(57)【要約】【課題】装置環境などの要因による歩留り悪化を防ぐための歩留り管理装置等を提供する。【解決手段】歩留り管理装置１は、乾燥装置２３における基材１００の乾燥工程での歩留りに影響を与える要因である、乾燥装置２３内の異物数と圧力の指標値として異物数指標値Ａと圧力指標値Ｂを算出する。異物数指標値Ａは、パーティクル計測器４４で計測した単位体積当たり異物数ｎ、風速センサ４１で計測した風速ｖｈ、基材面積Ｓ、基材１００の乾燥装置２３内の滞在時間ｓｗ、および所定の基準値ｘを用いて、（ｎ・ｖｈ・Ｓ・ｓｗ−ｘ）／ｘで算出する。圧力指標値Ｂは、圧力センサ４３で計測した圧力Ｐａ、異物５０の粒子半径ｒおよび粒子密度ρ0、乾燥装置２３内の気体の密度ρおよび粘度μを用いて９μ・（Ｐａ／２ρ）1/2／（ｒ２・（ρ―ρ０）・ｇ）で算出する。これらの値Ａ、Ｂは歩留り管理に用いられる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥装置内の異物数が前記乾燥装置における基材の乾燥工程での歩留りに与える影響を示す異物数指標値と、
乾燥装置内の圧力が前記乾燥装置における基材の乾燥工程での歩留りに与える影響を示す圧力指標値と、
を算出することを特徴とする歩留り管理装置。
【請求項２】
前記圧力指標値を、
前記乾燥装置内で計測した圧力Ｐａ、前記異物の粒子半径ｒおよび粒子密度ρ0、前記乾燥装置内の気体の粘度μおよび密度ρ、重力加速度ｇを用いて、下記式
９μ・（Ｐａ／２ρ）1/2／（ｒ２・（ρ0―ρ）・ｇ）
で算出することを特徴とする請求項１記載の歩留り管理装置。
【請求項３】
前記異物数指標値を、
前記乾燥装置内で計測した単位体積当たり異物数ｎ、前記乾燥装置内で計測した風速ｖｈ、前記基材の面積Ｓ、前記基材の前記乾燥装置内の滞在時間ｓｗ、所定の基準値ｘを用いて、下記式
（ｎ・ｖｈ・Ｓ・ｓｗ−ｘ）／ｘ
で算出することを特徴とする請求項１または請求項２記載の歩留り管理装置。
【請求項４】
前記異物数指標値、および前記圧力指標値を、それぞれ異物数指標値の所定の閾値、および圧力指標値の所定の閾値と比較し判定を行うことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の歩留り管理装置。
【請求項５】
前記異物数指標値、および前記圧力指標値を用いて、前記乾燥装置における基材の乾燥工程での歩留り予測値を算出することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の歩留り管理装置。
【請求項６】
前記歩留り予測値を、歩留り予測値の所定の閾値と比較し判定を行うことを特徴とする請求項５に記載の歩留り管理装置。
【請求項７】
歩留り管理装置が、
乾燥装置内の異物数が前記乾燥装置における基材の乾燥工程での歩留りに与える影響を示す異物数指標値と、
乾燥装置内の圧力が前記乾燥装置における基材の乾燥工程での歩留りに与える影響を示す圧力指標値と、
を算出することを特徴とする歩留り管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、歩留りの管理を行うための歩留り管理装置、および歩留り管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタや半導体集積回路の製造工程では、乾燥工程における基材上への異物の付着など、様々な原因により不良品が発生する。そこで、このような不良品の発生を防ぎ歩留り（良品率）を向上させるため様々な取組が行われる。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載のシステムは、半導体集積回路の製造時の装置パラメータの時系列データを特徴量化して、この特徴量をもとに不良品が発生した原因となった装置パラメータを特定するものである。これにより、どの装置が原因となって不良品が発生したのかを特定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４２５０５５２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、カラーフィルタや半導体集積回路の製造現場では、製造状況が刻一刻と変化するので、これに伴い不良品の発生確率も変化する。従って、製造時にはこのような製造状況の変化を考慮して歩留りを管理し不良品の発生を抑え、生産効率を上げることが望ましい。
【０００６】
上記の従来技術は、不良品の発生原因を特定できるものであるが、製造時の歩留りの管理を行うものではなかった。また、製造状況に係る歩留り悪化の要因としては、装置環境など、装置本体の動作・機能以外の要因もあり、これによる歩留り悪化を防ぐことが望ましい。
【０００７】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的は、装置環境などの要因による歩留り悪化を防ぐための歩留り管理装置等を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述した目的を達成するための第１の発明は、乾燥装置内の異物数が前記乾燥装置における基材の乾燥工程での歩留りに与える影響を示す異物数指標値と、乾燥装置内の圧力が前記乾燥装置における基材の乾燥工程での歩留りに与える影響を示す圧力指標値と、を算出することを特徴とする歩留り管理装置である。
【０００９】
第１の発明によれば、周辺環境や装置の劣化状況に伴い変動し、乾燥工程での歩留りに影響を与える装置環境の要因として乾燥装置内の異物数と圧力を取り上げ、これらについて指標値を定義し算出することで、指標値に基づき歩留りの管理を定量的に行うことができる。従って、作業者の経験や勘に頼らない安定した解決プロセス、手法により、装置環境を原因とする歩留り悪化を抑えることができる。さらに、各要因について指標値を算出するので、これらの指標値を任意に確認することで各要因の影響を相対的に比較する事もできる。
【００１０】
また、装置環境を指標化して直接評価することで、装置故障等、装置本体の異常検知に先んじて歩留り悪化を早期に予測し、最適な改善策を実施することが可能である。これにより、不良品の発生を未然に防ぐ事が可能となる。
【００１１】
本発明の歩留り管理装置は、前記圧力指標値を、前記乾燥装置内で計測した圧力Ｐａ、前記異物の粒子半径ｒおよび粒子密度ρ0、前記乾燥装置内の気体の粘度μおよび密度ρ、重力加速度ｇを用いて、下記式
９μ・（Ｐａ／２ρ）1/2／（ｒ２・（ρ0―ρ）・ｇ）
で算出することが望ましい。
また、前記異物数指標値を、前記乾燥装置内で計測した単位体積当たり異物数ｎ、前記乾燥装置内で計測した風速ｖｈ、前記基材の面積Ｓ、前記基材の前記乾燥装置内の滞在時間ｓｗ、所定の基準値ｘを用いて、下記式
（ｎ・ｖｈ・Ｓ・ｓｗ−ｘ）／ｘ
で算出することが望ましい。
【００１２】
このようにして、歩留りに影響を与える乾燥装置内の異物数や圧力の要因を好適に指標化して歩留り管理に用いることができる。
【００１３】
さらに、前記異物数指標値、および前記圧力指標値を、それぞれ異物数指標値の所定の閾値、および圧力指標値の所定の閾値と比較し判定を行うことが望ましい。
このように指標値を用いた判定を行うことで、指標値が歩留り悪化につながる値になれば、作業者や管理者にその旨を通知することなどができ、適切な対処により歩留り悪化を未然に防ぐことが可能になる。
【００１４】
加えて、前記異物数指標値、および前記圧力指標値を用いて、前記乾燥装置における基材の乾燥工程での歩留り予測値を算出することが望ましい。
このように各指標値を用いて歩留りの予測値を算出することで、歩留り予測値に基づく詳細な管理が可能になる。
【００１５】
さらに、前記歩留り予測値を、歩留り予測値の所定の閾値と比較し判定を行うことが望ましい。
このように歩留り予測値による判定を行うことで、歩留りの予測値が低下すれば作業者や管理者にこれを知らせることができ、適切な対応が可能になる。
【００１６】
第２の発明は、歩留り管理装置が、乾燥装置内の異物数が前記乾燥装置における基材の乾燥工程での歩留りに与える影響を示す異物数指標値と、乾燥装置内の圧力が前記乾燥装置における基材の乾燥工程での歩留りに与える影響を示す圧力指標値と、を算出することを特徴とする歩留り管理方法である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明により、装置環境などの要因による歩留り悪化を防ぐための歩留り管理装置等を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】歩留り管理装置１を設けたカラーフィルタ製造装置２１を示す図
【図２】歩留り管理装置１のハードウェア構成図
【図３】歩留り管理装置１の機能構成を示す図
【図４】乾燥装置２３を示す図
【図５】歩留り管理装置１の処理手順を示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
【００２０】
（歩留り管理装置１の構成）
まず、図１〜図３を参照して、本実施形態の歩留り管理装置１について説明する。図１に示すように、歩留り管理装置１は、カラーフィルタ製造装置２１に設けられている。
【００２１】
このカラーフィルタ製造装置２１は、クリーンルーム２０内に、塗布装置２２、乾燥装置２３、露光装置２４、現像装置２５、乾燥装置２６等を設けたものである。
【００２２】
塗布装置２２は、基材上に感光性樹脂の塗布を行うものである。
乾燥装置２３は、感光性樹脂を塗布した基材に対しプリベークを行うものである。
露光装置２４は、基材上の感光性樹脂に対し、所定の遮光パターンを有するフォトマスクを介した露光を行うものである。
現像装置２５は、露光後の感光性樹脂の現像を行うことで、感光性樹脂のパターンを基材上に形成するものである。
乾燥装置２６は、パターンの現像後の基材に対しポストベークを行うものである。
なお、カラーフィルタ製造装置２１では、適宜、各装置の前後において基材の洗浄を行う洗浄装置（不図示）なども設けられる。
【００２３】
本実施形態の歩留り管理装置１は、カラーフィルタ製造装置２１の上記の各装置と接続される。歩留り管理装置１は、歩留りに影響を与える装置環境の要因に関する指標値を算出するとともに、指標値を用いて歩留り予測値を算出し、これらを用いて歩留り管理を行うためのものである。特に本実施形態では、歩留り管理装置１を用いて、乾燥装置２３における乾燥工程での歩留り管理を行うことについて説明する。
【００２４】
図２は、歩留り管理装置１のハードウェア構成を示す図である。図に示すように、歩留り管理装置１は、制御部１１、記憶部１２、入力部１３、表示部１４、通信部１５等がバス１６を介して接続されたサーバコンピュータ等で実現できる。
【００２５】
制御部１１は、ＣＰＵ（Central
Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等で構成される。
【００２６】
ＣＰＵは、記憶部１２、ＲＯＭ、記録媒体等に格納されるプログラムをＲＡＭ上のワークメモリ領域に呼び出して実行し、バス１６を介して接続された各部を駆動制御し、歩留り管理装置１が行う後述する処理を実現する。ＲＯＭは、不揮発性メモリであり、プログラムやデータ等を恒久的に保持している。ＲＡＭは、揮発性メモリであり、記憶部１２、ＲＯＭ、記録媒体等からロードしたプログラム、データ等を一時的に保持するとともに、制御部１１が各種処理を行う為に使用するワークエリアを備える。
【００２７】
記憶部１２は、ハードディスクドライブやフラッシュメモリ等であり、制御部１１が実行するプログラム、プログラム実行に必要なデータ等が格納される。これらの各プログラムコードは、制御部１１のＣＰＵにより必要に応じて読み出されてＲＡＭに移され、各種の手段として実行される。
【００２８】
入力部１３は、歩留り管理装置１に対して操作指示、動作指示、データ入力等を行うためのもので、例えば、タッチパネル、キー等の入力装置を有する。
表示部１４は、液晶パネル等のディスプレイ装置、およびディスプレイ装置と連携して表示機能を実現するための論理回路等を有する。
【００２９】
通信部１５は、ネットワーク等を介した通信を媒介する通信インタフェースである。
バス１６は、各部間の制御信号、データ信号等の授受を媒介する経路である。
【００３０】
次に、図３を参照して歩留り管理装置１の機能構成について説明する。図に示すように、歩留り管理装置１は、指標値算出部３１、予測値算出部３２、判定部３３を有する。また、記憶部１２には共通物性値３４などが記憶されている。
【００３１】
指標値算出部３１は、制御部１１が、歩留りに影響を与える装置環境等の要因について指標値を算出するものである。本実施形態では、乾燥装置２３内の浮遊異物（パーティクル）の数と圧力の要因について指標値を求めるが、これについては後述する。
【００３２】
予測値算出部３２は、制御部１１が、指標値算出部３１で算出した指標値から、歩留りを予測する予測値を算出するものである。
判定部３３は、制御部１１が、算出した指標値や予測値を用いて、歩留りに関する判定を行うものである。
【００３３】
記憶部１２には共通物性値３４が記憶される。共通物性値３４は、後述する異物数指標値や、圧力指標値を算出するために用いる値であり、例えば、
・基材の平面上の面積である基材面積Ｓ
・乾燥工程にて基材が乾燥装置２３内に滞在する滞在時間ｓｗ
・異物数指標値の算出に用いる基準値ｘ
・異物の粒子半径ｒ、粒子密度ρ0、
・乾燥装置２３内の気体の密度ρ、粘度μ
などがあり、乾燥装置２３での基材の乾燥工程における値を予め設定しておく。
【００３４】
ここで、異物は例えば乾燥装置２３の構成材料に用いられるアルミニウムの粉塵などであり、この場合、異物の粒子密度ρ0は２．６(g/cm3)程度である。また、乾燥装置２３内の気体は例えば空気であり、その密度ρは、温度が２０(℃)、湿度が０(％)の場合、１．２(g/cm3)程度である。なお、基準値ｘについては後述する。
【００３５】
さらに、記憶部１２には後述する歩留り管理に必要なその他の値が記憶される。これは、歩留り予測値の算出に用いる重み付け係数や装置パラメータ、また、指標値あるいは予測値の判定に用いる閾値などであり、予め値を定めて記憶部１２に記憶させておく。
【００３６】
（歩留り管理装置１による歩留り管理）
次に、図４、図５を参照し、本実施形態の歩留り管理装置１による歩留り管理の手順について説明する。前記したように、本実施形態では乾燥装置２３における乾燥工程での歩留り管理を行う例について説明する。
【００３７】
図４は乾燥装置２３の例を示す図である。図４（ａ）は図４（ｂ）の線ｂ−ｂに沿った乾燥装置２３の断面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）の線ａ−ａに沿った平面図である。この乾燥装置２３は、感光性樹脂を塗布した基材１００をホットプレート２３１により加熱して乾燥させるとともに、乾燥装置２３の下部の側方に設けた排気管などの排気部２３３を用いて、乾燥装置２３内の気体を、ホットプレート２３１の側方から、あるいはホットプレート２３１等に設けた不図示の通気経路を介して下方から排気することで、基材１００の上方からダウンフローの気流２３４を発生させるものである。
【００３８】
図に示すように、基材１００の上方から吹き付けられた気流２３４は、乾燥装置２３の下部の側方に設けられた排気部２３３から排気される。乾燥装置２３内の異物５０は、この気流２３４によって運ばれ、排気部２３３から排出される。なお、乾燥装置２３には、この他、基材１００の搬入出口２３５なども設けられる。
【００３９】
本実施形態では、歩留りに影響する乾燥装置２３の装置環境の要因として、乾燥装置２３内の異物数と圧力を取り上げ、これらの要因について指標値を算出する。
【００４０】
乾燥装置２３の内部には、指標値の算出に用いる値を計測するために各種の計測機器が設けられている。
【００４１】
すなわち、基材１００の上方に風速センサ４１が設けられ、ダウンフローの気流２３４の風速が計測される。また、排気部２３３に風速センサ４２と圧力センサ４３が設けられ、排気部２３３で排気される気流２３４について、風速と圧力が計測される。加えて、基材１００の上方にはパーティクル計測器４４が設けられ、単位体積当たりの異物数が計測される。これらの計測機器としては既知のものを使用可能である。各計測機器は歩留り管理装置１に接続し、歩留り管理装置１に計測結果を入力する。
【００４２】
次に、図５を参照して、歩留り管理装置１による歩留り管理の手順について説明する。
【００４３】
乾燥装置２３では、パーティクル計測器４４、風速センサ４１、風速センサ４２、および圧力センサ４３により、前記した各計測機器の設置箇所における単位体積当たり異物数ｎ、風速ｖｈ、風速ｖ、圧力Ｐａが所定の時間間隔で計測される。これらの計測結果は歩留り管理装置１に入力され、歩留り管理装置１によって取得される（Ｓ１）。
【００４４】
すると、歩留り管理装置１は、上記のｎ、ｖｈ、Ｐａの他、記憶部１２に予め記憶された共通物性値３４を用いて、乾燥装置２３における乾燥工程での歩留りに影響を与える異物数の指標値である異物数指標値Ａと、同じく歩留りに影響を与える圧力の指標値である圧力指標値Ｂを算出する（Ｓ２）。
【００４５】
ここで、Ｓ２における異物数指標値Ａの算出について説明する。
【００４６】
まず、基材１００上の空間で気流２３４により単位時間に運ばれる異物数Ｎ０は、
Ｎ０＝ｎ・ｖｈ・Ｓ…（１）
で求められる。従って、基材１００が乾燥装置２３内に滞在している間、基材１００上に運ばれる異物数Ｎｋは、
Ｎｋ＝Ｎ０・ｓｗ＝ｎ・ｖｈ・Ｓ・ｓｗ…（２）
で求められる。
【００４７】
この異物数Ｎｋが所定の基準値ｘのとき、基材１００上に異物５０が付着せず、あるいは付着しても微小量であったりして歩留りを１００％とみなせる場合、異物数指標値Ａを、基準値ｘを用いて
Ａ＝（Ｎｋ−ｘ）/ｘ＝（ｎ・ｖｈ・Ｓ・ｓｗ−ｘ）／ｘ…（３）
により算出する。
【００４８】
異物数指標値Ａは、大きな値になるほど、基材１００上に異物５０が付着することによる不良品発生の恐れが大きくなる。なお、基準値ｘは実際の乾燥工程における歩留りの検討などから予め設定することができる。例えば、異物数以外の要因が正常であるケースにおいて、異物数Ｎｋと歩留りとの関係を検討し、歩留りが１００％とみなせる異物数Ｎｋの最大値を用いることができる。
【００４９】
次に、Ｓ２における圧力指標値Ｂの算出について説明する。
【００５０】
前記したように、乾燥装置２３内では基材１００の上方からダウンフローの気流２３４が生じており、これが乾燥装置２３の下部の側方にある排気部２３３から排気されている。ここで、ベルヌーイの定理から、排気部２３３の圧力Ｐａについて、
Ｐａ＝ρ・（ｖａｔ）2／２＋ｐ0…（４）
が成り立つ。なお、ｖａｔは排気部２３３での排気風速であり、ｐ０は静圧を示す。本実施形態では気流制御された乾燥装置２３内の空間を考えるので静圧ｐ0の影響を無視すると、式（４）は、
Ｐａ＝ρ・（ｖａｔ）２／２…（４’）
と表せる。これをｖａｔについて表すと、
ｖａｔ＝（２Ｐａ／ρ）1/2…（５）
となる。
【００５１】
一方、ストークスの式から、異物５０の沈降速度ｖｃは、
ｖc＝２ｒ２・（ρ0―ρ）・ｇ／９μ…（６）
と表すことができる。ｇは重力加速度である。
【００５２】
ここで、ｖａｔがｖcと同程度であるか、もしくはｖａｔがｖｃに対し大きい場合では、異物５０が気流２３４によって正常に運ばれ排気部２３３から排出されると考えられ問題はないが、ｖａｔがｖcに対し小さい場合では、排気風速が遅く、異物５０が気流２３４によって正常に運ばれず基材１００上に付着する恐れが増大すると考えられる。
【００５３】
従って、本実施形態では、圧力指標値Ｂとして、ｖａｔとｖcの比を求める。すなわち、歩留り管理装置１は、圧力指標値Ｂを、
Ｂ＝ｖａｔ／ｖc＝９μ・（Ｐａ／２ρ）1/2／（ｒ2・（ρ0―ρ）・ｇ）…（７）
として算出する。圧力指標値Ｂは、小さな値になるほど、異物５０の基材１００への付着による不良品発生の恐れが大きくなる。
【００５４】
Ｓ２では、以上のようにして、歩留り管理装置１により、異物数指標値Ａと、圧力指標値Ｂが算出される。
【００５５】
なお、本実施形態では、圧力指標値Ｂの算出時に、実際に排気部２３３で計測される風速ｖを用いず、圧力センサ４３で計測したＰａを用いて排気部２３３の排気風速ｖａｔを算出している。これは、本実施形態では、理想的なクリーン環境として基材１００上方から排気部２３３へ至り排気部２３３で排気される方向の気流２３４を想定して、この気流２３４の方向に沿った同軸上における異物５０の沈降速度と排気風速ｖａｔの比を算出することで、装置の構造や内部部品の配置、稼働状況による実際の気流の散逸の影響をできるだけ低減して安定した指標値による歩留り管理を可能にするためである。
【００５６】
図５の説明に戻る。歩留り管理装置１は、次に、異物数指標値Ａと圧力指標値Ｂを用いて、乾燥装置２３における歩留り予測値Ｃ［％］を算出する（Ｓ３）。
【００５７】
Ｓ３では、次式
Ｃ＝αＡ＋βＢ＋…＋ωＺ  …（８）
により、歩留り予測値Ｃを算出する。異物数指標値Ａと圧力指標値Ｂのみから歩留り予測値Ｃを算出してもよいが、この式（８）では、その他の要因の指標値Ｚなども考慮するようにしている。異物数や圧力以外の要因としては、例えば特許文献１に示されているような装置パラメータがあり、乾燥装置２３での例を挙げると、装置内温度や装置への投入電力などがある。これらの要因についても上記と同様、歩留りへの影響に関し適切な指標値Ｚを定めることが可能である。
【００５８】
また、α、β、…、ωは、各要因の指標値が乾燥装置２３での基材１００の乾燥工程における歩留りに影響を与える度合いを示す重み付け係数である。この重み付け係数は、実際の乾燥工程の検討などにより予め設定しておく。例えば、ある要因の指標値の重み付け係数は、その他の要因が一定であるときに、該指標値の値と歩留りとの関係を検討することで求めることが可能である。
【００５９】
なお、Ｓ２、Ｓ３で算出した指標値や予測値は、歩留り管理装置１の表示部１４に表示させたり、歩留り管理装置１とネットワークを介して接続された管理者等の端末に表示させるようにしてもよい。
【００６０】
図５の説明に戻る。歩留り管理装置１は、次に、異物数指標値Ａと圧力指標値Ｂを、予め定めた異物数の第１の閾値Ａ１、圧力の第１の閾値Ｂ１とそれぞれ比較する（Ｓ４、Ｓ５）。
【００６１】
異物数指標値Ａの値が第１の閾値Ａ１以上である場合（Ｓ４：ＹＥＳ）、歩留り管理装置１は、その旨を示す警告を表示部１４に表示するとともに、風速センサ４２で計測された排気部２３３の実際の風速ｖを、予め定めた閾値ｖ１と比較する（Ｓ６）。
また、圧力指標値Ｂの値が第１の閾値Ｂ１以下である場合（Ｓ５：ＹＥＳ）も、その旨を示す警告を表示部１４に表示するとともに、風速ｖを閾値ｖ１と比較する（Ｓ６）。
【００６２】
Ｓ６において、排気部２３３の実際の風速ｖを閾値ｖ１と比較するのは、異物数指標値Ａの値が第１の閾値Ａ１以上となったり、圧力指標値Ｂの値が第１の閾値Ｂ１以下となったりする原因として、本実施形態では、排気部２３３の排気管等の配管詰まりがあり適切な排気が行われず、乾燥装置２３内の異物５０が適切に排出されていないことを想定しているためである。前記の排気風速ｖａｔはあくまで計算によって算出した値であるので、Ｓ６では、改めて排気部２３３の実際の風速ｖを参照し、配管詰まりの可能性について判定を行う。
【００６３】
歩留り管理装置１は、風速ｖが閾値ｖ１以下である場合（Ｓ６：ＹＥＳ）、排気部２３３に重度の配管詰まりの恐れがあるとして、配管交換の必要を示す警告を表示部１４に表示し（Ｓ７）、処理を終了する。
一方、風速ｖがｖ１を超える場合（Ｓ６：ＮＯ）、排気部２３３に軽度の配管詰まりの恐れがあるとして、配管清掃の必要を示す警告を表示部１４に表示し（Ｓ８）、処理を終了する。
【００６４】
一方、Ｓ４、Ｓ５の判定において、異物数指標値Ａの値が第１の閾値Ａ１未満であり（Ｓ４：ＮＯ）、かつ圧力指標値Ｂが第１の閾値Ｂ１を上回る（Ｓ５：ＮＯ）場合は、歩留り管理装置１は、さらに、異物数指標値Ａと圧力指標値Ｂを、予め定めた異物数の第２の閾値Ａ２、圧力の第２の閾値Ｂ２とそれぞれ比較する（Ｓ９、Ｓ１０）。ここで、Ａ２＜Ａ１、Ｂ２＞Ｂ１である。
【００６５】
歩留り管理装置１は、異物数指標値Ａの値が第２の閾値Ａ２未満であり（Ｓ９：ＮＯ）、かつ圧力指標値Ｂが第２の閾値Ｂ２を上回る場合（Ｓ１０：ＮＯ）、各指標値が正常な範囲にあり配管詰まりの恐れはないと判定し、処理を終了する。
【００６６】
一方、異物数指標値Ａの値が第２の閾値Ａ２以上である場合（Ｓ９：ＹＥＳ）、歩留り管理装置１は、その旨を示す警告を表示部１４に表示するとともに、Ｓ３で算出した歩留り予測値Ｃを、予め定めた閾値Ｃ１と比較する（Ｓ１１）。
また、圧力指標値Ｂの値が第２の閾値Ｂ２以下である場合（Ｓ５：ＹＥＳ）も、その旨を示す警告を表示部１４に表示するとともに、歩留り予測値Ｃを閾値Ｃ１と比較する（Ｓ１１）。
【００６７】
これは、異物数指標値Ａの値が、第２の閾値Ａ２以上、第１の閾値Ａ１未満となったり、圧力指標値Ｂの値が第１の閾値Ｂ１以上、第２の閾値Ｂ２未満となる場合は、直ちに配管交換が必要となる可能性があるというほどではないが、詳細な歩留りの監視は必要であるためである。ここでは、Ｓ３で算出した歩留り予測値Ｃを用いて、歩留りの値を基準とした判定を行うようにしている。
【００６８】
歩留り管理装置１は、歩留り予測値Ｃが閾値Ｃ１を超える場合（Ｓ１１：ＮＯ）、歩留り予測値が正常な範囲にあり配管詰まりの恐れはないと判定し、処理を終了する。
一方、歩留り予測値Ｃが閾値Ｃ１以下である場合（Ｓ１１：ＹＥＳ）、排気部２３３に軽度の配管詰まりの恐れがあるとして、配管清掃の必要を示す警告を表示部１４に表示し（Ｓ１２）、処理を終了する。
【００６９】
歩留り管理装置１は、乾燥装置２３の稼働中、所定の時間間隔でＳ１〜Ｓ１２の処理を繰り返す。この際、各指標値や予測値等を用いた判定を行い、判定結果から上記した各種の警告を行うことで、作業者等に対し歩留り悪化の恐れを通知し、適切な対処を促して不良品の発生を防ぐことができる。なお、警告は、表示部１４での表示により行うものに限らず、音声などによるアラームにて行ってもよい。
【００７０】
なお、図４では、説明を簡単にするため、一側面の排気部２３３の風速センサ４２や圧力センサ４３のみを図示しており、図５で説明した処理も、この排気部２３３の配管詰まりに着目しこれによる歩留り悪化を未然に防ぐようにしたものである。ただし、実際には、例えば図４の他の排気部２３３など、乾燥装置２３の各排気部について風速センサ４２や圧力センサ４３を設け、上記のフローにて配管詰まりによる歩留り悪化を未然に防ぐようにしておく。
【００７１】
以上説明したように、本実施形態では、乾燥装置２３の装置環境が歩留りに影響を与える要因として、乾燥装置２３内の異物数と圧力を取り上げ、これらの要因の指標値を、それぞれ前記した式（３）、式（７）を用いて算出し、歩留りの管理に用いる。
【００７２】
このように、周辺環境や装置の劣化状況に伴い変動し、歩留りに影響を与える装置環境の要因について指標値を定義し算出することで、指標値に基づき歩留りを定量的に管理することができる。従って、作業者の経験や勘に頼らない安定した解決プロセス、手法により、装置環境を原因とする歩留り悪化を抑えることができる。さらに、各要因について指標値を算出するので、これらの指標値を任意に確認することで各要因の影響を相対的に比較する事もできる。
【００７３】
また、装置環境を指標化して直接評価することで、装置故障等、装置本体の異常検知に先んじて歩留り悪化を早期に予測し、最適な改善策を実施することが可能である。これにより、不良品の発生を未然に防ぐ事が可能となる。例えば、指標値による判定を行うことで、指標値が正常な範囲にない場合には作業者や管理者にこれを知らせることができ、適切な対処により歩留り悪化を未然に防ぐことが可能になる。
【００７４】
なお、本実施形態では異物数指標値Ａや圧力指標値Ｂが正常な範囲にない原因として配管詰まりを考慮しており、これを解決するために配管の清掃や交換を行うことにしている。しかしながら、その原因が配管詰まりに限ることはなく、想定される原因に応じて適切な対処を行うことが可能である。
【００７５】
例えば、異物数指標値Ａのみが正常な範囲にない場合、乾燥装置２３内への異物５０の流入量が多くなっている可能性も考えられる。従って、例えば前記のＳ４、Ｓ５の判定において、Ｓ４では異物数指標値Ａが第１の閾値Ａ１以上でありＹＥＳと判定されるが、Ｓ５では圧力指標値Ｂが第１の閾値Ｂ１を超えておりＮＯと判定されるような場合、クリーンルーム２０内の浮遊異物の除去を促すような警告を行うことも考えられる。
【００７６】
また、本実施形態では、異物数指標値Ａや圧力指標値Ｂなどを用いて乾燥装置２３での乾燥工程における歩留り予測値を算出するので、歩留り予測値に基づく管理が可能になる。例えば歩留り予測値による判定を行うことで、歩留り予測値が低下すれば作業者や管理者にこれを知らせることができ、適切な対応が可能になる。
【００７７】
また、本実施形態では、乾燥装置２３内の異物数と圧力の要因について、指標値をそれぞれ前記の式（３）、式（７）を用いて算出した。これらの式は、簡潔に言えば、基材１００上に運ばれる異物数や排気部２３３の排気風速を、不良品が発生しないとする値と比較したものであり、異物数や圧力が歩留りへ与える影響を捉えやすく、これをより正確に評価できる利点がある。ただし、指標値はこれらに限定されることはない。例えば、異物数指標値Ａとして、前記のＮｋをそのまま使用することも可能である。
【００７８】
また、乾燥装置２３内の各計測機器の配置も、図４等で説明したものに限ることはない。例えば本実施形態では、風速センサ４２や圧力センサ４３を排気部２３３に設けているが、風速センサ４２や圧力センサ４３は、排気部２３３の近辺などに設けることも考えられる。
【００７９】
加えて、前記の圧力センサ４３としては差圧計を用いてもよく、この場合は、乾燥装置２３内の排気部２３３に一方の圧力センサを設けるとともに、排気部２３３の排気管の終端部など圧力が既知の箇所に他方の圧力センサを設けておき、その差圧から排気部２３３の圧力Ｐａを求めることも可能である。この場合では、例えば前記のＳ６などで、差圧の大きさ自体から配管詰まりの判定を行うことも可能である。
【００８０】
また、本実施形態では乾燥装置２３の歩留り管理を行う例を説明したが、カラーフィルタ製造装置２１の他の装置についても、同様にして歩留りに影響を与える要因を指標値として算出するとともに、指標値を用いて歩留り予測値を算出し、これらを用いて判定を行い歩留り管理を行うことも可能である。また、各装置について歩留り予測値を算出すれば、カラーフィルタ製造工程全体における歩留り予測値をこれらの積として算出し、これを用いて歩留り管理を行うことも可能になる。
【００８１】
さらに、本実施形態ではカラーフィルタ製造装置２１の例を説明したが、これに限ることはない。例えば本発明は半導体集積回路の製造装置にも適用することが可能であり、製造装置に含まれる基材乾燥用の乾燥装置において、本発明の歩留り管理装置を用いて前記と同様の歩留り管理を実行することが可能である。
【００８２】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００８３】
１：歩留り管理装置
２１：カラーフィルタ製造装置
２３：乾燥装置
３１：指標値算出部
３２：予測値算出部
３３：判定部
４１、４２：風速センサ
４３：圧力センサ
４４：パーティクル計測器
１００：基材
２３１：ホットプレート
２３３：排気部
２３４：気流
Ａ：異物数指標値
Ｂ：圧力指標値
Ｃ：予測値
Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２、Ｃ１、ｖ１：閾値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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