(57)【要約】      （修正有）【課題】大きな直径を有する被処理基体上に低誘電率膜を成膜し得る成膜装置、及び、形成する方法を提供する。【解決手段】処理容器Ｓが、プラズマ生成室Ｓ１と当該プラズマ生成室の下方の処理室Ｓ２とを含む空間を画成している。第１のガス供給系Ｈ１が、プラズマ生成室に希ガスを供給する。誘電体窓１６が、プラズマ生成室を封止するように設けられている。アンテナ１４が、誘電体窓を介してプラズマ生成室にマイクロ波を供給する。第２のガス供給系Ｈ２は、処理室に前駆体ガスを供給する。遮蔽部４０は、プラズマ生成室と処理室との間に設けられており、プラズマ生成室と処理室とを連通させる複数の開口４０ｈを有し、紫外線に対する遮蔽性を有している。この成膜装置では、プラズマ生成室の圧力が処理室の圧力の４倍以上に設定され、且つ、処理室からプラズマ生成室への前駆体ガスの拡散度が、０．０１以下に設定されている。【選択図】図１
2014116576.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマ生成室と該プラズマ生成室の下方の処理室とを含む空間を画成する処理容器と、
前記処理室に設けられた載置台と、
前記プラズマ生成室に希ガスを供給する第１のガス供給系と、
前記プラズマ生成室を封止するように設けられた誘電体窓と、
前記誘電体窓を介して前記プラズマ生成室にマイクロ波を供給するアンテナと、
前記処理室に前駆体ガスを供給する第２のガス供給系と、
前記プラズマ生成室と前記処理室との間に設けられており、該プラズマ生成室と該処理室とを連通させる複数の開口を有し、紫外線に対する遮蔽性を有する遮蔽部と、
前記処理室に接続された排気装置と、
を備え、
前記プラズマ生成室の圧力が前記処理室の圧力の４倍以上に設定され、且つ、前記処理室から前記プラズマ生成室への前記前駆体ガスの拡散度が、０．０１以下に設定されており、ここで、前記拡散度は、前記処理室への前記前駆体ガスの流量が１ｓｃｃｍ増加したときの前記プラズマ生成室の圧力のパスカル単位での増加量として定義される、成膜装置。
【請求項２】
前記遮蔽部に接続されたバイアス電源であり、前記プラズマ生成室において生成されたイオンを前記遮蔽部に引き込むためのバイアス電力を前記遮蔽部に与える該バイアス電源を更に備える、請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記第１のガス供給系は、前記プラズマ生成室に、前記希ガスと共に水素ガスを供給する、請求項２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記第２のガス供給系は、前記処理室に、前記前駆体ガスと共にトルエンガスを供給する、請求項１〜３の何れか一項に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記アンテナはラジアルラインスロットアンテナである、請求項１〜４の何れか一項に記載の成膜装置。
【請求項６】
前記遮蔽部は、４０ｃｍ以上の直径を有する、請求項１〜５の何れか一項に記載の成膜装置。
【請求項７】
前記遮蔽部は、前記プラズマ生成室から前記処理室に向かうイオンに電子を供与する請求項１〜６の何れか一項に記載の成膜装置。
【請求項８】
処理容器内の処理室に設けられた被処理基体上に低誘電率膜を形成する方法であって、
前記処理容器内において前記処理室の上方に設けられたプラズマ生成室においてマイクロ波を用いて希ガスのプラズマを生成し、
前記プラズマ生成室と前記処理室との間に設けられており、該プラズマ生成室と該処理室とを連通させる複数の開口を有し、紫外線に対する遮蔽性を有する遮蔽部を介して、前記プラズマ生成室から前記処理室に粒子を供給し、
前記処理室に前駆体ガスを供給する、
ことを含み、
前記プラズマ生成室の圧力が前記処理室の圧力の４倍以上に設定され、且つ、前記処理室から前記プラズマ生成室への前記前駆体ガスの拡散度が、０．０１以下に設定されており、ここで、前記拡散度は、前記処理室への前記前駆体ガスの流量が１ｓｃｃｍ増加したときの前記プラズマ生成室の圧力のパスカル単位での増加量として定義される、方法。
【請求項９】
前記プラズマ生成室において生成されたイオンを前記遮蔽部に引き込むためのバイアス電力が前記遮蔽部に与えられる、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記プラズマ生成室に、前記希ガスと共に水素ガスが供給される、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記処理室に、前記前駆体ガスと共にトルエンガスが供給される、請求項８〜１０の何れか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記マイクロ波はラジアルラインスロットアンテナから供給される、請求項８〜１１の何れか一項に記載の方法。
【請求項１３】
前記遮蔽部は、４０ｃｍ以上の直径を有する、請求項８〜１２の何れか一項に記載の方法。
【請求項１４】
前記遮蔽部は、前記プラズマ生成室から前記処理室に向かうイオンに電子を供与する請求項８〜１３の何れか一項に記載の方法。
【請求項１５】
比誘電率が２．７より小さく、且つ、屈折率が１．５より大きい、ＳｉＣＯ膜。
【請求項１６】
請求項１５に記載のＳｉＣＯ膜をキャップ層として有する、ダマシン配線構造。
【請求項１７】
Ｓｉ原子、Ｏ原子、Ｃ原子、及びＨ原子を含む重合体からなるＳｉＣＯ膜であって、
該ＳｉＣＯ膜をフーリエ変換赤外分光法によって分析して得たスペクトルの信号のうち、波数１０１０ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１０５０ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１０７５ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号、及び波数１１４０ｃｍ−１近傍に見られる信号の信号面積の総和を１００％としたときに、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の面積比が２５％以上である、
ＳｉＣＯ膜。
【請求項１８】
前記波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の面積比が４０％以上であり、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の全半値幅が３５以下である、請求項１７に記載のＳｉＣＯ膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、成膜装置、低誘電率膜を形成する方法、ＳｉＣＯ膜、及びダマシン構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスでは、層間絶縁膜内に配線が形成された所謂ダマシン構造が用いられている。近年、半導体デバイスの高集積密度化と高速動作化に伴い、配線間容量を低減させるために、低誘電率膜（Ｌｏｗ−ｋ膜）の研究が行われている。
【０００３】
このようなＬｏｗ−ｋ膜を形成するための一手法として、前駆体ガスに中性粒子ビームを照射する技術が提案されている。この技術では、希ガスのプラズマを励起するプラズマ生成室と前駆体ガスを供給する処理室とを分離し、プラズマ生成室と処理室とを連通させるための複数の開口が形成された遮蔽部を、プラズマ生成室と処理室との間に設けている。遮蔽部は、プラズマ生成室で発生する紫外線を遮蔽し、開口を通過するイオンに電子を供与してイオンを中性化させる。この技術では、遮蔽部により中性化された粒子、即ち中性粒子が前駆体ガスに照射されることにより、前駆体ガスの分子中のメトキシ基からメチルが分離される。これにより前駆体ガスから生成される分子が被処理基体上で重合することで、低誘電率膜であるＳｉＣＯ膜が形成される。かかる技術については、例えば、特許文献１に記載されている。具体的には、特許文献１に記載された成膜方法では、誘導結合型のプラズマ源を用いてプラズマ生成室においてプラズマを励起している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２９００２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本願発明者は、特許文献１に記載された技術を、より大きな直径を有する被処理基体に適用する研究を行っている。この研究において、本願発明者は、誘導結合型のプラズマ源では、被処理基体の大口径化に伴い種々の問題が発生し得ることを見いだしている。
【０００６】
例えば、被処理基体の大口径化に伴い遮蔽部の面積が広くなり、遮蔽部の開口数も多くなる結果、遮蔽部のコンダクタンスが大きくなり、処理室からプラズマ生成室に前駆体ガスが拡散し易くなる。これに対処するためには、プラズマ生成室と処理室との間の圧力差を大きくする必要があるが、その結果、プラズマ生成室の圧力は高くなる。プラズマ生成室の圧力が高くなると、誘導結合型のプラズマ源では、高い電子温度のプラズマが生成され、中性粒子も大きなエネルギーをもつことになり、前駆体ガスが過剰に解離され得る。一方、プラズマ生成室の圧力を低下させるとプラズマ生成室への前駆体ガスの拡散量が増加してしまい、前駆体ガスが過剰に解離される。このような現象により、従来の技術では、膜の低誘電率化には限界があるものと推測される。
【０００７】
したがって、本技術分野においては、より大きな直径を有する被処理基体上においても低誘電率膜を成膜し得る成膜装置、及び、低誘電率膜を形成する方法が要請されている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面に係る成膜装置は、処理容器、載置台、第１のガス供給系、誘電体窓、アンテナ、第２のガス供給系、遮蔽部、及び排気装置を備えている。処理容器は、プラズマ生成室と当該プラズマ生成室の下方の処理室とを含む空間を画成する。載置台は、被処理基体を載置するためのものであり、処理室に設けられている。第１のガス供給系は、プラズマ生成室に希ガスを供給する。誘電体窓は、プラズマ生成室を封止するように設けられている。アンテナは、誘電体窓を介してプラズマ生成室にマイクロ波を供給する。一形態においては、アンテナはラジアルラインスロットアンテナであってもよい。第２のガス供給系は、処理室に前駆体ガスを供給する。遮蔽部は、プラズマ生成室と処理室との間に設けられており、プラズマ生成室と処理室とを連通させる複数の開口を有し、紫外線に対する遮蔽性を有している。排気装置は、処理室に接続されている。この成膜装置では、プラズマ生成室の圧力が処理室の圧力の４倍以上に設定され、且つ、処理室からプラズマ生成室への前駆体ガスの拡散度が、０．０１以下に設定されている。ここで、拡散度は、処理室への前駆体ガスの流量が１ｓｃｃｍ増加したときのプラズマ生成室の圧力のパスカル単位での増加量として定義される。拡散度は、例えば、前駆体ガスの流量及び希ガスの流量、及び排気装置の排気量を調整することにより設定され得る。
【０００９】
この成膜装置では、プラズマ生成室の圧力が処理室の圧力の４倍以上に設定され、且つ、処理室からプラズマ生成室への前駆体ガスの拡散度が、０．０１以下に設定されていることにより、プラズマ生成室への前駆体ガスの拡散が低減され得る。また、この成膜装置では、プラズマの励起源としてマイクロ波を用いている。マイクロ波は、誘導結合型のプラズマ源と異なり、低圧領域から高圧領域に及ぶ広い圧力帯においても高密度且つ低い電子温度のプラズマを生成することができる。したがって、遮蔽部を通過する粒子は、前駆体ガスの過剰な解離を抑制することが可能なエネルギーを有するものとなる。故に、この成膜装置によれば、より大きな直径の被処理基体上においても低誘電率膜が成膜され得る。また、この成膜装置によれば、低誘電率、且つ、高屈折率、即ち高密度の膜が形成され得る。
【００１０】
一形態においては、遮蔽部は、４０ｃｍ以上の直径を有し得る。かかる直径を有する遮蔽部によれば、例えば、遮蔽部を通過した粒子を、約３０ｃｍの直径を有する被処理基体に比較的均一に照射することができる。
【００１１】
一形態においては、遮蔽部は、プラズマ生成室から処理室に向かうイオンに電子を供与してもよい。この形態では、遮蔽部において紫外線を遮蔽することに加えて、イオンを中性化することが可能である。
【００１２】
一形態において、成膜装置は、遮蔽部に接続されたバイアス電源を更に備え得る。このバイアス電源は、プラズマ生成室において生成されたイオンを遮蔽部に引き込むためのバイアス電力を当該遮蔽部に与える。この形態によれば、遮蔽部にバイアス電力を与えることにより、低誘電率膜の比誘電率を更に小さくすることが可能となる。この要因は、遮蔽部に印加されたバイアス電力によって遮蔽部を通過する粒子が前駆体ガスに照射されることにより、低誘電率膜の重合体の鎖長が長くなり、当該重合体の配向性が更に低下することによるものと推測される。
【００１３】
一形態においては、第１のガス供給系は、希ガスに加えて水素ガスをプラズマ生成室に供給してもよい。この形態によれば、低誘電率膜の比誘電率を更に小さくすることが可能となり、また、低誘電率膜の電流リーク特性を改善することが可能となる。この要因は、処理室に供給された水素により重合体の鎖長が更に長くなると共に、水素の供給によりダングリングボンドが減少することによるものと推測される。
【００１４】
一形態においては、第２のガス供給系は、処理室に、前駆体ガスと共にトルエンガスを供給してもよい。この形態では、低誘電率膜の側鎖の少なくとも一部がフェニル基によって置換される。その結果、低誘電率膜の比誘電率及び分極率が更に小さくなる。
【００１５】
本発明の別の側面は、処理容器内の処理室に設けられた被処理基体上に低誘電率膜を形成する方法に関するものである。この方法は、（ａ）処理容器内において処理室の上方に設けられたプラズマ生成室においてマイクロ波を用いて希ガスのプラズマを生成し、（ｂ）プラズマ生成室と処理室との間に設けられており、プラズマ生成室と処理室とを連通させる複数の開口を有し、紫外線に対する遮蔽性を有する遮蔽部を介して、プラズマ生成室から処理室に粒子を供給し、（ｃ）処理容器内の処理室に前駆体ガスを供給する、ことを含み、（ｄ）プラズマ生成室の圧力が処理室の圧力の４倍以上に設定され、かつ、処理室からプラズマ生成室への前駆体ガスの拡散度が、０．０１以下に設定されていることを特徴とする。この方法によれば、より大きな直径の被処理基体上においても低誘電率膜が成膜され得る。また、この方法によれば、低誘電率且つ高屈折率、即ち高密度の膜が形成され得る。
【００１６】
一形態においては、マイクロ波はラジアルラインスロットアンテナから供給される。また、一形態においては、遮蔽部は、４０ｃｍ以上の直径を有していてもよい。また、一形態においては、遮蔽部は、プラズマ生成室から処理室に向かうイオンに電子を供与してもよい。
【００１７】
一形態においては、プラズマ生成室において生成されたイオンを遮蔽部に引き込むためのバイアス電力が当該遮蔽部に与えられてもよい。この形態によれば、低誘電率膜の比誘電率を更に小さくすることが可能となる。また、一形態においては、プラズマ生成室に、希ガスと共に水素ガスが供給されてもよい。この形態によれば、低誘電率膜の比誘電率を更に小さくすることが可能となり、また、低誘電率膜の電流リーク特性を改善することが可能となる。
【００１８】
また、一形態においては、処理室に、前駆体ガスと共にトルエンガスを供給してもよい。この形態によれば、低誘電率膜の比誘電率及び分極率が更に小さくなる。
【００１９】
また、本発明の更に別の側面は、ＳｉＣＯ膜に関するものである。このＳｉＣＯ膜は、比誘電率が２．７より小さく、且つ、屈折率が１．５より大きいことを特徴とする。このＳｉＣＯ膜は、低い比誘電率を有し、更に、高い屈折率、即ち、高い密度を有し、耐湿性に優れる。したがって、このＳｉＣＯ膜は、ダマシン配線構造におけるキャップ層として好適に用いられ得る。また、このＳｉＣＯ膜は、ダマシン配線構造における層間絶縁膜にも好適に用いられ得る。
【００２０】
また、本発明の更に別の側面に係るＳｉＣＯ膜は、Ｓｉ原子、Ｏ原子、Ｃ原子、及びＨ原子を含む重合体からなるＳｉＣＯ膜であって、該ＳｉＣＯ膜をフーリエ変換赤外分光法によって分析して得たスペクトルの信号のうち、波数１０１０ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１０５０ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１０７５ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号、及び波数１１４０ｃｍ−１近傍に見られる信号の信号面積の総和を１００％としたときに、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の面積比が２５％以上である。
【００２１】
上述した複数の波数近傍に見られる信号はそれぞれ、互いに異なる結合角を有するシロキサン結合を示す信号であり、これら信号のうち波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号は、結合角が約１５０°のシロキサン結合を示す信号である。波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の面積比が２５％以上である場合には、ＳｉＣＯ膜は、その直鎖構造の対称性を高めるシロキサン結合を多く含むようになる。したがって、当該ＳｉＣＯ膜は、低い比誘電率を有するＳｉＣＯ膜となる。
【００２２】
一形態のＳｉＣＯ膜においては、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の面積比が４０％以上であり、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の全半値幅が３５以下である。かかる形態によれば、ＳｉＣＯ膜は、より低い比誘電率を有するものとなる。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明したように、本発明の種々の側面及び実施形態によれば、大きな直径の被処理基体上においても低誘電率膜を形成可能な成膜装置及び方法が提供される。また、当該装置及び方法を用いて製造し得る低誘電率且つ高屈折率のＳｉＣＯ膜、及び、当該ＳｉＣＯ膜をキャップ層として有するダマシン構造が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】一実施形態に係る成膜装置を概略的に示す断面図である。
【図２】スロット板の一例を示す平面図である。
【図３】一実施形態に係る低誘電率膜を形成する方法を説明するための図である。
【図４】一実施形態に係る低誘電率膜を形成する方法を説明するための図である。
【図５】一実施形態に係る低誘電率膜を形成する方法により製造されるリニア構造を模式的に示す図である。
【図６】低誘電率膜に含まれ得るネットワーク構造及びケージ構造を模式的に示す図である。
【図７】一実施形態に係るダマシン配線構造を有する半導体デバイスを示す図である。
【図８】実験例１〜４及び比較例１〜３０の膜の比誘電率及び屈折率を示す図である。
【図９】圧力比と拡散度の関係を示す図である。
【図１０】実験例６のＳｉＣＯ膜に対してフーリエ変換赤外分光法を適用して得たスペクトルを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照して種々の実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。
【００２６】
まず、一実施形態に係る成膜装置について説明する。図１は、一実施形態に係る成膜装置を概略的に示す断面図である。図１に示す成膜装置１０は、処理容器１２を備えている。処理容器１２は、軸線Ｚが延びる方向（以下、「軸線Ｚ方向」という）に延在する略筒形状の容器であり、その内部に空間Ｓを画成している。この空間Ｓは、プラズマ生成室Ｓ１、及び、当該プラズマ生成室Ｓ１の下方に設けられた処理室Ｓ２を含んでいる。
【００２７】
一実施形態においては、処理容器１２は、第１側壁１２ａ、第２側壁１２ｂ、底部１２ｃ、及び上部１２ｄを含み得る。これら処理容器１２を構成する部材は、接地電位に接続されている。
【００２８】
第１の側壁１２ａは、軸線Ｚ方向に延在する略筒形状を有しており、プラズマ生成室Ｓ１を画成している。第１側壁１２ａには、ガスラインＰ１１及びＰ１２が形成されている。ガスラインＰ１１は、第１側壁１２ａの外面から延びて、ガスラインＰ１２に接続している。ガスラインＰ１２は、第１側壁１２ａ内において軸線Ｚ中心に略環状に延在している。ガスラインＰ１２には、プラズマ生成室Ｓ１にガスを噴射するための複数の噴射口Ｈ１が接続している。
【００２９】
また、ガスラインＰ１１には、バルブＶ１１、マスフローコントローラＭ１、及びバルブＶ１２を介してガス源Ｇ１が接続している。ガス源Ｇ１は、希ガスのガス源であり、一実施形態においては、Ａｒガスのガス源である。これらガス源Ｇ１、バルブＶ１１、マスフローコントローラＭ１、バルブＶ１２、ガスラインＰ１１及びＰ１２、並びに噴射口Ｈ１は、一実施形態に係る第１のガス供給系を構成している。この第１のガス供給系は、ガス源Ｇ１からの希ガスの流量をマスフローコントローラＭ１において制御し、流量制御した希ガスをプラズマ生成室Ｓ１に供給する。
【００３０】
また、ガスラインＰ１１には、バルブＶ３１、マスフローコントローラＭ３、及びバルブＶ３２を介してガス源Ｇ３が接続されていてもよい。ガス源Ｇ３は、水素ガス（Ｈ２ガス）のガス源である。ガス源Ｇ３からの水素ガスの流量は、マスフローコントローラＭ３によって制御され、流量制御された水素ガスがプラズマ生成室Ｓ１に供給される。この場合には、ガス源Ｇ３、バルブＶ３１、マスフローコントローラＭ３、及び、バルブＶ３２は、上述したガス源Ｇ１、バルブＶ１１、マスフローコントローラＭ１、バルブＶ１２、ガスラインＰ１１及びＰ１２、並びに噴射口Ｈ１と共に、第１のガス供給系を構成し得る。
【００３１】
また、第１側壁１２ａの上端には、上部１２ｄが設けられている。上部１２ｄには、開口が設けられており、当該開口内には、アンテナ１４が設けられている。また、アンテナ１４の直下には、プラズマ生成室Ｓ１を封止するように、誘電体窓１６が設けられている。
【００３２】
アンテナ１４は、誘電体窓１６を介して、プラズマ生成室Ｓ１にマイクロ波を供給する。一実施形態においては、アンテナ１４は、ラジアルラインスロットアンテナである。このアンテナ１４は、誘電体板１８及びスロット板２０を含んでいる。誘電体板１８は、マイクロ波の波長を短縮させるものであり、略円盤形状を有している。誘電体板１８は、例えば、石英又はアルミナから構成される。誘電体板１８は、スロット板２０と冷却ジャケット２２の金属製の下面との間に狭持されている。アンテナ１４は、したがって、誘電体板１８、スロット板２０、及び、冷却ジャケット２２の下面によって構成され得る。
【００３３】
スロット板２０は、複数のスロット対が形成された略円盤状の金属板である。図２は、スロット板の一例を示す平面図である。スロット板２０には、複数のスロット対２０ａが形成されている。複数のスロット対２０ａは、径方向に所定の間隔で設けられており、また、周方向に所定の間隔で配置されている。複数のスロット対２０ａの各々は、二つのスロット孔２０ｂ及び２０ｃを含んでいる。スロット孔２０ｂとスロット孔２０ｃは、互いに交差又は直交する方向に延在している。
【００３４】
成膜装置１０は、更に、同軸導波管２４、マイクロ波発生器２６、チューナ２８、導波管３０、及び、モード変換器３２を備え得る。マイクロ波発生器２６は、例えば２．４５ＧＨｚの周波数のマイクロ波を発生する。マイクロ波発生器２６は、チューナ２８、導波管３０、及びモード変換器３２を介して、同軸導波管２４の上部に接続されている。同軸導波管２４は、その中心軸線である軸線Ｚに沿って延在している。同軸導波管２４は、外側導体２４ａ及び内側導体２４ｂを含んでいる。外側導体２４ａは、軸線Ｚ中心に延在する筒形状を有している。外側導体２４ａの下端は、導電性の表面を有する冷却ジャケット２２の上部に電気的に接続され得る。内側導体２４ｂは、外側導体２４ａの内側に設けられている。内側導体２４ｂは、軸線Ｚに沿って延びる略円柱形状を有している。内側導体２４ｂの下端は、アンテナ１４のスロット板２０に接続している。
【００３５】
この成膜装置１０では、マイクロ波発生器２６により発生されたマイクロ波が、同軸導波管２４を通って、誘電体板１８に伝播され、スロット板２０のスロット孔から誘電体窓１６に与えられる。
【００３６】
誘電体窓１６は、略円盤形状を有しており、例えば、石英又はアルミナから構成されている。誘電体窓１６は、スロット板２０の直下に設けられている。誘電体窓１６は、アンテナ１４から受けたマイクロ波を透過して、当該マイクロ波をプラズマ生成室Ｓ１に導入する。これにより、誘電体窓１６の直下に電界が発生し、プラズマ生成室Ｓ１において希ガスのプラズマが発生する。また、プラズマ生成室Ｓ１に希ガスと共に水素ガスが供給されている場合には、水素ガスのプラズマも発生する。
【００３７】
上述した第１側壁１２ａの下方には、当該第１側壁１２ａに連続して第２側壁１２ｂが延在している。第２側壁１２ｂは、軸線Ｚ方向に延在する略円筒形状を有しており、処理室Ｓ２を画成している。成膜装置１０は、この処理室Ｓ２内に、載置台３６を更に備えている。載置台３６は、その上面において被処理基体Ｗを支持し得る。一実施形態においては、載置台３６は、処理容器１２の底部１２ｃから軸線Ｚ方向に延在する支持体３８によって支持されている。この載置台３６は、静電チャックといった吸着保持機構、並びに、チラーユニットに接続された冷媒流路、及びヒータといった温度制御機構を備え得る。
【００３８】
また、処理室Ｓ２内には、載置台３６の上方において軸線Ｚ中心に環状に延在する管Ｐ２１が設けられている。この管Ｐ２１には、処理室Ｓ２にガスを噴射する複数の噴射口Ｈ２が形成されている。管Ｐ２１には、第２側壁１２ｂを貫通して処理容器１２の外部まで延在する管Ｐ２２が接続している。この管Ｐ２２には、バルブＶ２１、マスフローコントローラＭ２、及びバルブＶ２２を介してガス源Ｇ２が接続している。ガス源Ｇ２は、前駆体ガスのガス源であり、一実施形態においては、１，３-ジメトキシテトラメチルジソロキサン（ＤＭＯＴＭＤＳ）・ガスを供給する。これらガス源Ｇ２、バルブＶ２１、マスフローコントローラＭ２、バルブＶ２２、管Ｐ２１及びＰ１２、並びに噴射口Ｈ２は、一実施形態に係る第２のガス供給系を構成している。この第２のガス供給系は、ガス源Ｇ２からの前駆体ガスの流量をマスフローコントローラＭ２において制御し、流量制御した前駆体ガスを処理室Ｓ２に供給する。なお、第２のガス供給系によって処理室Ｓ２に供給される前駆体ガスとしては、ガス分子の構造にＳｉＯを持ち、メチル基を有するガス全般（ＭＴＭＯＳ、Ｄｉ−ｉｓｏ−ｐｒｏｐｙｌ−ｄｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ、Ｉｓｏｂｕｔｙｌ−ｄｉｍｅｔｈｙｌ−ｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅなど）、ガス分子の構造に員環構造を有するガス全般（Ｄｉｍｅｔｈｏｘｙ−ｓｉｌａｃｙｃｌｏｈｅｘａｎｅ、Ｄｉｍｅｔｈｙｌ−ｓｉｌａｃｙｃｌｏｈｅｘａｎｅ、５−Ｓｌａｓｐｉｒｏ［４，４］ｎｏｎａｎｅなど）、ガス分子の構造にベンゼン環や５員環などプラズマで壊されやすい構造を有するガス全般（Ｄｉｃｙｃｌｏｐｅｎｔｙｌ−ｄｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅなど）を用いることも可能である。
【００３９】
また、ガスラインＰ２２には、バルブＶ４１、マスフローコントローラＭ４、及びバルブＶ４２を介してガス源Ｇ４が接続されていてもよい。ガス源Ｇ４は、トルエンのガス源である。ガス源Ｇ４からのトルエンガスの流量は、マスフローコントローラＭ４によって制御され、流量制御されたトルエンガスが処理室Ｓ２に供給される。この場合には、ガス源Ｇ４、バルブＶ４１、マスフローコントローラＭ４、及び、バルブＶ４２は、上述したガス源Ｇ２、バルブＶ２１、マスフローコントローラＭ２、バルブＶ２２、ガスラインＰ２１及びＰ２２、並びに噴射口Ｈ２と共に、一実施形態に係る第２のガス供給系を構成し得る。
【００４０】
本成膜装置１０では、プラズマ生成室Ｓ１と処理室Ｓ２との間に遮蔽部４０が設けられている。遮蔽部４０は、略円盤状の部材であり、当該遮蔽部４０には、プラズマ生成室Ｓ１と処理室Ｓ２とを連通させる複数の開口４０ｈが形成されている。
【００４１】
遮蔽部４０は、例えば、第１側壁１２ａによって支持される。一実施形態においては、遮蔽部４０は、絶縁性部材６０と絶縁性部材６２との間に挟持されており、これら絶縁性部材６０，６２を介して、第１側壁１２ａに支持されている。したがって、一実施形態では、遮蔽部４０は、第１側壁１２ａから電気的に分離されている。この遮蔽部４０には、バイアス電力を当該遮蔽部４０に与えるためのバイアス電源４２が接続されていてもよい。バイアス電源４２は、高周波バイアス電力を発生する電源であってもよい。この実施形態においては、バイアス電源４２は、プラズマ生成室Ｓ１において発生したイオンを遮蔽部４０に引き込むために、高周波バイアス電力を遮蔽部４０に供給する。この場合に、バイアス電源４２と遮蔽部４０との間には、バイアス電源４２の出力インピーダンスと負荷側、即ち遮蔽部４０側のインピーダンスとの整合を図るための整合回路を有する整合器４３が設けられ得る。なお、バイアス電源４２は、直流電源であってもよく、直流のバイアス電力が遮蔽部４０に与えられてもよい。
【００４２】
遮蔽部４０は、プラズマ生成室Ｓ１において発生した紫外線に対する遮蔽性を有する。即ち、遮蔽部４０は、紫外線を透過しない材料から構成され得る。また、一実施形態においては、遮蔽部４０は、プラズマ生成室Ｓ１において発生したイオンが開口４０ｈを画成する内壁面によって反射されつつ当該開口４０ｈを通過するときに、当該イオンに電子を供与する。これにより、遮蔽部４０は、イオンを中性化し、中性化されたイオン、即ち中性粒子を処理室Ｓ２に放出する。一実施形態においては、遮蔽部４０は、グラファイトから構成され得る。なお、別の実施形態においては、遮蔽部４０は、アルミニウム製の部材、又は、表面がアルマイト処理された又は表面にイットリア膜を設けたアルミニウム製の部材であってもよい。
【００４３】
また、遮蔽部４０にバイアス電力が与えられる場合には、プラズマ生成室Ｓ１において発生したイオンは、遮蔽部４０に向けて加速される。その結果、遮蔽部４０を通過する粒子の速度が高められる。
【００４４】
一実施形態においては、遮蔽部４０は、１０ｍｍの厚さ、４０ｃｍの直径を有している。遮蔽部４０の直径は、プラズマ生成室Ｓ１に接する面の直径で定義される。また、一実施形態においては、遮蔽部４０の開口４０ｈは、１ｍｍの直径を有する。また、一実施形態においては、遮蔽部４０の開口率は、１０％である。遮蔽部４０の開口率は、プラズマ生成室Ｓ１に接する面の面積に対して開口４０ｈが占める面積の割合で、定義される。なお、開口率は、５％〜１０％の範囲であってもよい。
【００４５】
成膜装置１０は、４０ｃｍ以上の直径を有する遮蔽部４０を備えることにより、８インチ以上の被処理基体Ｗに膜を形成する可能である。このように大きな直径を有する遮蔽部４０は、大きなコンダクタンスを有する。具体的には、遮蔽部４０のコンダクタンスＣは、
Ｃ＝１／４×ｖ×Ａ      …（１）
で定義される。式（１）において、ｖは、分子の平均速度であり、Ａは、
Ａ＝π×１／４×Ｄ２×Ｂ      …（２）
で定義される。式（２）において、Ｄは、遮蔽部４０の直径であり、Ｂは、開口率である。式（１）及び式（２）から明らかなように、大口径の直径の被処理基体Ｗに成膜を行うために、遮蔽部４０の直径を大きくすると、遮蔽部４０のコンダクタンスは、半径の２乗の影響を受けて大きくなる。したがって、成膜装置１０では、処理室Ｓ２に供給された前駆体ガスが遮蔽部４０を介してプラズマ生成室Ｓ１に拡散することを抑制する対策が必要となる。
【００４６】
このため、成膜装置１０では、プラズマ生成室Ｓ１の圧力が処理室Ｓ２の圧力の４倍以上に、即ち、圧力比が４以上に設定され、且つ、拡散度が０．０１以下に設定される。ここで、拡散度は、処理室Ｓ２に供給される前駆体ガスの流量が１ｓｃｃｍ増加したときのプラズマ生成室Ｓ１の圧力のパスカル単位での増加量として定義される。この拡散度は、プラズマ生成室Ｓ１に希ガスを供給し、処理室Ｓ２に供給する前駆体ガスの流量を増加させ、前駆体ガスの流量とプラズマ生成室の圧力上昇量との関係をグラフに表わし、当該グラフの傾きから求めることができる。拡散度は、圧力比に部分的に依存するが、遮蔽部４０のコンダクタンス、希ガスの流量、前駆体ガスの流量等にも依存する。
【００４７】
一実施形態においては、成膜装置１０は、プラズマ生成室Ｓ１の圧力を測定する圧力計４４、及び、処理室Ｓ２の圧力を測定する圧力計４６を備えている。また、この成膜装置１０では、底部１２ｃにおいて処理室Ｓ２に接続された排気管４８に、圧力調整器５０及び減圧ポンプ５２が接続されている。これら圧力調整器５０及び減圧ポンプ５２は、排気装置を構成している。かかる成膜装置１０では、圧力計４４及び４６によって計測された圧力に基づいて、希ガスの流量をマスフローコントローラＭ１で調整し、前駆体ガスの流量をマスフローコントローラＭ２で調整し、更に、圧力調整器５０で排気量を調整することができる。これにより、成膜装置１０は、上記の圧力比及び拡散度を設定し得る。
【００４８】
図１に示すように、一実施形態においては、成膜装置１０は、制御部Ｃｎｔを更に備えている。制御部Ｃｎｔは、プログラム可能なコンピュータ装置といった制御器であり得る。制御部Ｃｎｔは、レシピに基づくプログラムに従って成膜装置１０の各部を制御し得る。例えば、制御部Ｃｎｔは、バルブＶ１１，Ｖ１２に制御信号を送出して、希ガスの供給及び供給停止を制御することができ、マスフローコントローラＭ１に制御信号を送出して、希ガスの流量を制御することができる。また、制御部Ｃｎｔは、バルブＶ３１，Ｖ３２に制御信号を送出して、水素ガスの供給及び供給停止を制御することができ、マスフローコントローラＭ３に制御信号を送出して、水素ガスの流量を制御することができる。また、制御部Ｃｎｔは、バルブＶ２１，Ｖ２２に制御信号を送出して、前駆体ガスの供給及び供給停止を制御することができ、マスフローコントローラＭ２に制御信号を送出して、前駆体ガスの流量を制御することができる。また、制御部Ｃｎｔは、バルブＶ４１，Ｖ４２に制御信号を送出して、トルエンガスの供給及び供給停止を制御することができ、マスフローコントローラＭ４に制御信号を送出して、トルエンガスの流量を制御することができる。また、制御部Ｃｎｔは、圧力調整器５０に制御信号を送出して、排気量を制御することができる。さらに、制御部Ｃｎｔは、マイクロ波発生器２６に制御信号を送出して、マイクロ波のパワーを制御し、バイアス電源４２に制御信号を送出して、遮蔽部４０へのバイアス電力の供給及び供給停止、更には、バイアス電力（例えば、ＲＦ電力）のパワーを制御することが可能である。
【００４９】
以下、成膜装置１０を用いた低誘電率膜の成膜の原理を説明すると共に、一実施形態に係る低誘電率膜を形成する方法について説明する。この方法では、遮蔽部４０の上方のプラズマ生成室Ｓ１に希ガスが供給され、当該プラズマ生成室Ｓ１にマイクロ波が供給される。これにより、図３に示すように、プラズマ生成室Ｓ１において希ガスのプラズマＰＬが生成される。図３においては、希ガスであるアルゴンガスのプラズマＰＬが示されている。このプラズマＰＬ中では、アルゴンイオン、電子、及び紫外線のフォトンが発生する。図中、アルゴンイオンは、円で囲まれた「Ａｒ＋」で、電子は、円で囲まれた「ｅ」で、フォトンは、円で囲まれた「Ｐ」で示されている。
【００５０】
プラズマＰＬ中の電子は、遮蔽部４０によって反射されてプラズマ生成室Ｓ１に戻される。また、フォトンは、遮蔽部４０によって遮蔽される。一方、アルゴンイオンは、遮蔽部４０の開口４０ｈの途中で当該開口４０ｈを画成する内壁面に接触することで、遮蔽部４０から電子を受ける。これにより、アルゴンイオンは中性化された後に、中性粒子として処理室Ｓ２に放出される。なお、図中、アルゴンの中性粒子は、円で囲まれた「Ａｒ」で示されている。
【００５１】
同時に、処理室Ｓ２には前駆体ガスが供給される。このとき、本方法では、処理室Ｓ２からプラズマ生成室Ｓ１への前駆体ガスの拡散が低減されるよう、圧力比が４以上に設定され、且つ、拡散度が０．０１以下に設定される。したがって、本方法では、プラズマ生成室Ｓ１への前駆体ガスの拡散量が低減され、前駆体ガスが過剰に解離する現象を抑制することが可能となる。
【００５２】
また、図４に示すように、処理室Ｓ２において、前駆体ガスであるＤＭＯＴＭＤＳガスに、アルゴンの中性粒子が照射される。上述したように、本方法では、マイクロ波、一実施形態においてはラジアルラインスロットアンテナから供給されるマイクロ波により、プラズマ生成室Ｓ１において、希ガスのプラズマが励起される。マイクロ波は、誘導結合型のプラズマ源と異なり、低圧領域から高圧領域に及ぶ広い圧力帯においても高密度且つ低温のプラズマを生成することができる。したがって、遮蔽部を通過する粒子は、前駆体ガスの過剰な解離を抑制することが可能なエネルギーを有するものとなる。かかる粒子が、前駆体ガスであるＤＭＯＴＭＤＳガスに照射されると、メトキシ基のＯ−ＣＨ３結合が切断されて、ＤＭＯＴＭＤＳから酸素に結合しているメチル基が離脱する。これにより前駆体ガスから生成された分子が被処理基体Ｗ上で重合することで、図５に示すリニア構造を有する膜が被処理基体Ｗ上に形成される。図５に示すリニア構造では、Ｓｉ原子に対してメチル基が対称的に結合している。したがって、リニア構造は、高い分子対称性を有する。また、かかる構造の結果、配向分極がキャンセルされるので、図５に示す構造は低い比誘電率ｋを有するものとなる。さらに、図５に示す構造が積み重ねられることによって膜が形成されるので、密度の高い膜が得られる。なお、成膜装置１０を用いた膜の形成は、載置台３６の温度を制御して被処理基体Ｗの温度を１００℃以下、例えば、−５０℃といった温度に設定しても行うことができる。したがって、当該膜は、被処理基体Ｗに含まれるデバイスの温度によるダメージを抑制しつつ、形成することが可能である。
【００５３】
ここで、従来のＰＥ−ＣＶＤ法によって生成される低誘電率膜では、その製造方法に起因して前駆体ガスが過剰に解離される結果、図６の（ａ）に示すケージ構造が主体となる膜が形成されている。即ち、従来においては、酸化シリコンを主体とした膜を多孔質の膜とすることにより、低誘電率化を図っている。一方、一実施形態に係る低誘電率膜を形成する方法では、膜の低誘電率化と共に膜の高密度化を実現することが可能である。但し、図５に示す構造を有する膜では、構造間のリンクがなく、したがって、膜の強度が低くなり得る。そこで、図６の（ａ）に示すケージ構造や図６の（ｂ）に示すネットワーク構造が膜の一部に含まれるように、プロセスの条件が調整されてもよい。
【００５４】
別の実施形態に係る低誘電率膜を形成する方法では、遮蔽部４０に対してバイアス電力が供給されてもよい。このバイアス電力は、高周波バイアス電力であってもよく、直流のバイアス電力であってもよい。この形態の方法によれば、低誘電率膜の比誘電率が更に小さくなる。この形態の方法によって比誘電率が更に小さくなる要因は以下のように推測される。即ち、遮蔽部４０に印加されたバイアス電力により、遮蔽部４０を通過する粒子は加速される。バイアス電力によって加速された粒子がＤＭＯＴＭＤＳに照射されると、ＤＭＯＴＭＤＳに由来する分子の重合が促進される結果、低誘電率膜における重合体の鎖長が長くなり、当該重合体の配向性が更に低下する。これにより、低誘電率膜の比誘電率が更に小さくなるものと推測される。
【００５５】
更に別の実施形態に係る低誘電率膜を形成する方法では、遮蔽部４０に対してバイアス電力が供給されると共に、希ガスに加えて水素ガスがプラズマ生成室Ｓ１に供給されてもよい。この形態の方法によれば、低誘電率膜の比誘電率を更に小さくすることが可能となり、また、低誘電率膜の電流リーク特性を改善することが可能となる。この形態の方法によって、比誘電率の更なる減少と電流リーク特性の改善がもたらされる要因は以下のように推測される。即ち、遮蔽部４０を通過した水素（例えば、水素ラジカル）がＤＭＯＴＭＤＳに照射されると、シラノールカップリング重合が促進され、低誘電率膜における重合体の重合度が更に高められて重合鎖の長さが更に長くなる。また、水素の供給により、重合体のダングリングボンドが減少する。これにより、低誘電率膜の比誘電率が更に小さくなり、また、低誘電率膜の電流リーク特性が改善するものと推測される。なお、水素ガスに代えて、水、エタノール、メタノールといったＨ又はＯＨを前駆体ガスに供給して、シラノールカップリング重合を促進することができるガスを用いることも可能である。
【００５６】
更に別の実施形態に係る低誘電率膜を形成する方法では、前駆体ガスと共にトルエンガスが処理室Ｓ２に供給されてもよい。この形態の方法によれば、前駆体ガスの側鎖がフェニル基に置換される。例えば、前駆体ガスがＤＭＯＴＭＤＳである場合には、ＭＯＴＭＤＳのＳｉに結合しているメチル基がフェニル基に置換される。これにより、低誘電率膜の比誘電率及び分極率を更に小さくすることが可能となる。
【００５７】
以上、成膜装置１０及び当該成膜装置１０を用いることが可能な低誘電率膜の形成方法について説明してきたが、同装置及び同方法によれば、比誘電率が２．７より小さく、且つ、屈折率が１．５より大きいＳｉＣＯ膜を製造することができる。一実施形態では、ＳｉＣＯ膜は、Ｓｉ原子、Ｏ原子、Ｃ原子、Ｈ原子を含む重合体からなる。例えば、ＳｉＣＯ膜は、その直鎖構造にシロキサン結合を含み、シロキサン結合を構成するＳｉ原子に対して略対象にメチル基が結合した構造を有し得る。
【００５８】
また、一実施形態においては、遮蔽部４０にバイアス電力を与えることにより、比誘電率が２．３以下のＳｉＣＯ膜を製造することも可能となる。このようなＳｉＣＯ膜では、当該ＳｉＣＯ膜をフーリエ変換赤外分光法によって分析して得たスペクトルの信号のうち、波数１０１０ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１０５０ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１０７５ｃｍ−１近傍に見られる信号、数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号、及び波数１１４０ｃｍ−１近傍に見られる信号の信号面積の総和を１００％としたときに、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の面積比が２５％以上となる。ここで、これら波数の信号の信号面積は、対象とする波数近傍のスペクトルにガウシアンフィッティングを行い、フィッティングしたガウス信号の面積を求めることによって得られる。
【００５９】
波数１０１０ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１０５０ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１０７５ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号、及び波数１１４０ｃｍ−１近傍に見られる信号はそれぞれ、互いに異なる結合角を有するシロキサン結合を示す信号である。これら信号のうち波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号は、結合角が約１５０°のシロキサン結合を示す信号である。なお、この結合角は、例えば、約１４７°〜１５４°の範囲にある。かかるシロキサン結合は、ＳｉＣＯ膜における直鎖構造の対称性を高めて比誘電率を低くすることに寄与する。よって、シロキサン結合を示す信号のうち波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の面積比が２５％以上である場合には、当該ＳｉＣＯ膜は、低い比誘電率を有するＳｉＣＯ膜となる。
【００６０】
一実施形態においては、遮蔽部４０にバイアス電力を与え、且つ、プラズマ生成室Ｓ１に希ガスと共に水素ガスを供給することにより、比誘電率が２．１５以下のＳｉＣＯ膜を製造することが可能となる。かかるＳｉＣＯ膜では、前記の信号面積の総和に対して、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の面積比が４０％以上となり、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の全半値幅が３５以下となる。ここで、信号の全半値幅は、対象とする波数近傍のスペクトルにガウシアンフィッティングを行い、フィッティングしたガウス信号の全半値幅を求めることによって得られる。このようなＳｉＣＯ膜では、直鎖構造の対称性を高めるシロキサン結合がより多くなる。したがって、当該ＳｉＣＯ膜は、より低い比誘電率を有するＳｉＣＯ膜となる。
【００６１】
以上説明した種々の実施形態のＳｉＣＯ膜は、低い比誘電率を有し、更に、高い屈折率、即ち、高い密度を有し、耐湿性に優れる。したがって、当該ＳｉＣＯ膜は、ダマシン配線構造におけるキャップ膜及び／又は層間絶縁膜へのとして好適に用いることができる。
【００６２】
以下、一実施形態に係るダマシン配線構造について説明する。図７は、ダマシン配線構造を備える半導体デバイスを示す図である。図７に示す半導体デバイス１００は、基板Ｓｕｂ上に形成されたＭＯＳトランジスタ１０２及び１０４といった素子を備えている。また、半導体デバイス１００は、これら素子にコンタクト１０６を介して電気的に接続するダマシン配線構造ＤＷを備えている。
【００６３】
ダマシン配線構造ＤＷは、キャップ層１１０、層間絶縁膜１１２、エッチング停止層１１４、及び層間絶縁膜１１６が順に積み重ねられた構造を有している。層間絶縁膜１１６には、トレンチ１２０が設けられており、当該トレンチ１２０には銅等の金属材料より形成された配線が設けられている。また、層間絶縁膜１１２には、上層の層間絶縁膜１１６に形成された配線と下層の層間絶縁膜１１６に形成された配線を相互に接続するためのヴィア１２２が形成されており、当該ヴィア１２２には銅等の金属材料が埋め込まれている。図５に示すように、キャップ層１１０は、層間絶縁膜１１６の上面に設けられている。キャップ層１１０には、配線間容量を低減させるために低い比誘電率が要求されると共に、耐湿性が要求される。上述したように、成膜装置１０及び当該成膜装置１０を用いることが可能な低誘電率膜の形成方法によれば、比誘電率が２．７より小さいＳｉＣＯ膜が得られる。また、このＳｉＣＯ膜は、１．５より小さい屈折率、即ち、高い密度を有するので、耐湿性に優れる。したがって、このＳｉＣＯ膜は、キャップ層１１０としての利用に適している。なお、このＳｉＣＯ膜は、層間絶縁膜１１２及び１１６として用いられてもよい。
【００６４】
以上、種々の実施形態について説明してきたが、上述の実施形態に限定されることなく種々の変形態様を構成することが可能である。例えば、処理室Ｓ２に供給される前駆体ガスは、ＯＭＣＴＳ（オクタメチルシクロテトラシロキサン：［（ＣＨ３）２ＳｉＯ］４）であってもよい。また、プラズマ生成室Ｓ１には水素ガスに代えて、Ｈ２Ｏ、ＣＨ３ＯＨ、Ｃ２Ｈ５ＯＨ、ＴＭＡＨ（水酸化テトラメチルアンモニウム）、及びＮＨ３のうち少なくとも一つからなる添加ガスが供給されてもよい。なお、添加ガスは、処理室Ｓ２に供給されてもよい。
【００６５】
以下、成膜装置１０を用いた実験例、及び比較例について説明する。
【００６６】
（実験例１〜４及び比較例１〜２９）
【００６７】
まず、成膜装置１０を用いて、下記の表１に示す実験例１〜４及び比較例１〜２０の条件により、直径２００ｍｍの被処理基体Ｗ上に、低誘電率膜の形成を行った。なお、実験例１〜４の低誘電率膜の形成では、被処理基体Ｗの温度を−５０℃に設定した。また、誘導結合型のプラズマ源を用いる点において成膜装置１０と異なる成膜装置を用いて、表１に示す比較例２１〜２９の条件により、低誘電率膜の形成を行った。実験例１〜４及び比較例１〜２９においては、遮蔽部４０として、４０ｃｍの直径、１０ｍｍの厚みを有し、１ｍｍの直径の開口を１０％の開口率で有するグラファイト製の遮蔽部を用いた。なお、表１において、ＭＯＤＥ欄の「ＣＷ」は連続的に誘導結合型のプラズマ源のコイルに高周波（ＲＦ）電力を与えたことを示している。また、ＭＯＤＥ欄の「ＴＭ  Ａ／Ｂ」は、誘導結合型のプラズマ源のコイルに与えるＲＦ電力を時間変調したことを示しており、ＲＦ電力をＡ秒間停止させた後にＢ秒間コイルに与えるサイクルが繰り返されたことを示している。
【００６８】
そして、各実験例及び比較例で得られた低誘電率膜の比誘電率ｋを、水銀プローブ法を用いて計測し、屈折率ＲＩをＮ  ａｎｄ  Ｋ法により計測した。各実験例及び比較例で得られた低誘電率膜の比誘電率ｋ及び屈折率ＲＩを表１の右側の２列に示す。また、各実験例及び比較例で得られた低誘電率膜の比誘電率ｋ及び屈折率ＲＩの関係を図８に示す。図８において、横軸は屈折率ＲＩであり、縦比軸は比誘電率ｋである。なお、図８に、比較例３０として、多孔質の膜とすることで低誘電率化を図った膜の屈折率ＲＩ及び比誘電率ｋを参考に示す。
【００６９】
表１及び図８に示すように、誘導結合型のプラズマ源を用いた比較例２１〜２９の低誘電率膜では、比誘電率は２．８以下にはならず、また、屈折率も１．４４が限界であった。また、比較例１〜２０の低誘電率膜は、圧力比が４より低い条件下で形成されたものであり、２．７より小さい比誘電率と１．５より大きな屈折率を両立させることはできなかった。一方、圧力比が４以上の条件下で成膜装置１０を用いた実験例１、３、及び４では、直径２００ｍｍの被処理基体Ｗ上の低誘電率膜において、２．７より小さい比誘電率と、１．５より大きい屈折率を両立させることができた。
【表１】
2014116576.tif 000003
【００７０】
また、実験例１、並びに、比較例３、１５及び３０の低誘電率膜におけるＳｉ（シリコン）、Ｃ（炭素）、及びＯ（酸素）の濃度を、ＸＰＳ（Ｘ線光電子分光）により測定し、これら低誘電率膜の密度をＸＲＲ（Ｘ線反射率法）により求めた。その結果を表２に示す。
【表２】
2014116576.tif 000004
【００７１】
表２に示すように、実験例１の低誘電率膜では、比較例３、１５及び３０の低誘電率膜よりも炭素の濃度が高く、実験例１のプロセス条件では、ＤＭＯＴＭＤＳからメチル基が過剰に分離されないことが確認された。また、表２に示す低誘電率膜のＣとＳｉの濃度比、及びＯとＳｉの濃度比からも、図５に示すリニア構造を主として含む膜が、実験例１では形成されたものと推測される。さらに、実験例１の低誘電率膜の密度は、比較例３、１５及び３０の低誘電率膜の密度よりも相当に大きいことが確認された。
【００７２】
次いで、成膜装置１０の圧力比を変更して、圧力比と拡散度の関係を求めた。この実験においても、遮蔽部４０として、４０ｃｍの直径、１０ｍｍの厚みを有し、１ｍｍの直径の開口を１０％の開口率で有するグラファイト製の遮蔽部を用いた。本実験において求めた圧力比と拡散度との関係を図９に示す。図９に示すように、成膜装置１０では、圧力比が４以上の場合に、拡散度が０．０１以下となった。但し、圧力比が２程度でも拡散度が０．０１以下となることがあった。したがって、成膜装置１０では、大口径化された被処理基体Ｗに低い比誘電率と高い屈折率を有する膜を形成するためには、拡散度を０．０１以下に設定し、且つ、圧力比を４以上に設定することが必要であることが確認された。
【００７３】
（実験例５〜６及び比較例３１〜３２）
【００７４】
実験例５〜６及び比較例３１〜３２では、下記の表３に示す条件により、直径２００ｍｍの被処理基体Ｗ上に、低誘電率膜の形成を行った。なお、実験例５〜６の低誘電率膜の形成では、被処理基体Ｗの温度を−５０℃に設定した。より具体的には、実験例５では、成膜装置１０を用い、プラズマ生成室Ｓ１にＡｒガスのみを供給し、遮蔽部４０に高周波バイアス電力を供給した。また、実験例６では、成膜装置１０を用い、プラズマ生成室Ｓ１にＡｒガス及びＨ２ガスを供給し、遮蔽部４０に高周波バイアス電力を供給した。また、比較例３１においては、成膜装置１０を用い、プラズマ生成室Ｓ１にＡｒガス及びＯ２ガスを供給して、遮蔽部４０に高周波バイアス電力を供給した。また、比較例３２においては、成膜装置１０を用い、プラズマ生成室Ｓ１にＡｒガス及びＭＴＭＯＳ（ｍｅｔｈｙｌｔｒｉｍｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ）ガスを供給して、遮蔽部４０に高周波バイアス電力を供給した。なお、実験例５〜６及び比較例３１〜３２においては、遮蔽部４０として、４０ｃｍの直径、１０ｍｍの厚みを有し、１ｍｍの直径の開口を１０％の開口率で有するグラファイト製の遮蔽部を用いた。
【表３】
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【００７５】
そして、各実験例及び比較例で得られた低誘電率膜の堆積速度、比誘電率、及びリーク電流を計測した。その結果を以下の表４に示す。
【表４】
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【００７６】
表４に示すように、実験例５では、バイアス電力を遮蔽部４０に供給することにより、低誘電率膜の比誘電率を小さい値、具体的には２．３に減少させることが可能であることが確認された。また、実験例６では、遮蔽部４０へのバイアス電力の供給に加えて、プラズマ生成室にＡｒガスとＨ２ガスを供給することにより、実験例５において作成した低誘電率膜の比誘電率及びリーク電流よりも、小さい比誘電率及びリーク電流をもつ低誘電率膜が形成できることが確認された。一方、比較例３１及び３２では、Ａｒガスに加えてＨ２ガスではなくＯ２ガス又はＭＴＭＯＳガスをプラズマ生成室Ｓ１に供給すると、形成された低誘電率膜の比誘電率が実験例５の低誘電率膜の比誘電率よりも増加してしまうことが確認された。
【００７７】
また、実験例１、５、及び６において作成した低誘電率膜を真空中にて室温から４００℃まで毎分１０℃の昇温スピードで加熱して、これら低誘電率膜の加熱による膜厚の減少率を測定した。この測定の結果、実験例１、５、及び６の低誘電率膜の膜厚の減少率はそれぞれ、２３％、３２％、及び５％であった。このことから、遮蔽部４０にバイアス電力を供給し、且つ、プラズマ生成室にＡｒガスとＨ２ガスを供給することにより、低誘電率膜の耐熱性が向上すること、即ち、重合性が高まることが確認された。
【００７８】
（実験例７）
【００７９】
実験例７では、３０ｓｃｃｍの流量でトルエンガスを処理室Ｓ２に供給して、直径２００ｍｍの１０枚の被処理基体Ｗ上に、低誘電率膜の形成を行った。なお、実験例７の低誘電率膜の形成では、被処理基体Ｗの温度を−５０℃に設定した。実験例７の他の条件は、実験例５と同様である。
【００８０】
そして、実験例７の処理により１０枚の被処理基体Ｗ上に形成された低誘電率膜の比誘電率の平均値及び分極率の平均値を求めた。実験例７の処理により１０枚の被処理基体Ｗ上に形成された低誘電率膜の比誘電率の平均値及び分極率の平均値はそれぞれ、２．２４、及び、０．２であった。また、実験例１〜４及び比較例１〜２９の処理によって形成された低誘電率膜の分極率も算出した。ここで、分極率は、（比誘電率−屈折率）の２乗により算出することができる。この分極率の算出式に基づき、実験例１〜４及び比較例１〜２９の処理によって形成された低誘電率膜の分極率を算出したところ、これら低誘電率膜のうち最も小さい分極率を有する低誘電率膜は実験例４の処理によって形成された低誘電率膜であり、その分極率は約１．０であった。このことから、前駆体ガスと共にトルエンガスを処理室Ｓ２に供給することで、低誘電率膜の比誘電率及び分極率を更に小さくすることができることが確認された。
【００８１】
（実験例４〜６の低誘電率膜のフーリエ変換赤外分光法による評価）
【００８２】
実験例４〜６で作成した低誘電率膜、即ちＳｉＣＯ膜をフーリエ変換赤外分光法によって分析した。そして、各実験例について、フーリエ変換赤外分光法によって得たスペクトルから、波数１０１０ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１０５０ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１０７５ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号、及び波数１１４０ｃｍ−１近傍に見られる信号のそれぞれの信号面積を求め、これら信号面積の総和を１００％としたときの、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の面積比（％）を求めた。なお、信号面積は、対象とする波数近傍のスペクトルにガウシアンフィッティングを行い、フィッティングしたガウス信号の面積を求めることによって得た。
【００８３】
また、実験例４〜６のＳｉＣＯ膜の各々について、フーリエ変換赤外分光法によって得たスペクトルから、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の全半値幅を求めた。信号の全半値幅は、対象とする波数近傍のスペクトルにガウシアンフィッティングを行い、フィッティングしたガウス信号の全半値幅を求めることによって得た。
【００８４】
実験例４〜６の低誘電率膜それぞれについて、波数１０１０ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１０５０ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１０７５ｃｍ−１近傍に見られる信号、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号、及び波数１１４０ｃｍ−１近傍に見られる信号の面積比を表５に示す。また、実験例４〜６の低誘電率膜それぞれについて、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の全半値幅を表６に示す。
【表５】
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【表６】
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【００８５】
表５に示すように、実験例５及び６のＳｉＣＯ膜では、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の面積比が約２５％以上であり、直鎖構造の対称性を高めるシロキサン結合が多く含まれることが確認された。また、実験例６のＳｉＣＯ膜では、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の面積比が約４０％以上であり、直鎖構造の対称性を高めるシロキサン結合がより多く含まれることが確認された。ここで、実験例６のＳｉＣＯ膜に対してフーリエ変換赤外分光法を適用して得たスペクトルを図１０に示す。図１０に示すように、実験例６のＳｉＣＯ膜では、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号は鋭いピークを有しており、表５及び表６に示すように、波数１１０８ｃｍ−１近傍に見られる信号の全半値幅は３５以下であった。このことから、実験例６のＳｉＣＯ膜には、直鎖構造の対称性を高めるシロキサン結合であって結合角のバラツキが少ないシロキサン結合がより多く含まれることが確認された。
【符号の説明】
【００８６】
１０…成膜装置、１２…処理容器、１４…アンテナ、１６…誘電体窓、１８…誘電体板、２０…スロット板、２２…冷却ジャケット、２４…同軸導波管、２６…マイクロ波発生器、２８…チューナ、３０…導波管、３２…モード変換器、３６…載置台、４０…遮蔽部、４０ｈ…開口、４２…バイアス電源、４４，４６…圧力計、４８…排気管、５０…圧力調整器、５２…減圧ポンプ、Ｇ１…ガス源（希ガス）、Ｈ１…噴射口、Ｍ１…マスフローコントローラ、Ｖ１１，Ｖ１２…バルブ、Ｇ２…ガス源（前駆体ガス）、Ｈ２…噴射口、Ｍ２…マスフローコントローラ、Ｖ２１，Ｖ２２…バルブ、Ｃｎｔ…制御部、１００…半導体デバイス、ＤＷ…ダマシン配線構造、１０２…トランジスタ、１１０…キャップ層、１１２…層間絶縁膜、１１４…エッチング停止層、１１６…層間絶縁膜、１２０…トレンチ、１２２…ヴィア。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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