(57)【要約】【課題】暗室を小型化した上で太陽電池を分割撮影することなく一台のカメラで撮影し、検査時間の短縮及び検査装置の低減を実現する。【解決手段】被検査物としての太陽電池１の搬入及び搬出を行うコンベヤ２と、コンベヤにより搬入された太陽電池の表面を撮影する近赤外レンズ一体型ラインカメラ３と、コンベヤ上に載置された太陽電池と近赤外レンズ一体型ラインカメラのいずれか一方を相対的に移動する移動手段としての押しバー４及び駆動部５とを備え、太陽電池と近赤外レンズ一体型ラインカメラのいずれか一方を相対的に移動しつつ近赤外レンズ一体型ラインカメラが太陽電池を撮影することにより、太陽電池全体の撮影が可能である。【選択図】図１
2014082352.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物としての太陽電池の搬入及び搬出を行うコンベヤと、
前記コンベヤにより搬入された前記太陽電池の表面を撮影する近赤外レンズ一体型ラインカメラと、
前記コンベヤ上に載置された前記太陽電池と、前記近赤外レンズ一体型ラインカメラのいずれか一方を相対的に移動する移動手段と、
を備え、
前記太陽電池と前記近赤外レンズ一体型ラインカメラのいずれか一方を相対的に移動しつつ前記近赤外レンズ一体型ラインカメラが前記太陽電池を撮影することにより、前記太陽電池全体の撮影が可能であることを特徴とする太陽電池の検査装置。
【請求項２】
前記コンベヤ上に載置された前記太陽電池の一方の側面に沿って少なくとも２個設けられた第１の補正手段と、前記太陽電池の前記一方の側面と対向する他の側面に沿って少なくとも２個設けられた第２の補正手段とをさらに備え、
前記コンベヤが前記太陽電池を搬送する際に、前記太陽電池の前記一方の側面が前記第１の補正手段に接触し、又は前記他方の側面が前記第２の補正手段に接触すると、前記第１、第２の補正手段の間に前記太陽電池が収まるよう補正されることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池の検査装置。
【請求項３】
前記近赤外レンズ一体型ラインカメラへの外乱光を遮光するため、前記近赤外レンズ一体型ラインカメラの周縁部に設けられた周縁遮光カバーをさらに備える請求項１又は２に記載の太陽電池の検査装置。
【請求項４】
検査装置を用いて太陽電池の検査を行う方法であって、
前記検査装置は、
被検査物としての前記太陽電池の搬入及び搬出を行うコンベヤと、
前記コンベヤにより搬入された前記太陽電池の表面を撮影する近赤外レンズ一体型ラインカメラと、
前記コンベヤ上に載置された前記太陽電池と、前記近赤外レンズ一体型ラインカメラのいずれか一方を相対的に移動する移動手段と、
を備え、
前記コンベヤにより、前記太陽電池が搬入される工程と、
前記移動手段により、前記コンベヤ上に載置された前記太陽電池と、前記近赤外レンズ一体型ラインカメラのいずれか一方が相対的に移動しつつ、前記近赤外レンズ一体型ラインカメラにより前記太陽電池全体の撮影が行われる工程と、
を備えることを特徴とする太陽電池の検査方法。
【請求項５】
前記検査装置は、前記コンベヤ上に載置された前記太陽電池の一方の側面に沿って少なくとも２個設けられた第１の補正手段と、前記太陽電池の前記一方の側面と対向する他の側面に沿って少なくとも２個設けられた第２の補正手段とをさらに備え、
前記コンベヤにより、前記太陽電池が搬入される工程において、前記コンベヤが前記太陽電池を搬送する際に、前記太陽電池の前記一方の側面が前記第１の補正手段に接触し、又は前記他方の側面が前記第２の補正手段に接触すると、前記第１、第２の補正手段の間に前記太陽電池が収まるよう補正されることを特徴とする請求項４に記載の太陽電池の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池の検査装置及びその方法に係わり、特に太陽電池に励起発光させてその発光光に基づいて太陽電池の欠陥を検査するのに好適な検査装置及びその方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、太陽電池あるいは太陽電池ストリングあるいは太陽電池モジュールの検査は、目視により太陽電池表面にクラックがあるか否かを判断することで行っていた。
【０００３】
ここで、「太陽電池」とは、太陽電池セルと呼ばれる一枚の太陽電池をいうものとする。また、「太陽電池ストリング」とは、太陽電池セルを複数枚直列的に接続したものをいう。さらに、「太陽電池モジュール」は、太陽電池セルを複数枚直列及び並列的に接続し、必要な電圧と電流が得られるようにしたものをいう。いずれの場合も検査に関しては、最終的には個々の太陽電池セルに対して行うものである。そこで本明細書では、「太陽電池」には太陽電池セル、太陽電池ストリング、太陽電池モジュールのいずれも含まれるものとする。
【０００４】
図４に、太陽電池モジュール１０１の縦断面構造における一部分を拡大して示す。太陽電池モジュール１０１は、太陽電池セル１０２をタブリード１０３で直列接続した太陽電池ストリング１０４を、ＥＶＡ等の充填材１０５を介して、受光面１Ａ側にはガラス等の透明部材１０６、非受光面側にはバックシート等の保護材１０７を用いてそれぞれ保護するように積層した構成となっている。
【０００５】
以下に示す特許文献１には、検査対象の太陽電池に順方向の電流を流してＥＬ（Electro Luminescence、以下ＥＬと称する）発光させ、発光した太陽電池をＣＣＤカメラで撮影して画像処理装置に画像データを送る検査装置が記載されている。
【０００６】
ここで、画像処理装置は、各太陽電池セルの画像から発光しない部分を取り出して分析を行う。検査装置は、平らな上面開口部を備えた暗室と暗室上面の透明板と暗室内に設けたカメラとカメラ駆動機構とを有し、太陽電池を覆う上カバーが不要であり構造が簡単で小型化することができる旨が記載されている。
【０００７】
一方、特許文献２には、太陽電池をＥＬ発光させて欠陥を検査する際に、平らな上面開口部を備えた暗室と、太陽電池を上面開口部に保持する支持手段と、複数のカメラと、カメラを移動する手段とを有する検査装置が記載されている。
【０００８】
この検査装置によれば、複数のカメラで分割撮影することで短時間に高解像度で撮影することができる。また、分割撮影により、カメラと太陽電池との距離を短くすることができ、暗室を小型化できる旨が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００９−１０５１１２号公報
【特許文献２】特開２０１０−０５６２５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ここで、太陽電池の製造に関わる半導体素子の欠陥を検出する装置は、微弱なＥＬ発光をカメラで撮影するために暗室が不可欠である。ＥＬ発光画像の撮影は、暗室の中に被検査物となる太陽電池を載置し、暗室内のカメラにより行う。
【００１１】
しかし、太陽電池モジュールはその寸法が２ｍ×１ｍにもなる。そのため、カメラから被検査物となる太陽電池モジュールまでの撮影距離を大きく取らなければならず、暗室が大型化する。暗室を小型化するには、撮影するカメラを複数台設けたり、反射板を設けたりすることで撮影距離を短くする手法等が考えられる。しかし、装置の構造が複雑化し且つ高額になる。また、複数のカメラを用いて分割撮影を行うためには、撮影した複数枚の画像を繋ぎ合わせて1枚の画像にする画像処理が必要となり、検査時間が増加するという問題もあった。
【００１２】
本発明は上記事情に鑑み、暗室を小型化した上で、被検査物を分割撮影することなく一台のカメラで撮影することができ、検査時間の短縮及び検査装置を安価にすることが可能な太陽電池の検査装置及びその方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の太陽電池の検査装置は、
被検査物としての太陽電池の搬入及び搬出を行うコンベヤと、
前記コンベヤにより搬入された前記太陽電池の表面を撮影する近赤外レンズ一体型ラインカメラと、
前記コンベヤ上に載置された前記太陽電池と、前記近赤外レンズ一体型ラインカメラのいずれか一方を相対的に移動する移動手段と、
を備え、
前記太陽電池と前記近赤外レンズ一体型ラインカメラのいずれか一方を相対的に移動しつつ前記近赤外レンズ一体型ラインカメラが前記太陽電池を撮影することにより、前記太陽電池全体の撮影が可能であることを特徴とする。
【００１４】
また本発明の太陽電池の検査方法は、検査装置を用いて太陽電池の検査を行う方法であって、
前記検査装置は、
被検査物としての前記太陽電池の搬入及び搬出を行うコンベヤと、
前記コンベヤにより搬入された前記太陽電池の表面を撮影する近赤外レンズ一体型ラインカメラと、
前記コンベヤ上に載置された前記太陽電池と、前記近赤外レンズ一体型ラインカメラのいずれか一方を相対的に移動する移動手段と、
を備え、
前記コンベヤにより、前記太陽電池が搬入される工程と、
前記移動手段により、前記コンベヤ上に載置された前記太陽電池と、前記近赤外レンズ一体型ラインカメラのいずれか一方が相対的に移動しつつ、前記近赤外レンズ一体型ラインカメラにより前記太陽電池全体の撮影が行われる工程と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の太陽電池の検査装置及びその方法によれば、被検査物を一台のラインカメラで撮影することができるため、複数のカメラで撮影して１枚の画像に合成する場合と比較し画像処理時間を短縮することができる。また、被検査物とラインカメラとの距離を短縮することで装置の小型化が可能であると共に、ラインカメラのレンズ周辺を遮光するだけで検査が可能であり、検査が簡便でありコストが低減される。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態１による太陽電池の検査装置の構成を示す平面図及び縦断面図である。
【図２】本発明の実施の形態２による太陽電池の検査装置の構成を示す平面図及び縦断面図である。
【図３】上記実施の形態１、２による太陽電池の検査装置において用いることが可能な近赤外レンズ一体型ラインカメラの構成を示す説明図である。
【図４】上記実施の形態１、２による太陽電池の検査装置により検査が可能な太陽電池モジュールの構成を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態による太陽電池の検査装置及びその方法について、図面を参照して説明する。
【００１８】
（１）実施の形態１
本発明の実施の形態１による太陽電池の検査装置及びその方法は、太陽電池をラインカメラに対して相対的に移動して検査を行う検査装置及びその方法に関するものである。
【００１９】
図１（ａ）の平面図、図１（ｂ）の縦断面図に、本実施の形態１による検査装置の構成を示す。なお、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＡ−Ａ線に沿う縦断面図とする。また図１（ａ）は、後述する遮光及び防護カバー２１が取り外された状態を示す平面図とする。
【００２０】
本実施の形態１による検査装置は、図示されない電源装置、コンベヤ２、撮影部としての近赤外レンズ一体型ラインカメラ（以下、ラインカメラと称する）３、押しバー４、駆動部５、電極パッド２２、補正ローラ６、センサ７、ロータリエンコーダ８、レール９、図示されないコンピュータ、図示されないモニタ、これら各構成要素が取り付けられた装置架台部２０、遮光及び防護カバー２１を備えている。
【００２１】
なお、太陽電池を搬送する手段としてコンベヤには限定されず、例えばローラ、ベルト、チェーン等、特に種類を限定するものではない。
【００２２】
また、センサ７のセンサ方式として、例えば磁気、光学、超音波等、特に種類を限定するものではない。
【００２３】
装置架台部２０における少なくとも図１（ｂ）に示された正面部分、正面と反対側の背面部分、図１（ａ）に示された平面部分の外乱光を遮光するように、遮光及び防護カバー２１が設けられてトンネル構造が形成されている。なお、装置架台部２０の両側の側面部分、即ち太陽電池の搬入口、搬出口は、外乱光を遮光した状態、あるいは遮光せず採光状態のいずれであってもよい。このように、遮光及び防護カバー２１が設けられて形成されたトンネル構造は、太陽電池（太陽電池セル、太陽電池ストリング、太陽電池モジュールを含む）１の検査を行うため、近赤外レンズ一体型ラインカメラのレンズ面周辺の外乱光を遮光した環境を提供するものである。また、遮光及び防護カバー２１は駆動部５がむき出しの場合、オペレータが駆動部５とレール９の間に身体を挟む危険性があるため、防護カバーとしての役目もある。
【００２４】
電源装置は、被検査物としての太陽電池１に順バイアス電圧を印加するものである。
【００２５】
コンベヤ２は太陽電池１の搬入及び搬出を行うもので、太陽電池１の受光面１Ａ側が載置された状態で、太陽電池１を矢印ｂの方向に搬送するものである。
【００２６】
ラインカメラ３は、太陽電池１を撮影する撮像部に相当するものであり、近赤外レンズが一体に形成されている。
【００２７】
押しバー４はレール９に沿って移動することで、太陽電池１の後部側面を押してコンベヤ２上を矢印ｂの方向に搬送するものである。
【００２８】
駆動部５は、矢印ｂの搬送方向に沿って設けられたレール９上を走行することにより、押しバー４を駆動するものである。
【００２９】
電極パッド２２は、図示されない直流電源装置から延ばした電源ケーブルを太陽電池の電極へ接続するためのものである。
【００３０】
補正ローラ６は矢印ｂの搬送方向に対して平行に、太陽電池１の両側面と所定距離を隔てて複数個対向配置されている。補正ローラ６の数は、両側面にそれぞれ少なくとも２個ずつ設けられている。太陽電池１が搬送方向から外れた角度で搬送されている場合に、補正ローラ６に太陽電池１の一方の側面が接触し、接触時の摩擦で補正ローラ６が回転し、太陽電池１が内側へ戻されることで搬送方向が補正される。
【００３１】
センサ７は、太陽電池１の存在の有無を検出するセンサであり、測定の開始及び終了を確認するために設けられている。
【００３２】
ロータリエンコーダ８は、駆動部５の速度及び変動を検出するものである。
【００３３】
コンピュータは、ラインカメラ３及び駆動部５の動作を制御すると共に、ラインカメラ３が撮影した画像データを保存し解析を行って検査結果として出力する。
【００３４】
モニタは、ラインカメラ３により撮影された画像の表示と共に、コンピュータが出力した検査結果の表示を行う。
【００３５】
以上のような構成を備えた本実施の形態１による検査装置を用いて太陽電池の検査を行う方法について説明する。
【００３６】
図１（ａ）に示されたように、被検査物としての太陽電池１が搬入され、受光面１Ａ側が下方を向くようにコンベヤ２上に載置される。
【００３７】
コンベヤ２上の太陽電池１が測定開始位置に存在するとセンサ７により検出され、太陽電池１の測定が開始される。
【００３８】
太陽電池１に、電源から順バイアス電圧が印加される。これにより、太陽電池１から微弱な光が発光される。
【００３９】
押しバー４が、太陽電池１を押すことが可能な位置まで矢印ｃの方向に下降する。駆動部５により駆動された押しバー４が、被検査物の後部側面を押して矢印ｂの搬送方向に搬送する。
【００４０】
押しバー４により押された太陽電池１がコンベヤ２上を搬送されながら、少なくとも２個ずつ対向配置された補正ローラ６の間を通過していく。上述したように、太陽電池１が矢印ｂの搬送方向から外れた角度で搬送されている場合は、補正ローラ６に太陽電池１の一方の側面が接触し、接触時の摩擦で補正ローラ６が回転して太陽電池１が内側へ戻されることにより搬送方向が補正される。図１（ａ）において、太陽電池１の上側面に沿って配置された補正ローラ６は接触時に矢印ａ１の方向に回転し、太陽電池１の下側面に沿って配置された補正ローラ６は接触時に矢印ａ２の方向に回転する。
【００４１】
搬送される太陽電池１の受光面１Ａから微弱な光が出力されており、この受光面１Ａの全体が一台のラインカメラ３により撮影される。この撮影は、上述したように遮光及び防護カバー２１により外乱光が遮光された状態で行われる。
【００４２】
ここで、駆動部により押しバー４を駆動する際には、ロータリエンコーダ８により搬送速度が検出され、搬送速度が所定速度と一致するように駆動部が有するサーボモータの速度制御が行われる。
【００４３】
ロータリエンコーダ８の速度情報はコンピュータに内蔵された画像処理部へ入力され、搬送速度が変動しても画像に歪が発生しないように制御することができる。
【００４４】
太陽電池１が搬送されてラインカメラ３上を通過していき、センサ７が太陽電池１の存在を検出しなくなるとラインカメラ３の撮影が終了し、押しバー４によるコンベヤ２上の太陽電池１の搬送が停止する。このように、センサ７により測定の開始及び終了が検出される。
【００４５】
ラインカメラ３により撮影され取得された画像データがコンピュータに転送され、保存されて解析されることにより太陽電池１の欠陥の有無が判定される。具体的には、太陽電池１にマイクロクラックと称される欠陥が存在すると、周囲より電界発光光量が少ない部分が存在する。この発光光量の変化がラインカメラ３により撮影されることで、電界発光光量の少ない暗部の存在の有無が判定される。
【００４６】
本実施の形態１の太陽電池の検査装置によれば、以下のような効果が得られる。
【００４７】
１）太陽電池をラインカメラに対して相対的に移動させつつ撮影していくことにより、太陽電池が大型である場合も太陽電池全体を一台のラインカメラで撮影することができる。このため、複数のカメラで撮影して１枚の画像に合成する場合より、画像処理が容易で処理時間を短縮することができる。
【００４８】
２）ラインカメラとして、後述するようなセルフォックレンズアレイを搭載したものを用いることにより、太陽電池とラインカメラとの撮影距離を、例えば５ｍｍ〜１５ｍｍ程度に短縮して装置を小型化することができる。従って、撮影距離を短縮するための反射板も不要であり装置構成を簡易化しコスト低減が可能となる。また装置の小型化に伴い、ラインカメラのレンズ周辺部を遮光するだけで外乱光がラインカメラに入ることを防止できるので、検査装置全体を完全に遮光状態にする必要がなく遮光構造が簡易化されコスト低減がもたらされる。
【００４９】
（２）実施の形態２
本発明の実施の形態２による太陽電池の検査装置及びその方法は、ラインカメラを太陽電池に対して相対的に移動して検査を行う検査装置及びその方法に関するものである。なお、上記実施の形態１と同一の構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００５０】
図２（ａ）の平面図、図２（ｂ）の縦断面図、図２（ｃ）の横断面図に本実施の形態２による太陽電池の検査装置の構成を示す。なお、図２（ｂ）は図２（ａ）におけるＢ−Ｂ線に沿う縦断面図、図２（ｃ）は図２（ｂ）におけるＣ−Ｃ線に沿う横断面図とする。また図２（ａ）は、後述する周縁遮光カバー１１が取り外された状態を示す平面図である。
【００５１】
本実施の形態２による太陽電池の検査装置は、図示されない電源装置、コンベヤ２、撮影部としてのラインカメラ３、補正ローラ６、センサ７、周縁遮光カバー１１、サーボモータ１２、レール１３、ガイド１４、図示されないコンピュータ、図示されないモニタ、これら各構成要素が取り付けられた装置架台部２０を備えている。
【００５２】
なお、太陽電池を搬送する手段としてコンベヤには限定されず、例えばローラ、ベルト、チェーン等、特に種類を限定するものではない。
【００５３】
また、センサ７のセンサ方式として、例えば磁気、光学、超音波等、特に種類を限定するものではない。
【００５４】
本実施の形態２においても上記実施の形態１と同様に、装置架台部２０における少なくとも図２（ｂ）に示された正面部分、正面と反対側の背面部分、図２（ａ）に示された平面部分においてラインカメラ３に外乱光が入り込まないように遮光する必要がある。装置架台部２０の両側の側面部分、即ち太陽電池の搬入口、搬出口は、遮光状態あるいは採光状態のいずれであってもよい。
【００５５】
本実施の形態２では、図１に示された上記実施の形態１より、ラインカメラ３のレンズ面から、装置架台部２０における太陽電池の搬出口までの距離が短い。このため、搬出口が遮光されておらず採光状態になっている場合は、図２（ｂ）に示されたように、ラインカメラ３のレンズ面に外乱光が入らないように周縁遮光カバー１１をラインカメラ３の周辺に設ける必要がある。この周縁遮光カバー１１は、内側表面が暗幕等のような反射しない黒色の材料で形成されていることが望ましい。なお、周縁遮光カバー１１は図２（ｂ）に示されたように太陽電池１の搬出口付近に設けられている。ラインカメラ３が図中左側の搬入口へ移動すると、太陽電池１の下方に入った状態となり、ラインカメラ３のレンズ面には検査に影響を受ける外乱光は入り込まない。従って、太陽電池１の下方にある間は周縁遮光カバーを設けなくとも検査に支障は無い。このため、本実施の形態２ではトンネル構造として、上記実施の形態１における遮光及び防護カバー２１より面積が小さい周縁遮光カバー１１が太陽電池１の搬出口付近に設けられている。
【００５６】
図２の周縁遮光カバー１１は、搬送出口付近に固定としているが、必ずしも固定する必要はなく、ガイド１４に周縁遮光カバー１１を取り付けて固定させ、ラインカメラ３の移動と一緒に周縁遮光カバー１１も移動させることで遮光性能を高めることもできる。
【００５７】
電源装置は、被検査物としての太陽電池１に順バイアス電圧を印加するものである。
【００５８】
コンベヤ２は太陽電池の搬入及び搬出を行うもので、太陽電池１の受光面１Ａ側が下方を向くように載置された太陽電池１を、矢印ｂの方向に搬送するものである。ここで、コンベヤ２は、図示されないモータにより回転駆動することで、太陽電池１の搬送を行う。
【００５９】
ラインカメラ３は、太陽電池１を撮影する撮像部に相当し、近赤外レンズが一体に形成されている。
【００６０】
補正ローラ６は矢印ｂの搬送方向に対して平行に、太陽電池１の両側面と所定距離を隔てて複数個対向配置されている。補正ローラ６の数は、両側面にそれぞれ少なくとも２個ずつ設けられている。太陽電池１が搬送方向から外れた角度で搬送されている場合に、補正ローラ６に太陽電池１の一方の側面が接触し、接触時の摩擦で補正ローラ６が回転し、太陽電池１が内側へ戻されることで搬送方向が補正される。
【００６１】
センサ７は、太陽電池１の存在の有無を検出するセンサである。太陽電池１がコンベヤ２により図中左側の搬入口から搬送されてきて検査位置に到達すると、センサ７が太陽電池１の存在を検出する。この時点で、コンベヤ２の回転が停止し太陽電池１が測定位置で停止する。
【００６２】
サーボモータ１２は図示されないロータリエンコーダを内蔵し、ロータリエンコーダが検出したモータの回転速度が所定値と一致するように動作することで、ラインセンサ３を所望の速度で搬送するものである。
【００６３】
また、測定の開始及び終了が、サーボモータ１２に内蔵されたエンコーダにより検出される。ラインカメラ３の現在の位置が、予め設定された測定が開始される原点の位置であるとすると、その位置から測定が開始されてサーボモータ１２が回転しラインカメラ３が移動すると共に撮影が開始される。ラインカメラ３の位置が、予め設定された測定終了の位置に到達すると、エンコーダによりこのことが検出され撮影が終了し測定終了となる。
【００６４】
レール１３は、ラインセンサ３を搭載したガイド１４がサーボモータ１２の駆動により矢印ｄ１の方向に搬送するために設けられたものである。
【００６５】
ガイド１４は、ラインセンサ３を搭載してレール１３に沿って搬送するためのものである。
【００６６】
コンピュータは、ラインカメラ３及びサーボモータ１２の動作を制御すると共に、ラインカメラ３が撮影した画像データを保存し解析を行って検査結果として出力する。
【００６７】
モニタは、ラインカメラ３により撮影された画像の表示と共に、コンピュータが出力した検査結果の表示を行う。
【００６８】
以上のような構成を備えた本実施の形態２による検査装置を用いて太陽電池の検査を行う本実施の形態２による検査方法について説明する。
【００６９】
図２（ａ）に示されたように、被検査物としての太陽電池１が図中左側の搬入口から搬入され、受光面１Ａ側が下方を向くようにコンベヤ２上に載置される。
【００７０】
太陽電池１がコンベヤ２に載置されると矢印ｂの方向に搬送され、太陽電池１の両側面に配置された補正ローラ６の間を通過していく。
【００７１】
補正ローラ６の内側から被検査物が外れて搬送されている場合、上記実施の形態１と同様に補正ローラ６に被検査物が接触し、接触時の摩擦で補正ローラ６が回転し、内側へ戻され補正される。
【００７２】
太陽電池１が測定開始位置に到達してセンサ７によりその存在が検出されると、太陽電池１の測定が開始される。
【００７３】
太陽電池１に、電源から順バイアス電圧が印加される。これにより、太陽電池１から微弱な光が発光される。
【００７４】
ラインカメラ３がサーボモータ１２によりレール１３上を図２（ｃ）における矢印ｄ１方向に移動しつつ太陽電池１の受光面１Ａを撮影していき、太陽電池１全体の画像データが取得される。ここで、サーボモータ１２によりラインカメラ３を移動する際には、サーボモータ１２に内蔵されたロータリエンコーダにより移動速度が検出され、移動速度が所定速度と一致するようにサーボモータの速度制御が行われる。
【００７５】
ロータリーエンコーダの速度情報は、コンピュータに内蔵された画像処理部へ入力され、搬送速度が変動しても画像に歪が発生しないように制御することができる。
【００７６】
また撮影の際には、ラインカメラ３のレンズ面周辺に設けられた周縁遮光カバー１１により、外光が入り込むことが防止される。
【００７７】
ラインカメラ３が矢印ｄ２方向に移動し、サーボモータ１２に内蔵されたエンコーダによりラインカメラ３が撮影終了位置に戻ったことが検出されると、サーボモータ１２によるラインカメラ３の移動が停止し、ラインカメラ３の撮影が終了して検査が終了する。
【００７８】
ラインカメラ３により撮影され取得された画像データがコンピュータに転送され、保存されて解析されることにより、太陽電池１の欠陥の有無や欠陥の形状等が判定される。
【００７９】
本実施の形態２によれば、上記実施の形態１と同様に太陽電池全体を一台のラインカメラで撮影することができるため、複数のカメラで撮影して１枚の画像に合成する場合より画像処理時間を短縮することができる。また、太陽電池とラインカメラとの距離を短縮して装置の小型化が可能である。さらに本実施の形態２によれば、ラインカメラを太陽電池の下方で移動させて撮影を行うことにより外乱光が太陽電池で遮光されるため、ラインカメラのレンズ周辺を遮光するだけで検査が可能であり、検査方法が簡便であり検査コストが低減される。
【００８０】
図３に、上記実施の形態１、２において用いることが可能な近赤外レンズ一体型ラインカメラ３の構成を概略的に示す。なお、図３（ａ）は図１（ｂ）、図２（ｂ）と同様に検査装置を正面から見た場合における正面図であり、図３（ｂ）はその側面図であるとする。
【００８１】
図３（ａ）に示されたように、太陽電池１の受光面１Ａ側を撮影可能なように、ラインカメラ３が配置される。このラインカメラ３は、屈折率分布型レンズであるセルフォックレンズアレイ（登録商標）３ａが一体型として設けられている。このセルフォックレンズアレイ３ａを介して、太陽電池モジュール１の画像を撮像素子３ｂ上に投影して撮影する。
【００８２】
図３（ｂ）に示されたように、セルフォックレンズアレイ３ａは小さい筒形形状のレンズ３ａ１が短冊状に複数配置された状態で構成されている。複数のセルフォックレンズアレイ３ａ全体を介して撮影を行うことで、１個の連続した画像が形成される。
【００８３】
セルフォックレンズアレイ３ａを一体型で形成したことにより、ラインカメラ３が小型軽量となる。セルフォックレンズアレイ３ａは光路長が短いため、太陽電池１とラインカメラ３との距離を短くすることができる。
【００８４】
また、太陽電池１の幅方向の寸法に合わせてレンズ３ａ１の個数を調整することにより、１つのラインカメラ３で対応することができる。この際に、太陽電池１の幅方向に対し、球面レンズのような光量、解像力の低下がないため均一な画像を得ることができる。
【００８５】
ところで、一般に用いられているセルフォックレンズアレイが設けられたラインカメラは、可視光領域を撮像範囲としている。しかし、太陽電池のＥＬ発光を撮影して検査する場合は、ＥＬ発光の波長領域で測定する必要がある。近赤外領域には、ＥＬ発光の領域が含まれている。そこで、本発明では近赤外領域で太陽電池からのＥＬ発光を撮影する。
【００８６】
本発明の幾つかの実施の形態について説明したが、これらの実施の形態は、例として提示したものであり、発明の技術的範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態やその変形は、発明の技術的範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８７】
１  太陽電池モジュール
２  コンベヤ
３  近赤外レンズ一体型ラインカメラ
３ａ  セルフォックレンズアレイ
３ｂ  撮像素子
４  押しバー
５  駆動部
６  補正ローラ
７  センサ
８  ロータリエンコーダ
９、１３  レール
１１  周縁遮光カバー
１２  サーボモータ
１４  ガイド
２０  装置架台部
２１  遮光及び防護カバー
２２  電極パッド
１０１  太陽電池モジュール
１０２  太陽電池セル
１０３  タブリード
１０４  太陽電池ストリング
１０５  充填材
１０６  透明部材
１０７  保護材
【図１】
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【図２】
2014082352.tif 000004
【図３】
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【図４】
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