(57)【要約】【課題】  ロータリースイッチ及び試験測定装置に関し、複数の切替え用リレーを一個のロータリースイッチで代替して、試験測定装置の構成を簡素化する。【解決手段】  電気的な制御により回転角の制御が可能なモータと、前記モータの回転軸に取り付けられた接触子と、前記接触子と電気的に接続するコモン接点と、前記接触子と接触可能になるように前記回転軸を中心とする同心円上に配置されるとともに、複数の端子に電気的に個別に接続する複数の個別接点と、前記複数の端子に電気的に個別に接続するとともに、前記接触子に同時に電気的に接続可能な位置に配置された複数の集合接点とを設ける。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的な制御により回転角の制御が可能なモータと、
前記モータの回転軸に取り付けられた接触子と、
前記接触子と電気的に接続するコモン接点と、
前記接触子と接触可能になるように前記回転軸を中心とする同心円上に配置されるとともに、複数の端子に電気的に個別に接続する複数の個別接点と、
前記複数の端子に電気的に個別に接続するとともに、前記接触子に同時に電気的に接続可能な位置に配置された複数の集合接点とを有し、
前記コモン接点と前記個別接点及び前記集合接点との間の電気的接続を前記接触子の回転により行うことを特徴とするロータリースイッチ。
【請求項２】
前記接触子が１本の直線状接触子であり、
全ての前記集合接点を、前記接触子の延在方向に一直線上に配置したことを特徴とする請求項１に記載のロータリースイッチ。
【請求項３】
前記複数の集合接点が、前記回転軸を中心とする同心円上に配置されるとともに、
前記接触子が、１本の個別接点接触用接触子と
前記複数の集合接点と同じ数の直線状の集合接点接触用接触子と
を有することを特徴とする請求項１に記載のロータリースイッチ。
【請求項４】
前記複数の集合接点が、前記回転軸を中心とする同心円上に配置されるとともに、
前記接触子が、１本の個別接点接触用接触子と
前記複数の集合接点と同時に接触可能な扇状の集合接点接触用接触子と
を有することを特徴とする請求項１に記載のロータリースイッチ。
【請求項５】
被測定用の半導体装置を取り付ける複数のソケット部と、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のロータリースイッチとを搭載した測定用治工具と、
前記測定用治工具に搭載したロータリースイッチに制御信号を印加する電源装置を有するテスターと
を備えたことを特徴とする試験測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロータリースイッチ及びロータリースイッチを搭載した試験測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の電気的測定では、複数個の半導体装置を同時に測定する手法が確立されており、試験測定装置に搭載されている一つの電源ユニットから、同時に測定する複数個の半導体装置へと電源供給を行う回路構成を用いている。
【０００３】
また、測定の内容は多数存在しており、大きく大別して、個別に測定する内容と同時に測定する内容の２つに分別される。従来においては、試験測定装置と半導体装置との間の電気的な接続状態の切替えを行うために切替え用のリレーを用いて、個別接続と同時接続の切替え制御を行っていた。
【０００４】
図１３は、従来の試験測定装置に用いるリレーの説明図である。コイル端子Ｄ-Ｃ間に電流を流す時にコイル５１に発生する磁界を用いてバネ（図示は省略）により付勢されている接点５２を引き寄せて端子Ａ-Ｂ間を電気的に導通させ、コイル端子Ｄ-Ｃ間の電流をオフにすると、端子Ａ-Ｂ間もオフになる。
【０００５】
図１４は、従来の試験測定装置の一例の構成説明図である。半導体装置（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）６３１〜６３ｎを取り付けるソケット部６２、リレー６４１〜６４ｎ及びリレーＯＮ-ＯＦＦ制御回路６５を搭載した測定用治工具６１を用いて、ＬＳＩテスター６６と半導体装置６３１〜６３ｎとを接続する。この時、リレーＯＮ-ＯＦＦ制御回路６５によりリレー６４１〜６４ｎを個々に制御することでＬＳＩテスター６６に備えられている電源装置６７と各半導体装置６３１〜６３ｎとの接続状態を切替えて測定を行っていた。リレーＯＮ-ＯＦＦ制御回路６５は、個別に1個のリレーのみをＯＮするケースと、全てのリレーを同時にＯＮケースがあり、図は、８個の半導体装置６３１〜６３ｎを同時に測定する構成例を示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９-２８１８１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
全体の測定時間の短縮のために、同時に測定する半導体装置の数を増加すると、接続回路に用いるリレーの数が増加することとなり、電気的測定用治工具が巨大化するという問題がある。限られた容積の中で電気的測定を行う場合に、このような電気的測定用治工具の大きさが制限事項となってしまい同時に測定できる半導体装置の数の拡大の妨げになってしまう。
【０００８】
また、切替え用リレーの搭載数の数だけ切替えリレーのＯＮ-ＯＦＦの制御を行う電気的な信号が必要なり、制御信号数の増加と複雑化が起こるという問題もある。
【０００９】
したがって、複数の切替え用リレーを一個で代替することのできる新型のロータリースイッチを提供することで、試験測定装置の構成を簡素化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
開示する一観点からは、電気的な制御により回転角の制御が可能なモータと、前記モータの回転軸に取り付けられた接触子と、前記接触子と電気的に接続するコモン接点と、前記接触子と接触可能になるように前記回転軸を中心とする同心円上に配置されるとともに、複数の端子に電気的に個別に接続する複数の個別接点と、前記複数の端子に電気的に個別に接続するとともに、前記接触子に同時に電気的に接続可能な位置に配置された複数の集合接点とを有し、前記コモン接点と前記個別接点及び前記集合接点との間の電気的接続を前記接触子の回転により行うことを特徴とするロータリースイッチが提供される。
【００１１】
また、開示する別の観点からは、被測定用の半導体装置を取り付ける複数のソケット部と、上述のロータリースイッチとを搭載した測定用治工具と、前記測定用治工具に搭載したロータリースイッチに制御信号を印加する電源装置を有するテスターとを備えたことを特徴とする試験測定装置が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
開示のロータリースイッチ及び試験測定装置によれば、複数の切替え用リレーを一個のロータリースイッチで代替することができ、延いては、試験測定装置の構成の簡素化が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態の試験測定装置の説明図である。
【図２】集合接点を直線上に配置した場合のロータリースイッチの接触状態の説明図である。
【図３】集合接点を同心円上に配置した場合のロータリースイッチの接触状態の説明図である。
【図４】本発明の実施例１のロータリースイッチの接点と接触子の説明図である。
【図５】本発明の実施例２のロータリースイッチの接点と接触子の説明図である。
【図６】本発明の実施例３のロータリースイッチの接点と接触子の説明図である。
【図７】本発明の実施例４のロータリースイッチの接点と接触子の説明図である。
【図８】本発明の実施例５のロータリースイッチの接点と接触子の説明図である。
【図９】本発明の実施例６のロータリースイッチの接点と接触子の説明図である。
【図１０】本発明の実施例７のロータリースイッチの接点と接触子の説明図である。
【図１１】本発明の実施例８のロータリースイッチの接点と接触子の説明図である。
【図１２】本発明の実施例９のロータリースイッチの接点と接触子の説明図である。
【図１３】従来の試験測定装置に用いるリレーの説明図である。
【図１４】従来の試験測定装置の一例の構成説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
ここで、図１乃至図３を参照して、本発明の実施の形態のロータリースイッチ及び試験測定装置を説明する。図１は、本発明の実施の形態の試験測定装置の説明図であり、図１（ａ）は、概念的構成図であり、図１（ｂ）は、ロータリースイッチの概念的斜視図である。図１（ａ）に示すように、試験測定装置は、複数の半導体装置３を取り付けるソケット部２と、ロータリースイッチ１０を搭載した測定用治工具１と、ロータリースイッチ１０に制御信号を印加する電源装置５を内蔵したテスター４を備えている。
【００１５】
図１（ｂ）に示すように、ロータリースイッチ１０は、制御信号により電気的に回転角の制御が可能なモータ１１と、複数の端子１３を備えた本体部１２を有している。モータ１１の回転軸には接触子（１７）が取り付けられており、回転ブラシ等を介して本体部１２に設けられたコモン接点（１４）と電気的に接触している。なお、制御信号により電気的に回転角の制御が可能なモータ１１としては、パルスモータ、サーボモータ或いはステップモータを用いる。
【００１６】
また、複数の端子１３には、端子１３と同数の個別接点（１５）と同数の集合接点（１６）とが電気的に接続されており、接触子（１７）の回転により、個別接点（１５）に対する接触と集合接点（１６）に対する接触とが切替えられる。
【００１７】
図２は、集合接点を直線上に配置した場合のロータリースイッチの接触状態の説明図であり、図２（ａ）は個別接点への接触時の説明図であり、図２（ｂ）は集合接点への接触時の説明図である。個別接点１５1〜１５ｎはモータ（１１）の回転軸を中心とする同心円上に配置され、集合接点１６１〜１６ｎは直線上に配置される。接触子１７は、長い直線状の接触子である。ここでは、ｎ＝８の場合を示しているが、ｎの値は任意であり、１６でも、２４でも３２或いは、それ以上でも良い。なお、図における符号１３ｃは、コモン接点１４に接続するコモン端子である。
【００１８】
図２（ａ）に示すように、個別接点１５１〜１５ｎに接触させる場合には、テスターからのパルス信号によりモータにより接触子１７の回転角を制御して、例えば、所定の個別接点１５７に接触させる。一方、図２（ｂ）に示すように、集合接点１６１〜１６ｎに接触させる場合には、接触子１７を集合接点１６１〜１６ｎの配列した位置に移動させて接触を取る。なお、図においては、集合接点１６１〜１６ｎを回転軸を始点として一方向に配列させているが、回転軸を中心とするように直線上に配置しても良い。この場合には、接触子１７の回転軸が中心部になるようにモータ（１１）の回転軸に取り付ければ良い。
【００１９】
図３は、集合接点を同心円上に配置した場合のロータリースイッチの接触状態の説明図であり、図３（ａ）は個別接点への接触時の説明図であり、図３（ｂ）は集合接点への接触時の説明図である。個別接点１５1〜１５ｎをモータ（１１）の回転軸を中心とする同心円上に配置するとともに、集合接点１６１〜１６ｎも同じ同心円上に配置する。なお、ここでも、ｎ＝８の場合を示しているが、ｎの値は任意であり、１６でも、２４でも３２或いは、それ以上でも良い。
【００２０】
接触子は、個別接点１５１〜１５ｎに接触するための一本の個別接点接触用接触子１８と集合接点１６１〜１６ｎに接触するためのｎ本の集合接点接触用接触子１９１〜１９ｎとを有しており、両方の接触子はモータにより回転角が制御される。
【００２１】
図３（ａ）に示すように、個別接点１５１〜１５ｎに接触させる場合には、図２（ａ）の場合と同様に、モータにより個別接点接触用接触子１８の回転角を制御して、例えば、所定の個別接点１５７に接触させる。一方、図３（ｂ）に示すように、集合接点１６１〜１６ｎに接触させる場合には、ｎ本の集合接点接触用接触子１９１〜１９ｎの回転角を制御して集合接点接触用接触子１９１〜１９ｎをそれぞれ対応する集合接点１６１〜１６ｎに接触させる。
【００２２】
なお、集合接点接触用接触子は扇状の接触子でも良く、ｎ本に分岐している必要はない。また、後述の実施例に示すように、接触子１７の回転動作をスムーズにするためにバランス部材を設けても良い。ｎ本の集合接点接触用接触子１９を用いる場合には、ｎ本の集合接点接触用接触子１９１〜１９ｎのそれぞれに対して、回転軸に対して点対称の位置に擬似接触子を設ければ良い。
【００２３】
また、扇状の集合接点接触用接触子を用いる場合には、扇状の集合接点接触用接触子に対して、回転軸に対して点対称の位置に扇状の擬似接触子を設ければ良い。或いは、円板状のバランス部材を設けても良く、この場合には、個別接点接触用接触子及び集合接点接触用接触子が円板状のバランス部材の外周から突出するように設ければ良い。
【００２４】
このように、本発明の実施の形態においては、個別接点とは別に集合接点を設けているので、ＤＵＴである半導体装置の個別試験と一括全体試験の切替えを一つのロータリースイッチによって行うことができる。その結果、半導体装置に対応する数の切替え用リレーもこの切替え用リレーを制御する切替えリレーＯＮ−ＯＦＦ制御回路も不要になるので、試験測定装置の小型化・簡素化が可能になる。
【実施例１】
【００２５】
次に、図４を参照して、本発明の実施例１のロータリースイッチを説明する。図４は本発明の実施例１のロータリースイッチの接点と接触子の説明図であり、図４（ａ）は個別接点に接触した状態の説明図であり、図４（ｂ）は集合接点に接触した状態の説明図である。なお、ここでは、端子の数を８個とし、したがって、個別接点及び集合接点の数も８個として説明する。
【００２６】
図に示すように、８個の個別接点２３１〜２３８を回転軸、即ち、コモン接点２２を中心とする半径が１０ｍｍの半円周上に配置するとともに、集合接点２４１〜２４８をコモン接点２２から伸びる直線上に配置する。これらの個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８は、それぞれ端子２１１〜２１８に配線により電気的に接続されている。また、コモン接点２２はコモン端子２１ｃに配線により電気的に接続されている。なお、コモン接点２２、個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８の直径は、１．３ｍｍで、金メッキ製とする。また、接触子３１は、幅（直径）が２．０ｍｍで長さが１６ｍｍの直線状の接触子であり、モータの回転軸に取り付けられ、コモン接点２２とは回転ブラシを介して電気的に接続されている。
【００２７】
図４（ａ）に示すように、個々の半導体装置を個別に試験測定する場合には、接触子３１を所定角度回転させて所定の個別接点、ここでは個別接点２３７に接触させる。一方、全ての半導体装置を一括して同時に試験測定する場合には、図４（ｂ）に示すように、接触子３１を集合接点２４１〜２４８の配列方向に重なる位置に回転させて全ての集合接点２４１〜２４８と接触させる。
【００２８】
このように、本発明の実施例１においては、集合接点を直線上に配列させているので接触子の構造を単純な直線状の接触子とすることで、２モード型ロータリースイッチを実現することができる。また、この２モード型ロータリースイッチを測定用治工具に搭載することにより試験測定装置の小型化・簡素化が可能になる。
【実施例２】
【００２９】
次に、図５を参照して、本発明の実施例２のロータリースイッチを説明する。図５は本発明の実施例２のロータリースイッチの接点と接触子の説明図であり、図５（ａ）は個別接点に接触した状態の説明図であり、図５（ｂ）は集合接点に接触した状態の説明図である。なお、ここでも、端子の数を８個とし、したがって、個別接点及び集合接点の数も８個として説明する。
【００３０】
図に示すように、８個の個別接点２３１〜２３８を回転軸、即ち、コモン接点２２を中心とする半径が１０ｍｍの半円周上に配置するとともに、集合接点２４１〜２４８をコモン接点２２を中心として両側に伸びる直線上に配置する。これらの個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８は、それぞれ端子２１１〜２１８に配線により電気的に接続されている。また、コモン接点２２はコモン端子２１ｃに配線により電気的に接続されている。なお、コモン接点２２、個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８の直径は、１．３ｍｍで、金メッキ製とする。また、接触子３１は、幅（直径）が２．０ｍｍで長さが２２ｍｍの直線状の接触子であり、接触子３１の中心位置をモータの回転軸に取り付け、コモン接点２２とは回転ブラシを介して電気的に接続されている。
【００３１】
図５（ａ）に示すように、個々の半導体装置を個別に試験測定する場合には、接触子３１を所定角度回転させて所定の個別接点、ここでも個別接点２３７に接触させる。一方、全ての半導体装置を一括して同時に試験測定する場合には、図５（ｂ）に示すように、接触子３１を集合接点２４１〜２４８の配列方向に重なる位置に回転させて全ての集合接点２４１〜２４８と接触させる。
【００３２】
このように、本発明の実施例２においては、集合接点をコモン接点を中心として両側に伸びる直線上に配列させているのでロータリースイッチの平面面積を上記の実施例１より小さくすることができる。また、この２モード型ロータリースイッチを測定用治工具に搭載することにより試験測定装置の小型化・簡素化が可能になる。
【実施例３】
【００３３】
次に、図６を参照して、本発明の実施例３のロータリースイッチを説明する。図６は本発明の実施例３のロータリースイッチの接点と接触子の説明図であり、図６（ａ）は個別接点に接触した状態の説明図であり、図６（ｂ）は集合接点に接触した状態の説明図である。なお、ここでも、端子の数を８個とし、したがって、個別接点及び集合接点の数も８個として説明する。
【００３４】
図に示すように、８個の個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８を回転軸、即ち、コモン接点２２を中心とする半径が１０ｍｍの半円周上に配置する。これらの個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８は、それぞれ端子２１１〜２１８に配線により電気的に接続されている。また、コモン接点２２はコモン端子２１ｃに配線により電気的に接続されている。なお、コモン接点２２、個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８の直径は、１．３ｍｍで、金メッキ製とする。
【００３５】
また、接触子は、幅（直径）が２．０ｍｍで長さが１１ｍｍの直線状の個別接点接触用接触子３２と、８本の幅（直径）が２．０ｍｍで長さが１１ｍｍの直線状の集合接点接触用接触子３３１〜３３８とからなり、それぞれの中心位置をモータの回転軸に取り付け、コモン接点２２とは回転ブラシを介して電気的に接続されている。
【００３６】
図６（ａ）に示すように、個々の半導体装置を個別に試験測定する場合には、接触子３２を所定角度回転させて所定の個別接点、ここでは個別接点２３１に接触させる。一方、全ての半導体装置を一括して同時に試験測定する場合には、図６（ｂ）に示すように、集合接点接触用接触子３３１〜３３８をそれぞれの集合接点２４１〜２４８に対応する角度に回転させて全ての集合接点２４１〜２４８と接触させる。
【００３７】
このように、本発明の実施例３においては、個別接点及び集合接点をコモン接点を中心として同じ円周上に配列させているので、集合接点及び個別接点を同じ形状、状態で構成でき、接触子との接触圧をより等しくすることができる。また、この場合も、この２モード型ロータリースイッチを測定用治工具に搭載することにより試験測定装置の小型化・簡素化が可能になる。
【実施例４】
【００３８】
次に、図７を参照して、本発明の実施例４のロータリースイッチを説明する。図７は本発明の実施例４のロータリースイッチの接点と接触子の説明図であり、図７（ａ）は個別接点に接触した状態の説明図であり、図７（ｂ）は集合接点に接触した状態の説明図である。なお、ここでも、端子の数を８個とし、したがって、個別接点及び集合接点の数も８個として説明する。
【００３９】
図に示すように、８個の個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８を回転軸、即ち、コモン接点２２を中心とする半径が１０ｍｍの半円周上に配置する。これらの個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８は、それぞれ端子２１１〜２１８に配線により電気的に接続されている。また、コモン接点２２はコモン端子２１ｃに配線により電気的に接続されている。なお、コモン接点２２、個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８の直径は、１．３ｍｍで、金メッキ製とする。
【００４０】
また、接触子は、幅（直径）が２．０ｍｍで長さが１１ｍｍの直線状の個別接点接触用接触子３２と、厚さが０．５ｍｍで中心角が８０°で半径が１１ｍｍの扇状の集合接点接触用接触子３４とからなる。それぞれの中心位置をモータの回転軸に取り付け、コモン接点２２とは回転ブラシを介して電気的に接続されている。
【００４１】
図７（ａ）に示すように、個々の半導体装置を個別に試験測定する場合には、接触子３２を所定角度回転させて所定の個別接点、ここでも個別接点２３１に接触させる。一方、全ての半導体装置を一括して同時に試験測定する場合には、図７（ｂ）に示すように、集合接点接触用接触子３４を全ての集合接点２４１〜２４８と接触する位置まで回転させて全ての集合接点２４１〜２４８と接触させる。
【００４２】
このように、本発明の実施例４においては、個別接点及び集合接点をコモン接点を中心として同じ円周上に配列させているので、集合接点及び個別接点を同じ形状、状態で構成でき、接触子との接続を容易にすることができる。また、この場合も、この２モード型ロータリースイッチを測定用治工具に搭載することにより試験測定装置の小型化・簡素化が可能になる。
【実施例５】
【００４３】
次に、図８を参照して、本発明の実施例５のロータリースイッチを説明する。図８は本発明の実施例５のロータリースイッチの接点と接触子の説明図であり、図８（ａ）は個別接点に接触した状態の説明図であり、図８（ｂ）は集合接点に接触した状態の説明図である。なお、ここでも、端子の数を８個とし、したがって、個別接点及び集合接点の数も８個として説明する。
【００４４】
図に示すように、８個の個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８を回転軸、即ち、コモン接点２２を中心とする半径が１０ｍｍの半円周上に配置する。これらの個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８は、それぞれ端子２１１〜２１８に配線により電気的に接続されている。また、コモン接点２２はコモン端子２１ｃに配線により電気的に接続されている。なお、コモン接点２２、個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８の直径は、１．３ｍｍで、金メッキ製とする。
【００４５】
また、接触子は、幅（直径）が２．０ｍｍで長さが１１ｍｍの直線状の個別接点接触用接触子３２と、８本の幅（直径）が２．０ｍｍで長さが１１ｍｍの直線状の集合接点接触用接触子３３１〜３３８とからなり、それぞれの中心位置をモータの回転軸に取り付け、コモン接点２２とは回転ブラシを介して電気的に接続されている。
【００４６】
また、個別接点接触用接触子３２及び集合接点接触用接触子３３１〜３３８には、回転軸に対して点対称な方向に、個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８に接触しない長さ、例えば、９ｍｍの長さの擬似接触子３５０〜３５８が設けられている。なお、擬似接触子３５０〜３５８の幅（直径）及び素材は、個別接点接触用接触子３２及び集合接点接触用接触子３３１〜３３８と同じである。
【００４７】
図８（ａ）に示すように、個々の半導体装置を個別に試験測定する場合には、接触子３２を所定角度回転させて所定の個別接点、ここでも個別接点２３１に接触させる。一方、全ての半導体装置を一括して同時に試験測定する場合には、図８（ｂ）に示すように、集合接点接触用接触子３３１〜３３８をそれぞれの集合接点２４１〜２４８に対応する角度に回転させて全ての集合接点２４１〜２４８と接触させる。
【００４８】
このように、本発明の実施例５においては、個別接点及び集合接点をコモン接点を中心として同じ円周上に配列させているので、集合接点及び個別接点を同じ形状、状態で構成でき、接触子との接触圧をより等しくすることができる。また、各接触子に回転軸に対して点対称な位置に擬似接触子を設けているので、回転の安定性を高めることができる。
【実施例６】
【００４９】
次に、図９を参照して、本発明の実施例６のロータリースイッチを説明する。図９は本発明の実施例６のロータリースイッチの接点と接触子の説明図であり、図９（ａ）は個別接点に接触した状態の説明図であり、図９（ｂ）は集合接点に接触した状態の説明図である。なお、ここでも、端子の数を８個とし、したがって、個別接点及び集合接点の数も８個として説明する。
【００５０】
図に示すように、８個の個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８を回転軸、即ち、コモン接点２２を中心とする半径が１０ｍｍの半円周上に配置する。これらの個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８は、それぞれ端子２１１〜２１８に配線により電気的に接続されている。また、コモン接点２２はコモン端子２１ｃに配線により電気的に接続されている。なお、コモン接点２２、個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８の直径は、１．３ｍｍで、金メッキ製とする。
【００５１】
また、接触子は、幅（直径）が２．０ｍｍで長さが１１ｍｍの直線状の個別接点接触用接触子３２と、厚さが０．５ｍｍで中心角が８０°で半径が１１ｍｍの扇状の集合接点接触用接触子３４とからなる。それぞれの中心位置をモータの回転軸に取り付け、コモン接点２２とは回転ブラシを介して電気的に接続されている。また、個扇状の集合接点接触用接触子３４には、回転軸に対して点対称な方向に、厚さが０．５ｍｍで中心角が８０°で半径が９ｍｍの扇状の擬似接触子３６が設けられている。
【００５２】
図９（ａ）に示すように、個々の半導体装置を個別に試験測定する場合には、接触子３２を所定角度回転させて所定の個別接点、ここでも個別接点２３１に接触させる。一方、全ての半導体装置を一括して同時に試験測定する場合には、図９（ｂ）に示すように、集合接点接触用接触子３４を全ての集合接点２４１〜２４８と接触する位置まで回転させて全ての集合接点２４１〜２４８と接触させる。
【００５３】
このように、本発明の実施例６においては、個別接点及び集合接点をコモン接点を中心として同じ円周上に配列させているので、集合接点及び個別接点を同じ形状、状態で構成でき、接触子との接続を容易にすることができる。また、集合接点接触用接触子に回転軸に対して点対称な位置に擬似接触子を設けているので、回転の安定性を高めることができる。
【実施例７】
【００５４】
次に、図１０を参照して、本発明の実施例７のロータリースイッチを説明する。図１０は本発明の実施例７のロータリースイッチの接点と接触子の説明図であり、図１０（ａ）は個別接点に接触した状態の説明図であり、図１０（ｂ）は集合接点に接触した状態の説明図である。なお、ここでも、端子の数を８個とし、したがって、個別接点及び集合接点の数も８個として説明する。
【００５５】
図に示すように、８個の個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８を回転軸、即ち、コモン接点２２を中心とする半径が１０ｍｍの半円周上に配置する。これらの個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８は、それぞれ端子２１１〜２１８に配線により電気的に接続されている。また、コモン接点２２はコモン端子２１ｃに配線により電気的に接続されている。なお、コモン接点２２、個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８の直径は、１．３ｍｍで、金メッキ製とする。
【００５６】
また、接触子は、幅（直径）が２．０ｍｍで長さが１１ｍｍの直線状の個別接点接触用接触子３２と、８本の幅（直径）が２．０ｍｍで長さが１１ｍｍの直線状の集合接点接触用接触子３３１〜３３８とからなり、それぞれの中心位置をモータの回転軸に取り付け、コモン接点２２とは回転ブラシを介して電気的に接続されている。
【００５７】
また、個別接点接触用接触子３２及び集合接点接触用接触子３３１〜３３８には、回転軸に対して点対称な方向に、個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８に接触しない長さ、例えば、９ｍｍの長さの擬似接触子３５０〜３５８が設けられている。なお、擬似接触子３５０〜３５８の幅（直径）及び素材は、個別接点接触用接触子３２及び集合接点接触用接触子３３１〜３３８と同じである。
【００５８】
さらに、個別接点接触用接触子３２、集合接点接続用接触子３３１〜３３８及び擬似接触子３５０〜３５８の配置されていない位置に、擬似接触子３５０〜３５８と同じ構成のバランス部材３７を擬似接触子３５０〜３５８とほぼ同じ密度に配置する。
【００５９】
図１０（ａ）に示すように、個々の半導体装置を個別に試験測定する場合には、接触子３２を所定角度回転させて所定の個別接点、ここでも個別接点２３１に接触させる。一方、全ての半導体装置を一括して同時に試験測定する場合には、図１０（ｂ）に示すように、集合接点接触用接触子３３１〜３３８をそれぞれの集合接点２４１〜２４８に対応する角度に回転させて全ての集合接点２４１〜２４８と接触させる。
【００６０】
このように、本発明の実施例７においては、個別接点及び集合接点をコモン接点を中心として同じ円周上に配列させているので、集合接点及び個別接点を同じ形状、状態で構成でき、接触子との接触圧をより等しくすることができる。また、各接触子に回転軸に対して点対称な位置に擬似接触子を設けるとともに、バランス部材を設けているので、回転の安定性をさらに高めることができる。
【実施例８】
【００６１】
次に、図１１を参照して、本発明の実施例８のロータリースイッチを説明する。図１１は本発明の実施例１０のロータリースイッチの接点と接触子の説明図であり、図１１（ａ）は個別接点に接触した状態の説明図であり、図１１（ｂ）は集合接点に接触した状態の説明図である。なお、ここでも、端子の数を８個とし、したがって、個別接点及び集合接点の数も８個として説明する。
【００６２】
図に示すように、８個の個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８を回転軸、即ち、コモン接点２２を中心とする半径が１０ｍｍの半円周上に配置する。これらの個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８は、それぞれ端子２１１〜２１８に配線により電気的に接続されている。また、コモン接点２２はコモン端子２１ｃに配線により電気的に接続されている。なお、コモン接点２２、個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８の直径は、１．３ｍｍで、金メッキ製とする。
【００６３】
また、ここでは、厚さが０．５ｍｍで半径が９ｍｍの円板状のバランス部材３８を設ける。このバランス部材３８の外周から突出するように幅（直径）が２．０ｍｍで回転軸からの長さが１１ｍｍの直線状の個別接点接触用接触子３２１と、８本の幅（直径）が２．０ｍｍで回転軸からの長さが１１ｍｍの直線状の集合接点接触用接触子３９１〜３９８とを設ける。それぞれの中心位置をモータの回転軸に取り付け、コモン接点２２とは回転ブラシを介して電気的に接続されている。
【００６４】
図１１（ａ）に示すように、個々の半導体装置を個別に試験測定する場合には、接触子３２１を所定角度回転させて所定の個別接点、ここでも個別接点２３１に接触させる。一方、全ての半導体装置を一括して同時に試験測定する場合には、図１１（ｂ）に示すように、集合接点接触用接触子３９１〜３９８を全ての集合接点２４１〜２４８と接触する位置まで回転させて全ての集合接点２４１〜２４８と接触させる。
【００６５】
このように、本発明の実施例８においては、個別接点及び集合接点をコモン接点を中心として同じ円周上に配列させているので、集合接点及び個別接点を同じ形状、状態で構成でき、接触子との接続を容易にすることができる。また、円板状のバランス部材を設けているので、回転の安定性を高めることができる。
【実施例９】
【００６６】
次に、図１２を参照して、本発明の実施例９のロータリースイッチを説明する。図１２は本発明の実施例１０のロータリースイッチの接点と接触子の説明図であり、図１２（ａ）は個別接点に接触した状態の説明図であり、図１２（ｂ）は集合接点に接触した状態の説明図である。なお、ここでも、端子の数を８個とし、したがって、個別接点及び集合接点の数も８個として説明する。
【００６７】
図に示すように、８個の個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８を回転軸、即ち、コモン接点２２を中心とする半径が１０ｍｍの半円周上に配置する。これらの個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８は、それぞれ端子２１１〜２１８に配線により電気的に接続されている。また、コモン接点２２はコモン端子２１ｃに配線により電気的に接続されている。なお、コモン接点２２、個別接点２３１〜２３８及び集合接点２４１〜２４８の直径は、１．３ｍｍで、金メッキ製とする。
【００６８】
また、ここでは、厚さが０．５ｍｍで半径が９ｍｍの円板状のバランス部材３８を設ける。このバランス部材３８の外周から突出するように幅（直径）が２．０ｍｍで回転軸からの長さが１１ｍｍの直線状の個別接点接触用接触子３２１と、厚さが０．５ｍｍで中心角が８０°で回転軸からの半径が１１ｍｍの弧状の集合接点接触用接触子３４１とを設ける。それぞれの中心位置をモータの回転軸に取り付け、コモン接点２２とは回転ブラシを介して電気的に接続されている。
【００６９】
図１２（ａ）に示すように、個々の半導体装置を個別に試験測定する場合には、接触子３２１を所定角度回転させて所定の個別接点、ここでも個別接点２３１に接触させる。一方、全ての半導体装置を一括して同時に試験測定する場合には、図１１（ｂ）に示すように、集合接点接触用接触子３４１を全ての集合接点２４１〜２４８と接触する位置まで回転させて全ての集合接点２４１〜２４８と接触させる。
【００７０】
このように、本発明の実施例９においては、個別接点及び集合接点をコモン接点を中心として同じ円周上に配列させているので、集合接点及び個別接点を同じ形状、状態で構成でき、接触子との接続を容易にすることができる。また、円板状のバランス部材を設けているので、回転の安定性を高めることができる。
【００７１】
ここで、実施例１乃至実施例９を含む本発明の実施の形態に関して、以下の付記を付す。
（付記１）電気的な制御により回転角の制御が可能なモータと、前記モータの回転軸に取り付けられた接触子と、前記接触子と電気的に接続するコモン接点と、前記接触子と接触可能になるように前記回転軸を中心とする同心円上に配置されるとともに、複数の端子に電気的に個別に接続する複数の個別接点と、前記複数の端子に電気的に個別に接続するとともに、前記接触子に同時に電気的に接続可能な位置に配置された複数の集合接点とを有し、
前記コモン接点と前記個別接点及び前記集合接点との間の電気的接続を前記接触子の回転により行うことを特徴とするロータリースイッチ。
（付記２）前記接触子が１本の直線状接触子であり、全ての前記集合接点を、前記接触子の延在方向に一直線上に配置したことを特徴とする付記１に記載のロータリースイッチ。
（付記３）前記接触子の回転軸が、前記接触子の端部或いは中心のいずれかにあることを特徴とする付記２に記載のロータリースイッチ。
（付記４）前記複数の集合接点が、前記回転軸を中心とする同心円上に配置されるとともに、前記接触子が、１本の個別接点接触用接触子と前記複数の集合接点と同じ数の直線状の集合接点接触用接触子とを有することを特徴とする付記１に記載のロータリースイッチ。
（付記５）前記複数の集合接点接触用接触子が、前記回転軸の反対側に延在し、前記個別接点に接触しない長さの直線状の擬似接触子を有することを特徴とする付記４に記載のロータリースイッチ。
（付記６）前記回転軸を中心とした放射方向であって、前記個別接点接触用接触子、前記集合接点接触用接触子及び擬似接触子の存在しない位置に、前記個別接点に接触しない長さの直線状のバランス部材を有することを特徴とする付記５に記載のロータリースイッチ。
（付記７）前記複数の集合接点が、前記回転軸を中心とする同心円上に配置されるとともに、前記接触子が、１本の個別接点接触用接触子と前記複数の集合接点と同時に接触可能な扇状の集合接点接触用接触子とを有することを特徴とする付記１に記載のロータリースイッチ。
（付記８）前記集合接点接触用接触子が、前記回転軸の反対側に延在し、前記個別接点に接触しない半径の扇状の擬似接触子を有することを特徴とする付記７に記載のロータリースイッチ。
（付記９）前記複数の集合接点が、前記回転軸を中心とする同心円上に配置されるとともに、前記回転軸を中心とし、前記集合接点及び個別接点に接触しない半径の円板状バランス部材を有し、前記接触子が、１本の個別接点接触用接触子と、前記複数の集合接点と同じ数の直線状の集合接点接触用接触子とを有し、前記個別接点接触用接触子と前記複数本の集合接点接触用接触子が、前記円板状バランス部材の外周から突出していることを特徴とする付記１に記載のロータリースイッチ。
（付記１０）前記複数の集合接点が、前記回転軸を中心とする同心円上に配置されるとともに、前記回転軸を中心とし、前記集合接点及び個別接点に接触しない半径の円板状バランス部材を有し、前記接触子が、１本の個別接点接続用接触子と、前記複数の集合接点と同時に接触可能な扇状の集合接点接触用接触子とを有し、前記個別接点接触用接触子と前記扇状の集合接点接触用接触子が、前記円板状バランス部材の外周から突出していることを特徴とする付記１に記載のロータリースイッチ。
（付記１１）被測定用の半導体装置を取り付ける複数のソケット部と、付記１乃至付記１０のいずれか１に記載のロータリースイッチとを搭載したことを特徴とする測定用治工具。
（付記１２）付記１１に記載の測定用治工具と、前記測定用治工具に搭載したロータリースイッチに制御信号を印加する電源装置を有するテスターとを備えたことを特徴とする試験測定装置。
【符号の説明】
【００７２】
１  測定用治工具
２  ソケット部
３  半導体装置
４  テスター
５  電源装置
１０  ロータリースイッチ
１１  モータ
１２  本体部
１３，１３１〜１３ｎ  端子
１３ｃ  コモン端子
１４  コモン接点
１５１〜１５ｎ  個別接点
１６１〜１６ｎ  集合接点
１７  接触子
１８  個別接点接触用接触子
１９１〜１９ｎ  集合接点接触用接触子
２１１〜２１８  端子
２１ｃ  コモン端子
２２  コモン接点
２３１〜２３８  個別接点
２４１〜２４８  集合接点
３１  接触子
３２，３２１  個別接点接触用接触子
３３１〜３３８  集合接点接触用接触子
３４，３４１  集合接点接触用接触子
３５０〜３５８  擬似接触子
３６  擬似接触子
３７，３８  バランス部材
３９１〜３９８  集合接点接触用接触子
５１  コイル
５２  接点
６１  測定用治工具
６２  ソケット部
６３１〜６３ｎ  半導体装置
６４１〜６４ｎ  リレー
６５  リレーＯＮ-ＯＦＦ制御回路
６６  ＬＳＩテスター
６７  電源装置
【図１】
2014116255.tif 000003
【図２】
2014116255.tif 000004
【図３】
2014116255.tif 000005
【図４】
2014116255.tif 000006
【図５】
2014116255.tif 000007
【図６】
2014116255.tif 000008
【図７】
2014116255.tif 000009
【図８】
2014116255.tif 000010
【図９】
2014116255.tif 000011
【図１０】
2014116255.tif 000012
【図１１】
2014116255.tif 000013
【図１２】
2014116255.tif 000014
【図１３】
2014116255.tif 000015
【図１４】
2014116255.tif 000016