【手続補正書】
【提出日】令和3年6月21日(2021.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部を真空とすることが可能なチャンバと、
前記チャンバ内に設けられた回転テーブルであって、当該回転テーブルの回転軸心を中心とする円周の軌跡でワークを循環搬送する回転テーブルと、
前記回転テーブルに搭載され、前記ワークを載置する複数のトレイと、
前記回転テーブルにより搬送される前記ワークに対して、導入された反応ガスをプラズマ化して所定の処理を行う処理部と、
を有し、
前記処理部は、前記トレイの前記処理部に対向する面との間に、前記トレイに載置された前記ワークが通過可能な間隔を空けて、前記回転テーブルの径方向に沿って配置されたシールド部材を有し、
複数の前記トレイの前記処理部に対向する面は、前記円周の前記軌跡に沿って連続して面一となる部分を有することを特徴とする真空処理装置。
【請求項２】
前記ワークは、前記処理部に対向する面に凸部を有し、
前記シールド部材は、前記ワークの前記凸部に沿う凹部を有することを特徴とする請求項１記載の真空処理装置。
【請求項３】
前記トレイは、前記処理部に対向する面に、前記シールド部材の前記凹部に沿う凸部を有することを特徴とする請求項２記載の真空処理装置。
【請求項４】
前記シールド部材には、成膜される膜の膜厚分布を調整する調整部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項５】
前記回転テーブルは、前記トレイの位置を規制する規制部を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項６】
前記トレイは、前記ワークが嵌め込まれる嵌込部を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項７】
前記処理部は、前記ワークに、スパッタリングにより成膜材料を堆積させて膜を形成する成膜部を含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項８】
前記処理部は、前記ワークに形成された膜と反応ガスとを反応させる膜処理を行う膜処理部を含むことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項９】
内部を真空とすることが可能なチャンバと、
前記チャンバ内に設けられ、円周の軌跡でワークを循環搬送する回転テーブルと、
前記回転テーブルにより搬送される前記ワークに対して、導入された反応ガスをプラズマ化して所定の処理を行う処理部と、
を有し、
前記ワークは、前記処理部に対向する面に凸部を有し、
前記処理部は、前記回転テーブルにより搬送される前記ワークに間隔を空けて対向し、
前記ワークの前記凸部に沿う凹部を有するシールド部材を有し、
前記回転テーブルの表面に、前記シールド部材の前記凹部に沿う凸部が設けられ、
前記回転テーブルの前記凸部の表面が、前記円周の前記軌跡に沿って連続して面一となる部分を有することを特徴とする真空処理装置。
【請求項１０】
前記回転テーブルは、前記ワークが載置されるトレイが搭載されることにより、前記回転テーブルの表面と前記トレイの表面とに、前記円周の前記軌跡に沿って連続して面一となる部分が生じる搭載部を有することを特徴とする請求項９記載の真空処理装置。
【請求項１１】
内部を真空とすることが可能なチャンバと、前記チャンバ内に設けられた回転テーブルであって、当該回転テーブルの回転軸心を中心とする円周の軌跡でワークを循環搬送する回転テーブルと、前記回転テーブルにより搬送される前記ワークに対して、導入された反応ガスをプラズマ化して所定の処理を行う処理部と、を有する真空処理装置に使用される前記ワークが載置されるトレイであって、
前記処理部は、前記トレイの前記処理部に対向する面との間に、前記トレイに載置された前記ワークが通過可能な間隔を空けて、前記回転テーブルの径方向に沿って配置されたシールド部材を有し、
前記回転テーブルに複数搭載されることにより、前記処理部に対向する面が、前記円周の前記軌跡に沿って連続して面一となる部分を有することを特徴とするトレイ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記の目的を達成するために、本発明の真空処理装置は、
内部を真空とすることが可能なチャンバと、
前記チャンバ内に設けられた回転テーブルであって、当該回転テーブルの回転軸心を中心とする円周の軌跡でワークを循環搬送する回転テーブルと、
前記回転テーブルに搭載され、前記ワークを載置する複数のトレイと、
前記回転テーブルにより搬送される前記ワークに対して、導入された反応ガスをプラズマ化して所定の処理を行う処理部と、
を有し、
前記処理部は、前記トレイの前記処理部に対向する面との間に、前記トレイに載置された前記ワークが通過可能な間隔を空けて、前記回転テーブルの径方向に沿って配置されたシールド部材を有し、
複数の前記トレイの前記処理部に対向する面は、前記円周の前記軌跡に沿って連続して面一となる部分を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
前記ワークは、前記処理部に対向する面に凸部を有し、前記シールド部材は、前記ワークの前記凸部に沿う凹部を有していてもよい。前記トレイは、前記処理部に対向する面に、前記シールド部材の前記凹部に沿う凸部を有していてもよい。前記シールド部材には、成膜される膜の膜厚分布を調整する調整部が設けられていてもよい。前記回転テーブルは、前記トレイの位置を規制する規制部を有していてもよい。前記トレイは、前記ワークが嵌め込まれる嵌込部を有していてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
他の態様の真空処理装置は、内部を真空とすることが可能なチャンバと、前記チャンバ内に設けられ、円周の軌跡でワークを循環搬送する回転テーブルと、前記回転テーブルにより搬送される前記ワークに対して、導入された反応ガスをプラズマ化して所定の処理を行う処理部と、を有し、前記ワークは、前記処理部に対向する面に凸部を有し、前記処理部は、前記回転テーブルにより搬送される前記ワークに間隔を空けて対向し、前記ワークの凸部に沿う凹部を有するシールド部材を有し、前記回転テーブルの表面に、前記シールド部材の前記凹部に沿う凸部が設けられ、前記回転テーブルの前記凸部の表面が、前記円周の前記軌跡に沿って連続して面一となる部分を有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
前記回転テーブルは、前記ワークが載置されるトレイが搭載されることにより、前記回転テーブルの表面と前記トレイの表面とが、前記円周の前記軌跡に沿って連続して面一となる部分が生じる搭載部を有していてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
他の態様のトレイは、内部を真空とすることが可能なチャンバと、前記チャンバ内に設けられた回転テーブルであって、当該回転テーブルの回転軸心を中心とする円周の軌跡でワークを循環搬送する回転テーブルと、前記回転テーブルにより搬送される前記ワークに対して、導入された反応ガスをプラズマ化して所定の処理を行う処理部と、を有する真空処理装置に使用される前記ワークが載置されるトレイであって、
前記処理部は、前記トレイの前記処理部に対向する面との間に、前記トレイに載置された前記ワークが通過可能な間隔を空けて、前記回転テーブルの径方向に沿って配置されたシールド部材を有し、
前記回転テーブルに複数搭載されることにより、前記処理部に対向する面が、前記円周の前記軌跡に沿って連続して面一となる部分を有する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
筒状体５１は、水平断面が角丸長方形状の筒である。ここでいう角丸長方形状とは、陸上競技におけるトラック形状である。トラック形状とは、一対の部分円を凸側を相反する方向として離隔して対向させ、それぞれの両端を互いに並行な直線で結んだ形状である。筒状体５１は、回転テーブル３１と同様の材質とする。筒状体５１は、開口Ｈｏが回転テーブル３１側に離隔して向かうように、チャンバ２０の天井２０ａに設けられた開口２１ａに挿入されている。これにより、筒状体５１の側壁の大半は、真空室２１内に収容されている。筒状体５１は、その長径方向が回転テーブル３１の半径方向と平行となるように配置されている。なお、厳密な平行である必要はなく、多少の傾きがあってもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
ここで、回転テーブル３１の外周側と内周側とを比べると、一定距離を通過する速度に差が生じる。つまり、本実施形態の筒状体５１のように、長径方向が回転テーブル３１の半径方向と平行となるように配置されている場合、筒状体５１の下部を回転テーブル３１が通過する時間は、内周側よりも外周側が短い。