(57)【要約】【課題】基板、例えば薄板基板をジグユニットに装着する時に生ずることになる基板の捻りを解決することができる、基板捻り改善用基板固定ジグユニット及びそれを含む基板移送装置を提供する【解決手段】基板固定用ジグユニット１００は、基板１のエッジ側の下部を支持する受け部１０と、受け部１０に支持された基板１の上面で所定の高さにヒンジ３１が設けられ、ヒンジ３１による回転範囲が基板１の上面を垂直に押圧する範囲を超えて基板１のエッジ側へ力を加えるように回転するヒンジ部３０と、ヒンジ部３０の回転体の終端に設けられ、ヒンジ部３０の回転によって基板１の上面を押圧すると共に基板１のエッジ側へ張力を加えて基板１を受け部１０上に平たく広げながら固定する基板固定部５０とを含む。【選択図】図１
2014082492.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板のエッジ側の下部を支持する受け部と、
前記受け部に支持された前記基板の上面で所定の高さにヒンジが設けられ、前記ヒンジによる回転範囲が前記基板の上面を垂直に押圧する範囲を超えて前記基板のエッジ側へ力を加えるように回転するヒンジ部と、
前記ヒンジ部の回転体の終端に設けられ、前記ヒンジ部の回転によって前記基板の上面を押圧すると共に前記基板のエッジ側へ張力を加えて前記基板を前記受け部上に平たく広げながら固定する基板固定部と
を含む基板固定用ジグユニット。
【請求項２】
前記ヒンジ部は、
一端部が前記受け部の一側に固定され、前記受け部の上側へ延在する支持フレームと、
前記基板の上面で所定の高さにある前記支持フレームの他端部に設けられたヒンジと、
一端部が前記ヒンジに接続され、他端部に前記基板固定部が設けられ、前記ヒンジによって回転し、前記基板固定部が前記基板の上面を垂直に押圧する範囲を超えて前記基板のエッジ側へ張力を加える回転角まで回転する回転フレームと
を備える、請求項１に記載の基板固定用ジグユニット。
【請求項３】
前記ヒンジ部は、前記基板固定部が前記基板の上面を垂直に押圧する範囲を超えて前記基板のエッジ側へ張力を加えるように前記回転フレームに弾性力を与える弾性体を、さらに含む請求項２に記載の基板固定用ジグユニット。
【請求項４】
前記弾性体は、前記ヒンジに設けられた軸型ばねである、請求項３に記載の基板固定用ジグユニット。
【請求項５】
前記ヒンジ部は、前記受け部と前記回転フレームとの間に前記基板が介挿されるように、前記回転フレームを前記受け部から遠くなるように持ち上げるリフトアップフレームを、さらに含む請求項２に記載の基板固定用ジグユニット。
【請求項６】
前記ヒンジ部は、ヒンジ回転角の増加に伴って前記基板固定部が前記基板に加える張力が増加している途中、前記ヒンジ回転角の増加なしに張力が維持されるように回転力を付与する、請求項１に記載の基板固定用ジグユニット。
【請求項７】
前記ヒンジに、軸型ばねが設けられ、
前記軸型ばねは、前記ヒンジ回転角の増加に伴って前記張力が増加している途中、前記ヒンジ回転角の増加なしに張力が維持されるように弾性力を与える、請求項６に記載の基板固定用ジグユニット。
【請求項８】
前記ヒンジ部のヒンジ高さが前記基板の厚さによって調節される、請求項１に記載の基板固定用ジグユニット。
【請求項９】
前記基板固定部は、前記回転体の回転によって共に回転し、
前記基板と前記基板固定部との接する回転角が変わるにつれ、前記基板の上面と接する前記基板固定部の接触地点が変わる、請求項１に記載の基板固定用ジグユニット。
【請求項１０】
前記基板固定部は、少なくとも前記基板の上面と接する側の表面が断面弧形を成す、請求項９に記載の基板回定用ジグユニット。
【請求項１１】
前記基板固定部は、前記断面弧形を成す前記基板固定部の上面に突設された複数の突起を含み、
前記突起が、前記基板の上面をスライディングなしに押して前記張力を与える、請求項１０に記載の基板固定用ジグユニット。
【請求項１２】
前記受け部は、前記基板の下部を支持する少なくとも一つのローラを備える、請求項１に記載の基板固定用ジグユニット。
【請求項１３】
前記基板の表面と接触する前記受け部の表面及び前記基板固定部の表面のうちの少なくともいずれか一つは、テフロン（登録商標）材料で構成される、請求項１に記載の基板固定用ジグユニット。
【請求項１４】
基板を移送する基板移送装置であって、
本体フレームと、
前記本体フレームに沿って複数設けられ、前記基板を締めて固定する請求項１〜１３のうちのいずれか一つの基板固定用ジグユニットと
を含む基板移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板固定用ジグユニット及びそれを含む基板移送装置に関し、特に、張力を加えて基板を平たく保持する基板固定用ジグユニット及びそれを含む基板移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄板パッケージ（ＰＫＧ）基板の使用が増加する状況で、既存の厚板ベースのＰＫＧ基板に比べて変形（Ｗａｒｐａｇｅ）の問題がより深刻に発生している。特に、薄板のＰＫＧ基板は、１００〜２００μｍ程度の極薄のコア基板の特性上、一般的なハンドリング時の変形が、特に高温工程が含まれる硬化（ｃｕｒｉｎｇ）及び乾燥工程上で悪くなり、最終的に製品の歩留まりや品質に深刻な影響を及ぼすことになる。そのため、高温工程が含まれる基板工程上でなるべく手作業を排除し、自動で基板の投入及び装着、脱着を連続して行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００４／０１１５０３５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
手作業を排除して自動で基板の投入及び装着、脱着を連続して行うように、ジグによって基板を固定し移送する装置が使われるにもかかわらず、基板、例えば薄板基板の高温工程を行うための移送装置に使われるジグは、一般に、厚板用では問題にならなかった深刻な問題を引き起こすことになる。例えば、基板の平板性が確保されない状態でジグに装着される場合、高温工程を通過しながらジグ装着時に基板に付与された変形がそのまま内在し、該高温過程を通しながら深刻な捻りとして現われるようになる。
【０００５】
図７は、従来のジグユニットを概略的に示す模式図である。フレーム２にジグ３が設けられ、ジグ３のヒンジ３ａの回転によってジグ３の固定部３ｂが基板１を垂直方向に押して固定する。従来には、図７のようなジグユニットに基板、例えば薄板基板を固定する時、該基板の上下側各２個のジグを用いて自動で基板を位置させ、ジグを閉めて基板を固定した。基板が誤って装着された場合、該基板に深刻な変形をもたらし、そのまま高温工程を通過するとき、初期の変形が熱工程を通過しながらもっと深刻に変形される。その結果として、予期しない不良が発生するという不都合がある。
【０００６】
本発明は上記の問題点に鑑みて成されたものであって、基板、例えば薄板基板をジグユニットに装着する時に生ずることになる基板の捻りを解決することができる、基板捻り改善用基板固定ジグユニット及びそれを含む基板移送装置を提供することに、その目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を解決するために、本発明の第１の形態によれば、基板のエッジ側の下部を支持する受け部と、該受け部に支持された基板の上面で所定の高さにヒンジが設けられ、該ヒンジによる回転範囲が基板の上面を垂直に押圧する範囲を超えて基板のエッジ側へ力を加えるように回転するヒンジ部と、該ヒンジ部の回転体の終端に設けられ、ヒンジ部の回転によって基板の上面を押圧すると共に基板のエッジ側へ張力を加えて基板を受け部上に平たく広げながら固定する基板固定部とを含む基板固定用ジグユニットが提供される。
【０００８】
一形態によれば、ヒンジ部は、一端部が受け部の一側に固定され、受け部の上側へ延在する支持フレームと、基板の上面で所定の高さにある支持フレームの他端部に設けられたヒンジと、一端部がヒンジに接続され、他端部に基板固定部が設けられ、ヒンジによって回転し、基板固定部が基板の上面を垂直に押圧する範囲を超えて基板のエッジ側へ張力を加えることができる回転角まで回転する回転フレームとを含む。
【０００９】
一形態によれば、ヒンジ部は、基板固定部が基板の上面を垂直に押圧する範囲を超えて基板のエッジ側へ張力を加えるように回転フレームに弾性力を与える弾性体をさらに含む。
【００１０】
一形態によれば弾性体は、ヒンジに設けられた軸型ばねである。
【００１１】
また、一形態によれば、ヒンジ部は、受け部と回転フレームとの間に基板が介挿されるように、回転フレームを受け部から遠くなるように持ち上げるリフトアップフレームをさらに含む。
【００１２】
他の形態によれば、ヒンジ部は、ヒンジ回転角の増加に伴って基板固定部が基板に加える張力が増加している途中、ヒンジ回転角の増加なしに張力が維持されるように回転力を付与する。
【００１３】
一形態によれば、ヒンジに軸型ばねが設けられ、軸型ばねは、ヒンジ回転角の増加に伴って張力が増加している途中、ヒンジ回転角の増加なしに張力が維持されるように弾性力を与える。
【００１４】
また、一形態によれば、ヒンジ部のヒンジ高さが基板の厚さによって調節される。
【００１５】
他の形態によれば、基板固定部は、回転体の回転によって共に回転し、基板と基板固定部とが接する回転角が変わるにつれ、基板の上面と接する基板固定部の接触地点が変わる。
【００１６】
一形態によれば、基板固定部は、少なくとも基板の上面と接する側の表面が断面弧形を成す。
【００１７】
他の形態によれば、基板固定部は、断面弧形を成す基板固定部の上面に突設された複数の突起を含み、突起が基板の上面をスライディングなしに押して張力を与える。
【００１８】
また、一形態によれば、受け部は、基板の下部を支持する少なくとも一つ以上のローラを備える。
【００１９】
他の形態によれば、基板の表面と接触する受け部の表面及び基板固定部の表面のうちの少なくともいずれか一つは、テフロン（登録商標）材料で構成される。
【００２０】
また、上記の目的を解決するために、本発明の第２の形態によれば、基板を移送する基板移送装置であって、本体フレームと、該本体フレームに沿って複数設けられ、基板を締めて固定する前述の第１の実施形態のうちのいずれか一つによる基板固定用ジグユニットとを含む、基板移送装置が提供される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の形態によれば、ヒンジ部と基板固定部との動作によって、基板、例えば薄板基板がジグユニットに固定される時、捻り（Ｗａｒｐａｇｅ）それ自体が自然にひろがることができる。
【００２２】
また、基板固定時の張力が増加され続けると、高温工程通過時にまた他の変形（Ｗａｒｐａｇｅ）の誘発因子として動作するようになるが、一実施形態によれば、ヒンジ部に、例えば、軸型ばねを備えて張力が増加してから一定に維持される位置に基板が固定されるようになる。また、基板固定部によって追加的な張力（Ｔｅｎｓｉｏｎ）が作用しなくなるので、基板の変形発生を最小化すると共に追加変形を引き起こす不要な追加張力が加えられないようにすることができる。
【００２３】
本発明の多様な形態によって直接的に言及されなかった多様な効果が本発明の実施形態による多様な構成から、該当技術分野において通常の知識を持った者によって導出されることができることは、自明である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態による基板固定用ジグユニットを概略的に示す模式図である。
【図２】本発明の一実施形態による基板固定用ジグユニットのヒンジ部の構成を概略的に示す模式図である。
【図３】本発明の他の実施形態による基板固定用ジグユニットを概略的に示す模式図である。
【図４】本発明の他の実施形態による基板固定用ジグユニットの受け部を概略的に示す模式図である。
【図５】本発明の一実施形態による基板固定用ジグユニットの基板固定部での作用力を概略的に示す模式図である。
【図６】本発明の他実施形態による基板移送装置の一部を概略的に示す模式図である。
【図７】従来のジグユニットを概略的に示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施の形態は図面を参考にして詳細に説明する。次に示される各実施の形態は当業者にとって本発明の思想が十分に伝達されることができるようにするために例として挙げられるものである。従って、本発明は以下示している各実施の形態に限定されることなく他の形態で具体化されることができる。そして、図面において、装置の大きさ及び厚さなどは便宜上誇張して表現されることができる。明細書全体に渡って同一の参照符号は同一の構成要素を示している。
【００２６】
本明細書で使われた用語は、実施形態を説明するためのものであって、本発明を制限しようとするものではない。本明細書において、単数形は文句で特別に言及しない限り複数形も含む。明細書で使われる「含む」とは、言及された構成要素、ステップ、動作及び／又は素子は、一つ以上の他の構成要素、ステップ、動作及び／又は素子の存在または追加を排除しないことに理解されたい。
【００２７】
まず、添付の図面を参照して、本発明の第１の実施形態による基板固定用ジグユニットについて詳記する。
【００２８】
図１は、本発明の一実施形態による基板固定用ジグユニットを概略的に示す模式図で、図２は、本発明の一実施形態による基板固定用ジグユニットのヒンジ部の構成を概略的に示す模式図で、図３は、本発明の他の実施形態による基板固定用ジグユニットを概略的に示す模式図で、図４は、本発明の他の実施形態による基板固定用ジグユニットの受け部を概略的に示す模式図で、図５は、本発明の一実施形態による基板固定用ジグユニットの基板固定部での作用力を概略的に示す模式図である。
【００２９】
図１及び／又は図３を参照して、一実施形態による基板固定用ジグユニットは、受け部１０、ヒンジ部３０及び基板固定部５０を備える。
【００３０】
詳しくは、受け部１０は、基板１のエッジ側の下部を支持する。図１及び／又は図３には、基板１の下部を支える受け部１０の領域が広く示されているが、例えば、基板１を平たく広げやすいように狭い平坦面を有するように受け部１０を形成する。
【００３１】
図４を参照して、一実施形態によれば、受け部１０は、基板１の下部を支持する少なくとも一つのローラ１１を備える。これによって、基板１がヒンジ部３０及び基板固定部５０によって容易にひろがるようになる。
【００３２】
また、一実施形態によれば、基板１の下部面と接触する受け部１０の表面は、例えば、テフロン（登録商標）材料で構成される。例えば、テフロン（登録商標）材料で構成されることによって、基板１との摩擦力を減少させ、基板１がヒンジ部３０と基板閤定部５０によって容易にひろがるようになる。
【００３３】
また、図１及び／又は図３に示すように、ヒンジ部３０のヒンジ３１は、受け部１０に支持された基板１の上面で所定の高さに設けられる。これによって、ヒンジ３１による回転範囲が基板１の上面を垂直に押圧する範囲を超えて基板１のエッジ側へ力を加えることができる範囲まで至るように、ヒンジ部３０、詳しくは、ヒンジ部３０の回転体が回転する。すなわち、ヒンジ部３０のヒンジ３１が基板の上面で所定高さに設けられ、基板固定部５０がヒンジ部３０の回転によって基板１の上面を垂直に押圧すると共に基板１のエッジ側の方へ張力を加えることができるようになる。これによって、基板１の捻りが減少し、基板１が平たくひろがることができる。
【００３４】
図５を参照して、ヒンジ部３０の回転体によって回転される基板固定部５０が基板１と接するか固定する地点での回転力Ｆは、水平力Ｆｈと垂直力Ｆｖとの合力である。回転力Ｆは、垂直力Ｆｖと基板１のエッジ側（外側）へ作用する水平力Ｆｈの合であるため、水平力Ｆｈによって基板１のエッジ側方向に張力を加えることができるようになる。万一、回転力Ｆが従来のように垂直力Ｆｖと等しいか又は垂直力Ｆｖと基板の中心方向に作用する水平力との合で構成される場合、基板１のエッジ側方向に張力が与えられないことになる。回転力Ｆが垂直力Ｆｖと等しい場合、ヒンジ３１による回転範囲が垂直力Ｆｖだけ作用するようにする回転範囲になり、その範囲を超えて回転する場合、基板１のエッジ側方向への水平力Ｆｈによって張力が与えられる。
【００３５】
図１、図２及び／又は図３を参照して、ヒンジ部３０について詳記する。一実施形態によれば、ヒンジ部３０は、支持フレーム３３、ヒンジ３１及び回転フレーム３５を含む。また、図２に示すように、ヒンジ部３０は、弾性体３２をさらに含む。図３に示すように、ヒンジ部３０は、リフトアップフレーム３７をさらに含む。
【００３６】
図１及び／又は図３に示すように、支持フレーム３３は、一端部が受け部１０の一側に固定され、受け部１０の上側へ延在している。これによって、支持フレーム３３の他端部に設けられたヒンジ３１が基板１の上面で所定の高さに設けられる。また、ヒンジ部３０の回転体である回転フレーム３５は、一端部がヒンジ３１に接続され、他端部に基板固定部５０が設けられ、ヒンジ３１によって回転する。この回転によって、回転フレーム３５は、基板固定部５０が基板１の上面を垂直に押圧する範囲を超えて基板１のエッジ側へ張力を加えることができる範囲の回転角まで回転する。
【００３７】
一実施形態によれば、図２に示すように、ヒンジ部３０は、弾性体をさらに含む。この弾性体３２は、基板固定部５０が基板１の上面を垂直に押圧する範囲を超えて基板１のエッジ側へ張力を加えるように回転フレーム３５に弾性力を与える。弾性体３２の弾性力によって、回転フレーム３５が基板１の上面に接触する地点での垂直方向へ作用する垂直力だけではなく、基板１のエッジ側水平方向へ作用する張力を増加させることができる。これによって、基板１の捻りが最小化され、基板１が受け部１０上でより平たくひろがることができる。
【００３８】
例えば、弾性体３２は、ヒンジ又はヒンジ軸３１に設けられた軸型ばねであってもよい。軸型ばね３２は、弾性体の一例であって、これに限定するものではなく、他の構造の弾性体が使われてもよい。図２に示すように、ヒンジの内部又はヒンジ軸３１の外周に軸型ばね３２が設けられ、軸型ばね３２に連結された回転フレーム３５に回転力を伝達するようになる。軸型ばね３２の回転力を伝達された回転フレーム３５は、基板固定部５０が基板１の上面を垂直に押圧する範囲を超えて基板１のエッジ側へ張力を加えることができる範囲まで回転するようになる。
【００３９】
また、図３に示すように、一実施形態によれば、ヒンジ部３０はリフトアップフレーム３７をさらに含む。このリフトアップフレーム３７は、受け部１０と回転フレーム３５との間に基板１が介挿されるように回転フレーム３５を受け部１０から遠くなるように持ち上げる。リフトアップフレーム３７は、回転フレーム３５がヒンジ反対側へ延在された形態で設けられてもよい。また、示されていないが、リフトアップフレーム３７は回転フレーム３５と別個で連結された形態で設けられてもよい。リフトアップフレーム３７は、回転フレーム３５のリフトアップ動作方向と反対に動作するか、又は中間媒介体を介して回転フレーム３５のリフトアップ動作方向と同じ方向に作用してもよい。
【００４０】
他の実施形態によれば、ヒンジ部３０は、ヒンジ回転角の増加に伴って基板固定部５０が基板１に加える張力が増加している途中、所定範囲からヒンジ回転角の増加なしに張力が維持されるように回転力を付与する。例えば、ヒンジ回転角の一定範囲までは、回転力を増加させると共に、予め決められた範囲を超える回転角からは反対方向に回転力が加えられるようにできる。これによって、ヒンジ回転角の増加に伴って基板１に加えられる張力が増加している途中、ヒンジ回転角が所定範囲を超える地点からは反対方向に回転力が加えられるようになる。そのため、所定範囲からヒンジ回転角の増加なしに張力が維持されるようになる。結局、基板１の捻りを防止するために一定な程度の張力を与えるが、継続的な不要な張力の増加による基板１の追加的変形を防止するために、ヒンジ回転角の所定範囲からはヒンジ回転角の増加なしに張力が一定に維持されることができる。
【００４１】
例えば、図２に示すように、一実施形態によれば、ヒンジ又はヒンジ軸３１に軸型ばね３２が設けられることによって、ヒンジ回転角の所定範囲からはヒンジ回転角の増加なしに張力が一定に維持されるようにできる。一般に、軸型ばね３２は、一定な範囲の回転角までは弾性力による順方向回転力を与えるが、一定な範囲を越えると反対方向に回転するように弾性力を与える。それによって、軸型ばね３２は、ヒンジ回転角の増加に伴って張力が増加している途中、所定範囲からヒンジ回転角の増加なしに張力が維持されるように弾性力を与えることができる。ヒンジ回転角が増加してから止める地点は、基板１の重さによって基板中心に向けて水平方向へ作用する力と弾性力又は／及び回転力による張力とが平行になる地点である。これによって、基板１の捻りを最小化すると共に不要な張力による基板１の追加変形を防止することができる。
【００４２】
示されていないが、他の実施形態によれば、ヒンジ部３０のヒンジ高さが基板１の厚さによって調節される。すなわち、基板１の厚さによってヒンジ３１の高さが調節されることによって、ヒンジ部３０の回転体の回転力によって生成される張力が所定の大きさまで増加して保持されることができる。
【００４３】
続いて、基板固定用ジグユニットの基板固定部５０について詳記する。図１に示すように、基板固定部５０は、ヒンジ部３０の回転体の終端に設けられる。基板固定部５０は、ヒンジ部３０の回転によって基板の上面を押圧すると共に基板１のエッジ側方向に張力を加えて基板１を受け部１０上に平たく広げながら固定する。図１では、ヒンジ部３０の回転体である回転フレーム３５の終端に基板固定部５０が連結されることとして示したが、これに限定するものではない。例えば、ヒンジ部３０の回転体、例えば回転フレーム３５の終端が加工され、回転フレーム３５と一体に基板固定部が設けられてもよい。
【００４４】
図５を参照して、基板固定部５０で作用する力について詳記する。ヒンジ部３０の回転体、例えば回転フレーム３５の回転によって基板固定部５０が回転するようになる。基板１の上部と接触する地点において基板固定部５０の回転力Ｆが基板１の上部へ伝わる。基板固定部５０の回転力Ｆは、基板１を垂直に押圧する垂直力Ｆｖと基板１のエッジ側方向に作用する水平力Ｆｈとで構成される。基板１のエッジ側方向に作用する水平力Ｆｈが基板１に動作する張力になる。このような、基板１のエッジ側方向に作用する水平力Ｆｈ又は張力によって基板１が平たくひろがると共に基板固定部５０によって固定される。
【００４５】
図１を再度参照して、基板固定部５０について詳記する。一実施形態によれば、基板固定部５０は、回転体の回転によって共に回転する。基板１と基板固定部５０との接する回転角が変わるにつれ、基板１の上面と接する基板固定部５０の接触地点が変わる。
【００４６】
例えば、基板固定部５０の少なくとも基板の上面との接触箇所、すなわち、少なくとも基板１の上面と接する側の基板固定部５０の表面が断面弧形を成すようにすることによって、回転角が変わるにつれ、基板１の上面と接する基板固定部５０の接触地点が変わるようになる。また、少なくとも基板１の上面と接する側の基板固定部５０の表面が断面弧形を成すことによって、基板１の上面と接触する面積が減るようになる。例えば、図１では、基板固定部５０が断面円形で示されているが、これに限定するものではない。例えば、少なくとも基板１の上面と接する側の基板固定部５０の表面が断面弧形ならいずれも構わない。
【００４７】
また、図１に示すように、基板固定部５０は、断面弧形を成す基板固定部５０の上面に突設された複数の突起５１を含む。突起５１が基板１の上面をスライディングなしに押して張力を与える。突起５１は、基板固定部５０の表面に設けられた凹凸によって設けられてもよく、基板固定部５０の表面から突出するように貼り合せられて設けられてもよい。また、突起５１は、断面突起形状ならいずれも構わないため、基板固定部５０の表面に沿って長さ方向に長く突出されたものであってもよい。これによって、基板１が基板固定用ジグユニットから易しく抜けないようにできる。
【００４８】
また、一実施形態によれば、基板１の上面と接触する基板固定部５０の表面は、例えば、テフロン（登録商標）材料又は低い摩擦力を有する材料で構成されてもよい。低い摩擦力を有する表面と言っても、ヒンジ部３０の回転体、例えば回転フレーム３５によって与えられる張力が基板１へ伝達するのに障害にならないようにできる。
【００４９】
次に、本発明の第２の実施形態による基板移送装置について詳記する。前述の第１の実施形態による基板固定用ジグユニット及び図１〜図５を参照し、重複する説明は省略することにする。
【００５０】
図６は、本発明の他の一実施形態による基板移送装置の一部を概略的に示す模式図である。
【００５１】
図６に示すように、一実施形態によれば、基板１を移送する基板移送装置は、本体フレーム２００と基板固定用ジグユニット１００とを含む。基板固定用ジグユニット１００は、本体フレーム２００に沿って複数設けられ、基板１を締めて固定する。例えば、本体フレーム２００は、四角枠で構成されてもよく、該四角枠で構成される本体フレーム２００に沿って基板固定用ジグユニット１００が設けられる。図６の模式図は、基板移送装置のトレーに設けられる一つのフレームであってもよく、または他の実施形態によって、それ自体が一つの基板運搬装置であってもよい。基板固定用ジグユニット１００についての詳細は、前述の第１の実施形態及び図１〜図５を参照して示す。
【００５２】
基板移送装置は、例えば、薄板基板（図１における符号「１」）の高温工程で使われる基板運搬用装置である。
【００５３】
前述のように、本発明の実施形態によれば、ヒンジ部と基板固定部との動作によって、基板、例えば薄板基板がジグユニットに固定される時、捻りそれ自体が自然にひろがることができる。
【００５４】
また、基板固定時の張力が増加され続けると、高温工程通過時にまた他の変形誘発因子として作用するようになるが、一実施形態によれば、ヒンジ部に例えば、軸型ばねを備えて張力が増加してから一定に維持される位置に基板が固定され、基板固定部によって追加的な張力が作用しなくなるので、基板の変形の発生を最小化すると共に追加変形を引き起こす不要な追加張力が加えられないようにすることができる。
【００５５】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、前記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００５６】
１  基板
１０  受け部
１１  ローラ
３０  ヒンジ部
３１  ヒンジ又はヒンジ軸
３２  弾性体又は軸型ばね
３３  支持フレーム
３５  回転フレーム
３７  リフトアップフレーム
５０  基板固定部
５１  突起
１００  ジグユニット
２００  本体フレーム
【図１】
2014082492.tif 000003
【図２】
2014082492.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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