(57)【要約】【課題】記録ヘッドの製造時の吐出口の加工精度のばらつきが発生しても、気泡が分断泡を形成しにくく、電気熱変換素子がキャビテーションによって劣化しにくい構成を有する記録ヘッドを提供することにある。【解決手段】記録ヘッドは、素子基板２と流路構成基板３とが接合された構成になっている。素子基板２は、熱エネルギを発生させる複数のエネルギ発生素子（電気熱変換素子１）と、液体を供給するための供給室６とを有している。流路構成基板３は、複数の吐出口４と、吐出口４とそれぞれ連通し、エネルギ発生素子を包含するように形成された発泡室９と、発泡室９と供給室６とを繋ぐ供給路５と、を有している。吐出口４が、平面的にみて、供給路５から発泡室９に向かって液体が流れる方向における上流側は半円形状１０に形成されており、下流側は半多角形状１１に形成されていることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱エネルギを発生させる複数のエネルギ発生素子を主面上に備え、液体を供給する供給室が形成されている素子基板と、
液滴を吐出する複数の吐出口と、前記エネルギ発生素子の直上にそれぞれ設けられ、前記吐出口とそれぞれ連通し、前記エネルギ発生素子を包含するように形成された発泡室と、平面的に延びて前記発泡室と前記供給室とを繋ぐ供給路と、を備えた流路構成基板と、を有し、
前記素子基板の主面上に前記流路構成基板が接合されており、前記吐出口は、平面的にみて、前記供給路から前記発泡室に向かって液体が流れる方向における上流側は半円形状に形成されており、下流側は半多角形状に形成されていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項２】
前記吐出口の中心から前記半多角形状のそれぞれの角までの距離は、前記吐出口の中心から前記半円形状までの距離より大きいことを特徴とする請求項１に記載の記録ヘッド。
【請求項３】
前記吐出口の中心は、平面的にみて、前記発泡室の中心よりも、前記供給路から前記発泡室に向かって液体が流れる方向の下流側に位置していることを特徴とする請求項１または２に記載の記録ヘッド。
【請求項４】
熱エネルギを発生させる複数のエネルギ発生素子を主面上に備え、液体を供給する供給室が形成されている素子基板と、
液滴を吐出する複数の吐出口と、前記エネルギ発生素子の直上にそれぞれ設けられ、前記吐出口とそれぞれ連通し、前記エネルギ発生素子を包含するように形成された発泡室と、前記吐出口と前記発泡室とを繋ぐ吐出流路と、平面的に延びて前記発泡室と前記供給室とを繋ぐ供給路と、を備えた流路構成基板と、を有し、
前記素子基板の主面上に前記流路構成基板が接合されており、前記吐出流路は、平面的にみて、前記吐出口より大きく前記発泡室より小さい形状であり、前記供給路から前記発泡室に向かって液体が流れる方向における上流側は半円形状に形成されており、下流側は半多角形状に形成されていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項５】
前記吐出流路の中心から前記半多角形状のそれぞれの角までの距離は、前記吐出口の中心から前記半円形状までの距離より大きいことを特徴とする請求項４に記載の記録ヘッド。
【請求項６】
前記吐出流路の中心は、平面的にみて、前記発泡室の中心よりも、前記供給路から前記発泡室に向かって液体が流れる方向の下流側に位置していることを特徴とする請求項４または５に記載の記録ヘッド。
【請求項７】
前記半多角形状は、前記発泡室の半分の形状に相似であることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の記録ヘッド。
【請求項８】
前記半多角形状が有するそれぞれの内角の角度は、９０°以下であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の記録ヘッド。
【請求項９】
前記半多角形状は、それぞれの角から、該半多角形状と前記半円形状との境界部分との間に、所定の長さ以上の直線部を有することを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の記録ヘッド。
【請求項１０】
前記直線部の長さが４μｍ以上であることを特徴とする請求項９に記載の記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出させて記録媒体に記録を行う記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に利用されているインクジェット記録装置の記録ヘッドのインク吐出方法として、電気熱変換素子を用いて吐出する方法がある。これは、電気熱変換素子の熱エネルギによる膜沸騰を利用し、発泡室内のインクをインク滴として吐出口から素子基板の主面に対してほぼ直交する方向に飛翔させる方法である。通常の記録ヘッドでは、発泡室と、電気熱変換素子と、吐出口との中心位置が、平面的にみて同じ位置になるように形成されている。
【０００３】
このインク吐出方法を用いると、電気熱変換素子上で熱エネルギを受けて発生した気泡が成長してインクを吐出させた後に、電気熱変換素子及びその周囲に存在するインクの熱エネルギが周囲に拡散することによって気泡の体積が減少していく。同時にインク吐出後の吐出口内にメニスカスを有する液面が形成され、この液面が発泡室内に下がってきて気泡を圧縮する。これにより大きな気泡が分断されて小さな分断泡を形成してしまい、この分断泡が崩壊する際に気泡の周囲に損傷を与えることがわかっている。即ち、電気熱変換素子の駆動に伴ってキャビテーションが発生し、その影響で電気熱変換素子の表面が損傷させられることがある。
【０００４】
このようなキャビテーションの対策として、吐出口の中心の位置が、発泡室の中心の位置より、供給路（インク流路）から発泡室にインクが流れる方向の下流側に配置された構成を有する記録ヘッドが、特許文献１に開示されている。吐出口の中心が、発泡室の中心より下流側に配置されていることで、発泡室の下流側の壁部と吐出口の下流側の内周縁部との間の距離が近くスペースが小さくなるため、インク吐出後に気泡がメニスカスを有する液面によって分断されにくくなる。これに伴って分断泡が形成されにくくなり、キャビテーションの発生が抑制されている。そのため、電気熱変換素子の表面が損傷させられにくくなり、記録ヘッド自体の耐久性が向上している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２３８４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、記録ヘッドの吐出口は一般的に露光によるパターニングによって形成されるため、製造時のアライメントのずれによって所定の位置に吐出口が形成されないことがある。そのため、特許文献１に開示された発明の構成であっても、吐出口が形成される位置がずれてその中心が発泡室の中心位置付近に移動してしまうと、前述したように、インク吐出後に気泡がメニスカスを有する液面に分断されて、分断泡が形成されてしまう。分断泡が形成されてしまうと、分断泡の崩壊時に電気熱変換素子の表面が損傷させられてしまう。
【０００７】
そこで本発明の目的は、前記した問題を解決して、記録ヘッドの製造時の吐出口の加工精度のばらつきが発生しても、分断泡が形成されにくく、電気熱変換素子がキャビテーションによって劣化しにくい構成を有する記録ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記した目的を達成するために、本発明の記録ヘッドは、熱エネルギを発生させる複数のエネルギ発生素子を主面上に備え、液体を供給する供給室が形成されている素子基板と、液滴を吐出する複数の吐出口と、エネルギ発生素子の直上にそれぞれ設けられ、吐出口とそれぞれ連通し、エネルギ発生素子を包含するように形成された発泡室と、平面的に延びて発泡室と供給室とを繋ぐ供給路と、を備えた流路構成基板と、を有し、素子基板の主面上に流路構成基板が接合されており、吐出口は、平面的にみて、供給路から発泡室に向かって液体が流れる方向における上流側は半円形状に形成されており、下流側は半多角形状に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、供給路から発泡室に向かって液体が流れる方向にみて、吐出口の下流側が半多角形状に形成されていることによって、平面的にみて、発泡室の壁部と吐出口の下流側の半多角形状の内周縁部との間の距離が近くなる。この距離が近くなることによって、インク吐出後にメニスカスを有する液面が気泡を圧縮させたときに、発泡室の壁部と吐出口の内周縁部との間に、分断泡が形成されるのに十分なスペースがなくなるため、インクを吐出した後に分断泡が形成されにくくなる。分断泡が形成されにくくなることでキャビテーションの発生が抑えられるため、電気熱変換素子の表面が損傷させられにくくなり、結果として記録ヘッド自体の耐久性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の記録ヘッドの一部を切り欠いた状態を示す斜視図である。
【図２】（ａ）は本発明の第１の実施形態の記録ヘッドの吐出口、発泡室、電気熱変換素子、供給路の位置関係を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図３】第１の実施形態の記録ヘッドの第１の変形例の吐出口、発泡室、電気熱変換素子、供給路の位置関係を示す平面図である。
【図４】第１の実施形態の記録ヘッドの第２の変形例の吐出口、発泡室、電気熱変換素子、供給路の位置関係を示す平面図である。
【図５】（ａ１）〜（ａ４）は第１の実施形態の記録ヘッドにおいて液面が気泡を圧縮する工程を示した断面図、（ｂ１）、（ｂ２）は（ａ３）、（ａ４）のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】（ａ１）〜（ａ４）は従来の記録ヘッドにおいて液面が気泡を圧縮する工程を示した断面図、（ｂ１）は（ａ３）のＣ−Ｃ断面図、（ｂ２）、（ｂ３）は（ａ４）の一例を示すＣ−Ｃ断面図である。
【図７】（ａ）は本発明の第２の実施形態の記録ヘッドの吐出口、吐出流路、発泡室、電気熱変換素子、供給路の位置関係を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。
【図８】第２の実施形態の記録ヘッドの第１の変形例の吐出口、発泡室、電気熱変換素子、供給路の位置関係を示す平面図である。
【図９】第２の実施形態の記録ヘッドの第２の変形例の吐出口、発泡室、電気熱変換素子、供給路の位置関係を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１２】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態の記録ヘッドを一部切り欠いた状態を示す斜視図である。記録ヘッドは、素子基板２と、素子基板２の主面上に接合されている流路構成基板３との積層体から構成されている。
【００１３】
素子基板２は、ガラスやセラミックス、樹脂、金属等で形成されており、素子基板２の主面上には熱エネルギを発生させる複数の電気熱交換素子（エネルギ発生素子）１が配列されており、この電気熱変換素子１のサイズは２４．４μｍ×２４．８μｍである。素子基板２の主面にはその他に、後述する供給路５にインクを供給するための供給室６と、それぞれの電気熱変換素子１に対して電圧を印加する不図示の電極と、この電極に接続された不図示の配線とがそれぞれ設けられている。さらには、蓄積した熱を発散させやすくする不図示の絶縁膜が電気熱変換素子１を被覆しており、分断泡が消泡した際に生じるキャビテーションから電気熱変換素子１を保護するための不図示の保護膜が絶縁膜を被覆している。
【００１４】
流路構成基板３は、図２（ａ）に示すように、インクを吐出するための複数の吐出口４が配列されることによって形成される第一の吐出口列７及び第二の吐出口列８と、電気熱変換素子１を包含する発泡室９と、インクを発泡室９に流す供給路５とを有している。複数の吐出口４は、発泡室９にそれぞれ連通しており、発泡室９に設けられているそれぞれの電気熱変換素子１の直上に位置するように形成されている。発泡室９は、平面的にみて、供給路５より広い幅を有しており、略矩形状に形成されている。図２（ａ）と（ｂ）に示すように、供給路５は、一方の端部は供給室６に連通しており、もう一方の端部は発泡室９に連通するように構成され、供給路５は、供給室６から発泡室９に亘って幅がほぼ等しい直線状で、平面的に延びるように形成されている。吐出口４と供給路５とは、角度を持って交わる（本実施形態では直交する）ように構成されている。
【００１５】
吐出口４は、平面的にみて、供給路５から発泡室９にインクが流れる方向において、上流側と下流側で異なる形状を有している。上流側は半円形状１０であり、下流側は半多角形状１１である。本実施形態において、上流側の半円形状１０は、真円または楕円の一部で構成され、下流側の半多角形状１１は、角が二つある半矩形であり、それぞれの内角の角度は９０°で、発泡室９の半分の形状に相似である。このそれぞれの角度は、９０°を超えてしまうと分断泡が形成されやすくなってしまうため、半多角形状１１のそれぞれの内角の角度は９０°が最適である。但し、図３に示す変形例のように、９０°以下の角度であればよく、例えば６０°でも分断泡が形成されにくいことが分かっている。吐出口４の中心から半多角形状１１のそれぞれの角までの距離ｒ１、ｒ２は、吐出口４の中心から半円形状１０の最上流の内周縁部までの距離ｒ３よりも長くなるように形成されている。
【００１６】
仮に、従来技術のように、吐出口４が円形状に形成されていた場合は、吐出口４の内周縁部と発泡室９の壁部との間の間隔が広くなる。特に、ほぼ矩形の発泡室９の下流側の二つの角と吐出口４の内周縁部との間に広いスペースが形成されてしまう。そのため、インク吐出後に、メニスカスを有する液面が気泡を圧縮させたときに、吐出口４の内周縁部と発泡室９の壁部との間のスペースに分断泡が形成されやすくなる。
【００１７】
本実施形態において、吐出口４は、発泡室９の中心より、供給路５から発泡室９にインクが流れる方向の下流側に中心が位置するように設置されることが好ましい。このように吐出口４の中心が下流側に位置する構成にすることで、発泡室９の下流側の壁部と吐出口４の下流側の半多角形状１１との距離が近くなるために発泡室９の壁部と吐出口４の内周縁部との間のスペースが小さくなる。そのため、メニスカスを有する液面が気泡を圧縮した際に、気泡が分断されずに、分断泡が形成されにくくなる。
【００１８】
場合によっては、記録ヘッドの吐出口４を製造する際のアライメントのずれによって、吐出口４が、発泡室９の中心より下流側に中心が位置するように形成されずに、発泡室９の中心近傍に形成されてしまうことがある。このような場合においても、吐出口４の下流側が半多角形状１１であることで発泡室９の壁部と吐出口４の内周縁部との間隔が大きく離れず、分断泡が形成されるほどの大きなスペースがないため、インクを吐出した後に分断泡が発泡室９内に形成されにくくなる。従って、記録ヘッドの製造時における吐出口４の加工精度のばらつきによって吐出口４が所定の位置に形成されなくとも、分断泡が発泡室９内で形成されにくいため、キャビテーションによって電気熱変換素子１の表面が損傷させられにくくなる。この結果として、記録ヘッド自体の耐久性が向上する。
【００１９】
仮に、吐出口４全体が矩形形状であったとしても、分断泡は形成されにくくなる。しかしながら、吐出口４が矩形である場合にインクを吐出すると、流路構成基板３に対して垂直な方向に、吐出口４から真っ直ぐインクが吐出されず、垂直な方向から傾いた方向に吐出されてしまうことがわかっている。そのため、記録媒体の所定の位置にインクが着弾せずに、形成される画像の品位が低下してしまうおそれがある。従って、本実施形態では吐出口４の形状は、上流側が半円形状１０であり、下流側が半多角形状１１であるように構成されている。尚、上流側が半円形状１０である場合においては、流路構成基板３に対して垂直な方向に、吐出口４から真っ直ぐインクが吐出するため、記録媒体の所定の位置にインクが着弾し、品位の高い画像が形成される。
【００２０】
吐出口４の半多角形状１１には、直線部１２が設けられている。この直線部１２は、半多角形状１１のそれぞれの角と、半円形状１０と半多角形状１１との境界部分との間に形成されており、長さは４μｍ以上である。仮に直線部１２の長さが４μｍ以下である場合には、吐出口４からインクを吐出した後に、メニスカスを有する液面が気泡を圧縮する際に分断泡が形成されやすくなる。そのため、直線部１２の長さは４μｍ以上であることが好ましい。
【００２１】
また、図４に示すように、吐出口４の下流側の半多角形状１１の角同士の間に、吐出口４の内周縁部から中心部に向かって突出している凸部１３が設けられていてもよい。この凸部１３が設けられていることで、分断泡が形成されにくいことがわかっている。また、吐出口４内の粘性抵抗が低くなるためインクが吐出しやすくなることでインクの吐出速度が速くなり、記録媒体への着弾の信頼性が向上する。
【００２２】
以下に記録ヘッドの吐出口４からインクの液滴を吐出した後に、メニスカスを有する液面が気泡を圧縮する工程を説明する。
【００２３】
一般的に、熱エネルギをインクに伝えてインクを吐出する方法では、記録ヘッドが受信した記録信号等に基づいて電気熱変換素子１へ通電し、電気熱変換素子１が発泡室９内に気泡を生成すると、気泡の体積が急激に膨張し、気泡自体が成長する。そして、気泡が形成されることによって発生する発泡圧によって、インクの液滴が吐出口４から吐出される。吐出口４からインクが吐出し終わると、気泡の体積が一度最大になり、その後に体積が減少していくと同時に、図５（ａ１）と図６（ａ１）に示すように、吐出口４の内部にメニスカスを有する液面が形成される。発泡室９及び供給路５内のインクは、インクが吐出されたことにより減少し、それに伴って吐出口４内のメニスカスを有する液面が吐出口４から電気熱変換素子１に向かって移動（下降）する。下降するメニスカスを有する液面が発泡室９内に入り込むと、下降してくる液面の縁部は吐出口４の内周縁部に沿って形成される。このときのメニスカスを有する液面の移動速度は気泡が収縮する速度よりも速いため、メニスカスを有する液面が、収縮している気泡に接触する。メニスカスを有する液面と気泡との接触位置は、平面的にみて、電気熱変換素子１の中心近傍である。
【００２４】
吐出口４から電気熱変換素子１に向かって移動するメニスカスを有する液面は、電気熱変換素子１の中心近傍で、吐出口４と電気熱変換素子１との間にあるインク及び気泡を電気熱変換素子１に向かって圧縮する。図５（ａ２）、（ｂ１）と図６（ａ２）、（ｂ１）に示すように、気泡がメニスカスを有する液面に圧縮されると気泡と液面との間に境界面が生じ、さらに液面による気泡の圧縮が進んで気泡の中心がへこみ、平面的にみて、気泡が瞬間的に環状になる。その後に境界面が消失し、気泡が吐出口４を介して大気と連通する。
【００２５】
吐出口４が電気熱変換素子１の中心に配置された従来技術においては、図６（ａ２）に示すように、メニスカスを有する液面が気泡を圧縮した際に、境界面と発泡室９の下流側の壁部との間に存在する空気の量が多くなっている。そのため、図６（ｂ１）、（ｂ２）に示すように、気泡が瞬間的に環状になった後に、平面的にみて、発泡室９内及び供給路５内で気泡が大気と連通すると共に、供給路５から発泡室９にインクが流れる方向の上流側と、下流側とに分断される。または、図６（ｂ３）に示すように、気泡が大気と連通すると共に、発泡室９の下流側の角部付近と、発泡室９の中心部付近とに分断される。
【００２６】
気泡から分断されて、下流側に残った分断泡は、次のインク吐出に備えて、供給室６から供給路５を介して発泡室９に液体が供給されると、インクの圧力によって崩壊する。分断泡が崩壊すると、分断泡が崩壊した場所の周囲に存在する電気熱変換素子１を損傷させてしまう。このように、インクを吐出するたびに分断泡が形成されて崩壊することで、電気熱変換素子１の表面が損傷してしまい、従来技術の記録ヘッド自体の耐久性が乏しかった。
【００２７】
本発明の実施形態においては、吐出口４の下流側が半多角形状１１であることと吐出口４の中心の位置が発泡室９の中心より下流側に位置されていることによって、吐出口４の下流側の半多角形状１１の内周縁部と発泡室９の壁部との距離が近い。これによって、発泡室９の壁部と吐出口４の内周縁部との間のスペースが小さくなり、境界面と発泡室９の下流側の壁部との間に存在する空気の量が少なくなる。そのため、図５（ｂ１）、（ｂ２）に示すように、気泡が環状になった後に、平面的にみて、発泡室９内で気泡が分断されない。従って、発泡室９内に分断泡が形成されにくくなり、次のインク吐出に備えて供給室６から供給路５を介して発泡室９に液体が供給されても、崩壊する分断泡がないために電気熱変換素子１の表面が損傷しにくい。この結果として、記録ヘッド自体の耐久性が向上する。
【００２８】
以上のようにして、記録ヘッドの吐出口４の上流側が半円形状１０に、下流側が半多角形状１１に構成されていることによって、繰り返しインクを吐出してもキャビテーションが発生しにくく、電気熱変換素子１の表面の損傷が抑制される。また、吐出口４の中心の位置が発泡室９の中心より下流側に位置されていることでも、吐出口４の下流側の半多角形状１１の内周縁部と発泡室９の壁部との距離が近くなるため、キャビテーションの発生がさらに抑制される。仮に、記録ヘッドの製造時に、加工精度のばらつきによって吐出口４の位置が、発泡室９と供給路５との連通部分側にずれて形成されても、吐出口４の下流側が半多角形状１１であることによって、発泡室９の壁部と吐出口４の内周縁部との間隔は大きく離れない。これによって、発泡室９の壁部と吐出口４の内周縁部との間に、分断泡が形成される十分なスペースがなくなるため、インクを吐出した後に分断泡が発泡室９内に形成されにくくなり、電気熱変換素子１の表面が損傷させられにくくなる。
【００２９】
このようにして、記録ヘッドは、繰り返しインクを吐出しても損傷しない耐久性を有するように構成される。
【００３０】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態においても、図１に示すように、記録ヘッドは、複数の電気熱変換素子１を備えた素子基板２と、素子基板２の主面上に接合され、第一の吐出口列７と第二の吐出口列８とを有している流路構成基板３との積層体から構成されている。
【００３１】
図７（ａ）、（ｂ）は、第２の実施形態の記録ヘッドにおける吐出口４と吐出流路２３と発泡室９と電気熱変換素子１と供給路５との位置関係を示す平面図と断面図である。
【００３２】
流路構成基板３は、吐出口列を形成し、インクを吐出するための吐出口４と、電気熱変換素子１を包含する発泡室９と、吐出口４と発泡室９との間に設けられた吐出流路２３と、インクを発泡室９に流す供給路５とを有している。吐出流路２３とは、発泡室９から吐出口４へインクを供給するためのスペースで、吐出口４から発泡室９に向かって吐出口４より広い幅を有して吐出流路２３が延びている。吐出口４は、発泡室９に吐出流路２３を介して連通しており、発泡室９に設けられている電気熱変換素子１の直上に位置するように円形状に形成されている。発泡室９は、平面的にみて、供給路５より広い幅を有しており、略矩形状に形成されている。供給路５は、一方の端部は供給室６に連通しており、もう一方の端部は発泡室９に連通するように構成され、供給路５は、供給室６から発泡室９に亘って幅がほぼ等しい直線状で、平面的に延びるように形成されている。吐出口４及び吐出流路２３は、供給路５と角度を持って交わる（本実施形態では直交する）ように構成されている。
【００３３】
吐出流路２３は、平面的にみて、供給路５から発泡室９にインクが流れる方向において、上流側と下流側で異なる形状を有している。上流側は半円形状２０であり、下流側は半多角形状２１である。本実施形態において、上流側の半円形状２０は、真円または楕円の一部で構成され、下流側の半多角形状２１は、角が二つある半矩形であり、それぞれの内角の角度は９０°で、発泡室９の半分の形状に相似である。このそれぞれの角度は、９０°を超えてしまうと分断泡が形成されやすくなってしまうため、半多角形状２１のそれぞれの内角の角度は９０°が最適である。但し、図８に示す変形例のように、９０°を超えない角度であればよく、例えば６０°でも分断泡が形成されにくいことが分かっている。吐出流路２３の中心から半多角形状２１のそれぞれの角までの距離ｒ１、ｒ２は、吐出流路２３の中心から半円形状２０の最上流の内周縁部までの距離ｒ３よりも長くなるように形成されている。
【００３４】
吐出流路２３の半多角形状２１には、直線部２２が設けられている。この直線部２２は、半多角形状２１のそれぞれの角と、半円形状２０と半多角形状２１との境界部分との間に形成されており、長さは４μｍ以上である。
【００３５】
また、図９に示すように、吐出流路２３の下流側の半多角形状２１の角同士の間に、吐出流路２３の内周縁部から中心部に向かって突出している凸部２４を吐出流路２３が有していてもよい。この凸部２４が設けられていることで、分断泡が形成されにくいことがわかっている。また、吐出流路２３内の粘性抵抗が低くなるためインクが吐出しやすくなることでインクの吐出速度が速くなり、記録媒体への着弾の信頼性が向上する。
【００３６】
その他の構成については、第１の実施形態と同様であるため省略する。また、記録ヘッドの吐出口４からインクを吐出した後に、メニスカスを有する液面が気泡を圧縮する工程についても第１の実施形態と同様であるため省略する。
【００３７】
以上のようにして、記録ヘッドの吐出流路２３の上流側が半円形状２０に、下流側が半多角形状２１に構成されていることによって、吐出流路２３の下流側の半多角形状２１の内周縁部と発泡室９の壁部との距離が近くなる。これによって、発泡室９の壁部と吐出口４の内周縁部との間に、分断泡が形成される十分なスペースがなくなるため、インクを吐出した後に分断泡が発泡室９内に形成されにくくなる。分断泡が形成されにくくなるため、吐出口４が繰り返しインクを吐出してもキャビテーションが発生しにくく、電気熱変換素子１の表面の損傷が抑制される。
このようにして、記録ヘッドは、繰り返しインクを吐出しても損傷しない耐久性を有するように構成される。
【符号の説明】
【００３８】
１              電気熱変換素子
２              素子基板
３              流路構成基板
４              吐出口
５              供給路
６              供給室
７              第一の吐出口列
８              第二の吐出口列
９              発泡室
１０            半円形状
１１            半多角形状
１２            直線部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2014124917.tif 000006
【図５】
2014124917.tif 000007
【図６】
2014124917.tif 000008
【図７】
2014124917.tif 000009
【図８】
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【図９】
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