(57)【要約】【課題】電歪素子が屈曲する力を他の方向へ効率的且つ安定的に変換することが可能なアクチュエータ及びそれを用いた位置決め装置を提供する。【解決手段】平板状の電歪素子１１の上面に２つの電極１２ａ、１２ｃを互いに離間させて配置し、それらと電歪素子１１を挟んで対向するように電歪素子１１の下面に２つの電極１２ｂ、１２ｄを互いに離間させて配置し、更に、電歪素子１１の上面に配置された電極１２ａと電極１２ｃとの間に可動子１３を配置する。電極１２ａ、１２ｃが正極（＋）、電極１２ａ、１２ｃが負極（−）となるように電圧を印加すると、電歪素子１１は、隣り合う電極間において波状に変形し、それに伴って電歪素子１１上の可動子１３が一定方向へ傾動する。【選択図】図１
2014023266.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電歪素子と、
当該電歪素子に電圧を印加するための電極と、
前記電歪素子の表面に配置された可動子とを備え、
前記電歪素子に前記電極を介して電圧が印加されることで前記電歪素子が波状に変形し、当該変形に伴う前記電歪素子表面の傾斜により前記可動子が傾動するように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記電極は、前記電歪素子の上面に互いに離間して２つ配置されると共に、前記電歪素子の下面に互いに離間して２つ配置され、前記可動子は、前記電歪素子の上面に配置された前記２つの電極の間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記電極は、円柱状を成し、長手方向が互いに平行となるように前記電歪素子に密着して配置されていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記可動子は、第一の方向へ傾動する第一の可動子と、前記第一の方向とは対向する第二の方向へ傾動する第二の可動子とを備え、当該第一の可動子と当該第二の可動子とで対象物を把持するように構成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一つに記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記可動子は、Ｔ字状を成し、Ｔ字の短辺側の平面が前記電歪素子の表面に固定されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一つに記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記アクチュエータは、１つの電歪素子に複数形成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一つに記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記電歪素子は、ポリ塩化ビニルと、可塑剤と、イオン液体とを含む高分子ゲル材料で構成されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一つに記載のアクチュエータ。
【請求項８】
請求項１〜７の何れに１つに記載されたアクチュエータと、
位置決め対象物を収容するための凹部を有する位置決め治具とを備え、
前記アクチュエータの可動子が、前記位置決め治具の前記凹部の壁面から内側に臨ませて配置されると共に、前記凹部の内側に向けて傾動するように構成されていることを特徴とする位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ及びそれを用いた位置決め装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電圧を印加することで屈曲変形する電歪素子を利用したアクチュエータとして、従来、以下に示すものが知られている。図１３は、従来のアクチュエータを示す斜視図である。ここに示す従来のアクチュエータは、図１３（ａ）に示すように、平板状の電歪素子１と、この電歪素子１の上下面に設けられた複数の電極２とを備え、それら複数の電極２に所定の電圧を印加することで、図１３（ｂ）、（ｃ）に示すように、電歪素子１を湾曲させたり、波状に変形させたりすることができる。（特許文献１、２参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４６４６５３０号公報
【特許文献２】特開平５−７６４８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１、２に記載された従来のアクチュエータは、心臓、膀胱、胆嚢、胃、肺、腸、口腔、横隔膜などの人工臓器、ＣＣＤカメラや人口眼球などの角度調整装置、医療用チューブなどの用途に好適に用いることができるとされているが、何れも、アクチュエータが屈曲する力をそのまま利用することを想定したもので、アクチュエータが屈曲する力を他の方向へ変換して利用することは想定されておらず、それが求められる用途には適さないという問題がある。また、力の方向を変換するに当たって、その変換を効率的且つ安定的に行うことは当然の課題となる。
【０００５】
本発明は、以上の問題点に鑑みて成されたものであり、アクチュエータが屈曲する力を他の方向へ効率的且つ安定的に変換することが可能なアクチュエータ及びそれを用いた位置決め装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
電歪素子と、当該電歪素子に電圧を印加するための電極と、前記電歪素子の表面に配置された可動子とを備え、前記電歪素子に前記電極を介して電圧が印加されることで前記電歪素子が波状に変形し、当該変形に伴う前記電歪素子表面の傾斜により前記可動子が傾動するように構成されているアクチュエータとする。
【０００７】
前記電極は、前記電歪素子の上面に互いに離間して２つ配置されると共に、前記電歪素子の下面に互いに離間して２つ配置され、前記可動子は、前記電歪素子の上面に配置された前記２つの電極の間に配置されているアクチュエータとすることができる。
【０００８】
前記電極は、円柱状を成し、長手方向が互いに平行となるように前記電歪素子に密着して配置されているアクチュエータとすることができる。
【０００９】
前記可動子は、第一の方向へ傾動する第一の可動子と、前記第一の方向とは対向する第二の方向へ傾動する第二の可動子とを備え、当該第一の可動子と当該第二の可動子とで対象物を把持するように構成されているアクチュエータとすることができる。
【００１０】
前記可動子は、Ｔ字状を成し、Ｔ字の短辺側の平面が前記電歪素子の表面に固定されているアクチュエータとすることができる。
【００１１】
前記アクチュエータは、１つの電歪素子に複数形成されているアクチュエータとすることができる。
【００１２】
前記電歪素子は、ポリ塩化ビニルと、可塑剤と、イオン液体とを含む高分子ゲル材料で構成されているアクチュエータとすることができる。
【００１３】
以上何れに１つのアクチュエータと、位置決め対象物を収容するための凹部を有する位置決め治具とを備え、前記アクチュエータの可動子が、前記位置決め治具の前記凹部の壁面から内側に臨ませて配置されると共に、前記凹部の内側に向けて傾動するように構成されている位置決め装置とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、電歪素子が屈曲する力をそれとは交差する方向へ効率的且つ安定的に変換することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のアクチュエータの一実施例を示す（ａ）上面図、（ｂ）下面図、（ｃ）側面図（実施例１）
【図２】図１に示した本発明のアクチュエータの動作を示す側面図
【図３】本発明のアクチュエータの一実施例を示す（ａ）上面図、（ｂ）下面図（実施例２）
【図４】本発明のアクチュエータの一実施例を示す（ａ）上面図、（ｂ）下面図（実施例３）
【図５】本発明のアクチュエータの一実施例を示す（ａ）上面図、（ｂ）下面図、（ｃ）側面図（実施例４）
【図６】図５に示した本発明のアクチュエータの動作を示す側面図
【図７】本発明の位置決め装置の一実施例を示す（ａ）上面図、（ｂ）下面図、（ｃ）Ａ−Ａ断面図（実施例５）
【図８】図７に示した本発明の位置決め装置の動作を示す断面図
【図９】本発明の位置決め装置の一実施例を示す上面図（実施例６）
【図１０】図９に示した本発明の位置決め装置の動作を示す上面図
【図１１】本発明の位置決め装置の一実施例を示す上面図（実施例７）
【図１２】図１１に示した本発明の位置決め装置の動作を示す上面図
【図１３】従来のアクチュエータを示す斜視図
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１６】
図１は、本発明のアクチュエータの一実施例を示す（ａ）上面図、（ｂ）側面図である。ここに示す本発明のアクチュエータは、板状の電歪素子１１と、電歪素子１１の上面に配置された２つの電極１２ａ、１２ｃと、電歪素子１１の下面に配置された２つの電極１２ｂ、１２ｄと、電歪素子１１の上面に配置された１つの可動子１３とを備えている。
【００１７】
電歪素子１１は、ポリ塩化ビニルなどの誘電性高分子と、アジピン酸、セバシン酸、イタコン酸、フタル酸エステルなどの可塑剤と、ホスホニウム系カチオン、アンモニウム系カチオンなどのイオン液体からなるゲルとを含む高分子ゲル材料で構成され、厚さ０．３ｍｍ程度の平板状に成形されている。一般的にポリ塩化ビニルなどは柔軟性が低く、そのままでは電圧を印加してもほとんど変形することはないが、可塑剤とイオン液体を所定の割合で添加することにより（例えば、誘電性高分子：１〜５０重量部、可塑剤：５０〜１５０重量部、イオン液体：１〜３０重量部）、低い電圧でも大きく変形するようになる。尚、ポリ塩化ビニルなどの誘電性高分子を用いた高分子ゲル材料については、例えば、特開２００９−２７３２０４号公報を参照されたい。
【００１８】
４つの電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは、金属で構成される直径０．８ｍｍ程度の円柱状のもので、長手方向が互いに平行となるように、電歪素子１１の表面に密着して配置されている。４つの電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄのうち、電極１２ａ、１２ｂは、電歪素子１１を挟んで互いに対向して配置されると共に、互いに電気的対を成し、それと同様に、電極１２ｃ、１２ｄは、電歪素子１１を挟んで互いに対向して配置されると共に、互いに電気的対を成しており、図示しない電源装置に各々接続されている。
【００１９】
可動子１３は、樹脂をＴ字状に成形したもので、Ｔ字の長辺側の平面が電歪素子１１の表面と直交する方向へ延びるように、Ｔ字の短辺側の平面が、電極１２ａと電極１２ｃとの間の概ね中央に位置する電歪素子１１の表面に、接着剤などを介して固定されている。尚、可動子１３がＴ字状であれば、単純な棒状のものなどに比べて、重量の増加を抑えつつ電歪素子１１に対する接着面積を増大させることができ、また、重心を電歪素子１１に近づけることができることから、可動子１３を電歪素子１１の表面に安定して固定することができる。
【００２０】
図２は、図１に示した本発明のアクチュエータの動作を示す側面図である。図２（ａ）は、アクチュエータに駆動電圧が供給されず、電歪素子１１が平坦となっている初期状態を示しており、この状態からアクチュエータを駆動させる際には、図２（ｂ）に示すように、４つの電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄのうち、電極１２ａ、１２ｄが正極（＋）となり、電極１２ｂ、１２ｃが負極（−）となるように所定の電圧を印加する。
【００２１】
電歪素子１１を構成するポリ塩化ビニルを主成分とする高分子ゲル材料は、正極（＋）側に屈曲する性質があることから、電歪素子１１は、正極（＋）である電極１２ａ、１２ｄ側に屈曲し、巨視的に見て波状に変形した状態となる。この時、電歪素子１１は、円柱状の電極１２ａ、１２ｄの外周面に密着しながら滑らかに屈曲するため、電極１２ａ、１２ｄが角柱状などの断面が角型である場合に比べて、大きな屈曲量が得られるだけでなく、電歪素子１１に過度の応力や負荷が掛かることはない。
【００２２】
電歪素子１１が以上のように波状に変形すると、電歪素子１１の上面は、電極１２ａと電極１２ｃとの間の領域において、電極１２ｃ側が下方となるように傾斜し、それに伴って、電歪素子１１の上面に固定された可動子１３が先端を電極１２ｃに寄せて傾斜した状態となる。ここで、可動子１３が傾斜する方向は、電歪素子１１が屈曲する方向とは交差する方向であることから、可動子１３の先端を力の作用点とすれば、電歪素子１１が発生する力の方向が、それとは交差する方向へ変換されたことになる。また、その変換は、本発明のアクチュエータの構成が電歪素子１１の表面に可動子１３を固定しただけの単純なものであることから、効率的且つ安定的に行われる。
【００２３】
図２（ｂ）に示す状態から可動子１３を反対側へ傾斜させる場合には、図２（ｃ）に示すように、４つの電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄのうち、電極１２ａ、１２ｄが負極（−）となり、電極１２ｂ、１２ｃが正極（＋）となるように、各々極性を反転させて所定の電圧を印加する。
【００２４】
すると、電歪素子１１は、正極（＋）である電極１２ｂ、１２ｃ側に屈曲し、巨視的に見て、図２（ｂ）に示す状態から位相が１８０°ずれた態様の波状に変形し、それに伴って、可動子１３が先端を電極１２ａに寄せて傾斜した状態となる。尚、図２（ｂ）に示すように傾斜している可動子１３を傾斜の無い初期状態に戻すだけであれば、各電極への電圧の印加を全て停止し、電歪素子１３の自己復元力を利用して初期状態に戻すことも可能である。
【実施例２】
【００２５】
図３は、本発明のアクチュエータの一実施例を示す（ａ）上面図、（ｂ）下面図である。本実施例は、図１に示した本発明のアクチュエータを縦横２×２のマトリクス状に平面的に複数並べて配置したものである。本実施例において、アクチュエータを構成する電歪素子１１は、アクチュエータ毎に個別に設けられているが、電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは、縦方向に並ぶ２つのアクチュエータ間においては、それらに跨るように配置され、２つのアクチュエータ間で共有されている。電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄは、共通の電源装置に接続されており、電源装置から電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄに所定の電圧を一度に印加することで、各アクチュエータが同時に同じ動作をし、全ての可動子１３が同じ方向へ傾動する。
【００２６】
尚、各電極と電源装置との接続形態は、これに限定されるものではなく、例えば、アクチュエータ毎に独立した電極と電源装置を設け、アクチュエータ毎に互いに異なる動作をさせたり、複数のアクチュエータを所定数毎に区分し、その区分毎に独立した電極と電源装置を設けて、区分毎に異なる動作をさせることも可能である。
【実施例３】
【００２７】
図４は、本発明のアクチュエータの一実施例を示す（ａ）上面図、（ｂ）下面図である。本実施例は、図３に示した実施例２において、アクチュエータ毎に個別に設けられていた複数の電歪素子１１を１つの大判のものに置き換え、各アクチュエータ間で共有させたものである。この構成では、電歪素子１１が１つのみであるため、構成を単純化することができる。
【実施例４】
【００２８】
図５は、本発明のアクチュエータの一実施例を示す（ａ）上面図、（ｂ）下面図、（ｃ）側面図である。本実施例は、電歪素子１１の上面に３つの電極１２ａ、１２ｃ、１２ｅと２つの可動子（第一の可動子１３ａ、第二の可動子１３ｂ）を設け、電歪素子１１の下面に３つの電極１２ｂ、１２ｄ、１２ｆを設けたものである。
【００２９】
６つの電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆは、長手方向が互いに平行となるように配置されており、電歪素子１１の上面に設けられた３つの電極１２ａ、１２ｃ、１２ｅと、電歪素子１１の下面に設けられた３つの電極１２ｂ、１２ｄ、１２ｆは、電歪素子１１を挟んでそれぞれ互いに対向すると共に、互いに電気的対を成している。第一の可動子１３ａと第二の可動子１３ｂは、電極１２ａと電極１２ｃとの間、電極１２ｃと電極１２ｅとの間に位置する電歪素子１１の表面にそれぞれ固定されている。
【００３０】
図６は、図５に示した本発明のアクチュエータの動作を示す側面図である。図６（ａ）は、アクチュエータに駆動電圧が供給されず、電歪素子１１が平坦となっている初期状態を示しており、この状態からアクチュエータを駆動させる際には、６つの電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆのうち、電極１２ａ、１２ｄ、１２ｅが正極（＋）となり、電極１２ｂ、１２ｃ、１２ｆが負極（−）となるように所定の電圧を印加する。
【００３１】
すると、電歪素子１１は、図６（ｂ）に示すように、電極１２ａと電極１２ｃとの間の領域、電極１２ｃと電極１２ｅとの間の領域それぞれにおいて、位相が互いに逆となるように波状に変形し、それに伴って、電極１２ａと電極１２ｃとの間に配置された第一の可動子１３ａと、電極１２ｃと電極１２ｅとの間に配置された第二の可動子１３ｂが、それぞれ先端を電極１２ｃ側に寄せて傾斜する。ここで、第一の可動子１３ａと第二の可動子１３ｂは、互いの先端が近接するように動作することから、例えば、第一の可動子１３ａの先端と第二の可動子１３ｂの先端とで何らかの対象物を把持するようなことが可能である。尚、この場合、第一の可動子１３ａと第二の可動子１３ｂとの間隔やそれぞれの長さは、各々が傾動した際に互いの先端で対象物を適切に把持できる範囲で適宜選択すれば良い。
【００３２】
第一の可動子１３ａと第二の可動子１３ｂを図６（ｂ）に示す状態から反対側へ傾動させる場合には、図６（ｃ）に示すように、６つの電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆのうち、電極１２ａ、１２ｄ、１２ｅが負極（−）となり、電極１２ｂ、１２ｃ、１２ｆが正極（＋）となるように、各々極性を反転させて所定の電圧を印加する。
【００３３】
すると、電歪素子１１は、正極（＋）である電極１２ｂ、１２ｃ、１２ｆ側に屈曲し、巨視的に見て、図６（ｂ）に示す状態から位相が１８０°ずれた態様の波状に変形し、それに伴って、第一の可動子１３ａと第二の可動子１３ｂが、それぞれ先端を電極１２ａ、１２ｅ側に寄せて傾斜した状態となる。尚、図６（ｂ）に示すように傾斜している第一の可動子１３ａと第二の可動子１３ｂを傾斜の無い初期状態に戻すだけであれば、各電極への電圧の印加を全て停止し、電歪素子１１の自己復元力を利用して初期状態に戻すことも可能である。
【００３４】
以上いくつかの実施例を示して本発明のアクチュエータについて説明したが、本発明のアクチュエータにおいて、電歪素子１１は、ポリ塩化ビニルなどの誘電性高分子を用いた高分子ゲル材料に限らず、ポリ塩化ビニル以外の誘電性高分子を用いた高分子ゲル材料、又は誘電性高分子を用いないその他の材料であっても良く、電圧の印可により屈曲変形する性質のある材料であれば、本発明の趣旨を逸脱しない範囲でどのような材料を用いても構わない。
【００３５】
また、電歪素子１１に電圧を印加するための電極は、必ずしも電歪素子１１に密着させて配置する必要は無く、電歪素子１１を変形させるのに十分な大きさの電圧を印加できるのであれば、電歪素子１１から離間して配置されていても良い。更に、電極を構成する材料は、金属に限らず、導電性のある材料であれば、その他種々のものが適宜選択可能であり、電極の形状についても、円柱状に限らず、多角柱状や薄膜状などが適宜選択可能である。
【００３６】
また、可動子１３、第一の可動子１３ａ、第二の可動子１３ｂを設置する位置は、隣接する電極の間に限らず、電歪素子１１の変形により電歪素子１１の表面に傾斜が生じる領域内であれば、どこであっても構わず、設置する角度や向きについても、適宜選択が可能である。更に、それらを構成する材料や形状についても特に制限は無く、形状については、Ｔ字状に限らず、Ｌ字状、棒状、平板状など、種々のものが適宜選択可能である。
【実施例５】
【００３７】
図７は、本発明の位置決め装置の一実施例を示す（ａ）上面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図である。但し、図７（ｂ）では、アクチュエータ部分は側面図としてある。ここに示す位置決め装置は、図１に示した本発明のアクチュエータを駆動源として利用したもので、図１に示した本発明のアクチュエータと、アクチュエータの上方に設置された位置決め治具２１とで構成されている。位置決め治具２１は、金属や樹脂などから成る平板状のもので、アクチュエータとは反対側の表面（上面）に、位置決め対象物を収容するための凹部２２が設けられている。ここで凹部２２は、位置決め対象物が直方体である場合を想定して、位置決め対象物の外形寸法よりも僅かに大きな内径寸法を有する、概ね直方体の空間として形成されている。
【００３８】
凹部２２の壁面と底面の一部には、位置決め治具２１を貫通する開口部２３が設けられており、その開口部２３から、位置決め治具２１の下方に設置されたアクチュエータの可動子１３が突出している。開口部２３から突出した可動子１３は、傾斜していない初期状態において凹部２２の壁面よりも外側に位置しており、先端が凹部２２の内側から外側へ退避した状態となっている。
【００３９】
図８は、図７に示した本発明の位置決め装置の動作を示す断面図である。直方体の位置決め対象物２４を、図７に示した本発明の位置決め装置を用いて位置決めする際には、まず、図８（ａ）に示すように、アクチュエータの駆動を停止して可動子１３を位置決め治具２１の凹部２２の外側へ退避させ、その状態で位置決め治具２１の凹部２２に位置決め対象物２４を収容する。この時、凹部２２に収容された位置決め対象物２４は、その外形寸法と凹部の内径寸法との差の範囲内において、凹部２２内を遊動可能な状態となっている。
【００４０】
尚、ここでは、位置決め対象物２４を凹部２２に収容する前に、アクチュエータの駆動を停止することで可動子１３を凹部２２の外側へ退避させているが、アクチュエータを駆動して可動子１３を凹部２２とは反対側へ傾斜させることで退避させるようにしても良い。
【００４１】
位置決め対象物２４の凹部２２への収容が完了したら、図８（ｂ）に示すように、アクチュエータを駆動して可動子１３を位置決め対象物２４側へ傾斜させる。すると、可動子１３の側端が位置決め対象物２４の側端に当接し、そのまま位置決め対象物２４が凹部２２の対向する側の壁面に押し付けられることで、位置決め対象物２４がその長手方向において凹部２２内の所定位置に位置決めされた状態となる。
【００４２】
本発明の位置決め装置では、電歪素子１１の変形により生じる柔軟で安定的な力を駆動力として利用しているため、例えば、位置決め対象物２４が水晶などの脆性材料であっても、位置決め対象物２４を傷付けることなく、確実に位置決めを行うことができる。
【実施例６】
【００４３】
図９は、本発明の位置決め装置の一実施例を示す上面図である。本実施例は、図７に示した実施例５と同様の基本構成を備え、特徴的な構成として、位置決め治具２１の凹部２２には、アクチュエータの可動子１３を挿通させる開口部２３が２つ設けられており、それら２つの開口部２３から、アクチュエータの可動子１３が上方に向けて１つずつ突出している。２つの開口部２３のうち一方は、凹部２２の短辺中央に設けられ、そこから突出する可動子１３は、凹部２２の短辺と直交する方向へ傾動するように構成されており、その一方で、２つの開口部２３のうち他方は、凹部２２の長辺中央に設けられ、そこから突出する可動子１３は、凹部２２の長辺と直交する方向へ傾動するように構成されている。
【００４４】
図１０は、図９に示した本発明の位置決め装置の動作を示す上面図である。位置決め対象物２４を位置決めする際には、まず、アクチュエータを停止又は駆動して２つの可動子１３をそれぞれ凹部２２の外側へ退避させ、その状態で位置決め対象物２４を凹部２２に収容し、続いて、アクチュエータを駆動して２つの可動子１３を凹部２２の内側へ同時又は順次傾斜させ、２つの可動子１３の側端を位置決め対象物２４の側端にそれぞれ当接させる。すると、位置決め対象物２４は、可動子１３と対向する側の凹部２２の壁面に押し付けられ、図９に示すように、位置決め対象物２４がその長手方向と短手方向において同時に位置決めされた状態となる。
【実施例７】
【００４５】
図１１は、本発明の位置決め装置の一実施例を示す上面図である。本実施例は、図７に示した実施例５と同様の基本構成を備え、特徴的な構成として、アクチュエータの可動子１３を挿通させるための開口部２３が凹部２２の角部に設けられており、そこからアクチュエータの可動子１３が上方に向けて突出すると共に、開口部２３のある角部からそれと対向する側の角部に向けて傾動するように構成されている。
【００４６】
図１２は、図１１に示した本発明の位置決め装置の動作を示す上面図である。位置決め対象物２４を位置決めする際には、まず、アクチュエータを停止又は駆動して可動子１３を凹部２２の外側へ退避させ、その状態で位置決め対象物２４を凹部２２に収容し、続いて、アクチュエータを駆動して可動子１３を凹部２２の内側へ傾斜させ、可動子１３の側端を位置決め対象物２４の角部側端に当接させる。すると、位置決め対象物２４は、可動子１３と対向する側の凹部２２の角部に押し付けられ、図１２に示すように、位置決め対象物２４がその長手方向と短手方向において同時に位置決めされた状態となる。
【００４７】
本実施例では、図９に示した実施例６のように１つの位置決め対象物２４に対してアクチュエータを２つ設けることなく、位置決め対象物２４をその長手方向と短手方向において同時に位置決めすることができる。
【００４８】
以上いくつかの実施例を示して本発明の位置決め装置について説明したが、本発明の位置決め装置においては、位置決め治具２１に位置決め対象物２４を収容するための凹部２２を複数設け、それら複数の凹部２２に対応させて複数の開口部２３と複数のアクチュエータを設けるようにしても良い。
【００４９】
また、アクチュエータは、構造上許されるのであれば、位置決め治具２１の内部に組み込むようにしても良い。何れにしても、アクチュエータは、その可動子が、位置決め治具２１に設けられた凹部２２の壁面から内側に臨むように配置されていれば良い。
【００５０】
また、位置決め治具２１に設ける凹部２２の形状は、位置決め対象物２４の外形に応じて適宜変更すれば良い。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明のアクチュエータは、小型電子部品などの質量の小さい物品を微小距離移動させる用途に適しているが、それに限らず、様々な用途に適用が可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１      電歪素子
２      電極
１１    電歪素子
１２ａ  電極
１２ｂ  電極
１２ｃ  電極
１２ｄ  電極
１２ｅ  電極
１２ｆ  電極
１３    可動子
１３ａ  第一の可動子
１３ｂ  第二の可動子
２１    位置決め治具
２２    凹部
２３    開口部
２４    位置決め対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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