(57)【要約】【課題】  ワークテーブルの姿勢に対する駆動機構の寸法誤差や摩耗等の影響を遮断できる研削装置を提供する。【解決手段】  自転しながら公転するワークＷに砥石を押しつけてワークを加工する研削装置１００は、回転可能かつ上下動可能に構成された砥石１１３と、テーブル受け１２２と、テーブル受けの上にスライド可能に配置され、ワークを直接又は間接に保持可能なワークテーブル１２１と、ワークテーブルの底に連結された内筒１２３と、偏心した位置に開口が形成され、前記開口に前記内筒が回転可能に収容された外筒１２４と、砥石、内筒及び外筒を回転させる駆動装置とを有し、ワークテーブルはテーブル受けのみで支持されており、駆動装置が内筒と外筒を回転させると、ワークテーブルがテーブル受けの上で、内筒によって自転するとともに外筒によって公転するように構成されていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
自転しながら公転するワークに砥石を押しつけてワークを加工する研削装置であって、回転可能かつ上下動可能に構成された砥石と、テーブル受けと、前記テーブル受けの上にスライド可能に配置され、ワークを直接又は間接に保持可能なワークテーブルと、前記ワークテーブルの底に連結された内筒と、偏心した位置に開口が形成され、前記開口に前記内筒が回転可能に収容された外筒と、前記砥石、前記内筒及び前記外筒を回転させる駆動装置とを有し、前記ワークテーブルは前記テーブル受けのみで支持されており、前記駆動装置が前記内筒と前記外筒を回転させると、前記ワークテーブルが前記テーブル受けの上で、前記内筒によって自転するとともに前記外筒によって公転するように構成されていることを特徴とする研削装置。
【請求項２】
前記ワークテーブルは前記テーブル受けに押し付けられていることを特徴とする請求項１に記載の研削装置。
【請求項３】
前記ワークテーブルと前記テーブル受けとの両方の当接部分は水平面であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の研削装置。
【請求項４】
前記ワークテーブルと前記テーブル受けとの両方の当接部分はきさげ加工が施されていることを特徴とする請求項３に記載の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークテーブルが自転しながら公転する研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワークテーブルが自転しながら公転する研削装置は知られており、例えば、特許文献１に記載されている。特許文献１に記載の研削装置（表面加工装置）は、ワークを載置可能なワークテーブル（ウェーハテーブル）と、このワークテーブルの底に固定された内筒（スピンドル）と、この内筒が偏心した位置に回転可能に収容された外筒（回転テーブル）と、内筒及び外筒を回転させる駆動装置とを有し、ワークテーブルは内筒によって支持されており、駆動装置が内筒と外筒を回転させると、ワークテーブルが内筒によって自転しながら外筒によって公転するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３６６４１８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この特許文献１に記載の研削装置は、ワークテーブルが内筒によって支持されていることにより、内筒の姿勢がワークテーブルの姿勢に直接影響を与えるようになっているので、内筒を含む駆動機構の寸法誤差や摩耗等によって、ワークテーブルの姿勢を高精度に保持できないという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、ワークテーブルが自転しながら公転する研削装置において、ワークテーブルの姿勢に対する駆動機構の寸法誤差や摩耗等の影響を遮断できる研削装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明の研削装置は、自転しながら公転するワークに砥石を押しつけてワークを加工する研削装置であって、回転可能かつ上下動可能に構成された砥石と、テーブル受けと、前記テーブル受けの上にスライド可能に配置され、ワークを直接又は間接に保持可能なワークテーブルと、前記ワークテーブルの底に連結された内筒と、偏心した位置に開口が形成され、前記開口に前記内筒が回転可能に収容された外筒と、前記砥石、前記内筒及び前記外筒を回転させる駆動装置とを有し、前記ワークテーブルは前記テーブル受けのみで支持されており、前記駆動装置が前記内筒と前記外筒を回転させると、前記ワークテーブルが前記テーブル受けの上で、前記内筒によって自転するとともに前記外筒によって公転するように構成されていることを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、自転しながら公転するワークに砥石を押しつけてワークを加工する研削装置であって、回転可能かつ上下動可能に構成された砥石と、テーブル受けと、前記テーブル受けの上にスライド可能に配置され、ワークを直接又は間接に保持可能なワークテーブルと、前記ワークテーブルの底に連結された内筒と、偏心した位置に開口が形成され、前記開口に前記内筒が回転可能に収容された外筒と、前記砥石、前記内筒及び前記外筒を回転させる駆動装置とを有し、前記ワークテーブルは前記テーブル受けのみで支持されており、前記駆動装置が前記内筒と前記外筒を回転させると、前記ワークテーブルが前記テーブル受けの上で、前記内筒によって自転するとともに前記外筒によって公転するように構成されていることにより、前記ワークテーブルは前記テーブル受けのみで支持されており、前記内筒によって支持されていないので、前記ワークテーブルの姿勢に対する前記内筒を含む駆動機構の寸法誤差や摩耗等の影響を遮断できる。
【０００８】
ここで、前記ワークテーブルはワーク（加工物）を保持可能に構成されていてもよいし、前記ワークテーブルの上にマグネットチャック等のチャックが取り付けられており、前記ワークテーブルは前記チャック等を介してワークを保持可能に構成されていてもよい。また、前記テーブル受けは前記研削装置のフレーム等に固定されており、動かないように構成されていることが望ましい。前記駆動装置は１つであってもよいし、２つ以上であってもよい。すなわち、前記内筒と前記外筒は１つの前記駆動装置によって回転させられるように構成されていてもよいし、前記内筒と前記外筒は２つの前記駆動装置によってそれぞれ回転させられるように構成されていてもよい。
【０００９】
本発明において、前記ワークテーブルは前記テーブル受けに押し付けられていることが好ましい。この発明によれば、前記ワークテーブルは前記テーブル受けに押し付けられているので、自転と公転によって前記ワークテーブルが前記テーブル受けから浮き上がることを防止でき、駆動時における前記ワークテーブルの姿勢変化を防止できる。
【００１０】
ここで、前記ワークテーブルは自重によって前記テーブル受けに押し付けられていてもよいし、前記ワークテーブルとその上に積み重ねたマグネットチャック等の別部材との両方の重量によって前記テーブル受けに押し付けられていてもよいし、ばね等の弾性部材によって前記テーブル受けに押し付けられていてもよい。
【００１１】
本発明において、前記ワークテーブルと前記テーブル受けとの両方の当接部分は水平面であることが好ましい。この発明によれば、前記ワークテーブルと前記テーブル受けとの両方の当接部分は水平面であることにより、前記ワークテーブルを前記テーブル受けの上に積み重ねるだけで、前記ワークテーブルの姿勢を水平に設定できる。
【００１２】
本発明において、前記ワークテーブルと前記テーブル受けとの両方の当接部分はきさげ加工が施されていることが好ましい。この発明によれば、前記ワークテーブルと前記テーブル受けとの両方の当接部分はきさげ加工が施されていることにより、前記両方の当接部分に油溜り用の多数の微小な窪みが形成されるので、前記両方の当接部分を摩耗し難くすることができ、前記ワークテーブルの姿勢を長期に亘って高精度に保持できる。
【発明の効果】
【００１３】
以上、説明したように本発明によれば、前記ワークテーブルが前記テーブル受けによってのみ支持されており、前記内筒によって支持されていないので、前記ワークテーブルに対する駆動機構の寸法誤差や摩耗等の影響を遮断できるという優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る実施形態の研削装置の一部を示す概略断面図である。
【図２】図１の一点鎖線ＩＩで囲まれた部分を示す概略拡大図である。
【図３】ワークテーブルと内筒とテーブル受けと外筒とを上側から見た状態を示す概略分解斜視図である。
【図４】ワークテーブルと内筒とテーブル受けと外筒とを下側から見た状態を示す概略分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る実施形態の研削装置について詳細に説明する。図１は本発明に係る実施形態の研削装置の一部を示す概略断面図である。図２は図１の一点鎖線ＩＩで囲まれた部分を示す概略拡大図である。図１に示すように、研削装置１００は上下にそれぞれ配置された砥石駆動部１１０とワーク駆動部１２０とを有している。
【００１６】
この砥石駆動部１１０は、図示しない駆動装置によって回転可能かつ上下動可能に構成された回転軸１１１と、回転軸１１１の下端部に固定された砥石テーブル１１２と、砥石テーブル１１２に着脱自在に取り付けられた砥石１１３とを含んでいる。駆動装置よって回転軸１１１を回転させると砥石１１３が回転し、回転軸１１１を上下動させると砥石１１３が上下動するようになっている。これにより、砥石１１３をワーク駆動部１２０側のワークＷに押し付けて、ワークＷを研削できる。
【００１７】
図３はワークテーブルと内筒とテーブル受けと外筒とを上側から見た状態を示す概略分解斜視図である。図４はワークテーブルと内筒とテーブル受けと外筒とを下側から見た状態を示す概略分解斜視図である。図３と図４に示すように、ワーク駆動部１２０は、金属からなる円板状のワークテーブル１２１と、金属からなる円環状のテーブル受け１２２と、円筒状の内筒１２３と、円筒状の外筒１２４とを有している。
【００１８】
このワークテーブル１２１とテーブル受け１２２は摺動面１２１Ａ、１２２Ａを１つずつ備えている。これら２つの摺動面１２１Ａ、１２２Ａは円環状の水平な平面である。このため、これら２つの摺動面１２１Ａ、１２２Ａが互いに当接するようにワークテーブル１２１をテーブル受け１２２の上に積み重ねると、ワークテーブル１２１は水平な姿勢に設定されるようになっている。なお、ワークテーブル１２１の摺動面１２１Ａはワークテーブル１２１の当接部分に相当し、テーブル受け１２２の摺動面１２２Ａはテーブル受け１２２の当接部分に相当する。
【００１９】
ワークテーブル１２１の摺動面１２１Ａはワークテーブル１２１の底部に設けられており、テーブル受け１２２の摺動面１２２Ａはテーブル受け１２２の上部に設けられている。これら摺動面１２１Ａ、１２２Ａは互いに対向する位置に配置されており、ワークテーブル１２１をテーブル受け１２２の上に積み重ねると、これら摺動面１２１Ａ、１２２Ａが互いに当接するようになっている。
【００２０】
テーブル受け１２２の摺動面１２２Ａはワークテーブル１２１の摺動面１２１Ａに比べて幅広に形成されている。この摺動面１２２Ａの幅長は、ワークテーブル１２１をテーブル受け１２２の上に積み重ねた状態で、ワークテーブル１２１がスライドしても、ワークテーブル１２１の摺動面１２１Ａがテーブル受け１２２の摺動面１２２Ａの範囲を超えないように設定されている。このため、ワークテーブル１２１をテーブル受け１２２の上に積み重ねると、ワークテーブル１２１の摺動面１２１Ａの全面がテーブル受け１２２の摺動面１２２Ａに当接するようになっているとともに、この状態で、ワークテーブル１２１がテーブル受け１２２の上でスライドしても、ワークテーブル１２１の摺動面１２１Ａの全面がテーブル受け１２２の摺動面１２２Ａに当接し続けるようになっている。したがって、ワークテーブル１２１はテーブル受け１２２の上でスライドしても姿勢を保持することができる。
【００２１】
ワークテーブル１２１とテーブル受け１２２との摺動面１２１Ａ、１２２Ａは、先端が幅広のノミ状工具（キサゲ）によって多数の微小な窪みを形成する、いわゆる、きさげ加工が施されており、潤滑油を収容可能な図示しない多数の微小な窪みがそれぞれ形成されている。このため、これら２つの摺動面１２１Ａ、１２２Ａを潤滑油を介して当接させると、これら摺動面１２１Ａ、１２２Ａの多数の微小な窪みに潤滑油が収容され、これら多数の微小な窪みから摺動面１２１Ａ、１２２Ａの上に潤滑油が適宜供給されるようになっており、これら２つの摺動面１２１Ａ、１２２Ａは摩耗し難くなっている。
【００２２】
これら２つの摺動面１２１Ａ、１２２Ａの内側と外側には、環状溝１２１ｂ、１２１ｃ、１２２ｂ、１２２ｃがそれぞれ設けられている。これら環状溝１２１ｂ、１２１ｃ、１２２ｂ、１２２ｃは潤滑油を収容可能に構成されており、２つの摺動面１２１Ａ、１２２Ａが接触した状態で擦り合わされると（スライドすると）、これら環状溝から摺動面１２１Ａ、１２２Ａに潤滑油を供給したり、摺動面１２１Ａ、１２２Ａから環状溝に余分な潤滑油を排出したりするようになっている。したがって、摺動面１２１Ａ、１２２Ａの上の潤滑油量が調節される。
【００２３】
図１に示すように、テーブル受け１２２は研削装置１００の図示しないフレーム等に固定されており、動かないように構成されている。ワークテーブル１２１は潤滑油を介してテーブル受け１２２の上に積み重ねられている。このため、ワークテーブル１２１はテーブル受け１２２によって支持されており、テーブル受け１２２の上でスライド可能に構成されている。
【００２４】
このとき、ワークテーブル１２１の摺動面１２１Ａとテーブル受け１２２の摺動面１２２Ａとは潤滑油を介して当接しており、これら摺動面１２１Ａ、１２２Ａの両方は水平な平面である。このため、ワークテーブル１２１はテーブル受け１２２によって水平姿勢に保持されており、この水平姿勢で、テーブル受け１２２の摺動面１２２Ａに沿って水平方向にスライド可能になっている。
【００２５】
ワークテーブル１２１の上には円柱状のマグネットチャック１２５がボルト等によって固定されており、ワークテーブル１２１とマグネットチャック１２５は一緒にスライドするように構成されている。このマグネットチャック１２５の上面は磁性体を吸着可能に構成されており、磁性もつワーク（加工物）を吸着保持したり、磁性もたないワークを磁性体で挟んで保持したりすることができるようになっている。
【００２６】
このとき、ワークテーブル１２１とマグネットチャック１２５との積層体が、テーブル受け１２２の上に配置されており、この積層体の重量によって、ワークテーブル１２１はテーブル受け１２２に押し付けられている。これにより、ワークテーブル１２１のスライド時にワークテーブル１２１がテーブル受け１２２から浮き上がることが防止される。例えば、ワークテーブル１２１とマグネットチャック１２５とを両方合わせた重量は２００ｋｇから３００ｋｇである。
【００２７】
図４に示すように、ワークテーブル１２１の底部中央には段付き孔１２１ａが形成されている。内筒１２３の一端（上端）には円環状に張り出したフランジ１２３ａが設けられている。ワークテーブル１２１の段付き孔１２１ａは内筒１２３のフランジ１２３ａを収容可能に構成されている。図１と図２に示すように、内筒１２３のフランジ１２３ａはワークテーブル１２１の段付き孔１２１ａの中に挿入されて、４本のボルトＢ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４によって固定されている。このため、ワークテーブル１２１と内筒１２３は連結しており、内筒１２３はワークテーブル１２１の底部中央から下方向に伸びている。なお、図示例では内筒１２３は中空に形成されており、その内部に配線等を挿通させることができるようになっている。
【００２８】
図３と図４に示すように、テーブル受け１２２と外筒１２４とはそれぞれ開口１２２ａ、１２４ａが形成されている。これら開口１２２ａ、１２４ａは平面から見て円形又は略円形であり、テーブル受け１２２と外筒１２４とをそれぞれ軸線方向（上下方向）に貫通している。テーブル受け１２２の開口１２２ａは外筒１２４を挿入可能に構成されており、外筒１２４の開口１２４ａは内筒１２３を挿入可能に構成されている。なお、テーブル受け１２２の開口１２２ａはテーブル受け１２２の中央に配置されている。
【００２９】
図１と図２に示すように、外筒１２４は複数の軸受Ｂｒ１、Ｂｒ２を介してテーブル受け１２２の開口１２２ａの中に収容されており、テーブル受け１２２に対して軸線Ｃ１の回りに回転可能に構成されている。外筒１２４の下側部分はテーブル受け１２２の底から下方向に突出しており、この外筒１２４の下側部分に第１プーリ１２６がナットＮ１によって取り付けられている。この第１プーリ１２６には第１ベルト１２８が掛け渡されており、この第１ベルト１２８は図示しない駆動装置に連結している。つまり、外筒１２４と駆動装置との間に第１プーリ１２６と第１ベルト１２８が介在されている。このため、駆動装置が駆動すると、第１ベルト１２８と第１プーリ１２６を介して外筒１２４がテーブル受け１２２の中で軸線Ｃ１の回りに回転するようになっている。例えば、この軸線Ｃ１は外筒１２４の中心線である。
【００３０】
同様に、内筒１２３は複数の軸受Ｂｒ３、Ｂｒ４を介して外筒１２４の開口１２４ａの中に収容されており、外筒１２４に対して軸線Ｃ２の回りに回転可能に構成されている。内筒１２３の下側部分は外筒１２４の底から下方向に突出しており、この内筒１２３の下側部分に第２プーリ１２７がナットＮ２によって取り付けられている。この第２プーリ１２７には第２ベルト１２９が掛け渡されており、この第２ベルト１２９は図示しない駆動装置に連結している。つまり、内筒１２３と駆動装置との間に第２プーリ１２７と第２ベルト１２９が介在されている。このため、駆動装置が駆動すると、第２ベルト１２９と第２プーリ１２７を介して内筒１２３が外筒１２４の中で軸線Ｃ２の回りに回転するようになっている。例えば、この軸線Ｃ２は内筒１２３の中心線である。
【００３１】
図２に示すように、ワークテーブル１２１がテーブル受け１２２の上に配置された状態で、ワークテーブル１２１及び内筒１２３と外筒１２４との間に隙間が介在されており、ワークテーブル１２１と内筒１２３のいずれも外筒１２４に上下方向に接触していない。このため、ワークテーブル１２１の荷重は内筒１２３によって支持されておらず、テーブル受け１２２によってのみ支持されている。したがって、ワークテーブル１２１の姿勢はテーブル受け１２２によって設定されるようになっており、ワークテーブル１２１の姿勢に対する内筒１２３の姿勢変化の影響は遮断されている。例えば、上下方向におけるワークテーブル１２１及び内筒１２３と外筒１２４との間の距離ｄは１ｍｍである。
【００３２】
具体的には、ワークテーブル１２１には内筒１２３が固定されており、この内筒１２３には軸受Ｂｒ３、Ｂｒ４とカラーＣを介して外筒１２４が連結されており、この外筒１２４は軸受Ｂｒ１、Ｂｒ２とカラーを介してテーブル受け１２２に連結されている。このため、ワークテーブル１２１がテーブル受け１２２の上に配置された状態で、内筒１２３と外筒１２４はワークテーブル１２１から吊り下げられた状態になっている。
【００３３】
図２と図３に示すように、外筒１２４の開口１２４ａは偏心した位置に設けられており、この開口１２４ａに内筒１２３が収容されている。外筒１２４の軸線Ｃ１と内筒１２３の軸線Ｃ２の両方は上下方向に平行に伸びており、内筒１２３の軸線Ｃ２は外筒１２４の軸線Ｃ１から偏心した位置に配置されている。このため、外筒１２４の軸線Ｃ１と内筒１２３の軸線Ｃ２との位置は水平方向に一致しておらず、外筒１２４の軸線Ｃ１と内筒１２３の軸線Ｃ２とは水平方向に所定間隔を開けて配置されている。したがって、外筒１２４と内筒１２３が軸線Ｃ１と軸線Ｃ２の回りをそれぞれ回転すると、内筒１２３は軸線Ｃ２の回りに自転しながら軸線Ｃ１の回りを公転するようになっている。
【００３４】
図１に示すように、内筒１２３の上部にはワークテーブル１２１が連結されており、このワークテーブル１２１の上にはマグネットチャック１２５が固定されている。このワークテーブル１２１はテーブル受け１２２の上にスライド可能に配置されている。このため、内筒１２３が自転しながら公転すると、ワークテーブル１２１がテーブル受け１２２上をスライドして、マグネットチャック１２５とワークテーブル１２１の積層体が自転しながら公転するようになっている。このため、マグネットチャック１２５の上にワークを取り付けると、ワークが自転しながら公転するようになっている。
【００３５】
このとき、ワークテーブル１２１の摺動面１２１Ａとテーブル受け１２２の摺動面１２２Ａとが当接しており、ワークテーブル１２１の摺動面１２１Ａがテーブル受け１２２の摺動面１２２Ａに沿ってテーブル受け１２２の摺動面１２２Ａの上をスライドするように構成されており、これら２つの摺動面１２１Ａ、１２２Ａの両方は水平な平面である。このため、マグネットチャック１２５とワークテーブル１２１の積層体は水平方向にスライド可能に構成されている。つまり、この積層体の自転の基準面と公転の基準面は同一の水平面であり、この積層体はこの水平面上で自転しながら公転するようになっている。
【００３６】
図１と図２に示すように、ここで、複数の軸受Ｂｒ１、Ｂｒ２はテーブル受け１２２の開口１２２ａの中に収容されており、テーブル受け１２２の上側と底側とにそれぞれ配置されており、上下方向に所定間隔を開けて外筒１２４を回転可能に支持している。同様に、複数の軸受Ｂｒ３、Ｂｒ４は外筒１２４の開口１２４ａの中に収容されており、外筒１２４の上側と底側とにそれぞれ配置されており、上下方向に所定間隔を開けて内筒１２３を回転可能に支持している。これにより、マグネットチャック１２５とワークテーブル１２１の積層体を軸揺れなく自転と公転とをさせることができる。なお、図示例では、外筒１２４の開口１２４ａの中に円筒状のカラーＣが配置されている。このカラーＣは複数の軸受Ｂｒ３、Ｂｒ４の間に介在されており、複数の軸受Ｂｒ１、Ｂｒ２を上下に分離している。
【００３７】
上述のように構成された研削装置１００は、ワークテーブル１２１に固定されたマグネットチャック１２５にワークＷを保持させて、駆動装置によって内筒１２３と外筒１２４を回転させると、ワークテーブル１２１がテーブル受け１２２によって支持された状態で、内筒１２３によって自転するとともに外筒によって公転し、ワークが自転しながら公転する。
【００３８】
本実施形態においては、ワークテーブル１２１はテーブル受け１２２の上に積み重ねられており、テーブル受け１２２のみがワークテーブル１２１の荷重を支持しており、ワークテーブル１２１の底部に連結された内筒１２３はワークテーブル１２１を支持していないので、ワークテーブル１２１の姿勢に対する駆動機構の寸法誤差や摩耗等による内筒１２３の姿勢変化の影響を遮断できる。
【００３９】
この実施形態においては、ワークテーブル１２１の底部とテーブル受け１２２の上部とに摺動面１２１Ａ、１２２Ａが設けられており、これら摺動面１２１Ａ、１２２Ａは水平な平面であり、互いに対向する位置に配置されており、ワークテーブル１２１をテーブル受け１２２の上に積み重ねると、互いの摺動面１２１Ａ、１２２Ａが当接するように構成されているので、ワークテーブル１２１をテーブル受け１２２の上に積み重ねるだけで、ワークテーブル１２１を水平な姿勢に設定できる。
【００４０】
また、ワークテーブル１２１は、テーブル受け１２２の上に潤滑油を介して積み重ねられており、テーブル受け１２２の摺動面１２２Ａに沿ってスライド可能に構成されており、内筒１２３と外筒１２４を介して駆動装置によって自転しながら公転するように構成されていることにより、ワークテーブル１２１はテーブル受け１２２の摺動面１２２Ａに沿って自転しながら公転するので、ワークテーブル１２１を同一基準面上で自転しながら公転させることができ、自転と公転の２つの回転の基準面を一致させる必要がない。
【００４１】
この実施形態において、ワークテーブル１２１はテーブル受け１２２の上で自転しながら公転するように構成されており、このワークテーブル１２１の上にマグネットチャック１２５が固定されているので、ワークＷをマグネットチャック１２５に保持させた状態で、ワークテーブル１２１を自転しながら公転させると、ワークＷを自転しながら公転させることができ、ワークＷを自転させるだけの研削装置の場合に比べて、砥石１１３のワークＷに対する当接位置（研削位置）を変化させることができ、研削負荷を低減でき、研削時におけるワークＷの損傷（ダメージ）を低減できる。
【００４２】
また、ワークテーブル１２１とテーブル受け１２２との摺動面１２１Ａ、１２２Ａは、水平な平面であり、きさげ加工が施されており、潤滑油を収容可能な多数の微小な窪みが形成されていることにより、これら摺動面１２１Ａ、１２２Ａを潤滑油を介して当接すると、これら摺動面１２１Ａ、１２２Ａの多数の微小な窪みに潤滑油が充填するので、これら摺動面１２１Ａ、１２２Ａを摩耗し難くすることができ、これら摺動面１２１Ａ、１２２Ａの平面精度を数十年という長期に亘って維持することができ、ワークを１μｍ以下の加工精度で研削できる。
【００４３】
尚、上記実施形態の研削装置１００は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、本実施形態の研削装置１００は、ワークテーブル１２１の上にマグネットチャック１２５が固定されているが、磁石とは異なる方式でワークＷを保持可能なチャックが固定されていてもよいし、ワークテーブル１２１の上に何も固定されておらず、ワークテーブル１２１がワークＷを直接保持可能に構成されていてもよい。また、ワークテーブル１２１とマグネットチャック１２５とからなる積層体の重量によって、ワークテーブル１２１がテーブル受け１２２に押し付けられているが，ばね等の弾性部材によってワークテーブル１２１がテーブル受け１２２に押し付けられていてもよい。
【００４４】
また、本実施形態の研削装置１００では、外筒１２４と駆動装置の間には第１プーリ１２６と第１ベルト１２８が介在されており、内筒１２３と駆動装置の間には第２プーリ１２７と第２ベルト１２９が介在されているが、外筒１２４と内筒１２３の回転駆動機構はこれに限定されず、外筒１２４と駆動装置の間と、内筒１２３と駆動装置の間とにはそれぞれ歯車とベルトが介在されていてもよいし、歯車とチェーンが介在されていてもよいし、遊星歯車機構が介在されていてもよい。なお、１つの駆動装置によって外筒１２４と内筒１２３の両方を回転させるように構成されていてもよいし、２つの駆動装置によって外筒１２４と内筒１２３をそれぞれ回転させるように構成されていてもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１００…研削装置、１１０…砥石駆動部、１１１…回転軸、１１２…砥石テーブル、１１３…砥石、１２０…ワーク駆動部、１２１…ワークテーブル、１２１Ａ、１２２Ａ…摺動面、１２１ａ…段付き孔、１２１ｂ、１２１ｃ、１２２ｂ、１２２ｃ…環状溝、１２２…テーブル受け、１２２ａ、１２４ａ…開口、１２３…内筒、１２３ａ…フランジ、１２４…外筒、１２５…マグネットチャック、１２６…第１プーリ、１２７…第２プーリ、１２８…第１ベルト、１２９…第２ベルト、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４…ボルト、Ｂｒ１、Ｂｒ２、Ｂｒ３、Ｂｒ４…軸受、Ｃ…カラー、Ｃ１、Ｃ２…軸線、ｄ…距離、Ｎ１、Ｎ２…ナット、Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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