(57)【要約】      （修正有）【課題】ウェーハ収納容器を平置きあるいは縦置きとして収納する場合でも対応できる緩衝体を備える梱包体を提供する。【解決手段】１または複数のウェーハ収納容器を梱包する梱包体であって、前記ウェーハ収納容器を振動から保護する緩衝体を備え、前記緩衝体は、外周壁３１と、前記外周壁３１に囲まれ、前記ウェーハ収納容器の第１面部を収納可能に形成された第１収納凹部３２と、前記第１収納凹部内に形成され、前記第１収納凹部３２に収納された前記ウェーハ収納容器を支持する支持部と、前記外周壁３１に囲まれ、前記支持部を間にして複数形成され、前記ウェーハ収納容器の前記第１面部に隣接する第２面部を収納可能に形成された第２収納凹部３３と、を備える。【選択図】図２
2014213899.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１または複数のウェーハ収納容器を梱包する梱包体であって、
前記ウェーハ収納容器を振動から保護する緩衝体を備え、
前記緩衝体は、
外周壁と、
前記外周壁に囲まれ、前記ウェーハ収納容器の第１面部を収納可能に形成された第１収納凹部と、
前記第１収納凹部内に形成され、前記第１収納凹部に収納された前記ウェーハ収納容器を支持する支持部と、
前記外周壁に囲まれ、前記支持部を間にして複数形成され、前記ウェーハ収納容器の前記第１面部に隣接する第２面部を収納可能に形成された第２収納凹部と、
を備えることを特徴とする梱包体。
【請求項２】
前記第１収納凹部は、前記ウェーハ収納容器をそれに内蔵されるウェーハが水平状態になるように収納し、
前記第２収納凹部は、前記ウェーハ収納容器をそれに内蔵されるウェーハが垂直状態になるように収納する、
ことを特徴とする請求項１に記載の梱包体。
【請求項３】
前記支持部は、
隣接される前記第２収納凹部の間に形成される第１支持部と、
前記第１支持部の長手方向と交差する方向に延在する第２支持部と、
を有することを特徴とする請求項１、２のいずれかに記載の梱包体。
【請求項４】
前記第１支持部は、隣接する前記第２収納凹部を区画するリブで形成され、
前記第２支持部は、前記外周壁の内周面に設けられた棚部によって形成されている、
ことを特徴とする請求項３に記載の梱包体。
【請求項５】
前記外周壁は、前記棚部と対向する内周面に、前記ウェーハ収納容器を前記棚部に載置させるための位置決め突起を有する、
ことを特徴とする請求項４に記載の梱包体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は梱包体に係り、特に、ウェーハ収納容器を梱包する梱包体に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の梱包体は、たとえば特許文献１ないし３に開示されたものが知られている。
特許文献１は、基板収納容器をその上下部において緩衝体を介して包装箱に収納した構成の梱包体の記載がある。各緩衝体の基板収納容器と対向する面は該基板収納容器と嵌合できる凹凸面が形成されている。
特許文献２は、ウェーハ容器をその上下部において緩衝体を介して外装箱に収納した構成の記載がある。各緩衝体の外装箱に対向する面は環状の緩衝突起が形成されている。
特許文献３は、ウェーハ用カセットケースをその上下部において緩衝部材を介して段ボール箱に収納した構成の記載がある。各緩衝体の段ボール箱に対向する面には複数の衝撃吸収ブロックが形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１３７４５４号公報
【特許文献２】特開２００４−１６８３２４号公報
【特許文献３】特開２００８−９４４１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した特許文献１ないし３に開示される緩衝体（緩衝部材）は、いずれも、収納するウェーハ収納容器等の当接面の形状に合わせて凹凸を設けたものであり、特定された種類の緩衝体に対して、ウェーハ収納容器等の梱包の態様（梱包方向）が特定されていた。
ここで、ウェーハ収納容器は、いわゆる平置きの場合、収納される半導体ウェーハは水平状態にして垂直方向に多数配置されるようになっているが、各半導体ウェーハの撓みが生じてしまうのを回避するため、いわゆる縦置きにし、収納される各半導体ウェーハを垂直状態にしておく場合が往々にしてある。
この場合、緩衝体を、平置き用のウェーハ収納容器に対応するようにして形成した場合、ウェーハ収納容器を縦置きにして収納させたい場合において、該緩衝体を使用できず、他に、縦置き用に形成した緩衝体を予め用意しておかなければならないという不都合を生じる。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ウェーハ収納容器を平置きあるいは縦置きとして収納する場合でも対応できる緩衝体を備える梱包体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下の構成によって把握される。
（１）本発明の梱包体は、１または複数のウェーハ収納容器を梱包する梱包体であって、前記ウェーハ収納容器を振動から保護する緩衝体を備え、前記緩衝体は、外周壁と、前記外周壁に囲まれ、前記ウェーハ収納容器の第１面部を収納可能に形成された第１収納凹部と、前記第１収納凹部内に形成され、前記第１収納凹部に収納された前記ウェーハ収納容器を支持する支持部と、前記外周壁に囲まれ、前記支持部を間にして複数形成され、前記ウェーハ収納容器の前記第１面部に隣接する第２面部を収納可能に形成された第２収納凹部と、を備えることを特徴とする。
（２）本発明の梱包体は、（１）の構成において、前記第１収納凹部は、前記ウェーハ収納容器をそれに内蔵されるウェーハが水平状態になるように収納し、前記第２収納凹部は、前記ウェーハ収納容器をそれに内蔵されるウェーハが垂直状態になるように収納する、ことを特徴とする。
（３）本発明の梱包体は、（１）、（２）のいずれかの構成において、前記支持部は、隣接される前記第２収納凹部の間に形成される第１支持部と、前記第１支持部の長手方向と交差する方向に延在する第２支持部と、を有することを特徴とする。
（４）本発明の梱包体は、（３）の構成において、前記第１支持部は、隣接する前記第２収納凹部を区画するリブで形成され、前記第２支持部は、前記外周壁の内周面に設けられた棚部によって形成されている、ことを特徴とする。
（５）本発明の梱包体は、（４）の構成において、前記外周壁は、前記棚部と対向する内周面に、前記ウェーハ収納容器を前記棚部に載置させるための位置決め突起を有する、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
このように構成した梱包体によれば、ウェーハ収納容器を平置きあるいは縦置きとして収納する場合でも充分に対応することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の梱包体の構成図で、ウェーハ収納容器をいわゆる平置きの状態で収納させた場合の断面図である。
【図２】本発明の梱包体に具備される緩衝体の構成図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線における断面図、（ｃ）は（ａ）のｃ−ｃ線における断面図である。
【図３】本発明の梱包体に収納されるウェーハ収納容器の構成図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図４】本発明の梱包体の構成図で、ウェーハ収納容器をいわゆる縦置きの状態で収納させた場合の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
（実施形態１）
図１は、本発明の梱包体を示した断面図で、ウェーハ収納容器が収納された状態を示している。
図１において、ウェーハ収納容器１０は、包装箱２０内の底面に配置される第１緩衝体３０１と包装箱２０内の上面に配置される第２緩衝体３０２とで挟持されるように配置されている。
【００１０】
包装箱２０は、たとえば、段ボールあるいは樹脂等で構成されている。第１緩衝体３０１、第２緩衝体３０２は、たとえば、ポリプロピレンなどポリオレフィン系樹脂からなる樹脂シートの加熱・真空成形法により製造されたものが用いられる。第１緩衝体３０１、第２緩衝体３０２は、それぞれ、ウェーハ収納容器１０に当接する面において凹凸部５１、５２が形成され、これら第１緩衝体３０１、第２緩衝体３０２の緩衝性能は該凹凸部５１、５２が衝撃時に撓みあるいは凹むことによって発揮されるようになっている。
【００１１】
ウェーハ収納容器１０は、図１の場合において、いわゆる平置きの状態で包装箱２０内に収納されている。
ここで、図３（ａ）、（ｂ）を用いて、ウェーハ収納容器１０の構成について概略的に説明する。図３（ａ）、（ｂ）に示すウェーハ収納容器１０は平置きの状態で描いている。
図３（ａ）に示すように、ウェーハ収納容器１０は、有底円筒状の容器本体１０Ａと、この容器本体１０Ａに被せられる蓋体１０Ｂとの組み合わせによって構成されている。
【００１２】
容器本体１０Ａは、正方形の板状の基底部１１の中央に容器円筒部１２が突出され、この容器円筒部１２には、その先端から基端に達するスリット１３が周方向に沿って所定の幅で複数形成されている。蓋体１０Ｂは、容器本体１０Ａの基底部１１の一辺とほぼ同じ辺を有する正四角柱状をなし、蓋体円筒部１４と、この蓋体円筒部１４に外接する角筒部１５とを有する。蓋体円筒部１４は、容器本体１０Ａの容器円筒部１２を覆い、その下端は容器本体１０Ａの基底部１１の上面に着座されるようになっている。なお、容器本体１０Ａ、蓋体１０Ｂは、たとえば、導電性フィラーを添加した導電性プラスチック、あるいはポリマーアロイ処理した導電性プラスチックを素材としている。
【００１３】
図３（ｂ）は、図３（ａ）のｂ−ｂ線における断面図を示し、収納される半導体ウェーハＷ等をも併せて描いている。
図３（ｂ）に示すように、半導体ウェーハＷは、その上下面にスペーサシート１６で挟んでトレー１７内に収容され、それぞれ半導体ウェーハＷを収容したトレー１７、１７、…は、多段に積み重ねられて配置されている。また、半導体ウェーハＷを収容したトレー１７、１７、…の積層体は、容器本体１０Ａ側に配置されたクッション１８と蓋体１０Ｂ側に配置されたクッション１９よって挟持され、半導体ウェーハＷは、これらクッション１８、１９によって、重量あるいは締め付け力による破損から保護されるようになっている。
【００１４】
図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、第１緩衝体３０１の構成を示す構成図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線における断面図、（ｃ）は（ａ）のｃ−ｃ線における断面図である。なお、第２緩衝体３０２は、第１緩衝体３０１と同様の構成からなっていて、第１緩衝体３０１を１８０°反転させて使用することができる。なお、第２緩衝体３０２の凹凸部５２は、第１緩衝体３０１の凹凸部５１と別形状とすることもできる。
上述したように、第１緩衝体３０１は、たとえば、樹脂シートの加熱・真空成形法により製造されるようになっている。
【００１５】
第１緩衝体３０１は、平面視でたとえば正方形をなし、その周辺に沿って突起部からなる外周壁３１が形成されている。
第１緩衝体３０１の外周壁３１の形成によって、該外周壁３１に囲まれる領域には奥行方向（図２（ａ）、（ｂ）中α方向）に、順次、第１収納凹部３２、第２収納凹部３３が形成されるようになっている。
【００１６】
すなわち、第１緩衝体３０１の外周壁３１に囲まれる領域を一方向（たとえば図中β方向）へたとえば３等分に区分けする複数の突起部（リブ）からなる第１支持部３４を形成し、該第１支持部３４の高さｈを外周壁の高さＨ（＞ｈ）よりも小さく形成する（図２（ｃ）参照）ことによって、外周壁３１の頂部から第１支持部３４の頂部までの領域において第１収納凹部３２が形成され、第１支持部３４の頂部から第１緩衝体３０１の底面までの領域において該第１支持部３４によって区分けされた３個の第２収納凹部３３が形成されるようになっている。
また、第１支持部３４のそれぞれの一端側の外周壁３１の壁面にはその周方向に延在して棚部３５が形成され、この棚部は、その高さが第１支持部３４の高さｈと同じとなることにより、第２支持部３６として機能するようになっている。この場合、第２支持部３６は第１支持部３４に対して交差する方向に延在して形成されるようになる。
【００１７】
第１支持部３４、第２支持部３６は、ともに第１収納凹部３２に収納されるウェーハ収納容器（平置き状態の）１０を支持できるようになっており、第１支持部３４のみでウェーハ収納容器１０を支持する場合に比べて、第２支持部３６と併せて支持させることにより、その支持の信頼性を向上させるようになっている。なお、平置き状態のウェーハ収納容器１０は、それに内蔵される半導体ウェーハＷが水平状態に配置されるようになっている。
また、外周壁３１には、前記棚部３５対向する内周面（壁面）に、前記ウェーハ収納容器１０を前記棚部３５に載置させるための位置決め突起３７が第１支持部３４の長手方向に突出して形成されている。これにより、第１収納凹部３２に収納されるウェーハ収納容器１０は、第２支持部３６である棚部３５に確実に載置でき、第１支持部３４とともに支持されるようになる。位置決め突起３７がない場合は、第１収納凹部３２と同じ幅の第２収納凹部３３を形成する関係から、第１収納凹部３２にウェーハ収納容器１０を搭載した時のガタツキが大きくなる他、第１支持部３４でのみウェーハ収納容器１０を支持することも生じるので、負荷が大きくなってウェーハ収納容器１０を安定的に支持することができなくなる。そのため、位置決め突起３７により第１収納凹部３２の中心（図中Ｏ）を、第２収納凹部３３の中心（図中Ｏ’）から変位した位置になるようにずらすことで、第１支持部３４と第２支持部３６とで、ウェーハ収納容器１０を支持することが可能となる。
【００１８】
図４は、図１に対応する図であり、ウェーハ収納容器１０がいわゆる縦置き状態で３個収納されている場合を示している。
この場合、第１緩衝体３０１、第２緩衝体３０２は、図１に示したものと同様のものを用い、包装箱２０’は、図１に示した包装箱２０よりも高さの大きいものを使用している。ウェーハ収納容器１０を縦置き状態とした場合の高さ寸法に対応させるためである。なお、縦置き状態のウェーハ収納容器１０は、それに内蔵される半導体ウェーハＷが垂直状態に配置されるようになっている。
各ウェーハ収納容器１０は、図４に示すように、第１緩衝体３０１、第２緩衝体３０２の第２収納凹部３３に収納されるようになっている。
【００１９】
このように構成した梱包体は、その緩衝体３０１、３０２が、ウェーハ収納容器１０の第１面部（比較的広い面積を有する）を収納可能に形成された第１収納凹部３２と、ウェーハ収納容器１０の該第１面部に隣接する第２面部（比較的狭い面積を有する）を収納可能に形成された第２収納凹部３３と、が形成されていることから、ウェーハ収納容器１０を平置きあるいは縦置きとして収納する場合でも充分に対応することができるようになる。
【００２０】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。例えば、第１緩衝体３０１、第２緩衝体３０２に設けられる凹凸部５１、５２は外周壁の下端部より上方に位置するように形成し、梱包装箱２０の相対向する面との間にギャップを設けることができるし、さらに包装箱と相対向する面に緩衝用の段部を設けることができる。これらの場合は、緩衝性能をさらに向上させることができる。
第１支持リブ３４、第２支持リブ３６は、それぞれ連続する1本のリブや１つの棚として記載したが、それぞれ複数個に分割されたリブや棚であってもよい。
第２収納凹部３３は、３個に限らず、ウェーハ収納容器の寸法に合わせて、任意の個数とできる。また、ウェーハ収納容器は、トレーを用いずにウェーハを、スペーサシート１６を介して積層したものであってもよく、中空のダイシングフレームに貼られたフィルムに支持されたウェーハを、スペーサシート１６を介して積層したものであっても良い。
これらの他に、上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。また、その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００２１】
１０……ウェーハ収納容器、
１０Ａ……容器本体、
１０Ｂ……蓋体、
１１……基底部、
１２……容器円筒部、
１３……スリット、
１４……蓋体円筒部、
１５……角筒部、
１６……スペーサシート、
１７……トレー、
１８、１９……クッション、
２０……包装箱、
３０１……第１緩衝体
３０２……第２緩衝体、
３１……外周壁、
３２……第１収納凹部、
３３……第２収納凹部、
３４……第１支持部、
３５……棚部、
３６……第２支持部、
３７……位置決め突起、
５１、５２……凹凸部。
【図１】
2014213899.tif 000003
【図２】
2014213899.tif 000004
【図３】
2014213899.tif 000005
【図４】
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