(57)【要約】【課題】欠陥の形状にかかわらず、欠陥を、高精度で検出できる情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置、及び情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査方法を提供することを目的とする。【解決手段】情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置であって、前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板に向けて、輪帯光を照射する光照射部と、前記輪帯光の中央領域に受光面を向けて、照射した輪帯光が前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の表面上で散乱した散乱光を受光する散乱光受光部と、受光した散乱光に基づいて、前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の欠陥を判定する判定部とを備える情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置を用いる。【選択図】図１
2014071919.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置であって、
前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板に向けて、輪帯光を照射する光照射部と、
前記輪帯光の中央領域に受光面を向けて、照射した輪帯光が前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の表面上で散乱した散乱光を受光する散乱光受光部と、
受光した散乱光に基づいて、前記ガラス基板の欠陥を判定する判定部とを備える情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置。
【請求項２】
前記輪帯光を、前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の表面上に収束させるとともに、前記散乱光を中央領域で受光する対物レンズを備える請求項１に記載の情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置。
【請求項３】
前記対物レンズの開口数が、０．６〜０．９である請求項２に記載の情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置。
【請求項４】
前記光照射部が、円柱状の平行光の中央領域を遮蔽する遮蔽部を備え、
前記平行光を、前記遮蔽部を通過させることによって、前記輪帯光を照射する請求項１〜３のいずれか１項に記載の情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置。
【請求項５】
前記光照射部が、円柱状の平行光の光軸上において円錐部同士が対向するように並設された一対のアキシコンレンズを備え、
前記平行光を、前記一対のアキシコンレンズを通過させることによって、前記輪帯光を照射する請求項１〜３のいずれか１項に記載の情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置。
【請求項６】
前記輪帯光の幅が、前記輪帯光の外側の半径の０．２〜０．４倍である請求項１〜５のいずれか１項に記載の情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置。
【請求項７】
情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査方法であって、
前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板に向けて、輪帯光を照射する工程と、
照射した輪帯光が前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の表面上で散乱した散乱光を、前記輪帯光の中央領域に受光面を向けた散乱光受光部で受光する工程と、
受光した散乱光に基づいて、前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の欠陥を判定する工程とを備える情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置、及び情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気、光及び光磁気等を利用することによって、情報を情報記録媒体に記録する情報記録装置が知られている。このような情報記録装置としては、代表的なものとして、例えば、ハードディスクドライブ装置等が挙げられる。ハードディスクドライブ装置は、基板上に記録層を形成した情報記録媒体としての磁気ディスク（ハードディスク）に、磁気ヘッドによって磁気的に情報を記録し（書き込み）、記録した情報を再生する（読み出す）装置である。このような情報記録媒体の基材、いわゆるサブストレートとしては、ガラス基板が好適に用いられている。
【０００３】
また、ハードディスクドライブ装置は、磁気ディスクに情報を記録したり、読み出したりする際、磁気ヘッドを磁気ディスクに接触することなく、磁気ディスクに対し浮上させておくものである。そして、磁気ヘッドの浮上量を低減させることによって、記録密度の向上が図れることが知られている。近年は、磁気ディスクの記録密度の高密度化が図られ、磁気ヘッドの浮上量が数ｎｍ程度にまで減少している。このため、情報記録媒体にガラス基板の異物欠陥等に基づく欠陥があると、前記磁気ヘッドの浮上が不安定になり、磁気ヘッドと磁気ディスクとが衝突してしまう、いわゆるヘッドクラッシュとよばれる現象が発生することがある。また、ヘッドクラッシュを起こさない場合であっても、磁気ヘッドの浮上安定性に影響することがある。これらのことから、磁気ヘッドの浮上量をより低減させて、記録密度をより高めるためには、従来では問題とならないような小さな欠陥であっても、情報記録媒体はもちろん情報記録媒体用ガラス基板上にも出来る限り少ないこと等が求められるようになっている。このため、情報記録媒体や情報記録媒体用ガラス基板の、欠陥の数や大きさ等を検査する欠陥検査が、重要になってきている。
【０００４】
情報記録媒体用ガラス基板の欠陥を検査する方法としては、例えば、ガラス基板に検査光を照射し、照射した検査光の反射光及び散乱光に基づいて、欠陥量等を測定する方法等が挙げられる。このような方法は、信頼性が不充分な場合があった。具体的には、刷毛目状の線状凹凸等の方向性のある欠陥の場合、検査光の照射する角度によっては、充分に検出されない場合があり、情報記録媒体の記録再生時にエラーとなって顕在化する場合があった。このため、情報記録媒体用ガラス基板の欠陥の数や大きさ等をより高精度で検出できる検査装置が求められていた。
【０００５】
そこで、情報記録媒体用ガラス基板等の基板表面の欠陥検査装置としては、例えば、特許文献１に記載の欠陥検査装置が挙げられる。
【０００６】
特許文献１には、レーザ光源よりレーザ光を入射して半割円筒状レーザ光を出射する半割円筒状レーザ光形成手段、該形成手段より半割円筒状レーザ光を入射して半割円錐台面状レーザ光を出射し基板表面に円弧状スリットレーザ光像を形成する半割円錐台面状レーザ光形成手段、該形成手段が出射した半割円錐台面状レーザ光の上記基板表面による反射により形成された散乱光と正反射光を入射し散乱光のみを出射し集光する散乱光集光手段、及び該集光手段により集光された散乱光を入射して上記基板表面の欠陥を検出する受光手段を備えた基板表面の欠陥検査装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−９６６１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１によれば、半割円錐面状レーザ光を基板表面に結像させたものであるから、方向性を有する欠陥の検出の信頼性は極めて高いものとなることが開示されている。
【０００９】
しかしながら、上述したように、情報記録媒体や情報記録媒体用ガラス基板は、より小さい欠陥も少ないことが求められるようになってきているので、情報記録媒体や情報記録媒体用ガラス基板の欠陥を検査する方法としては、特許文献１に記載の欠陥検査装置よりも、方向性のある欠陥の検出の信頼性をより高め、欠陥の形状にかかわらず、欠陥を好適に検出できる検出精度のより高い検査装置が求められている。具体的には、特許文献１に記載の欠陥検査装置では、ガラス基板に、円弧状の検査光を照射し、照射した検査光の正反射光を遮蔽して、散乱光を検出している。このことから、欠陥を検査するための光として、円弧状の光を用いているので、光が照射されない角度があるから、方向性のある欠陥を高い精度で検出できない場合があった。また、検査光の散乱光を、散乱光に近い光路の正反射光を遮蔽して検出しているので、微弱な散乱光を充分に検出できない場合があった。
【００１０】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、装置を大型化させることなく、欠陥の形状にかかわらず、欠陥を、高精度で検出できる情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置、及び情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様に係る情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板（以下、被検査体という場合もある）の検査装置は、前記被検査体に向けて、輪帯光を照射する光照射部と、前記輪帯光の中央領域に受光面を向けて、照射した輪帯光が前記被検査体の表面上で散乱した散乱光を受光する散乱光受光部と、受光した散乱光に基づいて、前記被検査体の欠陥を判定する判定部とを備える。
【００１２】
このような構成によれば、装置を大型化させることなく、欠陥の形状にかかわらず、欠陥を、高精度で検出できる情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置を提供することができる。具体的には、輪帯光を被検査体に照射するので、ある特定の方向からではなく、全ての方向、すなわち円周方向から、欠陥を検査するための検査光を照射することができるとともに輪帯光を被検査体に集光させて検査光とすることで、超解像効果により検査光のスポット径をより小さくすることができる。このため、方向性のある欠陥を、高精度で検出することができる。また、照射した検査光の散乱光を、検査光と同一光路に合成するので、微弱な散乱光も効率良く検出することができる。すなわち、照射した検査光の散乱光を、輪帯光の中央領域を通過してきた散乱光を受光して検出するので、微弱な散乱光も効率良く検出することができる。これらのことから、欠陥の形状にかかわらず、欠陥を、高精度で検出できる。
【００１３】
また、前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置において、前記輪帯光を、前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の表面上に収束させるとともに、前記散乱光を中央領域で受光する対物レンズを備えることが好ましい。
【００１４】
このような構成によれば、被検査体に照射される光のスポット径を小さくすることができるので、より小さい欠陥も検出することができる。すなわち、分解能を高めることができる。よって、欠陥を、より高精度で検出できる。
【００１５】
また、前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置において、前記対物レンズの開口数が、０．６〜０．９であることが好ましい。
【００１６】
このような構成によれば、被検査体に照射される光の光量を維持しつつ、スポット径をより小さくすることができるので、より小さい欠陥をより高感度に検出することができる。
【００１７】
また、前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置において、前記光照射部が、円柱状の平行光の中央領域を遮蔽する遮蔽部を備え、前記平行光を、前記遮蔽部を通過させることによって、前記輪帯光を照射することが好ましい。
【００１８】
このような構成によれば、輪帯光を照射する光照射部を容易に構成することができ、簡便な構成で、欠陥の形状にかかわらず、欠陥を、高精度で検出できる情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置を実現できる。
【００１９】
また、前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置において、前記光照射部が、円柱状の平行光の光軸上において円錐部同士が対向するように並設された一対のアキシコンレンズを備え、前記平行光を、前記一対のアキシコンレンズを通過させることによって、前記輪帯光を照射することが好ましい。
【００２０】
このような構成によれば、光を遮蔽することなく、輪帯光を形成することができるので、輪帯光の光量を充分に確保することができるので、被検査体の欠陥をより高感度に検出することができる。
【００２１】
また、前記情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置において、前記輪帯光の幅が、前記輪帯光の外側の半径の０．２〜０．４倍であることが好ましい。
【００２２】
このような構成によれば、輪帯光による超解像効果によりスポット径を小さくするとともに、ノイズは適度に抑えることができる為、より小さい欠陥も精度良く検出することができる。すなわち、分解能を高めることができる。
【００２３】
また、本発明の他の一態様に係る情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査方法は、前記被検査体に向けて、輪帯光を照射する工程と、照射した輪帯光が前記被検査体の表面上で散乱した散乱光を、前記輪帯光の中央領域に受光面を向けた散乱光受光部で受光する工程と、受光した散乱光に基づいて、前記被検査体の欠陥を判定する工程とを備える。
【００２４】
このような構成によれば、欠陥の形状にかかわらず、欠陥を、高精度で検出できる情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査方法を提供することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、装置を大型化させることなく、微細な欠陥を、その形状にかかわらず、高精度で検出できる情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置、及び情報記録媒体用ガラス基板の検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態に係る情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の実施形態に係る情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置における輪帯光を作成する方法の一例を示す概略図である。
【図３】輪帯光を用いた場合と平行光を用いた場合の相違について説明するための図面である。
【図４】輪帯光の幅の影響を説明するための図面である。
【図５】対物レンズの開口数の影響を説明するための図面である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明に係る実施形態について説明するが、本発明は、これらに限定されるものではない。
【００２８】
本発明の実施形態に係る情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置は、前記被検査体に向けて、輪帯光を照射する光照射部と、前記輪帯光の中央領域に受光面を向けて、照射した輪帯光が前記被検査体の表面上で散乱した散乱光を受光する散乱光受光部と、受光した散乱光に基づいて、前記被検査体の欠陥を判定する判定部とを備える。
【００２９】
このような検査装置は、装置を大型化させることなく、欠陥の形状にかかわらず、欠陥を、高精度で検出することができる。このことは、以下のことによる。まず、被検査体の欠陥を検査するために被検査体に照射する検査光が、輪帯光である。このため、この検査装置は、ある特定の方向からではなく、全ての方向、すなわち円周方向から、欠陥を検査するための検査光を照射することができるとともに、輪帯光による超解像効果によりスポット径を小さくすることができるので、方向性のある欠陥を、高精度で検出することができる。また、照射した検査光の散乱光を、輪帯光の中央領域を通過してきた散乱光を受光して検出するので、微弱な散乱光も効率良く検出することができる。これらのことから、この検査装置は、欠陥の形状にかかわらず、欠陥を、高精度で検出できる。
【００３０】
なお、輪帯光は、円筒状の光である。例えば、円柱状の平行光の中央領域を遮蔽して得られた光等が挙げられる。
【００３１】
本実施形態に係る検査装置は、具体的には、例えば、以下のような検査装置が挙げられる。図１は、本発明の実施形態に係る情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置の構成を示す概略図である。
【００３２】
前記検査装置１１は、レーザ光源１２、コリメートレンズ１３、偏光（ＰＬ）フィルタ１４、円形マスク１５、偏光ビームスプリッタ１６、λ／４板１７、穴あきミラー１８、対物レンズ１９、第１の集光レンズ２０、散乱光受光器２１、第２の集光レンズ２２、シリンドリカルレンズ２３、反射光受光器２４、制御演算部２５、入力部２８、及び出力部２９を備える。また、この検査装置１１は、情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の欠陥を検出する装置である。ここでは、この検査装置１１は、スピンドル３２で保持された被検査体３１の欠陥を検出する。
【００３３】
レーザ光源１２は、レーザ光を出射する。レーザ光は、被検査体の欠陥を検出するためのレーザ光である。
【００３４】
コリメートレンズ１３は、レーザ光源１２から入射するレーザ光を、円柱状の平行光に変換する。コリメートレンズ１３は、前記レーザ光の光軸上で、前記光軸に対して垂直に配置される。
【００３５】
ＰＬフィルタ１４は、透過するレーザ光、すなわち、コリメートレンズ１３で形成された平行光を予め定める偏光方向に偏光させる。つまり、ＰＬフィルタ１４は、前記平行光を所定の直線偏光に変換する。ＰＬフィルタ１４は、前記レーザ光の光軸上で、前記光軸に対して垂直に配置される。
【００３６】
円形マスク１５は、円柱状の平行光の中央領域を遮蔽する。円形マスク１５は、前記レーザ光の光軸上で、前記光軸に対して垂直に配置される。また、円形マスク１５は、平行光を遮蔽する部分の中心が、前記平行光の光軸と一致するように配置される。このような円形マスク１５に、前記平行光を通過させることによって、前記平行光の中央領域が遮蔽された輪帯光が得られる。すなわち、円形マスク１５は、輪帯光を形成するためのリング絞りである。なお、円形マスク１５は、遮蔽部に相当する。
【００３７】
偏光ビームスプリッタ１６は、円形マスク１５によって形成された輪帯光を通過させるとともに、被検査体３１で反射された反射光を、反射光受光器２４へ導く。偏光ビームスプリッタ１６は、このような輪帯光の通過及び反射光の反射光受光器２４への導出が可能な位置に配置される。
【００３８】
λ／４板１７は、偏光ビームスプリッタ１６を通過した輪帯光を、直線偏光から円偏光に変換するとともに、被検査体３１で反射された反射光を円偏光から直線偏光に変換する。すなわち、λ／４板１７は、通過するレーザ光にλ／４（９０°の位相差）を生じさせ、直線偏光を円偏光に、円偏光を直線偏光に変換する。λ／４板１７は、前記輪帯光が通過する位置に、前記輪帯光の光軸に対して垂直に配置される。
【００３９】
穴あきミラー１８は、円偏光に変換された輪帯光を、被検査体３１へ導くとともに、被検査体３１で反射された反射光を、偏光ビームスプリッタ１６へ戻す。また、穴あきミラー１８は、被検査体３１で散乱した散乱光の少なくとも一部を通過可能な穴１８ａが中央領域に形成されている。また、穴あきミラー１８は、円周部、すなわち、前記穴１８ａの外側に、円偏光に変換された輪帯光を、被検査体３１に向けて偏向可能な円周反射部１８ｂを備える。これらのことから、検査装置１１は、穴１８ａの外側の円周反射部１８ｂで受ける穴あきミラー１８を備え、前記穴あきミラー１８に照射された輪帯光を、被検査体３１へ導くように偏向し、被検査体３１から反射された光を、輪帯光が照射された方向に戻すととともに、被検査体３１上で散乱した光の少なくとも一部を、前記穴１８ａを通過させる。
【００４０】
対物レンズ１９は、前記輪帯光を、被検査体３１の表面上に収束させるとともに、対物レンズ１９の中央領域で、被検査体の表面上で散乱した散乱光を受光する。そうすることによって、被検査体３１に照射される光の光量を維持しつつ、スポット径をより小さくすることができる。このことから、検査装置１１は、より小さい欠陥の検出も可能となる。対物レンズ１９は、前記輪帯光を、被検査体３１の表面上に収束可能な位置に配置される。対物レンズ１９は、前記輪帯光が通過する位置に、前記輪帯光の光軸に対して垂直に配置される。
【００４１】
また、検査装置１１において、被検査体３１に照射された輪帯光、ここでは、前記対物レンズ１９によって、被検査体３１に収束された光は、被検査体３１の光が照射された位置に欠陥がある場合、被検査体３１で反射するとともに、散乱し、散乱光を発生させる。これに対して、被検査体３１の光が照射された位置に欠陥がない場合、被検査体上で散乱されることなく、反射され、その反射光は、穴あきミラー１８で偏向され、偏光ビームスプリッタ１６へ戻る。
【００４２】
第１の集光レンズ２０は、前記穴あきミラー１８を通過した散乱光を、散乱光受光器２１の受光面２１ａに収束させる。第１の集光レンズ２０は、前記散乱光の光軸上で、前記散乱光の光軸に対して垂直に配置される。
【００４３】
散乱光受光器２１は、受光面２１ａに照射された散乱光の有無や、散乱光の光量等を検出する。散乱光受光器２１は、受光面２１ａの光軸が、前記散乱光の中心を通る位置に配置される。
【００４４】
この散乱光受光器２１に、前記散乱光が受光されると、被検査体３１に欠陥があることがわかる。
【００４５】
第２の集光レンズ２２及びシリンドリカルレンズ２３は、被検査体３１で反射された光であって、偏光ビームスプリッタ１６で、反射光受光器２４の方向に偏向された光を、反射光受光器２４に収束させる。第２の集光レンズ２２及びシリンドリカルレンズ２３は、偏光ビームスプリッタ１６で、反射光受光器２４の方向に偏向された光の光軸上で、前記光軸に対して垂直に配置される。
【００４６】
反射光受光器２４は、受光面２４ａに照射された反射光の光量等を検出する。反射光受光器２４は、受光面２４ａが、前記反射光の通る位置に配置される。
【００４７】
また、前記検査装置１１は、光学系が小型であるので、反射光受光器２４に受光される反射光の光量に基づいて、例えば、前記光量が最大になるように、光学系を移動させることによって、オートフォーカス（ＡＦ）機能を付与することが可能である。
【００４８】
制御演算部２５は、検査装置１１の各部を当該機能に応じて制御することで検査装置１１全体を制御する。例えば、レーザ光源１２等を制御する。制御演算部２５は、ＣＰＵ及びその周辺回路を備えて構成される。また、制御演算部２５は、制御部２６及びＡＦ機能部２７を、機能的に有する。
【００４９】
制御部２６は、入力部２８から入力された開始指示に基づいて、レーザ光源１２を制御し、散乱光受光部２１からの出力を得て、被検査体３１の欠陥を検出し、その検出結果を、出力部２９への出力を指示する。
【００５０】
また、ＡＦ機能部２７は、反射光受光器２４に受光される受光量に基づく、上記のようなＡＦ機能を制御する。
【００５１】
入力部２８は、制御演算部２５に、開始の指示等を入力する。また、出力部２９は、検査装置１１の検出結果を出力する。
【００５２】
以上のように、検査装置１１は、被検査体３１の輪帯光が照射された位置に欠陥がない場合には、入射輪帯光は、被検査体３１上で正反射し、その反射光が穴あきミラー１８の穴１８ａを通らず、散乱光受光器２１で受光されない。一方、検査装置１１は、被検査体３１の輪帯光が照射された位置に欠陥がある場合には、被検査体３１で散乱され、その散乱光が穴あきミラー１８の穴１８ａを通過し、散乱光受光器２１でされる。これらのことから、検査装置１１は、散乱光受光器２１で受光するか否かで、被検査体３１の欠陥の有無を検出することができる。また、検査装置１１は、検査光として、輪帯光を用いるので、欠陥の形状にかかわらず、欠陥を、高精度で検出することができる。
【００５３】
また、検査装置１１は、上述したように、輪帯光を形成する際に、円形マスク１５を用いたが、これに限定されない。例えば、図２に示すような、アキシコンレンズを用いてもよい。図２は、本発明の実施形態に係る情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置における輪帯光を作成する方法の一例を示す概略図である。
【００５４】
輪帯光は、図２に示すように、一対のアキシコンレンズ３５，３６を用いて形成することができる。この一対のアキシコンレンズ３５，３６は、前記円柱状の平行光の光軸上において円錐部３５ａ，３６ａ同士が対向するように並設する。この円錐部３５ａ，３６ａ同士が対向したアキシコンレンズ３５，３６の一方のアキシコンレンズ３５の円錐部３５ａとは反対側の面３５ｂから、平行光を入射させることによって、もう一方のアキシコンレンズ３６の円錐部３６ａとは反対側の面３６ｂから、輪帯光を出射することができる。このような構成で輪帯光を形成することによって、円形マスクを用いた場合のように、平行光の一部を遮蔽することなく、輪帯光を形成することができる。よって、このようなアキシコンレンズを採用した検査装置は、輪帯光の光量を充分に確保することができるので、被検査体の欠陥をより高感度に検出することができる。なお、アキシコンレンズを採用した検査装置１１は、円形マスクの代わりに、図２に示すように配置された一対のアキシコンレンズを用いること以外、同様の構成で実現することができる。
【００５５】
また、検査光として、輪帯光を用い、対物レンズで集光させた場合、図３に示すように、被検査体に照射される光のスポット径を小さくすることができるので、より小さい欠陥も検出することができる。すなわち、分解能を高めることができる。よって、欠陥を、より高精度で検出できる。
【００５６】
図３は、輪帯光を用いた場合と平行光を用いた場合の相違について説明するための図面である。図３（ａ）には、輪帯光を用いたときのスポット径を示すグラフである。これに対して、図３（ｂ）は、平行光を用いたときのグラフである。なお、図３は、縦軸は、光の強度を示し、横軸は、被検査体に照射されている光の中心からの距離を示す。
【００５７】
図３からわかるように、平行光を用いたときより、輪帯光を用いたときのほうが、超解像効果により狭い範囲で光が照射されている。すなわち、輪帯光を用いたときのほうが、光のスポット径が小さいことがわかる。
【００５８】
また、前記輪帯光の幅は、特に限定されないが、輪帯光の外側の半径の０．２〜０．４倍であることが好ましい。このことは、図４に示すように、輪帯光の幅が、上記の範囲内であれば、被検査体に照射される光のスポット径を小さくするとともにノイズの発生を適度に抑えることができるので、より小さい欠陥も検出することができる。すなわち、分解能を高めることができる。よって、欠陥を、より高精度で検出できる。
【００５９】
図４は、輪帯光の幅の影響を説明するための図面である。なお、図４は、縦軸は、光の強度を示し、横軸は、被検査体に照射されている光の中心からの距離を示す。
【００６０】
図４（ａ）は、輪帯光の幅や輪帯光の外側の半径を説明するための図面である。
【００６１】
輪帯光の形状が、図４（ａ）に示すような場合、輪帯光の幅は、Ｒ１で示され、輪帯光の外側の半径は、Ｒ２で示される。すなわち、Ｒ１／Ｒ２が、０．２〜０．４であることが好ましい。
【００６２】
また、図４（ｂ）は、Ｒ１／Ｒ２が０．３であるときのスポット径を示すグラフである。これに対して、図４（ｃ）は、Ｒ１／Ｒ２が０．５であるときのグラフである。
【００６３】
図４（ｂ）及び図４（ｃ）からわかるように、Ｒ１／Ｒ２が上記範囲を超える０．５であるときより、Ｒ１／Ｒ２が、上記範囲内である０．３であるときのほうが、光のスポット径が小さいことがわかる。すなわち、幅が上記範囲内である輪帯光を用いたときのほうが、光のスポット径が小さいことがわかる。
【００６４】
一方、Ｒ１／Ｒ２が小さいほうが、光のスポット径が小さくなり好ましいように思われるが、小さすぎると、ノイズが大きくなり、好ましくない。具体的には、Ｒ１／Ｒ２が上記範囲を超える０．５であるときより、Ｒ１／Ｒ２が、上記範囲内である０．３であるときのほうが、ノイズが大きいことがわかる。このことから、Ｒ１／Ｒ２が０．２以上であることが好ましい。
【００６５】
また、対物レンズの開口数は、特に限定されないが、０．６〜０．９であることが好ましい。このことは、図５に示すように、対物レンズの開口数が、上記の範囲内であれば、被検査体に照射される光のスポット径が小さくなるので、より小さい欠陥も検出することができる。すなわち、分解能を高めることができる。よって、欠陥を、より高精度で検出できる。
【００６６】
図５は、対物レンズの開口数の影響を説明するための図面である。図５（ａ）は、開口数が０．６８であるときのスポット径を示すグラフである。これに対して、図５（ｂ）は、開口数が０．５であるときのグラフである。なお、図５は、縦軸は、光の強度を示し、横軸は、ガラス基板に照射されている光の中心からの距離を示す。
【００６７】
図５からわかるように、開口数が上記範囲未満である０．５であるときより、開口数が、上記範囲内である０．６８であるときのほうが、光のスポット径が小さいことがわかる。すなわち、開口数が上記範囲内である対物レンズを用いたときのほうが、光のスポット径が小さいことがわかる。
【００６８】
一方、対物レンズの開口数が大きいほうが、光のスポット径が小さくなり好ましいように思われるが、輪帯光の場合には、開口数が大きすぎると、ノイズが大きくなり、好ましくない。また、スポット径を過度に小さくすると検査に過度の時間を要することとなることから、対物レンズの開口数が０．９以下であることが好ましい。
【符号の説明】
【００６９】
１１  情報記録媒体または情報記録媒体用ガラス基板の検査装置
１２  レーザ光源
１３  コリメートレンズ
１４  偏光（ＰＬ）フィルタ
１５  円形マスク
１６  偏光ビームスプリッタ
１７  λ／４板
１８  穴あきミラー
１８ａ  穴
１８ｂ  円周反射部
１９  対物レンズ
２０  第１の集光レンズ
２１  散乱光受光器
２２  第２の集光レンズ
２３  シリンドリカルレンズ
２４  反射光受光器
２５  制御演算部
２６  制御部
２７  ＡＦ機能部
２８  入力部
２９  出力部
３１  被検査体
３２  スピンドル
３５，３６  アキシコンレンズ
【図１】
2014071919.tif 000003
【図２】
2014071919.tif 000004
【図３】
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【図４】
2014071919.tif 000006
【図５】
2014071919.tif 000007