(57)【要約】【課題】案内レールの上側全体がカバーで覆われ、カバーの上方に配置された案内対象部材をスライダに固定するための取付部材を有し、案内レールの側面の上端とカバーの側面の下端とで形成される開口部が上下に分割された帯状のシール部材で塞がれている一軸アクチュエータにおいて、前記シール部材の切れを防止する。【解決手段】取付部材１４は、スライダの上面に固定される本体１４ａと、案内レールの幅方向外側に配置されてカバーより上側まで延び、案内対象部材を取り付ける取付部１４ｂと、これらを連結する連結部１４ｃとからなる。連結部１４ｃは、前記開口部に配置されて、上下のシール部材を押し開いて移動する。連結部１４ｃのシール部材が接触する部分に、摩擦係数を低減させる部材が配置されている。【選択図】図３
2014163511.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対する内側面に軸方向に延びる転動体転動面を有する断面凹状の案内レールと、前記案内レールの幅方向中心部に配設され外周面に螺旋状のねじ溝を有するねじ軸と、前記ねじ軸に螺合されたナット部を含むスライダと、複数の転動体とを備え、
前記スライダには、前記案内レールの転動体転動面に相対した転動体転動面が両側面に形成されるとともに、前記転動体の戻し通路と、この戻し通路と前記転動体転動面を連結する方向転換路が形成され、
前記相対する両転動体転動面からなる転動通路と、前記戻し通路と、前記方向転換路とで構成される循環経路内に、前記転動体が介装され、
前記ねじ軸を回転することで、その回転力が前記ナット部に伝達されて、前記転動体が前記転動通路を負荷状態で転動しながら前記循環経路内を循環することにより、前記スライダが前記案内レールに沿って移動可能とされた一軸アクチュエータであって、
前記案内レールの上側全体がカバーで覆われ、
前記カバーの上方に配置された案内対象部材を前記スライダに固定するための取付部材を有し、
前記取付部材は、スライダの上面に固定される本体と、案内レールの幅方向外側に配置されてカバーより上側まで延び、案内対象部材を取り付ける取付部と、これらを連結する連結部とからなり、
前記案内レールの側面の上端と前記カバーの側面の下端とで形成される開口部が、上下に分割された帯状のシール部材で覆われ、
前記連結部は、前記開口部に前記上下のシール部材に接触状態で配置され、前記上下のシール部材を押し開いて移動可能な形状であり、
前記上下のシール部材は、相互の先端部が重なり合い、前記連結部が通過する部分のみが開かれることで、前記取付部材の作動を許容しつつ装置内の略気密状態を保持し、
前記連結部の前記シール部材が接触する部分に、摩擦係数を低減させる部材が配置されていることを特徴とする一軸アクチュエータ。
【請求項２】
摩擦係数を低減させる部材は固体潤滑剤であることを特徴とする請求項１記載の一軸アクチュエータ。
【請求項３】
摩擦係数を低減させる部材は潤滑剤供給体であることを特徴とする請求項１記載の一軸アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ねじ式送り装置と直動案内装置が一体化された一軸アクチュエータ（断面凹状の案内レールと、前記案内レールの幅方向中心部に配設されたねじ軸と、前記ねじ軸に螺合されたナット部を含むスライダと、複数の転動体とを備え、前記ねじ軸の回転により前記スライダが前記案内レールに沿って移動可能とされた装置）に関する。
【背景技術】
【０００２】
ねじ式送り装置と直動案内装置が一体化された一軸アクチュエータは、相対する内側面に軸方向に延びる転動体転動面を有する断面凹状の案内レールと、前記案内レールの幅方向中心部に配設され外周面に螺旋状のねじ溝を有するねじ軸と、前記ねじ軸に螺合されたナット部を含むスライダと、複数の転動体とを備えている。
前記スライダには、前記案内レールの転動体転動面に相対した転動体転動面が両側面に形成されるとともに、前記転動体の戻し通路と、この戻し通路と前記転動体転動面を連結する方向転換路が形成されている。前記相対する両転動体転動面からなる転動通路と、前記戻し通路と、前記方向転換路とで構成される循環経路内に、前記転動体が介装されている。
【０００３】
前記ねじ軸を回転することで、その回転力が前記ナット部に伝達されて、前記転動体が前記転動通路を負荷状態で転動しながら前記循環経路内を循環することにより、前記スライダが前記案内レールに沿って移動可能とされている。
このような一軸アクチュエータの従来例として、特許文献１には、図１１〜図１４に示す構造の防塵型案内装置が記載されている。図１１はこの装置の斜視図であり、図１２はその構成を説明するための分解斜視図であり、図１３は図１１の長手方向に沿った断面図であり、図１４は図１３のＡ−Ａ断面図である。
【０００４】
図１１〜１４において、符号２１が案内レール、２２がスライダ、２３がねじ軸、２８がナット部、２７が直動装置用のボール（転動体）、２９がボールねじ（ねじ式送り装置）用のボールに相当する。案内レール２１の軸方向両端開口部が軸端部材２６ａ，２６ｂで塞がれている。軸端部材２６ａ，２６ｂはねじ軸２３の両端を回転自在に支持する。案内レール２１の両内側面（突堤２４ａ，２４ｂの内側面）に、ボール転動溝（転動体転動面）が形成されている。軸端部材２６ａ，２６ｂとカバー１２との間にスペーサーブロック３２が配置されている。カバー１２の幅方向両側が折り曲げられて側面部１２ａとなっている。
【０００５】
この防塵型案内装置では、断面が凹状の案内レール（ガイドレール）２１の上側全体をカバー（外装カバー）１２で覆うとともに、案内レール２１の側面の上端とカバー１２の側面の下端とで形成される開口部１３を、上下に分割された帯状のシール部材１５ａ，１５ｂで覆っている。そのため、取付部材（可動体）１４０を使用して、カバー１２の上方に配置された案内対象部材をスライダ（スライド部材）２２に固定している。上側のシール部材１５ａは、カバー１２の側面部１２ａの外側にシール押え３４で固定されている。下側シール部材１５ｂは、案内レール２１の外側面にシール押え３３で固定されている。
【０００６】
取付部材１４０は、スライダ２２の上面に固定される本体１４ａと、案内レール２１の外側に配置されてカバー１２より上側まで延び、案内対象部材を取り付ける取付部（耳部）１４ｂと、これらを連結する連結部１４ｃとからなる。  連結部１４ｃの形状は、上下方向および移動方向（図１３の左右方向）で対称の略流線形状であり、移動方向両端が鋭角の凸に形成されている。この凸を形成する一対の対辺は移動方向中央に向かう途中で一度折り曲げられ、傾斜が緩くなるように形成されている。
【０００７】
上側のシール部材１５ａの下端と下側のシール部材１５ｂの上端は、互いに重ね合わされているが、連結部１４ｃが存在する位置では、連結部１４ｃの上面と下面に沿うようそれぞれ外側に折り曲げられた状態となる。そして、取付部材１４０の連結部１４ｃは、上下のシール部材１５ａ，１５ｂを外側に押し開き、掻き分けるように移動する。連結部１４ｃが通過した後は、上下のシール部材１５ａ，１５ｂは自らの弾性によって直ちに復元し、再び内部がシールされる。つまり、上下のシール部材１５ａ，１５ｂは往復動する取付部材１４０の通過部分のみが開かれる。
このように、特許文献１の防塵型案内装置は、スライダ２２の往復動に伴う取付部材１４０の作動を許容しつつ装置内の略気密状態を保持する構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−２３０６１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述の防塵型案内装置には、前記取付部材の連結部と前記シール部材が直接接触するため、シール部材が摩耗して切れが生じ易く、シール部材による防塵性が低下する問題点がある。
この発明の課題は、案内レールの上側全体がカバーで覆われ、前記取付部材とシール部材を有し、取付部材の作動を許容しつつ装置内の略気密状態を保持する構成となっている一軸アクチュエータにおいて、シール部材に切れが生じにくくすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、この発明は、下記の構成(1) 〜(11)を有する一軸アクチュエータを提供する。
(1) 相対する内側面に軸方向に延びる転動体転動面を有する断面凹状の案内レールと、前記案内レールの幅方向中心部に配設され外周面に螺旋状のねじ溝を有するねじ軸と、前記ねじ軸に螺合されたナット部を含むスライダと、複数の転動体とを備える。
(2) 前記スライダには、前記案内レールの転動体転動面に相対した転動体転動面が両側面に形成されるとともに、前記転動体の戻し通路と、この戻し通路と前記転動体転動面を連結する方向転換路が形成されている。
【００１１】
(3) 前記相対する両転動体転動面からなる転動通路と、前記戻し通路と、前記方向転換路とで構成される循環経路内に、前記転動体が介装されている。
(4) 前記ねじ軸を回転することで、その回転力が前記ナット部に伝達されて、前記転動体が前記転動通路を負荷状態で転動しながら前記循環経路内を循環することにより、前記スライダが前記案内レールに沿って移動可能とされている。
(5) 前記案内レールの上側全体がカバーで覆われている。
【００１２】
(6) 前記カバーの上方に配置された案内対象部材を前記スライダに固定するための取付部材を有する。
(7) 前記取付部材は、スライダの上面に固定される本体と、案内レールの幅方向外側に配置されてカバーより上側まで延び、案内対象部材を取り付ける取付部と、これらを連結する連結部とからなる。
(8) 前記案内レールの側面の上端と前記カバーの側面の下端とで形成される開口部が、上下に分割された帯状のシール部材で覆われている。
【００１３】
(9) 前記連結部は、前記開口部に前記上下のシール部材に接触状態で配置され、前記上下のシール部材を押し開いて移動可能な形状である。
(10)前記上下のシール部材は、相互の先端部が重なり合い、前記連結部が通過する部分のみが開かれることで前記取付部材の作動を許容しつつ装置内の略気密状態を保持する。
(11)前記連結部の前記シール部材が接触する部分に、摩擦係数を低減させる部材が配置されている。
【発明の効果】
【００１４】
この発明の一軸アクチュエータによれば、コーティングにより前記連結部とシール部材との摩擦係数が低減されることでシール部材の摩耗が低減されるため、シール部材に切れが生じにくくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】この発明の第１実施形態に相当する一軸アクチュエータを示す正面図である。
【図２】この発明の第１実施形態に相当する一軸アクチュエータを示す平面図である。
【図３】第１実施形態の一軸アクチュエータを構成する取付部材を示す平面図（ａ）と、そのＡ−Ａ断面図（ｂ）である。
【図４】第１実施形態の一軸アクチュエータを構成する取付部材の連結部の連結部本体の斜視図である。
【図５】第１実施形態の一軸アクチュエータを構成する固体潤滑剤の側面図である。
【図６】第３実施形態の一軸アクチュエータを構成する取付部材を示す平面図である。
【図７】取付部材の第１変形例を示す平面図（ａ）と、そのＡ−Ａ断面図（ｂ）である。
【図８】図７の取付部材を側部材と本体に分離した状態を示す斜視図である。
【図９】取付部材の第２変形例を示す平面図（ａ）と、そのＡ−Ａ断面図（ｂ）である。
【図１０】図９の取付部材を主部材と取付部に分離した状態を示す斜視図である。
【図１１】特許文献１の一軸アクチュエータを示す斜視図である。
【図１２】図１１の一軸アクチュエータの構成を説明するための分解斜視図である。
【図１３】図１１の長手方向に沿った断面図である。
【図１４】図１３のＡ−Ａ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
（第１実施形態）
以下、この発明の第１実施形態について説明する。
この実施形態の一軸アクチュエータを図１〜５に示す。
この実施形態の一軸アクチュエータは、図１１〜１４に示す上述の特許文献１に記載された防塵型案内装置と、以下の点を除いて同じ構造である。
スペーサーブロック３２は、カバー１２の上面部１２ｂの内側全体に嵌まる板状部材であって、軸端部材２６ａ，２６ｂの上方だけでなく、カバー１２の長さ方向全体に配置されている。カバー１２の上面部１２ｂの長さ方向両端が、スペーサーブロック３２を介して案内レール２１の軸端部材２６ａ，２６ｂに、止めねじ１６により固定されている。上側のシール部材１５ａの上部が、カバー１２の側面部１２ａとスペーサーブロック３２の側面との間に配置され、側面部１２ａから止めねじ１７で、スペーサーブロック３２の側面に固定されている。
【００１７】
この実施形態では、特許文献１の取付部材１４０に代えて、図３に示す形状の取付部材１４を備えている。この取付部材１４は、各取付部１４ｂの両端部が本体１４ａと同じ高さになっている。また、取付部材１４の両連結部１４ｃの上下両面に固体潤滑剤７１が配置されている。
図４に取付部材１４の連結部１４ｃの連結部本体１４０ｃの斜視図を示す。図４では、連結部１４ｃに固体潤滑剤７１が配置されていない状態を示す。図５に固体潤滑剤７１の側面図を示す。図４に示すように連結部本体１４０ｃには凹部６１が複数個所、本実施形態では３箇所設けられている。また、図５に示すように固体潤滑剤７１には凸部７２が複数個所、本実施形態では３箇所設けられている。凹部６１と凸部７２はそれぞれ対応しており、凹部６１と凸部７２がそれぞれ嵌まり合うことで連結部本体１４０ｃに固体潤滑剤７１が固定される。連結部本体１４０ｃは、固体潤滑剤７１が収まる部分が窪んだ形状となっている。連結部本体１４０ｃの窪みに固体潤滑剤７１が収まると連結部本体１４０ｃの窪み以外の部分である上面１４１ｃと、固体潤滑剤７１の上面７３が同一面となる。本実施形態では連結部本体１４０ｃに凹部６１を設け、固体潤滑剤７１に凸部７２を設けたが、連結部本体に凸部を設け、固体潤滑剤に凸部を設けて、凹部と凸部がそれぞれ嵌まり合うことで連結部本体に固体潤滑剤が固定されようにしてもよい。さらに連結部本体と固体潤滑剤の固定を強固にするために、接着剤を用いてもよい。
【００１８】
この実施形態の一軸アクチュエータによれば、取付部材１４の両連結部１４ｃの上下両面に固体潤滑剤が配置されているため、連結部１４ｃが上下のシール部材１５ａ，１５ｂを押し開いて移動する際に、連結部１４ｃとシール部材１５ａ，１５ｂとの摩擦係数が低減される。これにより、シール部材１５ａ，１５ｂの摩耗が低減されるため、シール部材１５ａ，１５ｂに切れが生じにくくすることができる。
【００１９】
なお、固体潤滑剤は、両連結部１４ｃの上下両面だけでなく、片面に施されていてもよい。
固体潤滑剤の主材料としては、二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）、グラファイト（黒鉛）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等を使用することが好ましい。
【００２０】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。第２実施形態の一軸アクチュエータは、第１実施形態と略同様の構成である。以下、第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略又は簡略にし、異なる構成を中心に説明する。
【００２１】
第２実施形態の一軸アクチュエータと第１実施形態の一軸アクチュエータとの違いは、第１実施形態では、摩擦係数を低減させる部材として固体潤滑剤を用いたが、第２実施形態では、摩擦係数を低減させる部材として潤滑剤供給体を用いる。潤滑剤供給体より潤滑剤が供給されることによって、連結部１４ｃが上下のシール部材１５ａ，１５ｂを押し開いて移動する際に、連結部１４ｃとシール部材１５ａ，１５ｂとの摩擦係数が低減される。これにより、シール部材１５ａ，１５ｂの摩耗が低減されるため、シール部材１５ａ，１５ｂに切れが生じにくくすることができる。なお、潤滑剤供給体は、両連結部１４ｃの上下両面だけでなく、片面に施されていてもよい。その他の構成については、第１実施形態と略同様である。
【００２２】
（第３実施形態） 
次に、第３実施形態について図面を参照して説明する。図６は、第３実施形態の一軸アクチュエータを構成する取付部材を示す平面図である。第３実施形態の一軸アクチュエータは、第１実施形態と略同様の構成である。以下、第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略又は簡略にし、異なる構成を中心に説明する。
【００２３】
連結部本体１４００ｃには潤滑剤供給体７０１が嵌まり込む窪みを設けている。この窪みに潤滑剤供給体７０１が嵌まり込むことで、図６に示すように連結部本体１４００ｃに潤滑剤供給体７０１が固定される。さらに連結部本体と潤滑剤供給体の固定を強固にするために、接着剤を用いてもよい。
【００２４】
第３実施形態の構成によれば、潤滑剤供給体より潤滑剤が供給されることによって、連結部１４ｃが上下のシール部材１５ａ，１５ｂを押し開いて移動する際に、連結部１４ｃとシール部材１５ａ，１５ｂとの摩擦係数が低減される。これにより、シール部材１５ａ，１５ｂの摩耗が低減されるため、シール部材１５ａ，１５ｂに切れが生じにくくすることができる。なお、潤滑剤供給体は、両連結部１４ｃの上下両面だけでなく、片面に施されていてもよい。
【００２５】
第３実施形態の一軸アクチュエータと第１実施形態の一軸アクチュエータとの違いは、第１実施形態では、摩擦係数を低減させる部材として固体潤滑剤を用いたが、第３実施形態では、摩擦係数を低減させる部材として潤滑剤供給体を用いる。また、第１実施形態では、連結部１４ｃの移動方向略全域にわたって固体潤滑剤を配置しているが、第３実施形態では、連結部１４ｃの移動方向の一部分に潤滑剤供給体を配置している。第３実施形態では、摩擦係数を低減させる部材として潤滑剤供給体を用いたが、固体潤滑剤を用いてもよい。
【００２６】
さらに、連結部本体１４００ｃの上下両面で少なくとも潤滑剤供給体が嵌まり込む窪み以外の面に、フッ素樹脂コーティングが施されるとよい。連結部本体１４００ｃは金属製であり、通常の金属製部材に対するフッ素樹脂コーティングと同様に、脱脂、表面処理、コーティング剤の塗布、乾燥、焼成をこの順に行うことで、フッ素樹脂コーティングが施されるとよい。
フッ素樹脂コーティングを施すことにより、連結部１４ｃが上下のシール部材１５ａ，１５ｂを押し開いて移動する際に、連結部１４ｃとシール部材１５ａ，１５ｂとの摩擦係数がさらに低減される。これにより、シール部材１５ａ，１５ｂの摩耗がさらに低減されるため、シール部材１５ａ，１５ｂに切れが生じにくくすることができる。
【００２７】
なお、フッ素樹脂コーティングは、連結部本体１４００ｃの上下両面だけでなく、取付部材１４の全面に施されていてもよい。
フッ素樹脂コーティングの膜厚は３０μｍ以上にすることが好ましい。フッ素樹脂コーティングの膜厚が３０μｍ未満であるとピンホールが存在する恐れがある。フッ素樹脂コーティングの膜厚が５０μｍ以上２００μｍ以下にすると、耐摩耗性が良好になるため、さらに好ましい。
【００２８】
フッ素樹脂コーティングの主材料としては、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（パーフルオロアルコオキシ）等の、低摩擦で耐摩耗性に優れたものを使用することが好ましい。
フッ素樹脂コーティングに代えて、窒化クロムコーティングまたはセラミックコーティングを施してもよい。
その他の構成については、第１実施形態と略同様である。
【００２９】
次に取付部材の別の構造について説明する。
前記取付部材が一体構造であると、先端面と外周面が刃になっているエンドミルを使用して前記連結部の流線形状面を加工する際に、干渉の問題から周速の高い外周面の刃が使用できない。よって、一体構造の取付部材（可動体）には、加工効率と連結部の流線形状面の面精度の点で改善の余地がある。以下、取付部材の変形例について説明する。
【００３０】
（取付部材の第１変形例）
取付部材の第１変形例について図面を参照して説明する。図７は、取付部材の第１変形例を示す平面図（ａ）と、そのＡ−Ａ断面図（ｂ）である。図８は、図７の取付部材を側部材と本体に分離した状態を示す斜視図である。取付部材の第１変形例は、第１実施形態と略同様の構成である。以下、第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略又は簡略にし、異なる構成を中心に説明する。
【００３１】
第１変形例の取付部材は、取付部と連結部は一体構造である取付連結部を形成し、本体の両側面に螺合結合されている。すなわち、前記取付部と前記連結部は側部材（取付連結部）として一体に加工され、前記取付部材は前記側部材が前記本体に固定された組立体である。
【００３２】
この変形例では、特許文献１の取付部材１４０に代えて、図７に示す形状の取付部材１４を備えている。この取付部材１４は、図８に示すように、側部材１４Ｄと本体１４ａとに分離できる。取付部１４ｂと連結部１４ｃは、側部材１４Ｄとして一体に加工されたものである。
側部材１４Ｄには、取付部１４ｂと連結部１４ｃを貫通する二対の貫通穴４１，４２が形成されている。各取付部１４ｂの外側面には、一対の貫通穴４１の外側に同心円状の凹部４１ａが形成されている。本体１４ａには、側部材１４Ｄの一対の貫通穴４１に対応する一対の雌ねじ４３と、側部材１４Ｄの一対の貫通穴４２に対応する一対の貫通穴４４が形成されている。
【００３３】
取付部材１４は、本体１４ａの各側面に側部材１４Ｄを配置して、側部材１４Ｄの貫通穴４２から本体１４ａの貫通穴４４にダウエルピン４を通すことにより位置決めした後、側部材１４Ｄの貫通穴４１からボルト５を通して、本体１４ａの雌ねじ４３に螺合することで組み立てられる。ボルト５の頭部は取付部１４ｂの凹部４１ａに配置される。すなわち、この取付部材１４は、側部材１４Ｄが本体１４ａの両側面にダウエルピン４とボルト５で固定された組立体である。
【００３４】
また、取付部材１４が側部材１４Ｄと本体１４ａとの組立体であるため、連結部１４ｃの流線形状面を、エンドミルの外周面の刃を使用して切削加工することができる。よって、特許文献１の取付部材１４０と比較して加工効率が高くなり、連結部１４ｃの流線形状面の面精度も向上できる。そして、連結部１４ｃの流線形状面の面精度が向上することによる摩擦抵抗の低減効果も得られる。また、本変形例と各実施形態を適宜組み合わせてることで、更なる摩擦抵抗の低減効果も得られる。
【００３５】
（取付部材の第２変形例）
取付部材の第２変形例について図面を参照して説明する。図９は、取付部材の第２変形例を示す平面図（ａ）と、そのＡ−Ａ断面図（ｂ）である。図１０は、図９の取付部材を主部材と取付部に分離した状態を示す斜視図である。取付部材の第２変形例は、第１実施形態と略同様の構成である。以下、第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略又は簡略にし、異なる構成を中心に説明する。
【００３６】
第２変形例の取付部材は、本体と連結部は一体構造である本体連結部を形成し、その両側面に取付部が螺合結合されている。すなわち、前記本体と前記連結部は主部材（本体連結部）として一体に加工され、前記取付部材は前記取付部が前記主部材に固定された組立体である。
【００３７】
この変形例では、特許文献１の取付部材１４０に代えて、図９に示す形状の取付部材１４を備えている。この取付部材１４は、図１０に示すように、主部材１４Ｅと取付部１４ｂとに分離できる。本体１４ａと連結部１４ｃは、主部材１４Ｅとして一体に加工されたものである。
取付部１４ｂには、厚さ方向に貫通する二対の貫通穴４１，４２が形成されている。取付部１４ｂの外側面には、一対の貫通穴４１の外側に同心円状の凹部４１ａが形成されている。主部材１４Ｅを構成する連結部１４ｃには、取付部１４ｂの一対の貫通穴４１に対応する一対の雌ねじ４３と、取付部１４ｂの一対の貫通穴４２に対応する一対の貫通穴４４が形成されている。
【００３８】
取付部材１４は、主部材１４Ｅを構成する連結部１４ｃの各側面に取付部１４ｂを配置して、取付部１４ｂの貫通穴４２から連結部１４ｃの貫通穴４４にダウエルピン４を通すことにより位置決めした後、取付部１４ｂの貫通穴４１からボルト５を通して、連結部１４ｃの雌ねじ４３に螺合することで組み立てられる。ボルト５の頭部は取付部１４ｂの凹部４１ａに配置される。すなわち、この取付部材１４は、取付部１４ｂが主部材１４Ｅの両側面にダウエルピン４とボルト５で固定された組立体である。
【００３９】
また、取付部材１４が主部材１４Ｅと取付部１４ｂとの組立体であるため、連結部１４ｃの流線形状面を、エンドミルの外周面の刃を使用して切削加工することができる。よって、特許文献１の取付部材１４０と比較して加工効率が高くなり、連結部１４ｃの流線形状面の面精度も向上できる。そして、連結部１４ｃの流線形状面の面精度が向上することによる摩擦抵抗の低減効果も得られる。また、本変形例と各実施形態を適宜組み合わせてることで、更なる摩擦抵抗の低減効果も得られる。
【００４０】
以上、一軸アクチュエータの各実施形態と各変形例について説明してきたが、本発明はこれに限定されずに、種々の変更、改良を行うことができる。例えば、上述した取付部材の各変形例に限定されるものではなく、本体と取付部と連結部をそれぞれ別体とし、それらの組立体とする取付部材としてもよい。また、各実施形態と各変形例を適宜組み合わせても良い。
【符号の説明】
【００４１】
１２  カバー
１２ａ  側面部
１３  開口部
１５ａ，１５ｂ  シール部材
１４  取付部材
１４ａ  本体
１４ｂ  取付部
１４ｃ  連結部
１４Ｄ  側部材
１４Ｅ  主部材
１４０  取付部材
１６  止めネジ
１７  止めネジ
２１  案内レール
２２  スライダ
２３  ねじ軸
２６ａ，２６ｂ  軸端部材
２８  ナット部
２７  直動装置用のボール
２９  ボールねじ（ねじ式送り装置）用のボール
３２  スペーサーブロック
３３  シール押え
３４  シール押え
４  ダウエルピン
５  ボルト
４１  貫通穴
４１ａ  凹部
４２  貫通穴
４３  雌ねじ
４４  貫通穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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