(57)【要約】【課題】コンプライアンス部からの液体の水分蒸発を抑制すると共に大型化を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する流路が設けられた流路部材と、該流路部材に固定されて、前記流路の前記ノズル開口が開口する液体噴射面側を封止する可撓部を有するコンプライアンス基板と、前記コンプライアンス基板の前記可撓部の前記流路部材とは反対側の面を封止する固定板と、を具備し、前記流路部材は積層された複数の基板を具備し、前記可撓部と前記固定板との間の空間は、前記流路部材を構成する積層された複数の前記基板の接合面及び前記流路部材と前記コンプライアンス基板との接合面の少なくとも一方に設けられた溝を介して大気開放されている。【選択図】  図７
2014113787.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通する流路が設けられた流路部材と、
該流路部材に固定されて、前記流路の前記ノズル開口が開口する液体噴射面側を封止する可撓部を有するコンプライアンス基板と、
前記コンプライアンス基板の前記可撓部の前記流路部材とは反対側の面を封止する固定板と、を具備し、
前記流路部材は積層された複数の基板を具備し、前記可撓部と前記固定板との間の空間は、前記流路部材を構成する積層された複数の前記基板の接合面及び前記流路部材と前記コンプライアンス基板との接合面の少なくとも一方に設けられた溝を介して大気開放されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記流路部材を構成する積層された前記基板が、前記流路の一部を構成する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、
前記流路形成基板と前記ノズル開口が設けられたノズルプレートとの間に設けられた連通板と、であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記溝が、前記流路形成基板と前記連通板との間と、前記連通板と前記コンプライアンス基板との間とに設けられていることを特徴とする請求項２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記大気開放が、前記液体噴射面とは異なる面で行われていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドとしては、例えば、圧力発生手段の圧力変化を利用してノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。インクジェット式記録ヘッドは、ノズル開口と連通する圧力発生室と、複数の圧力発生室が共通して連通するマニホールドとを具備し、マニホールドを画成する壁の一部にマニホールド内のインクの圧力変化に応じて変形する可撓性を有するフィルム等の弾性体で形成されたコンプライアンス部が設けられたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３０６０２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなインクジェット式記録ヘッドに設けられたコンプライアンス部は、マニホールド内のインクの圧力変化に応じて変形する必要があるため、インクとは反対面側が大気開放されている必要がある。しかしながら、コンプライアンス部は、フィルム等の弾性体で形成されているため、コンプライアンス部を介してマニホールド内のインクの水分が蒸発し、マニホールド内のインクの濃度が高くなってしまうという問題がある。
【０００５】
また、コンプライアンス部の流路とは反対側の大気側をケース部材等で封止して、ケース部材に大気開放路を形成する方法も考えられるものの、樹脂等のケース部材には開口面積の大きな大気開放孔しか形成できず、断面積の大きな大気開放路では、コンプライアンス部を介する水分蒸発を抑制することができないという問題がある。また、大気開放路を有する他部材を設けると、インクジェット式記録ヘッドが大型化してしまうという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに限定されず、インク以外の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、コンプライアンス部からの液体の水分蒸発を抑制すると共に大型化を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する流路が設けられた流路部材と、該流路部材に固定されて、前記流路の前記ノズル開口が開口する液体噴射面側を封止する可撓部を有するコンプライアンス基板と、前記コンプライアンス基板の前記可撓部の前記流路部材とは反対側の面を封止する固定板と、を具備し、前記流路部材は積層された複数の基板を具備し、前記可撓部と前記固定板との間の空間は、前記流路部材を構成する積層された複数の前記基板の接合面及び前記流路部材と前記コンプライアンス基板との接合面の少なくとも一方に設けられた溝を介して大気開放していることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、流路が形成された流路部材を構成する積層された基板の接合面に設けられた溝を介して大気開放することで、他の部材を必要とすることなく、大気開放することができるため、液体噴射ヘッドが大型化するのを抑制することができる。また、流路を形成する流路部材に溝を形成することで、流路と同様に微細な溝を高精度に形成することができる。したがって、断面積が狭い溝を長い経路で高精度に形成することができ、拡散抵抗を付与して、液体の水分が蒸発するのを抑制することができる。
【０００９】
ここで、前記流路部材を構成する積層された前記基板が、前記流路の一部を構成する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記流路形成基板と前記ノズル開口が設けられたノズルプレートとの間に設けられた連通板と、であることが好ましい。これによれば、ノズルプレートの面積を狭くして、コストの低減を図ることができる。
【００１０】
また、前記溝が、前記流路形成基板と前記連通板との間と、前記連通板と前記コンプライアンス基板との間とに設けられていることが好ましい。これによれば、微細な溝を高精度に形成することができると共に、長い経路を液体噴射ヘッドが大型化することなく形成することができる。
【００１１】
また、前記大気開放が、前記液体噴射面とは異なる面で行われていることが好ましい。これによれば、液体の噴射に伴う飛沫が大気開放した溝内に侵入するのを抑制することができる。
【００１２】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体の水分蒸発による不具合を抑制して、小型化した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る基板の液体噴射面側からの平面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係る大気開放路の概略構成を示す斜視図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの液体噴射面側の平面図であり、図３は図２のＡ−Ａ′線断面図、図４は図２のＢ−Ｂ′線断面図及びその拡大図、図５は図２のＣ−Ｃ′線断面図である。
【００１５】
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドＩは、ヘッド本体１１、ケース部材４０、カバーヘッド１３０等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。本実施形態では、ヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、連通板１５と、ノズルプレート２０と、保護基板３０と、コンプライアンス基板４５と、を具備する。本実施形態では、詳しくは後述するが、流路形成基板１０及び連通板１５が接合面に溝が形成された流路部材の積層された基板に相当する。
【００１６】
ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２が同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力発生室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。図４に示すように、このような流路形成基板１０の一方の面には弾性膜５０が形成されており、圧力発生室１２の一方面はこの弾性膜５０によって構成されている。
【００１７】
流路形成基板１０の開口面側（弾性膜５０とは反対側）には、連通板１５が接合されている。連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接合されている。連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを繋ぐノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口して、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。
【００１８】
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。
【００１９】
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。
【００２０】
また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５の液体噴射面２０ａ側に開口して設けられている。
【００２１】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通するインク供給路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。このインク供給路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。
【００２２】
一方、流路形成基板１０に形成された弾性膜５０上には、さらに絶縁体膜５５が形成されている。この絶縁体膜５５上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とからなる圧電アクチュエーター（圧力発生手段）３００が設けられている。本実施形態では、第１電極６０が複数の圧電アクチュエーター３００に共通する共通電極として機能し、第２電極８０が各圧電アクチュエーター３００で独立する個別電極として機能する。また、第２電極８０には、リード電極９０の一端がそれぞれ接続されている。リード電極９０の他端には、駆動回路１２０が設けられた配線基板１２１が接続されている。
【００２３】
流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の他端側は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と配線基板１２１とが貫通孔３２内で電気的に接続されている。
【００２４】
また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接着剤によって固定されると共に、上述した連通板１５にも接着剤によって固定されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０と流路形成基板１０とによって画成された第３マニホールド部４２とによって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。
【００２５】
また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する液体噴射面２０ａ側の面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。
【００２６】
このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。
【００２７】
なお、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４３が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４４が設けられている。
【００２８】
このような構成のインクジェット式記録ヘッドＩでは、インクを噴射する際に、インクカートリッジ等のインク貯留手段から接続口４４を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に弾性膜５０及び絶縁体膜５５をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。なお、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドＩでは、接続口４４からノズル開口２１までを液体流路と称する。すなわち、液体流路は、接続口４４、マニホールド１００、インク供給路１９、圧力発生室１２、ノズル連通路１６及びノズル開口２１で構成されている。
【００２９】
また、ヘッド本体１１の液体噴射面２０ａ側には、本実施形態の固定板であるカバーヘッド１３０が設けられている。カバーヘッド１３０は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接着剤等により固定されており、コンプライアンス部４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止する。なお、カバーヘッド１３０には、ノズル開口２１を露出する露出開口部１３１が設けられている。また、カバーヘッド１３０は、ヘッド本体１１の側面を覆うように、端部が屈曲して設けられている。
【００３０】
このようなインクジェット式記録ヘッドＩでは、コンプライアンス部４９と固定板であるカバーヘッド１３０との間の空間は、流路部材を構成する積層された基板の接合面に設けられた溝を有する大気開放路２００を介して大気開放されている。
【００３１】
ここで、大気開放路２００について、図６及び図７をさらに参照して詳細に説明する。なお、図６は、コンプライアンス基板、フィルム、連通板及び流路形成基板の液体噴射面側からの平面図であり、図７は、大気開放路の概略構成を示す斜視図である。
【００３２】
図示するように、本実施形態の大気開放路２００は、第１大気開放路２０１、第２大気開放路２０２、第３大気開放路２０３、第４大気開放路２０４、第５大気開放路２０５、第６大気開放路２０６、第７大気開放路２０７及び第８大気開放路２０８を具備する（以下、第１大気開放路２０１−第８大気開放路２０８とも言う）。
【００３３】
第１大気開放路２０１は、コンプライアンス基板４５の固定基板４７に、コンプライアンス部４９の第１の方向Ｘの一端側に当該固定基板４７を厚さ方向（コンプライアンス基板４５と連通板１５との積層方向）に貫通して設けられており、コンプライアンス部４９（封止膜４６）とカバーヘッド１３０との間の空間に連通して設けられている。
【００３４】
第２大気開放路２０２は、コンプライアンス基板４５の封止膜４６に厚さ方向に貫通して設けられている。また、第２大気開放路２０２は、封止膜４６に第１大気開放路２０１の開口に相対向する位置に配置されており、第１大気開放路２０１と連通して設けられている。
【００３５】
第３大気開放路２０３は、連通板１５に厚さ方向に貫通して設けられている。また、第３大気開放路２０３は、連通板１５に第２大気開放路２０２の開口に相対向する位置に配置されており、第２大気開放路２０２と連通して設けられている。
【００３６】
第４大気開放路２０４は、流路形成基板１０と連通板１５との接合面に開口する溝形状を有し、一端側が第３大気開放路２０３と連通して設けられている。本実施形態では、第４大気開放路２０４は、流路形成基板１０に連通板１５との接合面側に開口する溝形状を有する。また、第３大気開放路２０３は、第３大気開放路２０３が設けられた圧力発生室１２の第１の方向Ｘの一端部側に、一端が第３大気開放路２０３に連通するように第２の方向Ｙに沿って延設され、さらに圧力発生室１２の列の間を第１の方向Ｘに向かって延設され、さらに第１の方向Ｘの他端部側に第２の方向Ｙに沿って延設されたものである。すなわち、第４大気開放路２０４は、第１の方向Ｘの一端部側から圧力発生室１２の列の間を通り、第１の方向Ｘの他端部側に溝状に設けられている。
【００３７】
なお、本実施形態では、第４大気開放路２０４を流路形成基板１０に溝として設けるようにしたが、特にこれに限定されず、第４大気開放路２０４を連通板１５に流路形成基板１０側に開口する溝として形成してもよい。また、第４大気開放路２０４を流路形成基板１０と連通板１５とのそれぞれに設けた溝によって形成してもよい。
【００３８】
第５大気開放路２０５は、第４大気開放路２０４の第３大気開放路２０３と連通する一端部とは反対側の他端部側に連通するように、連通板１５を厚さ方向に貫通して設けられている。すなわち、第５大気開放路２０５は、第１大気開放路２０１が設けられたコンプライアンス部４９の第１の方向Ｘの一端側とは反対側の他端側に配置されている。
【００３９】
第６大気開放路２０６は、連通板１５とコンプライアンス基板４５（封止膜４６）との接合面に設けられた溝形状を有し、一端側が第５大気開放路２０５に連通して設けられている。本実施形態では、第６大気開放路２０６は、連通板１５のコンプライアンス基板４５（封止膜４６）との接合面側に開口する溝形状を有する。また、第６大気開放路２０６は、第３大気開放路２０３とは第１の方向Ｘの反対側に第２の方向Ｙに沿って延設されている。
【００４０】
なお、本実施形態では、第６大気開放路２０６を連通板１５に溝として設けるようにしたが、特にこれに限定されず、第６大気開放路２０６をコンプライアンス基板４５（封止膜４６及び固定基板４７）に連通板１５側に開口する溝として形成してもよい。また、第６大気開放路２０６を連通板１５とコンプライアンス基板４５とのそれぞれに設けた溝によって形成してもよい。
【００４１】
第７大気開放路２０７は、第６大気開放路２０６の第５大気開放路２０５と連通する一端部とは反対側の他端部側に連通するように、連通板１５を厚さ方向に貫通して設けられている。
【００４２】
そして、第８大気開放路２０８は、ケース部材４０の第７大気開放路２０７の開口に相対向する位置に、当該ケース部材４０を厚さ方向（ケース部材４０と連通板１５との積層方向）に貫通して設けられている。この第８大気開放路２０８の第７大気開放路２０７と連通する一端部とは反対側の他端部の開口は、大気開放、すなわち、インクジェット式記録ヘッドＩの外側に連通する。
【００４３】
このような第１大気開放路２０１から第８大気開放路２０８を有する大気開放路２００は、本実施形態では、各コンプライアンス部４９に対して１つずつ設けられている。すなわち、本実施形態では、１つのマニホールド１００に対して１つのコンプライアンス部４９が設けられており、合計２つのマニホールド１００（コンプライアンス部４９）が設けられていることから、１つのインクジェット式記録ヘッドＩには２つの大気開放路２００が設けられている。
【００４４】
このように、コンプライアンス部４９のカバーヘッド１３０によって封止された空間を第１大気開放路２０１から第８大気開放路２０８を有する大気開放路２００を介して大気開放することで、コンプライアンス部４９の封止膜４６とカバーヘッド１３０とに挟まれた空間を大気開放して、コンプライアンス部４９を流路内（マニホールド１００内）のインクの圧力変動に合わせて可撓変形させることができる。また、コンプライアンス部４９の封止膜４６とカバーヘッド１３０とに挟まれた空間を第１大気開放路２０１から第８大気開放路２０８を有する大気開放路２００を介して大気開放することで、大気開放路２００に拡散抵抗を付与して、流路内のインクに含まれる水分がコンプライアンス部４９を介して蒸発するのを抑制することができる。すなわち、大気開放路２００は、流路内のインクの水分の蒸発を抑制するために、狭い断面積で長い経路とすることで拡散抵抗を付与することが好ましい。本実施形態では、流路部材を構成する積層された基板、すなわち、流路形成基板１０、連通板１５、コンプライアンス基板４５の接合面に溝状の大気開放路２００（第４大気開放路２０４及び第６大気開放路２０６）を設けることで、大気開放路２００の断面積を狭くして長い経路を確保することができる。また、他の部材等を設けることなく、既存の基板の接合面に溝状の大気開放路２００を設けることで、インクジェット式記録ヘッドＩの大型化を抑制することができ、インクジェット式記録ヘッドＩの小型化を実現できる。
【００４５】
なお、第４大気開放路２０４は、単結晶シリコン基板である流路形成基板１０に圧力発生室１２等と同様に異方性エッチング（ウェットエッチング）で形成することができる。したがって、流路形成基板１０に微細な溝形状を有する第４大気開放路２０４を高精度に形成することができる。
【００４６】
同様に、第６大気開放路２０６は、単結晶シリコン基板である連通板１５にノズル連通路１６と同様に異方性エッチング（ウェットエッチング）で形成することができる。したがって、連通板１５に微細な溝形状を有する第６大気開放路２０６を高精度に形成することができる。
【００４７】
このため、第４大気開放路２０４及び第６大気開放路２０６を用いることで、インクジェット式記録ヘッドＩに大気開放路２００を形成する他の部材を設けることなく、狭い断面積で長い経路の大気開放路２００をインクジェット式記録ヘッドＩが大型化することなく形成して、流路内のインクの水分蒸発を抑制することができる。
【００４８】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【００４９】
例えば、上述した実施形態１では、第８大気開放路２０８をケース部材４０の液体噴射面２０ａとは反対面側に大気開放するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、液体噴射面２０ａ側や液体噴射面２０ａとは交差する側面側等に大気開放するようにしてもよい。ただし、液体噴射面２０ａ側に大気開放路２００が開口していると、吐出されたインクの飛沫等が大気開放路２００から侵入し、大気開放路２００を閉塞してしまう等の不具合が生じる虞がある。また、大気開放路２００に侵入したインクが予期せぬタイミングで被記録媒体上に落下して、被記録媒体を汚してしまう虞がある。すなわち、上述した実施形態１のように、大気開放路２００は、液体噴射面２０ａとは反対面側に開口することで、インク等が大気開放路２００内に侵入するのを抑制することができる。
【００５０】
また、上述した実施形態１では、大気開放路２００は、流路形成基板１０と連通板１５との間に設けられた溝形状を有する第４大気開放路２０４と、連通板１５とコンプライアンス基板４５との間に設けられた溝形状を有する第６大気開放路２０６とを介して大気に開放するようにしたが、特にこれに限定されず、何れか一方のみを設けるようにしてもよく、また、何れか一方を２つ以上設けるようにしてもよい。すなわち、流路が形成される積層された基板の接合面に溝状の大気開放路を設けることで、狭い断面積で長い経路の大気開放路を高精度に形成することができると共に、インクジェット式記録ヘッドＩが大型化するのを抑制することができる。もちろん、溝形状を有する大気開放路を流路形成基板１０と保護基板３０との接合面に設けるようにしてもよく、また、保護基板３０とケース部材４０との接合面に設けるようにしてもよい。すなわち、溝形状を有する大気開放路は、インクジェット式記録ヘッドＩを構成する積層された基板（部材）の接合面に設けるようにすれば、他の部材を必要とすることなく、インクジェット式記録ヘッドＩの大型化を抑制することができる。ただし、上述のように、微細な流路を形成する基板、例えば、流路形成基板１０や連通板１５等に溝形状を有する大気開放路を形成することで、微細な溝形状を有する大気開放路を高精度に形成することができ、大気開放路に拡散抵抗を付与して、インク（液体）の水分蒸発を抑制することができる。つまり、ケース部材４０は樹脂や金属等で形成することができるが、樹脂や金属等のケース部材４０に微細な溝形状を有する大気開放路を形成するのは困難であり、拡散抵抗を付与するのが難しい。
【００５１】
また、上述した実施形態１では、１つのコンプライアンス部４９に対して１つの大気開放路２００を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、各コンプライアンス部４９に対応する２つの大気開放路２００を大気に開口する側で１つの開口となるように連通させるようにしてもよい。
【００５２】
さらに、上述した実施形態１では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００５３】
また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５４】
図８に示すインクジェット式記録装置ＩＩにおいて、複数のインクジェット式記録ヘッドＩを有するインクジェット式記録ヘッドユニット１Ａ、１Ｂ（以下、ヘッドユニット１Ａ、１Ｂとも言う）は、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット１Ａ、１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。このヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５５】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５６】
また、インクジェット式記録装置ＩＩの非印字領域には、ノズル開口２１を覆う吸引キャップ１４０が設けられており、この吸引キャップ１４０にチューブ１４２を介して、例えば、真空ポンプ等の吸引装置１４１が接続されている。吸引キャップ１４０は、カバーヘッドに当接する大きさを有し、吸引装置１４１によってカバーヘッドに密着した吸引キャップ１４０の内部の気体を吸引することで、ノズル開口２１を介して圧力発生室１２等の流路内のインクを吸引する吸引動作を行う。
【００５７】
なお、上述したインクジェット式記録装置ＩＩでは、インクジェット式記録ヘッドＩ（ヘッドユニット１）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッドＩが固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００５８】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置ＩＩは、液体貯留手段であるインクカートリッジ２Ａ、２Ｂがキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、貯留手段とインクジェット式記録ヘッドＩとをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置ＩＩに搭載されていなくてもよい。
【００５９】
なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。
【符号の説明】
【００６０】
Ｉ  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ＩＩ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １Ａ、１Ｂ  ヘッドユニット、  ２Ａ、２Ｂ  インクカートリッジ、  ３  キャリッジ、  ４  装置本体、  ５  キャリッジ軸、  ６  駆動モーター、  ７  タイミングベルト、  ８  プラテン、  １２  圧力発生室、  ２０  ノズルプレート、  ２０ａ  液体噴射面、  ２１  ノズル開口、  ４０  ケース部材、  ４５  コンプライアンス基板、  ４９  コンプライアンス部、  １００  マニホールド、  １３０  カバーヘッド、  １４０  吸引キャップ、  ２００  大気開放路、  ３００  圧電アクチュエーター（圧力発生手段）
【図１】
2014113787.tif 000003
【図２】
2014113787.tif 000004
【図３】
2014113787.tif 000005
【図４】
2014113787.tif 000006
【図５】
2014113787.tif 000007
【図６】
2014113787.tif 000008
【図７】
2014113787.tif 000009
【図８】
2014113787.tif 000010