(57)【要約】【課題】製造コストを低減する。【解決手段】ベース部４のプローブ固定部５との対向面において支点３１から最も離間した位置からリンク部６の内周面において支点３１から最も離間した位置までの間、およびベース部４のプローブ固定部５との対向面において支点４１から最も離間した位置からリンク部７の内周面において支点４１から最も離間した位置までの間に、プローブ固定部５からベース部４に向かって凹んだ部位が存在せず、かつ、プローブ固定部５のベース部４との対向面において支点３３から最も離間した位置からリンク部６の内周面において支点３３から最も離間した位置までの間、およびプローブ固定部５のベース部４との対向面において支点４３から最も離間した位置からリンク部７の内周面において支点４３から最も離間した位置までの間に、ベース部４からプローブ固定部５に向かって凹んだ部位が存在しないように各部が一体化されている。【選択図】図１
2014215118.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ案内機構に取り付けられると共に当該プローブ案内機構によって所定の案内方向に案内されるベース部と、プローブ本体を固定可能に構成されると共に前記案内方向に沿って前記ベース部に対向配置されたプローブ固定部と、前記案内方向に直交する方向Ａに沿って形成された第１の弾性変形部を介して前記ベース部に一端が連結されると共に当該方向Ａに沿って形成された第２の弾性変形部を介して前記プローブ固定部に他端が連結された第１のリンク部と、前記案内方向に直交し前記方向Ａと交差する方向Ｂに沿って形成された第３の弾性変形部を介して前記ベース部に一端が連結されると共に当該方向Ｂに沿って形成された第４の弾性変形部を介して前記プローブ固定部に他端が連結された第２のリンク部とを備えて当該ベース部に対して当該プローブ固定部を接離動可能に構成されたコンタクトプローブ用固定具であって、
前記方向Ａに沿って見たときに、前記ベース部における前記プローブ固定部との第１の対向面において前記第１の弾性変形部から最も離間した第１の位置から前記第１のリンク部における内周面において当該第１の弾性変形部から最も離間した第２の位置までの間に当該プローブ固定部から当該ベース部に向かう第１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつ、前記プローブ固定部における前記ベース部との第２の対向面において前記第２の弾性変形部から最も離間した第３の位置から前記第１のリンク部における前記内周面の前記第２の位置までの間に当該ベース部から当該プローブ固定部に向かう第２の向きに凹んだ部位が存在しないと共に、前記方向Ｂに沿って見たときに、前記ベース部における前記第１の対向面において前記第３の弾性変形部から最も離間した第４の位置から前記第２のリンク部における内周面において当該第３の弾性変形部から最も離間した第５の位置までの間に前記第１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつ、前記プローブ固定部における前記第２の対向面において前記第４の弾性変形部から最も離間した第６の位置から前記第２のリンク部における前記内周面の前記第５の位置までの間に前記第２の向きに凹んだ部位が存在しないように、前記ベース部、前記各リンク部および前記プローブ固定部が一体化されているコンタクトプローブ用固定具。
【請求項２】
前記ベース部には、当該コンタクトプローブ用固定具を前記プローブ案内機構に取り付けるための取付用孔が形成され、
前記取付用孔は、前記方向Ａと前記方向Ｂとの間の角度範囲内に規定された方向Ｃに沿って連通形成されている請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項３】
前記第１のリンク部は、前記第１の弾性変形部を介して前記ベース部に一端が連結された第１の連結用アーム、および前記第２の弾性変形部を介して前記プローブ固定部に一端が連結された第２の連結用アームを備える共に、両端に弾性変形部が形成された第５の連結用アームおよび第５の弾性変形部のいずれかを介して前記第１の連結用アームおよび前記第２の連結用アームの他端同士が相互に連結され、
前記第２のリンク部は、前記第３の弾性変形部を介して前記ベース部に一端が連結された第３の連結用アーム、および前記第４の弾性変形部を介して前記プローブ固定部に一端が連結された第４の連結用アームを備える共に、両端に弾性変形部が形成された第６の連結用アームおよび第６の弾性変形部のいずれかを介して前記第３の連結用アームおよび前記第４の連結用アームの他端同士が相互に連結されている請求項１または２記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項４】
前記各弾性変形部は、前記各連結用アームにおける連結部位の一部が円弧状に切り欠かれた円弧切り欠き支点によって構成されている請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項５】
少なくとも表面部位が導電材料で形成され、前記プローブ固定部に前記プローブ本体を固着することによって当該プローブ本体と電気的に接続可能に構成されている請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具と、当該コンタクトプローブ用固定具における前記プローブ固定部に固定されたプローブ本体とを備えているコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ案内機構に取付け可能に構成されると共にプローブ本体を固定可能に構成されたコンタクトプローブ用固定具、およびそのようなコンタクトプローブ用固定具にプローブ本体が固定されて構成されたコンタクトプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
出願人は、この種のコンタクトプローブ用固定具を備えたコンタクトプローブ（以下、単に「固定具」および「プローブ」ともいう）を特許第４００８５９９号に開示している。この場合、図１７に示すように、出願人が開示しているプローブ１ｘ（以下、出願人が開示している「プローブ」に関する要素については、符号の末尾に「ｘ」を付して説明する）における固定具２ｘは、プローブ案内機構によって所定の案内方向に案内されるベース部４ｘと、プローブ本体３ｘを固定するためのプローブ固定部５ｘと、プローブ固定部５ｘをベース部４ｘに対して上下動可能にベース部４ｘにそれぞれ連結するリンク部６ｘ，７ｘとを備えて構成されている。
【０００３】
また、この固定具２ｘでは、リンク部６ｘにおける一端（連結用アーム１１ｘの一端）が、上記の案内方向に直交する第１の方向に沿って形成された弾性変形部（支点３１ｘ）を介してベース部４ｘに連結されると共に、リンク部６ｘにおける他端（連結用アーム１２ｘの一端）が、第１の方向に沿って形成された弾性変形部（支点３３ｘ）を介してプローブ固定部５ｘに連結され、かつ、連結用アーム１１ｘ，１２ｘの他端部同士が弾性変形部（支点３２ｘ）を介して相互に連結されている。さらに、この固定具２ｘでは、リンク部７ｘにおける一端（連結用アーム２１ｘの一端）が、上記の案内方向に直交し第１の方向と交差する第２の方向に沿って形成された弾性変形部（支点４１ｘ）を介してベース部４ｘに連結されると共に、リンク部７ｘにおける他端（連結用アーム２２ｘの一端）が、第２の方向に沿って形成された弾性変形部（支点４３ｘ）を介してプローブ固定部５ｘに連結され、かつ連結用アーム２１ｘ，２２ｘの他端部同士が弾性変形部（支点４２ｘ）を介して相互に連結されている。
【０００４】
このプローブ１ｘでは、固定具２ｘがプローブ本体３ｘの先端部３ｂｘをプローブ案内機構の案内方向に沿って上下方向に直動させるため、プロービング対象体に対して先端部３ｂｘが最初に接触させられた時点から、さらに付勢されてリンク部６ｘ，７ｘが変形した状態となるまでの間において、先端部３ｂｘが、プロービング対象体上で移動せずに最初に接触させられた位置に点的に接触させられた状態が維持される。これにより、出願人が開示しているプローブ１ｘでは、プロービング対象体に形成される接触痕を限りなく小さくすることができるため、プロービング対象体の美観や機能を損なうことなくプロービングを行うことが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４００８５９９号公報（第５−８頁、第１−４図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、このプローブ１ｘおよびその固定具２ｘには、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、このプローブ１ｘの固定具２ｘでは、リンク部６ｘ，７ｘにおける一端が、弾性変形部を介してベース部４ｘにそれぞれ連結されると共に、リンク部６ｘ，７ｘにおける他端が、弾性変形部を介してプローブ固定部５ｘにそれぞれ連結されて構成されている。この場合、上記の各弾性変形部（支点３１ｘ〜３３ｘ，４１ｘ〜４３ｘ）は、各連結用アーム１１ｘ，１２ｘ，２１ｘ，２２ｘにおける連結部位の一部を円弧状に切り欠いて構成した円弧切り欠き支点によって構成されている。具体的には、この固定具２ｘでは、各連結用アーム１１ｘ，１２ｘ，２１ｘ，２２ｘの両端部におけるリンク部６ｘ，７ｘの外周面側の一部および内周面側の一部がそれぞれ円弧状に切り欠かれて弾性変形部としての円弧切り欠き支点が形成されている。
【０００７】
したがって、この固定具２ｘでは、上記の第１の方向に沿って見たときに、リンク部６ｘにおける一端とベース部４ｘとの連結部位に上向き（プローブ固定部５ｘからベース部４ｘに向かう向き）に凹んだ凹部３１ａｘが存在すると共に、リンク部６ｘにおける他端とプローブ固定部５ｘとの連結部位に下向き（ベース部４ｘからプローブ固定部５ｘに向かう向き）に凹んだ凹部３３ａｘが存在している。また、この固定具２ｘでは、上記の第２の方向に沿って見たときに、リンク部７ｘにおける一端とベース部４ｘとの連結部位に上向きに凹んだ凹部４１ａｘが存在すると共に、リンク部７ｘにおける他端とプローブ固定部５ｘとの連結部位に下向きに凹んだ凹部４３ａｘが存在している。
【０００８】
この場合、この固定具２ｘを射出成形によって製造しようとしたときには、図１８に示すように、ベース部４ｘにおけるプローブ固定部５ｘとの対向面、リンク部６ｘ，７ｘにおける内周面、およびプローブ固定部５ｘにおけるベース部４ｘとの対向面を形成可能に横向きに突出した凸状部位Ｍａｘ（ベース部４ｘおよびプローブ固定部５ｘの間、リンク部６ｘにおける両連結用アーム１１ｘ，１２ｘの間、およびリンク部７ｘにおける両連結用アーム２１ｘ，２２ｘの間にスペースを生じさせるための凸状の部位）を有する金型Ｍｘを使用することとなる。また、上記したように、リンク部６ｘ，７ｘにおける一端とベース部４ｘとの連結部位に上向きに凹んだ凹部３１ａｘ，４１ａｘが存在し、かつ、リンク部６ｘ，７ｘにおける他端とプローブ固定部５ｘとの連結部位に下向きに凹んだ凹部３３ａｘ，４３ａｘが存在する固定具２ｘを成形するには、上記の金型Ｍｘにおける凸状部位Ｍａｘに、上向きに突出した凸部Ｍ１ａｘ、および下向きに突出した凸部Ｍ３ａｘをそれぞれ設ける必要がある。
【０００９】
したがって、上記の金型Ｍｘを用いた射出成形によって固定具２ｘを製造しようとしたときには、成形された固定具２ｘを矢印Ｃｘの向きで金型Ｍｘから離型させる際に、金型Ｍｘにおける凸状部位Ｍａｘの凸部Ｍ１ａｘが凹部３１ａｘ，４１ａｘから離脱し難く、かつ凸部Ｍ３ａｘが凹部３３ａｘ，４３ａｘから離脱し難いことに起因して、金型Ｍｘから固定具２ｘをスムーズに離型させるのが困難となるおそれがある。また、金型Ｍｘから固定具２ｘを強引に離型させた際には、支点３１ｘ，３３ｘや支点４１ｘ、４３ｘの部位において固定具２ｘが破断するおそれもある。このため、慎重な離型作業を必要とする結果、固定具２ｘの製造コストを低減するのが困難となるおそれがあるため、この点を改善するのが好ましい。
【００１０】
一方、射出成形による製造方法に代えて、例えば、樹脂材料の塊から切削加工によって固定具２ｘを製造することもできる。しかしながら、ベース部４ｘおよび連結用アーム１１ｘ，２１ｘと、プローブ固定部５ｘおよび連結用アーム１２ｘ，２２ｘとの間に凹部３１ａｘ，３３ａｘ，４１ａｘ，４３ａｘを形成するには、ベース部４ｘおよび連結用アーム１１ｘとプローブ固定部５ｘおよび連結用アーム１２ｘとの間に切削用の刃部を進入させてリンク部６ｘ用の凹部３１ａｘ，３３ａｘを形成する工程と、ベース部４ｘおよび連結用アーム２１ｘとプローブ固定部５ｘおよび連結用アーム２２ｘとの間に切削用の刃部を進入させてリンク部７ｘ用の凹部４１ａｘ，４３ａｘを形成する工程とを別個に実施する必要がある。したがって、切削加工によって固定具２ｘを製造するときには、切削用の刃部の移動制御が煩雑であり、また、加工に要する時間も長いことから、製造コストを低減するのが困難となるおそれがあるため、この点を改善するのが好ましい。
【００１１】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、製造コストの低減を図り得るコンタクトプローブ用固定具およびコンタクトプローブを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成すべく、請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具は、プローブ案内機構に取り付けられると共に当該プローブ案内機構によって所定の案内方向に案内されるベース部と、プローブ本体を固定可能に構成されると共に前記案内方向に沿って前記ベース部に対向配置されたプローブ固定部と、前記案内方向に直交する方向Ａに沿って形成された第１の弾性変形部を介して前記ベース部に一端が連結されると共に当該方向Ａに沿って形成された第２の弾性変形部を介して前記プローブ固定部に他端が連結された第１のリンク部と、前記案内方向に直交し前記方向Ａと交差する方向Ｂに沿って形成された第３の弾性変形部を介して前記ベース部に一端が連結されると共に当該方向Ｂに沿って形成された第４の弾性変形部を介して前記プローブ固定部に他端が連結された第２のリンク部とを備えて当該ベース部に対して当該プローブ固定部を接離動可能に構成されたコンタクトプローブ用固定具であって、前記方向Ａに沿って見たときに、前記ベース部における前記プローブ固定部との第１の対向面において前記第１の弾性変形部から最も離間した第１の位置から前記第１のリンク部における内周面において当該第１の弾性変形部から最も離間した第２の位置までの間に当該プローブ固定部から当該ベース部に向かう第１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつ、前記プローブ固定部における前記ベース部との第２の対向面において前記第２の弾性変形部から最も離間した第３の位置から前記第１のリンク部における前記内周面の前記第２の位置までの間に当該ベース部から当該プローブ固定部に向かう第２の向きに凹んだ部位が存在しないと共に、前記方向Ｂに沿って見たときに、前記ベース部における前記第１の対向面において前記第３の弾性変形部から最も離間した第４の位置から前記第２のリンク部における内周面において当該第３の弾性変形部から最も離間した第５の位置までの間に前記第１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつ、前記プローブ固定部における前記第２の対向面において前記第４の弾性変形部から最も離間した第６の位置から前記第２のリンク部における前記内周面の前記第５の位置までの間に前記第２の向きに凹んだ部位が存在しないように、前記ベース部、前記各リンク部および前記プローブ固定部が一体化されている。
【００１３】
また、請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具において、前記ベース部には、当該コンタクトプローブ用固定具を前記プローブ案内機構に取り付けるための取付用孔が形成され、前記取付用孔は、前記方向Ａと前記方向Ｂとの間の角度範囲内に規定された方向Ｃに沿って連通形成されている。
【００１４】
さらに、請求項３記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１または２記載のコンタクトプローブ用固定具において、前記第１のリンク部は、前記第１の弾性変形部を介して前記ベース部に一端が連結された第１の連結用アーム、および前記第２の弾性変形部を介して前記プローブ固定部に一端が連結された第２の連結用アームを備える共に、両端に弾性変形部が形成された第５の連結用アームおよび第５の弾性変形部のいずれかを介して前記第１の連結用アームおよび前記第２の連結用アームの他端同士が相互に連結され、前記第２のリンク部は、前記第３の弾性変形部を介して前記ベース部に一端が連結された第３の連結用アーム、および前記第４の弾性変形部を介して前記プローブ固定部に一端が連結された第４の連結用アームを備える共に、両端に弾性変形部が形成された第６の連結用アームおよび第６の弾性変形部のいずれかを介して前記第３の連結用アームおよび前記第４の連結用アームの他端同士が相互に連結されている。
【００１５】
また、請求項４記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具において、前記各弾性変形部は、前記各連結用アームにおける連結部位の一部が円弧状に切り欠かれた円弧切り欠き支点によって構成されている。
【００１６】
さらに、請求項５記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具において、少なくとも表面部位が導電材料で形成され、前記プローブ固定部に前記プローブ本体を固着することによって当該プローブ本体と電気的に接続可能に構成されている。
【００１７】
また、請求項６記載のコンタクトプローブは、請求項１から５のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具と、当該コンタクトプローブ用固定具における前記プローブ固定部に固定されたプローブ本体とを備えている。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具では、ベース部における第１の対向面の第１の位置から第１のリンク部における内周面の第２の位置までの間、および第１の対向面の第４の位置から第２のリンク部における内周面の第５の位置までの間に第１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつプローブ固定部における第２の対向面の第３の位置から上記の第２の位置までの間、および第２の対向面の第６の位置から上記の第５の位置までの間に第２の向きに凹んだ部位が存在しないように、ベース部、各リンク部およびプローブ固定部が一体化されている。また、請求項６記載のコンタクトプローブでは、上記のコンタクトプローブ用固定具とプローブ本体とを備えている。
【００１９】
したがって、請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具、および請求項６記載のコンタクトプローブによれば、射出成形によってコンタクトプローブ用固定具を製造する際には、ベース部の第１の対向面、両リンク部の内周面、およびプローブ固定部の第２の対向面を形成するための凸状部位に、プローブ固定部からベース部に向かう向きで突出する凸部や、ベース部からプローブ固定部に向かう向きで突出する凸部が存在しない金型を使用することができるため、金型からコンタクトプローブ用固定具を容易に離型させることができると共に、切削加工によってコンタクトプローブ用固定具を製造する際には、切削対象の樹脂材料の塊に対して一方から刃部を差し入れるだけでベース部の第１の対向面、両リンク部の内周面、およびプローブ固定部の第２の対向面を削り出すことができる。したがって、いずれの製法に従ってコンタクトプローブ用固定具を製造する場合においても、その製造コストを十分に低減することができる。これにより、コンタクトプローブの製造コストを十分に低減することができる。
【００２０】
また、請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、コンタクトプローブ用固定具をプローブ案内機構に取り付けるための取付用孔を、方向Ａと方向Ｂとの間の角度範囲内に規定された方向Ｃに沿ってベース部に連通形成したことにより、射出成形によってコンタクトプローブ用固定具を製造する際に、取付用孔を形成するために金型に設けた凸部が金型からコンタクトプローブ用固定具を離型させる妨げとなる事態を招くことなく、射出成形時に取付用孔をベース部に形成することができる。これにより、コンタクトプローブ用固定具の製造コストを一層低減することができる。
【００２１】
さらに、請求項３記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、第１の弾性変形部を介してベース部に一端が連結された第１の連結用アーム、および第２の弾性変形部を介してプローブ固定部に一端が連結された第２の連結用アームを備える共に、両端に弾性変形部が形成された第５の連結用アームおよび第５の弾性変形部のいずれかを介して第１の連結用アームおよび第２の連結用アームの他端同士を相互に連結して第１のリンク部を構成し、かつ、第３の弾性変形部を介してベース部に一端が連結された第３の連結用アーム、および第４の弾性変形部を介してプローブ固定部に一端が連結された第４の連結用アームを備える共に、両端に弾性変形部が形成された第６の連結用アームおよび第６の弾性変形部のいずれかを介して第３の連結用アームおよび第４の連結用アームの他端同士を相互に連結して第２のリンク部を構成したことにより、比較的簡易な構成の両リンク部によってプローブ固定部をベース部に対して平行状態を維持しつつ直動させることができる。
【００２２】
また、請求項４記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、各連結用アームにおける連結部位の一部が円弧状に切り欠かれた円弧切り欠き支点によって各弾性変形部を構成したことにより、円弧切り欠き支点の切り欠き度合を適宜変更することにより、その弾性変形量および弾性力を任意の大きさに調整することができるため、用途に応じた付勢力でプローブ本体をプロービング対象に付勢し得るコンタクトプローブ用固定具を容易に設計・製造することができる。
【００２３】
さらに、請求項５記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、少なくとも表面部位を導電材料で形成し、プローブ固定部にプローブ本体を固着することによってプローブ本体と電気的に接続可能に構成したことにより、プローブ本体に通電用の配線を直接接続する作業が不要となる結果、プローブ案内機構に対するコンタクトプローブの着脱作業を短時間で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態に係るプローブ１の外観斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るプローブ１の他の外観斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るプローブ１の平面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るプローブ１の底面図である。
【図５】非プロービング状態におけるプローブ１のリンク部６近傍の側面図である。
【図６】非プロービング状態におけるプローブ１のリンク部７近傍の側面図である。
【図７】固定具２、および固定具２を製造するための金型Ｍの側面図である。
【図８】固定具２、および固定具２を製造するための金型Ｍの他の側面図である。
【図９】非プロービング状態におけるプローブ１の側面図である。
【図１０】プロービング状態におけるプローブ１の側面図である。
【図１１】他の実施の形態に係るプローブ１Ａの平面図である。
【図１２】プロービング状態におけるプローブ１の側面図である。
【図１３】非プロービング状態におけるプローブ１の側面図である。
【図１４】非プロービング状態におけるプローブ１Ｂの側面図である。
【図１５】非プロービング状態におけるプローブ１Ｃの側面図である。
【図１６】非プロービング状態におけるプローブ１Ｄの側面図である。
【図１７】出願人が開示しているプローブ１ｘ（固定具２ｘ）の側面図である。
【図１８】出願人が開示しているプローブ１ｘにおける固定具２ｘ、および固定具２ｘを製造するための金型Ｍｘの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブ用固定具およびコンタクトプローブの実施の形態について説明する。
【００２６】
図１〜４に示すプローブ１は、「コンタクトプローブ」の一例であって、「コンタクトプローブ用固定具」に相当する固定具２と、固定具２に取り付けられたプローブ本体３とを備えると共に、図示しないプローブ案内機構に取り付け可能に構成されている。固定具２は、ベース部４、プローブ固定部５およびリンク部６，７を備えている。この場合、本例の固定具２では、ベース部４、プローブ固定部５およびリンク部６，７が、一例として、導電性樹脂材料（例えば、導電性金属の微粉末を混練したエポキシ樹脂）を用いた射出成形によって一体的に形成されている（「表面部位だけでなく、コンタクトプローブ用固定具の全体を導電材料で形成した構成」の例）。
【００２７】
ベース部４は、「ベース部」の一例であって、プローブ案内機構に取り付けるためのネジ（図示せず）を挿通可能な取付用孔Ｈが形成されている。また、プローブ固定部５は、「プローブ固定部」の一例であって、プローブ本体３を固定するためのスリットＳが形成されると共に、プローブ案内機構による案内方向に沿ってベース部４に対向配置されている。
【００２８】
この場合、本例の固定具２では、プローブ固定部５のスリットＳにプローブ本体３における基端部３ａを圧入することによってプローブ本体３およびプローブ固定部５（固定具２）が一体化されて互いに電気的に接続された状態となる構成が採用されている。また、プローブ１（固定具２）を取り付けるプローブ案内機構におけるプローブ取付部（図示せず）が導電性金属材料で形成されているため、本例のプローブ１（固定具２）では、上記の取付用孔Ｈ，Ｈを挿通させたネジをプローブ案内機構におけるプローブ取付部のネジ孔にねじ込むことにより、プローブ本体３およびプローブ案内機構が固定具２および取付け用のネジを介して相互に電気的に接続された状態となる。
【００２９】
リンク部６は、「第１のリンク部」の一例であって、全体として、側面視Ｕ字状に形成されると共に、一端がベース部４に連結され、かつ他端がプローブ固定部５に連結されている。この場合、図１，２に示すように、リンク部６は、支点３１を介してベース部４に一端が連結された連結用アーム１１と、支点３３を介してプローブ固定部５に一端が連結された連結用アーム１２とを備えると共に、支点３２を介して連結用アーム１１，１２の他端同士が相互に連結されている。なお、本例のプローブ１（固定具２）では、支点３１が「第１の弾性変形部」に相当し、支点３３が「第２の弾性変形部」に相当し、かつ支点３２が「第５の弾性変形部」に相当すると共に、連結用アーム１１が「第１の連結用アーム」に相当し、かつ連結用アーム１２が「第２の連結用アーム」に相当する。
【００３０】
この場合、各支点３１〜３３は、図３，４に示すように、プローブ案内機構による案内方向（図１，２における上下方向）に直交する方向（両図において矢印Ａで示す方向：「方向Ａ」の一例）に沿って形成された円弧切り欠き支点でそれぞれ構成されている。具体的には、本例のプローブ１（固定具２）では、図５に示すように、連結用アーム１１の両端部におけるリンク部６の外周側部位の一部、および連結用アーム１２の両端部におけるリンク部６の外周側部位の一部が円弧状に切り欠かれて「円弧切り欠き支点」としての支点３１〜３３が形成されている。
【００３１】
また、本例のプローブ１（固定具２）では、上記の「方向Ａ（図３，４において矢印Ａで示す方向）」に沿って見たときに、ベース部４におけるプローブ固定部５との対向面Ｆ４（「第１の対向面」の一例）において支点３１から最も離間した位置Ｐ１（「第１の位置」の一例）から、リンク部６における内周面Ｆ１において支点３１から最も離間した位置Ｐ２（「第２の位置」の一例）までの間に、プローブ固定部５からベース部４に向かう矢印Ｇ１の向き（「第１の向き」の一例）に凹んだ部位が存在しないように、一例として、上記の位置Ｐ１から、連結用アーム１１における中間部位の位置Ｐ１２までの間が「案内方向」に対して直交する平面状となるように固定具２が形成されている。
【００３２】
さらに、本例のプローブ１（固定具２）では、上記の「方向Ａ」に沿って見たときに、プローブ固定部５におけるベース部４との対向面Ｆ５（「第２の対向面」の一例）において支点３３から最も離間した位置Ｐ３（「第３の位置」の一例）から上記の位置Ｐ２までの間に、ベース部４からプローブ固定部５に向かう矢印Ｇ２の向き（「第２の向き」の一例）に凹んだ部位が存在しないように、一例として、上記の位置Ｐ３から、連結用アーム１２における中間部位の位置Ｐ３２までの間が「案内方向」に対して直交する平面状となるように固定具２が形成されている。
【００３３】
リンク部７は、「第２のリンク部」の一例であって、リンク部６と同様にして、全体として、側面視Ｕ字状に形成されると共に、一端がベース部４に連結され、かつ他端がプローブ固定部５に連結されている。この場合、リンク部７は、支点４１を介してベース部４に一端が連結された連結用アーム２１と、支点４３を介してプローブ固定部５に一端が連結された連結用アーム２２とを備えると共に、支点４２を介して連結用アーム２１，２２の他端同士が相互に連結されている。なお、本例のプローブ１（固定具２）では、支点４１が「第３の弾性変形部」に相当し、支点４３が「第４の弾性変形部」に相当し、かつ支点４２が「第６の弾性変形部」に相当すると共に、連結用アーム２１が「第３の連結用アーム」に相当し、かつ連結用アーム２２が「第４の連結用アーム」に相当する。
【００３４】
この場合、各支点４１〜４３は、図３，４に示すように、プローブ案内機構による案内方向に直交し、かつ上記の「方向Ａ」と交差する方向（この例では、矢印Ａの方向に対して直交する矢印Ｂで示す方向：「方向Ｂ」の一例）に沿って形成された円弧切り欠き支点でそれぞれ構成されている。具体的には、  本例のプローブ１（固定具２）では、図６に示すように、連結用アーム２１の両端部におけるリンク部７の外周側部位の一部、および連結用アーム２２の両端部におけるリンク部７の外周側部位の一部が円弧状に切り欠かれて「円弧切り欠き支点」としての支点４１〜４３が形成されている。
【００３５】
また、本例のプローブ１（固定具２）では、上記の「方向Ｂ（図３，４において矢印Ｂで示す方向）」に沿って見たときに、ベース部４におけるプローブ固定部５との対向面Ｆ４において支点４１から最も離間した位置Ｐ４（「第４の位置」の一例）から、リンク部７における内周面Ｆ２において支点４１から最も離間した位置Ｐ５（「第５の位置」の一例）までの間に、プローブ固定部５からベース部４に向かう矢印Ｇ１の向きに凹んだ部位が存在しないように、一例として、上記の位置Ｐ４から、連結用アーム２１における中間部位の位置Ｐ４５までの間が「案内方向」に対して直交する平面状となるように固定具２が形成されている。
【００３６】
さらに、本例のプローブ１（固定具２）では、上記の「方向Ｂ」に沿って見たときに、プローブ固定部５におけるベース部４との対向面Ｆ５において支点４３から最も離間した位置Ｐ６（「第６の位置」の一例）から上記の位置Ｐ５までの間に、ベース部４からプローブ固定部５に向かう矢印Ｇ２の向きに凹んだ部位が存在しないように、一例として、上記の位置Ｐ６から、連結用アーム２２における中間部位の位置Ｐ６５までの間が「案内方向」に対して直交する平面状となるように固定具２が形成されている。
【００３７】
なお、本例のプローブ１（固定具２）では、図３，４に示すように、前述した取付用孔Ｈが、「方向Ａ（矢印Ａで示す方向）」と「方向Ｂ（矢印Ｂで示す方向）」との間の角度範囲内（両図における角度θの範囲内：一例として、方向Ａと方向Ｂとの中間の角度）に規定された方向（「方向Ｃ」の一例である矢印Ｃの方向）に沿ってベース部４に連通形成されている。また、本例のプローブ１（固定具２）では、前述したスリットＳも、「方向Ａ（矢印Ａで示す方向）」と「方向Ｂ（矢印Ｂで示す方向）」との間の角度範囲内（両図における角度θの範囲内）に規定された方向（「方向Ｃ」の一例である矢印Ｃの方向）に沿ってプローブ固定部５に形成されている。
【００３８】
このプローブ１の製造に際しては、まず、一例として、射出成形処理によって固定具２を製造する。この場合、前述したように、本例のプローブ１における固定具２では、ベース部４の対向面Ｆ４における位置Ｐ１からリンク部６の内周面Ｆ１における位置Ｐ２までの間、およびベース部４の対向面Ｆ４における位置Ｐ４からリンク部７の内周面Ｆ２における位置Ｐ５までの間に、プローブ固定部５からベース部４に向かう矢印Ｇ１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつプローブ固定部５の対向面Ｆ５における位置Ｐ３から上記の位置Ｐ２までの間、およびプローブ固定部５の対向面Ｆ５における位置Ｐ６から上記の位置Ｐ５までの間に、ベース部４からプローブ固定部５に向かう矢印Ｇ２の向きに凹んだ部位が存在しないように、ベース部４、プローブ固定部５およびリンク部６，７が一体的に形成される。
【００３９】
したがって、図７，８に示すように、本例の固定具２を成形するための金型Ｍでは、ベース部４の対向面Ｆ４、リンク部６の内周面Ｆ１、リンク部７の内周面Ｆ２、およびプローブ固定部５の対向面Ｆ５を形成するための凸状部位Ｍａ（出願人が開示している固定具２ｘを製造するための金型Ｍｘにおける凸状部位Ｍａｘに対応する部位）に、スリットＳを形成するための凸部Ｍｓが設けられているものの、その他には、矢印Ｇ１の向きに突出した凸部や、矢印Ｇ２の向きに突出した凸部が存在していない。また、スリットＳを形成するための凸部Ｍｓは、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との間の角度範囲内に規定された「方向Ｃ」（本例では、図３，４に示す矢印Ｃの方向）に沿って設けられている。このため、この金型Ｍを用いた射出成形によって固定具２を成形した後に、図７，８に示す矢印Ｃの向きで金型Ｍから固定具２をスムーズに離型させることが可能となっている。
【００４０】
この場合、両図では、取付用孔Ｈを形成するために金型Ｍに設けられた凸部を図示していないが、この取付用孔Ｈを形成するための凸部は、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との間の角度範囲内に規定された「方向Ｃ」（本例では、図３，４に示す矢印Ｃの方向）に沿って設けられている。したがって、上記したように、矢印Ｃの向きで金型Ｍから固定具２を離型させる際に、ベース部４に取付用孔Ｈを形成するための凸部が離型の妨げとなる事態が回避されている。これにより、固定具２の製造が完了する。
【００４１】
なお、射出成形によって固定具２を製造する例について説明したが、例えば、導電性樹脂材料の塊から切削加工によって固定具２を製造することもできる。この場合、本例の固定具２では、前述したように、位置Ｐ１から位置Ｐ２までの間、および位置Ｐ４から位置Ｐ５までの間に、矢印Ｇ１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつ位置Ｐ３から位置Ｐ２までの間、および位置Ｐ６から位置Ｐ５までの間に、矢印Ｇ２の向きに凹んだ部位が存在していない。したがって、樹脂の塊に対して、例えば、上記の矢印Ｃの向きと同じ向きで切削用の刃部を差し入れるだけで、ベース部４の対向面Ｆ４、リンク部６，７の内周面Ｆ１，Ｆ２、およびプローブ固定部５の対向面Ｆ５を削り出すことができる。
【００４２】
次いで、固定具２にプローブ本体３を取り付ける。具体的には、図１〜４に示すように、平面視においてプローブ本体３がリンク部６，７の間に位置するようにプローブ本体３の基端部３ａを固定具２のプローブ固定部５におけるスリットＳに圧入する。これにより、固定具２およびプローブ本体３が一体化されて互いに電気的に接続された状態となり、プローブ１が完成する。
【００４３】
このプローブ１を用いたプロービングに際しては、まず、ベース部４の取付用孔Ｈ，Ｈを挿通させたネジを、プローブ案内機構におけるプローブ取付部に形成されているネジ孔にねじ込むことにより、プローブ案内機構にプローブ１（固定具２）を取り付ける。この際に、固定具２が導電性樹脂材料で形成されている本例のプローブ１では、プローブ案内機構（プローブ取付部）にプローブ１（固定具２）を取り付けるだけで、固定具２およびネジを介してプローブ本体３がプローブ案内機構（プローブ取付部）に対して電気的に接続された状態となる。したがって、プローブ本体３とプローブ案内機構とを信号線等を介して電気的に接続する作業が不要となっている分だけ、プローブ案内機構にプローブ１を迅速かつ容易に着脱することが可能となっている。
【００４４】
また、プロービングに際しては、図９に示すように、プローブ案内機構が、プローブ本体３の先端部３ｂをプロービング対象Ｘにおけるプロービング位置の上方に位置させた状態において、矢印Ｇの向き（「案内方向」の一例）でベース部４（固定具２）を移動させる。この際には、固定具２の移動に伴い、固定具２に取り付けられているプローブ本体３が固定具２と共にプロービング対象Ｘに向かって移動させられて先端部３ｂがプロービング対象Ｘに接触させられる。次いで、プローブ案内機構がベース部４を矢印Ｇの向きにさらに移動させると、図１０に示すように、リンク部６の支点３１〜３３、およびリンク部７の支点４１〜４３（同図では、リンク部７の図示を省略している）がそれぞれ弾性変形する。
【００４５】
この際には、プローブ固定部５における連結用アーム１２との連結部位が、ベース部４における連結用アーム１１との連結部位に対して平行、かつ相対的に上動すると共に、プローブ固定部５における連結用アーム２２との連結部位が、ベース部４における連結用アーム２１との連結部位に対して平行、かつ相対的に上動する。このため、プローブ固定部５は、ベース部４に対して平行状態を維持しつつ相対的に上方に直動する。したがって、プローブ固定部５に固定されているプローブ本体３の先端部３ｂも、プローブ案内機構の案内方向に沿ってベース部４に対して相対的に直動する。
【００４６】
この後、例えば、回路基板における回路パターンの断線や短絡などを検査する場合には、固定具２およびプローブ本体３を介してプローブ本体３の先端部３ｂからプロービング対象Ｘに電圧または電流を供給すると共に、図示しない他のプローブ１（プローブ本体３）を介して電圧または電流を入力することにより、予め規定された電気的パラメータを測定する。これにより、測定結果と、判定用基準値とに基づき、回路パターンの断線などを検査することができる。
【００４７】
このように、この固定具２では、ベース部４における対向面Ｆ４の位置Ｐ１からリンク部６における内周面Ｆ１の位置Ｐ２までの間、および対向面Ｆ４の位置Ｐ４からリンク部７における内周面Ｆ２の位置Ｐ５までの間に「第１の向き」に凹んだ部位が存在せず、かつ、プローブ固定部５における対向面Ｆ５の位置Ｐ３から内周面Ｆ１の位置Ｐ２までの間、および対向面Ｆ５の位置Ｐ６から内周面Ｆ２の位置Ｐ５までの間に「第２の向き」に凹んだ部位が存在しないように、ベース部４、両リンク部６，７およびプローブ固定部５が一体化されている。また、このプローブ１では、上記の固定具２とプローブ本体３とを備えている。
【００４８】
したがって、この固定具２およびプローブ１によれば、射出成形によって固定具２を製造する際には、ベース部４の対向面Ｆ４、リンク部６，７の内周面Ｆ１，Ｆ２、およびプローブ固定部５の対向面Ｆ５を形成するための凸状部位Ｍａに、プローブ固定部５からベース部４に向かう矢印Ｇ１の向きで突出する凸部や、ベース部４からプローブ固定部５に向かう矢印Ｇ２の向きで突出する凸部が存在しない金型Ｍを使用することができるため、金型Ｍから固定具２を容易に離型させることができると共に、切削加工によって固定具２を製造する際には、切削対象の樹脂材料の塊に対して一方から刃部を差し入れるだけでベース部４の対向面Ｆ４、リンク部６，７の内周面Ｆ１，Ｆ２、およびプローブ固定部５の対向面Ｆ５を削り出すことができる。したがって、いずれの製法に従って固定具２を製造する場合においても、その製造コストを十分に低減することができる。これにより、プローブ１の製造コストを十分に低減することができる。
【００４９】
また、この固定具２およびプローブ１によれば、固定具２をプローブ案内機構に取り付けるための取付用孔Ｈを、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との間の角度範囲内に規定された「方向Ｃ」に沿ってベース部４に連通形成したことにより、射出成形によって固定具２を製造する際に、取付用孔Ｈを形成するために金型Ｍに設けた凸部が金型Ｍから固定具２を離型させる妨げとなる事態を招くことなく、射出成形時に取付用孔Ｈをベース部４に形成することができる。これにより、固定具２の製造コストを一層低減することができる。
【００５０】
さらに、この固定具２およびプローブ１によれば、支点３１を介してベース部４に一端が連結された連結用アーム１１、および支点３３を介してプローブ固定部５に一端が連結された連結用アーム１２を備える共に、支点３２を介して両連結用アーム１１，１２の他端同士を相互に連結してリンク部６を構成し、かつ、支点４１を介してベース部４に一端が連結された連結用アーム２１、および支点４３を介してプローブ固定部５に一端が連結された連結用アーム２２を備える共に、支点４２を介して両連結用アーム２１，２２の他端同士を相互に連結してリンク部７を構成したことにより、比較的簡易な構成のリンク部６，７によってプローブ固定部５をベース部４に対して平行状態を維持しつつ直動させることができる。
【００５１】
また、この固定具２およびプローブ１によれば、各連結用アーム１１，１２，２１，２２における連結部位の一部が円弧状に切り欠かれた円弧切り欠き支点によって「弾性変形部」としての支点３１〜３３，４１〜４３を構成したことにより、円弧切り欠き支点３１〜３３，４１〜４３の切り欠き度合を適宜変更することにより、その弾性変形量および弾性力を任意の大きさに調整することができるため、用途に応じた付勢力でプローブ本体３をプロービング対象Ｘに付勢し得る固定具２を容易に設計・製造することができる。
【００５２】
さらに、この固定具２およびプローブ１によれば、少なくとも表面部位（本例では、全体）を導電材料で形成し、プローブ固定部５のスリットＳにプローブ本体３を固着することによってプローブ本体３と電気的に接続可能に構成したことにより、プローブ本体３に通電用の配線を直接接続する作業が不要となる結果、プローブ案内機構に対するプローブ１の着脱作業を短時間で実施することができる。
【００５３】
なお、本発明に係る「コンタクトプローブ用固定具」および「コンタクトプローブ」の構成は、上記の固定具２およびプローブ１の構成に限定されない。例えば、導電性樹脂材料によって成形した固定具２を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、ＡＢＳ樹脂等の非導電性樹脂材料を用いた射出成形によってベース部４、プローブ固定部５およびリンク部６，７を一体的に形成した後に、その表面にニッケル等で導体膜を成膜することによって固定具２の表面部位だけを導電材料で形成する構成を採用することもできる（「表面部位だけを導電材料で形成した構成」の例）。このような構成を採用した場合においても、上記の固定具２と同様にして、プローブ本体３に通電用の配線を直接接続する作業を不要とすることができる。
【００５４】
また、平面視において「方向Ａ」と「方向Ｂ」とが直交するように各支点３１〜３３，４１〜４３を形成した固定具２（プローブ１）を例に挙げて説明したが、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との交差角度を直角以外の任意の角度に規定して各「弾性変形部」を形成することができる。このような構成においても、上記の固定具２と同様にして、「ベース部」に対して「プローブ固定部」を直動させることができる。
【００５５】
具体的には、一例として、図１１に示すプローブ１Ａの固定具２Ａでは、リンク部６における各支点３１〜３３を形成すべき「方向Ａ」の他の一例である矢印Ａａの方向と、リンク部７における各支点４１〜４３を形成すべき「方向Ｂ」の他の一例である矢印Ｂａの方向とが交差する角度θａが直角よりも小さな角度（一例として、７０度）となるようにベース部４ａ、プローブ固定部５ａおよびリンク部６，７が一体的に形成されている。なお、同図に示すプローブ１Ａや、後に説明するプローブ１Ｂ〜１Ｄ（図１４〜１６）において上記のプローブ１と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００５６】
この場合、前述したプローブ１などによるプロービングに際して、例えば支点３１に対して支点３３が矢印Ｄａ（図３，４参照）の向きに変位するようなリンク部６の変形をリンク部７によって阻止すると共に、支点４１に対して支点４３が矢印Ｄｂ（図３，４参照）の向きに変位するようなリンク部７の変形をリンク部６によって阻止することで、ベース部４に対してプローブ固定部５を好適に直動させるには、平面視において、ベース部４およびプローブ固定部５に対してリンク部６を延出させる方向（矢印Ｄａの方向）と、ベース部４およびプローブ固定部５に対してリンク部７を延出させる方向（矢印Ｄｂの方向）との交差角度を直角とするのが好ましい。したがって、前述したプローブ１のように、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との交差角度が直角となるように支点３１，３３，４１，４３を形成することにより、ベース部４に対してプローブ固定部５を好適に直動させることが可能となる。
【００５７】
しかしながら、本例のプローブ１では、プローブ固定部５においてリンク部６との連結部位やリンク部７との連結部位から最も離間した部位にプローブ本体３を固定するためのスリットＳが設けられている。したがって、図１２に示すように、プロービングに際してプローブ本体３がプロービング対象Ｘに接触させられた状態から、プローブ案内機構によってベース部４が矢印Ｇ２の向きにさらに移動させられたときに、プローブ固定部５（スリットＳの形成部位）にプローブ本体３を介して同図に示す矢印Ｇ１の向きの力が加わることに起因して、同図に破線で示すように、プローブ固定部５におけるリンク部６，７との連結部位（支点３１，４１の形成部位）に対して、プローブ本体３が固定されている部位（スリットＳの形成部位）が矢印Ｇ１の向きで変位するようにしてプローブ固定部５に極く小さな傾きが生じるおそれがある。
【００５８】
また、この種のプローブ１を用いたプロービングに際しては、複数のプロービングポイントに対して短時間でプロービングを実施するために、プローブ案内機構がプローブ１を高速移動させる。したがって、プロービングに際してプローブ案内機構がプローブ１を矢印Ｇ１，Ｇ２の向きで高速に移動させたときには、図１３に示すように、プローブ固定部５やプローブ本体３に加わる加速度の大きさに比例して、一点鎖線または二点鎖線で示すように、プローブ固定部５におけるリンク部６，７との連結部位（支点３１，４１の形成部位）に対して、プローブ本体３が固定されている部位（スリットＳの形成部位）が矢印Ｇ２，Ｇ１の向きで変位するようにしてプローブ固定部５に極く小さな傾きが生じるおそれがある。
【００５９】
上記のようなプローブ固定部５の傾きが生じるような状態においては、プロービング対象Ｘ上でプローブ本体３の先端部３ｂが移動してプロービング対象Ｘに線状の接触跡が形成されるおそれがある。したがって、プローブ固定部５に傾きが生じるおそれがあるとき（大きな付勢力でプローブ本体３の先端部３ｂをプロービング対象Ｘにプロービングさせる必要があるときや、プローブ１等を高速に移動させるプロービングを行う必要があるときなど）には、ベース部４およびプローブ固定部５からリンク部６やリンク部７を延出させる向きを最適化してプローブ固定部５の傾きを阻止するのが好ましい。
【００６０】
この場合、ベース部４およびプローブ固定部５からリンク部６を延出させる向き（前述した矢印Ｄａの向き）と、ベース部４およびプローブ固定部５からリンク部７を延出させる向き（前述した矢印Ｄｂの向き）との交差角度を１８０未満の大きな角度とする（ベース部４およびプローブ固定部５に対してリンク部６，７を相反する方向に延出させる）ことにより、プロービング時にプローブ固定部５に生じる上記のような傾きを最も好適に回避することが可能となる。しかしながら、そのような構成を採用した場合には、例えば支点３１に対して支点３３が矢印Ｄａの向きに変位するようなリンク部６の変形や、支点４１に対して支点４３が矢印Ｄｂの向きに変位するようなリンク部７の変形を阻止するのが困難となり、結果として、ベース部４に対してプローブ固定部５を直動させるのが困難となる。
【００６１】
したがって、出願人は、リンク部６，７の延出方向が相違する各種のプローブを製作して検証したところ、ベース部４に対してプローブ固定部５を好適に直動させつつ、上記のようなプローブ固定部５の傾きを好適に回避するためには、図１１に示すプローブ１Ａにおける固定具２Ａのように、ベース部４ａおよびプローブ固定部５ａからリンク部６を延出させる向き（矢印Ｄａの向き）と、ベース部４ａおよびプローブ固定部５ａからリンク部７を延出させる向き（矢印Ｄｂの向き）とが交差する角度θａを、９０度よりも大きくかつ１１０度以下の範囲内とするのが好ましいことを見出した。このような固定具２Ａ（プローブ１Ａ）を製造するには、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との交差角度（同図における角度θａ）を、７０度以上９０度未満の角度範囲内とすればよい。これにより、プローブ１Ａ（固定具２Ａ）では、ベース部４ａに対してプローブ固定部５ａを好適に直動させつつ、プローブ固定部５ａに傾きが生じる事態を好適に回避することが可能となっている。
【００６２】
また、「第１の弾性変形部」に相当する支点３１、「第２の弾性変形部」に相当する支点３３、「第３の弾性変形部」に相当する支点４１、および「第４の弾性変形部」に相当する支点４３だけでなく、「第５の弾性変形部」に相当する支点３２、および「第６の弾性変形部」に相当する支点４２についても、リンク部６，７の内周面側を切り欠くことなく、リンク部６，７の外周面側の一部を円弧状に切り欠いて形成した構成の固定具２，２Ａ（プローブ１，１Ａ）を例に挙げて説明したが、「コンタクトプローブ用固定具」および「コンタクトプローブ」の構成はこれに限定されない。
【００６３】
例えば、図１４に示すプローブ１Ｂにおける固定具２Ｂのように、「第５の弾性変形部」の他の一例である支点３２ｂについても、リンク部６ｂ（「第１のリンク部」の他の一例）における外周面側の一部、および内周面側の一部をそれぞれ円弧状に切り欠いて形成することもできる。なお、図示を省略するが、固定具２Ｂ（プローブ１Ｂ）では、一例として、「第６の弾性変形部」についても、「第２のリンク部」における外周面側の一部、および内周面側の一部がそれぞれ円弧状に切り欠かれて形成されている。このような構成を採用した場合においても、前述したプローブ１の固定具２と同様にして、射出成形によって固定具２Ｂを製造する際には、固定具２Ｂを金型から容易に離型させることができ、切削加工によって固定具２Ｂを製造する際には、固定具２Ｂを容易に製造することができる。
【００６４】
さらに、連結用アーム１１，１２が支点３２を介して相互に連結されてリンク部６が構成されると共に、連結用アーム２１，２２が支点４２を介して相互に連結されてリンク部７が構成された固定具２，２Ａ等を例に挙げて説明したが、図１５に示すプローブ１Ｃにおける固定具２Ｃのように、３本の「連結用アーム」を備えてリンク部６ｃ（「第１のリンク部」のさらに他の一例）を構成すると共に、３本の「連結用アーム」を備えて「第２のリンク部」を構成する（図示せず）こともできる。この場合、この固定具２Ｃにおけるリンク部６ｃでは、「第１の連結用アーム」に相当する連結用アーム１１ｃと、「第２の連結用アーム」に相当する連結用アーム１２ｃとが、その両端に支点３４，３５（「弾性変形部」の一例）が形成された連結用アーム１３（「第５の連結用アーム」の一例）を介して相互に連結されている。なお、図示を省略するが、固定具２Ｃでは、一例として、「第２のリンク部」についても、上記のリンク部６ｃと同様に構成されている。このような構成を採用した場合においても、前述した固定具２等と同様にして、ベース部４に対してプローブ固定部５を好適に直動させることができる。
【００６５】
また、位置Ｐ１から位置Ｐ２までの間、および位置Ｐ４から位置Ｐ５までの間に、矢印Ｇ１の向きに凹んだ部位が存在せず、かつ位置Ｐ３から位置Ｐ２までの間、および位置Ｐ６から位置Ｐ５までの間に、矢印Ｇ２の向きに凹んだ部位が存在しないように、位置Ｐ１から位置Ｐ１２までの間、位置Ｐ４から位置Ｐ４５までの間、位置Ｐ３から位置Ｐ３２までの間、および位置Ｐ６から位置Ｐ６５までの間、を「案内方向」に対して直交する平面状となるように形成した固定具２等例に挙げて説明したが、「コンタクトプローブ用固定具」の構成はこれに限定されない。
【００６６】
具体的には、「ベース部における第１の対向面の第１の位置」から「第１のリンク部における内周面の第２の位置」までの間、および「ベース部における第１の対向面の第４の位置」から「第２のリンク部における内周面の第５の位置」までの間に「第１の向き」に凹んだ部位が存在せず、かつ、「プローブ固定部における第２の対向面の第３の位置」から「第２の位置」までの間、および「プローブ固定部における第２の対向面の第６の位置」から「第５の位置」までの間に「第２の向き」に凹んだ部位が存在しないとの条件と満たしている限り、図１６に示すプローブ１Ｄにおける固定具２Ｄのように、ベース部４ｄ（「ベース部」の他の一例）におけるプローブ固定部５ｄ（「プローブ固定部」の他の一例）との対向面Ｆ４ｄ（「第１の対向面」の他の一例）の一部、リンク部６ｄ（「第１のリンク部」の他の一例）の内周面Ｆ１ｄの一部、「第２のリンク部」の内周面の一部（図示せず）、およびプローブ固定部５ｄにおけるベース部４ｄとの対向面Ｆ５ｄ（「第２の対向面」の他の一例）の一部を「案内方向」に対して交差する斜面で構成することもできる。
【００６７】
さらに、「第１のリンク部」および「第２のリンク部」の２つによって「ベース部」および「プローブ固定部」を連結して構成した「コンタクトプローブ用固定具」を例に挙げて説明したが、「第１のリンク部」および「第２のリンク部」に加えて、これらのリンク部と同様に構成した「第３のリンク部」を設けて３つのリンク部によって「ベース部」および「プローブ固定部」を連結する構成を採用することもできる。加えて、「弾性変形部」として「円弧切り欠き支点」を採用した例について説明したが、双曲線切り欠き支点や楕円切り欠き支点などで「弾性変形部」を形成して「コンタクトプローブ用固定具」を構成してもよい。
【符号の説明】
【００６８】
１，１Ａ〜１Ｄ  プローブ
２，２Ａ〜２Ｄ  固定具
３  プローブ本体
４，４ａ，４ｄ  ベース部
５，５ａ，５ｄ  プローブ固定部
６，６ｂ〜６ｄ，７  リンク部
１１，１１ｃ，１２，１２ｃ，１３，２１，２２  連結用アーム
３１〜３５，３２ｂ，４１〜４３  支点
Ｆ１，Ｆ１ｄ，Ｆ２  内周面
Ｆ４，Ｆ４ｄ，Ｆ５，Ｆ５ｄ  対向面
Ｈ  取付用孔
Ｍ  金型
Ｍａ  凸状部位
Ｍｓ  凸部
Ｐ１〜Ｐ６，Ｐ１２，Ｐ３２，Ｐ４５，Ｐ６５  位置
Ｓ  スリット
Ｘ  プロービング対象
θ，θａ  角度
【図１】
2014215118.tif 000003
【図２】
2014215118.tif 000004
【図３】
2014215118.tif 000005
【図４】
2014215118.tif 000006
【図５】
2014215118.tif 000007
【図６】
2014215118.tif 000008
【図７】
2014215118.tif 000009
【図８】
2014215118.tif 000010
【図９】
2014215118.tif 000011
【図１０】
2014215118.tif 000012
【図１１】
2014215118.tif 000013
【図１２】
2014215118.tif 000014
【図１３】
2014215118.tif 000015
【図１４】
2014215118.tif 000016
【図１５】
2014215118.tif 000017
【図１６】
2014215118.tif 000018
【図１７】
2014215118.tif 000019
【図１８】
2014215118.tif 000020