【手続補正書】
【提出日】令和3年8月13日(2021.8.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
結合部試験の間に基板上の結合部に接触するように構成された試験ツールチップを有して、開放形態に付勢された一対の対向する顎部を有している、試験ツールと、
前記試験ツールに結合された撓み部と、
閉鎖部材と、
前記閉鎖部材に駆動力を適用するように構成された駆動機構と、
変位センサと、
検出可能部材と、
前記変位センサからの変位信号を受容し、当該変位信号を用いて前記撓み部の力を決定するように構成されたプロセッサと、
を備えた結合部試験装置であって、
当該結合部試験装置は、前記一対の対向する顎部を有する前記試験ツールを用いて引張試験を実施するように構成されており、
前記閉鎖部材は、前記基板の面に平行な方向に沿って前記顎部を閉鎖するように、前記顎部に閉鎖力を適用し、
前記検出可能部材と前記変位センサとの内の一方が、前記撓み部の第１端に固定されており、
前記検出可能部材と前記変位センサとの内の他方が、前記撓み部の第２端に固定されており、
前記変位センサは、当該変位センサと前記検出可能部材との間の変位を検出するように構成されており、
前記変位センサは、前記撓み部への力の適用時に当該撓み部の前記第１端の当該撓み部の前記第２端に対する変位の測定値を提供する
ことを特徴とする結合部試験装置。
【請求項２】
前記プロセッサは、更に、前記撓み部の予め知られた剛性と共に前記変位信号を用いて前記撓み部の前記力を決定するように構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の結合部試験装置。
【請求項３】
前記変位センサは、更に、前記撓み部の前記第１端の前記変位に比例する変位信号を出力するように構成されている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の結合部試験装置。
【請求項４】
前記検出可能部材は、磁石部を有しており、
前記磁石部と前記変位センサとの内の一方が、前記撓み部の前記第１端に固定されており、
前記変位センサは、磁界の変化を検出するように構成されており、
前記撓み部の前記第１端の前記第２端に対する変位は、前記磁石部を前記変位センサに対して移動させ、前記変位センサが磁界の変化を検出する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の結合部試験装置。
【請求項５】
前記変位センサは、ホール効果センサである
ことを特徴とする請求項１または２に記載の結合部試験装置。
【請求項６】
前記変位センサは、光学的変位センサである
ことを特徴とする請求項１または２に記載の結合部試験装置。
【請求項７】
前記試験ツールは、前記撓み部の前記第１端に固定されており、
前記結合部による前記試験ツールへの試験力の適用が、前記撓み部の前記第１端の相対変位をもたらす
ことを特徴とする請求項１または２に記載の結合部試験装置。
【請求項８】
前記駆動機構は、前記駆動力を前記閉鎖部材に適用している間に当該駆動機構によって移動された距離を測定するように構成された駆動機構距離センサを有している
ことを特徴とする請求項１または２に記載の結合部試験装置。
【請求項９】
前記駆動機構は、前記試験ツールの前記顎部が前記結合部を把持する時、前記駆動力の適用が前記撓み部の前記第１端を前記第２端に対して変位させる、というように構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の結合部試験装置。
【請求項１０】
前記駆動機構は、前記撓み部の前記第１端に取り付けられており、
前記撓み部の前記第１端は、前記試験ツールに対して移動可能であり、
前記駆動機構は、前記試験ツールの前記顎部が前記結合部を把持する時、前記駆動力の適用が前記閉鎖部材と前記駆動機構との間で反力を生成し、当該反力が前記撓み部の前記第１端を前記第２端に対して変位させる、というように構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の結合部試験装置。
【請求項１１】
前記閉鎖部材は、前記顎部の少なくとも一部を取り囲むように配置されたスリーブを有し、
前記スリーブは、前記顎部に対して軸方向に移動可能であって、前記顎部に対する前記スリーブの移動が前記顎部に前記閉鎖力を適用する、というように前記顎部と係合するように構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の結合部試験装置。
【請求項１２】
前記スリーブは、摩擦材料を含んでおり、前記スリーブと前記顎部と間の摩擦力が、使用中、前記顎部への前記閉鎖力より、少なくとも１０倍小さい
ことを特徴とする請求項１１に記載の結合部試験装置。
【請求項１３】
前記スリーブは、前記顎部から離れる方向に付勢されており、
前記駆動機構は、前記スリーブを前記顎部に向けて移動する方向に前記駆動力を適用するように構成されている
ことを特徴とする請求項１１に記載の結合部試験装置。
【請求項１４】
前記駆動機構は、モータと、リードネジと、前記リードネジ上に取り付けられたナットと、を有しており、
前記モータは、前記リードネジを回転するように構成されており、
前記ナットは、前記モータによる前記リードネジの回転時に、前記リードネジに対して移動可能であり、
前記駆動機構は、前記リードネジに対する前記ナットの移動が前記駆動力を前記閉鎖部材に適用する、というように構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の結合部試験装置。
【請求項１５】
前記駆動機構は、レバーを更に有し、
前記ナットは、前記レバーの第１端と移動可能に係合されており、
前記レバーは、前記第１端とは反対側の第２端回りに回動可能であり、使用中、前記リードネジに沿った前記ナットの移動が前記レバーの前記第１端を移動させて、前記レバーが前記第２端回りに回動する
ことを特徴とする請求項１４に記載の結合部試験装置。
【請求項１６】
前記レバーは、前記閉鎖部材に当接するように配置されたカム機構を有し、
前記カム機構は、前記第２端回りの前記レバーの回動によって、使用中、カムが前記閉鎖部材に前記駆動力を適用する、というように構成されている
ことを特徴とする請求項１５に記載の結合部試験装置。
【請求項１７】
前記撓み部は、第１撓み部であり、
前記試験ツール、前記変位センサ、及び、前記第１撓み部が、第２撓み部の第１端に取り付けられており、
前記第２撓み部の前記第１端は、当該第２撓み部の第２端に対して移動可能であり、
当該結合部試験装置は、更に、第２センサを有しており、
前記第２センサは、前記試験ツールによる前記結合部への試験力の適用時に前記第２撓み部の前記第１端の前記第２撓み部の前記第２端に対する変位を測定するように構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の結合部試験装置。
【請求項１８】
前記試験ツール、前記第１撓み部、及び、前記第１センサは、前記顎部上の閉鎖力を測定するように構成されている
ことを特徴とする請求項１７に記載の結合部試験装置。
【請求項１９】
当該結合部試験装置は、更に、前記試験ツールに対して相対的に固定された１または複数の光源を備えており、前記１または複数の光源からの光を前記試験ツールチップに向けるように構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の結合部試験装置。
【請求項２０】
前記顎部が前記結合部に接触している時、前記駆動力は、前記結合部での前記顎部の前記閉鎖力に比例して、前記撓み部の前記第１端を前記撓み部の前記第２端に対して変位させる
ことを特徴とする請求項１に記載の結合部試験装置。
【請求項２１】
結合部試験装置用のカートリッジであって、
結合部試験の間に基板上の結合部に接触するように構成された試験ツールチップを有し、開放形態に付勢された一対の対向する顎部を有している、試験ツールと、
前記試験ツールに結合された撓み部と、
閉鎖部材と、
前記閉鎖部材に駆動力を適用するように構成された駆動機構と、
変位センサと、
検出可能部材と、
を備え、
当該カートリッジは、前記一対の対向する顎部を有する前記試験ツールを用いて引張試験を実施するように構成されており、
前記閉鎖部材は、前記基板の面に平行な方向に沿って前記顎部を閉鎖するように、前記顎部に閉鎖力を適用し、
前記検出可能部材と前記変位センサとの内の一方が、前記撓み部の第１端に固定されており、
前記検出可能部材と前記変位センサとの内の他方が、前記撓み部の第２端に固定されており、
前記変位センサは、当該変位センサと前記検出可能部材との間の変位を検出するように構成されており、
前記変位センサは、前記撓み部への力の適用時に当該撓み部の前記第１端の当該撓み部の前記第２端に対する変位の測定値を提供する
ことを特徴とするカートリッジ。
【請求項２２】
当該カートリッジは、更に、
前記試験ツールに対して相対的に固定された１または複数の光源と、
当該１または複数の光源からの光を前記試験ツールチップに向けるように構成され前記試験ツールに対して相対的に固定された光案内部と、
を備えることを特徴とする請求項２１に記載のカートリッジ。
【請求項２３】
前記顎部が前記結合部に接触している時、前記駆動力は、前記結合部での前記顎部の前記閉鎖力に比例して、前記撓み部の前記第１端を前記撓み部の前記第２端に対して変位させる
ことを特徴とする請求項２１に記載のカートリッジ。
【請求項２４】
結合部試験装置内の力を測定する方法であって、
結合部試験の間に基板上の結合部に接触するように構成された試験ツールチップと、開放形態に付勢された一対の対向する顎部と、を有している試験ツール、を提供する工程と、
第２端に対して移動可能な第１端を有する撓み部を提供する工程と、
閉鎖部材を提供する工程と、
前記閉鎖部材に駆動力を適用するように構成された駆動機構を提供する工程と、
変位センサ及び検出可能部材を提供する工程と、
を備え、
前記結合部試験装置は、前記一対の対向する顎部を有する前記試験ツールを用いて引張試験を実施するように構成されており、
前記閉鎖部材は、前記基板の面に平行な方向に沿って前記顎部を閉鎖するように、前記顎部に閉鎖力を適用し、
前記検出可能部材と前記変位センサとの内の一方が、前記撓み部の前記第１端に固定されており、
前記検出可能部材と前記変位センサとの内の他方が、前記撓み部の前記第２端に固定されており、
前記変位センサは、当該変位センサと前記検出可能部材との間の変位を検出するように構成されており、
当該方法は、更に、
前記撓み部の前記第１端に反力を適用する工程と、
前記変位センサを用いて、前記撓み部の前記第１端の前記撓み部の前記第２端に対する変位を測定する工程と、
前記測定された変位を用いて、前記撓み部上の反力を決定する工程と、
を備えた方法。
【請求項２５】
前記反力を決定する工程は、前記測定された変位と前記撓み部の既知の剛性とに基づいて前記撓み部上の前記反力を計算する工程を含んでいる
ことを特徴とする請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
結合部試験装置の結合部試験ツールの一対の対向する顎部上の閉鎖力を測定する方法であって、
結合部試験の間に基板上の結合部に接触するように構成された試験ツールチップと、開放形態に付勢された前記一対の対向する顎部と、を有している前記結合部試験ツール、を提供する工程と、
第２端に対して移動可能な第１端を有する撓み部を提供する工程と、
閉鎖部材を提供する工程と、
変位センサ及び検出可能部材を提供する工程と、
前記撓み部の前記第１端に取り付けられ、前記閉鎖部材に駆動力を適用するように構成された駆動機構を提供する工程と、
を備え、
前記結合部試験装置は、前記一対の対向する顎部を有する前記結合部試験ツールを用いて引張試験を実施するように構成されており、
前記検出可能部材と前記変位センサとの内の一方が、前記撓み部の前記第１端に固定されており、
前記検出可能部材と前記変位センサとの内の他方が、前記撓み部の前記第２端に固定されており、
前記変位センサは、当該変位センサと前記検出可能部材との間の変位を検出するように構成されており、
前記閉鎖部材は、前記基板の面に平行な方向に沿って前記顎部を閉鎖するように、前記顎部に閉鎖力を適用し、
当該方法は、更に、
前記結合部周りに前記結合部試験ツールの前記顎部を位置決めする工程と、
前記駆動機構を用いて前記結合部試験ツールの前記顎部に前記閉鎖力を適用し、その結果、前記結合部が前記顎部を介して前記駆動機構へ反力を適用し、当該反力が前記撓み部の前記第２端に対する前記撓み部の前記第１端の変位を生じさせる工程と、
前記変位センサを用いて前記撓み部の前記第２端に対する前記撓み部の前記第１端の変位を測定する工程と、
測定された変位を用いて前記撓み部上の前記反力を計算する工程と、
を備えたことを特徴とする方法。
【請求項２７】
前記顎部に前記閉鎖力を適用する工程は、
前記顎部が前記結合部と接触するように前記閉鎖力を適用する工程と、
前記結合部が前記顎部を介して前記駆動機構に前記反力を適用するように前記顎部に更なる閉鎖力を適用する工程と、
を含んでいる
ことを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
前記反力を計算する工程は、前記測定された変位と前記撓み部の既知の剛性とに基づいて前記撓み部上の前記反力を計算する工程を含んでいる
ことを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項２９】
前記顎部に前記閉鎖力を適用する工程は、前記撓み部上の前記力が所定値に到達するまで前記閉鎖力を適用して前記顎部の分離を測定する工程を含んでいる
ことを特徴とする請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
駆動機構距離センサを用いて、前記顎部の分離を測定する工程
を更に備えたことを特徴とする請求項２６または２７に記載の方法。
【請求項３１】
前記顎部に前記閉鎖力を適用する工程は、前記顎部が所定の分離状態に到達するまで前記閉鎖力を適用して前記撓み部上の前記反力を測定する工程を含む
ことを特徴とする請求項３０に記載の方法。