(57)【要約】【課題】  金型潤滑剤を用いなくても金型の損耗を抑制することが可能であり、かつ従来の製品に対して軟磁気特性の低下がわずかである圧粉磁心の製造方法、及び、その製造方法に適した軟磁性粉末を提供する。【解決手段】  成形用材料を金型内で一軸プレス成形し、成形体を前記金型から離型して得る圧粉磁心の製造方法であって、  前記成形用材料に、組成式でＦｅ１００−ａＳｉａ（但し、ａはｍａｓｓ％で０≦ａ≦８）で表される金属粒子の周囲に、窒素含有量が前記金属粒子に対して０．００５〜０．１ｍａｓｓ％となるように表面が窒化された軟磁性粉末を用いることを特徴とする圧粉磁心の製造方法、及びこの製造方法に用いることができる軟磁性粉末。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成形用材料を金型内で一軸プレス成形し、成形体を前記金型から離型して得る圧粉磁心の製造方法であって、
前記成形用材料に、組成式でＦｅ１００−ａＳｉａ（但し、ａはｍａｓｓ％で０≦ａ≦８）で表される金属粒子の周囲に、窒素含有量が前記金属粒子に対して０．００５〜０．１ｍａｓｓ％となるように表面が窒化された軟磁性粉末を用いることを特徴とする圧粉磁心の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の圧粉磁心の製造方法であって、
前記軟磁性粉末は、前記金属粒子と尿素を混合した状態で窒素雰囲気中で熱処理したものであることを特徴とする圧粉磁心の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２のいずれかに記載の圧粉磁心の製造方法であって、
前記金型内に金型潤滑剤を塗布せずに成形を行うことを特徴とする圧粉磁心の製造方法。
【請求項４】
組成式でＦｅ１００−ａＳｉａ（但し、ａはｍａｓｓ％で０≦ａ≦８）で表される金属粒子の周囲に、窒素含有量が前記金属粒子に対して０．００５〜０．１ｍａｓｓ％となるように表面が窒化されたことを特徴とする軟磁性粉末。
【請求項５】
請求項４に記載の軟磁性粉末であって、
表面窒素濃度が１．０〜７．０ａｔ％であることを特徴とする軟磁性粉末。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば各種リアクトル、各種チョークコイルや各種トランスの磁心に用いられる圧粉磁心の製造方法、及び、その圧粉磁心に用いる軟磁性粉末に関する
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタル情報機器の高周波化、大電流化に伴い、圧粉磁心を用いたインダクタやノイズ対策部品が注目されている。軟磁性粉末を用いて作製される圧粉磁心は、従来から使用されていたフェライト磁心よりも高い飽和磁束密度を有しているため電子部品の小型化および大電流化に対して有利である。一般的な圧粉磁心の製造方法は、軟磁性粉末とバインダーを金型キャビティ内に充填し、一軸プレス成形する手段がとられる。
【０００３】
特許文献１に示すように、圧粉磁心の製造方法として金型潤滑剤を用いることで、成形体と金型とのかじりを抑制することが知られている。
金型潤滑剤を金型のキャビティ内に塗布するには、成形用材料をキャビティ内に充填する前に行う必要があり、製造工程が増えるとともに、金型潤滑剤による特性のばらつきや低下、金型潤滑剤のコスト増などのデメリットがある。そのため金型潤滑剤は用いないか、極力少なくすることが望まれる。
【０００４】
一方、圧粉磁心の特性を高めるために、特許文献２のように、軟磁性粉末として金属粒子の周囲を窒化し、さらにその周囲に絶縁層を形成することが知られている。絶縁層を形成することで、鉄損を低減できることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３４２９３７号公報
【特許文献２】特開平８−２３６３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
成形体と金型とのかじりが大きいと金型の損耗が激しくなり、金型寿命の低下をもたらす。金型潤滑剤を用いると手間とコストが増える。よって、簡易で低コストな手段でかじりを抑制することが望まれている。
尚、特許文献２で適用する窒化層はあくまで圧粉磁心の軟磁気特性（電気抵抗）を向上させるためのものであり、さらにその周囲に絶縁層を形成しているので、窒化層とかじりを結びつけて考慮しているものではなく、また、窒化の度合いも具体的には記載がない。本発明者が検討したところ、窒化した軟磁性粉末を用いても必ずしも特許文献２のように鉄損が改善するわけではなく、むしろ透磁率や損失は窒化するほど悪くなることが判った。
【０００７】
本発明は、金型潤滑剤を用いなくても抜圧が小さく金型の損耗を抑制することが可能であり、かつ透磁率や損失などの軟磁気特性が実用に供しえる圧粉磁心の製造方法、及び、その圧粉磁心に用いる軟磁性粉末を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
成形体と金型とのかじりの大きさは、金型から成形体を離型させる際に必要な力で評価できる。以後、この力を抜圧と称する。本発明者はこの抜圧をできる限り小さくするために、金型側ではなく、原材料となる軟磁性粉末側を改善することを検討した。
その結果、軟磁性粉末の表面に極わずかな窒素含有量となる窒化処理を施すだけで、抜圧が十分に低減する効果が得られることを知見した。極わずかな窒素しか含まれないので、軟磁性粉末の透磁率や損失の低下を極力抑えたまま、抜圧を低減できる。
【０００９】
第１の本発明は、成形用材料を金型内で一軸プレス成形し、成形体を前記金型から離型して得る圧粉磁心の製造方法であって、前記成形用材料に、組成式でＦｅ１００−ａＳｉａ（但し、ａはｍａｓｓ％で０≦ａ≦８）で表される金属粒子の周囲に、窒素含有量が前記金属粒子に対して０．００５〜０．１ｍａｓｓ％となるように表面が窒化された軟磁性粉末を用いることを特徴とする。
【００１０】
第２の本発明は、第１の本発明に記載の圧粉磁心の製造方法であって、前記軟磁性粉末は、前記金属粒子と尿素を混合した状態で窒素雰囲気中で熱処理したものであることを特徴とする。
【００１１】
第３の本発明は、第１又は第２の本発明に記載の圧粉磁心の製造方法であって、前記金型内に金型潤滑剤を塗布せずに圧縮成形を行うことを特徴とする。
【００１２】
第４の本発明は、組成式でＦｅ１００−ａＳｉａ（但し、ａはｍａｓｓ％で０≦ａ≦８）で表される金属粒子の周囲に、窒素含有量が前記金属粒子に対して０．００５〜０．１ｍａｓｓ％となるように表面が窒化されたことを特徴とする軟磁性粉末である。
【００１３】
第５の本発明は、第４の本発明に記載の軟磁性粉末であって、表面窒素濃度が１．０〜７．０ａｔ％であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
軟磁性粉末の表面に極わずかな窒素含有量となる窒化処理を施すだけで、金型潤滑剤を用いなくても抜圧が小さく金型の損耗を抑制することが可能であり、かつ透磁率や損失が実用に供しえる軟磁気特性を持つ圧粉磁心の製造方法、及び、その圧粉磁心に用いる軟磁性粉末を提供できた。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】軟磁性粉末の窒素含有量と抜圧及び透磁率の関係を表すグラフ
【図２】軟磁性粉末の窒素含有量と抜圧及び損失の関係を表すグラフ
【図３】軟磁性粉末の表面窒素濃度と抜圧及び透磁率の関係を表すグラフ
【図４】軟磁性粉末の表面窒素濃度と抜圧及び損失の関係を表すグラフ
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について説明する。なお、本発明は以下に述べる実施例に限定されるものではない。
【００１７】
本発明は成形用材料を金型内で一軸プレス成形し、成形体を前記金型から離型して得る圧粉磁心の製造方法であって、前記成形用材料に、組成式でＦｅ１００−ａＳｉａ（但し、ａはｍａｓｓ％で０≦ａ≦８）で表される金属粒子の周囲に、窒素含有量が前記金属粒子に対して０．００５〜０．１ｍａｓｓ％となるように表面が窒化された軟磁性粉末を用いることを特徴とする。
また、本発明はその圧粉磁心に用いる軟磁性粉末として、組成式でＦｅ１００−ａＳｉａ（但し、ａはｍａｓｓ％で０≦ａ≦８）で表される金属粒子の周囲に、窒素含有量が前記金属粒子に対して０．００５〜０．１ｍａｓｓ％となるように表面が窒化されたことを特徴とする。
【００１８】
圧粉磁心の製造方法においては主に一軸プレス成形が用いられる。金型キャビティと下パンチで形成された金型内の空間に成形用材料が充填される。成形用材料は上パンチ又は上パンチと下パンチでプレスされて成形体となる。成形体は上パンチ又は下パンチにより押されて金型内から押し出されて離型される。
成形体が押し出される際に、成形体と金型キャビティが摺動するので金型キャビティの内壁面を成形体が削る、かじりの問題が発生する。
【００１９】
窒化する金属粒子は、組成式でＦｅ１００−ａＳｉａ（但し、ａはｍａｓｓ％で０≦ａ≦８）で表される金属粒子を用いる。
上記組成式について説明する。高い磁束密度を得るためにはａ＝０ｍａｓｓ％の純Ｆｅを用いることが好ましいが、磁心損失をより低減するためにはＳｉを含むＦｅ−Ｓｉ系合金の使用が好ましい。８ｍａｓｓ％＜ａの場合、粉末が硬くなり成形時に塑性変形しにくくなるため成形性が低下するという問題がある。より好ましいａの範囲は１≦ａ≦７である。
なお本発明の軟磁性粉末は、Ｆｅの一部にＣ、Ｐ、Ｓ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ａｌが１ｍａｓｓ％以下の範囲で含まれていてもよい。
【００２０】
金属粒子の平均粒径は１０〜５０μｍとすることが好ましい。１０μｍ未満では粉末の流動性が悪く取扱いが困難となる場合がある。５０μｍを超えると高周波数域での渦電流損失が高くなるため不適である。好ましい範囲は２０〜４５μｍである。
金属粒子はアトマイズ法により製造されたものを用いることができる。
【００２１】
この金属粒子は、窒素含有量が前記金属粒子に対して０．００５〜０．１ｍａｓｓ％となるように表面が窒化された軟磁性粉末を用いる。
金属粒子の表面を窒化により硬化することで、粉末と金型壁面との摩擦を低減し、摩擦力による金型表面のカジリを抑制することができる。すなわち抜圧を低減できる。
窒素含有量は０．００５ｍａｓｓ％未満では抜圧低減の効果が不十分となるため、下限は０．００５ｍａｓｓ％以上とする。下限は０．０３ｍａｓｓ％以上とすることがなお好ましい。０．１ｍａｓｓ％以下の範囲で抜圧低減の効果が得られるが、０．１ｍａｓｓ％を超えてしまうと抜圧低減率はそれ以上改善せず、代わりに、窒化層の体積比率が高くなって透磁率や磁束密度などの軟磁気特性の低下が顕著になるので上限は０．１ｍａｓｓ％以下とした。軟磁気特性を高めるのであれば、上限は０．０６ｍａｓｓ％以下とすることが好ましい。
【００２２】
軟磁性粉末は、表面窒素濃度が１．０〜７．０ａｔ％であることが望ましい。表面窒素濃度が１．０〜７．０ａｔ％の部分は窒化層が形成される。表面窒素濃度の測定方法については後述する。窒化層は、軟磁性粉末の表面を全体的に窒化するような均一な窒化層ではなく、部分的に窒化された状態であってもよい。
【００２３】
軟磁性粉末の表面に窒化層を形成するための手法としてアンモニアガス等の雰囲気下で熱処理するガス窒化法を用いることができる。ただし、本発明の軟磁性粉末をより簡便で低コストで得る方法としては、金属粒子と尿素を混合した状態で窒素雰囲気中で熱処理する方法を用いることが好ましい。
アンモニアガスを用いる場合にはガス流量の制御を行う必要や、機密性が高い高価な炉を用いる必要があるが、尿素は粉末状で金属粒子と均一に混ぜて炉中に配置することが可能で、さらに、尿素自体の熱分解を利用して窒化が促進されるため、窒化処理における窒化量の制御がしやすく、本発明のような極僅かな窒素含有量になるように金属粒子を窒化させるのに適した製造方法である。
尿素は、例えば、金属粒子に対して０．０１〜７．０ｍａｓｓ％の割合で混合することが好ましく、さらには０．０１５〜４．０ｍａｓｓ％の割合で混合することが好ましい。
【００２４】
（粉末の窒素含有量の分析）
粉末に含有される窒素量は、酸素窒素分析装置を用い、不活性ガス融解-熱伝導度法(TCD)により定量分析する。
【００２５】
（粉末の表面の元素濃度の分析）
粉末表面における元素濃度の割合の分析はＸ線光電子分光分析法（Ｘ−ｒａｙ  Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ：ＸＰＳ）により求める。ＸＰＳでは、超高真空中で試料に単色Ｘ線を照射し、放出される光電子のエネルギー値を観測することにより、試料表面の元素組成や化学状態に関する情報を得ることができる。具体的にはサーベイスペクトルを測定し、表面の元素組成を分析する。ここで表面とは、軟磁性粉末表面からおよそ５ｎｍ深さの領域のことを表す。これはＸＰＳの分析深さに相当する。
【００２６】
（窒化層形成方法）
金属粒子に尿素粉末を０．０１〜７ｍａｓｓ％添加して、ボールミルなどの装置で乾式あるいは湿式で混合する。メディアを用いてもよいし、用いなくてもよい。混合粉を窒素雰囲気中において４００〜６００℃で１分〜１０時間熱処理することで、尿素が熱分解してアンモニアが発生し、アンモニアが熱分解してできた原子状窒素がＦｅ中に拡散し、窒化すると考えられている。
【００２７】
（圧粉磁心の作製方法）
圧粉磁心の作製及び評価方法について説明する。軟磁性粉末にバインダを添加して造粒した。バインダとしてはポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、フェノール樹脂、アクリルエマルジョン、コロイダルシリカなどが用いられる。成形用材料に潤滑剤としてステアリン酸亜鉛などの粉末を添加混合したものを外径１３．４ｍｍ、内径７．７ｍｍの内壁に金型潤滑剤を塗布していない金型を用い、油圧プレスで１ＧＰa以上の圧力で圧縮成形することによりトロイダルリング状の圧粉磁心を作製する。好ましくは、１．５〜２ＧＰa（１５〜２０ｔｏｎ／ｃｍ２）の圧力で圧縮成形する。
【００２８】
（抜圧の評価方法）
成形後に、リング状の成形体を金型から取り出す時の荷重をロードセルによって測定し、取り出し中の最大荷重を抜圧とした。抜圧が低い程、金型から成形体を取り出す際の抵抗が低いため、良好である。
【００２９】
（磁心損失、透磁率の測定方法）
磁心損失は、樹脂製のケースに圧粉磁心を入れ、１次（励磁巻線）、２次（検出巻線）共にφ０．２５ｍｍのエナメル銅線を３０ターン巻いて、Ｂ−Ｈアナライザで励磁磁束密度を５０ｍＴ、周波数を５０ｋＨｚで測定した。
透磁率も同様に磁心を樹脂製のケースに入れ、φ０．２５ｍｍのエナメル銅線を３０ターン巻いて、インピーダンス／ゲイン・フェーズアナライザを用い、周波数１００ｋＨｚで測定した。
【００３０】
（実施例１）
平均粒径３０μｍのＦｅ−６．５ｍａｓｓ％Ｓｉ金属粒子に、尿素粉末を金属粒子に対して０．０２ｍａｓｓ％添加、混合し、窒素雰囲気中、温度５００℃、保持１時間の条件で熱処理を行い、表面に窒化層を有する軟磁性粉末を作製した。この軟磁性粉末の窒素含有量は、０．００６ｍａｓｓ％、表面窒素濃度は１．４ａｔ％であった。軟磁性粉末にバインダを混合し、造粒して成形用材料を作製した。
金型内に金型潤滑剤を塗布せずにキャビティ内に成形用材料を充填し、１．５ＧＰａの圧力で一軸プレス成形し、金型から成形体を離型した。成形体を離型する時の抜圧を測定したところ、２．８３ｋＮであった。また、周波数１００kHzにおける透磁率は４９．０、励磁磁束密度５０ｍT、周波数５０ｋHｚにおける磁心損失は１０５ｋW/m3であった。
【００３１】
【表１】
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【００３２】
（実施例２）
平均粒径３０μｍのＦｅ−６．５％Ｓｉ金属粒子に、尿素粉末を金属粒子に対して０．１ｍａｓｓ％添加、混合し、窒素雰囲気中、温度５００℃、保持１時間の条件で熱処理を行い、表面に窒化層を有する軟磁性粉末を作製した。この軟磁性粉末の窒素含有量は、０．０３８ｍａｓｓ％、表面窒素濃度は４．５ａｔ％であった。軟磁性粉末にバインダを混合し、造粒して成形用材料を作製した。金型内に金型潤滑剤を塗布せずにキャビティ内に成形用材料を充填し、１．５ＧＰａの圧力で一軸プレス成形し、金型から成形体を離型した。成形体を離型する時の抜圧を測定したところ、２．２９ｋＮであった。また、周波数１００kHzにおける透磁率は４７．０、励磁磁束密度５０ｍT、周波数５０ｋHｚにおける磁心損失は１１０ｋW/m3であった。
【００３３】
（実施例３）
平均粒径３０μｍのＦｅ−６．５％Ｓｉ金属粒子に、尿素粉末を金属粒子に対して２．１ｍａｓｓ％添加、混合し、窒素雰囲気中、温度５００℃、保持１時間の条件で熱処理を行い、表面に窒化層を有する軟磁性粉末を作製した。この軟磁性粉末の窒素含有量は、０．０５３ｍａｓｓ％、表面窒素濃度は５．１ａｔ％であった。軟磁性粉末にバインダを混合し、造粒して成形用材料を作製した。金型内に金型潤滑剤を塗布せずにキャビティ内に成形用材料を充填し、１．５ＧＰａの圧力で一軸プレス成形し、金型から成形体を離型した。成形体を離型する時の抜圧を測定したところ、２．０３ｋＮであった。また、周波数１００kHzにおける透磁率は４４．７、励磁磁束密度５０ｍT、周波数５０ｋHｚにおける磁心損失は１２０ｋW/m3であった。
【００３４】
（実施例４）
平均粒径３０μｍのＦｅ−６．５％Ｓｉ金属粒子粉末に、尿素粉末を金属粒子に対して３．５ｍａｓｓ％添加、混合し、窒素雰囲気中、温度５００℃、保持１時間の条件で熱処理を行い、表面に窒化層を有する軟磁性粉末を作製した。この軟磁性粉末の窒素含有量は、０．０９９ｍａｓｓ％、表面窒素濃度は６．８ａｔ％であった。軟磁性粉末にバインダを混合し、造粒して成形用材料を作製した。金型内に金型潤滑剤を塗布せずにキャビティ内に成形用材料を充填し、１．５ＧＰａの圧力で一軸プレス成形し、金型から成形体を離型した。成形体を離型する時の抜圧を測定したところ、１．９６ｋＮであった。また、周波数１００kHzにおける透磁率は４０．５、励磁磁束密度５０ｍT、周波数５０ｋHｚにおける磁心損失は１２７ｋW/m3であった。
【００３５】
（比較例１）
窒素雰囲気中でアトマイズにより製造した平均粒径３０μｍのＦｅ−６．５％Ｓｉ金属粒子（窒素含有量０．００４ｍａｓｓ％、表面窒素濃度０．６ａｔ％）にバインダを混合し、造粒して成形用材料を作製した。金型内に金型潤滑剤を塗布せずにキャビティ内に成形用材料を充填し、１．５ＧＰａの圧力で一軸プレス成形し、金型から成形体を離型した。成形体を離型する時の抜圧を測定したところ、３．０９ｋＮであった。また、周波数100kHzにおける透磁率は５０．７、励磁磁束密度５０ｍT、周波数５０ｋHｚにおける磁心損失は１０４ｋW/m3であった。
【００３６】
（比較例２）
平均粒径３０μｍのＦｅ−６．５％Ｓｉ金属粒子に、尿素粉末を金属粒子に対して７．６ｍａｓｓ％添加、混合し、窒素雰囲気中、温度５００℃、保持１時間の条件で熱処理を行い、表面に窒化層を有する軟磁性粉末を作製した。この軟磁性粉末の窒素含有量は、０．２８９ｍａｓｓ％であった。軟磁性粉末にバインダを混合し、造粒して成形用材料を作製した。金型内に金型潤滑剤を塗布せずにキャビティ内に成形用材料を充填し、１．５ＧＰａの圧力で一軸プレス成形し、金型から成形体を離型した。成形体を離型する時の抜圧を測定したところ、１．９４ｋＮであった。また、周波数１００kHzにおける透磁率は３１．６、励磁磁束密度５０ｍT、周波数５０ｋHｚにおける磁心損失は１３９ｋW/m3であった。
【００３７】
（比較例３）
平均粒径３０μｍのＦｅ−６．５％Ｓｉ金属粒子に、尿素粉末を金属粒子に対して１８ｍａｓｓ％添加、混合し、窒素雰囲気中、温度５００℃、保持１時間の条件で熱処理を行い、表面に窒化層を有する軟磁性粉末を作製した。この軟磁性粉末の窒素含有量は、０．６５ｍａｓｓ％であった。軟磁性粉末にバインダを混合し、造粒して成形用材料を作製した。金型内に金型潤滑剤を塗布せずにキャビティ内に成形用材料を充填し、１．５ＧＰａの圧力で一軸プレス成形し、金型から成形体を離型した。成形体を離型する時の抜圧を測定したところ、１．９２ｋＮであった。また、周波数１００kHzにおける透磁率は２５．０、励磁磁束密度５０ｍT、周波数５０ｋHｚにおける磁心損失は１４４ｋW/m3であった。
【００３８】
窒化層を形成した金属粒子の窒素量と表面窒素濃度の効果についての実施例及び比較例の実験条件と結果を図１〜４に示す。
実施例１〜４、比較例１〜３、及び図１〜２から明らかなように、本発明の製造方法により作製した表面に窒化層を有する軟磁性粉末の窒素含有量は０．００５〜０．１ｍａｓｓ％の範囲であり、透磁率や損失の大幅な劣化をもたらすことなく成形体を取り出す時の抜圧を低減することができる。０．００５ｍａｓｓ％未満では、窒化の効果がほとんどなく、抜圧を低減することができない。０．１ｍａｓｓ％を超える場合は透磁率や損失などの軟磁気特性の低下をもたらすため、好ましくない。また、図３〜４から明らかなように、本発明の製造方法により作製した表面に窒化層を有する軟磁性粉末の表面窒素濃度は１．０〜７．０ａｔ％の範囲であり、同様に透磁率や損失の大幅な劣化をもたらすことなく成形体を取り出す時の抜圧を低減することができる。
【００３９】
（実施例５）
本発明の金属粒子の組成式：Ｆｅ１００−ａＳｉａ（但し、ａはｍａｓｓ％で０≦ａ≦８）において、ａ＝１、ａ＝３となる組成の金属粒子を用いた。
尿素粉末を、金属粒子に対して２．１ｍａｓｓ％添加、混合し、窒素雰囲気中、温度５００℃、保持１時間の条件で熱処理を行い、表面に窒化層を有する軟磁性粉末を作製した。ａ＝１の金属粒子を用いたものは、軟磁性粉末の窒素含有量が０．０５１ｍａｓｓ％、表面窒素濃度が４．８ａｔ％であった。ａ＝３の金属粒子を用いたものは、軟磁性粉末の窒素含有量が０．０５３ｍａｓｓ％、表面窒素濃度が５．０ａｔ％であった。軟磁性粉末にバインダを混合し、造粒して成形用材料を作製した。金型内に金型潤滑剤を塗布せずにキャビティ内に成形用材料を充填し、１．５ＧＰａの圧力で一軸プレス成形し、金型から成形体を離型した。成形体を離型する時の抜圧を測定したところ、ａ＝１の金属粒子を用いたものは、１．９９ｋＮであった。ａ＝３の金属粒子を用いたものは、抜圧が２．０２ｋＮであった。
【００４０】
（参考例１）
アンモニア雰囲気で窒化処理を行った。
平均粒径３０μｍのＦｅ−６．５％Ｓｉ粒子粉末をアンモニア雰囲気中、温度４９０℃、保持5分の条件で熱処理を行い、表面に窒化層を有する軟磁性粉末を作製した。この軟磁性粉末の窒素含有量は０．５９ｍａｓｓ％となり、雰囲気を変えた以外は上記実施例と同様の窒化処理条件で金属粒子を窒化したが、本発明の極少ない窒素含有量を有する軟磁性粉末は得られなかった。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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