(57)【要約】      （修正有）【課題】ワークの校正に要する時間を短縮できる恒温槽を提供する。【解決手段】ワーク収容室２には、調温空気の流通方向に直交する第１の方向におけるワーク収容室２の調温空気の通過断面積をワーク収容室２の風上側に対して風下側を小さくする調整機構が備えられている。これにより、ワーク収容室２の風下側に向かうにつれて調温空気の流速が早くなるため、その風下側の温度が所定の温度に達するまでの時間を短くなり、ワークＷの校正作業の開始時間を早くできるので、結果として、内部の温度が一定になるまでの時間を短縮することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のワークを収容し、調温空気の入口および出口を備えたワーク収容室と、所定温度に調整された調温空気を生成して前記ワーク収容室の前記入口に送出する調温空気生成部とを備えた恒温槽であって、
前記調温空気の流通方向に直交する第１の方向におけるワーク収容室の前記調温空気の通過断面積を前記ワーク収容室の風上側に対して風下側を小さくする調整機構
を備えることを特徴とする恒温槽。
【請求項２】
請求項１記載の恒温槽において、
前記ワーク収容室は、前記流通方向に互いに平行に配設されたメッシュ状の複数の平板を備え、
前記調整機構は、隣り合う前記平板の間に設けられ、前記第１の方向に延在する複数の仕切板を備え、
前記仕切板の面積は、前記ワーク収容室内の風下側に向かって大きくなる
ことを特徴とする恒温槽。
【請求項３】
請求項２記載の恒温槽において、
前記仕切板は、一端側が前記ワーク収容室内部に、他端側が前記ワーク収容室外部に配置され、前記第１の方向に移動可能に支持されており、
前記調整機構は、各前記仕切板の他端を互いに連結する連結部材をさらに備える
ことを特徴とする恒温槽。
【請求項４】
請求項１記載の恒温槽において、
前記ワーク収容室は、前記流通方向に互いに平行に配設されたメッシュ状の複数の平板を備え、
前記調整機構は、
隣り合う前記平板の間に設けられ、前記第１の方向に延在し、一端側が前記ワーク収容室内部に、他端側が前記ワーク収容室外部に配置され、前記第１の方向に移動可能に支持された複数の仕切板と、
前記第１の方向において、風上側の前記仕切板の一端が風下側の前記仕切り板の一端よりも前記ワーク収容室内部側に移動することを規制する規制部材と
を備えることを特徴とする恒温槽。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサなど、温度特性を有する複数のワークの温度特性の校正に用いられる恒温槽に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ピエゾ拡散式の圧力センサ（半導体圧力センサ）などの圧力センサは、同じ圧力下にあっても温度によって出力が変化するという温度特性を有するので、製品出荷前に個々の圧力センサの温度特性を校正する必要がある。この温度校正は、供試品の圧力センサを所定の検査温度に設定される恒温槽内に入れ、温度校正のために決められた複数の所定の温度下において、所定の圧力をかけたときの出力を測定することにより行われている。具体的には、例えば１００個など複数個の圧力センサを同一の恒温槽に入れ、恒温槽に設けられている加熱器や冷却器を用いて、恒温槽内の全ての圧力センサが温度校正を行うために定められた温度に安定した時点で、１個ずつ順番に校正作業を行うようにしている。このような温度校正に用いられる恒温槽の一例を図４に示す。
【０００３】
図５に示すこの恒温槽１００は、断熱壁１０１に囲まれた筐体からなり、その内部には、圧力センサなどの検査対象となるワークＷが配置されるワーク収容室１１０と、所定の温度の空気(以下、「調温空気」という。）を生成してワーク収容室１１０へ送風する空調室１２０とに内部が分かれている。
【０００４】
ワーク収容室１１０は、調温空気が流通可能なようにメッシュ状の平板１１１が互いに平行に複数配置されたラックからなる。
平板１１１は、調温空気の流通方向に対して略垂直に配置されている。したがって、調温空気は、風上側となる一端側の平板１１１から風下側となる他端側の平板側に向かって流通することとなる。
また、各平板１１１は、同等の平面形状を有している。したがって、ワーク収容室１１０の風上側から風下側までの調温空気の通過断面積は、等しくなっている。
【０００５】
空調室１２０には、空気を加熱する加熱器１２１と、空気を冷却する冷却器１２２と、加熱器１２１や冷却器１２２で熱が付加された調和空気をワーク収容室１１０へ送風する送風機１２３とが設けられている。
【０００６】
このような恒温槽１００の使用方法は以下の通りである。
【０００７】
まず、圧力センサなどの温度校正の対象となるワークＷを、ワーク収容室１１０内の平板１１１上に配置する。次に、ワーク収容室１１０内部の温度がワークＷの温度校正を行う為に予め定められた温度となるよう、加熱機１２１または冷却器１２２および送風機１２３を駆動させる。このようにして空調室１２０で熱が付加された調温空気は、ワーク収容室１１０の風上側の平板１１１からワーク収容室１１０に入り、ワーク収容室１１０内部を通って風下側の平板１１１から空調室１２０に入り、加熱機１２１や冷却器１２２により熱が付加されてワーク収容室１１０に再度流入することとなる。
このようにして、ワーク収容室１１０内部に空調室１２０で熱が付加された調温空気が供給されることにより、ワーク収容室１１０内部がワークＷの温度校正を行うための所定の温度になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−２３１９４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、恒温槽内といっても、全てのワークが同時に所定の温度に安定する訳ではなく、各圧力センサの位置によって安定する時間までの時間が異なってしまう。例えば、空調室１２０に距離が近いワーク収容室１１０の風上側は、早く所定の温度に安定する一方、空調室１２０まで距離が遠いワーク収容室１１０の風下側は、所定の温度に安定するまでに時間がかかってしまう。
このため、従来では、所定の温度に安定するまでに最も時間がかかるワークの温度が安定するまで待ってから各ワークの温度校正を行うようにしていたので、作業の開始が遅くなり、結果として、全てのワークの校正が完了するのに時間がかかっていた。
【００１０】
そこで、本発明は、ワークの校正に要する時間を短縮できる恒温槽を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述したような課題を解決するために、本発明に係る恒温槽は、複数のワークを収容し、調温空気の入口および出口を備えたワーク収容室と、所定温度に調整された調温空気を生成してワーク収容室の入口に送出する調温空気生成部とを備えた恒温槽であって、調温空気の流通方向に直交する第１の方向におけるワーク収容室の調温空気の通過断面積をワーク収容室の風上側に対して風下側を小さくする調整機構を備えることを特徴とするものである。
【００１２】
上記恒温槽において、ワーク収容室は、流通方向に互いに平行に配設されたメッシュ状の複数の平板を備え、調整機構は、隣り合う平板の間に設けられ、第１の方向に延在する複数の仕切板を備え、仕切板の面積は、ワーク収容室内の風下側に向かって大きくなるようにしてもよい。
ここで、切板は、一端側がワーク収容室内部に、他端側がワーク収容室外部に配置され、第１の方向に移動可能に支持されており、調整機構は、各仕切板の他端を互いに連結する連結部材をさらに備えるようにしてもよい。
【００１３】
また、上記恒温槽において、ワーク収容室は、流通方向に互いに平行に配設されたメッシュ状の複数の平板を備え、調整機構は、隣り合う平板の間に設けられ、第１の方向に延在し、一端側がワーク収容室内部に、他端側がワーク収容室外部に配置され、第１の方向に移動可能に支持された複数の仕切板と、第１の方向において、風上側の仕切板の一端が風下側の仕切り板の一端よりもワーク収容室内部側に移動することを規制する規制部材とを備えるようにしてもよい。
ここで、規制部材は、風上側の仕切板に設けられ、対向する風下側の仕切り板に向かって突出した第１の突起と、風下側の仕切板に設けられ、対向する風上側の仕切板に向かって突出し、当該仕切板に設けられた第１の突起と第１の方向に当接可能とされ、当該第１の突起よりもワーク収容室内部側に位置し、仕切板に対する第１の方向における相対的な位置が当該第１の突起よりもワーク収容室外部側である第２の突起とから構成されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、調温空気の流通方向に直交する第１の方向におけるワーク収容室の調温空気の通過断面積をワーク収容室の風上側に対して風下側を小さくする調整機構を設けることにより、ワーク収容室の風下側に向かうにつれて調温空気の流速が早くなり、その風下側の温度が所定の温度に達するまでの時間を短くなるためにワーク収容室内部の温度が一定になるまでの時間も短縮されるので、ワークの校正作業の開始時間も早くなり、結果として、ワークの校正に要する時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る恒温槽の構成を模式的に示す図である。
【図２】図２は、調整機構の要部平面図である。
【図３】図３は、調整機構の変形例を示す断面図である。
【図４】図４は、図３の調整機構の動作を説明する図である。
【図５】図５は、従来の恒温槽の構成を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１７】
図１に示すように、本実施の形態に係る恒温槽１は、断熱材１１に囲まれた筐体からなる。このような恒温槽１の内部には、検査対象となるワークが配置されるワーク収容室２と、所定の温度の空気(以下、「調温空気」という。）を生成してワーク収容室２へ送風する空調室３とが設けられている。
【００１８】
ワーク収容室２は、平板２１が互いに平行に複数配置されたラックからなり、ワーク収容室２内を通過する調温空気の流速を調整する調整機構２２が設けられている。
【００１９】
平板２１は、平面視略矩形のメッシュ状の板からなり、調温空気の流通方向に対して略垂直に配置されている。したがって、調温空気は、風上側となる一端側の平板２１から風下側となる他端側の平板側に向かって流通することとなる。また、各平板２１は、同等の平面形状を有している。
本実施の形態において、平板２１は、４枚設けられており、最も風上側の平板２１を除く３枚の平板２１上にワークＷが配置される。なお、平板２１の数量は、これに限定されず、適宜自由に設定できることは言うまでもない。
【００２０】
調整機構２２は、板状に形成され、隣り合う平板２１間に設けられ、調温空気の流通方向に直交する方向(以下、「第１の方向」という。）に延在する複数の仕切板２２１と、これらの仕切板２２１の他端を連結する連結部材２２２と、一端が連結部材２２２に固定された操作部材２２３とから構成される。
【００２１】
本実施の形態において、仕切り板２２１は、風上側から順に３枚の仕切板２２１ａ〜２２１ｃが設けられており、これらは風下側に向かって順に面積が大きく形成されている。
また、仕切板２２１は、図２に示すように、平面視略矩形の板状に形成され、一端側がワーク収容室２内部に配置される一方、他端側がワーク収容室２外部に配置されており、第１の方向に沿って移動可能とされている。したがって、ユーザが操作部材２２３を第１の方向に移動させると、この移動に伴って各仕切板２２１も第１の方向に移動することとなる。
さらに、各仕切板２２１は、配設された平板２１間の空間において、風上側の平板２１近傍に配設されている。これにより、最も風上側の平板２１を除く３枚の平板２１上にワークＷを配置することが可能となる。
なお、仕切板２２１の数量は、本実施の形態のように３枚に限定されず、平板２１の数量などに応じて適宜自由に設定することができる。
【００２２】
空調室３には、空気を加熱する加熱器３１と、空気を冷却する冷却器３２と、加熱器３１や冷却器３２で熱が付加された調和空気をワーク収容室２へ送風する送風機３３とが設けられている。
【００２３】
このような恒温槽１の使用方法は以下の通りである。
まず、校正対象となるワークＷを、ワーク収容室２内の平板２１上に配置する。次に、ワーク収容室２内部の温度がワークＷの温度校正を行う為に予め定められた温度となるよう、加熱機３１または冷却器３２および送風機３３を駆動させる。これにより、空調室３で生成された調温空気は、ワーク収容室２の風上側の平板２１からワーク収容室２に入り、ワーク収容室２内部を通って風下側の平板２１から空調室３に入り、再度加熱機３１や冷却器３２により熱が付加されて収容室２に再度流入することとなる。
【００２４】
このとき、仕切板２２１ａ〜２２１ｃは、風下側に向かって順に面積が大きく形成されている。これにより、仕切板２２１ａ〜２２１ｃが設けられた位置における、調温空気が通過する断面積の大きさは、風下に向かって小さくなるので、調温空気の流速は、ワーク収容室２内において、風下に向かうほど早くなる。従来では、ワーク収容室内における流通方向の断面積が一定であったので、ワーク収容室の風下側は、所定の温度に安定するまでに時間がかかっていた。しかしながら、本実施の形態によれば、ワーク収容室２内の風下側を流通する調温空気の流速が早いので、その風下側を所定の温度に安定するまでの時間を短縮することができる。
【００２５】
また、仕切板２２１ａ〜２２１ｃは、第１の方向に移動可能とされている。これにより、ワーク収容室２内部を流れる調温空気の流速を調整することができる。
【００２６】
以上説明したように、本実施の形態によれば、調温空気の流通方向に直交する第１の方向におけるワーク収容室２の調温空気の通過断面積をワーク収容室２の風上側に対して風下側を小さくする調整機構２２を設けることにより、ワーク収容室２の風下側に向かうにつれて調温空気の流速が早くなるため、その風下側の温度が所定の温度に達するまでの時間を短くなり、ワークＷの校正作業の開始時間を早くできるので、結果として、内部の温度が一定になるまでの時間を短縮することができる。
【００２７】
なお、本実施の形態において、仕切板２２１ａ〜２２１ｃは連結部材２２２に固定される場合を例に説明したが、ワーク収容室２の筐体に固定されるようにしてもよい。このようにしても、ワーク収容室２の風下側に向かうにつれて調温空気の流速が早くすることができる。
【００２８】
次に、調整機構の変形例について、図３，図４を参照して説明する。
【００２９】
図３，図４に示す調整機構２３は、板状に形成され、隣り合う平板２１間に設けられ、調温空気の流通方向に直交する第１の方向に延在する複数の仕切板２３１ａ〜２３１ｃを備えている。
また、仕切板２３１ａ〜２３１ｃは、平面視略矩形の板状に形成され、一端側がワーク収容室２内部に配置される一方、他端側がワーク収容室２外部に配置されており、それぞれが独立して第１の方向に沿って移動可能とされている。したがって、ユーザが仕切板２３１ａ〜２３１ｃの他端を第１の方向に移動させることにより、この仕切板２３１ａ〜２３１ｃも第１の方向に移動することとなる。
さらに、仕切板２３１ａ〜２３１ｃは、配設された平板２１間の空間において、風上側の平板２１近傍に配設されている。これにより、最も風上側の平板２１を除く３枚の平板２１上にワークＷを配置することが可能となる。
なお、仕切板２２１の数量は、本実施の形態のように３枚に限定されず、平板２１の数量などに応じて適宜自由に設定することができる。
【００３０】
また、仕切板２３１ａと仕切板２３１ｂの間には、掛合機構２４ａが形成されている。この掛合機構２４ａは、仕切板２３１ａの風下側の面から仕切板２３１ｂ近傍まで突出した第１の部材２４１ａと、仕切板２３１ｂの風上側の面に仕切板２３１ａに向かって突出した第２の部材２４２ａとを備え、第１の部材２４１ａは、第２の部材２４２ａよりもそれぞれの他端側に配置されている。
同様に、仕切板２３１ｂと仕切板２３１ｃの間にも、掛合機構２４ｂが形成されている。この掛合機構２４ｂは、仕切板２３１ｂの風下側の面から仕切板２３１ｃ近傍まで突出した第１の部材２４１ｂと、仕切板２３１ｃの風上側の面に仕切板２３１ｂに向かって突出した第２の部材２４２ｂとを備え、第１の部材２４１ｂは、第２の部材２４２ｂよりもそれぞれの他端側、すなわち、ワーク収容室２の外部側に配置されている。
【００３１】
このような掛合機構２４ａ，２４ｂを設けることにより、仕切板２３１ａ〜２３１ｃの移動可能範囲は以下の通りとなる。
【００３２】
仕切板２３１ａは、他端側については、図３に示すように、第１の部材２４１ａがワーク収容室２の隔壁に当接するまで移動することができる。
一方、一端側については、仕切板２３１ｂが固定された状態のときには、第１の部材２４１ａが仕切板２３１ｂに設けられた第２の部材２４２ａに当接するまで移動することができる。仕切板２３１ｂが固定されていない移動可能な状態の時には、第１の部材２４１ａが第２の部材２４２ａを押しながら、仕切板２３１ｂとともにさらに一端側に移動することができる。
【００３３】
仕切板２３１ｂは、他端側については、仕切板２３１ａが固定されているときには、第２の部材２４２ａが仕切板２３１ａに設けられた第１の部材２４１ａに当接するまで移動することができる。仕切板２３１ａが固定されていないときには、第２の部材２４２ａが第１の部材２４１ａを押しながら、仕切板２３１ａとともにさらに第１の部材２４１ａがワーク収容室２の隔壁に当接するまで移動することができる。
一方、一端側については、仕切板２３１ｃが固定された状態のときには、第１の部材２４１ｂが仕切板２３１ｃに設けられた第２の部材２４２ｂに当接するまで移動することができる。仕切板２３１ｃが固定されていない移動可能な状態の時には、第１の部材２４１ｂが第２の部材２４２ｂを押しながら、仕切板２３１ｃとともにさらに一端側に移動することができる。
【００３４】
仕切板２３１ｃは、他端側については、仕切板２３１ｂが固定されているときには、第２の部材２４２ｂが仕切板２３１ｂに設けられた第１の部材２４１ｂに当接するまで移動することができる。仕切板２３１ｂが固定されていないが仕切板２３１ａが固定されているときには、第２の部材２４２ｂが第１の部材２４１ｂを押しながら、仕切板２３１ｂの第２の部材２４２ａが仕切板２３１ａの第１の部材２４１ａに当接するまで移動することができる。仕切板２３１ａ，２３１ｂが固定されていないときには、第２の部材２４２ｂが第１の部材２４１ｂを押しながら、この第１の部材２４１ｂが設けられた仕切板２３１ｂおよびこの仕切板２３１ｂの第２の部材２４２ａが当接した第１の部材２４１ａが設けられた仕切板２３１ａとともに、仕切板２３１ｂがワーク収容室２の隔壁に当接するまで移動することができる。
一方、一端側については、自由に移動することができる。
【００３５】
このように、掛合機構２４ａ，２４ｂを設けることにより、仕切り板２３１ａ〜２３１ｃは、相対的に風下側に向かって順に面積が大きくなるように配置される。例えば、第１の方向に互いが最も近づいた状態は、図３に示すような掛合機構２４ａ，２４ｂそれぞれが掛合した状態、すなわち、第１の部材２４１ａと第２の部材２４２ａ、および、第１の部材２４１ｂと第２の部材２４２ｂが互いに当接した状態であり、これよりも互いが近づくことはない。したがって、調温空気が通過可能な断面積も、風下側に向かって順に小さくなることが維持される。よって、ワーク収容室２の風下側に向かうにつれて調温空気の流速が早くなり、その風下側の温度が所定の温度に達するまでの時間を短くなるためにワーク収容室２内部の温度が一定になるまでの時間も短縮される。これにより、ワークの校正作業の開始時間も早くできるので、結果として、ワークの校正に要する時間を短縮することができる。
【００３６】
また、掛合機構２４ａ，２４ｂを設けることにより、調温空気が通過可能な断面積が風下側に向かって順に小さくなるという関係を維持しつつ、各仕切板２３１ａ〜２３１ｃの位置を調整することができる。これにより、ワーク収容室２内部の温度をより緻密に制御することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、圧力センサなどのワークの温度特性の校正に用いられる恒温槽に適用することができる。
【符号の説明】
【００３８】
１…恒温槽、２…ワーク収容室、３…空調室、１１…断熱材、２１…平板、２２，２３…調整機構、２４ａ，２４ｂ…掛合機構、３１…加熱器、３２…冷却器、３３…送風機、２２１，２２１ａ〜２２１ｃ，２４１ａ，２４１ｂ…第１の部材、２４２ａ，２４２ｂ…第２の部材、２３１ａ〜２３１ｃ…仕切板、２２２…連結部材、２２３…操作部材、２…。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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