(57)【要約】【課題】周期性のあるパターン被検査体に対し、回折光によるコントラストから正常部とムラ部とを精度良く識別できる周期性パターンのムラ検査方法及びムラ検査装置を提供する。【解決手段】ステップＳ１で対人操作手段を用いて被検査基板におけるピッチ、チップレイアウト、管理番号等の製品情報を情報処理手段入力する（検査対象基板情報入力工程）。次にステップＳ２において、Ｘ−Ｙ−θステージ部とアライメント用撮像部によって被検査基板に対するアライメントを行う（位置決め工程）。ステップＳ３、ステップＳ４において、処理・制御部によってレンズ倍率が設定される（撮像倍率決定工程）。ステップＳ５で回折格子方程式に基づき、照明照射角度φが情報処理手段によって決定され（照明照射角度決定工程）、次にステップＳ３〜Ｓ６までのフローにより得られた値を元にして、検査条件が設定される。【選択図】図４
2014163681.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に周期性パターンが形成された基板を検査対象とするムラ検査方法であって、
検査対象基板情報入力工程で前記周期性パターンのピッチ及びサイズの情報を入力し、
位置決め工程で前記基板の位置決めを行い、
撮像倍率決定工程で前記入力された周期性パターンのピッチと、撮像分解能と、の関係からモアレの発生を予測し、モアレの発生を回避するように撮像倍率を決定し、
照明照射角度決定工程で回折格子方程式による理論計算により照明光の照射角度を決定し、得られた照射角度で基板を照明してムラ検査を行うことを特徴とする周期性パターンのムラ検査方法。
【請求項２】
前記照明照射角度決定工程は、検査対象基板情報入力工程において入力された前記周期性パターンに関する情報を元に前記周期性パターンに対して基板面の種々の方向から光を照射した場合に生じうる回折光のうち回折した光強度の極大値が得られる回折光角度とその時の回折光次数を理論計算により取得することにより照明光の照射角度を決定することを特徴とする請求項１に記載の周期性パターンのムラ検査方法。
【請求項３】
前記検査対象基板情報入力工程は、前記基板の周期性パターンに対して任意の水平方向角度での照明について回折光強度の取得、検査条件の設定ができるように水平角度方向に関する条件入力が可能であることを特徴とする請求項１または２に記載の周期性パターンのムラ検査方法。
【請求項４】
前記照明照射角度決定工程が、ブラッグの回折条件に基づいて計算が実行され、かつ、算出される回折光角度は次数が３００次以下の回折光に関するものであることとし、角度の値は少なくとも１０°以上６０°以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の周期性パターンのムラ検査方法。
【請求項５】
前記照明照射角度決定工程では、前記基板の周期性パターンからの回折光を光電変換素子で光強度を測定し、かつ、前記光強度測定が、前記基板の周期性パターンにより生じる回折光のうち前記基板の被検査面に対して垂直に回折する回折光のみを抽出して測定することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の周期性パターンのムラ検査方法。
【請求項６】
前記撮像倍率調整工程で調整された倍率に応じて、電動式ズームレンズの倍率を調整することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の周期性パターンのムラ検査方法。
【請求項７】
基板上に周期性パターンが形成された基板を検査対象とするムラ検査装置であって、
検査対象基板情報入力手段と、位置決め手段と、撮像倍率決定手段と、照明照射角度決定手段と、を具備し、
前記検査対象基板情報入力手段は、周期性パターンのピッチ及びサイズの情報を入力する手段であって、
位置決め手段は、前記基板の位置決めを行う手段であって、
撮像倍率決定手段は、前記入力された周期性パターンのピッチと、撮像分解能と、の関係からモアレの発生を予測し、モアレの発生を回避する為の撮像倍率を決定する手段であって、
照明照射角度決定手段は、回折格子方程式による理論計算により照明光の照射角度を決定する手段であって、
得られた照射角度で基板を照明してムラ検査を行うことを特徴とするムラ検査装置。
【請求項８】
前記照明照射角度決定手段は、前記検査対象基板情報入力手段で入力された前記周期性パターンに関する情報を元に前記周期性パターンに対して種々の角度から照明光を照射し
た場合に生じる回折光のうち回折した光強度の極大値が得られる回折光角度とその時の回折光次数を理論計算により取得することにより照明光の照射角度を決定することを特徴とする請求項７に記載のムラ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、周期性パターンを有する被検査体においてパターンのムラを検査するためのムラ検査方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
周期性パターンとは、一定の間隔を有するパターンの集合体を称し、例えば、パターンが所定のピッチで配列したストライプ状の周期性パターン又は開口部のパターンが所定の周期で２次元的に配列したマトリクス状のパターン等が該当する。周期性パターンを有する被検査体としては、特に、液晶ディスプレイ等のブラックマトリクスや、ブラックマトリクスを製造する際のフォトリソグラフィ工程に用いられるフォトマスクが挙げられる。
【０００３】
従来、フォトマスクとしては、ガラス等の透明基板上にクロム等の遮光膜が蒸着、もしくは塗布によって形成されており、遮光膜の一部が一定の形状で部分的に除去されて構成されたものが知られている。
【０００４】
フォトマスクのような周期性パターンにおけるムラ欠陥は、通常微細な寸法ずれや位置ずれが規則的に配列していることが原因であることが多い。そのため、個々のパターン検査では発見することが困難であるが、周期性パターンを広い領域において観察した時に初めて認識される欠陥である。
【０００５】
フォトマスクは、電子線描画装置やレーザ描画装置によってパターンを描画する。これらの描画装置では、フォトマスク上の所定サイズの領域（描画単位領域）内にあるパターンを描画したら、次の描画単位領域に移ってその中にあるパターンを描画する、というステップアンドリピート方式でフォトマスク全体のパターンを描画する。
【０００６】
フォトマスクの描画工程では、ある描画単位領域と隣接する描画単位領域の境界部分において、数ｎｍオーダーで、サイズずれおよび位置ずれといった描画パターンの変動が連続して生じることが知られている。つまり、この描画単位領域の大きさの周期でムラ欠陥が発生する傾向があり、周期性パターン領域におけるムラ欠陥の発生様式、面内分布は、描画単位領域形状に依存するといってもよい。そのため、描画装置に起因するムラ（描画ムラ）は単位領域の周期と同じ周期で現れる。
【０００７】
従来の周期性パターンにおけるムラ検査では、同軸の透過照明や平面照明を用いて透過画像を撮像し、各々の画像での光強度を比較することによって正常部とムラ部の視認を行っている。しかし、正常部とムラ部における光の強度差は決して大きいわけではなく、得られる画像のコントラストは低い。そのため、コントラストの低い画像に対しその強度差の処理方法を工夫することでコントラストアップを図り、ムラ部を抽出し検査を行っている（特許文献１参照）。
【０００８】
しかし、上記従来技術においては、格子状周期性パターンのブラックマトリクスのムラ、特に開口部の大きいブラックマトリクスのムラの撮像において、正常部とムラ部でのコントラスト向上が期待されず、強度差の処理を工夫したとしても元画像のコントラストが低い画像の場合の検査では、目視での官能検査方法より低い検査能力しか達成できないという問題がある。
【０００９】
一方、液晶ディスプレイにおいては解像度の増加や、画面の発光輝度の増加が求められる傾向により、液晶ディスプレイ用のフォトマスクでは微細化、又は開口部比率の増大傾
向が進んでいる。将来的には、より開口部の大きい、より微細形状の周期性パターンのムラ検査装置及びその方法が必要となる。すなわち、従来の光の振幅による光の強度（明るさ）の強弱のみの出力では限界がある。
【００１０】
そこで、周期性のあるパターン、例えば、ブラックマトリクスムラを安定的、高精度に撮像、検出可能な周期性パターンムラ検査装置を提供することを目的として、照明光が被検査体に照射され、周期性パターンによって生じる透過回折光を画像検査する、例えば、特許文献２のような検査装置が提案された。周期性パターンの正常部では開口部の形状・ピッチが一定となるため互いに干渉し一定の方向に回折光を生じる。それに対し、ムラ部では開口部の形状、ピッチが不規則になるため、形状、ピッチに応じて種々の方向に、種々の強さで回折光が生じる。この検査装置では、正常部とムラ部における回折光強度コントラストの違いから、ムラ部を検出する方式をとっている。しかし、この装置において、所望の欠陥検査感度を満たす画像を得るためには被検査物の種類毎に最適な検査条件の設定が必要であり、その最適な検査条件設定には作業者の熟練や多大な時間が必要となる。また、作業者間によって検査精度にばらつきが生じるという官能検査的要素を含むため、検査方法の標準化という観点からは好ましくない。
【００１１】
ところで、周期性パターン、例えば液晶ディスプレイの構成部材であるブラックマトリクス製造に用いるフォトマスクにおいては、転写時における画素のピッチが５０μｍ以下への微細化が進む一方で、数十μｍ程度のピッチを有するような製品の需要も依然として高い。これにより製品におけるパターンピッチは多岐に渡る。周期性パターンにおけるパターンピッチが変化することにより、周期性パターンによって生じる回折光の挙動が変化することになるため、照明光の照射条件、特に照射角度の値を製品毎に適切に設定する必要がある。
【００１２】
また、撮像素子の周期と周期性パターンの周期とがある程度近くなってくると、撮像素子周期とパターン周期との間で干渉を起こし、モアレが発生してしまうことがしばしばある。被検査画像中にモアレが発生してしまった場合、実欠陥との弁別が困難となり、検出精度が低下してしまうという問題がある。
【００１３】
上記のようなモアレを低減させるための従来技術としては、２分岐した光路のそれぞれに撮像素子を配置して一方の撮像素子に画素ずらしを加えた後、両撮像素子からの画像を合成してモアレを解消するというもの（特許文献３参照）や、ズームレンズの使用により、撮像条件における分解能を変化させる事により、モアレの低減を図るものがあった（特許文献４参照）。
【００１４】
しかしながら、特許文献３の技術では、撮像素子を複数使用しなければならない為コスト面で難があるといった問題がある。また、特許文献４の技術においては、分解能を微調整する処理における条件が多岐に渡り、調整に時間が掛かるという課題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開２００２−１４８２１０号公報
【特許文献２】特開２００６−２０８０８４号公報
【特許文献３】特開２０００−９２３５０号公報
【特許文献４】特開２０１１−０７５３１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明の目的は、周期性のあるパターン、特に、液晶ディスプレイ用フォトマスクのよ
うにセルピッチやパターンの方向性が多岐にわたるような被検査体に対し、回折光によるコントラストから正常部とムラ部とを精度良く識別でき、かつ、モアレのような外乱要素を含まない被検査画像を効率良く取得することができる周期性パターンのムラ検査方法及びムラ検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
そこで本発明に係る請求項１に記載の発明は、基板上に周期性パターンが形成された基板を検査対象とするムラ検査方法であって、
検査対象基板情報入力工程で前記周期性パターンのピッチ及びサイズの情報を入力し、
位置決め工程で前記基板の位置決めを行い、
撮像倍率決定工程で前記入力された周期性パターンのピッチと、撮像分解能と、の関係からモアレの発生を予測し、モアレの発生を回避するように撮像倍率を決定し、
照明照射角度決定工程で回折格子方程式による理論計算により照明光の照射角度を決定し、得られた照射角度で基板を照明してムラ検査を行うことを特徴とする周期性パターンのムラ検査方法である。
【００１８】
本発明に係る請求項２に記載の発明は、
前記照明照射角度決定工程は、検査対象基板情報入力工程において入力された前記周期性パターンに関する情報を元に前記周期性パターンに対して基板面の種々の方向から光を照射した場合に生じうる回折光のうち回折した光強度の極大値が得られる回折光角度とその時の回折光次数を理論計算により取得することにより照明光の照射角度を決定することを特徴とする請求項１に記載の周期性パターンのムラ検査方法である。
【００１９】
本発明に係る請求項３に記載の発明は、
前記検査対象基板情報入力工程は、前記基板の周期性パターンに対して任意の水平方向角度での照明について回折光強度の取得、検査条件の設定ができるように水平角度方向に関する条件入力が可能であることを特徴とする請求項１または２に記載の周期性パターンのムラ検査方法である。
【００２０】
本発明に係る請求項４に記載の発明は、
前記照明照射角度決定工程が、ブラッグの回折条件に基づいて計算が実行され、かつ、算出される回折光角度は次数が３００次以下の回折光に関するものであることとし、角度の値は少なくとも１０°以上６０°以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の周期性パターンのムラ検査方法である。
【００２１】
本発明に係る請求項５に記載の発明は、
前記照明照射角度決定工程では、前記基板の周期性パターンからの回折光を光電変換素子で光強度を測定し、かつ、前記光強度測定が、前記基板の周期性パターンにより生じる回折光のうち前記基板の被検査面に対して垂直に回折する回折光のみを抽出して測定することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の周期性パターンのムラ検査方法である。
【００２２】
本発明に係る請求項６に記載の発明は、
前記撮像倍率調整工程で調整された倍率に応じて、電動式ズームレンズの倍率を調整することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の周期性パターンのムラ検査方法である。
【００２３】
本発明に係る請求項７に記載の発明は、
基板上に周期性パターンが形成された基板を検査対象とするムラ検査装置であって、
検査対象基板情報入力手段と、位置決め手段と、撮像倍率決定手段と、照明照射角度
決定手段と、を具備し、
前記検査対象基板情報入力手段は、周期性パターンのピッチ及びサイズの情報を入力する手段であって、
位置決め手段は、前記基板の位置決めを行う手段であって、
撮像倍率決定手段は、前記入力された周期性パターンのピッチと、撮像分解能と、の関係からモアレの発生を予測し、モアレの発生を回避する為の撮像倍率を決定する手段であって、
照明照射角度決定手段は、回折格子方程式による理論計算により照明光の照射角度を決定する手段であって、
得られた照射角度で基板を照明してムラ検査を行うことを特徴とするムラ検査装置である。
【００２４】
本発明に係る請求項８に記載の発明は、
前記照明照射角度決定手段は、前記検査対象基板情報入力手段で入力された前記周期性パターンに関する情報を元に前記周期性パターンに対して種々の角度から照明光を照射した場合に生じる回折光のうち回折した光強度の極大値が得られる回折光角度とその時の回折光次数を理論計算により取得することにより照明光の照射角度を決定することを特徴とする請求項７に記載のムラ検査装置である。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、簡単な情報の入力及び自動的な演算により、検査条件が設定されるため、周期性のあるパターン、特に、液晶ディスプレイ用フォトマスクのようにセルピッチやパターンの方向性が多岐にわたるような被検査体に対し、回折光によるコントラストから正常部とムラ部とを精度良く識別でき、かつ、モアレのような外乱要素を含まない被検査画像を効率よく取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施の形態１に係るムラ検査装置の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係るムラ検査装置における光源に内蔵された光学フィルタの分光透過率を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係るムラ検査装置におけるＸ−Ｙ−θステージ部の模式図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係るムラ検査装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図５】本発明の実施の形態１に係るムラ検査装置における被検査基板と投光方向θ軸との対応関係を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係るムラ検査装置における計算例を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態１に係るムラ検査装置における照明照射角度Φと評価値Ｃとの関係を表す模式図である。
【図８】本発明の実施の形態２に係るムラ検査装置における取得画像例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２８】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係るムラ検査装置の構成を示す概略図である。図１では、透過回折光を得るための装置の構成例が示されている。なお、本装置は外乱光や迷光を極力低減させた暗環境かつ被検査基板への異物付着を防止するクリーン環境で稼動されることが望ましい。
【００２９】
図１に示すように、本発明の実施の形態１に係るムラ検査装置は、透過照明部１０、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０、アライメント用撮像部３０、回折光強度測定部兼撮像部４０及び処理・制御部１００を具備している。Ｘ−Ｙ−θステージ部２０は、被検査基板６０の位置決め動作及び基板搬送動作が可能である。アライメント用撮像部３０は、被検査基板６０の位置決めを実施する。回折光強度測定部兼撮像部４０は、被検査基板６０からの回折光強度を取得し、また、被検査画像を取得する。
【００３０】
処理・制御部１００は、透過照明部１０、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０、アライメント用撮像部３０、回折光強度測定部兼撮像部４０を構成する機器類の動作制御を行い、アライメント用撮像部３０及び回折光強度測定部兼撮像部４０からの出力を画像情報あるいは信号情報として入力を行い、演算処理を行う。さらに、処理・制御部１００は、その処理結果や処理画像を、表示手段１０４に表示する。
【００３１】
透過照明部１０では、円弧レール１１が設置されており、円弧レール１１には照明ヘッド１５が設けられており、光源１３からはライトガイド１４を用いて導光している。円弧レール１１上で照明ヘッド１５を駆動することによって被検査基板６０の被検査面に対して垂直方向の照射角度調整が可能となっている。（この場合の駆動軸はΦ軸と定義される）。円弧レール１１上のどの位置にあっても照明ヘッド１５は、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０上の所定位置に照明光を照射することができるように調整されており、これによって、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０上の被検査基板６０の被検査面に対して、様々な照射角度からの透過照明が可能となっている。符号１２は円弧レール制御部である。
【００３２】
照明ヘッド１５には、平行光学系が設けられている。光源１３にはフィルターチェンジャー機構が設けられており、複数の波長選択フィルタを用いることが可能となっているが、本実施の形態１では、図２に示す分光透過率を有するピーク波長が５４０ｎｍであるバンドパスフィルタを用いている。また、本実施の形態１では、光源１３にはメタルハライドランプが用いられており、動作時間に対する光量変動幅が１％以下で光量安定度が高いものを選定している。
【００３３】
図３は、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０を模式的に示したものである。被検査基板６０は、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０の所定の位置に載置される。被検査基板６０の載置部は、中空である。Ｘ−Ｙ−θステージ部２０は、被検査基板６０を図３のＸ軸方向及びＹ軸方向に平行移動する機能と、被検査基板６０をその被検査面内で３６０°回転させる機能を有する。この回転中心の軸がθ軸とされる。これによって、予め設定した動作手順に従って被検査基板６０は、Ｘ軸及びＹ軸方向に駆動される。また、θ軸を中心として被検査基板６０を面内回転させることにより、被検査基板６０の被検査面内への照明照射方向の調整が可能である。
【００３４】
アライメント用撮像部３０は、図１に示すように、カメラ３１、レンズ３５、照明装置３３及び照明制御装置３４を具備している。被検査基板６０上のアライメントマークを含む領域に対して同軸落射形式で照明光が照射され、その観察画像がカメラ制御装置３２で制御されるカメラ３１により撮像され、その観察画像に基づいて上記Ｘ−Ｙ−θステージ部２０が制御されて被検査基板６０の位置決めが行われる。なお、照明制御装置３４により、照明装置３３の点灯・消灯制御及び照明光強度の調節ができるようになっており、制御動作は処理・制御部１００により実施される。なお、本実施の形態１では、カメラ３１にはエリアＣＣＤカメラが用いられ、レンズ３５には同軸落射形式の固定倍率テレセントリックレンズが用いられ、また、照明装置３３には高輝度スポット型の白色ＬＥＤが用いられている。
【００３５】
回折光強度測定部兼撮像部４０は、光電センサー４１及び平行光学系４３を具備してい
る。光電センサー４１としては、可視光域に分光感度特性を有している光電変換素子を具備していることが望ましい。光電センサー４１は光電センサー制御装置４２によって制御される。また、平行光学系４３には電動式テレセントリックズームレンズが用いられている。
【００３６】
処理・制御部１００は、情報処理手段１０１、表示手段１０４及び対人操作手段１０５を具備している。情報処理手段１０１は、透過照明部１０、Ｘ−Ｙ−θステージ部２０、アライメント用撮像部３０及び回折光強度測定部兼撮像部４０の動作管理及び制御を行う。
【００３７】
図４は、本発明の実施の形態１の動作を説明するための示すフローチャートである。本発明の実施の形態１の動作は、ステップＳ１〜Ｓ７という一連のステップによって行われる。以下、ステップＳ１〜Ｓ７の内容をステップ順に説明する。なお、被検査基板６０の着脱等の操作についてはフローから割愛する。
【００３８】
ステップＳ１において、操作者が検査対象基板情報入力手段である対人操作手段１０５を用いて被検査基板６０におけるピッチ、チップレイアウト、管理番号等の製品情報を情報処理手段１０１へ入力する（検査対象基板情報入力工程）。また、この段階で、操作者が対人操作手段１０５を用いてθ軸の角度も入力する。ここでいうθ軸の角度とは図５に被検査基板６０とθとの対応関係を示すが、この場合には、例としてθ＝０゜、４５゜、９０゜の３種類について定義してある。
【００３９】
次にステップＳ２において、位置決め手段であるＸ−Ｙ−θステージ部２０とアライメント用撮像部３０によって被検査基板６０に対するアライメント（位置決め）動作が実施される（位置決め工程）。
【００４０】
次にステップＳ３、ステップＳ４において、撮像倍率決定手段である処理・制御部１００によって平行光学系４３におけるレンズ倍率が設定される（撮像倍率決定工程）。本実施の形態１では、撮像倍率の決定は以下のようにして決定される。即ち、ステップＳ４のレンズ倍率の設定をする前に、ステップ３においてモアレ発生を回避するための分解能の算出が行われる。この場合、光電センサー４１における撮像素子サイズとレンズ倍率によって決まる撮像分解能Ｒと、被検査基板６０におけるピッチｄｉとの関係が式（１）を満たすようなレンズ倍率が決定される。
【００４１】
【数１】
2014163681.tif 000003
【００４２】
ここで、ｈは相対比を表し、正の整数であることとする。但し、被検査基板６０では、ステップＳ１にて設定したθに応じて光の照射方向に対応した見かけ上のピッチの値が変化するため、各θ軸における見かけ上のピッチｄｉ値を算出する必要がある。Ｒがｄｉよりも小さくなると、パターンの解像が生じる為、ムラだけでなく個々のパターンの輪郭までもが検査画像に映り込んでしまい、ムラの評価が困難となる。
【００４３】
また、発生するモアレの周期Ｐを式（２）により情報処理手段１０１で予測する。予測されたモアレの周期がＲよりも小さい場合、モアレは解像しない為、取得される画像はモアレの影響を受けない。
【００４４】
【数２】
2014163681.tif 000004
【００４５】
式（１）および式（２）を満たす撮像分解能となるように、撮像倍率決定手段である情報処理手段１０１でズームレンズの倍率が算出され、設定される。
【００４６】
基板天地方向に対してＸ方向のピッチをΔｘ、Ｙ方向のピッチをΔｙとすると、ｄｉはθの範囲によって場合分けされ、以下の様に算出される。
【００４７】
０゜≦θ≦４５゜のときは、式（３）で表される。
【００４８】
【数３】
2014163681.tif 000005
【００４９】
４５゜＜θ≦９０゜のときは、式（４）で表される。
【００５０】
【数４】
2014163681.tif 000006
【００５１】
９０゜＜θ≦１３５゜のときは、式（５）で表される。
【００５２】
【数５】
2014163681.tif 000007
【００５３】
１３５゜＜θ≦１８０゜のときは、式（６）で表される。
【００５４】
【数６】
2014163681.tif 000008
【００５５】
照明照射角度決定手段について説明する。式（７）に示す回折格子方程式に基づき、ステップＳ１にて入力されたピッチｄｉの値から回折光強度のピークが得られる角度Φ（ｍ）を各回折光次数ｍについて計算し、計算した各々のΦ（ｍ）において回折光強度の測定が行なわれ、判定演算を行った上で照明照射角度Φが情報処理手段１０１によって決定される（ステップＳ５）（照明照射角度決定工程）。
【００５６】
【数７】
2014163681.tif 000009
【００５７】
本実施の形態１では、１０゜≦Φ（ｍ）≦６０゜を満たす全て（例えば１°刻みで）の角度Φ（ｍ）が計算される。
【００５８】
ここで、Φ（ｍ）を上記範囲としたのは次の理由による。Φ（ｍ）が１０゜より小さい場合は、照明ヘッド１５からの直接光（０次回折光）が回折光強度測定部兼撮像部４０に入射する可能性があるため、光強度が強い直接光により光電センサー４１が損傷するのを回避する必要があるとともに、０次回折光はもともと検査対象物のムラの有無を判断するのに寄与しないため、なるべく入射させない方がよい。またΦ（ｍ）が６０゜より大きい場合は、回折光の強度が弱くなるので、実際の検査を実施するために必要な光量を確保できなくなってしまう。
【００５９】
以上の理由により、Φ（ｍ）が上記範囲と設定された。本実施の形態１では、Ｇバンドパスフィルタを利用するのでλ＝５４０ｎｍとされた。また、パターンピッチが８０．０μｍの周期性パターンが被検査基板６０とされた。この時、１０゜≦Φ（ｍ）≦６０゜を満たすｍの最小値をａ、最大値をｂとすると、ａ＝２６、ｂ＝１２７として計算が実施された。図６に、Ｇフィルタ利用時において、ｄｉ＝８０．０μｍとして計算が実施された場合における、回折光次数ｍと回折角Φ（ｍ）との関係が示される。
【００６０】
最終的な照明照射角度Φを決定するための判定演算方法としては、照明光量調整を伴う以下の要領にて実施される。まず、ａ≦ｍ≦ｂとした中で最も回折次数が低い角度Φ（ａ）の位置へ照明ヘッド１５を駆動させた後、被検査基板６０へ照明光が投光される。照明光量を徐々に上げていき、所望の光量値が確保された時点で、Φ（ａ）の値が照明照射角度Φとして採用される。ここで、照明光量を最大値としても所望の光量値が確保されない場合には、Φ（ａ＋１）の位置へ照明ヘッド１５を駆動させ、同様の測定動作が実施される。
【００６１】
Ｘ−Ｙ−θステージ部２０が駆動され、検査対象パターンが撮像位置へ移動される（ステップＳ６）。なお、照明ヘッド１５は、ステップＳ５で導出したΦ位置へ駆動される。
【００６２】
以上のステップＳ３〜Ｓ６までのフローにより得られた値を元にして、検査条件が設定される（ステップＳ７）。つまり、θ、Φ、照明光量、レンズ倍率の各パラメータが設定される。その後、回折光強度測定部兼撮像部４０にて被検査画像の取得が実施される。
【００６３】
図７に、本実施の形態１における照明照射角度Φとムラ評価値Ｃとの関係が示される。ここで、ムラ評価値Ｃとは、本実施の形態１において、実際に検出されたムラ欠陥画像における正常部とムラ部における輝度値コントラスト比を取った値のことである。Ｃの値が照明角度に応じて変動し、検査角度Φｉ近傍でピークを示していることが示される。つまり、ステップＳ４における処理を経ることによって、正常部とムラ部とのコントラストが識別可能な照明照射角度Φｉが導出可能であることを示している。
【００６４】
ステップＳ３〜Ｓ７までのフローは、ステップＳ１にて設定されたθ軸分だけ繰り返し実施される（ステップＳ８）。全てのθ軸について検査条件が決定された後、実際の検査動作が実行される。
【００６５】
以上説明したように、本発明の実施の形態１においては、検査条件設定に際して、所望する検査感度が得られるまで検査条件を変更し検査実行と検査結果の確認を繰り返す必要があるという従来必要とされていた工程を排し、検査条件設定に費やされる労力・作業時間を削減することが可能となる。また、本発明の実施の形態１においては、定量的かつ理論的な手法を用いていることにより、作業者間における検査精度のばらつきを解消することが可能となる。
【００６６】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２について説明する。本発明の実施の形態２に係るムラ検出装置の概略図は、図１と同じである。また、本発明の実施の形態２に係るムラ検出装装置の動作は、図４に示すフローチャートに則って行われる。
【００６７】
本発明の実施の形態２においては、光電センサー４１として画素サイズ９．９μｍのＣＣＤカメラが用いられる。なお、本発明の実施の形態２においては、ラインセンサカメラを使用してもよい。また、複数台の性能の異なるカメラとカメラ切替機構を具備することにより、使用カメラの切替で測定毎に最適なものを選択できるようにしてもよい。また、光電センサー４１がラインセンサカメラとする事に伴って、照明ヘッド１５をライン型照明ヘッドとしてもよい。
【００６８】
平行光学系４３には、第１の実施形態と同様、電動式テレセントリックズームレンズを用いている。この場合に、絞りの自動調整機能が備わっていてもよい。
【００６９】
本発明の実施の形態２の動作について、ステップＳ１〜Ｓ７までのステップは本発明の実施の形態１と同様であるため割愛する。また、本発明の実施の形態２においては、第１の実施の形態１と同様にパターンピッチが８０．０μｍの周期性パターンを被検査基板６０としている。
【００７０】
本発明の実施の形態２においても、ステップＳ３〜Ｓ７までのフローは、ステップＳ１
にて設定されたθ軸分だけ繰り返し実施される。全てのθ軸について検査条件が決定された後、検査撮像部としてラインセンサカメラを使用して、実際の検査動作が実行される。
【００７１】
図８に、本実施の形態２において取得された被検査画像例と、検査画像に対しフーリエ変換によって周期解析を行った例を示す。図８は、（ａ）モアレありの場合と、（ｂ）モアレなしの場合の画像に対してフーリエ変換によってパワースペクトラムを求めたものである。（ｂ）のモアレなしの場合は、レンズ倍率を変更したことでモアレの発生を回避した場合である。周期解析の結果、ムラの発生周期α（α＝描画装置の描画ピッチと同じ周期）にパワースペクトルのピークがあり、共にムラを捉えることに成功している事が分かる。
【００７２】
ただし、モアレあり場合の解析結果によれば、周期βにパワースペクトルのピークが表れている。このβは、撮像分解能とパターン周期を元に式（７）によって算出したモアレの周期と一致する。この事から、（ａ）ではモアレが発生している事が分かる。一方でモアレを回避した（ｂ）では、モアレの周期にスペクトルのピークが生じていない。
【００７３】
以上説明したように、本発明の実施の形態１、２によれば、フォトマスクやブラックマトリクス等の周期性パターンを有する製品における検査装置において、検査条件設定作業の労力削減が可能であり、精度良く欠陥検査に最適な照明角度を理論に基づいて設定することができ、かつモアレのような外乱要素を含まない被検査画像を取得することが可能となる。
【符号の説明】
【００７４】
１０・・・透過照明部
１１・・・円弧レール
１２・・・円弧レール制御部
１３・・・光源
１４・・・ライトガイド
１５・・・照明ヘッド
２０・・・Ｘ−Ｙ−θステージ部
２１・・・Ｘ−Ｙ−θステージ制御部
３０・・・アライメント用撮像部
３１・・・カメラ
３２・・・カメラ制御装置
３３・・・照明装置
３４・・・照明制御装置
３５・・・レンズ
４０・・・回折光強度測定部兼撮像部
４１・・・光電センサー
４２・・・光電センサー制御装置
４３・・・平行光学系
６０・・・被検査基板
１００・・・処理・制御部
１０３・・・信号入力装置
１０４・・・表示手段
１０５・・・対人操作手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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