(57)【要約】【課題】水圧駆動システムにおける低粘度の作動水よりも高粘度で油成分を含まない作動液Ｗを提供すると共に、これを用いた電子部品の樹脂成形方法及び装置を提供する。【解決手段】ヒアルロン酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し、且つ、その混合物がピストン・シリンダ機構におけるピストン往復駆動用の作動用油と同程度の粘度（運転温度を40℃とする場合において、最適粘度範囲を20〜36ｍｍ2 ／Ｓと設定）を有する作動液Ｗを生成する。また、この作動液Ｗを往復駆動部（上下動機構４・24・34）の各シリンダ４ｂ・24ｂ・34ｂ内に導入することにより、液圧駆動システムにおける作動液として用いることができ、作動用油と同程度の機能を発揮させることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピストン・シリンダ機構におけるピストン往復駆動用の作動液であって、前記作動液がヒアルロン酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し、且つ、その混合物がピストン・シリンダ機構におけるピストン往復駆動用の作動用油と同程度の粘度を有するように生成したことを特徴とする作動液。
【請求項２】
ピストン・シリンダ機構におけるピストン往復駆動用の作動液であって、前記作動液がポリアクリル酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し、且つ、その混合物がピストン・シリンダ機構におけるピストン往復駆動用の作動用油と同程度の粘度を有するように生成したことを特徴とする作動液。
【請求項３】
少なくとも固定型と可動型とから成る電子部品の樹脂封止成形用型におけるキャビティ内に溶融樹脂材料を供給すると共に、前記キャビティ部の所定位置に電子部品を装着した基板を供給セットして両型を型締めし、更に、この状態でピストン・シリンダ機構から成る往復駆動部を介して前記キャビティ内の溶融樹脂材料を加圧することにより、前記基板上の電子部品を樹脂封止成形する電子部品の樹脂成形方法であって、
前記ピストン・シリンダ機構におけるシリンダ室内に、ヒアルロン酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し且つその混合物が作動用油と同程度の粘度を有するように生成した作動液を導入して前記ピストン・シリンダ機構におけるピストンを往復駆動させるようにしたことを特徴とする電子部品の樹脂成形方法。
【請求項４】
少なくとも固定型と可動型とから成る電子部品の樹脂封止成形用型におけるキャビティ内に溶融樹脂材料を供給すると共に、前記キャビティ部の所定位置に電子部品を装着した基板を供給セットして両型を型締めし、更に、この状態でピストン・シリンダ機構から成る往復駆動部を介して前記キャビティ内の溶融樹脂材料を加圧することにより、前記基板上の電子部品を樹脂封止成形する電子部品の樹脂成形方法であって、
前記ピストン・シリンダ機構のシリンダ室内に、ポリアクリル酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し且つその混合物が作動用油と同程度の粘度を有するように生成した作動液を導入して前記ピストン・シリンダ機構のピストンを往復駆動させるようにしたことを特徴とする電子部品の樹脂成形方法。
【請求項５】
少なくとも固定型と可動型とから成る電子部品の樹脂封止成形用型におけるキャビティ内に溶融樹脂材料を供給すると共に、前記キャビティ部の所定位置に電子部品を装着した基板を供給セットして両型を型締めし、更に、この状態でピストン・シリンダ機構から成る往復駆動部を介して前記キャビティ内の溶融樹脂材料を加圧することにより、前記基板上の電子部品を樹脂封止成形する電子部品の樹脂成形装置であって、
前記ピストン・シリンダ機構のシリンダ室内に導入したヒアルロン酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し且つその混合物が作動用油と同程度の粘度を有するように生成した作動液にて、前記ピストン・シリンダ機構のピストンを往復駆動させるように構成したことを特徴とする電子部品の樹脂成形装置。
【請求項６】
少なくとも固定型と可動型とから成る電子部品の樹脂封止成形用型におけるキャビティ内に溶融樹脂材料を供給すると共に、前記キャビティ部の所定位置に電子部品を装着した基板を供給セットして両型を型締めし、更に、この状態でピストン・シリンダ機構から成る往復駆動部を介して前記キャビティ内の溶融樹脂材料を加圧することにより、前記基板上の電子部品を樹脂封止成形する電子部品の樹脂成形装置であって、
前記ピストン・シリンダ機構のシリンダ室内に導入したポリアクリル酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し且つその混合物が作動用油と同程度の粘度を有するように生成した作動液にて、前記ピストン・シリンダ機構のピストンを往復駆動させるように構成したことを特徴とする電子部品の樹脂成形装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に装着したＩＣ等の電子部品を樹脂材料にて封止成形する電子部品の樹脂成形方法及び樹脂成形装置の改良に関する。
更に、本発明は、前記電子部品の樹脂成形装置に備えたピストン・シリンダ機構から成るピストンの往復駆動部におけるシリンダ室内に導入して用いる作動液の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
ところで、電子部品を樹脂材料にて封止成形する場合においては、従前より、上記した作動液として作動油を用いることが行われている。
しかしながら、精密機械の製造工場等においては清浄空間（クリーンルーム）内での作業が必要とされているため、油漏れ事故による環境汚染の防止が強く要請されている。
このため、電子部品を樹脂封止成形する装置の構成として、ピストン・シリンダ機構から成るピストンの往復駆動部を設けると共に、そのピストンの往復駆動用の作動液として清水を用いた作動水を用いることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に開示されるような水圧駆動システムは、従前の油圧駆動システムにおける環境汚染問題を解消できると云う利点があるが、その反面、次のような問題点を指摘することができる。
即ち、水圧の駆動システムにおいては、作動水が低粘度であることから、例えば、高圧時にピストンの往復駆動部等からの水漏れが発生するため、油圧駆動システムのものと較べて機器類に高精度なものが要求されることになって高コストとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１７２５３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、水圧駆動システムにおける低粘度の作動水を改善して、これよりは高粘度で油成分を含まず、更に、油圧駆動システムにおける作動油と同程度の機能を発揮させることができる作動液を提供することを目的とする。
【０００６】
また、本発明は、水圧駆動システムにおける低粘度の作動水を改善して、これよりは高粘度で油成分を含まない作動液を、電子部品の樹脂成形装置におけるピストン・シリンダ機構から成る往復駆動部のシリンダ室内に導入させることにより、油圧駆動システムにおける作動油と同程度の機能を発揮させることができる電子部品の樹脂封止方法と、この方法を実施するための樹脂封止装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記した目的を達成するための本発明に係る作動液Ｗは、ピストン・シリンダ機構におけるピストン往復駆動用の作動液Ｗであって、前記作動液がヒアルロン酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し、且つ、その混合物がピストン・シリンダ機構におけるピストン往復駆動用の作動用油と同程度の粘度（例えば、運転温度を40℃とする場合において、最適粘度範囲を20〜36ｍｍ2 ／Ｓと設定する。）を有するように生成したことを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明に係る作動液Ｗは、ピストン・シリンダ機構におけるピストン往復駆動用の作動液Ｗであって、前記作動液がポリアクリル酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し、且つ、その混合物がピストン・シリンダ機構におけるピストン往復駆動用の作動用油と同程度の粘度（例えば、運転温度を40℃とする場合において、最適粘度範囲を20〜36ｍｍ2 ／Ｓと設定する。）を有するように生成したことを特徴とするものである。
【０００９】
また、上記した目的を達成するための本発明に係る電子部品の樹脂成形方法は、少なくとも固定型（固定上型３）と可動型（可動下型６）とから成る電子部品の樹脂封止成形用型におけるキャビティ（15・16）内に溶融樹脂材料（樹脂材料31）を供給すると共に、前記キャビティ部の所定位置に電子部品を装着した基板（Ｓ）を供給セットして両型を型締めし、更に、この状態でピストン・シリンダ機構から成る往復駆動部（上下動機構）を介して前記キャビティ内の溶融樹脂材料を加圧することにより、前記基板上の電子部品を樹脂封止成形する電子部品の樹脂成形方法であって、
前記ピストン・シリンダ機構のシリンダ室内に、ヒアルロン酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し且つその混合物が作動用油と同程度の粘度（例えば、運転温度を40℃とする場合において、最適粘度範囲を20〜36ｍｍ2 ／Ｓと設定する。）を有するように生成した作動液Ｗを導入して前記ピストン・シリンダ機構におけるピストンを往復駆動させるようにしたことを特徴とするものである。
【００１０】
また、上記した目的を達成するための本発明に係る電子部品の樹脂成形方法は、少なくとも固定型（固定上型３）と可動型（可動下型６）とから成る電子部品の樹脂封止成形用型におけるキャビティ（15・16）内に溶融樹脂材料（樹脂材料31）を供給すると共に、前記キャビティ部の所定位置に電子部品を装着した基板（Ｓ）を供給セットして両型を型締めし、更に、この状態でピストン・シリンダ機構から成る往復駆動部（上下動機構）を介して前記キャビティ内の溶融樹脂材料を加圧することにより、前記基板上の電子部品を樹脂封止成形する電子部品の樹脂成形方法であって、
前記ピストン・シリンダ機構のシリンダ室内に、ポリアクリル酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し且つその混合物が作動用油と同程度の粘度（例えば、運転温度を40℃とする場合において、最適粘度範囲を20〜36ｍｍ2 ／Ｓと設定する。）を有するように生成した作動液を導入して前記ピストン・シリンダ機構のピストンを往復駆動させるようにしたことを特徴とするものである。
【００１１】
また、上記した目的を達成するための本発明に係る電子部品の樹脂成形装置は、少なくとも固定型（固定上型３）と可動型（可動下型６）とから成る電子部品の樹脂封止成形用型におけるキャビティ（15・16）内に溶融樹脂材料（樹脂材料31）を供給すると共に、前記キャビティ部の所定位置に電子部品を装着した基板（Ｓ）を供給セットして両型を型締めし、更に、この状態でピストン・シリンダ機構から成る往復駆動部（上下動機構）を介して前記キャビティ内の溶融樹脂材料を加圧することにより、前記基板上の電子部品を樹脂封止成形する電子部品の樹脂成形装置であって、
前記ピストン・シリンダ機構のシリンダ室内に導入したヒアルロン酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し且つその混合物が作動用油と同程度の粘度（例えば、運転温度を40℃とする場合において、最適粘度範囲を20〜36ｍｍ2 ／Ｓと設定する。）を有するように生成した作動液Ｗにて、前記ピストン・シリンダ機構のピストンを往復駆動させるように構成したことを特徴とするものである。
【００１２】
また、上記した目的を達成するための本発明に係る電子部品の樹脂成形装置は、少なくとも固定型（固定上型３）と可動型（可動下型６）とから成る電子部品の樹脂封止成形用型におけるキャビティ（15・16）内に溶融樹脂材料（樹脂材料31）を供給すると共に、前記キャビティ部の所定位置に電子部品を装着した基板（Ｓ）を供給セットして両型を型締めし、更に、この状態でピストン・シリンダ機構から成る往復駆動部（上下動機構）を介して前記キャビティ内の溶融樹脂材料を加圧することにより、前記基板上の電子部品を樹脂封止成形する電子部品の樹脂成形装置であって、
前記ピストン・シリンダ機構のシリンダ室内に導入したポリアクリル酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し且つその混合物が作動用油と同程度の粘度（例えば、運転温度を40℃とする場合において、最適粘度範囲を20〜36ｍｍ2 ／Ｓと設定する。）を有するように生成した作動液Ｗにて、前記ピストン・シリンダ機構のピストンを往復駆動させるように構成したことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、作動水よりは高粘度となり且つ油成分を含まず、更に、油圧駆動システムにおける作動油と同程度の機能を発揮させることができる作動液を提供することができるため、ピストンの往復駆動部等からの水漏れを効率良く防止することができる。
【００１４】
また、本発明によれば、水圧駆動システムに採用される高精度な機器類を必要としないので、樹脂成形装置の全体的なコストダウンを図ることができる。
【００１５】
また、本発明によれば、作動水よりは高粘度となり且つ油成分を含まず、更に、油圧駆動システムにおける作動油と同程度の機能を発揮させることができる作動液を、電子部品の樹脂成形装置におけるピストン・シリンダ機構から成る往復駆動部のシリンダ室内に導入させることにより、油圧駆動システムにおける作動油と同程度の機能を発揮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明に係る電子部品の樹脂成形装置を概略的に示す概略正面図であって、上下両型を型開きすると共に、該上下両型間に基板供給取出機構を移送させた状態を示している。
【図２】図２は、図１に対応する電子部品の樹脂成形装置の概略正面図であって、上下両型の型締め状態を示している。
【図３】図３は、本発明に係る電子部品の樹脂成形装置の基本構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を実施例図に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１及び図２に示す電子部品の樹脂成形装置は、少なくとも固定型（固定上型３）と可動型（可動下型６）とから成る電子部品の樹脂封止成形用型におけるキャビティ（上下両型キャビティ15・16）内に溶融樹脂材料（樹脂材料31）を供給すると共に、キャビティ部の所定位置に電子部品を装着した基板Ｓを供給セットして両型を型締めし、更に、この状態でピストン・シリンダ機構から成る往復駆動部（上下動機構34）を介してキャビティ内の溶融樹脂材料を加圧することにより、基板上の電子部品を樹脂封止成形することができるように構成している。
なお、図例における樹脂成形装置は、装置フレーム１の上端部に固着した固定盤２の下方に固定上型３を装設すると共に、該装置フレーム１の下部に設けた上下動機構４によって上下動可能に構成した可動盤５の上方に可動下型６を装設した場合を示している。
【００１９】
可動盤上下動機構４はピストン・シリンダ機構から構成すると共に、そのピストン４ａはシリンダ４ｂ内に導入した作動液Ｗによる液圧によって上下方向へ移動させることができるように設けており、更に、そのピストンロッド４ｃの上端部を可動盤５の下部に止着している。従って、シリンダ４ｂ内に作動液Ｗを導入することにより、ピストン４ａ及びピストンロッド４ｃを介して、可動盤５を上下方向へ移動させることができる。
【００２０】
固定上型３は、上型断熱板７・上型スぺースブロック８及び上型プレート９を介して、固定盤２の下部に固設している。
また、可動下型６は、下型断熱板10・下型スペースブロック11及び下型プレート12を介して、可動盤５の上部に固設している。
【００２１】
上型スペースブロック８によって構成されるスペース13内及び下型スペースブロック11により構成されるスペース14内には、上型キャビティ15及び下型キャビティ16にて成形された樹脂成形体を押し出すための上部エジェクターピン17及び下部エジェクターピン18を備えた上部エジェクタープレート19及び下部エジェクタープレート20を配設している。
【００２２】
また、上部エジェクタープレート19には、上下両型３・６の型締時（図２参照）において、下部エジェクタープレート20を押し下げるための上部リターンピン21及びカル部22内に残溜する樹脂を下方へ押し出すためのエジェクターピン23とを設けている。
【００２３】
固定盤２の上部には、上部エジェクタープレート19を上下方向へ移動させるための上下駆動機構24を設けている。
この上下駆動機構24はピストン・シリンダ機構から構成すると共に、そのピストン24ａはシリンダ24ｂ内に導入した作動液Ｗによる液圧によって上下方向へ移動させることができるように設けており、更に、そのピストンロッド24ｃの下端部を固定盤２を貫通させ且つ上部エジェクタープレート19に止着している。
従って、シリンダ24ｂ内に作動液Ｗを導入することにより、ピストン24ａ及びピストンロッド24ｃを介して、上部エジェクタープレート19を上下方向へ移動させることができるように設けている。
【００２４】
下部エジェクタープレート20には、上部エジェクタープレート19のリターンピン21と対応する位置に下部リターンピン26を設けている。
また、下部エジェクタープレート20の下面には、上下両型３・６の型面を上下方向へ離反させる型開時（図１参照）において、該下部エジェクタープレート20を押し上げるためのスプリング27を設けている。
このスプリング27は、上下両型３・６の型締時（図２参照）に、上部リターンピン21に接当する下部リターンピン26を介して相対的に下動される下部エジェクタープレート20によって圧縮変形する。
また、このとき、下部エジェクタープレート20における下部エジェクターピン18の上端面は下型キャビティ16の内底面の位置にまで下動するように設けている。
【００２５】
また、上型プレート９と下型プレート12との両者間には、上下両型３・６の型締時における位置決用のガイドピン28及びガイドピンブッシュ29が配設されている。
また、固定上型３に対向配置した可動下型６の所定位置に、所要複数個の樹脂成形材料投入用のポット30を配設すると共に、各ポット30内には該ポット内に供給した樹脂材料31を加圧するためのプランジャ（ピストンロッド）32を夫々嵌装させている。
更に、上下両型３・６の型締時において、各ポット30と上下両型３・６間に対向配設させた上下両キャビティ15・16とをカル部22及びゲート33とから成る樹脂通路にて連通させるように構成している。
【００２６】
可動盤５の下部にはプランジャ32を上下方向へ移動させるための上下動機構34を装設している。
このプランジャ上下動機構34はピストン・シリンダ機構から構成すると共に、そのピストン34ａはシリンダ34ｂ内に導入した作動液Ｗによる液圧によって上下方向へ移動させることができるように設けており、更に、そのプランジャ（ピストンロッド）32の上端部とポット30との空間部を樹脂材料31の投入供給部として構成している。
従って、シリンダ34ｂ内に作動液Ｗを導入することにより、プランジャ32を下動させてその上端部のポット30内に生じた空間部（樹脂投入供給部）に樹脂材料31を投入供給することができると共に、プランジャ32を上動させてその空間部内の樹脂材料31を加圧することができる。
【００２７】
また、樹脂成形時においては、上下両型３・６又は上型プレート９及び下型プレート12に配設したヒータ（図示なし）によって、該上下両型３・６、ポット30及び該ポット30内に常時嵌合させたプランジャ32を樹脂成形温度以上にまで加熱した状態となるように設定している。
また、樹脂成形前において電子部品を装着した樹脂封止前基板（Ｓ）を上下両型３・６間の所定位置に搬送供給し、或は、樹脂成形後において電子部品を樹脂封止した樹脂封止済基板（Ｓ）を上下両型３・６間から外部へ搬出するための基板の供給取出機構25を併設している（図１参照）。
【００２８】
また、装置基台38上には、上下動機構部、即ち、図例における可動盤上下動機構４と上部エジェクタープレート上下駆動機構24及びプランジャ上下動機構34における上下動作用を制御するための制御部35を装設している。
また、可動盤上下動機構４、上部エジェクタープレート上下駆動機構24及びプランジャ上下動機構34にはそのピストンロッド４ｃ・24ｃ及びプランジャ32の移動位置を検出するための適宜な位置センサ（図示なし）を配設している。
そして、該各位置センサによる位置検出信号４Ｓ・24Ｓ・34Ｓを制御部35へ出力するように設けている（図３参照）。
【００２９】
次に、図３に示す本成形装置の基本構成図を参照して制御部35の作用を説明する。
なお、図１及び図２において使用した各構成部分と実質的に同じ構成部分については同じ符号を付している。
【００３０】
図３に示すように、可動盤上下動機構４、上部エジェクタープレート上下駆動機構24及びプランジャ上下動機構34側とポンプユニット36側とは切替バルブ４Ｖ・24Ｖ・34Ｖを介して連通接続させている。
なお、ポンプユニット36は液圧ポンプ36ａと該液圧ポンプ36ａを駆動するサーボモータ36ｂを備えている。そして、液圧ポンプ36ａから圧送した作動液Ｗを連続的な環回路を経て該液圧ポンプ36ａへ直接戻す液圧閉回路を構成している。
また、同図中の符号37はアキュムレータを示している。
【００３１】
上記した構成において、可動盤上下動機構４、上部エジェクタープレート上下駆動機構24及びプランジャ上下動機構34における各位置センサによって、そのピストンロッド４ｃ・24ｃ及びプランジャ32の移動方向を変更させる移動位置を検出した場合、その位置検出信号４Ｓ・24Ｓ・34Ｓを制御部35へ出力する。
次に、制御部35は、該制御部35に入力した位置検出信号４Ｓ・24Ｓ・34Ｓに基づいて、各切替バルブ４Ｖ・24Ｖ・34Ｖを切り替えるための切替信号35Ｓを出力する。
各切替バルブ４Ｖ・24Ｖ・34Ｖは、この切替信号35Ｓを受けて作動液Ｗの流路を切り替えて、該作動液Ｗを各シリンダ４ｂ・24ｂ・34ｂ内に導入することにより、そのピストンロッド４ｃ・24ｃ及びプランジャ32を所定の方向へ変更移動させることができる。
【００３２】
上記した作動液Ｗは、ヒアルロン酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合し、且つ、その混合物がピストン・シリンダ機構におけるピストン往復駆動用の作動用油と同程度の粘度を有するように生成したものである。
この作動液Ｗは、作動水よりは高粘度となり且つ油成分を含んでいない。
そして、この作動液Ｗは、油圧駆動システムにおける作動油と同程度の粘度を有するように生成したもので、該作動油と同程度の機能を発揮させることができる。
ここで、作動油と同程度の粘度とは、例えば、運転温度を40℃とする場合において、最適粘度範囲を20〜36ｍｍ2 ／Ｓと設定することによって得られるものである。
なお、この粘度の変更は、ヒアルロン酸ナトリウムと水との混合割合を変更することによって容易に行うことができる。
また、装置稼働時における機器類の運転温度の特定に対応して適宜に設定することができる。
【００３３】
また、上記した作動液Ｗは、ヒアルロン酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合することに替えて、ポリアクリル酸ナトリウムと水とを所要の割合で混合することによっても同様の機能を持たせることができる。
【００３４】
この実施例における作動液Ｗは、作動水よりは高粘度であって油圧駆動システムにおける作動油と同程度の機能を発揮させることができるため、作動液Ｗがピストンの往復駆動部等からの漏れるのを効率良く防止することができる。
また、水圧駆動システムに採用される高精度な機器類を必要としないので、樹脂成形装置の全体的なコストダウンを図ることができる。
【００３５】
なお、図においては、作動液Ｗを導入する往復駆動部として可動盤上下動機構４と上部エジェクタープレート上下駆動機構24及びプランジャ上下動機構34を例示しているが、例えば、基板供給取出機構25の往復駆動部として並設する左右水平移動機構（図示なし）にも応用することが可能である。
また、これに限らず、その他の往復駆動機構部（図示なし）においても同様に採用することができることは明らかである。
【００３６】
本発明は、前述した実施例のものに限定されるものでなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意に且つ適宜に変更・選択して採用することができるものである。
【符号の説明】
【００３７】
１    装置フレーム
２    固定盤
３    固定上型
４    上下動機構
４ａ  ピストン
４ｂ  シリンダ
４ｃ  ピストンロッド
４Ｓ  位置検出信号
４Ｖ  切替バルブ
５    可動盤
６    可動下型
７    上型断熱板
８    上型スぺースブロック
９    上型プレート
10    下型断熱板
11    下型スペースブロック
12    下型プレート
13    スペース
14    スペース
15    上型キャビティ
16    下型キャビティ
17    上部エジェクターピン
18    下部エジェクターピン
19    上部エジェクタープレート
20    下部エジェクタープレート
21    上部リターンピン
22    カル部
23    エジェクターピン
24    上下駆動機構
24ａ  ピストン
24ｂ  シリンダ
24ｃ  ピストンロッド
24Ｓ  位置検出信号
24Ｖ  切替バルブ
25    基板の供給取出機構
26    下部リターンピン
27    スプリング
28    ガイドピン
29    ガイドピンブッシュ
30    ポット
31    樹脂材料
32    プランジャ（ピストンロッド）
33    ゲート
34    上下動機構
34ａ  ピストン
34ｂ  シリンダ
34Ｓ  位置検出信号
34Ｖ  切替バルブ
35    制御部
35Ｓ  切替信号
36    ポンプユニット
36ａ  液圧ポンプ
36ｂ  サーボモータ
37    アキュムレータ
38    装置基台
Ｓ    基板
Ｗ    作動液
【図１】
2014116512.tif 000003
【図２】
2014116512.tif 000004
【図３】
2014116512.tif 000005