(57)【要約】【課題】液溜部に塗布液等が残留するのを抑えることにより、塗布膜の品質低下を抑えることができ、メンテナンスも容易にすることができる塗布液ポンプを提供する。【解決手段】流入口と排出口とを有する円筒状のシリンダと、シリンダ内に塗布液を一時的に貯留する貯留部を形成する膜状シール部と、シリンダ内を摺動するプランジャと、を備え、プランジャを摺動させて膜状シール部を変位させることにより塗布液の流入、排出を行う塗布液ポンプであって、シリンダの側面には、膜状シール部を固定するシール固定部と、このシール固定部の液溜部側直近に流入口が設けられ、膜状シール部は、伸縮することによりプランジャの動きに追従するゴム部材で形成されており、その中央部と外径部とを連結する連結部は、プランジャの摺動位置にかかわらず、シール固定部よりも液溜部側に位置する姿勢を維持するように構成する。【選択図】図３
2014213230.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を流入する流入口と塗布液を排出する排出口とを有する円筒状のシリンダと、
前記シリンダ内に前記流入口から流入された塗布液を一時的に貯留する貯留部を形成する膜状シール部と、
前記シリンダ内を一方向に摺動するプランジャと、
を備え、前記プランジャを摺動させて前記膜状シール部を液溜部側と反対側に変位させることにより前記流入口から塗布液を液溜部に流入させ、前記膜状シール部を液溜部側に変位させることにより前記液溜部の塗布液を前記排出口から排出させる塗布液ポンプであって、
前記シリンダの側面には、前記膜状シール部を固定するシール固定部と、このシール固定部の前記液溜部側直近に前記流入口が設けられ、
前記膜状シール部は、伸縮することにより前記プランジャの動きに追従するゴム部材で形成されており、その中央部が前記プランジャに当接され、その外径部が前記シール固定部に固定されており、前記中央部と外径部とを連結する連結部は、前記プランジャの摺動位置にかかわらず、前記シール固定部よりも前記液溜部側に位置する姿勢を維持することを特徴とする塗布液ポンプ。
【請求項２】
前記シール固定部は、前記シリンダの側壁面よりも前記プランジャ側に突出する突出壁部を有しており、前記プランジャが前記液溜部に対して最も反対側に位置し、前記膜状シール部が収縮した状態で、前記シール固定部の突出壁部と前記膜状シール部とが当接されることを特徴とする請求項１に記載の塗布液ポンプ。
【請求項３】
前記シール固定部は、前記シリンダの側壁面よりも前記プランジャ側に突出する突出壁部を有しており、前記流入口は、前記突出壁部の一部を切り欠いて形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布液ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に塗布液を吐出することにより基板上に薄膜を形成する塗布装置に適用される塗布液ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス基板上にレジスト液（塗布液）が塗布されたもの（塗布基板と称す）が使用されている。この塗布基板は、レジスト液を均一に塗布する塗布装置によって形成されている。すなわち、塗布装置は、一方向に延びる口金のスリットノズルからレジスト液を吐出させながら、口金をガラス基板に沿う方向に移動させることにより、均一厚さのレジスト液膜が形成された塗布基板が形成されるようになっている。
【０００３】
このような塗布装置には、口金に一定量のレジスト液を供給するために、例えば下記特許文献１に記載されているように、図５に示す塗布液ポンプが備えられている。この塗布液ポンプは、円筒状のシリンダ１０１と、シリンダ１０１内を摺動するプランジャ１０２と、シリンダ１０１内に塗布液を一時的に貯留する液溜部１０３を形成する膜状シール部１０６とを有しており、プランジャ１０２が膜状シール部１０６を液溜部１０３側とその反対側に変位させることにより塗布液の流入及び排出ができるようになっている。すなわち、塗布液の流入動作では、プランジャ１０２を液溜部１０３と反対側（プランジャ根元側）に移動させることにより塗布液を流入口１０４から液溜部１０３に流入させて貯留させる（図５（ｂ））。そして、塗布液の排出動作では、プランジャ１０２を液溜部１０３側に摺動させることにより液溜部１０３の塗布液を排出口１０５から排出させるようになっている（図５（ａ））。
【０００４】
ここで、膜状シール部１０６は、外径部分１０６ｂがシリンダ１０１に固定され、中央部分１０６ａがプランジャ１０２に固定されており、外径部分１０６ｂと中央部分１０６ａとの間に位置する連結部１０６ｃは、余長を有するように形成されている。具体的には、膜状シール部１０６の連結部１０６ｃは、外径部分１０６ｂが固定されるシリンダ１０１のシール固定部１０８から液溜部１０３と反対側（プランジャ根元側）で折り返されており（折返し部１０７という）、十分な弛みを有するように形成されている。すなわち、流入動作及び排出動作によりプランジャ１０２が摺動動作を行うと、プランジャ１０２の先端位置とシール固定部１０８との距離が変化するため、その距離の変化を連結部１０６ｃの余長で吸収し、プランジャ１０２の摺動動作を行っても膜状シール部１０６が破断することなく、液溜部１０３への塗布液の流入、及び、液溜部１０３から塗布液の排出ができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２０７４８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記特許文献１に記載された塗布液ポンプ１００では、液溜部１０３に塗布液が残留するという問題があった。すなわち、連結部１０６ｃには折返し部１０７が形成されているため、排出動作の際、プランジャ１０２が最上死点（液溜部１０３の排出口側）に達した場合でも折返し部１０７が形成されているため、この折返し部１０７の凹形状部分に塗布液が残留し、残留した塗布液が高濃度化、乾燥化等により異物の発生原因となり、塗布膜の品質に影響する虞があった。
【０００７】
また、塗布液の種類を変更したり、メンテナンスを行う場合、口金の洗浄と同時に塗布液ポンプ１００の液溜部１０３も洗浄される。この洗浄作業の際に洗浄液が折返し部１０７に残留するという問題もあった。具体的には、プランジャ１０２を液溜部１０３と反対側に移動させることにより、口金のスリットノズルから洗浄液を吸引させて液溜部１０３まで洗浄液を流入させる。すなわち、スリットノズルから吸引された洗浄液は、排出口１０５を通じて液溜部１０３に流入することにより液溜部１０３が洗浄される。次に、排出口１０５からクリーンドライエア（ＣＤＡ）を流入させて液溜部１０３の残留する塗布液及び洗浄液（塗布液等という）を流入口１０４から排出させる。しかし、連結部１０６ｃの折返し部１０７の凹形状部分が排出口１０５より液溜部１０３と反対側に位置しているため、ＣＤＡを高圧で流入させても残留液が流入口１０４から排出されず、塗布液及び洗浄液が折返し部１０７に残留する。この残留する塗布液等は、ハウジングを開放して拭取り作業が必要になるため、メンテナンス性が悪くなるという問題もあった。
【０００８】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、液溜部に塗布液等が残留するのを抑えることにより、塗布膜の品質低下を抑えることができ、メンテナンスも容易にすることができる塗布液ポンプを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明の塗布液ポンプは、塗布液を流入する流入口と塗布液を排出する排出口とを有する円筒状のシリンダと、前記シリンダ内に前記流入口から流入された塗布液を一時的に貯留する貯留部を形成する膜状シール部と、前記シリンダ内を一方向に摺動するプランジャと、を備え、前記プランジャを摺動させて前記膜状シール部を液溜部側と反対側に変位させることにより前記流入口から塗布液を液溜部に流入させ、前記膜状シール部を液溜部側に変位させることにより前記液溜部の塗布液を前記排出口から排出させる塗布液ポンプであって、前記シリンダの側面には、前記膜状シール部を固定するシール固定部と、このシール固定部の前記液溜部側直近に前記流入口が設けられ、前記膜状シール部は、伸縮することにより前記プランジャの動きに追従するゴム部材で形成されており、その中央部が前記プランジャに当接され、その外径部が前記シール固定部に固定されており、前記中央部と外径部とを連結する連結部は、前記プランジャの摺動位置にかかわらず、前記シール固定部よりも前記液溜部側に位置する姿勢を維持することを特徴としている。
【００１０】
上記塗布液ポンプによれば、膜状シール部が伸縮性を有するゴム部材で形成されているため、プランジャの摺動動作に追従することができる。すなわち、流入動作及び排出動作によりプランジャが摺動動作を行った場合でも、膜状シール部自身の伸縮性によりプランジャの先端位置とシール固定部との距離の変化を吸収できるため、膜状シール部の連結部に折返し部を持たせなくても、膜状シール部が破断することなくプランジャの摺動動作を行うことができる。
【００１１】
また、塗布液の種類を変更したり、メンテナンスを行う等、洗浄作業が必要になる場合でも、塗布液及び洗浄液（塗布液等）が残留する問題を回避できる。すなわち、洗浄液を排出口から流入させて液溜部に貯留した後に流入口から塗布液及び洗浄液（塗布液等）を排出させる場合、従来の折返し部が形成されておらず、また、膜状シール部が伸縮性を有するゴム部材で形成されているため、シール固定部の位置よりも貯留部と反対側（プランジャ根元側）に膜状シール部が位置する部分がない。すなわち、膜状シール部は、その全体がシール固定部よりも液溜部側に存在する。そして、流入口がシール固定部の液溜部側直近に設けられているため、液溜部内の塗布液等は、液溜部を形成するシリンダの側壁面、および、膜状シール部を伝って流入口を通じてスムーズに排出させることができる。すなわち、ＣＤＡを高圧で流入させるだけで、塗布液等が流入口からスムーズに排出させることができ、塗布液及び洗浄液が液溜部に残留するのを抑えることができる。このように、液溜部に残留液が残留するのを抑えることにより、塗布膜の品質低下を抑え、メンテナンスも容易にすることができる。
【００１２】
また、前記シール固定部は、前記シリンダの側壁面よりも前記プランジャ側に突出する突出壁部を有しており、前記プランジャが前記液溜部に対して最も反対側に位置し、前記膜状シール部が収縮した状態で、前記シール固定部の突出壁部と前記膜状シール部とが当接される構成にしてもよい。
【００１３】
この構成によれば、前記シール固定部の突出壁部と前記膜状シール部とが当接されることにより、液溜部が突出液部と膜状シール部とによって確実に密封される。したがって、前記プランジャが前記液溜部に対して最も反対側に位置させて（プランジャをプランジャ根元部側に位置させて）、液溜部内に塗布液（又は洗浄液）を流入させた際、液溜部内の塗布液等がシール固定部よりプランジャ根元部側に侵入するのを抑えることができるため、液溜部内に塗布液等が残留するのを抑えることができる。
【００１４】
また、前記シール固定部は、前記シリンダの側壁面よりも前記プランジャ側に突出する突出壁部を有しており、前記シール固定部は、前記シリンダの側壁面よりも前記プランジャ側に突出する突出壁部を有しており、前記流入口は、前記突出壁部の一部を切り欠いて形成されている構成にしてもよい。
【００１５】
この構成によれば、前記シール固定部の突出壁部と前記膜状シール部とが当接されることにより、液溜部が突出液部と膜状シール部とによって確実に密封されるため、液溜部の塗布液等は突出壁部上に一時的に滞留するが、流入口が突出壁部の一部を切り欠いて形成されているため、突出壁部上に滞留する塗布液等が流入口を通じてスムーズに排出される。すなわち、塗布液等が突出壁部上に塗布液等が残留するのを抑えることができ、ひいては、塗布液等が液溜部に残留するのを抑えることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の塗布液ポンプによれば、液溜部に塗布液等が残留するのを抑えることにより、塗布膜の品質低下を抑えることができ、メンテナンスも容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の塗布装置を示す概略斜視図である。
【図２】上記塗布装置の概略構成図である。
【図３】本発明の塗布液ポンプを示す図であり、（ａ）は、プランジャが液溜部と反対側に移動した図、（ｂ）は、プランジャが液溜室側に移動した図である。
【図４】シール固定部付近を示す図であり、（ａ）は、図３におけるシール固定部付近の拡大図であり、（ｂ）は、流入口を液溜部側から見た図である。
【図５】従来の塗布液ポンプを示す図であり、（ａ）は、プランジャが液溜部側に移動した図、（ｂ）は、プランジャが液溜室と反対側に移動した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。
【００１９】
図１は、一実施形態における本発明の塗布液ポンプを備える塗布装置を示す斜視図であり、図２は、塗布装置を概略的に示した図であり、図３は、本発明の塗布液ポンプを示す図である。
【００２０】
図１、図２に示すように、塗布装置は、供給される薄板状の基板２に薬液やレジスト液等の塗布液を塗布するものである。この塗布装置は、基台３と、基板２を載置するためのステージ４と、このステージ４に対し一定方向に移動可能に構成される塗布ユニット５と、この塗布ユニット５に塗布液を供給する塗布液ポンプ８とを備えている。
【００２１】
なお、以下の説明では、塗布ユニット５が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向とし、図１における手前側を前方、その反対側を後方として説明を進めることとする。
【００２２】
前記基台３は、各構成部材、例えばステージ４及び塗布ユニット５が所定の姿勢を保つように支持するものである。
【００２３】
前記ステージ４は、搬入された基板２をその表面に載置して保持するものである。具体的には、ステージ４には、その表面に開口する複数の吸引孔が形成されており、これらの吸引孔と真空ポンプとが連通して接続されている。そして、ステージ４の表面に基板２が載置された状態で真空ポンプを作動させることにより、吸引孔に吸引力が発生し基板２がステージ４の表面側に吸引されて吸着保持されるようになっている。また、ステージ４には、基板２を昇降動作させる基板昇降機構が設けられている。すなわち、ステージ４の表面には複数のピン孔が形成されており、このピン孔にはＺ軸方向に昇降動作可能なリフトピンが埋設されている。これにより、ステージ４の表面に基板２を載置した状態でリフトピンを上昇させることにより、リフトピンの先端部分が基板２に当接した状態で、基板２を所定の高さ位置に保持できるようになっている。
【００２４】
前記塗布ユニット５は、ステージ４に載置された基板２に塗布液を塗布するためのものであり、一方向に延び塗布液を吐出する口金部６と、この口金部６の両端部分に設けられたユニット支持部７とを有している。
【００２５】
前記ユニット支持部７は、口金部６を昇降動作可能に支持するとともに、この口金部６をＸ軸方向に移動させるためのものであり、走行装置１０とこの走行装置１０に支持される昇降装置２０とを有している。
【００２６】
昇降装置２０は、口金部６を昇降動作させるものであり、Ｚ軸方向に延びるレール２１と口金部６に連結されるスライダ２２とを有している。このレール２１には、スライダ２２がレール２１に沿ってスライド自在に取り付けられている。また、スライダ２２にはサーボモータ２３により駆動されるボールねじ機構が取り付けられており、このサーボモータ２３を駆動制御することにより、スライダ２２がＺ軸方向に移動するとともに、任意の位置で停止できるようになっている。これにより、口金部６は、Ｚ軸方向への昇降動作が駆動制御され、ステージ４に対して接離可能に動作するようになっている。
【００２７】
走行装置１０は、口金部６をＸ軸方向に走行させるためのものであり、走行装置本体１１とＸ軸方向に延びるレール１３とを有している。この走行装置本体１１は、基台３との間に設けられるエアパッド（不図示）によって基台３上に支持されている。そして、走行装置本体１１は、その一部がレール１３にスライド自在に取り付けられており、走行装置本体１１に取り付けられたリニアモータ１２を駆動制御することにより、走行装置本体１１がＸ軸方向に移動するようになっている。これにより、口金部６は、Ｘ軸方向に沿って走行することができるようになっている。
【００２８】
このように構成されるユニット支持部７により、口金部６は、ステージ４の表面に対してＺ軸方向に昇降動作できるとともに、ステージ４の表面から所定高さを維持した状態でステージ４の表面上をＸ軸方向に沿って走行できるようになっている。
【００２９】
前記口金部６は、Ｙ軸方向に延びる形状を有する柱状部材であり、ステージ４の表面と対向する対向面には塗布液を吐出するノズル６１（図２参照）が形成されている。このノズル６１は、ステージ４の表面側に突出し、この突出した部分にはＹ軸方向に延びる形状のスリットが形成されている。すなわち、このスリットを通じて口金部６に供給された塗布液が基板２の表面に吐出されるようになっている。
【００３０】
具体的には、この口金部６の上流側には、塗布液を貯留する塗布液タンクＴと塗布液ポンプ８とが備えられており、塗布液ポンプ８が、塗布液を口金部６に圧送することにより、口金部６内の塗布液がスリットを通じて吐出されるようになっている。
【００３１】
前記塗布液ポンプ８は、図３に示すように、シリンダ８１と、プランジャ８２と、膜状シール部８４とを有している。すなわち、プランジャ８２の先端部分が膜状シール部８４に当接しており、プランジャ８２がシリンダ８１内を摺動することにより、塗布液の吸入及び排出ができるように構成されている。具体的には、シリンダ８１内には、塗布液を一時的に貯留する液溜部８３が形成されており、プランジャ８２を摺動させて前記膜状シール部８４を液溜部８３側と反対側に変位させることにより塗布液を液溜部８３に流入させ、膜状シール部８４を液溜部８３側に変位させることにより液溜部８３に貯留された塗布液を排出させるようになっている。
【００３２】
シリンダ８１は、一方向に延びる円筒状形状を有しており、先端側シリンダ８１ａと根元側シリンダ８１ｂとがフランジ部８１ｃでボルトにより締結されることにより一体的に形成されている。このシリンダ８１には、排出口８１ｄと、流入口８１ｅとが設けられており、塗布液を流入口８１ｅから液溜部８３に流入させ、液溜部８３の塗布液を排出口８１ｄから排出させるようになっている。
【００３３】
ここで、液溜部８３は、塗布液を一時的に貯留するものであり、シリンダ８１内に形成されている。すなわち、根元側シリンダ８１ｂの端部には、膜状シール部８４が設けられており、シリンダ８１の延びる方向と直交する姿勢で取付けられている。すなわち、液溜部８３は、先端側シリンダ８１ａと根元側シリンダ８１ｂと膜状シール部８４とによって密閉状に形成されている。そして、塗布液ポンプ８のメンテナンス時には、ボルトを外して先端側シリンダ８１ａを根元側シリンダ８１ｂから取り外すことにより、液溜部８３内の拭取り作業が容易に行われるようになっている。
【００３４】
先端側シリンダ８１ａは、略円筒形状を有しており、塗布液を排出させる排出口８１ｄが設けられている。この排出口８１ｄは、先端側シリンダ８１ａの頂上部中心位置に液溜部８３に貫通して設けられている。この排出口８１ｄは、口金部６と配管を通じて接続されており、液溜部８３の塗布液が排出口８１ｄを通じて供給されるようになっている。すなわち、液溜部８３に塗布液が貯留された後、図３（ｂ）に示すように、プランジャ８２を先端側シリンダ８１ａ側に移動させると膜状シール部８４が液溜部８３側に変位することにより、液溜部８３から排出口８１ｄを通じて塗布液が排出される。そして、排出された塗布液は、配管を通じて口金部６に供給される。
【００３５】
根元側シリンダ８１ｂは、略円筒形状を有しており、塗布液を流入させる流入口８１ｅが設けられている。この流入口８１ｅは、根元側シリンダ８１ｂの側面に液溜部８３に貫通して形成されている。この流入口８１ｅは、塗布液タンクＴと配管を通じて接続されており、塗布液タンクＴの塗布液が流入口８１ｅから供給されるようになっている。すなわち、図３（ａ）に示すように、プランジャ８２を根元側シリンダ８１ｂ側に移動させると膜状シール部８４が液溜部８３側と反対側に変位することにより、塗布液タンクＴの塗布液が配管を通じて液溜部８３に供給される。
【００３６】
また、プランジャ８２は、円柱状の棒状部材であり、シリンダ８１内を一方向に摺動するように構成されている。具体的には、プランジャ８２は、レール９１がシリンダ８１の延びる方向と平行に移動するように取付けられたＬＭガイド９と連結されており、根元部分８２ｂがボールネジ等の駆動装置（不図示）と連結されている。この駆動装置を駆動制御するとプランジャ８２がＬＭガイド９のレール上を移動することにより、プランジャ８２がシリンダ８１内を一方向に摺動できるようになっている。すなわち、プランジャ８２の先端部分８２ａには膜状シール部８４に当接されており、駆動装置を駆動制御することにより、膜状シール部８４を液溜部８３側とその反対側に変位させることができるようになっている。
【００３７】
また、塗布液ポンプ８は、本実施形態では、軸方向が鉛直方向に沿うように配置されている。具体的には、根元側シリンダ８１ｂがポンプ台座９３にボルトで固定されており、シリンダ８１の延びる方向、及び、プランジャ８２の移動方向が鉛直方向とほぼ一致するように固定されている。これにより、膜状シール部８４は、鉛直方向と直交する姿勢を保つように固定されることにより、膜状シール部８４に作用する重力の影響がほぼ均一になり、塗布液を安定して口金部６に供給できるようになっている。
【００３８】
膜状シール部８４は、天然ゴム、合成ゴム等の弾性力のあるゴム材料で形成されており、ほぼ均一厚さの膜状に形成されている。この膜状シール部８４は、図３（ａ）に示すように、自然状態では、プランジャ８２の先端部分８２ａが嵌め込まれる形状に癖付けされている。すなわち、この膜状シール部８４は、中心から外径側に向かって、中央部８４ａ、連結部８４ｂ、外径部８４ｃを有しており、膜状シール部８４の外径部８４ｃがシリンダ８１のシール固定部８１ｆで固定され、中央部８４ａでプランジャ８２の先端部分８２ａが嵌め込まれることにより当接されている。
【００３９】
具体的には、膜状シール部８４は、図３（ａ）に示すようなプランジャ８２が最も液溜部８３から離れた状態（最も液溜部８３側と反対側に位置した状態）では、シリンダ８１の延びる方向に対して直交する姿勢（最も収縮した状態）からプランジャ８２の先端部分８２ａで中央部８４ａが液溜部８３側に少し変位させられる。すなわち、膜状シール部８４は、シール固定部８１ｆに位置する外径部８４ｃから中央部８４ａが少しだけ液溜部８３側に変位しており、連結部８４ｂがこの外径部８４ｃと中央部８４ａとを直線的に連結する姿勢になっている。この状態では、液溜部８３側に少し変位させられたことにより弾性力が発生し、プランジャ８２と膜状シール部８４の中央部８４ａとが嵌め込まれた状態が保たれる。また、膜状シール部８４は、図３（ｂ）に示すようなプランジャ８２が最も液溜部８３側に位置した状態では、中央部８４ａがプランジャ８２の先端部分８２ａで押し込まれ液溜部８３内の排出口８１ｄ近くに変位させられる。すなわち、膜状シール部８４は、連結部８４ｂを主としてその全体が弾性変形することにより、シール固定部８１ｆに位置する外径部８４ｃから連結部８４ｂがプランジャ８２の外周面に沿うように弾性変形し中央部８４ａを連結する姿勢になる。このように、膜状シール部８４は、弾性変形することにより、プランジャ８２の摺動動作に伸縮して追従する。すなわち、従来のように連結部８４ｂに折返し部などの余長部分を形成することなく、プランジャ８２の摺動動作に追従することができる。
【００４０】
ここで、シール固定部８１ｆは、膜状シール部８４を固定するものであり、本実施形態では、根元側シリンダ８１ｂの端部に設けられている。根元側シリンダ８１ｂの端部は、フランジ状に形成されており、このシール固定部８１ｆとポンプ台座９３との間に膜状シール部８４の外径部８４ｃが挟持され、シール固定部８１ｆ及びポンプ台座９３とがボルトで連結されることにより、膜状シール部８４が固定されている。すなわち、膜状シール部８４がシール固定部８１ｆと密着されることにより液溜部８３が密封される。
【００４１】
また、シール固定部８１ｆは、図４に示すように、根元側シリンダ８１の側壁面よりも内径側（プランジャ８２側）に突出する突出壁部８６を有している。ここで、図４は、シール固定部８１ｆ付近を示す図であり、図４（ａ）は、図３のシール固定部８１ｆ付近の拡大図であり、図４（ｂ）は、流入口８１ｅを液溜部８３側から見た図である。この突出壁部８６は、液溜部８３と対向する液溜部対向面８６ａと、プランジャ８２側に対向するプランジャ対向面８６ｂとを有している。液溜部対向面８６ａは、プランジャ８２の摺動方向に対して直交する面であり、液溜部８３に対向するように環状に形成されている。また、プランジャ対向面８６ｂは、プランジャ８２に対向する面であり、プランジャ８２の外周面に対向するように環状に形成されている。そして、この突出壁部８６は、プランジャ８２が最も液溜部８３から離れた状態（最も液溜部８３側と反対側に位置した状態）で、最も収縮状態にある膜状シール部８４に当接するように形成されている。すなわち、プランジャ８２が液溜部８３側に移動している場合には、膜状シール部８４が弾性変形することにより、突出壁部８６と対向する部分の肉厚が薄くなるため膜状シール部８４と突出壁部８６との間に形成される隙間に塗布液等が侵入するが、プランジャ８２が最も液溜部８３から離れた位置に移動し、突出壁部８６と膜状シール部８４とが当接することにより、侵入した塗布液等が液溜部８３内に押し出されるようになっている。これにより、プランジャ８２の摺動動作により膜状シール部８４が延伸し、膜状シール部８４と突出壁部８６との間に形成される隙間に塗布液等が残留するのを防止することができるようになっている。
【００４２】
また、上述したように根元側シリンダ８１ｂの側面に形成される流入口８１ｅは、本実施形態では、シール固定部８１ｆの直上に形成されており、突出壁部８６の一部を切り欠いて形成されている。具体的には、断面円形の流入口８１ｅは、突出壁部８６の液溜部対向面８６ａの一部が切り欠かれることによって形成されている。すなわち、液溜部対向面８６ａの高さ位置に対して流入口８１ｅの一部の壁面が低くなる（液溜部８３と反対側に位置する）ように形成されている。これにより、口金部６の洗浄等を行う場合に塗布液等を流入口８１ｅから排出させる際、塗布液等が液溜部８３に残留するのを抑えることができる。
【００４３】
具体的には、塗布液の種類を変更したり、メンテナンスを行う場合、口金部６から洗浄液を流入させる。すなわち、プランジャ８２を液溜部８３と反対側に移動させることにより口金部６のスリットノズル６１から洗浄液を吸引させ、排出口８１ｄを通じて液溜部８３まで洗浄液を流入させる。ここで、塗布液ポンプ８は、軸方向が鉛直方向になるように設けられているため、流入された洗浄液及び塗布液（塗布液等という）は、突出壁部８６の液溜部対向面８６ａ側から貯留される。そして、流入口８１ｅを開口させて液溜部８３に貯留される塗布液等を排出させ、最終的に、排出口８１ｄからクリーンドライエア（ＣＤＡ）を流入させて液溜部８３の残留する塗布液等を流入口８１ｅから排出させ、乾燥させる。その際、塗布液等は底面となる液溜部対向面８６ａから流入口８１ｅを通じて排出されるが、流入口８１ｅが液溜部対向面８６ａより低い位置に切り欠いて形成されているため、液溜部対向面８６ａから流入口８１ｅにスムーズに流れて排出される。すなわち、従来では、流入口８１ｅよりも低い位置（液溜部８３と反対側）に膜状シール部８４の連結部８４ｂに折返し部（余長部分）が存在していたため、この折返し部に塗布液等が残留する問題が生じるが、本発明では、膜状シール部８４の連結部８４ｂは、中央部８４ａと外径部８４ｃとがほぼ直線的に連結されているため、流入口８１ｅよりも低い位置（液溜部８３と反対側）に液溜部８３が形成されない。したがって、液溜部８３の塗布液等が流入口８１ｅを通じてスムーズに排出され、液溜部８３に塗布液等が残留する問題を抑えることができる。
【００４４】
このように、上記実施形態における塗布液ポンプ８によれば、膜状シール部８４が伸縮性を有するゴム部材で形成されているため、プランジャ８２の摺動動作に追従することができる。すなわち、流入動作及び排出動作によりプランジャ８２が摺動動作を行った場合でも、膜状シール部８４自身の伸縮性によりプランジャ８２の先端位置とシール固定部８１ｆとの距離の変化を吸収できる。そのため、膜状シール部８４の連結部８４ｂに折返し部を持たせなくても、膜状シール部８４が破断することなくプランジャ８２の摺動動作を行うことができる。また、塗布液の種類を変更したり、メンテナンスを行う等、洗浄作業が必要になる場合でも、塗布液及び洗浄液（塗布液等）が残留する問題を回避できる。すなわち、液溜部８３に残留液が残留するのを抑えることにより、塗布膜の品質低下を抑え、メンテナンスも容易にすることができる。
【００４５】
なお、上記実施形態では、塗布液ポンプは、軸方向が鉛直方向に沿う姿勢で設けられる例について説明したが、通常塗布動作の場合には、軸方向が水平方向に沿う姿勢で使用し、メンテナンス時などにより液溜部８３の塗布液等を流入口８１ｅから排出させる必要がある場合のみ、軸方向が鉛直方向に沿う姿勢に切り換えられるように構成してもよい。
【符号の説明】
【００４６】
２  基板
６  口金部
８  塗布液ポンプ
８１  シリンダ
８１ｄ  排出口
８１ｅ  流入口
８１ｆ  シール固定部
８２  プランジャ
８３  液溜部
８４  膜状シール部
８４ａ  中央部
８４ｂ  連結部
８４ｃ  外径部
８６  突出壁部
８６ａ  液溜部対向面
８６ｂ  プランジャ対向面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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