(57)【要約】【課題】データ変換効率を向上する。【解決手段】データ変換装置７では、階層化された入力データを出力データにデータ変換する際に、入力データが表すパターンである親図形において参照される第１参照図形要素をキャッシュ化した場合のデータ変換の効率向上の程度を示す第１キャッシュ効率と、第１参照図形要素において参照される第２参照図形要素をキャッシュ化した場合のデータ変換の効率向上の程度を示す第２キャッシュ効率とが比較される。そして、データ変換の効率向上の程度が大きい方の参照図形要素がキャッシュ化された後、キャッシュ化された参照図形要素の参照ランレングスを利用して、入力データから出力データへのデータ変換が行われる。これにより、データ変換の効率向上により適した参照図形要素をキャッシュ化することができる。その結果、入力データから出力データへのデータ変換の効率を適切に向上することができる。【選択図】図１
2014174196.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の図形要素を表す階層化された入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、
ａ）親図形を表す親図形データブロックと、前記親図形データブロックにおいて参照される第１参照図形要素を表す第１参照図形データブロックと、前記第１参照図形データブロックにおいて参照される第２参照図形要素を表す第２参照図形データブロックとを含む入力データに基づいて、前記第１参照図形要素を単独でランレングス化した第１参照ランレングスをキャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから出力データへの変換の際に、前記親図形内の前記第１参照図形要素が配置される全ての第１参照領域に前記第１参照ランレングスを配置すると仮定した場合の、前記入力データから前記出力データへの変換の効率向上の程度を示す第１キャッシュ効率を求める工程と、
ｂ）前記入力データに基づいて、前記第２参照図形要素を単独でランレングス化した第２参照ランレングスを前記キャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから前記出力データへの変換の際に、前記親図形および前記第１参照図形要素内の前記第２参照図形要素が配置される全ての第２参照領域に前記第２参照ランレングスを配置すると仮定した場合の第２キャッシュ効率を求める工程と、
ｃ）前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも大きい場合、前記第１参照図形データブロックから前記第１参照ランレングスを生成して参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶し、前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも小さい場合、前記第２参照図形データブロックから前記第２参照ランレングスを生成して前記参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶する工程と、
ｄ）前記親図形内において前記参照ランレングスに対応する参照図形要素が配置される全ての参照領域に前記参照ランレングスを配置しつつ、前記入力データから前記出力データへの変換を行う工程と、
を備え、
前記ａ）工程において、前記第１参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第１特徴量に、前記親図形データブロックにおける前記第１参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第１キャッシュ効率が求められ、
前記ｂ）工程において、前記第２参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第２特徴量に、前記親図形データブロックおよび前記第１参照図形データブロックにおける前記第２参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第２キャッシュ効率が求められることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項２】
複数の図形要素を表す階層化された入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、
ａ）親図形を表す親図形データブロックと、前記親図形データブロックにおいて参照される第１参照図形要素を表す第１参照図形データブロックと、前記第１参照図形データブロックにおいて参照される第２参照図形要素を表す第２参照図形データブロックとを含む入力データに基づいて、前記第１参照図形要素を単独でランレングス化した第１参照ランレングスをキャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから出力データへの変換の際に、前記親図形内の前記第１参照図形要素が配置される全ての第１参照領域に前記第１参照ランレングスを配置すると仮定した場合の、前記入力データから前記出力データへの変換の効率向上の程度を示す第１キャッシュ効率を求める工程と、
ｂ）前記入力データに基づいて、前記第２参照図形要素を単独でランレングス化した第２参照ランレングスを前記キャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから前記出力データへの変換の際に、前記親図形および前記第１参照図形要素内の前記第２参照図形要素が配置される全ての第２参照領域に前記第２参照ランレングスを配置すると仮定した場合の第２キャッシュ効率を求める工程と、
ｃ）前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも大きく、かつ、所定の効率閾値よりも大きい場合、前記第１参照図形データブロックから前記第１参照ランレングスを生成して参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶し、前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも小さく、かつ、前記第２キャッシュ効率が前記効率閾値よりも大きい場合、前記第２参照図形データブロックから前記第２参照ランレングスを生成して前記参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶する工程と、
ｄ）前記ｃ）工程において前記参照ランレングスが記憶された場合、前記親図形内において前記参照ランレングスに対応する参照図形要素が配置される全ての参照領域に前記参照ランレングスを配置しつつ、前記入力データから前記出力データへの変換を行い、前記ｃ）工程において前記参照ランレングスが記憶されなかった場合、前記入力データから前記出力データへの変換を行う工程と、
を備え、
前記ａ）工程において、前記第１参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第１特徴量に、前記親図形データブロックにおける前記第１参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第１キャッシュ効率が求められ、
前記ｂ）工程において、前記第２参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第２特徴量に、前記親図形データブロックおよび前記第１参照図形データブロックにおける前記第２参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第２キャッシュ効率が求められることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のデータ変換方法であって、
前記第１参照ランレングスおよび前記第２参照ランレングスにおいて複数のランレングスがそれぞれ延びる方向を第１の方向とし、前記第１の方向に垂直な方向を第２の方向として、前記第１特徴量が、前記第１参照図形要素に含まれる図形要素群の前記第２の方向の幅の合計であり、前記第２特徴量が、前記第２参照図形要素に含まれる図形要素群の前記第２の方向の幅の合計であることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記親図形データブロックにおいて複数の第１参照図形要素が参照され、各第１参照図形要素が複数の図形要素を含み、
前記データ変換方法が、前記ａ）工程よりも前に、前記複数の図形要素を合成する工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記第１参照図形データブロックにおいて複数の第２参照図形要素が参照され、各第２参照図形要素が複数の図形要素を含み、
前記データ変換方法が、前記ｂ）工程よりも前に、前記複数の図形要素を合成する工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項６】
基板上にパターンを描画する描画システムであって、
請求項１ないし５のいずれかに記載のデータ変換方法により入力データを出力データに変換するデータ変換装置と、
前記データ変換装置により生成された前記出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置と、
を備え、
前記描画装置が、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板に光を照射する光変調素子と、
前記光変調素子から導かれた光の前記基板上における照射位置を前記基板に対して相対的に移動する照射位置移動機構と、
前記出力データに基づいて前記光変調素子からの光の変調を制御する光変調素子制御部と、
を備えることを特徴とする描画システム。
【請求項７】
複数の図形要素のベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
ａ）親図形を表す親図形データブロックと、前記親図形データブロックにおいて参照される第１参照図形要素を表す第１参照図形データブロックと、前記第１参照図形データブロックにおいて参照される第２参照図形要素を表す第２参照図形データブロックとを含む入力データに基づいて、前記第１参照図形要素を単独でランレングス化した第１参照ランレングスをキャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから出力データへの変換の際に、前記親図形内の前記第１参照図形要素が配置される全ての第１参照領域に前記第１参照ランレングスを配置すると仮定した場合の、前記入力データから前記出力データへの変換の効率向上の程度を示す第１キャッシュ効率を求める工程と、
ｂ）前記入力データに基づいて、前記第２参照図形要素を単独でランレングス化した第２参照ランレングスを前記キャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから前記出力データへの変換の際に、前記親図形および前記第１参照図形要素内の前記第２参照図形要素が配置される全ての第２参照領域に前記第２参照ランレングスを配置すると仮定した場合の第２キャッシュ効率を求める工程と、
ｃ）前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも大きい場合、前記第１参照図形データブロックから前記第１参照ランレングスを生成して参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶し、前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも小さい場合、前記第２参照図形データブロックから前記第２参照ランレングスを生成して前記参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶する工程と、
ｄ）前記親図形内において前記参照ランレングスに対応する参照図形要素が配置される全ての参照領域に前記参照ランレングスを配置しつつ、前記入力データから前記出力データへの変換を行う工程と、
を実行させ、
前記ａ）工程において、前記第１参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第１特徴量に、前記親図形データブロックにおける前記第１参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第１キャッシュ効率が求められ、
前記ｂ）工程において、前記第２参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第２特徴量に、前記親図形データブロックおよび前記第１参照図形データブロックにおける前記第２参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第２キャッシュ効率が求められることを特徴とするプログラム。
【請求項８】
複数の図形要素のベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
ａ）親図形を表す親図形データブロックと、前記親図形データブロックにおいて参照される第１参照図形要素を表す第１参照図形データブロックと、前記第１参照図形データブロックにおいて参照される第２参照図形要素を表す第２参照図形データブロックとを含む入力データに基づいて、前記第１参照図形要素を単独でランレングス化した第１参照ランレングスをキャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから出力データへの変換の際に、前記親図形内の前記第１参照図形要素が配置される全ての第１参照領域に前記第１参照ランレングスを配置すると仮定した場合の、前記入力データから前記出力データへの変換の効率向上の程度を示す第１キャッシュ効率を求める工程と、
ｂ）前記入力データに基づいて、前記第２参照図形要素を単独でランレングス化した第２参照ランレングスを前記キャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから前記出力データへの変換の際に、前記親図形および前記第１参照図形要素内の前記第２参照図形要素が配置される全ての第２参照領域に前記第２参照ランレングスを配置すると仮定した場合の第２キャッシュ効率を求める工程と、
ｃ）前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも大きく、かつ、所定の効率閾値よりも大きい場合、前記第１参照図形データブロックから前記第１参照ランレングスを生成して参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶し、前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも小さく、かつ、前記第２キャッシュ効率が前記効率閾値よりも大きい場合、前記第２参照図形データブロックから前記第２参照ランレングスを生成して前記参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶する工程と、
ｄ）前記ｃ）工程において前記参照ランレングスが記憶された場合、前記親図形内において前記参照ランレングスに対応する参照図形要素が配置される全ての参照領域に前記参照ランレングスを配置しつつ、前記入力データから前記出力データへの変換を行い、前記ｃ）工程において前記参照ランレングスが記憶されなかった場合、前記入力データから前記出力データへの変換を行う工程と、
を実行させ、
前記ａ）工程において、前記第１参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第１特徴量に、前記親図形データブロックにおける前記第１参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第１キャッシュ効率が求められ、
前記ｂ）工程において、前記第２参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第２特徴量に、前記親図形データブロックおよび前記第１参照図形データブロックにおける前記第２参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第２キャッシュ効率が求められることを特徴とするプログラム。
【請求項９】
請求項７または８に記載のプログラムであって、
前記第１参照ランレングスおよび前記第２参照ランレングスにおいて複数のランレングスがそれぞれ延びる方向を第１の方向とし、前記第１の方向に垂直な方向を第２の方向として、前記第１特徴量が、前記第１参照図形要素に含まれる図形要素群の前記第２の方向の幅の合計であり、前記第２特徴量が、前記第２参照図形要素に含まれる図形要素群の前記第２の方向の幅の合計であることを特徴とするプログラム。
【請求項１０】
請求項７ないし９のいずれかに記載のプログラムであって、
前記親図形データブロックにおいて複数の第１参照図形要素が参照され、各第１参照図形要素が複数の図形要素を含み、
前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータに、前記ａ）工程よりも前に、前記複数の図形要素を合成する工程をさらに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１１】
請求項７ないし１０のいずれかに記載のプログラムであって、
前記親図形データブロックおよび前記第１参照図形データブロックにおいて複数の第２参照図形要素が参照され、各第２参照図形要素が複数の図形要素を含み、
前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータに、前記ｂ）工程よりも前に、前記複数の図形要素を合成する工程をさらに実行させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の図形要素を表す階層化された入力データをランレングスデータである出力データに変換する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体基板やプリント基板、あるいは、プラズマ表示装置や液晶表示装置用のガラス基板等（以下、「基板」という。）に形成された感光材料に光を照射することにより、パターンの描画が行われている。近年、パターンの高精細化に伴い、感光材料上にて光ビームを走査してパターンを直接描画するパターン描画装置が利用されている。
【０００３】
このようなパターンは、設計段階では通常、ＣＡＤデータ等のベクトルデータにより表現されており、パターン描画装置によるパターンの描画に際して、当該ベクトルデータを、パターン描画装置が利用可能なランレングスデータ等のラスタデータに変換する処理（ＲＩＰ：Raster Image Processing）が行われる。パターン描画装置では、データ変換に要する時間を短縮することが求められている。
【０００４】
例えば、特許文献１では、描画パターンに繰り返し現れる定形パターンを抽出して露光用定形ラスタデータを生成しておき、露光装置による露光動作の際に、固有パターンのパターンデータを固有ラスタデータに変換するとともに、露光用定形ラスタデータを固有ラスタデータと合成することにより、露光ラスタデータを生成する技術が提案されている。
【０００５】
特許文献２でも同様に、ベクトル形式の設計データをラスタライズする際に、設計データにおいて繰り返し記述される構成要素である部品を抽出し、１種の部品につき１個のみをラスタライズして部品ラスタデータに変換する技術が提案されている。特許文献２では、また、マルチヘッドの描画装置において、全体のラスタデータから各記録ヘッド毎のラスタデータを作成する際に、部品とレイアウト情報を持つ方法と、レイアウト情報に応じて部品を配列して合成する方法とのデータ量を推測および比較し、いずれの方法を選択するかを判断する技術も提案されている。
【０００６】
特許文献３では、入力データに含まれる図形データ要素について、矩形分割処理が行われた処理済データ要素のデータベースを検索し、対応する処理済データ要素が検出された場合は当該処理済データ要素を出力データに含め、検出されなかった場合は、図形データ要素に矩形分割処理を行って処理済データ要素を生成して出力データに含める方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−８０７７７号公報
【特許文献２】特開２００８−２２５１８７号公報
【特許文献３】特開２００７−２０８０５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、パターンのベクトルデータは、通常、階層構造を有するデータブロックの集合として表現される。各データブロックは、１つ以上の図形要素や他のデータブロックが示す図形要素を参照するための情報を含む。上述の特許文献１ないし特許文献３で提案される技術では、このようなベクトルデータをラスタデータに変換する際に、繰り返し出現するデータブロックを１回だけラスタライズして参照ラスタデータを作成しておき（すなわち、キャッシュ化しておき）、同種のデータブロックについては、参照ラスタデータを使用することになる。
【０００９】
しかしながら、繰り返し出現するデータブロックが階層構造を有している場合、一のデータブロックをキャッシュ化した際にデータ変換に要する時間が、当該データブロックが参照しているデータブロックをキャッシュ化した際にデータ変換に要する時間よりも長くなってしまう可能性がある。換言すれば、階層構造のどの階層でキャッシュ化を行うかによってデータ変換効率が変化する。
【００１０】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、データ変換効率を向上することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の発明は、複数の図形要素を表す階層化された入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、ａ）親図形を表す親図形データブロックと、前記親図形データブロックにおいて参照される第１参照図形要素を表す第１参照図形データブロックと、前記第１参照図形データブロックにおいて参照される第２参照図形要素を表す第２参照図形データブロックとを含む入力データに基づいて、前記第１参照図形要素を単独でランレングス化した第１参照ランレングスをキャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから出力データへの変換の際に、前記親図形内の前記第１参照図形要素が配置される全ての第１参照領域に前記第１参照ランレングスを配置すると仮定した場合の、前記入力データから前記出力データへの変換の効率向上の程度を示す第１キャッシュ効率を求める工程と、ｂ）前記入力データに基づいて、前記第２参照図形要素を単独でランレングス化した第２参照ランレングスを前記キャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから前記出力データへの変換の際に、前記親図形および前記第１参照図形要素内の前記第２参照図形要素が配置される全ての第２参照領域に前記第２参照ランレングスを配置すると仮定した場合の第２キャッシュ効率を求める工程と、ｃ）前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも大きい場合、前記第１参照図形データブロックから前記第１参照ランレングスを生成して参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶し、前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも小さい場合、前記第２参照図形データブロックから前記第２参照ランレングスを生成して前記参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶する工程と、ｄ）前記親図形内において前記参照ランレングスに対応する参照図形要素が配置される全ての参照領域に前記参照ランレングスを配置しつつ、前記入力データから前記出力データへの変換を行う工程とを備え、前記ａ）工程において、前記第１参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第１特徴量に、前記親図形データブロックにおける前記第１参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第１キャッシュ効率が求められ、前記ｂ）工程において、前記第２参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第２特徴量に、前記親図形データブロックおよび前記第１参照図形データブロックにおける前記第２参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第２キャッシュ効率が求められる。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、複数の図形要素を表す階層化された入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、ａ）親図形を表す親図形データブロックと、前記親図形データブロックにおいて参照される第１参照図形要素を表す第１参照図形データブロックと、前記第１参照図形データブロックにおいて参照される第２参照図形要素を表す第２参照図形データブロックとを含む入力データに基づいて、前記第１参照図形要素を単独でランレングス化した第１参照ランレングスをキャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから出力データへの変換の際に、前記親図形内の前記第１参照図形要素が配置される全ての第１参照領域に前記第１参照ランレングスを配置すると仮定した場合の、前記入力データから前記出力データへの変換の効率向上の程度を示す第１キャッシュ効率を求める工程と、ｂ）前記入力データに基づいて、前記第２参照図形要素を単独でランレングス化した第２参照ランレングスを前記キャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから前記出力データへの変換の際に、前記親図形および前記第１参照図形要素内の前記第２参照図形要素が配置される全ての第２参照領域に前記第２参照ランレングスを配置すると仮定した場合の第２キャッシュ効率を求める工程と、ｃ）前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも大きく、かつ、所定の効率閾値よりも大きい場合、前記第１参照図形データブロックから前記第１参照ランレングスを生成して参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶し、前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも小さく、かつ、前記第２キャッシュ効率が前記効率閾値よりも大きい場合、前記第２参照図形データブロックから前記第２参照ランレングスを生成して前記参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶する工程と、ｄ）前記ｃ）工程において前記参照ランレングスが記憶された場合、前記親図形内において前記参照ランレングスに対応する参照図形要素が配置される全ての参照領域に前記参照ランレングスを配置しつつ、前記入力データから前記出力データへの変換を行い、前記ｃ）工程において前記参照ランレングスが記憶されなかった場合、前記入力データから前記出力データへの変換を行う工程とを備え、前記ａ）工程において、前記第１参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第１特徴量に、前記親図形データブロックにおける前記第１参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第１キャッシュ効率が求められ、前記ｂ）工程において、前記第２参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第２特徴量に、前記親図形データブロックおよび前記第１参照図形データブロックにおける前記第２参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第２キャッシュ効率が求められる。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のデータ変換方法であって、前記第１参照ランレングスおよび前記第２参照ランレングスにおいて複数のランレングスがそれぞれ延びる方向を第１の方向とし、前記第１の方向に垂直な方向を第２の方向として、前記第１特徴量が、前記第１参照図形要素に含まれる図形要素群の前記第２の方向の幅の合計であり、前記第２特徴量が、前記第２参照図形要素に含まれる図形要素群の前記第２の方向の幅の合計である。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記親図形データブロックにおいて複数の第１参照図形要素が参照され、各第１参照図形要素が複数の図形要素を含み、前記データ変換方法が、前記ａ）工程よりも前に、前記複数の図形要素を合成する工程をさらに備える。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記第１参照図形データブロックにおいて複数の第２参照図形要素が参照され、各第２参照図形要素が複数の図形要素を含み、前記データ変換方法が、前記ｂ）工程よりも前に、前記複数の図形要素を合成する工程をさらに備える。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、基板上にパターンを描画する描画システムであって、請求項１ないし５のいずれかに記載のデータ変換方法により入力データを出力データに変換するデータ変換装置と、前記データ変換装置により生成された前記出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置とを備え、前記描画装置が、前記基板を保持する基板保持部と、前記基板に光を照射する光変調素子と、前記光変調素子から導かれた光の前記基板上における照射位置を前記基板に対して相対的に移動する照射位置移動機構と、前記出力データに基づいて前記光変調素子からの光の変調を制御する光変調素子制御部とを備える。
【００１７】
請求項７に記載の発明は、複数の図形要素のベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）親図形を表す親図形データブロックと、前記親図形データブロックにおいて参照される第１参照図形要素を表す第１参照図形データブロックと、前記第１参照図形データブロックにおいて参照される第２参照図形要素を表す第２参照図形データブロックとを含む入力データに基づいて、前記第１参照図形要素を単独でランレングス化した第１参照ランレングスをキャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから出力データへの変換の際に、前記親図形内の前記第１参照図形要素が配置される全ての第１参照領域に前記第１参照ランレングスを配置すると仮定した場合の、前記入力データから前記出力データへの変換の効率向上の程度を示す第１キャッシュ効率を求める工程と、ｂ）前記入力データに基づいて、前記第２参照図形要素を単独でランレングス化した第２参照ランレングスを前記キャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから前記出力データへの変換の際に、前記親図形および前記第１参照図形要素内の前記第２参照図形要素が配置される全ての第２参照領域に前記第２参照ランレングスを配置すると仮定した場合の第２キャッシュ効率を求める工程と、ｃ）前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも大きい場合、前記第１参照図形データブロックから前記第１参照ランレングスを生成して参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶し、前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも小さい場合、前記第２参照図形データブロックから前記第２参照ランレングスを生成して前記参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶する工程と、ｄ）前記親図形内において前記参照ランレングスに対応する参照図形要素が配置される全ての参照領域に前記参照ランレングスを配置しつつ、前記入力データから前記出力データへの変換を行う工程とを実行させ、前記ａ）工程において、前記第１参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第１特徴量に、前記親図形データブロックにおける前記第１参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第１キャッシュ効率が求められ、前記ｂ）工程において、前記第２参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第２特徴量に、前記親図形データブロックおよび前記第１参照図形データブロックにおける前記第２参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第２キャッシュ効率が求められる。
【００１８】
請求項８に記載の発明は、複数の図形要素のベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）親図形を表す親図形データブロックと、前記親図形データブロックにおいて参照される第１参照図形要素を表す第１参照図形データブロックと、前記第１参照図形データブロックにおいて参照される第２参照図形要素を表す第２参照図形データブロックとを含む入力データに基づいて、前記第１参照図形要素を単独でランレングス化した第１参照ランレングスをキャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから出力データへの変換の際に、前記親図形内の前記第１参照図形要素が配置される全ての第１参照領域に前記第１参照ランレングスを配置すると仮定した場合の、前記入力データから前記出力データへの変換の効率向上の程度を示す第１キャッシュ効率を求める工程と、ｂ）前記入力データに基づいて、前記第２参照図形要素を単独でランレングス化した第２参照ランレングスを前記キャッシュメモリに記憶しておき、前記入力データから前記出力データへの変換の際に、前記親図形および前記第１参照図形要素内の前記第２参照図形要素が配置される全ての第２参照領域に前記第２参照ランレングスを配置すると仮定した場合の第２キャッシュ効率を求める工程と、ｃ）前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも大きく、かつ、所定の効率閾値よりも大きい場合、前記第１参照図形データブロックから前記第１参照ランレングスを生成して参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶し、前記第１キャッシュ効率が前記第２キャッシュ効率よりも小さく、かつ、前記第２キャッシュ効率が前記効率閾値よりも大きい場合、前記第２参照図形データブロックから前記第２参照ランレングスを生成して前記参照ランレングスとして前記キャッシュメモリに記憶する工程と、ｄ）前記ｃ）工程において前記参照ランレングスが記憶された場合、前記親図形内において前記参照ランレングスに対応する参照図形要素が配置される全ての参照領域に前記参照ランレングスを配置しつつ、前記入力データから前記出力データへの変換を行い、前記ｃ）工程において前記参照ランレングスが記憶されなかった場合、前記入力データから前記出力データへの変換を行う工程とを実行させ、前記ａ）工程において、前記第１参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第１特徴量に、前記親図形データブロックにおける前記第１参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第１キャッシュ効率が求められ、前記ｂ）工程において、前記第２参照図形要素のランレングス化に要する時間を示す第２特徴量に、前記親図形データブロックおよび前記第１参照図形データブロックにおける前記第２参照図形要素の参照回数から１だけ減算した回数を乗算することにより、前記第２キャッシュ効率が求められる。
【００１９】
請求項９に記載の発明は、請求項７または８に記載のプログラムであって、前記第１参照ランレングスおよび前記第２参照ランレングスにおいて複数のランレングスがそれぞれ延びる方向を第１の方向とし、前記第１の方向に垂直な方向を第２の方向として、前記第１特徴量が、前記第１参照図形要素に含まれる図形要素群の前記第２の方向の幅の合計であり、前記第２特徴量が、前記第２参照図形要素に含まれる図形要素群の前記第２の方向の幅の合計である。
【００２０】
請求項１０に記載の発明は、請求項７ないし９のいずれかに記載のプログラムであって、前記親図形データブロックにおいて複数の第１参照図形要素が参照され、各第１参照図形要素が複数の図形要素を含み、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータに、前記ａ）工程よりも前に、前記複数の図形要素を合成する工程をさらに実行させる。
【００２１】
請求項１１に記載の発明は、請求項７ないし１０のいずれかに記載のプログラムであって、前記親図形データブロックおよび前記第１参照図形データブロックにおいて複数の第２参照図形要素が参照され、各第２参照図形要素が複数の図形要素を含み、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータに、前記ｂ）工程よりも前に、前記複数の図形要素を合成する工程をさらに実行させる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明では、データ変換効率を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】一の実施の形態に係る描画システムの構成を示す図である。
【図２】描画装置の側面図である。
【図３】描画装置の平面図である。
【図４】空間光変調器を拡大して示す図である。
【図５．Ａ】光変調素子の断面を示す図である。
【図５．Ｂ】光変調素子の断面を示す図である。
【図６】データ変換装置の構成を示す図である。
【図７．Ａ】データ変換の流れを示す図である。
【図７．Ｂ】データ変換の流れの一部を示す図である。
【図８】親図形を示す図である。
【図９】第１参照図形要素を示す図である。
【図１０】第２参照図形要素を示す図である。
【図１１】親図形を示す概念図である。
【図１２】第１参照図形要素を示す概念図である。
【図１３】第１参照図形要素を示す図である。
【図１４】第２参照図形要素を示す図である。
【図１５】親図形を示す図である。
【図１６】処理時間を示す図である。
【図１７】親図形を示す図である。
【図１８】親図形を示す概念図である。
【図１９】図形要素を示す図である。
【図２０】図形要素を示す図である。
【図２１】第１参照図形要素を示す概念図である。
【図２２】データ変換の流れの一部を示す図である。
【図２３】親図形を示す概念図である。
【図２４】第１参照図形要素を示す概念図である。
【図２５】処理時間を示す図である。
【図２６】データ変換の流れの一部を示す図である。
【図２７】データ変換の流れの一部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１は、本発明の一の実施の形態に係る描画システム１００の構成を示す図である。描画システム１００は、液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に「基板」という。）上の感光材料に光を利用してパターンを描画するシステムである。図１に示すように、描画システム１００は、データ変換装置７と、描画装置１とを備える。データ変換装置７は、パターンを示すベクトルデータである入力データを、ランレングスデータである出力データに変換する（すなわち、ラスタライズを行う）。描画装置１は、データ変換装置７により生成された出力データに基づいて、基板上にパターンを描画する。図１では、データ変換装置７の各機能も併せて示している。以下では、描画装置１について説明した後、データ変換装置７およびデータ変換装置７にて取り扱われるデータについて説明する。
【００２５】
図２および図３はそれぞれ、描画装置１の側面図および平面図である。図２および図３に示すように、描画装置１は、保持部移動機構２と、基板保持部３と、光照射部４と、フレーム１２とを備える。基板保持部３は、（＋Ｚ）側の主面９１（以下、「上面９１」という。）上に感光材料の層が形成された基板９を保持する。保持部移動機構２は、基台１１上に設けられ、基板保持部３をＺ方向に垂直なＸ方向およびＹ方向に移動する。フレーム１２は、基板保持部３および保持部移動機構２を跨ぐように基台１１に固定される。光照射部４は、フレーム１２に取り付けられ、基板９上の感光材料に変調された光を照射する。また、描画装置１は、図２に示すように、保持部移動機構２や光照射部４等の各構成を制御する制御部６を備える。
【００２６】
図２および図３に示すように、基板保持部３は、ステージ３１と、ステージ回転機構３２と、支持プレート３３とを備える。基板９は、ステージ３１上に載置される。支持プレート３３は、ステージ３１を回転可能に支持する。ステージ回転機構３２は、支持プレート３３上において、基板９の上面９１に垂直な回転軸３２１を中心としてステージ３１を回転する。
【００２７】
保持部移動機構２は、副走査機構２３と、ベースプレート２４と、主走査機構２５とを備える。副走査機構２３は、基板保持部３を図２および図３中のＸ方向（以下、「副走査方向」という。）に移動する。ベースプレート２４は、副走査機構２３を介して支持プレート３３を支持する。主走査機構２５は、基板保持部３をベースプレート２４と共にＸ方向に垂直なＹ方向（以下、「主走査方向」という。）に移動する。描画装置１では、保持部移動機構２により、基板９の上面９１に平行な主走査方向および副走査方向に基板保持部３が移動される。
【００２８】
図２および図３に示すように、副走査機構２３は、リニアモータ２３１と、１対のリニアガイド２３２とを備える。リニアモータ２３１は、支持プレート３３の下側（すなわち、（−Ｚ）側）において、ステージ３１の主面に平行、かつ、主走査方向に垂直な副走査方向に伸びる。１対のリニアガイド２３２は、リニアモータ２３１の（＋Ｙ）側および（−Ｙ）側において副走査方向に伸びる。主走査機構２５は、リニアモータ２５１と、１対のエアスライダ２５２とを備える。リニアモータ２５１は、ベースプレート２４の下側において、ステージ３１の主面に平行な主走査方向に伸びる。１対のエアスライダ２５２は、リニアモータ２５１の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側において主走査方向に伸びる。
【００２９】
図３に示すように、光照射部４は、副走査方向に沿って等ピッチにて配列されてフレーム１２に取り付けられる複数（本実施の形態では、８つ）の光学ヘッド４１を備える。また、光照射部４は、図２に示すように、各光学ヘッド４１に接続される光源光学系４２、並びに、紫外光を出射するＵＶ光源４３および光源駆動部４４を備える。ＵＶ光源４３は固体レーザである。光源駆動部４４が駆動されることにより、ＵＶ光源４３から波長３５５ｎｍの紫外光が出射され、光源光学系４２を介して光学ヘッド４１へと導かれる。
【００３０】
各光学ヘッド４１は、出射部４５と、光学系４５１，４７と、空間光変調器４６とを備える。出射部４５は、ＵＶ光源４３からの光を下方に向けて出射する。光学系４５１は、出射部４５からの光を反射して空間光変調器４６へと導く。空間光変調器４６は、光学系４５１を介して照射された出射部４５からの光を変調しつつ反射する。光学系４７は、空間光変調器４６からの変調された光を、基板９の上面９１に設けられた感光材料上へと導く。
【００３１】
図４は、空間光変調器４６を拡大して示す図である。図４に示すように、空間光変調器４６は、出射部４５を介して照射されたＵＶ光源４３（図２参照）からの光を基板９の上面９１へと導く回折格子型の複数の光変調素子４６１を備える。光変調素子４６１は半導体装置製造技術を利用して製造され、格子の深さを変更することができる回折格子となっている。光変調素子４６１には複数の可撓リボン４６１ａおよび複数の固定リボン４６１ｂが交互に平行に配列形成され、複数の可撓リボン４６１ａは背後の基準面に対して個別に昇降移動可能とされ、複数の固定リボン４６１ｂは基準面に対して固定される。回折格子型の光変調素子としては、例えば、ＧＬＶ（Grating Light Valve：グレーチング・ライト・バルブ）（シリコン・ライト・マシーンズ（サニーベール、カリフォルニア）の登録商標）が知られている。
【００３２】
図５．Ａおよび図５．Ｂは、可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂに対して垂直な面における光変調素子４６１の断面を示す図である。図５．Ａに示すように可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂが基準面４６１ｃに対して同じ高さに位置する（すなわち、可撓リボン４６１ａが撓まない）場合には、光変調素子４６１の表面は面一となり、入射光Ｌ１の反射光が０次光Ｌ２として導出される。一方、図５．Ｂに示すように可撓リボン４６１ａが固定リボン４６１ｂよりも基準面４６１ｃ側に撓む場合には、可撓リボン４６１ａが回折格子の溝の底面となり、入射光Ｌ１が入射した光変調素子４６１から１次回折光Ｌ３（さらには、高次回折光）が導出され、０次光は消滅する。このように、光変調素子４６１は回折格子を利用した光変調を行う。
【００３３】
図２に示す光照射部４では、ＵＶ光源４３からの光が光源光学系４２により線状光（光束断面が線状の光）とされ、出射部４５を介して空間光変調器４６のライン状に配列された複数の可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂ（図５．Ａおよび図５．Ｂ参照）上に照射される。光変調素子４６１では、隣接する各１本の可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂを１つのリボン対とすると、３つ以上のリボン対が描画されるパターンの１つの画素に対応する。
【００３４】
光変調素子４６１では、各空間光変調器４６に接続される光変調素子制御部６１からの信号に基づいてパターンの各画素に対応するリボン対の可撓リボン４６１ａがそれぞれ制御され、各画素に対応するリボン対が０次光（正反射光）を出射する図５．Ａに示す状態と、非０次回折光（主として１次回折光（（＋１）次回折光および（−１）次回折光））を出射する図５．Ｂに示す状態との間で遷移可能とされる。また、光変調素子４６１は、可撓リボン４６１ａが図５．Ａに示す状態と図５．Ｂに示す状態との間の状態まで撓むことにより、図５．Ａに示す状態よりも強度が小さい０次光を出射する状態とされる。
【００３５】
光変調素子４６１から出射される０次光は光学系４７へと導かれ、１次回折光は光学系４７とは異なる方向へと導かれる。なお、迷光となることを防止するために１次回折光は図示を省略する遮光部により遮光される。光変調素子４６１からの０次光は、光学系４７を介して基板９の上面９１へと導かれ、これにより、基板９の上面９１上においてＸ方向（すなわち、副走査方向）に並ぶ複数の照射位置のそれぞれに変調された光が照射される。
【００３６】
図２および図３に示す描画装置１では、保持部移動機構２の主走査機構２５により主走査方向に移動される基板９に対し、光照射部４の光変調素子４６１から変調された光が照射される。換言すれば、主走査機構２５は、光変調素子４６１から基板９へと導かれた光の基板９上における照射位置を、基板９に対して主走査方向に相対的に移動する照射位置移動機構となっている。なお、描画装置１では、例えば、基板９を移動することなく、光変調素子４６１が主走査方向に移動することにより基板９上の照射位置が主走査方向に移動されてもよい。描画装置１では、基板９を主走査方向に移動しつつ、図２に示す制御部６の光変調素子制御部６１により、光変調素子４６１からの光の変調がデータ変換装置７から描画装置１へと出力された出力データに基づいて制御されることにより、データ変換装置７に入力された入力データが示すパターンが基板９上に描画される。
【００３７】
次に、データ変換装置７について説明する。図６は、データ変換装置７の構成を示す図である。データ変換装置７は、通常のコンピュータと同様に、各種演算処理を行うＣＰＵ７０１、実行されるプログラムを記憶したり演算処理の作業領域となるＲＡＭ７０２、基本プログラムを記憶するＲＯＭ７０３、各種情報を記憶する固定ディスク７０４、作業者に各種情報を表示するディスプレイ７０５、および、キーボードやマウス等の入力部７０６等を接続した構成となっている。固定ディスク７０４内には、データ変換装置７により実行されるプログラム７０７が記憶される。プログラム７０７は、基板上に描画される予定のパターンを示すベクトルデータである入力データを、ランレングスデータである出力データに変換する（すなわち、ラスタライズを行う）プログラムである。
【００３８】
図１では、データ変換装置７のＣＰＵ７０１（図６参照）等がプログラム７０７に従って演算処理等を行うことにより（すなわち、プログラム７０７がデータ変換装置７により実行されることにより）実現される機能をブロックにて示す。図１中のデータ受付部７１と、図形要素合成部７２と、キャッシュ効率演算部７３と、キャッシュ化部７４と、キャッシュメモリ７５と、出力データ生成部７６と、フォーマット変換部７７と、データ出力部７８とが、ＣＰＵ７０１等により実現される機能に相当する。なお、これらの機能は複数台のコンピュータにより実現されてもよい。
【００３９】
次に、図１に示すデータ変換装置７による入力データから出力データへのデータ変換について説明する。以下では、まず、図形要素合成部７２を使用しないデータ変換について説明し、その後、図形要素合成部７２を使用するデータ変換について説明する。図７．Ａおよび図７．Ｂは、図形要素合成部７２を使用しないデータ変換の流れを示す図である。データ変換装置７では、まず、図１に示すデータ受付部７１によりベクトルデータである入力データが受け付けられる。
【００４０】
図８は、入力データにより表されるパターン（以下、「親図形８１」という。）を示す図である。入力データでは、所定の配置領域８０に描画される親図形８１を複数の図形要素として捉えた上で、複数の図形要素のそれぞれがベクトルデータであるデータブロックとして表現される。当該データブロックには、対応する図形要素の形状や基板９上における位置を示す情報、他の図形要素に対応するデータブロックを参照するための情報等が含まれる。実際のデータ変換装置７では、後述する処理が、入力データに含まれる複数の図形要素に対応するデータブロックに対して行われるが、以下の説明では、理解を容易とするために、図形要素そのものを処理の取扱対象として説明する。なお、実際の入力データは通常、多種類かつ多様な形状の多数の図形要素を示すデータブロックを含む。
【００４１】
親図形８１は、２つの長方形の図形要素８１１、２つの三角形の図形要素８１２と、６つの平行四辺形の図形要素８１３と、１つの台形の図形要素８１４と、１つの菱形の図形要素８１５とを含む。合計１２個の図形要素８１１〜８１５は、４行×３列のマトリクス状に配列される。図形要素８１１〜８１５の最大幅は互いに等しく、「１」である。図８では、各図形要素に平行斜線を付す。後出する他の同様の図面においても、図形要素に平行斜線を付す。
【００４２】
親図形８１を表す親図形データブロックでは、図８中の左側から１列目の４つの図形要素が、図９に示す１つの第１参照図形要素８２を表す第１参照図形データブロックとして参照される。第１参照図形要素８２は、各１つの図形要素８１１，８１２と、２つの図形要素８１３とを含む。また、親図形データブロックでは、図８中の左側から２列目の４つの図形要素も、第１参照図形要素８２を表す第１参照図形データブロックとして参照される。
【００４３】
親図形データブロックでは、図８中の左側から３列目の図形要素のうち、下側２つの図形要素８１３がそれぞれ、図１０に示す１つの第２参照図形要素８３を表す第２参照図形データブロックとして参照される。第２参照図形要素８３は、１つの図形要素８１３を含む。第１参照図形要素８２を表す第１参照図形データブロックでは、図９中の下側２つの図形要素８１３がそれぞれ、図１０に示す１つの第２参照図形要素８３を表す第２参照図形データブロックとして参照される。
【００４４】
なお、入力データにおけるデータブロックの参照では、図形要素を拡大または縮小して参照したり、回転させて向きを変更して参照する場合がある。データ変換装置７では、このような参照が行われる図形要素は、参照図形要素とみなさず、図形要素をそのままの大きさおよび向きで参照する場合のみを参照図形要素とみなす。ただし、図形要素を回転させての参照が複数回繰り返されることにより、元の図形要素と同じ向きを向く同じ大きさの図形要素は、参照図形要素とみなす。
【００４５】
図１１は、親図形データブロックにて表される親図形８１を、上記参照関係を考慮して概念的に示す図である。親図形８１は、２つの第１参照図形要素８２と、２つの第２参照図形要素８３と、各１つの図形要素８１４，８１５とを含む。図１２は、第１参照図形データブロックにて表される第１参照図形要素８２を、上記参照関係を考慮して概念的に示す図である。第１参照図形要素８２は、２つの第２参照図形要素８３と、各１つの図形要素８１１，８１２とを含む。
【００４６】
入力データには、親図形データブロック、第１参照図形データブロック、および、第２参照図形データブロックをそれぞれ表すデータブロックが含まれる。入力データでは、親図形データブロック、第１参照図形データブロックおよび第２参照図形データブロックは階層化されている。
【００４７】
図８では、図中の上側から下側へと向かう方向（以下、「第１の方向」という。）が、図２および図３に示す描画装置１における（＋Ｙ）側から（−Ｙ）側へと向かう主走査方向に対応し、図中の左側から右側に向かう方向（すなわち、第１の方向に垂直な方向であり、以下、「第２の方向」という。）が、描画装置１における（＋Ｘ）側から（−Ｘ）側へと向かう副走査方向に対応する。
【００４８】
入力データが受け付けられると、キャッシュ効率演算部７３（図１参照）により、図９に示す第１参照図形要素８２に係る第１キャッシュ効率が入力データに基づいて求められる（ステップＳ１１）。第１キャッシュ効率とは、第１参照図形要素８２を単独でランレングス化した第１参照ランレングスをキャッシュメモリ７５に記憶しておき、入力データから出力データへの変換の際に、親図形８１内の第１参照図形要素８２が配置される全ての第１参照領域に第１参照ランレングスを配置すると仮定した場合の、入力データから出力データへの変換の効率向上の程度を示す値である。
【００４９】
第１キャッシュ効率の算出では、まず、親図形データブロックにおける第１参照図形要素８２の参照回数が求められる（図７．Ｂ：ステップＳ１１１）。図１１に示すように、親図形８１を表す親図形データブロックでは、第１参照図形要素８２の参照回数は２回である。続いて、第１参照図形要素８２のランレングス化に要する時間を示す第１特徴量が求められる（ステップＳ１１２）。第１特徴量は、第１参照図形要素８２のランレングス化に要する時間が長くなるに従って大きくなる量である。例えば、第１特徴量として、第１参照図形要素８２を実際にランレングス化した場合の所要時間が用いられてもよい。
【００５０】
第１参照図形要素８２をランレングス化する場合には、まず、図１３に示すように、第１参照図形要素８２が、第１の方向を向く複数の直線８０１にて所定幅毎に分割される。これにより、第２の方向に配列された当該所定幅の複数の領域８００が設定される。直線８０１は、描画装置１における主走査方向に平行な直線であり、以下、「走査線８０１」という。上記の所定幅は、描画装置１における描画の分解能に基づいて決定される幅であり、以下、「単位幅」という。また、領域８００を、以下、「単位領域８００」という。
【００５１】
続いて、各単位領域８００における第１参照図形要素８２のランレングスを示す単位ランレングスが第１参照図形データブロックから生成される。そして、これらの単位ランレングスと、対応する単位領域８００の位置を示すデータが関連づけられることにより、それぞれが第１の方向に延びる複数のランレングスの集合として第１参照図形要素８２を表す第１参照ランレングスが生成される。
【００５２】
また、第１キャッシュ効率の算出では、第１特徴量として、第１参照図形要素８２の外接矩形の面積、第１参照図形要素８２に含まれる図形要素の数、第１参照図形要素８２に含まれる図形要素の頂点の総数、または、第１参照図形要素８２に含まれる図形要素群の第２の方向の幅の合計が用いられてもよい。本実施の形態では、第１特徴量として、第１参照図形要素８２に含まれる図形要素群（すなわち、各１つの図形要素８１１，８１２、および、２つの図形要素８１３）の第２の方向の幅の合計が用いられる。
【００５３】
第１特徴量が求められると、第１特徴量に、ステップＳ１１１にて求められた第１参照図形要素８２の参照回数から１だけ減算した回数が乗算されることにより、第１キャッシュ効率が求められる（ステップＳ１１３）。上述のように、参照回数は２回であり、第１特徴量は、４つの図形要素の最大幅の合計である「４」であるため、第１キャッシュ効率は「４」となる。
【００５４】
第１キャッシュ効率が求められると、キャッシュ効率演算部７３により、第２参照図形要素８３に係る第２キャッシュ効率が入力データに基づいて求められる（ステップＳ１２）。第２キャッシュ効率とは、第２参照図形要素８３を単独でランレングス化した第２参照ランレングスをキャッシュメモリ７５に記憶しておき、入力データから出力データへの変換の際に、親図形８１および第１参照図形要素８２内の第２参照図形要素８３が配置される全ての第２参照領域に第２参照ランレングスを配置すると仮定した場合の、入力データから出力データへの変換の効率向上の程度を示す値である。
【００５５】
第２キャッシュ効率の算出は、上述の第１キャッシュ効率の算出とほぼ同様である。第２キャッシュ効率の算出では、まず、親図形データブロックおよび第１参照図形データブロックにおける第２参照図形要素８３の参照回数が求められる。図１１に示すように、親図形８１を表す親図形データブロックでは、第２参照図形要素８３の参照回数は２回である。また、図１２に示すように、第１参照図形要素８２を表す第１参照図形データブロックでは、第２参照図形要素８３の参照回数は２回である。図１１に示すように、親図形データブロックでは、第１参照図形要素８２が２回参照されるため、第２参照図形要素８３は、２つの第１参照図形データブロックにより合計４回参照される。したがって、親図形データブロックおよび第１参照図形データブロックにおける第２参照図形要素８３の参照回数は６回である。
【００５６】
続いて、第２参照図形要素８３のランレングス化に要する時間を示す第２特徴量が求められる。第２特徴量は、第２参照図形要素８３のランレングス化に要する時間が長くなるに従って大きくなる量である。第２特徴量としては、第１特徴量と同様の量が用いられる。本実施の形態では、第２特徴量として、第２参照図形要素８３に含まれる図形要素群（すなわち、１つの図形要素８１３）の第２の方向の幅の合計が用いられる。
【００５７】
第２特徴量は、第１特徴量と同様の量が用いられるのであればよく、例えば、第２参照図形要素８３を実際にランレングス化した場合の所要時間が、第２特徴量として用いられてもよい。第２参照図形要素８３のランレングス化は、上述の第１参照図形要素８２のランレングス化と同様に行われる。第２参照図形要素８３をランレングス化する場合には、図１４に示すように、第２参照図形要素８３が複数の単位領域８００に分割され、各単位領域８００における第２参照図形要素８３のランレングスを示す単位ランレングスが第２参照図形データブロックから生成される。そして、これらの単位ランレングスと、対応する単位領域８００の位置を示すデータが関連づけられることにより、それぞれが第１の方向に延びる複数のランレングスの集合として第２参照図形要素８３を表す第２参照ランレングスが生成される。また、第２特徴量として、第２参照図形要素８３の外接矩形の面積、第２参照図形要素８３に含まれる図形要素の数、または、第２参照図形要素８３に含まれる図形要素の頂点の総数が用いられてもよい。
【００５８】
第２特徴量が求められると、第２特徴量に、第２参照図形要素８３の参照回数から１だけ減算した回数が乗算されることにより、第２キャッシュ効率が求められる。上述のように、参照回数は６回であり、第２特徴量は、１つの図形要素８１３の最大幅である「１」であるため、第２キャッシュ効率は「５」となる。なお、第２キャッシュ効率の算出は、第１キャッシュ効率の算出（ステップＳ１１）と並行して行われてもよく、ステップＳ１１よりも前に行われてもよい。
【００５９】
第１キャッシュ効率および第２キャッシュ効率が求められると、第１キャッシュ効率と第２キャッシュ効率とが比較される（ステップＳ１３）。第１キャッシュ効率が第２キャッシュ効率よりも大きい場合、キャッシュ化部７４（図１参照）により、第１参照図形要素８２を表す第１参照図形データブロックから第１参照ランレングスが生成され、参照ランレングスとしてキャッシュメモリ７５に記憶される（ステップＳ１４）。一方、第１キャッシュ効率が第２キャッシュ効率よりも小さい場合、第２参照図形要素８３を表す第２参照図形データブロックから第２参照ランレングスが生成され、参照ランレングスとしてキャッシュメモリ７５に記憶される（ステップＳ１５）。
【００６０】
換言すれば、第１キャッシュ効率が第２キャッシュ効率よりも大きい場合、第１参照図形要素８２がキャッシュ化され、第１キャッシュ効率が第２キャッシュ効率よりも小さい場合、第２参照図形要素８３がキャッシュ化される。第１キャッシュ効率と第２キャッシュ効率とが等しい場合、本実施の形態ではステップＳ１５が行われるが、ステップＳ１４が行われてもよい。
【００６１】
上述のように、第１キャッシュ効率は「４」であり、第２キャッシュ効率は「５」であるため、図１４に示す第２参照図形要素８３と対応する第２参照図形データブロックから、第２参照ランレングスが生成され、第２参照ランレングスが、参照ランレングスとしてキャッシュメモリ７５に記憶される。
【００６２】
参照ランレングスがキャッシュメモリ７５に記憶されると、出力データ生成部７６により、図１５に示すように、親図形８１の配置領域８０が複数の単位領域８００に分割される。続いて、各単位領域８００について、各単位領域８００と重なる図形要素のランレングスを示す単位ランレングスが生成される。
【００６３】
単位ランレングスの生成の際には、参照ランレングスに対応する参照図形要素（本実施の形態では、第２参照図形要素８３）については、キャッシュメモリ７５内の参照ランレングスから、単位領域８００と重なる部分が読み出されて単位ランレングスに含められる。また、参照図形要素以外の図形要素については、単位領域８００と重なる領域の始点および終点等の情報が、当該図形要素を表すデータブロックに基づいて取得され、単位ランレングスに含められる。
【００６４】
そして、各単位領域８００に対応する単位ランレングスと、各単位領域８００の位置を示すデータが関連づけられることにより、それぞれが第１の方向に延びる複数のランレングスの集合である出力データ（すなわち、ランレングスデータ）が生成される（ステップＳ１６）。換言すれば、出力データ生成部７６では、親図形８１内において、参照ランレングスに対応する参照図形要素（本実施の形態では、第２参照図形要素８３）が配置される全ての参照領域に、キャッシュメモリ７５に記憶されている参照ランレングスを配置しつつ、入力データから出力データへの変換が行われる。
【００６５】
データ変換が終了すると、当該出力データが、フォーマット変換部７７により描画装置１における処理に適合するフォーマットにフォーマット変換された後、データ出力部７８により描画装置１へと出力される。描画装置１では、フォーマット変換後のデータに基づいて、図２に示す制御部６の光変調素子制御部６１から各空間光変調器４６へと信号が送られるとともに、主走査機構２５により基板９が主走査方向（すなわち、基板９上における上記第１の方向に対応する方向）に移動することにより、データ変換装置７に入力された入力データが示すパターンが基板９上の感光材料に描画される。
【００６６】
以上に説明したように、データ変換装置７では、第１参照図形要素８２をキャッシュ化した場合のデータ変換の効率向上の程度を示す第１キャッシュ効率と、第２参照図形要素８３をキャッシュ化した場合のデータ変換の効率向上の程度を示す第２キャッシュ効率とが比較される。そして、データ変換の効率向上の程度が大きい方の参照図形要素がキャッシュ化された後、キャッシュ化された参照図形要素の参照ランレングスを利用して、入力データから出力データへのデータ変換が行われる。これにより、データ変換の効率向上により適した参照図形要素をキャッシュ化することができる。その結果、入力データから出力データへのデータ変換の効率を適切に向上することができる。
【００６７】
ところで、短辺に対する長辺の割合がある程度以上大きい長方形（すなわち、細長い長方形）の図形要素のランレングス化を考えると、当該図形要素の長辺が第１の方向に平行になるように図形要素が配置されている場合、図形要素が重なる単位領域８００の数は少なくなるため、ランレングス化に要する時間は比較的短くなる。一方、当該図形要素の長辺が第２の方向に平行になるように図形要素が配置されている場合、図形要素が重なる単位領域８００の数は多くなるため、ランレングス化に要する時間は長くなる。
【００６８】
第１キャッシュ効率および第２キャッシュ効率を求める際の第１特徴量および第２特徴量として、第１参照図形要素８２および第２参照図形要素８３の外接矩形の面積や頂点数等が利用されると、親図形８１に上述のような細長い長方形の図形要素が含まれていた場合、図形要素の向きによるランレングス化の所要時間の差異は、第１キャッシュ効率および第２キャッシュ効率に反映されない。
【００６９】
これに対し、本実施の形態に係るデータ変換装置７では、第１特徴量は、第１参照図形要素８２に含まれる図形要素群の第２の方向の幅の合計であり、第２特徴量は、第２参照図形要素８３に含まれる図形要素群の第２の方向の幅の合計である。これにより、細長い長方形の図形要素等、向きによりランレングス化の所要時間が大きく異なる図形要素が親図形８１に含まれる場合であっても、このような図形要素の影響を考慮し、第１キャッシュ効率および第２キャッシュ効率を高精度に求めることができる。その結果、入力データから出力データへのデータ変換の効率をさらに適切に向上することができる。
【００７０】
また、第１特徴量および第２特徴量として、第１参照図形要素８２および第２参照図形要素８３を実際にランレングス化した場合の所要時間が用いられる場合に比べて、第１特徴量および第２特徴量を求めるために必要な時間を短くすることができる。その結果、入力データから出力データへのデータ変換に要する時間を短縮することができる。
【００７１】
図１６は、データ変換装置７によるデータ変換に要する時間（すなわち、処理時間）と、比較例のデータ変換装置によるデータ変換の処理時間とを比較する図である。比較例のデータ変換装置では、キャッシュ効率を考慮せず、入力データにおいて４回以上参照される図形要素が全てキャッシュ化される。各棒グラフの下側の部位は、図形要素のキャッシュ化に要する時間を示し、上側の部位は、入力データが示すパターンのランレングス化に要する時間である。本実施の形態に係るデータ変換装置７では、比較例のデータ変換装置に比べて、ランレングス化に要する時間は多少増加するが、キャッシュ化に要する時間が大きく減少する。その結果、比較例のデータ変換装置に比べて、データ変換に要する短縮を減少することができる。
【００７２】
次に、他の親図形８１ａを表す入力データの出力データへのデータ変換について説明する。図１７は、データ受付部７１により受け付けられた入力データにより表される親図形８１ａを示す図である。親図形８１ａでは、図８に示す親図形８１の各図形要素８１３に代えて、図形要素８１３ａおよび図形要素８１３ｂの組み合わせが配置される。各組み合わせにおける図形要素８１３ａと図形要素８１３ｂとの位置関係は互いに等しい。また、親図形８１と同様に、図形要素８１１，８１２，８１４，８１５を含む。
【００７３】
図形要素８１３ａは略Ｌ字状の図形要素であり、塗り属性を有する。図形要素８１３ｂは、図形要素８１３ａよりも一回り小さい略Ｌ字状の図形要素であり、抜き属性を有する。図形要素８１３ｂは図形要素８１３ａ上に重ねて配置される。描画装置１では、塗り属性を有する図形要素に対応する基板９上の領域に描画が行われ、抜き属性を有する図形要素に対応する領域には描画が行われない。図形要素８１３ａ，８１３ｂについては、図形要素８１３ａのうち図形要素８１３ｂと重ならない領域に対応する基板９上の領域に描画が行われる。図１７では、図形要素８１３ａ，８１３ｂのうち、基板９上において描画が行われる領域と対応する領域に平行斜線を付す。
【００７４】
図１８は、親図形８１ａを、参照関係を考慮して概念的に示す図である。親図形８１ａは、２つの第１参照図形要素８２ａと、２つの第３参照図形要素８４と、２つの第４参照図形要素８５と、各１つの図形要素８１４，８１５とを含む。第４参照図形要素８５は、第３参照図形要素８４上に重ねて配置される。図１９および図２０はそれぞれ、第３参照図形要素８４および第４参照図形要素８５を示す図である。第３参照図形要素８４は、１つの図形要素８１３ａを含み、第４参照図形要素８５は、１つの図形要素８１３ｂを含む。図２１は、第１参照図形要素８２ａを、参照関係を考慮して概念的に示す図である。第１参照図形要素８２ａは、各１つの図形要素８１１，８１２と、２つの第３参照図形要素８４と、２つの第４参照図形要素８５とを含む。
【００７５】
図７．Ａに示す方法（すなわち、図１に示す図形要素合成部７２を使用しない方法）にて親図形８１ａを表す入力データをデータ変換する場合、第３参照図形要素８４と第４参照図形要素８５とは、互いに参照する関係を有していないため、第３参照図形要素８４のキャッシュ化、および、第４参照図形要素８５のキャッシュ化が共に実行される。そして、ステップＳ１６の出力データの生成において、親図形８１ａ内の第３参照図形要素８４が配置される全ての参照領域に、キャッシュ化された第３参照図形要素８４の参照ランレングスが配置され、第４参照図形要素８５が配置される全ての参照領域（すなわち、第３参照図形要素８４が配置される参照領域と重なる領域）に、キャッシュ化された第４参照図形要素８５の参照ランレングスが配置される。その後、各参照領域において、両参照ランレングスの合成が行われる。この場合であっても、上述と同様に、入力データから出力データへのデータ変換の効率を適切に向上することができる。
【００７６】
一方、データ変換装置７において図形要素合成部７２を使用する場合、図２２に示すように、ステップＳ１２よりも前に、具体的には、ステップＳ１１とステップＳ１２との間において、図形要素合成部７２による図形要素８１３ａ，８１３ｂの合成が行われる（ステップＳ１２０）。合成後の各図形要素８１３ａ，８１３ｂは、図２３および図２４に示すように、親図形８１ａおよび各第１参照図形要素８２ａにおいて、第２参照図形要素８３ａとして参照される。換言すれば、各第２参照図形要素８３ａは、２つの図形要素８１３ａ，８１３ｂを含み、当該図形要素８１３ａ，８１３ｂはステップＳ１２０において合成される。
【００７７】
次に、ステップＳ１２において第２参照図形要素８３ａの第２キャッシュ効率（すなわち、合成後の図形要素８１３ａ，８１３ｂのキャッシュ効率）が求められる。第２特徴量は、上述のように、第２参照図形要素８３ａに含まれる図形要素群の第２の方向の幅の合計である。本実施の形態では、合成前の図形要素８１３ａの幅「１」と図形要素８１３ｂの幅「１」との合計「２」を第２特徴量とする。第２特徴量「２」に参照回数から１だけ減算された回数（５回）が乗算されることにより、第２キャッシュ効率は「１０」となる。また、第１参照図形要素８２ａの第１キャッシュ効率は、第１特徴量「６」に参照回数から１だけ減算された回数（１回）が乗算されることにより、「６」となる。
【００７８】
そして、ステップＳ１３，Ｓ１５において、第２参照図形要素８３ａ（すなわち、合成後の図形要素８１３ａ，８１３ｂ）がランレングス化され、参照ランレングスとしてキャッシュメモリ７５に記憶される。その後、ステップＳ１６の出力データの生成において、図１７に示す親図形８１ａ内の図形要素８１３ａ，８１３ｂが配置される全ての参照領域に、キャッシュ化された第２参照図形要素８３ａの参照ランレングスが配置される。
【００７９】
図２５は、図形要素合成部７２による図形要素の合成の有無によるデータ変換の処理時間を比較する図である。各棒グラフの下側の部位は、図形要素のキャッシュ化に要する時間を示し、上側の部位は、入力データが示すパターンのランレングス化に要する時間である。図形要素合成部７２を使用して図形要素の合成を行うことにより、図形要素の合成を行わない場合に比べて、キャッシュ化に要する時間はほとんど変わらないが、ランレングス化に要する時間は減少する。その結果、図形要素の合成をキャッシュ化前に行うことにより、図形要素の合成を行わない場合に比べて、データ変換に要する時間を短縮することができる。なお、第２参照図形要素８３ａに含まれる複数の図形要素８１３ａ，８１３ｂは、必ずしも重なり合う必要はない。図形要素８１３ａ，８１３ｂは、互いの一部のみが重なっていてもよく、離間していてもよい。
【００８０】
図１７ないし図２５を参照して、複数の第２参照図形要素８３ａがそれぞれ複数の図形要素８１３ａ，８１３ｂを含む場合のデータ変換について説明したが、複数の第１参照図形要素がそれぞれ複数の図形要素を含む場合のデータ変換も同様である。なお、各第１参照図形要素に含まれる複数の図形要素の位置関係は互いに等しい。この場合、図２６に示すように、ステップＳ１１よりも前に、複数の図形要素が図形要素合成部７２により合成されて第１参照図形要素とされる（ステップＳ１１０）。
【００８１】
図７．Ａに示すステップＳ１１では、合成後の複数の図形要素についてキャッシュ効率が求められ、第１参照図形要素の第１キャッシュ効率とされる。そして、ステップＳ１３において、第１キャッシュ効率が第２キャッシュ効率よりも大きいと判断された場合、ステップＳ１４において、上述の合成後の図形要素である第１参照図形要素がランレングス化され、参照ランレングスとしてキャッシュメモリ７５に記憶される。その後、ステップＳ１６の出力データの生成において、親図形内の第１参照図形要素が配置される全ての参照領域に、キャッシュ化された第１参照図形要素の参照ランレングスが配置される。その結果、第２参照図形要素８３ａに含まれる複数の図形要素８１３ａ，８１３ｂの合成を行う場合と同様に、図形要素の合成を行わない場合に比べて、データ変換に要する時間を短縮することができる。なお、第１参照図形要素および第２参照図形要素がそれぞれ複数の図形要素を含む場合、ステップＳ１１０およびステップＳ１２０の双方が行われてもよい。
【００８２】
次に、入力データに複数種類の親図形が含まれる場合のデータ変換の一例を説明する。各親図形は、少なくとも第１参照図形要素を参照しており、第１参照図形要素は第２参照図形要素を参照している。各親図形における第１参照図形要素および第２参照図形要素は、他の親図形における第１参照図形要素および第２参照図形要素と同じ図形要素でもよく、異なる図形要素でもよい。換言すれば、入力データは、親図形データブロック、第１参照図形データブロックおよび第２参照図形データブロックの複数の組み合わせを含む。
【００８３】
入力データに含まれる当該組み合わせの数が増加すると、キャッシュメモリ７５に記憶される参照ランレングスのデータ量も増大する。そこで、各組み合わせについて（すなわち、各親図形について）、ステップＳ１１，Ｓ１２を行った後に、図２７に示すように、第１キャッシュ効率と第２キャッシュ効率とが比較され（ステップＳ１３）、第１キャッシュ効率が第２キャッシュ効率よりも大きい場合、第１キャッシュ効率が所定の効率閾値と比較される（ステップＳ１３１）。
【００８４】
第１キャッシュ効率が効率閾値よりも大きいと、第１参照図形要素を表す第１参照図形データブロックから第１参照ランレングスが生成され、参照ランレングスとしてキャッシュメモリ７５に記憶される（図７．Ａ：ステップＳ１４）。換言すれば、第１参照図形要素がキャッシュ化される。そして、親図形内において、参照ランレングスに対応する参照図形要素（第１参照図形要素）が配置される全ての参照領域に、キャッシュメモリ７５に記憶されている参照ランレングスを配置しつつ、入力データから出力データへの変換が行われる（ステップＳ１６）。一方、第１キャッシュ効率が効率閾値以下の場合、第１参照図形要素のキャッシュ化は行われず、ステップＳ１６において、第１参照図形要素も他の図形要素と同様にランレングス化される。
【００８５】
第１キャッシュ効率が第２キャッシュ効率以下の場合、第２キャッシュ効率が効率閾値と比較される（ステップＳ１３２）。第２キャッシュ効率が効率閾値よりも大きいと、第２参照図形要素を表す第２参照図形データブロックから第２参照ランレングスが生成され、参照ランレングスとしてキャッシュメモリ７５に記憶される（ステップＳ１５）。換言すれば、第２参照図形要素がキャッシュ化される。そして、親図形内において、参照ランレングスに対応する参照図形要素（第２参照図形要素）が配置される全ての参照領域に、キャッシュメモリ７５に記憶されている参照ランレングスを配置しつつ、入力データから出力データへの変換が行われる（ステップＳ１６）。一方、第２キャッシュ効率が効率閾値以下の場合、第２参照図形要素のキャッシュ化は行われず、ステップＳ１６において、第２参照図形要素も他の図形要素と同様にランレングス化される。
【００８６】
すなわち、データ変換装置７では、第１キャッシュ効率および第２キャッシュ効率のうち大きい方のキャッシュ効率と効率閾値とが比較され、当該キャッシュ効率が効率閾値よりも大きい場合、当該キャッシュ効率に対応する参照図形要素のキャッシュ化（ステップＳ１４またはステップＳ１５）が行われる。一方、上記キャッシュ効率が効率閾値以下の場合、当該キャッシュ効率に対応する参照図形要素のキャッシュ化は行われない。参照図形要素のキャッシュ化が行われ、キャッシュメモリ７５に参照ランレングスが記憶された場合、キャッシュ化された参照ランレングスを利用して、入力データの出力データへのデータ変換が行われる（ステップＳ１６）。参照ランレングスが記憶されなかった場合、当該参照ランレングスに対応する参照図形要素は、ステップＳ１６において他の図形要素と同様にランレングス化される。
【００８７】
このように、データ変換装置７では、キャッシュ効率が所定の効率閾値よりも大きい参照図形要素のみをキャッシュ化することにより、キャッシュメモリ７５に記憶される参照ランレングスのデータ量の増大を抑制しつつ、入力データから出力データへのデータ変換の効率を向上することができる。また、効率閾値を変更することにより、キャッシュメモリ７５の容量に合わせて適切なキャッシュ化を行うことができる。なお、効率閾値を利用した上述のデータ変換においても、図１７ないし図２５にて説明したように、第２参照図形要素に含まれる複数の図形要素が合成されてもよい。同様に、第１参照図形要素に含まれる複数の図形要素が合成されてもよい。
【００８８】
上記描画システム１００は、様々な変更が可能である。
【００８９】
データ変換装置７では、ステップＳ１３よりも前に、図８ないし図１１に示す親図形８１に含まれる全ての図形要素８１１〜８１５、第１参照図形要素８２および第２参照図形要素８３についてキャッシュ効率が求められ、ステップＳ１３において比較されてもよいが、他の図形要素から参照されない図形要素の参照回数は１回となり、キャッシュ効率は０となる。このため、実質的には、第１参照図形要素８２および第２参照図形要素８３のキャッシュ効率が求められて比較されることになる。
【００９０】
上記実施の形態では、入力データは、親図形８１、第１参照図形要素８２および第２参照図形要素８３の３つの階層に階層化されているが、４つ以上の階層に階層化されていてもよい。この場合、他の図形要素から参照される一の図形要素を第１参照図形要素とし、当該第１参照図形要素が参照する図形要素を第２参照図形要素として、上述のデータ変換が行われる。第１参照図形要素は、親図形から直接的に参照される必要はなく、他の図形要素を介して間接的に参照されてもよい。
【００９１】
描画システム１００では、データ変換装置７において出力データがフォーマット変換されることなく描画装置１へと出力され、描画装置１においてフォーマット変換が行われてもよい。
【００９２】
データ変換装置７により出力データに変換される入力データは、必ずしも液晶表示装置用のガラス基板上に描画されるパターンを示すデータには限定されず、例えば、プラズマ表示装置等の他のフラットパネル表示装置またはフォトマスク用のガラス基板上に描画されるパターンを示すデータであってもよく、ＬＳＩ用のパターンデータであってもよい。また、他の様々な目的に利用される入力データがデータ変換装置により出力データに変換されてもよい。
【００９３】
描画装置１は、上述の構造を備えるものには限定されず、ランレングスデータである出力データに基づいて描画を行う装置であればよい。例えば、描画装置１の光照射部４は、ＧＬＶ以外の他の光変調素子を備える空間光変調器を備えてもよい。
【００９４】
上記実施の形態および各変形例における構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わされてよい。
【符号の説明】
【００９５】
１    描画装置
３    基板保持部
７    データ変換装置
９    基板
２５    主走査機構
６１    光変調素子制御部
７５    キャッシュメモリ
８１，８１ａ    親図形
８２，８２ａ    第１参照図形要素
８３，８３ａ    第２参照図形要素
１００    描画システム
４６１    光変調素子
７０７    プログラム
８１１〜８１５，８１３ａ，８１３ｂ    図形要素
Ｓ１１〜Ｓ１６，Ｓ１１０〜Ｓ１１３，Ｓ１２０，Ｓ１３１，Ｓ１３２    ステップ
【図１】
2014174196.tif 000003
【図２】
2014174196.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５．Ａ】
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【図５．Ｂ】
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【図６】
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【図７．Ａ】
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【図７．Ｂ】
2014174196.tif 000011
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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