(57)【要約】【課題】細線の画素幅が２５μｍ未満の高精細なカラーフィルターの色特性を正確に評価することが可能な、カラーフィルターの評価装置を提供すること。【解決手段】本発明は、透過光源と、投光側ピンホールと、投光側対物レンズと、サンプルホルダーと、受光側対物レンズと、分光ユニットと、を備え、上記投光側ピンホール及上記投光側対物レンズにより集光された測定スポットの面積が、０．５〜７０．０μｍ２であり、かつ、上記投光側対物レンズの開口面積が、２．０〜２５０．０ｍｍ２である、カラーフィルターの評価装置を提供する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
透過光源と、
投光側ピンホールと、
投光側対物レンズと、
サンプルホルダーと、
受光側対物レンズと、
分光ユニットと、を備え、
前記投光側ピンホール及び前記投光側対物レンズにより集光された測定スポットの面積が、０．５〜７０．０μｍ２であり、かつ、
前記投光側対物レンズの開口面積が、２．０〜２５０．０ｍｍ２である、カラーフィルターの評価装置。
【請求項２】
請求項１記載の評価装置を用いて、細線の画素幅が５．０〜２５．０μｍ未満の画素の分光スペクトルｂを測定する工程と、
前記分光スペクトルｂから、前記画素の色度（ｘ、ｙ、Ｙ）を算出する工程と、を備える、カラーフィルターの評価方法。
【請求項３】
さらに、請求項１記載の評価装置を用いて、細線の画素幅が２５．０μｍ以上の画素の分光スペクトルａを測定する工程と、
前記分光スペクトルａから、前記画素の色度（ｘ、ｙ、Ｙ）を算出する工程と、
前記分光スペクトルａ及び前記分光スペクトルｂからそれぞれ算出した画素の色度（ｘ、ｙ、Ｙ）の値から、評価の正確性を確認する工程と、を備える、請求項２記載の評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルターの評価装置及び評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は軽量、薄型、低消費電力等の特性を活かし、テレビ、ノートパソコン、携帯情報端末、スマートフォン又はデジタルカメラ等、様々な用途で使用されている。特に、最新の高性能スマートフォンにおいては、３００ｐｐｉを超える高解像度の液晶表示装置が搭載されたものもある。
【０００３】
液晶表示装置をカラー表示にするために必要な部材であるカラーフィルターは、ブラックマトリクスの開口部に赤、緑及び青のそれぞれの画素が微細にパターンニングされている３色カラーフィルターが一般的であるが、３００ｐｐｉを超える高解像度の液晶表示装置を得るためには、ブラックマトリクスの開口部の幅、すなわち各画素の幅を、２５μｍ未満にする必要があり、同時に、これら微細な画素からなるカラーフィルターの色特性を正確に評価可能な評価方法が必要となる。
【０００４】
カラーフィルターの色特性を評価するための装置は、その構成要素として光源、ピンホール、対物レンズ及び分光ユニットを有するものが一般的である（特許文献１）。そして、このような評価装置を用いた、カラーフィルターの画素の色特性の評価方法としては、画素の面積に占める測定スポットの面積の割合を３０〜１００％とする方法（特許文献１）や、画素の面積よりも測定スポットの面積を大きくする方法（特許文献２）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−３４６７４４号公報
【特許文献２】特開２００８−１０７８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、画素の幅が２５μｍ未満であるような、高精細なカラーフィルターの色特性を評価するために従来の方法を適用しようとした場合には、測定スポットが遮光部すなわちブラックマトリクスと重複してしまい、各画素のＣＩＥ１９３１表色系色度（ｘ、ｙ、Ｙ）が不正確になってしまう。特に、赤緑青の色度の加法混色により算出されるホワイトの色度（ｘ、ｙ、Ｙ）において、その悪影響は大きいものとなる。
【０００７】
測定スポットとブラックマトリクスとの重複を避けるための手段としては、対物レンズを高倍率にすることが考えられるが、画素への光の入射角が大きくなって赤緑青の画素間の反射率差が増加し、ホワイトの色度（ｘ、ｙ、Ｙ）が不良となる。また、測定スポットとブラックマトリクスとの重複を避けるための他の手段として、ピンホール径を小さくすることも考えられるが、長波長側において高透過率である赤の画素において、迷光や色収差の影響が大きくなってしまう。このように、高精細なカラーフィルターの色特性の評価のために従来方法を適用することは単純ではなく、全く新規な着想が求められているのが現状であった。
【０００８】
そこで発明は、細線の画素幅が２５μｍ未満の高精細なカラーフィルターの色特性を正確に評価することが可能な、カラーフィルターの評価装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは鋭意検討した結果、対物レンズの高倍率化やピンホール径の狭小化に解決手段を求めるのではなく、測定スポットの面積及び投光側対物レンズの開口面積の双方を至適範囲に制御することによって高精細なカラーフィルターの色特性を正確に評価することが可能であることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
すなわち、本発明は、以下の（１）〜（３）に記載したカラーフィルターの評価装置及び評価方法を提供する。
（１）  透過光源と、投光側ピンホールと、投光側対物レンズと、サンプルホルダーと、受光側対物レンズと、分光ユニットと、を備え、上記投光側ピンホール及上記投光側対物レンズにより集光された測定スポットの面積が、０．５〜７０．０μｍ２であり、かつ、上記投光側対物レンズの開口面積が、２．０〜２５０．０ｍｍ２である、カラーフィルターの評価装置。
（２）  上記（１）に記載の評価装置を用いて、細線の画素幅が５．０〜２５．０μｍ未満の画素の分光スペクトルｂを測定する工程と、上記分光スペクトルｂから、上記画素の色度（ｘ、ｙ、Ｙ）を算出する工程と、を備える、カラーフィルターの評価方法。
（３）  さらに、上記（１）に記載の評価装置を用いて、細線の画素幅が２５．０μｍ以上の画素の分光スペクトルａを測定する工程と、上記分光スペクトルａから、上記画素の色度（ｘ、ｙ、Ｙ）を算出する工程と、上記分光スペクトルａ及び上記分光スペクトルｂからそれぞれ算出した画素の色度（ｘ、ｙ、Ｙ）の値から、評価の正確性を確認する工程と、を備える、上記（２）に記載の評価方法。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のカラーフィルターの評価によれば、細線の画素幅が２５μｍ未満の高精細なカラーフィルターの色特性を正確に評価することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明のカラーフィルターの評価装置の代表的な構成を示す模式図である。
【図２】一般的な対物レンズを示す断面図及び平面図である。
【図３】本発明のカラーフィルターの評価装置において好適に用いられる投光側対物レンズを示す断面図及び平面図である。
【図４】本発明のカラーフィルターの評価方法を示す概略図である。
【図５】本発明のカラーフィルターの評価方法を示す概略図である。
【図６】本発明のカラーフィルターの評価方法を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明のカラーフィルター（以下、ＣＦ）の評価装置は、透過光源と、投光側ピンホールと、投光側対物レンズと、サンプルホルダーと、受光側対物レンズと、分光ユニットと、を備え、上記投光側ピンホール及上記投光側対物レンズにより集光された測定スポットの面積が、０．５〜７０．０μｍ２であり、かつ、上記投光側対物レンズの開口面積が、２．０〜２５０．０ｍｍ２であることを特徴とする。
【００１４】
本発明のＣＦの評価装置が備える、透過光源、投光側ピンホール、投光側対物レンズ、サンプルホルダー、受光側対物レンズ及び分光ユニットは、図１に示すように配置される。透過光源から投光された光は、投光側ピンホール、投光側対物レンズ、サンプルホルダー、評価対象であるＣＦ及び受光側対物レンズを経由して、分光ユニットに到達し、受光される。
【００１５】
透過光源から投光された光は、投光側ピンホール及び投光側対物レンズによって集光され、評価対象であるＣＦの画素に照射される。ここで測定スポットとは、ＣＦの画素の表面において、集光された光が照射された範囲をいう。
【００１６】
本発明のＣＦの評価装置は、測定スポットの面積が０．５〜７０．０μｍ２であり、かつ、投光側対物レンズの開口面積が２．０〜２５０．０ｍｍ２である必要がある。
【００１７】
測定スポットの面積は、１．０〜６０．０μｍ２であることが好ましい。測定スポットの面積が０．５μｍ２未満であると、画素への光の入射角が大きくなって反射率が増加してしまう。その結果として、色度（Ｙ）が低下し、ＣＦの色特性の評価精度が低減してしまう。中でも、赤緑青それぞれの色度（Ｙ）は一律に低下するわけではなく、相対的に青及び緑の画素の色度（Ｙ）の低下傾向が大きいため、赤緑青の色度の加法混色により算出されるホワイトの色度（ｘ、ｙ、Ｙ）の評価精度が顕著に低減してしまう。一方で、測定スポットの面積が７０．０μｍ２を超えると、測定スポットが遮光部すなわちブラックマトリクスと重複してしまう。
【００１８】
投光側対物レンズの開口面積は、５．０〜１５０．０ｍｍ２であることが好ましい。測定スポットの面積を０．５〜７０．０μｍ２のように小さくすると、測定精度の低下が懸念されるのに対し、開口面積を２．０〜２５０．０ｍｍ２の範囲に制御することにより、測定精度を低下させることなく正確な評価が可能となる。
【００１９】
投光側対物レンズの開口面積が２５０．０ｍｍ２を超えると、色収差の影響が大きくなってしまう。その結果として、色度（Ｙ）が低下し、ＣＦの色特性の評価精度が低減してしまう。中でも、赤緑青それぞれの色度（Ｙ）は一律に低下するわけではなく、透過光が長波長である赤の色度（Ｙ）の低下が相対的に大きいため、ホワイトの色度（ｘ、ｙ、Ｙ）の評価精度が顕著に低減してしまう。一方で、投光側対物レンズの開口面積が２．０ｍｍ２未満であると、測定スポットの光強度が小さくなりすぎ、測定精度が低下する。
【００２０】
測定スポットの面積は、投光側ピンホールの孔の面積又は投光側対物レンズの倍率を変更することで制御できる。
【００２１】
ピンホールの孔の形状としては、例えば、長方形、正方形、楕円形又は円形が挙げられるが、均一なピンホールを得るため、円形が好ましい。円形の孔の直径は、２０〜９０μｍφであることが好ましい。孔の直径が２０μｍφ未満であると、均一なピンホールを得ることが困難となる。一方で、孔の直径が９０μｍφを超えると、測定スポットの面積を７０．０μｍ２以下にすることが困難となる。ピンホールの孔は、例えば、アルミ、ニッケル若しくは銅又はそれら金属の合金の板に、レーザー等で穴を開けることで作製することができる。この場合の板の厚みは、１〜５００μｍが好ましい。
【００２２】
また、投光側対物レンズの倍率は、１０〜２０倍であることが好ましい。倍率が２０倍を超えると、画素への光の入射角が大きくなり、測定精度が低下する。一方で、倍率が１０倍未満であると、測定スポットの面積を７０．０μｍ２以下にすることが困難となる。
【００２３】
本発明のＣＦの評価装置が備える投光側対物レンズは、図２に示すような一般的な対物レンズであっても構わないが、投光側対物レンズの開口面積を高精度かつ低コストで制御するため、アパーチャーが取り付けられていることが好ましい。すなわち、本発明のＣＦの評価装置が備える投光側対物レンズは、図３に示すような投光側対物レンズである投光側対物レンズ上にアパーチャーを取り付けることにより、投光側透過光源、ピンホール又は受光側対物レンズ等で発生する収差や迷光の影響を、まとめて効果的に改善することも可能となる。ここでアパーチャーとは、遮光部と開口部とからなり、これを適宜交換することで投光側対物レンズの開口面積を制御可能な部材をいう。
【００２４】
アパーチャーの遮光部の外縁の形状としては、例えば、長方形、正方形、楕円形又は円形が挙げられるが、その遮光部の中央周辺に開口部が設けられていることが好ましい。投光側ピンホールの孔及び投光側対物レンズの孔は長手方向に対して垂直な断面の形状は通常円形であるため、アパーチャーの遮光部及び開口部も円形にすることが好ましい。すなわち、アパーチャーとしては、図３に示すようなドーナツ状のものが好ましい。アパーチャーは、例えば、アルミ、ニッケル若しくは銅又はそれらの合金の板を遮光部とし、その中央周辺にレーザーやドリルなどで穴を開けることによって開口部を形成し、作製することができる。なお、この場合の板の厚みは、１〜５００μｍが好ましい。
【００２５】
本発明のＣＦの評価装置が備える透過光源としては、例えば、ハロゲンランプ、メタルハイドライドランプ、水銀ランプ又はＬＥＤが挙げられるが、光源の安定性に優れ、かつ低コストであるため、ハロゲンランプが好ましい。
【００２６】
本発明のＣＦの評価装置が備えるサンプルホルダーとは、任意の画素の表面に光を照射して測定スポットを形成するため、ＣＦを保持しながら所望の位置にて静止させることを可能とする部材をいう。サンプルホルダーとしては、保持したＣＦを３次元方向に任意に動かせるものが好ましい。
【００２７】
本発明のＣＦの評価装置が備える分光ユニットは、ＣＦ及び受光側対物レンズを透過した光を分光する回折格子、分光した光を集光するミラー及びＣＣＤ等の検出器を有することが好ましい。また、ＣＦの色特性の評価精度をより高めるため、波長３８０〜７８０ｎｍの範囲における分光ユニットの分解能は、１ｎｍ以下であることが好ましい。
【００２８】
本発明のＣＦの評価方法は、本発明の評価装置を用いて、細線の画素幅が２５．０μｍ以上の画素の分光スペクトルａを測定する工程と、本発明の評価装置を用いて、細線の画素幅が５．０〜２５．０未満μｍの画素の分光スペクトルｂを測定する工程と、上記分光スペクトルａ及び上記分光スペクトルｂから、上記画素の色度（ｘ、ｙ、Ｙ）を算出する工程と、を備えることを特徴とする。
【００２９】
より具体的には、まず、図４に示すような透明基板（リファレンス）について、波長３８０〜７８０ｎｍの透過光強度０を測定する。
【００３０】
次に、図５に示すような、透明基板上に形成された、細線の画素幅が３０μｍの画素について、波長３８０〜７８０ｎｍの透過光強度ａを測定する。上記の透過光強度０と透過光強度ａとの比から、分光スペクトルaを求めることができる。
【００３１】
さらに、図５に示すような、透明基板上に形成された、細線の画素幅が１０μｍの画素について、波長３８０〜７８０ｎｍの透過光強度ｂを測定する。上記の透過光強度０と透過光強度ｂとの比から、分光スペクトルｂを求めることができる。
【００３２】
最後に、分光スペクトルａ及び分光スペクトルｂから、例えば、赤、緑又は青の画素のＣＩＥ１９３１表色系の色度（ｘ、ｙ、Ｙ）を算出することができる。なお、赤、緑及び青のそれぞれの色度の加法混色により、ホワイトの色度（ｘ、ｙ、Ｙ）を算出こともできる。
【００３３】
本発明のＣＦの評価装置においては、赤、緑及び青のいずれの画素においても、細線の画素幅が１０μｍの場合の色度（Ｙ）を、細線の画素幅が３０μｍの場合の色度（Ｙ）で除した値が、９５〜１０３％であることが好ましい。これによって、細線の画素幅が１０μｍの場合のホワイトの色度（ｘ、ｙ）と、細線の画素幅が３０μｍの場合のホワイトの色度（ｘ、ｙ）の差を、±０．００５の範囲に収めることができる。
【００３４】
本発明のＣＦの評価方法における評価対象となる、細線の画素幅が２５μｍ未満の高精細なＣＦは、透明基板上に格子上のブラックマトリクスを形成した後、ブラックマトリクスにより区画された開口部を完全に覆うように、赤、緑及び青の画素をそれぞれ形成することにより製造される。
【００３５】
透明基板の材質としては、例えば、ソーダガラス、無アルカリガラス又は石英ガラスが挙げられる。
【００３６】
ブラックマトリクスは、その線幅を均一にするため、遮光剤を樹脂に分散させた遮光剤組成物を用いて、フォトリソ法により形成することが好ましい。またブラックマトリクスの膜厚は、０．５〜２．０μｍであることが好ましい。
【００３７】
遮光剤組成物が含む遮光剤としては、例えば、カーボンブラック又はチタンブラックが挙げられる。また遮光剤組成物が含む樹脂としては、例えば、非感光性ポリイミド系樹脂又は感光性アクリル樹脂が挙げられる。
【００３８】
ブラックマトリクスと同様に、赤緑青の画素もその線幅を均一にするため、着色剤を樹脂に分散させた着色剤組成物を用いて、フォトリソ法により形成することが好ましい。
【００３９】
着色剤組成物が含む赤画素の着色剤としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７又は２５４が挙げられる。緑画素の着色剤としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６又は５８が挙げられる。青画素の着色剤としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６が挙げられる。
【００４０】
着色剤組成物が含む樹脂としては、例えば、非感光性ポリイミド系樹脂又は感光性アクリル樹脂が挙げられる。
【実施例】
【００４１】
以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明をさらに詳しく説明する。
【００４２】
（ＣＦの色特性評価装置）
図１に示すように、ＣＦの評価装置を構成した。投光側ピンホールの孔の径は５０μｍφ、投光側対物レンズの倍率は１０倍にした。投光側対物レンズ上には、図３に示すような遮光部がドーナツ状のアパーチャー（遮光部の内径が５．０ｍｍφ、外径が２０．０ｍｍφ、厚みが５０μｍ）を取り付け、投光側対物レンズの開口面積を１９．６ｍｍ２とした上で、その遮光部において光が透過しないことを確認した。この結果、測定スポットの直径は５．０μｍφとなり、測定スポットの面積は１９．６μｍ２となった。
【００４３】
（細線の画素幅が３０μｍのＣＦの作製）
無アルカリガラス基板上（ＯＡ−１０；日本電気ガラス（株）製）に、開口幅が３０μｍ×９０μｍとなるようにブラックマトリクスを形成した。ブラックマトリクスは、ポリイミド樹脂中にカーボンブラック（ＭＡ１００；三菱化学（株）製）を分散させた遮光剤組成物を用いて形成した（膜厚：１．５μｍ、線幅：１０μｍ）。
【００４４】
次に、ブラックマトリクスの開口部を完全に覆うように、赤、青及び緑の画素をそれぞれ形成して、ＣＦ−ａを作製した。
【００４５】
ＣＦ−ａの赤の画素は、ポリイミド樹脂中に着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４（ＢＫＣＦ；チバ・スペシャルティケミカルズ（株）製）及びＣ．Ｉ．ピグメントレッド１７７（６１２５ＥＣ；大日精化（株）製）を分散させた着色剤組成物を用いて形成した（膜厚：２．０μｍ、画素幅：３０μｍ×９０μｍ）。
【００４６】
ＣＦ−ａの緑の画素は、ポリイミド樹脂中に、着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６（２ＹＫ−ＣＦ；ＤＩＣ（株）製）及びＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０（Ｅ４ＧＮＧＴ；ランクセス（株）製）を分散させた着色剤組成物を用いて形成した（膜厚：２．０μｍ、画素幅：３０μｍ×９０μｍ）。
【００４７】
ＣＦ−ａの青の画素は、ポリイミド樹脂中に、着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６（７６０２；東洋インキ社製）を分散させた着色剤組成物を用いて形成した（膜厚：２．０μｍ、画素幅：３０μｍ×９０μｍ）。
【００４８】
（細線の画素幅が１０μｍのＣＦの作製）
画素幅が１０μｍ×３０μｍに変更した以外は、ＣＦ−ａと同様の方法で、ＣＦ−ｂを作製した。
【００４９】
（実施例１）
上記のように構成したＣＦの評価装置を用いて、ＣＦ−ａ及びＣＦ−ｂの色特性を評価して、赤、緑及び青の各画素のＣＩＥ１９３１表色系色度（ｘ、ｙ、Ｙ）を算出し、さらにホワイトの色度（ｘ、ｙ、Ｙ）を算出した。
【００５０】
（比較例１）
（ＣＦの色特性評価装置）
表１に示すように、構成したＣＦの評価装置の投光側ピンホールの孔の径を１００μｍφにして測定スポットの面積を７８．５μｍ２に、（アパーチャーを取り外して）投光側対物レンズの開口面積を３１４．０ｍｍ２に、それぞれ変更した以外は、実施例１と同様にＣＦ−ａ及びＣＦ−ｂの色特性を評価した。
【００５１】
（実施例２〜７及び比較例２〜５）
表１に示すように、測定スポットの面積及び投光側対物レンズの開口面積をそれぞれ変更した以外は、実施例１と同様にＣＦ−ａ及びＣＦ−ｂの色特性を評価した。
【００５２】
【表１】
2014126420.tif 000002
【００５３】
実施例１〜７及び比較例１〜５の評価結果を、表２〜４示す（表２が赤、表３が緑、表４が青の画素についての結果である）。なお、表２〜４には、ＣＦ−ａの色度（Ｙ）をＣＦ−ｂの色度（Ｙ）で除した値、すなわちＹ比も併せて示す。
【００５４】
【表２】
2014126420.tif 000003
【００５５】
【表３】
2014126420.tif 000004
【００５６】
【表４】
2014126420.tif 000005
【００５７】
実施例１〜７では、赤、緑及び青のいずれの画素においてもＹ比は９５〜１０３％の範囲内にあり、高精細な画素の色特性を正確に評価できることが確認された。また、特に実施例１、３及び６では、赤、緑及び青のいずれの画素においてもＹ比は９８〜１０２％の範囲内にあり、極めて正確な評価できることが確認された。
【００５８】
比較例１では、測定スポットの面積が７０．０μｍ２を超えており、かつ、対物レンズの開口面積が２５０．０ｍｍ２を超えているため、赤、緑及び青のいずれの画素においてもＹ比が９０％以下となり、高精細な画素の色特性を正確に評価することができなかった。
【００５９】
比較例２では、測定スポットの面積が７０．０μｍ２を超えているため、赤、緑及び青のいずれの画素においてもＹ比が９５％以下となり、高精細な画素の色特性を正確に評価することができなかった。
【００６０】
比較例３では、測定スポットの面積が０．５μｍ２未満であるため、青画素においてＹ比が９５％以下となり、高精細な画素の色特性を正確に評価することができなかった。
【００６１】
比較例４では、対物レンズの開口面積が２５０．０ｍｍ２を超えているため、赤、緑及び青のいずれの画素においてもＹ比が９５％以下となり、高精細な画素の色特性を正確に評価することができなかった。
【００６２】
比較例５では、対物レンズの開口面積が２．０ｍｍ２未満であるため、青画素においてＹ比が９５％以下となり、高精細な画素の色特性を正確に評価することができなかった。
【００６３】
つぎに、実施例１〜７及び比較例１〜５について、それぞれホワイトの色度（ｘ、ｙ、Ｙ）を算出した結果を、表５に示す。
【００６４】
【表５】
2014126420.tif 000006
【００６５】
実施例１では、ＣＦ−ａとＣＦ−ｂとのホワイトの色度（ｘ、ｙ）の差が、ｘ、ｙとも、±０．００５の範囲内であったことから、細線の画素幅１０μｍにおけるＣＦの色特性を正確に評価できることが確認された。
【００６６】
一方、比較例１〜５では、ＣＦ−ａとＣＦ−ｂとのホワイトの色度（ｘ、ｙ）の差が、ｘ又はｙの少なくとも一方で±０．００５の範囲外であったことから、細線の画素幅１０μｍにおけるＣＦの色特性を正確に評価することができなかった。
【符号の説明】
【００６７】
１      ：  透過光源
２      ：  投光側ピンホール
３      ：  投光側対物レンズ
３−１  ：  投光側対物レンズの開口部
３−２  ：  投光側対物レンズの遮光部
４      ：  サンプルホルダー
５      ：  評価対象のＣＦ
５−１  ：  ＣＦの赤の画素
５−２  ：  ＣＦの緑の画素
５−３  ：  ＣＦの青の画素
５−４  ：  ＣＦのブラックマトリクス
５−５  ：  透明基板
６      ：  受光側対物レンズ
７      ：  分光ユニット
８      ：  測定スポットの面積
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等の表示装置に使用されるＣＦの評価において、好適に使用できる。
【図１】
2014126420.tif 000007
【図２】
2014126420.tif 000008
【図３】
2014126420.tif 000009
【図４】
2014126420.tif 000010
【図５】
2014126420.tif 000011
【図６】
2014126420.tif 000012