(57)【要約】【課題】一時的な電源低下や電源不良時においても、システム全体の運転維持および継続ができるファンフィルターユニット制御システムを提供する。【解決手段】室内に空気を送る機器１を順送りに複数台連ねて連結して、制御を行う中央監視装置２と、中央監視装置２からの回転数指示信号を受信して回転数指示を認識する回転数受信手段１３と、異常時の指示回転数を記憶している記憶部２１を設けて、異常時の指示回転数と回転数受信手段１３の認識した異常時の指示回転数のいずれかひとつを選択し、モータ８を駆動させるモータ動作決定手段１４と、機器１の力率改善手段１８の出力電圧を検出する電圧検出手段１９と、電圧検出手段１９が検出した電圧から電源異常時を判断する電圧判断部２０を設け、モータ動作決定手段１４は、電圧判断部２０が異常時を判断したときに、記憶部２１の異常時の指示回転数で、モータ８の動作を決定し、運転するものである。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
室内に空気を送るファンフィルターユニット（以下、機器）と、この機器を順送りに複数台連ねて連結して、その制御を行う中央監視装置とから構成し、前記中央監視装置には、各機器の１台毎へ回転数指示信号の送信が可能な回転数送信手段と、前記機器の実回転数信号を認識する実回転数受信手段と、前記回転数送信手段と前記実回転数受信手段の回転数差を比較可能な回転数比較手段と、前記回転数比較手段の出力にアラーム発報手段を有し、前記機器は、上面中央に空気吸込み口と、下面に吹出口を備えた箱型のチャンバーであって、このチャンバーには、ファンとインバータ電源によって電源の供給を受け動作するモータから構成したファンモータユニットと、前記吹出口に配置したフィルターと、前記モータを駆動して、回転数一定制御を行う制御部を有し、前記制御部は、前記中央監視装置からの回転数指示信号を受信して、回転数指示を認識する回転数受信手段と、異常時の指示回転数を記憶している記憶部を設けて、この異常時の指示回転数と前記回転数受信手段が認識した回転数指示のいずれかひとつを選択し、前記モータを駆動させるモータ動作決定手段と、前記モータ動作決定手段で決定したモータ駆動回転数を前記中央監視装置に実回転数信号として送信する実回転数送信手段と、前記インバータ電源側の力率改善及び高調波低減を抑制する力率改善手段と、前記力率改善手段の出力電圧を検出する電圧検出手段と、前記電圧検出手段が検出した電圧から電源異常時を判断する電圧判断部を設けた構成とし、前記モータ動作決定手段は、電圧判断手段が異常時を判断したときに、前記記憶部の異常時の指示回転数で、モータの動作を決定し、運転することを特徴とし、前記中央監視装置は、前記回転数送信手段と前記実回転数受信手段の回転数差が所定の回転数に達したときにアラーム発報手段によって警報を発することを特徴とするファンフィルターユニット制御システム。
【請求項２】
電圧判断部は、電圧検出手段が検出した電圧から複数に段階に分けて電源異常時を判断する電圧判断手段であって、記憶部は、前記複数の電源異常時に対応した指示回転数を複数記憶する記憶手段であって、モータ動作決定手段は、前記電源異常に対応して一つの指示回転数を抽出する請求項１記載のファンフィルターユニット制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主にクリーンルーム内に設置される半導体デバイスや液晶等を製造する製造装置、或いはクリーンブースなど、清浄空間を必要とする箇所に設置される複数台のファンフィルターユニットを同時に制御するファンフィルターユニット制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の複数台設置されたファンフィルターユニットを制御する方法を説明する。
【０００３】
複数台のファンフィルターユニットを制御するゾーンコントローラは、クリーンルーム全体を所定数のゾーンに区分し、このゾーン毎に１台備えられている。
【０００４】
ゾーンコントローラ同士は、上位のネットワークに接続されている。
【０００５】
このネットワーク上に中央監視制御部を接続し、この中央監視制御部から各ゾーンコントローラに対し、ファンフィルターユニットの制御指令（ファンの発停など）を送るものである。
【０００６】
各ゾーンコントローラは、制御指令を受けて、ファンフィルターユニットへ制御指令を送信しているものである。
【０００７】
各ゾーンコントローラと中央監視制御部とをつないでいるネットワーク上では、各ゾーンコントローラから接続されたファンフィルターユニットの状態情報なども中央監視制御部へ送信する構成となっている（特許文献１参照）。
【０００８】
また、１系統の電源系に異常があってもクリーンルームの清浄度が著しく低下しないように、電源系統を分けて製品の配置を千鳥状もしくは市松状にすることで、平均的に分散配置することで、クリーンルーム全体をあるレベルの清浄度を維持する構成となっている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−２８７２６７号公報
【特許文献２】特開平６−１７４２７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
このような従来のファンフィルターユニット制御システムでは、ファンフィルターユニット（以下機器と呼ぶ）の動作を安定させるために機器の台数毎に電源設備を用意することが望ましいが、その数が多いことから、準備することは困難であり、現実的でなかった。
【００１１】
そこで、安価な方法で実現するために、機器のインバータ電源に力率改善及び高調波低減を抑制する直流リアクトル（力率改善手段）を搭載していた。
【００１２】
そのため規定の風量が電圧範囲を超えた低電圧領域で、回転数一定制御を行うと負荷電流が著しく増加して、前記直流リアクトルの電圧降下によって、運転を継続することができず、運転の停止をせざるをえなかったという課題があった。
【００１３】
そこで、本発明は従来のこのような課題を解決するものであり、一時的な電源低下や電源不良時においても、システム全体の運転維持および継続ができるファンフィルターユニット制御システムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
そして、この目的を達成するために、本発明のファンフィルターユニットは、室内に空気を送るファンフィルターユニット（以下、機器）と、この機器を順送りに複数台連ねて連結して、その制御を行う中央監視装置とから構成し、前記中央監視装置には、各機器の１台毎へ回転数指示信号の送信が可能な回転数送信手段と、前記機器の実回転数信号を認識する実回転数受信手段と、前記回転数送信手段と前記実回転数受信手段の回転数差を比較可能な回転数比較手段と、前記回転数比較手段の出力にアラーム発報手段を有し、前記機器は、上面中央に空気吸込み口と、下面に吹出口を備えた箱型のチャンバーであって、このチャンバーには、ファンとインバータ電源によって電源の供給を受け動作するモータから構成したファンモータユニットと、前記吹出口に配置したフィルターと、前記モータを駆動して回転数一定制御を行う制御部を有し、前記制御部は、前記中央監視装置からの回転数指示信号を受信して回転数指示を認識する回転数受信手段と、電源異常時の指示回転数を記憶している記憶部を設けて、この異常時の指示回転数と前記回転数受信手段が認識した回転数指示のいずれかひとつを選択し前記モータを駆動させるモータ動作決定手段と、前記モータ動作決定手段で決定したモータ駆動回転数を前記中央監視装置に実回転数信号として送信する実回転数送信手段と、前記インバータ電源側の力率改善及び高調波低減を抑制する力率改善手段と、前記力率改善手段の出力電圧を検出する電圧検出手段と、前記電圧検出手段が検出した電圧から電源異常時を判断する電圧判断部を設けた構成とし、前記モータ動作決定手段は、前記電圧判断部が異常時を判断したときに、前記記憶部の異常時の指示回転数で、モータの動作を決定し、運転することを特徴とし、前記中央監視装置は、前記回転数送信手段と前記実回転数受信手段の回転数差が所定の回転数に達したときにアラーム発報手段によって警報を発することを特徴とするものである。
【００１５】
これにより所期の目的を達成するものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のファンフィルターユニット制御システムによれば、室内に空気を送るファンフィルターユニット（以下、機器）と、この機器を順送りに複数台連ねて連結して、その制御を行う中央監視装置とから構成し、前記中央監視装置には、各機器の１台毎へ回転数指示信号の送信が可能な回転数送信手段と、前記機器の実回転数信号を認識する実回転数受信手段と、前記回転数送信手段と前記実回転数受信手段の回転数差を比較可能な回転数比較手段と、前記回転数比較手段の出力にアラーム発報手段を有し、前記機器は、上面中央に空気吸込み口と、下面に吹出口を備えた箱型のチャンバーであって、このチャンバーには、ファンとインバータ電源によって電源の供給を受け動作するモータから構成したファンモータユニットと、前記吹出口に配置したフィルターと、前記モータを駆動して回転数一定制御を行う制御部を有し、前記制御部は、前記中央監視装置からの回転数指示信号を受信して回転数を認識する回転数受信手段と、異常時の指示回転数を記憶している記憶部を設けて、この異常時の指示回転数と前記回転数受信手段が認識した異常時の指示回転数のいずれかひとつを選択し前記モータを駆動させるモータ動作決定手段と、前記モータ動作決定手段で決定したモータ駆動回転数を前記中央監視装置に実回転数信号として送信する実回転数送信手段と、前記インバータ電源側の力率改善及び高調波低減を抑制する力率改善手段と、前記力率改善手段の出力電圧を検出する電圧検出手段と、前記電圧検出手段が検出した電圧から電源異常時を判断する電圧判断部を設けた構成とし、前記モータ動作決定手段は、前記電圧判断部が異常時を判断したときに、前記記憶部の異常時の指示回転数で、モータの動作を決定し、運転することを特徴とし、前記中央監視装置は、前記回転数送信手段と前記実回転数受信手段の回転数差が所定の回転数に達したときにアラーム発報手段によって警報を発することを特徴とするものである。
【００１７】
これにより、電圧判断部は、電圧検出手段が検出した電圧から電源異常時を判断したときに、モータ動作決定手段は、中央監視装置からの回転数指示信号に対して記憶部が記憶している電源異常時の指示回転数を優先的に選択して、モータを駆動させることになる。
【００１８】
さらに、実回転数送信手段は、前記モータ動作決定手段で決定したモータ駆動回転数を中央監視装置に実回転数信号として送信することとなり、中央監視装置は、さきに回転数送信手段から送信した回転数指示信号と実回転数受信手段が受信した実回転数信号の回転数差が所定の回転数に達したときにアラーム発報手段によって警報を発することとなり、安価な方法で、クリーン度低下の抑制と機器の異常を認識できるという効果のあるファンフィルターユニット制御システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態１のシステム構成図
【図２】本発明の実施の形態１の機器の断面側面図
【図３】本発明の実施の形態１のシステムブロック図
【図４】本発明の実施の形態１の制御部の回転数指示データを示す図
【図５】本発明の実施の形態２のシステムブロック図
【図６】本発明の実施の形態２の制御部の回転数指示データを示す図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の請求項１記載の発明は、室内に空気を送るファンフィルターユニット（以下、機器）と、この機器を順送りに複数台連ねて連結して、その制御を行う中央監視装置とから構成し、前記中央監視装置には、各機器の１台毎へ回転数指示信号の送信が可能な回転数送信手段と、前記機器の実回転数信号を認識する実回転数受信手段と、前記回転数送信手段と前記実回転数受信手段の回転数差を比較可能な回転数比較手段と、前記回転数比較手段の出力にアラーム発報手段を有し、前記機器は、上面中央に空気吸込み口と、下面に吹出口を備えた箱型のチャンバーであって、このチャンバーには、ファンとインバータ電源によって電源の供給を受け動作するモータから構成したファンモータユニットと、前記吹出口に配置したフィルターと、前記モータを駆動して回転数一定制御を行う制御部を有し、前記制御部は、前記中央監視装置からの回転数指示信号を受信して回転数指示を認識する回転数受信手段と、源異常時の指示回転数を記憶している記憶部を設けて、この異常時の指示回転数と前記回転数受信手段が認識した回転数指示のいずれかひとつを選択し前記モータを駆動させるモータ動作決定手段と、前記モータ動作決定手段で決定したモータ駆動回転数を前記中央監視装置に実回転数信号として送信する実回転数送信手段と、前記インバータ電源側の力率改善及び高調波低減を抑制する力率改善手段と、前記力率改善手段の出力電圧を検出する電圧検出手段と、前記電圧検出手段が検出した電圧から電源異常時を判断する電圧判断部を設けた構成とし、前記モータ動作決定手段は、前記電圧判断部が異常時を判断したときに、前記記憶部段の異常時の指示回転数で、モータの動作を決定し、運転することを特徴とし、前記中央監視装置は、前記回転数送信手段と前記実回転数受信手段の回転数差が所定の回転数に達したときにアラーム発報手段によって警報を発することを特徴とするものである。
【００２１】
これにより、電圧判断部は、電圧検出手段が検出した電圧から電源異常時を判断したときに、モータ動作決定手段は、中央監視装置からの回転数指示信号に対して記憶部が記憶している電源異常時の指示回転数を優先的に選択して、モータを駆動させることになる。
【００２２】
このとき実回転数送信手段は、前記モータ動作決定手段で決定したモータ駆動回転数を中央監視装置に実回転数信号として送信することとなり、中央監視装置は、さきに回転数送信手段から送信した回転数指示信号と実回転数受信手段が受信した実回転数信号の回転数差が所定の回転数に達したときにアラーム発報手段によって警報を発することとなり、安価な方法で、クリーン度低下の抑制と機器の異常を認識できるという効果のあるファンフィルターユニット制御システムを提供することができる。
【００２３】
また、請求項２記載の発明は、電圧判断部は、電圧検出手段が検出した電圧から複数に段階に分けて電源異常時を判断する電圧判断手段であって、記憶部は、前記複数の電源異常時に対応した異常時の指示回転数を複数記憶する記憶手段であって、モータ動作決定手段は、前記電源異常に対応して一つの指示回転数を抽出する構成としたものである。
【００２４】
これにより、電圧判断部は、電圧検出手段が検出した電圧から複数に段階に分けて電源異常時を判断し、記憶部は、前記複数の電源異常時に対応した指示回転数を複数記憶しているので、モータ動作決定手段は、前記電源異常に対応して一つの指示回転数を選択することができ、安価な方法で、電源異常の段階に対応して細かな風量設定をすることで、クリーン度の維持と継続を行うことができる。
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２６】
（実施の形態１）
図１から図４に示すように、本実施の形態１におけるファンフィルターユニット制御システムのシステム構成図、断面側面図、ブロック図、回転数データを参照しながら説明する。
【００２７】
図１に示すように、室内に空気を送るファンフィルターユニット（以下、機器１）と、この機器１を順送りに複数台連ねて連結して、一筆書きのように電源線及び通信線が接続された構成で、その制御を行う中央監視装置２を有している。
【００２８】
また、図３に示すように、前記中央監視装置２には、各機器１の１台毎へ回転数指示信号の送信が可能な回転数送信手段１２と、前記機器１の実回転数信号を認識する実回転数受信手段１６と、前記回転数送信手段１２と前記実回転数受信手段１６の回転数差を比較可能な回転数比較手段１７と、前記回転数比較手段１７の出力に接続したアラーム発報手段２３を有している。
【００２９】
さらに、機器１は、図２に示すように、前記機器１の上面中央に空気吸込み口４と、下面に吹出口５を備えた箱型のチャンバー６である。
【００３０】
また、このチャンバー６には、ファン７とインバータ電源によって電源の供給を受け動作するモータ８から構成したファンモータユニット９と、前記吹出口５に配置したフィルター１０と、前記モータ８を駆動して回転数一定制御を行う制御部１１を有している。
【００３１】
さらに、前記制御部１１には、図３に示すように、前記中央監視装置２からの回転数指示信号を受信して回転数指示を認識する回転数受信手段１３と、異常時の指示回転数を記憶している記憶部２１を設けて、この異常時の指示回転数と前記回転数受信手段１３の認識した異常時の指示回転数のいずれかひとつを選択し前記モータ８を駆動させるモータ動作決定手段１４と、前記モータ動作決定手段１４で決定したモータ駆動回転数を前記中央監視装置に実回転数信号として送信する実回転数送信手段１５と、前記インバータ電源側の力率改善及び高調波低減を抑制する力率改善手段１８と、前記力率改善手段１８の出力電圧を検出する電圧検出手段１９と、前記電圧検出手段１９が検出した電圧から電源異常時を判断する電圧判断部２０を設けている。
【００３２】
前記モータ動作決定手段１４は、電圧判断部２０が異常時を判断したときに、前記記憶部２１の異常時の指示回転数で、モータ８の動作を決定し、運転するものである。
【００３３】
また、前記中央監視装置２は、前記回転数送信手段１２と前記実回転数受信手段１６の回転数差が所定の回転数に達したときにアラーム発報手段２３によって警報を発するものである。
【００３４】
上記構成により、まず、前記中央監視装置２は、複数台ある各機器１へ回転数送信手段１２にて各機器の運転時の回転数指示を送信する。
【００３５】
各機器１には、アドレスが付与され、アドレス番号を割り振られた機器１は、前記中央監視装置２から個別に回転数指示を受け取ることとなる。
【００３６】
また、前記機器１の前記制御部１１内にある前記回転数受信手段１３が、前記回転数送信手段１２の回転数指示を受信し、前記モータ動作決定手段１４に回転数指示を指示する。
【００３７】
前記制御部１１は、回転数一定制御を基本としており、負荷変動及び電源電圧変動時においても出来る限り、回転数指示を一定にする。
【００３８】
また、前記実回転数受信手段１６は、前記モータ８の現在回転数を前記機器１から送信したものである。
【００３９】
さらに、一般的な一例として、前記回転数比較手段１７は、前記回転数送信手段１２の回転数指示と前記実回転数受信手段１６の現在回転数の回転数差を把握しながら、回転数補正するフィードバック制御することで回転数一定制御を行っている。
【００４０】
ここで、前記機器１の電源電圧の仕様範囲内のＤＣＬ電圧であれば、前記電圧検出手段１９は、正常領域の電圧を検出できるため、前記電圧判断部２０は、モータ動作決定手段１４へ正常の信号を送信することができる。
【００４１】
モータ動作決定手段１４は、前記電圧判断部２０から正常信号を受信すると、前記回転数受信手段１３の回転数指示を選択して運転することとなる。
【００４２】
例えば、電圧判断部２０の判断で正常電圧領域であれば、図４のように前記回転数受信手段１３の回転数指示とおり、前記モータ８を回転させることができる。
【００４３】
また、モータ動作決定手段１４は、選択した回転数指示を前記実回転数送信手段１５に、現在回転数として送信する。
【００４４】
実回転数送信手段１５は、前記実回転数受信手段１６へ前記現在回転数を送信することとなるので、前記中央監視装置２が現在回転数を把握することができる。
【００４５】
ところで、機器１は、液晶パネル工場などで数１００台、数１０００台規模で設置されるため、電力消費量低減目的で各機器の力率改善が必須であることが多い。
【００４６】
そのため、制御部１１内に用いる前記力率改善手段１８は、本実施の形態のように電源整流回路後に用いられる直流リアクトル（ＤＣＬ）が主流である。
【００４７】
ＤＣＬは、前記モータ８の回転数変化による負荷電流の増減で、ＤＣＬ自身の電圧降下が発生することがある。
【００４８】
そこで、前記力率改善手段１８の出力電圧を検出する前記電圧検出手段１９は、インバータの整流回路後のＤＣＬの電圧を測定して回転数の調整を行っている。
【００４９】
このような、機器１の入力電源（ＡＣ電源）に低下があった場合、風量を確保するために回転数一定制御を行っているために負荷電流は増加する。そのためＤＣＬの電圧降下が顕著に発生する。
【００５０】
そこで、本実施の形態では、前記電圧判断部２０は、電圧検出手段１９の検出した力率改善手段１８の出力電圧を判断して、仕様範囲外の場合は、モータ動作決定手段１４へ異常の信号を送信することができる。
【００５１】
また、前記モータ動作決定手段１４は、前記電圧判断部２０から異常信号を受信すると、回転数一定制御を解除して、記憶部２１に予め記憶されていた異常時の回転数を選択して運転することができる。
【００５２】
例えば、電圧判断部２０の判断で異常電圧領域であれば、前記モータ動作決定手段１４に異常信号が送信され、前記モータ動作決定手段１４は、前記回転数受信手段１３の回転数指示を採用せず、前記記憶部２１の図４の異常時の指示回転数データで、回転する。
【００５３】
すなわち、機器１の仕様電圧範囲外であっても、前記機器１として、安全に動作できる電圧範囲では、前記機器１を停止することなく、低回転数で運転を継続することができる。
【００５４】
図４では、定格ＤＣ２８０Ｖの機器ではＤＣ２４０Ｖまでは正常電圧領域であって、ＤＣ２２０Ｖに低下しても、不安全の恐れはないため、記憶部２１に記憶した異常時の指示回転数は４００ｒｐｍとしている。また、表内のＤＣ１８０Ｖ時においては、前記回転数受信手段１３は、４００ｒｐｍ、８００ｒｐｍ、１２００ｒｐｍ時において、前記記憶部２１の回転数データは、停止となっているので、不安全の恐れがある電圧であるため、強制的に前記機器１を停止させている。
【００５５】
また、モータ動作決定手段１４は、選択した異常時の指示回転数を前記実回転数送信手段１５に、現在回転数として伝達する。
【００５６】
実回転数送信手段１５は、前記実回転数受信手段１６へ前記現在回転数を送信することとなるので、前記中央監視装置２が現在回転数を把握することができる。
【００５７】
そして、中央監視装置２内の回転数比較手段１７は、前記回転数送信手段１２と前記実回転数受信手段１６の回転数差を比較し、回転数差が基準値を超えるとアラーム発報手段２３を動作させることとなる。
【００５８】
例えば、回転数一定制御をしている前記機器１において、±１０回転以内であれば、正常と判断し、±１００回転未満であれば、注意と判断して運転状態を継続監視するようにする。また、±１００回転以上であれば、異常と判断してアラーム発報手段２３を動作させることができる。
【００５９】
このように、モータ動作決定手段１４は、電圧判断部２０が異常時を判断したときに、前記記憶部２１の異常時の指示回転数で、モータ８の動作を決定し、運転するものであるから、ユーザーがメンテナンスするまでの間、より長い時間、機器１を継続運転することができるので、クリーン度低下の抑制ができる。
【００６０】
また、前記回転数比較手段１７は、前記回転数送信手段１２と前記実回転数受信手段１６の回転数差を比較し、回転数差が基準値を超えるとアラーム発報手段２３を動作させることができるため機器の異常を認識することができる。
【００６１】
（実施の形態２）
実施の形態１では、前記モータ動作決定手段１４の正常時の動作と異常時の動作の概要を説明した。
【００６２】
本実施の形態では、電源異常を段階的に識別して細かな風量設定をすることで、クリーン度の維持と継続を行うことができる形態について説明する。
【００６３】
そのために、本実施の形態では、実施の形態１の電圧判断部２０と記憶部２１を、電圧判断部２４と記憶部２５にしたものである。
【００６４】
実施の形態１の電圧判断部２０は、電源異常時を判断するだけであったが、本実施の形態の電圧判断部２４は、電圧判断手段２６を設けて、電圧検出手段１９が検出した力率改善手段１８の電圧から複数の段階に分けて電源異常時を判断するものである。
【００６５】
実施の形態１の記憶部２１は、異常時の指示回転数が１つであったが、本実施の形態の記憶部２５は、記憶手段２９を設けて、前記複数の電源異常時に対応した指示回転数を有するというものである。
【００６６】
以下、図を用いて説明する。
【００６７】
図５、６に示すように、モータ動作決定手段１４は、電圧判断部２４が判断した前記電源異常に対応して、記憶部２５のひとつから異常時の指示回転数を一つ抽出する構成とする。
【００６８】
前記電圧判断部２４は、複数の電圧異常時に対応したものであり、図５に示すように、内部には、電圧範囲の設定毎に設けられた電圧判断手段２６と、電圧判断手段２７と、電圧判断手段２８を備えている。
【００６９】
また、前記記憶部２５は、内部に記憶手段２９と、記憶手段３０と記憶手段３１を備えている。
【００７０】
電圧判断手段２６と電圧判断手段２７と電圧判断手段２８は、この順番に高い電圧値から低い電圧値へと判断値を設定している。
【００７１】
電圧判断手段２６は、記憶手段２９に対応させている。
【００７２】
すなわち、電圧判断手段２６で電源異常の判断がされたときには記憶手段２９の指示回転数が抽出される。
【００７３】
同様に電圧判断手段２７は、記憶手段３０に、電圧判断手段２８は、記憶手段３１に対応している。
【００７４】
上記構成により、実施の形態１で既に説明したが、同様に電圧判断部２４は、電圧検出手段１９の検出した力率改善手段１８の出力電圧を判断して、仕様範囲外の場合は、モータ動作決定手段１４へ異常の信号を送信することができる。
【００７５】
また、前記モータ動作決定手段１４は、前記電圧判断部２４から異常信号を受信すると、回転数一定制御を解除して、記憶部２５に予め記憶されていた異常時の回転数を選択して運転することができる。
【００７６】
さて、本実施の形態では、電圧判断部２４は、電圧検出手段１９が検出した電圧から複数に段階に分けて電源異常時を判断し、記憶部２５は、前記複数の電源異常時に対応した指示回転数を複数記憶しているので、モータ動作決定手段１４は、前記電源異常に対応して一つの指示回転数を選択することができる。
【００７７】
すなわち、電源異常時には、図６に示す前記記憶部２５の異常時の指示回転数データで、回転する。
【００７８】
例えば、前記電圧判断部２４が、正常電圧領域であれば、前記回転数受信手段１３の回転数指示とおり、前記モータ８を回転させることができる。
【００７９】
また、前記電圧判断部２４が、異常電圧領域であり、異常電圧範囲を前記電圧判断手段２６が判断すれば、前記モータ動作決定手段１４は、前記回転数受信手段１３の回転数指示を採用せず、前記電圧判断手段２６の異常時の指示回転数の前記記憶手段２９に記憶された回転数を選択して、モータ８を回転することになる。図６では、記憶手段２９の回転数に変更されることになる。
【００８０】
さらに、前記電圧判断部２４が、異常電圧領域であり、異常電圧範囲を前記電圧判断手段２７が判断すれば、前記モータ動作決定手段１４は、前記回転数受信手段１３の回転数指示を採用せず、前記電圧判断手段２７の異常時の指示回転数の前記記憶手段３０の記憶された回転数を選択して、モータ８を回転することになる。図６では、記憶手段３０の回転数に変更されることになる。
【００８１】
また、同様に異常電圧範囲を前記電圧判断手段２８が判断すれば、前記モータ動作決定手段１４は、前記回転数受信手段１３の回転数指示を採用せず、前記電圧判断手段２８の異常時の指示回転数の前記記憶手段３１の記憶された回転数を選択し、モータ８を回転することになる。図６では、記憶手段３１の回転数に変更されることになる。
【００８２】
さらに、検出電圧範囲毎に設定された回転数で動作することで、異常電圧領域でありながら、ＤＣＬの出力電圧の変動を抑え、少しでも高回転化させることができるため、安価な方法で、細かな風量設定をすることで、クリーン度の維持と継続を行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明のファンフィルターユニット制御システムは、クリーンルーム内に設置される半導体デバイスや液晶等を製造する製造装置、あるいはクリーンブースなど、清浄空間を必要とする箇所に複数台設置されるファンフィルターユニットを同時に制御することができる安価でかつ構成が容易なファンフィルターユニット制御システムを提供できる。
【符号の説明】
【００８４】
１  機器
２  中央監視装置
３  ファンフィルターユニット制御システム
４  空気吸込み口
５  吹出口
６  チャンバー
７  ファン
８  モータ
９  ファンモータユニット
１０  フィルター
１１  制御部
１２  回転数送信手段
１３  回転数受信手段
１４  モータ動作決定手段
１５  実回転数送信手段
１６  実回転数受信手段
１７  回転数比較手段
１８  力率改善手段
１９  電圧検出手段
２０  電圧判断部
２１  記憶部
２２  駆動回路部
２３  アラーム発報手段
２４  電圧判断部
２５  記憶部
２６  電圧判断手段
２７  電圧判断手段
２８  電圧判断手段
２９  記憶手段
３０  記憶手段
３１  記憶手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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