Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】令和3年3月22日(2021.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
正面視にて前方に向けて光を出射する第１〜第３のセグメントに分割された発光エリアを有する車両用照明装置において、
前記発光エリアは、前方から後方に向かって順に重ねて配置され、光透過性を有する第１〜第３の面発光素子を含み、
前記第１のセグメントは、前記第１の面発光素子の面内に形成されると共に、点灯時に赤色が発光するブレーキランプに対応した機能を有し、
前記第２のセグメントは、前記第２の面発光素子の面内に形成されると共に、点灯時に前記第１セグメントより暗い赤色が発光するテールランプに対応した機能を有し、
前記第３のセグメントは、前記第３の面発光素子の面内に形成されると共に、点灯時に第１，２のセグメントより視感度の高いアンバー色が発光するターンランプに対応した機能を有しており、
同じ赤色に発光する前記第１のセグメントと前記第２のセグメントが前記発光エリアの正面視において一部重なるように前記第１の面発光素子と前記第２の面発光素子が配置され、
前記発光エリアの正面視において、前記第１、２のセグメントの発光色と異なる前記第３のセグメントは、当該第１，２のセグメントと重ならないように配置されていることを特徴とする車両用照明装置。
【請求項２】
前記発光エリアの正面視において前記第２のセグメントは、前記第１のセグメントの内側に位置し、当該第１，２のセグメントが互いに面内で重なり合っていることを特徴とする請求項１に記載の車両用照明装置。
【請求項３】
前記発光エリアは、前記第１〜第３の面発光素子の後方に第４の面発光素子がさらに重なって配置されており、
前記第４のセグメントは、前記第４の面発光素子の面内に形成されると共に、点灯時に第１〜３のセグメントより視感度の高い白色に発光するバックランプに対応した機能を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の車両用照明装置。
【請求項４】
前記第４のセグメントは、前記発光エリアの正面視において前記第３の面発光素子と一部重なるように配置されていることを特徴とする請求項３に記載の車両用照明装置。
【請求項５】
前記複数の面発光素子よりも後方側に、遮光板と、反射板と、表示体と、光源と、液晶素子とのうち少なくとも１つ以上の機能部品が配置されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の車両用照明装置。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか一項に記載の車両用照明装置を備える車両用灯具。
【請求項７】
請求項６に記載の車両用灯具を備える車両用灯具付きウィンドウパネル。
【請求項８】
請求項１〜５の何れか一項に記載の車両用照明装置を備える車載ディスプレイ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
〔１〕  正面視にて前方に向けて光を出射する第１〜第３のセグメントに分割された発光エリアを有する車両用照明装置において、
前記発光エリアは、前方から後方に向かって順に重ねて配置され、光透過性を有する第１〜第３の面発光素子を含み、
前記第１のセグメントは、前記第１の面発光素子の面内に形成されると共に、点灯時に赤色が発光するブレーキランプに対応した機能を有し、
前記第２のセグメントは、前記第２の面発光素子の面内に形成されると共に、点灯時に前記第１セグメントより暗い赤色が発光するテールランプに対応した機能を有し、
前記第３のセグメントは、前記第３の面発光素子の面内に形成されると共に、点灯時に第１，２のセグメントより視感度の高いアンバー色が発光するターンランプに対応した機能を有しており、
同じ赤色に発光する前記第１のセグメントと前記第２のセグメントが前記発光エリアの正面視において一部重なるように前記第１の面発光素子と前記第２の面発光素子が配置され、
前記発光エリアの正面視において、前記第１、２のセグメントの発光色と異なる前記第３のセグメントは、当該第１，２のセグメントと重ならないように配置されていることを特徴とする車両用照明装置。
〔２〕  前記発光エリアの正面視において前記第２のセグメントは、前記第１のセグメントの内側に位置し、当該第１，２のセグメントが互いに面内で重なり合っていることを特徴とする前記〔１〕に記載の車両用照明装置。
〔３〕  前記発光エリアは、前記第１〜第３の面発光素子の後方に第４の面発光素子がさらに重なって配置されており、
前記第４のセグメントは、前記第４の面発光素子の面内に形成されると共に、点灯時に第１〜３のセグメントより視感度の高い白色に発光するバックランプに対応した機能を有していることを特徴とする前記〔１〕又は〔２〕に記載の車両用照明装置。
〔４〕  前記第４のセグメントは、前記発光エリアの正面視において前記第３の面発光素子と一部重なるように配置されていることを特徴とする前記〔３〕に記載の車両用照明装置。
〔５〕  前記複数の面発光素子よりも後方側に、遮光板と、反射板と、表示体と、光源と、液晶素子とのうち少なくとも１つ以上の機能部品が配置されていることを特徴とする前記〔１〕〜〔４〕の何れか一項に記載の車両用照明装置。
〔６〕  前記〔１〕〜〔５〕の何れか一項に記載の車両用照明装置を備える車両用灯具。
〔７〕  前記〔６〕に記載の車両用灯具を備える車両用灯具付きウィンドウパネル。
〔８〕  前記〔１〕〜〔５〕の何れか一項に記載の車両用照明装置を備える車載ディスプレイ。
【手続補正書】
【提出日】令和3年1月18日(2021.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の試験を過去に受験した複数の既受験者から得られた、複数の選択肢からいずれかを選択するアンケート項目を複数含むアンケートに対する回答を示すアンケート結果データに基づき、所定選別基準に従って対象者への推奨行動を抽出するのに利用する既受験者を選択する既受験者選択部と、
前記対象者の回答と前記選択された既受験者の回答とに基づき、前記対象者と前記選択された既受験者の間の行動変更量が所定の行動変更量上限値以下となるように、前記対象者の行動を前記選択された既受験者の行動に近づける前記対象者への推奨行動を決定する推奨行動決定部と、
を有するレコメンドシステム。
【請求項２】
前記アンケートには、所定の行動に関連する数量によりレベル分けされた選択肢を有する数量アンケート項目が含まれ、
前記推奨行動決定部は、前記数量アンケート項目については、前記対象者が選択した選択肢の数量と前記選択された既受験者が選択した選択肢の数量との差異を行動差異量とし、前記行動差異量が所定の行動変更量上限値を超えていれば前記対象者が選択した選択肢の数量より大きく前記選択された既受験者が選択した選択肢を代表する既受験者代表数量より小さい数量に対応する行動を推奨する、
請求項１に記載のレコメンドシステム。
【請求項３】
前記アンケートには所定期間内の勉強時間を複数レベルに分類する項目があり、
前記推奨行動決定部は、前記対象者が回答したレベルと前記選択された既受験者が回答したレベルとで所定期間内の勉強時間の差異が前記行動変更量上限値を超えていれば、前記対象者が回答したレベルの勉強時間より長く前記選択された既受験者が回答したレベルの勉強時間より短い目標勉強時間を推奨し、前記差異が前記行動変更量上限値以下であれば前記選択された既受験者が回答したレベルの勉強時間に対応する目標勉強時間を推奨する、
請求項１に記載のレコメンドシステム。
【請求項４】
前記アンケートには所定期間内の勉強時間を回答させる項目があり、
前記推奨行動決定部は、前記対象者が回答した勉強時間と、前記選択された既受験者が回答した勉強時間との差異が前記行動変更量上限値を超えていれば前記対象者が回答した勉強時間より長く前記選択された既受験者が回答した勉強時間より短い目標勉強時間を推奨し、前記差異が前記行動変更量上限値以下であれば前記選択された既受験者が回答した勉強時間に対応する目標勉強時間を推奨する、
請求項１に記載のレコメンドシステム。
【請求項５】
前記アンケートには、所定の行動に関連する数量で３レベル以上にレベル分けされた選択肢を有するアンケート項目があり、
前記推奨行動決定部は、前記対象者が選択した選択肢に対応する現状レベルと、前記選択された既受験者が選択した選択肢に対応する好適レベルとが２レベル以上異なる場合には、前記現状レベルと前記好適レベルの間にある中間目標レベルに対応する選択肢を推奨行動とする、
請求項１に記載のレコメンドシステム。
【請求項６】
所定の試験を過去に受験した複数の既受験者から得られた、複数の選択肢からいずれかを選択するアンケート項目を複数含むアンケートに対する回答を示すアンケート結果データに基づき、所定選別基準に従って対象者への推奨行動を抽出するのに利用する既受験者を選択し、
前記対象者の回答と前記選択された既受験者の回答とに基づき、前記対象者と前記選択された既受験者の間の行動変更量が所定の行動変更量上限値以下となるように、前記対象者の行動を前記選択された既受験者の行動に近づける前記対象者への推奨行動を決定する、
ことをコンピュータが実行するレコメンド方法。
【請求項７】
所定の試験を過去に受験した複数の既受験者から得られた、複数の選択肢からいずれかを選択するアンケート項目を複数含むアンケートに対する回答を示すアンケート結果データに基づき、所定選別基準に従って対象者への推奨行動を抽出するのに利用する既受験者を選択し、
前記対象者の回答と前記選択された既受験者の回答とに基づき、前記対象者と前記選択された既受験者の間の行動変更量が所定の行動変更量上限値以下となるように、前記対象者の行動を前記選択された既受験者の行動に近づける前記対象者への推奨行動を決定する、
ことをコンピュータに実行させるためのレコメンドプログラム。
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月11日(2020.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の安全スイッチ（２）を備え、前記安全スイッチ（２）を接続する配線を有する直列接続回路（１）において、
前記安全スイッチ（２）から信号を送出可能であり、前記信号の登録に依存し、前記直列接続回路（１）の別の安全スイッチ（２）により、前記配線が、マスタ（６）の接続のために構成されているか否か、かつ、このようなマスタ（６）が接続されているか否かが検出可能であり、
前記検出に依存して、前記安全スイッチ（２）の動作が対応して設定されることを特徴とする、
直列接続回路（１）。
【請求項２】
それぞれの前記安全スイッチ（２）は、通信端子（１０）を有しており、
マスタ（６）を伴う前記直列接続回路（１）の動作用の設計においてのみ、それぞれの前記通信端子（１０）から線路（８）が診断線路（７）に案内されることを特徴とする、
請求項１記載の直列接続回路（１）。
【請求項３】
安全スイッチ（２）において前記通信端子（１０）を介して送出される信号は、別の安全スイッチ（２）に供給されることを特徴とする、
請求項２記載の直列接続回路（１）。
【請求項４】
前記マスタ（６）は、前記診断線路（７）に接続可能であることを特徴とする、
請求項２または３記載の直列接続回路（１）。
【請求項５】
マスタ（６）のない動作用の設計において、前記安全スイッチ（２）の前記通信端子（１０）は、通知出力部として動作させられることを特徴とする、
請求項２から４までのいずれか１項記載の直列接続回路（１）。
【請求項６】
動作開始フェーズ中にそれぞれの安全スイッチ（２）によってテストパターンが生成され、前記テストパターンに基づいて、前記直列接続回路（１）におけるそれぞれの前記安全スイッチ（２）の位置が特定され、
前記テストパターンについての情報は、前記直列接続回路（１）の前記配線を特定するために使用されることを特徴とする、
請求項１から５までのいずれか１項記載の直列接続回路（１）。
【請求項７】
前記診断線路（７）を介して、前記テストパターンについての情報が伝送され、前記情報は、前記配線を特定するために使用されることを特徴とする、
請求項６記載の直列接続回路（１）。
【請求項８】
前記動作開始フェーズ中に前記安全スイッチ（２）が、別の安全スイッチ（２）からテストパターンについての情報を受信しない場合、前記安全スイッチ（２）は、マスタ（６）のない動作に自動的に移行し、前記通信端子（１０）を通知出力部として動作させることを特徴とする、
請求項７記載の直列接続回路（１）。
【請求項９】
前記動作開始フェーズ中に前記安全スイッチ（２）のテストパターンについての情報が、前記別の安全スイッチ（２）と、前記診断線路（７）に接続されているマスタ（６）と、から受信される場合、前記直列接続回路（１）における前記安全スイッチ（２）の前記位置の割り当ては、前記マスタ（６）によって監視されることを特徴とする、
請求項７または８記載の直列接続回路（１）。
【請求項１０】
前記動作開始フェーズ中に前記診断線路（７）にマスタ（６）が接続されておらず、かつ、前記安全スイッチ（２）のテストパターンについての前記情報が、前記別の安全スイッチ（２）から受信される場合、前記直列接続回路（１）における前記安全スイッチ（２）の前記位置の割り当ては、選択された安全スイッチ（２）によって監視されることを特徴とする、
請求項７または９記載の直列接続回路（１）。
【請求項１１】
選択された前記安全スイッチ（２）は、前記直列接続回路（１）において第１の位置をとる安全スイッチ（２）であることを特徴とする、
請求項１０記載の直列接続回路（１）。
【請求項１２】
選択された前記安全スイッチ（２）の前記位置の割り当てが行われた後、すべての安全スイッチ（２）の個数をブロードキャスト信号として送信し、前記マスタ（６）は、前記直列接続回路（１）に接続されると直ちに前記個数を受け取ることを特徴とする、
請求項８または９のいずれか１項記載の直列接続回路（１）。
【請求項１３】
それぞれの安全スイッチ（２）の前記テストパターンは、前記直列接続回路（１）における、それぞれの前記安全スイッチ（２）の前記位置を符号化する個数のパルスを有するパルス列を含むことを特徴とする、
請求項６から１２までのいずれか１項記載の直列接続回路（１）。
【請求項１４】
それぞれの前記安全スイッチ（２）は、冗長な入出力構造を有しており、前記入出力構造を介して、前記安全スイッチ（２）において生成されるスイッチ信号を伝送可能であり、
前記直列接続回路（１）を構成するため、安全スイッチ（２）の冗長な出力部（４）と、後続の安全スイッチ（２）の冗長な入力部（３）と、が接続されていることを特徴とする、
請求項１から１３までのいずれか１項記載の直列接続回路（１）。
【請求項１５】
複数の安全スイッチ（２）を備えた直列接続回路（１）を動作させる方法であって、前記直列接続回路（１）は、前記安全スイッチ（２）を接続する配線を有している方法において、
前記安全スイッチ（２）から信号を送出可能であり、前記信号の登録に依存し、前記直列接続回路（１）の別の安全スイッチ（２）により、前記配線が、マスタ（６）の接続のために構成されているか否か、かつ、このようなマスタ（６）が接続されているか否かを検出し、
前記検出に依存して、前記安全スイッチ（２）の動作を対応して設定することを特徴とする、
方法。
【手続補正書】
【提出日】令和3年3月29日(2021.3.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ユーザに仮想体験を提供するために、第１プロセッサを備えた第１コンピュータによって実行されるプログラムであって、
前記プログラムは、前記第１プロセッサに、
前記仮想体験を前記第１ユーザに提供するための仮想空間を定義するステップと、
前記第１ユーザに関連付けられる第１アバターと、第２ユーザに関連付けられる第２アバターとを、前記仮想空間に配置するステップと、
前記第２ユーザの動きに応じて、前記第２アバターに第１パフォーマンスを実行させるステップと、
前記第１ユーザの操作に基づいて、前記第１アバターを、前記仮想空間において移動させるステップと、
前記移動させる操作が行われた場合、前記第１ユーザに対して、前記第１アバターの移動に基づいた課金処理を行うステップと、
を実行させるプログラム。
【請求項２】
前記課金処理を行うステップは、前記第１アバターの前記仮想空間における移動距離または移動回数の少なくとも一方に基づいて前記課金処理を行う、
請求項１に記載のプログラム。
【請求項３】
前記課金処理を行うステップは、前記第１アバターの移動距離に基づいて前記課金処理を行い、前記仮想空間における移動距離が長いほど、より高い課金額で前記課金処理を行う、
請求項２に記載のプログラム。
【請求項４】
前記課金処理を行うステップは、前記第１アバターの前記仮想空間における移動方向に基づいて前記課金処理を行う、
請求項１に記載のプログラム。
【請求項５】
前記課金処理を行うステップは、前記仮想空間において、前記第１アバターを前記第２アバターにより近づける方向に移動させた場合、前記第１アバターを前記第２アバターから離れる方向に移動させた場合に比べてより高い課金額で前記課金処理を行う
請求項４に記載のプログラム。
【請求項６】
前記第２ユーザの指示に応じて、前記移動が可能な期間を設定するステップと、
前記移動させるステップにおいて、前記第１ユーザは、前記移動が可能な期間に前記第１アバターを前記仮想空間において移動させる
請求項１〜５に記載のプログラム。
【手続補正書】
【提出日】令和3年3月17日(2021.3.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷物を格納可能な車両が、携帯端末から送信された認証情報に基づいて前記携帯端末を認証し、前記認証の結果に基づいて施解錠を行うシステムにおける、前記認証情報を発行する認証情報発行装置であって、
対象の荷物に対して指定された、荷受人の住所と関連付いていないデータである荷受ＩＤを取得することと、
前記取得した前記荷受ＩＤをキーとしてデータベースから検索された車両ＩＤに対応する前記認証情報であって、前記車両ＩＤを持つ車両から認証を受けるための前記認証情報を取得し、前記携帯端末に発行することと、
を実行する制御部を有する、認証情報発行装置。
【請求項２】
前記データベースは、前記荷受ＩＤと前記車両ＩＤを関連付けて記憶する、
請求項１に記載の認証情報発行装置。
【請求項３】
前記データベースは、ネットワークを介して接続された外部装置である、
請求項１または２に記載の認証情報発行装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記車両ＩＤをキーとして前記データベースから検索された前記車両の位置情報を、前記携帯端末にさらに送信する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の認証情報発行装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記車両ＩＤをキーとして前記データベースから検索された前記車両の特徴に関する情報である特徴情報を、前記携帯端末にさらに送信する、
請求項４に記載の認証情報発行装置。
【請求項６】
荷物を格納可能な車両であって、携帯端末から送信された認証情報に基づいて前記携帯端末を認証し、前記認証の結果に基づいて施解錠を行う車両と、
前記携帯端末に前記認証情報を発行する認証情報発行装置と、からなる配送システムであって、
前記車両は、
前記認証情報を携帯端末から受信することと、
前記認証情報によって前記携帯端末を認証した結果に基づいて扉の解錠を行うことと、
を実行する第一の制御部を有し、
前記認証情報発行装置は、
対象の荷物に対して指定された、荷受人の住所と関連付いていないデータである荷受ＩＤを取得することと、
前記取得した前記荷受ＩＤをキーとしてデータベースから検索された車両ＩＤに対応する前記認証情報であって、前記車両ＩＤを持つ車両から認証を受けるための前記認証情報を取得し、前記携帯端末に発行することと、
を実行する第二の制御部を有する、配送システム。
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月10日(2020.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
第１保持部材２０は、中壁部２２と、島状部２４と、第１周壁部２６と、脚部２８とを有している。中壁部２２は、第１保持部材２０のＺ方向における中間部に位置しており、ＸＹ平面と平行に延びている。島状部２４は、ＸＹ平面において中壁部２２の中間部に位置しており、Ｙ方向に沿って長く延びている。第１周壁部２６は、中壁部２２のＸＹ平面における縁からＺ方向に沿って上方（＋Ｚ方向）に向かって延びている。第１周壁部２６は、Ｙ方向における第１周壁部２６の両端に夫々位置する２つの端壁２６２を有している。島状部２４は、中壁部２２から上方に向かって延びており、第１周壁部２６を越えて突出している。脚部２８は、中壁部２２のＹ方向における両端部から下方に向かって延びている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
図７及び図１１を参照すると、第１コネクタ１２の島状部２４及び第１周壁部２６は、第２コネクタ１５の受容部５４及び第２周壁部５６と対応している。加えて、第１端子４０と第２端子７０とは、互いに対応している。より具体的には、第１コネクタ１２及び第２コネクタ１５が互いに嵌合した嵌合状態において、受容部５４は、第１端子４０の第１接触部４４と共に島状部２４を受容し、島状部２４と第１周壁部２６との間の空間は、第２周壁部５６を受容する。また、嵌合状態において、第１端子４０の夫々は、対応する第２端子７０と、第１接触部４４及び第２接触部７４において接触し、第１回路基板８２（図３参照）は、第２回路基板８５（図３参照）と電気的に接続される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
図２３から図２５までを参照すると、本変形例によれば、第２コネクタ１５Ａを第１コネクタ１２Ａから抜去する抜去時における抜去力がＹ方向において偏ると、第２コネクタ１５Ａは、第１コネクタ１２Ａに対して傾斜する。例えば、図２４及び図２５において、抜去力は、第２コネクタ１５Ａの−Ｙ側に偏っている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
図２７を参照すると、嵌合状態において、第２内側面６４Ａの下端６４Ｌは、Ｙ方向外側に向かって張り出しており、下端６４Ｌと第１内側面３２との間の距離は、第２凹部６４４の上端と第１内側面３２との間の距離に比べて短い。この構造により、抜去時及び嵌合時において、第１コネクタ１２Ａに対する第２コネクタ１５ＡのＹ方向の移動が僅かな範囲に抑制される。即ち、本変形例によれば、抜去時及び嵌合時において、第１端子４０の夫々と、対応する第２端子７０との間のＹ方向（ピッチ方向）における位置ずれを小さく保ちつつ、第２コネクタ１５Ａの傾斜に起因する破損を抑制できる。
【手続補正書】
【提出日】令和3年4月23日(2021.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１および第２の種類のデータをそれぞれ保持する第１および第２の保持手段と、
前記第１の種類のデータに基づいて第１の積和演算を実行する第１の積和演算手段と、
前記第１の積和演算の演算結果を並列に出力する分岐手段と、
前記分岐手段により出力された前記第１の積和演算の演算結果をサンプリングし、サンプリング結果を出力するサンプリング手段と、
前記第２の種類のデータと前記サンプリング結果とに基づいて第２の積和演算を実行する第２の積和演算手段とを有することを特徴とするデータ処理装置。
【請求項２】
前記第１および第２の積和演算手段は、前記第１および第２の積和演算を並列に実行することを特徴とする請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項３】
前記第１および第２の積和演算手段は、前記第１および第２の積和演算の演算量に基づいて、それぞれの積和演算の並列度が決定されることを特徴とする請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項４】
前記第１の種類のデータと前記第２の種類のデータとはビット数が異なり、
前記第１の積和演算手段のビット数は前記第１の種類のデータのビット数に応じて決定され、前記第２の積和演算手段のビット数は前記第２の種類のデータのビット数に応じて決定され、
前記第１の保持手段のビット数は第１の種類のデータのビット数に応じて決定され、前記第２の保持手段のビット数は第２の種類のデータのビット数に応じて決定されることを特徴とする請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項５】
第３の保持手段をさらに有し、
前記第３の保持手段は、前記分岐手段より出力された前記第１の積和演算の結果を一時的に保持し、
前記サンプリング手段は、前記第３の保持手段で保持された前記第１の積和演算の結果をサンプリングし、サンプリング結果を出力することを特徴とする請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項６】
第３の保持手段をさらに有し、
前記第３の保持手段は、前記サンプリング手段により出力されたサンプリング結果を一時的に保存し、
前記第２の積和演算手段は、前記第２の種類のデータと前記第３の保持手段に保持された前記サンプリング結果とに基づいて、前記第２の積和演算を実行することを特徴とする請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項７】
活性化処理手段をさらに有し、
前記活性化処理手段は、前記第１の積和演算の結果に基づいて活性化処理の結果を計算し、
前記分岐手段は、前記活性化処理の結果を並列に出力することを特徴とする請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項８】
活性化処理手段をさらに有し、
前記活性化処理手段は、前記分岐手段より出力された前記第１の積和演算の結果に基づいて、活性化処理の結果を計算することを特徴とする請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項９】
前記第１の種類のデータと前記第２の種類のデータとは、解像度が異なる画像データであることを特徴とする請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項１０】
前記第１の種類のデータと前記第２の種類のデータとは、複数枚の画像データであることを特徴とする請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項１１】
前記第２の積和演算手段は、幅と高さとが１のフィルタを処理することを特徴とする請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項１２】
前記第１の保持手段は、前記第１の積和演算結果を前記第１の種類のデータとして保存する請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項１３】
前記分岐手段は、同一の前記第１の積和演算結果を、前記サンプリング手段と前記第１の保持手段とに並列に出力する請求項４に記載のデータ処理装置。
【請求項１４】
前記第２の保持手段は、前記第２の積和演算結果を前記第２の種類のデータとして保存する請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項１５】
前記第１の積和演算手段は、積和演算の繰り返しにより複数の階層の処理を実行する請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項１６】
前記第２の積和演算手段は、積和演算の繰り返しにより複数のサンプリング結果を合わせて出力結果を生成する請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項１７】
前記サンプリング手段は、サンプリング後の前記第１の積和演算結果が前記第２の種類のデータと同一の解像度となるようにサンプリングを行う請求項９に記載のデータ処理装置。
【請求項１８】
第１および第２の種類のデータをそれぞれ第１および第２の保持手段に保持する保持工程と、
前記第１の種類のデータに基づいて第１の積和演算を実行する第１の積和演算工程と、
前記第１の積和演算の演算結果を並列に出力する分岐工程と、
前記分岐手段により出力された前記第１の積和演算の演算結果をサンプリングし、サンプリング結果を出力するサンプリング工程と、
前記第２の種類のデータと前記サンプリング結果とに基づいて第２の積和演算を実行する第２の積和演算工程とを有することを特徴とするデータ処理方法。
【手続補正書】
【提出日】令和3年3月8日(2021.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
店舗の陳列エリアを１つまたは複数に区分した個別エリアに陳列されている商品を管理するサーバと、
前記個別エリアに陳列されている前記商品の移動を複数種のセンサで検出し、それぞれの検出結果を前記サーバに通知する商品センシング手段と、
前記個別エリアに陳列されている前記商品を移動させたユーザの情報を前記サーバに通知するユーザセンシング手段と、
を具備し、
前記サーバは、前記商品センシング手段から通知される前記複数種のセンサの検出結果と、前記ユーザセンシング手段から通知される前記ユーザの情報に基づいて、前記商品が前記個別エリアから取り出されたことを判定し、判定された商品を前記ユーザの買い上げ商品として登録する、
商品管理システム。
【請求項２】
さらに、前記店舗の入店者の識別情報を取得する識別情報取得手段を備え、
前記識別情報取得手段は、前記入店者が入店時に提示する認証用番号を読み取って前記サーバに通知するリーダと、前記入店者の顔の部分を入店時に撮影して前記サーバに通知するカメラとを備え、
前記サーバは、前記識別情報取得手段からの通知に基づいて前記入店者が正当なユーザであることを認証する、
請求項１記載の商品管理システム。
【請求項３】
さらに、前記店舗の入店者の退店を許可する退店許可手段を備え、
前記サーバは、前記商品の決済結果に基づいて前記退店許可手段に退店の許可・不許可を指示する、
請求項１記載の商品管理システム。
【請求項４】
前記商品センシング手段は、前記複数種のセンサの検出結果を、被検出対象の個別エリアに予め付与される個別エリア識別番号と共に前記サーバに通知し、
前記ユーザセンシング手段は、前記ユーザの情報を、被検出対象の個別エリアに予め付与される個別エリア識別番号と共に前記サーバに通知し、
前記サーバは、同一の前記個別エリア識別番号と共に一定時間内に通知される前記複数種のセンサの検出結果および前記ユーザの情報を用いて、前記個別エリアから前記商品を移動した前記ユーザを特定する、
請求項１に記載の商品管理システム。
【請求項５】
前記商品センシング手段は、前記個別エリアの取り出し位置に陳列されている前記商品の重量の変化を前記商品の移動として検出する重量センサと、前記個別エリアの取り出し位置に配置されている前記商品との距離の変化を前記商品の移動として検出する距離センサとを備える、
請求項１に記載の商品管理システム。
【請求項６】
前記ユーザセンシング手段は、前記陳列エリアに配置され、前記ユーザの携帯通信端末の端末識別番号を前記ユーザの情報として取得する、
請求項１に記載の商品管理システム。
【請求項７】
前記ユーザセンシング手段は、前記携帯通信端末の前記端末識別番号に応じて、動作するモードを切り替える、
請求項６に記載の商品管理システム。
【請求項８】
前記サーバは、前記ユーザセンシング手段から通知される前記ユーザの情報と、前記商品センシング手段から通知される複数種のセンサそれぞれの検出結果に基づいて、前記ユーザが前記商品を前記個別エリアに戻したことを判定する、
請求項１に記載の商品管理システム。
【請求項９】
店舗の陳列エリアを１つまたは複数に区分した個別エリアに陳列されている商品を管理するサーバと、前記個別エリアに陳列されている前記商品の移動を複数種のセンサで検出し、それぞれの検出結果を前記サーバに通知する商品センシング手段と、前記個別エリアに陳列されている前記商品を移動させたユーザの情報を前記サーバに通知するユーザセンシング手段とを具備するシステムを用いる商品管理方法において、
前記サーバが、
前記商品センシング手段から通知される前記複数種のセンサの検出結果と、前記ユーザセンシング手段から通知される前記ユーザの情報に基づいて、前記商品が前記個別エリアから取り出されたことを判定し、判定された商品を前記ユーザの買い上げ商品として登録する、
商品管理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】商品管理システム及び商品管理方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
一実施形態は、商品管理システム及び商品管理方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そこで本実施形態では、商品購入の際に携帯端末を用いることで、店舗利用者の作業負担を軽減し、かつ店舗利用者が選択した商品を正しく判別する無人レジにおける、商品管理システム及び商品管理方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
一実施形態の商品管理システムは、サーバと、商品センシング手段と、ユーザセンシング手段とを備える。前記サーバは、店舗の陳列エリアを１つまたは複数に区分した個別エリアに陳列されている商品を管理する。前記商品センシング手段は、前記個別エリアに陳列されている前記商品の移動を複数種のセンサで検出し、それぞれの検出結果を前記サーバに通知する。また、前記ユーザセンシング手段は、前記個別エリアに陳列されている前記商品を移動させたユーザの情報を前記サーバに通知する。前記サーバは、前記商品センシング手段から通知される前記複数種のセンサの検出結果と、前記ユーザセンシング手段から通知される前記ユーザの情報に基づいて、前記商品が前記個別エリアから取り出されたことを判定し、判定された商品を前記ユーザの買い上げ商品として登録する。
【手続補正書】
【提出日】令和3年4月22日(2021.4.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め設定された設定値が対応付いており当該設定値で機能を実行するための機能ボタンを表示画面の第１の領域に表示し、実行された機能の設定値が対応付いており当該設定値で機能を実行するための履歴ボタンを前記表示画面の第２の領域に表示する表示制御手段を有し、
前記表示制御手段は、前記第１の領域に表示された機能ボタンに対応付いた設定値と同じ設定値が対応付いた履歴ボタンを前記第２の領域に表示しないことを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
履歴ボタンに対応付いた設定値が、前記第１の領域に表示される機能ボタンに対応する設定値と同じか否かを判定する判定手段をさらに有し、
前記表示制御手段は、前記判定手段で同じであると判断された場合、当該履歴ボタンを前記第２の領域に表示しないように制御することを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
ユーザにより実行された機能と設定値とを記憶する記憶手段をさらに有することを特徴とする請求項１又は２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記記憶手段は、前記第１の領域に表示される機能ボタンに対応する設定値と同じ設定値で機能が実行された場合、当該機能と当該設定値とを記憶しないことを特徴とする請求項３に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記表示画面は、前記画像形成装置が有する複数の機能を実行するためのボタンを表示する画面であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記第２の領域には、前記画像形成装置が有する複数の機能に対応する履歴ボタンが表示されることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記表示制御手段は、前記第１の領域に表示される機能ボタンが変更されると、前記第２の領域に表示する履歴ボタンも変更することを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項８】
前記機能ボタンは、ユーザが予め設定値を設定し、前記表示画面に登録したボタンであることを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項９】
前記機能ボタンは印刷、メール送信、コピーいずれかの機能を実行するためのボタンであることを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項１０】
画像形成装置の制御方法であって、
予め設定された設定値が対応付いており当該設定値で機能を実行するための機能ボタンを表示画面の第１の領域に表示し、実行された機能の設定値が対応付いており当該設定値で機能を実行するための履歴ボタンを前記表示画面の第２の領域に表示する表示制御工程を有し、
前記表示制御工程では、前記第１の領域に表示された機能ボタンに対応付いた設定値と同じ設定値が対応付いた履歴ボタンを前記第２の領域に表示しないことを特徴とする制御方法。
【請求項１１】
コンピュータを、請求項１乃至９の何れか１項に記載の画像形成装置の各手段として機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そこで、本発明は、画像形成装置であって、予め設定された設定値が対応付いており当該設定値で機能を実行するための機能ボタンを表示画面の第１の領域に表示し、実行された機能の設定値が対応付いており当該設定値で機能を実行するための履歴ボタンを前記表示画面の第２の領域に表示する表示制御手段を有し、前記表示制御手段は、前記第１の領域に表示された機能ボタンに対応付いた設定値と同じ設定値が対応付いた履歴ボタンを前記第２の領域に表示しないことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月24日(2020.12.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理容器内にマイクロ波電力を印加するマイクロ波電力印加部と、
前記処理容器内の基板を載置する載置台にバイアス電圧発生用の高周波電力を印加する高周波電力印加部を有し、
ガスを供給するガス供給部と、
制御部と、を有し、
前記制御部は、予め定められた成膜条件に基づきマイクロ波電力及びバイアス電圧発生用の高周波電力を印加し、ＳｉとＨとＮとを含むガスを供給してマイクロ波プラズマによる成膜処理を行い、予め定められたエッチング条件に基づきＨを含むガス又はＨとＡｒとを含むガスを供給してマイクロ波プラズマによるエッチング処理を行うことを繰り返し、基板上に形成された凹部へのＳｉＮ膜の埋め込みを制御する、処理装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記成膜処理及び前記エッチング処理において前記処理容器内の圧力を１０Ｐａ以下に制御する、
請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記成膜処理では前記マイクロ波電力を１．８２１（Ｗ／ｃｍ２）〜３．０３５（Ｗ／ｃｍ２）の範囲内に制御し、前記エッチング処理では前記成膜処理において印加するマイクロ波電力よりも低い電力に制御する、
請求項１又は２に記載の処理装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記成膜処理において供給する前記バイアス電圧発生用の高周波電力を０．００７０７４（Ｗ／ｃｍ２）〜０．１４１５（Ｗ／ｃｍ２）の範囲内に制御し、
前記エッチング処理において供給する前記バイアス電圧発生用の高周波電力を０．２８２９（Ｗ／ｃｍ２）〜０．７０７４（Ｗ／ｃｍ２）の範囲内に制御する、
請求項１〜３のいずれか一項に記載の処理装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記ＳｉとＨとＮとを含むガスとしてＳｉＨ４とＮ２との混合ガスを供給する、
請求項１〜４のいずれか一項に記載の処理装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記Ｈを含むガスとしてＨ２ガスを供給する又は前記ＨとＡｒとを含むガスとしてＨ２とＡｒとの混合ガスを供給する、
請求項１〜５のいずれか一項に記載の処理装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記Ｈ２とＡｒとの混合ガスを供給する場合、Ｈ２の流量をＡｒの流量よりも多く供給するように制御する、
請求項６に記載の処理装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記成膜処理と前記エッチング処理の間にて窒化処理を行い、前記窒化処理においてマイクロ波電力及びバイアス電圧発生用の高周波電力を印加し、Ｎを含むガスを供給してマイクロ波プラズマによる窒化処理を行う、
請求項１〜７のいずれか一項に記載の処理装置。
【請求項９】
前記制御部は、基板上に形成された凹部へのＳｉＮ膜の埋め込み後、Ｈを含むガスを供給し、マイクロ波プラズマによる前記ＳｉＮ膜のトリートメント処理を行う、
請求項１〜８のいずれか一項に記載の処理装置。
【請求項１０】
前記制御部は、Ｈを含むガスとしてＨ２とＡｒとの混合ガスを供給し、Ａｒの流量をＨ２の流量よりも多く供給するように制御して前記トリートメント処理を行う、
請求項９に記載の処理装置。
【請求項１１】
基板上に形成された前記凹部のアスペクト比は、７．５以上である、
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の処理装置。
【請求項１２】
前記制御部は、前記ＳｉＮ膜のＲＩ値が２．５〜２．７の範囲になるように前記成膜条件及び前記エッチング条件を制御する、
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の処理装置。
【請求項１３】
予め定められた成膜条件に基づきＳｉとＨとＮとを含むガスを供給し、処理容器内の基板を載置する載置台にバイアス電圧発生用の高周波電力を印加し、前記処理容器内にマイクロ波電力を印加してマイクロ波プラズマによる成膜処理を行う成膜工程と、
予め定められたエッチング条件に基づきＨを含むガス又はＨとＡｒとを含むガスを供給し、処理容器内の基板を載置する載置台にバイアス電圧発生用の高周波電力を印加し、前記処理容器内にマイクロ波電力を印加してマイクロ波プラズマによるエッチング処理を行うエッチング工程と、
を繰り返し実行し、基板上に形成された凹部へのＳｉＮ膜の埋め込みを行う、埋め込み方法。
【請求項１４】
前記成膜工程では、前記成膜条件のうち前記処理容器内の圧力は１０Ｐａ以下であり、前記マイクロ波電力は３ｋＷ〜５ｋＷであり、バイアス電圧発生用の高周波電力は５Ｗ〜１００Ｗであり、前記ＳｉとＨとＮとを含むガスはＳｉＨ４とＮ２との混合ガスである、
前記エッチング工程では、前記エッチング条件のうち前記処理容器内の圧力は１０Ｐａ以下であり、前記マイクロ波電力は前記成膜処理において供給するマイクロ波電力よりも低い電力であり、バイアス電圧発生用の高周波電力は２００Ｗ〜５００Ｗであり、前記Ｈを含むガスとしてＨ２ガスを供給するか又は前記ＨとＡｒとを含むガスとしてＨ２とＡｒとの混合ガスを供給する、
請求項１３に記載の埋め込み方法。
【請求項１５】
前記エッチング工程では、前記Ｈ２とＡｒとの混合ガスを供給する場合、Ｈ２の流量はＡｒの流量よりも多く供給する、
請求項１４に記載の埋め込み方法。
【請求項１６】
前記成膜工程及び前記エッチング工程は、同一の処理装置の処理容器内で行われる、
請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の埋め込み方法。
【請求項１７】
前記成膜処理を行う工程と前記エッチング処理を行う工程の間に、マイクロ波電力及びバイアス電圧発生用の高周波電力を印加し、Ｎを含むガスを供給してマイクロ波プラズマによる窒化工程を行う、
請求項１３〜１６のいずれか一項に記載の埋め込み方法。
【請求項１８】
基板上に形成された凹部へのＳｉＮ膜の埋め込み後、Ｈを含むガスを供給し、マイクロ波プラズマにより前記ＳｉＮ膜をトリートメントする後処理ステップを行う、
請求項１３〜１７のいずれか一項に記載の埋め込み方法。
【請求項１９】
前記後処理ステップは、Ｈを含むガスとしてＨ２とＡｒとの混合ガスを供給し、Ａｒの流量をＨ２の流量よりも多く供給する、
請求項１８に記載の埋め込み方法。
【請求項２０】
前記後処理ステップは、前記成膜工程及び前記エッチング工程と同一の処理装置の処理容器内で行われる、
請求項１８又は１９のいずれか一項に記載の埋め込み方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
また、エッチング条件におけるバイアス電圧発生用の高周波電力は２００Ｗに限られず、２００Ｗ〜５００Ｗの範囲であればよい。つまり、単位面積当たりのバイアス電圧発生用の高周波電力は、約０．２８２９（Ｗ／ｃｍ２）〜約０．７０７４（Ｗ／ｃｍ２）の範囲であればよい。
【手続補正書】
【提出日】令和3年4月9日(2021.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
描画データから、ショット毎の位置及びビーム照射時間を含むショットデータを生成するショットデータ生成部と、
気圧に応じたビーム照射位置の補正量を算出するための計算式の補正係数を格納する記憶部と、
気圧を測定する気圧センサと、
前記気圧センサの測定値と、前記補正係数を用いた前記計算式とから、ビーム照射位置の補正量を算出する補正量算出部と、
前記ショットデータ及び前記補正量に基づいてビーム照射位置が調整された荷電粒子ビームを用いて基板にパターンを描画する描画部と、
前記基板が載置されたステージ上に設けられたマークを前記荷電粒子ビームで走査する偏向器と、
前記マークから反射された反射電子を検出する検出部と、
前記検出部による検出結果を用いて、前記荷電粒子ビームの照射位置の補正残差を算出する補正残差算出部と、
前記補正残差の変化と前記気圧の変化との相関係数の絶対値が所定値以上の場合に、前記補正係数を更新する更新部と、
を備える荷電粒子ビーム描画装置。
【請求項２】
前記相関係数の絶対値が前記所定値未満の場合、前記記憶部に格納されている前記補正係数の値を維持することを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
【請求項３】
前記補正係数は、第１補正係数及び第２補正係数を含み、
前記補正量算出部は、気圧上昇時に前記第１補正係数を用いて補正量を算出し、気圧下降時に前記第２補正係数を用いて補正量を算出することを特徴とする請求項１又は２に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
【請求項４】
描画データから、ショット毎の位置及びビーム照射時間を含むショットデータを生成する工程と、
気圧センサで気圧を測定する工程と、
前記気圧の測定値と、予め求められた気圧に応じたビーム照射位置の補正量を算出するための計算式とから、ビーム照射位置の補正量を算出する工程と、
前記ショットデータ及び前記補正量に基づいてビーム照射位置が調整された荷電粒子ビームを用いて基板にパターンを描画する工程と、
前記基板が載置されたステージ上に設けられたマークを前記荷電粒子ビームで走査し、前記マークから反射された反射電子を検出する工程と、
前記反射電子の検出結果を用いて、前記荷電粒子ビームの照射位置の補正残差を算出する工程と、
前記補正残差の変化と前記気圧の変化との相関係数を算出し、前記相関係数の絶対値が所定値以上の場合に、前記計算式の係数を更新する工程と、
を備える荷電粒子ビーム描画方法。
【請求項５】
前記補正係数は、第１補正係数及び第２補正係数を含み、
気圧上昇時に前記第１補正係数を用いてビーム照射位置の補正量を算出し、気圧下降時に前記第２補正係数を用いてビーム照射位置の補正量を算出する工程と、
前記ショットデータ及び前記補正量に基づいてビーム照射位置が調整された荷電粒子ビームを用いて基板にパターンを描画する工程と、
を備える請求項４に記載の荷電粒子ビーム描画方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一態様による荷電粒子ビーム描画装置は、描画データから、ショット毎の位置及びビーム照射時間を含むショットデータを生成するショットデータ生成部と、気圧に応じたビーム照射位置の補正量を算出するための計算式の補正係数を格納する記憶部と、気圧を測定する気圧センサと、前記気圧センサの測定値と、前記補正係数を用いた前記計算式とから、ビーム照射位置の補正量を算出する補正量算出部と、前記ショットデータ及び前記補正量に基づいてビーム照射位置が調整された荷電粒子ビームを用いて基板にパターンを描画する描画部と、前記基板が載置されたステージ上に設けられたマークを前記荷電粒子ビームで走査する偏向器と、前記マークから反射された反射電子を検出する検出部と、前記検出部による検出結果を用いて、前記荷電粒子ビームの照射位置の補正残差を算出する補正残差算出部と、前記補正残差の変化と前記気圧の変化との相関係数の絶対値が所定値以上の場合に、前記補正係数を更新する更新部と、を備えるものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の一態様による荷電粒子ビーム描画装置において、前記相関係数の絶対値が前記所定値未満の場合、前記記憶部に格納されている前記補正係数の値を維持する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の一態様による荷電粒子ビーム描画装置において、前記補正係数は、第１補正係数及び第２補正係数を含み、前記補正量算出部は、気圧上昇時に前記第１補正係数を用いて補正量を算出し、気圧下降時に前記第２補正係数を用いて補正量を算出する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の一態様による荷電粒子ビーム描画方法は、描画データから、ショット毎の位置及びビーム照射時間を含むショットデータを生成する工程と、気圧センサで気圧を測定する工程と、前記気圧の測定値と、予め求められた気圧に応じたビーム照射位置の補正量を算出するための計算式とから、ビーム照射位置の補正量を算出する工程と、前記ショットデータ及び前記補正量に基づいてビーム照射位置が調整された荷電粒子ビームを用いて基板にパターンを描画する工程と、前記基板が載置されたステージ上に設けられたマークを前記荷電粒子ビームで走査し、前記マークから反射された反射電子を検出する工程と、前記反射電子の検出結果を用いて、前記荷電粒子ビームの照射位置の補正残差を算出する工程と、前記補正残差の変化と前記気圧の変化との相関係数を算出し、前記相関係数の絶対値が所定値以上の場合に、前記計算式の係数を更新する工程と、を備えるものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の一態様による荷電粒子ビーム描画方法において、前記補正係数は、第１補正係数及び第２補正係数を含み、気圧上昇時に前記第１補正係数を用いてビーム照射位置の補正量を算出し、気圧下降時に前記第２補正係数を用いてビーム照射位置の補正量を算出する工程と、前記ショットデータ及び前記補正量に基づいてビーム照射位置が調整された荷電粒子ビームを用いて基板にパターンを描画する工程と、を備える。
【手続補正書】
【提出日】令和3年3月3日(2021.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォーカスリングが基板のエッジを囲むように支持台上に配置された状態でプラズマ処理装置によって行われるプラズマ処理方法であって、該プラズマ処理装置は、チャンバと、該チャンバ内に設けられ、その上に載置される前記基板を支持するように構成された前記支持台と、を備え、
該方法は、
鉛直方向における前記フォーカスリングの上面の位置と基準位置との間の差を減少させるよう、前記フォーカスリング上に有機膜を形成する工程と、
前記有機膜の形成後に前記基板に対してプラズマ処理を実行する工程と、
を含み、
有機膜を形成する前記工程では、第１の有機化合物を含む第１のガス及び第２の有機化合物を含む第２のガスが前記チャンバ内に供給され、
前記有機膜は、前記第１の有機化合物と前記第２の有機化合物の重合により形成される、
プラズマ処理方法。
【請求項２】
有機膜を形成する前記工程とプラズマ処理を実行する前記工程が繰り返し実行される、請求項１に記載のプラズマ処理方法。
【請求項３】
前記フォーカスリング内にはヒータが設けられており、
有機膜を形成する前記工程において前記フォーカスリング上で選択的に重合が生じるように、前記ヒータによって前記フォーカスリングが加熱される、
請求項１又は２に記載のプラズマ処理方法。
【請求項４】
フォーカスリングが基板のエッジを囲むように支持台上に配置された状態でプラズマ処理装置によって行われるプラズマ処理方法であって、該プラズマ処理装置は、チャンバと、該チャンバ内に設けられ、その上に載置される前記基板を支持するように構成された前記支持台と、を備え、
該方法は、
鉛直方向における前記フォーカスリングの上面の位置と基準位置との間の差を減少させるよう、前記フォーカスリング上に有機膜を形成する工程と、
前記有機膜の形成後に前記基板に対してプラズマ処理を実行する工程と、
を含み、
前記プラズマ処理装置は、前記フォーカスリングを上昇させるように構成された駆動機構を更に備え、
該プラズマ処理方法は、前記差を反映する目標補正量が前記駆動機構による前記フォーカスリングの最小移動制御量以上である場合に、前記駆動機構を用いて、前記目標補正量以下の最大の移動量で前記フォーカスリングを上昇させる工程を更に含み、
有機膜を形成する前記工程では、前記目標補正量から前記最大の移動量を差し引いた量を減少させるように、前記有機膜が形成される、
プラズマ処理方法。
【請求項５】
有機膜を形成する前記工程とプラズマ処理を実行する前記工程が繰り返し実行される、請求項４に記載のプラズマ処理方法。
【請求項６】
有機膜を形成する前記工程では、第１の有機化合物を含む第１のガス及び第２の有機化合物を含む第２のガスが前記チャンバ内に供給され、
前記有機膜は、前記第１の有機化合物と前記第２の有機化合物の重合により形成される、
請求項４又は５に記載のプラズマ処理方法。
【請求項７】
前記フォーカスリング内にはヒータが設けられており、
有機膜を形成する前記工程において前記フォーカスリング上で選択的に重合が生じるように、前記ヒータによって前記フォーカスリングが加熱される、
請求項４〜６の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。