(57)【要約】【課題】コンパクトな移載ヘッドを用いて部品実装を高速化する。【解決手段】部品実装装置の移載ヘッド１０に搭載され、複数のノズル１２を一方向に移動させるためのアクチュエータ２２であって、ノズル１２が一方向に移動するノズル移動方向に延在し、複数の磁石３２をノズル移動方向に並んだ状態で備え、一端にノズル１２が連結されるロッド２４、ノズル移動方向に並んだ状態で配置されてそれぞれがロッド２４を周回する複数のコイル２６、およびロッド２４のノズル移動方向の位置を検出するエンコーダ３０を備えるリニアモータ１８を複数有する。複数のリニアモータ１８が、ノズル移動方向と直交する方向に並んだ状態で、ノズル１２が連結されるロッド２４の一端が外部に露出された状態で、且つ、ロッド２４がノズル移動方向にそれぞれ摺動可能に１つのハウジング２０に収容されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品実装装置の移載ヘッドに搭載され、複数のノズルを一方向に移動させるためのアクチュエータであって、
ノズルが一方向に移動するノズル移動方向に延在し、複数の磁石をノズル移動方向に並んだ状態で備え、一端にノズルが連結されるロッド、ノズル移動方向に並んだ状態で配置されてそれぞれがロッドを周回する複数のコイル、およびロッドのノズル移動方向の位置を検出するエンコーダを備えるリニアモータを複数有し、
複数のリニアモータが、ノズル移動方向と直交する方向に並んだ状態で、ノズルが連結されるロッドの一端が外部に露出された状態で、且つ、ロッドがノズル移動方向にそれぞれ摺動可能に１つのハウジングに収容されている、アクチュエータ。
【請求項２】
ハウジングが、各リニアモータのコイルを収容する第１の空間と、第１の空間と分離されて各リニアモータのエンコーダを収容する第２の空間とを有する、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
外部と第１の空間とを連絡する開口がハウジングに形成されている、請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
ノズル移動方向に見た場合に、リニアモータが千鳥状に並んでいる、請求項１から３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載のアクチュエータを備える部品実装装置の移載ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の移載ヘッドを備える部品実装装置。
【請求項７】
部品を吸着して一方向に移動する複数のノズルを用いて部品実装を行う部品実装方法であって、
ノズルが一方向に移動するノズル移動方向に延在し、複数の磁石をノズル移動方向に並んだ状態で備え、一端にノズルが連結されるロッド、ノズル移動方向に並んだ状態で配置されてそれぞれがロッドを周回する複数のコイル、およびロッドのノズル移動方向の位置を検出するエンコーダを備えるリニアモータを複数有し、複数のリニアモータが、ノズル移動方向と直交する方向に並んだ状態で、ノズルが連結されるロッドの一端が外部に露出された状態で、且つ、ロッドがノズル移動方向にそれぞれ摺動可能に１つのハウジングに収容されているアクチュエータを備える移載ヘッドを用意し、
移載ヘッドをノズル移動方向と直交する方向に移動させるとともに、アクチュエータを介してノズルをノズル移動方向に移動させることにより部品実装を行う、部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品を吸着して搬送する移載ヘッドに搭載されるアクチュエータと、アクチュエータを搭載する移載ヘッドと、移載ヘッドを用いる部品実装装置および部品実装方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、部品を上方から吸着して保持する複数のノズルを備える移載ヘッドを有する部品実装装置が知られている。ノズルが部品を保持した状態の実装ヘッドが移動することにより、部品が搬送され基板に実装される。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載された部品実装装置では、複数のノズルが二列に並んだ状態で移載ヘッドに搭載されている。また、ノズルそれぞれは、ノズルの鉛直方向上方に配置され、移載ヘッドに搭載されたアクチュエータによって鉛直方向に移動される（昇降される）。これにより、ノズルそれぞれは、移載ヘッドに対して鉛直方向に選択的に相対移動される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−８２２４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年、部品実装の高速化を実現するために、移載ヘッドに搭載するノズルの数の増加および移載ヘッドのコンパクト化が望まれている。コンパクトな移載ヘッドに搭載するノズルの数を増加させる場合、複数のノズルの水平方向のピッチ間隔を可能な限り小さくする必要がある。例えば、複数のノズルが直線状に二列に並んだ状態で実装ヘッドに搭載されている場合、列方向のノズルのピッチ間隔と二列が並ぶ方向のピッチ間隔とを可能な限り小さくする必要がある。
【０００６】
ところが、特許文献１に記載する移載ヘッドのようにノズルの鉛直方向上方にアクチュエータが配置される場合、ノズルのサイズに比べてアクチュエータのサイズが大きいために、ノズルの水平方向のピッチ間隔がアクチュエータのサイズによって決定される。すなわち、アクチュエータの水平方向のピッチ間隔が、ノズルのピッチ間隔とされる。その結果、ノズルの水平方向のピッチ間隔を可能な限り小さくすることが、ノズルの鉛直方向上方に配置されたアクチュエータによって制限される。
【０００７】
そこで、本発明は、複数のノズルの水平方向のピッチ間隔を小さくして移載ヘッドをコンパクト化し、それにより移載ヘッドを用いる部品実装を高速化することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の課題を解決するために、本発明の第１の態様によれば、
部品実装装置の移載ヘッドに搭載され、複数のノズルを一方向に移動させるためのアクチュエータであって、
ノズルが一方向に移動するノズル移動方向に延在し、複数の磁石をノズル移動方向に並んだ状態で備え、一端にノズルが連結されるロッド、ノズル移動方向に並んだ状態で配置されてそれぞれがロッドを周回する複数のコイル、およびロッドのノズル移動方向の位置を検出するエンコーダを備えるリニアモータを複数有し、
複数のリニアモータが、ノズル移動方向と直交する方向に並んだ状態で、ノズルが連結されるロッドの一端が外部に露出された状態で、且つ、ロッドがノズル移動方向にそれぞれ摺動可能に１つのハウジングに収容されている、アクチュエータが提供される。
【０００９】
本発明の第２の態様によれば、
ハウジングが、各リニアモータのコイルを収容する第１の空間と、第１の空間と分離されて各リニアモータのエンコーダを収容する第２の空間とを有する、第１の態様に記載のアクチュエータが提供される。
【００１０】
本発明の第３の態様によれば、
外部と第１の空間とを連絡する開口がハウジングに形成されている、第２の態様に記載のアクチュエータが提供される。
【００１１】
本発明の第４の態様によれば、
ノズル移動方向に見た場合に、リニアモータが千鳥状に並んでいる、第１から第３の態様のいずれか一に記載のアクチュエータが提供される。
【００１２】
本発明の第５の態様によれば、
第１から第４の態様のいずれか一に記載のアクチュエータを備える部品実装装置の移載ヘッドが提供される。
【００１３】
本発明の第６の態様によれば、
第５の態様に記載の移載ヘッドを備える、部品実装装置が提供される。
【００１４】
本発明の第７の態様によれば、
部品を吸着して一方向に移動する複数のノズルを用いて部品実装を行う部品実装方法であって、
ノズルが一方向に移動するノズル移動方向に延在し、複数の磁石をノズル移動方向に並んだ状態で備え、一端にノズルが連結されるロッド、ノズル移動方向に並んだ状態で配置されてそれぞれがロッドを周回する複数のコイル、およびロッドのノズル移動方向の位置を検出するエンコーダを備えるリニアモータを複数有し、複数のリニアモータが、ノズル移動方向と直交する方向に並んだ状態で、ノズルが連結されるロッドの一端が外部に露出された状態で、且つ、ロッドがノズル移動方向にそれぞれ摺動可能に１つのハウジングに収容されているアクチュエータを備える移載ヘッドを用意し、
移載ヘッドをノズル移動方向と直交する方向に移動させるとともに、アクチュエータを介してノズルをノズル移動方向に移動させることにより部品実装を行う、部品実装方法が提供される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、複数のノズルのピッチ間隔を小さくして移載ヘッドをコンパクト化することができ、それにより移載ヘッドを用いる部品実装を高速化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施の形態に係る部品実装装置の移載ヘッドの一部の斜視図
【図２】移載ヘッドに搭載された状態の複数のノズルユニットの斜視図
【図３Ａ】第１のノズルユニットの斜視図
【図３Ｂ】第１のノズルユニットの分解図
【図４Ａ】第２のノズルユニットの斜視図
【図４Ｂ】第２のノズルユニットの分解図
【図５】アクチュエータユニットの断面図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１８】
図１は本発明の一実施の形態に係る部品実装装置の移載ヘッドの一部を示す斜視図である。
【００１９】
図１に示すように、移載ヘッド１０は、部品を吸着して保持する複数のノズル１２を有する。移載ヘッド１０はまた、基板等に部品を実装する部品実装装置に搭載され、リニアモータ等のアクチュエータ（図示せず）によって水平方向であるＸ軸方向およびＹ軸方向（第３の方向および第２の方向）に移動される。
【００２０】
部品実装装置において、移載ヘッド１０は、テープフィーダ等の部品供給装置（図示せず）から供給された部品をノズル１２によって保持し、ノズル１２によって保持された部品が基板の所定の実装位置の上方に位置するように水平方向に移動し、ノズル１２を降下させて該ノズル１２に保持された部品を基板の所定の実装位置に実装する。
【００２１】
ノズル１２を降下させるために、移載ヘッド１０は、図１に示すように、複数のノズル１２それぞれを鉛直方向であるＺ軸方向（第１の方向）に移動させる第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂとを有する。なお、本明細書に添付された図面は、本発明に関連する構成要素のみを示している。したがって、移載ヘッド１０に必要な全ての構成要素が図面に示されている訳ではない。
【００２２】
図２は、移載ヘッド１０に搭載された状態の複数の第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂの斜視図である。図３Ａは第１のノズルユニット１４Ａの斜視図であり、図３Ｂは第１のノズルユニット１４Ａの分解図である。図４Ａは第２のノズルユニット１４Ｂの斜視図であり、図４Ｂは第２のノズルユニット１４Ｂの分解図である。
【００２３】
図３Ａおよび図３Ｂに示すように、第１のノズルユニット１４Ａは、Ｚ軸方向（第１の方向）に延在してＺ軸方向の一端（下端）にノズル１２が着脱可能に取り付けられたノズルシャフト（第１のノズルシャフト）１６と、ノズルシャフト１６をＺ軸方向に移動させるためのアクチュエータ（第１のアクチュエータ）１８とを有する。
【００２４】
同様に、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、第２のノズルユニット１４Ｂは、Ｚ軸方向（第１の方向）に延在して一端（下端）にノズル１２が着脱可能に取り付けられたノズルシャフト（第２のノズルシャフト）１６と、ノズルシャフト１６をＺ軸方向に移動させるためのアクチュエータ（第２のアクチュエータ）１８とを有する。なお、本実施の形態の場合、第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂそれぞれのノズルシャフト１６とアクチュエータ１８は同一である。
【００２５】
第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂそれぞれのノズルシャフト１６は、Ｚ軸方向（第１の方向）に移動可能に移載ヘッド１０に支持されている。
【００２６】
第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂそれぞれのアクチュエータ１８は、本実施の形態の場合、リニアモータであって、図１に示すように、１つのハウジング２０に収容されて一体化されている。それにより、複数のノズル１２を選択的にＺ軸方向に昇降させることができるアクチュエータユニット２２が構成されている。
【００２７】
図５は、アクチュエータユニット２２の断面図（Ｚ−Ｘ平面と平行な断面）である。図３Ａ〜図５に示すように、第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂのアクチュエータ１８は、ノズル１２が移動する方向であるＺ軸方向に延在し、ノズルシャフト１６（ノズル１２）が連結されるアクチュエータ１８のロッド２４と、ロッド２４をＺ軸方向に進退させるためのコイル２６を含むコイルホルダ２８と、ロッド２４のＺ軸方向位置を検出するエンコーダ３０とを有する。
【００２８】
図５に示すように、アクチュエータユニット２２（すなわち第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂ）のアクチュエータ１８それぞれのロッド２４は、その内部にＺ軸方向に並んだ状態で収容された複数の磁石３２を有する。コイルホルダ２８は、円筒形状であって、ロッド２４を周回する複数のコイル２６をＺ軸方向に並んだ状態で保持している。コイルホルダ２８に保持されているコイル２６それぞれに流れる電流を制御することにより、複数の磁石３２が収容されているロッド２４のＺ軸方向位置が制御される。
【００２９】
ロッド２４のＺ軸方向位置を検出するエンコーダ３０は、リニアエンコーダであって、目盛りを備えるリニアスケール３４と、リニアスケール３４の目盛りを読み取ってロッド３０のＺ軸方向位置を検出するロッド位置検出デバイス（図示せず）とから構成される。エンコーダ３０のリニアスケール３４は、ロッド２４に対してノズル１２が取り付けられる側と反対側であるロッド２４の反ノズル１２側に取り付けられたブラケット３６によって保持されている。エンコーダ３０のロッド位置検出デバイスは、例えば、リニアスケール３４に光を投射する発光素子（図示せず）と、リニアスケール３４からの反射光を受光する受光素子（図示せず）とから構成され、図１に示すようにリニアスケール３４に対向するように配置されているリニアスケールの基板３８上に搭載されている。なお、本実施の形態の場合、複数のアクチュエータ１８のエンコーダ３０のロッド位置検出デバイスが共通のリニアスケールの基板３８に搭載されている。
【００３０】
複数のアクチュエータ１８を収容するアクチュエータユニット２２のハウジング２０は、図１および図５に示すように、Ｚ軸方向に並んだ２つの空間４０、４２を有する。２つの空間４０、４２は独立した空間であって、下側空間４０にはアクチュエータ１８のコイルホルダ２８が収容される。一方、上側空間４２にはアクチュエータ１８のエンコーダ３０（リニアスケール３４およびロッド位置検出デバイスを搭載したリニアスケールの基板３８）が収容される。なお、図５に示すように、下側空間４０と上側空間４２とを隔てるハウジング２０の隔壁２０ａには、アクチュエータ２２のロッド２４が通過する貫通穴２０ｂが形成されている。
【００３１】
アクチュエータ１８のコイルホルダ２８とエンコーダ３０のそれぞれが独立した空間４０、４２に別々に収容されることにより、コイルホルダ２８によって保持されているコイル２６から発生する熱の影響をエンコーダ３０は受けにくくなる。その結果、エンコーダ３０は、ロッド２４のＺ軸方向位置を高精度に検出することができる。
【００３２】
なお、コイル２６（コイルホルダ２８）を冷却するために、アクチュエータユニット２２のハウジング２０は、コイルホルダ２８が収容された下側空間４０と外部とを連通する開口２０ｃを備えるのが好ましい。これにより、コイル２６から発生する熱を外部に逃がし、コイル２６を冷却することができる。さらにコイル２６の冷却が必要とされる場合、コイルホルダ２８に向かって外気を送風するファン（図示せず）を、ハウジング２０の開口２０ｃに取り付けてもよい。
【００３３】
このように、複数のノズルシャフト１６（ノズル１２）をＺ軸方向（第１の方向）に昇降させるためのアクチュエータ（リニアモータ）１８を１つのハウジング２０に収容して一体化することにより、複数のアクチュエータ１８を一体化せずに別々に独立して移載ヘッド１０に設けた場合に比べて、移載ヘッド１０におけるアクチュエータ１８の占有スペースを小さくすることができる。
【００３４】
また、複数のアクチュエータ（リニアモータ）１８を１つのハウジング２０に収容して一体化した場合、アクチュエータ１８それぞれが独立して移載ヘッド１０に設けられている場合に比べて、複数のアクチュエータ１８のロッド２４の水平方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）のピッチ間隔を小さくすることができる。それにより、ロッド２４に連結されるノズルシャフト１６の水平方向のピッチ間隔を小さくすることができ、その結果、複数のノズル１２の水平方向のピッチ間隔が小さくされる。
【００３５】
このようなアクチュエータユニット２２により、移載ヘッド１０がコンパクト化（軽量化）されて高速移動が可能になり、その結果、移載ヘッド１０を用いる部品実装が高速化される。
【００３６】
このようなアクチュエータユニット２２の各アクチュエータ１８のロッド２４の一端（エンコーダ３０が設けられた端と反対側の端）は、ハウジング２０の外部にＺ軸方向（第１の方向）にそれぞれ独立して摺動動作可能に露出し、ノズルシャフト１６の上端に連結される。
【００３７】
具体的には、第１のノズルユニット１４Ａのアクチュエータ１８のロッド２４は、図３Ａに示すように、第１の連結部材６０を介してノズルシャフト１６に連結されている。図３Ａに示すように、第１のノズルユニット１４Ａにおいて、第１の連結部材６０は、ノズルシャフト１６とアクチュエータ１８のロッド２４とを同軸状に連結するように構成されている。
【００３８】
一方、第２のノズルユニット１４Ｂのアクチュエータ１８のロッド２４は、図４Ａに示すように、第２の連結部材６２を介してノズルシャフト１６に連結されている。図４Ａに示すように、第２のノズルユニット１４Ｂにおいて、第２の連結部材６２は、ノズルシャフト１６とアクチュエータ１８のロッド２４とをＹ軸方向（第２の方向）にオフセットした状態で連結するように構成されている。このように第２の連結部材６２の構成と第１の連結部材６０の構成とが異なることにより、第１のノズルユニット１４Ａと第２のノズルユニット１４Ｂとが異なる。
【００３９】
ノズルシャフト１６とアクチュエータ１８のロッド２４とが、第１のノズルユニット１４Ａにおいては同軸状に第１の連結部材６０を介して連結され、第２のノズルユニット１４ＢにおいてはＹ軸方向にオフセットされた状態で第２の連結部材６２を介して連結される理由について説明する。
【００４０】
移載ヘッド１０を用いて部品を実装する部品実装装置において、高速な部品実装を行うためには、移載ヘッド１０に複数のノズル１２を搭載するとともに、その複数のノズル１２を一方向（Ｘ軸方向）に直線状に一列または複数列で並べるのが好ましい。
【００４１】
また、移載ヘッド１０を水平方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）に高速移動させるためには、移載ヘッド１０を可能な限りコンパクトに構成するのが好ましい。したがって、複数のノズル１２の列方向（Ｘ軸方向）のピッチ間隔を可能な限り小さくするのが好ましい。
【００４２】
しかしながら、図２に示すように、ノズル１２のＸ軸方向（第３の方向）のサイズがアクチュエータ１８のＸ軸方向（第３の方向）のサイズに比べて小さく且つ第１のノズルユニット１４Ａのようにノズルシャフト１６とアクチュエータ１８のロッド２４とが同軸状に連結されている場合、Ｘ軸方向に直線状に並ぶ複数のノズル１２のＸ軸方向のピッチ間隔は、アクチュエータ１８のＸ軸方向のサイズによって決定される。すなわち、ノズル１２のＸ軸方向のピッチ間隔が、ノズル１２の上方に位置するアクチュエータ１８のＸ軸方向のピッチ間隔と同一にされる。したがって、ノズル１２のＸ軸方向のピッチ間隔が小さいコンパクトな移載ヘッド１０を実現することができない。
【００４３】
そこで、本実施の形態の場合、図２に示すように、ノズルシャフト１６とアクチュエータ１８のロッド２４とが同軸状に連結されている第１のノズルユニット１４Ａと、ノズルシャフト１６とアクチュエータ１８のロッド２４とがＹ軸方向（第２の方向）にオフセットされた状態で連結されている第２のノズルユニット１４Ｂとを、Ｘ軸方向（第３の方向）に交互に並べている。それにより、複数のノズル１２を、Ｘ軸方向のノズル１２のピッチ間隔を可能な限り小さくした状態で、Ｘ軸方向に直線状に二列で並べることを実現している。
【００４４】
具体的には、図２に示すように、Ｙ軸方向（第２の方向）正側でＸ軸方向（第３の方向）に直線状に一列で複数のノズルシャフト１６が並ぶように、アクチュエータ１８のロッド２４とノズルシャフト１６とが同軸状に連結されている第１のノズルユニット１４Ａと、アクチュエータ１８のロッド２４がノズルシャフト１６に対してＹ軸方向（第２の方向）正側にオフセットされた状態で連結されている第２のノズルユニット１４Ｂとが、Ｘ軸方向（第３の方向）に交互に並べられている。
【００４５】
一方、Ｙ軸方向（第２の方向）負側でＸ軸方向（第３の方向）に直線状に一列で複数のノズルシャフト１６が並ぶように、アクチュエータ１８のロッド２４とノズルシャフト１６とが同軸状に連結されている第１のノズルユニット１４Ａと、アクチュエータ１８のロッド２４がノズルシャフト１６に対してＹ軸方向（第２の方向）負側にオフセットされた状態で連結されている第２のノズルユニット１４Ｂとが、Ｘ軸方向（第３の方向）に交互に並べられている。
【００４６】
このように、各ノズル列において、第１のノズルユニット１４Ａのノズルシャフト１６と第２のノズルユニット１４Ｂのノズルシャフト１６をＸ軸方向（第３の方向）に直線状に交互に並べると、図２に示すように、第１のノズルユニット１４Ａのアクチュエータ１８と第２のノズルユニット１４Ｂのアクチュエータ１８は、Ｚ軸方向視（第１の方向視）で千鳥状に配置される。
【００４７】
具体的には、複数のノズル１２のＹ軸方向のピッチ間隔を小さくするために、図２に示すように、第１のノズルユニット１４Ａのアクチュエータ１８がノズル１２の上方で且つＹ軸方向（第２の方向）の内側でＸ軸方向（第３の方向）に向かって直線状に二列に並び、その第１のノズルユニット１４Ａのアクチュエータ１８に対してＹ軸方向（第２の方向）の両方の外側で第２のノズルユニット１４Ｂのアクチュエータ１８がＸ軸方向（第３の方向）にそれぞれ直線状に一列に並ぶ。また、Ｚ軸方向（第１の方向）に見た場合には第１のノズルユニット１４Ａのアクチュエータ１８それぞれのＹ軸方向（第２の方向）の外側に、且つ、オフセット方向（Ｙ軸方向）に見た場合には第１のノズルユニット１４Ａのアクチュエータ１８にオーバーラップするように、第２のノズルユニット１４Ｂのアクチュエータ１８が配置される。
【００４８】
このように、ノズルシャフト１６とアクチュエータ１８のロッド２４とが同軸状に連結されている第１のノズルユニット１４Ａと、ノズルシャフト１６とアクチュエータ１８のロッド２４とがＹ軸方向（第２の方向）にオフセットされた状態で連結されている第２のノズルユニット１４ＢとをＸ軸方向（第３の方向）に交互に並べることにより、アクチュエータ１８によって制限されることなく、それぞれのノズル１２を、Ｘ軸方向のノズル１２のピッチ間隔を可能な限り小さくした状態またはＸ軸方向（第３の方向）に一列に並ぶアクチュエータ１８の間隔を可能な限り小さくした状態で、Ｘ軸方向に向かって直線状に二列で並べることができる。それにより、第１のノズルユニット１４ＡのみをＸ軸方向に直線状に並べる場合に比べて、複数のノズル１２のＸ軸方向のピッチ間隔を小さくすることができる。また、複数のアクチュエータ１８を収容するアクチュエータユニット２２のハウジング２０のＸ軸方向のサイズを小さくすることができる。その結果、複数のアクチュエータ１８を有する移載ヘッド１０がコンパクト化され、この移載ヘッド１０を用いる部品実装を高速化することができる。
【００４９】
なお、第１のノズルユニット１４Ａの第１の連結部材６０と第２のノズルユニット１４Ｂの連結部材６２も、当然ながら、Ｘ軸方向に直線状に二列に並ぶ。したがって、ノズル１２のＸ軸方向のピッチ間隔を可能な限り小さくするためには、第１および第２の連結部材６０、６２のＸ軸方向のサイズも可能な限り小さくすることが好ましい。
【００５０】
ここからは、第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂの第１および第２の連結部材６０、６２について説明する。
【００５１】
図３Ａに示すように、第１のノズルユニット１４Ａにおいて、第１の連結部材６０は、ノズルシャフト１６とアクチュエータ１８のロッド２４とを同軸状に着脱可能に連結する。具体的には、第１の連結部材６０は、図３Ｂに示すように、アクチュエータ１８のロッド２４に固定されるアクチュエータ側連結部６０ａと、ノズルシャフト１６に固定されるノズル側連結部６０ｂとにＹ軸方向に分割可能に構成されている。
【００５２】
例えば、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、第１のノズルユニット１４Ａにおいて、第１の連結部材６０のアクチュエータ側連結部６０ａとノズル側連結部６０ｂは互いにＹ軸方向に係合可能な形状を備える。また、第１の連結部材６０のアクチュエータ側連結部６０ａに対してノズル側連結部６０ｂが、例えば、ボルト（図示せず）によってＹ軸方向に固定される。
【００５３】
第１のノズルユニット１４Ａの第１の連結部材６０と同様に、図４Ａに示すように、第２のノズルユニット１４Ｂにおいて、第２の連結部材６２は、ノズルシャフト１６とアクチュエータ１８のロッド２４とを着脱可能にＹ軸方向にオフセットして連結する。具体的には、第２の連結部材６２は、図４Ｂに示すように、アクチュエータ１８のロッド２４に固定されるアクチュエータ側連結部６２ａと、ノズルシャフト１６に固定されるノズル側連結部６２ｂとにＹ軸方向に分割可能に構成されている。
【００５４】
このような第１および第２の連結部材６０、６２により、第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂそれぞれにおいて、アクチュエータ１８のロッド２４に対してノズルシャフト１６をＹ軸方向に着脱することができる。それにより、例えば、第１のノズルユニット１４Ａのノズルシャフト１６を、第１のノズルユニット１４ＡのＸ軸方向両側に隣接する第２のノズルユニット１４Ｂに干渉されることなく着脱することができる。その結果、ノズル１２の交換が容易になる。
【００５５】
なお、本実施の形態の場合、図２に示すように、ノズル１２はＸ軸方向に直線状に二列に並んでいる。したがって、Ｙ軸方向正側のノズル列に対応する第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂはノズルシャフト１６をＹ軸方向正側に取り外しできる姿勢でＸ軸方向に交互に並べられている。一方、Ｙ軸方向負側のノズル列に対応する第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂはノズルシャフト１６をＹ軸方向負側に取り外しできる姿勢でＸ軸方向に交互に並べられている。すなわち、Ｙ軸方向正側のノズル列に対応する第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂの姿勢と、Ｙ軸方向負側のノズル列に対応する第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂの姿勢は、互いにＺ−Ｘ平面対称にされている。
【００５６】
また、図３Ｂおよび図４Ｂに示すように、第１のノズルユニット１４Ａの第１の連結部材６０のノズル側連結部６０ｂと、第２のノズルユニット１４Ｂの第２の連結部材６２のノズル側連結部６２ｂは、同一形状であるのが好ましい。例えば、本実施の形態の場合、第１の連結部材６０のノズル側連結部６０ｂと第２の連結部材６２のノズル側連結部６２ｂは、Ｌ字形状のブロックである。
【００５７】
これにより、ノズル１２、ノズルシャフト１６、およびノズル側連結部６０ｂ（６２ｂ）を共通のユニットとして扱うことができる。それにより、ノズルシャフト１６（ノズル１２）を、第１のノズルユニット１４Ａ用または第２のノズルユニット１４Ｂ用に区別することなく、管理することができる。また、ノズルシャフト１６を第１および第２のノズルユニット１４Ａ、１４Ｂのいずれにも取り付けることができるため、ノズル１２の交換が簡略化される。
【００５８】
さらに、上述したように第１のノズルユニット１４Ａの第１の連結部材６０のノズル側連結部６０ｂと第２のノズルユニット１４Ｂの第２の連結部材６２のノズル側連結部６２ｂとを同一形状で構成する場合、図２に示すように、そのノズル側連結部６０ｂ、６２ｂを同一姿勢でＸ軸方向に直線状に並ぶようにするのが好ましい。すなわち、これを実現できるように、ノズル側連結部６０ｂ、６０ａと係合するアクチュエータ側連結部６０ａ、６２ａをそれぞれ構成するのが好ましい。
【００５９】
これにより、例えば、第１のノズルユニット１４Ａの第１の連結部材６０に対してＸ軸方向両側に隣接する第２のノズルユニット１４Ｂの第２の連結部材６２のノズル側連結部６２ｂに干渉されることなく、第１のノズルユニット１４Ａの第１の連結部材６０のアクチュエータ側連結部６０ａに対してノズル側連結部６０ｂを着脱することができる。その結果、ノズル１２の交換がさらに容易になる。
【００６０】
本実施の形態によれば、複数のノズル１２の水平方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）のピッチ間隔を小さくして移載ヘッドをコンパクト化することができ、それにより移載ヘッド１０を用いる部品実装を高速化することができる。
【００６１】
以上、上述の実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上述の実施の形態に限定されない。
【００６２】
例えば、上述の実施の形態の場合、複数のノズル１２はＸ軸方向に向かって直線状に二列にならんでいるが、本発明はこれに限らない。例えば、複数のノズル１２は、Ｘ軸方向に向かって直線状に一列に並んでもよい。
【００６３】
また、上述の実施の形態の場合、図２に示すように、複数のアクチュエータ（リニアモータ）１８は、Ｚ方向視で千鳥状に配置された状態で１つのハウジング２０に収容されているが、本発明はこれに限らない。例えば、第１のノズルユニット１４ＡのみをＸ軸方向に直線状に一列または複数列に並べることにより、Ｘ軸方向に直線状に一列または複数列に配置されたアクチュエータ（リニアモータ）１８を１つのハウジング２０に収容してもよい。本発明のリニアモータは、広義には、ノズル移動方向（例えばＺ軸方向）と直交する方向（例えばＸ軸方向）に並んだ状態で１つのハウジングに収容されればよい。ただし、上述の実施の形態のようにノズルが多い場合、移載ヘッドをコンパクト化するためには、複数のリニアモータは、Ｚ方向視で千鳥状に配置されるように１つのハウジングに収容されるのが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明は、部品を上方から吸着保持する複数のノズルを直線状に並んだ状態で搭載する実装ヘッドであれば、適用可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１０      移載ヘッド
１２      ノズル
１８      リニアモータ（アクチュエータ）
２０      ハウジング
２４      ロッド
２６      コイル
３０      エンコーダ
３２      磁石
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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