(57)【要約】【課題】駆動範囲中に高次振動モードを含む場合でも、異音の発生や不安定な駆動による不具合の発生を抑制できる振動アクチュエータ、レンズ鏡筒およびカメラを提供する。【解決手段】本発明の振動アクチュエータ３０は、互いに位相が異なる２つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子１１２の振動によって振動する振動子１１０と、前記振動子１１０に加圧され、該振動子１１０の振動によって当該振動子１１０に対して相対移動する移動子１２０と、前記駆動信号の電圧を調整可能な駆動電圧調整手段２０５と、を備える振動アクチュエータ３０であって、前記駆動信号の周波数が該振動アクチュエータ３０の共振周波数を含む共振周波数帯域にある場合、前記駆動電圧調整手段２０５は、前記駆動信号の電圧を、前記共振周波数帯域以外の帯域にある場合の電圧よりも下げること、を特徴とする。【選択図】図３
2014195382.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに位相が異なる２つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子の振動によって振動する振動子と、
前記振動子に加圧され、該振動子の振動によって当該振動子に対して相対移動する移動子と、
前記駆動信号の電圧を調整可能な駆動電圧調整手段と、
を備える振動アクチュエータであって、
前記駆動信号の周波数が該振動アクチュエータの共振周波数を含む共振周波数帯域にある場合、前記駆動電圧調整手段は、前記駆動信号の電圧を、前記共振周波数帯域以外の帯域にある場合の電圧よりも下げること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
前記駆動電圧調整手段は、駆動時における該振動アクチュエータのインピーダンスの変化に対応して前記駆動信号の電圧を変化させること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の振動アクチュエータであって、
前記駆動電圧調整手段は、前記駆動信号の周波数が、前記共振周波数となる場合に、前記駆動信号の電圧を最も下げること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒。
【請求項５】
請求項４に記載のレンズ鏡筒を備えるカメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動アクチュエータ、レンズ鏡筒およびカメラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動アクチュエータを駆動するために、圧電素子に対して、互いの位相が異なる２つの駆動信号を印加している。この駆動信号の周波数は、振動アクチュエータが低速回転となる高周波数側から開始され、高速回転となる低速周波数側に下げられる。
この駆動信号の周波数が、高次振動モードの共振周波数を含む場合、共振周波数を越える際に異音が発生したり、駆動が不安定になるといった不具合が生ずる可能性がある。
このため、振動アクチュエータを駆動するために用いられる駆動周波数と、その駆動周波数を含む振動モード(駆動モード）の次の高次振動モードの共振周波数との間の周波数（起動周波数）から開始して、徐々に駆動周波数に下げている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平３−２２８７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記起動周波数は、駆動周波数と、その駆動モードの次の高次振動モードの共振周波数との間の周波数と限定されるため、限定された範囲となる。このため駆動対象およびその駆動制御の要求等から、高次振動モードの共振周波数を避けることが出来ず、駆動範囲中に高次振動モードの周波数域を含む設定となる場合もある。
【０００５】
本発明の課題は、異音の発生を抑制できる振動アクチュエータ、レンズ鏡筒およびカメラを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。
請求項１に記載の発明は、互いに位相が異なる２つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子の振動によって振動する振動子と、前記振動子に加圧され、該振動子の振動によって当該振動子に対して相対移動する移動子と、前記駆動信号の電圧を調整可能な駆動電圧調整手段と、を備える振動アクチュエータであって、前記駆動信号の周波数が該振動アクチュエータの共振周波数を含む共振周波数帯域にある場合、前記駆動電圧調整手段は、前記駆動信号の電圧を、前記共振周波数帯域以外の帯域にある場合の電圧よりも下げること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータであって、前記駆動電圧調整手段は、駆動時における該振動アクチュエータのインピーダンスの変化に対応して前記駆動信号の電圧を変化させること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の振動アクチュエータであって、前記駆動電圧調整手段は、前記駆動信号の周波数が、前記共振周波数となる場合に、前記駆動信号の電圧を最も下げること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒である。
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のレンズ鏡筒を備えるカメラである。
【０００７】
なお、上記構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、駆動範囲中に高次振動モードを含む場合でも、異音の発生や不安定な駆動による不具合の発生を抑制できる振動アクチュエータ、レンズ鏡筒およびカメラを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施形態におけるカメラの概念構成図である。
【図２】本発明に係る振動アクチュエータの一実施形態である超音波モータの縦断面図である。
【図３】超音波モータにおける駆動回路のブロック構成図である。
【図４】超音波モータの駆動領域と振動モードと駆動信号の電圧を示す図である。
【図５】電圧調整部による電圧調整制御のフローチャートである。
【図６】超音波モータの駆動領域が異なる、図４と対応する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態におけるカメラ１の概念構成図である。
カメラ１は、カメラボディ１０と、レンズ鏡筒２０とを備えている。レンズ鏡筒２０は、カメラボディ１０に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒２０が交換可能な例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディとレンズ鏡筒が一体型のカメラであってもよい。
【００１１】
カメラボディ１０は、撮像素子１１と、制御装置１２と、ＡＦセンサ１３等を備えている。
撮像素子１１は、レンズ鏡筒２０によってその撮像面に結像された画像を電気信号に変換して出力する、たとえば、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の光電変換素子である。
制御装置１２は、レンズ鏡筒２０におけるフォーカス群の移動量演算や、当該カメラ１全体の制御を行う。
ＡＦセンサ１３は、焦点検出を行うためのたとえばＣＣＤラインセンサ等である。
【００１２】
レンズ鏡筒２０は、合焦レンズ２１を含む図示しないレンズ群からなる結像光学系と、内設された合焦レンズ２１を移動操作するカム筒２２と、カム筒２２を回転駆動する超音波モータ３０と、合焦レンズ２１の位置や速度を検出する検出部２３と、を備えている。
超音波モータ３０は、合焦レンズ２１を駆動する駆動源である。超音波モータ３０の回転力はアイドルギア２４を介してカム筒２２に伝えられ、カム筒２２は回転によって内設された合焦レンズ２１を移動駆動するようになっている。この超音波モータ３０は、カメラ１の制御装置１２から入力される合焦指令に基づいて駆動する。この超音波モータ３０については、後に詳述する。
検出部２３は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、合焦レンズ２１の位置や速度を検出する。本実施例では、カム筒２２の位置や速度を検出することにより、合焦レンズ２１の位置や速度を検出している。
【００１３】
そして、上記のように構成されたカメラ１は、レンズ鏡筒２０における合焦レンズ２１を含む結像光学系によって、カメラボディ１０における撮像素子１１の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子１１によって、結像された被写体像は、電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換および画像処理して画像データを得る（撮影する）。これらカメラ１における撮影に係る一連の動作は、カメラボディ１０が備える制御装置１２によって制御される。また、制御装置１２は、撮影時においては、ＡＦセンサ１３の検知情報に基づいてレンズ鏡筒２０の超音波モータ３０を駆動させ、焦点調節を行う。
【００１４】
つぎに、図２および図３を参照して、超音波モータ３０について詳細に説明する。
図２は、本発明に係る振動アクチュエータの一実施形態である超音波モータ３０の縦断面図である。図３は、超音波モータ３０の駆動回路２００のブロック構成図である。
超音波モータ３０は、モータ本体１００と、駆動回路２００と、により構成されている。
モータ本体１００は、振動子１１０、移動子１２０、出力軸１３０、加圧部材１４０、出力ギア１５０等を備え、振動子１１０側を固定とし、移動子１２０を回転駆動する形態となっている。
【００１５】
振動子１１０は、弾性体１１１と、弾性体１１１に接合された圧電体１１２とを有する略円環形状の部材である。
弾性体１１１は、共振先鋭度が大きな金属材料によって形成され、その形状は、略円環形状である。この弾性体１１１は、櫛歯部１１１ａ、ベース部１１１ｂ、フランジ部１１１ｃを有する。
櫛歯部１１１ａは、圧電体１１２が接合される面とは反対側の面に、複数の溝を切って形成され、この櫛歯部１１１ａの先端面は、移動子１２０に加圧接触され、移動子１２０を駆動する駆動面となる。この駆動面には、Ｎｉ−Ｐ（ニッケル−リン）メッキ等の潤滑性の表面処理が施されている。
【００１６】
ベース部１１１ｂは、弾性体１１１の周方向に連続した部分であり、ベース部１１１ｂの櫛歯部１１１ａとは反対側の面に、圧電体１１２が接合されている。
フランジ部１１１ｃは、弾性体１１１の内径方向に突出した鍔状の部分であり、ベース部１１１ｂの厚さ方向の中央に配置されている。このフランジ部１１１ｃにより、振動子１１０は、固定部材１０１に固定されている。
【００１７】
圧電体１１２は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子であり、例えば、圧電素子や電歪素子等が用いられる。圧電体１１２は、弾性体１１１の周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）の電気信号が入力される範囲に分かれている。各相には、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられており、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔があくようにしてある。
【００１８】
圧電体１１２には、その各相の電極に接続されたフレキシブルプリント基板１０２を介して後述する駆動回路２００から所定の電圧および周波数の駆動信号が供給されるようになっている。この駆動信号によって圧電体１１２が伸縮し、弾性体１１１の駆動面に進行波を生ずる。本実施例では、４波の進行波が発生する。
移動子１２０は、アルミニウム等の軽金属によって形成され、弾性体１１１の駆動面に生じる進行波によって回転駆動される部材である。移動子１２０は、振動子１１０（弾性体１１１の駆動面）と接触する面の表面に、耐磨耗性向上のためのアルマイト等の表面処理が施されている。
【００１９】
出力軸１３０は、略円柱形状の部材である。出力軸１３０は、一方の端部がゴム部材１０３を介して移動子１２０に接しており、移動子１２０と一体に回転する様に設けられている。
ゴム部材１０３は、ゴムにより形成された略円環形状の部材である。このゴム部材１０３は、ゴムによる粘弾性で移動子１２０と出力軸１３０とを一体に回転可能とする機能と、移動子１２０からの振動を出力軸１３０へ伝えないように振動を吸収する機能とを有しており、ブチルゴム、シリコンゴム、プロピレンゴム等が用いられている。
【００２０】
加圧部材１４０は、振動子１１０と移動子１２０とを加圧接触させる加圧力を発生する部材であり、出力ギア１５０とベアリング受け１０４との間に設けられている。本実施例では、加圧部材１４０は、圧縮コイルバネを用いているが、これに限定されるものではない。
出力ギア１５０は、出力軸１３０のＤカットに嵌まるように挿入され、Ｅリング等のストッパ１０６で固定され、回転方向及び軸方向に出力軸１３０と一体となるように設けられている。出力ギア１５０は、出力軸１３０の回転に伴って回転し、アイドルギア２４（図１参照）に駆動力を伝達する。
また、ベアリング受け１０４は、ベアリング１０５の内径側に配置され、ベアリング１０５は、固定部材１０１の内径側に配置された構造となっている。
【００２１】
加圧部材１４０は、振動子１１０を移動子１２０側へ、出力軸１３０の軸方向に加圧しており、この加圧力によって、移動子１２０は、振動子１１０の駆動面に加圧接触し、回転駆動される。なお、加圧部材１４０とベアリング受け１０４との間には、加圧力調整ワッシャーを設けて、超音波モータ３０の駆動に適正な加圧力が得られるようにしてもよい。
【００２２】
上記のように構成されたモータ本体１００は、後述する駆動回路２００から供給される駆動信号によって振動子１１０に進行波を生じ、これによって移動子１２０が回転駆動され、出力ギア１５０から回転力を出力する。移動子１２０の速度（すなわち出力ギア１５０の回転数）は、駆動信号の周波数に応じて変化する。
【００２３】
つぎに、超音波モータ３０における駆動回路２００について説明する。
図３に示すように、駆動回路２００は、制御部２０１と、発振部２０２と、移相部２０３と、増幅部２０４Ａ，２０４Ｂと、電圧調整部２０５と、振動検出部２０６と、を備えている。
制御部２０１は、レンズ鏡筒２０内又はカメラ１本体の制御装置１２からの駆動指令と、検出部２３による合焦レンズ２１の位置や速度情報と、に基づいて、モータ本体１００の駆動を制御する。すなわち、制御部２０１は、検出部２３からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、制御装置１２から指令された目標位置に合焦レンズ２１が位置するように発振部２０２が発生する駆動信号の駆動周波数を制御する。
【００２４】
発振部２０２は、制御部２０１の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する。駆動信号は、電位ゼロを基準とした時、＋方向一方向で非対称形状となっている。
移相部２０３は、該発振部２０２で発生した駆動信号を９０度位相の異なる２つの駆動信号に分ける。
増幅部２０４Ａ，２０４Ｂは、移相部２０３によって分けられた２つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する。増幅部２０４Ａ，２０４Ｂからの駆動信号は、モータ本体１００の圧電体１１２に印可され、これによって振動子１１０に進行波が発生し、移動子１２０を駆動する。
【００２５】
電圧調整部２０５は、振動検出部２０６の検出結果に基づいてモータ本体１００における振動子１１０の高次振動モードの共振周波数帯域を識別し、高次振動モードにおける共振周波数帯域では、増幅部２０４Ａ，２０４Ｂからモータ本体１００（圧電体１１２）に供給される駆動信号の電圧を定格電圧より低く変化させる。
この電圧調整部２０５、高次振動モード及び共振周波数帯域については後述する。
電圧調整部２０５は、たとえば、可変抵抗を備えて構成されている。この電圧調整部２０５については、後に詳述する。
振動検出部２０６は、モータ本体１００における圧電体１１２の、圧電効果によって発生した電圧を検出する。
【００２６】
上記構成の駆動回路２００によって、モータ本体１００は以下のように動作する。
カメラボディ１０における制御装置１２から制御部２０１に合焦レンズ２１の移動目標位置が入力されると、制御部２０１は、入力された目標位置と検出部２３から入力された合焦レンズ２１の位置情報とに基づいて、モータ本体１００の駆動量を演算し、発振部２０２から駆動信号を発生させる。この発振部２０２が発生させた駆動信号から、移相部２０３が９０°位相の異なる２つの駆動信号を生成し、増幅部２０４Ａ，２０４Ｂにより所望の電圧に増幅する。
【００２７】
駆動信号は、モータ本体１００の圧電体１１２のそれぞれＡ相とＢ相とに印加される。これにより、圧電体１１２が励振され、弾性体１１１にはＡ相とＢ相とで位置的な位相が１／４波長ずれた４次の曲げ振動が発生する。Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号とは、９０°位相がずれており、２つの曲げ振動は合成されて４波の進行波となる。
進行波の波頭には楕円運動が生じ、弾性体１１１の駆動面に加圧接触された移動子１２０は、この楕円運動によって摩擦駆動される。すなわち、移動子１２０が回転し、その回転力は出力軸１３０を介して出力ギア１５０から出力される。
【００２８】
モータ本体１００の出力回転数は、前述したように、駆動信号の周波数によって変化する。すなわち、高周波数から低周波数に変化すると、低回転数から高回転数に変化する。制御部２０１は、発振部２０２が発生させる駆動信号の周波数を変化させることで、出力回転数を制御する。
モータ本体１００の出力回転数の範囲は、駆動対象である合焦レンズ２１が、移動開始（速度０）から最大移動速度（最高速度）で移動が可能となるように設定される。
【００２９】
つぎに、図４から図６を参照して、駆動回路２００における電圧調整部２０５による電圧制御について説明する。
図４は、超音波モータ３０の駆動領域と振動モードと駆動信号の電圧とを示す図であって、（ａ）は、振動子１１０の振動モードを示し、縦軸はインピーダンス、横軸は周波数である。（ｂ）は、（ａ）と対応する駆動信号の電圧を示し、縦軸は電圧、横軸は周波数である。（ｃ）は、（ｂ）とは異なる駆動信号の電圧変化の例を示す図である。
図５は、電圧調整部２０５による電圧調整制御のフローチャートである。
図６は、超音波モータ３０の駆動領域が異なる図４と対応する図である。
【００３０】
ここで、図４（ａ）に示すように、超音波モータ３０の駆動において主に用いられる振動モードを駆動振動モードという。また、駆動振動モードの次の振動モードを高次振動モードという。高次振動モードの共振点及び反共振点を含み、インピーダンスが大きく変化する一定の範囲を高次振動モードの共振周波数帯域という。
【００３１】
駆動回路２００における電圧調整部２０５は、前述したように、振動検出部２０６の検出結果に基づいてモータ本体１００における振動子１１０の高次振動モードの共振周波数帯域を識別し、高次振動モードにおける共振周波数帯域では、増幅部２０４Ａ，２０４Ｂからモータ本体１００（圧電体１１２）に供給される駆動信号の電圧を定格電圧より低く変化させる。
すなわち、図４（ａ）に示すようにモータ本体１００（振動子１１０）に加えられる駆動信号の周波数が、高次振動モードの共振周波数帯域にある場合、図４（ｂ）に示すように駆動信号の電圧を定格電圧より低い所定の調整電圧（０Ｖ以上）に設定する。
【００３２】
このように、高次振動モードの周波数帯域では、駆動信号の電圧を定格電圧より低い調整電圧とすることにより、圧電体１１２に電力は供給されるものの駆動力が低下する。その結果、振動が抑えられ、振動子１１０の弾性体１１１が移動子１２０に衝突することによる異音の発生を抑制できる。また、回転が不安定となっても駆動力が低下しているために駆動による不具合の発生を抑制できる。
【００３３】
ここで、電圧調整部２０５によって調整電圧とする高次振動モードの周波数帯域の識別は、たとえば、圧電体１１２の変形により発生する電圧値（変形電圧値）の閾値を設定し、この閾値と、振動検出部２０６によって検出された圧電体１１２の変形電圧値と、を逐次比較して変形電圧値が閾値を越えると高次振動モードと判定する。
【００３４】
図５に、このような共振周波数帯域の識別および電圧調整制御のフローチャートを示す。なお、以下の説明および図５において、ステップを「Ｓ」とも略記する。
【００３５】
まず、定格電圧の駆動信号を、高次振動モードの周波数(共振周波数帯域以上）ｆ１で圧電体１１２に印加し、周波数のスイープを開始し周波数を徐々に下げていく（Ｓ５０１）。
これと同時に、圧電体１１２の変形電圧：Ｖｘを読み込んで（Ｓ５０２）、これを閾値：Ｖｓ１と比較する（Ｓ５０３）。
圧電体１１２に定格電圧の駆動信号を加えている場合に、駆動信号の周波数が共振周波数帯域に入ると（ｆ２）、圧電体１１２の変形により発生する電圧量が増加する。閾値Ｖｓ１は、この変形が発生したかどうかを判断する閾値である。
【００３６】
ステップ５０３において、変形電圧：Ｖｘが閾値：Ｖｓ１より小さいと判断された場合（Ｙｅｓ）には、ステップ５０２の電圧：Ｖｘの読み込みを繰り返す。
一方、ステップ５０３において、電圧：Ｖｘが閾値：Ｖｓ１以上になったと判断された場合（Ｎｏ）には、共振が発生しつつあると判断し、圧電体１１２に供給する駆動信号の電圧を定格電圧より低い調整電圧とする（Ｓ５０４）。
【００３７】
さらに駆動信号の周波数を下げ、圧電体１１２の変形電圧：Ｖｘと閾値：Ｖｓ２と比較する（Ｓ５０５）。
圧電体１１２に調整電圧の駆動信号を加えている場合に、駆動信号の周波数が共振周波数帯域より大きくなると（ｆ３）、圧電体１１２の変形により発生していた電圧量が減少する。閾値Ｖｓ２は、この変形が発生しているかどうかを判断する閾値である。閾値Ｖｓ２より小さくなると、共振周波数帯域を越えたことを示す。
【００３８】
ステップ５０５において、変形電圧：Ｖｘが閾値：Ｖｓ２以下になっていないと判断された場合（Ｎｏ）には、ステップ５０５の電圧：Ｖｘの読み込みを繰り返す。
変形電圧：Ｖｘが閾値：Ｖｓ以下になったと判断された場合（Ｙｅｓ）には、共振が終了したと判断し、圧電体１１２に供給する駆動信号の電圧を定格電圧に戻す（Ｓ５０６）。
【００３９】
なお、電圧調整部２０５による電圧調整制御は、上記の他、たとえば、高次振動モードの周波数帯域を予め駆動回路２００が備える図示しないメモリ等に記憶しておき、駆動時にはこの記憶情報を参照して該当する周波数帯域では調整電圧とする構成としても良い。すなわち、高次振動モードの周波数帯域の識別は、レンズ鏡筒２０の組立完了後、モータ本体１００をその駆動領域（周波数帯域）の全域において探査駆動し、振動検出部２０６によって検出された圧電体１１２の電圧値に基づいて高次振動モードの周波数帯域を設定し、その高次振動モードの周波数帯域をメモリ等に記憶させておくものである。
【００４０】
また、図４（ｂ）では、電圧調整部２０５は、振動子１１０が高次振動モードとなる周波数帯域では、定格電圧から直ちに調整電圧に変化させている。しかし、調整電圧は、高次振動モードの状態（たとえばインピーダンスの値の変化）に対応させて漸次変化させても良い。すなわち、たとえば、図４（ｃ）に示すように、図４（ａ）に示すインピーダンスの変化から読み取れる高次振動モードの共振点の周波数において電圧を最も低く、反共振点においては共振点についで低く設定し、その近傍は定格電圧に連続するように漸次変化させるものである。これにより、駆動信号の電圧を低下させることによる影響を極力小さくすることができる。
【００４１】
図６は、図４と同様に超音波モータ３０の駆動領域と振動モードとを示す図であるが、この例では、超音波モータ３０の駆動領域が異なり、その駆動領域に２つの高次振動モード（Ａ，Ｂ）が有る。
このような場合も、（ｂ）に示すように、高次振動モード（Ａ，Ｂ）と対応する周波数領域（共振周波数帯域Ａ，Ｂ）において駆動信号の電圧を調整電圧に低下させるものである。
【００４２】
以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
（１）本実施形態による超音波モータ３０は、駆動回路２００における電圧調整部２０５が、振動検出部２０６の検出結果に基づいてモータ本体１００における振動子１１０の高次振動モードの共振周波数帯域を識別し、高次振動モードの共振周波数帯域では、増幅部２０４Ａ，２０４Ｂからモータ本体１００（圧電体１１２）に供給される駆動信号の電圧を定格電圧より低い調整電圧に変化させる。
これにより、圧電体１１２に電力は供給されるものの駆動力が低下する。その結果、振動が抑えられ、振動子１１０の弾性体１１１が移動子１２０に衝突することによる異音の発生を抑制できる。とくに、回転開始周波数の近傍において高次振動モードとなる場合においても、回転開始時における耳障りな異音の発生を抑えることができる。また、回転が不安定となっても駆動力が低下しているために不具合の発生を抑制できる。
【００４３】
（変形形態）
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
（１）本実施形態では、振動アクチュエータとして超音波領域の振動を用いる超音波モータ３０を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限らず、超音波領域以外の振動を用いる振動アクチュエータに適用してもよい。
【００４４】
（２）本実施形態において、超音波モータ３０は、レンズ鏡筒２０に設けられ、フォーカス動作を行う駆動部に用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、ズーム動作を行う駆動部に用いてもよい。
（３）本実施形態では、カメラ１は、撮像素子１１を備えて画像を電子情報として記録（撮影）する例を示したが、本発明はこれに限らず、例えば、フィルムを用いるカメラに適用してもて良い。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。
【符号の説明】
【００４５】
１：カメラ、２０：レンズ鏡筒、２３：検出部、３０：超音波モータ、１００：モータ本体、１１０：振動子、１２０：移動子、２００：駆動回路、２０１：制御部、２０５：電圧調整部、２０６：振動検出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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