(57)【要約】【課題】満足し得る低タック性を有する乾燥膜を与え、かつ、満足し得る硬度を有するパターンを与える感光性樹脂組成物を提供することが可能となる。【解決手段】バインダー樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、体質顔料（Ｄ）及び溶剤（Ｅ）を含む感光性樹脂組成物であって、前記溶剤（Ｅ）は、溶解度パラメーターが８．０〜９．１（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２である溶剤（Ｅ１）を、前記溶剤（Ｅ）に対して、７０〜９９質量％含み、溶解度パラメーターが９．２〜１１．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２である溶剤（Ｅ２）を、前記溶剤（Ｅ）に対して、１〜３０質量％含む溶剤である感光性樹脂組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
バインダー樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、体質顔料（Ｄ）及び溶剤（Ｅ）を含む感光性樹脂組成物であって、前記溶剤（Ｅ）は、溶解度パラメーターが８．０〜９．１（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２である溶剤（Ｅ１）を、前記溶剤（Ｅ）に対して、７０〜９９質量％含み、溶解度パラメーターが９．２〜１１．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２である溶剤（Ｅ２）を、前記溶剤（Ｅ）に対して、１〜３０質量％含む溶剤である感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記重合開始剤（Ｃ）がオキシム化合物である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記バインダー樹脂（Ａ）の酸価が５０〜１８０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇである請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記バインダー樹脂（Ａ）の含有量が、前記）バインダー樹脂（Ａ）及び前記重合性化合物（Ｂ）の合計量１００質量部に対して、３０〜８０質量部である請求項１〜３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記体質顔料（Ｄ）が酸化ケイ素である請求項１〜４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
さらに、着色剤を含む請求項１〜５のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
着色剤が顔料を含む着色剤である請求項６に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
着色剤が染料を含む着色剤である請求項６又は７に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の感光性樹脂組成物により形成されるパターン。
【請求項１０】
請求項９に記載のパターンを含む表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネル、エレクトロルミネッセンスパネル、プラズマディスプレイパネル、電子ペーパー等の表示装置に使用されるカラーフィルタ等のパターンは、感光性樹脂組成物を用いて製造される。具体的には、感光性樹脂組成物を基板上に塗布した後、乾燥し、得られた乾燥膜を選択的に露光した後、現像することにより、パターンが形成される。
このような感光性樹脂組成物として、例えば特許文献１には、バインダー樹脂、重合性化合物、重合開始剤、体質顔料及び溶剤を含む感光性樹脂組成物が記載されており、前記溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いる例が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−２２１３１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記従来の感光性樹脂組成物から得られる乾燥膜は、その低タック性が必ずしも満足できない場合があり、また、前記従来の感光性樹脂組成物から得られるパターンは、その硬度が必ずしも満足できない場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するため、本発明は、以下の［１］を提供する。
［１］  バインダー樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、体質顔料（Ｄ）及び溶剤（Ｅ）を含む感光性樹脂組成物であって、前記溶剤（Ｅ）は、溶解度パラメーターが８．０〜９．１（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２である溶剤（Ｅ１）を、前記溶剤（Ｅ）に対して、７０〜９９質量％含み、溶解度パラメーターが９．２〜１１．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２である溶剤（Ｅ２）を、前記溶剤（Ｅ）に対して、１〜３０質量％含む溶剤である感光性樹脂組成物。
【０００６】
また、本発明は、以下の［２］〜[１０]を提供する。
［２］  前記重合開始剤（Ｃ）がオキシム化合物である［１］に記載の感光性樹脂組成物。
［３］  前記バインダー樹脂（Ａ）の酸価が５０〜１８０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇである［１］又は［２］に記載の感光性樹脂組成物。
［４］  前記バインダー樹脂（Ａ）の含有量が、前記バインダー樹脂（Ａ）及び前記重合性化合物（Ｂ）の合計量１００質量部に対して、３０〜８０質量部である［１］〜［３］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［５］  前記体質顔料（Ｄ）が酸化ケイ素である［１］〜［４］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［６］  さらに、着色剤を含む［１］〜［５］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
［７］  着色剤が顔料を含む着色剤である［６］に記載の感光性樹脂組成物。
［８］  着色剤が染料を含む着色剤である［６］又は［７］に記載の感光性樹脂組成物。
［９］  ［１］〜［８］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物により形成されるパターン。
［１０］  ［９］に記載のパターンを含む表示装置。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、満足し得る低タック性を有する乾燥膜を与え、かつ、満足し得る硬度を有するパターンを与える感光性樹脂組成物を提供することが可能となる。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本発明の感光性樹脂組成物は、バインダー樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、体質顔料（Ｄ）及び溶剤（Ｅ）を含有する。
【０００９】
バインダー樹脂（Ａ）は、不飽和カルボン酸に由来する構造単位を有する付加重合体（ａ）（以下、「（ａ）」という場合がある）に、エポキシ基を有する不飽和化合物（ｂ）（以下、「（ｂ）」という場合がある）を反応させたバインダー樹脂（Ａａ）を含むことが好ましい。
【００１０】
（ａ）としては、例えば、不飽和カルボン酸（ａ１）（以下、「（ａ１）」という場合がある）と、（ａ１）と付加重合可能な不飽和結合を有する単量体（ａ２）（以下、「（ａ２）」という場合がある）とを付加重合させて得られる付加重合体が挙げられる。
【００１１】
（ａ１）としては、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、ｏ−ビニル安息香酸、ｍ−ビニル安息香酸、ｐ−ビニル安息香酸等の不飽和モノカルボン酸類；
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、３‐ビニルフタル酸、４−ビニルフタル酸、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸、ジメチルテトラヒドロフタル酸、１、４−シクロヘキセンジカルボン酸等の不飽和ジカルボン酸類；
メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸、５−カルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のカルボキシ基を含有するビシクロ不飽和化合物類；
【００１２】
こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔（メタ）アクリロイルオキシアルキル〕エステル類；
α−（ヒドロキシメチル）アクリル酸等の、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシ基を含有する不飽和化合物類等が挙げられる。
これらのうち、（メタ）アクリル酸が共重合反応性の点やアルカリ溶解性の点から好ましく用いられる。
ここで、本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸及びメタクリル酸からなる群から選ばれる少なくとも１種を表す。「（メタ）アクリロイル」及び「（メタ）アクリレート」等の表記も同様の意味を有する。
【００１３】
（ａ２）としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル類；
シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０2,6］デカン−８−イル（メタ）アクリレート（当該技術分野では、慣用名として、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートといわれている。）、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸環状アルキルエステル類；
【００１４】
フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アリール又はアラルキルエステル類；
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル；
２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキルエステル類；
【００１５】
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（ヒドロキシメチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジエトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−フェノキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ビス（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ビス（シクロヘキシルオキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のビシクロ不飽和化合物類；
【００１６】
Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドベンゾエート、Ｎ−スクシンイミジル−４−マレイミドブチレート、Ｎ−スクシンイミジル−６−マレイミドカプロエート、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドプロピオネート、Ｎ−（９−アクリジニル）マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類；
【００１７】
スチレン、α−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエン等が挙げられる。
【００１８】
（ａ２）は、トリシクロデカン骨格及びトリシクロデセン骨格からなる群から選ばれる少なくとも１種の骨格と、エチレン性不飽和結合とを有する化合物（ａ２−１）（以下「（ａ２−１）」という場合がある）であることが好ましい。（ａ２）が（ａ２−１）である場合、現像によるパターンの膜減りを抑制することができる。
ここで、本明細書中における「トリシクロデカン骨格」及び「トリシクロデセン骨格」とは、それぞれ以下の構造（それぞれ、結合手は任意のカ所である）をいう。
【００１９】
2014123116.tif 000002
【００２０】
（ａ２−１）としては、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレートが挙げられる。これらは、それぞれ単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２１】
（ｂ）としては、例えば、鎖式オレフィンをエポキシ化した構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体（ｂ−１）（以下「（ｂ−１）」という場合がある）、シクロアルケンをエポキシ化した構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体（ｂ−２）（以下「（ｂ−２）」という場合がある）が挙げられる。（ｂ）としては、反応性の観点から（ｂ−１）が好ましい。
【００２２】
（ｂ−１）としては、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、β−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、グリシジルビニルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、２，３−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，４−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，５−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，６−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，４−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，５−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，６−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、３，４，５−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，４，６−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、特開平７−２４８６２５号公報に記載される化合物等が挙げられる。
【００２３】
（ｂ−２）としては、ビニルシクロヘキセンモノオキサイド、１，２−エポキシ−４−ビニルシクロヘキサン（例えば、セロキサイド２０００；（株）ダイセル製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート（例えば、サイクロマーＡ４００；（株）ダイセル製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート（例えば、サイクロマーＭ１００；（株）ダイセル製）、式（Ｉ）で表される化合物、式（ＩＩ）で表される化合物等が挙げられる。
【００２４】
2014123116.tif 000003
【００２５】
［式（Ｉ）及び式（ＩＩ）において、Ｒ１及びＲ２は、互いに独立に、水素原子、又は炭素数１〜４のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる水素原子はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｘ１及びＸ２は、互いに独立に、単結合、−Ｒ３−、＊−Ｒ３−Ｏ−、＊−Ｒ３−Ｓ−、＊−Ｒ３−ＮＨ−を表す。
Ｒ３は、炭素数１〜６のアルカンジイル基を表す。
＊は、Ｏとの結合手を表す。］
【００２６】
バインダー樹脂（Ａａ）は、二段階の工程を経て製造することができる。この場合、例えば、文献「高分子合成の実験法」（大津隆行著  発行所：（株）化学同人  第１版第１刷  １９７２年３月１日発行）に記載された方法、及び特開２００１−８９５３３号公報に記載された方法等を参考にして製造することができる。
【００２７】
バインダー樹脂（Ａａ）の製造においては、まず、第一段階として、（ａ１）と（ａ２）との付加重合体（ａ）を得る。具体的には、所定量（ａ１）及び（ａ２）、重合開始剤並びに溶剤等を反応容器中に仕込んで、窒素により酸素を置換することにより、脱酸素の雰囲気中で、攪拌、加熱、保温する方法が例示される。ここで用いられる重合開始剤及び溶剤等は、特に限定されず、当該分野で通常使用されているもののいずれをも使用することができる。重合開始剤としては、例えば、アゾ化合物（２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）等）や有機過酸化物（ベンゾイルペルオキシド等）が挙げられ、溶剤としては、各単量体を溶解するものであればよく、着色感光性樹脂組成物の溶剤として後述する溶剤等を用いることができる。
また、得られた付加重合体は、反応後の溶液のままで使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液として使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。
【００２８】
（ａ１）及び（ａ２）に由来する構造単位の比率が、付加重合体（ａ）を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ１）に由来する構造単位；５〜５０モル％、より好ましくは１０〜４５モル％
（ａ２）に由来する構造単位；５０〜９５モル％、より好ましくは５５〜９０モル％
【００２９】
次に、第二段階として、得られた付加重合体が有する（ａ１）に由来する構造単位中のカルボキシル基の一部を、（ｂ）と反応させる。反応性が高く、未反応の（ｂ）が残存しにくいことから、（ｂ）としては（ｂ−１）が好ましい。
具体的には、上記に引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、（ｂ）を（ａ１）のモル数に対して５〜８０モル％、反応触媒（例えばトリス（ジメチルアミノメチル）フェノール等）を（ａ１）、（ｂ）及び（ａ２）の合計量に対して０．００１〜５質量％、並びに重合禁止剤（例えばハイドロキノン等）を（ａ１）、（ｂ）及び（ａ２）の合計量に対して０．００１〜５質量％、フラスコ内に入れて、通常、６０〜１３０℃で、１〜１０時間反応させ、バインダー樹脂（Ａａ）を得ることができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等を考慮し、仕込み方法や反応温度を適宜調整することができる。
また、この場合、（ｂ）のモル数は、（ａ１）のモル数に対して、１０〜７５モル％とすることが好ましく、より好ましくは１５〜７０モル％である。（ｂ）のモル数をこの範囲とすることにより、保存安定性、耐溶剤性及び耐熱性のバランスが良好になる傾向がある。
【００３０】
バインダー樹脂（Ａａ）としては、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／（メタ）アクリル酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００３１】
クロトン酸／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／クロトン酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００３２】
マレイン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／マレイン酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００３３】
（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／（メタ）アクリル酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００３４】
（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／（メタ）アクリル酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂；
【００３５】
クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／クロトン酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂；
【００３６】
マレイン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／マレイン酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂；
【００３７】
（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／（メタ）アクリル酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂等が挙げられる。
【００３８】
さらに、バインダー樹脂（Ａａ）としては、（ａ１）と（ａ２−１）と（ａ２−１）以外の（ａ２）とを共重合させて得られる付加重合体に、（ｂ）を反応させて得られる樹脂であることがより好ましい。バインダー樹脂（Ａａ）が上記構成であることにより、得られるパターンは基板との密着性及び耐溶剤性に優れる傾向がある。
付加重合体（ａ）が、（ａ１）と（ａ２−１）と（ａ２−１）以外の（ａ２）とからなる場合、（ａ２−１）及び（ａ２−１）以外の（ａ２）に由来する構造単位の比率（（ａ２−１）に由来する構造単位：（ａ２−１）以外の（ａ２）に由来する構造単位）が、１０：９０〜６０：４０が好ましく、１０：９０〜４０：６０がより好ましく、１０：９０〜３０：７０がさらに好ましい。
【００３９】
（ａ１）と（ａ２−１）と（ａ２−１）以外の（ａ２）とを共重合させて得られる付加重合体に、（ｂ）を反応させて得られる樹脂としては、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００４０】
クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／クロトン酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００４１】
マレイン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／マレイン酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００４２】
（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／スチレンの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸メチルの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂；
【００４３】
（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂；
【００４４】
クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／クロトン酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、クロトン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂；
【００４５】
マレイン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／マレイン酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、マレイン酸／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂；
【００４６】
（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／シクロヘキシル（メタ）アクリレートの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／スチレンの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸メチルの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂、（メタ）アクリル酸／マレイン酸無水物／ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレートを反応させた樹脂等が挙げられる。
これらのバインダー樹脂（Ａ）は、それぞれ単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００４７】
バインダー樹脂（Ａ）のポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは８×１０３〜１００×１０３であり、より好ましくは１０×１０３〜５０×１０３である。バインダー樹脂（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）が、前記の範囲にあると、感光性樹脂組成物の塗布性及び乾燥膜の低タック性がより良好となる傾向があり、また現像時に膜減りが生じにくく、さらに現像時に非画素部分の抜け性が良好である傾向がある。
【００４８】
バインダー樹脂（Ａ）の酸価は、好ましくは３０〜２００ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは４０〜１９０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇ、さらに好ましくは５０〜１８０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇである。酸価はバインダー樹脂（Ａ）１ｇを中和するために必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【００４９】
バインダー樹脂（Ａ）は、前述したバインダー樹脂（Ａａ）のみで構成されることが好ましいが、その他の樹脂を含んでもよい。そのような樹脂としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ノボラック樹脂、ポリアミン樹脂等が挙げられる。
バインダー樹脂（Ａ）がバインダー樹脂（Ａａ）以外の樹脂を含む場合、バインダー樹脂（Ａａ）の含有量は、バインダー樹脂（Ａ）に対して、２０〜９９質量％が好ましく、５０〜９９質量％がより好ましい。
【００５０】
重合性化合物（Ｂ）は、光又は熱の作用によって重合開始剤（Ｃ）から発生した活性ラジカル、酸等によって重合を開始しうる化合物であれば、特に限定されるものではない。重合性化合物（Ｂ）としては、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物等が挙げられ、好ましくは単官能モノマー、２官能モノマー、３官能以上の多官能モノマーが用いられる。また、重合性化合物（Ｂ）としては、酸性基を有しない化合物が好ましく用いられる。
【００５１】
単官能モノマーとしては、ノニルフェニルカルビトール（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシルカルビトール（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、Ｎ−ビニルピロリドン等が挙げられる。
【００５２】
２官能モノマーとしては、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのビス（アクリロイロキシエチル）エーテル、３−メチルペンタンジオールジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００５３】
３官能以上の多官能モノマーとしては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、大阪有機化学工業（株）製のＶ＃１０００、Ｖ＃８０２、ＳＴＡＲ−５０１や共栄社化学（株）製のＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、第一工業製薬（株）製のニューフロンティアＲ−１１５０等のウレタンアクリレート等が挙げられる。なかでも、２官能モノマー、３官能以上の多官能モノマーが好ましく用いられる。
【００５４】
また、重合性化合物（Ｂ）としては、下記の重合性化合物を使用してもよい。
2014123116.tif 000004
【００５５】
2014123116.tif 000005
【００５６】
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【００５７】
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【００５８】
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【００５９】
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【００６０】
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【００６１】
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【００６２】
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【００６３】
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【００６４】
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【００６５】
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【００６６】
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【００６７】
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【００６８】
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【００６９】
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【００７０】
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【００７１】
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【００７２】
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【００７３】
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【００７４】
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【００７５】
これらの重合性化合物（Ｂ）は、それぞれ単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００７６】
重合性化合物（Ｂ）の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して、１〜５０質量％が好ましく、５〜３０質量％がより好ましい。また、バインダー樹脂（Ａ）の含有量は、バインダー樹脂（Ａ）及び重合性化合物（Ｂ）の合計量１００質量部に対して、３０〜８０質量部であることが好ましい。
ここで、固形分とは、感光性樹脂組成物に含まれる溶剤を除く全成分をいう。
【００７７】
バインダー樹脂（Ａ）の含有量が前記の範囲にあると、乾燥膜のタック性がより抑制され、色むらのないカラーフィルタが得られる傾向があるため好ましい。
【００７８】
重合開始剤（Ｃ）は、重合性化合物（Ｂ）の重合を開始させるための活性ラジカル、酸等を発生させる化合物であり、光の作用によって活性ラジカル、酸等を発生させる光重合開始剤であってもよいし、熱の作用によって活性ラジカル、酸等を発生させる熱重合開始剤であってもよいが、光重合開始剤であることが好ましく、光の作用によって活性ラジカルを発生させる光ラジカル重合開始剤であることがより好ましい。
【００７９】
重合開始剤（Ｃ）は、オキシム化合物であることが好ましい。かかる重合開始剤を用いることにより、感光性樹脂組成物は高感度となり、またこれを用いて形成する膜は解像度及び耐溶剤性に優れパターンが良好となる。さらに、重合開始助剤（Ｃ−１）を併用することで、得られる感光性樹脂組成物は更に高感度となり、これを用いてカラーフィルタを形成する際の生産性が向上するので、好ましい。
【００８０】
オキシム化合物としては、Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）ブタン−１−オン−２−イミン、Ｎ−アセトキシ−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタン−１−イミン、Ｎ−アセトキシ−１−［９−エチル−６−｛２−メチル−４−（３，３−ジメチル−２，４−ジオキサシクロペンタニルメチルオキシ）ベンゾイル｝−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタン−１−イミン等が挙げられる。イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ−０１、ＯＸＥ−０２（以上、ＢＡＳＦジャパン（株）製）、Ｎ−１９１９（（株）ＡＤＥＫＡ製）等の市販品を用いてもよい。中でもＮ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン（下式）が好ましい。
2014123116.tif 000025
【００８１】
また、オキシム化合物以外の重合開始剤としては、ビイミダゾール化合物、アルキルフェノン化合物、トリアジン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物等が挙げられる。
【００８２】
ビイミダゾール化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール（例えば、特開平６−７５３７２号公報、特開平６−７５３７３号公報等参照。）、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（アルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ジアルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（トリアルコキシフェニル）ビイミダゾール（例えば、特公昭４８−３８４０３号公報、特開昭６２−１７４２０４号公報等参照。）、４，４’，５，５’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物（例えば、特開平７−１０９１３号公報等参照。）等が挙げられる。好ましくは２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。
【００８３】
アルキルフェノン化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン、２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−２−ベンジルブタン−１−オン、２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−２−（４−メチルフェニルメチル）ブタン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−（４−イソプロペニルフェニル）プロパン−１−オンのオリゴマー等が挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン、２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−２−ベンジルブタン−１−オン等が挙げられる。イルガキュア（登録商標）３６９、９０７（以上、ＢＡＳＦジャパン（株）製）等の市販品を用いてもよい。
【００８４】
トリアジン化合物としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン等が挙げられる。
【００８５】
アシルホスフィンオキサイド化合物としては、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。イルガキュア（登録商標）８１９（ＢＡＳＦジャパン（株）製）等の市販品を用いてもよい。
【００８６】
さらに、オキシム化合物、ビイミダゾール化合物、アルキルフェノン化合物、トリアジン化合物及びアシルホスフィンオキサイド化合物以外の重合開始剤（Ｃ）としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン化合物；ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン等のベンゾフェノン化合物；９，１０−フェナンスレンキノン、２−エチルアントラキノン、カンファーキノン等のキノン化合物；１０−ブチル−２−クロロアクリドン、ベンジル、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物等が挙げられる。
これらの重合開始剤（Ｃ）は、それぞれ単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００８７】
重合開始剤（Ｃ）の含有量は、樹脂（Ａ）及び重合性化合物（Ｂ）の合計量１００質量部に対して、好ましくは０．１〜８０質量部、より好ましくは１〜６０質量部である。重合開始剤の合計量がこの範囲にあると、高感度でパターンを形成することができ、パターンの耐薬品性、機械強度、表面平滑性が良好になる傾向がある。
【００８８】
重合開始剤（Ｃ）は、重合開始助剤（Ｃ−１）（特にアミン類）と組み合わせて用いることが好ましい。重合開始助剤（Ｃ−１）は、重合開始剤（Ｃ）によって重合が開始された重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物、もしくは増感剤である。
【００８９】
重合開始助剤（Ｃ−１）としては、アミン化合物、チアゾリン化合物、アルコキシアントラセン化合物、チオキサントン化合物、カルボン酸化合物、チオール化合物等が挙げられる。
【００９０】
アミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられ、中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。ＥＡＢ−Ｆ（保土谷化学工業（株）製）等の市販品を用いてもよい。
【００９１】
チアゾリン化合物としては、式（ＩＩＩ−１）〜式（ＩＩＩ−３）で表される化合物等が挙げられる。
2014123116.tif 000026
【００９２】
アルコキシアントラセン化合物としては、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジブトキシアントラセン等が挙げられる。
【００９３】
チオキサントン化合物としては、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン等が挙げられる。
【００９４】
カルボン酸化合物としては、フェニルスルファニル酢酸、メチルフェニルスルファニル酢酸、エチルフェニルスルファニル酢酸、メチルエチルフェニルスルファニル酢酸、ジメチルフェニルスルファニル酢酸、メトキシフェニルスルファニル酢酸、ジメトキシフェニルスルファニル酢酸、クロロフェニルスルファニル酢酸、ジクロロフェニルスルファニル酢酸、Ｎ−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、Ｎ−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸等が挙げられる。
【００９５】
チオール化合物としては、２−スルファニルオキサゾール、２−スルファニルチアゾール、２−スルファニルベンズイミダゾール、２−スルファニルベンゾチアゾール、２−スルファニルベンゾオキサゾール、２−スルファニルニコチン酸、２−スルファニルピリジン、２−スルファニルピリジン−３−オール、２−スルファニルピリジン−Ｎ−オキサイド、４−アミノ−６−ヒドロキシ−２−スルファニルピリミジン、４−アミノ−６−ヒドロキシ−２−スルファニルピリミジン、４−アミノ−２−スルファニルピリミジン、６−アミノ−５−ニトロソ−２−チオウラシル、４，５−ジアミノ−６−ヒドロキシ−２−スルファニルピリミジン、４，６−ジアミノ−２−スルファニルピリミジン、２，４−ジアミノ−６−スルファニルピリミジン、４，６−ジヒドロキシ−２−スルファニルピリミジン、４，６−ジメチル−２−スルファニルピリミジン、４−ヒドロキシ−２−スルファニル−６−メチルピリミジン、４−ヒドロキシ−２−スルファニル−６−プロピルピリミジン、２−スルファニル−４−メチルピリミジン、２−スルファニルピリミジン、２−チオウラシル、３，４，５，６−テトラヒドロピリミジン−２−チオール、４，５−ジフェニルイミダゾール−２−チオール、２−スルファニルイミダゾール、２−スルファニル−１−メチルイミダゾール、４−アミノ−３−ヒドラジノ−５−スルファニル−１，２，４−トリアゾール、３−アミノ−５−スルファニル−１，２，４−トリアゾール、２−メチル−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−チオール、４−メチル−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−チオール、３−スルファニル−１Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−チオール、２−アミノ−５−スルファニル−１，３，４−チアジアゾール、５−アミノ−１，３，４−チアジアゾール−２−チオール、２，５−ジスルファニル−１，３，４−チアジアゾール、（フラン−２−イル）メタンチオール、２−スルファニル−５−チアゾリドン、２−スルファニルチアゾリン、２−スルファニル−４（３Ｈ）−キナゾリノン、１−フェニル−１Ｈ−テトラゾール−５−チオール、２−キノリンチオール、２−スルファニル−５−メチルベンズイミダゾール、２−スルファニル−５−ニトロベンズイミダゾール、６−アミノ−２−スルファニルベンゾチアゾール、５−クロロ−２−スルファニルベンゾチアゾール、６−エトキシ−２−スルファニルベンゾチアゾール、６−ニトロ−２−スルファニルベンゾチアゾール、２−スルファニルナフトイミダゾール、２−スルファニルナフトオキサゾール、３−スルファニル−１，２，４−トリアゾール、４−アミノ−６−スルファニルピラゾロ［２，４−ｄ］ピリジン、２−アミノ−６−プリンチオール、６−スルファニルプリン、４−スルファニル−１Ｈ−ピラゾロ［２，４−ｄ］ピリミジン、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ビス（メチルスルファニル）ベンゼン、ブタンジオールビス（３−スルファニルプロピオネート）、ブタンジオールビス（３−スルファニルアセテート）、エチレングリコールビス（３−スルファニルアセテート）、トリメチロールプロパントリス（３−スルファニルアセテート）、ブタンジオールビス（３−スルファニルプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（３−スルファニルプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（３−スルファニルアセテート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−スルファニルプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−スルファニルアセテート）、トリスヒドロキシエチルトリス（３−スルファニルプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３−スルファニルブチレート）、１，４−ビス（３−スルファニルブチルオキシ）ブタン等が挙げられる。
【００９６】
重合開始助剤（Ｃ−１）を用いる場合、その含有量は、樹脂（Ａ）及び重合性化合物（Ｂ）の合計量１００質量部に対して、好ましくは０．０１〜５０質量部、より好ましくは０．１〜４０質量部である。また、重合開始剤（Ｃ）１モルあたり、好ましくは０．０１〜１０モル、より好ましくは０．０１〜５モルである。重合開始助剤（Ｃ−１）の含有量がこの範囲にあると、さらに高感度でパターンを形成することができ、パターンの生産性が向上する傾向にある。
【００９７】
体質顔料（Ｄ）は、特に限定されるのではないが、酸化ケイ素、硫酸バリウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム及び炭酸カルシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種を用いることができる。また、透明性の点から、体質顔料の平均粒子径が５００ｎｍ以下であることが好ましい。中でも信頼性と乾燥膜の低タック性の観点から酸化ケイ素が好ましい。
【００９８】
体質顔料（Ｄ）の含有量は、樹脂（Ａ）及び重合性化合物（Ｂ）の合計量１００質量部に対して、好ましくは０．１〜８０質量部、より好ましくは１〜３０質量部である。体質顔料の含有量がこの範囲にあると、乾燥膜の低タック性及び耐溶剤性が良好になる傾向がある。
【００９９】
本発明の感光性樹脂組成物は、溶解度パラメーターが８．０〜９．１（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２である溶剤（Ｅ１）と、溶解度パラメーターが９．２〜１１．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２である溶剤（Ｅ２）とを含む。かかる所定の溶剤を含む感光性組成物を用いることにより、満足し得る低タック性を有する乾燥膜を得ることができ、かつ、満足し得る硬度を有するパターンを得ることができる。
【０１００】
溶解度パラメーターが８．０〜９．１（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２である溶剤（Ｅ１）としては、その溶解度パラメーター（（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２）を括弧書きで付して挙げると、エチレングリコールモノｉ−ブチルエーテル（８．９）、ジエチレングリコールモノ２−エチルヘキシルエーテル（８．４）、ジプロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル（８．８）、ジプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル（８．５）、トリプロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル（８．５）、トリプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル（８．２）、エチレングリコールジメチルエーテル（８．６）、ジエチレングリコールジメチルエーテル（８．６）、ジエチレングリコールジエチルエーテル（８．６）、ジエチレングリコールジｎ−ブチルエーテル（８．３）、トリエチレングリコールジメチルエーテル（８．４）、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル（８．６）、ジエチレングリコールモノｎ−ブチルエーテルアセテート（９．０）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（９．０）、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（８．１）、エチル−３−エトキシプロピオネート（９．１）、酢酸ｎプロピル（８．６）、プロピオン酸ｎプロピル（８．６）、プロピオン酸ｎブチル（８．３）、プロピオン酸ｎペンチル（８．４）、酢酸エチル（９．１）、酢酸ブチル（８．３）、等が挙げられる。この中でも溶解性の観点からプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの如きジオールのモノエーテルのアシレートが好ましく、アルキレングリコール、ジアルキレングリコール又はトリアルキレングリコールのモノアルキルエーテルのアルカノエートがより好ましい。
【０１０１】
溶解度パラメーターが９．２〜１１．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２である溶剤（Ｅ２）としては、その溶解度パラメーター（（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２）を括弧書きで付して挙げると、エチレングリコールモノプロピルエーテル（１０．６）、エチレングリコールモノｉｓｏプロピルエーテル（９．２）、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル（１０．２）、エチレングリコールモノヘキシルエーテル（９．４）、エチレングリコールモノフェニルエーテル（１０．９）、エチレングリコールモノベンジルエーテル（１０．８）、エチレングリコールモノアリルエーテル（９．８）、ジエチレングリコールモノメチルエーテル（１０．７）、ジエチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル（１０．０）、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル（９．７）、ジエチレングリコールモノ２−エチルヘキシルエーテル（９．２）、ジエチレングリコールモノベンジルエーテル（９．６）、トリエチレングリコールモノメチルエーテル（１０．２）、トリエチレングリコールモノエチルエーテル（９．９）、トリエチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル（９．３）、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル（９．２）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（１０．７）、プロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル（９．７）、プロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル（９．３）、プロピレングリコールモノｔ−ブチルエーテル（９．７）、プロピレングリコールモノフェニルエーテル（１１．０）、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル（９．６）、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル（９．４）、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテルアセテート（１０．３）、プロピレングリコールジアセテート（９．６）、メチル−３−メトキシプロピオネート（９．５）、乳酸メチル（１０．７）、乳酸ブチル（９．８）、シクロヘキサノン（９．９）、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン（別名ダイアセトンアルコール）（１０．２）、１−ブタノール（１１．４）、ジオキサン（１０．０）、クロロホルム（９．３）、アセトン（９．９）、１，１，２，２−テトラクロロエタン（９．７）等が挙げられる。この中でも溶解性の観点からヒドロキシ化合物が好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルの如きジオールのモノエーテルや、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノンの如きヒドロキシケトンがより好ましく、アルキレングリコール、ジアルキレングリコール又はトリアルキレングリコールのモノアルキルエーテルや、ヒドロキシアルカノンがさらに好ましい。
【０１０２】
溶解度パラメーターが８．０〜９．１（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２である溶剤（Ｅ１）の含有量は、溶剤（Ｅ）に対して、７０〜９９質量％であり、好ましくは７０〜９７質量％であり、溶解度パラメーターが９．２〜１１．０（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２である溶剤（Ｅ２）の含有量は、溶剤（Ｅ）に対して、１〜３０質量％であり、好ましくは３〜３０質量％である。溶剤の質量％の比率が前記の範囲にあると溶解性、塗布時の平坦性が良好になる傾向がある。なお、溶剤（Ｅ）は、溶剤（Ｅ１）及び（Ｅ２）以外の溶剤を含んでいてもよいが、その含有量は、溶剤（Ｅ）に対して、通常２０質量％以下であり、好ましくは１０質量％以下である。
【０１０３】
なお溶解度パラメーターは、次式によって求められる。
溶解度パラメーター＝（△Ｅ／Ｖ）１／２
△Ｅ：凝集エネルギー（蒸発エンタルピー）、Ｖ：モル体積
【０１０４】
溶剤（Ｅ）は、バインダー樹脂（Ａ）の合成の際に使用してもよい。
【０１０５】
溶剤（Ｅ）の含有量は、感光性樹脂組成物に対して、好ましくは６０〜９５質量％であり、より好ましくは７０〜９０質量％である。言い換えると、感光性樹脂組成物の固形分は、好ましくは５〜４０質量％であり、より好ましくは１０〜３０質量％である。溶剤（Ｅ）の含有量が前記の範囲にあると、塗布時の平坦性が良好になる傾向がある。
【０１０６】
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに、着色剤（Ｆ）を含むことが好ましい。かかる着色剤（Ｆ）としては、顔料及び染料が挙げられるが、パターンの耐熱性及び耐光性の点で、顔料を含むことが好ましく、パターンの光透過性の点で、染料を含むことが好ましく、顔料及び染料を含むことがより好ましい。
【０１０７】
顔料としては、有機顔料及び無機顔料が挙げられ、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメントに分類されている化合物が挙げられる。
有機顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、３、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、８３、８６、９３、９４、１０９、１１０、１１７、１２５、１２８、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５３、１５４、１６６、１７３、１９４、２１４等の黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、３１、３６、３８、４０、４２、４３、５１、５５、５９、６１、６４、６５、７１、７３等のオレンジ色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、９７、１０５、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７６、１７７、１８０、１９２、２０９、２１５、２１６、２２４、２４２、２５４、２５５、２６４、２６５等の赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：３、１５：４、１５：６、６０等の青色顔料；Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８等のバイオレット色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８等の緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５等のブラウン色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、７等の黒色顔料等が挙げられる。
【０１０８】
中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２４２、２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８が好ましい。
これらの顔料は、単独でも２種以上を混合して用いてもよい。
【０１０９】
前記顔料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体や顔料分散剤等を用いた表面処理、高分子化合物等による顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法等による微粒化処理、又は不純物を除去するための有機溶剤や水等による洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法等による除去処理等が施されていてもよい。また、顔料は、粒径が均一であることが好ましい。顔料分散剤を含有させて分散処理を行うことで、顔料が溶液中で均一に分散した状態の顔料分散液を得ることができる。
【０１１０】
前記顔料分散剤としては、市販の界面活性剤を用いることができ、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、ポリエステル系、ポリアミン系、アクリル系等の界面活性剤等が挙げられる。前記界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でＫＰ（信越化学工業（株）製）、フローレン（共栄社化学（株）製）、ソルパース（ゼネカ（株）製）、ＥＦＫＡ（ＢＡＳＦジャパン（株）社製）、アジスパー（登録商標）（味の素ファインテクノ（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ（ビックケミー社製）等が挙げられる。これらは、それぞれ単独でも２種以上を組合せて用いることができる。
【０１１１】
顔料分散剤を用いる場合、その使用量は、顔料に対して、好ましくは１００質量％以下であり、より好ましくは５〜５０質量％である。顔料分散剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な分散状態の顔料分散液が得られる傾向にある。
【０１１２】
着色剤（Ｆ）としては、公知の染料も使用することができ、染料としては、油溶性染料、酸性染料等が挙げられる。
【０１１３】
これらの染料は、溶剤への溶解度や、該染料を含む着色硬化性樹脂組成物を用いてカラーフィルタのパターンを形成としたときの光褪色耐性や分光スペクトルに合わせて適宜選択される。
【０１１４】
染料は、特に限定されず公知の染料を使用することができ、例えば、溶剤染料、酸性染料、直接染料、媒染染料等が挙げられる。染料としては、例えば、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメント以外で色相を有するものに分類されている化合物や、染色ノート（色染社）に記載されている公知の染料が挙げられる。また、化学構造によれば、アゾ染料、シアニン染料、トリフェニルメタン染料、キサンテン染料、フタロシアニン染料、アントラキノン染料、ナフトキノン染料、キノンイミン染料、メチン染料、アゾメチン染料、スクワリリウム染料、アクリジン染料、スチリル染料、クマリン染料、キノリン染料及びニトロ染料等が挙げられる。これらのうち、有機溶剤可溶性染料が好ましい。
【０１１５】
具体的には、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー４、１４、１５、２３、２４、３８、６２、６３、６８、８２、９４、９８、９９、１１７、１６２、１６３、１６７、１８９；
Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド４５、４９、１１１、１２５、１３０、１４３、１４５、１４６、１５０、１５１、１５５、１６８、１６９、１７２、１７５、１８１、２０７、２１８、２２２、２２７、２３０、２４５、２４７；
Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ２、７、１１、１５、２６、５６、７７、８６、；
Ｃ．Ｉ．ソルベントバイオレット１１、１３、１４、２６、３１、３６、３７、３８、４５、４７、４８、５１、５９、６０；
Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー４、５、１４、１８、３５、３６、３７、４５、５８、５９、５９：１、６３、６７、６８、６９、７０、７８、７９、８３、９０、９４、９７、９８、１００、１０１、１０２、１０４、１０５、１１１、１１２、１２２、１２８、１３２、１３６、１３９；
Ｃ．Ｉ．ソルベントグリーン１、３、４、５、７、２８、２９、３２、３３、３４、３５等のＣ．Ｉ．ソルベント染料、
Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１、３、７、９、１１、１７、２３、２５、２９、３４、３６、３８、４０、４２、５４、６５、７２、７３、７６、７９、９８、９９、１１１、１１２、１１３、１１４、１１６、１１９、１２３、１２８、１３４、１３５、１３８、１３９、１４０、１４４、１５０、１５５、１５７、１６０、１６１、１６３、１６８、１６９、１７２、１７７、１７８、１７９、１８４、１９０、１９３、１９６、１９７、１９９、２０２、２０３、２０４、２０５、２０７、２１２、２１４、２２０、２２１、２２８、２３０、２３２、２３５、２３８、２４０、２４２、２４３、２５１；
Ｃ．Ｉ．アシッドレッド１、４、８、１４、１７、１８、２６、２７、２９、３１、３３、３４、３５、３７、４０、４２、４４、５０、５１、５２、５７、６６、７３、７６、８０、８７、８８、９１、９２、９４、９５、９７、９８、１０３、１０６、１１１、１１４、１２９、１３３、１３４、１３８、１４３、１４５、１５０、１５１、１５５、１５８、１６０、１７２、１７６、１８２、１８３、１９５、１９８、２０６、２１１、２１５、２１６、２１７、２２７、２２８、２４９、２５２、２５７、２５８、２６０、２６１、２６６、２６８、２７０、２７４、２７７、２８０、２８１、２８９、３０８、３１２、３１５、３１６、３３９、３４１、３４５、３４６、３４９、３８２、３８３、３８８、３９４、４０１、４１２、４１７、４１８、４２２、４２６；
Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ６、７、８、１０、１２、２６、５０、５１、５２、５６、６２、６３、６４、７４、７５、９４、９５、１０７、１０８、１６９、１７３；
Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット６Ｂ、７、９、１５、１６、１７、１９、２１、２３、２４、２５、３０、３４、３８、４９、７２、１０２；
Ｃ．Ｉ．アシッドブルー１、３、５、７、９、１１、１３、１５、１７、１８、２２、２３、２４、２５、２６、２７、２９、３４、３８、４０、４１、４２、４３、４５、４８、５１、５４、５９、６０、６２、７０、７２、７４、７５、７８、８０、８２、８３、８６、８７、８８、９０、９０：１、９１、９２、９３、９３：１、９６、９９、１００、１０２、１０３、１０４、１０８、１０９、１１０、１１２、１１３、１１７、１１９、１２０、１２３、１２６、１２７、１２９、１３０、１３１、１３８、１４０、１４２、１４３、１４７、１５０、１５１、１５４、１５８、１６１、１６６、１６７、１６８、１７０、１７１、１７５、１８２、１８３、１８４、１８７、１９２、１９９、２０３、２０４、２０５、２１０、２１３、２２９、２３４、２３６、２４２、２４３、２５６、２５９、２６７、２６９、２７８、２８０、２８５、２９０、２９６、３１５、３２４：１、３３５、３４０；
Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン１、３、５、６、７、８、９、１１、１３、１４、１５、１６、２２、２５、２７、２８、４１、５０、５０：１、５８、６３、６５、８０、１０４、１０５、１０６、１０９等のＣ．Ｉ．アシッド染料、
Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー２、３３、３４、３５、３８、３９、４３、４７、５０、５４、５８、６８、６９、７０、７１、８６、９３、９４、９５、９８、１０２、１０８、１０９、１２９、１３６、１３８、１４１；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド７９、８２、８３、８４、９１、９２、９６、９７、９８、９９、１０５、１０６、１０７、１７２、１７３、１７６、１７７、１７９、１８１、１８２、１８４、２０４、２０７、２１１、２１３、２１８、２２０、２２１、２２２、２３２、２３３、２３４、２４１、２４３、２４６、２５０；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトオレンジ２６、３４、３９、４１、４６、５０、５２、５６、５７、６１、６４、６５、６８、７０、９６、９７、１０６、１０７；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトバイオレット４７、５２、５４、５９、６０、６５、６６、７９、８０、８１、８２、８４、８９、９０、９３、９５、９６、１０３、１０４；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトブルー１、２、３、６、８、１５、２２、２５、２８、２９、４０、４１、４２、４７、５２、５５、５７、７１、７６、７７、７８、８０、８１、８４、８５、８６、９０、９３、９４、９５、９７、９８、９９、１００、１０１、１０６、１０７、１０８、１０９、１１３、１１４、１１５、１１７、１１９、１２０、１３７、１４９、１５０、１５３、１５５、１５６、１５８、１５９、１６０、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１６７、１６８、１７０、１７１、１７２、１７３、１８８、１８９、１９０、１９２、１９３、１９４、１９５、１９６、１９８、１９９、２００、２０１、２０２、２０３、２０７、２０９、２１０、２１２、２１３、２１４、２２２、２２５、２２６、２２８、２２９、２３６、２３７、２３８、２４２、２４３、２４４、２４５、２４６、２４７、２４８、２４９、２５０、２５１、２５２、２５６、２５７、２５９、２６０、２６８、２７４、２７５、２９３；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトグリーン２５、２７、３１、３２、３４、３７、６３、６５、６６、６７、６８、６９、７２、７７、７９、８２等のＣ．Ｉ．ダイレクト染料、
Ｃ．Ｉ．ディスパースイエロー５１、５４，７６；
Ｃ．Ｉ．ディスパースバイオレット２６、２７；
Ｃ．Ｉ．ディスパースブルー１、１４、５６、６０等のＣ．Ｉ．ディスパース染料、
Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド１、１０；
Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー１、３、５、７、９、１９、２１、２２、２４、２５、２６、２８、２９、４０、４１、４５、４７、５４、５８、５９、６０、６４、６５、６６、６７、６８、８１、８３、８８、８９；
Ｃ．Ｉ．ベーシックバイオレット２；
Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド９；
Ｃ．Ｉ．ベーシックグリーン１；等のＣ．Ｉ．ベーシック染料、
Ｃ．Ｉ．リアクティブイエロー２，７６，１１６；
Ｃ．Ｉ．リアクティブオレンジ１６；
Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド３６；等のＣ．Ｉ．リアクティブ染料
Ｃ．Ｉ．モーダントイエロー５、８、１０、１６、２０、２６、３０、３１、３３、４２、４３、４５、５６、６１、６２、６５；
Ｃ．Ｉ．モーダントレッド１、２、３、４、９、１１、１２、１４、１７、１８、１９、２２、２３、２４、２５、２６、２７、２９、３０、３２、３３、３６、３７、３８、３９、４１、４２、４３、４５、４６、４８、５２、５３、５６、６２、６３、７１、７４、７６、７８、８５、８６、８８、９０、９４、９５；
Ｃ．Ｉ．モーダントオレンジ３、４、５、８、１２、１３、１４、２０、２１、２３、２４、２８、２９、３２、３４、３５、３６、３７、４２、４３、４７、４８；
Ｃ．Ｉ．モーダントバイオレット１、１：１、２、３、４、５、６、７、８、１０、１１、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、２４、２７、２８、３０、３１、３２、３３、３６、３７、３９、４０、４１、４４、４５、４７、４８、４９、５３、５８；
Ｃ．Ｉ．モーダントブルー１、２、３、７、８、９、１２、１３、１５、１６、１９、２０、２１、２２、２３、２４、２６、３０、３１、３２、３９、４０、４１、４３、４４、４８、４９、５３、６１、７４、７７、８３、８４；
Ｃ．Ｉ．モーダントグリーン１、３、４、５、１０、１３、１５、１９、２１、２３、２６、２９、３１、３３、３４、３５、４１、４３、５３等のＣ．Ｉ．モーダント染料、
Ｃ．Ｉ．バットグリーン１等のＣ．Ｉ．バット染料等が挙げられる。
これらの染料は、所望するカラーフィルタの分光スペクトルに合わせて適宜選択すればよい。
【０１１６】
染料は、分子内にキサンテン骨格を有する化合物を含むことが好ましい。
【０１１７】
着色剤（Ｆ）の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは５〜６０質量％であり、より好ましくは５〜４５質量％である。着色剤（Ｆ）の含有量が前記の範囲であると、所望する分光や色濃度を得ることができる。
【０１１８】
本発明の感光性樹脂組成物は、界面活性剤を含んでいてよい。界面活性剤としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。界面活性剤を含むことで、塗布時の平坦性が良好になる傾向がある。
【０１１９】
シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＳＨ７ＰＡ、同ＤＣ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同ＳＨ２９ＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、ポリエーテル変性シリコーンオイルＳＨ８４００（東レ・ダウコーニング（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製）等が挙げられる。
【０１２０】
フッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、フロリナート（登録商標）ＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファック（登録商標）Ｆ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０（ＤＩＣ（株）製）、エフトップ（登録商標）ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（三菱マテリアル電子化成（株）製）、サーフロン（登録商標）Ｓ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（旭硝子（株）製）、Ｅ５８４４（ダイキン工業（株）製）等が挙げられる。
【０１２１】
フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、メガファック（登録商標）Ｒ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（ＤＩＣ（株）製）等が挙げられる。好ましくはメガファック（登録商標）Ｆ４７５が挙げられる。
【０１２２】
界面活性剤は、感光性樹脂組成物に対して、好ましくは０．００１〜０.２質量％であり、より好ましくは０.００２〜０．１質量％であり、特に好ましくは０.０１〜０．０５質量％である。界面活性剤をこの範囲で含有することにより、塗膜の平坦性を良好にすることができる。
【０１２３】
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、連鎖移動剤等の種々の添加剤を含んでもよい。
【０１２４】
本発明の感光性樹脂組成物は、バインダー樹脂（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、体質顔料（Ｄ）、溶剤（Ｅ）及び必要により着色剤（Ｆ）やその他の成分を混合することにより得られる。
【０１２５】
また、着色剤（Ｆ）として顔料を混合する場合、例えば、以下の手順で調製することが好ましい。
まず、顔料を予め溶剤（Ｅ）と混合し、顔料の平均粒子径が０．２μｍ以下程度となるまで、ビーズミル等を用いて分散させる。この際、必要に応じて顔料分散剤、バインダー樹脂（Ａ）の一部又は全部を配合してもよい。得られた顔料分散液に、バインダー樹脂（Ａ）の残り、重合性化合物（Ｂ）、重合開始剤（Ｃ）、体質顔料（Ｄ）、及び必要に応じて使用されるその他の成分、さらには必要により追加の溶剤（Ｅ）を、所定の濃度となるように添加し、感光性樹脂組成物を得ることができる。
【０１２６】
本発明の感光性樹脂組成物の基板への塗布方法としては、押し出しコーティング法、ダイレクトグラビアコーティング法、リバースグラビアコーティング法、ＣＡＰコーティング法、ダイコーティング法等が挙げられる。また、ディップコーター、ロールコーター、バーコーター、スピンコーター、スリット＆スピンコーター、スリットコーター（ダイコーター、カーテンフローコーター、スピンレスコーターとも呼ばれることがある）、インクジェット等の塗布装置を用いて塗布してもよい。なかでも、スリットコーター、スピンコーター、ロールコーター等を用いて塗布することが好ましい。
【０１２７】
基板に感光性樹脂組成物を塗布して得られる塗膜の乾燥方法としては、加熱乾燥、自然乾燥、通風乾燥、減圧乾燥等の方法が挙げられる。複数の方法を組み合わせて行ってもよい。
乾燥温度としては、１０〜１２０℃が好ましく、２５〜１００℃がより好ましい。また加熱時間としては、１０秒間〜６０分間であることが好ましく、３０秒間〜３０分間であることがより好ましい。
減圧乾燥は、５０〜１５０Ｐａの圧力下、２０〜２５℃の温度範囲で行うことが好ましい。
塗膜を乾燥して得られる乾燥膜の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができ、通常、０．１〜２０μｍであり、好ましくは１〜６μｍである。
【０１２８】
乾燥膜は、目的のパターンを形成するためのフォトマスクを介して、露光する。この際のフォトマスク上のパターン形状は特に限定されず、目的とする用途に応じたパターン形状が用いられる。なお、重合開始剤（Ｃ）として熱重合開始剤を用いる場合は、露光により乾燥膜が熱せられ、この熱が熱重合開始剤に作用する。
露光に用いられる光源としては、２５０〜４５０ｎｍの波長の光を発生する光源が好ましい。例えば、３５０ｎｍ未満の光を、この波長域をカットするフィルタを用いてカットしたり、４３６ｎｍ付近、４０８ｎｍ付近、３６５ｎｍ付近の光を、これらの波長域を取り出すバンドパスフィルタを用いて選択的に取り出したりしてもよい。光源としては、水銀灯、発光ダイオード、メタルハライドランプ、ハロゲンランプ等が挙げられる。
露光面全体に均一に平行光線を照射したり、マスクと基材との正確な位置合わせを行ったりすることができるため、マスクアライナ、ステッパ等の装置を使用することが好ましい。
【０１２９】
乾燥膜を露光して得られる露光膜を現像液に接触させて所定部分、例えば、未露光部を溶解させ、現像することにより、パターンを得ることができる。現像液としては、有機溶剤を用いることもできるが、露光膜の露光部が現像液によって溶解や膨潤しにくく、良好な形状のパターンを得ることができるため、アルカリ性化合物の水溶液を用いることが好ましい。
現像方法は、パドル法、ディッピング法、スプレー法等のいずれでもよい。さらに現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。
現像後は、水洗することが好ましい。
【０１３０】
前記アルカリ性化合物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニア等の無機アルカリ性化合物；
テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミン等の有機アルカリ性化合物が挙げられる。
中でも、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドが好ましい。
これらの無機及び有機アルカリ性化合物の水溶液中の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％であり、より好ましくは０．０３〜５質量％である。
【０１３１】
前記アルカリ性化合物の水溶液は、界面活性剤を含んでいてもよい。
界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン／オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン等のノニオン系界面活性剤；
ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウム、オレイルアルコール硫酸エステルナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アンモニウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウム等のアニオン系界面活性剤；
ステアリルアミン塩酸塩、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド等のカチオン系界面活性剤等が挙げられる。
アルカリ性化合物の水溶液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％、より好ましくは０．０５〜８質量％、特に好ましくは０．１〜５質量％である。
【０１３２】
上記のように得られたパターンをさらにベークすることにより、熱硬化されたパターンを得ることができる。ベーク温度としては、通常、２５℃以上２３０℃以下、好ましくは２５℃以上２００℃以下、より好ましくは２５℃以上１６０℃以下、さらに好ましくは２５℃以上１２０℃以下である。ベーク時間としては、通常、１〜３００分、好ましくは１〜１８０分、より好ましくは１〜６０分である。
【０１３３】
このようにして得られるパターンは、例えば、液晶表示装置に使用されるフォトスペーサ、パターニング可能なオーバーコート、カラーフィルタとして有用である。また、本発明の感光性樹脂組成物は、液晶表示装置やイメージセンサの画素となる膜又はパターン等を形成するために好適に利用することができ、これらの膜又はパターンをその構成部品の一部として備えるカラーフィルタ、アレイ基板、さらに、これらカラーフィルタ及び／又はアレイ基板等を具備する表示装置、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、固体撮像装置等に利用することができる。
【実施例】
【０１３４】
以下、実施例によって本発明の着色感光性樹脂組成物について、より詳細に説明する。例中の「％」及び「部」は、特記ない限り、質量％及び質量部である。
【０１３５】
＜バインダー樹脂（Ａ１）溶液の合成＞
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計、ガス導入管を備えたフラスコにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６７部、プロピレングリコールモノメチルエーテル３３部を取り、窒素置換しながら攪拌し１２０℃に昇温した。次に、ジシクロペンタニルアクリレート１１部、ベンジルメタクリレート３１部、メタクリル酸２３部からなるモノマー混合物にパーブチルＯをモノマー混合物１００部に対し１部の割合で添加した。これを滴下ロートから２時間かけてフラスコに滴下し、さらに、１２０℃で２時間攪拌し共重合体を得た。次に、フラスコ内を空気置換に替え、グリシジルメタクリレート１０部、トリフェニルホスフィン０．４６部、及びメチルハイドロキノン０．０８部を上記共重合体の溶液中に投入し１２０℃で反応を続け固形分酸価が１５０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇとなったところで反応を終了し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７５部、プロピレングリコールモノメチルエーテル５部を加えることにより、重量平均分子量（Ｍｗ）が３０×１０３であり、酸価が１５０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであるバインダー樹脂（Ａ１）を３０質量％含む溶液を得た。バインダー樹脂（Ａ１）は、以下の構造単位を有するものである。
【０１３６】
2014123116.tif 000027
【０１３７】
＜バインダー樹脂（Ａ２）溶液の合成＞
攪拌装置、滴下ロート、コンデンサー、温度計、ガス導入管を備えたフラスコにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６７部、プロピレングリコールモノメチルエーテル３３部を取り、窒素置換しながら攪拌し１２０℃に昇温した。次に、ジシクロペンタニルアクリレート１０部、ベンジルメタクリレート３４部、メタクリル酸２０部からなるモノマー混合物にパーブチルＯをモノマー混合物１００部に対し１部の割合で添加した。これを滴下ロートから２時間かけてフラスコに滴下し、さらに、１２０℃で２時間攪拌し共重合体を得た。次に、フラスコ内を空気置換に替え、グリシジルメタクリレート１０部、トリフェニルホスフィン０．４４部、及びメチルハイドロキノン０．０８部を上記共重合体の溶液中に投入し１２０℃で反応を続け固形分酸価が１３０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇとなったところで反応を終了し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７４部、プロピレングリコールモノメチルエーテル５部を加えることにより、重量平均分子量（Ｍｗ）が３０×１０３であり、酸価が１３０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであるバインダー樹脂（Ａ２）を３０質量％含む溶液を得た。バインダー樹脂（Ａ２）は、以下の構造単位を有するものである。
【０１３８】
2014123116.tif 000028
【０１３９】
＜バインダー樹脂（Ａ３）溶液の合成＞
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロート及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４１３部を導入した。その後、ガス導入管を通じて窒素ガスをフラスコ内に導入し、フラスコ内雰囲気を窒素ガスに置換し、ベンジルメタクリレート１４４部、ジシクロペンタニルアクリレート３０部、メタクリル酸３５部及びアゾビスイソブチロニトリル５．２部を添加して、１００℃で５時間撹拌した。その後室温まで冷却して、重量平均分子量（Ｍｗ）が１０×１０３であり、酸価が１１０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであるバインダー樹脂（Ａ３）を３３．６質量％含む溶液を得た。樹脂（Ａ３）は、以下の構造単位を有するものである。
【０１４０】
2014123116.tif 000029
【０１４１】
＜バインダー樹脂（Ａ４）溶液の合成＞
還流冷却器、滴下ロート及び攪拌機を備えた１Ｌのフラスコ内に窒素を適量流し窒素雰囲気に置換し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３７１部を入れ、攪拌しながら８５℃まで加熱した。次いで、アクリル酸５４部、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２，６］デカン−８−イルアクリレート及び３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２，６］デカン−９−イルアクリレートの混合物２２５部、ビニルトルエン（異性体混合物）８１部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート８０部の混合溶液を４時間かけて滴下した。一方、重合開始剤２，２−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３０部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１６０部に溶解した溶液を５時間かけて滴下した。開始剤溶液の滴下終了後、４時間同温度で保持した後、室温まで冷却して、重量平均分子量（Ｍｗ）が１０×１０３であり酸価が１１５ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであるバインダー樹脂（Ａ４）を３７．５質量％含み、Ｂ型粘度（２３℃）が２４６ｍＰａｓである溶液を得た。バインダー樹脂（Ａ４）は、以下の構造単位を有するものである。
【０１４２】
2014123116.tif 000030
【０１４３】
合成例で得られた樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）の測定は、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で行なった。
装置：Ｋ２４７９（（株）島津製作所製）
カラム：ＳＨＩＭＡＤＺＵ  Ｓｈｉｍ−ｐａｃｋ  ＧＰＣ−８０Ｍ
カラム温度：４０℃
溶媒：ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）
流速：１．０ｍＬ／ｍｉｎ
検出器：ＲＩ
【０１４４】
＜式（Ｆ１）で表される化合物の合成＞
式（ＩＶ―１）で表される化合物４０．５部と２，６−キシリジン（東京化成（株）製）６０．５部とを遮光条件下混合し、Ｎ−メチルピリドン２００部中、１５０℃で８時間攪拌した。得られた反応液を室温まで冷却後、水１２００部、３５％塩酸７５部の混合液中に添加し室温で１時間攪拌したところ、結晶が析出した。析出した結晶を吸引濾過の残渣として取得しメタノール１００部にて洗浄後、６０℃で１晩減圧乾燥し、式（ＩＶ−２）で表される化合物４９部を得た。収率は８５％であった。
【０１４５】
2014123116.tif 000031
【０１４６】
次いで、式（ＩＶ−２）で表される化合物２８．８部と、１−ブロモプロパン２１．６部及び炭酸カリウム２４．２部をＮ−メチルピリドン１４４部中に加え、９０℃で４時間攪拌した。得られた反応液を室温まで冷却後に濃縮し、水５６０部中に添加し１０〜１５℃で１時間攪拌したところ、結晶が析出した。生じた結晶を吸引濾過の残渣として取得後乾燥し、イオン交換水１０００部で洗浄後、６０℃で１晩減圧乾燥し、式（Ｆ１）で表される化合物３０．０部を得た。収率は９１％であった。
【０１４７】
2014123116.tif 000032
【０１４８】
式（Ｆ１）で表される化合物の同定
（質量分析）イオン化モード＝ＥＳＩ＋：  ｍ／ｚ＝［Ｍ＋Ｈ］＋６５９．３
Ｅｘａｃｔ  Ｍａｓｓ：  ６５８．３
【０１４９】
実施例１
〔感光性樹脂組成物１の調製〕
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２                      １５部、
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７                      ２０部、
アクリル系顔料分散剤                                              １４部、
バインダー樹脂（Ａ１）溶液                                    ３３．３部
（バインダー樹脂（Ａ１）                                          １０部）、及び
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    １９１部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液；
バインダー樹脂（Ａ１）溶液                                      ２５４部
（バインダー樹脂（Ａ１）                                      ７６．２部）；
重合性化合物（Ｂ）：グリセロール１，３−ジグリセロレートジアクリレート
（ＧＤＤＡ；Ａｌｄｒｉｃｈ社製）                                  ３７部；
重合開始剤（Ｃ）：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン
（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ−０１；ＢＡＳＦジャパン（株）製）
３．７部；
重合開始剤（Ｃ）：ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（イルガキュア（登録商標）８１９；ＢＡＳＦジャパン（株）製）    ７．４部；
重合開始助剤（Ｃ）：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）  ＤＥＴＸ−Ｓ；日本化薬（株）製）３．７部；
体質顔料（Ｄ）分散液：ＰＭＡ−ＳＴ；日産化学（株）製
（酸化ケイ素３０質量％、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート６９．５質量％及びメタノール０．５質量％）（以下同じ）                    ４１部；
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ３９８部；並びに
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）    ０．５部
を混合して感光性樹脂組成物１を得た。
得られた感光性樹脂組成物１中の全溶剤（Ｅ）に占めるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶剤（Ｅ１））の割合は９３．３質量％であり、プロピレングリコールモノメチルエーテル（溶剤（Ｅ２））の割合は６．７質量％であった。また、バインダー樹脂（Ａ１）と重合性化合物（Ｂ）の質量比率（バインダー樹脂（Ａ１）／重合性化合物（Ｂ））は７０／３０であった。
【０１５０】
実施例２
〔感光性樹脂組成物２の調製〕
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８                      ４３部、
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８                    ２４部、
アクリル系顔料分散剤                                              １２部、
バインダー樹脂（Ａ１）溶液                                    ８６．７部
（バインダー樹脂（Ａ１）                                          ２６部）、及び
溶剤（Ｅ）プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート      ３９０部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液；
バインダー樹脂（Ａ１）溶液                                      １１７部
（バインダー樹脂（Ａ１）                                      ３５．１部）；
重合性化合物（Ｂ）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）        ４１部；
重合開始剤（Ｃ）：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン
（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ−０１；ＢＡＳＦジャパン（株）製）
１０部；
重合開始剤（Ｃ）：ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスシンオキサイド
（イルガキュア（登録商標）８１９；ＢＡＳＦジャパン（株）製）    ８．１部；
重合開始助剤（Ｃ）：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）ＤＥＴＸ−Ｓ；日本化薬（株）製）    １０部；
体質顔料（Ｄ）：分散液：ＰＭＡ−ＳＴ；日産化学（株）製            ３４部；
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ３０７部；並びに
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）    ０．５部
を混合して感光性樹脂組成物２を得た。
得られた感光性樹脂組成物２中の全溶剤（Ｅ）に占めるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶剤（Ｅ１））の割合は９６．９質量％であり、プロピレングリコールモノメチルエーテル（溶剤（Ｅ２））の割合は３．１質量％であった。また、バインダー樹脂（Ａ１）と重合性化合物（Ｂ）の質量比率（バインダー樹脂（Ａ１）／重合性化合物（Ｂ））は６０／４０であった。
【０１５１】
実施例３
〔感光性樹脂組成物３の調製〕
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                    ２７部、
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３                ０．５部、
アクリル系顔料分散剤                                              １０部、
バインダー樹脂（Ａ１）溶液                                    ２７．７部
（バインダー樹脂（Ａ１）                                        ８．３部）、及び
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    １４０部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液；
バインダー樹脂（Ａ１）溶液                                      ２２７部
（バインダー樹脂（Ａ１）                                      ６８．１部）；
重合性化合物（Ｂ）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）        ３２部；
重合開始剤（Ｃ）：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン
（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ−０１；ＢＡＳＦジャパン（株）製）
５．４部；
重合開始剤（Ｃ）：ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（イルガキュア（登録商標）８１９；ＢＡＳＦジャパン（株）製）    ８．６部；
重合開始助剤（Ｃ）：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）ＤＥＴＸ−Ｓ；日本化薬（株）製）  ４．３部；
体質顔料（Ｄ）分散液：ＰＭＡ−ＳＴ；日産化学（株）製              ３６部；
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ４９７部；並びに
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）    ０．５部
を混合して感光性樹脂組成物３を得た。
得られた感光性樹脂組成物３中の全溶剤（Ｅ）に占めるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶剤（Ｅ１））の割合は９４．２質量％であり、プロピレングリコールモノメチルエーテル（溶剤（Ｅ２））の割合は５．８質量％であった。また、バインダー樹脂（Ａ１）と重合性化合物（Ｂ）の質量比率（バインダー樹脂（Ａ１）／重合性化合物（Ｂ））は７０／３０であった。
【０１５２】
実施例４
〔感光性樹脂組成物４の調製〕
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                    ２７部、
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３                ０．５部、
アクリル系顔料分散剤                                              １０部、
バインダー樹脂（Ａ２）溶液                                    ２４．７部
（バインダー樹脂（Ａ２）                                        ７．４部）、及び
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    １４０部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液；
バインダー樹脂（Ａ２）溶液                                      １９１部
（バインダー樹脂（Ａ２）                                      ５７．３部）；
重合性化合物（Ｂ）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）        ４３部；
重合開始剤（Ｃ）：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン
（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ−０１；ＢＡＳＦジャパン（株）製）
５．４部；
重合開始剤（Ｃ）：ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（イルガキュア（登録商標）８１９；ＢＡＳＦジャパン（株）製）    ８．６部；
重合開始助剤（Ｃ）：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）ＤＥＴＸ−Ｓ；日本化薬（株）製）  ４．３部；
体質顔料（Ｄ）分散液：ＰＭＡ−ＳＴ；日産化学（株）製              ３６部；
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ５３０部；並びに
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）    ０．５部
を混合して感光性樹脂組成物４を得た。
得られた感光性樹脂組成物中の全溶剤（Ｅ）に占めるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶剤（Ｅ１））の割合は９５．１質量％であり、プロピレングリコールモノメチルエーテル（溶剤（Ｅ２））の割合は４．９質量％であった。また、バインダー樹脂（Ａ２）と重合性化合物（Ｂ）の質量比率（バインダー樹脂（Ａ２）／重合性化合物（Ｂ））は６０／４０であった。
【０１５３】
実施例５
〔感光性樹脂組成物５の調製〕
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                    ２７部、
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３                ０．５部、
アクリル系顔料分散剤                                              １０部、
バインダー樹脂（Ａ１）溶液                                    ２４．７部
（バインダー樹脂（Ａ１）                                        ７．４部）、及び
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    １４０部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液；
バインダー樹脂（Ａ１）溶液                                      ２４５部
（バインダー樹脂（Ａ１）                                      ７３．５部）；
重合性化合物（Ｂ）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）        ２７部；
重合開始剤（Ｃ）：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン
（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ−０１；ＢＡＳＦジャパン（株）製）
５．４部；
重合開始剤（Ｃ）：ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（イルガキュア（登録商標）８１９；ＢＡＳＦジャパン（株）製）    ８．６部；
重合開始助剤（Ｃ）：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）ＤＥＴＸ−Ｓ；日本化薬（株）製）  ４．３部；
体質顔料（Ｄ）分散液：ＰＭＡ−ＳＴ；日産化学（株）製              ３６部；
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ４９４部；並びに
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）    ０．５部
を混合して感光性樹脂組成物５を得た。
得られた感光性樹脂組成物中の全溶剤（Ｅ）に占めるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶剤（Ｅ１））の割合は９３．８質量％であり、プロピレングリコールモノメチルエーテル（溶剤（Ｅ２））の割合は６．２質量％であった。また、バインダー樹脂（Ａ１）と重合性化合物（Ｂ）の質量比率（バインダー樹脂（Ａ１）／重合性化合物（Ｂ））は７５／２５であった。
【０１５４】
実施例６
〔感光性樹脂組成物６の調製〕
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                    ２７部、
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３                ０．５部、
アクリル系顔料分散剤                                              １０部、
バインダー樹脂（Ａ１）溶液                                    ２７．７部
（バインダー樹脂（Ａ１）                                        ８．３部）、及び
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    １４０部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液；
バインダー樹脂（Ａ１）溶液                                      ２２７部
（バインダー樹脂（Ａ１）                                      ６８．１部）；
重合性化合物（Ｂ）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）        ３２部；
重合開始剤（Ｃ）：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン
（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ−０１；ＢＡＳＦジャパン（株）製）
５．８部；
重合開始剤（Ｃ）：ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド
（イルガキュア（登録商標）８１９；ＢＡＳＦジャパン（株）製）    ９．４部；
重合開始助剤（Ｃ）：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）ＤＥＴＸ−Ｓ；日本化薬（株）製）  ４．７部；
体質顔料（Ｄ）分散液：ＰＭＡ−ＳＴ；日産化学（株）製              ３６部；
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテル              １９０部
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ３１７部；並びに
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）    ０．５部
を混合して感光性樹脂組成物６を得た。
得られた感光性樹脂組成物６中の全溶剤（Ｅ）に占めるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶剤（Ｅ１））の割合は７１．２質量％であり、プロピレングリコールモノメチルエーテル（溶剤（Ｅ２））の割合は２８．９質量％であった。また、バインダー樹脂（Ａ１）と重合性化合物（Ｂ）の質量比率（バインダー樹脂（Ａ１）／重合性化合物（Ｂ））は７０／３０であった。
【０１５５】
比較例１
〔感光性樹脂組成物７の調製〕
特開２０１１−２２１３１０号公報実施例１に沿って感光性樹脂組成物７を得た。
【０１５６】
実施例７
〔感光性樹脂組成物８の調製〕
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                    ２６部、
着色剤（Ｆ）：式（Ｆ１）で表される化合物                        ６．４部、
アクリル系顔料分散剤                                            ９．０部、
バインダー樹脂（Ａ４）溶液                                    ２６．７部
（バインダー樹脂（Ａ４）                                          １０部）、
溶剤（Ｅ）：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン            ３１部、及び
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ２８２部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液；
バインダー樹脂（Ａ３）溶液                                      １０８部
（バインダー樹脂（Ａ３）                                      ３６．３部）；
重合性化合物（Ｂ）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）        ４７部；
重合開始剤（Ｃ）：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン
（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ−０１；ＢＡＳＦジャパン（株）製）
９．３部；
重合開始剤（Ｃ）：２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン
（イルガキュア９０７；ＢＡＳＦジャパン（株）製〕                １．９部；
重合開始助剤（Ｃ）：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）ＤＥＴＸ−Ｓ；日本化薬（株）製）  ５．６部；
体質顔料（Ｄ）分散液：ＰＭＡ−ＳＴ；日産化学（株）製              ３７部；
溶剤（Ｅ）：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン          １６８部
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ２６０部；並びに
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）    ０．１部
を混合して感光性樹脂組成物８を得た。
得られた感光性樹脂組成物８中の全溶剤（Ｅ）に占めるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶剤（Ｅ１））の割合は７５．７質量％であり、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン（溶剤（Ｅ２））の割合は２４．３質量％であった。また、バインダー樹脂（Ａ３）とバインダー樹脂（Ａ４）と重合性化合物（Ｂ）の質量比率（バインダー樹脂（Ａ３）／バインダー樹脂（Ａ４）／重合性化合物（Ｂ））は１１／３９／５０であった。
【０１５７】
実施例８
〔感光性樹脂組成物９の調製〕
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                    ２６部、
着色剤（Ｆ）：式（Ｆ１）で表される化合物                        ６．４部、
アクリル系顔料分散剤                                            ９．０部、
バインダー樹脂（Ａ４）溶液                                    ２６．７部
（バインダー樹脂（Ａ４）                                          １０部）、
溶剤（Ｅ）：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン            ３１部及び
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ２８２部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液；
バインダー樹脂（Ａ４）溶液                                        ９７部
（バインダー樹脂（Ａ４）                                      ３６．４部）；
重合性化合物（Ｂ）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）        ４７部；
重合開始剤（Ｃ）：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン
（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ−０１；ＢＡＳＦジャパン（株）製）
９．３部；
重合開始剤（Ｃ）：２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン
（イルガキュア９０７；ＢＡＳＦジャパン（株）製）                １．９部；
重合開始助剤（Ｃ）：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）ＤＥＴＸ−Ｓ；日本化薬（株）製）  ５．６部；
体質顔料（Ｄ）分散液：ＰＭＡ−ＳＴ；日産化学（株）製              ３７部；
溶剤（Ｅ）：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン          １６８部
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ２７２部；並びに
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）    ０．１部
を混合して感光性樹脂組成物９を得た。
得られた感光性樹脂組成物９中の全溶剤（Ｅ）に占めるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶剤（Ｅ１））の割合は７５．７質量％であり、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン（溶剤（Ｅ２））の割合は２４．３質量％であった。また、バインダー樹脂（Ａ４）と重合性化合物（Ｂ）の質量比率（バインダー樹脂（Ａ４）／重合性化合物（Ｂ））は５０／５０であった。
【０１５８】
比較例２
〔感光性樹脂組成物１０の調製〕
着色剤（Ｆ）：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                    ２６部、
着色剤（Ｆ）：式（Ｆ１）で表される化合物                        ６．４部、
アクリル系顔料分散剤                                            ４．３部、
バインダー樹脂（Ａ４）溶液                                        ３２部
（バインダー樹脂（Ａ４）                                          １２部）、
溶剤（Ｅ）：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン            ２９部及び
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ２４３部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた顔料分散液；
バインダー樹脂（Ａ４）溶液                                      １２１部
（バインダー樹脂（Ａ４）                                      ４５．４部）；
重合性化合物（Ｂ）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）        ５２部；
重合開始剤（Ｃ）：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン
（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ−０１；ＢＡＳＦジャパン（株）製）
１１部；
重合開始剤（Ｃ）：２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン
（イルガキュア９０７；ＢＡＳＦジャパン（株）製〕                ２．１部；
重合開始助剤（Ｃ）：ジエチルチオキサントン
（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）ＤＥＴＸ−Ｓ；日本化薬（株）製）  ６．３部；
溶剤（Ｅ）：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン          １６８部
溶剤（Ｅ）：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ３２０部；並びに
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル
（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）    ０．１部
を混合して感光性樹脂組成物１０を得た。
得られた感光性樹脂組成物１０中の全溶剤（Ｅ）に占めるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶剤（Ｅ１））の割合は７５．８質量％であり、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン（溶剤（Ｅ２））の割合は２４．２質量％であった。また、バインダー樹脂（Ａ４）と重合性化合物（Ｂ）の質量比率（バインダー樹脂（Ａ４）／重合性化合物（Ｂ））は５０／５０であった。
【０１５９】
＜パターンの作製＞
２インチ角のガラス基板上に、感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、１００℃で３分間プリベークして乾燥膜を形成した。放冷後、前記基板上に形成された乾燥膜に、この乾燥膜との間隔が１００μｍになるように配置された石英ガラス製フォトマスクを介して、露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ；トプコン（株）製）を用いて、大気雰囲気下、５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量（３６５ｎｍ基準）で光照射した。フォトマスクとしては、５０μｍラインアンドスペースパターンが形成されたものを使用した。光照射後、得られた露光膜を、非イオン系界面活性剤０．１２％と炭酸ナトリウム２％を含む水系現像液に２４℃で６０秒間浸漬現像し、水洗後、オーブン中、２３０℃で３０分間ポストベークを行い、パターンを得た。
【０１６０】
＜解像度評価＞
得られたパターンをレーザー顕微鏡（Ａｘｉｏ  Ｉｍａｇｅｒ  ＭＡＴ  カールツァイス社製）にて観察し、解像している最小寸法を解像度とした。解像度が高いほど、高精細なカラーフィルタの製造に用いることができる。
【０１６１】
＜現像ムラ評価＞
得られたパターンをレーザー顕微鏡（Ａｘｉｏ  Ｉｍａｇｅｒ  ＭＡＴ  カールツァイス社製）にて観察し、パターン上に水シミがないものを○（現像ムラが見られない）、水シミがあるものを×（現像ムラが見られる）として評価した。現像ムラが見られる場合、カラーフィルタの製造に用いる際に、色ムラが生じる。
【０１６２】
＜耐溶剤性評価＞
前記基板上に形成されたパターンにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを１ｍｌ滴下し、３０秒間静止した後、スピンコーターを用いて回転数１０００ｒｐｍで１０秒間回転させ、パターン上のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを振り切った。
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの接触前後に測定した膜厚値から下記式に従って膜厚保持率を計算した。膜厚保持率が高いほど硬化性が良好であり、カラーフィルタの製造に用いる際に、混色を防ぐことができ、現像ムラが改善される。
（膜厚保持率）（％）＝（接触後の膜厚）／（接触前の膜厚）
【０１６３】
＜全面露光現像膜の作製＞
２インチ角のガラス板上にＰＥＴフィルム（東レ製ルミラー７５−Ｔ６０）を貼合して基板を作製した。基板のＰＥＴフィルム側に、感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、ホットプレート上、８０℃で２分間プリベークした。放冷後、前記基板上に形成された乾燥膜の全面に、露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ；トプコン（株）製）を用いて、大気雰囲気下、１５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量（３６５ｎｍ基準）で光照射した。光照射後、非イオン系界面活性剤０．１２％と水酸化カリウム０．０４％とを含む水系現像液に、２３℃で５０秒間浸漬して現像し、純水で洗浄することにより、全面露光現像膜を得た。得られた全面露光現像膜を、膜厚測定装置（ＤＥＫＴＡＫ３；（株）アルバック製）を用いて測定したところ、２μｍであった。
【０１６４】
＜クロスカット試験＞
得られた全面露光現像膜について、ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−６に準じたテープ剥離試験（クロスカット試験）を行い、ＰＥＴフィルムとの密着性を評価した。結果を表１に示す。
【０１６５】
＜鉛筆硬度＞
得られた全面露光現像膜について、ＪＩＳ−Ｋ５４００に準じた鉛筆硬度の測定を、鉛筆引っかき硬度試験機（株式会社安田精機製作所製）を用いて行った。なお、荷重は１，０００ｇとした。
【０１６６】
＜タック性評価＞
５ｃｍ角ＰＥＴフィルム（東レ（株）製ルミラー７５−Ｔ６０）に、感光性樹脂組成物をフィルムアプリケーター（太佑機材（株）製ＡＰ７５）を用いて塗布し、ホットプレート上、８０℃で２分間プリベークした。放冷後、前記５ｃｍ角ＰＥＴフィルム上に形成された乾燥膜に、別の５ｃｍ角ＰＥＴフィルム（東レ（株）製ルミラー７５−Ｔ６０）を押し付けた後、この押し付けたＰＥＴフィルムを剥がした。乾燥膜にムラがなく、さらに剥がしたＰＥＴフィルムに転写がないものを○（タック性が見られない）、乾燥膜にムラがあり、さらに剥がしたＰＥＴフィルムに転写があるものを×（タック性が見られる）として評価した。タック性が見られる場合、カラーフィルタの製造に用いる際に、色ムラが生じる。
【０１６７】
【表１】
2014123116.tif 000033
【産業上の利用可能性】
【０１６８】
本発明によれば、満足し得る低タック性を有する乾燥膜を与え、かつ、満足し得る硬度を有するパターンを与える感光性樹脂組成物を提供することが可能となる。
本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、現像ムラが改善された解像度の高いパターンが得られる。本発明により得られるパターンは、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置、電子ペーパー表示装置等に用いる表示用カラーフィルタとして有用である。