【手続補正書】
【提出日】令和3年1月27日(2021.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクに形成されたパターンを基板上に露光する露光装置で用いられる、前記マスクを保持するマスク保持装置であって、
前記マスク上の所定方向に離れて前記マスクの支持面を支持する複数の支持部と、
前記支持面とは異なる前記マスクの保持面を保持する保持部と、を含み、
前記複数の支持部は、前記マスクの自重により重力方向に撓み、所定の撓み形状となった前記マスクを支持し、
前記保持部は、前記複数の支持部の支持によって前記所定の撓み形状となった前記マスクを保持する、
マスク保持装置。
【請求項２】
前記保持部は、前記所定方向と重力方向とに交差する方向から前記マスクを保持する、
請求項１に記載のマスク保持装置。
【請求項３】
前記保持部は、前記保持面を押圧して保持する、
請求項１又は請求項２に記載のマスク保持装置。
【請求項４】
前記保持部は、
前記保持面である第１面と接触する第１部材と、
前記第１面とは異なる前記保持面である第２面と接触して前記マスクを保持する第２部材と、
を備える、
請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載のマスク保持装置。
【請求項５】
前記第１部材と前記第２部材は、前記所定方向と重力方向とに交差する方向に関して互いに離れて配置される、
請求項４に記載のマスク保持装置。
【請求項６】
前記保持部は、前記第１面に前記第１部材を押圧させ、前記第２面に前記第２部材を接触させて前記マスクを保持する、
請求項４又は請求項５に記載のマスク保持装置。
【請求項７】
前記保持部は、前記第２面に対して前記第２部材を押圧して前記マスクを保持する、
請求項６に記載のマスク保持装置。
【請求項８】
前記保持部は、前記第１部材によって前記第１面を引っ張り、前記第２部材によって前記第２面を引っ張って前記マスクを保持する、
請求項４又は請求項５に記載のマスク保持装置。
【請求項９】
前記所定方向と重力方向とに交差する方向は、露光中に前記マスクが移動される走査方向である、
請求項１から請求項８のうちいずれか一項に記載のマスク保持装置。
【請求項１０】
前記保持部は、
前記保持面を保持する吸着部と、
前記吸着部を駆動させる駆動部と、
を含み、
前記駆動部は、前記吸着部を駆動させることにより前記吸着部を前記保持面に吸着させて、前記マスクを保持する、
請求項１に記載のマスク保持装置。
【請求項１１】
前記保持部は、前記マスクの上面を保持する、
請求項１０に記載のマスク保持装置。
【請求項１２】
前記保持部は、前記マスクの側面を保持する、
請求項１０に記載のマスク保持装置。
【請求項１３】
前記支持部は、前記支持部を前記所定方向と、前記所定方向と重力方向とに交差する方向とがなす面に対して傾斜させて前記マスクを支持する、
請求項１から請求項１２のうちいずれか一項に記載のマスク保持装置。
【請求項１４】
前記支持部は、前記支持面に前記支持部を点接触させて前記マスクを支持する、
請求項１から請求項１２のうちいずれか一項に記載のマスク保持装置。
【請求項１５】
前記支持部は、前記支持面に前記支持部を線接触させて前記マスクを支持する、
請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載のマスク保持装置。
【請求項１６】
請求項１から請求項１５のうちいずれか一項に記載のマスク保持装置と、
前記マスク保持装置に保持された前記マスクを介してエネルギビームで前記基板を露光する露光動作によって、前記マスクが有するパターンを前記基板に形成するパターン形成装置と、
を備える露光装置。
【請求項１７】
前記マスクと前記基板との間に設けられ、前記パターンを前記基板上に結像させる投影光学系をさらに備え、
前記投影光学系は、前記マスクの前記所定の撓み形状に応じて、結像条件が調整可能である、
請求項１６に記載の露光装置。
【請求項１８】
前記投影光学系は、前記パターン形成装置により、前記基板に設けられた複数の露光領域に前記パターンを形成する場合、前記複数の露光領域毎に結像条件が調整可能である、
請求項１７に記載の露光装置。
【請求項１９】
前記基板は、フラットパネルディスプレイに用いられる露光基板である、
請求項１６から請求項１８のうちいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２０】
前記露光基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が５００ｍｍ以上である、
請求項１９に記載の露光装置。
【請求項２１】
マスクに形成されたパターンを基板上に露光する露光装置で用いられる、前記マスクを保持するマスク保持方法であって、
前記マスク上の所定方向に離れて前記マスクの支持面を複数の支持部を用いて支持することと、
前記複数の支持部によって支持された前記マスクを、前記マスクの前記支持面とは異なる前記マスクの保持面を保持部によって保持することと、を含み、
前記支持することでは、前記マスクの自重により重力方向に撓み、所定の撓み形状となった前記マスクを支持し、
前記保持することでは、前記複数の支持部の支持によって前記所定の撓み形状となった前記マスクを保持する、
マスク保持方法。
【請求項２２】
前記保持することでは、前記所定方向と重力方向とに交差する方向から前記保持部を用いて前記マスクを保持する、
請求項２１に記載のマスク保持方法。
【請求項２３】
前記保持することでは、前記保持面に対して前記保持部を押圧して保持する、
請求項２１又は請求項２２に記載のマスク保持方法。
【請求項２４】
前記保持することでは、前記保持面である第１面と接触する第１部材と、前記第１面とは異なる前記保持面である第２面と接触して前記マスクを保持する第２部材とを備える保持部を用いて前記マスクを保持する、
請求項２１から請求項２３のうちいずれか一項に記載のマスク保持方法。
【請求項２５】
前記保持することでは、前記第１部材と前記第２部材は、前記所定方向と重力方向とに交差する方向に関して互いに離れて配置され、前記第１部材と前記第２部材とを用いて前記マスクを保持する、
請求項２４に記載のマスク保持方法。
【請求項２６】
前記保持することでは、前記第１面に前記第１部材を押圧させ、前記第２面に前記第２部材を接触させて前記マスクを保持する、
請求項２４又は請求項２５に記載のマスク保持方法。
【請求項２７】
前記保持することでは、前記第２面に対して前記第２部材を押圧して前記マスクを保持する、
請求項２６に記載のマスク保持方法。
【請求項２８】
前記保持することでは、前記第１部材によって前記第１面を引っ張り、前記第２部材によって前記第２面を引っ張って前記マスクを保持する、
請求項２４又は請求項２５に記載のマスク保持方法。
【請求項２９】
前記所定方向と重力方向とに交差する方向は、露光中に前記マスクが移動される走査方向である、
請求項２１から請求項２８のうちいずれか一項に記載のマスク保持方法。
【請求項３０】
前記保持することでは、前記保持部は、前記マスクの前記保持面を保持する吸着部と、前記吸着部を駆動させる駆動部とを含み、前記駆動部を用いて前記吸着部を駆動させることにより前記吸着部を前記保持面に吸着させて、前記マスクを保持する、
請求項２１に記載のマスク保持方法。
【請求項３１】
前記保持することでは、前記保持部によって前記マスクの上面を保持する、
請求項３０に記載のマスク保持方法。
【請求項３２】
前記保持することでは、前記保持部によって前記マスクの側面を保持する、
請求項３０に記載のマスク保持方法。
【請求項３３】
前記支持することでは、前記支持部を前記所定方向と、前記所定方向と重力方向とに交差する方向とがなす面に対して傾斜させて前記マスクを支持する、
請求項２１から請求項３２のうちいずれか一項に記載のマスク保持方法。
【請求項３４】
請求項２１から請求項３３のうちいずれか一項に記載のマスク保持方法と、
前記マスク保持方法により保持された前記マスクを介してエネルギビームで前記基板を露光する露光動作によって、前記マスクが有するパターンを前記基板に形成することと、
を含む露光方法。
【請求項３５】
前記形成することでは、前記マスクと前記基板との間に設けられた投影光学系を介して前記パターンを前記基板上に結像させ、
前記投影光学系は、前記マスクの前記所定の撓み形状に応じて、結像条件が調整可能である、
請求項３４に記載の露光方法。
【請求項３６】
前記形成することでは、前記基板に設けられた複数の露光領域に前記パターンを形成し、
前記投影光学系は、前記複数の露光領域毎に結像条件が調整する、
請求項３５に記載の露光方法。
【請求項３７】
前記基板は、フラットパネルディスプレイに用いられる露光基板である、
請求項３４から請求項３６のうちいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項３８】
前記露光基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が５００ｍｍ以上である、
請求項３７に記載の露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】マスク保持装置、露光装置、マスク保持方法、及び露光方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、マスク保持装置、露光装置、マスク保持方法、及び露光方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、上述の事情の下でなされたもので、第１の態様によれば、マスクに形成されたパターンを基板上に露光する露光装置で用いられる、前記マスクを保持するマスク保持装置であって、前記マスク上の所定方向に離れて前記マスクの支持面を支持する複数の支持部と、前記支持面とは異なる前記マスクの保持面を保持する保持部と、を含み、前記複数の支持部は、前記マスクの自重により重力方向に撓み、所定の撓み形状となった前記マスクを支持し、前記保持部は、前記複数の支持部の支持によって前記所定の撓み形状となった前記マスクを保持する、マスク保持装置が提供される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
第２の態様によれば、マスク保持装置と、前記マスク保持装置に保持された前記マスクを介してエネルギビームで前記基板を露光する露光動作によって、前記マスクが有するパターンを前記基板に形成するパターン形成装置と、を備える露光装置が提供される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
第３の態様によれば、マスクに形成されたパターンを基板上に露光する露光装置で用いられる、前記マスクを保持するマスク保持方法であって、前記マスク上の所定方向に離れて前記マスクの支持面を複数の支持部を用いて支持することと、前記複数の支持部によって支持された前記マスクを、前記マスクの前記支持面とは異なる前記マスクの保持面を保持部によって保持することと、を含み、前記支持することでは、前記マスクの自重により重力方向に撓み、所定の撓み形状となった前記マスクを支持し、前記保持することでは、前記複数の支持部の支持によって前記所定の撓み形状となった前記マスクを保持する、マスク保持方法が提供される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
第４の態様によれば、マスク保持方法と、前記マスク保持方法により保持された前記マスクを介してエネルギビームで前記基板を露光する露光動作によって、前記マスクが有するパターンを前記基板に形成することと、を含む露光方法が提供される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】