(57)【要約】【課題】タイトピッチのフリップチップ集積回路のパッケージを作る方法を提供する。【解決手段】パッケージ基板にダイを取り付けるためのフリップチップパッケージング方法であって、その方法が、ダイをはんだペーストに浸すステップ；パッケージ基板上にダイを配置するステップ；及びパッケージ基板にダイを取り付けるためにはんだペーストをリフローするステップ；を含む。前記ダイが導電バンプを有し、前記ダイを前記はんだペーストに浸すステップが、前記導電バンプを前記はんだペーストに浸すステップを含む。前記パッケージ基板がパッドを有し、前記パッケージ基板に前記ダイを取り付けるために前記はんだペーストをリフローするステップが、前記導電バンプを前記パッドにはんだ付けするステップを含む。他の実施形態が記載され、且つ請求される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージ基板にダイを取り付ける方法であって、
浸漬ダイを形成するために、前記ダイの少なくとも一部をはんだペーストに浸すステップと、
前記パッケージ基板にフラックス樹脂を適用するステップと、
前記パッケージ基板上に前記ダイを配置するステップと、
前記パッケージ基板に前記ダイを取り付けるために前記はんだペーストをリフローするステップと、
を含み、
前記フラックス樹脂の厚さは５〜１５μｍである、パッケージ基板にダイを取り付ける方法。
【請求項２】
前記フラックス樹脂が単一の連続層として適用され、パッドが前記パッケージ基板上に配置され、前記ダイが導電バンプを有し、前記フラックス樹脂が前記パッケージ基板上の前記パッドを覆う、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記はんだペーストをリフローするステップの後に、前記ダイと前記パッケージ基板との間にアンダーフィルを適用するステップをさらに含み、前記パッケージ基板上に前記ダイを配置するステップは、前記フラックス樹脂を適用するステップの後に実施され、前記ダイの少なくとも一部が前記フラックス樹脂上に直接配置され、前記はんだペーストをリフローするステップは、前記パッケージ基板上に前記ダイを配置するステップの後に実施される、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記パッケージ基板に前記ダイを取り付けるために前記はんだペーストをリフローするステップは、
前記浸漬ダイに熱を加えるステップであって、前記熱は、前記パッケージ基板上に前記浸漬ダイを配置するステップの後に、前記浸漬ダイに初めに加えられる、ステップと、
前記導電バンプを前記パッドにはんだ付けするステップと、
を含む、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記パッケージ基板に前記ダイを取り付けるために前記はんだペーストをリフローするステップは、前記浸漬ダイに熱を加えるステップを含み、前記熱は、前記パッケージ基板上に前記浸漬ダイを配置するステップの後に、前記浸漬ダイに初めに加えられる、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記パッケージ基板にフラックス樹脂を適用するステップの後に、前記浸漬ダイが前記パッケージ基板上に配置されるまで追加の材料が前記フラックス樹脂上に堆積されない、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
パッケージ基板にダイを取り付ける方法であって、
はんだペーストを前記パッケージ基板に適用するステップと、
前記パッケージ基板にフラックス樹脂を適用するステップと、
前記はんだペーストをリフローする前に、前記パッケージ基板上に前記ダイを配置するステップと、
前記パッケージ基板に前記ダイを取り付けるために前記はんだペーストをリフローするステップと、
を含み、
前記フラックス樹脂の厚さは５〜１５μｍである、パッケージ基板にダイを取り付ける方法。
【請求項８】
前記パッケージ基板がパッドを有し、前記はんだペーストを前記パッケージ基板に適用するステップが、前記パッド上にはんだペーストの滴を形成するステップを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記ダイが導電バンプを有し、前記はんだペーストをリフローする前に、前記パッケージ基板上に前記ダイを配置するステップが、前記導電バンプを前記はんだペーストの滴と接触するように配置するステップを含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記パッケージ基板にフラックス樹脂を適用するステップが、前記パッケージ基板上に前記フラックス樹脂を噴霧するステップを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項１１】
前記パッケージ基板がパッドを有し、前記はんだペーストを前記パッケージ基板に適用するステップが、前記パッド上に前記はんだペーストの滴を形成するために、ツールの開口を通り抜けて前記はんだペーストを分注するステップを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項１２】
前記ダイが導電バンプを有し、前記はんだペーストをリフローする前に、前記パッケージ基板上に前記ダイを配置するステップが、前記導電バンプを前記はんだペーストの滴と接触するように配置するステップを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
パッケージ基板にダイを取り付ける方法であって、
はんだペーストを前記パッケージ基板上のパッド上に分注するステップと、
前記パッケージ基板にフラックス樹脂を適用するステップと、
前記はんだペーストをリフローする前に、前記パッケージ基板上に前記ダイを配置するステップと、
前記パッケージ基板に前記ダイを取り付けるために前記はんだペーストをリフローするステップと、
を含み、
前記フラックス樹脂の厚さは５〜１５μｍである、パッケージ基板にダイを取り付ける方法。
【請求項１４】
前記はんだペーストを前記パッケージ基板上のパッド上に分注するステップが、前記パッド上にはんだペーストの滴を形成するためにツールを前記はんだペーストに浸すステップを含み、前記はんだペーストはフラックスと微粒子のはんだとの組み合わせである、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記ダイが導電バンプを有し、前記はんだペーストをリフローする前に、前記パッケージ基板上に前記ダイを配置するステップが、前記導電バンプを前記滴と接触するように配置するステップを含む、請求項１４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路のパッケージングに関し、より具体的にはフリップチップ集積回路パッケージに関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路がパッケージ化されたフリップチップ、或いは簡単に、略して“フリップチップ”では、集積回路を含むダイ（チップ）は、そのアクティブサイドをパッケージ基板に面して有する。フリップチッププロセス、また正式には圧壊制御方式チップ接続（the Controlled Collapse Chip Connection、Ｃ４）と呼ばれる蒸発のバンププロセスでは、導電バンプが形成され、アクティブサイド上のパッドにはんだ付けされる。次いで、はんだバンプを有するダイは、多層有機パッケージ基板上の適合した接着パッドの上に、表を下にして配置される。そのアセンブリはリフローされ、集積回路のアクティブサイドとパッケージ基板との間の電気的接続を提供するために、導電バンプがパッケージ基板上のパッドにはんだ付けされる。この電気的接続は、いわゆるレベル１相互接続の一部を形成する。導電バンプはまた、ダイとパッケージ基板との間の荷重支持リンクを提供する。通常、導電バンプははんだを含む。
【０００３】
ダイが基板に取り付けられた後、エポキシ樹脂（又はアンダーフィル）が通常ダイとパッケージ基板との間の界面に付けられ、ダイとパッケージ基板との間の熱膨張率（ＣＴＥ）の差異を相殺する手助けをし、且つ水分がダイ表面に達するのを防ぐ。フリップチップはまた、更なる保護のために液状エポキシで覆われ得る。
【０００４】
図１は、パッケージ基板にフリップチップダイ上の導電バンプを取り付け、且つはんだ付けする３ステップを含むプロセスを簡素化して示し、そのステップは“Ａ”、“Ｂ”及び“Ｃ”のように連続的な順番でラベル表示される。ステップＡでは、ツール１０４に保持されたダイ１０２をフラックス樹脂１０６に浸す。矢印１０８は絵を用いてこのディッピングプロセスを表しており、導電バンプ１１０はフラックス樹脂１０６に浸され、次いで引き出される。ステップＢにおいて、数字ラベル１１２は、はんだで湿潤した導電バンプ１１０を示す。矢印１１４は絵を用いて、パッケージ基板１１６上にダイ１０２が配置されるところを表す。ステップＣでは、波線１１８は絵を用いて、リフローによるはんだの接合を引き起こすために熱が加えられているところを表しており、それによって導電バンプ１１０はパッケージ基板１１６上のパッド（図示せず）にはんだ付けされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第６０６２４６０号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２００７／２２２０５３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
入力及び出力パッドの数がより多くなり、それに対応して導電バンプの数が増加するにつれて、集積回路はより複雑になるため、導電バンプのピッチは増えると期待される。しかし、リフロー及び図１に示したような取り付けプロセスを用いる、よりタイトなピッチとともに生じ得る幾つかの問題には、ほんの数例を挙げると、より低い収率につながる開口又はショート、導電バンプ上のはんだの乏しい湿潤性、及び時間とともに不足し得る導電バンプとパッドとの間の電気的接続がある。ダイ及びパッケージ基板のゆがみは、これらの問題の発生可能性を増加し得る。
【０００７】
タイトピッチのフリップチップ集積回路において良い収率及び信頼性をもたらす、ダイをパッケージ基板に取り付ける低コスト製造プロセスは有用である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
一実施形態では、ダイがはんだペーストに浸され、パッケージ基板上に配置され、次いでパッケージ基板にダイを取り付けるために、はんだペーストがリフローされる。
【０００９】
別の実施形態では、パッケージ基板にダイを取り付けるために、はんだペーストがパッケージ基板に付けられ、はんだペーストをリフローする前に、ダイがパッケージ基板上に配置され、次いでパッケージ基板にダイを取り付けるために、はんだペーストがリフローされる。
【００１０】
別の実施形態では、パッケージ基板にダイを取り付けるために、はんだペーストがパッケージ基板上のパッド上に分注され、はんだペーストをリフローする前に、ダイがパッケージ基板上に配置され、次いでパッケージ基板にダイを取り付けるために、はんだペーストがリフローされる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】フリップチップ製造の従来のプロセスを示す図である。
【図２】一実施形態による、ダイ上の導電バンプをパッケージ基板上のパッドに取り付け、且つはんだ付けするプロセスを示す図である。
【図３】別の実施形態による、ダイ上の導電バンプをパッケージ基板上のパッドに取り付け、且つはんだ付けするプロセスを示す図である。
【図４】別の実施形態による、ダイ上の導電バンプをパッケージ基板上のパッドに取り付け、且つはんだ付けするプロセスを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に続く説明では、“幾つかの実施形態”という用語の範囲は、一つより多い実施形態を意味するように限定されるべきではなく、むしろ一つの実施形態、一つより多い実施形態、又は恐らく全ての実施形態を含み得る。
【００１３】
図２は、一実施形態による、ダイ上の導電バンプをパッケージ基板上のパッドに取り付け、且つはんだ付けするプロセスを示しており、図２は“Ａ”、“Ｂ”、“Ｃ”及び“Ｄ”とラベル表示されたサブ図を有しているが、これらのラベル表示は必ずしも連続的な順番を意味しない。例えば、図２で“Ａ”と示されるプロセスはある実施形態の一部である必要はなく、又は、“Ａ”のプロセスがある実施形態に含まれる場合、そのとき“Ａ”のプロセスは、“Ｂ”とラベル表示されたプロセスの前に必ずしも実施される必要はない。
【００１４】
図２の“Ａ”では、ジェットフラックスプロセスが用いられ、それによってツール２０２がフラックス樹脂２０４をパッケージ基板１１６上に適用する（例えば、噴霧する）。図２の“Ｂ”では、ダイ１０２がはんだペースト２０６に浸され、次いで取り除かれるが、矢印２０８は絵を用いてこのディッピングプロセスを表す。はんだペースト２０６は、例えばフラックス及び微粒子のはんだを組み合わせた物質であり得る。“Ｂ”におけるディッピングプロセスでは、ツール１０４がはんだペースト２０６から導電バンプ１１０を取り除く場合に、導電バンプ１１０間にショートにつながり得る湿潤が存在しないように、導電バンプ１１０の底部をはんだペースト２０６と接触させる。図２のサブ図“Ｃ”は、はんだペースト２０６が導電バンプ１１０の底表面を湿潤している状態を示しており、このように導電バンプ間にショートを引き起こすはんだのブリッジは存在しない。矢印２１２は絵を用いて、パッケージ基板１１６上にダイ１０２を配置するところを表す。
【００１５】
図２の“Ａ”で示されるプロセスが実施される場合、そのときフラックス樹脂２０４はプロセス“Ｃ”において既にパッケージ基板１１６上にあるが、幾つかの実施形態では、フラックス樹脂２０４がプロセス“Ｃ”においてパッケージ基板１１６上に存在しないように、図２において“Ａ”で示されるプロセスが実施されないことがあり得る。幾つかの実施形態では、フラックス樹脂２０４は略５から１５μｍの厚さを有し得る。図２におけるプロセス“Ｃ”が実施される場合、フラックス樹脂２０４の使用ははんだペースト２０６の湿潤性を増大し得る。
【００１６】
図２の“Ｄ”において、波線１１８は、導電バンプ１１０をパッケージ基板１１６上のパッド（図示せず）にはんだ付けし、且つ取り付けるために、はんだペースト２０６をリフローするように熱を加えるところを、絵を用いて表す。
【００１７】
図３は別の実施形態による、ダイ上の導電バンプをパッケージ基板上のパッドに取り付け、且つはんだ付けするプロセスを示す。図３のサブ図は“Ａ”、“Ｂ”、“Ｃ”及び“Ｄ”とラベル表示され、これらのラベルのアルファベット順は連続的な順番を意味する。図３のプロセス“Ａ”では、多数のニードル３０４を備えるツール３０２は、矢印３０６によって絵を用いて表されるように、はんだペースト２０６に浸され、次いで取り除かれる。ニードル３０４はダイ１０２上の導電バンプ１１０と同一のアレイパターンを有する。
【００１８】
図３のプロセス“Ｂ”では、はんだペースト２０６がニードル３０４のチップを湿潤するが、矢印３０８は絵を用いて、パッケージ基板１１６上にはんだペースト２０６を分注するために、パッケージ基板１１６の近くにニードル３０４のチップを配置するところを表す。
【００１９】
図３のプロセス“Ｃ”は、はんだペースト２０６がパッケージ基板１１６上に分注され、導電パッド１１０と同一のピッチではんだペースト２０６の滴を形成するところを示す。矢印３１０は絵を用いて、導電バンプ１１０が対応するはんだペースト２０６の滴と接触するようにパッケージ基板１１６上にダイ１０２を配置するところを表す。
【００２０】
図３のプロセス“Ｄ”では、波線１１８は絵を用いて、はんだペースト２０６をリフローするために熱を加えるところを表すが、それによって導電バンプ１１０はパッケージ基板１１６上のパッド（図示せず）にはんだ付けされる。
【００２１】
図４は別の実施形態による、ダイ上の導電バンプをパッケージ基板上のパッドに取り付け、且つはんだ付けするプロセスを示す。図４におけるサブ図は“Ａ”、“Ｂ”及び“Ｃ”とラベル表示され、これらのラベルのアルファベット順は連続的な順番を意味する。図４のプロセス“Ａ”では、多数のニードル４０４を備えるツール４０２は、パッケージ基板１１６上のパッド４０５上にはんだペースト２０６を分注する。ニードル４０４はそれらのチップに小さな開口を有するため、圧力下では、はんだペースト２０６はこれらの開口を通り抜けて流れ、はんだペースト２０６の滴がパッケージ基板１１６上のパッド４０５上に分注され得る。ツール４０２をパッケージ基板１１６の近くに配置し、はんだペースト２０６を分注し、ツール４０２を遠くへ離すプロセスは、絵を用いて矢印４０６によって表される。ニードル４０４は、ダイ１０２上の導電バンプ１１０と同一のアレイパターンを有する。
【００２２】
図４におけるプロセス“Ｂ”及び“Ｃ”はそれぞれ、図３におけるプロセス“Ｃ”及び“Ｄ”と同一であるため、図３の実施形態の説明の一部は図４に関して繰り返される必要はない。（説明しやすくするために、ここではパッド４０５が図４のプロセス“Ｂ”及び“Ｃ”において示される。）
【００２３】
図２、３及び４においてダイ１０２とパッケージ基板１１６との間の界面にアンダーフィルを適用するような、フリップチップパッケージの技術でよく知られる付加的なプロセスが実施され得るが、説明しやすくするためにこれらの図では示されていない。また、パッド、バンプ下のメタライズ層、及び例えば酸化物表面保護層のような他の保護層がよく知られているが、説明しやすくするためにこれらの図の全て又は幾つかでは示されていない。
【００２４】
以下で請求される本発明の範囲から逸脱せずに、説明された実施形態に対して様々な修正がされ得る。
【符号の説明】
【００２５】
１０２  ダイ
１０４、２０２、３０２、４０２  ツール
１０６、２０４  フラックス樹脂
１０８、１１４、２０８、２１２、３０６、３０８、３１０、４０６  矢印
１１０  導電バンプ
１１２  はんだで湿潤した導電バンプ
１１６  パッケージ基板
１１８  波線
２０６  はんだペースト
３０４、４０４  ニードル
４０５  パッド
【図１】
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【図２】
2014123752.tif 000004
【図３】
2014123752.tif 000005
【図４】
2014123752.tif 000006
【外国語明細書】
2014123752000001.pdf