【手続補正書】
【提出日】令和3年1月15日(2021.1.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
四角形の面を有する基材部と前記面に配置されたリブ部とを有する第１の部材を含む外壁を備えた減圧容器において、
前記リブ部は、
前記面の中心を囲む第１のリブと、
前記第１のリブに連結され、前記四角形の辺に向かって延びる複数の第２のリブと、
前記四角形の角のそれぞれに対向して配置され、それぞれの角を挟む２辺に向かって延び、互いに離間した複数の第３のリブと、を有する、
ことを特徴とする減圧容器。
【請求項２】
前記複数の第２のリブは、前記四角形の互いに対向する２辺の各辺に向かって延びる一対のリブを含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の減圧容器。
【請求項３】
前記第１のリブは、前記面に垂直な方向から見て、多角形状であり、
前記第２のリブの各々は、前記第１のリブの角から前記四角形の辺に向かって延びる、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の減圧容器。
【請求項４】
前記第２のリブの各々は、前記四角形の辺に対して垂直な直線状のリブである、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項５】
前記第３のリブの各々は、対向する角を挟む２辺のいずれに対しても傾斜した直線状のリブである、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項６】
前記第１のリブの内側の領域は、リブがない領域である、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項７】
前記第１のリブの内側の領域には、窓が設けられている、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項８】
壁面が鉛直方向に沿って延びる外壁を有する容器本体と、
前記外壁の一部として設けられ、前記容器本体に対して開閉可能な扉と、を備え、
前記扉は、四角形の第１面を有する基材部と、前記第１面に配置されたリブ部とを有し、
前記リブ部は、第１のリブと、複数の第２のリブと、複数の第３のリブを有し、
前記第１のリブは、前記第１面を垂直な方向から見て、前記第１面の中心を囲む多角形状をなし、
前記複数の第２のリブの各々は、直線状のリブであって、前記第１のリブの前記多角形状の角部から、前記基材部の四角形を構成する辺のうち鉛直方向と交差する辺に達するまで延びており、
前記複数の第３のリブの各々は、一端が前記複数の第２のリブのいずれか１本と連結された直線状のリブであって、前記基材部の四角形を構成する角のそれぞれに対向して配置され、それぞれの角を挟む２辺に向かって延び、かつ互いに離間している、
ことを特徴とする減圧容器。
【請求項９】
前記第１のリブの前記多角形状の内側の領域には、窓が設けられている、
ことを特徴とする請求項８に記載の減圧容器。
【請求項１０】
前記減圧容器の容器本体が備える外壁の一部として設けられ、前記容器本体に対して開閉可能な第２の扉を更に備え、
前記第２の扉は、四角形の第２面を有する第２の基材部と、前記第２面に配置された第２のリブ部とを有し、
前記第２のリブ部は、第４のリブと、複数の第５のリブと、複数の第６のリブを有し、
前記第４のリブは、前記第２面を垂直な方向から見て、前記第２面の中心を囲む多角形状をなし、
前記複数の第５のリブの各々は、直線状のリブであって、前記第４のリブの前記多角形状の角部から、前記第２の基材部の四角形を構成する辺のうち鉛直方向と交差する辺に達するまで延びており、
前記複数の第６のリブの各々は、一端が前記複数の第５のリブのいずれか１本と連結された直線状のリブであって、前記第２の基材部の四角形を構成する角のそれぞれに対向して配置され、それぞれの角を挟む２辺に向かって延び、かつ互いに離間している、
ことを特徴とする請求項８または９に記載の減圧容器。
【請求項１１】
前記容器本体は多面体形状を構成する複数の外壁を有し、
前記扉と前記第２の扉は、前記複数の外壁の中の同じ外壁に設けられている、
ことを特徴とする請求項１０に記載の減圧容器。
【請求項１２】
前記第１のリブと前記窓との間の距離が１００［ｍｍ］以下である、
ことを特徴とする請求項７または９に記載の減圧容器。
【請求項１３】
前記減圧容器は、前記第１の部材に隣接し、四角形の面を有する基材部と前記面に配置されたリブ部とを有する第２の部材とを備えており、
前記第２の部材の前記リブ部は、前記面の中心を囲む第４のリブと、前記第４のリブに連結され、前記四角形の辺に向かって延びる複数の第５のリブと、前記四角形の角のそれぞれに対向して配置され、それぞれの角を挟む２辺に向かって延び、互いに離間した複数の第６のリブと、を有し、
前記第１の部材の複数の第２のリブのうち、前記第１の部材の面と前記第２の部材の面との境界に向かって延びるリブと、前記第２の部材の複数の第５のリブのうち、前記境界に向かって延びるリブとが、前記境界で連結されている、
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項１４】
前記第１の部材は、前記減圧容器の外壁の一部として設けられた開閉可能な扉である、
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項１５】
前記第１の部材は、前記減圧容器の前記外壁の一部として設けられた開閉可能な扉であり、
前記外壁には、複数の前記第１の部材が設けられている、
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項１６】
請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の減圧容器と、
前記減圧容器の内部に設置され、前記減圧容器の内部に搬入されたワークに対して処理を施す処理部と、を備えた処理装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の処理装置を複数備え、
各々の前記処理装置が備える前記減圧容器を連結して前記ワークの搬送路となる減圧容器を更に備えた処理システム。
【請求項１８】
前記処理装置が備える処理部は、フラットパネルディスプレイの材料を成膜する成膜装置を含む
ことを特徴とする請求項１７に記載の処理システム。
【請求項１９】
四角形の面を有する基材部と前記面に配置されたリブ部とを有する部材を含む外壁を備え、前記リブ部は、前記面の中心を囲む第１のリブと、前記第１のリブに連結され、前記四角形の辺に向かって延びる複数の第２のリブと、前記四角形の角のそれぞれに対向して配置され、それぞれの角を挟む２辺に向かって延び、互いに離間した複数の第３のリブと、を有する減圧容器の内部に、
基板を配置し、
前記減圧容器の内部で前記基板にフラットパネルディスプレイの材料を成膜した後、前記基板を前記減圧容器から取り出す、
ことを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。
【請求項２０】
減圧容器の内部に基板を配置し、前記減圧容器の内部で前記基板にフラットパネルディスプレイの材料を成膜した後、前記基板を前記減圧容器から取り出す、フラットパネルディスプレイの製造方法において、
前記減圧容器は、
壁面が鉛直方向に沿って延びる外壁を有する容器本体と、
前記外壁の一部として設けられ、前記容器本体に対して開閉可能な扉と、を備え、
前記扉は、四角形の第１面を有する基材部と、前記第１面に配置されたリブ部とを有し、
前記リブ部は、第１のリブと、複数の第２のリブと、複数の第３のリブを有し、
前記第１のリブは、前記第１面を垂直な方向から見て、前記第１面の中心を囲む多角形状をなし、
前記複数の第２のリブの各々は、直線状のリブであって、前記第１のリブの前記多角形状の角部から、前記基材部の四角形を構成する辺のうち鉛直方向と交差する辺に達するまで延びており、
前記複数の第３のリブの各々は、一端が前記複数の第２のリブのいずれか１本と連結された直線状のリブであって、前記基材部の四角形を構成する角のそれぞれに対向して配置され、それぞれの角を挟む２辺に向かって延び、かつ互いに離間している、
ことを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一つの態様は、四角形の面を有する基材部と前記面に配置されたリブ部とを有する第１の部材を含む外壁を備えた減圧容器において、前記リブ部は、前記面の中心を囲む第１のリブと、前記第１のリブに連結され、前記四角形の辺に向かって延びる複数の第２のリブと、前記四角形の角のそれぞれに対向して配置され、それぞれの角を挟む２辺に向かって延び、互いに離間した複数の第３のリブと、を有する、ことを特徴とする減圧容器である。
本発明の別の態様は、壁面が鉛直方向に沿って延びる外壁を有する容器本体と、前記外壁の一部として設けられ、前記容器本体に対して開閉可能な扉と、を備え、前記扉は、四角形の第１面を有する基材部と、前記第１面に配置されたリブ部とを有し、前記リブ部は、第１のリブと、複数の第２のリブと、複数の第３のリブを有し、前記第１のリブは、前記第１面を垂直な方向から見て、前記第１面の中心を囲む多角形状をなし、前記複数の第２のリブの各々は、直線状のリブであって、前記第１のリブの前記多角形状の角部から、前記基材部の四角形を構成する辺のうち鉛直方向と交差する辺に達するまで延びており、前記複数の第３のリブの各々は、一端が前記複数の第２のリブのいずれか１本と連結された直線状のリブであって、前記基材部の四角形を構成する角のそれぞれに対向して配置され、それぞれの角を挟む２辺に向かって延び、かつ互いに離間している、ことを特徴とする減圧容器である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明の別の態様は、四角形の面を有する基材部と前記面に配置されたリブ部とを有する部材を含む外壁を備え、前記リブ部は、前記面の中心を囲む第１のリブと、前記第１のリブに連結され、前記四角形の辺に向かって延びる複数の第２のリブと、前記四角形の角のそれぞれに対向して配置され、それぞれの角を挟む２辺に向かって延び、互いに離間した複数の第３のリブと、を有する減圧容器の内部に、基板を配置し、前記減圧容器の内部で前記基板にフラットパネルディスプレイの材料を成膜した後、前記基板を前記減圧容器から取り出す、ことを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法である。
また、本発明の別の態様は、減圧容器の内部に基板を配置し、前記減圧容器の内部で前記基板にフラットパネルディスプレイの材料を成膜した後、前記基板を前記減圧容器から取り出す、フラットパネルディスプレイの製造方法において、前記減圧容器は、壁面が鉛直方向に沿って延びる外壁を有する容器本体と、前記外壁の一部として設けられ、前記容器本体に対して開閉可能な扉と、を備え、前記扉は、四角形の第１面を有する基材部と、前記第１面に配置されたリブ部とを有し、前記リブ部は、第１のリブと、複数の第２のリブと、複数の第３のリブを有し、前記第１のリブは、前記第１面を垂直な方向から見て、前記第１面の中心を囲む多角形状をなし、前記複数の第２のリブの各々は、直線状のリブであって、前記第１のリブの前記多角形状の角部から、前記基材部の四角形を構成する辺のうち鉛直方向と交差する辺に達するまで延びており、前記複数の第３のリブの各々は、一端が前記複数の第２のリブのいずれか１本と連結された直線状のリブであって、前記基材部の四角形を構成する角のそれぞれに対向して配置され、それぞれの角を挟む２辺に向かって延び、かつ互いに離間している、ことを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法である。