(57)【要約】【課題】電極間にバランス良く静電引力を発生させる波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びＭＥＭＳデバイスを提供する。【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、可動基板５１に、円環状の内側可動電極５４２と、内側可動電極５４２と同心の外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂと、外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂの間を通って内側可動電極５４２から延出する内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂと、外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂから延出する外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂとが設けられ、外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂ、及び内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂは、それぞれ平面中心点Ｏに対して等角度間隔に設けられた。【選択図】図２
2014059497.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一基板と、
前記第一基板に対向する第二基板と、
前記第一基板に設けられた第一反射膜と、
前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対向する第二反射膜と、
前記第一基板に設けられた円環状の第一内側電極と、
前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外で、前記第一内側電極と同心円となる一つの仮想円に沿って複数設けられ、かつそれぞれ同一形状に形成された第一外側電極と、
前記平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外周縁から、前記仮想円に沿って並んだ２つの第一外側電極の間を通って、前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一内側接続電極と、
前記平面視において、各第一外側電極の外周縁から前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一外側接続電極と、
前記第二基板に設けられ、前記平面視において、少なくとも前記第一内側電極及び前記第一外側電極と重なる領域に設けられた第二電極と、を備え、
前記第一内側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられ、
前記第一外側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられた
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項２】
請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記第二電極は、前記第一内側電極と重なる領域に設けられた第二内側電極と、前記第一外側電極と重なる領域に設けられた第二外側電極とを備え、
前記第二外側電極は、前記第一内側接続電極と重ならない領域に設けられた
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項３】
請求項２に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記第二内側電極及び前記第二外側電極を接続し、前記第一内側接続電極と重ならない領域に設けられた第二内側接続電極を備える
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記第一基板は、前記第一反射膜、前記第一内側電極及び前記第一外側電極が設けられ、前記第二基板に対して進退する可動部と、
前記可動部の外周縁に接続され、前記可動部を前記第二基板に対して進退可能に保持する保持部と、
を備えることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項５】
第一基板、
前記第一基板に対向する第二基板、
前記第一基板に設けられた第一反射膜、
前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対向する第二反射膜、
前記第一基板に設けられた円環状の第一内側電極、
前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外で、前記第一内側電極と同心円となる一つの仮想円に沿って複数設けられ、かつそれぞれ同一形状に形成された第一外側電極、
前記平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外周縁から、前記仮想円に沿って並んだ２つの第一外側電極の間を通って、前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一内側接続電極、
前記平面視において、各第一外側電極の外周縁から前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一外側接続電極、及び
前記第二基板に設けられ、前記平面視において、少なくとも前記第一内側電極及び前記第一外側電極と重なる領域に設けられた第二電極を備え、
前記第一内側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられ、
前記第一外側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられた波長可変干渉フィルターと、
前記波長可変干渉フィルターを収納し、少なくとも一部に前記波長可変干渉フィルターに光を導く導光部が設けられた筐体と、
を備えることを特徴とする光学フィルターデバイス。
【請求項６】
第一基板と、
前記第一基板に対向する第二基板と、
前記第一基板に設けられた第一反射膜と、
前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対向する第二反射膜と、
前記第一基板に設けられた円環状の第一内側電極と、
前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外で、前記第一内側電極と同心円となる一つの仮想円に沿って複数設けられ、かつそれぞれ同一形状に形成された第一外側電極と、
前記平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外周縁から、前記仮想円に沿って並んだ２つの第一外側電極の間を通って、前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一内側接続電極と、
前記平面視において、各第一外側電極の外周縁から前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一外側接続電極と、
前記第二基板に設けられ、前記平面視において、少なくとも前記第一内側電極及び前記第一外側電極と重なる領域に設けられた第二電極と、
前記第一反射膜及び前記第二反射膜により取り出された光を検出する検出部と、を備え、
前記第一内側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられ、
前記第一外側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられた
ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項７】
第一基板、
前記第一基板に対向する第二基板、
前記第一基板に設けられた第一反射膜、
前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対向する第二反射膜、
前記第一基板に設けられた円環状の第一内側電極、
前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外で、前記第一内側電極と同心円となる一つの仮想円に沿って複数設けられ、かつそれぞれ同一形状に形成された第一外側電極、
前記平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外周縁から、前記仮想円に沿って並んだ２つの第一外側電極の間を通って、前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一内側接続電極、
前記平面視において、各第一外側電極の外周縁から前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一外側接続電極、及び
前記第二基板に設けられ、前記平面視において、少なくとも前記第一内側電極及び前記第一外側電極と重なる領域に設けられた第二電極を備え、
前記第一内側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられ、
前記第一外側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられた波長可変干渉フィルターと、
前記波長可変干渉フィルターを制御する制御部と、
を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項８】
第一基板と、
前記第一基板に対向する第二基板と、
前記第一基板に設けられた円環状の第一内側電極と、
前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外で、前記第一内側電極と同心円となる一つの仮想円に沿って複数設けられ、かつそれぞれ同一形状に形成された第一外側電極と、
前記平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外周縁から、前記仮想円に沿って並んだ２つの第一外側電極の間を通って、前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一内側接続電極と、
前記平面視において、各第一外側電極の外周縁から前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一外側接続電極と、
前記第二基板に設けられ、前記平面視において、少なくとも前記第一内側電極及び前記第一外側電極と重なる領域に設けられた第二電極と、を備え、
前記第一内側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられ、
前記第一外側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられた
ことを特徴とするＭＥＭＳデバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びＭＥＭＳデバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、対向する一対の基板と、この基板間のギャップを変化させるギャップ変更手段とを備え、基板間ギャップを変更可能に構成されるデバイスが知られている。
このようなデバイスとして、互いに対向する一対の反射膜を有し、この反射膜間の距離を変化させることで、測定対象の光から所定波長の光を取り出す波長可変干渉フィルターが例示される（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の波長可変干渉フィルターは、互いに対向する第一基板及び第二基板と、各基板にそれぞれ配置されてギャップを介して互いに対向する反射膜と、各基板にそれぞれ配置されて互いに対向する電極とを備えている。このような波長可変干渉フィルターでは、電極間に電圧を印加することで、第二基板を変形させ、反射膜間のギャップを調整することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１０６９３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記特許文献１の波長可変干渉フィルターでは、一対の電極により構成される１つの静電アクチュエーターが備える一対の電極間に発生する静電引力により反射膜間ギャップを制御している。
さらに、静電引力を利用してより高精度に反射膜間ギャップを制御するために、二対の電極を備える、すなわち二重電極構成を有する静電アクチュエーターを備える波長可変干渉フィルターがある。二重電極構成を備える波長可変干渉フィルターとして、一方の基板に、円環状の内側電極と、Ｃ字状の外側電極と、外側電極のＣ字開口部分を通る内側電極の引出線とを備え、他方の基板に、一方の基板に設けられた上記内側電極及び外側電極のそれぞれに対向する内側電極及び外側電極とを備える構成が考えられる。
【０００６】
しかし、一対の内側電極間の電位差と、一対の外側電極間の電位差とが異なるように制御した場合、一方の基板に設けられた外側電極のＣ字開口部分を含む領域と、基板の平面視においてその反対側に位置する領域とで、異なる大きさの静電引力が印加される。すなわち、上記Ｃ字開口部分を含む領域では、内側電極と同電位である引出線部分と、外側電極とが対向しているので、一対の外側電極が対向する反対側の領域と異なる電位差が生じている。これにより、電極間に印加される静電引力のバランスが悪くなるおそれがある。
【０００７】
本発明は、基板間にバランス良く静電引力を発生させることができる波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びＭＥＭＳデバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の波長可変干渉フィルターは、第一基板と、前記第一基板に対向する第二基板と、前記第一基板に設けられた第一反射膜と、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対向する第二反射膜と、前記第一基板に設けられた円環状の第一内側電極と、前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外で、前記第一内側電極と同心円となる一つの仮想円に沿って複数設けられ、かつそれぞれ同一形状に形成された第一外側電極と、前記平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外周縁から、前記仮想円に沿って並んだ２つの第一外側電極の間を通って、前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一内側接続電極と、前記平面視において、各第一外側電極の外周縁から前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一外側接続電極と、前記第二基板に設けられ、前記平面視において、少なくとも前記第一内側電極及び前記第一外側電極と重なる領域に設けられた第二電極と、を備え、前記第一内側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられ、前記第一外側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられたことを特徴とする。
【０００９】
本発明の波長可変干渉フィルターは、円環状の第一内側電極と、第一内側電極と同心円となる仮想円に沿って複数設けられ、かつそれぞれ同一形状に形成された第一外側電極と、第一内側電極及び第一外側電極と重なる領域に対向して設けられた第二電極とを備える。
このように構成される波長可変干渉フィルターでは、第一内側電極及び第一外側電極に異なる電圧を印加することで、第一内側電極と第二電極との間に発生する静電引力、及び第一外側電極と第二電極との間に発生する静電引力を異ならせることができる。これにより、第一反射膜と第二反射膜との間のギャップ（反射膜間ギャップ）を精度よく所望のギャップ量に変更させることが可能となる。
【００１０】
ここで、本発明では、第一内側接続電極が、第一内側電極の中心に対して等角度間隔に設けられている。また、第一外側電極は、第一内側電極の外側で、かつ第一内側電極と同心円となる仮想円上に沿って複数設けられており、これらの第一外側電極は同一形状に形成され、第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられている。さらに、第一外側接続電極は、各第一外側電極から、外側に向かって延出し、これらの第一外側接続電極が、第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられている。一方、第二基板に設けられる第二電極は、平面視において、第一内側電極及び第二外側電極と重なる領域に設けられている。
このような構成では、第一内側電極及び第二電極の間、第一外側電極及び第二電極の間に静電引力が作用することになり、これらの領域は、第一内側電極の中心点に対して等角度間隔に設けられる領域となる。また、第一内側接続電極及び第一外側接続電極もそれぞれ等角度間隔で設けられているので、各接続電極により発生する静電引力の発生領域も等角度間隔に設けられる領域となる。したがって、反射膜間のギャップを静電引力により変化させる際、第一内側電極の中心点に対してバランスよく静電引力を、作用させることができる。これにより、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップの寸法を変更することができる。すなわち、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップの寸法をより高精度に制御することができる。
【００１１】
これに加え、基板に設けられた電極や接続電極に内部応力が発生する場合がある。そして、この内部応力が基板の平面視において釣り合っていないと、基板が平面視において異なる撓み量で撓み、反射膜間ギャップが不均一になり。反射膜間ギャップを高精度に調整することができないおそれがある。
これに対して、本発明では、第一内側電極を円環状とし、同一形状の第一外側電極を第一内側電極の中心点に対して等角度間隔に設けている。さらに、第一内側接続電極及び第一外側接続電極を、第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けている。
このような構成では、第一内側電極、第一外側電極、第一内側接続電極及び第二外側接続電極のそれぞれが、第一内側電極の中心点に対して対称性を有する領域に設けられている。したがって、電極や接続電極に内部応力が発生したとしても、その内部応力が基板中心（第一内側電極の中心点）に対して対称性を有する領域に作用する、すなわち、釣り合った状態で作用する。従って、上記構成によれば、各電極や接続電極の内部応力を基板中心に対してバランスよく作用させることができる。これにより、内部応力の影響で反射膜間ギャップの寸法制御の精度が低下することを抑制でき、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップの寸法をより高精度に調整することができる。
【００１２】
すなわち、本発明の波長可変干渉フィルターは、第一内側電極及び第一外側電極と第二電極との間に発生する静電引力、並びに、第一内側電極、第一外側電極、第一内側接続電極及び第一外側接続電極による内部応力を、平面視において、バランスよく基板に作用させることができ、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップの寸法をより高精度に調整することができる。
【００１３】
なお、本発明では、基板に設けられた導電体膜からなパターンを電極と称している。例えば、複数の第一内側接続電極の少なくとも１つは、第一内側電極に電圧を印加するために電力供給源に接続するための引出電極であり、それ以外の第一内側接続電極は、引出電極として機能しないダミー電極である。本発明では、このようなダミー電極も含めた基板に設けられた導電体膜からなるパターンを電極と称している。
【００１４】
本発明の波長可変干渉フィルターでは、前記第二電極は、前記第一内側電極と重なる領域に設けられた第二内側電極と、前記第一外側電極と重なる領域に設けられた第二外側電極とを備え、前記第二外側電極は、前記第一内側接続電極と重ならない領域に設けられた
ことが好ましい。
これにより、第二電極と第一内側接続電極との間に静電引力が発生することがなく、静電引力が発生しない領域が等間隔に設けられる。第一内側接続電極と第二電極との間に静電引力が発生する場合、それを考慮して反射膜間ギャップの制御を行う、すなわち、第一内側電極及び第一外側電極に印加する電圧を制御する必要がある。これに対して、本発明では、それを考慮する必要がなく、第一内側電極及び第一外側電極と第二電極との間に発生する静電引力を利用して反射膜間ギャップを調整することができる。従って、反射膜間ギャップを高精度に調整することができる。
【００１５】
本発明の波長可変干渉フィルターでは、前記第二内側電極及び前記第二外側電極を接続し、前記第一内側接続電極と重ならない領域に設けられた第二内側接続電極を備えることが好ましい。
このように、第二内側接続電極が第一内側接続電極と重ならない領域に配設されることにより、第一内側接続電極と第二内側接続電極との間に静電引力が発生することがなく、第一内側電極及び第一外側電極と第二電極との間に発生する静電引力を利用して反射膜間ギャップを調整することができる。従って、反射膜間ギャップをより高精度に調整することができる。
【００１６】
本発明の波長可変干渉フィルターでは、前記第一基板は、前記第一反射膜、前記第一内側電極及び前記第一外側電極が設けられ、前記第二基板に対して進退する可動部と、前記可動部の外周縁に接続され、前記可動部を前記第二基板に対して進退可能に保持する保持部と、を備えることが好ましい。
このように、第一基板を、第二基板に対して進退する可動部を有する可動基板として構成する。上述のように、可動基板である第一基板は、平面視において対称性を有する構成とし、第一内側電極及び第一外側電極及び第二電極の間に発生する静電引力、並びに、第一内側電極、第一外側電極、第一内側接続電極及び第一外側接続電極による内部応力が、平面視において対称性を有する領域に作用する。従って、静電引力及び内部応力を平面視において、バランスよく基板に作用させることができ、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップの寸法をより高精度に調整することができる。
【００１７】
本発明の光学フィルターデバイスは、第一基板、前記第一基板に対向する第二基板、前記第一基板に設けられた第一反射膜、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対向する第二反射膜、前記第一基板に設けられた円環状の第一内側電極、前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外で、前記第一内側電極と同心円となる一つの仮想円に沿って複数設けられ、かつそれぞれ同一形状に形成された第一外側電極、前記平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外周縁から、前記仮想円に沿って並んだ２つの第一外側電極の間を通って、前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一内側接続電極、前記平面視において、各第一外側電極の外周縁から前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一外側接続電極、及び前記第二基板に設けられ、前記平面視において、少なくとも前記第一内側電極及び前記第一外側電極と重なる領域に設けられた第二電極を備え、前記第一内側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられ、前記第一外側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられた波長可変干渉フィルターと、前記波長可変干渉フィルターを収納し、少なくとも一部に前記波長可変干渉フィルターに光を導く導光部が設けられた筐体と、を備えることを特徴とする。
【００１８】
本発明では、上述したような波長可変干渉フィルターが筐体内部に収納されるため、波長可変干渉フィルターを外部からの衝撃から保護することができる。また、筐体により外部からの帯電粒子の侵入を抑制でき、各電極や各接続電極が帯電粒子により帯電することを防止できる。従って、帯電によるクーロン力の影響で、静電引力のバランスが崩れる不都合を回避でき、反射膜間ギャップの不均一を抑制することができる。
【００１９】
本発明の光学モジュールは、第一基板と、前記第一基板に対向する第二基板と、前記第一基板に設けられた第一反射膜と、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対向する第二反射膜と、前記第一基板に設けられた円環状の第一内側電極と、前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外で、前記第一内側電極と同心円となる一つの仮想円に沿って複数設けられ、かつそれぞれ同一形状に形成された第一外側電極と、前記平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外周縁から、前記仮想円に沿って並んだ２つの第一外側電極の間を通って、前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一内側接続電極と、前記平面視において、各第一外側電極の外周縁から前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一外側接続電極と、前記第二基板に設けられ、前記平面視において、少なくとも前記第一内側電極及び前記第一外側電極と重なる領域に設けられた第二電極と、前記第一反射膜及び前記第二反射膜により取り出された光を検出する検出部と、を備え、前記第一内側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられ、前記第一外側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられたことを特徴とする。
【００２０】
この発明では、光学モジュールは、上述したような波長可変干渉フィルターと同様の構成を備えている。これにより、第一内側電極及び第一外側電極と第二電極との間に発生する静電引力、並びに、第一内側電極、第一外側電極、第一内側接続電極及び第一外側接続電極による内部応力を、平面視において、バランスよく基板に作用させることができ、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップの寸法をより高精度に調整することができる。
【００２１】
本発明の電子機器は、第一基板、前記第一基板に対向する第二基板、前記第一基板に設けられた第一反射膜、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対向する第二反射膜、前記第一基板に設けられた円環状の第一内側電極、前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外で、前記第一内側電極と同心円となる一つの仮想円に沿って複数設けられ、かつそれぞれ同一形状に形成された第一外側電極、前記平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外周縁から、前記仮想円に沿って並んだ２つの第一外側電極の間を通って、前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一内側接続電極、前記平面視において、各第一外側電極の外周縁から前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一外側接続電極、及び前記第二基板に設けられ、前記平面視において、少なくとも前記第一内側電極及び前記第一外側電極と重なる領域に設けられた第二電極を備え、前記第一内側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられ、前記第一外側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられた波長可変干渉フィルターと、前記波長可変干渉フィルターを制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
【００２２】
ここで、電子機器としては、第一反射膜及び第二反射膜により取り出された光に基づいて、測定対象光の色度や明るさなどを分析する光測定器、ガスの吸収波長を検出してガスの種類を検査するガス検出装置、受光した光からその波長の光に含まれるデータを取得する光通信装置などを例示することができる。
この発明では、電子機器は、上述したような波長可変干渉フィルターと同様の構成を備えている。これにより、第一内側電極及び第一外側電極と第二電極との間に発生する静電引力、並びに、第一内側電極、第一外側電極、第一内側接続電極及び第一外側接続電極による内部応力を、平面視において、バランスよく基板に作用させることができ、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップの寸法をより高精度に調整することができ、高分解能で所望の光を取り出すことができる。従って、電子機器において、このような高分解能で取り出された光に基づいて、高精度な各種処理を実施することができる。
【００２３】
本発明のＭＥＭＳデバイスは、第一基板と、前記第一基板に対向する第二基板と、前記第一基板に設けられた円環状の第一内側電極と、前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外で、前記第一内側電極と同心円となる一つの仮想円に沿って複数設けられ、かつそれぞれ同一形状に形成された第一外側電極と、前記平面視において、前記第一基板の前記第一内側電極の外周縁から、前記仮想円に沿って並んだ２つの第一外側電極の間を通って、前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一内側接続電極と、前記平面視において、各第一外側電極の外周縁から前記第一基板の外周側に延出する複数の直線状の第一外側接続電極と、前記第二基板に設けられ、前記平面視において、少なくとも前記第一内側電極及び前記第一外側電極と重なる領域に設けられた第二電極と、を備え、前記第一内側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられ、前記第一外側接続電極は、前記第一内側電極の中心点に対して等角度間隔で設けられたことを特徴とする。
【００２４】
ここで、ＭＥＭＳデバイスとは、例えば、第一基板の、第二基板と対向する面とは逆の面に、反射膜を備えるミラーデバイス等、第一基板と第二基板との間のギャップ（基板間ギャップ）を変更したり、一方の基板に対する他方の基板の角度や向きを調整したりする制御を行うことができるように構成されたデバイスである。
この発明では、ＭＥＭＳデバイスは、上述したような波長可変干渉フィルターと同様の電極及び接続電極構成を有する。これにより、第一内側電極及び第一外側電極と第二電極との間に発生する静電引力、並びに、第一内側電極、第一外側電極、第一内側接続電極及び第一外側接続電極による内部応力を、平面視において、バランスよく基板に作用させることができる。従って、第一基板と第二基板との間のギャップの寸法を平面視において均一に変更したり、第一基板と第二基板との角度を調整する等の、第一基板と第二基板との位置関係の制御を高精度に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る第一実施形態の測色装置（電子機器）の概略構成を示す図。
【図２】第一実施形態の波長可変干渉フィルターの概略構成を示す平面図。
【図３】図２をIII−III線で断面した波長可変干渉フィルターの断面図。
【図４】第一実施形態の波長可変干渉フィルターの可動基板を固定基板側から見た平面図。
【図５】第一実施形態の波長可変干渉フィルターの固定基板を可動基板側から見た平面図。
【図６】第二実施形態の波長可変干渉フィルターの概略構成を示す平面図。
【図７】第二実施形態の波長可変干渉フィルターの可動基板を固定基板側から見た平面図。
【図８】第二実施形態の波長可変干渉フィルターの固定基板を可動基板側から見た平面図。
【図９】第三実施形態の光学フィルターデバイスの概略構成を示す断面図。
【図１０】第四実施形態のＭＥＭＳデバイスの概略構成を示す断面図。
【図１１】本発明の波長可変干渉フィルターを備えたガス検出装置を示す概略図。
【図１２】図１１のガス検出装置の制御系の構成を示すブロック図。
【図１３】本発明の波長可変干渉フィルターを備えた食物分析装置の概略構成を示す図。
【図１４】本発明の波長可変干渉フィルターを備えた分光カメラの概略構成を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
［第一実施形態］
以下、本発明に係る第一実施形態について、図面に基づいて説明する。
〔測色装置の全体構成〕
図１は、本発明に係る実施形態の測色装置（電子機器）の概略構成を示す図である。
この測色装置１は、本発明の電子機器であり、図１に示すように、測定対象Ａに光を射出する光源装置２と、本発明の光学モジュールである測色センサー３と、測色装置１の全体動作を制御する制御装置４とを備えている。そして、この測色装置１は、光源装置２から射出される光を測定対象Ａにて反射させ、反射された測定対象光を測色センサー３にて受光し、測色センサー３から出力される検出信号に基づいて、測定対象光の色度、すなわち測定対象Ａの色を分析して測定する装置である。
【００２７】
〔光源装置の構成〕
光源装置２は、光源２１、複数のレンズ２２（図１には１つのみ記載）を備え、測定対象Ａに対して白色光を射出する。複数のレンズ２２には、コリメーターレンズが含まれていてもよく、この場合、光源装置２は、光源２１から射出された白色光をコリメーターレンズにより平行光とし、図示しない投射レンズから測定対象Ａに向かって射出する。
なお、本実施形態では、光源装置２を備える測色装置１を例示するが、例えば測定対象Ａが液晶パネルなどの発光部材である場合、光源装置２が設けられない構成としてもよい。
【００２８】
〔測色センサーの構成〕
測色センサー３は、本発明の光学モジュールを構成する。この測色センサー３は、図１に示すように、波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５を透過した光を受光して検出する検出部３１と、波長可変干渉フィルター５に駆動電圧を印加する電圧制御部３２と、を備えている。また、測色センサー３は、波長可変干渉フィルター５に対向する位置に、測定対象Ａで反射された反射光（測定対象光）を、内部に導光する図示しない入射光学レンズを備えている。そして、この測色センサー３は、波長可変干渉フィルター５により、入射光学レンズから入射した測定対象光のうち、所定波長の光を分光し、分光した光を検出部３１にて受光する。
検出部３１は、複数の光電交換素子により構成されており、受光量に応じた電気信号を生成する。そして、検出部３１は、制御装置４に接続されており、生成した電気信号を受光信号として制御装置４に出力する。
【００２９】
〔波長可変干渉フィルターの構成〕
図２は、波長可変干渉フィルター５の概略構成を示す平面図であり、図３は、図２をIII−III線で断面した波長可変干渉フィルター５の断面図である。
波長可変干渉フィルター５は、図２に示すように、例えば平面正方形状の板状の光学部材である。この波長可変干渉フィルター５は、図３に示すように、本発明の第一基板である可動基板５１、及び本発明の第二基板である固定基板５２を備えている。これらの２枚の基板５１，５２は、それぞれ例えば、ソーダガラス、結晶性ガラス、石英ガラス、鉛ガラス、カリウムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラスなどの各種ガラスや、水晶などにより形成されている。そして、これらの可動基板５１及び固定基板５２は、可動基板５１の第一接合部５１３及び固定基板５２の第二接合部５２３が、例えばシロキサンを主成分とするプラズマ重合膜などにより構成された接合膜５３により接合されることで、一体的に構成されている。
【００３０】
可動基板５１には、本発明の第一反射膜を構成する可動反射膜５６が設けられ、固定基板５２には、本発明の第二反射膜を構成する固定反射膜５７が設けられる。ここで、可動反射膜５６は、可動基板５１の固定基板５２に対向する面に固定され、固定反射膜５７は、固定基板５２の可動基板５１に対向する面に固定される。また、これらの可動反射膜５６及び固定反射膜５７は、所定の反射膜間ギャップＧを介して対向配置される。
さらに、可動基板５１と固定基板５２との間には、可動反射膜５６及び固定反射膜５７の間のギャップＧの寸法を調整するために用いられる静電アクチュエーター５４が設けられる。この静電アクチュエーター５４は、可動基板５１側に設けられる可動電極５４１と、固定基板５２側に設けられる固定電極５５１とを備える。ここで、これらの電極５４１，５５１は、それぞれ可動基板５１及び固定基板５２の基板表面に直接設けられる構成であってもよく、他の膜部材を介して設けられる構成であってもよい。
また、波長可変干渉フィルター５を可動基板５１（固定基板５２）の基板厚み方向における可動基板５１側から見た図２に示すような平面視において、可動基板５１及び固定基板５２の平面中心点Ｏは、可動反射膜５６及び固定反射膜５７の中心点と一致し、かつ後述する可動部５１１の中心点と一致する。
なお、以降の説明に当たり、可動基板５１又は固定基板５２の基板厚み方向から見た平面視、つまり、可動基板５１、接合膜５３、及び固定基板５２の積層方向から波長可変干渉フィルター５を見た平面視を、フィルター平面視と称する。
【００３１】
〔可動基板の構成〕
図４は、第一実施形態の波長可変干渉フィルター５における可動基板５１を固定基板５２側から見た平面図である。
可動基板５１は、例えばガラス基材をエッチングにより加工することで形成される。
具体的には、可動基板５１は、図２、図４に示すようなフィルター平面視において、基板中心点（平面中心点Ｏ）を中心とした円形の可動部５１１と、可動部５１１と同軸であり可動部５１１を保持する保持部５１２とを備える。
また、可動基板５１は、図２及び図４に示すように、頂点Ｔ３の位置に切欠部５１４を備えており、波長可変干渉フィルター５の可動基板５１側に、固定電極パッド５５７Ｐが露出する。
【００３２】
可動部５１１は、保持部５１２よりも厚み寸法が大きく形成され、例えば、本実施形態では、可動基板５１の厚み寸法と同一寸法に形成される。また、可動部５１１は、反射膜設置部５２２に平行な可動面５１１Ａを備え、この可動面５１１Ａに、可動反射膜５６、及び可動電極５４１が設けられる。
なお、可動基板５１は、可動部５１１の固定基板５２とは反対側の面において、可動反射膜５６に対応する位置に反射防止膜（ＡＲ）を設ける構成としてもよい。この反射防止膜は、低屈折率膜及び高屈折率膜を交互に積層することで形成され、可動基板５１の表面での可視光の反射率を低下させ、透過率を増大させる。
【００３３】
可動反射膜５６は、可動部５１１の可動面５１１Ａの中心部に、固定反射膜５７と反射膜間ギャップＧを介して対向して設けられる。この可動反射膜５６としては、例えばＡｇ等の金属膜や、Ａｇ合金等の合金膜を用いることができる。また、例えば高屈折層をＴｉＯ２、低屈折層をＳｉＯ２とした誘電体多層膜を用いてもよい。さらに、誘電体多層膜上に金属膜（又は合金膜）を積層した反射膜や、金属膜（又は合金膜）上に誘電体多層膜を積層した反射膜、単層の屈折層（ＴｉＯ２やＳｉＯ２等）と金属膜（又は合金膜）とを積層した反射膜などを用いてもよい。
【００３４】
保持部５１２は、可動部５１１の周囲を囲う円環状のダイヤフラムであり、可動部５１１よりも厚み方向に対する剛性が小さく形成される。
このため、保持部５１２は可動部５１１よりも撓みやすく、僅かな静電引力により固定基板５２側に撓ませることが可能となる。この際、可動部５１１は、保持部５１２よりも厚み寸法が大きく、剛性が大きくなるため、静電引力により可動基板５１を撓ませる力が作用した場合でも、可動部５１１の撓みはほぼなく、可動部５１１に形成された可動反射膜５６の撓みも防止できる。
【００３５】
可動電極５４１は、図４に示すように、平面中心点Ｏを中心とした円環状の内側可動電極５４２と、フィルター平面視において、内側可動電極５４２の外側に、一つの仮想円Ｐの円周に沿って配設される外側可動電極５４３により構成される。内側可動電極５４２は、本発明の第一内側電極を構成し、外側可動電極５４３は、本発明の第一外側電極を構成する。
ここで、内側可動電極５４２は、本発明の第一内側接続電極を構成する内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂが接続される。これら内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂは、フィルター平面視において、平面中心点Ｏを通る仮想直線Ｌ１に沿って配設され、直線形状を有する。換言すると、図４に示すように、これら一対の内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂは、内側可動電極５４２の周方向に沿って１８０度の間隔で、すなわち、内側可動電極５４２の周方向に沿って等角度間隔で配設される。
【００３６】
内側可動接続線５４５Ａは、内側可動電極５４２の外周縁から、頂点Ｔ１方向に延出し、その先端部には、電圧制御部３２に接続される可動電極パッド５４７Ｐ１が設けられる。
一方、内側可動接続線５４５Ｂは、外側可動電極５４３の外周縁から、頂点Ｔ３方向に延出し、その先端部は、フィルター平面視において、保持部５１２の外縁よりも外側に位置する。具体的には、内側可動接続線５４５Ｂの先端部は、反射膜設置部５２２の外縁に対して、所定の長さ、例えば保持部５１２の厚み程度の長さ分だけ突出している。
【００３７】
内側可動接続線５４５Ａが保持部５１２の内外に亘って設けられる構成に対して、内側可動接続線５４５Ｂが保持部５１２の外まで延出していない場合や、保持部５１２の外周縁に対して十分な長さ分延出していない場合、保持部５１２が撓んだ際に内側可動接続線５４５Ａに係る復元力と、内側可動接続線５４５Ｂに係る復元力が異なり、保持部５１２の撓みがアンバランスになるおそれがある。これに対して、上記構成では、保持部５１２が撓んだ際に、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂに係る応力がほぼ同等となり、バランスよく保持部５１２を撓ませることができる。
すなわち、所定の長さとは、保持部５１２の内外に亘って設けられた内側可動接続線５４５Ａに係る復元力と、内側可動接続線５４５Ｂに係る復元力とがほぼ同等となるのに十分な長さであり、保持部５１２の厚みや内側可動接続線５４５Ｂの形状などに応じて決まる。
【００３８】
なお、内側可動接続線５４５Ｂは、内側可動接続線５４５Ａと同様、可動基板５１の外周側に引き出されていてもよい。また、内側可動接続線５４５Ｂも、可動基板５１の外周部において電極パッドを介して電圧制御部３２に接続されてもよい。さらに、この場合、例えば、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂの一方を駆動電圧印加用電極に、他方を静電容量検出量電極として用いてもよい。
【００３９】
ここで、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂは、本発明の第一内側接続電極を構成するとしたが、本明細書では、各基板５１，５２に設けられた導電体膜からなパターンの一部及び全てを電極とも称する。例えば、内側可動接続線５４５Ａは、内側可動電極５４２に電圧を印加するために可動電極パッド５４７Ｐ１に接続される引出電極である。一方、内側可動接続線５４５Ｂは、可動電極パッド５４７Ｐ１に接続されない、すなわち、引出電極として機能しないダミー電極である。すなわち、本明細書では、このようなダミー電極も含めた、基板に設けられた導電体膜からなるパターンの一部及び全てを電極とも称する。
【００４０】
外側可動電極５４３は、平面中心点Ｏを中心とした仮想円Ｐの円周に沿う円弧状の複数の外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂにより構成されている。これらの外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂのそれぞれが、本発明の第一外側電極を構成する。なお、図４に示すように、頂点Ｔ２側を外側可動部分電極５４３Ａとし、頂点Ｔ４側を外側可動部分電極５４３Ｂとする。
本実施形態では、フィルター平面視において、各外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂは同一形状に形成される。また、外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂは、それぞれの重心点Ｇａ１，Ｇｂ１が仮想円Ｐの円周上において等角度間隔（１８０度間隔）となるように設けられる。
また、仮想円Ｐの円周上において外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂの間には第一離間部５４４Ａ，５４４Ｂが存在し、それぞれにおいて内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂが、外側可動電極５４３と非接触に設けられている。すなわち、第一離間部５４４Ａと第一離間部５４４Ｂとは、仮想円Ｐと仮想直線Ｌ１とが交差する位置に、外側可動電極５４３の周方向に沿って１８０度の間隔で存在する。
【００４１】
また、外側可動電極５４３には、本発明の第一外側接続電極を構成する外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂが接続される。これら一対の外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂは、フィルター平面視において、平面中心点Ｏを通り、仮想直線Ｌ１と直交する仮想直線Ｌ２に沿って配設され、直線形状を有する。換言すると、図４に示すように、これら外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂは、外側可動電極５４３の周方向に沿って１８０度の間隔で、すなわち、外側可動電極５４３の周方向に沿って等角度間隔で配設される。また、外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂは、それぞれ、内側可動接続線５４５Ａ及び内側可動接続線５４５Ｂが成す角を等角度（９０度）に分割する位置に配設される。
【００４２】
外側可動接続線５４６Ａは、外側可動電極５４３の外周縁から、頂点Ｔ２方向に延出し、その先端部には、電圧制御部３２に接続される可動電極パッド５４７Ｐ２が設けられている。
また、外側可動接続線５４６Ｂは、外側可動電極５４３の外周縁から、頂点Ｔ４方向に延出する。そして、外側可動接続線５４６Ｂの先端部には、電圧制御部３２に接続される可動電極パッド５４７Ｐ３が頂点Ｔ４に設けられている。
【００４３】
このような構成では、外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂは、同一の形状を有し、第一離間部５４４Ａ，５４４Ｂを通る仮想直線Ｌ１に対して、互いに線対称な関係にある。また、外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂのそれぞれは、仮想直線Ｌ２に対して線対称な形状を有する。
また、可動基板５１が変形する可動部５１１及び保持部５１２を含む可動領域Ａｒ１において、可動電極５４１、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂ、及び外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂからなる導体部分は、フィルター平面視において、平面中心点Ｏを中心とし、仮想直線Ｌ１，Ｌ２に対して線対称な形状を有する。また、上記導体部分は、可動領域Ａｒ１において、平面中心点Ｏに対して点対称な形状を有する。
なお、これらの可動電極５４１上には、可動電極５４１及び固定電極５５１の間の放電を防止するための絶縁膜（図示略）が積層されている。
【００４４】
〔固定基板の構成〕
図５は、第一実施形態の波長可変干渉フィルター５における固定基板５２を可動基板５１側から見た平面図である。
固定基板５２は、例えばガラス基材を加工することで形成される。具体的には、図３に示すように、固定基板５２には、エッチングにより電極配置溝５２１及び反射膜設置部５２２が形成される。この固定基板５２は、可動基板５１に対して厚み寸法が大きく形成され、可動電極５４１及び固定電極５５１間に電圧を印加した際の静電引力や、固定電極５５１の内部応力による固定基板５２の撓みはない。
また、固定基板５２の頂点Ｔ１（図２参照）には、切欠部５２４が形成されており、波長可変干渉フィルター５の固定基板５２側に、可動電極パッド５４７Ｐ１が露出する。同様に、頂点Ｔ２，Ｔ４にも、切欠部５２４が形成されており、可動電極パッド５４７Ｐ２，５４７Ｐ３がそれぞれ露出する。
【００４５】
電極配置溝５２１は、図５に示すように、フィルター平面視で、固定基板５２の平面中心点Ｏを中心とした円形に形成される。反射膜設置部５２２は、フィルター平面視において、電極配置溝５２１の中心部から可動基板５１側に突出して形成される。ここで、電極配置溝５２１の溝底面は、固定電極５５１が配設される電極設置面５２１Ａとなる。また、反射膜設置部５２２の突出先端面は、反射膜設置面５２２Ａとなる。
また、固定基板５２には、電極配置溝５２１から、固定基板５２の外周縁の頂点Ｔ１，頂点Ｔ２，頂点Ｔ４に向かって延出する電極引出溝５２１Ｂが設けられる。また、頂点Ｔ３及び頂点Ｔ４の間にも電極引出溝５２１Ｃが設けられる。
【００４６】
電極配置溝５２１の電極設置面５２１Ａには、本発明の第二電極を構成する、固定電極５５１が設けられる。
この固定電極５５１は、本発明の第二内側電極を構成する内側固定電極５５２、及び本発明の第二外側電極を構成する外側固定電極５５３を有し、可動電極５４１と対向する領域に配設される。
内側固定電極５５２は、図５に示すように、平面中心点Ｏを中心とする円環形状を有し、内側可動電極５４２と同じ形状を有する。また、内側固定電極５５２は、内側可動電極５４２に対向するように配設される。
【００４７】
外側固定電極５５３は、平面中心点Ｏを中心とした仮想円Ｐの円周に沿う円弧状の複数の外側固定部分電極５５３Ａ，５５３Ｂにより構成されている。これらの外側固定部分電極５５３Ａ，５５３Ｂのそれぞれが、本発明の第二外側電極を構成する。なお、図５に示すように、頂点Ｔ２側を外側可動部分電極５４３Ａとし、頂点Ｔ４側を外側可動部分電極５４３Ｂとする。
本実施形態では、フィルター平面視において、各外側固定部分電極５５３Ａ，５５３Ｂは同一形状に形成される。また、外側固定部分電極５５３Ａ，５５３Ｂは、それぞれの重心点Ｇａ２，Ｇｂ２が仮想円Ｐの円周上において等角度間隔（１８０度間隔）となるように設けられる。
また、仮想円Ｐの円周上において外側固定部分電極５５３Ａ，５５３Ｂの間には第二離間部５５４Ａ，５５４Ｂが存在する。すなわち、第二離間部５５４Ａと第二離間部５５４Ｂとは、仮想円Ｐと仮想直線Ｌ１とが交差する位置に、外側可動電極５４３の周方向に沿って１８０度の間隔で存在する。
【００４８】
ここで、外側固定部分電極５５３Ａは、外側可動部分電極５４３Ａに、外側固定部分電極５５３Ｂは、外側可動部分電極５４３Ｂに、それぞれ対向して重なるように設けられる。従って、第一離間部５４４Ａは第二離間部５５４Ａと、第一離間部５４４Ｂは第二離間部５５４Ｂと、それぞれ重なる位置に存在する。
すなわち、可動基板５１に設けられた内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂは、第二離間部５５４Ａ，５５４Ｂに対応する第一離間部５４４Ａ，５４４Ｂの存在領域を通って延出されている。従って、外側固定部分電極５５３Ａは、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂと重ならない領域に設けられている。
なお、これらの固定電極５５１上には、可動電極５４１及び固定電極５５１の間の放電を防止するための絶縁膜（図示略）が積層されている。
【００４９】
ここで、内側固定電極５５２及び外側固定電極５５３は、本発明の第二内側接続電極を構成する内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂによって接続される。これら内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂは、フィルター平面視において、仮想直線Ｌ２に沿う直線形状を有し、固定電極５５１及び内側固定電極５５２を接続する。換言すると、図５に示すように、これら内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂは、内側固定電極５５２の周方向に沿って１８０度の間隔である等角度間隔で配設されている。また、内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂは、仮想直線Ｌ１に沿って可動基板５１に配設される内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂと重ならない領域（対向しない位置）に設けられる。なお、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂは、仮想直線Ｌ２に沿っていなくともよく、少なくとも内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂと重ならない領域に設けられていればよい。
【００５０】
また、外側固定電極５５３は、外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂが接続される。外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂは、フィルター平面視において、仮想直線Ｌ２に沿って配設され、直線形状を有する。換言すると、図５に示すように、外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂは、外側固定電極５５３の周方向に沿って１８０度の間隔、すなわち等角度間隔で配設される。また、外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂは、仮想直線Ｌ２に沿って可動基板５１に配設される外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂとそれぞれ対向する位置に配設される。
【００５１】
外側固定接続線５５６Ａは、外側固定電極５５３の外周縁から、頂点Ｔ２方向に延出し、その先端部は、フィルター平面視において、反射膜設置部５２２の外縁よりも外側に位置する。
外側固定接続線５５６Ｂは、外側固定電極５５３の外周縁から、頂点Ｔ４方向に延出する。さらに、外側固定接続線５５６Ｂは、電極引出溝５２１Ｃを通り、頂点Ｔ４周辺から頂点Ｔ３方向に延出する。そして、外側固定接続線５５６Ｂの先端部には、電圧制御部３２に接続される固定電極パッド５５７Ｐが頂点Ｔ３に設けられている。
【００５２】
なお、外側固定接続線５５６Ａの仮想直線Ｌ２方向の長さは、上記長さに限定されない。本実施形態では、可動領域Ａｒ１内において、外側可動接続線５４６Ａと外側固定接続線５５６Ａとが対向し、外側可動接続線５４６Ｂと外側固定接続線５５６Ｂとが対向し、これらが対向している領域が、対称、すなわち等角度間隔に設けらされていればよい。
また、外側固定接続線５５６Ａは、外側固定接続線５５６Ｂと同様、固定基板５２の外周側に引き出されていてもよい。また、外側固定接続線５５６Ａも、固定基板５２の外周部において電極パッドを介して電圧制御部３２に接続されてもよい。さらに、この場合、例えば、外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂの一方を駆動電圧印加用電極に、他方を静電容量検出量電極として用いてもよい。
【００５３】
このような構成では、外側固定部分電極５５３Ａ，５５３Ｂは同一の形状を有し、第二離間部５５４Ａ，５５４Ｂを通る仮想直線Ｌ１に対して、互いに線対称な関係にある。また、外側固定部分電極５５３Ａ，５５３Ｂのそれぞれは、仮想直線Ｌ２に対して線対称な形状を有する。
また、可動領域Ａｒ１において、固定電極５５１、内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂ、及び外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂからなる導体部分は、フィルター平面視において、平面中心点Ｏを中心とし、仮想直線Ｌ１，Ｌ２に対して線対称の形状を有する。また、上記導体部分は、可動領域Ａｒ１において、平面中心点Ｏに対して点対称の形状を有する。
なお、これらの固定電極５５１上には、可動電極５４１及び固定電極５５１の間の放電を防止するための絶縁膜（図示略）が積層されている。
【００５４】
反射膜設置部５２２は、上述したように、電極配置溝５２１と同軸上で、電極配置溝５２１よりも小さい径寸法となる円柱状に形成されている。なお、本実施形態では、図３に示すように、反射膜設置部５２２の可動基板５１に対向する反射膜設置面５２２Ａが、電極設置面５２１Ａよりも可動基板５１に近接して形成される例を示すが、これに限らない。電極設置面５２１Ａ及び反射膜設置面５２２Ａの高さ位置は、反射膜間ギャップＧの寸法、可動電極５４１及び固定電極５５１の間の寸法、可動反射膜５６や固定反射膜５７の厚み寸法、測定対象波長域等により適宜設定される。従って、例えば、電極設置面５２１Ａと反射膜設置面５２２Ａとが同一面に形成される構成や、電極設置面５２１Ａの中心部に、円柱凹溝上の反射膜固定溝が形成され、この反射膜固定溝の底面に反射膜固定面が形成される構成などとしてもよい。
【００５５】
そして、反射膜設置面５２２Ａには、円形状に形成される固定反射膜５７が固定されている。この固定反射膜５７としては、上述した可動反射膜５６と同一の構成の反射膜が用いられる。
さらに、固定基板５２は、可動基板５１と同様に、可動基板５１に対向する面とは反対側の面において、固定反射膜５７に対応する位置に反射防止膜（ＡＲ）を設ける構成としてもよい。この反射防止膜は、低屈折率膜及び高屈折率膜を交互に積層することで形成され、固定基板５２の表面での可視光の反射率を低下させ、透過率を増大させる。
【００５６】
そして、固定基板５２の可動基板５１に対向する面のうち、エッチングにより、電極配置溝５２１、反射膜設置部５２２、及び電極引出溝５２１Ｂ，電極引出溝５２１Ｃが形成されない面は、第二接合部５２３を構成する。この第二接合部５２３は、上述したように、接合膜５３を介して可動基板５１の第一接合部５１３に接合される。
【００５７】
〔電圧制御手段の構成〕
電圧制御部３２は、制御装置４から入力される制御信号に基づいて、静電アクチュエーター５４に印加する電圧を制御する。具体的には、電圧制御部３２は、固定電極５５１を接地電位とし、可動電極５４１に駆動電圧を印加する。
【００５８】
〔制御装置の構成〕
制御装置４は、測色装置１の全体動作を制御する。
この制御装置４としては、例えば汎用パーソナルコンピューターや、携帯情報端末、その他、測色専用コンピューターなどを用いることができる。
そして、制御装置４は、図１に示すように、光源制御部４１、測色センサー制御部４２、及び本発明の分析処理部を構成する測色処理部４３などを備えて構成されている。
光源制御部４１は、光源装置２に接続されている。そして、光源制御部４１は、例えば利用者の設定入力に基づいて、光源装置２に所定の制御信号を出力し、光源装置２から所定の明るさの白色光を射出させる。
測色センサー制御部４２は、測色センサー３に接続されている。そして、測色センサー制御部４２は、例えば利用者の設定入力に基づいて、測色センサー３にて受光させる光の波長を設定し、この波長の光の受光量を検出する旨の制御信号を測色センサー３に出力する。これにより、測色センサー３の電圧制御部３２は、制御信号に基づいて、利用者が所望する光の波長のみを透過させるよう、静電アクチュエーター５４への印加電圧を設定する。
測色処理部４３は、検出部３１により検出された受光量から、測定対象Ａの色度を分析する。
【００５９】
〔第一実施形態の作用効果〕
上述したように、上記実施形態の波長可変干渉フィルター５は、可動部５１１を固定基板５２に向かって進退させるための静電引力を発生させる静電アクチュエーター５４を備える。この静電アクチュエーター５４は、可動基板５１に設けられた可動電極５４１と、固定基板５２に設けられた固定電極５５１とから構成される。また、可動電極５４１は、円環状の内側可動電極５４２と、内側可動電極５４２と同心円上に沿って複数設けられ、かつそれぞれ同一形状の外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂとを備える。また、固定電極５５１は、可動電極５４１と重なる領域に対向して設けられる。
このように構成される波長可変干渉フィルター５では、固定電極５５１を接地電位とし、可動電極５４１に駆動電圧を印加して、可動電極５４１及び固定電極５５１の間に駆動電圧を印加することにより、可動電極５４１及び固定電極５５１の間に静電引力を発生させる。この静電引力により、可動反射膜５６と固定反射膜５７との間の反射膜間ギャップＧを変更させる。この際、内側可動電極５４２及び外側可動電極５４３に異なる電圧を印加することで、内側可動電極５４２と固定電極５５１との間に発生する静電引力、及び外側可動電極５４３と固定電極５５１との間に発生する静電引力を異ならせることができる。これにより、反射膜間ギャップＧを精度よく所望のギャップ量に変更させることが可能となる。
【００６０】
ここで、波長可変干渉フィルター５では、内側可動電極５４２から延出される直線状の内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂは、平面中心点Ｏに対して等角度間隔で設けられる。また、外側可動電極５４３から延出される直線状の外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂは、平面中心点Ｏに対して等角度間隔で設けられる。また、固定電極５５１は、可動電極５４１と重なる領域に対向して設けられる。
このような構成では、内側可動電極５４２及び固定電極５５１の間、外側可動電極５４３及び固定電極５５１の間、外側可動接続線５４６Ａ及び外側固定接続線５５６Ａの間、並びに外側可動接続線５４６Ｂ及び外側固定接続線５５６Ｂの間に静電引力が作用することになる。そして、これら静電引力が発生する領域は、平面中心点Ｏ（内側可動電極５４２の中心点）に対して等角度間隔に設けられる領域となる。したがって、反射膜間ギャップＧの寸法を静電引力により変化させる際、平面中心点Ｏに対してバランスよく静電引力を作用させることができる。これにより、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップＧの寸法を変更することができる。すなわち、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップＧの寸法をより高精度に制御することができる。
【００６１】
ところで、可動基板５１に形成された各電極及び接続線に内部応力が発生する場合がある。そして、この内部応力が可動基板５１の平面視において釣り合っていないと、可動基板５１の保持部５１２が、平面視において異なる撓み量で撓み、反射膜間ギャップＧが不均一になってしまうおそれがある。すなわち、内部応力が平面視においてアンバランスに作用することにより、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップＧを高精度に調整することができないおそれがある。
【００６２】
これに対して、波長可変干渉フィルター５では、内側可動電極５４２を円環状とし、同一形状の外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂを平面中心点Ｏに対して等角度間隔に設けている。さらに、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂ及び外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂを、平面中心点Ｏに対して等角度間隔で設けている。
このような構成では、内側可動電極５４２、外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂ、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂ、及び外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂのそれぞれが、平面中心点Ｏに対して対称性を有する領域に設けられている。したがって、各電極や接続線に内部応力が発生したとしても、その内部応力が平面中心点Ｏに対して対称性を有する領域に作用し、釣り合った状態となる。従って、各電極や接続電極の内部応力を平面中心点Ｏに対してバランスよく作用させることができる。これにより、内部応力の影響で反射膜間ギャップＧの寸法制御の精度が低下することを抑制でき、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップＧの寸法をより高精度に調整することができる。
【００６３】
すなわち、波長可変干渉フィルター５では、内側可動電極５４２及び外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂと、固定電極５５１との間に発生する静電引力、並びに、内側可動電極５４２、外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂ、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂ、及び外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂによる内部応力を、平面視において、バランスよく基板に作用させることができ、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップＧの寸法をより高精度に調整することができる。
【００６４】
また、このような波長可変干渉フィルター５を備えた測色センサー３では、検出部３１にて、高分解能で分光された光を検出することができ、正確な光量検出結果を得ることができる。さらに、測色装置１では、この測色センサー３により検出された光量により、測定対象Ａの測色を行うことで、精度の高い測色処理を行うことができる。
【００６５】
また、波長可変干渉フィルター５では、固定電極５５１の外側固定電極５５３は、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂと重なる領域に第二離間部５５４Ａ，５５４Ｂが存在する。
ここで、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂは、内側固定電極５５２と対向する内側可動電極５４２と同電位となっている。すなわち、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂと外側固定電極５５３とは静電引力を発生させるべき関係ではない。これに対して、上述の構成により、本来、静電引力を発生させる必要がない、外側固定電極５５３と内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂとの間に静電引力が発生することがないので、基板間に所望の静電引力を発生させることができ、反射膜間ギャップＧをより高精度に調整することができる。  
【００６６】
また、波長可変干渉フィルター５では、固定電極５５１は、内側可動電極５４２と重なる領域に設けられた内側固定電極５５２と、外側可動電極５４３と重なる領域に設けられた外側固定電極５５３とを備え、外側固定電極５５３は、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂと重ならない領域に設けられている。
これにより、第二電極と第一内側接続線との間に静電引力が発生することがなく、第一内側電極及び第一外側電極と第二電極との間に発生する静電引力を利用して反射膜間ギャップＧを調整することができる。従って、反射膜間ギャップＧを高精度に調整することができる。
これにより、固定電極５５１と内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂとの間に静電引力が発生することがないので、平面視においてアンバランスな静電引力が基板間に発生することを抑制することができる。
【００６７】
また、波長可変干渉フィルター５は、外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂを有し、この外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂは、外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂに重なる領域に配設される。ここで、外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂは、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂが成す角を等角度間隔に分割するように配設され、仮想直線Ｌ１，Ｌ２に対して線対称となる形状を有する。同様に、外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂも、仮想直線Ｌ１，Ｌ２に対して線対称となる形状を有する。外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂ及び外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂの間に発生する静電引力の発生領域も、フィルター平面視において対称性を有するので、平面視においてバランスよく静電引力を発生させることができる。
【００６８】
また、波長可変干渉フィルター５では、内側固定電極５５２及び外側固定電極５５３を接続し、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂと重ならない領域に設けられた内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂを備える。
これにより、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂと内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂとの間に静電引力が発生することがなく、内側可動電極５４２及び外側可動電極５４３と固定電極５５１との間にバランス良く静電引力を発生させることができる。従って、反射膜間ギャップＧをより高精度に調整することができる。
【００６９】
また、波長可変干渉フィルター５では、可動部５１１及び保持部５１２を備える。
上述のように、可動基板５１を平面視において対称性を有する電極配置とし、内側可動電極５４２及び外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂと、固定電極５５１との間に発生する静電引力、並びに、内側可動電極５４２、外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂ、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂ、及び外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂによる可動基板５１に対する内部応力が、平面視において対称性を有する領域に作用する。従って、静電引力及び内部応力を平面視において、バランスよく可動基板５１に作用させることができ、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップＧの寸法をより高精度に調整することができる。
【００７０】
さらに、波長可変干渉フィルター５では、フィルター平面視において、平面中心点Ｏを中心として、可動部５１１は、円形状、保持部５１２は、円環形状であり、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂ、及び外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂは、保持部５１２の外周縁から少なくとも所定の長さ分突出して延設される。
【００７１】
このように、可動部５１１及び保持部５１２を平面中心点Ｏに対して点対称な構成とする。これにより、可動部５１１の基板厚み方向の変位に伴う保持部５１２からの復元力を、フィルター平面視においてバランスよく作用させることができる。
また、波長可変干渉フィルター５では、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂ、及び外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂは、保持部５１２の外周縁から少なくとも所定の長さ分突出して延設される。所定の長さとは、保持部５１２の内外に亘って設けられた内側可動接続線５４５Ａに係る復元力と、内側可動接続線５４５Ｂに係る復元力とがほぼ同等となるのに十分な長さである。
これにより、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂ、及び外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂから保持部５１２に対して付与される内部応力の位置及び大きさが、フィルター平面視において、対称性を有するように構成することができる。
従って、波長可変干渉フィルター５では、可動部５１１及び保持部５１２に対して、フィルター平面視において対称性が高い静電引力、内部応力及び復元力を付与することができる。このため、基板間の平行関係を維持したまま反射膜間ギャップＧの寸法を抑制することができ、分解能の低下を抑制することができる。
【００７２】
［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態について図面に基づいて説明する。
上述した第一実施形態の波長可変干渉フィルター５では、外側可動電極が二つの部分電極からなり、内側可動電極５４２、外側可動電極５４３、内側固定電極５５２及び外側固定電極５５３のそれぞれが、２つの接続線を備える構成を示した。
これに対して、第二実施形態の波長可変干渉フィルター５Ａでは、外側可動電極が三つの部分電極からなり、内側可動電極、外側可動電極、内側固定電極及び外側固定電極それぞれが、３つの接続線を備える。以下、このような波長可変干渉フィルター５Ａの構成について詳述する。
図６は、第二実施形態の波長可変干渉フィルター５Ａの概略構成を示す平面図である。図７は、波長可変干渉フィルター５Ａの可動基板５１を固定基板５２側から見た平面図である。図８は、波長可変干渉フィルター５Ａの固定基板５２を可動基板５１側から見た平面図である。なお、上記第一実施形態と同一の構成については同符号を付し、その説明を省略又は簡略化する。
【００７３】
〔可動基板の構成〕
波長可変干渉フィルター５Ａの可動基板５１には、可動基板５１の可動面５１１Ａに可動電極５８１が設けられる。
可動電極５８１は、図７に示すように、平面中心点Ｏを中心とした円環状の内側可動電極５８２と、フィルター平面視において、内側可動電極５８２の外側に、仮想円Ｐの円周に沿って配設される外側可動電極５８３により構成される。
【００７４】
内側可動電極５８２は、３つの内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃが接続される。具体的には、内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃは、内側可動電極５８２の周方向に沿って１２０度の間隔、すなわち、等角度間隔で配設される。内側可動接続線５８５Ａは、フィルター平面視において、平面中心点Ｏを通る仮想直線Ｌ３に沿って配設され、内側可動接続線５８５Ｂは、仮想直線Ｌ３に対して反時計周りに６０度の角度を成す仮想直線Ｌ４に沿って配設され、内側可動接続線５８５Ｃは、仮想直線Ｌ４に対して反時計周りに６０度の角度を成す仮想直線Ｌ５に沿って配設され、それぞれ直線形状を有する。
【００７５】
内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂは、フィルター平面視において、保持部５１２の外縁よりも外側まで延出する。
なお、内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂの先端部は、反射膜設置部５２２の外縁に対して、所定の長さ、例えば、保持部５１２の厚み程度の長さ分だけ突出している。
また、内側可動接続線５８５Ｃは、内側可動電極５８２の外周縁から、頂点Ｔ２方向に延出し、頂点Ｔ２において、電圧制御部３２に接続される可動電極パッド５８７Ｐ１を構成する。
【００７６】
外側可動電極５８３は、平面中心点Ｏを中心とした仮想円Ｐの円周に沿う円弧状の複数の外側可動部分電極５８３Ａ，５８３Ｂ，５８３Ｃにより構成されている。これらの外側可動部分電極５８３Ａ，５８３Ｂ，５８３Ｃのそれぞれが、本発明の第一外側電極を構成する。
本実施形態では、フィルター平面視において、各外側可動部分電極５８３Ａ，５８３Ｂ，５８３Ｃは同一形状に形成される。また、外側可動部分電極５８３Ａ，５８３Ｂ，５８３Ｃは、それぞれの重心点Ｇａ３，Ｇｂ３，Ｇｃ３が仮想円Ｐの円周上において等角度間隔（１２０度間隔）となるように設けられる。
また、仮想円Ｐの円周上において、各外側可動部分電極５８３Ａ，５８３Ｂ，５８３Ｃの間には第一離間部５８４Ａ，５８４Ｂ，５８４Ｃが存在し、それぞれにおいて内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃが、外側可動部分電極５８３Ａ，５８３Ｂ，５８３Ｃと非接触に設けられている。
【００７７】
ここで、外側可動部分電極５８３Ａ，５８３Ｂ，５８３Ｃには、外側可動接続線５８６Ａ，５８６Ｂ，５８６Ｃがそれぞれ接続される。外側可動接続線５８６Ａは、フィルター平面視において、仮想直線Ｌ３に沿って配設され、外側可動接続線５８６Ｂは、仮想直線Ｌ４に沿って配設され、外側可動接続線５８６Ｃは、仮想直線Ｌ５に沿って配設され、それぞれ直線形状を有する。これら外側可動接続線５８６Ａ，５８６Ｂ，５８６Ｃは、外側可動電極５８３の周方向に沿って１２０度の間隔、すなわち、等角度間隔で配設される。また、外側可動接続線５８６Ａ，５８６Ｂ，５８６Ｃは、内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃのうち隣り合う内側接続線が成す角を等角度に分割する位置に配設される。すなわち、外側可動接続線５８６Ａは、内側可動接続線５８５Ｂ及び内側可動接続線５８５Ｃが成す角を、外側可動接続線５８６Ｂは、内側可動接続線５８５Ｃ及び内側可動接続線５８５Ａが成す角を、外側可動接続線５８６Ｃは、内側可動接続線５８５Ａ及び内側可動接続線５８５Ｂが成す角を等角度（６０度）に分割する位置に配設される。
【００７８】
外側可動接続線５８６Ａ，５８６Ｂは、可動領域Ａｒ１外で互いに接続され、頂点Ｔ４に設けられ、電圧制御部３２に接続される可動電極パッド５８７Ｐ２に接続される。
また、外側可動接続線５８６Ｃは、外側可動電極５８３の外周縁から、頂点Ｔ４方向に延出し、可動電極パッド５８７Ｐ１に接続される。
【００７９】
このような構成では、外側可動部分電極５８３Ａ，５８３Ｂ，５８３Ｃは同一の形状を有し、外側可動電極５８３は、仮想直線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５に対して線対称な形状を有する。また、外側可動部分電極５８３Ａは仮想直線Ｌ３に対して、外側可動部分電極５８３Ｂは仮想直線Ｌ４に対して、外側可動部分電極５８３Ｃは仮想直線Ｌ５に対して線対称な形状を有する。
また、可動領域Ａｒ１において、可動電極５８１、内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃ、及び外側可動接続線５８６Ａ，５８６Ｂ，５８６Ｃからなる導体部分は、フィルター平面視において、平面中心点Ｏを中心とし、仮想直線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５に対して線対称な形状を有する。また、上記導体部分は、可動領域Ａｒ１において、平面中心点Ｏに対して回転対称性を有する。
なお、可動電極５８１上には、可動電極５８１及び固定電極５９１の間の放電を防止するための絶縁膜（図示略）が積層される。
【００８０】
〔固定基板の構成〕
固定基板５２には、電極配置溝５２１及び反射膜設置部５２２が形成される。また、固定基板５２には、電極配置溝５２１から、固定基板５２の外周縁の頂点Ｔ２，頂点Ｔ３，頂点Ｔ４に向かって延出する電極引出溝５２１Ｄが設けられる。また、外側可動接続線５８６Ａ及び外側可動接続線５８６Ｂを頂点Ｔ４に設けられた可動電極パッド５８７Ｐ２に向かって引き回すための電極引出溝５２１Ｅが設けられる。
【００８１】
電極配置溝５２１の電極設置面５２１Ａには、可動電極５８１に対向する固定電極５９１が設けられる。この固定電極５９１は、内側固定電極５９２及び外側固定電極５９３を有し、可動電極５８１と対向する領域に設けられる。
内側固定電極５９２は、図８に示すように、平面中心点Ｏを中心とする円環形状を有し、内側可動電極５８２と同じ幅寸法を有する。また、内側固定電極５９２は、内側可動電極５８２に対向するように配設される。
【００８２】
外側固定電極５９３は、図８に示すように、平面中心点Ｏを中心とした仮想円Ｐの円周に沿う円弧状の複数の外側固定部分電極５９３Ａ，５９３Ｂ，５９３Ｃにより構成されている。これらの外側固定部分電極５９３Ａ，５９３Ｂ，５９３Ｃのそれぞれが、本発明の第二外側電極を構成する。
本実施形態では、フィルター平面視において、各外側固定部分電極５９３Ａ，５９３Ｂ，５９３Ｃは同一形状に形成される。また、外側固定部分電極５９３Ａ，５９３Ｂ，５９３Ｃは、それぞれの重心点Ｇａ４，Ｇｂ４，Ｇｃ４が仮想円Ｐの円周上において等角度間隔（１２０度間隔）となるよう設けられる。
また、仮想円Ｐの円周上において外側固定部分電極５９３Ａ，５９３Ｂ，５９３Ｃの間には第二離間部５９４Ａ，５９４Ｂ，５９４Ｃが存在する。すなわち、第二離間部５９４Ａは仮想円Ｐと仮想直線Ｌ３とが交差する位置に、第二離間部５９４Ｂは仮想円Ｐと仮想直線Ｌ４とが交差する位置に、第二離間部５９４Ｃは仮想円Ｐと仮想直線Ｌ５とが交差する位置に、外側固定電極５９３の周方向に沿って１２０度の間隔で存在する。
【００８３】
外側固定部分電極５９３Ａは、外側可動部分電極５８３Ａに、外側固定部分電極５９３Ｂは、外側可動部分電極５８３Ｂに、外側固定部分電極５９３Ｃは、外側可動部分電極５８３Ｃにそれぞれ対向して重なるように設けられる。従って、第一離間部５８４Ａは第二離間部５９４Ａと、第一離間部５８４Ｂは第二離間部５９４Ｂと、第一離間部５８４Ｃは第二離間部５９４Ｃとそれぞれ重なる位置に存在する。
すなわち、可動基板５１に設けられた内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃは、第二離間部５９４Ａ，５９４Ｂ，５９４Ｃに対応する第一離間部５８４Ａ，５８４Ｂ，５８４Ｃの存在領域を通って延出されており、外側固定電極５９３は、内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃと重ならない領域に設けられている。
【００８４】
ここで、内側固定電極５９２及び外側固定電極５９３は、内側固定接続線５９５Ａ，５９５Ｂ，５９５Ｃによって接続される。フィルター平面視において、内側固定接続線５９５Ａは、仮想直線Ｌ３に沿って配設され、内側可動電極５８２と外側固定部分電極５９３Ａとを接続する。同様に、内側固定接続線５９５Ｂは、仮想直線Ｌ４に沿って配設され、内側可動電極５８２と外側固定部分電極５９３Ｂとを接続する。５９５Ｃは、仮想直線Ｌ５に沿って配設され、内側可動電極５８２と外側固定部分電極５９３Ｃとを接続する。これら内側固定接続線５９５Ａ，５９５Ｂ，５９５Ｃは、内側可動電極５８２の周方向に沿って１２０度の間隔、すなわち、等角度間隔で配設される。また、内側固定接続線５９５Ａ，５９５Ｂ，５９５Ｃは、可動基板５１に配設される内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃと対向しない位置に配設される。
【００８５】
また、外側固定電極５９３は、外側固定接続線５９６Ａ，５９６Ｂ，５９６Ｃが接続される。これら外側固定接続線５９６Ａ，５９６Ｂ，５９６Ｃは、外側固定電極５９３の周方向に沿って１２０度の間隔、すなわち、等角度間隔で配設される。具体的には、外側固定接続線５９６Ａは、フィルター平面視において、仮想直線Ｌ３に沿って配設され、外側固定接続線５９６Ｂは、仮想直線Ｌ４に沿って配設され、外側固定接続線５９６Ｃは、仮想直線Ｌ５に沿って配設され、それぞれ直線形状を有する。
【００８６】
外側固定接続線５９６Ａは、外側固定部分電極５９３Ａの外周縁から、頂点Ｔ３方向に延出し、頂点Ｔ３において、電圧制御部３２に接続される固定電極パッド５９７Ｐを構成する。
また、外側固定接続線５９６Ｂは、外側固定部分電極５９３Ｂの外周縁から、頂点Ｔ１及び頂点Ｔ２との間の固定基板５２の一辺に向かって延出する。また、外側固定接続線５９６Ｃは、外側固定部分電極５９３Ｃの外周縁から、頂点Ｔ４方向に延出する。外側固定接続線５９６Ｂ及び外側固定接続線５９６Ｃの先端部は、フィルター平面視において、保持部５１２の外縁よりも外側に位置する。
【００８７】
このような構成では、外側固定部分電極５９３Ａ，５９３Ｂ，５９３Ｃは、同一の形状を有し、外側固定電極５９３は、各第二離間部５９４Ａ，５９４Ｂ，５９４Ｃを通る仮想直線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５のそれぞれに対して線対称な形状を有する。また、外側固定部分電極５９３Ａは仮想直線Ｌ３に対して、外側固定部分電極５９３Ｂは仮想直線Ｌ４に対して、外側固定部分電極５９３Ｃは仮想直線Ｌ５に対して線対称な形状を有する。
また、可動領域Ａｒ１において、固定電極５９１、内側固定接続線５９５Ａ，５９５Ｂ，５９５Ｃ、及び外側固定接続線５９６Ａ，５９６Ｂ，５９６Ｃからなる導体部分は、フィルター平面視において、平面中心点Ｏを中心とし、仮想直線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５に対して線対称な形状を有する。また、上記導体部分は、可動領域Ａｒ１において、平面中心点Ｏに対して回転対称性を有する。
【００８８】
なお、これらの固定電極５９１上には、可動電極５８１及び固定電極５９１の間の放電を防止するための絶縁膜（図示略）が積層されている。
また、反射膜設置部５２２及び固定反射膜５７の構成は、上記第一実施形態と同様であるため、ここでの説明は省略する。
【００８９】
〔第二実施形態の作用効果〕
第二実施形態の波長可変干渉フィルター５Ａでは、可動基板５１に、可動領域Ａｒ１におけるフィルター平面視において、仮想直線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５に対して線対称の形状を有する、可動電極５８１、内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃ、及び外側可動接続線５８６Ａ，５８６Ｂ，５８６Ｃが設けられる。また、固定基板５２に、可動領域Ａｒ１におけるフィルター平面視において、仮想直線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５に対して線対称の形状を有する、固定電極５９１、内側固定接続線５９５Ａ，５９５Ｂ，５９５Ｃ、及び外側固定接続線５９６Ａ，５９６Ｂ，５９６Ｃが設けられる。また、固定電極５９１は、可動電極５８１と重なる領域に、対向して設けられる。そして、内側固定接続線５９５Ａ，５９５Ｂ，５９５Ｃは、内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃと対向しない位置に設けられ、外側可動接続線５８６Ａ，５８６Ｂ，５８６Ｃは、外側固定接続線５９６Ａ，５９６Ｂ，５９６Ｃと対向する位置に設けられる。
【００９０】
このため、上記第一実施形態と同様に、可動電極５８１及び固定電極５９１の間、並びにそれぞれ対向する外側可動接続線５８６Ａ，５８６Ｂ，５８６Ｃ及び外側固定接続線５９６Ａ，５９６Ｂ，５９６Ｃの間に発生する静電引力と、可動基板５１に設けられた各電極及び各接続線による内部応力とを、平面視において、バランスよく基板に作用させることができ、基板間の平行度を維持したまま反射膜間ギャップＧの寸法をより高精度に調整することができる。
また、このような波長可変干渉フィルター５Ａを備えた測色センサー３では、検出部３１にて、高分解能で分光された光を検出することができ、正確な光量検出結果を得ることができる。さらに、測色装置１では、この測色センサー３により検出された光量により、測定対象Ａの測色を行うことで、精度の高い測色処理を行うことができる。
【００９１】
そして、第二実施形態の波長可変干渉フィルター５Ａでは、可動基板５１、各電極及び各接続線が、可動領域Ａｒ１におけるフィルター平面視において、仮想直線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５に対して線対称の形状を有する。すなわち、３本の対称軸を有する、より高い対称性を有する構成となっている。従って、可動基板５１及び固定基板５２間の平行関係をより確実に維持することができる。
【００９２】
［第三実施形態］
次に、本発明の第三実施形態について、図面に基づいて説明する。
上記第一実施形態の測色装置１では、光学モジュールである測色センサー３に対して、波長可変干渉フィルター５が直接設けられる構成とした。しかしながら、光学モジュールとしては、複雑な構成を有するものもあり、特に小型化の光学モジュールに対して、波長可変干渉フィルター５を直接設けることが困難な場合がある。本実施形態では、そのような光学モジュールに対しても、波長可変干渉フィルター５を容易に設置可能にする光学フィルターデバイスについて、以下に説明する。なお、本実施形態では、測色センサー３は、波長可変干渉フィルター５を用いる構成として説明するが、第二実施形態の波長可変干渉フィルター５Ａを用いる構成としてもよい。
図９は、本発明の第三実施形態に係る光学フィルターデバイスの概略構成を示す断面図である。
【００９３】
図９に示すように、光学フィルターデバイス６００は、波長可変干渉フィルター５と、当該波長可変干渉フィルター５を収納する筐体６０１と、を備えている。
筐体６０１は、ベース基板６１０と、リッド６２０と、ベース側ガラス基板６３０と、リッド側ガラス基板６４０と、を備える。
【００９４】
ベース基板６１０は、例えば単層セラミック基板により構成される。このベース基板６１０には、波長可変干渉フィルター５の可動基板５１が設置される。ベース基板６１０への可動基板５１の設置としては、例えば接着層等を介して配設されるものであってもよく、他の固定部材等に嵌合等されることで配設されるものであってもよい。また、ベース基板６１０には、波長可変干渉フィルター５の反射膜（可動反射膜５６，固定反射膜５７）に対向する領域に、光通過孔６１１が開口形成される。そして、この光通過孔６１１を覆うように、ベース側ガラス基板６３０が接合される。ベース側ガラス基板６３０の接合方法としては、例えば、ガラス原料を高温で熔解し、急冷したガラスのかけらであるガラスフリットを用いたガラスフリット接合、エポキシ樹脂等による接着などを利用できる。
【００９５】
このベース基板６１０のリッド６２０に対向するベース内側面６１２には、波長可変干渉フィルター５の各電極パッド５４７Ｐ１，５４７Ｐ２，５４７Ｐ３，５５７Ｐと接続される内側端子部６１５が設けられている。なお、各電極パッド５４７Ｐ１，５４７Ｐ２，５４７Ｐ３，５５７Ｐと内側端子部６１５との接続は、例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）６１５Ａを用いることができ、例えばＡｇペースト、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）、ＡＣＰ（Anisotropic Conductive Paste）等により接合する。なお、内部空間６５０を真空状態に維持する場合は、デガス（ガスの放出）が少ないＡｇペーストを用いることが好ましい。また、ＦＰＣ６１５Ａによる接続に限られず、例えばワイヤーボンディング等による配線接続を実施してもよい。
また、ベース基板６１０は、各内側端子部６１５が設けられる位置に対応して、貫通孔６１４が形成されており、各内側端子部６１５は、貫通孔６１４に充填された導電性部材を介して、ベース基板６１０のベース内側面６１２とは反対側のベース外側面６１３に設けられた外側端子部６１６に接続されている。
そして、ベース基板６１０の外周部には、リッド６２０に接合されるベース接合部６１７が設けられている。
【００９６】
リッド６２０は、図９に示すように、ベース基板６１０のベース接合部６１７に接合されるリッド接合部６２４と、リッド接合部６２４から連続し、ベース基板６１０から離れる方向に立ち上がる側壁部６２５と、側壁部６２５から連続し、波長可変干渉フィルター５の固定基板５２側を覆う天面部６２６とを備えている。このリッド６２０は、例えばコバール等の合金又は金属により形成することができる。
このリッド６２０は、リッド接合部６２４と、ベース基板６１０のベース接合部６１７とが、接合されることで、ベース基板６１０に密着接合されている。
この接合方法としては、例えば、レーザー溶着の他、銀ロウ等を用いた半田付け、共晶合金層を用いた封着、低融点ガラスを用いた溶着、ガラス付着、ガラスフリット接合、エポキシ樹脂による接着等が挙げられる。これらの接合方法は、ベース基板６１０及びリッド６２０の素材や、接合環境等により、適宜選択することができる。
【００９７】
リッド６２０の天面部６２６は、ベース基板６１０に対して平行となる。この天面部６２６には、波長可変干渉フィルター５の各反射膜５６，５７に対向する領域に、光通過孔６２１が開口形成されている。そして、この光通過孔６２１を覆うように、リッド側ガラス基板６４０が接合される。リッド側ガラス基板６４０の接合方法としては、ベース側ガラス基板６３０の接合と同様に、例えばガラスフリット接合や、エポキシ樹脂等による接着などを用いることができる。
【００９８】
〔第三実施形態の作用効果〕
本実施形態の光学フィルターデバイス６００では、筐体６０１により波長可変干渉フィルター５が保護されているため、異物や大気に含まれるガス等による波長可変干渉フィルター５の特性変化を防止でき、また、外的要因による波長可変干渉フィルター５の破損を防止できる。また、帯電粒子の侵入を防止できるため、可動電極５４１や固定電極５５１の帯電を防止できる。従って、帯電によるクーロン力の発生を抑制でき、反射膜５６，５７の平行関係をより確実に維持することができる。
【００９９】
また、例えば工場で製造された波長可変干渉フィルター５を、光学モジュールや電子機器を組み立てる組み立てライン等まで運搬する場合に、光学フィルターデバイス６００により保護された波長可変干渉フィルター５では、安全に運搬することが可能となる。
また、光学フィルターデバイス６００は、筐体６０１の外周面に露出する外側端子部６１６が設けられているため、光学モジュールや電子機器に対して組み込む際にも容易に配線を実施することが可能となる。
【０１００】
［第四実施形態］
次に、本発明の第四実施形態について図面に基づいて説明する。
本発明のＭＥＭＳデバイスの一例として、上記第一実施形態の波長可変干渉フィルター５において、可動基板５１及び固定基板５２が反射膜の変わりに、可動基板の固定基板と対向する面と逆側の面に反射膜を備えるミラーデバイスについて詳述する。
図１０は、第四実施形態のミラーデバイス６の概略構成を示す断面図である。なお、本実施形態のミラーデバイス６は、可動反射膜５６及び固定反射膜５７を備えず、固定基板に反射膜設置部５２２が形成されていない点を除いて、上記第一実施形態と同様の構成を有するので、同一の構成については同符号を付し、その説明を省略又は簡略化する。
【０１０１】
〔ミラーデバイスの構成〕
ミラーデバイス６は、図１０に示すように、本発明の第一基板である可動基板５１Ａ、及び本発明の第二基板である固定基板５２Ａを備えている。これらの可動基板５１Ａ及び固定基板５２Ａは、可動基板５１Ａの第一接合部５１３及び固定基板５２Ａの第二接合部５２３が、接合膜５３により接合されることで、一体的に構成される。
【０１０２】
可動基板５１Ａには、反射膜６１が設けられる。可動基板５１Ａと固定基板５２Ａとの間には、基板間のギャップの寸法や、固定基板５２Ａに対する可動基板５１Ａの角度を調整するために用いられる静電アクチュエーター５４が設けられる。この静電アクチュエーター５４は、第一実施形態と同様に、可動基板５１Ａ側に設けられる可動電極５４１と、固定基板５２Ａ側に設けられる固定電極５５１とを備える。
【０１０３】
〔可動基板の構成〕
可動基板５１Ａは、図１０に示すように、可動部５１１と、可動部５１１を保持する保持部５１２とを備える。
可動部５１１は、固定基板５２Ａと対向する面と逆側に可動面５１１Ｂを備え、この可動面５１１Ｂに、反射膜６１が設けられる。
反射膜６１は、可動部５１１の可動面５１１Ｂの中心部に設けられる。この反射膜６１としては、例えばＡｇ等の金属膜や、Ａｇ合金等の合金膜を用いることができる。
保持部５１２は、可動部５１１の周囲を囲う円環状のダイヤフラムである。
【０１０４】
可動電極５４１は、第一実施形態と同様の構成を有する（図４参照）。また、可動電極５４１に接続される内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂ、及び外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂについても第一実施形態と同様の構成を有する（図４参照）。
すなわち、本実施形態においても、可動電極５４１、一対の内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂ、及び一対の外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂは、フィルター平面視において、可動領域Ａｒ１において、仮想直線Ｌ１，Ｌ２に対して線対称の形状を有する。また、可動電極５４１、一対の内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂ、及び一対の外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂは、可動領域Ａｒ１において、平面中心点Ｏに対して点対称の形状を有する。
【０１０５】
〔固定基板の構成〕
固定基板５２Ａには、第一実施形態と同様に、フィルター平面視で、平面中心点Ｏを中心とした円形の電極配置溝５２１が形成される。なお、本実施形態では、上述のように、反射膜設置部５２２は形成されない。
また、固定基板５２Ａには、電極配置溝５２１から、固定基板５２Ａの外周縁の頂点Ｔ１，頂点Ｔ２，頂点Ｔ４に向かって延出する電極引出溝５２１Ｂが設けられる。また、頂点Ｔ３及び頂点Ｔ４の間にも電極引出溝５２１Ｃが設けられる。
【０１０６】
電極配置溝５２１の電極設置面５２１Ａには、固定電極５５１が設けられる。
固定電極５５１は、第一実施形態と同様の構成を有する（図５参照）。また、固定電極５５１に接続される内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂ、及び外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂについても第一実施形態と同様の構成を有する（図５参照）。
すなわち、本実施形態においても、固定電極５５１、一対の内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂ、及び一対の外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂは、フィルター平面視において、平面中心点Ｏを中心とする可動領域Ａｒ１において、仮想直線Ｌ１，Ｌ２に対して線対称の形状を有する。また、固定電極５５１、一対の内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂ、及び一対の外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂは、可動領域Ａｒ１において、平面中心点Ｏに対して点対称の形状を有する。
【０１０７】
〔第四実施形態の作用効果〕
第四実施形態のミラーデバイス６では、第一実施形態と同様に、可動基板５１Ａの可動領域Ａｒ１におけるフィルター平面視において、仮想直線Ｌ１，Ｌ２に対して線対称の形状を有する、可動電極５４１、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂ及び外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂが設けられる。また、固定基板５２Ａの可動領域Ａｒ１におけるフィルター平面視において、仮想直線Ｌ１，Ｌ２に対して線対称の形状を有する、固定電極５５１、内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂ及び外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂが設けられる。また、固定電極５５１は、可動電極５４１と重なる領域に、対向して設けられる。そして、内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂは、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂと対向しない位置に設けられ、外側可動接続線５４６Ａ，５４６Ｂは、外側固定接続線５５６Ａ，５５６Ｂと対向する位置に設けられる。
【０１０８】
このため、上記第一実施形態と同様に、可動電極５４１及び固定電極５５１の間に発生する静電引力、並びに、可動基板５１Ａに設けられた各電極及び各接続線による内部応力を、平面視において、バランスよく基板に作用させることができる。従って、ミラーデバイス６では、可動基板５１Ａと固定基板５２Ａとの平行関係を維持したまま基板間のギャップを変更することができる。また、二つの外側可動部分電極５４３Ａ，５４３Ｂに対して異なる駆動電圧を印加することにより、可動基板５１Ａの固定基板５２Ａに対する傾きを調整することができる。すなわち、ミラーデバイス６では、基板間に発生する静電引力や、各電極及び各接続線による内部応力が、所望の電圧制御に応じて生じる差以外において、アンバランスに作用することを抑制でき、可動基板５１Ａと固定基板５２Ａとの位置関係の制御を高精度に行うことができる。
【０１０９】
なお、本実施形態では、ミラーデバイス６は、第一実施形態と同様の構成を有するとしたが、第二実施形態と同様に構成してもよい。すなわち、可動基板５１Ａに、可動領域Ａｒ１におけるフィルター平面視において、仮想直線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５に対して線対称の形状を有する、可動電極５８１、内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃ、及び外側可動接続線５８６Ａ，５８６Ｂ，５８６Ｃが設けられる。また、固定基板５２Ａに、可動領域Ａｒ１におけるフィルター平面視において、仮想直線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５に対して線対称の形状を有する、固定電極５９１、内側固定接続線５９５Ａ，５９５Ｂ，５９５Ｃ、及び外側固定接続線５９６Ａ，５９６Ｂ，５９６Ｃが設けられる。また、固定電極５９１は、可動電極５８１と重なる領域に、対向して設けられる。そして、内側固定接続線５９５Ａ，５９５Ｂ，５９５Ｃは、内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃと対向しない位置に設けられ、外側可動接続線５８６Ａ，５８６Ｂ，５８６Ｃは、外側固定接続線５９６Ａ，５９６Ｂ，５９６Ｃと対向する位置に設けられる構成としてもよい。
【０１１０】
このように構成する場合、上記第二実施形態と同様に、可動基板５１Ａ、各電極及び各接続線が、可動領域Ａｒ１におけるフィルター平面視において、仮想直線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５に対して線対称の形状を有する。すなわち、３本の対称軸を有する、より高い対称性を有する構成とすることができる。従って、可動基板５１Ａと固定基板５２Ａとの位置関係の制御をより高精度に行うことができる。
また、可動電極５８１、３つの外側可動部分電極５８３Ａ，５８３Ｂ，５８３Ｃを有する。すなわち、３つの外側可動部分電極５８３Ａ，５８３Ｂ，５８３Ｃに印加する駆動電圧を個別に制御することにより、可動基板５１Ａの向きを制御することができる。
すなわち、第二実施形態と同様の構成を採用することにより、可動基板５１Ａと固定基板５２Ａとの位置関係の制御を高精度に行うことができるとともに、可動基板５１Ａの向きを高い自由度で調整することができる。
【０１１１】
［他の実施形態］
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【０１１２】
例えば、上記各実施形態では、第一基板である可動基板５１に可動部５１１が設けられ、可動基板５１の可動部５１１が第二基板である固定基板５２側に向かって変位する構成としたが、本発明はこれに限定されない。例えば、固定基板５２を第一基板とし、可動基板５１を第二基板として構成してもよい。すなわち、可動基板５１側に設けられる可動電極５４１及び各接続線として詳述した構成を有する電極及び接続線を固定基板に配設し、固定基板を第一基板としてもよい。逆に、固定基板５２側に設けられる固定電極５５１及び各接続線として詳述した構成を有する電極及び接続線を可動基板に配設し、可動基板を第二基板としてもよい。この場合、固定基板側に設けられた固定電極に駆動電圧を印加し、可動基板側に設けられた可動電極を接地電位とするように電圧を制御する。
【０１１３】
また、上記実施形態では、固定電極及び各接続線が対称性を有するように配設される構成について説明したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、固定基板は、各電極や各接続線の内部応力に対して撓みが生じることがないように、厚みを適宜設定することができる。従って、固定電極及び各接続線は必ずしも対称性を有する構成でなくともよい。
具体的には、第一実施形態において、少なくとも、固定電極５５１が可動電極５４１と重なる領域に設けられる構成であればよい。また、内側固定接続線５５５Ａ，５５５Ｂは、内側可動接続線５４５Ａ，５４５Ｂと重ならない位置であれば、内側固定電極５５２の外周に沿った任意の位置に設ければよい。
また、第二実施形態においても同様に、固定電極５９１が可動電極５８１と重なる領域に設けられる構成であればよい。また、少なくとも、内側固定接続線５９５Ａ，５９５Ｂ，５９５Ｃは、内側可動接続線５８５Ａ，５８５Ｂ，５８５Ｃと重ならない位置であれば、内側固定電極５９２の外周に沿った任意の位置に設ければよい。
【０１１４】
また、上記各実施形態では、外側固定接続線が、外側可動接続線と対向する位置に配設される構成としたが、本発明はこれに限定されず、外側固定接続線が外側可動接続線と対向しない位置に配設される構成としてもよい。このように構成したい場合、基板間において静電引力が発生するのは、可動電極と固定電極とが重なる領域のみとすることができる。これにより、フィルター平面視において、平面中心点Ｏに対する静電引力の対称性を向上させることができ、基板間ギャップ（反射膜間ギャップ）を高精度に制御することができる。
【０１１５】
また、上記各実施形態では、隣り合う内側可動接続線が成す角を二等分する位置に一つの外側可動電極が配設される構成としたが、本発明はこれに限定されない。すなわち、隣り合う内側可動電極が成す角を等角度間隔に分割するように複数の外側可動接続線が配設される構成としてもよい。
さらに、上記第各実施形態では、内側可動接続線を二又は三つ備える構成としたが、本発明はこれに限定されず、内側可動接続線を四つ以上備える構成としてもよい。
【０１１６】
また、上記各実施形態では、外側可動電極は、内側可動接続線の配設位置に第一離間部が存在する構成としたが、本発明はこれに限定されず、内側可動接続線の配設位置以外にも第一離間部が存在する構成としてもよい。この場合、第一離間部は、外側可動電極の周方向に沿って等角度間隔に存在する。そして、複数の外側可動部分電極のそれぞれに外側可動接続線が配設される。
【０１１７】
上記各実施形態では、可動基板５１，５１Ａが可動部５１１及び保持部５１２を備える構成としたが、これに限定されない。例えば、可動基板として、保持部５１２が設けられない、均一厚みの板状部材であってもよい。この場合、可動基板の基板厚み方向から見た平面視において、可動反射膜５６の中心点を中心に、可動基板が固定基板側に撓むように、静電アクチュエーターが設けられることが好ましい。すなわち、平面中心点Ｏを、可動反射膜５６の中心点に設定することが好ましい。
【０１１８】
また、上記各実施形態では、ダイヤフラム状の保持部５１２を例示するが、例えば、可動部の中心に対して等角度間隔に配設された複数の梁構造を有する保持部が設けられる構成などとしてもよい。
この場合、梁状保持部が等角度間隔で配設される構成とすることで、保持部が撓んだ際の応力バランスを均一にでき、可動部の傾斜を抑えることができる。また、この場合、静電アクチュエーターは、各梁状保持部の位置に対応して各接続線が配設される構成とすればよい。
【０１１９】
また、本発明の電子機器として、第一実施形態において測色装置１を例示したが、その他、様々な分野により本発明の波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器を用いることができる。
例えば、特定物質の存在を検出するための光ベースのシステムとして用いることができる。このようなシステムとしては、例えば、本発明の波長可変干渉フィルターを用いた分光計測方式を採用して特定ガスを高感度検出する車載用ガス漏れ検出器や、呼気検査用の光音響希ガス検出器等のガス検出装置を例示できる。
このようなガス検出装置の一例を以下に図面に基づいて説明する。
【０１２０】
図１１は、波長可変干渉フィルターを備えたガス検出装置の一例を示す概略図である。
図１２は、図１１のガス検出装置の制御系の構成を示すブロック図である。
このガス検出装置１００は、図１１に示すように、センサーチップ１１０と、吸引口１２０Ａ、吸引流路１２０Ｂ、排出流路１２０Ｃ、及び排出口１２０Ｄを備えた流路１２０と、本体部１３０と、を備えて構成されている。
本体部１３０は、流路１２０を着脱可能な開口を有するセンサー部カバー１３１、排出手段１３３、筐体１３４、光学部１３５、フィルター１３６、波長可変干渉フィルター５、及び受光素子１３７（検出部）等を含む検出装置と、検出された信号を処理し、検出部を制御する制御部１３８、電力を供給する電力供給部１３９等から構成されている。また、光学部１３５は、光を射出する光源１３５Ａと、光源１３５Ａから入射された光をセンサーチップ１１０側に反射し、センサーチップ側から入射された光を受光素子１３７側に透過するビームスプリッター１３５Ｂと、レンズ１３５Ｃ，１３５Ｄ，１３５Ｅと、により構成されている。なお、波長可変干渉フィルター５の代わりに、波長可変干渉フィルター５Ａや光学フィルターデバイス６００を配置してもよい。
また、図１２に示すように、ガス検出装置１００の表面には、操作パネル１４０、表示部１４１、外部とのインターフェイスのための接続部１４２、電力供給部１３９が設けられている。電力供給部１３９が二次電池の場合には、充電のための接続部１４３を備えてもよい。
さらに、ガス検出装置１００の制御部１３８は、図１２に示すように、ＣＰＵ等により構成された信号処理部１４４、光源１３５Ａを制御するための光源ドライバー回路１４５、波長可変干渉フィルター５を制御するための電圧制御部１４６、受光素子１３７からの信号を受信する受光回路１４７、センサーチップ１１０のコードを読み取り、センサーチップ１１０の有無を検出するセンサーチップ検出器１４８からの信号を受信するセンサーチップ検出回路１４９、及び排出手段１３３を制御する排出ドライバー回路１５０などを備えている。
【０１２１】
次に、上記のようなガス検出装置１００の動作について、以下に説明する。
本体部１３０の上部のセンサー部カバー１３１の内部には、センサーチップ検出器１４８が設けられており、このセンサーチップ検出器１４８でセンサーチップ１１０の有無が検出される。信号処理部１４４は、センサーチップ検出器１４８からの検出信号を検出すると、センサーチップ１１０が装着された状態であると判断し、表示部１４１へ検出動作を実施可能な旨を表示させる表示信号を出す。
【０１２２】
そして、例えば利用者により操作パネル１４０が操作され、操作パネル１４０から検出処理を開始する旨の指示信号が信号処理部１４４へ出力されると、まず、信号処理部１４４は、光源ドライバー回路１４５に光源作動の信号を出力して光源１３５Ａを作動させる。光源１３５Ａが駆動されると、光源１３５Ａから単一波長で直線偏光の安定したレーザー光が射出される。また、光源１３５Ａには、温度センサーや光量センサーが内蔵されており、その情報が信号処理部１４４へ出力される。そして、信号処理部１４４は、光源１３５Ａから入力された温度や光量に基づいて、光源１３５Ａが安定動作していると判断すると、排出ドライバー回路１５０を制御して排出手段１３３を作動させる。これにより、検出すべき標的物質（ガス分子）を含んだ気体試料が、吸引口１２０Ａから、吸引流路１２０Ｂ、センサーチップ１１０内、排出流路１２０Ｃ、排出口１２０Ｄへと誘導される。なお、吸引口１２０Ａには、除塵フィルター１２０Ａ１が設けられ、比較的大きい粉塵や一部の水蒸気などが除去される。
【０１２３】
また、センサーチップ１１０は、金属ナノ構造体が複数組み込まれ、局在表面プラズモン共鳴を利用したセンサーである。このようなセンサーチップ１１０では、レーザー光により金属ナノ構造体間で増強電場が形成され、この増強電場内にガス分子が入り込むと、分子振動の情報を含んだラマン散乱光、及びレイリー散乱光が発生する。
これらのレイリー散乱光やラマン散乱光は、光学部１３５を通ってフィルター１３６に入射し、フィルター１３６によりレイリー散乱光が分離され、ラマン散乱光が波長可変干渉フィルター５に入射する。そして、信号処理部１４４は、電圧制御部１４６を制御し、波長可変干渉フィルター５に印加する電圧を調整し、検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光を波長可変干渉フィルター５で分光させる。この後、分光した光が受光素子１３７で受光されると、受光量に応じた受光信号が受光回路１４７を介して信号処理部１４４に出力される。
信号処理部１４４は、上記のようにして得られた検出対象となるガス分子に対応したラマン散乱光のスペクトルデータと、ＲＯＭに格納されているデータとを比較し、目的のガス分子か否かを判定し、物質の特定をする。また、信号処理部１４４は、表示部１４１にその結果情報を表示させたり、接続部１４２から外部へ出力したりする。
【０１２４】
なお、上記図１１及び図１２において、ラマン散乱光を波長可変干渉フィルター５により分光して分光されたラマン散乱光からガス検出を行うガス検出装置１００を例示したが、ガス検出装置として、ガス固有の吸光度を検出することでガス種別を特定するガス検出装置として用いてもよい。この場合、センサー内部にガスを流入させ、入射光のうちガスにて吸収された光を検出するガスセンサーを本発明の光学モジュールとして用いる。そして、このようなガスセンサーによりセンサー内に流入されたガスを分析、判別するガス検出装置を本発明の電子機器とする。このような構成でも、波長可変干渉フィルターを用いてガスの成分を検出することができる。
【０１２５】
また、特定物質の存在を検出するためのシステムとして、上記のようなガスの検出に限られず、近赤外線分光による糖類の非侵襲的測定装置や、食物や生体、鉱物等の情報の非侵襲的測定装置等の、物質成分分析装置を例示できる。
以下に、上記物質成分分析装置の一例として、食物分析装置を説明する。
【０１２６】
図１３は、波長可変干渉フィルター５を利用した電子機器の一例である食物分析装置の概略構成を示す図である。
この食物分析装置２００は、図１３に示すように、検出器２１０（光学モジュール）と、制御部２２０と、表示部２３０と、を備えている。検出器２１０は、光を射出する光源２１１と、測定対象物からの光が導入される撮像レンズ２１２と、撮像レンズ２１２から導入された光を分光する波長可変干渉フィルター５と、分光された光を検出する撮像部２１３（検出部）と、を備えている。なお、波長可変干渉フィルター５に代えて、波長可変干渉フィルター５Ａや光学フィルターデバイス６００が配置されてもよい。
また、制御部２２０は、光源２１１の点灯・消灯制御、点灯時の明るさ制御を実施する光源制御部２２１と、波長可変干渉フィルター５を制御する電圧制御部２２２と、撮像部２１３を制御し、撮像部２１３で撮像された分光画像を取得する検出制御部２２３と、信号処理部２２４と、記憶部２２５と、を備えている。
【０１２７】
この食物分析装置２００は、システムを駆動させると、光源制御部２２１により光源２１１が制御されて、光源２１１から測定対象物に光が照射される。そして、測定対象物で反射された光は、撮像レンズ２１２を通って波長可変干渉フィルター５に入射する。波長可変干渉フィルター５は電圧制御部２２２の制御により所望の波長を分光可能な電圧が印加されており、分光された光が、例えばＣＣＤカメラ等により構成される撮像部２１３で撮像される。また、撮像された光は分光画像として、記憶部２２５に蓄積される。また、信号処理部２２４は、電圧制御部２２２を制御して波長可変干渉フィルター５に印加する電圧値を変化させ、各波長に対する分光画像を取得する。
【０１２８】
そして、信号処理部２２４は、記憶部２２５に蓄積された各画像における各画素のデータを演算処理し、各画素におけるスペクトルを求める。また、記憶部２２５には、例えばスペクトルに対する食物の成分に関する情報が記憶されており、信号処理部２２４は、求めたスペクトルのデータを、記憶部２２５に記憶された食物に関する情報を基に分析し、検出対象に含まれる食物成分、及びその含有量を求める。また、得られた食物成分及び含有量から、食物カロリーや鮮度等をも算出することができる。さらに、画像内のスペクトル分布を分析することで、検査対象の食物の中で鮮度が低下している部分の抽出等をも実施することができ、さらには、食物内に含まれる異物等の検出をも実施することができる。
そして、信号処理部２２４は、上述のようにして得られた検査対象の食物の成分や含有量、カロリーや鮮度等の情報を表示部２３０に表示させる処理をする。
【０１２９】
また、図１３において、食物分析装置２００の例を示すが、略同様の構成により、上述したようなその他の情報の非侵襲的測定装置としても利用することができる。例えば、血液等の体液成分の測定、分析等、生体成分を分析する生体分析装置として用いることができる。このような生体分析装置としては、例えば血液等の体液成分を測定する装置として、エチルアルコールを検知する装置とすれば、運転者の飲酒状態を検出する酒気帯び運転防止装置として用いることができる。また、このような生体分析装置を備えた電子内視鏡システムとしても用いることができる。
さらには、鉱物の成分分析を実施する鉱物分析装置としても用いることができる。
【０１３０】
さらには、本発明の波長可変干渉フィルター、光学モジュール、電子機器としては、以下のような装置に適用することができる。
例えば、各波長の光の強度を経時的に変化させることで、各波長の光でデータを伝送させることも可能であり、この場合、光学モジュールに設けられた波長可変干渉フィルターにより特定波長の光を分光し、受光部で受光させることで、特定波長の光により伝送されるデータを抽出することができ、このようなデータ抽出用光学モジュールを備えた電子機器により、各波長の光のデータを処理することで、光通信を実施することもできる。
【０１３１】
また、電子機器としては、本発明の波長可変干渉フィルターにより光を分光することで、分光画像を撮像する分光カメラ、分光分析機などにも適用できる。このような分光カメラの一例として、波長可変干渉フィルターを内蔵した赤外線カメラが挙げられる。
図１４は、分光カメラの概略構成を示す模式図である。分光カメラ３００は、図１４に示すように、カメラ本体３１０と、撮像レンズユニット３２０と、撮像部３３０（検出部）とを備えている。
カメラ本体３１０は、利用者により把持、操作される部分である。
撮像レンズユニット３２０は、カメラ本体３１０に設けられ、入射した画像光を撮像部３３０に導光する。また、この撮像レンズユニット３２０は、図１４に示すように、対物レンズ３２１、結像レンズ３２２、及びこれらのレンズ間に設けられた波長可変干渉フィルター５を備えて構成されている。なお、波長可変干渉フィルター５に代えて、波長可変干渉フィルター５Ａや光学フィルターデバイス６００が配置されてもよい。
撮像部３３０は、受光素子により構成され、撮像レンズユニット３２０により導光された画像光を撮像する。
このような分光カメラ３００では、波長可変干渉フィルター５により撮像対象となる波長の光を透過させることで、所望波長の光の分光画像を撮像することができる。
【０１３２】
さらには、本発明の波長可変干渉フィルターをバンドパスフィルターとして用いてもよく、例えば、発光素子が射出する所定波長域の光のうち、所定の波長を中心とした狭帯域の光のみを波長可変干渉フィルターで分光して透過させる光学式レーザー装置としても用いることができる。
また、本発明の波長可変干渉フィルターを生体認証装置として用いてもよく、例えば、近赤外領域や可視領域の光を用いた、血管や指紋、網膜、虹彩などの認証装置にも適用できる。
【０１３３】
さらには、光学モジュール及び電子機器を、濃度検出装置として用いることができる。この場合、波長可変干渉フィルターにより、物質から射出された赤外エネルギー（赤外光）を分光して分析し、サンプル中の被検体濃度を測定する。
【０１３４】
上記に示すように、本発明の波長可変干渉フィルター、光学モジュール、及び電子機器は、入射光から所定の光を分光するいかなる装置にも適用することができる。そして、本発明の波長可変干渉フィルターは、上述のように、１デバイスで複数の波長を分光させることができるため、複数の波長のスペクトルの測定、複数の成分に対する検出を精度よく実施することができる。従って、複数デバイスにより所望の波長を取り出す従来の装置に比べて、光学モジュールや電子機器の小型化を促進でき、例えば、携帯用や車載用の光学デバイスとして好適に用いることができる。
【０１３５】
また、上記第四実施形態では、ＭＥＭＳデイバスの一例として、ミラーデバイス６について説明したが、本発明のＭＥＭＳデバイスはこれに限定されない。例えば、対向する一対の基板と、一対の基板のそれぞれの対向面に配設された電極とを少なくとも備え、電極間に発生する静電引力により基板間ギャップを制御するようなデイバスであればよく、このような任意のデバイスに対して本発明を適用することができる。
【０１３６】
その他、本発明の実施の際の具体的な構造は、本発明の目的を達成できる範囲で上記各実施形態及び各変形例を適宜組み合わせることで構成してもよく、また他の構造などに適宜変更してもよい。
【符号の説明】
【０１３７】
１…電子機器としての測色装置、３…光学モジュールとしての測色センサー、５，５Ａ…波長可変干渉フィルター、６…ＭＥＭＳデバイスとしてのミラーデバイス、３１…検出部、５１…第一基板である可動基板、５２…第二基板である固定基板、５６…第一反射膜である可動反射膜、５７…第二反射膜である固定反射膜、１００…電子機器としてのガス検出装置、２００…電子機器としての食物分析装置、３００…電子機器としての分光カメラ、５１１…可動部、５１２…保持部、５４１…第一電極である可動電極、５４２…第一内側電極としての内側可動電極、５４３Ａ，５４３Ｂ…第一外側電極としての外側可動部分電極、５４５Ａ，５４５Ｂ…第一内側接続線としての内側可動接続線、５４６Ａ，５４６Ｂ…第一外側接続線としての外側可動接続線、５５１…第二電極である固定電極、５５２…第二内側電極としての内側固定電極、５５３…第二外側電極としての外側固定電極、５５５Ａ，５５５Ｂ…第二内側接続線としての内側固定接続線、６００…光学フィルターデバイス、６０１…筐体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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