(57)【要約】【課題】  温度変化に対して波長分散特性が安定した回折格子、および温度変化に対して波長分散特性が安定した回折格子を備えた分析装置を提供する。【解決手段】  本発明の回折格子は、基板と、光反射膜を有し、前記光反射膜には複数本の鋸歯形状の溝が設けられ、前記基板と前記光反射膜との間には樹脂が備えられた回折格子において、前記光反射膜と前記樹脂との間には硬い部材からなる支持膜が備えられ、前記樹脂には熱膨張係数が小さい低熱膨張粒子が充填されていることを特徴とする。【選択図】図１
2014126622.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、光反射膜を有し、前記光反射膜には複数本の鋸歯形状の溝が設けられ、前記基板と前記光反射膜との間には接着層が備えられた回折格子において、
前記光反射膜と前記接着層との間には前記鋸歯形状の変形を防止する支持膜が備えられていることを特徴とする回折格子。
【請求項２】
請求項１に記載の回折格子において、
前記支持膜はセラミックまたはＡＩ合金であることを特徴とする回折格子。
【請求項３】
請求項１に記載の回折格子において、
前記接着層には該接着層よりも熱膨張係数が小さい粒子が充填されていることを特徴とする回折格子。
【請求項４】
請求項３に記載の回折格子において、
前記粒子は、熱膨張係数が１×１０-5〜１０-7／℃であることを特徴とする回折格子。
【請求項５】
請求項３に記載の回折格子において、
前記粒子は、ガラスであることを特徴とする回折格子。
【請求項６】
請求項３に記載の回折格子において、
前記粒子は、粒径が０．１〜１μｍであることを特徴とする回折格子。
【請求項７】
請求項１に記載の回折格子において、
前記接着層は、樹脂であることを特徴とする回折格子。
【請求項８】
請求項１に記載の回折格子において、
前記接着層は、モールドガラスであることを特徴とする回折格子。
【請求項９】
請求項８に記載の回折格子において、
前記モールドガラスの融点は６００℃以下であることを特徴とする回折格子。
【請求項１０】
基板と、光反射膜を有し、前記光反射膜には複数本の鋸歯形状の溝が設けられ、前記基板と前記光反射膜との間には接着層が備えられた回折格子を有する分析装置において、
前記光反射膜と前記接着層との間には前記鋸歯形状の変形を防止する支持膜が備えられていることを特徴とする分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回折格子、および、回折格子を備えた分析装置に関する。回折格子を備えた分析装置としては、キャピラリアレイ電気泳動装置、液体クロマトグラフ、分光光度計、生化学自動分析装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
回折格子は、基板表面に鋸歯形状が複数本形成された光学素子で、キャピラリアレイ電気泳動装置、液体クロマトグラフ、分光光度計、生化学自動分析装置等の光学式の分析装置に搭載され、波長分散するための素子として用いられる。
【０００３】
回折格子の一般的な構成は、金属膜とガラス基板が、エポキシ樹脂などの接着剤を介して固定されたもので、金属膜表面に鋸歯形状の溝が約1μｍの間隔で形成されている。
【０００４】
回折格子の一般的な作製方法は次の通りである。まず、ガラス基板に金属膜を形成し、金属膜表面に鋸歯形状を加工することにより回折格子を作製する。これを、マスター回折格子と言う。次に、鋸歯形状が形成されたマスター回折格子の金属膜表面を、シリコン系やフッ素系などの離型剤でコーティングした後、離型剤コーティング面に金属蒸着膜を形成し、接着剤を介してガラス基板を貼り合わせて圧力をかける。これにより接着剤が、ガラス基板全体に広がる。接着剤が硬化した後、マスター回折格子とガラス基板を、離型剤コーティング面から剥離することにより、金属蒸着膜がガラス基板側に転写されるので、金属膜表面に鋸歯形状が形成された回折格子が作製できる。
【０００５】
ここで、回折格子が設置される環境の温度変化や、回折格子でのレーザ光の光吸収などにより、回折格子が熱膨張することで鋸歯形状が変形し、回折格子の波長分散特性が変化する。この不具合を解決するものとして、回折格子を構成するガラス基板を低膨張係数の材質にするものが提案されている。これにより、熱膨張による回折格子の鋸歯形状の変形を低減できるので、温度変化に対する波長分散特性の安定性を向上することができる。この特許に関連するものとして、例えば、特開平７−２６１０１０号公報（特許文献１）がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−２６１０１０号公報
【特許文献２】特開２０１２−１５０３７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
回折格子を構成するガラス基板の熱膨張係数は、１０-6〜１０-7台（／℃）である。他方、回折格子の金属膜とガラス基板との界面に設けられる接着剤の熱膨張係数は、１０-4〜１０-5台（／℃）であり、ガラス基板に比べると二桁程度大きい。厚さ１０ｍｍ程度のガラス基板の剛性は高いため、ガラス基板と接着剤との熱膨張係数差が引き起こす回折格子の反りは防止できる。
【０００８】
しかしながら、接着剤そのものは、熱膨張係数が大きいため、ガラス基板と平行方向に熱膨張する。部材の熱膨張量は、熱膨張量＝部材寸法×熱膨張係数×温度変化量で決まるため、部材寸法に比例する。すなわち、接着剤の熱膨張により、回折格子の鋸歯形状の溝間隔が変化する。より詳しく言うと、回折格子は、公式
ｍλ＝ｄ（sinα−sinβ）
（ｍ：次数、λ：波長、ｄ：溝間隔、α：入射角、β：回折角）により、波長と溝間隔が関連付けられているため、鋸歯形状の溝間隔の変化は、回折光の波長分散特性を変化させる。
【０００９】
本発明の目的は、温度変化に対して波長分散特性が安定した回折格子、および温度変化に対して波長分散特性が安定した回折格子を備えた分析装置提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の回折格子は、基板と、光反射膜を有し、前記光反射膜には複数本の鋸歯形状の溝が設けられ、前記基板と前記光反射膜との間には接着層が備えられた回折格子において、前記光反射膜と前記接着層との間には前記鋸歯形状の変形を防止する支持膜が備えられている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、回折格子の鋸歯形状の変形を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態である回折格子の説明図である。
【図２】本発明の第１の実施形態である回折格子の製作方法を説明する図である。
【図３】回折格子における鋸歯形状と入射光と回折光との関係を説明する部分拡大図である。
【図４】従来の回折格子と本発明の第１の実施形態である回折格子を比較する説明図である。
【図５】本発明の第２の実施形態であるキャピラリアレイ電気泳動装置の概略を説明する図である。
【図６】本発明の第２の実施形態であるキャピラリアレイ電気泳動装置を説明する部分拡大図である。
【図７】本発明の第３の実施形態である液体クロマトグラフの概略を説明する図である。
【図８】本発明の第３の実施形態である液体クロマトグラフを説明する部分拡大図である。
【図９】本発明の第４の実施形態である分光光度計の概略を説明する図である。
【図１０】本発明の第５の実施形態である生化学自動分析装置の概略を説明する図である。
【図１１】本発明の第５の実施形態である生化学自動分析装置を説明する部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図を参照して詳細に説明するが、これらの実施例は本発明を限定するものではない。
（第１に実施形態）
本実施形態にかかる回折格子の構成を図１に示す。
【００１４】
第１の実施形態の回折格子は、基板１、樹脂２、支持膜３、光反射膜４より構成される。ガラスからなる基板１と、セラミックからなる支持膜３は、低熱膨張粒子５が充填された接着剤からなる樹脂２により固定され、支持膜３の樹脂２と対向する面には、Ａｌ等の光反射率が高い部材からなる光反射膜４が設けられている。回折格子の大きさは、一辺の長さが２０〜１００ｍｍ程度であり、基板１の厚さは５〜１０ｍｍ程度、樹脂２の厚さは２０〜１００μｍ程度、支持膜３および光反射膜４の厚さは０．１〜１μｍ程度である。光反射膜４には、ピッチ幅０．１〜１μｍ程度、深さ０．１〜１μｍ程度の鋸歯形状６の溝が形成されている。図１では、鋸歯形状６の溝本数は５本程度を図示しているが、実際には、数万〜数十万本程度である。また、図１の低熱膨張粒子５を取り除いた構成においても、支持膜３によって光反射膜４に形成されている鋸歯形状６の変形を防止することにより、温度変化に対して波長分散特性が安定した回折格子を提供することができる。
【００１５】
本発明の回折格子の製作方法について説明する。図２は回折格子の側面図を示す。まず初めに、ガラスからなるマスター基板７に、厚さ数十μｍ程度の金属膜８を形成し、機械加工やエッチング加工等により鋸歯形状６を形成する。これが、マスター回折格子９である（図２（ａ））。
【００１６】
次に、マスター回折格子９の金属膜８に、シリコン系やフッ素系の離型剤１０を蒸着や塗布等によってコーティングした後、光反射膜４を蒸着によって形成し、支持膜３を蒸着によって形成することにより、離型剤１０に膜を積層していく。低熱膨張粒子５が充填された接着剤からなる樹脂２を、支持膜３上に塗布し、基板１を乗せ、基板１を加圧することによって、樹脂２が支持膜３の鋸歯形状６の溝表面、および基板１の表面全体を覆うようにする。なお、基板１とマスター回折格子９の位置合わせを容易にするために、位置決めガイドが用いられるが、図示していない。ここで、樹脂２に固体部材である低熱膨張粒子５を充填すると、樹脂２の粘度が大きくなるため、鋸歯形状６の溝表面を樹脂２で満たすためには、基板１を押す加圧力を上げる必要性がある。この加圧力の増加により、膜厚が０．１〜１μｍ程度の柔らかい材料からなる光反射膜４の形状が変形する。光反射膜４と樹脂２との間に、硬い材料からなる支持膜３を設けることにより、光反射膜４に形成されている鋸歯形状６の変形を防止する（図２（ｂ））。
【００１７】
樹脂２が硬化した後、基板１をマスター回折格子９から引き離すと、離型剤（図示しない）を境界にして剥離するので、光反射膜４と支持膜３が基板１に固定された回折格子１１が製作される。ここで、樹脂２に固体部材である低熱膨張粒子５を充填すると、樹脂２の硬化収縮量が基板１の面内で不均一になるが、樹脂２と光反射膜４との界面に、硬い材料からなる支持膜３を備えることによって、光反射膜４に形成されている鋸歯形状６の変形を防止する（図２（ｃ））。
【００１８】
なお、低熱膨張粒子５としては、粒子サイズが０．１〜１μｍ程度、熱膨張係数が１×１０-5〜１０-7／℃程度の部材からなる、例えば、ガラス粒子が用いられる。以下同様にして、図２（ａ）から図２（ｃ）を繰り返すことにより、回折格子１１が量産される。
【００１９】
本発明の回折格子の効果について説明する。図３は、回折格子における、鋸歯形状６の溝間隔ｄと、入射光１２の入射角αと、回折光１３の回折角βとの関係を示したもので、回折光１３の波長λは、次数ｍを用いて、公式
ｍλ＝ｄ（sinα−sinβ）
で表わされる。なお、図３の回折格子は外形形状のみ図示しているが、実際には、基板１、低熱膨張粒子５が充填された樹脂２、支持膜３、光反射膜４からなるものである。図４は、初期条件として、鋸歯形状６の溝間隔ｄ＝１．６６６μｍ、回折光１３の波長λ＝５００ｎｍである回折格子を含む光学系が、１０℃の温度上昇により、溝間隔ｄおよび波長λがどのように変化するかについて、公式を用いて算出したもので、図４（ａ）が従来の回折格子、図４（ｂ）が本実施形態の回折格子を表す。ここで、従来の回折格子の樹脂の熱膨張係数は８．１×１０-5／℃、本実施形態の回折格子の低熱膨張粒子５が充填された樹脂２の熱膨張係数は４．９×１０-5／℃とした（本実施形態の回折格子は、熱膨張係数０．５１×１０-6／℃の石英ガラスからなる低熱膨張粒子５を樹脂２に体積比で４０％充填した場合である）。図４に示すように、本実施形態の回折格子によれば、鋸歯形状６の溝間隔ｄの変形を低減できるため、回折光１３の波長λが変化することを低減できる。
【００２０】
なお、本実施形態では、平面型回折格子のみ示しているが、凹面型回折格子に本実施の構成を適用しても構わない。また、回折格子１１に形成される鋸歯形状６は三角型形状に限らず、回折理論を満足する形状なら如何なる形状でも構わない。さらには、支持膜３を形成する部材はセラミックに限定される必要性はなく、例えばＡｌ合金などの合金でも構わない。低熱膨張粒子５においても、ガラス粒子に限定されなく、粒子サイズが０．１〜１μｍ程度、熱膨張係数が１×１０-5〜１０-7／℃程度の部材であれば用いることができ、低熱膨張粒子５が充填された樹脂２の熱膨張係数が、基板１の熱膨張係数に近づくように設定されるようにする。さらには、低熱膨張粒子５が充填された樹脂２の代わりに、融点が６００℃以下の低融点モールドガラスを用いても構わない。低融点モールドガラスを用いると、熱膨張係数がさらに小さくなるので、回折光１３の波長λの変化をさらに低減することができる。
（第２の実施形態）
図５により、本発明の第２の実施形態であるキャピラリアレイ電気泳動装置の全体構成を説明する。本実施形態は、第１の実施形態の回折格子が備えられたキャピラリアレイ電気泳動装置である。
【００２１】
本実施形態にかかるキャピラリアレイ電気泳動装置は、検査試料を分離するための分離媒体を含むキャピラリ（内径５０μｍ、外径１２６μｍの石英管が厚さ１２μｍのポリマー被膜で覆われた構造）からなるキャピラリアレイ１０１と、キャピラリアレイ１０１の負電極１０２と試料導入部１０３とを浸すバッファー液１０４を保持する第１バッファー容器１０５と、バルブ１０６を有するゲルブロック１０７と、ゲルブロック１０７とアース電極１０８とを浸すバッファー液１０９を保持する第２バッファー容器１１０と、キャピラリアレイ１０１内に泳動媒体であるポリマーを注入するためのシリンジ１１１と、試料に依存する情報を取得するための検出部１１２と、コヒーレント光であるレーザ光１１３を光照射部１１４に照射する光源１１５と、試料が生じる蛍光１１６を取得する検出機構１１７と、キャピラリアレイ１０１の温度を調節する恒温槽１１８と、分離媒体に電圧を印加する高電圧電源１１９から構成される。
【００２２】
キャピラリアレイ１０１は、管状部材である石英製キャピラリを例えば４８本有するもので、キャピラリ内には、ＤＮＡ分子などのサンプルが含まれている検査試料と検査試料中のＤＮＡ分子を分離するための分離媒体であるポリマーが充填される。キャピラリアレイ１０１の一端には、キャピラリ内に試料を導入できる試料導入部１０３が形成され、負電圧を印加できる負電極１０２が配置されている。他端には、ゲルブロック１０７と連結し、ゲルブロック１０７とキャピラリアレイ１０１との間で分離媒体を移動できるキャピラリヘッド１２０を有する。試料導入部１０３とキャピラリヘッド１２０の間に、レーザ光が照射される光照射部１１４を含む検出部１１２を有する。
【００２３】
ゲルブロック１０７とシリンジ１１１は、分離媒体であるポリマーをキャピラリ内に注入する分離媒体注入機構である。キャピラリ内に、分離媒体であるポリマーを充填する際には、バルブ１０６を閉じ、シリンジ１１１を押し込むことによって、シリンジ１１１内のポリマーをキャピラリ内に注入する。
【００２４】
キャピラリアレイ１０１、負電極１０２、バッファー液１０４、ゲルブロック１０７、アース電極側のバッファー液１０９、アース電極１０８、および高電圧電源１１９は、検査試料を電気泳動するための電圧印加機構を構成する。これにより、負電極１０２、バッファー液１０４、キャピラリアレイ１０１（より正確には、キャピラリ内のポリマー）、ゲルブロック１０７（より正確には、ゲルブロック内のポリマー）、アース電極側のバッファー液１０９、およびアース電極１０８からなる通電路が形成される。この通電路に高電圧電源１１９により電圧を印加する。通電路に電圧が印加されると、ポリマー中の検査試料が電気泳動し、その分子量等の性質に従い分離される。
【００２５】
キャピラリアレイ電気泳動装置の光学系は、光源１１５と、光照射部１１４を含む検出部１１２と、検出部１１２から生じる蛍光１１６を検出する検出機構１１７から構成される。光源１１５は、コヒーレント光であるレーザ光１１３（アルゴンイオンレーザからの４８８．０ｎｍおよび５１４．５ｎｍの光）を発生する。光源１１５から発生したレーザ光１１３は、ハーフミラー１２１によって２等分され、２等分されたレーザ光１２２，１２３の光軸がほぼ同軸で、進行方向が逆向きとなるように、ミラー１２４によって進行方向が変更される。検出部１１２には、レーザ光１２２，１２３がキャピラリを通過する箇所である光照射部１１４が整列配置されており、光照射部１１４を構成する４８本のキャピラリの中心軸を含む平面と、レーザ光１２２，１２３がほぼ同一平面となるように配置される。レーザ光１２２，１２３は集光レンズ１２５により集光され、４８本のキャピラリからなる光照射部１１４を同時に貫くように、光照射部１１４を上下両方向から照射する。このレーザ光１２２，１２３が検査試料を励起して、検査試料から蛍光１１６が放出される。
【００２６】
検出機構１１７について図６を用いて説明する。検出機構１１７は、回折格子１２６、第１レンズ１２７、第２レンズ１２８、検出器１２９より構成される。光照射部１１４より放出された蛍光１１６は、第１レンズ１２７により集光され、回折格子１２６に入射される。蛍光１１６は回折格子１２６により波長分散され、回折光１３０となって放出された後、第２レンズ１２８により集光され、検出器１２９により検出される。これにより、ＤＮＡ分子配列等の検査試料に依存した情報を取得できる。
【００２７】
本発明のキャピラリアレイ電気泳動装置の効果について説明する。本実施形態によると、温度変化に伴う回折格子１２６の鋸歯形状の変形を防止できるので、温度変化に対して波長分散特性が安定し、分析感度が安定する。従って、分析性能に優れたキャピラリアレイ電気泳動装置が実現できる。
【００２８】
なお、キャピラリアレイ電気泳動装置の構成は本実施形態の構成に限定されるものではなく、例えば、平面型の回折格子１２６を凹面型回折格子（平面型の回折格子１２６と、凹面型回折格子の断面構成は同じ）に置き換え、第２レンズ１２８を取り除いた構成でも同様な効果が得られる。
（第３の実施形態）
図７により、本発明の第３の実施形態である液体クロマトグラフの全体構成を示す。本実施形態は、第１の実施形態の回折格子が備えられた液体クロマトグラフである。
【００２９】
本実施形態にかかる液体クロマトグラフは、ポンプ２０１と、オートサンプラ２０２と、恒温槽２０３と、分離カラム２０４と、検出機構２０５と、データ処理部２０６から構成される。
【００３０】
移動相２０７は、ポンプ２０１により分離カラム２０４に送液される。分離カラム２０４は恒温槽２０３に配置されてあり、流路への試料の導入は、ポンプ２０１と分離カラム２０４の間にある、切換えバルブを有するオートサンプラ２０２で行われる。分離カラム２０４にて分離した各分離成分は、検出機構２０５を通過した後、廃液２０８として排出される。
【００３１】
検出機構２０５について図８を用いて説明する。検出機構２０５は、回折格子２０９、光源２１０、フローセル２１１、第１レンズ２１２、第２レンズ２１３、検出器２１４より構成される。光源２１０より放出された入射光２１５は、フローセル２１１を照射する。フローセル２１１内には、分離カラム２０４にて分離された各分離成分が送液されるので、フローセル２１１から放出される入射光２１５は、分離カラム２０４にて分離された各分離成分を透過した光である。フローセル２１１から放出される入射光２１５は、第１レンズ２１２により集光され、回折格子２０９に入射される。入射光２１５は回折格子２０９により波長分散され、回折光２１６となって放出された後、第２レンズ２１３により集光され、検出器２１４により検出される。これにより、分離カラム２０４にて分離された各分離成分の情報を取得できる。
【００３２】
本発明の液体クロマトグラフの効果について説明する。本実施形態によると、温度変化に伴う回折格子２０９の鋸歯形状の変形を防止できるので、温度変化に対して波長分散特性が安定し、分析感度が安定する。従って、分析性能に優れた液体クロマトグラフが実現できる。
【００３３】
なお、検出機構２０５は、本実施形態の光学系に限定されるものではなく、例えば、平面型の回折格子２０９を凹面型回折格子（平面型の回折格子２０９と、凹面型回折格子の断面構成は同じ）に置き換え、第２レンズ２１３を取り除いた光学系でも同様な効果が得られる。
（第４の実施形態）
図９により、本発明の第４の実施形態である分光光度計の全体構成を示す。本実施形態は、第１の実施形態の回折格子が備えられた分光光度計である。
【００３４】
本実施形態にかかる分光光度計は、光源３０１から放射された入射光３０２が、第１レンズ３０３で集光され、回折格子３０４に入射される。入射光３０２は、回折格子３０４により波長分散され、回折光３０５となって放出された後、第２レンズ３０６で集光され、ハーフミラー３０７で反射光３１１と透過光３１２に２等分される。反射光３１１は反射光検出器３１０により参照光として検出され、一方、透過光３１２は試料３０８を透過し、透過光検出器３０９により検出される。この反射光３１１と透過光３１２を比較することにより、試料３０８の成分を分析する。
【００３５】
本発明の分光光度計の効果について説明する。本実施形態によると、温度変化に伴う回折格子３０４の鋸歯形状の変形を防止できるので、温度変化に対して波長分散特性が安定し、分析感度が安定する。従って、分析性能に優れた分光光度計が実現できる。
【００３６】
なお、分光光度計の構成は、本実施形態の光学系に限定されるものではなく、例えば、平面型の回折格子３０４を凹面型回折格子（平面型の回折格子３０４と、凹面型回折格子の断面構成は同じ）に置き換え、第２レンズ３０６を取り除いた光学系でも同様な効果が得られる。さらには、本実施形態の分光光度計では、反射光３１１と透過光３１２を比較することにより透過率を検出する構成を示しているが、例えば、試料３０８に入射光を照射したときに試料３０８が発光する蛍光を検出する分光光度計に用いても構わない。
（第５の実施形態）
図１０により、本発明の第５の実施形態である生化学自動分析装置の全体構成を示す。本実施形態は、第１の実施形態の回折格子が備えられた生化学自動分析装置である。
【００３７】
本実施形態にかかる生化学自動分析装置は、反応セル４０１、サンプルディスク４０２、試料分注機構４０３、試薬ディスク４０４、試薬分注機構４０５、光源４０６、検出装置４０７から構成される。
【００３８】
サンプルディスク４０２内の試料は、試料分注機構４０３により反応セル４０１に注入される。次に、試薬ディスク４０４内の試薬が、試薬分注機構４０５により試料が注入された反応セル４０１に注入され、攪拌、混合される。
【００３９】
検出装置４０７について図１１を用いて説明する。検出装置４０７は、回折格子４０８、第１レンズ４０９、第２レンズ４１２、検出器４１３から構成される。光源４０６から放射された入射光４１０が、第１レンズ４０９で集光され、反応セル４０１を通過し、回折格子４０８に入射される。入射光４１０は、回折格子４０８により波長分散され、回折光４１１となって放出された後、第２レンズ４１２で集光され、検出器４１３により検出され、分析する。
【００４０】
本発明の生化学自動分析装置の効果について説明する。本実施形態によると、温度変化に伴う回折格子４０８の鋸歯形状の変形を防止できるので、温度変化に対して波長分散特性が安定し、分析感度が安定する。従って、分析性能に優れた生化学自動分析装置が実現できる。
【００４１】
なお、生化学自動分析装置の構成は本実施形態の構成に限定されるものではなく、例えば、平面型の回折格子４０８を凹面型回折格子（平面型の回折格子４０８と、凹面型回折格子の断面構成は同じ）に置き換え、第２レンズ４１２を取り除いた構成でも同様な効果が得られる。
【符号の説明】
【００４２】
１・・・基板、２・・・樹脂、３・・・支持膜、４・・・光反射膜、５・・・低熱膨張粒子、６・・・鋸歯形状、７・・・マスター基板、８・・・金属膜、９・・・マスター回折格子、１０・・・離型剤、１１・・・回折格子、１２・・・入射光、１３・・・回折光、１０１・・・キャピラリアレイ、１０２・・・負電極、１０３・・・試料導入部、１０４・・・バッファー液、１０５・・・第１バッファー容器、１０６・・・バルブ、１０７・・・ゲルブロック、１０８・・・アース電極、１０９・・・バッファー液、１１０・・・第２バッファー容器、１１１・・・シリンジ、１１２・・・検出部、１１３・・・レーザ光、１１４・・・光照射部、１１５・・・光源、１１６・・・蛍光、１１７・・・検出機構、１１８・・・恒温槽、１１９・・・高電圧電源、１２０・・・キャピラリヘッド、１２１・・・ハーフミラー、１２２，１２３・・・レーザ光、１２４・・・ミラー、１２５・・・集光レンズ、１２６・・・回折格子、１２７・・・第１レンズ、１２８・・・第２レンズ、１２９・・・検出器、１３０・・・回折光２０１・・・ポンプ、２０２・・・オートサンプラ、２０３・・・恒温槽、２０４・・・分離カラム、２０５・・・検出機構、２０６・・・データ処理部、２０７・・・移動相、２０８・・・廃液、２０９・・・回折格子、２１０・・・光源、２１１・・・フローセル、２１２・・・第１レンズ、２１３・・・第２レンズ、２１４・・・検出器、２１５・・・入射光、２１６・・・回折光３０１・・・光源、３０２・・・入射光、３０３・・・第１レンズ、３０４・・・回折格子、３０５・・・回折光、３０６・・・第２レンズ、３０７・・・ハーフミラー、３０８・・・試料、３０９・・・透過光検出器、３１０・・・反射光検出器、３１１・・・反射光、３１２・・・透過光４０１・・・反応セル、４０２・・・サンプルディスク、４０３・・・試料分注機構、４０４・・・試薬ディスク、４０５・・・試薬分注機構、４０６・・・光源、４０７・・・検出装置、４０８・・・回折格子、４０９・・・第１レンズ、４１０・・・入射光、４１１・・・回折光、４１２・・・第２レンズ、４１３・・・検出器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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