(57)【要約】【課題】ノズルから液滴として吐出領域に吐出される機能液の充填量のばらつきを低減可能なノズル吐出量の補正方法、機能液の吐出方法、これらを用いた有機ＥＬ装置の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明のノズル吐出量の補正方法は、複数回の主走査により選択されたノズル５２から液滴Ｄを吐出領域Ａに吐出する場合の所定量Ｂとあらかじめ設定された所定量Ａとの差Ｃから、複数の駆動信号のそれぞれの補正量を算出して第１の信号補正を行う第１補正ステップと、液滴Ｄの吐出数が最も多い前段の主走査に第１の信号補正を行った複数の駆動信号を用い、後段の主走査に補正前の駆動信号を用いて液滴Ｄを吐出領域Ａに吐出した場合の所定量Ｄと前記所定量Ａとの差Ｅから、後段の主走査に対応する補正前の複数の駆動信号の補正量を算出して第２の信号補正を行う第２補正ステップと、残りの主走査回数に応じて、第２補正ステップを段階的に行うステップと、を含む。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルと吐出領域が形成された被吐出物とを対向配置させ、前記複数のノズルと前記被吐出物とを相対移動させる複数回の主走査の間に、前記複数のノズルのうち選択されたノズルのアクチュエーターに複数の駆動信号のうちの１つを供給して、あらかじめ設定された所定量Ａの機能液を液滴として前記吐出領域に吐出するときの前記液滴の吐出量を前記複数のノズルごとに補正するノズル吐出量の補正方法であって、
前記複数の駆動信号を用いて、前記複数回の主走査により前記選択されたノズルから前記液滴を前記吐出領域に吐出する場合の所定量Ｂと前記所定量Ａとの差Ｃから、前記複数の駆動信号のそれぞれの補正量を算出して第１の信号補正を行う第１補正ステップと、
前記複数回の主走査のうちの前段の主走査に前記第１の信号補正を行った前記複数の駆動信号を用い、後段の主走査に補正前の前記複数の駆動信号を用いて前記選択されたノズルから前記液滴を前記吐出領域に吐出した場合の所定量Ｄと前記所定量Ａとの差Ｅから、前記後段の主走査に対応する前記補正前の前記複数の駆動信号のそれぞれの補正量を算出して第２の信号補正を行う第２補正ステップと、
前記複数回の主走査の残りの回数に応じて、前記第２補正ステップを段階的に行うステップと、を含み、
前記複数回の主走査のうち、前記吐出領域に吐出される前記液滴の吐出数が最も多い主走査を前記前段の主走査とすることを特徴とするノズル吐出量の補正方法。
【請求項２】
同一の前記吐出領域に対して、前記複数回の主走査のうち少なくとも１回の主走査で選択されるノズルは、他の主走査で選択されるノズルと異なることを特徴とする請求項１に記載のノズル吐出量の補正方法。
【請求項３】
同一の前記吐出領域に対して、前記複数の主走査ごとに異なるノズルが選択されることを特徴とする請求項１に記載のノズル吐出量の補正方法。
【請求項４】
前記アクチュエーターが圧電素子であって、
前記複数の駆動信号の補正は、前記複数の駆動信号の波形の電位を補正することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のノズル吐出量の補正方法。
【請求項５】
複数のノズルと吐出領域が形成された被吐出物とを対向配置させ、前記複数のノズルと前記被吐出物とを相対移動させる複数回の主走査の間に、前記複数のノズルのうち選択されたノズルのアクチュエーターに複数の駆動信号のうちの１つを供給して、前記選択されたノズルから所定量の機能液を液滴として前記吐出領域に吐出する機能液の吐出方法であって、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載のノズル吐出量の補正方法を用いて、前記複数回の主走査ごとに前記複数の駆動信号の信号補正を行う第１ステップと、
信号補正が行われた前記複数の駆動信号を用いて、前記複数回の主走査の間に、前記選択されたノズルから前記所定量の前記機能液を液滴として前記吐出領域に吐出する第２ステップと、を有することを特徴とする機能液の吐出方法。
【請求項６】
前記第２ステップでは、前記複数回の主走査のうち、前記吐出領域に対する液滴の吐出数が最も多い主走査を第１回目の主走査として実施することを特徴とする請求項５に記載の機能液の吐出方法。
【請求項７】
基板上の複数の吐出領域のそれぞれに発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
請求項５または６に記載の機能液の吐出方法を用いて、前記複数の吐出領域のそれぞれに所定量の前記機能液を塗布する工程と、
塗布された前記機能液を固化して、前記複数の吐出領域のそれぞれに前記機能層のうちの１つの有機層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項８】
前記機能液を塗布する工程は、発光層形成材料を含む前記機能液を塗布することを特徴とする請求項７に記載の有機ＥＬ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出ヘッドのノズルから吐出される機能液のノズル吐出量の補正方法、このノズル吐出量の補正方法を用いた機能液の吐出方法、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ；Electroluminescence）装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、インクジェットヘッドのノズルから機能性材料を含む液状体を液滴として吐出して薄膜を形成する液滴吐出法（インクジェット法）が知られている。液滴吐出法で形成される薄膜の代表的な例は、カラーフィルターや有機ＥＬパネルの発光層である。
【０００３】
インクジェットヘッドは、液状体を貯留する複数のキャビティと、該キャビティに連通して一方向に配列された複数のノズルと、各キャビティ内の液状体を加圧する複数のアクチュエーター（例えば、ピエゾ素子や抵抗加熱素子など）と、を有する。
インクジェットヘッドは、描画データに基づいて選択されたアクチュエーターに共通する駆動信号を入力し、各アクチュエーターに対応するノズルから液状体の液滴を吐出させる。インクジェット法は、インクジェットヘッドのノズルから液状体を液滴として基板に向けて吐出させ、基板上に着弾した液滴を乾燥させることにより薄膜を形成させる。
【０００４】
インクジェット法は、描画対象の高精細化にともなって、階調表現に優れた描画が望まれており、例えば特許文献１には、階調表現に優れた描画が可能なインクジェットヘッドとしての液滴吐出ヘッドの駆動方法が開示されている。
【０００５】
上記特許文献１の液滴吐出ヘッドの駆動方法によれば、描画データに基づいて選択されるノズルは、アクチュエーターに設定されたランクに対応する複数の異なる駆動信号が印加され、吐出される液滴の平均重量を予め規定された所定の重量とすることができる。したがって、ランクごとに生成された駆動信号の組合せにより、対象物上に吐出される液状体（液滴）の総重量をノズルごとに較正することができ、液状体を乾燥して得られる薄膜の膜厚均一性を向上させることができる。しかも、単一の駆動信号を利用して液滴を吐出させる場合に比べ、異なる駆動信号を組合せる分だけ、上記平均重量の調整に際しその精度を向上させることができ、且つ、その自由度を拡張させることができると記載されている。
【０００６】
一方で、上記特許文献１に記載の複数の液滴の平均重量をランク分けする液滴吐出ヘッドの駆動方法ではランク分けの階調が限られているために、液滴の重量バラツキを十分に補正することは困難である。
【０００７】
液滴の重量バラツキの補正が十分になされていない場合に、重量の大きい液滴、あるいは、重量の小さい液滴が、基板の走査方向に沿って連続する。そのため、重量の大きい液滴と重量の小さい液滴の重量差が微小であっても、カラーフィルターや有機ＥＬパネルの発光層などの薄膜の膜厚差が生じ、電気光学装置の表示においては該膜厚差が高い感度で反映されるため、画質を低下させてしまうという課題があった。
【０００８】
このような課題を改善する方法として、特許文献２にノズル吐出量の補正方法が開示されている。上記特許文献２のノズル吐出量の補正方法は、ノズルごとに液滴の重量の補正を行わない場合の吐出領域に吐出される全液滴の重量の合計値Ａと、あらかじめ設定した所定量Ｂとの差分から、補正後の第１のノズル列単位または吐出単位あるいは走査単位の液滴の重量と、同じ吐出領域に吐出される第１以外のノズル列単位または吐出単位あるいは走査単位の液滴の重量の合計値Ｃが所定量Ｂとなるように第１のノズル列単位または吐出単位あるいは走査単位の補正計算をノズルごとに行う第１ステップと、第１ステップで補正した吐出領域に吐出される計算上の全液滴の重量の合計値Ｄと所定量Ｂの差分から、補正後の第１のノズル列単位または吐出単位あるいは走査単位の液滴の重量と、同じ吐出領域に吐出される補正後の第２のノズル列単位または吐出単位あるいは走査単位の液滴の重量と、同じ吐出領域に吐出される第１、第２以外のノズル列単位または吐出単位あるいは走査単位の液滴の重量の合計値Ｅが所定量Ｂとなるように第２のノズル列単位または吐出単位あるいは走査単位の補正計算をノズルごとに行う第２ステップと、を含み、ノズル列単位または吐出単位あるいは走査単位の数の分の補正量計算を段階的に行うとしている。
【０００９】
上記特許文献２によれば、１つのノズル列単位または吐出単位あるいは走査単位で吐出領域の全液滴の重量の合計値Ａ，Ｃを所定量Ｂとなるように補正を行うため、吐出領域に液滴を吐出するノズル列単位または吐出単位あるいは走査単位の数だけ補正階調を累乗で増やすことができる。これによってノズルごとに吐出される液滴の重量バラツキの補正を十分に行うことができ、複数のノズルを用いて吐出領域に形成される薄膜の膜厚を均一化することができるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００８−１３６９２７号公報
【特許文献２】特開２０１２−２０９２１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、ノズルごとにアクチュエーターに印加される駆動信号を補正する場合、吐出領域に対する液滴の吐出数が他の走査よりも少ない走査を優先して上記駆動信号を補正すると、適正な補正の範囲から外れてしまうおそれがあった。
具体的には、吐出数が少ない走査では、他の走査に比べて吐出領域に吐出される液状体の総重量が相対的に少なくなり、当該総重量に対して優先して補正しようとすると、例えば、アクチュエーターに印加される駆動信号の設定と、当該アクチュエーターを有するノズルから吐出された液滴の重量との関係を示す検量線の適正な範囲から外れた状態で補正が行われるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００１３】
［適用例１］本適用例に係るノズル吐出量の補正方法は、複数のノズルと吐出領域が形成された被吐出物とを対向配置させ、前記複数のノズルと前記被吐出物とを相対移動させる複数回の主走査の間に、前記複数のノズルのうち選択されたノズルのアクチュエーターに複数の駆動信号のうちの１つを供給して、あらかじめ設定された所定量Ａの機能液を液滴として前記吐出領域に吐出するときの前記液滴の吐出量を前記複数のノズルごとに補正するノズル吐出量の補正方法であって、前記複数の駆動信号を用いて、前記複数回の主走査により前記選択されたノズルから前記液滴を前記吐出領域に吐出する場合の所定量Ｂと前記所定量Ａとの差Ｃから、前記複数の駆動信号のそれぞれの補正量を算出して第１の信号補正を行う第１補正ステップと、前記複数回の主走査のうちの前段の主走査に前記第１の信号補正を行った前記複数の駆動信号を用い、後段の主走査に補正前の前記複数の駆動信号を用いて前記選択されたノズルから前記液滴を前記吐出領域に吐出した場合の所定量Ｄと前記所定量Ａとの差Ｅから、前記後段の主走査に対応する前記補正前の前記複数の駆動信号のそれぞれの補正量を算出して第２の信号補正を行う第２補正ステップと、前記複数回の主走査の残りの回数に応じて、前記第２補正ステップを段階的に行うステップと、を含み、前記複数回の主走査のうち、前記吐出領域に吐出される前記液滴の吐出数が最も多い主走査を前記前段の主走査とすることを特徴とする。
【００１４】
本適用例によれば、複数回の主走査ごとに選択されるノズルのアクチュエーターに印加される駆動信号が主走査の回数に応じて順次補正され、且つ、吐出領域に吐出される液滴の吐出数が最も多い主走査を前段の主走査として第２補正ステップが行われる。
したがって、液滴の吐出数が他の主走査に比べて少ない主走査を優先して第２補正ステップを行う場合に比べて、ノズルから液滴を吐出するための駆動信号を補正する補正量が小さくなる。言い換えれば、駆動信号における補正負荷が少なくて済むので、液滴の吐出量に係わる検量線の適正な範囲での補正を主走査ごとに行うことが可能となる。ゆえに、選択されたノズルから所定量の機能液を液滴として精度よく吐出させることが可能なノズル吐出量の補正方法を提供できる。
【００１５】
［適用例２］上記適用例に係わるノズル吐出量の補正方法において、同一の前記吐出領域に対して、前記複数回の主走査のうち少なくとも１回の主走査で選択されるノズルは、他の主走査で選択されるノズルと異なることが好ましい。
この方法によれば、複数のノズルにおける吐出特性を考慮したノズル分散型のノズル吐出量の補正を行うことができる。
【００１６】
［適用例３］上記適用例に係わるノズル吐出量の補正方法において、同一の前記吐出領域に対して、前記複数の主走査ごとに異なるノズルが選択されることが好ましい。
この方法によれば、複数のノズルにおける吐出特性を考慮して、より確実なノズル分散型のノズル吐出量の補正を行うことができる。
【００１７】
［適用例４］上記適用例に係わるノズル吐出量の補正方法において、前記アクチュエーターが圧電素子であって、前記複数の駆動信号の補正は、前記複数の駆動信号の波形の電位を補正することを特徴とする。
この方法によれば、駆動信号の波形の電位を補正することによって、アクチュエーターとしての圧電素子の駆動を制御して、ノズルから吐出される液滴の吐出量を精度よく補正することができる。
【００１８】
［適用例５］本適用例に係わる機能液の吐出方法は、複数のノズルと吐出領域が形成された被吐出物とを対向配置させ、前記複数のノズルと前記被吐出物とを相対移動させる複数回の主走査の間に、前記複数のノズルのうち選択されたノズルのアクチュエーターに複数の駆動信号のうちの１つを供給して、前記選択されたノズルから所定量の機能液を液滴として前記吐出領域に吐出する機能液の吐出方法であって、上記適用例に記載のノズル吐出量の補正方法を用いて、前記複数回の主走査ごとに前記複数の駆動信号の信号補正を行う第１ステップと、信号補正が行われた前記複数の駆動信号を用いて、前記複数回の主走査の間に、前記選択されたノズルから前記所定量の前記機能液を液滴として前記吐出領域に吐出する第２ステップと、を有することを特徴とする。
【００１９】
本適用例によれば、複数回の主走査の間に、吐出領域に対して選択されたノズルから所定量の機能液を精度よく吐出することが可能な機能液の吐出方法を提供できる。
【００２０】
［適用例６］上記適用例に係わる機能液の吐出方法において、前記第２ステップでは、前記複数回の主走査のうち、前記吐出領域に対する液滴の吐出数が最も多い主走査を第１回目の主走査として実施することが好ましい。
この方法によれば、吐出領域に対する液滴の吐出数が最も多い最初の主走査において、優先的に駆動信号の補正が行われるので、吐出数が少ない主走査を優先して駆動信号の補正を行う場合に比べて、高い精度で所定量の機能液を吐出領域に吐出することができる。
【００２１】
［適用例７］本適用例に係わる有機ＥＬ装置の製造方法は、基板上の複数の吐出領域のそれぞれに発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ装置の製造方法であって、上記適用例に記載の機能液の吐出方法を用いて、前記複数の吐出領域のそれぞれに所定量の前記機能液を塗布する工程と、塗布された前記機能液を固化して、前記複数の吐出領域のそれぞれに前記機能層のうちの１つの有機層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
本適用例によれば、複数の吐出領域のそれぞれに所定量の機能液が精度よく吐出されるので、膜厚ムラや膜厚ばらつきが小さい有機層を有する機能層を備えた有機ＥＬ装置を製造することができる。
【００２３】
［適用例８］上記適用例に係わる有機ＥＬ装置の製造方法において、前記機能液を塗布する工程は、発光層形成材料を含む前記機能液を塗布することを特徴とする。
この方法によれば、安定した発光特性を有する有機ＥＬ装置を歩留まりよく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図、（ｂ）はノズル面における複数のノズルの配置状態を示す平面図。
【図３】ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】（ａ）は着弾面積計測機構の構成を示す概略斜視図、（ｂ）は主走査方向から見た着弾面積計測機構の各構成の配置を示す図。
【図５】吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図６】吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図。
【図７】駆動信号及び制御信号のタイミング図。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は機能液の着弾面積の計測方法を示す概略断面図。
【図９】液滴の着弾痕を示す写真。
【図１０】機能液の吐出方法の一例を示す概略平面図。
【図１１】比較例のノズル吐出量の補正方法における第１補正ステップの機能液の充填量ばらつきと駆動信号の補正量とを示す表。
【図１２】比較例のノズル吐出量の補正方法における第２補正ステップの機能液の充填量ばらつきと駆動信号の補正量とを示す表。
【図１３】比較例のノズル吐出量の補正方法における第３補正ステップの機能液の充填量ばらつきと駆動信号の補正量とを示す表。
【図１４】比較例のノズル吐出量の補正方法における第４補正ステップの機能液の充填量ばらつきと駆動信号の補正量とを示す表。
【図１５】比較例のノズル吐出量の補正方法における最終的な補正後の機能液の充填量ばらつきを示す表。
【図１６】実施例のノズル吐出量の補正方法における第１補正ステップの機能液の充填量と駆動信号の補正量とを示す表。
【図１７】実施例のノズル吐出量の補正方法における第２補正ステップの機能液の充填量と駆動信号の補正量とを示す表。
【図１８】実施例のノズル吐出量の補正方法における第３補正ステップの機能液の充填量と駆動信号の補正量とを示す表。
【図１９】実施例のノズル吐出量の補正方法における第４補正ステップの機能液の充填量と駆動信号の補正量とを示す表。
【図２０】実施例のノズル吐出量の補正方法における最終的な補正後の機能液の充填量を示す表。
【図２１】比較例及び実施例の主走査における駆動信号の補正量と吐出領域における機能液の充填量ばらつきとを示す表。
【図２２】（ａ）は比較例の各吐出領域における機能液の充填量ばらつきを示すグラフ、（ｂ）は実施例の各吐出領域における機能液の充填量ばらつきを示すグラフ。
【図２３】（ａ）は比較例と実施例の主走査における駆動信号の補正量を示すグラフ、（ｂ）は比較例と実施例の主走査における充填量ばらつきを示すグラフ。
【図２４】有機ＥＬ装置を示す概略正面図。
【図２５】有機ＥＬ装置の要部概略断面図。
【図２６】有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート。
【図２７】（ａ）〜（ｄ）は有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図。
【図２８】（ｅ）〜（ｈ）は有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
【００２６】
なお、以下の形態において、「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。
【００２７】
（第１実施形態）
＜吐出装置＞
まず、機能層形成材料を含む機能液を液滴としてワークに吐出可能な吐出装置について、図１〜図７を参照して説明する。図１は吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
【００２８】
図１に示すように、吐出装置１０は、被吐出物である例えば平板状のワークＷを第１の方向としての主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、ヘッドユニット９を主走査方向に直交する第２の方向としての副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。
【００２９】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設されたワークＷを載置するステージ５とを備えている。
移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダーとリニアモーター（図示省略）により主走査方向（Ｙ軸方向）に移動する。移動台２２には、タイミング信号生成部としてのエンコーダー１２（図５参照）が設けられている。
エンコーダー１２は、移動台２２の主走査方向（Ｙ軸方向）への相対移動に伴って、ガイドレール２１に並設されたリニアスケール（図示省略）の目盛を読み取って、タイミング信号としてのエンコーダパルスを生成する。なお、エンコーダー１２の配設は、これに限らず、例えば、移動台２２を回転軸に沿って主走査方向（Ｙ軸方向）に相対移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダー１２を駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモーターなどが挙げられる。
ステージ５はワークＷを吸着固定可能であると共に、回転機構６によってワークＷ内の基準軸を正確に主走査方向（Ｙ軸方向）、副走査方向（Ｘ軸方向）に合わせることが可能となっている。
また、ワークＷ上において機能液が吐出される吐出領域（膜形成領域とも呼ぶ）の配置に応じて、ワークＷを例えば９０度旋回させることも可能である。
【００３０】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。
キャリッジ８には、複数の吐出ヘッド５０（図２参照）がヘッドプレート９ａに搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。
また、吐出ヘッド５０に機能液を供給するための機能液供給機構（図示省略）と、複数の吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバー４８（図５参照）とが設けられている。
移動台３２がキャリッジ８を副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させてヘッドユニット９をワークＷに対して対向配置する。
【００３１】
吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の吐出ヘッド５０のノズル目詰まり解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が、複数の吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されている。
また、吐出ヘッド５０の複数のノズルから吐出された機能液を受けて、吐出された機能液の重量を計測する重量計測機構や、同じく吐出された機能液の着弾面積を計測する本実施形態の計測機構としての着弾面積計測機構６０（図５参照）を備えている。そして、これらの構成を統括的に制御する制御部４０を備えている。なお、図１では、メンテナンス機構及び重量計測機構並びに着弾面積計測機構６０は、図示を省略した。
【００３２】
図２（ａ）は吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図、図２（ｂ）はノズル面における複数のノズルの配置状態を示す平面図である。
【００３３】
図２（ａ）に示すように、吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する機能液の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に機能液のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。接続針５４は、前述した機能液供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、機能液をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッドドライバー４８（図５参照）に接続される２連のコネクター５８が設けられている。
【００３４】
ヘッド本体５６は、駆動手段（アクチュエーター）としての圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。
【００３５】
図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（１８０個）のノズル５２がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズル面５１ａに配設されている。本実施形態において、ピッチＰ１は、例えばおよそ１４１μｍである。よって、２つのノズル列５２ａ，５２ｂにより構成されるノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。
【００３６】
吐出ヘッド５０は、ヘッドドライバー４８から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された機能液が加圧され、ノズル５２から機能液を液滴として吐出することができる。
【００３７】
吐出ヘッド５０においてノズル５２ごとに設けられる駆動手段（アクチュエーター）は、圧電素子に限らない。アクチュエーターとしての振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、機能液を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子でもよい。
【００３８】
図３はヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。
【００３９】
図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の吐出ヘッド５０が搭載されている。本実施形態では、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（吐出ヘッド５０）とは同種の機能液を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる機能液を吐出可能な構成となっている。
【００４０】
１つの吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ０とし、これをノズル列５２ｃの有効長とする。以降、ノズル列５２ｃとは、３６０個のノズル５２から構成されるものを指す。
【００４１】
ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｙ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の機能液を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ１は、描画幅Ｌ０の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向（Ｙ軸方向）に並列して配置されている。
【００４２】
なお、吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。また、ヘッドユニット９における吐出ヘッド５０の配置は、これに限定されるものではない。
【００４３】
次に、図４を参照して着弾面積計測機構について説明する。図４（ａ）は着弾面積計測機構の構成を示す概略斜視図、図４（ｂ）は主走査方向から見た着弾面積計測機構の各構成の配置を示す図である。
【００４４】
図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、着弾面積計測機構６０は、照明部６１と、撮像部６２と、画像処理部６３と、モニター６４と、移動台６５と、移動台６５に載置された記録用のメディア１６０とにより構成されている。
着弾面積計測機構６０は、前述した吐出ヘッド５０の複数のノズル５２から機能液を液滴としてメディア１６０に着弾させ、メディア１６０に生じた着弾痕を撮像部６２によって撮像して、該着弾痕の面積（着弾面積）を計測するものである。
【００４５】
記録用のメディア１６０は、機能液によって選択される。機能液が着色材料を含んでいる場合は、メディア１６０は不透明な例えば記録紙などが用いられる。機能液が着色材料を含まずほぼ透明な場合は、例えば表面に機能液を受け止める受容層が形成された透明なフィルムなどが用いられる。本実施形態では、メディア１６０は後者の透明なフィルムを用いている。
【００４６】
移動台６５は、移動台２２（図１参照）と同様に、一対のガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダーとリニアモーター（図示省略）により主走査方向（Ｙ軸方向）に移動可能となっている。移動台６５にも、タイミング信号生成部としてのエンコーダー１２（図５参照）が設けられている。
移動台６５上には、Ｘ軸方向に延在して例えば透明なガラスやプラスチックなどからなる支持テーブル６６が配置されている。長尺のメディア１６０は、巻出しローラー６８ａと巻取りローラー６８ｂとに捲回されて、長尺の両端が支持されている。移動台６５上において、巻出しローラー６８ａと巻取りローラー６８ｂとは、支持テーブル６６を挟んだＸ軸方向における両端側に設けられた軸受け６７にそれぞれ取り付けられている。これによって、メディア１６０は支持テーブル６６上においてＸ軸方向に広げられ、支持テーブル６６によってメディア１６０の背面側が支持される。
【００４７】
照明部６１は、例えばハロゲンランプやキセノンランプなどの光源と、光源から発せられた光を所定の方向に集光させる集光手段とを備えている。集光手段は例えば反射板（鏡）や集光レンズである。照明部６１は、Ｘ軸方向において一対のガイドレール２１の間に配置され、移動台６５に向って光源からの光を照射可能となっている。照明部６１に臨む移動台６５の部分には、移動台６５を貫通する孔６５ａが形成されている。透明な支持テーブル６６は孔６５ａを塞ぐように移動台６５上に配置されている。つまり、照明部６１は、移動台６５と支持テーブル６６とを介して、支持テーブル６６上に展開された透明なメディア１６０を背面側から照明することができる。
なお、前述したようにメディア１６０として不透明な例えば記録紙を用いる場合に対応して、メディア１６０を上方側から照明する他の照明部を備えていてもよい。
【００４８】
撮像部６２は、例えばＣＣＤなどの撮像素子を備えており、照明部６１の上方において照明部６１を臨む位置に配置されている。撮像部６２は画像処理部６３に電気的に接続されている。また、画像処理部６３は例えば液晶表示装置などのモニター６４に電気的に接続されている。つまり、撮像部６２によって撮像された画像を画像処理部６３によって画像処理を施すことができると共に、撮像された元の画像だけでなく、画像処理された画像をモニター６４によって確認することができる。
【００４９】
次に吐出装置１０の制御系について図５を参照して説明する。図５は吐出装置の制御系を示すブロック図である。図５に示すように、吐出装置１０の制御系は、吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０、着弾面積計測機構６０などを駆動する各種ドライバーを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め吐出装置１０を統括的に制御する制御部４０とを備えている。
【００５０】
駆動部４６は、ワーク移動機構２０及びヘッド移動機構３０の各リニアモーターをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバー４７と、吐出ヘッド５０を駆動制御するヘッドドライバー４８と、着弾面積計測機構６０を駆動制御する着弾面積計測用ドライバー４９とを備えている。この他にもメンテナンス機構を駆動制御するメンテナンス用ドライバー、重量計測機構を駆動制御する重量計測用ドライバーなどを備えているが図示を省略した。
【００５１】
制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピューター１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。
【００５２】
ＲＡＭ４３は、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷ及び吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ｃ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバーなどが接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェイス信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピューター１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００５３】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６などに各種の制御信号を出力することにより、吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０及びヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とワークＷとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに機能液を液滴として吐出するようにヘッドドライバー４８に制御信号を送出する。本実施形態では、Ｙ軸方向へのワークＷの移動に同期して機能液を吐出することを主走査と呼び、主走査に対してＸ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより機能液をワークＷに吐出することができる。主走査は、吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。
【００５４】
エンコーダー１２は、ヘッドドライバー４８に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコーダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エンコーダパルスが周期的に発生する。
【００５５】
例えば、主走査における移動台２２の移動速度を２００ｍｍ／ｓｅｃ、吐出ヘッド５０を駆動する駆動周波数（言い換えれば、連続して液滴を吐出する場合の吐出タイミング）を２０ｋＨｚとすると、主走査方向における液滴の吐出分解能は、移動速度を駆動周波数で除することにより得られるので、１０μｍとなる。すなわち、１０μｍのピッチで液滴をワークＷ上に配置することが可能である。移動台２２の移動速度を２０ｍｍ／ｓｅｃとすれば、１μｍのピッチで液滴をワークＷ上に配置することが可能である。実際の液滴の吐出タイミングは、周期的に発生するエンコーダパルスをカウントして生成されるラッチ信号に基づいている。このような主走査におけるワークＷ上の液滴の最小配置ピッチを吐出分解能と呼ぶ。
【００５６】
上位コンピューター１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を吐出装置１０に送出する。また、ワークＷ上の吐出領域ごとに所定量の機能液を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、吐出領域（膜形成領域）における液滴の吐出位置（言い換えれば、ワークＷとノズル５２との相対位置）、液滴の配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦすなわちノズル５２の選択／非選択、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピューター１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。
【００５７】
次に、吐出ヘッドの吐出制御方法について、図６及び図７を参照して説明する。図６は吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図である。
【００５８】
図６に示すように、ヘッドドライバー４８は、液滴の吐出量を制御する異なる複数の駆動信号ＣＯＭを、それぞれ独立して生成するＤ／Ａコンバータ（以降、ＤＡＣとする）７１Ａ〜７１Ｄと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄが生成する駆動信号ＣＯＭのスルーレートデータ（以下、波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）とする）の格納メモリーを内部に有する波形データ選択回路７２と、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して上位コンピューター１１から送信される吐出制御データを格納するためのデータメモリー７３と、を備えている。ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の各ＣＯＭラインに、ＤＡＣ７１Ａ〜ＤＡＣ７１Ｄで生成された駆動信号ＣＯＭがそれぞれ出力される。
【００５９】
各吐出ヘッド５０には、ノズル５２ごとに設けられた駆動手段（アクチュエーター）である圧電素子５９への駆動信号ＣＯＭの印加をＯＮ／ＯＦＦするスイッチング回路７４と、各ＣＯＭラインのいずれか１つを選択して、各圧電素子５９に接続したスイッチング回路７４に駆動信号ＣＯＭを送出する駆動信号選択回路７５と、を備えている。
【００６０】
ノズル列５２ａ（図２（ｂ）参照）において、圧電素子５９の一方の電極５９ｂは、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄのグランドライン（ＧＮＤ）に接続されている。また、圧電素子５９の他方の電極５９ａ（以下、セグメント電極５９ａとする）は、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５を介して、各ＣＯＭラインに電気的に接続されている。また、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２には、クロック信号（ＣＬＫ）や各吐出タイミングに対応したラッチ信号（ＬＡＴ）が入力されるようになっている。このような駆動回路の構成は、ノズル列５２ｂ（図２（ｂ）参照）においても同様である。
【００６１】
データメモリー７３には、各吐出ヘッド５０の走査位置に応じて周期的に設定される吐出タイミングごとに、次のデータが格納されている。すなわち、各圧電素子５９への駆動信号ＣＯＭの印加（ＯＮ／ＯＦＦ）を規定する吐出データＤＡと、各圧電素子５９に対応したＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の選択を規定する駆動信号選択データＤＢと、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄに入力される波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）の種別を規定する波形番号データＷＮである。本実施形態においては、吐出データＤＡは、１ノズルあたり１ビット（０，１）で、駆動信号選択データＤＢは、１ノズルあたり２ビット（０，１，２，３）で、波形番号データＷＮは、１ＤＡＣあたり７ビット（０〜１２７）で構成されている。なお、データ構造は適宜変更可能である。
【００６２】
図７は駆動信号及び制御信号のタイミング図である。上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。図７に示すように、タイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データＤＡ、駆動信号選択データＤＢ、波形番号データＷＮが、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路７４、駆動信号選択回路７５、波形データ選択回路７２に送信される。そして、タイミングｔ２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各圧電素子５９のセグメント電極５９ａが、駆動信号選択データＤＢで指定されたＣＯＭライン（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のいずれか）に接続された状態となる。例えば、圧電素子５９のセグメント電極５９ａは、駆動信号選択データＤＢが「０」のときには、ＣＯＭ１に接続される。同様に駆動信号選択データＤＢが「１」のときにはＣＯＭ２に、駆動信号選択データＤＢが「２」のときはＣＯＭ３に、駆動信号選択データＤＢが「３」のときはＣＯＭ４に接続される。また、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄの生成に係る駆動信号の波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）がこの選択に連動して設定される。
【００６３】
タイミングｔ３〜ｔ４の期間においては、タイミングｔ２で設定された波形データに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号ＣＯＭが生成される。そして、ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４とそれぞれ接続された状態にある圧電素子５９に、生成された駆動信号ＣＯＭが供給され、ノズル５２に連通するキャビティの体積（圧力）制御が行われる。
【００６４】
駆動信号ＣＯＭにおける電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分、電圧成分は、その供給によって吐出される機能液の吐出量に密接に依存している。とりわけ、圧電方式の吐出ヘッド５０では、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すため、タイミングｔ３〜ｔ４における電圧成分の変化（電位差）を駆動電圧Ｖｈ（Ｖｈ１〜Ｖｈ４）として規定し、これを吐出量制御の条件として利用することができる。すなわち、駆動電圧Ｖｈは、液滴の吐出量を制御する駆動信号の条件の一つである。なお、生成する駆動信号ＣＯＭは、本実施形態で示すような単純な台形波に限られるものではなく、例えば、矩形波など公知の様々な形状の波形を適宜採用することも可能である。また、異なる駆動方式（例えばサーマル方式）の実施形態の場合、駆動信号ＣＯＭのパルス幅（時間成分）を吐出量制御の条件として利用することも可能である。
【００６５】
本実施形態では、駆動電圧Ｖｈを段階的に違えた複数種の波形データを用意し、ＤＡＣ７１Ａ〜７１Ｄにそれぞれ独立した波形データ（ＷＤ１〜ＷＤ４）を入力することにより、各ＣＯＭラインにそれぞれ異なる駆動電圧Ｖｈ１〜Ｖｈ４の駆動信号ＣＯＭを出力することが可能である。用意できる波形データの種類は、波形番号データＷＮの情報量（７ビット）に相当する１２８種類であり、例えばこれを０．１Ｖ刻みの駆動電圧Ｖｈに対応させている。言い換えれば、１２．８Ｖの電位差の範囲でＶｈ１〜Ｖｈ４の各駆動波形を０．１Ｖ刻みで設定することができる。
【００６６】
かくして、本実施形態の吐出装置１０は、ノズル５２ごとの吐出特性を考慮して、各圧電素子５９（ノズル５２）と各ＣＯＭラインとの対応関係を規定する駆動信号選択データＤＢと、各ＣＯＭラインと駆動信号ＣＯＭの種類（駆動電圧Ｖｈ）との対応関係を規定する波形番号データＷＮとを適切に設定することにより、液滴の吐出量を調整して機能液を吐出することが可能である。言い換えれば、駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとの関係で定まる各ノズル５２の駆動信号ＣＯＭの設定を適切に行うことが、吐出量を管理するための重要事項であると言える。
【００６７】
上記吐出装置１０において、吐出ヘッド５０の吐出制御方法は、液滴の吐出ごと、言い換えれば吐出タイミングごとに駆動信号選択データＤＢと波形番号データＷＮとを更新可能となっている。また、吐出データＤＡに対応させて駆動信号ＣＯＭを精細に設定することも可能である。したがって、ノズル５２ごとに吐出される液滴の吐出量を、吐出タイミングごとに少なくとも４段階に渡って変化させることができるので、一定の駆動信号ＣＯＭを各圧電素子５９に印加する場合に比べて、ノズル列５２ａ，５２ｂの吐出特性に起因する液滴の吐出量のばらつきを、ノズル５２ごと、且つ液滴の吐出ごとに調整することが可能である。ゆえに、ノズル列５２ａ，５２ｂの吐出特性に起因する吐出ムラを低減して機能液を吐出することが可能である。
【００６８】
一方で、ノズル５２ごとに吐出される液滴の吐出量を、液滴の吐出ごとに少なくとも４段階に渡って変化させることができるとしても、複数のノズル５２のすべてにおいて上記吐出量を一定の値、例えば、基準吐出量（あるいはねらいの吐出量）にすることは難しい。それは、例えばノズル５２ごとに連通するキャビティの構造が必ずしも同じではないといった機械的な要因や、ノズル５２ごとの圧電素子５９の電気特性が必ずしも同じでないといった電気的な要因などがある。
【００６９】
そこで、本実施形態では、ノズル５２から機能液を複数の液滴としてメディア１６０に着弾させ、その着弾痕の着弾面積を計測することにより、ノズル５２ごとに吐出される液滴の吐出量を推し量っている。そして、該液滴の吐出量と駆動信号ＣＯＭの波形の電位との相関関係に基づいて、主走査において選択されるノズル５２ごとに４段階の駆動信号ＣＯＭのうちの１つが適正に印加させるように、４段階の駆動信号ＣＯＭの波形における電位の補正を行っている。これにより、複数回の主走査により選択されたノズル５２から複数の液滴として吐出領域に吐出される機能液の総量（充填量と呼ぶこともある）のばらつきをある程度の範囲内に収めている。
【００７０】
＜機能液の吐出量の計測方法＞
以下、ほぼ透明な機能液の吐出量を精度よく計測可能な、機能液の着弾面積の計測方法について図８及び図９を参照して説明する。図８（ａ）〜（ｃ）は機能液の着弾面積の計測方法を示す概略断面図、図９は液滴の着弾痕を示す写真である。
【００７１】
本実施形態における機能液の吐出量の計測方法は、図８（ａ）に示すように、吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からメディア１６０に対して、複数のノズル５２ごとに所定量の機能液を複数の液滴Ｄとして吐出する計測用吐出工程と、図８（ｃ）に示すように、複数のノズル５２ごとにメディア１６０に着弾した機能液の着弾面積を計測する計測工程と、を備えている。メディア１６０は、透明なベースフィルム１６１と、ベースフィルム１６１の表面に形成され、機能液を受けて収容する受容層１６２とを有している。図８（ｂ）に示すように、ノズル５２から吐出され受容層１６２に着弾した液滴Ｄは、受容層１６２に浸透して収容され着弾痕１６５となる。計測工程では、照明部６１によりメディア１６０を背面側から照明し、着弾痕１６５を撮像部６２によって撮像する。着弾痕１６５の着弾面積と吐出された機能液の吐出量との間には相関関係があることが分かっているので、撮像された画像から着弾痕１６５の着弾面積とそのばらつきを求めることにより、ノズル５２ごとに吐出される機能液の吐出量とそのばらつきを推し量ることができる。
【００７２】
本実施形態の機能液は、後述する有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ；Electro  Luminescence）装置の機能層を液相プロセス（インクジェット法）で形成する際に用いられるものである。機能液は機能層形成材料と溶媒とを含んでおり、ほぼ透明である。溶媒は必ずしも１種ではなく、吐出された機能液が容易に乾燥しないように、沸点がおよそ２００℃以上である溶媒を選択することが望ましい。溶媒としては、例えば脂肪族溶媒であるエチレングリコール（沸点１９７．３℃）や、芳香族溶媒であるシクロヘキシルベンゼン（沸点２４０℃）、１，４−ジメチルナフタレン（沸点２４７℃）などを挙げることができる。
【００７３】
メディア１６０は、ピクトリコ社製のグラフィックアーツ透明フィルムを用いている。ベースフィルム１６１は厚みがおよそ１４５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムが用いられている。受容層１６２の詳しい構成は開示されていないが、塗布される機能液に対応した厚みの受容層１６２を選択可能である。本実施形態では、受容層１６２の厚みが３５μｍのメディア１６０を用いている。
【００７４】
計測用吐出工程は、図８（ａ）に示すように、吐出ヘッド５０とメディア１６０とを対向させ、吐出ヘッド５０の複数のノズル５２から機能液を複数の液滴Ｄとして吐出している。また、吐出ヘッド５０とメディア１６０とを主走査方向に相対移動させる主走査の間に、複数の液滴Ｄを所定の吐出タイミングで繰り返して吐出させている。つまり、メディア１６０において着弾痕１６５は、主走査方向に複数表れると共に、吐出させたノズル５２の数だけ副走査方向に複数表れる。また、複数の液滴Ｄを受容層１６２の同じ場所に着弾させたときに、受容層１６２における機能液の受容量を超えると、着弾痕１６５が滲んで精度よく着弾面積を計測することが困難になるので、複数の液滴Ｄの着弾位置をミクロン（μｍ）単位でずらすようにしている。
【００７５】
図９は計測用吐出工程によって生じた機能液の着弾痕を示す写真である。
上記のような計測用吐出工程によれば、図９に示すように、メディア１６０に複数の液滴Ｄをミクロン（μｍ）単位でずらして着弾させることにより、鮮明な着弾痕１６５が得られる。それゆえに、着弾痕１６５の着弾面積の計測精度が向上する。なお、図９は、受容層１６２の厚みが３５μｍのメディア１６０に１滴が１０ｐｌの液滴Ｄを複数のノズル５２からそれぞれ１０滴ずつ、互いに着弾位置を１μｍずらして吐出したものである。
また、ほぼ透明な機能液が着弾して浸透した受容層１６２の部分を透過する光は他の部分に比べて散乱する。したがって、機能液が着弾して浸透した受容層１６２の部分が他の部分よりも明るくなるので、画像処理部６３により明るさの差を強調する処理が行われている。
【００７６】
着弾面積の計測工程では、計測用吐出工程によって生じた複数の着弾痕１６５の着弾面積をノズル５２ごとに計測する。そして、複数の着弾痕１６５の着弾面積の例えば平均値を算出して、当該平均値から当該ノズル５２の吐出量とそのばらつきとを推し量る。このような着弾面積の計測を複数のノズル５２のそれぞれにおいて実施する。１つのノズル５２あたりに計測する着弾痕１６５の数は例えば４０個である。
【００７７】
このようにして複数のノズル５２から吐出される機能液の吐出量とそのばらつきを精度よく求めることができる。次の段階として、求められたノズル５２ごとの機能液の吐出量とそのばらつきから、ノズル５２ごとの圧電素子５９を駆動する駆動信号ＣＯＭをどのように設定し、その結果として吐出領域に吐出される機能液の総量（充填量と呼ぶこともある）のばらつきがどのように抑えられるのかについて、具体的な機能液の吐出方法を挙げて説明する。
【００７８】
＜機能液の吐出方法及びノズル吐出量の補正方法＞
まず、本実施形態の機能液の吐出方法について図１０を参照して説明する。
図１０は機能液の吐出方法の一例を示す概略平面図である。
【００７９】
本実施形態の機能液の吐出方法は、後述する有機ＥＬ装置の製造方法において、機能層形成材料を含む機能液を吐出領域に吐出し、吐出された機能液を乾燥・固化することにより機能層を形成する液相プロセスに適用されるものである。
【００８０】
図１０に示すように、吐出領域Ａは、例えば互いに対向する一方の辺部が他方の辺部よりも長い略矩形状であって、ワークＷ上において、吐出領域Ａの長手方向が副走査方向に沿って、副走査方向（Ｘ軸方向）と主走査方向（Ｙ軸方向）とに複数配列している。また、複数の吐出領域Ａは、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に対応して区分されており、同色の吐出領域Ａが副走査方向（Ｘ軸方向）に沿って配列し、異なる色の吐出領域Ａが主走査方向（Ｙ軸方向）に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）を一つの単位として繰り返して配列したストライプ方式の配置が採用されている。なお、吐出領域Ａの配置は、これに限定されるものではない。
【００８１】
このような複数の吐出領域Ａに対して、吐出ヘッド５０のノズル列５２ｃ（ノズル列５２ａとノズル列５２ｂとを含んでいる；図２参照）は、副走査方向（Ｘ軸方向）に沿って対向配置される。
【００８２】
機能液は、ワークＷと吐出ヘッド５０とを対向配置させ、ワークＷと吐出ヘッド５０との主走査方向への相対移動（主走査）の間に、ノズル列５２ｃのうち選択されたノズル５２から液滴Ｄとして吐出領域Ａに吐出される。特に、Ｒ，Ｇ，Ｂごとに異なる種類の機能液が吐出される場合には、図１０に示したように、主走査方向において、例えばＲ，Ｇ，Ｂのうちから選択的にＲの吐出領域Ａに液滴Ｄが吐出される。他のＧ，Ｂの吐出領域Ａにおいても同様である。
【００８３】
図１０に示した機能液の吐出方法の例では、吐出領域Ａの副走査方向における長さは例えばおよそ２００μｍであり、同じく副走査方向における配置ピッチは例えばおよそ２５０μｍである。したがって、主走査方向から見たときのノズル列５２ｃにおけるノズル５２の配置ピッチがおよそ７０μｍであるため、主走査において最大で３個のノズル５２が吐出領域Ａに掛かることになる。主走査では、吐出領域Ａに掛かる複数のノズル５２の中から吐出領域Ａの長手方向において中央付近に液滴Ｄが着弾するようにノズル５２が選択されている。
【００８４】
以降、１つの吐出領域Ａに所定量の機能液を５滴の液滴Ｄとして吐出する比較例と実施例とを挙げて、本発明のノズル吐出量の補正方法を適用した機能液の吐出方法について説明する。以降の比較例、実施例の説明では、主走査をパス（Ｐａｓｓ）と呼ぶこととする。また、１回の主走査における液滴Ｄの吐出数をショット（ｓｈｏｔ）数と呼ぶこととする。
【００８５】
ノズル列５２ｃは、前述したように、１８０個のノズル５２からなるノズル列５２ａと、同じく１８０個のノズル５２からなるノズル列５２ｂとを含むため、合計では３６０個のノズル５２から構成されている。３６０個のうちノズル列５２ｃの両端に位置する１０個のノズル５２を除く、３４０個のノズル５２を有効ノズルとして利用している。有効ノズルを用いた主走査では、有効ノズルが掛かる吐出領域Ａの数を６０個（図１０参照）として、以降の比較例、実施例を説明する。
【００８６】
（比較例）
比較例の機能液の吐出方法は、１つの吐出領域Ａに対して４回のパスに分けて所定量の機能液を５滴の液滴Ｄとして吐出するものである。具体的には、１回目から３回目のパスではそれぞれ１滴ずつ液滴Ｄを吐出し、最後の４回目のパスで２滴の液滴Ｄを吐出する。また、パスごとに選択されるノズル５２を変えている。つまり、実際の液滴Ｄの吐出にあたっては、ノズル列５２ｃを副走査して吐出領域Ａに対する相対的な位置をパスごとに変えている。パスごとに異なるノズル５２から液滴Ｄを吐出することにより、ノズル５２間の吐出特性の違いによる液滴Ｄの吐出量ばらつきを分散させる方法が採用されている。
このような比較例の機能液の吐出方法におけるノズル吐出量の補正方法は、背景技術において示した特許文献２（特開２０１２−２０９２１６号）の発明を適用したものである。
【００８７】
図１１〜図１５を参照して比較例におけるノズル吐出量の補正方法を説明する。図１１は比較例のノズル吐出量の補正方法における第１補正ステップの機能液の充填量ばらつきと駆動信号の補正量とを示す表、図１２は比較例のノズル吐出量の補正方法における第２補正ステップの機能液の充填量ばらつきと駆動信号の補正量とを示す表、図１３は比較例のノズル吐出量の補正方法における第３補正ステップの機能液の充填量ばらつきと駆動信号の補正量とを示す表、図１４は比較例のノズル吐出量の補正方法における第４補正ステップの機能液の充填量ばらつきと駆動信号の補正量とを示す表、図１５は比較例のノズル吐出量の補正方法における最終的な補正後の機能液の充填量ばらつきを示す表である。
【００８８】
比較例のノズル吐出量の補正方法は、複数（４回）のパスごとに複数の駆動信号ＣＯＭの補正を段階的に行う、第１補正ステップ〜第４補正ステップを有している。
まず、第１補正ステップでは、１パスから４パスまで補正前の駆動信号ＣＯＭを用いて選択されたノズル５２からそれぞれ液滴Ｄを吐出領域Ａに吐出した場合の機能液の総量（充填量）を６０個の吐出領域Ａごとに算出する。具体的には、補正前の駆動信号ＣＯＭを有効ノズルのアクチュエーターである圧電素子５９に印加して、有効ノズルのそれぞれから複数の液滴Ｄをメディア１６０に吐出し、その着弾痕１６５の着弾面積を計測することにより液滴Ｄの吐出量とそのばらつきを推し量り、機能液の充填量を数値化する。比較例では、１つの吐出領域Ａに吐出する機能液の充填量、つまり、本発明におけるあらかじめ設定された所定量を「５．００００」として数値化している。
【００８９】
図１１に示すように、比較例の第１補正ステップにおける機能液の充填量の算出結果によれば、例えば１番（Ｎｏ．１）の吐出領域Ａでは、１パス目に選択されたノズル５２から吐出された液滴Ｄの吐出量は「０．９８８４５」、同じく２パス目の吐出量は「１．０２０８０」、３パス目の吐出量は「１．００４３３」、４パス目の吐出量は「１．００２５０」となっている。なお、各パスでは１滴の液滴Ｄの吐出量を示しているので、４パス目は２滴の液滴Ｄを吐出することから実際には２倍の値になる。したがって、４パス後の１番の吐出領域Ａに吐出された機能液の総量（充填量）は「５．０１８５８」となって、所定量である「５．００００」との差（ずれ量）は「０．０１８５８」となる。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最大値は、１４番の吐出領域Ａにおける「０．０７８９９」である。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最小値は、１０番の吐出領域Ａにおける「−０．１１２２３」である。よって、６０個の吐出領域Ａにおいて吐出される機能液の総量（充填量）と所定量との差（ずれ量）の範囲の大きさ（レンジ；Ｒａｎｇｅ）は「０．１９１２２」となる。このレンジの所定量に対する割合は「３．８２％」である。
【００９０】
比較例の第１補正ステップでは、例えば１番（Ｎｏ．１）の吐出領域Ａにおけるずれ量「０．０１８５８」を１パス目に吐出される液滴Ｄの吐出量の補正のみで解消すべく、１パス目に選択されるノズル５２の圧電素子５９に印加される駆動信号ＣＯＭの補正量を算出する。駆動信号ＣＯＭの波形における電位と液滴Ｄの吐出量との関係は検量線として予め求められており、当該検量線に基づいて駆動信号ＣＯＭの補正量が算出される。当該補正量に基づいて、１パス目に選択されるノズル５２を例えば８つにランク付けする。６０個の吐出領域Ａのそれぞれにおいて１パス目で選択されるノズル５２に対してランク付けがされる。そして、６０個の選択されたノズル５２のランクに応じて複数の駆動信号ＣＯＭの均等割付を行う。例えば８つのランクのうちの２つのランクを４つの駆動信号ＣＯＭのうちの１つに割り付ける。
【００９１】
比較例の第１補正ステップでは、駆動信号ＣＯＭ１を「１０３．６％」、駆動信号ＣＯＭ２を「９９．８％」、駆動信号ＣＯＭ３を「９７．８％」、駆動信号ＣＯＭ４を「９５．５％」とした。駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差は８．１％である。また、駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差の１／２を駆動信号ＣＯＭの基準電圧として設定した。そして、第２補正ステップに進む。
【００９２】
比較例の第２補正ステップでは、第１補正ステップで算出された複数の駆動信号ＣＯＭ（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の補正（第１の信号補正）を１パス目に適用した各吐出領域Ａの吐出量を算出する。２パス目から４パス目は、第１補正ステップと同じで補正前の駆動信号ＣＯＭを適用して液滴Ｄを吐出した場合の吐出量をそのまま用いる。そして、再び４パス終了後の各吐出領域Ａに吐出される機能液の総量（充填量）を算出する。
【００９３】
図１２に示すように、比較例の第２補正ステップにおける機能液の充填量の算出結果によれば、例えば１番（Ｎｏ．１）の吐出領域Ａでは、１パス目の吐出量は「０．９５４６４」、２パス目の吐出量は「１．０２０８０」、３パス目の吐出量は「１．００４３３」、４パス目の吐出量は「１．００２５０」となっている。したがって、４パス後の１番の吐出領域Ａに吐出された機能液の総量（充填量）は「４．９８４７７」となって、所定量である「５．００００」との差（ずれ量）は「−０．０１５２３」となる。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最大値は「０．０３１７６」である。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最小値は「−０．０３１３９」である。よって、６０個の吐出領域Ａにおいて吐出される機能液の総量（充填量）と所定量との差の範囲の大きさ（レンジ；Ｒａｎｇｅ）は「０．０６３１５」となる。このレンジの所定量に対する割合は「１．２６％」である。
【００９４】
比較例の第２補正ステップでは、第１補正ステップと同様に、例えば、１番の吐出領域Ａにおけるずれ量「−０．０１５２３」を２パス目に吐出される液滴Ｄの吐出量の補正のみで解消すべく、２パス目に選択されるノズル５２の圧電素子５９に印加される駆動信号ＣＯＭの補正量を算出する。当該補正量に基づいて、２パス目に選択されるノズル５２を例えば８つにランク付けする。６０個の吐出領域Ａのそれぞれにおいて２パス目で選択されるノズル５２に対してランク付けがされる。そして、６０個の選択されたノズル５２のランクに応じて複数の駆動信号ＣＯＭの均等割付を行う。例えば８つのランクのうちの２つのランクを４つの駆動信号ＣＯＭのうちの１つに割り付ける。
【００９５】
比較例の第２補正ステップでは、駆動信号ＣＯＭ１を「１０１．６％」、駆動信号ＣＯＭ２を「１００．８％」、駆動信号ＣＯＭ３を「９９．４％」、駆動信号ＣＯＭ４を「９７．５％」とした。駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差は４．１％である。また、駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差の１／２を駆動信号ＣＯＭの基準電圧として設定した。そして、第３補正ステップに進む。
【００９６】
比較例の第３補正ステップでは、第２補正ステップで算出された複数の駆動信号ＣＯＭ（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の補正（第２の信号補正）を２パス目に適用し、各吐出領域Ａの吐出量を算出する。３パス目、４パス目は、補正前の駆動信号ＣＯＭを適用して液滴Ｄを吐出した場合の吐出量をそのまま用いる。そして、再び４パス終了後の各吐出領域Ａに吐出される機能液の総量（充填量）を算出する。
【００９７】
図１３に示すように、比較例の第３補正ステップにおける機能液の充填量の算出結果によれば、例えば１番（Ｎｏ．１）の吐出領域Ａでは、１パス目の吐出量は「０．９５４６４」、２パス目の吐出量は「１．０３５０７」、３パス目の吐出量は「１．００４３３」、４パス目の吐出量は「１．００２５０」となっている。したがって、４パス後の１番の吐出領域Ａに吐出された機能液の総量（充填量）は「４．９９９０３」となって、所定量である「５．００００」との差（ずれ量）は「−０．０００９７」となる。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最大値は「０．０１２８５」である。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最小値は「−０．０１５２０」である。よって、６０個の吐出領域Ａにおいて吐出される機能液の総量（充填量）と所定量との差の範囲の大きさ（レンジ；Ｒａｎｇｅ）は「０．０２８０５」となる。このレンジの所定量に対する割合は「０．５６％」である。
【００９８】
比較例の第３補正ステップでは、第２補正ステップと同様に、例えば、１番の吐出領域Ａにおけるずれ量「−０．０００９７」を３パス目に吐出される液滴Ｄの吐出量の補正のみで解消すべく、３パス目に選択されるノズル５２の圧電素子５９に印加される駆動信号ＣＯＭの補正量を算出する。当該補正量に基づいて、３パス目に選択されるノズル５２を例えば８つにランク付けする。６０個の吐出領域Ａのそれぞれにおいて３パス目で選択されるノズル５２に対してランク付けがされる。そして、６０個の選択されたノズル５２のランクに応じて複数の駆動信号ＣＯＭの均等割付を行う。例えば８つのランクのうちの２つのランクを４つの駆動信号ＣＯＭのうちの１つに割り付ける。
【００９９】
比較例の第３補正ステップでは、駆動信号ＣＯＭ１を「１００．３％」、駆動信号ＣＯＭ２を「１００．０％」、駆動信号ＣＯＭ３を「９９．６％」、駆動信号ＣＯＭ４を「９８．９％」とした。駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差は１．４％である。また、駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差の１／２を駆動信号ＣＯＭの基準電圧として設定した。そして、第４補正ステップに進む。
【０１００】
比較例の第４補正ステップでは、第３補正ステップで算出された複数の駆動信号ＣＯＭ（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の補正（第３の信号補正）を３パス目に適用し、各吐出領域Ａの吐出量を算出する。４パス目は、補正前の駆動信号ＣＯＭを適用して液滴Ｄを吐出した場合の吐出量をそのまま用いる。そして、再び４パス終了後の各吐出領域Ａに吐出される機能液の総量（充填量）を算出する。
【０１０１】
図１４に示すように、比較例の第４補正ステップにおける機能液の充填量の算出結果によれば、例えば１番（Ｎｏ．１）の吐出領域Ａでは、１パス目の吐出量は「０．９５４６４」、２パス目の吐出量は「１．０３５０７」、３パス目の吐出量は「１．００６５０」、４パス目の吐出量は「１．００２５０」となっている。したがって、４パス後の１番の吐出領域Ａに吐出された機能液の総量（充填量）は「５．００１２０」となって、所定量である「５．００００」との差（ずれ量）は「０．００１２０」となる。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最大値は「０．００５９８」である。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最小値は「−０．００５７６」である。よって、６０個の吐出領域Ａにおいて吐出される機能液の総量（充填量）と所定量との差の範囲の大きさ（レンジ；Ｒａｎｇｅ）は「０．０１１７４」となる。このレンジの所定量に対する割合は「０．２３％」である。
【０１０２】
比較例の第４補正ステップでは、第３補正ステップと同様に、例えば、１番の吐出領域Ａにおけるずれ量「０．００１２０」を４パス目に吐出される液滴Ｄの吐出量の補正のみで解消すべく、４パス目に選択されるノズル５２の圧電素子５９に印加される駆動信号ＣＯＭの補正量を算出する。当該補正量に基づいて、４パス目に選択されるノズル５２を例えば８つにランク付けする。６０個の吐出領域Ａのそれぞれにおいて３パス目で選択されるノズル５２に対してランク付けがされる。そして、６０個の選択されたノズル５２のランクに応じて複数の駆動信号ＣＯＭの均等割付を行う。例えば８つのランクのうちの２つのランクを４つの駆動信号ＣＯＭのうちの１つに割り付ける。
【０１０３】
比較例の第４補正ステップでは、駆動信号ＣＯＭ１を「１００．２％」、駆動信号ＣＯＭ２を「１００．０％」、駆動信号ＣＯＭ３を「１００．０％」、駆動信号ＣＯＭ４を「９９．９％」とした。駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差は０．３％である。また、駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差の１／２を駆動信号ＣＯＭの基準電圧として設定した。そして、最終ステップに進む。
【０１０４】
比較例の最終ステップでは、第４補正ステップで算出された複数の駆動信号ＣＯＭ（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の補正（第４の信号補正）を４パス目に適用し、各吐出領域Ａの吐出量を算出する。そして、再び４パス終了後の各吐出領域Ａに吐出される機能液の総量（充填量）を算出する。
【０１０５】
図１５に示すように、比較例の最終ステップにおける機能液の充填量の算出結果によれば、例えば１番（Ｎｏ．１）の吐出領域Ａでは、１パス目の吐出量は「０．９５４６４」、２パス目の吐出量は「１．０３５０７」、３パス目の吐出量は「１．００６５０」、４パス目の吐出量は「１．００２２３」となっている。したがって、４パス後の１番の吐出領域Ａに吐出された機能液の総量（充填量）は「５．０００６７」となって、所定量である「５．００００」との差（ずれ量）は「０．０００６７」となる。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最大値は「０．００２４４」である。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最小値は「−０．００２３７」である。よって、６０個の吐出領域Ａにおいて吐出される機能液の総量（充填量）と所定量との差の範囲の大きさ（レンジ；Ｒａｎｇｅ）は「０．００４８１」となる。このレンジの所定量に対する割合は「０．１０％」である。
【０１０６】
（実施例）
実施例の機能液の吐出方法は、比較例と同様に、１つの吐出領域Ａに対して４回のパスに分けて所定量の機能液を５滴の液滴Ｄとして吐出するものである。具体的には、１回目のパスで２滴の液滴Ｄを吐出し、２回目から４回目のパスではそれぞれ１滴ずつ液滴Ｄを吐出する。また、比較例と同様に、パスごとに選択されるノズル５２を変えている。つまり、パスごとに異なるノズル５２から液滴Ｄを吐出することにより、ノズル５２間の吐出特性の違いによる液滴Ｄの吐出量ばらつきを分散させる方法が採用されている。
このような実施例の機能液の吐出方法におけるノズル吐出量の補正方法は、背景技術において示した特許文献２（特開２０１２−２０９２１６号）の発明を基本的には適用しているものの、１回目のパスにおける液滴Ｄの吐出数（ショット数）が他のパスよりも多い点が比較例と異なっている。さらに言えば、実際に液滴Ｄを吐出する複数回の主走査のうち最も吐出数（ショット数）が多い主走査を優先してノズル吐出量の補正を段階的に行う点が異なっている。
【０１０７】
図１６〜図２０を参照して実施例におけるノズル吐出量の補正方法を説明する。図１６は実施例のノズル吐出量の補正方法における第１補正ステップの機能液の充填量と駆動信号の補正量とを示す表、図１７は実施例のノズル吐出量の補正方法における第２補正ステップの機能液の充填量と駆動信号の補正量とを示す表、図１８は実施例のノズル吐出量の補正方法における第３補正ステップの機能液の充填量と駆動信号の補正量とを示す表、図１９は実施例のノズル吐出量の補正方法における第４補正ステップの機能液の充填量と駆動信号の補正量とを示す表、図２０は実施例のノズル吐出量の補正方法における最終的な補正後の機能液の充填量を示す表である。
【０１０８】
実施例のノズル吐出量の補正方法は、複数（４回）のパスごとに複数の駆動信号ＣＯＭの補正を段階的に行う、第１補正ステップ〜第４補正ステップを有している。
まず、第１補正ステップでは、１パスから４パスまで補正前の駆動信号ＣＯＭを用いて選択されたノズル５２からそれぞれ液滴Ｄを吐出領域Ａに吐出した場合の機能液の総量（充填量）を６０個の吐出領域Ａごとに算出する。第１補正ステップの駆動信号ＣＯＭの補正における基本的な考え方は、比較例と同じだが、１パス目に２滴の液滴Ｄを選択されたノズル５２から吐出するため、算出結果は、吐出数の影響を受け必ずしも比較例の第１補正ステップと同一にはならないことがある。アクチュエーターである圧電素子５９に補正前の駆動信号ＣＯＭを印加して、有効ノズルのそれぞれから複数の液滴Ｄをメディア１６０に吐出し、その着弾痕１６５の着弾面積を計測することにより液滴Ｄの吐出量とそのばらつきを推し量り、機能液の充填量を数値化する。実施例においても、比較例と同様に、１つの吐出領域Ａに吐出する機能液の充填量、つまり、本発明におけるあらかじめ設定された所定量を「５．００００」として数値化している。
【０１０９】
図１６に示すように、実施例の第１補正ステップにおける機能液の充填量の算出結果によれば、例えば１番（Ｎｏ．１）の吐出領域Ａでは、１パス目に選択されたノズル５２から吐出された液滴Ｄの吐出量は「０．９９６４３」、同じく２パス目の吐出量は「１．０２０８０」、３パス目の吐出量は「１．００４３３」、４パス目の吐出量は「１．００２５０」となっている。なお、各パスでは１滴の液滴Ｄの吐出量を示しているので、１パス目は２滴の液滴Ｄを吐出することから実際には２倍の値になる。したがって、４パス後の１番の吐出領域Ａに吐出された機能液の総量（充填量）は「５．０２０４９」となって、所定量である「５．００００」との差（ずれ量）は「０．０２０４９」となる。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最大値は、５８番の吐出領域Ａにおける「０．０９８０１」である。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最小値は、２０番の吐出領域Ａにおける「−０．０７１２６」である。よって、６０個の吐出領域Ａにおいて吐出される機能液の総量（充填量）と所定量との差（ずれ量）の範囲の大きさ（レンジ；Ｒａｎｇｅ）は「０．１６９２７」となる。このレンジの所定量に対する割合は「３．３９％」である。
【０１１０】
実施例の第１補正ステップでは、例えば１番（Ｎｏ．１）の吐出領域Ａにおけるずれ量「０．０２０４９」を１パス目に吐出される２滴の液滴Ｄの吐出量の補正のみで解消すべく、１パス目に選択されるノズル５２の圧電素子５９に印加される駆動信号ＣＯＭの補正量を算出する。駆動信号ＣＯＭの波形における電位と液滴Ｄの吐出量との関係は検量線としてあらかじめ求められており、当該検量線に基づいて駆動信号ＣＯＭの補正量が算出される。当該補正量に基づいて、１パス目に選択されるノズル５２を例えば８つにランク付けする。６０個の吐出領域Ａのそれぞれにおいて１パス目で選択されるノズル５２に対してランク付けがされる。そして、６０個の選択されたノズル５２のランクに応じて複数の駆動信号ＣＯＭの均等割付を行う。例えば８つのランクのうちの２つのランクを４つの駆動信号ＣＯＭのうちの１つに割り付ける。
【０１１１】
実施例の第１補正ステップでは、駆動信号ＣＯＭ１を「１０１．５％」、駆動信号ＣＯＭ２を「９９．９％」、駆動信号ＣＯＭ３を「９８．９％」、駆動信号ＣＯＭ４を「９７．５％」とした。駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差は４．０％である。また、駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差の１／２を駆動信号ＣＯＭの基準電圧として設定した。第１補正ステップの時点で比較例と実施例とを比べてみると、駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差は、ほぼ半分になっている。そして、第２補正ステップに進む。
【０１１２】
実施例の第２補正ステップでは、第１補正ステップで算出された複数の駆動信号ＣＯＭ（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の補正（第１の信号補正）を１パス目に適用した各吐出領域Ａの吐出量を算出する。２パス目から４パス目は、第１補正ステップと同じで補正前の駆動信号ＣＯＭを適用して液滴Ｄを吐出した場合の吐出量をそのまま用いる。そして、再び４パス終了後の各吐出領域Ａに吐出される機能液の総量（充填量）を算出する。
【０１１３】
図１７に示すように、実施例の第２補正ステップにおける機能液の充填量の算出結果によれば、例えば１番（Ｎｏ．１）の吐出領域Ａでは、１パス目の吐出量は「０．９７８９９」、２パス目の吐出量は「１．０２０８０」、３パス目の吐出量は「１．００４３３」、４パス目の吐出量は「１．００２５０」となっている。したがって、４パス後の１番の吐出領域Ａに吐出された機能液の総量（充填量）は「４．９８５６１」となって、所定量である「５．００００」との差（ずれ量）は「−０．０１４３９」となる。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最大値は「０．０２７０２」である。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最小値は「−０．０２５６６」である。よって、６０個の吐出領域Ａにおいて吐出される機能液の総量（充填量）と所定量との差の範囲の大きさ（レンジ；Ｒａｎｇｅ）は「０．０５２６８」となる。このレンジの所定量に対する割合は「１．０５％」である。
【０１１４】
実施例の第２補正ステップでは、第１補正ステップと同様に、例えば、１番の吐出領域Ａにおけるずれ量「−０．０１４３９」を２パス目に吐出される液滴Ｄの吐出量の補正のみで解消すべく、２パス目に選択されるノズル５２の圧電素子５９に印加される駆動信号ＣＯＭの補正量を算出する。当該補正量に基づいて、２パス目に選択されるノズル５２を例えば８つにランク付けする。６０個の吐出領域Ａのそれぞれにおいて２パス目で選択されるノズル５２に対してランク付けがされる。そして、６０個の選択されたノズル５２のランクに応じて複数の駆動信号ＣＯＭの均等割付を行う。例えば８つのランクのうちの２つのランクを４つの駆動信号ＣＯＭのうちの１つに割り付ける。
【０１１５】
実施例の第２補正ステップでは、駆動信号ＣＯＭ１を「１０１．４％」、駆動信号ＣＯＭ２を「１００．４％」、駆動信号ＣＯＭ３を「９９．７％」、駆動信号ＣＯＭ４を「９９．１％」とした。駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差は２．３％である。また、駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差の１／２を駆動信号ＣＯＭの基準電圧として設定した。そして、第３補正ステップに進む。
【０１１６】
実施例の第３補正ステップでは、第２補正ステップで算出された複数の駆動信号ＣＯＭ（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の補正（第２の信号補正）を２パス目に適用し、各吐出領域Ａの吐出量を算出する。３パス目、４パス目は、補正前の駆動信号ＣＯＭを適用して液滴Ｄを吐出した場合の吐出量をそのまま用いる。そして、再び４パス終了後の各吐出領域Ａに吐出される機能液の総量（充填量）を算出する。
【０１１７】
図１８に示すように、実施例の第３補正ステップにおける機能液の充填量の算出結果によれば、例えば１番（Ｎｏ．１）の吐出領域Ａでは、１パス目の吐出量は「０．９７８９９」、２パス目の吐出量は「１．０３４１５」、３パス目の吐出量は「１．００４３３」、４パス目の吐出量は「１．００２５０」となっている。したがって、４パス後の１番の吐出領域Ａに吐出された機能液の総量（充填量）は「４．９９８９５」となって、所定量である「５．００００」との差（ずれ量）は「−０．００１０５」となる。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最大値は「０．００７７７」である。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最小値は「−０．００６４０」である。よって、６０個の吐出領域Ａにおいて吐出される機能液の総量（充填量）と所定量との差の範囲の大きさ（レンジ；Ｒａｎｇｅ）は「０．０１４１７」となる。このレンジの所定量に対する割合は「０．２８％」である。
【０１１８】
実施例の第３補正ステップでは、第２補正ステップと同様に、例えば、１番の吐出領域Ａにおけるずれ量「−０．００１０５」を３パス目に吐出される液滴Ｄの吐出量の補正のみで解消すべく、３パス目に選択されるノズル５２の圧電素子５９に印加される駆動信号ＣＯＭの補正量を算出する。当該補正量に基づいて、３パス目に選択されるノズル５２を例えば８つにランク付けする。６０個の吐出領域Ａのそれぞれにおいて３パス目で選択されるノズル５２に対してランク付けがされる。そして、６０個の選択されたノズル５２のランクに応じて複数の駆動信号ＣＯＭの均等割付を行う。例えば８つのランクのうちの２つのランクを４つの駆動信号ＣＯＭのうちの１つに割り付ける。
【０１１９】
実施例の第３補正ステップでは、駆動信号ＣＯＭ１を「１００．４％」、駆動信号ＣＯＭ２を「１００．２％」、駆動信号ＣＯＭ３を「１００．０％」、駆動信号ＣＯＭ４を「９９．７％」とした。駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差は０．７％である。また、駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差の１／２を駆動信号ＣＯＭの基準電圧として設定した。そして、第４補正ステップに進む。
【０１２０】
実施例の第４補正ステップでは、第３補正ステップで算出された複数の駆動信号ＣＯＭ（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の補正（第３の信号補正）を３パス目に適用し、各吐出領域Ａの吐出量を算出する。４パス目は、補正前の駆動信号ＣＯＭを適用して液滴Ｄを吐出した場合の吐出量をそのまま用いる。そして、再び４パス終了後の各吐出領域Ａに吐出される機能液の総量（充填量）を算出する。
【０１２１】
図１９に示すように、実施例の第４補正ステップにおける機能液の充填量の算出結果によれば、例えば１番（Ｎｏ．１）の吐出領域Ａでは、１パス目の吐出量は「０．９７８９９」、２パス目の吐出量は「１．０３４１５」、３パス目の吐出量は「１．００４３３」、４パス目の吐出量は「１．００２５０」となっている。したがって、４パス後の１番の吐出領域Ａに吐出された機能液の総量（充填量）は「４．９９８９５」となって、所定量である「５．００００」との差（ずれ量）は「−０．００１０５」となる。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最大値は「０．００２８４」である。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最小値は「−０．００２６０」である。よって、６０個の吐出領域Ａにおいて吐出される機能液の総量（充填量）と所定量との差の範囲の大きさ（レンジ；Ｒａｎｇｅ）は「０．００５４４」となる。このレンジの所定量に対する割合は「０．１１％」である。
【０１２２】
実施例の第４補正ステップでは、第３補正ステップと同様に、例えば、１番の吐出領域Ａにおけるずれ量「−０．００１０５」を４パス目に吐出される液滴Ｄの吐出量の補正のみで解消すべく、４パス目に選択されるノズル５２の圧電素子５９に印加される駆動信号ＣＯＭの補正量を算出する。当該補正量に基づいて、４パス目に選択されるノズル５２を例えば８つにランク付けする。６０個の吐出領域Ａのそれぞれにおいて３パス目で選択されるノズル５２に対してランク付けがされる。そして、６０個の選択されたノズル５２のランクに応じて複数の駆動信号ＣＯＭの均等割付を行う。例えば８つのランクのうちの２つのランクを４つの駆動信号ＣＯＭのうちの１つに割り付ける。
【０１２３】
実施例の第４補正ステップでは、駆動信号ＣＯＭ１を「１００．１％」、駆動信号ＣＯＭ２を「１００．１％」、駆動信号ＣＯＭ３を「１００．０％」、駆動信号ＣＯＭ４を「９９．９％」とした。駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差は０．３％である。また、駆動信号ＣＯＭにおける補正率の最大値（ＭＡＸ）と最小値（ＭＩＮ）の差の１／２を駆動信号ＣＯＭの基準電圧として設定した。そして、最終ステップに進む。
【０１２４】
実施例の最終ステップでは、第４補正ステップで算出された複数の駆動信号ＣＯＭ（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）の補正（第４の信号補正）を４パス目に適用し、各吐出領域Ａの吐出量を算出する。そして、再び４パス終了後の各吐出領域Ａに吐出される機能液の総量（充填量）を算出する。
【０１２５】
図２０に示すように、実施例の最終ステップにおける機能液の充填量の算出結果によれば、例えば１番（Ｎｏ．１）の吐出領域Ａでは、１パス目の吐出量は「０．９７８９９」、２パス目の吐出量は「１．０３４１７」、３パス目の吐出量は「１．００４３３」、４パス目の吐出量は「１．００３６３」となっている。したがって、４パス後の１番の吐出領域Ａに吐出された機能液の総量（充填量）は「５．００００８」となって、所定量である「５．００００」との差（ずれ量）は「０．００００８」となる。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最大値は「０．０００７６」である。６０個の吐出領域Ａにおける所定量との差（ずれ量）の最小値は「−０．０００７８」である。よって、６０個の吐出領域Ａにおいて吐出される機能液の総量（充填量）と所定量との差の範囲の大きさ（レンジ；Ｒａｎｇｅ）は「０．００１５４」となる。このレンジの所定量に対する割合は「０．０３％」である。
【０１２６】
図２１は比較例及び実施例の主走査における駆動信号の補正量と吐出領域における機能液の充填量ばらつきとを示す表である。図２２（ａ）は比較例の各吐出領域における機能液の充填量ばらつきを示すグラフ、図２２（ｂ）は実施例の各吐出領域における機能液の充填量ばらつきを示すグラフ、図２３（ａ）は比較例と実施例の主走査における駆動信号の補正量を示すグラフ、図２３（ｂ）は比較例と実施例の主走査における充填量ばらつきを示すグラフである。図２２（ａ）及び（ｂ）、図２３（ａ）及び（ｂ）は図２１の数値データをグラフに置き換えて表したものである。
【０１２７】
図２１の表及び図２２（ａ）及び（ｂ）のグラフに示すように、比較例及び実施例の機能液の吐出方法において、補正前の駆動信号ＣＯＭを用いて液滴Ｄの吐出を行うと、吐出領域Ａにおける機能液の総量（充填量）は、それぞれ３％を越えるばらつきを有している。
パス（主走査）ごとに複数の駆動信号ＣＯＭ（ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４）をそれぞれ補正することによって、パス（主走査）ごとに選択されるノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量、すなわちノズル吐出量が補正されるので、比較例及び実施例はそれぞれパスの進行に伴って充填量のばらつきは小さくなってゆく。
【０１２８】
しかしながら、図２１の表及び図２３（ａ）のグラフに示すように、比較例の各パスにおける駆動信号ＣＯＭの補正量は実施例に比べて大きい。言い換えれば、実施例における駆動信号ＣＯＭの補正量は比較例に比べて小さい。実施例では液滴Ｄの吐出数が多いパス（主走査）を優先して補正するので、駆動信号ＣＯＭにおける過度な補正が行われなくて済む。アクチュエーターとしての圧電素子５９に印加される駆動信号ＣＯＭの波形の電位と液滴Ｄの吐出量との関係を示す検量線は、例えば、基準の電位に対して昇圧あるいは降圧させる電位の大きさが大きくなればなるほど、検量線における直線関係から液滴Ｄの吐出量が外れ易い。つまり、駆動信号ＣＯＭの検量線の信頼度が高い範囲内で駆動信号ＣＯＭの補正が行われることが望ましい。
このような実施例の機能液の吐出方法及びノズル吐出量の補正方法によれば、図２３（ｂ）に示すように、吐出領域Ａにおける機能液の充填量ばらつきを比較例よりも小さくすることができる。
【０１２９】
（第２実施形態）
＜有機エレクトロルミネッセンス装置＞
次に、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）装置について図２４及び図２５を参照して説明する。図２４は有機ＥＬ装置を示す概略正面図、図２５は有機ＥＬ装置の要部概略断面図である。
【０１３０】
図２４に示すように、有機ＥＬ装置１００は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、３色の発光画素１０７を備えた素子基板１０１と、素子基板１０１に所定の間隔を置いて対向配置された封止基板１０２とを備えている。封止基板１０２は、複数の発光画素１０７が設けられた発光領域１０６を封着するように、高い気密性を有する封着剤を用いて素子基板１０１に貼り合わされている。
【０１３１】
発光画素１０７は、後述する発光素子としての有機ＥＬ素子１１２（図２５参照）を備えるものであって、同色の発光が得られる発光画素１０７が、図面上の縦方向に配列した所謂ストライプ方式となっている。なお、実際には、発光画素１０７は微細なものであり、図示の都合上拡大して現している。
【０１３２】
素子基板１０１は、封止基板１０２よりも一回り大きく、額縁状に張り出した部分には、発光画素１０７を駆動する２つの走査線駆動回路部１０３と１つのデータ線駆動回路部１０４が設けられている。走査線駆動回路部１０３、データ線駆動回路部１０４は、例えば、電気回路が集積されたＩＣとして素子基板１０１に実装してもよいし、走査線駆動回路部１０３及びデータ線駆動回路部１０４を素子基板１０１の表面に直接形成してもよい。
【０１３３】
素子基板１０１の端子部１０１ａには、これらの走査線駆動回路部１０３やデータ線駆動回路部１０４と外部駆動回路とを接続するための中継基板１０５が実装されている。中継基板１０５は、例えば、フレキシブル回路基板などを用いることができる。
【０１３４】
図２５に示すように、有機ＥＬ装置１００において、有機ＥＬ素子１１２は、画素電極としての陽極１３１と、陽極１３１を区画する隔壁１３３と、陽極１３１上に形成された有機膜からなる発光層を含む機能層１３２とを有している。また、機能層１３２を介して陽極１３１と対向するように形成された共通電極としての陰極１３４を有している。
【０１３５】
隔壁１３３は、フェノール樹脂又はポリイミド樹脂などの絶縁性を有する感光性樹脂からなり、発光画素１０７を構成する陽極１３１の周囲を一部覆って、複数の陽極１３１をそれぞれ区画するように設けられている。
【０１３６】
陽極１３１は、素子基板１０１上に形成されたＴＦＴ素子１０８の３端子のうちの１つに接続しており、例えば、透明電極材料であるＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）を厚さ１００ｎｍ程度に成膜した電極である。
【０１３７】
陰極１３４は、例えばＡｌやＡｇなどの光反射性を有する金属や、該金属と他の金属（例えばＭｇ）との合金などにより形成されている。
【０１３８】
有機ＥＬ装置１００は、所謂ボトムエミッション型の構造となっており、陽極１３１と陰極１３４との間に駆動電流を流して機能層１３２で発光した光を陰極１３４で反射させて素子基板１０１側から取り出す。したがって、素子基板１０１はガラスなどの透明基板を用いる。また、封止基板１０２は、透明基板及び不透明基板のいずれも用いることができる。不透明基板としては、例えば、アルミナなどのセラミックス、ステンレススチールなどの金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したものの他に、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などが挙げられる。
【０１３９】
素子基板１０１には、有機ＥＬ素子１１２を駆動する回路部１１１が設けられている。すなわち、素子基板１０１の表面にはＳｉＯ2を主体とする下地保護層１２１が下地として形成され、その上には例えばポリシリコンなどからなる半導体層１２２が形成されている。この半導体層１２２の表面には、ＳｉＯ2及び／又はＳｉＮを主体とするゲート絶縁膜１２３が形成されている。
【０１４０】
また、半導体層１２２のうち、ゲート絶縁膜１２３を挟んでゲート電極１２６と重なる領域がチャネル領域１２２ａとされている。なお、このゲート電極１２６は、図示しない走査線の一部である。一方、半導体層１２２を覆い、ゲート電極１２６を形成したゲート絶縁膜１２３の表面には、ＳｉＯ2を主体とする第１層間絶縁層１２７が形成されている。
【０１４１】
また、半導体層１２２のうち、チャネル領域１２２ａのソース側には、低濃度ソース領域及び高濃度ソース領域１２２ｃが設けられる一方、チャネル領域１２２ａのドレイン側には低濃度ドレイン領域及び高濃度ドレイン領域１２２ｂが設けられて、所謂ＬＤＤ（Light  Doped  Drain）構造となっている。これらのうち、高濃度ソース領域１２２ｃは、ゲート絶縁膜１２３と第１層間絶縁層１２７とにわたって開孔するコンタクトホール１２５ａを介して、ソース電極１２５に接続されている。このソース電極１２５は、電源線（図示せず）の一部として構成されている。一方、高濃度ドレイン領域１２２ｂは、ゲート絶縁膜１２３と第１層間絶縁層１２７とを貫通するコンタクトホール１２４ａを介して、ソース電極１２５と同一層からなるドレイン電極１２４に接続されている。
【０１４２】
ソース電極１２５及びドレイン電極１２４が形成された第１層間絶縁層１２７の上層には、平坦化層１２８が形成されている。この平坦化層１２８は、アクリル系やポリイミド系などの、耐熱性絶縁性樹脂などによって形成されたもので、ＴＦＴ素子１０８やソース電極１２５、ドレイン電極１２４などによる表面の凹凸をなくすために形成された公知のものである。
【０１４３】
そして、陽極１３１が、この平坦化層１２８の表面上に形成されると共に、該平坦化層１２８に設けられたコンタクトホール１２８ａを介してドレイン電極１２４に接続されている。すなわち、陽極１３１は、ドレイン電極１２４を介して、半導体層１２２の高濃度ドレイン領域１２２ｂに接続されている。陰極１３４は、ＧＮＤに接続されている。したがって、スイッチング素子としてのＴＦＴ素子１０８により、上記電源線から陽極１３１に供給され陰極１３４との間で流れる駆動電流を制御する。これにより、回路部１１１は、所望の有機ＥＬ素子１１２を発光させカラー表示を可能としている。
【０１４４】
なお、有機ＥＬ素子１１２を駆動する回路部１１１の構成は、これに限定されるものではない。
【０１４５】
機能層１３２は、有機層である正孔注入層、中間層、発光層を含む複数の薄膜層からなり、陽極１３１側からこの順で積層されている。本実施形態において、これらの有機層は液相プロセス（インクジェット法）を用いて成膜されている。
【０１４６】
正孔注入層の材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）などのポリチオフェン誘導体にドーパントとしてのポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）を加えた混合物（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）や、ポリスチレン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリアセチレンやその誘導体を用いてもよい。
【０１４７】
中間層は、正孔注入層と発光層との間に設けられ、発光層に対する正孔の輸送性（注入性）を向上させると共に、発光層から正孔注入層に電子が漏れることを抑制するために設けられている。すなわち、発光層における正孔と電子との結合による発光の効率を改善するものである。中間層の材料としては、例えば、正孔輸送性が良好なトリフェニルアミン系ポリマーを含んだものが挙げられる。
【０１４８】
発光層の材料としては、例えば、赤色、緑色、青色の発光が得られるポリフルオレン誘導体（ＰＦ）、ポリパラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ＰＥＤＯＴなどのポリチオフェニレン誘導体、ポリメチルフェニレンシラン（ＰＭＰＳ）などを用いることができる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子材料や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクドリンなど低分子材料をドープしてもよい。
【０１４９】
このような有機ＥＬ素子１１２を有する素子基板１０１は、熱硬化型エポキシ樹脂などを封着部材として用いた封着層１３５を介して封止基板１０２と隙間なく封止されている。
【０１５０】
有機ＥＬ装置１００は、上記第１実施形態で説明した吐出装置１０を用いて製造されており、少なくとも発光層がほぼ一定の膜厚と安定した膜形状（断面形状）を有しているため、異なる発光色が得られる機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂにおいてそれぞれ所望の発光特性が得られる。
【０１５１】
なお、本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、ボトムエミッション型に限定されず、例えば陽極１３１を光反射性の導電材料を用いて形成し、共通電極としての陰極１３４を透明な導電材料を用いて形成して、有機ＥＬ素子１１２の発光を陽極１３１で反射させて、封止基板１０２側から取り出すトップエミッション型の構造としてもよい。また、トップエミッション型とする場合、有機ＥＬ素子１１２の発光色に対応させたカラーフィルターを封止基板１０２側に設ける構成としてもよい。さらには、封止基板１０２側にカラーフィルターを有する場合、有機ＥＬ素子１１２から白色発光が得られる構成としてもよい。
【０１５２】
＜有機ＥＬ装置の製造方法＞
次に、本実施形態の有機ＥＬ装置の製造方法について図２６〜図２８を参照して説明する。図２６は有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート、図２７（ａ）〜（ｄ）及び図２８（ｅ）〜（ｈ）は有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図である。
本実施形態の有機ＥＬ装置１００の製造方法は、上記第１実施形態の吐出装置１０を用いている。また、本発明のノズル吐出量の補正方法を適用した機能液の吐出方法を用いている。
【０１５３】
図２６に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置１００の製造方法は、隔壁形成工程（ステップＳ１）と、隔壁が形成された基板に表面処理を施す表面処理工程（ステップＳ２）と、正孔注入層形成工程（ステップＳ３）と、中間層形成工程（ステップＳ４）と、発光層形成工程（ステップＳ５）と、陰極形成工程（ステップＳ６）と、有機ＥＬ素子１１２が形成された素子基板１０１と封止基板１０２とを接合する封止基板接着工程（ステップＳ７）とを少なくとも備えている。なお、素子基板１０１上に回路部１１１（図２５参照）を形成する工程や回路部１１１に電気的に接続した陽極１３１を形成する工程は、公知の製造方法を用いればよく、本実施形態では詳細の説明は省略する。したがって、図２７（ａ）〜（ｄ）及び図２８（ｅ）〜（ｈ）では、回路部１１１の図示を省略している。
【０１５４】
図２６のステップＳ１は、隔壁形成工程である。ステップＳ１では、図２７（ａ）に示すように、陽極１３１の周囲の一部を覆って陽極１３１ごとを区画するように隔壁１３３を形成する。形成方法としては、例えば、陽極１３１が形成された素子基板１０１の表面に、感光性のフェノール樹脂又はポリイミド樹脂をおよそ１μｍ〜３μｍ程度の厚みで塗布する。塗布方法としては、転写法、スリットコート法などが挙げられる。そして、発光画素１０７の形状に対応したマスクを用いて露光し、現像することにより隔壁１３３を形成する。以降、隔壁１３３により区画された発光画素１０７の領域が本発明における吐出領域Ａである。そして、ステップＳ２へ進む。
【０１５５】
図２６のステップＳ２は、表面処理工程である。ステップＳ２では、隔壁１３３が形成された素子基板１０１の表面に親液処理と撥液処理とを施す。まず、酸素を処理ガスとするプラズマ処理を行い、主に無機材料からなる陽極１３１の表面に親液処理を施す。次に、ＣＦ4などのフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理を行い、有機材料からなる隔壁１３３の表面にフッ素を導入して撥液処理を施す。
なお、撥液性を有する隔壁１３３の形成は、これに限定されず。例えば、隔壁１３３の頭頂部に撥液性材を転写して撥液層を形成したり、上記感光性樹脂自体に撥液性材を含ませて隔壁１３３を形成してもよい。また、その場合、表面処理は、隔壁１３３を形成したときの残渣を取り除く、例えば紫外線を照射してオゾンを発生させるＵＶオゾン処理を採用してもよい。そして、ステップＳ３へ進む。
【０１５６】
図２６のステップＳ３は、正孔注入層形成工程である。ステップＳ３では、まず、図２７（ｂ）に示すように、正孔注入層形成材料を含む機能液７０を吐出領域Ａに塗布する。機能液７０は、例えば、溶媒としてジエチレングリコールと水（純水）とを含んでおり、正孔注入層形成材料としてＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを重量比で０．５％程度含んだものを用いた。粘度がおよそ２０ｍＰａ・ｓ以下となるように溶媒の割合が調整されている。
機能液７０を塗布する方法としては、第１実施形態において説明した機能液（インク）を吐出ヘッド５０のノズル５２から吐出可能な吐出装置１０を用いる。吐出ヘッド５０とワークＷである素子基板１０１とを対向させ、吐出ヘッド５０から機能液７０を吐出する。吐出された機能液７０は、液滴として親液処理された陽極１３１に着弾して濡れ拡がる。また、乾燥後の正孔注入層の膜厚がおよそ５０ｎｍ〜７０ｎｍとなるように、吐出領域Ａの面積に応じた所定量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。
【０１５７】
乾燥工程では、素子基板１０１を例えばランプアニールなどの方法で加熱することにより、機能液７０の溶媒成分を乾燥させて除去し、図２７（ｃ）に示すように吐出領域Ａの陽極１３１上に正孔注入層１３２ａを形成する。なお、本実施形態では、各吐出領域Ａに同一材料からなる正孔注入層１３２ａを形成したが、後に形成される発光層に対応して正孔注入層１３２ａの材料を発光色ごとに変えてもよい。そしてステップＳ４へ進む。
【０１５８】
図２６のステップＳ４は、中間層形成工程である。ステップＳ４では、図２７（ｄ）に示すように、中間層形成材料を含む機能液８０を吐出領域Ａに塗布する。
機能液８０は、例えば、溶媒としてシクロヘキシルベンゼンを含み、中間層形成材料として、前述したトリフェニルアミン系ポリマーを重量比で０．１％程度含んだものを用いた。粘度はおよそ６ｍＰａ・ｓである。
機能液８０を塗布する方法としては、機能液７０を塗布する場合と同様に、第１実施形態の吐出装置１０を用いる。乾燥後の中間層の膜厚がおよそ１０ｎｍ〜２０ｎｍとなるように、吐出領域Ａの面積に応じた所定量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。
【０１５９】
乾燥工程では、素子基板１０１を例えばランプアニールなどの方法で加熱することにより、機能液８０の溶媒成分を乾燥させて除去し、図２８（ｅ）に示すように吐出領域Ａの正孔注入層１３２ａ上に中間層１３２ｃを形成する。そしてステップＳ５へ進む。
【０１６０】
図２６のステップＳ５は、発光層形成工程である。ステップＳ５では、図２８（ｆ）に示すように、発光層形成材料を含む機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂをそれぞれ対応する吐出領域Ａに塗布する。
機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂは、例えば、溶媒としてシクロヘキシルベンゼンを含んでおり、発光層形成材料としてＰＦを重量比で０．７％含んだものを用いた。粘度はおよそ１４ｍＰａ・ｓである。
機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂを塗布する方法は、やはり第１実施形態の吐出装置１０を用い、それぞれ異なる吐出ヘッド５０に充填されて吐出される。また、乾燥後の発光層の膜厚がおよそ５０ｎｍ〜１００ｎｍとなるように、吐出領域Ａの面積に応じた所定量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。
【０１６１】
本実施形態における吐出された機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂの乾燥工程は、一般的な加熱乾燥に比べて溶媒成分を比較的均一に乾燥可能な減圧乾燥法を用いている。吐出領域Ａに満遍なく必要量の機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂが塗布されている。したがって、図２８（ｇ）に示すように、乾燥後に形成された発光層１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂは吐出領域Ａごとにほぼ一定の膜厚と安定した膜形状（断面形状）を有する。これによって、発光層１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂを含む機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂができあがる。そして、ステップＳ６へ進む。
【０１６２】
図２６のステップＳ６は、陰極形成工程である。ステップＳ６では、図２８（ｈ）に示すように、隔壁１３３と各機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂとを覆うように陰極１３４を形成する。これにより、発光画素１０７ごとに有機ＥＬ素子１１２が構成される。
陰極１３４の材料としては、アルミニウム（Ａｌ）や銀（Ａｇ）とマグネシウム（Ｍｇ）の合金などが用いられる。機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成してもよい。また、陰極１３４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮなどの保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極１３４の酸化を防止することができる。陰極１３４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法などが挙げられる。特に機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。そして、ステップＳ７へ進む。
【０１６３】
図２６のステップＳ７は、封止基板接着工程である。ステップＳ７では、有機ＥＬ素子１１２が形成された素子基板１０１に封着層１３５を塗布して、封止基板１０２と隙間なく封止する（図２５参照）。さらに封止基板１０２の外周領域において水分や酸素などの浸入を防ぐ接着層を設けて接着することが望ましい。
【０１６４】
以上のような有機ＥＬ装置１００の製造方法によれば、機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂは、上記第１実施形態の吐出装置１０を用いて液相プロセス（インクジェット法）により形成される。また、上記第１実施形態のノズル吐出量の補正方法を用いて、パス（主走査）ごとに駆動信号ＣＯＭが補正されて、選択されたノズル５２から各機能液が液滴として吐出領域Ａに吐出される。パス（主走査）における液滴Ｄの吐出数が最も多いパス（主走査）が第１回目のパス（主走査）として行われる。したがって、吐出ヘッド５０のノズル５２から吐出される機能液の充填量ばらつきがある程度の範囲に抑えられる。ゆえに、発光領域１０６の各発光画素１０７において、ほぼ一定の膜厚と安定した膜形状（断面形状）の発光層１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂを有する機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂが形成される。よって、機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂの膜厚ばらつきに起因した輝度むらが低減され、優れた発光特性すなわち表示品質を有し、見栄えのよいカラー表示が可能な有機ＥＬ装置１００を製造することができる。
なお、上記第１実施形態の吐出装置１０を用いた機能液の吐出方法は、少なくとも発光層形成材料を含む機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂの塗布に適用することで、その効果を得ることができる。
【０１６５】
＜電子機器＞
本発明の有機ＥＬ装置の製造方法を用いて製造された有機ＥＬ装置１００は、様々な電子機器の表示部として好適に用いることができる。
電子機器としては、携帯電話機やパーソナルコンピューター、ＰＤＡ、ＰＯＳなどの携帯型情報端末、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、カーナビゲーションシステム、テレビ、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）、ＨＵＤ（ヘッドアップディスプレイ）などを挙げることができる。
また、有機ＥＬ装置１００は、表示部として用いられるだけでなく、例えば有機ＥＬ素子１１２を白色発光が得られる構成として電子機器の照明装置として用いてもよい。
【０１６６】
本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うノズル吐出量の補正方法及び該ノズル吐出量の補正方法を適用する機能液の吐出方法ならびに該機能液の吐出方法を適用する有機ＥＬ装置の製造方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【０１６７】
（変形例１）上記第１実施形態におけるノズル吐出量の補正方法及び機能液の吐出方法に、１つの吐出領域Ａに吐出される液滴の数は、５滴に限定されず、且つ、５滴の液滴を４回の主走査に分けて吐出することに限定されない。本発明が適用される機能液の吐出方法は、Ｎ（Ｎは正の整数）回の主走査に分けて、少なくともＮ＋１の液滴を吐出領域Ａに吐出し、Ｎ回の主走査において他の主走査よりも液滴の吐出数が多い主走査を含む場合に適用されるものである。
【０１６８】
（変形例２）上記第１実施形態の機能液の吐出方法における複数の吐出領域Ａに対するノズル列５２ｃの配置は、これに限定されない。主走査方向に対して斜めにノズル列５２ｃを対向配置すれば、主走査において１つのノズル列５２ｃで液滴Ｄを吐出可能な描画範囲が小さくなるものの、主走査において１つの吐出領域Ａに掛かるノズル５２の数を増やすことができるので、ノズル５２の吐出量ばらつきにおける分散性を高めることができる。
【０１６９】
（変形例３）上記第１実施形態の機能液の吐出方法において、主走査ごとに選択されるノズル５２を変えて液滴Ｄを吐出することに限定されない。複数回の主走査のうち少なくとも１回の主走査で選択されるノズル５２を変えれば、ノズル５２の吐出量ばらつきを分散させることができる。
【０１７０】
（変形例４）主走査において選択されるノズル５２における液滴の吐出量のランク付けは、８つに限定されない。異なる波形の駆動信号ＣＯＭの数の整数倍であれば、均等な割付が可能である。
【０１７１】
（変形例５）本発明のノズル吐出量の補正方法及び機能液の吐出方法を適用できるのは、有機ＥＬ装置１００の製造方法に限定されない。例えば、機能液が着色材料を含むカラーフィルターの製造方法や、機能液が導電材料を含む配線や電極などの形成方法、機能液が半導体材料を含む半導体層の形成方法などにも適用することができる。
【符号の説明】
【０１７２】
５２…ノズル、５９…アクチュエーターとしての圧電素子、７０，８０，９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂ…機能液，１００…有機ＥＬ装置、１０１…基板としての素子基板、１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂ…発光層、１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂ…機能層、Ａ…吐出領域、Ｗ…被吐出物としてのワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図９】
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