(57)【要約】【課題】物品の洗浄方法において、非水系の溶剤と水を含む洗浄剤を用いる場合に、効率的に被洗浄物のすすぎを行うことができるようにする。【解決手段】物品の洗浄方法は、被洗浄物Ｗを、非水系の溶剤と水とを少なくとも含む洗浄剤１０に接触させて洗浄する洗浄工程と、アルコールと水とを含む溶液からなるリンス液１１を用いて、洗浄工程で洗浄された被洗浄物Ｗをすすぐすすぎ工程と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を、非水系の溶剤と水とを少なくとも含む洗浄剤に接触させて洗浄する洗浄工程と、
アルコールと水とを含む溶液からなるリンス液を用いて、前記洗浄工程で洗浄された前記被洗浄物をすすぐすすぎ工程と、
を備えることを特徴とする、物品の洗浄方法。
【請求項２】
前記すすぎ工程で使用された前記リンス液を回収して蒸留し、未使用の前記リンス液と同じ成分を有する再生リンス液を形成する再生処理工程を備え、
前記すすぎ工程では、
前記再生リンス液が形成された場合に、前記再生リンス液を含む前記リンス液によって前記被洗浄物をすすぐ
ことを特徴とする、請求項１に記載の物品の洗浄方法。
【請求項３】
前記リンス液は、共沸組成である
ことを特徴とする、請求項１または２に記載の物品の洗浄方法。
【請求項４】
前記リンス液におけるアルコール濃度は、引火点測定によって引火点が発現する濃度未満である
ことを特徴とする、請求項１〜３のいすれか１項に記載の物品の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品の洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、準水系洗浄剤、エマルジョン系洗浄剤など、非水系の溶剤と水とを含む洗浄剤を用いて被洗浄物から汚れを除去する物品の洗浄方法が知られている。このような洗浄方法では、被洗浄物を洗浄した後、井水や純水、あるいは炭化水素などの溶剤単体、あるいは溶剤の混合物を用いて被洗浄物をすすぎ、これにより被洗浄物に付着する洗浄剤成分を除去することが知られている。
この洗浄方法に用いられる洗浄剤は、非水系の溶剤を含むため、水によるすすぎでは除去性能がよくない。このため、井水や純水を用いて洗浄剤成分を除去する場合には、大量の井水や純水などの水資源を必要とする。
また、これにより多量の排水が発生するが、この排水には、洗剤成分、特に溶剤が多く含まれるため、活性汚泥など用いた大掛かりな排水処理を行わないと河川に放流することができない。
このため、例えば、特許文献１には、排水処理設備の小型化や処理効率の向上を目的として、すすぎ水の排水に、水に難溶もしくは不溶性の水処理剤を接触させ、すすぎ水の排水に含まれる非水成分と水とを分離する水処理方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３４７１１５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような従来技術の物品の洗浄方法には、以下のような問題があった。
被洗浄物のすすぎに井水や純水を用いる場合、特許文献１によれば、活性汚泥など用いる排水処理に比べると、より小型の設備での排水処理が可能となるものの、処理すべき排水量そのものは変わらない。したがって、ある程度は小型化できると言っても大量の排水量を処理する水処理施設が必要になるという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、非水系の溶剤と水を含む洗浄剤を用いる場合に、効率的に被洗浄物のすすぎを行うことができ、リンス液の使用量を抑制することができる物品の洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の物品の洗浄方法は、被洗浄物を、非水系の溶剤と水とを少なくとも含む洗浄剤に接触させて洗浄する洗浄工程と、アルコールと水とを含む溶液からなるリンス液を用いて、前記洗浄工程で洗浄された前記被洗浄物をすすぐすすぎ工程と、を備える方法とする。
【０００７】
また、本発明の物品の洗浄方法は、前記すすぎ工程で使用された前記リンス液を回収して蒸留し、未使用の前記リンス液と同じ成分を有する再生リンス液を形成する再生処理工程を備え、前記すすぎ工程では、前記再生リンス液が形成された場合に、前記再生リンス液を含む前記リンス液によって前記被洗浄物をすすぐことが可能である。
【０００８】
また、本発明の物品の洗浄方法は、前記リンス液は、共沸組成であることが可能である。
【０００９】
また、本発明の物品の洗浄方法は、前記リンス液におけるアルコール濃度は、引火点測定によって引火点が発現する濃度未満であることが可能である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の物品の洗浄方法によれば、すすぎ工程においてアルコールと水とを含む溶液からなるリンス液を用いるため、非水系の溶剤と水を含む洗浄剤を用いる場合に、効率的に被洗浄物のすすぎを行うことができ、リンス液の使用量を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態の物品の洗浄方法に用いる洗浄システムの模式的なシステム構成図である。
【図２】本発明の第２の実施形態の物品の洗浄方法に用いる洗浄システムの模式的なシステム構成図である。
【図３】本発明の第３の実施形態の物品の洗浄方法に用いる洗浄システムの模式的なシステム構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
【００１３】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態の物品の洗浄方法について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態の物品の洗浄方法に用いる洗浄システムの模式的なシステム構成図である。
【００１４】
本実施形態の物品の洗浄方法は、被洗浄物の汚れが油分を含む等の理由で非水系の溶剤と水を含む洗浄剤を用いた洗浄を行う必要がある場合に、この洗浄により、被洗浄物に付着する非水系の溶剤剤を効率的にすすぐことができる方法である。
まず、図１を参照して、本実施形態の物品の洗浄方法を実施することができる洗浄システム１のシステム構成について説明する。
【００１５】
洗浄システム１によって洗浄する被洗浄物Ｗ（物品）は、後述する洗浄剤１０によって洗浄することができ、後述するリンス液１１を用いてすすぎを行うことができるものであれば、特に限定されない。被洗浄物Ｗの例としては、例えば、研磨加工されたレンズ等の光学素子、切削加工油が付着した金属加工部品、フラックスが付着した実装基板等を挙げることができる。
【００１６】
本実施形態で用いる洗浄剤１０は、非水系の溶剤と水とを含む液状の洗浄剤である。
非水系の溶剤は、被洗浄物Ｗの汚れ成分が、フラックス、ワックス、グリース等の油分の汚れを含む場合、これらの汚れ成分を溶解して被洗浄物Ｗから除去するための成分であり、被洗浄物Ｗの汚れの種類に応じて適宜の溶剤を採用することができる。
洗浄剤１０の種類は、非水系の溶剤と水とを含んでいれば、特に限定されない。洗浄剤１０の具体例としては、いわゆる準水系洗浄剤、エマルジョン系洗浄剤などを挙げることができる。
準水系洗浄剤とは、５ｗｔ％〜２０ｗｔ％程度の水を含み、例えば、グリコール系溶剤、石油系溶剤、非水溶性溶剤、アルコール系溶剤、界面活性剤などを混合した洗浄剤である。具体的には、例えば、クリンスルー（登録商標）７５０ＨＮ（商品名；花王（株）製）などを挙げることができる。
エマルジョン系洗浄剤とは、界面活性剤の作用により石油系溶剤等の非水系溶剤と水とを乳化させた洗浄剤である。具体的には、例えば、サンウォッシュ（登録商標）ＬＨシリーズ（商品名；）ライオン（株）製）などを挙げることができる。
以下では、一例として、洗浄剤１０が、水を７％含む準水系洗浄剤、例えば、クリンスルー（登録商標）７５０ＨＮの場合の例で説明する。
【００１７】
本実施形態で用いるリンス液１１は、被洗浄物Ｗに付着した洗浄剤１０を除去するためのもので、アルコールと水とを含む溶液からなる。
リンス液１１に使用するアルコールは、２５℃で液体であって、水と溶液を形成することができる液体のアルコールであれば、特に限定されない。
ただし、炭素数が大きくなると、非水溶性になるため、アルコールの、炭素数は、１〜７が好ましい。例えば、１価アルコールの場合、好適なアルコールの例としては、メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、１−ブタノール、２−ブタノール、１−ペンタノール、２−ペンタノール、１−ヘキサノール、１−ヘプタノールなどを挙げることができる。
【００１８】
洗浄剤１０によって洗浄された被洗浄物Ｗの表面には、被洗浄物Ｗから除去した油分等の汚れ成分を含む非水系の溶剤が付着している。この非水系の溶剤は水に溶解しないため、水のみですすぐ場合、大量の水が必要となる。
本実施形態では、リンス液１１がアルコールを含有するため、非水系の溶剤がアルコール中に溶解することで、被洗浄物Ｗの表面から容易に除去される。これにより、水をリンス液としてすすぐ場合に比べると、リンス液１１の液量を低減することができる。
【００１９】
アルコールと水との濃度比は、被洗浄物Ｗに付着する洗浄剤１０が良好に除去できれば、特に限定されない。ただし、アルコールの濃度が低すぎると、非水系の溶剤を溶解する能力が不十分となる。このため、アルコール濃度は、２０ｗｔ％以上であることが好ましく、４０ｗｔ％以上であることがより好ましい。
なお、リンス液１１は、アルコールと水以外の成分を含んでいてもよい。例えば、グリコールエーテルなどの両媒性の物質を含んでいてもよい。この場合、両媒性の物質自身が洗浄剤中の溶剤成分を溶解することができ、リンス液のリンス能力が向上するため、好ましい。
【００２０】
また、リンス液１１は、共沸組成を有することが好ましい。下記表１に、リンス液１１が、アルコールと水とからなる場合の、共沸点、共沸組成を、アルコールの沸点、アルコールの炭素数とともに示す。なお、メタノールは、共沸組成を有しないが、メタノールと水との溶液もリンス液１１として使用可能である。そこで参考までに沸点の情報を示している。
【００２１】
【表１】
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【００２２】
リンス液１１が共沸組成であると、すすぎに使用した後のリンス液１１を蒸留することによってリンス液１１に含まれる不純物の除去することができるとともに、蒸留液の組成がやはり共沸組成になる。このため、蒸留液の濃度比は、未使用のリンス液１１の濃度比と同一になる。
このため、蒸留液は、濃度調整などを行うことなく、直ちに未使用のリンス液１１に混合して再利用することが可能になる。
【００２３】
また、リンス液１１のアルコール濃度は、引火点測定によって引火点が発現する濃度未満であることが、より好ましい。
リンス液１１のアルコール濃度が低いと、引火点測定によって引火点が発現しなくなるため、例えば、消防法が定める「危険物」に該当しなくなる。このため、取り扱いが容易となり、防火対策も軽減することができるため、洗浄システム１の装置構成を簡素化し、低コスト化することができる。
特に、炭素数１〜３のアルコールは、法令によれば、アルコール濃度が６０ｗｔ％未満では非危険物に該当する。このため、炭素数１〜３のアルコールは、アルコール濃度６０％未満として用いることが好ましい。
非危険物に該当しかつ共沸組成となる例としては、１−ブタノールと水との共沸組成（アルコール濃度５９．５ｗｔ％）、１−ペンタノールと水との共沸組成（アルコール濃度４５．６ｗｔ％）、１−ヘキサノールと水との共沸組成（アルコール濃度３２．８ｗｔ％）、１−ヘプタノールと水との共沸組成（アルコール濃度２７．０ｗｔ％）などの例を挙げることができる。
【００２４】
以下では、リンス液１１は、一例として、１−ブタノールと水とを、それぞれ５９．５ｗｔ％、４０．５ｗｔ％の濃度となるように混合した共沸組成の溶液であるとして説明する。
【００２５】
次に、洗浄システム１の装置構成について説明する。
洗浄システム１の概略構成は、洗浄槽２、第１すすぎ槽３、第２すすぎ槽４、蒸留器９、乾燥槽５、および搬送機構８を備える。
本実施形態では、洗浄槽２、第１すすぎ槽３、第２すすぎ槽４、および乾燥槽５は、水平方向に沿ってこの順に並べて配置されている。
【００２６】
洗浄槽２は、被洗浄物Ｗの汚れを除去するために洗浄剤１０の原液を貯留している上方に開口した貯留槽であり、この開口を通して、被洗浄物Ｗを上方から出し入れすることが可能である。
洗浄槽２には、洗浄槽２内の洗浄剤１０に超音波振動を印加する超音波振動子２０が装着されている。このため、洗浄槽２内の洗浄剤１０に浸漬された被洗浄物Ｗは超音波洗浄される。
被洗浄物Ｗは単品でもよいし、図示略の保持治具に複数のものが保持されていてもよい。
また、洗浄槽２には、回収管路６ａと供給管路６ｂとを介して、使用済みの洗浄剤１０を一時的に貯留する予備槽６が接続されている。
【００２７】
予備槽６は、洗浄剤１０の液温を適温に保つヒータ２１を備えている。回収管路６ａを通して回収された洗浄剤１０は、保温された状態で予備槽６に貯留される。本実施形態におけるヒータ２１の温度は、一例として、洗浄槽２内の洗浄剤１０の液温が５０℃に保たれるように調整されている。
供給管路６ｂには、予備槽６に貯留された洗浄剤１０を洗浄槽２に送り出すポンプ２２と、ポンプ２２によって送り出された使用済みの洗浄剤１０を濾過して、洗浄剤１０に含まれる不純物を除去する濾過フィルタ２３とが配置されている。
このような構成により、洗浄槽２には、濾過された洗浄剤１０が供給管路６ｂを通して供給される。そして、供給量と同量の使用済みの洗浄剤１０が洗浄槽２の開口からオーバーフローする（あふれる）と、回収管路６ａを通して予備槽６に回収されることにより、洗浄剤１０が循環使用される。
【００２８】
第１すすぎ槽３および第２すすぎ槽４は、いずれもリンス液１１を貯留している上方に開口した貯留槽である。被洗浄物Ｗは、これら開口をそれぞれ通して上方から出し入れすることが可能である。
第１すすぎ槽３（第２すすぎ槽４）には、第１すすぎ槽３（第２すすぎ槽４）内のリンス液１１ｂ（１１ａ）に超音波振動を印加する超音波振動子２０が装着されている。このため、第１すすぎ槽３（第２すすぎ槽４）内のリンス液１１ｂ（１１ａ）に浸漬された被洗浄物Ｗは超音波洗浄される。
【００２９】
第１すすぎ槽３および第２すすぎ槽４は、互いに隣接された状態で、洗浄槽２側からこの順に配置されている。第１すすぎ槽３の上部の開口は、第２すすぎ槽４の上部の開口よりも低い位置で隣接している。このため、リンス液１１は、第２すすぎ槽４の開口からオーバーフローすると、第１すすぎ槽３の開口を通して、第１すすぎ槽３内に移動する。
以下では、第１すすぎ槽３、第２すすぎ槽４にそれぞれ貯留されているリンス液１１を互いに区別する必要がある場合に、それぞれ、リンス液１１ｂ、１１ａと称する。
【００３０】
第１すすぎ槽３には、リンス液１１を循環させるため、第１すすぎ槽３の開口からオーバーフローした使用済みのリンス液１１を回収するための回収管路７ａの一端が接続されている。回収管路７ａの他端は、回収管路７ａを介して回収された使用済みのリンス液１１を一時的に貯留する貯槽７が接続されている。
貯槽７は、第１すすぎ槽３および第２すすぎ槽４におけるリンス液１１の液温を適温に保つヒータ２４を備えており、回収管路７ａを通して回収されたリンス液１１は、保温された状態で貯留される。本実施形態におけるヒータ２４の温度は、一例として、第１すすぎ槽３および第２すすぎ槽４内のリンス液１１の液温が４０℃に保たれるように調整されている。
以下では、貯槽７に貯留されているリンス液１１を他のリンス液１１と区別する必要がある場合には、リンス液１１ｃと称する。
【００３１】
供給管路７ｂには、貯槽７に貯留されたリンス液１１ｃを第２すすぎ槽４に送り出すポンプ２５と、ポンプ２５によって送り出された使用済みのリンス液１１ｃを濾過して、リンス液１１ｃに含まれる不純物を除去する濾過フィルタ２６とが配置されている。
このような構成により、第２すすぎ槽４には、濾過済みリンス液１１ｄが供給管路７ｂを通して供給される。
このため、第１すすぎ槽３および第２すすぎ槽４におけるリンス液１１の一部は、回収管路７ａ、貯槽７、および供給管路７ｂを経由する循環経路（濾過経路と称する）を通して、循環使用される。
【００３２】
蒸留器９は、回収管路９ａを介して貯槽７と接続されるとともに、供給管路９ｂを介して第２すすぎ槽４と接続されている。これにより、蒸留器９は、回収管路９ａを通して貯槽７から送出されるリンス液１１ｃを蒸留して蒸留済みリンス液１１ｅ（再生リンス液）を形成し、供給管路９ｂを通して第２すすぎ槽４に蒸留済みリンス液１１ｅを供給することができる。
蒸留器９の構成としては、蒸留釜の液面を監視し液面が低下した際に汚液を供給する連続蒸留装置、蒸留釜の液面の他に釜内の液温や蒸気の温度を監視し、多成分より成る混合液の蒸留をすることができる連続蒸留装置、再生した液の比重や屈折率などの物性を監視し、不足する成分を補充する機能を備えた蒸留装置などの例を挙げることができる。
このため、貯槽７のリンス液１１ｃは、第１すすぎ槽３および第２すすぎ槽４において、回収管路７ａ、貯槽７、回収管路９ａ、蒸留器９、および供給管路９ｂを経由する循環経路（再生経路と称する）を通して、循環使用される。
【００３３】
乾燥槽５は、第１すすぎ槽３、第２すすぎ槽４のリンス液１１ｂ、１１ａに浸漬してすすぎを行った後の被洗浄物Ｗを収容し、被洗浄物Ｗに熱風をあてることにより被洗浄物Ｗの表面に付着したリンス液１１を除去するものである。本実施形態では、被洗浄物Ｗの出し入れ口は、乾燥槽５の上部に設けられている。
乾燥槽５における熱風の温度は、リンス液１１の種類によって適宜設定することができる。本実施形態では、リンス液１１が１−ブタノールと水との共沸組成の溶液であることに対応して８０℃に設定している。
【００３４】
搬送機構８は、被洗浄物Ｗを、洗浄槽２、第１すすぎ槽３、および第２すすぎ槽４にこの順に浸漬させた後、乾燥槽５の内部に搬入し、乾燥後に乾燥槽５から搬出するものである。搬送機構８は、被洗浄物Ｗを保持する複数の保持部８ａと、各保持部８ａを水平方向に移動する搬送移動部８ｂとを備える。
各保持部８ａは、鉛直方向に昇降移動可能に設けられており、洗浄槽２、第１すすぎ槽３、および第２すすぎ槽４内で、鉛直方向に沿って揺動させることができる。
なお、保持部８ａは、被洗浄物Ｗが保持治具に保持されている場合には、保持治具を保持するようになっている。
【００３５】
次に、洗浄システム１の動作について、洗浄システム１を用いて行う本実施形態の物品の洗浄方法を中心に説明する。
本実施形態の物品の洗浄方法は、洗浄工程、すすぎ工程、乾燥工程、および再生処理工程を備える。
ここで、洗浄工程、すすぎ工程、および乾燥工程は、各被洗浄物Ｗを洗浄システム１の洗浄槽２、第１すすぎ槽３、第２すすぎ槽４、乾燥槽５に順次移動して行われる。
一方、再生処理工程は、蒸留器９によってこれらの工程と並行して行われる。
【００３６】
洗浄工程は、被洗浄物Ｗを洗浄剤１０に接触させて洗浄する工程である。
本工程は、搬送機構８の保持部８ａに保持された被洗浄物Ｗを、洗浄槽２内に移動して行う。
洗浄槽２には、濾過フィルタ２３によって濾過され液温が調整された洗浄剤１０が供給されている。このため、洗浄槽２には供給管路６ｂから回収管路６ａに向かう流れが形成されている。
洗浄槽２内の洗浄剤１０は、超音波振動子２０により超音波振動が印加されている。
【００３７】
被洗浄物Ｗを洗浄槽２内に移動したら、保持部８ａを昇降させて、洗浄槽２内で被洗浄物Ｗを鉛直方向に沿って揺動させる。この状態で、被洗浄物Ｗは、５分間、洗浄剤１０に浸漬される。
被洗浄物Ｗの表面に付着した汚れは、洗浄剤１０と接触するとともに洗浄剤１０を介して超音波振動を受けることにより、被洗浄物Ｗから剥離され、洗浄剤１０に溶解していく。これにより、汚れが被洗浄物Ｗの表面から除去される。
５分経過したら、保持部８ａを上昇させて被洗浄物Ｗを洗浄槽２の上方に引き上げる。
以上で、洗浄工程が終了する。
【００３８】
次に、すすぎ工程を行う。本工程は、リンス液１１を用いて、洗浄工程で洗浄された被洗浄物Ｗをすすぐ工程である。
本工程は、搬送機構８の保持部８ａに保持された被洗浄物Ｗを、第１すすぎ槽３、第２すすぎ槽４に順次移動することにより行う。
第２すすぎ槽４には、濾過フィルタ２３によって濾過された濾過済みリンス液１１ｄと、蒸留器９から供給された蒸留済みリンス液１１ｅとが供給されている。
第２すすぎ槽４の開口からオーバーフローしたリンス液１１ａは、第１すすぎ槽３に移動してリンス液１１ｂとして一時的に貯留される。第１すすぎ槽３からオーバーフローしたリンス液１１ｂは、回収管路７ａによって貯槽７に回収され、貯槽７にリンス液１１ｃとして一時的に貯留される。
第２すすぎ槽４内の液温、および第１すすぎ槽３内の液温は、貯槽７におけるヒータ２１による温度調整によって４０℃になっている。
第１すすぎ槽３および第２すすぎ槽４のリンス液１１ｂ、１１ａは、それぞれ超音波振動子２０により超音波振動が印加されている。
【００３９】
まず、被洗浄物Ｗを第１すすぎ槽３内に移動させたら、保持部８ａを昇降させて、第１すすぎ槽３内で被洗浄物Ｗを鉛直方向に揺動させる。この状態で、被洗浄物Ｗは、５分間、リンス液１１ｂに浸漬される。
被洗浄物Ｗの表面に付着した洗浄剤１０は、リンス液１１ｂと接触するとともにリンス液１１ｂを介して超音波振動を受けることにより、被洗浄物Ｗから剥離され、リンス液１１ｂに溶解していく。これにより、被洗浄物Ｗの表面に付着した洗浄剤１０が被洗浄物Ｗの表面から除去される。
５分経過したら、保持部８ａを上昇させて被洗浄物Ｗを第１すすぎ槽３の上方に引き上げる。
【００４０】
次に、被洗浄物Ｗを第２すすぎ槽４内に移動させ、第１すすぎ槽３におけると同様に、保持部８ａを昇降させて、第２すすぎ槽４内で被洗浄物Ｗを鉛直方向に沿って揺動させる。この状態で、被洗浄物Ｗは、５分間、リンス液１１ａに浸漬される。
第２すすぎ槽４のリンス液１１ａは、リンス液１１ｂよりも清浄度が高いため、第１すすぎ槽３におけるすすぎでは除去しきれなかった洗浄剤１０や、リンス液１１ｂに残存する汚れ成分の再付着物が、リンス液１１ａと超音波振動との作用により、さらに除去されていく。
５分経過したら、保持部８ａを上昇させて被洗浄物Ｗを第２すすぎ槽４の上方に引き上げる。
以上で、すすぎ工程が終了する。
【００４１】
ここで、すすぎ工程と並行して行われる本実施形態の再生処理工程について説明する。
再生処理工程は、すすぎ工程で使用されたリンス液１１ｃを回収して蒸留し未使用のリンス液１１と同じ成分を有する再生リンス液を形成する工程である。
本実施形態では、リンス液１１ｃを回収管路９ａで回収して、蒸留器９で蒸留する。
リンス液１１は、共沸組成を有するため共沸点で沸騰する。このため、リンス液１１の蒸気を凝縮させると１―ブタノールと水とが分離されることなく共沸組成の溶液として凝縮して、蒸留済みリンス液１１ｅが得られる。
このため、蒸留済みリンス液１１ｅは、リンス液１１ｃに含まれる不純物が除去され、かつ未使用のリンス液１１と同じ成分を有する再生リンス液になっている。
【００４２】
このような再生処理工程を有することにより、本実施形態では、リンス液１１ｃから、アルコールと水とを分離して、未使用のリンス液１１と同様の成分（濃度比）を有する混合溶液を調整する手間をかけることなく、第２すすぎ槽４に直に蒸留済みリンス液１１ｅを投入できる。このため、蒸留のみの簡素な工程により、リンス液１１を再生して循環利用することができる。この結果、蒸留器９もコンパクトな構成とすることができ、洗浄システム１の小型化、省スペース化が可能である。
また、蒸留済みリンス液１１ｅは、共沸組成の溶液であり、未使用のリンス液１１と同じ溶液である。したがって、リンス液１１ｃ中に含まれる、濾過フィルタ２６によって取りきれない不純物も除去されており、濾過済みリンス液１１ｄに比べて清浄である。
【００４３】
第２すすぎ槽４から取り出された被洗浄物Ｗは、乾燥工程を行う。
本工程は、被洗浄物Ｗの表面に付着したリンス液１１を蒸発させて被洗浄物Ｗの表面を乾燥させる工程である。
本工程は、搬送機構８の保持部８ａに保持された被洗浄物Ｗを、乾燥槽５に移動させることにより行う。
乾燥槽５に移動された被洗浄物Ｗは、８０℃の熱風が吹き付けられるため、被洗浄物Ｗの表面に付着したリンス液１１の液滴は、吹き飛ばされるか、または蒸発して、被洗浄物Ｗから除去される。これにより、被洗浄物Ｗが乾燥される。
以上で、乾燥工程が終了する。
乾燥された被洗浄物Ｗは、搬送機構８によって乾燥槽５の外部に移動され、洗浄システム１の外部に搬出される。
以上で、本実施形態の物品の洗浄方法が終了する。
保持部８ａに保持された各被洗浄物Ｗは、搬送機構８によって順次移動されることにより、それぞれ、上記に説明した洗浄工程、すすぎ工程、および乾燥工程が行われる。これにより、他の被洗浄物Ｗも上記と同様の工程を経て洗浄されていく。
【００４４】
本実施形態の物品の洗浄方法によれば、すすぎ工程においてリンス液１１を用いるため、非水系の溶剤と水を含む洗浄剤１０を用いる場合に、非水系の溶剤がアルコールに溶解して、被洗浄物Ｗから容易に除去される。このため、非水系の溶剤が溶解しない水のみによってすすぎを行う場合に比べると、洗浄剤１０を効率的にすすぎ落とすことができる。また、すすぎに要する液量がより少なくて済むため、リンス液１１の使用量を抑制することができる。また、本実施形態では、リンス液１１を再生利用するため、最終的に排水処理すべき液量を格段に低減することができる。
このように、水のみによってすすぎを行う場合に比べて、リンス液１１の使用量が少なくて済むため、洗浄システム１がより小型のシステムになる。
また、特に、リンス液１１を共沸組成とすることで、リンス液１１を再生する蒸留器９を小型化することができる。
また、本実施形態では、リンス液１１は、アルコール濃度が低濃度であるため、引火するおそれがない。このため、洗浄システム１は、リンス液１１の引火を防ぐための防火対策を施す必要がない点でも、装置構成を簡素化することができる。例えば、不活性ガス雰囲気下ですすぎを行う必要がないため、装置構成が簡素となる。また、作業者の作業性が良好となる。
【００４５】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態の物品の洗浄方法について説明する。
図２は、本発明の第２の実施形態の物品の洗浄方法に用いる洗浄システムの模式的なシステム構成図である。
【００４６】
本実施形態の物品の洗浄方法は、上記第１の実施形態の物品の洗浄方法が共沸組成のリンス液を用いるのに対して、共沸組成でないリンス液を用いる点が異なる。
以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００４７】
まず、図２を参照して、本実施形態の物品の洗浄方法を実施することができる洗浄システム５１のシステム構成について説明する。
洗浄システム５１では、上記第１の実施形態のリンス液１１に代えて、リンス液３１を用いる。
リンス液３１は、上記第１の実施形態のリンス液１１と同様、アルコールと水とを含む溶液からなり、共沸組成でない点が相違する。
本実施形態では、一例として、１−プロパノールと水とを、それぞれ５０．０ｗｔ％、５０．０ｗｔ％の濃度となるように混合した溶液を採用している。
このような構成によれば、アルコール濃度が６０ｗｔ％未満であるため、リンス液３１は引火点が測定されない。このため、リンス液３１は、例えば消防法が定める「危険物」に該当しない。
【００４８】
洗浄システム５１は、上記第１の実施形態の洗浄システム１に、インライン濃度計３２と、純水供給部３３とが追加されている。インライン濃度計３２と純水供給部３３とは、貯槽７から排出されるリンス液３１の１−プロパノールと水との濃度比を未使用のリンス液３１の濃度比と一致させるために設けられた構成である。
以下では、リンス液３１の貯留場所を区別する場合、上記第１の実施形態のリンス液１１ａ、１１ｂ、１１ｃに対応して、それぞれリンス液３１ａ、３１ｂ、３１ｃと称する。
【００４９】
インライン濃度計３２は、貯槽７に貯留されたリンス液３１ｃの１−プロパノールの濃度を測定するものである。
純水供給部３３は、貯槽７における１−プロパノールの濃度が５０．０ｗｔ％を保つために希釈する純水３４を供給するもので、自動開閉弁３３ｂを備える供給管路３３ａを介して貯槽７に接続されている。
自動開閉弁３３ｂは、図示略の制御装置によって、インライン濃度計３２の１−プロパノールの濃度の測定値が５０．０ｗｔ％となるように、開閉動作が制御される。
なお、本実施形態では、供給管路７ｂ、回収管路９ａ、および供給管路３３ａは、いずれもインライン濃度計３２の近傍に接続されている。このため、供給管路７ｂ、回収管路９ａによってそれぞれ第２すすぎ槽４、蒸留器９に導かれるリンス液３１ｃの１−プロパノールの濃度は、インライン濃度計３２で測定される濃度と一致する。
【００５０】
次に、洗浄システム５１の動作について、洗浄システム５１を用いて行う本実施形態の物品の洗浄方法を中心に説明する。ただし、上記第１の実施形態と同様な説明は適宜省略し、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００５１】
本実施形態の物品の洗浄方法は、洗浄工程、すすぎ工程、乾燥工程、および再生処理工程を備える。
ここで、洗浄工程、すすぎ工程、および乾燥工程は、各被洗浄物Ｗを洗浄システム５１の洗浄槽２、第１すすぎ槽３、第２すすぎ槽４、乾燥槽５に順次移動して行われる。
一方、再生処理工程は、蒸留器９によってこれらの工程と並行して行われる。
【００５２】
本実施形態の洗浄工程は、上記第１の実施形態の洗浄工程とまったく同様な工程である。
【００５３】
次に、本実施形態のすすぎ工程を行う。本工程が上記第１の実施形態のすすぎ工程と異なるのは、洗浄工程で洗浄された被洗浄物Ｗをすすぐ際にリンス液３１を用いる点のみである。
本実施形態における第２すすぎ槽４には、濾過フィルタ２６によって濾過された濾過済みリンス液３１ｄと、蒸留器９から供給された蒸留済みリンス液３１ｅとが供給されている。第２すすぎ槽４のリンス液３１ａはオーバーフローして第１すすぎ槽３に移動し（リンス液３１ｂ）、さらに貯槽７に回収される（リンス液３１ｃ）。
第２すすぎ槽４内の液温、および第１すすぎ槽３内の液温は、上記第１の実施形態と同様にして４０℃になっている。
【００５４】
上記第１の実施形態と同様に、搬送機構８の保持部８ａに保持された被洗浄物Ｗは、第１すすぎ槽３、第２すすぎ槽４に順次移動される。第１すすぎ槽３、第２すすぎ槽４で行われるすすぎ動作は上記第１の実施形態とまったく同様である。
それぞれにおいて、被洗浄物Ｗに付着した洗浄剤１０の非水系の溶剤は、リンス液３１の１−プロパノールに溶解して被洗浄物Ｗから除去される。
【００５５】
ここで、すすぎ工程と並行して行われる本実施形態の再生処理工程について説明する。
再生処理工程は、すすぎ工程で使用されたリンス液３１ｃを回収して蒸留し未使用のリンス液３１と同じ成分を有する再生リンス液を形成する工程である。
本工程では、上記第１の実施形態と同様に、リンス液３１ｃを回収管路９ａで回収し、蒸留器９で蒸留する。
蒸留器９では、１−プロパノールおよび水と、これらに溶解した不純物とが分離できるような温度設定によって蒸留を行う。こうして形成された蒸留済みリンス液３１ｅは、蒸留によりリンス液３１ｃ中に含まれる、濾過フィルタ２６によって取りきれない不純物も除去されており、濾過済みリンス液３１ｄに比べて清浄である。
ただし、蒸留器９から供給される蒸留済みリンス液３１ｅは共沸組成であるため、１−プロパノールの濃度は７１．５ｗｔ％になる。したがって、蒸留器９のみでは、再生リンス液を形成できない。
そこで、本実施形態では、貯槽７に設けられたインライン濃度計３２によって１−プロパノールの濃度測定を行い、この測定値に基づいて、１−プロパノールの濃度が５０．０ｗｔ％となるように、純水供給部３３から純水３４を供給する。
供給管路７ｂによって供給される濾過済みリンス液３１ｄは、第２すすぎ槽４内のリンス液３１ａを攪拌しており、これによりリンス液３１ａ、３１ｂの１−プロパノールの濃度が均一化される。このため、第２すすぎ槽４、第１すすぎ槽３内のリンス液３１の成分が、１−プロパノールと水の濃度がそれぞれ５０．０ｗｔ％となるように制御され、リンス液３１の初期と同じ成分に保たれる。
【００５６】
このように、本実施形態では、１−プロパノールの濃度が高い蒸留済みリンス液３１ｅと、濾過済みリンス液３１ｄに含まれる純水３４とが、第２すすぎ槽４内で混合されることにより、再生リンス液が形成されている。
本実施形態では、純水３４は、インライン濃度計３２の測定値に応じて自動的に供給されるため、蒸留済みリンス液３１ｅを形成した後に純水を追加して成分を調整した混合溶液を調製する工程や装置を設ける必要がない。このため、簡素な工程により、リンス液３１を再生して循環利用することができる。この結果、蒸留器９もコンパクトな構成とすることができ、洗浄システム５１の小型化、省スペース化が可能である。
【００５７】
乾燥工程は、上記第１の実施形態とまったく同様の工程である。
以上で、本実施形態の物品の洗浄方法が終了する。
【００５８】
本実施形態の物品の洗浄方法によれば、すすぎ工程においてリンス液３１を用いるため、非水系の溶剤と水を含む洗浄剤１０を用いる場合に、非水系の溶剤が、アルコールに溶解して、被洗浄物Ｗから容易に除去される。このため、非水系の溶剤が溶解しない水のみによってすすぎを行う場合に比べると、洗浄剤１０を効率的にすすぎ落とすことができる。また、すすぎに要する液量がより少なくて済むため、リンス液３１の使用量を抑制することができる。また、本実施形態では、リンス液３１を再生利用するため、最終的に排水処理すべき液量を格段に低減することができる。
このように、水のみによってすすぎを行う場合に比べて、リンス液３１の使用量が少なくて済むため、洗浄システム５１がより小型のシステムになる。
また、本実施形態では、リンス液３１は、アルコール濃度が低濃度であるため、引火するおそれがない。このため、洗浄システム５１は、リンス液３１の引火を防ぐための防火対策を施す必要がない点でも、装置構成を簡素化することができる。
【００５９】
［第３の実施形態］
次に、本発明の第３の実施形態の物品の洗浄方法について説明する。
図３は、本発明の第３の実施形態の物品の洗浄方法に用いる洗浄システムの模式的なシステム構成図である。
【００６０】
本実施形態の物品の洗浄方法は、上記第１の実施形態の物品の洗浄方法が共沸組成のリンス液を用いるとともにリンス液を再生利用するのに対して、共沸組成でないリンス液を用い、再生利用を行わない点が異なる。
以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００６１】
まず、図３を参照して、本実施形態の物品の洗浄方法を実施することができる洗浄システム６１のシステム構成について説明する。
洗浄システム６１では、上記第１の実施形態のリンス液１１に代えて、リンス液４１を用いる。
リンス液４１は、上記第１の実施形態のリンス液１１と同様、アルコールと水とを含む溶液からなり、共沸組成でない点が相違する。
本実施形態では、一例として、エタノールと水とを、それぞれ３０．０ｗｔ％、７０．０ｗｔ％の濃度となるように混合した溶液を採用している。
このような構成によれば、アルコール濃度が６０ｗｔ％未満であるため、リンス液４１は引火点が測定されない。このため、リンス液４１は、例えば消防法が定める「危険物」に該当しない。
【００６２】
洗浄システム６１の概略構成は、上記第１の実施形態の洗浄システム１の蒸留器９、回収管路９ａ、供給管路９ｂを削除し、第１すすぎ槽３、第２すすぎ槽４に代えて、第１すすぎ槽６３、第２すすぎ槽６４を備え、貯槽６８を追加したものである。
【００６３】
第１すすぎ槽６３および第２すすぎ槽６４は、いずれもリンス液４１を貯留している上方に開口した貯留槽である。被洗浄物Ｗは、これら開口をそれぞれ通して上方から出し入れすることが可能である。
第１すすぎ槽６３および第２すすぎ槽６４は、互いに隣り合うように洗浄槽２側からこの順に配置されている。
第１すすぎ槽６３（第２すすぎ槽６４）には、内部のリンス液４１に超音波振動を印加する超音波振動子２０が装着されている。このため、第１すすぎ槽６３（第２すすぎ槽６４）内のリンス液４１に浸漬された被洗浄物Ｗは超音波洗浄される。
以下では、第１すすぎ槽６３、第２すすぎ槽６４にそれぞれ貯留されているリンス液４１を互いに区別する必要がある場合には、それぞれ、リンス液４１ｂ、４１ａと称する。
【００６４】
第１すすぎ槽６３には、リンス液４１を循環させるため、上記第１の実施形態と同様、第１すすぎ槽６３の開口からオーバーフローした使用済みのリンス液４１を回収する回収管路７ａを介して貯槽７が接続されている。以下では、貯槽７に貯留されているリンス液４１を他のリンス液４１と区別する必要がある場合には、リンス液４１ｃと称する。
【００６５】
貯槽７は、上記第１の実施形態と同様、ヒータ２４を備えている。ただし、本実施形態におけるヒータ２４は、第１すすぎ槽６３におけるリンス液４１ｂの液温を適温に保つものである。本実施形態におけるヒータ２４の温度は、一例として、第１すすぎ槽６３内のリンス液４１ｂの液温が４０℃に保たれるように調整されている。
貯槽７に貯留されたリンス液４１ｃは、貯槽７と第１すすぎ槽６３との間に設けられた供給管路６７ｂを通して、第１すすぎ槽６３に戻される。
【００６６】
供給管路６７ｂ上には、貯槽７側から、上記第１の実施形態と同様のポンプ２５、濾過フィルタ２６がこの順に設けられている。
このような構成により、第１すすぎ槽６３には、濾過フィルタ２６によって濾過された濾過済みリンス液４１ｄが供給管路６７ｂを通して供給される。
また、ポンプ２５には、貯槽７内のリンス液４１ｃを排出するための排出管路６７ｃが接続されている。排出管路６７ｃには、開閉弁２７が設けられており、この開閉弁２７が開かれた場合に、貯槽７内のリンス液４１ｃが排出される。
【００６７】
第２すすぎ槽６４には、リンス液４１を循環させるため、第２すすぎ槽６４の開口からオーバーフローした使用済みのリンス液４１を回収する回収管路６８ａを介して貯槽６８が接続されている。以下では、貯槽６８に貯留されているリンス液４１を他のリンス液４１と区別する必要がある場合には、リンス液４１ｅと称する。
回収管路６８ａの中間部には、リンス液４１ｅを貯槽７に導くため、貯槽７に接続された分岐管路６８ｃが接続されている。
分岐管路６８ｃ上、および回収管路６８ａにおいて分岐管路６８ｃの接続位置よりも貯槽６８側の位置には、それぞれ開閉弁２９、２８が設けられている。
すすぎ工程が行われる間は、開閉弁２８が開かれ、開閉弁２９は閉じられている。一方、後述するように、リンス液４１ａを貯槽７に移動する際には、開閉弁２８が閉じられて開閉弁２９は開かれる。
【００６８】
貯槽６８は、ヒータ２４と同様の構成を有するヒータ３０を備えている。ヒータ３０は、第２すすぎ槽６４におけるリンス液４１ａの液温を適温に保つものである。本実施形態におけるヒータ３０の温度は、一例として、第２すすぎ槽６４内のリンス液４１ａの液温が４０℃に保たれるように調整されている。
貯槽６８に貯留されたリンス液４１ｅは、貯槽６８と第２すすぎ槽６４との間に設けられた供給管路６８ｂを通して、第２すすぎ槽６４に戻される。
【００６９】
供給管路６８ｂ上には、貯槽６８側から、ポンプ２５、濾過フィルタ２６と同様の構成を有するポンプ３１、濾過フィルタ３２がこの順に設けられている。
このような構成により、第２すすぎ槽６４には、濾過フィルタ３２によって濾過された濾過済みリンス液４１ｆが供給管路６８ｂを通して供給される。
【００７０】
次に、洗浄システム５１の動作について、洗浄システム５１を用いて行う本実施形態の物品の洗浄方法を中心に説明する。ただし、上記第１の実施形態と同様な説明は省略し、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００７１】
本実施形態の物品の洗浄方法は、洗浄工程、すすぎ工程、および乾燥工程を備える。
ここで、洗浄工程、すすぎ工程、および乾燥工程は、各被洗浄物Ｗを洗浄システム６１の洗浄槽２、第１すすぎ槽６３、第２すすぎ槽６４、乾燥槽５に順次移動して行われる。
なお、洗浄システム６１は、蒸留器等の再生処理工程を行う装置部分を有しないため、以下では、再生処理工程は行われない場合の例で説明する。ただし、洗浄システム６１とは別の設置された排水再生装置によって、オフラインで再生処理工程を行うことも可能である。
【００７２】
本実施形態の洗浄工程は、上記第１の実施形態の洗浄工程とまったく同様な工程である。
【００７３】
次に、本実施形態のすすぎ工程を行う。本工程は、リンス液４１を用いて、洗浄工程で洗浄された被洗浄物Ｗをすすぐ点が、上記第１の実施形態のすすぎ工程と異なる。
本実施形態では、第１すすぎ槽６３（第２すすぎ槽６４）には、濾過フィルタ２６（３２）によって濾過された濾過済みリンス液４１ｄ（４１ｆ）が、供給されている。
第１すすぎ槽６３（第２すすぎ槽６４）内の液温は、上記第１の実施形態と同様の４０℃になっている。
【００７４】
上記第１の実施形態と同様に、搬送機構８の保持部８ａに保持された被洗浄物Ｗは、第１すすぎ槽６３、第２すすぎ槽６４に順次移動される第１すすぎ槽６３、第２すすぎ槽６４で行われるすすぎ動作は、上記第１の実施形態における第１すすぎ槽３、第２すすぎ槽４におけるすすぎ動作とまったく同様である。
それぞれにおいて、被洗浄物Ｗに付着した洗浄剤１０の非水系溶剤は、リンス液４１のエタノールに溶解して被洗浄物Ｗから除去される。
【００７５】
第１すすぎ槽６３、第２すすぎ槽６４のリンス液４１ｂ、４１ａは、このような循環使用により、濾過フィルタ２６、３２で除去しきれない汚れ成分が蓄積する結果、すすぎ性能が徐々に劣化していく。
そこで、本実施形態では、第２すすぎ槽６４のリンス液４１ａの劣化度合いを、定期的に測定し、許容限度を超える劣化が見られた場合には、洗浄工程、およびすすぎ工程を一時停止する。劣化度合いの測定方法としては、屈折率測定を採用している。
この一時停止中に、リンス液４１ａの入れ替えを行う。その際、リンス液４１ａは、仕上げリンスとして許容限度を超えてもリンス液４１ｂ、４１ｃに比べると清浄である。このため、本実施形態では、清浄度が低いリンス液４１ｂ、４１ｃを排出し、このリンス液４１ｂ、４１ｃの代わりに、使用済みのリンス液４１ａを、第１すすぎ槽６３および貯槽７において循環するリンス液４１として再活用する。
すなわち、排出管路６７ｃの開閉弁２７を開いて貯槽７のリンス液４１ｂを排出管路６７ｃから排出し、排出終了後に開閉弁２７を閉じる。次に、開閉弁２８を閉じるとともに開閉弁２９を開くことにより、第２すすぎ槽６４内のリンス液４１ａを貯槽７内に移送する。移送終了後、開閉弁２８は開き、開閉弁２９は閉じる。
排出管路６７ｃから排出した使用済みのリンス液４１ｂ、４１ｃは、図示略の排水処理設備によって、排水処理を行う。
空になった第２すすぎ槽６４、貯槽６８には、未使用のリンス液４１を満たして、循環を開始する。
以上で、リンス液４１ａの入れ替えが終了するため、洗浄工程、すすぎ工程を再開する。
【００７６】
乾燥工程は、上記第１の実施形態とまったく同様の工程である。
以上で、本実施形態の物品の洗浄方法が終了する。
【００７７】
本実施形態の物品の洗浄方法によれば、すすぎ工程においてリンス液４１を用いるため、非水系の溶剤と水を含む洗浄剤１０を用いる場合に、非水系の溶剤が、アルコールに溶解して、被洗浄物Ｗから容易に除去される。このため、非水系の溶剤が溶解しない水のみによってすすぎを行う場合に比べると、洗浄剤１０を効率的にすすぎ落とすことができる。また、すすぎに要する液量がより少なくて済むため、リンス液４１の使用量を抑制することができる。
このように、水のみによってすすぎを行う場合に比べて、リンス液４１の使用量が少なくて済むため、洗浄システム６１がより小型のシステムになる。
また、本実施形態では、リンス液４１は、アルコール濃度が低濃度であるため、引火するおそれがない。このため、洗浄システム６１は、リンス液４１の引火を防ぐための防火対策を施す必要がない点でも、装置構成を簡素化することができる。
【００７８】
なお、上記の各実施形態の説明では、洗浄工程を行う洗浄槽が１槽、すすぎ工程を行うすすぎ槽が２槽からなる場合の例で説明したが、これは、一例であって、洗浄槽を２槽以上設けることも可能である。また、すすぎ槽を３槽以上設けることも可能である。
【００７９】
また、上記の各実施形態の説明では、すすぎ液が、一種類のアルコールを含む場合の例で説明したが、複数種類のアルコールを含む溶液を採用することも可能である。
【００８０】
また、上記第１および第２の実施形態の説明では、すすぎ槽におけるすすぎ液の循環経路として、濾過経路と再生経路とを含む場合の例で説明したが、濾過経路を省略し、再生経路のみですすぎ液を循環させることも可能である。この場合、第２すすぎ槽４に再生リンス液のみが供給されるため、清浄度が向上し、すすぎ性能をより向上することができる。
【００８１】
また、上記第１および第２の実施形態の説明では、蒸留によって、ただちに未使用のリンス液と同じ成分を有する再生リンス液を形成することができる場合の例で説明したが、蒸留によって未使用のリンス液の成分と異なる成分のリンス液を形成した後、不足した成分を追加して、再生リンス液を調製することも可能である。
【００８２】
また、上記の各実施形態の説明では、リンス液に含まれるアルコールとして、１価アルコールの場合の例で説明したが、多価アルコールを採用することも可能である。
【００８３】
また、上記の各実施形態の説明では、リンス液のアルコール濃度が、引火点測定により引火点が発現しない濃度になる場合の例で説明したが、例えば、洗浄システム内に、不活性ガスを充填する等の、周知の防火対策を施すことにより、高アルコール濃度のリンス液を使用することも可能である。
【００８４】
また、上記の各実施形態、および各変形例で説明した構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせたり、削除したりして実施することができる。
【符号の説明】
【００８５】
１、５１、６１  洗浄システム
２  洗浄槽
３、６３  第１すすぎ槽
４、６４  第２すすぎ槽
５  乾燥槽
７、６７、６８  貯槽
７ａ、９ａ、６８ａ  回収管路
７ｂ、９ｂ、６８ｂ  供給管路
８  搬送機構
９  蒸留器
１０  洗浄剤
１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、３１、３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、４１、４１ａ、４１ｂ、４１ｃ  リンス液
１１ｄ、３１ｄ、４１ｄ、４１ｆ  濾過済みリンス液
１１ｅ  蒸留済みリンス液（再生リンス液）
３１ｅ  蒸留済みリンス液
２０  超音波振動子
２１、２４、３０  ヒータ
２２、２５  ポンプ
２３、２６、３２  濾過フィルタ
３２  インライン濃度計
３３  純水供給部
３４  純水
Ｗ  被洗浄物（物品）
【図１】
2014008447.tif 000004
【図２】
2014008447.tif 000005
【図３】
2014008447.tif 000006