(57)【要約】【課題】効率的な異物の除去が可能であり、かつ装置構成がより簡略化された異物除去装置を提供する。【解決手段】異物除去装置１Ａは、基板２上の異物２ａを除去するための除去針２１と、除去針２１を保持する保持部（直動軸受２４、直動アクチュエータ２５および本体ベース部２６）と、異物２ａを観察するための対物レンズ１３ｂを含む観察部１３とを備えている。除去針２１および上記保持部は、基板２の面内方向においては基板２に対して一体として相対移動が可能となっており、除去針２１が基板２に接近する方向においては互いに相対移動が可能となっている。除去針２１は、対物レンズ１３ｂの視野内に位置することが可能となっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の異物を除去するための除去針と、
前記除去針を保持する保持部と、
前記異物を観察するための対物レンズを含む観察部とを備え、
前記除去針および前記保持部は、前記基板の面内方向においては前記基板に対して一体として相対移動が可能となっており、かつ、前記除去針が前記基板に接近する方向においては互いに相対移動が可能となっており、
前記除去針は、前記対物レンズの視野内に位置することが可能となっている、異物除去装置。
【請求項２】
前記対物レンズの焦点位置から見て前記対物レンズに接近する向きに離れた位置であるデフォーカス位置において前記除去針の先端部を位置させることが可能となっている、請求項１に記載の異物除去装置。
【請求項３】
前記除去針と前記観察部とを接続し、前記除去針を前記観察部の周りにおいて回転可能に保持するための回転部材をさらに備える、請求項１または２に記載の異物除去装置。
【請求項４】
前記基板から除去された前記異物を回収するための回収部材をさらに備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載の異物除去装置。
【請求項５】
前記観察部は、
複数の前記対物レンズと、
複数の前記対物レンズの各々を固定し、かつ複数の前記対物レンズの各々の使用を切り替えるための可動板とを含む、請求項１または２に記載の異物除去装置。
【請求項６】
前記可動板には、前記除去針が配置され、かつ、前記基板から除去された前記異物を回収するための回収部材が配置されている、請求項５に記載の異物除去装置。
【請求項７】
基板上の異物を観察部に含まれる対物レンズにより確認する工程と、
除去針と前記除去針を保持する保持部とを用いて前記基板から前記異物を除去する工程とを備え、
前記異物を除去する工程は、
前記除去針が前記基板に接近する方向において、前記対物レンズの視野内に位置させておいた前記除去針を前記保持部に対して相対移動させることにより、前記除去針を前記異物に接近させる工程と、
前記除去針を前記異物に接近させた後、前記基板の面内方向において、前記除去針および前記保持部を一体として前記基板に対して相対移動させることにより、前記除去針を前記異物に接触させる工程とを含む、異物除去方法。
【請求項８】
前記異物を除去する工程は、前記異物に接触させる工程の後、前記除去針を前記対物レンズの焦点位置から見て前記対物レンズに接近する向きに離れた位置であるデフォーカス位置に退避させる工程をさらに含む、請求項７に記載の異物除去方法。
【請求項９】
前記異物を除去する工程の後、前記基板から除去された前記異物を回収する工程をさらに備える、請求項７または８に記載の異物除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異物除去装置および異物除去方法に関するものであり、より特定的には、除去針を用いて基板上の異物を除去するための異物除去装置および異物除去方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイや露光用フォトマスクの製造工程において基板に付着した異物を、針などで押して除去するための異物除去装置が提案されている。たとえば特開２００８−５２２３２号公報（以下、特許文献１という）では、マニピュレータを操作して針をＸＹＺ方向に移動させ、針の先端で異物を捕捉するマニピュレータ装置が開示されている。また、たとえば特開２０１０−１５２０７８号公報（以下、特許文献２という）では、マニピュレータに装着したプローブの先端を異物に接触させることにより、基板から異物を剥離させる修正装置が開示されている。また、異物を剥離した後、ブローノズルなどを用いて基板に空気を吹き付けることにより当該異物を吹き飛ばすことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−５２２３２号公報
【特許文献２】特開２０１０−１５２０７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１および２において提案されている異物除去装置では、マニピュレータを用いて針やプローブをＸＹＺ方向に移動させるため、装置構成が複雑となり、その結果装置価格が高騰するという問題がある。また、このような異物除去装置を用いて基板上の異物を除去する場合にはマニピュレータの操作に長時間を要するため、効率的に異物の除去を行うことが困難であるという問題もある。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その一の目的は、効率的な異物の除去が可能であり、かつ装置構成がより簡略化された異物除去装置を提供することである。また、本発明の他の目的は、効率的な異物の除去が可能な異物除去方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に従った異物除去装置は、基板上の異物を除去するための除去針と、除去針を保持する保持部と、異物を観察するための対物レンズを含む観察部とを備えている。除去針および保持部は、基板の面内方向（ＸＹ方向）においては基板に対して一体として相対移動が可能となっており、かつ、除去針が基板に接近する方向（Ｚ方向）においては互いに相対移動が可能となっている。除去針は、対物レンズの視野内に位置することが可能となっている。
【０００７】
本発明に従った異物除去装置では、以下のように基板上の異物を除去することができる。まず、観察部に含まれる対物レンズにより除去すべき異物を確認する。次に、対物レンズの視野内に予め位置させておいた除去針をＺ方向において保持部に対して相対移動させて、除去針を基板上の異物に接近させる。次に、ＸＹ方向において除去針および保持部を一体として基板に対して相対移動させて、除去針を異物と接触させる。これにより、基板上の異物が剥離し、基板から異物を除去することができる。
【０００８】
このように、本発明に従った異物除去装置では、対物レンズの視野内に除去針を予め位置させておき、Ｚ方向においてのみ除去針を移動させることにより、除去針を異物に対して接近させることができる。これにより、除去針をＸＹＺ方向において単独で操作して異物を除去する従来の異物除去装置に比べて除去針の移動に要する時間が短縮されるため、より効率的に異物の除去を行うことが可能となり、さらに装置構成をより簡略化することができる。したがって、本発明に従った異物除去装置によれば、効率的な異物の除去が可能であり、かつ装置構成がより簡略化された異物除去装置を提供することができる。
【０００９】
上記異物除去装置では、対物レンズの焦点位置から見て対物レンズに接近する向きに離れた位置であるデフォーカス位置において除去針の先端部を位置させることが可能となっていてもよい。これにより、除去針を使用しない場合には、対物レンズによる異物の観察の妨げとならない位置において除去針を待機させることができる。
【００１０】
上記異物除去装置は、除去針と観察部とを接続し、除去針を観察部の周りにおいて回転可能に保持するための回転部材をさらに備えていてもよい。これにより、除去針が基板上の異物に対して接触する向きを調整することができる。その結果、除去針を用いて基板上の異物を除去することがより容易になる。
【００１１】
上記異物除去装置は、基板から除去された異物を回収するための回収部材をさらに備えていてもよい。これにより、除去針を用いて除去された異物を基板上に残すことなく異物の除去を完了することができる。
【００１２】
上記異物除去装置において、観察部は、複数の対物レンズと、複数の対物レンズの各々を固定し、かつ複数の対物レンズの各々の使用を切り替えるための可動板とを含んでいてもよい。
【００１３】
これにより、異物観察のための対物レンズや異物除去のための対物レンズなどを可動板に各々固定し、当該可動板により対物レンズを切り替える動作が可能となる。このように、可動板の動作のみによって対物レンズの切替を可能とすることにより、基板上の異物の除去をより効率的に行うことが可能となる。
【００１４】
上記異物除去装置において、可動板には、除去針が配置され、かつ基板から除去された異物を回収するための回収部材が配置されていてもよい。これにより、除去針を用いて除去された異物を基板上に残すことなく速やかに回収することができる。
【００１５】
本発明に従った異物除去方法は、基板上の異物を観察部に含まれる対物レンズにより確認する工程と、除去針と除去針を保持する保持部とを用いて基板から異物を除去する工程とを備えている。異物を除去する工程は、除去針が基板に接近する方向において、対物レンズの視野内に位置させておいた除去針を保持部に対して相対移動させることにより、除去針を異物に接近させる工程と、除去針を異物に接近させた後、基板の面内方向において、除去針および保持部を一体として基板に対して相対移動させることにより、除去針を異物に接触させる工程とを含んでいる。
【００１６】
本発明に従った異物除去方法では、対物レンズの視野内に除去針を予め位置させておき、除去針をＺ方向においてのみ移動させることにより、除去針を異物に対して接近させることができる。そのため、除去針をＸＹＺ方向において単独で操作して異物を除去する従来の異物除去方法に比べて、異物の除去に必要な時間をより短縮することができる。したがって、本発明に従った異物除去方法によれば、効率的な異物の除去が可能な異物除去方法を提供することができる。
【００１７】
上記異物除去方法において、異物を除去する工程は、異物に接触させる工程の後、除去針を対物レンズの焦点位置から見て対物レンズに接近する向きに離れた位置であるデフォーカス位置に退避させる工程をさらに含んでいてもよい。これにより、対物レンズによる異物の観察の妨げとならない位置にまで除去針を退避させることができる。
【００１８】
上記異物除去方法は、異物を除去する工程の後、基板から除去された異物を回収する工程をさらに備えていてもよい。これにより、除去針を用いて除去された異物を基板上に残すことなく異物の除去を完了することができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上の説明から明らかなように、本発明に従った異物除去装置によれば、効率的な異物の除去が可能であり、かつ装置構成がより簡略化された異物除去装置を提供することができる。また、本発明に従った異物除去方法によれば、効率的な異物の除去が可能な異物除去方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】異物除去装置の構成を拡大して示す概略側面図である。
【図２】異物除去装置の構成を拡大して示す概略側面図である。
【図３】異物除去方法を概略的に示すフローチャートである。
【図４】異物除去方法を説明するための概略上面図である。
【図５】他の異物除去装置の構成を拡大して示す概略側面図である。
【図６】実施の形態２に係る異物除去装置の構成を拡大して示す概略側面図である。
【図７】実施の形態３に係る異物除去装置の構成を示す概略側面図である。
【図８】実施の形態３に係る異物除去方法を概略的に示すフローチャートである。
【図９】実施の形態４に係る異物除去装置の構成を示す概略斜視図である。
【図１０】実施の形態４に係る異物除去装置の構成を拡大して示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
【００２２】
（実施の形態１）
まず、本発明の一実施の形態である実施の形態１に係る異物除去装置の構成について説明する。図１は、本実施の形態に係る異物除去装置１Ａの主要部を示す概略図である。図１を参照して、異物除去装置１Ａは、除去針２１を用いて基板２上の異物２ａを除去するための装置であって、ＸＹ軸ステージ１１と、Ｚ軸ステージ１２と、観察部１３と、取付板１４と、異物除去部１５とを主に備えている。異物除去部１５は、除去針２１、針ホルダ２２およびＺステージ２３と、除去針２１を保持する保持部としての直動軸受２４、直動アクチュエータ２５および本体ベース部２６とを主に有している。
【００２３】
ＸＹ軸ステージ１１は、除去すべき異物２ａを含む基板２を載置するためのものである。ＸＹ軸ステージ１１は、基板２の面内方向（ＸＹ方向）において基板２を移動可能に保持する。これにより、異物除去部１５と基板２とは、ＸＹ方向において互いに相対的に移動可能となっている。別の観点から説明すると、除去針２１および保持部（直動軸受２４、直動アクチュエータ２５および本体ベース部２６）は、ＸＹ方向において、基板２に対して一体として相対移動が可能となっている。
【００２４】
観察部１３は、観察光学系１３ａと対物レンズ１３ｂとを含んでいる。観察光学系１３ａには、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ（図示しない）などが搭載されている。対物レンズ１３ｂは、基板２上の異物２ａを観察するためのものであって、観察光学系１３ａの下端部に取り付けられている。また、観察部１３は、Ｚ軸ステージ１２に固定されているため、当該Ｚ軸ステージ１２の駆動により基板２に接近する方向（Ｚ方向）において移動させることが可能となっている。
【００２５】
異物除去部１５は、取付板１４を介して観察光学系１３ａに固定されている。これにより、異物除去部１５は、Ｚ軸ステージ１２の駆動によりＺ方向において移動可能となっている。なお、異物除去部１５は、観察光学系１３ａに固定されず、Ｚ軸ステージ１２に直接固定されていてもよい。
【００２６】
除去針２１は、基板２上の異物２ａを除去するためのものである。除去針２１の先端部２１ａは、たとえば楔（くさび）形状となっている。これにより、先端部２１ａを基板２に接触させた場合、基板２上に擦り傷などが発生することを抑制することができる。また、除去針２１の外径は約１ｍｍ、先端部２１ａの幅はたとえば１００μｍである。このように除去針２１の外径や先端部２１ａを細く構成することにより、観察部１３と基板２との間に除去針２１を位置させた場合でも（図１参照）、除去針２１を対物レンズ１３ｂの焦点位置よりも十分に上方（対物レンズ１３ｂに接近する向き）に離れて位置させることにより、除去針２１の影響を殆ど受けることなく基板２上を観察することができる。
【００２７】
針ホルダ２２は、除去針２１を固定する。針ホルダ２２は、Ｚステージ２３に固定されている。Ｚステージ２３は、直動軸受２４に接続されており、当該直動軸受２４の軸方向（Ｚ方向）に沿って移動可能となっている。Ｚステージ２３の側面にはピン２３ａが固定されている。Ｚステージ２３は、その自重によりピン２３ａが直動アクチュエータ２５のリング２５ｂに出力軸２５ａ側から当接した状態となっている。
【００２８】
直動軸受２４および直動アクチュエータ２５は、本体ベース部２６にそれぞれ固定されている。直動軸受２４は、軸方向に沿ってＺステージ２３の移動を案内する。また、直動軸受２４の下端部にはストッパ２４ａが設けられており、当該ストッパ２４ａによりＺステージ２３のＺ方向における移動が制限されている。
【００２９】
図１および図２を参照して、直動アクチュエータ２５は、たとえばエアシリンダや電動シリンダであり、Ｚステージ２３を基板２側へ下降させるためのものである。より具体的には、直動アクチュエータ２５は、出力軸２５ａと当該出力軸２５ａの先端に固定されたリング２５ｂとを有し、出力軸２５ａを基板２側に下降させることが可能となっている。これにより、図２に示すようにＺステージ２３を直動軸受２４の軸に沿って下降させ、除去針２１を基板２と接触させることができる。このように、異物除去装置１Ａでは、除去針２１および保持部（直動軸受２４、直動アクチュエータ２５および本体ベース部２６）は、除去針２１が基板２に接近する方向（Ｚ方向）において互いに相対移動が可能となっている。
【００３０】
図１を参照して、異物除去部１５は、除去針２１が対物レンズ１３ｂの下方に位置するように取付板１４に固定されている。より具体的には、除去針２１は、対物レンズ１３ｂの視野内に位置することが可能となっており、好ましくは除去針２１の先端部２１ａが当該視野内の中央に位置している。また、異物除去部１５は、直動アクチュエータ２５を駆動させることにより、対物レンズ１３の焦点位置から見て上方（対物レンズ１３ｂに接近する向き）に離れた位置であるデフォーカス位置において除去針２１の先端部２１ａを位置させることが可能となっている。より具体的には、異物除去部１５は、対物レンズ１３ｂの焦点位置と当該デフォーカス位置との間において除去針２１の先端部２１ａを移動させることが可能となっている。
【００３１】
このように、本実施の形態に係る異物除去装置１Ａは、基板２上の異物２ａを除去するための除去針２１と、除去針２１を保持する保持部（直動軸受２４、直動アクチュエータ２５および本体ベース部２６）とを備えている。そして、除去針２１および上記保持部は、基板２の面内方向（ＸＹ方向）においては、基板２に対して一体として相対移動が可能となっている。また、除去針２１および上記保持部は、除去針２１が基板２に接近する方向（Ｚ方向）においては、互いに相対移動が可能となっている。
【００３２】
次に、本実施の形態に係る異物除去方法について説明する。本実施の形態に係る異物除去方法は、上記本実施の形態に係る異物除去装置１Ａを用いて実施される。図３を参照して、本実施の形態に係る異物除去方法では、まず、工程（Ｓ１０）として、異物確認工程が実施される。この工程（Ｓ１０）では、図１を参照して、まず、除去すべき異物２ａを含む基板２が異物除去装置１Ａ内に搬入され、ＸＹ軸ステージ１１上に載置される。次に、予め取得された異物２ａの位置情報に基づいて、ＸＹ軸ステージ１１をＸＹ方向において移動させる。これにより、図１に示すように除去針２１および対物レンズ１３ｂが基板２上の異物２ａと対向した状態とされる。そして、Ｚ軸ステージ１２を動作させて対物レンズ１３ｂの焦点を異物２ａに合わせる。このようにして、観察部１３に含まれる対物レンズ１３ｂにより基板２上の異物２ａが確認される。
【００３３】
次に、工程（Ｓ２０）として、異物除去工程が実施される。この工程（Ｓ２０）では、以下に説明する接近工程（Ｓ２１）、接触工程（Ｓ２２）および退避工程（Ｓ２３）が実施され、基板２から異物２ａが除去される。図２を参照して、接近工程（Ｓ２１）では、まず、直動アクチュエータ２５の出力軸２５ａを基板２側へ下降させる。これにより、Ｚステージ２３のピン２３ａと直動アクチュエータ２５のリング２５ｂとが基板２側へ移動し、Ｚステージ２３が直動軸受２４の軸方向（Ｚ方向）に沿って基板２側へ下降する。その結果、図２に示すように除去針２１の先端部２１ａが基板２と接触する。その後、出力軸２５ａをさらに下降させることにより、ピン２３ａとリング２５ｂとが離れた状態となる。なお、除去針２１を基板２と接触させる前または接触させる動作と同時にＸＹ軸ステージ１１を駆動させて、除去針２１の先端部２１ａを異物２ａの近傍に位置するように調整する。このように、この工程（Ｓ２１）では、対物レンズ１３ｂの視野内に予め位置させておいた除去針２１をＺ方向において保持部（直動軸受２４、直動アクチュエータ２５および本体ベース部２６）に対して相対的に移動させることにより、除去針２１が異物２ａに接近する。
【００３４】
また、この工程（Ｓ２１）では、基板２との接触により除去針２１に負荷される外力によって、Ｚステージ２３は直動軸受２４の軸方向（Ｚ方向）に沿って基板２から退避する。これにより、基板２と除去針２１との接触により基板２および除去針２１の各々に対して過大な負荷が加わることを抑制することができる。
【００３５】
次に、工程（Ｓ２２）として、接触工程が実施される。この工程（Ｓ２２）では、図２および図４を参照して、除去針２１を異物２ａに接近させた後、ＸＹ方向においてＸＹ軸ステージ１１を駆動させる。これにより、図４に示すように異物２ａに除去針２１の先端部２１ａが押し当てられ、基板２から異物２ａが剥離する。このように、この工程（Ｓ２２）では、除去針２１を異物２ａに接近させた後、ＸＹ方向において除去針２１および上記保持部を一体として基板２に対して相対移動させることにより、除去針２１が異物２ａと接触し、基板２から異物２ａが除去される。
【００３６】
次に、工程（Ｓ２３）として、退避工程が実施される。この工程（Ｓ２３）では、接触工程（Ｓ２２）の後、除去針２１を対物レンズ１３ｂの焦点位置から見て上方（対物レンズ１３ｂに接近する向き）に離れた位置であるデフォーカス位置にまで退避させる。また、基板２上に複数の異物２ａが存在する場合には、同様に異物除去工程（Ｓ２０）が実施される。その後、基板２が異物除去装置１Ａから排出され、本実施の形態に係る異物除去方法が完了する。
【００３７】
このように、本実施の形態に係る異物除去方法は、基板２上の異物２ａを確認する工程（Ｓ１０）と、除去針２１と除去針２１を保持する上記保持部とを用いて基板２から異物２ａを除去する工程（Ｓ２０）とを備えている。そして、工程（Ｓ２０）は、除去針２１が基板２に接近する方向において、除去針２１を上記保持部に対して相対移動させることにより、除去針２１を異物２ａに接近させる工程（Ｓ２１）と、除去針２１を異物２ａに接近させた後、基板２の面内方向において、除去針２１および上記保持部を一体として基板２に対して相対移動させることにより、除去針２１を異物２ａに接触させる工程（Ｓ２２）とを含んでいる。
【００３８】
次に、上記本実施の形態に係る異物除去装置１Ａおよび異物除去方法の作用効果について説明する。異物除去装置１Ａでは、以下のように基板２上の異物２ａを除去することができる。まず、観察部１３に含まれる対物レンズ１３ｂにより除去すべき異物２ａを確認する。次に、Ｚ方向においてＺステージ２３を基板２側へ下降させることにより、対物レンズ１３ｂの視野内に予め位置させておいた除去針２１を基板２上の異物２ａに接近させる。次に、ＸＹ方向においてＸＹ軸ステージ１１を動作させることにより、除去針２１を異物２ａと接触させる。これにより、基板２上の異物２ａが剥離し、基板２から異物２ａを除去することができる。このように、異物除去装置１Ａでは、対物レンズ１３ｂの視野内に除去針２１を予め位置させておき、当該除去針２１をＺ方向においてのみ移動させることにより、除去針２１を異物２ａに対して接近させることができる。そのため、除去針２１をＸＹＺ方向において単独で操作して異物を除去する従来の異物除去装置に比べて除去針２１の移動に要する時間が短縮されるため、より効率的に異物の除去を行うことが可能となり、さらに装置構成をより簡略化することができる。このように、本実施の形態に係る異物除去装置１Ａは、除去針２１を用いて基板２上の異物２ａを除去することが可能であり、かつ装置構成がより簡易化された異物除去装置となっている。
【００３９】
また、本実施の形態に係る異物除去方法は、上記本実施の形態に係る異物除去装置１Ａを用いて実施されるため、対物レンズ１３ｂの視野内に除去針２１を予め位置させておき、当該除去針２１をＺ方向においてのみ移動させることにより、除去針２１を基板２上の異物２ａに対して接近させることができる。そのため、本実施の形態に係る異物除去方法では、除去針をＸＹＺ方向において単独で操作して異物を除去する従来の異物除去方法に比べて、異物の除去に必要な時間をより短縮することができる。したがって、本実施の形態に係る異物除去方法によれば、基板２上の異物２ａを除去針２１を用いて効率的に除去することができる。
【００４０】
また、異物除去装置１Ａは、対物レンズ１３ｂの焦点位置から見て上方（対物レンズ１３ｂに接近する向き）に離れた位置であるデフォーカス位置において除去針２１の先端部２１ａを位置させることが可能となっていてもよい。これにより、除去針２１を使用しない場合には、対物レンズ１３ｂによる異物２ａの観察の妨げとならない位置にまで除去針２１を上方に退避させることができる。そして、異物２ａの観察が完了した後に当該異物２ａを除去しようとする場合には、当該デフォーカス位置において待機させておいた除去針２１を基板２側へ下降させて対物レンズ１３ｂの焦点位置まで移動させることができる。
【００４１】
また、図５を参照して、異物除去装置１Ａは、異物除去部１５と取付板１４との間に配置される位置調整部材２７をさらに備えていてもよい。位置調整部材２７は、ＸＹ方向における異物除去部１５の取付板１４に対する位置を手動により調整するためのものである。これにより、たとえば除去針２１の交換後において、先端部２１ａが観察部１３の視野の中央に位置するように除去針２１の位置を微調整することができる。
【００４２】
（実施の形態２）
次に、本発明の他の実施の形態である実施の形態２に係る異物除去装置の構成について説明する。本実施の形態に係る異物除去装置１Ｂは、基本的には上記実施の形態１に係る異物除去装置１Ａと同様の構成を備え、かつ同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態に係る異物除去装置１Ｂは、異物除去部１５が観察部１３の周りを回転可能に構成されている点で上記実施の形態１に係る異物除去装置１Ａとは異なっている。
【００４３】
図６を参照して、異物除去装置１Ｂでは、異物除去部１５は、回転部材１６を介して観察部１３に接続されている。回転部材１６は、軸受４１と、軸受４１の内輪４１ａを対物レンズ１３ｂに対して固定する内輪ケース４２と、軸受４１の外輪４１ｂを異物除去部１５に対して固定する外輪ケース４３とを含んでいる。
【００４４】
このように、異物除去装置１Ｂにおいては、除去針２１は回転部材１６により観察部１３と接続され、かつ観察部１３の周りにおいて回転可能に保持されている。これにより、異物２ａに対して除去針２１の先端部２１ａを接触させる向きを調整することが可能となり、また調整後にはストッパ（図示しない）により回転部材１６の回転を固定することができる。このような構成により、異物除去装置１Ｂでは、除去針２１を用いて基板２上の異物２ａを除去することがより容易になる。
【００４５】
（実施の形態３）
次に、本発明のさらに他の実施の形態である実施の形態３に係る異物除去装置の構成について説明する。本実施の形態に係る異物除去装置１Ｃは、基本的には上記実施の形態１に係る異物除去装置１Ａと同様の構成を備え、かつ同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態に係る異物除去装置１Ｃは、除去針２１を用いて基板２から除去された異物２ａを回収するための機構をさらに備えている点で上記実施の形態１に係る異物除去装置１Ａとは異なっている。
【００４６】
図７を参照して、異物除去装置１Ｃは、除去針２１を用いて基板２から除去された異物２ａを回収するための異物吸引部１７（回収部材）を備えている。異物吸引部１７は、異物除去部１５と基本的に同様の構成を有しており、除去針２１に代えてノズル２８を有している。より具体的には、異物吸引部１７は、ノズル２８と、当該ノズル２８に接続された吸引ポンプ（図示しない）とを主に有しており、当該吸引ポンプの駆動により吸引口２８ａから異物２ａを回収することが可能となっている。異物吸引部１７は、異物除去部１５と同様に取付板１８に固定されており、当該異物除去部１５と隣り合う状態となっている。これにより、図７に示すようにノズル２８の吸引口２８ａが除去針２１の先端部に近接した状態となっており、観察部１３の視野内において除去針２１およびノズル２８の各々を確認することが可能となっている。
【００４７】
次に、本実施の形態に係る異物除去方法について説明する。本実施の形態に係る異物除去方法は、基本的には上記実施の形態１に係る異物除去方法と同様の工程により実施され、かつ同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態に係る異物除去方法は、上記本実施の形態に係る異物除去装置１Ｃを用いることにより、基板２から除去された異物２ａを回収する工程がさらに実施される点で上記実施の形態１に係る異物除去方法とは異なっている。
【００４８】
図８を参照して、本実施の形態に係る異物除去方法では、まず、上記実施の形態１と同様に異物確認工程（Ｓ１０）および異物除去工程（Ｓ２０）が実施される。これにより、基板２上の異物２ａが除去される。
【００４９】
次に、工程（Ｓ３０）として、異物吸引工程が実施される。この工程（Ｓ３０）では、図７を参照して、退避工程（Ｓ２３）（図３参照）において除去針２１を上方に退避させた後、ノズル２８を基板２側へ下降させる。このとき、ＸＹ軸ステージ１１を駆動させて吸引口２８ａを異物２ａに近接させることが好ましい。そして、吸引口２８ａから異物２ａを吸引することにより、基板２から除去された異物２ａが回収される。以上のようにして上記工程（Ｓ１０）〜（Ｓ３０）が実施され、本実施の形態に係る異物除去方法が完了する。このように、本実施の形態に係る異物除去方法では、異物確認工程（Ｓ１０）および異物除去工程（Ｓ２０）に加えて異物吸引工程（Ｓ３０）が実施される。そのため、本実施の形態に係る異物除去方法では、工程（Ｓ２０）において除去された異物２ａを基板２上に残すことなく異物２ａの除去を完了することができる。
【００５０】
また、本実施の形態では、退避工程（Ｓ２３）において除去針２１を上方に退避させた後にノズル２８を下降させる場合について説明したが、除去針２１を下降させる際にノズル２８も併せて下降させてもよい。より具体的には、接近工程（Ｓ２１）においてノズル２８を除去針２１とともに基板２側へ下降させ、接触工程（Ｓ２２）の後に退避工程（Ｓ２３）が実施されることなく、異物吸引工程（Ｓ３０）が実施されてもよい。これにより、基板２から異物２ａを除去した後、速やかに当該異物２ａを回収することが可能となり、より効率的に異物２ａの除去を行うことができる。また、本実施の形態では、異物吸引部１７がノズル２８を有する場合について説明したが、当該ノズル２８に代えて粘着部材（図示しない）を備えていてもよい。この場合、当該粘着部材を用いて基板２から除去された異物２ａを回収することができる。
【００５１】
（実施の形態４）
次に、本発明のさらに他の実施の形態である実施の形態４に係る異物除去装置の構成について説明する。本実施の形態に係る異物除去装置１Ｄは、基本的には上記実施の形態１に係る異物除去装置１Ａと同様の構成を備え、かつ同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態に係る異物除去装置１Ｄは、対物レンズを複数備えている点で上記実施の形態１に係る異物除去装置１Ａとは異なっている。
【００５２】
図９は、本実施の形態に係る異物除去装置１Ｄの全体構成を示す概略図である。図９を参照して、異物除去装置１Ｄは、定盤３１と、チャック３２と、ＸＹ軸ステージ３３と、Ｚ軸ステージ３４と、観察部３５と、異物除去部３６と、加工用レーザ３７とを主に備えている。異物除去部３６は、上記実施の形態１における異物除去部１５（図１および図２参照）と同様の構成を有している。
【００５３】
チャック３２は、定盤３１の中央部に設けられており、除去すべき異物を含む基板２を保持する。ＸＹ軸ステージ３３は、ガントリ型のステージであって、定盤３１を跨ぐように設けられている。より具体的には、ＸＹ軸ステージ３３は、定盤３１を跨ぐように設けられた門型のＹ軸ステージ３３ｂと、当該Ｙ軸ステージ３３ｂに固定されたＸ軸ステージ３３ａとを有している。これにより、ＸＹ軸ステージ３３は、当該ＸＹ軸ステージ３３に接続された異物除去部３６などの部材をＸＹ方向において移動可能に保持する。すなわち、異物除去部３６における除去針および保持部は、上記実施の形態１と同様にＸＹ方向において基板２に対して一体として相対移動が可能となっている。
【００５４】
Ｚ軸ステージ３４は、Ｘ軸ステージ３３ａに対して移動可能に設置されている。観察部３５は、基本的には上記実施の形態１と同様の構成を有し、観察光学系３５ａと、複数の対物レンズ３５ｂと、可動板３５ｃとを含んでいる。観察部３５は、Ｚ軸ステージ３４に固定されているため、当該Ｚ軸ステージ３４の駆動によりＺ方向に移動させることが可能となっている。また、観察光学系３５ａの上部には加工用レーザ３７が搭載されており、レーザ光の照射により基板２上の異物を除去することも可能となっている。
【００５５】
図１０を参照して、複数の対物レンズ３５ｂは、各々異なる倍率を有するものであって、可動板３５ｃに固定されている。複数の対物レンズ３５ｂは、たとえば異物除去用の対物レンズや異物観察用の対物レンズなどである。可動板３５ｃは、図１０中矢印に示すようにＸＹ方向において移動可能となっている。そのため、観察部３５では、可動板３５ｃをＸＹ方向において移動させることにより、複数の対物レンズ３５ｂ内から選択された一の対物レンズを観察光学系３５ａの下方に位置させることが可能となっている。つまり、可動板３５ｃは、複数の対物レンズ３５ｂの各々の使用を切り替えるためのものである。
【００５６】
異物除去部３６（除去針を含む）は、可動板３５ｃに配置されている。より具体的には、異物除去部３６は、除去針が異物除去用の対物レンズ３５ｂの下方に位置するように可動板３５ｃに固定されている。また、可動板３５ｃには、上記実施の形態３のように基板２から除去された異物を回収するための異物吸引部（回収部材）がさらに配置されていてもよい（図７参照）。これにより、上記実施の形態３と同様に、除去針を用いて除去された異物を基板２上に残すことなく異物の除去を完了することができる。また、可動板３５ｃには、基板２のパターン欠陥部に修正液を塗布するための塗布ユニットがさらに配置されていてもよい。
【００５７】
このように、本実施の形態に係る異物除去装置１Ｄでは、観察部３５は、複数の対物レンズ３５ｂと、複数の対物レンズ３５ｂの各々を固定し、かつ対物レンズ３５ｂの各々の使用を切り替えるための可動板３５ｃを含んでいる。これにより、異物除去装置１Ｄでは、異物観察のための対物レンズ３５ｂや異物除去のための対物レンズ３５ｂなどを可動板３５ｃに各々固定し、当該可動板３５ｃにより対物レンズ３５ｂを切り替える動作が可能となる。このように、可動板３５ｃの動作のみによって対物レンズ３５ｂの切替を可能とすることにより、基板上の異物の除去をより効率的に行うことが可能となる。
【００５８】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明の異物除去装置および異物除去方法は、基板上の異物を除去するための異物除去装置および異物除去方法において、特に有利に適用され得る。
【符号の説明】
【００６０】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ  異物除去装置、２  基板、２ａ  異物、１１，３３  ＸＹ軸ステージ、１２，３４  Ｚ軸ステージ、３３ａ  Ｘ軸ステージ、３３ｂ  Ｙ軸ステージ、１３，３５  観察部、１３ａ，３５ａ  観察光学系、１３ｂ，３５ｂ  対物レンズ、１４，１８  取付板、１５，３６  異物除去部、１６  回転部材、１７  異物吸引部、２１  除去針、２１ａ  先端部、２２  針ホルダ、２３ａ  ピン、２４  直動軸受、２４ａ  ストッパ、２５  直動アクチュエータ、２５ａ  出力軸、２５ｂ  リング、２６  本体ベース部、２７  位置調整部材、２８  ノズル、２８ａ  吸引口、３１  定盤、３２  チャック、３５ｃ  可動板、３７  加工用レーザ、４１  軸受、４１ａ  内輪、４１ｂ  外輪、４２  内輪ケース、４３  外輪ケース。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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