【手続補正書】
【提出日】令和3年5月12日(2021.5.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷媒システムにおいて冷媒の供給を制御する方法であって、
複数の冷凍器に、可変速度コンプレッサーを含む複数のコンプレッサーを通して、冷媒を供給し、
制御器において、供給圧と戻り圧との間の差圧に基づいて、前記可変速度コンプレッサーの速度を制御し、前記複数のコンプレッサーの少なくとも１つを起動又は停止し、
前記差圧が閾値未満であることの検出に応じて、前記冷凍器が規定の温度を維持しているか否かを判定するために冷凍器の温度をチェックし、
前記冷凍器が規定の温度を維持している場合、圧力センサーに障害が生じている又は前記システムの要素間での伝達損失と判定し、前記可変速度コンプレッサーの速度を最大速度に設定する、方法。
【請求項２】
前記方法はさらに、前記差圧に基づいて、固定速度コンプレッサーを停止させ、前記可変速度コンプレッサーの速度を調整する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記方法はさらに、前記差圧に基づいて、前記可変速度コンプレッサーを作動させ続けながら、前記固定速度コンプレッサーを停止させる、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記方法はさらに、前記圧力センサーの障害又は前記システムの要素間での伝達損失を検出すると、現在停止状態の前記複数のコンプレッサーの少なくとも１つを起動する、請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記方法はさらに、前記複数のコンプレッサーの２つ以上が作動して同じ冷媒回路を共有しており、前記複数のコンプレッサーの１つが停止するときに前記差圧が閾値未満に下落する場合、前記コンプレッサーを起動し直す、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記方法はさらに、前記差圧が、所定時間、閾値未満に留まる場合、冷凍器への冷媒の割り当てを低減する、請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記冷凍器システムは、極低温システムであり、前記冷媒はヘリウムを含む、請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
冷媒システムにおいて冷媒の供給を制御する冷凍器システムであって、
可変速度コンプレッサーを含む複数のコンプレッサーの任意の組合せである、複数のコンプレッサーと、
供給圧と戻り圧との間の差圧に基づいて、前記可変速度コンプレッサーの速度を制御し、前記複数のコンプレッサーの少なくとも１つを起動又は停止するように構成された、制御器と、を備え、
前記制御器はさらに、前記差圧が閾値未満であること及び冷凍器の温度が規定の温度に維持されていることの検出に応じて、圧力センサーの障害又は前記システムの要素間での伝達損失が生じていると判定し、前記可変速度コンプレッサーの速度を最大速度に設定するように構成されている、冷凍器システム。
【請求項９】
前記複数のコンプレッサーの２つ以上が作動して同じ冷媒回路を共有しており、前記複数のコンプレッサーの１つが停止するときに前記差圧が閾値未満に下落する場合、前記制御器は前記コンプレッサーを起動し直すように構成されている、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記冷凍器システムは、極低温システムであり、前記冷媒はヘリウムを含む、請求項８または９に記載のシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４２】
本発明は、その実施形態を参照して、詳細に示され記述されるが、添付の特許請求の範囲に包含される発明の範囲から逸脱することなく、形状および細部に様々な変更を加えてもよいことが当業者には理解される。
なお、本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
［態様１］
冷媒の供給を制御する方法であって、
制御器において、複数の冷凍器からの伝達に基づいて冷媒の需要の総計を求め、
前記制御器で、冷凍補正測定基準によって補正された前記冷媒の需要の総計に基づいて、前記複数の冷凍器に冷媒を供給するコンプレッサーの速度を制御する方法。
［態様２］
冷媒の供給を制御する方法であって、
複数の可変速度コンプレッサーからの冷媒を複数の冷凍器に供給し、
冷媒補正測定基準によって補正された冷媒の需要の総計に基づいて、前記複数のコンプレッサーの一部を選択的に起動または停止する方法。
［態様３］
冷媒の供給を制御する方法であって、
複数の可変速度コンプレッサーからの冷媒を複数の冷凍器に供給し、
冷媒の需要の総計および前記複数のコンプレッサーの起動と停止の履歴に基づいて、前記複数のコンプレッサーの一部を選択的に起動または停止する方法。
［態様４］
冷媒の供給を制御する方法であって、
複数の可変速度コンプレッサーからの冷媒を複数の冷凍器に供給し、
冷媒の需要の総計に基づいて、前記複数のコンプレッサーの一部を選択的に起動または停止する方法。
［態様５］
冷媒の供給を制御する方法であって、
バイパスループにおける冷媒流量の直接測定に基づいて、コンプレッサーの速度を制御する方法。
［態様６］
さらに、ＤＣバス電圧のみを用いてモーターの最大速度を推定することによって電流制限を決定する態様１から５のいずれか一態様に記載の方法。
［態様７］
モーター電流フィードバックに基づいて、前記コンプレッサーの速度を制御する態様１から６のいずれか一態様に記載の方法。
［態様８］
さらに、前記コンプレッサーにおいて散逸する最大電流および最大電力に基づいて、前記コンプレッサーの最大速度を決定する態様１から７のいずれか一態様に記載の方法。
［態様９］
前記コンプレッサーが、少なくとも１つの固定速度コンプレッサーおよび少なくとも１つの可変速度コンプレッサーを含む態様１から８のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１０］
前記冷媒がヘリウムである態様１から９のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１１］
冷媒についての要件が、複数の冷凍器からの伝達に基づく冷媒の需要の総計に基づいている態様１から１０のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１２］
冷媒についての要件が、供給圧、戻り圧および差圧の少なくとも１つに基づいている態様１から１１のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１３］
前記コンプレッサーが、複数のコンプレッサーの１つである態様１から１２のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１４］
さらに、複数の可変速度コンプレッサーを備える態様１から１３のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１５］
冷凍補正測定基準が、供給圧と戻り圧の少なくとも一方に基づいて計算される態様１から１４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１６］
前記コンプレッサーの速度を制御する際に、戻り圧設定値を決定する態様１から１５のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１７］
さらに、戻り圧設定値と戻り圧との比較に基づいて、戻り圧誤差を決定する態様１から１６のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１８］
さらに、戻り圧誤差に基づいて、冷媒の需要の総計についての補正を計算する態様１から１７のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１９］
さらに、冷媒の補正による、需要の総計の調整に基づいて、複数の冷凍器に供給する冷媒の量を決定する態様１から１８のいずれか一態様に記載の方法。
［態様２０］
前記コンプレッサーが、複数の可変速度コンプレッサーおよび複数の固定速度コンプレッサーを含む態様１から１９のいずれか一態様に記載の方法。
［態様２１］
さらに、複数の冷凍器に供給する補正された冷媒の量に基づいて、複数のコンプレッサーの一部を起動または停止する態様１から２０のいずれか一態様に記載の方法。
［態様２２］
さらに、起動された複数の可変速度コンプレッサーの一部の速度を、複数の冷凍器および、起動された前記複数の可変速度コンプレッサーの一部に供給する補正された冷媒の量の関数として決定し、
起動された前記複数の可変速度コンプレッサーの一部に、前記決定された速度で作動するように指令を送り、前記決定されたコンプレッサーの速度は、前記複数のコンプレッサーが単一のコンプレッサーとして一体化された場合の速度である態様１から２１のいずれか一態様に記載の方法。
［態様２３］
さらに、前記コンプレッサーが複数の冷凍器に冷媒の需要の総計を供給できるか否かを判定し、
前記コンプレッサーが前記複数の冷凍器に前記冷媒の需要の総計を供給できない場合、前記複数の冷凍器のうち１つの冷凍器の速度を調整する態様１から２２のいずれか一態様に記載の方法。
［態様２４］
冷媒の供給を制御する際に、極低温冷凍器の冷媒の供給を制御する態様１から２３のいずれか一態様に記載の方法。
［態様２５］
さらに、極低温冷凍器がクライオポンプに含まれている態様１から２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様２６］
さらに、複数のコンプレッサーを備え、その複数のコンプレッサーが、コンプレッサー２台のみであって、その２台のコンプレッサーが可変速度コンプレッサーである態様１から２５のいずれか一態様に記載の方法。
［態様２７］
さらに、２台の可変速度コンプレッサーが動作中である場合、単一可変速度コンプレッサー動作状態に切り換えるか否かを判定する態様１から２６のいずれか一態様に記載の方法。
［態様２８］
２台の可変速度コンプレッサーのうち１台に障害状態がある場合、障害状態のない可変速度コンプレッサーの速度を最大モーター速度に調整する態様１から２７のいずれか一態様に記載の方法。
［態様２９］
複数のコンプレッサーの一部を選択的に起動または停止する際に、（ｉ）低減された冷媒の割り当て、および（ｉｉ）低減された冷媒の需要の少なくとも一方を含む条件への適合に基づいている態様１から２８のいずれか一態様に記載の方法。
［態様３０］
コンプレッサーにおける障害状態を解消する場合、そのコンプレッサーに結合されたモーターを再起動する態様１から２９のいずれか一態様に記載の方法。
［態様３１］
さらに、複数の冷凍器に供給する冷媒の量を計算し、
計算された冷媒の供給が閾値未満である場合、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を選択して停止する態様１から３０のいずれか一態様に記載の方法。
［態様３２］
さらに、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を停止する前に、起動したままとされる可変速度コンプレッサーの速度を、複数の冷凍器への計算された冷媒の供給を可能とする速度に上げることによって、選択された可変速度コンプレッサーを停止する態様１から３１のいずれか一態様に記載の方法。
［態様３３］
さらに、複数の冷凍器への計算された冷媒の供給が、ある期間、単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値未満である場合、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を停止することによって、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を停止する態様１から３２のいずれか一態様に記載の方法。
［態様３４］
さらに、停止の履歴に基づいて、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を選択して停止する態様１から３３のいずれか一態様に記載の方法。
［態様３５］
さらに、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を停止すると供給圧と戻り圧との差圧が所定の閾値を超えて下落するか否かを判定し、前記差圧が前記所定の閾値を超えて下落する場合、単一可変速度コンプレッサー動作状態から二台可変速度コンプレッサー動作状態に切り換える態様１から３４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様３６］
２台の可変速度コンプレッサーのうち１台が停止している場合、
複数の冷凍器に供給する冷媒の量を計算し、かつ
計算された冷媒の量が単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値よりも大きい場合、二台可変速度コンプレッサー動作状態に切り換える態様１から３５のいずれか一態様に記載の方法。
［態様３７］
さらに、計算された冷媒の量が、ある期間、単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値よりも大きい場合、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を起動して、二台可変速度コンプレッサー動作状態に切り換える態様１から３６のいずれか一態様に記載の方法。
［態様３８］
さらに、２台の可変速度コンプレッサーの速度を調整して、冷凍器に計算された量の冷媒を供給することによって、二台可変速度動作状態に切り換える態様１から３７のいずれか一態様に記載の方法。
［態様３９］
さらに、単一可変速度動作状態の間に動作中の可変速度コンプレッサーの速度を下げる前に、動作中の可変速度コンプレッサーの速度を上げる態様１から３８のいずれか一態様に記載の方法。
［態様４０］
冷媒の供給を制御する冷凍システムであって、
高圧供給管路および低圧戻り管路を含み、冷媒を供給するコンプレッサーと、
そのコンプレッサーに結合され、前記供給管路から冷媒を受け取って、前記戻り管路に返す複数の冷凍器と、
その複数の冷凍器からの伝達に基づいて冷媒の需要の総計を求め、さらに、冷凍補正測定基準によって補正された前記冷媒の需要の総計に基づいて、前記コンプレッサーの速度を制御する電子制御器であって、前記需要の総計が、冷媒流量測定基準をモニターすることによって決定される電子制御器とを備えるシステム。
［態様４１］
冷媒の供給を制御する冷凍システムであって、
高圧供給管路および低圧戻り管路を含み、冷媒を複数の冷凍器に供給する複数の可変速度コンプレッサーと、
冷凍補正測定基準によって補正された冷媒の需要の総計に基づいて、前記複数の可変速度コンプレッサーの一部を選択的に起動または停止するコンプレッサー制御器とを備えるシステム。
［態様４２］
冷媒の供給を制御する冷凍システムであって、
高圧供給管路および低圧戻り管路を含み、冷媒を複数の冷凍器に供給する複数の可変速度コンプレッサーと、
冷媒の需要の総計および前記複数の可変速度コンプレッサーの起動と停止の履歴に基づいて、前記複数の可変速度コンプレッサーの一部を選択的に起動または停止するコンプレッサー制御器とを備えるシステム。
［態様４３］
冷媒の供給を制御する冷凍システムであって、
高圧供給管路および低圧戻り管路を含み、冷媒を複数の冷凍器に供給する複数の可変速度コンプレッサーと、
冷媒の需要の総計に基づいて、前記複数の可変速度コンプレッサーの一部を選択的に起動または停止するコンプレッサー制御器とを備えるシステム。
［態様４４］
冷媒の供給を制御する冷凍システムであって、
バイパスループにおける冷媒流量の直接測定に基づいて、コンプレッサーの速度を制御するコンプレッサー制御器を備えるシステム。
［態様４５］
冷媒についての要件が、複数の冷凍器からの伝達に基づく冷媒の需要の総計に基づいている態様４０から４４のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様４６］
冷媒についての要件が、高圧供給フィードバックループからの供給圧および低圧戻りフィードバックループからの戻り圧の少なくとも一方に基づいている態様４０から４５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様４７］
複数の可変速度コンプレッサーをさらに備える態様４０から４６のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様４８］
少なくとも１つの可変速度コンプレッサーおよび少なくとも１つの固定速度コンプレッサーをさらに備える態様４０から４７のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様４９］
電子制御器が、さらに、高圧供給管路からの供給圧フィードバックループおよび低圧戻り管路からの戻り圧フィードバックループの少なくとも一方に基づいて、前記コンプレッサーの速度を制御する態様４０から４８のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様５０］
電子制御器が、さらに、冷媒の供給を増加させるか減少させるかを判定し、需要の総計の増加または減少を戻り圧設定値計算器に通知する態様４０から４９のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様５１］
冷媒の供給を増加させるか減少させるかの判定に基づいて、戻り圧設定値を決定する戻り圧設定値計算器をさらに備える態様４０から５０のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様５２］
戻り圧設定値と戻り圧との誤差を決定する冷媒供給補正制御器をさらに備え、冷媒需要補正制御器が、さらに、前記戻り圧設定値と戻り圧との誤差に基づいて、冷媒需要補正を計算する態様４０から５１のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様５３］
複数の冷凍器からの冷媒の需要の総計の調整に基づいて、前記複数の冷凍器に供給する冷媒の量を決定する冷媒供給補正制御器をさらに備える態様４０から５２のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様５４］
複数の可変速度コンプレッサーをさらに備える態様４０から５３のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様５５］
少なくとも１つの固定速度コンプレッサーおよび少なくとも１つの可変速度コンプレッサーをさらに備える態様４０から５４のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様５６］
複数の冷凍器に供給する補正された冷媒の量に基づいて、複数の可変速度コンプレッサーの一部を起動または停止するコンプレッサーモーター制御器をさらに備える態様４０から５５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様５７］
コンプレッサーモーター制御器が、さらに、
複数の冷凍器および起動された複数の可変速度コンプレッサーの一部に供給する補正された冷媒の量の関数として、起動された前記複数の可変速度コンプレッサーの一部の速度を決定し、
起動された前記複数の可変速度コンプレッサーの一部が前記決定された速度で作動するように指令を送る態様４０から５６のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様５８］
前記制御器が、さらに、
前記コンプレッサーが複数の冷凍器に冷媒の需要の総計を供給できるか否かを判定し、  前記コンプレッサーが、前記複数の冷凍器に補正された前記冷媒の需要の総計を供給できない場合、（ｉ）前記複数の冷凍器のうち１つの冷凍器の速度を調整し、または（ｉｉ）前記複数の冷凍器への冷媒の割り当てを低減する態様４０から５７のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様５９］
電子制御器が、複数の極低温冷凍器からの冷媒の需要の総計を求める態様４０から５８のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様６０］
それぞれのクライオポンプに結合された極低温冷凍器をさらに備える態様４０から５９のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様６１］
複数のコンプレッサーをさらに備え、その複数のコンプレッサーには、可変速度コンプレッサーが２台のみ含まれている態様４０から６０のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様６２］
さらに、コンプレッサー制御システムが、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台に障害状態がある場合、障害状態のない可変速度コンプレッサーの速度を最大モーター速度に調整する態様４０から６１のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様６３］
コンプレッサー制御器が、２台の可変速度コンプレッサーの双方が動作中である場合、二台可変速度コンプレッサー動作状態から単一可動速度コンプレッサー動作状態に切り換えるか否かを判定する態様４０から６２のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様６４］
さらに、コンプレッサー制御器が、
複数の冷凍器に供給する冷媒の量を計算し、
前記複数の冷凍器に供給される計算された冷媒の量が、単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値未満である場合、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を選択して停止する態様４０から６３のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様６５］
コンプレッサー制御器が、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を停止する前に、起動されたままとされる可変速度コンプレッサーの速度を、複数の冷凍器への計算された量の冷媒の供給を可能とする速度に上げることによって、選択された可変速度コンプレッサーを停止する態様４０から６４のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様６６］
コンプレッサー制御器が、さらに、複数の冷凍器に供給される計算された冷媒の量が、ある期間、単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値未満である場合、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を停止することによって、前記２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を停止する態様４０から６５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様６７］
コンプレッサー制御器が、さらに、停止の履歴に基づいて、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を選択して停止する態様４０から６６のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様６８］
コンプレッサー制御器が、さらに、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を停止すると供給圧と戻り圧との差圧が所定の閾値を超えて下落するか否かを判定し、前記差圧が前記所定の閾値を超えて下落する場合、単一可変速度コンプレッサー動作状態から二台可変速度コンプレッサー動作状態に切り換える態様４０から６７のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様６９］
コンプレッサー制御器が、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台が停止している場合、
複数の冷凍器に供給する冷媒の量を計算し、かつ
計算された冷媒の量が単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値よりも大きい場合、二台可変速度コンプレッサー動作状態に切り換える態様４０から６８のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様７０］
コンプレッサー制御器が、さらに、計算された冷媒の量が、ある期間、単一のコンプレッサーの冷媒出力閾値よりも大きい場合、２台の可変速度コンプレッサーのうち１台を起動することによって、二台可変速度コンプレッサー動作状態に切り換える態様４０から６９のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様７１］
コンプレッサー制御器が、さらに、２台の可変速度コンプレッサーの速度を調整して、冷凍器に計算された量の冷媒を供給することによって、二台可変速度動作状態に切り換える態様４０から７０のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様７２］
前記コンプレッサー制御器が、さらに、単一可変速度動作状態の間に動作中の可変速度コンプレッサーの速度を下げる前に、動作中の可変速度コンプレッサーの速度を上げることによって、二台可変速度動作状態に切り換える態様４０から７１のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様７３］
冷媒の供給を制御する方法であって、
制御器において、供給圧と戻り圧との差圧に基づいて、可変速度コンプレッサーの速度を制御し、複数の冷凍器に冷媒を供給する固定速度コンプレッサーを選択的に起動または停止する方法。
［態様７４］
さらに、差圧に基づいて、冷媒が単一のコンプレッサーによって供給されるまで、可変速度コンプレッサーの速度を下げる態様７３に記載の方法。
［態様７５］
さらに、差圧に基づいて、可変速度コンプレッサーを作動させ続けながら、固定速度コンプレッサーを停止させる態様７３または７４に記載の方法。
［態様７６］
冷媒の供給を制御する冷凍器システムであって、
可変速度コンプレッサーと固定速度コンプレッサーの任意の順列であるコンプレッサーと、
供給圧と戻り圧との差圧に基づいて、可変速度コンプレッサーの速度を制御し、固定速度コンプレッサーを選択的に起動または停止する制御器とを備えるシステム。
［態様７７］
冷媒の供給を制御する方法であって、
制御器において、少なくとも１つのコンプレッサーを含む冷媒システムにおいて障害を検出し、前記少なくとも１つのコンプレッサーが固定速度コンプレッサーと可変速度コンプレッサーの任意の組合せであり、
前記障害を検出すると障害回復手順を開始する方法。
［態様７８］
さらに、冷媒システムの要素間での伝達損失を検出し、
伝達損失を測定すると少なくとも１つのコンプレッサーの速度を上げる態様１から３９、７３から７５、７７および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様７９］
検出された障害によって、電流が所定の閾値を超えていると指示される場合、少なくも１つのコンプレッサーの速度を徐々に下げる態様１から３９、７３から７５、７７、７８および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様８０］
電流が所定の閾値を超え続け、少なくとも１つのコンプレッサーの速度が最小の閾値である場合、前記少なくとも１つのコンプレッサーを停止する態様１から３９、７３から７５、７７から７９および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様８１］
さらに、障害回復手順によって指示される、少なくとも１つのコンプレッサーに設定する速度が、需要の総計、冷凍補正測定基準によって補正された需要の総計および差圧測定基準の少なくとも１つによって指示される、前記少なくとも１つのコンプレッサーに設定する決定した速度よりも低いか否かを判定し、
前記少なくとも１つのコンプレッサーの速度を前記障害回復手順によって指示される速度に設定する態様１から３９、７３から７５、７７から８０および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様８２］
障害を検出する際に、モーターが最高温度閾値よりも高い温度に到達したか否かを判定し、前記モーターの温度が前記閾値よりも高い場合、前記モーターの速度を下げる態様１から３９、７３から７５、７７から８１および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様８３］
さらに、モーターが最高閾値よりも高い温度に留まり、コンプレッサーが最小速度閾値にある場合、前記モーターを停止する態様１から３９、７３から７５、７７から８２および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様８４］
さらに、駆動トランジスタが最高閾値よりも高い温度に到達したか否かを判定し、前記駆動トランジスタの温度が前記閾値よりも高い場合、前記駆動トランジスタに結合されたコンプレッサーの速度を下げる態様１から３９、７３から７５、７７から８３および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様８５］
さらに、駆動トランジスタが最高閾値よりも高い温度に留まり、前記コンプレッサーが最小速度閾値にある場合、前記コンプレッサーを停止する態様１から３９、７３から７５、７７から８４および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様８６］
さらに、注入口または排出口の水温が閾値を超えているか否かおよび前記水温が前記閾値を超えているか否かを判定する態様１から３９、７３から７５、７７から８５および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様８７］
さらに、少なくとも１つの熱交換器の温度が温度閾値を超えているか否かを判定する態様１から３９、７３から７５、７７から８７および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様８８］
さらに、少なくとも１つの熱交換器に結合されたコンプレッサーを停止する態様１から３９、７３から７５、７７から８７および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様８９］
さらに、電子機器を含む領域の内部環境温度が温度閾値よりも高いか否かを判定する態様１から３９、７３から７５、７７から８８および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様９０］
２つ以上のコンプレッサーが作動して同じヘリウム回路を共有しており、前記コンプレッサーの１つが停止するときに差圧が閾値未満に下落する場合、前記コンプレッサーを起動し直す態様１から３９、７３から７５、７７から８９および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様９１］
さらに、前記コンプレッサーが起動し直される場合、障害は、故障した逆止弁であると判定する態様１から３９、７３から７５、７７から９０および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様９２］
さらに、圧力センサーの損失もしくは障害、または前記センサーへのもしくは前記センサーからの伝達の損失を検出すると、コンプレッサーを最大速度で動かす態様１から３９、７３から７５、７７から９１および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様９３］
さらに、差圧測定基準が閾値未満であるか否かを判定し、前記差圧測定基準の値が前記閾値未満である場合、コンプレッサーを最大速度に設定する態様１から３９、７３から７５、７７から９２および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様９４］
さらに、差圧測定基準が、所定時間、閾値未満に留まる場合、冷凍器への冷媒の割り当てを低減する態様１から３９、７３から７５、７７から９３および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様９５］
さらに、無効な圧力センサーの検出に応じて、コンプレッサーを最大速度に設定し、
送風機の故障を検出する態様１から３９、７３から７５、７７から９４および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様９６］
さらに、差圧または供給圧と戻り圧との差圧が閾値未満であるとの検出に応じて、冷凍器の温度をチェックして前記冷凍器が規定の温度を保っているか否かを判定し、
前記冷凍器が前記規定の温度を保っている場合、圧力センサーが故障していると判定してコンプレッサーを最大速度に設定する態様１から３９、７３から７５、７７から９５および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様９７］
真空部品の真空性能特性を診断する方法であって、
真空ポンプの冷凍器モーター速度の上昇に基づく電子信号を検出し、
（ｉ）前記冷凍器モーター速度の上昇を検出し、（ｉｉ）前記冷凍器モーター速度の上昇の前に、極低温真空ポンプの冷凍器段の温度の上昇を検出し、かつ（ｉｉｉ）前記冷凍器段の温度が上昇している間に、前記冷凍器段のヒーターが作動していないことを検出する方法。
［態様９８］
冷媒の供給を制御する冷凍システムであって、
少なくとも１つのコンプレッサーを含む冷媒ネットワークの、少なくとも１つの要素における障害を検出する制御器を備え、前記少なくとも１つのコンプレッサーが固定速度コンプレッサーと可変速度コンプレッサーの任意の組合せであり、
前記制御器が、前記障害を検出すると障害回復手順を開始するシステム。
［態様９９］
前記制御器が、さらに、
前記冷媒システムの要素間での伝達損失を検出し、
前記伝達損失を検出すると少なくとも１つのコンプレッサーの速度を上げる態様４０から７２、７６、９８および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１００］
検出された障害によって、電流が所定の閾値を超えていると指示される場合、前記制御器が、少なくとも１つのコンプレッサーの速度を徐々に下げる態様４０から７２、７６、９８、９９および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１０１］
電流が所定の閾値を超え続け、かつ少なくとも１つのコンプレッサーの速度が最小閾値である場合、前記制御器が、前記少なくとも１つのコンプレッサーを停止する態様４０から７２、７６、９８から１００および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１０２］
前記制御器が、さらに、
障害回復手順によって指示される、少なくとも１つのコンプレッサーに設定する速度が、需要の総計、冷凍補正測定基準によって補正された需要の総計および差圧測定基準の少なくとも１つによって指示される、前記少なくとも１つのコンプレッサーに設定する決定した速度よりも低いか否かを判定し、
前記少なくとも１つのコンプレッサーの速度を前記障害回復手順によって指示される速度に設定する態様４０から７２、７６、９８から１０１および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１０３］
前記制御器が、さらに、モーターが最高温度閾値よりも高い温度に到達したか否かを判定し、前記モーターの温度が前記閾値よりも高い場合、前記モーターの速度を下げる態様４０から７２、７６、９８から１０２および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１０４］
前記制御器が、さらに、モーターが最高閾値よりも高い温度に留まり、コンプレッサーが最小速度閾値にある場合、前記モーターを停止する態様４０から７２、７６、９８から１０３および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１０５］
前記制御器が、さらに、駆動トランジスタが最高閾値よりも高い温度に到達したか否かを判定し、前記駆動トランジスタの温度が前記閾値よりも高い場合、前記駆動トランジスタに結合されたコンプレッサーの速度を最小速度閾値に到達するまで下げる態様４０から７２、７６、９８から１０４および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１０６］
前記制御器が、さらに、駆動トランジスタが最高閾値よりも高い温度に留まり、コンプレッサーが最小速度閾値にある場合、前記駆動トランジスタを停止する態様４０から７２、７６、９８から１０５および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１０７］
前記制御器が、さらに、注入口または排出口の水温が閾値を超えているか否かおよび前記水温が前記閾値を超えているか否かを判定する態様４０から７２、７６、９８から１０６および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１０８］
前記制御器が、さらに、少なくとも１つの熱交換器の温度が温度閾値を超えているか否かおよび前記温度が前記温度閾値を超えているか否かを判定する態様４０から７２、７６、９８から１０７および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１０９］
前記制御器が、さらに、少なくとも１つの熱交換器に結合されたコンプレッサーを停止する態様４０から７２、７６、９８から１０８および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１１０］
前記制御器が、さらに、電子機器を含む領域の内部環境温度が温度閾値よりも高いか否かを判定する態様４０から７２、７６、９８から１０９および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１１１］
２つ以上のコンプレッサーが作動して同じヘリウム回路を共有しており、前記コンプレッサーの１つが停止するときに差圧が閾値未満に下落する場合、前記制御器が、前記コンプレッサーを起動し直す態様４０から７２、７６、９８から１１０および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１１２］
前記コンプレッサーが起動し直される場合、前記制御器が、さらに、障害は故障した逆止弁であると判定する態様４０から７２、７６、９８から１１１および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１１３］
前記制御器が、圧力センサーの損失もしくは障害、または前記センサーへのもしくは前記センサーからの伝達の損失を検出すると、コンプレッサーの速度を最大速度にまで上げる態様４０から７２、７６、９８から１１２および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１１４］
前記制御器が、さらに、差圧測定基準が閾値未満であるか否かを判定し、前記差圧測定基準の値が前記閾値未満である場合、コンプレッサーを最大速度に設定する態様４０から７２、７６、９８から１１３および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１１５］
前記制御器が、さらに、差圧測定基準が、所定時間、閾値未満に留まる場合、冷凍器への冷媒の割り当てを低減する態様４０から７２、７６、９８から１１４および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１１６］
前記制御器が、さらに、
無効な圧力センサーの検出に応じて、コンプレッサーを最大速度に設定し、
送風機の故障を検出する態様４０から７２、７６、９８から１１５および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１１７］
前記制御器が、さらに、
差圧または供給圧と戻り圧との差圧が閾値未満であるとの検出に応じて、冷凍器の温度をチェックして前記冷凍器が規定の温度を保っているか否かを判定し、
前記冷凍器が前記規定の温度を保っている場合、圧力センサーが故障していると判定してコンプレッサーを最大速度に設定する態様４０から７２、７６、９８から１１６および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１１８］
制御器が、
差圧に基づいて、冷媒が単一のコンプレッサーによって供給されるまで可変速度コンプレッサーの速度を上げて、そして、固定速度コンプレッサーを停止する態様４０から７２、７６、９８から１１７および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１１９］
制御器が、
差圧に基づいて、可変速度コンプレッサーを作動させ続けながら、固定速度コンプレッサーを停止させる態様４０から７２、７６、９８から１１８および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１２０］
さらに、障害の検出に応じて、警告信号を発する態様１から３９、７３から７５、７７から９７および１２４のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１２１］
前記制御器が、さらに、障害の検出に応じて、警告信号を発する態様４０から７２、７６、９８から１１９および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１２２］
冷媒の供給を制御する方法であって、
制御器において、供給圧と戻り圧との差圧に基づいて、複数の極低温冷凍器に冷媒を供給する少なくとも１つの可変速度コンプレッサーの速度を制御し、
冷却水回路に結合されたサーモスタット流量制御弁において、流量を温度設定値近くに調整し、前記少なくとも１つの可変速度コンプレッサーの動作仕様内にモーターの巻線の温度を保つのに必要な冷却水の最小量を維持する方法。
［態様１２３］
冷媒の供給を制御するシステムであって、
供給圧と戻り圧との差圧に基づいて、複数の極低温冷凍器に冷媒を供給する少なくとも１つの可変速度コンプレッサーの速度を制御する制御器と、
流量を温度設定値近くに調整し、前記少なくとも１つの可変速度コンプレッサーの動作仕様内にモーターの巻線の温度を保つのに必要な冷却水の最小量を維持し、冷却水回路に結合されたサーモスタット流量制御弁とを備えるシステム。
［態様１２４］
極低温冷媒システムへの冷媒の供給を制御する方法であって、
制御器において、供給圧と戻り圧との差圧に基づいて、複数の極低温冷凍器に冷媒を供給する少なくとも１つの可変速度コンプレッサーの速度を制御し、
前記極低温冷媒システムにおける障害を検出し、
前記障害を検出すると障害回復手順を開始する方法。
［態様１２５］
冷媒の供給を制御するシステムであって、
制御器が、
供給圧と戻り圧との差圧に基づいて、複数の極低温冷凍器に冷媒を供給する少なくとも１つの可変速度コンプレッサーの速度を制御し、
前記極低温冷媒システムにおける障害を検出し、
前記障害を検出すると障害回復手順を開始するシステム。
［態様１２６］
さらに、複数の圧力センサーのうち少なくとも１つの動作中の圧力センサーを、前記複数の圧力センサーの一部における障害の検出に応じて、センサーフィードバックとして用い、前記複数の圧力センサーのうち少なくとも１つが高圧供給管路を測定している態様１から３９、７３から７５、７７から９７および１２５のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１２７］
さらに、複数の圧力センサーのうち少なくとも１つの動作中のセンサーを、前記複数のセンサーの一部における障害の検出に応じて、制御システムへの入力センサーとして用い、前記複数のセンサーのうち少なくとも１つが低圧戻り管路を測定している態様１から３９、７３から７５、７７から９７、１２５および１２６のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１２８］
前記制御器が、さらに、複数の圧力センサーのうち少なくとも１つの動作中の圧力センサーを、前記複数の圧力センサーの一部における障害の検出に応じて、センサーフィードバックとして用い、前記複数の圧力センサーのうち少なくとも１つが高圧供給管路を測定している態様４０から７２、７６、９８から１１９および１２５のいずれか一態様に記載のシステム。
［態様１２９］
前記制御器が、さらに、複数の圧力センサーのうち少なくとも１つの動作中のセンサーを、前記複数のセンサーの一部における障害の検出に応じて、制御システムへの入力センサーとして用い、前記複数のセンサーのうち少なくとも１つが低圧戻り管路を測定している態様４０から７２、７６、９８から１１９、１２５および１２８のいずれか一態様に記載のシステム。