(57)【要約】【課題】ポンプ光及びプローブ光に相当する２つのレーザ光の双方の光路長を調整することで、レーザ光に対して同一の遅延量を付与するために必要なミラー等の部材の移動量を小さくする。【手段】テラヘルツ波計測装置（１００）は、第１レーザ光（ＬＢ１）が照射されることで、テラヘルツ波（ＴＨｚ）を発生する発生手段（１１０）と、第２レーザ光（ＬＢ２）が照射されることで、発生手段から計測対象物に対して照射されたテラヘルツ波を検出する検出手段（１２０）と、１レーザ光及び第２レーザ光のうちの一方のレーザ光の光路長が増加すると共に第１レーザ光及び第２レーザ光のうちの他方のレーザ光の光路長が減少するように第１レーザ光の光路長及び第２レーザ光の光路長の双方を調整する調整手段（１２０）とを備える。【選択図】図１
2014228346.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１レーザ光が照射されることで、テラヘルツ波を発生する発生手段と、
第２レーザ光が照射されることで、前記発生手段から計測対象物に対して照射された前記テラヘルツ波を検出する検出手段と、
前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光のうちの一方のレーザ光の光路長が増加すると共に前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光のうちの他方のレーザ光の光路長が減少するように、前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光の双方の光路長を調整する調整手段と
を備えることを特徴とするテラヘルツ波計測装置。
【請求項２】
前記調整手段は、前記第１レーザ光を反射する第１反射鏡と、前記第２レーザ光を反射する第２反射鏡とを含んでおり、
前記調整手段は、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡の双方を移動させることで、前記第１レーザ光の光路長及び前記第２レーザ光の光路長の双方を調整する
ことを特徴とする請求項１に記載のテラヘルツ波計測装置。
【請求項３】
前記第１反射鏡の反射面と前記第２反射鏡の反射面とは、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡の移動方向に沿って互いに逆側を向いており、
前記調整手段は、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡の双方を同一の方向に向かって移動させることで、前記第１レーザ光の光路長及び前記第２レーザ光の光路長の双方を調整する
ことを特徴とする請求項２に記載のテラヘルツ波計測装置。
【請求項４】
前記調整手段は、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡が直線上で往復移動するように、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡の双方を移動させる
ことを特徴とする請求項２又は３に記載のテラヘルツ波計測装置。
【請求項５】
前記調整手段は、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡が設置された回転台を回転させることで、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡の双方を移動させる
ことを特徴とする請求項２から４のいずれか一項に記載のテラヘルツ波計測装置。
【請求項６】
前記第１反射鏡は、前記第１レーザ光を再帰反射する再帰反射鏡を含んでおり、
前記第２反射鏡は、前記第２レーザ光を再帰反射する再帰反射鏡を含んでいる
ことを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載のテラヘルツ波計測装置。
【請求項７】
前記第１反射鏡は、反射面が平行であって且つ前記回転台に設置される少なくとも２つの第１回転反射鏡を含み、
前記第２反射鏡は、反射面が平行であって且つ前記回転台に設置される少なくとも２つの第２回転反射鏡を含み、
前記調整手段は、前記少なくとも２つの第１回転反射鏡のうちの少なくとも一方から伝搬してくる前記一方のレーザ光を前記少なくとも２つの第１回転反射鏡のうちの少なくとも一方に向けて反射し且つ前記回転台の外部に設置される第１外部反射鏡と、前記少なくとも２つの第２回転反射鏡のうちの少なくとも一方から伝搬してくる前記一方のレーザ光を前記少なくとも２つの第２回転反射鏡のうちの少なくとも一方に向けて反射し且つ前記回転台の外部に設置される第２外部反射鏡とを含んでいる
ことを特徴とする請求項５に記載のテラヘルツ波計測装置。
【請求項８】
前記第１反射鏡は、第１期間中に前記第１レーザ光が前記発生手段に照射されるように前記第１レーザ光を反射する一方で、前記第１期間とは異なる第２期間中に前記第１レーザ光が前記発生手段に照射されないように前記第１レーザ光を反射し、
前記第２期間中に前記第１反射鏡が反射する前記第１レーザ光を受光する第１受光手段を更に備える
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のテラヘルツ波計測装置。
【請求項９】
前記第２反射鏡は、第３期間中に前記第２レーザ光が前記検出手段に照射されるように前記第２レーザ光を反射する一方で、前記第３期間とは異なる第４期間中に前記第２レーザ光が前記検出手段に照射されないように前記第２レーザ光を反射し、
前記第４期間中に前記第２反射鏡が反射する前記第２レーザ光を受光する第２受光手段を更に備える
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載のテラヘルツ波計測装置。
【請求項１０】
第１光線の光路長と、前記第１光線とは異なる第２光線の光路長との間の光路長差を調整する光路長調整装置であって、
前記第１光線及び前記第２光線のうちの一方の光線の光路長が増加すると共に前記第１光線及び前記第２光線のうちの他方の光線の光路長が減少するように、前記第１光線の光路長及び前記第２光線の光路長の双方を調整する
ことを特徴とする光路長調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばテラヘルツ波を用いて計測対象物の特性を分析するテラヘルツ波計測装置の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
テラヘルツ波計測装置として、テラヘルツ時間領域分光法（Ｔｅｒａｈｅｒｔｚ  Ｔｉｍｅ−Ｄｏｍａｉｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を利用する装置が知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。テラヘルツ波計測装置は、以下の手順で、計測対象物の特性を分析する。まず、超短パルスレーザ光（例えば、フェムト秒パルスレーザ光）を分岐することで得られる一のレーザ光であるポンプ光（言い換えれば、励起光）が、バイアス電圧が印加されているテラヘルツ波発生素子（特に、テラヘルツ波発生素子が備えるダイポールアンテナのギャップ部）に照射される。その結果、テラヘルツ波発生素子は、テラヘルツ波を発生する。テラヘルツ波発生素子が発生したテラヘルツ波は、計測対象物に照射される。計測対象物に照射されたテラヘルツ波は、計測対象物からの反射光又は透過光として、超短パルスレーザ光を分岐することで得られる他のレーザ光であって且つポンプ光に対する光学的な遅延（つまり、光路長差）が付与されたプローブ光（言い換えれば、励起光）が照射されているテラヘルツ波検出素子（特に、テラヘルツ波検出素子が備えるダイポールアンテナのギャップ部）に照射される。その結果、テラヘルツ波検出素子は、計測対象物で反射又は透過したテラヘルツ波の強度に応じた電流信号を検出する。当該検出されたテラヘルツ波（つまり、時間領域のテラヘルツ波であり、電流信号）をフーリエ変換することで、当該テラヘルツ波のスペクトル（つまり、振幅及び位相の周波数応答特性）等が取得される。その結果、当該テラヘルツ波のスペクトルを解析することで、計測対象物の特性が分析される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４７６９４９０号
【特許文献２】特開平５−１７３０７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１及び２に開示されたテラヘルツ波計測装置は、ポンプ光及びプローブ光のうちの一方の光（典型的には、プローブ光）に対してのみ光学的な遅延を付与するミラー（反射器）を有する遅延系を採用している。
【０００５】
本発明は、ポンプ光及びプローブ光に相当する２つのレーザ光の双方の光路長を調整することで、レーザ光に対して同一の遅延量を付与するために必要なミラー等の部材の移動量を小さくすることを可能とならしめるテラヘルツ波計測装置及び光路長調整装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、テラヘルツ波計測装置は、第１レーザ光が照射されることで、テラヘルツ波を発生する発生手段と、第２レーザ光が照射されることで、前記発生手段から計測対象物に対して照射された前記テラヘルツ波を検出する検出手段と、前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光のうちの一方のレーザ光の光路長が増加すると共に前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光のうちの他方のレーザ光の光路長が減少するように、前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光の双方の光路長を調整する調整手段とを備える。
【０００７】
上記課題を解決するために、光路長調整装置は、第１光線の光路長と、前記第１光線とは異なる第２光線の光路長との間の光路長差を調整する光路長調整装置であって、前記第１光線及び前記第２光線のうちの一方の光線の光路長が増加すると共に前記第１光線及び前記第２光線のうちの他方の光線の光路長が減少するように、前記第１光線の光路長及び前記第２光線の光路長の双方を調整する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施例のテラヘルツ波計測装置の構成を示すブロック図である。
【図２】テラヘルツ波発生素子及びテラヘルツ波検出素子の夫々の構成を示す斜視図である。
【図３】第１実施例の光遅延器における光路長差の調整の態様を示す平面図である。
【図４】第１実施例の光遅延器における光路長差の調整の態様を示す平面図である。
【図５】第１比較例の光遅延器における光路長差の調整の態様を示す平面図である。
【図６】第１比較例の光遅延器における光路長差の調整の態様を示す平面図である。
【図７】第２比較例の光遅延器における光路長差の調整の態様を示す平面図である。
【図８】第２比較例の光遅延器における光路長差の調整の態様を示す平面図である。
【図９】第２実施例のテラヘルツ波計測装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】第２実施例の光遅延器における光路長差の調整の態様を示す平面図である。
【図１１】第２実施例の光遅延器における光路長差の調整の態様を示す平面図である。
【図１２】第３実施例のテラヘルツ波計測装置の構成を示すブロック図である。
【図１３】第４実施例のテラヘルツ波計測装置の構成を示すブロック図である。
【図１４】回転台の回転角度とポンプ光及びプローブ光の光路との間の関係を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、テラヘルツ波計測装置及び光路長調整装置の実施形態について順に説明する。
【００１０】
（テラヘルツ波計測装置の実施形態）
＜１＞
本実施形態のテラヘルツ波計測装置は、第１レーザ光が照射されることで、テラヘルツ波を発生する発生手段と、第２レーザ光が照射されることで、前記発生手段から計測対象物に対して照射された前記テラヘルツ波を検出する検出手段と、前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光のうちの一方のレーザ光の光路長が増加すると共に前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光のうちの他方のレーザ光の光路長が減少するように、前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光の双方の光路長を調整する調整手段とを備える。
【００１１】
第１実施形態のテラヘルツ波計測装置によれば、発生手段及び検出手段の動作により、テラヘルツ時間領域分光法（Ｔｅｒａｈｅｒｔｚ  Ｔｉｍｅ−Ｄｏｍａｉｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を用いて、測定対象物に照射されたテラヘルツ波が検出される。検出されたテラヘルツ波は、測定対象物の特性の分析に利用される。尚、テラヘルツ時間領域分光法を用いたテラヘルツ波の検出方法自体は、既存の検出方法を用いてもよい。以下、テラヘルツ時間領域分光法を用いたテラヘルツ波の検出方法の概略について、簡単に説明する。
【００１２】
具体的には、発生手段は、当該発生手段に第１レーザ光が励起光（例えば、ポンプ光）として照射されることで、テラヘルツ波を発生させる。発生手段が発生したテラヘルツ波は、測定対象物に照射される。
【００１３】
検出手段は、当該検出手段に第２レーザ光が励起光（例えば、プローブ光）として照射されることで、測定対象物によって反射された又は測定対象物を透過したテラヘルツ波を検出する。
【００１４】
このとき、調整手段は、第１レーザ光の光路長と第２レーザ光の光路長との間の差分である光路長差（言い換えれば、遅延量）を調整する。言い換えれば、調整手段は、第１レーザ光の光路長と第２レーザ光の光路長との間の光路長差を、所望値に設定する。このような光路長差の調整は、サブピコ秒というオーダーで現れるテラヘルツ波の波形を好適に検出するために行われる。
【００１５】
光路長差を調整するために、調整手段は、第１レーザ光及び第２レーザ光の双方の光路長を調整する。このとき、調整手段は、第１レーザ光及び第２レーザ光の双方の光路長を同時に調整することが好ましい。つまり、調整手段は、第１レーザ光の光路長の調整と第２レーザ光の光路長の調整とを並行して行うことが好ましい。但し、調整手段は、第１レーザ光の光路長の調整と第２レーザ光の光路長の調整とを相前後して行ってもよい。
【００１６】
本実施形態では特に、調整手段は、第１レーザ光及び第２レーザ光のうちの一方のレーザ光の光路長が増加すると共に第１レーザ光及び第２レーザ光のうちの他方のレーザ光の光路長が減少するように、第１レーザ光及び第２レーザ光の双方の光路長を調整する。言い換えれば、調整手段は、一方のレーザ光の光路長が増加する場合には他方のレーザ光の光路長が減少するように、第１レーザ光及び第２レーザ光の双方の光路長を調整する。
【００１７】
このとき、調整手段は、一方のレーザ光の光路長が増加すると同時に他方のレーザ光の光路長が減少するように、第１レーザ光及び第２レーザ光の双方の光路長を調整することが好ましい。但し、調整手段は、一方のレーザ光の光路長が増加した後に他方のレーザ光の光路長が減少する又は他方のレーザ光の光路長が減少した後に一方のレーザ光の光路長が増加するように、第１レーザ光及び第２レーザ光の双方の光路長を調整してもよい。
【００１８】
具体的な例として、例えば、調整手段は、第１レーザ光の光路長が増加すると共に第２レーザ光の光路長が減少するように、第１レーザ光及び第２レーザ光の双方の光路長を調整してもよい。この場合、第１レーザ光の光路長がＸ１だけ増加し且つ第２レーザ光の光路長がＸ２だけ減少するとすれば、第１レーザ光と第２レーザ光との間の光路長差の調整量は、｜Ｘ１＋Ｘ２｜となる。
【００１９】
同様に、例えば、調整手段は、第２レーザ光の光路長が増加すると共に第１レーザ光の光路長が減少するように、第１レーザ光及び第２レーザ光の双方の光路長を調整してもよい。この場合、第１レーザ光の光路長がＹ１だけ減少し且つ第２レーザ光の光路長がＹ２だけ減少するとすれば、第１レーザ光と第２レーザ光との間の光路長差の調整量は、｜Ｙ１＋Ｙ２｜となる。
【００２０】
ここで、第２レーザ光の光路長のみを調整することで光路長差を調整する第１比較例の調整手段を参照しながら、本実施形態の調整手段の技術的効果について説明する。第１比較例の調整手段によれば、第２レーザ光の光路長がＸ２だけ減少するとすれば、第１レーザ光と第２レーザ光との間の光路長差の調整量は｜Ｘ２｜となる。従って、第１レーザ光と第２レーザ光との間の光路長差の調整量が｜Ｘ１＋Ｘ２｜となるためには、第１比較例の調整手段は、本実施形態の調整手段と比較して、第２レーザ光の光路長をより一層調整する必要がある。同様に、第１比較例の調整手段では、第２レーザ光の光路長がＹ２だけ増加するとすれば、第１レーザ光と第２レーザ光との間の光路長差の調整量は、｜Ｙ２｜となる。従って、第１レーザ光と第２レーザ光との間の光路長差の調整量が｜Ｙ１＋Ｙ２｜となるためには、第１比較例の調整手段は、本実施形態の調整手段と比較して、第２レーザ光の光路長をより一層調整する必要がある。この場合、第１比較例の調整手段は、本実施形態の調整手段と比較して、典型的には、第２レーザ光を反射するミラー等の部材をより一層移動させる必要がある。つまり、第１比較例の調整手段では、本実施形態の調整手段と比較して、光路長差を同一量だけ調整するために必要なミラー等の部材の移動量が大きくなってしまう。言い換えれば、本実施形態の調整手段は、第１比較例の調整手段と比較して、光路長差を同一量だけ調整するために必要なミラー等の部材の移動量を小さくすることができる。
【００２１】
尚、上述の説明では、第２レーザ光の光路長のみを調整することで光路長差を調整する第１比較例の調整手段について説明しているが、第１レーザ光の光路長のみを調整することで光路長差を調整する第１比較例の調整手段についても同様のことが言える。
【００２２】
このように、本実施形態の調整手段は、第１レーザ光及び第２レーザ光の双方の光路長を調整することで光路長差を調整することができる。従って、本実施形態の調整手段は、第１レーザ光及び第２レーザ光のうちのいずれか一方のレーザ光の光路長のみを調整することで光路長差を調整する比較例の調整手段と比較して、光路長差（つまり、遅延量）を同一量だけ調整するために必要なミラー等の部材の移動量を小さくすることができる。
【００２３】
このように、本実施形態のテラヘルツ波計測装置によれば、第１レーザ光と第２レーザ光との間の光路長差を同一量だけ調整する（つまり、同一の遅延量を付与する）ために必要なミラー等の部材の移動量を小さくすることができる。
【００２４】
尚、本実施形態の調整手段は、場合によっては、対向するミラー等の部材の間を複数回往復する光路に沿って第２レーザ光を伝搬させる第２比較例の調整手段と比較して、光路長差を同一量だけ調整する（つまり、同一の遅延量を付与する）ために必要な第２レーザ光の反射回数を少なくすることができる。このため、本実施形態の調整手段では、第２比較例の調整手段と比較して、ミラー等の部材の取り付け角度の誤差が第２レーザ光の好適な伝搬に対して影響を与える可能性が小さくなり得る。尚、対向する複数のミラー等の部材の間を複数回往復する光路に沿って第１レーザ光を伝搬させる第２比較例の調整手段についても同様のことが言える。
【００２５】
＜２＞
本実施形態のテラヘルツ波計測装置の他の態様では、前記調整手段は、前記第１レーザ光を反射する第１反射鏡と、前記第２レーザ光を反射する第２反射鏡とを含んでおり、前記調整手段は、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡の双方を移動させることで、前記第１レーザ光の光路長及び前記第２レーザ光の光路長の双方を調整する。
【００２６】
この態様によれば、調整手段は、第１反射鏡及び第２反射鏡の双方を移動させることで、第１レーザ光の光路長及び第２レーザ光の光路長の双方を比較的容易に調整することができる。言い換えれば、調整手段は、第１反射鏡及び第２反射鏡の双方を移動させることで、一方のレーザ光の光路長を増加させると共に他方のレーザ光の光路長を減少させることができる。
【００２７】
尚、調整手段は、第１反射鏡及び第２反射鏡の双方を同時に移動させることが好ましい。つまり、調整手段は、第１反射鏡及び第２反射鏡の双方を並行して移動させることが好ましい。但し、第１反射鏡及び第２反射鏡の双方を相前後して移動させてもよい。
【００２８】
＜３＞
上述の如く調整手段が第１反射鏡と第２反射鏡とを含むテラヘルツ波計測装置の他の態様では、前記第１反射鏡の反射面と前記第２反射鏡の反射面とは、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡の移動方向に沿って互いに逆側を向いており、前記調整手段は、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡の双方を同一の方向に向かって移動させることで、前記第１レーザ光の光路長及び前記第２レーザ光の光路長の双方を調整する。
【００２９】
この態様によれば、第１反射鏡の反射面と第２反射鏡の反射面とは、第１反射鏡及び第２反射鏡の移動方向に沿って互いに逆側を向いている。その結果、調整手段は、第１反射鏡及び第２反射鏡の移動方向に沿って反射面が互いに逆側を向いている第１反射鏡及び第２反射鏡の双方を同一の方向に向かって移動させることで、第１レーザ光の光路長及び第２レーザ光の光路長の双方を比較的容易に調整することができる。言い換えれば、調整手段は、第１反射鏡及び第２反射鏡の移動方向に沿って反射面が互いに逆側を向いている第１反射鏡及び第２反射鏡の双方を同一の方向に向かって移動させることで、一方のレーザ光の光路長を増加させると共に他方のレーザ光の光路長を減少させることができる。
【００３０】
＜４＞
上述の如く第１反射鏡の反射面と第２反射鏡の反射面とが第１反射鏡及び第２反射鏡の移動方向に沿って互いに逆側を向いているテラヘルツ波計測装置の他の態様では、前記調整手段は、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡が直線上で往復移動するように、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡の双方を移動させる。
【００３１】
この態様によれば、調整手段は、第１反射鏡及び第２反射鏡の双方を直線上で往復移動させることで、第１反射鏡及び第２反射鏡の双方を同一の方向（例えば、直線方向）に沿って移動させることができる。その結果、調整手段、第１レーザ光及び第２レーザ光の双方の光路長を比較的容易に調整することができる。
【００３２】
＜５＞
上述の如く調整手段が第１反射鏡と第２反射鏡とを含むテラヘルツ波計測装置の他の態様では、前記調整手段は、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡が設置された回転台を回転させることで、前記第１反射鏡及び前記第２反射鏡の双方を移動させる。
【００３３】
この態様によれば、調整手段は、回転台を回転させることで、第１反射鏡及び第２反射鏡の双方を同一の方向（例えば、回転台の回転方向）に沿って移動させることができる。その結果、調整手段は、第１レーザ光の光路長及び第２レーザ光の光路長の双方を比較的容易に調整することができる。
【００３４】
＜６＞
上述の如く調整手段が第１反射鏡と第２反射鏡とを含むテラヘルツ波計測装置の他の態様では、前記第１反射鏡は、前記第１レーザ光を再帰反射する再帰反射鏡を含んでおり、前記第２反射鏡は、前記第２レーザ光を再帰反射する再帰反射鏡を含んでいる。
【００３５】
この態様によれば、調整手段は、夫々が再帰反射鏡である第１反射鏡及び第２反射鏡を移動させることで、第１レーザ光及び第２レーザ光の双方の光路長を比較的容易に調整することができる。
【００３６】
＜７＞
上述の如く第１反射鏡及び第２反射鏡が設置された回転台を回転させるテラヘルツ波計測装置の他の態様では、前記第１反射鏡は、反射面が平行であって且つ前記回転台に設置される少なくとも２つの第１回転反射鏡を含み、前記第２反射鏡は、反射面が平行であって且つ前記回転台に設置される少なくとも２つの第２回転反射鏡を含み、前記調整手段は、前記少なくとも２つの第１回転反射鏡のうちの少なくとも一方から伝搬してくる前記一方のレーザ光を前記少なくとも２つの第１回転反射鏡のうちの少なくとも一方に向けて反射し且つ前記回転台の外部に設置される第１外部反射鏡と、前記少なくとも２つの第２回転反射鏡のうちの少なくとも一方から伝搬してくる前記一方のレーザ光を前記少なくとも２つの第２回転反射鏡のうちの少なくとも一方に向けて反射し且つ前記回転台の外部に設置される第２外部反射鏡とを含んでいる。
【００３７】
この態様によれば、後に図面を用いて詳細に説明するように、調整手段は、少なくとも２つの第１回転反射鏡を含む第１反射鏡及び少なくとも２つの第２回転反射鏡を含む第２反射鏡が設置された回転台を回転させることで、第１レーザ光及び第２レーザ光の双方の光路長を比較的容易に調整することができる。
【００３８】
＜８＞
本実施形態のテラヘルツ波計測装置の他の態様では、前記第１反射鏡は、第１期間中に前記第１レーザ光が前記発生手段に照射されるように前記第１レーザ光を反射する一方で、前記第１期間とは異なる第２期間中に前記第１レーザ光が前記発生手段に照射されないように前記第１レーザ光を反射し、前記第２期間中に前記第１反射鏡が反射する前記第１レーザ光を受光する第１受光手段を更に備える。
【００３９】
この態様によれば、第１受光手段は、発生手段に対する第１レーザ光の照射に起因したテラヘルツ波の発生動作に影響を与えることなく、第１レーザ光を受光することができる。尚、第１受光手段による第１レーザ光の受光結果は、例えば、第１レーザ光の特性（例えば、パワー等）の設定等に用いられてもよい。
【００４０】
＜１０＞
本実施形態のテラヘルツ波計測装置の他の態様では、前記第２反射鏡は、第３期間中に前記第２レーザ光が前記検出手段に照射されるように前記第２レーザ光を反射する一方で、前記第３期間とは異なる第４期間中に前記第２レーザ光が前記検出手段に照射されないように前記第２レーザ光を反射し、前記第４期間中に前記第２反射鏡が反射する前記第２レーザ光を受光する第２受光手段と、前記第２受光手段の受光結果に基づいて、前記第２レーザ光の特性を設定する第２設定手段とを更に備える。
【００４１】
この態様によれば、第２受光手段は、検出手段に対する第２レーザ光の照射に起因したテラヘルツ波の検出動作に影響を与えることなく、第２レーザ光を受光することができる。尚、第２受光手段による第２レーザ光の受光結果は、例えば、第２レーザ光の特性（例えば、パワー等）の設定等に用いられてもよい。
【００４２】
（光路長差調整装置の実施形態）
＜１１＞
本実施形態の光路長差調整装置は、第１光線の光路長と、前記第１光線とは異なる第２光線の光路長との間の光路長差を調整する光路長調整装置であって、前記第１光線及び前記第２光線のうちの一方の光線の光路長が増加すると共に前記第１光線及び前記第２光線のうちの他方の光線の光路長が減少するように、前記第１光線の光路長及び前記第２光線の光路長の双方を調整する。
【００４３】
本実施形態の光路長差調整装置によれば、上述した本実施形態のテラヘルツ波計測装置が備える調整手段と同様の動作を行うことができる。従って、本実施形態の光路長差調整装置によれば、上述した本実施形態のテラヘルツ波計測装置が備える調整手段が享受する各種効果を好適に享受することができる。
【００４４】
尚、本実施形態の光路長差調整装置は、上述した本実施形態のテラヘルツ波計測装置が備える調整手段と実質的に同一であってもよい。また、上述した本実施形態のテラヘルツ波計測装置が備える調整手段が採用し得る各種態様に対応して、本実施形態の光路長差調整装置もまた各種態様を採用してもよい。
【００４５】
本実施形態のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施例から更に明らかにされる。
【００４６】
以上説明したように、本実施形態のテラヘルツ波計測装置は、発生手段と、検出手段と、調整手段とを備え、調整手段は、第１レーザ光及び第２レーザ光のうちの一方のレーザ光の光路長が増加すると共に第１レーザ光及び第２レーザ光のうちの他方のレーザ光の光路長が減少するように、第１レーザ光の光路長及び第２レーザ光の光路長の双方を調整する。従って、ミラー等の部材の取り付け角度の誤差が第１レーザ光及び第２レーザ光のうちの少なくとも一方の好適な伝搬に対して影響を与える可能性を相対的に小さくしつつ、第１レーザ光と第２レーザ光との間の光路長差を同一量だけ調整する（つまり、同一の遅延量を付与する）ために必要なミラー等の部材の移動量を小さくすることができる。
【００４７】
同様に、本実施形態の光路長差調整装置は、第１光線及び第２光線のうちの一方の光線の光路長が増加すると共に第１光線及び第２光線のうちの他方の光線の光路長が減少するように、第１光線の光路長及び第２光線の光路長の双方を調整する。従って、ミラー等の部材の取り付け角度の誤差が第１光線及び第２光線のうちの少なくとも一方の好適な伝搬に対して影響を与える可能性を相対的に小さくしつつ、第１光線と第２光線との間の光路長差を同一量だけ調整する（つまり、同一の遅延量を付与する）ために必要なミラー等の部材の移動量を小さくすることができる。
【実施例】
【００４８】
以下、図面を参照しながら、実施例について説明する。
【００４９】
（１）第１実施例
初めに、図１から図８を参照しながら、第１実施例のテラヘルツ波計測装置１００について説明する。
【００５０】
（１−１）第１実施例のテラヘルツ波計測装置の構成
初めに、図１を参照しながら、第１実施例のテラヘルツ波計測装置１００の構成について説明する。図１は、第１実施例のテラヘルツ波計測装置１００の構成を示すブロック図である。
【００５１】
図１に示すように、テラヘルツ波計測装置１００は、テラヘルツ波ＴＨｚを測定対象物に照射すると共に、測定対象物を透過した又は測定対象物から反射したテラヘルツ波ＴＨｚ（つまり、測定対象物に照射されたテラヘルツ波ＴＨｚ）を検出する。
【００５２】
テラヘルツ波ＴＨｚは、１テラヘルツ（１ＴＨｚ＝１０１２Ｈｚ）前後の周波数領域（つまり、テラヘルツ領域）に属する電磁波である。テラヘルツ領域は、光の直進性と電磁波の透過性を兼ね備えた周波数領域である。テラヘルツ領域は、様々な物質が固有の吸収スペクトルを有する周波数領域である。従って、テラヘルツ波計測装置１００は、測定対象物に照射されたテラヘルツ波ＴＨｚの周波数スペクトルを解析することで、測定対象物の特性を分析することができる。
【００５３】
測定対象物に照射されたテラヘルツ波ＴＨｚの周波数スペクトルを取得するために、テラヘルツ波計測装置１００は、テラヘルツ時間領域分光法（Ｔｅｒａｈｅｒｔｚ  Ｔｉｍｅ−Ｄｏｍａｉｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を採用している。テラヘルツ時間領域分光法は、テラヘルツ波ＴＨｚを測定対象物に照射すると共に、測定対象物を透過した又は測定対象物から反射したテラヘルツ波ＴＨｚの時間波形をフーリエ変換することで、当該テラヘルツ波の周波数スペクトル（つまり、周波数毎の振幅及び位相）を取得する方法である。
【００５４】
ここで、テラヘルツ波ＴＨｚの周期は、サブピコ秒のオーダーの周期であるがゆえに、当該テラヘルツ波ＴＨｚの時間波形を直接的に検出することが技術的に困難である。そこで、テラヘルツ波計測装置１００は、時間遅延走査に基づくポンプ・プローブ法を採用する、テラヘルツ波ＴＨｚの時間波形を間接的に検出する。
【００５５】
図１に示すように、このようなテラヘルツ時間領域分光法及びポンプ・プローブ法を採用するテラヘルツ波計測装置１００は、パルスレーザ装置１０１と、「発生手段」の一具体例であるテラヘルツ波発生素子１１０と、ビームスプリッタ１６０と、反射鏡１６１１と、反射鏡１６１２と、反射鏡１６１３と、反射鏡１６２１と、反射鏡１６２２と、反射鏡１６２３と、反射鏡１６２４と、「調整手段」及び「光路長差調整装置」の一具体例である光遅延器１２０と、「検出手段」の一具体例であるテラヘルツ波検出素子１３０と、バイアス電圧生成部１４１と、Ｉ−Ｖ（電流−電圧）変換部１４４と、ロックイン検出部１４５と、演算処理部１５０とを備えている。
【００５６】
パルスレーザ装置１０１は、当該パルスレーザ装置１０１に入力される駆動電流に応じた光強度を有するサブピコ秒オーダー又はフェムト秒オーダーのパルスレーザ光ＬＢを生成する。パルスレーザ装置１０１が生成したパルスレーザ光ＬＢは、不図示の導光路（例えば、光ファイバ等）を介して、ビームスプリッタ１６０に入射する。
【００５７】
ビームスプリッタ１６０は、パルスレーザ光ＬＢを、「第１レーザ光」の一具体例であるポンプ光ＬＢ１と「第２レーザ光」の一具体例であるプローブ光ＬＢ２とに分岐する。ポンプ光ＬＢ１は、不図示の導光路及び反射鏡１６１１を介して、光遅延器１２０に入射する。一方で、プローブ光ＬＢ２もまた、不図示の導光路並びに反射鏡１６２１及び反射鏡１６２２を介して、光遅延器１２０に入射する。
【００５８】
光遅延器１２０は、ポンプ光ＬＢ１の光路長（例えば、ビームスプリッタ１６０とテラヘルツ波発生素子１１０との間の光路長）とプローブ光ＬＢ２の光路長（例えば、ビームスプリッタ１６０とテラヘルツ波検出素子１３０との間の光路長）との間の差分（以下、“光路長差”と称する）を調整する。具体的には、光遅延器１２０は、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２の双方の光路長を調整することで、光路長差を調整する。
【００５９】
尚、光路長差を調整することで、ポンプ光ＬＢ１がテラヘルツ波発生素子１１０に入射するタイミング（或いは、テラヘルツ波発生素子１１０から出射するテラヘルツ波ＴＨｚがテラヘルツ波検出素子１３０に入射するタイミング）と、プローブ光ＬＢ２がテラヘルツ波検出素子１３０に入射するタイミングとの間の相対的なずれ量を調整することができる。例えば、光遅延器１２０によって光路長差が０．３ミリメートル（但し、空気中での光路長）だけ変動すると、プローブ光ＬＢ２がテラヘルツ波検出素子１３０に入射するタイミングが１ピコ秒だけずれる（つまり、早く又は遅くなる）。この場合、テラヘルツ波検出素子１３０がテラヘルツ波ＴＨｚを検出するタイミングが、１ピコ秒だけずれる（つまり、早く又は遅くなる）。テラヘルツ波検出素子１３０に対して同一の波形を有するテラヘルツ波ＴＨｚが数十ＭＨｚ程度の間隔で繰り返し入射することを考慮すれば、テラヘルツ波検出素子１３０がテラヘルツ波ＴＨｚを検出するタイミングを徐々にずらすことで、テラヘルツ波検出素子１３０は、テラヘルツ波ＴＨｚの時間波形を間接的に検出することができる。
【００６０】
ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２の双方の光路長を調整するために、光遅延器１２０は、「第１反射鏡」の一具体例である第１再帰反射鏡１２１１と、「第２反射鏡」の一具体例である第２再帰反射鏡１２１２と、送りネジ機構１２２と、モータ１２３とを備えている。
【００６１】
第１再帰反射鏡１２１１は、当該第１再帰反射鏡１２１１に入射してくるポンプ光ＬＢ１を再帰反射する。つまり、第１再帰反射鏡１２１１は、当該第１再帰反射鏡１２１１に入射してくるポンプ光ＬＢ１を、当該ポンプ光ＬＢ１の入射方向と平行な方向に向けて反射する。第１実施例では、第１再帰反射鏡１２１１は、９０度の角度で交わる第１反射面１２１１ａと第２反射面１２１１ｂとを備えている。第１反射面１２１１ａは、第１再帰反射鏡１２１１に入射してくるポンプ光ＬＢ１を、第２反射面１２１１ｂに向けて反射する。第２反射面１２１１ｂは、第１反射面１２１１ａから第２反射面１２１１ｂに入射してくるポンプ光ＬＢ１を、光遅延器１２０の外部（例えば、反射鏡１６１２）に向けて反射する。
【００６２】
第１再帰反射鏡１２１１は、送りネジ機構１２２に嵌合する送り溝を備えている。その結果、第１再帰反射鏡１２１１は、モータ１２３の駆動による送りネジ機構１２２の回転に合わせて、所定方向に沿って移動する。例えば、第１再帰反射鏡１２１１は、第１再帰反射鏡１２１１に入射する時点でのポンプ光ＬＢ１の光路に沿った方向（つまり、図１中では、矢印で示す左右方向）に沿って移動してもよい。但し、第１再帰反射鏡１２１１は、第１再帰反射鏡１２１１に入射する時点でのポンプ光ＬＢ１の光路に交わる方向に沿って移動してもよい。第１再帰反射鏡１２１１の移動により、ポンプ光ＬＢ１の光路長が調整される。
【００６３】
第２再帰反射鏡１２１２は、当該第２再帰反射鏡１２１２に入射してくるプローブ光ＬＢ２を再帰反射する。つまり、第２再帰反射鏡１２１２は、当該第２再帰反射鏡１２１２に入射してくるプローブ光ＬＢ２を、当該プローブ光ＬＢ２の入射方向と平行な方向に向けて反射する。第１実施例では、第２再帰反射鏡１２１２は、９０度の角度で交わる第１反射面１２１２ａと第２反射面１２１２ｂとを備えている。第１反射面１２１２ａは、第２再帰反射鏡１２１２に入射してくるプローブ光ＬＢ２を、第２反射面１２１２ｂに向けて反射する。第２反射面１２１２ｂは、第１反射面１２１２ａから第２反射面１２１２ｂに入射してくるプローブ光ＬＢ２を、光遅延器１２０の外部（例えば、反射鏡１６２３）に向けて反射する。
【００６４】
第２再帰反射鏡１２１２は、送りネジ機構１２２に嵌合する送り溝を備えている。その結果、第２再帰反射鏡１２１２は、モータ１２３の駆動による送りネジ機構１２２の回転に合わせて、所定方向に沿って移動する。例えば、第２再帰反射鏡１２１２は、第２再帰反射鏡１２１２に入射する時点でのプローブ光ＬＢ２の光路に沿った方向（つまり、図１中では、矢印で示す左右方向）に沿って移動することが好ましい。但し、第２再帰反射鏡１２１２は、第２再帰反射鏡１２１２に入射する時点でのプローブ光ＬＢ２の光路に交わる方向に沿って移動してもよい。第２再帰反射鏡１２１２の移動により、プローブ光ＬＢ２の光路長が調整される。
【００６５】
第１実施例では、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２は、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの一方の光路長が増加すると同時にポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの他方の光路長が減少するように移動する。具体的には、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２は、ポンプ光ＬＢ１の光路長が増加すると同時にプローブ光ＬＢ２の光路長が減少するように移動する。同様に、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２は、ポンプ光ＬＢ１の光路長が減少すると同時にプローブ光ＬＢ２の光路長が増加するように移動する。
【００６６】
ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの一方の光路長が増加すると同時にポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの他方の光路長が減少するように移動するために、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２は、以下のように配置される。具体的には、第１再帰反射鏡１２１１の反射面（つまり、第１反射面１２１１ａ及び第２反射面１２１１ｂ）が向く方向と第２再帰反射鏡１２１２の反射面（つまり、第１反射面１２１２ａ及び第２反射面１２１２ｂ）が向く方向とが逆向きになる。より具体的には、第１再帰反射鏡１２１１の反射面と第２再帰反射鏡１２１２の反射面とが、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２の移動方向に沿って互いに逆側を向く。例えば、第１再帰反射鏡１２１１の反射面が第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２の移動方向に沿った一方側を向いている一方で、第２再帰反射鏡１２１２の反射面が第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２の移動方向に沿った他方側（つまり、一方側の逆側）を向く。図１に示す例では、第１再帰反射鏡１２１１の反射面が紙面の左側を向いている一方で第２再帰反射鏡１２１２の反射面が紙面の右側を向いている例を示している。
【００６７】
尚、図１は、第１再帰反射鏡１２１１の反射面が向く方向と第２再帰反射鏡１２１２の反射面が向く方向とが概ね１８０°の角度をなしている例を示している。しかしながら、第１再帰反射鏡１２１１の反射面が向く方向と第２再帰反射鏡１２１２の反射面が向く方向とが鈍角（つまり、９０°より大きく且つ１８０°よりも小さい角度）をなしていてもよい。つまり、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２は、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２の移動方向に沿った一方側（例えば、紙面の左側）から入射してくるポンプ光ＬＢ１を当該一方側に向けて再帰反射することができ且つ第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２の移動方向に沿った他方側（例えば、紙面の右側）から入射してくるプローブ光ＬＢ２を当該他方側に向けて再帰反射することができる態様で配置されてもよい。このような態様で配置されている限りは、第１再帰反射鏡１２１１の反射面と第２再帰反射鏡１２１２の反射面とが第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２の移動方向に沿って互いに逆側を向く態様で配置されていると言える。
【００６８】
加えて、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの一方の光路長が増加すると同時にポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの他方の光路長が減少するように移動するために、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２は、以下のように移動する。具体的には、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２は、同一の方向に向かって移動する。言い換えれば、第１再帰反射鏡１２１１は、第２再帰反射鏡１２１２が移動する方向と同一の方向に向かって移動する。言い換えれば、第２再帰反射鏡１２１２は、第１再帰反射鏡１２１１が移動する方向と同一の方向に向かって移動する。
【００６９】
例えば、ポンプ光ＬＢ１が入射してくる側（図１中の左側）に向かって第１再帰反射鏡１２１１が移動する場合には、第２再帰反射鏡１２１１もまた、ポンプ光ＬＢ１が入射してくる側（図１中の左側）に向かって移動する。この場合、ポンプ光ＬＢ１の光路長が減少すると共に、プローブ光ＬＢ２の光路長が増加する。同様に、例えば、プローブ光ＬＢ２が入射してくる側（図１中の右側）に向かって第１再帰反射鏡１２１１が移動する場合には、第２再帰反射鏡１２１１もまた、プローブ光ＬＢ２が入射してくる側（図１中の右側）に向かって移動する。この場合、ポンプ光ＬＢ１の光路長が増加すると共に、プローブ光ＬＢ２の光路長が減少する。
【００７０】
加えて、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２は、同時に移動することが好ましい。つまり、第１再帰反射鏡１２１１が移動すると同時に第２再帰反射鏡１２１２もまた移動することが好ましい。但し、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２は、相前後して移動してもよい。つまり、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２のうちのいずれか一方が移動した後に、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２のうちのいずれか他方が移動してもよい。
【００７１】
尚、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２が同時に移動することを考慮すれば、第１再帰反射鏡１２１１と第２再帰反射鏡１２１２とが一体化されていてもよい。この場合、光遅延器１２０は、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２を移動させるための共通の送りネジ機構１２２及び共通のモータ１２３を備えていればよい。但し、第１再帰反射鏡１２１１と第２再帰反射鏡１２１２とが一体化されていなくともよい。第１再帰反射鏡１２１１と第２再帰反射鏡１２１２とが一体化されていない場合には、光遅延器１２０は、第１再帰反射鏡１２１１を移動させるための送りネジ機構１２２及びモータ１２３と、第１再帰反射鏡１２１１を移動させるための送りネジ機構１２２及びモータ１２３とを別個独立に備えていてもよい。但し、第１再帰反射鏡１２１１と第２再帰反射鏡１２１２とが一体化されていない場合であっても、光遅延器１２０は、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２を移動させるための共通の送りネジ機構１２２及び共通のモータ１２３を備えていてもよい。
【００７２】
加えて、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２は、同一の移動量だけ移動することが好ましい。つまり、第１再帰反射鏡１２１１が所定の移動量だけ移動すると同時に第２再帰反射鏡１２１２もまた当該所定の移動量だけ移動することが好ましい。但し、第１再帰反射鏡１２１１の移動量と第２再帰反射鏡１２１２の移動量とが異なっていてもよい。
【００７３】
このように、第１実施例のテラヘルツ波計測装置１００では、光遅延器１２０は、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの一方の光路長を増加させると同時にポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの他方の光路長を減少させることができる。このような動作を行う光遅延器１２０の技術的効果については、図３以降に詳細に説明する。
【００７４】
尚、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２の移動は、演算処理部１５０の制御の下で行われる。つまり、演算処理部１５０は、モータ１２３の駆動量を指定する制御信号をモータ１２３に出力することで、モータ１２３の動作を制御する。
【００７５】
光遅延器１２０から出射したポンプ光ＬＢ１は、不図示の導光路並びに反射鏡１６１２及び反射鏡１６１３を介して、テラヘルツ波発生素子１１０に入射する。同様に、光遅延器１２０から出射したプローブ光ＬＢ２は、不図示の導光路並びに反射鏡１６２３及び反射鏡１６２４を介して、テラヘルツ波検出素子１３０に入射する。
【００７６】
尚、反射鏡１６１１、反射鏡１６１２及び反射鏡１６１３は、ポンプ光ＬＢ１をビームスプリッタ１６０から光遅延器１２０を介してテラヘルツ波発生素子１１０へと伝搬させるための構成物である。従って、ポンプ光ＬＢ１がビームスプリッタ１６０から光遅延器１２０を介してテラヘルツ波発生素子１１０へと伝搬することができる限りは、反射鏡１６１１、反射鏡１６１２及び反射鏡１６１３の数や配置態様等は任意である。同様に、反射鏡１６２１、反射鏡１６２２、反射鏡１６２３及び反射鏡１６２４は、プローブ光ＬＢ２をビームスプリッタ１６０から光遅延器１２０を介してテラヘルツ波検出素子１３０へと伝搬させるための構成物である。従って、プローブ光ＬＢ２がビームスプリッタ１６０から光遅延器１２０を介してテラヘルツ波検出素子１３０へと伝搬することができる限りは、反射鏡１６２１、反射鏡１６２２、反射鏡１６２３及び反射鏡１６２４の数や配置態様等は任意である。
【００７７】
ここで、図２を参照しながら、ポンプ光ＬＢ１が照射されるテラヘルツ波発生素子１１０及びプローブ光ＬＢ２が照射されるテラヘルツ波検出素子１３０について更に詳細に説明する。図２は、テラヘルツ波発生素子１１０及びテラヘルツ波検出素子１３０の夫々の構成を示す斜視図である。尚、図２に示すテラヘルツ波発生素子１１０及びテラヘルツ波検出素子１３０の構成はあくまで一例であり、図２に示す構成とは異なる構成を有する光伝導アンテナ又は光伝導スイッチが、テラヘルツ波発生素子１１０及びテラヘルツ波検出素子１３０として用いられてもよい。
【００７８】
図２（ａ）に示すように、テラヘルツ波発生素子１１０は、基板１１１と、「導電部」の一具体例であるアンテナ（言い換えれば、伝送線路）１１２と、「導電部」の一具体例であるアンテナ（言い換えれば、伝送線路）１１３とを備えている。尚、図２（ａ）中のＸ１軸、Ｙ１軸及びＺ１軸は、夫々が９０度の角度で互いに交わる３つの軸に相当する。
【００７９】
基板１１１は、例えば、ＧａＡｓ（Ｇａｌｌｉｕｍ  Ａｒｓｅｎｉｄｅ）基板等の半導体基板である。アンテナ１１２及びアンテナ１１３の夫々は、長手方向（具体的には、図２（ａ）中のＺ１軸方向）に延在する形状を有するモノポールアンテナである。アンテナ１１２及びアンテナ１１３は、短手方向（具体的には、図２（ａ）中のＹ１軸方向）に沿って並列するように基板１１１上に配置される。アンテナ１１２とアンテナ１１３との間には、数マイクロメートル程度のギャップ（つまり、間隙）１１４が確保される。ギャップ１１４が長手方向に延在するアンテナ１１２及びアンテナ１１３に挟まれているがゆえに、ギャップ１１４もまた、長手方向（具体的には、図２（ａ）中のＺ１軸方向）に延在している。従って、アンテナ１１２及びアンテナ１１３全体として、ダイポールアンテナを構成する。
【００８０】
ギャップ１１４には、アンテナ１１２及びアンテナ１１３を介して、バイアス電圧生成部１４１から出力されるバイアス電圧が印加されている。有効なバイアス電圧（例えば、０Ｖでないバイアス電圧）がギャップ１１４に印加されている状態でポンプ光ＬＢ１がギャップ１１４に照射されると、テラヘルツ波発生素子１１０には、ポンプ光ＬＢ１による光励起によってキャリアが発生する。その結果、テラヘルツ波発生素子１１０には、発生したキャリアに応じたサブピコ秒オーダーの又はフェムト秒オーダーのパルス状の電流信号が発生する。その結果、テラヘルツ波発生素子１１０には、当該パルス状の電流信号に起因したテラヘルツ波ＴＨｚが発生する。
【００８１】
図２（ｂ）に示すように、テラヘルツ波検出素子１３０もまた、テラヘルツ波発生素子１１０と同様の構成を有している。つまり、テラヘルツ波検出素子１３０は、基板１３１と、「導電部」の一具体例であるアンテナ（言い換えれば、伝送線路）１３２と、「導電部」の一具体例であるアンテナ（言い換えれば、伝送線路）１３３とを備えている。基板１３１、アンテナ１３２及びアンテナ１３３は、夫々、基板１１１、アンテナ１１２及びアンテナ１１３と同様の構成を有している。尚、図２（ｂ）中のＸ１軸、Ｙ１軸及びＺ１軸もまた、夫々が９０度の角度で互いに交わる３つの軸に相当する。
【００８２】
プローブ光ＬＢ２がギャップ１３４に照射されると、テラヘルツ波検出素子１３０には、プローブ光ＬＢ２による光励起によってキャリアが発生する。プローブ光ＬＢ２がギャップ１３４に照射されている状態でテラヘルツ波検出素子１３０にテラヘルツ波ＴＨｚが照射されると、ギャップ１３４には、テラヘルツ波ＴＨｚの光強度に応じた信号強度を有する電流信号が発生する。当該電流信号は、アンテナ１３２及びアンテナ１３３を介して、Ｉ−Ｖ変換部１４４に出力される。
【００８３】
再び図１において、テラヘルツ波発生素子１１０から出射したテラヘルツ波ＴＨｚは、不図示の光学系（例えば、レンズ等）を介して、測定対象物に照射される。測定対象物に照射されたテラヘルツ波ＴＨｚは、測定対象物からの反射光又は透過光として、不図示の光学系（例えば、レンズ等）を介して、テラヘルツ波検出素子１３０に入射する。その結果、テラヘルツ波検出素子１３０からは、テラヘルツ波ＴＨｚの光強度に応じた信号強度を有する電流信号が出力される。
【００８４】
テラヘルツ波検出素子１３０から出力される電流信号は、Ｉ―Ｖ変換部１４４によって、電圧信号に変換される。その後、ロックイン検出部１４５は、電圧信号に対して、バイアス電圧生成部１４１が生成するバイアス電圧を参照信号とする同期検波を行う。その結果、ロックイン検出部１４５は、テラヘルツ波ＴＨｚのサンプル値を検出する。その後、ポンプ光ＬＢ１の光路長とプローブ光ＬＢ２の光路長との間の光路長差を適宜調整しながら同様の動作が繰り返されることで、ロックイン検出部１４５は、テラヘルツ波形の時間波形を検出することができる。ただし、ノイズに対して十分な信号強度が得られる場合はロックイン検出を用いなくてもよい。その後、演算処理部１５０は、検出されたテラヘルツ波形の時間波形をフーリエ変換することで、当該テラヘルツ波の周波数スペクトル（つまり、周波数毎の振幅及び位相）を取得してもよい。更に、演算処理部１５０は、テラヘルツ波の周波数スペクトルを解析することで、測定対象物の特性を分析してもよい。
【００８５】
（１−２）光遅延器の技術的効果
続いて、図３から図８を参照して、光遅延器１２０の技術的効果について、プローブ光ＬＢ２の光路長のみを調整することで光路長差を調整する第１比較例の光遅延器１２０ａ及び対向する反射鏡の間を複数回往復する光路に沿ってプローブ光ＬＢ２を伝搬させる第２比較例の光遅延器１２０ｂの動作と対比しながら説明する。図３及び図４は、夫々、第１実施例の光遅延器１２０における光路長差の調整の態様を示す平面図である。図５及び図６は、夫々、第１比較例の光遅延器１２０ａにおける光路長差の調整の態様を示す平面図である。図７及び図８は、夫々、第２比較例の光遅延器１２０ｂにおける光路長差の調整の態様を示す平面図である。
【００８６】
尚、図３から図８を用いた説明においては、ポンプ光ＬＢ１の光路長がＫ１であり且つプローブ光ＬＢ２の光路長がＫ２である状態を、便宜的に初期状態として定義する。
【００８７】
図３（ａ）に示すように、初期状態にある第１実施例の光遅延器１２０において、ポンプ光ＬＢ１が入射してくる側（図３（ａ）中の左側）に向かって第１再帰反射鏡１２１１が所定の移動量α（但し、αは正の実数）だけ移動する場合には、第２再帰反射鏡１２１２もまた、ポンプ光ＬＢ１が入射してくる側（図３（ａ）中の左側）に向かって所定の移動量αだけ移動する。尚、以下の説明では、ポンプ光ＬＢ１が入射してくる側に向かって第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２が移動する場合の移動量を「正」とし、プローブ光ＬＢ２が入射してくる側（図３（ａ）中の右側）に向かって第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２が移動する場合の移動量を「負」とする。従って、第１再帰反射鏡１２１１が所定の移動量＋αだけ移動する場合には、第２再帰反射鏡１２１２もまた所定の移動量＋αだけ移動する。この場合、ポンプ光ＬＢ１の光路長が２αだけ減少すると共に、プローブ光ＬＢ２の光路長が２αだけ増加する。従って、図３（ｂ）に示すように、ポンプ光ＬＢ１の光路長はＫ１−２αとなり、プローブ光ＬＢ２の光路長はＫ２＋２αとなる。このため、図３（ｂ）に示すように、光路長差（但し、以下の説明では、光路長差＝プローブ光ＬＢ２の光路長−ポンプ光ＬＢ１の光路長とする）は、Ｋ２−Ｋ１＋４αとなる。従って、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２が所定の移動量＋αだけ移動する場合には、第１実施例の光遅延器１２０は、初期状態における光路長差（＝Ｋ１−Ｋ２）と比較して、光路長差を４αだけ長くすることができる。
【００８８】
同様に、図４（ａ）に示すように、初期状態にある第１実施例の光遅延器１２０において、プローブ光ＬＢ２が入射してくる側（図４（ａ）中の右側）に向かって第１再帰反射鏡１２１１が所定の移動量β（但し、βは正の実数）だけ移動する場合には、第２再帰反射鏡１２１２もまた、ポンプ光ＬＢ１が入射してくる側（図４（ａ）中の右側）に向かって所定の移動量βだけ移動する。つまり、第１再帰反射鏡１２１１が所定の移動量−βだけ移動する場合には、第２再帰反射鏡１２１２もまた所定の移動量−βだけ移動する。この場合、ポンプ光ＬＢ１の光路長が２βだけ増加すると共に、プローブ光ＬＢ２の光路長が２βだけ減少する。従って、図４（ｂ）に示すように、ポンプ光ＬＢ１の光路長はＫ１＋２βとなり、プローブ光ＬＢ２の光路長はＫ２−２βとなる。このため、図４（ｂ）に示すように、光路長差は、Ｋ２−Ｋ１−４βとなる。従って、第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２が所定の移動量−βだけ移動する場合には、第１実施例の光遅延器１２０は、初期状態における光路長差と比較して、光路長差を４βだけ短くすることができる。
【００８９】
一方で、図５（ａ）に示すように、第１比較例の光遅延器１２０ａは、プローブ光ＬＢ２の光路長のみを調整することで光路長差を調整するがゆえに、ポンプ光ＬＢ１を再帰反射する第１再帰反射鏡１２１１を備えていなくともよい。ここで、図５（ａ）に示すように、図３及び図４に示した第１実施例の光遅延器１２０における移動態様と同様に、初期状態にある第１比較例の光遅延器１２０ａにおいて、第２再帰反射鏡１２１２が、ポンプ光ＬＢ１が入射してくる側（図５（ａ）中の左側）に向かって所定の移動量αだけ移動するものとする。つまり、第２再帰反射鏡１２１２が所定の移動量＋αだけ移動するものとする。この場合、プローブ光ＬＢ２の光路長が２αだけ増加する。従って、図５（ｂ）に示すように、プローブ光ＬＢ２の光路長はＫ２＋２αとなる。このため、図５（ｂ）に示すように、光路長差は、Ｋ２−Ｋ１＋２αとなる。従って、第２再帰反射鏡１２１２が所定の移動量＋αだけ移動する場合には、第１比較例の光遅延器１２０ａは、初期状態における光路長差と比較して、光路長差を２αだけしか長くすることができない。言い換えれば、第１比較例の光遅延器１２０ａでは、初期状態における光路長差と比較して光路長差を４αだけ長くするためには、第２再帰反射鏡１２１２が所定の移動量＋２α（つまり、第１実施例の光遅延器１２０における第２再帰反射鏡１２１２の移動量の２倍の移動量）も移動しなければならない。
【００９０】
同様に、図６（ａ）に示すように、図３及び図４に示した第１実施例の光遅延器１２０における移動態様と同様に、初期状態にある第１比較例の光遅延器１２０ａにおいて、第２再帰反射鏡１２１２が、プローブ光ＬＢ２が入射してくる側（図６（ａ）中の右側）に向かって所定の移動量βだけ移動するものとする。つまり、第２再帰反射鏡１２１２が所定の移動量−βだけ移動するものとする。この場合、プローブ光ＬＢ２の光路長が２βだけ減少する。従って、図６（ｂ）に示すように、プローブ光ＬＢ２の光路長はＫ２−２βとなる。このため、図６（ｂ）に示すように、光路長差は、Ｋ２−Ｋ１−２βとなる。従って、第２再帰反射鏡１２１２が所定の移動量＋βだけ移動する場合には、第１比較例の光遅延器１２０ａは、初期状態における光路長差と比較して、光路長差を２βだけしか短くすることができない。言い換えれば、第１比較例の光遅延器１２０ａでは、初期状態における光路長差と比較して光路長差を４βだけ短くするためには、第２再帰反射鏡１２１２が所定の移動量−２β（つまり、第１実施例の光遅延器１２０における第２再帰反射鏡１２１２の移動量の２倍の移動量）も移動しなければならない。
【００９１】
しかるに、第１実施例の光遅延器１２０は、第１比較例の光遅延器１２０ａとは異なり、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの一方の光路長を増加させると同時にポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの他方の光路長を減少させることができる。従って、第１実施例の光遅延器１２０は、第１比較例の光遅延器１２０ａと比較して、光路長差を同一量だけ調整する（つまり、同一の遅延量を付与する）ために必要な第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２の夫々の移動量を小さくすることができる。その結果、光遅延器１２０の小型化が実現される。
【００９２】
尚、上述の説明では、プローブ光ＬＢ２の光路長のみを調整することで光路長差を調整する第１比較例の光遅延器１２０ａについて説明している。しかしながら、ポンプ光ＬＢ１の光路長のみを調整することで光路長差を調整する第１比較例の光遅延器１２０ａについても同様のことが言える。
【００９３】
他方で、図７（ａ）に示すように、第２比較例の光遅延器１２０ｂは、プローブ光ＬＢ２の光路長のみを調整することで光路長差を調整するがゆえに、ポンプ光ＬＢ１を再帰反射する第１再帰反射鏡１２１１を備えていなくともよい。更に、第２比較例の光遅延器１２０ｂは、対向する反射鏡の間を複数回（図７（ａ）に示す例では、２回）往復する光路に沿ってプローブ光ＬＢ２を伝搬させることで光路長差を調整するがゆえに、２つの第２再帰反射鏡１２１２（つまり、第２再帰反射鏡１２１２ｂ−１及び第２再帰反射鏡１２１２ｂ−２）並びに反射鏡１６２５ｂ及び反射鏡１６２６ｂを更に備えている。第２再帰反射鏡１２１２ｂ−１は、当該第２再帰反射鏡１２１２ｂ−１に入射してくるプローブ光ＬＢ２を反射鏡１６２５ｂに向けて再帰反射する。反射鏡１６２５ｂは、当該反射鏡１６２５ｂに入射してくるプローブ光ＬＢ２を反射鏡１６２６ｂに向けて反射する。反射鏡１６２６ｂは、当該反射鏡１６２６ｂに入射してくるプローブ光ＬＢ２を第２再帰反射鏡１２１２ｂ−２に向けて反射する。第２再帰反射鏡１２１２ｂ−２は、当該第２再帰反射鏡１２１２ｂ−２に入射してくるプローブ光ＬＢ２を反射鏡１６２３に向けて再帰反射する。
【００９４】
ここで、図７（ａ）に示すように、図３及び図４に示した第１実施例の光遅延器１２０における移動態様と同様に、初期状態にある第２比較例の光遅延器１２０ｂにおいて、第２再帰反射鏡１２１２ｂ−１及び第２再帰反射鏡１２１２ｂ−２が、ポンプ光ＬＢ１が入射してくる側（図７（ａ）中の左側）に向かって所定の移動量αだけ移動するものとする。つまり、第２再帰反射鏡１２１２ｂ−１及び第２再帰反射鏡１２１２ｂ−２が所定の移動量＋αだけ移動するものとする。この場合、プローブ光ＬＢ２の光路長が４αだけ増加する。従って、図７（ｂ）に示すように、プローブ光ＬＢ２の光路長はＫ２＋４αとなる。このため、図７（ｂ）に示すように、光路長差は、Ｋ２−Ｋ１＋４αとなる。従って、第２再帰反射鏡１２１２ｂ−１及び第２再帰反射鏡１２１２ｂ−２が所定の移動量＋αだけ移動する場合には、第２比較例の光遅延器１２０ｂは、初期状態における光路長差と比較して、光路長差を４αだけ長くすることができる。しかしながら、第２比較例の光遅延器１２０ｂでは、第１実施例の光遅延器１２０と比較して、プローブ光ＬＢ２の反射回数（特に、光遅延器１２０ｂを介したプローブ光ＬＢ２の反射回数）が相対的に多くなってしまう。
【００９５】
同様に、図８（ａ）に示すように、図３及び図４に示した第１実施例の光遅延器１２０における移動態様と同様に、初期状態にある第２比較例の光遅延器１２０ｂにおいて、第２再帰反射鏡１２１２ｂ−１及び第２再帰反射鏡１２１２ｂ−２が、プローブ光ＬＢ２が入射してくる側（図８（ａ）中の右側）に向かって所定の移動量βだけ移動するものとする。つまり、第２再帰反射鏡１２１２ｂ−１及び第２再帰反射鏡１２１２ｂ−２が所定の移動量−βだけ移動するものとする。この場合、プローブ光ＬＢ２の光路長が４βだけ減少する。従って、図８（ｂ）に示すように、プローブ光ＬＢ２の光路長はＫ２−４βとなる。このため、図８（ｂ）に示すように、光路長差は、Ｋ２−Ｋ１−４βとなる。従って、第２再帰反射鏡１２１２ｂ−１及び第２再帰反射鏡１２１２ｂ−２が所定の移動量−βだけ移動する場合には、第２比較例の光遅延器１２０ｂは、初期状態における光路長差と比較して、光路長差を４βだけ短くすることができる。しかしながら、第２比較例の光遅延器１２０ｂでは、第１実施例の光遅延器１２０と比較して、プローブ光ＬＢ２の反射回数（特に、光遅延器１２０ｂを介したプローブ光ＬＢ２の反射回数）が相対的に多くなってしまう。
【００９６】
このように、第１実施例の光遅延器１２０は、第２比較例の光遅延器１２０ｂと同様に、光路長差を同一量だけ調整する（つまり、同一の遅延量を付与する）ために必要な第１再帰反射鏡１２１１及び第２再帰反射鏡１２１２の夫々の移動量を小さくすることができる。それでいて、第１実施例の光遅延器１２０は、第２比較例の光遅延器１２０ｂと比較して、プローブ光ＬＢ２の反射回数を少なくすることができる。従って、第１実施例の光遅延器１２０は、第２比較例の光遅延器１２０ｂと比較して、第２再帰反射鏡１２１２の取り付け角度の誤差がプローブ光ＬＢ２の好適な伝搬に対して影響を与える可能性を小さくすることができる。例えば、第１実施例の光遅延器１２０は、第２比較例の光遅延器１２０ｂと比較して、第２再帰反射鏡１２１２の取り付け角度の誤差に起因したプローブ光ＬＢ２の照射位置のずれ量を相対的に小さくすることができる。
【００９７】
尚、上述の説明では、プローブ光ＬＢ２の光路長のみを調整することで光路長差を調整する第２比較例の光遅延器１２０ｂについて説明している。しかしながら、ポンプ光ＬＢ１の光路長のみを調整することで光路長差を調整する第２比較例の光遅延器１２０ｂについても同様のことが言える。この場合、第１実施例の光遅延器１２０は、第２比較例の光遅延器１２０ｂと比較して、第１再帰反射鏡１２１１の取り付け角度の誤差がポンプ光ＬＢ１の好適な伝搬に対して影響を与える可能性を小さくすることができる。例えば、第１実施例の光遅延器１２０は、第２比較例の光遅延器１２０ｂと比較して、第１再帰反射鏡１２１１の取り付け角度の誤差に起因したポンプ光ＬＢ１の照射位置のずれ量を相対的に小さくすることができる。
【００９８】
また、第２比較例の光遅延器１２０ｂは、第１実施例の光遅延器１２０がプローブ光ＬＢ２の反射回数を少なくすることができることを説明する趣旨で用いられている。従って、第２比較例の光遅延器１２０ｂは、第１実施例の光遅延器１２０が第２比較例の光遅延器１２０ｂと同様の構成（つまり、対向する反射鏡の間を複数回往復する光路に沿ってプローブ光ＬＢ２を伝搬させる構成）を採用することを妨げるものではない。つまり、第１実施例の光遅延器１２０は、対向する反射鏡の間を複数回往復する光路に沿ってポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの少なくとも一方を伝搬させる構成を採用してもよい。
【００９９】
尚、上述した説明では、光遅延器１２０がテラヘルツ波計測装置１００に用いられる例を説明している。しかしながら、光遅延器１２０は、テラヘルツ波計測装置１００以外の任意の装置（例えば、２つのレーザ光又は２つの光線の間の光路長差を調整することで何らかの処理又は動作を行う装置）に用いられてもよい。このような装置の一例として、例えば、光コヒーレンストモグラフィを利用した装置や、ポンプ・プローブ分光法を利用した装置等が一例としてあげられる。
【０１００】
（２）第２実施例
続いて、図９から図１１を参照しながら、第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００について説明する。尚、第１実施例のテラヘルツ波計測装置１００が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を照射する。
【０１０１】
（２−１）第２実施例のテラヘルツ波計測装置の構成
初めに、図９を参照しながら、第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００の構成について説明する。図９は、第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００の構成を示すブロック図である。
【０１０２】
図９に示すように、第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００は、第１実施例のテラヘルツ波計測装置１００と同様に、パルスレーザ装置１０１と、テラヘルツ波発生素子１１０と、ビームスプリッタ１６０と、テラヘルツ波検出素子１３０と、バイアス電圧生成部１４１と、Ｉ−Ｖ（電流−電圧）変換部１４４と、ロックイン検出部１４５と、演算処理部１５０とを備えている。
【０１０３】
第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００は更に、偏光ビームスプリッタ２６０１と、偏光ビームスプリッタ２６０２と、反射鏡２６１１と、反射鏡２６２１と、反射鏡２６２２と、反射鏡２６２３と、１／２波長板２３１と、１／２波長板２３２と、１／２波長板２３３と、１／４波長板２４１と、１／４波長板２４２と、光遅延器２２０とを備えている。
【０１０４】
第２実施例では、パルスレーザ装置１０１が生成したパルスレーザ光ＬＢは、１／２波長板２３１を透過した後に、ビームスプリッタ１６０に入射する。尚、１／２波長板２３１は、ポンプ光ＬＢ１とプローブ光ＬＢ２との間の比率（実質的には、分岐比率）を調整する。ビームスプリッタ１６０は、第１実施例と同様に、パルスレーザ光ＬＢをポンプ光ＬＢ１とプローブ光ＬＢ２に分岐する。
【０１０５】
ビームスプリッタ１６０において分岐したポンプ光ＬＢ１は、１／２波長板２３２、偏光ビームスプリッタ２６０１及び１／４波長板２４１を透過した後に、光遅延器２２０に入射する。一方で、ビームスプリッタ１６０において分岐したプローブ光ＬＢ２は、反射鏡２６２１によって反射された後に、１／２波長板２３３を透過する。１／２波長板２３３を透過したプローブ光ＬＢ２は、偏光ビームスプリッタ２６０２によって反射された後に、１／４波長板２４２を透過する。１／４波長板２４２を透過したプローブ光ＬＢ２は、光遅延器２２０に入射する。
【０１０６】
尚、１／２波長板２３２は、当該１／２波長板２３２を透過したポンプ光ＬＢ１（つまり、パルスレーザ装置１０１から偏光ビームスプリッタ２６０１に向かって伝搬するポンプ光ＬＢ１）が偏光ビームスプリッタ２６０１を透過するように、ポンプ光ＬＢ１の偏光方向を調整する。同様に、１／２波長板２３３は、当該１／２波長板２３３を透過したプローブ光ＬＢ２（つまり、パルスレーザ装置１０１から偏光ビームスプリッタ２６０２に向かって伝搬するプローブ光ＬＢ２）が偏光ビームスプリッタ２６０２によって反射されるように、プローブ光ＬＢ２の偏光方向を調整する。また、１／４波長板２４１は、光遅延器２２０から偏光ビームスプリッタ２６０１に戻ってくるポンプ光ＬＢ１が偏光ビームスプリッタ２６０１によって反射されるように、ポンプ光ＬＢ１の偏光状態を調整する。同様に、１／４波長板２４２は、光遅延器２２０から偏光ビームスプリッタ２６０２に戻ってくるプローブ光ＬＢ２が偏光ビームスプリッタ２６０２を透過するように、プローブ光ＬＢ２の偏光状態を調整する。
【０１０７】
光遅延器２２０は、第１実施例の光遅延器１２０と同様に、ポンプ光ＬＢ１の光路長とプローブ光ＬＢ２の光路長との間の差分である光路長差を調整する。光遅延器２２０もまた、第１実施例の光遅延器１２０と同様に、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２の双方の光路長を調整することで、光路長差を調整する。
【０１０８】
光遅延器２２０は、「第１回転反射鏡」の一具体例である第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２と、「第１外部反射鏡」の一具体例である第１反射鏡２２１３と、「第２回転反射鏡」の一具体例である第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２と、「第２外部反射鏡」の一具体例である第１反射鏡２２２３と、回転台２２３とを備えている。
【０１０９】
第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２並びに第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２は、所定方向（例えば、図９中の時計周りの方向）に向かって回転可能な回転台２２３上に設置されている。特に、第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２並びに第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２は、回転台２２３の回転中心から所定半径の位置にある円周上に設置されていることが好ましい。回転台２２３が回転することで、ポンプ光ＬＢ１に対する第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２の位置並びにプローブ光ＬＢ２に対する第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２の位置が変わる。その結果、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２の双方の光路長が調整される。
【０１１０】
回転台２２３の回転角度に応じて、光遅延器２２０に入射したポンプ光ＬＢ１は、第１反射鏡２２１１に入射することができる。この場合、第１反射鏡２２１１は、光遅延器２２０の外部から第１反射鏡２２１１に入射したポンプ光ＬＢ１を、第１反射鏡２２１２へと反射する。第１反射鏡２２１２は、第１反射鏡２２１１から第１反射鏡２２１２に入射したポンプ光ＬＢ１を、第１反射鏡２２１３へと反射する。第１反射鏡２２１３は、第１反射鏡２２１２から第１反射鏡２２１３に入射したポンプ光ＬＢ１を、第１反射鏡２２１２へと反射する。第１反射鏡２２１２は、第１反射鏡２２１３から第１反射鏡２２１２に入射したポンプ光ＬＢ１を、第１反射鏡２２１１へと反射する。第１反射鏡２２１１は、第１反射鏡２２１２から第１反射鏡２２１１に入射したポンプ光ＬＢ１を、光遅延器２２０の外部（具体的には、１／４波長板２４１を介して偏光ビームスプリッタ２６０１）へと反射する。
【０１１１】
或いは、回転台２２３の回転角度に応じて、光遅延器２２０に入射したポンプ光ＬＢ１は、第１反射鏡２２１２に入射することができる。この場合、第１反射鏡２２１２は、光遅延器２２０の外部から第１反射鏡２２１２に入射したポンプ光ＬＢ１を、第１反射鏡２２１１へと反射する。第１反射鏡２２１１は、第１反射鏡２２１２から第１反射鏡２２１１に入射したポンプ光ＬＢ１を、第１反射鏡２２１３へと反射する。第１反射鏡２２１３は、第１反射鏡２２１１から第１反射鏡２２１３に入射したポンプ光ＬＢ１を、第１反射鏡２２１１へと反射する。第１反射鏡２２１１は、第１反射鏡２２１３から第１反射鏡２２１１に入射したポンプ光ＬＢ１を、第１反射鏡２２１２へと反射する。第１反射鏡２２１２は、第１反射鏡２２１１から第１反射鏡２２１２に入射したポンプ光ＬＢ１を、光遅延器２２０の外部（具体的には、１／４波長板２４１を介して偏光ビームスプリッタ２６０１）へと反射する。
【０１１２】
一方で、回転台２２３の回転角度に応じて、光遅延器２２０に入射したプローブ光ＬＢ２は、第２反射鏡２２２１に入射することができる。この場合、第２反射鏡２２２１は、光遅延器２２０の外部から第２反射鏡２２２１に入射したプローブ光ＬＢ２を、第２反射鏡２２２２へと反射する。第２反射鏡２２２２は、第２反射鏡２２２１から第２反射鏡２２２２に入射したプローブ光ＬＢ２を、第２反射鏡２２２３へと反射する。第２反射鏡２２２３は、第２反射鏡２２２２から第２反射鏡２２２３に入射したプローブ光ＬＢ２を、第２反射鏡２２２２へと反射する。第２反射鏡２２２２は、第２反射鏡２２２３から第２反射鏡２２２２に入射したプローブ光ＬＢ２を、第２反射鏡２２２１へと反射する。第２反射鏡２２２１は、第２反射鏡２２２２から第２反射鏡２２２１に入射した光を、光遅延器２２０の外部（具体的には、１／４波長板２４２を介して偏光ビームスプリッタ２６０２）へと反射する。
【０１１３】
或いは、回転台２２３の回転角度に応じて、光遅延器２２０に入射したプローブ光ＬＢ２は、第２反射鏡２２２２に入射することができる。この場合、第２反射鏡２２２２は、光遅延器２２０の外部から第２反射鏡２２２２に入射したプローブ光ＬＢ２を、第２反射鏡２２２１へと反射する。第２反射鏡２２２１は、第２反射鏡２２２２から第２反射鏡２２２１に入射したプローブ光ＬＢ２を、第２反射鏡２２２３へと反射する。第２反射鏡２２２３は、第２反射鏡２２２１から第２反射鏡２２２３に入射したプローブ光ＬＢ２を、第２反射鏡２２２１へと反射する。第２反射鏡２２２１は、第２反射鏡２２２３から第２反射鏡２２２１に入射したプローブ光ＬＢ２を、第２反射鏡２２２２へと反射する。第２反射鏡２２２２は、第２反射鏡２２２１から第２反射鏡２２２２に入射した光を、光遅延器２２０の外部（具体的には、１／４波長板２４２を介して偏光ビームスプリッタ２６０２）へと反射する。
【０１１４】
尚、回転台２２３の回転は、演算処理部１５０の制御の下で行われる。つまり、演算処理部１５０は、回転台２２３を回転させるための不図示のモータの駆動量を指定する制御信号をモータに出力することで、モータの動作を制御する。
【０１１５】
第２実施例では、第１実施例の光遅延器１２０と同様に、光遅延器２２０は、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの一方の光路長が増加すると同時にポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの他方の光路長が減少するように、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２の双方の光路長を調整する。例えば、第２実施例の光遅延器２２０では、第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２並びに第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２は、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの一方の光路長が増加すると同時にポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの他方の光路長が減少するように設置されている。具体的には、第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２の夫々の反射面が向く方向と第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２の夫々の反射面が向く方向とが逆向きになる。より具体的には、第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２の夫々の反射面と第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２の夫々の反射面とが、回転台２２３の回転方向（つまり、第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２並びに第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２の移動方向）に沿って互いに逆側を向く。例えば、第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２の夫々の反射面が回転台２２３の回転方向に沿った一方側を向いている一方で、第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２の夫々の反射面が回転台２２３の回転方向に沿った他方側（つまり、一方側の逆側）を向く。図９に示す例では、第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２の夫々の反射面が回転台２２３の回転方向に対して後方側を向いている一方で、第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２の夫々の反射面が回転台２２３の回転方向に対して前方側を向いている例を示している。
【０１１６】
尚、図９に示す例では、第１反射鏡２２１１の反射面と第１反射鏡２２１２の反射面とは平行である。また、第２反射鏡２２２１の反射面と第２反射鏡２２２２の反射面とは平行である。また、図９に示す例では、第１反射鏡２２１１の反射面は、回転台２２３の中心と第１反射鏡２２１１の設置位置とを結ぶ線分に対して４５°の角度で交わっている。同様に、第１反射鏡２２１２の反射面は、回転台２２３の中心と第１反射鏡２２１２の設置位置とを結ぶ線分に対して４５°の角度で交わっている。同様に、第２反射鏡２２２１の反射面は、回転台２２３の中心と第２反射鏡２２２１の設置位置とを結ぶ線分に対して４５°の角度で交わっている。同様に、第２反射鏡２２２２の反射面は、回転台２２３の中心と第２反射鏡２２２２の設置位置とを結ぶ線分に対して４５°の角度で交わっている。加えて、図９に示す例では、第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２は、回転台２２３の回転中心を通る線分上に設置されている。同様に、第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２は、回転台２２３の回転中心を通る線分上に設置されている。
【０１１７】
尚、上述した第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２並びに第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２の設置態様はあくまで一例である。従って、第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２並びに第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２は、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの一方の光路長が増加すると同時にポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの他方の光路長が減少する限りは、どのような態様で設置されていてもよい。
【０１１８】
光遅延器２２０から出射したポンプ光ＬＢ１は、１／４波長板２４１を透過した後に、偏光ビームスプリッタ２６０１によって反射される。偏光ビームスプリッタ２６０１によって反射されたポンプ光ＬＢ１は、反射鏡２６１１を透過した後に、テラヘルツ波発生素子１１０に入射する。同様に、光遅延器２２０から出射したプローブ光ＬＢ２は、１／４波長板２４２及び偏光ビームスプリッタ２６０２を透過した後に、反射鏡２６２２及び反射鏡２６２３によって反射される。反射鏡２６２３によって反射されたプローブ光ＬＢ２は、テラヘルツ波検出素子１３０に入射する。
【０１１９】
尚、反射鏡２６１１、反射鏡２６２１、反射鏡２６２２及び反射鏡２６２３の配置態様（更には、偏光ビームスプリッタ２６０１及び偏光ビームスプリッタ２６０２の配置態様や、１／２波長板２３１、１／２波長板２３２及び１／２波長板２３３の配置態様や、１／４波長板２４１及び１／４波長板２４２の配置態様）が任意であることは、第１実施例と同様である。
【０１２０】
（２−２）光遅延器の技術的効果
続いて、図１０から図１１を参照して、光遅延器２２０の技術的効果について説明する。図１０及び図１１は、夫々、第２実施例の光遅延器２２０における光路長差の調整の態様を示す平面図である。
【０１２１】
尚、図１０から図１１を用いた説明においては、ポンプ光ＬＢ１の光路長がＫ１であり且つプローブ光ＬＢ２の光路長がＫ２である状態を、便宜的に初期状態として定義する。尚、初期状態では、ポンプ光ＬＢ１が第１反射鏡２６１１及び第１反射鏡２６１２の反射面に対して４５°の入射角度で入射し、且つ、プローブ光ＬＢ２が第２反射鏡２６２１及び第２反射鏡２６２２の反射面に対して４５°の入射角度で入射するものとする（図９における光遅延器２２０の状態を参照）。また、初期状態にある回転台２２３の回転角度を、便宜的に０°として定義する。
【０１２２】
図１０（ａ）に示すように、回転台２２３の回転角度が＋δ１°（但し、δ１は正の実数）である場合を想定する。尚、以下の説明では、０°の回転角度を基準として時計周りの方向に向かう回転角度を「正」とし、０°の回転角度を基準として時計周りの方向に向かう回転角度を「負」とする。この場合、ポンプ光ＬＢ１の光路長がγだけ増加すると共に、プローブ光ＬＢ２の光路長がγだけ減少する。従って、図１０（ｂ）に示すように、ポンプ光ＬＢ１の光路長はＫ１＋γとなり、プローブ光ＬＢ２の光路長はＫ２−γとなる。このため、図１０（ｂ）に示すように、光路長差は、Ｋ２−Ｋ１−２γとなる。従って、回転台２２３の回転角度が＋δ１°である場合には、第２実施例の光遅延器２２０は、初期状態における光路長差（＝Ｋ１−Ｋ２）と比較して、光路長差を２γだけ短くすることができる。
【０１２３】
同様に、図１１（ａ）に示すように、回転台２２３の回転角度が−δ２°（但し、δ２は正の実数）であるものとする。この場合、ポンプ光ＬＢ１の光路長がεだけ減少すると共に、プローブ光ＬＢ２の光路長がεだけ増加する。従って、図１１（ｂ）に示すように、ポンプ光ＬＢ１の光路長はＫ１−εとなり、プローブ光ＬＢ２の光路長はＫ２＋εとなる。このため、図１１（ｂ）に示すように、光路長差は、Ｋ２−Ｋ１＋２εとなる。従って、回転台２２３の回転角度が−δ２°である場合には、第２実施例の光遅延器２２０は、初期状態における光路長差と比較して、光路長差を２εだけ長くすることができる。
【０１２４】
一方で、図示はしないものの、プローブ光ＬＢ２の光路長のみを調整することで光路長差を調整する第３比較例の光遅延器（例えば、図９に示す第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２を備えていない光遅延器）について検討する。第３比較例の光遅延器において、回転台２２３の回転角度が＋δ１°である場合には、プローブ光ＬＢ２の光路長がγだけ減少する。従って、回転台２２３の回転角度が＋δ１°である場合には、第３比較例の光遅延器は、初期状態における光路長差と比較して、光路長差をγだけしか短くすることができない。
【０１２５】
このように、第２実施例の光遅延器２２０は、第１実施例の光遅延器１２０と同様に、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの一方の光路長を増加させると同時にポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの他方の光路長を減少させることができる。従って、第２実施例の光遅延器２２０は、第１実施例の光遅延器１２０が享受することができる各種効果を好適に又は相応に享受することができる。例えば、第２実施例の光遅延器２２０は、プローブ光ＬＢ２の光路長のみを調整することで光路長差を調整する第３比較例の光遅延器と比較して、光路長差を同一量だけ調整する（つまり、同一の遅延量を付与する）ために必要な回転台２２３の回転量を小さくすることができる。
【０１２６】
（３）第３実施例
続いて、図１２を参照しながら、第３実施例のテラヘルツ波計測装置３００について説明する。図１２は、第３実施例のテラヘルツ波計測装置３００の構成を示すブロック図である。尚、第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を照射する。
【０１２７】
図１２に示すように、第３実施例のテラヘルツ波計測装置３００は、第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００と比較して、光遅延器３２０の構成が異なっているという点において異なっている。第３実施例のテラヘルツ波計測装置３００のその他の構成要素は、第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００のその他の構成要素と同一であってもよい。
【０１２８】
第３実施例の光遅延器３２０は、第２実施例の光遅延器２２０と比較して、第１反射鏡２２１１及び第１反射鏡２２１２が夫々、第１再帰反射鏡３２１１及び第１再帰反射鏡３２１２に置き換えられているという点で異なっている。同様に、第３実施例の光遅延器３２０は、第２実施例の光遅延器２２０と比較して、第２反射鏡２２２１及び第２反射鏡２２２２が夫々、第２再帰反射鏡３２２１及び第２再帰反射鏡３２２２に置き換えられているという点で異なっている。加えて、第３実施例の光遅延器３２０は、第２実施例の光遅延器２２０と比較して、第１反射鏡２２１３及び第２反射鏡２２２３を備えていないという点で異なっている。
【０１２９】
第３実施例においても、第２実施例と同様に、光遅延器２２０は、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの一方の光路長が増加すると同時にポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの他方の光路長が減少するように、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２の双方の光路長を調整する。例えば、第３実施例の光遅延器３２０では、第１再帰反射鏡３２１１及び第１再帰反射鏡３２１２並びに第２再帰反射鏡３２２１及び第２反再帰射鏡３２２２は、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの一方の光路長が増加すると同時にポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの他方の光路長が減少するように設置されている。具体的には、第１再帰反射鏡３２１１及び第１再帰反射鏡３２１２の夫々の反射面が向く方向と第２再帰反射鏡３２２１及び第２再帰反射鏡３２２２の夫々の反射面が向く方向とが逆向きになる。より具体的には、第１再帰反射鏡３２１１及び第１再帰反射鏡３２１２の夫々の反射面と第２再帰反射鏡３２２１及び第２反再帰射鏡３２２２の夫々の反射面とが、回転台２２３の回転方向（つまり、第１再帰反射鏡３２１１及び第１再帰反射鏡３２１２並びに第２再帰反射鏡３２２１及び第２反再帰射鏡３２２２の移動方向）に沿って互いに逆側を向く。例えば、第１再帰反射鏡３２１１及び第１再帰反射鏡３２１２の夫々の反射面が回転台２２３の回転方向に沿った一方側を向いている一方で、第２再帰反射鏡３２２１及び第２反再帰射鏡３２２２の夫々の反射面が回転台２２３の回転方向に沿った他方側（つまり、一方側の逆側）を向く。図１２に示す例では、第１再帰反射鏡３２１１及び第１再帰反射鏡３２１２の夫々の反射面が回転台２２３の回転方向に対して後方側を向いている一方で、第２再帰反射鏡３２２１及び第２反再帰射鏡３２２２の夫々の反射面が回転台２２３の回転方向に対して前方側を向いている例を示している。
【０１３０】
尚、図１２に示す例では、第１再帰反射鏡３２１１及び第１再帰反射鏡３２１２は、回転台２２３の回転中心を通る線分上に設置されている。同様に、第２再帰反射鏡３２２１及び第２再帰反射鏡３２２２は、回転台２２３の回転中心を通る線分上に設置されている。
【０１３１】
尚、上述した第１再帰反射鏡３２１１及び第１再帰反射鏡３２１２並びに第２再帰反射鏡３２２１及び第２反再帰射鏡３２２２の設置態様はあくまで一例である。従って、第１再帰反射鏡３２１１及び第１再帰反射鏡３２１２並びに第２再帰反射鏡３２２１及び第２反再帰射鏡３２２２は、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの一方の光路長が増加すると同時にポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２のうちの他方の光路長が減少する限りは、どのような態様で設置されていてもよい。
【０１３２】
加えて、図１２は、光遅延器３２０が、第１再帰反射鏡３２１１及び第１再帰反射鏡３２１２並びに第２再帰反射鏡３２２１及び第２反再帰射鏡３２２２を備えている例を示している。しかしながら、光遅延器３２０は、第１再帰反射鏡３２１１及び第２再帰反射鏡３２２１を備えている一方で、第１再帰反射鏡３２１２及び第２反再帰射鏡３２２２を備えていなくともよい。
【０１３３】
このような第３実施例のテラヘルツ波計測装置３００は、第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００が享受することができる各種効果を、好適に又は相応に享受することができる。
【０１３４】
（４）第４実施例
続いて、図１３及び図１４を参照しながら、第４実施例のテラヘルツ波計測装置４００について説明する。図１３は、第４実施例のテラヘルツ波計測装置４００の構成を示すブロック図である。図１４は、回転台２２３の回転角度とポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２の光路との間の関係を示す平面図である。尚、第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００が備える構成要素と同一の構成要素については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を照射する。
【０１３５】
図１３に示すように、第４実施例のテラヘルツ波計測装置４００は、第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００と比較して、第１受光素子４２１及び第２受光素子４２２を更に備えているという点において異なっている。第４実施例のテラヘルツ波計測装置４００のその他の構成要素は、第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００のその他の構成要素と同一であってもよい。
【０１３６】
第１受光素子４２１は、光遅延器２２０がポンプ光ＬＢ１を偏光ビームスプリッタ２６０１に向けて反射していない期間中に、ポンプ光ＬＢ１を受光するフォトディテクタである。言い換えれば、第１受光素子４２１は、ポンプ光ＬＢ１がテラヘルツ波発生素子１１０に到達するように光遅延器２２０がポンプ光ＬＢ１を適切に反射していない期間中に、ポンプ光ＬＢ１を受光する。
【０１３７】
同様に、第２受光素子４２２は、光遅延器２２０がプローブ光ＬＢ２を偏光ビームスプリッタ２６０２に向けて反射していない期間中に、プローブ光ＬＢ２を受光するフォトディテクタである。言い換えれば、第２受光素子４２２は、プローブ光ＬＢ２がテラヘルツ波検出素子１３０に到達するように光遅延器２２０がプローブ光ＬＢ２を適切に反射していない期間中に、プローブ光ＬＢ２を受光する。
【０１３８】
具体的には、図１４（ａ）に示すように、回転台２２３の回転角度が所定の第１範囲にある場合には、光遅延器２２０は、ポンプ光ＬＢ１がテラヘルツ波発生素子１１０に到達し且つプローブ光ＬＢ２がテラヘルツ波検出素子１３０に到達するように、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２を適切に反射することができる。この場合、ポンプ光ＬＢ１が第１受光素子４２１に到達することはない。同様に、プローブ光ＬＢ２が第２受光素子４２２に到達することはない。
【０１３９】
一方で、図１４（ｂ）に示すように、回転台２２３の回転角度が所定の第２範囲にある場合には、光遅延器２２０は、ポンプ光ＬＢ１がテラヘルツ波発生素子１１０に到達し且つプローブ光ＬＢ２がテラヘルツ波検出素子１３０に到達するように、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２を適切に反射することができない。この場合、ポンプ光ＬＢ１が第１受光素子４２１に到達する。言い換えれば、このタイミングでポンプ光ＬＢ１が到達する位置に、第１受光素子４２１が配置される。同様に、プローブ光ＬＢ２が第２受光素子４２２に到達する。言い換えれば、このタイミングでプローブ光ＬＢ２が到達する位置に、第２受光素子４２２が配置される。
【０１４０】
第１受光素子４２１は、ポンプ光ＬＢ１を受光することで、ポンプ光ＬＢ１の光強度（言い換えれば、パワー）を測定してもよい。同様に、第２受光素子４２２は、プローブ光ＬＢ２を受光することで、プローブ光ＬＢ２の光強度（言い換えれば、パワー）を測定してもよい。この場合、演算処理部１５０は、ポンプ光ＬＢ１の光強度及びプローブ光ＬＢ２の光強度のうちの少なくとも一方に基づいて、パルスレーザ装置１０１が生成するパルスレーザ光ＬＢの特性（例えば、光強度等）を設定してもよい。
【０１４１】
尚、上述の説明では、テラヘルツ波発生装置４００は、ポンプ光ＬＢ１がテラヘルツ波発生素子１１０に到達するように光遅延器２２０がポンプ光ＬＢ１を適切に反射していない期間中にポンプ光ＬＢ１を受光する第１受光素子４２１及びプローブ光ＬＢ２がテラヘルツ波検出素子１３０に到達するように光遅延器２２０がプローブ光ＬＢ２を適切に反射していない期間中にプローブ光ＬＢ２を受光する第２受光素子４２２の双方を備えている。しかしながら、テラヘルツ波計測装置４００は、ポンプ光ＬＢ１がテラヘルツ波発生素子１１０に到達するように光遅延器２２０がポンプ光ＬＢ１を適切に反射していない期間中にポンプ光ＬＢ１を受光すると共に、プローブ光ＬＢ２がテラヘルツ波検出素子１３０に到達するように光遅延器２２０がプローブ光ＬＢ２を適切に反射していない期間中にプローブ光ＬＢ２を受光する単一の受光素子を備えていてもよい。
【０１４２】
このような第４実施例のテラヘルツ波計測装置４００は、第２実施例のテラヘルツ波計測装置２００が享受することができる各種効果を、好適に又は相応に享受することができる。加えて、第４実施例のテラヘルツ波計測装置４００は、テラヘルツ波ＴＨｚを用いた測定対象物の特性の分析動作に影響を与えることなく、ポンプ光ＬＢ１及びプローブ光ＬＢ２の夫々の光強度を好適に測定することができる。
【０１４３】
尚、第１実施例から第４実施例において説明した各種構成要素が適宜組み合わせられてもよい。
【０１４４】
また、本発明は、請求の範囲及び明細書全体から読み取るこのできる発明の要旨又は思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うテラヘルツ波計測装置及び光路長差調整装置もまた本発明の技術思想に含まれる。
【符号の説明】
【０１４５】
１００  テラヘルツ波計測装置
１０１  パルスレーザ装置
１１０  テラヘルツ波発生素子
１２０  光遅延器
１２１１  第１再帰反射鏡
１２１２  第２再帰反射鏡
１３０  テラヘルツ波検出素子
１５０  演算処理部
２００  テラヘルツ波計測装置
２２０  光遅延器
２２１１、２２１２、２２１３  第１反射鏡
２２２１、２２２２、２２２３  第２反射鏡
３００  テラヘルツ波計測装置
３２０  光遅延器
３２１１、３２１２  第１再帰反射鏡
３２２１、３２２２  第２再帰反射鏡
４００  テラヘルツ波計測装置
４２１  第１受光素子
４２２  第２受光素子
ＬＢ１  ポンプ光
ＬＢ２  プローブ光
ＴＨｚ  テラヘルツ波
【図１】
2014228346.tif 000003
【図２】
2014228346.tif 000004
【図３】
2014228346.tif 000005
【図４】
2014228346.tif 000006
【図５】
2014228346.tif 000007
【図６】
2014228346.tif 000008
【図７】
2014228346.tif 000009
【図８】
2014228346.tif 000010
【図９】
2014228346.tif 000011
【図１０】
2014228346.tif 000012
【図１１】
2014228346.tif 000013
【図１２】
2014228346.tif 000014
【図１３】
2014228346.tif 000015
【図１４】
2014228346.tif 000016