(57)【要約】【課題】滅菌対象物全体にわたって均一にかつ確実に滅菌処理を行うことができる滅菌装置を提供する。【解決手段】滅菌対象物を収納する、両端が閉塞された筒状の収納容器と、この収納容器の内周面に沿って設けられた接地電極と、前記収納容器の外部に設けられた、３〜５００ＭＨｚの高周波電流を供給する高周波電源と、この高周波電源から前記収納容器内に伸び、当該収納容器内において前記接地電極に離間して対向するよう配置された線状電極とを備えてなる滅菌装置において、前記収納容器内における前記線状電極の最大長さをＬ１（ｍ）、前記線状電極における前記高周波電源から供給される高周波電流の波長をλ（ｍ）、前記線状電極における実効電力をＷ（Ｗ）としたとき、比Ｌ１／λが１／４未満であり、比（２００−Ｗ）／Ｌ１が３０超でかつ２４０以下の範囲にあることを特徴とする。【選択図】図１
2014008177.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
滅菌対象物を収納する、両端が閉塞された筒状の収納容器と、この収納容器の内周面に沿って設けられた接地電極と、前記収納容器の外部に設けられた、３〜５００ＭＨｚの高周波電流を供給する高周波電源と、この高周波電源から前記収納容器内に伸び、当該収納容器内において前記接地電極に離間して対向するよう配置された線状電極とを備えてなる滅菌装置において、
前記収納容器内における前記線状電極の最大長さをＬ１（ｍ）、前記線状電極における前記高周波電源から供給される高周波電流の波長をλ（ｍ）、前記線状電極における実効電力をＷ（Ｗ）としたとき、比Ｌ１／λが１／４未満であり、比（２００−Ｗ）／Ｌ１が３０超でかつ２４０以下の範囲にあることを特徴とする滅菌装置。
【請求項２】
前記線状電極は、互いに電気的に接続された複数の電極素子を有し、これらの複数の電極素子は、それぞれ前記収納容器の周方向に沿って伸び、かつ互いに前記収納容器の筒軸方向に離間して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の滅菌装置。
【請求項３】
前記収納容器は金属よりなり、当該収納容器の内周面によって接地電極が構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の滅菌装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマを利用して滅菌対象物を滅菌処理する滅菌装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、滅菌対象物を滅菌処理する方法としては、消毒薬などの薬剤を用いた滅菌法、火炎滅菌法，乾熱滅菌法，オートクレーブ等による高圧蒸気滅菌法，煮沸滅菌法などの加熱滅菌法、γ線，紫外線，高エネルギーの電子線等の放射線を照射する放射線照射滅菌法、エチレンオキサイドガスや過酸化水素などの滅菌ガスを作用させるガス滅菌法，ろ過フィルターを用いるろ過滅菌法などが知られており、滅菌対象物の材質および形態や、滅菌対象物に要求される滅菌処理の程度などに応じて、それぞれ適した滅菌法が利用されている。
【０００３】
而して、例えば医療分野における滅菌法として、近年、プラズマを利用して滅菌対象物を滅菌処理するプラズマ滅菌法が検討されている。このプラズマ滅菌法は、有害物質が残留することがなくて安全性が高いこと、低温で滅菌処理を行うことが可能であること、ドライプロセスによる滅菌処理であること、比較的短時間で滅菌処理を行うことが可能であることなどの利点を有する。
そして、このようなプラズマ滅菌法による滅菌装置としては、滅菌対象物が収納される滅菌処理空間を形成する円筒状の収納容器と、この収納容器内において滅菌処理空間を取り囲むよう配置された、プラズマ放電用の線状電極と、収納容器内にプラズマ用ガスを供給するガス供給手段と、線状電極に高周波電流を供給する高周波供給手段とを備えてなるものが提案されている（例えば特許文献１および特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２６３９６２号公報
【特許文献２】国際公開第２０１１／１２５２５２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の滅菌装置においては、滅菌対象物の滅菌処理においてムラが生じる、という問題があることが判明した。
この問題は、以下の理由によるものと考えられる。線状電極の一端を高周波電源に接続すると共に、当該線状電極の他端を開放端とした場合において、この線状電極に高周波電源から高周波電流を供給すると、当該線状電極には、その開放端である他端が最高電位となる定在波が生じる。そのため、線状電極においては、定在波の腹となる部分およびその近傍に生じるプラズマ放電の強度と、定在波の節となる部分およびその近傍に生じるプラズマ放電の強度との間で大きな差が生じる結果、滅菌対象物の滅菌処理にムラが生じると考えられる。
また、線状電極における定在波の節となる部分およびその近傍に強度の高いプラズマ放電を発生させるため、大電力の高周波電流を供給した場合には、線状電極の長さ方向に沿って均一なプラズマ放電が得られず、また、定在波の腹となる部分およびその近傍に生じるプラズマ放電は、強度が過剰に高いものとなるため、滅菌対象物が局所的に過熱されることにより、当該滅菌対象物が損傷するおそれがある。
【０００６】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、滅菌対象物全体にわたって均一にかつ確実に滅菌処理を行うことができる滅菌装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の滅菌装置は、滅菌対象物を収納する、両端が閉塞された筒状の収納容器と、この収納容器の内周面に沿って設けられた接地電極と、前記収納容器の外部に設けられた、３〜５００ＭＨｚの高周波電流を供給する高周波電源と、この高周波電源から前記収納容器内に伸び、当該収納容器内において前記接地電極に離間して対向するよう配置された線状電極とを備えてなる滅菌装置において、
前記収納容器内における前記線状電極の最大長さをＬ１（ｍ）、前記線状電極における前記高周波電源から供給される高周波電流の波長をλ（ｍ）、前記線状電極における実効電力をＷ（Ｗ）としたとき、比Ｌ１／λが１／４未満であり、比（２００−Ｗ）／Ｌ１が３０超でかつ２４０以下の範囲にあることを特徴とする。
【０００８】
本発明の滅菌装置においては、前記線状電極は、互いに電気的に接続された複数の電極素子を有し、これらの複数の電極素子は、それぞれ前記収納容器の周方向に沿って伸び、かつ互いに前記収納容器の筒軸方向に離間して配置されていることが好ましい。
また、前記収納容器は金属よりなり、当該収納容器の内周面によって接地電極が構成されていてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の滅菌装置によれば、収納容器内における線状電極の最大長さ（Ｌ１）が、当該線状電極における高周波電源から供給される高周波電流の波長（λ）の１／４未満であることにより、線状電極に生ずる高周波電流の定在波における腹および節の両方が、線状電極における収納容器内に位置する部分に現れることがないため、線状電極に生ずるプラズマ放電の強度の最高値と最低値との差が小さく、従って、滅菌対象物全体にわたって均一に滅菌処理を行うことができる。
また、収納容器内における線状電極の最大長さ（Ｌ１）に対する２００Ｗから当該線状電極における実効電力（Ｗ）を減じた値の比（（２００−Ｗ）／Ｌ１）が特定の範囲にあるため、線状電極の長さ方向に沿って均一でかつ十分な強度を有するプラズマ放電が得られ、その結果、滅菌対象物に対して確実に滅菌処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の滅菌装置の一例における要部の構成を示す説明図である。
【図２】本発明の滅菌装置の他の例における要部の構成を示す説明図である。
【図３】本発明の滅菌装置の更に他の例における要部の構成を示す説明図である。
【図４】実施例において作製した滅菌装置Ｂにおける線状電極の電極素子の構成示す説明図である。
【図５】実施例において作製した滅菌装置Ｃにおける線状電極の電極素子の構成示す説明図である。
【図６】実施例において作製した滅菌装置Ｄにおける線状電極の電極素子の構成示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の滅菌装置の実施の形態について説明する。
図１は、本発明の滅菌装置の一例における要部の構成を示す説明図である。この滅菌装置は、両端が閉塞された円筒状の収納容器１０を有し、この収納容器１０内に、滅菌対象物が収納される滅菌処理空間Ｓが形成されている。また、この例の収納容器１０は金属よりなり、この収納容器１０が接地されることにより、当該収納容器１０の内周面によって接地電極１１が構成されている。
収納容器１０の外部には、高周波電流を供給する高周波電源２０が設けられている。この高周波電源２０の一方の端子には、当該高周波電源２０から収納容器１０内に伸びる金属よりなる線状電極１５が電気的に接続され、当該高周波電源２０の他方の端子は接地されている。
線状電極１５は、収納容器１０内において、当該収納容器１０の内周面すなわち接地電極１１に離間して対向するよう配置されている。図示の例では、線状電極１５は、それぞれ収納容器１０の周方向に沿って伸びて滅菌処理空間Ｓを取り囲む、当該収納容器１０の内径より小さい外径のＣ字型の複数の電極素子１６と、これらの複数の電極素子１６を相互に電気的に接続する導電線１７と、高周波電源２０から伸びて導電線１７に電気的に接続された接続線１８とにより構成されている。この線状電極１５における複数の電極素子１６は、収納容器１０内において、当該収納容器１０の筒軸方向に互いに離間して並ぶよう配置されている。
また、収納容器１０には、当該収納容器１０内の滅菌処理空間Ｓの圧力を減圧する減圧手段２５が、バルブ２７を備えた排気管２６を介して接続されていると共に、当該収納容器１０内の滅菌処理空間Ｓにプラズマ用ガスを供給するガス供給手段３０が、バルブ３２を備えたガス供給管３１を介して接続されている。
【００１２】
図示の例において、収納容器１０を構成する金属すなわち接地電極１１を構成する金属としては、ステレンス、銅、アルミニウムなどを用いることができる。
また、収納容器１０における周壁の肉厚は、例えば３〜２０ｍｍである。
線状電極１５および導電線１６を構成する金属としては、ステレンス、銅、アルミニウムなどを用いることができる。
線状電極１５の線径は、例えば１〜６ｍｍである。
また、線状電極１５は、素線よりなるものであっても、内部が中空のチューブ状のものであってもよく、チューブ状のものを用いる場合には、内部に冷却水を供給することによって、当該線状電極１５を冷却することができる。
また、接地電極１１（図示の例では収納容器１０の内周面）と線状電極１５との離間距離は、例えば５〜５０ｍｍである。
【００１３】
収納容器１０および線状電極１５の寸法の具体的な一例を示すと、収納容器１０は、内径が３００ｍｍ、筒軸方向の長さが７００ｍｍ、周壁の肉厚が８ｍｍであり、線状電極１５は、線径が３ｍｍ、Ｃ字の外径が２６０ｍｍ、隣接する線状電極１５間の離間距離は１５０ｍｍ、接地電極１１（図示の例では収納容器１０の内周面）と線状電極１５との離間距離が２０ｍｍである。
【００１４】
このような滅菌装置においては、滅菌対象物が収納容器１０内に収納された後、減圧手段２５によって収納容器１０内の滅菌処理空間Ｓが所要の圧力に減圧されると共に、ガス供給手段３０によって収納容器１０内にプラズマ用ガスが供給される。そして、この状態で、高周波電源２０から線状電極１５に高周波電流が供給されると、接地電極１１と線状電極１５との間にプラズマ放電が生じ、これにより、プラズマ用ガスによるラジカルなどの活性物質が生成し、この活性物質を滅菌対象物に作用させることにより、当該滅菌対象物の滅菌処理が達成される。
【００１５】
以上において、ガス供給手段３０から供給されるプラズマ用ガスとしては、酸素ガス、空気、水蒸気あるいはそれらを混合したガスなどを用いることができる。
また、収納容器１０内の圧力は、通常、３０〜２００Ｐａ、好ましくは６０〜１５０Ｐａである。
【００１６】
高周波電源２０から線状電極１５に供給される高周波電流の周波数は、３〜５００ＭＨｚとされ、好ましくは１２．５〜１００ＭＨｚとされる。この高周波電流の周波数が３ＭＨｚ未満である場合には、パルス一回一回の放電持続時間が長いため、生成したプラズマを長い間加熱してしまう。その結果、放電のエネルギーが強くなりすぎて、望ましくない強力なイオン種を生成する可能性があり、滅菌対象物の温度上昇あるいは著しい損傷を起こす。一方、この高周波電流の周波数が５００ＭＨｚを超える場合には、放電持続時間が短くなるため望ましくない強力なイオン種を生成する可能性は低くなるものの、放電には電気エネルギーを一点に集中させることが必要となるため大容量の均一放電には向かない。
【００１７】
そして、本発明の滅菌装置においては、収納容器１０内における線状電極１５の最大長さをＬ１（ｍ）、高周波電源２０から供給される高周波電流の波長をλ（ｍ）、線状電極１５における実効電力をＷ（Ｗ）としたとき、比Ｌ１／λが１／４未満、好ましくは１／４０〜１／１０とされ、比（２００−Ｗ）／Ｌ１が３０超でかつ２４０以下の範囲、好ましくは４０〜２００の範囲とされる。
【００１８】
本発明において、「収納容器内における線状電極の最大長さ」とは、高周波電源から収納容器内に伸びる線状電極を収納容器の外部から内部に向かって辿ったときに、当該線状電極において、収納容器の内部に最初に露出する位置を起点とし、この起点から最も遠い位置までの長さを意味する。
収納容器１０内における線状電極１５の最大長さ（Ｌ１）は０．２５〜２ｍであることが好ましい。
【００１９】
また、本発明において、線状電極における高周波電流の波長λ（ｍ）は、高周波電流の周波数をｆ（Ｈｚ）、線状電極における高周波電流の位相速度（高周波電流が線状電極中を伝搬する速度）をｖ（ｍ／ｓ）としたとき、λ＝ｖ／ｆで求められるものである。
【００２０】
また、本発明において、「実効電力」とは、プラズマの形成に寄与する電力を意味し、投入電力の値のみによって一義的に定まるものではない。例えば線状電極としてチューブ状のものを用い、その内部に冷却水を供給する場合には、線状電極に供給される電力によるエネルギーの一部が熱エネルギーとして冷却水に奪われるため、プラズマの形成に寄与する電力すなわち実効電力は、投入電力よりも低い値となる。ここで、線状電極に供給される電力よるエネルギーのうち、冷却水に奪われるエネルギー（Ｊ）は、線状電極を通過した冷却水の質量をＭ（ｇ）、線状電極を通過する前の冷却水の温度をｔ0 （℃）、線状電極を通過した後の冷却水の温度をｔ1 （℃）、水の比熱に基づくカロリーとジュールとの変換係数をｋとしたとき、Ｍ×（ｔ1 −ｔ0 ）×ｋによって求めることができる。
高周波電源２０から線状電極１５に供給される高周波電流の実効電力は、プラズマ放電を確実に生じさせることができる点で、４０Ｗ以上であることが好ましく、より好ましくは４０〜１８０Ｗである。
【００２１】
上記の比Ｌ１／λが１／４以上である場合には、線状電極１５に生ずる高周波電流の定在波における腹および節の両方が、線状電極１５における収納容器１０内に位置する部分に現れるため、線状電極１５に生ずるプラズマ放電の強度の最高値と最低値との差が大きく、その結果、滅菌対象物全体にわたって均一に滅菌処理を行うことが困難となる。
また、上記の比（２００−Ｗ）／Ｌ１が２４０を超える場合には、接地電極１１と線状電極１５との間に十分な強度を有するプラズマ放電を発生させることが困難となる。一方、上記の比（２００−Ｗ）／Ｌ１が３０以下である場合には、接地電極１１と線状電極１５との間で、線状電極１５の長さ方向に沿って均一なプラズマ放電が生じず、その結果、滅菌対象物に対して確実に滅菌処理を行うことが困難となる。
【００２２】
上記の滅菌装置によれば、収納容器１０内における線状電極１５の最大長さ（Ｌ１）が、当該線状電極１５における高周波電源２０から供給される高周波電流の波長（λ）の１／４未満であることにより、線状電極１５に生ずる高周波電流の定在波における腹および節の両方が、線状電極１５における収納容器１０内に位置する部分に現れることがないため、線状電極１５に生ずるプラズマ放電の強度の最高値と最低値との差が小さく、従って、滅菌対象物全体にわたって均一に滅菌処理を行うことができる。
また、収納容器１０内における線状電極１５の最大長さ（Ｌ１）に対する２００Ｗから当該線状電極１５における実効電力（Ｗ）を減じた値の比（（２００−Ｗ）／Ｌ１）が特定の範囲にあるため、線状電極１５の長さ方向に沿って均一でかつ十分な強度を有するプラズマ放電が得られ、その結果、滅菌対象物に対して確実に滅菌処理を行うことができる。
【００２３】
以上、本発明の滅菌装置の実施の形態について説明したが、本発明は、上記の実施の形態に限定されず、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、接地電極１１は、図１に示す例では収納容器１０の内周面によって構成されているが、収納容器１０とは別個に当該収納容器１０の内周面に沿って設けられていてもよい。このような構成においては、収納容器１０は、金属以外の材料例えばガラスなどによって構成することができる。
また、収納容器１０は、両端が閉塞されて気密な滅菌処理空間Ｓが形成されているものであれば、その形状は円筒に限られず、例えば多角形の筒状のものであってもよい。
また、線状電極１５は、複数のＣ字型の電極素子１６が収納容器１０の筒軸方向に互いに離間して配置されてなるものに限定されず、例えば図２に示すように、それぞれ収納容器１０の周方向に沿って伸びて１回巻き回されてなるコイル型の複数の電極素子１６が、収納容器１０の筒軸方向に互いに離間して配置され、これらの複数の電極素子１６が収納容器１０の軸方向に沿って伸びる導電線１７によって互いに電気的に接続されてなるものであってもよく、図３に示すように、収納容器１０の筒軸方向に伸びる複数の電極素子１６が、収納容器１０の周方向に沿って互いに離間して配置され、これらの電極素子１６が収納容器１０の半径方向に伸びる複数の導電線１７によって互いに電気的に接続されてなるものであってもよい。
【実施例】
【００２４】
以下、本発明の滅菌装置の具体的な実施例について説明するが、本発明と下記の実施例に限定されるものではない。
図１に示す構成に従い、下記の仕様の収納容器および線状電極を有する滅菌装置Ａ〜Ｄを作製した。
【００２５】
〈滅菌装置Ａ〉
［収納容器（１０）］
収納容器（１０）は、ステンレスよりなる、両端が閉塞された円筒状のものであって、その内径が３００ｍｍ、筒軸方向の長さが７００ｍｍ、周壁の肉厚が８ｍｍで、内周面によって接地電極（１１）が構成されたものである。
［線状電極（１５）］
線状電極（１５）は、線径が３ｍｍの銅よりなるＣ字型の電極素子（１６）を８個有し、電極素子（１６）の各々は、Ｃ字の輪郭の半径が１３０ｍｍのものであり、これらの電極素子（１６）は、収納容器（１０）の筒軸方向にそれぞれ５０ｍｍの間隔で離間して並ぶよう配置され、線径が３ｍｍの銅よりなる導電線（１７）によって互いに電気的に接続されている。また、収納容器（１０）の内周面（接地電極）と線状電極（１５）における各電極素子（１６）との離間距離は２０ｍｍである。
また、収納容器（１０）内における線状電極（１５）の最大長さ（Ｌ１）は、０．５ｍである。
【００２６】
〈滅菌装置Ｂ〉
［収納容器（１０）］
収納容器（１０）は、ステンレスよりなる、両端が閉塞された円筒状のものであって、その内径が３００ｍｍ、筒軸方向の長さが７００ｍｍ、周壁の肉厚が８ｍｍで、内周面によって接地電極（１１）が構成されたものである。
［線状電極（１５）］
線状電極（１５）は、線径が３ｍｍの銅よりなる、図４に示す構造の電極素子（１６）を４個有する。電極素子（１６）の各々は、収納容器（１０）の筒軸方向に垂直な平面に対して傾斜した状態で配置された、輪郭の半径が１３０ｍｍのＣ字型の湾曲部（１６ａ）と、この湾曲部（１６ａ）における上側部分および下側部分の各々から収納容器（１０）の筒軸方向に５０ｍｍの間隔で離間して配置された、それぞれ輪郭の半径が１３０ｍｍの半円型の湾曲部（１６ｂ）と、Ｃ字型の湾曲部（１６ａ）および半円型の湾曲部（１６ｂ）の各々の端部を互いに連結する、収納容器（１０）の筒軸方向に伸びる連結部（１６ｃ）とにより構成されている。これらの電極素子（１６）は、収納容器（１０）の筒軸方向にそれぞれ５０ｍｍの間隔で離間して並ぶよう配置され、隣接する電極素子（１６）同士が、線径が３ｍｍの銅よりなる導電線（１７）によって互いに電気的に接続されている。また、収納容器（１０）の内周面（接地電極）と線状電極（１５）における各電極素子（１６）との離間距離は２０ｍｍである。
また、収納容器（１０）内における線状電極（１５）の最大長さ（Ｌ１）は、１ｍである。
【００２７】
〈滅菌装置Ｃ〉
［収納容器（１０）］
収納容器（１０）は、ステンレスよりなる、両端が閉塞された円筒状のものであって、その内径が３００ｍｍ、筒軸方向の長さが７００ｍｍ、周壁の肉厚が８ｍｍで、内周面によって接地電極（１１）が構成されたものである。
［線状電極（１５）］
線状電極（１５）は、線径が３ｍｍの銅よりなる、図５に示す構造の電極素子（１６）を２個有する。電極素子（１６）の各々は、収納容器（１０）の筒軸方向に垂直な平面に対して傾斜した状態で配置された、輪郭の半径が１３０ｍｍのＣ字型の湾曲部（１６ａ）と、この湾曲部（１６ａ）における上側部分および下側部分の各々から収納容器（１０）の筒軸方向にそれぞれ５０ｍｍの等間隔で離間して３つずつ（合計６つ）並ぶよう配置された、それぞれ輪郭の半径が１３０ｍｍの半円型の湾曲部（１６ｂ）と、Ｃ字型の湾曲部（１６ａ）およびこれに隣接する半円型の湾曲部（１６ｂ）の各々の端部並びに隣接する半円型の湾曲部（１６ｂ）の各々の端部を互いに連結する、収納容器（１０）の筒軸方向に伸びる連結部（１６ｃ）とにより構成されている。これらの電極素子（１６）は、収納容器（１０）の筒軸方向に５０ｍｍの間隔で離間して配置され、線径が３ｍｍの銅よりなる導電線（１７）によって互いに電気的に接続されている。また、収納容器（１０）の内周面（接地電極）と線状電極（１５）における各電極素子（１６）との離間距離は２０ｍｍである。
また、収納容器（１０）内における線状電極（１５）の最大長さ（Ｌ１）は、２ｍである。
【００２８】
〈滅菌装置Ｄ〉
［収納容器（１０）］
収納容器（１０）は、ステンレスよりなる、両端が閉塞された円筒状のものであって、その内径が３００ｍｍ、筒軸方向の長さが７００ｍｍ、周壁の肉厚が８ｍｍで、内周面によって接地電極（１１）が構成されたものである。
［線状電極（１５）］
線状電極（１５）は、線径が３ｍｍの銅よりなる、図６に示す構造の電極素子（１６）を有する。この電極素子（１６）は、それぞれ収納容器（１０）の筒軸方向に垂直な平面に対して傾斜した状態で、収納容器（１０）の筒軸方向に５０ｍｍの間隔で離間して並ぶよう配置された、それぞれ半径が１３０ｍｍの半円型の８つの湾曲部（１６ｂ）と、隣接する湾曲部（１６ｂ）の一端を互いに連結する連結部（１６ｃ）とにより構成されている。また、収納容器（１０）の内周面（接地電極）と線状電極（１５）における各電極素子（１６）との離間距離は２０ｍｍである。
また、収納容器（１０）内における線状電極（１５）の最大長さ（Ｌ１）は、４ｍである。
【００２９】
〈試験例１〜１６〉
上記の滅菌装置Ａ〜Ｄの各々を用い、以下のようにして滅菌試験を行った。
収納容器（１０）内に、当該収納容器（１０）内における全領域にわたって合計で５０個のバイオロジカルインジケータ［ジョンソン＆ジョンソン社製，商品名「ステラッドサイクルシュア２４」］を配置した。そして、減圧手段によって収納容器（１０）内の圧力を６０Ｐａに減圧すると共に、ガス供給手段によって収納容器（１０）内にプラズマ用ガスとして酸素ガスを供給した。そして、下記表１に示す条件に従って、滅菌装置を作動させ、収納容器（１０）内に配置された全てのバイオロジカルインジケータについて滅菌処理の効果が現れるまでの時間（以下、「滅菌処理完了時間」という。）を測定した。結果を下記表１に示す。
【００３０】
【表１】
2014008177.tif 000003
【００３１】
試験例２〜４、試験例７および試験例８においては、滅菌処理完了時間が３０分間未満であり、短時間で滅菌処理が達成されることが確認された。
試験例１においては、線状電極の端部において激しい放電が起こり、均一なプラズマ放電が生じなかった。また、試験例６、試験例１０および試験例１４においては、収納容器（１０) の内周面と線状電極（１５）との間で、均一なプラズマ放電が生じなかった。その結果、試験例１、試験例６、試験例１０および試験例１４については、全てのバイオロジカルインジケータについて滅菌処理の効果を得ることができなかった。試験例１と、試験例６、試験例１０および試験例１４とでは、放電の状態は異なるが、いずれも不均一なプラズマ放電であり、このような現象が生じるのは、比（２００−Ｗ）／Ｌ１の値が３０以下であるためと考えられる。
【００３２】
〈試験例１７〜３３〉
収納容器（１０）内の圧力を６０Ｐａから１００Ｐａに変更し、下記表２に示す条件に従って、滅菌装置を作動させたこと以外は、試験例１〜１６と同様にして滅菌試験を行い、滅菌処理完了時間を測定した。結果を下記表２に示す。
【００３３】
【表２】
2014008177.tif 000004
【００３４】
試験例１８〜２０、試験例２３および試験例２４においては、滅菌処理完了時間が３０分間未満であり、短時間で滅菌処理が達成されることが確認された。
試験例１７においては、比（２００−Ｗ）／Ｌ１の値が０であるため、線状電極の端部において激しい放電が起こり、均一なプラズマ放電が生じなかった。また、試験例２２、試験例２６、試験例３０および試験例３１においては、比（２００−Ｗ）／Ｌ１の値が３０以下であるため、収納容器（１０) の内周面と線状電極（１５）との間で、均一なプラズマ放電が生じなかった。その結果、試験例１７、試験例２２、試験例２６、試験例３０および試験例３１については、全てのバイオロジカルインジケータについて滅菌処理の効果を得ることができなかった。
【００３５】
〈試験例３４〜４４〉
収納容器（１０）内の圧力を６０Ｐａから２００Ｐａに変更し、下記表３に示す条件に従って、滅菌装置を作動させたこと以外は、試験例１〜１７と同様にして滅菌試験を行い、滅菌処理完了時間を測定した。結果を下記表３に示す。
【００３６】
【表３】
2014008177.tif 000005
【００３７】
試験例３５〜３７、試験例４０および試験例４１においては、滅菌処理完了時間が３０分間未満であり、短時間で滅菌処理が達成されることが確認された。
試験例３４においては、比（２００−Ｗ）／Ｌ１の値が０であるため、線状電極の端部において激しい放電が起こり、均一なプラズマ放電が生じなかった。また、試験例３９および試験例４３においては、比（２００−Ｗ）／Ｌ１の値が３０以下であるため、収納容器（１０) の内周面と線状電極（１５）との間で、均一なプラズマ放電が生じなかった。その結果、試験例３４、試験例３９および試験例４３については、全てのバイオロジカルインジケータについて滅菌処理の効果を得ることができなかった。
【符号の説明】
【００３８】
１０  収納容器
１１  接地電極
１５  線状電極
１６  電極素子
１６ａ，１６ｂ  湾曲部
１６ｃ  連結部
１７  導電線
１８  接続線
２０  高周波電源
２５  減圧手段
２６  排気管
２７  バルブ
３０  ガス供給手段
３１  ガス供給管
３２  バルブ
Ｓ  滅菌処理空間
【図１】
2014008177.tif 000006
【図２】
2014008177.tif 000007
【図３】
2014008177.tif 000008
【図４】
2014008177.tif 000009
【図５】
2014008177.tif 000010
【図６】
2014008177.tif 000011