【手続補正書】
【提出日】令和2年11月18日(2020.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディジタルマイクロミラー装置の冷却システムであって、
イメージングレーザダイオードアレイからの光をイメージング経路、及びイメージング面における媒体へと導くディジタルマイクロミラーアレイを含むディジタルマイクロミラー装置と、
前記ディジタルマイクロミラー装置と熱的に連通するヒートシンクを受け入れるように構成された冷却液マニホールドであって、前記ヒートシンクは、前記冷却液マニホールドに適合するように構成されると共に、前記ディジタルマイクロミラー装置の表面への熱的接続を促進するバネ荷重部を構成する複数のバネによってバネ留めされ、前記イメージングレーザダイオードアレイからの入射エネルギが前記ディジタルマイクロミラー装置の温度を上昇させるにつれ、熱が前記ヒートシンクに伝導されて前記ディジタルマイクロミラー装置から放熱される、冷却液マニホールドと、
歪み力に打ち勝つ前記バネ荷重部をグラウンドから絶縁して短絡を防止する一連のブッシュと、
前記ヒートシンクに形成された複数のフィン及び少なくとも１つのピラーであって、前記少なくとも１つのピラーが、前記ディジタルマイクロミラー装置と、前記複数のフィンのうちの少なくとも１つのフィンとの間の熱伝導媒体として機能する、複数のフィン及び少なくとも１つのピラーと、
前記冷却液マニホールドを介して前記ヒートシンクへと流れるように構成された冷却液と
を備える、冷却システム。
【請求項２】
前記冷却液マニホールドに関連付けられた加熱ブロック上に構成され、５μｍから１２μｍの範囲の厚さの薄い熱グリース層を含む熱グリースをさらに備え、
前記熱グリースが、前記少なくとも１つのピラーと前記ディジタルマイクロミラー装置との界面に塗布されて、前記ディジタルマイクロミラー装置の前記表面への熱的接続を促進するように構成され、
前記熱グリースが非導電性熱グリースを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記複数のフィンのうちの少なくとも１つのフィンが、
前記冷却液のための一連の分岐流体経路を形成できるダイヤモンドパターンに形成されたピンフィン、
管状冷却フィン、
摩擦損失の低減を促進する涙滴状ピンフィン、及び
マイクロピラー
のうちの少なくとも１つを備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記冷却液が、
十分にフッ素処理された液体及び二相冷媒のうちの少なくとも一方をさらに含む、請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記冷却液マニホールドに前記冷却液を導入するための入口弁と、
前記冷却液が前記冷却液マニホールドを出るのを可能とするための出口弁と、をさらに備え、
前記冷却液が前記冷却液マニホールドを通って循環される、請求項４に記載のシステム。
【請求項６】
前記ヒートシンクと熱接触した状態で、前記ディジタルマイクロミラー装置を保持するチップハウジングをさらに備える、請求項４に記載のシステム。
【請求項７】
前記ヒートシンクを囲み、前記ヒートシンク内、前記ヒートシンクの周囲、及び前記ディジタルマイクロミラー装置アレイの周囲における凝縮を防止するように構成されたクローズドセル発泡体をさらに備える、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
ディジタルマイクロミラー装置の冷却システムであって、
ディジタルマイクロミラー装置を含み、前記ディジタルマイクロミラー装置がレーザダイオードアレイからの光をイメージング経路、及びイメージング面における媒体へと導くミラーアレイを含む、ディジタルマイクロミラーチップと、
前記ディジタルマイクロミラー装置と熱的に連通するヒートシンクを受け入れるように構成された冷却液マニホールドであって、前記ヒートシンクは、前記冷却液マニホールドに適合するように構成されると共に、前記ディジタルマイクロミラー装置の表面への熱的接続を促進するバネ荷重部を構成する複数のバネによってバネ留めされ、前記イメージングレーザダイオードアレイからの入射エネルギが前記ディジタルマイクロミラー装置の温度を上昇させるにつれ、熱が前記ヒートシンクに伝導されて前記ディジタルマイクロミラー装置から放熱される、冷却液マニホールドと、
歪み力に打ち勝つ前記バネ荷重部をグラウンドから絶縁して短絡を防止する一連のブッシュと、
前記ヒートシンクに形成された複数のフィン及び少なくとも１つのピラーであって、前記少なくとも１つのピラーは、前記ディジタルマイクロミラー装置と、前記複数のフィンのうちの少なくとも１つのフィンとの間の熱伝導媒体として機能する、複数のフィン及び少なくとも１つのピラーと、
電気的に絶縁された流体経路内で前記冷却液マニホールドを介して前記ヒートシンクへと流れるように構成された冷却液と、
を備える、システム。
【請求項９】
前記冷却液マニホールドに関連付けられた加熱ブロック上に構成され、５μｍから１２μｍの範囲の厚さの薄い熱グリース層を含む熱グリースをさらに備え、
前記熱グリースが、前記少なくとも１つのピラーと前記ディジタルマイクロミラー装置との界面に塗布されて、前記ディジタルマイクロミラー装置の前記表面への熱的接続を促進するように構成され、
前記熱グリースが非導電性熱グリースを含む、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記複数のフィンのうちの少なくとも１つのフィンが、
前記冷却液のための一連の分岐流体経路を形成できるダイヤモンドパターンに形成されたピンフィン、
管状冷却フィン、
摩擦損失の低減を促進する涙滴状ピンフィン、及び
マイクロピラー
のうちの少なくとも１つを備える、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記冷却液が、
十分にフッ素処理された液体及び二相冷媒のうちの少なくとも一方をさらに含む、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記冷却液マニホールドに前記冷却液を導入するための入口弁と、
前記冷却液が前記冷却液マニホールドを出るのを可能とするための出口弁と、をさらに備え、
前記冷却液が前記冷却液マニホールドを通って循環される、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記ヒートシンクと熱接触するチップハウジングをさらに備える、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１４】
前記ヒートシンクを囲み、前記ヒートシンク内、前記ヒートシンクの周囲、及び前記ディジタルマイクロミラー装置アレイの周囲における凝縮を防止するように構成されたクローズドセル発泡体をさらに備える、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
ディジタルマイクロミラー装置を冷却する方法であって、
ディジタルマイクロミラー装置ミラーアレイを含むディジタルマイクロミラー装置を設けることと、
ヒートシンクを受け入れるように構成された冷却液マニホールドにヒートシンクを形成することと、
前記ディジタルマイクロミラー装置と熱的に連通するように前記ヒートシンクを配置し、前記ヒートシンクが前記ディジタルマイクロミラー装置の表面への熱的接続を促進するバネ荷重部を構成する複数のバネによってバネ留めされて、イメージングレーザダイオードアレイからの入射エネルギが前記ディジタルマイクロミラー装置の温度を上昇させたときに、熱が前記ヒートシンクに伝導されて前記ディジタルマイクロミラー装置から放熱されるようにすることと、
短絡を防止するために、歪み力に打ち勝つ前記バネ荷重部をグラウンドから絶縁することと、
複数のフィンと、複数のピラーのうちの少なくとも１つのピラーとを前記ヒートシンクに分配し、前記少なくとも１つのピラーが、前記ディジタルマイクロミラー装置と、前記複数のフィンのうちの少なくとも１つのフィンとの間の熱伝導媒体として機能するように構成することと、
前記冷却液マニホールドを介して前記ヒートシンクへと冷却液を循環させることと
を備える、方法。
【請求項１６】
５μｍから１２μｍの範囲の厚さの薄い熱グリース層を含む熱グリースを、前記冷却液マニホールドに関連付けられた加熱ブロック上に塗布することをさらに備え、前記熱グリースが、前記ディジタルマイクロミラー装置の前記表面への熱的接続を促進するように、前記少なくとも１つのピラーと前記ディジタルマイクロミラー装置との界面に塗布され、前記熱グリースが非導電性熱グリースを含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記複数のフィンのうちの少なくとも１つのフィンが、
前記冷却液のための一連の分岐流体経路を形成できるダイヤモンドパターンに形成されたピンフィン、
管状冷却フィン、
摩擦損失の低減を促進する涙滴状ピンフィン、及び
マイクロピラー
のうちの少なくとも１つを備える、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記冷却液が、
十分にフッ素処理された液体及び二相冷媒のうちの少なくとも一方をさらに含む、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記ヒートシンクと熱接触した状態で、前記ディジタルマイクロミラー装置を保持するチップハウジングを設けることをさらに備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記ヒートシンクをクローズドセル発泡体で囲むことをさらに備え、前記クローズドセル発泡体が前記ヒートシンク内、前記ヒートシンクの周囲、及び前記ディジタルマイクロミラー装置アレイの周囲における凝縮を防止する、請求項１９に記載の方法。