(57)【要約】【課題】検査時間の短縮および検査精度の向上を図り得る基板検査装置を提供する。【解決手段】少なくともプローブユニット１１を移動させる移動機構３と、少なくとも測定部２１を移動させる移動機構５とを備え、スキャナ１２が、移動機構３に取り付けられると共に、制御部２２が、移動機構３を制御してプローブユニット１１を移動させるときに、プローブユニット１１と測定部２１との離間距離が予め規定された「第１距離」以下となるように移動機構５を制御して測定部２１を移動させると共に、移動機構５を制御して測定部２１を移動させるときに、プローブユニット１１と測定部２１との離間距離が予め規定された「第２距離」以下になるように移動機構３を制御してプローブユニット１１を移動させる。【選択図】図１
2014071090.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプローブが配設されたプローブユニットと、検査対象基板に対して少なくとも前記プローブユニットを相対的に移動させる移動機構と、前記複数のプローブを介して前記検査対象基板の各検査ポイントに対して入出力させた電気信号に基づいて当該各検査ポイントの間の電気的パラメータを測定する測定部と、前記測定部および前記複数のプローブの接断を切り替える切替え部と、前記移動機構、前記切替え部および前記測定部を制御すると共に当該測定部の測定結果に基づいて前記各検査ポイントを検査する処理部とを備えた基板検査装置であって、
前記移動機構は、少なくとも前記プローブユニットを移動させる第１移動機構と、少なくとも前記測定部を移動させる第２移動機構とを備え、
前記切替え部は、前記第１移動機構および前記第２移動機構のいずれかに取り付けられ、
前記処理部は、前記第１移動機構を制御して前記プローブユニットを移動させるときに、当該プローブユニットと当該測定部との離間距離が予め規定された第１距離以下となるように前記第２移動機構を制御して当該測定部を移動させると共に、前記第２移動機構を制御して前記測定部を移動させるときに、前記プローブユニットと当該測定部との離間距離が予め規定された第２距離以下になるように前記第１移動機構を制御して当該プローブユニットを移動させる基板検査装置。
【請求項２】
前記切替え部は、前記第１移動機構に取り付けられている請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記第２移動機構に取り付けられている請求項１または２記載の基板検査装置。
【請求項４】
プローブＡおよびプローブＢと、検査対象基板に対して少なくとも前記プローブＡを相対的に移動させる移動機構Ａと、前記検査対象基板に対して少なくとも前記プローブＢを相対的に移動させる移動機構Ｂと、前記プローブＡおよび前記プローブＢを介して前記検査対象基板の各検査ポイントに対して入出力させた電気信号に基づいて当該各検査ポイントの間の電気的パラメータを測定する測定部と、前記移動機構Ａ、前記移動機構Ｂおよび前記測定部を制御すると共に当該測定部の測定結果に基づいて前記各検査ポイントを検査する処理部とを備えた基板検査装置であって、
前記処理部の制御に従って少なくとも前記測定部を前記プローブＡおよび前記プローブＢとは別個に移動させる移動機構Ｃを備え、
前記処理部は、前記移動機構Ａ、前記移動機構Ｂおよび前記移動機構Ｃのうちの少なくとも１つを制御して前記プローブＡ、前記プローブＢおよび前記測定部のうちの少なくとも１つを移動させるときに、当該測定部と当該プローブＡとの離間距離が予め規定された距離Ａ以下になり、かつ当該測定部と当該プローブＢとの離間距離が予め規定された距離Ｂ以下になるように、当該移動機構Ａ、当該移動機構Ｂおよび当該移動機構Ｃのうちの他の少なくとも１つを制御して当該プローブＡ、当該プローブＢおよび当該測定部のうちの他の少なくとも１つを移動させる基板検査装置。
【請求項５】
前記処理部は、前記移動機構Ａ、前記移動機構Ｂおよび前記移動機構Ｃのいずれかに取り付けられている請求項４記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象基板の電気的検査時に少なくともプローブを移動機構によって移動させて検査対象基板にプロービングさせる基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査装置として、特許第４３３８０５１号公報にプリント基板の検査装置が開示されている。この検査装置は、プリント基板に設けられた電極パターンの導通状態および絶縁状態を電気的に検査可能に構成された装置であって、検査対象のプリント基板を挟持する挟持部を有する設置装置と、移動装置によってプリント基板に対して相対的に移動させられる可動部と、制御装置や計測部を有する固定部とを備えて構成されている。この場合、この検査装置では、設置装置上に設置されるプリント基板の上方および下方に可動部がそれぞれ１つずつ位置するように配設されている。
【０００３】
また、可動部は、複数の接触端子を有する接触端子支持部、接触端子支持部の各接触端子と上記の固定部との間で各種信号を送受信する入出力部（以下、後述するように固定部に配設されている入出力部と区別するために「可動部側入出力部」ともいう）、および固定部から送信された切換指令信号に従って可動部側入出力部に対する各接触端子の接続状態を切り換える接続切換装置を備えている。さらに、固定部は、可動部側入出力部に接続されて接続切換信号や検査信号を送受信する入出力部（以下、可動部側入出力部と区別するために「固定部側入出力部」ともいう」）、および検査装置を総括的に制御する制御装置を備えている。また、固定部側入出力部は、制御装置の制御に従って上記の切換指令信号を送信する接続切換信号送信装置、および上記の検査信号に基づく計測処理を実行する計測部を備えている。
【０００４】
また、この検査装置では、上記の各接触端子がそれぞれ別個の配線によって接続切換装置に接続されている。したがって、この検査装置では、各接触端子および接続切換装置が、接触端子支持部に配設されている接触端子の本数と同数の配線（以下、「第１配線」ともいう）によって相互に接続されている。さらに、この検査装置では、接続切換装置および可動部側入出力部が、切換指令信号を送受信するための配線、および接続状態に切り替えられた接触端子を固定部（計測部）に接続するための配線（以下、これらの配線を「第２配線」ともいう）によって相互に接続されている。また、この検査装置では、可動部側入出力部および固定部側入出力部が、切換指令信号を送受信するための配線、および検査信号を送受信するための配線（以下、これらの配線を「第３配線」）によって相互に接続されている。
【０００５】
この場合、上記の検査装置の構成とは異なり、接続切換装置が固定部に配設されている構成では、移動装置による可動部（接触端子支持部）の移動を妨げることのないように第１配線を充分に長くする必要が生じる。このため、そのような構成を採用した検査装置では、長尺の多数の第１配線が嵩張り、移動機構によって可動部を高速に移動させるのが困難となる。したがって、この検査装置では、接続切換装置を可動部側に配設することにより、本数が多い第１配線を短くし、かつ可動部と固定部とを相互に接続する長い配線（この例では、第３配線）の数を接触端子の数よりも少数本とすることで、移動機構による可動部の高速な移動を可能としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４３３８０５１号公報（第３−７頁、第１−４図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、従来の検査装置には、以下の解決すべき問題点が存在する。すなわち、従来の検査装置では、接触端子（プローブ）の本数と同数を必要とする第１配線が接続される接続切換装置を、接触端子（接触端子支持部）が配設されている可動部側に配設することで、固定部と可動部とを相互に連結するための長い配線（この例では、第３配線）の数を少数本とし、これにより、可動部の高速な移動を可能とする構成が採用されている。この場合、従来の検査装置では、接触端子支持部（プローブユニット）の各接触端子（プローブ）と、固定部側入出力部の計測部（測定部）との間で検査信号（アナログ信号）を送受信するための配線として、第１配線、第２配線および第３配線の３つを備えて構成されており、接続切換装置を固定部側に配設した構成と比較して、上記の各配線のうちの第１配線が短くなっている。
【０００８】
しかしながら、従来の検査装置では、可動部側に配設されている接触端子支持部（各接触端子）を介して抵抗値等を計測する計測部が固定部（固定部側入出力部）に配設されているため、第１配線を短くすることができた分だけ、接続切換装置と計測部とを接続するための配線（この例では、第２配線および第３配線のうちの第３配線）を長くする必要が生じている。このため、従来の検査装置では、各接触端子と計測部とを相互に接続するための配線の長さ（第１配線、第２配線および第３配線の合計長）が、接続切換装置を固定部側に配設した構成を採用した場合と同程度の長さとなっている。
【０００９】
この場合、各接触端子と計測部とを相互に接続している配線の長さが長い構成では、各接触端子と計測部との間で検査信号を短時間で送受信するのが困難となり、かつ、外乱の影響を受け易くなる。しかしながら、従来の検査装置では、固定部に対する可動部の移動を妨げることのないように第３配線を充分に長くする必要があり、これに起因して、第１配線、第２配線および第３配線の合計長を一層短くするのが困難となっている。したがって、従来の検査装置では、検査信号を短時間で送受信したり、外乱の影響を受け難くしたりするのが困難となっている。このため、従来の検査装置には、検査時間の短縮、および検査精度の向上が困難となっているという問題点が存在する。
【００１０】
本発明は、かかる解決すべき問題点に鑑みてなされたものであり、検査時間の短縮および検査精度の向上を図り得る基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査装置は、複数のプローブが配設されたプローブユニットと、検査対象基板に対して少なくとも前記プローブユニットを相対的に移動させる移動機構と、前記複数のプローブを介して前記検査対象基板の各検査ポイントに対して入出力させた電気信号に基づいて当該各検査ポイントの間の電気的パラメータを測定する測定部と、前記測定部および前記複数のプローブの接断を切り替える切替え部と、前記移動機構、前記切替え部および前記測定部を制御すると共に当該測定部の測定結果に基づいて前記各検査ポイントを検査する処理部とを備えた基板検査装置であって、前記移動機構は、少なくとも前記プローブユニットを移動させる第１移動機構と、少なくとも前記測定部を移動させる第２移動機構とを備え、前記切替え部は、前記第１移動機構および前記第２移動機構のいずれかに取り付けられ、前記処理部は、前記第１移動機構を制御して前記プローブユニットを移動させるときに、当該プローブユニットと当該測定部との離間距離が予め規定された第１距離以下となるように前記第２移動機構を制御して当該測定部を移動させると共に、前記第２移動機構を制御して前記測定部を移動させるときに、前記プローブユニットと当該測定部との離間距離が予め規定された第２距離以下になるように前記第１移動機構を制御して当該プローブユニットを移動させる。
【００１２】
また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載の基板検査装置において、前記切替え部は、前記第１移動機構に取り付けられている。
【００１３】
さらに、請求項３記載の基板検査装置は、請求項１または２記載の基板検査装置において、前記処理部は、前記第２移動機構に取り付けられている。
【００１４】
また、請求項４記載の基板検査装置は、プローブＡおよびプローブＢと、検査対象基板に対して少なくとも前記プローブＡを相対的に移動させる移動機構Ａと、前記検査対象基板に対して少なくとも前記プローブＢを相対的に移動させる移動機構Ｂと、前記プローブＡおよび前記プローブＢを介して前記検査対象基板の各検査ポイントに対して入出力させた電気信号に基づいて当該各検査ポイントの間の電気的パラメータを測定する測定部と、前記移動機構Ａ、前記移動機構Ｂおよび前記測定部を制御すると共に当該測定部の測定結果に基づいて前記各検査ポイントを検査する処理部とを備えた基板検査装置であって、前記処理部の制御に従って少なくとも前記測定部を前記プローブＡおよび前記プローブＢとは別個に移動させる移動機構Ｃを備え、前記処理部は、前記移動機構Ａ、前記移動機構Ｂおよび前記移動機構Ｃのうちの少なくとも１つを制御して前記プローブＡ、前記プローブＢおよび前記測定部のうちの少なくとも１つを移動させるときに、当該測定部と当該プローブＡとの離間距離が予め規定された距離Ａ以下になり、かつ当該測定部と当該プローブＢとの離間距離が予め規定された距離Ｂ以下になるように、当該移動機構Ａ、当該移動機構Ｂおよび当該移動機構Ｃのうちの他の少なくとも１つを制御して当該プローブＡ、当該プローブＢおよび当該測定部のうちの他の少なくとも１つを移動させる。
【００１５】
さらに、請求項５記載の基板検査装置は、請求項４記載の基板検査装置において、前記処理部は、前記移動機構Ａ、前記移動機構Ｂおよび前記移動機構Ｃのいずれかに取り付けられている請求項４記載の基板検査装置。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１記載の基板検査装置では、処理部が、第１移動機構を制御してプローブユニットを移動させるときに、プローブユニットと測定部との離間距離が第１距離以下となるように第２移動機構を制御して測定部を移動させ、かつ、第２移動機構を制御して測定部を移動させるときに、プローブユニットと測定部との離間距離が第２距離以下になるように第１移動機構を制御してプローブユニットを移動させる。
【００１７】
したがって、請求項１記載の基板検査装置によれば、切替え部を第１移動機構に取り付けた場合には、プロービングに際してプローブユニットに対する切替え部の位置が変位しないため、このプローブユニット（各プローブ）と切替え部とを相互に接続するための配線の長さを充分に短くすることができると共に、プロービングに際して切替え部と測定部とが第１距離および第２距離を超えて離間しないため、この切替え部と測定部とを相互に接続するための配線の長さを充分に短くすることができる。また、切替え部を第２移動機構に取り付けた場合には、プロービングに際してプローブユニットと切替え部とが第１距離および第２距離を超えて離間しないため、このプローブユニット（各プローブ）と切替え部とを相互に接続するための配線の長さを充分に短くすることができると共に、プロービングに際して切替え部に対する測定部の位置が変位しないため、この切替え部と測定部とを相互に接続するための配線の長さを充分に短くすることができる。これにより、切替え部を第１移動機構および第２移動機構のいずれに取り付けたとしても、プローブと測定部との間で電気的信号を送受信するための配線の長さを充分に短くすることができるため、プローブと測定部との間で電気的信号を短時間で送受信させることができる結果、検査時間を充分に短くすることができると共に、プローブおよび測定部を相互に接続している配線に外乱が混入する可能性を充分に低減することができる結果、検査精度を充分に向上させることができる。
【００１８】
また、請求項２記載の基板検査装置によれば、切替え部を第１移動機構に取り付けたことにより、各プローブと切替え部とを相互に接続するための多数の配線の長さを充分に短くすることができる。したがって、第１移動機構によって移動させる移動体の合計質量を充分に軽量化することができるため、プローブユニットを高速に移動させることができると共に、プローブの本数と同数を必要とする配線の長さを短くすることができる分だけ、基板検査装置の製造コストを充分に低減することができる。
【００１９】
さらに、請求項３記載の基板検査装置によれば、処理部を第２移動機構に取り付けたことにより、測定部と処理部とを相互に接続するための配線の長さを充分に短くすることができる。したがって、処理部から測定部に制御信号を短時間で送信することができるため、測定部を介して各プローブの接断を短時間で切り替えさせることができる結果、検査時間を短縮することができる。また、測定部と処理部とを相互に接続するための配線に外乱が混入する可能性を充分に低減することができる結果、処理部によって測定部を確実に制御して測定処理を実行させることができる。これにより、検査精度を充分に向上させることができる。
【００２０】
また、請求項４記載の基板検査装置では、処理部が、移動機構Ａ、移動機構Ｂおよび移動機構Ｃのうちの少なくとも１つを制御してプローブＡ、プローブＢおよび測定部のうちの少なくとも１つを移動させるときに、測定部とプローブＡとの離間距離が距離Ａ以下になり、かつ測定部とプローブＢとの離間距離が距離Ｂ以下になるように、移動機構Ａ、移動機構Ｂおよび移動機構Ｃのうちの他の少なくとも１つを制御してプローブＡ、プローブＢおよび測定部のうちの他の少なくとも１つを移動させる。
【００２１】
したがって、請求項４記載の基板検査装置によれば、両プローブと測定部とを相互に接続するための配線の長さを充分に短くすることができるため、プローブと測定部との間で電気的信号を短時間で送受信させることができる結果、検査時間を充分に短くすることができると共に、プローブおよび測定部を相互に接続している配線に外乱が混入する可能性を充分に低減することができる結果、検査精度を充分に向上させることができる。
【００２２】
さらに、請求項５記載の基板検査装置によれば、移動機構Ａ、移動機構Ｂおよび移動機構Ｃのいずれかに処理部を取り付けたことにより、測定部と処理部とを相互に接続するための配線の長さを充分に短くすることができる。したがって、測定部と処理部とを相互に接続するための配線に外乱が混入する可能性を充分に低減することができると共に、処理部から測定部に制御信号を短時間で送信することができる結果、処理部によって確実かつ迅速に測定部を制御して測定処理を実行させることができる。これにより、検査精度を充分に向上させると共に、検査時間を一層短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】基板検査装置１Ａの構成を示す構成図である。
【図３】基板検査装置１（１Ａ）におけるプロービングユニット４（プローブユニット１１）、測定ユニット６（６ａ）およびパーソナルコンピュータ７のそれぞれの位置と、信号ケーブルＣ２，Ｃ３，Ｃ５，Ｃ７（信号ケーブルＣ１ａ，Ｃ５，Ｃ７）との関係について説明するための説明図である。
【図４】基板検査装置１Ｂにおける両プローブ１１ａ，１１ａ、測定ユニット６およびパーソナルコンピュータ７のそれぞれの位置と、信号ケーブルＣ５，Ｃ７，Ｃ１２との関係について説明するための説明図である。
【図５】基板検査装置１Ｂの構成を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明に係る基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２５】
図１に示す基板検査装置１は、「基板検査装置」の一例であって、検査対象基板Ｐの良否を電気的に検査可能に構成されている。具体的には、この基板検査装置１は、基板保持部２、移動機構３、プロービングユニット４、移動機構５、測定ユニット６およびパーソナルコンピュータ７を備えて構成されている。基板保持部２は、検査位置に設置された検査対象基板Ｐを吸着または挟持して保持する。
【００２６】
移動機構３は、「第１移動機構」の一例であって、移動機構本体３ａおよび被移動部３ｂを備えて構成されている。移動機構本体３ａは、基板検査装置１の図示しないフレームに取り付けられると共に、後述するように測定ユニット６に配設されている制御部２２に信号ケーブルＣ５によって接続されている。また、被移動部３ｂは、移動機構３による移動対象（本例ではプロービングユニット４）が取り付けられると共に、移動機構本体３ａによって移動させられる。この場合、本例の基板検査装置１では、移動機構本体３ａが、上記の制御部２２からの制御信号Ｓ１に従い、基板保持部２によって検査位置に保持されている検査対象基板Ｐに対して被移動部３ｂを移動させることによってプロービングユニット４を移動させ、これにより、プロービングユニット４における後述するプローブユニット１１の各プローブ１１ａを検査対象基板Ｐの各検査ポイントにプロービングさせる構成が採用されている。
【００２７】
プロービングユニット４は、プローブユニット１１およびスキャナ１２（「切替え部」の一例）を備え、これらが一体化されて（ユニット化されて）被移動部３ｂに取り付けられている（「切替え部」が「プローブユニット」と共に「第１移動機構」に取り付けられている構成の例）。プローブユニット１１は、検査対象基板Ｐ上に規定された複数の検査ポイント（図示せず）の位置に合わせて配設された複数のプローブ１１ａを備えて構成されている。この場合、各プローブ１１ａは、信号ケーブルＣ１によってそれぞれ別個にスキャナ１２に接続されている。スキャナ１２は、測定部２１の制御に従い、測定部２１に対する各プローブ１１ａの接断（接続／切断）を切り替える。この場合、スキャナ１２は、接続状態に切り替えたプローブ１１ａを測定部２１に接続するための信号ケーブルＣ２、および後述する制御信号Ｓ４を送受信するための信号ケーブルＣ３によって測定部２１に接続されている。
【００２８】
移動機構５は、「第２移動機構」の一例であって、移動機構本体５ａおよび被移動部５ｂを備えて構成されている。移動機構本体５ａは、基板検査装置１のフレームに取り付けられると共に、信号ケーブルＣ６によって上記の制御部２２に接続されている。また、被移動部５ｂは、移動機構５による移動対象（本例では測定ユニット６）が取り付けられると共に、移動機構本体５ａによって移動させられる。この場合、本例の基板検査装置１では、移動機構本体５ａが、制御部２２からの制御信号Ｓ２に従い、プロービングユニット４と測定ユニット６との離間距離が予め規定された距離となるように被移動部５ｂを移動させることによって測定ユニット６を移動させる構成が採用されている。
【００２９】
測定ユニット６は、測定部２１、制御部２２（「処理部」の一例）および記憶部２３を備え、これらが一体化されて（ユニット化されて）被移動部５ｂに取り付けられている（「処理部」が「測定部」と共に「第２移動機構」に取り付けられている構成の例）。測定部２１は、制御部２２からの制御信号Ｓ３に従ってプロービングユニット４のスキャナ１２に制御信号Ｓ４を送信して各プローブ１１ａのうちの任意の数本を接続状態に切り替えさせ、かつ他のプローブ１１ａを切断状態（非接続状態）に切り替えさせる。また、測定部２１は、接続状態に切り替えられたプローブ１１ａを介して検査対象基板Ｐの各検査ポイントに対して入出力させた電気信号に基づき、各検査ポイントの間の電気的パラメータ（電流値、電圧値、抵抗値および位相等：一例として、抵抗値）を測定して測定データＤｓを出力する測定処理を実行する。この場合、測定部２１は、上記の制御信号Ｓ３や測定データＤｓを送受信するための信号ケーブルＣ４によって制御部２２に接続されている。
【００３０】
制御部２２は、基板検査装置１を総括的に制御する。この制御部２２は、後述するようにパーソナルコンピュータ７から送信される操作情報Ｄ１に応じて基板検査装置１の各部を制御する。具体的には、制御部２２は、移動機構３（移動機構本体３ａ）に制御信号Ｓ１を送信してプロービングユニット４（被移動部３ｂ）を任意の位置に移動させると共に、移動機構５（移動機構本体５ａ）に制御信号Ｓ２を送信して測定ユニット６（被移動部５ｂ）を任意の位置に移動させる。なお、移動機構３によるプロービングユニット４の移動、および移動機構５による測定ユニット６の移動に関する制御については、後に詳細に説明する。
【００３１】
また、制御部２２は、測定部２１に制御信号Ｓ３を送信することにより、測定部２１を介してスキャナ１２を制御して（測定部２１からスキャナ１２に制御信号Ｓ４を送信させて）、任意のプローブ１１ａを接続状態に切り替えさせ、かつ他のプローブ１１ａを切断状態に切り替えさせる（接断の切替え制御）。さらに、制御部２２は、測定部２１に制御信号Ｓ３を送信することにより、測定部２１による上記の測定処理を制御する。また、制御部２２は、測定部２１から出力される測定データＤｓを記憶部２３に記憶させると共に、記憶部２３に記憶されている検査用基準データＤ０および測定データＤｓに基づき、検査対象基板Ｐの各検査ポイントの良否を検査する。さらに、制御部２２は、検査結果に応じて表示用データＤ２を生成し、生成した表示用データＤ２をパーソナルコンピュータ７に送信する。記憶部２３は、検査用基準データＤ０、測定データＤｓおよび制御部２２の動作プログラムなどを記憶する。
【００３２】
この場合、基板検査装置１では、プローブユニット１１（各プローブ１１ａ）およびスキャナ１２がプロービングユニット４内に一体的に配設されて移動機構３の被移動部３ｂに取り付けられている。このため、この基板検査装置１では、各プローブ１１ａとスキャナ１２とを相互に接続するための配線の長さ（この例では、信号ケーブルＣ１の長さ）が非常に短くなっている。また、この基板検査装置１では、測定部２１および制御部２２が記憶部２３と共に測定ユニット６内に一体的に配設されて移動機構５の被移動部５ｂに取り付けられている。このため、この基板検査装置１では、制御部２２から測定部２１に制御信号Ｓ４を送信するための信号ケーブルＣ３も非常に短くなっている。
【００３３】
さらに、この基板検査装置１では、制御部２２が、後述するように、移動機構３を制御してプロービングユニット４（プローブユニット１１）を移動させるときに、プロービングユニット４と測定ユニット６（測定部２１）との離間距離が予め規定された距離（「第１距離」の一例）以下となるように移動機構５を制御して測定ユニット６を移動させ、移動機構５を制御して測定ユニット６（測定部）を移動させるときに、プロービングユニット４（プローブユニット１１）と測定ユニット６との離間距離が上記の予め規定された距離（「第２距離」の一例）以下になるように移動機構３を制御してプロービングユニット４を移動させる構成が採用されている。
【００３４】
したがって、この基板検査装置１では、測定部２１に相当する計測部が固定部側に配設されている従来の検査装置と比較して、プロービングユニット４のスキャナ１２と測定ユニット６の測定部２１とを相互に接続するための配線（この例では、信号ケーブルＣ２，Ｃ３）の長さが、プロービングユニット４および測定ユニット６の離間距離として規定された距離以下の充分に短い長さとなっている。また、各信号ケーブルＣ１，Ｃ２の長さがそれぞれ短い基板検査装置１では、プローブユニット１１の各プローブ１１ａと測定部２１とを相互に接続するための配線の長さ（この例では、信号ケーブルＣ１，Ｃ２の合計長）が非常に短くなっている。
【００３５】
一方、パーソナルコンピュータ７は、操作部３１、表示部３２および制御部３３を備え、信号ケーブルＣ７を介して測定ユニット６の制御部２２に接続されている。この場合、本例の基板検査装置１では、パーソナルコンピュータ７の操作部３１を操作することで制御部３３から制御部２２に操作情報Ｄ１が送信されて後述する各種の処理が実行されると共に、後述するように制御部２２から制御部３３に表示用データＤ２が送信されることで表示部３２に各種表示画面（図示せず）が表示される構成が採用されている。つまり、本例の基板検査装置１では、パーソナルコンピュータ７の操作部３１（キーボードやマウス）を、各種動作条件を指示するための操作スイッチとして機能させると共に、パーソナルコンピュータ７の表示部３２を、検査結果を表示するための表示部として機能させる構成が採用されている。
【００３６】
この場合、本例の基板検査装置１では、一例として、基板保持部２、移動機構３（移動機構本体３ａ）および移動機構５（移動機構本体５ａ）が基板検査装置１の図示しないフレームに固定的に取り付けられている（「第１移動機構」が「検査対象基板」を移動させることなく「プローブユニット」を移動させ、かつ「第２移動機構」が「検査対象基板」を移動させることなく「測定部」を移動させる構成の一例）。また、本例の基板検査装置１では、パーソナルコンピュータ７が基板保持部２や移動機構３，５（移動機構本体３ａ，５ａ）と同様にして基板検査装置１のフレーム（移動機構本体３ａ，５ａによる被移動部３ｂ，５ｂの移動時に移動機構本体３ａ，５ａに対して変位しない位置）に固定的に取り付けられている。
【００３７】
なお、実際の基板検査装置１では、プロービングユニット４のスキャナ１２、測定ユニット６の各構成要素、および移動機構本体３ａ，５ａなどに電源を供給するための電源部を備え、この電源部がパーソナルコンピュータ７等と共に基板検査装置１のフレームに固定的に取り付けられ、かつ移動機構本体３ａ，５ａ、プロービングユニット４および測定ユニット６と電源部とが電源ケーブルを介して相互に接続されているが、これらの図示および説明を省略する。
【００３８】
この基板検査装置１による検査対象基板Ｐの検査に際しては、まず、各検査ポイントが規定されている面を上向きにして検査対象基板Ｐを基板保持部２に保持させる。次いで、パーソナルコンピュータ７の操作部３１を操作して検査処理を開始させる。この際に、パーソナルコンピュータ７の制御部３３は、操作部３１から出力された操作信号に基づいて検査開始を指示する指示操作の操作情報Ｄ１を生成すると共に、信号ケーブルＣ７を介して操作情報Ｄ１を制御部２２に送信する。
【００３９】
これに応じて、制御部２２は、検査対象基板Ｐについての検査処理を開始する。具体的には、制御部２２は、信号ケーブルＣ５を介して移動機構本体３ａに制御信号Ｓ１を送信することにより、基板保持部２によって検査位置に保持されている検査対象基板Ｐの上方に被移動部３ｂ（プロービングユニット４）を移動させた後に、検査対象基板Ｐに向けて被移動部３ｂを移動させる。これにより、被移動部３ｂに取り付けられているプロービングユニット４におけるプローブユニット１１の各プローブ１１ａが検査対象基板Ｐの一面（各検査ポイント）にプロービングされる。
【００４０】
また、制御部２２は、移動機構３によるプロービングユニット４の移動制御と同時に、信号ケーブルＣ６を介して移動機構本体５ａに制御信号Ｓ２を送信することにより、プロービングユニット４と測定ユニット６との離間距離（具体的には、プロービングユニット４のスキャナ１２と測定ユニット６の測定部２１との離間距離）が予め規定された距離（以下、この距離を「距離Ｌａ」ともいう）以下となるように、被移動部３ｂ（プロービングユニット４）の近傍に被移動部５ｂ（測定ユニット６）を移動させる。
【００４１】
より具体的には、制御部２２は、移動機構３によるプロービングユニット４の移動に際して、例えば、図３に実線で示すようにプロービングユニット４を矢印Ａ１で示す位置に位置させるときに、プロービングユニット４（スキャナ１２）と測定ユニット６（測定部２１）との離間距離が距離Ｌａ以下の距離Ｌａ１となるように移動機構５を制御して同図に実線で示すように測定ユニット６を移動させる。また、制御部２２は、移動機構３によるプロービングユニット４の移動に際して、例えば、同図に一点鎖線で示すようにプロービングユニット４を矢印Ａ２で示す位置に位置させるときに、プロービングユニット４（スキャナ１２）と測定ユニット６（測定部２１）との離間距離が距離Ｌａ以下の距離Ｌａ２となるように移動機構５を制御して同図に一点鎖線で示すように測定ユニット６を移動させる。
【００４２】
なお、移動機構３によるプロービングユニット４の移動、および移動機構５による測定ユニット６の移動のタイミングに関しては、同時に実行する構成に限定されず、移動機構３によるプロービングユニット４の移動にやや遅れて移動機構５による測定ユニット６の移動を開始する構成としたり、移動機構５による測定ユニット６の移動にやや遅れて移動機構３によるプロービングユニット４の移動を開始する構成としたりすることもできる。この場合、移動タイミングに関していずれの構成を採用した場合においても、プロービングユニット４（スキャナ１２）と測定ユニット６（測定部２１）との離間距離が距離Ｌａを超えることのないように移動機構３，５を制御することにより、プロービングユニット４（スキャナ１２）と測定ユニット６（測定部２１）とを接続している信号ケーブルＣ２，Ｃ３の長さを最短で上記の距離Ｌａと同程度とすれば済むため、この基板検査装置１では、信号ケーブルＣ２，Ｃ３の長さを充分に短くすることが可能となっている。
【００４３】
また、プローブユニット１１およびスキャナ１２の双方が被移動部３ｂに取り付けられているこの基板検査装置１では、前述したように、プローブユニット１１およびスキャナ１２を相互に接続している信号ケーブルＣ１の長さが非常に短くなっている。したがって、この基板検査装置１では、プローブ１１ａの本数と同数を必要とする信号ケーブルＣ１が短い分だけ、移動機構３（移動機構本体３ａ）によって移動させる移動体（被移動部３ｂ、プロービングユニット４および各信号ケーブルＣ１）の合計質量が充分に軽量化されており、これにより、移動機構本体３ａが被移動部３ｂ（プロービングユニット４）を高速に移動させることが可能となっている。
【００４４】
また、この基板検査装置１では、測定部２１等と共に被移動部５ｂに取り付けられている制御部２２と、基板検査装置１のフレームに取り付けられている移動機構本体３ａ，５ａおよびパーソナルコンピュータ７とを相互に接続する信号ケーブルが信号ケーブルＣ５〜Ｃ７の３本だけとなっている。したがって、この基板検査装置１では、移動機構５によって検査対象基板Ｐ上（基板保持部２上）の各部に測定ユニット６を移動させるためにある程度長尺にせざるを得ない信号ケーブルの数が少ない分だけ、測定ユニット６の移動に伴って引き回される信号ケーブル（本例では、信号ケーブルＣ５〜Ｃ７）の合計質量が充分に軽量化されており、また、これらの信号ケーブルに絡みが生じ難くなっているため、被移動部５ｂ（測定ユニット６）を高速に移動させることが可能となっている。
【００４５】
次いで、制御部２２は、信号ケーブルＣ４を介して測定部２１に制御信号Ｓ３を送信することにより、測定部２１に対するプローブ１１ａの接断を切り替えさせ、かつ接続状態に切り替えられたプローブ１１ａを介しての電気的パラメータの測定処理を実行させる。この場合、「処理部」を構成する制御部２２が測定部２１と共に被移動部５ｂに取り付けられているこの基板検査装置１では、制御部２２および測定部２１を相互に接続している信号ケーブルＣ４の長さが非常に短くなっている。したがって、制御部２２から測定部２１に短時間で制御信号Ｓ３を送信することができ、また、信号ケーブルＣ４に外乱が混入して測定部２１に誤作動が生じる可能性も充分に低減されている。これにより、この基板検査装置１では、迅速かつ確実に測定処理を開始させることが可能となっている。
【００４６】
一方、制御部２２からの制御信号Ｓ３を受信した測定部２１は、まず、信号ケーブルＣ３を介してスキャナ１２に制御信号Ｓ４を送信することにより、一例として、各プローブ１１ａのうちの任意の２本を接続状態に切り替えさせる共に、他のプローブ１１ａを切断状態に切り替えさせる。この場合、前述したように、この基板検査装置１では、測定部２１およびスキャナ１２を相互に接続している信号ケーブルＣ３の長さが非常に短くなっている。したがって、測定部２１からスキャナ１２に短時間で制御信号Ｓ４を送信することができ、また、信号ケーブルＣ３に外乱が混入してスキャナ１２に誤作動が生じる可能性も充分に低減されている。これにより、迅速かつ確実にプローブ１１ａの接断を切り替えさせることが可能となっている。
【００４７】
次いで、測定部２１は、スキャナ１２によって接続状態に切り替えられたプローブ１１ａおよび信号ケーブルＣ２を介して検査対象基板Ｐの各検査ポイントに対して入出力させた電気信号に基づき、各検査ポイントの間の電気的パラメータ（本例では、抵抗値）を測定して測定データＤｓを生成する。この場合、前述したように、プローブユニット１１（各プローブ１１ａ）とスキャナ１２とを相互に接続する信号ケーブルＣ１の長さ、およびスキャナ１２と測定部２１とを相互に接続する信号ケーブルＣ２の長さが短いこの基板検査装置１では、プローブ１１ａと測定部２１とを相互に接続する配線の長さ（この例では、信号ケーブルＣ１，Ｃ２の合計長）が非常に短くなっている。したがって、上記の測定処理に際して、測定部２１とプローブ１１ａ（プローブ１１ａがプロービングされている検査対象基板Ｐの検査ポイント）との間で電気的信号を短時間で送受信することができると共に、この電気的信号に外乱が混入する可能性も充分に低減されている。これにより、迅速かつ確実に所望の電気的パラメータを測定することが可能となっている。
【００４８】
また、測定部２１は、信号ケーブルＣ４を介して測定データＤｓを制御部２２に出力する。この場合、前述したように信号ケーブルＣ４が非常に短くなっているこの基板検査装置１では、測定部２１から制御部２２に測定データＤｓを短時間で送信することが可能となっている。一方、制御部２２は、測定部２１から送信された測定データＤｓを記憶部２３に記憶させると共に、記憶させた測定データＤｓと、記憶部２３から読み出した検査用基準データＤ０とに基づき、スキャナ１２によって接続状態に切り替えられているプローブ１１ａがプロービングされている検査ポイントの良否を検査する。また、制御部２２は、その検査結果に基づいて表示用データＤ２を生成し、信号ケーブルＣ７を介してパーソナルコンピュータ７（制御部３３）に送信する。この際に、制御部３３は、送信された表示用データＤ２に基づいて表示部３２に検査結果（検査結果表示画面：図示せず）を表示させる。
【００４９】
この場合、この基板検査装置１では、「表示部」を例えば移動機構３，５（被移動部３ｂ，５ｂ）に取り付けた構成とは異なり、移動機構３，５（移動機構本体３ａ，５ａ）がプローブユニット１１や測定部２１等を移動させているときに、表示部３２（パーソナルコンピュータ７）が移動機構本体３ａ，５ａに対して変位せずに静置された状態が維持されるため、表示部３２に表示されている表示画面（検査結果等）を確実かつ容易に視認させることができる。この後、制御部２２は、測定部２１に制御信号Ｓ３を送信することにより、プローブ１１ａの接断の切り替え、および接続状態に切り替えられたプローブ１１ａを介しての電気的パラメータの測定処理を繰り返し実行させる。また、制御部２２は、測定部２１から測定データＤｓが出力される都度、その測定データＤｓおよび検査用基準データＤ０に基づいて検査対象基板Ｐの検査ポイントの良否を検査すると共に、検査結果に応じて表示用データＤ２を生成してパーソナルコンピュータ７の制御部３３に検査結果を表示させる。
【００５０】
この場合、この基板検査装置１では、「操作部」を例えば移動機構３，５（被移動部３ｂ，５ｂ）に取り付けた構成とは異なり、移動機構３，５（移動機構本体３ａ，５ａ）がプローブユニット１１や測定部２１等を移動させているときに、操作部３１（パーソナルコンピュータ７）が移動機構本体３ａ，５ａに対して変位せずに静置された状態が維持されるため、誤操作の発生を回避することができる。したがって、例えば、検査対象基板Ｐについての検査を中断したいときなどに、利用者が所望する操作を確実に実施することができる。一方、検査対象基板Ｐ上の各検査ポイントについての検査を完了したときには、制御部２２は、移動機構本体３ａに制御信号Ｓ１を出力することにより、プロービングユニット４を検査対象基板Ｐから離間させて、予め規定された待機位置まで移動させると共に、移動機構本体５ａに制御信号Ｓ２を出力することにより、測定ユニット６を予め規定された待機位置まで移動させる。これにより、基板保持部２によって保持されている検査対象基板Ｐについての検査処理が完了する。
【００５１】
このように、この基板検査装置１では、制御部２２が、移動機構３を制御してプローブユニット１１（プロービングユニット４）を移動させるときに、プローブユニット１１と測定部２１との離間距離が距離Ｌａ以下となるように移動機構５を制御して測定部２１（測定ユニット６）を移動させ、かつ、移動機構５を制御して測定部２１（測定ユニット６）を移動させるときに、プローブユニット１１と測定部２１との離間距離が距離Ｌａ以下になるように移動機構３を制御してプローブユニット１１（プロービングユニット４）を移動させる。
【００５２】
したがって、この基板検査装置１によれば、プロービングに際してプローブユニット１１に対するスキャナ１２の位置が変位しないため、このプローブユニット１１（各プローブ１１ａ）とスキャナ１２とを相互に接続するための信号ケーブルＣ１の長さを充分に短くすることができると共に、プロービングに際してスキャナ１２と測定部２１とが距離Ｌａを超えて離間しないため、このスキャナ１２と測定部２１とを相互に接続するための信号ケーブルＣ２，Ｃ３の長さを充分に短くすることができる。これにより、プローブ１１ａと測定部２１との間で電気的信号を送受信するための配線の長さ（この例では、信号ケーブルＣ１，Ｃ２の合計長）を充分に短くすることができるため、プローブ１１ａと測定部２１との間で電気的信号を短時間で送受信させることができる結果、検査時間を充分に短くすることができると共に、プローブ１１ａおよび測定部２１を相互に接続している配線（この例では、信号ケーブルＣ１，Ｃ２）に外乱が混入する可能性を充分に低減することができる結果、検査精度を充分に向上させることができる。
【００５３】
また、この基板検査装置１によれば、スキャナ１２を移動機構３に取り付けたことにより、各プローブ１１ａとスキャナ１２とを相互に接続するための多数の配線（この例では、信号ケーブルＣ１）の長さを充分に短くすることができる。したがって、移動機構３（移動機構本体３ａ）によって移動させる移動体（被移動部３ｂ、プロービングユニット４）の合計質量を充分に軽量化することができるため、移動機構本体３ａによって被移動部３ｂ（プロービングユニット４）を高速に移動させることができると共に、プローブ１１ａの本数と同数を必要とする信号ケーブルＣ１を短くすることができる分だけ、基板検査装置１の製造コストを充分に低減することができる。
【００５４】
さらに、この基板検査装置１によれば、制御部２２を移動機構５に取り付けたことにより、測定部２１と制御部２２とを相互に接続するための配線（この例では、信号ケーブルＣ４）の長さを充分に短くすることができる。したがって、制御部２２から測定部２１に制御信号Ｓ２を短時間で送信することができるため、測定部２１を介して各プローブ１１ａの接断を短時間で切り替えさせることができる結果、検査時間を短縮することができる。また、信号ケーブルＣ４に外乱が混入する可能性を充分に低減することができる結果、制御部２２によって測定部２１を確実に制御して測定処理を実行させることができる。これにより、検査精度を充分に向上させることができる。
【００５５】
次に、本発明に係る基板検査装置の他の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。なお、上記の基板検査装置１と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００５６】
図２に示す基板検査装置１Ａは、「基板検査装置」の他の一例であって、検査対象基板Ｐの良否を電気的に検査可能に構成されている。具体的には、この基板検査装置１Ａは、基板検査装置１におけるプロービングユニット４に代えて、プローブユニット１１が移動機構３の被移動部３ｂに直接取り付けられると共に、基板検査装置１における測定ユニット６に代えて、測定ユニット６ａが移動機構５の被移動部５ｂに取り付けられている。
【００５７】
測定ユニット６ａは、スキャナ１２、測定部２１、制御部２２および記憶部２３を備え、これらが一体化されて（ユニット化されて）いる（「切替え部」が「測定部」と共に「第２移動機構」に取り付けられると共に、「処理部」が「測定部」と共に「第２移動機構」に取り付けられている構成の例）。この場合、この基板検査装置１Ａでは、移動機構３の被移動部３ｂに取り付けられているプローブユニット１１の各プローブ１１ａと、移動機構５の被移動部５ｂに取り付けられている測定ユニット６ａのスキャナ１２とが信号ケーブルＣ１ａによってそれぞれ別個に接続されている。また、この基板検査装置１Ａでは、スキャナ１２が、接続状態に切り替えたプローブ１１ａを測定部２１に接続するための信号ケーブルＣ２ａ、および制御信号Ｓ４を送受信するための信号ケーブルＣ３ａによって測定部２１に接続されている。
【００５８】
この基板検査装置１Ａによる検査対象基板Ｐの検査時には、制御部２２が、信号ケーブルＣ５を介して移動機構本体３ａに制御信号Ｓ１を送信することにより、基板保持部２によって検査位置に保持されている検査対象基板Ｐの上方に被移動部３ｂ（プローブユニット１１）を移動させた後に、検査対象基板Ｐに向けて被移動部３ｂを移動させる。これにより、被移動部３ｂに取り付けられているプローブユニット１１の各プローブ１１ａが検査対象基板Ｐの一面（各検査ポイント）にプロービングされる。
【００５９】
また、制御部２２は、移動機構３によるプローブユニット１１の移動制御と同時に、信号ケーブルＣ６を介して移動機構本体５ａに制御信号Ｓ２を送信することにより、プローブユニット１１と測定ユニット６ａとの離間距離（具体的には、プローブユニット１１と測定ユニット６ａのスキャナ１２との離間距離）が前述した距離Ｌａ（「予め規定された距離」の一例）以下となるように、被移動部３ｂ（プローブユニット１１）の近傍に被移動部５ｂ（測定ユニット６ａ）を移動させる。
【００６０】
より具体的には、制御部２２は、移動機構３によるプローブユニット１１の移動に際して、例えば、図３に実線で示すようにプローブユニット１１を矢印Ａ１で示す位置に位置させるときに、プローブユニット１１と測定ユニット６ａ（スキャナ１２や測定部２１）との離間距離が距離Ｌａ以下の距離Ｌａ１となるように移動機構５を制御して同図に実線で示すように測定ユニット６ａを移動させる。また、制御部２２は、移動機構３によるプローブユニット１１の移動に際して、例えば、同図に一点鎖線で示すようにプローブユニット１１を矢印Ａ２で示す位置に位置させるときに、プローブユニット１１と測定ユニット６ａ（スキャナ１２や測定部２１）との離間距離が距離Ｌａ以下の距離Ｌａ２となるように移動機構５を制御して同図に一点鎖線で示すように測定ユニット６ａを移動させる。
【００６１】
なお、前述した基板検査装置１と同様にして、移動機構３によるプローブユニット１１の移動、および移動機構５による測定ユニット６ａの移動のタイミングに関しては、同時に実行する構成に限定されず、移動機構３によるプローブユニット１１の移動にやや遅れて移動機構５による測定ユニット６ａの移動を開始する構成としたり、移動機構５による測定ユニット６ａの移動にやや遅れて移動機構３によるプローブユニット１１の移動を開始する構成としたりすることもできる。この場合、移動タイミングに関していずれの構成を採用した場合においても、プローブユニット１１と測定ユニット６ａ（スキャナ１２や測定部２１）との離間距離が距離Ｌａを超えることのないように移動機構３，５を制御することにより、プローブユニット１１と測定ユニット６ａ（スキャナ１２）とを接続している信号ケーブルＣ１ａの長さを最短で上記の距離Ｌａと同程度とすれば済むため、この基板検査装置１Ａでは、信号ケーブルＣ１ａの長さを充分に短くすることが可能となっている。
【００６２】
また、スキャナ１２、測定部２１および制御部２２のすべてが被移動部５ｂに取り付けられているこの基板検査装置１Ａでは、スキャナ１２と測定部２１とを相互に接続している信号ケーブルＣ２ａ，Ｃ３ａ、および測定部２１と制御部２２とを相互に接続している信号ケーブルＣ４の長さが非常に短くなっている。したがって、この基板検査装置１Ａでは、これら信号ケーブルＣ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４が短い分だけ、移動機構５（移動機構本体５ａ）によって移動させる移動体（被移動部５ｂおよび測定ユニット６ａ）の合計質量が充分に軽量化されており、これにより、移動機構本体５ａが被移動部５ｂ（測定ユニット６ａ）を高速に移動させることが可能となっている。
【００６３】
次いで、制御部２２は、信号ケーブルＣ４を介して測定部２１に制御信号Ｓ３を送信することにより、電気的パラメータの測定処理を実行させる。なお、測定処理の具体的な内容に関しては前述した基板検査装置１において実行した測定処理と同様のため、その説明を省略する。この場合、この基板検査装置１Ａでは、測定部２１およびスキャナ１２を相互に接続している信号ケーブルＣ３ａの長さが非常に短くなっている。したがって、測定部２１からスキャナ１２に短時間で制御信号Ｓ４を送信することができ、また、信号ケーブルＣ３ａに外乱が混入してスキャナ１２に誤作動が生じる可能性も充分に低減されている。これにより、迅速かつ確実にプローブ１１ａの接断を切り替えさせることが可能となっている。
【００６４】
また、この基板検査装置１Ａでは、プローブユニット１１（各プローブ１１ａ）とスキャナ１２とを相互に接続する信号ケーブルＣ１ａの長さ、およびスキャナ１２と測定部２１とを相互に接続する信号ケーブルＣ２ａの長さが非常に短くなっている。したがって、この基板検査装置１Ａでは、プローブ１１ａと測定部２１とを相互に接続する配線の長さ（この例では、信号ケーブルＣ１，Ｃ２の合計長）が非常に短くなっており、測定処理に際して、測定部２１とプローブ１１ａ（プローブ１１ａがプロービングされている検査対象基板Ｐの検査ポイント）との間で電気的信号を短時間で送受信することができると共に、この電気的信号に外乱が混入する可能性も充分に低減されている。これにより、迅速かつ確実に所望の電気的パラメータを測定することが可能となっている。
【００６５】
このように、この基板検査装置１Ａでは、制御部２２が、移動機構３を制御してプローブユニット１１を移動させるときに、プローブユニット１１と測定部２１との離間距離が距離Ｌａ以下となるように移動機構５を制御して測定部２１（測定ユニット６ａ）を移動させ、かつ、移動機構５を制御して測定部２１（測定ユニット６ａ）を移動させるときに、プローブユニット１１と測定部２１との離間距離が距離Ｌａ以下になるように移動機構３を制御してプローブユニット１１を移動させる。
【００６６】
したがって、この基板検査装置１Ａによれば、プロービングに際してプローブユニット１１とスキャナ１２とが距離Ｌａを超えて離間しないため、このプローブユニット１１（各プローブ１１ａ）とスキャナ１２とを相互に接続するための信号ケーブルＣ１ａの長さを充分に短くすることができると共に、プロービングに際してスキャナ１２に対する測定部２１の位置が変位しないため、このスキャナ１２と測定部２１とを相互に接続するための信号ケーブルＣ２ａ，Ｃ３ａの長さを充分に短くすることができる。したがって、プローブ１１ａと測定部２１との間で電気的信号を送受信するための配線の長さ（この例では、信号ケーブルＣ１ａ，Ｃ２ａの合計長）を充分に短くすることができるため、プローブ１１ａと測定部２１との間で電気的信号を短時間で送受信させることができる結果、検査時間を充分に短くすることができると共に、プローブ１１ａおよび測定部２１を相互に接続している配線（この例では、信号ケーブルＣ１ａ，Ｃ２ａ）に外乱が混入する可能性を充分に低減することができる結果、検査精度を充分に向上させることができる。
【００６７】
また、この基板検査装置１Ａによれば、制御部２２を移動機構５に取り付けたことにより、測定部２１と制御部２２とを相互に接続するための配線（この例では、信号ケーブルＣ４）の長さを充分に短くすることができる。したがって、制御部２２から測定部２１に制御信号Ｓ２を短時間で送信することができるため、測定部２１を介して各プローブ１１ａの接断を短時間で切り替えさせることができる結果、検査時間を短縮することができる。また、信号ケーブルＣ４に外乱が混入する可能性を充分に低減することができる結果、制御部２２によって測定部２１を確実に制御して測定処理を実行させることができる。これにより、検査精度を充分に向上させることができる。
【００６８】
次いで、本発明に係る基板検査装置のさらに他の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。なお、上記の基板検査装置１，１Ａと同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００６９】
図５に示す基板検査装置１Ｂは、「基板検査装置」のさらに他の一例であって、検査対象基板Ｐの良否を電気的に検査可能に構成されている。具体的には、この基板検査装置１Ｂは、基板保持部２、移動機構３，３、移動機構５、測定ユニット６およびパーソナルコンピュータ７を備えて構成されている。この場合、この基板検査装置１Ｂでは、２つの移動機構３，３のうちの一方が「移動機構Ａ」に相当し、この移動機構３に取り付けられているプローブ１１ａが「プローブＡ」に相当すると共に、２つの移動機構３，３のうちの他方が「移動機構Ｂ」に相当し、この移動機構３に取り付けられているプローブ１１ａが「プローブＢ」に相当する。また、この基板検査装置１Ｂでは、移動機構５が「移動機構Ｃ」に相当し、この移動機構５に測定ユニット６が取り付けられている（「処理部」に相当する制御部２２、および「測定部」に相当する測定部２１が「移動機構Ｃ」に取り付けられている構成の例）。この場合、両プローブ１１ａは、Ｘ−Ｙ−Ｚ方向に移動可能ないわゆるフライングプローブであって、信号ケーブルＣ１２によって測定部２１にそれぞれ接続されている。
【００７０】
この基板検査装置１Ｂによる検査対象基板Ｐの検査時には、制御部２２が、信号ケーブルＣ５，Ｃ５を介して両移動機構本体３ａ，３ａに制御信号Ｓ１をそれぞれ送信することにより、基板保持部２によって検査位置に保持されている検査対象基板Ｐの上方に被移動部３ｂ，３ｂ（プローブ１１ａ，１１ａ）をそれぞれ移動（Ｘ−Ｙ方向への移動）させた後に、検査対象基板Ｐに向けて両被移動部３ｂ，３ｂを移動（Ｚ方向への移動）させる。これにより、両プローブ１１ａ，１１ａが検査対象基板Ｐの一面（各検査ポイント）にそれぞれプロービングされる。
【００７１】
また、制御部２２は、移動機構３，３による両プローブ１１ａ，１１ａの移動制御と同時に、信号ケーブルＣ６を介して移動機構本体５ａに制御信号Ｓ２を送信することにより、両プローブ１１ａ，１１ａと測定ユニット６とのそれぞれの離間距離（具体的には、両プローブ１１ａ，１１ａと測定ユニット６の測定部２１とのそれぞれの離間距離）が予め規定された距離（以下、この距離を「距離Ｌｂａ」および「距離Ｌｂｂ」ともいう：「距離Ａ」および「距離Ｂ」の一例）以下となり、かつ、一例として、両被移動部３ｂ，３ｂ（両プローブ１１ａ，１１ａ）からの距離が等しくなるように、両被移動部３ｂ，３ｂの近傍に被移動部５ｂ（測定ユニット６）を移動させる。
【００７２】
より具体的には、制御部２２は、両移動機構３，３によるプローブ１１ａ，１１ａの移動に際して、例えば、図４に実線で示すように両プローブ１１ａ，１１ａを矢印Ｂ１で示す位置にそれぞれ位置させるときに、両プローブ１１ａ，１１ａの一方と測定ユニット６（測定部２１）との離間距離が距離Ｌｂａ以下の距離Ｌｂａ１となり、かつ両プローブ１１ａ，１１ａの他方と測定ユニット６（測定部２１）との離間距離が距離Ｌｂａ以下の距離Ｌｂｂ１となるように移動機構５を制御して同図に実線で示すように測定ユニット６を移動させる。また、制御部２２は、両移動機構３，３によるプローブ１１ａ，１１ａの移動に際して、例えば、図４に一点鎖線で示すように両プローブ１１ａ，１１ａを矢印Ｂ２で示す位置にそれぞれ位置させるときに、両プローブ１１ａ，１１ａの一方と測定ユニット６（測定部２１）との離間距離が距離Ｌｂａ以下の距離Ｌｂａ２となり、かつ両プローブ１１ａ，１１ａの他方と測定ユニット６（測定部２１）との離間距離が距離Ｌｂａ以下の距離Ｌｂｂ２となるように移動機構５を制御して同図に一点鎖線で示すように測定ユニット６を移動させる。
【００７３】
なお、両移動機構３，３による両プローブ１１ａ，１１ａの移動、および移動機構５による測定ユニット６の移動のタイミングに関しては、同時に実行する構成に限定されず、両移動機構３，３によるプローブ１１ａ，１１ａの移動にやや遅れて移動機構５による測定ユニット６の移動を開始する構成としたり、移動機構５による測定ユニット６の移動にやや遅れて両移動機構３，３によるプローブ１１ａ，１１ａの移動を開始する構成としたりすることもできる。また、両移動機構３，３によるプローブ１１ａ，１１ａの移動に関しても、同時に実行する構成に限定されず、それぞれ別個に移動を開始する構成を採用することもできる。
【００７４】
この場合、移動タイミングに関していずれの構成を採用した場合においても、両プローブ１１ａ，１１ａのうちの一方と測定ユニット６（測定部２１）との離間距離が距離Ｌｂａを超えず、かつ、両プローブ１１ａ，１１ａのうちの他方と測定ユニット６（測定部２１）との離間距離が距離Ｌｂｂを超えることのないように移動機構３，３，５を制御することにより、両プローブ１１ａ，１１ａと測定ユニット６（スキャナ１２）とを接続している信号ケーブルＣ１２の長さを最短で上記の距離Ｌｂａ，Ｌｂｂと同程度とすれば済むため、この基板検査装置１Ｂでは、信号ケーブルＣ１２の長さを充分に短くすることが可能となっている。
【００７５】
次いで、制御部２２は、信号ケーブルＣ４を介して測定部２１に制御信号Ｓ３を送信することにより、電気的パラメータの測定処理を実行させる。なお、測定処理の具体的な内容に関しては、スキャナ１２による接断の切替え処理に代えて、両プローブ１１ａ，１１ａをプロービングする位置をその都度変更してプロービング処理が行われる点を除き、前述した基板検査装置１，１Ａにおいて実行した測定処理と同様のため、その説明を省略する。この場合、この基板検査装置１Ｂでは、両プローブ１１ａ，１１ａと測定部２１とを相互に接続する信号ケーブルＣ１２の長さが非常に短くなっている。したがって、この基板検査装置１Ｂでは、測定処理に際して、測定部２１と両プローブ１１ａ，１１ａ（両プローブ１１ａ，１１ａがプロービングされている検査対象基板Ｐの検査ポイント）との間で電気的信号を短時間で送受信することができると共に、この電気的信号に外乱が混入する可能性も充分に低減されている。これにより、迅速かつ確実に所望の電気的パラメータを測定することが可能となっている。
【００７６】
このように、この基板検査装置１Ｂでは、制御部２２が、移動機構３，３，５のうちの少なくとも１つを制御して一対のプローブ１１ａ，１１ａおよび測定部２１（測定ユニット６）のうちのうちの少なくとも１つを移動させるときに、測定部２１とプローブ１１ａとの離間距離が距離Ｌｂａ，Ｌｂｂ以下になるように、移動機構３，３，５のうちの他の少なくとも１つを制御して一対のプローブ１１ａ，１１ａおよび測定部２１のうちの他の少なくとも１つを移動させる。
【００７７】
したがって、この基板検査装置１Ｂによれば、両プローブ１１ａと測定部２１とを相互に接続するための信号ケーブルＣ１２の長さを充分に短くすることができるため、プローブ１１ａと測定部２１との間で電気的信号を短時間で送受信させることができる結果、検査時間を充分に短くすることができると共に、プローブ１１ａおよび測定部２１を相互に接続している信号ケーブルＣ１，Ｃ２に外乱が混入する可能性を充分に低減することができる結果、検査精度を充分に向上させることができる。
【００７８】
さらに、この基板検査装置１Ｂによれば、「移動機構Ａ」、「移動機構Ｂ」および「移動機構Ｃ」のいずれか（本例では、「移動機構Ｃ」に相当する移動機構５）に制御部２２を取り付けたことにより、測定部２１と制御部２２とを相互に接続するための配線（この例では、信号ケーブルＣ４）の長さを充分に短くすることができる。したがって、信号ケーブルＣ４に外乱が混入する可能性を充分に低減することができると共に、制御部２２から測定部２１に制御信号Ｓ２を短時間で送信することができる結果、制御部２２によって確実に迅速に測定部２１を制御して測定処理を実行させることができる。これにより、検査精度を充分に向上させると共に、検査時間を一層短縮することができる。
【００７９】
なお、「基板検査装置」の構成は、上記の基板検査装置１，１Ａ，１Ｂの構成に限定されない。例えば、プローブユニット１１およびスキャナ１２を一体化（ユニット化）したプロービングユニット４を移動機構３に取り付け、かつ測定部２１、制御部２２および記憶部２３を一体化（ユニット化）した測定ユニット６を移動機構５に取り付ける構成を採用した基板検査装置１を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、「プローブユニット」および「切替え部」を一体化（ユニット化）せずに、それぞれ別個に「第１移動機構」に取り付ける構成や、「測定部」および「処理部」を一体化（ユニット化）せずに、それぞれ別個に「第２移動機構」に取り付ける構成を採用することもできる。
【００８０】
また、スキャナ１２、測定部２１、制御部２２および記憶部２３を一体化（ユニット化）した測定ユニット６ａを移動機構５に取り付ける構成を採用した基板検査装置１Ａを例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、「切替え部」、「測定部」および「処理部」を一体化（ユニット化）せずに、それぞれ別個に「第２移動機構」に取り付ける構成を採用することもできる。さらに、測定部２１、制御部２２および記憶部２３を一体化（ユニット化）した測定ユニット６を移動機構５に取り付ける構成を採用した基板検査装置１Ｂを例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、「測定部」および「処理部」を一体化（ユニット化）せずに、それぞれ別個に「移動機構Ｃ」に取り付ける構成を採用することもできる。
【００８１】
これらの構成を採用した場合においても、「プローブユニット（各プローブ）」と「測定部」とを相互に接続するための配線の長さを充分に短くすることができるため、「プローブ」と「測定部」との間で電気的信号を短時間で送受信させることができる結果、検査時間を充分に短くすることができると共に、外乱が混入する可能性を充分に低減して検査精度を充分に向上させることができる。
【００８２】
また、「処理部」を構成する制御部２２を測定部２１等と共に移動機構５の被移動部５ｂに取り付けた構成を例に挙げて説明したが、「処理部（上記の例における制御部２２および記憶部２３）」を移動機構本体３ａ，５ａによる被移動部３ｂ，５ｂの移動時に移動機構本体３ａ，５ａに対して変位しない設置位置（例えば、基板検査装置１のフレーム）に配設する構成を採用することもできる。さらに、基板検査装置１，１Ａの構成に代えて、「処理部（上記の例における制御部２２および記憶部２３）」を移動機構３の被移動部３ｂに取り付ける構成や、基板検査装置１Ｂの構成に代えて、「処理部」を両移動機構３，３のいずれか一方の被移動部３ｂに取り付ける構成を採用することもできる。
【００８３】
これらの構成においても、各プローブ１１ａおよび測定部２１の間で電気的信号を送受信する配線の長さを上記の基板検査装置１，１Ａ，１Ｂと同様にして充分に短くすることができるため、プローブ１１ａと測定部２１との間で電気的信号を短時間で送受信させることができる結果、検査時間を充分に短くすることができると共に、外乱が混入する可能性を充分に低減して検査精度を充分に向上させることができる。
【００８４】
また、移動機構３によるプロービングユニット４（プローブユニット１１）の移動に際して、移動機構５によってプロービングユニット４の極く近傍まで測定ユニット６（測定部２１）を移動させる構成、すなわち、基準位置（一例として、パーソナルコンピュータ７の側方）からのプロービングユニット４（プローブユニット１１）の移動量と、基準位置からの測定ユニット６（測定部２１）の移動量とが同程度となるように移動機構３，５を制御する構成の基板検査装置１や、移動機構３によるプローブユニット１１の移動に際して、移動機構５によってプローブユニット１１の極く近傍まで測定ユニット６ａ（測定部２１）を移動させる構成、すなわち、基準位置からのプローブユニット１１の移動量と、基準位置からの測定ユニット６ａ（測定部２１）の移動量とが同程度となるように移動機構３，５を制御する構成の基板検査装置１Ａを例に挙げて説明したが、プロービングユニット４（プローブユニット１１）と測定ユニット６（６ａ）との離間距離（「予め規定された距離」）については、上記の例示よりも長く規定することができる。
【００８５】
具体的には、上記の距離Ｌａをある程度長く規定すると共に、例えば、図３に破線で示すようにプロービングユニット４（プローブユニット１１）を矢印Ａ３で示す位置に位置させるときに、プロービングユニット４（プローブユニット１１）と測定ユニット６（６ａ）との離間距離がある程度長い距離Ｌａ３となるように移動機構５を制御して同図に破線で示すように測定ユニット６（６ａ）を移動させる構成、すなわち、基準位置からのプロービングユニット４（プローブユニット１１）の移動量よりも、基準位置からの測定ユニット６（６ａ）の移動量の方が小さく（短く）なるように移動機構３，５を制御する構成を採用することができる。このような構成を採用した場合においても、「測定部」を移動させない構成と比較して、「測定部」と「プローブ」とを相互に接続する配線の長さを充分に短くすることができるため、前述した基板検査装置１，１Ａと同様の効果を奏することができる。
【００８６】
さらに、両移動機構３，３によるプローブ１１ａ，１１ａの移動に際して、移動機構５によって両プローブ１１ａ，１１ａの極く近傍まで測定ユニット６（測定部２１）を移動させる構成、すなわち、基準位置からのプローブ１１ａの移動量と、基準位置からの測定ユニット６（測定部２１）の移動量とが同程度となるように移動機構３，３，５を制御する構成の基板検査装置１Ｂを例に挙げて説明したが、プローブ１１ａ，１１ａと測定ユニット６との離間距離（「予め規定された距離」）についても、上記の例示よりも長く規定することができる。
【００８７】
具体的には、上記の距離Ｌｂａ，Ｌｂｂをある程度長く規定すると共に、例えば、図４に破線で示すようにプローブ１１ａ，１１ａを矢印Ｂ３で示す位置にそれぞれ位置させるときに、両プローブ１１ａ，１１ａと測定ユニット６（測定部２１）との離間距離がある程度長い距離Ｌｂａ３，Ｌｂｂ３となるように移動機構５を制御して同図に破線で示すように測定ユニット６を移動させる構成、すなわち、基準位置からの両プローブ１１ａの移動量よりも、基準位置からの測定ユニット６の移動量の方が小さく（短く）なるように移動機構３，３，５を制御する構成を採用することができる。このような構成を採用した場合においても、「測定部」を移動させない構成と比較して、「測定部」と「プローブ」とを相互に接続する配線の長さを充分に短くすることができるため、前述した基板検査装置１Ｂと同様の効果を奏することができる。この場合、両プローブ１１ａ，１１ａの測定ユニット６（測定部２１）との離間距離は、等しい距離に限定されず、互いに相異する距離とすることもできる。
【００８８】
さらに、信号ケーブルＣ７を介して制御部２２にパーソナルコンピュータ７を接続し、このパーソナルコンピュータ７の操作部３１および表示部３２を「操作部」および「表示部」として機能させる構成を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、専用の「操作部」および専用の「表示部」を制御部２２に直接接続する構成を採用することもできる。また、パーソナルコンピュータ７の操作部３１および表示部３２を「操作部」および「表示部」として機能させる構成や、専用の「操作部」および「表示部」を設ける構成を問わず、「操作部」および「表示部」については、「移動機構本体」が取り付けられている要素（上記の例では、基板検査装置１のフレーム）以外の要素であって、「動機構本体による被移動部の移動時に移動機構本体に対して変位しない」との条件を満たす要素（例えば、「移動機構本体」が取り付けられている要素（フレーム等）とは別個に用意された作業台等）の上にこれらを設置する構成を採用することもできる。
【００８９】
さらに、基板検査装置１，１Ａ，１Ｂにおける各構成要素を「信号ケーブル」によって相互に接続する例について説明したが、同じ「被移動部」に取り付けられている構成要素同士については、「信号ケーブル」に代えて、回路基板上に設けたプリントパターンや接続用コネクタなど（各構成要素を相互に接続する「配線」の他の一例）を介して相互に接続する構成を採用することができる。具体的には、基板検査装置１におけるプローブユニット１１とスキャナ１２とを信号ケーブルＣ１に代えてプリントパターン等によって相互に接続する構成、基板検査装置１，１Ａ，１Ｂにおける測定部２１と制御部２２とを信号ケーブルＣ４に代えてプリントパターン等によって相互に接続する構成、および基板検査装置１Ａにおけるスキャナ１２と測定部２１とを信号ケーブルＣ２ａ，Ｃ３ａに代えてプリントパターン等によって相互に接続する構成を採用することができる。このような構成を採用することにより、「被移動部」に取り付けられる構成要素、すなわち、「移動機構本体」によって移動させる要素についての合計質量を一層低減することができる結果、「移動機構本体」によって対象物を一層高速に移動させることができる。
【００９０】
加えて、移動機構３が検査対象基板Ｐに向けてプローブ１１ａを移動させることで検査対象基板Ｐの各検査ポイントにプローブ１１ａをプロービングさせる構成を例に挙げて説明したが、「検査対象基板」に向けて「プローブ」を移動させつつ、この「プローブ」に向けて「検査対象基板」を移動させることで「各検査ポイント」に「プローブ」をプロービングさせる構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００９１】
１，１Ａ，１Ｂ  基板検査装置
２  基板保持部
３，５  移動機構
３ａ，５ａ  移動機構本体
３ｂ，５ｂ  被移動部
４  プロービングユニット
６，６ａ  測定ユニット
７  パーソナルコンピュータ
１１  プローブユニット
１１ａ  プローブ
１２  スキャナ
２１  測定部
２２，３３  制御部
２３  記憶部
３１  操作部
３２  表示部
Ｃ１，Ｃ１ａ，Ｃ２，Ｃ２ａ，Ｃ３，Ｃ３ａ，Ｃ４〜Ｃ７，Ｃ１２  信号ケーブル
Ｄ０  検査用基準データ
Ｄ１  操作情報
Ｄ２  表示用データ
Ｄｓ  測定データ
Ｌａ，Ｌａ１〜Ｌａ３，Ｌｂａ，Ｌｂｂ，Ｌｂ１ａ〜Ｌｂ３ａ，Ｌｂ１ｂ〜Ｌｂ３ｂ  距離
Ｐ  検査対象基板
Ｓ１〜Ｓ４  制御信号
【図１】
2014071090.tif 000003
【図２】
2014071090.tif 000004
【図３】
2014071090.tif 000005
【図４】
2014071090.tif 000006
【図５】
2014071090.tif 000007