(57)【要約】【課題】作業者によるばらつきを低減し、継手の挿入口にチューブを適正に挿入することで、継手とチューブの接続部での流体の漏れを確実に防止することを可能とするチューブを提供する。【解決手段】チューブを連結する継手の挿入口に挿入されるチューブであって、チューブ上に印字され挿入口に挿入されるべき挿入位置を示す挿入表示を備え、挿入表示は、チューブの伸長方向に伸長した直線、又は、点線を有するチューブが構成される。【選択図】図３
2014031867.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チューブを連結する継手の挿入口に挿入されるチューブであって、
該チューブ上に印字され該挿入口に挿入されるべき挿入位置を示す挿入表示を備え、
該挿入表示は、該チューブの伸長方向に伸長した直線、又は、点線を有する、
ことを特徴とするチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００３】
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【０００７】
また、適宜、継手を介することによってチューブの分岐や連結が行われることにより、必要な配管を構成することが行われる。
【０００８】
また、チューブは、各種装置に取り付けられた継手に対しても接続され、装置に対して流体の供給や、装置からの流体の排出を可能なものとする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【特許文献２】特開昭５５−１１２７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
チューブと継手は、流体が漏れることが無いように、シール性を有した状態で連結される必要があり、例えば、継手に対するチューブの挿入量は所定の値にする必要がある。
【００１１】
しかし、チューブと継手の接続作業は手作業で行われるものであり、作業者によるばらつきが生じることが懸念される。そして、継手の挿入口にチューブが不完全に挿入されてしまうと、シール性が低下し、流体が漏れてしまうことが懸念される。
【００１２】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者によるばらつきを低減し、継手の挿入口にチューブを適正に挿入することで、継手とチューブの接続部での流体の漏れを確実に防止することを可能とするチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１に記載の発明によると、チューブを連結する継手の挿入口に挿入されるチューブであって、チューブ上に印字され挿入口に挿入されるべき挿入位置を示す挿入表示を備え、挿入表示は、チューブの伸長方向に伸長した直線、又は、点線を有するチューブが提供される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のチューブは、チューブ上に印字された継手の挿入口に挿入すべき深さに対応した挿入表示を有する。
【００１５】
従って、挿入表示までチューブを継手の挿入口に挿入することで、適正にチューブを継手に挿入することができ、チューブのシール性が確保され流体の漏れを防止できる。
【００１６】
さらに、挿入表示をチューブの伸長方向に伸長する直線とすることで、印字時にチューブや印字手段を回転させる必要がなく、容易に印字を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】チューブが挿入された継手の断面図である。
【図２】図２（Ａ）は挿入表示の一実施形態について示す平面図である。図２（Ｂ）は挿入表示の他の実施形態について示す平面図である。
【図３】図３（Ａ）はチューブを継手に挿入する様子を示す斜視図、図３（Ｂ）はチューブが継手に挿入された状態の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、チューブ２０が挿入された継手の断面図が示されている。継手２は略直角に曲げられたボディ４と、ボディ４の一端部４ａに回転可能に装着されたねじ７を有する打込みハーフ６を含んでいる。ボディ４と打込みハーフ６との間にはＯリング８が介装されている。
【００１９】
ボディ４の他端部４ｂにはパッキン１０と、コレット１２と、チャック（ロック爪）１４と、ガイドリング１６と、リリースブッシュ１８が配設されており、チューブ２０が継手２の挿入口１９にいっぱいに挿入されて、その先端２０ａがボディ４の内部の適正位置まで挿入される。
【００２０】
このように、チューブ２０の先端２０ａがボディ４の内部の適正位置まで挿入された状態では、パッキン１０により継手２のシールが確実に達成される。この状態では、コレット１２の作用によりチャック１４がチューブ２０の外周に確実に食いついているため、チューブ２０を継手２から引き抜くことはできない。
【００２１】
チューブ２０を継手２から引き抜くためには、リリースブッシュ１８を図１において左方向に押し込み、チャック１２の食いつきを解放する。これにより、チューブ２０を継手２から引き抜くことができる。
【００２２】
上述したように、チューブ２０を継手２の挿入口１９内に適正な位置まで挿入すると、継手２のシール機能が十分達成されるが、チューブ２０が継手２の挿入口１９に不完全に挿入された場合には、パッキン１０がチューブ２０の外周に完全に当接せずに、継手２のシール機能が低下する場合がある。本発明はこのようなチューブ２０の不完全挿入を防止するためになされたもので、以下図２及び図３を参照して、本発明の一実施形態を詳細に説明する。
【００２３】
まず、図２（Ａ）を参照して、挿入表示３０の例について説明する。挿入表示３０は、チューブ２０の先端２０ａから所定の距離Ｌの位置にある規定の挿入位置４０を示すためのものであり、本実施形態では、挿入表示３０の後端部３０ｂ（チューブ２０の先端２０ａと反対側の端部）によって、挿入位置４０が示されるようになっている。
【００２４】
挿入表示３０は、一本の線を印字装置５０によって印字することでチューブ２０上に表示される。この挿入表示３０の線は、チューブ２０の伸張方向に伸張する直線にて構成されている。
【００２５】
挿入表示３０の印字は、例えば、印字装置５０のノズル５２の直下にチューブ２０の中心軸２０ｃを位置付けた状態とし、チューブ２０を矢印Ａ方向に送ることによって行うことができる。
【００２６】
このような実施形態により、挿入表示３０の印字時にチューブ２０や印字手段としての印字装置５０を回転させる必要がなく、容易に印字を実施することができる。
【００２７】
なお、チューブ２０は例えば、柔軟性を呈する樹脂にて構成されるものであり、図示せぬリールなどから自動的に引き出されるとともに、所定の長さに自動的に切断される実施形態とすることが考えられる。
【００２８】
また、挿入表示３０の開始位置、つまりは、チューブ２０の先端２０ａ側の前端部３０ａについては、例えば、チューブ２０の先端２０ａから距離Ｌだけ離れた位置とすることとしてもよい。これによれば、距離Ｌの長さの印字を省略することができ、印字に必要なインク量を低減することが可能となる。
【００２９】
図２（Ｂ）は、他の実施形態の挿入表示３０Ａについて示すものであり、チューブ２０の伸張方向に伸張する点線にて表示するものである。
【００３０】
さらに、挿入位置４０には、この点線に直交する縦線３０ｃ（周方向の線）が表示されることとしており、この縦線３０ｃによって挿入位置４０をより容易に把握できることとしている。
【００３１】
なお、点線にすることによって、印字に必要なインク量を低減することが可能となる。また、縦線３０ｃの印字長さについては、チューブ２０や印字装置を回転させる必要がない長さにすることが好ましい。点線の種別については、特に限定されず、一点鎖線などであってもよい。また、直線と点線のいずれか一方とするほか、両方を組み合わせることなども考えられる。
【００３２】
以上の構成とするチューブ２０を用い、図３（Ａ）に示すように、チューブ２０を矢印Ａ方向に継手２の挿入口１９中に挿入する。
【００３３】
挿入表示３０の形成位置は継手２に挿入すべき深さに対応しているため、図３（Ｂ）に示すように、チューブ２０を挿入表示３０の位置まで継手２の挿入口１９に挿入することにより、チューブ２０が継手２内に適正に挿入されたと判断することができる。尚、継手２の挿入口構造は図１に示した継手２の挿入口構造と同一であるものとする。
【００３４】
以上のようにして本発明を実施することができる。即ち、チューブ２０を連結する継手２の挿入口に挿入されるチューブ２０であって、チューブ２０上に印字され挿入口に挿入されるべき挿入位置４０を示す挿入表示３０を備え、挿入表示３０は、チューブ２０の伸長方向に伸長した直線を有する構成とする。
【００３５】
これにより、挿入位置４０までチューブ２０を継手２の挿入口１９に挿入することで、適正にチューブ２０を継手２に挿入することができ、チューブ２０のシール性が確保され流体の漏れを防止できる。
【００３６】
さらに、挿入表示４０をチューブ２０の伸長方向に伸長する直線とすることで、印字時にチューブ２０や印字手段を回転させる必要がなく、容易に印字を実施することができる。
【符号の説明】
【００３７】
２    継手
１９    挿入口
２０    チューブ
２０ａ    先端
２０ｃ    中心軸
３０    挿入表示
３０ａ    前端部
３０ｂ    後端部
３０ｃ    縦線
４０    挿入位置
５０    印字装置
５２    ノズル
【図１】
2014031867.tif 000003
【図２】
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【図３】
2014031867.tif 000005