(57)【要約】【課題】非正規経路の誤差信号の影響を低減して角度センサの検出精度を向上させること。【解決手段】角度センサ9を構成するセンサステータは、複数の平面コイルが巻方向が交互に入れ替わるように互いに接続されて円周方向に配置された検出コイル10,20と、その検出コイル10,20の内側に配置されたステータ側ロータリートランスコイル（ステータ側Ｒ／Ｔ）30と、それらコイル10,20,30が形成されたステータ基板とを含む。角度センサ9を構成するセンサロータは、検出コイル10,20と対向する位置に配置されて平面コイルより構成される励磁コイル40と、その励磁コイル40の内側にてステータ側Ｒ／Ｔ30と対向する位置に配置されたロータ側Ｒ／Ｔ41とを含む。ステータ側Ｒ／Ｔ30から検出コイル10,20へ直接的に伝わる非正規経路の誤差信号を打ち消す打消しコイル51,52がステータ基板に設けられ、打消しコイル51,52と検出コイル10,20とが直列に接続される。【選択図】        図２
2014071095.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の平面コイルが巻方向が交互に入れ替わるように互いに接続されて円周方向に配置された検出コイルと、前記検出コイルの内側に配置されたステータ側ロータリートランスコイルと、前記検出コイルと前記ステータ側ロータリートランスコイルが表面に形成されたステータ基板とを含むセンサステータと、
前記検出コイルと対向する位置に配置されて平面コイルより構成される励磁コイルと、前記励磁コイルの内側にて前記ステータ側ロータリートランスコイルと対向する位置に配置されたロータ側ロータリートランスコイルとを含むセンサロータと
を備え、前記ステータ側ロータリートランスコイルに励磁信号が入力されることにより、前記ステータ側ロータリートランスコイルで交番磁界が発生し、その交番磁界を介して前記ロータ側ロータリートランスコイルに前記励磁信号が伝わり、その励磁信号が前記励磁コイルに入力されて前記励磁コイルで交番磁界が発生し、その交番磁界を介して前記検出コイルで起電力が発生し、その起電力に基づき前記センサロータの回転角度を検出するように構成した角度センサであって、
打消しコイルが前記ステータ基板の上に、かつ前記励磁コイルと対向しない位置に設けられ、前記打消しコイルと前記検出コイルとが直列に接続されたことを特徴とする角度センサ。
【請求項２】
前記検出コイルと前記打消しコイルは、同一のプロセスで形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載の角度センサ。
【請求項３】
前記検出コイルは、ＳＩＮ相検出コイルとＣＯＳ相検出コイルを含み、前記打消しコイルはＳＩＮ相打消しコイルとＣＯＳ相打消しコイルとを含み、前記ＳＩＮ相検出コイルと前記ＳＩＮ相打消しコイルが直列に接続され、前記ＣＯＳ相検出コイルと前記ＣＯＳ相打消しコイルが直列に接続され、前記ＳＩＮ相打消しコイルの面積と前記ＣＯＳ相打消しコイルの面積が互いに異なることを特徴とする請求項１又は２に記載の角度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、モータやエンジンの出力軸に対して設けられ、その出力軸の回転角度を検出する角度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の技術として、例えば、下記の特許文献１に記載されるシートコイル型レゾルバが知られている。このレゾルバは、平面形状を有する複数のステータコイルパターンが同一面上の円周上に配置された構造を有するレゾルバステータコイル部と、レゾルバステータコイル部に対して軸方向において隙間を有した状態で対向して配置され、平面形状を有する複数のロータコイルパターンが同一面上の円周上に配置された構造を有するレゾルバロータコイル部とを備える。ここで、レゾルバステータコイル部は、ステータコイルパターンとして、２つのＳＩＮ相コイルパターンと２つのＣＯＳ相コイルパターンを含み、それらが円周方向に交互に配置されている。また、ステータコイルパターンの内側にはステータトランスコイルが配置されている。同様に、レゾルバロータコイル部は、ロータコイルパターンの内側に、ステータトランスコイルに対向する位置に、ロータトランスコイルが配置されている。
【０００３】
ここで、このレゾルバは、ステータトランスコイルに励磁信号が入力されることにより、ステータトランスコイル、ロータトランスコイルを介して励磁信号がロータコイルパターン（励磁コイル）に入力される。そして、そのロータコイルパターンで電流により磁束が発生することにより、ステータコイルパターン（検出コイル）で起電力が発生し、その起電力の振幅変動を解析することにより、レゾルバロータコイル部の回転角度を検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−４７６７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、特許文献１に記載のレゾルバでは、２つのＳＩＮ相コイルパターンと２つのＣＯＳ相コイルパターンが、ステータトランスコイルに対し、スペースを隔て、かつ、等価な位置（同一円周上）に配置されている。また、２つのＳＩＮ相コイルパターン及び２つのＣＯＳ相コイルパターンは、それぞれ２つのコイルが逆相の関係になるように接続されている。そのため、ステータトランスコイルに励磁信号が入力され、ステータトランスコイルの周囲に交番磁界が発生しても、各検出コイルで発生する起電力は極めて小さい。また、その交番磁界の影響で各検出コイルに起電力が発生したとしても、例えば、２つのＳＩＮ相コイルパターンの一方で発生する起電力と２つのＳＩＮ相コイルパターンの他方で発生する起電力はちょうど打ち消し合う（起電力は０となる。）ように作用する。このため、レゾルバによる回転角度の検出精度には影響がないと考えられていた。しかしながら、本願出願人が実際に製品を試作、評価するなかで、上記打ち消し作用だけでは十分ではなく、ステータトランスコイルで発生する交番磁界により、検出コイル側に発生する起電力が検出誤差の一因となることが分かった。
【０００６】
この発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、非正規経路の誤差信号（ステータ側ロータリートランスコイルで発生する交番磁界の影響により検出コイル側で発生する起電力）の影響を低減して検出精度を向上させることを可能とした角度センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、複数の平面コイルが巻方向が交互に入れ替わるように互いに接続されて円周方向に配置された検出コイルと、検出コイルの内側に配置されたステータ側ロータリートランスコイルと、検出コイルとステータ側ロータリートランスコイルが表面に形成されたステータ基板とを含むセンサステータと、検出コイルと対向する位置に配置されて平面コイルより構成される励磁コイルと、励磁コイルの内側にてステータ側ロータリートランスコイルと対向する位置に配置されたロータ側ロータリートランスコイルとを含むセンサロータとを備え、ステータ側ロータリートランスコイルに励磁信号が入力されることにより、ステータ側ロータリートランスコイルで交番磁界が発生し、その交番磁界を介してロータ側ロータリートランスコイルに励磁信号が伝わり、その励磁信号が励磁コイルに入力されて励磁コイルで交番磁界が発生し、その交番磁界を介して検出コイルで起電力が発生し、その起電力に基づきセンサロータの回転角度を検出するように構成した角度センサであって、打消しコイルがステータ基板の上に、かつ励磁コイルと対向しない位置に設けられ、打消しコイルと検出コイルとが直列に接続されたことを趣旨とする。
【０００８】
上記発明の構成によれば、打消しコイルがステータ基板の上に、かつ励磁コイルと対向しない位置に設けられ、打消しコイルと検出コイルとが直列に接続されるので、ステータ側ロータリートランスコイルから検出コイルへ磁界により直接的に伝わる非正規経路の誤差信号が、ステータ側ロータリートランスコイルから磁界により打消しコイルを経由して検出コイルへ入力される打消し経路の信号により打ち消される。
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、検出コイルと打消しコイルは、同一のプロセスで形成されたものであることを趣旨とする。
【００１０】
上記発明の構成によれば、請求項１に記載の作用に加え、検出コイルと打消しコイルが同一のプロセスで形成されるので、検出コイルと打消しコイルとの間で、温度依存による配線抵抗の変化の差が低減する。
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、検出コイルは、ＳＩＮ相検出コイルとＣＯＳ相検出コイルを含み、打消しコイルはＳＩＮ相打消しコイルとＣＯＳ相打消しコイルとを含み、ＳＩＮ相検出コイルとＳＩＮ相打消しコイルが直列に接続され、ＣＯＳ相検出コイルとＣＯＳ相打消しコイルが直列に接続され、ＳＩＮ相打消しコイルの面積とＣＯＳ相打消しコイルの面積が互いに異なることを趣旨とする。
【００１２】
上記発明の構成によれば、請求項１又は２に記載の発明の作用に加え、ＳＩＮ相検出コイルとＳＩＮ相打消しコイルが直列に接続され、ＣＯＳ相検出コイルとＣＯＳ相打消しコイルが直列に接続され、ＳＩＮ相打消しコイルの面積とＣＯＳ相打消しコイルの面積が互いに異なるので、検出コイルと打消しコイルとの間で、ＳＩＮ相とＣＯＳ相のパターンに応じて非正規経路の誤差信号が打ち消される。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、打消しコイルにより非正規経路の誤差信号（ステータ側ロータリートランスコイルで発生する交番磁界の影響により検出コイル側で発生する起電力）の影響を低減することができ、角度センサとしての検出精度を向上させることができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明の効果に加え、検出コイルと打消しコイルの配線抵抗がそれぞれ変化しても、それに追従して誤差信号を打消し信号により打ち消すことができ、温度変化にかかわらず角度センサとしての検出精度を更に向上させることができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１又は２に記載の発明の効果に加え、ＳＩＮ相とＣＯＳ相のパターンに応じて検出誤差を低減することができ、角度センサとしての検出精度を更に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】一実施形態に係り、角度センサを取り付けたモータの一部を示す断面図。
【図２】一実施形態に係り、角度センサに係る電気的構成を示すブロック図。
【図３】一実施形態に係り、センサステータの構成を示す分解斜視図。
【図４】一実施形態に係り、センサステータの平面コイルのみを示す平面図。
【図５】一実施形態に係り、第１コイル層を示す平面図。
【図６】一実施形態に係り、図５におけるＳＩＮ第１コイルとＳＩＮ第４コイルの関係につき、その一部のみを抜き出して拡大して示す平面図。
【図７】一実施形態に係り、第２コイル層を示す平面図。
【図８】一実施形態に係り、図７におけるＳＩＮ第３コイルとＳＩＮ第２コイルの関係につき、その一部のみを抜き出して拡大して示す平面図。
【図９】一実施形態に係り、センサロータの構成を示す分解斜視図。
【図１０】一実施形態に係り、ステータ側ロータリートランスコイル（ステータ側Ｒ／Ｔ）から検出コイルへの信号の流れを示す模式図。
【図１１】一実施形態に係り、打消しコイルの面積と誤差との関係を示すグラフ。
【図１２】別の実施形態に係り、センサステータの平面コイルのみを示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の角度センサを具体化した一実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
図１に、この実施形態の角度センサ９を取り付けたモータ７０の一部を断面図により示す。モータ７０は、モータケース７１と、モータケース７１の開口部を覆うケースカバー７２と、モータケース７１に固定されたモータステータ７３と、モータステータ７３の内側に設けられたモータロータ７４と、モータロータ７４の中心に一体に設けられた出力軸であるモータシャフト７５と、モータケース７１及びモータカバー７２との間でモータシャフト７５を回転可能に支持する一対の軸受７６，７７とを備える。
【００１９】
モータケース７１及びケースカバー７２は、アルミニウム合金などを鋳造することにより形成される。モータステータ７３は、コイル７８を備え、モータケース７１の内周に固定される。モータステータ７３は、コイル７８が通電されることで励磁されて磁力を発生させる。
【００２０】
モータロータ７４は、永久磁石（図示略）を備える。モータロータ７４は、モータステータ７３との間で所定の隙間を介して保持される。通電によりモータステータ７３を励磁することにより、モータロータ７４がモータシャフト７５と一体に回転して駆動力が得られる。
【００２１】
図１に示すように、角度センサ９は、センサステータ７とセンサロータ８を含む。センサステータ７は、ケースカバー７２に固定される。センサロータ８は、モータロータ７４に固定される。モータケース７１とケースカバー７２を組み付けた状態で、センサロータ８とセンサステータ７は、所定の隙間ＧＡを介して互いに表面が対向して配置される。この隙間ＧＡを狭くすることで、角度センサ９の検出精度を向上させることができる。この隙間ＧＡの大きさは、センサステータ７及びセンサロータ８の寸法公差や温度による寸法変化等を考慮して決定するのが好ましい。
【００２２】
図２に、角度センサ９に係る電気的構成をブロック図により示す。図２に示すように、角度センサ９は、センサステータ７（ステータ側）に設けられるＳＩＮ相検出コイル１０、ＣＯＳ相検出コイル２０及びステータ側ロータリートランスコイル３０と、センサロータ８（ロータ側）に設けられる励磁コイル４０及びロータ側ロータリートランスコイル４１とを備える。センサステータ７のＳＩＮ相検出コイル１０とＣＯＳ相検出コイル２０は、所定角度だけ位相をずらして配置される。センサステータ７には、ステータ側ロータリートランスコイル３０から検出コイル１０，２０へ磁界により直接的に伝わる非正規経路の誤差信号を打ち消すための打消しコイル５１，５２が設けられる。打消しコイル５１，５２は、検出コイル１０，２０に直列に接続される。すなわち、打消しコイルは、ＳＩＮ相打消しコイル５１とＣＯＳ相打消しコイル５２とを含む。そして、ＳＩＮ相検出コイル１０とＳＩＮ相打消しコイル５１が直列に接続され、ＣＯＳ相検出コイル２０とＣＯＳ相打消しコイル５２が直列に接続される。
【００２３】
図２に示すように、角度センサ９に接続される信号処理装置８０は、励磁信号生成回路８１、第１検波回路８５、第２検波回路８６及び演算機８７を備える。励磁信号生成回路８１は、ステータ側ロータリートランスコイル３０へ高周波（４８０ｋＨｚ）の励磁信号（正弦波信号）を出力するようになっている。第１検波回路８５には、ＳＩＮ相検出コイル１０から出力されるＳＩＮ相信号が入力される。第２検波回路８６には、ＣＯＳ相検出コイル２０から出力されるＣＯＳ相信号が入力されるようになっている。演算機８７には、第１及び第２の検波回路８５，８６から出力されるＳＩＮ相信号及びＣＯＳ相信号がそれぞれ入力されるようになっている。
【００２４】
図２に示す信号処理装置８０において、励磁信号発生回路８１で励磁信号が発生してステータ側ロータリートランスコイル３０に励磁信号が入力されることにより、同ロータリートランスコイル３０で交番磁界が発生し、その交番磁界を介してステータ側ロータリートランスコイル３０からロータ側ロータリートランスコイル４１に励磁信号が伝わり、その励磁信号がロータ側の励磁コイル４０に入力される。この励磁信号の電流により励磁コイル４０で交番磁界が発生し、その交番磁界によりステータ側のＳＩＮ相検出コイル１０及びＣＯＳ相検出コイル２０で起電力（ＳＩＮ相信号及びＣＯＳ相信号）が発生する。すなわち、ＳＩＮ相検出コイル１０及びＣＯＳ相検出コイル２０では、ステータ側ロータリートランスコイル３０から正規の経路で伝わる励磁信号（正規経路の信号）により起電力（ＳＩＮ相信号及びＣＯＳ相信号）が発生する。そして、ＳＩＮ相検出コイル１０で発生する起電力（ＳＩＮ相信号）の振幅変動と、ＣＯＳ相検出コイル２０で発生する起電力（ＣＯＳ相信号）の振幅変動をそれぞれ解析することにより、センサロータ８の回転角度を算出することができる。すなわち、第１検波回路８５は、ＳＩＮ相検出コイル１０で発生するＳＩＮ相信号から、励磁信号の高周波成分を除去する。一方、第２検波回路８６は、ＣＯＳ相検出コイル２０で発生するＣＯＳ相信号から、励磁信号の高周波成分を除去する。そして、演算機８７は、第１検波回路８５の出力信号の振幅と第２検波回路８６の出力信号の振幅との比から、センサロータ８の現在の回転角度（角度位置）を算出し、その算出結果を角度データとして出力するようになっている。
【００２５】
次に、センサステータ７の構成について詳しく説明する。図３に、センサステータ７の構成を分解斜視図により示す。図３に示すように、センサステータ７は、下から順に、ステータ基板１、第１絶縁層２、第１コイル層３、第２絶縁層４、第２コイル層５、第１オーバコート６、ステータ側ロータリートランスコイル３０のための接続線４５及び第２オーバコート４７を備える。ステータ基板１は、ＰＰＳ樹脂により略円環板状に形成され、高い平面性を有する。第１絶縁層２は、ステータ基板１の上に形成され、略円環薄膜状をなす。ステータ基板１は、その外周に３つの取付部１ａと１つのコネクタ部１ｂを含む。分割タイプの第１コイル層３は、第１絶縁膜層２の表面に形成される。第２絶縁層４は、略円環薄膜状をなし、第１コイル層３の上に形成される。第２絶縁層４には、スリット状のスルーホール４ａが形成される。分割タイプの第２コイル層５は、第２絶縁層４の上に形成される。第１オーバコート６は、第２コイル層５の上に形成され、同コイル層５を保護する。接続線４５は、第１オーバコート６の上に形成される。第２オーバコート４７は、第１オーバコート６の上にて接続線４５を覆うように形成される。
【００２６】
図３において、第１コイル層３、第２絶縁層４及び第２コイル層５により、上記したＳＩＮ相検出コイル１０、ＣＯＳ相検出コイル２０、ステータ側ロータリートランスコイル３０及び打消しコイル５１，５２が構成される。すなわち、第２絶縁層４を間に挟んで上下に重ねて形成された分割タイプの第１コイル層３及び第２コイル層５を相互に接続することにより、多Ｘ型の平面コイルであるＳＩＮ相検出コイル１０及びＣＯＳ相検出コイル２０が構成される。つまり、複数の平面コイルが巻方向が交互に入れ替わるように互いに接続されて円周方向に配置されることにより、ＳＩＮ相検出コイル１０及びＣＯＳ相検出コイル２０が構成される。そして、表面にＳＩＮ相検出コイル１０及びＣＯＳ相検出コイル２０が形成されたセンサステータ７の表面が、センサロータ８の表面に隙間ＧＡを介して対向して配置される。
【００２７】
図４に、センサステータ７の平面コイルのみを平面図により示す。図４に示すように、この平面コイルは、ＳＩＮ相検出コイル１０及びＣＯＳ相検出コイル２０と、ステータ側ロータリートランスコイル３０と、ＳＩＮ相打消しコイル５１及びＣＯＳ相打消しコイル５２とを含む。これら検出コイル１０，２０、ステータ側ロータリートランスコイル３０及び打消しコイル５１，５２は、ステータ基板１上にて、同一の層として形成される。ＳＩＮ相検出コイル１０及びＣＯＳ相検出コイル２０は、それぞれ円環状をなすように円周方向に位相が電気角で９０°ずれた状態で配置される。ステータ側ロータリートランスコイル３０は、検出コイル１０，２０が設けられる領域の径方向内側に配置される。ＳＩＮ相打消しコイル５１及びＣＯＳ相打消しコイル５２は、検出コイル１０，２０とステータ側ロータリートランスコイル３０との間に配置される。検出コイル１０，２０、ステータ側ロータリートランスコイル３０及び打消しコイル５１，５２の上には、略円環状をなす第１オーバコート６が形成される。ＳＩＮ相検出コイル１０は、その外周に接続線４３を含む。この接続線４３の端部には、一対をなすターミナル４３ａ，４３ｂが設けられる。同様に、ＣＯＳ相検出コイル２０は、その外周に接続線４４を含む。この接続線４４の端部には、一対をなすターミナル４４ａ，４４ｂが設けられる。また、ステータ側ロータリートランスコイル３０も接続線４５を含み、その端に一対のターミナル４５ａ，４５ｂが設けられる。各接続線４３〜４５のターミナル４３ａ，４３ｂ，４４ａ，４４ｂ，４５ａ，４５ｂは、それぞれコネクタ部１ｂに設けられたターミナル（図示略）に接続され、外部回路に接続されるようになっている。
【００２８】
この実施形態では、図４に示すように、ＳＩＮ相打消しコイル５１の面積とＣＯＳ相打消しコイル５２の面積が互いに異なるように構成される。この実施形態では、ＣＯＳ相打消しコイル５２の面積がＳＩＮ相打消しコイル５１の面積よりも大きくなるように形成される。ここで、ＳＩＮ相打消しコイル５１の面積とＣＯＳ相打消しコイル５２の面積を互いに異ならせるのは、ＳＩＮ相検出コイル１０の側で発生するＳＩＮ相信号とＣＯＳ相検出コイル２０の側で発生するＣＯＳ相信号にそれぞれ含まれる誤差の大きさが相違するからである。図１１に、打消しコイルの面積と誤差との関係をグラフにより示す。図１１に示すように、ＳＩＮ相信号とＣＯＳ相信号に含まれる誤差の大きさは、それぞれＳＩＮ相打消しコイル５１とＣＯＳ相打消しコイル５２の面積の増減に対して比例関係にあるが、両検出コイル１０，２０の誤差特性は同じではなく、相違し、誤差が０となるときの両打消しコイル５１，５２の面積は互いに異なる。従って、この実施形態では、このような誤差特性の違いを見込んで、ＳＩＮ相打消しコイル５１の面積とＣＯＳ相打消しコイル５２の面積を互いに異ならせている。
【００２９】
図５に、第１コイル層３を平面図により示す。第１コイル層３のコイルパターンは、第１絶縁層２の表面に導電性インクを印刷により描画した後、焼成することにより形成される。すなわち、第１コイル層３は、同じ工程により同じ材質で形成される。ここで、図５に示すように、略円環状をなす第１コイル層３は、ＳＩＮ相検出コイル１０を構成する４個のＳＩＮ第１コイル１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ及び４個のＳＩＮ第４コイル１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄと、ＣＯＳ相検出コイル２０を構成する４個のＣＯＳ第１コイル２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ及び４個のＣＯＳ第４コイル２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄと、ステータ側ロータリートランスコイル３０を構成するコイル３１とを含む。４個のＳＩＮ第１コイル１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄは、外周側にて電気角度で「１８０度」（機械角度で「９０度」）ずつ異なる位置に配置される。また、４個のＳＩＮ第４コイル１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄは、内周側にて電気角度で「１８０度」（機械角度で「９０度」）ずつ異なる位置に配置される。これらＳＩＮ第４コイル１４Ａ〜１４Ｄは、ＳＩＮ第１コイル１１Ａ〜１１Ｄに対して反時計回りに電気角度で「９０度」（機械角度で「４５度」）だけ位相がずれた位置に配置される。ＳＩＮ第１コイル１１Ａ〜１１Ｄの内周側には、ＣＯＳ第４コイル２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄが配置される。また、ＳＩＮ第４コイル１４Ａ〜１４Ｄの外周側には、ＣＯＳ第１コイル２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ，２１Ａが配置される。コイル３１は、ＳＩＮ第４コイル１４Ａ〜１４Ｄ及びＣＯＳ第４コイル２４Ａ〜２４Ｄの内側に配置される。
【００３０】
図６に、図５におけるＳＩＮ第１コイル１１Ａ〜１１ＤとＳＩＮ第４コイル１４Ａ〜１４Ｄの関係につき、ＳＩＮ第１コイル１１ＡとＳＩＮ第４コイル１４Ａのみを抜き出して拡大して平面図により示す。図６に示すように、ＳＩＮ第１コイル１１Ａは、略矩形の１／４部分を構成する７本のコイル線１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７を備える。これらコイル線１１１〜１１７は、内周側から外周側へ順次大きくなるように形成され、配置される。各コイル線１１１〜１１７は、それぞれ第１の端１１１ａ，１１２ａ，１１３ａ，１１４ａ，１１５ａ，１１６ａ，１１７ａと、第２の端１１１ｂ，１１２ｂ，１１３ｂ，１１４ｂ，１１５ｂ，１１６ｂ，１１７ｂとを含む。同様に、ＳＩＮ第４コイル１４Ａは、略矩形の１／４部分を構成する７本のコイル線１４１，１４２，１４３，１４４，１４５，１４６，１４７を備える。これらコイル線１４１〜１４７は、外周側から内周側へ順次大きくなるように形成され、配置される。各コイル線１４１〜１４７は、それぞれ第１の端１４１ａ，１４２ａ，１４３ａ，１４４ａ，１４５ａ，１４６ａ，１４７ａと、第２の端１４１ｂ，１４２ｂ，１４３ｂ，１４４ｂ，１４５ｂ，１４６ｂ，１４７ｂとを含む。
【００３１】
図７に、第２コイル層５を平面図により示す。第２コイル層５のコイルパターンは、第２絶縁層４の表面に導電性インクを印刷により描画した後、焼成することにより形成される。すなわち、第２コイル層５のコイルパターンは、同じ工程により同じ材質で形成される。ここで、図７に示すように、略円環状をなす第２コイル層５は、ＳＩＮ相検出コイル１０を構成する４個のＳＩＮ第２コイル１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ及び４個のＳＩＮ第３コイル１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄと、ＣＯＳ相検出コイル２０を構成する４個のＣＯＳ第２コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ及び４個のＣＯＳ第３コイル２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ，２３Ｄと、ステータ側ロータリートランスコイル３０を構成するコイル３２と、打消しコイル５１，５２とを含む。４個のＳＩＮ第２コイル１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄは、外周側にて電気角度で「１８０度」（機械角度で「９０度」）ずつ異なる位置に配置される。また、４個のＳＩＮ第３コイル１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄは、内周側にて電気角度で「１８０度」（機械角度で「９０度」）ずつ異なる位置に配置される。これらＳＩＮ第３コイル１３Ａ〜１３Ｄは、ＳＩＮ第２コイル１２Ａ〜１２Ｄに対して、時計回りに電気角度で「９０度」（機械角度で「４５度」）だけ位相がずれた位置に配置されている。ＳＩＮ第２コイル１２Ａ〜１２Ｄの内周側には、ＣＯＳ第３コイル２３Ｂ，２３Ｃ，２３Ｄ，２３Ａが配置される。また、ＳＩＮ第３コイル１３Ａ〜１３Ｄの外周側には、ＣＯＳ第２コイル２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄが配置される。コイル３２は、ＳＩＮ第３コイル１３Ａ〜１３Ｄ及びＣＯＳ第３コイル２３Ａ〜２３Ｄの内側に配置される。ＳＩＮ相打消しコイル５１は、ＳＩＮ第３コイル１３Ｂの内側に配置される。ＳＩＮ相打消しコイル５１は、ＳＩＮ相第３コイル１３Ｂを構成する一つのコイル線に対して直列となる形で一体に形成される。同様に、ＣＯＳ相打消しコイル５２は、ＳＩＮ相第３コイル１３Ｃ及びＣＯＳ相第３コイル２３Ｄの内側に配置される。ＣＯＳ相打消しコイル５２は、Ｃ０Ｓ相第３コイル２３Ｃを構成する一つのコイル線に対して直列となる形で一体に形成される。この実施形態では、検出コイル１０，２０を構成する第２コイル層５のコイルパターンを形成する過程で、打消しコイル５１，５２と、他の各コイル１２Ａ〜１２Ｄ，１３Ａ〜１３Ｄ，２２Ａ〜２２Ｄ，２３Ａ〜２３Ｄ，３２とが、同一のプロセスで形成される、すなわち、同じ工程で同じ材質で形成される。
【００３２】
図８に、図７におけるＳＩＮ第３コイル１３Ａ〜１３ＤとＳＩＮ第２コイル１２Ａ〜１２Ｄの関係につき、ＳＩＮ第３コイル１３ＡとＳＩＮ第２コイル１２Ａのみを抜き出して拡大して平面図により示す。図８に示すように、ＳＩＮ第２コイル１２Ａは、略矩形の１／４部分を構成する７本のコイル線１２１，１２２，１２３，１２４，１２５，１２６，１２７を備える。これらコイル線１２１〜１２７は、内周側から外周側へ順次大きくなるように形成され、配置される。各コイル線１２１〜１２７は、それぞれ第１の端１２１ａ，１２２ａ，１２３ａ，１２４ａ，１２５ａ，１２６ａ，１２７ａと、第２の端１２１ｂ，１２２ｂ，１２３ｂ，１２４ｂ，１２５ｂ，１２６ｂ，１２７ｂとを含む。同様に、ＳＩＮ第３コイル１３Ａは、略矩形の１／４部分を構成する７本のコイル線１３１，１３２，１３３，１３４，１３５，１３６，１３７を備える。これらコイル線１３１〜１３７は、外周側から内周側へ順次大きくなるように形成され、配置される。各コイル線１３１〜１３７は、それぞれ第１の端１３１ａ，１３２ａ，１３３ａ，１３４ａ，１３５ａ，１３６ａ，１３７ａと、第２の端１３１ｂ，１３２ｂ，１３３ｂ，１３４ｂ，１３５ｂ，１３６ｂ，１３７ｂとを含む。
【００３３】
したがって、この実施形態では、ＣＯＳ相検出コイル２０がＳＩＮ相検出コイル１０の位相に対し、時計方向に電気角度で「９０度」（機械角度で「４５度」）ずれるようにするために、ＳＩＮ第１コイル１１Ａ〜１１Ｄ、ＳＩＮ第２コイル１２Ａ〜１２Ｄ、ＳＩＮ第３コイル１３Ａ〜１３Ｄ及びＳＩＮ第４コイル１４Ａ〜１４Ｄのそれぞれに対し、対応するＣＯＳ第１コイル２１Ａ〜２１Ｄ、ＣＯＳ第２コイル２２Ａ〜２２Ｄ、ＣＯＳ第３コイル２３Ａ〜２３Ｄ及びＣＯＳ第４コイル２４Ａ〜２４Ｄのそれぞれが、時計方向に電気角度で「９０度」（機械角度で「４５度」）ずれて配置される。
【００３４】
次に、ＳＩＮ相検出コイル１０の構成を詳しく説明する。図５に示すターミナル４３ｂは、接続線４３により、第２絶縁層４に形成されたスルーホール４ａを介して、図５及び図６に示すＳＩＮ第１コイル１１Ａのコイル線１１７の端部１１７ａに接続される。ＳＩＮ第１コイル１１Ａのコイル線１１７の端部１１７ｂは、第２絶縁層４のスルーホール４ａを介して、図７及び図８に示すＳＩＮ第３コイル１３Ａのコイル線１３７の端部１３７ｂに接続される。ＳＩＮ第３コイル１３Ａのコイル線１３７の端部１３７ａは、第２絶縁層４のスルーホール４ａを介して、図５及び図６に示すＳＩＮ第４コイル１４Ａのコイル線１４７の端部１４７ａに接続される。ＳＩＮ第４コイル１４Ａのコイル線１４７の端部１４７ｂは、第２絶縁層４のスルーホール４ａを介して、図７及び図８に示すＳＩＮ第２コイル１２Ａのコイル線１２７の端部１２７ｂに接続される。このようにして、ＳＩＮ第１コイル１１Ａ、ＳＩＮ第３コイル１３Ａ、ＳＩＮ第４コイル１４Ａ及びＳＩＮ第２コイル１２Ａの最外周のコイル線１１７，１３７，１４７，１２７により、最外周の巻き部（ターン）が構成される。
【００３５】
また、図７及び図８に示すＳＩＮ第２コイル１２Ａのコイル線１２７の端部１２７ａは、第２絶縁層４のスルーホール４ａを介して、図５及び図６に示すＳＩＮ第１コイル１１Ａのコイル線１１６の端部１１６ａに接続される。そして、上記したＳＩＮ第１コイル１１Ａ、ＳＩＮ第３コイル１３Ａ、ＳＩＮ第４コイル１４Ａ及びＳＩＮ第２コイル１２Ａの最外周のコイル線１１７，１３７，１４７，１２７と同様に、ＳＩＮ第１コイル１１Ａ、ＳＩＮ第３コイル１３Ａ、ＳＩＮ第４コイル１４Ａ及びＳＩＮ第２コイル１２Ａのコイル線１１６，１３６，１４６，１２６により、上記した最外周のターンに隣接する内側のターンが構成される。同様に、順次内側のターンが構成され、最終的に、ＳＩＮ第１コイル１１Ａ、ＳＩＮ第３コイル１３Ａ、ＳＩＮ第４コイル１４Ａ及びＳＩＮ第２コイル１２Ａの最内周のコイル線１１１，１３１，１４１，１２１により最内周のターンが構成される。このようにして、ＳＩＮ第１コイル１１Ａ、ＳＩＮ第３コイル１３Ａ、ＳＩＮ第４コイル１４Ａ及びＳＩＮ第２コイル１２Ａにより、円弧状コイル（図示略）が時計回りの螺旋状コイルとして構成される。
【００３６】
上記した円弧状コイルの最内周のターンを構成するＳＩＮ第２コイル１２Ａのコイル線１２１の端部１２１ａは、図５及び図７に示す接続線４３を介して、図７及び図８に示すＳＩＮ第２コイル１２Ｂの最内周のコイル線１２１の端部１２１ａに接続される。ＳＩＮ第２コイル１２Ｂのコイル線１２１の端部１２１ｂは、第２絶縁層４のスルーホール４ａを介して、図５及び図６に示すＳＩＮ第４コイル１４Ｂのコイル線１４１の端部１４１ｂに接続される。ＳＩＮ第４コイル１４Ｂのコイル線１４１の端部１４１ａは、第２絶縁層４のスルーホール４ａを介して、図７及び図８に示すＳＩＮ第３コイル１３Ｂのコイル線１３１の端部１３１ａに接続される。ＳＩＮ第３コイル１３Ｂのコイル線１３１の端部１３１ｂは、第２絶縁層４のスルーホール４ａを介して、図５及び図６に示すＳＩＮ第１コイル１１Ｂのコイル線１１１の端部１１１ｂに接続される。このようにして、ＳＩＮ第２コイル１２Ｂ、ＳＩＮ第４コイル１４Ｂ、ＳＩＮ第３コイル１３Ｂ及びＳＩＮ第１コイル１１Ｂの最内周のコイル線１２１，１４１，１３１，１１１により、最内周のターンが構成される。
【００３７】
また、図７及び図８に示すＳＩＮ第２コイル１２Ｂのコイル線１２１の端部１２１ｂは、第２絶縁層４のスルーホール４ａを介して、図５及び図６に示すＳＩＮ第１コイル１１Ｂのコイル線１１２の端部１１２ｂに接続される。そして、上記したＳＩＮ第２コイル１２Ｂ、ＳＩＮ第４コイル１４Ｂ、ＳＩＮ第３コイル１３Ｂ及びＳＩＮ第１コイル１１Ｂの最内周のコイル線１２１，１４１，１３１，１１１と同様に、ＳＩＮ第２コイル１２Ｂ、ＳＩＮ第４コイル１４Ｂ、ＳＩＮ第３コイル１３Ｂ及びＳＩＮ第１コイル１１Ｂのコイル線１２２，１４２，１３２，１１２により、最内周のターンに隣接する外側のターンが構成される。同様に、順次外側のターンが構成され、最終的に、ＳＩＮ第２コイル１２Ｂ、ＳＩＮ第４コイル１４Ｂ、ＳＩＮ第３コイル１３Ｂ及びＳＩＮ第１コイル１１Ｂの最外周のコイル線１２７，１４７，１３７，１１７により最外周のターンが構成される。このようにして、ＳＩＮ第２コイル１２Ｂ、ＳＩＮ第４コイル１４Ｂ、ＳＩＮ第３コイル１３Ｂ及びＳＩＮ第１コイル１１Ｂにより、円弧状コイルが反時計回りの螺旋状コイルとして構成される。
【００３８】
同様にして、ＳＩＮ第１コイル１１Ｃ、ＳＩＮ第３コイル１３Ｃ、ＳＩＮ第４コイル１４Ｃ及びＳＩＮ第２コイル１２Ｃにより、円弧状コイルが反時計回りの螺旋状コイルとして構成される。また、ＳＩＮ第２コイル１２Ｄ、ＳＩＮ第４コイル１４Ｄ、ＳＩＮ第３コイル１３Ｄ及びＳＩＮ第１コイル１１Ｄにより、円弧状コイルが時計回りの螺旋状コイルとして構成される。円弧状コイルを構成するＳＩＮ第２コイル１２Ｄの最外周のコイル線１２７の端部１２７ａは、図５に示すように、導線４３を介して、ターミナル４３ｂに接続される。このように構成される４個の円弧状コイルにより、略円環状をなすＳＩＮ相検出コイル１０が構成される。
【００３９】
ＣＯＳ相検出コイル２０についても、円周方向に分割された４個の円弧状コイルにより構成される。そして、１つの円弧状コイルは、ＣＯＳ第１コイル２１Ａ、ＣＯＳ第２コイル２２Ａ、ＣＯＳ第３コイル２３Ａ及びＣＯＳ第４コイル２４Ａにより構成される。ここで、ＣＯＳ第１コイル２１Ａ及びＣＯＳ第４コイル２４Ａは、第１コイル層３に形成され、ＣＯＳ第２コイル２２Ａ及びＣＯＳ第３コイル２３Ａは、図７に示すように第２コイル層５に形成される。
【００４０】
残りの３つの円弧状コイルの構成についても、基本的には、上記した円弧状コイルのそれと同様である。ＣＯＳ相検出コイル２０は、図５及び図７に示すように、接続線４４を介してターミナル４４ａ，４４ｂに接続される。ＣＯＳ相検出コイル２０を構成する２つの円弧状コイルは、第１コイル層３と第２コイル層５とを行き来しつつ、時計回りの螺旋状コイルとして構成される。また、ＣＯＳ信号検出コイル２０を構成する他の２つの円弧状コイルは、第１コイル層３と第２コイル層５とを行き来しつつ、反時計回りの螺旋状コイルとして構成される。図３及び図５に示すように、ターミナル４５ａ，４５ｂは、接続線４５を介して、ステータ側ロータリートランスコイル３０を構成するコイル３１，３２に接続される。
【００４１】
次に、センサロータ８の構成について詳しく説明する。図９に、センサロータ８の構成を分解斜視図により示す。図９に示すように、センサロータ８は、下からロータ基板６１と、ロータ基板６１の表面に形成された第１コイル層６２と、第１コイル層６２の上に形成された絶縁層６３と、絶縁層６３の上に形成された第２コイル層６４と、第２コイル層６４の上に形成されたオーバコート６５とを備える。
【００４２】
ロータ基板６１は、アルミ又は真鍮等の非磁性導電性金属により円環板状に形成され、中心に円形の孔６１ａを有する。ロータ基板６１の表面には、凹部６１ｂが形成される。この凹部６１ｂには、ＰＰＳ等の樹脂が充填され、その樹脂が凝固している。絶縁層６３及びオーバコート６５は、絶縁材料により円環薄膜状に形成される。絶縁層６３には、所々にスルーホール６３ａが形成される。第１コイル層６２は、全体で円環状をなすように配置された４個の円弧状コイル６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄを備える。第２コイル層６４も、全体で円環状をなすように配置された４個の円弧状コイル６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄを備える。第１コイル層６２を構成する円弧状コイル６２ａ〜６２ｄの一端は、ロータ側ロータリートランスコイル４１を構成するコイル４１ａに接続される。４個の円弧状コイル６２ａ〜６２ｄの他端は、絶縁層６３のスルーホール６３ａを通って、第２コイル層６４を構成する円弧状コイル６４ａ〜６４ｄの一端に接続される。４個の円弧状コイル６４ａ〜６４ｄの他端は、ロータ側ロータリートランスコイル４１を構成するコイル４１ｂに接続される。コイル４１ａの他端とコイル４１ｂの他端とは、絶縁層６３のスルーホール６３ａを介して接続されている。このように絶縁層６３を挟んで上下に配置された第１コイル層６２及び第２コイル層６４により、平面コイルとしての励磁コイル４０が構成される。なお、ステータ基板１１に設けられる打消しコイル５１，５２は、ロータ基板６１に設けられる励磁コイル４０と対向しない位置に設けられる。
【００４３】
以上説明したこの実施形態の角度センサ９によれば、打消しコイル５１，５２がステータ基板１に設けられ、打消しコイル５１，５２と検出コイル１０，２０とが直列に接続されるので、ステータ側ロータリートランスコイル３０から検出コイル１０，２０へ磁界により直接的に伝わる非正規経路の誤差信号が、ステータ側ロータリートランスコイル３０から磁界により打消しコイル５１，５２を経由して検出コイル１０，２０へ入力される打消し経路の信号により打ち消されることになる。
【００４４】
図１０に、ステータ側ロータリートランスコイル（ステータ側Ｒ／Ｔ）３０から検出コイル１０，２０への信号の流れを模式図により示す。図１０に示すように、正規経路では、励磁信号がステータ側ロータリートランスコイル（ステータ側Ｒ／Ｔ）３０、ロータ側ロータリートランスコイル（ロータ側Ｒ／Ｔ）４１及び励磁コイル４０を経由して検出コイル１０，２０に入力される。これに対し、誤差原因となる非正規経路では、ステータ側ロータリートランスコイル（ステータ側Ｒ／Ｔ）３０から磁界の回り込みによって誤差信号Ｓ１が検出コイル１０，２０へ直接的に伝わることになる。ここで、打消し経路では、ステータ側ロータリートランスコイル（ステータ側Ｒ／Ｔ）３０から磁界によって励磁信号が打消しコイル５１，５２に伝わり、その励磁信号が打消しコイル５１，５２により逆位相の打消し信号Ｓ２となって検出コイル１０，２０へ伝わることになる。従って、非正規径路の誤差信号Ｓ１が、打消し経路における逆位相の打消し信号Ｓ２によって打消される。このため、非正規経路の誤差信号Ｓ１の影響を低減することができ、角度センサ９としての検出精度を向上させることができる。
【００４５】
ここで、図１０において、誤差信号Ｓ１を打消し信号Ｓ２により打ち消すためには、両信号の振幅を合わせる必要がある。そこで、この実施形態では、打消し信号Ｓ２の振幅が誤差信号Ｓ１の振幅と同じになるように、ＳＩＮ相打消しコイル５１及びＣＯＳ相打消しコイル５２のそれぞれの面積が決定されている。
【００４６】
この実施形態では、検出コイル１０，２０と打消しコイル５１，５２が同一のプロセスで形成されるので、検出コイル１０，２０と打消しコイル５１，５２との間で、温度依存による配線抵抗の変化の差が低減する。このため、検出コイル１０，２０と打消しコイル５１，５２の配線抵抗がそれぞれ変化しても、それに追従して誤差信号Ｓ１を打消し信号Ｓ２によって打ち消すことができ、温度変化にかかわらず角度センサ９としての検出精度を更に向上させることができる。
【００４７】
この実施形態では、ＳＩＮ相検出コイル１０とＳＩＮ相打消しコイル５１が直列に接続され、ＣＯＳ相検出コイル２０とＣＯＳ相打消しコイル５２が直列に接続され、ＳＩＮ相打消しコイル５１の面積とＣＯＳ相打消しコイル５２の面積が互いに異なるので、検出コイル１０，２０と打消しコイル５１，５２との間で、ＳＩＮ相とＣＯＳ相のパターンに応じて非正規経路の誤差信号が打ち消される。このため、ＳＩＮ相とＣＯＳ相のパターンに応じて検出誤差を低減することができ、角度センサ９としての検出精度を更に向上させることができる。
【００４８】
この実施形態の角度センサ９によれば、ＳＩＮ第１コイル１１Ａ〜１１Ｄが第１コイル層３に形成され、ＳＩＮ第２コイル１２Ａ〜１２Ｄが第２コイル層５に形成され、ＳＩＮ第３コイル１３Ａ〜１３Ｄが第２コイル層５に形成され、ＳＩＮ第４コイル１４Ａ〜１４Ｄが第１コイル層３に形成される。このため、第１コイル層３に形成されるＳＩＮ第１コイル１１Ａ〜１１Ｄ及びＳＩＮ第４コイル１４Ａ〜１４Ｄと、第２コイル層５に形成されるＳＩＮ第２コイル１２Ａ〜１２Ｄ及びＳＩＮ第３コイル１３Ａ〜１３Ｄとで、ステータ基板１の円周方向における変形によるギャップにより、ＳＩＮ相検出コイル１０が受ける磁束密度が異なる場合でも、ＳＩＮ相検出コイル１０の全体として、誤差を相殺することができる。
【００４９】
同様に、この実施形態では、ＣＯＳ第１コイル２１Ａ〜２１Ｄが第１コイル層３に形成され、ＣＯＳ第２コイル２２Ａ〜２２Ｄが第２コイル層５に形成され、ＣＯＳ第３コイル２３Ａ〜２３Ｄが第２コイル層５に形成され、ＣＯＳ第４コイル２４Ａ〜２４Ｄが第１コイル層３に形成される。このため、第１コイル層３に形成されるＣＯＳ第１コイル２１Ａ〜２１Ｄ及びＣＯＳ第４コイル２４Ａ〜２４Ｄと、第２コイル層５に形成されるＣＯＳ第２コイル２２Ａ〜２２Ｄ及びＣＯＳ第３コイル２３Ａ〜２３Ｄとで、ステータ基板１の円周方向における変形によるギャップにより、ＣＯＳ相検出コイル２０が受ける磁束密度が異なる場合でも、ＣＯＳ信号検出コイル２０の全体として、誤差を相殺することができる。
【００５０】
この実施形態では、ＳＩＮ信号検出コイル１０及びＣＯＳ信号検出コイル２０が、１組の検出コイルを構成するので、所定の磁界に対して一定の誘起電圧を発生することができ、高精度の角度センサ９を得ることができる。
【００５１】
なお、この発明は前記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で構成の一部を適宜に変更して実施することもできる。
【００５２】
例えば、前記実施形態では、図４に示すように、ＳＩＮ相打消しコイル５１とＣＯＳ相打消しコイル５２を面積が異なるように構成したが、ＳＩＮ相打消しコイルとＣＯＳ相打消しコイルを形やステータ側ロータリートランスコイルに対する位置が異なるように構成することもできる。一例として、図１２に示すように、ＳＩＮ相打消しコイル５１とＣＯＳ相打消しコイル５２を形と面積がほぼ同じになるように構成し、ステータ側ロータリートランスコイル３０との間の隙間の大きさを、ＳＩＮ相打消しコイル５１の側でＣＯＳ相打消しコイル５２の側の２倍とする。このように構成することで、打消し信号Ｓ２の大きさを調整することができる。打消し信号Ｓ２は、ＳＩＮ相打消しコイル５１又はＣＯＳ相打消しコイル５２をステータ側ロータリートランスコイル３０から離すことで小さくなり、近付けることで大きくなる。図１２は、センサステータ７の平面コイルのみを示す平面図である。
【００５３】
前記実施形態では、ＳＩＮ相検出コイル１０及びＣＯＳ相検出コイル２０を、第２絶縁層４を挟んで分割タイプの第１コイル層３及び第２コイル層５を相互に接続することにより構成した。これに対し、分割タイプのコイル層を使うことなく、ＳＩＮ相検出コイル及びＣＯＳ相検出コイルを絶縁層を挟んで形成するように構成してもよい。この場合、ＳＩＮ相検出コイルに対してＣＯＳ相検出コイルの位相を直接的にずらすことで、ＳＩＮ相検出コイルとＣＯＳ相検出コイルとの間の位相差を設定することができる。
【００５４】
前記実施形態では、ＳＩＮ第１コイル１１Ａ〜１１ＤとＳＩＮ第４コイル１４Ａ〜１４Ｄを第１コイル層３に形成し、ＳＩＮ第２コイル１２Ａ〜１２ＤとＳＩＮ第３コイル１３Ａ〜１３Ｄを第２コイル層５に形成した。これに対し、ＳＩＮ第１コイル１１Ａ〜１１ＤとＳＩＮ第４コイル１４Ａ〜１４Ｄを第２コイル層５に形成し、ＳＩＮ第２コイル１２Ａ〜１２ＤとＳＩＮ第３コイル１３Ａ〜１３Ｄを第１コイル層３に形成しても良い。
【００５５】
前記実施形態では、ＣＯＳ第１コイル２１Ａ〜２１ＤとＣＯＳ第４コイル２４Ａ〜２４Ｄを第１コイル層３に形成し、ＣＯＳ第２コイル２２Ａ〜２２ＤとＣＯＳ第３コイル２３Ａ〜２３Ｄを第２コイル層５に形成した。これに対し、ＣＯＳ第１コイル２１Ａ〜２１ＤとＣＯＳ第４コイル２４Ａ〜２４Ｄを第２コイル層５に形成し、ＣＯＳ第２コイル２２Ａ〜２２ＤとＣＯＳ第３コイル２３Ａ〜２３Ｄを第１コイル層３に形成しても良い。
【００５６】
前記実施形態では、本発明を１励磁２出力のレゾルバに適用したが、本発明を、２励磁１出力のレゾルバに適用することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
この発明は、モータやエンジン等の回転軸等の回転位置又は回転角度の検出に利用することができる。
【符号の説明】
【００５８】
１  ステータ基板
７  センサステータ
８  センサロータ
９  角度センサ
１０  ＳＩＮ相検出コイル
２０  ＣＯＳ相検出コイル
３０  ステータ側ロータリートランスコイル
４０  励磁コイル
４１  ロータ側ロータリートランスコイル
５１  ＳＩＮ相打消しコイル
５２  ＣＯＳ相打消しコイル
Ｓ１  誤差信号
Ｓ２  打消し信号
【図１】
2014071095.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図４】
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【図５】
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【図９】
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【図１２】
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