(57)【要約】【課題】大きい排気速度を有するコールドトラップ、及びコールドトラップの取付構造を提供する。【解決手段】コールドトラップ１１０は、排気対象容積を真空ポンプに接続するための導管１２４と、導管１２４に囲まれるコールドパネル１２０と、を備え、導管１２４は、被排気側に入口フランジ１２６を備え、真空ポンプ側に出口フランジ１２８を備えており、出口フランジ１２８は、導管１２４の延在方向に入口フランジ１２６から間隔を有して配設されており、入口フランジ１２６の外径が出口フランジ１２８の外径より大きい。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気対象容積と該容積の真空排気のための真空ポンプとの間に設けられるコールドトラップであって、
前記容積を前記真空ポンプに接続するための導管と、
前記導管に囲まれるコールドパネルと、を備え、
前記導管は、被排気側に入口フランジを備え、真空ポンプ側に出口フランジを備えており、前記出口フランジは、前記導管の延在方向に前記入口フランジから間隔を有して配設されており、
前記入口フランジの外径が前記出口フランジの外径より大きいことを特徴とするコールドトラップ。
【請求項２】
前記コールドパネルは、径方向内側部分と径方向外側部分とを備え、
前記径方向外側部分は、前記延在方向に関して前記径方向内側部分と前記容積との間に配設されていることを特徴とする請求項１に記載のコールドトラップ。
【請求項３】
前記径方向外側部分は、前記導管の前記真空ポンプ側の内径より大きい外径を有することを特徴とする請求項２に記載のコールドトラップ。
【請求項４】
前記径方向外側部分は、前記導管の前記被排気側の内径より大きい外径を有し、
前記入口フランジには、前記径方向外側部分を受け入れるための凹部が形成されていることを特徴とする請求項２または３に記載のコールドトラップ。
【請求項５】
コールドトラップの取付構造であって、
被排気側から真空ポンプ側へと延在する導管と、
前記導管の前記被排気側に設けられている入口フランジと、
前記導管の前記真空ポンプ側に設けられている出口フランジと、を備え、
前記入口フランジの外径が前記出口フランジの外径より大きいことを特徴とするコールドトラップの取付構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コールドトラップ、及びコールドトラップの取付構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
コールドトラップは、表面に気体を凍結させて捕捉することにより雰囲気から除去する装置である。コールドトラップの１つの用途においては、コールドトラップは、主真空ポンプの手前に設置される。水蒸気等の平衡蒸気圧の低い気体がコールドトラップにより捕捉され、平衡蒸気圧の比較的高いその他の気体が主真空ポンプにより排気される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第５４８３８０３号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明のある態様の例示的な目的のひとつは、大きい排気速度を有するコールドトラップ、及びコールドトラップの取付構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のある態様によると、排気対象容積と該容積の真空排気のための真空ポンプとの間に設けられるコールドトラップであって、前記容積を前記真空ポンプに接続するための導管と、前記導管に囲まれるコールドパネルと、を備え、前記導管は、被排気側に入口フランジを備え、真空ポンプ側に出口フランジを備えており、前記出口フランジは、前記導管の延在方向に前記入口フランジから間隔を有して配設されており、前記入口フランジの外径が前記出口フランジの外径より大きいことを特徴とするコールドトラップが提供される。
【０００６】
本発明のある態様によると、コールドトラップの取付構造であって、被排気側から真空ポンプ側へと延在する導管と、前記導管の前記被排気側に設けられている入口フランジと、前記導管の前記真空ポンプ側に設けられている出口フランジと、を備え、前記入口フランジの外径が前記出口フランジの外径より大きいことを特徴とするコールドトラップの取付構造が提供される。
【０００７】
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや本発明の構成要素や表現を、方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、大きい排気速度を有するコールドトラップ、及びコールドトラップの取付構造を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明のある実施形態に係る真空排気システムを模式的に示す図である。
【図２】本発明の他の実施形態に係るコールドトラップを概略的に示す側断面図である。
【図３】本発明の他の実施形態に係るコールドトラップを概略的に示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本発明のある実施形態に係る真空排気システムを模式的に示す図である。この真空排気システムは、コールドトラップ１０と、排気対象容積（例えば真空処理装置の真空チャンバ１６）を排気するための主真空ポンプ（例えばターボ分子ポンプ１２）とを備える。主真空ポンプは高真空領域まで排気するための高真空ポンプである。なお主真空ポンプはディフュージョンポンプであってもよい。真空排気システムは、主真空ポンプに加えて、真空チャンバ１６の粗引きをするための補助ポンプを備えてもよい。
【００１１】
ターボ分子ポンプ１２は、排気流路１３を介して真空チャンバ１６に接続されている。コールドトラップ１０は、真空チャンバ１６とターボ分子ポンプ１２との間に配置されている。コールドトラップ１０はいわゆるインライン型のコールドトラップである。コールドトラップ１０は、例えば、ターボ分子ポンプ１２の鉛直方向上方に配置されている。
【００１２】
以下では、構成要素の位置関係をわかりやすく表すために、「軸方向」、「径方向」との用語を使用することがある。軸方向は排気流路１３に沿う方向（または導管２４の延在方向）を表し、径方向は軸方向に垂直な方向を表す。便宜上、軸方向に関して真空チャンバ１６に相対的に近いことを「上」、相対的に遠いことを「下」と呼ぶことがある。つまり、ターボ分子ポンプ１２から相対的に遠いことを「上」、相対的に近いことを「下」と呼ぶことがある。径方向に関しては、排気流路１３の中心に近いことを「内」、排気流路１３の周縁に近いことを「外」と呼ぶことがある。なお、こうした表現はコールドトラップ１０が真空チャンバ１６及びターボ分子ポンプ１２に取り付けられるときの実際の配置とは関係しない。例えば、コールドトラップ１０は出口開口１５を鉛直方向に上向きとし入口開口１４を鉛直方向に下向きとして真空チャンバ１６に取り付けられてもよい。
【００１３】
排気流路１３は、真空チャンバ１６からターボ分子ポンプ１２へと気体を流すための空間である。よって、排気流路１３は、真空チャンバ１６側の入口開口１４と、ターボ分子ポンプ１２側の出口開口１５とを有する。排気されるべき気体は、真空チャンバ１６から入口開口１４を通じて排気流路１３に進入し、出口開口１５を経てターボ分子ポンプ１２へと流れる。
【００１４】
本実施形態においては、入口開口１４は出口開口１５より大きい。入口側から見たとき、入口開口１４は出口開口１５を包含する。入口開口１４は円形であり、出口開口１５は入口開口１４と同心円である。
【００１５】
コールドトラップ１０及びターボ分子ポンプ１２を真空チャンバ１６から遮断するためのゲートバルブ１８が設けられている。ゲートバルブ１８は真空チャンバ１６の開口部とコールドトラップ１０との間に設けられている。ゲートバルブ１８は入口開口１４の上方にてコールドトラップ１０隣接している。ゲートバルブ１８を開くことにより真空チャンバ１６を排気可能に真空排気システムが連通され、ゲートバルブ１８を閉じることにより真空チャンバ１６から真空排気システムが遮断される。例えば、コールドトラップ１０を再生する際には通常ゲートバルブ１８は閉じられる。
【００１６】
ゲートバルブ１８は本真空排気システムの一部として構成されていてもよいし、真空処理装置の一部として真空チャンバ１６の開口部に設けられていてもよい。また、ゲートバルブ１８は設けられていなくてもよく、その場合、コールドトラップ１０は真空チャンバ１６の開口部に直接取り付けられていてもよい。このようにゲートバルブ１８を設けることは任意であるため、以下では説明の便宜上、真空チャンバとゲートバルブとを総称して、単に真空チャンバと呼ぶことがある。
【００１７】
コールドトラップ１０は、コールドパネル２０と、コールドパネル２０を冷却するための冷凍機２２と、を備える。コールドパネル２０は、その表面に気体を凝縮により捕捉するよう構成されている。コールドパネル２０は全体が排気流路１３に露出されており、冷凍機２２により冷却されることにより排気流路１３を流れる気体の一部を表面に凍結して捕捉する。また、コールドトラップ１０は、真空チャンバ１６をターボ分子ポンプ１２に接続するための導管２４と、を備える。
【００１８】
コールドパネル２０は、排気流路１３における気体流通方向（図１においては上下方向）に垂直な面（図１においては左右方向）に沿って配置されている。つまりコールドパネル２０は径方向に広がっている。コールドパネル２０は、排気流路１３の気体流通方向に垂直な断面積の大半を占有するように気体流通方向に関する投影面積が設定されている。例えば、コールドパネル２０の外周端と導管２４の内面との隙間を除いて、コールドパネル２０は排気流路１３を光学的に閉塞する。
【００１９】
導管２４は排気流路１３を画定する。上述のようにコールドパネル２０は排気流路１３に配置されているので、コールドパネル２０は導管２４に囲まれている。よって導管２４はコールドパネル２０を収容するためのコールドパネルハウジングと呼ぶこともできる。導管２４は、その入口側で大口径を有しかつ出口側で小口径を有するように、導管２４の延在方向に沿って断面積が変化する。入口側の口径は入口開口１４に対応し、出口側の口径は出口開口１５に対応する。図示の例では導管２４の断面積は入口開口１４から出口開口１５への連続的に変化する。導管２４は、その断面積を不連続に変化させる段差を入口開口１４と出口開口１５との間に有してもよい。
【００２０】
導管２４は、２つの真空フランジを備える。導管２４は、被排気側に入口フランジ２６を備え、真空ポンプ側に出口フランジ２８を備える。出口フランジ２８は、導管２４の延在方向（図１においては上下方向）に入口フランジ２６から間隔を有して配設されている。つまり、入口フランジ２６と出口フランジ２８とは軸方向に離れており、導管２４の筒部２７によって２つのフランジが互いに接続されている。入口フランジ２６に入口開口１４が形成され、出口フランジ２８に出口開口１５が形成されている。
【００２１】
入口フランジ２６はゲートバルブ１８のフランジ（図示せず）に取り付けられ、出口フランジ２８はターボ分子ポンプ１２のフランジ（図示せず）に取り付けられる。本実施形態では、ゲートバルブ１８の呼び径はターボ分子ポンプ１２の入口フランジの呼び径より大きい。これに適合させるために、コールドトラップ１０の入口フランジ２６の寸法は出口フランジ２８の寸法より大きい。例えば、入口フランジ２６の外径及び内径が出口フランジ２８の外径及び内径より大きい。このようにして、入口フランジ２６は、真空チャンバ１６またはゲートバルブ１８に取り付け可能に構成されており、出口フランジ２８は、ターボ分子ポンプ１２に取り付け可能に構成されている。
【００２２】
コールドパネル２０は、中心パネル３０と外周パネル３２とを備える。中心パネル３０は、例えば複数の金属製の羽板を有するルーバーである。各羽板はそれぞれ径の異なる円すい台の側面の形状に形成されて同心円状に配列されている。なお中心パネル３０はシェブロン形状に形成されていてもよいし格子状等他の形状に形成されていてもよい。中心パネル３０の外径は出口開口１５の口径（すなわち、出口フランジ２８の内径）より小さい。外周パネル３２は、例えば円形の環状の平板である。なお外周パネル３２は、中心パネル３０と同様に、任意の形状に形成されていてもよい。
【００２３】
外周パネル３２は、中心パネル３０の軸方向上方に配設されている。外周パネル３２の外径は、出口開口１５の口径より大きい。外周パネル３２の内径は、中心パネル３０の外径に相当する。そのため、軸方向に見たとき、外周パネル３２の中央開口から中心パネル３０のほぼ全体を見ることができる。よって、外周パネル３２を上部パネルと呼び、中心パネル３０を下部パネルと呼ぶこともできる。
【００２４】
中心パネル３０は排気流路１３の中心部の少なくとも一部を覆うように配設されている。中心パネル３０の外端は導管２４の筒部２７の内面から離れている。よって、中心パネル３０と導管２４の筒部２７との間には、入口開口１４と出口開口１５とをつなぐ環状空間３８が形成されている。外周パネル３２は、この環状空間３８の少なくとも一部を覆うように配設されている。外周パネル３２は、中心パネル３０の外側で筒部２７に向けて延在する。このように、コールドパネル２０は、径方向内側部分と径方向外側部分とに区分けすることができる。
【００２５】
こうして、外周パネル３２は、コールドパネル２０の拡張部分を形成する。すなわち、外周パネル３２を設けることによって、軸方向に見たときのコールドパネル２０の投影面積が径方向に拡大されている。よって、コールドトラップ１０の排気速度を向上させることができる。
【００２６】
コールドパネル２０は、冷凍機２２の冷却ステージに取り付けられている。あるいは、コールドパネル２０は、冷凍機２２の冷却ステージとコールドパネル２０とを連結する伝熱部材により、冷凍機２２の冷却ステージに熱的に接続されていてもよい。冷凍機２２は例えば、ギフォード・マクマホン式冷凍機（いわゆるＧＭ冷凍機）である。また冷凍機２２は単段式の冷凍機である。
【００２７】
冷凍機２２は、コールドパネル２０の中心パネル３０に熱的に接続されている。外周パネル３２は、中心パネル３０を介して冷凍機２２に熱的に接続されている。あるいは、中心パネル３０と外周パネル３２とはそれぞれ個別の伝熱経路によって冷凍機２２に熱的に接続されていてもよい。この場合、外周パネル３２は中心パネル３０を経由せずに冷凍機２２に接続されてもよい。
【００２８】
導管２４の筒部２７の側面には、コールドパネル２０を冷凍機２２に連結するための側面開口３４が形成されている。側面開口３４の外周部から径方向外側に向けて、冷凍機２２の少なくとも一部を囲む冷凍機ハウジング３６が延びている。こうして、導管２４は、冷凍機２２を収容するための冷凍機ハウジング３６を、入口フランジ２６と出口フランジ２８との間に備える。
【００２９】
図１に示される真空排気システムによる排気処理においては、ゲートバルブ１８を開放しターボ分子ポンプ１２を動作させることにより真空チャンバ１６を排気して真空度を所望のレベルへと高める。ターボ分子ポンプ１２を作動させる前に、粗引き用の補助ポンプにより真空チャンバ１６を排気してもよい。コールドトラップ１０は、排気流路１３を流れる水蒸気を捕捉可能とする温度（例えば１００Ｋ）に冷却される。ターボ分子ポンプ１２は通常水蒸気の排気速度が比較的小さいが、コールドトラップ１０を併用することにより大きな排気速度を実現することができる。
【００３０】
図２及び図３は、本発明の他の実施形態に係るコールドトラップ１１０を概略的に示す図である。図２は、コールドトラップ１１０の中心軸を含む断面を示し、図３は、コールドトラップ１１０を上から見た図を示す。図１に示すコールドトラップ１０と同様に、図２及び図３に示すコールドトラップ１１０をターボ分子ポンプ１２と組み合わせて、真空チャンバ１６のための真空排気システムを構成することができる。なお以下の説明においては、冗長を避けるために、図２及び図３に示すコールドトラップ１１０において図１に示すコールドトラップ１０と同様の構成要素については同様の符号を付すことにより説明を適宜省略することがある。
【００３１】
コールドトラップ１１０においては、詳しくは後述のように、コールドパネル１２０の径方向外側部分（例えば拡張パネル１４４）が導管１２４の被排気側の内径よりも大きい外径を有する。その径方向外側部分を受け入れるために、フランジ凹部１４０が入口フランジ１２６に形成されている。
【００３２】
コールドパネル１２０は、本体パネル１４２と拡張パネル１４４とを備える。本体パネル１４２は、筒型パネル１４６とバッフル１４８とを備える。拡張パネル１４４、筒型パネル１４６、及びバッフル１４８は軸方向に上からこの記載の順序で配列されている。拡張パネル１４４は、軸方向に関して真空チャンバ１６（図１参照）と本体パネル１４２との間にある。拡張パネル１４４、筒型パネル１４６、及びバッフル１４８をそれぞれ、上部パネル、中間パネル、及び下部パネルと呼ぶこともできる。
【００３３】
筒型パネル１４６は、例えば円筒形状を有し、入口開口１１４から出口開口１１５へ向けて延在する。筒型パネル１４６の上端は入口フランジ１２６に囲まれている。一方、筒型パネル１４６の下端は出口フランジ１２８のいくらか上方にあり、筒型パネル１４６の下端と出口フランジ１２８との間にバッフル１４８が配置されている。筒型パネル１４６を内筒とし導管１２４を外筒とする二重の筒構造が構成されており、筒型パネル１４６と導管１２４との間に環状空間１３８が形成されている。筒型パネル１４６の軸方向中間部分に冷凍機１２２が連結されており、それにより筒型パネル１４６が冷凍機１２２によって冷却される。なお、入口開口１１４から出口開口１１５への気体流れを促進するために、筒型パネル１４６の側面に開口が形成されていてもよい。
【００３４】
バッフル１４８は、図１を参照して説明した中心パネル３０と同様に、ルーバー構造を有する。バッフル１４８は、筒型パネル１４６の出口側開口を光学的に閉塞するように構成されている。バッフル１４８は、その他の任意の形状を有してもよい。バッフル１４８は筒型パネル１４６の下端部に取り付けられており、それによってバッフル１４８は筒型パネル１４６を介して冷凍機１２２に熱的に接続される。
【００３５】
拡張パネル１４４及び筒型パネル１４６に比べて排気流路１１３の下流側にバッフル１４８を配置することにより、気体は主として上流側の拡張パネル１４４及び筒型パネル１４６によって捕捉される。したがって、バッフル１４８上に堆積する気体量を少なくすることができる。これはバッフル１４８の気体流れを維持することに役立つ。
【００３６】
拡張パネル１４４は、図１を参照して説明した外周パネル３２と同様に、円形環状プレートである。拡張パネル１４４は、その他の任意の形状を有してもよい。拡張パネル１４４は、入口フランジ１２６に囲まれている。拡張パネル１４４は、筒型パネル１４６と導管１２４との間の環状空間１３８を覆うように配設されている。拡張パネル１４４の内径は筒型パネル１４６の外径に概ね等しい。拡張パネル１４４によって、本体パネル１４２が径方向外側に拡張されている。
【００３７】
拡張パネル１４４は、パネル取付部１５０を介して筒型パネル１４６の上端部に取り付けられている。パネル取付部１５０は例えば、筒型パネル１４６の上端部において周方向に等間隔（例えば９０°おき）に形成されている。図３に示されるように、ボルト留め等の適切な手法で拡張パネル１４４がパネル取付部１５０（図３において破線で示す）に固定される。こうして拡張パネル１４４は筒型パネル１４６を介して冷凍機１２２に熱的に接続される。なお図３においては、わかりやすく図示するために、拡張パネル１４４に薄い灰色を付してある。
【００３８】
入口開口１１４を包囲するように入口フランジ１２６が形成されている。入口フランジ１２６は、導管１２４の筒部１２７の上端から径方向外側に向けて延びている。入口フランジ１２６は、導管１２４の全周にわたって設けられている。入口フランジ１２６は、真空チャンバまたはゲートバルブにコールドトラップ１１０を取り付けるための真空フランジである。
【００３９】
入口フランジ１２６は、コールドトラップ１１０を真空チャンバまたはゲートバルブに適合させるよう構成されている。例えば、入口フランジ１２６の呼び径は、真空チャンバの開口部またはゲートバルブの呼び径に一致する。あるいは、入口フランジ１２６を取り付ける開口が方形であるとき、入口フランジ１２６はその方形の公称寸法と同じ公称寸法を有する。
【００４０】
出口開口１１５を包囲するように出口フランジ１２８が形成されている。出口フランジ１２８は、導管１２４の筒部１２７の下端から径方向外側に向けて延びている。出口フランジ１２８は、導管１２４の全周にわたって設けられている。出口フランジ１２８は、ターボ分子ポンプ等の主真空ポンプにコールドトラップ１１０を取り付けるための真空フランジである。
【００４１】
出口フランジ１２８は、コールドトラップ１１０を主真空ポンプに適合させるよう構成されている。例えば、出口フランジ１２８の呼び径は、主真空ポンプの入口フランジの呼び径に一致する。
【００４２】
導管１２４は、その延在方向にわたって同一口径を有するパイプである。図示されるように、導管１２４は、その径よりも長さが短い短筒形状を有する。導管１２４は、入口開口１１４から出口開口１１５へと直線的に延びている。あるいは、導管１２４は、導管１２４の延在方向に、導管１２４の径よりも長く延びていてもよい。導管１２４は、入口開口１１４から出口開口１１５へと屈曲または湾曲して延びていてもよい。
【００４３】
入口フランジ１２６は、内周部分１５２と外周部分１５４とを備え、内周部分１５２と外周部分１５４との間には軸方向に高さ差Ｄが形成されている。内周部分１５２は、導管１２４の筒部１２７の上端の径方向外側に設けられている。
【００４４】
外周部分１５４は、コールドトラップ１１０の取付のために設けられている。外周部分１５４は、内周部分１５２の径方向外側にて軸方向上方に突き出す凸部である。外周部分１５４は内周部分１５２よりも軸方向に厚い。外周部分１５４の上端面は、取付のための合わせ面１５６である。入口フランジ１２６を真空チャンバまたはゲートバルブに取り付けるとき、合わせ面１５６が真空チャンバまたはゲートバルブに当接される。外周部分１５４の下面は、内周部分１５２の下面と面一である。
【００４５】
入口フランジ１２６の高さ差Ｄは、合わせ面１５６と内周部分１５２の上面とにより形成されている。高さ差Ｄが、拡張パネル１４４を受け入れるためのフランジ凹部１４０を形成する。フランジ凹部１４０は、拡張パネル１４４の外周部を収容するための環状空間であり、排気流路１１３の一部をなす。フランジ凹部１４０は、入口フランジ１２６の全周に形成されている。フランジ凹部１４０と拡張パネル１４４との間には隙間が形成されている。こうして、拡張パネル１４４は、入口フランジ１２６に接触しないように、入口フランジ１２６に囲まれている。
【００４６】
径方向だけではなく軸方向に関しても拡張パネル１４４はフランジ凹部１４０に収められている。したがって、ゲートバルブ等の上方の部材に干渉することなく、コールドパネル１２０を拡張することができる。しかし、ゲートバルブ等の上方の部材との干渉がない限り、拡張パネル１４４はフランジ凹部１４０から上方に突き出していてもよい。
【００４７】
本実施形態によると、入口フランジ１２６の内径が出口フランジ１２８の内径より大きい。よって、コールドトラップ１１０の入口側の開口径が出口側の開口径よりも大きい。このようにして大きな開口面積を被排気側に設けることにより、排気対象容積から排気流路１１３に気体（例えば水蒸気）が入りやすくなる。よって、コールドトラップ１１０の（例えば水の）排気速度を大きくすることができる。
【００４８】
本実施形態によると、拡張パネル１４４を設けることにより、コールドパネル１２０が拡張されている。こうして排気速度に寄与する有効面積（すなわち、軸方向に見たときの投影面積）が拡大されている。そのため、コールドトラップ１１０による（例えば水の）排気速度を向上させることができる。また、拡張パネル１４４は径方向外側に拡張されているので、径方向内側に拡張する場合に比べて、パネル面積をより大きくすることができる。拡張パネル１４４を入口開口１１４に配置することも、排気速度の向上に役立っている。
【００４９】
拡張部分の増設によって水の排気速度が増強されているので、小さい口径の主真空ポンプを使用しても要求排気速度を満たすことができる可能性がある。しかし、既存の真空排気システムにおいては一般に、ゲートバルブ、コールドトラップ、主真空ポンプといった構成要素の口径がすべて同一である。本実施形態によると、入口フランジ１２６が大きい寸法を有し、出口フランジ１２８が小さい寸法を有する。そのため、大口径の真空チャンバ開口またはゲートバルブに小口径の主真空ポンプを実際に適用することができる。主真空ポンプの小型化は真空システムの低コスト化に役立つ。
【００５０】
以上、本発明を実施例にもとづいて説明した。本発明は上記実施形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは、当業者に理解されるところである。
【００５１】
ある実施形態においては、コールドパネルは、径方向内側部分と径方向外側部分とを備え、前記径方向外側部分は、前記延在方向に関して前記径方向内側部分と前記容積との間に配設されていてもよい。こうして、コールドパネルの径方向外側部分を排気対象容積の近くに配置することができる。前記径方向外側部分は、前記導管の前記真空ポンプ側の内径より大きい外径を有してもよい。前記径方向外側部分は、前記導管の前記被排気側の内径より大きい外径を有し、前記入口フランジには、前記径方向外側部分を受け入れるための凹部が形成されていてもよい。こうして、コールドパネルの径方向外側部分を大きく拡張することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１０  コールドトラップ、  １２  ターボ分子ポンプ、  １３  排気流路、  １４  入口開口、  １５  出口開口、  １６  真空チャンバ、  １８  ゲートバルブ、  ２０  コールドパネル、  ２２  冷凍機、  ２４  導管、  ２６  入口フランジ、  ２８  出口フランジ、  ３０  中心パネル、  ３２  外周パネル、  １１０  コールドトラップ、  １１３  排気流路、  １１４  入口開口、  １１５  出口開口、  １２０  コールドパネル、  １２４  導管、  １２６  入口フランジ、  １２８  出口フランジ、  １４０  フランジ凹部、  １４２  本体パネル、  １４４  拡張パネル。
【図１】
2014124582.tif 000003
【図２】
2014124582.tif 000004
【図３】
2014124582.tif 000005