(57)【要約】【課題】高い感度及び精度での放射線の検出を可能にする放射線検出器、放射線検出方法、及びコンピュータプログラムを提供する。【解決手段】放射線検出器４は、放射線により半導体ブロック１３内に発生した電子を複数のアノード（第１電極）１１の何れかで収集し、電荷量に応じた検出信号を信号処理部３でカウントする。複数のアノード１１の中間に入射した放射線によって発生した電子が複数のアノード１１に分散して収集されることがあり、このときに発生する検出信号である特異信号をカウントした場合は放射線のカウント数及びエネルギーが不明になる。信号処理部３は、検出信号の時間的な特徴に基づいて、検出信号が特異信号であるかを判定し、特異信号はカウントしない。これにより、検出感度を低下させるシールドを必要とせずに、検出精度を向上させることができる。【選択図】図１
2014215088.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体と、該半導体に設けてあり、放射線の入射によって前記半導体内に発生する電荷を収集する複数の第１電極と、前記半導体に設けてあり、前記電荷の収集に必要なバイアス電圧を印加される第２電極と、夫々の第１電極が収集した電荷に応じた信号を出力する信号出力部と、該信号出力部が出力した信号をカウントする信号計数部とを備える放射線検出器において、
前記信号出力部が出力した信号の時間的な特徴に基づいて、前記信号が所定の特徴を有する特異信号であるか否かを判定する判定部を備え、
前記信号計数部は、
前記判定部が特異信号であると判定した信号をカウントしないように構成してあること
を特徴とする放射線検出器。
【請求項２】
前記判定部は、
前記信号出力部が出力した信号の時間に対する信号値の変化率を計算する変化率計算部と、
該変化率計算部が計算した前記変化率の絶対値が所定値以下である場合に、前記信号は特異信号であると判定する特異信号判定部と
を有することを特徴とする請求項１に記載の放射線検出器。
【請求項３】
前記判定部は、
前記信号出力部が出力した信号の時間長さを計測する時間計測部と、
該時間計測部が計測した前記時間長さが所定値以上である場合に、前記信号は特異信号であると判定する特異信号判定部と
を有することを特徴とする請求項１に記載の放射線検出器。
【請求項４】
前記判定部は、
二つの第１電極を起点にして発生した信号の時間間隔を計測する時間間隔計測部と、
該時間間隔計測部が計測した前記時間間隔が所定値以下である場合に、前記信号が特異信号であると判定する特異信号判定部と
を有することを特徴とする請求項１に記載の放射線検出器。
【請求項５】
前記判定部は、
前記信号出力部が出力した信号の時間に対する信号値の変化率、又は前記信号出力部が出力した信号の時間長さを計測する計測部と、
二つの第１電極を起点にして発生した信号の時間間隔を計測する時間間隔計測部と、
前記計測部が計測した前記変化率の絶対値が第１の所定値以下であるか、又は前記計測部が計測した前記時間長さが第２の所定値以上であり、しかも、前記時間間隔計測部が計測した前記時間間隔が第３の所定値以下である場合に、前記信号が特異信号であると判定する特異信号判定部と
を有することを特徴とする請求項１に記載の放射線検出器。
【請求項６】
半導体と、該半導体に設けてあり、放射線の入射によって前記半導体内に発生する電荷を収集する複数の第１電極と、前記半導体に設けてあり、前記電荷の収集に必要なバイアス電圧を印加される第２電極と、夫々の第１電極が収集した電荷に応じた信号を出力する信号出力部と、該信号出力部が出力した信号をカウントする信号計数部とを備える放射線検出器を用いて、放射線を検出する方法において、
前記信号出力部が出力した信号の時間的な特徴に基づいて、前記信号が所定の特徴を有する特異信号であるか否かを判定し、
特異信号であると判定された信号を前記信号計数部でカウントしないこと
を特徴とする放射線検出方法。
【請求項７】
半導体と、該半導体に設けてあり、放射線の入射によって前記半導体内に発生する電荷を収集する複数の第１電極と、前記半導体に設けてあり、前記電荷の収集に必要なバイアス電圧を印加される第２電極と、夫々の第１電極が収集した電荷に応じた信号を出力する信号出力部と、該信号出力部が出力した信号の内、所定の特徴を有する特異信号ではない信号をカウントし、特異信号をカウントしない信号計数部と、演算部とを備える放射線検出器で、前記信号出力部が出力した信号が特異信号であるか否かを判定する処理を前記演算部に実行させるコンピュータプログラムであって、
前記演算部に、
前記信号出力部が出力した信号の時間に対する信号値の変化率を計算するステップと、
該ステップにより計算した前記変化率の絶対値が所定値以下である場合に、前記信号は特異信号であると判定するステップと
を含む処理を実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線検出用の複数の電極を備えた放射線検出器、放射線検出方法、及び放射線検出器の一部の処理を実行するコンピュータプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線等の放射線を検出する放射線検出器には、半導体放射線検出素子を用いたものがある。半導体放射線検出素子は、シリコン又はゲルマニウム等の半導体に、信号出力用の第１電極とバイアス印加用の第２電極とが取り付けられている。バイアス電圧が印加されることにより、半導体放射線検出素子の内部で第１電極と第２電極との間に電界が発生する。半導体放射線検出素子に放射線が入射した場合、放射線のエネルギーに応じた数の電子−正孔対が発生し、電子と正孔とは夫々に電界に従って移動し、電子又は正孔が第１電極に集められ、電子又は正孔の電荷量に応じた信号が第１電極から出力される。
【０００３】
従来の半導体放射線検出素子には、複数の第１電極を備えたものがある。例えば、板状の半導体の一面に複数の第１電極を二次元状に並べて備え、他面に第２電極を備えた半導体放射線検出素子が利用されている。特許文献１には、半導体放射線検出素子に複数の第１電極を備えたＸ線検出器が開示されている。放射線が入射した場合、電子又は正孔は最も近い第１電極に集められ、電子又は正孔が集まった第１電極から信号が出力される。第１電極を複数に分割することによって、半導体に発生するリーク電流も分割され、各第１電極からの信号に含まれるリーク電流の影響が減少し、信号のＳ／Ｎ比が向上する。また、放射線が入射した場合、信号処理にある程度の時間が必要であるので、放射線を検出できない期間が生じる。複数の第１電極を備えることで、一つの第１電極を用いて放射線を検出した直後でも、他の第１電極を用いて放射線を検出することができるので、放射線を検出する効率が向上する。また、放射線によって発生した電子又は正孔は最も近い第１電極に集められるので、第１電極が一つの場合に比べて電子又は正孔が移動する時間が短くなり、放射線検出の信号処理に必要な時間が短縮される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開平６−７９１６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
半導体放射線検出素子が複数の第１電極を備える放射線検出器では、複数の第１電極の中間に放射線が入射した場合、発生した電子又は正孔が複数の第１電極に分散して集められることがある。このとき、一つの放射線に対して複数の第１電極から信号が発生し、放射線のカウント数及びエネルギーが不明となる。複数の第１電極からの信号を加算することもできるものの、信号に含まれるノイズは第１電極毎に発生するので、加算した信号に含まれるノイズは、複数の第１電極で発生したノイズを加算したものとなり、信号のＳ／Ｎ比が悪化する。これらの問題を解決するために、複数の第１電極の中間に放射線が入射しないようにシールドを設ける対策が考えられる。しかしながら、確実に放射線が入射しないようにするためには、加工精度が原因でシールドをある程度大きめに作製する必要があり、放射線の検出に使用できる面積が縮小し、放射線の検出感度が低下するという問題がある。また、シールドを設けることによりコストが上昇するという問題がある。
【０００６】
本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、シールドを設けることなく、一つの放射線を複数の第１電極を用いて検出することを防止することにより、高い感度及び精度で放射線を検出することができる放射線検出器、放射線検出方法、及び放射線検出器の一部の処理を実行するコンピュータプログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る放射線検出器は、半導体と、該半導体に設けてあり、放射線の入射によって前記半導体内に発生する電荷を収集する複数の第１電極と、前記半導体に設けてあり、前記電荷の収集に必要なバイアス電圧を印加される第２電極と、夫々の第１電極が収集した電荷に応じた信号を出力する信号出力部と、該信号出力部が出力した信号をカウントする信号計数部とを備える放射線検出器において、前記信号出力部が出力した信号の時間的な特徴に基づいて、前記信号が所定の特徴を有する特異信号であるか否かを判定する判定部を備え、前記信号計数部は、前記判定部が特異信号であると判定した信号をカウントしないように構成してあることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る放射線検出器は、前記判定部は、前記信号出力部が出力した信号の時間に対する信号値の変化率を計算する変化率計算部と、該変化率計算部が計算した前記変化率の絶対値が所定値以下である場合に、前記信号は特異信号であると判定する特異信号判定部とを有することを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る放射線検出器は、前記判定部は、前記信号出力部が出力した信号の時間長さを計測する時間計測部と、該時間計測部が計測した前記時間長さが所定値以上である場合に、前記信号は特異信号であると判定する特異信号判定部とを有することを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る放射線検出器は、前記判定部は、二つの第１電極を起点にして発生した信号の時間間隔を計測する時間間隔計測部と、該時間間隔計測部が計測した前記時間間隔が所定値以下である場合に、前記信号が特異信号であると判定する特異信号判定部とを有することを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る放射線検出器は、前記判定部は、前記信号出力部が出力した信号の時間に対する信号値の変化率、又は前記信号出力部が出力した信号の時間長さを計測する計測部と、二つの第１電極を起点にして発生した信号の時間間隔を計測する時間間隔計測部と、前記計測部が計測した前記変化率の絶対値が第１の所定値以下であるか、又は前記計測部が計測した前記時間長さが第２の所定値以上であり、しかも、前記時間間隔計測部が計測した前記時間間隔が第３の所定値以下である場合に、前記信号が特異信号であると判定する特異信号判定部とを有することを特徴とする。
【００１２】
本発明に係る放射線検出方法は、半導体と、該半導体に設けてあり、放射線の入射によって前記半導体内に発生する電荷を収集する複数の第１電極と、前記半導体に設けてあり、前記電荷の収集に必要なバイアス電圧を印加される第２電極と、夫々の第１電極が収集した電荷に応じた信号を出力する信号出力部と、該信号出力部が出力した信号をカウントする信号計数部とを備える放射線検出器を用いて、放射線を検出する方法において、前記信号出力部が出力した信号の時間的な特徴に基づいて、前記信号が所定の特徴を有する特異信号であるか否かを判定し、特異信号であると判定された信号を前記信号計数部でカウントしないことを特徴とする。
【００１３】
本発明に係るコンピュータプログラムは、半導体と、該半導体に設けてあり、放射線の入射によって前記半導体内に発生する電荷を収集する複数の第１電極と、前記半導体に設けてあり、前記電荷の収集に必要なバイアス電圧を印加される第２電極と、夫々の第１電極が収集した電荷に応じた信号を出力する信号出力部と、該信号出力部が出力した信号の内、所定の特徴を有する特異信号ではない信号をカウントし、特異信号をカウントしない信号計数部と、演算部とを備える放射線検出器で、前記信号出力部が出力した信号が特異信号であるか否かを判定する処理を前記演算部に実行させるコンピュータプログラムであって、前記演算部に、前記信号出力部が出力した信号の時間に対する信号値の変化率を計算するステップと、該ステップにより計算した前記変化率の絶対値が所定値以下である場合に、前記信号は特異信号であると判定するステップとを含む処理を実行させることを特徴とする。
【００１４】
本発明においては、放射線により半導体内に発生した電荷を複数の第１電極の何れかで収集して検出信号を発生させる放射線検出器は、検出信号をカウントする際に、所定の特徴を有する特異信号をカウントしない。より詳しくは、放射線検出器は、同一の放射線により発生した電荷が複数の複数の第１電極に分散することによって生じる特徴を有する信号のカウントを行わない。電荷が分散して複数の第１電極で収集されることによってカウント数及びエネルギーが不明になるような放射線の検出が防止される。
【００１５】
また、本発明においては、放射線検出器は、検出信号の時間に対する信号値の変化率が所定値以下である場合に、検出信号が特異信号であると判定する。複数の第１電極で収集される電荷は、発生してから第１電極で収集されるまでに長い時間がかかり、信号率の変化率が小さくなるので、信号率の変化率に基づいて特異信号の判定が可能である。
【００１６】
また、本発明においては、放射線検出器は、検出信号の時間長さが所定値以上である場合に、検出信号が特異信号であると判定する。複数の第１電極で収集される電荷は、発生してから第１電極で収集されるまでに長い時間がかかり、特異信号の立ち上がりの時間長さは長くなるので、検出信号の時間長さに基づいて特異信号の判定が可能である。
【００１７】
また、本発明においては、放射線検出器は、二つの検出信号の時間間隔が所定値以下である場合に、検出信号が特異信号であると判定する。同一の放射線により発生した電荷が複数の複数の第１電極で分散して収集されることによって、複数の検出信号がほぼ同時に発生するので、二つの検出信号の時間間隔に基づいて特異信号の判定が可能である。
【００１８】
また、本発明においては、放射線検出器は、検出信号の時間に対する信号値の変化率が第１の所定値以下であるか、又は検出信号の時間長さが第２の所定値以上である条件と、二つの検出信号の時間間隔が第３の所定値以下である条件との両方が満たされた場合に、検出信号が特異信号であると判定する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明にあっては、放射線検出器は、シールドを用いることなく、カウント数及びエネルギーが不明になるような放射線の検出を防止することができる。従って、放射線検出器は、コストを上昇させることなく、高い感度及び精度で放射線を検出することが可能となる等、本発明は優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】放射線検出器の構成を示すブロック図である。
【図２】半導体放射線検出素子の外観の例を示す模式的平面図である。
【図３】半導体放射線検出素子の外観の他の例を示す模式的平面図である。
【図４】半導体ブロックの内部の電位分布を模式的に示す特性図である。
【図５】増幅部が出力する検出信号の例を示す特性図である。
【図６】実施の形態１に係る信号処理部の機能構成を示すブロック図である。
【図７】二つの増幅部が出力する検出信号の例を示す特性図である。
【図８】実施の形態３に係る信号処理部の機能構成を示すブロック図である。
【図９】実施の形態４に係る信号処理部の機能構成を示すブロック図である。
【図１０】実施の形態５に係る信号処理部の機能構成を示すブロック図である。
【図１１】ＣＰＵが実行する処理の手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下本発明をその実施の形態を示す図面に基づき具体的に説明する。
（実施の形態１）
図１は、放射線検出器の構成を示すブロック図である。放射線検出器４は、半導体放射線検出素子１を備えている。図１中には、半導体放射線検出素子１を部分断面図で示している。半導体放射線検出素子１は、板状の半導体ブロック１３の表面に複数のアノード（第１電極）１１が接合され、半導体ブロック１３の裏面にカソード（第２電極）１２が接合されて構成されている。半導体ブロック１３は、シリコン若しくはゲルマニウム等の半導体結晶又はカドミニウム・テルル等の化合物半導体で形成されている。図２は、半導体放射線検出素子１の外観の例を示す模式的平面図である。図２に示すように、複数のアノード１１は、半導体ブロック１３の表面に二次元状に配置されている。カソード１２は、半導体ブロック１３の裏面に一面に配置されている。半導体放射線検出素子１は、半導体ブロック１３の裏面側から放射線が入射するように使用される。カソード１２には、バイアス電源２１が接続されており、接地電位に比べてマイナスのバイアス電圧をバイアス電源２１から印加されている。なお、バイアス電源２１は、複数のアノード１１とカソード１２との間にバイアス電圧を印加する構成であってもよい。また、放射線検出器４は、液体窒素を利用した冷却器又はペルチェ素子等、半導体放射線検出素子１を冷却するための図示しない冷却機構を備えた形態であってもよい。
【００２２】
なお、半導体放射線検出素子１は、半導体ブロック１３の裏面に一面に配置したカソード１２に加えて、半導体ブロック１３の表面のアノード１１の周囲にもカソード１２を設けた形態であってもよい。図３は、半導体放射線検出素子１の外観の他の例を示す模式的平面図である。環状のカソード１２が、個々のアノード１１の周囲を囲繞して配置されている。図３には、各アノード１１を二重に囲繞するカソード１２を配置した例を示したが、カソード１２は、各アノード１１を一重に囲繞していてもよく、三重以上に囲繞していてもよい。このように、半導体放射線検出素子１は、複数のカソード１２を設けた形態であってもよい。
【００２３】
カソード１２にバイアス電圧が印加されていることにより、半導体ブロック１３内には、複数のアノード１１の電位をプラス、カソード１２の電位をマイナスとする電界が発生している。半導体放射線検出素子１へ放射線が入射することによって、半導体ブロック１３内に放射線のエネルギーに応じた数の電子−正孔対が発生する。発生した電子−正孔対の内の電子は、半導体ブロック１３内の電界によって加速され、電位がプラスになっている何れか一つのアノード１１に収集される。通常、放射線によって発生した電子は、半導体ブロック１３内の発生した位置に最も近いアノード１１に収集される。電子を収集したアノード１１は、収集した電子の電荷量に応じた電荷信号を出力する。
【００２４】
アノード１１には、増幅部２２が接続されている。増幅部２２は、アノード１１が出力した電荷信号を電圧信号へ変換するプリアンプと、プリアンプからの信号を増幅するメインアンプとを含んで構成されている。増幅部２２は、増幅した信号を出力する。このように、増幅部２２は、アノード１１が収集した電子の電荷量に応じた強度の信号を出力する信号出力部に対応する。以下、増幅部２２が出力する信号を検出信号と言う。なお、増幅部２２は、電流信号を出力する形態であってもよい。
【００２５】
増幅部２２には、信号処理部３が接続されている。信号処理部３は、増幅部２２が出力した検出信号を信号強度別にカウントして、信号強度に対応する放射線のエネルギーとカウント数とを対応づけたスペクトルを生成する処理を行う。増幅部２２及び信号処理部３は、複数のアノード１１の夫々に接続されている。各アノード１１に接続された増幅部２２及び信号処理部３は、他のアノード１１に接続された増幅部２２及び信号処理部３とは独立に動作する。複数の信号処理部３は、放射線検出器４の外部の情報処理装置５に接続される。情報処理装置５は、パーソナルコンピュータ等のコンピュータであり、各信号処理部３が生成したスペクトルを集積し、集積したスペクトルを合算して放射線のスペクトルを生成し、必要に応じてスペクトルを出力する処理を実行する。
【００２６】
図４は、半導体ブロック１３の内部の電位分布を模式的に示す特性図である。図中の横軸は位置を示し、縦軸は負電位を示す。図４には、二つのアノード１１の中心の真下に位置する二点間の電位分布を示している。また、図２に示す半導体放射線検出素子１での半導体ブロック１３内の電位分布を実線で示し、図３に示す半導体放射線検出素子１での半導体ブロック１３内の電位分布を破線で示している。各アノード１１の中心に近い位置ほど負電位が低く（電位が高く）、二つのアノード１１の中間では、何れのアノード１１の中心からも遠くなるので、負電位が高く（電位が低く）なっている。一つのアノード１１の中心に近い位置では、最も近いアノード１１の中心の方向へ移動すると負電位が低くなり、他のアノード１１の中心の方向へ移動すると負電位が高くなる。このため、この位置で発生した電子は最も近いアノード１１の中心の方向へ移動し、最も近いアノード１１に収集されることになる。二つのアノード１１の中間では、発生した電子はどちらのアノード１１へ移動して収集されることも可能である。また二つのアノード１１の中間の近傍では、負電位が高い方向へ移動したとしても、負電位が最大になる位置との電位差が小さい（電界が小さい）ので、発生した電子は、電位差を乗り越えて遠い方のアノード１１の中心の方向へ移動する可能性がある。このように、半導体ブロック１３の内部には、放射線によって発生した電子が収集されるアノード１１が一意的に決まる主領域と、電子が収集されるアノード１１が一意的には決まらない境界領域とが存在する。主領域は、各アノード１１の真下の部分に対応し、境界領域は、複数のアノード１１間の隙間の真下の部分に対応する。
【００２７】
半導体ブロック１３に放射線が入射して境界領域で電子−正孔対が発生した場合、発生した電子は複数のアノード１１で分散して収集される可能性がある。電子が二つのアノード１１に分散した場合、二つのアノード１１を起点とした二つの検出信号が発生し、放射線のカウント数が二倍になり、放射線のカウント数が不正確になる。また、電子が分散することによって一つのアノード１１で収集する電子の量が減少し、検出信号の信号強度が低下し、放射線のエネルギーが不正確となる。これらの問題を回避するために、本実施の形態に係る信号処理部３は、検出信号をカウントする際に、検出信号の内、境界領域で発生した電子に起因する所定の特徴を有する特異信号をカウントしないようにする処理を実行する。
【００２８】
図５は、増幅部２２が出力する検出信号の例を示す特性図である。増幅部２２は、アノード１１が収集した電子の電荷量に応じて信号値が階段状に立ち上がる検出信号を出力する。放射線によって発生してアノード１１が収集した電子の量は放射線のエネルギーに対応し、電子の量は電荷量に対応するので、階段状に立ち上がった信号強度は、放射線のエネルギーに対応する。図５Ａは半導体ブロック１３の主領域で電子が発生した場合の検出信号を示し、図５Ｂは境界領域で発生した電子に起因する特異信号を示している。図中の横軸は時間を示し、縦軸は信号値を示している。境界領域では、主領域に比べて、半導体ブロック１３内の電界強度が低く、またアノード１１までの物理的な距離が長いので、発生した電子がアノード１１に収集されるまでに長い時間がかかる。このため、図５に示すように、特異信号は、主領域で発生した電子に起因する検出信号に比べて、時間に対する信号値の変化が緩やかになる。信号処理部３は、信号値の変化率に基づいて、特異信号を判定する処理を行う。
【００２９】
図６は、実施の形態１に係る信号処理部３の機能構成を示すブロック図である。信号処理部３は、Ａ／Ｄ（アナログ／デジタル）変換部３１を備えている。Ａ／Ｄ変換部３１は、増幅部２２に接続されており、増幅部２２が出力した検出信号を入力され、Ａ／Ｄ変換を行う。Ａ／Ｄ変換部３１には、遅延回路３１１及びフィルタ回路３２が接続されており、Ａ／Ｄ変換部３１は、Ａ／Ｄ変換後の検出信号を遅延回路３１１及びフィルタ回路３２へ入力する。フィルタ回路３２は、検出信号に対して、Ｆａｓｔ系のフィルタ処理とＳｌｏｗ系のフィルタ処理とを行う。Ｆａｓｔ系のフィルタ処理は、検出信号の素早い時間変化を抽出し、検出信号の立ち上がり開始をパルス状に示すＦａｓｔ系信号を生成する。Ｓｌｏｗ系のフィルタ処理は、検出信号の緩やかな時間変化を抽出し、Ｓ／Ｎ比が高く、波高が検出信号の信号強度に対応しているＳｌｏｗ系信号を生成する。フィルタ回路３２にはパルス検出回路３３が接続されており、フィルタ回路３２は、Ｆａｓｔ系信号及びＳｌｏｗ系信号をパルス検出回路３３へ入力する。
【００３０】
パルス検出回路３３は、Ｆａｓｔ系信号から、検出信号の立ち上がり開始時点を検出する。例えば、パルス検出回路３３は、予め所定の閾値を記憶しておき、Ｆａｓｔ系信号の信号値が閾値以上の値になった時点を検出する。パルス検出回路３３には、遅延回路３３１が接続されており、パルス検出回路３３は、検出信号の立ち上がり開始時点を示す信号を遅延回路３３１へ入力する。また、パルス検出回路３３には、Ｐ／Ｈ（ピーク／ホールド）回路３４が接続されており、パルス検出回路３３は、Ｓｌｏｗ系信号をＰ／Ｈ回路３４へ入力する。
【００３１】
Ｐ／Ｈ回路３４は、Ｓｌｏｗ系信号から、検出信号の信号強度を検出する。具体的には、Ｐ／Ｈ回路３４は、Ｓｌｏｗ系信号の信号値の最大値を検出する。Ｓｌｏｗ系信号の信号値の最大値は、検出信号の信号強度に対応し、検出信号の信号強度は、放射線のエネルギーに対応する。Ｐ／Ｈ回路３４には、遅延回路３４１が接続されており、Ｐ／Ｈ回路３４は、検出信号の立ち上がり終了時点を示す信号を遅延回路３４１へ入力する。また、Ｐ／Ｈ回路３４には、遅延回路３４２及び３４３が接続されており、Ｐ／Ｈ回路３４は、検出信号の信号強度を示す信号を遅延回路３４２及び３４３へ入力する。
【００３２】
信号処理部３は、検出信号の時間長さを計測する時間計測部３５を備えている。時間計測部３５は、遅延回路３１１、３３１及び３４１に接続されており、遅延回路３１１から検出信号を入力され、遅延回路３３１から検出信号の立ち上がり開始時点を示す信号を入力され、遅延回路３４１から検出信号の立ち上がり終了時点を示す信号を入力される。遅延回路３１１、３３１及び３４１は、夫々の信号が同期して時間計測部３５へ入力されるように入力のタイミングを調整する処理を行う。時間計測部３５は、検出信号の時間長さとして、信号強度の第１の所定割合に対応する値に信号値が達した時点から、信号強度の第２の所定割合に対応する値に信号値が達した時点までの経過時間の長さを計測する。例えば、検出信号から、立ち上がり開始時点から立ち上がり終了時点までの信号の変化量の１０％に対応する値に信号値が達した時点と９０％に対応する値に信号値が達した時点とを検出し、検出した時点間の経過時間の長さを計算する。なお、時間計測部３５は、立ち上がり開始時点から立ち上がり終了時点までの経過時間の長さを計算する処理を行ってもよい。
【００３３】
信号処理部３は、特異信号を判定する処理を実行する判定処理部３６を備えている。判定処理部３６は、時間計測部３５及び遅延回路３４２に接続されており、遅延回路３４２から、検出信号の信号強度を示す信号を入力される。また、時間計測部３５は、計測した検出信号の時間長さを示す信号を判定処理部３６へ入力する。遅延回路３４２は、検出信号の時間長さを示す信号と検出信号の信号強度を示す信号とが同期して判定処理部３６へ入力されるように、入力のタイミングを調整する処理を行う。判定処理部３６は、検出信号の時間に対する信号値の変化率を計測する。例えば、検出信号の信号強度の８０％の値を、時間計測部３５が計測した検出信号の時間長さで除することによって、信号値の変化率を計算する。判定処理部３６は、次に、計測した信号値の変化率が所定値以下であるか否かを判定する。所定値は判定処理部３６に予め記憶されている。例えば、判定処理部３６は、信号値を電圧で表し、信号値の変化率が１ｍＶ／ｎｓ以下であるか否かを判定する。図５に示すように、特異信号は、時間に対する信号値の変化が緩やかであり、信号値の変化率が小さくなる。このため、信号値の変化率が基準値以下である場合は、検出信号は特異信号であると判定できる。判定処理部３６は、次に、信号値の変化率が所定値以下である場合に検出信号は特異信号であると判定し、信号値の変化率が所定値より大きい場合に検出信号は特異信号ではないと判定し、判定結果を示す信号を出力する。
【００３４】
信号処理部３は、ＭＣＡ（マルチチャネルアナライザ）３７を備えている。ＭＣＡ３７は、信号計数部に対応する。ＭＣＡ３７は、判定処理部３６及び遅延回路３４３に接続されており、判定処理部３６から検出信号の判定結果を示す信号を入力され、遅延回路３４３から、検出信号の信号強度を示す信号を入力される。遅延回路３４３は、検出信号の判定結果を示す信号と検出信号の信号強度を示す信号とが同期して判定処理部３６へ入力されるように、入力のタイミングを調整する処理を行う。ＭＣＡ３７は、検出信号が特異信号ではない判定結果を示す信号を入力された場合に、信号強度に関連付けて検出信号をカウントする。また、ＭＣＡ３７は、検出信号が特異信号である判定結果を示す信号を入力された場合には、信号強度に関連付けたカウントは行わない。これによって、特異信号がＭＣＡ３７でカウントされなくなり、半導体ブロック１３の境界領域に電子を発生させる放射線の検出が防止される。このようにして、ＭＣＡ３７は、特異信号以外の検出信号を信号強度別にカウントして、放射線のエネルギーとカウント数とを対応づけたスペクトルを生成する。ＭＣＡ３７は、生成したスペクトルを示すデータを情報処理装置５へ出力する。
【００３５】
本実施の形態では、時間計測部３５及び判定処理部３６が判定部に対応する。また、時間計測部３５と判定処理部３６の処理の一部とが変化率計算部に対応し、判定処理部３６の処理の他の一部が特異信号判定部に対応する。なお、信号処理部３は、信号値の微分等の方法により時間計測部３５を用いずに信号値の変化率を計算する独立した変化率計算部を備える形態であってもよい。
【００３６】
以上詳述した如く、本実施の形態においては、放射線検出器４は、放射線の入射に応じた検出信号をカウントする際に、同一の放射線により発生した電子が複数のアノード１１で収集されることに起因した特徴を有する特異信号のカウントを行わない。また、放射線検出器４は、検出信号の時間に対する信号値の変化率が所定値以下である場合に、検出信号が特異信号であると判定する。複数のアノード１１で収集される電子は、発生してからアノード１１で収集されるまでに長い時間がかかるので、信号率の変化率が小さくなる。従って、信号率の変化率に基づいて特異信号の判定が可能である。特異信号をカウントしないことによって、半導体ブロック１３の境界領域に発生させた電子が複数のアノード１１で収集されるような放射線を検出して放射線のカウント数及びエネルギーが不正確になることを防止することができる。一方で、放射線検出器４は、半導体ブロック１３の主領域に電子を発生させる放射線については、カウント数及びエネルギーを正確に求めることができる。また、一つの放射線を検出するために使用するアノード１１、増幅部２２及び信号処理部３が一つに限定されるので、ノイズの量が限定され、信号のＳ／Ｎ比の悪化が防止される。また、境界領域への放射線の入射を防止するためのシールドを使用する必要が無いので、シールドが原因となる放射線の検出感度の低下及びコストの上昇を防止することができる。従って、放射線検出器４は、コストを上昇させることなく、高い感度及び精度で放射線を検出することが可能となる。
【００３７】
（実施の形態２）
実施の形態２においては、検出信号の時間長さに基づいて特異信号の判定を行う形態を示す。実施の形態１で説明したように、半導体ブロック１３内の境界領域で発生した電子がアノード１１に収集されるには長い時間がかかる。このため、図５に示すように、特異信号は、主領域で発生した電子に起因する検出信号に比べて、立ち上がりの時間長さが長くなる。従って、検出信号の時間長さに基づいた特異信号の判定が可能である。
【００３８】
本実施の形態に係る放射線検出器４の構成は、図１に示した実施の形態１と同様である。また、本発明に係る信号処理部３の機能構成は、図６に示した実施の形態２と同様である。判定処理部３６は、特異信号の判定を行うための検出信号の時間長さの所定の基準値を、検出信号の信号強度に関連付けて予め記憶してある。放射線のエネルギーが高い場合は、検出信号の信号強度も高くなり、立ち上がりの時間長さも長くなる。このため、判定処理部３６は、複数の信号強度の夫々に対応する時間長さの基準値を予め記憶してある。なお、判定処理部３６は、放射線のエネルギーに関連付けて時間長さの基準値を記憶していてもよい。また、判定処理部３６は、全ての信号強度に共通の基準値を記憶していてもよい。
【００３９】
Ａ／Ｄ変換部３１、フィルタ回路３２、パルス検出回路３３、Ｐ／Ｈ回路３４、遅延回路３１１、３３１、３４１、３４２及び３４３、並びに時間計測部３５は、実施の形態１と同様に動作する。判定処理部３６は、時間計測部３５が計測した検出信号の時間長さと、遅延回路３４２からの信号が示す信号強度に関連付けて記憶してある時間長さの基準値とを比較し、検出信号の時間長さが基準値以上であるか否かを判定する。例えば、判定処理部３６は、検出信号の時間長さが１００ｎｓ以上であるか否かを判定する。図５に示すように、検出信号の時間長さがある程度以上長い場合は、検出信号は特異信号であると判定できる。判定処理部３６は、次に、検出信号の時間長さが基準値以上である場合に検出信号は特異信号であると判定し、検出信号の時間長さが基準値より短い場合に検出信号は特異信号ではないと判定し、判定結果を示す信号をＭＣＡ３７へ入力する。ＭＣＡ３７は、実施の形態１と同様に動作する。本実施の形態においては、判定処理部３６は、特異信号判定部に対応する。
【００４０】
以上詳述した如く、本実施の形態においても、放射線検出器４は、放射線の入射に応じた検出信号をカウントする際に、同一の放射線により発生した電子が複数のアノード１１で収集されることに起因した特徴を有する特異信号のカウントを行わない。また、放射線検出器４は、検出信号の時間長さが所定の基準値以上である場合に、検出信号が特異信号であると判定する。複数のアノード１１で収集される電子は、発生してからアノード１１で収集されるまでに長い時間がかかるので、特異信号の立ち上がりの時間長さは長くなる。従って、検出信号の時間長さに基づいて特異信号の判定が可能である。本実施の形態においても、実施の形態１と同様に、放射線検出器４は、コストを上昇させることなく、高い感度及び精度で放射線を検出することが可能となる。
【００４１】
（実施の形態３）
実施の形態３においては、二つの検出信号の時間間隔に基づいて特異信号の判定を行う形態を示す。図７は、二つの増幅部２２が出力する検出信号の例を示す特性図である。図中の横軸は時間を示し、縦軸は信号値を示している。図７では、二つのアノード１１に接続された増幅部２２の夫々が出力した検出信号を同一の時間軸上で比較している。図７Ａは、半導体ブロック１３の一つの主領域に放射線の入射により電子が発生し、別の放射線により他の主領域に電子が発生した場合の検出信号を示している。図７Ｂは、放射線の入射により境界領域で発生した電子が二つのアノード１１に収集された場合の検出信号を示している。主領域で電子が発生した場合、検出信号の立ち上がり時間は短く、二つの検出信号が同時に発生する確率は低い。境界領域で発生した電子が二つのアノード１１で分散して収集された場合は、電子はほぼ同時に二つのアノード１１で収集され、二つの特異信号がほぼ同時に発生する。従って、二つの増幅部２２が出力した検出信号の発生の時間間隔に基づいて、特異信号の判定が可能である。
【００４２】
本実施の形態に係る放射線検出器４の構成は、図１に示した実施の形態１と同様である。図８は、実施の形態３に係る信号処理部３の機能構成を示すブロック図である。Ａ／Ｄ変換部３１は、増幅部２２が出力した検出信号をＡ／Ｄ変換し、Ａ／Ｄ変換後の検出信号をフィルタ回路３２へ入力する。フィルタ回路３２は、実施の形態１と同様に動作する。パルス検出回路３３は、Ｆａｓｔ系信号から、検出信号の立ち上がり開始時点を検出し、立ち上がり開始時点を示す信号を遅延回路３３２へ入力する。また、パルス検出回路３３は、Ｓｌｏｗ系信号をＰ／Ｈ回路３４へ入力する。更に、パルス検出回路３３は、検出信号の立ち上がり開始時点を示す信号を、他の信号処理部３へ出力する。Ｐ／Ｈ回路３４は、Ｓｌｏｗ系信号から、検出信号の信号強度を検出し、信号強度を示す信号を遅延回路３４３へ入力する。遅延回路３４３は、実施の形態１と同様に動作する。
【００４３】
信号処理部３は、二つの検出信号の時間間隔を計測する時間間隔計測部３８を備えている。時間間隔計測部３８は、遅延回路３３２に接続されており、遅延回路３３２から検出信号の立ち上がり開始時点を示す信号を入力される。更に、時間間隔計測部３８は、他の信号処理部３のパルス検出回路３３から出力された他の検出信号の立ち上がり開始時点を示す信号を受け付ける。当該他の信号は、他のアノード１１に接続された他の増幅部２２から出力された検出信号である。遅延回路３３２は、二つの信号が同期して時間間隔計測部３８へ入力されるように入力のタイミングを調整する処理を行う。時間間隔計測部３８は、二つの検出信号の立ち上がり開始時点の差分を計算することによって、二つの検出信号が発生した時間間隔を計測する。時間間隔計測部３８は、判定処理部３６に接続されており、二つの検出信号の時間間隔を示す信号を判定処理部３６へ入力する。
【００４４】
判定処理部３６は、時間間隔計測部３８が計測した二つの検出信号の時間間隔が所定値以下であるか否かを判定する。所定値は判定処理部３６に予め記憶されている。例えば、判定処理部３６は、時間間隔が５０ｎｓ以下であるか否かを判定する。図７に示すように、同一の放射線により境界領域で発生した電子が二つのアノード１１に収集されて発生した二つの特異信号は、ほぼ同時に発生する。このため、検出信号の立ち上がり時間よりも二つの検出信号の時間間隔が短い等、二つの検出信号が同時とみなされるほど時間間隔が短い場合は、二つの検出信号は特異信号であると判定できる。判定処理部３６は、次に、時間間隔が所定値以下である場合に検出信号は特異信号であると判定し、時間間隔が所定値より大きい場合に検出信号は特異信号ではないと判定し、判定結果を示す信号をＭＣＡ３７へ入力する。ＭＣＡ３７は、実施の形態１と同様に動作する。本実施の形態においては、判定処理部３６は、特異信号判定部に対応する。
【００４５】
以上詳述した如く、本実施の形態においては、放射線検出器４は、放射線の入射に応じた検出信号をカウントする際に、同一の放射線により発生した電子が複数のアノード１１で収集されることに起因した特徴を有する特異信号のカウントを行わない。また、放射線検出器４は、二つの検出信号の時間間隔が所定値以下である場合に、検出信号が特異信号であると判定する。本実施の形態においても、実施の形態１及び２と同様に、放射線検出器４は、コストを上昇させることなく、高い感度及び精度で放射線を検出することが可能となる。
【００４６】
（実施の形態４）
実施の形態４に係る放射線検出器４の構成は、図１に示した実施の形態１と同様である。図９は、実施の形態４に係る信号処理部３の機能構成を示すブロック図である。信号処理部３は、時間計測部３５及び時間間隔計測部３８を備えており、時間計測部３５及び時間間隔計測部３８は判定処理部３６に接続されている。Ａ／Ｄ変換部３１及びフィルタ回路３２は、実施の形態１と同様に動作する。パルス検出回路３３は、検出信号の立ち上がり開始時点を検出し、立ち上がり開始時点を示す信号を遅延回路３３１及び３３２へ入力する。また、パルス検出回路３３は、Ｓｌｏｗ系信号をＰ／Ｈ回路３４へ入力する。更に、パルス検出回路３３は、検出信号の立ち上がり開始時点を示す信号を、他の信号処理部３へ出力する。Ｐ／Ｈ回路３４は、実施の形態１と同様に動作する。遅延回路３１１、３３１、３４１、３４２及び３４３、並びに時間計測部３５は、実施の形態１と同様に動作する。また、遅延回路３３２及び時間間隔計測部３８は、実施の形態３と同様に動作する。
【００４７】
判定処理部３６は、時間計測部３５が計測した検出信号の時間長さを用いて、実施の形態１と同様に、検出信号の時間に対する信号値の変化率を計測する。判定処理部３６は、次に、計測した信号値の変化率が所定値（第１の所定値）以下であるか否かを判定する。判定処理部３６は、次に、時間間隔計測部３８が計測した二つの検出信号の時間間隔が他の所定値（第３の所定値）以下であるか否かを判定する。判定処理部３６は、次に、検出信号の信号値の変化率が所定値以下であり、しかも、二つの検出信号の時間間隔が他の所定値以下である場合に、検出信号は特異信号であると判定し、その他の場合に検出信号は特異信号ではないと判定し、判定結果を示す信号をＭＣＡ３７へ入力する。ＭＣＡ３７は、実施の形態１と同様に動作する。
【００４８】
なお、判定処理部３６は、検出信号の時間長さに基づいて判定を行う形態であってもよい。この形態では、判定処理部３６は、時間計測部３５が計測した検出信号の時間長さと、遅延回路３４２からの信号が示す信号強度に関連付けて記憶してある時間長さの基準値（第２の所定値）とを比較し、検出信号の時間長さが基準値以上であるか否かを判定する。判定処理部３６は、次に、時間間隔計測部３８が計測した二つの検出信号の時間間隔が所定値（第３の所定値）以下であるか否かを判定する。判定処理部３６は、次に、検出信号の時間長さが基準値以上であり、しかも、二つの検出信号の時間間隔が所定値以下である場合に、検出信号は特異信号であると判定し、その他の場合に検出信号は特異信号ではないと判定し、判定結果を示す信号をＭＣＡ３７へ入力する。ＭＣＡ３７は、実施の形態１と同様に動作する。
【００４９】
また、判定処理部３６は、信号値の変化率及び検出信号の時間長さの両方を使用して判定を行う形態であってもよい。この形態では、判定処理部３６は、時間計測部３５が計測した検出信号の時間長さを用いて、検出信号の時間に対する信号値の変化率を計測し、計測した信号値の変化率が所定値（第１の所定値）以下であるか否かを判定する。判定処理部３６は、更に、時間計測部３５が計測した検出信号の時間長さと、遅延回路３４２からの信号が示す信号強度に関連付けて記憶してある時間長さの基準値（第２の所定値）とを比較し、検出信号の時間長さが基準値以上であるか否かを判定する。判定処理部３６は、次に、時間間隔計測部３８が計測した二つの検出信号の時間間隔が所定値（第３の所定値）以下であるか否かを判定する。判定処理部３６は、次に、検出信号の信号値の変化率が所定値以下であることと、検出信号の時間長さが基準値以上であることとの少なくとも一方が判定され、しかも、二つの検出信号の時間間隔が所定値以下である場合に、検出信号は特異信号であると判定し、その他の場合に検出信号は特異信号ではないと判定する。判定処理部３６は、判定結果を示す信号をＭＣＡ３７へ入力し、ＭＣＡ３７は、実施の形態１と同様に動作する。実施の形態４では、時間計測部３５と判定処理部３６の処理の一部とが計測部に対応する。
【００５０】
以上詳述した如く、本実施の形態においては、放射線検出器４は、検出信号の時間に対する信号値の変化率が所定値以下であるか、又は検出信号の時間長さが所定の基準値以上であり、しかも、二つの検出信号の時間間隔が他の所定値以下である場合に、検出信号が特異信号であると判定する。これにより、放射線検出器４は、確実に特異信号のカウントを禁止することができる。信号値の変化率が小さい検出信号、又は時間長さが長い検出信号であっても、二つの検出信号の時間間隔が長いのであれば、同一の放射線により発生した電子が複数のアノード１１で収集される現象は発生していないので、検出信号を特異信号として排除せずとも、放射線のカウント数及びエネルギーを正確に求めることができる。また、二つの検出信号の時間間隔が短くても、信号値の変化率が大きいか、又は検出信号の時間長さが短いのであれば、同一の放射線により発生した電子が複数のアノード１１で収集される現象は発生していないので、検出信号を特異信号として排除せずとも、放射線のカウント数及びエネルギーを正確に求めることができる。従って、本実施の形態においては、放射線検出器４は、より高い感度及び精度で放射線を検出することが可能となる。
【００５１】
（実施の形態５）
実施の形態５においては、処理の一部をソフトウェアで実現した形態を示す。実施の形態５に係る放射線検出器４の構成は、図１に示した実施の形態１と同様である。図１０は、実施の形態５に係る信号処理部３の機能構成を示すブロック図である。信号処理部３は、演算を行うＣＰＵ（Central Processing Unit ）６１と、演算に伴って発生する一時的なデータを記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）６２と、フラッシュメモリ等の不揮発性の記憶部６３とを備えている。ＣＰＵ６１は演算部に対応する。記憶部６３は、コンピュータプログラム６４を記憶している。ＣＰＵ６１は、遅延回路３１１、３３１、３４１及び３４２並びにＭＣＡ３７に接続されている。
【００５２】
図１１は、ＣＰＵ６１が実行する処理の手順を示すフローチャートである。ＣＰＵ６１は、コンピュータプログラム６４に従って以下の処理を実行する。Ａ／Ｄ変換部３１、フィルタ回路３２、パルス検出回路３３、Ｐ／Ｈ回路３４、及び遅延回路３４３は、実施の形態１と同様に動作する。ＣＰＵ６１は、遅延回路３１１から検出信号を入力され、遅延回路３３１から検出信号の立ち上がり開始時点を示す信号を入力され、遅延回路３４１から検出信号の立ち上がり終了時点を示す信号を入力され、遅延回路３４２から、検出信号の信号強度を示す信号を入力される（Ｓ１）。ＣＰＵ６１は、次に、時間計測部３５と同様の方法で、検出信号の時間長さを計算し（Ｓ２）、計算した時間長さを用いて、検出信号の時間に対する信号値の変化率を計算する（Ｓ３）。ＣＰＵ６１は、次に、計算した信号値の変化率が所定値以下であるか否かを判定する（Ｓ４）。所定値は、予めコンピュータプログラム６４に含まれているか、又は記憶部６３に記憶されている。検出信号の信号値の変化率が所定値以下である場合は（Ｓ４：ＹＥＳ）、ＣＰＵ６１は、検出信号は特異信号であると判定する（Ｓ５）。検出信号の信号値の変化率が所定値より大きい場合は（Ｓ４：ＮＯ）、ＣＰＵ６１は、検出信号は特異信号ではないと判定する（Ｓ６）。ステップＳ５又はＳ６が終了した後は、ＣＰＵ６１は、判定結果を示す信号をＭＣＡ３７へ出力し（Ｓ７）、処理を終了する。ＭＣＡ３７は、ＣＰＵ６１からの判定結果を示す信号を入力され、実施の形態１と同様に動作する。以上のように、本実施の形態においても、放射線検出器４は、放射線の入射に応じた検出信号をカウントする際に、同一の放射線により発生した電子が複数のアノード１１で収集されることに起因した特徴を有する特異信号のカウントを行わない。
【００５３】
なお、コンピュータプログラム６４は、実施の形態２と同様に、検出信号の時間長さが所定の基準値以上である場合に検出信号が特異信号であると判定する処理をＣＰＵ６１に実行させる形態であってもよい。また、コンピュータプログラム６４は、実施の形態３と同様に、二つの検出信号の時間間隔が所定値以下である場合に検出信号が特異信号であると判定する処理をＣＰＵ６１に実行させる形態であってもよい。また、コンピュータプログラム６４は、実施の形態４と同様に、検出信号の信号値の変化率が所定値以下であるか、又は検出信号の時間長さが所定の基準値以上であり、しかも、二つの検出信号の時間間隔が他の所定値以下である場合に、検出信号が特異信号であると判定する処理を、ＣＰＵ６１に実行させる形態であってもよい。本実施の形態においても、放射線検出器４は、高い感度及び精度で放射線を検出することが可能となる。
【００５４】
なお、以上の実施の形態１〜５は、半導体ブロック１３にｎ型半導体を用いた形態である。放射線検出器４は、半導体ブロック１３にｐ型半導体を用いた形態であってもよい。この形態では、放射線検出器４は、半導体ブロック１３をｐ型半導体で構成し、アノード及びカソードの配置を実施の形態１〜５とは逆の配置にして、第１電極をカソードとし第２電極をアノードとする。放射線検出器４は、第２電極の電位がプラスになるようにバイアス電圧を印加し、カソードである複数の第１電極の夫々で放射線により発生した正孔を収集する。放射線検出器４は、電子を正孔に替えた以外は実施の形態１〜５と同様の信号処理を増幅部２２及び信号処理部３で実行する。この形態においても、放射線検出器４は、特異信号のカウントを行わないようにして、高い感度及び精度で放射線を検出することが可能となる。
【００５５】
また、実施の形態１〜５においては、検出信号は階段状に立ち上がる信号であるとしたが、放射線検出器４は、検出信号を立下りの信号又はパルス状の信号にした形態であってもよい。また、実施の形態１〜５においては、増幅部２２が出力した検出信号をＡ／Ｄ変換部３１でＡ／Ｄ変換する形態を示したが、放射線検出器４は、他のタイミングでＡ／Ｄ変換を行う形態であってもよい。例えば、放射線検出器４は、増幅部２２内でＡ／Ｄ変換を行う形態であってもよく、また、フィルタ回路３２以降でＡ／Ｄ変換を行う形態であってもよい。また、実施の形態１〜５においては、夫々のアノード１１について信号処理部３を個別に備える形態を示したが、放射線検出器４は、ＭＣＡ３７等の信号処理部３内の一部を複数のアノード１１で共通にして構成した形態であってもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１  半導体放射線検出素子
１１  アノード（第１電極）
１２  カソード（第２電極）
１３  半導体ブロック
２１  バイアス電源
２２  増幅部（信号出力部）
３  信号処理部
３５  時間計測部
３６  判定処理部
３７  ＭＣＡ（信号計数部）
３８  時間間隔計測部
４  放射線検出器
６１  ＣＰＵ（演算部）
６３  記憶部
６４  コンピュータプログラム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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