(57)【要約】【課題】除害塔を安全に回収できる除害塔回収システムを提供するものである。【解決手段】給水口3を備えた給水装置101と、ガス回収口9を備えたガス回収装置102と、給水口3と接続される取水口と、ガス回収口9に接続されるガス排出口を備え、除害剤を収納した除害塔とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスの取入れ口と、ガス排出口と、取水口とを備え、除害剤を収納したことを特徴とする除害塔。
【請求項２】
前記取水口は、前記除害塔の下部に設けられたことを特徴とする請求項１記載の除害塔。
【請求項３】
給水口を備えた給水装置と、
ガス回収口を備えたガス回収装置と、
前記給水口と接続される取水口と、前記ガス回収口に接続されるガス排出口を備え、除害剤を収納した除害塔と
を有することを特徴とする除害塔回収システム。
【請求項４】
前記除害塔の取水口は、前記除害塔に有害な反応ガスを取り入れるガスの取入れ口を兼ねたことを特徴とする請求項３記載の除害塔回収システム。
【請求項５】
前記給水装置には、該給水装置に収納した水を前記給水口から該給水装置の外部に送り出す圧力を加えるガスの導入口を有することを特徴とする請求項３記載の除害塔回収システム。
【請求項６】
前記給水装置に収納した水を前記給水口から該給水装置の外部に送り出すポンプを備えたことを特徴とする請求項３記載の除害塔回収システム。
【請求項７】
さらに、前記給水装置と前記ガス回収装置とを搭載するとともに、前記除害剤全体が水に浸かるように該水で満たされた使用済みの除害塔を搭載する運搬手段を有することを特徴とする請求項３記載の除害塔回収システム。
【請求項８】
使用済みの除害剤を収納した除害塔を回収し、
該除害塔に、該除害剤全体が水に浸かるように該水を供給し、
該除害塔内に前記水が供給されることにより該除害塔から外部に放出されるガスを回収することを特徴とする除害塔回収方法。
【請求項９】
前記除害剤全体が水に浸かるように該水を供給し、前記除害塔から外に放出されるガスを回収した後、該除害塔を廃棄場所に運搬することを特徴とする請求項８記載の除害塔回収方法。
【請求項１０】
前記除害塔に水を供給する際に、該除害塔の下部から該水を供給することを特徴とする請求項８記載の除害塔回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除害塔、除害塔回収システム及び除害塔回収方法に関し、より詳しくは、除害塔回収システムに適応した除害塔、使用済みの除害塔を回収する除害塔回収システム及び除害塔回収方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、多くの半導体工場では、成膜やエッチングなどに使用した有害な反応ガスを無害化する除害剤を収納した除害塔を使用している。成膜やエッチングなどに使用した有害な反応ガスを除害塔に導入し、反応ガスを除害剤と化学的に反応させて無害化する。
【０００３】
そして、使用済みの除害塔は、トラックなど運搬手段に搭載して、廃棄場所まで運搬している。その際、使用済みの除害剤のなかには、まだ完全に反応が終わっていないものも含まれており、運搬途中で大気中の酸素と反応して発熱し、最悪の場合、爆発する危険性がある。そのため、除害塔に窒素を充填し、除害剤が酸素に触れないようにして運搬している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１−０２１２１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、運搬途中で、除害塔から窒素ガスが漏れて除害剤が大気中の酸素と触れる恐れがある。或いは、交通事故などに遭遇した場合、除害塔が破損して窒素ガスが飛散し、除害剤が大気中の酸素と触れる恐れがある。
【０００６】
本発明は、上述の問題点に鑑みて創作されたものであり、除害塔を安全に回収できる除害塔回収システム及び除害塔回収方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明の一観点によれば、ガスの取入れ口と、ガス排出口と、取水口とを備え、除害剤を収納したことを特徴とする除害塔が提供される。
【０００８】
本発明の他の一観点によれば、給水口を備えた給水装置と、ガス回収口を備えたガス回収装置と、前記給水口と接続される取水口と、前記ガス回収口に接続されるガス排出口を備え、除害剤を収納した除害塔とを有することを特徴とする除害塔回収システムが提供される。
【０００９】
本発明の別の一観点によれば、使用済みの除害剤を収納した除害塔を回収し、該除害塔に、該除害剤全体が水に浸かるように該水を供給し、該除害塔内に前記水が供給されることにより該除害塔から外部に放出されるガスを回収することを特徴とする除害塔回収方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、給水口を備えた給水装置と、ガス回収口を備えたガス回収装置と、前記給水口と接続される取水口と、前記ガス回収口に接続されるガス排出口を備え、除害剤を収納した除害塔とを有する。
【００１１】
そして、使用済みの除害剤全体が水に浸かるように除害塔に水を供給するとともに、除害塔から外部に放出されるガスを回収している。
【００１２】
このように、使用済みの除害剤全体が水に浸かるようにしているため、除害剤は大気中の酸素に触れない。このため、使用済みの除害塔を安全に回収できる。
【００１３】
また、廃棄場所まで運搬中に、除害塔が破損して水が漏れ、除害剤が大気中に露出しても、除害剤は水分を吸収しているため、すぐには、大気中の酸素に触れない。よって、その間に、安全な対策が採れるため、使用済みの除害塔を安全に回収できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係る除害塔回収システムの構成を示す図（その１）である。
【図２】本発明の実施形態に係る除害塔回収システムの構成を示す図（その２）である。
【図３】本発明の実施形態に係る除害塔回収方法を示す図（その１）である。
【図４】本発明の実施形態に係る除害塔回収方法を示す図（その２）である。
【図５】本発明の実施形態に係る除害筒回収システムの変形例の構成を示す図である。
【図６】（ａ）は、本発明の実施形態に係る除害塔の第１変形例の構成を示す図であり、（ｂ）は、同じく、第２変形例の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１６】
（１）本実施形態の除害塔回収システムの構成の説明
図１は、本発明の実施形態に係る除害塔回収システムを示す図である。
【００１７】
除害塔回収システムは、給水タンク（給水装置）101と、ガス回収用除害塔（ガス回収装置）102と、図２に示す、成膜やエッチングなどに使用した有害な反応ガスを除害剤により無害化する除害処理が行われ、除害剤が消費された後に安全処理が施される除害塔103とを備えている。
【００１８】
給水タンク101とガス回収用除害塔102を図４に示す輸送用トラック（運搬手段）104に搭載して除害塔が設置された半導体製造工場まで出かけ、使用済みになった除害塔103を回収し、安全処理を施して廃棄場所まで運搬する。
【００１９】
除害塔回収システムとして、給水タンク101とガス回収用除害塔102と除害塔103のみならず、輸送用トラック（運搬手段）104まで含めることもできる。
【００２０】
給水タンク101は、使用済みの除害塔に給水するために用いられる。
【００２１】
タンク101上部に設けられた取水口１と、給水タンク101内に収納された水を給水タンク101外部に送出する圧力を加えるためのガスを給水タンク内に取り込む、給水タンク101上部に設けられたガスの取入れ口2と、給水タンク101内に収納された水4を使用済みの除害塔に供給するため給水タンク101の外部に送出する、給水タンク101上部に設けられた給水口3とを有する。
【００２２】
この実施形態では、給水口3に導管5が挿入されて、導管5の一端が水中に漬けられ、その他端が給水タンク101の外部に引き出されて使用済みの除害塔の取水口に接続される。
【００２３】
また、水に圧力を加えるためのガスは、図示しない高圧ガスボンベに収納された窒素ガス、その他不活性ガスが好ましい。高圧ガスを使用する理由は、現地では、電気設備がなく電気を使えないことが多いため、電気を使わなくても作業を容易に行うことができるためである。
【００２４】
なお、現地に電気設備が設置されている場合や、発電機を用意できる場合には、電動ポンプを使って、水を送ることもできる。或いは、流体圧力を使ったポンプを用いてもよい。
【００２５】
ガス回収用除害塔102は、使用済みの除害塔内に供給された水により除害塔から放出される、十分に無害化されていないガスをより完全に無害化して回収するために用いられる。
【００２６】
ガス回収用除害塔102は、使用済みの除害塔から放出されるガスを配管8を通して回収するガス回収口9と、除害塔102内に除害剤10が収納され、除害塔102上部に、使用済みの除害塔から放出されるガスを回収するガス回収口9を備えている。
【００２７】
この実施例では、ガス回収口9に配管8の一端が接続され、他端7が使用済みの除害塔のガス排出口に接続される。
【００２８】
また、除害剤10として、シラン系ガス、アルシン(AsH3)、フォスフィン(PH3)などに対する除害剤となる酸化銅（CuO）や亜酸化銅（Cu2O）が用いられる。
【００２９】
図２は、除害塔回収システムに適応した、安全処理が施される除害塔103の構成を示す図である。
【００３０】
除害塔103は、円筒状の容器内に除害剤13が収納されている。円筒状の容器の下部には、成膜やエッチングなどに使用した有害な反応ガスを取り入れるガスの取入れ口11が配置され、容器の上部には、無害化処理した反応ガスを排出するガス排出口12が配置されている。除害剤13として、除害剤10と同じ、シラン系ガス、アルシン(AsH3)、フォスフィン(PH3)などに対する除害剤となる酸化銅（CuO）や亜酸化銅（Cu2O）が用いられている。
【００３１】
ガスの取入れ口11は、使用済みになった除害塔103を回収し、廃棄場所まで運搬するため、安全処理が施されるときに、給水タンク101から供給された水を取り入れる取水口11として使用される。また、ガス排出口12は、安全処理が施されるときに、使用済みの除害塔内に供給された水により除害塔から放出される有害なガスを放出するガス排出口12として使用される。
【００３２】
取水口11により容器の下部から給水することにより、容器の上部から給水する場合と比べて、除害剤13をより完全に水に接触させることができる。
【００３３】
（２）本実施形態の除害塔回収方法の説明
次に、図１〜図４を参照しながら、除害塔回収方法について説明する。
【００３４】
トラックの荷台に、水を収納した給水タンク101、除害剤を収納したガス回収用除害塔102及び高圧窒素ガスボンベを搭載し、除害処理が行われて使用済みになった除害塔103がある半導体製造工場まで出かける。なお、半導体製造工場では、成膜やエッチングなどに使用した有害な反応ガスをガスの取入れ口11から除害塔103に取り込み、除害剤に通すことにより反応ガスを無害化することで、除害処理が行われている。
【００３５】
次いで、工場から使用済みの除害塔103を運びだす。給水タンク101の給水口3に導管5を挿入し、一端を水に漬け、他端6を除害塔103の取水口11に接続する。また、除害塔103のガス排出口12に配管8の一端7を接続し、他端をガス回収用除害塔102のガス回収口9に接続する。
【００３６】
次に、給水タンク101のガスの取入れ口２に高圧窒素ガスボンベのガス放出口を接続する。このとき、高圧ガスがタンク外に抜けないように、給水タンク101の取水口1は密閉される。
【００３７】
次いで、ガスボンベのバルブを開けて、高圧窒素ガスを給水タンク101内に導入する。これにより、給水タンク101内部の圧力が高くなって、水が導管5を通して流出し、除害塔103内に導入される。除害塔103内の水が増えるにつれて、除害塔103内に残留していた有害なガスは、ガス排出口12から外に排出されてくる。そのガスは、配管8を通して、ガス回収用除害塔102内に導き入れられる。
【００３８】
ガス回収用除害塔102内で、有害なガスは、除害剤10により無害化される。
【００３９】
除害塔103内の除害剤13が水没したら、除害塔103の取水口11及びガス排出口12を密閉するとともに、ガスボンベのバルブを閉めて高圧窒素ガスの供給を止める。さらに、ガス回収用除害塔102のガス回収口9も密閉する。この状態を図４に示す。
【００４０】
そして、この状態で、使用済みの除害塔103を廃棄場所まで運搬する。
【００４１】
以上のように、本実施形態の除害塔回収方法によれば、運搬中、使用済みの除害塔103では、除害剤13全体が水に浸かっているため、除害剤13は大気中の酸素に触れない。このため、除害剤13と酸素の発熱反応が防止されるので、使用済みの除害塔103安全に廃棄場所まで運搬できる。
【００４２】
さらに、廃棄場所まで運搬中に、除害塔103が破損して水が漏れ、除害剤13が大気中に露出しても、除害剤13は水分を吸収しているため、すぐには、大気中の酸素に触れない。よって、その間に、安全な対策を採ることができる。
【００４３】
以上のように、本実施形態に係る除害塔回収システムによれば、使用済みの除害塔103の安全な回収を行うことができる。
【００４４】
（３）本実施形態に係る除害塔回収システムの変形例の構成の説明
図５は、本実施形態に係る除害塔回収システムの変形例の構成を示す図である。
【００４５】
図１の除害塔回収システムと異なるところは、給水タンク101から水を送出するのに、高圧ガスを用いずに電動ポンプ14を用いている点である。現地に電気設備が設置されている場合や、発電機を用意できる場合には、電動ポンプ14を使って、水を送ることができる。
【００４６】
電動ポンプ14は、給水タンク101aの給水口3と除害塔103の取水口11をつなぐ導管5aの途中に設けられる。
【００４７】
図５中、符号6aは、除害塔103の取水口11に接続された導管5aの他端を示す。その他、図１と同じ符号で示すものは、図１と同じものを示す。
【００４８】
（４）本発明の実施形態に係る除害塔の変形例の構成の説明
図２に示す、本発明の除害塔回収システムに用いられる除害塔103では、取水口11として、成膜やエッチングなどに使用した有害な反応ガスを除害塔103に取り入れるガス取入れ口11を利用しているが、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、ガスの取入れ口11aと別に、専用の取水口11bを設けてもよい。図６（ａ）では、除害塔103の下部に、ガスの取入れ口11aと隣接して専用の取水口11bが設けられた例を示し、図６（ｂ）では、除害塔103の上部に専用の取水口11bが設けられた例を示す。
【００４９】
また、図２に示す、本発明の除外システムに用いられる除害塔103では、ガス取入れ口11aが、除害塔103の下部に設けられているが、除害塔103の上部に設けられてもよい。
【００５０】
以上、実施の形態によりこの発明を詳細に説明したが、この発明の範囲は上記実施の形態に具体的に示した例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の上記実施の形態の変更はこの発明の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５１】
1, 11, 11b…取水口、2, 11a…ガスの取入れ口、3…給水口、4…水、5、5a…導管、6、6a…導管の他端、7…配管の一端、8…配管、9…ガス回収口、10, 13…除害剤、12…ガス排出口、14…電動ポンプ、101、101a…給水タンク（給水装置）、102…ガス回収用除害塔、103…使用済みの除害塔、104…トラック（運搬手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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