(57)【要約】【課題】被吸着物への吸着力を向上させるのに有効な静電付着装置を提供する。【解決手段】絶縁材料１と、前記絶縁材料１の第１面に形成された複数の第１電極２と、前記第１電極２と対向するように前記絶縁材料１の第２面に形成された第２電極３と、前記第１面の前記第１電極２間に形成された穴部４とを備える。前記第１電極２と前記第２電極３に電圧を印加し、前記穴部４を収縮させて、前記絶縁材料１の第１面（第１電極２側）と被吸着物６との間に真空状態を生成し、吸着力を向上させる。【選択図】図１
2014236544.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁材料と、
前記絶縁材料の第１面に形成された複数の第１電極と、
前記第１電極と対向するように前記絶縁材料の第２面に形成された第２電極と、
前記第１面の前記第１電極間に形成された穴部と、
を備える静電付着装置。
【請求項２】
前記第１面が被吸着物に接触する前に、前記第１電極と前記第２電極にそれぞれ正負の高電圧を交互に印加する工程と、
前記第１面が前記被吸着物に接触した後に、前記第１電極に正負の高電圧を交互に印加し、前記第２電極に電圧を印加しない工程と、
からなる請求項１に記載の静電付着装置の静電付着方法。
【請求項３】
前記第１面が被吸着物に接触する前に、前記第１電極と前記第２電極にそれぞれ正負の高電圧を交互に印加する工程と、
前記第１面が前記被吸着物に接触した後に、前記第１電極と前記第２電極に電圧を印加しない工程と、
からなる請求項１に記載の静電付着装置の静電付着方法。
【請求項４】
絶縁材料と、
前記絶縁材料の第１面に形成された第１電極と、
前記第１電極と対向するように前記絶縁材料の第２面に形成された第２電極と、
前記第１面において前記第１電極を貫通するように形成された穴部と、
を備える静電付着装置。
【請求項５】
前記第１面が被吸着物に接触する前に、前記第１電極と前記第２電極にそれぞれ正負の高電圧を交互に印加する工程と、
前記第１面が前記被吸着物に接触した後に、前記第１電極に正負の高電圧を交互に印加し、前記第２電極に電圧を印加しない工程と、
からなる請求項４に記載の静電付着装置の静電付着方法。
【請求項６】
前記第１面が被吸着物に接触する前に、前記第１電極と前記第２電極にそれぞれ正負の高電圧を交互に印加する工程と、
前記第１面が前記被吸着物に接触した後に、前記第１電極と前記第２電極に電圧を印加しない工程と、
からなる請求項４に記載の静電付着装置の静電付着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、電気的に制御可能な静電付着装置およびそれを用いた被吸着物の静電付着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、電気的に制御可能な静電付着装置を開示する。この静電付着装置２０は、絶縁体材料２１と、前記絶縁体材料２１の外面に形成された電極２２とを備える。前記電極２２に正負の高電圧を印加すると、対象物２３内で電界２４が形成される。前記電界２４は、前記対象物２３を局所的に分極させるため、前記電極２２と前記対象物２３上の誘導電荷との間で静電付着を引き起こす。これにより対象物２３に静電付着装置２０を付着することができる（図１１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００９−５４０７８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、被吸着物への吸着力を向上させた静電付着装置およびそれを用いた静電付着方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示における静電付着装置は、絶縁材料と、前記絶縁材料の第１面に形成された複数の第１電極と、前記第１電極と対向するように前記絶縁材料の第２面に形成された第２電極と、前記第１面の前記第１電極間に形成された穴部とを備える。
【発明の効果】
【０００６】
本開示における静電付着装置は、被吸着物への吸着力を向上させるのに有効である。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施の形態１における静電付着装置を簡略に示した構成図
【図２】実施の形態１における静電付着装置の吸着動作を説明するための構成図
【図３】実施の形態１における静電付着装置の吸着動作を説明するためのフローチャート
【図４】実施の形態１における静電付着装置の吸着動作を説明するための構成図
【図５】実施の形態２における静電付着装置の吸着動作を説明するためのフローチャート
【図６】実施の形態２における静電付着装置の吸着動作を説明するための構成図
【図７】実施の形態３における静電付着装置を簡略に示した構成図
【図８】実施の形態３における静電付着装置の吸着動作を説明するための構成図
【図９】実施の形態３における静電付着装置の吸着動作を説明するためのフローチャート
【図１０】実施の形態３における静電付着装置の吸着動作を説明するための構成図
【図１１】従来の形態における静電付着装置を簡略に示した構成図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、適宜図面を参照しながら、実施の形態を詳細に説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。
【０００９】
なお、発明者は、当業者が本開示を十分に理解するために添付図面および以下の説明を提供するのであって、これらによって特許請求の範囲に記載の主題を限定することを意図するものではない。
【００１０】
（実施の形態１）
以下、図１〜４を用いて、実施の形態１を説明する。
【００１１】
［１−１．構成］
図１は、実施の形態１にかかる静電付着装置を簡略に示した構成図である。
【００１２】
静電付着装置５は、絶縁材料１と、前記絶縁材料１の第１面に形成された複数の第１電極２と、前記第１電極２と対向するように前記絶縁材料１の第２面に形成された第２電極３と、前記第１面の前記第１電極２間に形成された穴部４とを備える。前記第１電極２と前記第２電極３にはその全部或いは一部に高電圧が印加される。また、前記絶縁材料１の第１面は、被吸着物６に接する面である。
【００１３】
ここで、絶縁材料１は弾性を有し、一定程度変形することができる。また、第１電極２と第２電極３は、いずれもいわゆる柔軟電極である。柔軟電極としては、例えば、カーボンブラック、金属粒子、導電性ポリマー、カーボンナノチューブ、カーボンファイバーのいずれかまたは複数を含有するエラストマーが考えられる。
【００１４】
［１−２．動作］
以上のように構成された静電付着装置５について、その動作を以下説明する。静電付着装置５は、被吸着物６に吸着する動作を行う。以下、その動作について詳細に説明する。
【００１５】
図２（ａ）と（ｂ）は、静電付着装置５の吸着動作を説明するための構成図、図３はフローチャートである。また、図４は、静電付着装置５の吸着動作を説明するための構成図である。
【００１６】
初期状態において、絶縁材料１の第１面（第１電極２側）と被吸着物６は、互いに接触していないものとする。
【００１７】
最初に、第１電極２と第２電極３にそれぞれ電圧は印加されない（Ｓ１）。ここで、前記絶縁材料１と前記被吸着物６とが互いに接触していなければ、図２（ａ）に示すように前記第１電極２と前記第２電極３にそれぞれ正負の高電圧Ａ（＋）、Ａ（−）、Ｂ（＋）、Ｂ（−）を交互に印加する（Ｓ３）。このように第１電極２間および第２電極３間に電位差を与えると、静電力によって第１電極２同士、第２電極３同士および対向する第１電極２と第２電極３が引き合い、その結果、絶縁材料１の第１面と第２面の距離が短くなる方向に絶縁材料１が収縮する。また、第１電極２と第２電極３が第１面（第２面）と平行な方向に伸長するとともに、第１面（第２面）と垂直な方向に収縮する。その結果、第１面の第１電極２間に形成された穴部４は、左右の第１電極２の第１面（第２面）と平行な方向への伸長によって圧迫され閉じた状態になる。図２（ａ）では、この状態の穴部４を破線で示している。
【００１８】
次に、前記絶縁材料１を前記被吸着物６に近づける（Ｓ４）。ここで、前記絶縁材料１と前記被吸着物６とが互いに接触すれば、図２（ｂ）に示すように、前記第１電極２に正負の高電圧Ａ（＋）、Ａ（−）を印加し、前記第２電極３には電圧を印加しない（Ｓ２）。このように第１電極２に電位差を与えると、前記第１電極２に接触した被吸着物６内で電界が形成される。この電界は、前記被吸着物６を局所的に分極させるため、前記第１電極２と前記被吸着物６内の誘導電荷との間で静電付着を引き起こす。また、前記第２電極３には電圧が印加されないので、前記絶縁材料１の第１面と第２面の距離が短くなる方向の収縮は元の状態に戻る。さらに、第１電極２と第２電極３の第１面（第２面）と平行な方向の伸長も、第１面（第２面）と垂直な方向の収縮も元の状態に戻るので、穴部４は開いた状態に戻る。
【００１９】
なお、絶縁材料１と被吸着物６とが互いに接触したか否かの判断は、絶縁材料１の第１面に触覚センサを設け、この触覚センサの出力に基づいて行ってもよい。また、絶縁材料１の近傍にカメラを設け、このカメラの出力を画像処理することによって行ってもよい。さらに、使用者が視覚、触覚、聴覚のいずれかまたは複数によって判断してもよい。
【００２０】
図４は、第１電極２に正負の高電圧Ａ（＋）、Ａ（−）を印加し、第２電極３には電圧を印加しない場合の吸着状態（図２（ｂ）の状態。ただし、図２（ｂ）では絶縁材料１の第１面（第２面）が紙面横方向を向いているが、図４では紙面縦方向を向いている。）を示している。被吸着物６内で電界７が形成され、第１電極２と被吸着物６上の誘導電荷との間で静電付着を引き起こす。同時に、絶縁材料１の第１面（第１電極２側）と被吸着物６との隙間に溜まった空気８が、開いた穴部４によって吸引される。この結果、前記穴部４が開くことで、前記絶縁材料１の第１面（第１電極２側）と前記被吸着物６との間に真空状態が生成されて静電付着とは異なる新たな吸着力が発生する。
【００２１】
なお、絶縁材料１と前記被吸着物６とが互いに接触すれば、第１電極２に正負の高電圧を印加し、第２電極３には電圧を印加しないとは、例えば、絶縁材料１と被吸着物６とが接触してから数秒程度の時間が経過した後に第１電極２に正負の高電圧を印加し、第２電極３には電圧を印加しないこととするが、この時間は１秒以下の短い時間であってもよいし、１０秒以上の長い時間であってもよい。絶縁材料１と被吸着物６とが接触してから第１電極２に正負の高電圧を印加するまでの所定時間は、第１電極２と第２電極３に対する印加電圧の値や第１電極２と第２電極３の変形の応答性、被吸着物６の材質による分極速度・穴部４の収縮速度などに左右されるので、これらを加味した上で設定されるのが好ましい。また、所定時間を固定的な時間としてもよいし、使用者により設定可能なものとしてもよい。
【００２２】
絶縁材料１の具体的な例としては、コンプライアントなゴムまたは弾性体、アクリル弾性体などがある。
【００２３】
［１−３．効果等］
以上のように、本実施の形態において、静電付着装置５は、絶縁材料１と、前記絶縁材料１の第１面に形成された複数の第１電極２と、前記第１電極２と対向するように前記絶縁材料１の第２面に形成された第２電極３と、前記第１面の前記第１電極２間に形成された穴部４とを備える。
【００２４】
絶縁材料１が被吸着物６に接触する前に、前記第１電極２と前記第２電極３にそれぞれ正負の高電圧を交互に印加する。次に、前記絶縁材料１が前記被吸着物６に接触した後に、前記第１電極２に正負の高電圧を交互に印加し、前記第２電極３には電圧を印加しない。
【００２５】
これにより、前記被吸着物６内で電界７が形成され、前記第１電極２と前記被吸着物６上の誘導電荷との間で静電付着を引き起こす。さらに、前記絶縁材料１の第１面（第１電極２側）と前記被吸着物６との隙間に溜まった空気８が、開いた穴部４によって吸引され、前記絶縁材料１の第１面（第１電極２側）と前記被吸着物６との間に真空状態が生成されて静電付着とは異なる新たな吸着力が発生する。これにより、静電付着装置５の吸着力を向上することができる。
【００２６】
（実施の形態２）
以下、図５と図６を用いて、実施の形態２を説明する。図５は、静電付着装置の吸着動作を説明するためのフローチャート、図６は静電付着装置の吸着動作を説明するための構成図である。本開示の実施の形態１と異なるのは、図５において、絶縁材料１と被吸着物６とが互いに接触している場合の動作フローが異なる点である。その他については、実施の形態１と同じであるので、ここでは構成及び動作の一部の説明は省略する。
【００２７】
［２−１．構成］
実施の形態１と同様であるので説明を省略する。
【００２８】
［２−２．動作］
絶縁材料１と被吸着物６とが互いに接触していない場合の動作については、実施の形態１と同様である（Ｓ５とＳ７）。この場合は、静電力によって第１電極２と対向する第２電極３それぞれが引き合い、結果として絶縁材料１の第１面と第２面の距離が短くなる方向に絶縁材料１が収縮する。また、第１電極２と第２電極３が第１面（第２面）と平行な方向に伸長するとともに、第１面（第２面）と垂直な方向に収縮する。その結果、第１面の第１電極２間に形成された穴部４は、左右の第１電極２の第１面（第２面）と平行な方向への伸長によって圧迫され閉じた状態になる。
【００２９】
次に、前記絶縁材料１を前記被吸着物６に近づける（Ｓ８）。ここで、前記絶縁材料１と前記被吸着物６とが互いに接触すれば、前記第１電極２と、前記第２電極３には電圧を印加しない（Ｓ６）。この場合は、絶縁材料１の弾性力によって、前記絶縁材料１の第１面（第２面）と垂直な方向の収縮は元の状態に戻る。また、柔軟電極である第１電極２と第２電極３の第１面（第２面）と平行な方向の伸長と第１面（第２面）と垂直な方向の収縮も元の状態に戻るので、穴部４は開いた状態になる。
【００３０】
図６は、第１電極２および第２電極３にそれぞれ電圧を印加しない場合の吸着状態を示している。絶縁材料１の第１面（第１電極２側）と被吸着物６との隙間に溜まった空気８が、開いた穴部４によって吸引される。この結果、前記穴部４が開くことで、前記絶縁材料１の第１面（第１電極２側）と前記被吸着物６との間に真空状態が生成されて吸着力が発生する。
【００３１】
なお、絶縁材料１と前記被吸着物６とが互いに接触すれば、第１電極２と、第２電極３にはそれぞれ電圧を印加しないとは、例えば、絶縁材料１と被吸着物６とが接触してから数秒程度の時間が経過した後に第１電極２と第２電極３に電圧を印加しないこととするが、この時間は１秒以下の短い時間であってもよいし、１０秒以上の長い時間であってもよい。絶縁材料１と被吸着物６とが接触してから第１電極２と第２電極３に電圧を印加しないこととするまでの所定時間は、第１電極２と第２電極３に対する印加電圧の値や第１電極２と第２電極３の復元の応答性、被吸着物６の材質による分極解消速度・穴部４の復元速度などに左右されるので、これらを加味した上で設定されるのが好ましい。また、所定時間を固定的な時間としてもよいし、使用者により設定可能なものとしてもよい。
【００３２】
［２−３．効果等］
以上のように、本実施の形態において、静電付着装置５は、絶縁材料１と、前記絶縁材料１の第１面に形成された複数の第１電極２と、前記第１電極２と対向するように前記絶縁材料１の第２面に形成された第２電極３と、前記第１面の前記第１電極２間に形成された穴部４とを備える。
【００３３】
絶縁材料１が被吸着物６に接触する前に、前記第１電極２と前記第２電極３にそれぞれ正負の高電圧を交互に印加する。次に、前記絶縁材料１が前記被吸着物６に接触した後には、前記第１電極２と前記第２電極３にそれぞれ電圧を印加しない。
【００３４】
これにより、前記絶縁材料１の第１面（第１電極２側）と前記被吸着物６との隙間に溜まった空気８が、開いた穴部４によって吸引され、前記絶縁材料１の第１面（第１電極２側）と前記被吸着物６との間に真空状態が生成されて吸着力が発生する。これにより、静電付着装置５に電圧を印加しなくてもこれを被吸着物６に吸着させることができる。
【００３５】
（実施の形態３）
以下、図７から図１０を用いて、実施の形態３を説明する。図７は、静電付着装置を簡略に示した構成図、図８（ａ）と（ｂ）は、静電付着装置の吸着動作を説明するための構成図である。また、図９は、実施の形態３における静電付着装置の吸着動作を説明するためのフローチャートである。また、図１０は、静電付着装置の吸着動作を説明するための構成図である。本開示の実施の形態１と異なるのは、図７において、穴部１４が第１面の第１電極１２間には形成されずに、第１面において第１電極１２を貫通するように形成される点である。その他については、実施の形態１と同じであるので、ここでは動作の一部の説明は省略する。
【００３６】
［３−１．構成］
図７は、実施の形態３にかかる静電付着装置を簡略に示した構成図である。
【００３７】
静電付着装置１５は、絶縁材料１１と、前記絶縁材料１１の第１面に形成された第１電極１２と、前記第１電極１２と対向するように前記絶縁材料１１の第２面に形成された第２電極１３と、前記第１面において前記第１電極１２の一部を貫通して形成された穴部１４とを備える。前記第１電極１２と前記第２電極１３にはその全部或いは一部に高電圧が印加される。また、前記絶縁材料１１の第１面は、被吸着物１６に接する面である。
【００３８】
［３−２．動作］
以上のように構成された静電付着装置１５について、その動作を以下説明する。
【００３９】
最初に、第１電極１２と第２電極１３にそれぞれ電圧は印加されない（Ｓ９）。ここで、前記絶縁材料１１と前記被吸着物１６とが互いに接触していなければ、図８（ａ）に示すように前記第１電極１２と前記第２電極１３にそれぞれ正負の高電圧Ａ（＋）、Ａ（−）、Ｂ（＋）、Ｂ（−）を交互に印加する（Ｓ３）。このように第１電極１２間および第２電極１３間に電位差を与えると、静電力によって第１電極１２同士、第２電極１３同士および対向する第１電極１２と第２電極１３が引き合い、その結果、絶縁材料１１の第１面と第２面の距離が短くなる方向に絶縁材料１１が収縮する。また、第１電極１２と第２電極１３が第１面（第２面）と平行な方向に伸長するとともに、第１面（第２面）と垂直な方向に収縮する。その結果、第１面において第１電極１２の一部を貫通して形成された穴部１４は、周囲の第１電極１２の第１面（第２面）と平行な方向への伸長によって圧迫され閉じた状態になる。図８（ａ）では、この状態の穴部１４を破線で示している。
【００４０】
次に、前記絶縁材料１１を前記被吸着物１６に近づける（Ｓ１２）。ここで、前記絶縁材料１１と前記被吸着物１６とが互いに接触すれば、図８（ｂ）に示すように、前記第１電極１２に正負の高電圧Ａ（＋）、Ａ（−）を交互に印加し、前記第２電極１３には電圧を印加しない（Ｓ１０）。このように第１電極１２に電位差を与えると、前記第１電極１２に接触した被吸着物１６内で電界が形成される。この電界は、前記被吸着物１６を局所的に分極させるため、前記第１電極１２と前記被吸着物１６内の誘導電荷との間で静電付着を引き起こす。また、前記第２電極１３には電圧が印加されないので、前記絶縁材料１１の第１面と第２面の距離が短くなる方向の収縮は元の状態に戻る。さらに、第１電極１２と第２電極１３の第１面（第２面）と平行な方向の伸長も、第１面（第２面）と垂直な方向の収縮も元の状態に戻るので、穴部１４は開いた状態に戻る。
【００４１】
図１０は、第１電極１２に正負の高電圧Ａ（＋）、Ａ（−）を交互に印加し、第２電極１３には電圧を印加しない場合の吸着状態（図８（ｂ）の状態。ただし、図８（ｂ）では絶縁材料１１の第１面（第２面）が紙面横方向を向いているが、図１０では紙面縦方向を向いている。）を示している。被吸着物１６内で電界１７が形成され、第１電極１２と被吸着物１６内の誘導電荷との間で静電付着を引き起こす。同時に、絶縁材料１１の第１面（第１電極１２側）と被吸着物１６との隙間に溜まった空気１８が、開いた穴部１４によって吸引される。この結果、前記穴部１４が開くことで、前記絶縁材料１１の第１面（第１電極１２側）と前記被吸着物１６との間に真空状態が生成されて静電付着とは異なる新たな吸着力が発生する。
【００４２】
［３−３．効果等］
以上のように、本実施の形態において、静電付着装置１５は、絶縁材料１１と、前記絶縁材料１１の第１面に形成された第１電極１２と、前記第１電極１２と対向するように前記絶縁材料１１の第２面に形成された第２電極１３と、前記第１面において前記第１電極１２を貫通するように形成された穴部１４とを備える。絶縁材料１１が被吸着物１６に接触する前に、前記第１電極１２と前記第２電極１３にそれぞれ正負の高電圧を交互に印加する。次に、前記絶縁材料１１が前記被吸着物１６に接触した後に、前記第１電極１２に正負の高電圧を交互に印加し、前記第２電極１３には電圧を印加しない。
【００４３】
これにより、前記被吸着物１６内で電界１７が形成され、前記第１電極１２と前記被吸着物１６内の誘導電荷との間で静電付着を引き起こす。さらに、前記絶縁材料１１の第１面（第１電極１２側）と前記被吸着物１６との隙間に溜まった空気１８が、開いた穴部１４によって吸引され、前記絶縁材料１１の第１面（第１電極１２側）と前記被吸着物１６との間に真空状態が生成されて静電付着とは異なる新たな吸着力が発生する。これにより、静電付着装置１５の吸着力を向上することができる。
【００４４】
なお、実施の形態３においても、実施の形態２と同様に、絶縁材料１１が被吸着物１６に接触する前に、前記第１電極１２と前記第２電極１３にそれぞれ正負の高電圧を交互に印加し、次に、前記絶縁材料１１が前記被吸着物１６に接触した後には、前記第１電極１２と前記第２電極１３にそれぞれ電圧を印加しないとすることもできる。
【００４５】
（他の実施の形態）
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、実施の形態１〜３を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、上記実施の形態１〜３で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。
【００４６】
そこで、以下、他の実施の形態を例示する。
【００４７】
実施の形態１〜３では、絶縁材料と被吸着物とが互いに接触していなければ、第１電極と第２電極にそれぞれ正負の高電圧Ａ（＋）、Ａ（−）、Ｂ（＋）、Ｂ（−）を印加する一例を説明した。しかしながら、第１電極と第２電極に印加する高電圧はＡ（＋）、Ｂ（−）やＡ（−）、Ｂ（＋）だけ、Ａ（＋）やＡ（−）やＢ（＋）やＢ（−）だけを印加するだけであってもよい。要するに、第１電極と第２電極に電圧差があればよい。したがって、第１電極と第２電極に印加する電圧は正負の高電圧Ａ（＋）、Ａ（−）、Ｂ（＋）、Ｂ（−）の組み合わせに限定されない。
【００４８】
また、実施の形態１〜３では、電極が第１電極と第２電極から構成される一例を説明した。しかしながら、第１電極と第２電極のどちらか一方、或いは双方が単数の電極であってもよい。
【００４９】
また、実施の形態１〜３では、絶縁材料の一例として被吸着物との吸着面（第１面）が平らな場合を説明した。しかしながら、絶縁材料の吸着面に凹凸があってもよい。
【００５０】
以上のように、本開示における技術の例示として、実施の形態を説明した。そのために、添付図面および詳細な説明を提供した。
【００５１】
したがって、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、上記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。
【００５２】
また、上述の実施の形態は、本開示における技術を例示するためのものであるから、特許請求の範囲またはその均等の範囲において種々の変更、置き換え、付加、省略などを行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本開示は、被吸着物に吸着する、或いは被吸着物を吸着する電気的に制御できる静電付着装置に適用可能である。具体的には、ロボット、家電製品などに、本開示は適用可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１  絶縁材料
２  第１電極
３  第２電極
４  穴部
５  静電付着装置
６  被吸着物
７  電界
８  空気
１１  絶縁材料
１２  第１電極
１３  第２電極
１４  穴部
１５  静電付着装置
１６  被吸着物
１７  電界
１８  空気
２０  静電付着装置
２１  絶縁体材料
２２  電極
２３  対象物
２４  電界
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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