(57)【要約】【課題】小型化が可能な純水給水装置及び純水製造装置を提供すること。【解決手段】純水製造装置１００の純水給水装置１は、ベース１１と、ベース１１に設けられ、ステンレス鋼材で形成されたケーシング部２１と、ケーシング部２１に一体に形成されたポンプケーシング３２に設けられるステンレス鋼材で形成されたケーシングライナー５４、ケーシングライナー５４に設けられる樹脂材料で形成されたインペラ５５、ポンプケーシング３２に固定され、樹脂材料又はステンレス鋼材で形成されたケーシングカバー５６、及び、モータ５１を具備するポンプ部２２と、ケーシング部２１に設けられ、純水に接触する部位が、樹脂材料又はステンレス鋼材で形成されたアキュムレータ２３と、フッ素ゴム又はシリコンゴムにより構成されたシール部材５７，６３と、を備える構成とする。【選択図】      図３
2014023989.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
前記ベースに設けられ、ステンレス鋼材で形成された、純水の流路を形成するケーシング部と、
前記ケーシング部に一体に形成されたポンプケーシング、前記ポンプケーシングに設けられ、ステンレス鋼材で形成されたケーシングライナー、前記ケーシングライナーに設けられ、樹脂材料で形成されたインペラ、前記ポンプケーシングに固定され、樹脂材料又はステンレス鋼材で形成されたケーシングカバー、及び、モータを具備するポンプ部と、
前記ケーシング部に設けられ、少なくとも前記流路中に配置され、前記純水に接触する部位が、樹脂材料又はステンレス鋼材で形成されたアキュムレータと、
前記ポンプケーシング及び前記ケーシングカバーの間、並びに、前記ケーシング部及び前記アキュムレータの間に介在する、フッ素ゴム又はシリコンゴムにより構成されたシール部材と、
を備えることを特徴とする純水給水装置。
【請求項２】
前記ベース上に配置され、前記ケーシング部、前記ポンプ部、前記アキュムレータを覆うカバーをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の純水給水装置。
【請求項３】
前記ケーシング部に設けられ、少なくとも前記流路中に配置され、前記純水に接触する部位が樹脂材料で形成された、前記ポンプ部により供給された前記純水の圧力及び流量を検出する検出器をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の純水給水装置。
【請求項４】
前記ケーシング部、前記ポンプ部、前記アキュムレータ及び前記シール部材は、それぞれ一対設けられ、前記ベース上に配置されることを特徴とする請求項１に記載の純水給水装置。
【請求項５】
原水が通過するフィルタ、前記原水を通過する活性炭ろ過装置、前記原水を増圧給水する高圧ポンプ、及び、前記高圧ポンプから増圧給水された逆浸透膜装置を具備し、前記原水を処理して純水とする処理装置と、
前記処理装置の二次側に配置され、前記処理装置で処理された純水を貯留する貯蔵タンクと、
ベース、前記ベースに設けられ、ステンレス鋼材で形成された、純水の流路を形成するケーシング部、前記ケーシング部に一体に形成されたポンプケーシングと、前記ポンプケーシングに設けられ、ステンレス鋼材で形成されたケーシングライナーと、前記ケーシングライナーに設けられ、樹脂材料で形成されたインペラと、前記ポンプケーシングに固定され、樹脂材料又はステンレス鋼材で形成されたケーシングカバーと、モータとを有するポンプ部、前記ケーシング部に設けられ、少なくとも前記流路中に配置され、前記純水に接触する部位が樹脂材料で形成された、前記ポンプ部により供給された前記純水の圧力及び流量を検出する検出器、前記ケーシング部に設けられ、少なくとも前記流路中に配置され、前記純水に接触する部位が、樹脂材料又はステンレス鋼材で形成されたアキュムレータ、並びに、前記ポンプケーシング及び前記ケーシングカバーの間並びに前記ケーシング部及び前記アキュムレータの間に介在する、フッ素ゴム又はシリコンゴムにより構成されたシール部材、を具備し、貯蔵タンクの二次側に接続された純水給水装置と、
を備えることを特徴とする純水製造装置。
【請求項６】
前記純水給水装置は、前記ベース上に配置され、前記ケーシング部、前記ポンプ部、前記アキュムレータを覆うカバーをさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の純水製造装置。
【請求項７】
前記ケーシング部に設けられ、少なくとも前記流路中に配置され、前記純水に接触する部位が樹脂材料で形成された、前記ポンプ部により供給された前記純水の圧力及び流量を検出する検出器をさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の純水製造装置。
【請求項８】
前記純水給水装置の二次側に設けられ、前記純水給水装置の二次側の純水の導電率を検出可能に形成された導電率センサをさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の純水製造装置。
【請求項９】
前記導電率センサに接続され、前記導電率センサで検出された前記純水給水装置の二次側の前記純水の導電率を表示する表示手段をさらに備えることを特徴とする請求項８に記載の純水製造装置。
【請求項１０】
前記導電率センサは、前記純水給水装置の一次側にさらに設けられ、前記純水給水装置の一次側の前記純水の導電率を検出可能に形成され、
前記表示手段は、前記純水給水装置の一次側に設けられた前記導電率センサに接続され、前記純水給水装置の一次側の前記純水の導電率をさらに表示することを特徴とする請求項９に記載の純水製造装置。
【請求項１１】
前記ケーシング部、前記ポンプ部、前記アキュムレータ及び前記シール部材は、それぞれ一対設けられ、前記ベース上に配置されることを特徴とする請求項５に記載の純水製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、純水を供給する純水給水装置及び純水製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、工業用等に用いられる純水を製造する技術として、水道水、井戸水、及び、半導体製造に用いられて回収された回収水等を処理して純水を製造する純水製造装置が知られている。
【０００３】
このような純水製造装置は、例えば、処理を行う原水をフィルタや活性炭ろ過装置等により処理を行い、その後、逆浸透膜装置及び電気脱イオン装置を通過させて処理を行うことで純水が製造される。
【０００４】
また、純水製造装置で製造された純水は、一度、貯留タンクに貯められ、必要に応じて純水を給水する技術が知られている。このような、純水を供給する技術として、純水製造装置及び貯留タンクの二次側に、純水を給水するポンプを備える純水給水装置を設け、ポンプを駆動することで、貯留タンクの二次側に給水する技術が知られている。
【０００５】
このような純水給水装置は、例えば、作業者が手動によって駆動することで、純水を給水する技術が知られている。また、純水給水装置は、ポンプの二次側の配管に、流量センサ、圧力センサ及びアキュムレータを設け、制御盤によりポンプを自動制御する技術も知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２０１３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した純水給水装置では、次のような問題があった。即ち、純水給水装置は、自動制御を行うために、ポンプの二次側の配管に、流量センサ、圧力センサ及びアキュムレータを設けるとともに、制御盤を設けることで構成されるが、これら流量センサ、圧力センサ、アキュムレータ及び制御盤は、離れた位置に配置されることが多い。
【０００８】
このため、純水給水装置の大型化や、流量センサ及び圧力センサと制御盤とを接続する信号線が長くなる。このため、純水給水装置の製造コストが増大する虞や、設置条件に制限が発生する虞があった。そこで、近年、純水給水装置は、小型化が可能であって、且つ、各構成品の一体化の要望があった。
【０００９】
そこで本発明は、小型化が可能な純水給水装置及び純水製造装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決し目的を達成するために、本発明の純水給水装置及び純水製造装置は、次のように構成されている。
【００１１】
本発明の一態様として、ベースと、前記ベースに設けられ、ステンレス鋼材で形成された、純水の流路を形成するケーシング部と、前記ケーシング部に一体に形成されたポンプケーシング、前記ポンプケーシングに設けられ、ステンレス鋼材で形成されたケーシングライナー、前記ケーシングライナーに設けられ、樹脂材料で形成されたインペラ、前記ポンプケーシングに固定され、樹脂材料又はステンレス鋼材で形成されたケーシングカバー、及び、モータを具備するポンプ部と、前記ケーシング部に設けられ、少なくとも前記流路中に配置され、前記純水に接触する部位が、樹脂材料又はステンレス鋼材で形成されたアキュムレータと、前記ポンプケーシング及び前記ケーシングカバーの間、並びに、前記ケーシング部及び前記アキュムレータの間に介在する、フッ素ゴム又はシリコンゴムにより構成されたシール部材と、を備える。
【００１２】
本発明の一態様として、原水が通過するフィルタ、前記原水を通過する活性炭ろ過装置、前記原水を増圧給水する高圧ポンプ、及び、前記高圧ポンプから増圧給水された逆浸透膜装置を具備し、前記原水を処理して純水とする処理装置と、前記処理装置の二次側に配置され、前記処理装置で処理された純水を貯留する貯蔵タンクと、ベース、前記ベースに設けられ、ステンレス鋼材で形成された、純水の流路を形成するケーシング部、前記ケーシング部に一体に形成されたポンプケーシングと、前記ポンプケーシングに設けられ、ステンレス鋼材で形成されたケーシングライナーと、前記ケーシングライナーに設けられ、樹脂材料で形成されたインペラと、前記ポンプケーシングに固定され、樹脂材料又はステンレス鋼材で形成されたケーシングカバーと、モータとを有するポンプ部、前記ケーシング部に設けられ、少なくとも前記流路中に配置され、前記純水に接触する部位が樹脂材料で形成された、前記ポンプ部により供給された前記純水の圧力及び流量を検出する検出器、前記ケーシング部に設けられ、少なくとも前記流路中に配置され、前記純水に接触する部位が、樹脂材料又はステンレス鋼材で形成されたアキュムレータ、並びに、前記ポンプケーシング及び前記ケーシングカバーの間並びに前記ケーシング部及び前記アキュムレータの間に介在する、フッ素ゴム又はシリコンゴムにより構成されたシール部材、を具備し、貯蔵タンクの二次側に接続された純水給水装置と、を備える。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、小型化が可能な純水給水装置及び純水製造装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る純水製造装置の構成を模式的に示す説明図。
【図２】同純水製造装置に用いられる純水供給装置の構成を一部分解して示す斜視図。
【図３】同純水給水装置の構成を分解して示す斜視図。
【図４】同純水給水装置の構成を示す上面図。
【図５】同純水給水装置に用いられるケーシング部の構成を示す上面図。
【図６】同ケーシング部の構成を示す断面図。
【図７】同純水給水装置に用いられる検出器の構成を示す断面図。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る純水給水装置の構成を示す上面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の第１の実施形態に係る純水給水装置１を、図１乃至図７を用いて説明する。  
図１は本発明の第１の実施形態に係る純水製造装置１００の構成を模式的に示す説明図、図２は純水製造装置１００に用いられる純水給水装置１の構成を一部分解して示す斜視図、図３は純水給水装置１の構成を分解して示す斜視図、図４は純水給水装置１の構成を示す上面図、図５は純水給水装置１に用いられるケーシング部２１の構成を示す上面図、図６はケーシング部２１の構成を示す断面図、図７は純水給水装置１に用いられる検出器２４の構成を示す断面図である。
【００１６】
図１に示すように、純水製造装置１００は、供給源１１１と、原水を純水とする処理を行う処理装置１１２と、処理装置１１２の二次側に配置され、純水を貯留する貯留タンク１１３と、貯留タンク１１３に接続された純水給水装置１と、純水給水装置１の一次側及び二次側に配置された導電率センサ１１４と、制御装置１１５と、を備えている。純水製造装置１００は、処理装置１１２で処理した純水を、純水給水装置１により、供給先１１６に供給可能に形成されている。
【００１７】
供給源１１１は、例えば、水道水、井戸水、及び、半導体製造に用いられて回収された回収水等の処理を行う原水が貯留されるタンク等である。また、供給源１１１は、その二次側に原水を供給する給水ポンプを備えている。
【００１８】
処理装置１１２は、プレフィルタ１２１と、原水タンク１２２と、保安フィルタ（フィルタ）１２３と、活性炭ろ過装置１２４と、供給源の原水を供給する高圧ポンプ１２５と、逆浸透膜装置１２６と、を備えている。また、処理装置１１２は、他にも、オリフィス、流量計、圧力計、洗浄装置及び電気脱イオン装置等を備えている。
【００１９】
プレフィルタ１２１は、供給源１１１から供給された原水に含有する不純物等を除去可能に形成されている。原水タンク１２２は、プレフィルタ１２１を通過した原水を一時的に貯留可能に形成されている。保安フィルタ１２３は、原水タンク１２２から供給された原水に含有する不純物を除去可能に形成されている。
【００２０】
活性炭ろ過装置１２４は、保安フィルタ１２３を通過した原水に含有される微小な不純物を除去可能に形成されている。高圧ポンプ１２５は、活性炭ろ過装置１２４を通過した原水を増圧し、その二次側に圧送可能に形成されている。
【００２１】
逆浸透膜（ＲＯ膜）装置１２６は、高圧ポンプ１２５から圧送された原水を脱塩処理可能に形成されている。貯留タンク１１３は、処理装置１１２で製造された純水を貯留可能に形成されている。
【００２２】
導電率センサ１１４は、純水給水装置１の一次側及び二次側に配置され、純水の導電率を検出可能に形成されている。制御装置１１５は、導電率センサ１１４及び高圧ポンプ１２５に、信号線Ｓを介して接続されている。
【００２３】
制御装置１１５は、外部から入力された指令に基づいて、高圧ポンプ１２５を制御可能に形成されている。また、制御装置１１５は、導電率センサ１１４で検出した原水の導電率の情報を受信可能に形成されている。制御装置１１５は、例えば、受信した情報を記憶する記憶手段、及び、情報を表示可能な表示手段等を備えている。
【００２４】
図２に示すように、純水給水装置１は、ベース１１と、ポンプ装置１２と、制御盤１３と、カバー１４と、を備えている。このような純水給水装置１は、貯留タンク１１３に貯留された純水を、供給先に供給可能に形成されている。
【００２５】
ベース１１は、樹脂材料で形成されている。図３及び図４に示すように、ベース１１は、その上面に、ポンプ装置１２、制御盤１３及びカバー１４を固定可能に形成されている。ベース１１は、ポンプ装置１２、制御盤１３及びカバー１４を固定するボルトや螺子等の締結部材Ｂと締結される被締結部材が複数形成されている。また、ベース１１は、その上部に、副制御部１６を取付可能な取付部１７を備えている。
【００２６】
なお、副制御部１６は、制御盤１３に接続可能に形成されている。この副制御部１６は、例えば、制御盤１３で検出された、ポンプ装置１２の後述するポンプ部２２の故障情報、及び、ポンプ部２２の運転信号を外部、例えば、集中管理室や制御装置１１５に出力可能に形成されている。取付部１７は、例えば、ベース１１の外周側の一部であって、ポンプ部２２に隣接する位置に配置される。
【００２７】
ポンプ装置１２は、ケーシング部２１と、ポンプ部２２と、アキュムレータ２３と、検出器２４と、フランジ部２５と、を備えている。ポンプ装置１２は、ケーシング部２１が貯留タンクに接続されるとともに、ケーシング部２１を介して二次側に純水を給水可能に形成されている。
【００２８】
図３乃至図６に示すように、ケーシング部２１は、吸込管部３１と、ポンプケーシング３２と、自吸室３３と、吐出管部３４と、を備えている。ケーシング部２１は、吸込管部３１、ポンプケーシング３２、自吸室３３及び吐出管部３４が、ステンレス鋼材によって一体に成型されている。また、ケーシング部２１は、その外郭の一部に締結部材Ｂの一部を挿入可能な孔部２１ａ及び締結部材Ｂの頭部を受ける座面２１ｂを複数有している。ケーシング部２１は、孔部２１ａ及びボルト等の締結部材Ｂによりベース１１に固定可能に形成されている。なお、孔部２１ａ及び座面２１ｂは、ケーシング部２１をベース１１に締結部材Ｂにより固定可能な数だけ設けられていればよく、本実施の形態においては、孔部２１ａ及び座面２１ｂは、ケーシング部２１の３箇所に設けられる。
【００２９】
吸込管部３１は、その一端部が開口するとともに、その他端部がポンプケーシング３２に接続される。吸込管部３１は、その一端部にフランジ部２５を固定可能に形成されている。吸込管部３１は、その内部に、その一端部の開口及びポンプケーシング３２を連続する純水の流路Ｆを形成する。吸込管部３１は、その一次側が、フランジ部２５及び配管を介して、貯留タンク１１３に接続される。
【００３０】
ポンプケーシング３２は、ポンプ部２２の一部を構成する。ポンプケーシング３２は、吸込管部３１及び自吸室３３に接続される。ポンプケーシング３２は、有底円筒状に形成され、その側面に、吸込管部３１及び自吸室３３とそれぞれ連続する開口部３２ａ，３２ｂが形成されている。ポンプケーシング３２は、開口部３２ａ，３２ｂにより、吸込管部３１及び自吸室３３に連続する純水の流路Ｆを形成する。ポンプケーシング３２は、その周囲に、後述するケーシングカバー５６を固定するための複数のボルト部３２ｄを備えている。
【００３１】
自吸室３３は、その内部に方体箱状に形成され、その内部に空間（室）が形成されている。自吸室３３は、その内部に、その内部の空間を一次側の空間３３ａ及び二次側の空間３３ｂに分割する分割板３６を備えている。
【００３２】
自吸室３３は、その上面であって、分割板３６により分割された一次側の空間３３ａ上に設けられた呼水孔３７と、その上面であって、二次側の空間３３ｂ上に設けられた第１開口部３８と、を備えている。また、自吸室３３は、第１開口部３８の周囲に、検出器２４を支持可能な第１座面３８ａ、並びに、第１開口部３８及び検出器２４間に介在されるシール部材４１が挿入される第１シール溝３８ｂが形成される。
【００３３】
分割板３６は、所謂気液分離板である。分割板３６は、所定の高さに形成され、自吸室３３内を、その上方で連続する二つの空間３３ａ，３３ｂに分割可能に形成されている。また、分割板３６は、その一方の側部がポンプケーシング３２の開口部３２ｂと対向して配置され、開口部３２ｂを２つに分割可能に形成されている。即ち、分割板３６は、二つの空間３３ａ，３３ｂが開口部３２ｂにそれぞれ位置するように自吸室３３内の空間を分割する。
【００３４】
呼水孔３７は、一次側の空間３３ａと連続する開口であって、その内周面に雌ねじ部が形成された、所謂呼水用の穴である。第１開口部３８は、二次側の空間３３ｂの純水を自吸室３３の二次側に移動させる吐出口である。第１開口部３８は、検出器２４と接続可能に形成されている。
【００３５】
また、自吸室３３は、例えば、呼水孔３７に着脱自在に締結されるプラグ３９と、当該プラグ３９に介在されるシール部材４０と、第１開口部３８に介在されるシール部材４１と、を備えている。プラグ３９は、ポリプロピレン（ＰＰ）等の樹脂材料で形成されている。シール部材４０は、フッ素ゴム又はシリコンゴム等の樹脂材料で形成された、所謂Ｏリングである。
【００３６】
吐出管部３４は、自吸室３３に隣接して設けられるとともに、自吸室３３と一体に形成され、高さ方向に延設された第１管部４３と、第１管部４３と直交する方向であって、且つ、吸込管部３１に平行に延設された第２管部４４と、を備えている。
【００３７】
第１管部４３は、その上端が自吸室３３の第１座面３８ａと面一に形成されるとともに、その上端に第２開口部４６が形成される。具体的には、第１管部４３は、その第２開口部４６が、検出器２４と接続可能に形成されている。
【００３８】
第１管部４３は、第２開口部４６の周囲に、検出器２４を支持可能な第２座面４６ａ、及び、検出器２４との間に介在されるシール部材４１が挿入される第２シール溝４６ｂを備えている。第１管部４３は、第２開口部４６から第２管部４４へ連続する純水の流路Ｆを形成する。
【００３９】
なお、第１座面３８ａ及び第２座面４６ａは、検出器２４を支持する座面４７を構成する。この座面４７は、検出器２４をボルトやナット等の締結部材Ｂにより固定するためのボルト孔４７ａ及びボルト部４７ｂが形成されている。第１シール溝３８ｂ及び第２シール溝４６ｂは、それら一部が連続することで、一つのシール溝を構成する。なお、座面４７及びシール溝は、別体に形成されていてもよい。
【００４０】
第２管部４４は、その両端部が開口するとともに、当該両端部にフランジ部２５が固定可能に形成されている。第２管部４４は、第１管部４３とその両端部とを連続する純水の流路Ｆを形成する。第２管部４４は、その一部にアキュムレータ２３を取り付ける取付部４９が形成されている。取付部４９は、その内周面に雌ねじ部が形成された開口部４９ａと、開口部４９ａの周囲に形成された座面４９ｂと、を備えている。
【００４１】
ポンプ部２２は、モータ５１及びポンプ５２を備えている。ポンプ部２２は、制御盤１３の制御により、吸込管部３１からの純水を二次側に圧送することで、給水可能に形成されている。
【００４２】
モータ５１は、モータケーシング５１ａと、モータケーシング５１ａ内に設けられた固定子と、モータケーシング５１ａ内に設けられた回転子と、回転子に固定された回転軸５１ｂと、を有している。モータ５１は、制御盤１３に、信号線Ｓを介して接続されている。モータ５１は、制御盤１３により回転軸５１ｂの回転数が制御される。
【００４３】
モータケーシング５１ａは、その一端に、ポンプ５２の後述するケーシングカバー５６が一体に形成されている。回転軸５１ｂは、ステンレス鋼材で形成されている。回転軸５１ｂは、その端部がモータケーシング５１ａの一端及びケーシングカバー５６から突出して配置される。
【００４４】
ポンプ５２は、ポンプケーシング３２と、ケーシングライナー５４と、羽根車５５と、ケーシングカバー５６と、ポンプケーシング３２及びケーシングカバー５６間に介在されるシール部材５７と、を備えている。ポンプ５２は、ポンプケーシング３２、ケーシングライナー５４及びケーシングカバー５６により、ポンプ室が形成される。
【００４５】
ケーシングライナー５４は、ステンレス鋼材により形成されている。ケーシングライナー５４は、有底円筒状に形成され、その外径がポンプケーシング３２の内径と略同一径に形成されている。ケーシングライナー５４は、嵌め合いにより、ポンプケーシング３２に固定される。
【００４６】
ケーシングライナー５４は、吸込管部３１に位置する側面に設けられた吸込孔５４ａと、自吸室３３の一次側の空間３３ａ側に位置する側面に設けられた吐出孔５４ｂと、自吸室３３の二次側の空間３３ｂに位置する側面に設けられた逆流孔５４ｃと、を備えている。ケーシングライナー５４は、吸込孔５４ａがポンプケーシング３２の開口部３２ａと、吐出孔５４ｂ及び逆流孔５４ｃが開口部３２ｂと、それぞれ対向して、ポンプケーシング３２に配置される。
【００４７】
逆流孔５４ｃは、吐出孔５４ｂの開口面積よりも小さな開口面積に形成されている。また、逆流孔５４ｃは、吐出孔５４ｂの一次側に位置する。
【００４８】
羽根車５５は、円板状のベースと、当該ベースの外周面側であって、その両方の主面にベースの面方向と直交する方向に延設された複数の羽根と、を備えている。羽根車５５は、回転軸５１ｂに固定されるとともに、ケーシングライナー５４内に配置される。羽根車５５は、ＰＰ等の樹脂材料により形成されている。
【００４９】
ケーシングカバー５６は、ケーシングライナー５４及び羽根車５５を覆ってポンプケーシング３２に固定されることで、ケーシングライナー５４とポンプ室を構成する。ケーシングカバー５６は、樹脂材料又はステンレス鋼材により形成されている。シール部材５７は、フッ素ゴム又はシリコンゴム等の樹脂材料で形成された、所謂Ｏリングである。
【００５０】
アキュムレータ２３は、ステンレス鋼材及び樹脂材料で形成された、蓄圧可能な容器体６１と、容器体６１に一体に設けられ、その内部が容器体６１と連続するとともに、取付部４９の雌ねじ部と螺合する被取付部６２と、取付部４９及び被取付部６２間に介在されるシール部材６３と、を備えている。
【００５１】
被取付部６２はステンレス鋼材により形成されている。シール部材６３は、フッ素ゴム又はシリコンゴム等の樹脂材料で形成されている、所謂Ｏリングである。
【００５２】
検出器２４は、自吸室３３を通過した純水の流量及び圧力を検出可能に形成されている。検出器２４は、制御盤１３に例えば、信号線Ｓを介して接続され、検出した流量及び圧力の情報を送信可能に形成されている。
【００５３】
検出器２４は、図７に示すように、外郭部材６４と、外郭部材６４の内部に設けられた流量検出部６５及び圧力検出部６６と、を備えている。外郭部材６４は、その下方に、第１開口部３８及び第２開口部４６とそれぞれ連続する一次側開口部６４ａ及び二次側開口部６４ｂを有する。また、外郭部材６４は、一次側開口部６４ａ及び二次側開口部６４ｂ間に設けられ、自吸室３３及び吐出管部３４の第１管部４３に連続する純水の流路Ｆを形成する流路部６４ｃを備えている。流路部６４ｃは、例えば、一次側開口部６４ａから重力方法に延設されるとともに、１８０度曲折することで、二次側開口部６４ｂに連続される。
【００５４】
流量検出部６５は、一次側開口部６４ａ側の流路部６４ｃの内部に、流路部６４ｃ及び重力方向に延設された円柱状の案内部６８と、案内部６８に沿って純水の流れにより移動可能なフロート６９と、フロート６９内に配置された磁石７０と、案内部６８内に配置された検出部７１と、を備えている。
【００５５】
案内部６８は、重力方向であって、且つ、純水の流れ方向に沿って延設されている。フロート６９は、その内部に案内部６８を挿入可能な円筒状に形成されるとともに、その内部に磁石７０が配置される。フロート６９は、ＰＰ等の樹脂材料により形成され、純水が所定の流量で流れた場合に、磁石７０が検出部７１の位置まで移動可能な浮力に設定される。磁石７０は、純水と非接触可能に、フロート６９の内部に配置される。
【００５６】
検出部７１は、制御盤１３と信号線Ｓを介して接続されている。検出部７１は、その周囲に、フロート６９が位置すると、磁石７０の磁力を検出することで、純水が所定の流量で流れていると検出可能に形成されている。また、検出部７１は、当該検出した情報を、制御盤１３に送信可能に形成されている。
【００５７】
圧力検出部６６は、外郭部材６４の流路部６４ｃに設けられた開口部７２と、開口部７２に設けられた、歪みゲージを有する膜体７３と、を備えている。膜体７３は、歪みゲージが信号線Ｓを介して制御盤１３に接続されている。膜体７３は、純水の圧力によって変形することで、歪みゲージの歪み量によって、圧力を検出可能に形成されている。
【００５８】
図１乃至図５に示すように、フランジ部２５は、吸込管部３１及び吐出管部３４の第２管部４４に固定されている。例えば、フランジ部２５は、吸込管部３１に接続される第１フランジ７５と、第２管部４４の一方の開口に配置される第２フランジ７６と、第２管部４４の他方の開口に配置される第３フランジ７７と、を備えている。
【００５９】
また、フランジ部２５は、吸込管部３１及び第１フランジ７５間に介在される逆止弁７８と、第２管部４４及び第２フランジ７６間に介在されるフランジパッキン７９と、第２管部４４及び第３フランジ７７間に介在されるシール部材８０と、を備えている。また、フランジ部２５は、ボルト等の締結部材Ｂにより、ケーシング部２１に固定される。
【００６０】
第１フランジ７５は、純水の貯留タンクに接続される配管を接続可能に形成されている。第２フランジ７６は、純水の供給先に接続される配管を接続可能に形成されている。
【００６１】
第３フランジ７７は、その開口を閉塞するキャップ７７ａと、第３フランジ７７及びキャップ７７ａ間に介在される、フッ素ゴム又はシリコンゴム等の樹脂材料で形成されたシール部材７７ｂと、を備えている。第３フランジ７７は、キャップ７７ａを回転させてシール部材７７ｂによる密閉を解除することで、ケーシング部２１内の圧力を除去可能に形成されている。
【００６２】
逆止弁７８は、フッ素ゴム又はシリコンゴム等の樹脂材料で形成されている。逆止弁７８は、吸込管部３１の端面及び第１フランジ７５間を密封するとともに、第１フランジ７５の開口を閉塞可能に形成されている。逆止弁７８は、ポンプ５２から第１フランジ７５への純水の流れを規制可能に形成されている。
【００６３】
フランジパッキン７９は、第２管部４４の一方の端面及び第２フランジ７６間に配置された面シールである。フランジパッキン７９は、フッ素ゴム又はシリコンゴム等の樹脂材料により形成されている。
【００６４】
シール部材８０は、第２管部４４の他方の端面及び第３フランジ７７間に配置された、所謂Ｏリングである。シール部材８０は、フッ素ゴム又はシリコンゴム等の樹脂材料により形成されている。
【００６５】
制御盤１３は、モータ５１を制御するインバータを備えている。制御盤１３は、検出器２４及びモータ５１に信号線Ｓを介して接続されている。制御盤１３は、検出器２４で検出した流量及び圧力の情報を受信するとともに、目標流量及び圧力となるように、受信した情報に基づいてモータ５１を制御可能に形成されている。即ち、制御盤１３は、検出器２４で検出された流量及び圧力に基づいてモータ５１を制御することで、ポンプ５２を目標圧一定の自動制御が可能に形成されている。また、制御盤１３は、電源ケーブル８５及びアース８６を備えている。
【００６６】
図１に示すように、カバー１４は、ベース１１の上方、ポンプ装置１２及び制御盤１３を覆うことが可能に形成されている。カバー１４は、フランジ部２５及び電源ケーブル８５及びアース８６を外部に露出可能に形成されている。カバー１４は、ベース１１に、クランプ８８及びビス８９等により固定可能に形成されている。
【００６７】
クランプ８８は、その一端部をカバー１４に、その他端部をベース１１に固定することで、カバー１４をベース１１に固定可能に形成されている。また、ビス８９は、ベース１１に形成された雌ねじ部と締結することで、その頭部によりカバー１４をベース１１に固定可能に形成されている。なお、クランプ８８及びビス８９は、いずれか一方のみが用いられる構成であってもよい。
【００６８】
このように構成された純水製造装置１００によれば、供給源１１１から供給された原水を、処理装置１１２、具体的には、プレフィルタ１２１、保安フィルタ１２３、活性炭ろ過装置１２４、逆浸透膜装置１２６を通過させることで、純水とすることが可能となる。また、純水製造装置１００は、処理装置１１２で処理した純水を、貯留タンク１１３に一時的に保存するとともに、純水給水装置１を駆動することで、貯留タンク１１３に貯留した純水を供給先１１６に供給することが可能となる。
【００６９】
また、純水製造装置１００は、純水給水装置１の二次側に導電率センサ１１４を備える構成とすることで、純水給水装置１を通過することによる純水の導電率の変化を監視することが可能となる。また、純水製造装置１００は、純水給水装置１の一次側にも導電率センサ１１４を設けることで、純水給水装置１の一次側及び二次側の導電率を検出することで、純水給水装置１の通過による純水の影響を監視することが可能となる。
【００７０】
純水給水装置１は、その純水に接触する構成（部位）が、ステンレス鋼材、並びに、フッ素ゴム、シリコンゴム及びＰＰ等の樹脂材料により構成されている。このため、純水中に、不純物が含有されることを極力防止することが可能となる。
【００７１】
また、純水給水装置１は、ケーシングライナー５４をステンレス鋼材で形成し、羽根車５５を樹脂材料により形成することで、羽根車５５の噛り付きを防止可能となる。
【００７２】
さらに、純水給水装置１は、ベース１１上に、ポンプ装置１２及び制御盤１３を固定するとともに、副制御部１６を取付可能な取付部１７をベース１１に有し、これらポンプ装置１２、制御盤１３及び取付部１７を、カバー１４により覆うことで、一体構成とした。この構成により純水給水装置１は、小型化が可能、且つ、カバー１４により、ベース１１上の構成品を覆うことで、耐候性を向上することが可能となる。
【００７３】
また、ベース１１に、副制御部１６の取付部１７を設けることで、ポンプ装置１２の故障及び運転信号を出力可能な副制御部１６を必要時に追加設置可能となる。また、取付部１７は、ベース１１上であって、カバー１４で覆われれる範囲内に配置することで、副制御部１６を追加しても、副制御部１６を、ベース１１上に、他の構成と一体に配置することが可能となる。
【００７４】
また、純水製造装置１００は、貯留タンク１１３に貯留した純水を、各構成を一体にベース１１上に配置した純水給水装置１を用いることで、純水給水装置１の設置に必要な設置範囲は、ベース１１の範囲があればよく、このため、純水製造装置１００の設置に必要な設置範囲を低減することが可能となる。
【００７５】
上述したように、本発明の第１の実施形態に係る純水給水装置１、及び、純水給水装置１を用いた純水製造装置１００によれば、ベース１１上に、ポンプ装置１２及び制御盤１３を配置し、カバー１４により覆うことで、小型化とすることが可能となる。
【００７６】
次に、本発明の第２の実施形態に係る純水製造装置１００に用いられる純水給水装置１Ａについて、図８を用いて説明する。  
図８は、本発明の第２の実施形態に係る純水製造装置１００に用いられる純水給水装置１Ａの構成を模式的に示す上面図である。なお、図８中、上述した第１の実施形態に係る純水給水装置１と同等の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００７７】
純水給水装置１Ａは、純水製造装置１００の貯留タンク１１３の二次側に配置されるとともに、その一次側及び二次側に、導電率センサ１１４が配置される。
【００７８】
純水給水装置１Ａは、ベース１１Ａと、一対のポンプ装置１２と、制御盤１３と、カバー１４と、連結管１５と、を備えている。このような純水給水装置１Ａは、貯留タンク１１３に貯留された純水を、供給先１１６に供給可能に形成されている。
【００７９】
ベース１１Ａは、樹脂材料で形成されている。ベース１１Ａは、その上面に、一対のポンプ装置１２、制御盤１３、カバー１４及び連結管１５を固定可能に形成されている。ベース１１Ａは、ポンプ装置１２、制御盤１３及びカバー１４を固定するボルトや螺子等の締結部材Ｂと締結される被締結部材が複数形成されている。
【００８０】
ポンプ装置１２は、ベース１１Ａ上に、一対配置される。ポンプ装置１２は、ケーシング部２１と、ポンプ部２２と、アキュムレータ２３と、検出器２４と、フランジ部２５と、を備えている。ポンプ装置１２は、ケーシング部２１が貯留タンクに接続されるとともに、ケーシング部２１を介して二次側に純水を給水可能に形成されている。
【００８１】
ケーシング部２１の吐出管部３４は、第２管部４４の一方の開口に第３フランジ７７が配置され、第２管部４４の他方の開口に連結管１５が接続される。
【００８２】
連結管１５は、一方の端部に２つの開口を有するとともに、他方の端部に一つの開口を有して形成される。具体的には、連結管１５は、一方の端部の２つの開口が一対のポンプ装置１２の第２管部４４の他方の開口にそれぞれ接続されるとともに、これら第２管部４４の他方の開口の二次側を合流可能に形成された、所謂合流管である。連結管１５は、他方の開口に第２フランジ７６が配置される。
【００８３】
また、連結管１５は、その外郭の一部に締結部材Ｂの一部を挿入可能な孔部１５ａ及び締結部材Ｂの頭部を受ける座面１５ｂを複数有している。
【００８４】
このように構成された純水給水装置１Ａは、上述した純水給水装置１と同様の効果を奏することが可能となる。具体的には、純水給水装置１Ａは、貯留タンク１１３に貯留した純水を供給先１１６に、供給することが可能となる。
【００８５】
純水給水装置１Ａは、その純水に接触する構成が、ステンレス鋼材、並びに、フッ素ゴム、シリコンゴム及びＰＰ等の樹脂材料により構成されている。このため、純水中に、不純物が含有されることを極力防止することが可能となる。
【００８６】
純水給水装置１Ａは、ケーシングライナー５４をステンレス鋼材で形成し、羽根車５５を樹脂材料により形成することで、羽根車５５の噛り付きを防止可能となる。
【００８７】
純水給水装置１Ａは、ベース１１Ａ上に、一対のポンプ装置１２、制御盤１３及び連結管１５を固定するとともに、一対のポンプ装置１２、制御盤１３及び連結管１５を、カバー１４により覆う一体構成とすることで、小型化が可能、且つ、耐候性を向上することが可能となる。
【００８８】
また、純水給水装置１Ａは、ポンプ装置１２を一対設ける構成とすることで、純水の給水量を増加させることが可能、且つ、交互運転等が可能となる。さらに、純水製造装置１００は、このような純水給水装置１Ａを用いることで、純水製造装置１００の設置に必要な設置範囲を低減することが可能となる。
【００８９】
上述したように、本発明の第２の実施形態に係る純水給水装置１Ａ、及び、純水給水装置１Ａを用いた純水製造装置１００によれば、ベース１１Ａ上に、一対のポンプ装置１２、制御盤１３及び連結管１５を配置し、カバー１４により覆うことで、小型化とすることが可能となる。
【００９０】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではない。例えば、上述した検出器２４は、流量検出部６５及び圧力検出部６６を備える構成を説明したがこれに限定されない。例えば、検出器２４は、流量検出部６５及び圧力検出部６６のいずれか一方のみを有する構成であってもよい。
【００９１】
また、上述した例では、純水給水装置１，１Ａは、カバー１４を設ける構成を説明したが、これに限定されず、例えば、純水給水装置１，１Ａが工場内等に配置される場合には、カバー１４を有さない構成であってもよい。
【００９２】
さらに、上述した例では、純水給水装置１，１Ａは、単数又は一対のポンプ装置１２を設ける構成を説明したがこれに限定されず、例えば、三台のポンプ装置１２を有する構成であってもよい。この他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能である。
【符号の説明】
【００９３】
１，１Ａ…純水給水装置、１１…ベース、１１Ａ…ベース、１２…ポンプ装置、１３…制御盤、１４…カバー、１５…連結管、１６…副制御部、１７…取付部、２１…ケーシング部、２２…ポンプ部、２３…アキュムレータ、２４…検出器、２５…フランジ部、３１…吸込管部、３２…ポンプケーシング、３３…自吸室、３４…吐出管部、４０…シール部材、４１…シール部材、４３…管部、４４…管部、４６…開口部、４７…座面、４９…取付部、５１…モータ、５２…ポンプ、５４…ケーシングライナー、５４ｃ…逆流孔、５５…羽根車、５６…ケーシングカバー、５７…シール部材、６１…容器体、６２…被取付部、６３…シール部材、６４…外郭部材、６４ｃ…流路部、６５…流量検出部、６６…圧力検出部、６８…案内部、６９…フロート、７０…磁石、７１…検出部、７２…開口部、７３…膜体、７８…逆止弁、７９…フランジパッキン、８０…シール部材、８５…電源ケーブル、８６…アース、１００…純水製造装置、１１１…供給源、１１２…処理装置、１１３…貯留タンク、１１４…導電率センサ、１１５…制御装置、１１６…供給先、１２１…プレフィルタ、１２２…原水タンク、１２３…保安フィルタ、１２４…活性炭ろ過装置、１２５…高圧ポンプ、１２６…逆浸透膜装置、Ｂ…締結部材、Ｆ…純水の流路、Ｓ…信号線。
【図１】
2014023989.tif 000003
【図２】
2014023989.tif 000004
【図３】
2014023989.tif 000005
【図４】
2014023989.tif 000006
【図５】
2014023989.tif 000007
【図６】
2014023989.tif 000008
【図７】
2014023989.tif 000009
【図８】
2014023989.tif 000010