【手続補正書】
【提出日】令和2年11月17日(2020.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アンテナから処理容器の天板を介して当該処理容器内にマイクロ波を放射し、プラズマを生成し、当該処理容器内の被処理体にプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、
前記処理容器の前記天板と対向する面に複数の溝が形成され、前記アンテナを前記処理容器の天板に押さえる押さえ部材と、
前記複数の溝に配設され、前記押さえ部材と前記アンテナにより挟まれて変形し、前記処理容器の方向への押圧力を、前記アンテナに付与する複数の弾性部材と、を備え、
前記複数の溝及び複数の前記弾性部材はそれぞれ、前記天板と垂直な所定の軸を中心とした同心の複数の円環状領域に、前記所定の軸を中心とした円弧環状または円環状に設けられ、
前記複数の弾性部材は前記複数の円環状領域の一部にのみ配設されることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
前記複数の弾性部材の各々は、前記複数の円環状領域のそれぞれ円環状領域における一部分にのみ配設されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記押さえ部材は、平面視で半円の部材に２分割され、
前記複数の弾性部材の各々は、前記複数の円環状領域であって、前記半円の中心と当該半円の頂部を含む扇状領域を除いた部分にのみ、配設されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記複数の溝の各々は、前記複数の円環状領域であって、前記扇状領域を除いた部分にのみ、形成されていることを特徴とする請求項３に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記複数の溝の各々は、前記複数の円環状領域全体に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
前記複数の溝は、前記複数の円環状領域それぞれに形成され、
前記複数の弾性部材は、前記複数の円環状領域のうちの一部の円環状領域にのみ、配設されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項７】
アンテナから処理容器の天板を介して当該処理容器内にマイクロ波を放射し、プラズマを生成し、当該処理容器内の被処理体にプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、
前記処理容器の前記天板と対向する面に複数の溝が形成され、前記アンテナを前記処理容器の天板に押さえる押さえ部材と、
前記複数の溝に配設され、前記押さえ部材と前記アンテナにより挟まれて変形し、前記処理容器の方向への押圧力を、前記アンテナに付与する複数の弾性部材と、を備え、
前記複数の溝及び複数の前記弾性部材はそれぞれ、前記天板と垂直な所定の軸を中心とした同心の複数の円環状領域に、前記所定の軸を中心とした円弧環状または円環状に設けられ、
前記複数の弾性部材の一部分は、前記複数の弾性部材の他の部分と異なる少なくとも一つの形態を有することを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項８】
前記複数の弾性部材の各々は、前記複数の円環状領域の各々において、第１の部分と第２の部分とで少なくとも一つの異なる形態を有することを特徴とする請求項７に記載のプラズマ処理装置。
【請求項９】
前記複数の弾性部材の各々は、一の円環状領域と他の円環状領域とで少なくとも一つの異なる形態を有することを特徴とする請求項７に記載のプラズマ処理装置。
【請求項１０】
前記少なくとも一つの形態とは、材料及び直径からなる群から選ばれることを特徴とする請求項８または９に記載のプラズマ処理装置。
【請求項１１】
前記複数の弾性部材の各々は、スパイラルスプリングであり、
前記少なくとも一つの形態とは、前記スパイラルスプリングの巻き数であることを特徴とする請求項８または９に記載のプラズマ処理装置。
【請求項１２】
アンテナから処理容器の天板を介して当該処理容器内にマイクロ波を放射し、プラズマを生成し、当該処理容器内の被処理体にプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、
前記処理容器の前記天板と対向する面に複数の溝が形成され、前記アンテナを前記処理容器の天板に押さえる押さえ部材と、
前記複数の溝に配設され、前記押さえ部材と前記アンテナにより挟まれて変形し、前記処理容器の方向への押圧力を、前記アンテナに付与する複数の弾性部材と、を備え、
前記複数の溝及び複数の前記弾性部材はそれぞれ、前記天板と垂直な所定の軸を中心とした同心の複数の円環状領域に、前記所定の軸を中心とした円弧環状または円環状に設けられ、
前記複数の溝の一部は、前記複数の溝の他の部分と深さが異なることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項１３】
前記溝は、同一の前記円環状領域内において、一の部分と他の部分とで深さが異なることを特徴とする請求項１２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項１４】
前記溝は、一の前記円環状領域における深さが、他の前記円環状領域における深さと異なることを特徴とする請求項１２に記載のプラズマ処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決する本発明は、アンテナから処理容器の天板を介して当該処理容器内にマイクロ波を放射し、プラズマを生成し、当該処理容器内の被処理体にプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、前記処理容器の前記天板と対向する面に複数の溝が形成され、前記アンテナを前記処理容器の天板に押さえる押さえ部材と、前記複数の溝に配設され、前記押さえ部材と前記アンテナにより挟まれて変形し、前記処理容器の方向への押圧力を、前記アンテナに付与する複数の弾性部材と、を備え、前記複数の溝及び複数の前記弾性部材はそれぞれ、前記天板と垂直な所定の軸を中心とした同心の複数の円環状領域に、前記所定の軸を中心とした円弧環状または円環状に設けられ、前記複数の弾性部材は前記複数の円環状領域の一部にのみ配設されることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
前記複数の弾性部材の各々は、前記複数の円環状領域のそれぞれ円環状領域における一部分にのみ配設されていてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記押さえ部材は、平面視で半円の部材に２分割され、前記複数の弾性部材の各々は、前記複数の円環状領域であって、前記半円の中心と当該半円の頂部を含む扇状領域を除いた部分にのみ、配設されていてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
前記複数の溝の各々は、前記複数の円環状領域であって、前記扇状領域を除いた部分にのみ、形成されていてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
前記複数の溝の各々は、前記複数の円環状領域全体に形成されていてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
前記複数の溝は、前記複数の円環状領域それぞれに形成され、前記複数の弾性部材は、前記複数の円環状領域のうちの一部の円環状領域にのみ、配設されていてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
別な観点による本発明は、アンテナから処理容器の天板を介して当該処理容器内にマイクロ波を放射し、プラズマを生成し、当該処理容器内の被処理体にプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、前記処理容器の前記天板と対向する面に複数の溝が形成され、前記アンテナを前記処理容器の天板に押さえる押さえ部材と、前記複数の溝に配設され、前記押さえ部材と前記アンテナにより挟まれて変形し、前記処理容器の方向への押圧力を、前記アンテナに付与する複数の弾性部材と、を備え、前記複数の溝及び複数の前記弾性部材はそれぞれ、前記天板と垂直な所定の軸を中心とした同心の複数の円環状領域に、前記所定の軸を中心とした円弧環状または円環状に設けられ、前記複数の弾性部材の一部分は、前記複数の弾性部材の他の部分と異なる少なくとも一つの形態を有することを特徴としている。
前記複数の弾性部材の各々は、前記複数の円環状領域の各々において、第１の部分と第２の部分とで少なくとも一つの異なる形態を有していてもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
前記複数の弾性部材の各々は、一の円環状領域と他の円環状領域とで少なくとも一つの異なる形態を有していてもよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
前記少なくとも一つの形態とは、材料及び直径からなる群から選ばれてもよい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記複数の弾性部材の各々は、スパイラルスプリングであり、前記少なくとも一つの形態とは、前記スパイラルスプリングの巻き数であってもよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
さらに別な観点による本発明は、アンテナから処理容器の天板を介して当該処理容器内にマイクロ波を放射し、プラズマを生成し、当該処理容器内の被処理体にプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、前記処理容器の前記天板と対向する面に複数の溝が形成され、前記アンテナを前記処理容器の天板に押さえる押さえ部材と、前記複数の溝に配設され、前記押さえ部材と前記アンテナにより挟まれて変形し、前記処理容器の方向への押圧力を、前記アンテナに付与する複数の弾性部材と、を備え、前記複数の溝及び複数の前記弾性部材はそれぞれ、前記天板と垂直な所定の軸を中心とした同心の複数の円環状領域に、前記所定の軸を中心とした円弧環状または円環状に設けられ、前記複数の溝の一部は、前記複数の溝の他の部分と深さが異なることを特徴としている。
前記溝は、同一の前記円環状領域内において、一の部分と他の部分とで深さが異なってもよい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】