(57)【要約】【課題】  本発明は、プラズマディスプレイパネル、液晶ディスプレイパネル部材等の表面に機能層を備えた板状物からなる基板を、保管または輸送する基板用トレイであって、その表面の機能層を損傷したり汚したりすることなく、効率良く保管、搬送することが可能な基板用トレイの基板保持部材を提供することを目的とする。【解決手段】  本発明の基板保持部材は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板を、前記基板の下側から水平方向に保持する基板用トレイにおいて、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材が、前記基板保持部材の上面および下面に、突起を有することにより、安定に、効率よく、保管、搬送することが可能な基板保持部材を提供することにより上記の課題を解決する。【選択図】  図１０
2014003079.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に多段に重ねて、複数の前記基板を保管または搬送する基板用トレイにおいて、
前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を下面から保持する基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、少なくとも、基板保持部、移動規制部、基板規制部、振動制御部を備え、
前記基板保持部は、平坦な上面を有し、前記基板支持部の上面より突出して固定され、
前記基板保持部は、前記基板保持部の上面に前記移動規制部を有し、
前記移動規制部は、前記基板保持部の平坦な上面と垂直な平面である移動規制面を有し、
前記基板規制部は、平坦な下面を有し、前記基板支持部の下面より突出して固定され、
前記基板規制部は、前記基板規制部の下面に前記振動制御部を有し、
前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねたときに、前記移動規制部の移動規制面に垂直な方向をＸ方向として、下側に位置する第１の基板保持部材の移動規制面よりＸ方向側に、その直上に位置する第２の基板保持部材の振動制御部が固定されることを特徴とする基板保持部材。
【請求項２】
請求項１に記載の基板保持部材であって、
少なくとも前記振動制御部の前記Ｘ方向側の１辺が、厚さが減少する厚さ変化部を有していること、
を特徴とする基板保持部材。
【請求項３】
請求項１から請求項２のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、
下側に位置する第１の基板保持部材の前記移動規制面と、
その直上に位置する第２の基板保持部材の振動制御部の平坦な下面のＸ方向の端部との距離が、
保持される基板の外周に位置する非機能部の幅より小さいことを特徴とする基板保持部材。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、
第１の基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、その直上に位置する第２の基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をａ、
前記基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、前記基板保持部材の移動制御部の上面と、の間隔をｂ、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、前記基板保持部材の振動制御部の下面と、の間隔をｃ、
保持される基板の厚さをｄ、
とした時に、
ｂ＜ａ、ｂ+ｃ＞ａ−ｄ、ａ−ｃ＞ｄ
なる関係を全て満たすように、前記基板保持部、前記移動規制部、前記基板規制部、前記振動制御部が形成されていること、
を特徴とする基板保持部材。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部に、溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項６】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部と前記基板規制部にまたがる溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項７】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記移動規制部に、溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項８】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記移動規制部と前記基板保持部にまたがる溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項９】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部に、溝が、少なくとも１つ形成されているとともに、
前記移動規制部に、溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項１０】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部に、溝が、少なくとも１つ形成されているとともに、
前記移動規制部と前記基板保持部にまたがる溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項１１】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部と前記基板規制部にまたがる溝が、少なくとも１つ形成されているとともに、
前記移動規制部に、溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項１２】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部と前記基板規制部にまたがる溝が、少なくとも１つ形成されているとともに、
前記移動規制部と前記基板保持部にまたがる溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項１３】
請求項５から請求項１２のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記溝の底部が円弧状に形成されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項１４】
請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部が、着脱可能に作製されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項１５】
請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記移動規制部が、着脱可能に作製されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項１６】
請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部が、着脱可能に作製されているとともに、
前記移動規制部が、着脱可能に作製されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項１７】
請求項１から請求項１６のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材が、可撓性を有していることを特徴とする基板保持部材。
【請求項１８】
請求項１から請求項１７のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材が、熱可塑性樹脂で形成されていることを特徴とする基板保持部材。
【請求項１９】
基板用トレイであって、請求項１から請求項１８のいずれか１項に記載の基板保持部材の前記移動規制面が、保持される基板の端面と平行になるように、前記基板保持部材が固定されることを特徴とする基板用トレイ。
【請求項２０】
請求項１９に記載の基板用トレイであって、前記基板用トレイの対向する２辺の前記基板支持部に固定された基板保持部材の移動規制面間の距離が、保持される基板の幅より大きくなるように、前記基板保持部材が固定されることを特徴とする基板用トレイ。
【請求項２１】
請求項１９から請求項２０のいずれか１項に記載の基板用トレイであって、請求項１から請求項１８のいずれか１項に記載の基板保持部材が、前記基板用トレイの前記基板支持部の形状に沿って固定されていることを特徴とする基板用トレイ。
【請求項２２】
請求項１９から請求項２１のいずれか１項に記載の基板用トレイであって、保持される基板の少なくとも一対の対向する２辺を、辺の両側から中央へ向けて鉛直下方へ湾曲した状態で、保持することを特徴とする基板用トレイ。
【請求項２３】
請求項１９から請求項２２のいずれか１項に記載の基板用トレイであって、
前記基板用トレイの前記枠体の各辺それぞれに、請求項１から請求項１８のいずれか１項に記載の基板保持部材が間隔をおいて複数取り付けられていることを特徴とする基板用トレイ。
【請求項２４】
請求項２３に記載の基板用トレイであって、
前記基板用トレイの前記枠体の４辺のうち少なくとも対向する１対の辺において、１辺に対して複数固定された基板保持部材のうち少なくとも２個以上の基板保持部材が、前記移動規制部および前記振動制御部が、着脱可能に作製されていることを特徴とする基板用トレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に多段に重ねて、複数の前記基板を保管または搬送する基板用トレイにおいて、基板の揺動、移動を制御し、傷や汚れを防ぐ、前記基板を保持する基板保持部材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル、液晶ディスプレイパネル等のフラットパネル部材といった表面に機能層を備えた板状物からなる基板は、損傷したり汚したりすることなく搬送または保管することが重要である。
従来、こういった基板の搬送や保管をおこなう際は、基板を傷や破損から守るため、基板同士が接触しないように所定間隔で並列収納できる箱形の収納容器を用いていた。
このような中、近年、特に液晶表示用のフラットパネルにおいては、より大型のカラーフィルター形成基板の製造が要求されており、搬送や保管に対して、更に一層の搬送効率向上による搬送コスト節減や保管場所の省スペース化が求められている。
しかしながら、上記のような収納容器による搬送では、搬送時の振動により割れや傷が発生しやすく、トレイのコンパクト化が非常に困難であった。
【０００３】
基板の割れや傷を防ぎ、基板の汚染を防止し、さらに高密度で搬送や保管をおこなうために多くの検討がおこなわれてきている。
【０００４】
たとえば、特開２００６−１６８７４８号公報（特許文献１）、特開２０１０−１２０６９０号公報（特許文献２）では、基板の動きをおさえるため、当該基板の一層上の枠体に基板おさえ部を形成し、基板保持部材に積載した当該基板上に、基板おさえ部に当接させて、当該基板を固定して保持している。このような手法によると、基板の移動を防ぐことが可能となるが、当接部での基板の汚染、傷、および搬送時の振動による当接部での応力発生による基板の割れ等の課題があり、安定した基板搬送には至っていない。
【０００５】
また、前記当接部の接触による汚染、傷、および割れを防止するために、特開２００８−１５５９９５号公報（特許文献３）では、基板に振動が発生した時のみ接触するテーパー状の基板移動制限部材を用いることにより、前記当接部の接触による汚染、傷、および割れを防止する方法が提示されている。しかし、この方法では、基板の振動発生時に、前記テーパー状の基板移動制限部材が接触する位置が制御できず、基板上に形成された機能層への汚染、傷の発生が懸念されるとともに、基板の水平方向への移動が発生した場合、テーパー部に基板が挟まることにより、振動が発生した時に、応力により割れが発生するといった懸念もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１６８７４８号公報
【特許文献２】特開２０１０−１２０６９０号公報
【特許文献３】特開２００８−１５５９９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に多段に重ねて、複数の前記基板を保管または搬送する基板用トレイにおいて、前記基板を保持する基板保持部材に関する。特に、自重により撓む平面型ディスプレイパネル用の板状の各種材料（例えば、ガラスやプラスチックなど）または部材、あるいは、金属、レアメタル、またはシリコン等の板状物や、それらに処理を施した板状の処理部材の保管または搬送に適した基板用トレイに関するものであり、基板を損傷したりその表面を汚したりすることなく、保管または搬送することが可能な基板用トレイに用いる基板保持部材、ならびに前記基板保持部材を用いた基板用トレイを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の基板保持部材は、以下の各態様に記載の手段により上記の課題を解決するものである。
【０００９】
本発明の第１の態様は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に多段に重ねて、複数の前記基板を保管または搬送する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を下面から保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、少なくとも、基板保持部、移動規制部、基板規制部、振動制御部を備え、前記基板保持部は、平坦な上面を有し、前記基板支持部の上面より突出して固定され、前記基板保持部は、前記基板保持部の上面に前記移動規制部を有し、前記移動規制部は、前記基板保持部の平坦な上面と垂直な平面である移動規制面を有し、前記基板規制部は、平坦な下面を有し、前記基板支持部の下面より突出して固定され、前記基板規制部は、前記基板規制部の下面に前記振動制御部を有し、前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねたときに、前記移動規制部の移動規制面に垂直な方向をＸ方向として、下側に位置する第１の基板保持部材の移動規制面よりＸ方向側に、その直上に位置する第２の基板保持部材の振動制御部が固定されることを特徴とする。
【００１０】
本発明の第２の態様は、第１の態様に記載の基板保持部材であって、少なくとも前記振動制御部の前記Ｘ方向側の１辺が、厚さが減少する厚さ変化部を有していること、を特徴とする。
【００１１】
本発明の第３の態様は、第１の態様または第２の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、下側に位置する第１の基板保持部材の前記移動規制面と、その直上に位置する第２の基板保持部材の振動制御部の平坦な下面のＸ方向の端部との距離が、保持される基板の外周に位置する非機能部の幅より小さいこと、を特徴とする。
【００１２】
本発明の第４の態様は、第１の態様から第３の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、
前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、
第１の基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、その直上に位置する第２の基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をａ、
前記基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、前記基板保持部材の移動制御部の上面と、の間隔をｂ、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、前記基板保持部材の振動制御部の下面と、の間隔をｃ、
保持される基板の厚さをｄ、
とした時に、
ｂ＜ａ、ｂ+ｃ＞ａ−ｄ、ａ−ｃ＞ｄ
なる関係を全て満たすように、前記基板保持部、前記移動規制部、前記基板規制部、前記振動制御部が形成されていること、
を特徴とする。
【００１３】
本発明の第５の態様は、第１の態様から第４の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記振動制御部に、溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする。
【００１４】
本発明の第６の態様は、第１の態様から第４の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部と前記基板規制部にまたがる溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする。
【００１５】
本発明の第７の態様は、第１の態様から第４の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記移動規制部に、溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする。
【００１６】
本発明の第８の態様は、第１の態様から第４の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記移動規制部と前記基板保持部にまたがる溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする。
【００１７】
本発明の第９の態様は、第１の態様から第４の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記振動制御部に、溝が、少なくとも１つ形成されているとともに、前記移動規制部に、溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする。
【００１８】
本発明の第１０の態様は、第１の態様から第４の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記振動制御部に、溝が、少なくとも１つ形成されているとともに、前記移動規制部と前記基板保持部にまたがる溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする。
【００１９】
本発明の第１１の態様は、第１の態様から第４の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記振動制御部と前記基板規制部にまたがる溝が、少なくとも１つ形成されているとともに、前記移動規制部に、溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする。
【００２０】
本発明の第１２の態様は、第１の態様から第４の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記振動制御部と前記基板規制部にまたがる溝が、少なくとも１つ形成されているとともに、前記移動規制部と前記基板保持部にまたがる溝が、少なくとも１つ形成されていることを特徴とする。
【００２１】
本発明の第１３の態様は、第５の態様から第１２の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記溝の底部が円弧状に形成されていることを特徴とする。
【００２２】
本発明の第１４の態様は、第１の態様から第１３の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記振動制御部が、着脱可能に作製されていることを特徴とする。
【００２３】
本発明の第１５の態様は、第１の態様から第１３の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記移動規制部が、着脱可能に作製されていることを特徴とする。
【００２４】
本発明の第１６の態様は、第１の態様から第１３の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記振動制御部が、着脱可能に作製されているとともに、前記移動規制部が、着脱可能に作製されていることを特徴とする。
【００２５】
本発明の第１７の態様は第１の態様から第１６の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材が、可撓性を有していることを特徴とする。
【００２６】
本発明の第１８の態様は、第１の態様から第１７の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材が、熱可塑性樹脂で形成されていることを特徴とする。
【００２７】
本発明の第１９の態様は、基板用トレイであって、第１の態様から第１８の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材の前記移動規制面が、保持される基板の端面と平行になるように、前記基板保持部材が固定されることを特徴とする。
【００２８】
本発明の第２０の態様は、第１９の態様に記載の基板用トレイであって、前記基板用トレイの対向する２辺の前記基板支持部に固定された基板保持部材の移動規制面間の距離が、保持される基板の幅より大きくなるように、前記基板保持部材が固定されることを特徴とする。
【００２９】
本発明の第２１の態様は、第１９の態様から第２１の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板用トレイであって、第１の態様から第１８の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材が、前記基板用トレイの前記基板支持部の形状に沿って固定されていることを特徴とする。
【００３０】
本発明の第２２の態様は、第１９の態様から第２１の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板用トレイであって、保持される基板の少なくとも一対の対向する２辺を、辺の両側から中央へ向けて鉛直下方へ湾曲した状態で、保持することを特徴とする。
【００３１】
本発明の第２３の態様は第１９の態様から第２２の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板用トレイであって、前記基板用トレイの前記枠体の各辺それぞれに、第１の態様から第１８の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材が間隔をおいて複数取り付けられていることを特徴とする。
【００３２】
本発明の第２４の態様は、第２３の態様に記載の基板用トレイであって、前記基板用トレイの前記枠体の４辺のうち少なくとも対向する１対の辺において、１辺に対して複数固定された基板保持部材のうち少なくとも２個以上の基板保持部材が、前記移動規制部および前記振動制御部が、着脱可能に作製されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３３】
本発明の基板保持部材は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に多段に重ねて、複数の前記基板を保管または搬送する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を下面から保持するものである。
搬送または保管時の振動により、基板には、鉛直方向の振動だけではなく水平方向の移動も発生する。このような移動を防止するために、特開２００６−１６８７４８号公報（特許文献１）、特開２０１０−１２０６９０号公報（特許文献２）、特開２００８−１５５９９５号公報（特許文献３）では、基板への当接材を使用し基板を固定している、またはテーパー状の基板保持部材の使用により基板の移動を規制している。当接材の使用は、基板の汚れ、傷の原因となるとともに、基板が固定されていることにより、固定部に振動発生時の応力が発生し、基板の破損が発生する可能性がある。また、テーパー状の基板保持部材では、徐々に上下の間隙が狭くなっていくことによって水平方向の基板の移動を規制しているが、テーパー部により形成されるくさび状の間隙に、基板が挟まれることにより基板が固定され、振動発生時に応力が集中し、基板の破損が発生したりする可能性がある。
【００３４】
本発明の基板保持部材は、前記基板を固定することなく、水平方向および鉛直方向に前記基板の可動域を確保するとともに、前記可動域を制限し、安定に前記基板を保持するものである。本発明の前記基板保持部材により保持される前記基板は、固定されていないため、保管または搬送時の振動等が発生した場合に、固定されていれば発生する固定部への応力が発生せず、前記基板の破損の防止が可能となる。
本発明の基板保持部材は、移動規制部とよぶ基板と平行方向の振動が発生した時に前記基板と接触する部位、および振動制御部とよぶ基板に鉛直方向の振動が発生した時に前記基板と接触する部位を有している。前記移動規制部および前記振動制御部が、基板の移動または基板の振動が発生した時に、前記基板の可動域を制限するものである。
さらに、基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、第１の基板保持部材の前記移動規制面と、その直上に位置する第２の基板保持部材の振動制御部の平坦な下面の端部との距離を規定し、振動発生時に、一般的に基板の外周に位置する非機能部とよぶ機能性表面加工が施されていない機能を持たない領域のみと接触するように設計することにより、振動等が発生した時でも、基板の機能を損なう可能性が少なく、破損、汚れを防止した安定的な前記基板を保管または搬送が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】図１（ａ）、図１（ｂ）は、本発明の基板保持部材の実施の形態の１例の概略図で、図１（ｃ）は、図１（ａ）および図１（ｂ）の本発明の基板保持部材を有する基板用トレイを上方から見た平面図の概略図である。
【図２】図２（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイに基板を積載し、多段に重ねて前記基板を保持している概略図である。
【図３】図３（ａ）は、本発明の基板保持部材の概略図、図３（ｂ）は、本発明の基板保持部材が基板用トレイに固定されて入る様子を、図３（ａ）のＢ方向より見た断面図の概略図である。
【図４】図４（ａ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイが積層されている概略図である。図４（ｂ）は、本発明の基板保持部材の寸法の概略図である。
【図５】図５（ａ）〜図５（ｄ）は、本発明の溝が形成された基板保持部材を図３（ａ）のＡ方向より見た一例の概略図である。
【図６】図６（ａ）〜図６（ｄ）は、本発明の溝が形成された基板保持部材を図３（ａ）のＡ方向より見た一例の概略図である。
【図７】図５は、本発明の基板保持部材の着脱可能な様子を示した概略図である。
【図８】図８（ａ）、図８（ｂ）は、基板支持部に固定されている本発明の基板保持部材を、基板用トレイの内側から見た概略図である。
【図９】図９（ａ）、図９（ｂ）は、基板支持部に固定されている本発明の溝が形成された基板保持部材を、基板用トレイの内側から見た概略図である。
【図１０】本発明の基板保持部材を、基板支持部へ固定する様子の概略図である。
【図１１】図１１は、斜めに形成された基板支持部に本発明の基板保持部材を固定した基板用トレイが積層され、基板を保持している概略図である。
【図１２】図１２は、本発明の基板保持部材を、基板支持部へ固定する様子の一例の概略図である。
【図１３】図１３は、本発明の基板保持部材を、基板支持部へ固定する様子の一例の概略図である。
【図１４】図１４は、本発明の基板保持部材を、基板支持部へ固定する様子の一例の概略図である。
【図１５】図１５は、本発明の基板保持部材を、基板支持部へ固定する様子の一例の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明の基板保持部材の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１に、本形態の基板保持部材１４を有する基板用トレイ１１の実施の形態の１例の概略を示す。図１（ａ）は枠体１２の４辺に支持された基板支持部１３が、直線状に基板１１１の端部を支持する基板用トレイ１１の実施の形態の１例の概略図である。図１（ｂ）は枠体１２の４辺のうち一方の対向する２辺に固定された基板支持部１３が直線状に基板１１１の両端を支持し、枠体１２の４辺のうち他方の対向する２辺に固定された基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませて、基板１１１の両端を支持する基板用トレイ１１の実施の形態の１例の概略図である。また、図示はしていないが、基板用トレイ１１は、基板１１１を安定に保持するために、４辺に固定された基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませて、基板１１１の４辺を支持する基板用トレイ１１であってもよい。また、基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませる場合、撓んだ基板支持部１３を支持する枠体１２は、直線であって前記基板支持部１３が鉛直方向下側に撓んだ形状であってもよい。前記撓みの形状は、円弧状でも放物線上でもよく、撓ませた基板１１１の、端部と中央部の高さの差は基板サイズによって適宜設計される。
【００３７】
図１（ｃ）は、図１（ａ）および図１（ｂ）の基板用トレイ１１を上方から見た平面図の概略図である。なお。図１（ａ），（ｂ），（ｃ）の概略図には記載されていないが、本形態の基板保持部材１４を有する基板用トレイ１１は、上下に位置する基板用トレイ１１間の相対的な位置関係を一定に保つため、複数枚重ねた時に、上下に位置する基板用トレイ１１の相対的な位置関係が一定になるような嵌合機能を有していてもよい。（ここで言う嵌合機能とは、互いにはまり合う機能を備えていることである。）前記嵌合機能は、安定に固定可能で、上下に位置する基板用トレイ１１の相対的な位置関係を一定に保つことが出来る形状であれば、どのような形状を有していてもよい。さらに、機械搬送に用いるための取手部等の部位を有していてもよい。
【００３８】
図２（ａ）、（ｂ）は、前記基板用トレイ１１が、搬送および保管のために積層されている概略図である。図２（ａ）は、４辺が直線状の基板用トレイ１１、図２（ｂ）は、枠体１２の４辺のうち一方の対向する２辺に固定された基板支持部１３が直線状に基板１１１の両端を支持し、枠体１２の４辺のうち他方の対向する２辺に固定された基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませて、基板１１１の両端を支持する基板用トレイ１１を搬送用架台１０３上に積層している概略図である。本形態の基板保持部材１４は、図１に示した基板用トレイ１１に固定され、前記基板トレイ１１は、図２のように多段に積層して使用される。
【００３９】
図１の基板用トレイ１１の枠体１２は、搬送または保管時に積層して使用されるため、強度が必要とされ、一般に金属材料が使用される。ガラスファイバー、カーボンファイバーと樹脂により成形した材料を用いてもよいが、積層時または搬送時等に傷が発生しやすく異物発生の要因となるため、金属であることが好ましい。特に、多段積層時の軽量化を図るため、強度、軽量性を兼ね備えたジュラルミン等のアルミ合金を使用するのが好ましい。また、前記枠体１２が支持する基板支持部１３は、溶接等により前記枠体１２と接合させてもよいが、強度、作製のしやすさ等を鑑みて、押し出し成形等により、前記枠体１２と同時に作製するのが好ましい。
【００４０】
基板保持部材１４は、基板支持部１３、特に湾曲した基板支持部へ固定する際に、作製誤差等を吸収するために、可撓性を有していることが重要である。さらに、基板保持部材１４が可撓性を有していることにより、使用中の振動等による破損を低減することができる。
【００４１】
基板保持部材１４は、成形のしやすさ、振動の緩衝材としての機能、異物発生の少なさ、傷付き防止、および基板１１１への汚染防止等を考慮して、熱可塑性樹脂が用いられる。前記基板保持部材１４が熱可塑性樹脂で形成されていることにより、前記基板保持部材１４が射出成形での成形が可能となり、切削加工で前記基板保持部材１４を作製する方法と比較して、多大な費用をかけずに多数の前記基板保持部材１４を作製することが可能となる。さらに、樹脂製であることにより、前記基板１１１への傷付きを低減することが可能となる。熱可塑性樹脂の中でも、特にポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ナイロン６６やナイロン６１０といったポリアミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）やポリイミドが望ましい。なお、同様の機能を有すれば、基板保持部材１４の材質はこれらに限定はされない。また、移動規制部３１または振動制御部３２を着脱可能に作製する場合、移動規制部３１および振動制御部３２を形成する材料は、前記熱可塑性樹脂だけでなく、切削加工による成形が可能なＵＰＥ（超高分子量ポリエチレン）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＰＳ（ポリフェニレンスルファイド）、ＭＣナイロン、ＰＯＭ（ポリアセタール、アセタール樹脂）、フェノール樹脂等のエンジニアリングプラスチックを使用しても良い。移動規制部３１および振動制御部３２を形成する材料として、切削加工適性および柔軟性を検討した結果、ＵＰＥ（超高分子量ポリエチレン）が好ましいことを確認した。なお、同様の機能を有すれば、移動規制部３１および振動制御部３２の材質はこれらに限定はされない。
【００４２】
図３（ａ）は、本形態の基板保持部材の概略図である。図３（ａ）に示すとおり、本形態の基板保持部材１４は、基板保持部１４ａと、基板規制部１４ｂと、前記保持部１４ａの上面に固定された移動規制部３１と、前記基板規制部１４ｂの下面に固定された振動制御部３２を備えている。前記基板保持部１４ａの上面が平坦であることにより、保持される基板１１１への前記基板保持部材１４の材料の転写の防止および前記基板保持部材１４により保持される基板１１１への傷の防止が可能となる。また、前記基板規制部１４ｂの下面が平坦であることにより、多段に重ねて使用した時、基板振動発生等による保持される基板１１１と前記基板規制部１４ｂの下面との接触を低減させることが可能となり、前記基板保持部材１４による保持される基板１１１への傷つきを低減することが可能となる。
【００４３】
図３（ａ）に示すように、基板保持部１４ａの上面に固定された移動規制部３１は、基板保持部の平坦な上面と垂直な平面である移動規制面３５を有している。前記基板保持部材１４は、前記移動規制面３５と、保持される基板１１１の端面とが平行になるように、基板用トレイに固定することが好ましい。前記移動規制面３５は、移動規制部３１の枠内側に形成された平面であり、振動等により基板１１１に水平方向の移動が発生した時に、前記基板１１１の端面と接触し、可動域を制限する。保持される基板１１１に水平方向の移動が発生し前記移動規制面３５と前記基板１１１が接触した時に、前記移動規制面３５が平面であること、および前記移動規制面３５が保持される基板１１１の端面と平行になるように基板用トレイに固定されていることにより、点で接触するのではなく線で接触もしくは面で接触することになる。このことにより、接触時の応力集中を防止することが可能となり、基板の破損を防止することが可能となる。また、前記移動規制部３１は、図３に示すように直方体が好ましいが、前記移動規制面３５を有していれば良く、直方体に限定するものではない。さらに、前記移動規制部３１の上面は、基板用トレイ１１を鉛直方向に多段に重ねて使用する時に、その上段の基板保持部材１４との接触を安定に避けるため、また、より高密度に基板用トレイを積載するために、平坦であることが好ましい。基板保持部材同士の接触は、異物発生の原因となり、基板への異物付着の原因となるためである。
【００４４】
図３（ｂ）は、本形態の基板保持部材が基板用トレイに固定されて入る様子を、図３（ａ）のＢ方向より見た断面図の概略図である。図３（ｂ）に示すように、前記振動制御部３２は、振動制御部の平坦な下面３８を有している。保持される基板１１１に鉛直方向の移動が発生し前記振動制御部３２と前記基板１１１が接触した時に、振動制御部３２の下面が平坦であることにより、点接触ではなく線接触点で接触するのではなく線で接触もしくは面で接触することになる。このことにより、接触時の応力集中を防止することが可能となり、基板の破損、異物発生、および保持部材の材料の転写による汚れ等を抑制することが可能となる。前記平坦な下面は、前記基板規制部の平坦な下面３７と平行に形成されていても良く、前記振動制御部３２の厚さが、前記基板規制部１４ｂが固定された前記枠体１３の内側へ向かって厚さが減少するように斜めに形成されていても良い。
【００４５】
前記移動規制部３１の移動規制面３５に垂直な方向をＸ方向とした時に、少なくとも前記振動制御部のＸ方向側の１辺が、厚さが減少する厚さ変化部を有していてもよい。前記振動制御部の厚さ変化部３９は、断面が、例えば円弧状または楕円弧状のように、外側に凸の角部を有することなく、前記振動制御部３２の厚みをゼロにする部位である。前記振動制御部の厚さ変化部３９は、保持される基板１１１に鉛直方向の移動が発生し前記振動制御部３２と前記基板１１１が接触した時に、前記振動制御部３２の角部と接触を防止するものであり、角部に接触し応力が集中することによる基板の破損を抑制することが可能となる。また、前記厚さ変化部３９は、たとえば図３（ａ）には、振動制御部３２のＸ方向側に形成しているが、Ｘ方向側だけではなく、その他の方向の辺に前記厚さ変化部３９を設けることも、角部に接触し応力が集中することによる基板の破損を抑制するためには有効である。
【００４６】
図４（ａ）は、本形態の基板保持部材を有する基板用トレイが積層され、基板を保持している様子の断面の概略図である。図４（ａ）および図１１に示すように、基板保持部１４ａの平坦な上面３６の上に基板１１１が載せられた基板用トレイ１１が重ねられて、保管または搬送に供せられる。基板１１１を載せた基板用トレイは、図２のように、多段に重ねて使用される。
【００４７】
図４（ａ）は、基板支持部１３が水平に形成される図１（ａ）のＡ―Ａ’断面、Ｂ―Ｂ’断面、および図１（ｂ）のＣ―Ｃ’断面の様子を示している。図１１は、基板支持部１３が斜めに形成される図１（ｂ）のＤ―Ｄ’の様子断面を示している。前記基板制御部は、図４（ａ）および図１１に示すように、それぞれ基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねたときに、前記移動規制部の移動規制面３５に垂直な方向をＸ方向として、下側に位置する第１の基板保持部材１４の移動規制面３５よりＸ方向側に、その直上に位置する第２の基板保持部材１４の振動制御部３２が位置するよう、基板保持部材１４は設計、作製される。これにより、前記基板用トレイ１１を多段に重ねた時に、上下に位置する前記基板保持部材１４同士が接触することを防止し、異物発生等を抑制し、基板への異物付着を抑制することができる。また、記基板保持部材１４は、前記基板１１１を固定することなく水平方向および鉛直方向に前記基板１１１の可動域を確保するとともに、前記可動域を規制し、安定に前記基板１１１を保持することが可能となる。
【００４８】
図４（ａ）で示すように、基板支持部１３が水平に形成される場合は、基板保持部材１４の作製時に、移動規制面３５の延長面Ｅ−Ｅ’よりＸ方向側に振動制御部３２が位置するよう作製する。図１１で示すように基板支持部１３が斜めに形成される場合は、移動規制面３５の延長面Ｆ−Ｆ’と振動制御部３２との間隔は、前記基板支持部が形成される角度に応じて、設計、作製する。
【００４９】
移動規制面３５の延長面よりＸ方向側に固定されることにより、本形態の基板保持部材１４を有する基板用トレイ１１を積層して使用する際、下側に位置する基板保持部材１４の移動規制部３１と、その直上に位置する基板保持部材１４の振動制御部３２が接触することを防止することが可能となり、基板保持部材同士の接触による異物発生を防止することができる。異物は基板へ悪影響を与えるため、異物発生の防止は重要である。
【００５０】
図４（ｂ）は、本形態の基板保持部材の寸法の概略図である。図４（ｂ）に図示されるように、前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、第１の基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、その直上に位置する第２の基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をａ、前記基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、前記基板保持部材の移動制御部の上面と、の間隔をｂ、前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、前記基板保持部材の振動制御部の下面と、の間隔をｃ、保持される基板の厚さをｄ、
とした時に、
ｂ＜ａ、ｂ+ｃ＞ａ−ｄ、ａ−ｃ＞ｄ
なる関係を全て満たすように、前記基板保持部、前記移動規制部、前記基板規制部、前記振動制御部が形成することにより、上下に位置する前記基板保持部材１４同士の接触を防止し、接触時に発生する異物の発生が抑制され、保持される基板１１１への異物による汚染を防止することが可能となる。さらに、接触による前記基板保持部材１４の変形が抑制され、変形部への基板の挟み込み等による基板の損傷を防止することが可能となる。
【００５１】
ｂ＜ａの関係により、多段に重ねた状態で下側に位置する第１の基板用トレイ１１の基板保持部材１４の移動規制部３１と、その直上に位置する前記第２の基板用トレイの基板保持部材１４の基板規制部の平坦な下面３７と、が接触することがなく、異物の発生等を抑制することが可能となる。
【００５２】
ｂ+ｃ＞ａ−ｄの関係により、下多段に重ねた状態で下側に位置する第１の基板用トレイ１１の基板保持部材１４の移動規制部３１と、その直上に位置する前記第２の基板保持部材１４の振動制御部３２と、の間隔が、保持される基板１１１の厚さより小さくなることから、前記間隔に保持される基板が挟み込まれることを容易に防止でき、基板１１１の破損防止効果が向上する。前記間隔に保持される基板が挟み込まれることをより確実に防止するためには、ｂ+ｃ＞ａなる関係になるよう前記基板保持部材１４を設計、作製することがより好ましい。
【００５３】
ａ−ｃ＞ｄの位置関係により、振動が発生していない通常時、前記振動制御部３２と前記基板１１１は接触しないため、接触による基板１１１の汚染および傷つきの防止を低減することが可能となる。
前記ａ、ｂ、ｃ、ｄの数値は、多段に重ねた基板用トレイ１１の間隔、基板支持部の厚さ等により適宜設計される。
【００５４】
前記基板保持部材１４は、前記基板用トレイ１１の対向する２辺の前記基板支持部１３に固定された基板保持部材１４の移動規制面３５間の距離が、保持される基板１１１の幅より大きくなるよう、基板用トレイ１１に固定される。このように固定されることにより、水平方向においても、基板１１１を固定することなく、可動領域を有した状態で基板用トレイ１１上に保持することが可能となる。前記基板支持部材１３の辺が湾曲して形成されている場合には、前記基板用トレイ１１の対向する２辺の前記基板支持部１３に固定された基板保持部材１４の移動規制面３５間の距離は、湾曲に沿って計算する。
【００５５】
前記移動規制面３５は、前記基板用トレイ１１を鉛直方向に多段に重ねて保管または搬送する時の振動で、保持される基板１１１に水平方向の移動が発生した時に、前記保持される基板１１１の端面と接触し、保持される基板１１１の水平方向の移動を規制するものであり、前記移動規制面３５と、前記保持される基板１１１の端面との接触時に発生する応力を極力低減するため、点接触より線接触、線接触よりは面接触させることが好ましく、前記移動規制面３５は、前記基板保持部１４ａと垂直に形成することが好ましい。前記移動規制面３５が、保持される基板１１１の端面と平行になるよう基板支持部１３へ固定されることにより、保持される基板１１１の端面と面接触が可能となり、応力集中による基板１１１の損傷の可能性を低減することができる。なお、本明細書では、本明細書でいう「垂直」とは目視でほぼ垂直、「平行」とは目視でほぼ平行、および「鉛直」とは目視でほぼ鉛直という程度で使用している。
【００５６】
また、前記振動制御部３２は、前記基板用トレイ１１を鉛直方向に多段に重ねて保管または搬送する時の振動で、保持される基板１１１に鉛直方向の移動が発生した時のみ、前記保持される基板１１１と接触し、保持される基板１１１の鉛直方向の移動、振動を規制するものである。前記保持される基板１１１を自由に振動させずに、前記振動制御部３２により、保持される基板１１１の端部の上下方向の移動、振動を規制し、前記基板１１１全体の振動を制御することが可能となり、基板１１１の破損防止効果が向上する。また、振動が発生していない通常時、前記振動規制部３２と前記基板１１１は接触していないため、接触による基板１１１の汚染および傷つきを低減することが可能となる。
【００５７】
一般的に、表面に機能層を備えた板状物からなる基板は、基板の一方の面に加工が施される。本形態の基板用トレイは、加工が施され面を上側にして、加工された基板を保管または搬送、または、未加工の基板を保管または搬送するものである。加工された基板は、一般的に中央よりに機能部を有し、端部は非機能部となっている。
前述のような、中央よりに機能部を有するとともに端部に非機能部を有する基板を、保管または搬送する場合、機能部を傷および汚れ等から保護する必要がある。本形態においては、図４（ａ）、図１１に示すように、前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、下側に位置する第１の基板保持部材１４の前記移動規制面３５と、その直上に位置する第２の基板保持部材の振動制御部の平坦な下面３８のＸ方向の端部と、の距離４１が、保持される基板１１１の外周に位置する非機能部の幅８１より小さくなるように、前記基板保持部材１４を設計、作製し、前記基板支持部１３に固定することにより、中央よりに機能部を有するとともに端部に非機能部を有する基板の機能部を傷および汚れ等から保護することを可能にしている。
【００５８】
基板保持部材１４が前述のような構造をとることで、前記基板用トレイ１１を用いて基板１１１を保管または搬送する場合に、鉛直方向の振動で前記振動制御部３２と前記保持される基板１１１との接触が発生した時でも、前記表面加工された保持される基板１１１の機能部１１２と前記振動制御部３２の接触を避けることが可能となり、機能部１１２への傷および汚れ等の発生等防止が可能となる。
【００５９】
図１２〜図１５は、本形態の基板保持部材１４の基板トレイ１１への固定方法の１例の概略図である。図１２は、前記基板保持部材１４を、位置決め機能を兼ね備えた嵌合部１２３を形成した移動制御部３１を有する基板保持部１４ａを基板支持部１３の上側から、位置決め機能を兼ね備えた嵌合部１２３を形成した振動制御部３２を有する基板規制部１４ｂを下側から嵌合させて、前記基板支持部１３に形成した開口部へ固定する方法の概略図である。位置決め機能を兼ね備えた嵌合部１２３は、図１０（ｂ）のように、位置決め部１２４、嵌合部１２３が分かれて形成されていても良い。図１３は、嵌合部１２３を形成した移動制御部３１を有する基板保持部１４ａと、嵌合部１２３を形成した振動制御部３２を有する基板規制部１４ｂとを、可撓性を持つヒンジ部を介して一体成形した前記基板保持部材１４を、前記基板支持部１３に形成した開口部へ、前記ヒンジ部を折り曲げて上下より嵌合させて固定する方法の概略図である。図１４は、基板制御部３１を有する基板保持部１４ａと、振動制御部３２を有する基板規制部１４ｂとを備えた基板保持部材１４を一体成形し、前記基板支持部１３の開口部へはめ込み、固定する方法の概略図である。図１４に示されるように、はめ込みのための溝が前記基板保持部材１４の周囲に形成されている。図１５は、一体成形した前記基板保持部材１４を、前記基板支持部１３の切り欠き部へ挿入し、固定する方法の概略図である。図１５に示されるように、はめ込みのための溝が前記基板保持部材１４の周囲に形成されている。
【００６０】
また、図に示していないが、前記基板保持部１４ａと、基板規制部１４ｂと振動制御部４０を備えた部材とを、前記基板支持部１３へ、接着剤等を使用して貼り付けてもよい。また、位置精度を出すために、前記基板支持部１３へざぐりを形成し、接着剤等を使用して貼り付けてもよい。基板保持部材１４の基板支持部１３への固定方法は、位置精度、固定強度が満たされていればよく、前述した方法に限るものではない。
【００６１】
本形態の基板保持部材１４は、図８および図９に示すように、前記基板保持部材１４が固定される基板支持部１３が平面であれば平面に、湾曲面であれば湾曲面に、前記基板支持部１３の形状に沿って固定される。前記基板１１１の大型化に伴い、前記基板１１１の安定な保管または搬送をおこなうため、少なくとも一対の対向する２辺を、辺の両側から中央へ向けて鉛直下方へ湾曲させた状態で前記基板１１１を下側から保持する基板用トレイ１１が多く使用されている。基板保持部材１４が前記基板支持部１３の形状に沿って固定されることにより、湾曲させた状態で前記基板１１１を下側から保持する基板用トレイ１１での基板保持部材１４の使用が可能となる。また、前記固定をおこなう際、基板保持部材１４並びに前記基板支持部１３の作製誤差等による隙間が生じる場合があり、このような作製誤差等を吸収するために前記基板保持部材１４は可撓性を有していることが重要である。また、前記基板保持部材１４の可撓性は、固定後の枠体１２もしくは基板支持部１３の振動、経時変化等による変形が発生した場合に、前記基板保持部材１４に応力がかかり破損したり固定部が外れたりすることを防止するのに有効である。
【００６２】
また、本形態の基板保持部材１４には、前記移動規制面３５に垂直なＸ方向の溝１０１が形成されていても良い。前記溝１０１は、前記基板保持部材１４の、前記移動規制面３５と前記基板保持部の平坦な上面３６とに平行な方向（図３（ａ）のＢ方向）の可撓性を向上させる。前記溝１０１により基板保持部材１４の可撓性が向上することにより、前記基板１１１の保管または搬送時の振動に対する前記基板保持部材１４の耐久性および固定の安定性がより向上する。さらには、図９（ｂ）に示すように、少なくとも一対の対向する２辺を、辺の両側から中央へ向けて鉛直下方へ湾曲させた状態で前記基板１１１の下側から保持する基板用トレイ１１の湾曲した基板支持部１３へ固定する前記基板保持部材１４については、可撓性が向上していることにより、基板保持部材１４の基板支持部１３への固定時の容易さが向上する。
【００６３】
前記溝１０１の形状は、適宜設計可能であるが、振動等の応力、湾曲部への固定による応力等に対応するため、応力が集中する角部を持たない形状、特に前記溝１０１の底部は、角部を持たない形状に形成されていることが好ましい。さらに、前記溝１０１の底部は、円弧状に形成されていることがより好ましい。これは、角部を有すると、基板保持部材１４に振動等による応力が発生した時に、応力集中が発生し、破損の原因となる可能性があるからである。角部を持たない、より好ましくは円弧状に形成されていることにより、応力が発生しても破損しにくい基板保持部材１４を作製することができる。前記溝１０１のサイズに関しては、材料の強度、可撓性等を考慮して、適宜決定する。
【００６４】
前記溝１０１が形成されている一例を、図５（ａ）〜図５（ｄ）および図６（ａ）〜図６（ｂ）に示す。
前記溝１０１は、振動制御部に形成されていてもよく、振動制御部３２と基板規制部１４ｂにまたがって形成されていてもよい。
前記溝１０１は、移動制御部３１に形成されていてもよく、移動制御部３１と基板保持部１４ａとにまたがって形成されていても良い。
このように、各部材間にまたがって溝１０１が形成されることにより、前記基板保持部材１４の可撓性がさらに向上し、前記基板１１１の保管または搬送時の振動に対する前記基板保持部材１４の耐久性および固定の安定性をさらに向上させるものである。
【００６５】
また、図中に明示していないが、本形態の基板保持部材１４は、保持される基材１１１の傷、破損等を防止するため、外側に凸形状を持つ部分は全て円弧状に面取りされた形状を持っていることが好ましい。面取りのサイズは適宜設計されるが、Ｒ０．５〜Ｒ３程度が好ましい。
【００６６】
本形態の基板保持部材１４は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板１１１を、前記基板１１１の下側から水平方向に保持し、鉛直方向に多段に重ねて、複数の前記基板１１１を保管または搬送する基板用トレイ１１において、前記基板用トレイ１１の枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され前記基板１１１を下面から保持するものであり、前記基板保持部材１４は、前記基板１１１を固定することなく水平方向および鉛直方向に前記基板１１１の可動域を確保するとともに、前記可動域を規制することにより、安定に前記基板１１１を保持するものである。本方法により基板１１１を保持することにより基板１１１の移動に自由度ができる。この自由度により、基板１１１を固定して搬送および保管等をおこなう時と比較して、振動の発生時等に基板固定部に応力の集中が発生することを防止することができるため、基板１１１の破損の防止が可能となる。
【００６７】
前記基板用トレイ１１を鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、前記基板１１１の可動域を確保するとともに可動域を規制するためには、基板用トレイ１１の一対の対向する２辺に固定された対向する前記基板保持部材１４において、一方の基板保持部材１４の移動規制面３５と他方の基板保持部材１４の移動規制面３５との距離が保持される基板１１１の幅より大きくなるように、前記基板保持部材１４は前記基板支持部１３に固定される。前記距離は、保持される基板１１１のサイズにより適宜設計される。前記距離は、“前記基板１１１の幅＋下側に位置する第１の基板保持部材の前記移動規制面と、その直上に位置する第２の基板保持部材の振動制御部の平坦な下面のＸ方向の端部と、の距離以下”となるよう設計されることが好ましい。このように設計されることにより、基板１１１の移動が発生したときに前記基板１１１が振動制御部の平坦な下面３８から外れることなく、安定な基板の保持が可能となる。また、前記基板１１１を湾曲させて曲線状に保持する場合、前記距離は、直線距離ではなく、保持される基板１１１の湾曲に沿った曲線状の距離となる。上述のように、対向する前記基板保持部材１４の移動規制面３５間の距離は、保持される基板１１１のサイズに依存する。
【００６８】
一方、前記基板１１１のサイズに変更が生じた場合や、前記移動規制部３１または前記振動制御部３２に傷つき等による交換の必要が発生した場合に、前記移動規制部３１と前記基板保持部１４ａとが一体成形、または前記振動制御部３２と前記基板規制部１４ｂとが一体成形されていると、一体成形された前記移動規制部３１と前記基板保持部１４ａ、または一体成形された前記振動制御部３２と前記基板規制部１４ｂの新規作成もしくは交換が必要となる。このため、交換に要する時間および費用等のコストが増大する。図７に例を示すように、前記移動規制部３１および前記振動制御部３２を着脱可能な形で前記基板保持部材１４を作製することにより、前記移動規制部３１および前記振動制御部３２を交換することだけで、基板サイズ変更への用意に対応することが可能となり、交換に要する時間および費用等のコストの大幅な削減が可能となる。図５（ａ）は、移動規制部３１と基板保持部１４ａとを一体成形し、振動制御部３２を着脱可能に作成した本形態の基板保持部材の一例である。図５（ｂ）は、振動制御部３２と基板規制部１４ｂを一体成形し、移動規制部３１を着脱可能に作成した本形態の基板保持部材の一例である。図５（ｂ）は、移動規制部３１と振動制御部３２とを着脱可能に作成した本形態の基板保持部材の一例である。
【００６９】
移動規制部３１および振動制御部３２を着脱可能に固定する方法は、ねじ等の固定具を用いる方法、または嵌合による方法等、適宜設計可能である。基板１１１との接触時の応力等を考慮すると、ねじ等の固定具を用いる方法が好ましい。特に、ねじ等の固定具を用いた場合、基板サイズ変更に対して、移動規制部３１および振動制御部３２を交換で対応することなく、固定穴（例えばねじであればねじ穴）の位置を変更することにより対応することが可能となる。交換に対応する為、固定穴を作成当初より複数設けておく、交換が必要になった段階で新たな固定穴を形成する等の対応が可能である。固定穴の位置変更により対応することにより、前記移動規制部３１および前記振動制御部３２の新規作成が不要となる。このように、前記移動規制部３１および前記振動制御部３２が着脱可能に作製されていることにより、基板サイズの変更への対応が容易となる。
【００７０】
図１０は、前記基板保持部材１４が、基板保持部１４ａ、移動規制部３１、基板規制部１４ｂ、および振動制御部３２に分割して形成され、固定される概略図である。図１０（ａ）に示すように、移動規制部３１が固定された基板保持部１４ａ、が基板支持部１３の上面から固定され、前記振動制御部３２が固定された前記基板規制部１４ｂが基板支持部１３の下面から固定される。図１０（ａ）には記載していないが、前記基板保持部１４ａと前記基板規制部１４ｂは、図１０（ｂ）に示すように嵌合部１２３、位置決め部１２４を有し、前記嵌合部１２３と前記位置決め部１２４により、基板支持部１３へ固定される。前記嵌合部１２３が前記位置決め部１２４を兼ねていてもよい。前記位置決め部１２４と前記位置決め部１２４の形状は、前記基板支持部へ安定して固定できれば良く、適宜設計される。
【００７１】
また、本形態の基板保持部材１４は、前記枠体１２の少なくとも一対の対向する２辺に固定された前記基板支持部１３に取り付けられていればよいが、基板の安定保持のためには４辺に固定されていることが好ましい。さらに、１辺に対して、保持される基板１１１に対応した大きさの前記基板保持部材１４が少なくとも一つ取り付けられていればよい。また、前記基板保持部材１４は、前記枠体１２の１辺に対して、間隔をおいて複数個取り付けられていてもよい。前記基板保持部材１４が間隔をおいて複数個取り付けられていることにより、前記基板保持部材１４の大きさが小さくなり、前記基板保持部材１４の製造が容易になるとともに、前記基板保持部材１４に傷が発生する等で交換が必要になった場合に、必要に応じて問題が発生したもののみ交換することで対応が可能となる。
【００７２】
また、保持する基板１１１のサイズが小さいサイズに変更になった時に、前記基板保持部材１４が間隔をおいて複数個取り付けられている場合は、全ての前記基板保持部材１４を交換しても良いが、一部の交換のみでも対応が可能である。例えば、各辺に７個の基板保持部材１４が取り付けられている場合、各辺の両端の基板保持部材を基板サイズの変更に合わせた形状に設計し、新たな基板保持部材に交換することで安定した基板の保管または搬送が可能となる。各辺の両端だけでなく、各辺の両端と中央の基板保持部材を交換してもよい。前記基板保持部材１４の前記移動規制部３１および前記振動制御部３２が可能に作製されていれば、保持する基板１１１のサイズが小さいサイズに変更になった時、基板保持部材１４全体を交換することなく、前記移動規制部３１および前記振動制御部３２を交換する、もしくは着脱可能な前記移動規制部３１および前記振動制御部３２の固定位置を変更することで対応が可能となる。例えば、各辺の両端、または各辺の両端と中央の基板保持部材１４の前記移動規制部３１および前記振動制御部３２を交換することでも対応が可能である。このように、一部の基板保持部材１４を交換することで基板サイズの変更に対応する場合、基板保持部材１４を基板支持部１３へ最初に固定する時に、交換が予定される基板保持部材１４、例えば各辺の両端、または各辺の両端と中央の基板保持部材１４だけ、前記移動規制部３１および前記振動制御部３２を着脱可能に作製した基板保持部材１４を固定し、その他の基板保持部材１４に前記移動規制部３１および前記振動制御部３２が一体成形されて着脱できない基板保持部材１４を固定してもよい。このように、交換が必要な基板保持部材１４の数を減らすことにより、交換作業の大幅な効率化が可能となる。
【００７３】
前記基板保持部材１４のサイズ、取付け間隔は、基板サイズにより適宜設計される。作製の容易さ、交換の容易さ等を考慮すると、前記基板保持部材１４のサイズは、前記移動規制面３５と前記基板保持部の平坦な上面３６と平行な方向（図３（ａ）矢印Ｂ方向）の幅は１５ｃｍ−３０ｃｍ程度、移動規制面３５と垂直の幅は３ｃｍ−１５ｃｍ程度が好ましい。取付け間隔は、保持される基板１１１のサイズおよび前記基板保持部材１４のサイズより、適宜設計されるが、基板保持部材１４との接触面積を増加させ、安定した保管または搬送をおこなうためには、隣り合った基板保持部材１４が接触することを避けられる範囲で設計する。例えば、液晶用のＧ６サイズの基板（１，５００ｍｍ×１，８００ｍｍ）用の基板用トレイ１１の場合、長辺側は８個程度、短辺側は７個程度で設計するのが好ましい。
【００７４】
さらに、前記基板用トレイ１１の、４辺のうち一対の対向する２辺を、辺の両側から中央へ向けて鉛直下方へ湾曲させた状態で前記基板１１１の下側から保持する基板用トレイ１１を使用する場合、溝１０１が形成されていない基板保持部材１４を一対の対向する直線状の２辺の枠体１２に固定し、溝１０１が形成された基板保持部材１４を、一対の対向する湾曲させた２辺の枠体１２に固定してもよい。
【００７５】
基板サイズの変更への対応に関して、本形態の、前記移動規制部３１および前記振動制御部３２が着脱可能に作製されている基板保持部材を用いることにより、前記基板保持部材１４を新規に作製することなく、前記移動規制部３１および前記振動制御部３２を交換することで、基板サイズの変更に対応することが可能であり、新規に基板保持部材１４を作製しなくて良いので、費用の大幅な削減が可能となる。
【００７６】
本形態の基板保持部材１４を固定した基板用トレイ１１を使用することにより、トレイのコンパクト化が可能となる。また、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、または前記カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板の保管または搬送をおこなうことにより、これらの基板の汚れおよび傷付き等を防止した保管または搬送が可能となる。
【００７７】
本発明の実施例を以下に説明する。
【実施例】
【００７８】
・第１の実施例
液晶用Ｇ６サイズ基板（１８５０ｍｍ×１５００ｍｍ×０．７ｍｍｔ；機能層は基板中央に形成され、機能層の領域のサイズは１８２０ｍｍ×１４７０ｍｍ）用の基板用トレイ１１を作製し、搬送・保管テストをおこなった。前記基板保持部材１４は、長辺側は８個、短辺側は７個配置した。
【００７９】
枠体１２は、長辺側の２辺を直線状に、短辺側を曲率半径３０００ｍｍになるように鉛直下側へ撓ませて作製した。枠体１２の鉛直方向の幅は１０ｍｍになるよう作製した。また、枠体１２には、前記基板用トレイ１１を上下に多数積層したときに、積層されたそれぞれの前記基板用トレイ１１が、上面から見て同じ位置になるように嵌合部１２３を設けるとともに、機械搬送用の取手を設けた。基板支持部１３の厚さは２ｍｍで、前記枠体１２に沿って形成した。前記枠体１２に支持された基板支持部１３に、基板保持部材１４固定用の開口部を長辺側８箇所、短辺側７箇所を切削加工により形成した。
【００８０】
図１０に示すように、基板保持部材１４は、基板保持部１４ａ、溝１０１を形成した移動規制部３１、基板規制部１４ｂ、溝を形成した振動制御部３２に分割して作製したものを使用して、基板用トレイ１１に固定した。
【００８１】
前記基板保持部１４ａおよび前記基板規制部１４ｂは、材料にポリプロピレンを用いて、それぞれ射出成形法により別途成形した。また、前記基板保持部１４ａおよび前記基板規制部１４ｂは、図１０（ｂ）に示すとおり、前記基板支持部１３への取り付け時に対向する面に、嵌合部１２３および前記基板支持部１３の開口形状に合わせた位置決め部１２４を形成されている。
前記移動規制部３１と前記振動制御部３２は、材料にＵＰＥ（超高分子量ポリエチレン）を用い、切削加工により作製した。前記移動規制部３１と前記振動制御部３２には、それぞれＵ字型の溝１０１とねじ穴を形成した。図１０に示すように、前記基板保持部１４ａと前記移動規制部３１とをねじにより固定し、前記基板規制部１４ｂと前記振動制御部３２とをねじにより固定し、さらに前記嵌合部１２３および前記位置決め部１２４に使用して、前記移動規制部３１を固定した前記基板保持部１４ａと、前記振動制御部３２を固定した前記基板規制部１４ｂとを前記基板支持部１３の開口部へ固定した。
【００８２】
前記基板保持部材１４は、前記基板保持部の平坦な上面は、移動規制面３５と垂直な方向を５０ｍｍ、もう一方が１８０ｍｍとなる長方形になるように形成した。前記長方形は、角部をＲ８となるように形成した。前記基板保持部材１４が固定される前記基板用トレイ１１を多段に積層したとき、下側に位置する第１の基板保持部材１４の基板保持部１４ａの平坦な上面３６と、その直上に位置する第２の基板保持部材１４の基板規制部１４ｂの平坦な下面３７と、の間隔（図４（ｂ）のａ）が４．８ｍｍになるように前記基板保持部１４ａおよび前記基板規制部１４ｂの厚さを設計し、前記基板保持部材１４を形成した。前記基板保持部の平坦な上面３６と前記基板保持部材の移動制御部の上面との間隔（図４（ｂ）のｂ）を４．２ｍｍ、前記基板規制部の平坦な下面３７と前記振動制御部３２の平坦な下面との間隔（図４（ｂ）のｃ）を２．６ｍｍ、また、下側に位置する第１の基板保持部材の前記移動規制面とその直上に位置する第２の基板保持部材の振動制御部の平坦な下面のＸ方向の端部との距離が９ｍｍになるよう、基板保持部材１４を形成した。溝１０１は、前記移動規制部３１と前記振動制御部３２に形成した。前記移動規制部３１には、幅２ｍｍ、深さ３ｍｍ、円弧の半径は１ｍｍの溝を形成した。また、前記振動制御部３２に溝は、幅２ｍｍ、深さ１ｍｍ、円弧の半径は１ｍｍの溝を形成した。振動制御部の厚さ変化部３９は半径２．６ｍｍの外側に凸の曲面になるよう前記振動制御部４０を作製した。
【００８３】
基板用トレイ１１の一対の対向する２辺に固定された対向する前記基板保持部材１４は、Ｇ６サイズの基板（１８５０ｍｍ×１５００ｍｍ）に対応するため、一方の基板保持部材１４の移動規制面３５と他方の移動規制面３５との距離がそれぞれ１８５５ｍｍ、１５０５ｍｍとなるよう前記基板保持部材１４を前記基板用トレイ１１に固定した。
前記底部が円弧状に形成されている溝１０１により、湾曲部への取り付けも安定しておこなうことが出来た。
【００８４】
上述の前記基板保持部材１４を固定した基板用トレイ１１を用いて、前記液晶用Ｇ６サイズ基板の保管および搬送テストをおこなった結果、保管および搬送テスト中の振動に対して、および枠体１２、基板支持部１３の応力等による変形に対して、前記基板保持部材１４の脱落、破損、および基板の汚染、破損等のトラブルが発生することなく、安定に保管および搬送が可能なことを確認できた。
【００８５】
・第２の実施例
液晶用Ｇ６サイズ基板（１８５０ｍｍ×１５００ｍｍ×０．７ｍｍｔ；機能層は基板中央に形成され、機能層の領域のサイズは１８２０ｍｍ×１４７０ｍｍ）を、新規液晶用基板（１８００ｍｍ×１５００ｍｍ×０．７ｍｍｔ；機能層は基板中央に形成され、機能層の領域のサイズは１７７０ｍｍ×１４７０ｍｍ）に変更するため、前記基板用トレイ１１の短辺側に配置された前記基板保持部材１４を下記のように交換し、搬送・保管テストをおこなった。
【００８６】
第１の実施例の基板用トレイを、前記新規液晶用基板（１８００ｍｍ×１５００ｍｍ×０．７ｍｍｔ）に対応するため、前記基板用トレイ１１の一対の対向する短辺にそれぞれ配置された７個の基板保持部材１４に関して、
（１）各辺全ての基板保持部材１４の移動規制部３１と振動制御部３２を交換し、基板サイズ変更に対応
（２）各辺全ての基板保持部材１４の移動規制部３１と振動制御部３２のねじ穴の位置を変更し取り付け位置の変更を行い、基板サイズ変更に対応
（３）各辺に固定された基板保持部材１４うち、両端の２個と中間に位置する１個の基板保持部材１４の移動規制部３１と振動制御部３２を交換し、基板サイズ変更に対応
（４）各辺に固定された基板保持部材１４うち、両端の２個と中間に位置する１個の基板保持部材１４の移動規制部３１と振動制御部３２のねじ穴の位置を変更し取り付け位置の変更を行い、基板サイズ変更に対応
（５）７個の基板保持部材１４うち、両端の２個の基板保持部材１４の移動規制部３１と振動制御部３２を交換し、基板サイズ変更に対応
（６）７個の基板保持部材１４うち、両端の２個の基板保持部材１４の移動規制部３１と振動制御部３２のねじ穴の位置を変更し取り付け位置の変更を行い、基板サイズ変更に対応して基板用トレイ１１を準備して、搬送・保管テストをおこなった。それぞれ、前記新規液晶用基板に対応するため、相対する２辺の移動規制面３５間の距離を、長辺側が１８０５ｍｍ、短辺側が１５０５ｍｍとなるような変更をおこなった。
【００８７】
上述の（１）から（８）の基板用トレイ１１を用いて、新規液晶用基板（１８００ｍｍ×１５００ｍｍ×０．７ｍｍｔ）の保管および搬送テストをおこなった結果、保管および搬送テスト中の振動に対して、および枠体１２、基板支持部１３の応力等による変形に対して、前記基板保持部材１４の脱落および破損、基板の汚染および破損等のトラブルが発生することなく、安定に保管および搬送が可能なことを確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００８８】
本発明は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、その上側に載せて水平に支持するトレイであり、平面型ディスプレイパネル用の板状の各種材料(例えば、ガラスやプラスチックなど)ないし部材、あるいは、金属、レアメタル、シリコンなどの板状物からなる基板や、それらに処理を施した板状の処理部材の、搬送、保管に利用可能である。
【符号の説明】
【００８９】
１１  基板用トレイ
１２  枠体
１３  基板支持部
１４  基板保持部材
１４ａ  基板保持部
１４ｂ  基板規制部
３１  移動規制部
３２  振動制御部
３５  移動規制面
３６  基板保持部の平坦な上面
３７  基板規制部の平坦な下面
３８  振動制御部の平坦な下面
３９  振動制御部の厚さ変化部
８１  非機能部の幅
１０１  溝
１０３  搬送用架台
１１１  基板
１１２  機能部
１２３  嵌合部
１２４  位置決め部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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