(57)【要約】【課題】スケールを間接的に取り付け対象に固定するに際し、取り付け作業の容易化や、スケールに生じ得る歪みを低減する点で有利なスケール保持装置を提供する。【解決手段】スケール１００と、スケール１００を保持するアタッチメントプレート２とを備えるスケール保持装置１であって、スケール１００の第１の側面に当接する第１の面１０ａと、スケール１００の裏面に対向する第２の面とを有するアタッチメントプレート２と、アタッチメントプレート２の第２の面とスケール１００の裏面とを着脱可能に接着する第１の接着手段３と、スケール１００の第２の側面において、スケール１００とアタッチメントプレート２とを接着する第２の接着手段４、５とを備える。【選択図】図１
2014224705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スケールと、該スケールを保持するアタッチメントプレートとを備えるスケール保持装置であって、
前記スケールの第１の側面に当接する第１の面と、前記スケールの裏面に対向する第２の面とを有するアタッチメントプレートと、
前記アタッチメントプレートの前記第２の面と前記スケールの裏面とを着脱可能に接着する第１の接着手段と、
前記スケールの第２の側面において、前記スケールと前記アタッチメントプレートとを接着する第２の接着手段と、
を備えることを特徴とするスケール保持装置。
【請求項２】
前記第１の接着手段は、粘着テープを用いて前記アタッチメントプレートの第２の面と前記スケールの裏面とを接着することを特徴とする請求項１に記載のスケール保持装置。
【請求項３】
前記第１の接着手段の接着強度は、３．０ｋＮ／ｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載のスケール保持装置。
【請求項４】
前記アタッチメントプレートの第２の面と前記スケールの裏面とは、前記第１の接着手段のみを介して接着されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のスケール保持装置。
【請求項５】
前記第２の接着手段は、接着剤を用いて前記スケールと前記アタッチメントプレートとを接着することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のスケール保持装置。
【請求項６】
前記第２の接着手段は、エポキシ系接着剤を含むことを特徴とする請求項５に記載のスケール保持装置。
【請求項７】
前記第２の接着手段は、シリコン系接着剤を含むことを特徴とする請求項５に記載のスケール保持装置。
【請求項８】
前記第２の接着手段は、前記側面のうち１箇所のみに設けられた第１接着剤と、該第１接着剤とは異なる領域に設けられ、前記第１接着剤より接着強度が弱い第２接着剤と、を含むことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のスケール保持装置。
【請求項９】
前記スケールは、厚さ０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ未満であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のスケール保持装置。
【請求項１０】
前記アタッチメントプレートは、被測定物に締結するためのねじ穴と、該ねじ穴の周囲に設けられ、締結により生じる応力を緩和するための溝と、を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のスケール保持装置。
【請求項１１】
被測定物の位置又は角度を検出するエンコーダであって、
請求項１〜１０のいずれか１項に記載のスケール保持装置と、
前記スケール保持装置のスケールからの光または磁気を検出する検出部と、
を備えることを特徴とするエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スケール保持装置、およびエンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
位置または角度の計測を行う装置として、計測基準となるスケールと、スケールに対して光を照射する投光部と、スケールで反射した光を受光する受光部とを含むような、光学式のいわゆるエンコーダが存在する。このうち、スケールが長尺（直定規状）であるリニアエンコーダでは、金属製のテープ状スケールを用いられるのが一般的であり、そのスケールを取り付け対象に固定するためのいくつかの方法（構成）がある。例えば、第１の方法として、テープ状スケールを両面テープなどを用いて取り付け対象に直接貼り付ける方法がある。この方法では、通常、スケールが剥がれないように粘着性の高い両面テープを使用するため、スケールの貼り直し（再利用）が難しい。したがって、スケールの貼り付けの際には、貼り直しをしないよう熟練した技能を要し、また、スケールが所望の位置に取り付けられるよう専用の工具を必要とする場合もある。さらに、両面テープのみでスケールを固定する場合には、両面テープの粘着力の経時劣化などに起因して、貼り付け対象とスケールとの間に位置ずれが発生する場合もある。この位置ずれは、直接計測してその発生を認識することが難しく、エンコーダの計測精度に影響を及ぼす可能性がある。さらに、第２の方法として、テープ状スケールを専用の保持部材（アタッチメントプレート）を介して取り付け対象に固定する方法がある。特許文献１は、スケールを保持部材（スケール固定具）に弾性／非弾性の使い分けをしながら接着固定するスケール弾性保持方法を開示している。これによれば、温度変化に起因する熱膨張の影響を抑えるとともに、接着部の一部を非弾性層とすることで、伸縮時の基準としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４４７７４４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に示す保持方法は、剛体であるガラススケールなどに対しては有効であるが、柔軟性を兼ね備えたテープ状スケールに対しては不向きである。具体的に説明すると、前提として、このような保持方法を採用する場合には、始めにスケールを保持部材に接着固定した後、その保持部材を取り付け対象に固定する。また、スケールの背面の一箇所（一方の側面から他方の側面までの横断面）には、スケールを強固に固定することで保持部材に対して位置決めをするための基準部材（非弾性層）が存在する。そのため、取り付け対象の表面に歪みが生じていると、スケールを保持した状態の保持部材を取り付け対象に取り付けたときに、その歪みが直接スケールに伝達する。したがって、特にテープ状の軟らかいスケールを用いた場合には、エンコーダの計測精度に影響を及ぼす可能性が高い。さらに、上記第１の方法に関連し、特許文献１に示す保持方法では、スケールの背面と側面とを、基準部材に加えて弾性層を介して接着固定するため、テープ状スケールを用いると貼り直しができない。特にテープ状スケールを保持部材に貼り付けるときには、保持部材に対して一義的に位置決めすることが難しいため、スケールの貼り直しを行うことができないことは、取り付け作業の効率（容易性）の観点で望ましくない。
【０００５】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、例えば、スケールを間接的に取り付け対象に固定するに際し、取り付け作業の容易化や、スケールに生じ得る歪みを低減する点で有利なスケール保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、スケールと、スケールを保持するアタッチメントプレートとを備えるスケール保持装置であって、スケールの第１の側面に当接する第１の面と、スケールの裏面に対向する第２の面とを有するアタッチメントプレートと、アタッチメントプレートの第２の面とスケールの裏面とを着脱可能に接着する第１の接着手段と、スケールの第２の側面において、スケールとアタッチメントプレートとを接着する第２の接着手段と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、例えば、スケールを間接的に取り付け対象に固定するに際し、取り付け作業の容易化や、スケールに生じ得る歪みを低減する点で有利なスケール保持装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態に係るスケール保持装置の構成を示す図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ´断面を示す図である。
【図３】保持部材にスケールを貼り付ける状態を示す図である。
【図４】応力緩和溝を有する第２締結部の形状を示す図である。
【図５】データム基準を端部に形成したスケール保持装置の構成を示す図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るスケール保持装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。
【００１０】
（第１実施形態）
まず、本発明の第１実施形態に係るスケール保持装置について説明する。本実施形態に係るスケール保持装置は、例えば、位置または角度の計測を行う計測装置としてのエンコーダの計測基準となるスケールを保持しつつ、このスケールを取り付け対象に間接的に固定させるものである。スケールは、エンコーダの読み取りパターンが形成されているものであり、特に本実施形態では、一例として、リニアエンコーダに採用される、長尺（直定規状）で、かつ柔軟性（略弾性）を有する金属製のテープ状スケールとする。また、スケールは、厚さ０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ未満である。そして、本実施形態におけるスケールは、アブソリュートエンコーダ用のパターンがステンレステープに描画されているものとし得る。ただし、本発明は、これに限らず、例えば、インクリメンタルエンコーダ用のスケールにも適用でき、テープ状スケールの材質についても、その用途や精度により、金属以外に樹脂であっても構わない。図１は、本実施形態に係るスケール保持装置１の構成を示す斜視図である。また、図２は、図１におけるＡ−Ａ´断面を示す図である。なお、図１、図２を含む以下の各図では、スケール１００を貼り付ける（保持部材２を取り付ける）平面内でスケール１００（保持部材２）の延設方向（長手方向）にＸ軸を取り、延設方向に直交する方向にＹ軸を取り、ＸＹ平面に直交する方向にＺ軸を取っている。スケール保持装置１は、スケール１００を固定保持する保持部材２と、貼り付け部材３と、２種類の固定部材４、５と、対象物（取り付け対象）２００に保持部材２を締結させるための複数のねじ６とを含む。このうち、貼り付け部材３と、２種類の固定部材４、５とは、本実施形態でいうスケール１００と保持部材２とを接着する接着手段である。
【００１１】
保持部材（アタッチメントプレート）２は、スケール１００を、以下で詳説する貼り付け部材３および固定部材４、５の各接着部材を介して固定保持し、かつスケール１００を延設すべき対象物２００の位置（取り付け位置）に固定される。保持部材２は、スケール１００に合わせた長さを有する平板部材であり、設置部１０と、ねじ締結部（第１締結部１１および第２締結部１２）とを有する。設置部１０は、対象物２００に対峙する面とは反対側の面に形成され、スケール１００の配置部分である。ここでは、設置部１０は、一例として図２に示すように保持部材２に形成された溝である。このように設置部１０が溝である場合、溝幅は、スケール１００の幅よりもわずかに広く設定される。さらに、設置部１０は、一方の側面（第１の面）１０ａを、スケール１００の側面（第１の側面）が当接する（突き当てられる）基準面とする。したがって、設置部１０にスケール１００が取り付けられると、基準面である側面とは反対側の側面とスケール１００の他方の側面（第２の側面）との間には、隙間が生じることになる。また、保持部材２の材質は、例えばステンレスとし得るが、対象物２００の材質やエンコーダの用途に応じて適宜選択可能である。
【００１２】
ねじ締結部は、ねじ（締結部材）を用いて保持部材２を対象物２００に固定（締結）するための部位である。ねじ締結部は、保持部材２をその位置決め用として予め対象物２００に設置されている複数の基準ピン２０１に当接させて固定するものとすれば、保持部材２に、その当接される側面とは反対側の側面の側で、かつ延設方向に一定の間隔で複数設置される。特に本実施形態では、複数のねじ締結部のうち、１箇所を、締結基準とする第１締結部１１とし、その他の複数を、応力緩和溝を有する第２締結部１２とする。第１締結部１１は、図２に示すように、ねじ６を単に貫通させて対象物２００のねじ切り穴まで導く貫通穴であり、この部分（領域）においては、保持部材２と対象物２００とを完全に固定する。これに対して、第２締結部１２は、ねじ６を貫通させる穴に加えて、その周囲に存在し、ねじ６の締結により発生し得る応力が作用する範囲内でその応力を緩和する応力緩和溝を有する。図３は、第２締結部１２の構成（形状）を示す断面図である。応力緩和溝１４は、ねじ６の軸力が作用する外側に円周状に形成された弾性ヒンジ溝である。応力緩和溝１４は、上記のように応力を緩和するとともに、保持部材２と対象物２００との間で環境温度差に起因して生じ得る熱膨張などの伸縮差を緩和することもできる。通常、例えば、スケール１００の長さが１０ｍで、保持部材２と対象物２００との線膨張係数の差が５ｐｐｍ／（°Ｃ）あったと仮定すると、１（°Ｃ）の温度差で、全長で５０μｍの長さの差が生じる。そこで、応力緩和溝１４を設けることで、このような長さの変化の差を緩和し、繰り返しの伸縮差による粘着部分の劣化やスケール１００の精度変化などを低減し得る。なお、応力緩和溝１４は、円周溝に限るものではなく、他の溝形状でも構わない。
【００１３】
貼り付け部材３は、スケール１００を、その背面から保持部材２の設置部１０の表面（スケール１００の裏面に対向する第２の面）に貼り付けるための第１の接着手段である。特に本実施形態では、貼り付け部材３は、保持部材２のわずかな歪みなどを緩和するための弾性と、スケール１００の貼り付けおよび剥がしを容易とする（着脱可能とする）粘着性とを有し、スケール１００を保持部材２に取り付ける際の仮止めの役目も有する。弾性については、スケール１００の弾性力が貼り付け部材３の弾性力よりも大きい、すなわちスケール１００の方が貼り付け部材３よりも硬い材質からなる必要がある。ここで、貼り付け部材３を両面の粘着テープとし、一方、スケール１００がステンレス製のテープで、かつスケール１００の厚さが０．２ｍｍであると想定する。この場合、両面テープの厚み方向の弾性力を確保するためには、例えば、ポリエステルフィルムで、厚さが０．２ｍｍ程度の両面テープを選択すればよい。次に、粘着性については、貼り付け部材３の接着強度（粘着強度）は、スケール１００が貼り付け部材３から実質剥がれない程度であればよい。例えば、接着強度は、スケール１００に対しては３．０ｋＮ／ｍ以下、一方、保持部材２に対しては４．０ｋＮ／ｍ以上とすることが望ましい。なお、これらの規定数値は、目安であり、スケール１００や保持部材２の材料と粘着部分との親和性により変動するものである。さらに、上記説明では、貼り付け部材３として両面テープを想定したが、それ以外にも、弾性層を有する基材レス粘着剤やウレタン系粘着剤としてもよい。また、貼り付け部材３は、テープ状のものに限らず、均一な厚さを保証可能であれば、スプレー状に塗布して形成するものでもよい。
【００１４】
第１固定部材（第１接着剤）４および第２固定部材（第２接着剤）５は、保持部材２の設置部１０におけるスケール１００が当設している第１の側面とは反対側の第２の側面の領域で、スケール１００と設置部１０の底面（接着面１０ｂ）とを固定する。すなわち、スケール１００が基準面１０ａに当接している状態では、各固定部材４、５は、基準面１０ａからの距離が貼り付け部材３よりも遠い位置に存在する。反対に言えば、貼り付け部材３の位置は、どの位置においても、各固定部材４、５の位置よりも基準面１０ａから近いことになる。そして、各固定部材４、５のスケール１００に対する接着強度は、貼り付け部材３のスケール１００に対する接着強度よりも強く、スケール１００をある程度強固に接着する。すなわち、逆に言えば、貼り付け部材３のスケール１００に対する接着強度が各固定部材４、５のスケール１００に対する接着強度よりも弱いため、スケール１００の貼り直しが可能となっている。まず、第１固定部材４は、保持部材２に対してスケール１００を延設方向の少なくとも１つの領域、すなわち図１の例では略中央部の１箇所のみ（延設方向での距離で言えば、例えば５ｍｍ程度の長さ領域）で非弾性固定するものである。ここで、「非弾性固定」とは、スケール１００と保持部材２との間で位置ずれが容易には生じない程度の固定をいう。したがって、第１固定部材４は、硬化後には上記位置ずれが容易には生じない程度の所望の硬度となる必要がある。第１固定部材４としては、例えば、二液性の常温急速硬化型エポキシ系接着剤で接着固定したものとし得るが、接着硬化したときに所望の硬度を有し、基材（スケール１００または保持部材２）との適合性があれば、他の接着剤を用いてもよい。または、第１固定部材４を接着剤により形成するのではなく、金属で固定することもあり得る。次に、第２固定部材５は、保持部材２に対してスケール１００を延設方向の第１固定部材４で固定した領域以外で弾性固定するものである。ここで、「弾性固定」とは、スケール１００と保持部材２との間で位置ずれが生じたときに、両者の歪みを緩和できる程度の弾性を有した状態の固定をいう。したがって、第２固定部材５は、硬化後には上記位置ずれが生じても両者の歪みを緩和できる程度の所望の軟度となる必要がある。第２固定部材５としては、例えば、シリコン系接着剤で接着固定したものとし得るが、接着硬化したときに所望の弾性を有し、基材との適合性があれば他の接着剤を用いてもよい。なお、これらの接着剤の選択に際しては、可能な限り硬化収縮率の少ないものを選択することで、スケール１００の取り付け前後での歪みがより少なくなり、望ましい。
【００１５】
次に、スケール保持装置１を用いたスケール１００の取り付け手順について説明する。まず、作業者は、保持部材２を対象物２００の取り付け面に取り付ける（第１工程）。このとき、対象物２００に予め設置されている基準ピン２０１に、保持部材２の一方の側面（ねじ締結部がない方の側面）の少なくとも一部を当接させつつ、ねじ締結部にてねじ６を締結する。なお、ここでは位置決め用の基準として基準ピン２０１を利用するものと想定しているが、例えば、予め対象物２００側に段付き加工を行い、基準ピン２０１に代わる基準部分を設置しておく構成としてもよい。ねじ６の締結に際し、始めにスケール１００の取りつけ基準位置（この位置を、第２固定部材５が弾性変化し得るのに対する固定点としての「データム基準」という）に直近の第１締結部１１にて締結する。その後、他の第２締結部１２を順次基準ピン２０１に当接させながら締結していく。
【００１６】
次に、作業者は、対象物２００上にある保持部材２の設置部１０にスケール１００を貼り付ける（第２工程）。図４は、第２工程を説明する、対象物２００上のスケール保持装置１の平面図（上面図）である。まず、スケール１００を貼り付けるに先立ち、設置部１０には貼り付け部材３を設置して（貼り付けて）おく。そして、スケール１００は、長尺であるため、作業者は、図４に示すように保持部材２の一端から他端に向かって徐々に貼り付ける。このとき、作業者は、設置部１０にある基準面１０ａにスケール１００の一方の側面を当接させながら、貼り付け部材３上にスケール１００を貼り付けていく。ここで、貼り付け部材３のスケール１００に対する接着強度は、上記のとおりスケール１００を容易に剥がせる程度しかない。したがって、もし作業者がスケール１００を側面１０ａにうまく合わせて貼り付けることができなくても、そのとき必要なところまで一旦スケール１００を剥がし、再度接着可能（貼り直し可能）である。また、この構成によれば、スケール１００を基準面１０ａに当接させながらの貼り付け作業となるので、特殊な工具を必要とせず、かつ作業者に対して熟練した貼り付け技能を要求することもなく、短時間で貼り付け作業を行うことができる。さらに、貼り付け部材３は、上記のとおり適度の弾性を有するため、保持部材２を対象物２００に取り付けた際に生じた歪みがスケール１００に伝達することを抑える。したがって、スケール１００は、それに形成されているパターンへ歪みの影響を受けにくく、結果的にパターン表面が滑らかになるように保持部材２に仮固定される。
【００１７】
次に、作業者は、設置部１０に対して仮固定されたスケール１００を本固定する（第３工程）。まず、作業者は、接着面１０ｂにおけるデータム基準に適切な接着剤を滴下および硬化させて、第１固定部材４を形成する。その後、作業者は、残りの接着面１０ｂにおいて適切な接着剤を滴下および硬化させて第２固定部材５を形成し、最終的に設置部１０に対してスケール１００を固定させる。なお、図１および図２では、各固定部材４、５は、その一部がスケール１００の側面に接し、接着後に外部から観察できる位置にある。しかしながら、各固定部材４、５をスケール１００の側面に接しさせることは、必要条件ではなく、例えば、細管ノズルなどを用いてスケール１００の裏面と保持部材２とに挟まれる空間内に注入させ、スケール１００の裏面にのみ接しさせる構成もあり得る。
【００１８】
このように、スケール保持装置１では、まず、設置部１０は、スケール１００の側面を当接する基準面１０ａを形成しつつ、少なくともスケール１００の幅よりも大きい幅の溝を有する。さらに、本実施形態では、貼り付け部材３は、スケール１００の本固定ではなく仮固定を行うものとの位置づけとしている。このような構成のもと、作業者は、長尺のスケール１００を、取り付け精度を維持しつつ、貼り付け部材３を用いて保持部材２に容易に貼り付けた（仮固定した）後、第１固定部材４および第２固定部材５を用いて本固定する。したがって、作業者にとっては、取り付け作業が容易となる。また、貼り付け部材３は、弾性を有し、かつ、スケール１００は、保持部材２のデータム基準でのみ非弾性固定とし、その他の位置で弾性固定としている。したがって、保持部材２を対象物２００に取り付けた際に生じた歪みがスケール１００に伝達することが抑えられて、スケール１００上でのパターン歪みが低減される。このことは、対象物２００上の取り付け面への保持部材２の順応性が高まり、その取り付け面に高精度な加工を要求する必要がなくなることも意味し、対象物２００の加工容易性が向上する。さらに、スケール１００は、保持部材２のデータム基準でのみ非弾性固定とし、その他の位置で弾性固定としており、さらに、保持部材２は、データム基準に直近の第１締結部１１では完全固定とし、その他の第２締結部１２では、弾性固定としている。したがって、データム基準における特に延設方向の固定位置決めによりスケール１００の基準位置を維持しつつ、環境温度要因などの熱変化や経時的変化に対しては、熱応力による部材収縮の吸収緩和またはずれ量の低減を実現できる。
【００１９】
以上のように、本実施形態によれば、スケールを間接的に取り付け対象に固定するに際し、取り付け作業の容易化や、スケールに生じ得る歪みを低減する点で有利なスケール保持装置を提供することができる。
【００２０】
なお、本実施形態では、データム基準（第１固定部材４および第１締結部１１の設置位置）を保持部材２の延設方向における中央部としているが、図５に示すように、保持部材２の延設方向における端部としてもよい。データム基準の設置位置は、例えば、対象物２００の駆動の際の基準、すなわちスケール１００（スケール保持装置１）を採用した場合のエンコーダの基準（例えば駆動原点）をどのように取るかに合わせて決定してよい。
【００２１】
また、本実施形態では、設置部１０の形状（断面形状）を溝としている。これにより、例えば、第１固定部材４および第２固定部材５となる接着剤を塗布する際に、液体状の接着剤が設置部１０の外部に漏れ出る（流れ落ちる）ことを回避することができるなどの利点がある。しかしながら、このような接着剤の漏れなどの懸念が少ない場合には、設置部１０の形状を溝とせず、例えば、図２に示す断面でいうところの複数のねじ締結部が形成されている側の高さを、接着面１０ｂと同一としてもよい。さらには、保持部材２を、平板部材上に基準面１０ａを有する凸部を単に形成する構成もあり得る。
【００２２】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るスケール保持装置について説明する。本実施形態に係るスケール保持装置の特徴は、第１実施形態における保持部材２に換えて、設置部１０以外の部分に溝を複数配置した保持部材を採用する点にある。図６は、本実施形態に係るスケール保持装置２０の構成を示す斜視図である。図６では、図１に示す第１実施形態に係るスケール保持装置１と同一の構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。まず、この場合の対象物３００では、保持部材２０を取り付ける表面が平面ではなく、ある程度の曲率を有する曲面となっている。これに対して、保持部材２０は、それぞれ保持部材２０の延設方向と直交する方向に向かい、延設方向に並列する複数の溝（スリット）２２を有する。これにより、保持部材２０は、複数の溝２２がそれぞれ溝幅を変更し、対象物３００の保持部材２０を取り付ける面の形状に合わせて変形可能となる。スケール保持装置２０は、この変形と、貼り付け部材３および第２固定部材５の弾性効果とにより、対象物３００の取り付け面の歪みやうねりなどの影響を低減しつつ、スケール１００を曲面に精度良く貼り付けることができる。なお、溝２２の深さについては、保持部材２が好適に変形可能であれば特に限定するものではない。このように、本実施形態によれば、第１実施形態と同一の効果を奏するとともに、対象物３００の取り付け面が曲面である場合でも、保持部材２０の対象物３００に対する密着性能を向上させて、取り付け精度を良好に維持し得る。
【００２３】
（計測装置）
次に、本発明の一実施形態に係る計測装置について説明する。本実施形態に係る計測装置は、光学式または磁気式により位置または角度の計測を行うエンコーダである。このエンコーダは、上記各実施形態にて説明したスケール保持装置１（２０）を用いて、被測定物としての対象物２００（３００）に固定されるスケール１００と、スケール１００からの光または磁気を検出する検出部とを含む。なお、インクリメンタル型、またはアブソリュート型のいずれを採用するかについても特に限定されない。本実施形態に係る計測装置は、従来の方法に比べて、該計測装置を組み立てる際の生産性の向上、または取り付け精度の向上に伴う計測精度の向上の少なくとも１つにおいて有利である。
【００２４】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【符号の説明】
【００２５】
１      スケール保持装置
２      保持部材
３      貼り付け部材
４      第１固定部材
５      第２固定部材
１０ａ  基準面
１００  スケール
【図１】
2014224705.tif 000003
【図２】
2014224705.tif 000004
【図３】
2014224705.tif 000005
【図４】
2014224705.tif 000006
【図５】
2014224705.tif 000007
【図６】
2014224705.tif 000008