(57)【要約】【課題】レチクルを気密状態で搬送できると共に、露光装置に装着されて、レチクルライブラリとしても利用できる新規な構造のレチクル収納容器と、そのレチクル収納容器を装備する露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】レチクル収納容器は、複数のレチクル（１６）を収納することが出来る内側容器（１０）と、前記内側容器（１０）を覆う外側容器（１）を有する。前記外側容器（１）は、所定のガスを注入することが出来るガス注入口（５）を有する。ガス注入口（５）には、露光装置（２０）の内部に供給されるガスと同じガスが供給される。レチクル収納容器内部に注入されたガスは、前記内側容器(１０)に設けられた通気孔（１４）を介して排気される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレチクルを収納することが出来る内側容器と、
前記内側容器を覆い、所定のガスを注入するガス注入口を有する外側容器と、
を備えたレチクル収納容器。
【請求項２】
前記内側容器は、基台と、前記基台に取り付けられた枠体と、前記枠体に設けられた複数の保持棚と、を具備し、前記保持棚で、前記レチクルが保持されることを特徴とする請求項１に記載のレチクル収納容器。
【請求項３】
前記内側容器の基台は、フィルターを備えた通気孔を有することを特徴とする請求項２に記載のレチクル収納容器。
【請求項４】
前記請求項１乃至３のいずれか一項に記載のレチクル収納容器が装備された露光装置。
【請求項５】
前記露光装置のチャンバー内には、所定のガスが供給され、前記レチクル収納容器の前記ガス注入口にも、前記所定のガスが供給されることを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
複数のレチクルを収納可能なレチクルライブラリと、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のレチクル収納容器及び前記レチクルライブラリからレチクルを搬入することができるレチクルハンドラーと、を前記チャンバ―内にさらに備えたことを特徴とする請求項４又は５に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、レチクル等の半導体製造用基板を収納する収納容器と、その収納容器を備えた露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、マスク（レチクルを含む）を、気密状態で搬送するための搬送容器として、ＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｍｅｃａｎｉｃａｌ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）ポッドと呼ばれる、ボトムオープンタイプの搬送容器が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００２／０２１５８３号パンフレット
【特許文献２】国際公開第９９／６０６２５号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、レチクルを気密状態で搬送できると共に、露光装置に装着されてレチクルライブラリとしても利用できる新規な構造のレチクル収納容器と、そのレチクル収納容器を装備する露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一つの実施形態のレチクル収納容器は、複数のレチクルを収納することが出来る内側容器を有する。前記内側容器を覆う外側容器を有する。前記外側容器は、所定のガスを注入することが出来るガス注入口を有する。注入されたガスは、前記内側容器に設けられた通気孔を介して排気される。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１は、第１の実施形態に係るレチクル収納容器を模式的に示す図である。
【図２】図２は、第２の実施形態に係るレチクル収納容器を備えた露光装置を模式的に示す図である。
【図３】図３は、レチクル収納容器からレチクルをチャンバー内に移送する場合の構成を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
ＳＭＩＦポッドを搭載できる露光装置が用いられている。更に、半導体の露光に使用するレチクルを保管するレチクルライブラリを、露光装置内に備える露光装置も知られている。しかしながら、露光装置によっては、レチクルライブラリに収納できるレチクルの枚数が少なく、半導体装置の露光には不十分な場合がある。
以下に添付図面を参照して、実施形態にかかるレチクル収納容器及び露光装置を詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。
【０００８】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係るレチクル収納容器の断面を模式的に示す図である。本実施形態のレチクル収納容器は、図１（Ａ）で示す外側容器１を備える。外側容器１は、外カバー２と底板３を有する。外カバー２は、側面の上部にガス注入口５を備える。ガス注入口５は、吸気口７と排気口８を有する。露光装置（図示せず）に装着された状態で、ガス注入口５の吸気口７側が、所定のガス供給管（図示せず）に連結され、所定のガスが吸気口７側から注入され、排気口８側から外カバー２内に注入される。ガス注入口５の内部には、フィルター６が設けられる。フィルター６は、例えば、メッシュ構造を有しており、吸気口７から注入されるガスに混入する異物を除去する。ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｌｅ  Ａｉｒ）フィルターや、ＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ  Ｌｏｗ  Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ）フィルターを用いることが出来る。底板３は、挿入口４を有する。挿入口４を介して、図１（Ｂ）に示す内側容器１０が挿入され、外側容器１が内側容器１０の外周を覆う構造となる。
【０００９】
本実施形態のレチクル収納容器は、図１（Ｂ）に示す内側容器１０を備える。内側容器１０は、枠体１１と、枠体１１を支える基台１３を有する。枠体１１は、紙面前後方向に所定幅延びる枠構造を有する。枠体１１は、断面がＬ字形状の保持棚１２を、両サイドに有する。保持棚１２は、枠体１１の幅に応じて、紙面前後方向に延在する。レチクル１６の両端の一部が、夫々対を成す保持棚１２により支えられ、内側容器１０内に収納される。保持棚１２の段数（対数）により、収納されるレチクルの数が決まる。本実施形態においては、枠体１１の両サイドには、６対の保持棚１２が設けられており、６枚のレチクルを収納することが出来る。代表として、一枚のレチクル１６が収納された状態を示している。枠体１１の紙面前方側及び後方側は、開放された構造になっている。枠体１１の開放された側から、収納されたレチクル１６が露光装置のチャンバー（図示せず）内に搬入される。
【００１０】
基台１３は、通気孔１４を有しており、通気孔１４は、フィルター１５を備える。フィルター１５としては、例えば、ＨＥＰＡフィルターや、ＵＬＰＡフィルターを用いることが出来る。内側容器１０が、外側容器１の底板３の挿入口４から挿入される。挿入口４は、内側容器１０の基台１３の形状に応じた寸法を有しており、外側容器１の底板３と内側容器１０の基台１３が、挿入口４部で嵌合する。外側容器１と内側容器１０を嵌合させることにより、外側容器１が内側容器１０を覆う構造のレチクル収納容器が得られる。外側容器１のガス注入口５からレチクル収納容器内に注入されたガスは、内側容器１０の通気孔１４から排気される。通気孔１４から排出されるガスを逃がす為の排気路が、内側容器１０の基台１３と外側容器１の底板３に設けられるが、省略する。当該排気路が、レチクル収納容器を露光装置の載置台（図示せず）に載置した際に、レチクル収納容器に注入され、通気孔１３から排気されるガスの排気経路となる。
【００１１】
レチクル収納容器内部は、外側容器１と内側容器１０が勘合されることにより外気と遮断され気密状態となる為、レチクル１６を収納して搬送用として用いることが出来る。レチクル収納容器を露光装置（図示せず）に装着した状態では、外側容器１に設けられたガス注入口５から所定のガスをレチクル収納容器内部に供給する。レチクル１６は、水分により劣化する。この為、ガス注入口５から供給されるガスとしては、例えば、水分と有機物、並びに無機物を除去した乾燥空気を用いる。乾燥空気の注入により、レチクル収納容器内でレチクル１６を長期間保管することが可能となり、レチクル収納容器をレチクルライブラリとして使用する事が出来る。これにより、露光装置（図示せず）内に設けられたレチクルライブラリ（図示せず）のレチクル収納容量（枚数）を補完することが出来る。露光に必要な枚数のレチクルを備えることにより、半導体装置製造のスループットを改善することが出来る。尚、ガス注入口５は、外カバー２の側面以外の部分、例えば、外カバー（２）の上面の一部に設けても良い。
【００１２】
（第２の実施形態）
図２は、第２の実施形態に係るレチクル収納容器を備えた露光装置２０を模式的に示す図である。本実施形態の露光装置２０は、本体チャンバー２１を有する。本体チャンバー２１には、レチクル収納容器の載置台２３が設けられている。載置台２３には、扉部３２とレチクル収納容器載置部３３を有する複合部材が設置され、レチクル収納容器載置部３３上に、外側容器１と内側容器１０で構成されたレチクル収納容器が載置される。載置台２３上のレチクル収納容器載置部３３上に、外側容器１と内側容器（図示せず）が勘合されたレチクル収納容器が載置されるが、外側容器１の外カバー２と、その内部に収納されたレチクル１６、及び外側容器１の底板３を概略的に示している。レチクル収納容器に収納されたレチクル１６を保持する内側容器１０は、省略している。
【００１３】
載置台２３の上部に位置する本体チャンバー２１には、外側容器１の外カバー２の寸法に応じた開口２２を有する開口枠部２９が設けられている。本体チャンバー２１は、レチクル搬入窓２４を有する。レチクル収納容器に収納されたレチクル１６を露光装置内部に搬入する際の搬入口となる。本体チャンバー２１の露光装置内部には、レチクルハンドラー３０とその駆動装置３１が備えられている。露光装置内部には、レチクルライブラリ４０が備えられている。レチクルライブラリ４０内には、露光に使用されるレチクル４１が収納されている。
【００１４】
露光装置２０は、ガス吸気口２６を有するガス供給管２５を備える。ガス供給管２５は、露光装置内部に、所定のガスを放出する放出口２７を有する。ガス供給管２６の先端部２８は、レチクル収納容器の外側容器１に設けられたガス注入口５に連結される。ガス供給管２５により供給されるガスは、所定の不活性ガス、あるいは、水分、有機物成分及び無機物成分を取り除いた乾燥空気が用いられる。露光装置内をクリーンな状態に維持する為である。ガス供給管２５に供給されるガスをレチクル収納容器にも供給することにより、レチクル収納容器内を露光装置内部と同等のクリーンな状態に維持することが出来る。レチクル収納容器の内側容器が外側容器１で覆われ、載置台２３上に載置されている状態の時は、レチクル搬入窓２４は、複合部材の扉部３２で塞がれる。
【００１５】
レチクル収納容器に、露光装置２０内部に供給する所定のガスを供給することにより、レチクル１６を長期に保存することが出来る。露光装置２０内に備えられたレチクル保存用のレチクルライブラリ４０の収納容量（枚数）が小さい場合等、レチクル収納容器を、露光装置のレチクルライブラリ４０の補完用として使用することが出来る。露光装置２０に備えられるレチクルの枚数を増やすことにより、半導体装置の製造に必要なレチクルを露光装置２０に備えることが出来る為、半導体装置製造のスループットを改善することが出来る。また、露光装置に搭載するレチクル収納容器をレチクルライブラリとして使用する為、露光装置に装備されるレチクルの枚数を低コストで増やすことが出来る。
【００１６】
図３は、レチクル収納容器からレチクル１６を露光装置２０内部に移送する場合の構成を模式的に示す図である。図２で示す構成要素に対応する構成要素については、同一の符号を付し、説明を省略する。レチクル収納容器内に収納されたレチクル１６を露光装置２０内部に移送させる為、外側容器１の外カバー２と複合部材の扉部３２が、図示しない持ち上げ機構により、外側容器１の底板３の上面が、開口枠部２９の下面に接するまで持ち上げられる。レチクル収納容器の外カバー１が取り除かれた状態になる為、レチクルハンドラー３０により、レチクル１６を露光装置内部に移送することが可能となる。尚、レチクル１６は、載置台２３上のレチクル収納容器載置部３３上で、レチクル収納容器の内側容器により保持されているが、レチクル１６を保持している枠体と保持棚を含め、省略している。ガス供給管２６の一部を、例えば、ケーブル状の構造（図示せず）にして、余裕のある長さを確保しておくことにより、レチクル収納容器の外カバー１を持ち上げた際に、追随してガス供給管２６の先端部２８を持ち上げることが出来る。
【００１７】
レチクル収納容器を露光装置に複数搭載する構成とすることも可能である。露光装置に装備されるレチクル枚数を更に増やすことが可能となる。この場合、各レチクル収納容器には、同じガスを供給しても良いし、異なるガスを供給しても良い。レチクル収納容器に収納されるレチクルの特性に応じてガスを選択しても良い。また、露光装置内部に供給するガスと同じガスを供給することも可能であるが、別途用意したガスを供給する構成としても良い。
【００１８】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００１９】
１  外側容器、２  外カバー、３  底板、４  挿入孔、５  ガス注入口、６  フィルター、７  吸気口、８  排気口、１０  内側容器、１１  枠体、１２  保持棚、１３  基台、１４  通気孔、１５  フィルター、１６  レチクル、２０  露光装置、２１  本体チャンバー、２２  開口、２３  載置台、２４  レチクル挿入窓、２５  ガス供給管、２６  ガス吸気口、２７  放出口、２８  先端部、２９  開口枠部、３０  レチクルハンドラー、３１  駆動装置、３２  扉部、３３  レチクル収納容器載置部、４０  レチクルライブラリ、４１  レチクル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2014157190.tif 000005