狭い間隔をおいて設けられた複数の第３線状部材とを備えた構造体が、支持部材により複数積層され、前記第１線状部材と前記第２線状部材の間に前記ゲッター部材を１以上の階層を形成するように収納するゲッター部材収納具を有することを特徴とする請求項７記載のゲッターポンプ。
【請求項１０】
前記ゲッター装置は、容器内に収容されていることを特徴とする請求項８又は９に記載のゲッターポンプ。
【請求項１１】
前記ゲッター装置は、容器内に収容され、かつ、網状部材により、前記ゲッター部材の片方の板面が前記容器の内壁に接触するようにして該ゲッター部材の他方の板面を押さえ、かつ、前記ゲッター部材の下端を支持した構成を有することを特徴とする請求項７記載のゲッターポンプ。
【請求項１２】
前記容器の材料は、ベリリウム銅合金、又は、アルミニウム銅合金であることを特徴とする請求項１０又は１１に記載のゲッターポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク状（ピル状）の非蒸発性ゲッター（Non-Evaporable Getter, NEGと称される）を用いたゲッターポンプ、ゲッターポンプに用いられるゲッター部材収納具及びゲッター装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
非蒸発性ゲッターを用いたゲッターポンプは、真空技術分野では古くから知られている。そのゲッターポンプは、静止型の真空ポンプであり、可動部が存在せず、動作中一切のエネルギーを要しない簡便な真空ポンプであるという点で高く評価されている。
【０００３】
当該ゲッターポンプでは、ガス吸着性及びガス吸収性の高い合金（非蒸発性ゲッター材）を、表面積を増すために一旦粉末に粉砕し、その粉末を集めて圧縮して又は焼結して多孔質のディスク状（ピル状）に成形したゲッター部材が用いられる。非蒸発性ゲッターによる排気は、非蒸発性ゲッターの構成元素に酸素、水素、水及び炭素酸化物等の反応ガス種を化学吸着させ、非蒸発性ゲッター内部に拡散させることにより行われる。
【０００４】
ゲッター部材の形態の一つとして、ドーナツ状のゲッター部材を多数積層し、排気速度の増大とガス収着量の増大を図るようにしたものがある。
【０００５】
例えば、図１７（ａ）のように、棒状ヒータ53を真空容器51内の底部の中央部に配置し、棒状ヒータ53に複数のゲッター部材52を相互に一定の隙間を設けて串刺し状に積層したものがある。
【０００６】
また、図１７（ｂ）のように、ゲッター部材62aを棒状の固定金具62bに串刺し状に積層してゲッター部材集合体62とし、真空容器61内の底部の中央部に配置したヒータ63の周りにゲッター部材集合体62を多数配置したものもある（特許文献１）。この形態のゲッター部材を用いた真空ポンプは、大きな排気量を持つ真空ポンプとして知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−１９０２７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、合金粉末を固めて形成されたゲッター部材は、粉末同士の接合部を介して熱が伝導するため、もともと、熱が伝導しにくくなっている。
【０００９】
その上、図１７（ａ）のゲッター部材52の配置方法では、ゲッター部材52の中央部（ヒータ53側）から外側（真空容器51の壁側）に向かって比較的長い距離を熱が伝わる。このため、ゲッター部材52のヒータ53に近い中心部と外周部では大きな温度差が生じ、ゲッター部材52全体を均一に加熱することは難しい。
【００１０】
例えば、St707（SAES社の商品名）と称される非蒸発性ゲッター合金からなる外径約20mm、厚さ2mmの円形ディスクでは、ヒータ53の温度を略500℃に昇温しても、そのゲッター部材52の外周表面では、温度が略400℃程度であり、ゲッター部材52の最適活性化温度450℃から大きく外れる。
【００１１】
さらに、この温度差は、真空容器51の材料がステンレスであることからさらに助長される。即ち、ステンレス鋼は、輻射率が0.35と非常に大きい（熱伝導率が約16W/m/℃と非常に悪い）金属であるため、反射が少なく、ゲッター部材の周辺部から放射された輻射熱は次から次に真空容器壁に吸収され続けて温度がなかなか上がらない。このため、ゲッター部材52の中央部と周辺部ではより一層温度差が大きくなってしまう。つまり、熱損失も大きくなるとともに、ゲッター部材集合体の均一な活性化が困難になる。
【００１２】
また、図１７（ｂ）のように、ゲッター部材集合体62をステンレス製の真空容器61内でヒータ63の周りに容器壁により近く配置した場合は、さらに熱損失が大きくなるとともに、より一層ゲッター部材集合体62の均一な活性化が困難になる。即ち、円板状のゲッター部材62aでは、ゲッター部材62aのヒータ63に近い円周部から加熱され、熱が容器壁側に向かって移動し、容器壁に近い、反対側の円周部に伝えられることになり、熱がゲッター部材62a中を伝導する距離がより一層長くなる。しかも、ゲッター部材62aが容器壁に近いため、ゲッター部材62aの容器壁側の円周部からは次々に容器壁に熱が吸収され続けて温度がなかなか上がらない。このように、熱損失がより一層大きくなるとともに、ゲッター部材集合体62のヒータ63側と容器壁側とではより一層大きな温度差が発生することになる。
【００１３】
本発明は、上記の従来例の問題点に鑑みて創作されたものであり、ヒータからの輻射熱を効率良く利用し、かつ、ゲッター部材の活性化を均一に行うことができるゲッターポンプ、そのゲッターポンプに用いるゲッター部材収納具及びゲッター装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、一観点によれば、同心円状に間隔を空けて配置された部材の間に、ディスク状のゲッター部材を収納するゲッター部材収納具が提供される。
【００１５】
別の観点によれば、同心円状に間隔を空けて配置された部材の間にディスク状のゲッター部材が収納されたことを特徴とするゲッター装置が提供される。
【００１６】
さらに別の観点によれば、同心円状に間隔を空けて配置された部材の間にディスク状のゲッター部材が収納されたゲッター装置と、前記ゲッター装置に収納された前記ゲッター部材に対面するように配置され、該ゲッター部材を加熱する加熱手段とを有することを特徴とするゲッターポンプが提供される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、同心円状に間隔を空けて配置された部材の間にディスク状のゲッター部材が収納されているので、ゲッター部材は、広い面が加熱手段に対面するように配置される。
【００１８】
これにより、加熱手段からの輻射熱がゲッター部材の広い面にほぼ垂直に入射するため、加熱手段からの輻射熱を効率良くゲッター部材に伝達することができる。
【００１９】
また、加熱手段からゲッター部材に入射した輻射熱はゲッター部材の厚さ方向に伝導するため、輻射熱がゲッター部材を加熱するために伝導すべき距離が大幅に短くなる。これにより、ゲッター部材内を伝導する熱の損失が少なくなるとともに、熱損失があってもすぐに熱が供給されるため、ゲッター部材の加熱手段に近い部分と遠い部分の温度差が小さくなる。したがって、ゲッター部材の活性化を均一に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態のゲッターポンプの上面図である。
【図２】図１のI-I線に沿う側断面図である。
【図３】図１のゲッター部材収納具を分解して示す斜視図である。
【図４】図１のゲッター部材をゲッター部材収納具に収納した状態を示す側面図である。
【図５】（ａ）乃至（ｃ）は、第１実施形態のゲッターポンプに用いられるゲッター部材の変形例と、図１のゲッター部材収納具内におけるゲッター部材の配置方法を示す側面図である。
【図６】本発明の第２実施形態のゲッターポンプの上面図である。
【図７】図６のII-II線に沿う側断面図である。
【図８】（ａ）は、本発明の第３実施形態のゲッターポンプに用いられるゲッター部材収納具の斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）のゲッター部材収納具を用いたゲッター装置の斜視図である。
【図９】本発明の第４実施形態のゲッターポンプに用いられるＮＥＧカートリッジ（ゲッター装置）の側面図である。
【図１０】（ａ）は本発明の第４実施形態におけるＮＥＧカートリッジに取り付けられるヒータ取付け部材の斜視図、（ｂ）はヒータ取付け部材に線状ヒータを取り付けた状態を示す側面図である。
【図１１】本発明の第５実施形態のゲッターポンプの側断面図である。
【図１２】本発明の第６実施形態のゲッターポンプに用いられるゲッター装置の側断面図である。
【図１３】本発明の第７実施形態のゲッターポンプの上面図である。
【図１４】図１３のIII-III線に沿う断面から見た側面図である。
【図１５】（ａ）乃至（ｃ）は、本発明の第７実施形態におけるＮＥＧカートリッジを真空装置に取り付ける方法を示す側面図である。
【図１６】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、図１５（ａ）及び（ｃ）の接続フランジ部を拡大した断面図である。
【図１７】従来例のゲッターポンプの側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００２２】
（第１実施形態）
図１乃至図５を参照して、本発明の第１実施形態に係るゲッターポンプ101について説明する。
【００２３】
図１は、本発明の第１実施形態に係るゲッターポンプ101の上面図であり、図２は、そのI-I線に沿う側断面図である。ただし、図２において、ヒータ12だけは側面から見た図として示している。
【００２４】
第１実施形態に係るゲッターポンプ101においては、真空容器（ハウジングとも称される。）11内に、スパイラル状のヒータ12と、複数の円形ディスク状の非蒸発性のゲッター部材（ＮＥＧ部材）14を収納し、ヒータ12を囲むように設けられたＮＥＧカートリッジ（ゲッター装置）13とを備えている。
【００２５】
ＮＥＧカートリッジ13は、支持部材16を介して容器１１の底面に置かれる。なお、ＮＥＧカートリッジ13は、直接に或いは図示しない固定用金具を介して真空容器１１の上部に固定されてもよい。例えば、ＮＥＧカートリッジ13につながった固定用金具を収容できる溝をフランジ11cの表面に形成し、固定用金具がフランジ11c表面に突出しないようにして溝内でねじ止めなどにより固定されてもよい。ゲッター部材14は、減圧雰囲気中の酸素、水素、水及び炭素酸化物等の反応ガス種を化学吸着させ、ゲッター部材14内部に拡散させることにより排気を行う。
【００２６】
真空容器11は、円筒形で、かつ底部にあたる下端面が塞がれている。真空容器11の上端は開口端11fとなっており、開口端11fの周囲にフランジ11cを有する。このフランジ11cを用いて、排気対象の他の真空チャンバ（不図示）が真空シール材（不図示）を介して接続される。なお、符号11dはフランジ11cに設けられたボルト穴であり、真空容器11を他の真空チャンバに取り付けるときに使用される。そして、開口端11fを通して当該ゲッターポンプ101により他の真空チャンバ内が減圧される。当該ゲッターポンプ101の真空容器11の材料として、低輻射高熱伝導体である銅合金、例えば、輻射率０．１以下、熱伝導率100W/m/℃以上を有するベリリウム銅合金、又は、アルミニウム銅合金を用いることが好ましい。
【００２７】
この真空容器11の底部11bの中央部に、真空容器11の円筒の中心軸方向に長いスパイラル状のヒータ12が設けられている。真空容器11の底部11bの中央部では、銅合金に穴があけられてそこに電気の絶縁物11eが埋め込まれ、その絶縁物11eを貫通してヒータ12の電流導入端子12b、12cが外部に引き出されている。
【００２８】
また、ヒータ12を囲むように配置されたＮＥＧカートリッジ13は、網目袋状の収納部を円筒形に成形したゲッター部材収納具15に、複数のゲッター部材14が縦置きにして収納された構造を有する。ゲッター部材収納具15は、ヒータ12よりも高さが低く（長さが短く）なっている。このゲッター部材収納具15の円筒の中心部にヒータ12が置かれている。これにより、ゲッター部材収納具15に収納されたすべてのゲッター部材14の広い板面がヒータ12の方を向いている。
【００２９】
ゲッター部材収納具15は、図３に示すように、平織りの金網を直径が異なる円筒状に成形した２つの網状部材15a、15bを作製し、小さい直径の網状部材15bを大きい直径の網状部材15aの内側に２つの円筒形の中心軸が一致するように挿入し、網状部材15bの下部16bを折り曲げて、袋状にしたものである。２つの網状部材15a、15bの直径は、２つの網状部材15a、15bの間にゲッター部材14が縦置きにして収納できるような間隔が空くように設定されている。
【００３０】
すなわち、ゲッター部材収納具15は、２つの円筒形の網状部材15a、15bを平面視で同心円状にゲッター部材14の厚さよりも広い間隔を空けて対向させたものである。
【００３１】
網状部材15aの下部には、網状部材15aを利用して支持部材16aが形成されており、ゲッター部材収納具15は、図２に示すように、支持部材16aを介して真空容器11の底面に支持される。
【００３２】
ゲッター部材収納具15の網状部材15a、15bの材料として、耐熱性に優れ、熱伝導率が低く、ガス放出の小さい金属又はセラミックなどを用いることができる。そのような金属材料として、チタン、チタン合金、ステンレス又はインコネルなどが挙げられる。
【００３３】
なお、ゲッター部材収納具15の網状部材15a, 15bは、平織りの金網に限定されない。エッチング金網、パンチングメタル金網など、金属板を加工して金属板にディスク状のゲッター部材が通り抜けない大きさの多数の穴を設けたものでもよい。
【００３４】
このゲッター部材収納具15の２つの網状部材15a, 15bの間に、図４に示すように、複数のゲッター部材14が詰め込まれる。ゲッター部材収納具15は、２つの網状部材15a、15bの間にゲッター部材14が縦置きにして収納できる程度の間隔を有するため、ゲッター部材14を、相互に重ならないようにして詰め込むことができる。このとき、ゲッター部材14を、縦の列及び横の列において、それぞれ、隣接する列同士でピッチが1/2ずれるようにして詰め込むようにすると、ゲッター部材14間の隙間がもっとも少なくなって最大数のゲッター部材14を収納することができる。
【００３５】
なお、円形ディスク状のゲッター部材14の代わりに、図５（ａ）〜（ｃ）に示すような、正方形又は同じ形状の長方形などの四角形、菱形或いは正六角形のディスク状のゲッター部材14a、14b、14cを用いることができる。そして、図５（ａ）〜（ｃ）に示すように配列することで、ゲッター部材14間の隙間がもっとも少なくなって最大数のゲッター部材14a、14b、14cをゲッター部材収納具１５に収納することができる。
【００３６】
次に、図１及び図２を参照して、第１実施形態に係るゲッターポンプ101の動作を説明する。
【００３７】
当該ゲッターポンプ101は、排気対象である他の真空チャンバに接続されているとする。他の真空チャンバには、ターボ分子ポンプなど補助排気ポンプ（図示せず）が接続されて10-3Paまで排気された状態にあり、補助排気ポンプにより継続して排気が行われているものとする。
【００３８】
この状態で、ゲッター部材14を活性化するため、当該ゲッターポンプ101のヒータ12に通電してヒータ12を発熱させ、ゲッター部材14を加熱する。
【００３９】
ゲッター部材14の温度が上がり100〜200℃に達したとき、ゲッター部材14表面の酸化膜（ZeO2）に吸着していたガスが表面から離れ、補助排気ポンプで他の真空チャンバを通して当該真空容器１１内から排出される。さらにゲッター部材14の温度が上昇して300℃を超えたあたりから、ゲッター部材14表面を覆う酸化膜（ZeO2）がゲッター部材14内部に沈着し、さらにその酸化膜が割れたりして、ゲッター部材14の表面に新しい金属面が現れる。この金属面がゲッター機能を有し、大きな排気速度が得られるようになり、ゲッター部材１４の活性化が終了する。
【００４０】
これにより、他の真空チャンバは、当該ゲッターポンプ101により排気されることになる。したがって、その後、補助排気ポンプを止めても、このゲッターポンプ101だけで排気が持続され、10-8Pa以下の超高真空、極高真空を維持することができる。
【００４１】
以上のように、第１実施形態に係るゲッターポンプ101では、ディスク状のゲッター部材14を縦置きにしてゲッター部材14の板面がヒータ12を向くように配置されているので、ヒータ12からの輻射熱はゲッター部材14の広い板面にほぼ垂直に入射することになる。
【００４２】
また、真空容器11は、低輻射率（したがって、高熱伝導）を有する銅合金で作製されているので、昇温されたゲッター部材14からの放射熱の多くが真空容器11の側壁（容器壁）で反射して戻ることになり、熱損失を低減できる。例えば、輻射率を5%とすると、昇温されたゲッター部材14からの放射熱の95%が容器壁で反射して戻ることになる。
【００４３】
さらに、ＮＥＧカートリッジ13を真空容器11の中に固定するためには、それらを直接或いは金具を介して接触させる必要があるが、第１実施形態によれば、ゲッター部材収納具15の網状部材15a, 15bの材料として熱伝導率が低い金属やセラミックを用いることで、昇温したゲッター部材14からの熱が真空容器11に伝導により逃げにくくすることができる。
【００４４】
以上のように、上記各構成がそれぞれ、ヒータ12からの輻射熱を効率よく利用して少ない電力でゲッター部材14の加熱を行うことに寄与する。
【００４５】
また、ディスク状のゲッター部材14を縦置きにしてゲッター部材14の板面がヒータ12を向くように配置されているので、熱は、ゲッター部材14において、ヒータからの輻射熱の入射面から厚さ方向に流れる。これにより、輻射熱がゲッター部材14を加熱するために伝導すべき距離が短くなる。したがって、ゲッター部材14内部を伝導する熱の損失が少なくなるとともに、熱損失があってもすぐに熱が供給されるため、ゲッター部材14のヒータに近い部分と遠い部分の間の温度差を小さくできる。
【００４６】
さらに、当該ゲッターポンプ101の真空容器11を低輻射率の銅合金で作製することで、ゲッター部材14から容器壁への熱の吸収が少なくなるため、ゲッター部材14のヒータに近い部分とヒータから遠い部分の間の温度差はさらに改善される。
【００４７】
また、ヒータ12の高さ（長さ）をＮＥＧカートリッジ13の高さ（長さ）よりも十分に高く（長く）なるように形成することで、ＮＥＧカートリッジ13内のどのゲッター部材14も均一に昇温することが可能になる。
【００４８】
以上のように、上記各構成がそれぞれ、ＮＥＧカートリッジ14の活性化を均一に行うことに寄与する。
【００４９】
（実施例）
次に、本願発明者が行った調査実験について説明する。
【００５０】
（ゲッターポンプの作製）
図１、図２及び図３を参照し、調査実験に用いたゲッターポンプ101の作製方法を具体的に説明する。
【００５１】
まず、図３に示すように、線径0.6ｍｍの純チタン線の１２メッシュの平織り金網を２枚用意し、それぞれ丸めて２つの円筒形を作製する。一枚は、外筒15aとして用いるため直径37ｍｍに形成し、接合部をスポット溶接する。また、もう一枚は、内筒15bとして用いるため直径28ｍｍに形成し、接合部をスポット溶接する。共に高さは58ｍｍとする。
【００５２】
次に、円筒形の中心軸が一致するように内筒15bを外筒15aの内側に挿入する。内筒15bの下端の部分の横の針金を外し、縦の針金を外筒15a側に向かって９０度折り曲げて内筒15bと外筒15aの間の隙間の下端部を塞ぎ、隙間を袋状とする。これにより、中に入れるゲッター部材14が落ちないようにする。
【００５３】
ゲッター部材14は、St707と称されるジルコニウム（Zr）70%、バナジウム（V）24.6%、鉄（Fe）5.4%を含む合金粉末を圧縮して又は焼結して直径10ｍｍ、高さ3ｍｍのディスク状（ピル状、或いはタブレット状ともいう。）に固めた多孔質のディスクである。これをゲッター部材収納具15の外筒15aと内筒15bの間の隙間に入れて、一周あたり８個並べこれを５段積みにする。これにより、合計４０個のゲッター部材14を有するＮＥＧカートリッジ13が作製される。ＮＥＧカートリッジ13の高さは37ｍｍである。
【００５４】
ヒータ12は線径1ｍｍ、長さ500ｍｍのタンタル線を直径約12ｍｍのスパイラル状に１２ターン巻いたものである。電流導入端子12b、12cは、ヒータ異常時の抵抗を確認することが可能なようにニッケルロッドからなる２本の端子で構成され、16.5Ａの電流を流すことができる。なお、電流導入端子は1本をロッド端子とし、もう一方をグランド端子とすることも可能である。
【００５５】
真空容器11の材料は、例えば、0.2%ベリリウムを含む銅合金（ベリリウム銅合金）である。なお、この真空材料は、本願出願人が発明し、すでに特許権（特許第４８２９４８５号）を得ている。真空容器11の内径は39ｍｍφ、高さは60ｍmであり、開口端11fを有する上端のフランジは、ICF70のコンフラットフランジ規格で形成され、他の真空チャンバの接続面には銅ガスケットとの癒着を防止するためのニッケルリンメッキが施してある。
【００５６】
（調査実験とその結果）
次に、上述のゲッターポンプ101を用いて行った調査実験とその結果について説明する。
【００５７】
最初に、ＮＥＧカートリッジ13に収納されたゲッター部材集合体の温度を５００℃まで上昇させる加熱実験を行った。比較のため、ＮＥＧカートリッジ13を収容する容器としてステンレス製の真空容器も実験に供した。
【００５８】
実験によれば、ゲッター部材集合体の温度を500℃まで上昇させるために必要な電力は、ステンレスの場合200Ｗであったのに対して、ベリリウム銅合金の場合約70Ｗとステンレスの場合の約1/3であった。これは、ベリリウム銅合金の表面熱輻射率がステンレスの約1/5と小さくて熱が吸収されにくいためであると考えられる。なお、ベリリウム銅合金では、小さい熱輻射率に対応して、熱伝導率は逆にステンレスの１３倍と大きい。
【００５９】
また、同時に測定した真空容器11の大気側表面の温度は、ステンレスの場合約250℃まで上昇したのに対して、ベリリウム銅合金の場合約80℃以下であった。このことは、本願のベリリウム銅合金の方が、ヒータ12からの放射熱が効率よく殆どゲッター部材14に吸収されていることを示している。
【００６０】
また、500℃に昇温した状態で、熱電対を用いて、ゲッター部材集合体の最下段並びに最上段を含む所定の位置でゲッター部材14個々の表面及び裏面の温度を測定したところ、ベリリウム銅合金の場合最大温度差が20℃以内であった。
【００６１】
次に、ゲッター部材集合体の活性化実験を行った。
【００６２】
実験では、ゲッター部材集合体を500℃に昇温した状態で約30分間放置して活性化を行い、さらに自然冷却した後、よく知られたスループット法によりＮＥＧカートリッジ13の排気速度を測定した。実験結果では、ＮＥＧカートリッジ13の排気速度として、水素に対しては70L/sを、窒素に対しては40L/sを得ることができた。
【００６３】
以上のように、本発明の第１実施形態によれば、熱エネルギーを効率よく利用して少ない電力でゲッター部材集合体の加熱を行うとともに、ゲッター部材集合体の活性化を均一に行うことができるゲッターポンプを提供することが可能になった。
【００６４】
（第２実施形態）
図６乃至図７を参照して、本発明の第２実施形態に係るゲッターポンプ102について説明する。
【００６５】
図６は、本発明の第２実施形態に係るゲッターポンプ102の上面図であり、図７は、そのII-II線に沿う側断面図である。ただし、図７において、ヒータ12だけは側面から見た図として示している。
【００６６】
第２実施形態に係るゲッターポンプ102においては、ゲッター部材14を支持する部材として、第１実施形態に係るゲッター部材収納具15の網状部材15a, 15bと同じように、平織りの金網を円筒形に成形した網状部材18を用いる。さらに、網状部材18の下端を外側に折り曲げ、ゲッター部材14の下端を支持できるように成形する。
【００６７】
網状部材18に複数のゲッター部材14を縦置きにして入れる。そして、網状部材18により、ゲッター部材14の下端を支持しつつ、ゲッター部材14の片方の板面が真空容器11の側壁に接触するようにしてゲッター部材14の他方の板面を押さえ、支持する。このように、ゲッター部材収納具は、網状部材18で構成される。
【００６８】
１つの円筒形に成形した網状部材18と複数のゲッター部材14とがゲッター装置17を構成する。なお、他の符号は、第１実施形態と同じ符号は、第１実施形態と同じものを示す。
【００６９】
このような第２実施形態においては、ゲッター部材14を真空容器11の内壁に接触させているが、その接触は点接触となる。そして、真空容器11の材料として、第１実施形態と同じように、低輻射高熱伝導体である銅合金を用い、かつ、網状部材18として熱伝導率の小さい材料を用いている。したがって、ゲッター部材14から真空容器11の内壁への熱伝導が抑制されるとともに、真空容器11への熱吸収が抑制される。
【００７０】
よって、熱エネルギーを効率よく利用して少ない電力でゲッター部材集合体の加熱を行うとともに、ゲッター部材集合体の活性化を均一に行うことができるゲッターポンプを提供することが可能になった。
【００７１】
（第３実施形態）
図８(ａ)は、本発明の第３実施形態に係るゲッターポンプに用いるゲッター部材収納具19を示す斜視図である。図８(ｂ)は、ゲッター部材収納具19にゲッター部材14を収納した状態を示す斜視図である。
【００７２】
ゲッター部材収納具19は、同心円状に間隔を空けて並行する第１及び第２線状部材19a, 19bと、第１線状部材19aと第２線状部材19bとの間を橋渡しし、同心円の円周に沿って間隔をおいて設けられた複数の第３線状部材19cとで構成される。ゲッター部材収納部19eは、隣接する第３線状部材19cの間に形成され、第１線状部材19aと第２線状部材19bとの間隔がディスク状のゲッター部材の厚さより広く、第３線状部材19c同士の間隔がディスク状のゲッター部材の直径よりも狭く形成されている。
【００７３】
この構成が、複数、支持部材19dを介して階層状に積層され、ゲッター部材収納具19が形成される。なお、隣接する階層を、図８(ｂ)に示すように、ゲッター部材収納部19eに収納されたゲッター部材14が1/2ピッチずれるように形成すると、ゲッター部材14の間の隙間を少なくして多くのゲッター部材14を収納することができる。
【００７４】
なお、このゲッター部材収納具19は、横に広い網目を有する2つの平織りの網部材（一つは、横方向の第１線状部材19aと縦方向の支持部材19dとで構成され、他は、第２線状部材19bと縦方向の支持部材19dとで構成されている）を、それぞれ直径の異なる２つの円筒形に成形して同心円筒に配置し、さらに、横方向に配置した第１線状部材19a及び第２線状部材19b同士を橋渡しする第３線状部材19cを設けたものに相当する。
【００７５】
円形ディスク状のゲッター部材14をゲッター部材収納部19eに縦置きに入れると、隣接する第３線状部材19cの間隔がゲッター部材14の直径よりも小さいため、抜け落ちないで縦置きに支持される。第１乃至第３線状部材19a〜19cの材料として、第１実施形態の網状部材と同じ材料が用いられる。
【００７６】
ゲッター装置20は、ゲッター部材収納具19のゲッター部材収納部19eにゲッター部材14を収納して構成される。
【００７７】
このような本発明の第３実施形態によっても、第１実施形態と同じように、熱エネルギーを効率よく利用して少ない電力でゲッター部材集合体の加熱を行うとともに、ゲッター部材集合体の活性化を均一に行うことができるゲッターポンプを提供することが可能になる。
【００７８】
（第４実施形態）
図９乃至図１０を参照して、本発明の第４実施形態に係るゲッターポンプについて説明する。
【００７９】
図９は、本発明の第４実施形態に係るゲッターポンプにおいて、特にＮＥＧカートリッジ21及びヒータ23を示す側面図であり、図１０（a）は、ＮＥＧカートリッジ21に取り付けられるヒータ取付け部材22を示す斜視図であり、（ｂ）はヒータ取付け部材22に線状のヒータ23を取り付けた状態を示す側面図である。ただし、図９のＮＥＧカートリッジ21は、実際は円筒形に成形されているが、図９では、平面的に描いている。
【００８０】
ＮＥＧカートリッジ21は、第１実施形態のゲッター部材収納具と同じ、網目袋状の収納部を円筒形に配置したゲッター部材収納具15とゲッター部材14とで構成される。この場合、ゲッター部材14を加熱するヒータ23は、線状のヒータが用いられ、図９に示すように、ヒータ取付け部材22に取り付けてゲッター部材収納具15の外筒15aの周囲にかつゲッター部材収納具15の近くに張り巡らされている。なお、ゲッター部材収納具15の内筒15b（図３に示す。）の周囲に張り巡らせてもよい。ヒータ23は、線状のもののほかに帯状のものを用いることができる。
【００８１】
ヒータ取付け部材22は、薄い板厚の、直径がほぼゲッター部材14の直径と同じ円板22bと、円板22bの片面の中央部に立てて固定された支柱22aとで構成される。支柱22aには、円板22bの取付け端の反対の端の近くに線状のヒータ23を通す穴が設けられている。
【００８２】
ゲッター部材14をゲッター部材収納具15に収納するときに、ヒータ取付け部材22も一緒に収納する。ヒータ取付け部材22の支柱22aはゲッター部材収納具15の網目から外に出るようにする。このとき、ヒータ取付け部材22の円板22bの直径がゲッター部材14の直径とほぼ同じなので、ゲッター部材14の配列を乱すことなく、ゲッター部材14の間にヒータ取付け部材22を置くことができる。ＮＥＧカートリッジ21の周囲でのヒータ取付け部材22の並びは、種々可能であるが、ＮＥＧカートリッジ21の上部及び下部に交互に置かれるようにすることが好ましい。
【００８３】
ヒータ23は、ＮＥＧカートリッジ21の上部及び下部に交互に配列したヒータ取付け部材22の支柱22aに順次取り付ける。これにより、ヒータ23はゲッター部材収納具15の外筒15aの周囲で、かつ、外筒15aの近くに張り巡らされる。
【００８４】
このような構成は、特に、ゲッターポンプの真空容器11の直径が大きくなった場合に有効である。すなわち、真空容器11の直径が大きくなると、第１実施形態のようなゲッター部材14の配置では真空容器11の中央部に置いたヒータ23からゲッター部材14までの距離が遠くなり、熱がゲッター部材14に届きにくくなる。この場合、ヒータ23をゲッター部材収納具15の外筒15aの周囲に、かつ、外筒15aの近くに張り巡らせることで、常に、ゲッター部材14の近くにヒータ23を置くことができる。これにより、ヒータ23の熱エネルギーを有効に利用することができる。
【００８５】
また、ゲッター部材14は、板面がヒータ23に向き、熱がゲッター部材14の広い面から入射するように縦置きにしてあるため、個々のゲッター部材14においてヒータ23に近い部分と遠い部分で温度差が小さくなる。
【００８６】
以上のように、本発明の第４実施形態によっても、第１実施形態と同じように、熱エネルギーを効率よく利用して少ない電力でゲッター部材集合体の加熱を行うとともに、ゲッター部材集合体の活性化を均一に行うことができるゲッターポンプを提供することが可能になる。
【００８７】
（第５実施形態）
図１１は、本発明の第５実施形態に係るゲッターポンプ103に用いるゲッター装置を示す側断面図である。
【００８８】
ゲッター部材14の集合体を真空容器11の底部に相互に重ならないように横置きにし、その上に金網（網状部材）24を設けた構造である。この場合も、第４実施形態のヒータ取付け部材22に類似のヒータ取付け部材25により線状ヒータ26を網状部材24の近くに張り巡らせた。金網24の材料として、第１実施形態と同じ材料を用いることができる。ゲッター装置は、金網24とゲッター部材14の集合体とで構成される。
【００８９】
第５実施形態のヒータ取付け部材25では、ワッシャー25bを支柱25aに通し、支柱25aの先端よりも少し下のところで固定する。そして、金網24を通して支柱25aを真空容器１１の底部に立てて固定する。さらに、溶接などによりワッシャー25bを金網２４に固定する。そして、ヒータ26を支柱25aの先端部に形成された穴に通して網状部材24の近くに張り巡らせる。
【００９０】
このような本発明の第５実施形態によっても、第１実施形態と同じように、熱エネルギーを効率よく利用して少ない電力でゲッター部材集合体の加熱を行うとともに、ゲッター部材集合体の活性化を均一に行うことができるゲッターポンプ103を提供することが可能になる。
【００９１】
（第６実施形態）
図１２は、本発明の第６実施形態に係るゲッターポンプに用いるＮＥＧカートリッジ27を示す側断面図である。
【００９２】
ＮＥＧカートリッジ27は、ゲッター部材収納具28と、第１実施形態と同じ複数のゲッター部材14とで構成される。
【００９３】
ゲッター部材収納具28は、第１実施形態と同様に、平織りの金網を直径が異なる円筒状に成形した２つの網状部材28a, 28bを作製し、小さい直径の網状部材28bを大きい直径の網状部材28aの内側に２つの円筒形の中心軸が一致するように挿入し、網状部材28b下部を折り曲げて、袋状にしたものである。第１実施形態と異なるところは、２つの網状部材28a, 28bの直径が、２つの網状部材28a, 28bの間にゲッター部材14が横置きにして収納できるような間隔が空くように設定されている点である。
【００９４】
複数のゲッター部材14は、ゲッター部材収納具28の網目袋状の収納部の中に横置きにして、球状或いは円柱状の介在部材29を介して積層され、支持される。
【００９５】
第６実施形態に係るゲッターポンプでは、ＮＥＧカートリッジ27が第１実施形態と同じ容器の底部に置かれる。このようなゲッターポンプによれば、ゲッター部材14が横置きにして保持されるが、特に、真空容器の材料として、低輻射高熱伝導体である銅合金を用いていることで、昇温されたゲッター部材14からの放射熱の多くが容器壁で反射して戻ることになり、熱損失を低減できる。そして、このことにより、結果的に、ゲッター部材集合体の活性化を均一に行うことができる。
【００９６】
（第７実施形態）
図１３は、本発明の第７実施形態のゲッターポンプ104の上面図である。
【００９７】
図１４は、図１３のIII-III線に沿う断面から矢印の方向に見た側面図である。
【００９８】
本発明の第７実施形態のゲッターポンプ104においては、複数の円形ディスク状の非蒸発性のゲッター部材（ＮＥＧ部材）14を収納し、真空容器30内壁に沿って設けられたＮＥＧカートリッジ（ゲッター装置）21aと、リングフランジ30とを備えている。
【００９９】
ＮＥＧカートリッジ21aは、第４実施形態に係るゲッター部材収納具と同じ、網目袋状の収納部を円筒形に配置したゲッター部材収納具15とゲッター部材14とで構成される。この場合、ゲッター部材14を加熱するヒータ23は、図１４に示すように、ヒータ取付け部材22に取り付けてゲッター部材収納具15の内筒15bの周囲に張り巡らせている。
【０１００】
ヒータ取付け部材22は、図１０に記載したものと同じものが用いられ、ゲッター部材収納具15の内筒15bの周囲にわたって内筒15bの上部及び下部に交互に配列され、溶接により内筒15bに固定されている。なお、ヒータ取付け部材22の内筒15bへの取り付けは、図９と同じように、ゲッター部材14と一緒にゲッター部材収納具15に収納し、ゲッター部材14の間に固定するようにしてもよい。なお、図１３では、ヒータ取付け部材22は省略してある。
【０１０１】
線状のヒータ23は、ゲッター部材収納具15の内筒15bの周囲にわたって上部及び下部に交互に配列されたヒータ取付け部材22の支柱22aに順次取り付ける。これにより、ヒータ23はゲッター部材収納具15の内筒15bの周囲で、かつ、内筒15bの近くに、ゲッター部材14に対面するように張り巡らされる。
【０１０２】
リングフランジ30は、所定の厚さを有する円筒形で、周囲がフランジ31aとなっている。また、フランジ31aの円筒内面には、真空シールを行うためのエッジＥが設けられ、さらにその内側には、内側に突出したツバ31cが設けられている。ＮＥＧカートリッジ21aは、ゲッター部材収納具15の円筒の中心軸を、リングフランジ30の円筒の中心軸に合わせてツバ31cの上に着脱可能に取り付けられている。また、フランジ31aの一部に、フランジ31aを中心軸から放射方向に貫通し、かつフランジ31aから絶縁されて電流導入端子32a, 32bが取り付けられ、外部から内部にヒータ23を加熱するための電力を導けるようになっている。電流導入端子32a, 32bの内部の端子はヒータ23に接続されている。また、フランジ31aにはボルト穴31bが設けられ、他の真空容器に取り付けることができるようになっている。
【０１０３】
なお、リングフランジ30の真空シール部（エッジＥ）の形状は、ナイフエッジ型コンフラットフランジに限られない。また、代わりに、真空シール部に、ヘリコフレックス、バイトンなどを用いてもよい。
【０１０４】
次に、ゲッターポンプ104を真空装置に取り付ける方法について説明する。
【０１０５】
図１５（ａ）乃至（ｃ）は、ゲッターポンプ104を真空装置に取り付ける方法を示す側面図である。
【０１０６】
図１５（ａ）では、２つの真空容器A，Bが、それぞれのフランジ33, 34を突き合わせて接続され、一つの真空装置を構成している。相互のフランジ33, 34はボルト・ナットで締め付けられて、真空装置の真空シールが達成されている。図１６（ａ）は、真空容器A，Bの接続部を拡大した断面図である。図１６（ａ）中、符号40はボルト、41はナットである。また、符号Ｇは、相互のチャンバ33, 34のエッジEの間に挟み込み、真空シールを確実に行うためのガスケットである。
【０１０７】
なお、真空容器Aの上端及び真空容器Bの下端は、塞がれていてもよいし、開口端となっていてもよい。開口端となっている場合は、そこにさらに別の真空容器が接続されることになる。
【０１０８】
この真空装置に、ゲッターポンプ104を取り付ける場合、まず、図１５（ｂ）に示すように、フランジ33, 34のボルト40を緩めて外し、真空容器A，Bを分離する。次に、ＮＥＧカートリッジ21aを真空容器A内に挿入する。そして、ＮＥＧカートリッジ21aのリングフランジ30を真空容器Aのフランジ33と真空容器Bのフランジ34の間に挟み込み、３つのフランジ30, 33, 34同士を重ね合わせる。その後、３つのフランジ30, 33, 34をボルト・ナットで締め付ける。図１６（ｂ）は、フランジ相互の接続部を拡大した断面図である。図１６（ｂ）中、符号Ｇは、真空容器Aのフランジ33のエッジＥとリングフランジ30の上側のエッジＥの間、真空容器Bのフランジ34のエッジＥとリングフランジ30の下側のエッジＥの間にそれぞれ挟み込んだガスケットである。
【０１０９】
このようにして、図１５（ｃ）に示すように、ＮＥＧカートリッジ21aを備えた真空装置が完成する。
【０１１０】
以上のように、第７実施形態のゲッターポンプ104によれば、ＮＥＧカートリッジ21aが円筒形を有し、かつヒータ23をゲッター部材収納具15の内筒15bの周囲で、かつ、内筒15bの近くに張り巡らしている。このため、ＮＥＧカートリッジ21aを円筒形の真空容器A内に円筒の中心軸を合わせて配置することで、真空容器Aの内壁に沿ってかつ中央部を空けてＮＥＧカートリッジ21aを配置することができる。
【０１１１】
このため、真空容器Aの中央部を通して、電子ビームなどを真空容器Aから真空容器Bに、或いはその逆方向に導くことができる。また、真空容器Aの中央部を通して真空容器A, Bの間で被処理基板などを搬送することができる。よって、真空装置の使い勝手が良くなり、真空装置の用途が広がる。
【０１１２】
また、ＮＥＧカートリッジ21aとリングフランジ30を一体化しているため、ＮＥＧカートリッジ21aを真空装置に容易に取り付けることができる。
【０１１３】
（実施例）
次に、本願発明者が行った、ゲッターポンプ104の調査実験について説明する。
【０１１４】
（ゲッターポンプの作製）
図１４を参照し、調査実験に用いたゲッターポンプ104の作製方法を具体的に説明する。
【０１１５】
まず、図１４に示すように、線径0.6ｍｍのステンレス製金網の１０メッシュの平織り金網を２枚用意し、それぞれ丸めて２つの円筒形を作製する。一枚は、外筒15aとして用いるため直径150ｍｍに形成し、接合部をスポット溶接する。また、もう一枚は、内筒15bとして用いるため直径140ｍｍに形成し、接合部をスポット溶接する。共に高さは200ｍｍとする。
【０１１６】
次に、円筒形の中心軸が一致するように内筒15bを外筒15aの内側に挿入して、内筒15bと外筒15aの間の隙間の下端部を塞ぎ、隙間を袋状とする。
【０１１７】
作製した袋状の二重金網の間に、St707と称されるジルコニウム（Zr）70%、バナジウム（V）24.6%、鉄（Fe）5.4%を含む合金粉末を直径10ｍｍ、高さ3ｍｍのディスク状に固めたNEG（ゲッター部材）14を、約８２０個詰め込み、ＮＥＧカートリッジ21aを作製した。
【０１１８】
さらに、ＮＥＧカートリッジ21aをリングフランジ30に円筒の中心軸を合わせて取り付け、次いで、線径0.6ｍｍのタンタル線からなるヒータ23を、図１４に示すように、内筒15bの周囲にわたって配設し、ゲッターポンプ104を作製した。
【０１１９】
（調査実験とその結果）
次に、上述のゲッターポンプ104を用いて行った調査実験とその結果について説明する。
【０１２０】
真空容器にゲッターポンプ104を取り付けた後、ヒータ23に５０Ｖ×７Ａの電力を投入して、ＮＥＧの温度を４５０℃まで上昇させて活性化した。活性化後、室温に戻して、水素に対する排気速度をスループット法で計測した。その結果、2.0ｍ3/ｓの大きな排気速度が得られた。また、窒素に対しては0.8ｍ3/ｓの排気速度が得られた。
【０１２１】
以上、実施の形態によりこの発明を詳細に説明したが、この発明の範囲は上記実施形態に具体的に示した例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の上記実施形態の変更はこの発明の範囲に含まれる。
【０１２２】
例えば、ゲッター部材14として、St707と称されるジルコニウム（Zr）70%、バナジウム（V）24.6%、鉄（Fe）5.4%を含む非蒸発性ゲッター合金の粉末を直径10ｍｍ、高さ3ｍｍのディスク状に固めた多孔質のディスクを用いているが、ディスクの寸法は、真空容器の大きさに合わせて適宜変更可能である。
【０１２３】
また、St707と称される非蒸発性ゲッター合金の代わりに、St185（SAES社の商品名）と称されるバナジウム−チタン系の非蒸発性ゲッター合金又はその他の非蒸発性ゲッター合金を用いてもよい。
【０１２４】
また、真空容器11内でのＮＥＧカートリッジ（ゲッター装置）13、17、20、21、21a、27及びゲッター装置20の置き方について、実施形態では、真空容器11の円筒の中心軸とゲッター装置13、17、20、21、21a、27の円筒の中心軸とが並行するように置かれているが、排気対象の他の真空チャンバへの真空ポンプの接続の向きを考慮するなどして、適宜変更可能である。
【０１２５】
また、ゲッター装置13、17、20、21、21aでは、複数の、一定の形状及び大きさのディスク状のゲッター部材が、縦置きに整列されて、かつ相互に重ならないように収納されているが、これに限られない。
【０１２６】
ディスク状のゲッター部材は一定の形状及び大きさのものではなくて、ランダムな形状及び大きさのゲッター部材を用い、また、ゲッター部材同士が一部で相互に重なっていてもよい。この場合も収納部の間隔が狭いため、ヒータからの熱がゲッター部材を熱伝導する距離は一定の形状及び大きさのディスク状のゲッター部材を用いた場合と変わらず、短くなる。よって、ゲッター部材内を伝道する熱の損失が少なくなるとともに、熱損失があってもすぐに熱が供給されるため、ゲッター部材の加熱手段に近い部分と遠い部分の温度差が小さくなる。したがって、ゲッター部材の活性化を均一に行うことができる。
【０１２７】
また、網状部材として、平織りの金網を用いているが、耐熱性を有する樹脂やセラミックなどの電気絶縁物の平織りの網部材を用いてもよい。
【０１２８】
上述の本発明を付記としてまとめる。
【０１２９】
（付記１）同心円状に間隔を空けて配置された部材の間にディスク状のゲッター部材を収納するゲッター部材収納具。
【０１３０】
（付記２）前記ゲッター部材収納具は、２つの円筒形の網状部材を平面視で同心円状に前記ゲッター部材の厚さよりも広い間隔を空けて対向させ、該網状部材の間に前記ゲッター部材を収納することを特徴とする付記１記載のゲッター部材収納具。
【０１３１】
（付記３）前記ゲッター部材収納具は、同心円状に前記ゲッター部材の厚さより広い間隔を空けて並行する第１及び第２線状部材と、該第１線状部材と該第２線状部材との間を橋渡しし、前記同心円の円周に沿って前記ゲッター部材の直径よりも狭い間隔をおいて設けられた複数の第３線状部材とを備えた構造体が、支持部材により複数積層され、前記第１線状部材と前記第２線状部材の間に前記ゲッター部材を１以上の階層を形成するように収納することを特徴とする付記１記載のゲッター部材収納具。
【０１３２】
（付記４）前記網状部材又は第1乃至第３線状部材の材料は、チタン、チタン合金、ステンレス、インコネル、又は、セラミックであることを特徴とする付記２又は３に記載のゲッター部材収納具。
【０１３３】
（付記５）同心円状に間隔を空けて配置された部材の間にディスク状のゲッター部材が収納されたことを特徴とするゲッター装置。
【０１３４】
（付記６）複数の前記ゲッター部材が、縦置きに、かつ相互に重ならないように収納されたことを特徴とする付記５記載のゲッター装置。
【０１３５】
（付記７）前記ゲッター部材は、非蒸発性ゲッター材であることを特徴とする付記５に記載のゲッター装置。
【０１３６】
（付記８）前記非蒸発性ゲッター材は、ジルコニウム70%、バナジウム24.6%、鉄5.4%を含む合金、又はの粉末を固めたものであることを特徴とする付記７記載のゲッター装置。
【０１３７】
（付記９）同心円状に間隔を空けて配置された部材の間にディスク状のゲッター部材が収納されたゲッター装置と、前記ゲッター装置に収納された前記ゲッター部材に対面するように配置され、該ゲッター部材を加熱する加熱手段とを有することを特徴とするゲッターポンプ。
【０１３８】
（付記１０）前記ゲッター部材は、非蒸発性ゲッター合金の粉末を固めたものであることを特徴とする付記９に記載のゲッターポンプ。
【０１３９】
（付記１１）前記非蒸発性ゲッター合金は、ジルコニウム70%、バナジウム24.6%、鉄5.4%を含む合金であることを特徴とする付記１０記載のゲッターポンプ。
【０１４０】
（付記１２）前記ゲッター装置は、２つの円筒形の網状部材を平面視で同心円状に前記ゲッター部材の厚さよりも広い間隔を空けて対向させ、該網状部材の間にゲッター部材を収納するゲッター部材収納具を有することを特徴とする付記９記載のゲッターポンプ。
【０１４１】
（付記１３）前記ゲッター装置は、同心円状に前記ゲッター部材の厚さよりも広い間隔を空けて並行する第１及び第２線状部材と、該第１線状部材と該第２線状部材との間を橋渡しし、前記同心円の円周に沿って前記ゲッター部材の直径よりも狭い間隔をおいて設けられた複数の第３線状部材とを備えた構造体が、支持部材により複数積層され、前記第１線状部材と前記第２線状部材の間に１以上の階層からなるゲッター部材を収納するゲッター部材収納具を有することを特徴とする付記９記載のゲッターポンプ。
【０１４２】
（付記１４）前記ゲッター装置は、容器内に収容されていることを特徴とする付記１２又は１３に記載のゲッターポンプ。
【０１４３】
（付記１５）前記ゲッター装置は、容器内に収容され、かつ、網状部材により、前記ゲッター部材の片方の板面が前記容器の内壁に接触するようにして該ゲッター部材の他方の板面を押さえ、かつ、該ゲッター部材の下端を支持した構成を有することを特徴とする付記９記載のゲッターポンプ。
【０１４４】
（付記１６）前記加熱手段は、前記容器の中心軸方向に長いヒータであり、該ヒータを前記容器の中心部に配置したことを特徴とする付記１４又は１５に記載のゲッターポンプ。
【０１４５】
（付記１７）前記加熱手段は、線状或いは帯状のヒータであり、該ヒータを前記網状部材の外周面及び内周面の少なくとも何れか一方に取り付けたことを特徴とする付記１４又は１５に記載のゲッターポンプ。
【０１４６】
（付記１８）前記網状部材又は第1乃至第３線状部材の材料は、チタン、チタン合金、ステンレス、インコネル、又は、セラミックであることを特徴とする付記１２、１３及び１５のいずれか1項に記載のゲッターポンプ。
【０１４７】
（付記１９）前記容器の材料は、輻射率0.1以下、熱伝導率100W/m/℃以上の金属又は合金であることを特徴とする付記１４又は１５に記載のゲッターポンプ。
【０１４８】
（付記２０）前記容器の材料は、ベリリウム銅合金、又は、アルミニウム銅合金であることを特徴とする付記１９記載のゲッターポンプ。
【０１４９】
（付記２１）円筒形のフランジをさらに有し、前記ゲッター装置は、前記ゲッター部材収納具の中心軸を、前記フランジの円筒の中心軸に合わせて前記フランジに取り付けられたことを特徴とする付記１２記載のゲッターポンプ。
【０１５０】
（付記２２）前記加熱手段は、線状或いは帯状のヒータであり、該ヒータを前記網状部材の外周面及び内周面の少なくとも何れか一方に取り付けたことを特徴とする付記２１記載のゲッターポンプ。
【符号の説明】
【０１５１】
11  真空容器（ハウジング）
11a  真空容器の側壁
11b  真空容器の底部
11c、31a  フランジ
11d、31b  ボルト穴
11e  電気の絶縁物
11f  開口端
12  ヒータ（加熱手段）
12a  スパイラル状のヒータ部材
12b、12c  電流導入端子
13、21、21a、27  ＮＥＧカートリッジ（ゲッター装置）
14、14a、14b、14c  ゲッター部材
15、18、19、28  ゲッター部材収納具
15a、28a  網状部材（外筒）
15b、28b  網状部材（内筒）
16  支持部材
17、20  ゲッター装置
19a〜19c  第１乃至第３線状部材
22  ヒータ取付け部材
22a、25a  支柱
22b  円板
23、26  線状のヒータ
24  金網（網状部材）
29  介在部材
32a、32b  電流導入端子
40、40a  ボルト
41、41a  ナット
101、102、103、104  ゲッターポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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