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【手続補正書】
【提出日】令和2年12月23日(2020.12.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
複数の反射面を有し、前記光源から出力された光を回転しながら偏向する回転多面鏡と、
前記回転多面鏡を駆動する駆動手段と、
前記回転多面鏡により偏向された光を検知することに応じた第１の信号を出力する検知手段と、
前記第１の信号に基づき、主走査方向の書き出しを制御するための同期信号である第２の信号を出力する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記第１の信号の周期が所定周期内であれば、前記第１の信号に基づき前記第２の信号を出力する第１の制御を行い、前記第１の信号の周期が所定周期外であれば、予測した第１の信号の周期に基づき、前記第２の信号を出力する第２の制御を行うことを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記検知手段から出力される前記第１の信号の周期に応じて、前記駆動手段を加減速する制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記第２の制御を行う場合には、前記検知手段から出力される前記第１の信号の周期に応じて、前記駆動手段を加減速しない制御を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記第１の信号の周期を記憶する記憶手段を備え、
前記制御手段は、前記第１の信号が出力されると前記第１の信号の周期を求め、前記記憶手段に記憶されている前記第１の信号の周期を前記求めた第１の信号の周期に更新することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記記憶手段に記憶されている前記第１の信号の周期に基づき、次に前記検知手段から前記第１の信号が出力されるであろう第１の期間を予測することを特徴とする請求項４に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記第１の期間外において前記検知手段から出力された信号は前記第１の信号として認識せず、前記第１の期間内において前記検知手段から出力された信号は前記第１の信号として認識することを特徴とする請求項５に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記記憶手段に記憶されている前記第１の信号の周期に基づき、前記第１の期間内において前記第１の信号が正常に検知されたか否かを判断するための前記第１の期間よりも短い第２の期間を予測することを特徴とする請求項５又は６に記載の画像形成装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記第２の期間内において前記検知手段から信号が出力された場合は前記第１の制御を行い、前記第２の期間外において前記検知手段から信号が出力された場合は前記第２の制御を行うことを特徴とする請求項７に記載の画像形成装置。
【請求項９】
前記制御手段は、前記第２の制御を行う場合に、前記駆動手段が目標回転速度で駆動されているという条件において前記第１の信号の周期が所定周期内となるように、前記第１の信号の周期の予測を行うことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項１０】
前記制御手段は、前記第２の制御によって前記第２の信号を所定回数出力すると、前記第２の制御を前記第１の制御に切り替えることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項１１】
前記制御手段は、前記回転多面鏡の複数の反射面のうち、どの反射面により光を反射しているかを特定し、
前記第２の制御を行う場合に、特定した反射面に応じて期間の異なる前記第１の信号の周期の予測を行うことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項１２】
前記制御手段は、前記第１の信号の周期に基づき、前記複数の反射面のうち基準反射面を特定し、前記基準反射面から各反射面を特定することを特徴とする請求項１１に記載の画像形成装置。
【請求項１３】
画像データを生成する画像制御手段、を備え、
前記画像制御手段は、前記第２の信号に基づき、前記画像データを前記制御手段に送信することを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項１４】
前記制御手段は、前記第１の信号の周期が所定周期外であった場合に、所定周期外となった主走査ラインで画像信号に基づく画像形成が行われたか否かを判断し、
画像形成が行われた場合は前記第２の制御を行い、画像形成が行われなかった場合は前記第１の信号に基づき前記第２の信号を出力し、且つ前記検知手段から出力される前記第１の信号の周期に応じて前記駆動手段を加減速しない第３の制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、光源と、複数の反射面を有し、前記光源から出力された光を回転しながら偏向する回転多面鏡と、前記回転多面鏡により偏向された光を検知することに応じた第１の信号を出力する検知手段と、前記第１の信号に基づき、主走査方向の書き出しを制御するための主走査同期信号である第２の信号を出力する第１の制御手段と、前記第２の信号に基づき、画像データを送信する第２の制御手段と、を備え、前記第１の制御手段は、前記第１の信号の周期が所定周期内であれば、前記第１の信号に基づき前記第２の信号を出力する第１の制御を行い、前記第１の信号の周期が所定周期外であれば、予測した第１の信号の周期に基づき、前記第２の信号を出力する第２の制御を行うことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月23日(2020.12.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状のフィルムと、
前記フィルムの内面に接触するニップ部形成部材と、
前記フィルムを介して前記ニップ部形成部材と共にニップ部を形成するローラと、
前記ローラの回転軸方向への前記フィルムの寄り移動を規制する規制部材と、
を有し、画像が形成された記録材は前記ニップ部で搬送されながら加熱され、前記画像は記録材に定着される定着装置において、
前記規制部材は、前記フィルムの端面と対向する面であって、前記フィルムが寄り移動した場合に前記端面が接触する第１の面と、前記フィルムの内面に対向する面であって、前記フィルムの回転をガイドする第２の面と、を有し、
前記第１の面は、記録材の搬送方向に見ると、前記搬送方向と前記回転軸方向との双方に垂直な方向に関し、前記ニップ部から離れるにつれて前記フィルムの前記端面に近づく方向に傾斜し、前記垂直な方向に見ると、前記搬送方向の下流側に向かうほど前記フィルムの前記端面から離れる方向に傾斜し、
前記第２の面は、前記搬送方向に見ると、前記フィルムの前記回転軸方向の中央に近づくにつれて前記ローラに近づく方向に傾斜し、前記垂直な方向に見ると、前記フィルムの前記中央に近づくにつれて前記搬送方向の下流側に向かう方向に傾斜していることを特徴とする定着装置。
【請求項２】
前記第２の面は、前記第１の面に垂直であることを特徴とする請求項１に記載の定着装置。
【請求項３】
前記第１の面は平面であり、前記垂直な方向に見たときの前記第１の面の垂線の前記回転軸方向に対する傾斜角を第１の角度とすると、前記第１の角度は、０．５度以上３．０度以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の定着装置。
【請求項４】
前記搬送方向に見るときの前記第１の面の垂線の前記回転軸方向に対する傾斜角を第２の角度とすると、前記第２の角度は、０．３度以上１．５度以下であることを特徴とする請求項３に記載の定着装置。
【請求項５】
前記ニップ部形成部材の前記フィルムと接触する面と反対側の面から前記ニップ部形成部材を支持する支持部材と、前記支持部材を補強する補強部材と、を有し、
前記規制部材は、前記第１の面及び前記第２の面が傾斜するように前記補強部材に位置決めされていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の定着装置。
【請求項６】
前記第１の面は平面であり、前記垂直な方向に見たときの前記第１の面の垂線の前記回転軸方向に対する傾斜角は、前記搬送方向に見たときの前記第１の面の垂線の前記回転軸方向に対する傾斜角よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の定着装置。
【請求項７】
前記ニップ部形成部材は、板状のヒータであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の定着装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、筒状のフィルムと、前記フィルムの内面に接触するニップ部形成部材と、前記フィルムを介して前記ニップ部形成部材と共にニップ部を形成するローラと、前記ローラの回転軸方向への前記フィルムの寄り移動を規制する規制部材と、を有し、画像が形成された記録材は前記ニップ部で搬送されながら加熱され、前記画像は記録材に定着される定着装置において、前記規制部材は、前記フィルムの端面と対向する面であって、前記フィルムが寄り移動した場合に前記端面が接触する第１の面と、前記フィルムの内面に対向する面であって、前記フィルムの回転をガイドする第２の面と、を有し、前記第１の面は、記録材の搬送方向に見ると、前記搬送方向と前記回転軸方向との双方に垂直な方向に関し、前記ニップ部から離れるにつれて前記フィルムの前記端面に近づく方向に傾斜し、前記垂直な方向に見ると、前記搬送方向の下流側に向かうほど前記フィルムの前記端面から離れる方向に傾斜し、前記第２の面は、前記搬送方向に見ると、前記フィルムの前記回転軸方向の中央に近づくにつれて前記ローラに近づく方向に傾斜し、前記垂直な方向に見ると、前記フィルムの前記中央に近づくにつれて前記搬送方向の下流側に向かう方向に傾斜していることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月23日(2020.12.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像形成装置の装置本体に取り付けられるカートリッジの生産方法であって、前記カートリッジは、第一の面と前記第一の面に備えられた穴を有する第一の部材と、前記第一の面に接触する第二の面、および前記第二の面の反対側の第三の面を有する第二の部材と、を備え、
前記生産方法は、
前記第二の面が前記穴を覆い、前記第二の面と前記第一の面が接触するように、前記第一の部材と前記第二の部材を保持する保持工程と、
前記第一の部材と前記第二の部材を接合する接合工程であって、前記第三の面が溶かされ前記第二の部材に前記穴に向かってくぼむ凹部が前記第三の面に形成され、かつ前記第一の部材と前記第二の部材の溶融部の少なくとも一部が前記穴に入り込むように、前記第一の部材と前記第二の部材を超音波スポット溶着で接合する接合工程と、
を含むことを特徴とする生産方法。
【請求項２】
前記凹部は、前記第一の面の法線に対して交差する方向に延びる傾斜部を有し、前記傾斜部は、前記凹部の中央側に位置する第一の端部と、前記第一の端部の反対側に位置する第二の端部を有し、
前記法線の方向から見たときに、前記第一の端部は前記穴の内側に位置することを特徴とする請求項１に記載の生産方法。
【請求項３】
前記法線の方向から見たときに、前記第二の端部は前記穴の外側に位置することを特徴とする請求項２に記載の生産方法。
【請求項４】
前記法線の方向において、前記凹部は前記第二の面に対して前記穴の反対側に位置することを特徴とする請求項２または３に記載の生産方法。
【請求項５】
前記カートリッジは、回転部材と、前記回転部材に当接して前記回転部材を回転可能に支持する摺動部を有し、
前記溶融部は前記摺動部から離れた位置に形成されることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の生産方法。
【請求項６】
前記回転部材は、静電潜像を担持する像担持体であることを特徴とする請求項５に記載の生産方法。
【請求項７】
前記回転部材は、静電潜像を現像する現像剤担持体であることを特徴とする請求項５に記載の生産方法。
【請求項８】
前記カートリッジは、前記装置本体に対して前記カートリッジを位置決めするための位置決め部を有し、
前記溶融部は前記位置決め部から離れた位置に形成されることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の生産方法。
【請求項９】
画像形成装置の装置本体に取り付けられるカートリッジであって、
第一の面と穴を有する第一の部材と、
前記第一の面に接触する第二の面、および前記第二の面の反対側の第三の面を有する第二の部材であって、前記第二の面が前記穴を覆い、前記第二の面と前記第一の面が接触するように配置された第二の部材と、
を備え、
前記第一の部材と前記第二の部材は、前記第三の面に前記穴に向かってくぼむ凹部が形成され、かつ前記第一の部材と前記第二の部材の溶融部の少なくとも一部が、前記穴に入り込むように接合されていることを特徴とするカートリッジ。
【請求項１０】
前記凹部は、前記第一の面の法線に対して交差する方向に延びる傾斜部を有し、前記傾斜部は、前記凹部の中央側に位置する第一の端部と、前記第一の端部の反対側に位置する第二の端部を有し、
前記法線の方向から見たときに、前記第一の端部は前記穴の内側に位置することを特徴とする請求項９に記載のカートリッジ。
【請求項１１】
前記法線の方向から見たときに、前記第二の端部は前記穴の外側に位置することを特徴とする請求項１０に記載のカートリッジ。
【請求項１２】
前記法線の方向において、前記凹部は前記第二の面に対して前記穴の反対側に位置することを特徴とする請求項１０または１１に記載のカートリッジ。
【請求項１３】
前記カートリッジは、回転部材と、前記回転部材に当接して前記回転部材を回転可能に支持する摺動部を有し、
前記溶融部は前記摺動部から離れた位置に形成されることを特徴とする請求項９から１２のいずれか一項に記載のカートリッジ。
【請求項１４】
前記回転部材は、静電潜像を担持する像担持体であることを特徴とする請求項１３に記載のカートリッジ。
【請求項１５】
前記回転部材は、静電潜像を現像する現像剤担持体であることを特徴とする請求項１３項に記載のカートリッジ。
【請求項１６】
前記カートリッジは、前記装置本体に対して前記カートリッジを位置決めするための位置決め部を有し、
前記溶融部は前記位置決め部から離れた位置に形成されることを特徴とする請求項９から１５のいずれか一項に記載のカートリッジ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
画像形成装置の装置本体に取り付けられるカートリッジの生産方法であって、前記カートリッジは、第一の面と前記第一の面に備えられた穴を有する第一の部材と、前記第一の面に接触する第二の面、および前記第二の面の反対側の第三の面を有する第二の部材と、を備え、
前記生産方法は、
前記第二の面が前記穴を覆い、前記第二の面と前記第一の面が接触するように、前記第一の部材と前記第二の部材を保持する保持工程と、
前記第一の部材と前記第二の部材を接合する接合工程であって、前記第三の面が溶かされ前記第二の部材に前記穴に向かってくぼむ凹部が前記第三の面に形成され、かつ前記第一の部材と前記第二の部材の溶融部の少なくとも一部が前記穴に入り込むように、前記第一の部材と前記第二の部材を超音波スポット溶着で接合する接合工程と、
を含むことを特徴とする生産方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本出願に係る発明の一つは、以下のようなものである。
画像形成装置の装置本体に取り付けられるカートリッジであって、
第一の面と穴を有する第一の部材と、
前記第一の面に接触する第二の面、および前記第二の面の反対側の第三の面を有する第二の部材であって、前記第二の面が前記穴を覆い、前記第二の面と前記第一の面が接触するように配置された第二の部材と、
を備え、
前記第一の部材と前記第二の部材は、前記第三の面に前記穴に向かってくぼむ凹部が形成され、かつ前記第一の部材と前記第二の部材の溶融部の少なくとも一部が、前記穴に入り込むように接合されていることを特徴とするカートリッジ。
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月11日(2020.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に設けられたマークを検出することにより前記基板の位置合わせを行う位置合わせ装置であって、
前記基板を保持して移動可能なステージと、
前記ステージによって保持された前記基板上の前記マークを撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された前記マークの像に基づいて前記マークの位置を求める処理部と、を有し、
前記撮像部は、
光電変換により電荷の蓄積を行う撮像素子と、
前記撮像素子で蓄積された前記電荷に基づいて得られた少なくとも１フレームの画像データを一時的に記憶するフレームメモリと、
前記撮像素子で得られた１フレームの画像データを前記フレームメモリに転送する第１転送部と、
前記フレームメモリから読み出された１フレームの画像データを前記処理部に転送する第２転送部と、を含み、
前記第１転送部のデータ転送速度は前記第２転送部のデータ転送速度よりも速く、前記第１転送部と前記第２転送部とは非同期で動作し、
前記撮像部は、前記撮像素子で前記電荷の蓄積が行われ前記第１転送部により前記蓄積により得られた１フレームの画像データの前記フレームメモリへの転送が完了すれば、前記第２転送部による該１フレームの画像データの前記処理部への転送が完了していなくても次の撮像が可能になるように構成されており、
前記ステージを移動させながら複数の位置で前記撮像部により前記マークを撮像する際に、前記第１転送部による１フレームの画像データの前記フレームメモリへの転送と並行して、次の撮像のための前記ステージの移動を行う
ことを特徴とする位置合わせ装置。
【請求項２】
前記ステージを移動させながら複数の位置で前記撮像部により前記マークを撮像し、前記処理部により各位置での前記ステージの位置合わせ状態を評価することを特徴とする請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項３】
前記撮像素子と前記ステージとの間の距離を段階的に変化させるように前記ステージをステップ移動させながら各ステップ位置で前記撮像部により前記マークを撮像し、前記処理部により各ステップ位置での前記マークの像のフォーカス状態を前記位置合わせ状態として評価することを特徴とする請求項２に記載の位置合わせ装置。
【請求項４】
前記ステップ移動を、前記第１転送部による前記フレームメモリへの１フレームの画像データの転送期間内に行うことを特徴とする請求項３に記載の位置合わせ装置。
【請求項５】
前記ステップ移動にかかる時間を、前記第１転送部による前記フレームメモリへの１フレームの画像データの転送期間と同じにすることを特徴とする請求項４に記載の位置合わせ装置。
【請求項６】
前記ステップ移動にかかる時間と前記撮像素子による電荷の蓄積期間との合計時間が前記第２転送部による前記フレームメモリから前記処理部への１フレームの画像データの転送期間を超えない範囲で、前記ステップ移動にかかる時間を最大化することを特徴とする請求項３に記載の位置合わせ装置。
【請求項７】
前記基板の相異なる位置に設けられた複数のマークを検出する場合、前記複数のマークのうちの第１マークの前記撮像部による撮像を行い、該撮像により得られた前記第１マークの画像データが前記第１転送部によって前記フレームメモリに転送される転送期間中に、前記複数のマークのうちの第２マークの前記撮像部による撮像を行うための前記ステージの移動を開始することを特徴とする請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項８】
前記基板の相異なる位置に設けられた複数のマークを検出する場合、前記複数のマークのうちの第１マークの前記撮像部による撮像を複数回行い、該複数回の撮像うちの最終回の撮像により得られた第１マークの画像データが前記第１転送部によって前記フレームメモリに転送される転送期間中に、前記複数のマークのうちの第２マークの前記撮像部による撮像を行うための前記ステージの移動を開始することを特徴とする請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項９】
前記第１転送部は、前記撮像素子と同じ回路基板上に実装される専用データバスを含み、
前記第２転送部は、通信規格に準拠したデータバスを含む、ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の位置合わせ装置。
【請求項１０】
前記撮像部による撮像を制御する制御部を更に有し、
前記撮像部は、前記次の撮像が可能になったことを前記制御部に通知する通知部を含み、
前記制御部は、前記通知部からの前記通知に基づいて、前記撮像部による前記次の撮像の開始のタイミングを制御する
ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の位置合わせ装置。
【請求項１１】
前記フレームメモリは、記憶可能領域がなくなった場合に最も古い画像データを最新の画像データで上書きするリングバッファを含む、ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の位置合わせ装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の位置合わせ装置を備え、
前記位置合わせ装置の前記ステージによって保持された基板に、原版のパターンを転写するように構成されていることを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記パターンが形成された基板を加工する工程と、
を有し、
前記加工された基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の一側面によれば、基板に設けられたマークを検出することにより前記基板の位置合わせを行う位置合わせ装置であって、前記基板を保持して移動可能なステージと、前記ステージによって保持された前記基板上の前記マークを撮像する撮像部と、前記撮像部により撮像された前記マークの像に基づいて前記マークの位置を求める処理部とを有し、前記撮像部は、光電変換により電荷の蓄積を行う撮像素子と、前記撮像素子で蓄積された前記電荷に基づいて得られた少なくとも１フレームの画像データを一時的に記憶するフレームメモリと、前記撮像素子で得られた１フレームの画像データを前記フレームメモリに転送する第１転送部と、前記フレームメモリから読み出された１フレームの画像データを前記処理部に転送する第２転送部とを含み、前記第１転送部のデータ転送速度は前記第２転送部のデータ転送速度よりも速く、前記第１転送部と前記第２転送部とは非同期で動作し、前記撮像部は、前記撮像素子で前記電荷の蓄積が行われ前記第１転送部により前記蓄積により得られた１フレームの画像データの前記フレームメモリへの転送が完了すれば、前記第２転送部による該１フレームの画像データの前記処理部への転送が完了していなくても次の撮像が可能になるように構成されており、前記ステージを移動させながら複数の位置で前記撮像部により前記マークを撮像する際に、前記第１転送部による１フレームの画像データの前記フレームメモリへの転送と並行して、次の撮像のための前記ステージの移動を行うことを特徴とする位置合わせ装置が提供される。
【手続補正書】
【提出日】令和3年1月14日(2021.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を吸着して保持するための静電チャックであって、
前記基板を吸着するための第１の吸着領域、及び第２の吸着領域を含む吸着面を備える静電チャックプレート部と、
前記第１の吸着領域に配された第１の電極と、
前記第２の吸着領域に配された第２の電極と、
前記静電チャックプレート部に埋設され、前記静電チャックプレート部の吸着面への前記基板の吸着状態を検知するためのセンサー部と、
を備えることを特徴とする静電チャック。
【請求項２】
前記センサー部は、前記基板の周縁部に対応する位置に配置され、前記基板の前記周縁部と前記静電チャックプレート部の吸着面との間の吸着状態を検知する周縁部センサーを備えることを特徴とする請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記センサー部は、前記基板の中央部に対応する位置に配置され、前記基板の中央部と前記静電チャックプレート部の吸着面との間の吸着状態を検知する中央部センサーを備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記センサー部は、前記静電チャックプレート部の吸着面と前記基板の表面との間の距離を検出する距離検知センサーを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記センサー部は、前記基板との距離に応じた静電容量の変化を検知することによって前記静電チャックプレート部の吸着面と前記基板との吸着状態を検知する静電容量センサーを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の静電チャック。
【請求項６】
前記基板の周縁部を下方から支持する支持部をさらに備え、
前記センサー部は、前記基板の中央部に対応する位置において前記静電チャックプレート部に埋設され、前記基板の前記中央部と前記静電チャックプレート部の吸着面との間の
吸着状態を検知する中央部センサーを備え、
前記基板の前記周縁部と前記静電チャックプレート部の吸着面との間の吸着状態を検知する支持部センサーが前記支持部に埋設されることを特徴とする請求項１に記載の静電チャック。
【請求項７】
前記第１の電極、及び前記第２の電極に互いに独立に電圧を供給する電圧供給部をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の静電チャック。
【請求項８】
前記電圧供給部は、前記第１の電極に前記基板を吸着するための吸着電圧を供給し、その後、前記第２の電極に前記吸着電圧を供給することを特徴とする請求項７に記載の静電チャック。
【請求項９】
前記電圧供給部は、前記第１の電極に前記基板を剥離するための剥離電圧を供給し、その後、前記第２の電極に前記剥離電圧を供給することを特徴とする請求項７に記載の静電チャック。
【請求項１０】
前記第１の電極、及び前記第２の電極に同時に電圧を供給する電圧供給部をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の静電チャック。
【請求項１１】
前記基板の一端を下方から支持する第１支持部の基板支持面の高さが、前記基板を載せたときに、前記基板の他端を下方から支持する第２支持部の基板支持面の高さより高いことを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか一項に記載の静電チャック。
【請求項１２】
基板を上方から吸着して保持する請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の静電チャックと、
前記基板の下方に配置され、前記基板上の蒸着領域に対応した蒸着パターンが形成されたマスクを支持するマスク支持手段と、
前記マスクの下部に配置され、前記マスクの蒸着パターンを介し、前記基板上に成膜される蒸着材料を蒸発させる蒸発源と、
を備えることを特徴とする成膜装置。
【請求項１３】
マスクを介して基板に蒸着材料を成膜する成膜方法であって、
請求項１乃至請求項１１のいずれか一項に記載の静電チャックに基板を吸着させる工程と、
前記静電チャックに吸着された前記基板を移動し、マスク上に載置する工程と、
前記マスクを介して前記基板に前記蒸着材料を成膜する工程と、
を有することを特徴とする成膜方法。
【請求項１４】
電子デバイスを製造する方法であって、
請求項１３に記載の成膜方法を用いて電子デバイスを製造する方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】静電チャック、成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の第１態様による静電チャックは、基板を吸着して保持するための静電チャックであって、前記基板を吸着するための第１の吸着領域、及び第２の吸着領域を含む吸着面を備える静電チャックプレート部と、前記第１の吸着領域に配された第１の電極と、前記第２の吸着領域に配された第２の電極と、前記静電チャックプレート部に埋設され、前記静電チャックプレート部の吸着面への前記基板の吸着状態を検知するためのセンサー部と、を備える。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の第２態様による成膜装置は、基板を上方から吸着して保持する本発明の第１態様による静電チャックと、前記基板の下方に配置され、前記基板上の蒸着領域に対応した蒸着パターンが形成されたマスクを支持するマスク支持手段と、前記マスクの下部に配置され、前記マスクの蒸着パターンを介し、前記基板上に成膜される蒸着材料を蒸発させる蒸発源と、を備える。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第３態様による成膜方法は、マスクを介して基板に蒸着材料を成膜する成膜方法であって、本発明の第１態様による静電チャックに基板を吸着させる工程と、前記静電チャックに吸着された前記基板を移動し、マスク上に載置する工程と、前記マスクを介し
て前記基板に前記蒸着材料を成膜する工程と、を有する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の第４態様による電子デバイスの製造方法は、本発明の第３態様による成膜方法を用いて、電子デバイスを製造する。
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月4日(2020.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体を撮影する撮像装置であって、
カメラ本体と、
前記カメラ本体に設けられるレンズユニットと、
前記レンズユニットの先端に設けられたカバー部材と、
前記カバー部材と前記被写体との接触を検知する接触検知手段と、
前記接触検知手段により前記被写体との前記接触を検知していない場合である第１状態では前記カバー部材から離間した前記被写体の位置にフォーカスが合うように、前記接触を検知している場合である第２状態では前記カバー部材に接触している前記被写体の位置にフォーカスが合うように、フォーカス位置を調整するフォーカス位置調整手段と、
を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記カバー部材に向けて光を照射するように配置された光源を更に備え、
前記光源は、前記接触検知手段により前記第２状態であると検知された場合、前記光を照射する、
ことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記光源は、前記接触検知手段により前記第１状態であると検知された場合、前記光を照射しない、
ことを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記光源が照射した前記光を偏光する偏光フィルタを更に備える、
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記接触検知手段は、接触センサである、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記接触検知手段は、前記カバー部材に前記被写体が前記接触することで生じる圧力を検知する圧力センサの出力結果から前記接触を検知する、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項７】
カメラ本体と、前記カメラ本体に設けられるレンズユニットと、前記レンズユニットの先端に設けられたカバー部材を備える撮像装置における、被写体の撮像方法であって、
前記カバー部材と前記被写体との接触を検知する接触検知ステップと、
前記接触検知ステップにより前記被写体との前記接触を検知していない場合である第１状態では前記カバー部材から離間した前記被写体の位置にフォーカスが合うように、前記接触を検知している場合である第２状態では前記カバー部材に接触している前記被写体の位置にフォーカスが合うように、フォーカス位置を調整するフォーカス位置調整ステップと、
を含むことを特徴とする撮像方法。
【請求項８】
カメラ本体と、前記カメラ本体に設けられるレンズユニットと、前記レンズユニットの先端に設けられたカバー部材を備える撮像装置のコンピュータに、
前記カバー部材と被写体との接触を検知する接触検知手段、
前記接触検知手段により前記被写体との前記接触を検知していない場合である第１状態では前記カバー部材から離間した前記被写体の位置にフォーカスが合うように、前記接触を検知している場合である第２状態では前記カバー部材に接触している前記被写体の位置にフォーカスが合うように、フォーカス位置を調整するフォーカス位置調整手段、
として機能させることを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】撮像装置、撮像方法及びプログラム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、撮像装置、撮像方法及びプログラム、特に、被写体に押し当てて撮影する撮像装置、撮像方法及びプログラムに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、非常に小さい被写体であっても的確に中心位置に捉え易い撮像装置、撮像方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記した課題を解決するために本発明の一態様は、被写体を撮影する撮像装置であって、カメラ本体と、前記カメラ本体に取り付けられるレンズユニットと、前記レンズユニットの先端に設けられたカバー部材と、前記カバー部材と前記被写体との接触を検知する接触検知手段と、前記接触検知手段により前記被写体との前記接触を検知していない場合である第１状態では前記カバー部材から離間した前記被写体の位置にフォーカスが合うように、前記接触を検知している場合である第２状態では前記カバー部材に接触している前記被写体の位置にフォーカスが合うように、フォーカス位置を調整するフォーカス位置調整手段と、を備えることを特徴とする。本発明の他の特徴は、本明細書及び添付図面の記載により明らかにする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明によれば、非常に小さい被写体であっても的確に中心位置に捉え易い撮像装置、撮像方法及びプログラムを提供することができる。
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月4日(2020.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
疾患領域の診断を支援する撮像装置であって、
前記撮像装置の動作状態を示し、前記動作状態に応じて点灯状態を変更する第１光源を有する本体部と、
前記本体部に装着され、前記第１光源の前記点灯状態を検知する検知手段、前記疾患領域に向けて光を照射する第２光源、及び、前記検知手段の検知結果に応じて前記第２光源の点灯状態を制御する点灯制御手段を、有するアタッチメント部と、を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記第２光源は、偏光された光を照射する偏光光源部及び非偏光の光を照射する非偏光光源部を含み、
前記点灯制御手段は、前記検知手段の検知結果に応じて、前記偏光光源部及び前記非偏光光源部の何れかを点灯させるように制御することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記第２光源は、可視光を照射する可視光光源部、近赤外光を照射する近赤外光光源部、紫外光を照射する紫外光光源部を含み、
前記点灯制御手段は、前記検知手段の検知結果に応じて、前記可視光光源部、前記近赤外光光源部及び前記紫外光光源部の何れかを点灯させるように制御することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記検知手段は、フォトセンサであることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記第１光源は、前記本体部の電源ランプであることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項６】
疾患領域を被写体として撮影する撮像装置の動作状態を示し、前記動作状態に応じて点灯状態を変更する第１光源を有する前記撮像装置に装着されるアタッチメントであって、
前記第１光源の前記点灯状態を検知する検知手段と、
前記疾患領域に向けて光を照射する第２光源と、
前記検知手段の検知結果に応じて前記第２光源の点灯状態を制御する点灯制御手段と、を備えることを特徴とするアタッチメント。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記した課題を解決するために本発明の一態様は、疾患領域の診断を支援する撮像装置であって、前記撮像装置の動作状態を示し、前記動作状態に応じて点灯状態を変更する第１光源を有する本体部と、前記本体部に装着され、前記第１光源の前記点灯状態を検知する検知手段、前記疾患領域に向けて光を照射する第２光源、及び、前記検知手段の検知結果に応じて前記第２光源の点灯状態を制御する点灯制御手段を、有するアタッチメント部と、を備えることを特徴とする。
本発明の他の特徴は、本明細書及び添付図面の記載により明らかにする。
【手続補正書】
【提出日】令和3年2月12日(2021.2.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
この発明に係る表示システムは、一方の面が対象となる物体と対向し、他方の面に表示面を有する表示装置と、当該物体との相対位置を検出する位置検出部と、物体のモデルを示すデータを取得するデータ取得部と、位置検出部により検出された相対位置及びデータ取得部により取得されたデータに基づいて、表示装置の表示面に表示するモデルの画像を生成する画像生成部と、画像生成部により生成された画像を表示装置に出力する画像出力部とを備えたことを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面が対象となる物体と対向し、他方の面に表示面を有する表示装置と、当該物体との相対位置を検出する位置検出部と、
前記物体のモデルを示すデータを取得するデータ取得部と、
前記位置検出部により検出された相対位置及び前記データ取得部により取得されたデータに基づいて、前記表示装置の表示面に表示する前記モデルの画像を生成する画像生成部と、
前記画像生成部により生成された画像を前記表示装置に出力する画像出力部と
を備えた表示システム。
【請求項２】
前記画像生成部は、画像が示す前記モデルと前記物体とが前記表示装置の表示面に対向する基準視点位置から見て重複するように、当該画像を生成する
ことを特徴とする請求項１記載の表示システム。
【請求項３】
前記データ取得部は、前記物体と、前記画像生成部により生成される画像が示す前記モデルとの位置ずれを、基準視点位置から見て重畳するように、当該画像を補正する画像補正値を取得し、
前記画像生成部は、前記データ取得部により取得された画像補正値に基づいて、画像を生成する
ことを特徴とする請求項２記載の表示システム。
【請求項４】
前記データ取得部は、画像補正値として、基準視点位置に基づいて位置ずれを補正する補正値を取得する
ことを特徴とする請求項３記載の表示システム。
【請求項５】
前記位置検出部は、
前記表示装置又は前記物体のうちの一方を移動させる移動機構と、
前記移動機構による移動量を検出する移動量検出装置とを備え、
前記移動量検出装置により検出された移動量に基づいて、前記表示装置と前記物体との相対位置を検出する
ことを特徴とする請求項１から請求項４のうちの何れか１項記載の表示システム。
【請求項６】
前記データ取得部は、前記物体の情報である付加情報を示すデータ、及び、前記表示装置に当該付加情報を表示させる範囲を示すデータを取得し、
前記データ取得部により取得されたデータに基づいて、前記位置検出部により検出された位置が前記範囲内であるかを判定する位置判定部を備え、
前記画像生成部は、前記位置判定部により前記位置検出部により検出された位置が前記範囲内であると判定された場合に、前記データ取得部により取得されたデータから、該当する付加情報を、前記画像に付加する
ことを特徴とする請求項１から請求項５のうちの何れか１項記載の表示システム。
【請求項７】
前記画像生成部は、前記位置検出部により検出された位置を表すアイコン、及び、前記データ取得部により取得されたデータが示す前記範囲を表すアイコンを、前記画像に付加する
ことを特徴とする請求項６記載の表示システム。
【請求項８】
前記表示装置が基準位置に位置する場合にオンとなる第１のスイッチと、
ユーザ操作によりオンとなる第２のスイッチとを備え、
前記位置検出部は、前記第１のスイッチがオンとなり且つ前記第２のスイッチがオンとなった場合に、前記表示装置と前記物体との相対位置を基準位置にリセットする
ことを特徴とする請求項１から請求項７のうちの何れか１項記載の表示システム。
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月15日(2020.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンドレスベルトと、
第１弾性体と、
前記第１弾性体よりも硬い第２弾性体と、
外周に弾性層を有するローラであって、前記第１弾性体および前記第２弾性体との間で前記エンドレスベルトを挟み、前記エンドレスベルトとの間で記録媒体を搬送方向に搬送するローラと、を備え、
前記第１弾性体は、前記第２弾性体より前記搬送方向の上流側に位置し、
前記弾性層は、前記第１弾性体より柔らかいことを特徴とする定着装置。
【請求項２】
前記第１弾性体は直方体であり、前記搬送方向の下流端に角部を有し、前記角部は前記ローラと前記エンドレスベルトが並ぶ方向に記録媒体を押し付けることを特徴とする請求項１に記載の定着装置。
【請求項３】
前記搬送方向において、前記第１弾性体と前記第２弾性体の間に隙間を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の定着装置。
【請求項４】
前記弾性層のデュロメータ硬さは、６より小さく、
前記第１弾性体のデュロメータ硬さは、６〜２０であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の定着装置。
【請求項５】
前記第２弾性体のデュロメータ硬さは、６０〜９０であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の定着装置。
【請求項６】
前記弾性層のデュロメータ硬さは、５以下であり、
前記第１弾性体のデュロメータ硬さは、６〜１０であり、
前記第２弾性体のデュロメータ硬さは、７０〜９０であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の定着装置。
【請求項７】
前記ローラは、ヒータを有することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の定着装置。
【請求項８】
前記ローラと前記エンドレスベルトとが並ぶ方向において、前記第２弾性体の寸法は、前記第１弾性体の寸法より小さいことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の定着装置。
【請求項９】
前記第１弾性体は前記ローラとの間で記録媒体をニップする第１ニップ部を形成し、前記第２弾性体は前記ローラとの間で記録媒体をニップする第２ニップ部を形成し、
前記第２ニップ部では、前記第１ニップ部に比べてニップ圧が大きいことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の定着装置。
【請求項１０】
前記搬送方向において、前記第１弾性体と前記第２弾性体の間に隙間を有し、
前記第１弾性体は前記ローラとの間で記録媒体をニップする第１ニップ部を形成し、前記第２弾性体は前記ローラとの間で記録媒体をニップする第２ニップ部を形成し、前記エンドレスベルトは前記隙間に対応する位置で記録媒体をニップする第3ニップ部を形成することを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の定着装置。
【請求項１１】
前記ローラと前記エンドレスベルトとが並ぶ方向において、前記第２弾性体の寸法は前記第１弾性体の寸法より小さいことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の定着装置。
【請求項１２】
前記第１弾性体と前記第２弾性体とを前記ローラと前記エンドレスベルトとが並ぶ方向において保持するホルダを備え、
前記ホルダの前記第１弾性体を保持する面と前記第２弾性体を保持する面とは、前記ローラと前記エンドレスベルトとが並ぶ方向において位置が異なることを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の定着装置。
【請求項１３】
前記第１弾性体および前記第２弾性体と、前記エンドレスベルトとの間に挟まれる摺動シートを備えることを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の定着装置。
【手続補正書】
【提出日】令和3年6月10日(2021.6.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マトリクス状に配置された複数の回路を有し、
前記回路は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、容量素子と、を有し、
前記第１のトランジスタは、第１のチャネル形成領域を有し、
前記第２のトランジスタは、第２のチャネル形成領域を有し、
前記第１のチャネル形成領域は、シリコンを有し、
前記第２のチャネル形成領域は、酸化物半導体を有し、
前記第２のトランジスタのソース電極またはドレイン電極は、前記第１のトランジスタのゲート電極の上面と接し、前記容量素子の電極としての機能する領域を有し、
平面視において、前記容量素子は、前記第１のトランジスタのゲート電極と重なる領域を有する、半導体装置。
【請求項２】
マトリクス状に配置された複数の回路を有し、
前記回路は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、容量素子と、を有し、
前記第１のトランジスタは、第１のチャネル形成領域を有し、
前記第２のトランジスタは、第２のチャネル形成領域を有し、
前記第１のチャネル形成領域は、シリコンを有し、
前記第２のチャネル形成領域は、酸化物半導体を有し、
前記第２のトランジスタのソース電極またはドレイン電極は、前記第１のトランジスタのゲート電極の上面と接し、前記容量素子の電極としての機能する領域を有し、
平面視において、前記容量素子は、前記第１のトランジスタのゲート電極と重なる領域を有し、
平面視において、前記第１のトランジスタのゲート電極は、前記第２のトランジスタのゲート電極と重なりを有さない、半導体装置。
【請求項３】
マトリクス状に配置された複数の回路を有し、
前記回路は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、容量素子と、を有し、
前記第１のトランジスタは、第１のチャネル形成領域を有し、
前記第２のトランジスタは、第２のチャネル形成領域を有し、
前記第１のチャネル形成領域は、シリコンを有し、
前記第２のチャネル形成領域は、酸化物半導体を有し、
前記第２のトランジスタのソース電極またはドレイン電極は、前記第１のトランジスタのゲート電極の上面と接し、前記容量素子の電極としての機能する領域を有し、
平面視において、前記容量素子は、前記第１のトランジスタのゲート電極と重なる領域を有し、
平面視において、前記第２のチャネル形成領域を有する酸化物半導体層は、前記容量素子及び前記第１のトランジスタのゲート電極と重なるように配置されている、半導体装置。
【請求項４】
マトリクス状に配置された複数の回路を有し、
前記回路は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、容量素子と、を有し、
前記第１のトランジスタは、第１のチャネル形成領域を有し、
前記第２のトランジスタは、第２のチャネル形成領域を有し、
前記第１のチャネル形成領域は、シリコンを有し、
前記第２のチャネル形成領域は、酸化物半導体を有し、
前記第２のトランジスタのソース電極またはドレイン電極は、前記第１のトランジスタのゲート電極の上面と接し、前記容量素子の電極としての機能する領域を有し、
平面視において、前記容量素子は、前記第１のトランジスタのゲート電極と重なる領域を有し、
平面視において、前記第１のトランジスタのゲート電極は、前記第２のトランジスタのゲート電極と重なりを有さず、
平面視において、前記第２のチャネル形成領域を有する酸化物半導体層は、前記容量素子及び前記第１のトランジスタのゲート電極と重なるように配置されている、半導体装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第１のチャネル形成領域は半導体層に形成される、半導体装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第１のチャネル形成領域は単結晶シリコン基板に形成される、半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】令和3年8月11日(2021.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィーダ保守装置と、
前記フィーダ保守装置と通信可能に接続された管理コンピュータと、で構成され、
前記フィーダ保守装置は、
部品を基板に実装する実装装置に用いられる前記フィーダを装着する装着部と、
前記装着部に装着された前記フィーダから該フィーダの識別情報を取得する取得部と、
前記フィーダでのテープの送り精度を検査する送り精度検査部と、前記フィーダでのテープを送る機構のトルク検査部と、前記フィーダでのテープのスプライシング部を検出する検出センサを検査するスプライシング検査部とのうち１以上を有する検査ユニットと、
前記検査ユニットに前記フィーダの検査を実行させる制御部と、を備え、
前記制御部は、前記検査ユニットにおける前記フィーダの検査結果を前記取得部が取得した前記フィーダの識別情報に対応づけて記憶し、前記管理コンピュータは、前記検査結果をフィーダ毎にデータベースとして記憶する、フィーダ保守システム。
【請求項２】
前記制御部は、前記検査ユニットが行った検査内容に応じて前記フィーダ保守装置の保守実行内容が含まれる履歴情報を更新させて記憶する、請求項１に記載のフィーダ保守システム。
【請求項３】
部品を基板に実装する実装装置に用いられるフィーダを装着する装着部と、
前記フィーダでのテープの送り精度を検査する送り精度検査部と、前記フィーダでのテープを送る機構のトルク検査部と、前記フィーダでのテープのスプライシング部を検出する検出センサを検査するスプライシング検査部とのうち１以上を有する検査ユニットと、を備えたフィーダ保守装置と、
前記フィーダ保守装置と通信可能に接続された管理コンピュータと、を含むフィーダ保守システムの制御方法であって、
前記装着部に装着された前記フィーダから該フィーダの識別情報を取得する取得ステップと、
前記検査ユニットに前記フィーダの検査を実行させる検査ステップと、
前記検査ユニットにおける前記フィーダの検査結果を前記取得ステップで取得した前記フィーダの識別情報に対応づけて記憶し、前記検査結果をフィーダ毎にデータベースとして記憶する記憶ステップと、
を含むフィーダ保守システムの制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】フィーダ保守システムおよびフィーダ保守システムの制御方法
【手続補正書】
【提出日】令和3年4月26日(2021.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上方の半導体層と、
前記半導体層上方の窒化物絶縁層と、
前記窒化物絶縁層上方の第１の酸化物絶縁層と、
前記第１の酸化物絶縁層上方の金属酸化物層と、
前記金属酸化物層上方の第１の導電層、および第２の導電層と、
前記金属酸化物層、前記第１の導電層、および前記第２の導電層上方の第２の酸化物絶縁層と、
前記第２の酸化物絶縁層を介して前記金属酸化物層と重なる領域を有する第３の導電層と、を有し、
前記金属酸化物層は、前記第１の導電層及び前記第２の導電層と重畳しない領域に、前記第１の導電層及び前記第２の導電層と重畳する領域よりも膜厚が薄い領域を有し、
前記金属酸化物層は、第１の領域と、前記第１の領域上方の第２の領域と、を有し、
前記第１の領域、および前記第２の領域は少なくともインジウムを含み、
前記第１の領域は結晶構造を有する、半導体装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記半導体層は、多結晶シリコンを含む、半導体装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記半導体層の少なくとも一部は、トランジスタのチャネル形成領域として機能する、半導体装置。