(57)【要約】【課題】電力の消費を抑制できると共に、除害装置内の排ガスを効率的に除害することができる除害装置の提供を目的とする。【解決手段】本発明の除害装置は、揮発性の排ガスが溶解された溶液を貯留する貯留タンクと、上記排ガスを除害する処理部と、上記処理部で除害された排ガスを排出する排気部とを備える除害装置であって、上記貯留タンクの上部及び上記処理部の下部に連結され、貯留タンク内で発生する排ガスを処理部に導入する排ガス導入管を有し、上記貯留タンク内で発生する排ガスが上記処理部に導入されるまでの排ガス導入経路が閉空間として形成され、上記貯留タンク内で発生する排ガスを上記処理部に導入する排ガス導入手段を有することを特徴とする。上記排ガス導入手段が、実質的に下方に傾斜した部分を含まないように形成された排ガス導入経路であるとよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
揮発性の排ガスが溶解された溶液を貯留する貯留タンクと、
上記排ガスを除害する処理部と、
上記処理部で除害された排ガスを排出する排気部と
を備える除害装置であって、
上記貯留タンクの上部及び上記処理部の下部に連結され、貯留タンク内で発生する排ガスを処理部に導入する排ガス導入管を有し、
上記貯留タンク内で発生する排ガスが上記処理部に導入されるまでの排ガス導入経路が閉空間として形成され、
上記貯留タンク内で発生する排ガスを上記処理部に導入する排ガス導入手段を有することを特徴とする除害装置。
【請求項２】
上記排ガス導入手段が、実質的に下方に傾斜した部分を含まないように形成された排ガス導入経路である請求項１に記載の除害装置。
【請求項３】
上記排ガス導入手段が、上記貯留タンクに連結される溶液導入管である請求項１又は請求項２に記載の除害装置。
【請求項４】
上記処理部が、この処理部に導入される排ガスと気液接触させ、この排ガスを除害するための処理液を噴霧する噴霧部を有し、
上記噴霧部によって噴霧された処理液を上記噴霧部に再度供給するための処理液循環部をさらに備える請求項１、請求項２又は請求項３に記載の除害装置。
【請求項５】
上記処理液循環部が、除害前の排ガスの侵入を防止するための封止手段を有する請求項４に記載の除害装置。
【請求項６】
上記処理液循環部が、上記処理部に連結される処理液導入管と、この処理液導入管に連結される処理液貯留タンクと、この処理液貯留タンク及び上記噴霧部に連結される処理液循環管と、上記処理液貯留タンクに貯留される処理液を上記噴霧部に循環させるための循環ポンプとを有し、
上記封止手段が、上記処理液導入管に形成される断面略鉤状の液封部である請求項５に記載の除害装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除害装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体の製造工程等において排出される塩化水素（ＨＣｌ）ガス等の排ガスを除害するための除害装置が存在している。このような除害装置としては、貯留タンク内で発生した排ガスを処理部に導入したうえ、この処理部内で排ガスと処理液とを気液接触させることで除害処理する湿式除害装置や、排ガスと除害剤とを接触させることでこの排ガスを吸着除去する乾式除害装置等が知られている（特開２００２−６６２５６号公報参照）。
【０００３】
このような除害装置においては、通常、除害後の排ガスを排出するための排気管に排気ファンが配設されている。そして、このような除害装置では、この排気ファンによって処理部内の排気ガスを吸い込んだうえ排気管の先端から排出する。それゆえ、このような除害装置では、排ガスを処理部に導入するための排ガス導入管が、図３に示すように、貯留タンクに連結され、一端から他端までが略同径に形成される第一導入管と、第一導入管側の先端が拡径された第二導入管とから構成されている。この排ガス導入管は、第一導入管と第二導入管とが間隔をおいて配置され、第二導入管の先端が第一導入管の先端を覆うフード部として構成されている。かかる除害装置は、排ガス導入管が上記構成を備えることによって、除害装置内のガスの量が十分ではないときには、第一導入管と第二導入管との間から外気を取り入れることで、排気ファンの空運転を防止し、安全性を高めている。
【０００４】
しかしながら、このような除害装置では、除害装置内に排ガスが存在していない場合でも、第一導入管と第二導入管との間から処理部内に外気を取り入れて排気管から排出するため、排ガスの除害量に対する排気ファンの稼働等のために必要となる電力量が多く、非効率である。
【０００５】
また、このような除害装置は、除害後の排ガスを排気ファンを用いて排出するものであるため、排気ファンの稼働に必要な最低限の電力は必要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−６６２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、電力の消費を抑制できると共に、除害装置内の排ガスを効率的に除害することができる除害装置の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた発明は、
揮発性の排ガスが溶解された溶液を貯留する貯留タンクと、
上記排ガスを除害する処理部と、
上記処理部で除害された排ガスを排出する排気部と
を備える除害装置であって、
上記貯留タンクの上部及び上記処理部の下部に連結され、貯留タンク内で発生する排ガスを処理部に導入する排ガス導入管を有し、
上記貯留タンク内で発生する排ガスが上記処理部に導入されるまでの排ガス導入経路が閉空間として形成され、
上記貯留タンク内で発生する排ガスを上記処理部に導入する排ガス導入手段を有することを特徴とする除害装置である。
【０００９】
当該除害装置は、貯留タンク内で発生する排ガスが処理部に導入されるまでの排ガス導入経路が閉空間として形成されているので、貯留タンク内で発生する排ガスを排ガス導入手段によって容易かつ確実に処理部に導入することができる。当該除害装置によると、排ガス導入手段によって処理部に導入された排ガスは、処理部内で除害されたうえ排気部から排出される。そのため、当該除害装置は、排気ファン等の排気装置を備えていなくても、貯留タンク内で発生する排ガスを除害し、かつ除害後の排ガスを排出することができる。従って、当該除害装置は、排気ファン等の稼働に必要となる電力の消費を抑制することができ経済的である。また、当該除害装置は、排ガス導入経路が閉空間として形成されることによって、排ガス導入経路から外気が除害装置内に導入されるのが防止されている。それゆえ、当該除害装置は、排ガスを含まない空気等が排ガス導入経路から処理部に導入されるのを防止することができ、ひいては貯留タンク内で発生する排ガスを処理部で効率的に除害することができる。なお、「貯留タンク内で発生する排ガスが上記処理部に導入されるまでの排ガス導入経路が閉空間として形成される」とは、除害装置稼働時に排ガス導入経路と除害装置外との間でガスの出入りが防止されることをいい、例えば排ガス導入経路と除害装置外とを結ぶ連通孔を有している場合であっても、除害装置稼働時にはこの連通孔が封止されている場合も含む。
【００１０】
当該除害装置は、上記排ガス導入手段が、実質的に下方に傾斜した部分を含まないように形成された排ガス導入経路であるとよい。これにより、この排ガス導入経路から排ガスを容易かつ確実に処理部に導入することができる。また、当該除害装置は、排ガス導入経路が上記構成を有することによって、この排ガス導入経路にドレンが溜まるのを防止することができる。
【００１１】
当該除害装置は、上記排ガス導入手段が、上記貯留タンクに連結される溶液導入管であるとよい。これにより、溶液導入管から貯留タンクに水、排ガス溶液等を導入することによって、排ガス導入経路内に存在する排ガスを処理部側に押出すことができる。当該除害装置は、溶液導入管から排ガス溶液を連続的又は断続的に導入するようにすれば、貯留タンク内で排ガスを連続的に発生させ、かつこの排ガスを除害することができる。それゆえ、当該除害装置は、除害対象の排ガスを発生させる排ガス溶液を適宜貯留タンク内に導入することでこの排ガスを除害することができるので効率化を促進することができる。
【００１２】
当該除害装置は、上記処理部が、この処理部に導入される排ガスと気液接触させ、この排ガスを除害するための処理液を噴霧する噴霧部を有し、上記噴霧部によって噴霧された処理液を上記噴霧部に再度供給するための処理液循環部をさらに備えるとよい。当該除害装置は、このような湿式除害装置として特に適している。当該除害装置は、このような湿式除害装置として構成されることによって、効率性及び経済性を効果的に高めることができる。
【００１３】
当該除害装置は、上記処理液循環部が、除害前の排ガスの侵入を防止するための封止手段を有するとよい。これにより、排ガスを処理部内で確実に除害することができる。
【００１４】
当該除害装置は、上記処理液循環部が、上記処理部に連結される処理液導入管と、この処理液導入管に連結される処理液貯留タンクと、この処理液貯留タンク及び上記噴霧部に連結される処理液循環管と、上記処理液貯留タンクに貯留される処理液を上記噴霧部に循環させるための循環ポンプとを有し、上記封止手段が、上記処理液導入管に形成される断面略鉤状の液封部であるとよい。当該除害装置は、処理液導入管が断面略鉤状に形成される液封部を有することによって、処理部から処理液循環部に導入された処理液の一部が液封部に滞留し、処理液導入管内が封止される。それため、当該除害装置は、処理液貯留タンク側に侵入しようとする排ガスが液封部に滞留した処理液によって留められる。また、当該除害装置によると、液封部に滞留した処理液と接触した排ガスはこの処理液によって除害されるので、除害されていない排ガスが当該除害装置外に排出されるのをさらに効果的に防止することができる。
【００１５】
以上説明したように、本発明の除害装置は、電力の消費を抑制できると共に、排ガスの除害効率を効果的に高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る除害装置を示すフロー図である。
【図２】図１の除害装置の処理部及び処理液循環部を示す模式図である。
【図３】従来の除害装置の排ガス導入管を示す模式的部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。
【００１８】
［第一実施形態］
〈除害装置１〉
図１の除害装置１は、貯留タンク２と、除害塔（処理部）３と、排気管（排気部）４と、排ガス導入管５と、溶液導入管６と、処理液循環部７と、溶液導出部１５とを有している。除害装置１は、貯留タンク２内で発生する排ガスを、除害塔３内で処理液と気液接触させることで除害する湿式除害装置として構成されている。
【００１９】
貯留タンク２は、揮発性の排ガスが溶解された溶液を貯留する。貯留タンク２に貯留される溶液から発生する排ガスとしては、特に限定されないが、空気よりも比重の小さい排ガスが好ましい。貯留タンク２に貯留される溶液から発生する排ガスとしては、例えば塩化水素（ＨＣｌ）ガス、フッ化水素（ＨＦ）ガス等が挙げられる。
【００２０】
除害塔３は、貯留タンク２内で発生した排ガスを除害する。除害塔３の上部には、図２に示すように、噴霧部８が配設されている。噴霧部８は、処理液を下方に向けて噴射し、この処理液と除害塔３に導入される排ガスとを気液接触させることでこの排ガスを除害する。噴霧部８によって噴霧される処理液としては、特に限定されないが、排ガスが塩化水素（ＨＣｌ）ガスである場合には苛性ソーダが挙げられる。当該除害装置１は、除害塔３内で塩化水素（ＨＣｌ）ガスと苛性ソーダとを気液接触させることで、塩化水素（ＨＣｌ）ガスを中和させ、塩化ナトリウムを生成することで除害する。
【００２１】
また、除害塔３には、処理液と排ガスとが気液接触される下方に充填剤が充填されている。この充填剤は、表面積を大きくするために充填されるもので、例えばテラレット（登録商標）、ラシヒリング等が挙げられる。
【００２２】
排気管４は、除害塔３の上部に連結されている。排気管４は除害塔３内で除害された排ガスを排出する。排気管４には、従来の除害装置のような排気ファンは配設されていない。
【００２３】
排ガス導入管５は、貯留タンク２の上部（上壁）及び除害塔３の下部に連結されている。排ガス導入管５は、貯留タンク２の上部に連結される縦管部と、この縦管部の一端から略水平方向に延出され、除害塔３の下部に連結される横管部とから形成されている。排ガス導入管５は、貯留タンク２内で発生する排ガスを除害塔３に導入する。貯留タンク２の上部及び排ガス導入管５は、貯留タンク２内で発生する排ガスが除害塔３に導入されるまでの排ガス導入経路を形成している。この排ガス導入経路は閉空間として形成されている。
【００２４】
また、排ガス導入経路は、貯留タンク２の上部と、貯留タンク２の上壁に連結される縦管部及びこの縦管部の一端から略水平方向に延出される横管部によって、貯留タンク２側から除害塔３側にかけて、実質的に下方に傾斜した部分を含まないように（かつ、本実施形態においては全体として上方に傾斜して）形成されている。排ガス導入経路は、貯留タンク２内で発生する排ガスを除害塔３に導入する排ガス導入手段として構成されている。当該除害装置１は、排ガス導入経路が実質的に下方に傾斜した部分を含まないように形成されることによって、この排ガス導入経路から排ガスを容易かつ確実に除害塔３に導入することができる。特に、当該除害装置１は、貯留タンク２内で発生する排ガスの比重が空気よりも小さいため、この排ガスを効果的に除害塔３に導入することができる。また、当該除害装置１は、排ガス導入経路が上記構成を有することによって、この排ガス導入経路にドレンが溜まるのを防止することができる。
【００２５】
溶液導入管６は、貯留タンク２の下部に連結されている。溶液導入管６は、水、除害塔３で除害する排ガスを発生させる溶液（以下「排ガス溶液」ともいう。）等を貯留タンク２に導入するためのものである。溶液導入管６には、ポンプ等の溶液導入手段（図示せず）が設けられている。当該除害装置１は、かかる溶液導入手段を用いて、水、排ガス溶液等を溶液導入管６を介して貯留タンク２に順次導入する。
【００２６】
溶液導入管６は、貯留タンク２内で発生する排ガスを除害塔３に導入する排ガス導入手段として構成されている。つまり、水、排ガス溶液等が、溶液導入管６を介して貯留タンク２内に導入されることによって、貯留タンク２内の溶液の体積が大きくなる。当該除害装置１は、貯留タンク２内の溶液の体積が大きくなることによって、排ガス導入経路内に存在している排ガスが除害塔３側に押出される。当該除害装置１は、このように溶液導入管６を介して貯留タンク２内に排ガス溶液を連続的又は断続的に導入していくことによって、貯留タンク２内で排ガスを連続的に発生させ、かつこの排ガスを除害することができる。それゆえ、当該除害装置１は、排ガス溶液を適宜貯留タンク２内に導入することでこの排ガスを除害することができるので効率化を促進することができる。
【００２７】
処理液循環部７は、噴霧部８によって噴霧された処理液を噴霧部８に再度供給する。図２を参照して、処理液循環部７の構成について説明する。
【００２８】
処理液循環部７は、処理液導入管９と、処理液貯留タンク１０と、処理液循環管１１と、循環ポンプ１２と、処理液排出管１３とを有している。
【００２９】
処理液導入管９は、一端が除害塔３の底壁に連結され、他端が処理液貯留タンク１０の上部（本実施形態では処理液貯留タンク１０の上壁）に連結されている。処理液導入管９は、断面略鉤状に形成される液封部１４を有している。液封部１４は、除害前の排ガスの侵入を防止するための封止手段として構成されている。
【００３０】
液封部１４の排ガス侵入防止機能について説明する。まず、処理液導入管９は、除害塔３の底壁に連結される第一縦管部９ａと、一端が第一縦管部９ａの下端に連結される第一横管部９ｂと、第一横管部９ｂの他端に連結される第二縦管部９ｃと、一端が第二縦管部９ｃの上端に連結される第二横管部９ｄと、第二横管部９ｄの他端に連結される第三縦管部９ｅとから形成されている。そして、処理液導入管９は、第一縦管部９ａが第二縦管部９ｃよりも長くなるように形成されており、第一縦管部９ａ、第一横管部９ｂ及び第二縦管部９ｃによって液封部１４が形成されている。
【００３１】
一方、噴霧部８によって噴霧された処理液は、除害塔３の底面方向に噴霧され、第一縦管部９ａに導入される。そして、第一縦管部９ａに導入された処理液は、第一横管部９ｂ、第一縦管部９ａ及び第二縦管部９ｃに貯留されていき、第二縦管部９ｃの嵩を超える部分については第二横管部９ｄ及び第三縦管部９ｅを介して処理液貯留タンク１０に導出される。つまり、処理液導入管９の第一横管部９ｂ、第二縦管部９ｃ、及び第一縦管部９ａの一部には常時処理液が仮溜めされた状態となる。それゆえ、排ガス導入管５から除害塔３に導入された排ガスが処理液導入管９に導入された場合であっても、この排ガスは、液封部１４に仮溜めされている処理液によって処理液貯留タンク１０側への侵入が妨げられることになる。
【００３２】
処理液貯留タンク１０は、処理液導入管９から導入された処理液を貯留する。処理液貯留タンク１０の上壁は、処理液導入管９と連結されている。また、処理液貯留タンク１０の下部は、処理液循環管１１と連結されている。
【００３３】
処理液循環管１１は、一端が処理液貯留タンク１０に連結され、他端が噴霧部８に連結されている。処理液循環管１１の処理液貯留タンク１０側には、処理液貯留タンク１０に貯留される処理液を噴霧部８に循環させるための循環ポンプ１２が配設されている。また、処理液循環管１１には、処理液貯留タンク１０に貯留される処理液を外部に排出するための処理液排出管１３が連結されている。処理液排出管１３にはバルブが設けられており、必要に応じて処理液を外部に排出できるように構成されている。
【００３４】
溶液導出部１５は、貯留タンク２に貯留される溶液を使用場所に導出するためものである。溶液導出部１５は、貯留タンク２の下部に連結される溶液導出管１６と、溶液導出管１６に配設される溶液導出ポンプ１７とを有している。溶液導出部１５は、溶液導出ポンプ１７によって、貯留タンク２に貯留される溶液を適宜使用場所に導出する。
〈利点〉
【００３５】
当該除害装置１は、貯留タンク２内で発生する排ガスが除害塔３に導入されるまでの排ガス導入経路が閉空間として形成されているので、貯留タンク２内で発生する排ガスを排ガス導入手段によって容易かつ確実に除害塔３に導入することができる。当該除害装置１によると、排ガス導入手段によって除害塔３に導入された排ガスは、除害塔３内で除害されたうえ排気管４から排出される。そのため、当該除害装置１は、排気ファン等の排気装置を備えていなくても、貯留タンク２内で発生する排ガスを除害し、かつ除害後の排ガスを排出することができる。従って、当該除害装置１は、排気ファン等の稼働に必要となる電力の消費を抑制することができ経済的である。また、当該除害装置１は、排ガス導入経路が閉空間として形成されることによって、排ガス導入経路から外気が除害装置１内に導入されるのが防止されている。それゆえ、当該除害装置１は、排ガスを含まない空気等が排ガス導入経路から除害塔３に導入されるのを防止することができ、ひいては貯留タンク２内で発生する排ガスを除害塔３内で効率的に除害することができる。
【００３６】
当該除害装置１は、除害塔３が、除害塔３に導入される排ガスと気液接触させ、この排ガスを除害するための処理液を噴霧する噴霧部８を有し、噴霧部８によって噴霧された処理液を噴霧部８に再度供給するための処理液循環部７をさらに備える湿式除害装置として好適に構成される。当該除害装置１は、このような湿式除害装置として構成されることによって、効率性及び経済性を効果的に高めることができる。
【００３７】
当該除害装置１は、処理液循環部７が、除害前の排ガスの侵入を防止するための封止手段を有しているので、排ガスを除害塔３内で確実に除害することができる。
【００３８】
当該除害装置１は、処理液循環部７が、除害塔３に連結される処理液導入管９と、処理液導入管９に連結される処理液貯留タンク１０と、処理液貯留タンク１０及び噴霧部８に連結される処理液循環管１１と、処理液貯留タンク１０に貯留される処理液を噴霧部８に循環させるための循環ポンプ１２とを有し、処理液導入管９が断面略鉤状に形成される液封部１４を有しているので、除害塔３から処理液導入管９に導入された処理液の一部が液封部１４に滞留し、処理液導入管９内が封止される。それため、当該除害装置１は、処理液貯留タンク１０側に侵入しようとする排ガスが液封部１４に滞留した処理液によって留められる。また、当該除害装置１によると、液封部１４に滞留した処理液と接触した排ガスはこの処理液によって除害されるので、除害されていない排ガスが当該除害装置１外に排出されるのをさらに効果的に防止することができる。
【００３９】
また、当該除害装置１は、溶液導出部１５から溶液が導出される等によって排ガス導入経路内が負圧になった場合でも、排気管４から外気が導入されることで除害装置内の圧力は一定に保たれるので安全性が向上されている。
【００４０】
［その他の実施形態］
なお、本発明の除害装置は、上記態様の他、種々の変更、改良等を施した態様で実施することができる。
【００４１】
例えば、噴霧部から噴霧される処理液として洗浄水を用いてもよい。当該除害装置は、処理液として洗浄水を用いた場合であっても、この洗浄水と排ガスとを気液接触させることで、排ガスを洗浄水に溶解等させ除害することができる。排気部は、処理部に連結される排気管である必要はなく、処理部に設けられる排気孔であってもよい。
【００４２】
また、当該除害装置は、必ずしも湿式除害装置として構成される必要はなく、例えば乾式除害装置として構成されてもよい。当該除害装置が乾式除害装置として構成される場合の処理部の構成としては、例えば、複数の開口及びこの開口に設けられる濾過フィルタを有する仕切り部材によって、処理部を上部と下部とに区分けした構成が挙げられる。当該除害装置は、処理部としてかかる構成を採用した場合、処理部の下部から排ガスと除害剤とを導入して接触させ、排ガスを固化して除害することができる。
【００４３】
当該除害装置は、排ガス導入手段として、実質的に下方に傾斜した部分を含まない排ガス導入経路と、貯留タンクに連結される溶液導入管とを共に有していなくてもよい。また、当該除害装置は、排ガス導入管が上方に傾斜した構成とされている場合、ドレンが溜まるのをさらに効果的に防止することができる。
【００４４】
さらに、封止手段としては、特に限定されず、例えば処理液循環部に設けられるバルブであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
以上のように、本発明の除害装置は、電力の消費を抑制できると共に、排ガスの除害効率を効果的に高めることができ、半導体の製造工程等において排出される排ガスを除害するために好適に用いられる。
【符号の説明】
【００４６】
１  除害装置
２  貯留タンク
３  除害塔
４  排気管
５  排ガス導入管
６  溶液導入管
７  処理液循環部
８  噴霧部
９  処理液導入管
１０  処理液貯留タンク
１１  処理液循環管
１２  循環ポンプ
１３  処理液排出管
１４  液封部
１５  溶液導出部
１６  溶液導出管
１７  溶液導出ポンプ
【図１】
2014073481.tif 000003
【図２】
2014073481.tif 000004
【図３】
2014073481.tif 000005