(57)【要約】      （修正有）【課題】ナノスケールの電子素子などの高精細なパターンニングされた有機物層の形成に用い、洗浄や吐出量調節の容易なノズルプリンタを提供する。【解決手段】回転自在であり、複数のノズルホール１１１ｂが形成されたノズルホールシート１１１と、ノズルホールシート１１１の複数のノズルホール１１１ｂのうちいずれか一つに対応できる誘導路１１３ａ，１１３ｂが形成されたスリーブ１１３を持つノズル部１１０’と、を備えるノズルプリンタ。【選択図】図２
2014113589.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転自在であり、複数のノズルホールが形成されたノズルホールシートと、
前記ノズルホールシートの前記複数のノズルホールのうちいずれか一つに対応できる誘導路が形成されたスリーブを持つノズル部と、を備えるノズルプリンタ。
【請求項２】
前記スリーブは電磁石を備え、前記ノズルホールシートは、磁力によって前記スリーブと締結される請求項１に記載のノズルプリンタ。
【請求項３】
前記スリーブ自体が電磁石である請求項２に記載のノズルプリンタ。
【請求項４】
前記スリーブは、前記ノズルホールシートに向かう部分に電磁石を持つ請求項２に記載のノズルプリンタ。
【請求項５】
前記スリーブを収容でき、前記ノズルホールシート方向が開放されたノズルハウジングをさらに備える請求項２に記載のノズルプリンタ。
【請求項６】
前記スリーブは、前記ノズルハウジングに対して前記ノズルホールシート方向またはその逆方向に移動可能な請求項５に記載のノズルプリンタ。
【請求項７】
前記スリーブと前記ノズルハウジングとは弾性体で連結された請求項６に記載のノズルプリンタ。
【請求項８】
前記スリーブに含まれた電磁石によって前記スリーブ及び前記ノズルホールシートが締結される時、前記スリーブは、前記ノズルハウジングに対して前記ノズルホールシート方向に動き、前記スリーブ及び前記ノズルホールシートが脱着される時、前記スリーブは、前記ノズルハウジングに対して前記ノズルホールシート方向の逆方向に動く請求項６に記載のノズルプリンタ。
【請求項９】
前記スリーブに含まれた電磁石によって前記スリーブ及び前記ノズルホールシートが締結される時、前記ノズルホールシートは前記スリーブ方向に動き、前記スリーブ及び前記ノズルホールシートが脱着される時、前記ノズルホールシートは前記スリーブ方向の逆方向に動く請求項２に記載のノズルプリンタ。
【請求項１０】
前記ノズルホールシートの前記複数のノズルホールは、少なくとも一部が互いに異なるサイズを持つ請求項１に記載のノズルプリンタ。
【請求項１１】
前記スリーブの前記誘導路の直径は、前記複数のノズルホールのうち最大径より大きい請求項１０に記載のノズルプリンタ。
【請求項１２】
前記ノズルホールシートの前記複数のノズルホールは、同じサイズを持つ請求項１に記載のノズルプリンタ。
【請求項１３】
前記ノズルホールシートの前記複数のノズルホールは、前記ノズルホールシートの回転中心軸から同じ距離に形成された請求項１に記載のノズルプリンタ。
【請求項１４】
前記スリーブの前記誘導路に注入される物質をフィルタリングできるフィルタ部をさらに備える請求項１に記載のノズルプリンタ。
【請求項１５】
前記スリーブの前記誘導路は、前記スリーブの前記ノズルホールシート方向の部分で直径の一定な第１部分を持つ請求項１に記載のノズルプリンタ。
【請求項１６】
前記スリーブの前記誘導路は、前記スリーブの前記ノズルホールシート方向の逆方向から前記第１部分に至るまで縮径する第２部分を持つ請求項１５に記載のノズルプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルプリンタに係り、さらに詳細には、洗浄や吐出量調節の容易なノズルプリンタに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、高性能ナノスケールの電子素子などの開発に際してパターニングされた有機物層などを高精細で形成する必要がある場合が多い。ノズルプリンタは、かかる高精細のパターニングされた有機物層の形成のために使われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】韓国特許公開２０１０−００７９３５１
【特許文献２】特開２００７−０６２３８３号公報
【特許文献３】韓国特許公開２０１１−００７８８２６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、このような従来のノズルプリンタには、最終的に吐出される有機物の量を調節するノズルユニットの洗浄が容易ではないという問題点があった。また、最終的に吐出される有機物の量を変更するために、ノズルユニット内でこのような機能を担当する構成要素を取り替えて再び組み立てるか、または、ノズルユニットを洗浄した後で再び組み立てる過程で、各構成要素が正常に組み立てられなくてノズルユニットが正常に作動しなくなるという問題点があった。
【０００５】
本発明は前記のような問題点を始めとしていろいろな問題点を解決するためのものであり、洗浄や吐出量調節の容易なノズルプリンタを提供することを目的とする。しかし、このような課題は例示的なものであり、これによって本発明の範囲が限定されるものではない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一観点によれば、回転自在であり、複数のノズルホールが形成されたノズルホールシートと、前記ノズルホールシートの前記複数のノズルホールのうちいずれか一つに対応できる誘導路が形成されたスリーブを持つノズル部と、を備えるノズルプリンタが提供される。
【０００７】
前記スリーブは電磁石を備え、前記ノズルホールシートは、磁力によって前記スリーブと締結される。このとき、前記スリーブ自体が電磁石であってもよく、前記スリーブは、前記ノズルホールシートに向かう部分に電磁石を持ってもよい。
前記スリーブを収容でき、前記ノズルホールシート方向が開放されたノズルハウジングをさらに備える。この場合、前記スリーブは、前記ノズルハウジングに対して前記ノズルホールシート方向またはその逆方向に移動できる。さらに、前記スリーブと前記ノズルハウジングとは弾性体で連結される。
【０００８】
前記スリーブに含まれた電磁石によって前記スリーブ及び前記ノズルホールシートが締結される時、前記スリーブは、前記ノズルハウジングに対して前記ノズルホールシート方向に動き、前記スリーブ及び前記ノズルホールシートが脱着される時、前記スリーブは、前記ノズルハウジングに対して前記ノズルホールシート方向の逆方向に動く。
【０００９】
これに対し、前記スリーブに含まれた電磁石によって前記スリーブ及び前記ノズルホールシートが締結される時、前記ノズルホールシートは前記スリーブ方向に動き、前記スリーブ及び前記ノズルホールシートが脱着される時、前記ノズルホールシートは前記スリーブ方向の逆方向に動く。
【００１０】
一方、前記ノズルホールシートの前記複数のノズルホールは、少なくとも一部が互いに異なるサイズを持つ。この場合、前記スリーブの前記誘導路の直径は、前記複数のノズルホールのうち最大径より大きい。
これに対し、前記ノズルホールシートの前記複数のノズルホールは、同じサイズを持つ。
【００１１】
前記ノズルホールシートの前記複数のノズルホールは、前記ノズルホールシートの回転中心軸から同じ距離に形成される。
前記スリーブの前記誘導路に注入される物質をフィルタリングできるフィルタ部をさらに備える。
【００１２】
前記スリーブの前記誘導路は、前記スリーブの前記ノズルホールシート方向の部分で直径の一定な第１部分を持ち、さらに、前記スリーブの前記誘導路は、前記スリーブの前記ノズルホールシート方向の逆方向から前記第１部分に至るまで縮径する第２部分を持つ。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の一実施形態によれば、洗浄や吐出量調節の容易なノズルプリンタを具現できる。もちろん、このような効果によって本発明の範囲が限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態によるノズルプリンタを概略的に示す概念図である。
【図２】図１のノズルユニットを概略的に示す概念図である。
【図３】本発明の他の一実施形態によるノズルプリンタに備えられるノズルホールシートを概略的に示す平面図である。
【図４】本発明の他の一実施形態によるノズルプリンタのノズルユニットを概略的に示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付した図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明すれば、次の通りである。しかし、本発明は、以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で具現され、以下の実施形態は本発明の開示を完全にし、当業者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものである。また説明の便宜のために、図面では構成要素がそのサイズが誇張または縮小される。
【００１６】
以下の実施形態で、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は、直交座標系上の３軸に限定されず、これを含む広い意味に解釈される。例えば、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は互いに直交してもよいが、互いに直交しない互いに異なる方向を称してもよい。
図１は、本発明の一実施形態によるノズルプリンタ１００を概略的に示す概念図であり、図２は、図１のノズルユニットを概略的に示す概念図である。
【００１７】
本実施形態によるノズルプリンタ１００は、ヘッドユニット１１０と、このヘッドユニット１１０が一方向（＋ｘ方向または−ｘ方向）に移動するようにがイドするガイドユニット１２０と、ヘッドユニット１１０に連結されて吐出される溶液をヘッドユニット１１０に供給する溶液供給ライン１４０と、溶液供給ライン１４０を通じてヘッドユニット１１０に供給される溶液を保存する溶液保存ユニット１３５と、溶液保存ユニット１３５内の溶液を溶液供給ライン１４０に移動させるために、溶液保存ユニット１３５内に圧力をかける空気を溶液保存ユニット１３５に供給できる空気供給ライン１３０と、を備える。もちろん、この構成要素がいずれも必須の構成要素であるわけではなく、必要に応じてそのうち一部のみが本発明の一実施形態によるノズルプリンタ１００の構成要素になる。
【００１８】
ここで溶液とは、ノズルプリンタを通じて排出される物質の通称であり、例えば、有機発光ディスプレイ装置の各画素の一構成要素である有機物などでもありうる。
空気供給ライン１３０を通じて窒素などの空気が溶液保存ユニット１３５に供給されれば、溶液保存ユニット１３５内の窒素などの空気の圧力によって溶液保存ユニット１３５に保存された溶液が押され、溶液供給ライン１４０に移動する。この溶液は、溶液供給ライン１４０を通じてヘッドユニット１１０に供給される。もちろん、溶液供給ライン１４０には、ＭＦＣ（ｍａｓｓ ｆｌｏｗ ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）のような流量調節部１４４やＭＦＭ（ｍａｓｓ ｆｌｏｗ ｍｅｔｅｒ）のような流量測定部１４２が取り付けられ、ヘッドユニット１１０に供給される溶液の量を正確に調節及び測定させる。
【００１９】
前述したように、ヘッドユニット１１０は、ガイドユニット１２０に沿って一方向（＋ｘ方向または−ｘ方向）に動くことができるが、この時、ヘッドユニット１１０から吐出される溶液が配される基板２００は、例えば、図示されていないコンベアベルトまたはレール上のキャリアなどによって、前記一方向（＋ｘ方向または−ｘ方向）と交差する他の方向（＋ｙ方向または−ｙ方向）に動く。これを通じてヘッドユニット１１０から吐出される溶液は、基板２００上の既定の位置に正確に位置きるようになる。
【００２０】
もちろん、これとは異なって基板２００の位置は固定されており、ガイドユニット１２０を前記一方向（＋ｘ方向または−ｘ方向）と交差する他の方向（＋ｙ方向または−ｙ方向）に移動させるさらなるガイドユニットが存在し、ヘッドユニット１１０から吐出される溶液を基板２００上の既定の位置に正確に位置させることもできるなど、多様な変形が可能であるということはいうまでもない。
【００２１】
ヘッドユニット１１０は、図２示したようなノズルホールシート１１１及びノズル部１１０’を備える。ノズルホールシート１１１は、ｚ軸方向に延びた回転軸１１１ａを中心として回転でき、ｘｙ平面上のシートには複数のノズルホール１１１ｂが形成されている。
ノズル部１１０’は、スリーブ１１３を持つが、このスリーブ１１３には、ノズルホールシート１１１の複数のノズルホール１１１ｂのうちいずれか一つに対応できる誘導路１１３ａ、１１３ｂがその内部に形成されている。この誘導路１１３ａ、１１３ｂは、溶液供給ライン１４０を通じてヘッドユニット１１０に供給された溶液が移動できる経路であり、上部から下部方向（−ｚ方向）に延びて上部から下部方向（−ｚ方向）に溶液を移動させる。
【００２２】
スリーブ１１３の誘導路１１３ａ、１１３ｂの直径は、ノズルホールシート１１１のノズルホール１１１ｂの直径より大きい。これにより、溶液をノズルホールシート１１１方向にスムーズに供給させつつ、ノズルホールシート１１１のノズルホール１１１ｂを通じて既定の量を最終的に外部に吐出させる。
【００２３】
スリーブ１１３の誘導路１１３ａ、１１３ｂのノズルホールシート１１１方向の部分の直径がノズルホールシート１１１のノズルホール１１１ｂの直径より非常に大きければ、ノズルホールシート１１１のノズルホール１１１ｂで通過可能な溶液より過剰量の溶液がノズルホールシート１１１上に供給され、これによる持続的な圧力によってノズルホールシート１１１や該ノズルホール１１１ｂが損傷する。したがって、該問題点の発生を防止するために、スリーブの誘導路１１３ａ、１１３ｂは、スリーブ１１３のノズルホールシート１１１方向（−ｚ方向）の部分で、ノズルホールシート１１１のノズルホール１１１ｂの直径よりは大きいが、あまり大きくない直径が一定に保持された第１部分１１３ａを持つ。
【００２４】
一方、スリーブ１１３の誘導路１１３ａ、１１３ｂは、スリーブ１１３のノズルホールシート１１１方向の逆方向（＋ｚ方向）から前記第１部分１１３ａに至るまで縮径する第２部分１１３ｂを持つ。この第２部分１１３ｂの一地点上の直径は、結果的に第１部分１１３ａの直径より大きい。したがって、フィルタ部１１７から供給される溶液を第２部分１１３ｂで一時的に保持させつつその供給圧力を低減させることで、第１部分１１３ａを通じてノズルホールシート１１１に溶液が供給される時にノズルホールシート１１１上に加えられる圧力を低減させてノズルホールシート１１１の損傷を防止する。
【００２５】
誘導路１１３ａ、１１３ｂは、図示されたようにスリーブ１１３内に形成されて上部から下部方向（−ｚ方向）に延びた形状であるため、溶液内に不純物が存在する時に、誘導路１１３ａ、１１３ｂの少なくとも一部またはノズルホールシート１１１のノズルホール１１１ｂの少なくとも一部が閉鎖され、プリンティングが正常に行われない恐れもある。これを防止するために、必要に応じてフィルタ部１１７がノズル部１１０’内に、または図示されたこととは異なって外部に位置し、スリーブ１１３の誘導路１１３ａ、１１３ｂに注入される物質をフィルタリングさせる。
【００２６】
ノズル部１１０’はノズルハウジング１１５を備え、スリーブ１１３及び／またはフィルタ部１１７が内部に位置するように収容できる。このようなノズルハウジング１１５は、例えば、上部及び／または下部が開放された円柱状を持つ。ノズルハウジング１１５は、上部を通じては溶液供給ライン１４０が直接または間接的にフィルタ部１１７及び／またはスリーブ１１３に連結され、溶液をフィルタ部１１７及び／またはスリーブ１１３に供給させる。ノズルハウジング１１５は、ノズルホールシート１１１方向である下部を通じてスリーブ１１３の誘導路１１３ａ、１１３ｂを通過した溶液をノズルホールシート１１１のノズルホール１１１ｂに進入させる。
【００２７】
これまでは、ノズル部１１０’がスリーブ１１３及びノズルハウジング１１５を備え、ヘッドユニット１１０がノズル部１１０’及びノズルホールシート１１１を備えると説明した。もちろん、このようなノズル部１１０’及びノズルホールシート１１１を含んでノズルユニットと称することもできるなど、通常的に“ノズル”と称する構成要素は、本実施形態によるノズルプリンタのノズル部１１０’であっても、ノズルユニットであってもよい。このようなノズルユニットは、結果的に溶液保存ユニット１３５から溶液を供給されて溶液が吐出される部分であると理解される。吐出される溶液は、ノズルユニットの先端で液滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）を形成する。
【００２８】
ヘッドユニット１１０には、一つのノズル部１１０’またはノズルユニットが備えられてもよく、複数のノズル部１１０’またはノズルユニットが備えられてもよい。例えば、複数のノズルホール１１１ｂが形成された一つのノズルホールシート１１１に複数のノズル部１１０’らが配され、ノズル部１１０’それぞれの誘導路１１３ａ、１１３ｂをノズルホールシート１１１のノズルホール１１１ｂに対応させてもよい。
【００２９】
従来のノズルプリンタの場合、ノズルハウジング自体に、またはノズルハウジングの内部に直径が細くなる折曲部が形成され、ノズルハウジング内に位置するスリーブが、ノズルハウジングまたはノズルハウジング内部の折曲部と当接またはそれに隣接して位置し、スリーブのノズルハウジング折曲部方向の先端上に単一のノズルホールが形成されたシートノズルが位置している。すなわち、スリーブのノズルハウジング折曲部方向の先端とノズルハウジング折曲部との間にシートノズルが介在される方式であった。
【００３０】
このような従来のノズルプリンタを用いる場合、ノズルユニットを洗浄するためにノズルハウジング、スリーブ及びシートノズルをいずれも分離して洗浄した後、再び組み立てる時、再び組み立てることが容易でないという問題点があった。すなわち、スリーブ上にシートノズルを位置させ、ノズルハウジングでスリーブ及びシートノズルを被せる過程で、ノズルハウジング内部の折曲部などに洗浄過程でついた洗浄液または洗浄前のノズルプリンティング工程で使った溶液の溶媒などが残存する恐れがあるところ、これによって、略５０ｕｍないし１００ｕｍ厚さのシートノズルが洗浄液または溶媒との相互作用によってスリーブから離脱してノズルハウジングの内部に付いてしまうか、または、スリーブ上の正確な既定の所に位置しなくなる可能性があるという問題点があった。
【００３１】
しかし、本実施形態によるノズルプリンタの場合、従来のシートノズルを用いずにノズルホールシート１１１を用いる。特に、このノズルホールシート１１１は、ノズルハウジング１１５の内部に収容されるものではなく、ノズルハウジング１１５の外部に位置するため、スリーブ１１３などがノズルハウジング１１５の内部に位置するように組み立てる時に、組み立て過程で従来のようにシートノズルの位置が原位置から逸脱するなどの問題の発生を初めから防止できる。
【００３２】
また、従来のノズルプリンタの場合、異物や他のその他の要因によってシートノズルのノズルホールが閉塞された場合、ノズルユニットをいずれも分離してシートノズルをい取り替えねばならないという面倒さがあった。しかし、本実施形態によるノズルプリンタの場合、ノズルホールシート１１１がノズル部１１０’の外部に位置するところ、したがって、ノズルホールシート１１１に問題が発生するとしてもノズル部１１０’を分離せねばならない面倒さは予め防止できる。
【００３３】
前述したように、ノズルホールシート１１１は、ｚ軸方向に延びた回転軸１１１ａを中心として回転でき、ｘｙ平面上のシートには複数のノズルホール１１１ｂが形成されている。したがって、ノズルホールシート１１１の一ノズルホール１１１ｂが部分的に閉鎖されるなど損傷した場合、ノズルホールシート１１１を回転させて他のノズルホール１１１ｂをスリーブ１１３の誘導路１１３ａ、１１３ｂに対応させることで、簡単に問題を解決する。
【００３４】
この場合、ノズルホールシート１１１の複数のノズルホール１１１ｂは同じサイズを持つ。同時に、一ノズルホール１１１ｂがスリーブ１１３の誘導路１１３ａ、１１３ｂに対応した状態でノズルホールシート１１１を回転させる時、他のノズルホール１１１ｂをスリーブ１１３の誘導路１１３ａ、１１３ｂに対応させるために、ノズルホールシート１１１の複数のノズルホール１１１ｂは、ノズルホールシート１１１の回転中心軸から同じ距離に形成させる。
【００３５】
図３は、本発明の他の一実施形態によるノズルプリンタに備えられるノズルホールシート１１１を概略的に示す平面図である。本実施形態によるノズルプリンタの場合、ノズルホールシート１１１の複数のノズルホール１１１ｂの少なくとも一部が互いに異なるサイズを持つ。すなわち、複数のノズルホール１１１ｂの少なくとも一部の直径は互いに異なる。図面では、右上端から時計回り方向へ行くほど各ノズルホール１１１ｂの直径が段々大きくなると図示している。
【００３６】
従来のノズルプリンタの場合、最終的に吐出される溶液の量を変更するためには、スリーブとノズルハウジングとの間に介在された単一のノズルホールが形成されたシートノズルを、他サイズのノズルホールが形成されたシートノズルに取り替えねばならないため、ノズルハウジング、スリーブ、シートノズルなどをいずれも分離せねばならないという問題点があった。
【００３７】
しかし、本実施形態によるノズルプリンタの場合には、ノズルホールシート１１１の複数のノズルホール１１１ｂの少なくとも一部が互いに異なるサイズを持つ。したがって、ノズルハウジング１１５やスリーブ１１３などの分離なしに、ノズルホールシート１１１を回転軸１１１ａを中心として回転させることで、相異なるサイズのノズルホール１１１ｂがスリーブ１１３の誘導路１１３ａ、１１３ｂに対応するように非常に容易に変更できる。
【００３８】
この場合、スリーブ１１３の誘導路１１３ａ、１１３ｂの直径は、複数のノズルホール１１１ｂのうち最大径より大きくする。これにより、スリーブ１１３の誘導路１１３ａ、１１３ｂに対応するノズルホールシート１１１のノズルホール１１１ｂの直径のサイズに構わず、溶液がノズルホールシート１１１方向に円滑に供給されるようにしつつも、ノズルホールシート１１１のノズルホール１１１ｂを通じて既定の量を最終的に外部に吐出させる。
【００３９】
一方、スリーブ１１３は電磁石を含む。この場合、ノズルホールシート１１１は、磁力によってスリーブ１１３と締結される構成である。このようなノズルホールシート１１１は、例えば、ニッケルを含む。
インクを、スリーブ１１３及びノズルホールシート１１１のノズルホール１１１ｂを通じて外部に吐出する時、スリーブ１１３とノズルホールシート１１１との間が密着されなければ、インクがスリーブ１１３とノズルホールシート１１１との間の界面に流れ込むなどプリンティングの品質を非常に低下させる。したがって、かかる問題点を予め防止するために、スリーブ１１３が電磁石を含むようにし、ノズルホールシート１１１が磁力によってスリーブ１１３と密着して締結されるようにすることで、プリンティング時にインクがスリーブ１１３とノズルホールシート１１１との間の界面に流れるか、または漏れることを効果的に防止する。
【００４０】
また、スリーブ１１３が電磁石を含むようにするために、ノズルホールシート１１１を取り替えるか、またはノズルホールシート１１１を回転させる時には磁力がノズルホールシート１１１に印加されないようにして、ノズルホールシート１１１をスリーブ１１３と容易に分離させる。
【００４１】
このようにスリーブ１１３が電磁石を含む場合、スリーブ１１３自体が電磁石であってもよく、スリーブ１１３の特定部分に電磁石を位置させてもよい。後者の場合、スリーブ１１３のノズルホールシート１１１に向かう（−ｚ方向の）部分、例えば、端部に電磁石を持つようにして、電磁石が磁場を生成する場合にノズルホールシート１１１がスリーブ１１３の端部に密着して締結されるようにする。
【００４２】
図４は、本発明の他の一実施形態によるノズルプリンタのノズルユニットを概略的に示す概念図である。本実施形態によるノズルプリンタの場合、ノズル部１１０’のスリーブ１１３とノズルハウジング１１５との相対的な位置が可変できる構造である。すなわち、本実施形態によるノズルプリンタのスリーブ１１３は、ノズルハウジング１１５に対してノズルホールシート１１１方向（−ｚ方向）またはその逆方向（＋ｚ方向）に移動できる。
【００４３】
前述したように、ノズルホールシート１１１を回転軸１１１ａを中心として回転させて、ノズルホールシート１１１の複数のノズルホール１１１ｂのうちスリーブ１１３の誘導路１１３ａ、１１３ｂへの対応を変更できるところ、ノズルホールシート１１１とスリーブ１１３とが常に密着されていれば、ノズルホールシート１１１の回転中にノズルホールシート１１１が損傷する。
【００４４】
したがって、ノズルホールシート１１１を回転軸１１１ａを中心として回転させる時には、スリーブ１１３をノズルハウジング１１５に対してノズルホールシート１１１方向（−ｚ方向）の逆方向（＋ｚ方向）に若干移動させ、ノズルホールシート１１１とスリーブ１１３との間に隔離距離ｄが存在し、その間に空間を形成させる。もちろん、プリンティングを行うか、またはノズルホールシート１１１を動かさない時には、スリーブ１１３をノズルハウジング１１５に対してノズルホールシート１１１方向（−ｚ方向）に移動した状態に位置させて、ノズルホールシート１１１とスリーブ１１３とが密着して締結されるようにする。
【００４５】
このようにスリーブ１１３を、ノズルハウジング１１５に対してノズルホールシート１１１方向（−ｚ方向）またはその逆方向（＋ｚ方向）に移動自在にさせるために多様な構成を採用できるが、例えば、スリーブ１１３とノズルハウジング１１５とが弾性体１１９で連結される構成を採用する。図面では弾性体１１９をバネとして図示しているが、本発明がこれに限定されるものではなく、ゴムなどのものであってもよく、弾力のあるベローズ形状であってもよいなど、多様な変形が可能であるということはいうまでもない。
【００４６】
前述したように、スリーブ１１３は電磁石を含み、ノズルホールシート１１１は、磁力によってスリーブ１１３と締結される構成である。この場合、スリーブ１１３の電磁石がオフ状態になって磁力を生成しなければ、弾性体１１９によってスリーブ１１３がノズルホールシート１１１方向（−ｚ方向）の逆方向（＋ｚ方向）に移動してスリーブ１１３とノズルホールシート１１１との間に隔離距離ｄを存在させる。もし、スリーブ１１３の電磁石がオン状態になって磁力を生成すれば、磁力によってスリーブ１１３がノズルハウジング１１５に対して相対的にノズルホールシート１１１方向（−ｚ方向）に移動して、ノズルホールシート１１１とスリーブ１１３とが密着して締結されるようにする。
【００４７】
すなわち、スリーブ１１３に含まれた電磁石によってスリーブ１１３とノズルホールシート１１１とが締結される時、スリーブ１１３は、ノズルハウジング１１５に対してノズルホールシート１１１方向（−ｚ方向）に動き、スリーブ１１３とノズルホールシート１１１とが脱着される時にスリーブ１１３は、ノズルハウジング１１５に対してノズルホールシート１１１方向の逆方向（＋ｚ方向）に動く。
【００４８】
もちろん、このようにスリーブ１１３とノズルハウジング１１５との相対的な位置がスリーブ１１３が持つ電磁石の磁力によって定められてもよく、これと異なってメカニカルな位置可変構成要素によって定められてもよい。
一方、これまでは、ノズル部１１０’のスリーブ１１３とノズルハウジング１１５との相対的な位置が可変できる構造、すなわち、スリーブ１１３がノズルハウジング１１５に対してノズルホールシート１１１方向（−ｚ方向）またはその逆方向（＋ｚ方向）に移動可能な構造について説明したが、本発明がこれに限定されるものではない。例えば、ノズル部１１０’のスリーブ１１３とノズルハウジング１１５との位置は固定されており、ノズルホールシート１１１がノズル部１１０’方向（＋ｚ方向）またはその逆方向（−ｚ方向）に移動自在であってもよい。
【００４９】
前述したように、スリーブ１１３は電磁石を含み、ノズルホールシート１１１は、磁力によってスリーブ１１３と締結される構成である。この場合、スリーブ１１３の電磁石がオフ状態になって磁力を生成しなければ、ノズルホールシート１１１がノズル部１１０’方向の逆方向（−ｚ方向）に移動して、ノズル部１１０’とノズルホールシート１１１との間に隔離距離を存在させる。もし、スリーブ１１３の電磁石がオン状態になって磁力を生成すれば、磁力によってノズルホールシート１１１がノズル部１１０’方向（＋ｚ方向）に移動し、ノズルホールシート１１１とスリーブ１１３とが密着して締結されるようにする。
【００５０】
すなわち、スリーブ１１３に含まれた電磁石によってスリーブ１１３とノズルホールシート１１１とが締結される時、ノズルホールシート１１１は、ノズル部１１０’方向（＋ｚ方向、すなわち、スリーブ１１３方向）に動き、スリーブ１１３とノズルホールシート１１１とが脱着される時、ノズルホールシート１１１は、ノズル部１１０’に対してノズル部１１０’（すなわち、スリーブ１１３）方向の逆方向（−ｚ方向）に動く。このために、ノズルホールシート１１１またはその回転軸１１１ａなどに弾性部材が結合され、フレームやハウジングなど（図示せず）に対してノズルホールシート１１１を相対的に動かせる。
【００５１】
本発明は、図面に図示された実施形態を参照として説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これより多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって定められねばならない。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、ノズルプリンタ関連の技術分野に好適に用いられる。
【符号の説明】
【００５３】
１００  ノズルプリンタ
１１０  ヘッドユニット
１１１  ノズルホールシート
１１３  スリーブ
１１５  ノズルハウジング
１１７  フィルタ
１１９  弾性体
１２０  ガイドユニット
１３０  空気供給ライン
１３５  溶液保存ユニット
１４０  溶液供給ライン
１４２  流量測定部
１４４  流量制御部
２００  基板
【図１】
2014113589.tif 000003
【図２】
2014113589.tif 000004
【図３】
2014113589.tif 000005
【図４】
2014113589.tif 000006