(57)【要約】【課題】作業者のパスワード入力の手間や管理負担を省くとともに、作業者が不適切な情報を入力することに起因して加工装置や被加工物に損傷を与えるおそれを防止する加工装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持する保持手段と、保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、加工手段で被加工物に施す加工の加工条件を含む加工装置を駆動するための操作指令を入力する入力手段と、入力手段で入力された加工条件に基づいて加工手段の作動を制御する制御手段と、入力手段を操作する作業者を特定する識別コードに記録された作業者の属性を読取る読取手段と、を備え、制御手段は、読取手段で読取った作業者の属性を判定する属性判定部と、属性判定部の判定に応じて操作メニューを規制して入力手段から入力する操作指令を規制する操作メニュー規制部と、を有する、加工装置が提供される。【選択図】図５
2014010745.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置であって、
被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、
該加工手段で被加工物に施す加工の加工条件を含む加工装置を駆動するための操作指令を入力する入力手段と、
該入力手段で入力された加工条件に基づいて該加工手段の作動を制御する制御手段と、
該入力手段を操作する作業者を特定する識別コードに記録された作業者の属性を読取る読取手段と、を備え、
該制御手段は、該読取手段で読取った作業者の属性を判定する属性判定部と、
属性判定部の判定に応じて操作メニューを規制して該入力手段から入力する操作指令を規制する操作メニュー規制部と、
を有する、加工装置。
【請求項２】
少なくとも前記入力手段を用いて加工条件を入力する加工条件入力画面を表示する表示手段を更に備え、
前記操作メニュー規制部は、前記読取手段で読取った作業者の属性に応じて該表示手段で表示する操作メニューの画面を選択することで該入力手段から入力する操作指令を規制する、
ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示手段を備えた加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、半導体ウェーハの加工を行うための加工装置として、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の各種の加工装置が知られている。
【０００３】
これらの加工装置においては、加工ユニットの加工条件など、加工装置を駆動するための操作指令を入力する操作パネル（入力手段）を備える構成が知られており、操作パネルを備える加工装置について開示する文献も存在する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
さらに、近年では、タッチパネル式の表示モニタを備え、入力手段と表示手段を兼用した装置も知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−０８４０１５号公報
【特許文献２】特開２０１２−０００７０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の表示モニタにおいて、加工装置や加工に対する知識が乏しい作業者が加工装置の加工条件を不適切な値に設定してしまうと、被加工物や加工装置に損傷を与えてしまうおそれがある。
【０００７】
そこで、加工装置を使用する作業者を多く抱える量産工場などでは、例えば、作業者をレベル分けするとともに加工装置や被加工物に影響を及ぼす情報を入力可能な画面にはロックがかかるようにし、作業者のレベルに応じてロックを解除するパスワードなどを付与する運用が行われることがある。
【０００８】
しかしながら、実際の運用においては、作業者にパスワードを記憶させたり、パスワードを管理させたりすることを徹底することは難しいといった課題がある。
【０００９】
さらに、ロックのかかった画面にアクセスするために、作業者に都度パスワードを入力させることを強いるのは、非常に煩雑であるという問題がある。
【００１０】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者のパスワード入力の手間や管理負担を省くとともに、作業者が不適切な情報を入力することに起因して加工装置や被加工物に損傷を与えるおそれを防止する加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の発明によると、加工装置であって、被加工物を保持する保持手段と、保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、加工手段で被加工物に施す加工の加工条件を含む加工装置を駆動するための操作指令を入力する入力手段と、入力手段で入力された加工条件に基づいて加工手段の作動を制御する制御手段と、入力手段を操作する作業者を特定する識別コードに記録された作業者の属性を読取る読取手段と、を備え、制御手段は、読取手段で読取った作業者の属性を判定する属性判定部と、属性判定部の判定に応じて操作メニューを規制して入力手段から入力する操作指令を規制する操作メニュー規制部と、を有する、加工装置が提供される。
【００１２】
請求項２に記載の発明によると、少なくとも入力手段を用いて加工条件を入力する加工条件入力画面を表示する表示手段を更に備え、操作メニュー規制部は、読取手段で読取った作業者の属性に応じて表示手段で表示する操作メニューの画面を選択することで入力手段から入力する操作指令を規制する、ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置が提供される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によると、作業者のパスワード入力による手間や管理負担が省かれるとともに、作業者が不適切な情報を入力することに起因して加工装置や被加工物に損傷を与えるおそれを防止する加工装置が提供される。
【００１４】
具体的には、本発明の加工装置では、作業者を特定する識別コードに記録された作業者の属性を読取る読取手段と、読取手段で読取った作業者の属性に応じて操作メニューを規制して入力手段から入力する操作指令を規制する操作メニュー規制部を有する。
【００１５】
このような構成により、表示モニタに表示される画面のロック解除に関し、作業者がパスワードを入力する手間が省かれるとともに、作業者は属性（レベル）に応じた操作メニューのみ操作入力可能となるため、加工装置や加工に対する知識が乏しい作業者が加工装置の加工条件を不適切な値に設定してしまうおそれがない。
【００１６】
以上のようにして、作業者が不適切な情報を入力することに起因して加工装置や被加工物に損傷を与えるおそれが防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施に適した加工装置（切削装置）の斜視図である。
【図２】制御装置の構成について示すブロック図である。
【図３】読取装置とＩＤカードの構成について示す斜視図である。
【図４】操作メニューの規制に関して説明する機能ブロック図である。
【図５】（Ａ）はメンテナンス要員によるメンテナンス作業時の画面操作について説明する図である。（Ｂ）はオペレータによるオペレーション時の画面操作について説明する図である。
【図６】属性テーブルの例について示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。加工装置の一例として、半導体ウェーハの切削装置２の外観斜視図が図１に示されている。切削装置２は、切削ブレードを有する切削ユニット１０等の加工手段がハウジング８内に収容された加工装置本体４と、加工装置本体４のハウジング８に装着された表示モニタ６などを有して構成される。
【００１９】
切削ユニット１０に隣接してチャックテーブル１２がＸ軸方向に移動可能に配設されている。１４は内部にウェーハ２２を複数収容可能なカセット２４を載置するカセット載置台（エレベータ）であり、上下方向に移動可能に構成されている。なお、加工時にウェーハ２４を保持する保持手段としては、チャックテーブル１２のようにテーブルで構成する他、エッジクランプ（端を挟持する形態）による保持手段が使用されることも考えられる。
【００２０】
５０は作業者が携帯する物品であるＩＤカード５２に記録（表示や磁気などによる記録）された識別コード５４を読取るための読取装置である。作業者は、この読取装置５０にＩＤカード５２をかざした上で、切削装置２の操作を行うことが想定されている。
【００２１】
図２の概略図に示されるように、切削装置２には、切削装置２を自動制御するための制御装置３０が設けられている。制御装置３０は、例えば、マイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ（中央処理装置）３１と、制御プログラムや各種データベース等を格納するＲＯＭ（リードオンリーメモリ）３２と、演算結果等を格納する読み書き可能なＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）３３と、入出力インターフェース３４とを備えて構成される。
【００２２】
ＲＯＭ３２には、切削ユニット１０などを自動制御するための制御プログラムや、制御プログラムによって読み出されることが想定される各種データベースが記憶される。
【００２３】
ＲＡＭ３３は、制御プログラムや各種データの読み込みや、オペレータにより入力される加工条件の一時的な記憶などを行う。
【００２４】
入出力インターフェース３４には、加工条件を入力する入力手段として機能するとともに、各種情報を表示する表示手段としても機能する表示モニタ６（図１参照）が接続されている。
【００２５】
入出力インターフェース３４には、作業者が携帯する物品であるＩＤカード５２に記録（表示や磁気などによる記録）された識別コード５４（図３参照）を読取るための読取装置５０が接続されている。
【００２６】
入出力インターフェース３４には、切削ユニット１０を回転させるモータや、チャックテーブル１２を移動させるモータなどの各種駆動装置が接続されており、制御プログラムの実行による演算結果に基づいて、各種駆動装置が加工条件に則って駆動されるようになっている。
【００２７】
図３に示すように、読取装置５０は、ＩＤカード５２に記録された識別コード５４を読取るべく構成されている。本実施形態では、読取装置５０は、挿入溝５１を有する略コ字状に構成されており、この挿入溝５１内にＩＤカード５２を差し込むことにより、非接触により識別コード５４が認識されるように構成されている。
【００２８】
このような形態によれば、一般的に作業者の顔写真５３などの属性情報が記憶され、この作業者が常時携帯することが想定されるＩＤカード５２に識別コード５４を付加するだけで実施が可能であり、例えば、別のカードなどを携帯させる必要が無くなる。また、非接触による認識可能な構成とすることによれば、ＩＤカード５２をかざすだけで容易に識別コード５４を認識させることができ、作業性に優れた構成が実現できる。
【００２９】
識別コード５４には、このＩＤカード５２を所有する作業者の属性（例えば、オペレータ要員、メンテナンス要員といった種別）を特定するためのデータが含まれ、詳しくは後述するように、識別コード５４の読取によって属性に応じた操作メニューの規制が行われる。
【００３０】
なお、識別コード５４は、例えば、本実施形態のように二次元バーコードの形態でＩＤカード５２の表面に表示されて視認可能とするほか、磁気によってＩＤカード５２内に視認不能に格納されるものであってもよい。また、識別コード５４はＩＤカード５２に直接記憶されることとするほか、シールなどによってＩＤカード５２に貼付されるものであってもよい。
【００３１】
さらに、上述した読取装置５０とＩＤカード５２の実施形態とするほかにも、磁気カードを溝に通過させるカードリーダーの形態や、凹凸形状により識別コード５４を認識させる形態なども考えられる。加えて、作業者によって識別コード５４（例えば番号、記号などの文字列）を読取装置５０に入力する形態なども考えられる。つまり、読取装置５０においては、識別コード５４に格納される情報が認識できるものであればよく、その認識させる形態についても特に限定されるものではない。
【００３２】
図４は、本発明において特徴的な機能について説明する機能ブロック図である。この図４では、読取装置５０と、制御装置３０と、表示モニタ６が示されている。
【００３３】
そして、図４に示すように、制御装置３０においては、図２に示すＣＰＵ３１、ＲＯＭ３２、ＲＡＭ３４により、属性判定部３６と、属性テーブル３７と、操作メニュー規制部３８と、表示画面データベース３９として機能する各種機能部が構成される。
【００３４】
表示画面データベース３９には、例えば、図５（Ａ）に示すように、加工装置の操作や設定を熟知したメンテナンス要員Ａ（例えば、工場の作業員の他、加工装置メーカーの人員）による操作が想定されるメンテナンス画面６２や、図５（Ｂ）に示すように、工場の現場で実際に加工装置を操作する作業員Ｃ（オペレータ）による操作が想定されるオペレーション画面６４、などの各種画面を構成するためのデータが格納されている。
【００３５】
属性テーブル３７には、例えば、図６に示すように、属性と、各種表示画面の表示の可否を対応付けたデータテーブルが格納される。
【００３６】
本実施形態では、属性がコード番号で特定され、各種画面の表示規制が小さいものから大きいものの順にコード番号が大きくなるようにしている。また、このコード番号は、いわゆる表示の規制のレベルを表現しており、レベルが高ければ（コード番号が小さい）、多くの画面が表示され、レベルが低ければ（コード番号が大きい）、表示される画面が限定されるようにしている。
【００３７】
より具体的には、レベル００１から００８の属性は、メンテナンス担当者レベルを想定しており、これらの属性においては、メンテナンス画面に区分される「加工条件入力画面」（装置の加工条件作成・編集などを行う画面）、「基準データ画面」（装置の基準データの編集を行う画面）、「軸動作画面」（装置の各種メンテナンス（例えば加工軸を移動させての消耗品交換など）といった、装置のメンテナンスの際に操作が必要となる画面が表示される。
【００３８】
また、レベル００１から００８のメンテナンス担当者レベルにおいても、レベルごとに表示される画面が異なっており、例えば、最も高いレベル００１では略すべての画面が表示される一方で、最も低いレベル００８では「加工条件入力画面」のみが表示されるように制限される。
【００３９】
同様に、レベル００９以降の属性は、オペレータレベルを想定しており、これらの属性においては、オペレーション画面に区分される「加工実施画面」（加工操作画面）、「表示明るさ切替画面」（表示モニタの明るさの切替を行う画面）、「言語切替画面」（表示モニタに表示される言語種別の切替を行う画面）といった、装置の使用の際に操作が必要となる画面が表示される。
【００４０】
また、レベル００９以降では、メンテナンス画面に区分される「加工条件入力画面」などの表示が全て規制され、オペレータがメンテナンス用の画面を操作できないこととなっている。
【００４１】
さらに、レベル００９以降のオペレータレベルにおいても、レベルごとに表示される画面が異なっており、例えば、最も高いレベル００９ではオペレーション画面に含まれる略すべての画面が表示される一方で、最も低いレベル０１４では、「加工実施画面」のみが表示されるように制限される。
【００４２】
図３に上述したＩＤカード５２の識別コード５４には、属性テーブル３７のレベル００１〜０１４に対応した情報が記憶されている。そして、図４に示す属性判定部３６では、読取装置５０によって読取られた識別コード５４に対応する属性テーブル３７のレベル００１〜０１４を判定する。
【００４３】
そして、図４に示す操作メニュー規制部３８では、属性判定部３６によって判定されたレベル００１〜０１４に応じて、表示モニタ６に表示される画面を制限する。つまり、識別コード５４に基づいて判定されたレベルに応じて、表示モニタ６に表示される画面の内容（種別）が設定されることになる。
【００４４】
例えば、図５（Ａ）において、作業員Ａの識別コード５４にレベル００１が記憶されていた場合には、作業員Ａについては図６の属性テーブルに対応するように、略すべての画面が表示モニタ６に表示可能となり、これらの画面（メニュー）にアクセスし得ることになる。また、作業者Ｂの識別コード５４にレベル００８が記憶されていた場合には、作業員Ｂについては図６の属性テーブルに対応するように、「加工条件入力画面」のみが表示モニタ６に表示可能となり、この画面（メニュー）にのみアクセスし得ることになる。
【００４５】
同様に、図５（Ｂ）に示すように、作業員Ｃ〜Ｆにおいては、レベル００９〜レベル０１２が記憶されていることとなっており、図６の属性テーブルに対応するように、オペレーション画面のみが表示され、オペレータ画面は表示されないことになる。つまり、オペレータ画面にはアクセスできないことになる。
【００４６】
以上のようにして、本発明を実施することができる。即ち、ウェーハ（被加工物）２２を保持するチャックテーブル（保持手段）１２と、チャックテーブル１２で保持されたウェーハ２２に加工を施す切削ユニット（加工手段）１０と、切削ユニット１０の動作条件を含む加工装置を駆動するための操作指令を入力する表示モニタ（入力手段）６と、表示モニタ６で入力された加工条件に基づいて切削ユニット１０の動作を制御する制御装置（制御手段）３０と、表示モニタ６を操作する作業者を特定する識別コード５４に記憶された作業者の属性を読取る読取装置（読取手段）５０と、を備え、制御装置３０は、読取装置５０で読取った作業者の属性を判定する属性判定部３６と、属性判定部３６の判定に応じて操作メニューを規制して表示モニタ６から入力する操作指令を規制する操作メニュー規制部３８と、を有する、加工装置とする。
【００４７】
また、本実施形態では、表示モニタ６が入力手段としても機能するようになっており、少なくとも入力手段を用いて加工条件を入力する加工条件入力画面を表示する表示手段である表示モニタ６を備える構成としており、操作メニュー規制部３８は、読取装置５０で読取った作業者の属性に応じて表示モニタ６で表示する操作メニューの画面を選択することで入力手段から入力する操作指令を規制することとしている。
【００４８】
以上のように、本実施形態では、操作メニュー規制部３８によって表示する画面を制限することによって、操作メニュー、つまりは、作業者が操作することができる画面を規制することとなっている。
【００４９】
そして、以上の構成によれば、表示モニタ６に表示される画面のロック解除に関し、作業者がパスワードを入力する手間が省かれるとともに、作業者は属性（レベル）に応じた操作メニューのみ操作入力可能となるため、加工装置や加工に対する知識が乏しい作業者が加工装置の加工条件を不適切な値に設定してしまうおそれがない。
【００５０】
これにより、作業者が不適切な情報を入力することに起因して加工装置や被加工物に損傷を与えるおそれが防止される。
【００５１】
なお、以上の実施形態では、加工装置として切削装置２を用いて説明したが、このほか、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、洗浄装置、など、各種の加工装置において本発明を実施することは可能である。
【００５２】
また、本実施形態では、表示モニタ６への表示内容を規制することによって、入力される操作指令が規制されることしたが、画面表示をさせながら操作がロックされる、つまりは、例えば、入力ボタンが操作されてもロックされていて反応しない、といった構成により、操作指令が規制されることとしてもよい。
【００５３】
さらに、識別コード５４に記憶される属性について、被加工物の種別を特定する属性情報を付加することとし、被加工物の種別に応じて作業者の操作指令を規制することとしてもよい。
【００５４】
例えば、Ａウェーハ担当のオペレータは、Ａウェーハの加工条件入力画面、Ａウェーハの加工実施画面にのみアクセス可能とすることが考えられる。この場合、オペレータの識別コード５４には、Ａウェーハを担当するオペレータであることの属性情報が記憶されることになる。
【００５５】
同様に、Ｂウェーハ担当のメンテナンス要員は、装置の基準データ画面とＢウェーハの加工条件入力画面、Ｂウェーハの加工実施画面にはアクセス可能だが、Ａウェーハの加工条件入力画面やＡウェーハの加工実施画面にはアクセス不可とすることが考えられる。この場合、メンテナンス要員の識別コード５４には、Ｂウェーハを担当するメンテナンス要員であることの属性情報が記憶されることになる。
【符号の説明】
【００５６】
６    表示モニタ
３０    制御装置
３４    入出力インターフェース
３６    属性判定部
３７    属性テーブル
３８    操作メニュー規制部
３９    表示画面データベース
５０    読取装置
５１    挿入溝
５２    カード
５３    顔写真
５４    識別コード
６２    メンテナンス画面
６４    オペレーション画面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2014010745.tif 000006
【図５】
2014010745.tif 000007
【図６】
2014010745.tif 000008