(57)【要約】【課題】被着体を別の工程に搬送する際に接着シートを保護できるシート貼付装置を提供する。【解決手段】シート貼付装置１は、帯状の第１シートＲＬ１の一方の面と帯状の第２シートＲＬ２の一方の面とで接着シートＡＳを挟み込んだ原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、原反ＲＳから第１シートＲＬ１を剥離して接着シートＡＳの貼付面ＡＤを表出させる剥離手段３と、貼付面ＡＤが表出した接着シートＡＳを第２シートＲＬ２を介して被着体ＷＦ上で支持可能な接着シート支持手段４と、接着シート支持手段４で支持された接着シートＡＳを第２シートＲＬ２上から被着体ＷＦに押圧して貼付する押圧手段５と、被着体ＷＦに貼付された接着シートＡＳ上の第２シートＲＬ２を所定形状に切断して保護シートＲＬ２０を形成する切断手段７とを備えている。【選択図】図１
2014116423.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の第１シートの一方の面と帯状の第２シートの一方の面とで接着シートを挟み込んだ原反を繰り出す繰出手段と、
前記原反から第１シートを剥離して前記接着シートの貼付面を表出させる剥離手段と、
前記貼付面が表出した接着シートを前記第２シートを介して被着体上で支持可能な接着シート支持手段と、
前記接着シート支持手段で支持された接着シートを前記第２シート上から前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記被着体に貼付された接着シート上の第２シートを所定形状に切断して保護シートを形成する切断手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記押圧手段で押圧される第２シートに対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与する幅方向張力付与手段を備えることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記第２シートの幅方向の端部に孔を形成する孔形成手段を備え、
前記幅方向張力付与手段は、前記第２シートの幅方向と略平行な軸を中心に回転可能に設けられ、外周面に前記孔に嵌合するピンを有するピン歯車を備え、前記ピンが前記孔に嵌合することで前記第２シートに対し前記張力を付与することを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記切断手段は、前記保護シートに把持部を形成可能に構成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
帯状の第１シートの一方の面と帯状の第２シートの一方の面とで接着シートを挟み込んだ原反を繰り出す工程と、
前記原反から第１シートを剥離して前記接着シートの貼付面を表出させる工程と、
前記貼付面が表出した接着シートを前記第２シートを介して被着体上で支持する工程と、
前記支持された接着シートを前記第２シート上から前記被着体に押圧して貼付する工程と、
前記被着体に貼付された接着シート上の第２シートを所定形状に切断して保護シートを形成する工程とを備えることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置では、ベースシートとカバーシートとでダイボンディングシートを挟み込んだシート基材を繰り出し、先ず、カバーシートのみを剥離する。次いで、切断刃によってダイボンディングシートにウェハの平面形状に対応する貼付領域（接着シート）を形成し、当該接着シートをウェハに貼付した後、ベースシートを接着シートから剥離するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３０６５１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、接着シートが貼付されたウェハを別の工程に搬送するときに、当該接着シートが損傷したり、接着シート上に塵埃が付着するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、被着体を別の工程に搬送する際に接着シートを保護できるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、帯状の第１シートの一方の面と帯状の第２シートの一方の面とで接着シートを挟み込んだ原反を繰り出す繰出手段と、前記原反から第１シートを剥離して前記接着シートの貼付面を表出させる剥離手段と、前記貼付面が表出した接着シートを前記第２シートを介して被着体上で支持可能な接着シート支持手段と、前記接着シート支持手段で支持された接着シートを前記第２シート上から前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、前記被着体に貼付された接着シート上の第２シートを所定形状に切断して保護シートを形成する切断手段とを備える、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記押圧手段で押圧される第２シートに対し、前記接着シートの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与する幅方向張力付与手段を備える、ことが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記第２シートの幅方向の端部に孔を形成する孔形成手段を備え、前記幅方向張力付与手段は、前記第２シートの幅方向と略平行な軸を中心に回転可能に設けられ、外周面に前記孔に嵌合するピンを有するピン歯車を備え、前記ピンが前記孔に嵌合することで前記第２シートに対し前記張力を付与する、ことが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記切断手段は、前記保護シートに把持部を形成可能に構成されている、ことが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、帯状の第１シートの一方の面と帯状の第２シートの一方の面とで接着シートを挟み込んだ原反を繰り出す工程と、前記原反から第１シートを剥離して前記接着シートの貼付面を表出させる工程と、前記貼付面が表出した接着シートを前記第２シートを介して被着体上で支持する工程と、前記支持された接着シートを前記第２シート上から前記被着体に押圧して貼付する工程と、前記被着体に貼付された接着シート上の第２シートを所定形状に切断して保護シートを形成する工程とを備える、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、被着体に貼付された接着シート上の第２シートを所定形状に切断して保護シートを形成するため、被着体を別の工程に搬送するときに、保護シートによって接着シートを保護することができる。
【００１０】
この際、第２シートに対し、接着シートの繰り出し方向に交差する方向（以下、接着シートの繰り出し方向を単に「繰出方向」、当該繰出方向に交差する方向を単に「交差方向」という場合がある）に張力を付与するようにすれば、例えば、接着シートに繰出方向と交差方向とに同じ大きさの張力または異なる大きさの張力を付与して被着体に貼付することができる。
また、第２シートの幅方向の端部に孔を形成し、当該孔にピン歯車のピンを嵌合させることで第２シートに対し前記張力を付与するようにすれば、孔にピンを嵌合させるだけの簡単な構成で第２シートに対し、交差方向に張力を付与することができる。
さらに、切断手段が保護シートに把持部を形成できるようにすれば、別の工程において被着体から保護シートを容易に剥離できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】第１実施形態の動作説明図。
【図３】第１、第２実施形態の保護シートを表す平面図。
【図４】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図５】第２実施形態の部分断面図。
【図６】本発明の変形例に係る部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第１、第２実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、第１、第２実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１、２において、シート貼付装置１は、帯状の第１シートＲＬ１の一方の面と帯状の第２シートＲＬ２の一方の面とで接着シートＡＳを挟み込んだ原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、原反ＲＳから第１シートＲＬ１を剥離して接着シートＡＳの貼付面ＡＤを表出させる剥離手段としての剥離板３と、貼付面ＡＤが表出した接着シートＡＳを第２シートＲＬ２を介して被着体としてのウェハＷＦ上で支持可能な接着シート支持手段４と、接着シート支持手段４で支持された接着シートＡＳを第２シートＲＬ２上からウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段５と、押圧手段５で押圧される第２シートＲＬ２に対し、接着シートＡＳの繰り出し方向に交差する方向に張力を付与する幅方向張力付与手段６（図２）と、ウェハＷＦに貼付された接着シートＡＳ上の第２シートＲＬ２を所定形状に切断して保護シートＲＬ２０を形成する切断手段７とを備え、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハＷＦを支持する支持面９１を備えたテーブル９２の上方においてその全体が図示しないフレームに支持されている。
【００１４】
繰出手段２は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２０と、支持ローラ２０から引き出された原反ＲＳを案内するガイドローラ２１と、駆動機器としての回動モータ２２によって駆動する駆動ローラ２３との間に原反ＲＳを挟み込むピンチローラ２４と、駆動機器としての回動モータ２５によって駆動する駆動ローラ２６との間に第１シートＲＬ１を挟み込むピンチローラ２７と、図示しない駆動機器によって第１シートＲＬ１を回収する回収ローラ２８とを備えている。
【００１５】
接着シート支持手段４は、複数のガイドローラ４０と、駆動機器としての直動モータ４１の図示しない出力軸に支持されたフレーム４２と、フレーム４２に支持された駆動機器としての回動モータ４３によって駆動する剥離ローラ４４と、当該剥離ローラ４４との間に保護シートＲＬ２０が切り抜かれた第２シート部分ＲＬ２１を挟み込むピンチローラ４５と、駆動機器としての回動モータ４６により回転可能に設けられ、第２シート部分ＲＬ２１を回収する回収ローラ４７とを備えている。
【００１６】
押圧手段５は、駆動機器としてのリニアモータ５０と、駆動機器としての直動モータ５１と、直動モータ５１の出力軸５２に支持されたブラケット５３に回転可能に支持された押圧ローラ５４とを備え、リニアモータ５０の第１スライダ５５および第２スライダ５６に、直動モータ５１および接着シート支持手段４の直動モータ４１が支持されている。
【００１７】
幅方向張力付与手段６は、駆動機器としての前後一対のリニアモータ６０の各スライダ６１にそれぞれ支持された駆動機器としての直動モータ６２と、直動モータ６２の出力軸６３に支持された下チャック６４と、直動モータ６２本体下面に支持された上チャック６５とを備えている。なお、上、下チャック６５、６４は、テーブル９２の上方に配置されており、本実施形態では、それらの左右方向の長さは、テーブル９２の左右方向の長さと同じ長さに設定されているが、それ以上でもそれ以下でもよい。
【００１８】
切断手段７は、駆動機器としての直動モータ７０の出力軸７１に支持された駆動機器としての回動モータ７２と、回動モータ７２の出力軸７３に支持されたブラケット７４と、ブラケット７４の先端に設けられた駆動機器としての直動モータ７５の出力軸７６の先端から下方に延びる切断刃７７とを備えている。
【００１９】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、リニアモータ５０の第１および第２スライダ５５、５６が図１中二点鎖線で示す位置で停止している状態で、オペレータが原反ＲＳを図１に示すようにセットする。その後、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、繰出手段２および接着シート支持手段４が回動モータ２２、２５、４３、４６を駆動し、原反ＲＳを繰り出すとともに、第２シートＲＬ２を回収する。そして、第２シートＲＬ２に貼付された接着シートＡＳが剥離板３の剥離縁から所定量繰り出されたことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２および接着シート支持手段４が回動モータ２２、２５、４３、４６の駆動を停止しスタンバイ状態となる。
その後、図示しない搬送手段によってテーブル９２の支持面９１上にウェハＷＦが載置されると、図示しない吸引手段が駆動し、当該ウェハＷＦを吸着保持する。
そして、接着シート支持手段４が回動モータ４３の駆動を停止させた状態で、押圧手段５がリニアモータ５０を駆動し、第１および第２スライダ５５、５６を図１中実線で示す位置に移動させる。この移動に同期して、繰出手段２が回動モータ２２、２５を駆動し、接着シートＡＳを繰り出すとともに、接着シート支持手段４が回動モータ４６を駆動し、第２シートＲＬ２を回収することで、第２シートＲＬ２に支持された接着シートＡＳが第１シートＲＬ１から剥離される。その後、第２シートＲＬ２に支持された接着シートＡＳがウェハＷＦの直上に位置したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２、接着シート支持手段４および押圧手段５が回動モータ２２、２５、４６およびリニアモータ５０を停止する。このとき、繰出手段２と、押圧手段５および接着シート支持手段４の少なくとも一方とが繰出方向張力付与手段となり、第２シートＲＬ２に対して繰出方向に所定の張力を付与し、延いては、接着シートＡＳに張力を付与するように、回動モータ２２、２５、４３、４６およびリニアモータ５０の内１または複数のトルクを制御する。
【００２０】
次いで、図２（Ａ）の二点鎖線で示す状態から、幅方向張力付与手段６が各リニアモータ６０および直動モータ６２を駆動し、同図に実線で示すように、上、下チャック６５、６４で第２シートＲＬ２の前後端部を挟持した後、図２（Ｂ）に示すように、各スライダ６１を互いに離れる方向に移動する。このとき、幅方向張力付与手段６は、繰出方向張力付与手段が第２シートＲＬ２に対して付与している張力と略等しい張力となるように、当該第２シートＲＬ２に対して交差方向に所定の張力を付与し、延いては、接着シートＡＳに張力を付与するように、各リニアモータ６０のトルクを制御する。
そして、押圧手段５が直動モータ５１およびリニアモータ５０を駆動し、押圧ローラ５４を下降させた後、第１スライダ５５を図１中二点鎖線で示す位置に移動させることで、第２シートＲＬ２を介して接着シートＡＳを押圧してウェハＷＦに貼付する。これにより、接着シートＡＳは、繰出方向（左右方向）および交差方向（前後方向）にそれぞれ略等しい張力が付与された状態でウェハＷＦに貼付されることとなる。
【００２１】
次いで、切断手段７が直動モータ７０を駆動し、切断刃７７を下降させて第２シートＲＬ２に食い込ませた後、回動モータ７２を駆動し、切断刃７７を旋回させることで、第２シートＲＬ２を切断し、保護シートＲＬ２０を形成する。なお、切断刃７７を旋回させている途中、切断手段７が直動モータ７５の駆動を停止し、図３（Ａ）に示すように、接着シートＡＳの外縁からはみ出すオーバーカット部ＲＬ２２を有する保護シートＲＬ２０を形成してもよいし、同図（Ｂ）に示すように、接着シートＡＳの外縁からはみ出すことのない保護シートＲＬ２０を形成してもよいし、同図（Ｃ）に示すように、ウェハＷＦの外縁からはみ出すことのない保護シートＲＬ２０を形成してもよいし、第２シートＲＬ２と接着シートＡＳとを一緒に切断し、ウェハＷＦの外縁からはみ出すことのない接着シートＡＳおよび保護シートＲＬ２０を形成してもよい。また、切断刃７７を旋回させている途中、切断手段７が直動モータ７５を駆動し、同図（Ｄ）に示すように、オーバーカット部ＲＬ２２の一部から外側に突出する把持部ＲＬ２３を有する保護シートＲＬ２０を形成してもよいし、同図（Ｅ）に示すように、接着シートＡＳの外縁の一部から外側に突出する把持部ＲＬ２３を有する保護シートＲＬ２０を形成してもよいし、同図（Ｆ）に示すように、ウェハＷＦの外縁からはみ出すことのない外縁の一部から外側に突出する把持部ＲＬ２３を有する保護シートＲＬ２０を形成してもよいし、第２シートＲＬ２と接着シートＡＳとを一緒に切断し、ウェハＷＦの外縁からはみ出すことのない外縁の一部から外側に突出する把持部ＲＬ２３を有する保護シートＲＬ２０を形成してもよい。なお、接着シートＡＳの外径は、ウェハＷＦの外径よりも小さくてもよい。また、把持部ＲＬ２３は複数設けられていてもよい。このように、切断刃７７を旋回させて保護シートＲＬ２０を形成する際、幅方向張力付与手段６と繰出方向張力付与手段とが第２シートＲＬ２に対して張力を付与していることで、当該第２シートＲＬ２が撓み、切断不良が発生することを防止できる。
その後、切断手段７が直動モータ７０を駆動し、切断刃７７を上昇させる。
【００２２】
次いで、幅方向張力付与手段６が直動モータ６２およびリニアモータ６０を駆動し、上、下チャック６５、６４での第２シートＲＬ２の挟持を解除した後、各スライダ６１を互いに離れる方向に移動する。その後、接着シート支持手段４が直動モータ４１および回動モータ４３を駆動し、フレーム４２を下降させた後、剥離ローラ４４を回転させると同時に、押圧手段５がリニアモータ５０を駆動し、第２スライダ５６を図１中二点鎖線で示す位置に移動させる。これにより、第２シート部分ＲＬ２１が支持面９１から剥離され、保護シートＲＬ２０付きの接着シートＡＳがウェハＷＦに貼付される。その後、接着シート支持手段４が回動モータ４３を停止した後、直動モータ４１を駆動し、フレーム４２を上昇させ、押圧手段５が直動モータ５１を駆動し、押圧ローラ５４を上昇させる。
次いで、図示しない吸引手段が停止し、ウェハＷＦの吸着保持を解除した後、保護シートＲＬ２０付きの接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送され、以降上述と同様の動作が繰り返される。
【００２３】
以上のような第１実施形態によれば、ウェハＷＦに貼付された接着シートＡＳ上の第２シートＲＬ２を所定形状に切断して保護シートＲＬ２０を形成するため、ウェハＷＦを別の工程に搬送するときに、保護シートＲＬ２０によって接着シートＡＳを保護することができる。
【００２４】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
なお、第１実施形態と同様の構成および動作については、詳細な説明を省略する。
図４、図５に示すように、第２実施形態のシート貼付装置１Ａは、第１実施形態のシート貼付装置１に対し、接着シート支持手段４、押圧手段５、幅方向張力付与手段６の代わりに接着シート支持手段４Ａ、押圧手段５Ａ、幅方向張力付与手段６Ａ（図５）を設けるとともに、第２シートＲＬ２における交差方向の両端部（前後両端部）に孔ＳＨ２（図５）を形成する孔形成手段１０Ａをさらに設け、リニアモータ９４Ａのスライダ９３Ａに支持されたテーブル９２の上方に配置されている点が相違する。
【００２５】
接着シート支持手段４Ａは、フレーム４２が駆動機器としてのリニアモータ４８Ａのスライダ４９Ａに支持されていること、および、ガイドローラ４０が単数であること以外は、接着シート支持手段４と同様の構成を有している。
【００２６】
押圧手段５Ａは、図示しないフレームに支持されたブラケット５３に押圧ローラ５４が回転可能に支持されている。
【００２７】
幅方向張力付与手段６Ａは、押圧ローラ５４の前後両端に設けられ、当該押圧ローラ５４の回転軸を中心に回転可能に設けられた一対のピン歯車６０Ａを備えている。ピン歯車６０Ａは、押圧ローラ５４と略等しい直径を有する円盤状の本体部６１Ａと、当該本体部６１Ａの外周面において孔ＳＨ２における繰出方向の間隔と略等しい間隔で設けられた複数のピン６２Ａとを備えている。ピン６２Ａは、本体部６１Ａから突出し孔ＳＨ２に挿抜可能な外径を有する円柱状の円柱部６３Ａと、当該円柱部６３Ａの先端に設けられた円錐状の円錐部６４Ａとを備えている。円柱部６３Ａにおける交差方向の外側間隔ＤＡ１は、図５（Ｂ）に示すように、交差方向に張力が付与されていない第２シートＲＬ２における孔ＳＨ２の外側間隔ＤＢよりも長く設定されている。これにより、前後両側の孔ＳＨ２が各円柱部６３Ａに挿入されたときに、第２シートＲＬ２は、それらの外側間隔の差によって交差方向への張力が付与され、延いては、接着シートＡＳに張力が付与されるようになっている。
【００２８】
孔形成手段１０Ａは、駆動機器としての直動モータ１１Ａの出力軸１２Ａに支持されたブラケット１３Ａと、ブラケット１３Ａに支持された駆動機器としての回動モータ１４Ａによって駆動し、第２シートＲＬ２に孔ＳＨ２を形成する打抜刃１５Ａを備えたダイカットローラ１６Ａと、駆動機器としての回動モータ１７Ａによって駆動し、原反ＲＳを挟んでダイカットローラ１６Ａと対向配置されたプラテンローラ１８Ａとを備えている。
【００２９】
以上のシート貼付装置１Ａにおいて、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、リニアモータ４８Ａのスライダ４９Ａが図４中実線で示す位置で停止している状態で、オペレータが原反ＲＳを図４に示すようにセットする。
その後、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、孔形成手段１０Ａが直動モータ１１Ａを駆動し、打抜刃１５Ａをプラテンローラ１８Ａに押し付けて第２シートＲＬ２に孔ＳＨ２を形成する。次いで、繰出手段２が回動モータ２２、２５を駆動し、原反ＲＳを繰り出すとともに、その繰り出しに同期して、接着シート支持手段４Ａおよび孔形成手段１０Ａが回動モータ４３、４６、１４Ａ、１７Ａを駆動することで、第２シートＲＬ２に孔ＳＨ２を形成しながら原反ＲＳを繰り出す（以下、このような原反ＲＳの繰り出しと孔ＳＨ２の形成を単に「第２同期動作」という場合がある）。そして、第２シートＲＬ２に貼付された接着シートＡＳが剥離板３の剥離縁から所定量繰り出されたことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２、接着シート支持手段４Ａおよび孔形成手段１０Ａが第２同期動作を停止してスタンバイ状態となる。このとき、ピン歯車６０Ａのピン６２Ａに第２シートＲＬ２の孔ＳＨ２が挿通されることで、第２シートＲＬ２に交差方向への張力を付与することとなる。
【００３０】
その後、図示しない吸引手段でウェハＷＦを支持したテーブル９２が図４右側の二点鎖線で示す位置から左方向に搬送され、当該ウェハＷＦが所定位置に達したことが図示しない検知手段に検知されると、テーブル９２の搬送に同期して、繰出手段２、接着シート支持手段４Ａおよび孔形成手段１０Ａが回動モータ２２、２５、４６、１４Ａ、１７Ａを駆動するとともに、リニアモータ４８Ａを駆動し、スライダ４９Ａを左方向へ移動させる。
これにより、接着シートＡＳが第２シートＲＬ２に支持されて第１シートＲＬ１から剥離されるとともに、押圧ローラ５４が第２シートＲＬ２を介して接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する。このとき、繰出手段２、接着シート支持手段４Ａおよび孔形成手段１０Ａの少なくとも１が繰出方向張力付与手段となり、第２シートＲＬ２に対して接着シートＡＳの繰出方向に所定の張力を付与し、延いては、接着シートＡＳに張力を付与するように、回動モータ２２、２５、４６、１４Ａ、１７Ａ、リニアモータ４８Ａの内１または複数のトルクを制御する。つまり、繰出方向張力付与手段が接着シートＡＳに付与する繰出方向の張力は、ピン歯車６０Ａにおける円柱部６３Ａの外側間隔ＤＡ１と、孔ＳＨ２における外側間隔ＤＢとの差によって接着シートＡＳに付与される交差方向への張力と略同じ張力となるように設定されている。これとは逆に、ピン歯車６０Ａにおける円柱部６３Ａの外側間隔ＤＡ１と、孔ＳＨ２における外側間隔ＤＢとの差によって接着シートＡＳに付与される交差方向への張力が、繰出方向張力付与手段が接着シートＡＳに付与する繰出方向の張力と略同じ張力となるように、ピン６２Ａ間隔が設定されている。
その後、テーブル９２およびスライダ４９Ａが図４左側の二点鎖線で示す位置に到達し、ウェハＷＦが切断手段７の直下に位置したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２、接着シート支持手段４Ａおよび孔形成手段１０Ａが回動モータ２２、２５、４６、１４Ａ、１７Ａ、リニアモータ４８Ａの駆動を停止するとともに、テーブル９２が停止する。
【００３１】
次いで、切断手段７が各モータ７０、７２、７５を制御して、切断刃７７により第１実施形態と同様の保護シートＲＬ２０がウェハＷＦに残るように第２シートＲＬ２を切断し、切断刃７７を上昇させる。
この後、接着シート支持手段４Ａが回動モータ４３を駆動し、剥離ローラ４４を回転させると同時にリニアモータ４８Ａを駆動し、スライダ４９Ａを右方向に移動させる。これにより、第２シート部分ＲＬ２１が接着シートＡＳから剥離され、保護シートＲＬ２０および接着シートＡＳがウェハＷＦに貼付される。その後、スライダ４９Ａが図４中二点鎖線で示す位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、接着シート支持手段４Ａがリニアモータ４８Ａおよび回動モータ４３の駆動を停止する。
次いで、図示しない吸引手段が停止し、ウェハＷＦの吸着保持を解除した後、保護シートＲＬ２０および接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送される。そして、テーブル９２が図４右側の二点鎖線で示す位置に復帰し、以降上述と同様の動作が繰り返される。
【００３２】
以上のような第２実施形態によっても、第１実施形態の効果を奏することができる。
【００３３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３４】
また、図５におけるピン６２Ａの代わりに、図６に示すピン６２Ｄとしてもよく、ピン６２Ｄは、本体部６１Ａから突出し孔ＳＨ２に挿抜可能な外径を有する円柱状の円柱部６３Ｄと、当該円柱部６３Ｄを斜めに切断した傾斜部６４Ｄとを備えている。このような構成にすることで、図５（Ｂ）で示す各円錐部６４Ａの頂点６５Ａ間隔よりも各傾斜部６４Ｄの頂点６５Ｄの間隔を大きくすることができるので、円柱部６３Ｄにおける交差方向の外側間隔ＤＡ２を大きくし、第２シートＲＬ２に対する交差方向への張力を図５で示す張力よりも大きくすることができる。
【００３５】
さらに、幅方向張力付与手段が第２シートに張力を付与する方向は、１方向だけでなく、複数の方向であってよい。この場合、例えば、第１実施形態の幅方向張力付与手段６を、張力を付与する方向をずらして複数配置すればよい。
さらに、第１実施形態において、幅方向張力付与手段６の代わりに、押圧ローラ５４と同軸で回転可能なピン歯車６０Ａを有する幅方向張力付与手段６Ａを設けるとともに、孔形成手段１０Ａをさらに設け、直動モータ５１およびリニアモータ５０の駆動によって、ピン歯車６０Ａのピン６２Ａを第２シートＲＬ２の孔ＳＨ２に嵌合させて第２シートＲＬ２に張力を付与するとともに、右方向に移動する押圧ローラ５４によって接着シートＡＳを第２シートＲＬ２上から押圧してウェハＷＦに貼付してもよい。
また、第２実施形態において、シート貼付装置１Ａに孔形成手段１０Ａを設けずに、第２シートＲＬ２に孔ＳＨ２が形成された原反ＲＳを繰出手段２から繰り出すようにしてもよい。
さらに、第２実施形態において、孔ＳＨ２の形状としては、円形に限らず、多角形、楕円形であってもよく、ピン６２Ａ、６２Ｄの形状としては、孔ＳＨ２に嵌合する形状であれば、いかなる形状であってもよい。
また、第２実施形態において、ピン歯車６０Ａ、６０Ｄは、押圧ローラ５４とは異なるブラケットで回転可能に支持されていてもよい。
さらに、繰出方向張力付与手段が第２シートＲＬ２に付与する張力と、幅方向張力付与手段６、６Ａが第２シートＲＬ２に付与する張力とは、同じであってもよいし、同じでなくてもよい上、それらの内少なくとも一方が第２シートＲＬ２に張力を付与しなくてもよい。
【００３６】
また、本発明における接着シートＡＳ、第１および第２シートＲＬ１、ＲＬ２および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、第１および第２シートＲＬ１、ＲＬ２は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳ、第１および第２シートＲＬ１、ＲＬ２を加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳ、第１および第２シートＲＬ１、ＲＬ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付するができる。
さらに、第１および第２シートＲＬ１、ＲＬ２は、濡れ性や静電気等で接着シートＡＳを支持する樹脂やエラストマ等で構成してもよい。
【００３７】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３８】
１、１Ａ…シート貼付装置
２…繰出手段
３…剥離板（第１剥離手段）
４…接着シート支持手段
５、５Ａ…押圧手段
６、６Ａ…幅方向張力付与手段
７…切断手段
１０Ａ…孔形成手段
６０Ａ、６０Ｄ…ピン歯車
６２Ａ、６２Ｄ…ピン
ＡＤ…貼付面
ＡＳ…接着シート
ＲＳ…原反
ＳＨ２…孔
ＲＬ２３…把持部
ＲＬ１、ＲＬ２…第１、第２シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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