(57)【要約】【課題】コアレス基板等の可撓性を有する基板を適切に固定できる構成を提供する。【解決手段】第１ステップでは、第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２の中央クランプ４０，４３で基板１１を把持する。第２ステップでは、第３クランプ機構３３及び第４クランプ機構３４で基板１１を把持する。第３ステップでは、第２移動機構５６によって第３クランプ機構３３及び第４クランプ機構３４を離間する方向に相対移動させる。第４ステップでは、第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２の端部クランプ４１，４２，４４，４５で基板１１を把持する。第５ステップでは、第１移動機構５５によって第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２を離間する方向に相対移動させる。【選択図】図１０
2014228347.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略矩形状かつ可撓性を有する基板を固定するための基板固定装置であって、
前記基板の第１辺を把持するクランプを、当該第１辺に沿って複数並べて有する第１クランプ機構と、
前記基板の前記第１辺に対向する第２辺を把持するクランプを、当該第２辺に沿って複数並べて有する第２クランプ機構と、
前記基板の前記第１辺及び第２辺に略直交する第３辺を把持するクランプを有する第３クランプ機構と、
前記基板の前記第３辺に対向する第４辺を把持するクランプを有する第４クランプ機構と、
前記基板を把持した状態の前記第１クランプ機構と前記第２クランプ機構を、離間する方向に相対移動させる第１移動機構と、
前記基板を把持した状態の前記第３クランプ機構と前記第４クランプ機構を、離間する方向に相対移動させる第２移動機構と、
を備えることを特徴とする基板固定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板固定装置であって、
前記基板の前記第１辺に接触可能な第１辺位置決めガイドと、
前記基板の前記第３辺に接触可能な第３辺位置決めガイドと、
前記基板を、前記第１辺位置決めガイド及び前記第３辺位置決めガイドに接触させる方向に移動させる基板寄せ機構と、
を備えることを特徴とする基板固定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板固定装置であって、
前記第１クランプ機構又は前記第３クランプ機構の少なくとも何れか一方は、当該基板固定装置の本体に対して固定されていることを特徴とする基板固定装置。
【請求項４】
請求項１から３までの何れか一項に記載の基板固定装置であって、
前記第１クランプ機構は、
前記第１辺の中央部近傍を把持する中央クランプと、
前記第１辺の端部近傍を把持する端部クランプと、
を前記第１辺に沿って並べて備え、
前記第２クランプ機構は、
前記第２辺の中央部近傍を把持する中央クランプと、
前記第２辺の端部近傍を把持する端部クランプと、
を前記第２辺に沿って並べて備えることを特徴とする基板固定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の基板固定装置であって、
前記各クランプ、前記第１移動機構、及び前記２移動機構を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記第１クランプ機構及び前記第２クランプ機構の前記中央クランプによって基板を把持した後で、前記端部クランプによって基板を把持するように制御することを特徴とする基板固定装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板固定装置であって、
前記制御部は、
前記第１クランプ機構及び前記第２クランプ機構の前記中央クランプで前記基板を把持する第１ステップ、
前記第３クランプ機構及び前記第４クランプ機構で前記基板を把持する第２ステップ、
前記第２移動機構によって前記第３クランプ機構及び前記第４クランプ機構を離間する方向に相対移動させる第３ステップ、
前記第１クランプ機構及び前記第２クランプ機構の前記端部クランプで前記基板を把持する第４ステップ、
前記第１移動機構によって前記第１クランプ機構及び前記第２クランプ機構を離間する方向に相対移動させる第５ステップ、
をこの順で実行することにより、前記基板を固定することを特徴とする基板固定装置。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の基板固定装置であって、
前記基板の固定を解除する際に、前記制御部は、当該基板を把持した順番とは逆の順番で、各クランプによる把持を解除していくことを特徴とする基板固定装置。
【請求項８】
請求項１から７までの何れか一項に記載の基板固定装置と、
当該基板固定装置で保持された基板を検査する検査部と、
を備えることを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として、コアレス基板を保持するための基板固定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板に形成された回路パターンを検査する基板検査装置が公知である。この種の基板検査装置は、基板を所定の位置で保持する基板固定装置を備えている。特許文献１及び２には、このような基板固定装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５１７９２８９号公報
【特許文献２】特開２０１２−８３２５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような従来の基板固定装置は、一般的なビルドアップ基板を固定することを想定している。ビルドアップ基板は、コア層（支持体層）を有しており、ある程度の剛性を備えている。従って、当該基板を基板固定装置によって固定する際に、基板が反ったり撓んだりする心配は少ない。
【０００５】
これに対し、近年はコアレス基板が普及しつつある。コアレス基板は、ビルドアップ基板からコア層（支持体層）を取り除いたものである。コアレス基板は、コア層を無くしたことにより、ビルドアップ層の配線を高密度化して半導体パッケージを高性能化できると期待されている。
【０００６】
しかしながら、コアレス基板はコア層が無いため、可撓性があり、反りや撓みが発生し易い。このため、従来の基板固定装置では、コアレス基板を適切に保持できない場合が生じ得る。
【０００７】
例えば、特許文献１の基板固定装置は、基板の４辺の中央部をそれぞれクランプして固定する構成であるが、固定された状態の基板の４隅はフリーになっている。このため、仮に特許文献１の構成でコアレス基板を固定した場合、基板の４隅が反り返ったり垂れ下がったりすることを防止できない。
【０００８】
また例えば特許文献２の基板固定装置は、基板の対向する２辺をそれぞれクランプして固定する構成であるが、他の２辺はクランプしない。このため、仮に特許文献２の構成でコアレス基板を固定した場合、基板に歪みが発生し易い。
【０００９】
以上のように、従来の基板固定装置では、コアレス基板を固定した際に、歪みなどが生じ得る。基板に歪みが生じていると、当該基板の回路パターンの検査を適切に行うことができない。
【００１０】
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、コアレス基板等の可撓性を有する基板を適切に固定できる構成を提供することにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【００１１】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
【００１２】
本願発明の観点によれば、略矩形状かつ可撓性を有する基板を固定するための基板固定装置の構成が、以下のとおり提供される。即ち、この基板固定装置は、第１クランプ機構と、第２クランプ機構と、第３クランプ機構と、第４クランプ機構と、第１移動機構と、第２移動記憶と、を備える。前記第１クランプ機構は、前記基板の第１辺を把持するクランプを、当該第１辺に沿って複数並べて有する。前記第２クランプ機構は、前記基板の前記第１辺に対向する第２辺を把持するクランプを、当該第２辺に沿って複数並べて有する。前記第３クランプ機構は、前記基板の前記第１辺及び第２辺に略直交する第３辺を把持するクランプを有する。前記第４クランプ機構は、前記基板の前記第３辺に対向する第４辺を把持するクランプを有する。前記第１移動機構は、前記基板を把持した状態の前記第１クランプ機構と前記第２クランプ機構を、離間する方向に相対移動させる。前記第２移動機構は、前記基板を把持した状態の前記第３クランプ機構と前記第４クランプ機構を、離間する方向に相対移動させる。
【００１３】
上記のように、基板の第１辺及び第２辺に沿って複数のクランプを並べて備えることで、当該基板の第１辺及び第２辺を、段階的に把持していくことができる。これにより、基板の各辺を一気に把持する場合に比べて、当該基板を把持する際に歪みが生じにくくなっている。また、クランプ機構によって基板を把持した状態で、クランプ機構同士を離す方向に移動させることにより、当該基板を引っ張ってテンションを付与し、反りや撓みを解消することができる。
【００１４】
上記の基板固定装置は、以下のように構成されることが好ましい。即ち、この基板固定装置は、第１辺位置決めガイドと、第３辺位置決めガイドと、基板寄せ機構と、を備える。前記第１辺位置決めガイドは、前記基板の前記第１辺に接触可能である。前記第３辺位置決めガイドは、前記基板の前記第３辺に接触可能である。前記基板寄せ機構は、前記基板を、前記第１辺位置決めガイド及び前記第３辺位置決めガイドに接触させる方向に移動させる。
【００１５】
このように、基板の２つの辺（第１辺及び第３辺）に位置決めガイドを接触させることで、当該基板を位置決めできる。位置決めした状態で基板を把持することにより、当該基板を正確な位置で固定できる。
【００１６】
上記の基板固定装置において、前記第１クランプ機構又は前記第３クランプ機構の少なくとも何れか一方は、当該基板固定装置の本体に対して固定されていることが好ましい。
【００１７】
即ち、仮に、基板を位置決めした後で、当該基板の第１辺及び第３辺が両方とも移動してしまうと、せっかく位置決めされた基板の位置がズレてしまう。そこで上記のように、第１クランプ機構と第３クランプ機構の少なくとも何れか一方は移動させないようにすることで、位置決めガイドで位置決めされた基板の位置がズレてしまうことを防止する。
【００１８】
上記の基板固定装置は、以下のように構成されることが好ましい。即ち、前記第１クランプ機構は、前記第１辺の中央部近傍を把持する中央クランプと、前記第１辺の端部近傍を把持する端部クランプと、を前記第１辺に沿って並べて備える。前記第２クランプ機構は、前記第２辺の中央部近傍を把持する中央クランプと、前記第２辺の端部近傍を把持する端部クランプと、を前記第２辺に沿って並べて備える。
【００１９】
上記のように、基板の中央部を把持するクランプと、両端部を把持するクランプを別々に備えれば、例えば、まず基板の中央部を把持し、その後に両端部を把持することができる。
【００２０】
上記の基板固定装置は、以下のように構成されることが好ましい。即ち、この基板固定装置は、前記各クランプ、前記第１移動機構、及び前記２移動機構を制御する制御部を備える。前記制御部は、前記第１クランプ機構及び前記第２クランプ機構の前記中央クランプによって基板を把持した後で、前記端部クランプによって基板を把持するように制御する。
【００２１】
即ち、仮に基板の両端部を最初に把持してしまうと、当該基板の反りや撓みが解消されないまま固定され、当該基板に歪みが生じてしまう。そこで上記のように、まず基板の中央部を把持し、その後に両端部を把持することで、基板の反りや弛みを解消するとともに、当該基板を確実に固定できる。
【００２２】
上記の基板固定装置は、以下のように構成されることが好ましい。即ち、前記制御部は、第１ステップ、第２ステップ、第３ステップ、第４ステップ、及び第５ステップをこの順で実行することにより、前記基板を固定する。前記第１ステップでは、前記第１クランプ機構及び前記第２クランプ機構の前記中央クランプで前記基板を把持する。前記第２ステップでは、前記第３クランプ機構及び前記第４クランプ機構で前記基板を把持する。前記第３ステップでは、前記第２移動機構によって前記第３クランプ機構及び前記第４クランプ機構を離間する方向に相対移動させる。前記第４ステップでは、前記第１クランプ機構及び前記第２クランプ機構の前記端部クランプで前記基板を把持する。前記第５ステップでは、前記第１移動機構によって前記第１クランプ機構及び前記第２クランプ機構を離間する方向に相対移動させる。
【００２３】
この順で基板を固定することにより、基板にテンションを付与して反りや撓みを解消しつつ、当該基板を正確に固定できる。
【００２４】
上記の基板固定装置において、前記基板の固定を解除する際には、制御部は、当該基板を把持した順番とは逆の順番で、各クランプによる把持を解除していくことが好ましい。
【００２５】
即ち、本願発明の基板固定装置は、把持した基板にテンションを付与した状態で固定するので、固定された状態の基板内部には応力が蓄積されている。仮に、不適切な順番でクランプの把持を解除した場合、基板内部の応力が急激に開放されて当該基板が跳ねたり破損したりする原因となる。そこで上記のように、基板を把持したときとは逆の順番でクランプの把持を解除することにより、基板の跳ねなどを防止する。
【００２６】
本願発明の別の観点によれば、上記の基板固定装置と、当該基板固定装置で保持された基板を検査する検査部と、を備える基板検査装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板検査装置の模式的な正面図。
【図２】本実施形態の基板検査装置が検査対象とする基板の模式的な平面図。
【図３】本実施形態の基板固定装置の平面図。
【図４】基板固定装置に基板を載置した様子を示す平面図。
【図５】位置決めステップの様子を示す平面図。
【図６】第１ステップの様子を示す平面図。
【図７】第２ステップの様子を示す平面図。
【図８】第３ステップの様子を示す平面図。
【図９】第４ステップの様子を示す平面図。
【図１０】第５ステップの様子を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。この実施形態に係る基板検査装置１０の概略的な正面図を図１に示す。
【００２９】
本実施形態の基板検査装置１０は、コアレス基板など、可撓性を有する基板１１に形成された回路パターンを検査するための装置である。
【００３０】
図１に示すように、基板検査装置１０は、筐体１２を有している。筐体１２の内部空間には、基板固定装置２０と、第１検査部２１と、第２検査部２２と、が主に設けられている。
【００３１】
基板固定装置２０は、検査対象の基板１１を所定の位置に固定するように構成されている。
【００３２】
第１検査部２１は、基板固定装置２０に固定された基板１１の上方に位置する。第２検査部２２は、基板固定装置２０に固定された基板１１の下方に位置する。第１検査部２１及び第２検査部２２は、前記基板１１に形成された回路パターンを検査するための検査治具２３を備えている。また、第１検査部２１及び第２検査部２２は、筐体１２内で適宜移動するために検査部移動機構２５を備えている。
【００３３】
基板検査装置１０は、前記基板固定装置２０、第１検査部２１、及び第２検査部２２等を制御する制御部２７を備えている。制御部２７は、検査部２１，２２を適宜移動させ、基板固定装置２０に固定された基板１１に検査治具２３を接触させることにより、当該基板１１が有する回路パターンを検査治具２３によって検査するように構成されている。
【００３４】
続いて、本実施形態の基板固定装置２０について詳しく説明する。
【００３５】
前述のように、本実施形態の基板固定装置２０は、コアレス基板などの可撓性を有する基板１１を固定することを想定している。一般的に、基板１１は矩形状（又は略矩形状）である。図２に示すように、説明の便宜上、矩形状の基板１１の４つの辺のうちの１つを「第１辺」と呼び、当該第１辺に対向する辺を「第２辺」と呼ぶことにする。また、第１辺及び第２辺に直交する辺の一方を「第３辺」、当該第３辺に対向する辺を「第４辺」と呼ぶことにする。本実施形態の基板１１は、第１辺及び第２辺が長辺となる長方形状となっている。もっとも、基板１１は正方形状であっても良い。なお、図面上で基板１１をわかり易く強調して示すため、基板１１はハッチングを施して図示している。
【００３６】
図３に示すように、基板固定装置２０は、複数のクランプ４０〜４７を有している。各クランプ４０〜４７は、載置部３０を有している。各載置部３０の上に基板１１を載せることにより、当該基板１１を略水平な姿勢で支えることが可能となっている。各載置部３０に基板１１を載せた状態（図４に示す状態）を、「基板固定装置２０に基板１１を載置した状態」のように表現することがある。
【００３７】
各クランプ４０〜４７は、載置部３０に載せた基板１１を把持できるように構成されている。また、各クランプ４０〜４７は、例えば空気圧アクチュエータなどの駆動機構（図略）をそれぞれ備えており、基板１１を把持した状態と、当該把持を解除した状態と、を切り換えることができるように構成されている。各クランプ４０〜４７の駆動機構は、前述の制御部２７によって制御されている。なお、この種のクランプの構成は公知であるから、クランプ４０〜４７の詳細な構成については説明を省略する。
【００３８】
以上の複数のクランプ４０〜４７によって基板１１を把持することにより、当該基板１１を、基板固定装置２０に対して固定できる。なお、説明の便宜上、基板固定装置２０に基板１１を固定したときに、当該基板１１の第１辺及び第２辺と平行な軸を基板固定装置２０のＹ軸、第３辺及び第４辺と平行な軸を基板固定装置２０のＸ軸とする。
【００３９】
本実施形態の基板固定装置２０は、基板１１の各辺に対応して、クランプ機構を備えている。具体的には図３に示すように、基板固定装置２０は、基板１１の第１辺に対応した第１クランプ機構３１、第２辺に対応した第２クランプ機構３２、第３辺に対応した第３クランプ機構３３、第４辺に対応した第４クランプ機構３４、を備えている。
【００４０】
図３に示すように、第１クランプ機構３１は、３つのクランプ４０，４１，４２を、Ｙ軸に沿って並べて有している。説明の便宜上、３つのクランプのうち、中央のクランプ４０を「中央クランプ」、両サイドのクランプ４１，４２を「端部クランプ」と呼ぶ。中央クランプ４０は、基板１１の第１辺の中央部近傍を把持する。また、端部クランプ４１，４２は、基板１１の第１辺の端部近傍をそれぞれ把持する。
【００４１】
中央クランプ４０のＹ軸方向の中心を通り、かつＸ軸と平行な仮想線を対称軸として、端部クランプ４１，４２が略線対称に配置されている。このように、中央クランプ４０及び端部クランプ４１，４２が対称形に配置されているので、基板１１の第１辺を、ほぼその全長にわたり、ほぼ均一に把持できる。
【００４２】
第２クランプ機構３２は、第１クランプ機構３１に対向して配置されている。第２クランプ機構３２は、３つのクランプ４３，４４，４５を、Ｙ軸に沿って並べて有している。説明の便宜上、３つのクランプのうち、中央のクランプ４３を「中央クランプ」、両サイドのクランプ４４，４５を「端部クランプ」と呼ぶ。中央クランプ４３は、基板１１の第２辺の中央部近傍を把持する。また、端部クランプ４４，４５は、基板１１の第２辺の端部近傍をそれぞれ把持する。
【００４３】
中央クランプ４３のＹ軸方向の中心を通り、かつＸ軸と平行な仮想線を対称軸として、端部クランプ４４，４５が略線対称に配置されている。このように、中央クランプ４３及び端部クランプ４４，４５が対称形に配置されているので、基板１１の第２辺を、ほぼその全長にわたり、ほぼ均一に把持できる。
【００４４】
第３クランプ機構３３は、１つのクランプ４６を有している。クランプ４６は、基板１１の第３辺を、ほぼその全長にわたって把持する。
【００４５】
第４クランプ機構３４は、第３クランプ機構３３に対向して配置されており、１つのクランプ４７を有している。クランプ４７は、基板１１の第４辺を、ほぼその全長にわたって把持する。
【００４６】
図３に示すように、第１クランプ機構３１は、２つの第１辺位置決めガイド５０，５１を備えている。第１辺位置決めガイド５０，５１は、基板固定装置２０に載置された状態の基板１１の、第１辺の端部近傍にそれぞれ接触可能に配置されている（図５等を参照）。
【００４７】
また図３に示すように、第３クランプ機構３３は、２つの第３辺位置決めガイド５２，５３を備えている。第３辺位置決めガイド５２，５３は、基板固定装置２０に載置された状態の基板１１の、第３辺の端部近傍にそれぞれ接触可能に配置されている（図５等を参照）。
【００４８】
図３に示すように、基板固定装置２０は、基板寄せ機構３５を備えている。基板寄せ機構３５は、進退可能な基板寄せ部材４８と、当該基板寄せ部材４８を進退駆動する駆動部４９と、を備えている。基板寄せ機構３５は、基板１１の第２辺と第４辺が交わる角（カド）に対応して配置されている。駆動部４９は、制御部２７によって制御されている。
【００４９】
図４に示すように、基板寄せ部材４８は、基板固定装置２０に載置された状態の基板１１に接触しない位置まで退避させることができるように構成されている。また、図５に示すように、駆動部４９によって基板寄せ部材４８を進出させることにより、当該基板寄せ部材４８を基板１１の角に接触させて、当該基板１１を、Ｘ軸及びＹ軸に対して斜め方向に押すことができるように構成されている。基板寄せ部材４８によって基板１１を押すことにより、当該基板１１の第１辺が第１辺位置決めガイド５０，５１に、基板１１の第３辺が第３辺位置決めガイド５２，５３に、それぞれ押し当てられる（図５の状態）。これにより、当該基板１１を、基板固定装置２０に対して位置決めできるようになっている。
【００５０】
基板固定装置２０は、第１移動機構５５を備えている。第１移動機構５５は、第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２を、Ｘ軸と平行な方向で相対移動させることができるように構成されている。これにより、第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２を、互いに接近又は離間する方向に相対移動させることができる。第１移動機構５５の動作は、制御部２７によって制御されている。
【００５１】
なお、本実施形態の第１移動機構５５は、第２クランプ機構３２のみを移動させ、第１クランプ機構３１は移動させないように構成されている。第１クランプ機構３１は、基板固定装置２０の本体に対して固定されている。従って、第１クランプ機構３１は、基板検査装置１０の筐体１２に対して固定されている。
【００５２】
また、基板固定装置２０は、第２移動機構５６を備えている。第２移動機構５６は、第３クランプ機構３３及び第４クランプ機構３４を、Ｙ軸と平行な方向で相対移動させることができるように構成されている。これにより、第３クランプ機構３３及び第４クランプ機構３４を、互いに接近又は離間する方向に相対移動させることができる。第２移動機構５６の動作は、制御部２７によって制御されている。
【００５３】
なお、本実施形態の第２移動機構５６は、第３クランプ機構３３及び第４クランプ機構３４の両方を移動させることができるように構成されている。
【００５４】
続いて、本実施形態の基板固定装置２０によって基板１１を固定する動作を、順を追って具体的に説明する。
【００５５】
まず、制御部２７は、図３に示すように、全てのクランプ４０〜４７を開放した状態（把持を解除した状態）とする。次に、検査対象の基板１１を、基板固定装置２０に載置する。基板固定装置２０に基板１１を載置した状態を、図４に示す。
【００５６】
なお、基板１１を基板固定装置２０に載置する方法は、特に限定されない。例えば本実施形態の基板検査装置１０は、基板１１を移載する基板移載装置（図略）を備えている。制御部２７は、前記基板移載装置を適宜制御することにより、基板１１を基板固定装置２０に載置する。もっとも、これに限らず、例えば作業者の手作業により、基板１１を基板固定装置２０に載置しても良い。
【００５７】
続いて、制御部２７は、基板寄せ機構３５の駆動部４９を駆動して、基板寄せ部材４８を進出させる（図５、位置決めステップ）。これにより、基板寄せ部材４８によって基板１１が斜めに押され、当該基板１１が位置決めガイド５０〜５３に押し当てられる結果、当該基板１１が基板固定装置２０に対して位置決めされる。
【００５８】
次に、制御部２７は、基板寄せ機構３５の駆動部４９を駆動して、基板寄せ部材４８を退避させる。このように、基板１１の位置決めが終わった後は、基板寄せ部材４８を速やかに退避させる。これにより、基板寄せ部材４８が後の工程（第１ステップから第５ステップ）で邪魔になることを防ぐことができる。
【００５９】
続いて、制御部２７は、中央クランプ４０及び４３により、基板１１の第１辺及び第２辺の中央部近傍を把持させる（図６、第１ステップ）。これにより、基板１１のＹ軸方向の中央部が固定される。
【００６０】
即ち、本実施形態の基板固定装置２０が取り扱う基板１１は、コアレス基板などの可撓性を有する基板であるため、基板固定装置２０に載置された状態の基板１１には反りや撓みが生じている可能性がある。仮に、反ったり撓んだりしている基板１１の両端部を最初に固定してしまうと、当該基板１１に歪みが生じてしまう。
【００６１】
そこで上記のように、本実施形態の基板固定装置２０は、基板１１の第１辺及び第２辺の中央部近傍を最初に把持するように構成されているのである。このように、基板１１の中央部を最初に固定することで、後ほど基板１１の端部を固定したときに歪みが生じることを防ぐことができる。
【００６２】
次に、制御部２７は、クランプ４６及び４７により、基板１１の第３辺及び第４辺を把持させる（図７、第２ステップ）。なお前述のように、クランプ４６は、基板１１の第３辺をほぼ全長にわたって把持するように構成されている。また、クランプ４７は、基板１１の第４辺をほぼ全長にわたって把持するように構成されている。従って、クランプ４６，４７によって基板１１を把持することにより、当該基板１１のＹ軸方向の両端部が固定される。前述のように、基板１１は、Ｙ軸方向の中央部が先に固定されているので、Ｙ軸方向の両端部を固定したときに歪みが生じにくくなっている。
【００６３】
次に、制御部２７は、第２移動機構５６を駆動することにより、第３クランプ機構３３及び第４クランプ機構３４を、互いに離間する方向に相対移動させる（図８、第３ステップ）。なお前述のように、本実施形態の第２移動機構５６は、クランプ機構３３，３４の両方を移動させるように構成されている。即ち、第２移動機構５６は、第３クランプ機構３３を、第４クランプ機構３４から遠ざかる方向に移動させるとともに、第４クランプ機構３４を、第３クランプ機構３３から遠ざかる方向に移動させる。
【００６４】
このように、クランプ機構３３，３４によって基板１１のＹ軸方向の端部を把持した状態で、当該クランプ機構３３，３４を離間する方向に相対移動させることにより、基板１１をＹ軸方向で引き伸ばすように引っ張ることができる。これにより、基板１１に対してＹ軸方向でテンション（張力）を与え、当該基板１１の歪みや弛みを解消させることができる。
【００６５】
更に、制御部２７は、基板１１をＹ軸方向に引っ張ったままの状態で、第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２の端部クランプ４１，４２，４４，４５によって基板１１を把持させる（図９、第４ステップ）。これにより、基板１１の第１辺及び第２辺の両端部近傍がそれぞれ把持される。
【００６６】
前述のように、基板１１の第１辺及び第２辺の中央部近傍は、既に中央クランプ４０，４３によって把持されている。従って、上記のように第１辺及び第２辺の両端部近傍を追加的に把持することにより、当該第１辺及び第２辺が、ほぼその全長にわたって把持された状態となる（図９の状態）。即ち、これにより、基板１１のＸ軸方向の両端部が固定される。
【００６７】
制御部２７は、第１クランプ機構３１が備える複数のクランプ４０，４１，４２の全てと、第２クランプ機構３２が備える複数のクランプ４３，４４，４５の全てと、によって基板１１を把持した状態で、第１移動機構５５を駆動することにより第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２を互いに離間する方向に相対移動させる（図１０、第５ステップ）。
【００６８】
このように、クランプ機構３１，３２によって基板１１のＸ軸方向の端部を把持した状態で、当該クランプ機構３１，３２を互いに遠ざかる方向に相対移動させることにより、基板１１をＸ軸方向で引き伸ばすように引っ張ることができる。これにより、基板１１に対してＸ軸方向でテンション（張力）を与え、基板１１の歪みや弛みを解消させることができる。
【００６９】
なお前述のように、本実施形態の第１移動機構５５は、第２クランプ機構３２のみ移動させ、第１クランプ機構３１は移動させないように構成されている。このように、本実施形態では、第１クランプ機構３１は固定されているので、基板１１の第１辺は、第１辺位置決めガイド５０，５１によって位置決めされた位置のまま動かない。これにより、位置決めされた第１辺の位置がズレてしまうことを防止し、基板１１の位置決め精度を向上させることができる。
【００７０】
以上のように、本実施形態の基板固定装置２０によれば、可撓性を有する基板１１を、反りや撓みなどを解消した状態で、位置決め精度良く固定できる。制御部２７は、基板１１の固定が完了すると、検査部２１，２２によって基板１１の検査を行う（検査ステップ）。基板１１は、反りや撓みを解消して精度良く固定されているので、基板１１の検査を適切に行うことができる。
【００７１】
なお、検査部２１，２２による基板１１の検査は、基板固定装置２０によって基板１１をＸ軸及びＹ軸方向に引っ張ったままの状態（テンションを付与した状態）で行う。即ち、仮に前記引っ張りを解除してしまうと、基板１１に反りや撓みが生じている状態に戻り、検査部２１，２２による検査を適切に行えなくなる可能性がある。基板１１を引っ張ったままで検査を行うことで、基板１１の反りや撓みを解消した状態で検査を行うことができる。
【００７２】
基板１１の検査が終了した場合、制御部２７は、基板固定装置２０のクランプ４０〜４７による把持を解除する。これにより、基板１１の固定が解除される（固定解除ステップ）。
【００７３】
なお、本実施形態の基板固定装置２０において、基板１１は引っ張られた状態で固定されているので、当該基板１１の内部には応力が蓄積されている。このため、仮にクランプ４０〜４７による把持を一斉に解除してしまうと、当該基板１１が跳ねたり破損したりする可能性がある。
【００７４】
そこで本実施形態の制御部２７は、基板１１の固定を解除する際には、当該基板１１を把持したときとは逆の順番で、クランプ４０〜４７の把持を順次解除するように構成されている。具体的には、制御部２７は、最初に端部クランプ４１，４２，４４，４５による把持を解除し、次にクランプ４６，４７による把持を解除し、最後に中央クランプ４０，４３による把持を解除する。これにより、基板１１の固定を解除する際の跳ねや破損を回避できる。
【００７５】
以上で説明したように、本実施形態の基板固定装置２０は、第１クランプ機構３１と、第２クランプ機構３２と、第３クランプ機構３３と、第４クランプ機構３４と、第１移動機構５５と、第２移動機構５６と、を備えている。
【００７６】
第１クランプ機構３１は、基板１１の第１辺の中央部近傍を把持する中央クランプ４０と、当該第１辺の端部近傍を把持する２つの端部クランプ４１，４２と、の３つのクランプを前記第１辺に沿って並べて備えている。第２クランプ機構３２は、基板１１の第２辺の中央部近傍を把持する中央クランプ４３と、当該第２辺の端部近傍を把持する２つの端部クランプ４４，４５と、の３つのクランプを前記第２辺に沿って並べて備えている。
【００７７】
第３クランプ機構３３は、基板１１の前記第１辺及び第２辺に直交する第３辺を把持するクランプ４６を有する。第４クランプ機構３４は、基板１１の前記第３辺に対向する第４辺を把持するクランプ４７を有する。
【００７８】
第１移動機構５５は、基板１１を把持した状態の第１クランプ機構３１と第２クランプ機構３２を、離間する方向に相対移動させる。第２移動機構５６は、基板１１を把持した状態の第３クランプ機構３３と第４クランプ機構３４を、離間する方向に相対移動させる。
【００７９】
上記のように、基板１１の第１辺及び第２辺に沿って３つのクランプを並べて備えているので、まず最初に基板１１の中央部を把持し、その後に両端部を把持することができる。これにより、基板１１の各辺を一気に把持する場合に比べて、当該基板１１を把持する際に歪みが生じにくくなっている。また、クランプ機構によって基板を把持した状態で、クランプ機構同士を離す方向に移動させることにより、当該基板１１を引っ張ってテンションを付与し、反りや撓みを解消することができる。
【００８０】
また前述のように、本実施形態の制御部２７は、第１ステップ、第２ステップ、第３ステップ、第４ステップ、及び第５ステップをこの順で実行することにより、前記基板１１を固定している。
【００８１】
第１ステップでは、第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２の中央クランプ４０，４３で基板１１を把持する。第２ステップでは、第３クランプ機構３３及び第４クランプ機構３４で基板１１を把持する。第３ステップでは、第２移動機構５６によって第３クランプ機構３３及び第４クランプ機構３４を離間する方向に相対移動させる。第４ステップでは、第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２の端部クランプ４１，４２，４４，４５で基板１１を把持する。第５ステップでは、第１移動機構５５によって第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２を離間する方向に相対移動させる。
【００８２】
この順で基板を固定することにより、基板１１にテンションを付与して反りや撓みを解消しつつ、当該基板１１を正確に固定できる。
【００８３】
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。
【００８４】
上記実施形態では、第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２において、中央クランプの両サイドに端部クランプを１つずつ線対称に配置している。しかし、第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２のクランプが備えるクランプの数は、これに限らず、中央クランプの両サイドに、クランプを２つずつ、あるいはそれ以上配置しても良い。この場合も上記実施形態と同様に、中央クランプの両サイドのクランプを、当該中央クランプの中心を通る仮想線を対称軸として線対称に配置すれば、基板１１の第１辺及び第２辺をその全長にわたって均一に把持できるので好適である。
【００８５】
もっとも、第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２が並べて備えるクランプの数及びその配置が、上記に限定されると解釈される必要はない。例えば、第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２が並べて備えるクランプの数は、２つ、又は４つ以上の偶数個であっても良い。また、第１クランプ機構３１及び第２クランプ機構３２が並べて備えるクランプの配置は、必ずしも線対称形に限定されない。クランプ機構３１，３２は、互いに異なるタイミングで基板１１を把持可能な複数のクランプを当該基板１１の第１辺及び第２辺それぞれに沿って並べて有していれば良い。これによれば、クランプ機構３１，３２の各クランプで基板１１を把持するタイミングを異ならせることにより、基板１１の第１辺及び第２辺を段階的（徐々に）に把持していくことができる。これにより、１つのクランプで基板１１の第１辺及び第２辺を一気に把持する場合に比べて、基板１１に生じる撓みや歪みを低減することができる。
【００８６】
また、各クランプによって基板１１を把持する順番と、把持した基板１１を引っ張る（テンションを付与する）タイミングは、上記実施形態で説明した例が最も効果的であると考えられるが、これに限定されると解釈されるべきではない。むしろ、各クランプによって基板１１を把持する順番及び当該基板１１を引っ張るタイミングは、基板１１の形状（長方形か、正方形かなど）や、基板１１の反り易さ、撓み易さなどに応じて適宜変更できる。
【００８７】
上記実施形態では、第３クランプ機構３３及び第４クランプ機構３４はそれぞれ１つのクランプのみを備える構成としたが、第３クランプ機構３３及び／又は第４クランプ機構３４も、第１クランプ機構３１や第２クランプ機構３２と同様に複数のクランプを並べて備える構成とすることができる。
【符号の説明】
【００８８】
１０  基板検査装置
１１  基板
２０  基板固定装置
３１  第１クランプ機構
３２  第２クランプ機構
３３  第３クランプ機構
３４  第４クランプ機構
４０〜４７  クランプ
５５  第１移動機構
５６  第２移動機構
【図１】
2014228347.tif 000003
【図２】
2014228347.tif 000004
【図３】
2014228347.tif 000005
【図４】
2014228347.tif 000006
【図５】
2014228347.tif 000007
【図６】
2014228347.tif 000008
【図７】
2014228347.tif 000009
【図８】
2014228347.tif 000010
【図９】
2014228347.tif 000011
【図１０】
2014228347.tif 000012