(57)【要約】【課題】純度、めっき液への溶解性の双方に優れた酸化第二銅微粉末を提供する。【解決手段】本発明の製造方法は、表面に酸化皮膜を有する電解銅粉を乾式で粉砕する乾式粉砕工程Ｓ１と、この乾式粉砕工程によって得られる電解銅微粉末を酸化する酸化工程Ｓ２とを含む。酸化皮膜は、銅イオン含有溶液の電気分解によって得られる電解銅粉を水洗した後、酸素含有雰囲気において７０℃〜１５０℃の温度で乾燥することによって形成されることが好ましい。乾式粉砕工程Ｓ１は酸素含有雰囲気で行われることが好ましく、酸化工程Ｓ２は、電解銅微粉末を３００℃〜７００℃で熱することによって行われることが好ましい。【選択図】図１
2014114472.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に酸化皮膜を有する電解銅粉を乾式で粉砕する乾式粉砕工程と、
この乾式粉砕工程によって得られる電解銅微粉末を酸化する酸化工程とを含む、酸化第二銅微粉末の製造方法。
【請求項２】
前記酸化皮膜は、銅イオン含有溶液の電気分解によって得られる電解銅粉を水洗した後、酸素含有雰囲気において７０℃〜１５０℃の温度で乾燥することによって形成される、請求項１に記載の酸化第二銅微粉末の製造方法。
【請求項３】
前記乾式粉砕工程は酸素含有雰囲気で行われる、請求項１又は２に記載の酸化第二銅微粉末の製造方法。
【請求項４】
前記酸化工程は、前記電解銅微粉末を３００℃〜７００℃で熱することによって行われる、請求項１から３のいずれかに記載の酸化第二銅微粉末の製造方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の製造方法によって得られる酸化第二銅微粉末が溶解された硫酸銅水溶液を電解銅めっき装置の電解液として使用する、銅めっき方法。
【請求項６】
平均粒子径が５μｍ以下であり、最大粒子径が１５μｍ以下であり、１０ｇの酸化第二銅微粉末を、２５℃における、２２８ｇ／ＬのＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏと、６８ｇ／Ｌの遊離Ｈ２ＳＯ４と、６０ｍｇ／Ｌの塩化物イオンとを含有する硫酸含有溶液１Ｌに浸漬して行う溶解試験において、溶解時間が１分以下である、酸化第二銅微粉末。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸化第二銅微粉末及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
酸化第二銅微粉末は、顔料、塗料、触媒、陶磁器の着色剤や銅めっき液の補給用銅源等に用いられ、その製造方法は、湿式法と乾式法に大別される。
【０００３】
湿式法の一例として、塩化第二銅や硫酸銅の水溶液に水酸化ナトリウムを加えて水酸化銅を生成させた後、この水酸化銅を加熱することが挙げられる（特許文献１参照）。より詳しくは、塩化第二銅を含むプリント基板のエッチング廃液を苛性アルカリ（ＮａＯＨ）で中和し、その中和した銅溶液と苛性アルカリ水溶液とを、温度４０〜５０℃に保持した水溶液中に同時に滴下混合して、その混合した水溶液のｐＨを弱酸性から弱アルカリ性の範囲に維持しながら銅の水和物を生成させる。次いで、ｐＨを１２〜１３に調製し、７０〜８０℃の温度に３０分間保持した後、水洗、固液分離して酸化第二銅を製造することが挙げられる。
【０００４】
湿式法の他の一例として、硫酸銅水溶液と水酸化ナトリウム水溶液とを３０℃以下の温度で反応させて水酸化第二銅を生成し、この水酸化第二銅を６０〜８０℃の温度に加熱、熟成して酸化第二銅を形成することが挙げられる（特許文献２参照）。一般に、湿式法で製造された酸化第二銅粉末は、銅めっき液への溶解性が速いという利点を有する。
【０００５】
しかしながら、酸化第二銅粉末を湿式法で製造すると、Ｎａのほか、硫酸イオンに由来するＳ等の残留濃度が比較的高くなりがちであるという課題を有する。不純物を多く含む酸化第二銅粉末をめっき液に加えると、不純物に起因してめっきの不具合を生じ得る。例えば、特許文献１に記載の方法では、使用するエッチング廃液中において、プリント基板をエッチングするときに溶解する銅以外の不純物が含まれることのほか、中和のときに不純物として塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）が副生すること等から、不純物除去のために水洗工程が必要となる。さらには水洗しても完全に除去することは困難であるといった課題もあり、引用文献１に記載の方法で製造した酸化銅は、不純物をめっき液中に添加することになるため、添加とともにめっき皮膜特性が劣化してめっき液を更新しなければならないという課題がある。
【０００６】
また、スラリー状の酸化第二銅微粉末を乾燥する手法として、容器を加熱することで溶媒を気化して乾燥する方法や容器内を撹拌しながら加熱して乾燥する方法や熱風によって流動しているアルミナ等の媒体中にスラリーを投入し、媒体表面で乾燥した粉がはがれて熱風とともに排気されてサイクロン、バグフィルター等で乾燥粉体として回収する媒体流動式乾燥方法等が知られている。これらの方法は、乾燥方法としては工業的に確立された効率の良い方法である。しかしながら、乾燥された酸化第二銅微粉末の２次粒子を凝集形状に制御することが難しく、溶解性やハンドリング性を一定にコントロールすることが難しいという課題がある。
【０００７】
一方、乾式法の一例として、硝酸銅、硫酸銅、炭酸銅、水酸化銅等を空気中で６００℃程度の温度に加熱して熱分解する方法が挙げられる（非特許文献１参照）。一般に、乾式法は、湿式法に比べ、得られる酸化第二銅の純度が高く、めっき液への溶解性に優れる。
【０００８】
しかしながら、乾式法では、酸化第二銅粉末どうしで焼結しやすく、酸化第二銅粉末が粗大化してめっき液への溶解速度が極めて遅くなることがあり得る。溶解性を向上させるためには、得られた酸化銅粉が微細な粉末状態であることが要求されるが、乾式法で得られる酸化第二銅粉は焼結によって粒子が大きくなるため、大きくなった酸化第二銅粉を粉砕することが必要となる。特に、金属銅を原料に用いた場合、熱処理前に粉砕すると、金属銅は柔らかく延性を持つため、細かく粉砕することは難しい。このため、完全に酸化銅まで熱処理を行うためには、より高温に加熱する必要があるが、高温での熱処理によって再び銅粒子の焼結が発生するため、熱処理後再度粉砕する必要が生じる等の点で乾式法が効率的な方法であるとはいえなかった。
【０００９】
乾式法の効率を高めるため、硫酸銅溶液中で作製した電解銅粉をジェットミル粉砕法で粉砕することが提案されている（特許文献３〜５参照）。特許文献３〜５によると、電解銅粉を微細に粉砕するためには、粉砕原料となる電解銅粉の粒子径が重要な要素であるといえる。例えば、特許文献３では、１０μｍ以下の銅粉を得るためには、原料となる電解銅粉の大きさが比表面積で２０００ｃｍ２／ｇ以上の大きさでなければならないことが示されている。また、特許文献５においても、ジェットミルでの粉砕法を、粒子相互を衝突させる方式から衝突板に衝突させる衝突板方式のジェットミルに変更しても、粉砕原料である電解銅粉の平均粒径が２０〜３５μｍであるとされる。
【００１０】
電解銅粉の形成形態は樹脂状に成長した構造であるため、粒子を衝突させて粉砕する場合、樹脂状の枝の部分より折れることによって細かく粉砕されるために、粉砕後の粒子を細かくするためには、粉砕原料である電解銅粉の形状を細かくしておく必要がある。樹脂状の枝よりも更に細かく粉砕するためには、ジェットミル方式では限界がある。しかしながら、別な粉砕機であるクラッシャー、ボールミル、振動ミルで粉砕すると、金属銅の延性などの特性によって、粉砕後の電解銅粉が凝集したもの、あるいは平板状のものとなるため、やはり、電解銅粉を微細化することは難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平５−３１９８２５号公報
【特許文献２】特開平３−８０１１６号公報
【特許文献３】特開昭６２−１９９７０５号公報
【特許文献４】特開平２−１８２８０９号公報
【特許文献５】特開２０００−８０４０８号公報
【非特許文献】
【００１２】
【非特許文献１】第４版  実験化学講座  無機化合物，日本化学会編，丸善株式会社，１９９３年１２月
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
そこで、本発明は、電解銅粉を微細化し、めっき液への溶解性を高めることに着目してなされたものであり、その課題とするところは、乾式法の従来の利点である、高純度であることを生かしつつ、めっき液への溶解性を高めることである。
【００１４】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、表面に酸化皮膜を有する電解銅粉を乾式で粉砕し、この粉砕によって得られる電解銅微粉末を酸化することで上記の目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
具体的には、本発明では、以下のようなものを提供する。
【００１６】
（１）本発明は、表面に酸化皮膜を有する電解銅粉を乾式で粉砕する乾式粉砕工程と、この乾式粉砕工程によって得られる電解銅微粉末を酸化する酸化工程とを含む、酸化第二銅微粉末の製造方法である。
【００１７】
（２）また、本発明は、前記酸化皮膜が、銅イオン含有溶液の電気分解によって得られる電解銅粉を水洗した後、酸素含有雰囲気において７０℃〜１５０℃の温度で乾燥することによって形成される、（１）に記載の酸化第二銅微粉末の製造方法である。
【００１８】
（３）また、本発明は、前記乾式粉砕工程が酸素含有雰囲気で行われる、（１）又は（２）に記載の酸化第二銅微粉末の製造方法である。
【００１９】
（４）また、本発明は、前記酸化工程が前記電解銅微粉末を３００℃〜７００℃で熱することによって行われる、（１）から（３）のいずれかに記載の酸化第二銅微粉末の製造方法である。
【００２０】
（５）また、本発明は、（１）から（４）のいずれかに記載の製造方法によって得られる酸化第二銅微粉末が溶解された硫酸銅水溶液を電解銅めっき装置の電解液として使用する、銅めっき方法である。
【００２１】
（６）また、本発明は、平均粒子径が５μｍ以下であり、最大粒子径が１５μｍ以下であり、１０ｇの酸化第二銅微粉末を、２５℃における、２２８ｇ／ＬのＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏと、６８ｇ／Ｌの遊離Ｈ２ＳＯ４と、６０ｍｇ／Ｌの塩化物イオンとを含有する硫酸含有溶液１Ｌに浸漬して行う溶解試験において、溶解時間が１分以下である、酸化第二銅微粉末である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によると、酸化銅の純度が高く、かつ、めっき液への溶解性が高い酸化第二銅微粉末を提供できる。この酸化第二銅微粉末は、工業的に用いる銅めっき液の補給用銅源として好適に使用される。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る製造方法を説明するための図である。
【図２】表面に酸化皮膜を有する酸化銅粉の走査電子顕微鏡画像（ＳＥＭ画像）を示す。
【図３】実施例１に係る電解銅微粉末のＳＥＭ画像を示す。
【図４】比較例１に係る電解銅微粉末のＳＥＭ画像を示す。
【図５】比較例２に係る電解銅微粉末のＳＥＭ画像を示す。
【図６】実施例１に係る酸化第二銅微粉末のＸ線回折パターンを示す。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の具体的な実施形態について詳細に説明するが、本発明は以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。
【００２５】
＜酸化第二銅微粉末の製造方法＞
本発明の製造方法は、表面に酸化皮膜を有する電解銅粉を乾式で粉砕する乾式粉砕工程Ｓ１と、この乾式粉砕工程Ｓ１によって得られる電解銅微粉末を酸化する酸化工程Ｓ２とを含む。なお、本明細書では、電解銅ないし酸化銅の状態を明確に区別するため、乾式粉砕前の電解銅を「電解銅粉」といい、乾式粉砕後であるが酸化前である電解銅を「電解銅微粉末」といい、酸化後の酸化銅を「酸化第二銅微粉末」という。
【００２６】
〔酸化皮膜形成工程Ｓ０〕
本発明において、乾式粉砕工程Ｓ１で用いる電解銅粉は、表面に酸化皮膜を有するものであれば、酸化皮膜の形成手法はどのようなものであってもよいが、一例として、硫酸銅溶液中で銅の電気分解を行うことによって電極表面に電解銅粉を析出させ、回収した後、この電解銅粉の表面に酸化皮膜を形成する酸化皮膜形成工程Ｓ０を経たものが挙げられる。
【００２７】
電解銅粉は、例えば、ＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏ：５〜５０ｇ／Ｌ、遊離Ｈ２ＳＯ４：５０〜２５０ｇ／Ｌの浴組成で、電流密度５〜３０Ａ／ｄｍ２、浴温２０〜６０℃の条件で電解し、陰極上に電析させることによって製造できる。
【００２８】
得られた電解銅粉は、水洗によって洗浄した後、水分を除去するため、酸素含有雰囲気において７０〜１５０℃の温度で乾燥させることが好ましい。
【００２９】
酸素含有雰囲気とは、少なくとも大気の程度に酸素を含有する状態であることをいい、空気雰囲気であってもよいし、人工的に酸素を供給する状態下であってもよいが、量産コストを考慮すると空気雰囲気であることが好ましい。
【００３０】
上記の乾燥を行うことによって、電解銅粉と、気体中の酸素とが反応し、電解銅粉の表面に酸化皮膜が形成される。酸化皮膜の形成の程度を制御する必要は特になく、大気中において一般的な乾燥器の中で水洗後の電解銅粉を乾燥させることで足りるが、電解銅粉の全てが完全に酸化第二銅に酸化した場合の理論重量に対して２０％以上酸化していることが好ましく、３０％以上進行していることがより好ましく、４０％以上進行していることがさらに好ましい。
【００３１】
〔乾式粉砕工程Ｓ１〕
本発明は、表面に酸化皮膜を有する電解銅粉を乾式で粉砕し、電解銅微粉末を得る乾式粉砕工程Ｓ１を含む。
【００３２】
電解銅粉は柔かく延性をもつため、細かく粉砕することは難しい。そこで、電解銅粉の粉砕は、酸素含有雰囲気で行うことが好ましい。酸素含有雰囲気で粉砕することにより、粉砕によって現れる金属表面を酸化できるため、結果として新たな酸化皮膜が形成される。そのため、電解銅粉の延性を抑えることができ、電解銅粉を効率よく微細化できる。
【００３３】
粉砕方法は特に限定されるものではないが、製造コストや効率を考慮すると、流体中で電解銅粉どうしを衝突、又は電解銅粉を衝突板に衝突させて粉砕させる方式が好ましく、具体的には、ジェットミル、サイクロンミル等の名称で市販されている装置が挙げられる。
【００３４】
また、粉砕装置と分級装置とを組み合わせることにより、より効率的に電解銅微粉末を得ることができる。
【００３５】
電解銅微粉末の粒子径は特に限定されるものでないが、続いて説明する酸化工程Ｓ２を効率的に行うことができるようにするため、平均粒子径は５μｍ以下であることが好ましく、４μｍ以下であることがより好ましく、３μｍ以下にすることがさらに好ましい。また、最大粒子径は１５μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがより好ましい。なお、本明細書では、特に断りのない限り、粒子径は、レーザー粒度分布測定器マクロトラック（日機装社製）を用いて測定したときの体積球相当径によるものとする。
【００３６】
〔酸化工程Ｓ２〕
本発明は、乾式粉砕工程Ｓ１によって得られる電解銅微粉末を酸化する酸化工程Ｓ２を含む。
【００３７】
酸化工程Ｓ２は、電解銅微粉末を３００℃〜７００℃で熱することによって行われることが好ましい。この温度範囲であれば、熱処理する温度は特に限定されるものでないが、電解銅微粉末の粒子径によって設定することが好ましい。例えば、電解銅微粉末の平均粒子径が５μｍ以下である場合、比較的低温での熱処理で電解銅微粉末を酸化第二銅微粉末にすることができる。一方、電解銅微粉末の平均粒子径が５μｍを超える場合、電解銅微粉末の表面のみならず、中心まで酸化するには、比較的高温での熱処理を要する。
【００３８】
しかしながら、熱処理を高温で行うと、せっかく電解銅粉を粉砕して電解銅微粉末を得たにもかかわらず、電解銅微粉末どうしが焼結して粒子径が大きくなってしまう。そうすると、酸化第二電解銅微粉末のめっき液への溶解特性が低くなる。
【００３９】
酸化第二電解銅微粉末のめっき液への溶解特性が低くなることを回避するため、たとえ電解銅微粉末どうしが焼結した場合であっても、焼結した酸化第二銅粉を再度粉砕し、酸化第二電解銅微粉末にすればよいが、再度の粉砕は製造コストの高騰につながるため、粉砕の回数は１回に留めることが好ましい。この観点から、電解銅微粉末の平均粒子径は１０μｍ以下であることが好ましく、最大粒子径は１５μｍ以下であることが好ましい。
【００４０】
また、熱処理の時間は熱処理温度に依存し、熱処理温度が３００℃〜５００℃である場合、熱処理時間を５時間以下にすることが好ましく、熱処理温度が５００℃〜７００℃である場合、熱処理時間を３時間以下にすることが好ましい。
【００４１】
電解銅微粉末どうしの焼結により、酸化第二電解銅微粉末の粒子径は、電解銅微粉末のそれよりも大きくなるが、硫酸銅めっき液への溶解性を高めるため、この焼結はできるだけ抑えることが好ましい。そのため、酸化第二電解銅微粉末の粒子径は、電解銅微粉末のそれと同程度であることが好ましく、具体的に、平均粒子径は５μｍ以下であることが好ましく、４μｍ以下であることがより好ましく、３μｍ以下にすることがさらに好ましい。また、最大粒子径は１５μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがより好ましい。
【００４２】
ところで、上記の製造方法によって得られる酸化第二銅微粉末は、電解銅めっき装置の電解液の原料として好適に使用される。めっき液に投入される酸化第二銅微粉末は、溶解残渣を生じるものであってはならない。特に、酸化第一銅は、めっき液に溶解せずに残渣となることから、酸化第一銅微粉末が生成することを避ける必要がある。そのため、酸化第二銅微粉末における酸化第二銅微粉末の純度は高いことが好ましく、９９％以上であることが好ましく、９９．５％以上であることがより好ましい。本発明の製造方法によって得られる酸化第二銅微粉末は、粉砕した電解銅微粉末を熱処理によって酸化したものであるため、電解銅を酸化第二銅にまで完全に酸化することができる。その結果、酸化第一銅が生じることを抑えることができる。
【００４３】
また、めっき液への銅源の供給は、めっき液に含まれる銅源が減少する都度、速やかに行う必要がある。そのため、酸化第二銅微粉末のめっき液への溶解度は高いことが好ましい。上記の製造方法によって得られる酸化第二銅微粉末１０ｇを、２５℃における、２２８ｇ／ＬのＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏと、６８ｇ／Ｌの遊離Ｈ２ＳＯ４と、６０ｍｇ／Ｌの塩化物イオンとを含有する硫酸含有溶液１Ｌに浸漬すると、１分以内に溶解する。この点で、上記の製造方法によって得られる酸化第二銅微粉末は、電解銅めっき装置の電解液の原料として好適に使用される。
【００４４】
＜酸化第二銅微粉末を用いた銅めっき方法＞
上記の製造方法によって得られる酸化第二銅微粉末は、電解銅めっき装置の電解液の原料として好適に使用される。
【００４５】
銅を電解めっきする際に用いる銅めっき液（硫酸銅水溶液）は、硫酸銅、硫酸及び塩化物イオンを含有し、ｐＨは１よりも低いものが用いられることが多い。そして、この銅めっき液には、銅めっきの品質向上のため公知の添加剤が加えられている。
【００４６】
一方、銅の電解めっきを行うと、めっき液中の銅が析出し、めっき液の銅濃度が低下する。そこで、めっき液の銅濃度の低下を防ぐ為、陽極に銅を用いて陽極を溶解しながら銅電解めっきを行う方法と、陽極に導電性酸化物セラミック等で覆われたチタン等からなる不溶性陽極を用いるとともに、めっき液へ銅を供給する機構を備えた方法とが知られている。
【００４７】
ところで、後者の方法である場合、めっき液に銅を供給する機構をどのようにするかが課題となる。めっき液へ銅を供給するには、（ア）めっき液に銅源（銅又は銅を含む化合物）が速やかに溶解すること、（イ）銅源が溶解することでめっき液中の硫酸イオン等の割合が大きく変化しないこと、（ウ）めっき液に含まれる添加剤が分解しないことが求められる。
【００４８】
上記の製造方法によって得られる酸化第二銅微粉末は、上記（ア）〜（ウ）のいずれにも応じることができる。
【００４９】
電解めっき装置を用いて酸化第二銅微粉末を硫酸銅水溶液に供給するには、電解めっき装置のめっきを行うめっき槽とは別に酸化第二銅微粉末を溶解する酸化第二銅溶解槽を設け、めっき槽と酸化第二銅溶解槽の間で水溶液（めっき液）を循環させればよい。
【００５０】
この酸化第二銅溶解槽は、めっき槽から供給された水溶液に酸化第二銅微粉末を溶解させて形成した水溶液を、めっき槽へ送り返す。使用する酸化第二銅溶解槽には、プロペラなどの攪拌機構を付属させることが好ましい。また、めっき槽と酸化第二銅溶解槽の間には、ゴミや異物等の除去のため公知の各種フィルターを備えてもよい。
【実施例】
【００５１】
以下、実施例により、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの記載に何ら制限を受けるものではない。
【００５２】
【表１】
2014114472.tif 000003
【００５３】
＜実施例１＞
まず、３２ｇ／ＬのＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏと、５５ｇ／Ｌの遊離Ｈ２ＳＯ４とを含有する硫酸銅水溶液を用いて、通電電流密度１０Ａ／ｄｍ２、浴温２５℃の条件で電解銅粉を調製した。この電解銅粉を十分に水洗した後、乾燥器を用いて１０５℃の温度で一晩乾燥した。
【００５４】
続いて、この酸化銅粉をジェットミル（装置名：ナノグラインディングミルＮＪ−５０，徳寿工作所社製）を用いて空気雰囲気下で乾式粉砕した。乾式粉砕は、粉砕圧力：１ＭＰａ，供給速度：３００ｇ／ｈの条件で行った。
【００５５】
続いて、粉砕した電解銅微粉末を電気炉内で、空気雰囲気下で加熱温度５００℃、３時間保持して電解銅粉を酸化し、実施例１に係る酸化第二銅微粉末を得た。
【００５６】
＜実施例２＞
乾式粉砕する際の供給速度を５００ｇ／ｈにしたこと、及び粉砕した電解銅微粉末を電気炉内で、空気雰囲気下で加熱温度７００℃、２時間保持して電解銅粉を酸化したこと以外は、実施例１に記載の方法と同じ方法で実施例２に係る酸化第二銅微粉末を得た。
【００５７】
＜実施例３＞
乾式粉砕を３回繰り返したこと、及び粉砕した電解銅微粉末を電気炉内で、空気雰囲気下で加熱温度３００℃、５時間保持して電解銅粉を酸化したこと以外は、実施例１に記載の方法と同じ方法で実施例３に係る酸化第二銅微粉末を得た。
【００５８】
＜比較例１＞
市販の電解銅粉（商品名：ＭＦ−Ｄ２，三井金属鉱業（株）社製）を用いたこと、及び粉砕した電解銅粉を電気炉内で、空気雰囲気下で加熱温度７００℃、３時間保持して電解銅粉を酸化したこと以外は、実施例１に記載の方法と同じ方法で比較例１に係る酸化第二銅微粉末を得た。
【００５９】
＜比較例２＞
電解銅粉の乾燥を真空で行ったこと、及び粉砕した電解銅微粉末を電気炉内で、空気雰囲気下で加熱温度７００℃、３時間保持して電解銅粉を酸化したこと以外は、実施例１に記載の方法と同じ方法で比較例２に係る酸化第二銅微粉末を得た。
【００６０】
＜評価＞
〔電解銅粉について〕
［表面の色相］
電解銅粉を乾燥した後における電解銅粉の表面の色相を目視で観察した。結果を表２に示す。実施例１〜３における電解銅粉の表面は褐色に変色していた。その結果、表面に酸化皮膜が形成されていることが目視で確認された。一方、比較例１及び２における電解銅粉は赤色を有していた。このことから、表面に酸化皮膜がほとんど形成されていないことが目視で確認された。
【００６１】
［酸化の程度］
乾燥後の電解銅粉について、乾燥後の電解銅粉の重量と、電解銅粉の全てが完全に酸化第二銅に酸化した場合の理論重量とを対比することで、酸化の程度を推定した。結果を表２に示す。実施例１〜３における電解銅粉は、理論重量に対して約４０％の酸化が進行していた。このことから、実施例１〜３における電解銅粉は、表面に酸化皮膜が形成されていることが定量的に確認された。一方、比較例１における電解銅粉は、理論重量に対して約０．４％の酸化しか進行しておらず、比較例２における電解銅粉は、理論重量に対して約０．５％の酸化しか進行していなかった。このことから、比較例１及び２における電解銅粉は、表面に酸化皮膜がほとんど形成されていないことが定量的に確認された。
【００６２】
［酸化銅粉のＳＥＭ画像］
乾燥後の電解銅粉の走査電子顕微鏡画像（以下、「ＳＥＭ画像」ともいう。）を撮影した。結果の一例を図２に示す。図２は、実施例１に係る乾燥後の電解銅粉のＳＥＭ画像である。
【００６３】
［平均粒子径］
乾燥後の電解銅粉の平均粒子径（体積球相当径）を、レーザー粒度分布測定器マクロトラック（日機装社製）を用いて測定した。結果を表２に示す。
【００６４】
〔乾式粉砕後の電解銅微粉末について〕
［形状］
乾式粉砕後の電解銅微粉末について、ＳＥＭ画像を撮影した。そして、このＳＥＭ画像から実施例及び比較例における電解銅微粉末の形状を観察した。ＳＥＭ画像の一例を図３〜図５に示す。図３は、実施例１に係る電解銅微粉末のＳＥＭ画像であり、図４は、比較例１に係る電解銅微粉末のＳＥＭ画像であり、図５は、比較例２に係る電解銅微粉末のＳＥＭ画像である。また、形状を観察した結果を表２に示す。実施例１〜３における電解銅微粉末は粒状の状態で粉砕されていた。一方、比較例１及び２における電解銅微粉末は粒状のものだけでなく、扁平状の粒子も含んでいた。これは、表面が酸化皮膜を有するものでないため、金属銅の延性が作用して電解銅粉を細かく粉砕できなかったためであると推測される。
【００６５】
［平均粒子径及び最大粒子径］
電解銅微粉末の平均粒子径及び最大粒子径を測定した。これらの粒子径は、レーザー粒度分布測定器マクロトラック（日機装社製）を用いて測定した、体積球相当径によるものである。結果を表２に示す。実施例１〜３における電解銅微粉末は、平均粒子径が３．５μｍ以下であり、最大粒子径が１０μｍ以下であった。このことから、実施例１〜３における電解銅微粉末が粒状の状態で粉砕されていることを定量的に確認できた。一方、比較例１及び２における電解銅微粉末は、平均粒子径が５．２μｍ以上であり、最大粒子径が２０μｍ以上であった。このことから、比較例１及び２における電解銅微粉末が適切に粉砕されていない粒子を含むものであることを定量的に確認できた。
【００６６】
〔酸化後の酸化第二銅微粉末について〕
［形状］
酸化後の酸化第二銅微粉末について、ＳＥＭ画像を撮影して確認したが、酸化によって状態に変化が無く、図３〜図５に示す酸化前の状態と同じであった。
【００６７】
［色］
実施例及び比較例に係る酸化第二銅微粉末の色を目視で観察した。結果を表３に示す。いずれの試料も黒色を呈していた。
【００６８】
［相］
実施例及び比較例に係る酸化第二銅微粉末の相状態を確認するため、酸化第二銅微粉末に対し、Ｘ線回折を行った。結果の一例を図６及び表３に示す。図６は、実施例１に係る酸化第二銅微粉末のＸＲＤパターンである。このＸＲＤパターンから、実施例１に係る酸化第二銅微粉末は、ＣｕＯ単一相であることが確認された。なお、図示は省略するが、他の実施例及び比較例に係る酸化第二銅微粉末も同様のＸＲＤパターンを示し、いずれもＣｕＯ単一相であることが確認された。
【００６９】
［純度］
実施例及び比較例に係る酸化第二銅微粉末について、電解重量分析を行った。結果を表３に示す。いずれの酸化第二銅微粉末についても、酸化第二銅の濃度が９９．６重量％であることが確認された。
【００７０】
［平均粒子径及び最大粒子径］
酸化第二銅微粉末の平均粒子径及び最大粒子径を測定した。粒子径の測定方法は、電解銅微粉末における測定方法と同じである。結果を表３に示す。粒子径の測定結果から、実施例１〜３における酸化第二銅微粉末が粒状であること、及び比較例１、２における酸化第二銅微粉末が粒状以外の粒子を含むものであることを定量的に確認できた。
【００７１】
［めっき液に対する溶解性の評価］
めっき液に対する溶解性は、実施例及び比較例に係る酸化第二銅微粉末１０ｇを２５℃にてスターラーで撹拌しながら１Ｌのめっき液に添加し、この添加をしたときから上記酸化第二銅微粉末が完全に溶解するまでの時間を測定することによって評価した。めっき液は、２２８ｇ／ＬのＣｕＳＯ４・５Ｈ２Ｏと、６８ｇ／Ｌの遊離Ｈ２ＳＯ４と、６０ｍｇ／Ｌの塩化物イオンとを含有する溶液とした。結果を表３に示す。実施例に係る酸化第二銅微粉末は、３５秒以内でめっき液に溶解することができた。このことから、乾式法であってもめっき液への高い溶解性を有する酸化第二銅微粉末を提供できることが確認された。一方、比較例に係る酸化第二銅微粉末は、２０分を経過してもめっき液に完全に溶解させることはできなかった。
【００７２】
【表２】
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【００７３】
【表３】
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【００７４】
上記のとおり、表面に酸化皮膜を有する電解銅粉を乾式で粉砕する乾式粉砕工程と、この乾式粉砕工程によって得られる電解銅微粉末を酸化する酸化工程とを経て製造される酸化第二銅微粉末は、乾式法の従来の利点である、高純度であることと、湿式法の従来の利点である、めっき液への高い溶解性との両方を併せ持つことが確認された。その結果、工業的に用いる銅めっき液の補給用銅源として極めて好適に使用できることが確認された。
【００７５】
一方、表面に酸化皮膜を有する電解銅粉を用いない場合、２０分を経過してもめっき液に完全に溶解させることができなかった（比較例１、２）。この点で、銅めっき液の補給用銅源としては支障を生じ得ることが確認された。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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