(57)【要約】【課題】リブ部を備えていても焦点距離の可変幅を大きくできる可変焦点型光学装置を提供すること。【解決手段】外周側にリブ部（１３）を備える支持部（３）と、支持部上に設けられ、電圧印加により屈曲する駆動部（５）と、駆動部又は支持部上に設けられ、光ビームを反射する反射部（７）とを備え、駆動部の屈曲により、支持部及び反射部の形状を変化させる可変焦点型光学装置（１）であって、支持部は、以下の条件（Ａ）又は（Ｂ）を満たす特定領域（９Ｂ）を、リブ部の内側に有することを特徴とする可変焦点型光学装置。（Ａ）特定領域上に駆動部が設けられていない。（Ｂ）特定領域上に設けられた駆動部の平均膜厚が、特定領域よりも内側に設けられた駆動部の平均膜厚より薄い。【選択図】 図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周側にリブ部（１３）を備える支持部（３）と、
前記支持部上に設けられ、電圧印加により屈曲する駆動部（５）と、
前記駆動部又は前記支持部上に設けられ、光ビームを反射する反射部（７）と、
を備え、
前記駆動部の屈曲により、前記支持部及び前記反射部の形状を変化させる可変焦点型光学装置（１）であって、
前記支持部は、以下の条件（Ａ）又は（Ｂ）を満たす特定領域（９Ｂ）を、前記リブ部の内側に有することを特徴とする可変焦点光学装置。
（Ａ）前記特定領域上に前記駆動部が設けられていない。
（Ｂ）前記特定領域上に設けられた前記駆動部の平均膜厚が、前記特定領域よりも内側に設けられた前記駆動部の平均膜厚より薄い。
【請求項２】
前記特定領域上に設けられた前記駆動部が少なくとも１つの孔（２１）を有することにより前記条件（Ｂ）が満たされることを特徴とする請求項１に記載の可変焦点型光学装置。
【請求項３】
前記駆動部と接続し、前記支持部の外周側に至る配線部（８）を備え、
前記配線部は、前記リブ部よりも内側において、孔（２３）又はスリット（２４）を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の可変焦点型光学装置。
【請求項４】
前記特定領域において前記支持部が少なくとも１つの孔（２５、２７）を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の可変焦点型光学装置。
【請求項５】
前記支持部の両端に接続した一対の支持梁（１０）を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の可変焦点型光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可変焦点型光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、外周側にリブ部を備える支持部上に、圧電薄膜と、反射層とを順次積層した可変焦点型光学装置が知られている（特許文献１参照）。この可変焦点型光学装置は、反射層で光ビームを反射することができる。また、この可変焦点型光学装置は、圧電薄膜に電圧を印加して屈曲させることで、支持部におけるリブ部よりも内側の領域及び反射層の形状を変化させ、光ビームの焦点距離を変えることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２００７−１２１９４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
焦点距離の可変幅を大きくするためには、支持部及び反射層の変形量を大きくする必要がある。しかしながら、従来の可変焦点型光学装置では、支持部が変形し難いリブ部を有することにより、支持部及び反射層の変形量を大きくすることが困難であった。一方、リブ部をなくしてしまうと、外乱（例えば空気抵抗、慣性力等）の影響で反射層が変形してしまうおそれがある。
【０００５】
本発明は以上の点に鑑みなされたものであり、リブ部を備えていても焦点距離の可変幅を大きくできる可変焦点型光学装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の可変焦点型光学装置は、外周側にリブ部を備える支持部と、支持部上に設けられ、電圧印加により屈曲する駆動部と、駆動部又は支持部上に設けられ、光ビームを反射する反射部とを備え、駆動部の屈曲により、支持部及び反射部の形状を変化させる。
【０００７】
本発明の可変焦点型光学装置は、反射部で光ビームを反射することができる。また、この可変焦点型光学装置は、駆動部に電圧を印加して屈曲させることで、支持部及び反射部の形状を変化させ、光ビームの焦点距離を変えることができる。
【０００８】
また、本発明の可変焦点型光学装置において、支持部は、以下の条件（Ａ）又は（Ｂ）を満たす特定領域（９Ｂ）を、リブ部の内側に有することを特徴とする。
（Ａ）特定領域上に駆動部が設けられていない。
（Ｂ）特定領域上に設けられた駆動部の平均膜厚が、特定領域よりも内側に設けられた駆動部の平均膜厚より薄い。
【０００９】
特定領域は、前記（Ａ）又は（Ｂ）の条件を満たすことで、剛性が低い。その結果、駆動部が屈曲したとき、支持部（特に特定領域）の形状が大きく変化し、光ビームの焦点距離における可変幅が大きくなる。
【００１０】
また、本発明可変焦点型光学装置はリブ部を備えているので、外乱（例えば空気抵抗、慣性力等）による支持部の変形を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】可変焦点型光学装置１の構成を表す平面図である。
【図２】可変焦点型光学装置１のII-II断面における断面図である。
【図３】３Ａ、３Ｂは、内側領域９Ａ、及び反射部７の形状変化を表す説明図である。
【図４】４Ａ〜４Ｊは可変焦点型光学装置１の製造方法を表す説明図である。
【図５】可変焦点型光学装置１の使用態様を表す説明図である。
【図６】可変焦点型光学装置１の使用態様を表す説明図である。
【図７】可変焦点型光学装置１の構成を表す平面図である。
【図８】可変焦点型光学装置１のVIII- VIII断面における断面図である。
【図９】可変焦点型光学装置１の構成を表す平面図である。
【図１０】可変焦点型光学装置１のX- X断面における断面図である。
【図１１】可変焦点型光学装置１の構成を表す平面図である。
【図１２】可変焦点型光学装置１のXII- XII断面における断面図である。
【図１３】可変焦点型光学装置１の構成を表す平面図である。
【図１４】可変焦点型光学装置１のXIV- XIV断面における断面図である。
【図１５】可変焦点型光学装置１の構成を表す平面図である。
【図１６】可変焦点型光学装置１のXVI- XVI断面における断面図である。
【図１７】可変焦点型光学装置１の構成を表す平面図である。
【図１８】可変焦点型光学装置１のXVIII- XVIII断面における断面図である。
【図１９】可変焦点型光学装置１の構成を表す平面図である。
【図２０】可変焦点型光学装置１のXX- XX断面における断面図である。
【図２１】可変焦点型光学装置１の構成を表す平面図である。
【図２２】可変焦点型光学装置１のXXII- XXII断面における断面図である。
【図２３】可変焦点型光学装置１の構成を表す平面図である。
【図２４】可変焦点型光学装置１のXXIV- XXIV断面における断面図である。
【図２５】配線部８の別形態を表す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施形態を図面に基き説明する。
＜第１の実施形態＞
１．可変焦点型光学装置１の構成
可変焦点型光学装置１の構成を、図１〜図３に基き説明する。図１及び図２に示すように、可変焦点型光学装置１は、支持部３と、駆動部５と、反射部７と、配線部８と、一対の支持梁１０とを備える。
【００１３】
支持部３は、主としてＳｉ（シリコン）から成る部材であって、円板上の本体部９と、本体部９の下面１１における外周側に設けられた円環状のリブ部１３とから成る。リブ部１３のうち、本体部９に接続する部分には、ＳｉＯ2から成る中間酸化膜１０３が存在する。
【００１４】
本体部９のうち、リブ部１３の内側の領域を特定領域９Ｂとする。この特定領域９Ｂについてさらに詳しく説明する。本体部９のうち、リブ部１３の内周端１３Ａよりも内側にある円形の領域を内側領域９Ａとする。そして、内側領域９Ａのうち、リブ部１３の内周端１３Ａに沿う帯状の領域が特定領域９Ｂである。すなわち、内側領域９Ａの内側に、内側領域９Ａより半径が小さい同心の仮想的な円を想定したとき、内側領域９Ａのうち、上記の仮想的な円を除いた領域が特定領域９Ｂである。特定領域９Ｂの外周側の境界線は内周端１３Ａであり、内周側の境界線は後述する外周端５Ａである。
【００１５】
駆動部５は、本体部９の上面１５上に設けられた薄膜である。駆動部５は、後述するように、下部電極１１１、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）膜１１３、及び上部電極１１５を積層した周知の圧電薄膜であり、配線部８を介して印加した電圧により屈曲する。
【００１６】
駆動部５は、内側領域９Ａのうち、特定領域９Ｂを除く円形の部分の上に設けられており、特定領域９Ｂ上には設けられていない。なお、特定領域９Ｂの一部の上には、配線部８が設けられている。
【００１７】
反射部７は、駆動部５上に設けられた、アルミニウム（Ａｌ）から成る反射膜である。反射部７は光ビームを反射することができる。反射部７は駆動部５のほぼ全面にわたって形成されており、円形の形状を有する。
【００１８】
配線部８は、本体部９の上面１５及び支持梁１０上に設けられた帯状の薄膜であり、駆動部５と同様の層構成を有する。配線部８の一端１７は駆動部５の外周端５Ａと接続し、反対側では図示しない電源に接続している。
【００１９】
一対の支持梁１０は、本体部９の両端に接続しており、本体部９の中心を通る直線上にある。支持梁１０の材質はＳｉであり、弾性変形（可逆的に捻る動作）が可能である。
可変焦点型光学装置１は、駆動部５の屈曲により、内側領域９Ａ、及び反射部７の形状を変化させる。その形状変化は、図３Ａ、３Ｂに示すように、内側領域９Ａ、及び反射部７が凸面鏡、又は凹面鏡の形状となる変化である。形状変化の程度は、駆動部５に印加される電圧に応じて大きくなる。なお、電圧を印加しないとき、内側領域９Ａ、及び反射部７は、所定の形状（例えば、凹形状、平面等）を有する。
【００２０】
２．可変焦点型光学装置１の製造方法
可変焦点型光学装置１の製造方法を図４Ａ〜４Ｊに基き説明する。まず、図４Ａに示すように、Ｓｉから成る支持層１０１、ＳｉＯ2から成る中間酸化膜１０３、及びＳｉから成る活性層１０５が積層されたＳＯＩウエハ１０７を用意する。
【００２１】
次に、図４Ｂに示すように、活性層１０５の上にＳｉＯ2膜１０９を製膜し、所定の形状にエッチングする。なお、ＳｉＯ2膜１０９は後に、本体部９と駆動部５とを絶縁する膜となる。図１、図２では、ＳｉＯ2膜１０９の記載は省略している。
【００２２】
次に、図４Ｃに示すように、ＳｉＯ2膜１０９の上に、下部電極１１１、ＰＺＴ膜１１３を順次製膜し、所定の形状にエッチングする。なお、下部電極１１１、ＰＺＴ膜１１３は後に駆動部５及び配線部８の一部となる。
【００２３】
次に、図４Ｄに示すように、ＰＺＴ膜１１３の上に上部電極１１５を製膜し、所定の形状にエッチングする。なお、上部電極１１５は後に駆動部５及び配線部８の一部となる。
次に、図４Ｅに示すように、上部電極１１５の上に、反射部７を製膜し、所定の形状にエッチングする。
【００２４】
次に、図４Ｆに示すように、裏面にＳｉＯ2膜１１７を形成し、所定の形状にエッチングする。なお、エッチング後におけるＳｉＯ2膜１１７の範囲は、後にリブ部１３となる部分である。
【００２５】
次に、図４Ｇに示すように、表面にレジスト１１９でパターニングを行う。さらに、図４Ｈに示すように、表面の一部（レジスト１１９で覆われていない部分）をドライエッチングし、その後、レジストを剥離する。
【００２６】
次に、図４Ｉに示すように、裏面のうち、ＳｉＯ2膜１１７が存在しない部分をドライエッチングし、リブ部１３を形成する。
最後に、図４Ｊに示すように、ＳｉＯ2膜１１７、及び中間酸化膜１０３（リブ部１３が形成されている部分は除く）を除去し、可変焦点型光学装置１が完成する。
【００２７】
３．可変焦点型光学装置１の使用方法
可変焦点型光学装置１は、図５に示すように、光源２０１が射出するレーザ光を反射部７で反射し、その反射光をＭＥＭＳ等の光走査装置２０３に供給することができる。光走査装置２０３は供給されたレーザ光を走査し、スクリーン２０５に投射する。
【００２８】
そして、駆動部５の屈曲により、反射部７の形状を図３Ａ、３Ｂに示すように変化させ、レーザ光の焦点距離を変えることができる。そのことにより、スクリーン距離が異なる製品に対しても光学系の設計変更なしに対応できる。
【００２９】
また、スクリーン２０５の横又は縦の寸法が大きく、光源２０１からスクリーン２０５の中央までの光学距離と、光源２０１からスクリーン２０５の端部までの光学距離とに差がある場合でも、スクリーン２０５の全面で焦点が合った画像を形成できる。
【００３０】
また、スクリーン２０５の面が、光源２０１、可変焦点型光学装置１、及び光走査装置２０３の配置面に対し垂直でない場合(スクリーン２０５上で焦点が不均一になり易い場合)でも、スクリーン２０５上に焦点が合った画像を形成できる。
【００３１】
また、図６に示すように、可変焦点型光学装置１を光走査装置２０３に組み込み、可変焦点型光学装置１自体に走査を行わせてもよい。この場合は、支持梁１０を介して可変焦点型光学装置１を光走査装置２０３に取り付け、支持梁１０の捩れにより、可変焦点型光学装置１を走査することができる。図６に示す形態でも、図５に示す形態の場合と略同様の効果を奏することができる。
【００３２】
４．可変焦点型光学装置１が奏する効果
可変焦点型光学装置１は、駆動部５の屈曲により形状が変化する内側領域９Ａ内に、特定領域９Ｂを含む。特定領域９Ｂは、駆動部５が設けられていないため、剛性が低く、容易に変形する。そのため、可変焦点型光学装置１は、内側領域９Ａ（特に特定領域９Ｂ）を大きく変形させ、光ビームの焦点距離における可変幅を大きくすることができる。
【００３３】
また、可変焦点型光学装置１は、リブ部１３を備えているので、外乱（例えば空気抵抗、慣性力等）による支持部３の変形を抑制できる。
＜第２の実施形態＞
１．可変焦点型光学装置１の構成
可変焦点型光学装置１の構成は、基本的には前記第１の実施形態と同様であるが、一部において相違する。以下ではその相違点を中心に説明する。本実施形態では、図７、図８に示すように、配線部８のうち、特定領域９Ｂ上の部分に孔２３が設けられている。孔２３は円形の形状を有し、配線部８を貫通している。
【００３４】
可変焦点型光学装置１は、駆動部５の屈曲により、前記第１の実施形態と同様に、内側領域９Ａ、及び反射部７の形状を変化させることができる。
２．可変焦点型光学装置１の製造方法
可変焦点型光学装置１は、前記第１の実施形態と同様の方法で製造できる。孔２３は、配線部８の一部をエッチングすることで形成できる。
【００３５】
３．可変焦点型光学装置１が奏する効果
可変焦点型光学装置１は、駆動部５の屈曲により形状が変化する内側領域９Ａ内に、特定領域９Ｂを含む。特定領域９Ｂは、駆動部５が設けられておらず、さらに、配線部８に孔２３が形成されているため、剛性が低く、容易に変形する。そのため、可変焦点型光学装置１は、内側領域９Ａ（特に特定領域９Ｂ）を大きく変形させ、光ビームの焦点距離における可変幅を大きくすることができる。
【００３６】
また、可変焦点型光学装置１は、リブ部１３を備えているので、外乱（例えば空気抵抗、慣性力等）による支持部３の変形を抑制できる。
＜第３の実施形態＞
１．可変焦点型光学装置１の構成
可変焦点型光学装置１の構成は、基本的には前記第１の実施形態と同様であるが、一部において相違する。以下ではその相違点を中心に説明する。本実施形態では、図９、図１０に示すように、配線部８のうち、特定領域９Ｂ上の部分に孔２３が設けられている。孔２３は円形の形状を有し、配線部８を貫通している。さらに、本実施形態では、本体部９に、孔２３と同軸の孔２５が形成されている。孔２５の位置は、特定領域９Ｂ内である。また、孔２５は円形の形状を有し、本体部９を貫通している。
【００３７】
可変焦点型光学装置１は、駆動部５の屈曲により、前記第１の実施形態と同様に、内側領域９Ａ、及び反射部７の形状を変化させることができる。
２．可変焦点型光学装置１の製造方法
可変焦点型光学装置１は、前記第１の実施形態と同様の方法で製造できる。孔２３は、配線部８の一部をエッチングすることで形成できる。また、孔２５は、本体部９の一部をエッチングすることで形成できる。
【００３８】
３．可変焦点型光学装置１が奏する効果
可変焦点型光学装置１は、駆動部５の屈曲により形状が変化する内側領域９Ａ内に、特定領域９Ｂを含む。特定領域９Ｂは、駆動部５が設けられておらず、さらに、配線部８に孔２３が形成され、本体部９に孔２５が形成されているため、剛性が低く、容易に変形する。そのため、可変焦点型光学装置１は、内側領域９Ａ（特に特定領域９Ｂ）を大きく変形させ、光ビームの焦点距離における可変幅を大きくすることができる。
【００３９】
また、可変焦点型光学装置１は、リブ部１３を備えているので、外乱（例えば空気抵抗、慣性力等）による支持部３の変形を抑制できる。
＜第４の実施形態＞
１．可変焦点型光学装置１の構成
可変焦点型光学装置１の構成は、基本的には前記第１の実施形態と同様であるが、一部において相違する。以下ではその相違点を中心に説明する。本実施形態では、図１１、図１２に示すように、配線部８のうち、特定領域９Ｂ上の部分に孔２３が設けられている。孔２３は円形の形状を有し、配線部８を貫通している。
【００４０】
また、本実施形態では、本体部９に、孔２３と同軸の孔２５が形成されている。孔２５の位置は、特定領域９Ｂ内である。孔２５は円形の形状を有し、本体部９を貫通している。
【００４１】
さらに、本実施形態では、本体部９のうち、特定領域９Ｂであり、且つ配線部８が形成されていない部分に、本体部９を貫通する孔２７が、所定の間隔をおいて複数形成されている。個々の孔２７は楕円形の形状を有し、その長軸方向はリブ部１３の内周端１３Ａに沿っている。
【００４２】
可変焦点型光学装置１は、駆動部５の屈曲により、前記第１の実施形態と同様に、内側領域９Ａ、及び反射部７の形状を変化させることができる。
２．可変焦点型光学装置１の製造方法
可変焦点型光学装置１は、前記第１の実施形態と同様の方法で製造できる。孔２３は、配線部８の一部をエッチングすることで形成できる。また、孔２５、孔２７は、本体部９の一部をエッチングすることで形成できる。
【００４３】
３．可変焦点型光学装置１が奏する効果
可変焦点型光学装置１は、駆動部５の屈曲により形状が変化する内側領域９Ａ内に、特定領域９Ｂを含む。特定領域９Ｂは、駆動部５が設けられておらず、さらに、配線部８に孔２３が形成され、本体部９に孔２５、孔２７が形成されているため、剛性が低く、容易に変形する。そのため、可変焦点型光学装置１は、内側領域９Ａ（特に特定領域９Ｂ）を大きく変形させ、光ビームの焦点距離における可変幅を大きくすることができる。
【００４４】
また、可変焦点型光学装置１は、リブ部１３を備えているので、外乱（例えば空気抵抗、慣性力等）による支持部３の変形を抑制できる。
＜第５の実施形態＞
１．可変焦点型光学装置１の構成
可変焦点型光学装置１の構成は、基本的には前記第１の実施形態と同様であるが、一部において相違する。以下ではその相違点を中心に説明する。本実施形態では、図１３、図１４に示すように、駆動部５は、内側領域９Ａ全体の上に設けられており、さらに、駆動部５の外周端５Ａは、リブ部１３と重複する位置まで達している。駆動部５の膜厚は、後述する孔２１以外においては、どこでも同じである。
【００４５】
反射部７は駆動部５の上に設けられているが、反射部７が設けられている範囲は、前記第１の実施形態における反射部７の範囲（内側領域９Ａよりも半径が小さい円形の範囲）である。よって、駆動部５には、反射部７が設けられていない範囲が存在する。
【００４６】
本実施形態では、内側領域９Ａのうち、反射部７が設けられる範囲を除く領域を特定領域９Ｂとする。駆動部５のうち、特定領域９Ｂ上の部分には、駆動部５を厚み方向に貫通する孔２１が、所定の間隔をおいて複数形成されている。個々の孔２１は楕円形の形状を有し、その長軸方向はリブ部１３の内周端１３Ａに沿っている。
【００４７】
特定領域９Ｂ上に設けられた駆動部５の平均膜厚は、複数の孔２１の存在のため、特定領域９Ｂ以外の部分（反射部７が設けられる範囲）の上に設けられた駆動部５の平均膜厚よりも薄い。ここで、駆動部５の平均膜厚とは、孔２１の大きさよりも十分大きく、孔２１も含む範囲（例えば特定領域９Ｂの全体）における駆動部５の平均膜厚をいう。
【００４８】
また、本実施形態では、本体部９に、孔２１と同軸及び同形の孔２２が形成されている。孔２２の位置は、特定領域９Ｂ内である。孔２２は本体部９を貫通している。
可変焦点型光学装置１は、駆動部５の屈曲により、前記第１の実施形態と同様に、内側領域９Ａ、及び反射部７の形状を変化させることができる。
【００４９】
２．可変焦点型光学装置１の製造方法
可変焦点型光学装置１は、前記第１の実施形態と同様の方法で製造できる。孔２１は、駆動部５の一部をエッチングすることで形成できる。また、孔２２は、本体部９の一部をエッチングすることで形成できる。
【００５０】
３．可変焦点型光学装置１が奏する効果
可変焦点型光学装置１は、駆動部５の屈曲により形状が変化する内側領域９Ａ内に、特定領域９Ｂを含む。特定領域９Ｂは、駆動部５の平均膜厚が薄く、また、孔２２が存在するため、剛性が低く、容易に変形する。そのため、可変焦点型光学装置１は、内側領域９Ａ（特に特定領域９Ｂ）を大きく変形させ、光ビームの焦点距離における可変幅を大きくすることができる。
【００５１】
また、可変焦点型光学装置１は、リブ部１３を備えているので、外乱（例えば空気抵抗、慣性力等）による支持部３の変形を抑制できる。
＜第６の実施形態＞
１．可変焦点型光学装置１の構成
可変焦点型光学装置１の構成は、基本的には前記第１の実施形態と同様であるが、一部において相違する。以下ではその相違点を中心に説明する。本実施形態では、図１５、図１６に示すように、支持梁１０を備えない。
【００５２】
２．可変焦点型光学装置１の製造方法
可変焦点型光学装置１は、前記第１の実施形態と同様の方法で製造できる。
３．可変焦点型光学装置１が奏する効果
本実施形態の可変焦点型光学装置１は、前記第１の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
＜第７の実施形態＞
１．可変焦点型光学装置１の構成
可変焦点型光学装置１の構成は、基本的には前記第２の実施形態と同様であるが、一部において相違する。以下ではその相違点を中心に説明する。本実施形態では、図１７、図１８に示すように、支持梁１０を備えない。
【００５３】
２．可変焦点型光学装置１の製造方法
可変焦点型光学装置１は、前記第２の実施形態と同様の方法で製造できる。
３．可変焦点型光学装置１が奏する効果
本実施形態の可変焦点型光学装置１は、前記第２の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
＜第８の実施形態＞
１．可変焦点型光学装置１の構成
可変焦点型光学装置１の構成は、基本的には前記第３の実施形態と同様であるが、一部において相違する。以下ではその相違点を中心に説明する。本実施形態では、図１９、図２０に示すように、支持梁１０を備えない。
【００５４】
２．可変焦点型光学装置１の製造方法
可変焦点型光学装置１は、前記第３の実施形態と同様の方法で製造できる。
３．可変焦点型光学装置１が奏する効果
本実施形態の可変焦点型光学装置１は、前記第３の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
＜第９の実施形態＞
１．可変焦点型光学装置１の構成
可変焦点型光学装置１の構成は、基本的には前記第４の実施形態と同様であるが、一部において相違する。以下ではその相違点を中心に説明する。本実施形態では、図２１、図２２に示すように、支持梁１０を備えない。
【００５５】
２．可変焦点型光学装置１の製造方法
可変焦点型光学装置１は、前記第４の実施形態と同様の方法で製造できる。
３．可変焦点型光学装置１が奏する効果
本実施形態の可変焦点型光学装置１は、前記第４の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
＜第１０の実施形態＞
１．可変焦点型光学装置１の構成
可変焦点型光学装置１の構成は、基本的には前記第５の実施形態と同様であるが、一部において相違する。以下ではその相違点を中心に説明する。本実施形態では、図２３、図２４に示すように、支持梁１０を備えない。
【００５６】
２．可変焦点型光学装置１の製造方法
可変焦点型光学装置１は、前記第５の実施形態と同様の方法で製造できる。
３．可変焦点型光学装置１が奏する効果
本実施形態の可変焦点型光学装置１は、前記第５の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
【００５７】
尚、本発明は前記実施の形態になんら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
例えば、各実施形態において、駆動部５を構成するＰＺＴ膜１１３の代わりに、チタン酸鉛の膜、チタン酸バリウムの膜、又はチタン酸ジルコン酸ランタン鉛の膜を用いてもよい。
【００５８】
また、各実施形態において、配線部８は、駆動部５の片側のみに設けてもよい。
また、各実施形態において、反射部７は、Ａｕの膜、又はＰｔの膜であってもよい。
また、第５、第１０の実施形態において、駆動部５の膜厚は、特定領域９Ｂ内で均一であり（孔２１が存在せず）、且つ特定領域９Ｂ内での駆動部５の膜厚が、それ以外の領域での駆動部５の膜厚より薄くてもよい。この場合も、特定領域９Ｂの剛性を低くすることができる。
【００５９】
また、第２〜４、第７〜９の実施形態において、図２５に示すように、孔２３の代わりに、スリット（切れ込み）２４を配線部８に形成してもよい。この場合も、特定領域９Ｂの剛性を低くすることができる。
【００６０】
また、各実施形態において、孔２１、２２、２３、２５、２７は、貫通孔でなく、有底孔であってもよい。
また、各実施形態において、駆動部５を本体部９の下面１１上に設けてもよい。この場合、反射部７を、本体部９の上面１５上に設けることができる。
【００６１】
また、各実施形態において、本体部９の特定領域９Ｂにおける膜厚が、他の部分の膜厚よりも薄くてもよい。この場合でも、特定領域９Ｂの剛性を低下させることができる。
また、各実施形態において、特定領域９Ｂは、内周端１３Ａの全周に亘って存在せず、一部のみにおいて存在してもよい。また、特定領域９Ｂの幅は場所ごとに異なっていてもよい。
【符号の説明】
【００６２】
１…可変焦点型光学装置、３…支持部、５…駆動部、５Ａ…外周端、７…反射部、８…配線部、９…本体部、９Ａ…内側領域、９Ｂ…特定領域、１０…支持梁、１１…下面、１３…リブ部、１３Ａ…内周端、１５…上面、２１、２２、２３、２５、２７…孔、１０１…支持層、１０３…中間酸化膜、１０５…活性層、１０７…ＳＯＩウエハ、１０９…ＳｉＯ2膜、１１１…下部電極、１１３…ＰＺＴ膜、１１５…上部電極、１１７…ＳｉＯ2膜、１１９…レジスト、２０１…光源、２０３…光走査装置、２０５…スクリーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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