(57)【要約】      （修正有）【課題】不適切な結束位置で複数のチューブが結束されてしまうと、チューブに撓みや張りが生じ、撓んだチューブが可動部に巻き込まれたり、張ったチューブが結束バンドや装置内部構造と擦れて損傷してしまう恐れがある。そこで、適切な結束位置で複数本のチューブを結束可能とするチューブを提供する。【解決手段】流体が流れるチューブ１１であって、チューブ１１上に印字され他のチューブと共に結束される結束位置を表示する結束マークを備えたチューブ１１とする。また、好ましくは、結束マーク１３は、左右及び／または上下で非対称な形状をとり、結束マーク１３は、チューブ１１を他のチューブと共に結束する際にチューブ１１の向きを識別可能とする。【選択図】図３
2014031869.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れるチューブであって、
該チューブ上に印字され他のチューブと共に結束される結束位置を表示する結束マークを備えたチューブ。
【請求項２】
前記結束マークは、左右及び／または上下で非対称な形状をとり、
該結束マークは、前記チューブを他のチューブと共に結束する際に該チューブの向きを識別可能とする、
ことを特徴とする請求項１に記載のチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述のようなチューブは、所要箇所において結束バンドを用いた結束を行うことで、装置内において数多く張り巡らされた多量のチューブを整理するようにしている。
【０００９】
ところが、不適切な結束位置で複数のチューブが結束されてしまうと、チューブに撓みや張りが生じ、撓んだチューブが可動部に巻き込まれたり、張ったチューブが結束バンドや装置内部構造と擦れて損傷してしまう恐れがある。また、撓みや張りによって、流体の流れが阻害される恐れもある。
【００１０】
このような不具合は、使用されるチューブの本数が多ければ多いほどより顕著に発生するものであり、解決策が求められていた。
【００１１】
加えて、適切な位置での結束バンドによる結束や、チューブの引き回し方は作業者の習熟度によってもばらつきが生じることが懸念され、仮に、習熟度の低い作業者による作業では、不具合が発生する確率が高まることになる。
【００１２】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、適切な結束位置で複数本のチューブを結束可能とするチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１に記載の発明によると、流体が流れるチューブであって、チューブ上に印字され他のチューブと共に結束される結束位置を表示する結束マークを備えたチューブが提供される。
【００１４】
請求項２に記載の発明によると、結束マークは、左右及び／または上下で非対称な形状をとり、結束マークは、チューブを他のチューブと共に結束する際にチューブの向きを識別可能とする請求項１に記載のチューブが提供される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のチューブは、他のチューブとの結束位置を示す結束マークが印字されているため、作業者によらず適切な位置での結束が可能となる。
【００１６】
従って、適切でない結束位置でチューブを結束することによる配管の損傷が防止される。また、撓みや張りによって、流体の流れが阻害される不具合を防止できる。
【００１７】
また、好ましくは、結束マークが左右及び／または上下で非対称の形状をとることで、結束位置がチューブの伸長方向中央でない場合においても、結束位置におけるチューブの向き（左右（長さ方向の向き））が判別可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。
【図３】（Ａ）は本発明のチューブの原理を説明する図である。（Ｂ）は複数本のチューブの結束について説明する図である。
【図４】（Ａ）は結束マークの一例について示す図。（Ｂ）は結束マークの一例について示す図。（Ｃ）は結束マークの一例について示す図。（Ｄ）は結束マークの一例について示す図。
【図５】切削装置の配管に利用した実施形態を示す図である。
【図６】結束の具体例について示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００２０】
図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。
【００２１】
ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００２２】
ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００２３】
仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００２４】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２５】
アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２６】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２７】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００２８】
２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。
【００２９】
次に本発明において特徴的な構成であるチューブの実施形態について説明する。図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、チューブ１１は、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ１１上には結束位置を表示する結束マーク１３が印字されている。
【００３０】
図３（Ａ）は、結束マーク１３として、チューブ１１の長さ方向と直交する方向を指す矢印１５を用いた実施形態を示している。
【００３１】
そして、図３（Ｂ）に示すように、各チューブ１１ａ，１１ｂ，１１ｃについて、それぞれ結束マーク１３ａ，１３ｂ，１３ｃが印字されており、これら結束マーク１３ａ，１３ｂ，１３ｃの位置が一致する箇所が、複数本のチューブ１１ａ，１１ｂ，１１ｃが結束されるべき結束位置１７とされる。
【００３２】
ここで、チューブ１１ａは、予め設計された長さにカットされ、カットされたチューブ１１ａの長さ方向の所定の位置に結束マーク１３ａが印字される。他のチューブ１１ｂ，１１ｃについても同様である。
【００３３】
結束マーク１３ａが印字されるべきチューブ１１ａの長さ方向の位置は、例えば、実際の装置において各チューブを組み付けるとともに、実際に結束バンド２５を用いて適正な状態となるように結束するとともに、その結束された位置を最適な結束位置１７としてマーキングし、その後、チューブを取り外してマーキングされた結束位置１７のチューブ端部からの距離を実測することによって取得することができる。
【００３４】
このほか、例えば、コンピュータを用いたシミュレーションによって加工装置のモデルに対してチューブを張り巡らすとともに、最適な結束位置をシミュレーションすることによって、結束位置を取得することとしてもよい。
【００３５】
なお、チューブは柔軟性を有し、装置内において張り巡らされることになるため、図３（Ｂ）に示すように、実際にチューブを組み付けた場合には、各チューブ１１ａ，１１ｂ，１１ｃにおいて、その各端部から結束マーク１３ａ，１３ｂ，１３ｃまでの距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３は異なることになる。
【００３６】
以上のように、本実施形態では、図３（Ａ）に示すように、流体が流れるチューブ１１であって、チューブ１１上に印字され他のチューブと共に結束される結束位置１７を表示する結束マーク１３を備えたチューブが構成される。
【００３７】
そして、図３（Ｂ）に示すように、結束マーク１３ａ，１３ｂ，１３ｃが印字された各チューブ１１ａ，１１ｂ，１１ｃを用いることで必要な配管接続が行われる。
【００３８】
まず、各チューブ１１ａ，１１ｂ，１１ｃの両端をそれぞれ所定の接続口２１ａ，２１ａ等に接続した状態とする。この状態で、結束マーク１３ａ，１３ｂ，１３ｃはおおよそ近傍の位置に配置されることになる。
【００３９】
そして、結束マーク１３ａ，１３ｂ，１３ｃの位置を一致させるように各チューブ１１ａ，１１ｂ，１１ｃをたぐり寄せるとともに、結束マーク１３ａ，１３ｂ，１３ｃを一致させた結束位置１７において、結束バンド２５を用いた結束がなされる。
【００４０】
このように結束位置１７で結束バンド２５にて結束されることで、適切な位置で複数本のチューブが結束されることになり、不適切な位置で結束されることによる配管の損傷が防止される。
【００４１】
また、適切な位置で結束されることにより、撓みや張りの発生に伴って流体の流れが阻害される不具合を防止できる。
【００４２】
さらに、図３（Ｂ）に示すように、結束マーク１３ａは、上下で非対称な形状をとり、結束マーク１３ａは、チューブ１１ａを他のチューブと共に結束する際にチューブ１１ａの向きを識別可能とすることが好ましい。
【００４３】
これにより、結束位置１７がチューブ１１ａの伸長方向（長さ方向）中央でない場合においても、結束位置１７におけるチューブの向き（図３（Ａ）において左右方向（長さ方向））が判別可能となる。
【００４４】
具体的には、例えば、図３（Ｂ）においてチューブ１１ａを逆方向で接続してしまった場合には、チューブ１１ａの結束マーク１３ａのみ下向きとなるため、チューブ１１ａの接続の方向が誤りであることが確認できる。
【００４５】
このような場合には、チューブ１１ａの接続をやり直し、結束マーク１３ａで示される向きを、他の二本のチューブ１１ｂ，１１ｃの結束マーク１３ｂ，１３ｃとの関係と一致させることで、適切な結束位置１７での結束を行うことが可能となる。
【００４６】
なお、正逆方向を判別するために、例えば、図３（Ｂ）において、矢印が上向きとなる場合が正方向であることが予め基準として定義されることが好ましい。このような基準により、図３（Ａ）のように、例えば、１本のチューブ１１みが用いられる場合であっても、接続の方向の確認が可能となり、また、図３（Ｂ）の例において、全てのチューブの方向を逆方向にしてしまうといった不具合を防止できる。
【００４７】
さらに、結束マーク１３ａについては、図３（Ａ）の矢印のように、上下（チューブの長さ方向と直交する方向）で非対称な形状をとるほか、左右（チューブの長さ方向）で非対称な形状をとることとしてもよい。
【００４８】
例えば、図４（Ａ）の逆Ｔ字状（左右線から上下線を立ち上げた形状）の結束マーク１３Ａでは、上下で非対称の形状とされる。図４（Ｂ）のＬ字状（上下線の下端から横線を伸ばした形状）の結束マーク１３Ｂでは、左右で非対称の形状とされる。図４（Ｃ）の○×表示（○と×を上下に配置した形状）の結束マーク１３Ｃでは、上下で非対称の形状とされる。図４（Ｄ）の文字「Ａ」表示の結束マーク１３Ｄでは、上下及び左右で非対称の形状とされる。
【００４９】
このように、結束マークとしては、多様な実施形態が採用され得るものである。
【００５０】
なお、結束位置１７を指し示すことができるように、左右方向（チューブの長さ方向）において、特定の位置の指標となる基点が形成されることが好ましい。図４（Ａ）の例では上端部が基点ＫＡとなり、図４（Ｂ）の例では上端部が基点ＫＢとなり、図４（Ｃ）の例では×の交点が基点ＫＣとなり、図４（Ｄ）の例ではＡの頂点が基点ＫＤとなる。
【００５１】
次に、図５を参照して、本発明のチューブが使用され得る切削装置２の配管構成について説明する。エア源４０からは高圧エアがチューブ３１を介してクリーンユニット４６に供給される。
【００５２】
クリーンユニット４６は複数枚のフィルタを有しており、エア源４０から供給された高圧エアを洗浄化する。クリーンユニット４６からはチューブ３３を介してチャックテーブル１８へ吸引リリース時の吹き上げ用エアが供給され、チューブ３５を介してエジェクタ等の負圧発生手段５２に高圧エアが供給され、チューブ３７を介してスピンドルユニット３０にエアベアリング用のエアが供給される。
【００５３】
クリーンユニット４６からは更に、チューブ３９を介して切削ブレード２８をカバーするホイールカバー３２にホイールカバー開閉用エアが供給され、チューブ４１を介してエアを供給してエアカーテン３４を形成し、チューブ４３を介して顕微鏡３８用の分岐継ぎ手５６にエアが供給される。
【００５４】
負圧発生手段５２は、オリフィスを通過する高圧流体を利用して負圧を発生させるものであり、チューブ４５を介してチャックテーブル１８にチャックテーブルバキューム用負圧を供給し、チューブ４７を介してスピンナ洗浄装置２７にスピンナテーブルバキューム用負圧を供給する。
【００５５】
分岐継ぎ手５６からはチューブ４９を介して顕微鏡３８にカバー開閉用エアが供給され、チューブ５１を介してマクロ顕微鏡用ブローエアが供給され、チューブ５３を介してミクロ顕微鏡用ブローエアが供給される。
【００５６】
チャックテーブル１８からの排出エアはチューブ５５を介してダクト６０に排出され、スピンナ洗浄装置２７からの排出エアはチューブ５７を介してダクト６０に排出され、スピンドル３０からの排出エアはチューブ５９を介してダクト６０に排出される。
【００５７】
以上のように、切削装置２の各構成部品で使用されたエアは全てダクト６０に排出される。なお、エアを供給するチューブには、例えば無色透明なチューブが使用される。
【００５８】
ホイールカバー３２からの排出エアはチューブ６１を介してダクト６０に排出され、エアカーテン３４からの排出エアはチューブ６３を介してダクト６０に排出され。顕微鏡３８からの排出エアはチューブ６５を介してダクト６０に排出される。
【００５９】
冷却液源４２からは例えば市水等の冷却液がチューブ６７を介してクリーンユニット４８に供給される。クリーンユニット４８は複数枚のフィルタを含んでおり、これらのフィルタで冷却液を濾過する。
【００６０】
クリーンユニット４８からは、チューブ６９を介してスピンドル２６を回転可能に支持するスピンドルユニット３０に冷却液が供給される。スピンドルユニット３０から排出される冷却液は、チューブ７１を介してドレイン５８に排出される。チューブ６７，６９，７１は液体を供給するものであり、エアを供給するものと区別するために、例えば水色に着色されたものが使用されることが好ましい。
【００６１】
切削・洗浄液源４４からはチューブ７３を介して例えば純水等の液体がクリーンユニット５０に供給される。クリーンユニット５０は複数枚のフィルタを含んでいる。クリーンユニット５０からは、チューブ７５を介してスピンナ洗浄装置２７に洗浄液が供給され、チューブ７７を介してホイールカバー用分岐継ぎ手５４に切削液が供給され、チューブ７９を介して供給された液体がウォーターカーテン３６を形成する。
【００６２】
分岐継ぎ手５４からはチューブ８３を介してホイールカバー３２にシャワーノズル用切削液が供給され、チューブ８５を介してブレード冷却用切削液が供給され、チューブ８７を介してシャワー用切削液が供給される。
【００６３】
スピンナ洗浄装置２７から排出される洗浄液はチューブ８１を介してドレイン５８に排出され、ホイールカバー３２から排出される切削液はチューブ８９を介してドレイン５８に排出され、ウォーターカーテン３６を形成した液体はチューブ９１を介してドレイン５８に排出される。
【００６４】
チューブ７３乃至チューブ９１は、冷却液、切削液等の液体を供給したり、使用済みの液体を排出するために使用されるものであり、エアを供給するものと区別するために、例えば水色に着色されたものが使用されることが好ましい。
【００６５】
以上に説明したように、切削装置２の例では、数多くのチューブが使用されるものとなっており、これらを適切な位置で整理する必要が生じることになる。
【００６６】
図６は、一例としてクリーンユニット４６に接続されるチューブについて結束バンド２５を用いて装置の柱２５に括り付けた例を示すものである。
【００６７】
この例においては、各チューブに表示された結束マーク１３の位置を一致させることで適切な結束位置１７において結束バンド２５による結束が実現されることが示されている。
【００６８】
結束された装置の柱２５と、クリーンユニット４６との間の各チューブにおいても、無駄に撓むことや、長さ不足によって引っ張られることも無く、適切な状態で結束がされることとなっている。
【００６９】
そして、このような最適な状態の結束は、結束マーク１３に基づいて結束を行うだけで容易に行えることから、作業者の習熟度によるばらつきを抑えることができる。このことから、チューブの引き回し作業について、習熟度の低い作業者によっても、適切にチューブの整理を行うことが可能となる。
【００７０】
なお、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
【符号の説明】
【００７１】
１１    チューブ
１３    結束マーク
１７    結束位置
２５    結束バンド
【図１】
2014031869.tif 000003
【図２】
2014031869.tif 000004
【図３】
2014031869.tif 000005
【図４】
2014031869.tif 000006
【図５】
2014031869.tif 000007
【図６】
2014031869.tif 000008