(57)【要約】【課題】密閉空間内における金属試料の移動が、蒸発した金属の固化によって阻害されない熱処理装置及び金属製品の製造方法を提供する。【解決手段】熱処理装置２は、被処理体に対して液体金属を用いた熱処理を行うものであり、貫通孔が形成されたグローブボックス１１と、グローブボックス１１内に配され液体金属を収容する槽と、貫通孔に沿って移動自在に設けられ、グローブボックス１１内にて被処理体を移動させる被処理体移動機構７０、９０、１００と、グローブボックス１１に気密性を付与するシール機構２０と、を備える。シール機構２０は、貫通孔と被処理体移動機構との隙間を塞ぐとともに、被処理体移動機構の移動に追従して伸縮自在な被処理体側シール具２０Ａ〜２０Ｃを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製の被処理体に対して液体金属を用いた熱処理を行う熱処理装置であって、
貫通孔が形成された容器と、
前記容器の内部空間に配され前記液体金属を収容する槽と、
移動自在又は回動自在のまま前記貫通孔に挿入されるとともに、前記容器の内部空間において前記被処理体を保持する被処理体移動機構と、
前記被処理体移動機構を制御するコントローラと、
前記容器に気密性を付与するシール機構と、を備え、
前記コントローラは前記容器の外に配され、
前記シール機構は、前記貫通孔と前記被処理体移動機構との隙間を塞ぐとともに、前記被処理体移動機構の動作に追従して変形自在な被処理体側シール具を有することを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】
前記被処理体は、前記被処理体移動機構の動作によって、前記液体金属に浸漬する浸漬状態と前記浸漬状態から退避した退避状態との間で移動することを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
【請求項３】
前記被処理体移動機構の直線移動動作により、前記被処理体は前記浸漬状態と前記退避状態との間で移動することを特徴とする請求項２記載の熱処理装置。
【請求項４】
前記被処理体側シール具は、
前記容器に密着するように設けられた容器側固定部と、
前記被処理体係止具に密着するように設けられた係止具側固定部と、
前記容器側固定部から前記係止具側固定部まで延設された筒部と、を有することを特徴とする請求項１ないし３のうちいずれか１項記載の熱処理装置。
【請求項５】
前記筒部は、蛇腹構造を有することを特徴とする請求項４記載の熱処理装置。
【請求項６】
前記槽は、
第１の温度の前記液体金属が貯留する第１槽と、
前記第１の温度と異なる第２の温度の前記液体金属が貯留する第２槽と、を有し、
前記被処理体移動機構は、前記貫通孔を通過する回動軸を有し、
前記被処理体は、前記回動軸周りにおける前記被処理体移動機構の回動動作によって、前記回動軸の周りに回動自在であるとともに、前記回動動作によって、前記第１槽の上方に位置する状態と、前記第２槽の上方に位置する状態との間で遷移可能であることを特徴とする請求項１ないし５のうちいずれか１項記載の熱処理装置。
【請求項７】
前記被処理体移動機構に連結された連結蓋を、更に備え、
前記連結蓋は、前記被処理体移動機構の移動動作によって、前記槽の開口を塞ぐ閉位置及び前記閉位置から退避した開位置の間で移動し、
前記連結蓋は、前記被処理体が前記第１槽に対して前記浸漬状態にある場合、前記第１槽及び前記第２槽の少なくとも一方に対し前記閉位置となることを特徴とする請求項６記載の熱処理装置。
【請求項８】
前記第１槽と前記第２槽とのうち貯留する前記液体金属の温度が低い方を低温槽と定義した際、前記低温槽を冷却する低温槽冷却機構を備え、
前記低温槽冷却機構は、
前記槽に設けられ伝熱媒体が流通する伝熱媒体流通管を有し、
前記伝熱媒体流通管における両側の開口端は、いずれも前記容器の外に配されたことを特徴とする請求項６または７記載の熱処理装置。
【請求項９】
さらに、前記容器の内部空間において蒸発した前記液体金属を回収する回収機構を備え、
前記回収機構は、
前記容器の外に配された回収ケースと、
前記回収ケースの内部空間に配されたフィルタと、
前記容器の内部空間にある気体を前記回収ケースの内部空間へ送るための送り管と、
前記回収ケースの内部空間にある気体を前記容器の内部空間へ送るための戻り管と、
前記戻り管に設けられたポンプと、を有することを特徴とする請求項１ないし８のうちいずれか１項記載の熱処理装置。
【請求項１０】
前記送り管は、前記容器の内部空間にて開口する容器側送り開口を有し、
前記容器側送り開口は、前記槽の上方において前記槽の開口を向くことを特徴とする請求項９記載の熱処理装置。
【請求項１１】
前記戻り管は、前記容器の内部空間にて開口する容器側戻り開口を有し、
前記容器側戻り開口は、前記槽の外周において上方を向くことを特徴とする請求項９または１０記載の熱処理装置。
【請求項１２】
前記容器の外に配され、密閉性を有するリザーバタンクと、
前記槽と前記リザーバタンクとの間で前記液体金属を移送する液体金属移送機構と、を備え、
前記液体金属移送機構は、
前記槽に貯留する前記液体金属の中で開口する槽側開口、及び前記リザーバタンクに貯留する前記液体金属の中で開口するタンク側開口を有する連通管と、
前記連通管の内部空間を前記容器の内部空間に対して開放する解放状態、及び前記連通管の内部空間を前記容器の内部空間に対して遮断する遮断状態の間で切り替え可能な切り替え弁と、
前記容器の内部空間に対して正圧または負圧となるように、前記リザーバタンクの内部空間の気圧を制御する気圧制御機構と、を有することを特徴とする請求項１ないし１０のうちいずれか１項記載の熱処理装置。
【請求項１３】
前記切り替え弁は、前記容器の外に設けられたことを特徴とする請求項１１記載の熱処理装置。
【請求項１４】
前記容器の内部空間の圧力変動を吸収する圧力変動吸収機構を備え、
前記圧力変動吸収機構は、
前記容器に形成された開口を塞ぐ弾性部材を有することを特徴とする請求項１ないし１２のうちいずれか１項記載の熱処理装置。
【請求項１５】
前記容器はグローブボックスであることを特徴とする請求項１３記載の熱処理装置。
【請求項１６】
被処理体に対して液体金属を用いた熱処理を行う熱処理工程を有する金属製品の製造方法であって、
前記熱処理工程では、請求項１ないし１４のうちいずれか１項記載の熱処理装置を用いることを特徴とする金属製品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は熱処理装置及び金属製品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属材料の強度を向上させるために、当該金属材料に所定の熱処理を行うことが知られている。また、熱処理における昇温速度や降温速度は、金属材料の物性変化に大きな影響を与える。このため、熱伝導率が水に比べて極めて高い液体金属（例えば、液体リチウムの熱伝導率は、水の約１００倍）を当該金属材料へ接触させることにより、電気やガスを用いた加熱や水や油を用いた冷却に比べて極めて大きな昇温速度や降温速度が得られる。結果、液体金属を用いた熱処理によって、従来では得られなかった特性を有する金属材料をつくりだすことができる。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載の熱処理装置は、液体金属を収容した槽と、槽内の液体金属の温度を調節する温調部と、槽内の液体金属に対し金属材料を出し入れする移動機構と、槽及び移動機構を収容する容器と、を備える。しかしながら、この液体金属は活性が非常に高く、酸素、水素、窒素や水等と反応しやすい。この反応に起因した事故を防ぐため、熱処理装置における容器は、密閉構造を有するとともに、内部を不活性ガスで充填する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２５５０２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、密閉容器内においては、温調部からの熱によって、液体金属が蒸発してしまう。さらに、蒸発した金属は、当該溶融炉よりも低温の部分と接することにより、凝縮して固化してしまう。例えば、特許文献１に記載の熱処理装置で用いられる移動機構は、密閉容器内の上方部分に設けられたレールに沿って、金属試料をスライド移動させるものである。このため、レールや金属試料を保持する保持具の摺動部分に、金属が凝縮して固化してしまうと、金属試料をスライド移動させることができなくなってしまう。
【０００６】
さらに、特許文献１のような熱処理装置において、熱処理を行う、すなわち液体金属に対し金属試料を出し入れするためには、移動機構の操作を、密閉容器の外から行う必要がある。
【０００７】
そこで本発明は、斯かる実情に鑑み、密閉空間内における金属試料の移動が、蒸発した金属に由来する固形物によって阻害されない熱処理装置及び金属製品の製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する手段は、金属製の被処理体に対して液体金属を用いた熱処理を行う熱処理装置であって、貫通孔が形成された容器と、前記容器の内部空間に配され前記液体金属を収容する槽と、移動自在又は回動自在のまま前記貫通孔に挿入されるとともに、前記容器の内部空間において前記被処理体を保持する被処理体移動機構と、前記被処理体移動機構を制御するコントローラと、前記容器に気密性を付与するシール機構と、を備え、前記コントローラは前記容器の外に配され、前記シール機構は、前記貫通孔と前記被処理体移動機構との隙間を塞ぐとともに、前記被処理体移動機構の動作に追従して変形自在な被処理体側シール具を有することを特徴とする。
【０００９】
前記被処理体は、前記被処理体移動機構の動作によって、前記液体金属に浸漬する浸漬状態と前記浸漬状態から退避した退避状態との間で移動することが好ましい。前記被処理体移動機構の直線移動動作により、前記被処理体は前記浸漬状態と前記退避状態との間で移動することが好ましい。
【００１０】
前記被処理体側シール具は、前記容器に密着するように設けられた容器側固定部と、前記被処理体係止具に密着するように設けられた係止具側固定部と、前記容器側固定部から前記係止具側固定部まで延設された筒部と、を有することが好ましい。また、前記筒部は、蛇腹構造を有することが好ましい。
【００１１】
前記槽は、第１の温度の前記液体金属が貯留する第１槽と、前記第１の温度と異なる第２の温度の前記液体金属が貯留する第２槽と、を有し、前記被処理体移動機構は、前記貫通孔を通過する回動軸を有し、前記被処理体は、前記回動軸周りにおける前記被処理体移動機構の回動動作によって、前記回動軸の周りに回動自在であるとともに、前記回動動作によって、前記第１槽の上方に位置する状態と、前記第２槽の上方に位置する状態との間で遷移可能であることが好ましい。また、前記被処理体移動機構に連結された連結蓋を、更に備え、前記連結蓋は、前記被処理体移動機構の移動動作によって、前記槽の開口を塞ぐ閉位置及び前記閉位置から退避した開位置の間で移動し、前記連結蓋は、前記被処理体が前記第１槽に対して前記浸漬状態にある場合、前記第１槽及び前記第２槽の少なくとも一方に対し前記閉位置となることが好ましい。さらに、前記第１槽と前記第２槽とのうち貯留する前記液体金属の温度が低い方を低温槽と定義した際、前記低温槽を冷却する低温槽冷却機構を備え、前記低温槽冷却機構は、前記槽に設けられ伝熱媒体が流通する伝熱媒体流通管を有し、前記伝熱媒体流通管における両側の開口端は、いずれも前記容器の外に配されたことが好ましい。
【００１２】
さらに、前記容器の内部空間において蒸発した前記液体金属を回収する回収機構を備え、前記回収機構は、前記容器の外に配された回収ケースと、前記回収ケースの内部空間に配されたフィルタと、前記容器の内部空間にある気体を前記回収ケースの内部空間へ送るための送り管と、前記回収ケースの内部空間にある気体を前記容器の内部空間へ送るための戻り管と、前記戻り管に設けられたポンプと、を有することが好ましい。また、前記送り管は、前記容器の内部空間にて開口する容器側送り開口を有し、前記容器側送り開口は、前記槽の上方において前記槽の開口を向くことが好ましい。さらに、前記戻り管は、前記容器の内部空間にて開口する容器側戻り開口を有し、前記容器側戻り開口は、前記槽の外周において上方を向くことが好ましい。
【００１３】
前記容器の外に配され、密閉性を有するリザーバタンクと、前記槽と前記リザーバタンクとの間で前記液体金属を移送する液体金属移送機構と、を備え、前記液体金属移送機構は、前記槽に貯留する前記液体金属の中で開口する槽側開口、及び前記リザーバタンクに貯留する前記液体金属の中で開口するタンク側開口を有する連通管と、前記連通管の内部空間を前記容器の内部空間に対して開放する解放状態、及び前記連通管の内部空間を前記容器の内部空間に対して遮断する遮断状態の間で切り替え可能な切り替え弁と、前記容器の内部空間に対して正圧または負圧となるように、前記リザーバタンクの内部空間の気圧を制御する気圧制御機構と、を有することが好ましい。また、前記切り替え弁は、前記容器の外に設けられたことが好ましい。
【００１４】
前記容器の内部空間の圧力変動を吸収する圧力変動吸収機構を備え、前記圧力変動吸収機構は、前記容器に形成された開口を塞ぐ弾性部材を有することが好ましい。また、前記容器はグローブボックスであることが好ましい。
【００１５】
また、上記課題を解決する手段は、被処理体に対して液体金属を用いた熱処理を行う熱処理工程を有する金属製品の製造方法であって、前記熱処理工程では、上記の熱処理装置を用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
上記手段によれば、液体金属が収容された密閉空間内において、密閉状態を維持しつつ、被処理体をスムーズに移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】熱処理装置の概要を示す斜視図である。
【図２】熱処理装置の内部の概要を示す斜視図である。
【図３】吊り下げテーブルとテーブル移動機構との概要を示すＹ−Ｚ面における断面図である。
【図４】第１側面シール部の概要を示す断面図である。
【図５】上面シール部の概要を示す断面図である。
【図６】（Ａ）は、退避状態にある収容籠の概要を示す説明図であり、（Ｂ）は、浸漬状態にある収容籠の概要を示す説明図である。
【図７】第１〜３槽と被処理体の円軌道との位置関係を示す説明図である。
【図８】（Ａ）（Ｂ）ともに、第２側面シール部の概要を示す断面図である。
【図９】回収機構の概要を示す説明図である。
【図１０】送り管と戻り管の概要を示す説明図である。
【図１１】槽の情報から見たときの戻り管の概要を示す平面図である。
【図１２】冷却機構の概要を示す説明図である。
【図１３】リザーバタンク及び溶融金属移送機の概要を示す説明図である。
【図１４】リザーバタンク及び溶融金属移送機の概要を示す説明図である。
【図１５】（Ａ）（Ｂ）は、開口に風船が装着された容器の概要を示す説明図である。（Ｃ）は、蓋開閉機構によって、風船が装着され閉塞状態となった開口の概要を示す説明図である。
【図１６】（Ａ）は、開口が形成された容器の概要を示す説明図である。（Ｂ）は、開口が形成された容器の概要を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
図１〜２に示すように、熱処理装置２は、容器１０と、容器１０に気密性を付与するシール機構２０と、容器１０の内部空間を真空引きするポンプユニット３０と、容器１０の内部空間に不活性ガスを供給するガス供給ユニット３１と、各部を制御するコントローラ４０と、を備える。
【００２０】
容器１０は、直方体状のいわゆるグローブボックス１１と、グローブボックス１１の側面に設けられた搬入箱１２とを有する。ここで、互いに直交する３つの方向Ｘ〜Ｚを、次のように定義する。Ｘ方向は、グローブボックス１１の底面を形成する一の辺が伸びる方向であり、Ｙ方向は、グローブボックス１１の底面を形成する他の辺が伸びる方向である。また、Ｚ方向は、グローブボックス１１の高さ方向である。
【００２１】
グローブボックス１１は観察窓１１Ｗとグローブ１１Ｇとを側面に有する。搬入箱１２は、搬入口１２Ｅを側面に有する。また、グローブボックス１１の内部空間（以下、処理空間と称する）１１ＫＡと、搬入箱１２の内部空間（以下、搬入空間と称する）１２ＫＡとは連通している。そして、搬入口１２Ｅを閉じることにより、処理空間１１ＫＡや搬入空間１２ＫＡは密閉空間となる。さらに、容器１０は、仕切板１５を有する。仕切板１５は、処理空間１１ＫＡと搬入空間１２ＫＡとを遮断する遮断位置（図示省略）と、処理空間１１ＫＡと搬入空間１２ＫＡとが連通する連通位置（図２参照）と、の間で移動自在である。したがって、仕切板１５が遮断位置の場合には、処理空間１１ＫＡと搬入空間１２ＫＡとが個別の密閉空間となる。
【００２２】
ポンプユニット３０は、処理空間１１ＫＡを真空引きする処理空間用ポンプ３０Ａと、搬入空間１２ＫＡを真空引きする搬入空間用ポンプ３０Ｂとを有する。また、ガス供給ユニット３１は、所定の不活性ガス（例えば、アルゴンガス）を処理空間１１ＫＡに供給する処理空間用ガス供給器３１Ａと、所定の不活性ガスを搬入空間１２ＫＡに供給する搬入空間用ガス供給器３１Ａと、を有する。
【００２３】
さらに、熱処理装置２は、金属製の被処理体を収容する収容籠５０と、収容籠５０を吊り下げる吊り下げテーブル６０と、吊り下げテーブル６０をＸ方向へ移動させるテーブル移動機構７０と、金属Ｍを収容する第１〜３槽８１〜８３と、第１〜３槽８１〜８３の上方に設けられ収容籠５０を係止する浸漬移動機構９０と、吊り下げテーブル６０及び浸漬移動機構９０の間で、収容籠５０を搬送する搬送移動機構１００とを、それぞれ処理空間１１ＫＡに有する。
【００２４】
ここで、被処理体は、金属材料（例えば、鉄、アルミニウム、チタン、またはこれらの合金）から形成されたものである。また、金属Ｍとしては、例えば、リチウムやナトリウムなどがある。
【００２５】
図２〜３に示すように、収容籠５０は、高温環境で、溶融、変形しない材料（例えば、ステンレス）からなるものであり、被処理体を収容する籠部５１と、籠部５１に設けられた取っ手５２とを有する。
【００２６】
吊り下げテーブル６０は、水平板６１と、水平板６１の上面から起立し、取っ手５２を吊り下げ可能なＬ字状の吊り下げアーム６２と、を有する。なお、吊り下げアーム６２は、処理前の被処理体を収容する収容籠５０を吊り下げるための処理前用アームと、処理後の被処理体を収容する収容籠５０を吊り下げるための処理後用アームと、を有することが好ましい。
【００２７】
テーブル移動機構７０は、吊り下げテーブル６０の水平板６１を保持可能な保持具７１と、グローブボックス１１のＸ方向側の側面に形成された第１側面貫通孔１１Ａ（図４（Ａ）参照）に挿入され、一端がグローブボックス１１の外部に位置するとともに他端が保持具７１に連結されたテーブルスライド棒７２と、水平板６１の下面に設けられた車輪７３と、テーブルスライド棒７２の軸線７２ＡＸ方向にテーブルスライド棒７２を移動させるスライド機構７４と、を有する。
【００２８】
図４（Ａ）に示すように、第１側面貫通孔１１ＡはＸ方向に延びる。そして、Ｘ方向に延びたテーブルスライド棒７２は、第１側面貫通孔１１Ａに挿入された状態で、第１側面貫通孔１１Ａに沿って、すなわち、自身の軸線７２ＡＸ上を移動自在である。また、スライド機構７４は、テーブルスライド棒７２に対して同軸状に配されたネジ軸７４Ａと、テーブルスライド棒７２とネジ軸７４Ａとを連結する連結具７４Ｒと、ネジ軸７４Ａと嵌合するナット７４Ｎと、ナット７４Ｎをグローブボックス１１へ固定するナット固定具７４Ｆと、ネジ軸７４ＡをＸ方向周りに回転させるモータ７４Ｍと、を有する。図４（Ｂ）に示すように、連結具７４Ｒは、テーブルスライド棒７２の一端側に固定された受け具７４ＲＡと、ネジ軸７４Ａの端部から延び、受け具７４ＲＡに対して係合する係合軸７４ＲＦと、を有する。受け具７４ＲＡは、係合軸７４ＲＦが挿入可能な孔挿入を有する。また、係合軸７４ＲＦの先端には、抜け止め具７４ＲＫが形成される。そして、抜け止め具７４ＲＫの寸法は、受け具７４ＲＡに形成された挿入孔よりも大きい。したがって、受け具７４ＲＡの挿入孔に挿入された係合軸７４ＲＦは、自身の軸方向においては受け具７４ＲＡに係止されるとともに、自身の軸周りにおいては、受け具７４ＲＡの挿入孔に挿入された状態で回転自在となっている。モータ７４Ｍの駆動により、ナット７４Ｎに対してネジ軸７４Ａは、Ｘ方向へ移動する。結果、吊り下げテーブル６０は、テーブルスライド棒７２の移動動作に追従して、処理空間１１ＫＡにおいて、Ｘ方向に移動する。
【００２９】
図２に示す第１〜３槽８１〜８３は、それぞれ、ヒータを有する。このヒータによって、第１〜３槽８１〜８３に収容された金属Ｍは、液状となるまで加熱される。
【００３０】
図２、５に示すように、浸漬移動機構９０は、グローブボックス１１に形成された上面貫通孔１１Ｃに挿入され、一端がグローブボックス１１の外部に位置するとともに他端が処理空間１１ＫＡに位置する浸漬棒９１と、浸漬棒９１の他端に設けられたアーム９２Ａ〜９２Ｃと、アーム９２Ａ〜９２Ｃの先端に設けられ、収容籠５０を係止する籠係止具９３と、浸漬棒９１の軸線９１ＡＸ上にて浸漬棒９１を移動させるスライド機構９４と、浸漬棒９１の軸線９１ＡＸ周りにおいて浸漬棒９１を回動させる回動モータ９５と、を有する。  
【００３１】
上面貫通孔１１Ｃは、グローブボックス１１の上面においてＺ方向に延びる。また、浸漬棒９１は、上面貫通孔１１Ｃに挿入された状態で、上面貫通孔１１Ｃに沿って移動自在であるとともに、自身の軸線９１ＡＸを中心に回動自在である、すなわち、浸漬棒９１は、自身の軸線９１ＡＸ上の直線移動、及び軸線９１ＡＸ周りの回動が可能となる。また、回動モータ９５は、モータ本体９５Ｍと、モータ本体９５Ｍによって回動する回動軸９５Ｆとを有する。回転軸９５Ｆは、浸漬棒９１の一端側に固定されているため、モータ本体９５Ｍの駆動により、浸漬棒９１は、軸線９１ＡＸ周りに回動する。さらに、スライド機構９４は、浸漬棒９１に対して同軸状となるようにして配されたネジ軸９４Ａと、モータ本体９５Ｍとネジ軸９４Ａとを連結する連結具９４Ｒと、ネジ軸９４Ａと嵌合するナット９４Ｎと、グローブボックス１１に対してナット９４Ｎを固定するナット固定具９４Ｆと、ネジ軸９４ＡをＺ方向周りに回転させるモータ９４Ｍと、を有する。図５（Ｂ）に示すように、連結具９４Ｒは、モータ本体９５Ｍに固定された受け具９４ＲＡと、ネジ軸９４Ａの端部から延び、受け具９４ＲＡに対して係合する係合軸９４ＲＦと、を有する。受け具９４ＲＡは、係合軸９４ＲＦが挿入可能な孔挿入を有する。また、係合軸９４ＲＦの先端には、抜け止め具９４ＲＫが形成される。そして、抜け止め具９４ＲＫの寸法は、受け具９４ＲＡに形成された挿入孔よりも大きい。したがって、受け具９４ＲＡの挿入孔に挿入された係合軸９４ＲＦは、自身の軸方向においては受け具９４ＲＡに係止されるとともに、自身の軸周りにおいては、受け具９４ＲＡの挿入孔に挿入された状態で回転自在となっている。
【００３２】
このため、浸漬棒９１は、モータ９４Ｍの駆動によりＺ方向へ直線移動する。結果、Ｚ方向における浸漬棒９１の直線移動によって、収容籠５０は、任意の槽（例えば、槽８１）に収容された液体金属Ｍの中に位置する浸漬状態（図６（Ｂ）参照）と、浸漬状態から退避した退避状態（図６（Ａ）参照）と、の間で移動する。また、浸漬棒９１は、回動モータ９５の駆動により、Ｚ方向周りに回動する。そして、軸線９１ＡＸ周りにおける浸漬棒９１の回動によって、収容籠５０は、退避状態（図６（Ａ）参照）を維持しながら、第１槽８１の上方位置、第２槽８２の上方位置、及び第３槽８３の上方位置の間で移動する。
【００３３】
図７に示すように、第１〜３槽８１〜８３は、上面貫通孔１１Ｃに挿入された浸漬棒９１の軸線９１ＡＸ周りに配されることが好ましい。また、Ｚ方向から見た場合に、第１〜３槽８１〜８３は、軸線９１ＡＸを中心とする被処理体Ｓの軌道Ｃ１と重なる位置にあることが好ましい。例えば、被処理体の軌道Ｃ１は、円状であることが好ましい。
【００３４】
図２，８（Ａ）に示すように、搬送移動機構１００は、グローブボックス１１のＹ方向側の側面に形成された第２側面貫通孔１１Ｂに挿入され、一端がグローブボックス１１の外部に位置するとともに他端が処理空間１１ＫＡに位置する搬送スライド棒１０１と、搬送スライド棒１０１の他端に設けられ、収容籠５０を係止する籠引掛具１０２と、搬送スライド棒１０１の軸線１０１ＡＸ方向に搬送スライド棒１０１を移動させるスライド機構１０３と、を有する。第２側面貫通孔１１Ｂは、Ｙ方向へ延びる。こうして、第２側面貫通孔１１Ｂに挿入された搬送スライド棒１０１は、Ｙ方向へ移動可能となる。スライド機構１０３は、スライド機構７４と同様の構造を有するため、スライド機構１０３の詳細説明は省略する。このような搬送スライド棒１０１の移動によって、籠引掛具１０２は、吊り下げテーブル６０の吊り下げアーム６２から、浸漬移動機構９０の籠係止具９３まで移動可能となる。なお、図８（Ｂ）に示すように、第２側面貫通孔１１Ｂの内径は、外側から内側に向かうにしたがって大きくなっていてもよい。これにより、第２側面貫通孔１１Ｂに挿入された搬送スライド棒１０１は、Ｙ方向のみならず、Ｘ方向やＺ方向にも移動可能となる。
【００３５】
図１に示すように、シール機構２０は、第１側面貫通孔１１Ａとテーブルスライド棒７２との隙間を覆う第１側面シール部２０Ａと、第２側面貫通孔１１Ｂと搬送スライド棒１０１との隙間を覆う第２側面シール部２０Ｂと、上面貫通孔１１Ｃと浸漬棒９１との隙間を覆う上面シール部２０Ｃと、を有する。
【００３６】
図４（Ａ）に示すように、第１側面シール部２０Ａは、金属から形成されたものであり、テーブルスライド棒７２の一端側の周面に密着するように設けられた棒側シールスリーブ２０ＡＸと、グローブボックス１１のうち第１側面貫通孔１１Ａの周縁部に密着するように設けられた容器側シールスリーブ２０ＡＹと、棒側シールスリーブ２０ＡＸから容器側シールスリーブ２０ＡＹまで延びる筒状のシール筒２０ＡＴと、を有する。シール筒２０ＡＴは、蛇腹構造を有するため、テーブルスライド棒７２の移動に追従して、変形自在、すなわち伸縮自在である。このような蛇腹構造を有する第１側面シール部２０Ａにより、第１側面貫通孔１１Ａにおける気密性が得られる。
【００３７】
また、図５（Ａ）に示すように、上面シール部２０Ｃは、金属から形成されたものであり、浸漬棒９１の一端側の周面に沿って設けられた棒側シールスリーブ２０ＣＸと、グローブボックス１１のうち上面貫通孔１１Ｃの周縁部に密着するように設けられた容器側シールスリーブ２０ＣＹと、棒側シールスリーブ２０ＣＸから容器側シールスリーブ２０ＣＹまで延びる筒状のシール筒２０ＣＴと、を有する。さらに、図５（Ｃ）に示すように、上面シール部２０Ｃは、棒側シールスリーブ２０ＣＸと浸漬棒９１との間に配されるシールリング２０ＣＲを有する。シールリング２０ＣＲは、浸漬棒９１を保持するとともに、棒側シールスリーブ２０ＣＸと浸漬棒９１との隙間を塞ぐ。そして、シールリング２０ＣＲに保持された浸漬棒９１は、軸線９１ＡＸ周りにおいて回動可能となっている。シール筒２０ＣＴも、蛇腹構造を有するため、浸漬棒９１の直線移動に追従して、伸縮自在である。この上面シール部２０Ｃにより、上面貫通孔１１Ｃにおける気密性が得られる。
【００３８】
図８に示すように、第２側面シール部２０Ｂも第１側面シール部２０Ａと同様の構造を有する。したがって、第２側面シール部２０Ｂにより、搬送スライド棒１０１はＹ方向へ移動自在となるとともに、第２側面貫通孔１１Ｂにおける気密性が得られる。
【００３９】
図１〜２に示すように、コントローラ４０は、仕切板１５、ポンプユニット３０、ガス供給ユニット３１、各モータ７４Ｍ、９４Ｍ、９５や、スライド機構１０３のモータ等、各部を制御する。なお、遮断位置と連通位置との間における仕切板１５操作は、コントローラ４０によらず、グローブ１１Ｇを用いてもよい。
【００４０】
次に、熱処理装置２の使用方法について説明する。
【００４１】
まず、グローブ１１Ｇを用いて、仕切板１５を連通位置（図２参照）にするとともに、吊り下げテーブル６０を搬入空間１２ＫＡへ送る。さらにその後、グローブ１１Ｇを用いて、仕切板１５を遮断位置にする。これにより、処理空間１１ＫＡと搬入空間１２ＫＡとが仕切板１５によって分離される。次に、搬入口１２Ｅを開いて、吊り下げテーブル６０の吊り下げアーム６２に、被処理体を収容した収容籠５０を吊り下げる。その後、搬入口１２Ｅを閉じる。
【００４２】
コントローラ４０は、真空ポンプ３０Ａ，３０Ｂの駆動により、容器１０の内部空間、すなわち処理空間１１ＫＡ及び搬入空間１２ＫＡを個別に真空引きする。その後、コントローラ４０は、ガス供給ユニット３１の駆動により、処理空間１１ＫＡ及び搬入空間１２ＫＡに対し個別に不活性ガスを充てんする。さらにその後、グローブ１１Ｇを用いて、仕切板１５を連通位置（図２参照）にするとともに、処理空間１１ＫＡに待機する保持具７１に対し、吊り下げテーブル６０を嵌め込む。これにより、吊り下げテーブル６０は、テーブル移動機構７０の操作に伴って、Ｘ方向において移動可能となる。
【００４３】
次に、コントローラ４０は、それぞれのヒータにより、第１〜３槽８１〜８３に収容された金属Ｍを加熱する。これにより、第１〜３槽８１〜８３に収容された金属Ｍは溶融し、液状（溶融金属）となる。このとき、第１〜３槽８１〜８３の溶融金属は、それぞれ異なる温度に維持される。
【００４４】
その後、搬送スライド棒１０１の操作によって、収容籠５０を吊り下げアーム６２から外すとともに、外した収容籠５０を籠引掛具１０２に係止する。引き続いて、搬送スライド棒１０１の操作によって、籠引掛具１０２によって係止された収容籠５０を、浸漬棒９１の籠係止具９３まで搬送し、籠係止具９３へ移す。
【００４５】
浸漬棒９１の操作によって、浸漬棒９１に係止された収容籠５０は、第１槽８１の上方、すなわち退避状態（図６（Ａ）参照）に位置することとなる。そしてこのまま、収容籠５０をＺ方向へ下降させることにより、収容籠５０は、退避状態（図６（Ａ）参照）から浸漬状態（図６（Ｂ）参照）へ移動する。これにより、当該収容籠５０に収容された被処理体Ｓは、溶融した金属Ｍに浸漬する。
【００４６】
コントローラ４０は、内蔵タイマー等によって、浸漬状態に至ってからの経過時間を計測する。コントローラ４０は、所定の第１熱処理時間が経過した後、浸漬棒９１を上昇させることによって、収容籠５０は、浸漬状態（図６（Ｂ）参照）から退避状態（図６（Ａ）参照）へ移動する。これにより、当該収容籠５０に収容された被処理体Ｓは、第１槽８１にて溶融した金属Ｍから引き上げられる。これにより、第１槽８１における急速加熱処理を所定時間行うことができる。
【００４７】
次に、コントローラ４０による浸漬棒９１の回動動作によって、被処理体Ｓを収容する収容籠５０は、第１槽８１の上方の位置から、第２槽８２の上方の位置へ移動することとなる。そして、第１槽８１における溶融金属Ｍからの引き上げから所定の時間が経過した後、コントローラ４０は、浸漬棒９１の直線操作を介して、浸漬状態（図６（Ｂ）参照）と退避状態（図６（Ａ）参照）との間で収容籠５０の移動を行う。これにより、第２槽８２における急速冷却処理を所定時間行うことができる。
【００４８】
そして、前述の急速加熱処理や急速冷却処理といった所定の熱処理が施された被処理体は、浸漬棒９１の回動動作及び搬送スライド棒１０１の動作によって、収容籠５０を籠係止具９３から外すとともに、外された収容籠５０を、所定の吊り下げアーム６２へ移す。その後、搬送スライド棒１０１及び浸漬棒９１の動作によって、収容籠５０を所定の槽まで搬送することにより、当該収容籠５０に収容された別の被処理体に対して、所定の熱処理を行うことができる。
【００４９】
熱処理装置２は、シール機構２０を備えるため、容器１０の気密性を維持しつつ、容器１０内における被処理体Ｓを移動させることができる。このシール機構２０は、いわゆる蛇腹構造のように伸縮自在であるとともに、いわゆる摺動部を持たない。したがって、蒸発した金属Ｍがシール機構２０に付着したとしても、シール機構２０自体は、伸縮自在のままであるため、結果として、容器１０内における被処理体の移動をスムーズに行うことができる。
【００５０】
また、上面シール部２０Ｃは、蛇腹構造を有するシール筒２０ＣＴと、シールリング２０ＣＸとを有するため、浸漬棒９１等の直線移動動作や回動動作を可能にする。このため、容器１０内における被処理体の移動を簡単に行うことができる。そして、浸漬棒９１等の直線移動や回動の制御が、コントローラ４０によって行われるため、所望の条件の熱処理を自動化することができる。さらに、熱処理が施された後の被処理体を、吊り下げアーム６２（処理後用アーム）に戻す操作や、熱処理が施される前の被処理体を、吊り下げアーム６２（処理前用アーム）から取る操作も、コントローラ４０によって制御される浸漬棒９１等の移動動作に基づくため、複数の被処理体に対して、所定の熱処理を自動的にかつ連続して行うことができる。
【００５１】
なお、浸漬移動機構９０は、さらに、第１〜３槽８１〜８３の開口を塞ぐ第１〜３蓋１２１〜１２３を有していることが好ましい。そして、収容籠５０が浸漬状態（図６（Ｂ）参照）にある場合には、第１〜３蓋１２１〜１２３は、それぞれ、第１〜３槽８１〜８３の開口を塞ぐ閉位置となり、収容籠５０が退避状態（図６（Ａ）参照）にある場合には、第１〜３蓋１２１〜１２３は、それぞれ、第１〜３槽８１〜８３の開口を開く開位置となる。これにより、収容籠５０が浸漬状態（図６（Ｂ）参照）にある場合、収容籠５０が浸漬された槽のみならず、他の槽の開口を塞ぐことができる。したがって、全ての槽における溶融金属の蒸発を抑えることができる。
【００５２】
なお、上記実施形態の熱処理装置２は、液体金属Ｍを収容する槽を３つ（第１槽８１〜第３層８３）備えているが、本発明はこれに限られず、熱処理装置２は、液体金属Ｍを収容する槽を２つまたは４つ以上備えていてもよい。
【００５３】
なお、上記実施形態の熱処理装置２は、被処理体を保持するために収容籠５０を備えているが、本発明はこれに限られず、熱処理装置２は、収容籠５０の代わりに、被処理体を直接吊り下げ可能な吊下部材を備えていてもよい。
【００５４】
なお、図２，３に示すようにテーブル移動機構７０は、車輪７３、特に車軸７３Ｘを覆うカバー７５を備えることが好ましい。カバー７５により、蒸発した金属が車軸７３Ｘに付着しにくくなる結果、テーブル移動機構７０のスムーズな移動を確保できる。
【００５５】
また、上記実施形態では、各シール部２０Ａ〜２０Ｃを、グローブボックス１１の外側に設けたが、本発明はこれに限られず、グローブボックス１１の内側に設けてもよい。
【００５６】
なお、収容籠５０が退避状態（図６（Ａ）参照）にある場合、第１〜３槽８１〜８３の開口を塞ぐ別蓋と、別蓋を水平移動可能な移動機構を有していてもよい。別蓋を水平移動可能な移動機構は、テーブル移動機構７０と同様の構造であればよい。
【００５７】
なお、シール筒２０ＡＴ〜２０ＣＴとして、合成樹脂等の弾性体から形成されたものを用いてもよい。合成樹脂等の弾性体からなるシール筒２０ＡＴ〜２０ＣＴは、形成材料に由来して伸縮自在である。このため、蛇腹構造を省略することができる。さらに、合成樹脂等の弾性体からなるシール筒２０ＣＴは、形成材料に由来して捩じれ変形可能である。このため、シールリング２０ＣＲを省略することができる。
【００５８】
さらに、熱処理装置２は、図９に示すように、容器１０の内部空間にある蒸発した金属Ｍを回収する回収機構１３０を備えていることが好ましい。回収機構１３０は、容器１０の外に配された回収ケース１３１と、回収ケース１３１の内部空間に配されたフィルタ１３２と、容器１０の内部空間にある気体を回収ケース１３１の内部空間へ送るための送り管１３３と、回収ケース１３１の内部空間にある気体を容器１０の内部空間へ送るための戻り管１３４と、戻り管１３４に設けられたポンプ１３５と、送り管１３３に設けられた送り側開閉弁１３６と、戻り管１３４に設けられた戻り側開閉弁１３７と、を有する。
【００５９】
送り管１３３は、一端が容器１０の内部空間にて開口し、他端が回収ケース１３１の内部空間にて開口する。同様に、戻り管１３４は、一端が容器１０の内部空間にて開口し、他端が回収ケース１３１の内部空間にて開口する。コントローラ４０によって、送り側開閉弁１３６及び戻り側開閉弁１３７を開かれ、ポンプ１３５が運転を開始すると、蒸発した金属を含む気体が、容器１０から回収ケース１３１に向かって流れる。回収ケース１３１において、蒸発した金属を含む気体がフィルタ１３２を通過すると、蒸発した金属はフィルタ１３２との接触により凝縮する。この結果、フィルタ１３２は、蒸発した金属を含む気体から金属を濾し取ることができる。そして、フィルタ１３２を通過した気体は、戻り管１３４によって、容器１０の内部空間へ戻る。
【００６０】
このようにして、回収機構１３０によって形成された循環路、すなわち、送り管１３３、フィルタ１３２を有する回収ケース１３１、戻り管１３４、容器１０を、気体が順次通過するため、容器１０の内部空間にある気体において、蒸発した金属の濃度を抑えることができる。この結果、蒸発した金属に由来する固形物が、容器１０の内壁に付着しにくくなる。
【００６１】
送り管１３３のうち容器１０の内部空間にて開口する容器側送り開口１３３Ｘは、図１０〜１１に示すように、第１槽８１の上方に位置し、第１槽８１に向くことが好ましい。また、容器側送り開口１３３Ｘは、第１槽８１の開口８１Ｘの上方に位置することが好ましい。これにより、第１槽８１に貯留する溶融金属Ｍが蒸発した場合であっても、当該蒸発した金属を送り管１３３によって、回収ケース１３１へ確実に送ることができる。
【００６２】
戻り管１３４のうち、容器１０の内部空間にて開口する容器側戻り開口１３４Ｙは、第１槽８１の周りに位置することが好ましい。また、容器側戻り開口１３４Ｙは上方に向くことが好ましい。さらに、容器側戻り開口１３４Ｙが複数の場合には、第１槽８１の周りにおいて環状に並ぶことが好ましい。これにより、第１槽８１の開口８１Ｘ近傍では、下方から上方に向かう気体の流れが生じる。このような気体の流れによって、当該蒸発した金属は、第１槽８１の真上に流れやすくなる。この結果として、当該蒸発した金属を、第１槽８１の上方にて開口する送り管１３３を介して、回収ケース１３１へ確実に送ることができる。
【００６３】
さらに、第１の容器側送り開口１３３Ｘは、容器側戻り開口１３４Ｙと正対するように環状に並び、第２の容器側送り開口１３３Ｘは、第１の容器側戻り開口１３４Ｙの内側に配されることが好ましい。さらに、第２の容器側送り開口１３３Ｘは、第１槽８１の開口８１Ｘと正対することが好ましい。これにより、第１槽８１の開口８１Ｘから第２の容器側送り開口１３３Ｘにかけて形成される経路Ｒの周りでは、容器側戻り開口１３４Ｙから、第１の容器側送り開口１３３Ｘにかけて一定の気体の流れが生じるため、第１槽８１にて蒸発した金属は、経路Ｒを外れにくくなる。結果、当該蒸発した金属を回収ケース１３１へ確実に送ることができる。
【００６４】
なお、容器１０の内部空間においては、送り管１３３及び戻り管１３４は、収容籠５０や第１〜３蓋１２１〜１２３の移動経路から外れるように設けられることが好ましい。
【００６５】
上記実施形態では、回収機構１３０を第１槽８１に対して設けたが、本発明はこれに限られず、回収機構１３０を第２槽８２や第３層８３のそれぞれに設けてもよい。
【００６６】
ところで、被処理体に対し熱処理を行う間、急速冷却処理を行う第２槽８２や第２槽８２に貯留する溶融金属Ｍは、周囲の熱源（第１槽８１や第３層８３のヒータや溶融金属）によって温度が上昇してしまう。このため、熱処理装置２は、図１２に示すように、第２槽８２に貯留する溶融金属Ｍを冷却する冷却機構１４０を備えることが好ましい。
【００６７】
冷却機構１４０は、容器１０の内部空間及び外部空間において伝熱媒体（Ｈｅ等の冷媒や空気）が循環するための循環経路を形成する伝熱媒体流通管１４１と、容器１０の外に配され、伝熱媒体流通管１４１に設けられた冷却装置１４２と、容器１０の外に配され、伝熱媒体流通管１４１に設けられたポンプ１４３と、を備える。伝熱媒体流通管１４１は、第２槽８２に接するように設けられる。また、伝熱媒体流通管１４１は、第２槽８２の周りにおいて螺旋状に配されることが好ましい。
【００６８】
コントローラ４０の制御の下、ポンプ１３５が運転を開始すると、伝熱媒体が循環経路を流通する。また、コントローラ４０の制御の下、冷却装置１４２は、伝熱媒体流通管１４１を流れる伝熱媒体を冷却する。これにより、伝熱媒体流通管１４１を流通する伝熱媒体の温度を、所定の範囲で維持することができる。
【００６９】
このようにして、容器１０の内部空間においては、第２槽８２や第２槽８２に貯留する溶融金属Ｍと、伝熱媒体流通管１４１を流通する伝熱媒体との間で熱交換が行われる。このため、熱処理を行っている間、第２槽８２や第２槽８２に貯留する溶融金属Ｍの温度を所望の範囲で維持することができる。
【００７０】
なお、伝熱媒体流通管１４１において、伝熱媒体は、第２槽８２の上方から下方に向かって流してもよい。これにより、第２槽８２の上方に貯留する溶融金属Ｍの温度は、第２槽８２の下方に貯留する溶融金属Ｍの温度よりも低くなる。このようにして、第２槽８２内にて生じる溶融金属Ｍの温度分布は、第２槽８２内における当該溶融金属Ｍの対流を誘発する結果、第２槽８２に貯留する溶融金属Ｍ全体の冷却を効率よく行うことができる。
【００７１】
なお、伝熱媒体が空気の場合には、冷却装置１４２と容器１０との間の伝熱媒体流通管１４１を外部に開放させて、伝熱媒体の経路を容器１０の外部空間に解放させてもよい。
【００７２】
なお、上記実施形態の熱処理装置２では、伝熱媒体流通管１４１が第２槽８２に接するように設けられたが、本発明はこれに限られず、伝熱媒体流通管１４１は、第２槽８２に内蔵されていてもよい。
【００７３】
また、熱処理装置２は、図１３に示すように、容器１０の外に配されたリザーバタンク１５１と、リザーバタンク１５１及び容器１０の内部空間の間で溶融金属Ｍを移送する溶融金属移送機構１５２とを備えることが好ましい。リザーバタンク１５１及び溶融金属移送機構１５２は対となって、第１槽８１に設けられる。なお、リザーバタンク１５１及び溶融金属移送機構１５２は、第１槽８１〜第３層８３に対し個別に設けてもよい。
【００７４】
リザーバタンク１５１は、溶融金属Ｍが貯留可能な密閉空間と、密閉空間に貯留する溶融金属Ｍの温度を調節するヒータ（図示省略）とを有する。
【００７５】
溶融金属移送機構１５２は、連通管１５２Ｔと、連通管１５２Ｔに設けられる切り替え弁１５２Ｂと、気圧制御機構１６０と、を有する。
【００７６】
連通管１５２Ｔは、第１槽８１に貯留する溶融金属Ｍの中で開口する槽側開口端１５２ＴＸと、リザーバタンク１５１に貯留する溶融金属Ｍの中で開口するタンク側開口端１５２ＴＹと、容器１０の内部空間であって第１槽８１の外で開口する容器側開口端１５２ＴＺと、を有する。槽側開口端１５２ＴＸとタンク側開口端１５２ＴＹとは常に連通している。一方、容器側開口端１５２ＴＺは、切り替え弁１５２Ｂによって、槽側開口端１５２ＴＸ及びタンク側開口端１５２ＴＹに対し遮断された状態（遮断状態）と、槽側開口端１５２ＴＸ及びタンク側開口端１５２ＴＹに対し開放された状態（解放状態）との間で切り替え自在である。
【００７７】
気圧制御機構１６０は、容器１０の内部空間の気圧を検知する容器側気圧センサ１６１と、容器１０の内部空間に連通する容器側通気管１６２と、容器側通気管１６２に設けられた容器側気圧調整ポンプ１６３と、容器１０及び容器側気圧調整ポンプ１６３の間の容器側通気管１６２に設けられ、容器側通気管１６２の開閉を行う容器側開閉弁１６４と、リザーバタンク１５１の内部空間の気圧を検知するタンク側気圧センサ１６６と、リザーバタンク１５１の内部空間に連通するタンク側通気管１６７と、タンク側通気管１６７に設けられたタンク側気圧調整ポンプ１６８と、容器１０及びタンク側気圧調整ポンプ１６８の間のタンク側通気管１６７に設けられ、タンク側通気管１６７の開閉を行うタンク側開閉弁１６９と、を有する。
【００７８】
コントローラ４０は、各気圧センサ１６１、１６６からのセンシング信号を読み取りながら、各開閉弁１６４、１６９の開閉操作や、各ポンプ１６３、１６８のＯＮ・ＯＦＦ操作を行って、容器１０からリザーバタンク１５１へ溶融金属Ｍが流れる流出状態と、リザーバタンク１５１から容器１０へ溶融金属Ｍが流れる流入状態と、容器１０及びリザーバタンク１５１の間で溶融金属Ｍの移動が起こらない停止状態と、の間で、切り替え運転を行う。ここで、流出状態では、切り替え弁１５２Ｂが閉じた状態で、容器１０の内部空間の気圧がリザーバタンク１５１の内部空間の気圧よりも高い。一方、流入状態では、切り替え弁１５２Ｂが閉じた状態で、容器１０の内部空間の気圧が、リザーバタンク１５１の内部空間の気圧よりも低い。また、停止状態では、切り替え弁１５２Ｂが開いており、容器１０の内部空間の気圧は、リザーバタンク１５１の内部空間の気圧と等しい。また、切り替え弁１５２Ｂと、連通管１５２Ｔのうち切り替え弁１５２Ｂが設けられる部分は、容器１０の外に位置することが好ましい。なお、切り替え弁１５２Ｂは、容器１０の内部空間にあってもよい（図１４参照）。
【００７９】
なお、熱処理装置２は、溶融金属移送機構１５２、すなわち連通管１５２Ｔや切り替え弁１５２Ｂの温度が溶融金属Ｍの凝固点以上となるように調節する温調機構を有していてもよい。温調機構は、例えば、連通管１５２Ｔや切り替え弁１５２Ｂの周りに配されるジャケットと、ジャケットの内部に供給される伝熱媒体の温度を調節する温調機と、ジャケットと温調機との間で伝熱媒体を循環させる循環路と、を有する。この温調機構により、連通管１５２Ｔや切り替え弁１５２Ｂの中で、溶融金属Ｍが凝固することを抑制する。
【００８０】
ところで、各棒７２、９１、１０１を操作する際、各シール部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃにおける蛇腹構造が伸縮する結果、各シール部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃの内部空間の体積変化に応じて、容器１０の内部空間の圧力が変動してしまう。このような内部空間の圧力変動、特に圧力が増大する場合には、各棒７２、９１、１０１の操作性が悪くなる。このような各棒７２、９１、１０１の操作性を確保するために、熱処理装置２は、圧力変動吸収機構１８０を備えていることが好ましい。なお、グローブ１１Ｇ（図１参照）を用いて容器１０の内部空間の各部を操作する際にも、容器１０の内部空間の圧力が変動してしまう結果、グローブ１１Ｇの操作性が悪くなるが、次に述べる圧力変動吸収機構１８０によって、グローブ１１Ｇの操作性を確保できる。
【００８１】
圧力変動吸収機構１８０は、図１５に示すように、容器１０の内部空間の圧力変動を吸収するものであり、容器１０に形成された開口１１Ｈを塞ぐ風船１８１を有する。風船１８１の形成材料は、弾性素材、例えば、ゴムがある。図１６に示すように、風船１８１の開口部は、開口１１Ｈの周縁に形成されたリブ１１ＨＲに係合するとともに、図示しない結束部材を用いて風船１８１の開口部をリブ１１ＨＲに縛り付ける。
【００８２】
容器１０の内部空間において各シール部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃやグローブ１１Ｇが占める体積が増大した場合、この体積増大分に追従して、風船１８１が膨張する（図１５参照）。このため、各シール部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃやグローブ１１Ｇが占める体積が増大しても、容器１０の内部空間の圧力は一定に維持される。この結果、各棒７２、９１、１０１やグローブ１１Ｇの操作性を確保することができる。
【００８３】
さらに、圧力変動吸収機構１８０は、開口１１Ｈを閉じる蓋１８３と、開口１１Ｈを閉じた閉塞状態と開口１１Ｈを外部へ開放した開放状態との間で蓋１８３を移動する蓋開閉機構１８５と、を有する。蓋開閉機構１８５は、蓋１８３を押し当てる蓋押当部材１８５Ｔと、蓋押当部材１８５Ｔを保持する保持部材１８５Ｈと、容器１０の外壁面から突設された凸部材１８５Ｂと、凸部材１８５Ｂ及び保持部材１８５Ｈを連結する連結軸１８５Ｘと、を有する。保持部材１８５Ｈは、連結軸１８５Ｘを中心にして搖動自在となった状態で、凸部材１８５Ｂに支持される。なお、蓋１８３と保持部材１８５Ｈとは固着されていてもよいが、図に示すように、蓋押当部材１８５Ｔとしてボルトを用い、保持部材１８５Ｈとして、ボルトのネジと螺合可能なネジ穴が形成された保持板を用いてもよい。蓋１８３を閉塞状態にしたのち、ボルトを締めることにより、開口１１Ｈの気密性を確実にすることができる。そして、蓋１８３によって開口１１Ｈを閉じた状態で容器１０の内部空間の真空引きを行えば、真空引きを行っている間、風船１１が容器１０の内部空間に引き込まれずに済む。
【００８４】
なお、風船１８１の代わりに、グローブ１１Ｇを用いてもよい。例えば、グローブ１１Ｇを同時に２つ使用する場合には、３つ目のグローブ１１Ｇが風船１８１の代わりとして機能する。
【００８５】
なお、図９〜１６に示した各機構は、熱処理装置２に限定されず、広く利用することができる。
【符号の説明】
【００８６】
２    熱処理装置
１０    容器
１１    グローブボックス
１１Ａ    側面貫通孔
１１Ｂ    側面貫通孔
１１Ｃ    上面貫通孔
１１ＫＡ    処理空間
１１Ｗ    観察窓
１２    搬入箱
１２Ｅ    搬入口
１２ＫＡ    搬入空間
１５    仕切板
２０    シール機構
２０Ａ    側面シール部
２０ＡＴ    シール筒
２０ＡＸ    棒側シールリング
２０ＡＹ    容器側シールリング
２０Ｂ    側面シール部
２０Ｃ    上面シール部
２０ＣＴ    シール筒
２０ＣＸ    棒側シールリング
２０ＣＹ    容器側シールリング
３０    ポンプユニット
３１    ガス供給ユニット
４０    コントローラ
５０    収容籠
６０    吊り下げテーブル
６１    水平板
６２    アーム
７０    テーブル移動機構
７１    挟持具
７２    テーブルスライド棒
７２Ｘ    軸線
７４    スライド機構
７５    カバー
８１〜８３    槽
９０    浸漬移動機構
９１    浸漬棒
９１Ｘ    軸線
９２Ａ〜９２Ｃ    アーム
９３    籠係止具
９４    スライド機構
９５    回動モータ
１００    搬送移動機構
１０１    搬送スライド棒
１０１Ｘ    軸線
１０２    籠引掛具
１０３    スライド機構
１２１-１２３    蓋
【図１】
2014224294.tif 000003
【図２】
2014224294.tif 000004
【図３】
2014224294.tif 000005
【図４】
2014224294.tif 000006
【図５】
2014224294.tif 000007
【図６】
2014224294.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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