(57)【要約】【課題】拘束体層を積層したダンパーに、打ち抜きによる拘束体層の亀裂部の発生を抑制することが可能なダンパーの打抜方法を提供する。【解決手段】ライナー１５上に貼付面が剥離可能に貼り付けられ、粘弾性体層９上に拘束体層１１を積層させたダンパー材３から中空状の打抜パンチ２５を用いて打抜ステージ３３上でダンパー５を打ち抜くダンパー５の打抜方法であって、ダンパー５を打抜パンチ２５の中空状の内側に位置させるようにして打ち抜き、この打ち抜き時に打抜ステージ３３側を高周波振動させる。【選択図】図７
2014154184.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
離形材上に貼付面が剥離可能に貼り付けられ、粘弾性体層上に拘束体層を積層させたダンパー材から中空状の打抜パンチを用いて打抜ステージ上でダンパーを打ち抜くダンパーの打抜方法であって、
前記ダンパーを前記打抜パンチの中空状の内側に位置させるようにして打ち抜き、
該打ち抜き時に前記打抜ステージ側を高周波振動させる、
ことを特徴とするダンパーの打抜方法。
【請求項２】
請求項１記載のダンパーの打抜方法であって、
前記打抜ステージ側の高周波振動の加振方向は、前記打抜パンチの打抜方向である、
ことを特徴とするダンパーの打抜方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載のダンパーの打抜方法であって、
前記打抜ステージ側の高周波振動の加振振幅は、前記離形材の厚みより小さい、
ことを特徴とするダンパーの打抜方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載のダンパーの打抜方法であって、
前記打抜ステージは、前記打抜パンチに対向して受けとなる高周波振動部を備え、
前記高周波振動部を、前記打抜ステージ側として高周波振動させる、
ことを特徴とするダンパーの打抜方法。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載のダンパーの打抜方法であって、
前記打ち抜いたダンパーを前記打抜パンチの中空状の内側に保持し、該保持したダンパーを押し出しによりヘッド・サスペンションの対象部位に貼り付け可能とする、
ことを特徴とするダンパーの打抜方法。
【請求項６】
請求項４又は５記載のダンパーの打抜方法に用いるダンパーの打抜装置であって、
前記打抜ステージ及びこの打抜ステージに設けられ前記打抜パンチに対向して受けとなる前記高周波振動部を有する、
ことを特徴とするダンパーの打抜装置。
【請求項７】
請求項６記載のダンパーの打抜方法に用いるダンパーの打抜装置であって、
前記高周波振動部は、前記打抜パンチによる打ち抜き形状に合わせた形状とされ、又は前記打抜パンチの大きさ及び前記ダンパー材の材料幅に合わせた形状とされた、
ことを特徴とするダンパーの打抜装置。
【請求項８】
請求項６又は７に記載のダンパーの打抜装置を備えたダンパーの貼付装置であって、
前記打抜パンチは、前記ヘッド・サスペンションの対象部位まで可動であり、且つ前記中空状の内側面に保持させた前記ダンパーを押し出して前記ヘッド・サスペンションの対象部位に対し貼り付ける押出部を備えた、
ことを特徴とするダンパーの貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハード・ディスク・ドライブ等のヘッド・サスペンションにおける対象部位にダンパーを貼り付けるためのダンパーの打抜方法、打抜装置、及び貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハード・ディスク・ドライブにおいては、高速で回転するディスク上をヘッド・サスペンションに支持されたヘッド部が僅かに浮上して信号の読み取り書き込みを行う。このとき、ヘッド・サスペンションは、ディスクの回転に伴う風乱（風加振）や共振等により、オフ・トラックによるデータ・エラーが生じ易いという問題があった。
【０００３】
これに対し、例えば特許文献１のように、粘弾性体層上に拘束体層を積層してなるダンパーをヘッド・サスペンションに貼り付ける制振技術が提案されている。
【０００４】
こうしたダンパーの貼付では、予め粘弾性体層側が離形材に貼り付けられたダンパー材を用意し、このダンパー材から所要形状のダンパーを打ち抜き加工する。打ち抜かれたダンパーは、一旦ライナー上に整列され、これを貼付自動機により或いは作業者がピンセット等を用いて手作業によりピック・アップしてヘッド・サスペンション上の対象部位に貼り付けるなどしている。
【０００５】
また、ダンパーを自動で打ち抜き、貼り付ける自動貼り付け装置を本願出願人は既に特許文献２として提案している。
【０００６】
かかる拘束体層を積層したダンパーを用いる技術において、従来は拘束体層の厚みが比較的薄く限られていたため、拘束体層の亀裂の問題は生じていなかった。
【０００７】
しかし、製品に対する様々な要求に対応するため、近年、拘束体層がより厚いダンパーを製品に適用するケースも出てきた。この厚いダンパーの場合、打抜き工程において拘束体層に亀裂が発生するという問題を招いた。
【０００８】
図１２は、打抜き面の一部を３００倍に拡大した拡大写真、図１３は、同５００倍に拡大した拡大写真である。図１２、図１３から明らかなように、厚い拘束体層に亀裂部Ｃの発生がある。
【０００９】
図１４、図１５は、亀裂が入ったダンパーＤをヘッド・サスペンションＨＳ上の対象部位に貼り付けた状態を示す要部平面写真である。
【００１０】
図１４、図１５のように、この拘束体層に亀裂が入ったダンパーＤをヘッド・サスペンションＨＳ上の対象部位に貼り付けたとき、白く見えている箇所が亀裂部Ｃとなっている。
【００１１】
このように亀裂部Ｃが発生すると、ヘッド・サスペンションＨＳに対するダンピング性能の偏りを生じ、ダンパーの性能に影響するため、その解決が求められていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００１−０６７６３５号公報
【特許文献２】特開２００９−１７６３４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
解決しようとする問題点は、拘束体層を積層したダンパーに、打ち抜きによる拘束体層の亀裂部の発生があった点である。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、拘束体層を積層したダンパーに対する打ち抜きによる拘束体層の亀裂部の発生を抑制するために、離形材上に貼付面が剥離可能に貼り付けられ、粘弾性体層上に拘束体層を積層させたダンパー材から中空状の打抜パンチを用いて打抜ステージ上でダンパーを打ち抜くダンパーの打抜方法であって、前記ダンパーを前記打抜パンチの中空状の内側に位置させるようにして打ち抜き、該打ち抜き時に前記打抜ステージ側を高周波振動させることをダンパーの打抜方法の特徴とする。
【００１５】
前記ダンパーの打抜方法に用いるダンパーの打抜装置であって、前記打抜ステージ及びこの打抜ステージに設けられ前記打抜パンチに対向して受けとなる前記高周波振動部とを有することをダンパーの打抜装置の特徴とする。
【００１６】
前記ダンパーの打抜装置を備えたダンパーの貼付装置であって、前記打抜パンチは、前記ヘッド・サスペンションの対象部位まで可動であり、且つ前記中空状の内側面に保持させた前記ダンパーを押し出して前記ヘッド・サスペンションの対象部位に対し貼り付ける押出部を備えたことをダンパーの貼付装置の特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、打ち抜き時に打抜ステージ側を高周波振動させるから、拘束体層を積層したダンパーに対し、打ち抜きによる拘束体層の亀裂部の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】ダンパーの貼付装置の概要を示す機能ブロック構成図である。（実施例１）
【図２】ダンパー材の積層構造を示す側面図である。（実施例１）
【図３】ダンパーが貼着けられたヘッド・サスペンションの概略斜視図である。（実施例１）
【図４】図３のダンパーの貼付部分を示す要部平面図である。（実施例１）
【図５】（Ａ）〜（Ｃ）は、打抜パンチ及び押出ピンを示す側面図であり、（Ａ）は打抜パンチ、（Ｂ）は押出ピン、（Ｃ）は、両者の使用状態である。（実施例１）
【図６】ダンパーの貼付装置の打抜ステージ及び貼付ステージの概略構成図である（実施例１）。
【図７】ダンパーの打抜装置の要部概略断面図である。（実施例１）
【図８】打ち抜き後の拘束体層の断面を示す拡大写真である。（実施例１）
【図９】（Ａ）〜（Ｃ）は、ダンパーの打抜方法を時系列的に示す説明図である。（実施例１）
【図１０】ダンパー貼付時の状態を示す説明図である。（実施例１）
【図１１】ダンパー打抜時の貼付装置の要部平面図である。（実施例１）
【図１２】打抜き面の一部を３００倍に拡大した拡大写真である。（従来例）
【図１３】打抜き面の一部を５００倍に拡大した拡大写真である。（従来例）
【図１４】拘束体層に亀裂が入ったダンパーをヘッド・サスペンション上の対象部位に貼り付けた状態を示す平面写真である。（従来例）
【図１５】拘束体層に亀裂が入ったダンパーをヘッド・サスペンション上の対象部位に貼り付けた状態を示す平面写真である。（従来例）
【発明を実施するための形態】
【００１９】
拘束体層を積層したダンパーに対する打ち抜きによる拘束体層の亀裂部の発生を抑制するという目的を、離形材上に貼付面が剥離可能に貼り付けられ、粘弾性体層上に拘束体層を積層させたダンパー材から中空状の打抜パンチを用いて打抜ステージ上でダンパーを打ち抜く際に、打抜ステージ側を高周波振動させることで実現した。
【００２０】
打抜ステージ側の高周波振動は、打抜パンチの打抜方向であり、その加振振幅が離形材の厚みより小さくするのが好ましい。
【００２１】
高周波振動としては、打抜パンチに対向して受けとなる高周波振動部を打抜ステージ側として高周波振動させたり、或いは打抜ステージ自体を高周波振動させることで実現できる。
【００２２】
かかるダンパーの打抜方法は、例えば、打ち抜いたダンパーを中空状の内側に保持し、この保持したダンパーを押し出しによりヘッド・サスペンションの対象部位に貼り付ける場合等に用いられる。
【００２３】
以下、本発明の実施例について具体的に説明する。
【実施例１】
【００２４】
図１は、ダンパーの貼付装置の概要を示す機能ブロック構成図、図２は、ダンパー材の積層構造を示す側面図、図３は、ダンパーが貼着けられたヘッド・サスペンションの概略斜視図、図４は、図３のダンパーの貼付部分を示す要部平面図である。
【００２５】
本実施例では、図１の貼付装置１を用いて、例えば図２のようなダンパー材３からダンパー５を打ち抜き保持し、打ち抜き保持したダンパー５を図３及び図４のようなヘッド・サスペンション７の対象部位に貼り付ける。
［ダンパー材及びヘッド・サスペンション］
打抜対象となるダンパー材３は、図２のように、粘着剤からなる粘弾性体層９上に拘束体層１１を積層一体化して構成されたものである。粘弾性体層９側の貼付面１３には、その粘着性を維持するための可撓性の離形材であるライナー（セパレータ）１５が積層仮着されている。
【００２６】
ダンパー５の使用時には、粘弾性体層９側の貼付面１３からライナー１５が剥離されて、対象部位に対して貼付面１３の密着により貼り付けられる。
【００２７】
粘弾性体層９の材質としては、特に限定されるものではないが、一般に制振特性及び耐熱性に優れるアクリル系粘着剤を用いることが好ましい。粘弾性体層９の厚さは、特に限定されるものではないが、制振効果を考慮して１５〜２５０μｍ程度に設定することが好ましい。本実施例では、粘弾性体層９の厚みを５０μｍに設定している。
【００２８】
拘束体層１１の材質は、特に限定されるものではないが、例えば、金属板やプラスチック・フィルム等が用いられる。特に、弾性率が高いほど制振特性に優れることから、ＪＩＳＫ７１２７による弾性率が２．９４３ＧＮ／ｍ2 （換算前３００ｋｇ／ｍｍ2 ）以上のものを用いることが好ましい。
【００２９】
金属板を用いる場合には、例えば、ステンレス板、アルミニウム板、銅板、リン青銅板
、ベリリウム銅板等を用いることができる。また、プラスチック・フィルムを用いる場合
には、例えば、ポリイミド樹脂、二軸延伸ポリエチレン・テレフタレート（ＰＥＴ）、二
軸延伸ポリプロピレン、アラミド樹脂、ポリエチレン・ナフタレート（ＰＥＮ）等を用い
ることができる。
【００３０】
本実施例において、拘束体層１１は、厚み１２５μｍのＰＥＴが用いられている。拘束体層１１の厚みは、従来の粘弾性体層９と同一の５０μｍに比較し、製品要求に応じて厚くなっている。但し、拘束体層１１の厚みは特に限定されるものではなく、さらに厚く、或いは逆に薄くすることもでき、従来と同程度としても良い。例えば、拘束体層１１が、金属板の場合に１０〜１５０μｍ程度、同プラスチック・フィルムの場合には２０〜２００μｍ程度に設定することが好ましい。
【００３１】
ライナー１５の材質は、特に限定されないが、粘弾性体層９からの良好な離形性が要求されるため、その積層仮着面が非シリコーン系離形処理剤によって離形処理されたもの等を用いることができる。ライナー１５の厚みも、離形材として機能するものであれば特に限定はされないが、本実施例のライナー１５は、厚み５０μｍ程度に設定されている。
【００３２】
ダンパー５の貼付対象となるヘッド・サスペンション７は、信号の読み取り書き込み用のヘッド部を支持するものであり、図３のように、ベース・プレート１７にばね部１９を介してロード・ビーム２１が設けられている。
【００３３】
ロード・ビーム２１は、ヘッド部が取り付けられたフレキシャ２３がスポット溶接され、ヘッド部に負荷荷重を与える。このロード・ビーム２１に、図３及び図４のように、ばね部１９に対する先端側においてダンパー５が貼り付けられる。
【００３４】
なお、図３及び図４に示したヘッド・サスペンション７及びダンパー５は一例に過ぎず、これ以外の形状や構成を有するヘッド・サスペンションやダンパーであっても本発明を適用することができる。また、ダンパー５の貼付部分についても、ヘッド・サスペンション７の他の部分であっても本発明を適用することができる。
［貼付装置の構成］
貼付装置１は、図１のように、打抜パンチ２５及び押出ピン２７（図１のパンチ／ピン）と、パンチ／ピン駆動機構２９と、移動機構３１と、打抜ステージ３３と、貼付ステージ３５と、駆動制御部３７とを備えている。なお、本実施例のダンパーの貼付装置１では、少なくとも打抜パンチ２５と打抜ステージ３３とでダンパーの打抜装置３９が構成されている。
【００３５】
打抜パンチ２５及び押出ピン２７は、パンチ／ピン駆動機構２９に支持されて、それぞれ打ち抜き及び押出し駆動される。打抜パンチ２５は、図２のダンパー材３から図３及び図４のようなダンパー５を打ち抜くと共に保持する。押出ピン２７は、打抜パンチ２５に保持されたダンパー５を押し出して対象部位に対する貼り付けを可能とする。打抜パンチ２５及び押出ピン２７の詳細は後述する。
【００３６】
移動機構３１は、パンチ／ピン駆動機構２９を移動させ、打抜パンチ２５を打抜ステージ３３と貼付ステージ３５との間で往復移動可能とする。これにより、打抜パンチ２５を打抜ステージ３３上からヘッド・サスペンション７の対象部位まで相対的に移動させる構成となっている。
【００３７】
打抜ステージ３３では、ダンパー５の打ち抜き保持が実行され、貼付ステージ３５では、ダンパー５の貼り付けが実行される。この打抜ステージ３３は、打抜パンチ２５に対向して受けとなる高周波振動部３４を有している。高周波振動部３４は、打抜パンチ２５による打ち抜き時に、打抜ステージ３３側として高周波振動される。なお、打抜ステージ３３、高周波振動部３４、及び貼付ステージ３５の詳細は後述する
駆動制御部３７は、パンチ／ピン駆動機構２９及び移動機構３１等に接続されてこれらの駆動制御を行う。具体的には、パンチ／ピン駆動機構２９を介して打抜パンチ２５により高周波振動部３４を受けとしてダンパー５を打ち抜かせる。このとき、高周波振動部３４が超音波振動などの高周波振動により振動制御される。その後、駆動制御部３７は、移動機構３１を介してパンチ／ピン駆動機構２９を対象部位まで相対的に移動させて位置決めを行う。当該位置で、駆動制御部３７は、パンチ／ピン駆動機構２９を介して押出ピン２７にダンパー５を押出させる。
【００３８】
かかる駆動制御を行うことにより、押出されたダンパー５のヘッド・サスペンション７の対象部位に対する貼り付けを行わせる。
［打抜パンチ及び押出ピン］
図５（ａ）〜（ｃ）は、打抜パンチ及び押出ピンを示す側面図であり、（ａ）は打抜パンチ、（ｂ）は押出ピン、（ｃ）は、両者の使用状態である。
【００３９】
打抜パンチ２５は、例えばステンレス鋼等の金属材料からなり、全体として中空筒状に形成されている。打抜パンチ２５は、ダンパー５を中空状の内側に位置させるようにして打ち抜くものである。
【００４０】
打抜パンチ２５の打抜方向の先端部４１は、肉厚が漸次減少するテーパ形状となっており、先端部４１の開口縁には、肉厚減少による歯部４３が設けられている。本実施例では、先端部４１の内側面４５が打抜によって中空状の内側に位置させたダンパー５を保持する。
【００４１】
ただし、ダンパー５の保持としては、先端部４１の内側面４５によらず、吸引によって先端部４１の内側に保持してもよい。或いは、打抜パンチ２５がライナー１５上に打ち抜かれたダンパー５を残すようにして打ち抜きだけを行い、別途吸引用の治具によってライナー１５上からダンパー５を吸引保持する構成としても良い。この場合は、吸引用治具を貼付ステージ３５側に移動させる。
【００４２】
本実施例の先端部４１の内側面４５は、磨き込む平滑化処理がなされ、ダンパー５の打抜き保持の円滑化及びダンパー５の押出しの抜け性向上が図られている。内側面４５によるパンチサイズは、特に限定はされないが、本実施例において３ｍｍ×３ｍｍ程度となっている。
【００４３】
打抜パンチ２５の内側中空部４７は、ダンパー５の平面形状に応じた断面形状を有している。この打抜パンチ２５の中空部４７内には、押出ピン２７が挿通されている。押出ピン２７は、打抜パンチ２５の中空状の内側面４５に保持させたダンパー５を押し出してヘッド・サスペンション７の対象部位に対し貼り付けるダンパーの打抜装置３９の押出部を構成している。
【００４４】
押出ピン２７は、例えばステンレス鋼等の金属材料からなり、全体として棒状に形成されている。この押出ピン２７は、打抜パンチ２５の中空部４７に対して進退自在となっており、その進出移動によって打抜パンチ２５からダンパー５を押出す。なお、押出ピン２７に代えて、空気圧（エア）等によってダンパー５を押し出す押出部とすることも可能である。また、別途吸引用の治具によってダンパー５を吸引保持する場合は、押出部として、吸引を解除する構成や空気圧（エア）等によって吸引用の治具からダンパー５を離反する構成を採用することもできる。
【００４５】
押出ピン２７の軸部４９は、打抜パンチ２５の中空部４７と同様に、ダンパー５の平面形状に応じた断面形状を有している。軸部４９の一端部には、円板状の取付部５１が設けられ、他端部には、矮小部５３が設けられている。
【００４６】
矮小部５３は、打抜パンチ２５の先端部４１の内側面４５と押出ピン２７の他端部との間隙を広げて逃げ空間を形成する。従って、打抜パンチ２５の内側面４５に打ち抜き保持したダンパー５の押出し時には、逃げ空間によって打抜パンチ２５の内側面４５に対する粘弾性体層９の絡み付きを抑制し、ダンパー５の抜け障害を回避することができる。
【００４７】
これらの打抜パンチ２５及び押出ピン２７は、打抜パンチ２５が打抜方向の後端部を、押出ピン２７が取付部５１をパンチ／ピン駆動機構２９に支持されている。
【００４８】
これにより、打抜パンチ２５は、パンチ／ピン駆動機構２９の駆動によって打抜き方向に進退駆動され、押出ピン２７は、打抜パンチ２５内において押出し方向に相対的に進退駆動されるようになっている。
［打抜ステージ及び貼付ステージ］
図６は、ダンパーの貼付装置の打抜ステージ及び貼付ステージの概略構成図、図７は、ダンパーの打抜装置の要部概略断面図、図８は、打ち抜き後の拘束体層の断面を示す拡大写真である。なお、図７では、粘弾性体層９及び拘束体層１１を合わせてダンパー材３として概念的に示しているが、ダンパー材３の具体構造は、図２と同様である。この点、図９においても、同様である。
【００４９】
打抜ステージ３３は、図６のように、ダンパー材３の送り機構５５に対して設けられている。送り機構５５は、従動軸５７及び主動軸５９を備えている。従動軸５７には、略帯状のダンパー材３が芯材（図示せず）に巻き回された状態でセットされている。
【００５０】
主動軸５９には、ダンパー材３の端部が係着されている。主動軸５９の外周には、ダンパー材３を挟んで送りローラ６１が位置している。送りローラ６１は、駆動制御部３７の制御によりダンパー材３を適宜のタイミングで所定の距離だけ送るようになっている。
【００５１】
送り機構５５の従動軸５７及び主動軸５９間には、打抜ステージ３３が設けられている。打抜ステージ３３は、図７のように、矩形ブロック状又は板状に形成され、その上面に平面からなるダンパー材３の支持面６３が形成されている。
【００５２】
打抜ステージ３３には、図７のように、打抜パンチ２５に対向して貫通孔３３ａが形成され、貫通孔３３ａに前記高周波振動部３４が高周波振動可能に配置されている。高周波振動部３４は、例えば超音波振動子３４ａにホーン３４ｂが結合されたものである。ホーン３４ｂの上面３４ｂａは、支持面６３と面一に構成されている。
【００５３】
超音波振動子３４ａによるホーン３４ｂの加振方向は、上面３４ｂａ上のダンパー材３の厚み方向、つまり打抜パンチ２５の打抜方向であり、加振周波数は、ダンパー材３の厚み等に応じて設定され、打抜パンチ２５による打ち抜きにより拘束体層１１に亀裂部を発生しない程度とされる。この加振周波数は、予め実験等により決定することができ、本実施例において超音波領域にある７０ｋＨｚとされている。
【００５４】
なお、超音波加振は、本実施例のようにホーン３４ｂを直接加振するものに限られず、共振等のように間接的に加振するものであっても良い。
【００５５】
また、本実施例において、高周波振動部３４による打抜ステージ２５側の高周波振動の加振振幅は、ライナー１５の厚みより小さく設定されている。したがって、打抜パンチ２５の歯部４３がライナー１５を切断している途中で打抜パンチ２５を停止させても打抜パンチ２５がホーン３４ｂの上面３４ｂａに接触することがなく、打ち抜きを容易にすることができる。
【００５６】
高周波振動部３４は、打抜パンチ２５による打ち抜き形状に合わせた形状とされ、又は打抜パンチ２５の大きさ及びダンパー材３の材料幅に合わせた形状とされている。この高周波振動部３４は、打抜パンチ２５による打ち抜き形状に合わせて交換可能とし、又は打抜パンチ２５の大きさ及びダンパー材３の材料幅に合わせて交換可能とされている。但し、交換できない固定構造にすることもできる。
【００５７】
なお、局部的な高周波振動部３４は、超音波振動子３４ａの出力を小さくすることができる。高周波振動部３４を、打抜パンチ２５の歯部４３に合わせた形状とし、カット部周辺のみ振動させる構成にすることもできる。但し、局部的な高周波振動部３４に代えて、打抜ステージ２５側全体を超音波振動させることも可能である。
【００５８】
高周波振動部３４は、打抜ステージ３３側の高周波振動に要求される加振周波数毎に交換する設定にすることもできる。
【００５９】
そして、打抜パンチ２５による打ち抜き時には、支持面６３上には、ダンパー材３が支持され、駆動制御部３７が超音波振動子３４ａを７０ｋＨｚで駆動され、ホーン３４ｂが振動する。駆動制御部３７による超音波振動子３４ａの駆動開始タイミングの設定は、特に限定されない。例えば、打抜パンチ２５の歯部４３がダンパー材３の拘束体層１１に接触した瞬間に振動を開始させ、或いは打抜パンチ２５に同期させて振動させ、さらには常時振動させるなど、自由である。
【００６０】
このホーン３４ｂの振動により上面３４ｂａ上のダンパー材３が厚み方向に超音波振動入力を受ける。ダンパー材３の振動状態で打抜パンチ２５によるダンパーの打ち抜きが行われる。
【００６１】
この打ち抜きによる結果は、図８のようになった。この図８のように、拘束体層１１は、厚み１２５μｍのＰＥＴであっても、従来の図１３のような亀裂部の発生は無かった。
【００６２】
貼付ステージ３５としては、図６のように、複数のヘッド・サスペンション７が連鎖した状態の仕掛かり連鎖品７３を、ワーク・クランプ（不図示）にセットして治具により固定するようになっている。
【００６３】
貼付ステージ３５では、こうした連鎖品７３の個々のヘッド・サスペンション７の所要の対象部位に対してダンパー５を貼り付けてゆく。
[ダンパーの打抜方法]
以下、ダンパー５の打抜方法について、ダンパーの貼付装置１によるダンパー５の貼り付けと共に説明する。
【００６４】
図９（Ａ）〜（Ｃ）は、ダンパーの打抜方法を時系列的に示す説明図、図１０は、ダンパー貼付時の状態を示す説明図である。
【００６５】
本実施例のダンパー５の貼り付けの際は、図９のように、高周波振動部３４のホーン３４ｂを受けとしてダンパー材３からのダンパー５の打ち抜きを行う。
【００６６】
具体的には、図９（Ａ）のように、打抜ステージ３３上で打抜パンチ２５を高周波振動部３４のホーン３４ｂに対して位置決めする。この位置決めにより、打抜パンチ２５によりダンパー５として打ち抜かれる部分（打抜対象部とも称する）の縁部よりも外側にホーン３４ｂの外郭を位置させるようにする。
【００６７】
この状態で、図９（Ｂ）のように、ダンパー５の打ち抜き保持を行う。すなわち、打抜パンチ２５を下降駆動し、先端の歯部４３をダンパー材３を貫通させてライナー１５に食い込ませる。
【００６８】
このとき、前記のように例えば、打抜パンチ２５の歯部４３がダンパー材３に接触した瞬間等にホーン３４ｂが振動するため、ライナー１５は、ホーン３４ｂの上面３４ｂａにより支持されつつ打抜パンチ２５の歯部４３がダンパー材３の拘束体層１１に円滑に切り込まれる。
【００６９】
加えて、ライナー１５及びダンパー５間に入力される超音波振動により、ライナー１５からのダンパー５の剥離が促進されることになる。
【００７０】
このとき、本実施例では、打抜パンチ２５の歯部４３がライナー１５に食い込んでいるので、ライナー１５のダンパー５に接している面がより振動し易く、ダンパー５のライナー１５からの剥離が更に促進される。なお、打抜パンチ２５の歯部４３は、ライナー１５に食い込ませずに、ホーン３４ｂとの間でライナー１５を挟持するだけでもよい。
【００７１】
こうして打抜パンチ２５によってダンパー５が打ち抜かれると、ダンパー５がライナー１５から確実に剥離して打抜パンチ２５の内側面４５に保持されることになる。なお、ダンパー５が打ち抜かれたダンパー材３には、抜き跡７５が形成される。
【００７２】
このようなダンパー５の打抜は、図１１のように、打抜パンチ２５が搭載されたパンチ／ピン駆動機構２９の移動方向をダンパー材３の送り方向に対して略直交させて複数連続して行われる。
【００７３】
かかる構成によって、帯状のダンパー材３の幅方向にわたって複数個のダンパー５の打抜き処理を行わせることができ、材料歩留まりを向上させた状態で円滑に作業を行うことができるようになる。
【００７４】
各ダンパー５の打ち抜き保持後は、図９（Ｃ）のように、打抜パンチ２５を上昇駆動させて、図１０のようにヘッド・サスペンション７の対象部位に対して相対的な位置決めを行う。
【００７５】
この位置決め状態で、打抜パンチ２５を下降駆動させると共に打抜パンチ２５内側の押出ピン２７を下降駆動させる。これによって、ダンパー５を打抜パンチ２５から押出すと共にヘッド・サスペンション７の対象部位に貼り付ける。
【００７６】
このとき、本実施例では、打抜パンチ２５が、その打抜方向の先端部４１の内側面４５が平滑化され、押出ピン２７の押出し方向の先端部分（矮小部）５３が小さく形成されているので、ダンパー５の粘弾性体層９の絡み付きを抑制して抜け障害を回避することができる。
［実施例１の効果］
本発明実施例のダンパーの打抜方法は、ライナー１５上に貼付面が剥離可能に貼り付けられ、粘弾性体層９上に拘束体層１１を積層させたダンパー材３から中空状の打抜パンチ２５を用いて打抜ステージ３３上でダンパー５を打ち抜くダンパー５の打抜方法であって、ダンパー５を打抜パンチ２５の中空状の内側に位置させるようにして打ち抜き、この打ち抜き時に打抜ステージ３３側を高周波振動させる。
【００７７】
このため、打抜パンチ２５の歯部４３を超音波加振されているダンパー材３の拘束体層１１に対して切り込み移動させるから、歯部４３を拘束体層１１に円滑に切り込ませることができる。したがって、拘束体層１１の切断面に亀裂部の発生を抑制した打ち抜きを迅速に行わせることができる。
【００７８】
本実施例では、打抜ステージ３３側の高周波振動の加振方向が打抜パンチ２５の打抜方向であるから、打抜ステージ３３側を高周波振動させる構成であっても、打抜パンチ２５に対するダンパー材３のずれを抑制しながらダンパー５の打ち抜きを確実に行うことができる。
【００７９】
しかも、打抜ステージ３３側の高周波振動の加振振幅は、ライナー１５の厚みより小さく設定されている。
【００８０】
このため、打抜パンチ２５の歯部４３がライナー１５を切断している途中で打抜パンチ２５を停止させても打抜パンチ２５がホーン３４ｂの上面３４ｂａに接触することがなく、打ち抜きを容易にすることができる。
【００８１】
打抜ステージ３３は、打抜パンチ２５に対向して受けとなる高周波振動部３４を備え、高周波振動部３４を、打抜ステージ３３側として高周波振動させる。
【００８２】
このため、打抜ステージ３３全体を振動させる場合に比較して高周波振動部３４の超音波振動子３４ａの出力を小さくすることができ、省エネルギ化を図ることができる。
【００８３】
本実施例では、打ち抜いたダンパー５を打抜パンチ２５の中空状の内側に保持し、この保持したダンパー５を押し出しによりヘッド・サスペンション７の対象部位に貼り付け可能とする。
【００８４】
これにより、ダンパー５の打ち抜きから貼り付けまでを円滑に行わせることが可能となる。このようにしても、本実施例では、ダンパー５の拘束体層１１に亀裂部が生じないので、ヘッド・サスペンション７の歩留まりを低下させることがない。
【００８５】
打抜ステージ３３及びこの打抜ステージ３３に設けられ打抜パンチ２５に対向して受けとなる高周波振動部３４とを有するダンパー５の打抜装置３９とした。
【００８６】
このため、振動入力を行いながら省エネルギ化を図った小型のダンパー５の打抜装置３９を得ることができる。
【００８７】
高周波振動部３４は、打抜パンチ２５による打ち抜き形状に合わせた形状とされ、又は打抜パンチ２５の大きさ及びダンパー材３の材料幅に合わせた形状とされた。
【００８８】
このため、高周波振動部３４を打抜パンチ２５に合わせるなどして必要最小限に小型化を図ることができる。
【００８９】
打抜パンチ２５が、ヘッド・サスペンション７の対象部位まで可動であり、打抜パンチ２５は、中空状の内側面４７に保持させたダンパー５を押し出してヘッド・サスペンション７の対象部位に対し貼り付ける押出ピン２７を備えた。
【００９０】
このため、超音波加振下で打ち抜かれて拘束体層１１に亀裂部の発生のないダンパー５をヘッド・サスペンション７の対象部位に確実に貼り付けることができる。
【符号の説明】
【００９１】
１  貼付装置
３  ダンパー材
５  ダンパー
７  ヘッド・サスペンション
１５  ライナー（離形材）
２５  打抜パンチ
３３  打抜ステージ
３４  高周波振動部
３４ａ  超音波振動子
３４ｂ  ホーン
３４ｂａ  上面
４５  内側面
６３  支持面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図８】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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