(57)【要約】【課題】駆動時に電気機械変換素子の、個別液室の周壁を横切った領域部分に発生する応力集中を緩和し、かつ電流リークや放電の発生を抑制して高い信頼性を確保することができるインクジェットヘッドを提供することを目的とする。【解決手段】アクチュエータ（電気機械変換素子）１５ｋを構成する下部電極１１ｋ及び上部電極１３ｋへの電圧の印加により圧電素子１２ｋを振動させて振動板を変形変位させることで、個別液室３ｋ内のインクを加圧してノズル孔から液滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、アクチュエータ１５ｋの一方の端部側の、個別液室３ｋの周壁１９ａと該個別液室３ｋ内との境界を横切る横切領域部分Ａを含む所定範囲では、上部電極１３ｋに電極面を除去した電極除去部２０が形成されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録液の液滴が吐出されるノズル孔に連通する個別液室が複数形成された液室基板と、前記液室基板の前記ノズル孔と反対側の領域に振動板を介して設けられた該振動板側の下部電極、圧電体及び上部電極が積層されて構成された電気機械変換素子と、を備え、前記下部電極及び前記上部電極への電圧の印加により前記圧電体を振動させて前記振動板を変形変位させることで、前記個別液室内の記録液を加圧して前記ノズル孔から液滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、
前記電気機械変換素子の一方の端部側の、前記個別液室の周壁と該個別液室内との境界を横切る領域を含む所定範囲では、前記上部電極に電極面を除去した電極除去部が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記電気機械変換素子は、前記個別液室の長手方向に沿って配置されており、前記上部電極の前記電極除去部は前記個別液室の長手方向に沿って細幅状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記電気機械変換素子は、前記個別液室の長手方向に沿って配置されており、前記上部電極の前記電極除去部は前記個別液室の長手方向と直交する短手方向に沿って細幅状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記電気機械変換素子は、前記個別液室の長手方向に沿って配置されており、前記上部電極の前記電極除去部は格子状又は千鳥状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
格子状又は千鳥状に形成された前記電極除去部の少なくとも一部は、前記境界を横切る領域上に位置していることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記上部電極の前記電極除去部の少なくとも一部は、前記個別液室の長手方向側に向けて幅が漸次狭くなっていることを特徴とする請求項２又は３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
インクジェットヘッドのノズル孔から液滴を吐出させて被記録媒体に記録を行う画像形成装置において、
前記インクジェットヘッドが請求項１乃至６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク滴を吐出するノズル孔と連通する加圧液室の一部を振動板で構成し、この振動板の表面に電気機械変換素子を設けて、この電気機械変換素子の変位によりインク滴を吐出するインクジェットヘッド、及び該インクジェットヘッドを備えた画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタ等のインクジェット記録装置には、液滴を用紙等の記録媒体に吐出させるインクジェットヘッドを備えている。インクジェットヘッドは、インク滴を吐出するノズル孔と、このノズル孔が連通する個別液室と、個別液室内のインクを加圧する圧力を発生する圧力発生手段とを備えており、この圧力発生手段で発生した圧力で個別液室内のインクを加圧することによってノズル孔からインク滴を吐出させる。
【０００３】
前記インクジェットヘッドの圧力発生手段としては、圧電素子などの電気機械変換素子を用いて個別液室の壁面を形成している振動板を変形変位させることでインク滴を吐出させるピエゾ型のものが知られている。このような電気機械変換素子の変位でインク滴を吐出するインクジェットヘッドには、振動板に接着された電気機械変換素子を電圧の印加で伸張させる縦モードと、振動板と電気機械変換素子をユニモルフ型で構成し電圧の印加で曲げを発生させるベンドモードの２種類が実用化されている。
【０００４】
前者は、圧電素子と電極とを交互に積層した積層型の電気機械変換素子を用いており、低電圧駆動で大きな発生力が得られる点に特徴がある。しかしながら、積層型の電気機械変換素子はベース基板に固定された後、個別液室密度に等しい間隔で切断されたものを振動板に接着することから、個別液室は横並びになっている必要がある。そのため、高密度化を図るためには、櫛歯状に切断することや接着のための位置合わせが困難となるため、適していない。
【０００５】
一方、後者は、個別液室と振動板と電気機械変換素子（圧電素子とそれを挟む上下電極）を、薄膜成膜技術とリソグラフィ法を用いて一体で形成するため、高密度化できる特徴がある。また、電極へ駆動電圧を供給する配線と、その配線と電極を接続するコンタクトホールも同様に薄膜成膜技術とリソグラフィ法を用いる。
【０００６】
しかしながら、薄膜成膜技術で形成された電気機械変換素子は、非常に薄く、成膜による残留応力が存在するため、前者に比較して剛性と強度が低く、クラックが生じやすくなる。特に、コンタクトホールを個別液室の周壁より外側に配置する構造にした場合は、電気機械変換素子はこの周壁を横切ることになる。このため、駆動される電気機械変換素子の、個別液室の周壁を横切った領域部分（以下、「横切領域部分」という）に応力集中が発生してしまう問題がある。一方、コンタクトホールを個別液室の周壁よりも内側へ配置する構造もあるが、この場合もコンタクトホールには、電気機械変換素子上に配線層と配線保護層が積層され、変位が発生しにくい構造を持つためにコンタクトホール端部で応力集中が発生してしまう。
【０００７】
これらを解決するために、例えば、特許文献１では、電気機械変換素子の横切領域部分（連結部）に、電気機械変換素子（圧電体層）の幅を変化させた振動規制部を設けている。具体的には、この振動規制部において電気機械変換素子の幅を狭くした幅狭部を設けることで、この幅狭部での電気機械変換素子の応力集中を小さくするようにしている。更に、この振動規制部において両側付近に設けた各幅狭部の間に存在する上部電極の一部を除去して電気機械変換素子に非能動部（不活性部）を有するようにすることで、駆動中の応力集中を緩和するようにしている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、前記特許文献１では、各幅狭部の間に存在する上部電極の一部を除去する場合、上部電極及び圧電素子を除去するようにしている（段落０１２４、図１９等参照）。このように、圧電素子も除去することによって、圧電素子の除去された部分に角部や凹部等が形成される。
【０００９】
このように、圧電素子の除去された部分に角部や凹部等があると、圧電素子を製造する際のエッチング工程時にこれらの部分にエッチング残渣が残りやすいため、電流リーク源になったり、放電原因になりやすい。
【００１０】
つまり、電気機械変換素子の幅を狭くした幅狭部を設けることで駆動中の応力集中によるクラックの発生を防止できるが、電流リーク要因や放電要因になりやすい構造となり、インクジェットヘッドの信頼性が低下する。
【００１１】
そこで、本発明は、駆動時に電気機械変換素子の、個別液室の周壁を横切った領域部分に発生する応力集中を緩和し、かつ電流リークや放電の発生を抑制して高い信頼性を確保することができるインクジェットヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的を達成するために本発明は、記録液の液滴が吐出されるノズル孔に連通する個別液室が複数形成された液室基板と、前記液室基板の前記ノズル孔と反対側の領域に振動板を介して設けられた該振動板側の下部電極、圧電体及び上部電極が積層されて構成された電気機械変換素子と、を備え、前記下部電極及び前記上部電極への電圧の印加により前記圧電体を振動させて前記振動板を変形変位させることで、前記個別液室内の記録液を加圧して前記ノズル孔から液滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記電気機械変換素子の一方の端部側の、前記個別液室の周壁と該個別液室内との境界を横切る領域を含む所定範囲では、前記上部電極に電極面を除去した電極除去部が形成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るインクジェットヘッドによれば、電気機械変換素子の一方の端部側の、個別液室の周壁と該個別液室内との境界を横切る領域を含む所定範囲では、上部電極に電極面を除去した電極除去部が形成されているので、この所定範囲で上部電極から圧電体に印加される電界領域が小さくなる。このため、電気機械変換素子の駆動時にこの所定範囲での圧電体の撓み変位が小さくなるので、圧電体の前記所定範囲での応力集中が緩和されて、クラック等による破壊が防止され、かつ電流リークや放電の発生を抑制して高い信頼性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェットヘッドの分解斜視図。
【図２】組み付けられた図１のインクジェットヘッドのＡ−Ａ’線に沿った断面図。
【図３】実施形態１におけるインクジェットヘッドのアクチュエータを示す概略断面図。
【図４】実施形態１におけるインクジェットヘッドのアクチュエータを示す一部を破断した平面図。
【図５】本発明の実施形態１のアクチュエータと比較例のアクチュエータの、単位面積当たりの電流リーク量の測定結果を示した図。
【図６】実施形態１の変形例におけるインクジェットヘッドのアクチュエータを示す一部を破断した平面図。
【図７】実施形態２におけるインクジェットヘッドのアクチュエータを示す一部を破断した平面図。
【図８】実施形態２の第１の変形例におけるインクジェットヘッドのアクチュエータを示す一部を破断した平面図。
【図９】実施形態２の第２の変形例におけるインクジェットヘッドのアクチュエータを示す一部を破断した平面図。
【図１０】実施形態３におけるインクジェットヘッドのアクチュエータを示す一部を破断した平面図。
【図１１】実施形態３の第１の変形例におけるインクジェットヘッドのアクチュエータを示す一部を破断した平面図。
【図１２】実施形態３の第２の変形例におけるインクジェットヘッドのアクチュエータを示す一部を破断した平面図。
【図１３】実施形態３の第３の変形例におけるインクジェットヘッドのアクチュエータを示す一部を破断した平面図。
【図１４】本発明の実施形態４に係るインクジェット記録装置内の要部の構成を示す概略斜視図。
【００１５】
以下、本発明を図示の実施形態に基づいて説明する。
〈実施形態１〉
図１は、本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図であり、図２は、組み付けられた図１のインクジェットヘッドのＡ−Ａ’線に沿った断面図である。
【００１６】
これらの図に示すように、本実施形態に係るインクジェットヘッド１は、インク（記録液）を吐出させる各ノズル孔２ｙ，２ｍ，２ｃ，２ｋが形成されたノズル板２と、各ノズル孔毎に対応させて設けられ、且つ流路隔壁により区画されてなる横長状の個別液室３ｙ，３ｍ，３ｃ，３ｋが形成された個別液室形成基板１０１と、各個別液室３ｙ〜３ｋ中のインクを押し込んで（圧力を加えて）各ノズル孔２ｙ〜２ｋからインク液滴を吐出させるためのアクチュエータ１５ｙ，１５ｍ，１５ｃ，１５ｋ、と各アクチュエータ１５ｙ〜１５ｋに吐出信号を出力する駆動ＩＣチップ１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃ，１０５ｄが実装されたアクチュエータ基板１４と、各駆動ＩＣチップ１０５ａ〜１０５ｄからの熱を伝達する放熱部材２０１ａ，２０１ｂ，２０１ｃ，２０１ｄと、アクチュエータ１５ｙ〜１５ｋを保護するサブフレーム１０２と、共通液室４ｙ，４ｍ，４ｃ，４ｋを有する共通液室形成基板１０３と、インク供給孔１０７ｙ，１０７ｍ，１０７ｃ，１０７ｋが形成されているマニホールド１０４と、このマニホールド１０４が挿入されるハウジング１０６が順に積層されて構成されている。
【００１７】
図２、図３に示すように、各アクチュエータ１５ｙ〜１５ｋは、共通電極である下部電極１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋ、圧電素子１２ｙ，１２ｍ，１２ｃ，１２ｋ、及び個別電極である上部電極１３ｙ，１３ｍ，１３ｃ，１３ｋを備えている。なお、上記において、添字ｙ、ｍ、ｃ、ｋはそれぞれシアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの各色に対応している。
【００１８】
各アクチュエータ１５ｙ〜１５ｋの下部電極１１ｙ，１１ｍ，１１ｃ，１１ｋ、圧電素子１２ｙ，１２ｍ，１２ｃ，１２ｋ、上部電極１３ｙ，１３ｍ，１３ｃ，１３ｋ）は、例えば周知のスパッタ法とリソエッチ法によって一体的に形成されている。
【００１９】
図３は、ｋ（ブラック）の個別液室３ｋ付近を示したものであり、他の色（ｙ、ｍ、ｃ）の個別液室３ｙ，３ｍ，３ｃの構成も基本的には同様であるので、以下においてはｋ（ブラック）の個別液室３を用いて説明する。
【００２０】
図３に示すように、上部電極１３ｋには引出し配線１６の一端側が接続されており、この引出し配線１６を介して上部電極１３ｋに電圧が印加されるようになっている。なお、引出し配線１６とアクチュエータ１５ｋ（下部電極１１ｋ、圧電素子１２ｋ、上部電極１３ｋ）との間には絶縁体層（不図示）が形成されており、この絶縁体層（不図示）には、上部電極１３ｋの一部を露出させるコンタクトホール１７（図４参照）が形成されている。このコンタクトホール１７を通して上部電極１３ｋと引出し配線１６が電気的に接続される。引出し配線１６と下部電極１１ｋは、各駆動ＩＣチップ１０５ａ〜１０５ｄに電気的に接続されている。
【００２１】
そして、上記のように形成されたインクジェットヘッド１においては、インク供給孔１０７ｙ，１０７ｍ，１０７ｃ，１０７ｋから共通液体供給流路等を通り個別液室３ｙ〜３ｋ内に記録液としてのインクが供給される。そして、個別液室３ｙ〜３ｋがインクにより満たされた状態で、各駆動ＩＣチップ１０５ａ〜１０５ｄから各アクチュエータ１５ｙ〜１５ｋの上部電極１３ｙ〜１３ｋと下部電極１１ｙ〜１１ｋにパルス電圧を印加することによって、圧電素子１２ｙ〜１２ｋが撓み変位し、各アクチュエータ１５ｙ〜１５ｋと密着している振動板１８全体が個別液室３ｙ〜３ｋ側に凸形状に変形する。
【００２２】
これにより、個別液室３ｙ〜３ｋの体積が減少して個別液室３ｙ〜３ｋ内の圧力が急激に上昇することによって、ノズル孔２ｙ〜２ｋよりインクの液滴が用紙等の被記録媒体（不図示）に向けて吐出される。そして、個別液室３ｙ〜３ｋ内の圧力変動周期に合せたパルス電圧を連続的に印加することにより、ノズル孔２ｙ〜２ｋから液滴が連続的に吐出され、被記録媒体（不図示）に制御部（不図示）からの印字データに基づいた画像（文字を含む）が形成される。
【００２３】
図４は、図３に示したアクチュエータ１５ｋ（下部電極１１ｋ、圧電素子１２ｋ、上部電極１３ｋ）の引出し配線１６側を示す概略平面図である。なお、図４では、上部電極１３ｋの一部を破断して示している。以下の実施形態においても同様である。
【００２４】
アクチュエータ１５ｋ（下部電極１１ｋ、圧電素子１２ｋ、上部電極１３ｋ）は、個別液室３ｋと対向する領域に設けられて、横長状の個別液室３ｋの対向する周壁１９間の幅よりも若干狭い幅で形成されている。
【００２５】
また、絶縁体層（不図示）に形成したコンタクトホール１７を通して上部電極１３ｋと引出し配線１６が電気的に接続されている。このコンタクトホール１７は、個別液室３ｋの周壁１９の一方側端部１９ａよりも少し外側に配置されている。また、本実施形態では、アクチュエータ１５ｋ（下部電極１１ｋ、圧電素子１２ｋ、上部電極１３ｋ）の引出し配線１６側に、個別液室３ｋの周壁１９の一方側端部１９ａと該個別液室３ｋ内との境界を横切る横切領域部分Ａ（黒丸で示した部分）を有している。
【００２６】
このため、背景技術で述べたように、電圧印加によってアクチュエータ１５ｋ（下部電極１１ｋ、圧電素子１２ｋ、上部電極１３ｋ）が駆動しているときに、この横切領域部分Ａ付近において応力集中が発生する。
【００２７】
そこで、図４に示す本発明の実施形態１では、上部電極１３ｋに、横切領域部分Ａを中心にして上部電極１３ｋの長手方向（図４の左右方向）に沿って横長状（横スリット状）の電極除去部２０を形成して、この横切領域部分Ａ付近での上部電極１３ｋの幅を他の部分よりも狭くした。この横長状の電極除去部２０は、リソグラフィ法で用いられるマスク設計にて作製することができる。なお、アクチュエータ１５ｋの圧電素子１２ｋ及び下部電極１１ｋは、全領域において削除部分はない。
【００２８】
このように、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近に横長状の電極除去部２０を形成したことにより、この横切領域部分Ａ付近で上部電極１３ｋから圧電素子１２ｋに印加される電界領域が小さくなるので、アクチュエータ１５ｋの駆動時にこの横切領域部分Ａ付近での圧電素子１２ｋの撓み変位が小さくなる。よって、圧電素子１２ｋの横切領域部分Ａ付近での応力集中が緩和されて、クラック等による破壊が防止される。
【００２９】
なお、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近を除く個別液室３ｋ側には電極除去部は形成されていなので、個別液室３ｋの横切領域部分Ａ付近以外の周壁１９内では圧電素子１２ｋは良好に撓み変位する。
【００３０】
また、圧電素子１２ｋには削除部分はないので、製造時のエッチング工程に起因した電流リーク要因や放電要因が増加するこもない。
【００３１】
図５は、本発明の実施形態１のように上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近にのみ横長状の電極除去部２０を形成した場合（図５のａ）と、比較例として上部電極１３ｋと圧電素子１２ｋの横切領域部分Ａ付近に横長状の電極除去部２０をそれぞれ形成した場合（図５のｂ）の、単位面積当たりの電流リーク量の測定結果である。
【００３２】
この測定結果から明らかなように、本発明の実施形態１のように上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近にのみ電極除去部２０を形成した場合の方が、単位面積当たりの電流リーク量が大幅に少なかった。
【００３３】
このように本実施形態では、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近に横長状の電極除去部２０を形成したことにより、駆動時に圧電素子１２ｋの横切領域部分Ａ付近において発生する応力集中を緩和し、かつ電流リークや放電の発生を抑制して高い信頼性を確保することができる。
【００３４】
また、図６に示す本実施形態の変形例のように、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近に２つの横長状の電極除去部２０を並設してもよい。
【００３５】
このように、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近に２つの横長状の電極除去部２０を並設することにより、この横切領域部分Ａ付近で上部電極１３ｋから圧電素子１２ｋに印加される電界領域がさらに小さくなるので、アクチュエータ１５ｋの駆動時にこの横切領域部分Ａ付近での圧電素子１２ｋの撓み変位がさらに小さくなる。よって、圧電素子１２ｋの横切領域部分Ａ付近での応力集中がより緩和される。
【００３６】
なお、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近に多数の横スリット状の電極除去部２０を並設すれば、圧電素子１２ｋの横切領域部分Ａ付近での応力集中を分散させることができる。しかしながら、各電極除去部２０のピッチが狭くなると、圧電素子１２ｋ中の電界は上部電極１３ｋから下部電極１１ｋに向かうに連れて電界は広がる傾向を持つため、横切領域部分Ａ付近の圧電素子１２ｋ全体が駆動することがある。よって、図６に示すように、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近に電極除去部２０を２つまで並設することが好ましい。
【００３７】
また、前記実施形態１では、横長状の電極除去部２０の幅は一定であったが、電極除去部２０の幅を個別液室３ｋ側に向けて漸次狭くなるような形状にしてもよい。これにより、アクチュエータ１５ｋの駆動の仕方が個別液室３ｋの長手方向において、徐々に振動を大きくなるようにできるので、横切領域部分Ａ付近での応力分布がさらに平滑され、クラックの発生を抑えることができる。
【００３８】
〈実施形態２〉
実施形態１では、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近に該上部電極１３ｋの長手方向に沿って横長状の電極除去部２０を形成した構成であったが、図７に示すように、本発明の実施形態２では、アクチュエータ１５ｋの上部電極１３ｋに、横切領域部分Ａを中心にしてその両側に上部電極１３ｋの幅方向（図７の上下方向）に沿って縦長状（縦スリット状）の電極除去部２１を所定間隔で複数（図７では４個）形成した構成である。各電極除去部２１は横切領域部分Ａと重なる位置には形成されていない。インクジェットヘッドの他の構成は、実施形態１と同様である。
【００３９】
この縦長状の電極除去部２１は、リソグラフィ法で用いられるマスク設計にて作製することができる。なお、アクチュエータ１５ｋの圧電素子１２ｋ及び下部電極１１ｋは、全領域において削除部分はない。
【００４０】
アクチュエータ１５ｋの駆動時に圧電素子１２ｋに電界が加えられると、圧電素子１２ｋは、電界方向と直交する方向（図７の左右方向）に対しては等方的に収縮するが、本実施形態のように、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近に縦長状の電極除去部２１を形成したことにより、駆動時に圧電素子１２ｋの長手方向において横切領域部分Ａ付近で発生する応力集中を緩和し、かつ電流リークや放電の発生を抑制して高い信頼性を確保することができる。
【００４１】
また、図８に示す本実施形態の第１の変形例のように、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａの位置に合わせて幅方向（図８の上下方向）に縦長状の電極除去部２１ａを形成し、更にその両側に縦長状の電極除去部２１ｂ，２１ｃを形成してもよい。
【００４２】
このように、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａの位置に合わせて幅方向（図８の上下方向）に縦長状の電極除去部２１ａを形成することにより、駆動時に圧電素子１２ｋの短手方向に発生する横切領域部分Ａ付近での応力集中も緩和することができる。
【００４３】
更に、図９に示す本実施形態の第２の変形例では、図８に示した実施形態２の第１の変形例の上部電極１３ｋの各電極除去部２１ａ，２１ｂ，２１ｃの一部を、該上部電極１３ｋの長手方向に対して延びるように変化させた構成である。
【００４４】
このように、上部電極１３ｋの各電極除去部２１ａ，２１ｂ，２１ｃの一部を、該上部電極１３ｋの長手方向に対して延びるように変化させることで、駆動時に圧電素子１２ｋの横切領域部分Ａ付近での応力分布が滑らかになり、応力集中の緩和を図ることができる。
【００４５】
〈実施形態３〉
実施形態１では、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近に該上部電極１３ｋの長手方向に沿って横長状の電極除去部２０を形成した構成であったが、図１０に示すように、本発明の実施形態３では、アクチュエータ１５ｋの上部電極１３ｋに、横切領域部分Ａを中心にしてその両側に複数（図７では８個）の電極除去部２２を格子状に形成した構成である。各電極除去部２２は横切領域部分Ａと重なる位置には形成されていない。インクジェットヘッドの他の構成は、実施形態１と同様である。
【００４６】
この格子状に形成した各電極除去部２２は、リソグラフィ法で用いられるマスク設計にて作製することができる。なお、アクチュエータ１５ｋの圧電素子１２ｋ及び下部電極１１ｋは、全領域において削除部分はない。
【００４７】
このように、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近に各電極除去部２２を格子状に形成する構成により、駆動時に圧電素子１２ｋの横切領域部分Ａ付近での応力が均一に分散されることで、応力集中の緩和を図ることができる。
【００４８】
また、図１１に示す本実施形態の第１の変形例のように、アクチュエータ１５ｋの上部電極１３ｋに、横切領域部分Ａを中心にしてその両側に複数（図１１では１２個）の電極除去部２２を千鳥状に形成した構成である。各電極除去部２２は横切領域部分Ａと重なる位置には形成されていない。
【００４９】
このように、上部電極１３ｋの横切領域部分Ａ付近に各電極除去部２２を千鳥状に形成する構成により、駆動時に圧電素子１２ｋの横切領域部分Ａ付近での応力がさらに均一に分散されることで、応力集中の緩和を図ることができる。
【００５０】
また、電極除去部２２を格子状又は千鳥状に形成することで、１つの電極除去部２２の大きさを小さくすることができるので、横切領域部分Ａ付近での上部電極１３ｋと圧電素子１２ｋとの接着領域の減少を小さく抑えて、安定した密着性を維持することができる。
【００５１】
更に、図１２，１３にそれぞれ示す本実施形態の第２、第３の変形例のように、上部電極１３ｋの連結部Ａの位置に合わせて電極除去部２２を格子状（図１２参照）又は千鳥状（図１３参照）に形成することにより、駆動時に圧電素子１２ｋの短手方向に発生する横切領域部分Ａ付近での応力集中も緩和することができる。
【００５２】
〈実施形態４〉
図１４は、本発明の実施形態４に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置内の要部の構成を示す概略斜視図である。このインクジェット記録装置には、前記した実施形態１（又は実施形態２、３のいずれか一方）のインクジェットヘッドが搭載されている。
【００５３】
図１４に示すように、このインクジェット記録装置４０は、装置本体４１の内部に、走査方向に移動可能なキャリッジ４２、キャリッジ４２に搭載した前記インクジェットヘッド１、インクジェットヘッド１へインクを供給するインクカートリッジ４３等で構成される印字機構部４４等が収納されている。
【００５４】
印字機構部４４は、左右の側板（不図示）に横架したガイド部材である主ガイドロッド４８、従ガイドロッド４９と、前記キャリッジ４２を主走査方向に摺動自在に保持している。このキャリッジ４２には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ(Ｍ）、ブラック(Ｋ）の各色のインク滴を吐出するインクジェットヘッド１を、複数のノズル孔を主走査方向と交差する方向に配列してインク滴吐出方向が図１４の下方側に向くようにして装着している。また、キャリッジ４２には、インクジェットヘッド１に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ４３を交換可能に装着している。
【００５５】
キャリッジ４２は、後方側（用紙搬送下流側)を主ガイドロッド４８に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送上流側)を従ガイドロッド４９に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ４２を主走査方向に移動走査するために、モータ５０で回転駆動される駆動プーリ５１と従動プーリ５２との間にタイミングベルト５３を張装し、このタイミングベルト５３をキャリッジ４２に固定している。モータ５０の正逆回転によりキャリッジ４２が往復駆動される。
【００５６】
そして、上記したインクジェット記録装置４０による記録時には、キャリッジ４２を移動させながら入力される画像信号に応じてインクジェットヘッド１を駆動することにより、給紙された用紙にインクを吐出して1行分を記録し、その後、用紙を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙後端が記録領域に到達した信号を受けることにより記録動作を終了し、排紙トレイに用紙を排紙する。
【００５７】
このように、本実施形態に係るインクジェット記録装置４０は、前記したように信頼性の高いインクジェットヘッド１を備えているので、インクジェット記録装置４０全体の信頼性の向上を図ることができる。よって、長期にわたって安定したインク吐出特性が得られ、高品質な画像を記録することができる。
【符号の説明】
【００５８】
１        インクジェットヘッド
３ｙ〜３ｋ      個別液室
１１ｙ〜１１ｋ      下部電極
１２ｙ〜１２ｋ      圧電素子（圧電体）
１３ｙ〜１３ｋ      上部電極
１５ｙ〜１５ｋ      アクチュエータ（電気機械変換素子）
１６      引き出し配線
２０、２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２２      電極除去部
４０      インクジェット記録装置（画像形成装置）
４２      キャリッジ
Ａ        横切領域部分（横切る領域）
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５９】
【特許文献１】特許第３４１４２２７号公報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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