(57)【要約】【課題】耐用寿命が充分に長いコンタクトプローブ用固定具およびコンタクトプローブを提供する。【解決手段】プローブ案内機構に取り付けられるベース部４に対してプローブ本体３を固定可能に構成されたプローブ固定部５を接近させるプロービング動作時に支点３２に生じる最大曲げ応力が支点３１に生じる最大曲げ応力と支点３３に生じる最大曲げ応力との合計力以下となり、かつ、プロービング動作時に支点４２に生じる最大曲げ応力が支点４１に生じる最大曲げ応力と支点４３に生じる最大曲げ応力との合計力以下となると共に、プロービング動作時に支点３２に生じる最大曲げ応力と支点４２に生じる最大曲げ応力とが同等となるように各支点３１〜３３，４１〜４３が形成されている。【選択図】図１
2014228328.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ案内機構に取り付けられると共に当該プローブ案内機構によって所定の案内方向に案内されるベース部と、プローブ本体を固定可能に構成されると共に前記案内方向に沿って前記ベース部に対向配置されたプローブ固定部と、前記案内方向に直交する方向Ａに沿って形成された第１の弾性変形部を介して前記ベース部に一端が連結された第１の連結用アームおよび当該方向Ａに沿って形成された第２の弾性変形部を介して前記プローブ固定部に一端が連結された第２の連結用アームを備える共に当該第１の連結用アームおよび当該第２の連結用アームの他端同士が当該方向Ａに沿って形成された第３の弾性変形部を介して相互に連結された第１のリンク部と、前記案内方向に直交し前記方向Ａと交差する方向Ｂに沿って形成された第４の弾性変形部を介して前記ベース部に一端が連結された第３の連結用アームおよび当該方向Ｂに沿って形成された第５の弾性変形部を介して前記プローブ固定部に一端が連結された第４の連結用アームを備える共に当該第３の連結用アームおよび当該第４の連結用アームの他端同士が当該方向Ｂに沿って形成された第６の弾性変形部を介して相互に連結された第２のリンク部とを備え、前記ベース部に対して前記プローブ固定部を接離動可能に構成されたコンタクトプローブ用固定具であって、
前記ベース部に対して前記プローブ固定部を接近させるプロービング動作時に前記第３の弾性変形部に生じる最大曲げ応力が、前記プロービング動作時に前記第１の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、前記プロービング動作時に前記第２の弾性変形部に生じる最大曲げ応力との合計力以下となり、かつ、前記プロービング動作時に前記第６の弾性変形部に生じる最大曲げ応力が、前記プロービング動作時に前記第４の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、前記プロービング動作時に前記第５の弾性変形部に生じる最大曲げ応力との合計力以下となると共に、前記プロービング動作時に前記第３の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、前記プロービング動作時に前記第６の弾性変形部に生じる最大曲げ応力とが同等となるように形成されているコンタクトプローブ用固定具。
【請求項２】
前記プロービング動作時に前記第３の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、前記プロービング動作時に前記第１の弾性変形部に生じる最大曲げ応力、および当該プロービング動作時に前記第２の弾性変形部に生じる最大曲げ応力の少なくとも一方とが同等となり、かつ、前記プロービング動作時に前記第６の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、前記プロービング動作時に前記第４の弾性変形部に生じる最大曲げ応力、および当該プロービング動作時に前記第５の弾性変形部に生じる最大曲げ応力の少なくとも一方とが同等となるように形成されている請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項３】
前記各弾性変形部は、前記各連結用アームにおける連結部位の一部が円弧状に切り欠かれた円弧切欠き支点によって構成されている請求項１または２記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項４】
前記各弾性変形部は、前記各円弧切欠き支点の切欠き半径が互いに同等で、かつ当該第３の弾性変形部を構成する当該円弧切欠き支点における最薄部の厚み、および当該第６の弾性変形部を構成する当該円弧切欠き支点における最薄部の厚みが、当該第１の弾性変形部を構成する当該円弧切欠き支点における最薄部の厚み、当該第２の弾性変形部を構成する当該円弧切欠き支点における最薄部の厚み、当該第４の弾性変形部を構成する当該円弧切欠き支点における最薄部の厚み、および当該第５の弾性変形部を構成する当該円弧切欠き支点における最薄部の厚みよりも薄くなるようにそれぞれ形成されている請求項３記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項５】
少なくとも表面部位が導電材料で形成され、前記プローブ固定部に前記プローブ本体を固着することによって当該プローブ本体と電気的に接続可能に構成されている請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具と、当該コンタクトプローブ用固定具における前記プローブ固定部に固定されたプローブ本体とを備えているコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ案内機構に取付け可能に構成されると共にプローブ本体を固定可能に構成されたコンタクトプローブ用固定具、およびそのようなコンタクトプローブ用固定具にプローブ本体が固定されて構成されたコンタクトプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
出願人は、この種のコンタクトプローブ用固定具を備えたコンタクトプローブ（以下、単に「固定具」および「プローブ」ともいう）の一例を下記の先行出願において提案している。出願人が提案しているプローブ１ｘ（以下、出願人が提案している「プローブ」および「固定具」に関する構成要素については、同先行出願の明細書における各構成要素の符号の末尾に「ｘ」を付して説明する）は、固定具２ｘ、および固定具２ｘに取り付けられたプローブ本体３ｘを備えて構成されている。また、固定具２ｘは、ベース部４ｘ、プローブ固定部５ｘおよびリンク部６ｘ，７ｘを備えて構成されている。
【０００３】
この場合、出願人が提案している固定具２ｘのリンク部６ｘは、連結用アーム１１ｘの一端部が円弧切欠き支点で構成された支点３１ｘを介してベース部４ｘに連結され、かつ連結用アーム１２ｘの一端部が円弧切欠き支点で構成された支点３３ｘを介してプローブ固定部５ｘに連結されると共に、連結用アーム１１ｘ，１２ｘの他端部同士が円弧切欠き支点で構成された支点３２ｘを介して相互に連結されて構成されている。また、出願人が提案している固定具２ｘのリンク部７ｘは、連結用アーム２１ｘの一端部が円弧切欠き支点で構成された支点４１ｘを介してベース部４ｘに連結され、かつ連結用アーム２２ｘの一端部が円弧切欠き支点で構成された支点４３ｘを介してプローブ固定部５ｘに連結されると共に、連結用アーム２１ｘ，２２ｘの他端部同士が円弧切欠き支点で構成された支点４２ｘを介して相互に連結されて構成されている。
【０００４】
このプローブ１ｘでは、固定具２ｘがプローブ本体３ｘの先端部３ｂｘをプローブ案内機構の案内方向に沿って上下方向に直動させる構成が採用されている。したがって、このプローブ１ｘでは、プロービング対象体に対して先端部３ｂｘが最初に接触させられた時点から、さらに付勢されてリンク部６ｘ，７ｘが変形した状態となるまでの間において、先端部３ｂｘが、プロービング対象体上で移動せずに最初に接触させられた位置に点的に接触させられた状態が維持される。これにより、出願人が提案しているプローブ１ｘでは、プロービング対象体に形成される接触痕を限りなく小さくすることができるため、プロービング対象体の美観や機能を損なうことなくプロービングを行うことが可能となっている。
【先行出願１】
【０００５】
特願２０１３−９１３６２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、出願人が提案しているプローブ１ｘ、およびその固定具２ｘには、以下の改善すべき課題が存在する。具体的には、出願人が上記のプローブ１ｘの製造に先立ち、その耐用寿命試験を試みたところ、長期に亘る使用により、各支点３１ｘ〜３３ｘ，４１ｘ〜４３ｘのうちの支点３２ｘ，４２ｘのいずれかに破断が生じ易いことを見出した。この場合、試験に際して製作した固定具２ｘのプロービング動作時における各構成要素の動きを検証したところ、図１３に示すように、プロービング動作時における支点３２ｘの変形量（同図（ｂ）に示す角度θ２ａ＋角度θ２ａ）が、支点３１ｘの変形量（同図（ａ）に示す角度θ１）や、支点３３ｘの変形量（同図（ｃ）に示す角度θ３）よりも多いことが判った。具体的には、固定具２ｘでは、上記の角度θ２ａ＋角度θ２ａが、角度θ１や角度θ３の２倍程度となっている。
【０００７】
なお、同図（ａ）は、支点３１ｘおよびベース部４ｘの位置を基準とし、連結用アーム１１ｘ，１２ｘ、支点３２ｘ，３３ｘおよびプローブ固定部５ｘのプロービング動作前の位置を一点鎖線で示すと共に、プロービング動作後の位置を二点鎖線で示している。また、同図（ｂ）は、支点３２ｘの位置を基準とし、連結用アーム１１ｘ，１２ｘ、支点３１ｘ，３３ｘ、ベース部４ｘおよびプローブ固定部５ｘのプロービング動作前の位置を一点鎖線で示すと共に、プロービング動作後の位置を二点鎖線で示している。さらに、同図（ｃ）は、支点３３ｘおよびプローブ固定部５ｘの位置を基準とし、連結用アーム１１ｘ，１２ｘ、支点３１ｘ，３２ｘおよびベース部４ｘのプロービング動作前の位置を一点鎖線で示すと共に、プロービング動作後の位置を二点鎖線で示している。また、図示を省略するが、プロービング動作時における支点４２ｘの変形量も、同様にして、支点４１ｘの変形量や支点４３ｘの変形量よりも多くなっている。
【０００８】
このため、試験に際して製作した固定具２ｘにおいて各支点３１ｘ〜３３ｘ，４１ｘ〜４３ｘの形状を互いに等しくした場合（円孔切欠き半径や、最薄部の厚み等を等しくした場合）には、長期に亘って使用したとき（多数回に亘るプロービング動作を行ったとき）に、プロービング動作時における変形量が少ない支点３１ｘ，４１ｘや支点３３ｘ，４３ｘが破断することなく、プロービング動作時における変形量が多い支点３２ｘまたは支点４２ｘが破断することが判った。したがって、固定具２ｘ（プローブ１ｘ）では、支点３２ｘ，４２ｘの耐久性が製品の耐用寿命を大きく左右することになるため、この支点３２ｘ，４２ｘの耐久性を充分に向上させるのが好ましい。
【０００９】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、耐用寿命が充分に長いコンタクトプローブ用固定具およびコンタクトプローブを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成すべく、請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具は、プローブ案内機構に取り付けられると共に当該プローブ案内機構によって所定の案内方向に案内されるベース部と、プローブ本体を固定可能に構成されると共に前記案内方向に沿って前記ベース部に対向配置されたプローブ固定部と、前記案内方向に直交する方向Ａに沿って形成された第１の弾性変形部を介して前記ベース部に一端が連結された第１の連結用アームおよび当該方向Ａに沿って形成された第２の弾性変形部を介して前記プローブ固定部に一端が連結された第２の連結用アームを備える共に当該第１の連結用アームおよび当該第２の連結用アームの他端同士が当該方向Ａに沿って形成された第３の弾性変形部を介して相互に連結された第１のリンク部と、前記案内方向に直交し前記方向Ａと交差する方向Ｂに沿って形成された第４の弾性変形部を介して前記ベース部に一端が連結された第３の連結用アームおよび当該方向Ｂに沿って形成された第５の弾性変形部を介して前記プローブ固定部に一端が連結された第４の連結用アームを備える共に当該第３の連結用アームおよび当該第４の連結用アームの他端同士が当該方向Ｂに沿って形成された第６の弾性変形部を介して相互に連結された第２のリンク部とを備え、前記ベース部に対して前記プローブ固定部を接離動可能に構成されたコンタクトプローブ用固定具であって、前記ベース部に対して前記プローブ固定部を接近させるプロービング動作時に前記第３の弾性変形部に生じる最大曲げ応力が、前記プロービング動作時に前記第１の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、前記プロービング動作時に前記第２の弾性変形部に生じる最大曲げ応力との合計力以下となり、かつ、前記プロービング動作時に前記第６の弾性変形部に生じる最大曲げ応力が、前記プロービング動作時に前記第４の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、前記プロービング動作時に前記第５の弾性変形部に生じる最大曲げ応力との合計力以下となると共に、前記プロービング動作時に前記第３の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、前記プロービング動作時に前記第６の弾性変形部に生じる最大曲げ応力とが同等となるように形成されている。なお、「最大曲げ応力が同等」とは、「２つの応力が等しい、または、ほぼ等しい状態」を意味する。
【００１１】
また、請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具において、前記プロービング動作時に前記第３の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、前記プロービング動作時に前記第１の弾性変形部に生じる最大曲げ応力、および当該プロービング動作時に前記第２の弾性変形部に生じる最大曲げ応力の少なくとも一方とが同等となり、かつ、前記プロービング動作時に前記第６の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、前記プロービング動作時に前記第４の弾性変形部に生じる最大曲げ応力、および当該プロービング動作時に前記第５の弾性変形部に生じる最大曲げ応力の少なくとも一方とが同等となるように形成されている。
【００１２】
さらに、請求項３記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１または２記載のコンタクトプローブ用固定具において、前記各弾性変形部は、前記各連結用アームにおける連結部位の一部が円弧状に切り欠かれた円弧切欠き支点によって構成されている。
【００１３】
また、請求項４記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項３記載のコンタクトプローブ用固定具において、前記各弾性変形部は、前記各円弧切欠き支点の切欠き半径が互いに同等で、かつ当該第３の弾性変形部を構成する当該円弧切欠き支点における最薄部の厚み、および当該第６の弾性変形部を構成する当該円弧切欠き支点における最薄部の厚みが、当該第１の弾性変形部を構成する当該円弧切欠き支点における最薄部の厚み、当該第２の弾性変形部を構成する当該円弧切欠き支点における最薄部の厚み、当該第４の弾性変形部を構成する当該円弧切欠き支点における最薄部の厚み、および当該第５の弾性変形部を構成する当該円弧切欠き支点における最薄部の厚みよりも薄くなるようにそれぞれ形成されている。なお「切欠き半径が同等」とは、「２つの半径が等しい、または、ほぼ等しい状態」を意味する。
【００１４】
さらに、請求項５記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具において、少なくとも表面部位が導電材料で形成され、前記プローブ固定部に前記プローブ本体を固着することによって当該プローブ本体と電気的に接続可能に構成されている。
【００１５】
また、請求項６記載のコンタクトプローブは、請求項１から５のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具と、当該コンタクトプローブ用固定具における前記プローブ固定部に固定されたプローブ本体とを備えている。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具では、プロービング動作時に第３の弾性変形部に生じる最大曲げ応力が、プロービング動作時に第１の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に第２の弾性変形部に生じる最大曲げ応力との合計力以下となり、かつ、プロービング動作時に第６の弾性変形部に生じる最大曲げ応力が、プロービング動作時に第４の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に第５の弾性変形部に生じる最大曲げ応力との合計力以下となると共に、プロービング動作時に第３の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に第６の弾性変形部に生じる最大曲げ応力とが同等となるように形成されている。また、請求項６記載のコンタクトプローブでは、上記のコンタクトプローブ用固定具とプローブ本体とを備えている。
【００１７】
したがって、請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具、および請求項６記載のコンタクトプローブによれば、プロービング動作時に第３の弾性変形部や第６の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に第１の弾性変形部および第２の弾性変形部や第４の弾性変形部および第５の弾性変形部に生じる最大曲げ応力との差が十分に小さいため、長期間に亘って使用したときに、第１の弾性変形部および第２の弾性変形部や第４の弾性変形部および第５の弾性変形部に何ら問題が生じていないにも拘わらず第３の弾性変形部および第６の弾性変形部のいずれか（または双方）に破断が生じてコンタクトプローブ用固定具が使用不能となる事態を回避することができる。これにより、コンタクトプローブ用固定具の耐用寿命を充分に長くすることができるため、コンタクトプローブ（コンタクトプローブ用固定具）を使用したプロービング（回路基板等の検査処理）に要するコストを充分に低減することができる。
【００１８】
また、請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、プロービング動作時に第３の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に第１の弾性変形部に生じる最大曲げ応力、およびプロービング動作時に第２の弾性変形部に生じる最大曲げ応力の少なくとも一方とが同等となり、かつ、プロービング動作時に第６の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に第４の弾性変形部に生じる最大曲げ応力、およびプロービング動作時に第５の弾性変形部に生じる最大曲げ応力の少なくとも一方とが同等となるように形成したことにより、プロービング動作時に第３の弾性変形部や第６の弾性変形部に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に第１の弾性変形部および第２の弾性変形部や第４の弾性変形部および第５の弾性変形部に生じる最大曲げ応力との差が一層小さくなるため、コンタクトプローブ用固定具の耐用寿命を一層長くすることができる結果、コンタクトプローブ（コンタクトプローブ用固定具）を使用したプロービング（回路基板等の検査処理）に要するコストを一層低減することができる。
【００１９】
さらに、請求項３記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、円弧切欠き支点によって各弾性変形部を構成したことにより、円弧切欠き支点の切欠き度合（円弧切欠き半径や、最薄部の厚み）を適宜変更することにより、その弾性力や、プロービング動作時に生じる最大曲げ応力を任意の大きさに調整することができるため、用途に応じた付勢力でプローブ本体をプロービング対象に付勢可能で、所望の耐久性を有するコンタクトプローブ用固定具を容易に設計・製造することができる。
【００２０】
また、請求項４記載のコンタクトプローブ用固定具では、各円弧切欠き支点の切欠き半径が互いに同等で、かつ第３の弾性変形部を構成する円弧切欠き支点における最薄部の厚み、および第６の弾性変形部を構成する円弧切欠き支点における最薄部の厚みが、第１の弾性変形部を構成する円弧切欠き支点における最薄部の厚み、第２の弾性変形部を構成する円弧切欠き支点における最薄部の厚み、第４の弾性変形部を構成する円弧切欠き支点における最薄部の厚み、および第５の弾性変形部を構成する円弧切欠き支点における最薄部の厚みよりも薄くなるように各弾性変形部がそれぞれ形成されている。
【００２１】
したがって、請求項４記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、各弾性変形部（各円弧切欠き支点）における最薄部の厚みを適宜変更してプロービング動作時に各弾性変形部に生じる最大曲げ応力を所望の応力とすることができるため、第１のリンク部および第２のリンク部を容易に設計することができ、また、各弾性変形部（円弧切欠き支点）の切欠き半径が互いに相違する構成と比較して容易に製造することができるため、コンタクトプローブ用固定具の製造コストを充分に低減することができる。
【００２２】
さらに、請求項５記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、少なくとも表面部位を導電材料で形成し、プローブ固定部にプローブ本体を固着することによってプローブ本体と電気的に接続可能に構成したことにより、プローブ本体に通電用の配線を直接接続する作業が不要となる結果、プローブ案内機構に対するコンタクトプローブの着脱作業を短時間で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態に係るプローブ１の外観斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るプローブ１の他の外観斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るプローブ１の平面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るプローブ１の底面図である。
【図５】非プロービング状態におけるプローブ１のリンク部６近傍の側面図である。
【図６】非プロービング状態におけるプローブ１のリンク部７近傍の側面図である。
【図７】非プロービング状態におけるプローブ１の側面図である。
【図８】プロービング状態におけるプローブ１の側面図である。
【図９】他の実施の形態に係るプローブ１Ａの平面図である。
【図１０】プロービング状態におけるプローブ１の側面図である。
【図１１】非プロービング状態におけるプローブ１の側面図である。
【図１２】さらに他の実施の形態に係るプローブ１Ｂにおける固定具２Ｂのリンク部６ｂ近傍の側面図である。
【図１３】プローブ１（１ｘ）の各構成要素の非プロービング状態およびプロービング状態における位置について説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブ用固定具およびコンタクトプローブの実施の形態について説明する。
【００２５】
図１〜４に示すプローブ１は、「コンタクトプローブ」の一例であって、「コンタクトプローブ用固定具」に相当する固定具２と、固定具２に取り付けられたプローブ本体３とを備えると共に、図示しないプローブ案内機構に取り付け可能に構成されている。固定具２は、ベース部４、プローブ固定部５およびリンク部６，７を備えている。この場合、本例の固定具２では、ベース部４、プローブ固定部５およびリンク部６，７が、一例として、導電性樹脂材料（例えば、導電性金属の微粉末を混練したエポキシ樹脂）を用いた射出成形によって一体的に形成されている（「表面部位だけでなく、コンタクトプローブ用固定具の全体を導電材料で形成した構成」の例）。
【００２６】
ベース部４は、「ベース部」の一例であって、プローブ案内機構に取り付けるためのネジ（図示せず）を挿通可能な取付用孔Ｈが形成されている。また、プローブ固定部５は、「プローブ固定部」の一例であって、プローブ本体３を固定するためのスリットＳが形成されると共に、プローブ案内機構による案内方向に沿ってベース部４に対向配置されている。
【００２７】
この場合、本例の固定具２では、プローブ固定部５のスリットＳにプローブ本体３における基端部３ａを圧入することによってプローブ本体３およびプローブ固定部５（固定具２）が一体化されて互いに電気的に接続された状態となる構成が採用されている。また、プローブ１（固定具２）を取り付けるプローブ案内機構におけるプローブ取付部（図示せず）が導電性金属材料で形成されているため、本例のプローブ１（固定具２）では、上記の取付用孔Ｈ，Ｈを挿通させたネジをプローブ案内機構におけるプローブ取付部のネジ孔にねじ込むことにより、プローブ本体３およびプローブ案内機構が固定具２および取付け用のネジを介して相互に電気的に接続された状態となる。
【００２８】
リンク部６は、「第１のリンク部」の一例であって、全体として、側面視Ｕ字状に形成されると共に、一端がベース部４に連結され、かつ他端がプローブ固定部５に連結されている。この場合、図１，２に示すように、リンク部６は、支点３１を介してベース部４に一端が連結された連結用アーム１１と、支点３３を介してプローブ固定部５に一端が連結された連結用アーム１２とを備えると共に、支点３２を介して連結用アーム１１，１２の他端同士が相互に連結されている。なお、本例のプローブ１（固定具２）では、支点３１が「第１の弾性変形部」に相当し、支点３３が「第２の弾性変形部」に相当し、かつ支点３２が「第３の弾性変形部」に相当すると共に、連結用アーム１１が「第１の連結用アーム」に相当し、かつ連結用アーム１２が「第２の連結用アーム」に相当する。
【００２９】
この場合、各支点３１〜３３は、図３，４に示すように、プローブ案内機構による案内方向（図１，２における上下方向）に直交する方向（両図において矢印Ａで示す方向：「方向Ａ」の一例）に沿って形成された円弧切欠き支点でそれぞれ構成されている。具体的には、本例のプローブ１（固定具２）では、図５に示すように、連結用アーム１１の両端部におけるリンク部６の外周側部位の一部、および連結用アーム１２の両端部におけるリンク部６の外周側部位の一部が円弧状に切り欠かれて「円弧切欠き支点」としての支点３１〜３３が形成されている。
【００３０】
なお、本例のプローブ１では、支点３１〜３３の切欠き半径Ｒ３１〜Ｒ３３が互いに等しくなるように固定具２が構成されている（「切欠き半径が互いに同等」との構成の例：一例として、切欠き半径Ｒ３１〜Ｒ３３＝０．４ｍｍ）。また、本例のプローブ１では、支点３１，３３における最薄部の厚みＴ３１，Ｔ３３が互いに等しくなり（一例として、厚みＴ３１＝厚みＴ３３＝０．１ｍｍ）、かつ、支点３２における最薄部の厚みＴ３２（一例として、厚みＴ３２＝０．０２５ｍｍ）が、厚みＴ３１，Ｔ３３よりも薄くなるように固定具２が構成されている（「第３の弾性変形部」および「第６の弾性変形部」を構成する円弧切欠き支点における最薄部の厚みが、「第１の弾性変形部」、「第２の弾性変形部」、「第４の弾性変形部」および「第５の弾性変形部」を構成する円弧切欠き支点における最薄部の厚みのいずれよりも薄くなるように各「弾性変形部」がそれぞれ形成されている構成の一例）。
【００３１】
リンク部７は、「第２のリンク部」の一例であって、リンク部６と同様にして、全体として、側面視Ｕ字状に形成されると共に、一端がベース部４に連結され、かつ他端がプローブ固定部５に連結されている。この場合、リンク部７は、支点４１を介してベース部４に一端が連結された連結用アーム２１と、支点４３を介してプローブ固定部５に一端が連結された連結用アーム２２とを備えると共に、支点４２を介して連結用アーム２１，２２の他端同士が相互に連結されている。なお、本例のプローブ１（固定具２）では、支点４１が「第４の弾性変形部」に相当し、支点４３が「第５の弾性変形部」に相当し、かつ支点４２が「第６の弾性変形部」に相当すると共に、連結用アーム２１が「第３の連結用アーム」に相当し、かつ連結用アーム２２が「第４の連結用アーム」に相当する。
【００３２】
この場合、各支点４１〜４３は、図３，４に示すように、プローブ案内機構による案内方向に直交し、かつ上記の「方向Ａ」と交差する方向（この例では、矢印Ａの方向に対して直交する矢印Ｂで示す方向：「方向Ｂ」の一例）に沿って形成された円弧切欠き支点でそれぞれ構成されている。具体的には、  本例のプローブ１（固定具２）では、図６に示すように、連結用アーム２１の両端部におけるリンク部７の外周側部位の一部、および連結用アーム２２の両端部におけるリンク部７の外周側部位の一部が円弧状に切り欠かれて「円弧切欠き支点」としての支点４１〜４３が形成されている。
【００３３】
なお、本例のプローブ１では、支点４１〜４３の切欠き半径Ｒ４１〜Ｒ４３が互いに等しくなるように固定具２が構成されている（「切欠き半径が互いに同等」との構成の例：一例として、切欠き半径Ｒ４１〜Ｒ４３＝０．４ｍｍ）。また、本例のプローブ１では、支点４１，４３における最薄部の厚みＴ４１，Ｔ４３が互いに等しくなり（一例として、厚みＴ４１＝厚みＴ４３＝０．１ｍｍ）、かつ、支点４２における最薄部の厚みＴ４２（一例として、厚みＴ４２＝０．０２５ｍｍ）が、厚みＴ４１，Ｔ４３よりも薄くなるように固定具２が構成されている。
【００３４】
このプローブ１の製造に際しては、まず、一例として、射出成形処理によって固定具２を製造する。なお、射出成形による製造に代えて、例えば、導電性樹脂材料の塊から切削加工によって固定具２を製造してもよい。次いで、固定具２にプローブ本体３を取り付ける。具体的には、図１〜４に示すように、平面視においてプローブ本体３がリンク部６，７の間に位置するようにプローブ本体３の基端部３ａを固定具２のプローブ固定部５におけるスリットＳに圧入する。これにより、固定具２およびプローブ本体３が一体化されて互いに電気的に接続された状態となり、プローブ１が完成する。
【００３５】
一方、プローブ１を用いたプロービングに際しては、まず、ベース部４の取付用孔Ｈ，Ｈを挿通させたネジを、プローブ案内機構におけるプローブ取付部に形成されているネジ孔にねじ込むことにより、プローブ案内機構にプローブ１（固定具２）を取り付ける。この際に、固定具２が導電性樹脂材料で形成されている本例のプローブ１では、プローブ案内機構（プローブ取付部）にプローブ１（固定具２）を取り付けるだけで、固定具２およびネジを介してプローブ本体３がプローブ案内機構（プローブ取付部）に対して電気的に接続された状態となる。したがって、プローブ本体３とプローブ案内機構とを信号線等を介して電気的に接続する作業が不要となっている分だけ、プローブ案内機構にプローブ１を迅速かつ容易に着脱することが可能となっている。
【００３６】
また、プロービングに際しては、図７に示すように、プローブ案内機構が、プローブ本体３の先端部３ｂをプロービング対象Ｘにおけるプロービング位置の上方に位置させた状態において、矢印Ｇの向き（「案内方向」の一例）でベース部４（固定具２）を移動させる。この際には、固定具２の移動に伴い、固定具２に取り付けられているプローブ本体３が固定具２と共にプロービング対象Ｘに向かって移動させられて先端部３ｂがプロービング対象Ｘに接触させられる。次いで、プローブ案内機構がベース部４を矢印Ｇの向きにさらに移動させると、図８に示すように、リンク部６の支点３１〜３３、およびリンク部７の支点４１〜４３（同図では、リンク部７の図示を省略している）がそれぞれ弾性変形する。
【００３７】
なお、同図では、プロービング時における固定具２の変形に関する理解を容易とするために、実際のプロービング時よりも、支点３１〜３３の変形量（連結用アーム１１，１２の傾動量）が大きくなるように変形させた状態を図示している。この際には、プローブ固定部５における連結用アーム１２との連結部位が、ベース部４における連結用アーム１１との連結部位に対して平行、かつ相対的に上動すると共に、プローブ固定部５における連結用アーム２２との連結部位が、ベース部４における連結用アーム２１との連結部位に対して平行、かつ相対的に上動する。このため、プローブ固定部５は、ベース部４に対して平行状態を維持しつつ相対的に上方に直動する。したがって、プローブ固定部５に固定されているプローブ本体３の先端部３ｂも、プローブ案内機構の案内方向に沿ってベース部４に対して相対的に直動する。
【００３８】
この後、例えば、回路基板における回路パターンの断線や短絡などを検査する場合には、固定具２およびプローブ本体３を介してプローブ本体３の先端部３ｂからプロービング対象Ｘに電圧または電流を供給すると共に、図示しない他のプローブ１（プローブ本体３）を介して電圧または電流を入力することにより、予め規定された電気的パラメータを測定する。これにより、測定結果と、判定用基準値とに基づき、回路パターンの断線などを検査することができる。
【００３９】
この場合、図１３に示すように、本例のプローブ１における固定具２では、出願人が耐用寿命試験に際して製作した従来の固定具２ｘと同様にして、プロービング動作時における支点３２の変形量（同図（ｂ）に示す角度θ２ａ＋角度θ２ａ）が、支点３１の変形量（同図（ａ）に示す角度θ１）や、支点３３の変形量（同図（ｃ）に示す角度θ３）よりも多くなっている。また、図示を省略するが、プロービング動作時における支点４２の変形量も、支点４１の変形量や支点３３の変形量よりも多くなっている。
【００４０】
しかしながら、本例の固定具２では、前述したように、各支点３１〜３３，４１〜４３の切欠き半径Ｒ３１〜Ｒ３３，Ｒ４１〜Ｒ４３が互いに等しくなり、かつ両支点３２，４２における最薄部の厚みＴ３２，Ｔ４２（本例では、０．０２５ｍｍ）が、支点３１，３３，４１，４３における最薄部の厚みＴ３１，Ｔ３３，Ｔ４１，Ｔ４３（本例では、０．１ｍｍ）よりも薄くなるように形成されている。これにより、この固定具２では、上記のようなプロービング動作に際して、非プロービング状態からプロービング状態となるまでの間に支点３２に生じる最大曲げ応力が、支点３１に生じる最大曲げ応力と、支点３３に生じる最大曲げ応力との合計力以下となり、かつ非プロービング状態からプロービング状態となるまでの間に支点４２に生じる最大曲げ応力が、支点４１に生じる最大曲げ応力と、支点４３に生じる最大曲げ応力との合計力以下となっている。
【００４１】
具体的には、この固定具２では、上記のようなプロービング動作に際して、非プロービング状態からプロービング状態となるまでの間に支点３２に生じる最大曲げ応力が、支点３１に生じる最大曲げ応力、および支点３３に生じる最大曲げ応力と同等となり、かつ非プロービング状態からプロービング状態となるまでの間に支点４２に生じる最大曲げ応力が、支点３２に生じる最大曲げ応力、支点４１に生じる最大曲げ応力、および支点４３に生じる最大曲げ応力と同等となっている。より具体的には、本例の固定具２では、上記のようなプロービング動作に際して、非プロービング状態から、ベース部４とプローブ固定部５との間の距離が非プロービング状態に対する７／８程度となるように各支点３１〜３３，４１〜４３を変形させたプロービング状態となるまでの間に、支点３２，４２に生じる最大曲げ応力が１７．０ＭＰａで、支点３１，３３，４１，４３に生じる最大曲げ応力がそれぞれ１６．９ＭＰａとなることが確認された。
【００４２】
これに対して、各支点３１〜３３，４１〜４３の切欠き半径が互いに等しくなり、かつ各支点３１〜３３，４１〜４３における最薄部の厚みが互いに等しくなるように、支点３２，４２における最薄部の厚みを支点３１，３３，４１，４３における最薄部の厚みＴ３１，Ｔ３３，Ｔ４１，Ｔ４３と等しい０．１ｍｍとし、その他の部位については固定具２と同様に形成した固定具（以下、この固定具を「固定具２ｚ」ともいう）では、上記のようなプロービング動作に際して支点３２，４２に生じる最大曲げ応力が５８．８ＭＰａで、支点３１，３３，４１，４３に生じる最大曲げ応力がそれぞれ１６．９ＭＰａとなることが確認された。
【００４３】
このため、プロービング動作時に支点３２に生じる最大曲げ応力が、支点３１に生じる最大曲げ応力と、支点３３に生じる最大曲げ応力との合計力を超え、かつ、プロービング動作時に支点４２に生じる最大曲げ応力が、支点４１に生じる最大曲げ応力と、支点４３に生じる最大曲げ応力との合計力を超えている固定具２ｚでは、出願人が耐用寿命試験に際して製作した従来の固定具２ｘと同様にして、長期に亘って使用したとき（多数回に亘るプロービング動作を行ったとき）に、支点３２，４２が支点３１，３３，４１，４３よりも破断し易く、支点３２，４２の耐久性と、支点３１，３３，４１，４３の耐久性との差異が大きくなっている。
【００４４】
一方、プロービング動作時に支点３２に生じる最大曲げ応力が、支点３１に生じる最大曲げ応力と、支点３３に生じる最大曲げ応力との合計力以下となり、かつ、プロービング動作時に支点４２に生じる最大曲げ応力が、支点４１に生じる最大曲げ応力と、支点４３に生じる最大曲げ応力との合計力以下となっている本例の固定具２では、支点３２，４２に生じる最大曲げ応力と、他の支点３１，３３，４１，４３に生じる最大曲げ応力との差異が十分に小さくなっている。これにより、本例の固定具２では、支点３１，３３，４１，４３の破断のし易さと、支点３２，４２の破断のし易さとの差異が十分に小さくなっており、各支点３１〜３３，４１〜４３の耐久性の差異が十分に小さくなっている。なお、各支点３１〜３３，４１〜４３の最大曲げ応力が同等となっている本例では、各支点３１〜３３，４１〜４３の耐久性がほぼ等しくなっている。
【００４５】
この場合、この種の「コンタクトプローブ用固定具」においてプロービング動作時に各支点（弾性変形部）に生じる最大曲げ応力は、支点を構成している材料の弾性係数が大きいほど大きくなると共に、支点の変形量（曲げ角）が大きいほど大きくなる。また、各支点を円弧切欠き支点で構成した場合、プロービング動作時に各支点（弾性変形部）に生じる最大曲げ応力は、支点における最薄部の厚みが厚いほど大きくなると共に、円弧切欠き半径が小さくなるほど大きくなる。このため、「コンタクトプローブ用固定具」として必要とされる弾性力（プロービング対象に「プローブ本体」を押し付ける力）を考慮しつつ、各支点（弾性変形部）毎に上記の各要素を適宜調整して製造することで、各支点毎の最大曲げ応力を任意の応力として各支点毎に耐久性のばらつきが生じる事態を回避することが可能となる。
【００４６】
しかしながら、「プローブ本体の先端部」を直動させることを目的に設計されている「コンタクトプローブ用固定具」においては、プロービング動作時におけるリンク部の動作（アームの傾動）を考慮して各支点の位置関係や各アームのアーム長を規定する必要があり、プロービング動作時に生じる曲げ応力（耐久性）だけに着目して各支点の変形量（曲げ角）を個別に変更するのが困難となっている。また、射出成形処理や切削加工によって「コンタクトプローブ用固定具」を構成する場合には、各支点を同一の材料で構成することになるため、曲げ応力（耐久性）を任意の状態とするために各支点の構成材料（弾性係数）を相違させることも困難となっている。
【００４７】
したがって、射出成形処理や切削加工によって各支点（弾性変形部）が円弧切欠き支点で構成された「コンタクトプローブ用固定具」を製造する際には、各支点における最薄部の厚み、および各支点の円弧切欠き半径を適宜調整することよってプロービング動作時に各支点に生じる最大曲げ応力を所望の大きさとするのが好ましい。なお、各支点毎に構成材料を変更することが可能な製造方法を採用する場合には、上記の厚みや円弧切欠き半径に加えて各支点の弾性係数を調整することでプロービング動作時に各支点に生じる最大曲げ応力を所望の大きさとすることもできる。
【００４８】
このように、この固定具２では、プロービング動作時に支点３２に生じる最大曲げ応力が、プロービング動作時に支点３１に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に支点３３に生じる最大曲げ応力との合計力以下となり、かつ、プロービング動作時に支点４２に生じる最大曲げ応力が、プロービング動作時に支点４１に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に支点４３に生じる最大曲げ応力との合計力以下となると共に、プロービング動作時に支点３２に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に支点４２に生じる最大曲げ応力とが同等となるように形成されている。また、このプローブ１では、上記の固定具２とプローブ本体３とを備えている。
【００４９】
したがって、この固定具２およびプローブ１によれば、プロービング動作時に支点３２，４２に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に支点３１，３３，４１，４３に生じる最大曲げ応力との差が十分に小さいため、長期間に亘って使用したときに、支点３１，３３，４１，４３に何ら問題が生じていないにも拘わらず支点３２，４２のいずれか（または双方）に破断が生じて固定具２が使用不能となる事態を回避することができる。これにより、固定具２の耐用寿命を充分に長くすることができるため、プローブ１（固定具２）を使用したプロービング（回路基板等の検査処理）に要するコストを充分に低減することができる。
【００５０】
また、この固定具２によれば、プロービング動作時に支点３２に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に支点３１に生じる最大曲げ応力、およびプロービング動作時に支点３３に生じる最大曲げ応力の少なくとも一方（本例では、双方）とが同等となり、かつ、プロービング動作時に支点４２に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に支点４１に生じる最大曲げ応力、およびプロービング動作時に支点４３に生じる最大曲げ応力の少なくとも一方（本例では、双方）とが同等となるように形成したことにより、プロービング動作時に支点３２，４２に生じる最大曲げ応力と、プロービング動作時に支点３１，３３，４１，４３に生じる最大曲げ応力との差が一層小さくなるため、固定具２の耐用寿命を一層長くすることができる結果、プローブ１（固定具２）を使用したプロービング（回路基板等の検査処理）に要するコストを一層低減することができる。
【００５１】
さらに、この固定具２によれば、円弧切欠き支点によって各「弾性変形部」を構成したことにより、円弧切欠き支点の切欠き度合（円弧切欠き半径や、最薄部の厚み）を適宜変更することにより、その弾性力や、プロービング動作時に生じる最大曲げ応力を任意の大きさに調整することができるため、用途に応じた付勢力でプローブ本体３をプロービング対象Ｘに付勢可能で、所望の耐久性を有する固定具２を容易に設計・製造することができる。
【００５２】
また、この固定具２では、各支点３１〜３３，４１〜４３の切欠き半径が互いに同等で、かつ支点３２における最薄部の厚みＴ３２、および支点４２における最薄部の厚みＴ４２が、支点３１における最薄部の厚みＴ３１、支点３３における最薄部の厚みＴ３３、支点４１における最薄部の厚み、および支点４３における最薄部の厚みＴ４３よりも薄くなるように各「弾性変形部」がそれぞれ形成されている。したがって、この固定具２によれば、各支点３１〜３３，４１〜４３における最薄部の厚みを適宜変更してプロービング動作時に各支点３１〜３３，４１〜４３に生じる最大曲げ応力を所望の応力とすることができるため、リンク部６，７等を容易に設計することができ、また、各支点３１〜３３，４１〜４３の切欠き半径が互いに相違する構成と比較して容易に製造することができるため、固定具２の製造コストを充分に低減することができる。
【００５３】
さらに、この固定具２によれば、少なくとも表面部位（本例では表面部位を含む全体）を導電材料で形成し、プローブ固定部５にプローブ本体３を固着することによってプローブ本体３と電気的に接続可能に構成したことにより、プローブ本体３に通電用の配線を直接接続する作業が不要となる結果、プローブ案内機構に対するプローブ１の着脱作業を短時間で実施することができる。
【００５４】
なお、本発明に係る「コンタクトプローブ用固定具」および「コンタクトプローブ」の構成は、上記の固定具２およびプローブ１の構成に限定されない。例えば、導電性樹脂材料によって成形した固定具２を例に挙げて説明したが、このような構成に代えて、ＡＢＳ樹脂等の非導電性樹脂材料を用いた射出成形によってベース部４、プローブ固定部５およびリンク部６，７を一体的に形成した後に、その表面にニッケル等で導体膜を成膜することによって固定具２の表面部位だけを導電材料で形成する構成を採用することもできる（「表面部位だけを導電材料で形成した構成」の例）。このような構成を採用した場合においても、上記の固定具２と同様にして、プローブ本体３に通電用の配線を直接接続する作業を不要とすることができる。
【００５５】
また、平面視において「方向Ａ」と「方向Ｂ」とが直交するように各支点３１〜３３，４１〜４３を形成した固定具２（プローブ１）を例に挙げて説明したが、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との交差角度を直角以外の任意の角度に規定して各「弾性変形部」を形成することができる。このような構成においても、上記の固定具２と同様にして、「ベース部」に対して「プローブ固定部」を直動させることができる。
【００５６】
具体的には、一例として、図９に示すプローブ１Ａの固定具２Ａでは、リンク部６における各支点３１〜３３を形成すべき「方向Ａ」の他の一例である矢印Ａａの方向と、リンク部７における各支点４１〜４３を形成すべき「方向Ｂ」の他の一例である矢印Ｂａの方向とが交差する角度θａが直角よりも小さな角度（一例として、７０度）となるようにベース部４ａ、プローブ固定部５ａおよびリンク部６，７が一体的に形成されている。なお、同図に示すプローブ１Ａにおいて上記のプローブ１と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００５７】
この場合、前述したプローブ１などによるプロービングに際して、例えば支点３１に対して支点３３が矢印Ｄａ（図３，４参照）の向きに変位するようなリンク部６の変形をリンク部７によって阻止すると共に、支点４１に対して支点４３が矢印Ｄｂ（図３，４参照）の向きに変位するようなリンク部７の変形をリンク部６によって阻止することで、ベース部４に対してプローブ固定部５を好適に直動させるには、平面視において、ベース部４およびプローブ固定部５に対してリンク部６を延出させる方向（矢印Ｄａの方向）と、ベース部４およびプローブ固定部５に対してリンク部７を延出させる方向（矢印Ｄｂの方向）との交差角度を直角とするのが好ましい。したがって、前述したプローブ１のように、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との交差角度が直角となるように支点３１，３３，４１，４３を形成することにより、ベース部４に対してプローブ固定部５を好適に直動させることが可能となる。
【００５８】
しかしながら、本例のプローブ１では、プローブ固定部５においてリンク部６との連結部位やリンク部７との連結部位から最も離間した部位にプローブ本体３を固定するためのスリットＳが設けられている。したがって、図１０に示すように、プロービングに際してプローブ本体３がプロービング対象Ｘに接触させられた状態から、プローブ案内機構によってベース部４が矢印Ｇ２の向きにさらに移動させられたときに、プローブ固定部５（スリットＳの形成部位）にプローブ本体３を介して同図に示す矢印Ｇ１の向きの力が加わることに起因して、同図に破線で示すように、プローブ固定部５におけるリンク部６，７との連結部位（支点３１，４１の形成部位）に対して、プローブ本体３が固定されている部位（スリットＳの形成部位）が矢印Ｇ１の向きで変位するようにしてプローブ固定部５に極く小さな傾きが生じるおそれがある。
【００５９】
また、この種のプローブ１を用いたプロービングに際しては、複数のプロービングポイントに対して短時間でプロービングを実施するために、プローブ案内機構がプローブ１を高速移動させる。したがって、プロービングに際してプローブ案内機構がプローブ１を矢印Ｇ１，Ｇ２の向きで高速に移動させたときには、図１１に示すように、プローブ固定部５やプローブ本体３に加わる加速度の大きさに比例して、一点鎖線または二点鎖線で示すように、プローブ固定部５におけるリンク部６，７との連結部位（支点３１，４１の形成部位）に対して、プローブ本体３が固定されている部位（スリットＳの形成部位）が矢印Ｇ２，Ｇ１の向きで変位するようにしてプローブ固定部５に極く小さな傾きが生じるおそれがある。
【００６０】
上記のようなプローブ固定部５の傾きが生じるような状態においては、プロービング対象Ｘ上でプローブ本体３の先端部３ｂが移動してプロービング対象Ｘに線状の接触跡が形成されるおそれがある。したがって、プローブ固定部５に傾きが生じるおそれがあるとき（大きな付勢力でプローブ本体３の先端部３ｂをプロービング対象Ｘにプロービングさせる必要があるときや、プローブ１等を高速に移動させるプロービングを行う必要があるときなど）には、ベース部４およびプローブ固定部５からリンク部６やリンク部７を延出させる向きを最適化してプローブ固定部５の傾きを阻止するのが好ましい。
【００６１】
この場合、ベース部４およびプローブ固定部５からリンク部６を延出させる向き（前述した矢印Ｄａの向き）と、ベース部４およびプローブ固定部５からリンク部７を延出させる向き（前述した矢印Ｄｂの向き）との交差角度を１８０未満の大きな角度とする（ベース部４およびプローブ固定部５に対してリンク部６，７を相反する方向に延出させる）ことにより、プロービング時にプローブ固定部５に生じる上記のような傾きを最も好適に回避することが可能となる。しかしながら、そのような構成を採用した場合には、例えば支点３１に対して支点３３が矢印Ｄａの向きに変位するようなリンク部６の変形や、支点４１に対して支点４３が矢印Ｄｂの向きに変位するようなリンク部７の変形を阻止するのが困難となり、結果として、ベース部４に対してプローブ固定部５を直動させるのが困難となる。
【００６２】
したがって、出願人は、リンク部６，７の延出方向が相違する各種のプローブを製作して検証したところ、ベース部４に対してプローブ固定部５を好適に直動させつつ、上記のようなプローブ固定部５の傾きを好適に回避するためには、図９に示すプローブ１Ａにおける固定具２Ａのように、ベース部４ａおよびプローブ固定部５ａからリンク部６を延出させる向き（矢印Ｄａの向き）と、ベース部４ａおよびプローブ固定部５ａからリンク部７を延出させる向き（矢印Ｄｂの向き）とが交差する角度θａを、９０度よりも大きくかつ１１０度以下の範囲内とするのが好ましいことを見出した。このような固定具２Ａ（プローブ１Ａ）を製造するには、「方向Ａ」と「方向Ｂ」との交差角度（同図における角度θａ）を、７０度以上９０度未満の角度範囲内とすればよい。これにより、プローブ１Ａ（固定具２Ａ）では、ベース部４ａに対してプローブ固定部５ａを好適に直動させつつ、プローブ固定部５ａに傾きが生じる事態を好適に回避することが可能となっている。
【００６３】
また、リンク部６の外周側部位を円弧状に切り欠くと共に内周側部位を直線状に形成した支点３１〜３３、およびリンク部７の外周側部位を円弧状に切り欠くと共に内周側部位を直線状に形成した支点４１〜４３を備えた固定具２等を例に挙げて説明したが、「弾性変形部」としての「円弧切欠き支点」の構成は、上記の例に限定されない。具体的には、各「リンク部」の内周側部位を円弧状に切り欠くと共に外周側部位を直線状に形成した「円弧切欠き支点」を「弾性変形部」として設けたり、各「リンク部」の内周側部位を円弧状に切り欠くと共に外周側部位も円弧状に切り欠いて形成した「円弧切欠き支点」を「弾性変形部」として設けたりすることもできる（図示せず）。
【００６４】
また、図１２に示すプローブ１Ｂにおける固定具２Ｂのように、「第１の弾性変形部」に相当する支点３１ｂ、および「第２の弾性変形部」に相当する支点３３ｂについては、リンク部６ｂの外周側部位を円弧状に切り欠くと共に内周側部位を直線状に形成し、「第３の弾性変形部」に相当する支点３２ｂについては、リンク部６ｂの内周側部位を円弧状に切り欠くと共に外周側部位を直線状に形成することもできる。なお、このプローブ１Ｂ（固定具２Ｂ）において前述したプローブ１，１Ａ（固定具２，２Ａ）と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。この場合、この固定具２Ｂでは、リンク部６ｂが「第１のリンク部」に相当すると共に、連結用アーム１１ｂが「第１の連結用アーム」に相当し、かつ、連結用アーム１２ｂが「第２の連結用アーム」に相当する。また、図示を省略するが、「第２のリンク部」についてもリンク部６ｂと同様に各要素が形成されている。
【００６５】
この場合、前述した固定具２では、プロービング動作に際して、支点３１，３３については、円弧状に切り欠かれている側に圧縮応力が生じ、かつ直線状となっている側に引張り応力が生じるのに対し、支点３２については、円弧状に切り欠かれている側に引張り応力が生じ、かつ直線状となっている側に圧縮応力が生じる。これに対して、固定具２Ｂでは、プロービング動作に際して、各支点３１ｂ〜３３ｂのすべてにおいて、円弧状に切り欠かれている側に圧縮応力が生じ、かつ各支点３１ｂ〜３３ｂのすべてにおいて、直線状となっている側に引張り応力が生じる。このため、この固定具２Ｂでは、プロービング動作時における各支点３１ｂ〜３３ｂの動きを容易にシミュレーションすることができ、これにより、各支点３１ｂ〜３３ｂに生じる最大曲げ応力や、各支点３１ｂ〜３３ｂ毎の反発力を容易に所望の大きさとすることが可能となっている。このような構成の固定具２Ｂにおいても、プロービング動作時に各支点に生じる最大曲げ応力を固定具２，２Ａ等と同様にすることにより、固定具２，２Ａと同様の効果を奏することができる。
【００６６】
さらに、「第１のリンク部」および「第２のリンク部」の２つによって「ベース部」および「プローブ固定部」を連結して構成した「コンタクトプローブ用固定具」を例に挙げて説明したが、「第１のリンク部」および「第２のリンク部」に加えて、これらのリンク部と同様に構成した「第３のリンク部」を設けて３つのリンク部によって「ベース部」および「プローブ固定部」を連結する構成を採用することもできる。加えて、「弾性変形部」として「円弧切欠き支点」を採用した例について説明したが、双曲線切欠き支点や楕円切欠き支点などで「弾性変形部」を形成して「コンタクトプローブ用固定具」を構成してもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１，１Ａ，１Ｂ  プローブ
２，２Ａ，２Ｂ  固定具
３  プローブ本体
４，４ａ  ベース部
５，５ａ  プローブ固定部
６，６ｂ，７  リンク部
１１，１１ｂ，１２，１２ｂ，２１，２２  連結用アーム
３１〜３３，３１ｂ〜３３ｂ，４１〜４３  支点
Ｈ  取付用孔
Ｒ３１〜Ｒ３３，Ｒ４１〜Ｒ４３  切欠き半径
Ｓ  スリット
Ｔ３１〜Ｔ３３，Ｔ４１〜Ｔ４３  厚み
Ｘ  プロービング対象
θａ，θ１  ，θ２ａ，θ３  角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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