(57)【要約】【課題】粘着テープの搬送過程で行った外観検査によって見つかった不良品の粘着テープ片を自動で回収する。【解決手段】複数枚の粘着テープ片ｔａが設けられた長尺のキャリアテープＣＴを搬送する過程で粘着テープ片ｔａの外観不良を検査器２で検査する。当該検査の結果、不良判定された場合、剥離機構３に備わった剥離部材７の先端よりも前方に移動ローラ８を進出移動させ、剥離部材７から当該移動ローラ８にキャリアテープＣＴを巻き回して不良判定された粘着テープ片ｔａと一緒に当該キャリアテープＣＴをキャリアテープ回収部５に巻き取り回収する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定形状の粘着テープ片を供給する粘着テープ片供給方法であって、
複数枚の前記粘着テープ片が設けられた長尺のキャリアテープを搬送する搬送過程と、
前記搬送過程で粘着テープ片の外観不良を検査する検査過程と、
前記検査により良品判定された場合、先細りテーパ状の剥離部材で前記キャリアテープを折り返して巻き取り回収しつつ、前記粘着テープ片を当該キャリアテープから剥離して前方に供給する供給過程と、
前記検査により不良判定された場合、前記剥離部材の先端よりも前方に移動ローラを進出移動させ、当該移動ローラにキャリアテープを巻き回して不良判定された粘着テープ片と一緒に当該キャリアテープを巻き取り回収する不良回収過程と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ片供給方法。
【請求項２】
請求項１に記載の粘着テープ片供給方法において、
前記検査過程の前に、長尺の粘着テープを前記キャリアテープ上で所定形状にハーフカットして前記粘着テープ片を形成する切断過程を備える
ことを特徴とする粘着テープ片供給方法。
【請求項３】
所定形状の粘着テープ片を供給する粘着テープ片供給装置であって、
複数枚の前記粘着テープ片が設けられた長尺のキャリアテープを供給するテープ供給部と、
前記キャリアテープ上の粘着テープ片の外観を検査する検査器と、
先細りテーパ状の先端で前記キャリアテープを折り返して搬送しつつ、当該キャリアテープから良品判定された前記粘着テープ片を剥離してゆく剥離部材と、
前記剥離部材の先端よりも前方に進出移動し、不良判定された粘着テープ片を前記キャリアテープに貼り付けたまま回収方向に案内する移動ローラと、
前記キャリアテープを巻き取り回収するテープ回収部と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ片供給装置。
【請求項４】
請求項３に記載の粘着テープ片供給装置において、
長尺の粘着テープを前記キャリアテープ上で所定形状にハーフカットして前記粘着テープ片を形成する切断機構を備えた
ことを特徴とする粘着テープ片供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや電子基板などのワークの表面保護または支持用として貼り付けるワーク形状の粘着テープ片を供給する粘着テープ片供給方法および粘着テープ片供給装置に係り、特に長尺のキャリアテープ上に設けられた複数枚の当該粘着テープ片を外観検査し、良品の粘着テープ片のみを選別して供給する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
キャリアテープ上に設けられた所定形状の粘着テープ片の外観検査は、製造メーカの製造工程でオペレータの目視検査によって行われている。当該目視検査によって粘着層に発生しているピンホールおよび気泡並びに異物の付着などが発見された粘着テープ片は、不良品として判定される。当該不良品は、オペレータによって手作業でキャリアテープから剥離除去されている。
【０００３】
また、キャリアテープと同形状の粘着テープを貼り合わせてロール状で供給された粘着テープを、エンドユーザが粘着テープ片に加工している。すなわち、キャリアテープ上で粘着テープを所定形状の粘着テープ片にハーフカットする。その後にキャリアテープを剥離部材で折り返して粘着テープ片を当該キャリアテープから剥離して供給している（特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２３３７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来方法では次のような不都合および問題が生じている。
【０００６】
製造メーカの製造工程およびエンドユーザの加工工程のいずれの場合でも、外観検査で不良判定された粘着テープ片をオペレータが手作業でキャリアテープから剥離除去している。すなわち、不良品を剥離除去するために装置を停止させなければならず、作業効率を低下させているといった不都合が生じている。
【０００７】
また、オペレータによる目視検査なので、外観不良の粘着テープ片を見落として利用してしまうといった問題も生じている。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、キャリアテープ上またはセパレータ上に設けられた所定形状の粘着テープから外観不良の粘着テープ片を効率よく除去して供給することのできる粘着テープ片供給方法および粘着テープ片供給装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、所定形状の粘着テープ片を供給する粘着テープ片供給方法であって、
複数枚の前記粘着テープ片が設けられた長尺のキャリアテープを搬送する搬送過程と、
前記搬送過程で粘着テープ片の外観不良を検査する検査過程と、
前記検査により良品判定された場合、先細りテーパ状の剥離部材で前記キャリアテープを折り返して巻き取り回収しつつ、前記粘着テープ片を当該キャリアテープから剥離して前方に供給する供給過程と、
前記検査により不良判定された場合、前記剥離部材の先端よりも前方に移動ローラを進出移動させ、当該移動ローラにキャリアテープを巻き回して不良判定された粘着テープ片と一緒に当該キャリアテープを巻き取り回収する不良回収過程と、
を備えたことを特徴とする。
【００１０】
（作用・効果）  上記方法によれば、搬送過程にある粘着テープ片が不良判定されると、剥離部材の先端よりも前方に移動ローラが進出移動する。すなわち、剥離部材によって鋭角に折り返されていたキャリアテープが、移動ローラの曲面に沿って巻き替えられるので、粘着テープ片は、キャリアテープに貼り付いたまま巻き取り回収される。したがって、不良判定された粘着テープ片を除去するために製造ラインを一旦停止させる必要がないので、処理速度を向上させることができる。
【００１１】
なお、この方法において、例えば、検査過程の前に、長尺の粘着テープをキャリアテープ上で所定形状にハーフカットして粘着テープ片を形成する切断過程を備えてもよい。
【００１２】
この方法によれば、粘着テープの製造工程で実施していた検査工程を省くことができる。また、キャリアテープ上から粘着テープ片を剥離除去した位置を確認し、当該スペースをスキップさせる煩雑な処理も省くことができる。
【００１３】
また、この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
【００１４】
すなわち、所定形状の粘着テープ片を供給する粘着テープ片供給装置であって、
複数枚の前記粘着テープ片が設けられた長尺のキャリアテープを供給するテープ供給部と、
前記キャリアテープ上の粘着テープ片の外観を検査する検査器と、
先細りテーパ状の先端で前記キャリアテープを折り返して搬送しつつ、当該キャリアテープから良品判定された前記粘着テープ片を剥離してゆく剥離部材と、
前記剥離部材の先端よりも前方に進出移動し、不良判定された粘着テープ片を前記キャリアテープに貼り付けたまま回収方向に案内する移動ローラと、
前記キャリアテープを巻き取り回収するテープ回収部と、
を備えたことを特徴とする。
【００１５】
（作用・効果）  この構成によれば、検査器によって外観不良の粘着テープ片が検出されると、移動ローラが剥離部材の先端よりも前方に進出移動する。したがって、当該剥離部材から移動ローラにキャリアテープが巻き替えられる。ことのき、剥離部材よって折り返されるキャリアテープの角度に比べて移動ローラの曲面に沿った緩やかな角度でキャリアテープが搬送される。したがって、粘着テープ片は、キャリアテープから剥離されることなく巻き取り回収されてゆく。
【００１６】
なお、上記装置は、例えば、長尺の粘着テープを前記キャリアテープ上で所定形状にハーフカットして前記粘着テープ片を形成する切断機構を備えてもよい。
【００１７】
この構成によれば、キャリアテープ上で粘着テープ片を形成しながら、良品の粘着テープ片のみを効率よく供給することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の粘着テープ片供給方法および粘着テープ片供給装置によれば、粘着テープ片の供給工程および装置を停止させることなく、不良品の粘着テープ片をキャリアテープとともに巻き取り回収しつつ良品の粘着テープ片のみを供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施例の粘着テープ片供給装置の概略構成を示す正面図である。
【図２】粘着テープの平面図である。
【図３】良品の粘着テープ片の剥離動作を説明する模式図である。
【図４】良品の粘着テープ片の剥離動作を説明する模式図である。
【図５】良品の粘着テープ片の剥離動作を説明する模式図である。
【図６】不良品の粘着テープ片の巻き取り動作を説明する模式図である。
【図７】不良品の粘着テープ片の巻き取り動作を説明する模式図である。
【図８】不良品の粘着テープ片の巻き取り動作を説明する模式図である。
【図９】第２実施例の粘着テープ片供給装置の概略構成を示す正面図である。
【図１０】切断ローラの構成を示す斜視図である。
【図１１】変形例の粘着テープ片供給装置の概略構成を示す正面図である。
【図１２】変形例の粘着テープ片の貼り付け動作を示す模式図である。
【図１３】変形例の粘着テープ片の貼り付け動作を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
【００２１】
＜第１実施例＞
本実施例では、円形の粘着テープがキャリアテープに予め設けられている粘着テープを使用した場合を例にとって説明する。すなわち、図２に示すように、粘着テープＴは、長尺のキャリアテープＣＴ上に所定ピッチをおいて円形の粘着テープ片ｔａが予め設けられている。なお、粘着テープとしては、半導体ウエハや電子基板の表面に貼り付ける保護テープまたは半導体ウエハとリングフレームにわたって貼り付けるダイシングテープなどがあげられる。
【００２２】
本実施例の粘着テープ片供給装置は、図１に示すように、テープ供給部１、検査器２、剥離機構３、搬送機構４およびキャリアテープ回収部５などから構成されている。
【００２３】
テープ供給部１は、粘着テープＴをロール巻きした原反ロールを装着するボビンを備えている。このテープ供給部１は、原反ロールから繰り出された粘着テープＴを、ガイドローラを介して搬送しながら剥離機構３に供給するように構成されている。
【００２４】
検査器２は、例えば光学カメラを利用している。当該検査器は、搬送される粘着テープ片ｔａを撮像し、取得した画像データを制御部６に送信する。
【００２５】
剥離機構３は、剥離部材７および移動ローラ８などを備えている。剥離部材７は、装置フレームに水平に固定配備されており、粘着テープ片ｔａを水平に保持可能な扁平面を有する。また、剥離部材７は、先細りのテーパ状を有している。すなわち、剥離部材７は、先端でキャリアテープＣＴを折り返してキャリアテープ回収部５に案内する。  
【００２６】
移動ローラ８は、剥離部材７の下方基端よりに配備されている。当該移動ローラ８は、可動フレームに遊転自在に軸支されている。可動台は、エアーリンダなどのアクチュエータまたはリニアガイドによって、剥離部材７の基端側と先端よりも前方の位置を往復移動可能に構成されている。
【００２７】
搬送機構４は、可動台９および吸着テーブル１０を備えている。可動台９は、ガイドレール１１に沿って水平往復移動する。
【００２８】
吸着テーブル１０は、可動台９に装着されたエアーシリンダなどのアクチュエータによって昇降するよう構成されている。当該吸着テーブル１０は、粘着テープ片ｔａの直径以上の大きさを有する。したがって、吸着テーブル１０は、剥離部材７の上方の待機位置と剥離部材７上で粘着テープ片ｔａを吸着する位置、および、粘着テープ片ｔａを吸着後に粘着テープＴの送りに同調してその搬送方向に水平移動する。
【００２９】
キャリアテープ回収部５は、後述する不良品判定された粘着テープ片ｔａのみを貼り付けたまま回収ボビンに巻取るよう構成されている。
【００３０】
本実施例に係る粘着テープ片供給装置は以上のように構成されている。当該粘着テープ片供給装置を用いて粘着テープ片ｔａを供給および搬送する一巡の動作を、図３から図８を参照しながら説明する。
【００３１】
装置を作動させてテープ供給部１から粘着テープＴを繰り出し供給させる。粘着テープＴが剥離機構３に搬送される過程で、検査器２によって粘着テープ片ｔａを撮像する。当該画像データは、制御部６に送信される。制御部６は、予め求めた良品の粘着テープ片ｔａの基準画像と取得した実画像を、例えばパターンマッチング処理する。当該パターンマッチング処理により、粘着層に発生しているピンホール、気泡および異物の付着などの外観不良の有無を判別する。以下、良品判定された場合と不良品判定された場合とに分けて説明する。
【００３２】
＜良品判定の場合＞
良品判定された粘着テープ片ｔａは、剥離機構３へと搬送されてゆく。剥離機構３に到達した良品の粘着テープ片ｔａを、図３に示すように、剥離部材７上で停止させる。このとき、図４に示すように、吸着テーブル１０を下降させて粘着テープ片ｔａに当接させて吸着を開始する。
【００３３】
吸着テーブル１０が粘着テープ片ｔａを吸着すると、図５に示すように、粘着テープＴの送り速度に同調させて吸着テーブル１０をテープ搬送方向に移動させる。
【００３４】
吸着テーブル１０は、剥離部材７によってキャリアテープＣＴの剥離された粘着テープ片ｔａのみを吸着保持する。
【００３５】
吸着テーブル１０は、粘着テープ片ｔａを保持したまま上昇し、粘着テープ供給ラインに沿って当該粘着テープ片ｔａを所定のワーク貼り付け位置に搬送する。
【００３６】
なお、粘着テープ片ｔａの剥離されたキャリアテープＣＴは、キャリアテープ回収部５に案内されて逐次に巻き取り回収される。
【００３７】
＜不良品判定の場合＞
不良品判定された粘着テープ片ｔａは、剥離機構３へと搬送されてゆく。このとき、図６に示すように、移動ローラ８が、剥離部材７の先端よりも前方の位置に進出移動する。
【００３８】
移動ローラ８の移動に伴って、剥離部材７で折り返されていたキャリアテープＣＴが、移動ローラ８に巻き替えられる。すなわち、キャリアテープＣＴの折り返し角度が、剥離部材７を使用した場合の鋭角に比べて移動ローラ８を利用した場合は大きくな角度になる。つまり、移動ローラ８の曲面に沿った滑らかな曲率となる。したがって、不良品の粘着テープ片ｔａは、図７および図８に示すように、キャリアテープＣＴに貼り付いたままキャリアテープ回収部５に案内されて巻き取り回収される。
【００３９】
以上で一巡の粘着テープ片ｔａの供給および搬送が終了し、以後、同じ動作が繰り返される。
【００４０】
＜第２実施例＞
本実施例では、長尺の粘着テープＴの搬送過程で所定のワーク形状の粘着テープ片にハーフカットし、当該粘着テープ片を供給する場合を例にとって説明する。なお、上記第１実施例の装置と同一構成については、同一符号を付すに留め、詳細な説明を省略する。
【００４１】
粘着テープＴは、表面側に基材および裏面にセパレータＳが添設されている。当該セパレータＳがキャリアテープとして機能する。
【００４２】
粘着テープ片供給装置は、図９に示すように、テープ供給機構１６、テープ切断機構１７、ダンサローラ１８、不要テープ回収部１９、検査器２，剥離機構３、搬送機構４およびセパレータ回収部２１などから構成されている。
【００４３】
テープ供給機構１６は、粘着テープＴをロール巻きした原反ロールを装着するボビンを備えている。このテープ供給機構１６は、原反ロールから繰り出された粘着テープＴを、ダンサローラ１８を介して所定の搬送経路に導き、テープ切断機構１７を経て剥離機構３に供給されるように構成されている。
【００４４】
テープ切断機構１７は、同調駆動する切断ローラ２３と受けローラ２４を上下に対向配備している。切断ローラ２３は、図１０に示すように、切断刃２５を形成したシート２６を駆動ローラ２７に装着して構成されている。切断刃２５は、粘着テープＴを円形に切断する環状に形成されている。
【００４５】
受けローラ２４は、金属製の駆動ローラである。なお、切断ローラ２３または受けローラ２４の少なくとも一方が駆動シリンダによって昇降可能に構成されている。したがって、両ローラ２３、２４の間隙を粘着テープＴの厚みに応じて設定を変更可能に構成されている。
【００４６】
不要テープ回収部１９は、裏面側のセパレータＳ上で円形の粘着テープ片ｔａに切り抜かれたて連なった不要な粘着テープＴ’を、テープ送りローラ２８の直後にセパレータＳから剥離して回収ボビン２９に巻取るよう構成されている。したがって、粘着テープ片ｔａが残されたセパレータＳが、テープ剥離機構３に導かれる。
【００４７】
本実施例に係る粘着テープ片供給装置は以上のように構成されている。当該粘着テープ片供給装置を用いて粘着テープ片ｔａを供給および搬送する一巡の動作を説明する。
【００４８】
テープ供給機構１６は、帯状の粘着テープＴを繰り出し供給する。セパレータＳ付きの粘着テープＴは、テープ切断機構１７の切断ローラ２３と受けローラ２４の間を通過する過程で、回転駆動する切断ローラ２３によってセパレータＳ上で円形の粘着テープ片ｔａにハーフカットされてゆく。
【００４９】
ハーフカット済みの粘着テープＴは、ダンサローラ１８を経由して不要テープ回収部１９に送られる。この過程で不要テープ回収部１９は、粘着テープ片ｔａを切り抜いた後の不要な粘着テープＴ’をテープ送りローラ２８によって剥離し、回収ボビン２９に巻き取り回収してゆく。
【００５０】
粘着テープ片ｔａの残された裏面側のセパレータＳは、剥離機構３に向けて送られる。この搬送過程で、検査器２によって粘着テープ片ｔａを撮像する。当該画像データは、制御部６に送信される。制御部６は、予め求めた良品の粘着テープ片ｔａの基準画像と取得した実画像を、例えばパターンマッチング処理する。当該パターンマッチング処理により、粘着層に発生しているピンホール、気泡および異物の付着などの有無を判別する。以下、良品判定された場合と不良品判定された場合とに分けて説明する。なお、主要な剥離機構３と搬送機構４の構成および動作は同じなので、図３から図８を利用して説明する。
【００５１】
＜良品判定の場合＞
剥離機構３は、粘着テープ片ｔａが剥離位置に到達すると、ダンサローラ１８による粘着テープＴの引き込み作動によって、図３に示すように、粘着テープ片ｔａを剥離部材７上で停止させる。図４に示すように、同時に搬送機構４の吸着テーブル１０を下降させて粘着テープ片ｔａに当接させて吸着を開始する。
【００５２】
吸着テーブル１０が粘着テープ片ｔａを吸着すると、ダンサローラ１８を操作して粘着テープＴの送りを再開させる。このとき、図５に示すように、粘着テープＴの送り速度に同調させて吸着テーブル１０をテープ搬送方向に移動さる。
【００５３】
吸着テーブル１０は、剥離部材７によってセパレータＳの剥離された粘着テープ片ｔａのみを吸着保持する。同時にセパレータ回収部２１は、セパレータＳをボビンに巻き取り回収してゆく。
【００５４】
吸着テーブル１０は、粘着テープ片ｔａを保持したまま上昇し、粘着テープ供給ライン側の貼付け位置の上方に移動する。
【００５５】
吸着テーブル１０は、粘着テープ片ｔａを保持したまま上昇し、粘着テープ供給ラインに沿って当該粘着テープｔａを所定のワーク貼り付け位置に搬送する。
【００５６】
なお、粘着テープ片ｔａの剥離されたセパレータＳは、セパレータ回収部２１に案内されて逐次に巻き取り回収される。
【００５７】
＜不良品判定の場合＞
不良品判定された粘着テープ片ｔａは、剥離機構３へと搬送されてゆく。このとき、図６に示すように、移動ローラ８が、剥離部材７の先端よりも前方の位置に進出移動する。
【００５８】
移動ローラ８の移動に伴って、剥離部材７で折り返されていたセパレータＳが、移動ローラ８に巻き替えられる。すなわち、セパレータＳの折り返し角度が、剥離部材７を使用した場合の鋭角に比べて移動ローラ８を利用した場合は大きくなる。すなわち、滑らかな曲率となる。したがって、不良品の粘着テープ片ｔａは、図７および図８に示すよう、にキャリアテープＣＴに貼り付いたままキャリアテープ回収部５に案内されて巻き取り回収される。
【００５９】
以上で一巡の粘着テープ片ｔａの供給および搬送が終了し、以後、同じ動作が繰り返される。
【００６０】
上記各実施装置によれば、不良品の粘着テープ片ｔａを供給過程で選別して自動で巻き取り回収することができる。すなわち、不良判定された粘着テープ片ｔａを除去するために製造ラインを一旦停止させる必要がないので、処理速度を向上させることができる。また、外観不良の粘着テープ片ｔａを見落とすことなく検出し、確実に回収することもできる。
【００６１】
なお、本発明は以下のような形態で実施することもできる。
【００６２】
（１）上記各実施例装置は、良品の粘着テープ片ｔａを剥離しながらワークの表面に貼り付けるように構成してもよい。例えば、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）の回路面を保護する保護テープを貼り付ける場合を例にとって説明する。
【００６３】
図１１に示すように、剥離部材７を斜め傾斜姿勢で配備する。当該剥離部材７の下方に保持テーブル３０を配備するとともに、剥離部材７の先端より前側に貼付けローラ３１を配備する。
【００６４】
すなわち、キャリアテーＣＴから剥離された良品の粘着テープ片ｔａが、剥離部材７の先端から繰り出されると、図１２および図１３に示すように、貼付け位置で待機している保持テーブル３０上のウエハＷの端部に向けて貼付けローラ３１を下降させて押圧して貼り付ける。その後、粘着テープＴの搬送速度に同調させて保持テーブル３０を移動させることにより、キャリアテープＣＴから同じ速度で剥離される粘着テープｔａ上を貼付けローラ３１が転動する。したがって、貼付けローラ３１は、ウエハＷの全面に粘着テープ片ｔａを貼り付けてゆく。
【００６５】
なお、不良品の粘着テープ片ｔａをキャリアテープＣＴと一緒に巻き取り回収する場合、保持テーブル３０を移動ローラ８の進路を妨げない位置に退避させる。
【００６６】
（２）上記第１実施例装置は、第２実施例装置と同様にダンサローラを備える構成であってもよい。つまり、テープ供給部１からの粘着テープＴの繰り出しを止めることなく、剥離部材７上で粘着テープ片ｔａの搬送を停止可能な構成にしてもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１  …  テープ供給部
２  …  検査器
３  …  剥離機構
４  …  搬送器項
５  …  キャリアテープ回収部
６  …  制御部
７  …  剥離部材
８  …  移動ローラ
１０  …  吸着テーブル
Ｔ  …  粘着テープ
ＣＴ  …  キャリアテープ
ｔａ  …  粘着テープ片
Ｗ  …  ウエハ
【図１】
2014127653.tif 000003
【図２】
2014127653.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2014127653.tif 000009
【図８】
2014127653.tif 000010
【図９】
2014127653.tif 000011
【図１０】
2014127653.tif 000012
【図１１】
2014127653.tif 000013
【図１２】
2014127653.tif 000014
【図１３】
2014127653.tif 000015