(57)【要約】      （修正有）【課題】両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムでも、導電性金属層を剥離することなく導電パターンを形成可能な、パターニングされた透明導電フィルムの製造方法を提供する。【解決手段】両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを、紫外線硬化型粘着剤からなるノンサポートタイプの仮固定用両面粘着テープを介して作業台に固定するフィルム固定工程と、作業台に固定した透明導電フィルムにアニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理を施して、透明導電フィルムの一方の面に導電パターンを形成するパターニング工程と、透明導電フィルムの導電パターンが形成された面上に、粘着剤付き支持板を貼り付ける支持板貼付工程と、仮固定用両面粘着テープに紫外線を照射して、粘着剤付き支持板に貼着した透明導電フィルムを仮固定用両面粘着テープから剥離する剥離工程とを有するパターニングされた透明導電フィルムの製造方法。【選択図】図１
2014154402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを、紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する紫外線硬化型粘着剤からなるノンサポートタイプの仮固定用両面粘着テープを介して作業台に固定するフィルム固定工程と、
作業台に固定された前記透明導電フィルムにアニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理を施して、透明導電フィルムの一方の面に導電パターンを形成するパターニング工程と、
前記透明導電フィルムの導電パターンが形成された面上に、粘着剤付き支持板を貼り付ける支持板貼付工程と、
前記仮固定用両面粘着テープに紫外線を照射することにより、前記粘着剤付き支持板に貼着された透明導電フィルムを仮固定用両面粘着テープから剥離する剥離工程とを有する
ことを特徴とするパターニングされた透明導電フィルムの製造方法。
【請求項２】
仮固定用両面粘着テープの厚さが３０μｍ以上であることを特徴とする請求項１記載のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法。
【請求項３】
更に、粘着剤付き支持板に貼着された透明導電フィルムにアニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理を施して、透明導電フィルムの他方の面に導電パターンを形成するパターニング工程を有することを特徴とする請求項１又は２記載のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムであっても、導電性金属層を剥離することなく導電パターンを形成することができるパターニングされた透明導電フィルムの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯用の電子手帳、情報端末等の携帯情報端末等の入力装置として、液晶表示素子の上に透明なタッチパネルを載せたものが用いられており、とりわけ抵抗方式のタッチパネルが普及している。抵抗方式のタッチパネルは、パターニングされた透明導電フィルムと透明導電膜付きガラスとがギャップで隔てられた構造を有するものが一般的である。
パターニングされた透明導電フィルムを製造する方法としては、錫を含む酸化インジウム（ＩＴＯ）等の金属又は金属酸化物を含有する導電性金属層が形成された透明導電フィルムを、仮固定用両面粘着テープを介して作業台に固定した後、アニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理を施して導電パターンを形成する方法が挙げられる。
【０００３】
ところで近年、両面に導電パターンが形成された透明導電フィルムを用いたタッチパネルが検討されている。このような両面に導電パターンが形成された透明導電フィルムを用いることにより、従来の片面のみに導電パターンが形成された透明導電フィルムを２枚用いた場合に比べて、より薄いタッチパネルを得ることができる。
【０００４】
このような両面に導電パターンが形成された透明導電フィルムを製造するためには、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを原料として、その両面をパターニングする必要がある（例えば、特許文献１、特許文献２）。しかしながら、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを、仮固定用両面粘着テープを介して作業台に固定すると、該仮固定用両面粘着テープを剥離するときに、透明導電フィルムの表面から導電性金属層の一部又は全部が剥離してしまうことがあるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４６８３１６４号公報
【特許文献２】特開昭６０−１８１８２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者らは、パターニングされた透明導電フィルムの製造方法において、仮固定用両面粘着テープの剥離を容易にする目的で、紫外線硬化型粘着剤からなる粘着剤層を有する仮固定用両面粘着テープを用いることを試みた。しかしながら、このような仮固定用両面粘着テープを用いると、かえって該仮固定用両面粘着テープを剥離するときに透明導電フィルムの表面から導電性金属層が剥離してしまう傾向があることが判った。
導電性金属層が形成された透明導電フィルムの導電性金属層上には、微細な突起が形成されている。このような導電性金属層が形成された透明導電フィルムに仮固定用両面粘着テープを貼付してアニール処理等の加熱処理を加えると、導電性金属層上の微細な突起が仮固定用両面粘着テープに食い込んで強く密着するうえ、剥離時に紫外線を照射して粘着剤層が硬化することにより、よりいっそう導電性金属層と仮固定用両面粘着テープとの接着力が増す。一方、導電性金属層と透明基材フィルムとの接着力は、アニール処理等の加熱処理によって低下する傾向にある。このようにして、導電性金属層と仮固定用両面粘着テープとの接着力が、導電性金属層と透明基材フィルムとの接着力に比べて、相対的に強くなっていくことが、仮固定用両面粘着テープの剥離時に透明導電フィルムの表面から導電性金属層が剥離してしまう原因であると思われた。
【０００７】
本発明は、上記現状に鑑み、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムであっても、導電性金属層を剥離することなく導電パターンを形成することができるパターニングされた透明導電フィルムの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを、紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する紫外線硬化型粘着剤からなるノンサポートタイプの仮固定用両面粘着テープを介して作業台に固定するフィルム固定工程と、作業台に固定された前記透明導電フィルムにアニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理を施して、透明導電フィルムの一方の面に導電パターンを形成するパターニング工程と、前記透明導電フィルムの導電パターンが形成された面上に、粘着剤付き支持板を貼り付ける支持板貼付工程と、前記仮固定用両面粘着テープに紫外線を照射することにより、粘着剤付き支持板に貼着された透明導電フィルムを仮固定用両面粘着テープから剥離する剥離工程とを有するパターニングされた透明導電フィルムの製造方法である。
以下に本発明を詳述する。
【０００９】
本発明者らは、鋭意検討の結果、紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する紫外線硬化型粘着剤からなるノンサポートタイプの仮固定用両面粘着テープを採用した場合には、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを作業台に固定して各工程を行っても、導電性金属層が剥離することなく導電パターンを形成できることを見出し、本発明を完成した。
本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法の一例を示す模式図を図１に示した。以下、図１を参照しながら、本発明を詳しく説明する。
【００１０】
本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法では、まず、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを、紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する紫外線硬化型粘着剤からなるノンサポートタイプの仮固定用両面粘着テープを介して作業台に固定するフィルム固定工程を行う。
【００１１】
上記両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムは、例えば、透明基材フィルムの両面に導電性金属からなる層を形成したフィルムが挙げられる。
上記透明基材フィルムは、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル系樹脂や、ポリカーボネート系樹脂、ノルボルネン樹脂（ＣＯＰ）等からなるフィルムが挙げられる。なかでも、ＰＥＴからなるフィルムが一般的である。
上記導電性金属層を構成する金属としては、例えば、金、銀、銅等の金属や酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化錫、酸化チタン等の金属酸化物が挙げられる。なかでも、錫を含む酸化インジウム（ＩＴＯ）が一般的である。また、ＩＴＯ層上に更に金、銀、銅等の金属層を形成する態様も一般的である。
図２に、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムの一例を示す模式図を示した。
図２において、透明導電フィルム１は、ノルボルネン樹脂からなる透明基材フィルム１１の両面に、ＩＴＯ層１２及び銅層１３がこの順に積層されている。
【００１２】
本発明においては、仮固定用両面粘着テープとして、紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する紫外線硬化型粘着剤からなるノンサポートタイプの仮固定用両面粘着テープを用いる。上記気体発生剤を含有する紫外線硬化型粘着剤からなることにより、剥離時に紫外線を照射することにより、仮固定用両面粘着テープの全体が架橋して弾性率が上昇するとともに、該弾性率が上昇した仮固定用両面粘着テープ中において気体発生剤から発生した気体がテープ外に放出され、放出された気体の圧力によって仮固定用両面粘着テープと透明導電フィルムとの接着界面の少なくとも一部を剥離して、接着力を著しく低下させることができる。更に、仮固定用両面粘着テープが基材を有しないノンサポートタイプであることにより、気体が透明導電フィルム及び作業台側のいずれにも放出され、仮固定用両面粘着テープ全体がジグザグ形状に変形して接着面積が減少し、より接着力が低下するとともに、気体発生後に透明導電フィルムや作業台の重みによって再密着するのを防止することができる。
【００１３】
上記紫外線硬化型粘着剤としては、例えば、分子内にラジカル重合性の不飽和結合を有してなるアクリル酸アルキルエステル系及び／又はメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーとを主成分とし、必要に応じて光重合開始剤を含んでなる紫外線硬化型粘着剤が挙げられる。
このような紫外線硬化型粘着剤は、紫外線を照射することにより粘着剤の全体が均一にかつ速やかに重合架橋して一体化するため、重合硬化による弾性率の上昇が著しくなり、粘着力が大きく低下する。また、弾性率の上昇した硬い硬化物中で気体発生剤から気体を発生させると、発生した気体の大半は外部に放出され、放出された気体は、仮固定用両面粘着テープと透明導電フィルムとの接着界面の少なくとも一部を剥離し、接着力を低下させる。
【００１４】
上記重合性ポリマーは、例えば、分子内に官能基を持った（メタ）アクリル系ポリマー（以下、官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーという）をあらかじめ合成し、分子内に上記の官能基と反応する官能基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物（以下、官能基含有不飽和化合物という）と反応させることにより得ることができる。
【００１５】
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーは、常温で粘着性を有するポリマーとして、一般の（メタ）アクリル系ポリマーの場合と同様に、アルキル基の炭素数が通常２〜１８の範囲にあるアクリル酸アルキルエステル及び／又はメタクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし、これと官能基含有モノマーと、更に必要に応じてこれらと共重合可能な他の改質用モノマーとを常法により共重合させることにより得られるものである。上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの重量平均分子量は通常２０万〜２００万程度である。
【００１６】
上記官能基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等のカルボキシル基含有モノマー；アクリル酸ヒドロキシエチル、メタクリル酸ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマー；アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有モノマー；アクリル酸イソシアネートエチル、メタクリル酸イソシアネートエチル等のイソシアネート基含有モノマー；アクリル酸アミノエチル、メタクリル酸アミノエチル等のアミノ基含有モノマー等が挙げられる。
上記共重合可能な他の改質用モノマーとしては、例えば、酢酸ビニル、アクリロニトリル、スチレン等の一般の（メタ）アクリル系ポリマーに用いられている各種のモノマーが挙げられる。
【００１７】
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーに反応させる官能基含有不飽和化合物としては、上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの官能基に応じて上述した官能基含有モノマーと同様のものを使用できる。例えば、上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの官能基がカルボキシル基の場合はエポキシ基含有モノマーやイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がヒドロキシル基の場合はイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がエポキシ基の場合はカルボキシル基含有モノマーやアクリルアミド等のアミド基含有モノマーが用いられ、同官能基がアミノ基の場合はエポキシ基含有モノマーが用いられる。
【００１８】
上記多官能オリゴマー又はモノマーとしては、分子量が１万以下であるものが好ましく、より好ましくは加熱又は光の照射による粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、その分子量が５０００以下でかつ分子内のラジカル重合性の不飽和結合の数が２〜２０個のものである。このようなより好ましい多官能オリゴマー又はモノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート又は上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。その他、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレート、上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。これらの多官能オリゴマー又はモノマーは、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００１９】
上記光重合開始剤としては、例えば、２５０〜８００ｎｍの波長の光を照射することにより活性化されるものが挙げられ、このような光重合開始剤としては、例えば、メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体化合物や、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物や、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等のケタール誘導体化合物や、フォスフィンオキシド誘導体化合物や、ビス（η５−シクロペンタジエニル）チタノセン誘導体化合物、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等の光ラジカル重合開始剤が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
上記光重合開始剤を用いる場合には、酸素による硬化阻害を防止するために、２ｐｈｒ以上配合することが好ましい。
【００２０】
上記紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤としては、例えば、アゾ化合物、アジド化合物、テトラゾール化合物等が挙げられる。
上記アゾ化合物としては、例えば、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルプロピル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルエチル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−プロピル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−エチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［１，１−ビス（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［２−（１−ヒドロキシブチル）］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［２−（５−メチル−２−イミダゾリン２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン２−イル）プロパン］ジサルフェイトジハイドロレート、２，２’−アゾビス［２−（３，４，５，６−テトラハイドロピリミジン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス｛２−［１−（２−ヒドロキシエチル）−２−イミダゾリン２−イル］プロパン｝ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン２−イル）プロパン］、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミジン）ハイドロクロライド、２，２’−アゾビス（２−アミノプロパン）ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−カルボキシアシル）−２−メチル−プロピオンアミジン］、２，２’−アゾビス｛２−［Ｎ−（２−カルボキシエチル）アミジン］プロパン｝、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミドオキシム）、ジメチル２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、ジメチル２，２’−アゾビスイソブチレート、４，４’−アゾビス（４−シアンカルボニックアシッド）、４，４’−アゾビス（４−シアノペンタノイックアシッド）、２，２’−アゾビス（２，４，４−トリメチルペンタン）等が挙げられる。これらのアゾ化合物は、光、とりわけ波長３６５ｎｍ程度の紫外線を照射することにより窒素ガスを発生する。なかでも、比較的耐熱性に優れ、（メタ）アクリル系ポリマーへの溶解性にも優れることから、アゾアミド化合物が好適である。
【００２１】
上記アゾアミド化合物としては、例えば、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルプロピル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルエチル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−プロピル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−エチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［１，１−ビス（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［２−（１−ヒドロキシブチル）］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］等が挙げられる。
【００２２】
上記アジド化合物としては、例えば、３−アジドメチル−３−メチルオキセタン、テレフタルアジド、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルベンズアジド；３−アジドメチル−３−メチルオキセタンを開環重合することにより得られるグリシジルアジドポリマー等のアジド基を有するポリマー等が挙げられる。これらのアジド化合物は、光、とりわけ波長３６５ｎｍ程度の紫外線を照射することにより窒素ガスを発生する。
【００２３】
上記テトラゾール化合物としては、例えば、１Ｈ−テトラゾール、５−フェニル−１Ｈ−テトラゾール、５，５−アゾビス−１Ｈ−テトラゾール、５−アミノ−１Ｈ−テトラゾール、５−メチル−１Ｈ−テトラゾール、１−メチル−５−メルカプト−１Ｈ−テトラゾール、１−メチル−５−エチル−１Ｈ−テトラゾール、１−（ジメチルアミノエチル）−５−メルカプト−１Ｈ−テトラゾール等が挙げられる。
【００２４】
上記気体発生剤は、上記紫外線硬化型粘着剤中に粒子として存在しないことが好ましい。上記紫外線硬化型粘着剤中に気体発生剤が粒子として存在しないことにより、紫外線を照射して気体発生剤から気体を発生したときに、紫外線硬化型粘着剤が発泡しにくくなり、発生した気体の大部分が粘着剤の外に放出されることから、剥離性が向上する。
なお、本明細書において、気体発生剤が粒子として存在しないとは、電子顕微鏡により上記紫外線硬化型粘着剤を観察したときに気体発生剤を確認することができないことを意味する。
【００２５】
上記紫外線硬化型粘着剤中の上記気体発生剤の配合量の好ましい下限は５重量％、好ましい上限は２０重量％である。上記気体発生剤の配合量が５重量％未満であると、充分な剥離性が得られないことがあり、２０重量％を超えると、粘着力が著しく低下することがある。上記気体発生剤の配合量のより好ましい下限は８重量％、より好ましい上限は１５重量％である。
【００２６】
上記紫外線硬化型粘着剤は、粘着剤としての凝集力の調節を図る目的で、所望によりイソシアネート化合物、メラミン化合物、エポキシ化合物等の一般の粘着剤に配合される各種の多官能性化合物を適宜配合してもよい。また、可塑剤、樹脂、界面活性剤、ワックス、微粒子充填剤等の公知の添加剤を加えることもできる。
【００２７】
上記仮固定用両面粘着テープの厚さの好ましい下限は３０μｍである。上記仮固定用両面粘着テープの厚さが３０μｍ以上であると、仮固定用両面粘着テープの強度が高まり、剥離時に仮固定用両面粘着テープの一部が引きちぎられて透明導電フィルム上に残存してしまうのを防止することができる。上記仮固定用両面粘着テープの厚さの上限は特に限定されないが、好ましい上限は６０μｍである。
【００２８】
上記フィルム固定工程では、上記両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを、上記仮固定用両面粘着テープを介して作業台に固定する。
図１（１）においては、まず両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルム１の一方の面に仮固定用両面粘着テープ２をローラー４を用いて押圧しながら貼付した後、仮固定用両面粘着テープ２の他方の面を、ローラー４を用いて押圧しながら作業台３上に貼付して固定を行っている。
【００２９】
上記作業台としては、例えば、ガラス板、プラスチック板、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等からなるプラスチックフィルム等が挙げられる。
なお、図１（１）においては、仮固定用両面粘着テープ２を両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルム１に貼付した後、作業台３上に貼付して固定を行っているが、作業台３がガラス板等である場合には、該ガラス板上に仮固定用両面粘着テープ２を直接形成した後、これに両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルム１を貼り付けてもよい。
【００３０】
本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法では、次いで、作業台に固定された前記透明導電フィルムにアニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理を施して、透明導電フィルムの一方の面に導電パターンを形成するパターニング工程を行う。アニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理は、順不同である。
これらの処理を通じて、上記透明導電フィルムの一方の面に導電パターンが形成される（図１（２））。
【００３１】
本明細書においてアニール処理とは、上記透明導電フィルムを加熱処理し、ＩＴＯ薄膜の結晶性を向上させ、その電気特性と光学特性をアニール無しの成膜したままの状態に比べて向上させる処理を意味する。
上記アニール処理の条件は特に限定されないが、１１０〜１７０℃、１時間程度の条件で行うことが一般的である。
【００３２】
本明細書においてフォトリソグラフィー処理とは、レジスト等の感光性材料を用いて回路描画し、薬液やガス処理等によるエッチングや洗浄により上記透明導電フィルムを、あるパターンに成型加工する処理を意味する。
上記フォトリソグラフィー処理に用いるレジストの種類や露光等の条件は特に限定されず、一般的なフォトリソグラフィー処理で用いられるレジストを用いて、一般的な条件で露光等を行えばよい。
【００３３】
本明細書においてエッチング処理とは、薬液、ガス等の化学反応を用いてある物質を部分的に除去する成型処理を意味する。なお、エッチング処理の中には、エッチングの際に要所で実施する水洗工程等の付随処理も含まれる。
上記エッチング処理は、必要に応じて、ドライエッチング法、ウエットエッチング法のいずれを用いることも可能であり、一般的な条件で処理を行えばよい。
【００３４】
本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法では、次いで、上記透明導電フィルムの導電パターンが形成された面上に、粘着剤付き支持板を貼り付ける支持板貼付工程を行う。
図１（３）においては、透明導電フィルムの導電パターンが形成された面上に、基材５１上に粘着剤層５２が形成された粘着剤付き支持板５が貼付されている。
上記粘着剤付き支持板としては、例えば、ガラス板等に上記仮固定剤用粘着テープを貼り付けたものや、自立性のある厚いＰＥＴフィルムに再剥離型の粘着剤が塗布された市販の粘着剤付き支持材を用いてもよい。
【００３５】
本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法では、次いで、上記仮固定用両面粘着テープに紫外線を照射することにより、上記粘着剤付き支持板に貼着された透明導電フィルムを仮固定用両面粘着テープから剥離する剥離工程を行う。
図１（４）においては、作業台３側から仮固定用両面粘着テープ２に紫外線を照射している。紫外線を照射することにより仮固定用両面粘着テープ２は硬化して弾性率が上昇するとともに、気体発生剤から発生した気体が仮固定用両面粘着テープ２と透明導電フィルム１及び作業台３との間に放出される。これにより、仮固定用両面粘着テープ２がジグザグ形状に変形し、接着面積が減少して著しく接着力が低下することから、容易に透明導電フィルム１を仮固定用両面粘着テープ２から剥離することができる。
【００３６】
本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法は、更に、粘着剤付き支持板に貼着された透明導電フィルムにアニール処理、フォトリソグラフィー処理及びエッチング処理を施して、透明導電フィルムの他方の面に導電パターンを形成するパターニング工程（以下、「第２パターニング工程」ともいう。）を行ってもよい。第２パターニング工程を行うことにより、両面に導電パターンが形成された透明導電フィルム６を得ることができる（図１（５））。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムであっても、導電性金属層を剥離することなく導電パターンを形成することができるパターニングされた透明導電フィルムの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明のパターニングされた透明導電フィルムの製造方法の一例を示す模式図である。
【図２】両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムの一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下に実施例を挙げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるものではない。
【００４０】
（実施例１）
（１）気体発生剤を含有する紫外線硬化型粘着剤の調製
下記の化合物を還流冷却器、攪拌機、温度計及び滴下ロートが設置されたフラスコ中に投入し、過酸化ベンゾイルのキシレン溶液（過酸化ベンゾイル０．０５重量部及びキシレン３．７重量部を混合したもの）を滴下し、還流下で３０分間反応させた時点で過酸化ベンゾイルのキシレン希釈溶液（過酸化ベンゾイル０．０３重量部及びキシレン３重量部を混合したもの）を滴下した。次いで５時間反応させた後、更に過酸化ベンゾイルのキシレン希釈溶液（過酸化ベンゾイル０．０３重量部及びキシレン３重量部を混合したもの）を滴下し、２時間熟成した。得られたアクリル粘着剤の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、ポリイソシアネート１重量部を加え紫外線硬化型粘着剤の酢酸エチル溶液を調整した。
ブチルアクリレート                                    ３８重量部
２−エチルヘキシルアクリレート                        ５５重量部
エチルアクリレート                                      ４重量部
アクリルアミド                                          ３重量部
酢酸エチル                                            ８５重量部
得られた紫外線硬化型粘着剤の酢酸ビニル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）１００重量部を混合して、気体発泡剤を含有する紫外線硬化型粘着剤の酢酸エチル溶液を得た。
【００４１】
（２）仮固定用両面粘着テープの作製
気体発泡剤を含有する紫外線硬化型粘着剤の酢酸エチル溶液を、離型処理された透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの片面に乾燥皮膜の厚さが４０μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させて粘着剤層を得た。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤層の他方の面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行い、２枚の離型フィルム（ＰＥＴフィルム）で挟持された厚さ４０μｍの仮固定用両面粘着テープを得た。
【００４２】
（３）パターンニングされた透明導電フィルムの製造
ノルボルネン樹脂からなる透明基材フィルムの両面にＩＴＯ層及び銅層がこの順で形成された、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムを準備した。
仮固定用両面粘着テープの一方の離型フィルムを剥がして、ローラーを用いて押圧しながら透明導電フィルムの一方の面に貼付した。次いで、仮固定用両面粘着テープの他方の離型フィルムを剥がして、ローラーを用いて押圧しながら作業台として利用するガラス板に貼付した。
透明導電フィルムを作業台に固定した状態で、９０℃のオーブン内で１時間加熱を行ってアニール処理を行った。次いで、透明導電フィルムの銅層の表面にレジストを塗布し、露光、現像を行った後、銅層を部分的にエッチングしてレジストを除去し、導電パターンを形成した。
次いで、粘着剤付き支持板を透明導電フィルムの導電パターンが形成された側の面に貼り付けた。
次いで、作業台側から、超高圧水銀灯を用いて３６５ｎｍの紫外線を作業台表面への照射強度が４０ｍＷ／ｃｍ２となるよう照度を調節して２分間照射した。仮固定用両面粘着テープの表面に気泡が発生したのを確認した後、透明導電フィルムから仮固定用両面粘着テープを剥離した。
【００４３】
紫外線照射後、仮固定用両面粘着テープは、手で容易に剥離することができた。また、仮固定用両面粘着テープの剥離時に、透明導電フィルムが粘着剤付き支持板から剥離したりすることはなかった。更に、仮固定用両面粘着テープ剥離後の透明導電フィルムの表面を観察したところ、銅層が剥離した個所は観察されなかった。
【００４４】
（実施例２）
両面粘着テープの厚みを３０μｍとしたこと以外は、実施例１と同様にして仮固定用両面粘着テープを作製し、これを用いてパターンニングされた透明導電フィルムの製造を行った。
紫外線照射後、仮固定用両面粘着テープは、手で容易に剥離することができた。また、仮固定用両面粘着テープの剥離時に、透明導電フィルムが粘着剤付き支持板から剥離したりすることはなかった。更に、仮固定用両面粘着テープ剥離後の透明導電フィルムの表面を観察したところ、銅層が剥離した個所は観察されなかった。
【００４５】
（実施例３）
両面粘着テープの厚みを２５μｍとしたこと以外は、実施例１と同様にして仮固定用両面粘着テープを作製し、これを用いてパターンニングされた透明導電フィルムの製造を行った。
紫外線照射後、仮固定用両面粘着テープは、手で容易に剥離することができた。また、仮固定用両面粘着テープの剥離時に、透明導電フィルムが粘着剤付き支持板から剥離したりすることはなかった。仮固定用両面粘着テープ剥離後の透明導電フィルムの表面を観察したところ、銅層が剥離した個所は観察されなかった。ただし、透明導電フィルムの表面に、引きちぎられた仮固定用両面粘着テープの一部が付着している箇所が観察された。
【００４６】
（比較例１）
気体発生剤を配合しなかった以外は、実施例１と同様にして仮固定用両面粘着テープを作製し、これを用いてパターンニングされた透明導電フィルムの製造を行った。
仮固定用両面粘着テープの剥離時に、透明導電フィルムの一部が粘着剤付き支持板から剥離して浮き上がった。また、仮固定用両面粘着テープ剥離後の透明導電フィルムの表面を観察したところ、銅層が剥離した個所が観察された。
【００４７】
（比較例２）
厚さ２５μｍのＰＥＴ基材の片側に実施例１で調製した気体発泡剤を含有する紫外線硬化型粘着剤の酢酸エチル溶液を塗布し、反対側の面には気体発生剤を配合しない紫外線硬化型粘着剤の酢酸エチル溶液を塗布して、サポートタイプの仮固定用両面粘着テープを作製し、これを用いてパターンニングされた透明導電フィルムの製造を行った。
仮固定用両面粘着テープの剥離時に、透明導電フィルムの一部が粘着剤付き支持板から剥離して浮き上がった。また、仮固定用両面粘着テープ剥離後の透明導電フィルムの表面を観察したところ、銅層が剥離した個所が観察された。また少し時間をおいて剥離を実施すると再密着により透明導電フィルムが粘着材付き支持板から剥がれる割合が増加した。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明によれば、両面に導電性金属層が形成された透明導電フィルムであっても、導電性金属層を剥離することなく導電パターンを形成することができるパターニングされた透明導電フィルムの製造方法を提供することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１  透明導電フィルム
１１  ノルボルネン樹脂からなる透明基材フィルム
１２  ＩＴＯ層
１３  銅層
２  仮固定用両面粘着テープ
３  作業台
４  ローラー
５  粘着剤付き支持板
５１  基材
５２  粘着剤層
６  両面に導電パターンが形成された透明導電フィルム
【図１】
2014154402.tif 000003
【図２】
2014154402.tif 000004