(57)【要約】【課題】窒化ホウ素粒子を含有する樹脂よりなる熱伝導性シートを有する発熱モジュールにおいて、熱伝導性シートの厚さ方向の熱伝導性を向上させる。【解決手段】発熱体１００と、鱗片状の六方晶構造を有する窒化ホウ素粒子２１０を含有する樹脂２２０をシート状に成形してなる熱伝導性シート２００と、を備え、熱伝導性シート２００は発熱体１００におけるヒートシンク１２０の表面に設けられており、熱伝導性シート２００の厚さ方向にて対向する一方の面を第１の面２０１、他方の面を第２の面２０２とし、窒化ホウ素粒子２１０は、長径方向の一端２１１側が他端２１２側よりも比重が重くなっているものであり、窒化ホウ素粒子２１０は、長径方向の一端２１１側が第１の面２０１寄りに位置し、且つ、長径方向の他端２１２側が第２の面２０２寄りに位置するように、樹脂２２０内にて配向している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱体（１００）と、
鱗片状の六方晶構造を有する窒化ホウ素粒子（２１０）を含有する樹脂（２２０）をシート状に成形してなる熱伝導性シート（２００）と、を備え、
前記熱伝導性シートは前記発熱体の表面に設けられることで、前記発熱体の放熱が行われるようになっており、
前記熱伝導性シートの厚さ方向にて対向する一方の面を第１の面（２０１）、他方の面を第２の面（２０２）とし、
前記窒化ホウ素粒子は、長径方向の一端（２１１）側が他端（２１２）側よりも比重が重くなるように、１個の粒子内で比重が相違しているものであり、
前記窒化ホウ素粒子は、長径方向の一端側が前記第１の一面寄りに位置し、且つ、長径方向の他端側が前記第２の面寄りに位置するように、前記樹脂内にて配向していることを特徴とする発熱モジュール。
【請求項２】
前記窒化ホウ素粒子は、長径方向の一端側に前記窒化ホウ素粒子よりも比重が重いコーティング材（２１３）を施すか、もしくは、長径方向の他端側に前記窒化ホウ素粒子よりも比重が軽いコーティング材を施すことにより、長径方向の一端側が他端側よりも比重が重くなるように、１個の粒子内で比重が相違したものとされていることを特徴とする請求項１に記載の発熱モジュール。
【請求項３】
前記窒化ホウ素粒子は、長径方向の一端側と他端側とで結晶度が相違することにより、長径方向の一端側が他端側よりも比重が重くなるように、１個の粒子内で比重が相違したものとされていることを特徴とする請求項１に記載の発熱モジュール。
【請求項４】
鱗片状の六方晶構造を有する窒化ホウ素粒子（２１０）を含有する樹脂（２２０）をシート状に成形してなる熱伝導性シートであって、
前記熱伝導性シートの厚さ方向にて対向する一方の面を第１の面（２０１）、他方の面を第２の面（２０２）とし、
前記窒化ホウ素粒子は、長径方向の一端（２１１）側が他端（２１２）側よりも比重が重くなるように、１個の粒子内で比重が相違しているものであり、
前記窒化ホウ素粒子は、長径方向の一端側が前記第１の一面寄りに位置し、長径方向の他端側が前記第２の面寄りに位置するように、前記樹脂内にて配向していることを特徴とする熱伝導性シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、窒化ホウ素粒子を含有する樹脂よりなる熱伝導性シート、および、そのような熱伝導性シートを有する発熱モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の発熱モジュールとしては、たとえば、特許文献１に記載のものが提案されている。このものは、パワーモジュール等の発熱体の表面に熱伝導性シートを設けることで、発熱体の放熱を行うものである。ここで、熱伝導性シートは、シート本体を形成するマトリックス樹脂としての樹脂と、この樹脂に含有された六方晶構造を有する六方晶窒化ホウ素粒子とにより構成されている。
【０００３】
この六方晶構造を有する窒化ホウ素粒子（略称：ｈ−ＢＮ）は、層状の結晶構造をもっており、その粒子形状は、層の平面方向を長径方向とし、層の積層方向を短径方向とする鱗片状である。そのため、この窒化ホウ素粒子は長径方向の熱伝導率が高く、短径方向の熱伝導率が低い異方性を有する。
【０００４】
ここで、上記特許文献１では、発熱体における熱伝導性シートと接する面に凹凸を設けることによって、熱伝導性シートにおける発熱体との界面付近すなわちシートの表層部分において、窒化ホウ素粒子の長径方向がシート厚さ方向と概ね一致するように配向させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１４２１２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の熱伝導性シートにおいては、シートを形成する際の成形圧力や材料の流動などにより、窒化ホウ素粒子の長径方向がシートの面方向に配向されやすい傾向がある。その結果、シートの厚さ方向の熱伝導性が向上せず、放熱性に優れた発熱モジュールが得られないという問題がある。
【０００７】
上記特許文献１では、熱伝導性シートにおける表層部分において、窒化ホウ素粒子の長径方向がシート厚さ方向と概ね一致するように配向しているが、これでは、シートの厚さ方向の熱伝導性向上には不十分であり、シートの厚さ方向全体で、当該配向を実現させる必要がある。
【０００８】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、鱗片状の六方晶窒化ホウ素粒子を含有する樹脂よりなる熱伝導性シートを有する発熱モジュールにおいて、熱伝導性シートの厚さ方向の熱伝導性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、発熱体（１００）と、鱗片状の六方晶構造を有する窒化ホウ素粒子（２１０）を含有する樹脂（２２０）をシート状に成形してなる熱伝導性シート（２００）と、を備え、熱伝導性シートは発熱体の表面に設けられることで、発熱体の放熱が行われるようになっており、
熱伝導性シートの厚さ方向にて対向する一方の面を第１の面（２０１）、他方の面を第２の面（２０２）とし、窒化ホウ素粒子は、長径方向の一端（２１１）側が他端（２１２）側よりも比重が重くなるように、１個の粒子内で比重が相違しているものであり、窒化ホウ素粒子は、長径方向の一端側が第１の一面寄りに位置し、長径方向の他端側が第２の面寄りに位置するように、樹脂内にて配向していることを特徴とする。
【００１０】
本発明の発熱モジュールによれば、個々の窒化ホウ素粒子を、１個の粒子内で比重が相違しているものとすることで、長径方向が熱伝導性シートの厚さ方向に概ね沿うように、窒化ホウ素粒子を配向させることができる。そのため、熱伝導性シートの厚さ方向の熱伝導性を向上させることができる。その結果、放熱性に優れた発熱モジュールの実現が可能となる。
【００１１】
請求項４に記載の発明では、鱗片状の六方晶構造を有する窒化ホウ素粒子（２１０）を含有する樹脂（２２０）をシート状に成形してなる熱伝導性シートであって、熱伝導性シートの厚さ方向にて対向する一方の面を第１の面（２０１）、他方の面を第２の面（２０２）とし、窒化ホウ素粒子は、長径方向の一端（２１１）側が他端（２１２）側よりも比重が重くなるように、１個の粒子内で比重が相違しているものであり、窒化ホウ素粒子は、長径方向の一端側が第１の一面寄りに位置し、且つ、長径方向の他端側が第２の面寄りに位置するように、樹脂内にて配向していることを特徴とする。
【００１２】
それによれば、厚さ方向の熱伝導性を向上させた熱伝導性シートを提供できる。そして、これを組み込んだ発熱モジュールにおいては、上記請求項１と同様、熱伝導性シートの厚さ方向の熱伝導性を向上させることができ、放熱性に優れた発熱モジュールを実現できる。
【００１３】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態にかかる発熱モジュールの概略断面図である。
【図２】（ａ）は図１中の熱伝導性シートの概略断面図、（ｂ）は（ａ）中の窒化ホウ素粒子単体を示す図、（ｃ）は図１中の熱伝導性シートにおける他の例としての窒化ホウ素粒子単体を示す図である。
【図３】従来の熱伝導性シートの概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００１６】
本発明の実施形態にかかる発熱モジュールについて、図１、図２を参照して述べる。なお、図２中では、窒化ホウ素粒子２１０について、長径方向の一端２１１側の比較的比重が大きい部位のみに便宜上、点ハッチングを施し、識別の容易化を図っている。この発熱モジュールは、たとえば自動車などの車両に搭載され、車両用の各種電子装置を駆動するための装置として適用されるものである。
【００１７】
本実施形態の発熱モジュールは、大きくは、発熱体１００と、熱伝導性シート２００と、を備えて構成されている。そして、この熱伝導性シート２００は発熱体１００の表面に設けられることにより、熱伝導性シート２００を介して、発熱体１００の放熱が行われるようになっている。
【００１８】
ここでは、発熱体１００は、ヒートシンク１２０に搭載、支持された発熱素子１１０がモールド樹脂１３０で封止されたモールドパッケージとして構成されている。発熱素子１１０は、シリコン半導体等の半導体チップ等よりなるもので、たとえばＭＯＳトランジスタやＩＧＢＴ（絶縁ゲートバイポーラトランジスタ）等のパワー素子よりなる。
【００１９】
ヒートシンク１２０は、ＣｕやＦｅ等の放熱性に優れた金属等の材料よりなる板状をなすものである。そして、発熱素子１１０は、はんだや銀ペースト等のダイボンド材１４０を介して、ヒートシンク１２０の上面１２１に搭載され、接合されている。
【００２０】
また、ヒートシンク１２０および発熱素子１１０の周囲には、Ｃｕ等よりなるリード端子１５０が配置されており、このリード端子１５０と発熱素子１１０とは、ＡｕやＡｌ等のボンディングワイヤ１６０を介して結線され、電気的に接続されている。
【００２１】
そして、モールド樹脂１３０は、これら発熱素子１１０、ヒートシンク１２０、リード端子１５０およびボンディングワイヤ１６０を包み込むように封止している。ここで、ヒートシンク１２０の他面１２２は、モールド樹脂１３０より露出している。また、リード端子１５０の一部はモールド樹脂１３０より突出し、外部に電気的に接続されるようになっている。
【００２２】
本実施形態では、このような発熱体１００の表面のうち、モールド樹脂１３０より露出するヒートシンク１２０の他面１２２に対して、熱伝導性シート２００が接合されている。この熱伝導性シート２００は、図２に示されるように、鱗片状の六方晶構造を有する窒化ホウ素粒子２１０を含有する樹脂２２０をシート状に成形してなる。
【００２３】
窒化ホウ素粒子２１０は、放熱性向上のためのフィラーとして用いられるもので、この種の熱伝導性シートにおけるものと同様、基本的には結晶成長により形成される。そして、窒化ホウ素粒子２１０は、層の平面方向を長径方向とし、層の積層方向を短径方向とする。また、樹脂２２０は熱硬化性樹脂等よりなる。
【００２４】
ここで、熱伝導性シート２００の厚さ方向にて対向する一方の面を第１の面２０１、他方の面を第２の面２０２とする。そして、本実施形態では、熱伝導性シート２００の第２の面２０２が発熱体１００のヒートシンク１２０の他面１２２に接触し、第１の面２０１が外部側に位置している。
【００２５】
このような熱伝導性シート２００は、この窒化ホウ素粒子２１０を含有する樹脂２２０を用いて、プレス成形法、射出成形法、押出成形法、カレンダー成形法、ロール成形法、ドクターブレード成形法などの様々な成形法を用いて形成される。
【００２６】
また、本実施形態では、図１に示されるように、さらに熱伝導性シート２００の第１の面２０１に銅等よりなる金属箔３００が熱圧着等により接合されている。そして、この金属箔３００を介して発熱モジュールは、Ａｌ等よりなる外部の筺体等に接触し、放熱を行うようにする。なお、この金属箔３００は、放熱性向上やハンドリング性向上などのために設けられたものであり、場合によっては省略されたものであってもよい。
【００２７】
そして、形成された熱伝導性シート２００は、第２の面２０２を発熱体１００におけるヒートシンク１２０の他面１２２に接触した状態とし、この状態で必要に応じて加圧しながら、加熱することにより、発熱体１００に接合される。こうして、図１に示される発熱モジュールができあがる。
【００２８】
ここで、図２（ａ）、（ｂ）に示されるように、本実施形態の熱伝導性シート２００においては、窒化ホウ素粒子２１０は、長径方向の一端２１１側が他端２１２側よりも比重が重くなるように、１個の粒子内で比重が相違している。
【００２９】
そして、図２（ａ）に示されるように、窒化ホウ素粒子２１０は、長径方向の一端２１１側が、金属箔３００側である第１の面２０１寄りに位置し、且つ、長径方向の他端２１２側がヒートシンク１２０側である第２の面２０２寄りに位置するように、樹脂２２０内にて配向している。
【００３０】
つまり、熱伝導性シート２００における第１の面２０１とは、窒化ホウ素粒子２１０における重い方の一端２１１が寄る面であり、第２の面２０２とは軽い方の他端２１２が寄る面である。
【００３１】
ここで、具体的に、窒化ホウ素粒子において上記比重を相違させる第１の方法として、窒化ホウ素粒子２１０における長径方向の一端２１１側と他端２１２側とで結晶度を相違させることが挙げられる。それにより、長径方向の一端２１１側が他端２１２側よりも比重が重くなるように、１個の粒子内で比重が相違したものとなる。
【００３２】
この第１の方法については、窒化ホウ素粒子２１０の生成時の焼結温度を変えることによって結晶度の変更が可能である。たとえば、窒化ホウ素粒子２１０の結晶成長を行う加熱炉内において温度分布を異ならせる。そうすることで、焼結温度が高い部位では結晶度が高く比重が重い部分となり、焼結温度が低い部位では結晶度が低く比重が軽い部分となる。
【００３３】
このような比重が相違する窒化ホウ素粒子２１０を樹脂２２０に含有して熱伝導性シート２００を形成すれば、当該比重の大小関係に伴う重力の作用により、窒化ホウ素粒子２１０は比重が重い一端２１１側が、下側の第１の面２０１寄りに位置する。これにより、図２（ａ）に示される配向状態の熱伝導性シート２００が形成される。
【００３４】
なお、熱伝導性シート２００の形成の際には、シート２００に対する厚さ方向への加圧力つまり成形圧力により、窒化ホウ素粒子２１０の長径方向がシート２００の面方向に配向される可能性もある。
【００３５】
しかし、この場合であっても、熱伝導性シート２００を発熱体１００のヒートシンク１２０へ接合する際に、図１に示される状態で熱伝導性シート２００を発熱体１００に接触させ、図１中の上側を天、下側を地とした状態で当該接合を行えばよい。
【００３６】
そうすれば、その接合における加熱により、樹脂２２０の粘度が低下するときに、窒化ホウ素粒子２１０の長径方向の比重の大小により、図２（ａ）に示される配向状態の実現が可能である。
【００３７】
また、１個の窒化ホウ素粒子２１０内で比重を相違させる第２の方法としては、図２（ｃ）に示されるようなコーティング材２１３を用いたものであってもよい。この場合、図２（ａ）において点ハッチングで示される部分は、コーティング材２１３に置き換えられる。
【００３８】
具体的に、この第２の方法では、窒化ホウ素粒子２１０の長径方向の一端２１１側に窒化ホウ素粒子２１０よりも比重が重いセラミック等よりなるコーティング材２１３を施す。この場合、窒化ホウ素粒子２１０において長径方向の一端２１１側が他端２１２側よりも比重が重くなる。
【００３９】
また、この第２の方法のもうひとつの例として、窒化ホウ素粒子２１０の長径方向の他端２１２側に窒化ホウ素粒子２１０よりも比重が軽いセラミック等よりなるコーティング材２１３を施すようにしてもよい。
【００４０】
この場合は、窒化ホウ素粒子２１０において長径方向の一端２１１側が、コーティング材２１３側である他端２１２側よりも比重が重くなる。そして、図示しないが、この場合は、上記図２（ａ）において、軽い方のコーティング材２１３側が熱伝導性シート２００の第２の面２０２寄りに位置する。
【００４１】
ところで、従来では、図３に示されるように、熱伝導性シート２００中の窒化ホウ素粒子２１０は、当該シート２００の面方向に沿って配向されやすいため、シート２００の厚さ方向の熱伝導性が向上せず、放熱性に優れた発熱モジュールが得られないという問題があった。
【００４２】
それに対して、本実施形態の発熱モジュールによれば、熱伝導性シート２００において、個々の窒化ホウ素粒子２１０を、上述のように１個の粒子２１０内で比重が相違しているものとすることで、長径方向が熱伝導性シート２００の厚さ方向に概ね沿うように、窒化ホウ素粒子２１０を配向させたものとしている。
【００４３】
そのため、本実施形態によれば、熱伝導性シート２００の厚さ方向においては、窒化ホウ素粒子２１０における比較的熱伝導性の高い長径方向が熱伝導経路となるので、熱伝導性シート２００の厚さ方向の熱伝導性を向上させることができる。その結果、放熱性に優れた発熱モジュールの実現が可能となる。
【００４４】
次に、本実施形態の発熱モジュールにおける熱伝導性シート２００について、より具体的に述べることとする。上述したように、本実施形態の熱伝導性シート２００は、鱗片状の窒化ホウ素粒子を、マトリックス樹脂としての樹脂２２０中に含むものである。
【００４５】
ここで、熱伝導性シート２００の厚さは、特に限定されることはなく、熱伝導性シート２００に要求される特性などに合わせて適宜調整すればよいが、典型的には５０μｍ以上５００μｍ以下である。
【００４６】
窒化ホウ素粒子２１０の平均長径は、典型的には３μｍ以上５０μｍ以下である。樹脂２２０への窒化ホウ素粒子２１０の含有量を一定とした場合、窒化ホウ素粒子２１０の長径が小さくなるほど、窒化ホウ素粒子２１０と樹脂２２０との界面が増加する。
【００４７】
ここで、当該平均長径が３μｍ未満だと、窒化ホウ素粒子２１０と樹脂２２０との界面が過大となり、界面抵抗によって所望の熱伝導性が得られない可能性がある。一方、窒化ホウ素粒子２１０の平均長径が５０μｍを超えると、窒化ホウ素粒子２１０がシート２００の面方向と一致するように配向する傾向が大きくなる。そのため、本実施形態のように窒化ホウ素粒子２１０をシート２００の厚さ方向に沿わせにくくなるおそれがある。
【００４８】
また、熱伝導性シート２００（つまり樹脂２２０の固形分）における窒化ホウ素粒子２１０の含有量は、たとえば３０体積％以上８０体積％以下である。窒化ホウ素粒子２１０の含有量が３０体積％未満であると、窒化ホウ素粒子２１０が少なすぎるため、所望の熱伝導性が得られない。
【００４９】
逆に、窒化ホウ素粒子２１０の含有量が８０体積％を超えると、窒化ホウ素粒子２１０が多すぎるため、熱伝導性シート２００が脆くなったり、熱伝導性シート２００の電気絶縁性が低下したりする。加えて、樹脂２２０の粘度が高くなり、薄く且つ平坦な熱伝導性シート２００を得にくくなる。
【００５０】
マトリックス樹脂としての樹脂２２０の主成分は、好ましくは熱硬化性樹脂である。当該熱硬化性樹脂としては、特に限定されることはなく、公知の熱硬化性樹脂を用いることができる。例えば、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂などが挙げられる。
【００５１】
この熱硬化性樹脂を硬化させるための硬化剤としては、特に限定されることはなく、熱硬化性樹脂の種類にあわせて公知のものを用いることができる。
【００５２】
また、樹脂２２０としては、上記熱硬化性樹脂と窒化ホウ素粒子２１０との界面の接着力を向上させる観点から、カップリング剤を含有したものにできる。このカップリング剤としては、特に限定されることはなく、使用する熱硬化性樹脂や窒化ホウ素粒子２１０の種類にあわせて公知のものを適宜選択すればよい。
【００５３】
さらに、樹脂２２０としては、樹脂２２０の粘度を調整する観点から、溶剤を含有するものにできる。この溶剤としては、特に限定されることはなく、熱硬化性樹脂や窒化ホウ素粒子２１０の種類にあわせて公知のものを適宜選択すればよい。さらに、次の実施例１によって、本実施形態をより具体化する。
【００５４】
（実施例１）
平均長径３０μｍの窒化ホウ素粒子２１０を、網目径２０μｍのメッシュマスク上にのせた。そして、メッシュマスクの下側から、網目から見える窒化ホウ素粒子２１０の一部に対して、窒化ホウ素粒子２１０よりも比重の重いセラミックよりなる絶縁性のコーティング材２１３を吹き付けによりコーティングし乾燥させた。これにより、上記コーティング材２１３による比重の相違が実現された窒化ホウ素粒子２１０が生成される。
【００５５】
続いて、樹脂２２０としてのエポキシ樹脂（硬化剤、溶剤、カップリング剤を含む）と、窒化ホウ素粒子２１０とを攪拌、混合して樹脂組成物を作成した。そして、Ｃｕよりなる金属箔３００上にドクターブレード法にて当該樹脂組成物を塗布した後、加熱、乾燥させ、Ｂステージ状態の熱伝導性シート２００を形成した。
【００５６】
その後、発熱体１００におけるＣｕよりなるヒートシンク１２０の他面１２２に、上記Ｂステージ状態の熱伝導性シート２００を重ね、温度１８０℃の条件下で加熱、加圧させ、硬化を完了させることにより、熱伝導性シート２００と発熱体１００との接合を行った。
【００５７】
熱伝導性シート２００の厚さは１５０μｍであった。そして、ＳＥＭ（電子顕微鏡）により熱伝導性シート２００を観察した。この観察により、窒化ホウ素粒子２１０が、長径方向の一端２１１側が第１の面２０１寄りに位置し、長径方向の他端２１２側が第２の面２０２寄りに位置するように、樹脂２２０内にて配向していることが確認された。
【００５８】
（他の実施形態）
上記図１、図２（ａ）に示したように、熱伝導性シート２００における第１の面２０１とは、窒化ホウ素粒子２１０における比重が重い長径方向の一端２１１側が寄る面であり、第２の面２０２とは、窒化ホウ素粒子２１０における比重が軽い長径方向の他端２１２側が寄る面である。
【００５９】
そして、上記実施形態では、熱伝導性シート２００の第２の面２０２が発熱体１００のヒートシンク１２０に接触し、第１の面２０１が外部側に位置している。これに対して、発熱モジュールとしては、熱伝導性シート２００における第２の面２０２が外部側に位置し、第１の面２０１が発熱体１００のヒートシンク１２０に接触するように接合されていてもよい。
【００６０】
この場合、たとえば、発熱体１００のヒートシンク１２０への熱伝導性シート２００の接合の際に、上記図１に示される状態で熱伝導性シート２００を発熱体１００に接触させ、図１中の上側を地、下側を天とした状態で当該接合を行えばよい。これにより、窒化ホウ素粒子２１０における比重の大小関係と重力との相互作用によって、熱伝導性シート２００における第１の面２０１がヒートシンク１２０側となる構成を実現できる。
【００６１】
また、発熱体１００としては、上記図１のようなモールドパッケージ以外にも、発熱を行い且つ放熱が必要なものであればよく、種々の配線基板、半導体素子、その他の各種電子部品等であってもよい。
【００６２】
また、本発明は上記した各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能であり、また、上記各実施形態は、上記の図示例に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００６３】
１００  発熱体
２００  熱伝導性シート
２０１  熱伝導性シートの第１の面
２０２  熱伝導性シートの第２の面
２１０  窒化ホウ素粒子
２１１  窒化ホウ素粒子の長径方向の一端
２１２  窒化ホウ素粒子の長径方向の他端
２１３  コーティング材
２２０  樹脂
【図１】
2014236142.tif 000003
【図２】
2014236142.tif 000004
【図３】
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