(57)【要約】【課題】  導電性および透明性に優れる太陽電池用導電性フィルム、この導電性フィルムの製造方法、前記導電性フィルムを用いて得られる太陽電池用電極、およびこの太陽電池用電極を備える太陽電池を提供する。【解決手段】  基材と、前記基材上に、メッシュパターン状に形成されてなる導電膜を有する導電性フィルムであって、前記導電膜がカーボンナノチューブを含有するものである太陽電池用導電性フィルム、この導電性フィルムの製造方法、前記導電性フィルムを用いて得られる太陽電池用電極、およびこの太陽電池用電極を備える太陽電池。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、前記基材上に、メッシュパターン状に形成されてなる導電膜を有する導電性フィルムであって、
前記導電膜がカーボンナノチューブを含有するものである太陽電池用導電性フィルム。
【請求項２】
前記カーボンナノチューブが、その平均直径（Ａｖ）と直径の標準偏差（σ）が、関係式：０．６０＞３σ／Ａｖ＞０．２０を満たすものである、請求項１に記載の導電性フィルム。
【請求項３】
シート抵抗値が０．１〜５００Ω／□である、請求項１または２に記載の導電性フィルム。
【請求項４】
全光線透過率が５０〜９９％である、請求項１〜３のいずれかに記載の導電性フィルム。
【請求項５】
基材上にカーボンナノチューブを含有する分散液を塗布し、得られた塗膜を乾燥して乾燥塗膜を得る工程と、前記乾燥塗膜に、メッシュパターン状マスクを裁置してパターニングを行う工程を有する、請求項１〜４のいずれかに記載の太陽電池用導電性フィルムの製造方法。
【請求項６】
基材上にメッシュパターン状マスクを裁置し、このマスクを通して、カーボンナノチューブを含有する分散液を塗布し、得られた塗膜を乾燥する工程を有する、請求項１〜４のいずれかに記載の太陽電池用導電性フィルムの製造方法。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれかに記載の太陽電池用導電性フィルムを用いて得られる太陽電池用電極。
【請求項８】
請求項７に記載の太陽電池用電極を備える太陽電池。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性及び透明性に優れる太陽電池用導電性フィルム、この導電性フィルムの製造方法、前記導電性フィルムを用いて得られる太陽電池用電極、並びにこの太陽電池用電極を備える太陽電池に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カーボンナノチューブ等の炭素系材料を導電体として用いる導電性フィルムや、その導電性フィルムを電極基板に用いる太陽電池が提案されている。
例えば、特許文献１には、基板上に、少なくとも、単層カーボンナノチューブとフラーレンを含有する導電層が設けられた電極基板を有する太陽電池が提案されている。
特許文献２には、カーボンナノチューブ等を含有する導電性組成物を用いて得られる導電性複合体が提案されている。
また、特許文献３には、カーボンナノチューブ等を含有する水性分散液を用いて得られる導電性複合体が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２５２５８５号公報
【特許文献２】特開２０１０−１６３５６８号公報
【特許文献３】特開２０１０−２５４５４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
変換効率が高い太陽電池を得るためには、電極基板に用いる導電性フィルムが、導電性及び透明性に優れることが求められる。
しかしながら、上記特許文献１〜３に記載の導電性フィルムは、これらの性能の両立が十分ではなく、太陽電池の材料として、性能面に満足できるものではなかった。
したがって、導電性及び透明性により優れる導電性フィルムが要望されていた。
【０００５】
本発明は、かかる実情に鑑みてなされたものであり、導電性及び透明性に優れる太陽電池用導電性フィルム、この導電性フィルムの製造方法、前記導電性フィルムを用いて得られる太陽電池用電極、及び、この太陽電池用電極を備える太陽電池を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、基材と、この基材上に、メッシュパターン状に形成されてなる導電膜とを有する導電性フィルムであって、前記導電膜がカーボンナノチューブを含有するものは、導電性及び透明性に優れることを見出し、本発明を完成するに到った。
【０００７】
かくして本発明によれば、下記（１）〜（４）の太陽電池用導電性フィルム、（５）及び（６）の太陽電池用導電性フィルムの製造方法、（７）の太陽電池用電極、（８）の太陽電池が提供される。
【０００８】
（１）基材と、前記基材上に、メッシュパターン状に形成されてなる導電膜を有する導電性フィルムであって、前記導電膜がカーボンナノチューブを含有するものである太陽電池用導電性フィルム。
（２）前記カーボンナノチューブが、その平均直径（Ａｖ）と直径の標準偏差（σ）が、関係式：０．６０＞３σ／Ａｖ＞０．２０を満たすものである、（１）に記載の導電性フィルム。
（３）シート抵抗値が、０．１〜５００Ω／□である、（１）または（２）に記載の導電性フィルム。
（４）全光線透過率が、５０〜９９％である、（１）〜（３）のいずれかに記載の導電性フィルム。
（５）基材上にカーボンナノチューブを含有する分散液を塗布し、得られた塗膜を乾燥して乾燥塗膜を得る工程と、前記乾燥塗膜に、メッシュパターン状マスクを裁置してパターニングを行う工程を有する、（１）〜（４）のいずれかに記載の太陽電池用導電性フィルムの製造方法。
（６）基材上にメッシュパターン状マスクを裁置し、このマスクを通して、カーボンナノチューブを含有する分散液を塗布し、得られた塗膜を乾燥する工程を有する、（１）〜（４）のいずれかに記載の太陽電池用導電性フィルムの製造方法。
（７）前記（１）〜（４）のいずれかに記載の太陽電池用導電性フィルムを用いて得られる太陽電池用電極。
（８）前記（７）に記載の太陽電池用電極を備える太陽電池。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、導電性及び透明性に優れる太陽電池用導電性フィルムと、その製造方法、前記導電性フィルムを用いて得られる太陽電池用電極、並びにこの太陽電池用電極を備える太陽電池が提供される。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を、１）太陽電池用導電性フィルム、２）太陽電池用導電性フィルムの製造方法、及び、３）太陽電池用電極及び太陽電池、に項分けして詳細に説明する。
【００１１】
１）太陽電池用導電性フィルム
本発明の太陽電池用導電性フィルム（以下、「本発明の導電性フィルム」ということがある。）は、基材と、前記基材上に、メッシュパターン状に形成されてなる導電膜を有する導電性フィルムであって、前記導電膜がカーボンナノチューブを含有するものである。
【００１２】
〔基材〕
本発明の導電性フィルムを構成する基材は、カーボンナノチューブを含有する導電膜を担持することができるものであれば、特に制限されない。例えば、合成樹脂やガラスからなるシートが挙げられる。なかでも、軽量で、可撓性及び光透過性に優れることから、透明樹脂からなるものが好ましい。
【００１３】
透明樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、シンジオタクチックポリスチレン（ＳＰＳ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアリレート（ＰＡｒ）、ポリスルホン（ＰＳＦ）、ポリエステル（ＰＥ）、ポリエ−テルスルホン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、透明ポリイミド（ＰＩ）等の合成樹脂が挙げられる。
【００１４】
基材の厚みは、用途に応じて適宜決定すればよいが、通常、１０〜１００００μｍである。
基材の光透過率（測定波長：５００ｎｍ）は、好ましくは６０％以上である。
【００１５】
〔導電膜〕
本発明の導電性フィルムを構成する導電膜は、メッシュパターン状に形成されてなり、かつ、カーボンナノチューブを含有するものである。このような導電膜を備えることで、本発明の導電性フィルムは、導電性及び透明性に優れるものとなる。
【００１６】
「メッシュパターン」とは、複数の細線からなる網のように、細線状遮蔽部と、この細線状遮蔽部に囲まれて形成される多数の開口部とからなる構造をいう。
メッシュパターンを形成する開口部の形状は特に限定されるものではないが、例えば、三角形、四角形、六角形、円、楕円、及びこれらの組み合わせ等の形状が挙げられる。
【００１７】
メッシュパターンの細線状遮蔽部の線幅は特に限定されないが、通常、０．０５μｍから１ｍｍである。
メッシュパターンの開口部の大きさは特に限定されないが、例えば、格子状のメッシュパターンの場合、隣り合う細線状遮蔽部間の間隔は、通常、１μｍから１０ｍｍである。
メッシュパターンの開口率は、特に限定されないが、通常、５０〜９８％である。
メッシュパターンの細線の線幅、開口部の大きさ、開口率が、それぞれ上記範囲内であることで、導電性及び透明性により優れる導電性フィルムを得ることができる。
【００１８】
導電膜の厚みは特に限定されないが、通常、１０ｎｍから１ｍｍである。
導電膜の膜厚が上記範囲内であることで、導電性及び透明性により優れる導電性フィルムを得ることができる。
【００１９】
本発明に用いるカーボンナノチューブは、炭素によって作られる六員環ネットワークが単層あるいは多層の同軸管状になった物質である。本発明において、カーボンナノチューブは、導電膜中で導電体として機能する。
導電膜中に含まれるカーボンナノチューブの含有量は、特に限定されないが、通常、１．０×１０−６〜１５ｍｇ／ｃｍ２である。
【００２０】
本発明に用いるカーボンナノチューブは、上記構造を有し、かつ、導電膜中で導電体として機能するものであれば、特に限定されない。なかでも、導電性及び透明性により優れ、さらに、導電膜と基材との密着性にも優れる導電性フィルムが得られ易いことから、その平均直径（Ａｖ）と直径の標準偏差（σ）が０．６０＞３σ／Ａｖ＞０．２０を満たすカーボンナノチューブが好ましい。以下、上記式を満たすカーボンナノチューブを「カーボンナノチューブ（Ａ）」ということがある。
なお、本発明において、「カーボンナノチューブ（Ａ）」とは、それを構成する所定のカーボンナノチューブの集合の総称であり、「直径」とは当該所定のカーボンナノチューブの外径を意味する。
【００２１】
本発明においてカーボンナノチューブ（Ａ）の平均直径（Ａｖ）及び直径の標準偏差（σ）は、それぞれ標本平均値及び標本標準偏差である。それらは、透過型電子顕微鏡での観察下に、無作為に選択されたカーボンナノチューブ１００本の直径を測定した際の平均値及び標準偏差として求められる。前記関係式における３σは得られた標準偏差（σ）に３を乗じたものである。
【００２２】
ここで、３σ／Ａｖは、カーボンナノチューブ（Ａ）の直径分布を表し、この値が大きいほど直径分布が広いことを意味する。本発明において直径分布は正規分布をとるものが好ましい。
カーボンナノチューブ（Ａ）の直径分布は、透過型電子顕微鏡を用いて観察して算出することができる。すなわち、透過型電子顕微鏡での観察下に、無作為に選択された１００本のカーボンナノチューブの直径を測定し、その結果を用いて、横軸に直径、縦軸に頻度を取り、得られたデータをプロットし、ガウシアンで近似することで得られる。異なる製法で得られたカーボンナノチューブなどを複数種類組み合わせることでも、３σ／Ａｖの値を大きくすることはできるが、その場合正規分布の直径分布を得ることは難しい。本発明においてカーボンナノチューブ（Ａ）は、単一製法で得られたカーボンナノチューブからなるものであっても、又は当該カーボンナノチューブに、その直径分布に影響しない量の他の製法で得られたカーボンナノチューブを配合してなるものであってもよい。
【００２３】
カーボンナノチューブ（Ａ）の平均直径（Ａｖ）は、目的の特性を有する導電性フィルムを得る観点から、０．５ｎｍ以上、１５ｎｍ以下が好ましい。
【００２４】
カーボンナノチューブ（Ａ）の平均長さは、好ましくは０．１μｍ〜１ｃｍである。カーボンナノチューブ（Ａ）の平均長さが上記範囲内であることで、目的の特性を有する導電性フィルムを形成し易くなる。
カーボンナノチューブ（Ａ）の平均長さは、例えば、透過型電子顕微鏡を用いて、無作為に選択された１００本のカーボンナノチューブを測定することで、算出することができる。
【００２５】
カーボンナノチューブ（Ａ）の比表面積は、好ましくは１００〜２５００ｍ２／ｇである。カーボンナノチューブ（Ａ）の比表面積が上記範囲内であることで、目的の特性を有する導電性フィルムを形成し易くなる。
カーボンナノチューブ（Ａ）の比表面積は、窒素ガス吸着法により求めることができる。
【００２６】
カーボンナノチューブ（Ａ）を構成するカーボンナノチューブは、単層のものであっても、多層のものであってもよい。
【００２７】
また、カーボンナノチューブ（Ａ）を構成するカーボンナノチューブは、表面にカルボキシル基等の官能基が導入されたものであってもよい。官能基の導入は、過酸化水素や硝酸等を用いる公知の酸化処理法により行うことができる。
【００２８】
カーボンナノチューブ（Ａ）は、公知の方法、例えば、表面にカーボンナノチューブ製造用触媒層（以下、「ＣＮＴ製造用触媒層」ということがある。）を有する基材（以下、「ＣＮＴ製造用基材」ということがある。）上に、原料化合物及びキャリアガスを供給して、化学的気相成長法（ＣＶＤ法）によりカーボンナノチューブを合成する際に、系内に微量の酸化剤を存在させることで、ＣＮＴ製造用触媒層の触媒活性を飛躍的に向上させるという方法（スーパーグロース法）により、得ることができる（ＷＯ２００６／０１１６５５号パンフレット）。
【００２９】
ＣＮＴ製造用基材においてＣＮＴ製造用触媒層を支持するための支持体は、その表面にＣＮＴ製造用触媒層を担持することができるものであれば、特に限定されない。
前記支持体の材質としては、鉄、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、チタン、アルミニウム、マンガン、コバルト、銅、銀、金、白金等の金属；これらの金属を含む合金；前記金属を含む酸化物；シリコン等の半導体；石英、ガラス、マイカ、グラファイト、ダイヤモンド等の非金属；等が挙げられる。
前記支持体の形状としては、平板状、薄膜状、ブロック状等が挙げられる。
【００３０】
ＣＮＴ製造用触媒層を構成する触媒としては、従来公知のカーボンナノチューブ製造用触媒を用いることができる。かかる触媒としては、塩化鉄、鉄、鉄−モリブデン、アルミナ−鉄、アルミナ−コバルト、アルミナ−鉄−モリブデン等の金属触媒が挙げられる。
【００３１】
原料化合物としては、メタン、エタン、プロパン、エチレン、プロピレン、アセチレン等の炭化水素化合物；メタノール、エタノール等のアルコール化合物；アセトン等のケトン化合物；一酸化炭素；等が挙げられる。
【００３２】
キャリアガスとしては、ヘリウム、アルゴン、水素、窒素、ネオン、クリプトン、二酸化炭素、塩素等が挙げられる。
酸化剤としては、水蒸気、酸素、オゾン、硫化水素等が挙げられる。気相中の酸化剤の含有量は、通常、１０ｐｐｍ以上１００００ｐｐｍ以下である。
【００３３】
反応系内の圧力は、好ましくは１０２Ｐａ〜１０７Ｐａ（１００大気圧）である。
カーボンナノチューブ（Ａ）の製造時の反応系内の温度は、触媒、原料化合物、酸化剤に応じて適宜決定することができる。通常は、４００〜１２００℃である。
【００３４】
本発明の導電性フィルムの導電膜は、本発明の効果を妨げない範囲において、カーボンナノチューブ以外に、その他の成分を含有してもよい。
その他の成分としては、結着剤、導電助剤、分散剤、界面活性剤等が挙げられる。これらは、公知のものを適宜使用すればよい。
【００３５】
〔導電性フィルム〕
本発明の導電性フィルムは、基材と、前記基材上に、メッシュパターン状に形成されてなる導電膜を有するものである。
本発明の導電性フィルムは、本発明の効果を妨げない範囲において、基材や導電膜以外に、その他の層を有してもよい。その他の層としては、ハードコート層、ガスバリア層、粘着剤層等が挙げられる。
その他の層は、従来公知の方法により形成することができる。
【００３６】
本発明の導電性フィルムは、導電性及び透明性に優れる。
本発明の導電性フィルムが導電性に優れることは、シート抵抗を測定することで示される。
本発明の導電性フィルムのシート抵抗は、通常、０．１〜５００Ω／□である。
【００３７】
本発明の導電性フィルムが透明性に優れることは、全光線透過率を測定することで示される。
本発明の導電性フィルムの全光線透過率は、通常、５０％以上であり、上限は９９％である。
【００３８】
本発明の導電性フィルムは、太陽電池の製造に用いられる。特に、本発明の導電性フィルムは、導電性及び透明性に優れるため、太陽電池用電極の材料として好適に用いられる。
【００３９】
２）太陽電池用導電性フィルムの製造方法
本発明の太陽電池用導電性フィルムの製造方法は、基材上に、カーボンナノチューブを含有する分散液を用いて導電膜を形成する方法であって、具体的には、下記の製造方法（α）又は製造方法（β）である。
【００４０】
製造方法（α）：基材上に、カーボンナノチューブを含有する分散液を塗布し、得られた塗膜を乾燥して乾燥塗膜を得る工程と、前記乾燥塗膜に、メッシュパターン状マスクを裁置してパターニングを行う工程を有する導電性フィルムの製造方法。
製造方法（β）：基材上にメッシュパターンマスクを裁置し、このマスクを通して、カーボンナノチューブを含有する分散液を塗布し、得られた塗膜を乾燥する工程を有する導電性フィルムの製造方法。
【００４１】
〔カーボンナノチューブを含有する分散液〕
本発明に用いるカーボンナノチューブを含有する分散液は、少なくとも、カーボンナノチューブと溶媒を含有するものである。
【００４２】
溶媒としては、水；メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコール等のアルコール類；アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類；テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジグライム等のエーテル類；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、１，３−ジメチル−２イミダゾリジノン等のアミド類；ジメチルスルホキシド、スルホラン等の含イオウ系溶媒；等が挙げられる。これらの溶媒は１種単独で、あるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４３】
分散液は、カーボンナノチューブ、及び、必要に応じて、導電膜の説明の項で列記した「その他の成分」等を溶媒中で混合し、カーボンナノチューブを分散させることで得ることができる。
混合処理や分散処理は、公知の方法を利用することができる。例えば、ナノマイザー、アルティマイザー、超音波分散機、ボールミル、サンドグラインダー、ダイノミル、スパイクミル、ＤＣＰミル、バスケットミル、ペイントコンディショナー、高速攪拌装置等を用いる方法が挙げられる。
【００４４】
分散液中のカーボンナノチューブの含有量は、特に限定されないが、分散液全体中、好ましくは０．００１〜１０質量％である。
【００４５】
〔製造方法（α）〕
製造方法（α）は、基材上に、カーボンナノチューブを含有する分散液を塗布し、得られた塗膜を乾燥して乾燥塗膜を得る工程〔工程（α−１）〕と、前記乾燥塗膜に、メッシュパターン状マスクを裁置してパターニングを行う工程〔工程（α−２）〕を有する。
【００４６】
工程（α−１）において、基材上に分散液を塗布する方法としては、特に限定されず、公知の塗布方法を採用できる。例えば、ディッピング法、ロールコート法、グラビアコート法、ナイフコート法、エアナイフコート法、ロールナイフコート法、ダイコート法、スクリーン印刷法、スプレーコート法、グラビアオフセット法等が挙げられる。
得られた塗膜を乾燥する方法としては、例えば、熱風乾燥法、熱ロール乾燥法、赤外線照射法等が挙げられる。
乾燥温度は特に限定されないが、通常、１５〜２００℃、乾燥時間は特に限定されないが、通常、０．０１〜６０分である。
【００４７】
工程（α−２）において、乾燥塗膜に、メッシュパターン状マスクを裁置し、パターニングを行う方法としては、プラズマエッチング法やレーザーエッチング法等の公知の方法を採用できる。
【００４８】
〔製造方法（β）〕
製造方法（β）は、基材上にメッシュパターンマスクを裁置し、このマスクを通して、カーボンナノチューブを含有する分散液を塗布し、得られた塗膜を乾燥する工程を有する。
製造方法（β）において、カーボンナノチューブを含有する分散液を塗布する際は、公知のスクリーン印刷法を採用するのが好適である。
また、得られた塗膜の乾燥方法、乾燥条件としては、製造方法（α）の工程（α−１）で示したものと同様のものが挙げられる。
【００４９】
上記製造方法（α）及び製造方法（β）によれば、本発明の導電性フィルムを効率よく製造することができる。
【００５０】
３）太陽電池用電極及び太陽電池
本発明の太陽電池用電極は、本発明の導電性フィルムを用いて得られるものである。
本発明の太陽電池用電極は、本発明の導電性フィルムを用いるものであるため、変換効率が高い。
【００５１】
太陽電池としては、例えば、シリコン系太陽電池、化合物系太陽電池、有機系太陽電池などが挙げられる。
本発明の太陽電池用電極は、これらの太陽電池の電極として用いられるものである。
【００５２】
本発明の太陽電池用電極について、有機系太陽電池の一種である色素増感型太陽電池を例にとり説明する。色素増感型太陽電池は、通常、光電極、電解質層、対向電極がこの順に並んでなる構造を有する。
光電極は、光を受けることで、外部の回路に電子を放出し得る電極である。光電極は、通常、基材上に導電膜が形成されてなる光電極基板と、この光電極基板上に形成された多孔質半導体微粒子層と、この多孔質半導体微粒子層の表面に増感色素が吸着されて形成された増感色素層とを有する。
電解質層は、光電極と対向電極とを分離するとともに、電荷移動を効率よく行うための層である。
対向電極は、外部の回路から入ってきた電子を電解質層に効率よく渡すための電極である。対向電極は、通常、基材上に導電膜が形成されてなる対向電極基板と、この対向電極基板上に形成された触媒層とを有する。
本発明の導電性フィルムは、例えば、上記の光電極基板や対向電極基板として好適に用いられる。
【００５３】
本発明の太陽電池は、上述した本発明の太陽電池用電極を備えるものである。本発明の太陽電池は、本発明の太陽電池用電極を備えるものであれば、特に限定されない。例えば、半導体基板の種類により、単結晶シリコン型太陽電池、多結晶シリコン型太陽電池、微結晶シリコン型太陽電池、多結合型シリコン系太陽電池等の結晶シリコン系太陽電池；アモルファスシリコン型太陽電池；ＧａＡｓ系太陽電池、ＣＩＳ系太陽電池、ＣｄＴｅ系太陽電池などの化合物系太陽電池；色素増感型太陽電池、有機薄膜型太陽電池などの有機系太陽電池；などに分類されるものが挙げられる。
また、本発明の太陽電池は、太陽を光源とするものに限定されず、例えば屋内照明を光源とするものであってもよい。
本発明の太陽電池は、本発明の太陽電池用電極を備えるものであるため、変換効率が高く、耐久性に優れる。
本発明の太陽電池は、上記特徴が特に活かされることから、携帯型太陽電池や屋内用太陽電池として好ましく用いられる。
【実施例】
【００５４】
〔実施例１〕
３０ｍＬのガラス容器に、水４ｇ、エタノール１ｇ、カーボンナノチューブ０．００２５ｇ、カルボキシメチルセルロース（ＣＭＣ）水溶液（１００倍希釈）０．２５ｇ、及び０．０５Ｍフタル酸水溶液０．１０ｇを加えた。
なお、前記カーボンナノチューブは、以下の特性値を有した：
平均直径（Ａｖ）：３．３ｎｍ、直径の標準偏差（σ）：０．６４ｎｍ、３σ／Ａｖ：０．５８、平均長さ：１００μｍ、比表面積：８００ｍ２／ｇ、主に単層。
このガラス容器の内容物に対して、バス型超音波洗浄機〔ＢＲＡＮＳＯＮ社製、５５１０Ｊ−ＭＴ（４２ｋＨｚ、１８０Ｗ）〕を用いて、室温にて２時間分散処理を行い、ｐＨが５の水分散液を得た。
ポリエステルフィルム（東洋紡社製、コスモシャイン（登録商標）Ａ４１００、フィルム厚み１００μｍ）上に、前記水分散液を、バーコーター（テスター産業社製、ＳＡ−２０３、Ｎｏ．１０）を用いて、塗布厚み２２．９μｍとなるように塗布した。得られた塗膜を、２３℃、６０％（相対湿度）で２時間乾燥させた。
次いで、この乾燥塗膜上にメッシュパターン状マスクを裁置し、酸素プラズマ処理を行うことで、メッシュパターン状に形成された導電膜（細線状遮蔽部の線幅：０．９ｍｍ、開口率：９０％）を有する導電性フィルムを得た。
【００５５】
実施例１で得た導電性フィルムを用いて以下の測定、試験を行った。
（１）シート抵抗
ＪＩＳ  Ｋ  ７１９４に準拠し、抵抗率計（三菱化学社製、ロレスタ（登録商標）ＧＰ）を用いて四端子四探針法にてシート抵抗を測定した。その結果、シート抵抗は、１２０Ω／□であった。
（２）全光線透過率
ＪＩＳ  Ｋ７３６１に準拠し、分光光度計（日本分光社製、Ｖ−５７０）を用いて全光線透過率を測定した。その結果、全光線透過率は、８６％であった。
（３）密着性
導電性フィルムをトルエンで洗浄した後、その表面の状態を目視観察することで、導電膜と基材との密着性を評価した。その結果、導電膜の状態に変化は見られなかった。