【手続補正書】
【提出日】令和3年6月1日(2021.6.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
活性光線又は放射線の照射により酸を発生する酸発生剤（Ａ）と、室温で固体である含硫黄化合物（Ｃ）と、ハンセン溶解度パラメータの極性項δｐが１０（ＭＰａ０．５）以上である溶剤（Ｓ１）と、前記溶剤（Ｓ１）とは異なる溶剤（Ｓ２）とを含有する化学増幅型感光性組成物の製造方法であって、
前記含硫黄化合物（Ｃ）を前記溶剤（Ｓ１）に溶解して含硫黄化合物（Ｃ）溶液を調製する工程、及び、
前記含硫黄化合物（Ｃ）溶液と、前記酸発生剤（Ａ）と、前記溶剤（Ｓ２）とを混合する工程を有する、化学増幅型感光性組成物の製造方法。
【請求項２】
含硫黄化合物（Ｃ）が、下記式（ｃ１−１）又は（ｃ１−２）で表される化合物及びその互変異性体並びに下記式（ｃ２）で表される化合物から選択される少なくとも１種を含む、請求項１に記載の化学増幅型感光性組成物の製造方法。
【化１】
2021076784.tif 000001
（式（ｃ１−１）及び（ｃ１−２）中、
環Ａは、環構成原子数が４以上８以下である単環であるか、又は環構成原子数が５以上２０以下である多環であり、
Ｘ１ｃは、−ＣＲ１１ｃＲ１２ｃ−、−ＮＲ１３ｃ−、−Ｏ−、−Ｓ−、−Ｓｅ−、−Ｔｅ−、＝ＣＲ１４ｃ−、又は＝Ｎ−であり、
Ｘ２ｃは、−ＣＲ１１ｃ＝、又は−Ｎ＝であり、
Ｒ１１ｃ、Ｒ１２ｃ、Ｒ１３ｃ、及びＲ１４ｃは、それぞれ独立に、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数１以上８以下のアルキル基、置換基を有してもよい炭素原子数１以上８以下のアルケニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１以上８以下のアルキニル基、置換基を有してもよい炭素原子数４以上２０以下の芳香族基、又はカルボキシ基である。）
【化２】
2021076784.tif 000002
（式（ｃ２）中、
Ｙ１ｃ及びＹ２ｃは、それぞれ独立に、窒素原子又は炭素原子であり、
Ｒ２１ｃ及びＲ２２ｃは、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１以上１０以下の脂肪族炭化水素基、炭素原子数６以上１４以下の芳香族炭化水素基、炭素原子数３以上１８以下の脂環式炭化水素基であり、
Ｒ２３ｃは、水素原子、炭素原子数１以上１０以下の脂肪族炭化水素基、炭素原子数６以上１４以下の芳香族炭化水素基、炭素原子数３以上１８以下の脂環式炭化水素基、−ＳＲ２４ｃ又は−ＮＲ２５ｃＲ２６ｃであり、
Ｒ２４ｃ、Ｒ２５ｃ及びＲ２６ｃは、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１以上１０以下の脂肪族炭化水素基、炭素原子数３以上１０以下の脂環式炭化水素基、炭素原子数６以上１４以下の芳香族炭化水素基又は炭素原子数１以上１２以下のアシル基であり、Ｒ２５ｃ及びＲ２６ｃにおける、脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びアシル基の水素原子は、ヒドロキシ基に置き換わっていてもよく、
ｎ及びｍは、それぞれ独立に、０又は１であり、Ｙ１ｃが窒素原子である場合、ｎは０であり、Ｙ１ｃが炭素原子である場合、ｎは１であり、Ｙ２ｃが窒素原子である場合、ｍは０であり、Ｙ２ｃが炭素原子である場合、ｍは１である。）
【請求項３】
前記（ｃ１−１）中、Ｘ１ｃは−ＮＲ１３ｃ−又は＝Ｎ−であり、前記式（ｃ２）中、Ｙ１ｃ及びＹ２ｃは窒素原子である、請求項２に記載の化学増幅型感光性組成物の製造方法。
【請求項４】
前記溶剤（Ｓ１）が、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルホキシド又はＮ−メチル−２−ピロリドンである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の化学増幅型感光性組成物の製造方法。
【請求項５】
前記化学増幅型感光性組成物がポジ型である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の化学増幅型感光性組成物の製造方法。
【請求項６】
前記化学増幅型感光性組成物が酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂（Ｂ）を含有する、請求項５に記載の化学増幅型感光性組成物の製造方法。
【請求項７】
前記化学増幅型感光性組成物がさらにアルカリ可溶性樹脂（Ｄ）を含有する、請求項５又は６に記載の化学増幅型感光性組成物の製造方法。
【請求項８】
前記アルカリ可溶性樹脂（Ｄ）が、ノボラック樹脂（Ｄ１）、ポリヒドロキシスチレン樹脂（Ｄ２）、及びアクリル樹脂（Ｄ３）からなる群より選択される少なくとも１種の樹脂を含む、請求項７に記載の化学増幅型感光性組成物の製造方法。
【請求項９】
活性光線又は放射線の照射により酸を発生する酸発生剤（Ａ）と、金属に対して配位し得る硫黄原子を含み、室温で固体である含硫黄化合物（Ｃ）と、ハンセン溶解度パラメータの極性項δｐが１０（ＭＰａ０．５）以上である溶剤（Ｓ１）と、前記溶剤（Ｓ１）とは異なる溶剤（Ｓ２）とを含有し、
前記溶剤（Ｓ１）の含有量が、前記溶剤（Ｓ１）の質量と前記溶剤（Ｓ２）の質量との合計に対して０質量％超５質量％未満である、化学増幅型感光性組成物。
【請求項１０】
含硫黄化合物（Ｃ）が、下記式（ｃ１−１）又は（ｃ１−２）で表される化合物及びその互変異性体並びに下記式（ｃ２）で表される化合物から選択される少なくとも１種を含む、請求項９に記載の化学増幅型感光性組成物。
【化３】
2021076784.tif 000003
（式（ｃ１−１）及び（ｃ１−２）中、
環Ａは、環構成原子数が４以上８以下である単環であるか、又は環構成原子数が５以上２０以下である多環であり、
Ｘ１ｃは、−ＣＲ１１ｃＲ１２ｃ−、−ＮＲ１３ｃ−、−Ｏ−、−Ｓ−、−Ｓｅ−、−Ｔｅ−、＝ＣＲ１４ｃ−、又は＝Ｎ−であり、
Ｘ２ｃは、−ＣＲ１１ｃ＝、又は−Ｎ＝であり、
Ｒ１１ｃ、Ｒ１２ｃ、Ｒ１３ｃ、及びＲ１４ｃは、それぞれ独立に、水素原子、置換基を有してもよい炭素原子数１以上８以下のアルキル基、置換基を有してもよい炭素原子数１以上８以下のアルケニル基、置換基を有してもよい炭素原子数１以上８以下のアルキニル基、置換基を有してもよい炭素原子数４以上２０以下の芳香族基、又はカルボキシ基である。）
【化４】
2021076784.tif 000004
（式（ｃ２）中、
Ｙ１ｃ及びＹ２ｃは、それぞれ独立に、窒素原子又は炭素原子であり、
Ｒ２１ｃ及びＲ２２ｃは、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１以上１０以下の脂肪族炭化水素基、炭素原子数６以上１４以下の芳香族炭化水素基、炭素原子数３以上１８以下の脂環式炭化水素基であり、
Ｒ２３ｃは、水素原子、炭素原子数１以上１０以下の脂肪族炭化水素基、炭素原子数６以上１４以下の芳香族炭化水素基、炭素原子数３以上１８以下の脂環式炭化水素基、−ＳＲ２４ｃ又は−ＮＲ２５ｃＲ２６ｃであり、
Ｒ２４ｃ、Ｒ２５ｃ及びＲ２６ｃは、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数１以上１０以下の脂肪族炭化水素基、炭素原子数３以上１０以下の脂環式炭化水素基、炭素原子数６以上１４以下の芳香族炭化水素基又は炭素原子数１以上１２以下のアシル基であり、Ｒ２５ｃ及びＲ２６ｃにおける、脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びアシル基の水素原子は、ヒドロキシ基に置き換わっていてもよく、
ｎ及びｍは、それぞれ独立に、０又は１であり、Ｙ１ｃが窒素原子である場合、ｎは０であり、Ｙ１ｃが炭素原子である場合、ｎは１であり、Ｙ２ｃが窒素原子である場合、ｍは０であり、Ｙ２ｃが炭素原子である場合、ｍは１である。）
【請求項１１】
前記（ｃ１−１）中、Ｘ１ｃは−ＮＲ１３ｃ−又は＝Ｎ−であり、前記式（ｃ２）中、Ｙ１ｃ及びＹ２ｃは窒素原子である、請求項１０に記載の化学増幅型感光性組成物。
【請求項１２】
前記溶剤（Ｓ１）が、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルホキシド又はＮ−メチル−２−ピロリドンである、請求項９〜１１のいずれか１項に記載の化学増幅型感光性組成物。
【請求項１３】
ポジ型である、請求項９〜１２のいずれか１項に記載の化学増幅型感光性組成物。
【請求項１４】
酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂（Ｂ）を含有する、請求項１３に記載の化学増幅型感光性組成物。
【請求項１５】
さらに、アルカリ可溶性樹脂（Ｄ）を含有する、請求項１３又は１４に記載の化学増幅型感光性組成物。
【請求項１６】
前記アルカリ可溶性樹脂（Ｄ）が、ノボラック樹脂（Ｄ１）、ポリヒドロキシスチレン樹脂（Ｄ２）、及びアクリル樹脂（Ｄ３）からなる群より選択される少なくとも１種の樹脂を含む、請求項１５に記載の化学増幅型感光性組成物。
【請求項１７】
基材フィルム上に、請求項９〜１６のいずれか１項に記載の化学増幅型感光性組成物を塗布して感光性層を形成することを含む、感光性ドライフィルムの製造方法。
【請求項１８】
基板上に、請求項９〜１６のいずれか１項に記載の化学増幅型感光性組成物からなる感光性層を積層する積層工程と、
前記感光性層に、位置選択的に活性光線又は放射線を照射して露光する露光工程と、
露光後の前記感光性層を現像する現像工程と、を含む、パターン化されたレジスト膜の製造方法。
【請求項１９】
前記基板が、金属表面を有する基板である、請求項１８に記載のパターン化されたレジスト膜の製造方法。