(57)【要約】【課題】モジュール化した真空処理室の単位で検査を可能とする。【解決手段】被検査対象のモジュール化した真空処理モジュールの試料搬入口に接続され、試料を内部に搬入及び外部に搬出する開閉可能な第１の開口部を有する搬送容器と、搬送容器内に設けられ試料を被検査対象の真空処理モジュールに搬送する搬送手段と、搬送容器の第１の開口部を開閉するゲート弁と、搬送容器内を減圧排気する排気手段と、搬送容器内にパージガスを供給するガス供給手段と、被検査対象の真空処理モジュールの接続端子を接続可能な接続部と、被検査対象の真空処理モジュールからの情報を入力・記憶するとともに真空処理モジュールへ指示を出す制御手段とを有し、制御手段が被検査対象のモジュール化した真空処理モジュールの試料搬入口のゲート弁と前記搬送容器の第１の開口部のゲート弁との開閉状態を確認して真空処理モジュール及び搬送容器の排気手段を操作する。【選択図】図１
2014154854.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空処理装置のモジュール検査装置であって、
前記真空処理装置は、内部が高い真空度に減圧・維持される１つの搬送室と、各々試料搬入口を介して該１つの搬送室に接続される複数個の真空処理モジュールとを備え、
前記モジュール検査装置は、
被検査対象としての１つの前記真空処理モジュールの前記試料搬入口に接続され、試料を該真空処理モジュールに搬出入する開閉可能な第１の開口部を有する搬送容器と、
前記真空処理モジュールからの情報を入力・記憶するとともに、該真空処理モジュールへ指示を出す制御手段とを有し、
該モジュール検査装置が前記真空処理モジュールと接続された状態で、前記試料の前記真空処理モジュールへの搬入、前記真空処理モジュールにおける前記試料の処理、及び、前記真空処理モジュールからの前記試料の搬出を行いながら、所定の検査ワークフローに従って検査を行う機能を有している
ことを特徴とする真空処理装置のモジュール検査装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記モジュール検査装置は、
前記搬送容器内に設けられ前記試料を前記真空処理モジュールに搬送する搬送手段と、
前記第１の開口部を開閉するゲート弁と、
前記搬送容器内を減圧排気する排気手段と、
前記搬送容器内にパージガスを供給するガス供給手段と、
前記真空処理モジュールの接続端子を接続可能な接続部とを備え、
前記制御手段は、前記真空処理モジュールの前記試料搬入口のゲート弁と前記搬送容器の前記ゲート弁との開閉状態を確認して、前記真空処理モジュール及び前記搬送容器の排気手段を制御する
ことを特徴とする真空処理装置のモジュール検査装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記モジュール検査装置は、
エッチング処理ユニットを構成する１つの前記真空処理モジュールと接続された状態で、前記試料の搬入、前記試料のエッチング処理、及び、前記試料の搬出を行いながら前記検査を行う機能を有している
ことを特徴とする真空処理装置のモジュール検査装置。
【請求項４】
請求項２において、
前記モジュール検査装置は、
アッシング処理ユニットを構成する１つの前記真空処理モジュールと接続された状態で、前記試料の搬入、前記試料のアッシング処理、及び、前記試料の搬出を行いながら前記検査を行う機能を有している
ことを特徴とする真空処理装置のモジュール検査装置。
【請求項５】
請求項２において、
前記モジュール検査装置は、
該モジュール検査装置を操作するための操作盤を設置するためのフレームを備え、
該フレームの上に前記試料搬送室が設置されており、
該フレームには、該モジュール検査装置を自由に移動させるようにキャスターと、該モジュール検査装置を動かないように固定するアジャスターフットを備え、
前記キャスターは、高さ調整ができる機能を有している
ことを特徴とする真空処理装置のモジュール検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空処理装置のモジュール検査装置に係り、特に、真空処理室単位でモジュール化された複数の真空処理モジュールを備えた真空処理装置の検査に好適な検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空処理室単位でモジュール化された真空処理装置としては、例えば、特許文献１に記載のような、真空容器の内部に配置されその上に処理対象の試料が載置される試料台と、この試料台と側壁との間で試料台の側方を囲んで且つ側壁と空間を空けて配置されその内側でプラズマが形成される略円筒形上の内側壁部材と、この内側壁部材の上端部または下端部の周縁に配置されフランジ部と、内側壁部材と真空容器の側壁との間の空間及び内側壁部材の内側を減圧するための排気手段とを備え、小型で設置面積の小さい真空処理ユニットとしたものが知られている。
【０００３】
また、真空処理装置の検査技術としては、例えば、特許文献２、特許文献３に記載のように部分的な検査について開示されたものが知られている。  
特許文献２には、基板を基板保持台に保持して各種の処理に供した後、基板を基板保持台から突き上げて分離し次の処理に備える基板の取り扱いにおいて、処理後の基板を基板保持台から突き上げて分離する際に、基板と基板保持台との吸着力に関する情報を検出し、吸着力が所定値以上である間突き上げを制御手段などで規制するようにし、基板保持台への吸着を伴って支持ないしは処理された基板を、吸着力の残留状態に応じて基板保持台から適時に無理なく突き上げて分離でき、信頼性高くスループット効率の低下もなくすことが記載されている。
【０００４】
特許文献３には、下部マッチングユニットを下部給電棒から取り外して、代わりにインピーダンス測定器のプローブ（測定治具）を下部給電棒に装着し、そして、装置内の各部を全てオフ状態に保ったまま、インピーダンス測定器にサセプタの裏側から接地電位部までの高周波伝送路のインピーダンスを測定する。検査装置は、インピーダンス測定器を制御し、周波数を掃引して高周波伝送路インピーダンスの実抵抗成分について周波数特性を取得し、その周波数特性の中で発現する角状ピークの属性（ピーク周波数、ピーク値等）を読み取ることにより、容量結合型プラズマ処理装置において、プラズマを生成することなく、しかも電極のおもて面に測定治具を当てることなく、そのプロセス性能上の良否を簡便に判定することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−５０４７９号公報
【特許文献２】特開平１１２６０８９７号公報
【特許文献３】特開２００８−１８２０１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、真空処理装置は受注から納品までのリードタイムを短縮すべく、ユニット化、モジュール化による現地組立作業の時間短縮化が図られている。このような真空処理装置においても、本来、顧客へ納める前に各真空処理モジュールを集約し１つの真空処理装置としての全組立てを行い、組立てられた真空処理装置の品質及び性能を満足しているかを検査・確認して出荷するのが望ましい。しかし、このような検査方法では、検査を行うまでに各真空処理ユニットのドッキング及び調整、ユーティリティ等の接続に時間を要するとともに、検査完了後も出荷を行うための真空処理装置の各真空処理モジュールへの解体の時間が同様にかかるという問題があった。
【０００７】
本発明の目的は、複数の真空処理室を備えた真空処理装置に関して、真空処理モジュール単位で検査を可能とする真空処理装置の検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的は、真空処理装置のモジュール検査装置であって、前記真空処理装置は、内部が高い真空度に減圧・維持される１つの搬送室と、各々試料搬入口を介して該１つの搬送室に接続される複数個の真空処理モジュールとを備え、前記モジュール検査装置は、被検査対象としての１つの前記真空処理モジュールの前記試料搬入口に接続され、試料を該真空処理モジュールに搬出入する開閉可能な第１の開口部を有する搬送容器と、前記真空処理モジュールからの情報を入力・記憶するとともに、該真空処理モジュールへ指示を出す制御手段とを有し、該モジュール検査装置が前記真空処理モジュールと接続された状態で、前記試料の前記真空処理モジュールへの搬入、前記真空処理モジュールにおける前記試料の処理、及び、前記真空処理モジュールからの前記試料の搬出を行いながら、所定の検査ワークフローに従って検査を行う機能を有している、ことにより達成される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、複数の真空処理室を備えた真空処理装置に関して、真空処理モジュール単体、例えばエッチング処理室単体による検査が可能となり、真空処理装置の組立から出荷までの時間短縮、作業工数低減、省エネ、検査時の省スペース化の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施例である真空処理装置のモジュール検査装置と該検査装置により検査される真空処理モジュールとを示す縦断面図である。
【図２Ａ】図１の装置のＡＡ矢視面である。
【図２Ｂ】図１の装置のＢＢ矢視面である。
【図３】検査対象となる真空処理モジュールを複数個備えた、真空処理装置の全体構成の平面図である。
【図４】図１のモジュール検査装置と被検査装置である真空処理モジュールとの接続状態を示す縦断面図である。
【図５】図４の装置のＤ部の詳細を示す縦断面である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明は、モジュール検査装置が、検査対象となる真空処理モジュールの処理室に試料を搬送することができる試料搬送部、前記処理室を制御するためのマイクロコンピュータ及びパーソナルコンピュータ、前記処理室を操作するための表示操作装置を備え、真空処理モジュールの出荷前検査時における自動検査及び自動エラー診断機能を備えていることを特徴とする。以下、図面を参照しながら、詳細に説明する。
【実施例１】
【００１２】
以下、本発明の真空処理装置のモジュール検査装置の一実施例を図１ないし図５により説明する。  
図１にモジュール検査装置、及び被検査装置である真空処理モジュールを示す。図２Ａ、図２Ｂはモジュール検査装置及び真空処理モジュールの接続面を示し、図２Ａはモジュール検査装置の接続面で図１のＡＡ矢視図、図２Ｂは真空処理モジュールの接続面で図１のＢＢ矢視図である。
【００１３】
図１の左側に、モジュール検査装置２を示し、図１の右側に、真空処理モジュール１を示す。真空処理モジュール１は、複数の処理室を備えた真空処理装置の、各処理室に対応するものである。
【００１４】
モジュール検査装置２は、真空処理モジュール１に試料を搬送する試料搬送部と、試料搬送部を真空排気する排気部と、試料搬送部をリークするガス供給部と、制御部とから成る。試料搬送部は、上面に試料の搬入出が可能な開閉可能な第２の開口４９及び側面に真空処理モジュール１との間で試料の搬入出を行なう第１の開口３４を有する試料搬送室１４と、試料搬送室１４内部に設けられた試料搬送装置２４と、第１の開口３４の開閉を行なうゲート弁２５とにより構成される。試料搬送室１４の上面には、第２の開口４９を開閉する蓋５０が設けられ、第２の開口４９を閉じることにより内部を機密に保持する。試料搬送室１４の第１の第１の開口３４の周囲は、処理部７とドッキングするための接合面３２０として平坦に構成されている。
【００１５】
排気部は、試料搬送室１４の、この場合、下部に設けられ内部空間につながる排気配管２６と、排気配管２６の途中に設けた排気バルブ２８と、排気バルブ２８と試料搬送室１４との間の排気配管２６に取り付けられ試料搬送室１４内の圧力を測定する圧力計２７とから構成され、この場合、排気配管２６をエッチング処理装置の排気装置６０に接続可能となっている。
【００１６】
ガス供給部は、試料搬送室１４の、この場合、上部に設けられ内部空間につながるガス供給配管２９と、ガス供給配管２９に設けたバルブ３０とから成り、ガス供給配管２９はガス供給源６２に接続可能となっている。
【００１７】
制御部は、真空処理モジュール１の制御を行うマイクロコンピュータ２３と、真空処理モジュールの操作および状態を表示するための表示操作装置２１と、表示操作装置２１からの信号受信や真空処理モジュールのデータ記録等を行うパーソナルコンピュータ２２と、パーソナルコンピュータ２２等の電力を供給するために電圧を変換するスイッチング電源１７と、モジュール検査装置で過負荷が生じたときに遮断するブレーカ１８と、モジュール検査装置を操作するための操作盤１９と、モジュール検査装置２および真空処理モジュールを緊急停止する緊急停止スイッチ２０とから成る。
【００１８】
被検査装置である真空処理モジュール１は、図１の右側に図示され、この場合、マイクロ波エッチング装置を示す。マイクロ波エッチング装置１は、マイクロ波を発生させるマイクロ波発振器３、マイクロ波を調整するオートチューナ（図示なし）及びマイクロ波が通る導波管４で構成されるマイクロ波導入部、磁場を発生させるコイル５、ガスを流しマイクロ波導入部から導入されたマイクロ波及び磁場によってプラズマを生成させる放電部６と、試料のエッチングを行う処理部７及びプロセスガスや反応生成物等を排気するために供えられたターボ分子ポンプ８で構成され、各部位を動作させるための電源やプロセスガス用のマスフローボックス等を備えており、独立して作動し得るようにモジュール化されている。
【００１９】
処理部７は、外側チャンバ１０と、外側チャンバ１０の内部に設けられた内側チャンバ９と、内側チャンバ９の内部に配置された試料載置台１１と、内側チャンバ９と外側チャンバ１０との間の空間に設けられ、内側チャンバの試料搬入口を開閉するゲート弁１２とから構成されている。処理部７は、高さ調整可能なアジャスター付きの架台に固定され、外側チャンバ１０の下面に排気部を構成するターボ分子ポンプ８及びドライポンプのような排気装置（図示なし）が接続されている。処理部７の上部には放電部及びマイクロ波導入部が順次接続されている。
【００２０】
モジュール検査装置２の制御部のマイクロコンピュータ２３は、真空処理モジュール１からの情報を入力・記憶する手段と、真空処理モジュール１へ指示を出す制御手段とを有し、この制御手段は真空処理モジュール１の試料搬入口のゲート弁と搬送容器の第１の開口部のゲート弁との開閉状態を確認して真空処理モジュール１及び搬送容器２の排気手段を操作する。
【００２１】
上記のように構成された、モジュール検査装置２及び被検査装置である真空処理モジュール１において、
モジュール検査装置２の試料搬送室１４の高さ位置は、真空処理モジュール１のエッチング処理室の処理部７と同じ高さに位置し、大きさは、試料搬送装置２４及びゲート弁２５を納められるスペースがあれば良い。そして、試料搬送室１４の周囲には、図２Ａに示すような試料を搬送するための第１の開口部３４、その周囲に搬送室内を真空に保つためのＯリング３５、電磁波漏洩を防ぐための電磁波シールド３６が備えられている。また、エッチング処理室とドッキングする際の横方向の位決めとして位置決めピン３７がついている。
【００２２】
モジュール検査装置２の試料搬送室１４は、操作盤１９等が設置できるようなフレーム３８の上に設置されており、このフレーム３８には、自由に移動させるようにキャスター３９と設備が動かないようにさせるアジャスターフット（図示なし）がついている。キャスター３９は、自由に移動させることができるとともに高さ調整ができる機能をもったものを使用する。
【００２３】
真空処理モジュール１において、モジュール検査装置２の接合面３２０とドッキングするための接合面３１０は、処理部７に備えられており、図２Ｂに示すような試料を搬送するための試料搬入口３１、その周囲にＯリングにて真空シールするための真空シール面３２が備えられている。また、接合面３１０には、検査設備とドッキングする際の横方向の位決めとして位置決めピンが挿入できるような位置決めピン用の穴３３がある。
【００２４】
図３は、複数個の真空処理モジュール１を組み立てて得られる真空処理装置１００の全体構成の概略を示す平面図である。図３に示したように、４つの真空処理モジュール、すなわち、２つのエッチング処理モジュール１−１，１−２と、２つのアッシング処理モジュール１−３，１−４とにより、１つの真空処理装置１００が構成されている。真空処理装置１００は、大気側ブロック、搬送ユニット、及び、処理ブロックとで構成されている。大気側ブロックは、内部に搬送ユニットの搬送ロボット（図示せず）を備えた筐体１０８を有し、この筐体１０８に取り付けられ試料が収納されるウエハカセット１０９及びダミーウエハ用のダミーカセット１１０を備えている。搬送ユニットの搬送ロボットはカセット１０９，１１０と搬送ユニットのロック室との間で試料を搬入あるいは搬出する作業を行う。搬送ユニットは、各処理モジュールが着脱可能に取り付けられ内部が高い真空度に減圧・維持される搬送室１１２と、ロック室１１３、１１３’とを備えている。各処理モジュールは、搬送室の周囲すなわち多角形の搬送室１１２の各辺に接続されており、エッチング処理モジュール１−１，１−２は搬送室１１２の奥側の２つの辺に接続され、アッシング処理モジュール１−３，１−４はそれぞれがエッチング処理モジュール１−１，１−２の隣接する辺に接続され、さらに搬送室１１２の残る辺にロック室１１３，１１３’が接続されている。さらに、エッチング処理モジュール１−１，１−２，アッシング処理モジュール１−３，１−４に隣接して、これらの真空処理モジュールあるいは処理室に必要なガスや液体等の流体の供給を調節する、流量調節装置を含む制御ユニット１０７ａ，１０７ｂが配置されている。
【００２５】
ロック室１１３または１１３’には、大気側ブロックと搬送ユニットの搬送室との間を接続して、この内側に搬送される試料が載置された状態で内部の圧力を上昇あるいは減少させ、これを維持するガス排気装置とガス供給装置とが接続されている。
【００２６】
カセット１０９のいずれかからロボットアームにより取り出された試料が外気圧に設定されたロック室１１３，１１３’内に設置された後、内部が減圧されて同じく減圧された搬送室１１２内のロボットアームに載せられて搬送室１１２内を通って複数の真空処理モジュール（１−１，１−２または１−３，１−４）のいずれかに搬送される。
【００２７】
また、搬送室１１２に接続されたエッチング処理モジュール１−１，１−２及びアッシング処理モジュール１−３，１−４はこの搬送室１１２に対して着脱可能に構成されていると共に、ロック室１１３，１１３’と搬送室１１２とは、着脱可能に構成されて接続されている。
【００２８】
大気側ブロックの背面側は、処理ブロックに供給されるガス、冷媒、電源等の供給路となっている。すなわち、別箇所からのガスや冷媒の管路、あるいは電源からの電線といった供給ラインの接続インターフェース２０１が大気側ブロックの背面部に設けられている。さらに、接続インターフェース部２０１で処理ブロック１０２側へ供給される各ユーティリティの供給路に接続される。センターフレーム２０４は、搬送ユニット或いは搬送チャンバの下方に配置されてこれらとこれらに接続された真空処理モジュールや機器を支持する支持台であり、略直方体形状に構成されている。このセンターフレーム２０４の内側には空間があり、上記したユーティリティや各処理モジュールに必要な配管、配線が配置されて収納される空間として用いられる。
【００２９】
特許文献１のエッチング処理ユニットやアッシング処理ユニットとは異なり、本発明の各真空処理モジュールは、モジュール検査装置２と接続された状態で、各々の処理を行える機能を有している。すなわち、各エッチング処理モジュール１−１，１−２は、モジュール検査装置２と接続された状態で、試料の搬入、エッチング処理、試料の搬出を行いながら検査ワークフローに従って検査を行うと共に、各アッシング処理モジュール１−３，１−４は、試料の搬入、試料のアッシング処理、試料の搬出を行いながら検査ワークフローに従って検査を行う機能を有している。
【００３０】
そのため、モジュール検査装置２は、エッチング処理モジュールやアッシング処理モジュールを、真空処理装置１００のエッチング処理室やアッシング処理室と同じ条件で動作させるように制御するためのマイクロコンピュータや、それらの操作を行うための、操作画面付きの操作用コンピュータ（ＰＣ）を備えている。
【００３１】
次に、本発明のモジュール検査装置による真空処理モジュールの検査方法について、説明する。ここでは、エッチング処理モジュールを例に説明するが、アッシング処理モジュールの検査方法も同様にして行われる。
【００３２】
図４は、モジュール検査装置２とエッチング処理モジュール１とのドッキング状態を示す図、図５は、モジュール検査装置と真空処理モジュールとのドッキング部（図４のＤ）の詳細を示す拡大図である。
【００３３】
モジュール検査装置２は、取扱い易くするために極力軽量なものとする必要があり、エッチング処理モジュールの方が重量は重い。従って、モジュール検査装置２の接合面３２０をエッチング処理モジュール１の接合面３１０に合わせるようなドッキングとなる。  
ドッキングの手順として、まずエッチング処理モジュール１を任意の場所へ移動させておく。その後、モジュール検査装置２に設けられたキャスター３９にてエッチング処理モジュールのドッキング部付近まで移動させる。移動後、キャスター３９に備えられている高さ調整機構により、モジュール検査装置２の接合面３２０をエッチング処理モジュール１の処理部３のドッキング面３１０の高さ位置と同じになるように高さを調整しつつ、位置決めピン３７を位置決めピン用の穴３３に挿入させ、図４のようにドッキング面を合わせる。ドッキング面３１０、３１０の固定方法は、外周４箇所をトグルクランプ（図示なし）のようなクランプ機能をもったものでしっかりと挟みこむ。この４箇所固定は、エッチング処理モジュールおよびモジュール検査装置のドッキングフランジの剛性をしっかりととることで可能となる。仮に剛性がなかった場合、固定箇所との間がＯリング反力により撓んでしまうことで十分なＯリングつぶし代を得られないため追加で固定が必要となる。  
クランプでの固定が完了したら、モジュール検査装置２をアジャスターフットにて動かないようにする。
【００３４】
ドッキングが完了後、排気配管等のユーティリティ接続を行い、試料をモジュール検査装置２の試料搬送装置２４のハンド４０へ設置する。ドッキング後の状態として内側チャンバ９、外側チャンバ１０及び試料搬送室１４は大気状態であるため、最初真空排気を行う手順として、まず主排気バルブ４１、排気バルブ２８及び粗引きバルブ４２を閉じ、排気バルブ４３を開けた状態でドライポンプ６０を稼働させる。この操作により、ターボ分子ポンプ８の背圧を真空引きすることができる。圧力計４４にてターボ分子ポンプ８の背圧が１００Paより低くなったら、ターボ分子ポンプ８を稼働させる。ターボ分子ポンプ８が完全に立ち上がったら、排気バルブ４３を閉じ、排気バルブ２８及び粗引きバルブ４２を開け、さらにゲート弁２５及びゲート弁１２を開けた状態でドライポンプ６０にて真空排気を行う。この操作によって、試料搬送室１４、外側チャンバ１０及び内側チャンバ９を一緒に排気することができる。圧力計４５で室内の圧力が１〜１００Paまで真空が引けたら排気完了となる。
【００３５】
排気完了後、試料搬送装置２４のハンド４０にてエッチング処理モジュール１の処理部７の内側チャンバ９まで試料を搬送させ、ブッシャー１３を上昇させ試料を受け取ったら、プッシャー１３を下降させ試料を試料設置台１１へと置く。ハンド４０を試料搬送室１４へ戻し終わったら、エッチング処理モジュール１のゲート弁１２を閉じ、粗引きバルブ４２を閉じ排気バルブ４３及び主排気バルブ４１を開いて、内側チャンバ９の高真空排気を開始する。高真空排気が完了したら、あらかじめ設定しておいた検査ワークフローに従って検査を開始する。
【００３６】
検査ワークフローの具体例としては、真空リークチェック、マスフローコントローラ流量確認、エッチング処理ユニット温度調整確認、排気特性の確認、電磁波漏洩確認、E.P.D光量調整、放電特性の確認、等がある。
【００３７】
検査が完了し、処理部７から試料を取り出す手順は、まずエッチング処理モジュール１の内側チャンバ９を外側チャンバ１０と同等の圧力にするため、主排気バルブ４１を閉じ、バルブ４７を開け、ガス供給配管４８から不活性ガス６４を内側チャンバ９へと流し込むことでベントを開始する。圧力計４５と圧力計４６が同等の圧力となったら、バルブ４７を閉じベントを停止する。次にゲート弁１２を開け、プッシャー１３を上昇させ試料を上に持ち上げる。その後、試料搬送装置２４を内側チャンバ９へと移動させ、ハンド４０が内側チャンバ９まで移動したら、プッシャー１３を下降させ試料をハンド４０へと置く。試料を受け取ったら、ハンド４０を試料搬送室１４まで戻してゲート弁２５を閉じる。そして、排気バルブ２８を閉じ、バルブ３０を開けガス供給配管２９から不活性ガス６２を試料搬送室１４へと流しこみ、圧力計２７が大気圧検知したらバルブ３０を閉じ、ベントを止め試料を取り出す。
【００３８】
エッチング処理モジュール内が大気圧ではない場合の試料をエッチング処理モジュールへ搬送させるときの手順について述べる。まずゲート弁２５、バルブ３０及び排気バルブ２８が閉じていることを確認し、試料搬送装置２４のハンド４０に試料を設置する。次に、ゲート弁１２、粗引きバルブ４２及び排気バルブ４３が閉じていることを確認し、排気バルブ２８を開け試料搬送室１４の真空排気を開始する。圧力計２７にて試料搬送室内が外側チャンバ１０内の圧力と同等になったら、ゲート弁２５を開ける。そして、内側チャンバ９の圧力が外側チャンバ１０と同等の圧力であった場合はそのままゲート弁１２を開ける。もし、内側チャンバ９の圧力が高真空状態であった場合は、主排気バルブ４１が閉じていることを確認し、バルブ４７を開け不活性ガス６４を内側チャンバ９へ流し込む。圧力計４５で内側チャンバ９の圧力を監視し、外側チャンバ１０の圧力と同等の圧力になったら、バルブ４７を閉じベントを止め、ゲート弁１２を開く。ゲート弁１２を開いたら、試料搬送装置３９にて試料を内側チャンバ９へと移動させる。これから先の動作は、先述した手順と同じとなるため省略する。
【００３９】
本実施例によれば、モジュール化した真空処理モジュール単体毎の検査が可能となり、真空処理装置の組立から出荷までの時間短縮、作業工数低減、省エネ、検査時の省スペース化の効果を得ることができる。すなわち、従来のように、複数のモジュール化した処理モジュールを備えた真空処理装置１００の全組立てを行ってから、この真空処理装置の品質及び性能を満足しているかを検査・確認する必要はなく、モジュール化した真空処理モジュール単体で検査・確認をして出荷することができる。そのため、時間短縮、作業工数低減、省エネの効果を得ることができる。なお、時間短縮は、検査を行うための検査装置の接続やユーティリティ関係の接続が、装置全体からモジュール単体になることにより得られる時間短縮である。また、複数のモジュール化した処理モジュールやユーティリティを真空処理装置１００として一体に接続する必要が無いので、作業工数の低減となる。さらに、モジュール単体の電力供給のみとなるため、省エネの効果を得ることができる。また、全組立てを行う必要が無いので、装置全体分のスペースからモジュール単体の検査スペースに縮小することが可能となり、検査時の省スペース化の効果がある。
【符号の説明】
【００４０】
１…真空処理モジュール
１−１…エッチング処理モジュール
１−２…エッチング処理モジュール
１−３…アッシング処理モジュール
１−４…アッシング処理モジュール
２…モジュール検査装置
３…マイクロ波発振器
４…導波管
５…コイル
６…放電部
７…処理部
８…ターボ分子ポンプ
９…内側チャンバ
１０…外側チャンバ
１１…試料設置台
１２…ゲート弁
１３…プッシャー
１４…試料搬送室
１５…排気部
１６…ベント部
１７…スイッチング電源
１８…ブレーカ
１９…操作盤
２０…緊急停止スイッチ
２１…表示操作装置
２２…パーソナルコンピュータ
２３…マイクロコンピュータ
２４…試料搬送装置
２５…ゲート弁
２６…排気配管
２７…圧力計
２８…排気バルブ
２９…ガス供給配管
３０…バルブ
３１…試料搬入口
３２…真空シール面
３３…位置決めピン用の穴
３４…第１の開口部
３５…Oリング
３６…電磁波シールド
３７…位置決めピン
３８…フレーム
３９…キャスター
４０…ハンド
４１…主排気バルブ
４２…粗引きバルブ
４３…排気バルブ
４４…圧力計
４５…圧力計
４６…圧力計
４７…バルブ
４８…ガス供給配管
４９…第２の開口
５０…蓋
１００…真空処理装置
３１０…接合面
３２０…接合面。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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