(57)【要約】【課題】検査時間の短縮および検査精度の向上を図る。【解決手段】移動機構本体３ａおよび被移動部３ｂを有する移動機構３と、複数のプローブ１１ａが配設されると共に被移動部３ｂに取り付けられたプローブユニット１１と、複数のプローブ１１ａを介して検査対象基板３０の各検査ポイントに対して入出力させた電気信号に基づいて各検査ポイントの間の電気的パラメータを測定する測定部１３と、測定部１３および複数のプローブ１１ａの接断を切り替えるスキャナ１２と、移動機構３、スキャナ１２および測定部１３を制御すると共に測定部１３の測定結果に基づいて各検査ポイントを検査する制御部１４と、操作部２１とを備え、スキャナ１２および測定部１３は、プローブユニット１１と共に被移動部３ｂに取り付けられ、操作部２１は、本体３ａによる被移動部３ｂの移動時に本体３ａに対して変位しない設置位置に設置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動機構本体および当該移動機構本体によって移動させられる被移動部を有する移動機構と、複数のプローブが配設されると共に前記被移動部に取り付けられたプローブユニットと、前記複数のプローブを介して検査対象基板の各検査ポイントに対して入出力させた電気信号に基づいて当該各検査ポイントの間の電気的パラメータを測定する測定部と、前記測定部および前記複数のプローブの接断を切り替える切替え部と、前記移動機構、前記切替え部および前記測定部を制御すると共に当該測定部の測定結果に基づいて前記各検査ポイントを検査する処理部と、検査の開始および停止を指示する操作スイッチを少なくとも有する操作部とを備えた基板検査装置であって、
前記切替え部および前記測定部は、前記プローブユニットと共に前記被移動部に取り付けられ、
前記操作部は、前記移動機構本体による前記被移動部の移動時に当該移動機構本体に対して変位しない第１設置位置に設置されている基板検査装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記プローブユニット、前記切替え部および前記測定部と共に前記被移動部に取り付けられている請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記移動機構本体による前記被移動部の移動時に当該移動機構本体に対して変位しない第２設置位置に設置されて前記処理部による検査結果を表示する表示部を備えている請求項１または２記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象基板の電気的検査時に少なくともプローブを移動機構によって移動させて検査対象基板にプロービングさせる基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査装置として、特許第４３３８０５１号公報にプリント基板の検査装置が開示されている。この検査装置は、プリント基板に設けられた電極パターンの導通状態および絶縁状態を電気的に検査可能に構成された装置であって、検査対象のプリント基板を挟持する挟持部を有する設置装置と、移動装置によってプリント基板に対して相対的に移動させられる可動部と、制御装置や計測部を有する固定部とを備えて構成されている。この場合、この検査装置では、設置装置上に設置されるプリント基板の上方および下方に可動部がそれぞれ１つずつ位置するように配設されている。
【０００３】
また、可動部は、複数の接触端子を有する接触端子支持部、接触端子支持部の各接触端子と上記の固定部との間で各種信号を送受信する入出力部（以下、後述するように固定部に配設されている入出力部と区別するために「可動部側入出力部」ともいう）、および固定部から送信された切換指令信号に従って可動部側入出力部に対する各接触端子の接続状態を切り換える接続切換装置を備えている。さらに、固定部は、可動部側入出力部に接続されて接続切換信号や検査信号を送受信する入出力部（以下、可動部側入出力部と区別するために「固定部側入出力部」ともいう」）、および検査装置を総括的に制御する制御装置を備えている。また、固定部側入出力部は、制御装置の制御に従って上記の切換指令信号を送信する接続切換信号送信装置、および上記の検査信号に基づく計測処理を実行する計測部を備えている。
【０００４】
また、この検査装置では、上記の各接触端子がそれぞれ別個の配線によって接続切換装置に接続されている。したがって、この検査装置では、各接触端子および接続切換装置が、接触端子支持部に配設されている接触端子の本数と同数の配線（以下、「第１配線」ともいう）によって相互に接続されている。さらに、この検査装置では、接続切換装置および可動部側入出力部が、切換指令信号を送受信するための配線、および接続状態に切り替えられた接触端子を固定部（計測部）に接続するための配線（以下、これらの配線を「第２配線」ともいう）によって相互に接続されている。また、この検査装置では、可動部側入出力部および固定部側入出力部が、切換指令信号を送受信するための配線、および検査信号を送受信するための配線（以下、これらの配線を「第３配線」）によって相互に接続されている。
【０００５】
この場合、上記の検査装置の構成とは異なり、接続切換装置が固定部に配設されている構成では、移動装置による可動部（接触端子支持部）の移動を妨げることのないように第１配線を充分に長くする必要が生じる。このため、そのような構成を採用した検査装置では、長尺の多数の第１配線が嵩張り、移動機構によって可動部を高速に移動させるのが困難となる。したがって、この検査装置では、接続切換装置を可動部側に配設することにより、本数が多い第１配線を短くし、かつ可動部と固定部とを相互に接続する長い配線（この例では、第３配線）の数を接触端子の数よりも少数本とすることで、移動機構による可動部の高速な移動を可能としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４３３８０５１号公報（第３−７頁、第１−４図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、従来の検査装置には、以下の解決すべき問題点が存在する。すなわち、従来の検査装置では、接触端子（プローブ）の本数と同数を必要とする第１配線が接続される接続切換装置を、接触端子（接触端子支持部）が配設されている可動部側に配設することで、固定部と可動部とを相互に連結するための長い配線（この例では、第３配線）の数を少数本とし、これにより、可動部の高速な移動を可能とする構成が採用されている。この場合、従来の検査装置では、接触端子支持部（プローブユニット）の各接触端子（プローブ）と、固定部側入出力部の計測部（測定部）との間で検査信号（アナログ信号）を送受信するための配線として、第１配線、第２配線および第３配線の３つを備えて構成されており、接続切換装置を固定部側に配設した構成と比較して、上記の各配線のうちの第１配線が短くなっている。
【０００８】
しかしながら、従来の検査装置では、可動部側に配設されている接触端子支持部（各接触端子）を介して抵抗値等を計測する計測部が固定部（固定部側入出力部）に配設されているため、第１配線を短くすることができた分だけ、接続切換装置と計測部とを接続するための配線（この例では、第２配線および第３配線のうちの第３配線）を長くする必要が生じている。このため、従来の検査装置では、各接触端子と計測部とを相互に接続するための配線の長さ（第１配線、第２配線および第３配線の合計長）が、接続切換装置を固定部側に配設した構成を採用した場合と同程度の長さとなっている。
【０００９】
この場合、各接触端子と計測部とを相互に接続している配線の長さが長い構成では、各接触端子と計測部との間で検査信号を短時間で送受信するのが困難となり、かつ、外乱の影響を受け易くなる。しかしながら、従来の検査装置では、固定部に対する可動部の移動を妨げることのないように第３配線を充分に長くする必要があり、これに起因して、第１配線、第２配線および第３配線の合計長を一層短くするのが困難となっている。したがって、従来の検査装置では、検査信号を短時間で送受信したり、外乱の影響を受け難くしたりするのが困難となっている。このため、従来の検査装置には、検査時間の短縮、および検査精度の向上が困難となっているという問題点が存在する。
【００１０】
本発明は、かかる解決すべき問題点に鑑みてなされたものであり、検査時間の短縮および検査精度の向上を図り得る基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査装置は、移動機構本体および当該移動機構本体によって移動させられる被移動部を有する移動機構と、複数のプローブが配設されると共に前記被移動部に取り付けられたプローブユニットと、前記複数のプローブを介して検査対象基板の各検査ポイントに対して入出力させた電気信号に基づいて当該各検査ポイントの間の電気的パラメータを測定する測定部と、前記測定部および前記複数のプローブの接断を切り替える切替え部と、前記移動機構、前記切替え部および前記測定部を制御すると共に当該測定部の測定結果に基づいて前記各検査ポイントを検査する処理部と、検査の開始および停止を指示する操作スイッチを少なくとも有する操作部とを備えた基板検査装置であって、前記切替え部および前記測定部は、前記プローブユニットと共に前記被移動部に取り付けられ、前記操作部は、前記移動機構本体による前記被移動部の移動時に当該移動機構本体に対して変位しない第１設置位置に設置されている。
【００１２】
また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載の基板検査装置において、前記処理部は、前記プローブユニット、前記切替え部および前記測定部と共に前記被移動部に取り付けられている。
【００１３】
さらに、請求項３記載の基板検査装置は、請求項１または２記載の基板検査装置において、前記移動機構本体による前記被移動部の移動時に当該移動機構本体に対して変位しない第２設置位置に設置されて前記処理部による検査結果を表示する表示部を備えている。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の基板検査装置によれば、プローブユニットと共に切替え部および測定部を移動機構の被移動部に取り付けると共に、移動機構本体による被移動部の移動時に移動機構本体に対して変位しない第１設置位置に操作部を設置したことにより、プローブユニット（各プローブ）と切替え部とを相互に接続するための配線の長さを充分に短くすることができると共に、切替え部と測定部とを相互に接続するための配線の長さを充分に短くすることができる。したがって、プローブと測定部との間で電気的信号を送受信するための配線の長さを充分に短くすることができるため、プローブと測定部との間で電気的信号を短時間で送受信させることができる結果、検査時間を充分に短くすることができると共に、プローブおよび測定部を相互に接続している配線に外乱が混入する可能性を充分に低減することができる結果、検査精度を充分に向上させることができる。また、操作部を移動機構の被移動部に取り付けた構成とは異なり、移動機構（移動機構本体）がプローブユニット等を移動させているときに、操作部が移動機構本体に対して変位せずに第１設置位置に静置された状態が維持されるため、誤操作の発生を確実に回避することができる。
【００１５】
また、請求項２記載の基板検査装置によれば、プローブユニット、切替え部および測定部と共に処理部を被移動部に取り付けたことにより、処理部と切替え部とを相互に接続するための配線の長さを充分に短くすることができる。したがって、処理部から切替え部に制御信号を短時間で送信することができる。これにより、この基板検査装置によれば、各プローブの接断を短時間で切り替えさせることができる結果、検査時間を一層短縮することができる。
【００１６】
さらに、請求項３記載の基板検査装置によれば、移動機構本体による被移動部の移動時に移動機構本体に対して変位しない第２設置位置に表示部を設置したことにより、表示部を移動機構の被移動部に取り付けた構成とは異なり、移動機構（移動機構本体）がプローブユニット等を移動させているときに、表示部が移動機構本体に対して変位せずに第２設置位置に静置された状態が維持されるため、表示部に表示されている表示画面（検査結果等）を確実かつ容易に視認させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明に係る基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
図１に示す基板検査装置１は、「基板検査装置」の一例であって、検査対象基板３０の良否を電気的に検査可能に構成されている。具体的には、この基板検査装置１は、基板保持部２、移動機構３、測定ユニット４およびパーソナルコンピュータ５を備えて構成されている。
【００２０】
基板保持部２は、検査位置に設置された検査対象基板３０を吸着または挟持して保持する。移動機構３は、「移動機構」の一例であって、移動機構本体３ａおよび被移動部３ｂを備えて構成されている。移動機構本体３ａは、基板検査装置１の図示しないフレームに取り付けられると共に、後述するように測定ユニット４に配設されている制御部１４に信号ケーブルＣ５によって接続されている。また、被移動部３ｂは、移動機構３による移動対象（本例では測定ユニット４）が取り付けられると共に、移動機構本体３ａによって移動させられる。この場合、本例の基板検査装置１では、移動機構本体３ａが、上記の制御部１４からの制御信号Ｓ１に従い、基板保持部２によって検査位置に保持されている検査対象基板３０に対して被移動部３ｂを移動させることによって測定ユニット４を移動させ、これにより、測定ユニット４における後述するプローブユニット１１の各プローブ１１ａを検査対象基板３０の各検査ポイントにプロービングさせる構成が採用されている。
【００２１】
測定ユニット４は、プローブユニット１１、スキャナ１２、測定部１３、制御部１４および記憶部１５を備え、これらが一体化されて（ユニット化されて）移動機構３の被移動部３ｂに取り付けられている。プローブユニット１１は、検査対象基板３０上に規定された複数の検査ポイント（図示せず）の位置に合わせて配設された複数のプローブ１１ａを備えて構成されている。この場合、各プローブ１１ａは、信号ケーブルＣ１によってそれぞれ別個にスキャナ１２に接続されている。スキャナ１２は、「切替え部」の一例であって、測定部１３の制御に従い、測定部１３に対する各プローブ１１ａの接断（接続／切断）を切り替える。この場合、スキャナ１２は、接続状態に切り替えたプローブ１１ａを測定部１３に接続するための信号ケーブルＣ２、および後述する制御信号Ｓ３を送受信するための信号ケーブルＣ３によって測定部１３に接続されている。
【００２２】
測定部１３は、制御部１４からの制御信号Ｓ２に従ってスキャナ１２に制御信号Ｓ３を送信して各プローブ１１ａのうちの任意の数本を接続状態に切り替えさせ、かつ他のプローブ１１ａを切断状態（非接続状態）に切り替えさせる。また、測定部１３は、接続状態に切り替えられたプローブ１１ａを介して検査対象基板３０の各検査ポイントに対して入出力させた電気信号に基づき、各検査ポイントの間の電気的パラメータ（電流値、電圧値、抵抗値および位相等：一例として、抵抗値）を測定して測定データＤｓを出力する測定処理を実行する。この場合、測定部１３は、上記の制御信号Ｓ２や測定データＤｓを送受信するための信号ケーブルＣ４によって制御部１４に接続されている。
【００２３】
この基板検査装置１では、プローブユニット１１（各プローブ１１ａ）、スキャナ１２および測定部１３が測定ユニット４内に一体的に配設されて移動機構３の被移動部３ｂに取り付けられている。このため、この基板検査装置１では、各プローブ１１ａと測定部１３とを相互に接続するための配線の長さ（この例では、信号ケーブルＣ１，Ｃ２の合計長）が非常に短くなっており、また、測定部１３からスキャナ１２に制御信号Ｓ３を送信するための信号ケーブルＣ３も非常に短くなっている。また、この基板検査装置１では、制御部１４や記憶部１５が、プローブユニット１１、スキャナ１２および測定部１３と共に測定ユニット４内に一体的に配設されて被移動部３ｂに取り付けられている。このため、この基板検査装置１では、測定部１３および制御部１４を相互に接続する信号ケーブルＣ４の長さも非常に短くなっている。
【００２４】
制御部１４は、基板検査装置１を総括的に制御する。この制御部１４は、後述するようにパーソナルコンピュータ５から送信される操作情報Ｄ１に応じて基板検査装置１の各部を制御する。具体的には、制御部１４は、移動機構３（移動機構本体３ａ）に制御信号Ｓ１を送信して測定ユニット４（被移動部３ｂ）を任意の位置に移動させる。また、制御部１４は、測定部１３と相まって「処理部」を構成し、測定部１３に制御信号Ｓ２を送信することにより、測定部１３を介してスキャナ１２を制御して（測定部１３からスキャナ１２に制御信号Ｓ３を送信させて）、任意のプローブ１１ａを接続状態に切り替えさせ、かつ他のプローブ１１ａを切断状態に切り替えさせる（接断の切替え制御）。
【００２５】
さらに、制御部１４は、測定部１３に制御信号Ｓ２を送信することにより、測定部１３による上記の測定処理を制御する。また、制御部１４は、測定部１３から出力される測定データＤｓを記憶部１５に記憶させると共に、記憶部１５に記憶されている検査用基準データＤ０および測定データＤｓに基づき、検査対象基板３０の各検査ポイントの良否を検査する。さらに、制御部１４は、検査結果に応じて表示用データＤ２を生成し、生成した表示用データＤ２をパーソナルコンピュータ５に送信する。記憶部１５は、制御部１４の動作プログラムや上記の測定データＤｓを記憶する。
【００２６】
一方、パーソナルコンピュータ５は、操作部２１、表示部２２および制御部２３を備え、信号ケーブルＣ６を介して測定ユニット４の制御部１４に接続されている。この場合、本例の基板検査装置１では、パーソナルコンピュータ５の操作部２１を操作することで制御部２３から制御部１４に操作情報Ｄ１が送信されて後述する各種の処理が実行されると共に、後述するように制御部１４から制御部２３に表示用データＤ２が送信されることで表示部２２に各種表示画面（図示せず）が表示される構成が採用されている。つまり、本例の基板検査装置１では、パーソナルコンピュータ５の操作部２１（キーボードやマウス）を「検査の開始および停止を指示する操作スイッチ」として機能させると共に、パーソナルコンピュータ５の表示部２２が「処理部による検査結果を表示可能な表示部」として機能させる構成が採用されている。
【００２７】
この場合、本例の基板検査装置１では、一例として、基板保持部２および移動機構３（移動機構本体３ａ）が基板検査装置１の図示しないフレームに固定的に取り付けられている（「移動機構」が「検査対象基板」を移動させることなく「プローブユニット」だけを移動させる構成の一例）。また、本例の基板検査装置１では、パーソナルコンピュータ５が基板保持部２や移動機構３（移動機構本体３ａ）と同様にして基板検査装置１のフレーム（移動機構本体３ａによる被移動部３ｂの移動時に移動機構本体３ａに対して変位しない位置：「第１設置位置」および「第２設置位置」の一例）に固定的に取り付けられている。
【００２８】
なお、実際の基板検査装置１では、測定ユニット４の各構成要素や移動機構本体３ａなどに電源を供給するための電源部を備え、この電源部がパーソナルコンピュータ５等と共に基板検査装置１のフレームに固定的に取り付けられ、かつ移動機構本体３ａや測定ユニット４と電源部とが電源ケーブルを介して相互に接続されているが、これらの図示および説明を省略する。
【００２９】
この基板検査装置１による検査対象基板３０の検査に際しては、まず、各検査ポイントが規定されている面を上向きにして検査対象基板３０を基板保持部２に保持させる。次いで、パーソナルコンピュータ５の操作部２１を操作して検査処理を開始させる。この際に、パーソナルコンピュータ５の制御部２３は、操作部２１から出力された操作信号に基づいて検査開始を指示する指示操作の操作情報Ｄ１を生成すると共に、信号ケーブルＣ６を介して操作情報Ｄ１を制御部１４に送信する。
【００３０】
これに応じて、制御部１４は、検査対象基板３０についての検査処理を開始する。具体的には、制御部１４は、信号ケーブルＣ５を介して移動機構３（移動機構本体３ａ）に制御信号Ｓ１を送信することにより、基板保持部２によって検査位置に保持されている検査対象基板３０の上方に被移動部３ｂ（測定ユニット４）を移動させた後に、検査対象基板３０に向けて被移動部３ｂを移動させる。これにより、被移動部３ｂに取り付けられている測定ユニット４のプローブユニット１１における各プローブ１１ａが検査対象基板３０の一面（各検査ポイント）にプロービングされる。
【００３１】
この場合、プローブユニット１１およびスキャナ１２の双方が被移動部３ｂに取り付けられているこの基板検査装置１では、前述したように、プローブユニット１１およびスキャナ１２を相互に接続している信号ケーブルＣ１の長さが非常に短くなっている。したがって、この基板検査装置１では、プローブ１１ａの本数と同数を必要とする信号ケーブルＣ１が短い分だけ、移動機構３（移動機構本体３ａ）によって移動させる移動体（被移動部３ｂ、測定ユニット４および各信号ケーブルＣ１〜Ｃ３）の合計質量が充分に軽量化されており、これにより、移動機構本体３ａが被移動部３ｂ（測定ユニット４）を高速に移動させることが可能となっている。
【００３２】
また、この基板検査装置１では、プローブユニット１１、スキャナ１２および測定部１３等と共に被移動部３ｂに取り付けられている制御部１４と、基板検査装置１のフレームに取り付けられている移動機構本体３ａおよびパーソナルコンピュータ５とを相互に接続する信号ケーブルが信号ケーブルＣ５，Ｃ６の２本だけとなっている。したがって、この基板検査装置１では、移動機構３によって検査対象基板３０上（基板保持部２上）の各部に測定ユニット４を移動させるためにある程度長尺にせざるを得ない信号ケーブルの数が少ない分だけ、測定ユニット４の移動に伴って引き回される信号ケーブル（本例では、信号ケーブルＣ５，Ｃ６）の合計質量が充分に軽量化されており、また、これらの信号ケーブルに絡みが生じ難くなっているため、被移動部３ｂ（測定ユニット４）を高速に移動させることが可能となっている。
【００３３】
次いで、制御部１４は、信号ケーブルＣ４を介して測定部１３に制御信号Ｓ２を送信することにより、測定部１３に対するプローブ１１ａの接断を切り替えさせ、かつ接続状態に切り替えられたプローブ１１ａを介しての電気的パラメータの測定処理を実行させる。この場合、「処理部」を構成する制御部１４が測定部１３と共に被移動部３ｂに取り付けられているこの基板検査装置１では、前述したように、制御部１４および測定部１３を相互に接続している信号ケーブルＣ４の長さが非常に短くなっている。したがって、制御部１４から測定部１３に短時間で制御信号Ｓ２を送信することができ、また、信号ケーブルＣ４に外乱が混入して測定部１３に誤作動が生じる可能性も充分に低減されている。これにより、迅速かつ確実に測定処理を開始させることが可能となっている。
【００３４】
一方、制御部１４からの制御信号Ｓ２を受信した測定部１３は、まず、信号ケーブルＣ３を介してスキャナ１２に制御信号Ｓ３を送信することにより、一例として、各プローブ１１ａのうちの任意の２本を接続状態に切り替えさせる共に、他のプローブ１１ａを切断状態に切り替えさせる。この場合、測定部１３がスキャナ１２と共に被移動部３ｂに取り付けられているこの基板検査装置１では、前述したように、測定部１３およびスキャナ１２を相互に接続している信号ケーブルＣ３の長さが非常に短くなっている。したがって、測定部１３からスキャナ１２に短時間で制御信号Ｓ３を送信することができ、また、信号ケーブルＣ３に外乱が混入してスキャナ１２に誤作動が生じる可能性も充分に低減されている。これにより、迅速かつ確実にプローブ１１ａの接断を切り替えさせることが可能となっている。
【００３５】
次いで、測定部１３は、スキャナ１２によって接続状態に切り替えられたプローブ１１ａおよび信号ケーブルＣ２を介して検査対象基板３０の各検査ポイントに対して入出力させた電気信号に基づき、各検査ポイントの間の電気的パラメータ（本例では、抵抗値）を測定して測定データＤｓを生成する。この場合、プローブユニット１１（各プローブ１１ａ）、スキャナ１２および測定部１３のすべてが被移動部３ｂに取り付けられているこの基板検査装置１では、前述したように、プローブ１１ａと測定部１３とを相互に接続する配線の長さ（この例では、信号ケーブルＣ１，Ｃ２の合計長）が非常に短くなっている。したがって、上記の測定処理に際して、測定部１３とプローブ１１ａ（プローブ１１ａがプロービングされている検査対象基板３０の検査ポイント）との間で電気的信号を短時間で送受信することができると共に、この電気的信号に外乱が混入する可能性も充分に低減されている。これにより、迅速かつ確実に所望の電気的パラメータを測定することが可能となっている。
【００３６】
また、測定部１３は、信号ケーブルＣ４を介して測定データＤｓを制御部１４に出力する。この場合、前述したように信号ケーブルＣ４が非常に短くなっているこの基板検査装置１では、測定部１３から制御部１４に測定データＤｓを短時間で送信することが可能となっている。一方、制御部１４は、測定部１３から送信された測定データＤｓを記憶部１５に記憶させると共に、記憶させた測定データＤｓと、記憶部１５から読み出した検査用基準データＤ０とに基づき、スキャナ１２によって接続状態に切り替えられているプローブ１１ａがプロービングされている検査ポイントの良否を検査する。また、制御部１４は、その検査結果に基づいて表示用データＤ２を生成し、信号ケーブルＣ６を介してパーソナルコンピュータ５（制御部２３）に送信する。この際に、制御部２３は、送信された表示用データＤ２に基づいて表示部２２に検査結果（検査結果表示画面：図示せず）を表示させる。
【００３７】
この後、制御部１４は、測定部１３に制御信号Ｓ２を送信することにより、プローブ１１ａの接断の切り替え、および接続状態に切り替えられたプローブ１１ａを介しての電気的パラメータの測定処理を繰り返し実行させる。また、制御部１４は、測定部１３から測定データＤｓが出力される都度、その測定データＤｓおよび検査用基準データＤ０に基づいて検査対象基板３０の検査ポイントの良否を検査すると共に、検査結果に応じて表示用データＤ２を生成してパーソナルコンピュータ５の制御部２３に検査結果を表示させる。さらに、検査対象基板３０上の各検査ポイントについての検査を完了したときには、制御部１４は、移動機構３の移動機構本体３ａに制御信号Ｓ１を出力することにより、測定ユニット４（プローブユニット１１）を検査対象基板３０から離間させて、予め規定された待機位置まで移動させる。これにより、基板保持部２によって保持されている検査対象基板３０についての検査処理が完了する。
【００３８】
このように、この基板検査装置１によれば、プローブユニット１１と共にスキャナ１２および測定部１３を移動機構３の被移動部３ｂに取り付けると共に、移動機構本体３ａによる被移動部３ｂの移動時に移動機構本体３ａに対して変位しない「第１設置位置（本例では、基板検査装置１のフレーム）」に操作部２１（パーソナルコンピュータ５）を設置したことにより、プローブユニット１１（各プローブ１１ａ）とスキャナ１２とを相互に接続するための信号ケーブルＣ１の長さを充分に短くすることができると共に、スキャナ１２と測定部１３とを相互に接続するための信号ケーブルＣ２，Ｃ３の長さを充分に短くすることができる。したがって、プローブ１１ａと測定部１３との間で電気的信号を送受信するための配線の長さ（この例では、信号ケーブルＣ１，Ｃ２の合計長）を充分に短くすることができるため、プローブ１１ａと測定部１３との間で電気的信号を短時間で送受信させることができる結果、検査時間を充分に短くすることができると共に、プローブ１１ａおよび測定部１３を相互に接続している配線（この例では、信号ケーブルＣ１，Ｃ２）に外乱が混入する可能性を充分に低減することができる結果、検査精度を充分に向上させることができる。また、「操作部」を移動機構３（被移動部３ｂ）に取り付けた構成とは異なり、移動機構３（移動機構本体３ａ）がプローブユニット１１等を移動させているときに、操作部２１（パーソナルコンピュータ５）が移動機構本体３ａに対して変位せずに「第１設置位置」に静置された状態が維持されるため、誤操作の発生を確実に回避することができる。
【００３９】
また、この基板検査装置１によれば、プローブユニット１１、スキャナ１２および測定部１３と共に制御部１４を移動機構３の被移動部３ｂに取り付けたことにより、制御部１４とスキャナ１２とを相互に接続するための配線（この例では、信号ケーブルＣ３，Ｃ４）の長さを充分に短くすることができる。したがって、制御部１４から測定部１３に制御信号Ｓ２を短時間で送信することができ、かつ測定部１３からスキャナ１２に制御信号Ｓ３を短時間で送信することができる。これにより、この基板検査装置１によれば、各プローブ１１ａの接断を短時間で切り替えさせることができる結果、検査時間を一層短縮することができる。
【００４０】
さらに、この基板検査装置１によれば、移動機構本体３ａによる被移動部３ｂの移動時に移動機構本体３ａに対して変位しない「第２設置位置（本例では、基板検査装置１のフレーム）」に表示部２２（パーソナルコンピュータ５）を設置したことにより、「表示部」を移動機構３（被移動部３ｂ）に取り付けた構成とは異なり、移動機構３（移動機構本体３ａ）がプローブユニット１１等を移動させているときに、表示部２２（パーソナルコンピュータ５）が移動機構本体３ａに対して変位せずに「第２設置位置」に静置された状態が維持されるため、表示部２２に表示されている表示画面（検査結果等）を確実かつ容易に視認させることができる。
【００４１】
なお、「基板検査装置」の構成は、上記の基板検査装置１の構成に限定されない。例えば、プローブユニット１１、スキャナ１２、測定部１３、制御部１４および記憶部１５を一体化（ユニット化）した測定ユニット４を移動機構３に取り付ける構成を例に挙げて説明したが、「プローブユニット」、「切替え部」、「測定部」および「処理部」を一体化（ユニット化）せずに、それぞれ別個に「被移動部」に取り付ける構成を採用することもできる。このような構成においても、「プローブユニット（各プローブ）」と「測定部」とを相互に接続するための配線の長さを充分に短くすることができるため、「プローブ」ａと「測定部」との間で電気的信号を短時間で送受信させることができる結果、検査時間を充分に短くすることができると共に、外乱が混入する可能性を充分に低減して検査精度を充分に向上させることができる。
【００４２】
また、「処理部」を構成する制御部１４をプローブユニット１１、スキャナ１２および測定部１３と共に移動機構３の被移動部３ｂに取り付けた構成を例に挙げて説明したが、「処理部（上記の例における制御部１４および記憶部１５）」を「移動機構本体による被移動部の移動時に移動機構本体に対して変位しない設置位置：例えば、基板検査装置１のフレーム」に配設する構成を採用することもできる。このような構成においても、プローブユニット１１（各プローブ１１ａ）および測定部１３の間で電気的信号を送受信する配線の長さ（この例では、信号ケーブルＣ１，Ｃ２の合計長）を上記の基板検査装置１と同様にして充分に短くすることができるため、プローブ１１ａと測定部１３との間で電気的信号を短時間で送受信させることができる結果、検査時間を充分に短くすることができると共に、外乱が混入する可能性を充分に低減して検査精度を充分に向上させることができる。
【００４３】
さらに、信号ケーブルＣ６を介して制御部１４にパーソナルコンピュータ５を接続し、このパーソナルコンピュータ５の操作部２１および表示部２２を「操作部」および「表示部」として機能させる構成を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、専用の「操作部」および専用の「表示部」を制御部１４に直接接続する構成を採用することもできる。また、パーソナルコンピュータ５の操作部２１および表示部２２を「操作部」および「表示部」として機能させる構成や、専用の「操作部」および「表示部」を設ける構成を問わず、「操作部」および「表示部」については、「移動機構本体」が取り付けられている要素（上記の例では、基板検査装置１のフレーム）以外の要素であって、「動機構本体による被移動部の移動時に移動機構本体に対して変位しない」との条件を満たす要素（例えば、「移動機構本体」が取り付けられている要素（フレーム等）とは別個に用意された作業台等）の上にこれらを設置する構成を採用することもできる。
【００４４】
さらに、「被移動部」に取り付けられている各構成要素を「信号ケーブル」によって相互に接続する例について説明したが、「被移動部」に取り付けられている構成要素同士については、「信号ケーブル」に代えて、回路基板上に設けたプリントパターンや接続用コネクタなど（各構成要素を相互に接続する「配線」の他の一例）を介して相互に接続する構成を採用することができる。具体的には、基板検査装置１におけるプローブユニット１１とスキャナ１２とを信号ケーブルＣ１に代えてプリントパターン等によって相互に接続する構成、基板検査装置１におけるスキャナ１２と測定部１３とを信号ケーブルＣ２，Ｃ３に代えてプリントパターン等によって相互に接続する構成、および基板検査装置１における測定部１３と制御部１４とを信号ケーブルＣ４に代えてプリントパターン等によって相互に接続する構成を採用することができる。このような構成を採用することにより、「被移動部」に取り付けられる構成要素、すなわち、「移動機構本体」によって移動させる要素についての合計質量を一層低減することができる結果、「移動機構本体」によって対象物を一層高速に移動させることができる。
【００４５】
加えて、移動機構３が検査対象基板３０に向けて測定ユニット４（プローブユニット１１、スキャナ１２および測定部１３等）を移動させることで検査対象基板３０の各検査ポイントにプローブユニット１１の各プローブ１１ａをプロービングさせる構成を例に挙げて説明したが、「検査対象基板」に向けて「プローブユニット」、「切替え部」および「測定部」等を移動させつつ、これらの「プローブユニット」等に向けて「検査対象基板」を移動させることで「各検査ポイント」に「プローブ」をプロービングさせる構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００４６】
１  基板検査装置
２  基板保持部
３  移動機構
３ａ  移動機構本体
３ｂ  被移動部
４  測定ユニット
５  パーソナルコンピュータ
１１  プローブユニット
１１ａ  プローブ
１２  スキャナ
１３  測定部
１４，２３  制御部
１５  記憶部
２１  操作部
２２  表示部
３０  検査対象基板
Ｃ１〜Ｃ６  信号ケーブル
Ｄ０  検査用基準データ
Ｄ１  操作情報
Ｄ２  表示用データ
Ｄｓ  測定データ
Ｓ１〜Ｓ３  制御信号
【図１】
2014071089.tif 000003