(57)【要約】【課題】省電力化が図られたものでありながら、感度特性の個体差が少なく、所期のガス検知を安定して行うことのできる電気化学式酸素センサ、および、安定した孔形状を有するピンホールが精度よく形成された拡散律速部材が確実に得られる拡散律速部材の作製方法を提供すること。【解決手段】電気化学式酸素センサは、３つ以上の板状のピンホール構成要素を、一のピンホール構成要素に二つの他のピンホール構成要素を平坦な側面同士を対接させて所定形状をなすよう配列した状態で固定し、各ピンホール構成要素における、隣接する他のピンホール構成要素との非接触面の各々によって画成される空間によるピンホールを形成することにより作製された拡散律速部材を具えてなる。【選択図】図２
2014163677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピンホールを有する拡散律速部材を具えた電気化学式酸素センサにおいて、
前記拡散律速部材は、３つ以上の板状のピンホール構成要素が所定形状をなすよう配列されて構成されており、各ピンホール構成要素は、一のピンホール構成要素に二つの他のピンホール構成要素が平坦な側面同士が対接された状態で、固定されており、
当該拡散律速部材は、各ピンホール構成要素における、隣接する他のピンホール構成要素との非接触面の各々によって画成された厚み方向に貫通して延びる空間によって、ピンホールが形成されていることを特徴とする電気化学式酸素センサ。
【請求項２】
前記拡散律速部材には、前記各ピンホール構成要素の表面に、隣接する二つのピンホール構成要素の対接面領域を被覆するメッキ膜が形成されており、当該メッキ膜によって各ピンホール構成要素が互いに接合されていることを特徴とする請求項１に記載の電気化学式酸素センサ。
【請求項３】
前記拡散律速部材を構成するピンホール構成要素の各々は、互いに同一の形状を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電気化学式酸素センサ。
【請求項４】
前記拡散律速部材を構成するピンホール構成要素の各々は、円板をその形状中心を含む平面で等分割した扇形状の形態を有し、一のピンホール構成要素に二つの他のピンホール構成要素を平坦な周側面同士を対接させた状態で配列することにより円形状の外形形状をなすものであり、
当該ピンホール構成要素の少なくとも一には、二つの平坦な側面による頂部が面取り加工されて平坦な切欠き面が形成されており、
当該拡散律速部材におけるピンホールが、各ピンホール構成要素における、当該切欠き面または当該切欠き面との対向面による非接触面によって画成された空間によって形成されていることを特徴とする請求項３に記載の電気化学式酸素センサ。
【請求項５】
電気化学式酸素センサにおいて用いられる、ピンホールを有する拡散律速部材を作製する方法であって、
３つ以上の板状のピンホール構成要素を、一のピンホール構成要素に二つの他のピンホール構成要素を平坦な周側面同士を対接させて、所定形状をなすよう配列した状態で固定することにより、各ピンホール構成要素における隣接する他のピンホール構成要素との非接触面の各々によって画成される空間によるピンホールを形成する工程を有することを特徴とする拡散律速部材の作製方法。
【請求項６】
前記各ピンホール構成要素を固定した状態において、各ピンホール構成要素の表面に、隣接する二つのピンホール構成要素の対接面領域を被覆するメッキ膜を形成する工程をさらに有することを特徴とする請求項５に記載の拡散律速部材の作製方法。
【請求項７】
前記ピンホール構成要素として、互いに同一の形状を有するものが用いられることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の拡散律速部材の作製方法。
【請求項８】
各々円板をその形状中心を含む平面で等分割した扇形状の形態を有し、少なくとも一のものが二つの平坦な側面による頂部に面取り加工により平坦な切欠き面が形成されたものである３つ以上の板状のピンホール構成要素を用意し、
これらのピンホール構成要素を円板状の外形形状をなすよう配列して固定することにより、各ピンホール構成要素における、当該切欠き面または当該切欠き面との対向面による非接触面によって画成される空間によるピンホールを形成することを特徴とする請求項７に記載の拡散律速部材の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピンホールを有する拡散律速部材を具えた電気化学式酸素センサおよび当該拡散律速部材の作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、定電位電解式酸素センサは、例えば、電解液を収容する窓に被検出ガスの透過が可能な撥水性多孔質膜が張設され、この撥水性多孔質膜の、電解液の側に形成された作用電極と、この作用電極と一定の距離を離間させて配置された対極とを備えてなり、例えばポテンショスタットにより作用電極の電位が酸素の還元反応が起こる一定の電位に制御されることにより酸素ガスの濃度に対応して作用電極と対極との間に流れる電解電流を検出するよう構成されている。
このような定電位電解式酸素センサにおいては、検知原理上、作用電極に供給する被検ガスの量を制限することが必要であり、例えば、被検ガスを例えばピンホールを介して作用電極に供給する構造のものなどが提案されている（特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特公昭６１−５６７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
而して、ピンホールを有する拡散律速部材を具えた定電位電解式酸素センサにおいては、消費電力を抑えるために、ピンホールの孔径をできる限り小さくすることが要求されている。具体的には例えば、ピンホールとして、孔径がφ３０μｍ程度であり、深さが１〜１．５μｍ程度である形状を有するものが望まれている。
また、センサ特性の個体差（バラツキ）を少なくするためには、ピンホールが安定した孔形状を有していることが必要とされる。
【０００５】
ピンホールの作製方法としては、例えば、エッチング加工、プレス加工、ドリル加工などが用いられているが、このような方法では、上記の孔形状を有するピンホールを高い精度で形成することが困難であるのが実情である。
【０００６】
以上のような課題は、定電位電解式酸素センサに限らず、ピンホールによる拡散律速手段を具えたガルバニ電池式酸素センサや限界電流式酸素センサも有している。
【０００７】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、ピンホールを有する拡散律速部材を具えた構成のものにおいて、ピンホールの孔形状の規制によって省電力化が図られたものでありながら、感度特性の個体差が少なく、所期のガス検知を安定して行うことができる電気化学式酸素センサを提供することにある。
本発明の他の目的は、安定した孔形状を有するピンホールが精度よく形成された拡散律速部材を確実に得ることのできる拡散律速部材の作製方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の電気化学式酸素センサは、ピンホールを有する拡散律速部材を具えた構成のものにおいて、
前記拡散律速部材は、３つ以上の板状のピンホール構成要素が所定形状をなすよう配列されて構成されており、各ピンホール構成要素は、一のピンホール構成要素に二つの他のピンホール構成要素が平坦な側面同士が対接された状態で、固定されており、
当該拡散律速部材は、各ピンホール構成要素における、隣接する他のピンホール構成要素との非接触面の各々によって画成された厚み方向に貫通して延びる空間によって、ピンホールが形成されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の電気化学式酸素センサにおいては、前記拡散律速部材には、前記各ピンホール構成要素の表面に、隣接する二つのピンホール構成要素の対接面領域を被覆するメッキ膜が形成されており、当該メッキ膜によって各ピンホール構成要素が互いに接合された構成とされていることが好ましい。
【００１０】
さらにまた、本発明の電気化学式酸素センサにおいては、前記拡散律速部材を構成するピンホール構成要素の各々は、互いに同一の形状を有する構成のものであることが好ましい。
【００１１】
さらにまた、本発明の電気化学式酸素センサにおいては、前記拡散律速部材を構成するピンホール構成要素の各々は、円板をその形状中心を含む平面で等分割した扇形状の形態を有し、一のピンホール構成要素に二つの他のピンホール構成要素を平坦な周側面同士を対接させた状態で配列することにより円形状の外形形状をなすものであり、
当該ピンホール構成要素の少なくとも一には、二つの平坦な側面による頂部が面取り加工されて平坦な切欠き面が形成されており、
当該拡散律速部材におけるピンホールが、各ピンホール構成要素における、当該切欠き面または当該切欠き面との対向面による非接触面によって画成された空間によって形成された構成とすることができる。
【００１２】
本発明の拡散律速部材の作製方法は、電気化学式酸素センサにおいて用いられる、ピンホールを有する拡散律速部材を作製する方法であって、
３つ以上の板状のピンホール構成要素を、一のピンホール構成要素に二つの他のピンホール構成要素を平坦な周側面同士を対接させて、所定形状をなすよう配列した状態で固定することにより、各ピンホール構成要素における隣接する他のピンホール構成要素との非接触面の各々によって画成される空間によるピンホールを形成する工程を有することを特徴とする。
【００１３】
本発明の拡散律速部材の作製方法においては、前記各ピンホール構成要素を固定した状態において、各ピンホール構成要素の表面に、隣接する二つのピンホール構成要素の対接面領域を被覆するメッキ膜を形成する工程をさらに有することが好ましい。
【００１４】
さらにまた、本発明の拡散律速部材の作製方法においては、前記ピンホール構成要素として、互いに同一の形状を有するものが用いられることが好ましい。
【００１５】
さらにまた、本発明の拡散律速部材の作製方法においては、各々円板をその形状中心を含む平面で等分割した扇形状の形態を有し、少なくとも一のものが二つの平坦な側面による頂部に面取り加工により平坦な切欠き面が形成されたものである３つ以上の板状のピンホール構成要素を用意し、
これらのピンホール構成要素を円板状の外形形状をなすよう配列して固定することにより、各ピンホール構成要素における、当該切欠き面または当該切欠き面との対向面による非接触面によって画成される空間によるピンホールを形成することにより、拡散律速部材を作製することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の電気化学式酸素センサによれば、拡散律速部材が所期の孔形状を有するピンホールが精度よく形成されたものとして構成されているので、当該電気化学式酸素センサを省電力化が図られたものでありながら、感度特性の個体差が少なく、所期のガス検知を安定して行うことができるものとして構成することができる。
【００１７】
本発明の拡散律速部材の作製方法によれば、各ピンホール構成要素における、他のピンホール構成要素との非接触面を構成する平坦面によって画成される空間によってピンホールが形成されることにより、各ピンホール構成要素における当該平坦面自体は、高い面精度（平面性）を有する状態とすることができることから、得られる拡散律速部材は、孔径が例えば３０μｍ以下といった小径のものであっても、安定した孔形状を有するピンホールが精度よく形成されたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の電気化学式酸素センサに係る定電位電解式酸素センサの一例における構成の概略を示す断面図である。
【図２】図１に示す定電位電解式酸素センサにおける拡散律速部材の一例における構成の概略を示す平面図である。
【図３】拡散律速部材の他の例における構成の概略を示す平面図である。
【図４】拡散律速部材のさらに他の例における構成の概略を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明の電気化学式酸素センサに係る定電位電解式酸素センサの一例における構成の概略を示す断面図である。
この定電位電解式酸素センサ１０は、端壁に圧力調整用開口１２を有する有底円筒状のケーシング１１を具えている。ケーシング１１の端壁の内面には、圧力調整用開口１２がその内面側から塞がれるよう、例えばフッ素系樹脂などの多孔質膜よりなるガス透過性疎水隔膜（以下、「他端側ガス透過性疎水隔膜」という。）１５が張設されている。
【００２０】
ケーシング１１の開口端部には、被検査ガスをガス検知電極に対する供給量を制限して導入するための、ピンホールＰＨを有する円板状の拡散律速部材３０が気密に設けられている。この拡散律速部材３０の内面には、ピンホールＰＨがその内面側から塞がれるよう例えばフッ素系樹脂などの多孔質膜よりなるガス透過性疎水隔膜（以下、「一端側ガス透過性疎水隔膜」という。）１６が張設されており、これにより、ケーシング１１の内部に、例えば硫酸水溶液よりなる電解液が収容される電解液室Ｓが形成されている。
【００２１】
ケーシング１１の内部には、ガス検知電極を構成する作用極２０、対極２１および参照極２２が設けられている。具体的には、作用極２０は、一端側ガス透過性疎水隔膜１６の接液側の面（内面）に設けられており、対極２１は、他端側ガス透過性疎水隔膜１５の接液側の面（内面）に設けられている。そして、参照極２２は、作用極２０および対極２１の各々と電解液を介して離間した位置においてこれらと対向するよう電解液中に浸漬された状態で設けられている。
【００２２】
作用極２０は、例えば、一端側ガス透過性疎水隔膜１６の一面上における中央位置において、例えば白金、金、ルテニウム、パラジウムなどの微粒子、または、これらの混合物や合金などがバインダーと共に焼成されてなる電極触媒層が形成されて構成されている。
対極２１は、例えば、他端側ガス透過性疎水隔膜１５の一面上における中央位置において、例えば白金、金、ルテニウム、パラジウムなどの微粒子、または、これらの混合物や合金などがバインダーと共に焼成されてなる電極触媒層が形成されて構成されている。
参照極２２は、例えばフッ素系樹脂の多孔質膜などよりなるガス透過性ベースフィルムの一面上における全面に、例えば白金、金、ルテニウム、パラジウムなどの微粒子、または、これらの混合物や合金などがバインダーと共に焼成されてなる電極触媒層が形成されて構成されている。また、参照極２２は、ガス透過性ベースフィルムの両面に電極触媒層が形成された構成のものであってもよく、また、金属単体により構成されたものであってもよい。
【００２３】
上述したように、この定電位電解式酸素センサ１０は、被検査ガスをガス検知電極に対する供給量を制限して導入するためのピンホールＰＨを有する拡散律速部材３０を具えている。
【００２４】
この例における拡散律速部材３０は、図２に示すように、各々互いに同一形状すなわち扇形状の平面形状を有する４つのピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄが、頂部を挟んだ二つの平坦な側面が互いに対接されて全体が円板状の外形形状をなすよう配列された状態で、外周面にリング状の固定部材３５が装着されて構成されている。固定部材３５は、四つのピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄによる円板状体に対して嵌合されており、これにより、各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄが固定されている。
【００２５】
各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄの形状について具体的に説明すると、各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄは、円板をその形状中心を含む平面で均等に４分割した平面形状が扇形状の形態を有する。そして、隣接するピンホール構成要素との対接面を構成する二つの平坦な側面による頂部に、面取り加工（Ｃ面取り加工）が施されて厚み方向に延びる平坦な切欠き面３２が形成されている。また、各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄは互いに同一の厚さを有する。
従って、この拡散律速部材３０においては、拡散律速部材３０の形状中心位置において、各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄの、各切欠き面３２による他のピンホール構成要素との非接触面によって画成された、開口形状が方形状の厚み方向に貫通して延びる空間（孔）によりピンホールＰＨが形成されている。
【００２６】
各々のピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄを構成する材料としては、当該ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄの作製に際して、他のピンホール構成要素との対接面を構成する平坦な側面およびピンホールＰＨを画成する切欠き面３２に高い面精度を得ることができ、また、所定の温度範囲で安定した特性を有するものであれば、特に限定されない。このような材料としては、例えばステンレス鋼などの金属材料を例示することができる。
【００２７】
形成すべきピンホールＰＨは、上述したように、センサの省電力化（電池寿命の長寿命化）の観点から、孔径が可及的に小さいものであることが好ましい。
ピンホールＰＨの孔径は、ピンホールＰＨが拡散律速部材３０の厚み方向において均一な孔径を有するものである場合において、例えば３０μｍ以下であり、より好ましくは２０〜３０μｍである。ここに、「ピンホールＰＨの孔径」は、開口面積が同一の大きさである開口形状が円形のピンホールの孔径に相当する値である。
ピンホールＰＨのアスペクト比（孔の深さ／孔径）は、上記ピンホールＰＨの孔径の範囲において、例えば４０〜５０の範囲内、すなわち、ピンホールＰＨの深さは、例えば０．８〜１．５ｍｍである。
ピンホールＰＨの孔径は、ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄを作製する際に行われる面取り加工の際の面取り寸法を調整することにより調整することができる。
【００２８】
上記構成の拡散律速部材３０においては、各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄの表面に、隣接するピンホール構成要素との対接面領域Ｌを被覆するメッキ膜（図示せず）が形成された構成とされていることが好ましい。メッキ膜は、ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄを互いに接合するいわば接着剤として機能する。従って、メッキ膜が形成された構成とされていることにより、四つのピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄを、ピンホールＰＨに安定した孔形状が確保された状態で、確実に接合固定することができ、当該対接面領域Ｌよりのガス漏れが生ずることを確実に防止することができる。
メッキ膜は、例えばスプレーめっき法により形成することができる。
また、メッキ膜を構成する材料としては、例えばニッケルを用いることができる。
メッキ膜の厚みは、特に限定されるものではないが、例えば１μｍ程度あれば、所期の機能が確実に得られる。
【００２９】
上記の定電位電解式酸素センサ１０においては、参照極２２の電位状態を基準として、作用極２０に所定の電圧が印加（通電が開始）されて作用極２０と参照極２２との間に一定の電位差が生じた状態である測定電位状態において、検知対象空間における環境雰囲気の空気などの被検査ガスが拡散律速部材３０のピンホールＰＨを介して作用極２０に供給されることによって作用極２０および対極２１の両電極間に生ずる電解電流値が検知され、当該電解電流値に応じた被検査ガス中の酸素の濃度が測定される。ここに、作用極２０に対する印加電圧は、作用極２０の参照極２２に対する電位差が例えば−２．０Ｖ〜＋１．５Ｖとなる大きさである。
【００３０】
上記構成の拡散律速部材３０は、例えば次のようにして作製することができる。
すなわち、先ず、断面形状が中心角が９０°である扇形状の柱状のピンホール構成要素形成材料を用意し、当該ピンホール構成要素形成材料の二つの平坦な側面による頂部に、例えばＣ面取り加工を所定の面取り寸法で行うことにより平坦な切欠き面３２を形成する。その後、形成すべきピンホールＰＨの深さに応じた厚みでスライス加工すると共に研磨加工を行うことにより、四つのピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄを作製する。
【００３１】
次いで、これらのピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄを、一のピンホール構成要素に二つの他のピンホール構成要素を平坦な側面同士を対接させた状態で、円板状の外形形状をなすよう配列することにより、各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄにおける各切欠き面３２によって画成された空間によるピンホールＰＨを有する円板状体を構成する。そして、この円板状体の外周面にリング状の固定部材３５を嵌合して装着することにより、各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄを固定する。
【００３２】
その後、各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄの表面に、隣接する二つのピンホール構成要素の対接面領域Ｌを被覆するメッキ膜を例えばスプレーめっき法により形成することにより各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄを互いに接合し、以て、図２に示す拡散律速部材３０を得ることができる。
【００３３】
而して、上記構成の拡散律速部材３０は、各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄにおける、他のピンホール構成要素との非接触面を構成する切欠き面３２によって画成される空間によってピンホールＰＨが形成されてなるものであることにより、各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄにおける当該切欠き面３２自体は、高い面精度（平面性）を有する状態とすることができることから、孔径が３０μｍ以下といった小径のものであっても、安定した孔形状を有するピンホールＰＨが精度よく形成されたものとなる。
従って、このような拡散律速部材３０を具えた定電位電解式酸素センサ１０によれば、省電力化が図られたものでありながら、感度特性の個体差が少なく、所期のガス検知を安定して行うことができるものとして構成することができる。
【００３４】
また、拡散律速部材３０が、互いに同一の形状を有する四つのピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄによって構成されていることにより、各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄを配列し易くなって安定した孔形状を有するピンホールＰＨを一層確実に形成することができると共に、各ピンホール構成要素３１ａ〜３１ｄの共通化を図ることができて部品点数を低減することができ、所期の性能を有するものを有利に作製することができる。
【００３５】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
【００３６】
例えば、拡散律速部材を構成するピンホール構成要素の数は、少なくとも三つ以上であればよく、四つに限定されるものではない。また、ピンホール構成要素が互いに同一の形状を有するものである必要はない。
【００３７】
図３は、拡散律速部材の他の例における構成の概略を示す平面図である。この例の拡散律速部材４０は、半円形状の平面形状を有する一つのピンホール構成要素４１ａと、扇形状の平面形状を有する二つのピンホール構成要素４１ｂ，４１ｃとが外形形状が円板状をなすよう配列された状態で、外周面にリング状の固定部材３５が装着されて構成されている。ピンホール構成要素４１ｂ，４１ｃの各々には、二つの平坦な側面による頂部に、面取り加工（Ｃ面取り加工）が施されて平坦な切欠き面４２が形成されている。従って、この拡散律速部材４０においては、拡散律速部材４０の形状中心位置において、ピンホール構成要素４１ｂ，４１ｃの各切欠き面４２、および、ピンホール構成要素４１ａの、他のピンホール構成要素４１ｂ，４１ｃの切欠き面４２との対向面４３による非接触面によって画成された、開口形状が三角形状の厚み方向に貫通して延びる空間（孔）によりピンホールＰＨが形成されている。
【００３８】
図２および図３に示す構成のものにおいて、扇形状のピンホール構成要素のすべてのものに、面取り加工による切欠き面が形成されている必要はなく、いずれか一のピンホール構成要素に、切欠き面が形成されていれば、ピンホールを形成することができる。
【００３９】
さらにまた、拡散律速部材は、面取り加工が施されていないピンホール構成要素を組み合わせることによって、ピンホールが形成された構成とすることもできる。
【００４０】
図４は、拡散律速部材のさらに他の例における構成の概略を示す平面図である。この例の拡散律速部材５０は、各々互いに同一形状すなわち扇形状の平面形状を有する４つのピンホール構成要素５１ａ〜５１ｄが、頂部を挟んだ二つの平坦な側面が互いに対接されて全体が円板状の外形形状をなすよう配列された状態で、外周面にリング状の固定部材３５が装着されて構成されている。各ピンホール構成要素５１ａ〜５１ｄは、二つの平坦な側面が互いに径方向の長さ寸法が異なるものであって、一のピンホール構成要素における幅広の平坦な側面が隣接する他のピンホール構成要素における幅狭の平坦な側面に対接されて配列される。これにより、各ピンホール構成要素５１ａ〜５１ｄの幅広の平坦な側面における頂部側の面領域による非接触面５２によって画成された、開口形状が方形状の厚み方向に貫通して延びる空間によってピンホールＰＨが形成されている。
【００４１】
さらにまた、拡散律速部材は円板状のものに限定されず、例えば方形状に構成することもできる。この場合には、ピンホール構成要素として、例えば、方形状であって、他のピンホール構成要素との対接面を構成する二つの平坦な側面による頂部に切欠き面を形成したものを用いればよい。
【００４２】
また、本発明は、定電位電解式のものに限定されず、ピンホールによる拡散律速手段を具えた例えばガルバニ電池式や限界電流式といった他の電気化学式酸素センサに適用することもできる。
【符号の説明】
【００４３】
１０  定電位電解式酸素センサ
１１  ケーシング
１２  圧力調整用開口
１５  他端側ガス透過性疎水隔膜
１６  一端側ガス透過性疎水隔膜
２０  作用極
２１  対極
２２  参照極
Ｓ  電解液室
３０  拡散律速部材
３１ａ〜３１ｄ  ピンホール構成要素
３２  切欠き面
３５  固定部材
ＰＨ  ピンホール
４０  拡散律速部材
４１ａ〜４１ｃ  ピンホール構成要素
４２  切欠き面
４３  切欠き面との対向面
５０  拡散律速部材
５１ａ〜５１ｃ  ピンホール構成要素
５２  非接触面
【図１】
2014163677.tif 000003
【図２】
2014163677.tif 000004
【図３】
2014163677.tif 000005
【図４】
2014163677.tif 000006