(57)【要約】【課題】装置構成を複雑にすることなく接着剤の塗布量を正確にコントロールしうる接着剤の塗布方法及び装置を提供する。【解決手段】部品上に塗布した接着剤の液滴を同軸落射照明を当てながら撮影し、撮影した液滴の画像から、液滴の外径と、液滴中のハイライト部の径とを計測し、計測した外径及びハイライト部の径に基づき、接着剤の塗布量を推定し、推定した接着剤の塗布量が適正範囲内であるかどうかを判定し、推定した接着剤の塗布量が適正範囲を超えている場合には、余剰の接着剤を吸引する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品上に、接着剤を塗布する工程と、
前記部品上に塗布した前記接着剤の液滴を同軸落射照明を当てながら撮影し、撮影した前記液滴の画像から、前記液滴の外径と、前記液滴中のハイライト部の径とを計測する工程と、
計測した前記外径及び前記ハイライト部の径に基づき、前記接着剤の塗布量を推定する工程と、
推定した前記接着剤の塗布量が適正範囲内であるかどうかを判定する工程と、
推定した前記接着剤の前記塗布量が前記適正範囲を超えている場合に、余剰の前記接着剤を吸引する工程と
を有することを特徴とする接着剤の塗布方法。
【請求項２】
請求項１記載の接着剤の塗布方法において、
推定した前記接着剤の前記塗布量が前記適正範囲でない場合に、次に前記接着剤を塗布する際の塗布量を、前記塗布量の推定値に応じて増減する
ことを特徴とする接着剤の塗布方法。
【請求項３】
部品上に接着剤を塗布するための第１のシリンジと、
前記部品上に塗布した前記接着剤を吸引するための第２のシリンジと、
前記部品上に塗布された前記接着剤の液滴を同軸落射照明を当てながら撮影するための撮像装置と、
前記撮像装置により撮影された前記液滴の画像から、前記液滴の外径と、前記液滴中のハイライト部の径とを計測し、計測した前記外径及び前記ハイライト部の径に基づき、前記接着剤の塗布量を推定する演算装置と、
前記演算装置により推定された前記接着剤の前記塗布量が適正範囲を超えている場合に、塗布した前記接着剤を吸引して前記接着剤の前記塗布量が前記適正範囲内となるように前記第２のシリンジを制御する制御装置と
を有することを特徴とする接着剤の塗布装置。
【請求項４】
請求項３記載の接着剤の塗布装置において、
前記第１のシリンジは、シリンジ内に充填された前記接着剤を押圧するプランジャを駆動することにより前記シリンジの先端のノズルから前記接着剤を吐出するメカニカルディスペンサである
ことを特徴とする接着剤の塗布装置。
【請求項５】
請求項３又は４記載の接着剤の塗布装置において、
前記第２のシリンジは、前記接着剤を吸入するバキューム機能を備えたシリンジを有する
ことを特徴とする接着剤の塗布装置。
【請求項６】
接着剤の液滴を、同軸落射照明を当てながら撮影し、
撮影した前記液滴の画像から、前記液滴の外径と、前記液滴中のハイライト部の径とを計測し、
計測した前記外径及び前記ハイライト部の径に基づき、前記接着剤の塗布量を推定する
ことを特徴とする接着剤の塗布量推定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着剤の塗布方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工業製品やその部品の小型化・高精細化の進展に伴い、製造・組立時に微少量の接着材を制御性よく塗布する技術が不可欠になっている。従来、接着剤の塗布にはエアー式ディスペンサやメカニカルディスペンサなどが用いられてきたが、接着剤の塗布量にはｎＬ（ナノリットル）単位程度までの微少量化が求められており、微少量吐出に有効なメカニカルディスペンサでも対応が困難になってきている。また、現行のディスペンサを用いた接着剤の塗布方法では、過剰吐出になりやすく、更には、環境温度などの周囲の条件変化や接着剤の粘度の経時的変化などによって再現性よく接着剤の吐出量をコントロールすることが困難であった。そこで、これらの対策として、接着剤の吐出後に吸引を行うことにより接着剤の液適量をコントロールする方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６１−２４０６３２号公報
【特許文献２】特開平０３−０３６７４０号公報
【特許文献３】特開平０４−０８５８３４号公報
【特許文献４】特開２００３−２９０７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
吸引によって接着剤の液適量をコントロールするためには、吐出された接着剤の液適量を正確に計測し、余剰分の接着剤を吸引することが求められる。接着剤の液適量の計測は、接着剤の液滴をカメラで撮影し、撮影した画像に基づいて行われていた。
【０００５】
しかしながら、接着剤の液滴を上部から撮影した画像だけでは、液滴の高さを知ることはできず、吐出した接着剤の体積を正確に計測することはできなかった。接着剤を２方向から撮影して底面積と高さとを計測する方法も提案されているが、撮影に用いるカメラが２台必要であり、装置構成が複雑になるとともにコストも増加してしまう。
【０００６】
本発明の目的は、装置構成を複雑にすることなく接着剤の塗布量を正確にコントロールしうる接着剤の塗布方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の一観点によれば、部品上に、接着剤を塗布する工程と、前記部品上に塗布した前記接着剤の液滴を同軸落射照明を当てながら撮影し、撮影した前記液滴の画像から、前記液滴の外径と、前記液滴中のハイライト部の径とを計測する工程と、計測した前記外径及び前記ハイライト部の径に基づき、前記接着剤の塗布量を推定する工程と、推定した前記接着剤の塗布量が適正範囲内であるかどうかを判定する工程と、推定した前記接着剤の前記塗布量が前記適正範囲を超えている場合に、余剰の前記接着剤を吸引する工程とを有する接着剤の塗布方法が提供される。
【０００８】
また、実施形態の他の観点によれば、部品上に接着剤を塗布するための第１のシリンジと、前記部品上に塗布した前記接着剤を吸引するための第２のシリンジと、前記部品上に塗布された前記接着剤の液滴を同軸落射照明を当てながら撮影するための撮像装置と、前記撮像装置により撮影された前記液滴の画像から、前記液滴の外径と、前記液滴中のハイライト部の径とを計測し、計測した前記外径及び前記ハイライト部の径に基づき、前記接着剤の塗布量を推定する演算装置と、前記演算装置により推定された前記接着剤の前記塗布量が適正範囲を超えている場合に、塗布した前記接着剤を吸引して前記接着剤の前記塗布量が前記適正範囲内となるように前記第２のシリンジを制御する制御装置とを有する接着剤の塗布装置が提供される。
【０００９】
また、実施形態の更に他の観点によれば、接着剤の液滴を、同軸落射照明を当てながら撮影し、撮影した前記液滴の画像から、前記液滴の外径と、前記液滴中のハイライト部の径とを計測し、計測した前記外径及び前記ハイライト部の径に基づき、前記接着剤の塗布量を推定する接着剤の塗布量推定方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
開示の接着剤の塗布方法及び装置によれば、一方向から撮影した画像に基づいて接着剤の塗布量を正確に推定することができる。また、接着剤の塗布量の推定値に基づいて接着剤の吸引処理を行うことにより、接着剤の塗布量を適正値に容易に調整することができる。また、接着剤の塗布量の推定値に基づいて次に接着剤を塗布する際の塗布量を制御することにより、作業効率の向上と安定性を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、一実施形態による接着剤の塗布装置の構造を示す概略図である。
【図２】図２は、一実施形態による接着剤の塗布装置のカメラの構造を示す概略図である。
【図３】図３は、一実施形態による接着剤の塗布装置の吐出用シリンジの構造を示す概略図である。
【図４】図４は、一実施形態による接着剤の塗布装置の吸引用シリンジの構造を示す概略断面図である。
【図５】図５は、一実施形態による接着剤の塗布方法を示すフローチャートである。
【図６】図６は、一実施形態による接着剤の塗布方法を示す概略図（その１）である。
【図７】図７は、一実施形態による接着剤の塗布方法を示す概略図（その２）である。
【図８】図８は、一実施形態による接着剤の塗布方法を示す概略図（その３）である。
【図９】図９は、一実施形態による接着剤の塗布方法を示す概略図（その４）である。
【図１０】図１０は、一実施形態による接着剤の塗布方法を示す概略図（その５）である。
【図１１】図１１は、一実施形態による接着剤の塗布方法を示す概略図（その６）である。
【図１２】図１２は、接着剤はみ出し領域を説明する図である。
【図１３】図１３は、同軸落射照明光学系を用いたカメラで撮像した画像の例を示す図である。
【図１４】図１４は、一実施形態による接着剤の塗布量推定方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
一実施形態による接着剤の塗布方法及び装置について図１乃至図１４を用いて説明する。
【００１３】
図１は、本実施形態による接着剤の塗布装置の構造を示す概略図である。図２は、本実施形態による接着剤の塗布装置のカメラの構造を示す概略図である。図３は、本実施形態による接着剤の塗布装置の吐出用シリンジの構造を示す概略図である。図４は、本実施形態による接着剤の塗布装置の吸引用シリンジの構造を示す概略断面図である。図５は、本実施形態による接着剤の塗布方法を示すフローチャートである。図６乃至図１１は、本実施形態による接着剤の塗布方法を示す概略図である。図１２は、接着剤はみ出し領域を説明する図である。図１３は、同軸落射照明光学系を有するカメラで撮像した画像の例を示す図である。図１４は、本実施形態による接着剤の塗布量推定方法を説明する図である。
【００１４】
はじめに、本実施形態による接着剤の塗布装置の構造について図１乃至図４を用いて説明する。
【００１５】
本実施形態による接着剤の塗布装置は、図１に示すように、接着剤を塗布する部品１２を載置するステージ１０と、ステージ１０上の画像情報を取得するカメラ（撮像装置）２０と、部品１２上に接着剤を塗布する吐出用シリンジ３０と、部品１２上に塗布した接着剤を吸引する吸引用シリンジ５０とを有している。
【００１６】
ステージ１０は、ステージ駆動装置６２を介して演算・制御装置６０に接続されている。これにより、ステージ１０は、演算・制御装置６０により、ステージ駆動装置６２を介して、部品１２を、カメラ２０、吐出用シリンジ３０及び吸引用シリンジ５０との位置関係に応じた所定の位置に移動できるようになっている。
【００１７】
カメラ２０は、カメラ制御・画像処理装置６４を介して演算・制御装置６０に接続されている。カメラ２０は、例えば図２に示すように、レンズ２２を介して画像を取得するＣＣＤ等の撮像素子２４と、同軸落射照明光学系によりレンズ２２を介して部品を照明するＬＥＤ照明２６とを有している。カメラ２０は、演算・制御装置６０により、カメラ制御・画像処理装置６４を介して、部品１２上に移動し或いは部品１２上から待避できるようになっている。また、カメラ２０により撮影された画像は、カメラ制御・画像処理装置６４により画像処理され、演算・制御装置６０に入力できるようになっている。
【００１８】
吐出用シリンジ３０は、吐出用シリンジ制御装置６６を介して演算・制御装置６０に接続されている。吐出用シリンジ３０は、例えば図３に示すように、接着剤３４が充填されたシリンジ３２と、シリンジ３２内の接着剤３４を押圧するためのプランジャ３６及びロッド３８と、シリンジ３２内から接着剤３４を吐出するためのノズル４０と、部品１２に対するノズルの高さ位置を調整する接触式変位センサ４２とを有するメカニカルディスペンサである。吐出用シリンジ３０は、演算・制御装置６０により、吐出用シリンジ制御装置６６を介して、部品１２上に移動し或いは部品１２上から待避できるようになっている。また、演算・制御装置６０により、吐出用シリンジ制御装置６６を介して、ノズル４０からの接着剤３４の吐出を制御できるようになっている。
【００１９】
吸引用シリンジ５０は、吸引用シリンジ制御装置６８を介して演算・制御装置６０に接続されている。吸引用シリンジ５０は、例えば図４に示すように、シリンジ５２と、シリンジ５２に接続された真空系５４と、部品１２上の接着剤３４をシリンジ５２内に吸引するノズル５６と、部品１２に対するノズル５６の高さ位置を調整する接触式変位センサ５８とを有している。吸引シリンジ５０は、演算・制御装置６０により、吸引用シリンジ制御装置６８を介して、部品１２上に移動し或いは部品１２上から待避できるようになっている。また、演算・制御装置６０により、吸引用シリンジ制御装置６８を介して、ノズル５６からの接着剤３４の吸引を制御できるようになっている。なお、吸引用シリンジ５０は、接着剤３４の吸引の際にカメラ２０により画像を確認しながら行うことができるように、カメラ２０の光軸に対して傾けて配置することが望ましい（図４参照）。
【００２０】
次に、本実施形態による接着剤の塗布装置を用いた接着剤の塗布方法について図５乃至図１４を用いて説明する。
【００２１】
まず、ステージ１０上に、接着剤を塗布する部品１２を設置した治具１４を載置する。部品１２は、特に限定されるものではないが、例えば、光学ドライブに用いられる光ピックアップ用レンズや、光通信系などの微細な光学部品等が挙げられる。
【００２２】
次いで、カメラ制御・画像処理装置６４により部品１２上にカメラ２０を移動し、部品１２上に設けられた位置合わせ用のマーク（図示せず）の位置をカメラ２０で確認する。演算・制御装置６０は、カメラ２０から得られたマークの位置情報に基づき、接着剤の滴下位置を決定する（図６、ステップＳ１１）。
【００２３】
次いで、演算・制御装置６０により、部品１２上の接着剤の滴下位置が適正位置であるかどうかを判定する（ステップＳ１２）。
【００２４】
接着剤の滴下位置が適正位置でない場合には、接着剤の滴下位置が適正位置になるように、ステージ駆動装置６２によりステージ１０を移動する（ステップＳ１３）。ステージ１０の位置調整では、ステージ１０の面内方向の位置（Ｘ，Ｙ）とＺ方向の傾き（θ）の調整を行う。その後、ステップＳ１１に戻り、接着剤の滴下位置の確認を再度行う。
【００２５】
接着剤の滴下位置を調整する上記一連の作業は、部品１２上に他の部品を実装した際に接着剤の周囲へのはみ出しの制約条件を維持するために重要な工程である。すなわち、実装後の、位置決め時の微動範囲を最小限化することで、先の制約条件を維持することを容易にするためと、接着剤が多少基準量よりも多くても救済できるように対応している。
【００２６】
接着剤の滴下位置を適正位置に調整した後、カメラ制御・画像処理装置６４によりカメラ２０を部品１２上から一時待避し、また、吐出用シリンジ制御装置６６により吐出用シリンジ３０を部品１２上に移動する。
【００２７】
次いで、吐出用シリンジ制御装置６６により、吐出用シリンジ３０のノズル４０が所定の高さに位置するように調整する（図７、ステップＳ１４〜ステップＳ１５）。
【００２８】
ノズル４０の高さを所定の位置に調整した後、ノズル４０から接着剤３４を部品１２上へ滴下する（図８、ステップＳ１６）。部品１２上へ滴下する接着剤３４の量は、適正値と見込まれる量よりも多い量、例えば１．５倍程度に設定することが望ましい。
【００２９】
接着剤３４の滴下は、部品１２とノズル４０とのギャップ（隙間）を接触式変位センサ４２を用いて一定に維持した状態で行う。この状態で、吐出用シリンジ制御装置６６からの吐出量指示値に対応した移動量だけ、シリンジ３２内に内接且つ充填された接着剤３４に接触してなるプランジャ３６を、ロッド３８を介して押し込み、押し込まれた分の体積の接着剤３４をノズル４０の先端から吐出する。
【００３０】
本方式は、シリンジ３２の断面積が大きいと鈍感になりやすく、この断面積が小さいほど感度を高くできる。微少量の接着剤の滴下には、ガラス製のマイクロシリンジを採用して対応することもある。また、ノズル４０の内径（断面積）をより細くすることも有効であるが、その反面、製作コストアップや目詰まりなどの対策など問題が多い。吐出量が多い場合には、ノズル４０の先端部に液滴で膨らみが見える状態となるが、本実施形態による塗布装置の目的であるｎＬ単位である場合、ほとんどのケースでノズル４０の先端部に液滴の変化を見ることはない。この微少量の液滴を部品１２に受け渡しするために、部品１２とノズル４０との間のギャップ精度を高めることが重要である。
【００３１】
接着剤３４を部品１２上に滴下した後、吐出用シリンジ制御装置６６により、吐出用シリンジ３０を部品１２上から待避する（ステップＳ１７）。
【００３２】
次いで、カメラ制御・画像処理装置６４により部品１２上にカメラ２０を移動し、部品１２上に接着剤３４が塗布されているかどうかをカメラ２０で確認する（ステップＳ１８）。その結果、部品１２上に接着剤３４が塗布されていない場合には、ステップＺＳ１４に戻り、接着剤３４の塗布工程を改めて行う。
【００３３】
部品１２上に接着剤３４が塗布されていることが確認された場合には、カメラ２０で撮影した接着剤３４の画像に基づき、塗布された接着剤３４の塗布量を、以下の手順により推定する（図９、ステップＳ１９〜ステップＳ２０）。
【００３４】
なお、接着剤３４の塗布量を測定するのは、部品１２上に接着剤３４によって部品１６を接着した際に、接着剤のはみ出しを適正範囲に抑えるためである。例えば図１２（ａ）に示すように、部品１２上に過剰な接着剤３４が塗布された状態で部品１６を接着しようとすると、余分な接着剤３４が部品１６の周囲にはみ出すことになる。部品１６の周囲には他の部品（図示せず）が実装されることもあり、部品１６の接着領域には予め接着剤はみ出し領域が規定されている。接着剤はみ出し領域を超えて接着剤３４が広がると、他の部品の実装に影響するため、接着剤３４の塗布量は適正範囲に制御することが求められる。接着剤はみ出し領域内になるように接着剤３４を塗布するためにはｎＬ単位の微少量吐出が求められるが、エアー式ディスペンサよりは微少量吐出に適したメカニカルディスペンサであっても、ｎＬ単位の制御は困難である。
【００３５】
同軸落射照明光学系を有するカメラ２０を用いてＬＥＤ照明２６からの光を照射した状態で取得した部品１２上の接着剤３４の画像には、接着剤３４の頭頂部にハイライト部分が存在する。このハイライト部分の大きさは、接着剤３４の形状に依存する。外形サイズが同じで高さが異なる接着剤３４の液滴を比較した場合、例えば図１２に示すように、接着剤３４の高さが低い図１３（ｂ）の接着剤の画像の方が、接着剤３４の高さが高い図１３（ａ）の接着剤の画像の方よりも、ハイライト部分が大きくなる。
【００３６】
すなわち、接着剤３４の画像から外形サイズとハイライト部のサイズとを計測することで、接着剤３４を上方から撮影した１つの画像だけで、接着剤３４の塗布量を推定することが可能となる。具体的には、例えば以下の手順により、接着剤３４の塗布量を推定することができる。
【００３７】
まず、カメラ２０で撮影された画像を画像処理し、接着剤３４の外径Ｗ１とハイライト径Ｗ２とを計測する（図９、ステップＳ１９）。
【００３８】
ここで、接着剤３４の外形形状が、図１４（ａ）に示すように球体の一部により構成されていると仮定すると、接着剤３４の高さは、
ｈ＝ｒ±√（ｒ２−ａ２）
と表すことができる。ここで、ａは接着剤３４の底面の半径（＝Ｗ１／２）であり、
ａ＝ｈ（２ｒ−ｈ）
と表すことができる。また、ｒは、球体の半径である。
【００３９】
また、ハイライト径Ｗ２は、同軸落射照明光学系の開口数ＮＡをｓｉｎ２θとすると、図１４（ｂ）に示すように、
Ｗ２＝２ｒｓｉｎθ
と表すことができる。球体の半径ｒは、Ｗ２／αと表すことができる。ここで、αは、同軸落射照明光学系で決まる定数である。これらパラメータから、接着剤３４の体積Ｖは、
Ｖ＝１／６×πｈ（３ａ２＋ｈ２）
と表すことができる。
【００４０】
したがって、カメラ２０で撮影された画像から接着剤３４の外径Ｗ１とハイライト径Ｗ２とを計測することにより、部品１２上に塗布した接着剤３４の塗布量（体積Ｖ）を推定することができる（ステップＳ２０）。
【００４１】
次いで、推定した接着剤３４の体積Ｖが、接着剤はみ出し領域を超えない適正値であるかどうかを判定する（ステップＳ２１）。
【００４２】
その結果、接着剤３４の体積Ｖが適正値を超えている場合には、吸引用シリンジ５０により、接着剤３４の吸引を行う（図１０、ステップＳ２２）。
【００４３】
なお、接着剤３４の体積Ｖが適正範囲であるかどうかの判断に当たっては、接着剤はみ出し領域を超えない条件を満足する適切な塗布量で塗布された液滴を撮像した画像（基準液滴画像）から上記と同様の手法により推定された体積Ｖを予め記録しておき、これを接着剤３４の体積Ｖの適正値として用いることが望ましい。接着剤の液滴を撮像して得られた画像から推定された体積と基準液滴画像から推定された体積とを比較し、その結果に基づいて接着剤の塗布量を修正することで、必ずしも接着剤の絶対量を基準にしなくても、適正な量の接着剤を塗布することができる。
【００４４】
接着剤３４の吸引時には、シリンジ５２のノズル５６の先端を接着剤３４に近づけ、精密真空レギュレータなどの真空系５４を用いて吸引を精密にコントロールしながら、吸引を行う。なお、吸引用シリンジ５０は、繰り返し精度を維持するために、接触式変位センサ５８によって常に一定した位置に持ってくるようにセッティングされている。
【００４５】
吸引後、ステップＳ１９に戻り、接着剤３４の体積Ｖが適正値になったかどうかを再度判断する（ステップＳ１９〜ステップＳ２１）。なお、部品１２の表面の濡れ性などの要因で、接着剤３４が吸引された後でも接着剤の外形Ｗ１が変化しないこともあるが、接着剤３４のハイライト径Ｗ２をも計測することで、接着剤３４の体積Ｖをより正確に推定することができる。
【００４６】
接着剤３４の吸引は、カメラ２０による画像観察を行いながらリアルタイムで行うようにしてもよい。接着剤３４の体積推移を計測することにより、接着剤３４を過剰に吸引することを抑制することができる。
【００４７】
接着剤３４を過剰に吸引しすぎ、接着剤３４の塗布量が適正値よりも過小になった場合には、必要に応じて塗布した接着剤３４を総て吸引して取り除いた後、ステップＳ１１に戻り、接着剤３４の滴下処理をやり直す。
【００４８】
このような一連の処理の結果、部品１２上に塗布した接着剤３４の塗布量（体積Ｖ）が基準量の範囲内であると判定された場合には、接着剤３４の塗布工程を完了する（図１１）。
【００４９】
この後、部品１２に接着される部品を接着剤３４上に載置し、部品同士を接着する。
【００５０】
接着剤３４の塗布を複数の部品１２について行う場合において、最初に塗布した接着剤３４の塗布量が基準量の範囲内でなかったときには、ステップＳ２０における体積Ｖの推定結果に基づいて、次の部品１２に接着剤３４を塗布する際の塗布量を増減するようにしてもよい。
【００５１】
このように、本実施形態によれば、接着剤の液滴を撮影した画像から液滴の外径とハイライト径とを計測し、これらの値から接着剤の塗布量を推定するので、一方向から撮影した画像に基づいて接着剤の塗布量を正確に推定することができる。また、接着剤の塗布量の推定値に基づいて接着剤の吸引処理を行うことにより、接着剤の塗布量を適正値に容易に調整することができる。また、接着剤の塗布量の推定値に基づいて次に接着剤を塗布する際の塗布量を制御することにより、作業効率の向上と安定性を図ることができる。
【００５２】
［変形実施形態］
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
【００５３】
例えば、上記実施形態では、吐出用シリンジとしてメカニカルディスペンサを用いたが、接着剤を塗布する手段は、必ずしもメカニカルディスペンサに限定されるものではない。メカニカルディスペンサはエアー式ディスペンサ等と比較して微少量吐出が容易であるが、エアー式ディスペンサ等を用いた場合にも、上記実施形態の方法を用いることにより、その後に接着剤の塗布量を適正に調整することが可能である。
【００５４】
また、吸引用シリンジとしてバキューム機能を付帯したシリンジを用いたが、接着剤を吸引する手段は、必ずしもこれに限定されるものではない。
【００５５】
また、上記実施形態では、接着剤の塗布装置に適用した場合を示したが、塗布する液体は必ずしも接着剤である必要はない。微少量吐出が求められる種々の液体を塗布する場合に、上記実施形態に記載の方法及び装置を適用することができる。
【００５６】
また、上記実施形態に記載した接着剤の塗布装置及び塗布方法は、一例を示したものにすぎず、当業者の技術常識等に応じて適宜修正や変更が可能である。
【符号の説明】
【００５７】
１０…ステージ
１２，１６…部品
１４…治具
２０…カメラ
２２…レンズ
２４…撮像素子
２６…ＬＥＤ照明
３０…吐出用シリンジ
３２…シリンジ
３４…接着剤
３６…プランジャ
３８…ロッド
４０，５６…ノズル
４２，５８…接触式変位センサ
５０…吸引用シリンジ
５２…シリンジ
５４…真空系
６０…演算・制御装置
６２…ステージ駆動装置
６４…カメラ制御・画像処理装置
６６…吐出用シリンジ制御装置
６８…吸引用シリンジ制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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