(57)【要約】【課題】集光レンズの軸合わせが容易で、構造を簡素化したレーザイオン源を提供する。【解決手段】実施形態によれば、真空排気され、レーザ光Ｌを入射するための入射窓１ａが形成された真空容器１と、真空容器１内に設置され、レーザ光Ｌの照射によりイオンを発生するターゲット２と、ターゲット２にレーザ光Ｌを集光する集光レンズ４と、を備え、真空容器１の入射窓１ａに集光レンズ４を取り付け、この集光レンズ４を真空隔壁としたものである。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空排気され、レーザ光を入射するための入射窓が形成された真空容器と、
前記真空容器内に配置され、前記レーザ光の照射によりイオンを発生するターゲットと、
前記ターゲットに前記レーザ光を集光する集光レンズと、を備え、
前記真空容器の入射窓に前記集光レンズが設けられ、この集光レンズを真空隔壁としたことを特徴とするレーザイオン源。
【請求項２】
真空排気され、レーザ光を入射するための入射窓が形成された真空容器と、
前記真空容器内に配置され、前記レーザ光の照射によりイオンを発生するターゲットと、
前記真空容器の入射窓に設けられ、真空隔壁機能を有し前記レーザ光を導入するための真空窓と、
前記真空容器外に配置され、前記真空窓を通して前記ターゲットに前記レーザ光を集光する集光レンズと、
を備えることを特徴とするレーザイオン源。
【請求項３】
前記レーザ光の光軸方向に前記集光レンズを移動可能としたことを特徴とする請求項1又は２に記載のレーザイオン源。
【請求項４】
前記真空窓及び前記集光レンズを前記レーザ光の光軸方向に配置し、前記レーザ光の光軸方向に前記真空窓及び前記集光レンズを一体で移動可能としたことを特徴とする請求項２に記載のレーザイオン源。
【請求項５】
前記真空容器の外面にミラーホルダを固定し、このミラーホルダに前記真空容器内に前記レーザ光を導入するためのミラーを取り付けたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載のレーザイオン源。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載のレーザイオン源を有することを特徴とする重粒子線治療装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、レーザ光を照射することによりイオンを発生させるレーザイオン源及びこれを使用した重粒子線治療装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、イオン源では、イオンを発生させる方法として、ガス中に放電を発生させてイオンを得る方法が知られている。放電を発生させる方法としては、マイクロ波や電子ビームを用いている。
【０００３】
一方、レーザを用いたレーザイオン源は、レーザ光を集光してターゲットに照射し、このターゲット元素を蒸発させ、イオン化してプラズマを生成させる。また、レーザイオン源は、そのプラズマ中に含まれるイオンをプラズマのまま輸送し、そのイオンを引き出す際に加速することで、イオンビームを作り出す装置である（例えば、特許文献１、２参照）。したがって、レーザイオン源は、固体ターゲットにレーザ光を照射することにより、イオンを発生させることが可能であり、パルス大電流、多価イオンを発生させるのに有利である。
【０００４】
レーザイオン源で発生したイオンは、固体ターゲットの面に対して垂直方向の初速を有する。そのため、レーザイオン源は、イオン発生部と同電位の輸送管を輸送方向の下流まで延ばすことにより、イオンを輸送することが可能である。さらに、レーザイオン源は、プラズマの輸送経路上に電極を設置し、正電場をかけることで、不要なイオンが通過することができないようにすることも可能である（特許文献３参照）。
【０００５】
ところで、レーザイオン源のレーザ入射系の構造については、非特許文献１に記載された技術がある。この技術は、ＹＡＧレーザから出射されたレーザ光を真空容器の外部から２つのミラーを経て真空容器に導く。このレーザ光は、真空容器の真空窓を通して真空容器内に導入される。この真空容器内では、レーザ光をミラーで反射させてレンズに入射させ、このレンズにて集光してターゲットに照射している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３７１３５２４号公報
【特許文献２】特開２００９−３７７６４号公報
【特許文献３】特開２０１２−９９２７３号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】Review of Scientific Instruments 81, 02A510(2010年発行)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記非特許文献１に記載されたレーザ入射系においては、ミラーとレンズとの軸合わせが必要である。この場合、真空容器内に光学系であるミラー及びレンズを配置しているため、真空容器外からミラーとレンズとの相対的な軸方向位置を調整するには、モータ等の駆動機構が必要である。そのため、上記非特許文献１のレーザイオン源は、真空容器外に配線を引き回す等、構造が複雑化するという課題がある。
【０００９】
また、上記非特許文献１のレーザイオン源では、ミラー及びレンズがプラズマ生成部に設置されていると、アブレーション粒子による汚れが付着し、ターゲットへのレーザ光照射性能が劣化する。そのため、ミラー及びレンズの交換やこれらの汚れ防止機構（真空容器内に巻取式透明フィルムを設置する等）が必要になる。
【００１０】
したがって、上記レーザイオン源では、ミラー及びレンズを交換する際は、再度光学系の軸方向位置を調整する必要がある。また、真空容器内に汚れ防止機構を配置すると、構造が複雑化する課題がある。
【００１１】
本発明の実施形態が解決しようとする課題は、集光レンズの軸合わせが容易で、構造を簡素化したレーザイオン源及びこれを使用した重粒子線治療装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の実施形態に係るレーザイオン源は、真空排気され、レーザ光を入射するための入射窓が形成された真空容器と、前記真空容器内に配置され、前記レーザ光の照射によりイオンを発生するターゲットと、前記ターゲットに前記レーザ光を集光する集光レンズと、を備え、前記真空容器の入射窓に前記集光レンズが設けられ、この集光レンズを真空隔壁としたことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の実施形態に係るレーザイオン源は、真空排気され、レーザ光を入射するための入射窓が形成された真空容器と、前記真空容器内に配置され、前記レーザ光の照射によりイオンを発生するターゲットと、前記真空容器の入射窓に設けられ、真空隔壁機能を有し前記レーザ光を導入するための真空窓と、前記真空容器外に配置され、前記真空窓を通して前記ターゲットに前記レーザ光を集光する集光レンズと、を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明の実施形態に係る重粒子線治療装置は、上記実施形態のレーザイオン源のいずれかを有している。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の実施形態によれば、集光レンズの軸合わせが容易で、構造を簡素化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態に係るレーザイオン源を具備する重粒子線治療装置の構成の一例を示す図である。
【図２】本発明に係るレーザイオン源の第１実施形態の構成を示す概略断面図である。
【図３】図２のレンズ取付機構を示す拡大断面図である。
【図４】本発明に係るレーザイオン源の第２実施形態のレンズ取付機構を示す拡大断面図である。
【図５】本発明に係るレーザイオン源の第３実施形態の構成を示す概略断面図である。
【図６】図５のレンズ取付機構を示す拡大断面図である。
【図７】本発明に係るレーザイオン源の第４実施形態の真空窓及びレンズ取付機構を示す拡大断面図である。
【図８】本発明に係るレーザイオン源の第５実施形態の真空窓及びレンズ取付機構を示す拡大断面図である。
【図９】本発明に係るレーザイオン源の第６実施形態の構成を示す概略断面図である。
【図１０】図９のミラー取付機構を示す拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明に係るレーザイオン源の実施形態と、これを具備する重粒子線治療装置の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１８】
(重粒子線治療装置)
図１は本発明の実施形態に係るレーザイオン源を具備する重粒子線治療装置の構成の一例を示す図である。
【００１９】
図１に示すように、重粒子線治療装置３００は、レーザイオン源２０、線型加速器８を含む加速器４０、Ｘ用電磁石３０ａ、Ｙ用電磁石３０ｂ、真空ダクト３１、線量モニタ部５０、リッジフィルタ６０、レンジシフタ７０、コントローラ８０等を備えて構成されている。
【００２０】
重粒子線治療装置３００は、レーザイオン源２０で発生させる重粒子イオンを加速器４０で高速に加速して粒子線ビームを生成し、この粒子線ビームを患者２００の患部（腫瘍細胞）２０１に向けて照射して重粒子イオンを作用させて治療を行う装置である。重粒子線治療装置３００では、患部２０１を３次元の格子点に離散化し、各格子点に対して細い径の粒子線ビームを順次走査する３次元スキャニング照射法を実施することが可能である。
【００２１】
具体的には、患部２０１を粒子線ビームの軸方向（図１右上に示す座標系におけるＺ軸方向）にスライスと呼ばれる平板状の単位で分割し、分割したスライスＺi、スライスＺi+1、スライスＺi+2等の各スライスの２次元格子点（図１右上に示す座標系におけるＸ軸及びＹ軸方向の格子点）を順次走査することによって３次元スキャニングを行っている。
【００２２】
レーザイオン源２０で発生させた重粒子イオンを、線型加速器８、シンクロトロン等の加速器４０よって患部２０１の奥深くまで到達できるエネルギーまで加速して粒子線ビームを生成している。
【００２３】
Ｘ方向に走査するＸ用電磁石３０ａとＹ方向に走査するＹ用電磁石３０ｂは、粒子線ビームをＸ方向及びＹ方向に偏向させ、スライス面上を２次元で走査する。レンジシフタ７０は、患部２０１のＺ軸方向の位置を制御する。レンジシフタ７０は、例えば複数の厚さのアクリル板から構成されており、これらのアクリル板を組み合わせることによってレンジシフタ７０を通過する粒子線ビームのエネルギー、即ち体内飛程を患部２０１スライスのＺ軸方向の位置に応じて段階的に変化させることができる。レンジシフタ７０による体内飛程の大きさは通常等間隔で変化するように制御され、この間隔がＺ軸方向の格子点の間隔に相当する。なお、体内飛程の切り替え方法としては、レンジシフタ７０のように粒子線ビームの径路上に減衰用の物体を挿入する方法のほか、上流機器の制御によって粒子線ビームのエネルギー自体を変更する方法でもよい。
【００２４】
リッジフィルタ６０は、ブラッグピークと呼ばれる体内深さ方向における線量のシャープなピークを拡散させるために設けられている。ここで、リッジフィルタ６０によるブラッグピークの拡散幅は、スライスの厚み、即ちＺ軸方向の格子点の間隔と等しくなるように設定される。３次元スキャニング照射用のリッジフィルタ６０は、断面が略２等辺三角形のアルミニウム棒状部材を複数並べて構成している。粒子線ビームが２等辺三角形を通過する際に生じる径路長の差異によってブラッグピークのピークを拡散させることが可能であり、２等辺三角形の形状によって拡散幅を所望の値に設定することができる。
【００２５】
線量モニタ部５０は、照射する線量をモニタするためのものであり、その筐体内に、粒子線の電離作用によって生じた電荷を平行電極で収集する電離箱や、筐体内に配置された二次電子放出膜から放出される二次電子を計測するＳＥＭ（Secondary Electron Monitor）装置等によって構成されている。
【００２６】
(レーザイオン源の第１実施形態)
図２は本発明に係るレーザイオン源の第１実施形態の構成を示す概略断面図である。図３は図２のレンズ取付機構を示す拡大断面図である。
【００２７】
図２に示すように、真空容器１は、耐食性や耐薬品性に優れ、放出ガスが少ない材料、例えばステンレス鋼製である。真空容器１の内部には、イオンとなる元素又はそれを含有するターゲット２が配置されている。このターゲット２は、例えばカーボン系の板状部材により形成されている。
【００２８】
真空容器１には、図示しない高電圧電源から高電圧が印加されている。正イオンビームを生成するときは正電位を、負イオンビームを生成するときは負電位を付与する。本実施形態では、正の高電圧を印加している。真空容器１は、図示しない排気口が形成され、この排気口に図示しない真空ポンプが接続され、真空容器１内が真空排気されている。
【００２９】
真空容器１は、壁面の一部に、具体的には側面の上部にレーザ光を入射するための入射窓１ａが形成されている。この入射窓１ａには、レンズ取付機構３が固定されている。このレンズ取付機構３には、レーザ光Ｌを集光するための光学系としての集光レンズ４が取り付けられている。図示しない光源から出射されたレーザ光Ｌは、集光レンズ４を通して真空容器１内に入射した後、ターゲット２に集光照射される。上記光源としては、例えばＣＯ２レーザやＮｄ−ＹＡＧレーザを用いることができる。
【００３０】
真空容器１の一側面（図１では右側面）には、イオンを取り出すための輸送管９が設けられている。この輸送管９内には、正電場をかけることで、不要なイオンを排除する電極１０が配置されている。輸送管９は、正の高電位であり、真空を保持した絶縁管７内に設置されている。この絶縁管７は、一端が真空容器１の側面に接続され、他端が接地電位の線型加速器（ＲＦＱ：Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｑｕａｄｒｕｐｏｌｅ）８に接続されている。電極１１は、接地電位であり、輸送管９の軸方向延長線上における線型加速器８側に配置されている。電極１１は、引出電界を強めるための機能を有する。
【００３１】
レンズ取付機構３は、レンズホルダ１２（図２に示す）を真空容器１に溶接することにより固定されている。このレンズホルダ１２は、円筒状に形成されている。レンズホルダ１２内には、図２に示すように集光レンズ４が装着されている。この集光レンズ４は、機械的に位置決めされ、レンズホルダ１２により支持されている。レンズホルダ１２は、集光レンズ４を真空隔壁とするため、Ｏリング１３に集光レンズ４を圧接してシールしている。
【００３２】
集光レンズ４を圧接するための機構は、集光レンズ４に当接する押えリング１２ａと、この押えリング１２ａを介して集光レンズ４を押え付ける固定リング１２ｂと、この固定リング１２ｂをレンズホルダ１２に固定するビス１２ｃとを備えている。レンズホルダ１２、Ｏリング１３、押えリング１２ａ、及び固定リング１２ｂは、同心状に設置されている。押えリング１２ａは、例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂等のように集光レンズ４を傷付けない素材から形成されている。このようにして集光レンズ４は、真空容器１と一体化し、真空隔壁として構成されている。
【００３３】
次に、本実施形態の作用を説明する。
【００３４】
なお、真空容器１内は、図示しない排気口に接続された真空ポンプ等により十分に排気されているものとする。真空容器１には、例えば正電位が与えられ、輸送管９には、真空容器１の電位よりも高い正の高電位が与えられ、電極１０には正電場がかけられ、さらに電極１１には、接地電位が与えられているものとする。
【００３５】
この状態で、パルス駆動のレーザ光源（図示せず）からレーザ光Ｌを、真空容器１と一体化した集光レンズ４により集光してターゲット２上に照射する。このターゲット２上に集光したレーザ光Ｌによりレーザ集光点では、ターゲット２の微小部分が高温に熱せられる。この高温に熱せられた部分がプラズマ化して、レーザアブレーションプラズマ５が生成される。
【００３６】
このレーザアブレーションプラズマ５は、正の高電位である輸送管９で輸送され、この輸送管９と接地電位の線型加速器８との間の電位差により、必要とするイオン６のみが加速されて、イオンビームとなって線型加速器８に入射される。ここで、不要なイオンは、電極１０によって排除される。そして、イオンビームは、線形加速器８によってさらに加速されることになる。
【００３７】
ところで、レーザ光Ｌを集光するための集光レンズ４は、集光レンズ４の焦点距離と真空容器１の形状によって、真空容器１の内外のいずれに配置してもよい。しかし、焦点距離の短い方がターゲット２上でのレーザエネルギ密度を高められることから、価数の多いイオンを発生させる際は、真空容器１内に集光レンズ４を配置することが一般的である。この場合、レーザ光Ｌが透過する真空窓を真空隔壁とし、真空容器１内の光軸上に集光レンズ４を配置することが一般的である。
【００３８】
本実施形態では、真空容器１内のプラズマ生成部にミラー及び集光レンズ４を配置しなくて済むため、ミラー及びレンズの交換やこれらの汚れ防止機構が不要になり、構造を簡素化することができる。
【００３９】
また、本実施形態では、集光レンズ４を真空隔壁として用い、真空窓を不要とすることにより、構成要素を削減するとともに、レーザ光Ｌの損失を低減することが可能になる。
【００４０】
さらに、本実施形態では、集光レンズ４を真空隔壁とすることで、真空窓の構成要素が不要となる。また、集光レンズ４は真空容器１と一体化しているため、集光レンズ４の軸合わせを不要にすることができる。
【００４１】
このように本実施形態によれば、集光レンズ４の軸合わせが容易で、構造を簡素化することが可能になる。
【００４２】
(レーザイオン源の第２実施形態)
図４は本発明に係るレーザイオン源の第２実施形態のレンズ取付機構を示す拡大断面図である。なお、以下のレーザイオン源の各実施形態では、前記第１実施形態と同一又は対応する部分には、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００４３】
図４に示すように、本実施形態は、前記第１実施形態の集光レンズ４をレーザ光軸方向に移動可能に構成したものである。具体的には、ホルダ取付部材１４の内周面に雌ネジを刻設し、この雌ネジに螺合する雄ネジをレンズホルダ１２の外周面に刻設している。ホルダ取付部材１４は、円筒状に形成され、真空容器１に溶接により固定されている。
【００４４】
これにより、レンズホルダ１２を回転させることで、集光レンズ４をレーザ光軸方向に移動させて焦点位置を調整することが可能になる。
【００４５】
レンズホルダ１２の真空シール構造は、前記第１実施形態と同様に構成されている。また、レンズホルダ１２とホルダ取付部材１４との間は、例えばレンズホルダ１２に固定したＯリング１３ａで真空シールすることが可能である。
【００４６】
このように本実施形態によれば、集光レンズ４の軸合わせが不要で、かつ集光レンズ４を真空隔壁とし、真空状態を破ることなく、集光レンズ４を光軸方向に移動させて焦点位置を調整することが可能になる。
【００４７】
(レーザイオン源の第３実施形態)
図５は本発明に係るレーザイオン源の第３実施形態の構成を示す概略断面図である。図６は図５のレンズ取付機構を示す拡大断面図である。
【００４８】
図５及び図６に示すように、本実施形態は、前記第１実施形態のレンズホルダ１２の真空隔壁を、真空窓１５及びＯリング１３を用いてシールし、真空隔壁外に集光レンズ４を配置したものである。
【００４９】
真空窓１５は、例えばレーザ光Ｌを透過するガラス等の材質から成形され、表面に反射防止コートが施されている等、効率よくレーザ光Ｌを透過するものが望ましい。真空窓１５の真空隔壁外には、真空窓１５及び集光レンズ４を傷付けないようにするためポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂等の押えリング１２ｄが配置されている。集光レンズ４は、押えリング１２ａにより押えリング１２ｄ側に押え付けられ、固定リング１２ｂをビス止めすることで固定される。
【００５０】
このように本実施形態によれば、真空窓１５を真空隔壁に用いることにより、集光レンズ４にアブレーション粒子による汚れが付着することがなくなる。
【００５１】
また、本実施形態によれば、真空容器１に集光レンズ４及び真空窓１５が一体に設けられていることから、集光レンズ４の軸合わせが不要になる。
【００５２】
なお、本実施形態では、押えリング１２ａ，１２ｄの厚みを変えることにより、集光レンズ４の光軸方向の位置調整が可能になる。
【００５３】
(レーザイオン源の第４実施形態)
図７は本発明に係るレーザイオン源の第４実施形態の真空窓及びレンズ取付機構を示す拡大断面図である。
【００５４】
図７に示すように、本実施形態は、前記第３実施形態の構成に加え、レンズホルダ１２の集光レンズ４をレーザ光軸方向に移動可能に構成したものである。具体的には、ホルダ取付部材１４の真空側に真空窓１５が配置されている。この真空窓１５は、押えリング１２ａによりＯリング１３側に押え付けられ、固定リング１２ｂをビス止めすることで固定される。
【００５５】
可動レンズホルダ１６は、円筒状に形成され、ホルダ取付部材１４と同心状に設けられる。本実施形態では、ホルダ取付部材１４の内周面に雌ネジを刻設し、この雌ネジに螺合する雄ネジを可動レンズホルダ１６の外周面に刻設している。これにより、可動レンズホルダ１６を回転させることで、集光レンズ４をレーザ光軸方向に位置調整することが可能になる。その結果、集光レンズ４の焦点位置を調整することができる。
【００５６】
可動レンズホルダ１６には、押えリング１６ａを用いて集光レンズ４が固定されている。図６では省略しているが、押えリング１６ａは、真空窓１５と同様にビス止め等で固定することが可能である。また、押えリング１６ａの軸方向の長さを変えることによっても、集光レンズ４をレーザ光軸方向に位置調整することが可能になる。
【００５７】
このように本実施形態によれば、集光レンズ４の軸合わせが不要で、かつ真空状態を破ることなく、真空外で集光レンズ４を光軸方向に位置調整を行うことが可能になる。
【００５８】
(レーザイオン源の第５実施形態)
図８は本発明に係るレーザイオン源の第５実施形態の真空窓及びレンズ取付機構を示す拡大断面図である。
【００５９】
図８に示すように、本実施形態は、前記第３実施形態のレンズホルダ１２の集光レンズ４及び真空窓１５をレーザ光軸方向に移動可能に構成したものでる。具体的には、真空窓１５及び集光レンズ４は、レンズホルダ１２に一体に設けられている。
【００６０】
また、本実施形態では、ホルダ取付部材１４の内周面に雌ネジを刻設し、この雌ネジに螺合する雄ネジをレンズホルダ１２の外周面に刻設している。これにより、レンズホルダ１２を回転させることで、集光レンズ４及び真空窓１５をレーザ光軸方向に位置調整することが可能となる。その結果、集光レンズ４の焦点位置を調整することができる。
【００６１】
さらに、本実施形態では、真空窓１５がＯリング１３によりシールされ、ホルダ取付部材１４とレンズホルダ１２との間がＯリング１３ａによりシールされている。
【００６２】
このように本実施形態によれば、集光レンズ４の軸合わせが不要で、かつ真空状態を破ることなく、集光レンズ４を光軸方向に位置調整を行うことが可能になる。
【００６３】
(レーザイオン源の第６実施形態)
図９は本発明に係るレーザイオン源の第６実施形態の構成を示す概略断面図である。図１０は図９のミラー取付機構を示す拡大図である。
【００６４】
図９及び図１０に示すように、本実施形態は、前記第３実施形態のレーザイオン源において、ミラーホルダ１７ａが真空容器１の外側面に固定され、ミラーホルダ１７ａにミラー１７を取り付けたものである。ミラー１７は、集光レンズ４にレーザ光Ｌを入射させるためのものである。
【００６５】
ミラーホルダ１７ａは、金属薄板等、振動せずに再現性のある材質から形成されている。ミラーホルダ１７ａには、機械的な位置調整機構が設けられ、この位置調整機構により集光レンズ４に対してミラー１７のレーザ光Ｌの軸合わせを行っている。
【００６６】
このように本実施形態によれば、ミラーホルダ１７ａを用いてミラー１７と真空容器１を一体化させることにより、ミラー１７の設置場所を自由に選択することができ、かつ集光レンズ４の軸合わせが不要になる。
【００６７】
（その他の実施形態）
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更、組み合わせを行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【００６８】
例えば、上記レーザイオン源の第１実施形態では、真空容器１の入射窓１ａにレンズホルダ１２を固定し、このレンズホルダ１２に集光レンズ４を取り付けるようにしたが、これに限らず真空容器１の入射窓１ａに直接集光レンズ４を取り付けるようにしてもよい。
【００６９】
また、上記レーザイオン源の第２実施形態〜第５実施形態の構成に、第６実施形態の構成を組み合わせるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１…真空容器、１ａ…入射窓、２…ターゲット、３…レンズ取付機構、４…集光レンズ、５…レーザアブレーションプラズマ、６…イオン、７…絶縁管、８…線型加速器、９…輸送管、１０…電極、１１…電極、１２…レンズホルダ、１２ａ…押えリング、１２ｂ…固定リング、１２ｃ…ビス、１２ｄ…押えリング、１３…Ｏリング、１３ａ…Ｏリング、１４…ホルダ取付部材、１５…真空窓、１６…可動レンズホルダ、１６ａ…押えリング、１７…ミラー、１７ａ…ミラーホルダ、２０…レーザイオン源、３０ａ…Ｘ用電磁石、３０ｂ…Ｙ用電磁石、３１…真空ダクト、４０…加速器、５０…線量モニタ部、６０…リッジフィルタ、７０…レンジシフタ、８０…コントローラ、２０１…患部、３００…重粒子線治療装置、Ｌ…レーザ光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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