(57)【要約】【課題】フォトマスクからペリクルが剥離しないように品質を保証して低圧貼付によるペリクル付きフォトマスクを製造する。【解決手段】ペリクル付きフォトマスクの製造方法において、フォトマスクにペリクルフレームの重さの１倍以上１０ｋｇｆ以下の低押し当て力の貼付荷重でペリクルフレームを圧着して貼り付けてペリクル付きフォトマスクを製造し、前記ペリクル付きフォトマスクのペリクル側の面を下に向け、前記ペリクルフレームをフォトマスクから下向きの力で引き剥がす荷重を加え、前記ペリクルフレームのフォトマスクからの剥離状態を観察し、前記荷重と剥離開始時間との関係により粘着耐久性を評価する。【選択図】図４
2014215588.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクル付きフォトマスクの製造方法であって、フォトマスクにペリクルフレームの重さの１倍以上１０ｋｇｆ以下の低押し当て力の貼付荷重でペリクルフレームを圧着して貼り付けてペリクル付きフォトマスクを製造する工程と、
前記ペリクル付きフォトマスクのペリクル側の面を下に向け、前記ペリクルフレームをフォトマスクから下向きの力で引き剥がす荷重を加える工程と、
前記ペリクルフレームのフォトマスクからの剥離状態を観察し、前記荷重と剥離開始時間との関係により粘着耐久性を評価する工程を具備することを特徴とするペリクル付きフォトマスクの製造方法。
【請求項２】
フォトマスクにペリクルフレームの重さの１倍以上１０ｋｇｆ以下の低押し当て力の貼付荷重でペリクルフレームを圧着して貼り付けてなるペリクル付きフォトマスクのペリクル粘着耐久性検査装置であって、
前記ペリクル付きフォトマスクのペリクル側の面を下に向け、前記ペリクルフレームをフォトマスクから下向きの力で引き剥がす荷重を加える荷重機構を有しており、
前記荷重機構は、先端をペリクルフレームにフックする巻きバネ状の固定バサミを有し、ペリクルフレームの対向する二辺でフックした一対の相対する固定バサミ間で吊り下げた皿に重りを載せて、ペリクルに荷重をかける構造であることを特徴とするペリクル粘着耐久性検査装置。
【請求項３】
前記荷重機構と、
前記ペリクルフレームを撮影する撮像カメラと、記憶手段と、前記ペリクルフレームの位置の変化を観察する観察手段を有し、
前記観察手段が前記ペリクルフレームの位置の変化の時刻を検出し前記記憶手段に記憶することを特徴とする請求項２記載のペリクル粘着耐久性検査装置。
【請求項４】
リソグラフィ用フォトマスクの表面に形成されたパターン領域を囲むように設置されるペリクルを備えるフォトマスクにおいて、
前記パターン領域を囲む矩形のペリクルフレームの上辺部に、接着剤層を介してペリクル膜が張設され、前記ペリクルフレームの下辺部には前記フォトマスクに装着するための粘着剤層を有しており、
前記フォトマスクへの前記ペリクルフレームの貼付荷重が、ペリクルフレームの自重以上１０ｋｇｆ以下であるペリクル付きフォトマスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスクへの塵埃付着を防止するペリクル膜を張設するためのペリクルフレームを貼り付けたペリクル付きフォトマスクと、そのペリクル付きフォトマスクを製造し、そのペリクル付きフォトマスクのフォトマスクへのペリクルフレームの貼付耐久性を検査する、ペリクル付きフォトマスクの製造方法と、それに用いるペリクル粘着耐久性検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
微細なパターンをフォトリソグラフィー法により露光して転写するために使用されるフォトマスクにおいて、パターン面に塵埃等の異物が付着すると、異物自体が露光対象基板面に転写されたり、異物が露光を遮って露光対象基板面に影を作ることにより欠陥パターンが転写されたりする。上記の理由により、特に、多数の露光対象基板に影響を及ぼすフォトマスクの面を塵埃の付着から保護するための対策が講じられている。
【０００３】
そのために、特許文献１のように、投影露光に用いるフォトマスクの有効領域外の表面にペリクルフレームと称する枠体を配置し、それを介してフォトマスクの有効領域全面を覆う、露光光源波長に対して透明性な、厚さ数百ｎｍから数μｍのペリクル膜をフォトマスク面とほぼ平行に張設して近接配置する。その結果、有効領域に接触させることなくフォトマスクの表面を保護する。また、ペリクル膜上に付着した異物は、露光時に焦点を外し、異物が露光対象基板面に影を作らないようにできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−０１７８３３号公報
【特許文献２】特開平５−１５０４４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来は、特許文献１のように、フォトマスクにペリクルフレームの粘着層を接触させて、２００Ｎから４００Ｎ程度の押し当て力をかけてペリクルフレームにフォトマスクに粘着させることで、フォトマスクにペリクルフレームとペリクル膜から成るペリクルをフォトマスクに設置し、ペリクル付きフォトマスクを製造していた。
【０００６】
しかし、ペリクルフレームの平坦度は数十μｍ程度とフォトマスクの平坦度と比較して精度はラフなため、ペリクルフレームにフォトマスクに粘着させる押し当て力が従来の２００Ｎから４００Ｎ程度をかけると、フォトマスクに当たるペリクルフレームの平坦度の数十μｍ程度の粗さに合わせてフォトマスクが歪む問題がある。
【０００７】
一方、マスクに要求される平坦性は、パターン面での平坦度に対する要求が厳しくなっており、最先端のリソグラフィに用いられるマスクでは１μｍ以下であることが好ましい。
【０００８】
そのため、ペリクルフレームをフォトマスクに貼り付ける際に、ペリクルフレームの平坦度がフォトマスクの平坦度に影響を及ぼさないようにする低圧で、フォトマスクにペリクルフレームを貼り付けることが望ましい。
【０００９】
しかし、このペリクルフレームをフォトマスクに粘着させる粘着剤層は、特許文献２で示されているように、経時変化により粘着力が低下しペリクルフレームがフォトマスクから剥がれる不具合が発生する問題がある。特に、そのペリクルフレームをフォトマスクに粘着させる押し当て力を低くすれば、粘着力が低下し、経時変化でペリクルフレームがフォトマスクから剥がれ易い問題があった。
【００１０】
本発明は、前記の問題点に鑑みて提案するものであり、本発明が解決しようとする課題は、フォトマスクをリソグラフィに用いる際にフォトマスクからペリクルが剥離しないように品質を保証した低圧貼付によるペリクル付きフォトマスクを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記の課題を解決するために、ペリクル付きフォトマスクの製造方法であって、フォトマスクにペリクルフレームの重さの１倍以上１０ｋｇｆ以下の低押し当て力の貼付荷重でペリクルフレームを圧着して貼り付けてペリクル付きフォトマスクを製造する工程と、前記ペリクル付きフォトマスクのペリクル側の面を下に向け、前記ペリクルフレームをフォトマスクから下向きの力で引き剥がす荷重を加える工程と、前記ペリクルフレームのフォトマスクからの剥離状態を観察し、前記荷重と剥離開始時間との関係により粘着耐久性を評価する工程を具備することを特徴とするペリクル付きフォトマスクの製造方法である。
【００１２】
本発明は、ペリクルフレームをフォトマスクから下向きの力で引き剥がす力を加え、ペリクルフレームの貼付強度の経時変化を検査することで、ペリクルフレームのフォトマスクへの貼付強度を検査し、ペリクル付きフォトマスクの信頼性を高めることができる。
【００１３】
また、本発明は、フォトマスクにペリクルフレームの重さの１倍以上１０ｋｇｆ以下の低押し当て力の貼付荷重でペリクルフレームを圧着して貼り付けてなるペリクル付きフォトマスクのペリクル粘着耐久性検査装置であって、前記ペリクル付きフォトマスクのペリクル側の面を下に向け、前記ペリクルフレームをフォトマスクから下向きの力で引き剥がす荷重を加える荷重機構を有しており、前記荷重機構は、先端をペリクルフレームにフックする巻きバネ状の固定バサミを有し、ペリクルフレームの対向する二辺でフックした一対の相対する固定バサミ間で吊り下げた皿に重りを載せて、ペリクルに荷重をかける構造であることを特徴とするペリクル粘着耐久性検査装置である。
【００１４】
また、本発明は、上記のペリクル粘着耐久性検査装置であって、前記荷重機構と、前記ペリクルフレームを撮影する撮像カメラと、記憶手段と、前記ペリクルフレームの位置の変化を観察する観察手段を有し、前記観察手段が前記ペリクルフレームの位置の変化の時刻を検出し前記記憶手段に記憶することを特徴とするペリクル粘着耐久性検査装置である。
【００１５】
また、本発明は、リソグラフィ用フォトマスクの表面に形成されたパターン領域を囲むように設置されるペリクルを備えるフォトマスクにおいて、前記パターン領域を囲む矩形のペリクルフレームの上辺部に、接着剤層を介してペリクル膜が張設され、前記ペリクルフレームの下辺部には前記フォトマスクに装着するための粘着剤層を有しており、前記フォトマスクへの前記ペリクルフレームの貼付荷重が、ペリクルフレームの自重以上１０ｋｇｆ以下であるペリクル付きフォトマスクである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、フォトマスクにペリクルフレームの重さの１倍以上１０ｋｇｆ以下の低押し当て力の貼付荷重でペリクルフレームを圧着して貼り付けてペリクル付きフォトマスクを製造することで、ペリクル付きフォトマスクの、ペリクル貼り付け後の歪みによるフォト
マスクの平坦度の変化を軽減することができる効果がある。
【００１７】
そして、本発明は、そのペリクル付きフォトマスクのペリクルフレームをフォトマスクから下向きの力で引き剥がす力を加え、ペリクルフレームの剥がれを検出し、その剥がれの発生時刻と、その時刻の前後の時刻のペリクルフレームの撮像画像を記録するペリクル粘着耐久性検査工程により、ペリクルフレームのフォトマスクへの貼付強度の経時変化を検査することで、フォトマスクに低押し当て力の貼付荷重でペリクルフレームを圧着して貼り付けたペリクル付きフォトマスクの信頼性を高くできる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態のフォトマスクへペリクルフレームを貼り付け、そのペリクル付きフォトマスクのフォトマスクへのペリクルフレームの貼付耐久性を検査する、ペリクル付きフォトマスクの製造方法の手順を示すフローチャートである。
【図２】本発明の第１の実施形態のペリクル付きフォトマスクの側面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態のペリクル貼付け装置の構成の一例を示す図である。
【図４】本発明の第１の実施形態のペリクル粘着耐久性検査装置の構成と荷重機構の正面図である。
【図５】（ａ）本発明の第１の実施形態のペリクル粘着耐久性検査装置の荷重機構の側面図である。（ｂ）本発明の第１の実施形態のペリクル粘着耐久性検査装置の光学位置センサとペリクルの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
＜第１の実施形態＞
以下、本発明のペリクル粘着耐久性の検査方法を図面を参照して説明する。
図１は、本発明のフォトマスク１へペリクルフレーム１３を貼り付けてペリクル付きフォトマスク１０を製造し、そのペリクル付きフォトマスク１０のフォトマスク１へのペリクルフレーム１３の貼付耐久性を検査する、ペリクル付きフォトマスク１０の製造方法の全体手順を示すフローチャートである。
【００２０】
ペリクル付きフォトマスク１０の製造手順は、
（Ｓ１）ペリクル貼付け装置２０にフォトマスク１を設置し、その下方にペリクル１１を設置する。ペリクル１１は、ペリクル膜１２がフォトマスクの外側に向けて設置されたペリクルフレーム１３と、そのペリクルフレーム１３のフォトマスク１側の面に設置した粘着剤層１４とから成る。
【００２１】
（Ｓ２）そして、ペリクル１１をペリクルフレーム１３の重さの１倍以上１０ｋｇｆ（９８Ｎ）以下の低押し当て力の貼付荷重でフォトマスク１に押し当てることで、フォトマスク１に粘着剤層１４を粘着させて、フォトマスク１とペリクル１１を一体化して、フォトマスク１の表面に形成されたパターン領域をペリクル１１で囲んだペリクル付きフォトマスク１０を製造する。
【００２２】
ペリクル付きフォトマスク１０の出荷手順は、
（Ｓ３）そのペリクル付きフォトマスク１０を保管し、（Ｓ４）その出荷の際に、ペリクル付きフォトマスク１０を、ペリクル膜１２を下方に向けてペリクル粘着耐久性検査装置３０に設置する。そして、ペリクル付きフォトマスク１０のペリクルフレーム１３に形成された穴１５に、荷重機構３１の巻きバネ状の固定バサミの細棒３１ａを差し込み、荷重３１ｂを加える。
【００２３】
その荷重機構３１によってペリクルフレーム１３を下に引く荷重３１ｂを加えることで、ペリクルフレーム１３をフォトマスク１の面に垂直に引き剥がす力を加える。
【００２４】
尚、穴１５は、ペリクルフレムの取り扱いの上でフックするために形成された非貫通の穴である場合もあるが、フォトマスクのパターン領域とペリクルの間で規定される空間の気圧調整や換気を図るための貫通穴である場合もある。
【００２５】
（Ｓ５）次に、光学位置センサ３３等を用いた観察手段でペリクルフレーム１３の位置の変化を観察し、ペリクルフレーム１３の位置が変化した場合に、（Ｓ６）その変化を生じた時刻をペリクル粘着耐久性検査装置３０の記憶手段３７に記憶し、その時刻の前後に撮像カメラ３４でペリクルフレームを撮影した画像データを記憶手段３７に記憶する。
【００２６】
図２は、フォトマスク１にペリクル１１を貼り付けて一体化したペリクル付きフォトマスク１０の側断面図を示す。
【００２７】
(ペリクル１１）
ペリクル１１は、図２のように、ペリクル膜１２とペリクルフレーム１３から構成される。ペリクルフレーム１３は、４方を側壁で囲まれた枠状のものであり、枠状のペリクルフレーム１３の上面（上辺部）には透明で極薄膜のペリクル膜１２が接着剤層１２ａにより固着されている。
【００２８】
ペリクルフレーム１３のフレーム高さは、例えば５ｍｍであり、そのペリクル１１の平坦度は例えば３０μｍ程度である。例えば、６インチ（１５２．４ｍｍ）フォトマスク１向けのペリクル１１は、アルミニウムの枠のペリクルフレーム１３が、長さが１５０ｍｍで幅が５ｍｍ、厚さ５ｍｍの４個の枠材から成り、約４０ｇの重さがある。すなわちペリクルフレーム１３は０．４Ｎの重力を受ける。
【００２９】
枠状のペリクルフレーム１３の側壁には、穴１５を、例えば直径１．６ｍｍ程度の大きさで、１０４ｍｍの間隔で設ける。また、枠状のペリクルフレーム１３の下面（下辺部）に粘着剤層１４を付与し、その粘着剤層１４によって、ペリクル１１をフォトマスク１に粘着させる。
【００３０】
粘着剤層１４は、硬化後に、ＡＳＴＭＤ−１４０３に規定される針入度が５０ないし１００の範囲にある、適度な柔らかさを有するシリコーン系粘着剤、あるいは、アクリル系粘着剤を用いて粘着剤層１４を形成する。
【００３１】
（ペリクル貼付け装置２０）
図３に、ペリクル１１をフォトマスク１に貼り付けてペリクル付きフォトマスク１０を製造するペリクル貼付け装置２０を示す。ペリクル貼付け装置２０は、フォトマスク支持部２１でフォトマスク１を支え、ステンレスのペリクル押し当てプレート２２上にペリクル１１を、ペリクル膜１２を下に向けて設置する。
【００３２】
そして、押圧機構２３により、ペリクル押し当てプレート２２を介してペリクル１１のペリクルフレーム１３を下からフォトマスク１に押し当てて、フォトマスク１は上からフォトマスク加圧フレーム２４で押してペリクルフレーム１３上に形成した粘着剤層１４をフォトマスク１に押し当て、ペリクル１１をフォトマスク１に粘着させる。
【００３３】
ここで、ペリクル貼付荷重を、押し当て力０．４Ｎ〜９８Ｎ（１０ｋｇｆ）の低押し当て力の貼付荷重で、その加圧時間を１２０秒の条件で、ペリクル１１をフォトマスク１に貼り付ける。すなわち、押し当て力をペリクルフレーム１３の重さの１倍以上２５０倍以下の低押し当て力にする。
【００３４】
このように、低押し当て力の貼付荷重でペリクルフレーム１３を貼り付けることでペリクルフレーム１３がフォトマスク１に直接に当たることが無くなり、粘着剤層１４が、ペリクルフレーム１３の平坦度のばらつきに追従して変形し、ペリクルフレーム１３とフォトマスク１に均一な圧力を加える。そのため、ペリクルフレーム１３とフォトマスク１を変形させずにペリクル１１を貼り付けたペリクル付きフォトマスク１０を製造することができる。
【００３５】
これにより、従来の製造方法による、ペリクル貼付けの押し当て力２００Ｎから５００Ｎの貼付荷重で貼り付けた場合とは異なり、ペリクルフレーム１３とフォトマスク１との歪みが無いペリクル付きフォトマスク１０を製造することができる。そして、従来のペリクル付きフォトマスク１０の、ペリクル貼り付け後の歪みによるフォトマスク１の平坦度の変化を軽減することができる効果がある。
【００３６】
（ペリクル貼付強度検査方法）
以上のように、低押し当て力のペリクル貼付荷重でペリクル１１をフォトマスク１に貼り付けてペリクル付きフォトマスク１０を製造する。次に、そのペリクル付きフォトマスク１０を出荷する際に、そのペリクル貼付強度を、ペリクル粘着耐久性検査装置３０を用いて検査する。
【００３７】
ペリクル貼付強度の検査は、ペリクル付きフォトマスク１０の製造時にも行うことができる。また、ペリクル付きフォトマスク１０を保管した後に、そのペリクル付きフォトマスク１０を顧客に出荷する際に、ペリクル粘着耐久性検査装置３０を用いて所定の荷重３１ｂを加えて検査する。それにより、ペリクル貼付強度を検査してペリクル付きフォトマスク１０の信頼性を高くすることができる。
【００３８】
（ペリクル粘着耐久性検査装置）
図４は、ペリクル粘着耐久性検査装置３０の構成を示す模式概念図を示す。図４は荷重機構の正面図を示す。また、図５（ａ）は荷重機構の側面図を示す。図４と図５に示したペリクル粘着耐久性検査装置３０は、ペリクル付きフォトマスク１０のフォトマスク１とペリクルフレーム１３の貼付強度の経時変化を検査する装置である。
【００３９】
ペリクル粘着耐久性検査装置３０は、ペリクル付きフォトマスク１０のフォトマスク１の外周部を挟持する基板保持機構３２と、ペリクルフレーム１３の穴１５に差し込んだ細棒３１ａを用いてペリクルフレーム１３をフォトマスク１から引き剥がす力を加える荷重機構３１と、光学位置センサ３３などの観察手段と、撮像カメラ３４と制御手段３６と記憶手段３７を有する。
【００４０】
制御手段３６は、外部入力や手入力により、随時必要な情報を入れることができ、操作のための各種パラメータの修正や例外処理の内容を指示することができる。制御手段３６が光学位置センサ３３又は撮像カメラ３４からの信号を記憶手段３７に記録してデータ処理を行うことで、ペリクル付きフォトマスク１０のペリクル貼付強度の検査処理を自動化することができる。
【００４１】
（荷重機構）
荷重機構３１は、巻きバネ状の固定バサミの細棒３１ａと荷重３１ｂと荷重保持棒３１ｃで構成する。巻きバネ状の固定バサミの細棒３１ａは、ステンレス線等の剛性を有する金属棒で作製する。巻きバネ状の固定バサミの細棒３１ａの太さは、穴１５の、直径１．６ｍｍ程度の内径より小さい１．２ｍｍ程度の太さにし、必要に応じて表面の錆や傷や塵埃を防止するために樹脂をコートして保護する。巻きバネは、例えば、直径２５ｍｍ程度の３巻きの輪で形成する。
【００４２】
図４のように、巻きバネ状の固定バサミの細棒３１ａの両端を、左右に対向するペリクルフレーム１３の穴１５へ、外側から差し込む。巻きバネ状の固定バサミの細棒３１ａの中心部に形成した、例えば３回巻きの、巻きバネによって両端を内側に引っ張ることで、その左右のペリクルフレーム１３の外側から穴１５へ差し込んだ細棒３１ａで左右のペリクルフレーム１３を内側に押して挟み込む。
【００４３】
中心部に形成した巻きバネの中心部の約２５ｍｍの直径の輪に荷重保持棒３１ｃを差し込み、巻きバネで荷重保持棒３１ｃを支えさせる。そして、荷重保持棒３１ｃに荷重３１ｂを加える。荷重３１ｂは、例えば、荷重保持棒３１ｃが貫いた箱の底に重りを入れたもので構成できる。また、例えば、荷重３１ｂは、荷重保持棒３１ｃに吊り下げた重りで構成することもできる。
【００４４】
この荷重３１ｂが荷重保持棒３１ｃ及び巻きバネ状の固定バサミの細棒３１ａを下に引っ張り、巻きバネ状の固定バサミの細棒３１ａが、ペリクルフレーム１３を下に引っ張りフォトマスク１から引き剥がす力を加える。
【００４５】
（ペリクル貼付強度の検査手順）
ペリクル貼付強度の検査は、以下の手順で行う。先ず、ペリクル付きフォトマスク１０を、ペリクル１１を下側に向けてペリクル粘着耐久性検査装置３０に設置する。すなわち、ペリクル付きフォトマスク１０のフォトマスク１の外周部を基板保持機構３２で保持する。
【００４６】
次に、フォトマスク１に貼り付けたペリクルフレーム１３に設けた穴１５の２つに細荷重機構３１の棒３１ａを差し込み、ペリクルフレーム１３を下に引く荷重３１ｂを細棒３１ａからペリクルフレーム１３に加える。荷重３１ｂは、ペリクルフレーム１３の重さの４０ｇ（０．４Ｎ）の２７倍程度の１０．６Ｎの荷重を加えて検査する。
【００４７】
そして、ペリクル粘着耐久性検査装置３０の荷重機構３１がペリクルフレーム１３をペリクルフレーム１３の重さの２７倍程度の荷重３１ｂで下に引っ張った状態で、例えば４８時間程度の長時間、光学位置センサ３３又は撮像カメラ３４を用いた観察手段でペリクルフレーム１３を観察する。そして、その観察手段が、ペリクルフレーム１３の剥離、落下、損傷等の、ペリクルフレーム１３の剥がれを検出し、その剥がれの発生時刻を記憶手段３７に記録する。
【００４８】
それにより、ペリクルフレーム１３のフォトマスク１への貼付強度の経時変化を検査する。そして、その荷重３１ｂとペリクルフレーム１３の剥離開始時間との関係によりフォトマスク１へのペリクル１１の粘着耐久性を評価する。その検査と評価により、ペリクル付きフォトマスク１０の長期信頼性を高めることができる効果がある。
【００４９】
（光学位置センサによる観察手段）
初めに、観察手段として、発光素子３３ａと受光素子３３ｂとを隣接して同一方向に向けて設けた光学位置センサ３３を用いる例について説明する。光学位置センサ３３は、図４のようにペリクルフレーム１３に向けて設置する。詳しくは、図５（ｂ）のように、発光素子３３ａと受光素子３３ｂとを隣接して同一方向に向けて設けた反射型フォトセンサを用いる。発光素子３３ａとして発光ダイオードが使用でき、受光素子３３ｂとして高感度のフォトトランジスタが使用できる。
【００５０】
光学位置センサ３３の発光素子３３ａがペリクルフレーム１３の外側面に対して垂直に照射した光線を、ペリクルフレーム１３の反射率の高い金属表面で反射させて、受光素子
３３ｂで受光させる。ペリクルフレーム１３が落下した場合に激減する受光素子３３ｂの光量を検出することで、ペリクルフレーム１３の落下又は位置の変化を検出する。そして制御手段３６が、そのペリクルフレーム１３の位置の変化の時刻を記憶手段３７に記憶する。それとともに、制御手段３６が、その時刻の前後の時刻に撮像カメラ３４が撮影した画像データを記憶手段３７に記憶する。
【００５１】
そして制御手段３６は、画像処理手段３５が記憶手段３７に記憶したペリクルフレーム１３の落下又は位置の変形の時刻を記憶手段３７から読出し、また、その時刻の前後の状態を撮影した画像データを記録手段３７から読み出して表示する。
【００５２】
こうすることで、制御手段３６が、ペリクル付きフォトマスク１０の変形を、観察手段からの信号によって検出して、ペリクル付きフォトマスク１０の変形の時刻を自動的に記録できる効果がある。
【００５３】
（変形例１：撮像カメラによる観察手段）
変形例１は、観察手段として撮像カメラ３４を用いてペリクルフレーム１３の状態を検出する。撮像カメラ３４は、ＣＣＤ等の小型の固体撮像カメラが好適である。撮像カメラ３４は、制御手段３６と連携した画像処理手段３５に撮影画像を送信し、画像処理手段３５は画像の変化を検出し、制御手段３６が、画像が変化した時刻と、その時刻の前後の時刻の画像データを記憶手段３７に記憶する。
【００５４】
撮像カメラ３４と画像処理手段３５によりペリクルフレーム１３の状態の変化を以下のようにして検出できる。すなわち、撮像カメラ３４がペリクルフレーム１３を撮影した画面の画像データを画像処理手段３５に送信する。画像処理手段３５は、先に撮影した画面の画像データと次に撮影した画面の画像データを比較し、画像の変化を検出する。画像処理手段３５は、画像が大きく変化した場合に、その変化が起きた時刻と、その時刻の前後の時刻の画像データを記憶手段３７に記憶する。
【００５５】
こうして、ペリクル粘着耐久性検査装置３０を用いることで、ペリクル付きフォトマスク１０の出荷の際に、フォトマスク１とペリクルフレーム１３の貼付強度を検査して、その貼付強度が確認されたペリクル付きフォトマスク１０を出荷することができる効果がある。また、ペリクル粘着耐久性検査装置３０を用いて、使用条件に応じた、ペリクル付きフォトマスク１０のフォトマスク１とペリクルフレーム１３の貼付強度を検査することで、使用条件に応じた粘着状態の経時変化のデータを取得して品質保証体制を構築できる効果がある。
【００５６】
＜第２の実施形態＞
ペリクル粘着耐久性検査装置３０を用いて、荷重３１ｂを徐々に増やして、フォトマスク１からペリクルフレーム１３が剥がれる荷重３１ｂの大きさを調べる。これにより、ペリクル付きフォトマスク１０の接着力を測定することができる。
【００５７】
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されず、ペリクルフレーム１３のフォトマスク１からの剥がれの発生を検出するペリクル１１の観察手段として、枠状のペリクルフレーム１３の上面に接着剤層１２ａで固着されペリクル膜１２を観察する観察手段を用いることもできる。その観察手段で、ペリクルフレーム１３のフォトマスク１への粘着力の変化による、ペリクル膜１２の張力の変化をペリクル膜１２の歪みで検出することでペリクルフレーム１３の剥がれ始めを検出することもできる。
【００５８】
また、本発明は、ペリクルフレーム１３のフォトマスク１からの剥がれの発生を観察する手段は、撮像カメラ３４に限定されず、観察手段として目視による観察手段を用いるこ
ともできる。
【符号の説明】
【００５９】
１・・・フォトマスク
１０・・・ペリクル付きフォトマスク
１１・・・ペリクル
１２・・・ペリクル膜
１２ａ・・・接着剤層
１３・・・ペリクルフレーム
１４・・・粘着剤層
１５・・・穴
２０・・・ペリクル貼付け装置
２１・・・フォトマスク支持部
２２・・・ペリクル押し当てプレート
２３・・・押圧機構
２４・・・フォトマスク加圧フレーム
３０・・・ペリクル粘着耐久性検査装置
３１・・・荷重機構
３１ａ・・・細棒
３１ｂ・・・荷重
３１ｃ・・・荷重保持棒
３２・・・基板保持機構
３３・・・光学位置センサ
３３ａ・・・発光素子
３３ｂ・・・受光素子
３４・・・撮像カメラ
３５・・・画像処理手段
３６・・・制御手段
３７・・・記憶手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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