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【手続補正書】
【提出日】令和3年7月6日(2021.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属からなるコア部と、該コア部の表面に位置し、且つ該金属の化合物からなるシェル部とを有する粒子の製造方法であって、
前記金属の化合物の生成が可能なシェル部形成用ガスを非プラズマ状態で、層流状態のプラズマフレームの周囲に存在させ、その状態下に、該プラズマフレーム内に前記金属からなる粉末原料を供給し、該プラズマフレーム内で該粉末原料をガス化させ、
ガス化した前記粉末原料の冷却によって前記金属の微粒子からなる前記コア部を生成させるとともに、生成した該コア部と前記シェル部形成用ガスとを化学反応させて、該コア部の表面に前記金属の化合物からなる前記シェル部を生成させる、粒子の製造方法。
【請求項２】
前記プラズマフレームの噴射方向に沿って前記シェル部形成用ガスを供給することで、該プラズマフレームの周囲に該シェル部形成用ガスを存在させる請求項１に記載の粒子の製造方法。
【請求項３】
前記プラズマフレームをチャンバーに収容するとともに、該チャンバーの内壁温度以上に加熱した前記シェル部形成用ガスを前記プラズマフレームの周囲に存在させる請求項１又は２に記載の粒子の製造方法。
【請求項４】
フレーム幅に対するフレーム長さの比が３以上である前記プラズマフレームを用いる請求項１ないし３のいずれか一項に記載の粒子の製造方法。
【請求項５】
前記プラズマフレームをチャンバーに収容するとともに、該プラズマフレームを該チャンバー内にのみ存在させ、且つ該チャンバー内に直接に前記シェル部形成用ガスを供給する請求項１ないし４のいずれか一項に記載の粒子の製造方法。
【請求項６】
得られた前記粒子を回収した後、前記シェル部形成用ガスを含有する雰囲気中に更に曝す請求項１ないし５のいずれか一項に記載の粒子の製造方法。
【請求項７】
前記金属が銅である請求項１ないし６のいずれか一項に記載の粒子の製造方法。
【請求項８】
前記金属の化合物が金属酸化物、金属窒化物又は金属炭化物のいずれかである請求項１ないし７のいずれか一項に記載の粒子の製造方法。
【請求項９】
前記金属の化合物が銅酸化物である請求項７に記載の粒子の製造方法。
【請求項１０】
前記シェル部形成用ガスが酸素ガスである請求項９に記載の粒子の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】令和3年4月21日(2021.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気を吸い込む第一吸込口および第二吸込口を備えた筐体と、
前記筐体の内部に設けられ、高圧空気を発生する高圧空気発生部と、
前記筐体の一面から起立させた複数のピラーと、
前記ピラーの前方側の側部に設けられ、前記ピラーを起立させた方向に対して垂直方向に前記高圧空気発生部で発生した前記高圧空気を前記筐体の外部に吹出気流として吹き出す吹出口と、を備え、
複数の前記ピラーは、前記吹出口が同一面となるように間隙を設けて備えられ、
隣接する前記吹出口との間には、前記吹出気流に誘引されることで生じる誘引気流が流れる誘引気流領域が形成されており、
前記第一吸込口は、前記吹出口よりも送風方向の上流側に係らない位置に設けられ、
前記第二吸込口は、前記吹出口よりも送風方向の上流側の位置に設けられ、
前記第一吸込口から空気を吸い込む第１気流制御と前記第二吸込口から空気を吸い込む第２気流制御とを切り替え可能に構成されていることを特徴とする送風装置。
【請求項２】
複数の前記ピラーは、前記筐体の前方側の上面に設けられ、
前記第一吸込口は、前記筐体の前面に設けられ、
前記第二吸込口は、前記筐体の後方側の前記上面に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の送風装置。
【請求項３】
前記第一吸込口からの空気の吸い込む状態と前記第二吸込口からの空気の吸い込む状態との切り替えを遮蔽板によって行うことを特徴とする請求項１または２に記載の送風装置。
【請求項４】
前記第１気流制御は、前記第二吸込口を前記遮蔽板により閉塞して行い、
前記第２気流制御は、前記第一吸込口を前記遮蔽板により閉塞して行うことを特徴とする請求項３に記載の送風装置。
【請求項５】
前記第一吸込口および前記第二吸込口の両方から空気を吸い込む第３気流制御に切り替え可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の送風装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載の送風装置と、
当該送風装置の前記第一吸込口又は前記第二吸込口に、空気浄化フィルタを備えたことを特徴とする送風機能付空気清浄装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
以下、その送風装置について図７および図８を参照しながら説明する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
図７は、従来の送風機組立体の一例を示す正面図を示し、図８は、Ｘ−Ｘ’線に沿って取った図７の送風機組立体の部分の側面断面図を示している。送風機組立体１００は、中央開口部１０２を画定する環状ノズル１０１を有している。送風機組立体１００の基部１１６内部には、環状ノズル１０１を通る空気流を生じさせる送風装置が配置されている。送風装置は、インペラ（羽根車）１３０が、モータハウジング１２６と共に配置されたモータ１２２から外方に延びる回転シャフトに連結され、ディフューザ１３２が、インペラ１３０の下流側に位置決めされている。モータ１２２は、図示しない電気接続部及び電源に接続され、図７に示す複数個の選択ボタン１２０により、ユーザは、送風機組立体１００を操作することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
ユーザが図７に示す複数個の選択ボタン１２０の中から好みのボタンを選択してモータ１２２が起動されると、空気が空気入口１２４を介して送風機組立体１００内に吸い込まれる。空気は、外側ケーシング１１８を通り、インペラ１３０の入口１３４まで流れる。ディフューザ１３２の出口１３６及びインペラ１３０の排気部を出た空気流は、内部通路１１０を通って互いに逆の方向に進む２つの空気流に分けられる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
そして、この目的を達成するために、本発明に係る送風装置は、空気を吸い込む第一吸込口および第二吸込口を備えた筐体と、筐体の内部に設けられ、高圧空気を発生する高圧空気発生部と、筐体の一面から起立させた複数のピラーと、ピラーの前方側の側部に設けられ、ピラーを起立させた方向に対して垂直方向に高圧空気発生部で発生した高圧空気を筐体の外部に吹出気流として吹き出す吹出口と、を備える。複数のピラーは、吹出口が同一面となるように間隙を設けて備えられ、隣接する吹出口との間には、吹出気流に誘引されることで生じる誘引気流が流れる誘引気流領域が形成されている。第一吸込口は、吹出
口よりも送風方向の上流側に係らない位置に設けられ、第二吸込口は、吹出口よりも送風方向の上流側の位置に設けられる。そして、第一吸込口から空気を吸い込む第１気流制御と第二吸込口から空気を吸い込む第２気流制御とを切り替え可能に構成されていることを特徴とするものであり、これにより所期の目的を達成するものである。
【手続補正書】
【提出日】令和3年2月5日(2021.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
正面側に送風口を有し、該送風口にグリルが設けられた送風部を備え、
前記グリルは、複数の送風案内板が渦巻き状に設けられ、
前記複数の送風案内板の前記渦巻きの中心部に近い内端部が、外端部より送風方向に突出し、
前記送風部の前記送風口が円形に形成され、
前記複数の送風案内板の前記外端部に対する前記内端部の突出量が、該送風口の直径の２０％より大きくなるように設定されている送風機。
【請求項２】
正面側に送風口を有し、該送風口にグリルが設けられた送風部を備え、
前記グリルは、複数の送風案内板が渦巻き状に設けられ、
前記複数の送風案内板の前記渦巻きの中心部に近い内端部が、外端部より送風方向に突出し、
前記送風部は、外面を形成するカバーと、該カバーの内側に設けられた円筒状の風洞部とを有している送風機。
【請求項３】
前記風洞部の内径は、所定の長さにわたって一定である請求項２に記載の送風機。
【請求項４】
前記風洞部の長さは、ファンの直径の３０％〜４０％である請求項２又は３に記載の送風機。
【請求項５】
前記風洞部と前記グリルが一体成型されている請求項２〜３の何れか１項に記載の送風機。
【請求項６】
前記風洞部の内径は、前記送風口の内径と等しい請求項２〜３の何れか１項に記載の送風機。
【請求項７】
正面側に送風口を有し、該送風口にグリルが設けられた送風部を備え、
前記グリルは、複数の送風案内板が渦巻き状に設けられ、
前記複数の送風案内板の前記渦巻きの中心部に近い内端部が、外端部より送風方向に突出し、
前記送風部は、外面を形成するカバーを有し、該カバーは球体形状を成す送風機。
【手続補正書】
【提出日】令和3年7月29日(2021.7.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
通信端末の移動管理を行う通信装置であって、
当該通信装置の識別情報と当該通信装置を停止する時間に関する情報とを、前記通信端末のユーザデータを中継するノード装置に送信する手段と、
前記時間が来ると停止する手段と、を備える通信装置。
【請求項２】
通信端末のユーザデータを中継するノード装置であって、
前記通信端末の移動管理を行う通信装置から、当該通信装置の識別情報と当該通信装置を停止する時間に関する情報とを、受信する手段と、
前記時間が来ると前記通信装置に関連するコネクションを削除する手段と、を備えるノード装置。
【請求項３】
請求項２に記載のノード装置であって、
前記ノード装置は、前記通信端末と無線通信を行う。
【請求項４】
通信端末の移動管理を行う通信装置の方法であって、
当該通信装置の識別情報と当該通信装置を停止する時間に関する情報とを、前記通信端末のユーザデータを中継するノード装置に送信し、
前記時間が来ると停止する、方法。
【請求項５】
通信端末のユーザデータを中継するノード装置の方法であって、
通信端末の移動管理を行う通信装置から、当該通信装置の識別情報と当該通信装置を停止する時間に関する情報とを、受信し、
前記時間が来ると前記通信装置に関連するコネクションを削除する、方法。
【請求項６】
請求項４または５に記載の方法であって、
前記ノード装置は前記通信端末と無線通信を行う、方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】通信装置及び通信端末の移動管理を行う通信装置の方法
【手続補正書】
【提出日】令和3年10月28日(2021.10.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プライバシマスクをビデオストリーム上に提供する方法であって、
ビデオ内に、プライバシマスクを適用すべき、少なくとも１つのイメージ領域を選択することと、
前記少なくとも１つのイメージ領域を含む前記ビデオにおけるイメージフレームに対して、
前記イメージフレームに対して、非表示イメージフレーム（３０２）としてＩフレームを示すフラグを設定することと、
前記非表示イメージフレーム（３０２）を参照する、前方予測されたイメージフレーム（３０３）を挿入することであって、前記少なくとも１つのイメージ領域を表すコーディングユニットは、前記少なくとも１つのイメージ領域外のエリアを表すコーディングユニットとは異なって処理され、前記少なくとも１つのイメージ領域を表す前記コーディングユニットが曖昧にされて、前記プライバシマスクをまとめて形成し、前記少なくとも１つのイメージ領域外のエリアを表す前記コーディングユニットが、前記非表示イメージフレーム（３０２）を参照するスキップブロックとして設定されるようになっている、前記非表示イメージフレーム（３０２）を参照する、前方予測されたイメージフレーム（３０３）を挿入することと、
前記非表示イメージフレーム（３０２）及び前記前方予測されたイメージフレーム（３０３）の双方を含むビデオストリームを出力することと、を含む、方法。
【請求項２】
前記少なくとも１つのイメージ領域を選択することは、ユーザにより行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記少なくとも１つのイメージ領域を選択することは、対象検出技術を使用して自動的に行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記前方予測されたイメージフレーム（３０３）において、前記少なくとも１つのイメージ領域を表す前記コーディングユニットが配置され、前記コーディングユニットについての人工的な動きベクトルを導入することにより曖昧さを提供し、これにより、前記少なくとも１つのイメージ領域を不明瞭にさせる、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記ビデオは、次のフォーマット、すなわち、高効率ビデオコーディング（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｖｉｄｅｏ  Ｃｏｄｉｎｇ）、バーサタイルビデオコーディング（Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｖｉｄｅｏ  Ｃｏｄｉｎｇ）、エッセンシャルビデオコーディング（Ｅｓｓｅｎｔｉａｌ  Ｖｉｄｅｏ  Ｃｏｄｉｎｇ）、ＶＰ９、及びＡＶ１、の内の１つにてエンコードされる、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
プライバシマスクをビデオストリーム上に提供するエンコーダシステムであって、
ビデオを受信するよう構成されているドッキングステーションと、
エンコーダであって、
前記ビデオ内に、プライバシマスクを適用すべき、少なくとも１つのイメージ領域を選択し、
前記少なくとも１つのイメージ領域を含む前記ビデオにおけるイメージフレームに対して、
前記イメージフレームに対して、非表示イメージフレーム（３０２）としてＩフレームを示すフラグを設定し、
前記非表示イメージフレーム（３０２）を参照する、前方予測されたイメージフレーム（３０３）を挿入し、前記少なくとも１つのイメージ領域を表すコーディングユニットは、前記少なくとも１つのイメージ領域外のエリアを表すコーディングユニットとは異なって処理され、前記少なくとも１つのイメージ領域を表す前記コーディングユニットが曖昧にされて、前記プライバシマスクをまとめて形成し、前記少なくとも１つのイメージ領域外のエリアを表す前記コーディングユニットが、前記非表示イメージフレーム（３０２）を参照するスキップブロックとして設定されるようになっており、
前記非表示イメージフレーム（３０２）及び前記前方予測されたイメージフレーム（３０３）の双方を含むビデオストリームを出力するよう構成されているエンコーダと、を含む、エンコーダシステム。
【請求項７】
プライバシマスクをビデオストリーム上に提供するコンピュータプログラムであって、
ビデオ内に、プライバシマスクを適用すべき、少なくとも１つのイメージ領域を選択することと、
前記少なくとも１つのイメージ領域を含む前記ビデオにおけるイメージフレームに対して、
前記イメージフレームに対して、非表示イメージフレーム（３０２）としてＩフレームを示すフラグを設定することと、
前記非表示イメージフレーム（３０２）を参照する、前方予測されたイメージフレーム（３０３）を挿入することであって、前記少なくとも１つのイメージ領域を表すコーディングユニットは、前記少なくとも１つのイメージ領域外のエリアを表すコーディングユニットとは異なって処理され、前記少なくとも１つのイメージ領域を表す前記コーディングユニットが曖昧にされて、前記プライバシマスクをまとめて形成し、前記少なくとも１つのイメージ領域外のエリアを表す前記コーディングユニットが、前記非表示イメージフレーム（３０２）を参照するスキップブロックとして設定されるようになっている、前記非表示イメージフレーム（３０２）を参照する、前方予測されたイメージフレーム（３０３）を挿入することと、
前記非表示イメージフレーム（３０２）及び前記前方予測されたイメージフレーム（３０３）の双方を含むビデオストリームを出力することと、に対応するプログラム命令を含む、プライバシマスクをビデオストリーム上に提供するコンピュータプログラム。
【請求項８】
請求項７に記載のコンピュータプログラムを含む、デジタル記憶媒体。
【手続補正書】
【提出日】令和3年3月16日(2021.3.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像を符号化するための符号化装置において、
画像内の複数の矩形領域のうちの１つの矩形領域の境界に隣接する画素に対するフィルタ処理を許容するか否かを決定する決定手段と、
前記決定手段による決定に基づいて、前記境界に隣接する画素に対するフィルタ処理を許容するか否かを示す制御情報を符号化する符号化手段とを有し、
前記符号化手段は、前記矩形領域の配置に対応して前記制御情報を符号化することを特徴とする符号化装置。
【請求項２】
画像を符号化するための符号化方法において、
画像内の複数の矩形領域のうちの１つの矩形領域の境界に隣接する画素に対するフィルタ処理を許容するか否かを決定する決定ステップと、
前記決定ステップにおける決定に基づいて、前記境界に隣接する画素に対するフィルタ処理を許容するか否かを示す制御情報を符号化する符号化ステップと、を有し、
前記符号化ステップにおいて、前記制御情報は、前記矩形領域の配置に対応して符号化されることを特徴とする符号化方法。
【請求項３】
請求項１に記載の符号化装置の処理をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
前述の課題を解決するため、本発明の符号化装置は以下の構成を有する。すなわち、画像を符号化するための符号化装置において、画像内の複数の矩形領域のうちの１つの矩形領域の境界に隣接する画素に対するフィルタ処理を許容するか否かを決定する決定手段と、前記決定手段による決定に基づいて、前記境界に隣接する画素に対するフィルタ処理を許容するか否かを示す制御情報を符号化する符号化手段と、を有し、前記符号化手段は、前記矩形領域の配置に対応して前記制御情報を符号化することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】令和3年3月31日(2021.3.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
階層的に分割された状態空間へとそれぞれ対応付けられた複数のノードを階層的に配置することにより構成された木構造を構成する各ノードへと、入力データと前記入力データに対応する学習対象データを対応付けて得られた学習済モデルを利用した情報処理装置であって、
予測対象入力データを取得する予測対象入力データ取得部と、
前記予測対象入力データに基づいて、前記木構造の基端から末端へと至る経路ノードを特定する、経路ノード特定部と、
前記経路ノード上の一のノードに対応する前記状態空間に包含される前記入力データに対応する前記学習対象データと、当該ノードに対応付けられた関数に基づいて予測値を生成する、予測値生成部と、を備える情報処理装置。
【請求項２】
前記関数は、基底関数を含む、請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記関数は、前記学習対象データの相加平均をとる関数である、請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項４】
階層的に分割された状態空間へとそれぞれ対応付けられた複数のノードを階層的に配置することにより構成された木構造を構成する各ノードへと、入力データと前記入力データに対応する学習対象データを対応付けて得られた学習済モデルを利用した情報処理システムであって、
予測対象入力データを取得する予測対象入力データ取得部と、
前記予測対象入力データに基づいて、前記木構造の基端から末端へと至る経路ノードを特定する、経路ノード特定部と、
前記経路ノード上の一のノードに対応する前記状態空間に包含される前記入力データに対応する前記学習対象データと、当該ノードに対応付けられた関数に基づいて予測値を生成する、予測値生成部と、を備える情報処理システム。
【請求項５】
階層的に分割された状態空間へとそれぞれ対応付けられた複数のノードを階層的に配置することにより構成された木構造を構成する各ノードへと、入力データと前記入力データに対応する学習対象データを対応付けて得られた学習済モデルを利用した情報処理方法であって、
予測対象入力データを取得する予測対象入力データ取得ステップと、
前記予測対象入力データに基づいて、前記木構造の基端から末端へと至る経路ノードを特定する、経路ノード特定ステップと、
前記経路ノード上の一のノードに対応する前記状態空間に包含される前記入力データに対応する前記学習対象データと、当該ノードに対応付けられた関数に基づいて予測値を生成する、予測値生成ステップと、を備える情報処理方法。
【請求項６】
階層的に分割された状態空間へとそれぞれ対応付けられた複数のノードを階層的に配置することにより構成された木構造を構成する各ノードへと、入力データと前記入力データに対応する学習対象データを対応付けて得られた学習済モデルを利用した情報処理プログラムであって、
予測対象入力データを取得する予測対象入力データ取得ステップと、
前記予測対象入力データに基づいて、前記木構造の基端から末端へと至る経路ノードを特定する、経路ノード特定ステップと、
前記経路ノード上の一のノードに対応する前記状態空間に包含される前記入力データに対応する前記学習対象データと、当該ノードに対応付けられた関数に基づいて予測値を生成する、予測値生成ステップと、を備える情報処理プログラム。
【手続補正書】
【提出日】令和3年10月7日(2021.10.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有料道路料金所、サービスエリア又はパーキングエリアに設置されている、ＥＴＣ車専用出入口から出入りをする車両を誘導するシステムであって、
前記有料道路料金所、サービスエリア又はパーキングエリアに出入りをする車両を検知する第１の検知手段と、
前記第１の検知手段に対応して設置された第１の遮断機と、
車両に搭載されたＥＴＣ車載器とデータを通信する通信手段と、
前記通信手段によって受信したデータを認識して、ＥＴＣによる料金徴収が可能か判定する判定手段と、
前記判定手段により判定した結果に従って、ＥＴＣによる料金徴収が可能な車両を、ＥＴＣゲートを通って前記有料道路料金所、サービスエリア又はパーキングエリアに入る、または前記有料道路料金所、サービスエリア又はパーキングエリアから出るルートへ通じる第１のレーンへ誘導し、ＥＴＣによる料金徴収が不可能な車両を、再度前記ＥＴＣ車専用出入口手前へ戻るルート又は一般車用出入口に通じる第２のレーンへ誘導する誘導手段と、を備え、
前記誘導手段は、前記第１のレーンに設けられた第２の遮断機と、前記第２のレーンに設けられた第３の遮断機と、を含み、
さらに、前記第２の遮断機を通過した車両を検知する第２の検知手段と、前記第３の遮断機を通過した車両を検知する第３の検知手段と、を備え、
前記第２のレーンの前記第１のレーンとの接続部分の形状は、前記第１の遮断機を通過して前記第２のレーンに入り込むときの車両がスムーズに走行できる方向に折れ曲がった曲線路であり、
前記第１の検知手段により車両の進入が検知された場合、前記車両が通過した後に、前記第１の遮断機を下ろし、前記第２の検知手段により車両の通過が検知された場合、前記車両が通過した後に、前記第２の遮断機を下ろすことを特徴とする車両誘導システム。
【請求項２】
請求項１のシステムにおいて、さらに、前記第３の検知手段により車両の通過が検知された場合、前記車両が通過した後に、前記第３の遮断機を下ろすことを特徴とする車両誘導システム。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の車両誘導システムと、前記第１の検知手段及び前記第１の遮断機が設置されたレーンと、前記ＥＴＣゲートを通って前記有料道路料金所、サービスエリア又はパーキングエリアに入る、または前記有料道路料金所、サービスエリア又はパーキングエリアから出るルートへ通じる前記第１のレーンと、再度前記ＥＴＣ車専用出入口手前へ戻るルート又は一般車用出入口に通じる前記第２のレーンと、を備えたことを特徴とするスマートインターチェンジ。
【請求項４】
請求項３に記載のスマートインターチェンジを備えたことを特徴とする有料道路料金所。
【請求項５】
請求項３に記載のスマートインターチェンジを備えたことを特徴とする高速道路のサービスエリア。
【請求項６】
請求項３に記載のスマートインターチェンジを備えたことを特徴とする高速道路のパーキングエリア。
【手続補正書】
【提出日】令和3年6月15日(2021.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両の速度を測定するためのレーザー光の受光に応じて警報を発する制御を行うシステムであって、
車両の後方からのレーザー光を受光する機能と、
前記車両の後方からのレーザー光の受光に応じた内容で、前記警報を発する制御を行う機能と、
を有するシステム。
【請求項２】
車両の速度を測定するためのレーザー光の受光に応じて警報を発する制御を行うシステムであって、
車両の前方からのレーザー光を受光する機能と、
車両の後方からのレーザー光を受光する機能と、
前記車両の前方からレーザー光を受光したか、または後方からレーザー光を受光したかによって、前記警報の内容を変える機能と、
を有するシステム。
【請求項３】
前記車両の後方からのレーザー光は、前記車両の後方のパトカーからのレーザー光である
請求項１または２に記載のシステム。
【請求項４】
受光した前記車両の後方からのレーザー光の強さによって前記警報のレベルを変化させる機能を備える
請求項１から３のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項５】
前記車両の後方からのレーザー光の受光をトリガとしてリアカメラの映像を録画する機能を備える
請求項１から４のいずれか１項に記載のシステム。
【手続補正書】
【提出日】令和3年4月21日(2021.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザにより運転される車両の安全性に関する情報を算出する算出部と、
前記算出部により出力された前記情報を地図上に表示する出力制御部と、
を備え、
前記出力制御部は、前記情報を、前記安全性の度合いに応じて異なるように前記地図上に表示する、
情報処理装置。
【請求項２】
前記出力制御部は、前記安全性の度合いと所定の閾値との比較結果に応じて、前記情報を表示する、請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記出力制御部は、前記情報を、前記安全性の度合いが前記所定の閾値よりも低くなる地点に表示する、請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記出力制御部は、前記情報を、前記安全性の度合いが前記所定の閾値よりも高くなる地点に表示する、請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記出力制御部は、前記情報を、前記地図上の少なくとも一部に地点に対応付けて表示する、請求項１又は２に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記出力制御部は、前記情報を、前記地図上の少なくとも一部の区間に対応付けて表示する、請求項１又は２に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記出力制御部は、前記情報として前記地図上に前記車両の経路を表示する、請求項６に記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記出力制御部は、前記安全性の度合いが前記所定の閾値よりも低くなる場合に、前記情報を強調表示する、請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項９】
前記出力制御部は、前記安全性の度合いに応じた濃淡をつけて、前記情報を表示する、請求項１〜７のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１０】
前記出力制御部は、警告メッセージを表示する、請求項１〜９のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１１】
前記出力制御部は、前記情報の時系列推移をさらに出力する、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１２】
前記車両の事故確率を予測する予測部をさらに備える、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１３】
前記算出部は、前記車両の速度、加速度、加速度変化、及び、向きの変化と、ハンドルの回転加速度変化と、ブレーキペダルの踏込度の変化と、急ブレーキ及び急ハンドルに関する情報と、事故情報と、のうちの少なくとも１つに基づいて、算出を行う、
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１４】
前記算出部は、前記車両の外部に存在する物体に関する情報に基づいて、算出を行う、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１５】
前記物体に関する情報は、前記物体の、座標、大きさ、速度及び向き、加速度及び向き、当該情報の信頼度及び検出時刻のうちの少なくとも１つを含む、請求項１４に記載の情報処理装置。
【請求項１６】
前記算出部は、前記車両の操作状態を示す情報に基づいて、算出を行う、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１７】
前記算出部は、走行路情報に基づいて、請求項１〜１６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１８】
前記算出部は、地図に紐づく情報に基づいて、請求項１〜１７のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１９】
前記算出部は、運転手の運転履歴情報に基づいて、請求項１〜１８のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項２０】
前記出力制御部は、前記算出に寄与する要因に関する情報を表示する、請求項１〜１９のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項２１】
情報処理装置が、
ユーザにより運転される車両の安全性に関する情報を算出し、
算出された前記情報を、前記安全性の度合いに応じて異なるように地図上に表示する、
ことを含む、
情報処理方法。
【請求項２２】
コンピュータを、
ユーザにより運転される車両の安全性に関する情報を算出する算出部と、
前記算出部により算出された前記情報を地図上に表示する出力制御部と、
として機能させるプログラムであって、
前記出力制御部は、前記情報を、前記安全性の度合いに応じて異なるように前記地図上に表示する、
プログラム。
【手続補正書】
【提出日】令和3年9月16日(2021.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両の状態、前記車両を運転するドライバの状態、及び前記車両の周辺の状態のうち、少なくとも一つを含む１以上の一次情報を繰り返し取得するように構成された情報取得部（２０：Ｓ４）と、
前記情報取得部が取得した前記一次情報毎に、前記一次情報から抽出される１以上の対象状態のそれぞれについて、前記対象状態に該当するか否かを表し、且つ、加減演算が可能な二つの値で表現された二次情報を生成するように構成された情報変換部（２０：Ｓ５）と、
前記情報変換部で生成される複数の前記二次情報の時系列から、時間窓を用いて判定用情報群を抽出するように構成された抽出部（２０：Ｓ３１）と、
各要素が前記ドライバの運転行動に対応づけられたベクトルを行動ベクトルとして、前記行動ベクトルの初期値を与え、前記判定用情報群を用いて算出される前記行動ベクトルの修正量によって、前記行動ベクトルを更新するように構成された更新部（２０：Ｓ３２〜Ｓ３６）と、
前記更新部にて更新された前記行動ベクトルを用いて、前記ドライバの運転行動を認識するように構成された認識部（２０：Ｓ３７〜Ｓ４０）と、
を備え、
前記更新部は、前記判定用情報群から算出される特徴量と、前記行動ベクトルに対する修正量との関係を表す回帰関数を用いて、前記行動ベクトルの修正量を算出し、前記特徴量として、前記判定用情報群から抽出される二つのデータである比較データペアの差分値を用いる、
行動認識装置。
【請求項２】
請求項１に記載の行動認識装置であって、
前記更新部にて使用される前記回帰関数は、勾配ブースティングによって学習される回帰木であって、木構造をとる弱仮説の集合として実現される
行動認識装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の行動認識装置であって、
前記比較データペアは、同一の前記二次情報から抽出される
行動認識装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の行動認識装置であって、
前記比較データペアは、異なる前記二次情報から抽出される
行動認識装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の行動認識装置であって、
前記行動ベクトルの各要素に対応づけられる前記ドライバの運転行動には、直進、左車線変更、及び右車線変更のうち、少なくとも一つが含まれる
行動認識装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の行動認識装置であって、
前記一次情報には、前記ドライバの状態を表す情報が含まれ、
前記二次情報には、前記ドライバが注視する領域である視領域を表す情報、前記ドライ
バの眼の開閉状態を表す情報、及び前記ドライバの顔向きを表す情報のうち、少なくとも一つが含まれる
行動認識装置。
【請求項７】
ドライバの運転行動を認識する行動認識方法であって、
車両の状態、前記車両を運転する前記ドライバの状態、及び前記車両の周辺の状態のうち、少なくとも一つを含む１以上の一次情報を繰り返し取得する情報取得ステップ（Ｓ４）と、
前記情報取得ステップにて取得された前記一次情報毎に、前記一次情報から抽出される一つ以上の対象状態のそれぞれについて、前記対象状態に該当するか否かを表し、且つ、加減演算が可能な二つの値で表現された二次情報を生成する情報変換ステップ（Ｓ５）と、
前記情報変換ステップで生成される複数の前記二次情報の時系列から、時間窓を用いて判定用情報群を抽出する抽出ステップ（Ｓ３１）と、
各要素が前記ドライバの運転行動に対応づけられたベクトルを行動ベクトルとして、前記行動ベクトルの初期値を与え、前記判定用情報群を用いて算出される前記行動ベクトルの修正量によって、前記行動ベクトルを更新する更新ステップ（Ｓ３２〜Ｓ３６）と、
前記更新ステップにて更新された前記行動ベクトルを用いて、前記ドライバの運転行動を認識する認識ステップ（Ｓ３７〜Ｓ４０）と、
を備え、
前記更新ステップは、前記判定用情報群から算出される特徴量と、前記行動ベクトルに対する修正量との関係を表す回帰関数を用いて、前記行動ベクトルの修正量を算出し、前記特徴量として、前記判定用情報群から抽出される二つのデータである比較データペアの差分値を用いる、
行動認識方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】行動認識装置、及び行動認識方法
【手続補正書】
【提出日】令和3年7月14日(2021.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電池セルが、
前記複数の電池セルを直列又は並列に接続した組電池における、前記電池セル間に介在され、一様に分散したシリカナノ粒子からなる第１粒子と、一様に分散するとともに断熱シートの主面に対して平行な一方向に配向されている無機繊維と、を含む組電池用断熱シートを介して配置され、該複数の電池セルが直列又は並列に接続されるとともに、
前記複数の電池セルと前記組電池用断熱シートとが配列された外側に、金属製の電池ケースを有し、かつ、
前記電池ケースの外側に、前記電池セルから発生する熱を放熱させるヒートシンク又は蓄熱材を有し、
前記組電池用断熱シートは、前記ヒートシンク又は蓄熱材の方向に向かって前記無機繊維が配向している、組電池。
【請求項２】
前記第１粒子の含有量は、組電池用断熱シート全質量に対して、３０質量％以上８０質量％以下である、請求項１に記載の組電池。
【請求項３】
前記第１粒子は、平均粒子径が１ｎｍ以上１００ｎｍ以下である、請求項１又は２に記載の組電池。
【請求項４】
前記無機繊維の含有量は、組電池用断熱シート全質量に対して、５質量％以上３０質量％以下である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の組電池。
【請求項５】
前記組電池用断熱シートはさらに、金属酸化物からなる第２粒子を含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載の組電池。
【請求項６】
前記第２粒子は、チタニア、ジルコニア、ジルコン、チタン酸バリウム、酸化亜鉛及びアルミナから選択された少なくとも１種である、請求項５に記載の組電池。
【請求項７】
前記第２粒子はチタニアである、請求項６に記載の組電池。
【請求項８】
前記第２粒子は、平均粒子径が１μｍ以上５０μｍ以下である、請求項５〜７のいずれか１項に記載の組電池。
【請求項９】
前記組電池用断熱シートは、さらにバインダを含む、請求項１〜８のいずれか１項に記載の組電池。
【請求項１０】
前記バインダは、メチルセルロース、水溶性セルロースエーテル、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシエチルメチルセルロース及びこれらの誘導体から選択された少なくとも１種である、請求項９に記載の組電池。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】組電池
【手続補正書】
【提出日】令和3年10月14日(2021.10.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
実施例１５〜比較例５
層構成、各層の物性および第２工程で用いられる波長を表１〜３に従って変更した以外は、実施例１と同様にして、第１工程および第２工程を実施した。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
なお、実施例２〜１２および比較例１〜４の第２工程では、波長６５０ｎｍの光を用いた。実施例１３〜１５および比較例５の第２工程では、波長８５０ｎｍの光を用いた。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
詳しくは、異反射率層３を備える、実施例１〜実施例１５と比較例１と比較例３とでは、配線層５における第１反射光１３と、異反射率層３における第２反射光１４とのコントラストを生じ、これに基づき、下記を評価した。
【手続補正書】
【提出日】令和3年6月16日(2021.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着シートに貼着保持された半導体チップを前記粘着シートからピックアップする半導体チップのピックアップ装置であって、
前記粘着シートから前記半導体チップをピックアップするピックアップ機構と、
軸心を同じにして配置され互いに軸心方向に移動自在に設けられた複数の押し上げ体を有し、前記粘着シートにおいて前記ピックアップ機構によってピックアップされる前記半導体チップが位置する部分に、前記半導体チップとは反対側から負圧を作用させ、当該半導体チップが前記ピックアップ機構によってピックアップされるときに、当該半導体チップを前記複数の押し上げ体によって突き上げる突き上げ機構と、
前記負圧の大きさをゲージ圧で−８５ｋＰａ以下に設定する負圧調整機構と、
前記負圧調整機構にゲージ圧で−８５ｋＰａ以下の負圧を安定して供給する負圧源と、
を備える
ことを特徴とする半導体チップのピックアップ装置。
【請求項２】
前記複数の押し上げ体は、中央に配置された角柱状の押し上げ体と、この角柱状の押し上げ体と軸心を同じにして配置された少なくとも１つの角筒状の押し上げ体とを有することを特徴とする請求項１記載の半導体チップのピックアップ装置。
【請求項３】
前記角筒状の押し上げ体は、その上端部に周方向に沿って凸部と凹部とが交互に設けられてなることを特徴とする請求項２記載の半導体チップのピックアップ装置。
【請求項４】
前記凹部の前記周方向に沿う長さは、前記凸部の前記周方向に沿う長さに対して、０．８倍以上１．２倍以下に設定されることを特徴とする請求項３記載の半導体チップのピックアップ装置。
【請求項５】
半導体チップを貼着保持した粘着シートを保持する供給装置と、
基板を載置する基板ステージと、
前記供給装置が保持した前記粘着シートから前記半導体チップをピックアップするピックアップ装置と、
前記ピックアップ装置によって取り出された前記半導体チップを、前記基板に実装する実装機構と、を備え、
前記ピックアップ装置は、請求項１〜４いずれかに記載のピックアップ装置である
ことを特徴とする半導体チップの実装装置。
【請求項６】
粘着シートに貼着保持された半導体チップを前記粘着シートからピックアップし、ピックアップした半導体チップを基板上に実装する半導体チップの実装方法であって、
前記粘着シートから前記半導体チップをピックアップするピックアップ機構によって前記半導体チップを前記粘着シートからピックアップするときに、当該半導体チップとは反対側から、前記粘着シートに負圧を作用させるとともに、軸心を同じにして配置され互いに軸心方向に移動自在に設けられた複数の押し上げ体によって当該半導体チップを突き上げ、前記押し上げ体によって当該半導体チップを突き上げるにあたり、
前記負圧の大きさを、負圧調整機構によってゲージ圧で−８５ｋＰａ以下に設定し、
ゲージ圧で−８５ｋＰａ以下の負圧を安定して供給する負圧源から負圧を前記負圧調整機構に供給する
ことを特徴とする半導体チップの実装方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本実施形態の半導体チップのピックアップ装置は、粘着シートに貼着保持された半導体チップを前記粘着シートからピックアップする半導体チップのピックアップ装置であって、前記粘着シートから前記半導体チップをピックアップするピックアップ機構と、軸心を同じにして配置され互いに軸心方向に移動自在に設けられた複数の押し上げ体を有し、前記粘着シートにおいて前記ピックアップ機構によってピックアップされる半導体チップが位置する部分に、前記半導体チップとは反対側から負圧を作用させ、当該半導体チップが前記ピックアップ機構によってピックアップされるときに、当該半導体チップを前記複数の押し上げ体によって突き上げる突き上げ機構と、前記負圧の大きさをゲージ圧で−８５ｋＰａ以下に設定する負圧調整機構と、前記負圧調整機構にゲージ圧で−８５ｋＰａ以下の負圧を安定して供給する負圧源と、を備える。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本実施形態の半導体チップの実装方法は、粘着シートに貼着保持された半導体チップを前記粘着シートからピックアップし、ピックアップした半導体チップを基板上に実装する半導体チップの実装方法であって、前記粘着シートから前記半導体チップをピックアップするピックアップ機構によって前記半導体チップを前記粘着シートからピックアップするときに、当該半導体チップとは反対側から、前記粘着シートに負圧を作用させるとともに、軸心を同じにして配置され互いに軸心方向に移動自在に設けられた複数の押し上げ体によって当該半導体チップを突き上げ、前記押し上げ体によって当該半導体チップを突き上げるにあたり、前記負圧の大きさを、負圧調整機構によってゲージ圧で−８５ｋＰａ以下に設定し、ゲージ圧で−８５ｋＰａ以下の負圧を安定して供給する負圧源から負圧を前記負圧調整機構に供給する。
【手続補正書】
【提出日】令和3年9月27日(2021.9.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明の一実施形態に係る絶縁基体は、絶縁基板と、金属層とを備えている。絶縁基板は、上面と側面と上面から側面にかけて位置する溝部とを有し、板状である。金属層は、絶縁基板に位置するとともに、外部に信号を伝達する部材が接合される。金属層は、絶縁基板の上面に位置するとともに、第１方向に延びた第１金属層と、第１金属層と連続して、溝部の内面に位置した第２金属層とを有する。溝部は、絶縁基板の上面と交差する第１領域と、該第１領域の下方に位置するとともに第１領域と接続する第２領域と、を有している。上面視において、第２領域の第１方向と直交する第２方向における幅は、第１領域の幅よりも小さい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の一実施形態に係る半導体パッケージは、基板と、枠体と、上述した絶縁基体を備えている。基板は、上面に半導体素子が実装される実装領域を有する。枠体は、基板の実装領域を取り囲んで位置している。上述した絶縁基体は、枠体に取り付けられている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面と側面と前記上面から前記側面にかけて位置する溝部とを有する板状の絶縁基板と、
前記絶縁基板に位置するとともに、外部に信号を伝達する部材が接合される金属層と、を備えており、
前記金属層は、
前記絶縁基板の前記上面に位置するとともに、第１方向に延びた第１金属層と、
前記第１金属層と連続して、前記溝部の内面に位置した第２金属層と、を有しており、
前記溝部は、前記絶縁基板の前記上面と交差する第１領域と、該第１領域の下方に位置するとともに前記第１領域と接続する第２領域と、を有しており、
上面視において、前記第２領域の前記第１方向と直交する第２方向における幅は、前記第１領域の幅よりも小さいことを特徴とする絶縁基体。
【請求項２】
前記溝部は、前記第２領域よりも下方に位置するとともに前記第２領域と接続する第３領域を更に有しており、
上面視において、前記第２領域の前記第２方向における幅は、前記第３領域の前記第２方向における幅よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の絶縁基体。
【請求項３】
前記第２領域は、側面視において、前記絶縁基板の上下方向における前記溝部の長さの中間よりも下方に位置していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の絶縁基体。
【請求項４】
前記第２領域は、前記溝部の内面に位置する突出部を有しており、
側面視において、前記突出部は、前記溝部の前記内面の対向面側に突出していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の絶縁基体。
【請求項５】
前記突出部は、上面視において、前記溝部の幅の５％〜７０％突出していることを特徴とする請求項４に記載の絶縁基体。
【請求項６】
上面視において、前記突出部は、前記溝部の前記内面に沿って連続して突出していることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の絶縁基体。
【請求項７】
上面視において、前記突出部の前記第２方向における幅は、前記溝部の両端に位置する第１金属層の幅よりも大きいことを特徴とする請求項４〜６のいずれか１つに記載の絶縁基体。
【請求項８】
前記絶縁基板は、複数の絶縁層が積層されているとともに、
前記複数の絶縁層は、上面に前記第１金属層が位置した第１絶縁層と、
前記第１絶縁層の下面に位置した第２絶縁層とを有しており、
前記溝部は前記第１絶縁層のみに位置していることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の絶縁基体。
【請求項９】
前記第２金属層は、前記溝部の内面の全部に位置していることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載の絶縁基体。
【請求項１０】
上面視において、前記溝部の前記第２方向における幅は、前記第１金属層の前記第２方向における幅よりも小さいことを特徴する請求項１〜９のいずれか１つに記載の絶縁基体。
【請求項１１】
上面視における前記第１金属層の前記溝部が位置する端部において、前記溝部の前記第２方向における幅は、前記溝部の両端に位置する第１金属層の前記第２方向における幅よりも大きいことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１つに記載の絶縁基体。
【請求項１２】
前記第１金属層の上面に位置した、第１接合材と、
前記第１接合材と連続して、前記第２金属層の上面に位置した第２接合材とを更に有していることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１つに記載の絶縁基体。
【請求項１３】
上面に半導体素子が実装される実装領域を有する基板と、
前記基板の前記実装領域を取り囲んで位置した枠体と、
前記枠体に取り付けられた請求項１〜１２のいずれか１つに記載の絶縁基体とを備えていることを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項１４】
請求項１３に記載の半導体パッケージと、
前記半導体パッケージの前記実装領域に実装された半導体素子と、
前記半導体素子を覆って、前記半導体パッケージの前記枠体の上端に接合された蓋体とを備えていることを特徴とする半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】令和3年7月30日(2021.7.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子源と、
前記荷電粒子源から荷電粒子ビームを抽出するように構成された抽出電極アセンブリと、
前記荷電粒子ビームを平行にするように適合され、第１の内側磁極片および第１の外側磁極片を含む磁気コンデンサレンズであって、前記荷電粒子源と前記第１の内側磁極片との間の第１の軸方向距離が前記荷電粒子源と前記第１の外側磁極片との間の第２の軸方向距離よりも大きい、磁気コンデンサレンズと、
前記荷電粒子ビームを加速するための加速区間であって、前記磁気コンデンサレンズの場が前記加速区間と少なくとも部分的に重なり合う、加速区間と、
第２の内側磁極片および第２の外側磁極片を含む磁気対物レンズであって、前記第２の内側磁極片と試料の表面との間の第３の軸方向距離が前記第２の外側磁極片と前記試料の前記表面との間の第４の軸方向距離よりも大きく、前記磁気コンデンサレンズと前記磁気対物レンズとの組合せ作用が前記荷電粒子ビームを前記試料の前記表面上に集束させる、磁気対物レンズと、
前記荷電粒子ビームをランディングエネルギーに減速させるための減速区間であって、前記磁気対物レンズの場が前記減速区間と少なくとも部分的に重なり合う、減速区間と、
を備える、荷電粒子ビーム装置。
【請求項２】
前記第１の内側磁極片が第１の内径を有し、前記第１の内径が前記第１の軸方向距離以上である、請求項１に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項３】
前記第２の内側磁極片が第２の内径を有し、前記第２の内径が前記第３の軸方向距離以上である、請求項１または２に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項４】
前記荷電粒子源と前記磁気コンデンサレンズとの間のビーム制限開孔をさらに備え、
前記ビーム制限開孔が前記抽出電極アセンブリに含まれている、請求項１から３までのいずれか１項に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項５】
前記磁気対物レンズが軸方向間隙レンズである、請求項１から４までのいずれか１項に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項６】
前記荷電粒子源と前記磁気コンデンサレンズの前記第１の内側磁極片との間の前記第１の軸方向距離が約１０ｍｍ以下である、請求項１から５までのいずれか１項に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項７】
前記磁気コンデンサレンズおよび前記磁気対物レンズが前記荷電粒子ビームの軸に沿って互いにほぼ対称に配置されている、請求項１から６までのいずれか１項に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項８】
前記磁気対物レンズの前記第２の内側磁極片と前記試料の前記表面との間の前記第３の軸方向距離が約１０ｍｍ未満である、請求項１から７までのいずれか１項に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項９】
前記ビーム制限開孔が、前記荷電粒子ビームを軸方向に前記ビーム制限開孔を通過させて、前記荷電粒子ビームのビーム電流を低減させるように構成されている、請求項４に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項１０】
前記荷電粒子源は、タングステン先端部を有する冷電界エミッタを含み、
前記タングステン先端部が（３、１、０）配向を有するタングステン単結晶である、請求項１から９までのいずれか１項に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項１１】
前記荷電粒子ビームを前記試料の前記表面を横切って走査するように適合された走査偏向器ユニットであって、前記抽出電極アセンブリと前記磁気対物レンズとの間に配置され、特に、前記磁気対物レンズの場の近傍に配置されている、走査偏向器ユニット
をさらに備える、請求項１から１０までのいずれか１項に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項１２】
前記荷電粒子源は、タングステン先端部を有する冷電界エミッタを含み、
前記荷電粒子源と前記磁気コンデンサレンズとの間にビーム制限開孔が設けられ、
前記加速区間は、前記荷電粒子ビームを１０ｋｅＶ以上のエネルギーに加速するためのものであり、
前記減速区間は、前記荷電粒子ビームを１０ｋｅＶ以上の前記エネルギーから２ｋｅＶ以下のランディングエネルギーに減速させるためのものである、請求項１から１１までのいずれか１項に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項１３】
前記荷電粒子源と前記第１の内側磁極片との間の前記第１の軸方向距離は、約２０ｍｍ以下であり、
前記第２の内側磁極片と前記試料の前記表面との間の前記第３の軸方向距離は、約２０ｍｍ以下である、請求項１から１２までのいずれか１項に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項１４】
荷電粒子源を含む荷電粒子ビーム装置を動作させる方法であって、
荷電粒子ビームを形成する荷電粒子を生成するステップと、
加速区間において前記荷電粒子を加速するステップと、
第１の内側磁極片および第１の外側磁極片を有する磁気コンデンサレンズによって前記荷電粒子ビームを平行にするステップであって、前記荷電粒子源と前記第１の内側磁極片との間の第１の軸方向距離は、前記荷電粒子源と前記第１の外側磁極片との間の第２の軸方向距離よりも大きい、ステップと、
前記磁気コンデンサレンズと、第２の内側磁極片および第２の外側磁極片を有する磁気対物レンズとの組合せ作用によって前記荷電粒子ビームを試料の表面上に集束させるステップであって、前記第２の内側磁極片と前記試料の前記表面との間の第３の軸方向距離は、前記第２の外側磁極片と前記試料の前記表面との間の第４の軸方向距離よりも大きい、ステップと、
減速区間において、前記荷電粒子を前記試料の前記表面のランディングエネルギーに減速させるステップと、
を含む、方法。
【請求項１５】
前記磁気対物レンズが軸方向間隙レンズである、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記磁気コンデンサレンズの場が前記加速区間と少なくとも部分的に重なり合う、請求項１４または１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記磁気対物レンズの場が前記減速区間と少なくとも部分的に重なり合う、請求項１４から１６までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項１８】
前記加速区間において、前記荷電粒子が、少なくとも１０ｋｅＶ、特に少なくとも１５ｋｅＶのエネルギーに、特に少なくとも３０ｋｅＶのエネルギーに加速され、および／または前記減速区間において、前記荷電粒子が、約３ｋｅＶ以下、特に約１ｋｅＶ以下のランディングエネルギーに減速される、請求項１４から１７までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項１９】
請求項１から１３までのいずれか１項に記載の荷電粒子ビーム装置
を備える走査電子装置。