(57)【要約】 【課題】小型・薄型の振動装置で大きな振動振幅が得られるとともに、大きな外力が加わった場合でも破損しないようにすること。【解決手段】板状に形成され、中心部から放射方向に所定の広がりを持つ領域を光透過性に形成された防塵部材と、上記防塵部材に対して所定の間隔をもって配置された固定部材と、上記防塵部材の外周部に固着され、可撓性のある薄板状の圧電部材を有し、上記防塵部材を振動させる加振部材と、上記防塵部材の中心を囲むように上記固定部材と上記防塵部材或いは上記加振部材との間に配置される支持部材と、導電性の薄板或いは膜により形成され、上記圧電部材の一部或いは全面を挟み込むように配置され、かつ一部が上記防塵部材の外部に延出された電極とを具備する振動装置である。【選択図】図４
2014127998.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状に形成され、中心部から放射方向に所定の広がりを持つ領域を光透過性に形成された防塵部材と、
上記防塵部材に対して所定の間隔をもって配置された固定部材と、
上記防塵部材の外周部に固着され、可撓性のある薄板状の圧電部材を有し、上記防塵部材を振動させる加振部材と、
上記防塵部材の中心を囲むように上記固定部材と上記防塵部材或いは上記加振部材との間に配置される支持部材と、
導電性の薄板或いは膜により形成され、上記圧電部材の一部或いは全面を挟み込むように配置され、かつ一部が上記防塵部材の外部に延出された電極と、
を具備することを特徴とする振動装置。
【請求項２】
上記加振部材は、上記圧電部材と、当該圧電部材を間に挟んで配置される２つの上記電極と、上記圧電部材及び上記各電極を保持する絶縁シートとから形成され、
上記防塵部材の外部に延出された上記各電極の延出部は、上記各絶縁シートにより保持される、
ことを特徴とする請求項１記載の振動装置。
【請求項３】
上記圧電部材は、全体として板状に形成され、自己の中心から放射方向に所定の広がりを持つ領域が光透過性に形成されたことを特徴とする請求項１又は２記載の振動装置。
【請求項４】
上記電極は、上記防塵部材の外周辺に沿って配置され、
上記圧電部材は、上記防塵部材の外周辺に直交する方向に延出されたＬ体のポリ乳酸シート或いはＤ体のポリ乳酸シートのうち少なくとも１つを積層して成る、
ことを特徴とする請求項１又は２記載の振動装置。
【請求項５】
上記圧電部材は、上記Ｄ体ポリ乳酸シートと上記Ｌ体ポリ乳酸シートとを交互に配置されて成ることを特徴とする請求項４記載の振動装置。
【請求項６】
上記Ｄ体ポリ乳酸シートと上記Ｌ体ポリ乳酸シートとの略中央部には、光線を透過させるための有効光線透過範囲が形成されていることを特徴とする請求項５記載の振動装置。
【請求項７】
上記電極は、絶縁性のある可撓性の薄板から成る支持体に支持されたことを特徴とする請求項１記載の振動装置。
【請求項８】
上記電極の延出された延出部には、上記加振部材を駆動して上記防塵部材に振動を発生させる防塵フィルタ制御回路が接続されることを特徴とする請求項１記載の振動装置。
【請求項９】
上記圧電部材或いは上記電極の少なくとも一方は、上記防塵部材の外部に延出された延出部が形成され、
上記延出部は、切り欠き或いは穴が形成され、上記固定部材に設けた係合部と係合することによって上記防塵部材を位置決めする、
ことを特徴とする請求項１記載の振動装置。
【請求項１０】
上記圧電部材は、矩形状に形成され、
上記電極は、上記矩形状の圧電部材における長辺側に設けられる、
ことを特徴とする請求項１記載の振動装置。
【請求項１１】
板状に形成され、中心部から放射方向に所定の広がりを持つ領域に光透過性の領域が形成され、光学的な画像を生成する画像面に対して上記光透過性の領域が所定の間隔を持って対向配設された防塵部材と、
上記防塵部材に対して所定の間隔をもって配置された固定部材と、
上記防塵部材の外周部に固着され、可撓性のある薄板状の圧電部材を有し、上記防塵部材を振動させる加振部材と、
上記防塵部材の中心を囲むように配置され、上記画像面の側で上記防塵部材或いは上記加振部材に対向して設けられた対向部材と、
上記防塵部材或いは上記加振部材と上記対向部材との間に配置され、上記防塵部材或いは上記加振部材を支持する支持部材と、
導電性の薄板或いは膜により形成され、上記圧電部材の一部或いは全面を挟み込むように配置され、かつ一部が上記防塵部材の外部に延出された電極と、
を具備することを特徴とする画像機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、撮像装置に備えられ自己の光電変換面上に照射された光に対応した画像信号を得る撮像素子や、画像投影装置等の画像機器に備えられスクリーンに投影する画像を表示する表示素子等のような光学素子の前面に配される防塵部材を振動させる振動装置、及びこの振動装置を備えた撮像装置や画像投影装置等の画像機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、撮像素子を用いた撮像装置や液晶等の表示素子を用いた画像投影装置等のような光学素子を用いた画像機器は、その生成する画像の画質の向上が著しい。そのため、当該画像機器では、撮像素子や表示素子、或いはその近くに設けられる光学素子に塵埃が付着すると、生成する画像に塵埃の影を生じることが大きな問題になっている。
【０００３】
例えば、撮像装置には、カメラ本体に対して撮影光学系を着脱自在となるように構成したものがある。この撮像装置では、ユーザが所望するとき所望の撮影光学系を任意に着脱し交換することで、単一のカメラ本体において複数種類の撮影光学系を選択的に使用し得るように構成した所謂レンズ交換可能な形態のデジタルカメラが一般に実用化されている。このようなレンズ交換可能なデジタルカメラでは、撮影光学系をカメラ本体から取り外した際に、カメラが置かれた周囲環境に浮遊する塵埃がカメラ本体内に侵入、或いはカメラ本体内部に備えられている例えばシャッタ・絞り機構等の機械的に動作する各種の機構等からその動作中にゴミ等が発生し、撮像素子の表面に塵埃が付着してしまう場合がある。
【０００４】
また、光源と投影光学系とを用いてＣＲＴや液晶等の表示素子に表示した画像をスクリーン上に拡大投影し、この画像を観賞するといったプロジェクタも実用化されている。このようなプロジェクタにおいても、表示素子の表面に塵埃が付着し、塵埃の影がスクリーンに拡大投影されてしまうことが発生することもある。
【０００５】
このような実情から画像機器内部の光学素子の表面に付着した塵埃を除去する機構が各種開発されている。例えば、特許文献１は、円盤ガラス板（防塵部材）の外周部に円環板状の圧電素子（加振部材）を固着し、圧電素子に所定の周波数の周波電圧を印加することにより、円盤ガラス板の中心に同心円状の定在波屈曲振動が発生して、円盤ガラス板に付着している塵埃を除去する塵埃除去機構を備えた電子撮像装置について開示する。ここで、所定の加振周波数で発生する振動は、同心円状に節をもつ定在波である。また、防塵部材の支持と防塵部材とは、撮像素子間の防塵が同心円状の定在波の節を同心円状に防塵部材に接触している防塵部材受け部材によってなされている。
【０００６】
特許文献２は、矩形板状の防塵部材の１辺に沿って短冊状の圧電素子を設け、圧電素子に所定の周波数の振動を発生させて防塵部材を共振させ、防塵部材の中央に対して同心円状の振動が発生するような定在波の共振振動モードにすることを開示する。さらに特許文献２は、１つの振動モードでの振動の節に付着した塵埃を除去するために、異なる周波数で共振させて複数の定在波の振動モードを発生させて節の位置を変更すること、防塵部材の支持が振動の節を略一致するように異なる周波数の定在波を発生させ、かつ振動の節付近を支持部材で支持することにより振動損失を少なくすること、また、撮像面側と防塵部材との間に塵埃の侵入を防ぐもので、額縁形状で断面リップ形状を持つシールを設置することを開示する。
【０００７】
特許文献３は、Ｌ体のポリ乳酸、或いはＤ体のポリ乳酸を積層させ、所定の方向に延伸させることで、大きな圧電性（圧電ｄ定数が大きい）を持つ積層フィルムを形成できることを開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−６４５５５号公報
【特許文献２】特開２０１１−２３４０５５号公報
【特許文献３】特開２０１２−１５３０２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１の塵埃除去機構は、同心円状の振動が発生することにより、非常に大きな振動振幅を得て、塵埃を除去する能力が非常に高い。しかしながら、同心円状の節位置の振動振幅は非常に小さく、節位置を塵埃を除去する必要のある範囲外に設定すると、防塵部材が非常に大きくなってしまう。  
また、加振部材は、円環形状のチタン酸ジルコン酸鉛等のセラミックスの焼結体で作成されているために薄い板形状とすると、屈曲方向の力に非常に弱いものとなり、圧電体製造時或いは組立時に破損する可能性があり、薄型化の実現が困難である。同様に、防塵部材の光学素子も薄型化することによって振動させる質量を小さくでき、エネルギー効率を高く出来るので、薄型化が望ましいが、製造時及び組立時の破損の可能性が高く、実現できなかった。
【００１０】
これに対して特許文献２の塵埃除去機構は、矩形板状にすることで防塵部材が特許文献１に対して円形の内接四角形となるため、投影面積を小さくでき、より小型に形成できる。しかしながら、特許文献１と同じ理由で、防塵部材の薄型化が出来ず、振動の振幅が大きく出来なかった。さらに、特許文献２は、防塵部材を支持する支持部材では、塵埃が防塵部材と撮像素子の間に侵入するのを防止するための密閉部材も兼ねているために、加振部材が支持部材の外側に配置され、防塵部材の投影面積を大きくする要因となっていた。また、特許文献２では、加振部材である圧電素子に電圧を印加するためのフレキシブルプリント基板の圧電素子への接続も、半田や導電接着剤を用いて行うと、圧電素子の振動を著しく阻害したり、圧電素子の振動で接続部が破損するなどの問題を発生していた。
【００１１】
さらに、特許文献１においては、特許文献２と同様に、振動の節を移動させることで小型化が可能であるが、節位置の移動により、防塵部材の支持を所定のところに設けると、上述したようにいずれかのモードでは振動速度が小さくなってしまっていた。
特許文献３は、Ｌ体のポリ乳酸或いはＤ体ポリ乳酸を積層させ、所定の方向に延伸させることで、大きな圧電性（圧電ｄ定数が大きい）をもつ積層フィルムが得られることを開示しているが、その積層フィルムをどのように配置構成すれば、塵埃除去効果の大きな振動を得られる振動装置を構成できるかについて示されていない。また、特許文献３は、積層フィルムに電圧を印加するための回路と積層フィルムに形成された電圧印加のための電極シートとを繋ぐ配線構造も示されていない。
【００１２】
本発明は、上記点に鑑みてなされたもので、小型で塵埃除去能力の高い塵埃除去機構を構成可能な振動装置、及びこの振動装置を用いた画像機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の主要な局面に係る振動装置は、板状に形成され、中心部から放射方向に所定の広がりを持つ領域を光透過性に形成された防塵部材と、上記防塵部材に対して所定の間隔をもって配置された固定部材と、上記防塵部材の外周部に固着され、可撓性のある薄板状の圧電部材を有し、上記防塵部材を振動させる加振部材と、上記防塵部材の中心を囲むように上記固定部材と上記防塵部材或いは上記加振部材との間に配置される支持部材と、導電性の薄板或いは膜により形成され、上記圧電部材の一部或いは全面を挟み込むように配置され、かつ一部が上記防塵部材の外部に延出された電極とを具備する。
【００１４】
本発明の主要な局面に係る画像機器は、板状に形成され、中心部から放射方向に所定の広がりを持つ領域に光透過性の領域が形成され、光学的な画像を生成する画像面に対して上記光透過性の領域が所定の間隔を持って対向配設された防塵部材と、上記防塵部材に対して所定の間隔をもって配置された固定部材と、上記防塵部材の外周部に固着され、可撓性のある薄板状の圧電部材を有し、上記防塵部材を振動させる加振部材と、上記防塵部材の中心を囲むように配置され、上記画像面の側で上記防塵部材或いは上記加振部材に対向して設けられた対向部材と、上記防塵部材或いは上記加振部材と上記対向部材との間に配置され、上記防塵部材或いは上記加振部材を支持する支持部材と、導電性の薄板或いは膜により形成され、上記圧電部材の一部或いは全面を挟み込むように配置され、かつ一部が上記防塵部材の外部に延出された電極とを具備する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、小型で塵埃除去能力の高い塵埃除去機構を構成可能な振動装置及びこの振動装置を用いた画像機器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施の形態としての振動装置を備えた画像機器であるデジタルカメラの主に電気的なシステム構成例を概略的に示すブロック構成図。
【図２】同振動装置を含む撮像素子ユニットを示すＡＡ線断面図。
【図３】同振動装置を含む撮像素子ユニットをレンズ側から見た正面図。
【図４】同振動装置を構成する振動子を示す分解斜視図。
【図５】同振動装置を構成する塵埃保持部を示す部分断面図。
【図６】同振動装置を構成する押圧機構の主要部を示す断面図。
【図７】画像機器における防塵フィルタに発生する振動の様子を説明するための図。
【図８】画像機器における防塵フィルタの振動発生の概念を説明するための図。
【図９】画像機器における防塵フィルタに発生する異なる振動の様子を説明するための図。
【図１０】振動装置における振動子の構成を説明するための分解斜視図。
【図１１】振動装置における振動子が組み立てられた状態の斜視図。
【図１２】振動装置における圧電素子の電気接続部を示すＥＥ線断面構造図と同電気接続部を示すＦＦ線断面構造図。
【図１３】振動装置における圧電素子の変形例を示す断面図。
【図１４】防塵フィルタに発生する定在波を説明するための概念図。
【図１５】防塵フィルタ制御回路の構成を示す図。
【図１６】同防塵フィルタ制御回路から出力される各信号波形を示すタイムチャート。
【図１７】画像機器としてのデジタルカメラのＢｕｃｏｍによるカメラシーケンス（メインルーチン）の制御動作を示すメイン制御フローチャート。
【図１８】画像機器としてのデジタルカメラのＢｕｃｏｍによる加振動作のサブルーチンの制御手順を示すフローチャート。
【図１９】同加振動作において加振部材へ連続的に供給される共振周波数の波形を示す図。
【図２０】本発明の第１の変形例としてのデジタルカメラにおける加振動作のサブルーチンの動作手順を示すフローチャート。
【図２１】本発明の第２の変形例である振動装置を示す正面図。
【図２２】同振動装置を示す右側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
［一実施の形態］
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。  
本実施の形態において、具体的に例示する画像機器は、光電変換によって画像信号を得る撮像素子ユニットに備えられる塵埃除去機構であって、一例として電子カメラ（以下、カメラと略称する）の塵埃除去機能に係わる改良技術として説明する。特に、本実施の形態では、レンズ交換可能な一眼式電子カメラ（デジタルカメラ）について図１乃至図３を参照して説明する。
【００１８】
図１は本発明の画像機器としてのデジタルカメラの主に電気的なシステム構成例を概略的に示すブロック図である。図２は該デジタルカメラの塵埃除去機構を含む撮像素子ユニットの縦断側面図を示す。図３は塵埃除去機構をレンズ側から見た正面図を示す。なお、図２は図３のＡＡ線断面図を示す。
【００１９】
先ず、図１を参照してデジタルカメラ１０のシステム構成例について説明する。  
デジタルカメラ１０は、カメラ本体としてのボディユニット１００と、アクセサリ装置の一つである交換レンズとしてのレンズユニット２００とによりシステム構成されている。  
レンズユニット２００は、ボディユニット１００の前面に設けられた図示しないレンズマウントを介して着脱自在である。レンズユニット２００の制御は、自身が有するレンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｌｕｃｏｍと称する）２０１により行われる。ディユニット１００の制御は、ボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｂｕｃｏｍと称する）１０１により行われる。これらＬｕｃｏｍ２０１とＢｕｃｏｍ１０１とは、ボディユニット１００にレンズユニット２００を装着した状態において通信コネクタ１０２を介して互いに通信可能に電気的に接続されている。これらＬｕｃｏｍ２０１とＢｕｃｏｍ１０１とは、カメラシステムとして、Ｌｕｃｏｍ２０１がＢｕｃｏｍ１０１に従属的に協働しながら稼動するように構成されている。
【００２０】
レンズユニット２００は、撮影レンズ２０２と絞り２０３とを備える。撮影レンズ２０２は、レンズ駆動機構２０４内に設けられた図示しないステッピングモータによって駆動される。絞り２０３は、絞り駆動機構２０５内に設けられた図示しないステッピングモータによって駆動される。Ｌｕｃｏｍ２０１は、Ｂｕｃｏｍ１０１からの指令に基づいて各ステッピングを制御する。
【００２１】
ボディユニット１００内には、例えば、フォーカルプレーン式のシャッタ１０８が撮影光軸上に設けられている。また、ボディユニット１００内には、シャッタ１０８の先幕と後幕とを駆動するばねをチャージするシャッタチャージ機構１１２と、これら先幕と後幕との動きを制御するシャッタ制御回路１１３が設けられている。
【００２２】
撮影光軸上には、上述の光学系を通過した被写体像を光電変換するための撮像ユニット１１６が設けられている。この撮像ユニット１１６は、画像形成素子としての撮像素子であるＣＣＤ１１７と、このＣＣＤ１１７の前面に配設された光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）１１８と、防塵部材である防塵フィルタ１１９とを一体化してユニット化したものである。  
防塵フィルタ１１９の外周部には、加振部材としての圧電素子１２０が取り付けられている。この圧電素子１２０は、圧電部材と、この圧電部材を間に挟んで配置される２つの電極とを有する。この圧電素子１２０は、駆動手段である防塵フィルタ制御回路１２１によって駆動される。この圧電素子１２０は、例えば防塵フィルタ１１９の寸法や材質によって定まる所定の周波数で駆動されることで、防塵フィルタ１１９に所定の振動を発生させ、当該防塵フィルタ１１９のフィルタ表面に付着した塵埃を除去する。  
撮像ユニット１１６に対しては、手ブレ補正用の防振ユニットが付加されている。
【００２３】
また、デジタルカメラ１０は、ＣＣＤ１１７に接続されたＣＣＤインターフェース回路１２２と、液晶モニタ１２３と、記憶領域として機能するＳＤＲＡＭ１２４やＦｌａｓｈＲＯＭ１２５などを利用して画像処理する画像処理コントローラ１２６とを備え、電子撮像機能と共に、電子記録表示機能を提供できるように構成されている。
【００２４】
電子撮像機能としては、ＣＣＤ１１７により撮影された画像を動画として液晶モニタ１２３に同時に表示してファインダとして用いる所謂スルー画表示機能と、動画を記録する動画記録機能とを有する。ファインダ機能は、光学式の一眼レフレックスのファインダ等を設けても良い。  
記録メディア１２７は、各種のメモリカードや外付けのＨＤＤ等の外部記録媒体であり、通信コネクタを介してボディユニット１００と通信可能且つ交換可能に装着される。この記録メディア１２７には、撮影により得られた画像データが記録される。その他の記憶領域としては、カメラ制御に必要な所定の制御パラメータを記憶する例えばＥＥＰＲＯＭからなる不揮発性メモリ１２８がＢｕｃｏｍ１０１からアクセス可能に設けられている。
【００２５】
Ｂｕｃｏｍ１０１には、当該デジタルカメラ１０の動作状態を表示出力によってユーザへ告知するための動作表示用ＬＣＤ１２９及び動作表示用ＬＥＤ１３０と、カメラ操作スイッチ（ＳＷ）１３１と、ストロボ１３２を駆動するストロボ制御回路１３３とが接続されている。動作表示用ＬＣＤ１２９或いは動作表示用ＬＥＤ１３０には、防塵フィルタ制御回路１２１が動作している期間、防塵フィルタ１１９の振動動作を表示するための表示部が設けられている。カメラ操作スイッチ（ＳＷ）１３１は、例えばレリーズスイッチ（ＳＷ）、モード変更スイッチ（ＳＷ）及びパワースイッチ（ＳＷ）など、当該デジタルカメラ１０を操作するために必要な操作釦を含むスイッチ群である。
【００２６】
ボディユニット１００内には、電源としての電池１３４と、該電池１３４の電圧を当該デジタルカメラ１０を構成する各回路ユニットで必要とする電圧に変換して供給する電源回路１３５とが設けられ、かつ外部電源から不図示のジャックを介して電力が供給されたときの電圧変化を検知する電圧検出回路（図示せず）が設けられている。
【００２７】
上記の如く構成されたデジタルカメラ１０の各部は、概略的に以下のように稼動する。  
先ず、画像処理コントローラ１２６は、Ｂｕｃｏｍ１０１の指令に従ってＣＣＤインターフェース回路１２２を制御し、このＣＣＤ１１７から画像データを取り込む。この画像データは、画像処理コントローラ１２６によりビデオ信号に変換され、液晶モニタ１２３で出力表示される。ユーザは、この液晶モニタ１２３の表示画像を観察してファインダ画像或いは撮影画像を確認できる。
【００２８】
ＳＤＲＡＭ１２４は、画像データの一時的保管用メモリであり、画像データが変換される際のワークエリアなどに使用される。また、画像データは、ＪＰＥＧデータ等に変換された後、記録メディア１２７に保管される。ここで、画像データが動画である場合、画像データはＭＰＥＧデータ等に変換される。
【００２９】
撮影レンズ２０２の焦点合わせは、撮影レンズ２０２の位置を順次変更しながら撮像を行い、撮像画像の最もコントラストの高い位置をＢｕｃｏｍ１０１により演算し、この最もコントラストの高い位置を通信コネクタ１０２を通してＬｕｃｏｍ２０１に伝達し、Ｌｕｃｏｍ２０１により最もコントラストの高い位置に従って撮影レンズ２０２を位置制御することにより行われる。測光も撮像画像から検出された光量に基づき周知の測光処理が行われる。
【００３０】
次に、ＣＣＤ１１７を含む撮像ユニット１１６について図２及び図３を参照して説明する。  
撮像ユニット１１６は、撮影光学系を透過し、自己の光電変換面上に照射された被写体光束に対応した画像信号を得る撮像素子としてのＣＣＤ１１７と、このＣＣＤ１１７の光電変換面側に配設され、撮影光学系を透過して照射される被写体光束から高周波成分を取り除く光学ＬＰＦ１１８と、この光学ＬＰＦ１１８の前面側において所定間隔をあけて対向配置された防塵部材である防塵フィルタ１１９と、この防塵フィルタ１１９の周縁部に配設されて防塵フィルタ１１９に対して所定の振動を与えるための加振部材である圧電素子１２０とを備える。
【００３１】
圧電素子１２０は、防塵フィルタ１１９の外周部の辺に沿って環状に取り付けられているが、防塵フィルタ１１９の全面を覆うように配置しても良い。また、各信号電極１７１、１７２は、防塵フィルタ１１９に電圧信号を印加するための電極である。これら信号電極１７１、１７２は、各絶縁シート１５７ａ、１５７ｂに保持され、一部が防塵フィルタ１１９の外側に延出され、防塵フィルタ制御回路１２１に接続されている。絶縁シートは、ポリイミドのシート等が用いられている。各信号電極１７１、１７２の電気接続部は、半田接続、導電接着剤接続、コネクタ接続等のフレキシブルプリント基板への接続方法を用いることによって、フィルタ制御回路１２１が設けられた基板と接続される。
【００３２】
ＣＣＤ１１７と光学ＬＰＦ１１８との間には、ゴム等の弾性部材等からなるフィルタ受け部材１４４が配設されている。このフィルタ受け部材１４４は、ＣＣＤ１１７の前面側周縁部で光電変換面の有効範囲を避ける位置に配設され、かつ光学ＬＰＦ１１８の背面側周縁部の近傍に当接することで、ＣＣＤ１１７と光学ＬＰＦ１１８との間を略気密性に保持されるように構成されている。そして、ＣＣＤ１１７と光学ＬＰＦ１１８とを気密的に覆うホルダ１４５が配設されている。
【００３３】
このホルダ１４５は、撮影光軸周りの略中央部分に矩形状の開口１４６を有する。この開口１４６の防塵フィルタ１１９側の内周縁部には、断面が略Ｌ字形状の段部１４７が形成されている。開口１４６には、当該開口１４６の後方側から光学ＬＰＦ１１８及びＣＣＤ１１７が配設されている。ここで、光学ＬＰＦ１１８の前面側周縁部を段部１４７に対して略気密的に接触させるように配置することで、光学ＬＰＦ１１８は、段部１４７によって撮影光軸方向における位置規制がなされ、ホルダ１４５の内部から前面側に対する抜け止めがなされる。
【００３４】
一方、ホルダ１４５の前面側の周縁部には、防塵フィルタ受け部１４８が全周に亘って形成されている。この防塵フィルタ受け部１４８は、防塵フィルタ１１９を光学ＬＰＦ１１８の前面に所定間隔を空けて保持するために、段部１４７よりも外周側でかつ当該段部１４７よりも前面側に設けられている。この防塵フィルタ受け部１４８の内周側の開口部分は、図３に示すように結像光線通過エリア１４９となる。また、防塵フィルタ受け部１４８の内周側には、全周に亘り段部が形成され、この段部に環状のシール１５６が設けられている。
【００３５】
このシール１５６は、ゴム等の軟質材料で形成されるもので、上記段部に対して内周部を嵌合して位置決めされている。このシール１５６は、４角錐状に広がり、前方に延出されたリップ部が形成されている。このシール１５６は、環状のリップ部を持つもので、防塵フィルタ１１９の周辺部と防塵フィルタ受け部１４８との間に設置されている。このリップ部の先端には、防塵フィルタ１１９の裏面が押圧接触され、光学ＬＰＦ１１８の前面と防塵フィルタ１１９の裏面との間の空間を略密閉している。  
防塵フィルタ１１９は、板状の弾性部材で形成されている。この防塵フィルタ１１９の外周に沿う環状の部分、ここでは略４角形額縁状の部分には、押圧部材１５１が設けられている。この押圧部材１５１は、防塵フィルタ１１９をホルダ１４５の防塵フィルタ受け部１４８に押圧して支持する。この押圧部材１５１には、図６に示すように外側に延出された複数の固定部１５１ｄが形成され、ネジ１５０により防塵フィルタ受け部１４８に固定されている。
【００３６】
押圧部材１５１の腕１５１ｂは、押圧部材１５１の内側に延びる腕支持部１５１ａの端部から防塵フィルタ１１９の外周に沿って延びる複数の板ばねを構成する。この腕１５１ｂによって全体として多角形板状、ここでは四角形板の防塵フィルタ１１９は、光軸Ｏ１方向（Ｚ方向）に押圧され、シール１５６を介して防塵フィルタ受け部１４８に支持される。ここで、押圧部材１５１と防塵フィルタ１１９との間には、ゴムや樹脂等の振動減衰性のある材料で形成された板状の受け部材１５２が介在している。これにより、防塵フィルタ１１９の振動が阻害しないように防塵フィルタ１１９が押圧支持されるように構成されている。
【００３７】
防塵フィルタ１１９のＹ方向の位置決めは、押圧部材１５１の固定部１５１ｄの根元のＺ方向曲げ部に支持部材１５４を介して受けることにより行われる。一方、防塵フィルタ１１９のＸ方向の位置決めは、図３に示すようにホルダ１４５に設けた支持部１５５に支持部材１５４を介して受けることにより行われる。この支持部材１５４は、ゴムや樹脂等の振動減性のある材料で形成され、防塵フィルタ１１９の振動を阻害しないようにしている。
【００３８】
本カメラにおいて、受け部材１５２の配置位置、すなわち防塵フィルタ１１９の押圧位置は、後述するように防塵フィルタ１１９に発生する振動の節Ｔａ（図１４）の位置にする必要は無い。防塵フィルタ１１９の押圧位置を節Ｔａの位置にすれば、防塵フィルタ１１９の振動を阻害することが無く、振動振幅が大きく、高効率な塵埃除去機構を構成できる。
【００３９】
防塵フィルタ１１９は、当該防塵フィルタ１１９に固着された圧電素子１２０とシール１５６とを介して防塵フィルタ受け部１４８に支持されている。圧電素子１２０は、薄い樹脂シートで構成され、防塵フィルタ１１９の外周部或いは全面に亘り固着されている。この圧電素子１２０は、平坦に形成されているので、シール１５６のリップ部により押圧されることにより、開口１４６を含む空間を気密状態としている。
【００４０】
環状に形成されたシール１５６のリップ部が防塵フィルタ１１９を支持する位置を後に述べる防塵フィルタ１１９に発生する振動の節部にすると、防塵フィルタ１１９の振動を殆ど阻害すること無く、振動振幅が大きく、高効率な塵埃除去機構を構成できることは勿論である。  
また、防塵フィルタ１１９の押圧力は、２Ｎ（ニュートン）以下にすることにより、振動の節を押圧部材１５１やシール１５６で押圧支持しなくても、防塵フィルタ１１９の振動を殆ど阻害しないように構成されている。
【００４１】
撮像ユニット１１６は、以上、図２及び図３を参照して説明したようにＣＣＤ１１７を搭載する所望の大きさに形成されたホルダ１４５を備え、気密構造に構成されている。  
一方、受け部材１５３は、受け部材１５２に対応した配置で、防塵フィルタ受け部１４８に設けられている。この受け部材１５３は、防塵フィルタ１１９に押圧方向の外力が加わって変位した場合、防塵フィルタ１１９に固着された圧電素子１２０を受けるように構成されている。  
受け部材１５３は、防塵フィルタ１１９の圧電素子１２０で補強された部位を受けることになるので、防塵フィルタ１１９の押圧に対する強度も高くなる。さらに、押圧部材１５１には、固定部１５１ｄが形成された部位付近に防塵フィルタ１１９の外周部に沿って支持部１５１ｃが形成されている。この支持部１５１ｃは、防塵フィルタ１１９の前面と所定間隔をもって対向し、防塵フィルタ１１９に反押圧方向の外力が加わって所定間隔変位した場合に防塵フィルタ１１９を受けるように構成されている。
【００４２】
支持部１５１ｃは、固定部１５１ｄの近くに設けられているので、Ｚ方向の曲げ部と防塵フィルタ１１９の外形とが接触する位置までの距離が非常に短く、かつ防塵フィルタ１１９を支持する支持部１５１ｃの曲げのバネ定数が非常に大きく、さらに大きな反押圧方向の力を受けた場合でも、複数の腕１５１ｂの変位は非常に小さい。従って、複数の腕１５１ｂの最大変位量は、防塵フィルタ１１９の前面と支持部１５１ｃとの間隔にほぼ一致する所定の変位量となる。
【００４３】
よって、腕１５１ｂの剛性は小さく、バネ定数も小さくて変形し易いが、腕１５１ｂの変位が所定の小さな値に抑えられるので、腕１５１ｂは、外力で大きく変位して破損したり、防塵フィルタ１１９の保持が外れることが無い。しかも、支持部１５１ｃは、押圧部材１５１に一体で、かつ板状に形成されているので、押圧部材１５１の必要なスペースは、従来の押圧機構と殆ど変わることが無い。さらに、外力がこの方向にかかった場合でも防塵フィルタ１１９を押圧部材１５１で受ける部位は、圧電素子１２０で補強された外周部になるので、強度は高いものとなる。
【００４４】
より具体的には、図３に示す押圧部材１５１をばね用リン青銅板、ばね用ベリリウム銅板、ばね用ステンレス板等の金属板や高い曲げ強度を持つ樹脂材料とした場合、腕部１５１ｂは、板厚ｔ、ヤング率Ｅ、幅Ｗｂ、長さＬｂ（展開長）とすると、腕部１５１ｂのバネ定数ｋｂは、  
ｋｂ＝（１／４）・（Ｅ・Ｗｂ・ｔ３）/Ｌｂ３      …（１）  
により表される。  
他方、支持部１５１ｃを単純な片持ちはりと仮定し、片持ちはりの幅をＷｃ、長さＬｃ、板厚ｔ、ヤング率Ｅとすると、同じくバネ定数ｋｃは、  
ｋｃ＝（１／４）・（Ｅ・Ｗｃ・ｔ３）／Ｌｃ３    …（２）  
により表される。
【００４５】
図３に示す支持部１５１ｃは、単純な片持ちはりではなく、上記式（２）の値より大きなバネ定数を持つが、簡単に説明するために片持ちはりと仮定し、最小のバネ定数ｋｃを算出している。上記２つの式（１）（２）で、仮に、腕部１５１ｂの幅Ｗｂと支持部１５１ｃの片持ちはりの幅をＷｃとをＷｂ≒Ｗｃとすれば、夫々のバネ定数ｋｂ、ｋｃの比ｋｃ／ｋｂは、  
ｋｃ／ｋｂ＝１／（Ｌｃ／Ｌｂ）３                …（３）  
であり、夫々のはりの長さＬｂ、Ｌｃの比の３乗に反比例する。
【００４６】
さらに具体的に、腕部１５１ｂの長さＬｂ＝５ｍｍ、支持部１５１ｃの長さＬｃ＝０．５ｍｍとすれば、バネ定数の比ｋｃ／ｋｂ＝１０００となり、支持部１５１ｃは、腕部１５１ｂのバネ定数ｋｂの１０００倍のバネ定数ｋｃを持つことになる。剛性は所定の力に対する変形が小さければ高くなり、剛性の比はバネ定数と比例すると考えて良いので、支持部１５１ｃの剛性は、腕部１５１ｂ剛性の１０００倍となる。
【００４７】
さらに、圧電素子１２０には、２つの信号電極１７１、１７２が防塵フィルタ１１９の外周から延出されている。これら信号電極１７１、１７２は、圧電素子１２０の圧電部材１２０ａを挟んで設けられる。この圧電素子１２０は、防塵フィルタ制御回路１２１から供給される所定の電気信号が各信号電極１７１、１７２を通して圧電部材１２０aの圧電素子部１２０ｂに印加されると、当該圧電部位１２０ｂに所定の振動が発生する。
【００４８】
各信号電極１７１、１７２の延出部は、各絶縁シート１５７a、１５７ｂにより保持されている。これら絶縁シート１５７a、１５７ｂは、数十μｍ以下のポリイミド等の樹脂シートで形成されている。各信号電極１７１、１７２は、１０μｍ以下の銅箔等で作製されている。各信号電極１７１、１７２は、柔軟性を有することから圧電部位１２０ｂの振動を減衰させることが少なく、延出部１２０ｃから外部に振動を漏らすことがない。また、各信号電極１７１、１７２は、振動振幅の小さいところ、後述する振動の節位置に延出部１２０ｃを設けることで、より振動の減衰を抑えることができる。
【００４９】
一方、以下に述べるような手ブレ補正機構を持つ場合、防塵フィルタ１１９や圧電素子１２０は、ボディユニット１００に対して相対的に移動する。これにより、防塵フィルタ制御回路１２１がボディユニット１００と一体の部材にある場合、手ブレ補正機構の動作に従って延出部１２０ｃは、変形し、変位する。この場合、延出部１２０ｃは、柔軟性があり薄いので、手ブレ補正機構の動作時の負荷の低減や小型化に有効である。  
また、防塵フィルタ１１９は、小形、薄型化可能で、かつ圧電素子１２０も薄型で材料も樹脂で軽いものとなっている。これにより、防塵フィルタ１１９と圧電素子１２０の質量が小さく、かつホルダ１４５を駆動するエネルギーが小さくなるので、手ブレ補正機構をもつカメラには最適である。
【００５０】
防塵フィルタ１１９でその表面から離脱した塵埃は、後述するように、その振動の慣性力と重力の作用とによりボディユニット１００の下側に落下する。本実施の形態では、図５に示すように防塵フィルタ１１９の下側直近に押圧部材１５１のＺ方向の曲げが設けられている。この押圧部材１５１のＺ方向の曲げには、粘着材、粘着テープ等で形成された保持材１５９が配設され、この保持材１５９で落下した塵埃を確実に保持し、再び防塵フィルタ１１９の表面に戻らないようにしてある。
【００５１】
次に、簡単に手ブレ補正機能について説明する。この手ブレ補正機構は、図１に示すように、Ｘ軸ジャイロ１６０と、Ｙ軸ジャイロ１６１と、防振制御回路１６２と、Ｘ軸アクチュエータ１６３と、Ｙ軸アクチュエータ１６４と、Ｘ枠１６５と、Ｙ枠１６６（ホルダ１４５）と、フレーム１６７と、位置検出センサ１６８と、アクチュエータ駆動回路１６９とから構成されている。Ｘ軸ジャイロ１６０は、カメラのＸ軸回りの手ブレの角速度を検出する。Ｙ軸ジャイロ１６１は、カメラのＹ軸周りの手ブレの角速度を検出する。防振制御回路１６２は、Ｘ軸ジャイロ１６０から出力される角速度信号と、Ｙ軸ジャイロ１６１から出力される角速度信号とに基づいて手ブレ補償量を演算し、撮影光軸の方向をＺ軸方向とした場合、撮影光軸に直交するＸＹ平面内で互いに直交するＸ軸方向（第１の方向）とＹ軸方向（第２の方向）とにそれぞれＣＣＤ１１７のブレを補償するように当該ＣＣＤ１１７を変位移動させる。
【００５２】
即ち、手ブレ補正機構は、アクチュエータ駆動回路１６９から所定の駆動信号をＸ軸アクチュエータ１６３とＹ軸アクチュエータ１６４とに送ると、これらＸ軸とＹ軸アクチュエータ１６４、１６３とを駆動源とし、Ｘ軸アクチュエータ１６３によってＣＣＤ１１７をＸ軸方向に駆動し、これと共にＹ軸アクチュエータ１６３によってＣＣＤ１１７をＹ軸方向に駆動する。これにより、Ｘ枠１６５と撮像ユニット１１６中のＣＣＤ１１７を搭載したＹ枠１６６（ホルダ１４５）とは、移動対象物としてフレーム１６７に対して移動する。
【００５３】
ここで、Ｘ軸アクチュエータ１６３及びＹ軸アクチュエータ１６４は、電磁回転モータとネジ送り機構等を組み合わせたものや、ボイスコイルモータを用いた直進電磁モータや、直進圧電モータ等が用いられる。尚、位置検出センサ１６８は、Ｘ枠１６５及びＹ枠１６６の位置を検出するものである。防振制御回路１６２は、該位置検出センサ１６８の位置情報や、当該位置情報を微分した速度情報を用いてＣＣＤ１１７を搭載したＹ枠１６６をブレ補正した位置に制御すると共に、変位移動可能な範囲を超えてＸ軸アクチュエータ１６３及びＹ軸アクチュエータ１６４を駆動しないようにアクチュエータ駆動回路１６９を制御する。
【００５４】
次に、塵埃除去機構について図４乃至図１２を参照してさらに詳しく説明する。  
図４は塵埃除去機構を構成する主要部（振動子）の分解斜視図を示す。図５は防塵フィルタ１１９で除去された塵埃を保持する部分の図３のＢＢ線断面図を示す。図６は振動装置を構成する押圧機構の主要部を示すもので、反押圧方向に外力が防塵フィルタ１１９に加わった状態を説明するための図２の断面と同じ断面での主要部品を示す。図７は防塵フィルタ１１９に発生する振動（振動モード「１」）の様子を説明するための図を示すもので、防塵フィルタ１１９の正面図とＢ線断面図とＣＣ線断面図とを示す。図８は防塵フィルタ１１９の振動発生の概念を説明するための図を示すもので、防塵フィルタ１１９の正面図とＢＢ線断面図とＣＣ線断面とを示す。図９は防塵フィルタ１１９に発生する異なる振動（振動モード「２」）の様子を説明するための図を示すもので、防塵フィルタ１１９の正面図とＢＢ線断面図とＣＣ線断面とを示す。図１０は圧電素子の構造の分解斜視図を示す。図１１は圧電素子の斜視図を示す。図１２は圧電素子の電気接続部の構造を示すもので、同図（ａ）は圧電素子の電気接続部のＥＥ線断面構造図を示し、同図（ｂ）は圧電素子の電気接続部のＦＦ線断面構造図を示す。図１３は圧電素子のさらに異なる形態の断面図を示す。図１４は防塵フィルタ１１９に発生する定在波を説明するための防塵フィルタ１１９の概念図を示すもので、図７に示すＢ線断面図に相当する。
【００５５】
防塵フィルタ１１９は、ある対称軸に対して対称な辺を少なくとも一つ持つもので、全体として多角形の板状、例えば矩形状、具体的には四角形に形成されている。この防塵フィルタ１１９は、少なくとも、最大の振動振幅が得られる位置から放射方向に所定の広がりを持つ領域を光透過性の透明部として構成している。尚、この防塵フィルタ１１９は、全体として円形に形成され、当該円形の一部を直線状にカットして一辺を持つＤ形状であっても良いし、四角形の両辺を円弧状に形成し、上下二辺を持つ形状としたものでも構わない。この防塵フィルタ１１９は、上述した取り付け手段により透明部が光学ＬＰＦ１１８の前面側に所定の間隔をもって対向配置されている。
【００５６】
防塵フィルタ１１９の一方の面、ここでは背面側の周縁部には、当該防塵フィルタ１１９に対して振動を与えるための加振部材である圧電素子１２０が例えば接着剤による貼着等の手段により配設されている。この圧電素子１２０を防塵フィルタ１１９に配設することにより振動子１７０が形成される。この振動子１７０は、圧電素子１２０に所定の周波電圧を印加すると共振振動し、図７に示すように大きな振幅で屈曲振動を発生する。
【００５７】
図４に示すように圧電素子１２０は、全体の外形が例えば矩形状に形成され、光透過性の樹脂シートから成る圧電部材１２０ａと、この圧電部材１２０ａの上辺で矩形領域を挟むように設けられた各信号電極１７１、１７２とがそれぞれ形成された各絶縁シート１５７ａ、１５７ｂとが固着されて形成されている。これら信号電極１７１、１７２は、矩形状の圧電部材１２０ａにおける長辺側に設けられている。なお、圧電部材１２０ａには、撮影レンズの結像光線通過エリアに対応する部分に開口が形成されている。各絶縁シート１５７ａ、１５７ｂにも、撮影レンズの結像光線通過エリアに対応する部分に開口が形成されるか、又は光透過性の部材に形成されている。
【００５８】
各信号電極１７１、１７２と各絶縁シート１５７ａ、１５７ｂとの一部は、防塵フィルタ１１９の外側に延伸され、これら延伸された端部には、それぞれ防塵フィルタ制御回路１２１に電気的に接続するための各端子が形成されている。防塵フィルタ制御回路１２１からの所定周期を有する駆動電圧が出力されると、この駆動電圧は、上記延伸された部分から各信号電極１７１、１７２を通して圧電素子１２０に印加されるので、上記の通り振動子１７０は共振振動し、この結果として防塵フィルタ１１９には図７に示すような２次元の定在波屈曲振動が発生する。
【００５９】
ここで、定在波屈曲振動について説明する。  
図７に示す屈曲振動は定在波振動を示す。同図に示す防塵フィルタ１１９の正面図において振動の節エリア（振動振幅の小さいエリア）１７３を示す黒色となる線状のエリアは、黒色が濃いほど振動振幅が小さくなっている。尚、同図の防塵フィルタ１１９の正面図中に示すメッシュは、有限要素法のメッシュである。
【００６０】
振動速度が大きい場合、図７の防塵フィルタ１１９の正面図に示すように節エリア１７３の間隔が小さいと、節エリア１７３には大きな面内振動が発生し、かつ節エリア１７３にある塵埃には面内振動方向に大きな慣性力が発生する。このとき、図１４を参照して後述するように質点Ｙ２の動きを参照すれば、節Ｔａを中心にＹ２とＹ２’の間を円弧振動する。
【００６１】
塵埃の付着面に沿った力が作用するように防塵フィルタ１１９面を重力に対して平行になる方向に傾けると、慣性力と重力が作用して節エリア１７３に付着した塵埃も除去することができる。
図７に示す防塵フィルタ１１９の正面図における白色のエリアは、振動振幅が大きなエリアを示す。この白色エリアに付着した塵埃は、振動により与えられる慣性力により除去される。振動の節エリア１７３に付着した塵埃は、節エリア１７３に振幅をもつ別の振動モードで加振することによっても除去することができる。
【００６２】
図７に示す屈曲の振動モードは、Ｘ方向の屈曲振動とＹ方向の屈曲振動との合成で形成される。図８は当該合成の基本状態の様子を示す。２つの圧電素子１２０、１２１を防塵フィルタ１１９の中心軸Ｘに対称に配置した振動子１７０を設ける。この振動子１７０をスポンジ等の振動減衰の殆どない部材の上に置いて自由振動させると、図８に示すような格子状の節エリア１７３を生じる振動モードが通常簡単に得られる（上記特許文献２参照）。この振動モードは、Ｘ方向に波長λｘの定在波屈曲振動が発生し、かつＹ方向に波長λｙの定在波屈曲振動が発生して、両方の定在波が合成されている状態を示す。
【００６３】
図８に示すＯ点をｘ＝０，ｙ＝０の原点として取ると、任意の点Ｐ（ｘ，ｙ）のＺ方向の振動Ｚ（ｘ，ｙ）は、Ａを振幅（ここでは一定値としたが、実際には振動モードや圧電素子に入力される電力により変わる）、ｍ、ｎを振動モードに対応した固有振動の次数で０を含む正の整数、γを任意の位相角とすると、次式（４）で表される。  
Ｚ（ｘ，ｙ）＝Ａ・Ｗｍｎ（ｘ，ｙ）・cos（γ）  
＋Ａ・Ｗｎｍ（ｘ，ｙ）・sin（γ）    …（４）  
但し、  
Ｗｍｎ（ｘ，ｙ）＝sin（ｎπ・ｘ＋π／２）・sin（ｍπ・ｙ＋π／２）
Ｗｎｍ（ｘ，ｙ）＝sin（ｍπ・ｘ＋π／２）・sin（ｎπ・ｙ＋π／２）
である。  
ここで、例えば、位相角γ＝０とすると、上記式（４）は、  
Ｚ（ｘ，ｙ）＝Ａ・Ｗｍｎ（ｘ，ｙ）  
＝Ａ・sin（ｎ・π・ｘ／λｘ＋π／２）  
・sin（ｍ・π・ｙ／λｙ＋π／２）    …（５）  
となり、ここで、λｘ＝λｙ＝λ＝１とする（屈曲の波長を単位長さとしてｘ，ｙを表記）と、  
Ｚ（ｘ，ｙ）＝Ａ・Ｗｍｎ（ｘ，ｙ）  
＝Ａ・sin（ｎ・π・ｘ＋π／２）  
・sin（ｍ・π・ｙ＋π／２）    …（６）  
となる。
【００６４】
図８は固有振動の次数がｍ＝ｎの場合の振動モードを示す。ｍ＝ｎは、Ｘ方向、Ｙ方向の振動の次数と波長が同じなので防塵フィルタ１１９の形状は正方形になる。この振動モードでは、Ｘ方向、Ｙ方向に等間隔で振動の山、節、谷が現れ、碁盤目状に振動の節エリア１７３が現れている（従来の振動モード）。  
また、ｍ＝０、ｎ＝１の振動モードでは、Ｙ方向に平行な辺（辺ＬＢ）に対して平行な山、節、谷が出来る振動になる。  
以上の碁盤目状或いは辺に平行な振動モードでは、Ｘ方向、Ｙ方向の振動が独立に現れるだけで、碁盤目状の振動のＸ方向とＹ方向の交点においても振動が合成されて振動振幅が大きくなることがない。
【００６５】
ここで、防塵フィルタ１１９の形状を僅かに長方形側にすると、本実施の形態のように圧電素子を１つの辺に沿って配置しても、振動振幅が非常に大きくなる振動モードとなる（最大振幅は従来の円形の防塵フィルタと同じレベル）。このとき、図７に示す振動モードとなり、防塵フィルタ１１９が矩形であるにも関わらず、光軸中心に対して振動振幅の山の稜線１７４が閉曲線を構成し、Ｘ方向の辺からの反射波とＹ方向の辺からの反射波とを効率良く合成して定在波が作られる。  
また、図９は図７に示す防塵フィルタ１１９の加振用周波数を変えることにより発生する振動モードを示す。この振動モードは、辺の中心を囲む振動振幅の山の稜線１７４が形成される。
【００６６】
図１０は圧電素子１２０のより詳細な構成を説明するための図であって、圧電素子１２０と防塵フィルタ１１９から構成される振動子１７０の分解斜視図を示す。圧電部材１２０ａは、Ｄ体ポリ乳酸の薄膜シート（厚さ１μｍから１０μｍ程度）から成る第１圧電シート３０１と、Ｌ体ポリ乳酸の薄膜シート（厚さ１μｍから１０μｍ程度）から成る第２圧電シート３０２とが交互に配置されている。
【００６７】
第１圧電シート３０１と第２圧電シート３０２との略中央部には、光線を透過させるための有効光線透過範囲Ｗａが形成されている。この有効光線透過範囲Ｗａは、光透過性透明の孔が形成され、撮影レンズの結像光線を遮ることがない。第１圧電シート３０１と第２圧電シート３０２とは、製造過程で延伸されている。この延伸方向は、防塵フィルタ１１９の外形を形成する辺に沿って設けられた第１電極３０３ａと第２電極３０４ａとの長辺に対して直交する方向としてある。  
圧電部材１２０ａの表裏には、それぞれ第１電極シート３０３と第２電極シート３０４とが固着されている。これら第１電極シート３０３と第２電極シート３０４とには、それぞれ対向して第１電極３０３ａと第２電極３０４ａとが形成されている。これら第１電極３０３ａと第２電極３０４ａとの間には、圧電部材１２０ａの一部をなす圧電部位１２０ｂが挟み込まれる。
【００６８】
第１電極３０３ａと第２電極３０４ａとは、それぞれポリイミドシート（厚さ数十μｍ以下）から形成された第１絶縁シート３０３ｂと第２絶縁シート３０４ｂとに固着され、その中央部には、有効光線透過範囲Ｗａが形成されている。さらに、第１電極シート３０３と第２電極シート３０４との一部は、それぞれ防塵フィルタ１１９の外側に引き出され、延出部１２０ｃを形成する。この延出部１２０ｃには、第１電極３０３ａと第２電極３０４ａとからそれぞれ延出された第１電気接続部３０３ｃと第２電気接続部３０４ｃとが形成されている。これら第１電気接続部３０３ｃと第２電気接続部３０４ｃとの各端部は、露出し、防塵フィルタ制御回路１２１と接続可能に構成されている。ここで、第１電気接続部３０３ｃは、穴３０３ｄの内周面を通して第１電気接続部３０４ｄに接続されている。
【００６９】
図１１は図１０における振動子１７０の組立後の斜視図を示す。振動子１７０の詳細は、図１０で述べられているので、ここでは省略する。  
図１２（ａ）は図１０のＥＥ線断面図を示し、図１２（ｂ）は図１０のＦＦ線断面図を示す。  
図１３（ａ）（ｂ）は振動子１７０の変形例を示すもので、図１２（ａ）（ｂ）に対応する断面図を示す。この振動子１７０は、第１圧電シート３０１と第２圧電シート３０２とのそれぞれの表裏に第１電極３０３ａと第２電極３０４ａとが設けられているところが図１２と相違する構成になっている。  
この振動子１７０は、第１圧電シート３０１と第２圧電シート３０２とを１枚ごとに交互に積層してもよいし、複数枚ごとに交互に並べても勿論良い。防塵フィルタ１１９側の第１電極３０３ａは、防塵フィルタ側に形成し、第１絶縁シート３０３ｂを省いても良い。
【００７０】
次に、図１４を用いて塵埃の除去について詳しく説明する。  
図１４は、図７のＢＢ線断面図と同じ断面を示す。同図において矢印Ｑａ方向に延伸された圧電部材１２０ａに所定の周波電圧が印加され、共振屈曲振動を発生させた場合、振動子１７０は、ある時点ｔ０で実線に示した状態となる。振動子１７０の表面の任意の位置ｙにある質点Ｙ１の任意の時刻ｔでのＺ方向の振動ｚは、振動の角速度ω、Ｚ方向の振幅Ａ、Ｙ＝２πｙ／λ（λ：屈曲振動の波長）とすると、下記の式（７）の通りに表される。  
ｚ＝Ａｓｉｎ（Ｙ）・ｃｏｓ（ωｔ）            …（７）  
この式は、図７に示す定在波振動を表す。即ち、ｙ＝ｓ・λ／２の時（ここで、ｓは整数）にＹ＝ｓπとなり、ｓｉｎ（Ｙ）は零になる。従って、時間ｔに関係なくＺ方向の振動振幅が零になる節Ｔａをλ／２ごとに持つことになり、これは定在波振動である。
【００７１】
図１４において破線で示す状態は、時間ｔ０の状態に対して振動が逆相となるｔ＝ｋπ／ωでの状態を示す（ここで、ｋは奇数）。この振動子１７０の場合、圧電素子１２０は、印加電圧が負でも正でも所定の方向にしか曲がらないが、この屈曲振動が振動子１７０の端面で反射されると位相がずれ、この反射された屈曲反射波と圧電素子１２０の強制屈曲波とが重ね合わされて共振屈曲定在波が形成される。
【００７２】
次に、防塵フィルタ１１９上の点Ｙ１の振動は、屈曲定在波の振動の腹Ｔｂの位置になるので、振動振幅はＡとなり、Ｚ方向の点Ｙ１の位置ｚ（Ｙ１）は、  
ｚ（Ｙ１）＝Ａｃｏｓ（ωｔ）                  …（８）
となる。
点Ｙ１の振動速度Ｖｚ（Ｙ１）は、振動の周波数をｆとすると、ω＝２πｆであるので、上記式（８）を時間で微分して、  
Ｖｚ（Ｙ１）＝ｄ（ｚ（Ｙ１））／ｄｔ  
＝−２πｆ・Ａｓｉｎ（ωｔ）        …（９）  
となる。点Ｙ１の振動加速度αｚ（Ｙ１）は、上記（８）式をさらに時間で微分して、  
αｚ（Ｙ１）＝ｄ（Ｖｚ（Ｙ１））／ｄｔ  
＝−４π２ｆ２・Ａｃｏｓ（ωｔ）      …（１０）
となり、点Ｙ１に付着している塵埃Ｄａは、上記（５）式の加速度を受けることとなる。
【００７３】
このとき、塵埃Ｄａの受ける慣性力Ｆｋは、塵埃Ｄａの質量をＭとして、  
Ｆｋ＝αｚ（Ｙ１）・Ｍ  
＝−４π２ｆ２・Ａｃｏｓ（ωｔ）・Ｍ            …（１１）  
となる。
上記式（１１）から慣性力Ｆｋは、周波数ｆを高くすると大きくなるので効果的なことが判るが、そのときの振動振幅Ａが小さいと、いくら周波数ｆを高くしても慣性力Ｆｋを大きくすることは出来ない。一般的には、加振の振動エネルギーを発生させる圧電素子１２０の大きさを一定とすると、所定の振動エネルギーしか発生することができない。従って、同じ形態の振動モードで周波数ｆを高くすると、振動振幅Ａは周波数ｆの２乗に逆比例し、共振周波数を高くして高次の共振モードにすると、振動振幅Ａは低下し、振動速度が速くならず、振動加速度も大きくならない（むしろ、周波数ｆが高くなると、理想的に共振させることが難しく、振動エネルギー損失が大きくなり、振動加速度は下がる）。即ち、単に共振モードで振動を発生させることでは大きな振幅を持つモードにはならず、塵埃除去の効果が著しく悪化してしまう。
【００７４】
また、図１４に示す防塵フィルタ１１９の保持では、振動の節Ｔａを支持すれば良いが、振動の腹Ｔｂを支持してしまうと、発生している振動を阻害し、振動加速度を著しく低下させ、結果として塵埃Ｄａの除去性能を低下させてしまうことになる。  
本実施の形態は、防塵フィルタ１１９の外周部に沿うように片持ちはり状の腕部１５１ｂを形成することにより当該防塵フィルタ１１９の押圧力を２Ｎ以下とし、例え振動の腹Ｔｂの部分を支持しても、振動を阻害することが殆ど無いように構成している。
【００７５】
防塵フィルタ１１９の押圧力の最低設定値Ｆminは、振動子１７０の質量ｍ、重力加速度ｇ（ここで重力加速度は１Ｇ＝９．８ｍ／ｓ２）とした場合、振動子１７０が振動装置の姿勢を変えただけで変位するのを防止するために、Ｆmin＞ｇ・ｍである。より具体的には、Ｆmin＝２・ｇ・ｍである。  
先に述べた形状、材質の防塵フィルタ１１９は、板厚０．５ｍｍ程度以下のガラス板であり、ｍ＝１．５ｇ程度以下なので、押圧力の最低設定値Ｆminは、０．０３Ｎ程度以上となる。部材や組立てのバラツキを考慮すると、１０倍程度の安全係数を掛けることにより、押圧力の最低設定値Ｆｍｉｎは、０．３Ｎ程度に設定するのが望ましい。
【００７６】
一方、防塵フィルタ１１９に加わる外力Ｆは、デジタルカメラ等の画像機器の落下等を仮定すると、数百Ｇ程度の加速度が加わる場合が想定され、具体的に５００Ｇとした場合、外力Ｆ＝７．３５Ｎとなる。押圧力を０．３Ｎとした場合、外力は押圧力の２４．５倍になり、従来の押圧部材では、大きく変位して簡単に塑性変形をしてしまう。
【００７７】
これに対して本実施の形態では、押圧部材１５１は、支持部１５１ｃを持ち、その剛性は押圧力を発生する腕１５１ｂの剛性の１０００倍以上（ばね定数も１０００倍以上）程度を持っている。これにより、腕１５１ｂが所定量変形した後、支持部１５１ｃは、腕１５１ｂの所定量変形に要する力Δｆを引いた外力Ｆ’＝Ｆ−Δｆを受け、変位量Ｚ１だけ変位する。このとき、防塵フィルタ１１９の外周部にも外力Ｆ‘を受けるが、本実施の形態では、樹脂材料からなる圧電素子１２０が防塵フィルタ１１９の外周部に固着されており、防塵フィルタ１１９を衝撃力である外力Ｆ‘から保護している。
【００７８】
ここで、支持部１５１ｃのばね定数ｋ１、所定の押圧力Ｆ１のときの腕１５１ｂの変位量をＺ２、腕１５１ｂのばね定数ｋ２とすると、  
Ｆ’＝Ｚ１・ｋ１、Ｆ１＝Ｚ２・ｋ２          …（１２）  
であり、  
Ｚ１／Ｚ２＝Ｆ’／Ｆ１・ｋ２／ｋ１          …（１３）  
となる。  
ｋ１／ｋ２＝１０００とし、仮にＦ’＝７．３５Ｎ、Ｆ１＝０．３Ｎとすると、  
Ｚ１／Ｚ２＝１／４１                        …（１４）  
となる。
【００７９】
支持部１５１ｃの変位量は、腕１５１ｂの変位量の１／４１となり、大きな応力を受けることもなく、なおかつ、押圧部材１５１の必要なスペースは、従来の押圧機構の必要なスペースとほとんど変わることがない。実用的には、Ｚ１／Ｚ２＝１／１０程度に設定すれば良く、この場合には支持部１５１ｃの剛性（ばね定数）は腕１５１ｂの２５０倍程度に設定すれば良い。
【００８０】
一方、防塵フィルタ１１９が矩形であるにも関わらず、上記図７に示す本実施の形態の振動モード「１」は、振動振幅の山の稜線１７４が光軸中心に対して閉曲線を構成する。上記図９に示す本実施の形態の振動モード「２」は、振動振幅の山の稜線１７４が辺の中心を取り囲む曲線を構成し、Ｘ方向の辺からの反射波と、Ｙ方向の辺からの反射波を効率良く合成して定在波を作成している。ここで、図７に示す振動モード「１」の中央部の最大振動速度が全ての振動モードの中で最も大きく、Ｖmax１となる。
【００８１】
また、図９に示す振動モード「２」は、振動モード「１」に対して中央部の最大振動速度が７０％を超える程度に低下する。さらに、振動モード「２」では、中央部の最大振動速度が振動モード「１」の中央部の最大振動速度の４０％以下程度になっており、最も振動速度が低いものになるが、押圧力を１Ｎ程度にすると、殆ど押圧力を零にした場合と同様な振動速度が得られる。よって、本実施の形態の押圧機構は充分な効果を発揮する。
【００８２】
一方、振動モード「１」の場合、押圧力２Ｎ付近では、押圧力に対して振動速度の変化が大きいが、押圧力を１Ｎ程度にすると、ほぼＶｍａｘ１の振動速度が確保され、押圧力のバラツキに対して振動速度の変化も無くなり、安定した押圧機構が実現できる。また、振動モード「１」で、押圧力を２Ｎ程度に設定しても、本実施の形態の押圧機構では、防塵フィルタ１１９の外周に沿って長い片持ちはり状の腕１５１ｂが形成可能で、腕１５１ｂのバネ定数を小さくすることが可能である。これにより、腕１５１ｂの変位に対して押圧力の変化は小さくなり、部品や組立てのバラツキに対して、押圧力の変動を小さくすることができる。
【００８３】
上記の通り本実施の形態の振動モード「２」では、Ｘ方向の辺からの反射波とＹ方向の辺からの反射波とを効率良く合成して定在波を作成しており、この合成定在波を効率良く作るためには、防塵フィルタ１１９の形状寸法が大きく寄与している。防塵フィルタ１１９の長辺の長さに対する短辺の長さの比である縦横比（短辺／長辺）を１にする即ち正方形にするよりも、縦横比を１より小さく設定した方が圧電素子部１２０ｂが一箇所にしか形成されていないにも関わらず、防塵フィルタ１１９の中央位置のＺ方向の振動速度が最も大きな領域になる。実際には、防塵フィルタ１１９の縦横比（短辺／長辺）は、０．９以上、１未満とすることが好ましい。なお、圧電素子部１２０ｂは、圧電素子１２０において信号電圧が印加される部位である。
【００８４】
このように振動振幅の山の稜線１７４が光軸中心に対して閉曲線を構成する振動や辺の中心を取り囲む曲線を構成する振動では、防塵フィルタ１１９が円盤状の形状の場合に発生する同心円状の振動の振幅と同等の振動速度が発生できる。単に辺に平行な振動振幅を発生する振動モードでは、図７に示す振動モード「１」の数分の１から１０分の１程度の振動加速度しか得ることが出来ない。
【００８５】
また、振動振幅の山の稜線１７４が閉曲線を構成する振動や辺の中心を取り囲む曲線を構成する振動では、振動子１７０の中心が最も振動速度が大きく、周辺の閉曲線又は取り囲む曲線ほど振動振幅は小さくなる。これによって、画像の中心ほど塵埃除去の能力が高くなり、振動子１７０の中心を光軸に合わせることにより、中心の画質が高いところほど塵埃Ｄａが写り込まなくなると言った利点もある。
【００８６】
さらに、結像光線通過エリア１４９内の振動振幅の小さいエリアである節エリア１７３は、圧電素子１２０に与える駆動周波数を変えることで異なる振動モード（具体的には図８や図９に示す振動モード）で共振させることにより、節１７７位置を変化させて塵埃Ｄａを除去できることは勿論である。
【００８７】
次に、図７及び図９に示すように振動子１７０の４隅には、支持エリア１８０が形成される。これら支持エリア１８０は、振動振幅が殆ど無いエリアとなる。これにより、これら支持エリア１８０をＺ方向に押圧し、ゴム等の振動減衰性のある受け部材１５３を介して防塵フィルタ１１９を支持すれば、防塵フィルタ１１９の振動の減衰があまり発生せず、確実な押圧ができる。すなわち、ゴム等の受け部材１５３は、防塵フィルタ１１９の面内方向の振動を許容するので、面内方向の振動も殆ど減衰させることが無い。当然、１００Ｇ程度の外力が加わった場合でも、防塵フィルタ１１９を受けられることは言うまでも無い。
【００８８】
ここに示した受け部材１５３の構成では、数十Ｎの外力を受ける構成を作ることは容易である。また、このとき、圧電素子１２０が受け部材１５３に接触するが、柔軟な樹脂シートで構成されているので、ガラス等で構成された防塵フィルタ１１９が直接接触するよりも高い強度が得られ、防塵フィルタ１１９をより薄く構成できる。
【００８９】
一方、防塵フィルタ１１９を受けるシール１５６は、振動振幅があるエリアにも設けなければならないが、本実施の形態の振動モードでは、周辺の振動振幅の山ほど振動振幅が小さいので、シール１５６による振動の減衰は極めて少なくすることができる。これは、防塵フィルタ１１９の周辺部をリップ形状で受けることにより、屈曲振動振幅方向には力が強く作用せず、元々の振動振幅も小さいからである。
【００９０】
本実施の形態では、図７及び図９に示すように振動振幅の小さいエリアである節エリア１７３にシール接触部１８１が多く接触するように構成しているので、さらに振動減衰は小さくなる。さらに、シール１５６のリップ形状はＺ方向にバネ性を持つがそのバネ定数を小さくすることが可能であるので、Ｚ方向の変位に対して押圧力の変動を小さくでき、安定した押圧力を確保できる。また、外力が加わった場合でも、防塵フィルタ１１９と支持部１５１ｃとの間隔は小さいので、リップ部のバネ性によりシール１５６はＺ方向に変位し、防塵フィルタ１１９と光学ＬＰＦ１１８との間の空間の密閉性を保つことができる。
【００９１】
また、圧電素子１２０を振動させる上記所定の周波数は、振動子１７０を構成する防塵フィルタ１１９の形状寸法、材質や支持の状態によって決まるものであるが、通常、温度は振動子１７０の弾性係数に影響し、その固有振動数を変化させる要因の１つとなっている。そのため、運用時にその温度を計測して、その固有振動数の変化を考慮するのが好ましい。この場合、温度測定回路とこの温度測定回路に接続された温度センサとをデジタルカメラ１０内に設ければ、温度センサの計測温度から予め決められた振動子１７０の振動周波数の補正値を不揮発性メモリ１２８に記憶し、計測温度と補正値とをＢｕｃｏｍ１０１に読み込み、駆動周波数を演算して防塵フィルタ制御回路１２１の駆動周波数とすることによって、温度変化に対しても効率の良い振動を発生することができる。
【００９２】
次に、本実施の形態におけるデジタルカメラ１０の防塵フィルタ制御回路１２１について説明する。  
図１５はデジタルカメラ１０のボディユニット１００における防塵フィルタ制御回路１２１を概略的な回路構成図を示す。図１６は図１５に示す防塵フィルタ制御回路１２１における各構成部材から出力される各信号形態を示すタイムチャートを示す。  
ここに例示した防塵フィルタ制御回路１２１は、図１５に示す如くの回路構成を有し、その各部において図１６に示すタイムチャートで表わす波形の各信号Ｓｉｇ１〜Ｓｉｇ４を生成し、それらの信号Ｓｉｇ１〜Ｓｉｇ４に基づいて次のように制御する。
【００９３】
防塵フィルタ制御回路１２１は、図１５に例示の如く、Ｎ進カウンタ１８２と、１／２分周回路１８３と、複数のＭＯＳトランジスタＱ００，Ｑ０１と、トランス１８５と、抵抗Ｒ００とから構成されている。  
トランス１８５の１次側には、ＭＯＳトランジスタＱ０１とＭＯＳトランジスタＱ０２とが接続されている。このトランス１８５の２次側には、圧電素子１２０が接続されている。  
Ｂｕｃｏｍ１０１は、制御ポートとして２つのＩＯポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔとＩＯポートＤ＿ＮＣｎｔとが設けられ、かつ内部にクロックジェネレータ１８６が設けられている。このクロックジェネレータ１８６には、Ｎ進カウンタ１８２、１／２分周回路１８３を介してＭＯＳトランジスタＱ０１が接続されると共に、１／２分周回路１８３にインバータ１８７を介してＭＯＳトランジスタＱ０２が接続されている。又、Ｂｕｃｏｍ１０１の端子ＶＣｎｔには、電圧制御回路１８８を介して電源回路１３５が接続されている。抵抗Ｒ００は、トランス１８５に過大な電流が流れることを制限するために接続されている。
【００９４】
しかるに、ＭＯＳトランジスタＱ０１とＭＯＳトランジスタＱ０２とのＯＮ／ＯＦＦ切替え動作によって、トランス１８５の２次側には、所定周期の信号（Ｓｉｇ４）が発生するように構成されている。圧電素子１２０は、トランス１８５の２次側に発生する所定周期の信号に基づいて駆動し、防塵フィルタ１１９を固着した振動子１７０に共振定在波を発生させるようになっている。
【００９５】
Ｂｕｃｏｍ１０１は、２つのＩＯポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔ及びＩＯポートＤ＿ＮＣｎｔと、クロックジェネレータ１８６とを介して防塵フィルタ制御回路１２１を次のように制御する。クロックジェネレータ１８６は、図１６に示すように圧電素子１２０へ印加する信号周波数より充分に早い周波数でパルス信号（基本クロック信号）Ｓｉｇ１を出力する。このパルス信号Ｓｉｇ１は、Ｎ進カウンタ１８２に送られる。
【００９６】
このＮ進カウンタ１８２は、パルス信号Ｓｉｇ１を入力し、当該パルス信号Ｓｉｇ１をカウントし、所定の値“Ｎ”に達する毎にカウント終了パルス信号Ｓｉｇ２を出力する。即ち、Ｎ進カウンタ１８２は、基本クロック信号を１／Ｎに分周することになる。この分周されたカウント終了パルス信号Ｓｉｇ２は、ハイ（Ｈｉｇｈ）とロー（Ｌｏｗ）とのデューティ比が１：１ではない。１／２分周回路１８３は、カウント終了パルス信号Ｓｉｇ２をデューティ比１：１のパルス信号Ｓｉｇ３に変換する。このパルス信号Ｓｉｇ３は、ＭＯＳトランジスタＱ０１に直接送られると共に、インバータ１８７を介してＭＯＳトランジスタＱ０２に送られる。
【００９７】
このパルス信号Ｓｉｇ３のＨｉｇｈ状態において、ＭＯＳトランジスタＱ０１はＯＮする。ＭＯＳトランジスタＱ０１がＯＮすると、トランス１８５の２次側には、当該トランス１８５の昇圧比に応じて昇圧された信号Ｓｉｇ４が発生する。この信号Ｓｉｇ４は、パルス信号Ｓｉｇ３のＨｉｇｈとＬｏｗとの変化に同期して正負に変化する周期の正弦波となる。
【００９８】
トランス１８５の巻き線比は、電源回路１３５のユニットの出力電圧と圧電素子１２０の駆動に必要な電圧とから決定される。ここで、第１圧電シート３０１及び第２圧電シート３０２が薄く構成された場合、これら圧電シート３０１、３０２の変位量は、電界の強さに比例するので、トランス１８５が必要とならない場合もある。
【００９９】
圧電素子１２０を駆動するに際しては、ＭＯＳトランジスタＱ００がＯＮ状態にあり、かつ電源回路１３５からトランス１８５に電圧が印加されていなければならない。この場合、ＭＯＳトランジスタＱ００のＯＮ／ＯＦＦ制御は、Ｂｕｃｏｍ１０１のＩＯポートＰ＿ＰｗＣｏｎｔを介して行われる。
【０１００】
Ｎ進カウンタ１８２の設定値“Ｎ”は、Ｂｕｃｏｍ１０１のＩＯポートＤ＿ＮＣｎｔから設定できる。よって、Ｂｕｃｏｍ１０１は、設定値“Ｎ”を適宜に制御することで、圧電素子１２０の駆動周波数を任意に変更可能である。  
このとき、次式（１５）式によって周波数は算出可能である。  
ｆｄｒｖ＝ｆｐｌｓ／２Ｎ                    …（１５）  
但し、ＮはＮ進カウンタ１８２への設定値、ｆｐｌｓはクロックジェネレータ１８６の出力パルスの周波数、ｆｄｒｖは圧電素子１２０に印加される信号の周波数である。  
尚、上式（１５）に基づいた演算は、Ｂｕｃｏｍ１０１のＣＰＵ（制御手段）により行われる。
【０１０１】
次に、上記の如く構成された画像機器としてのデジタルカメラのＢｕｃｏｍ１０１によるカメラシーケンス（メインルーチン）の制御動作について図１７に示すメイン制御フローチャートを参照して説明する。  
ボディユニット１００の電源ＳＷ（不図示）がＯＮ操作されると、Ｂｕｃｏｍ１０１は、メイン制御プログラムを実行することによりカメラシーケンスの稼働を開始する。  
最初に、Ｂｕｃｏｍ１０１は、当該デジタルカメラ１０を起動するための処理を実行さする（ステップＳ１０１）。即ち、Ｂｕｃｏｍ１０１は、電源回路１３５を制御して当該デジタルカメラ１０を構成する各回路ユニットに電力を供給する。また、Ｂｕｃｏｍ１０１は、各回路の初期設定を行なう。
【０１０２】
次に、Ｂｕｃｏｍ１０１は、加振動作のサブルーチンをコールすることで、防塵フィルタ１１９を振動させる（ステップＳ１０２）。
次に、Ｂｕｃｏｍ１０１は、ステップＳ１０３〜Ｓ１２４のステップ群について周期的に実行する。即ち、Ｂｕｃｏｍ１０１は、まず、当該デジタルカメラ１０に対するアクセサリの着脱を検出する（ステップＳ１０３）。このアクセサリの着脱の検出は、例えば、アクセサリの１つであるレンズユニット２００が、ボディユニット１００に装着されたことを検出する（ステップＳ１０４）。この着脱検出動作は、Ｌｕｃｏｍ２０１とレンズユニット２００との間で通信を行なうことで、レンズユニット２００の着脱状態を調べる。  
この検出の結果、所定のアクセサリがボディユニット１００に装着されたことが検出されると、Ｂｕｃｏｍ１０１は、加振動作のサブルーチンをコールすることで、防塵フィルタ１１９を振動させる（ステップＳ１０５）。
【０１０３】
このようにカメラ本体であるボディユニット１００にアクセサリ、特に、レンズユニット２００が装着されていない期間において、各レンズや防塵フィルタ１１９等に塵埃が付着する可能性が高い。このため、上述の如くレンズユニット２００の装着を検出したタイミングで塵埃を払う動作を実行することは有効である。また、レンズ交換時にボディユニット１００内部に外気が循環し塵埃が進入して付着する可能性が高いので、レンズ交換時に塵埃除去することは有意義である。そして、Ｂｕｃｏｍ１０１は、撮影直前とみなし、ステップＳ１０６に移行する。
【０１０４】
一方、Ｂｕｃｏｍ１０１は、上記ステップＳ１０４において、レンズユニット２００がボディユニット１００から外された状態であることを検出すると、そのまま次のステップＳ１０６に移行する。Ｂｕｃｏｍ１０１は、ステップＳ１０６において、当該デジタルカメラ１０が有する所定の操作スイッチの状態を検出する。  
このステップ１０６の後、通常、Ｂｕｃｏｍ１０１は、撮像された画像を液晶モニタ１２３に表示し、ファインダの機能となるいわゆるスルー画の表示を行なう。なお、スルー画の表示のフローチャートは省略している。当然、このとき、シャッタ１０８は全開した状態であり、画像が撮像され、その撮像画像をもとに後述する露出制御がなされる。
【０１０５】
スルー画の表示状態において、Ｂｕｃｏｍ１０１は、レリーズＳＷを成す１ｓｔレリーズＳＷが操作されたか否かを当該レリーズＳＷのＯＮ／ＯＦＦ状態で判定する（ステップＳ１０７）。  
Ｂｕｃｏｍ１０１は、レリーズＳＷのＯＮ／ＯＦＦ状態を読み出し、１ｓｔレリーズＳＷが所定時間以上ＯＮ操作されないと、電源ＳＷの状態を判別する（ステップＳ１０８）。この判別の結果、電源ＳＷがＯＮされていれば、Ｂｕｃｏｍ１０１は、上記ステップＳ１０３に戻り、レリーズＳＷがＯＦＦされていれば終了処理（スリープ等）となる。
【０１０６】
一方、上記ステップＳ１０７にて１ｓｔレリーズＳＷがＯＮ操作されたと判別すると、
Ｂｕｃｏｍ１０１は、画像処理コントローラ１２６により取得された撮像画像から被写体の輝度情報を入手し、この輝度情報から撮像ユニット１１６の露光時間（Ｔｖ値）とレンズユニット２００の絞り設定値（Ａｖ値）とを算出し、適正な露光量になるように露出制御を行う（ステップＳ１０９）。
【０１０７】
この後、Ｂｕｃｏｍ１０１は、同じく撮像画像のコントラストを検出する（ステップＳ１１０）。そして、Ｂｕｃｏｍ１０１は、検出されたコントラストが許可された範囲内にあるか否かを判定し（ステップＳ１１１）、許可された範囲内になければ、撮影レンズ２０２の駆動制御を行って（ステップＳ１１２）、上記ステップＳ１０３へ戻る。
【０１０８】
一方、許可された範囲内にコントラストが在れば、Ｂｕｃｏｍ１０１は、加振動作のサブルーチンをコールして防塵フィルタ１１９の振動を開始する（ステップＳ１１３）。  
さらに、Ｂｕｃｏｍ１０１は、レリーズＳＷを成す２ｎｄレリーズＳＷがＯＮ操作されたか否かを判定する（ステップＳ１１４）。この２ｎｄレリーズＳＷがＯＮ状態であれば、Ｂｕｃｏｍ１０１は、続くステップＳ１１５へ移行し、所定の撮影動作（詳細後述）を開始する。なお、２ｎｄレリーズＳＷがＯＦＦ状態であれば、Ｂｕｃｏｍ１０１は、上記ステップＳ１０８へ移行する。  
尚、撮像動作中では、Ｂｕｃｏｍ１０１は、通常の如く、露出の為に予め設定された秒時（露出秒時）に対応した時間の電子撮像動作を制御する。
【０１０９】
上記撮影動作として、Ｂｕｃｏｍ１０１は、ステップＳ１１５からステップＳ１２１において、所定の順序にて被写体の撮像を行う。  
先ず、Ｂｕｃｏｍ１０１は、Ｌｕｃｏｍ２０１に対してＡｖ値を送信し、絞り２０３の駆動を指令する（ステップＳ１１５）。続いて、Ｂｕｃｏｍ１０１は、シャッタ１０８を先幕クロス（ＣＬＯＳＥ）にした状態にした後、シャッタ１０８の先幕走行を開始させてオープン（ＯＰＥＮ）制御し（ステップＳ１１７）、画像処理コントローラ１２６に対して撮像動作の実行を指令する（ステップＳ１１８）。Ｔｖ値で示された時間だけのＣＣＤ１１７への露光（撮像）が終了すると、Ｂｕｃｏｍ１０１は、シャッタ１０８の後幕走行を開始させてＣＬＯＳＥ制御する（ステップＳ１１９）。そして、露光が終了すると、Ｂｕｃｏｍ１０１は、シャッタ１０８のチャージ動作を行なう（ステップＳ１２０）。シャッタ１０８がチャージされた状態では、シャッタ１０８は全開の状態にセットされる。
【０１１０】
この後、Ｂｕｃｏｍ１０１は、スルー画表示において、絞り２０３適正露光となる所定の位置へ制御するようにＬｕｃｏｍ２０１に対して指令し（ステップＳ１２１）、一連の撮像動作を終了する。  
続いて、Ｂｕｃｏｍ１０１は、記録メディア１２７がボディユニット１００に装着されているか否かを検出し（ステップＳ１２２）、ボディユニット１００に装着されていなければ、警告表示をする（ステップＳ１２３）。再び、Ｂｕｃｏｍ１０１は、上記ステップＳ１０３へ移行し、同様な一連の処理を繰り返す。
【０１１１】
一方、記録メディア１２７が装着されていれば、Ｂｕｃｏｍ１０１は、画像処理コントローラ１２６に対し撮影した画像データを記録メディア１２７へ記録するように指令する（ステップＳ１２４）。この画像データの記録動作が終了すると、Ｂｕｃｏｍ１０１は、再び、上記ステップＳ１０３へ移行し、同様な一連の処理を繰り返す。以上は、静止画撮影の動作を説明したが、動画撮影の動作についても同様な動作となるのでここでは説明を省略する。
【０１１２】
以下、詳しい振動形態の発生について、上述した３つのステップ（Ｓ１０２，Ｓ１０５，Ｓ１１３）でコールされる加振動作のサブルーチンの制御手順について図１８に示す加振動作の手順を示すフローチャートを参照して説明する。尚、この振動形態とは、加振部材である圧電素子１２０によって引き起こされる振動の形態である。  
図１８に示す加振動作のサブルーチンは、防塵フィルタ１１９の塵埃除去の為にだけの加振動作を目的とするルーチンである。振動周波数ｆ０は、防塵フィルタ１１９の共振周波数付近の所定の周波数に設定されている。  
図１９は加振動作において、加振部材としての圧電素子１２０へ連続的に供給される共振周波数の波形を示す。
【０１１３】
先ず、Ｂｕｃｏｍ１０１は、防塵フィルタ１１９を振動させるための駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）と駆動周波数（共振周波数：Ｎｏｓｃｆ０）とに関するデータを不揮発性メモリ１２８の所定領域に記憶されている中から読み出す（ステップＳ２０１）。  
次に、Ｂｕｃｏｍ１０１は、ＩＯポートＤ＿ＮＣｎｔから駆動周波数Ｎｏｓｃｆ０を防塵フィルタ制御回路１２１のＮ進カウンタ１８２へ出力する（ステップＳ２０２）。
【０１１４】
次に、Ｂｕｃｏｍ１０１は、ステップＳ２０３〜Ｓ２０５において、以下の塵埃除去動作を行う。すなわち、Ｂｕｃｏｍ１０１は、塵埃除去のために制御フラグＰ＿ＰｗＣｏｎｔをＨｉｇｈに設定する（ステップＳ２０３）。これにより、圧電素子１２０は、所定の駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ０）で防塵フィルタ１１９を加振する。この防塵フィルタ１１９への加振により当該防塵フィルタ１１９面に付着した塵埃Ｄａが振り払われる。
【０１１５】
すなわち、Ｂｕｃｏｍ１０１のクロックジェネレータ１８６は、図１６に示すように圧電素子１２０へ印加する信号周波数より充分に早い周波数でパルス信号Ｓｉｇ１をＮ進カウンタ１８２に出力する。  
このＮ進カウンタ１８２は、パルス信号Ｓｉｇ１をカウントし、所定の値“Ｎ”に達する毎にカウント終了パルス信号Ｓｉｇ２を１／２分周回路１８３出力する。  
この１／２分周回路１８３は、カウント終了パルス信号Ｓｉｇ２をデューティ比１：１のパルス信号Ｓｉｇ３に変換する。このパルス信号Ｓｉｇ３は、ＭＯＳトランジスタＱ０１に直接送られると共に、インバータ１８７を介してＭＯＳトランジスタＱ０２に送られる。
【０１１６】
このパルス信号Ｓｉｇ３のＨｉｇｈ状態において、ＭＯＳトランジスタＱ０１はＯＮし、このＯＮによりトランス１８５の２次側には、当該トランス１８５の昇圧比に応じて昇圧された信号Ｓｉｇ４が発生する。この信号Ｓｉｇ４は、パルス信号Ｓｉｇ３のＨｉｇｈとＬｏｗとの変化に同期して正負に変化する周期の正弦波となる。  
圧電素子１２０は、トランス１８５の２次側に発生する所定周期の信号Ｓｉｇ４に基づいて駆動し、防塵フィルタ１１９を固着した振動子１７０に共振定在波を発生させる。これにより、防塵フィルタ１１９は、振動した状態になる。
【０１１７】
Ｂｕｃｏｍ１０１は、所定駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）、防塵フィルタ１１９を振動させた状態で待機し（ステップＳ２０４）、当該所定駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）経過後、制御フラグＰ＿ＰｗＣｏｎｔをＬｏｗに設定することで、塵埃除去動作を停止させる（ステップＳ２０５）。そして、Ｂｕｃｏｍ１０１は、コールされたステップの次のステップへリターンする。
【０１１８】
このサブルーチンで適用される振動周波数ｆ０（共振周波数（Ｎｏｓｃｆ０））と駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）とは、図１９に示す波形を示す。即ち、一定の振動（ｆ０＝７８ｋＨｚ）が、塵埃除去に充分な時間（Ｔｏｓｃｆ０）だけ続く連続的な波形となる。つまり、この振動形態が発生するように、加振部材としての圧電素子１２０に供給する駆動周波数ｆ０を調整して制御するものである。
【０１１９】
このような上記一実施の形態であれば、板状に形成され、中心部から放射方向に所定の広がりを持つ有効光線透過範囲Ｗａが形成された防塵部材としての防塵フィルタ１１９と、この防塵フィルタ１１９に対して所定の間隔をもって配置された固定部材としてのホルダ１４５と、防塵フィルタ１１９の外周部に固着され、可撓性のある薄板状の圧電部材１２０ａを有し、防塵フィルタ１１９を振動させる加振部材としての圧電素子１２０と、防塵フィルタ１１９の中心を囲むようにホルダ１４５と防塵フィルタ１１９或いは圧電素子１２０との間に配置される支持部材１５４と、導電性の薄板或いは膜により形成され、圧電部材１２０ａの一部或いは全面を挟み込むように配置され、かつ一部が防塵フィルタ１１９の外部に延出された２つの信号電極１７１、１７２とを備える。
【０１２０】
このような実施の形態によれば、加振部材が薄型化できると共に、防塵部材の衝撃に対する弱さを、加振部材の可撓性により補強され、薄型化が可能となる。防塵部材がより薄型化することにより、より屈曲振動がし易くなり、振動振幅を大きくすることが可能で、塵埃除去能力を高くすることができる。  
また、加振部材である圧電部材に電圧を印加する電極の保持シートを重ねることで、圧電部材に電圧を印加するための引き出し端子を極めて容易に一体に形成することが可能であり、延出された２つの信号電極１７１、１７２のような引き出し端子も含めて、小形で簡単な構成にすることが可能である。
【０１２１】
さらに、電極を含む加振部材は、柔軟性を持ち、可撓性を持つので、防塵部材から加振部材の一部を延出させた部分に穴とか、切欠きを設け、固定枠の係合部に係合させることにより、防塵部材の位置決めを高精度で容易に行うことが可能で、必要なスペースも小さいことから振動装置自体を小形軽量にすることが可能である。  
また、振動等の加速度による外力が加わった場合は、防塵部材と加振部材の薄型化により、その質量が小さくなることから外力はより小さくなり、かつ、柔軟な加振部材が脆い防振部材を保護することにより、塵埃除去能力が高く、外力にも強く、小型な塵埃除去機構を構成可能な振動装置及びこの振動装置を用いたデジタルカメラ等の画像機器を製作できる。  
また、各信号電極１７１、１７２は、矩形状の圧電部材１２０ａにおける長辺側に設けられているので、シート状の圧電部材１２０ａの機械的な強度の補強を兼ねることができる。
[第１の変形例]  
次に、本発明の第１の変形例について説明する。  
図２０は本発明の振動装置の制御フローチャートの変形例を示すもので、デジタルカメラにおけるＢｕｃｏｍ１０１により実行されるカメラシーケンス（メインルーチン）においてコールされる加振動作のサブルーチンと相違する動作手順のフローチャートを示す。この制御フローチャートは、上記第１実施の形態における図１８に示す加振動作のサブルーチンの動作を変更したものであり、防塵フィルタ１１９の動作が上記第１実施の形態と相違する。
【０１２２】
即ち、上記第１実施の形態では、防塵フィルタ１１９の駆動周波数はｆ０と言う固定値にして定在波が発生する形態としていたが、本第１の変形例では、駆動周波数Ｎｏｓｃｆ０を順次変更して加えることで、厳密に駆動周波数Ｎｏｓｃｆ０を制御しなくても、共振周波数を含む振動振幅の大きな振動を発生するようにしたものである。  
また、防塵フィルタ１１９の縦横比０．９付近では縦横比が製造バラツキで変化した場合に振動モードが大きく変化する（振動速度比が急激に減少する）。このために、製品ごとに正確に共振周波数を設定して圧電素子１２０を駆動する必要がある。なお、共振周波数ではない周波数で駆動すると振動速度がさらに下がる。  
本第１の変形例のような周波数制御方法を適用すれば、非常に簡単な制御回路で、共振周波数での駆動が可能となり、製造バラツキによる共振周波数のバラツキがあったとしても適正な制御が可能となる。
【０１２３】
以下、図２０を参照して本第１の変形例の周波数制御方法について説明する。  
先ず、Ｂｕｃｏｍ１０１は、防塵フィルタ１１９を振動させるための駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）と、駆動開始周波数（Ｎｏｓｃｆｓ）と、周波数変移量（Δｆ）と、駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｅ）とに関するデータを不揮発性メモリ１２８の所定領域に記憶されている中から読み出す（ステップＳ２１１）。
【０１２４】
次に、Ｂｕｃｏｍ１０１は、駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）に駆動開始周波数（Ｎｏｓｃｆｓ）を設定する（ステップＳ２１２）。また、Ｂｕｃｏｍ１０１は、ＩＯポートＤ＿ＮＣｎｔから駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）を防塵フィルタ制御回路１２１のＮ進カウンタ１８２へ出力する（ステップＳ２１３）。
【０１２５】
Ｂｕｃｏｍ１０１は、続くステップＳ２０３以降において、次のように塵埃除去動作を行なう。即ち、先ず、塵埃除去動作を開始させ実行する。  
Ｂｕｃｏｍ１０１は、塵埃除去のために制御フラグＰ＿ＰｗＣｏｎｔをＨｉｇｈに設定する（ステップＳ２１４）。これにより、圧電素子１２０は、上記同様に、所定の駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）で防塵フィルタ１１９を加振し、防塵フィルタ１１９に振動振幅の小さな定在波振動を生じさせる。防塵フィルタ１１９面に付着した塵埃Ｄａは、振動振幅が小さいと、除去することができない。Ｂｕｃｏｍ１０１は、駆動時間（Ｔｏｓｃｆ０）の間、この振動を継続する（ステップＳ２１５）。
【０１２６】
次に、Ｂｕｃｏｍ１０１は、駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）が駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｅ）であるかを比較判定する（ステップＳ２１６）。この判定の結果、一致していなければ（ＮＯの判定）、Ｂｕｃｏｍ１０１は、駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）に周波数変移量（Δｆ）を加算し、再び駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）に設定する（ステップＳ２１７）。Ｂｕｃｏｍ１０１は、上記ステップＳ２１２から上記ステップＳ２１５までの動作を繰り返す。
【０１２７】
一方、上記ステップＳ２１６の判定の結果、駆動周波数（Ｎｏｓｃｆ）が駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｅ）に一致（ＹＥＳ）すると、Ｂｕｃｏｍ１０１は、Ｐ＿ＰｗＣｏｎｔをＬｏｗに設定し（ステップＳ２１８）、圧電素子１２０の加振動作を終了する。これにより、一連の加振動作が終了する。
【０１２８】
このように周波数を変更していった場合に、定在波振動の振幅が増大していく。そこで、定在波の共振周波数を通過するように駆動開始周波数（Ｎｏｓｃｆｓ）と周波数変移量（Δｆ）と駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｅ）とを設定すれば、防塵フィルタ１１９に振動振幅の小さな定在波振動が先ず発生し、次第に定在波振動の振幅が増大していき、共振振動になった後、定在波振動振幅が小さくなるといった制御をすることができる。所定以上の振動振幅（振動速度）があれは、塵埃Ｄａは除去することが出来るので、ある所定の周波数範囲にわたって塵埃Ｄａを除去することが可能であり、共振時の振動振幅が大きいことからその周波数範囲も当然広くなる。
【０１２９】
また、駆動開始周波数（Ｎｏｓｃｆｓ）と駆動終了周波数（Ｎｏｓｃｆｅ）との間をある程度広くとれば、振動子１７０の温度や製造バラツキによる共振周波数の変化を吸収することが可能で、極めて簡単な回路構成で確実に防塵フィルタ１１９に付着した塵埃Ｄａを振り払うことが可能となる。さらに、共振周波数が接近した複数の振動モードがある場合は、それらの複数の振動モードを含んだ駆動周波数範囲を設定することで、制御時間の短縮や、制御の簡単化が可能である。
[第２の変形例]  
次に、本発明の第２の変形例について説明する。  
図２１及び図２２は振動装置の変形例の主要部分の構成図を示すもので、図２１は振動装置の主要部分の正面図を示し、図２２は図２２の右側面図を示す。  
本振動装置は、防塵フィルタ１１９の押圧機構及び圧電素子１２０の位置決め機構が第１の実施例と相違するもので、その相違点について説明する。  
第２の変形例は、主に押圧部材１５１のホルダ１４５への取り付け構造が上記第１の実施形態と相違する。上記第１の実施形態では、押圧部材１５１の外周側に延出された複数の固定部１５１ｄをネジ１５０を用いてホルダ１４５に固定していた。
【０１３０】
これに対して第２の変形例では、押圧部材１５１は、光軸方向（Ｚ方向）に延びる固定部１５１ｄに複数の切り欠き１５１ｆを設け、切り欠き１５１の対応した位置に設けたホルダ１４５の突起１４５ａを係合している。腕支持部１５１ａと腕１５１ｂと支持部１５１ｃとについては、上記第１の実施形態とほぼ同じ形態なので、ここではその説明を省略する。
【０１３１】
押圧部材１５１がホルダ１４５に取り付けられた状態では、押圧部材１５１は、腕１５１ｂが発生する押圧力ＦｂをＺ方向に受けることで保持されているだけなので、Ｙ方向には簡単にずれる。従って、押圧部材１５１を取り付けた後、係合した切り欠き１５１ｆと突起１４５ａの部分とを接着固定するのが良い。当然、固定部１５１ｄをネジ等でホルダ１４５に固定しても良い。
【０１３２】
一方、シール１５６は、上記第１の実施形態では、リップ部を持っていたが、断面Ｕ字状のもので形成してもよい。このような単純が形状とすることで、振動子１７０の保持がより安定したものとなり、外力に対しても、受け部材１５３を設けなくても十分な構造とすることができる。
【０１３３】
さらに、第２の変形例では、圧電素子１２０の延出部１２０ｃに円形穴と長穴からなる切り欠き１２０ｆを設けると共に、ホルダ１４５に切り欠き１２０ｆを設け、これら切り欠き１２０ｆに対応した位置に円柱状の突起１４５ｂを設けて係合させる。これにより、振動子１７０のＸ方向、Ｙ方向の位置決めを行い、上記第１の実施形態で防塵フィルタ１１９のＸ方向、Ｙ方向の位置決めをしている支持部材１５４は不要となる。  
このようにＸ方向、Ｙ方向を受けたとしても、延出部は可撓性、柔軟性をもつ樹脂材料から構成されることから、防塵フィルタ１１９を外力を受けた時に破損することが無く、かつ防塵フィルタ１１９に発生する振動を阻害することがない。
【０１３４】
以上、実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。
例えば、上記の加振部材による塵埃除去機構の他に、空気流によって防塵フィルタ１１９の塵埃Ｄａを除去する方式、或いはワイパーにより防塵フィルタ１１９の塵埃Ｄａを除去するような機構を組み合わせて用いても良い。
【０１３５】
また、上述した実施の形態では、ファインダは液晶モニタを利用したものとなっているが、一眼レフ式の光学ファインダをもつカメラでも勿論良い。  
さらに、上述した実施形態では、撮像素子はＣＣＤであったが、ＣＭＯＳ等の他の撮像素子であっても構わない。  
また、加振する対象は、例示の防塵フィルタ１１９に限らず、光路上に在り光の透過性をもった部材等（例えばカバーガラスやハーフミラーなど）であっても良い。但しその部材は、振動によって、その表面に付着していた塵埃Ｄａを振り払う。また、振動に係わる周波数や駆動時間、加振部材の設置位置などはその部材に対応した値に設定する。
【０１３６】
尚、本発明を適用する画像機器としては、例示した撮像装置（デジタルカメラ）に限らず、塵埃除去機能を必要とする装置であれば良く、必要に応じて変形実施することで実用化され得る。より、具体的には液晶等の表示素子を用いた画像投影装置における表示素子と光源の間、或いは表示素子と投影レンズとの間に、本発明の塵埃除去機構を設けても良い。
【符号の説明】
【０１３７】
１０：デジタルカメラ、１００：ボディユニット、１０１：ボディ制御用マイク、１０１：コンピュータ（Ｂｕｃｏｍ）、１０８：シャッタ、１１６：撮像ユニット、１１７：ＣＣＤ、１１８：光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）、１１９：防塵フィルタ、１２０：圧電素子、１２１：防塵フィルタ制御回路、１２２：ＣＣＤインターフェース回路、１２８：不揮発性メモリ、１２９：動作表示用ＬＣＤ、１３０：動作表示用ＬＥＤ、１３１：カメラ操作ＳＷ、１３４：電池、１３５：電源回路、１３６：ＣＣＤチップ、１３７：固定板、１４０：主回路基板、１４１ａ，１４１ｂ：コネクタ、１４２：保護ガラス、１４３：スペーサ、１４４：フィルタ受け部材、１４５：ホルダ、１４６：開口、１４７：段部、１４８：防塵フィルタ受け部、１４９：結像光線通過エリア、１５０：ねじ、１５１：押圧部材、１５２，１５３：受け部材、１５４：支持部材、１５５：支持部、１５６：シール、１５７：絶縁シート、１５９：保持材、１６６：Ｙ枠、１７０：振動子、１７１，１７２：信号電極、１７３：節部（節エリア）、１７４：振動振幅の山の稜線、１７５：中心振動領域、１７７：延伸方向を示す矢印、１７８：節、１７９：振動の腹、７９：塵埃、１８０：支持エリア、１８１：シール接触部、１８２：Ｎ進カウンタ、１８３：１／２分周回路、１８５：トランス、１８６：クロックジェネレータ、２００：レンズユニット、２０１：レンズ制御用マイクロコンピュータ（Ｌｕｃｏｍ）、２０２：撮影レンズ、２０３：絞り。
【図１】
2014127998.tif 000003
【図２】
2014127998.tif 000004
【図３】
2014127998.tif 000005
【図４】
2014127998.tif 000006
【図５】
2014127998.tif 000007
【図６】
2014127998.tif 000008
【図７】
2014127998.tif 000009
【図８】
2014127998.tif 000010
【図９】
2014127998.tif 000011
【図１０】
2014127998.tif 000012
【図１１】
2014127998.tif 000013
【図１２】
2014127998.tif 000014
【図１３】
2014127998.tif 000015
【図１４】
2014127998.tif 000016
【図１５】
2014127998.tif 000017
【図１６】
2014127998.tif 000018
【図１７】
2014127998.tif 000019
【図１８】
2014127998.tif 000020
【図１９】
2014127998.tif 000021
【図２０】
2014127998.tif 000022
【図２１】
2014127998.tif 000023
【図２２】
2014127998.tif 000024