(57)【要約】【課題】  異物を除電し、除去する除電・除塵装置を提供する。【解決手段】除電・除塵装置は、大容器とその内部に配置された小容器とを有する。大容器は異物を上方に吸い上げて排出するために下端部および上端部が開放されている。小容器は、その内部で、サイクロンおよびトルネードが発生されるものであり、円柱状または頭切円錐形状である。さらに、除電・除塵装置は、イオン発生器と、小容器の内部にサイクロンおよびトルネードを発生させるための圧縮エアを噴出すために前記小容器に形成された乾燥圧縮エア噴出し口と、を備える。【選択図】  図１
2014078491.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異物を上方に吸い上げて排出するための下端部および上端部が開放した大容器と、
該大容器の内部に配置されて内部にサイクロンおよびトルネードが発生される、円柱形状または頭切円錐形状の小容器と、
該小容器の内部に供給されるイオンを発生させるように、小容器に対して配置されたイオン発生器と、
前記小容器内部に導入させて該小容器の内部にサイクロンおよびトルネードを発生させるための圧縮エアを吹出すために前記小容器に形成された圧縮エア噴出し口と、
を有することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項２】
請求項１記載の除電・除塵装置において、小容器の内部又は外部に配置され、ワークに付着した異物に振動を与えて、ワークから異物を分離するための超音波発生装置をさらに有することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項３】
請求項２記載の除電・除塵装置において、前記超音波発生装置は、前記小容器の下端、外部円周に輪状に配置された超音波振動子を有し、又は、前記小容器の内部に輪状に配置される超音波振動子を有し、ワークと付着する異物に向けて超音波を発射することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項４】
請求項３記載の除電・除塵装置において、前記超音波振動子が発射する超音波のワークに対する入射角度が約４５°±３０°以内であることを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項５】
請求項２記載の除電・除塵装置において、前記超音波振動子は発振周波数を掃引（スイープ）することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項６】
請求項１記載の除電・除塵装置において、前記サイクロンは前記小容器の内周壁に沿って旋回するように発生され、小容器下端部から水平方向に放射する排気流を起こし、ワークに付着する異物を払うことを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項７】
請求項１記載の除電・除塵装置において、前記トルネードは前記小容器の内部中央に発生され、ワークから異物を吸い上げることを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項８】
請求項１記載の除電・除塵装置において、前記小容器は下端部にスカート部を有することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項９】
請求項１記載の除電・除塵装置において、前記小容器の上部に小容器の内部の負圧を調節する弁を有することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項１０】
請求項１記載の除電・除塵装置において、前記イオン発生器の放電針から漏洩する電界がワークへ悪影響を与えることを防ぐため、前記小容器のイオン排出口にアース電極を有することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項１１】
請求項１記載の除電・除塵装置において、前記除電・除塵装置の前段に、乾燥装置をさらに有することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項１２】
請求項１記載の除電・除塵装置において、前記大容器の外部に乾燥した清浄な空気を供給することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項１３】
請求項１記載の除電・除塵装置において、前記圧縮エア噴出し口は、前記小容器の天井部、および底部または／および下方部に設けられていることを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項１４】
請求項１記載の除電・除塵装置において、除塵されるワークを挟んで前記小容器に対し、対向する小容器を持つことを特徴とする除塵装置。
【請求項１５】
請求項１記載の除電・除塵装置において、前記小容器の下端部の形状が翼型をなし、外周に広がるにつれて上方に向かって滑らかな円弧を描いていることを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項１６】
請求項１記載の除電・除塵装置において、小容器の外周に除塵した異物回収装置を有することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項１７】
請求項１６記載の除電・除塵装置において、前記異物回収装置は遠心分離機構を有し、重量異物と軽量異物に分類して回収することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項１８】
請求項１６または１７記載の除電・除塵装置において、異物回収装置の外部に、除塵した異物が外部に漏出するのを防止する空気流を有することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項１９】
請求項１６ないし１８のいずれか１つに記載の除電・除塵装置において、回収した重量異物の一部を小容器内に戻すことを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項２０】
請求項１記載の除電・除塵装置において、前記小容器内部に導入させて該小容器の内部にサイクロンおよびトルネードを発生させるための圧縮エア噴出し口から小容器の内周の接線方向にエアを噴出させるエアの方向は水平方向または水平方向に対して斜め下方の方向であることを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項２１】
請求項２０記載の除電・除塵装置において、小容器内部の負圧を強化するため小容器の上部から真空吸引することを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項２２】
請求項１記載の除電・除塵装置において、小容器内で、放電針の下方にアース電極を配置したことを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項２３】
請求項１記載の除電・除塵装置において、小容器をワークの進行方向に対し左右方向に、少なくとも１個配置し、該除電・除塵装置がワークの左右幅を超える場合、ワークの進行方向に向かってワークの左右端において、ワークの裏側にワークを挟んで表側小容器と対向する位置に裏側小容器を有し、該裏側小容器のサイクロン風の風向が表側小容器のサイクロン風の風向と同じであることを特徴とする除塵装置。
【請求項２４】
請求項１記載の除電・除塵装置において、小容器をワークの進行方向に複数個並べて配置し、各小容器内部に空気イオンを有し、進行方向に隣り合う各小容器の空気イオンの極性が逆極性であることを特徴とする除電・除塵装置。
【請求項２５】
請求項２３記載の除電・除塵装置において、小容器をワークの進行方向に３個以上を並べて配置し、最後端の小容器の空気イオンが＋と−の両極性のイオンであることを特徴とする除電・除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに付着した異物を分離し、異物の静電気を除去して、異物を除去する除電・除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来例の特開２０１０−０８８７５１号公報記載の発明では、移動するワークの上方に位置するように配置した容器内にイオンを含んだ圧縮空気を吹き込んで容器の内部にサイクロンと負圧を発生させて、ワークから異物を分離し、ワークに付着した異物を非接触で除去していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−０８８７５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来例では、ある程度の大きさ（２０ミクロン程以上）の異物をワークから分離できるとしても超微粒子（１ミクロン程である）の異物を分離して除塵することはできなかった。
【０００５】
したがって、本発明の目的は、ワークから１ミクロン程である超微粒子である異物を分離して除塵することができる除電・除塵装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の除電・除塵装置は、異物を上方に吸い上げて排出するための下端部および上端部が開放した大容器と、該大容器の内部に配置されて内部にサイクロンおよびトルネードが発生される、円柱状または頭切円錐形状の小容器と、該小容器の内部に供給されるイオンを発生させる、小容器の上部に配置されたイオン発生器と、前記小容器内部に導入させて該小容器の内部にサイクロンおよびトルネードを発生させるための乾燥圧縮エアを吹出すために前記小容器に形成された乾燥圧縮エア噴出し口と、を有することを特徴とする。
【０００７】
さらに、本発明の除電・除塵装置は除塵風の風速を上げて異物を除去する能力を上げ、ワークと容器の距離を近づけて異物を除去する能力を上げ、ワークから引き剥がされた異物を効率よく回収し、回収した異物をフィードバックしてさらに異物除去能力を向上させ、また容器から離れた位置にあるワークの異物除去も可能にし、除塵するワークを近づけるための吸引力を強化し、空気イオンを作る放電電極から出る電界を遮蔽し、ワークの進行方向に向かって左右のワーク端の異物除去を効率化し、静電引力を利用して異物を除去することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、従来は不可能であった静電気と超微細異物を非接触で除去できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例１の除電・除塵装置の全体を示す概略断面図である。
【図２】除電・除塵装置に用いられる実施例２の小容器の断面図である。
【図３】除電・除塵装置で用いられる小容器の拡大断面図である。
【図４】除電・除塵装置で用いられる実施例３の超音波発生装置の作用を説明するための図である。
【図５】除電・除塵装置で用いられる小容器の内部に発生するサイクロンおよびトルネードを説明するための図である。
【図６】除電・除塵装置で用いられる小容器の内部に配置された超音波発生装置の作用を説明するための図である。
【図７】除電・除塵装置で用いられる小容器の前に配置された実施例４の乾燥装置を含む除電・除塵装置を説明するための図である。
【図８】実施例５の放電針の配置を説明するための図である。
【図９】実施例６の清浄乾燥エアの量を調整する弁を説明するための図である。
【図１０】実施例７のエアの噴出し口の配置を説明するための図である。
【図１１】実施例８のワークの表裏に対向した小容器の配置を示す図である。
【図１２】実施例９の小容器の下端に設けられた翼型形状のスカート部を示す図である。
【図１３】実施例１０の集塵機構を示す図である。
【図１４】実施例１１の異物の外部への漏れを防止する構造を示す図である。
【図１５】実施例１２の集塵異物の再利用機構を示す図である。
【図１６】実施例１３の小容器とワークとの間の距離を長くする構造を説明するための図である。
【図１７】実施例１４の小容器内の負圧を増強する構造を示す図である。
【図１８】実施例１５の電界遮蔽構造を示す図である。
【図１９】ワークの進行方向に対して左右の端で起きる現象を説明するための図である。
【図２０】実施例１６のワークの表裏の異物を除去する除電・除塵装置の配置を示す図である。
【図２１】実施例１７のエッジ処理クリーナを示す図である。
【図２２】実施例１８の小容器の配置とかけるイオンの極性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の除電・除塵装置は、大容器とその内部に配置された小容器とを有する。大容器は異物を上方に吸い上げて排出するために下端部および上端部が開放されている。小容器は、その内部で、サイクロンおよびトルネードが発生されるものであり、円柱状または頭切円錐形状である。さらに、除電・除塵装置は、小容器の内部に供給されるイオンを発生させる、小容器に配置されたイオン発生器と、小容器内部に導入させて小容器の内部にサイクロン（サイクロン気流）およびトルネード（トルネード気流）を発生させるための乾燥圧縮エアを吹出すために前記小容器に形成された乾燥圧縮エア噴出し口と、を備える。好ましくは、小容器の内部又は外部に配置され、ワークに付着した異物に振動を与えて、ワークから異物を分離するための超音波発生装置が設けられている。
【実施例１】
【００１１】
次に、本発明の実施例１を図１を参照して説明する。図１において、除電・除塵装置の最も大きな径のハウジング１２が水平方向に移動させられるワーク２０の上方に配置されている。ハウジング１２の上部には円筒状の供給口１２ａが形成されている。ハウジング１２の内部には、ハウジング１２より小さい径の大容器１４がワーク２０の上方に配置されている。このため、ハウジング１２と大容器１４の間に流路１２ｂが形成され、流路１２ｂには、供給口１２ａを通して清浄乾燥エア源（図示せず）から清浄乾燥エアが供給され、ハウジング１２の下端から排出されるようになっている。ここで、ワークには、フィルム、シート、板、ガラス、布、紙等、その他のものが含まれる。
【００１２】
大容器１４の上部には、内部に流路１４ｂを形成する円筒状の排出口１４ａが設けられている。排出口１４ａは吸引源（図示せず）に接続されている。大容器１４の内部には、大容器１４より径が小さい小容器１６がワーク２０の上方に配置されている。このため、大容器１４と小容器１６との間に流路１４ｃが形成されている。
【００１３】
小容器１６は、円柱形状または頭切円錐形状であり、図示の実施例では、頭切円錐形状のものを示す。小容器１６の内部はサイクロンおよびトルネードを発生するためのサイクロン室（サイクロンおよびトルネードを発生するためのものであるが、単にサイクロン室と呼ぶ）となっている。小容器１６の上部にはイオンを発生するイオン発生器の放電針２２を支持し、さらにその上部でフィルタ２４を支持する円柱部材２５が小容器と一体に形成されている。フィルタ２４に取込むエアは、大容器１４内部から取り込むようになっているが、ハウジング１２から、または大気中から取込んでもよい。（図示せず）
【００１４】
大容器１４と小容器１６の垂直方向の間には清浄乾燥圧縮エア源（図示せず）からの清浄乾燥圧縮エア（単に、圧縮エアと呼ぶ）を小容器１６の内部に分配して供給する分配器１８が配置されている。この分配器１８は、本体１８ａと、圧縮エアを分配器の本体１８ａに供給するための円柱部材１８ｂと、本体１８ａから小容器１６に供給するための複数のチューブ１８ｃからなる。
【００１５】
小容器１６の上部に、チューブ１８ｃから圧縮エアが小容器１６の噴出し口１７から円周内部表面に沿った向きで（接線方向に）供給されるようになっている。このため、小容器の内周表面にそって旋回して（スパイラル状に）下降するサイクロンが発生する。このサイクロンの発生と同時に小容器１６の内部に負圧が発生し、この結果、小容器の中央で上方に旋回して（スパイラル状で）上昇するトルネードも発生する。図における＋○、点○、矢印付きの＋○、矢印付きの点○はこのときのエアの向きを示す。
【００１６】
小容器１６の内部には超音波を発生させワーク２０に向けて超音波を当てる超音波発生装置２６が設けられており、また、小容器１６の上端には格子状のアース２８が設けられている。
【００１７】
次に、本発明の除電・除塵装置の動作を説明する。
１）円柱状または頭切円錐形状で下向きの小容器１６の上部から圧縮エア噴出し口１７を通して圧縮エアを吹き込む。小容器の内周表面の接線方向に吹き込むと、小容器１６の内部にサイクロンが発生する。
２）このサイクロンは旋回しながら下降し、小容器１６の最下端部で小容器の外に水平方向に吹き出る。
３）このサイクロンにより小容器の内部にサイクロンと共に回る下降風が発生する。
４）小容器の上部に負圧が発生し、この負圧に向かって下から旋回するトルネードが発生する。
５）イオン発生器で発生されたイオンが上記負圧により小容器の内部に供給されている。
６）ワーク２０に付着した異物５０は本装置に近づくと、イオンを含んだサイクロンにより異物５０は水平方向から吹かれる。
７）その時、同時に超音波発生装置の超音波振動子から発射される超音波でワーク２０と異物５０が踊らされる。
８）踊らされて異物がワークから僅かに浮いた瞬間にイオンをワークと異物の間に送り込まれるので、静電気を中和しワークと異物の間の吸引力を削いでしまう。
９）小容器１６の中央部分へ進行した異物５０はトルネードの作る負圧で吸い上げられ、空中に舞い上げられる。
１０）空中に舞い上げられた異物は静電気を完全に除去され、付着力はなくなる。
１１）再び異物はイオンを含んだサイクロンで水平方向から吹かれる。
１２）小容器から排出された異物は小容器と大容器の間の流路１４ｂを通して吸引され、集塵される。
１３）一部、剥離された勢いのいい異物が負圧に打ち勝って外部に漏れると、折角きれいにしたワークを汚してしまうため、大容器の周囲に清浄な乾燥空気を供給する。
【実施例２】
【００１８】
以後に説明する実施例では、図面の簡略化と説明の簡略化のために、主要な変更部分を示す図面に基づき説明する。実施例２を図２を参照して説明する。図２において、小容器１６には、その下端にスカート部１６ｃが設けられている。スカート部を設けた理由は異物を横から吹く部位で、サイクロンの水平な高速風を十分に長く吹かせて、より異物除去性能を上げることである。
【００１９】
次に、図３を参照してイオン発生器に関して補足する。小容器１６の上部に配置されたイオン発生器の放電針２２のコロナ放電により作られたイオンは、小容器１６の内部の負圧により小容器の内部に吸い込まれる。イオンが放出されるイオン室１６ｂの上部にフィルタ２４が配置されており、外部から新たな異物が入らないようになっている。
【実施例３】
【００２０】
実施例３を図４を参照して説明する。実施例１と異なり、図４は超音波振動子を小容器の外周に配した場合を示す。小容器の最下端から容器の内部に向かって超音波振動子２６から超音波を発射する。この場合、ワーク２０への超音波入射角度は４５°±３０°が好ましい。小容器の内部には各部位で反射された超音波が定在波を形成して大きなエネルギーを持って異物を躍らせる。超音波は周波数をスイープして各種サイズの異物を躍らせるのが好ましい。
【００２１】
次に、小容器１６の内部に発生するサイクロンおよびトルネードに関して補足する。図５は小容器１６の内部で発生する下降サイクロンと上昇トルネード及び上下に不動であるサイクロンを示す。小容器１６の上部からエアを円周の接線方向に吹き入れると、小容器の内部でサイクロンが発生する。サイクロンは小容器の内周で壁面に沿って旋回（スパイラル状）しながら下降し、最後は小容器の下端から外部に吹き出す。
【００２２】
このサイクロンにつれて小容器の内部の空気も旋回し、下降し始める。すると小容器の上部が負圧になる。この負圧が容器中央下部から空気を吸い上げる。旋回しているのでトルネード（スパイラル状）が発生し、強烈な上昇旋回気流が起きる。
【００２３】
図６を参照して、実施例１を補足する。図６は小容器の内部に配置した超音波振動子を示す。前述の通り、小容器の上部からエアを円周の接線方向に吹き入れると、小容器１６の内部でサイクロンが発生する。サイクロンは小容器の内周の壁面に沿って旋回しながら下降し、最後は小容器の下端から外部に吹き出す。このサイクロンにつれて小容器の内部の空気も旋回し、下降し始める。すると小容器の上部が負圧になる。この負圧が容器中央下部から空気を吸い上げる。旋回しているのでトルネードが発生し、強烈な上昇旋回気流が起きる。
【００２４】
ここで、小容器の内周の壁面に沿った下降サイクロンと内部の上昇する旋回トルネードとの境界は上昇も下降もしない上下方向に不動の旋回流が発生する。ここに超音波振動子を置くと都合がよい。小容器内部のサイクロンやトルネードを邪魔することなく、超音波振動子を配置でき、至近距離で効率よく異物を躍らせることができる。
【実施例４】
【００２５】
実施例４を図７を参照して説明する。図７は前処理として乾燥用のカップを配置する方法を示す。異物を除去する場合、湿度が問題になる。そこで前処理として乾燥工程を設ける。乾燥工程で用いるカップ４０は小容器と同様な構成のものを用いれば理想的であるが、コストを下げるために、直接は効果のない超音波発生装置と静電気除去用のイオン発生器を省略したものでよい。このように２段構えに構成することでより高性能な除電・除塵装置を提供する。
【実施例５】
【００２６】
実施例５を図８を参照して説明する。この実施例５では、実施例１においては、放電針２２が小容器１６より上方の外部に配置されているのに対して、放電針２２が小容器１６の内部で放電するように、小容器の側壁または上部壁に取り付けられている。図８aは、放電針２２が小容器１６の側壁に取り付けられたものを示し、図８bは放電針２２が小容器１６の上部壁に取り付けられたものを示す。
【実施例６】
【００２７】
実施例６を図９を参照して説明する。この実施例では、イオンは発生するイオン室１６ｂに供給される清浄乾燥エアの量を調整するための弁５２が設けられている。なお、イオン室が設けられていない実施例５のような場合でも、同様に弁５２を設けて、清浄乾燥エアの量を調整してもよい。
【実施例７】
【００２８】
実施例７を図１０を参照して説明する。実施例１では、小容器１６の天井部に噴出し口１７（１７a）が開けられていたが、この実施例では、小容器の底部及び／または小容器の下方部に噴出し口１７ｂ、１７ｃを設けたものである。天井部噴出し口１７aや底部噴出し口１７ｂ、下方部噴出し口１７ｃから噴出されるエアは小容器の内壁に沿い旋回しながら下降する。この旋回下降風は小容器内部の空気を動かして共に旋回する下降風（サイクロン）を誘起する。この下降風は小容器の中央上部に空気の負圧を生じさせ、この負圧が高くなると小容器中心部に旋回上昇風であるトルネードを誘起して小容器の下部から空気を吸引するため、除塵対象物であるワークを上方に吸引する。ここで、図１０a、図１０ｂは天井部の噴出し口１７aと底部の噴出し口１７ｂの組み合わせを示し、図１０ｃは天井部の噴出し口１７aと下方部の噴出し口１７ｃの組み合わせを示す。なお、天井部の噴出し口１７a、底部の噴出し口１７ｂおよび下方部の噴出し口１７ｃの組み合わせは、図示を省略する。
【００２９】
小容器の天井部から内部に吐出される空気流に対し、小容器の底部および／または小容器の下方部から吐出される空気流は容器内壁に沿って流れる距離が短いため小容器内壁による摩擦が少ない。風速の低下が少ないため高速の風で除塵動作することができ、除塵能力を高める。
【実施例８】
【００３０】
実施例８を図１１を参照して説明する。実施例８では、小容器１６がワーク２０を挟むように表裏に対向して向かい合うように設けられている。表裏の小容器は小容器の開口部周辺では共にサイクロン風を吹き出しているため、ワーク２０は表裏からサイクロン風で押さえつけられていて、ワークと小容器の間の距離は小容器間以下の一定の距離以下に強制される。従って表裏のサイクロン風の風量をほぼ等しくすれば、サイクロン風の風量が増えても距離が一定であるため、結果として風速が上昇し、除塵能力が上がる。
【実施例９】
【００３１】
実施例９を図１２を参照して説明する。図１２は小容器（カップ）の下部に設けたスカート部を説明するための図である。図２に示す実施例２では、小容器の底部（下端）にスカート部１６ｃを設けていたが、実施例９では、スカート部１６ｃの先端側を上方に向く曲線形状、すなわち、翼型形状のスカート部１６ｄとしている。翼型形状のスカート部１６ｄは小容器から水平方向、接線方向に吹き出される風とそれに含まれる異物を容器下部の翼型に沿って舞い上げる。舞い上がった異物５０は容器外部の大容器１４（図１参照）内の真空吸引で容易に回収できる。
【実施例１０】
【００３２】
実施例１０を図１３を参照して説明する。図１３は集塵機構を示す。集塵機構６０は容器の外周に同心円に配置構成されている。集塵機構６０の内周に軽量異物回収口６０ｂが、外周に重量異物回収口６０aを持つ。小容器のサイクロン風でワークから引き剥がされた異物は容器下端の翼型形状スカート部１６ｄにより舞い上げられて負圧になっている集塵機構内に旋回しながら吸い込まれていく。サイクロン風に乗って小容器から出てきた異物５０は集塵機構の内壁に沿って旋回しているため、重量異物５０aには遠心力が働き、外周内壁に沿って上昇し、外周に設けられた重量異物回収口から回収する。この時、重量異物５０aは重力により落下して再びワーク上に付着しようとするため、強力な負圧で集塵する。一方、軽量異物５０ｂは発生する遠心力が少なく空気中に浮いているため、外周より内側の軽量異物回収口から弱い負圧でも容易に回収できる。
【実施例１１】
【００３３】
実施例１１を図１４を用いて説明する。図１４はバリアエアの構造を示す。小容器の下端より吹出した異物を含んだサイクロン風が集塵機構の外部に漏れだすのを防止するため、エアを集塵機構の最外部に下方に向かって吹き下ろすエア噴出し部６２を設け、サイクロン風を遮る。これにより異物５０が外部に漏れだすのを防止する。
【実施例１２】
【００３４】
実施例１２を図１５を用いて説明する。図１５は集塵異物再利用機構を示す。ワークに付着する異物を剥離するため、一旦剥離した異物の一部をリターンして、再度サイクロン風に載せて、サイクロン風がワークを吹くときに、リターン異物で付着している異物を叩く。この場合、リターンする異物は主として重量異物が有効である。すなわち、集塵機構６０の重量異物回収口６０aからリターンチューブ６４を通して一部の重量異物５０aを小容器１６に戻す。
【実施例１３】
【００３５】
実施例１３を図１６を用いて説明する。図１６は対物距離を長くする構造を示す。図１６aは比較のための実施例１の噴出し口１７へのエアの水平入射を示し、図１６ｂは実施例１３の斜め入射（入射角：θ）を示す。ワーク２０と小容器間の距離、即ち対物距離を長くする機構を示す。小容器上部から噴出した旋回風（サイクロン風）は小容器内壁に沿って下降する。下降速度に応じて容器下端から外部に吹き出すサイクロン風の方向が決まる。即ち、下降速度が速い程、サイクロン風は下降方向の垂直成分を持つため、対物距離が長くなる。これにより離れたワークの除塵が可能になる。
【実施例１４】
【００３６】
実施例１４を図１７を用いて説明する。図１７は負圧を増強する構造を示す。サイクロン風が容器内に負圧を発生させてトルネードを誘起する。トルネードを強化するには負圧を強化しなければならないが、そのためには小容器の上部へ吹き込むエアの進入角度θを大きくする。また負圧を強化する別の方法は小容器の上部を別の真空源で真空吸引する。以上によりワーク２０を強力に吸引でき、またサイクロンは広がらず対物距離を長くできる。
【実施例１５】
【００３７】
実施例１５を図１８を用いて説明する。図１８は電界遮蔽構造を示す。小容器の上部に設けられた空気イオンを作成する放電針２２からでる電界を遮蔽するため、放電針の下方にアース電極６８を設ける。放電針２２から出た電気力線はこのアース電極６８に終端して、これより下方に与える電界の影響を防ぐ。
【実施例１６】
【００３８】
実施例１６を図１９および図２０を用いて説明する。図１９は除電・除塵装置の進行方向に対して左右の端で起きる現象を示す。図１９ａは表面の除塵処理をする時の斜視図である。図１９ｂは断面図である。図１９ｂの断面図から分かるようにワーク２０の左右の端でサイクロン風が裏面に回り込んでいる。サイクロン風は除去した異物を含んでいるから表面で取った異物を裏面に付着させる可能性がある。
【００３９】
図２０はワークの左右の端の除塵処理を完全に行うために表面と同時に裏面にも除電・除塵装置を配置する方法を示す図である。この時、表面の端のサイクロン風の風向と裏面の端のサイクロン風の風向は合致している。即ち小容器のサイクロン風の風向は表側容器と裏側容器では逆になっている。この実施例１６の除電・防塵装置は、ケース７０内に多数の小容器１６等がワークの進行方向とは直角に一列に配置されるか、多数の列（図示せず）で配置されている。
【実施例１７】
【００４０】
図２１は片面のみ除塵処理する場合のワーク端の処理方法を示す。片面処理の場合、ワーク２０の端の裏面に小容器１個を有するエッジ処理クリーナ７２を設けて、表面からの異物が裏面に付着しないようにする。この時、裏面のエッジ処理クリーナのサイクロン風の風向は表面のサイクロン風の風向と合わせる。
【実施例１８】
【００４１】
図２２は静電引力を用いた除塵方式を示す。図２２ａは逆極性の空気イオンをかける方式を示す。図２２ｂは最後に＋/−両極性の空気イオンをかける方法を示す。ワーク２０の進行方向に対し、最初の小容器の中に片極性の空気イオンを充満させる。次の小容器に最初の小容器と逆極性の空気イオンを充満させる。この場合、ワークが逆極性に帯電する場合があるため、最後の小容器に＋/−両極性の空気イオンをかけて帯電を中和する。
【００４２】
ワークが絶縁体の場合は空気イオンをかけた場合、ワークの帯電状況は変わらないため、ホコリの表面の帯電の極性によってホコリの取れ具合が決まる。即ち、どちらかの極性の空気イオンで取れ易くなるため、＋と−のイオンを交互にかけることにより、どちらかのタイミングでホコリは取れ易くなる。一方、ワークが導体の場合は、空気イオンをかけた場合、ワークの表面に静電誘導が起きて空気イオンと逆極性の電荷が現れる。この電荷の極性がホコリを浮かせる作用をすることがあるため、＋と−のイオンを交互にかけることにより、どちらかのタイミングでホコリは取れ易くなる。
【００４３】
ホコリの誘電率が大きい場合は、かけた空気イオンによりホコリの表面が帯電し、その結果、ホコリの裏面が誘電分極して逆帯電する。この逆帯電した電荷の極性がホコリ裏面に元々帯電していた静電気を増長する作用をするか相殺する作用をするかで、ホコリの取れ易さが決まる。従って、前工程で片極性の空気イオンをかけて、後工程で逆極性の空気イオンをかければ、どちらかで静電気は相殺されるため、その時点でホコリは取れる。ホコリの誘電率が小さい場合は、ホコリ裏面の電荷に変化は起きないため、かけた空気イオンのどちらかの極性でホコリ表面の帯電が吸引している引力を相殺するため、その時点でホコリは取れる。このように、いずれの場合も、＋と−のイオンを交互にかけることにより、どちらかのタイミングでホコリは取れ易くなる。このタイミングでサイクロン風とトルネード風で除塵処理すれば、除塵能力は向上する。
【符号の説明】
【００４４】
１０  除電・除塵装置
１２  ハウジング
１４  大容器
１６  小容器
１６ｃ  スカート部
１６ｄ  翼型形状スカート部
１８  分配器
２０  ワーク
２２  放電針
２４  フィルタ
２６  超音波振動子
４０  乾燥用のカップ
５０  異物
５２  弁
６０  集塵機構
６８  アース電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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