(57)【要約】      （修正有）【課題】製造時に圧電基板の破損が少なく、効率よく薄型の弾性波装置を製造することができる弾性波装置の製造方法と圧電ウエハを提供する。【解決手段】弾性波装置の製造は、圧電体単結晶からなる圧電体１２の層と薬液を用いて除去することが可能な支持体１３の層とからなる圧電ウエハ１１を準備する工程と、圧電ウエハの上に櫛形電極を形成する工程と、圧電ウエハの上の前記櫛形電極を封止する工程と、圧電ウエハの支持体を薬液を使用して除去する工程とを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性波装置の製造に供する圧電ウエハであって、圧電体単結晶からなる圧電体の層と、薬液を用いて除去することが可能な支持体の層とからなる圧電ウエハ。
【請求項２】
前記支持体は、アルカリ剥離可能な樹脂と、無機充填材とからなる請求項１記載の圧電ウエハ。
【請求項３】
前記無機充填材は、二酸化ケイ素を主成分とし、前記支持体における前記無機充填材の含有率は８０ｗｔ％以上、９８ｗｔ％以下である請求項２記載の圧電ウエハ。
【請求項４】
前記支持体は、酸またはアルカリエッチング液によりエッチング可能な金属からなる請求項１記載の圧電ウエハ。
【請求項５】
圧電体単結晶からなる圧電体の層と薬液を用いて除去することが可能な支持体の層とからなる圧電ウエハを準備する工程と、前記圧電ウエハの上に櫛形電極を形成する工程と、前記圧電ウエハの上の前記櫛形電極を封止する工程と、前記圧電ウエハの前記支持体を前記薬液を使用して除去する工程とを有する弾性波装置の製造方法。
【請求項６】
前記薬液に可溶な支持体は、アルカリ可溶な樹脂と、無機充填材とからなる請求項５記載の弾性波装置の製造方法。
【請求項７】
前記無機充填材は、二酸化ケイ素を主成分とし、前記支持体における前記無機充填材の含有率は８０ｗｔ％以上、９８ｗｔ％以下である請求項６記載の弾性波装置の製造方法。
【請求項８】
前記支持体は、酸またはアルカリエッチング液によりエッチング可能な金属からなる請求項５記載の弾性波装置の製造方法。
【請求項９】
請求項５記載の弾性波装置の製造方法を用いて製造した弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波装置の製造に供する圧電ウエハと弾性波装置および弾性波装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図４（ａ）〜（ｄ）に、従来の弾性波装置の製造方法を示す。
【０００３】
従来の弾性波装置の製造方法は、まず、図４（ａ）のように、ウエハ状の圧電基板１の素子面１ａに櫛形電極２と、配線３を形成し、櫛形電極２を覆う素子カバー４を形成する。次に、図４（ｂ）のように、配線３から上方に伸びる接続電極５と、素子カバー４の上から圧電基板１の素子面１ａを覆う封止材６を形成し、封止材６の上面に接続電極５に接続された端子電極７を形成する。次に、図４（ｃ）のように、圧電基板１の背面１ｂを研削装置８を用いて研削し圧電基板１の板厚を薄くする。次に、図４（ｄ）のように、圧電基板１を封止材６ごとダイシングして、個片に分割し、弾性波装置９を得る。
【０００４】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２９７６９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、従来の弾性波装置９の製造方法は、櫛形電極２を形成する工程から端子電極７を形成する工程までの間の製造工程を実施するために一定の厚みと強度を有するウエハ状の圧電基板１を必要とし、個片に分割する前に研削することにより、圧電基板１を薄くし、弾性波装置９を薄型化していた。
【０００７】
しかし、この従来の弾性波装置９の製造方法は、圧電基板１を研削して薄くするために多大な労力と時間を費やしていた。また、この圧電基板１を研削して薄くする工程を軽減するために、初期の圧電基板１を薄くした場合には、圧電基板１を研削する以前の工程において、圧電基板１が破損しやすくなり、歩留りが低下していた。
【０００８】
本発明は、製造時に圧電基板の破損が少なく、効率よく薄型の弾性波装置を製造することのできる弾性波装置および弾性波装置の製造方法と弾性波装置の製造に供する圧電ウエハを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、弾性波装置の製造に供する圧電ウエハであって、圧電体単結晶からなる圧電体の層と、薬液を用いて除去することが可能な支持体の層とからなるものである。
【００１０】
また、本発明は、圧電体単結晶からなる圧電体の層と薬液を用いて除去することが可能な支持体の層とからなる圧電ウエハを準備する工程と、前記圧電ウエハの上に櫛形電極を形成する工程と、前記圧電ウエハの上の前記櫛形電極を封止する工程と、前記圧電ウエハの前記支持体を前記薬液を使用して除去する工程とを有する弾性波装置の製造方法およびその製造方法を用いて製造した弾性波装置である。
【発明の効果】
【００１１】
上記の構成を有することにより、本発明は、製造時に圧電基板の破損が少なく、効率よく薄型の弾性波装置を製造することができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）、（ｂ）本発明の一実施の形態における圧電ウエハの斜視図
【図２】（ａ）〜（ｃ）本発明の一実施の形態における弾性波装置の製造方法を模式的に示した製造工程図
【図３】（ａ）〜（ｃ）本発明の一実施の形態における弾性波装置の製造方法を模式的に示した製造工程図
【図４】（ａ）〜（ｄ）従来の弾性波装置の製造方法を模式的に示した製造工程図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施の形態における圧電ウエハおよび弾性波装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１（ａ）は本発明の一実施の形態における圧電ウエハの斜視図である。図１（ａ）において、圧電ウエハ１１は、圧電体単結晶からなる厚さ１００μｍ程度の圧電基板１２と、薬液を用いて除去することが可能な厚さ４ｍｍ程度の支持基板１３とからなる。
【００１５】
圧電基板１２は、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶などの圧電体単結晶からなり、厚さは１００μｍ程度である。
【００１６】
支持基板１３は、薬液を用いて除去することが可能な材料からなり、極めて厚みの薄い圧電基板１２を用いて弾性波装置を製造する際の圧電基板１２の支持部材である。支持基板１３の構成は、アルカリ水溶液に可溶な樹脂の中に酸化ケイ素を主成分とする無機充填材を分散させたものである。アルカリ水溶液に可溶な樹脂を溶解させることのできるアルカリ水溶液は、例えば、炭酸ナトリウム水溶液や水酸化ナトリウム水溶液である。支持基板１３における無機充填材の含有量は８０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下である。無機充填材の含有量をこの範囲にすることにより、支持基板１３の熱膨張率を圧電基板１２に近似させることができ、弾性波装置の製造時に圧電ウエハ１１の反りを抑制することができる。
【００１７】
以上のように本発明の圧電ウエハ１１は、圧電体単結晶からなる圧電基板１２と、薬液を用いて除去することが可能な支持基板１３とからなり、製造時に圧電基板１２の破損が少なく、効率よく薄型の弾性波装置を製造することができ、弾性波装置を製造する時間を短縮することができる。
【００１８】
次に、上記圧電ウエハ１１を用いて行う本発明の一実施の形態における弾性波装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
【００１９】
図２（ａ）〜（ｃ）、図３（ａ）〜（ｃ）は、本発明の一実施の形態における弾性波装置の製造方法を模式的に示した製造工程図である。
【００２０】
まず、図２（ａ）に示すように、圧電体単結晶からなる圧電基板１２と薬液を用いて除去することが可能な支持基板１３とからなる圧電ウエハ１１を準備し、圧電ウエハ１１の素子面１１ａに、櫛形電極からなる弾性表面波素子１４と弾性表面波素子１４に接続する配線電極１５を形成し、空間１６を介して弾性表面波素子１４を覆う素子カバー１７を形成する。ここで、圧電ウエハ１１は図１（ａ）を用いて説明した圧電ウエハ１１と同じ構成を有する。
【００２１】
次に、図２（ｂ）に示すように、圧電ウエハ１１の素子面１１ａにおいて、素子カバー１７と配線電極１５を覆う封止体１８と、封止体１８を貫通して配線電極１５に接続される接続電極１９と、封止体１８の上面に配置され、接続電極１９に接続される端子電極２０を形成する。
【００２２】
次に、図２（ｃ）に示すように、圧電ウエハ１１の素子面１１ａの側から弾性表面波装置を個片に分割するダイシングを行い、封止体１８から支持基板１３に達する溝２１を形成する。
【００２３】
次に、図３（ａ）に示すように、封止体１８の上面側に仮固定部材２２を固定し、圧電ウエハ１１の下面側から炭酸ナトリウム水溶液２３で支持基板１３を溶解除去する。なお、支持基板１３を溶解除去する際には、ブラシ研磨等を併用しても良い。
【００２４】
次に、図３（ｂ）に示すように、弾性波装置を識別するためのマーキング２４を圧電基板１２の背面側から形成する。
【００２５】
次に、図３（ｃ）に示すように、仮固定部材２２から弾性波装置２５を剥離することにより個々の弾性波装置２５ができる。
【００２６】
以上のように本発明の弾性波装置の製造方法とこの製造方法を用いて製造した弾性波装置２５は、圧電体単結晶からなる圧電基板１２と薬液を用いて除去することが可能な支持基板１３とからなる圧電ウエハ１１を準備する工程と、前記圧電ウエハの上に櫛形電極を形成する工程と、前記圧電ウエハの上の前記櫛形電極を封止する工程と、前記圧電ウエハの前記支持体を前記薬液を使用して除去する工程とを有することにより、製造時に圧電基板の破損が少なく、効率よく薄型の弾性波装置を製造することができ、弾性波装置を製造する時間を短縮できるという効果を有する。
【００２７】
なお、上記本発明の一実施の形態における弾性波装置の製造方法において、弾性波装置として内部に弾性波素子が励振するための空間を有する弾性表面波装置を用いて説明したが、内部に空間を有さない弾性境界波装置についても本発明の製造方法を適用することができ、同様の効果をもたらす。
【００２８】
また、上記本発明の一実施の形態における弾性波装置の製造方法において、圧電ウエハから支持基板を除去するための薬剤として炭酸ナトリウム水溶液を用い、樹脂成分を溶解することにより除去したが、他のアルカリ水溶液を用いて樹脂成分を溶解してもよいものである。また、支持基板の樹脂成分をアルカリ水溶液を用いて膨潤させることにより、支持基板を剥離してもよいものである。
【００２９】
また、上記本発明の一実施の形態における弾性波装置の製造方法において、圧電ウエハの支持基板としてアルカリ水溶液に可溶な樹脂中に無機充填材を分散させた材料を用いたが、支持基板として酸またはアルカリ水溶液に可溶な金属を用い、図３（ａ）に示す工程の代わりに、支持基板を酸またはアルカリ水溶液を用いて支持基板を溶解除去しても良いものである。
【００３０】
図１（ｂ）は本発明の一実施の形態における他の圧電ウエハの斜視図である。図１（ｂ）における圧電ウエハ３１は、図１（ａ）に示す圧電ウエハ１１において、圧電基板１２の代わりに、圧電基板３２と低熱膨張基板３４を接合した複合基板を用いたものである。図１（ｂ）における圧電ウエハ３１は、圧電体単結晶からなる圧電基板３２と、低熱膨張基板３４と、薬液を用いて除去することが可能な支持基板３３とからなる。圧電基板３２の厚みは２０μｍ程度、低熱膨張基板３４の厚みは８０μｍ程度、薬液を用いて除去することが可能な支持基板３３の厚みは４ｍｍ程度である。低熱膨張基板３４は、酸化アルミニウムや酸化ケイ素を主成分とする圧電基板３２よりも熱膨張率の低い材質から構成したものであり、圧電基板３２と接合することにより、圧電基板３２の温度による寸法変化を抑制するものであり、弾性波装置の温度変化による弾性波装置の電気特性の変動を抑制するものである。薬液を用いて除去することが可能な支持基板３３は、図１（ａ）の圧電ウエハ１１における支持基板１３と同様の構成を有する。
【００３１】
図１（ｂ）に示す本発明の一実施の形態における他の圧電ウエハ３１は、本発明の一実施の形態における圧電ウエハ１１と同様、効率よく薄型の弾性波装置を製造することができ、弾性波装置を製造する時間を短縮することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明に係る弾性波装置は、主として移動体通信機器に用いられる高周波フィルタや分波器、共用器等において有用となる。
【符号の説明】
【００３３】
１１、３１  圧電ウエハ
１１ａ  素子面
１２、３２  圧電基板
１３、３３  支持基板
１４  弾性表面波素子
１５  配線電極
１６  空間
１７  素子カバー
１８  封止体
１９  接続電極
２０  端子電極
２１  溝
２２  仮固定部材
２３  炭酸ナトリウム水溶液
２５  弾性波装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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