【手続補正書】
【提出日】令和3年1月18日(2021.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に沿って配置された複数の第１磁石よりなる第１の磁石群と、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って配置された複数の第２磁石よりなる第２の磁石群とを有する可動子と、
前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群に対向可能に前記第１の方向に沿って配置された複数のコイルとを有し、
前記可動子は、前記複数のコイルと前記第１の磁石群及び／又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力により姿勢が制御されつつ、前記複数のコイルと前記第１の磁石群との間で発生する電磁力により前記第１の方向に移動可能である
ことを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記可動子は、前記第１の方向とは異なる方向に、前記複数のコイルと前記第１の磁石群又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力を受ける
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記可動子は、前記第１の方向に沿った側面又は上面を有し、
前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群は、前記側面又は前記上面に配置されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記可動子は、前記第１の方向に沿った一方の前記側面及び他方の前記側面を有し、
前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群は、前記一方の側面及び前記他方の側面のそれぞれに配置されている
ことを特徴とする請求項３に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記一方の側面に配置された前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群と、前記他方の側面に配置された前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群とは、前記第１の方向に沿った軸を対称軸として対称に配置されている
ことを特徴とする請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記一方の側面に配置された前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群と、前記他方の側面に配置された前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群とは、非対称に配置されている
ことを特徴とする請求項４記載の搬送システム。
【請求項７】
前記可動子は、前記第１の方向に沿った一方の前記側面及び他方の前記側面を有し、
前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群は、前記一方の側面及び前記他方の側面のうちの前記一方の側面に配置されている
ことを特徴とする請求項３記載の搬送システム。
【請求項８】
前記第１の磁石群は、前記第２の方向に互いにずれて配置された一の前記第１の磁石群と他の前記第１の磁石群とを含む
ことを特徴とする請求項７に記載の搬送システム。
【請求項９】
前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群は、前記上面に配置され、
前記複数のコイルの少なくとも１つは、
前記第１の磁石群又は前記第２の磁石群との間に引力が働きうる鉄心を有し、
前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群と上方から対向可能に配置されている
ことを特徴とする請求項３に記載の搬送システム。
【請求項１０】
前記複数のコイルは、前記複数のコイルのうちの１又は複数のコイルがボックス状に囲われてコイルボックスユニットを構成し、
複数の前記コイルボックスユニットが並べられている
ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項１１】
前記可動子は、
前記第１の磁石群が取り付けられた第１のヨークと、
前記第２の磁石群が取り付けられた第２のヨークとを有し、
前記第１のヨークと前記第２のヨークとが互いに分離されている
ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項１２】
前記複数の第１磁石は前記複数のコイルと対向可能な位置において、前記第１の方向において隣り合う第１磁石の極性が互いに異なり、
前記複数の第２磁石は前記複数のコイルと対向可能な位置において、前記第２の方向において隣り合う第２磁石の極性が互いに異なる
ことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項１３】
前記搬送システムは、固定子をさらに有し、
前記固定子は底面と、前記底面と交差する側面と、を有し、
前記複数のコイルは、前記固定子の前記側面に配置されている
ことを特徴とする請求項４乃至８のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項１４】
前記搬送システムは、固定子をさらに有し、
前記固定子は底面と、前記底面と対向する天面と、を有し、
前記複数のコイルは、前記固定子の前記天面に配置されている
ことを特徴とする請求項９に記載の搬送システム。
【請求項１５】
前記可動子の前記上面の反対側の面である下面にはYターゲットおよびZターゲットが設けられており、
前記固定子の前記底面には、複数のYセンサおよび複数のZセンサが設けられており、
前記複数のYセンサは、前記第１の方向において間隔を空けて配置されており
前記複数のZセンサは、前記第１の方向において間隔を空けて配置されており、前記第１の方向および前記第２の方向と交差する第３方向において間隔を空けて配置されている
ことを特徴とする請求項１３又は１４に記載の搬送システム。
【請求項１６】
前記可動子は、前記固定子と接触せずに前記第１の方向に移動可能である
ことを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項１７】
前記複数の第２磁石が３つ以上である
ことを特徴とする請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項１８】
前記複数の第１コイルは、前記第１の方向において複数の列をなして配置されている
ことを特徴とする請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項１９】
前記第２の磁石群は、前記第１の方向において前記第１の磁石群よりも前記可動子の先端側に配置されている
ことを特徴とする請求項１乃至１８のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項２０】
前記第２の磁石群は複数であり、
前記複数の第２の磁石群の少なくとも１つは前記第１方向において前記第１の磁石群よりも前記可動子の先端側に配置されており、
前記複数の第２の磁石群の少なくとも１つは前記第１方向において前記第１の磁石群よりも前記可動子の終端側に配置されている
ことを特徴とする請求項１９に記載の搬送システム。
【請求項２１】
前記第１の磁石群は複数であり、
前記第２の磁石群は前記第１の方向において２つの前記第１の磁石群に挟まれて配置されている
ことを特徴とする請求項１乃至１８のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項２２】
前記第２の磁石群を挟んだ２つの前記第１の磁石群の第１磁石のうち、前記第２の磁石群に最も近い位置に配置された第1磁石の磁極は同じである
ことを特徴とする請求項２１に記載の搬送システム。
【請求項２３】
前記複数のコイルの少なくとも１つのコイルの前記第２の方向における長さは、前記第２の磁石群の前記第２の方向における長さよりも短い
ことを特徴とする請求項１乃至２２のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項２４】
前記複数のコイルの少なくとも１つのコイルの前記第２方向における長さは、前記第１の磁石群の前記第２方向における長さよりも長い
ことを特徴とする請求項１乃至２３のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項２５】
第１の方向に沿って配置された複数の第１磁石よりなる第１の磁石群と、
前記第１の方向と交差する方向に沿って配置された複数の第２磁石よりなる第２の磁石群とを有し、
前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群に対向可能に前記第１の方向に沿って配置された複数のコイルと前記第１の磁石群及び／又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力により姿勢が制御されつつ、前記複数のコイルと前記第１の磁石群との間で発生する電磁力により前記第１の方向に移動可能である
ことを特徴とする可動子。
【請求項２６】
第１の方向に沿って配置された複数の第１磁石よりなる第１の磁石群と、前記第１の方向と交差する方向に沿って配置された複数の第２磁石よりなる第２の磁石群とを有し、前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群に対向可能に前記第１の方向に沿って配置された複数のコイルと前記第１の磁石群又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力により姿勢が制御されつつ、前記複数のコイルと前記第１の磁石群との間で発生する電磁力により前記第１の方向に移動可能である可動子を制御する制御装置であって、
前記複数のコイルに流す電流を制御することにより前記複数のコイルと前記第１の磁石群との間で発生する電磁力を制御することにより、前記第１の方向への前記可動子の搬送を制御する搬送制御手段と、
前記複数のコイルに流す電流を制御することにより前記複数のコイルと前記第１の磁石群及び／又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力を制御することにより、前記可動子の姿勢を制御する姿勢制御手段と
を有することを特徴とする制御装置。
【請求項２７】
第１の方向に沿って配置された複数の第１磁石よりなる第１の磁石群と、前記第１の方向と交差する方向に沿って配置された複数の第２磁石よりなる第２の磁石群とを有し、前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群に対向可能に前記第１の方向に沿って配置された複数のコイルと前記第１の磁石群及び／又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力により姿勢が制御されつつ、前記複数のコイルと前記第１の磁石群との間で発生する電磁力により前記第１の方向に移動可能である可動子を制御する制御方法であって、
前記複数のコイルに流す電流を制御することにより前記複数のコイルと前記第１の磁石群との間で発生する電磁力を制御することにより、前記第１の方向への前記可動子の搬送を制御し、
前記複数のコイルに流す電流を制御することにより前記複数のコイルと前記第１の磁石群及び／又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力を制御することにより、前記可動子の姿勢を制御する
ことを特徴とする制御方法。
【請求項２８】
請求項１乃至２４のいずれか１項に記載の搬送システムを用いてワークを搬送する工程と、
工程装置を用いて前記ワークに作業を実施する工程と、を有することを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の一観点によれば、第１の方向に沿って配置された複数の第１磁石よりなる第１の磁石群と、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って配置された複数の第２磁石よりなる第２の磁石群とを有する可動子と、前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群に対向可能に前記第１の方向に沿って配置された複数のコイルとを有し、前記可動子は、前記複数のコイルと前記第１の磁石群及び／又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力により姿勢が制御されつつ、前記複数のコイルと前記第１の磁石群との間で発生する電磁力により前記第１の方向に移動可能であることを特徴とする搬送システムが提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の他の観点によれば、第１の方向に沿って配置された複数の第１磁石よりなる第１の磁石群と、前記第１の方向と交差する方向に沿って配置された複数の第２磁石よりなる第２の磁石群とを有し、前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群に対向可能に前記第１の方向に沿って配置された複数のコイルと前記第１の磁石群及び／又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力により姿勢が制御されつつ、前記複数のコイルと前記第１の磁石群との間で発生する電磁力により前記第１の方向に移動可能であることを特徴とする可動子が提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のさらに他の観点によれば、第１の方向に沿って配置された複数の第１磁石よりなる第１の磁石群と、前記第１の方向と交差する方向に沿って配置された複数の第２磁石よりなる第２の磁石群とを有し、前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群に対向可能に前記第１の方向に沿って配置された複数のコイルと前記第１の磁石群及び／又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力により姿勢が制御されつつ、前記複数のコイルと前記第１の磁石群との間で発生する電磁力により前記第１の方向に移動可能である可動子を制御する制御装置であって、前記複数のコイルに流す電流を制御することにより前記複数のコイルと前記第１の磁石群との間で発生する電磁力を制御することにより、前記第１の方向への前記可動子の搬送を制御する搬送制御手段と、前記複数のコイルに流す電流を制御することにより前記複数のコイルと前記第１の磁石群及び／又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力を制御することにより、前記可動子の姿勢を制御する姿勢制御手段とを有することを特徴とする制御装置が提供される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のさらに他の観点によれば、第１の方向に沿って配置された複数の第１磁石よりなる第１の磁石群と、前記第１の方向と交差する方向に沿って配置された複数の第２磁石よりなる第２の磁石群とを有し、前記第１の磁石群及び前記第２の磁石群に対向可能に前記第１の方向に沿って配置された複数のコイルと前記第１の磁石群及び／又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力により姿勢が制御されつつ、前記複数のコイルと前記第１の磁石群との間で発生する電磁力により前記第１の方向に移動可能である可動子を制御する制御方法であって、前記複数のコイルに流す電流を制御することにより前記複数のコイルと前記第１の磁石群との間で発生する電磁力を制御することにより、前記第１の方向への前記可動子の搬送を制御し、前記複数のコイルに流す電流を制御することにより前記複数のコイルと前記第１の磁石群及び／又は前記第２の磁石群との間で発生する電磁力を制御することにより、前記可動子の姿勢を制御することを特徴とする制御方法が提供される。