【手続補正書】
【提出日】令和3年1月29日(2021.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置であって、
半導体処理ツールの中でウエハハンドリングロボットのエンドエフェクタによって運ばれる大きさのプラットフォームと、
第１の加速度計と、
第２の加速度計と、
通信インターフェースと、
１つ以上のプロセッサと、前記１つ以上のプロセッサに操作可能に接続されているメモリとを含むコントローラとを備え、
前記第１の加速度計及び前記第２の加速度計は、前記プラットフォームに垂直な方向に沿って見たときに、前記プラットフォーム上の、前記装置の重心と交差する共通軸に沿って隔たれた場所に位置決めされ、
前記メモリは、前記１つ以上のプロセッサが、
前記第１の加速度計及び前記第２の加速度計によって生成された加速度データを取得し、
前記通信インターフェースを通じて前記加速度データを送る、
ように制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、
装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、
前記第１の加速度計及び前記第２の加速度計は、２軸加速度計又は３軸加速度計であり、
前記加速度データは、前記共通軸に平行な前記第１の加速度計の第１の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第１の軸に垂直な前記第１の加速度計の第２の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第１の加速度計からのデータを含み、
前記加速度データは、更に、前記共通軸に平行な前記第２の加速度計の第１の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第１の軸に垂直な前記第２の加速度計の第２の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第２の加速度計からのデータを含み、
前記メモリは、更に、前記加速度データを使用して前記プラットフォームの面内における前記装置の前記重心を中心とする回転加速度を決定するように前記１つ以上のプロセッサを制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、装置。
【請求項３】
請求項２に記載の装置であって、
前記加速度データを使用して前記プラットフォームの面内における前記装置の前記重心を中心とする回転加速度を決定するように前記１つ以上のプロセッサを制御するための前記コンピュータ実行可能命令は、
前記装置の前記重心における、前記第２の軸に平行な軸に沿うＣＧ加速度の大きさを決定するように、
少なくとも一部には、前記第１の加速度計からの前記第２の軸に沿う前記加速度の大きさから前記ＣＧ加速度の大きさを減算することによって、第１の接線加速度の大きさを決定するように、
少なくとも前記第１の接線加速度の大きさ、及び前記装置の前記面内における前記第１の加速度計と前記装置の前記重心との間の距離を使用して、前記回転加速度を決定するように、
前記１つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、装置。
【請求項４】
請求項３に記載の装置であって、更に、
前記プラットフォーム上に位置決めされ且つ前記装置の前記重心に位置付けられた第３の加速度計を備え、
前記加速度データは、更に、前記第１の加速度計の前記第２の軸に平行な軸に沿う加速度の大きさを示す前記第３の加速度計からのデータを含み、
前記ＣＧ加速度の大きさを決定するように前記１つ以上のプロセッサを制御するための前記命令は、前記第１の加速度計の前記第２の軸に平行な前記軸に沿う前記第３の加速度計からの前記加速度の大きさを、前記ＣＧ加速度の大きさとして前記１つ以上のプロセッサに使用させる、装置。
【請求項５】
請求項３に記載の装置であって、
前記第１の加速度計及び前記第２の加速度計は、前記装置の前記重心から等距離にあり、
前記ＣＧ加速度の大きさを決定するように前記１つ以上のプロセッサを制御するための命令は、前記ＣＧ加速度の大きさを得るために、前記第１の加速度計からの前記第２の軸に沿う前記加速度の大きさと、前記第２の加速度計からの前記第２の軸に沿う前記加速度の大きさとを前記１つ以上のプロセッサに平均化させる、装置。
【請求項６】
請求項３に記載の装置であって、
前記加速度データを使用して前記プラットフォームの面内における前記装置の前記重心を中心とする回転加速度を決定するように前記１つ以上のプロセッサを制御するための前記コンピュータ実行可能命令は、さらに、前記１つ以上のプロセッサに、
少なくとも一部には、前記第２の加速度計からの前記第２の軸に沿う前記加速度の大きさから前記ＣＧ加速度の大きさを減算することによって、第２の接線加速度の大きさを決定させ、
少なくとも前記第１の接線加速度の大きさ、前記装置の前記面内における前記第１の加速度計と前記装置の前記重心との間の距離、前記第２の接線加速度の大きさ、及び前記装置の前記面内における前記第２の加速度計と前記重心との間の距離を使用して、前記回転加速度を決定させる、
命令を含む、装置。
【請求項７】
請求項１に記載の装置であって、
前記第１の加速度計及び前記第２の加速度計は、２軸加速度計又は３軸加速度計であり、
前記加速度データは、前記共通軸に平行な前記第１の加速度計の第１の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第１の軸に垂直な前記第１の加速度計の第２の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第１の加速度計からのデータを含み、
前記加速度データは、また、前記共通軸に平行な前記第２の加速度計の第１の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第１の軸に垂直な前記第２の加速度計の第２の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第２の加速度計からのデータを含み、
前記第１の加速度計及び前記第２の加速度計は、前記装置の前記重心から等距離間隔にあり、
前記コンピュータ実行可能命令は、
前記第１の加速度計の前記第１の軸に沿う加速度の大きさと、前記第２の加速度計の前記第１の軸に沿う加速度の大きさとを平均化することによって、前記第１の軸に平行な第１のＣＧ軸に沿う前記装置の前記重心における第１のＣＧ加速度の大きさを決定し、
前記第１の加速度計の前記第２の軸に沿う加速度の大きさと、前記第２の加速度計の前記第２の軸に沿う加速度の大きさとを平均化することによって、前記第２の軸に平行な第２のＣＧ軸に沿う前記装置の前記重心における第２のＣＧ加速度の大きさを決定するように、
前記１つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、装置。
【請求項８】
請求項１に記載の装置であって、
前記第１の加速度計及び前記第２の加速度計は、２軸加速度計又は３軸加速度計であり、
前記加速度データは、前記共通軸に平行な前記第１の加速度計の第１の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第１の軸に垂直な前記第１の加速度計の第２の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第１の加速度計からのデータを含み、
前記加速度データは、また、前記共通軸に平行な前記第２の加速度計の第１の軸に沿う加速度の大きさ及び前記第１の軸に垂直な前記第２の加速度計の第２の軸に沿う加速度の大きさを示す前記第２の加速度計からのデータを含み、
前記装置の前記重心が前記第１の加速度計と前記第２の加速度計との間にあるように、前記第１の加速度計は、前記装置の前記重心から第１の距離に位置決めされ、前記第２の加速度計は、前記装置の前記重心から第２の距離に位置決めされ、
前記コンピュータ実行可能命令は、
前記第２の加速度計からの前記第１の軸に沿う前記加速度の大きさを前記第１の距離と乗算したものと、前記第１の加速度計からの前記第１の軸に沿う前記加速度の大きさを前記第２の距離と乗算したものとの和を、前記第１の距離と前記第２の距離との和で除算することによって、前記第１の軸に平行な第１のＣＧ軸に沿う前記装置の前記重心におけるＣＧ加速度の大きさを決定し、
前記第２の加速度計からの前記第２の軸に沿う前記加速度の大きさを前記第１の距離と乗算したものと、前記第１の加速度計からの前記第２の軸に沿う前記加速度の大きさを前記第２の距離と乗算したものとの和を、前記第１の距離と前記第２の距離との和で除算することによって、前記第２の軸に平行な第２のＣＧ軸に沿う前記装置の前記重心におけるＣＧ加速度の大きさを決定するように、
前記１つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、装置。
【請求項９】
請求項７に記載の装置であって、更に、
前記プラットフォーム上に位置決めされ且つ前記装置の前記重心に位置付けられた第３の加速度計を備え、
前記コンピュータ実行可能命令は、更に、
第１の加速度差分を決定するために、前記第１の及び前記第２の加速度計の前記第１の軸に平行な軸に沿う前記第３の加速度計からの加速度の大きさを前記第１のＣＧ加速度の大きさと比較し、
第２の加速度差分を決定するために、前記第１の及び前記第２の加速度計の前記第２の軸に平行な軸に沿う前記第３の加速度計からの加速度の大きさを前記第２のＣＧ加速度の大きさと比較し、
前記第１の加速度差分と、前記第２の加速度差分と、前記第１の加速度差分及び前記第２の加速度差分とからなる群から選択された少なくとも１つの項目を第１の閾値と比較することによって、エラー条件が存在するかどうかを決定し、
前記エラー条件が存在するとの決定を受けて、第１のエラーコード信号を前記通信インターフェースが送信するように、
前記１つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の装置であって、
前記コンピュータ実行可能命令は、更に、
前記第１の及び前記第２の加速度計の前記第２の軸に平行な軸に沿う、前記装置の前記重心におけるＣＧ加速度の大きさを決定し、
少なくとも一部には、前記第１の加速度計からの前記第２の軸に沿う加速度の大きさから前記ＣＧ加速度の大きさを減算することによって、第１の接線加速度の大きさを決定し、
少なくとも一部には、前記第２の加速度計からの前記第２の軸に沿う前記加速度の大きさから前記ＣＧ加速度の大きさを減算することによって、第２の接線加速度の大きさを決定し、
ａ）前記第１の接線加速度の大きさが前記第２の接線加速度の大きさと方向が反対であるか否か、及びｂ）前記第１の接線加速度の大きさの絶対的大きさと前記第２の接線加速度の大きさの絶対的大きさとが互いから第２の閾値以内であるか否かを決定するために、前記第１の接線加速度の大きさを前記第２の接線加速度の大きさと比較し、
ａ）又はｂ）のいずれか又は両方が満たされないことを受けて、第２のエラーコード信号を前記通信インターフェースが送信するように、
前記１つ以上のプロセッサを制御するための命令を含む、装置。
【請求項１１】
装置であって、
公称基板サイズを有する１枚以上の基板を内包する正面開口式一体型ポッド（ＦＯＵＰ）を受けるようにそれぞれ構成された１つ以上のロードポートを有する機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）と、
１つ以上の半導体処理チャンバと、
前記ＥＦＥＭと前記１つ以上の半導体処理チャンバとの間に挿入されているロードロックと、
テストウエハを受ける大きさである、前記ＥＦＥＭの内と前記ＥＦＥＭの隣とからなる群から選択された場所に位置付けられているテストウエハ容器と、
前記ＥＦＥＭの中に位置付けられ、前記１つ以上のロードポートと前記ロードロックとの間でウエハを搬送するように構成されているエンドエフェクタを有するウエハハンドリングロボットと、
１つ以上のプロセッサ及び１つ以上のメモリとを備え、
前記１つ以上のメモリは、
前記１つ以上の半導体処理チャンバに、前記１つ以上の半導体処理チャンバの中に置かれた基板に対して１つ以上の半導体処理動作を実施し、
前記ウエハハンドリングロボットに、前記基板に対して実施される前記半導体処理動作によって進められるスケジュールに従って前記１つ以上のロードポートと前記ロードロックとの間で基板を搬送させ、
前記ウエハハンドリングロボットに、前記テストウエハ容器から前記テストウエハを取り出すこと、前記テストウエハによって診断テストを実施すること、前記テストウエハを前記テストウエハ容器に戻すことを含むテストサイクルを、前記テストサイクルによって前記１つ以上のロードポートと前記ロードロックとの間における基板の搬送が中断されないように選択されたテスト期間中に実施させるように、
前記１つ以上のプロセッサを制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、
装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の装置であって、更に、
テストウエハを備え、
前記テストウエハは、
前記ウエハハンドリングロボットの前記エンドエフェクタによって運ばれる大きさのプラットフォームと、
第１の加速度計と、
第２の加速度計とを備え、
前記第１の加速度計及び前記第２の加速度計は、前記プラットフォームに垂直な方向に沿って見たときに、前記プラットフォーム上の前記テストウエハの前記重心と交わる共通軸に沿って隔たれた場所に位置決めされ、
前記１つ以上のメモリはさらに、
前記第１の加速度計及び前記第２の加速度計から加速度データを取得するように、
前記１つ以上のプロセッサを制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、
装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載の装置であって、
前記テストウエハ容器は、前記ＥＦＥＭに対して固定された場所と、前記テストウエハが前記ＥＦＥＭから前記テストウエハ容器に挿入されることを可能にする大きさの開口によって前記テストウエハ容器が前記ＥＦＥＭに接続されるように前記ＥＦＥＭに隣接する場所と、前記ＥＦＥＭの隅のうちの１つに位置決めされた場所とからなる群から選択された１つ以上の場所に位置決めされ、前記ＥＦＥＭは、前記基板に垂直な方向から見たときに実質的に矩形の内部容積を有する、装置。
【請求項１４】
請求項１１に記載の装置であって、
前記テストサイクルは、更に、前記テストウエハ上の少なくとも１つの加速度計から導出されたデータを、前記テストウエハ上の少なくとも１つの他の加速度計から導出されたデータと比較することによって、前記テストウエハに対して加速度較正チェックを実施することを含む、装置。
【請求項１５】
請求項１１に記載の装置であって、
前記メモリは、
前記ウエハハンドリングロボットに、前記テストサイクル中に前記テストサイクルに関係付けられた１つ以上の動きを実施させ、
前記テストサイクル中に前記テストウエハ上の１つ以上の加速度計によって収集されたデータを受信し、
前記テストウエハ上の前記１つ以上の加速度計によって収集された前記データが、前記１つ以上の動きに関係付けられた１つ以上の基準に関わるテスト条件に合格するかどうかを決定し、
前記１つ以上の加速度計によって収集された前記データが前記テスト条件に合格しないとの決定を受けて、エラー条件信号を生成するように、
前記ツールコントローラの前記１つ以上のプロセッサを制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の装置であって、
前記メモリは、更に、基本のスケジュールに従って反復方式で前記テストサイクルを定期的に実施するように前記ツールコントローラの前記１つ以上のプロセッサを制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、装置。
【請求項１７】
請求項１５に記載の装置であって、前記エラー条件信号は、前記ウエハハンドリングロボットが修理を必要とすることを示す情報を含む、装置。
【請求項１８】
請求項１２に記載のシステムであって、
前記テストウエハはさらに、通信インターフェースを含み、
２以上のプロセッサおよび２以上のメモリが存在し、
前記２以上のプロセッサの少なくとも１つ、および前記２以上のメモリの少なくとも１つは、前記プラットフォームによって支持されているテストウエハコントローラの一部であり、前記２以上のプロセッサの少なくとも他の１つ、および前記２以上のメモリの少なくとも他の１つは、前記半導体処理ツールの部分であるツールコントローラの一部であり、
前記テストウエハコントローラの前記少なくとも１つは、前記通信インターフェースを介して前記加速データを前記ツールコントローラに送信するように、前記テストウエハコントローラの前記少なくとも１つを制御するためのコンピュータ実行可能命令を格納する、システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
一部のこのような実現形態では、装置は、更に、プラットフォーム上に位置決めされ且つ装置の重心に位置付けられた第３の加速度計を含んでいてよい。このような実現形態では、加速度データは、更に、第１の加速度計の第２の軸に平行な軸に沿う加速度の大きさを示す第３の加速度計からのデータを含んでいてよく、ＣＧ加速度の大きさを決定するように１つ以上のプロセッサを制御するための命令は、第１の加速度計の第２の軸に平行な軸に沿う第３の加速度計からの加速度の大きさを、ＣＧ加速度の大きさとして１つ以上のプロセッサに使用させてよい。代替の又は追加のこのような実現形態では、第１の加速度計及び第２の加速度計は、装置の重心から等距離間隔にあってよく、ＣＧ加速度の大きさを決定するように１つ以上のプロセッサを制御するための命令は、ＣＧ加速度の大きさを得るために、第１の加速度計からの第２の軸に沿う加速度の大きさと、第２の加速度計からの第２の軸に沿う加速度の大きさとを１つ以上のプロセッサに平均化させてよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
第１の軸１２２及び第２の軸１２４に沿うＣＧにおける加速度が、第１の加速度計１１４及び第２の加速度計１１６からのデータに基づいて決定されると、このような加速度は、一部の実現形態では、（存在する場合）随意の第３の加速度計１１８からの加速度データと比較されてよい（計算されたＣＧ加速度を第３の加速度計１１８からのデータに照らしてチェックすることが望まれない場合、図４の技術は、一部の実現形態では、ブロック４０４／４０８の後に停止されてよい）。例えば、ブロック４１０では、第３の加速度計１１８から、第１のＣＧ軸及び第２のＣＧ軸に沿う加速度の大きさが得られてよい。これは、２つの異なるセンサシステムから得られた重心における加速度の大きさ、すなわち、第１の軸１２２及び第２の軸１２４に平行な軸に沿ってＣＧ１２６において第３の加速度計１１８によって直接測定されたデータと、第１の加速度計１１４及び第２の加速度計１１６からの加速度データから導出された計算された加速度の大きさとが、ブロック４１２において比較されることを可能にする。総じて、両データ源からの加速度の大きさは、時間に相関性があるとともに大きさが同一又は同様であることが望ましい。すなわち、総じて、第３の加速度計からの加速度の大きさと、第１の及び第２の加速度計からの加速度データから計算された加速度の大きさとの間の差分は、所定の量未満であることが望ましい。したがって、第３の加速度計１１８は、第１の加速度計１１４及び第２の加速度計１１６のチェック又は検証として使用されてよく、その逆もまた、同様であってよい。もし、チェック又は検証に合格しなかったならば、ブロック４１４において、エラー条件が存在することを示すエラーコード信号が例えばコントローラによって生成されてよい（もし、チェック又は検証に合格したならば、エラーコード信号は生成されなくてよい（ブロック４１６を参照）。例えばテストウエハのコントローラ、又はこのような処理がテストウエハ外でなされるシステムにおけるウエハハンドリングロボットなどリモートシステムのコントローラは、第３の加速度計１１８からの加速度の大きさを、第１の加速度計１１４及び第２の加速度計１１６から得られたデータから計算された加速度の大きさと比較してよい。このような比較は、例えば対応する加速度成分を別々にチェックするやり方、すなわち、第１の軸に沿う加速度の大きさをチェックし次いでそれとは別に第２の軸に沿う加速度の大きさをチェックする成分ごとのやり方でなされてよい、又はそれよりも包括的な、例えば各ＣＧデータ群についてＣＧ１２６における平面合成加速度を計算するやり方でなされてよい。例えば、平面合成加速度は、ａ）第１の軸に平行な軸に沿うＣＧにおける加速度の大きさの二乗と、ｂ）第２の軸に平行な軸に沿うＣＧにおける加速度の大きさの二乗との和の平方根をとることによって決定されてよい。同様の計算が、第３の加速度計１１８からのデータについてもなされてよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2018129509.tif 000001