(57)【要約】【課題】部品吸着装置において、吸着ノズルに部品が吸着されているか否かをより確実に検出可能にしつつ、検出のために要するスペースを小さくする。【解決手段】吸着検出装置は、負圧により吸着ノズル１１に部品を吸着する部品吸着装置において、吸着ノズル１１に部品が吸着されているか否かを検出する。この吸着検出装置は、吸着ノズル１１と負圧の発生源２０とを接続して気体流路を形成する配管４０に取り付けられたマイク３０と、マイク３０の出力に基づいて、部品が吸着されているか否かを検出する吸着検出部２０と、を備えている。マイク３０は、配管４０の内外を貫通する貫通孔４１を介して気体流路に接続される音孔を有しており、音孔が形成された音孔面が気体流路と略平行になるように、配管４０に取り付けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧により吸着ノズルに部品を吸着する部品吸着装置において、前記吸着ノズルに前記部品が吸着されているか否かを検出する吸着検出装置であって、
前記吸着ノズルと負圧の発生源とを接続して気体流路を形成する配管に取り付けられたマイクと、
前記マイクの出力に基づいて、前記部品が吸着されているか否かを検出する吸着検出部と、
を備え、
前記マイクは、前記配管の内外を貫通する貫通孔を介して前記気体流路に接続される音孔を有しており、前記音孔が形成された音孔面が前記気体流路と略平行になるように、前記配管に取り付けられている、
吸着検出装置。
【請求項２】
前記配管は、第１と第２の配管部材と、前記第１と第２の配管部材とを接続する継ぎ手とを有しており、
前記マイクは、前記継ぎ手に取り付けられている、
請求項１記載の吸着検出装置。
【請求項３】
前記配管は、前記吸着ノズルに接続されるノズルロッドを有しており、
前記マイクは、前記ノズルロッドに取り付けられている、
請求項１記載の吸着検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、負圧を用いた部品吸着装置において部品が吸着されているか否かを検出する吸着検出技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板等の実装対象物に電子部品を実装する際には、負圧により部品を吸着して搬送し、実装対象物の所定の位置に部品を配置することが行われている。このように部品を吸着して搬送する場合、部品の供給部における吸着の失敗や、搬送中における部品の脱落が発生すると、部品を適正な位置に配置することができない。そのため、従来から、部品の吸着時に負圧となる領域の圧力を測定して、吸着されているか否かを検出することが行われている。
【０００３】
ところで、近年では、実装される部品が小型化しており、それに伴って、部品を吸着するためのノズル（吸着ノズル）としては、先端の開口径が小さいものが使用されるようになってきた。先端の開口径が小さくなると、吸着されている状態と吸着されていない状態との圧力差が小さくなり、吸着されているか否かを検出することが困難になる。そこで、特許文献１では、吸着ノズルの空気吸込口の流路断面を小さくした場合においても、部品吸着の有無を確実に検出できるように、吸着ノズルの空気吸込口から吸引された空気の流量を測定する流量センサを用いて、吸着部への部品吸着有無を判定することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−９１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、一般に、流量センサは、その種類にかかわらず小型化が困難であり、流量センサを用いて部品吸着有無を判定する場合には、流量センサを配置するための大きな空間が必要となる。この問題は、吸着ノズルの先端の開口径が小さい場合に限らず、部品が吸着されているか否かをより確実に検出する際に共通する。
【０００６】
本発明は、上述した従来の課題を解決するためになされたものであり、部品吸着装置において、吸着ノズルに部品が吸着されているか否かをより確実に検出可能にしつつ、検出のために要するスペースを小さくする技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題の少なくとも一部を達成するために、本発明の吸着検出装置は、負圧により吸着ノズルに部品を吸着する部品吸着装置において、前記吸着ノズルに前記部品が吸着されているか否かを検出する吸着検出装置であって、前記吸着ノズルと負圧の発生源とを接続して気体流路を形成する配管に取り付けられたマイクと、前記マイクの出力に基づいて、前記部品が吸着されているか否かを検出する吸着検出部と、を備え、前記マイクは、前記配管の内外を貫通する貫通孔を介して前記気体流路に接続される音孔を有しており、前記音孔が形成された音孔面が前記気体流路と略平行になるように、前記配管に取り付けられていることを特徴とする。この構成によれば、マイクの音孔が配管の内外を貫通する貫通孔を介して気体流路に接続されているので、部品が吸着されているか否かをより確実に検出することができる。また、音孔が形成された音孔面は、通常、マイクで最も大きな面となる。そのため、音孔面を気体流路と略平行にすることにより、気体流路と垂直な方向へのマイクの突出量を低減することができ、吸着検出装置の占めるスペースをより小さくすることが可能となる。
【０００８】
前記配管は、第１と第２の配管部材と、前記第１と第２の配管部材とを接続する継ぎ手とを有しており、前記マイクは、前記継ぎ手に取り付けられているものとしても良い。マイクを継ぎ手に取り付けることにより、マイクの脱着がより容易となる。そのため、マイクが故障や汚染した際に、マイクの交換を迅速に行うことが可能となる。
【０００９】
前記配管は、前記吸着ノズルに接続されるノズルロッドを有しており、前記マイクは、前記ノズルロッドに取り付けられているものとしても良い。部品が吸着されていない場合に発生する音（非吸着時発生音）は、吸着ノズルの先端で発生すると考えられる。そのため、マイクをノズルロッドに取り付けることにより、非吸着時発生音をより容易に検出し、部品が吸着されているか否かをより確実に検出することが可能となる。
【００１０】
なお、本発明は、種々の態様で実現することが可能である。例えば、吸着ノズルに部品が吸着されているか否かを検出する吸着検出装置や吸着検出方法、その装置や方法を用いた部品吸着装置や部品吸着方法、それらのその装置や方法を用いた部品実装装置や部品実装方法等の態様で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施例を適用したマウンタの構成を示す説明図。
【図２】マイクの構成を示す説明図。
【図３】マイクにより検出される音の周波数特性の一例を示すグラフ。
【図４】第２実施例を適用したマウンタの構成を示す説明図。
【図５】第３実施例を適用したマウンタの構成を示す説明図。
【図６】マイクの変形例を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
Ａ．第１実施例：
図１は、第１実施例を適用した電子部品（以下、単に「部品」とも呼ぶ）の実装装置（マウンタ）１の構成を示す説明図である。マウンタ１は、実装される部品を吸着して搬送し、プリント基板等の実装対象物の所定の位置に部品を配置する装置である。図１に示すマウンタ１は、ノズルユニット１０と、エジェクタ２０と、マイク３０と、マイク３０が取り付けられた継ぎ手４０と、マウンタ１の全体を制御する制御装置９０とを有している。制御装置９０は、部品が吸着されているか否かを検出する吸着検出部９１を有している。なお、第１実施例では、吸着検出部９１を制御装置９０に組み込んでいるが、吸着検出部９１は、制御装置９０と別個に設けられるものとしても良い。
【００１３】
ノズルユニット１０は、部品に接触する吸着ノズル１１と、金属等の不撓性の素材から形成されたノズルロッド１２とを有している。ノズルロッド１２の一端（先端）には、吸着ノズル１１が取り付けられ、他端（後端）には、チューブ５０が接続されている。継ぎ手４０は、２本のチューブ５０を接続するための部材で、チューブ５０の脱着を可能にする機構（図示しない）を備えている。継ぎ手４０には、内面と外面とを接続する貫通孔４１が設けられている。継ぎ手４０の外面には、マイク３０が、その音孔（図示しない）が貫通孔４１と連続するとともに、継ぎ手４０との間に隙間が生じないように取り付けられている。継ぎ手４０の両端に接続されたチューブ５０は、それぞれ、ノズルロッド１２の後端と、エジェクタ２０とに接続されている。なお、第１実施例では、ノズルロッド１２と継ぎ手４０とをチューブ５０を介して接続しているが、ノズルロッド１２と継ぎ手４０とを直接接続するものとしても良い。
【００１４】
エジェクタ２０は、制御装置９０からの信号に基づいて駆動される電磁弁（図示しない）を有している。制御装置９０がエジェクタ２０の電磁弁を開くと負圧が発生し、空気が吸着ノズル１１の先端から吸引される（吸引状態）。吸引状態では、空気が矢印で示すように流れ、吸着ノズル１１の先端付近に配置された部品が吸着ノズル１１に吸着される。部品が吸着されると、制御装置９０は、図示しない駆動装置によりノズルロッド１２を駆動して部品を搬送する。そして、吸着ノズル１１の位置が所定の位置に到達すると、制御装置９０はエジェクタ２０の電磁弁を閉じ、エジェクタ２０での負圧の発生が停止する。これにより、吸着ノズル１１からの空気の吸引が止まり（未吸引状態）、吸着された部品は、実装対象物の所定の位置に配置される。なお、ノズルユニット１０、エジェクタ２０、マイク３０、継ぎ手４０、および、チューブ５０を併せることにより部品を吸着する機能が実現されるので、これらの各部１０，２０，３０，４０，５０を併せて部品吸着装置とも呼ぶことができる。
【００１５】
図２は、マイク３０の構成を示す説明図である。図２（ａ）は、マイク３０の全体の構成を示している。マイク３０は、プリント基板３１と、ケース３２と、集積回路チップ（ＩＣチップ）３３と、マイクチップ３４とを有している。プリント基板３１に取り付けられたケース３２は、凹形状の箱部３２１と、略平板状の蓋部３２２とからなり、蓋部３２２には、ケース３２の内外を接続する音孔３６が設けられている。図２（ａ）に示すように、音孔３６は、プリント基板３１とは反対側の面（上面）に形成されている。そのため、図２（ａ）に示すマイク３０は、上面音孔型のマイクと呼ばれる。
【００１６】
図２（ｂ）は、マイク３０が有するマイクチップ３４の構成を示している。マイクチップ３４は、多数の孔が設けられた固定電極３４１と、ダイアフラム３４２と、支持部３４３とにより構成されている。固定電極３４１とダイアフラム３４２とは、図示しないスペーサを介して積層されており、支持部３４３は、固定電極３４１およびダイアフラム３４２をケース３２の箱部３２１から浮かせた状態で支持している。ダイアフラム３４２は、支持部３４３を介してケース３２に接続されている。固定電極３４１は、配線３５によりＩＣチップ３３に接続されている。なお、マイクチップ３４は、コンデンサを形成する２つの電極（固定電極３４１およびダイアフラム３４２）が空間を挟んで対向した構成となっている。このようなマイクチップ３４は、シリコン基板から微小電気機械素子（ＭＥＭＳ）の製造技術を利用して形成されている。このように、シリコン基板から形成されたマイクチップ３４を有するマイク３０は、シリコンマイクと呼ばれる。
【００１７】
音孔３６から音波が入射すると、ダイアフラム３４２が振動し、固定電極３４１とダイアフラム３４２間の距離が変化する。これにより、固定電極３４１と電極層３４８との静電容量が変化し、固定電極３４１の電圧が変化する。この電圧の変化は、ＩＣチップ３３により増幅され、音声信号が生成される。生成された音声信号は、箱部３２１の端子孔（図示しない）を通して接続されたプリント基板３１の端子から、制御装置９０（図１）の吸着検出部９１に出力される。吸着検出部９１は、マイク３０の出力に基づいて、吸引状態において、吸着ノズル１１に部品が吸着されているか否かを判断する。
【００１８】
第１実施例では、マイク３０は、音孔３６が設けられた蓋部３２２を継ぎ手４０側に向けた状態で継ぎ手４０に取り付けられている。このとき、音孔３６が設けられた蓋部３２２の外面（音孔面）は、図１の矢印で示す空気の流路（以下、単に「流路」とも呼ぶ）と略平行になっている。一般的に、マイク３０の音孔面である蓋部３２２の外面は、音孔３６が設けられるため、マイク３０の他の外面よりも大きくなる。そのため、音孔面が流路と略平行になるようにマイク３０を取り付けることにより、流路と直交する方向（以下、「横方向」とも呼ぶ）への突出量を低減することができ、省スペース化を図ることが可能となる。
【００１９】
図３は、マイク３０により検出される音（検出音）の周波数特性の一例を示すグラフである。このグラフにおいて、横軸は周波数を表し、縦軸は音圧を表している。実線は、吸引状態において、吸着ノズル１１の先端に部品が吸着されている状態（吸着状態）での検出音の周波数特性を示している。破線は、吸引状態において、部品が吸着されていない状態（非吸着状態）での検出音の周波数特性を示している。一点鎖線は、未吸引状態における検出音の周波数特性を示している。なお、未吸引状態における検出音は、雑音レベルを表している。図３に示すように、吸着状態と非吸着状態との音圧差は、低周波では小さく、特定の周波数（図３の例では、約１ｋＨｚ）を超えた領域から大きくなる。そこで、第１実施例の吸着検出部９１は、マイク３０の出力から、所定の周波数よりも高い周波数における音圧を測定し、その音圧と所定の閾値とを比較することにより、吸着状態と非吸着状態とを判別している。なお、マイク３０と吸着検出部９１とを用いることにより、吸着ノズルに部品が吸着されているか否かを検出できるので、マイク３０と吸着検出部９１とは、併せて吸着検出装置と呼ぶことができる。
【００２０】
なお、吸着状態と非吸着状態との音圧差が大きい周波数帯域は、継ぎ手４０に設けられた貫通孔４１の大きさ、マイク３０の音孔３６の配置や大きさ、周囲の騒音の周波数特性等により変化する。そのため、吸着状態と非吸着状態との判別に用いる周波数は、各状態における検出音の周波数特性に応じて適宜変更される。通常、駆動装置やエジェクタ２０などから発生する周囲の騒音は、低周波数領域において音圧が高くなる。そのため、吸着状態と非吸着状態との判別に用いる周波数は、所定の周波数（例えば、１ｋＨｚ）よりも高い周波数とするのが好ましい。但し、一般的には、吸着状態と非吸着状態とは、マイク３０の出力に基づいて判別されれば良く、例えば、検出音の全帯域での音圧によって、吸着状態と非吸着状態との判別を行うことも可能である。
【００２１】
第１実施例では、継ぎ手４０に貫通孔４１を形成するとともに、音孔３６が貫通孔４１と連続するようにマイク３０を継ぎ手４０に取り付けている。このように、マイク３０の音孔３６を貫通孔４１を介して空気の流路（気体流路）に接続することにより、マイク３０の出力に基づいて、吸着状態と非吸着状態とを判別できる。そのため、部品を吸着して搬送するためにエジェクタ２０で負圧を発生させた状態（吸引状態）において、部品が吸着されているか否かをより容易に判別することができる。また、第１実施例では、音孔面が空気の流路と略平行となるようにマイク３０を継ぎ手４０に取り付けている。そのため、横方向へのマイク３０の突出量が低減され、省スペース化を図ることが可能となる。さらに、第１実施例では、脱着可能な継ぎ手４０にマイク３０を取り付けているので、マイク３０が故障や汚染した際に、交換を迅速に行うことが可能となる。
【００２２】
Ｂ．第２実施例：
図４は、第２実施例を適用したマウンタ１ａの構成を示す説明図である。第２実施例のマウンタ１ａは、継ぎ手４０が省略されている点と、マイク３０がノズルユニット１０ａのノズルロッド１２ａに取り付けられている点と、マイク３０を取り付けるためにノズルロッド１２ａが変更されている点とで、第１実施例のマウンタ１と異なっている。他の点は同様である。
【００２３】
図４に示すように、ノズルロッド１２ａには、内面と外面とを接続する貫通孔１３ａが設けられている。ノズルロッド１２ａ外面には、マイク３０が、その音孔が貫通孔１３ａと連続するとともに、ノズルロッド１２ａとの間に隙間が生じないように取り付けられている。第２実施例においても、このように、マイク３０の音孔３６を貫通孔１３ａを介して空気の流路に接続することにより、マイク３０の出力に基づいて、吸着状態と非吸着状態とを判別でき、吸引状態において部品が吸着されているか否かをより容易に判別することができる。また、第２実施例においても、マイク３０の音孔面は、矢印で示す流路と略平行になっている。そのため、横方向へのマイク３０の突出量を低減し、省スペース化を図ることが可能となる。
【００２４】
一般に、非吸着状態において吸着状態よりも音圧が高くなる音（非吸着時発生音）は、吸着ノズル１１の先端で発生ずると考えられる。第２実施例では、マイク３０を吸着ノズル１１に接続されるノズルロッド１２に取り付けることにより、マイク３０の位置を非吸着時発生音の発生位置により近づけることが可能となる。そのため、第２実施例によれば、非吸着時発生音をより容易に検出し、吸着状態と非吸着状態とをより確実に判別することが可能となる。
【００２５】
Ｃ．第３実施例：
図５は、第３実施例を適用したマウンタ１ｂの構成を示す説明図である。第３実施例のマウンタ１ｂは、エジェクタ２０に圧力センサ６１が取り付けられている点と、マイク３０ｂに電力を供給する発電ユニット７０が設けられている点と、マイク３０ｂの出力が無線で制御装置９０ｂの吸着検出部９１ｂに送信される点とで、第２実施例と異なっている。他の点は、第２実施例と同様である。なお、無線送信が可能なマイク３０ｂは、例えば、ＩＣチップ３３（図２）に無線送信機能を持たせ、あるいは、プリント基板３１に無線送信回路を搭載することにより実現可能である。
【００２６】
エジェクタ２０には、噴射ポート２１と、ディフューザ２２と、負圧チャンバ２３と、吸引ポート２４と、センサポート２５とが設けられている。なお、エジェクタ２０は、制御装置９０ｂにより開閉される電磁弁を有しているが、ここではその図示を省略している。エアー供給配管２９を通して外部から供給されるドライエアーは、噴射ポート２１で流速が高められ、ディフューザ２２に噴射される。噴射されたドライエアーは、負圧チャンバ２３内の空気を巻き込みながら、ディフューザ２２から放出される。これにより、負圧チャンバ２３内は負圧となり、吸引ポート２４から空気が吸引される。圧力センサ６１は、センサ配管６９と、センサポート２５とを介して負圧チャンバ２３内の圧力を測定する。吸着検出部９１ｂは、無線で送信されたマイク３０ｂからの出力と、圧力センサ６１によって測定された負圧チャンバ２３内の圧力とから、吸着状態と非吸着状態とを判別する。
【００２７】
発電ユニット７０は、発電回路７１と、整流回路７２と、蓄電回路７３とを備えている。発電回路７１は、チューブ５０ｂから分岐した分岐管７９に接続されている。発電回路７１は、音や振動に応じて電力を発生させる図示しない圧電素子を有しており、分岐管７９を介して伝達されるチューブ５０ｂ内の音から交流電力を発生する。発電回路７１で発生された交流電力は、整流回路７２において整流され、蓄電回路７３に蓄えられる。蓄電回路７３に蓄えられた電力は、マイク３０ｂに供給され、音の検出や無線送信のために利用される。なお、発電回路７１は、音や振動に応じて電力を発生させることが可能であれば良く、圧電素子に換えて、エレクトレットやコイル等を用いて電力を発生するようにしても良い。
【００２８】
第３実施例では、発電ユニット７０がチューブ５０ｂ内の音から電力を発生してマイク３０ｂに供給する。マイク３０ｂは、発電ユニット７０から供給される電力により、音を検出するとともに検出音を吸着検出部９１ｂに無線送信する。そのため、吸着検出部９１ｂあるいは外部からマイク３０に電力を供給する配線や、マイク３０の出力を吸着検出部９１ｂに伝送するための配線を新たに設けることなく、マイク３０ｂに電力を供給するとともに、マイク３０ｂと吸着検出部９１ｂとを接続することができる。そのため、マイク３０ｂを既存のマウンタに追加することがより容易となる。
【００２９】
なお、発電回路７１が外部からの音や振動に応じて電力を発生することが可能な場合、発電回路７１は、エジェクタ２０に近接して配置するのが好ましい。上述のように、エジェクタ２０は、ドライエアーが噴射ポート２１からディフューザ２２に噴射され、噴射されたドライエアーが負圧チャンバ２３内の空気を巻き込みディフューザ２２から放出される。そのため、エジェクタ２０からは大きな音が発生するので、発電回路７１が出力する電力をより大きくすることが可能となる。
【００３０】
また、第３実施例においては、第２実施例と同様に、マイク３０ｂは、その音孔面が流路と平行になるように配置されているが、音孔が流路に接続していれば、マイク３０ｂの配置は種々変更することができる。例えば、第１実施例のように、マイク３０ｂを継ぎ手４０に取り付けても良く、さらに、マイク３０ｂの音孔面も必ずしも流路と平行である必要はない。
【００３１】
Ｄ．変形例：
本発明は上記各実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。
【００３２】
Ｄ１．変形例１：
第１および第２実施例では、単一の音孔３６を有する上面音孔型のマイク３０を用いているが、他の種類のシリコンマイクを使用することも可能である。図６は、マイクの変形例を示す説明図である。図６（ａ）に示すマイク３０ｃは、蓋部３２２ｃがメッシュ状に形成され、複数の音孔３６ｃが設けられている点で、第１および第２実施例のマイク３０と異なっている。このように、蓋部３２２ｃをメッシュ状とすることにより、直進性の高い高周波数の音波がマイクチップ３４により容易に到達する。そのため、騒音の影響の少ないより高い周波数における音圧で部品が吸着されているか否かを判別することができるので、部品が吸着されているか否かの判別をより確実に行うことが可能となる。
【００３３】
図６（ｂ）に示すマイク３０ｄは、音孔３６ｄが設けられた蓋部３２２ｄがプリント基板３１ｄに取り付けられている点と、マイクチップ３４およびＩＣチップ３３とが蓋部３２２ｄに取り付けられている点と、プリント基板３１ｄに貫通孔３７ｄが設けられている点とで、第１および第２実施例のマイク３０ｄと異なっている。このマイク３０ｄでは、プリント基板３１ｄ側が継ぎ手４０あるいはノズルロッド１２ａに向けて取り付けられる。この場合においても、音孔面が流路と平行となるように、音孔３６ｄが流路に接続される。なお、このように音孔３６ｄがプリント基板３１ｄ側に形成されているマイク３０ｄは、音孔基板面型のマイクと呼ばれる。
【００３４】
また、マイクとしては、シリコンマイクの他、種々のマイクを使用することが可能である。シリコンマイクに換えて、例えば、エレクトレット化された高分子フィルムを用いたエレクトレットコンデンサマイク、圧電素子を用いた圧電マイク、ボイスコイルを用いたダイナミックマイク等を使用することも可能である。これらのマイクは、実施例１に示すように、音孔を有する音孔面を備えていることが望ましい。但し、マイク自体を小型化して、より省スペース化できる点で、シリコンマイクを使用するのが好ましい。また、一般的に、シリコンマイクのダイアフラムは、他の種類のマイクのダイアフラムよりも小型化が可能であり、より高い周波数の音を検出できる。そのため、騒音の影響の少ないより高い周波数における音圧で部品が吸着されているか否かを判別することができるので、部品が吸着されているか否かの判別をより確実に行うことが可能となる。
【００３５】
Ｄ２．変形例２：
第１および第２実施例では、マイク３０の出力のみに基づいて、部品が吸着されているか否かを判別しているが、第３実施例のように、部品が吸着されているか否かを、マイク３０の出力と、吸引状態において負圧となる領域に設けられた圧力センサの出力との双方に基づいて判別しても良い。また、部品が吸着されているか否かを、マイク３０の出力と、流路に配置された流量計の出力との双方に基づいて判別しても良く、マイク３０、圧力センサ、および、流量計のすべての出力に基づいて判別しても良い。
【００３６】
Ｄ３．変形例３：
上記各実施例では、マイク３０，３０ｂを継ぎ手４０あるいはノズルロッド１２ａに取り付けているが、マイク３０，３０ｂをチューブ５０，５０ｂに取り付けることも可能である。一般に、マイク３０，３０ｂは、吸着ノズル１１の先端とエジェクタ２０とを接続し流路を形成する配管（上記各実施例では、ノズルロッド１２，１２ａ、継ぎ手４０、および、チューブ５０，５０ｂ）に設けられ、当該配管の内外を貫通する貫通孔を介して音孔３６が流路と接続され、音孔面が流路と略平行になっていれば、配管の任意の箇所に取り付けることが可能である。
【００３７】
Ｄ４．変形例４：
上記各実施例では、負圧の発生源としてエジェクタ２０を用いているが、エジェクタ２０に換えて、種々の真空ポンプを用いて負圧を発生させても良い。負圧の発生源としては、例えば、ロータリーポンプ、ダイアフラムポンプ、ピストンポンプ等の真空ポンプを用いることも可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１，１ａ，１ｂ…マウンタ、１０，１０ａ…ノズルユニット、１１…吸着ノズル、１２，１２ａ…ノズルロッド、１３ａ…貫通孔、２０…エジェクタ、２１…噴射ポート、２２…ディフューザ、２３…負圧チャンバ、２４…吸引ポート、２５…センサポート、２９…エアー供給配管、３０，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ…マイク、３１，３１ｄ…プリント基板、３２…ケース、３３…集積回路チップ（ＩＣチップ）、３４…マイクチップ、３５…配線、３６，３６ｃ，３６ｄ…音孔、３７ｄ…貫通孔、４０…継ぎ手、４１…貫通孔、５０，５０ｂ…チューブ、６１…圧力センサ、６９…センサ配管、７０…発電ユニット、７１…発電回路、７２…整流回路、７３…蓄電回路、７９…分岐管、９０，９０ｂ…制御装置、９１…吸着検出部、３２１…箱部、３２２，３２２ｃ，３２２ｄ…蓋部、３４１…固定電極、３４２…ダイアフラム、３４３…支持部
【図１】
2014113667.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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