(57)【要約】【課題】大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができる蒸着マスクを製造するために用いる蒸着マスク用材料の製造方法を提供すること。【解決手段】金属板の一方の面に熱硬化性樹脂を塗布する工程と、前記金属板の表面に酸化皮膜が形成されない条件にて、前記塗布された熱硬化性樹脂を仮硬化または硬化させて熱硬化樹脂層を形成する工程と、前記金属板の他方の面側からエッチング加工し、当該金属板のみを貫通するスリットを形成することにより金属マスクを形成する工程と、前記金属マスクおよびその一方の面に位置する熱硬化樹脂層を加熱することで、金属マスク表面に酸化皮膜を形成する工程と、とにより、スリットが設けられた金属マスクと前記金属マスクの表面に位置する熱硬化樹脂層とが積層されてなる蒸着マスク用材料を製造する。【選択図】図１
2014067500.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリットが設けられた金属マスクと、前記金属マスクの一方の面に位置する熱硬化樹脂層と、が積層されてなる蒸着マスク用材料の製造方法であって、
金属板の一方の面に熱硬化性樹脂を塗布する工程と、
前記金属板の表面に酸化皮膜が形成されない条件にて、前記塗布された熱硬化性樹脂を仮硬化または硬化させて熱硬化樹脂層を形成する工程と、
前記金属板の他方の面側からエッチング加工し、当該金属板のみを貫通するスリットを形成することにより金属マスクを形成する工程と、
前記金属マスクおよびその一方の面に位置する熱硬化樹脂層を加熱することで、金属マスク表面に酸化皮膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする蒸着マスク用材料の製造方法。
【請求項２】
スリットが設けられた金属マスクと、前記金属マスクの一方の面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクと、が積層されてなる蒸着マスクの製造方法であって、
金属板の一方の面に熱硬化性樹脂を塗布する工程と、
前記金属板の表面に酸化皮膜が形成されない条件にて、前記塗布された熱硬化性樹脂を仮硬化または硬化させて熱硬化樹脂層を形成する工程と、
前記金属板の他方の面側からエッチング加工し、当該金属板のみを貫通するスリットを形成することにより金属マスクを形成する工程と、
前記金属マスクおよびその一方の面に位置する熱硬化樹脂層を加熱することで、金属マスク表面に酸化皮膜を形成する工程と、
前記熱硬化樹脂層に蒸着作製するパターンに対応した開口部を形成することにより樹脂マスクを形成する工程と、
を有することを特徴とする蒸着マスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着マスク用材料の製造方法および蒸着マスクの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機ＥＬ素子の製造において、有機ＥＬ素子の有機層或いはカソード電極の形成には、例えば、蒸着すべき領域に多数の微細なスリットを微小間隔で平行に配列してなる金属から構成される蒸着マスクが使用されていた。この蒸着マスクを用いる場合、蒸着すべき基板表面に単に蒸着マスクを載置し、裏面から磁石を用いて保持させているが、スリットの剛性は極めて小さいことから、蒸着マスクを基板表面に保持する際にスリットにゆがみが生じやすく、高精細化或いはスリット長さが大となる製品の大型化の障害となっていた。
【０００３】
スリットのゆがみを防止するための蒸着マスクについては、種々の検討がなされており、例えば、特許文献１には、複数の開口部を備えた第一金属マスクを兼ねるベースプレートと、前記開口部を覆う領域に多数の微細なスリットを備えた第二金属マスクと、第二金属マスクをスリットの長手方向に引っ張った状態でベースプレート上に位置させるマスク引張保持手段を備えた蒸着マスクが提案されている。すなわち、２種の金属マスクを組合せた蒸着マスクが提案されている。この蒸着マスクによれば、スリットにゆがみを生じさせることなくスリット精度を確保できるとされている。
【０００４】
ところで近時、有機ＥＬ素子を用いた製品の大型化或いは基板サイズの大型化にともない、蒸着マスクに対しても大型化の要請が高まりつつあり、金属から構成される蒸着マスクの製造に用いられる金属板も大型化している。しかしながら、現在の金属加工技術では、大型の金属板にスリットを精度よく形成することは困難であり、たとえ上記特許文献１に提案されている方法などによってスリット部のゆがみを防止できたとしても、スリットの高精細化への対応はできない。また、金属のみからなる蒸着マスクとした場合には、大型化に伴いその質量も増大し、フレームを含めた総質量も増大することから取り扱いに支障をきたすこととなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３３２０５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができる蒸着マスクを製造するために用いる蒸着マスク用材料の製造方法、および当該製造方法によって得られた蒸着マスク用材料を用いた蒸着マスクの製造方法を提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明は、スリットが設けられた金属マスクと、前記金属マスクの一方の面に位置する熱硬化樹脂層と、が積層されてなる蒸着マスク用材料の製造方法であって、金属板の一方の面に熱硬化性樹脂を塗布する工程と、前記金属板の表面に酸化皮膜が形成されない条件にて、前記塗布された熱硬化性樹脂を仮硬化または硬化させて熱硬化樹脂層を形成する工程と、前記金属板の他方の面側からエッチング加工し、当該金属板のみを貫通するスリットを形成することにより金属マスクを形成する工程と、前記金属マスクおよびその一方の面に位置する熱硬化樹脂層を加熱することで、金属マスク表面に酸化皮膜を形成する工程と、を有することを特徴とする。
【０００８】
また、上記課題を解決するための別の本発明は、スリットが設けられた金属マスクと、前記金属マスクの一方の面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクと、が積層されてなる蒸着マスクの製造方法であって、金属板の一方の面に熱硬化性樹脂を塗布する工程と、前記金属板の表面に酸化皮膜が形成されない条件にて、前記塗布された熱硬化性樹脂を仮硬化または硬化させて熱硬化樹脂層を形成する工程と、前記金属板の他方の面側からエッチング加工し、当該金属板のみを貫通するスリットを形成することにより金属マスクを形成する工程と、前記金属マスクおよびその一方の面に位置する熱硬化樹脂層を加熱することで、金属マスク表面に酸化皮膜を形成する工程と、前記熱硬化樹脂層に蒸着作製するパターンに対応した開口部を形成することにより樹脂マスクを形成する工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の蒸着マスク用材料の製造方法及び蒸着マスクの製造方法によれば、大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができる蒸着マスクを歩留まり良く製造することができる。さらに、本発明の製造方法により得られる蒸着マスク用材料および蒸着マスクは、これを構成する金属マスクの表面に酸化皮膜が形成されているので、当該金属マスクの機械的強度や耐薬品性を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施形態にかかる蒸着マスク用材料の製造方法を説明するための工程図である。
【図２】本発明の実施形態にかかる蒸着マスクの製造方法を説明するための工程図である。
【図３】シャドウと、金属マスクの厚みとの関係を示す概略断面図である。
【図４】レーザーの照射方向と、樹脂マスクの開口部の断面形状との関係を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（蒸着マスク用材料の製造方法）
以下に、本発明の実施形態にかかる蒸着マスク用材料の製造方法について図面を用いて具体的に説明する。
【００１２】
図１は、本実施形態にかかる蒸着マスク用材料の製造方法を説明するための工程図である。なお（ａ）〜（ｆ）はすべて断面図である。
【００１３】
はじめに、図１（ａ）に示すように、金属板１０の一方の面（図においては下面）に熱硬化性樹脂２０を塗布する工程を行う。
【００１４】
ここで用いられる金属板１０としては、最終的に金属マスクとなるものであることから、蒸着マスクの分野で従来公知のものを適宜選択して用いることができ、例えば、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金、アルミニウム合金などの金属材料を挙げることができる。中でも、鉄ニッケル合金であるインバー材は熱による変形が少ないので好適に用いることができる。また、本実施形態にかかる製造方法により得られる蒸着マスク用材料を用いて蒸着マスクを製造する場合にあって、当該蒸着マスクを用いて所望の蒸着を行うにあたり、蒸着対象物の後方に磁石等を配置して当該蒸着対象物の前方の蒸着マスクを磁力によって引きつけることが必要な場合には、当該金属板１０を磁性体で形成することが好ましい。磁性体の金属板１０としては、純鉄、炭素鋼、Ｗ鋼、Ｃｒ鋼、Ｃｏ鋼、ＫＳ鋼、ＭＫ鋼、ＮＫＳ鋼、Ｃｕｎｉｃｏ鋼、Ａｌ−Ｆｅ合金等を挙げることができる。また、金属板１０そのものが磁性体でない場合には、当該材料に上記磁性体の粉末を分散させることにより磁性を付与してもよい。
【００１５】
金属板１０の厚みについても特に限定はないが、５μｍ〜１００μｍ程度であることが好ましい。蒸着時におけるシャドウの防止を考慮した場合、金属板１０の厚さは薄い方が好ましいが、５μｍより薄くした場合、破断や変形のリスクが高まるとともにハンドリングが困難となる可能性がある。ただし、本実施形態にかかる製造方法によって得られる蒸着マスク用材料においては、金属板１０は後述する熱硬化樹脂層と積層されていることから、金属板１０の厚さが５μｍと非常に薄い場合であっても、破断や変形のリスクを低減させることができ、５μｍ以上であれば使用可能である。なお、１００μｍより厚くした場合には、シャドウの発生が生じ得るため好ましくない。シャドウの発生を効果的に防止することができるメカニズムについては後述する。
【００１６】
上記のような金属板１０の一方の面に塗布される熱硬化性樹脂２０としては、将来において樹脂マスクとなることから、レーザー加工等によって高精細な開口部２５の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン−メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、その熱膨張係数が１６ｐｐｍ／℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が１．０％以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。
【００１７】
熱硬化性樹脂２０の厚みについては特に限定されないが、上述のごとく、当該熱硬化性樹脂２０は将来において樹脂マスクとなることから、蒸着を行ったときに、蒸着作成するパターンに不充分な蒸着部分、つまり目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる蒸着部分、所謂シャドウが生じることを防止する必要があり、この観点から、熱硬化性樹脂２０は可能な限り薄いことが好ましい。しかしながら、その厚みが５μｍ未満である場合には、ピンホール等の欠陥が生じやすく、また変形等のリスクが高まる。一方で、金属板１０の厚みにもよるが、２５μｍを超えるとシャドウの発生が生じ得る。この点を考慮すると熱硬化性樹脂２０の厚みは５μｍ以上２５μｍ以下であることが好ましい。シャドウの発生を効果的に防止することができるメカニズムについては後述する。
【００１８】
金属板１０に上記の熱硬化性樹脂２０を塗布する方法についても特に限定されることはなく、従来公知の種々の塗布方法から適宜選択して用いればよい。具体的には、例えばコンマコーティング、ナイフコーティング、ダイコーティングなどを挙げることができる。
【００１９】
本実施形態にかかる製造方法においては、次いで、図１（ｂ）に示すように、金属板１０の表面に酸化皮膜が形成されない条件にて、前記塗布された熱硬化性樹脂２０を仮硬化または硬化させて熱硬化樹脂層２１を形成する工程を行う。
【００２０】
ここで、「熱硬化性樹脂２０を仮硬化または硬化させて熱硬化性樹脂層２１を形成する」とは、この後に行われる金属板１０をエッチングする工程において、当該熱硬化性樹脂２０がエッチング剤に侵されない程度に、かつ金属板表面から流れ落ちることがない程度に硬化させることを意味し、具体的な硬化具合については、使用する樹脂の種類などにより適宜調整すればよい。また、「金属板１０の表面に酸化皮膜が形成されない条件」とは、金属板１０の表面に酸化皮膜が形成されてしまうと、この後に行われる金属板１０をエッチングする工程において、当該酸化皮膜がエッチングの障害となり、所望のエッチングができなくなることから、このような酸化皮膜が形成されないようにすることを意味し、使用される金属板の種類や熱硬化性樹脂を仮硬化または硬化させる温度や雰囲気などにより、適宜調整することが必要となる。
【００２１】
具体的には、例えば、金属板１０としてインバー材を用い、熱硬化性樹脂２０としてポリイミドを用いた場合においては、大気中にて２００℃以下の温度で加熱することにより、インバー材の表面に酸エッチングの進行を阻害するような強固な酸化皮膜が形成されることなく、ポリイミドを仮硬化せしめ熱硬化樹脂層２０を形成することができる。また、酸素がない雰囲気にて、たとえば窒素雰囲気にて３５０℃の温度で加熱することにより、インバー材の表面に酸化皮膜が形成されることなく、ポリイミドを硬化せしめ熱硬化樹脂層２０を形成することができる。
【００２２】
本実施形態にかかる製造方法においては、次いで、図１（ｃ）〜（ｅ）に示すように、前記金属板１０の前記熱硬化樹脂層３１と接しない面側（図では上面側）からエッチング加工し、当該金属板１０のみを貫通するスリットを形成することにより金属マスクを形成する工程を行う。
【００２３】
本工程において行われるエッチング加工については特に限定することはなく、所望のスリットを形成することで金属マスクを完成させることができればよい。具体的には、例えば、図１（ｃ）に示すように、金属板１０の前記熱硬化樹脂層２１と接しない面にレジスト材３０を塗工し、スリットパターンが形成されたマスク３１を用いて当該レジスト材３０をマスキングし、露光、現像する。これにより、図１（ｄ）に示すように、金属板１０の表面にレジストパターン３２を形成する。そして、当該レジストパターン３２を耐エッチングマスクとして用いて、金属板１０のみをエッチング加工し、エッチング終了後に前記レジストパターンを洗浄除去する。これにより、図１（ｅ）に示すように、金属板１０のみにスリット１１が形成され、金属マスク１２を得ることができる。また、他にも、例えば、エッチング材を噴射ノズルから所定の噴霧圧力で噴霧するスプレーエッチング法、エッチング材が充填されたエッチング液中に浸漬する浸漬エッチング法、金属板１０を回転台にとりつけて、エッチング材を滴下するスピンエッチング法等のウェットエッチング法や、ガス、プラズマ等を利用したドライエッチング法を用いることができる。さらに、エッチング材についても特に限定はなく、金属板１０の金属材料を侵食除去することができる従来公知のエッチング材を適宜選択して用いることができる。例えば、ウェットエッチングに用いられるエッチング材としては、弗酸等を挙げることができる。ドライエッチングに用いられるエッチング材としては、四フッ化炭素などのガスを挙げることができる。なお、形成されるスリット１１の形状や大きさについては特に限定されることはなく、自由に設計可能である。
【００２４】
また、ここで用いられるレジスト材としては、処理性が良く、所望の解像性があるものを用いることが好ましい。また、エッチング加工の際に用いるエッチング剤については、特に限定されることはなく、公知のエッチング剤を適宜選択すればよい。より具体的にはレジスト材は、ポジ型のレジスト材であっても、ネガ型のレジスト材であってもよい。ポジ型のレジスト材としては、東京応化工業（株）製のＯＦＰＲ８００、ＴＦＲ−Ｈ、ＴＦＲ−７９０等を用いることができる。さらに、現像によってレジストパターンを形成するための現像液についても限定はない。例えば、レジスト材として東京応化工業（株）製のレジスト材ＯＦＰＲ８００等を用いる場合には、現像液として東京応化工業（株）製のＮＭＤ−３等を用いることができる。本実施形態にかかる製造方法においては、金属板１０の表面には酸化皮膜が形成されていないため、エッチングが妨害されることないため、所望の解像度でエッチングすることができる。
【００２５】
本実施形態にかかる製造方法においては、次いで、図１（ｆ）に示すように、金属マスク１２およびその表面に位置する熱硬化樹脂層２１を加熱することで、金属マスク１２の表面に酸化皮膜１３を形成する工程を行う。
【００２６】
このように、金属マスク１２を形成した段階で再度の加熱を行うことにより、当該金属マスク１２の表面に酸化皮膜１３を形成することで、当該金属マスク１２の強度を高めることができるとともに、当該金属マスク１２の耐薬品性を高めることもできる。これにより最終的に蒸着マスクとした場合に、強度が高いため、より大型化を図ることができるとともに、蒸着マスクを酸などにより洗浄して長期間にわたり使用する場合において、その耐久性を向上することができる。
【００２７】
当該工程においては、金属マスク１２の表面に酸化皮膜１３が形成されるような条件にて加熱を行えばよく、その具体的な条件は、金属マスク１２の材質などを考慮して適宜設定すればよい。例えば、上述のように金属マスク１２がインバー材により構成されている場合には、大気中にて３５０℃で加熱すれば酸化皮膜を形成することができる。なお、当該工程により、熱硬化樹脂層２１が仮硬化状態の場合であっても本硬化せしめることができる。
【００２８】
以上の工程により、蒸着マスク用材料４０を得ることができる。
【００２９】
（蒸着マスクの製造方法）
次に、本発明の実施形態にかかる蒸着マスクの製造方法について図面を用いて具体的に説明する。
【００３０】
図２は、本発明の実施形態にかかる蒸着マスクの製造方法を説明するための工程図である。
【００３１】
図２に示すように、本実施形態にかかる蒸着マスクの製造方法は、図１で説明した蒸着マスク用材料の製造方法によって製造された蒸着マスク用材料４０を用い、さらに、蒸着マスク用材料４０の熱硬化樹脂層２１に、蒸着作製するパターンに対応した開口部２２を形成することにより樹脂マスク２３を形成する工程を行う。
【００３２】
開口部２２の形成方法について特に限定はなく、例えば、熱硬化樹脂層２１にレーザーを照射して開口部２２を形成するレーザー加工法、エッチング加工によって開口部２２を形成する方法、物理的な手段、例えば、カッター等を用いて開口部２２を形成する方法等を挙げることができる。中でも、レーザー加工法によれば、高精細な開口部２２を容易に形成することができる点で好ましい。以下、レーザー加工方法を用いて熱硬化樹脂層２１に開口部２２を形成する点を中心に説明する。なお、本願明細書において蒸着作製するパターンとは、本発明の製造方法によって得られる蒸着マスクを用いて作製しようとするパターンを意味し、例えば、当該蒸着マスクを有機ＥＬ素子の有機層の形成に用いる場合には、蒸着パターンは当該有機層の形状である。
【００３３】
この工程で用いるレーザー装置については特に限定されることはなく、従来公知のレーザー装置を用いればよい。また、レーザーを照射する際の各種条件、たとえば、レーザーの照射方向、レーザー出力や、レーザー照射領域についても特に限定されることはなく、適宜設計可能であるが、レーザーの照射方向にあっては、図４（ａ）に示すように金属マスク１２側から照射をすることが好ましい。この方向からレーザーの照射を行うことで、レーザーのエネルギーの減衰を利用して、熱硬化樹脂層２１に形成される開口部２２の形状を後述するようないわゆるテーパー形状とすることができるからである。一方で、図４（ｂ）に示すように、熱硬化樹脂層２１側からレーザーを照射する場合には、レーザーのエネルギーの減衰により図４（ｂ）に示される断面形状の開口部２２となる可能性もあるが、レーザーの照射位置や、照射エネルギー等を適宜調整する、或いは照射位置を段階的に変化させる多段階のレーザー照射を行うことで、図４（ａ）に示すように蒸着源側に向かって広がりをもつ断面形状の開口部２２とすることもできる。
【００３４】
レーザーにより熱硬化樹脂層２１に形成される開口部２２の形状、大きさについて特に限定はなく、蒸着作製するパターンに対応する形状、大きさであればよい。また、隣接する開口部２２の横方向のピッチや、縦方向のピッチについても蒸着作製するパターンに応じて適宜設定することができる。
【００３５】
開口部２２の断面形状についても特に限定はなく、開口部２２を形成する樹脂マスク２３の向かいあう端面同士が略平行であってもよいが、開口部２２はその断面形状が、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。換言すれば、金属マスク１２側に向かって広がりをもつテーパー面を有していることが好ましい。開口部２２の断面形状を当該構成とすることにより、本実施形態にかかる製造方法にて得られる蒸着マスクを用いて蒸着を行ったときに、蒸着作成するパターンにシャドウが生じることを防止することができる。テーパー角については、樹脂マスク２３の厚み等を考慮して適宜設定することができるが、樹脂マスク２３の開口部２２における下底先端と、同じく樹脂マスク２３の開口部２２における上底先端を結んだ角度が２５°〜６５°の範囲内であることが好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。また、図２においては、開口部２２を形成する端面は直線形状であるが、これに限定されることはなく、外に凸の湾曲形状となっている、つまり開口部２２の全体の形状がお椀形状となっていてもよい。
【００３６】
これにより、図２に示すような、蒸着マスク５０を得る。当該製造方法によって製造される蒸着マスク５０は、金属マスク１２と樹脂マスク２３とが組み合された構成をとる。ここで、当該蒸着マスク５０の質量と、従来公知の金属のみから構成される蒸着マスクの質量とを、蒸着マスク全体の厚みが同一であると仮定して比較すると、従来公知の蒸着マスクの金属材料の一部を樹脂材料に置き換えた分だけ、当該製造方法によって製造される蒸着マスク５０の方が軽くなる。また、金属のみから構成される蒸着マスクを用いて、軽量化を図るためには、当該蒸着マスクの厚みを薄くする必要などがあるが、蒸着マスクの厚みを薄くした場合には、蒸着マスクを大型化した際に、蒸着マスクに歪みが発生する場合や、耐久性が低下する場合が起こる。一方、当該製造方法によれば、大型化したときの歪みや、耐久性を満足させるべく、蒸着マスク全体の厚みを厚くしていった場合であっても、樹脂マスク２３の存在によって、金属のみから形成される蒸着マスクよりも軽量化が図られた蒸着マスクを製造することができる。また、金属マスク１２の表面には酸化皮膜が形成されている分だけ、強度を向上することができ、これにより蒸着マスクの大型化を図ることができる。さらに、酸化皮膜が形成されていることから、耐薬品性にも優れており、酸などによって複数回洗浄されても、長期間の使用が可能である。
【００３７】
なお、金属マスク１２に設けられるスリットパターンと樹脂マスク２３に設けられる開口部２２との関係については特に限定されることはなく、金属マスク１２に設けられるスリットは、縦方向もしくは横方向に延びるスリットであってもよく、また、当該スリットに対し、樹脂マスク２３に設けられる開口部２２にあっても、何れの配置をも取り得る。
【００３８】
図３は、シャドウの発生と金属マスク１２のスリット１１との関係を説明するための部分概略断面図である。
【００３９】
最後にシャドウについて説明する。本願明細書でいうシャドウとは、本発明の製造方法で得られる蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンの形成を行ったときに、蒸着対象物上に蒸着形成されるパターンに不十分な蒸着部分、つまり目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる蒸着部分が生ずる現象のことを言う。以下、図３（ａ)〜図３（ｃ）を用いてシャドウの発生と、金属マスク１２の厚みとの関係について具体的に説明する。図３（ａ）に示すように、金属マスク１２の厚みが薄い場合には、蒸着源から蒸着対象物に向かって放出される蒸着材は、金属マスク１２のスリットの内壁面や、金属マスク１２の樹脂マスク２３が形成されていない側の表面に衝突することなく金属マスク１２のスリット及び樹脂マスク２３の開口部２２を通過して蒸着対象物へ到達する。これにより、蒸着対象物上へ、均一な膜厚での蒸着パターンの形成が可能となる。つまりシャドウの発生を防止することができる。一方、図３（ｂ）に示すように、金属マスク１２の厚みが厚い場合、例えば、金属マスク１２の厚みが１００μｍを超える厚みである場合には、蒸着源から放出された蒸着材の一部は、金属マスク１２のスリットの内壁面や、金属マスク１２の樹脂マスク２３が形成されていない側の表面に衝突し、蒸着対象物へ到達することができない。蒸着対象物へ到達することができない蒸着材が多くなるほど、蒸着対象物に目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる未蒸着部分が生ずる、シャドウが発生することとなる。
【００４０】
シャドウ発生を十分に防止するには、図３（ｃ）に示すように、スリットの断面形状を、蒸着源に向かって広がりをもつような形状とすることが好ましい。このような断面形状とすることで、蒸着マスク５０に生じうる歪みの防止、或いは耐久性の向上を目的として、金属マスク１２の厚みを比較的厚くした場合であっても、蒸着源から放出された蒸着材が、スリットの当該表面や、内壁面に衝突等することなく、蒸着材を蒸着対象物へ到達させることができる。これにより、シャドウ発生をより効果的に防止することができる。
【００４１】
以上説明した本発明の蒸着マスクの製造方法によって製造される蒸着マスクの用途について限定されることはないが、高精細な蒸着膜の形成が要求される分野、例えば、有機ＥＬ素子の有機層や、カソード電極の形成、有機半導体の形成等の用途に用いられる蒸着マスクとして好適である。
【符号の説明】
【００４２】
１０…金属板
１１…スリット
１２…金属マスク
２０…熱硬化性樹脂
２１…熱硬化樹脂層
２２…開口部
２３…樹脂マスク
４０…蒸着マスク用材料
５０…蒸着マスク
【図１】
2014067500.tif 000003
【図２】
2014067500.tif 000004
【図３】
2014067500.tif 000005
【図４】
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