(57)【要約】【課題】大面積チップ、薄型チップを適用可能であり、かつ、放熱性及び信頼性に優れた電力用半導体装置を提供する。【解決手段】電力用半導体装置１０は、回路パターン５を有するベース基板９と、回路パターン上の金属箔４と、金属箔上に導電性接合材３を用いて接合された半導体チップ１，２とを備える。半導体チップの下面に形成された電極は、導電性接合材３及び金属箔４を介して回路パターン５に電気的に接続されている。金属箔４は、回路パターン５に部分的に接合されており、チップ外周面の少なくとも隅部の下側に、金属箔４と回路パターン５とが接合されない非接合領域４Ｂが存在する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路パターンを有するベース基板と、
回路パターン上に部分的に接合された金属箔と、
金属箔上に導電性接合材を用いて接合された半導体チップとを備え、
半導体チップの下面に形成された電極は、導電性接合材及び金属箔を介して回路パターンに電気的に接続され、
チップ外周面の少なくとも隅部の下側には、金属箔と回路パターンとが接合されない非接合領域が存在することを特徴とする電力用半導体装置。
【請求項２】
金属箔の上面のうち、金属箔とベース基板とが接合された接合領域の上側には、凹凸が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の電力用半導体装置。
【請求項３】
金属箔とベース基板とが接合された接合領域は、互いに分離した複数の領域を含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の電力用半導体装置。
【請求項４】
金属箔の外周面は、半導体チップの外周面よりも外側に位置することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の電力用半導体装置。
【請求項５】
金属箔は、上面側で、その外周面から少なくとも半導体チップの外周面に至るまで薄厚化されていることを特徴とする、請求項４に記載の電力用半導体装置。
【請求項６】
金属箔は、平行に配置された複数の金属リボンで構成されたことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の電力用半導体装置。
【請求項７】
半導体チップは略長方形状を有し、
複数の金属リボンは、その長手方向が半導体チップの長辺方向と一致するように配置されたことを特徴とする、請求項６に記載の電力用半導体装置。
【請求項８】
半導体チップは、ＳｉＣ基板を含むことを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の電力用半導体装置。
【請求項９】
導電性接合材は、接着性樹脂及び金属フィラーを含む導電性接着剤である、請求項１〜８のいずれか１項に記載の電力用半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電力用半導体装置に係り、特に、半導体チップを組み合わせてインバータ回路などを構成する電力用半導体装置の構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電力用半導体装置では、ＩＧＢＴ（絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ）、ＦＷＤｉ（フリーホイール・ダイオード）、ＭＯＳＦＥＴ（金属酸化物半導体電界効果トランジスタ）などの半導体チップを、下面（裏面）の電極の配線を成す回路パターン上、リードフレーム上に、はんだのような導電性を有する接合材で接合していた。
【０００３】
これらの半導体チップからの発熱を装置外部に効率よく放熱するためには、発熱部分から装置外部までの熱抵抗を減らすことが求められる。一般に半導体チップと基板との接合に用いられるはんだは放熱性に優れるが、接合界面の酸化膜の除去が必要であり、また、はんだ付け温度が２００℃を超える温度となる。それゆえ、半導体チップの接合工程が煩雑になっていた。
【０００４】
かかる問題を解決するために、接着性を有するエポキシ樹脂と金属フィラーとを混合した導電性接着剤が、導電性及び放熱性に優れることにより有効であることが知られている。この場合、導電性及び放熱性を向上させるためには、接着剤における金属フィラーの含有率を増加させることが必要となる。しかし、金属フィラーの含有率を増加させると相対的にエポキシ樹脂が減少するため接着力が低下する。
【０００５】
ここで、導電性接着剤の硬化には加熱が必要であるところ、接着温度から常温に至るまでの冷却過程で、半導体チップと、回路パターンを有するベース基板との熱膨張率の差に起因した熱応力が接着剤に加わる。上記のように接着力が低下した接着剤を用いた場合、熱応力により導電性接着剤に剥離等が生じることがある。
【０００６】
また近年、半導体装置、特に電力用半導体装置では高温使用化が進んでいる。それゆえ、例えば温度サイクルが負荷された場合には、製造時は接合されていても、半導体チップ及びベース基板が膨張・収縮して導電性接着剤の剥離、亀裂が進展することがあり、これにより、半導体チップからの放熱性及び電気特性が低下するという信頼性上の問題が生じていた。
【０００７】
また、かかる剥離等は、大きい熱応力が加わるチップの外周面、特にチップの角部（隅部）から進展することが知られている。さらに、これらの問題は、特に大面積チップを使用する場合に顕著に生じていた。
【０００８】
その対策として、例えば特許文献１では、半導体チップの中央部に高熱伝導接着剤、外周面に高強度接着剤を塗付する構造が開示されている。また、例えば特許文献２では、半導体チップの外周面での熱応力を緩和する構造として、チップ外周面が接合されず、チップ中央部のみが接合された構造が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−３５１９２９号公報
【特許文献２】特開２００７−１４２０９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１に開示されている構造では、２種類の接着剤を用いるため、チップの中央部と外周面とを別の塗布工程により接合する必要があり、製造工程が煩雑になるという問題が生じる。
【００１１】
また、特許文献２に開示されている構造では、第１に、チップ外周面が接合されていないため、半導体チップからの放熱経路が縮小されて放熱性が低下するという問題が生じる。第２に、近年、チップ性能向上を目的としてチップの薄型化が進んでいるところ、チップ搭載時、ワイヤ接合時などに加わる荷重に起因して局所的な曲げ応力が加わり、その曲げ応力によってチップが破損する可能性がある。それゆえ、チップサイズ、チップ厚において適用範囲が制約されるという問題が生じる。
【００１２】
本発明の目的は、大面積チップ、薄型チップを適用可能であり、かつ、放熱性及び信頼性に優れた電力用半導体装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明に係る電力用半導体装置は、回路パターンを有するベース基板と、回路パターン上に部分的に接合された金属箔と、金属箔上に導電性接合材を用いて接合された半導体チップとを備える。また、半導体チップの下面に形成された電極は、導電性接合材及び金属箔を介して回路パターンに電気的に接続される。そして、チップ外周面の少なくとも隅部の下側には、金属箔と回路パターンとが接合されない非接合領域が存在することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、温度サイクルなどが負荷された際に導電性接合材の外周面に加わる熱応力が緩和されることにより、信頼性が向上すると共に、大面積チップの適用が可能となる。また、この効果は、非接合領域に回路パターンが存在しても発揮されることから、チップに局所的な曲げ応力が加わることがなく、薄型チップの適用が可能となる。さらに、半導体チップで発生した熱は金属箔を通じて伝導されるため、優れた放熱性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態１に係る電力用半導体装置の断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る電力用半導体装置の上面図である。
【図３】接合領域及び非接合領域についての説明図である。
【図４】本発明の実施の形態１の変形例に係る電力用半導体装置の上面図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る電力用半導体装置の、図３の上側の図に対応する説明図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係る電力用半導体装置の上面図である。
【図７】本発明の実施の形態３の変形例に係る電力用半導体装置の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の実施の形態に係る電力用半導体装置について、以下で図を参照しながら説明する。なお、各図において、同様の構成部分については同一の符号を付している。また、以下に説明する各実施の形態では、本発明による効果が顕著に現れることから、発熱性の半導体チップであるＩＧＢＴ及びＦＷＤｉを備えた電力用半導体装置を例として説明する。しかし、本発明はこれに限定されることなく、通常の半導体装置にも適用可能である。さらに、各実施形態に係る電力用半導体装置は２つの半導体チップを備えているが、これに限定されることなく、１つ以上の半導体チップを備えればよい。
【００１７】
実施の形態１．
図１，図２は、それぞれ本発明の実施の形態１に係る電力用半導体装置の断面図、上面図である。なお、図１は図２のＩ−Ｉ’断面を表す。
図１に示すように、本実施形態に係る電力用半導体装置１０は、略矩形板状を有するＩＧＢＴ１，ＦＷＤｉ２と、放熱グリースを介して装置外部の放熱部材（図示せず）に接続されたベース基板９と、ベース基板上に部分的に接合された金属箔４と、などを備える。また、金属箔４の上面とＩＧＢＴ１，ＦＷＤｉ２の下面とは、介在する導電性接着剤３によって接合されている。
【００１８】
ここで、本発明では、ＩＧＢＴ１及びＦＷＤｉ２（以下、半導体チップ１，２）は、例示的な寸法として、チップサイズは１２ｍｍ×１２ｍｍ、厚さは１５０μｍであるものとするが、これに限定されることはない。
【００１９】
半導体チップ１，２は、Ｓｉ、ＳｉＣなどの材料からなる基板を含む。また、半導体チップ１，２は、上面及び下面に形成された主電極を有する。下面に形成された主電極１ａ（２ａ）は、導電性接合材３及び金属箔４を介して回路パターン５に電気的に接続される。一方、上面に形成された主電極（図示せず）には、例えばアルミニウムからなるワイヤ８が超音波接合により接合されている。そして、半導体チップ１，２は、別の回路パターン又は装置の外部に導出される端子（図示せず）に電気的に接続される。ＩＧＢＴ１の場合、上面にエミッタ電極、ゲート電極が形成され、下面にコレクタ電極が形成される。
【００２０】
ベース基板９は、図１に示すように、回路パターン５が樹脂絶縁層６を介して放熱ベース７に接合されて一体となった構成を有する。回路パターン５は、例えば銅などの導電性に優れた金属からなり、厚さは例えば１００μｍである。樹脂絶縁層６は、例えばアルミナなどの熱伝導性の高い絶縁材料をフィラーとして配合しており、厚さは例えば２００μｍである。放熱ベース７は、例えばアルミニウム又は銅のような導電性及び放熱性に優れた金属からなり、厚さは例えば２ｍｍである。このように放熱ベース７を金属で構成した場合、ベース基板９は金属ベース基板として一般に用いられる構造となる。
【００２１】
半導体チップ１，２への通電、スイッチング動作などにより発生した熱は、放熱ベース７に伝わる。そして、放熱ベース７は、発生した熱を放熱部材（ヒートシンク）へ伝導し、放熱させる。このとき、装置内部の電気回路と外部の放熱部材とは、樹脂絶縁層６によって電気的に絶縁されている。
【００２２】
一般に、半導体チップ１，２と回路パターン５とは、はんだ、導電性接着剤などを用いて、電気的、熱的に良好な直接接続が行われる。一方、本実施形態では、半導体チップ１，２と回路パターン５との間に金属箔４が設けられ、金属箔４と半導体チップ１，２とは導電性接着剤３を用いて接合されている。導電性接着剤３は、エポキシ樹脂のようなバインダー（樹脂）に、金属フィラー、例えばＡｇフィラーが混合された、高い導電性及び放熱性（又は熱伝導性）を有する接着剤である。既に説明したように、導電性及び放熱性を向上させるには、金属フィラーの含有率を大きくすることが好ましい。
【００２３】
図３は、接合領域及び非接合領域についての説明図である。図３の上側の図、下側の図は、それぞれ図１、図２に対応する方向から見た図である。金属箔４は、導電性及び放熱性に優れた金属、例えば銅からなり、大きさは例えば１３ｍｍ×１３ｍｍ、厚さは例えば１００μｍである。
【００２４】
金属箔４は、図３に示す接合領域４Ａで回路パターン５に接合されており、非接合領域４Ｂでは接合されていない。ここで、「接合されていない」状態は、金属箔４と回路パターン５との間に空隙が存在する状態に加えて、金属箔４と回路パターン５とが単に接触しているのみである状態を含むものとする。
【００２５】
また、金属箔４は、回路パターン５に超音波接合することができる。このとき、金属箔４の上面のうち、接合領域４Ａの上側には、接合時の加圧により超音波ホーンの形状が転写され、図１，３に示すように凹凸が形成される。
【００２６】
そして、図２，図３に示すように、本実施形態では、金属箔４の中央部の下側には接合領域４Ａが存在し、半導体チップ１，２の外周面の下側には非接合領域４Ｂが存在する。図３中のｚ方向から見て、接合領域４Ａの面積は、例えば８ｍｍ×８ｍｍの領域とすることができる。また、図２，３などに示すように、接合領域４Ａの形状は、略矩形を想定しているが、例えばその隅部はＣ面取り、Ｒ面取りされていてもよい。
【００２７】
また、半導体チップ１，２の外周面は、図２に太い破線で示す部分である。金属箔４の外周面は、ｚ方向から見て、この半導体チップ１，２の外周面よりも外側に位置することが好ましい。これにより、後述する放熱性確保の効果を高めることができる。このとき、金属箔４のうち半導体チップ１，２からはみ出た部分は、導電性接着剤３のはみ出しに対するマージンとしても機能する。
【００２８】
さらに、電力用半導体装置１０には、外部端子が設置された樹脂製の外周ケース（図示せず）が取り付けられると共に、その外周ケースの内部には、例えばシリコーンゲル又はエポキシ樹脂などの封止材料が注入されて絶縁封止される。
【００２９】
このとき、後述する、導電性接着剤３に加わる熱応力が緩和される効果を維持するためには、金属箔４は、非接合領域４Ｂにて、封止材料と金属箔４との接合力に対して充分に低い強度で回路パターン５と接触することが好ましい。
【００３０】
次に、本実施形態に係る電力用半導体装置による効果について説明する。
本実施形態にて例示したようなチップサイズの半導体チップ及びベース基板を用いた構造では、導電性接着剤を用いて接合を行った場合に、熱硬化後の冷却工程の際、温度サイクルが負荷された際などに、導電性接着剤に剥離、亀裂が生じることがあった。
【００３１】
一方、本実施形態に係る電力用半導体装置１０では、半導体チップ１，２の外周面、特に、導電性接着剤３に大きい熱応力が加わるチップ隅部の下側で、金属箔４と回路パターン５とが接合されない。
【００３２】
これにより、半導体チップ１，２とベース基板９との熱膨張率の差に起因した熱応力が非接合領域４Ｂで吸収される結果、温度サイクルが負荷された際などに導電性接着剤３に加わる熱応力が緩和される。それゆえ、接着剤３の剥離、亀裂などが抑制され、信頼性の向上につながると共に、大面積チップの適用が可能となる。
【００３３】
また、この効果は、非接合領域４Ｂに回路パターン５が存在しても発揮されることから、チップ搭載時などに加わる局所的な曲げ応力が抑制され、薄型の半導体チップ１，２を用いた場合でもチップ割れを防止することができる。さらに、本実施形態では、半導体チップ１，２の下面全体が導電性接着剤３で接合され、支持されることになる。それゆえ、さらに薄型チップの使用に適した電力用半導体装置１０が実現される。
【００３４】
このとき、電力用半導体装置１０では、半導体チップ１，２は電気と熱の良導体である金属箔４に接合されるため、優れた放熱性を確保することができる。この効果は、半導体チップ１，２の下面全体が導電性接着剤３で接合されることにより、チップ外周面付近にて生じる熱についても効率良く放熱可能であるため、一層顕著になる。
【００３５】
さらに、金属箔４が回路パターン５に接合領域４Ａで接合されると共に、導電性接着剤３が半導体チップ１，２から受ける熱応力も、非接合領域４Ｂの存在により緩和される。これにより、導電性接着剤３として高熱伝導接着剤を使用でき、また、大面積チップの使用にさらに適した電力用半導体装置１０が実現される。
【００３６】
また、金属箔４の上面のうち、接合領域４Ａの上側には、超音波接合時に凹凸が形成される結果、導電性接着剤３が流動する。これにより、凹部では金属フィラーが集中し、導電性接着剤３の厚さ（接合厚）が大きくなる一方、凸部では接合厚が小さくなる。このとき、凹部からの放熱性が凸部よりも高くなる。それゆえ、導電性接着剤３での放熱性を向上させつつチップを大面積化することができ、さらに、温度サイクル信頼性を向上させることができる。この場合、凸部での接合厚を０とすること、即ち半導体チップ１，２と金属箔４とを直接接触させることも可能である。
【００３７】
また、電力用半導体装置１０に取り付ける外周ケースをエポキシ樹脂などの封止材料で封止することにより、非接合領域４Ｂにて金属箔４が回路パターン５に接触していない場合でも、部分的に接触した状態を保持することが可能となる。この場合、当該接触部分が放熱経路となるため、放熱性確保の効果をさらに高めることができる。
【００３８】
また、本実施形態において、放熱性よりも信頼性を考慮する必要がある場合には、導電性接着剤３に加わる熱応力を低下させる観点から、金属箔４の剛性を下げることが有効である。そのためには、例えば金属箔４をさらに薄くすることができる。また、金属箔４を構成する材料として、降伏応力及び弾性率の低い材料、例えばアルミニウムを用いることができる。さらに、真空・不活性ガス中などの制御雰囲気中で両者を密着させて加圧・加熱する拡散接合などの面接合方法により金属箔４を回路パターン５に接合した場合にも、応力を分散させることができ、したがって信頼性向上の効果を得ることが可能である。
【００３９】
また、本実施形態では、例えばＳｉ，ＳｉＣなどの材料で半導体チップ１，２の基板を作成可能であると説明した。ここで、硬度が高いＳｉＣでチップ１，２の基板を作成することにより、導電性接着剤３に加わる応力を適度に大きくすることができ、電力用半導体装置１０のデバイスサイズをより小さくすることができる。これは、求められるデバイスサイズ、温度サイクル信頼性を確保する手段として有効である。
【００４０】
図４は、本発明の実施の形態１の変形例に係る電力用半導体装置の上面図である。
この変形例では、互いに分離した複数の接合領域４Ａが存在する。例えば図４に示す例では、１２ｍｍ×１２ｍｍのチップサイズに対して３ｍｍ×３ｍｍの大きさで構成される１０ヶ所の接合領域４Ａが存在する。このとき、図４に示すように、図３の構成よりもさらにチップ１，２の隅部を避けて接合領域４Ａが設けられる。
【００４１】
ここで、優れた放熱性を確保するためには、図３の構成に比べて接合領域４Ａの面積が低下するのを防ぐ必要がある。それゆえ、この変形例では、半導体チップ１，２の４辺側に接合領域４Ａを接近させることができる。このとき、チップ１，２の外周面のうち特に剥離等が生じやすい隅部を大きく避けて接合領域４Ａが設けられるので、チップ１，２の４辺側に接合領域を接近させた場合でも、剥離等を充分に抑制することができる。さらに、半導体チップ１，２の隅部の下側が広く非接合領域４Ｂとなるため、図３の構成よりもさらに大面積チップに好適な構成とすることが可能である。
【００４２】
また、複数の接合領域４Ａに囲まれた部分では、接合領域間の距離を充分小さくすることで、非接合領域４Ｂであっても金属箔４と回路パターン５とを充分に近接させることができる。これにより、各接合領域４Ａの面積が小さくなった場合でも、放熱性の低下を抑制することができる。
【００４３】
実施の形態２．
図５は、本発明の実施の形態２に係る電力用半導体装置の、図３の上側の図に対応する説明図である。
基本的な構成については実施形態１と同様のため、同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。本実施形態に係る電力用半導体装置２０では、金属箔４の外周面が、半導体チップ１，２の外周面より外側に位置する。
【００４４】
そして、金属箔４は、半導体チップ１，２の下面と対向する上面側で、その外周面から所定の距離が薄厚化されている。その所定の距離は、金属箔４の外周面から少なくともチップ１，２の外周面に至るまでの距離とすることができる。例えば、半導体チップ１，２の外周面から５０μｍまでを薄厚化することもできる。なお、図５では、非接合領域４Ｂの全体で金属箔４が薄厚化された構成を示しているが、本実施形態はこれに限定されない。
【００４５】
かかる薄厚化は、例えば金属箔４を回路パターン５に接合する前に押圧力を加えることにより行うことができる。導電性接着剤３は、薄厚化された領域まで広がって半導体チップ１，２と金属箔４とを接合する。
【００４６】
前記の通り、導電性接合材として導電性接着剤３を用いた場合、半導体チップのサイズの拡大に伴って剥離などの問題が生じやすくなる。それゆえ、更なる大チップ化が必要な場合、又は、高温動作、長期信頼性が求められる半導体装置においては、更なる信頼性構造が必要となる。
【００４７】
本実施形態では、金属箔４をその外周面から所定の範囲で薄厚化した。つまり、導電性接着剤３が、その最も外側の部分で接する金属箔４が薄くなり、剛性が低下する。これにより、導電性接着剤３が金属箔４から受ける応力を軽減することができる。さらにこのとき、金属箔４の外周面から所定の距離で導電性接着剤３が厚くなる。これにより、導電性接着剤３が半導体チップ１，２及び金属箔４から受けるせん断応力が軽減される。これらにより、更なる信頼性構造を有する電力用半導体装置２０が実現される。
【００４８】
実施の形態３．
図６は、本発明の実施の形態３に係る電力用半導体装置の上面図である。
基本的な構成については実施形態１又は２と同様のため、同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。本実施形態に係る電力用半導体装置３０では、金属箔が、並列配置された複数の金属リボン３４で構成される。例示した１２ｍｍ×１２ｍｍのチップサイズの場合、各金属リボン３４の幅は例えば２．５ｍｍであり、厚さは例えば０．２ｍｍである。図６では、５列の金属リボンが並列配置された構成について示している。
【００４９】
また、１つの金属リボン３４に対して複数の接合領域３４Ａが存在する。そして、複数の接合領域３４Ａのそれぞれは、金属リボン３４の長さ方向（図６のｘ方向）に一列に配置されており、例えば長さ方向に１．０ｍｍ、幅方向（図６のｙ方向）に１．５ｍｍの寸法を有する。さらに、図６に示すように、半導体チップ１，２の外周面が、鎖線で示す金属リボン３４の外周面に近接するように、チップ１，２が配置されてもよい。
【００５０】
本実施形態では、金属箔を複数の金属リボン３４で構成することにより、半導体の配線技術においてワイヤボンディングの代替として用いられるリボンボンディングの技術を適用することにより、１種類の金属リボン３４を使用してあらゆるチップサイズに対応した金属箔を形成することが可能である。それゆえ、適用する半導体チップ１，２のチップサイズに応じた大きさの金属箔を準備する必要がなく、更には、チップサイズに合わせた超音波ホーンを準備する必要もない。これにより、製造工程が簡略化され、１枚のベース基板９に対しチップサイズの異なる多種のチップを搭載するような複雑な回路のモジュールに対しても適用しやすい構造となる。ここで、リボンボンディングを好適に行うために、接合領域３４Ａの幅方向の寸法は、金属リボン３４の幅よりも可能な限り小さいことが好ましい。
【００５１】
図７は、本発明の実施の形態３の変形例に係る電力用半導体装置の上面図である。
この変形例では、略長方形板状の半導体チップ１，２を想定しており、例示的なチップサイズは１２ｍｍ×７ｍｍである。この場合、導電性接着剤３に加わる熱応力は、半導体チップ１，２の長辺方向（図７のｘ方向）で大きくなるため、その長辺方向に剥離、亀裂が進展しやすい。それゆえ、図７に示すように、金属リボン３４の長さ方向と半導体チップ１，２の長辺方向とを一致させ、半導体チップ１，２の長辺側の両端において非接合領域３４Ｂを広く設けることが好ましい。
【００５２】
以上、本発明の実施の形態で説明したＩＧＢＴ１，ＦＷＤｉ２によって、例えばインバータ回路を構成することができる。このとき、ＩＧＢＴ１はモータ、電磁石などの誘導性負荷の負荷電流をスイッチングして制御するために用いられ、ＦＷＤｉ２は負荷電流を転流させるのに用いられる。そして、本発明の実施の形態に係る電力用半導体装置は、ＩＧＢＴ１，ＦＷＤｉ２の他、サーミスタ、整流ダイオード、サイリスタなどを備えてもよい。
【符号の説明】
【００５３】
１  ＩＧＢＴ（半導体チップ）、  ２  ＦＷＤｉ（半導体チップ）、
１ａ（２ａ）  主電極、  ３  導電性接着剤（導電性接合材）、  ４  金属箔、
４Ａ，３４Ａ  接合領域、  ４Ｂ，３４Ｂ  非接合領域、  ５  回路パターン、
６  樹脂絶縁層、  ７  放熱ベース、  ８  ワイヤ、  ９  ベース基板、
１０，２０，３０  電力用半導体装置、  ３４  金属リボン。
【図１】
2014078616.tif 000003
【図２】
2014078616.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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