【手続補正書】
【提出日】令和3年2月17日(2021.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品であって、
約３：１〜約３００：１の長さ対直径のアスペクト比を有する部分と、
物品の前記部分の表面上の耐プラズマ性コーティングとを含み、
耐プラズマ性コーティングは、
約１０ｎｍ〜約１．５μｍの厚さを有する応力緩和層と、
希土類金属含有酸化物及び第２の酸化物の交互層のスタックであって、
その各々が約１オングストロームから約１００オングストロームの厚さを有し、多結晶又はアモルファスの構造を有する希土類金属含有酸化物の複数の層と、
その各々が約０．５オングストロームから約４オングストロームの厚さを有する第２の酸化物の複数の層とを含む交互層のスタックとを含み、
希土類金属含有酸化物は結晶構造で自然に発生し、
第２の酸化物の複数の層のために、希土類金属含有酸化物の複数の層は、前記結晶構造ではなく多結晶又はアモルファスの構造を有することになり、
希土類金属含有酸化物の複数の層と第２の酸化物の複数の層との厚さの比は２：１から２５：１であり、
耐プラズマ性コーティングは、前記部分を均一に覆い、最高３５０℃の温度で割れ及び層間剥離に対して耐性があり、空孔が無い物品。
【請求項２】
物品は、チャンバ壁、プラズマ生成ユニット、シャワーヘッド、ディフューザ、ノズル、ガス分配ハブアセンブリ、及びガスラインからなる群から選択されるチャンバコンポーネントである、請求項１記載の物品。
【請求項３】
応力緩和層はアモルファスＡｌ２Ｏ３を含み、応力緩和層は、物品からの不純物の拡散を防止するためのバリアである、請求項１記載の物品。
【請求項４】
希土類金属含有酸化物層は、Ｙ２Ｏ３、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２（ＹＡＧ）、Ｅｒ２Ｏ３、Ｅｒ３Ａｌ５Ｏ１２（ＥＡＧ）、ＺｒＯ２、Ｇｄ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３−ＺｒＯ２の固溶体、又はＹ４Ａｌ２Ｏ９とＹ２Ｏ３−ＺｒＯ２固溶体とを含むセラミックス化合物からなる群から選択された材料を含む、請求項１記載の物品。
【請求項５】
希土類金属含有酸化物層は約０．１ｍｏｌ％から約９０ｍｏｌ％のＹ２Ｏ３及び約０．１ｍｏｌ％から約９０ｍｏｌ％の別の金属酸化物との混合物を含んでいる、請求項１記載の物品。
【請求項６】
第２の酸化物の層は、応力緩和層と同じ材料組成を有し、
応力緩和層は、約１０ｎｍ〜１．５μｍの厚さを有し、
交互層のスタックは、約１０ｎｍ〜１．５μｍの合計厚さを有する、請求項１記載の物品。
【請求項７】
原子層堆積プロセスを使用してチャンバコンポーネントの表面上に耐プラズマ性コーティングを堆積させるステップであって、
原子層堆積を用いて表面上に応力緩和層を約１０ｎｍ〜約１．５μｍの厚さまで堆積させるステップと、
原子層堆積を用いて応力緩和層上に希土類金属含有酸化物及び第２の酸化物の交互層のスタックを堆積させるステップとを含むステップを含み、
交互層のスタックは、
その各々が約１オングストロームから約１００オングストロームの厚さを有し、多結晶又はアモルファスの構造を有する希土類金属含有酸化物の複数の層と、
その各々が約０．５オングストロームから約４オングストロームの厚さを有する第２の酸化物の複数の層とを含み、
希土類金属含有酸化物は結晶構造で自然に発生し、
第２の酸化物の複数の層のために、希土類金属含有酸化物の複数の層は、前記結晶構造ではなく多結晶又はアモルファスの構造を有することになり、
希土類金属含有酸化物の複数の層と第２の酸化物の複数の層との厚さの比は２：１から２５：１であり、
耐プラズマ性コーティングは、チャンバコンポーネントの表面を均一に覆い、最高３５０℃の温度で割れ及び層間剥離に対して耐性があり、空孔が無い方法。
【請求項８】
応力緩和層を堆積させるステップは、アモルファス酸化アルミニウムを堆積させるステップを含む、請求項７記載の方法。
【請求項９】
希土類金属含有酸化物の複数の層のうちの少なくとも１つは、イットリウム含有酸化物を含み、
チャンバコンポーネントを含む堆積チャンバ内にイットリウム含有前駆体を注入して、イットリウム含有前駆体を応力緩和層の表面上に吸着させて第１の半反応を形成させるステップと、
堆積チャンバ内に酸素含有反応物質を注入して、第２の半反応を形成するステップと、
目標厚さが達成されるまで堆積サイクルを１回以上繰り返すステップとを含む堆積サイクルを実行するステップによって堆積される、請求項７記載の方法。
【請求項１０】
希土類金属含有酸化物の複数の層のうちの少なくとも１つを堆積させるステップは、
チャンバコンポーネントを含む堆積チャンバ内にイットリウム含有前駆体を注入して、イットリウム含有前駆体を応力緩和層の表面上に吸着させて第１の半反応を形成させるステップと、
堆積チャンバ内に酸素含有反応物質を注入して、第２の半反応及び第１の層を形成するステップと、
堆積チャンバ内に金属含有前駆体を注入して、金属含有前駆体を第１の層の表面上に吸着させて第３の半反応を形成するステップと、
堆積チャンバ内に酸素含有反応物質又は代替の酸素含有反応物質を注入して、第４の半反応を形成するステップと、
目標厚さが到達されるまで堆積サイクルを１回以上繰り返すステップとを含む堆積サイクルを実行することによって、イットリウム含有酸化物と１以上の追加の金属酸化物とを交互に堆積させて、単相又は多相イットリウム含有酸化物層を形成するステップを含む、請求項７記載の方法。
【請求項１１】
希土類金属含有酸化物の複数の層のうちの少なくとも１つを堆積させるステップは、
イットリウム含有酸化物のための第１の前駆体と追加の金属酸化物のための第２の前駆体との混合物を、チャンバコンポーネントを含む堆積チャンバ内に同時注入して、第１の前駆体及び第２の前駆体を応力緩和層の表面上に吸着させて第１の半反応を形成するステップと、
堆積チャンバ内に酸素含有反応物質を注入して、第２の半反応を形成するステップと、
目標厚さが到達されるまで堆積サイクルを１回以上繰り返すステップとを含む堆積サイクルを実行することによって、イットリウム含有酸化物及び追加の金属酸化物を同時堆積させて、単相又は多相イットリウム含有酸化物層を形成するステップを含む、請求項７記載の方法。
【請求項１２】
追加の金属酸化物は、Ｅｒ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、及びＺｒＯ２からなる群から選択される、請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
イットリウム含有酸化物層は、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２（ＹＡＧ）、Ｙ２Ｏ３−ＺｒＯ２の固溶体、及びＹ４Ａｌ２Ｏ９とＹ２Ｏ３−ＺｒＯ２固溶体とを含むセラミックス化合物からなる群から選択される、請求項１１記載の方法。
【請求項１４】
原子層堆積（ＡＬＤ）プロセスを使用してチャンバコンポーネントの表面上に耐プラズマ性コーティングを堆積させるステップであって、
ＡＬＤプロセスの複数のサイクルを使用して、約１０ｎｍ〜約１．５μｍの厚さまで前記表面上にアモルファス応力緩和層を堆積させるステップと、
希土類金属含有酸化物と第２の酸化物の交互層のスタックを約１０ｎｍ〜約１．５μｍの厚さまで堆積させるステップとを含み、希土類金属含有酸化物の層の各々は、約１〜３０サイクルのＡＬＤプロセスを実行することによって形成され、第２の酸化物の層の各々は、１〜２サイクルのＡＬＤプロセスを実行することによって形成され、第２の酸化物の層は、希土類金属含有層酸化物の層内の結晶形成を防止する耐プラズマ性コーティングを堆積するステップを含み、
希土類金属含有酸化物は結晶構造で自然に発生し、
希土類金属含有酸化物の複数の層と第２の酸化物の複数の層との厚さの比は２：１から２５：１である方法。
【請求項１５】
アスペクト比は約１０：１から約２００：１である、請求項１記載の物品。
【請求項１６】
物品は、プラズマ生成ユニット、シャワーヘッド、ディフューザ、ノズル、及びガス分配ハブアセンブリからなる群から選択されるチャンバコンポーネントである、請求項１記載の物品。
【請求項１７】
希土類金属含有酸化物層は、Ｙ２Ｏ３、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２（ＹＡＧ）、Ｅｒ２Ｏ３、Ｅｒ３Ａｌ５Ｏ１２（ＥＡＧ）、Ｇｄ２Ｏ３、１０ｍｏｌ％〜９０ｍｏｌ％のＹ２Ｏ３及び１０ｍｏｌ％〜９０ｍｏｌ％のＺｒＯ２を含むＹ２Ｏ３−ＺｒＯ２の固溶体、Ｙ４Ａｌ２Ｏ９とＹ２Ｏ３−ＺｒＯ２の固溶体とを含むセラミック化合物からなる群から選択される自然の結晶構造を有する材料を含んでいる、請求項１記載の物品。
【請求項１８】
プラズマ耐性コーティングが堆積するチャンバコンポーネントの表面は、約１０：１から約３００：１の長さ対直径のアスペクト比を有し、耐プラズマ性コーティングは表面を均一に覆っている、請求項９記載の方法。
【請求項１９】
チャンバコンポーネントは、チャンバ壁、シャワーヘッド、プラズマ生成ユニット、ディフューザ、ノズル、及びガスラインからなる群から選択される半導体処理チャンバ用のチャンバコンポーネントである、請求項９記載の方法。
【請求項２０】
希土類金属含有酸化物層は、Ｙ２Ｏ３、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２（ＹＡＧ）、Ｅｒ２Ｏ３、Ｅｒ３Ａｌ５Ｏ１２（ＥＡＧ）、Ｇｄ２Ｏ３、１０ｍｏｌ％〜９０ｍｏｌ％のＹ２Ｏ３及び１０ｍｏｌ％〜９０ｍｏｌ％のＺｒＯ２を含むＹ２Ｏ３−ＺｒＯ２の固溶体、Ｙ４Ａｌ２Ｏ９とＹ２Ｏ３−ＺｒＯ２の固溶体とを含むセラミック化合物からなる群から選択される自然の結晶構造を有する材料を含んでいる、請求項１９記載の方法。
【請求項２１】
希土類金属含有酸化物層は、Ｙ２Ｏ３、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２（ＹＡＧ）、Ｅｒ２Ｏ３、Ｅｒ３Ａｌ５Ｏ１２（ＥＡＧ）、Ｇｄ２Ｏ３、１０ｍｏｌ％〜９０ｍｏｌ％のＹ２Ｏ３及び１０ｍｏｌ％〜９０ｍｏｌ％のＺｒＯ２を含むＹ２Ｏ３−ＺｒＯ２の固溶体、Ｙ４Ａｌ２Ｏ９とＹ２Ｏ３−ＺｒＯ２の固溶体とを含むセラミック化合物からなる群から選択される自然の結晶構造を有する材料を含んでいる、請求項９記載の方法。
【請求項２２】
イットリウム含有酸化物層は、約０ｍｏｌ％〜約９０ｍｏｌ％のＹ２Ｏ３及び約０．１ｍｏｌ％〜約９０ｍｏｌ％の追加の金属酸化物の混合物を含んでいる、請求項１１記載の方法。