(57)【要約】【課題】はんだ付け処理部の外周で周回搬送可能な自動循環搬送路を容易に構築できるようにする。【解決手段】ワークを載置した搬送トレイ２００を所定の方向へ搬送する搬送部３１と、その下流側に配置され、該トレイを搬送方向と直交する方向へ送り出す方向変換部４１と、その下流側に配置され、該トレイを所定の速度かつ所定の方向へ搬送してワークに対してはんだ付け処理を行うリフロー炉３００と、その下流側に配置され、該トレイを搬送方向と直交する方向へ送り出す方向変換部４２と、その下流側に配置され、該トレイを所定の方向へ搬送する搬送部３２と、その下流側に配置され、該トレイを搬送方向と直交する方向へ送り出す方向変換部４３と、その下流側に配置されて該トレイを所定の方向へ搬送する搬送部３３と、その下流側に配置されて該トレイを搬送方向と直交する方向へ送り出し、搬送部３１の方向へトレイを返送するための方向変換部４４とを備える。【選択図】  図１
2014123660.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
はんだ付けされるワークを載置した搬送具を所定の方向へ搬送する第１の搬送部と、
前記第１の搬送部の下流側に配置され、前記搬送具を搬送方向と直交する方向へ送り出す第１の方向変換部と、
前記第１の方向変換部の下流側に配置され、前記搬送具を所定の速度かつ所定の方向へ搬送して前記ワークに対してはんだ付け処理を行うはんだ付け処理部と、
前記はんだ付け処理部の下流側に配置され、前記搬送具を搬送方向と直交する方向へ送り出す第２の方向変換部と、
前記第２の方向変換部の下流側に配置され、前記搬送具を所定の方向へ搬送する第２の搬送部と、
前記第２の搬送部の下流側に配置され、前記搬送具を搬送方向と直交する方向へ送り出す第３の方向変換部と、
前記第３の方向変換部の下流側に配置されて前記搬送具を所定の方向へ搬送する第３の搬送部と、
前記第３の搬送部の下流側に配置されて前記搬送具を搬送方向と直交する方向へ送り出し前記第１の搬送部の方向へ持ち来すための第４の方向変換部とを備える搬送処理システム。
【請求項２】
少なくとも、前記はんだ付け処理部の異常を検知する検知部と、
前記検知部から得られる異常検知情報に基づいて前記はんだ付け処理部、第１、第２、第３、第４の方向変換部、第１、第２及び第３の搬送部を制御する制御部とを備え、
前記搬送具が所定の搬送ピッチで前記はんだ付け処理部に搬入される場合であって、前記はんだ付け処理部の異常を示す異常検知情報が前記検知部から得られた場合に、
前記制御部は、
前記異常検知情報に基づいて前記はんだ付け処理部内における前記搬送具の搬送速度よりも速い異常対処時の制御速度に設定を変更して前記はんだ付け処理部内から搬出される前記搬送具の搬送ピッチを詰めて前記第３の搬送部上に前記搬送具を搬送するように前記第２、第３の方向変換部、第２、第３の搬送部を制御する請求項１に記載の搬送処理システム。
【請求項３】
前記はんだ付け処理部、第１、第２、第３、第４の方向変換部、第１、第２及び第３の搬送部を制御する制御部は、
前記はんだ付け処理部の異常を示す異常検知情報が前記検知部から得られた場合に、前記第１の搬送部の駆動を停止して前記搬送具の搬送を制御する請求項２に記載の搬送処理システム。
【請求項４】
前記第３の搬送部と第４の方向変換部の間に設けられ、前記搬送具の搬送経路外及び経路内間で移動可能に配された搬送具係止部を備え、
前記はんだ付け処理部、第１、第２、第３、第４の方向変換部、第１、第２及び第３の搬送部を制御する制御部は、前記検知部から得られる異常検知情報に基づいて前記第１の搬送部の駆動を停止するように制御すると共に、前記搬送具の搬送経路内に位置するように前記搬送具係止部を制御する請求項３に記載の搬送処理システム。
【請求項５】
前記第１の搬送部に隣接して配置され、当該第１の搬送部に配置された前記搬送具に搬送具を積み込み、及び、前記搬送具から搬送具を荷降ろしする荷役機構を有し、
前記はんだ付け処理部、第１、第２、第３、第４の方向変換部、第１、第２及び第３の搬送部を制御する制御部は、
前記はんだ付け処理部の異常を示す異常検知情報が得られた場合に、前記異常検知情報に基づいて前記第１の方向変換部の駆動を停止すると共に、前記第１の搬送部への前記搬送具の積み込みを停止し、前記第１の搬送部から前記搬送具を荷降ろしするように前記荷役機構を制御する請求項２に記載の搬送処理システム。
【請求項６】
前記はんだ付け処理部、第１、第２、第３、第４の方向変換部、第１、第２及び第３の搬送部を制御する制御部は、
前記はんだ付け処理部の異常を示す異常検知情報が得られた場合に、前記異常検知情報に基づいて前記第１の方向変換部の駆動及び前記荷役機構を停止して前記搬送具の搬送を制御する請求項５に記載の搬送処理システム。
【請求項７】
前記はんだ付け処理部、第１、第２、第３、第４の方向変換部、第１、第２及び第３の搬送部を制御する制御部は、
前記はんだ付け処理部の異常を示す異常検知情報が得られた場合に、前記異常検知情報に基づいて、前記第３の搬送部と第４の方向変換部の間に設けられた搬送具係止部を、前記搬送具の搬送経路内に位置するように制御する請求項６に記載の搬送処理システム。
【請求項８】
前記はんだ付け処理部の前記制御部によって駆動が制御される前記方向変換部の各々は、
ベルト対を有して所定の方向から前記搬送具を受け入れる第１の搬送部材と、
前記第１の搬送部材によって受け入れられた前記搬送具を前記所定の方向と直交する方向へ送り出す第２の搬送部材と、
前記ベルト対の間に設けられて前記第２の搬送部材を昇降する昇降部とを有し、
前記昇降部が、
前記搬送具を受け入れるときは、前記ベルト対よりも前記第２の搬送部材を降下させ、
前記搬送具を送り出すときは、前記ベルト対よりも前記第２の搬送部材を上昇させる請求項１乃至７のいずれかに記載の搬送処理システム。
【請求項９】
前記はんだ付け処理部を制御する前記制御部は、
前記第１、第２の搬送部材及び昇降部を制御する際に、
前記ベルト対を駆動して所定の方向から前記搬送具を受け入れ、その後、前記ベルト対を停止するように前記第１の搬送部材を制御し、
前記第２の搬送部材が前記第１の搬送部材によって受け入れられた前記搬送具を受け止められるように前記昇降部を制御し、
受け止めた前記搬送具を前記所定の方向と直交する方向へ送り出すように前記第２の搬送部材を制御する請求項８に記載の搬送処理システム。
【請求項１０】
前記はんだ付け処理部は、リフロー炉である請求項１乃至９のいずれかに記載の搬送処理システム。
【請求項１１】
前記はんだ付け処理部は、溶融はんだ付け装置である請求項１乃至９のいずれかに記載の搬送処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、はんだ付けされるワークを載置した搬送具を荷役場所からはんだ付け処理部の搬入口へ搬送し、はんだ付け後の搬送具を搬出口から再度、荷役場所に返送する循環型のリフローシステムや、溶融はんだ付けシステム等のはんだ付け装置に適用可能な搬送処理システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ワークとしての半導体ウエハーにはんだ付け処理を行なうためにはんだ付け装置としてリフロー炉が採用され、このリフロー炉において、半導体ウエハーを専用の搬送具（以下で搬送トレイという）に載置して搬送し、リフロー処理する場合が多くなってきた。
【０００３】
このリフロー炉の前後には、搬送トレイの搬入部及び、その搬出部がそれぞれ設けられている。半導体ウエハーを載置した搬送トレイは、搬入部からリフロー炉内に搬送されて、リフロー処理が行われた後に、その搬出部から搬出される。搬出後、半導体ウエハーは搬送トレイから取り外され、搬送トレイが専用のストッカーにストックされる。
【０００４】
ストッカーに所定の枚数の搬送トレイが溜まると、人力で、ストッカー毎、搬入部に運搬される。搬入部では、搬送トレイに半導体ウエハーが載置され、半導体ウエハーを載置した搬送トレイがリフロー炉の搬入部に搬送され、当該搬入部からリフロー炉内に搬送されリフロー処理がなされたのち、搬出部から搬出される。搬送トレイに着目すれば、半導体ウエハーを載置・搬入部に搬送・リフロー炉内に搬送・リフロー処理・搬出部から搬出・搬送トレイから半導体ウエハーを取り外す・搬送トレイのストック・人力によるストッカーの搬入部への回送という工程が順次繰り返し行われている。
【０００５】
ところで、工程削減の観点からシステムを考慮すると、人力によるストッカーの搬入部への回送という工程を自動化した循環型の搬送処理システムが考えられる。循環型のはんだ付け装置の搬送処理システムに関連して、特許文献１には溶融はんだ付けシステムが開示されている。この溶融はんだ付けシステムによれば、エンドレスのコンベア（トラック型）に沿って、被はんだ付け物（ＩＣ）の取入れ部、フラックス付け、予加熱、はんだ付け、温水洗浄、冷水洗浄の各ユニットに加えて乾燥手段、取出し部が順次配列されている。
【０００６】
ＩＣを保持した搬送ホルダは、コンベアに配置された取入れ部から搬入されて、フラックス付け、予加熱、はんだ付け、温水洗浄、冷水洗浄の各ユニットを経て、乾燥手段を経て取出し部から搬出するようになされる。
【０００７】
また、溶融はんだ付けシステムに関して、特許文献２には自動はんだ付け装置が開示されている。この自動はんだ付け装置には、システムの四隅に方向転換部が設けられ、方向転換部の四側には進入用及び退出用のコロレールとプッシャーとセンサーとが設置され、進入用コロレールと退出用のコロレールとが直交して配置されている。
【０００８】
進入用コロレールはそのレール板の一方が所定の位置に固定されており、他方のレール板が上下方向に移動自在になっている。退出用コロレールはそのレール板の一方が所定の位置に固定されており、他方のレール板が上下方向に移動自在になっている。各々のコロレールは、レール板にコロ部材である複数のコロが並設されて構成されている。
【０００９】
方向転換部によれば、進入用コロレールを介して所定の方向からプリント基板（キャリア）が受け入れられる。このとき、退出用コロレールは降下している。プリント基板の受け入れがセンサーによって検知されると、退出用のコロレールが上昇してくる。退出用のコロレールに移行したプリント基板はプッシャーによって押されることにより、当該所定の方向と直交する方向へプリント基板を送り出すようになされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特公昭  ５８−５７２７０号公報
【特許文献２】再公表  ＷＯ２００９／１５４２２５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、従来例に係るはんだ付け装置等に開示された循環型のはんだ付けシステム（搬送処理システム）には次のような問題がある。特許文献１に見られるようなコンベアを、はんだ付け装置の周囲に配置するとコンベアの搬送速度はどの箇所においても一定速度での搬送となる。
【００１２】
また、特許文献２の自動はんだ付け装置においては、複数のプッシャーでキャリアを一定速度で間欠的に搬送することが開示されている。すなわち、特許文献１では、連続搬送ながら一定速度で搬送することが、また、特許文献２においては、間欠搬送ながら一定速度で搬送する形態が採られている。
【００１３】
一方、はんだ付け装置として流通しているリフロー炉や溶融はんだ付け装置等において、人的な搬送トレイの回送作業に代わる循環搬送路を取り入れ、かつ、半導体ウエハーの搬送トレイへのセットやその払い出し作業を自動化しようとした場合に、リフロー炉の前後の工程において、ローダー及び、アンローダーを配置して対処する方法が考えられる。
【００１４】
しかし、システムや装置等の稼働中に、アンローダーやリフロー炉等に何らかの異常が発生した場合に、例えば、アンローダーが異常状態に陥ったとき、コンベアやキャリア等の搬送が滞る場合が考えられる。この場合、コンベアの搬送速度が一定であったり、キャリアの搬送が一定速度で間欠的であったりすると、搬送が滞った時間、リフロー炉内に半導体ウエハーがそのまま滞在することとなり、長い時間放置される状態に陥ると、熱破壊によりＩＣ等を劣化する恐れがある。これにより、半導体ウエハーへのはんだバンピング時の生産歩留まりが低下するという問題が懸念される。
【００１５】
そこで、本発明はこのような課題を解決したものであって、はんだ付け処理部の外周でワークを載置した搬送具を当該処理部を含めて周回搬送可能な自動循環搬送路を容易に構築できるようにすると共に、循環型のリフローシステムや、溶融はんだ付けシステム等を構築できるようにした搬送処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上述の課題を解決するために、請求項１に記載の搬送処理システムは、はんだ付けされるワークを載置した搬送具を所定の方向へ搬送する第１の搬送部と、前記第１の搬送部の下流側に配置され、前記搬送具を搬送方向と直交する方向へ送り出す第１の方向変換部と、前記第１の方向変換部の下流側に配置され、前記搬送具を所定の速度かつ所定の方向へ搬送して前記ワークに対してはんだ付け処理を行うはんだ付け処理部と、前記はんだ付け処理部の下流側に配置され、前記搬送具を搬送方向と直交する方向へ送り出す第２の方向変換部と、前記第２の方向変換部の下流側に配置され、前記搬送具を所定の方向へ搬送する第２の搬送部と、前記第２の搬送部の下流側に配置され、前記搬送具を搬送方向と直交する方向へ送り出す第３の方向変換部と、前記第３の方向変換部の下流側に配置されて前記搬送具を所定の方向へ搬送する第３の搬送部と、前記第３の搬送部の下流側に配置されて前記搬送具を搬送方向と直交する方向へ送り出し前記第１の搬送部の方向へ持ち来すための第４の方向変換部とを備えるものである。
【００１７】
請求項１に係る搬送処理システムによれば、第１の搬送部が、はんだ付けされるワークを載置した搬送具を所定の方向へ搬送すると、第１の搬送部の下流側に配置された第１の方向変換部が、搬送具を搬送方向と直交する方向へ送り出す。更に第１の方向変換部の下流側に配置されたはんだ付け処理部は、搬送具を所定の速度かつ所定の方向へ搬送してワークに対してはんだ付け処理を行うと、はんだ付け処理部の下流側に配置された第２の方向変換部が搬送具を搬送方向と直交する方向へ送り出す。
【００１８】
更に第２の方向変換部の下流側に配置された第２の搬送部は、搬送具を所定の方向へ搬送すると、第２の搬送部の下流側に配置された第３の方向変換部が、搬送具を搬送方向と直交する方向へ送り出す。更に第３の方向変換部の下流側に配置された第３の搬送部は、搬送具を所定の方向へ搬送すると、第３の搬送部の下流側に配置された第４の方向変換部が、搬送具を搬送方向と直交する方向へ送り出し第１の搬送部の方向へ持ち来すようになる。
【００１９】
従って、複数の搬送部及び複数の方向変換部から構成され、はんだ付け処理部の外周において、ワークを載置した搬送具を周回搬送可能な自動循環搬送路を容易に構築することができ、当該自動循環搬送路を使用してはんだ付け処理後の半導体ウエハー等を載置した搬送具を、はんだ付け処理部の搬出口からその搬入口に返送できるようになる。
【００２０】
請求項２に記載の搬送処理システムは、請求項１に記載の搬送処理システムにおいて、少なくとも、前記処理部の異常を検知する検知部と、前記検知部から得られる異常検知情報に基づいて前記処理部、第１、第２、第３、第４の方向変換部、第１、第２、第３の搬送部及び荷役機構を制御する制御部とを備え、前記搬送具が所定の搬送ピッチで前記はんだ付け処理部に搬入される場合であって、前記はんだ付け処理部の異常を示す異常検知情報が前記検知部から得られた場合に、前記制御部は、前記異常検知情報に基づいて前記はんだ付け処理部内における前記搬送具の搬送速度よりも速い異常対処時の制御速度に設定を変更して前記はんだ付け処理部内から搬出される前記搬送具の搬送ピッチを詰めて前記第３の搬送部上に前記搬送具を搬送するように前記第２、第３の方向変換部、第２、第３の搬送部を制御するものである。
【００２１】
請求項３に記載の搬送処理システムは、請求項２に記載の搬送処理システムにおいて、  前記はんだ付け処理部、第１、第２、第３、第４の方向変換部、第１、第２及び第３の搬送部を制御する制御部は、前記はんだ付け処理部の異常を示す異常検知情報が前記検知部から得られた場合に、前記第１の搬送部の駆動を停止して前記搬送具の搬送を制御するものである。
【００２２】
請求項４に記載の搬送処理システムは、請求項３に記載の搬送処理システムにおいて、前記第３の搬送部と第４の方向変換部の間に設けられ、前記搬送具の搬送経路外及び経路内間で移動可能に配された搬送具係止部を備え、前記はんだ付け処理部、第１、第２、第３、第４の方向変換部、第１、第２及び第３の搬送部を制御する制御部は、前記検知部から得られる異常検知情報に基づいて前記第１の搬送部の駆動を停止するように制御すると共に、前記搬送具の搬送経路内に位置するように前記搬送具係止部を制御するものである。
【００２３】
請求項５に記載の搬送処理システムは、請求項２に記載の搬送処理システムにおいて、前記第１の搬送部に隣接して配置され、当該第１の搬送部に配置された前記搬送具にワークを積み込み、及び、前記搬送具からワークを荷降ろしする荷役機構を有し、前記はんだ付け処理部、第１、第２、第３、第４の方向変換部、第１、第２及び第３の搬送部を制御する制御部は、前記はんだ付け処理部の異常を示す異常検知情報が得られた場合に、前記異常検知情報に基づいて前記第１の方向変換部の駆動を停止すると共に、前記第１の搬送部への前記搬送具の積み込みを停止し、前記第１の搬送部から前記搬送具を荷降ろしするように前記荷役機構を制御するものである。
【００２４】
請求項６に記載の搬送処理システムは、請求項５に記載の搬送処理システムにおいて、
前記はんだ付け処理部、第１、第２、第３、第４の方向変換部、第１、第２及び第３の搬送部を制御する制御部は、前記はんだ付け処理部の異常を示す異常検知情報が得られた場合に、前記異常検知情報に基づいて前記第１の方向変換部の駆動及び前記荷役機構を停止して前記搬送具の搬送を制御するものである。
【００２５】
請求項７に記載の搬送処理システムは、請求項６に記載の搬送処理システムにおいて、前記はんだ付け処理部、第１、第２、第３、第４の方向変換部、第１、第２及び第３の搬送部を制御する制御部は、前記はんだ付け処理部の異常を示す異常検知情報が得られた場合に、前記異常検知情報に基づいて、前記第３の搬送部と第４の方向変換部の間に設けられた搬送具係止部を、前記搬送具の搬送経路内に位置するように制御するものである。
【００２６】
請求項８に記載の搬送処理システムは、請求項１〜７のいずれかに記載の搬送処理システムにおいて、前記はんだ付け処理部を制御する前記制御部によって駆動が制御される前記方向変換部の各々は、ベルト対を有して所定の方向から前記搬送具を受け入れる第１の搬送部材と、前記第１の搬送部材によって受け入れられた搬送具を前記所定の方向と直交する方向へ送り出す第２の搬送部材と、前記ベルト対の間に設けられて前記第２の搬送部材を昇降する昇降部とを有し、前記昇降部が、前記搬送具を受け入れるときは、前記ベルト対よりも前記第２の搬送部材を降下させ、前記搬送具を送り出すときは、前記ベルト対よりも前記第２の搬送部材を上昇させるものである。
【００２７】
請求項９に記載の搬送処理システムは、請求項８に記載の搬送処理システムにおいて、前記はんだ付け処理部を制御する制御部は、前記第１、第２の搬送部材及び昇降部を制御する際に、前記ベルト対を駆動して所定の方向から前記搬送具を受け入れ、その後、前記ベルト対を停止するように前記第１の搬送部材を制御し、前記第２の搬送部材が前記第１の搬送部材によって受け入れられた前記搬送具を受け止められるように前記昇降部を制御し、受け止めた前記搬送具を前記所定の方向と直交する方向へ送り出す請求項３に記載の搬送処理システムように前記第２の搬送部材を制御するものである。
【００２８】
請求項１０に記載の搬送処理システムは、請求項１〜９のいずれかに記載の搬送処理システムにおいて、はんだ付け処理部は、リフロー炉であるものである。
【００２９】
請求項１１に記載の搬送処理システムは、請求項１〜９のいずれかに記載の搬送処理システムにおいて、はんだ付け処理部は、溶融はんだ付け装置であるものである。
【発明の効果】
【００３０】
請求項１〜請求項１１に係る搬送処理システムによれば、複数の搬送部及び複数の方向変換部から構成され、はんだ付け処理部の外周において、ワークを載置した搬送具を当該処理部を含めて周回搬送可能な自動循環搬送路を容易に構築することができ、当該自動循環搬送路を使用して半導体ウエハー等を載置した搬送具を、はんだ付け処理部の搬出口からその搬入口に返送できるようになる。
【００３１】
しかも、トラック型のように被搬送物を搬入時の前端位置と、返送時の前端位置とを揃えることができるようになる。従って、第１の搬送部にジョブ投入地点を設定したとき、はんだ付け処理後の被搬送物を再現性良くジョブ投入地点に戻すことが可能な循環型のリフローシステムや、溶融はんだ付けシステム等を構築できるようになる。
【００３２】
また、外周型の循環搬送路によれば、搬送部や、方向変換部等の個々の部材を短時間に交換可能となるので、故障発生時、リフロー炉や溶融はんだ付け装置の稼働を長時間にわたって停止することなく、短時間に故障箇所の搬送路を修復できるというメンテナンス上のメリットがある。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明に係る実施形態としてのリフローシステム＃１０の構成例を示す上面図である。
【図２】搬送トレイ２００への半導体ウエハー４００の載置例を示す斜視図である。
【図３】リフロー炉３００の構成例を示す断面図である。
【図４】リフローシステム＃１０の制御系の構成例を示すブロック図である。
【図５】リフローシステム＃１０における制御例を示すフローチャートである。
【図６】搬送トレイ２００の退避処理例を示すフローチャートである。
【図７】方向変換装置１００の構成例（その１）を示す斜視図である。
【図８】方向変換装置１００の構成例（その２）を示す上面図及びその断面図である。
【図９】方向変換装置１００の制御系の構成例を示すブロック図である。
【図１０】（Ａ）及び（Ｂ）は、方向変換装置１００の動作例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、図面を参照しながら、はんだ付け装置としてリフロー炉に適用し、ワークとして半導体ウエハーを搬送具に載置した状態でリフロー処理を行う場合について、本発明に係る実施の形態としての搬送処理システムについて説明する。
【００３５】
＜リフローシステム＃１０＞  
図１に示す循環型のリフローシステム＃１０は搬送処理システムの一例を構成し、図２に示す搬送トレイ２００に半導体ウエハー４００を載置し、半導体ウエハー４００に対してはんだ付け処理を行うシステムである。この例では、リフローシステム＃１０において、搬送トレイ２００が反時計方向回りに循環する場合を例に挙げる。
【００３６】
リフローシステム＃１０は図１において、第１の搬送部３１、第２の搬送部３２、第３の搬送部３３、第１の方向変換部４１、第２の方向変換部４２、第３の方向変換部４３、第４の方向変換部４４、荷役機構６０及びリフロー炉３００を有している。搬送部３１では、半導体ウエハー４００が搬送トレイ２００にセット（載置）される。この例では、搬送部３１に隣接して荷役機構６０が配置され、当該搬送部３１で搬送される搬送トレイ２００に半導体ウエハー４００（基板）を積み込み、及び、搬送トレイ２００から半導体ウエハー４００を荷降ろしするようになされる。
【００３７】
すなわち、荷役機構６０は、図示しないカセット等に収納されたリフロー処理前の半導体ウエハー４００を搬送トレイ２００に載置したり（ローダー）、搬送トレイ２００に載置されたリフロー処理後の半導体ウエハー４００をカセット等に収納する（アンローダー）ために使用される。そのために、荷役機構６０は、回転の軸となる基軸６１、関節駆動アーム６２、及び、関節駆動アーム６２の先端部に設けられた半導体ウエハー４００を保持する吸着部６３を有している。
【００３８】
上述の搬送部３１は、半導体ウエハー４００を載置した搬送トレイ２００を所定の方向、この例では、図中、下向きの白抜き矢印に示す方向へ搬送する。搬送部３１の下流側には方向変換部４１が配置され、搬送部３１から搬送されてきた搬送トレイ２００を、その搬送方向と直交する方向へ送り出すように動作する。図中では、搬送トレイ２００の搬送方向を右向きの白抜き矢印に示している。
【００３９】
方向変換部４１の下流側には、はんだ付け処理部の一例を構成するリフロー炉３００が配置され、搬送トレイ２００を所定の速度かつ所定の方向へ搬送し、プリント基板における電子部品のはんだ付け処理や半導体ウエハー４００におけるはんだバンプ形成等のはんだ付け処理（リフロー処理）を行うものである。本例においては、半導体ウエハーにおけるはんだバンプ形成のはんだ付け処理を行う場合について説明する。
【００４０】
リフロー炉３００は搬入口３０１及び搬出口３０２を有している。リフロー炉３００の搬入口３０１から搬出口３０２へ向かう搬送トレイ２００は図中の白抜き矢印方向に搬送される。リフロー炉３００には、ピンチェーン駆動タイプのリフロー装置が使用される。なお、リフロー炉３００の搬入口３０１の側には操作表示部４８が配置される。
【００４１】
リフロー炉３００の下流側には方向変換部４２が配置され、はんだバンプ形成後の半導体ウエハー４００を載置した搬送トレイ２００を、その搬送方向と直交する方向へ送り出すように動作する。図中では、搬送トレイ２００の搬送方向を上向きの白抜き矢印に示している。
【００４２】
方向変換部４２の下流側には搬送部３２が配置され、方向変換部４２から受け取った搬送トレイ２００を所定の方向へ搬送する。搬送部３２の下流側には方向変換部４３が配置され、搬送部３２から受け取った搬送トレイ２００をその搬送方向と直交する方向へ送り出すように動作する。図中では、その搬送方向を左向きの白抜き矢印に示している。
【００４３】
方向変換部４３の下流側には搬送部３３が配置され、方向変換部４３から受け取った搬送トレイ２００を、荷役機構６０方向へ戻るためのコンベアであるからリターンコンベアとしての機能を有している。すなわち、搬送部３３は搬送トレイ２００のリターン路を構成し、本例の場合、複数のコンベアから構成されている。
【００４４】
この例では搬送部３３が７個の搬送ブロックに分割され、搬送部３３は７台のコンベア＃１〜＃７を有している。コンベア＃１は、所定の長さを有した直線状のベルト対２１と当該ベルト対２１を駆動するモーター２２から構成されている。例えば、コンベア＃１は、そのベルト対２１の直線部分に２枚の搬送トレイ２００が余裕を持って載置可能な長さを有している。他のコンベア＃２〜＃７も同様な構成及び機能を有している。
【００４５】
搬送部３３の下流側には方向変換部４４が配置され、搬送部３３のコンベア＃７から受け取った搬送トレイ２００をその搬送方向と直交する方向へ送り出し、上述の搬送部３１の方向へ持ち来す（返送：帰還する）ように動作する。図中では、その搬送方向を下向きの白抜き矢印に示している。上述の方向変換部４１〜４４については図７〜図１０でその一例を説明する。なお、上記一連の循環動作において、搬送トレイ２００は搬送部３１に載置された姿勢のまま受け渡される。
【００４６】
リフローシステム＃１０において、搬送部３１では所定の位置、本例では、搬送部３１のほぼ中央部で一旦停止し、荷役機構６０によって、搬送トレイ２００からリフロー処理された半導体ウエハー４００を荷降ろしするとともに荷降ろし後の搬送トレイ２００にリフロー処理される新たな半導体ウエハー４００が載置されるようになされる。リフロー処理前及び処理後の半導体ウエハー４００は図示しないカセット等に収容される。なお、搬送部３１及び搬送部３２は、方向変換部４２，４４における各々の搬送部材１２の上昇分を考慮してリフロー炉３００内の搬送路や、搬送部３３等に比べてやや高く設定して置くと、円滑に搬送トレイ２００を移行できるようになる。
【００４７】
ここで、図２を参照して、搬送トレイ２００への半導体ウエハー４００の載置例について説明する。図２に示す搬送トレイ２００は、半導体ウエハー４００を搬送するためにベースプレート１と、搬送ガイド２と、４個の支持プレート３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ（以下、符号Ａ〜Ｄを省略する場合もある）を有している。ベースプレート１は搬送ガイド２とボルト８等によって接合されている。搬送ガイド２はリフロー炉３００内のピンチェーンに支持される形態で搬送される。
【００４８】
ベースプレート１には、所定の大きさの半導体ウエハー４００の直径φよりも大きな口径ｄを有する開口部９が設けられている。半導体ウエハー４００の直径φは、例えば、２００ｍｍ及び３００ｍｍである。開口部９の口径ｄは、例えば、３１０ｍｍ程度である。
【００４９】
支持プレート３Ａには直径２００ｍｍの半導体ウエハーを保持するためのピン４、及び位置ずれ防止及び保持兼用のピンガイド５が設けられている。また、支持プレート３Ａには直径３００ｍｍの半導体ウエハーを保持するためのピン６、及び位置ずれ防止及び保持兼用のピンガイド７が設けられている。支持プレート３Ｂ〜３Ｄにも同じピン４、６や、ピンガイド５、７が設けられている。搬送トレイ２００は、半導体ウエハー４００に熱風が均等に当たるように、開口部９の内縁部位から突出した位置で半導体ウエハー４００を支持（載置）するようになされる。
【００５０】
続いて、図３を参照して、リフロー炉３００の構成例について説明する。図３に示すリフロー炉３００は、搬送トレイ２００に載置された所定箇所にペースト状のはんだ（ソルダペースト＋粉末状のはんだ）が塗布された半導体ウエハー４００に、熱風を吹き付け、半導体ウエハー４００にはんだバンプを形成するものである。リフロー炉３００において、搬送トレイ２００を取り込む側を上流側とし、搬送トレイ２００を取り出す側を下流側とする。
【００５１】
リフロー炉３００は、本体部１０１及びコンベア１０２で構成され、コンベア１０２は半導体ウエハー４００が載置された搬送トレイ２００を上流側から下流側へ搬送する。図３に示す白抜き矢印Ｉは、搬送トレイ２００の搬送方向である。
【００５２】
本体部１０１は、予備加熱ゾーンＡ、本加熱ゾーンＢ及び冷却ゾーンＣの３つのゾーンを有している。リフロー炉３００ではんだバンプが形成される半導体ウエハー４００は搬送トレイ２００に載置され、コンベア１０２によって予備加熱ゾーンＡ、本加熱ゾーンＢ及び冷却ゾーンＣの順番で搬送される。
【００５３】
予備加熱ゾーンＡは、搬送トレイ２００に載置された半導体ウエハー４００をゆっくり加熱して熱に慣らすための領域であって、ソルダペースト中の溶剤を揮散させる領域でもある。予備加熱ゾーンＡは、はんだ組成や、半導体ウエハー４００やプリント基板等の被搬送物等によって異なるが、概ね鉛フリーソルダペーストで１５０〜１８０℃に設定される。本加熱ゾーンＢは、予備加熱ゾーンＡよりも温度が高く設定され（概ね鉛フリーソルダペーストで２４０℃）、ソルダペースト中のはんだ粉末を溶融させてはんだ付けを行う領域である。
【００５４】
予備加熱ゾーンＡには、第１のヒーター部１０３が、コンベア１０２の上下に各５ゾーンずつ配置されると共に、各ヒーター部１０３にはヒーターによって加熱された熱風をリフロー炉３００内に供給するために複数のノズルからなる熱風吹き出しノズル装置２５が設けられている。本加熱ゾーンＢには、第２のヒーター部１０４が、コンベア１０２の上下に各３ゾーンずつ配置されると共に、各ヒーター部１０４にはノズル装置２５が設けられている。
【００５５】
ヒーター部１０３，１０４は、図示しない電熱線ヒーター、ファン及びファンを回転させるファンモーター等から構成される。ヒーター部１０３，１０４は、例えば、電熱線ヒーターで気体（例えば、空気や窒素ガス等の不活性ガス）を加熱し、ファンモーターを駆動してファンを回転させることで、加熱された気体をリフロー炉３００内に熱風として吹き出す。
【００５６】
ヒーター部１０３，１０４から吹き出される熱風の流量は、ファンモーターの回転速度によって制御される。通常、ヒーター部１０４の温度は、ヒーター部１０３の温度よりも高く設定されている。予備加熱ゾーンＡ及び本加熱ゾーンＢを経て半導体ウエハー４００にはんだバンプが形成される。
【００５７】
また、冷却ゾーンＣは、はんだバンプが形成された半導体ウエハー４００を冷却する領域である。冷却ゾーンＣには、冷却部１０５がコンベア１０２の上下に各１ゾーンずつ配置されると共に、各冷却部１０５にもノズル装置２５が設けられている。この場合、ノズル装置２５からは、冷却用の気体が複数のノズルからリフロー炉３００内に供給される。これらにより、リフロー炉３００を構成する。
【００５８】
続いて、図４を参照して、リフローシステム＃１０の制御系の構成例について説明する。図４に示すリフローシステム＃１０は、少なくとも、操作表示部４８、異常検知部４９及び制御部５０を備え、異常検知部４９から得られる異常検知データＤ４９に基づいてリフロー炉３００、方向変換部４１〜４４、搬送部３１〜３３及び荷役機構６０の入出力を制御する。
【００５９】
制御部５０は、例えば、読み出し専用メモリ（Read  Only  Memory：以下ＲＯＭ５１という）、随時情報の書き込み読出し可能なメモリ（Random Access Memory：以下ＲＡＭ５２という）メモリ部５３、Ｉ／Ｏポート５４及び中央処理ユニット（Central Processing Unit；以下ＣＰＵ５５という）を有している。Ｉ／Ｏポート５４には、搬送部３１〜３３、方向変換部４１〜４４、操作表示部４８、異常検知部４９、荷役機構６０及び、リフロー炉３００が接続される。制御部５０にはコンピュータが使用される。
【００６０】
ＣＰＵ５５にはＲＯＭ５１及びワークメモリ用のＲＡＭ５２が接続される。ＲＡＭ５２にはメモリ部５３が接続される。もちろん、ＲＯＭ５１には当該リフローシステム＃１０の全体を制御するためのシステムプログラムが格納され、メモリ部５３には、方向変換部４１〜４４、搬送部３１〜３３及び荷役機構６０を制御するための制御情報が格納される。制御情報には、方向変換データＤ４１〜Ｄ４４や、荷役制御データＤ６０、図示しない搬送制御データ等が含まれている。
【００６１】
例えば、電源がオンされると、電源オン情報を検出したＣＰＵ５５は、ＲＯＭ５１からシステムプログラムを読み出してＲＡＭ５２に展開し、システムを起動して、当該リフローシステム＃１０の全体を制御するようになされる。
【００６２】
操作表示部４８は、はんだバンプ形成時、リフローシステム＃１０において、リフロー炉３００に投入される半導体ウエハー４００のはんだバンプの形成条件等を制御部５０に設定するように操作される。操作表示部４８は、例えば、タッチパネルや、テンキー、液晶表示パネルから構成される。操作表示部４８にはＧＵＩ（Graphic User Interface）方式の入力手段が使用される。
【００６３】
ここにはんだバンプの形成条件とは、リフロー処理時の半導体ウエハー４００の種類（サイズ）、予備加熱ゾーンＡや、本加熱ゾーンＢの温度、その搬送トレイ２００の連続投入（搬送）枚数、その搬送ピッチ等のジョブ設定内容をいう。操作表示部４８で設定されたはんだバンプの形成条件は設定データＤ４８となって操作表示部４８から制御部５０へ出力される。
【００６４】
この例では、リフロー炉３００の搬入口３０１の側に操作表示部４８が配置されているので、作業面において、荷役機構６０におけるカセットへの半導体ウエハー４００のセットや、その取り出しと、スタートＯＮ／ＯＦＦとを操作表示部４８で行えるようになり、作業範囲が一定区画のみで済むようになる。
【００６５】
荷役機構６０は制御部５０に接続され、荷役制御データＤ６０に基づいて図１に示した基軸６１を駆動する。荷役制御データＤ６０は制御部５０から荷役機構６０へ出力される。荷役機構６０では、基軸６１が荷役制御データＤ６０に基づいて関節駆動アーム６２を駆動し、その先端部をカセットに移動する。カセットには半導体ウエハー４００が収納されている。
【００６６】
荷役機構６０では、後述する搬送部３１の所定位置で停止している搬送トレイ２００に半導体ウエハー４００が載置されているかどうかを検出して、半導体ウエハー４００が載置されていない場合には、半導体ウエハー４００を載置する。更に、先端部の吸着部６３がカセット内の半導体ウエハー４００を１枚吸着して保持する。その後、関節駆動アーム６２が再度、駆動され、半導体ウエハー４００を吸着した関節駆動アーム６２が搬送トレイ２００上へ移動される。搬送トレイ２００上で吸着部６３が駆動され、吸着部６３が半導体ウエハー４００を搬送トレイ２００に載置するようにされる。
【００６７】
また、搬送トレイ２００に半導体ウエハー４００が載置されていた場合には、前記した吸着部６３で半導体ウエハー４００を吸着して、カセットに収納される。上記半導体ウエハー４００の搬送トレイ２００への受け渡しが終了後、搬送部３１は再度駆動される。
【００６８】
制御部５０には３つの搬送部３１〜３３が接続され、搬送部３１は、搬送制御信号Ｓ３１に基づいてベルト対２１を駆動し、搬送トレイ２００を方向変換部４１へ搬送する。搬送制御信号Ｓ３１は制御部５０から搬送部３１のモーター２２へ出力される。搬送部３１のモーター２２は、搬送制御信号Ｓ３１に基づいて搬送部３１のベルト対２１を駆動するようになる。上述のように、搬送部３１は、荷役機構６０の基軸６１とリンクして、搬送区間の所定位置で停止して、搬送トレイ２００に対して半導体ウエハー４００の受け渡しを行い、受け渡し実行後に駆動されるようになされている。本例の場合、搬送区間の中央部で停止して上記受け渡しが実行される。
【００６９】
制御部５０には４つの方向変換部４１〜４４が接続され、方向変換部４１は、搬送部３１から搬送されてくる搬送トレイ２００を、方向変換データＤ４１に基づいて受け止め、当該搬送トレイ２００を、搬送部３１のトレイ搬送方向と直交する方向へ送り出すようになされる。方向変換データＤ４１は制御部５０から方向変換部４１へ出力される。
【００７０】
リフロー炉３００は制御部５０に接続され、方向変換部４１から搬送されてくる搬送トレイ２００を受け入れ、リフロー制御データＤ３０に基づいて搬送トレイ２００上の半導体ウエハー４００及びペースト状のはんだに熱風が吹き付けられ、半導体ウエハー４００にはんだバンプが形成される。リフロー制御データＤ３０は制御部５０からリフロー炉３００へ出力される。
【００７１】
方向変換部４２は、リフロー炉３００から搬送されてくる搬送トレイ２００を、方向変換データＤ４２に基づいて受け止め、当該搬送トレイ２００を、リフロー炉３００におけるトレイ搬送方向と直交する方向へ送り出すようになされる。方向変換データＤ４２は制御部５０から方向変換部４２へ出力される。
【００７２】
搬送部３２は、搬送制御信号Ｓ３２に基づいてベルト対２１を駆動し、搬送トレイ２００を方向変換部４３へ搬送する。搬送制御信号Ｓ３２は制御部５０から搬送部３２のモーター２２へ出力される。搬送部３２のモーター２２は、搬送制御信号Ｓ３２に基づいて搬送部３２のベルト対２１を駆動するようになる。
【００７３】
方向変換部４３は、搬送部３２から搬送されてくる搬送トレイ２００を、方向変換データＤ４３に基づいて受け止め、当該搬送トレイ２００を、搬送部３２のトレイ搬送方向と直交する方向へ送り出すようになされる。方向変換データＤ４３は制御部５０から方向変換部４３へ出力される。
【００７４】
この例で、搬送部３３は７個のコンベア＃１〜＃７から構成され、搬送制御信号Ｓ＃１〜Ｓ＃７に基づいて各々のコンベア＃１〜＃７のベルト対２１を駆動し、搬送トレイ２００を方向変換部４４へ搬送するようになる。搬送制御信号Ｓ＃１〜Ｓ＃７は制御部５０から対応するコンベア＃１〜＃７のモーター２２へ出力される。
【００７５】
コンベア＃１のモーター２２は、搬送制御信号Ｓ＃１に基づいてコンベア＃１のベルト対２１を駆動するようになる。他のコンベア＃２〜＃７の各々のモーター２２についても、対応する搬送制御信号Ｓ＃２〜Ｓ＃７に基づいてコンベア＃２〜＃７のベルト対２１を駆動するようになる（個別ブロック駆動制御）。搬送制御信号Ｓ＃〜Ｓ＃７及び搬送制御信号Ｓ３１〜Ｓ３３は、制御部５０で搬送制御データに基づいて図示しないタイミング発生部で生成される。
【００７６】
方向変換部４４は、搬送部３３から搬送されてくる搬送トレイ２００を、方向変換データＤ４４に基づいて受け止め、当該搬送トレイ２００を、搬送部３３のトレイ搬送方向と直交する方向へ送り出すようになされる。方向変換データＤ４４は制御部５０から方向変換部４４へ出力される。上述の方向変換部４１〜４４の内部の構成例については図７及び図８で、その制御例については図９で、その動作例については図１０でその一例を説明する。
【００７７】
制御部５０には異常検知部４９が接続されている。異常検知部４９は例えば、リフロー炉３００の内部に設けられ、当該リフロー炉３００の異常を検知して異常検知データＤ４９を制御部５０へ出力する。異常検知部４９には温度センサーや、回転検出素子等が使用される。異常検知データＤ４９には、予備加熱ゾーンＡや、本加熱ゾーンＢの温度検知情報や、冷却ゾーンＣの温度検知情報や、各ファンの回転検知情報等が含まれる。
【００７８】
例えば、搬送トレイ２００が所定の搬送ピッチでリフロー炉３００に搬入される場合であって、リフロー炉３００の異常を示す異常検知データＤ４９が得られた場合に、制御部５０は、方向変換部４１の駆動を停止すると共に、荷役機構６０も停止する。
【００７９】
更に、リフロー炉３００内における搬送トレイ２００の搬送速度よりも速い異常対処時の制御速度に設定を変更してリフロー炉３００内から搬出される搬送トレイ２００の搬送ピッチを詰めて搬送部３３上に搬送するように方向変換部４２，４３、搬送部３２，３３を制御する。これにより、リフロー炉３００の異常検知時、当該リフロー炉３００内の搬送トレイ２００を搬送部３３上に素早く退避できるようになる。
【００８０】
続いて、図５及び図６を参照して、リフローシステム＃１０における制御例及び搬送トレイ２００の退避処理例について説明する。この例では、搬送トレイ２００が所定の搬送ピッチでリフロー炉３００に搬入される場合であって、リフロー炉３００の異常を示す異常検知データＤ４９が得られた場合に、制御部５０は、方向変換部４１の駆動を停止すると共に、搬送部３１への搬送トレイ２００の積み込みを停止する。その後、搬送トレイ２００の退避処理例を実行する場合を前提とする。
【００８１】
これらを制御条件にして、図５に示すステップＳＴ１でＣＰＵ５５はジョブの投入を待機する。このとき、ユーザーは操作表示部４８を操作して、リフロー処理時の半導体ウエハー４００の種類（サイズ）、予備加熱ゾーンＡや、本加熱ゾーンＢの温度、その搬送トレイ２００の連続投入（搬送）枚数、その搬送ピッチ等のはんだバンプの形成条件を制御部５０に設定する。
【００８２】
リフロー炉３００内の搬送トレイ２００の搬送速度は、０．３ｍ／min〜１．６ｍ／min程度である。搬送トレイ２００は所定の搬送ピッチ、例えば、１ｍピッチで、連続８枚で、リフロー炉３００に搬入されるように設定される。操作表示部４８で設定されたはんだバンプの形成条件は設定データＤ４８となって操作表示部４８から制御部５０へ出力される。
【００８３】
また、ユーザーは半導体ウエハー４００が収納されたカセットを荷役機構６０の所定の位置にセットする。カセットには１ロット単位の半導体ウエハー４００が収納される。そして、制御部５０ではんだバンプ形成の準備が済んだら、ユーザーは、操作表示部４８のスタートボタン等を押下して制御部５０に起動を指示する。
【００８４】
＜通常のバンプ形成処理＞
次に、ステップＳＴ２でＣＰＵ５５は荷役処理（ウエハー載置）を実行する。このとき、荷役機構６０は、制御部５０から出力される荷役制御データＤ６０に基づいて図１に示した基軸６１を駆動する。基軸６１は、荷役制御データＤ６０に基づいて関節駆動アーム６２を駆動し、その先端部をカセットに移動する。
【００８５】
吸着部６３がカセット内の半導体ウエハー４００を１枚吸着して保持する。その後、関節駆動アーム６２が再度、駆動され、半導体ウエハー４００を吸着した関節駆動アーム６２が搬送トレイ２００上へ移動される。搬送トレイ２００上で吸着部６３が半導体ウエハー４００を搬送トレイ２００に載置するようになる。
【００８６】
その後、ステップＳＴ３でＣＰＵ５５は第１搬送処理を実行する。このとき、制御部５０から搬送制御信号Ｓ３１を入力した搬送部３１は、搬送制御信号Ｓ３１に基づいてベルト対２１を駆動し、搬送トレイ２００を方向変換部４１へ搬送する。搬送部３１のモーター２２は、搬送制御信号Ｓ３１に基づいて搬送部３１のベルト対２１を駆動する。
【００８７】
そして、ステップＳＴ４でＣＰＵ５５は第１方向変換処理を実行する。このとき、制御部５０から方向変換データＤ４１を入力した方向変換部４１は、方向変換データＤ４１に基づいて搬送トレイ２００を搬送部３１のトレイ搬送方向と直交する方向であるリフロー炉３００へ搬送する（図９，図１０の（Ａ）及び（Ｂ）参照）。
【００８８】
次に、ステップＳＴ５でＣＰＵ５５はリフロー処理を実行する。このとき、制御部５０からリフロー制御データＤ３０を入力したリフロー炉３００では、方向変換部４１から搬送されてきた搬送トレイ２００が受け入れられ、リフロー制御データＤ３０に基づいて搬送トレイ２００上の半導体ウエハー４００及びペースト状のはんだに熱風が吹き付けられ、半導体ウエハー４００にはんだバンプが形成される。
【００８９】
その後、ステップＳＴ６でＣＰＵ５５は第２方向変換処理を実行する。このとき、制御部５０から方向変換データＤ４２を入力した方向変換部４２は、リフロー炉３００から搬送されてくる搬送トレイ２００を、方向変換データＤ４２に基づいて受け止め、当該搬送トレイ２００を、リフロー炉３００におけるトレイ搬送方向と直交する方向へ送り出すようになされる。方向変換部４２の内部の動作例については、図８及び図１０を参照されたい。
【００９０】
次に、ステップＳＴ７でＣＰＵ５５は第２搬送処理を実行する。このとき、制御部５０から搬送制御信号Ｓ３２を入力した搬送部３２は、搬送制御信号Ｓ３２に基づいて搬送部３１のモーター２２を駆動してベルト対２１を回転させる。搬送部３２ではベルト対２１が回転することで、搬送トレイ２００が方向変換部４３へ搬送される。
【００９１】
その後、ステップＳＴ８でＣＰＵ５５は第３方向変換処理を実行する。このとき、制御部５０から方向変換データＤ４３を入力した方向変換部４３は、搬送部３２から搬送されてくる搬送トレイ２００を、方向変換データＤ４３に基づいて受け止め、当該搬送トレイ２００を、搬送部３２のトレイ搬送方向と直交する方向へ送り出すようになされる。
【００９２】
そして、ステップＳＴ９でＣＰＵ５５は第３搬送処理を実行する。このとき、制御部５０から搬送制御信号Ｓ＃１〜Ｓ＃７を入力した搬送部３３は、搬送制御信号Ｓ＃１に基づいてコンベア＃１のモーター２２を駆動してベルト対２１を回転させる。コンベア＃１ではベルト対２１が回転することで、搬送トレイ２００がコンベア＃２へ搬送される。
【００９３】
搬送部３３では、搬送制御信号Ｓ＃２に基づいてコンベア＃２のモーター２２を駆動してベルト対２１を回転させる。コンベア＃２ではベルト対２１が回転することで、コンベア＃１から受け取った搬送トレイ２００がコンベア＃３へ搬送される。更に、搬送部３３では、搬送制御信号Ｓ＃３に基づいてコンベア＃３のモーター２２を駆動してベルト対２１を回転させる。コンベア＃３ではベルト対２１が回転することで、コンベア＃２から受け取った搬送トレイ２００がコンベア＃４へ搬送される。
【００９４】
順次、上流側から受け取った搬送トレイ２００が搬送制御信号Ｓ＃７に基づいてコンベア＃７のモーター２２を駆動してベルト対２１を回転させる。コンベア＃７ではベルト対２１が回転することで、コンベア＃６から受け取った搬送トレイ２００が方向変換部４４へ搬送される（個別ブロック駆動制御）。
【００９５】
この例で、搬送部３３は７個のコンベア＃１〜＃７から構成され、搬送制御信号Ｓ＃１〜Ｓ＃７に基づいて各々のコンベア＃１〜＃７のベルト対２１を駆動し、搬送トレイ２００を方向変換部４４へ搬送するようになる。搬送制御信号Ｓ＃１〜Ｓ＃７は制御部５０から対応するコンベア＃１〜＃７のモーター２２へ出力される。
【００９６】
コンベア＃１のモーター２２は、搬送制御信号Ｓ＃１に基づいてコンベア＃１のベルト対２１を駆動するようになる。他のコンベア＃２〜＃７の各々のモーター２２についても、対応する搬送制御信号Ｓ＃２〜Ｓ＃７に基づいてコンベア＃２〜＃７のベルト対２１を駆動するようになる（個別ブロック駆動制御）。搬送制御信号Ｓ＃〜Ｓ＃７及び搬送制御信号Ｓ３１〜Ｓ３３は、制御部５０で搬送制御データに基づいて図示しないタイミング発生部で生成される。
【００９７】
そして、ステップＳＴ１０でＣＰＵ５５は第４方向変換処理を実行する。このとき、制御部５０から方向変換データＤ４４を入力した方向変換部４４は、搬送部３３から搬送されてくる搬送トレイ２００を、方向変換データＤ４４に基づいて受け止め、当該搬送トレイ２００を、搬送部３３のトレイ搬送方向と直交する方向へ送り出すようになされる。
【００９８】
その後、ステップＳＴ１１でＣＰＵ５５は荷役処理（ウエハー降ろし）を実行する。荷役機構６０は、制御部５０から出力される荷役制御データＤ６０に基づいて図１に示した基軸６１を駆動する。基軸６１は、荷役制御データＤ６０に基づいて関節駆動アーム６２を駆動し、その先端部を搬送部３１上に移動する。
【００９９】
吸着部６３は、搬送トレイ２００上の半導体ウエハー４００を吸着して保持する。その後、関節駆動アーム６２が再度、駆動され、半導体ウエハー４００を吸着した関節駆動アーム６２が荷役機構６０に近接して配置されたカセット上へ移動される。関節駆動アーム６２がカセット上に移行されると、吸着部６３の吸着が解除され、カセット上に半導体ウエハー４００を載置するようになる。この例では、リフローリターン後の半導体ウエハー４００は、払い出した同一のカセットに収納（バーコード管理）できるためＬＯＴ管理等の作業負担を軽減できるようになる。
【０１００】
その後、ステップＳＴ１５に移行してＣＰＵ５５は半導体ウエハー４００におけるはんだバンプの形成終了判別を実行する。例えば、ジョブ投入数をカウントし、目標数への到達有無を検知し、最終の半導体ウエハー４００を検知していない場合は、上述のステップＳＴ２に戻って処理を繰り返す。最終の半導体ウエハー４００を検知した場合は、半導体ウエハー４００におけるはんだバンプの形成を終了する。
【０１０１】
この例では、上述のステップＳＴ２〜ＳＴ１１に並行して、ステップＳＴ１２でＣＰＵ５５は異常検知処理を実行する。このとき、異常検知部４９では、リフロー炉３００の異常を検知して異常検知データＤ４９を制御部５０へ出力する。異常検知データＤ４９には、予備加熱ゾーンＡや、本加熱ゾーンＢの温度検知情報や、冷却ゾーンＣの温度検知情報や、各ファンの回転検知情報等が含まれる。
【０１０２】
ステップＳＴ１３でＣＰＵ５５は異常検知の有無に基づいて制御を分岐する。この際の異常／正常の判断基準は、例えば、正常時の基準温度と各加熱ゾーンの実際の温度とを比較し、その大小を判別することにより異常検知有無の判別を行う。異常検知無しの場合はステップＳＴ１２に戻ってＣＰＵ５５は異常検知処理を継続する。
【０１０３】
＜搬送トレイの退避処理＞  
異常検知有りの場合はステップＳＴ１３に移行して搬送トレイ２００の退避処理を実行する。例えば、搬送トレイ２００が所定の搬送ピッチでリフロー炉３００に搬入される場合であって、正常時の基準温度よりも高い温度が本加熱ゾーンＢで検知され、リフロー炉３００の異常を示す異常検知データＤ４９が得られた場合である。
【０１０４】
このような場合、ステップＳＴ２１でＣＰＵ５５はウエハー載置を停止すると共に、第１搬送処理を停止することなく、ウエハー荷降ろしのみの荷役処理を実行する。このとき、ＣＰＵ５５は、搬送部３１上の搬送トレイ２００から半導体ウエハー４００を荷降しするように荷役機構６０を制御する（ステップＳＴ１１参照）。
【０１０５】
次に、ステップＳＴ２２でＣＰＵ５５は搬送部３３から方向変換部４４を介して半導体ウエハー４００を載置した搬送トレイ２００を受け入れると共に第１搬送処理を停止する。その後、ステップＳＴ２３でＣＰＵ５５は第１方向変換処理を停止する。このとき、ＣＰＵ５５は、方向変換部４１の駆動を停止する。
【０１０６】
更に、ステップＳＴ２４でＣＰＵ５５はリフロー処理時のトレイ搬送速度を異常対処時の制御速度に変更（設定）する。例えば、正常時のトレイ搬送速度を１００％としたとき、その１５０％程度の制御速度に設定が変更される。リフロー炉３００内における搬送トレイ２００の搬送速度よりも速い異常対処時の制御速度に設定を変更してリフロー炉３００内から搬出される搬送トレイ２００の搬送ピッチを詰めて搬送部３３上に搬送するように方向変換部４２，４３、搬送部３２，３３を制御する。
【０１０７】
そして、ステップＳＴ２５でＣＰＵ５５は異常対処時の制御速度に基づく第２方向変換処理を実行する。このとき、方向変換部４２では、リフロー炉３００から搬送されてくる搬送トレイ２００を、異常対処時の方向変換データＤ４２に基づいて受け止め、当該搬送トレイ２００を、リフロー炉３００におけるトレイ搬送方向と直交する方向へ送り出すようになされる。この例で、異常対処時の方向変換データＤ４２は、正常時の方向変換速度を５０％増加するようなデータであり、制御部５０から方向変換部４２へ出力される。
【０１０８】
その後、ステップＳＴ２６でＣＰＵ５５は異常対処時の制御速度に基づく第２搬送処理を実行する。このとき、搬送部３２では、異常対処時の搬送制御信号Ｓ３２に基づいてベルト対２１を駆動し、搬送トレイ２００を方向変換部４３へ搬送する。異常対処時の搬送制御信号Ｓ３２は、正常時の制御速度を５０％増加するような信号であり、制御部５０から搬送部３２のモーター２２へ出力される。搬送部３２のモーター２２は、異常対処時の搬送制御信号Ｓ３２に基づいて搬送部３２のベルト対２１を正常時よりも５０％増加して駆動するようになる。
【０１０９】
そして、ステップＳＴ２７でＣＰＵ５５は異常対処時の制御速度に基づく第３方向変換処理を実行する。このとき、方向変換部４３では、搬送部３２から搬送されてくる搬送トレイ２００を、異常対処時の方向変換データＤ４３に基づいて受け止め、当該搬送トレイ２００を、搬送部３２のトレイ搬送方向と直交する方向へ送り出すようになされる。異常対処時の方向変換データＤ４３は制御部５０から方向変換部４３へ出力される（ステップＳＴ２５参照）。
【０１１０】
更に、ステップＳＴ２８でＣＰＵ５５は異常対処時の制御速度に基づく第３搬送処理を実行する。例えば、ステップＳＴ８１でＣＰＵ５５は第７のコンベア＃７に２枚の搬送トレイ２００を載置した状態でＣＰＵ５５は停止する。１つのコンベア＃７等に２枚の搬送トレイ２００を収容する方法は、１枚目の搬送トレイ２００を収容した時点で、当該搬送トレイ２００とベルト対２１の係合（載置）関係を解除（例えば、下方から搬送トレイ２００を突き上げて、ベルト対２１から浮かせた状態に維持する。搬送トレイ２００を突き上げは、方向変換部４１等よりも小型のエアーシリンダーや、ソレノイド等を使用して行えばよい。
【０１１１】
そして、２枚の搬送トレイ２００を搬送ピッチを詰めるようにして当該ベルト対２１上に取り込む。その後、ベルト対２１を停止する。このようにして、ステップＳＴ８２でＣＰＵ５５は第６のコンベア＃６に２枚の搬送トレイ２００を載置した状態で停止する。
【０１１２】
順次、第５のコンベア＃５に２枚の搬送トレイ２００を載置し、第４のコンベア＃４に２枚の搬送トレイ２００を載置し、第３のコンベア＃３に２枚の搬送トレイ２００を載置し、第２のコンベア＃２に２枚の搬送トレイ２００を載置し、ステップＳＴ８３でＣＰＵ５５は第１のコンベア＃１に２枚の搬送トレイ２００を載置した状態で停止する。
【０１１３】
これにより、リフロー炉３００の異常検知後、コンベア＃１〜＃７がバッファの役割を果たすので、当該リフロー炉３００の内部に存在する搬送トレイ２００を搬送部３３上に、速やかに、退避させることができる（個別ブロック駆動制御）。
【０１１４】
なお、異常が除去された後は、異常対処時の制御速度から、正常時のトレイ搬送速度に変更（設定）し、搬送部３３、方向変換部４４及び搬送部３１を駆動すると共に、荷役機構６０を駆動して、コンベア＃１〜＃７に一時的に保存して置いた１６枚の搬送トレイ２００を順次、搬送部３１上に搬送する。
【０１１５】
搬送部３１上で荷役機構６０を駆動して搬送トレイ２００上から半導体ウエハー４００をカセットに収納する。コンベア＃１〜＃７では、１枚ずつ搬送トレイ２００をコンベア＃７→下流側の方向変換部４４、コンベア＃６→＃７、コンベア＃５→＃６、コンベア＃４→＃５、コンベア＃３→＃４、コンベア＃２→＃３、コンベア＃１→＃２等のように搬送する。
【０１１６】
搬送トレイ２００を所定の搬送ピッチに揃えるために、各コンベア＃１〜＃７では、１枚目の搬送トレイ２００を送り出す時点で、２枚目の搬送トレイ２００とベルト対２１の係合（載置）関係を解除（例えば、下方から搬送トレイ２００を突き上げて、ベルト対２１から浮かせた状態に維持）する。この状態から所定の搬送ピッチが得られた時点で、２枚目の搬送トレイ２００とベルト対２１の係合（載置）関係を再開すればよい。
【０１１７】
このように実施形態に係るリフローシステム＃１０によれば、３つの搬送部３１，３２，３３及び４つの方向変換部４１，４２，４３，４４によって構成され、リフロー炉３００の外周において、ワークを載置した搬送トレイ２００を当該リフロー炉３００を含めて周回搬送可能な自動循環搬送路を容易に構築することができ、当該自動循環搬送路を使用して半導体ウエハー等を載置した搬送トレイ２００を、リフロー炉３００の搬出口３０２からその搬入口３０１に返送できるようになる。しかも、トラック型のように搬送トレイ２００を搬入時の前端位置と、返送時の前端位置とを揃えることができるようになる。従って、搬送部３１にジョブ投入地点を設定したとき、はんだ付け処理後の半導体ウエハー４００を再現性良くジョブ投入地点に戻すことが可能な循環型のリフローシステムや、溶融はんだ付けシステム等を構築できるようになる。
【０１１８】
しかも、異常検知時に、リフロー炉３００の外部にウエハー荷降ろしのものを含めて９枚、その内部に８枚の合計１５枚が存在していると場合を想定したとき、異常検知直後に、外部に存在していた９枚の半導体ウエハー４００の内、搬送部３１上の第１番目の半導体ウエハー４００が荷役機構６０によってカセットに収容される。
【０１１９】
第２番目の半導体ウエハー４００を載置した搬送トレイ２００は、搬送部３１上に退避され、第３及び第４番目の半導体ウエハー４００を載置した２枚の搬送トレイ２００が搬送部３３のコンベア＃７上に退避され、第５及び第６番目の半導体ウエハー４００を載置した２枚の搬送トレイ２００が搬送部３３のコンベア＃６上に退避され、第７及び第８番目の半導体ウエハー４００を載置した２枚の搬送トレイ２００が搬送部３３のコンベア＃５上に退避される。
【０１２０】
そして、第９番目の半導体ウエハー４００を載置した搬送トレイ２００と、リフロー炉３００から最初に搬出された第１０番目の半導体ウエハー４００を載置した搬送トレイ２００とが搬送部３３のコンベア＃４上に退避され、リフロー炉３００から次に搬出された第１１及び第１２番目の半導体ウエハー４００を載置した２枚の搬送トレイ２００が搬送部３３のコンベア＃３上に退避される。
【０１２１】
リフロー炉３００から更に次に搬出された第１３及び第１４番目の半導体ウエハー４００を載置した２枚の搬送トレイ２００が搬送部３３のコンベア＃２上に退避され、リフロー炉３００から更に次に搬出された第１５及び第１６番目の半導体ウエハー４００を載置した２枚の搬送トレイ２００が搬送部３３のコンベア＃１上に退避される（個別ブロック駆動制御）。
【０１２２】
これにより、リフロー炉３００の異常検知後、当該リフロー炉３００内部の計８枚の搬送トレイ２００を搬送部３３上に、速やかに、退避させることができる。このように第３の搬送部３３を異常検知時のバッファとして機能させることが可能な循環型のリフローシステム＃１０を構築できるようになった。リフローシステム＃１０を循環型とすることで、人力で運搬していた半導体ウエハー４００の製造工数を削減できるようになる。しかも、バッファ専用の設備を不要とすることができる。
【０１２３】
上述した例では、搬送処理システムがリフロー炉３００を備える場合について説明したが、これに限られることはない。搬送処理システムがプリント基板を所定の速度で搬送して溶融はんだを噴流し、電子部品をはんだ付けする溶融はんだ付け装置を備える場合であってもよい。上流側の搬送路から当該搬送路と直交する下流側の搬送路へ搬送トレイ２００を再現性良く受け渡せるようになる。これにより、循環型の溶融はんだ付けシステムを構築できるようになる。また、退避処理は、これに限られることはない。
【０１２４】
一例として、異常検知情報に基づいて、荷役機構６０、第４の方向変換部４４、第１の搬送部３１、第１の方向変換部４１をそれぞれ停止させるようにしても良い。この場合、荷役機構６０、第１の搬送部３１、第１の方向変換部４１が停止するので、リフロー処理前の半導体ウエハー４００を載置した搬送トレイ２００がリフロー炉３００へ搬入されない。また、第４の方向変換部４４の停止によって、搬送トレイ２００の搬送を強制的に停止させるので、搬送トレイ２００は搬送部３３に強制的に蓄積されることになり、搬送部３３に搬送トレイ２００を退避させることができる。
【０１２５】
また、異常時の退避処理の他の例として、第３の搬送部３３と第４の方向変換部４４の間に、常には搬送トレイ２００の搬送経路外に位置しており、搬送トレイ２００の搬送経路内に位置させる搬送具係止部７０を設けるとともに、異常時には制御部５０を介して、搬送トレイ２００の搬送経路内に搬送具係止部７０を位置させるように構成しても良い。
【０１２６】
搬送具係止部７０は、例えば、図１に示した搬送部３３の最も下流側に配置される。搬送具係止部７０には、ソレノイド及び遮断用の棒部材が使用され、制御部５０からソレノイド制御信号を受信して、ソレノイドが駆動され、ソレノイドに係合された棒部材が搬送トレイ２００の搬送経路に飛び出す（突出する）。
【０１２７】
この場合、異常時には制御部５０を介して、搬送トレイ２００の搬送経路内に搬送具係止部７０の棒部材が位置し、搬送トレイ２００の継続的な搬送を阻止するようになるので、搬送トレイ２００は搬送部３３に強制的に蓄積されることになり、搬送部３３に搬送トレイ２００を退避させることができる。この時、上述した荷役機構６０、各搬送部、各方向変換部の退避処理と合わせて実行するようにしても良い。
【０１２８】
また、異常検知部４９についてはリフロー炉３００の内部に設ける場合について説明したが、これに限られることはない。異常検知部４９を荷役機構６０に設け、基軸６１等の異常を検知し、荷役系の異常検知に基づいて搬送トレイ２００の退避処理を実行してもよい。
【０１２９】
＜方向変換装置１００＞
なお、図７に示す方向変換装置１００は、図１に示した４つの方向変換部４１，４２，４３，４４に適用可能のものであり、はんだ付けされる半導体ウエハー４００を載置した搬送トレイ２００を荷役場所からリフロー炉３００の搬入口３０１へ搬送し、はんだ付け後の搬送トレイ２００を搬出口３０２から再度、荷役場所に返送する循環型のリフローシステムや、溶融はんだ付けシステム等に適用されるものである。搬送トレイ２００は半導体ウエハー４００を載置した搬送トレイ２００等（図２参照）の他に、電子部品がはんだ付けされるプリント基板、または電子部品がはんだ付けされるプリント基板を載置したパレットである。
【０１３０】
方向変換装置１００は、本体部１０、第１の搬送部材１１、第２の搬送部材１２及び昇降部１８を有している。本体部１０は長さがＬで、幅がＷで、高さがＨの上面開放形状の細長い筺体を成している。本体部１０には所定の厚みを有した金属板を、底面板、前後、左右の側壁板を含む筺体状に折り曲げ加工したものが使用される。長さＬは搬送トレイ２００の長さの約３倍程度を有している。幅Ｗは搬送トレイ２００の幅よりもやや大きめの寸法に設定されている。
【０１３１】
本体部１０はその長手方向の左右の側壁板に対して短手方向の前後の側壁板がわずかに下がっている。短手方向の側壁板を下げることで、搬送トレイ２００を搬入し易くなると共に、搬送トレイ２００の両側を長手方向の側壁板でガイドでき、ずれ落ちを防止できるようになる。
【０１３２】
本体部１０の底面の所定の位置には２つの開口部２０１，２０２が設けられている。一方の開口部２０１に隣接して、本体部１０の裏面側には搬送部材１１のベルト駆動用のモーター１４が取り付けられている。モーター１４には減速ギア１４ａが係合され、減速ギア１４ａにはベルト用のプーリー１４ｂが取り付けられている（図８の（Ｂ）参照）。本体部１０は図示しない架台に取り付けられて使用される。
【０１３３】
本体部１０の内部には第１の搬送部材１１が設けられている。搬送部材１１はベルト対１１ａ，１１ｂ、駆動ローラー１１ｃ、駆動ベルト１１ｄ、従動ローラー１１ｅ及び軸受部２３，２４から構成されている。ベルト対１１ａ，１１ｂは、軸受部２３，２４によって軸支された駆動ローラー１１ｃと、図示しない軸受部によって軸支された従動ローラー１１ｅとの間に取り付けられている。駆動ローラー１１ｃにはベルト用のプーリー１１ｆが取り付けられている。
【０１３４】
駆動ベルト１１ｄは、本体部１０の開口部２０１を介して、駆動ローラー１１ｃのプーリー１１ｆと、減速ギア１４ａのプーリー１４ｂとの間に取り付けられている。駆動ベルト１１ｄには帯状の平ベルトが使用されるが、平ベルトに代えて鎖状のベルト（チェーン）を使用してもよい。
【０１３５】
搬送部材１１では、モーター１４の回転力が開口部２０１を介して減速ギア１４ａ→プーリー１４ｂ→駆動ベルト１１ｄ→駆動ローラー１１ｃ→ベルト対１１ａ，１１ｂに伝達するようになっている。これにより、所定の方向から搬送されてくる搬送トレイ２００を搬送部材１１で受け入れるようになる。
【０１３６】
搬送部材１２はベルト対１２ａ，１２ｂ、駆動ローラー１２ｃ、駆動ベルト１２ｄ、従動ローラー１２ｅ及び本体部２０から構成されている。本体部２０の長さは、少なくとも、搬送トレイ２００の幅よりも長い寸法を有している。搬送部材１２も上面開放形状の細長い筺体を成している。本体部２０には所定の厚みを有した金属板を筺体状に折り曲げ加工したものが使用される。ベルト対１２ａ，１２ｂは、ベルト対１１ａ，１１ｂの回転軸に対して直交する回転軸を有している。
【０１３７】
ベルト対１２ａ，１２ｂは、軸支された駆動ローラー１２ｃと、軸支された従動ローラー１２ｅとの間に取り付けられている。駆動ローラー１２ｃにはベルト用のプーリー１２ｆが取り付けられている。駆動ベルト１２ｄは、本体部１０の開口部２０２を介して、駆動ローラー１２ｃのプーリー１２ｆと、モーター１６のプーリー１６ｂとの間に取り付けられている。
【０１３８】
搬送部材１２では、モーター１６の回転力がプーリー１６ｂ→駆動ベルト１２ｄ→駆動ローラー１２ｃ→ベルト対１２ａ，１２ｂに伝達するようになっている。これにより、搬送部材１１によって受け入れられた搬送トレイ２００を搬送部材１２によって、所定の方向と直交する方向へ送り出せるようになる。
【０１３９】
搬送部材１２の下方には昇降部１８が設けられ、搬送部材１２を上下動自在に支持するように動作する。昇降部１８は搬送部材１２を昇降するために、搬送部材１１のベルト対１１ａ，１１ｂの間に設けられ、搬送部材１１と共に、図示しない架台に取り付けられている。
【０１４０】
昇降部１８はエアーシリンダー１９、一対のピストンアーム１９ａ，１９ｂ及び図示しないエアーコンプレッサーを有している。エアーコンプレッサーは、エアーシリンダー１９に接続され、圧縮空気をエアーシリンダー１９に供給する。圧縮空気がエアーシリンダー１９に供給されると、ピストンアーム１９ａ，１９ｂが上昇するようになる。
【０１４１】
この例で、ピストンアーム１９ａ，１９ｂの上端部には搬送部材１２の本体部２０が取り付けられている。この構造によって、搬送部材１１のベルト対１１ａ，１１ｂ上の搬送トレイ２００を搬送部材１２のベルト対１２ａ，１２ｂ上へ移行できるようになる。
【０１４２】
図８の（Ａ）に示す本体部１０のベルト対１１ａ，１１ｂの間であって、上部領域を見通せる開口部２０２の付近には到達検知センサー１３が設置され、搬送トレイ２００の到達を検知する。また、図８の（Ｂ）に示す本体部１０の開口部２０２の付近であって、搬送部材１２の側面を視野領域とする位置には到達検知センサー１７が設置され、搬送部材１２の上昇を検知する。搬送部材１２の側面には、例えば、図示しない黒色板に白線で示す上昇位置指標が設けられ、到達検知センサー１７が上昇位置指標を検知するようになる。
【０１４３】
この例では、図８の（Ａ）の白抜き矢印に示す方向から進入してきた搬送トレイ２００が、当該方向と直交する白抜き矢印に示す方向へ送り出される。図８の（Ｂ）では、丸印にドットで示すように紙面上から手前に向かって搬送するようになる。なお、図８の（Ａ）に示す白抜き矢印Ｉは上流側の搬送路である。同図の（Ａ）に示す白抜き矢印IIは上流側の搬送路と直交する下流側の搬送路である。
【０１４４】
続いて、図９を参照して、方向変換装置１００の制御系の構成例について説明する。図９に示す方向変換装置１００によれば、駆動制御部１５が備えられ、図７に示した搬送部材１１，１２及び昇降部１８を制御するようになる。
【０１４５】
搬送部材１１には、到達検知センサー１３及びベルト駆動用のモーター１４が設けられ、これらが駆動制御部１５に接続されている。到達検知センサー１３は搬送トレイ２００の到達を検知してトレイ検知信号Ｓ１３を発生する。トレイ検知信号Ｓ１３は到達検知センサー１３から駆動制御部１５へ出力される。モーター１４はローラー駆動信号Ｓ１４に基づいてベルト対１１ａ，１１ｂを駆動する。ローラー駆動信号Ｓ１４は駆動制御部１５からモーター１４へ出力される。
【０１４６】
搬送部材１２には到達検知センサー１７及びベルト駆動用のモーター１６が設けられ、これらも駆動制御部１５に接続されている。到達検知センサー１７は搬送部材１２の上昇を検知して上昇検知信号Ｓ１７を発生する。上昇検知信号Ｓ１７は到達検知センサー１７から駆動制御部１５へ出力される。
【０１４７】
モーター１６はローラー駆動信号Ｓ１６に基づいてベルト対１２ａ，１２ｂを駆動する。ローラー駆動信号Ｓ１６は駆動制御部１５からモーター１６へ出力される。上述の到達検知センサー１３，１７には反射型や、透過型等の光学センサーが使用され、モーター１４，１６にはＤＣモーターが使用される。
【０１４８】
昇降部１８にはエアーシリンダー１９が設けられ、エアーシリンダー１９には、例えば、図示しない電磁弁が設けられる。エアーシリンダー１９には昇降制御信号Ｓ１９に基づく電磁弁のオン・オフ制御によって、図示しないエアーコンプレッサーから圧縮空気が供給される。昇降制御信号Ｓ１９は、駆動制御部１５からエアーシリンダー１９の電磁弁に出力される。
【０１４９】
駆動制御部１５は、方向変換データＤ４１に基づいてベルト対１１ａ，１１ｂを駆動して所定の方向から搬送トレイ２００を受け入れ、その後、ベルト対１１ａ，１１ｂを停止するように搬送部材１１を制御する。方向変換データＤ４１は方向変換装置１００の入出力を制御するデータであって、上位の制御装置、例えば、図４に示したリフローシステム＃１０の制御部５０から供給される。駆動制御部１５は方向変換データＤ４１をデコードしてローラー駆動信号Ｓ１４，Ｓ１６、昇降制御信号Ｓ１９を生成する。
【０１５０】
更に、駆動制御部１５は、搬送部材１１によって受け入れられた搬送トレイ２００を上昇するように昇降部１８を制御し、搬送部材１２が搬送部材１１によって受け入れられた搬送トレイ２００を受け止められるように昇降部１８を制御する。そして、駆動制御部１５は、受け止めた搬送トレイ２００を所定の方向と直交する方向へ送り出すように搬送部材１２を制御する。
【０１５１】
続いて、図１０の（Ａ）及び（Ｂ）を参照して、方向変換装置１００の動作例について説明する。この例では、搬送トレイ２００を受け入れるときは、ベルト対１１ａ，１１ｂよりも搬送部材１２を降下させ、搬送トレイ２００を送り出すときは、ベルト対１１ａ，１１ｂよりも搬送部材１２を上昇させるように昇降部１８を動作させる場合を前提とする。
【０１５２】
これらを動作条件にして、搬送部材１１では、駆動制御部１５がローラー駆動信号Ｓ１４に基づいてベルト対１１ａ，１１ｂを駆動して搬送部３１のトレイ搬送方向から搬送トレイ２００を受け入れる。例えば、駆動制御部１５がモーター１４へローラー駆動信号Ｓ１４を出力し、モーター１４がローラー駆動信号Ｓ１４に基づいてベルト対１１ａ，１１ｂを駆動する。ベルト対１１ａ，１１ｂが駆動することで、図８の（Ａ），（Ｂ）に示した搬送トレイ２００が取り込まれる。
【０１５３】
到達検知センサー１３が搬送トレイ２００の到達を検知すると、その後、ベルト対１１ａ，１１ｂを停止する。例えば、搬送トレイ２００が到達検知センサー１３に差し掛かると、到達検知センサー１３が搬送トレイ２００の到達を検知し、例えば、ハイ・レベルからロー・レベルへ変化するトレイ検知信号Ｓ１３を発生する。トレイ検知信号Ｓ１３は駆動制御部１５に出力される。
【０１５４】
駆動制御部１５では、トレイ検知信号Ｓ１３に基づいて図１０の（Ａ）に示す搬送部材１２上の位置でモーター１４の通電を止めてベルト対１１ａ，１１ｂを停止させる。モーター１４の停止タイミングは、例えば、搬送トレイ２００が到達検知センサー１３上を通過して、ロー・レベルのトレイ検知信号Ｓ１３が、再び、ハイ・レベルに変化する時刻、又は、トレイ検知信号Ｓ１３がハイ・レベルからロー・レベルへ変化した時刻から一定の時間（限時）を経過した後である。実際には、ハイ・レベルのローラー駆動信号Ｓ１４をロー・レベルに制御することでモーター１４を停止する。
【０１５５】
更に、駆動制御部１５は、昇降制御信号Ｓ１９に基づいて搬送部３１から受け入れた搬送トレイ２００を上昇するように昇降部１８を制御する。例えば、ローラー駆動信号Ｓ１４の停止タイミングをトリガにして、図１０の（Ｂ）に示すように搬送部材１２を上昇する。このとき、駆動制御部１５から昇降部１８へ昇降制御信号Ｓ１９が出力される。昇降部１８では昇降制御信号Ｓ１９に基づく電磁弁のオン制御によって、図示しないエアーコンプレッサーから圧縮空気がエアーシリンダー１９に供給される。エアーシリンダー１９は圧縮空気に基づいてピストンアーム１９ａ，１９ｂを上昇させる。これにより、搬送部材１２が上昇を開始する。
【０１５６】
この例では、到達検知センサー１７が搬送部材１２の側面に設けられた上昇位置指標を検知して上昇検知信号Ｓ１７を発生する。上昇検知信号Ｓ１７は到達検知センサー１７から駆動制御部１５へ出力される。駆動制御部１５は上昇検知信号Ｓ１７に基づいて昇降制御信号Ｓ１９をオフすることで、搬送部材１２の上昇を停止する。これらの制御によって、搬送部材１１のベルト対１１ａ，１１ｂ上の搬送トレイ２００を搬送部材１２のベルト対１２ａ，１２ｂ上へ移行できるようになる。
【０１５７】
その後、搬送部材１２はローラー駆動信号Ｓ１６に基づいて、搬送トレイ２００を搬送部３１のトレイ搬送方向と直交する方向へ送り出すようになる。例えば、駆動制御部１５は、昇降制御信号Ｓ１９のオフをトリガにしてモーター１６へローラー駆動信号Ｓ１６を出力する。モーター１６がローラー駆動信号Ｓ１６に基づいてベルト対１２ａ，１２ｂを駆動する。ベルト対１２ａ，１２ｂが駆動することで、図８の（Ａ）の白抜き矢印Ｉに示した方向と直交する白抜き矢印に示す方向IIへ搬送トレイ２００が送り出される（図８の（Ｂ）参照）。
【０１５８】
このように、図１に示した４つの方向変換部４１，４２，４３，４４に適用可能な方向変換装置１００によれば、搬送部材１１ではベルト対１１ａ，１１ｂが駆動されて所定の方向から搬送トレイ２００を受け入れた後、ベルト対１１ａ，１１ｂが停止される。昇降部１８では、搬送部材１１によって受け入れられた搬送トレイ２００が上昇され、搬送部材１２では、上昇された搬送トレイ２００が所定の方向と直交する方向へ送り出される。
【０１５９】
この動作によって、上流側の搬送路から取り込んだ搬送トレイ２００を、取り込み時の方向と直交する方向の下流側の搬送路へ搬送トレイ２００を再現性良く受け渡すことができる。これにより、はんだ付けされる半導体ウエハー等を載置した搬送トレイ２００を荷役場所からリフロー炉３００や、溶融はんだ付け装置等の熱処理部の搬入口３０１へ搬送し、はんだ付け後の搬送トレイ２００を搬出口３０２から再び荷役場所に返送する循環型のリフローシステム＃１０や、溶融はんだ付けシステムに当該方向変換装置１００を十分応用できるようになる。
【０１６０】
なお、方向変換部４２を構成する方向変換装置１００では、リフロー炉３００等の異常対処時、正常時の方向変換速度を５０％増加するような方向変換データＤ４２が、制御部５０から方向変換部４２の駆動制御部１５へ出力される。方向変換部４２では、図９に示した駆動制御部１５が異常対処時の方向変換データＤ４２をデコードしてローラー駆動信号Ｓ１４，Ｓ１６、昇降制御信号Ｓ１９を生成する。
【０１６１】
搬送部材１１では、駆動制御部１５が異常対処時のローラー駆動信号Ｓ１４に基づいてベルト対１１ａ，１１ｂを駆動してリフロー炉３００のトレイ搬送方向から搬送トレイ２００を受け入れる。到達検知センサー１３が搬送トレイ２００の到達を検知すると、その後、ベルト対１１ａ，１１ｂを停止する。
【０１６２】
更に、方向変換部４２の駆動制御部１５は、異常対処時の昇降制御信号Ｓ１９に基づいてリフロー炉３００から受け入れた搬送トレイ２００を上昇するように昇降部１８を制御する。昇降部１８では昇降制御信号Ｓ１９に基づく電磁弁のオン制御によって、図示しないエアーコンプレッサーから圧縮空気がエアーシリンダー１９に供給される。到達検知センサー１７が搬送部材１２の上昇を検知すると、駆動制御部１５が上昇検知信号Ｓ１７に基づいて昇降制御信号Ｓ１９をオフすることで、搬送部材１２の上昇を停止する。
【０１６３】
その後、方向変換部４２の搬送部材１２は異常対処時のローラー駆動信号Ｓ１６に基づいて、搬送トレイ２００をリフロー炉３００のトレイ搬送方向と直交する方向へ送り出すようになる（図８の（Ａ）及び（Ｂ）参照）。これらの制御によって、搬送部材１１のベルト対１１ａ，１１ｂ上の搬送トレイ２００を搬送部材１２のベルト対１２ａ，１２ｂ上へ移行できるようになる。異常対処時、方向変換部４３についても、同様な動作が行われる。
【産業上の利用可能性】
【０１６４】
本発明は、はんだ付けされるワークを載置した搬送具を荷役場所からはんだ付け処理部の搬入口へ搬送し、はんだ付け後の搬送具を搬出口から再度、荷役場所に返送する循環型のリフローシステムや、溶融はんだ付けシステム等に適用して極めて好適である。
【符号の説明】
【０１６５】
１０，２０  本体部
１１  第１の搬送部材
１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，２１  ベルト対
１２  第２の搬送部材
１３，１７  到達検知センサー
１４，１６，２２  モーター
１５  駆動制御部
１８  昇降部
１９  エアーシリンダー
３１，３２，３３  搬送部
４１，４２，４３，４４  方向変換部
４８  操作表示部
４９  異常検知部
５０  制御装置
５５  ＣＰＵ（制御部）
６０  荷役機構
６１  基軸
６２  関節駆動アーム
６３  吸着部
７０  搬送具係止部
１００  方向変換装置
２００  搬送トレイ（搬送具）
３００  リフロー炉（処理部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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