【手続補正書】
【提出日】令和3年6月30日(2021.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の絶縁体上に第２の絶縁体を有し、
前記第２の絶縁体上に第３の絶縁体と第１の導電体とを有し、
前記第１の導電体の側面は、前記第３の絶縁体と接し、
前記第１の導電体上に第２の導電体を有し、
前記第２の導電体の側面は、前記第１の導電体と接し、
前記第３の絶縁体の上面、前記第１の導電体の上面および前記第２の導電体の上面は平坦であり、
前記第３の絶縁体上、前記第１の導電体上および前記第２の導電体上に第４の絶縁体を有し、
前記第４の絶縁体上に第５の絶縁体を有し、
前記第５の絶縁体上に第１の酸化物を有し、
前記第１の酸化物上に第２の酸化物を有し、
前記第２の酸化物上に第３の酸化物、第３の導電体および第４の導電体を有し、
前記第３の導電体は、前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第４の導電体は、前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第３の導電体上および前記第４の導電体上に第６の絶縁体を有し、
前記第６の絶縁体は、前記第５の絶縁体の上面、前記第１の酸化物の側面、前記第２の酸化物の側面、前記第３の導電体の側面、前記第４の導電体の側面および前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第３の酸化物上に第７の絶縁体を有し、
前記第７の絶縁体の側面は、前記第３の酸化物に接し、
前記第７の絶縁体上に第８の絶縁体を有し、
前記第８の絶縁体の側面は、前記第７の絶縁体に接し、
前記第８の絶縁体上に第５の導電体を有し、
前記第５の導電体の側面は、前記第８の絶縁体に接し、
前記第５の導電体上に第６の導電体を有し、
前記第６の導電体の側面は、第５の導電体に接し、
前記第６の絶縁体上に第９の絶縁体を有し、
前記第９の絶縁体は、前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第９の絶縁体の上面、前記第３の酸化物の上面、前記第７の絶縁体の上面、前記第８の絶縁体の上面、前記第５の導電体の上面および前記第６の導電体の上面は平坦であり、
前記第９の絶縁体上、前記第３の酸化物上、前記第７の絶縁体上、前記第８の絶縁体上、前記第５の導電体上および前記第６の導電体上に第１０の絶縁体を有し、
前記第１０の絶縁体上に第１１の絶縁体を有し、
前記第１１の絶縁体上に第１２の絶縁体を有し、
前記第５の導電体および前記第６の導電体は、第１のゲート電極として機能し、
前記第１の導電体および前記第２の導電体は、第２のゲート電極として機能し、
前記第３の導電体は、ソース電極またはドレイン電極の一方として機能し、
前記第４の導電体は、ソース電極またはドレイン電極の他方として機能する、半導体装置。
【請求項２】
第１の絶縁体上に第２の絶縁体を有し、
前記第２の絶縁体上に第３の絶縁体と第１の導電体とを有し、
前記第１の導電体の側面は、前記第３の絶縁体と接し、
前記第１の導電体上に第２の導電体を有し、
前記第２の導電体の側面は、前記第１の導電体と接し、
前記第３の絶縁体の上面、前記第１の導電体の上面および前記第２の導電体の上面は平坦であり、
前記第３の絶縁体上、前記第１の導電体上および前記第２の導電体上に第４の絶縁体を有し、
前記第４の絶縁体上に第５の絶縁体を有し、
前記第５の絶縁体上に第１の酸化物を有し、
前記第１の酸化物上に第２の酸化物を有し、
前記第２の酸化物上に第３の酸化物、第３の導電体および第４の導電体を有し、
前記第３の導電体は、前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第４の導電体は、前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第３の導電体上および前記第４の導電体上に第６の絶縁体を有し、
前記第６の絶縁体は、前記第４の絶縁体の上面、前記第５の絶縁体の側面、前記第１の酸化物の側面、前記第２の酸化物の側面、前記第３の導電体の側面、前記第４の導電体の側面および前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第６の絶縁体上に第７の絶縁体を有し、
前記第７の絶縁体は、前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第３の酸化物上に第８の絶縁体を有し、
前記第８の絶縁体の側面は、前記第３の酸化物に接し、
前記第８の絶縁体上に第９の絶縁体を有し、
前記第９の絶縁体の側面は、前記第８の絶縁体に接し、
前記第９の絶縁体上に第５の導電体を有し、
前記第５の導電体の側面は、前記第９の絶縁体に接し、
前記第５の導電体上に第６の導電体を有し、
前記第６の導電体の側面は、前記第５の導電体に接し、
前記第７の絶縁体上に第１０の絶縁体を有し、
前記第１０の絶縁体は、前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第１０の絶縁体の上面、前記第３の酸化物の上面、前記第８の絶縁体の上面、前記第９の絶縁体の上面、前記第５の導電体の上面および前記第６の導電体の上面は平坦であり、
前記第１０の絶縁体上、前記第３の酸化物上、前記第８の絶縁体上、前記第９の絶縁体上、前記第５の導電体上および前記第６の導電体上に第１１の絶縁体を有し、
前記第１１の絶縁体上に第１２の絶縁体を有し、
前記第１２の絶縁体上に第１３の絶縁体を有し、
前記第５の導電体および前記第６の導電体は、第１のゲート電極として機能し、
前記第１の導電体および前記第２の導電体は、第２のゲート電極として機能し、
前記第３の導電体は、ソース電極またはドレイン電極の一方として機能し、
前記第４の導電体は、ソース電極またはドレイン電極の他方として機能する、半導体装置。
【請求項３】
第１の絶縁体上に第２の絶縁体を有し、
前記第２の絶縁体上に第３の絶縁体と第１の導電体とを有し、
前記第１の導電体の側面は、前記第３の絶縁体と接し、
前記第１の導電体上に第２の導電体を有し、
前記第２の導電体の側面は、前記第１の導電体と接し、
前記第３の絶縁体の上面、前記第１の導電体の上面および前記第２の導電体の上面は平坦であり、
前記第３の絶縁体上、前記第１の導電体上および前記第２の導電体上に第４の絶縁体を有し、
前記第４の絶縁体上に第５の絶縁体を有し、
前記第５の絶縁体上に第６の絶縁体を有し、
前記第６の絶縁体上に第１の酸化物を有し、
前記第１の酸化物上に第２の酸化物を有し、
前記第２の酸化物上に第３の酸化物、第３の導電体および第４の導電体を有し、
前記第３の導電体は、前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第４の導電体は、前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第３の導電体上および前記第４の導電体上に第７の絶縁体を有し、
前記第７の絶縁体は、前記第５の絶縁体の上面、前記第６の絶縁体の側面、前記第１の酸化物の側面、前記第２の酸化物の側面、前記第３の導電体の側面、前記第４の導電体の側面および前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第７の絶縁体上に第８の絶縁体を有し、
前記第８の絶縁体は、前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第３の酸化物上に第９の絶縁体を有し、
前記第９の絶縁体の側面は、前記第３の酸化物に接し、
前記第９の絶縁体上に第１０の絶縁体を有し、
前記第１０の絶縁体の側面は、前記第９の絶縁体に接し、
前記第１０の絶縁体上に第１１の絶縁体を有し、
前記第１１の絶縁体の側面は、前記第１０の絶縁体に接し、
前記第１１の絶縁体上に第５の導電体を有し、
前記第５の導電体の側面は、前記第１１の絶縁体に接し、
前記第５の導電体上に第６の導電体を有し、
前記第６の導電体の側面は、前記第５の導電体に接し、
前記第８の絶縁体上に第１２の絶縁体を有し、
前記第１２の絶縁体は、前記第３の酸化物の側面に接し、
前記第１２の絶縁体の上面、前記第３の酸化物の上面、前記第９の絶縁体の上面、前記第１０の絶縁体の上面、前記第１１の絶縁体の上面、前記第５の導電体の上面および前記第６の導電体の上面は平坦であり、
前記第１２の絶縁体上、前記第３の酸化物上、前記第９の絶縁体上、前記第１０の絶縁体上、前記第１１の絶縁体、前記第５の導電体上および前記第６の導電体上に第１３の絶縁体を有し、
前記第１３の絶縁体上に第１４の絶縁体を有し、
前記第１４の絶縁体上に第１５の絶縁体を有し、
前記第５の導電体および前記第６の導電体は、第１のゲート電極として機能し、
前記第１の導電体および前記第２の導電体は、第２のゲート電極として機能し、
前記第３の導電体は、ソース電極またはドレイン電極の一方として機能し、
前記第４の導電体は、ソース電極またはドレイン電極の他方として機能する、半導体装置。