(57)【要約】      （修正有）【課題】取り扱いが容易なアームユニット支持機構を提供する。【解決手段】アームユニット支持機構１００は、アームユニット２０と、アームユニットを支持するアームユニット支持部１０と、アームユニットとアームユニット支持部とを結合するための結合部３０とを含む。結合部は、第１の結合部材３２と、第１の結合部材に対向して設けられる第２の結合部材３４とを含む。第１の結合部材と第２の結合部材とは、引き合い、第１の結合部材は、アームユニット支持部に固定され、第２の結合部材は、アームユニットに装着されている。第２の結合部材は、第１の結合部材の周囲を移動可能に設けられ、第２の結合部材と対向する第１の結合部材の部分の表面形状は、凸面形状である。第１の結合部材と対向する第２の結合部材の部分の表面形状は、第１の結合部材の凸面形状に対応する凹面形状である。【選択図】図２
2014228405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アームユニットと、
前記アームユニットを支持するアームユニット支持部と、
前記アームユニットと前記アームユニット支持部とを結合するための結合部とを含み、
前記結合部は、第１の結合部材と、前記第１の結合部材に対向して設けられる第２の結合部材とを含み、
前記第１の結合部材と前記第２の結合部材とは、引き合い、
前記第１の結合部材は、前記アームユニット支持部に固定され、
前記第２の結合部材は、前記アームユニットに装着され、
前記第２の結合部材は、前記第１の結合部材の周囲を移動可能に設けられ、
前記第２の結合部材と対向する前記第１の結合部材の部分の表面形状は、凸面形状であり、
前記第１の結合部材と対向する前記第２の結合部材の部分の表面形状は、前記第１の結合部材の凸面形状に対応する凹面形状であるアームユニット支持機構。
【請求項２】
複数のアームユニットと、
前記複数のアームユニットを支持するアームユニット支持部と、
前記複数のアームユニットの各々と前記アームユニット支持部とのそれぞれの間に、前記アームユニットを前記アームユニット支持部に結合するための結合部とを含み、
前記結合部は、第１の結合部材と、前記第１の結合部材と引き合う第２の結合部材とを含み、
前記第１の結合部材は、前記アームユニット支持部に固定され、
前記第２の結合部材は、前記アームユニットに装着され、
前記第２の結合部材は、前記第１の結合部材の周囲を移動可能に設けられ、
前記第１の結合部材は、凸面部が設けられ、
前記第２の結合部材は、前記凸面部の形状に対応する凹面部が設けられているアームユニット支持機構。
【請求項３】
請求項２において、
前記複数のアームユニットは、水平状態で前記アームユニット支持部に結合されているときに、相互に高さが異なる位置に設定されているアームユニット支持機構。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかにおいて、
前記第１の結合部材は、強磁性体又は磁石からなり、
前記第２の結合部材は、前記第１の結合部材が強磁性体からなる場合には磁石からなり、前記第１の結合部材が磁石からなる場合には強磁性体からなるプローブ支持機構。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれかにおいて、
前記第１の結合部材および第２の結合部材は、磁石からなり、
前記第２の結合部材側における第１の結合部材の部分の磁極極性と、前記第１の結合部材側における第２の結合部材の部分の磁極極性とは異なる、プローブ支持機構。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれかにおいて、
前記第２の結合部材は、前記第１の結合部材と接触しているときに、その接触位置を中心として、回転可能に設けられているアームユニット支持機構。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれかにおいて、
前記アームユニット支持部は、前記第１の結合部材の下に、前記第２の結合部材が前記１の結合部材よりも下にずれないようにするためのストッパーが設けられているアームユニット支持機構。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれかにおいて、
前記第１の結合部材は、球体であり、
前記第２の結合部材は、前記第１の結合部材の形状に対応する凹面部を含むアームユニット支持機構。
【請求項９】
請求項１〜９のいずれかにおいて、
前記アームユニットは、前記アームユニットの伸長方向にスライドするスライド部材を含み、
前記第２の結合部材は、前記スライド部材に装着されているアームユニット支持機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アームを支持するアームユニット支持機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
オシロスコープ等のプローブの先端を電子部品の電極部に接触させて波形を確認する際に、プローブの先端をその電極部に接触させた状態で、プローブを維持する装置が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２７８８２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、取り扱いが容易なアームユニット支持機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１のアームユニット支持機構は、
アームユニットと、
前記アームユニットを支持するアームユニット支持部と、
前記アームユニットと前記アームユニット支持部とを結合するための結合部とを含み、
前記結合部は、第１の結合部材と、前記第１の結合部材に対向して設けられる第２の結合部材とを含み、
前記第１の結合部材と前記第２の結合部材とは、引き合い、
前記第１の結合部材は、前記アームユニット支持部に固定され、
前記第２の結合部材は、前記アームユニットに装着され、
前記第２の結合部材は、前記第１の結合部材の周囲を移動可能に設けられ、
前記第２の結合部材と対向する前記第１の結合部材の部分の表面形状は、凸面形状であり、
前記第１の結合部材と対向する前記第２の結合部材の部分の表面形状は、前記第１の結合部材の凸面形状に対応する凹面形状である。
【０００６】
本発明によれば、第２の結合部材が、第１の結合部材の周囲を移動可能に設けられ、第２の結合部材と対向する第１の結合部材の部分の表面形状は、凸面形状であり、第１の結合部材と対向する前記第２の結合部材の部分の表面形状は、第１の結合部材の凸面形状に対応する凹面形状である。このため、第２の結合部材が装着されているアームユニットをアームユニット支持部の周囲を自由に動かすことができ、取り扱いが容易である。本発明は、特に、アームユニットが複数ある場合に好適である。
【０００７】
本発明の２のアームユニット支持機構は、
複数のアームユニットと、
前記複数のアームユニットを支持するアームユニット支持部と、
前記複数のアームユニットの各々と前記アームユニット支持部とのそれぞれの間に、前記アームユニットを前記アームユニット支持部に結合するための結合部とを含み、
前記結合部は、第１の結合部材と、前記第１の結合部材と引き合う第２の結合部材とを含み、
前記第１の結合部材は、前記アームユニット支持部に固定され、
前記第２の結合部材は、前記アームユニットに装着され、
前記第２の結合部材は、前記第１の結合部材の周囲を移動可能に設けられ、
前記第１の結合部材は、凸面部が設けられ、
前記第２の結合部材は、前記凸面部の形状に対応する凹面部が設けられている。
【０００８】
本発明において、前記複数のアームユニットは、水平状態で前記アームユニット支持部に結合されているときに、相互に高さが異なる位置に設定されていることができる。これにより、複数のアームユニットが互いに衝突することなく、複数のアームユニットをアームユニット支持部の周囲を移動させることができる。
【０００９】
本発明において、前記第１の結合部材は、強磁性体又は磁石からなり、前記第２の結合部材は、前記第１の結合部材が強磁性体からなる場合には磁石からなり、前記第１の結合部材が磁石からなる場合には強磁性体からなることができる。これにより、第１の結合部材と第２の結合部材をより簡易かつ確実に引き合うように構成することができる。
【００１０】
本発明において、前記第１の結合部材および第２の結合部材は、磁石からなり、前記第２の結合部材側における第１の結合部材の部分の磁極極性と、前記第１の結合部材側における第２の結合部材の部分の磁極極性とは異なることができる。これにより、第１の結合部材と第２の結合部材をより簡易かつ確実に引き合うように構成することができる。
【００１１】
本発明において、前記第２の結合部材は、前記第１の結合部材と接触しているときに、その接触位置を中心として、回転可能に設けられていることができる。これにより、アームユニットをアームユニット支持部に対して上下に回動させることができる。
【００１２】
本発明において、前記アームユニット支持部は、前記第１の結合部材の下に、前記第２の結合部材が前記１の結合部材よりも下にずれないようにするためのストッパーが設けられていることができる。これにより、第２の結合部材が第１の結合部材よりも下にずれるのを防ぐことができるため、第２の結合部材が装着されたアームユニットが下に落下するのを確実に防ぐことができる。
【００１３】
本発明において、前記第１の結合部材は、球体であり、前記第２の結合部材は、前記第１の結合部材の形状に対応する凹面部を含むことができる。これにより、第２の結合部材を第１の結合部材の周囲を円滑に動くことができると共に、第２の結合部材を回転させることができる。
【００１４】
本発明において、前記アームユニットは、前記アームユニットの伸長方向にスライドするスライド部材を含み、前記第２の結合部材は、前記スライド部材に装着されていることができる。これにより、スライド部材をスライドさせることにより、アームユニットの支点を変えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】プローブ支持機構を模式的に示す斜視図である。
【図２】プローブ支持機構を模式的に示す一側面図である。
【図３】プローブ支持機構を模式的に示す一側面図である。
【図４】プローブ支持機構を模式的に示す上面図である。
【図５】図５（Ａ）は第２の結合部材の正面図であり、図５（Ｂ）は第２の結合部材の側面図である。
【図６】プローブ支持機構の一変形例を模式的に示す図である。
【図７】プローブ支持機構の一変形例を模式的に示す図である。
【図８】第１の態様に係るプローブユニットを模式的に示す図である。
【図９】第１の態様に係るプローブユニットを模式的に示す図である。
【図１０】第２の態様に係るプローブユニットを模式的に示す図である。
【図１１】第２の態様に係るプローブユニットを模式的に示す図である。
【図１２】第３の態様に係るプローブユニットを模式的に示す図である。
【図１３】プローブユニットの一変形例を模式的に示す図である。
【図１４】プローブユニットの一変形例を模式的に示す図である。
【図１５】プローブユニットの一変形例を模式的に示す図である。
【図１６】プローブユニットの一変形例を模式的に示す図である。
【図１７】プローブユニット支持機構の一変形例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明する。
１．アームユニット支持機構
本実施の形態に係るアームユニット支持機構１００は、図１〜図３に示すように、アームユニット２０と、アームユニットを支持するアームユニット支持部１０と、アームユニット２０とアームユニット支持部１０とを結合するための結合部３０とを含む。アームユニット２０の先端には、電子部品又は電子回路用の測定プローブの装着部２１が設けられている。測定プローブは、たとえば、測定基板のノードに接触させて、オシロスコープに接続することができる。
【００１７】
結合部３０は、第１の結合部材３２と、第１の結合部材３２に対向して設けられる第２の結合部材３４とを含む。第１の結合部材３２及び第２の結合部材３４は、それらの間で引き合うような材質が選択される。
【００１８】
第１の結合部材３２はアームユニット支持部１０に固定されている。第２の結合部材３４は、アームユニット２０に装着されており、図４に示すように、第１の結合部材３２の周囲を移動可能に設けられている。
【００１９】
第２の結合部材３４と対向する第１の結合部材３２の部分の表面形状は、凸面形状である。第１の結合部材３２の凸面形状は、曲面状であることが好ましく、第２の結合部材３４と接触し得る第１の結合部材３２の露出面は、球面を切り欠いた形状とすることで、第２の結合部材３４の移動をよりスムーズにすることができる。第１の結合部材３２を球体としてもよい。第１の結合部材３２の下側の一部を対応するアームユニット支持部１０の凹部１２に収容する態様で、第１の結合部材３２をアームユニット支持部１０に固定することができる。
【００２０】
第１の結合部材３２と対向する第２の結合部材３４の部分の表面形状は、図５に示すように、第１の結合部材３２の表面形状に対応した凹面形状を有する。具体的には、第２の結合部材３４の凹面形状は、第１の結合部材３２の凸面形状が曲面形状である場合に、第１の結合部材３２の凸面形状に対応した凹面形状を有する。
【００２１】
第２の結合部材３４は、第１の結合部材３２と接触しているときに、その接触位置を中心として、回転可能に設けることもできる。このように回転可能に設ける方法として、たとえば、第２の結合部材３４と対向する第１の結合部材３２の部分の形状を球面の一部を切り抜いた湾曲面とすることで実現することができる。
【００２２】
第１の結合部材３２と第２の結合部材３４とは引き合う材質からなるが、たとえば、それぞれ対向する側において引き合う磁極を有する磁石から構成することができる。すなわち、第２の結合部材３４側における第１の結合部材３２の部分の磁極極性と、第１の結合部材３２側における第２の結合部材３４の部分の磁極極性とは異なるようにすることができる。また、第１の結合部材３２および第２の結合部材３４の一方が磁石からなり、第１の結合部材３２および第２の結合部材３４の他方が強磁性体から構成してもよい。
【００２３】
アームユニット支持部１０は、ベースウェイト１４と支柱１６とを含む。アームユニット支持部１０は、第１の結合部材３２の下に、第２の結合部材３４が第１の結合部材３２よりも下にずれないようにするためのストッパー１８を設けることができる。これにより、アームユニット２０をより確実に保持することができる。ストッパー１８は、第２の結合部材３４が磁石からなる場合に、磁石又は強磁性体から構成することができる。これにより、第２の結合部材３４とストッパー１８とが引き合うようになり、第２の結合部材３４がストッパーより下にずれ落ちるのを防ぐことができる。ストッパー１８は、たとえば、円柱形状とすることができる。
【００２４】
アームユニット支持部１０は、複数のアームユニット２０を支持することができる。複数のアームユニット２０が水平状態でアームユニット支持部１０に結合されているときに、図６および図７に示すように、複数のアームユニット２０が相互に高さが異なる位置に設定されることができる。これにより、複数のアームユニット２０を水平方向にそれぞれ動かした場合に、アームユニット２０同士が衝突するのを防ぐことができる。
【００２５】
アームユニット２０の先端には、プローブの装着部２１が設けられている。プローブの装着部２１は、プローブを保持することができるものであれば特に限定されない。プローブの装着部２１は、図１０に示すように、第１の接続部２１ａと第１の連結部２１ｂと第２の接続部２１ｃとプローブ受け部２１ｄとを含むことができる。第１の連結部２１ｂの先端を球状の突起とし、第２の接続部２１ｃの凹部に第１の連結部２１ｂの突起を嵌め合わし、第１の連結部２１に対して第２の接続部２１ｃを回動可能に設けることができる。また、プローブ受け部２１ｄの先端と反対側の端に球状の突起を設け、第２の接続部２１ｃの凹部にその突起を嵌め合わし、プローブ受け部２１ｄを第２の接続部２１ｃに対して回動可能に設けることができる。これにより、プローブ受け部２１ｄの移動範囲の自由度を向上させることができる。第２の接続部２１ｃの凹部は、入り口が撓むようにする構成とすることで、プローブ受け部２１ｄが外れにくくなる。
【００２６】
２．アームユニット
（１）第１の態様に係るアームユニット
第１の態様に係るアームユニット４０は、図８に示すように、第１の棒状体４１と、第１及び第２の伸縮棒４２，４３と、第１〜第５の停止部材４４ａ〜４４ｅと、第１及び第２のスライド部材４５ａ，４５ｂとを有する。第１および第２の伸縮棒４２，４３は、多段式の伸縮棒を適用することができる。具体的には、第１および第２の伸縮棒４２，４３は、縮めた時に、内側の筒状体が外側に順に収まるような構造であることができる。
【００２７】
第１の棒状体４１の一端には、第１の停止部材４４ａが取り付けられており、第１の棒状体４１の他端には第１のスライド部材４５ａが取り付けられている。第１及び第２の伸縮棒４２，４３の最も外側の筒状体４２ａ，４３ａの一方の端部には第２の停止部材４４ｂが設けられ、それらの他方の端部には第３の停止部材４４ｃが設けられている。第１の棒状体４１は、第２の停止部材４４ｂを貫通している。第１のスライド部材４５ａは、第１及び第２の伸縮棒４２，４３の最も外側の筒状体４２ａ，４３ａが案内棒にとなり、第２の停止部材４４ｂと第３の停止部材４４ｃとの間を移動可能に装着されている。第１の停止部材４４ａには、プローブ装着部２１が取り付けられている。
【００２８】
第１及び第２の伸縮棒４２，４３の最も内側の筒状体４２ｂ，４３ｂの一方の端部には第４の停止部材４４ｄが設けられ、それらの他方の端部には第５の停止部材４４ｅが設けられている。第２のスライド部材４５ｂは、第１及び第２の伸縮棒４２，４３の最も内側の筒状体４２ｂ，４３ｂが案内棒となり、第４の停止部材４４ｄと第５の停止部材４４ｅとの間を移動可能に装着されている。第２のスライド部材４５ｂには、第２の結合部材３２が装着されている。
【００２９】
第１の態様に係るアームユニットによれば、図９に示すように、第１及び第２の伸縮棒により伸長させることができると共に、棒状体の部品点数を抑えることができる。
【００３０】
（２）第２の態様に係るアームユニット
第２の態様に係るアームユニット５０は、図１０に示すように、複数本（たとえば２本）の伸縮棒５２，５３を含む。こられの伸縮棒５２，５３に相対的に移動可能にスライド部材５５が装着されている。スライド部材５５に第２の結合部材３４が取り付けられている。伸縮棒５２，５３の最も外側の筒状体５２ａ，５３ａには、スライド部材５５を停止するための第１の停止部材５４が設けられている。伸縮棒５２，５３の先端には、プローブの装着部２１が設けられている。第２の態様に係るアームユニットによれば、図１１に示すように、伸縮棒５２，５３により伸長させることができると共に、棒状体の部品点数を抑えることができる。
【００３１】
（３）第３の態様に係るアームユニット
第３の態様に係るアームユニット６０は、図１２に示すように、第１〜第５の棒状体６１ａ〜６１ｅと、第１〜第５の停止部材６４ａ〜６４ｅと、第１及び第２のスライド部材６５ａ，６５ｂとを含む。第１の棒状体６１ａの一端は、第１の停止部材６４ａが設けられており、第１の棒状体６１ａの他端は、第１のスライド部材６５ａが設けられている。第１のスライド部材６５ａには、第２及び第３の棒状体６１ｂ，６１ｃが貫通し、第２及び第３の棒状体６１ｂ，６１ｃに対してスライド可能に装着されている。
【００３２】
第２及び第３の棒状体６１ｂ，６１ｃの一端は、第２の停止部材６４ｂが設けられ、他端には第３の停止部材６４ｃが設けられている。第２の停止部材６４ｂは、第１スライド部材６５ａの移動を規制する。第１の棒状体６１ａは、第２の停止部材６４ｂを貫通している。
【００３３】
第４及び第５の棒状体６１ｄ，６１ｅは、第２及び第３の棒状体６１ｂ，６１ｃを挟むように設けられている。第４及び第５の棒状体６１ｄ，６１ｅの一端には第４の停止部材６４ｄが設けられており、他端には第５の停止部材６４ｅが設けられている。第２のスライド部材６５ｄは、第４及び第５の棒状体６１ｄ，６１ｅを案内棒として、第４の停止部材６４ｄと第５の停止部材６４ｅとの間を移動可能に設けられている。
【００３４】
第２及び第３の棒状体６１ｂ，６１ｃは、第４及び第５の棒状体６１ｄ，６１ｅの内側における第４の停止部材６４ｄを貫通し、第４の停止部材６４ｄと相対的に移動可能に設けられている。第４の停止部材６４ｄは、第３の停止部材６４ｃの移動を規制すると共に、第１のスライド部材６５ａの移動を規制する。
【００３５】
第２のスライド部材６５ｂには、第３の停止部材６４ｃが通過できるように、切り欠き部又は貫通部（図示せず）が設けられている。第２のスライド部材６５ｄに第２の結合部材３４が設けられている。
【００３６】
３．作用効果
本実施の形態によれば、結合部３０が第１の結合部材３２と第２の結合部材３４を有し、第２の結合部材３４は第１の結合部材３２の周囲を移動可能に設けている。このため、アームユニット２０をアームユニット支持部１０に対して、その周囲を自由に移動させることができ、取扱が容易となる。
【００３７】
また、第２の結合部材３４が第１の結合部材３２に対して、その位置において、回転可能に設けることができるため、アームユニット２０を上下方向に回動させ易い。
【００３８】
さらに、本実施の形態によれば、一つのアームユニット支持部１０に対して複数のアームユニット２０を結合させることができるという効果も有する。
【００３９】
本実施の形態に係るアームユニット支持機構は、電子部品又は電子回路の測定又は検査用のものに特に有用である。
【００４０】
４．変形例
（１）上記の実施の形態に係るアームユニットは、図１３〜１６に示す柱状体７０を含む構成であってもよい。すなわち、図に示す柱状体７０をアームユニット支持部に結合してもよい。具体的には、その柱状体７０の端部において、軸７１を中心に回動可能にアーム受け体７２を設けることができる。アーム７３は、アーム受け体７２により保持される。アーム受け体７２がアーム７３を保持する機構は特に限定されないが、たとえば、アーム７３に装着した凸部７３ａをアーム受け体７２の凹部７２ａに嵌め合わせ、磁石を用いてアーム７３をアーム受け体７２に結合することができる。
【００４１】
（２）アームユニットの先端に、図１７に示すように、たとえば、ルーペ８０を設けてもよい。また、アームユニットの先端と逆側の端部にバランスをとるための重し（ウエイト）８２を設けてもよい。
【００４２】
（３）測定プローブの装着部２１に、一つ又は複数の測定プローブの装着部１２１をさらに連結してもよい。これにより、測定プローブの装着部２１に装着されたプローブ２１ｅをたとえば、オシロスコープに接続するプローブとして使用し、連結された別の測定プローブの装着部１２１のプローブ１２１ｅをたとえばオシロスコープのグランド部に接続するプローブとして使用してもよい。これらのプローブ２１ｅ，１２１ｅは、それぞれ測定基板Ｂ１のノードｎ１，ｎ２に接触される。測定プローブの装着部１２１は、たとえば、面ファスナー１３０により測定プローブの装着部２１に連結することができる。測定プローブの装着部１２１は、頭部にウエイト１２１ａを設け、絶縁体棒１２１ｂを介して、プローブ１２１ｅを装着することができる。
【００４３】
これによれば、一つのアームユニット２０に複数のプローブの装着部を設けることができる。
【００４４】
本実施の形態は、本発明の要旨の範囲内にて、種々の変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明は、たとえば、ＩＣなどの半導体素子が実装された回路基板の信号を測定する際に測定プローブを装着したアームユニットを支持する支持機構として適用することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１０    アームユニット支持部
１２    凹部
１４    ベースウエイト
１６    支柱
１８    ストッパー
２０    アームユニット
２１    測定プローブの装着部
３０    結合部
３２    第１の結合部材
３４    第２の結合部材
３４ａ  凹部
７０    柱状体
１００  アームユニット支持機構
【図１】
2014228405.tif 000003
【図２】
2014228405.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2014228405.tif 000015
【図１４】
2014228405.tif 000016
【図１５】
2014228405.tif 000017
【図１６】
2014228405.tif 000018
【図１７】
2014228405.tif 000019
【図１８】
2014228405.tif 000020
【手続補正書】
【提出日】平成25年5月30日(2013.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【図１】プローブ支持機構を模式的に示す斜視図である。
【図２】プローブ支持機構を模式的に示す一側面図である。
【図３】プローブ支持機構を模式的に示す一側面図である。
【図４】プローブ支持機構を模式的に示す上面図である。
【図５】図５（Ａ）は第２の結合部材の正面図であり、図５（Ｂ）は第２の結合部材の側面図である。
【図６】プローブ支持機構の一変形例を模式的に示す図である。
【図７】プローブ支持機構の一変形例を模式的に示す図である。
【図８】第１の態様に係るプローブユニットを模式的に示す図である。
【図９】第１の態様に係るプローブユニットを模式的に示す図である。
【図１０】第２の態様に係るプローブユニットを模式的に示す図である。
【図１１】第２の態様に係るプローブユニットを模式的に示す図である。
【図１２】第３の態様に係るプローブユニットを模式的に示す図である。
【図１３】プローブユニットの一変形例を模式的に示す図である。
【図１４】プローブユニットの一変形例を模式的に示す図である。
【図１５】プローブユニットの一変形例を模式的に示す図である。
【図１６】プローブユニットの一変形例を模式的に示す図である。
【図１７】プローブユニット支持機構の一変形例を模式的に示す図である。
【図１８】プローブユニットの一変形例を模式的に示す図である。