【誤訳訂正書】
【提出日】令和3年6月1日(2021.6.1)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ上の欠陥を検出するように構成されたシステムであって、
干渉性の光に関する第１の光学状態および第２の光学状態を用いてウエハを走査し、その結果生じる光を収集または検出することにより、前記ウエハに応じた出力を生成するように構成された検査サブシステムであって、前記第１の光学状態と前記第２の光学状態とは、前記検査サブシステムの少なくとも１つの光学パラメータの個別の値によって定義され、前記個別の値は、前記走査中に前記光が前記ウエハに対して方向づけられる照射の個別の角度を含む検査サブシステムと、
前記第１の光学状態を用いて生成された前記出力を用いて前記ウエハの表面の第１の画像データを生成し、前記第２の光学状態を用いて生成された前記出力を用いて前記ウエハの前記表面の第２の画像データを生成し、前記ウエハと対応づけられた付加的な画像データを生成するために、前記ウエハ上の実質的に同一の位置に対応する前記第１の画像データと前記第２の画像データとを組み合わせ、前記付加的な画像データを用いて前記ウエハ上の欠陥を検出するように構成されたコンピュータサブシステムと
を備え、
前記第１の画像データと前記第２の画像データとを組み合わせることは、前記第１の画像データと前記第２の画像データについて画像相関を行うことによって前記付加的な画像データを生成することを含む、システム。
【請求項２】
前記照射の個別の角度は、個別の仰角を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記照射の個別の角度は、個別の方位角を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記照射の個別の角度は、前記ウエハ上の表面の粗さからの散乱光の位相関係を変化させる、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記第１の光学状態および前記第２の光学状態の１つは、検査の絞りモードを備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記個別の値は、さらに、照射の個別の波長を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記個別の値は、さらに、収集または検出の個別の波長を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記コンピュータサブシステムは、さらに、前記第１の画像データと前記第２の画像データとを組み合わせるのに先立って、前記第１の画像データおよび前記第２の画像データを整列させるように構成されている、請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記コンピュータサブシステムは、さらに、前記第１の画像データと前記第２の画像データとを組み合わせるのに先立って、ＸおよびＹ投影の相互相関によって前記第１の画像データおよび前記第２の画像データを整列させるように構成されている、請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
前記付加的な画像データは、前記第１の画像データおよび前記第２の画像データより少ないノイズを有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項１１】
前記ウエハ上の実質的に同一の位置に対応する前記第１の画像データと前記第２の画像データとの組み合わせは、空間的に一致しない前記第１の画像データおよび前記第２の画像データ内のウエハノイズを前記付加的な画像データから除去する、請求項１に記載のシステム。
【請求項１２】
前記付加的な画像データを用いた前記欠陥の検出は、擬似欠陥またはノイズに対する前記システムの感度を低減させる、請求項１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記付加的な画像データを用いた前記欠陥の検出は、
前記付加的な画像データを用いて前記ウエハ上の欠陥である可能性がある対象を識別することと、
前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、前記付加的な画像データ、またはそれらのいくつかの組み合わせを用いて判定された、前記欠陥である可能性がある対象に関する画素レベル情報を用いて、前記欠陥である可能性がある対象についての擬似欠陥フィルタリングを実行することにより前記欠陥を識別することと
を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１４】
前記付加的な画像データを用いた前記欠陥の検出は、
前記付加的な画像データを用いて前記ウエハ上の欠陥である可能性がある対象を識別することと、
前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、前記付加的な画像データ、またはそれらのいくつかの組み合わせを用いて判定された、前記欠陥である可能性がある対象の特徴の値を用いて、前記欠陥である可能性がある対象についての擬似欠陥フィルタリングを実行することにより前記欠陥を識別することと
を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１５】
前記欠陥に対応する前記付加的な画像データの一部は、前記付加的な画像データの前記一部を生成するために組み合わせられる前記第１の画像データおよび前記第２の画像データの一部より大きな信号対ノイズ比を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項１６】
前記ウエハ上の実質的に同一の位置に対応する前記第１の画像データと前記第２の画像データとを組み合わせるステップは、画素レベルで実行され、前記第１の光学状態と前記第２の光学状態の振幅および位相の情報を活用して、前記第１の光学状態および前記第２の光学状態の間の不一致を利用することにより、ノイズおよび擬似欠陥の発生を抑制する、請求項１に記載のシステム。
【請求項１７】
ウエハ上の欠陥を検出する方法であって、
検査システムの干渉性の光に関する第１の光学状態と第２の光学状態とを用いて前記検査システムにより前記ウエハを走査することにより、前記ウエハに応じた出力を生成するステップであって、前記第１の光学状態と前記第２の光学状態とは、前記検査システムの少なくとも１つの光学パラメータの個別の値によって定義され、前記個別の値は、前記走査中に前記光が前記ウエハに対して方向づけられる照射の個別の角度を含むステップと、
前記第１の光学状態を用いて生成された前記出力を用いて前記ウエハの表面の第１の画像データを生成し、前記第２の光学状態を用いて生成された前記出力を用いて前記ウエハの前記表面の第２の画像データを生成するステップと、
前記ウエハ上の実質的に同一の位置に対応する前記第１の画像データと前記第２の画像データとを組み合わせるステップであって、それによって、前記ウエハと対応づけられた付加的な画像データを生成するステップと、
前記付加的な画像データを用いて前記ウエハ上の欠陥を検出するステップと
を備え、
前記第１の画像データと前記第２の画像データとを組み合わせるステップは、前記第１の画像データと前記第２の画像データについて画像相関を行うことによって前記付加的な画像データを生成するステップを含む、方法。
【請求項１８】
ウエハ上の欠陥を検出するためのコンピュータで実現される方法を実行するためのコンピュータシステム上で実行可能なプログラム命令を含むコンピュータ読み取り可能な媒体であって、前記コンピュータで実現される方法は、
検査システムの干渉性の光に関する第１の光学状態と第２の光学状態とを用いて前記検査システムにより前記ウエハを走査することにより生成された前記ウエハに応じた出力を取得するステップであって、前記第１の光学状態と前記第２の光学状態とは、前記検査システムの少なくとも１つの光学パラメータの個別の値によって定義され、前記個別の値は、前記走査中に前記光が前記ウエハに対して方向づけられる照射の個別の角度を含むステップと、
前記第１の光学状態を用いて生成された前記出力を用いて前記ウエハの表面の第１の画像データを生成し、前記第２の光学状態を用いて生成された前記出力を用いて前記ウエハの前記表面の第２の画像データを生成するステップと、
前記ウエハ上の実質的に同一の位置に対応する前記第１の画像データと前記第２の画像データとを組み合わせるステップであって、それによって、前記ウエハと対応づけられた付加的な画像データを生成するステップと、
前記付加的な画像データを用いて前記ウエハ上の欠陥を検出するステップと
を備え、
前記第１の画像データと前記第２の画像データとを組み合わせるステップは、前記第１の画像データと前記第２の画像データについて画像相関を行うことによって前記付加的な画像データを生成するステップを含む、コンピュータ読み取り可能な媒体。
【請求項１９】
ウエハ上の欠陥を検出するように構成されたシステムであって、
検査サブシステムの干渉性の光に関する第１の光学状態および第２の光学状態を用いてウエハを走査し、その結果生じる光を収集または検出することにより、前記ウエハに応じた出力を生成するように構成された検査サブシステムであって、前記第１の光学状態と前記第２の光学状態とは、前記検査サブシステムの少なくとも１つの光学パラメータの個別の値によって定義され、前記個別の値は、個別の波長を含む前記検査サブシステムと、
前記第１の光学状態を用いて生成された前記出力を用いて前記ウエハの表面の第１の画像データを生成し、前記第２の光学状態を用いて生成された前記出力を用いて前記ウエハの前記表面の第２の画像データとを生成し、前記ウエハ上の実質的に同一の位置に対応する前記第１の画像データと前記第２の画像データとを組み合わせ、それにより、前記ウエハと対応づけられた付加的な画像データを生成し、前記付加的な画像データを用いて前記ウエハ上の欠陥を検出するように構成されたコンピュータサブシステムと
を備え、
前記第１の画像データと前記第２の画像データとを組み合わせることは、前記第１の画像データと前記第２の画像データについて画像相関を行うことによって前記付加的な画像データを生成するステップを含む、システム。
【請求項２０】
前記個別の波長は、前記干渉性の光の照射の個別の波長である、請求項１９に記載のシステム。
【請求項２１】
前記個別の波長は、収集または検出の個別の波長である、請求項１９に記載のシステム。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３８】
検査システムは、プーマ（Ｐｕｍａ）９１ｘｘシリーズのツール（それはＫＬＡ・テンコー（サンホセ（米国カリフォルニア州））から市販で入手可能である）などの市販で入手可能な検査システムであってもよい。検査システムは、パターン化されているウエハおよび／またはパターン化されていないウエハの検査のために構成されてもよい。さらに、検査システムは、ことによると１つ以上の他の検査モード（例えば検査の絞りモード）と組み合わせて、ＤＦ検査のために構成されてもよい。その上、検査システムは、光学検査システムとして構成されてもよい。検査システムによりウエハを走査することは、任意の好適な方式で実行されてもよい。例えば、ウエハは、ウエハから散乱された光が検出されるにつれて、検査システムの照射がウエハ上の曲がりくねったパスをトレースするように、検査システムの光学部品に関して（検査システムのステージによって）移動されてもよい。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６５】
１つの実施形態において、付加的な画像データは、第１の画像データおよび第２の画像データより少ないノイズを有している。例えば、本明細書に記載されたような個別の光学状態のために生成されたウエハのための画像データを組み合わせることは、検出したい欠陥（ＤＯＩ）に対してウエハと感度のノイズプロファイルの新たなコンテキストを提供する。さらに、画素レベルで多重の光学状態からの情報を組み合わせること（または融合すること）によって、擬似欠陥のイベントまたはノイズに対する感度を低減させることができる。例えば、以上に記載されたような画像相関の実行によって、空間的に一致しない第１の画像データおよび第２の画像データ内のウエハノイズは、付加的な画像データで実質的に除去することができる。このように、本明細書に記載された実施形態は、（例えば、個別の画像モード、偏光状態、波長、ピクセルサイズ、などによって定義された）個別の光学状態がウエハレベルのノイズおよび擬似欠陥の個別の視点を提供し、それによって（本明細書にさらに記載されたように（例えば欠陥検出の目的のため）用いられてもよい）付加的な画像データにおいてノイズを抑えるためのポテンシャルを提供するという事実を活用する。