(57)【要約】【課題】製造効率の向上、部品点数の削減及び小型化を図った上で、レンズ部と受光素子との位置決め精度を向上できるとともに、長期に亘って気密性を維持できる受光センサ及び受光センサの製造方法を提供する。【解決手段】受光素子１２が収納される凹部１３を有するベース部材１４と、凹部１３を閉塞するようにベース部材１４に接合されるととともに、凹部１３内に光を透過させるレンズ部１５と、を備え、レンズ部１５は、少なくともベース部材１４との接合面側が湾曲面とされ、ベース部材１４のうち、レンズ部１５との接合代２１ａには、レンズ部１５における接合面の曲率半径に倣ったレンズ保持部２５が形成されていることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光素子が収納される凹部を有するベース部材と、
前記凹部を閉塞するように前記ベース部材に接合されるととともに、前記凹部内に光を透過させるレンズ部と、を備え、
前記レンズ部は、少なくとも前記ベース部材との接合面側が湾曲面とされ、
前記ベース部材のうち、前記レンズ部との接合代には、前記レンズ部における前記接合面の曲率半径に倣ったレンズ保持部が形成されていることを特徴とする受光センサ。
【請求項２】
前記レンズ部は、両凸形状とされていることを特徴とする請求項１記載の受光センサ。
【請求項３】
前記ベース部材はガラスにより形成され、前記レンズ部はシリコンにより形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の受光センサ。
【請求項４】
前記レンズ保持部は、前記ベース部材のうち、前記凹部の開口を除く上面全体に亘って形成されることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の受光センサ。
【請求項５】
前記ベース部材の上面は、前記ベース部材の厚さ方向に対して傾斜する傾斜面とされるとともに、前記レンズ保持部が前記傾斜面に形成され、
前記レンズ部は、前記傾斜面に倣って前記レンズ保持部内に保持されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の受光センサ。
【請求項６】
請求項１記載の受光センサの製造方法であって、
前記レンズ部の前記接合面側を前記レンズ保持部内に保持させるレンズセット工程と、
前記レンズ部の前記接合面と前記ベース部材の前記接合代とを接合する接合工程と、を有していることを特徴とする受光センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、受光センサ及び受光センサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、赤外線や可視光等、外部の光を受光（検出）して、その検出結果を電気信号に変換して出力する受光センサが知られている。この種の受光センサのうち、赤外線を検出する赤外線センサとして、下記特許文献１に示されるようなパッケージ型の赤外線センサが知られている。
【０００３】
パッケージ型の赤外線センサは、凹部を有するベース部材と、この凹部を閉塞するリッド部材と、が接合されたパッケージを備えている。
ベース部材の凹部内には、赤外線を受光する受光素子が収納されている。一方、リッド部材のうち、受光素子と対向する部分には開口部が形成され、この開口部を閉塞するようにレンズ部が配設されている。レンズ部は、例えば平凸状とされ、その外周部分が導電性接着剤等の接合材料によりリッド部材の内面に接合されている。
このように構成された赤外線センサでは、レンズ部に入射した赤外線が、レンズ部で集光された後、受光素子で受光されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２７６４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した赤外線センサでは、熱対流や熱伝導による検出精度（感度）の低下を抑制するために、パッケージ内を真空封止することが望まれている。
しかしながら、上述した特許文献１の構成では、レンズ部とリッド部材とを別途の接合材料を用いて接合した後、さらにリッド部材とベース部材とを接合する必要があり、これら複数の接合部分を完全に塞ぐのが困難である。その結果、パッケージ内の気密性を長期に亘って確保することが難しいという問題がある。
【０００６】
また、上述したようにレンズ部はリッド部材側に、受光素子はベース部材側にそれぞれ配設されているため、リッド部材とベース部材とを最終的に接合させた際の受光素子に対するレンズ部の位置決め精度を高くすることが難しい。
また、ベース部材とリッド部材とを接合する前に、レンズ部をリッド部材に接合する必要があるため、製造効率が悪いという問題がある。
さらに、リッド部材を介してレンズ部をベース部材に接合する必要があるので、部品点数の削減や、赤外線センサの小型化にも限界がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、製造効率の向上、部品点数の削減及び小型化を図った上で、レンズ部と受光素子との位置決め精度を向上できるとともに、長期に亘って気密性を維持できる受光センサ及び受光センサの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
（１）本発明に係る受光センサは、受光素子が収納される凹部を有するベース部材と、前記凹部を閉塞するように前記ベース部材に接合されるととともに、前記凹部内に光を透過させるレンズ部と、を備え、前記レンズ部は、少なくとも前記ベース部材との接合面側が湾曲面とされ、前記ベース部材のうち、前記レンズ部との接合代には、前記レンズ部における前記接合面の曲率半径に倣ったレンズ保持部が形成されていることを特徴としている。
【０００９】
この構成によれば、ベース部材の凹部を閉塞するようにレンズ部をベース部材に直接接合することで、レンズ部をベース部材の蓋として機能させることができるので、従来のようにリッド部材とレンズ部、さらにリッド部材とベース部材とをそれぞれ接合させる構成に比べて凹部内の気密性を高めることができる。また、ベース部材のレンズ保持部が、レンズ部における接合面の曲率半径に倣って形成されているので、レンズ保持部とレンズ部との密着性を向上させ、これによっても凹部内の気密性を高めることができる。
したがって、凹部内の気密性を長期に亘って確保することができるとともに、凹部内と外部との熱絶縁を行うことができるので、高感度な受光センサを提供することができる。
【００１０】
また、ベース部材のレンズ保持部内にレンズ部を保持させた状態で、レンズ部とベース部材とを直接接合させる構成であるため、リッド部材を介してレンズ部をベース部材に接合する従来の構成に比べて、ベース部材に収納される受光素子に対するレンズ部の位置決め精度を向上させることができる。
しかも、従来のようにリッド部材を介してレンズ部をベース部材に接合する構成に比べて、部品点数を削減でき、またリッド部材の大きさに依存することないので、小型薄型化を実現できる。
さらに、複数のベース部材が形成されたベースウエハにおいて、ベースウエハの各ベース部材（レンズ保持部）に対してレンズ部をそれぞれ保持させた状態で、各レンズ部を一括して接合することで、ウエハレベルでの作業を実現できる。その結果、低コスト化及び製造効率の向上を図ることができる。
【００１１】
（２）上記本発明に係る受光センサにおいて、前記レンズ部は、両凸形状とされていてもよい。
この構成によれば、両凸形状とされたレンズ部を採用することで、集光効率（画角）を向上させ、受光センサの更なる感度向上を図ることができる。
【００１２】
（３）上記本発明に係る受光センサにおいて、前記ベース部材はガラスにより形成され、前記レンズ部はシリコンにより形成されていてもよい。
この構成によれば、ベース部材をガラスにより形成し、レンズ部をシリコンにより形成することで、ベース部材とレンズ部とを陽極接合等により直接接合させることができる。これにより、製造効率の更なる向上を図ることができる。
【００１３】
（４）上記本発明に係る受光センサにおいて、前記レンズ保持部は、前記ベース部材のうち、前記凹部の開口を除く上面全体に亘って形成されていてもよい。
この構成によれば、レンズ部の平面視外形とベース部材の平面視外形とを同等にすることができるので、さらなる小型化を実現できる。
【００１４】
（５）上記本発明に係る受光センサにおいて、前記ベース部材のうち、前記凹部の上面は、前記ベース部材の厚さ方向に対して傾斜する傾斜面とされるとともに、前記レンズ保持部が前記傾斜面に形成され、前記レンズ部は、前記傾斜面に倣って前記レンズ保持部内に保持されていてもよい。
この構成によれば、レンズ部が傾斜面に倣って保持されるので、ベース部材の厚さ方向に対してレンズ部の光軸方向を傾けることが可能になり、受光量の増減調整やレンズ部に対する受光素子の配置位置調整等を図ることができる。
【００１５】
（６）本発明に係る受光センサの製造方法は、上記本発明の受光センサの製造方法であって、前記レンズ部の前記接合面側を前記レンズ保持部内に保持させるレンズセット工程と、前記レンズ部の前記接合面と前記ベース部材の前記接合代とを接合する接合工程と、を有していることを特徴としている。
この構成によれば、レンズセット工程において、ベース部材の接合代に形成されたレンズ保持部内にレンズ部を保持させるだけで、レンズ部をベース部材に位置決め（セルフアライメント）できる。その結果、製造効率の向上を図ることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、製造効率の向上及び小型化を図った上で、レンズ部と受光素子との位置決め精度を向上できるとともに、長期に亘って気密性を維持できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】赤外線センサの斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】赤外線センサの製造方法を説明するための工程図であって、ベースウエハ等の斜視図である。
【図４】赤外線センサの製造方法を説明するための工程図であって、図３のＢ−Ｂ線に相当する断面図である。
【図５】赤外線センサの他の構成を示す断面図である。
【図６】赤外線センサの他の構成を示す断面図である。
【図７】赤外線センサの他の製造方法を説明するための工程図であって、図３のＢ−Ｂ線に相当する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態では、本発明の受光センサを赤外線センサに適用した場合を例にして説明する。
［赤外線センサ］
図１は赤外線センサの斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図１、図２に示すように、本実施形態の赤外線センサ（受光センサ）１１は、受光素子１２（図２参照）が収納された凹部１３（図２参照）を有するベース部材１４と、凹部１３を閉塞するとともに、光が透過可能なレンズ部１５と、を備えている。
【００１９】
ベース部材１４は、例えばシリコンや、ガラス、樹脂材料等からなる板状とされている。図２に示すように、ベース部材１４の上面２１（凹部１３の開口側に位置する面：図２中上面）には、受光素子１２が収納される上述した凹部１３が形成されている。
凹部１３は、開口縁から底面に向かうに従い漸次先細るテーパ状とされている。そして、凹部１３は、ベース部材１４とレンズ部１５とが重ね合わされたときに、受光素子１２を収納するキャビティＣを形成する。なお、図示の例において、凹部１３の平面視外形は、レンズ部１５の平面視外形よりも小さくなっており、ベース部材１４の上面２１のうち、凹部１３の開口縁はレンズ部１５との接合代２１ａとなっている。
【００２０】
受光素子１２は、赤外線を検出し、その検出結果を電気信号に変換して出力するものであり、凹部１３底面に形成された図示しない一対のマウント電極を介してベース部材１４に実装されている。なお、本実施形態の受光素子１２としては、例えば熱起電力効果や焦電効果、熱電対効果等、赤外線を熱として検出する熱型タイプや、光起電力効果や光導電効果、光電子放出効果等、赤外線の光の性質を検出に利用した量子型タイプ等、適宜選択することが可能である。
【００２１】
また、ベース部材１４のうち、凹部１３底面に位置する部分には、ベース部材１４の厚さ方向に貫通して凹部１３内に連通する一対の貫通孔２２が形成されている。そして、これら貫通孔２２内には、それぞれ貫通電極２３が配設されている。貫通電極２３は、貫通孔２２それぞれを埋めるように配設された柱状とされ、その一端部が凹部１３内に露出し、他端部がベース部材１４の下面２４（図２中下面）で外部に露出している。
【００２２】
各貫通電極２３の一端部は、凹部１３内において各マウント電極を介して上述した受光素子１２に電気的に接続されている。一方、各貫通電極２３の他端部は、ベース部材１４の下面２４に形成された図示しない一対の外部電極にそれぞれ電気的に接続されている。これにより、赤外線センサ１１から出力される電気信号が、貫通電極２３や外部電極を介して外部機器に出力されるようになっている。
【００２３】
レンズ部１５は、シリコンやゲルマニウム、樹脂材料等、赤外線を透過可能な材料により形成され、レンズ部１５に入射した赤外線を受光素子１２に向けて集光させるものである。具体的に、レンズ部１５は径方向の外周部分から中央部に向かうに従い漸次厚さが増加する両凸状とされ、その光軸方向がベース部材１４の厚さ方向に一致するように配設されている。
【００２４】
そして、レンズ部１５は、その下面（接合面）の外周部分（以下、単に接合部分１５ａという）がベース部材１４の接合代２１ａにプラズマ活性化接合や陽極接合等により接合されている。これにより、凹部１３が閉塞され、上述したキャビティＣ内が真空封止されている。
【００２５】
ここで、ベース部材１４の接合代２１ａには、レンズ部１５の接合部分１５ａを保持するレンズ保持部２５が形成されている。レンズ保持部２５は、凹部１３の開口縁を切除するように窪んだ曲面状とされ、凹部１３の全周に亘って形成されている。
また、レンズ保持部２５の内面形状は、レンズ部１５の接合部分１５ａに倣って形成されている。すなわち、レンズ保持部２５の曲率半径が、レンズ部１５の接合部分１５ａにおける曲率半径と同等に設定されている。図示の例において、レンズ部１５は、下面から外周縁に至る範囲がレンズ保持部２５内に保持されており、下面の中央部は凹部１３内に向けて突出した状態で配置されている。
【００２６】
このように構成された赤外線センサ１１においては、レンズ部１５に入射した赤外線は、レンズ部１５で集光された後、キャビティＣ内に進入してキャビティＣ内の受光素子１２で受光される。そして、受光素子１２が赤外線を受光することで、その検出結果を電気信号に変換して外部に向けて出力するようになっている。
【００２７】
［赤外線センサの製造方法］
次に、上述した赤外線センサ１１の製造方法について説明する。以下には、複数の赤外線センサ１１をウエハレベルで一括して作成した後、赤外線センサ１１を１つずつ個片化する方法について説明する。なお、図２以降に示す鎖線Ｍは、後述する個片化工程で切断する際の切断線を示している。
本実施形態の赤外線センサ１１の製造方法は、ベースウエハ作成工程と、組立工程と、を主に有している。
【００２８】
＜ベースウエハ作成工程＞
図３、図４は赤外線センサ１１の製造方法を説明するための工程図であって、図３は斜視図、図４は図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
まず、図４（ａ）に示すように、ガラス等からなるベースウエハ５１を用意する。
次に、図３（ａ）、図４（ｂ）に示すように、ベースウエハ５１のうち、赤外線センサ１１の形成領域毎に一対の貫通電極２３、及び凹部１３を形成する（貫通電極及び凹部形成工程）。なお、貫通電極２３は、凹部１３形成前に形成しても、凹部１３形成後に形成しても構わない。
【００２９】
ここで、凹部１３の形成と同時に、レンズ部１５との接合代（凹部１３の開口縁）にレンズ保持部２５を形成する。例えば、凹部１３及びレンズ保持部２５を成形する押し型により、ベースウエハ５１の上面５１ａ側からプレス加工（例えば、熱間プレス加工等）を施す。これにより、凹部１３と、凹部１３の開口縁に連設され、レンズ部１５の接合部分１５ａと同等の曲率半径を有するレンズ保持部２５と、を形成することができる。なお、凹部１３とレンズ保持部２５とを別々の押し型により形成しても構わない。
【００３０】
続いて、図３（ａ）、図４（ｃ）に示すように、ベースウエハ５１の各凹部１３内に受光素子１２を実装する（実装工程）。具体的には、各凹部１３底面に露出する貫通電極２３上に、図示しないマウント電極を介して受光素子１２を実装する。
以上により、ベースウエハ作成工程が終了する。
【００３１】
＜組立工程＞
次に、図３（ｂ）、図４（ｄ）に示すように、ベースウエハ５１の各レンズ保持部２５にレンズ部１５をそれぞれ接合する組立工程を行う。
具体的には、まず減圧雰囲気下または不活性ガス雰囲気下に保持されたチャンバー内に、上述したベースウエハ５１を搬送する。次に、図３（ｃ）、図４（ｄ）に示すように、ベースウエハ５１の各レンズ保持部２５にレンズ部１５を配置する（レンズセット工程）。上述したようにレンズ保持部２５は、レンズ部１５における接合部分１５ａの曲率半径に倣って形成されているため、接合部分１５ａが速やかにレンズ保持部２５内に案内される。これにより、各レンズ部１５それぞれによりベースウエハ５１の各凹部１３を閉塞するとともに、レンズ部１５の接合部分１５ａがレンズ保持部２５内に保持された状態となり、レンズ部１５がベースウエハ５１に位置決め（セルフアライメント）される。
【００３２】
この状態で、陽極接合やプラズマ活性化接合により、ベースウエハ５１（レンズ保持部２５）と各レンズ部１５とを接合する（接合工程）。なお、ベースウエハ５１にガラス、レンズ部１５にシリコンを採用した場合には、陽極接合を行うことで、両者を簡単に接合することができる。すなわち、ベースウエハ５１及びレンズ部１５を加熱した状態で、両者間に電圧を印加することで、ベースウエハ５１の接合代２１ａ（レンズ保持部２５）とレンズ部１５の接合部分１５ａとの界面に電気化学的な反応が生じ、両者がそれぞれ接合される。
以上により、ベースウエハ５１の各凹部１３内がレンズ部１５により真空封止される。
【００３３】
次に、ベースウエハ５１を赤外線センサ１１ごとに個片化する個片化工程を行う。具体的には、図３（ｄ）に示すように、ダイシングやステルスダイシング等を用いて、切断線Ｍに沿ってベースウエハ５１を切断する。
すると、ベースウエハが赤外線センサ１１の形成領域毎に切り出されることで、１枚のベースウエハ５１から複数の赤外線センサ１１を同時に作成することができる。
【００３４】
このように、本実施形態では、レンズ部１５の接合部分１５ａを保持するレンズ保持部２５をベース部材１４の接合代２１ａに形成する構成とした。
この構成によれば、ベース部材１４の凹部１３を閉塞するようにレンズ部１５をベース部材１４に直接接合することで、レンズ部１５をベース部材１４の蓋として機能させることができる。そのため、従来のようにリッド部材とレンズ部、さらにリッド部材とベース部材とをそれぞれ接合させる構成に比べて、キャビティＣ内の気密性を高めることができる。また、ベース部材１４のレンズ保持部２５が、レンズ部１５における接合部分１５ａの曲率半径に倣って形成されているので、レンズ保持部２５とレンズ部１５との密着性を向上させ、これによっても凹部１３内の気密性を高めることができる。
したがって、キャビティＣ内の気密性を長期に亘って確保することができるとともに、キャビティＣ内と外部との熱絶縁を行うことができるので、高感度な赤外線センサ１１を提供することができる。
【００３５】
また、ベース部材１４のレンズ保持部２５内にレンズ部１５を保持させた状態で、レンズ部１５とベース部材１４とを直接接合させる構成であるため、リッド部材を介してレンズ部をベース部材に接合する従来の構成に比べて、ベース部材１４に収納される受光素子１２に対するレンズ部１５の位置決め精度を向上させることができる。
【００３６】
しかも、従来のようにリッド部材を介してレンズ部をベース部材に接合する構成に比べて、部品点数を削減できるとともに、小型薄型化を実現できる。
さらに、本実施形態では、従来のようにリッド部材に対してレンズ部を１つずつ接合する場合と異なり、ベースウエハ５１の各ベース部材１４（レンズ保持部２５）に対してレンズ部１５を配置した後、これらレンズ部１５を陽極接合等により一括して接合することができる。すなわち、ウエハレベルでの作業を実現できるので、低コスト化及び製造効率の向上を図ることができる。
【００３７】
さらに、本実施形態では、両凸形状のレンズ部１５を採用することができるので、集光効率（画角）を向上させ、赤外線センサ１１の更なる感度向上を図ることができる。
また、ベース部材１４をガラスにより形成し、レンズ部１５をシリコンにより形成することで、ベース部材１４とレンズ部１５とを陽極接合により直接接合させることができる。これにより、製造効率の更なる向上を図ることができる。
【００３８】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、本発明の受光センサを赤外線センサ１１に適用した場合について説明したが、これに限らず、種々の受光センサに適用することができる。例えば可視光を受光して、その検出結果に基づいて電気信号を出力する照度センサ等に適用することが可能である。
【００３９】
また、上述した実施形態では、凹部１３の開口縁のみを接合代２１ａ（レンズ保持部２５）とした構成について説明したが、レンズ部１５の接合部分１５ａに倣った形状であれば、接合代２１ａの領域は適宜設計変更が可能である。例えば図５に示すように、ベース部材１４のうち、凹部１３の開口を除く上面２１全体を接合代２１ａ（レンズ保持部２５）としても構わない。
この場合には、レンズ部１５の平面視外形とベース部材１４の平面視外形とを同等にすることができるので、さらなる小型化を実現できる。
【００４０】
また、上述した実施形態では、本発明のレンズ部１５を両凸状のレンズ部１５とした場合について説明したが、光透過可能な構成であれば、両凸状以外の種々のレンズ形状（例えば、両凹レンズや、一方の面のみが凹状（または凸状）のレンズ、フレネルレンズ等）に設計変更が可能である。このような場合であっても、ベース部材１４の接合代２１ａ（レンズ保持部２５）がレンズ部１５の接合部分１５ａにおける曲率半径に倣って形成されていれば構わない。
さらに、ベース部材１４の凹部１３内に複数の受光素子１２をアレイ状に配列しても構わない。
【００４１】
さらに、上述した実施形態では、ベース部材１４の上面２１が平坦面とされ、レンズ部１５の光軸方向がベース部材１４の厚さ方向に一致した状態の赤外線センサ１１について説明したが、これに限られない。
例えば、図６に示すように、ベース部材１４の上面２１を厚さ方向に対して傾斜する傾斜面とし、この傾斜面に倣ってレンズ部１５を配置することも可能である。図６に示す赤外線センサ１１のベース部材１４は、断面視において幅方向一端側から他端側に向かうに従い漸次厚みが薄くなるように上面２１が傾斜している。そして、この上面２１のうち、凹部１３の開口縁（接合代２１ａ）にレンズ保持部２５が形成されている。したがって、レンズ保持部２５は、断面視において幅方向一端側と他端側とで高さ位置が異なっている。
さらに、レンズ保持部２５内にレンズ部１５が保持されることで、ベース部材１４の厚さ方向に対してレンズ部１５の光軸方向が傾斜した状態でレンズ部１５が接合されている。
【００４２】
この構成によれば、レンズ部１５が傾斜面に倣って保持されるので、ベース部材１４の厚さ方向に対してレンズ部１５の光軸方向を傾けることが可能になり、受光量の増減調整や受光素子１２に対するレンズ部１５の配置位置調整等を図ることができる。なお、ベース部材１４の上面２１の傾きは、適宜設計変更が可能である。
【００４３】
また、図６に示す赤外線センサ１１をウエハレベルで作成する場合には、例えば図７に示すように、まず上面５１ａのうち、中央部が平坦面とされ、外周部分が中央部から外側に向かうに従い漸次厚みが薄くなる傾斜面とされた凸面状のベースウエハ５１を用意する。そして、このベースウエハ５１のうち、赤外線センサ１１の形成領域毎に凹部１３及びレンズ保持部２５を形成する。そして、上述した組立工程と同様の方法によりレンズ保持部２５内にレンズ部１５を配置・接合した後、ベースウエハ５１を赤外線センサ１１ごとに個片化する。これにより、ベースウエハ５１の上面５１ａに倣った状態でレンズ部１５が保持された赤外線センサ１１を作成することができる。
なお、図示の例では、ベースウエハ５１のうち、中央部ではレンズ部１５の光軸方向がベース部材１４の厚さ方向に一致した状態の赤外線センサ１１（図２等参照）が作成され、外周部分ではレンズ部１５の光軸方向がベース部材１４の厚さ方向に対して傾斜した状態の赤外線センサ１１（図６参照）が作成されることになる。
【００４４】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１１…赤外線センサ（受光センサ）  １２…受光素子  １３…凹部  １４…ベース部材  １５…レンズ部  １５ａ…接合部分  ２１…上面  ２１ａ…接合代  ２５…レンズ保持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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