(57)【要約】【課題】フォトマスクブランクスまたはフォトマスクを収納する収納容器であって、透明性と帯電防止性と低アウトガス性とを全て同時に備えた収納容器及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る、フォトマスクブランクスまたはフォトマスクを収納する収納容器１は、可視光に対する透明性及び低アウトガス性を備えたポリカーボネート樹脂に、帯電防止性を備えた帯電防止剤を混合した混合樹脂を成形加工したものであり、混合樹脂に含まれた帯電防止剤の割合は、混合樹脂の総重量に対して、０．０１重量％以上２５重量％以下の範囲内である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトマスクブランクスまたはフォトマスクを収納する収納容器であって、
前記収納容器は、可視光を透過可能な透明性及び低アウトガス性を備えたポリカーボネート樹脂に、帯電防止性を備えた帯電防止剤を混合した混合樹脂を成形加工したものであり、前記混合樹脂に含まれた前記帯電防止剤の割合は、前記混合樹脂の総重量に対して、０．０１重量％以上２５重量％以下の範囲内であることを特徴とする収納容器。
【請求項２】
前記帯電防止剤は、ポリエーテルアミド、ポリエステルアミド、ポリエーテルエステルアミド、及びこれらのブロックコポリマーから選択されるポリマーであることを特徴とする請求項１に記載の収納容器。
【請求項３】
前記混合樹脂は、８５℃、３時間の条件で当該混合樹脂を加熱したときに放出され、且つＧＣ−ＭＳにて検出される、有機酸、有機酸エステル、有機硫黄化合物、アミン、アミド、シロキサン、フェノール、フタル酸エステル、溶剤、炭化水素、過酸化クメン及び誘導体、ハロゲン化炭化水素の成分を含むアウトガスの総量が４．２５μｇ／ｇ以下であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の収納容器。
【請求項４】
前記混合樹脂は、ＡＳＴＭ−Ｄ２５７に準じての表面抵抗率の測定値が５．４×１０１２Ω／ｓｑ以下であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の収納容器。
【請求項５】
前記混合樹脂は、無着色であり、且つ全光線透過率が９０％以上であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の収納容器。
【請求項６】
フォトマスクブランクスまたはフォトマスクを収納する収納容器の製造方法であって、
可視光を透過可能な透明性及び低アウトガス性を備えたポリカーボネート樹脂に、帯電防止性を備えた帯電防止剤を混合した混合樹脂を前記収納容器に成形加工する工程を有し、
前記混合樹脂に含まれた前記帯電防止剤の割合は、前記混合樹脂の総重量に対して、０．０１重量％以上２５重量％以下の範囲内であることを特徴とする収納容器の製造方法。
【請求項７】
前記帯電防止剤は、ポリエーテルアミド、ポリエステルアミド、ポリエーテルエステルアミド、及びこれらのブロックコポリマーから選択されるポリマーであることを特徴とする請求項６に記載の収納容器の製造方法。
【請求項８】
前記混合樹脂は、８５℃、３時間の条件で当該混合樹脂を加熱したときに放出され、且つＧＣ−ＭＳにて検出される、有機酸、有機酸エステル、有機硫黄化合物、アミン、アミド、シロキサン、フェノール、フタル酸エステル、溶剤、炭化水素、過酸化クメン及び誘導体、ハロゲン化炭化水素の成分を含むアウトガスの総量が４．２５μｇ／ｇ以下であることを特徴とする請求項６または請求項７に記載の収納容器の製造方法。
【請求項９】
前記混合樹脂は、ＡＳＴＭ−Ｄ２５７に準じての表面抵抗率の測定値が５．４×１０１２Ω／ｓｑ以下であることを特徴とする請求項６から請求項８のいずれか１項に記載の収納容器の製造方法。
【請求項１０】
前記混合樹脂は、無着色であり、且つ全光線透過率が９０％以上であることを特徴とする請求項６から請求項９のいずれか１項に記載の収納容器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子の製造プロセスで使用されるフォトマスクブランクスまたはフォトマスクを収納する収納容器及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路や液晶表示素子などの半導体素子が高速化・高密度化するに伴い、半導体素子の製造プロセスで用いられるフォトマスクに形成されるパターン（いわゆるマスクパターン）は、微細化する傾向にある。また、上記製造プロセスで用いられるフォトマスクは、低欠陥であることが要求されている。
フォトマスクは、一般に、フォトマスクブランクス作製工程、フォトマスク作製工程、フォトマスク検査工程、フォトマスク出荷工程の各工程を順次経た後に市場に供給される。なお、フォトマスクブランクス作製工程とは、石英等で形成されたガラス基板上にクロムや酸化クロム等を含んだ遮光層を形成して、フォトマスクの基材（いわゆるフォトマスクブランクス）を作製する工程をいう。また、フォトマスク作製工程とは、フォトマスクブランクスの遮光層をパターニングして、マスクパターンを形成する工程をいう。
【０００３】
前述のフォトマスクブランクス作製工程、フォトマスク作製工程、フォトマスク検査工程、フォトマスク出荷工程の各工程では、フォトマスクブランクスやフォトマスクを一時的に収納し、または運搬するための容器（以下、単に「収納容器」ともいう。）が使用されることがある。この収納容器は、例えば熱可塑性樹脂を成形加工した容器である。
ところで、上述の収納容器は、透明性と帯電防止性（導電性）と低アウトガス性とを全て同時に備えていることが望ましい。以下、この３つの性質の必要性について説明する。なお、前述の「アウトガス」とは、収納容器から発生する化学汚染物質の総称をいう。また、「低アウトガス性」とは、アウトガスの発生率が少ない性質をいう。
【０００４】
（透明性）
透明性を備えない収納容器では、収納されたフォトマスク等の視認性が低下する場合があり、前述のフォトマスク作製工程等における作業効率が低下することがある。
このため、フォトマスク等を収納する収納容器は、透明性を備えていることが望ましい。透明性を備えた収納容器には、例えば、アクリル系樹脂やＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合体）で成形された収納容器がある。
【０００５】
（帯電防止性）
帯電防止性（導電性）を備えない収納容器では、フォトマスク等の保管中や運搬中に収納容器に静電気が蓄積して、収納容器が帯電する場合がある。収納容器が帯電すると、その収納容器に空気中の浮遊塵等が吸着することがある。この浮遊塵等が吸着した収納容器を、例えばフォトマスク作製工程やフォトマスク検査工程を実施する作業空間（いわゆる製造ライン）に持ち込んだ場合には、その作業空間のクリーン環境やその作業空間にあるフォトマスク等を汚染してしまうおそれがある。
また、収納容器が帯電すると、収納容器と、収納容器に収納したフォトマスクとの間で放電現象が生じることがある。そして、そのフォトマスクが微細なマスクパターンで形成されている場合には、前述の放電によってフォトマスクのパターンが破壊されて、フォトマスクに欠陥が生じることがある。
【０００６】
以上のことから、フォトマスク等を収納する収納容器は、帯電防止性を備えていることが望ましい。帯電防止性を備えた収納容器には、例えば、収納容器を構成する材料に導電性フィラーを添加して成形したものがある。添加する導電性フィラーとして、例えば、カーボンブラックや金属粉末や導電性金属酸化物等が挙げられる。なお、帯電防止性を備えていない収納容器には、例えば、導電性を有しないプラスチック樹脂で成形された収納容器がある。
また、別の帯電防止性を備えた収納容器には、例えば、収納容器の表面に帯電防止層を形成したものがある（特許文献１参照）。特許文献１には、導電性金属酸化物微粒子を含んだ帯電防止塗料を収納容器の表面に塗布して帯電防止層を形成した収納容器が記載されている。
【０００７】
（低アウトガス性）
低アウトガス性を備えない収納容器（アウトガスの発生量の多い収納容器）では、保管中や運搬中にフォトマスク等の表面にアウトガスが付着、推積する場合がある。例えば、アウトガスが付着、堆積したフォトマスクに短波長の光が照射されると、その表面に曇り（ヘイズ）が生じて、そのフォトマスクは製品不良となってしまうことがある。
以上のことから、フォトマスク等を収納する収納容器は、低アウトガス性を備えていることが望ましい。アウトガスの発生量を低減した収納容器には、例えば、収納容器の内側表面にアウトガスを実質的に通さない被膜を形成したものがある（特許文献２参照）。
【０００８】
また、別のアウトガスの発生量を低減した収納容器には、例えば、収納容器内に吸着剤を配置したものがある。この収納容器は、吸着剤でアウトガスを物理吸着または化学吸着することによって、収納容器内の基板をケミカルコンタミネーションから防いでいる。
なお、特定のアウトガス成分の放出に着目した収納容器には、例えば、窒素含有物に着目し、その放出量を低減した高分子系材料を用いたものもある（特許文献３参照）。また、有機硫黄系物質、有機リン系物質、揮発性有機物質の総量が一定量以下である材料を用いて収納容器を成形したものもある（特許文献４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−２７６１０５号公報
【特許文献２】特開２００２−４６７９３号公報
【特許文献３】特許第３３４４６９９号公報
【特許文献４】特許第４５３９３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前述のように、フォトマスクブランクスやフォトマスクを収納する収納容器は、透明性と帯電防止性と低アウトガス性とを全て同時に備えていることが望ましい。
しかしながら、従来技術に係る収納容器の多くは、透明性、帯電防止性、低アウトガス性の３つの性質を同時に備えたものではない。より詳しくは、従来技術に係る収納容器の多くは、上記３つの性質のうちいずれか２つの性質は同時に備えているものの、残り１つの性質は備えていない。以下、具体例を挙げて説明する。また、便宜的に、透明性を「第１要素」とし、帯電防止性を「第２要素」とし、低アウトガス性を「第３要素」として説明する。
【００１１】
例えば、帯電防止性（第２要素）及び低アウトガス性（第３要素）を備えたポリカーボネート製の収納容器には、帯電防止性（第２要素）を備えるために多量の導電性フィラーが添加されていることがある。この場合、収納容器の透明性（第１要素）は、添加された導電性フィラー（例えば、黒色の帯電防止剤）によって低下することがある。
また、透明性（第１要素）及び帯電防止性（第２要素）を備えたアクリル系樹脂製やＡＢＳ樹脂製の収納容器は、加熱等によってガスが揮発する場合があり、低アウトガス性（第３要素）を備えないものが多い。なお、前述のように、低アウトガス性（第３要素）を備えるために収納容器内に吸着剤を配置することが考え得るが、この場合には、使用する吸着剤によって製品コストが高くなることがある。また、吸着剤から生ずる微粒子（パーティクル）によって収納されたフォトマスク等が汚染されてしまうことがある。
【００１２】
また、透明性（第１要素）及び低アウトガス性（第３要素）を備えたポリカーボネート製の収納容器は、帯電防止性（第２要素）を備えないものが多い。なお、前述のように、帯電防止性（第２要素）を備えるために収納容器の表面に導電性微粒子をコーティングすることが考え得るが、この場合には、熱収縮の違いや使用時の摩擦によってコーティングが劣化して帯電防止性（第２要素）が低下することがある。
本発明は、上記課題を鑑み、フォトマスクブランクスまたはフォトマスクを収納する収納容器であって、透明性と帯電防止性と低アウトガス性とを全て同時に備えた収納容器及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するための本発明の一態様は、フォトマスクブランクスまたはフォトマスクを収納する収納容器であって、前記収納容器は、可視光を透過可能な透明性及び低アウトガス性を備えたポリカーボネート樹脂に、帯電防止性を備えた帯電防止剤を混合した混合樹脂を成形加工したものであり、前記混合樹脂に含まれた前記帯電防止剤の割合は、前記混合樹脂の総重量に対して、０．０１重量％以上２５重量％以下の範囲内であることを特徴とする収納容器である。
また、上記の収納容器において、帯電防止剤は、ポリエーテルアミド、ポリエステルアミド、ポリエーテルエステルアミド、及びこれらのブロックコポリマーから選択されるポリマーであることとしてもよい。
【００１４】
また、上記の収納容器において、混合樹脂は、８５℃、３時間の条件で当該混合樹脂を加熱したときに放出され、且つＧＣ−ＭＳにて検出される、有機酸、有機酸エステル、有機硫黄化合物、アミン、アミド、シロキサン、フェノール、フタル酸エステル、溶剤、炭化水素、過酸化クメン及び誘導体、ハロゲン化炭化水素の成分を含むアウトガスの総量が４．２５μｇ／ｇ以下であることとしてもよい。
また、上記の収納容器において、混合樹脂は、ＡＳＴＭ−Ｄ２５７に準じての表面抵抗率の測定値が５．４×１０１２Ω／ｓｑ以下であることとしてもよい。
また、上記の収納容器において、混合樹脂は、無着色であり、且つ全光線透過率が９０％以上であることとしてもよい。
【００１５】
本発明の別の態様は、フォトマスクブランクスまたはフォトマスクを収納する収納容器の製造方法であって、可視光を透過可能な透明性及び低アウトガス性を備えたポリカーボネート樹脂に、帯電防止性を備えた帯電防止剤を混合した混合樹脂を前記収納容器に成形加工する工程を有し、前記混合樹脂に含まれた前記帯電防止剤の割合は、前記混合樹脂の総重量に対して、０．０１重量％以上２５重量％以下の範囲内であることを特徴とする収納容器の製造方法である。
また、上記の収納容器の製造方法において、帯電防止剤は、ポリエーテルアミド、ポリエステルアミド、ポリエーテルエステルアミド、及びこれらのブロックコポリマーから選択されるポリマーであることとしてもよい。
【００１６】
また、上記の収納容器の製造方法において、混合樹脂は、８５℃、３時間の条件で当該混合樹脂を加熱したときに放出され、且つＧＣ−ＭＳにて検出される、有機酸、有機酸エステル、有機硫黄化合物、アミン、アミド、シロキサン、フェノール、フタル酸エステル、溶剤、炭化水素、過酸化クメン及び誘導体、ハロゲン化炭化水素の成分を含むアウトガスの総量が４．２５μｇ／ｇ以下であることとしてもよい。
また、上記の収納容器の製造方法において、混合樹脂は、ＡＳＴＭ−Ｄ２５７に準じての表面抵抗率の測定値が５．４×１０１２Ω／ｓｑ以下であることとしてもよい。
また、上記の収納容器の製造方法において、混合樹脂は、無着色であり、且つ全光線透過率が９０％以上であることとしてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の一態様は、可視光に対する透明性及び低アウトガス性を備えたポリカーボネート樹脂に、帯電防止性を備えた帯電防止剤を添加したものを収納容器の材料（混合樹脂）とし、その材料を収納容器に成形したものである。
このため、本発明の一態様であれば、ポリカーボネート樹脂の透明性と低アウトガス性と、帯電防止剤の帯電防止性と、を全て同時に備えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態に係る収納容器の外観を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係る収納容器の下蓋の構造を示す斜視図である。
【図３】本実施形態に係る収納容器の上蓋の構造を示す斜視図である。
【図４】本実施形態に係る収納容器の上蓋の構造を示す平面図及び断面図である。
【図５】上蓋に備わる押付突起部の構造を示す斜視図である。
【図６】基板の収納を示す斜視図である。
【図７】本実施形態に係る収納容器に基板が収納された状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本実施形態に係る収納容器について、図１〜図５を参照しつつ説明する。
（収納容器１）
図１は、収納容器の外観を示す斜視図である。図２は、収納容器の下蓋の構造を示す斜視図である。図３は、収納容器の上蓋の構造を示す斜視図である。図４は、上蓋の構造を示す平面図及び断面図であって、（ａ）は上蓋の平面図であり、（ｂ）は（ａ）中のＡ−Ａ線での断面図であり、（ｃ）は（ａ）中のＢ−Ｂ線での断面図である。図５は、上蓋に備わる押付突起部の構造を示す斜視図である。
【００２０】
本実施形態に係る収納容器１は、図１に示すように、下蓋２と上蓋３とから構成されている。この下蓋２と上蓋３は、後述の混合樹脂からそれぞれ成形加工されたものである。
収納容器１は、フォトマスクブランクスやフォトマスク（以下、単に「基板」ともいう。）を収納するための空間１ａを備えている。また、収納容器１は、下蓋２と上蓋３とを閉じた時に気密構造となっている。換言すると、上蓋３で下蓋２を閉じた時に、空間１ａは密閉された状態となっている。このため、基板の保管中や運搬中に収納容器１の外部から塵等が侵入して、収納容器１内の基板が汚染されるのを防止することができる。なお、収納容器１の形状は、略直方体である。
【００２１】
（下蓋２）
本実施形態に係る下蓋２は、図２に示すように、底板２１と側板２２とから構成されている。底板２１は１枚の平板状の部材であって、その形状は平面視で略正方形である。底板２１の１辺の長さは、後述する基板の対角線の長さよりも長くなっている。
底板２１に備わる４つの直辺部２１ａのそれぞれには、平板状の側板２２が底板平面２１ｂに対して垂直に設けられている。換言すると、４つの直辺部２１ａで構成される底板２１の外周は、４枚の平板状の側板２２で囲まれている。なお、各側板２２の形状は、側面視で略長方形である。
【００２２】
底板２１の直辺部２１ａ側中央部には、１つの支持突起部２３と２つのガイド２４がそれぞれ設けられている。つまり、底板２１全体には、４つの支持突起部２３と８つのガイド２４が設けられている。なお、４つの支持突起部２３の形状は、全て同じである。また、８つのガイド２４の形状は、全て同じである。また、１つの支持突起部２３は、２つのガイド２４の間に設けられている。
支持突起部２３は、収納容器１に基板を収納する際に基板の角部を支持するための部材であって、屈折部２３ａと、基板の角部を支持する基板支持部２３ｂと、基板の角部の動き（移動）を制限する位置決め凸部２３ｃとを備えている。支持突起部２３の形状は、平面視で略Ｌ字状であって、Ｌ字の屈折した部分を屈折部２３ａとして表記している。
【００２３】
屈折部２３ａは、底板２１の中心部側に設けられている。また、基板支持部２３ｂは、屈折部２３ａ上部に設けられている。また、位置決め凸部２３ｃは、支持突起部２３の側板２２側に設けられている。
ガイド２４は、収納容器１に基板を収納する際に基板を基板支持部２３ｂへと導くための部材であって、一枚の平板状の部材からなる。このガイド２４は基板をガイドする面２４ａを備えており、その面２４ａは平坦な面である。なお、ガイド２４は、その強度を高めるために、平面視で略Ｌ字状をしていてもよい。
【００２４】
下蓋２の合わせ面２５は、後述する上蓋３の合わせ面３５と接触する面である。この合わせ面２５には、その全周にわたって凸部２２ａが設けられている。より詳しくは、各側板２２の内側には、側板２２に沿って側板凸部２２ａが設けられている。このため、上蓋３で下蓋２を閉じた時に、この側板凸部２２ａと後述する上蓋の側板凹部とがかみ合い、収納容器１は気密構造となる。
【００２５】
（上蓋３）
本実施形態に係る上蓋３は、図３及び図４に示すように、上板３１と側板３２とから構成されている。上板３１は１枚の平板状の部材であって、その形状は平面視で略正方形である。上板３１の１辺の長さは、後述する基板の対角線の長さよりも長くなっている。
【００２６】
上板３１に備わる４つの直辺部３１ａのそれぞれには、平板状の側板３２が上板平面３１ｂに対して垂直に設けられている。換言すると、４つの直辺部３１ａで構成される上板３１の外周は、４枚の平板状の側板３２で囲まれている。なお、各側板３２の形状は、側面視で略長方形である。
上板３１の直辺部３１ａ側中央部には、１つの押付突起部３３が設けられている。つまり、上板３１全体には、４つの押付突起部３３が設けられている。なお、４つの押付突起部３３の形状は、全て同じである。
【００２７】
押付突起部３３は、基板支持部２３ｂに支持された基板の角部を底板２１側に向かって押し付けて固定するための部材である。押付突起部３３は、屈折部３３ａと、基板の角部を下蓋２側に向かって押し付ける基板押付部３３ｂと、基板の角部の動き（移動）を制限する位置決め凸部３３ｃとを備えている（図５参照）。押付突起部３３の形状は、前述の支持突起部２３の形状を略同じである。つまり、押付突起部３３の形状は、平面視で略Ｌ字状であって、Ｌ字の屈折した部分を屈折部３３ａとして表記している。
屈折部３３ａは、上板３１の中心部側に設けられている。また、基板押付部３３ｂは、屈折部３３ａ上部に設けられている。また、位置決め凸部３３ｃは、押付突起部３３の側板３２側に設けられている。
【００２８】
上蓋３の合わせ面３５は、前述の下蓋２の合わせ面２５と接触する面である。この合わせ面３５には、その全周にわたって凹部３２ａが設けられている。より詳しくは、各側板３２の内側には、側板３２に沿って側板凹部３２ａが設けられている。このため、上蓋３で下蓋２を閉じた時に、この側板凹部３２ａと前述の上蓋の側板凸部２２ａとがかみ合い、収納容器１は気密構造となる。
なお、上蓋３で下蓋２を閉じた状態において、収納容器１には、基板支持部２３ｂと基板押付部３３ｂとの間には隙間がある。この隙間と収納する基板の厚みとは略同じである。
【００２９】
（収納容器１の材料及び製造方法）
以下、収納容器１（つまり、下蓋２及び上蓋３）の材料及び製造方法について説明する。
前述の収納容器１の材料は、主材となるポリカーボネート樹脂に帯電防止剤を添加したものである。より詳しくは、収納容器１の材料となる混合樹脂は、その混合樹脂の総重量に対して、帯電防止剤を０．０１重量％以上２５重量％以下の範囲内で含んだものである。より好ましくは、帯電防止剤を５重量％以上２０重量％以下の範囲内で含んだ混合樹脂であり、さらに好ましくは、帯電防止剤を５重量％以上１０重量％以下の範囲内で含んだ混合樹脂である。
【００３０】
本実施形態に係るポリカーボネート樹脂には、汎用されているポリカーボネート樹脂を用いることができる。なお、「ポリカーボネート樹脂」とは、熱可塑性のプラスチックの一種である。
ポリカーボネート樹脂の光透過率（全光線透過率）は、約９０％である。つまり、ポリカーボネート樹脂は、高い透明性を備えた樹脂である。
また、ポリカーボネート樹脂は、他の樹脂（例えば、前述のアクリル系樹脂やＡＢＳ樹脂）と比較してアウトガスの発生量が少ないことが知られている。つまり、ポリカーボネート樹脂は、低アウトガス性を備えた樹脂である。
【００３１】
本実施形態に係る帯電防止剤には、帯電防止性能を持つポリマーを用いることができる。より詳しくは、帯電防止剤は、ポリエーテルアミド、ポリエステルアミド、ポリエーテルエステルアミド、及びこれらのブロックコポリマーから選択されるポリマーである。
なお、混合樹脂に含まれる帯電防止剤の割合が、混合樹脂の総重量に対して、０．０１重量％未満の場合には、十分な帯電防止性を得ることはできない。また、混合樹脂に含まれる帯電防止剤の割合が、混合樹脂の総重量に対して２５重量％を超す場合には、十分な透明性を得ることができないと共に、樹脂物性、相溶性あるいは耐熱性が低下する等の問題を招く。
【００３２】
本実施形態に係る下蓋２または上蓋３は、この混合樹脂から成形加工されたものであって、例えば射出成形法（トランスファ成形法）を用いて一度の成形工程で成形されたものである。なお、上蓋３または下蓋２を成形する方法は、射出成形法に限定されるものではない。例えば、金型を使った圧縮成形法を用いてもよい。
【００３３】
（収納容器１の使用方法）
以下、収納容器１の使用方法について、図６及び図７を参照しつつ説明する。
図６は、基板の収納を示す斜視図である。図７は、収納容器に基板を収納した状態を示す斜視図である。なお、図６に示された下蓋２及び下蓋３は、図２及び図３に示したものである。そこで、図６では、下蓋２及び下蓋３の細部の符号については省略する。
【００３４】
まず、収納する基板４の角部４１を下蓋２の基板支持部２３ｂで支持するように、基板４を下蓋２内に収納する。この際、基板４の側面４２は、ガイド２４の面２４ａでガイドされる。収納容器１に収納する基板４は、一枚の平板状の基板である。また、基板４の形状は、平面視で略正方形である。基板４の対角線の長さは、底板２１、上板３１の１辺の長さよりも短くなっている。なお、基板４を下蓋２内に収納する際、基板４の対角線は、下蓋２の対角線の方向に対して略４５°傾いた状態となっている。
【００３５】
次に、基板支持部２３ｂで支持された状態の基板４の角部４１を、上蓋３の基板押付部３３ｂで押えるようにして基板４を固定する。換言すると、基板４の角部４１を基板支持部２３ｂと基板押付部３３ｂとで挟持して、基板４を収納容器１内に固定する。そして、基板４の固定と同時に、側板凸部２２ａと側板凹部３２ａとをかみ合わせて、収納容器１を密閉する。
以上のようにして基板４を収納容器１内に収納する。収納容器１内に基板４を収納した状態を図７に示す。
【００３６】
（効果）
（１）本実施形態に係る収納容器１は、可視光に対する透明性及び低アウトガス性を備えたポリカーボネート樹脂に、帯電防止性を備えた帯電防止剤を混合した混合樹脂を成形加工したものである。また、混合樹脂に含まれる帯電防止剤の割合は、混合樹脂の総重量に対して、０．０１重量％以上２５重量％以下の範囲内である。
このため、収納容器１は、ポリカーボネート樹脂の透明性と低アウトガス性と、帯電防止剤の帯電防止性と、を全て同時に備えることができる。
また、収納容器１は、収納容器１を構成する基材に帯電防止剤を含んでいる（つまり、基材の一部に帯電防止剤が練り込まれている）ので、摩擦による帯電防止性の劣化を抑えることができる。よって、収納容器１の耐久性を高めることができる。
【００３７】
（２）本実施形態に係る収納容器１は、帯電防止剤として、静電気消散性高分子等（具体的には、ポリエーテルアミド、ポリエステルアミド、ポリエーテルエステルアミド、及びこれらのブロックコポリマーから選択されるポリマー）を含んだものである。
このため、帯電防止剤としてカーボンを混入する場合に比べて、樹脂の透明度を維持する上で有効である。
【００３８】
（３）本実施形態に係る収納容器１は、一度の樹脂成形工程で製造されたものである。つまり、成形後に二次加工を必要としない。例えば、透明性及び低アウトガス性を備えた収納容器を成形した後に、帯電防止性を与えるための別工程を必要としない。
このため、収納容器の製造効率を高めることができる。また、帯電防止性を得るための帯電防止層や低アウトガス性を得るためのアウトガス遮断用被膜を、成形した収納容器上に形成する必要もない。よって、帯電防止層やアウトガス遮断用被膜を成膜する成膜装置の導入等も不要となり、収納容器のコストアップを抑えることができる。
【実施例】
【００３９】
本実施形態に係る材料（混合樹脂）を用いて収納容器１を成形した。そして、成形した収納容器１について、透明性、帯電防止性、低アウトガス性をそれぞれ測定した。なお、混合樹脂に含まれる帯電防止剤の割合は、混合樹脂の総重量に対して５重量％であった。以下、測定結果について説明する。
【００４０】
（透明性）
収納容器１は、無着色であった。また、収納容器１の全光線透過率は、９０％以上であった。このことから、収納容器１は、高い透明性を備えていることが分かった。
（帯電防止性）
収納容器１の表面抵抗率は、５．４×１０１２Ω／ｓｑであった。このことから、収納容器１は、帯電防止性（導電性）を備えていることが分かった。なお、この表面抵抗率の測定は、ＡＳＴＭ−Ｄ２５７に準じて行った。
【００４１】
（低アウトガス性）
収納容器１のアウトガスの総量は、４．２５μｇ／ｇであった。このことから、収納容器１は、低アウトガス性を備えていることが分かった。なお、アウトガスの総量は、収納容器１を８５℃、３時間の条件で加熱したときに放出されたアウトガスの総量とした。また、測定したアウトガスの成分は、有機酸、有機酸エステル、有機硫黄化合物、アミン、アミド、シロキサン、フェノール、フタル酸エステル、溶剤、炭化水素、過酸化クメン及びその誘導体、ハロゲン化炭化水素であり、上記各成分はＧＣ−ＭＳで検出した。
【符号の説明】
【００４２】
１  収納容器、１ａ  空間、２  下蓋、３  上蓋、４  基板（フォトマスクブランクスまたはフォトマスク）、２１  底板、２１ａ  直辺部、２１ｂ  底板平面、２２  側板、２２ａ  側板凸部、２３  支持突起部、２３ａ  屈折部、２３ｂ  基板支持部、２３ｃ  位置決め凸部、２４  ガイド、２４ａ  面、２５  合わせ面、３１  上板、３１ａ  直辺部、３１ｂ  上板平面、３２  側板、３２ａ  側板凹部、３３  押付突起部、３３ａ  屈折部、３３ｂ  基板押付部、３３ｃ  位置決め凸部、３５  合わせ面、４１  角部、４２  側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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