(57)【要約】【課題】接着剤の塗布及び基板への貼り付けを一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良く且つ高精度で行うことができる貼付装置を提供する。【解決手段】本発明の貼付装置１００は、フィルム６０を搬送するフィルム搬送部１０４と、フィルム６０に塗布液を塗布する塗布部１０６と、フィルム６０を基板１に貼り付ける貼付部１０５と、基板１への貼付前のフィルム６０における、搬送方向と交差するフィルム幅方向での基板１に対する相対位置を検出する位置検出部１０９と、フィルム６０の貼付時において、少なくとも位置検出部１０９の検出結果に基づいて相対位置を補正する位置補正機構１１１と、を備えることを特徴とする。【選択図】図１
2014236031.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムを搬送するフィルム搬送部と、
前記フィルムに塗布液を塗布する塗布部と、
前記フィルムを基板に貼り付ける貼付部と、
前記基板への貼付前の前記フィルムにおける、搬送方向と交差するフィルム幅方向での前記基板に対する相対位置を検出する位置検出部と、
前記フィルムの貼付時において、少なくとも前記位置検出部の検出結果に基づいて前記相対位置を補正する位置補正機構と、
を備えることを特徴とする貼付装置。
【請求項２】
前記基板を搬送するとともに前記位置補正機構と一体に形成される基板搬送部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の貼付装置。
【請求項３】
前記位置補正機構は、前記基板が搬送される基板搬送方向に交差する基板幅方向において前記基板の位置を補正することを特徴とする請求項２に記載の貼付装置。
【請求項４】
前記塗布液が塗布された前記フィルムを所定の長さに切断するカッターをさらに備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項５】
前記フィルムは、前記塗布液が塗布される主フィルム材と、保護材とを含み、
前記貼付部は、前記主フィルム材から前記保護材を剥離するとともに前記塗布液を介して該主フィルム材を前記基板に貼り付けることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項６】
前記基板に貼り付けられた前記フィルムを検査するフィルム検査部をさらに備え、
前記位置補正機構は、さらに前記フィルム検査部の検出結果に基づいて、前記相対位置を補正することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項７】
前記塗布部が前記塗布液として接着剤を塗布することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項８】
前記搬送部は、前記塗布部に対して前記フィルムを水平面と交差する方向に沿って搬送することを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フィルムを搬送しつつ、基板に貼り付ける貼り付け装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４５６８３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来技術においては、基板への貼り付けを行う前にフィルム材に接着材を塗布する必要があり、別途接着剤（塗布液）を塗布するための塗布装置が必要となっていた。そこで、フィルムへの接着剤の塗布工程と、接着剤を塗布したフィルムの基板への貼り付け工程とを一貫ラインで行うことで効率よく基板にフィルムを貼り付けることができる新たな技術の提供が望まれている。
【０００５】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、接着剤または粘着剤の塗布及び基板への貼り付けを一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良く且つ高精度で行うことができる貼付装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の貼付装置は、フィルムを搬送するフィルム搬送部と、前記フィルムに塗布液を塗布する塗布部と、前記フィルムを基板に貼り付ける貼付部と、前記基板への貼付前の前記フィルムにおける、搬送方向と交差するフィルム幅方向での前記基板に対する相対位置を検出する位置検出部と、前記フィルムの貼付時において、少なくとも前記位置検出部の検出結果に基づいて前記相対位置を補正する位置補正機構と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明の貼付装置によれば、フィルムに塗布液を塗布する塗布工程、及びフィルムを基板に貼り付ける工程を一貫したラインで行うことができるので、効率良くフィルムを基板に貼り付けることができる。また、位置補正機構が基板に対するフィルムの幅方向における相対位置、すなわち位置ずれを補正するため、基板とフィルムとを精度良く貼り付けることができる。
【０００８】
また、上記貼付装置においては、前記基板を搬送するとともに前記位置補正機構と一体に形成される基板搬送部をさらに備えるのが好ましい。
この構成によれば、位置補正機構が一体に形成された基板搬送部を備えるので、基板を搬送しながらフィルムに対する基板の相対位置を調整することが可能となる。
【０００９】
また、上記貼付装置においては、前記位置補正機構は、前記基板が搬送される基板搬送方向に交差する基板幅方向において前記基板の位置を補正するのが好ましい。
この構成によれば、基板幅方向において基板の位置が補正されるので、フィルムを幅方向に移動させることなく、基板とフィルムとの相対位置、すなわち相対的な位置ずれを簡便且つ確実に補正することができる。
【００１０】
また、上記貼付装置においては、前記塗布液が塗布された前記フィルムを所定の長さに切断するカッターをさらに備えるのが好ましい。
この構成によれば、塗布液を塗布したフィルムを所定の長さに切断されるので、フィルムとして長尺状のロール体から巻き出したものを使用することができる。よって、フィルムを貼り付ける対象となる基板として種々の大きさのものを使用する事ができ、汎用性の高い貼付装置を提供できる。また、ロール体から巻き出されたフィルムを複数の基板に対して順次貼り付けることができ、貼り付け工程をより効率的に行うことができる。
【００１１】
また、上記貼付装置においては、前記フィルムは、前記塗布液が塗布される主フィルム材と、保護材とを含み、前記貼付部は、前記主フィルム材から前記保護材を剥離するとともに前記塗布液を介して該主フィルム材を前記基板に貼り付けるのが好ましい。
この構成によれば、基板に貼り付けられる主フィルム材が保護材によって保護されているので、基板に貼り付けられる前の主フィルム材に傷が付くのを防止することができる。
【００１２】
また、上記貼付装置においては、前記基板に貼り付けられた前記フィルムを検査するフィルム検査部をさらに備え、前記位置補正機構は、さらに前記フィルム検査部の検出結果に基づいて、前記位置ずれを補正するのが好ましい。
この構成によれば、基板に貼り付けられたフィルムの検査結果がフィードバックすることで位置ずれが補正されるので、フィルムと基板との貼り付け精度をより向上させることができる。
できる。
【００１３】
また、上記貼付装置においては、前記塗布部が前記塗布液として接着剤を塗布するのが好ましい。
この構成によれば、塗布部が接着剤を塗布するので、該接着剤によりフィルムと基板とを簡便に貼り付けることができる。
【００１４】
また、上記貼付装置においては、前記搬送部は、前記塗布部に対して前記フィルムを水平面と交差する方向に沿って搬送するのが好ましい。
この構成によれば、水平面と交差する方向、例えば鉛直方向に沿って搬送されるフィルムに対して塗布液が塗布されるので、塗布時に飛散して下方に落下したミストが付着することが防止され、フィルムに安定した膜厚の塗布液を塗布することができる。よって、塗布液の塗布面にムラが発生するのを抑制できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、接着剤または粘着剤の塗布及び基板への貼り付けを一貫ラインで行う際、貼り付け作業を効率良く且つ高精度で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第一実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図。
【図２】第１吸着ローラーおよび第２吸着ローラーの概略構成を示す断面図。
【図３】カッター部の概略構成を及びフィルムの積層構造を示す図。
【図４】フィルム位置検出部の概略構成を示す図。
【図５】位置補正機構の要部構成を示す図。
【図６】塗布部の要部構成を示す概略図。
【図７】フィルムに対するノズル先端の動きを表した図。
【図８】回動部を有しない場合のノズル先端の動きを表した図。
【図９】塗布部の周辺構成を示す概略図。
【図１０】ミスト回収機構の構成を示す概略図。
【図１１】膜厚調整機構の周辺構成を示す図。
【図１２】貼付装置によるフィルムの貼付工程を説明するフロー図。
【図１３】第二実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す図。
【図１４】第二実施形態に検査部によるフィルムの検査方法の説明図。
【図１５】第三実施形態に係る貼付装置の構成を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図。
【図１６】第四実施形態に係る膜厚調整部の構成を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図。
【図１７】第五実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す図。
【図１８】第六実施形態に係るフィルム保持ローラーの周辺構成の拡大図。
【図１９】第七実施形態に係るカッター部及びその周辺の概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明の貼付装置に係る一実施形態について説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内におけるフィルムの搬送方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。本実施形態に係る貼付装置は、長尺状の保護材及び主フィルム材が貼り合わされてなるフィルムをロール状に巻回したロール体から巻き解いたフィルムを搬送しながらフィルムから保護材と主フィルム材とを分離し、主フィルム材を基板に貼り付ける装置に関するものである。
【００１８】
（第一実施形態）
図１は本実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図である。
図１に示すように、貼付装置１００は、装置筐体１０１、基板供給部１０２、基板搬送部１０３、フィルム搬送部１０４、フィルム貼付部（貼付部）１０５、貼付補助部１３５、塗布部１０６、加熱部１０７、フィルム位置検出部（位置検出部）１０９、及び位置補正機構１１１を備えている。
【００１９】
基板供給部１０２は、装置筐体１０１内に基板１を移動させることで供給するためのものである。基板供給部１０２は、フィルム貼付前の基板１を複数保持するカセット１０２ａと、該カセット１０２ａの内部から基板１を引き出し可能な駆動部１０２ｂと、を有している。なお、カセット１０２ａは、内部に保持する基板１を駆動部１０２ｂに引き渡し可能な位置まで下降可能な構成となっている。これにより、基板供給部１０２は、駆動部１０２ｂによってカセット１０２ａ内から複数の基板１を順次装置筐体１０１側に供給可能となっている。なお、基板供給部１０２の構成は、カセット１０２ａから基板１を順次供給する構成に限定されず、搬送ロボットにより基板１を１枚ずつ順次装置筐体１０１側に供給する構成を採用してもよい。
【００２０】
基板搬送部１０３は、基板１を所定位置（フィルム貼付位置）まで移動させるとともに、フィルムの貼り付け後に基板１を装置筐体１０１から搬出するための搬出位置まで移動させる。
【００２１】
フィルム搬送部１０４は、基板１に対する貼付位置までフィルムを搬送するためのものである。フィルム貼付部１０５は、フィルム搬送部１０４で搬送されたフィルムを基板１に貼り付けるためのものである。貼付補助部１３５は、後述のように基板１を挟むことで基板１に対するフィルムを密着させる貼付補助動作を行うためのものである。
【００２２】
塗布部１０６は、フィルム６０を基板１に接着可能とするための塗布液として接着剤または粘着剤を該基板１に対して塗布するためのものである。
加熱部１０７は、塗布部１０６で接着剤または粘着剤が塗布されたフィルム６０を加熱する（ベーク処理）ことで接着剤または粘着剤を硬化させるためのものである。
【００２３】
フィルム位置検出部１０９は、フィルム搬送部１０４により搬送されるフィルム６０における、搬送方向と交差するフィルム幅方向（Ｙ方向）での基板１に対する相対位置を検出するためのものである。位置補正機構１１１は、フィルム６０の貼付時に、少なくともフィルム位置検出部１０９の検出結果に基づいて、上記フィルム幅方向での基板１に対する相対位置を補正するためのものである。
【００２４】
上記基板搬送部１０３は、第１基板搬送ローラー部３０、第２基板搬送ローラー部３１、第３基板搬送ローラー部３２、第４基板搬送ローラー部３３、及び第５基板搬送ローラー部３４を有している。
【００２５】
第３基板搬送ローラー部３２は、不図示の駆動モーターにより駆動される搬送ローラー（第１搬送ローラー）３２ａから構成されるものである。搬送ローラー３２ａはフィルム搬送部１０４におけるフィルムの貼付作業を行うためのフィルム貼付ローラー４０との間で基板１を挟持する構成となっている。これにより、搬送ローラー３２ａ上の基板１にフィルムを貼り付け可能となっている。すなわち、搬送ローラー３２ａ及びフィルム貼付ローラー４０は、本発明に係るフィルム貼付部１０５を構成している。
【００２６】
第１基板搬送ローラー部３０は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー３０ａを有している。これにより、第１基板搬送ローラー部３０は、基板供給部１０２から供給された基板１を受け取って装置筐体１０１内へと導くようになっている。
【００２７】
第２基板搬送ローラー部３１は、フィルム貼付部１０５を介して、第４基板搬送ローラー部３３と対向するように配置されている。
第２基板搬送ローラー部３１は、複数（本実施形態では３つ）のローラー対１３１を有している。各ローラー対１３１は、下側ローラー３１ａ及び上側ローラー３１ｂを有している。基板１は、これらローラー３１ａ，３１ｂ間に挟持された状態で搬送されるようになっている。
【００２８】
第４基板搬送ローラー部３３は、フィルム搬送部１０４でフィルムが貼り付けられた基板１を受け取るようになっている。第４基板搬送ローラー部３３は、複数（本実施形態では２つ）のローラー対１３３を有している。各ローラー対１３３は、下側ローラー３３ａ及び上側ローラー３３ｂを有している。基板１は、これらローラー３３ａ，３３ｂ間に挟持された状態で搬送されるようになっている。
【００２９】
第３基板搬送ローラー部３２及び第４基板搬送ローラー部３３との間には、上記貼付補助部１３５が配置されている。貼付補助部１３５は、搬送ローラー（第２搬送ローラー）１３５ａと、貼付補助ローラー１３５ｂと、を有している。貼付補助ローラー１３５ｂは、搬送ローラー１３５ａに対して進退可能とされている。
【００３０】
貼付補助部１３５は、基板１を搬送する搬送ローラー１３５ａに対して貼付補助ローラー１３５ｂを近づけることで該貼付補助ローラー１３５ｂ及び搬送ローラー１３５ａ間に基板１を挟むことが可能となっている。なお、貼付補助ローラー１３５ｂを昇降させる駆動部は、搬送ローラー１３５ａとの間で基板１に押し付け力を付与する。上記駆動部は、例えばシリンダーやモーター等から構成され、該駆動部を制御することで上記押し付け力が制御される。上記駆動部は、基板１のサイズと搬送時間に基づいて貼付補助ローラー１３５ｂを昇降させるタイミングを規定する。
【００３１】
貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向（＋Ｘ方向）における後端に当接し、後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟む。なお、貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向における後端の時点で当接していればよく、基板１の当接開始位置は特に限定されない。すなわち、貼付補助ローラー１３５ｂは、基板１の半分から当接を開始してもよいし、基板１の搬送方向先端から当接を開始してもよい。
【００３２】
このようにフィルム貼付部１０５がフィルムの搬送方向（＋Ｘ方向）における後端のエッジ部を抑えることでフィルムの後端の切断部分を確実に基板１に接着し、基板１の全面に亘ってフィルムを良好に接着することができる。
【００３３】
第５基板搬送ローラー部３４は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー３４ａを有している。これにより、第５基板搬送ローラー部３４は、第４基板搬送ローラー部３３から搬送された基板１を受け取って不図示の基板搬出用カセット内に収容するように移動させる。
【００３４】
上記フィルム搬送部１０４は、フィルム繰出部４１と、搬送経路調整部４２と、フィルム保持ローラー４３と、第１吸着ローラー４４と、カッター部４８と、タイミング調整部４７と、中継ローラー部４５と、第２吸着ローラー４９と、フィルム貼付ローラー４０と、フィルム巻取部５１と、中継ローラー５２，５３とを有する。
【００３５】
フィルム繰出部４１は、フィルム６０をロール状に巻回したロール体Ｒを保持するとともに回転する回転駆動部４１ａを有する。なお、フィルム６０は、主フィルム材６１と、保護材６２と、これら主フィルム材６１および保護材６２を貼り合せる粘着層６３とを有した長尺状から構成されている（図３参照）。フィルム６０は、搬送方向と交差する方向におけるフィルム幅が基板１の幅に対応している。ここで、基板１の幅に対応するとは、フィルム６０及び基板１の幅が実質的に同一である場合のみならず、フィルム６０の幅が基板１の幅よりも若干広い或いは若干狭い場合も含む。これにより、フィルム搬送部１０４はロール体Ｒからフィルム６０を巻き解くことで搬送するようになっている。
【００３６】
搬送経路調整部４２は、回転駆動部４１ａに回動可能に取り付けられるレバー部１４１と、レバー部１４１の先端に回動可能に取り付けられてフィルム６０に当接する当接ローラー１４２と、を有する。レバー部１４１は、回転駆動部４１ａにロール体Ｒと同軸上で回転するようになっている。
【００３７】
ロール体Ｒから巻き解かれたフィルム６０は、ロール体Ｒの残量に応じて搬送経路（搬送距離）が変化する。このようにフィルム６０の搬送経路（搬送距離）が変化すると、フィルム６０の搬送速度を一定に保つために回転駆動部４１ａの駆動条件を変更する必要がある。
【００３８】
これに対し、本実施形態に係るフィルム搬送部１０４は、搬送経路調整部４２がレバー部１４１を所定位置に回動させることでフィルム６０の搬送距離（搬送経路）を変化させるようにしている。例えば、フィルム搬送部１０４は、ロール体Ｒの残量が少なくなると当接ローラー１４２を下降させるようにレバー部１４１を回動させることでロール体Ｒの外形が小さくなることで短くなった搬送距離を延ばすことができる。このように搬送経路調整部４２によれば回転駆動部４１ａの駆動条件（回転速度）を変更することなく、フィルム６０の搬送速度を一定に保つことができる。なお、自重で下がった当接ローラー１４２によってフィルム６０の搬送経路（搬送距離）を変化させるようにしてもよい。この場合、当接ローラー１４２の近傍に設けた不図示のセンサにより該当接ローラー１４２の下がり量を測定し、該測定値に基づいて回転駆動部４１ａによるロール体Ｒの回転速度を変更すればよい。
【００３９】
フィルム保持ローラー４３は、後述する第１吸着ローラー４４との間でフィルム６０が略鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って搬送されるように保持するためのものである。これにより、フィルム６０は鉛直方向に沿って搬送されるようになっている。
【００４０】
第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９はフィルム６０を吸着した状態で回転することで該フィルム６０を定速で搬送を可能とするものである。図２は第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９の概略構成を示す断面図である。なお、第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９は同一の構成を有していることから、以下の説明では第１吸着ローラー４４の構成について説明する。
【００４１】
図２に示されるように、第１吸着ローラー４４は、表面に複数の貫通孔１４４ａが形成されたローラー本体１４４と、ローラー本体１４４の内部に設けられる吸引部１４５と、を有する。吸引部１４５は回転するローラー本体１４４の内面に摺接可能な箱状からなる箱体１４５ａを有し、該箱体１４５ａはブロワ（不図示）に接続されている。
【００４２】
箱体１４５ａはローラー本体１４４の内面に当接することで貫通孔１４４ａを介してローラー表面側の空気を吸引可能となっている。第１吸着ローラー４４では、箱体１４５ａの開口部に対向する領域Ａの貫通孔１４４ａのみから空気を吸引可能となる。箱体１４５ａは固定されており、ローラー本体１４４のみが回転駆動する。
【００４３】
この構成により、第１吸着ローラー４４では、ローラー本体１４４が所定の回転位置において貫通孔１４４ａから空気が吸引される構成とされている。よって、第１吸着ローラー４４は貫通孔１４４ａを介して吸着したフィルム６０をローラー本体１４４の回転方向に沿って良好に搬送することができる。なお、吸引部１４５はローラー本体１４４の内面に必ずしも当接している必要はなく、貫通孔１４４ａを介して吸引可能な構成であれば隙間が空いていてもよい。
【００４４】
また、第１吸着ローラー４４は吸着によりフィルム６０を保持するため、ローラー本体１４４とフィルム６０との間での摩擦が生じることが防止され、静電気の発生を抑制することができる。以上、第１吸着ローラー４４の構成について説明したが、第２吸着ローラー４９についても同様である。
【００４５】
図３はカッター部４８の概略構成を及びフィルム６０の積層構造を示す図である。
図３に示すように、本実施形態に係るカッター部４８は、フィルム６０を切断（カット）するための回転刃（カッター刃）１６１と、回転刃１６１に対向配置されるフィルム支持部１６２と、回転刃１６１を洗浄する刃洗浄部（カッター刃洗浄部）１６３と、を有する。
【００４６】
回転刃１６１は、円盤状のカッター刃から構成されており、不図示のガイド部材によりフィルム６０の幅方向（図４に示される右方向から左方向）に沿って移動しながら、前記フィルム６０を切断する。回転刃１６１は、フィルム６０の切断を行う場合、例えば、図４に示す−方向（時計回り方向）に回転している。フィルム支持部１６２は、回転刃１６１との間でフィルム６０を保持するためのものである。カッター部４８は、フィルム６０（主フィルム材６１）の厚さに応じて、回転刃１６１をフィルム６０の厚さ方向（Ｘ方向）に移動させることでフィルム支持部１６２と回転刃１６１との間の間隔を調整する。これにより、カッター部４８は、フィルム６０のうち主フィルム材６１のみを切断することが可能となる。なお、カッター部４８は、フィルム６０（主フィルム材６１）の厚さや材質等の条件に応じて、回転刃１６１の回転速度や移動速度を任意に設定可能である。
【００４７】
刃洗浄部１６３は、フィルム支持部１６２とは対向しない位置であり、且つ、カッター部４８の待機位置に配置されている。ここで、カッター部４８の待機位置とは、フィルム６０の切断を行う前の回転刃１６１が待機する位置であり、フィルム６０の一端側（図４に示される右側の端部）から他端側（図４に示される左側の端部）へ移動した回転刃１６１が折り返して一端側に戻ってきた後に最終的に帰還する位置をいう。なお、回転刃１６１は、フィルム６０を切断して他端側に戻る場合、例えば、図４に示す＋方向（反時計回り方向）に回転している。なお、本説明では、回転刃１６１がフィルム６０の切断時に−方向（時計回り方向）に回転し、他端側に戻る場合に＋方向（反時計回り方向）に回転する場合を例に挙げたが、これに限定されず、反対に、回転刃１６１が切断時に＋方向に回転し、他端側に戻る場合に−方向に回転するようにしてもよい。あるいは、回転刃１６１の回転方向が−方向或いは＋方向のいずれか一方に固定されていてもよい。
【００４８】
このようにカッター部４８は、待機位置に配置された刃洗浄部１６３を備えることで、フィルム６０を切断することで回転刃１６１に付着した粘着層６３を洗浄することが可能とされている。
【００４９】
刃洗浄部１６３は、回転刃１６１の先端に摺接するスポンジ部材１６３ａと、前記スポンジ部材１６３ａに対して洗浄液を供給する洗浄液供給部１６３ｂとを含む。スポンジ部材１６３ａは、回転刃１６１の先端を収容可能なスリット１６３ｓが形成されている。洗浄液供給部１６３ｂは、スポンジ部材１６３ａに対して洗浄液を含浸させるためのものであり、スポンジ部材１６３ａにおける回転刃１６１の洗浄性を維持するためのものである。
【００５０】
このような構成に基づき、カッター部４８は、図３に示すようにフィルム６０のうち、主フィルム材６１のみを切断可能である。そのため、カッター部４８による切断後のフィルム６０は、主フィルム材６１が所定の長さにカットした状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態となる。なお、図３においてはフィルム６０の主フィルム材６１上に塗布された例えば接着剤Ｎを図示している。
【００５１】
具体的にカッター部４８は、主フィルム材６１を切断する際、基板１に貼り付けられる貼付部分と、基板に貼り付けられない非貼付部分とを形成する。したがって、保護材６２には、粘着層６３により上記貼付部分を構成する主フィルム材６１と、上記非貼付部分を構成する主フィルム材６１とが貼り付けられた状態とされている。ここで、貼付部分の長さとは基板１の長さに対応するものである。また、非貼付部分の長さとは、ある基板１に対するフィルムの貼付終了後、次の基板１に対するフィルムの貼付を開始するまでに基板１が搬送される距離に対応する。すなわち、非貼付部分の長さは、基板１の搬送速度、フィルム貼付ローラー４０の昇降速度等に応じて適宜設定される。このように貼付部分及び非貼付部分を含むフィルムを用いることでフィルム搬送部１０４によって搬送されるフィルム（貼付部分）の先端と、基板搬送部１０３によって搬送される基板１の搬送方向先端との位置合わせを容易にできるようにしている。
【００５２】
ここで、カッター部４８はフィルム搬送部１０４によって搬送された状態のフィルム６０をカットする。カッター部４８がフィルム６０を切断する際、フィルム６０の搬送が一時的に停止される。このとき、フィルム６０の搬送は切断部分以外において継続されているため、カッター部４８による切断部分とそれ以外とでフィルム６０の搬送速度に差が生じてしまう。すると搬送速度にバラツキが生じ、搬送されるフィルム６０にダブつきが生じ、フィルム６０の搬送不良が生じてしまう。
【００５３】
これに対し、本実施形態に係るフィルム搬送部１０４は、カッター部４８により切断される際にフィルム６０に生じる搬送速度のバラツキを調整するための手段として上記タイミング調整部４７を備えている。
【００５４】
タイミング調整部４７は、フィルム６０の一面側（裏面側）に当接するとともに所定方向に搬送する搬送ローラー（ローラー部材）２４１と、他端側に搬送ローラー２４１を保持するレバー部材２４２と、一端側を基準としてレバー部材２４２を回動動作させる回動部２４０と、を有する。搬送ローラー２４１は、レバー部材２４２に対して回転可能に保持されている。
【００５５】
本実施形態において、タイミング調整部４７は、フィルム６０がカッター部４８により切断される際、フィルム６０が一度停止する部分と他の搬送途中の部分とで搬送速度を合わせるべく、回動部２４０によりレバー部材２４２を時計回りに回動させることでレバー部材２４２の他端側に設けられた搬送ローラー２４１を円弧状に移動させる。このとき、搬送ローラー２４１がフィルム６０の一面側を押し込むことでフィルム６０に所定の張力を付与することができる。また、搬送ローラー２４１は、レバー部材２４２に対して回動可能とされるので、搬送ローラー２４１フィルム６０の搬送に伴って回転する。よって、搬送ローラー２４１は、フィルム６０の搬送を妨げることが防止される。
【００５６】
このようにフィルム搬送部１０４は搬送不良を生じさせることなく、フィルム６０を搬送した状態のままでカッター部４８による切断を行うことができる。よって、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮することができる。
【００５７】
フィルム貼付ローラー４０は、上下方向（Ｚ方向）に沿って移動可能とされている。フィルム貼付ローラー４０は、基板搬送部１０３の搬送ローラー３２ａ（第３基板搬送ローラー部３２）上に位置する基板１に対してフィルム６０を押し付け可能な位置まで下降する。
【００５８】
フィルム貼付ローラー４０及び搬送ローラー３２ａは、フィルム６０及び基板１を挟持することでフィルム６０の貼付を行う。このようにフィルム貼付ローラー４０は、フィルム搬送部１０４の一部をなすとともにフィルム貼付部１０５を構成している。
【００５９】
フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の貼付を行う場合、該フィルム６０における貼付部分の主フィルム材６１を基板１に貼り付ける。フィルム６０は搬送された状態で基板１に貼り付けられるため、例えばフィルム貼付ローラー４０が基板１の搬送方向における後端まで基板１に当接していると、貼付部分に続いて搬送されてくる非貼付部分を搬送ローラー３２ａとの間で抑えつけてしまう。すると、本来、貼り付けられずに廃棄されるはずである非貼付部分の主フィルム材６１が基板１或いは搬送ローラー３２ａに貼り付けられてしまうおそれがある。
【００６０】
本実施形態では、このような不具合を防止すべく、フィルム貼付ローラー４０が基板１を搬送方向における後端まで当接しない構成を採用している。すなわち、フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向先端部と基板１の搬送方向先端とを一致させるタイミング（すなわち、主フィルム材６１の搬送方向先端がフィルム貼付位置に到達するタイミング）で下降し、当接部分が貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向後端部（基板１の搬送方向後端）に到達する前のタイミング（すなわち、主フィルム材６１の搬送方向後端がフィルム貼付位置に到達する前のタイミング）で上昇を開始するようになっている。これによれば、上述したようにフィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の非貼付部分における搬送ローラー３２ａとの間で挟み込みを防止することができる。従って、フィルム貼付ローラー４０は、基板１に対するフィルム６０の貼付作業毎に昇降動作を繰り返すようになっている。
【００６１】
ところで、フィルム貼付ローラー４０は、上述のように基板１の搬送方向後端に当接するよりも先に上昇するため、搬送方向後端側においてフィルム６０を基板１に十分に押し付けることができず、フィルム６０の貼付が不十分となるおそれがある。
【００６２】
これに対し、本実施形態では、上述した貼付補助部１３５（貼付補助ローラー１３５ｂ）を備えた構成となっている。貼付補助ローラー１３５ｂは、少なくとも基板１の搬送方向における後端に当接し、後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟むことでフィルム貼付ローラー４０のみでは不十分となるフィルム６０の後端の切断部分を確実に基板１に接着することができる。従って、本実施形態によれば、基板１の全面に亘ってフィルム６０を良好に接着することが可能となっている。
【００６３】
フィルム巻取部５１は、フィルム貼付部１０５による貼付作業後にフィルム６０から分離された保護材６２を巻き取るための巻取軸５１ａ及び該巻取軸５１ａを駆動する駆動部５１ｂを有している。
【００６４】
中継ローラー５２，５３は、フィルム貼付ローラー４０とフィルム巻取部５１との間でフィルム６０の搬送を中継するものである。中継ローラー５２はフィルム貼付ローラー４０によるフィルム貼付位置よりも上方（Ｚ方向）に位置している。また、中継ローラー５２は、基板１の搬送方向において貼付補助部１３５よりもフィルム貼付部１０５よりも上方に配置される。これにより、フィルム貼付ローラー４０を経由したフィルム６０は上方に向かって急峻に折り曲げられることで後述するようにカットされた主フィルム材６１のみが基板１に貼り付けられ、主フィルム材６１から保護材６２が分離されるようになっている。
【００６５】
本実施形態に係る貼付装置１００は、フィルム搬送部１０４によって長尺状のフィルム６０をフィルム貼付部１０５によるフィルム貼付位置まで搬送する構成を採用している。基板搬送部１０３は、基板１の搬送方向先端がフィルム貼付部１０５に到達するタイミングを、フィルム搬送部１０４に搬送されるフィルム６０の貼付部分がフィルム貼付部１０５に到達する同期させるように基板１の搬送速度を制御している。そのため、フィルム６０は、搬送方向において、基板１に対する相対的な位置ずれの発生が防止されたものとなっている。
【００６６】
しかしながら、フィルム６０は、複数のローラー部材を経由した後、ロール体Ｒからフィルム貼付部１０５によるフィルム貼付位置まで搬送されるため、フィルム搬送部１０４により搬送される途中でフィルム幅方向において基板１に対する相対位置が変化するおそれがある。
【００６７】
ここで、相対位置が変化するとは、フィルム６０がフィルム貼付部１０５によるフィルム貼付位置に到達した際、基板１の搬送方向と交差する幅方向（Ｙ方向）においてフィルム６０の位置がずれることをいう。例えば、基板１及びフィルム６０の幅が同じとした場合において、フィルム６０の位置がずれると、フィルム６０が基板１上から幅方向における一端側に寄った状態となり、基板１の他端側にはフィルム６０が貼り付けられない領域が発生してしまう。
【００６８】
このような問題に対し、本実施形態に係る貼付装置１００では、フィルム位置検出部１０９、及び位置補正機構１１１を備えている。フィルム位置検出部１０９は、フィルム６０の搬送経路のうち、フィルム貼付部１０５によるフィルム貼付位置の上流であり、且つ該フィルム貼付位置にできるだけ近い位置に配置されるのが好ましい。
【００６９】
本実施形態において、フィルム位置検出部１０９は、フィルム６０の搬送経路のうち、カッター部４８と第２吸着ローラー４９との間に配置されている。なお、フィルム位置検出部１０９を配置する位置は、上述の位置に限定されることはなく、例えば、第２吸着ローラー４９とフィルム貼付ローラー４０との間に配置するようにしてもよい。
【００７０】
図４は、フィルム位置検出部１０９の概略構成を示す図である。なお、図４は、フィルム６０の表面に直交する断面に対応する図である。
図４に示すように、フィルム位置検出部１０９は、例えば、レーザースキャン方式を採用しており、断面形状においてフィルム６０の一方の端部６０ｃの両面を囲む枠状の本体部１０９ｃと、該本体部１０９ｃにおける対向する面の一方に設けられ、レーザー光を射出するレーザー射出部１０９ａと、該レーザー射出部１０９ａから射出されたレーザー光を受光する受光部１０９ｂと、を有する。受光部１０９ｂによる受光結果は、判定部１１２へと送信される。判定部１１２は、例えば、演算回路等のハードウエアーにより構成されていてもよいし、プログラム等のソフトウエアーによって実現されていてもよい。なお、フィルム位置検出部１０９は、フィルム６０の一方の端部６０ｃのみに設けられているが、フィルムの他方の端部６０ｄ側にも設けるようにしても良い。
【００７１】
判定部１１２は、受光部１０９ｂから送信された結果に基づいて、フィルム６０の端部の位置情報を取得する。判定部１１２は、フィルム６０におけるフィルム幅方向での基板１に対する相対位置を検出する。具体的に判定部１１２は、基板１に対するフィルム６０の位置がフィルム幅方向においてずれている場合、位置補正機構１１１を駆動させる。一方、判定部１１２は、基板１に対するフィルム６０の位置がフィルム幅方向においてずれていない場合、位置補正機構１１１を駆動させない。
【００７２】
フィルム位置検出部１０９の構成は、上述のレーザースキャン方式のみに限定されることは無く、例えば、ＣＣＤセンサ等によって構成された撮像部を用いるようにしても構わない。この場合、一対の撮像部がフィルム６０の一面側（−Ｘ方向側）に配置され、それぞれがフィルム６０の搬送方向における端部を撮像し、撮像結果を判定部１２１に送信するようにすればよい。なお、撮像部のＣＣＤセンサは、マトリクス状に配列された複数の画素を含んでいる。ＣＣＤセンサの各画素は、例えばフォトダイオード等の受光素子と、薄膜トランジスター等のスイッチング素子とを含む。
【００７３】
上記位置補正機構１１１は、フィルム位置検出部１０９による検出結果に基づいて、基板１及びフィルム６０の相対位置（位置ずれ）を調整する。図５は、位置補正機構１１１の要部構成を示す図である。図５に示すように、本実施形態において、位置補正機構１１１は、基板１を基板搬送部１０３のうちの第２基板搬送ローラー部３１と、基板１を搬送する第２基板搬送ローラー部３１を保持するベース部１１１ａと、該ベース部１１１ａを該基板１の幅方向（Ｙ方向）に駆動させる駆動部１１１ｂと、を含む。駆動部１１１ｂは、例えば、ＬＭガイドに接続され、駆動モーターによって第２基板搬送ローラー部３１を基板１の幅方向に沿って移動させる。
【００７４】
このような構成に基づいて、位置補正機構１１１は、駆動部１１１ｂによってベース部１１１ａをＹ方向に移動させることで第２基板搬送ローラー部３１により基板１を搬送しながら、該基板１のフィルム６０に対する相対位置を補正することが可能となっている。これにより、第２基板搬送ローラー部３１（位置補正機構１１１）を経てフィルム貼付部１０５に供給された基板１は、フィルム６０に対して幅方向の位置が一致したものとされる。よって、フィルム貼付部１０５は、幅方向（Ｙ方向）において位置ずれが生じない状態で基板１にフィルム６０を貼り付けることができる。
【００７５】
上記塗布部１０６は、フィルム保持ローラー４３によって鉛直方向に搬送されるフィルム６０に対して接着剤または粘着剤を塗布する。なお、塗布部１０６が塗布する塗布液としては、少なくとも加熱部１０７による乾燥後にフィルム６０を基板１に接着可能な程度の粘着性を有する液体が用いられる。
【００７６】
塗布部１０６は、接着剤または粘着剤を基板１に対して塗布機構７０と、ミスト回収機構７１と、フィルム６０に塗布される接着剤または粘着剤の厚みを調整する膜厚調整機構７２と、を含む（図９参照）。
【００７７】
図６（ａ）は塗布機構７０の要部構成を示す概略図であり、図６（ｂ）はノズル７３の先端７３ａの動きを概念的に示した図である。
図６（ａ）に示されるように塗布機構７０は、接着剤または粘着剤を噴射するノズル７３と、本体部７４と、本体部７４をＸ軸回りで回動させる回動部７５とを含む。ノズル７３としては、接着剤または粘着剤をスプレー噴射するスプレーノズルが用いられる。本体部７４は、ノズル７３をフィルム６０の幅方向に沿って移動可能とする移動機構７９を有している。移動機構７９は、ノズル７３の移動をガイドするガイド部７９ａと、該ガイド部７９ａに対してノズル７３を移動させる駆動力を伝達する駆動部７９ｂとを含む。ノズル７３は、取付アーム７８を介してガイド部７９ａに接続されている。
【００７８】
駆動部７９ｂは、例えばラックアンドピニオン機構によりガイド部７９ａ側に駆動力を伝達するようになっている。これにより、ノズル７３は同図矢印Ｂで示されるようにフィルム６０の幅方向に沿って移動可能となっている。よって、ノズル７３はフィルム６０の幅方向の全域に亘って接着剤または粘着剤を噴射可能となっている。
【００７９】
回動部７５はモーター等から構成されている。本体部７４は、その中央部において回動部７５に取り付けられている。これにより、本体部７４は、回動部７５により中央部を基準に揺動可能とされている。ノズル７３は本体部７４の揺動動作とは独立して本体部７４の移動機構７９によって移動可能とされている。なお、以下では、説明の便宜上、ノズル７３の先端７３ａの中心と回動部７５の回転中心とが一致しているものとする。
【００８０】
このような構成に基づき、ノズル７３の先端７３ａは、図６（ｂ）に示すように回動部７５の回転中心を基準として略８の字状に移動する。具体的に、ノズル７３の先端は、回動部７５の回転中心Ｃを基準としてＹＺ軸を設定すると、第４象限から第２象限へと至り、円弧を描いて第３象限を経て第１象限へと至り、円弧を描いて第４象限へと至った後、繰り返し同じ軌跡を描くように移動する。なお、本説明ではノズル７３の先端７３ａが第２象限から第３象限に至る際および第１象限から第４象限に至る際、円弧を描いて戻る場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されない。例えば、Ｚ軸方向に沿ってＹ軸を跨ぐように折り返すことで第２象限から第３象限および第１象限から第４象限へと移動する構成であっても構わない。この場合、塗布機構７０は、回動部７５の代わりに本体部７４をＹＺ方向に移動させる移動部を有する。
【００８１】
図７は本実施形態に係る塗布部１０６が接着剤または粘着剤を塗布する際のフィルム６０に対するノズル７３の先端７３ａの動きを表した図である。また、図８は比較として回動部７５を有しない塗布部１０６が接着剤または粘着剤を塗布する際のフィルム６０に対するノズル７３の先端７３ａの動きを表した図である。本実施形態に係る塗布部１０６は、上述のようにノズル７３が回動部７５の回転中心Ｃを基準として略８の字状に移動することから、フィルム６０の搬送速度及びノズル７３の移動速度を調整して図７に示すようにノズル７３の先端を所定方向に搬送されるフィルム６０の表面の幅方向に沿って移動させることができる。一方、回動部７５を有しない場合、ノズル７３がフィルム６０の幅方向に移動する間に該フィルム６０自体も搬送されてしまうため、図８に示すようにノズル７３の先端７３ａはフィルム６０の表面に対してジグザグに移動する。
【００８２】
以上述べたように、本実施形態に係る塗布部１０６は、回動部７５を備えることでノズル７３の先端７３ａをフィルム６０の幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることができるので、接着剤または粘着剤をフィルム６０の全面に亘って均一に塗布することができる。
【００８３】
図１に戻って、上記加熱部１０７は、第１加熱部７６及び第２加熱部７７を有している。第１加熱部７６及び第２加熱部７７の加熱温度は、それぞれ異なる値に設定されている。
【００８４】
第１加熱部７６は、フィルム６０に対して第１ベーク処理を行うことで接着剤または粘着剤を仮硬化させるためのものである。第２加熱部７７は、フィルム６０に対して第２ベーク処理を行うことで接着剤または粘着剤を本硬化させるためのものである。
【００８５】
このような構成に基づき、加熱部１０７はフィルム６０を段階的（２段階）に加熱することで接着剤または粘着剤を良好に硬化させることができるようになっている。なお、接着剤または粘着剤が複数（例えば、２種類）の溶剤を含む場合、第１加熱部７６による第１ベーク処理（第１段階目の加熱処理）で接着剤または粘着剤中の第１溶剤を蒸発させ、第２加熱部７７による第２ベーク処理（第２段階目の加熱処理）で接着剤または粘着剤中の第２溶剤を蒸発させて接着剤または粘着剤を乾燥させ、良好に硬化させることができる。
【００８６】
また、加熱部１０７は、第１加熱部７６及び第２加熱部７７を用いて１枚のフィルム６０の加熱処理を行うので、１つの加熱部のみでフィルム６０の加熱処理を行う構成のように先のフィルム６０の乾燥処理が終了するまで次のフィルム６０の乾燥処理を開始することができないといった問題が生じることが無い。よって、順次加熱部１０７内にフィルム６０を搬送することができるので、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。
【００８７】
図９は塗布部１０６の周辺構成を示す概略図である。図１０はミスト回収機構７１の構成を示す概略図である。ミスト回収機構７１は塗布機構７０のノズル７３から接着剤または粘着剤を塗布する際に生じるミストを回収するためのものである。
【００８８】
ミスト回収機構７１は、図９に示すように本体部８０と、ミスト洗浄部８１と、洗浄液循環部８２と、を有している。本体部８０は、塗布部１０６による接着剤塗布処理が行われる処理チャンバーを構成している。本体部８０は、フィルム搬送部１０４により搬送されるフィルム６０を内部に搬入或いは内部から搬出させるための開口部８０ａが設けられている。
【００８９】
図１０に示されるように、ミスト洗浄部８１はフィルム６０における接着剤または粘着剤が塗布される面と反対の裏面６０ａ、及び側面６０ｂを覆うように本体部８０内に設置される。ミスト洗浄部８１は、図９に示したように洗浄液Ｗを貯留する洗浄液貯留部８３と、該洗浄液貯留部８３から溢れ出した洗浄液Ｗが流れる洗浄部８４と、洗浄液受け部８５と、を有している。なお、図９においては、図を見やすくするため、フィルム６０の裏面６０ａ側に配置されたミスト洗浄部８１のみを図示しているものの、フィルム６０の側面６０ｂ側にも図１０に示したようにミスト洗浄部８１は配置されている。フィルム６０の側面６０ｂ側に配置されるミスト洗浄部８１についても、裏面６０ａ側のミスト洗浄部８１と同一の構成を有している。
【００９０】
洗浄部８４はフィルム６０の搬送方向（Ｚ方向）に沿って延びるブラシ部材から構成され、該ブラシ部材の表面を伝って下方へと洗浄液が流れる構成となっている。洗浄液受け部８５は、洗浄部８４を伝って流れた下方へと流れた洗浄液を受ける容器として機能するものである。
【００９１】
洗浄液受け部８５の下方には、洗浄液Ｗを本体部８０内に連通させる連通部８５ａが設けられ、該連通部８５ａを介して洗浄液受け部８５内の洗浄液が本体部８０の底部８９へと流れ込むようになっている。洗浄液循環部８２は、本体部８０の底部８９に溜まった洗浄液を連通部８９ａを介し、ポンプＰの駆動力によって洗浄部８４の洗浄液貯留部８３に循環させるものである。洗浄液循環部８２はフィルターＦを有しており、該フィルターＦを介して洗浄液を循環させる。これにより、洗浄後に洗浄液に含まれる異物を除去することで洗浄液を再利用することができる。
【００９２】
本実施形態に係る塗布部１０６によれば、ノズル７３からフィルム６０に対して接着剤または粘着剤を塗布する際に生じたミストをミスト回収機構７１により回収できるので、ミストが付着することで貼付装置１００内が汚れるといった不具合の発生を防止できる。
【００９３】
膜厚調整機構７２は、フィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤または粘着剤の厚みが均一になるように調整するものである。図１１は膜厚調整機構７２の周辺構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。
【００９４】
図１１（ａ），（ｂ）に示すように膜厚調整機構７２は、フィルム６０のフィルム端の近傍に設置されるダミーローラー９０と、駆動ローラー９１と、従動ローラー９２と、該ダミーローラー９０、駆動ローラー９１、及び従動ローラー９２に架け渡されるベルト９３と、を備えている。ベルト９３は、フィルム６０と同じ材質であるポリイミドから構成されている。
【００９５】
ダミーローラー９０は、鉛直方向に向けてフィルム６０を搬送するフィルム保持ローラー４３と同軸で回転する。ダミーローラー９０の外径は、該ダミーローラー９０に掛け渡されたベルト９３の表面がフィルム保持ローラー４３に掛け渡されるフィルム６０の表面と略同じ高さとなる大きさに設定されている。また、塗布部１０６は、ベルト９３の表面とフィルム６０の表面が略同じ高さとなる領域において、ノズル７３の先端がフィルム６０の表面に対して接着剤または粘着剤を塗布するように位置合わせされている。
【００９６】
ここで、フィルム６０のフィルム端に膜厚調整機構７２のベルト９３が設けられていない場合、接着剤または粘着剤の飛散条件が変化するフィルム端において接着剤または粘着剤の膜厚が薄くなってしまう。これにより、フィルム６０の幅方向において接着剤または粘着剤の膜厚にバラつきが生じてしまうおそれがある。
【００９７】
これに対し、本実施形態によれば、ノズル７３が対向するフィルム６０のフィルム端の表面と略同じ高さに膜厚調整機構７２のベルト９３の表面が位置するので、接着剤または粘着剤の飛散条件をフィルム端とフィルム中央部とで合わせることができる。よって、フィルム６０の幅方向における接着剤または粘着剤の成膜条件を揃えることで接着剤または粘着剤を均一な膜厚で塗布することが可能となっている。
【００９８】
ところで、本実施形態に係るノズル７３のようなスプレーノズルを用いた場合の塗布面にはムラが生じることがある。
これに対し、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ方向）に沿って搬送されるフィルム６０に対してノズル７３から接着剤または粘着剤を塗布する構成を採用している。
【００９９】
なお、先端７３ａの開口端がフィルム６０の表面に対向した状態となるようにノズル７３とフィルム６０とが配置されていれば、フィルム６０が必ずしも鉛直方向に沿って搬送されていなくても上述したムラ抑制効果を得ることができる。すなわち、フィルム６０は水平面と交差する方向に沿って搬送されていればよい。このようにフィルム６０が水平面と交差する方向、すなわち水平面に対して傾いた状態に搬送されていれば、ノズル７３の先端７３ａとフィルム６０の表面とは水平方向に所定距離だけ常に離間した状態となるので、上述した接着剤または粘着剤の塗布面におけるムラの発生を抑制できる。
【０１００】
これによれば、ノズル７３の先端とフィルム６０の表面とは水平方向に所定距離だけ離間した状態とされるので、ノズル７３から塗布された接着剤または粘着剤の粒子のうち、粒子が荒いもの（粒の大きいもの）はフィルム６０の表面に到達する前に落下し、フィルム６０に塗布されることがない。一方、ノズル７３から塗布された接着剤または粘着剤の粒子のうち、粒子が細かいもの（粒の小さいもの）はノズル７３の先端から所定距離離間した位置に配置されるフィルム６０の表面に到達し、フィルム６０に塗布されることとなる。よって、フィルム６０に均一な粒子を含んだ接着剤または粘着剤を塗布することができるので、接着剤または粘着剤の塗布面に上述したようなムラが発生するのを抑制できる。
【０１０１】
なお、ベルト９３の表面に付着した接着剤または粘着剤を洗浄する洗浄装置を設けてもよい。洗浄装置の構成としては、ベルト９３に洗浄液を噴射する構成、或いはベルト９３を洗浄液貯留部にディップさせる構成のいずれであってもよい。これによれば、ベルト９３の表面を常に綺麗な状態に保持することができるので、フィルム６０のフィルム端における接着剤または粘着剤の成膜条件の調整を長期に亘って精度良く行うことができる。
【０１０２】
続いて、本実施形態に係る貼付装置１００の動作として、フィルム６０を基板１に貼り付ける動作について説明する。
【０１０３】
図１２は貼付装置１００によるフィルム６０の貼付工程を説明するフロー図である。
初めに貼付装置１００ではフィルム繰出部４１にロール体Ｒが取り付けられる（ステップＳ１）。
ロール体Ｒが取り付けられた後、貼付装置１００はフィルム搬送部１０４が駆動し、フィルム６０の巻出しを行う（ステップＳ２）。具体的にフィルム搬送部１０４は、フィルム繰出部４１及びフィルム巻取部５１を回転駆動させ、フィルム６０を所定方向に沿って搬送する。
【０１０４】
貼付装置１００は、フィルム搬送部１０４によるフィルム６０の搬送に合わせて、塗布部１０６を駆動し、接着剤または粘着剤の塗布を行う（ステップＳ３）。具体的に塗布部１０６は、上述のようにノズル７３が回動部７５の回転中心を基準として略８の字状に移動しながらフィルム搬送部１０４によって搬送されるフィルム６０に対して接着剤または粘着剤を塗布する。塗布部１０６は、ノズル７３を移動機構７９によって移動させつつ、回動部７５によってノズル７３を保持する本体部７４をＸ軸回りに回動させることでノズル７３の先端をフィルム６０の幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることができる（図７参照）。よって、接着剤または粘着剤をフィルム６０の幅方向に亘る全面に均一に塗布することができる。
【０１０５】
ところで、フィルム６０に対して接着剤または粘着剤を塗布する際、フィルム６０の幅方向のフィルム端では接着剤または粘着剤の飛散条件が変化するため、フィルム端における接着剤または粘着剤の厚みが中央部に比べて薄くなってしまう。これに対して、本実施形態に係る塗布部１０６はノズル７３からフィルム６０に対して接着剤または粘着剤を塗布する際、膜厚調整機構７２を機能させてフィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤または粘着剤の厚みが均一になるように調整する。
【０１０６】
具体的に膜厚調整機構７２は、フィルム６０を搬送するフィルム保持ローラー４３の回転と同期させてダミーローラー９０を回転させる。このとき、ダミーローラー９０の表面に掛け渡されたベルト９３の表面とフィルム保持ローラー４３に掛け渡されたフィルム６０の表面とが同じ高さとなっている。
【０１０７】
これによれば、フィルム端近傍においてフィルム６０の表面と同じ高さにベルト９３の表面が位置するので、実質的にフィルム端における接着剤または粘着剤の飛散条件を中央部に合わせることができる。
【０１０８】
よって、ノズル７３から塗布された接着剤または粘着剤はフィルム６０のフィルム端においても接着剤または粘着剤の飛散条件が変化することがなく、接着剤または粘着剤の成膜条件がフィルム６０の幅方向で安定することで接着剤または粘着剤を均一な条件で塗布することができる。
【０１０９】
ノズル７３からフィルム６０に接着剤または粘着剤を塗布する際、ノズル７３からミストが周囲に飛散してしまう。これに対して本実施形態に係る塗布部１０６では、ミスト回収機構７１によりミストを回収することができる。具体的にノズル７３から飛散したミストは、フィルム６０の裏面６０ａ及び側面６０ｂを覆うように設けられたミスト洗浄部８１（ミスト回収機構７１）の洗浄部８４によって捕捉される。
【０１１０】
洗浄部８４は上述したようにブラシ部材の表面を伝って下方へと洗浄液が流れる構成となっているため、捕捉されたミストは洗浄液とともに下方に排出される。これによれば、捕捉したミストが洗浄部８４に蓄積してしまうといったことがなく、安定的にミストを回収することができる。
【０１１１】
ミストを回収した洗浄液は洗浄液受け部８５から本体部８０の底部へと流れ込み、洗浄液循環部８２のフィルターＦで異物が除去された後、洗浄部８４に再度循環される。
【０１１２】
また、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ方向）に沿って搬送されるフィルム６０に対してノズル７３から接着剤または粘着剤を塗布するので、ノズル７３から塗布された接着剤または粘着剤の粒子のうち、粒子が荒いもの（粒の大きいもの）がフィルム６０に塗布されるのを防止し、粒子が細かいもの（粒の小さいもの）のみをフィルム６０に塗布することができる。このようにして塗布された接着剤または粘着剤は均一な粒子を含むので、ムラの発生が抑制された状態で塗布されたものとなる。この接着剤または粘着剤は表面のムラが少ないため、後工程で行われる基板１に貼り付けられた場合であっても主フィルム材６１の平面度を低下させるといった不具合の発生を防止できる。
【０１１３】
フィルム搬送部１０４は、塗布部１０６によって接着剤または粘着剤が塗布されたフィルム６０を加熱部１０７へと搬送し、フィルム６０を加熱する（ベーク処理）ことで接着剤または粘着剤を硬化させる（ステップＳ４）。具体的に加熱部１０７は、まず第１加熱部７６によってフィルム６０に対して第１（１ｓｔ）ベーク処理を行う。続いて、加熱部１０７は、第２加熱部７７によってフィルム６０に対して第２（２ｎｄ）ベーク処理を行う。第１加熱部７６及び第２加熱部７７における加熱温度は、接着剤または粘着剤の種類、膜厚等の条件により適宜変更される。
【０１１４】
このように本実施形態では、加熱部１０７が第１加熱部７６及び第２加熱部７７を用いて１枚のフィルム６０の加熱処理を行うので、順次加熱部１０７内にフィルム６０を搬送することができ、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。
【０１１５】
フィルム搬送部１０４は、加熱部１０７による加熱処理後のフィルム６０をカッター部４８へと搬送し、フィルム６０をカットする（ステップＳ５）。カッター部４８は、図３に示したように台座部４８ｂ上のフィルム６０に対して刃４８ａを押し付け、フィルム６０のうち、主フィルム材６１のみを切断する。カッター部４８によるカット後のフィルム６０は、主フィルム材６１が所定の長さに切断された状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態となる。
【０１１６】
具体的にカッター部４８は、上述のように貼付部分及び非貼付部分を含むように主フィルム材６１のみを切断する。
ここで、フィルム６０の切断時、フィルム６０の搬送が一時的に停止される。一方、フィルム６０は、切断部分以外においてフィルム搬送部１０４による搬送が継続されている。そのため、カッター部４８を介してフィルム６０の搬送速度に差が生じ、搬送速度のバラツキに起因してフィルム６０がダブつくことで結果的に搬送不良が生じてしまう。
【０１１７】
これに対し、本実施形態では、タイミング調整部４７がフィルム６０の切断時に生じる搬送速度のバラツキを調整する。タイミング調整部４７は、フィルム６０が切断されるタイミングに合わせて当接ローラー部１４７を搬送方向上流側（＋Ｘ方向）に移動させる。すると、カッター部４８とタイミング調整部４７（当接ローラー部１４７）との距離が長くなって、カッター部４８に向かうフィルム６０の見掛け上の搬送速度が低くなる。よって、フィルム６０の搬送速度を合わせることでフィルム６０にダブつきが生じるのを防止できる。
【０１１８】
よって、フィルム搬送部１０４はフィルム６０の搬送不良を生じさせることなく、搬送状態のままでフィルム６０をカッター部４８によって良好に切断することができる。また、フィルム搬送部１０４は、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮できる。
【０１１９】
フィルム６０をカットした後、貼付装置１００は、フィルム６０の貼付を行うに先立ち、フィルム位置検出部１０９を用いて、フィルム搬送部１０４により搬送されるフィルム６０におけるフィルム幅方向（Ｙ方向）での基板１に対する相対位置を検出する（ステップＳ６に示されるフィルム位置検出工程）。
【０１２０】
また、貼付装置１００は、フィルム６０の貼付を行うに先立ち、基板供給部１０２のカセット１０２ａ内から引き出し、基板搬送部１０３によって基板１の搬送を開始する（ステップＳ７，Ｓ８）。
【０１２１】
ステップＳ６に戻り、フィルム位置検出部１０９は、フィルム６０の搬送方向における端部６０ｃを検出する（図４参照）。受光部１０９ｂによる受光結果は、判定部１１２へと送信される。判定部１１２は、受光部１０９ｂにより検出されたフィルム６０の端部６０ｃの位置情報に基づき、フィルム６０の幅方向での基板１に対する相対位置、すなわち位置ずれ量を検出し、基板１に対するフィルム６０の位置にずれが生じているか否かを判定する（ステップＳ９）。
【０１２２】
判定部１１２は、基板１に対するフィルム６０の位置がフィルム幅方向においてずれていると判定した場合（ステップＳ９においてＹＥＳの場合）、位置補正機構１１１を駆動させることで基板１のフィルム６０に対する相対位置を補正する（ステップＳ１０）。
【０１２３】
具体的に、ステップＳ１０において、位置補正機構１１１は、駆動部１１１ｂを駆動させることで、基板１を搬送している第２基板搬送ローラー部３１をベース部１１１ａとともに該基板１の幅方向（Ｙ方向）に移動させる。位置補正機構１１１は、フィルム６０と基板１との間に生じている位置ずれを無くす方向に第２基板搬送ローラー部３１を移動させる。第２基板搬送ローラー部３１は、基板１を搬送したままの状態でベース部１１１ａとともに駆動部１１１ｂによりＹ方向に沿って移動される。これにより、第２基板搬送ローラー部３１（位置補正機構１１１）を経てフィルム貼付部１０５に供給された基板１は、フィルム６０に対して幅方向の位置ずれが無くなり、幅方向において互いの位置が一致した状態となる。
【０１２４】
一方、判定部１１２は、基板１に対するフィルム６０の位置がフィルム幅方向においてずれていないと判定した場合（ステップＳ９においてＮＯの場合）、位置補正機構１１１を駆動させることなく、第２基板搬送ローラー部３１により基板１をフィルム貼付部１０５の下方へと搬送し、後述のフィルム貼付工程へと進む。
【０１２５】
上述のようにして基板１に対するフィルム６０の相対位置が補正された後、基板１へのフィルム６０の貼付が行われる（ステップＳ１１）。ステップＳ１１において、フィルム貼付部１０５は、基板搬送部１０３（第２基板搬送ローラー部３１）によって搬送される基板１に対してフィルム６０の貼付を行う。
【０１２６】
具体的に基板１は、第１基板搬送ローラー部３０及び第２基板搬送ローラー部３１を経て、第３基板搬送ローラー部３２（搬送ローラー３２ａ）へと搬送される。フィルム搬送部１０４は、第３基板搬送ローラー部３２に基板１が到達するタイミングに合わせてフィルム貼付ローラー４０を下降させる。これにより、フィルム貼付ローラー４０は、基板搬送部１０３の搬送ローラー３２ａ（第３基板搬送ローラー部３２）上に位置する基板１に対してフィルム６０（貼付部分）の押し付けを開始する。なお、基板搬送部１０３は、基板１の搬送方向先端がフィルム貼付部１０５に到達するタイミングを、フィルム搬送部１０４に搬送されるフィルム６０の貼付部分がフィルム貼付部１０５に到達する同期させるように基板１の搬送速度を制御する。
【０１２７】
フィルム６０はカッター部４８による切断工程によって、主フィルム材６１が所定の長さ（貼付部分又は非貼付部分）に切断された状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態となっている。
【０１２８】
具体的にフィルム貼付ローラー４０は、上述のようにフィルム６０の貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向先端部と基板１の搬送方向先端とを一致させるタイミングで下降する。本実施形態では、ステップＳ８において、第２基板搬送ローラー部３２が基板１を搬送する際、フィルム６０に対して幅方向の位置ずれが無いように基板１の位置を補正している。そのため、貼付部分の主フィルム材６１は、フィルム貼付ローラー４０と搬送ローラー３２ａとの間に基板１に対して幅方向の位置ずれの無い状態で搬送されるので、基板１とともに挟持されることで主フィルム材６１が接着剤Ｎを介して基板１に位置ずれが無い状態で接着される。
【０１２９】
フィルム貼付ローラー４０を経由したフィルム６０は中継ローラー５２、５３を経由してフィルム巻取部５１によって巻き取られる。ここで、中継ローラー５２はフィルム貼付ローラー４０によるフィルム貼付位置よりも上方（Ｚ方向）に位置しているため、フィルム６０はフィルム貼付ローラー４０を経て上方に向かって急峻に折り曲げられる。
【０１３０】
よって、中継ローラー５２により上方に折り曲げられたフィルム６０は、主フィルム材６１のみが接着剤Ｎを介して基板１に残り、保護材６２のみが中継ローラー５２側に搬送されることで主フィルム材６１と保護材６２とが分離される（ステップＳ１２）。フィルム６０から分離された保護材６２は、中継ローラー５２，５３を介してフィルム巻取部５１に巻き取られる（ステップＳ１３）。
【０１３１】
フィルム貼付部１０５によって主フィルム材６１の貼付部分が貼り付けられた基板１は、第４基板搬送ローラー部３３へと搬送される。ここで、フィルム貼付ローラー４０は、非貼付部分における搬送ローラー３２ａとの間で挟み込みを防止すべく、上述のように基板１の搬送方向後端に当接する前に上昇していることから、搬送方向後端側におけるフィルム６０の基板１に対する押し付けが足りず、フィルム６０の貼付が不十分となっている。
【０１３２】
本実施形態では、第４基板搬送ローラー部３３において、貼付補助部１３５（貼付補助ローラー１３５ｂ）が基板１の搬送方向における後端のエッジが通過するまで該基板１を搬送ローラー１３５ａとの間で挟むことで貼り付けが不十分となっているフィルム６０の後端の切断部分を確実に基板１に接着する。従って、基板１の全面に亘ってフィルム６０を良好に接着することができる。
【０１３３】
主フィルム材６１が貼り付けられた基板１はローラー対１３３及び第５基板搬送ローラー部３４を経て不図示の基板搬出用カセット内へと収容される（ステップＳ１４）。
【０１３４】
貼付装置１００は基板供給部１０２内の所定枚数の基板１に対して主フィルム材６１（フィルム６０）の貼付が終了するまで、上述したステップＳ１乃至ステップＳ１４に係るフィルム貼付処理工程ＳＳ１を繰り返す（ステップＳ１５）。以上により、貼付装置１００は所定枚数の基板１に対してフィルム６０を良好に貼り付けることができる。
【０１３５】
以上述べたように本実施形態によれば、フィルム６０に接着剤または粘着剤を塗布する塗布工程、フィルム６０を切断する工程、及びフィルム６０を基板１に貼り付ける工程を一貫したラインで行うことができるので、効率良くフィルム６０を基板１に貼り付けることができる。また、位置補正機構１１１が基板１に対するフィルム６０の幅方向における相対位置、すなわち位置ずれを補正するため、基板１とフィルム６０とを精度良く貼り付けることができる。
【０１３６】
また、上記実施形態では、位置補正機構１１１が一体に形成された第２基板搬送ローラー部３１を備えるので、基板１を搬送しながらフィルム６０に対する基板１の相対位置を調整することができる。また、位置補正機構１１１は、幅方向に基板１の位置を補正するので、フィルム６０を幅方向に移動させることなく、基板１とフィルム６０との相対位置、すなわち相対的な位置ずれを簡便且つ確実に補正することができる。
【０１３７】
また、貼付装置１００は、接着剤または粘着剤を塗布したフィルム６０を所定の長さに切断するので、フィルム６０として長尺状のロール体Ｒから巻き出したものを使用できる。よって、フィルム６０を貼り付ける対象となる基板１として種々の大きさのものを使用する事ができ、汎用性の高い貼付装置となる。また、ロール体Ｒから巻き出されたフィルム６０を複数の基板１に対して順次貼り付けることができ、貼り付け工程を効率的に行うことができる。
【０１３８】
また、貼付装置１００は、基板１に貼り付けられる主フィルム材６１が保護材６２によって保護されているので、基板１に貼り付けられる前の主フィルム材６１に傷が付くのを防止できる。
【０１３９】
また、貼付装置１００は、水平面と交差する方向、例えば鉛直方向に沿って搬送されるフィルム６０に対して接着剤または粘着剤が塗布されるので、塗布時に飛散して下方に落下したミストが付着することが防止され、フィルム６０に安定した膜厚の接着剤または粘着剤を塗布することができる。よって、接着剤または粘着剤の塗布面にムラが発生するのを抑制できる。よって、基板１とフィルムとの接着性を向上させることができる。
【０１４０】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において適宜変更が可能である。例えば、上記実施形態においては、位置補正機構１１１が基板搬送部１０３（第２基板搬送ローラー部３１）と一体に形成される場合を例に挙げた。すなわち、フィルム６０及び基板１の相対位置を調整する際、基板１側の位置を調整することで両者の位置ずれを補正する場合を例に挙げたが、これに限定されることはない。例えば、フィルム６０の幅方向における位置を補正することで、フィルム６０と基板１との相対位置を補正する構成を採用してもよい。また、フィルム６０及び基板１をそれぞれ幅方向（Ｙ方向）に移動させることで互いの相対位置を補正する構成を採用してもよい。
【０１４１】
また、上記実施形態では、フィルム繰出部４１及びフィルム巻取部５１のいずれにも駆動部を設ける場合を例に挙げたが、フィルム巻取部５１のみに駆動部を設け、フィルム巻取部５１を主動して回転させることで従動回転するフィルム繰出部４１から巻き解いたフィルム６０を巻き取る構成としてもよい。
【０１４２】
また、上記実施形態では、加熱部１０７がフィルム６０を２段階で加熱する場合を例に挙げたが、フィルム６０を１段階或いは３段階以上で加熱するようにしてもよい。
【０１４３】
（第二実施形態）
次に、第二実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図１３は、本実施形態に係る貼付装置１００Ａの概略構成を示す図である。
図１３に示すように、本実施形態に係る貼付装置１００Ａは、基板１に貼り付けられたフィルムを検査する検査部１７０を備えている。検査部１７０は、第４基板搬送ローラー部３３と、第５基板搬送ローラー部３４との間に配置される。
【０１４４】
検査部１７０は、基板搬送ローラー部１７１と、基板１に貼り付けられたフィルム（主フィルム材６１）を撮像する撮像部１７２と、撮像部１７２による撮像結果に基づいて検査結果を判定する判定部１７３と、を含む。
【０１４５】
基板搬送ローラー部１７１は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー１７１ａを有している。これにより、基板搬送ローラー部１７１は、第４基板搬送ローラー部３３から搬送された基板１を受け取って、第５基板搬送ローラー部３４に受け渡すように移動させる。
【０１４６】
撮像部１７２は、例えば、ＣＣＤセンサ等によって構成される。このＣＣＤセンサは、マトリクス状に配列された複数の画素を含んでいる。ＣＣＤセンサの各画素は、例えばフォトダイオード等の受光素子と、薄膜トランジスター等のスイッチング素子とを含む。
【０１４７】
判定部１７３は、撮像部１７２が撮像した画像に基づいて、基板１に貼り付けられたフィルムの状態を判定するためのものである。判定部１７３は、演算回路等のハードウエアーにより構成されていてもよいし、プログラム等のソフトウエアーによって実現されていてもよい。
【０１４８】
図１４は、検査部１７０によるフィルム（主フィルム材６１）の検査方法の一例を説明するための図である。
図１４に示すように、検査部１７０は、主フィルム材６１が貼り付けられた基板１の四隅を撮像部１７２により撮像し、撮像した画像Ｇを判定部１７３に送信する。判定部１７３は、撮像部１７２から送信された画像Ｇについて、基板１および主フィルム材６１の角部を構成するそれぞれの縁辺部間の距離Ｄ１、Ｄ２を算出する。
【０１４９】
判定部１７３は、算出した距離Ｄ１、Ｄ２とあらかじめ記憶しておいた閾値とを比較し、閾値と距離Ｄ１、Ｄ２との差がそれぞれ所定値以上となる場合に主フィルム材６１が基板１に対して曲がった状態に貼り付けられたものと判断し、基板１を不良品として判定する。一方、判定部１７３は、算出した距離Ｄ１、Ｄ２と上記閾値とを比較し、閾値と距離Ｄ１、Ｄ２との差がそれぞれ所定値未満となる場合に主フィルム材６１が基板１に対して良好に貼り付けられたものと判断し、基板１を良品として判定する。
【０１５０】
このように本実施形態によれば、検査部１７０を備えるので、基板１に対するフィルム（主フィルム材６１）の貼付状態を判定することができるので、基板１の良品或いは不良品の判定を容易に行う事ができる。よって、フィルムの貼付状態が良好でない不良品の基板１を選別して、予め排除することが可能な貼付装置１００Ａを提供することができる。
【０１５１】
また、本実施形態において、貼付装置１００Ａは、検査部１７０による検査結果を位置補正機構１１１にフィードバックするようにしてもよい。具体的に、位置補正機構１１１は、フィルム位置検出部１０９の検査結果に加え、さらに検査部１７０の検査結果に基づいて、基板１及びフィルム６０の相対位置（位置ずれ）を調整する。これによれば、例えば、フィルム位置検出部１０９が故障したり、何らかの理由によりフィルム位置検出部１０９よりも下流側においてフィルム６０に幅方向における位置ずれが生じた場合等においても、検査部１７０による検査結果がフィードバックされることで基板１とフィルム６０との相対位置を補正できる。よって、基板１とフィルム６０とを精度良く貼り付けることができる。
【０１５２】
（第三実施形態）
次に、第三実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図１５は第三実施形態に係る貼付装置の構成を示す図である。貼付装置１００Ｂにおいては、図１５に示すように装置筐体１０１内に複数のイオナイザー１１０を配置するようにしてもよい。これによれば、フィルム６０の搬送によって生じる静電気を除電することで静電気によるフィルム６０の貼り付き等といった不具合の発生が防止され、フィルム６０が良好に搬送されて基板１への貼付を行うことができる。
【０１５３】
また、図１５に示すように加熱部１０７のフィルム６０の搬送方向下流側に冷却部１０８を設けるようにしても構わない。これによれば、加熱部１０７で加熱されたフィルム６０を冷却して短時間で所定温度まで下げることができる。よって、フィルム６０の搬送経路を短くすることができ、フィルム搬送部１０４が小型化されて貼付装置１００自体の小型化を実現できる。
【０１５４】
（第四実施形態）
次に、第四実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１５５】
上記実施形態においては、膜厚調整機構７２として、ベルト９３の表面をフィルム６０の表面と略同じ高さに設定したものを例示したが、本実施形態では、ベルト９３を用いずにダミーローラー９０の表面とフィルム６０の表面との高さを一致させる構成を採用している。この場合、ダミーローラー９０の材質としては、表面粗さの低い、例えばＳＵＳ、樹脂、アルミニウム等を用いるのが好ましく、これによればフィルム６０のフィルム端における接着剤または粘着剤の成膜条件を良好に調整して整えることができる。
【０１５６】
図１６は第四実施形態に係る膜厚調整部の構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。本実施形態においては、図１６（ａ）、（ｂ）に示すようにダミーローラー９５の回転軸をフィルム保持ローラー４３に一体形成し、ダミーローラー９５とフィルム保持ローラー４３とが一体に回転する構成を採用する。
【０１５７】
本実施形態においては、図１６（ａ）、（ｂ）に示すようにフィルム保持ローラー４３と一体に形成されたダミーローラー９５が膜厚調整部を構成する。ダミーローラー９５は、フィルム保持ローラー４３と同軸で回転する。ダミーローラー９５は、表面９５ａがフィルム６０の表面と同じ高さに設定されている。すなわち、ダミーローラー９５は、フィルム６０を保持するフィルム保持ローラー４３よりもフィルム６０の厚み分だけ外径が大きく構成されている。
【０１５８】
ところで、ノズル７３からフィルム６０に対して接着剤または粘着剤を塗布する際、ノズル７３から飛散したミストがダミーローラー９５に付着してしまう。本変形例では、ダミーローラー９５の表面に当接するスキージ部材９６を配置している。スキージ部材９６は、ダミーローラー９５におけるフィルム６０との当接部分よりも回転方向における下流側の表面に当接する。スキージ部材９６の材料としては、ゴム、樹脂等を用いるのが好ましく、これによればダミーローラー９５に傷をつけることなく、前記ダミーローラー９５に付着したミストを良好に掻き取ることができる。これにより、スキージ部材９６は、ノズル７３から飛散してダミーローラー９５の表面に付着したミストを掻き取ることができる。スキージ部材９６が掻き取ったミストは図１０に示したミスト回収機構７１における本体部８０の底部８９に貯留されている洗浄液Ｗに回収させてもよいし、別途回収機構を設けるようにしてもよい。
【０１５９】
これによれば、ダミーローラー９５のみで本発明の膜厚調整部が構成されて部品点数を少なくすることができ、コスト低減を図ることができる。また、ダミーローラー９５とフィルム保持ローラー４３とが一体に回転するため、これらダミーローラー９０およびフィルム保持ローラー４３における駆動部を共通化することができ、コスト低減を図ることができる。
【０１６０】
（第五実施形態）
次に、第五実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１６１】
上記第一実施形態では、タイミング調整部４７として、搬送ローラー２４１によりフィルム６０に付与する張力を自在に調整するとともに該フィルム６０の搬送経路を変更する構成を例示したが、本発明はこれに限定されることはない。
【０１６２】
図１７は、本実施形態に係る貼付装置１００Ｃの概略構成を示す図である。
図１７に示すように、本実施形態に係るタイミング調整部２４７は、フィルム６０の裏面側に当接する当接ローラー部１４７と、該当接ローラー部１４７を保持する保持部１４８と、該保持部１４８をフィルム６０の搬送方向（Ｘ方向）に沿って移動可能な駆動部１４９と、を有している。
【０１６３】
タイミング調整部２４７は、フィルム６０がカッター部４８により切断される際、フィルム６０が一度停止する部分と他の搬送途中の部分とで搬送速度を合わせるべく、当接ローラー部１４７を搬送方向上流側（＋Ｘ方向）に移動させる。これにより、カッター部４８とタイミング調整部４７（当接ローラー部１４７）との距離が長くなるので、見掛け上のフィルム６０のカッター部４８までの搬送速度を低くすることができ、フィルム６０の搬送速度を合わせることで搬送速度のバラツキに起因するフィルム６０のダブつきを防止することができる。
【０１６４】
本実施形態においても、タイミング調整部２４７がフィルム６０の切断時に生じる搬送速度のバラツキを調整するので、フィルム６０の搬送速度を合わせることでフィルム６０にダブつきが生じるのを防止できる。
よって、フィルム搬送部１０４はフィルム６０の搬送不良を生じさせることなく、搬送状態のままでフィルム６０をカッター部４８によって良好に切断することができる。また、フィルム搬送部１０４は、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮できる。
【０１６５】
（第六実施形態）
次に、第六実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１６６】
上記第一実施形態においては膜厚調整機構７２を備えることで、フィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤または粘着剤の厚みを均一にする場合を説明したが、本発明はこれに限定されず、膜厚調整機構７２を有していなくてもよい。
【０１６７】
図１８は、本実施形態に係る貼付装置の要部構成としてフィルム保持ローラー４３の周辺構成の拡大図である。
図１８に示すように、本実施形態においては、フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤または粘着剤を洗浄するローラー洗浄部１５０を備えている。
【０１６８】
本実施形態において、フィルム保持ローラー４３は、フィルム６０の搬送方向に交差する方向における幅がフィルム６０の幅よりも大きくなっている。そのため、フィルム保持ローラー４３は、接着剤または粘着剤がノズル７３から塗布される際、フィルム６０の全面を保持することで接着剤または粘着剤の塗布面にしわや弛みが生じることを防止する。よって、フィルム６０には、接着剤または粘着剤がムラなく塗布されるようになる。
【０１６９】
一方、フィルム保持ローラー４３は、フィルム６０よりも幅が大きいため、フィルム６０を保持した際に両端部が露出した状態となる。そのため、ノズル７３から塗布された接着剤または粘着剤の一部がフィルム保持ローラー４３にも付着してしまう。これに対し、本実施形態においては、フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤または粘着剤を洗浄する上記ローラー洗浄部１５０を備えた構造を採用している。
【０１７０】
ローラー洗浄部１５０は、フィルム保持ローラー４３における接着剤または粘着剤が付着した部分に少なくとも洗浄液を塗布する洗浄液塗布部１５０ａと、洗浄液が塗布されたフィルム保持ローラー４３の表面４３ａに摺接するスキージ部材１５０ｂとを含む。
【０１７１】
洗浄液塗布部１５０ａは、例えば、スプレーノズル等から構成され、フィルム６０における接着剤または粘着剤の塗布面に対向しない方向から洗浄液を塗布するように配置される。本実施形態において、洗浄液塗布部１５０ａは、フィルム６０の搬送方向と平行に配置され、フィルム保持ローラー４３に対して上方から洗浄液を塗布する。これにより、フィルム６０における接着剤または粘着剤の塗布領域に洗浄液が付着するといった不具合の発生を防止している。
【０１７２】
スキージ部材１５０ｂは、フィルム保持ローラー４３の表面４３ａのうち、少なくとも洗浄液が付着した部分を摺接する。本実施形態において、スキージ部材１５０ｂは、フィルム保持ローラー４３と同じ幅を有しており、フィルム保持ローラー４３の表面４３ａの全面を一括的に払拭することが可能とされている。なお、スキージ部材１５０ｂは、フィルム保持ローラー４３の表面４３ａのうち洗浄液が付着する端部のみを払拭する構成を採用してもよく、この場合、２つのスキージ部材１５０ｂを用意し、フィルム保持ローラー４３の両端部の表面４３ａに摺接させるようにすればよい。
【０１７３】
スキージ部材１５０ｂは、フィルム保持ローラー４３におけるフィルム６０との当接部分よりも回転方向における下流側の表面４３ａに当接する。スキージ部材１５０ｂの材料としては、ゴム、樹脂等を用いるのが好ましく、これによればフィルム保持ローラー４３に傷をつけることなく、前記フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤または粘着剤および洗浄液を良好に掻き取ることができる。
【０１７４】
以上のように、本実施形態によれば、膜厚調整機構７２を有さない構成を採用した貼付装置であっても、ローラー洗浄部１５０を備えるので、フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤または粘着剤を良好に除去することができる。よって、フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤または粘着剤により、装置内部が汚染されるといった不具合の発生を防止することができる。
【０１７５】
（第七実施形態）
次に、第七実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１７６】
上記第一実施形態においては、カッター部４８が回転刃１６１によって主フィルム材６１を幅方向に沿って切断する場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されず、カッター部として別の構成を採用してもよい。
【０１７７】
図１９は、本実施形態に係る貼付装置の要部構成であるカッター部およびその周辺の概略構成を示す図である。
カッター部１６０は、図１９に示すようにフィルム６０を切断（カット）するための刃４８ａと、刃４８ａに対向配置される台座部４８ｂとを有する。カッター部１６０は、台座部４８ｂ上のフィルム６０に対して刃４８ａを押し付けることでフィルム６０を切断可能となっている。具体的にカッター部４８は、図１９に示すようにフィルム６０のうち、主フィルム材６１のみを切断可能な位置まで刃４８ａを押し付ける。これにより、フィルム６０は主フィルム材６１が所定の長さにカットした状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態とすることができる。
【０１７８】
以上述べたように、本実施形態によれば、カッター部１６０が刃４８ａをフィルム６０の幅方向の全体に亘って刃４８ａを押し付けることで該フィルム６０を一括的に簡便且つ確実に切断することができる。
【符号の説明】
【０１７９】
１…基板、Ｎ…接着剤、Ｒ…ロール体、６０…フィルム、６１…主フィルム材、６２…保護材、１００…貼付装置、１０４…フィルム搬送部、１０５…フィルム貼付部、１０６…塗布部、１０９…フィルム位置検出部、１１１…位置補正機構、４８、１６０…カッター部
【図１】
2014236031.tif 000003
【図２】
2014236031.tif 000004
【図３】
2014236031.tif 000005
【図４】
2014236031.tif 000006
【図５】
2014236031.tif 000007
【図６】
2014236031.tif 000008
【図７】
2014236031.tif 000009
【図８】
2014236031.tif 000010
【図９】
2014236031.tif 000011
【図１０】
2014236031.tif 000012
【図１１】
2014236031.tif 000013
【図１２】
2014236031.tif 000014
【図１３】
2014236031.tif 000015
【図１４】
2014236031.tif 000016
【図１５】
2014236031.tif 000017
【図１６】
2014236031.tif 000018
【図１７】
2014236031.tif 000019
【図１８】
2014236031.tif 000020
【図１９】
2014236031.tif 000021