(57)【要約】【課題】磁気センサと磁石との間の横方向への軸ずれの許容範囲を広くし、簡単な構成で、安価に、回転角度の検出精度を高める。【解決手段】磁気センサ４を基点として磁石２と反対側に磁性体６Ａを配置する。この磁性体６Ａの磁気センサ４を挟んで磁石２の一方の面２ａに平行に対向する面の中央部に磁石２側に突出した凸部６ａを設ける。これにより、磁気センサ４の感磁面４ａに作用する磁石２からの磁束の流れが比較的水平とされ、磁気センサ４の感磁面４ａに作用するＸ方向およびＹ方向の磁束密度が均一となり、磁気センサ４と磁石２との間の横方向への軸ずれによる磁束密度の変動が小さくなり、回転角度の検出精度の悪化が抑えられる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸と、この回転軸の軸心を中心として回転する径方向に着磁された磁石と、この磁石の径方向に対して直交する方向をその磁石の厚み方向とし，この磁石の厚み方向の一方の面にその感磁面を平行に対向させて，かつその感磁面の中心を前記磁石の回転中心と一致させるようにして配置され，前記感磁面に作用する磁束密度の変化を検出する磁気センサとを備え、前記磁気センサが検出する磁束密度の変化から検出対象の回転角度を検出する回転角度検出器において、
前記磁気センサを基点として前記磁石と反対側に配置され、前記磁気センサを挟んで前記磁石の一方の面に対向する面の中央部に、前記磁石側に突出した凸部を有する磁性体
を備えることを特徴とする回転角度検出器。
【請求項２】
請求項１に記載された回転角度検出器において、
前記磁石は、その平面形状が円形とされ、
前記凸部は、その平面形状が円形とされ、
前記磁石および前記凸部は、その平面形状の円形の径が等しくされている
ことを特徴とする回転角度検出器。
【請求項３】
請求項１に記載された回転角度検出器において、
前記凸部は、その頂部が前記磁石の一方の面と平行な円形の平面とされている
ことを特徴とする回転角度検出器。
【請求項４】
請求項１に記載された回転角度検出器において、
前記磁性体は、前記凸部が一体的に形成された磁性体である
ことを特徴とする回転角度検出器。
【請求項５】
請求項１に記載された回転角度検出器において、
前記磁性体は、前記凸部が別体として接合された磁性体である
ことを特徴とする回転角度検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁気センサが検出する磁束密度の変化から検出対象の回転角度を検出する回転角度検出器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の回転角度検出器として、Ｎ極とＳ極の磁石を有する回転体と、磁束密度の変化を検出する磁気センサとを組み合わせ、回転体を磁気センサに対して回転させることにより、磁気センサが検出する磁束密度の変化から検出対象の回転角度を検出するという構成のものが数多く提案されている。
【０００３】
図１５に従来の回転角度検出器の一例を示す。同図において、１は回転軸、２はこの回転軸１の先端に取り付けられた磁石である。磁石２は、その平面形状が円形とされ、径方向に着磁されている。回転軸１にはギア３が嵌合固定されており、検出対象の回転に伴ってギア３が回転し、このギア３と一体となって回転軸１が回転する。すなわち、検出対象の回転に伴って回転軸１が軸心Ｏ１を中心として回転し、この回転軸１と一体となって磁石２が回転する。磁石２は、その回転中心が回転軸１の軸心Ｏ１と一致するように、回転軸１の先端に取り付けられている。
【０００４】
４は磁束密度の変化を検出する磁気センサである。磁気センサ４は、磁石２の径方向に対して直交する方向を磁石２の厚み方向とし、この磁石２の厚み方向の一方の面（上面）２ａにその感磁面４ａを平行に対向させて、かつその感磁面４ａの中心（磁気センサ４の中心）を磁石２の回転中心と一致させるようにして、プリント基板５上に配置されている。６は磁気センサ４を基点として磁石２と反対側に配置された円板状の磁性体である。
【０００５】
プリント基板５および磁性体６は金属製のホルダ７に保持されている。ホルダ７はケース本体８に取り付けられている。回転軸１の先端はその外周面がすり鉢状とされており、このすり鉢状とされた回転軸１の外周面とホルダ７との間には、軸受９が設けられている。この軸受９は、回転軸１の先端のすり鉢状の外周面に合わせ、このすり鉢状の外周面を軸支すべく、変形ベアリングとされている。なお、変形ベアリングを用いた回転角度検出器については、特許文献１にも示されている。
【０００６】
この回転角度検出器２００では、検出対象の回転に伴ってギア３が回転し、このギア３と一体となって回転軸１が回転し、この回転軸１の軸心Ｏ１を中心として磁石２が回転する。すなわち、磁石２のＮ極からＳ極に戻る磁束の方向が回転する。これにより、磁気センサ４の感磁面４ａに作用する磁束密度が変化し、この磁気センサ４が検出する磁束密度の変化から検出対象の回転角度が検出される。
【０００７】
なお、図１５において、磁気センサ４としては、ホール素子を用いた磁気センサ、ＭＲ素子（磁気抵抗効果素子）を用いた磁気センサなどが用いられる。ホール素子を用いた磁気センサ４では、その磁気センサ４の感磁面４ａに作用するＸ方向およびＹ方向（図１６参照）への磁束密度の変化を検出する。
【０００８】
この回転角度検出器２００では、磁気センサ４を基点として磁石２と反対側に円板状の磁性体６を設けていることにより、次のような２つの効果が得られる。
【０００９】
(１)磁性体６と磁石２との間の吸引力により、回転軸１が磁石２とともに磁性体６に引きつけられ、回転軸１の先端のすり鉢状の外周面が軸受９（変形ベアリング）の内周面に押し付けられる。これにより、回転軸１の軸心Ｏ１と磁石２の回転中心とが一致し、回転軸１の横方向（Ｘ，Ｙ方向）への軸ずれが生じにくくなり、回転角度の検出精度が高められる。
(２)磁気センサ４を磁石２と磁性体６とで挟むことにより、磁気収束効果により磁気センサ４の周辺部の磁束密度が高められ、その結果、磁気センサ４の出力のＳ／Ｎ比が向上し、回転角度の検出精度が高められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００３−２１４８９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上述した従来の回転角度検出器２００では、回転軸１の横方向への軸ずれを生じにくくさせるために軸受９として変形ベアリングを用いており、回転軸１の先端もすり鉢状としなけらばならず、その構成が複雑化し、高価となる。また、吸引力で回転軸１の先端のすり鉢状の外周面を軸受９（変形ベアリング）に押し付けるので、軸受の摩耗が激しい。また、組み付け時の誤差などによって磁気センサ４の感磁面４ａの中心と磁石２の回転中心との間に軸ずれが発生すると（以下、磁気センサ４と磁石２との間の横方向の軸ずれという）、磁気センサ４を通過する磁束密度が変化してしまい、所定の磁束密度が得られず、回転角度の検出精度が悪化するなどの問題がある。
【００１２】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、磁気センサと磁石との間の横方向への軸ずれの許容範囲を広くし、簡単な構成で、安価に、回転角度の検出精度を高めることができる、回転角度検出器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような目的を達成するために本発明は、回転軸と、この回転軸の軸心を中心として回転する径方向に着磁された磁石と、この磁石の径方向に対して直交する方向をその磁石の厚み方向とし，この磁石の厚み方向の一方の面にその感磁面を平行に対向させて，かつその感磁面の中心を磁石の回転中心と一致させるようにして配置され，感磁面に作用する磁束密度の変化を検出する磁気センサとを備え、磁気センサが検出する磁束密度の変化から検出対象の回転角度を検出する回転角度検出器において、磁気センサを基点として磁石と反対側に配置され、磁気センサを挟んで磁石の一方の面に対向する面の中央部に、磁石側に突出した凸部を有する磁性体を備えることを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、磁気センサを基点として磁石と反対側に磁性体を配置し、この磁性体の磁気センサを挟んで磁石の一方の面に対向する面の中央部に磁石側に突出した凸部を設けることにより、磁気センサの感磁面に作用する磁石からの磁束の流れが比較的水平とされ、磁気センサと磁石との間の横方向への軸ずれによる磁束密度の変動が小さくなり、回転角度の検出精度の悪化が抑えられる。
【００１５】
本発明において、磁石はその平面形状を円形とし、磁性体の凸部はその平面形状を円形とし、磁石および磁性体の凸部の平面形状の円形の径を等しくするとよい。このようにすると、磁束密度の変動を最も小さくすることが可能となり、回転角度の検出精度の悪化を最小限に抑えることが可能となる。
【００１６】
また、本発明において、磁性体の凸部は、その頂部を対向する磁石の一方の面と平行な円形の平面とするとよい。このようにすると、その頂部を丸い山状としたり、鋭い山状としたりする場合よりも、磁束密度の変動をより小さくすることが可能となり、回転角度の検出精度の悪化をより小さく抑えることが可能となる。また、本発明において、磁性体は、凸部が一体的に形成された磁性体としてもよく、凸部が別体として接合された磁性体としてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、磁気センサを基点として磁石と反対側に磁性体を配置し、この磁性体の磁気センサを挟んで磁石の一方の面に平行に対向する面の中央部に磁石側に突出した凸部を設けるようにしたので、磁気センサの感磁面に作用する磁石からの磁束の流れが比較的水平とされ、磁気センサと磁石との間の横方向への軸ずれによる磁束密度の変動が小さくなり、回転角度の検出精度の悪化が抑えられるものとなる、これにより、磁気センサと磁石との間の横方向への軸ずれの許容範囲が広くなり、変形ベアリングに代えて通常の軸受を使用することが可能となり、簡単な構成で、安価に、回転角度の検出精度を高めることができるようになる。また、軸受の摩耗も少なく、振動にも強くなる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る回転角度検出器の一実施の形態の要部を示す側断面図である。
【図２】この回転角度検出器における磁石と磁気センサとの配置関係を示す平面図および側面図である。
【図３】凸部を有する磁性体と凸部を有さない磁性体を用いた場合の磁束の流れを比較して示す図である。
【図４】磁性体の凸部の頂部を磁石の対向する面と平行な円形の平面とした場合のＸ方向への軸ずれ時の磁気センサの中心の磁束密度変化（φＬ＝３ｍｍの場合、φＬ＝９ｍｍの場合、φＬ＝１１ｍｍの場合、φＬ：凸部の径）を示す図である。
【図５】磁性体の凸部の頂部を丸い山状とした場合のＸ方向への軸ずれ時の磁気センサの中心の磁束密度変化（φＬ＝３ｍｍの場合、φＬ＝９ｍｍの場合、φＬ＝１１ｍｍの場合、φＬ：凸部の径）を示す図である。
【図６】磁性体の凸部の頂部を鋭い山状とした場合のＸ方向への軸ずれ時の磁気センサの中心の磁束密度変化（φＬ＝３ｍｍの場合、φＬ＝９ｍｍの場合、φＬ＝１１ｍｍの場合、φＬ：凸部の径）を示す図である。
【図７】従来の凸部のない磁性体を用いた場合のＸ方向への軸ずれ時の磁気センサの中心の磁束密度変化を示す図である。
【図８】磁性体の凸部の頂部を磁石の対向する面と平行な円形の平面とした場合のＹ方向への軸ずれ時の磁気センサの中心の磁束密度変化（φＬ＝３ｍｍの場合、φＬ＝９ｍｍの場合、φＬ＝１１ｍｍの場合、φＬ：凸部の径）を示す図である。
【図９】磁性体の凸部の頂部を丸い山状とした場合のＹ方向への軸ずれ時の磁気センサの中心の磁束密度変化（φＬ＝３ｍｍの場合、φＬ＝９ｍｍの場合、φＬ＝１１ｍｍの場合、φＬ：凸部の径）を示す図である。
【図１０】磁性体の凸部の頂部を鋭い山状とした場合のＹ方向への軸ずれ時の磁気センサの中心の磁束密度変化（φＬ＝３ｍｍの場合、φＬ＝９ｍｍの場合、φＬ＝１１ｍｍの場合、φＬ：凸部の径）を示す図である。
【図１１】従来の凸部のない磁性体を用いた場合のＹ方向への軸ずれ時の磁気センサの中心の磁束密度変化を示す図である。
【図１２】磁性体の凸部の高さを変えた場合のＸ方向への軸ずれ時の磁気センサの中心の磁束密度変化（ｔ＝０．５ｍｍの場合、ｔ＝１ｍｍの場合、ｔ＝１．５ｍｍの場合、ｔ＝２ｍｍの場合、ｔ：凸部の高さ）を示す図である。
【図１３】磁性体の凸部の高さを変えた場合のＹ方向への軸ずれ時の磁気センサの中心の磁束密度変化（ｔ＝０．５ｍｍの場合、ｔ＝１ｍｍの場合、ｔ＝１．５ｍｍの場合、ｔ＝２ｍｍの場合、ｔ：凸部の高さ）を示す図である。
【図１４】円板状の磁性体に代えて円筒状の磁性体を取り付けた回転角度検出器を示す側断面図である。
【図１５】従来の回転角度検出器の一例を示す側断面図である。
【図１６】従来の回転角度検出器における磁石と磁気センサとの配置関係を示す平面図および側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る回転角度検出器の一実施の形態の要部を示す側断面図である。同図において、図１５と同一符号は図１５を参照して説明した構成要素と同一或いは同等の構成要素を示し、その説明は省略する。
【００２０】
この回転角度検出器１００の従来の回転角度検出器２００と最も異なる点は、磁性体６の磁気センサ４を挟んで磁石２の一方の面２ａに平行に対向する面の中央部に、磁石２側に突出した凸部６ａを設けたことにある。以下、従来の回転角度検出器２００における磁性体６と区別するために、本実施の形態の回転角度検出器１００における磁性体６を６Ａとし、従来の回転角度検出器２００における磁性体６を６Ｂとする。
【００２１】
なお、図１では、磁性体６Ａを平板状の磁性体とし、この平板状の磁性体を加工して、その中央部に磁石２側に突出した凸部６ａを形成し、その凸部６ａの頂部を丸い山状としているが、その形状や寸法などは後述するように種々考えられる。
【００２２】
また、本実施の形態の回転角度検出器１００では、回転軸１の先端の外周面はすり鉢状とされておらず、同径の平坦面とされている。以下、従来の回転角度検出器２００における回転軸１と区別するために、本実施の形態の回転角度検出器１００における回転軸１を１Ａとし、従来の回転角度検出器２００における回転軸１を１Ｂとする。
【００２３】
また、本実施の形態の回転角度検出器１００では、軸受９として変形ベアリングではなく、通常の軸受を用いている。以下、従来の回転角度検出器２００における軸受９と区別するために、本実施の形態の回転角度検出器１００における軸受９（通常の軸受）を９Ａとし、従来の回転角度検出器２００における軸受９（変形ベアリング）を９Ｂとする。
【００２４】
なお、本実施の形態において、磁石２としてはネオジウム磁石、サマコバ磁石、アルニコ磁石などが用いられており、磁性体６Ａとしては炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）、圧延鋼板（ＳＰＣＣ）、一般構造用圧延鋼材（ＳＳ４００）などが用いられている。
【００２５】
この回転角度検出器１００では、磁性体６Ａの磁気センサ４を挟んで磁石２の一方の面２ａに平行に対向する面の中央部に磁石２側に突出した凸部６ａを設けているので、磁気センサ４の感磁面４ａに作用する磁石２からの磁束の流れが比較的水平とされる。
【００２６】
図３に凸部６ａを有する磁性体６Ａと凸部６ａを有さない磁性体６Ｂを用いた場合の磁束の流れを比較して示す。図３（ａ）は凸部６ａを有する磁性体６Ａを用いた場合の磁束の流れを示し、図３（ｂ）は凸部６ａを有さない磁性体６Ｂを用いた場合の磁束の流れを示す。凸部６ａを有さない磁性体６Ｂでは、磁石２と磁性体６Ｂとの間の磁束の流れは水平にならないが（近づけても同じ）、凸部６ａを有する磁性体６Ａでは、磁石２と磁性体６Ｂとの間の磁束の流れは比較的水平となる。
【００２７】
このように、本実施の形態の回転角度検出器１００では、磁気センサ４の感磁面４ａに作用する磁石２からの磁束の流れが磁性体６Ａの凸部６ａによって比較的水平とされるので、磁気センサ４の感磁面４ａに作用するＸ方向およびＹ方向（図２参照）の磁束密度が均一となり、磁気センサ４と磁石２との間の横方向への軸ずれによる磁束密度の変動が小さくなり、回転角度の検出精度の悪化が抑えられる。
【００２８】
また、この回転角度検出器１００では、磁気センサ４と磁石２との間の横方向への軸ずれの許容範囲が広がるので、軸受９として変形ベアリングに代えて通常の軸受を使用することができている。これにより、簡単な構成で、安価に、回転角度の検出精度が高められる。また、軸受の摩耗も少なく、振動にも強くなる。
【００２９】
〔凸部６ａの形状、寸法など〕
図１に示した回転角度検出器１００では、磁性体６Ａを平板状の磁性体とし、この平板状の磁性体を加工して、その中央部に磁石２側に突出した凸部６ａを形成し、その凸部６ａの頂部を丸い山状としている。
【００３０】
本願の発明者は、凸部６ａの頂部を丸い山状としたり、鋭い山状としたりする場合よりも、磁石２の対向する面２ａと平行な円形の平面とした方が、磁束密度の変動をより小さくすることができることを実験によって確認した。また、磁石２および磁性体６Ａの凸部６ａの円形の径を等しくすると、磁束密度の変動を最も小さくすることができることを実験によって確認した。また、磁性体６Ａの凸部６ａの高さを調整することによって、磁束密度の変動を小さくすることができることを実験によって確認した。
【００３１】
〔Ｘ方向への軸ずれ時の磁束密度変化〕
図４に磁性体６Ａの凸部６ａの頂部を磁石２の対向する面２ａと平行な円形の平面とした場合のＸ方向への軸ずれ時の磁気センサ４の中心の磁束密度変化を示す。図５に磁性体６の凸部６ａの頂部を丸い山状とした場合のＸ方向への軸ずれ時の磁気センサ４の中心の磁束密度変化を示す。図６に磁性体６の凸部６ａの頂部を鋭い山状とした場合のＸ方向への軸ずれ時の磁気センサ４の中心の磁束密度変化を示す。
【００３２】
図４，図５，図６において、（ａ）は凸部６ａの径φＬを３ｍｍ（磁石２の外径より小さい）とした場合、（ｂ）は凸部６ａの径φＬを９ｍｍ（磁石２の外径と同じ）とした場合、（ｃ）は凸部６ａの径φＬを１１ｍｍ（磁石２の外径よりやや大きい）とした場合の磁気センサ４の中心のＸ方向軸ずれ量〔ｍｍ〕と磁束密度〔ｍＴ〕との関係を示している。
【００３３】
なお、図４，図５，図６において、磁石２は外径９ｍｍ、厚さ３ｍｍのネオジウム磁石（グレードＳ３６ＳＨ）を使用し、磁性体６Ａは圧延鋼板（ＳＰＣＣ）を使用している。また、磁性体６Ａの厚さは１ｍｍ、凸部６ａの高さは１ｍｍ、磁石２の面２ａから凸部６ａまでの距離は５ｍｍ、磁石２の面２ａから磁気センサ４までの距離は１．２ｍｍ固定としている。参考として、図７に、凸部６ａがない場合、すなわち従来の磁性体６Ｂを用いた場合の、Ｘ方向への軸ずれ時の磁気センサ４の中心の磁束密度変化を示す。
【００３４】
〔Ｙ方向への軸ずれ時の磁束密度変化〕
図８に磁性体６Ａの凸部６ａの頂部を磁石２の対向する面２ａと平行な円形の平面とした場合のＹ方向への軸ずれ時の磁気センサ４の中心の磁束密度変化を示す。図９に磁性体６の凸部６ａの頂部を丸い山状とした場合のＹ方向への軸ずれ時の磁気センサ４の中心の磁束密度変化を示す。図１０に磁性体６の凸部６ａの頂部を鋭い山状とした場合のＹ方向への軸ずれ時の磁気センサ４の中心の磁束密度変化を示す。
【００３５】
図８，図９，図１０において、（ａ）は凸部６ａの径φＬを３ｍｍ（磁石２の外径より小さい）とした場合、（ｂ）は凸部６ａの径φＬを９ｍｍ（磁石２の外径と同じ）とした場合、（ｃ）は凸部６ａの径φＬを１１ｍｍ（磁石２の外径よりやや大きい）とした場合の磁気センサ４の中心のＹ方向軸ずれ量〔ｍｍ〕と磁束密度〔ｍＴ〕との関係を示している。
【００３６】
なお、図８，図９，図１０において、磁石２は外径９ｍｍ、厚さ３ｍｍのネオジウム磁石（グレードＳ３６ＳＨ）を使用し、磁性体６Ａは圧延鋼板（ＳＰＣＣ）を使用している。また、磁性体６Ａの厚さは１ｍｍ、凸部６ａの高さは１ｍｍ、磁石２の面２ａから凸部６ａまでの距離は５ｍｍ、磁石２の面２ａから磁気センサ４までの距離は１．２ｍｍ固定としている。参考として、図１１に、凸部６ａがない場合、すなわち従来の磁性体６Ｂを用いた場合の、Ｙ方向への軸ずれ時の磁気センサ４の中心の磁束密度変化を示す。
【００３７】
〔凸部の高さによる磁束密度の変化（Ｘ方向、Ｙ方向）〕
図１２に磁性体６Ａの凸部６ａの高さを変えた場合のＸ方向への軸ずれ時の磁気センサ４の中心の磁束密度変化を示す。図１３に磁性体６Ａの凸部６ａの高さを変えた場合のＹ方向への軸ずれ時の磁気センサ４の中心の磁束密度変化を示す。なお、図１２，図１３において、磁性体６Ａは、その凸部６ａの頂部を磁石２の対向する面２ａと平行な円形の平面としたものとしている。
【００３８】
図１２，図１３において、（ａ）は凸部６ａの高さｔを０．５ｍｍとした場合、（ｂ）は凸部６ａの高さｔを１ｍｍとした場合、（ｃ）は凸部６ａの高さｔを１．５ｍｍとした場合、（ｄ）は凸部６ａの高さｔを２ｍｍとした場合を示している。また、図１２，図１３において、磁石２は外径９ｍｍ、厚さ３ｍｍのネオジウム磁石（グレードＳ３６ＳＨ）を使用し、磁性体６Ａは圧延鋼板（ＳＰＣＣ）を使用している。また、磁性体６Ａの厚さは１ｍｍ、凸部６ａの径φＬは９ｍｍ、磁石２の面２ａから磁性体６Ａの面６ｂまでの距離は６ｍｍ、磁石２の面２ａから磁気センサ４までの距離は１．２ｍｍ固定としている。
【００３９】
図４〜図６に示されたＸ方向への軸ずれ時の磁束密度変化から、凸部６ａの径φＬが磁石２の外径と同じ時が最も効果があり、それよりも大きくなったり、小さくなると、効果が低減することが分かる。また、磁性体６Ａの凸部６ａの頂部を磁石２の対向する面２ａと平行な円形の平面とした場合が最も効果があり、磁性体６の凸部６ａの頂部が丸い山状となると（角がとれて曲線になると）効果が低減し、凸部６ａの頂部が鋭い山状となると（角がさらにとれて直線となると）さらに効果が低減することが分かる。
【００４０】
図８〜１０に示されたＹ方向への軸ずれ時の磁束密度変化では、Ｙ方向への軸ずれ時の磁束密度変化のような顕著な差は現れていないが、Ｘ方向への軸ずれ時の磁束密度変化の場合と同様、磁性体６Ａの凸部６ａの頂部を磁石２の対向する面２ａと平行な円形の平面とし、凸部６ａの径φＬを磁石２の外径と同じとした時が最も効果があることが分かる。
【００４１】
図１２および図１３に示された凸部の高さによる磁束密度の変化から、磁性体６Ａの凸部６ａの高さがｔ＝１ｍｍ程度が最も効果が大きく、それよりも大きくなったり、小さくなると、効果が低減することが分かる。
【００４２】
また、本実施の形態の回転角度検出器１００では、磁性体６Ａに設ける凸部６ａの形状、寸法などを変更することで、磁石２と磁性体６Ａとの間の任意の位置（Ｚ方向（軸方向）））での磁束密度の均一化をコントロールすることができるものとなる。これは、Ｚ方向への位置ずれに対しても強く、磁気センサ６の配置に関して、設計の自由度が高まることを意味している。
【００４３】
なお、この回転角度検出器１００では、磁性体６Ａを凸部６ａが一体的に形成された磁性体としたが、凸部６ａが別体として接合された磁性体としてもよい。例えば、磁性体６Ａの凸部６ａの頂部を磁石２の対向する面２ａと平行な円形の平面とする場合、磁性体６Ａの中央部に、この磁性体６Ａよりも小径の円形の磁性体を重ね、接合するようにする。
【００４４】
また、この回転角度検出器１００では、磁性体６を円板状の磁性体６Ａとしているが、図１４に示す回転角度検出器１０１のように、磁性体６を円筒状の磁性体６Ａ’とし、この円筒状の磁性体６Ａ’をホルダ７に被せるようにして取り付けるようにしてもよい。これにより、磁石２や磁気センサ４が磁性体６Ａ’で覆われ、耐ノイズ性が向上する。
【００４５】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
バルブ・アクチュエータの開発において新規技術開発すべき内容に、アクチュエータの回転角度の検出の高精度化（経年変化低減を含む）が挙げられる。アクチュエータの回転角度の検出精度を上げることで、制御するバルブの流量精度を向上させることができ、今後拡大して行くことが予想されるエネルギー管理や省エネルギー要求を満たすことができる。また、非接触の磁気センシング方式により、エネルギー管理を実施する上で長期信頼性を確保することができる。本発明の回転角度検出器は、アクチュエータに限らず、ポジショナへの展開も可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１Ａ…回転軸、２…磁石、２ａ…磁石の一方の面、３…ギア、４…磁気センサ、４ａ…感磁面、５…プリント基板、６Ａ，６Ａ’…磁性体、６ａ…凸部、７…ホルダ、８…ケース本体、９Ａ…軸受、１００，１０１…回転角度検出器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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