(57)【要約】【課題】厚さが薄く撓み易い基板を高精度に搬送することができる基板搬送装置を提供すること。【解決手段】基板搬送装置１によれば、厚さが薄く撓み易い基板Ｐであっても、基板Ｐの両側縁部は一対のコンベア装置１７，１８支持されるので、基板Ｐを確実に搬送することができ、また、基板Ｐの両側縁部間はエアー調整装置９０から噴出されるエアーで浮力が付与されるので、搬送時における基板Ｐとエアー調整装置９０との摺動抵抗を軽減することができる。そして、搬送時に基板Ｐの両側縁部間が垂れ下がったとしても、その垂れ下がりはエアー調整装置９０で規制されることになる。よって、基板Ｐの搬送を搬送用治具を用いずに行うことができる。【選択図】図２
2014123597.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の搬送方向に平行に設けられ、前記基板の両側縁部をそれぞれ支持して搬送する一対のコンベヤ装置と、
前記一対のコンベヤ装置に並べて設けられ、搬送される前記基板の両側面をそれぞれガイドする一対のガイド装置と、
前記一対のコンベヤ装置の間で昇降可能に設けられ、所定位置に位置決めされる前記基板を裏面から支持可能な基板支持面を有するバックアップ装置と、を備え、
前記バックアップ装置には、搬送される前記基板の裏面に対し前記基板支持面からエアーを噴出して前記基板に浮力を付与するエアー調整装置が設けられている基板搬送装置。
【請求項２】
前記バックアップ装置は、前記コンベア装置で前記基板を搬送する際、前記基板支持面を前記一対のコンベヤ装置の基板搬送面よりも所定距離だけ低い位置に位置決めする請求項１の基板搬送装置。
【請求項３】
前記一対のコンベヤ装置の間に前記コンベヤ装置と平行に設けられ、前記基板の両側縁部間を支持可能なローラを有するローラ支持装置を備える請求項１又は２の基板搬送装置。
【請求項４】
前記エアー調整装置は、前記バックアップ装置と分離可能に構成されている請求項１〜３の何れか一項の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を搬送する基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、基板を搬送用治具に貼り付け、この搬送用治具を一対のコンベヤ装置で搬送する基板搬送装置が記載されている。このような搬送用治具を用いれば、厚さが薄く撓み易い基板であっても基板を容易に搬送することができる。特に大型の基板は撓みが大きいため、このような搬送用治具を用いる必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２１０００３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の基板搬送装置では、基板の形状毎に搬送用治具が必要であるため、搬送用治具の管理が煩雑になるという問題がある。また、基板を搬送用治具に貼り付ける工程が必要であるため、基板搬送に時間が掛かるという問題がある。
【０００５】
本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、厚さが薄く撓み易い基板を一対のコンベヤ装置で搬送する場合に、搬送用治具を用いずに搬送することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に係る発明は、基板の搬送方向に平行に設けられ、前記基板の両側縁部をそれぞれ支持して搬送する一対のコンベヤ装置と、前記一対のコンベヤ装置に並べて設けられ、搬送される前記基板の両側面をそれぞれガイドする一対のガイド装置と、前記一対のコンベヤ装置の間で昇降可能に設けられ、前記所定位置に位置決めされる前記基板を裏面から支持可能な基板支持面を有するバックアップ装置と、を備え、前記バックアップ装置には、搬送される前記基板の裏面に対し前記基板支持面からエアーを噴出して前記基板に浮力を付与するエアー調整装置が設けられていることである。
【０００７】
これにより、厚さが薄く撓み易い基板であっても、基板の両側縁部は一対のコンベア装置で支持されるので、基板を確実に搬送することができる。また、基板の両側縁部間はエアー調整装置の基板支持面から噴出されるエアーで浮力が付与されるので、搬送時における基板と基板支持面との摺動抵抗を軽減することができる。そして、搬送時に基板の両側縁部間が垂れ下がったとしても、その垂れ下がりは基板支持面で規制されることになる。よって、基板の搬送を搬送用治具を用いずに行うことができる。
【０００８】
請求項２に係る発明は、前記バックアップ装置は、前記コンベア装置で前記基板を搬送する際、前記基板支持面を前記一対のコンベヤ装置の基板搬送面よりも所定距離だけ低い位置に位置決めすることである。
【０００９】
これにより、基板は、両側縁部間が両側縁部よりも所定距離垂れ下がった状態で搬送されることになる。よって、基板の両側縁部は、一対のコンベア装置上に確実に載って支持されることになるため、基板と一対のコンベア装置との接触抵抗により基板の搬送時のスリップを防止することができ、基板の搬送を高精度に行うことができる。
【００１０】
請求項３に係る発明は、前記一対のコンベヤ装置の間に前記コンベヤ装置と平行に設けられ、前記基板の両側縁部間を支持可能なローラを有するローラ支持装置を備えることである。
【００１１】
これにより、さらに厚さが薄く大型の基板であっても、ローラ支持装置により基板の両側縁部間の大きな垂れ下がりを防止し、ローラによりスムーズに搬送することができる。
【００１２】
請求項４に係る発明は、前記エアー調整装置は、前記バックアップ装置と分離可能に構成されていることである。
【００１３】
搬送時に基板の両側縁部間を支持する必要のない厚みのある基板については、エアー調整装置をバックアップ装置から取り外すことにより、下面に既に部品が実装されている基板についても搬送することができる。また、その際、エアー調整装置に換えてバックアップ装置上にバックアップピンを立てて基板下面の部品が実装されていない部分を支持するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板搬送装置を備えた部品実装装置の概略構造を示す斜視図である。
【図２】図１の基板搬送装置の概略斜視図である。
【図３】図２の基板搬送装置からエアー調整装置を取り外した状態を示す概略斜視図である。
【図４】図２のＡ−Ａ線矢視方向に破断した基板搬送装置の主に搬送装置の構造を示す縦断面図である。
【図５】図２のＢ−Ｂ線矢視方向に破断した基板搬送装置の主に搬送装置の固定支持部材等を示す縦断面図である。
【図６】図２のＣ−Ｃ線矢視方向に破断した基板搬送装置の主に搬送装置の可動支持部材等を示す縦断面図である。
【図７】図２のＤ−Ｄ線矢視方向に破断した基板搬送装置の主に幅変更装置の構造を示す縦断面図である。
【図８】図２の基板搬送装置の主にバックアップ装置の構造を示す平面図である。
【図９】図７のバックアップ装置の昇降装置の縦断面図である。
【図１０】図２の基板搬送装置のエアー調整装置を示す概略図である。
【図１１】図１の基板搬送装置の搬送準備ステップを説明するためのフローチャートである。
【図１２】図１の基板搬送装置の搬送ステップを説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る基板搬送装置の一実施の形態を備えた部品実装装置について説明する。図１に示すように、部品実装装置１は、基枠３上に設けられて基板Ｐを搬送する基板搬送装置１０と、この基板搬送装置１０の一側に設けられて基板Ｐに装着する部品を供給する部品供給装置２０と、両装置１０，２０の上方に配設されて部品供給装置２０により供給された部品を採取して基板搬送装置１０に支持された基板Ｐに装着する部品移載装置３０等とを備えて構成される。
【００１６】
なお、図１においては２台の部品実装装置１を１つの架台２に並べて搭載した状態を示しているが、部品実装ラインにおいては１台の部品実装装置１のみで構成され、もしくは複数台の部品実装装置１が並設されて構成されている場合もある。以下の説明において、２台の部品実装装置１が並ぶ方向、すなわち基板の搬送方向をＸ軸方向と称し、水平面内においてＸ軸方向に直角な方向をＹ軸方向と称し、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに直角な方向をＺ軸方向と称する。
【００１７】
図１に示すように、基板搬送装置１０は、基板Ｐを１枚ずつ搬送可能ないわゆるシングルコンベアタイプのものである。図２および図３に示すように、この基板搬送装置１０は、搬送装置１１と、幅変更装置７０と、バックアップ装置８０と、エアー調整装置９０と、ローラ支持装置１００等とを備えている。なお、図３においては、エアー調整装置９０をバックアップ装置８０から取り外した状態を示している。
【００１８】
図３および図４に示すように、搬送装置１１は、互いに対向してＸ軸方向に延在しＹ軸方向に相対移動可能に基台１２上に装架された固定支持部材１３および可動支持部材１４等を備えている。固定支持部材１３および可動支持部材１４には、一端側すなわち部品供給装置２０側の側壁にＸ軸方向に沿って設置されたガイドレール１５（第１ガイドレール）と、この第１ガイドレール１５に対向するガイドレール１６（第２ガイドレール）とがそれぞれ装架されている。さらに、一端側の側壁にＸ軸方向に沿って設置されたコンベアベルト１７（第１コンベアベルト）と、この第１コンベアベルト１７に対向するコンベアベルト１８（第２コンベアベルト）とがそれぞれ循環可能に張架されている。
【００１９】
すなわち、一対の第１、第２ガイドレール１５，１６は、基板Ｐを案内可能なように互いに平行かつ水平に並設され、一対の第１、第２コンベアベルト１７，１８は、基板Ｐを支持して搬送可能なように第１、第２ガイドレール１５，１６にそれぞれ平行に並設されている。第１、第２ガイドレール１５，１６には、搬送される基板Ｐの側面を案内する第１、第２ガイド部１５ａ，１６ａと、第１、第２ガイド部１５ａ，１６ａの上方内側に基板Ｐの上面側縁部と当接可能に突設し、後述する第１、第２クランプレール８８，８９と基板Ｐを挟持してクランプする第１、第２クランプ部１５ｂ，１６ｂとがそれぞれ設けられている。
【００２０】
固定支持部材１３および可動支持部材１４における第１、第２コンベアベルト１７，１８の基板搬入側および基板搬出側には、基板Ｐの搬入および搬出を検出する投光部および受光部を有する透過型の搬送センサ９８，９８がそれぞれ設けられている。例えば、第１コンベアベルト１７側の搬送センサ９８，９８は、投光部を備え、第２コンベアベルト１８側のセンサ９８，９８は、受光部を備えている。
【００２１】
図４および図５に示すように、固定支持部材１３は、第１ガイドレール１５および第１コンベアベルト１７を取付けた第１取付フレーム４１およびこの第１取付フレーム４１を基台１２に支持した一対の第１左右支持フレーム４２，４３等で概略構成されている。第１取付フレーム４１は、Ｘ軸方向に細長い板材を垂直に配設したものであり、第１取付フレーム４１の上端には、第１ガイドレール１５が取付けられている。第１取付フレーム４１側壁のＸ軸方向両端部には、第１コンベアベルト１７が張架される一対の搬送プーリ４４，４５が回転可能に支承されている。第１取付フレーム４１側壁の両搬送プーリ４４，４５間には、第１コンベアベルト１７の下面に当接して支持する第１支持板４６が取付けられている。
【００２２】
第１取付フレーム４１のＸ軸方向両端部には、断面Ｌ字状に形成した細長い第１左右支持フレーム４２，４３の各上端部がそれぞれ取付けられている。第１左支持フレーム４２の側壁には、後述する搬送用スプライン軸４７に係合して回転される第１駆動プーリ４８が回転可能に支承されている。第１取付フレーム４１および第１左右支持フレーム４２，４３の各側壁には、４つのテンションプーリ４９が回転可能に支承されている。
【００２３】
そして、第１駆動プーリ４８、搬送プーリ４４，４５および各テンションプーリ４９には、第１コンベアベルト１７が張架されている。また、第１左右支持フレーム４２，４３の各下端は、基台１２の所定位置（基準位置）にねじ止め固定されている。これにより、固定支持部材１３は、基台１２上の基準位置に位置決め固定され、この結果、第１ガイドレール１５および第１コンベアベルト１７が基準位置に位置決め固定される。
【００２４】
図４および図６に示すように、可動支持部材１４は、固定支持部材１３と略同様に構成されたものであり、第２ガイドレール１６および第２コンベアベルト１８を取付けた第２取付フレーム５１およびこの第２取付フレーム５１を基台１２に支承した一対の第２左右支持フレーム５２，５３等で概略構成されている。第２取付フレーム５１は、Ｘ軸方向に細長い板材を垂直に配設したものであり、第２取付フレーム５１の上端には、第２ガイドレール１６が取付けられている。第２取付フレーム５１側壁のＸ軸方向両端部には、第２コンベアベルト１８が張架される一対の搬送プーリ５４，５５が回転可能に支承されている。第２取付フレーム５１側壁の両搬送プーリ５４，５５間には、第２コンベアベルト１８の下面に当接して支持する第２支持板５６が取付けられている。
【００２５】
第２取付フレーム５１のＸ軸方向両端部には、断面Ｌ字状に形成した細長い第２左右支持フレーム５２，５３の各上端部がそれぞれ取付けられている。第２左支持フレーム５２の側壁には、搬送用スプライン軸４７に係合して回転される第２駆動プーリ５８が回転可能に支承されている。第２取付フレーム５１および第２左右支持フレーム５２，５３の各側壁にも、４つのテンションプーリ５９が回転可能に支承されている。そして、第２駆動プーリ５８、搬送プーリ５４，５５および各テンションプーリ５９には、第２コンベアベルト１８が張架されている。
【００２６】
また、固定支持部材１３と異なる構成として、第２左右支持フレーム５２，５３の各下端は、Ｙ軸方向に延在して基台１２上に配設した一対の支持部材用レール７３，７３に沿って移動可能な一対の支持部材スライダ７４，７４にねじ止め固定されている。これにより、可動支持部材１４は、Ｙ軸方向、すなわち第２ガイドレール１６の長手方向と直交する方向に位置調整可能に取付けられ、この結果、第２ガイドレール１６および第２コンベアベルト１８が所定の位置に調整されて位置決め固定される。
【００２７】
上述した搬送用スプライン軸４７は、図４に示すように、固定支持部材１３の第１左支持フレーム４２とモータ支持フレーム６１とに軸回りに回転可能に軸架されている。この搬送用スプライン軸４７は、モータ支持フレーム６１の背面側（図２における左背面側）に取付けられている搬送駆動用モータ６５の駆動により回転可能に搬送駆動用モータ６５と連結されている。すなわち、搬送用スプライン軸４７の他端には、伝達プーリ６２が同軸的に取付け固定されている。搬送駆動用モータ６５の出力軸には、駆動プーリ６３が同軸的に取付け固定されている。そして、伝達プーリ６２および駆動プーリ６３には、ベルト６４が張架されている。
【００２８】
なお、第１、第２コンベアベルト１７，１８、第１、第２取付フレーム４１，５１、第１、第２左右支持フレーム４２，４３，５２，５３、第１、第２支持板４６，５６、第１、第２駆動プーリ４８，５８、搬送プーリ４４，４５，５４，５５、テンションプーリ４９，５９、モータ支持フレーム６１、伝達プーリ６２、駆動プーリ６３、ベルト６４および搬送駆動用モータ６５等が、一対のコンベヤ装置を構成している。また、第１、第２ガイドレール１５，１６、第１、第２取付フレーム４１，５１および第１、第２左右支持フレーム４２，４３，５２，５３等が、一対のガイド装置を構成している。
【００２９】
図４および図５に示すように、第１、第２取付フレーム４１，５１には、第１、第２クランプ部１５ｂ，１６ｂと基板Ｐの両側縁部を挟持してクランプする第１、第２クランプレール８８，８９がそれぞれ設けられている。なお、便宜上、図６および図７においては、第１、第２クランプレール８８，８９、バックアッププレート８３およびエアー調整装置９０の図示は省略されている。第１、第２クランプレール８８，８９は、断面略Ｌ字の長板状に形成され、上部には基板Ｐを押圧支持する支持部８８ａ，８９ａが設けられ、下部にはバックアッププレート８３の上昇力を受ける受け部８８ｂ，８９ｂが設けられている。
【００３０】
支持部８８ａ，８９ａは、第１、第２クランプ部１５ｂ，１６ｂの下方に配され、支持部８８ａ，８９ａの上端が、第１、第２クランプ部１５ｂ，１６ｂの下面に対応するよう設けられている。受け部８８ｂ，８９ｂには、搬送される基板Ｐとは反対側にＬ字の水平に突出する長縁部８８ｃ，８９ｃが形成され、長縁部８８ｃ，８９ｃの上面は第１、第２取付フレーム４１，５１の下方に配されている。長縁部８８ｃ，８９ｃの両端には、第１、第２取付フレーム４１，５１の下面に設けられた図示しないバネシリンダのシリンダロッド８８ｄ，８９ｄの下端が結合され、第１、第２クランプレール８８，８９全体が、下方へ付勢されている。
【００３１】
図３および図７に示すように、幅変更装置７０は、幅変更駆動用モータ７１と、幅変更機構７２と、一対の支持部材用レール７３，７３と、支持部材スライダ７４，７４等とを備えている。幅変更駆動用モータ７１は、モータ支持フレーム６１の背面側（図２における右背面側）に取付けられている。幅変更機構７２は、互いに平行かつ水平に並設された一対の送りねじ７５，７５と、各送りねじ７５，７５に螺合可能な一対の送りナット７６，７６等とを備えている。
【００３２】
各送りねじ７５，７５は、固定支持部材１３の第１左右支持フレーム４２，４３とモータ支持フレーム６１とに回転可能に軸架されている。各送りナット７６，７６は、可動支持部材１４の第２左右支持フレーム５２，５３に嵌装されている。第１右支持フレーム４３側の送りねじ７５のモータ支持フレーム６１側の端部には、幅変更プーリ７７ａが同軸的に取付け固定されている。幅変更駆動用モータ７１の出力軸には、駆動プーリ７８が同軸的に取付け固定されている。そして、幅変更プーリ７７ａおよび駆動プーリ７８には、ベルト７９ａが張架されている。さらに、各送りねじ７５，７５のモータ支持フレーム６１側の端部には、伝達プーリ７７ｂ，７７ｂが同軸的に取付け固定されている。伝達プーリ７７ｂ，７７ｂには、ベルト７９ｂが張架されている。
【００３３】
図３および図８に示すように、バックアップ装置８０は、昇降駆動用モータ８１と、４つの昇降装置８２と、バックアッププレート８３等とを備えている。昇降駆動用モータ８１は、出力軸がＺ軸上方向を向くようにして、基台１２上におけるモータ支持プレート６１側の略中央に取付けられている。各昇降装置８２は、昇降軸８２１がＺ軸上方向を向くようにして、基台１２上における固定支持部材１３と一対の送りねじ７５，７５と可動支持部材１４とに囲まれた範囲内の四隅にそれぞれ取付けられている。
【００３４】
昇降駆動用モータ８１の出力軸には、駆動プーリ８４が同軸的に取付け固定され、各昇降装置８２の昇降軸８２１には、昇降プーリ８５が同軸的に取付け固定されている。そして、駆動プーリ８４，昇降プーリ８５および基台１２上に回転可能に支承されたテンションプーリ８６には、ベルト８７が張架されている。
【００３５】
図９に示すように、昇降装置８２は、昇降軸８２１と、送りナット８２２と、ナット支持部８２３と、ラジアルベアリング８２４と、軸支持部８２５等とを備えている。昇降軸８２１には、一端側（図９における上端側）におねじ部８２１ａが設けられ、他端側（図９における下端側）に回り止めとなる二面取り部８２１ｂが設けられている。昇降軸８２１の一端面には、バックアッププレート８３に穿設されている位置決め凹部８３ａに嵌入可能な位置決め凸部８２１ｃが突設されている。送りナット８２２には、昇降軸８２１のおねじ部８２１ａと螺合可能なめねじ部８２２ａが設けられている。送りナット８２２の外周部には、ラジアルベアリング８２４の内周部が嵌合されている。ナット支持部８２３の内周部８２３ａには、ラジアルベアリング８２４の外周部が嵌合されている。軸支持部８２５は、ナット支持部８２３の下部にねじ止め固定されている。軸支持部８２５の中央には、昇降軸８２１の二面取り部８２１ｂが嵌入される穴部８２５ａが穿設されている。
【００３６】
図３および図８に示すように、バックアッププレート８３は、各昇降装置８２の昇降軸８２１上に載置可能な矩形板状に形成されている。バックアッププレート８３は、昇降装置８２で上昇されることにより、第１、第２クランプレール８８，８９を押し上げて第１、第２クランプ部１５ｂ，１６ｂと基板Ｐの両側縁部を挟持させ、また昇降装置８２で下降されることにより、第１、第２クランプレール８８，８９から離間して第１、第２クランプ部１５ｂ，１６ｂから基板Ｐの両側縁部を開放させることが可能に構成されている。
【００３７】
図２および図４〜図８に示すように、このバックアッププレート８３上には、２台のエアー調整装置９０がバックアッププレート８３を覆うようにＹ軸方向に並べて載置されて着脱可能に装着されている。エアー調整装置９０をバックアッププレート８３から取り外すことにより、通常の厚さが厚く小型の基板であっても、バックアッププレート８３上にバックアップピンを立てて当該基板を支持することができ、当該基板を所定位置に高精度に位置決めすることができる。
【００３８】
図１０に示すように、エアー調整装置９０は、エアープレート９１と、電磁バルブ９２と、コンプレッサ９３と、バキュームポンプ９４等とを備えている。エアープレート９１は、中空の矩形板状に形成され、表面側の基板支持面９１ａにはエアーの吹き出しおよび吸い込みが可能な多数の穴９１ｂが穿孔されている。エアープレート９１の裏面側には、バックアッププレート８３上に載置固定可能な脚部９１ｃが設けられている。エアープレート９１の中空部は、電磁バルブ９２を介してコンプレッサ９３およびバキュームポンプ９４に配管接続されている。電磁切替弁９２は、三方バルブであり、エアープレート９１の穴９１ｂとコンプレッサ９３又はバキュームポンプ９４との接続切替が可能となっている。
【００３９】
図３に示すように、ローラ支持装置１００は、可動支持部材１４と略同様に構成されたものであり、複数（本例では、５個）のローラ１０１を回転可能に取付けたローラ取付フレーム１０２およびこのローラ取付フレーム１０２を基台１２に支承した一対の左右ローラ支持フレーム１０３，１０４等を備えている。ローラ取付フレーム１０２は、Ｘ軸方向に細長い板材を垂直に配設したものであり、ローラ取付フレーム１０２の上端には、５個のローラ１０１がＸ軸方向に所定間隔をあけて回転可能に取付けられている。
【００４０】
ローラ取付フレーム１０２のＸ軸方向両端部には、断面Ｌ字状に形成した細長い左右ローラ支持フレーム１０３，１０４の各上端部がそれぞれ取付けられている。左右ローラ支持フレーム１０３，１０４には、送りねじ７５，７５が貫装される貫通穴１０３ａ，１０４ａが穿設されている。また、左右ローラ支持フレーム１０３，１０４の各下端は、Ｙ軸方向に延在して基台１２上に配設した一対の支持部材用レール７３，７３に沿って移動可能な一対の支持部材スライダ１０５，１０６にねじ止め固定されている。これにより、ローラ取付フレーム１０２は、Ｙ軸方向、すなわち基板の搬送方向と直角な方向に位置調整可能に取付けられ、この結果、基板の大きさに従って所定の位置に調整されて位置決めされる。
【００４１】
図１に示すように、部品供給装置２０は、基枠３上に複数のフィーダ２１を並設して構成したカセットタイプのものである。フィーダ２１は、基枠３に離脱可能に取付けた本体２２と、本体２２の後部に着脱可能に装着した供給リール２３と、本体２２の先端に設けた部品供給部２４等とを備えている。供給リール２３には、部品が所定ピッチで封入されたキャリアテープが巻回保持される。この部品供給装置２０においては、スプロケット（図示省略）により供給リール２３からキャリアテープが所定ピッチで引き出され、封入状態を解除された部品が部品供給部２４に順次送り込まれるようになっている。
【００４２】
図１に示すように、部品移載装置３０は、基枠３上部に装架されて基板搬送装置１０および部品供給装置２０の上方に配設されたＸＹロボットタイプのものである。部品移載装置３０は、Ｙ軸サーボモータ３１ＹによりＹ軸方向に移動されるＹ軸スライダ３２Ｙと、Ｘ軸サーボモータ３１ＸによりＸ軸方向に移動されるＸ軸スライダ３２Ｘ等とを備えている。このＸ軸スライダ３２Ｘは、Ｙ軸スライダ３２ＹにＸ軸方向に移動可能に案内されている。Ｘ軸スライダ３２Ｘには、部品を基板Ｐに装着する部品装着ヘッド３４が取付けられている。
【００４３】
部品装着ヘッド３４には、ヘッド本体３５から下方に突出して設けられたノズルホルダー部３６１と、該ノズルホルダー部３６１の下端部に設けられて部品を吸着保持する部品吸着ノズル３６２とが取り付けられている。部品吸着ノズル３６２は、部品装着ヘッド３４にサーボモータ（図示省略）によりＺ軸方向に昇降可能に且つＺ軸周りで回転可能に支承されたノズルホルダー部３６１の下端部に取り付けられている。そして、部品吸着ノズル３６２は、ノズル先端で部品を吸引可能なように真空ポンプ（図示省略）に接続されている。また、部品吸着ノズル３６２に吸着保持された部品を撮像する部品撮像カメラ３８が、基板搬送装置１０と部品供給装置２０の間に設けられている。この部品移載装置３０においては、部品供給装置２０で供給される部品は、部品吸着ノズル３６２に吸着保持され、Ｙ軸スライダ３２Ｙ及びＸ軸スライダ３２Ｘにより移動され、基板搬送装置１０により搬送された基板Ｐに装着されるようになっている。
【００４４】
次に、基板搬送装置１０で厚さが薄く大型の基板Ｐを搬送する場合の動作について図１１および図１２のフローチャートを参照して説明する。先ず、搬送準備ステップとして、図１１に示すように、部品実装装置１の制御装置は、ホストコンピュータから送信された基板情報に基づいて、幅変更駆動用モータ７１をオンにして各送りねじ７５，７５をそれぞれ軸回りに回転させ、可動支持部材１４の支持部材スライダ７４，７４を支持部材用レール７１，７１に沿って移動させる（ステップＳ１）。そして、第１コンベアベルト１７と第２コンベアベルト１８との間隔を基板Ｐに合った間隔に変更したら（ステップＳ２）、幅変更駆動用モータ７１をオフにして可動支持部材１４の移動を停止する（ステップＳ３）。
【００４５】
そして、作業者は、ローラ支持装置１００の支持部材スライダ１０５，１０６を支持部材用レール７１，７１に沿って手動で移動させ、ローラ支持装置１００を変更された第１コンベアベルト１７と第２コンベアベルト１８との間隔の略中間に位置決めする。これにより、厚さが薄く大型の基板Ｐであっても、ローラ支持装置１００により基板Ｐの両側縁部間の大きな垂れ下がりを防止し、ローラ１０１によりスムーズに搬送することができる。
【００４６】
さらに、制御装置は、昇降駆動用モータ８１をオンにして各昇降装置８２の昇降プーリ８４を回転させ、昇降軸８２１を上方に突出させてバックアッププレート８３を上昇させる（ステップＳ４）。そして、エアープレート９１の基板支持面９１ａの高さが、第１、第２コンベアベルト１７，１８の基板搬送面の高さよりも所定距離だけ低い位置に達したら（ステップＳ５）、昇降駆動用モータ８１をオフにしてバックアッププレート８３の上昇を停止する（ステップＳ６）。なお、上記所定距離は、基板Ｐの種類に応じて変更してもよい。以上により搬送準備が完了する。
【００４７】
次に、搬送ステップとして、図１２に示すように、制御装置は、搬入側の搬送センサ９８からの基板Ｐの先端の検知信号を入力したら（ステップＳ１１）、電磁バルブ９２をコンプレッサ９３側に切り替え、コンプレッサ９３をオンにしてエアープレート９１の穴９１ｂからエアーを吹き出させる（ステップＳ１２）。そして、搬送駆動用モータ６５をオンにして搬送用スプライン軸４７を軸回りに回転させ、第１、第２駆動プーリ４８，５８を同期回転させて第１、第２コンベアベルト１７，１８を同期駆動させる（ステップＳ１３）。
【００４８】
これにより、厚さが薄く撓み易い基板Ｐであっても、基板Ｐの両側縁部は第１、第２コンベアベルト１７，１８で支持されるので、基板Ｐを確実に搬送することができる。また、基板Ｐの両側縁部間はエアープレート９１の基板支持面９１ａから噴出されるエアーで浮力が付与されるので、搬送時における基板Ｐと基板支持面９１ａとの摺動抵抗を軽減することができる。そして、搬送時に基板Ｐの両側縁部間が垂れ下がったとしても、その垂れ下がりは基板支持面９１ａで規制されることになる。よって、基板Ｐの搬送を高精度に行うことができる。
【００４９】
このとき、エアープレート９１の基板支持面９１ａは、第１、第２コンベアベルト１７，１８の基板搬送面よりも所定距離だけ低い位置に位置決めされているため、基板Ｐは、両側縁部間が両側縁部よりも垂れ下がった状態で搬送されることになる。よって、基板Ｐの両側縁部は、第１、第２コンベアベルト１７，１８上に確実に載って支持されることになるため、基板Ｐと第１、第２コンベアベルト１７，１８との接触抵抗により基板Ｐの搬送時のスリップを防止することができ、基板Ｐの搬送をさらに高精度に行うことができる。
【００５０】
制御装置は、搬出側の搬送センサ９８からの基板Ｐの先端の検知信号を入力したら（ステップＳ１４）、搬送駆動用モータ６５をオフにして第１、第２コンベアベルト１７，１８の駆動を停止する（ステップＳ１５）。そして、コンプレッサ９３をオフにしてエアーの吹き出しを停止する（ステップＳ１６）。基板搬送時、基板Ｐは垂れ下がった状態にあるので、見かけ上、基板Ｐの厚さが厚くなったことにより遮光量が増えるので、搬送センサ９８による基板Ｐの検出を安定して行うことができる。
【００５１】
制御装置は、昇降駆動用モータ８１をオンにして各昇降装置８２の昇降プーリ８４を回転させ、昇降軸８２１を上方に突出させてバックアッププレート８３を上昇させる（ステップＳ１７）。これにより、実装位置に位置決めされた基板Ｐは、バックアッププレート８３により押し上げられた第１、第２クランプレール８８，８９により第１、第２コンベアベルト１７，１８から押し上げられ、第１、第２ガイドレール１５，１６の第１、第２クランプ部１５ｂ，１６ｂと挟持されクランプされる。
【００５２】
制御装置は、電磁バルブ９２をバキュームポンプ９４側に切り替え、バキュームポンプ９４をオンにしてエアープレート９１の穴９１ｂからエアーを吸い込ませる（ステップＳ１８）。これにより、基板Ｐは、エアープレート９１の上方の所定の実装位置に位置決めされた後、エアープレート９１の基板支持面９１ａに吸着されるので、基板支持面９１ａにおける基板Ｐの位置ずれを防止することができる。なお、搬入側の搬送センサ９８からの基板Ｐの先端の検知信号を入力してから、搬送駆動用モータ６５を所定のパルス数回転させて基板Ｐをエアープレート９１の上方の所定の実装位置に位置決めするようにしてもよい。
【００５３】
基板Ｐへの部品の装着が完了すると（ステップＳ１９）、制御装置は、バキュームポンプ９４をオフにしてエアーの吸い込みを停止する（ステップＳ２０）。そして、昇降駆動用モータ８１を先ほどとは逆方向に回転させて各昇降装置８２の昇降プーリ８４を先ほどとは逆方向に回転させ、昇降軸８２１を下方に引っ込めてバックアッププレート８３を下降させる（ステップＳ２１）。これにより、クランプされていた基板Ｐは、第１、第２レール１５，１６の第１、第２クランプ部１５ｂ，１６ｂから離間し、第１、第２コンベアベルト１７，１８上に載置される。
【００５４】
基板Ｐが第１、第２コンベアベルト１７，１８上に載置された後、電磁バルブ９２をコンプレッサ９３側に切り替え、コンプレッサ９３をオンにしてエアープレート９１の穴９１ｂからエアーを吹き出させる（ステップＳ２２）。そして、搬送駆動用モータ６５をオンにして搬送用スプライン軸４７を軸回りに回転させ、第１、第２駆動プーリ４８，５８を同期回転させて第１、第２コンベアベルト１７，１８を同期駆動させる（ステップＳ２３）。これにより、前述した状態で基板Ｐは搬出され、次の部品未装着の基板Ｐが搬入される。以降、同種の基板Ｐの部品装着が完了するまで上述の処理が繰り返される。
【００５５】
以上のように、本実施形態の基板搬送装置１によれば、厚さが薄く撓み易い基板Ｐであっても、基板Ｐの両側縁部は第１、第２コンベアベルト１７，１８で支持されるので、基板Ｐを確実に搬送することができ、また、基板Ｐの両側縁部間はエアープレート９１の基板支持面９１ａから噴出されるエアーで浮力が付与されるので、搬送時における基板Ｐと基板支持面９１ａとの摺動抵抗を軽減することができる。そして、搬送時に基板Ｐの両側縁部間が垂れ下がったとしても、その垂れ下がりは基板支持面９１ａで規制されることになる。よって、基板Ｐの搬送を高精度に行うことができる。
【００５６】
また、エアープレート９１の基板支持面９１ａは、基板Ｐを第１、第２コンベアベルト１７，１８で搬送する際、第１、第２コンベアベルト１７，１８での基板搬送面よりも所定距離だけ低い位置に位置決めされるので、基板Ｐは、両側縁部間が両側縁部よりも所定距離垂れ下がった状態で搬送されることになる。よって、基板Ｐの両側縁部は、第１、第２コンベアベルト１７，１８上に確実に載って支持されることになるため、基板Ｐと第１、第２コンベアベルト１７，１８との接触抵抗により基板Ｐの搬送時のスリップを防止することができ、基板Ｐの搬送をさらに高精度に行うことができる。
【００５７】
また、ローラ支持装置１００は、基板Ｐの両側縁部間を支持可能であるので、さらに厚さが薄く大型の基板Ｐであっても、基板Ｐの両側縁部間の大きな垂れ下がりを防止し、ローラ１０１によりスムーズに搬送することができる。また、搬送時に基板の両側縁部間を支持する必要のない厚みのある基板については、エアー調整装置９０がバックアップ装置８０と分離可能に構成されているので、エアー調整装置９０をバックアップ装置８０から取り外すことにより、下面に既に部品が実装されている基板についても搬送することができる。また、その際、エアー調整装置９０に換えてバックアップ装置上にバックアップピンを立てて基板下面の部品が実装されていない部分を支持するようにしてもよい。
【００５８】
なお、上述の実施の形態では、１つのローラ支持装置１００を備える構成としたが、任意の数のローラ支持装置１００を備える構成としてもよい。これにより、さらに厚さが薄く大型の基板Ｐであっても高精度に搬送することができる。また、ローラ支持装置１００のＹ軸方向の移動は作業者による手動で行う構成としたが、モータおよびボールねじ等を備えて電動で行う構成としてもよい。これにより、作業者の作業負担を軽減することができる。
また、本実施形態の基板搬送装置１０は、部品実装装置１に適用する場合を説明したが、基板Ｐ上に半田を印刷する印刷装置や印刷した半田を検査する検査装置等にも適用することができる。
【符号の説明】
【００５９】
１…部品実装装置、１０…基板搬送装置、１１…搬送装置、１３…固定支持部材、１４…可動支持部材、１５…第１レール、１６…第２レール、１５ａ…第１ガイド部、１６ａ…第２ガイド部、１７…第１コンベアベルト、１８…第２コンベアベルト、２０…部品供給装置、３０…部品移載装置、７０…幅変更装置、８０…バックアップ装置、８３…バックアッププレート、９０…エアー調整装置、９１…エアープレート、９２…電磁バルブ、９３…コンプレッサ、９４…バキュームポンプ、１００…ローラ支持装置、１０１…ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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