(57)【要約】      （修正有）【課題】電極の有効面積と振動腕の剛性との双方の観点から検出感度を向上させることができる振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体を提供する。【解決手段】駆動部は、基体２０から延出され、第１主面及び第２主面を結ぶ第１外側面及び第２外側面を含む駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）と、駆動振動腕の先端に設けられている第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）と、駆動振動腕及び第１幅広部に亘る領域にて、第１主面から第２主面に貫通する第１スリット（３３ａ，３３ｂ）と、駆動振動腕の第１外側面に形成される第１外側面電極と、駆動振動腕の第２外側面に形成される第２外側面電極と、第１外側面と圧電体を介して対向する第１スリットの第１内側面に形成される第１内側面電極と、第２外側面と圧電体を介して対向する第１スリットの第２内側面に形成される第２内側面電極と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体の厚さ方向で対向する第１主面及び第２主面と、検出時に前記第１主面と平行な面内で振動する駆動部を有し、
前記駆動部は、
基体から延出され、前記第１主面及び前記第２主面を結ぶ第１外側面及び第２外側面を含む駆動振動腕と、
前記駆動振動腕の先端に設けられている第１幅広部と、
前記駆動振動腕及び前記第１幅広部に亘る領域にて、前記第１主面から前記第２主面に貫通する第１スリットと、
前記駆動振動腕の前記第１外側面に形成される第１外側面電極と、
前記駆動振動腕の前記第２外側面に形成される第２外側面電極と、
前記第１外側面と前記圧電体を介して対向する前記第１スリットの第１内側面に形成される第１内側面電極と、
前記第２外側面と前記圧電体を介して対向する前記第１スリットの第２内側面に形成される第２内側面電極と、
を有することを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１に記載の振動片において、
検出時に前記第１主面と平行な面内で振動する検出部をさらに有することを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項２に記載の振動片において、
前記検出部は、
前記基体から延出され、前記第１主面及び前記第２主面を結ぶ第３外側面及び第４外側面を含む検出振動腕と、
前記検出振動腕の先端に設けられている第２幅広部と、
前記検出振動腕の領域にて、前記第１主面から前記第２主面に貫通する第２スリットと、
前記検出振動腕の前記第３外側面に形成される第３外側面電極と、
前記検出振動腕の前記第４外側面に形成される第４外側面電極と、
前記第３外側面と前記圧電体を介して対向する前記第２スリットの第３内側面に形成される第３内側面電極と、
前記第４外側面と前記圧電体を介して対向する前記第２スリットの第４内側面に形成される第４内側面電極と、
を有することを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１に記載の振動片において、
検出時に前記厚さ方向に沿って振動する検出部をさらに有することを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項４に記載の振動片において、
前記検出部は、
前記基体から延出され、前記第１主面及び前記第２主面を結ぶ第３外側面及び第４外側面を含む検出振動腕と、
前記検出振動腕の先端に設けられている第２幅広部と、
前記検出振動腕の領域にて、前記第１主面から前記第２主面に貫通する第２スリットと、
前記検出振動腕の前記第３外側面に形成され、前記第１主面と前記第２主面との間の中立面で区画された２領域に形成される２つの第３外側面電極と、
前記検出振動腕の前記第４外側面に形成され、前記第１主面と前記第２主面との間の中立面で区画された２領域に形成される２つの第４外側面電極と、
前記第３外側面と前記圧電体を介して対向する前記第２スリットの第３内側面に形成される第３内側面電極と、
前記第４外側面と前記圧電体を介して対向する前記第２スリットの第４内側面に形成される第４内側面電極と、
を有し、
前記第３内側面電極及び前記第４内側面電極は接地電極であることを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項５に記載の振動片において、
前記第２スリットは、前記第２幅広部まで延出されていることを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項記載の振動片と、
前記振動片と接続されて、前記振動片に作用する角速度を検出する検出回路と、
を有することを特徴とする角速度センサー。
【請求項８】
請求項７に記載の角速度センサーを有することを特徴とする電子機器。
【請求項９】
請求項７に記載の角速度センサーを有することを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、角速度を検出するための振動片として、特許文献１には「ダブルＴ型」のジャイロ素子（振動片）が、特許文献２には「Ｈ型」のジャイロ素子（振動片）が開示されている。
【０００３】
特許文献１に記載されている「ダブルＴ型」のジャイロ素子は、基部と、基部から両側へＹ軸に沿って延出している第１、第２検出振動腕（検出アーム）と、基部から両側へＸ軸に沿って延出している第１、第２連結腕（連結アーム）と、第１連結腕から両側へＹ軸に沿って延出している第１、第２駆動振動腕（駆動アーム）と、第２連結腕から両側へＹ軸に沿って延出している第３、第４駆動振動腕（駆動アーム）と、第１、第２検出振動腕および第１、第２駆動振動腕の先端部に幅広に設けられた重量部（幅広部）と、を含んでいる。
【０００４】
また、上記各振動腕における駆動や検出を高精度に行うため、各振動腕に溝部を形成して駆動電極あるいは検出電極の有効面積を広くして感度を高めることが提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【０００５】
「Ｈ型」のジャイロ素子でも、駆動アームに溝部を形成して駆動電極の有効面積を広くして感度を高めることが開示されている（例えば、特許文献４の図１２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−２０１０１１号公報
【特許文献２】特開２０１２−０９８０９１号公報
【特許文献３】特開２００４−２４５６０５号公報
【特許文献４】特開２０１１−１４１２６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の幾つかの態様は、電極の有効面積と振動腕の剛性との双方の観点から検出感度を向上させることができる振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明の一態様は、圧電体の厚さ方向で対向する第１主面及び第２主面と、検出時に前記第１主面と平行な面内で振動する駆動部を有し、
前記駆動部は、
基体から延出され、前記第１主面及び前記第２主面を結ぶ第１外側面及び第２外側面を含む駆動振動腕と、
前記駆動振動腕の先端に設けられている第１幅広部と、
前記駆動振動腕及び前記第１幅広部に亘る領域にて、前記第１主面から前記第２主面に貫通する第１スリットと、
前記駆動振動腕の前記第１外側面に形成される第１外側面電極と、
前記駆動振動腕の前記第２外側面に形成される第２外側面電極と、
前記第１外側面と前記圧電体を介して対向する前記第１スリットの第１内側面に形成される第１内側面電極と、
前記第２外側面と前記圧電体を介して対向する前記第１スリットの第２内側面に形成される第２内側面電極と、
を有する振動片に関する。
【０００９】
本発明の一態様によれば、駆動部の電極の有効面積と駆動振動腕の剛性との双方の観点から検出感度を向上させることができる。先ず、特許文献３の図４（ａ）または特許文献４の図１２に示された非貫通の溝と対比して明らかなように、第１，第２主面に貫通する第１スリットは、駆動振動腕及び第１幅広部の剛性を弱める。特に、第１スリットは駆動振動腕と幅広部に亘る領域に形成されているので、駆動振動腕及び第１幅広部の剛性を弱める効果が高いと考えられる。駆動振動腕及び第１幅広部の剛性の低下は、駆動振動腕及び第１幅広部の励起振動に変化をもたらす。通常は、基体の基端側を中心として駆動振動腕及び第１幅広部が一体で振り子のように振動する。第１スリットを設けて駆動振動腕及び第１幅広部の剛性を弱めると、駆動振動腕のうち基体に近い基端部の振動方向と、自由端側の第１幅広部の振動方向とが逆向きとなる２次モード、あるいはそれに近い振動形態に変化する。
【００１０】
ある駆動電圧を駆動振動腕の電極に印加すると圧電効果によって生じる歪みで２次モードあるいはそれに近い駆動振動が励起される。２次モードあるいはそれに近い駆動振動形態では、その振幅は純粋な１次モードと同等であるが、歪みによって生じる駆動電流は低下し、駆動インピーダンスは上昇する。２次モードあるいはそれに近い駆動振動では、振幅の低下がないためコリオリ力の低下もない。従って、コリオリ力によって励起される検出モードも１モードの駆動振動と同等となり、検出電流も同等となる。よって、感度＝検出電流／駆動電流に従い検出感度が上がる。
【００１１】
次に、特許文献３の図４（ａ）または特許文献４の図１２に示された非貫通の溝と対比して明らかなように、第１，第２主面に貫通する第１スリットの第１，第２内側面の面積は増大する。それにより第１，第２内側面電極の面積も増大する。こうして有効電極面積が増えることから、電界効率も高くなる。
【００１２】
（２）本発明の一態様では、検出時に前記第１主面と平行な面内で振動する検出部をさらに有することができる。このように、同一面内にて振動する駆動部及び検出部を有する振動片として、「ダブルＴ型」を挙げることができる。本発明の一態様に係る発明は、「ダブルＴ型」の振動片にて好適に実施できる。
【００１３】
（３）本発明の一態様では、
前記検出部は、
前記基体から延出され、前記第１主面及び前記第２主面を結ぶ第３外側面及び第４外側面を含む検出振動腕と、
前記検出振動腕の先端に設けられている第２幅広部と、
前記検出振動腕の領域にて、前記第１主面から前記第２主面に貫通する第２スリットと、
前記検出振動腕の前記第３外側面に形成される第３外側面電極と、
前記検出振動腕の前記第４外側面に形成される第４外側面電極と、
前記第３外側面と前記圧電体を介して対向する前記第２スリットの第３内側面に形成される第３内側面電極と、
前記第４外側面と前記圧電体を介して対向する前記第２スリットの第４内側面に形成される第４内側面電極と、
を有することができる。
【００１４】
特許文献３の図４（ｂ）に示された非貫通の溝と対比して明らかなように、第１，第２主面に貫通する第２スリットの第３，第４内側面の面積は増大する。それにより第３，第４内側面電極の面積も増大する。こうして有効電極面積が増えることから、検出時の電界効率を向上させることができる。なお、第２スリットは、第１スリットとは異なり、第２幅広部まで延出させる必要は必ずしもない。第２スリットを第２幅広部まで延出させることにより、駆動振動腕と同じく面内振動する検出振動腕の振動形態に変化があると、検出インピーダンスが増加する虞があるからである。
【００１５】
（４）本発明の一態様では、検出時に前記厚さ方向に沿って振動する検出部をさらに有することができる。このように、駆動部が主面と平行な面内で振動する一方で、検出部が厚さ方向に沿って面外振動する振動片として、「Ｈ型」を挙げることができる。本発明の一態様に係る発明は、「Ｈ型」の振動片にて好適に実施できる。
【００１６】
（５）本発明の一態様では、
前記検出部は、
前記基体から延出され、前記第１主面及び前記第２主面を結ぶ第３外側面及び第４外側面を含む検出振動腕と、
前記検出振動腕の先端に設けられている第２幅広部と、
前記検出振動腕の領域にて、前記第１主面から前記第２主面に貫通する第２スリットと、
前記検出振動腕の前記第３外側面に形成され、前記第１主面と前記第２主面との間の中立面で区画された２領域に形成される２つの第３外側面電極と、
前記検出振動腕の前記第４外側面に形成され、前記第１主面と前記第２主面との間の中立面で区画された２領域に形成される２つの第４外側面電極と、
前記第３外側面と前記圧電体を介して対向する前記第２スリットの第３内側面に形成される第３内側面電極と、
前記第４外側面と前記圧電体を介して対向する前記第２スリットの第４内側面に形成される第４内側面電極と、
を有し、
前記第３内側面電極及び前記第４内側面電極を接地電極とすることができる。
【００１７】
上述した第１，第２内側面電極と同様の理由により、第３，第４内側面電極の面積が増大し、有効電極面積が増大する。よって、検出時の電界効率を向上させることができる。ところで、厚さ方向に沿って振動する検出部には、中立面を境界とする厚さ方向の２つの領域の一方には圧縮力が他方には引張力が作用する。ここで、中立面とは圧縮も引張も生じない面をいう。検出部に形成された一対の電極には、圧縮力または引張力に応じた電界が作用する。その際、圧縮力に基づく電界の方向と、引張力に基づく電界の方向とは、互いに逆向きとなる。そこで、中立面で区画された２領域に電極を分割して配置する必要がある。ただし、第２スリットの内側面の電極を分割することは加工上困難である。そのため、第２スリットの内側面では電極分割せずに、接地電極として２領域に共用し、検出振動腕の外側面に形成される電極を２つに分割した。
【００１８】
（６）本発明の一態様では、前記第２スリットは、前記第２幅広部まで延出することができる。圧電体の厚さ方向に沿って面外振動する検出振動腕の第２スリットは、第１スリットと同様に、第２幅広部まで延出させても良い。第２スリットを第２幅広部まで延出させることにより、面内振動する検出振動腕の振動形態には変化が認められるが、圧電体の厚さ方向に沿って面外振動する検出振動腕の振動形態には変化が生じ難いからである。
【００１９】
（７）本発明の他の態様は、上述した（１）〜（６）のいずれかに記載の振動片と、前記振動片と接続されて、前記振動片に作用する角速度を検出する検出回路と、を有する角速度センサーに関する。
【００２０】
この角速度センサーは、角速度の検出感度を高めることができる。
【００２１】
（８）本発明のさらに他の態様は、上述の（７）に記載の角速度センサーを有する電子機器に関する。
【００２２】
（９）本発明のさらに他の態様は、上述の（７）に記載の角速度センサーを有する移動体に関する。
【００２３】
本発明に係る電子機器及び移動体は、検出感度を維持または高めながらも、より小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動片（電極なし）の概略平面図である。
【図２】図１の振動片に電極が形成された状態でのII−II断面図である。
【図３】図１のIII−III断面図である。
【図４】図１の振動片に電極が形成された状態でのIV−IV断面図である。
【図５】図５（Ａ）は駆動時の振動状態を示す図であり、図５（Ｂ）は検出時の振動状態を示す図である。
【図６】比較例の駆動時の振動状態を示す図である。
【図７】本実施形態と比較例との駆動振幅を示す図である。
【図８】第１幅広部に延長される第１スリットの長さと素子感度増加率との相関を示す図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る振動片（電極なし）の概略平面図である。
【図１０】図１の振動片に電極が形成された状態でのＸ−Ｘ断面図である。
【図１１】振動片と検出回路を含む本発明の第３実施形態に係るジャイロセンサーの概略ブロック図である。
【図１２】検出回路で生成される交流電圧信号を示す図である。
【図１３】ジャイロセンサーを含む本発明の第４実施形態に係る電子機器の一例を示す図である。
【図１４】ジャイロセンサーを含む本発明の第４実施形態に係る電子機器の他の一例を示す図である。
【図１５】ジャイロセンサーを含む本発明の第４実施形態に係る移動体の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【００２６】
１．第１実施形態
１．１．「ダブルＴ型」の振動片の概要
図１は、電極が形成される前の状態での振動片１０を模式的に示している。ここで、本実施形態の振動片１０は、Ｘ軸と、Ｘ軸に平面上に直交するＹ軸からなるＸ−Ｙ平面に延在され、互いに対向する第１主面１１と第２主面１２とを有する。なお、第１主面１１及び第２主面１２に垂直な軸をＺ軸とする。
【００２７】
振動片１０は、Ｚ方向に厚みを有する水晶等の圧電体にて形成される。振動片１０は、大別して、基体２０と、駆動部３０と、検出部４０とを有する。基体２０は、中央の基部２１と、基部２１からＸ軸に沿って両側に延びる第１，第２連結腕２２，２３とを有する。
【００２８】
駆動部３０は、基体２０の一部（第１，第２連結腕２２，２３）からＹ軸方向に延びる駆動振動腕３１を有する。駆動振動腕３１の自由端部には、駆動振動腕３１よりも幅広の第１幅広部３２が設けられる。第１幅広部３２は駆動振動腕３１のハンマーヘッドとして機能する。本実施形態の駆動振動腕３１は、第１連結腕２２よりＹ軸方向の両側に延びる第１駆動振動腕３１ａ及び第２駆動振動腕３１ｂと、第２連結腕２３のＹ軸方向の両側に延びる第３駆動振動腕３１ｃ及び第４駆動振動腕３１ｄを含む。また、本実施形態の第１幅広部３２は、第１駆動振動腕３１ａ、第２駆動振動腕３１ｂ、第３駆動振動腕３１ｃ及び第４駆動振動腕３１ｄの各自由端部に設けられた第１幅広部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄを含む。
【００２９】
検出部４０は、基体２０の他の一部（基台２１）からＹ軸方向に延びる検出振動腕４１を有する。検出振動腕４１の自由端部には、検出振動腕４１よりも幅広の第２幅広部４２が設けられる。第２幅広部４２は検出振動腕４１のハンマーヘッドとして機能する。本実施形態の検出振動腕４１は、基台２１よりＹ軸方向の両側に延びる第１検出振動腕４１ａ及び第２検出振動腕４１ｂを含む。また、本実施形態の第１幅広部４２は、第１検出振動腕４１ａ及び第２検出振動腕４１ｂの各自由端部に設けられた第２幅広部４２ａ，４２ｂを含む。
【００３０】
この振動片１０はジャイロセンサー（角速度センサー）として用いることができる。図１）に示すように、角速度の検出にあたって駆動部３０（第１〜第４駆動振動腕３１ａ〜３１ｄ）には後述する電極に電界を印加して、駆動部３０には圧電効果により振動が励起される。この駆動時の振動は、図１に示すようにＸ−Ｙ平面内での矢印Ａ方向に沿った面内振動である。駆動時には、第１，第３駆動振動腕３１ａ，３１ｃがＸ方向にて相互に離れ相互に近づく振動を繰り返し、第２，第４駆動振動腕３１ｂ，３１ｄがＸ方向にて相互に離れ相互に近づく振動を繰り返す。
【００３１】
図１に示すように振動片１０にＺ軸廻りの角速度ωが加わると、図１に示す矢印Ｂ方向にコリオリ力が作用して、駆動部３０（第１〜第４駆動振動腕３１ａ〜３１ｄ及び第１幅広部３２ａ〜３２ｄ）の振動方向が変化する。駆動部３０は図１の矢印Ｂ方向に振動する。
【００３２】
駆動部３０の図１の矢印Ｂ方向の振動に呼応して、検出部４０（第１，第２検出振動腕４１ａ，４１ｂ及び第２幅広部４２ａ，４２ｂ）に矢印Ｃ方向の検出振動が励起される。そして、検出部４０では圧電効果に基づき電界が生じ、後述する電極に電荷が生み出される。
【００３３】
１．２．振動片へのスリット形成と電極の配置
１．２．１．駆動部
駆動部３０は、Ｙ方向にて駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）及び第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｂ）に亘る領域にて、Ｚ方向にて第１主面１１から第２主面１２に貫通する第１スリット３３を有する。第１スリット３３はＹ方向にて平行な２本の第１スリット３３ａ，３３ｂを含むことができる。第１スリット３３（３３ａ，３３ｂ）のＹ方向の終端は、例えば駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）が第１，第２連結腕２２，２３に連結される基端部とすることができる。第１スリット３３（３３ａ，３３ｂ）のＹ方向の他の終端は、駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）が第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）と連結される位置を超えて第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）内に位置している。
【００３４】
図２は、振動片１０に電極を形成した状態での図１のII−II断面を示している。駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）は、第１主面１１及び第２主面１２を結ぶ第１外側面３４ａ及び第２外側面３４ｂを含む。駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）は、第１外側面３４ａに形成される第１外側面電極３５ａと、第２外側面３４ｂに形成される第２外側面電極３５ｂと、を有する。駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）は、さらに、第１外側面３４ａと圧電体を介して対向する第１スリット３３の第１内側面３６ａに形成される第１内側面電極３７ａと、第２外側面３４ａと圧電体を介して対向する第１スリット３３の第２内側面３６ｂに形成される第２内側面電極３７ｂと、を有する。本実施形態では、第１内側面電極３７ａは第１スリット３３ａに形成される第１内側面３６ａに配置し、第２内側面電極３７ａは第１スリット３３ｂに形成される第１内側面３６ｂに配置している。
【００３５】
ここで、第１外側面電極３５ａと第１内側面電極３７ａとの間と、第２外側面電極３５ｂと第２内側面電極３７ｂとの間に、図２に示すようにそれぞれ交流電界Ｅ１，Ｅ２を印加することで、駆動部３０を図１に示す矢印Ａ方向に励振させることができる。従って、第１外側面電極３５ａと第１内側面電極３７ａとの電極間長さと、第２外側面電極３５ｂと第２内側面電極３７ｂとの電極間長さを短くして電界効率を上げる必要がある。
【００３６】
１本の第１スリット３３を形成したとき、Ｘ方向のスリット幅が広がって、駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）の剛性が過度に低下することがある。その場合、本実施形態のように２本の第１スリット３３ａ，３３ｂを形成して、２本の第１スリット３３ａ，３３ｂ間の中実部３８の存在により駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）に適度な剛性を確保できる。換言すれば、２本の第１スリット３３ａ，３３ｂ間の中実部３８の幅を調整することで、駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）の剛性を調整することができる。なお、第１，第２内側面電極３７ａ，３７ｂを成膜する時に、中実部３８の側面にも同時に電極が成膜されることがある。この場合、中実部３８の側面の電極は残存させても良いが、配線されることはない。
【００３７】
ここで、図１からに明らかなように、第１スリット３３（３３ａ，３３ｂ）に形成される第１，第２内側面電極３７ａ，３７ｂは、圧電体の厚さ方向（Ｚ方向）の全域に形成することができる。従って、特許文献３のように駆動振動腕に形成された非貫通の溝部内に内側面電極を形成するものと対比して、さらに電極の有効面積を拡大することができる。これにより、駆動時の電界効率を高めることができる。
【００３８】
図３は、図１のIII−III断面を示している。図３に示すように、第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）には電界を形成するための一対の対向電極は形成されない。図３に示すように、第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）にまで延びる第１スリット３３（３３ａ，３３ｂ）内に第１，第２内側面電極３７ａ，３７ｂが形成される場合でも、第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）の外側面には電極は形成されない。よって、第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）には電界が形成されない。
【００３９】
１．２．２．検出部
検出部４０への電極配置については、例えば特許文献３の図４（ｂ）ように溝部に内側面電極を設けるものなど、各種の実施形態を採用することができる。本実施形態では、Ｙ方向にて検出振動腕４１（第１，第２の検出振動腕４１ａ，４１ｂ）の領域にて、Ｚ方向にて第１主面１１から第２主面１２に貫通する第２スリット４３を有することができる。つまり、第２スリット４３は第２幅広部４２（４２ａ，４２ｂ）まで延出されない。第２スリット４３はＹ方向にて平行な２本の第２スリット４３ａ，４３ｂを含むことができる。第２スリット４３（４３ａ，４３ｂ）のＹ方向の終端は、例えば検出振動腕４１（４１ａ，４１ｂ）が基台２１に連結される基端部とすることができる。第２スリット４３（４３ａ，４３ｂ）のＹ方向の他の終端は、検出振動腕４１（４１ａ，４１ｂ）が第２幅広部４２（４２ａ，４２ｂ）と連結される位置とすることができる。
【００４０】
図４は、電極が形成された振動片１０の図１のIV−IV断面を示している。検出振動腕４１（４１ａ，４１ｂ）は、第１主面１１及び第２主面１２を結ぶ第３外側面４４ａ及び第４外側面４４ｂを含む。検出振動腕４１（４１ａ，４１ｂ）は、第３外側面４４ａに形成される第３外側面電極４５ａと、第４外側面４４ｂに形成される第４外側面電極４５ｂと、を有する。検出振動腕４１（４１ａ，４１ｂ）は、さらに、第３外側面４４ａと圧電体を介して対向する第２スリット４３の第３内側面４６ａに形成される第３内側面電極４７ａと、第４外側面４４ａと圧電体を介して対向する第２スリット４３の第４内側面４６ｂに形成される第４内側面電極４７ｂと、を有する。本実施形態では、第３内側面電極４７ａは第２スリット４３ａに形成される第３内側面４６ａに配置し、第４内側面電極４７ａは第２スリット３３ｂに形成される第４内側面４６ｂに配置している。
【００４１】
ここで、角速度ωの検出時には、検出振動腕４１（４１ａ，４１ｂ）が図１の矢印Ｃ方向に励振されることで、第３外側面電極４５ａと第３内側面電極４７ａとの間と、第４外側面電極４５ｂと第４内側面電極４７ｂとの間に、それぞれ交流電界Ｅ３，Ｅ４が形成される（図４）。その時に、第３，第４外側面電極４５ａ，４５ｂ及び第３，第４内側面電極４７ａ，４７ｂに生ずる表面電荷を検出することで、角速度ωが検出される。従って、第３外側面電極４５ａと第３内側面電極４７ａとの電極間長さと、第４外側面電極４５ｂと第４内側面電極４７ｂとの電極間長さを短くして電界効率を上げる必要がある。この事情から、検出振動腕４１（４１ａ，４１ｂ）でも駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）と同様に、１本の第２スリット４３でなく２本の第２スリット４３ａ，４３ｂを形成することが好ましい。
【００４２】
１．３．駆動動作及び検出動作
１．３．１．駆動動作
図５（Ａ）は、駆動部３０を駆動したときの駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）と第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）とを矢印Ａ方向に励振させる振動状態を示している。図５（Ａ）に示すように、駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）の基体２０に近い基端部の振動方向Ｄ１と、自由端側の第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）の振動方向Ｄ２とが逆向きとなる２次モード、あるいはそれに近い振動形態が実現される。
【００４３】
図６は、比較例の駆動時の振動状態を示している。図６に示す比較例では、特許文献３の図４（ａ）に示すような非貫通の２本の溝が駆動動振動腕に形成されている。しかも溝は第１幅広部まで延出されず、駆動振動腕の領域のみに溝が形成されている。図６の比較例では、基体の基端側を中心として駆動振動腕及び第１幅広部が一体で振り子のように矢印Ａ方向に振動する。
【００４４】
図５（Ａ）と図６の振動形態の相違は、駆動振動腕及び第１幅広部の剛性の相違に起因していると考えられる。特許文献３の図４（ａ）に示された非貫通の溝と対比して明らかなように、図２に示す第１，第２主面１１，１２に貫通する第１スリット３３（３３ａ，３３ｂ）は、駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）と第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）の剛性を弱める。特に、第１スリット３３（３３ａ，３３ｂ）は駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）と第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）に亘る領域に形成されているので、駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）と第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）の剛性を下げる効果が高いと考えられる。駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）と第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）の剛性の低下は、図５（Ａ）に示すように励起振動に図６とは異なる変化をもたらす。
【００４５】
駆動電流により駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）を励振する方向Ｄ１とは異なる向きＤ２に駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）の基端部が動くので、駆動インピーダンスは上がると考えられる。駆動インピーダンスが上がると駆動電流も減る。このとき、図７の上側にて模式的に示す図５（Ａ）の駆動振幅（本実施形態）と、図７の下側にて模式的に示す図６の比較例の駆動振幅は変わらないので、コリオリ力は低下しない。つまり、通常であれば駆動インピーダンスが上がって駆動電流が減れば、検出電流も減るが、本実施態様では検出モードでの検出電流は低下しない。よって、感度＝検出電流／駆動電流に従い検出感度が上がる。
【００４６】
図５（Ａ）に示す第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）に延長された第１スリット３３（３３ａ，３３ｂ）の長さをＬとする。図８は、横軸を第１スリット３３（３３ａ，３３ｂ）の延長長さＬ（μｍ）とし、縦軸に素子感度増加率（％）としたときの、延長長さＬ（μｍ）と素子感度増加率（％）との相関を示す。図８に示すように、第１スリット３３（３３ａ，３３ｂ）の延長長さＬ（μｍ）を０（延長なし）よりも大きくすることで、素子感度増加率（％）を高くすることができる。よって、駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）に形成される第１スリット３３（３３ａ，３３ｂ）を第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）に延長させることに意義があることが分かる。
【００４７】
次に、特許文献３の図４（ａ）に示された非貫通の溝と対比して明らかなように、第１，第２主面１１，１２に貫通する第１スリット３３（３３ａ，３３ｂ）の第１，第２内側面３６ａ，３６ｂの面積は増大する。それにより第１，第２内側面電極３７ａ，３７ｂの面積も増大する。こうして有効電極面積が増えることから、駆動時の電界効率も上げることができる。
【００４８】
１．３．２．検出動作
図５（Ｂ）は、角速度ωが作用した時の駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）と第１幅広部３２（３２ａ〜３２ｄ）の矢印Ｂ方向の振動状態と、それに呼応する検出振動腕４１（４１ａ，４１ｂ）と第２幅広部４２（４２ａ，４２ｂ）の矢印Ｃ方向の振動状態とを示している。検出部４０が励振されると、第３外側面電極４５ａと第３内側面電極４７ａとの間と、第４外側面電極４５ｂと第４内側面電極４７ｂとの間に、それぞれ交流電界Ｅ３，Ｅ４が形成される（図４）。その時に、第３，第４外側面電極４５ａ，４５ｂ及び第３，第４内側面電極４７ａ，４７ｂに生ずる表面電荷を検出することで、角速度ωが検出される。
【００４９】
特許文献３の図４（ｂ）に示された非貫通の溝と対比して明らかなように、第１，第２主面１１，１２に貫通する第２スリット４３（４３ａ，４３ｂ）の第３，第４内側面４６ａ，４６ｂの面積は増大する。それにより第３，第４内側面電極４７ａ，４７ｂの面積も増大する。こうして有効電極面積が増えることから、検出時の電界効率を上げることができる。なお、第２スリット４３（４３ａ，４３ｂ）は、第１スリット３３とは異なり、第２幅広部４２（４２ａ，４２ｂ）まで延出させていない。第２スリット４３（４３ａ，４３ｂ）を第２幅広部４２（４２ａ，４２ｂ）まで延出させることにより、駆動振動腕３１（３１ａ〜３１ｄ）と同じく面内振動する検出振動腕４１）４１ａ，４１ｂ）の振動形態に変化があると、検出インピーダンスが増加する虞があるからである。
【００５０】
２．第２実施形態
２．１．振動片の概要
図９は、電極が形成される前の状態での振動片５０を模式的に示している。この振動片５０は、特許文献４に記載されているものと同様の「Ｈ型」の振動片である。振動片５０は、基体６０、駆動部７０及び検出部８０を有する。駆動部７０は、駆動振動腕７１（第１駆動振動腕７１ａと第２駆動振動腕７１ｂ）を含む。基体６０と第１駆動振動腕７１ａと第２駆動振動腕７１ｂとで音叉形振動片を構成する。検出部８０は、第１検出振動腕８１ａと第２検出振動腕８１ｂとを含む。基体６０と第１検出振動腕７１ａと第２検出振動腕７１ｂとで、同様に音叉形振動片を構成する。この二つの音叉形振動片が基体６０で結合されており、このような構成の振動片５０はＨ型振動片と呼称される。
【００５１】
駆動振動腕７１（７１ａ，７１ｂ）の自由端には第１幅広部７２（７２ａ，７２ｂ）が設けられる。検出振動腕８１（８１ａ，８１ｂ）の自由端には第２幅広部８２（８２ａ，８２ｂ）が設けられる。
【００５２】
この振動片１０は、図９に示すように、角速度の検出にあたって駆動部７０（第１，第２振動腕７１ａ，７１ｂ及び第１幅広部７２ａ，７２ｂ）で振動が励起駆動される。この駆動時の振動は、Ｘ−Ｙ平面内にてＡ方向に沿った面内振動であり、第１，第２駆動振動腕７１ａ，７１ｂは相互に離れ相互に近づく振動を繰り返す。
【００５３】
図９に示すように振動片５０にＹ軸廻りの角速度ωが加わると、コリオリ力の働きで駆動部７０の振動方向が変化する。第１，第２駆動振動腕７１ａ，７１ｂ及び第１幅広部７２ａ，７２ｂが基体６０の重心回りでＺ方向に揺動する、いわゆるウォークモード励振（面外振動）が引き起こされる。
【００５４】
駆動部７０のウォークモード励振は基体６０から検出部８０に伝播する。その結果、検出部８０にも基体２０の重心回りでＺ方向に揺動するウォークモード励振（面外振動）が引き起こされる。そして、検出部８では圧電効果に基づき電界が生じ、電荷が生み出される。
【００５５】
２．２．振動片への電極の配置
２．２．１．駆動部
図９に示す駆動部７０は、Ｙ方向にて駆動振動腕７１（７１ａ，７１ｂ）及び第１幅広部７２（７２ａ，７２ｂ）亘る領域にて、Ｚ方向にて第１主面１１から第２主面１２に貫通する第１スリット７３を有する。第１スリット７３はＹ方向にて平行な２本の第１スリット７３ａ，７３ｂを含むことができる。第１スリット７３（７３ａ，７３ｂ）のＹ方向の終端は、例えば駆動振動腕７１（７１ａ，７１ｂ）が基体６０に連結される基端部とすることができる。第１スリット７３（７３ａ，７３ｂ）のＹ方向の他の終端は、駆動振動腕７１（７１ａ，７１ｂ）が第１幅広部７２（７２ｑａ，７２ｂ）と連結される位置を超えて第１幅広部７２（７２ａ，７２ｂ）内に位置している。
【００５６】
このように、本実施形態の駆動部７０もまた第１実施形態の駆動部３０と同様に第１スリット７３（７３ａ，７３ｂ）を有する。駆動部７０は、図９に示すII−II断面及びIII−III断面では、図２及び図３に示すものと同じ電極を配置している。
【００５７】
２．２．２．検出部
検出部８０は、検出振動腕８１（８１ａ，８１ｂ）の領域にて、Ｚ方向にて第１主面１１から第２主面１２に貫通する第２スリット８３を有することができる。つまり、第２スリット８３は第２幅広部８２（８２ａ，８２ｂ）まで延出されない。第２スリット８３はＹ方向にて平行な２本の第２スリット８３ａ，８３ｂを含むことができる。第２スリット８３（８３ａ，８３ｂ）のＹ方向の終端は、例えば検出振動腕８１（８１ａ，８１ｂ）が基体６０に連結される基端部とすることができる。第２スリット８３（８３ａ，８３ｂ）のＹ方向の他の終端は、検出振動腕８１（８１ａ，８１ｂ）が第２幅広部８２（８２ａ，８２ｂ）と連結される位置とすることができる。
【００５８】
このように、本実施形態の検出部８０もまた第１実施形態の検出部４０と同様に第２スリット８３（８３ａ，８３ｂ）を有する。ただし検出部８０は、図９に示すＸ−Ｘ断面にて図４に示すもの異なる電極を配置している。
【００５９】
図１０は、電極が配置された振動片５０の図９に示すＸ−Ｘ断面を示している。２つの第３外側面電極８５ａ−１，８５ａ−２は、検出振動腕８１（８１ａ，８１ｂ）の第３外側面８４ａに形成され、第１主面１１と第２主面１２との間の中立面１３で厚さ方向Ｚにて区画された２領域に形成される。第４外側面電極８５ｂ−１，８５ｂ−２は、検出振動腕８１（８１ａ，８１ｂ）の第４外側面８４ｂに形成され、中立面１３で厚さ方向Ｚにて区画された２領域に形成される。第３内側面電極８７ａ及び第４内側面電極８７ｂは接地電極である。
【００６０】
厚さ方向Ｚに沿って面外振動する検出部８０には、中立面１３を境界とする厚さ方向Ｚでの２つの領域の一方には圧縮力が他方には引張力が作用する。ここで、中立面１３とは圧縮も引張も生じない面をいう。検出部８０に形成された一対の電極には、圧縮力または引張力に応じた電界が作用する。その際、圧縮力に基づく電界の方向（図１０に示すＥ３またはＥ４）と、引張力に基づく電界の方向（図１０に示すＥ５またはＥ６）とは、互いに逆向きとなる。
【００６１】
そこで、中立面１３で厚さ方向Ｚにて区画された２領域に電極を分割して配置する必要がある。ただし、第２スリット８３（８３ａ，８３ｂ）の内側面８６ａ，８６ｂの電極を分割することは加工上困難である。そのため、第２スリット８３（８３ａ，８３ｂ）の内側面８６ａ，８６ｂの第３，第４内側面電極８７ａ，８７ｂは電極分割せずに、接地電極として２領域に共用している。代わりに、検出振動腕８１（８１ａ，８１ｂ）の第３，第４外側面８４ａ，８４ｂの中立面１３を境にした２領域に、第３外側面電極８５ａ−１，８５ａ−２及び第４外側面電極８５ｂ−１，８５ｂ−２を形成した。
【００６２】
２．３．駆動動作及び検出動作
２．３．１．駆動動作
第２実施形態に係る振動片５０は、駆動部７０の駆動振動腕７１（７１ａ，７１ｂ）及び第１幅広部７２（７２ａ，７２ｂ）が第１実施形態の駆動部３０と同じ断面構造を有する。よって、第２実施形態の駆動部７０も、図５（Ａ）に示すＳ字または逆Ｓ字の振動形態を呈するものである。つまり、駆動振動腕７１（７１ａ，７１ｂ）の基体６０に近い基端部の振動方向Ｄ１（図５（Ａ）参照）と、自由端側の第１幅広部７２（７２ａ，７２ｂ）の振動方向Ｄ２（図５（Ａ）参照）とが逆向きとなる２次モード、あるいはそれに近い振動形態が実現される。特許文献４の図１２に示された非貫通の溝と対比して明らかなように、第１，第２主面１１，１２に貫通する第１スリット７３（７３ａ，７３ｂ）は、駆動振動腕７１（７１ａ，７１ｂ）と第１幅広部７２（７２ａ，７２ｂ）の剛性を弱めるからである。
【００６３】
第２実施形態に係る振動片５０の駆動部７０は、第１実施形態の駆動部３０と同様な振動形態となることから、第１実施形態と同様にして検出感度を上げることができる。また、第１スリット７３（７３ａ，７３ｂ）の延長長さＬ（μｍ）を０（延長なし）よりも大きくすることで、図８に示すように素子感度増加率（％）を高くすることができる。さらに、特許文献４の図１２に示された非貫通の溝と対比して明らかなように、第１，第２主面１１，１２に貫通する第１スリット７３（７３ａ，７３ｂ）の第１，第２内側面３６ａ，３６ｂの面積は増大する。それにより第１，第２内側面電極３７ａ，３７ｂの面積も増大する。こうして有効電極面積が増えることから、駆動時の電界効率も上げることができる。
【００６４】
２．３．２．検出動作
角速度ωが作用した時に駆動振動腕７１（７１ａ，７１ｂ）と第２幅広部７２（７２ａ，７２ｂ）に生ずるウォークモード励振により、第３外側面電極８５ａ−１，８５ａ−２と第３内側面電極８７ａとの間と、第４外側面電極８５ｂ−１，８５ｂ２と第４内側面電極８７ｂとの間に、それぞれ交流電界Ｅ３，Ｅ４（または交流電界Ｅ５，Ｅ６）が形成される（図１０）。その時に、第３，第４外側面電極８５ａ−１，８５ａ−２，８５ｂ−１，８５ｂ−２に生ずる表面電荷を検出することで、角速度ωが検出される。
【００６５】
特許文献３の図４に示す段差面に形成される電極面積と比較して明らかなように、第１，第２主面１１，１２に貫通する第２スリット８３（８３ａ，８３ｂ）の第３，第４内側面８４ａ，８４ｂ（図１０）の面積は増大する。それにより第３，第４内側面電極８７ａ，８７ｂの面積も増大する。こうして有効電極面積が増えることから、検出時の電界効率を上げることができる。なお、第２スリット８３（８３ａ，８３ｂ）は、第１スリット７３とは異なり、第２幅広部４２（４２ａ，４２ｂ）まで延出させていない。ただし、第２実施形態の検出振動腕８１（８１ａ，８１ｂ）及び第２幅広部８２（８２ａ，８２ｂ）は第１実施形態と異なり面外振動であるので、検出インピーダンスが増加するとは限らない。よって、その場合には第２スリット８３（８３ａ，８３ｂ）を第２幅広部８２（８２ａ，８２ｂ）まで延出させても良い。
【００６６】
３．第３実施形態（角速度センサー）
図１１は、ジャイロセンサー（角速度センサー）１０００の概略ブロック図である。ジャイロセンサー１０００は、振動片５０と、駆動回路１１００と、検出回路１２００とを含む。振動片５０の例えば基体６０には、駆動端子Ｔ１，Ｔ２と、出力端子Ｓ１，Ｓ２が設けられる。駆動端子Ｔ１，Ｔ２は駆動回路１１００に接続され、出力端子Ｓ１，Ｓ２は検出回路１２００に接続される。駆動回路１１００は、駆動端子Ｔ１，Ｔ２に駆動信号を供給して、図９に示すように駆動部８０を圧電効果により面内振動させる。なお、振動片５０に代えて振動片１０を接続しても良い。
【００６７】
検出回路１２００は、２つのＱ／Ｖ変換回路（ＱＶアンプともいう）１２１０，１２２０を有する。２つのＱＶアンプ１２１０，１２２０には、振動片１０（５０）の出力端子Ｓ１，Ｓ２を介して、振動片１０（５０）の電極の各々に発生する交流電荷がそれぞれ入力され、交流電圧信号ＶＳＰ，ＶＳＭに変換する。出力端子Ｓ１，Ｓ２からの交流電荷は互いに１８０°位相が異なっており、振幅が等しい。従って、ＱＶアンプ１１０，１２０を同じ回路かつ同じレイアウトとすることで、図１２に示すように、ＱＶアンプ１２１０，１２２０は、互いに１８０°位相が異なり、振幅が等しい交流電圧信号ＶＳＰ，ＶＳＭを出力する。交流電圧信号ＶＳＰ，ＶＳＭの振幅は、振動片１０（５０）に加わるコリオリ力の大きさ（角速度の大きさ）に応じて変化する。しかも、本実施形態では上述した通り電荷ロスを少なくできるので、交流電圧信号ＶＳＰ，ＶＳＭの振幅を大きくできる。
【００６８】
検出回路１２００では、ＱＶアンプ１２１０，１２２０の出力信号を、差動増幅回路１２３０にて差動増幅する。それにより、交流電圧信号ＶＳＰ，ＶＳＭの各振幅の２倍の振幅信号が生成される。その後、駆動回路１１００からの参照信号に基づいて、同期検波回路１２４０にて同期検波を行う。それにより、角速度成分のみが検出され、角速度の大きさに応じた電圧レベルの信号（角速度信号）を生成する。この角速度信号は、外部出力端子を介して外部に出力され、例えば、マイクロコンピューターにおいてＡ／Ｄ変換され、角速度データとして種々の処理に用いられる。なお、検出回路１０００にＡ／Ｄ変換器を内蔵し、角速度を表すデジタルデータを、例えば、シリアルインターフェースを介して外部に出力するようにしてもよい。
【００６９】
４．第４実施形態（電子機器及び移動体）
図１３は電子機器の一具体例としてのスマートフォン１０１を概略的に示す。スマートフォン１０１には振動片１０（５０）を有するジャイロセンサー１０００が組み込まれる。ジャイロセンサー１０００はスマートフォン１０１の姿勢を検出することができる。いわゆるモーションセンシングが実施される。ジャイロセンサー１０００の検出信号は例えばマイクロコンピューターチップ（ＭＰＵ）１０２に供給することができる。ＭＰＵ１０２はモーションセンシングに応じて様々な処理を実行することができる。その他、モーションセンシングは、携帯電話機、携帯型ゲーム機、ゲームコントローラー、カーナビゲーションシステム、ポインティングデバイス、ヘッドマウンティングディスプレイ、タブレットパソコン等の各種電子機器で利用されることができる。
【００７０】
図１４は電子機器の他の具体例としてのデジタルスチルカメラ（以下「カメラ」という）１０３を概略的に示す。カメラ１０３には振動片１０（５０）を有するジャイロセンサー１０００が組み込まれる。ジャイロセンサー１０００はカメラ１０３の姿勢を検出することができる。ジャイロセンサー１０００の検出信号は手ぶれ補正装置１０４に供給することができる。手ぶれ補正装置１０４はジャイロセンサー１０００の検出信号に応じて例えばレンズセット１０５内の特定のレンズを移動させることができる。こうして手ぶれを補正することができる。その他、手ぶれ補正はデジタルビデオカメラで利用されることができる。
【００７１】
図１５は移動体の一具体例としての自動車１０６を概略的に示す。自動車１０６には振動片１０（５０）を有するジャイロセンサー１０００が組み込まれる。ジャイロセンサー１０００は車体１０７の姿勢を検出することができる。ジャイロセンサー１０００の検出信号は車体姿勢制御装置１０８に供給することができる。車体姿勢制御装置１０８は例えば車体１０７の姿勢に応じてサスペンションの硬軟を制御し、個々の車輪１０９のブレーキを制御することができる。その他、姿勢制御は二足歩行ロボットや航空機、ヘリコプター等の各種移動体で利用することができる。
【００７２】
なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。したがって、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれる。例えば、上記実施形態および変形例では、振動片としての形成材料として水晶を用いた例を説明したが、水晶以外の圧電体材料を用いることができる。例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７）、ランガサイト（Ｌａ３Ｇａ５ＳｉＯ１４）などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、あるいは圧電セラミックスなどを用いることができる。また、明細書または図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語とともに記載された用語は、明細書または図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えられることができる。また、ジャイロセンサー１０００や振動片１０，５０、スマートフォン１０１、カメラ１０３、自動車１０６等の構成および動作も本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００７３】
１０  振動片、第１１  第１主面、１２  第２主面、２０  基体、２１  基部、２２  第１連結腕、２３  第２連結腕、３０  駆動部、３１  駆動振動腕、３１ａ  第１駆動振動腕、３１ｂ  第２駆動振動腕、３１ｃ  第３駆動振動腕、３１ｄ  第４駆動振動腕、３２、３２ａ〜３２ｄ  第１幅広部、３３、３３ａ〜３３ｄ  第１スリット、３４ａ  第１外側面、３４ｂ  第２外側面、３５ａ  第１内側面、３５ｂ  第２内側面、３６ａ  第１外側面電極、３６ｂ  第２外側面電極、３７ａ  第１内側面電極、３７ｂ  第２外側面電極、３８  中実部、４０  検出部、４１  検出振動腕、４１ａ  第１検出振動腕、４１ｂ  第２検出振動腕、４２、４２、４２ｂ  第２幅広部、４３、４３ａ、４３ｂ  第２スリット、４４ａ  第３外側面、４４ｂ  第４外側面、４５ａ  第３内側面、４５ｂ  第４内側面、４６ａ  第３外側面電極、４６ｂ  第４外側面電極、４７ａ  第３内側面電極、４７ｂ  第４外側面電極、５０  振動片、６０  基体、７０  駆動部、７１、７１ａ、７１ｂ  駆動振動腕、７２、７２ａ、７２ｂ  第１幅広部、７３、７３ａ、７３ｂ  第１スリット、８０  検出部、８１、８１ａ、８１ｂ  検出振動腕、８２、８２ａ、８２ｂ  第２幅広部、８３、８３ａ、８３ｂ  第２スリット、８４ａ  第３外側面、８４ｂ  第４外側面、８５ａ−１，８５ａ−２  第３外側面電極、８５ｂ−１、８５ｂ−２  第４外側面電極、８６ａ  第３内側面、８６ｂ  第４内側面、８７ａ  第３内側面電極、８７ｂ  第４内側面電極、１０１，１０３  電子機器、１０６  移動体、１１００  駆動回路、１２００  検出回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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