(57)【要約】【課題】マイクロレンズに対して複数の受光素子を高い位置精度で配置することができるマイクロレンズ付き撮像素子、および撮像装置を提供すること。【解決手段】マイクロレンズ付き撮像素子５は、基板５０と、基板５０の一方面に形成された受光素子アレイ４と、受光素子アレイ４に対して基板５０と反対側に複数のマイクロレンズ３０を備えたマイクロレンズアレイ３とを有している。受光素子アレイ４では、複数のマイクロレンズ３０の１つ毎に複数の受光素子４０が重なっている。マイクロレンズアレイ３は、受光素子アレイ４に対して基板５０と反対側に積層された透光膜５５により構成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の一方面に形成された受光素子アレイと、
複数のマイクロレンズを有し、前記受光素子アレイの前記基板と反対側に積層された透光膜により構成されているマイクロレンズアレイと、
を含み、
前記受光素子アレイは、前記複数のマイクロレンズの各々に複数の受光素子が対応するように配置されていることを特徴とするマイクロレンズ付き撮像素子。
【請求項２】
前記基板は透光性基板であることを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズ付き撮像素子。
【請求項３】
前記複数の受光素子は、３列以上および３行以上の受光素子であることを特徴とする請求項１または２に記載のマイクロレンズ付き撮像素子。
【請求項４】
前記複数の受光素子の各々は、第１波長帯域の光を受光する第１受光部と、前記第１波長帯域と異なる帯域の第２波長帯域の光を受光する第２受光部と、を備えていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のマイクロレンズ付き撮像素子。
【請求項５】
前記複数のマイクロレンズは各々、正のパワーを有していることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のマイクロレンズ付き撮像素子。
【請求項６】
前記透光膜は、第１透光膜と、該第１透光膜と異なる屈折率を有し、前記第１透光膜に対して前記基板と反対側に積層された第２透光膜と、を有し、
前記第１透光膜と前記第２透光膜との境界面には、前記基板に向けて突き出た凸曲面、または前記基板とは反対側に向けて突き出た凸曲面が形成されていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載のマイクロレンズ付き撮像素子。
【請求項７】
前記複数のマイクロレンズは、焦点距離が同一であることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載のマイクロレンズ付き撮像素子。
【請求項８】
前記複数のマイクロレンズは、前記複数のマイクロレンズとして、複数の第１マイクロレンズと、該第１マイクロレンズとは異なる焦点距離を有する複数のマイクロレンズと、を有していることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載のマイクロレンズ付き撮像素子。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れか一項に記載のマイクロレンズ付き撮像素子を備えた撮像装置であって、
被写体側から入射した光を前記マイクロレンズアレイに対して前記受光素子アレイと反対側から入射させる撮像レンズと、
前記複数の受光素子毎の受光結果を記憶しておく受光データ記憶部と、
を有していることを特徴とする撮像装置。
【請求項１０】
前記受光データ記憶部に記憶されている前記受光結果に演算を行って被写体像を合成する画像合成部を有していることを特徴とする請求項９に記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロレンズ付き撮像素子、および当該マイクロレンズ付き撮像素子を備えた撮像装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
撮像レンズ、マイクロレンズアレイ、および受光素子アレイがこの順に配置され、複数のマイクロレンズの１つ毎に複数の受光素子が重なっている撮像装置（画像合成装置）が提案されている。かかる撮像装置では、撮像レンズ、およびマイクロレンズアレイのマイクロレンズを通過した光を、マイクロレンズの１つ毎に対応させた複数の受光素子で受光し、かかる受光素子での受光結果に対して演算を行って、任意の像面に焦点のあった画像を合成する（例えば、特許文献１、２、３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４７５２０３１号公報
【特許文献２】特開２０１０−１９７５５１号公報
【特許文献３】特開２０１１−４３５８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１、２、３に記載の撮像装置では、マイクロレンズの１つ毎に対応させた複数の受光素子の各々で受光した結果には、マイクロレンズに対して入射した角度方向に対応する情報等が含まれていることを利用して、複数の受光素子での受光結果に重み付けの演算を行うことにより、画像を合成する。このため、複数のマイクロレンズのいずれにおいても、マイクロレンズに対する複数の受光素子の位置に高い精度が求められる。
【０００５】
しかしながら、特許文献１、２、３のいずれにおいても、マイクロレンズアレイおよび受光素子アレイが別体の部材として構成されていることから、マイクロレンズに対する複数の受光素子の位置精度が低いという問題点がある。
【０００６】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、マイクロレンズに対して複数の受光素子を高い位置精度で配置することができるマイクロレンズ付き撮像素子、および当該マイクロレンズ付き撮像素子を備えた撮像装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係るマイクロレンズ付き撮像素子は、基板と、前記基板の一方面に形成された受光素子アレイと、複数のマイクロレンズを有し、前記受光素子アレイの前記基板と反対側に積層された透光膜により構成されているマイクロレンズアレイと、を含み、前記受光素子アレイは、前記複数のマイクロレンズの各々に複数の受光素子が対応するように配置されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明において、マイクロレンズアレイは、受光素子アレイに対して基板と反対側に積層された透光膜により構成されているため、半導体プロセス等を利用して、マイクロレンズアレイおよび受光素子アレイを同一基板に形成することができる。従って、マイクロレンズに対して複数の受光素子を高い位置精度で配置することができる。
【０００９】
本発明において、前記基板は透光性基板であることが好ましい。かかる構成によれば、基板に到達した光が反射して受光素子に入射することを防止することができる。このため、受光素子へ光ノイズの入射を防止することができる。
【００１０】
本発明において、前記複数の受光素子は、３列以上および３行以上の受光素子であることが好ましい。かかる構成によれば、マイクロレンズの１つ毎に対応させた複数の受光素子を介して、マイクロレンズに対する入射方向の情報を２方向の各々について得ることができる。
【００１１】
本発明において、前記複数の受光素子の各々は、第１波長帯域の光を受光する第１受光部と、前記第１波長帯域と異なる帯域の第２波長帯域の光を受光する第２受光部と、を備えていることが好ましい。かかる構成によれば、マイクロレンズに対する入射方向を含む情報を色毎に得ることができる。
【００１２】
本発明において、前記複数のマイクロレンズは各々、正のパワーを有していることが好ましい。かかる構成によれば、マイクロレンズを透過した光束を小径化することができるので、マイクロレンズと重なる領域内に複数の受光素子を配置することができる。
【００１３】
本発明において、前記透光膜は、第１透光膜と、該第１透光膜と異なる屈折率を有し、前記第１透光膜に対して前記基板と反対側に積層された第２透光膜と、を有し、前記第１透光膜と前記第２透光膜との境界面には、前記基板に向けて突き出た凸曲面、または前記基板とは反対側に向けて突き出た凸曲面が形成されている構成を採用することができる。かかる構成によれば、第１透光膜の表面（基板と反対側の面）にエッチングマスクを形成した状態でのエッチング等を利用して凸曲面を容易に形成することができる。
【００１４】
本発明において、前記複数のマイクロレンズは、焦点距離が同一である構成を採用することができる。
【００１５】
本発明において、前記複数のマイクロレンズは、前記複数のマイクロレンズとして、複数の第１マイクロレンズと、該第１マイクロレンズとは異なる焦点距離を有する複数のマイクロレンズと、を有している構成を採用してもよい。かかる構成によれば、１台の撮像装置で同じ被写体の異なる深度に焦点が合った画像を得ることができる。
【００１６】
本発明に係るマイクロレンズ付き撮像素子を備えた撮像装置は、被写体側から入射した光を前記マイクロレンズアレイに対して前記受光素子アレイと反対側から入射させる撮像レンズと、前記複数の受光素子毎の受光結果を記憶しておく受光データ記憶部と、を有していることを特徴とする。
【００１７】
本発明に係る撮像装置は、前記受光データ記憶部に記憶されている前記受光結果に演算を行って被写体像を合成する画像合成部を有していることが好ましい。かかる構成によれば、撮像装置自身において、被写体像を合成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態１に係るマイクロレンズ付き撮像素子を有する撮像装置の説明図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係るマイクロレンズ付き撮像素子の説明図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係るマイクロレンズ付き撮像素子の説明図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係るマイクロレンズ付き撮像素子の構成を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。
【００２０】
［実施の形態１］
図１は、本発明の実施の形態１に係るマイクロレンズ付き撮像素子を有する撮像装置の説明図であり、図１（ａ）、（ｂ）は、撮像装置の要部構成を示す説明図、およびマイクロレンズ付き撮像素子に入射する光線の説明図である。図２は、本発明の実施の形態１に係るマイクロレンズ付き撮像素子５の説明図であり、図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、マイクロレンズ付き撮像素子をマイクロレンズアレイ側からみた平面図、マイクロレンズ付き撮像素子の一部を拡大してマイクロレンズと受光素子との位置関係を示す説明図、および受光素子を拡大して色毎の受光部を示す説明図である。
【００２１】
図１（ａ）に示す撮像装置１では、撮像レンズ２、マイクロレンズアレイ３、および受光素子アレイ４がこの順に配置されており、マイクロレンズアレイ３は、撮像レンズ２の焦点位置に配置されている。また、撮像装置１は、受光素子アレイ４の複数の受光素子４０毎の受光結果を記憶しておく受光データ記憶部６と、操作部９での操作結果（外部指令）に基づいて、受光データ記憶部６に記憶されている受光結果に演算を行って被写体像を合成する画像合成部７と、画像合成部７で合成された被写体像を表示するモニター８１とを有している。また、画像合成部７で合成された被写体像は、外部モニター８２等に出力可能である。なお、図１（ａ）には、撮像レンズ２として、１枚のレンズが表されているが、複数枚のレンズを用いてもよい。
【００２２】
本形態では、マイクロレンズアレイ３と受光素子アレイ４とは一体化されてマイクロレンズ付き撮像素子５を構成しており、かかるマイクロレンズ付き撮像素子５の構成は、図３等を参照して後述する。
【００２３】
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、本形態の撮像装置１において、マイクロレンズアレイ３では、複数のマイクロレンズ３０が装置光軸Ｌに直交する平面内にマトリクス状に配置されており、１つのマイクロレンズ３０が画素１つ分に相当する。本形態において、複数のマイクロレンズ３０は、同一の形状を有しており、焦点距離が同一である。
【００２４】
また、図２（ｂ）に示すように、受光素子アレイ４では、装置光軸Ｌに直交する平面内において、複数のマイクロレンズ３０の１つ毎（画素毎）に複数の受光素子４０がマトリクス状に配置されており、１つの受光素子４０がサブ画素１つ分に相当する。ここで、受光素子４０は、複数のマイクロレンズ３０の１つ毎に３行以上かつ３列以上配置されており、図２（ｂ）には、複数のマイクロレンズ３０の１つ毎に５行×５列に配置された構成が例示されている。
【００２５】
図２（ｃ）に示すように、複数の受光素子４０は各々、異なる波長域の光を受光する複数の受光部４０ｒ、４０ｇ、４０ｂを備えている。すなわち、複数の受光素子４０の各々は、第１波長帯域の光を受光する第１受光部と、第１波長帯域と異なる帯域の第２波長帯域の光を受光する第２受光部とを備えている。より具体的には、１つの受光素子４０は、赤色成分の光を受光する受光部４０ｒと、緑色成分の光を受光する受光部４０ｇと、青色成分の光を受光する受光部４０ｂとを備えている。かかる受光部４０ｒ、４０ｇ、４０ｂが対応する色の種類は、受光素子４０の受光面に重ねて形成されたカラーフィルターによって規定されている。換言すると、受光部４０ｒの受光面に赤色成分の波長帯域を透過するカラーフィルターが形成され、受光部４０ｒは、赤色成分の光を受光して電気信号に変換する。
【００２６】
再び図１（ａ）において、本形態の撮像装置１において、被写体Ｓ０の画像を撮影すると、被写体Ｓ０からの光束は、撮像レンズ２によってマイクロレンズアレイ３に集光される。また、マイクロレンズアレイ３の複数のマイクロレンズ３０の各々に入射した光は、図１（ｂ）に示すように、受光素子４０のうち、マイクロレンズ３０への入射方向に対応する位置の受光素子４０で受光され、かかる受光素子４０での受光結果は、図１（ａ）に示す受光データ記憶部６に記憶される。従って、受光データ記憶部６には、被写体Ｓ０側から光線のＸＹ方向の二次元情報と、マイクロレンズ３０への入射角度（θ、φ）に関する角度方向からなる４次元情報が記憶される。ここで、撮像レンズ２からの距離が被写体Ｓ０とは異なる位置に別の被写体Ｓ１が存在していると、かかる被写体Ｓ２からの光線は、被写体Ｓ０からの光線と異なる受光素子４０に入射する。従って、受光データ記憶部６には、被写体Ｓ１側から光線のＸＹ方向の二次元情報と、マイクロレンズ３０への入射角度（θ、φ）に関する角度方向からなる４次元情報が記憶される。すなわち、受光データ記憶部６に記憶される受光素子４０での受光結果には焦点深度情報も含まれている。
【００２７】
かかる撮像装置１で撮像すれば、受光データ記憶部６に記憶されている受光結果に基づいて画像を生成したとき、被写体Ｓ０についてはピントが合っているが、被写体Ｓ１についてはピントがずれた画像がモニター８１や外部モニター８２に表示されることになる。但し、操作部９において、画像を合成するようにとの操作（外部指令）があると、画像合成部７は、受光データ記憶部６に記憶されている各受光結果に、特許文献１等で開示されている重み付きの演算を行って被写体像を再合成する。その結果、例えば、被写体Ｓ０および被写体Ｓ１の双方にピントが合った画像をモニター８１や外部モニター８２に表示することができる。また、被写体Ｓ１についてはピントが合っているが、被写体Ｓ０についてはピントがずれた画像をモニター８１や外部モニター８２に表示することもできる。従って、通常のスナップ写真では、１回の撮影の後、被写体像を再合成した画像をモニター８１や外部モニター８２に表示することができる。また、監視装置等において、撮影の後、所定位置にピントを合わせた被写体像を再合成してモニター８１や外部モニター８２に画像を表示することができる。さらに、受光データ記憶部６に記憶されている各受光結果には視差が含まれているので、１回の撮影データから３Ｄ画像を再合成してモニター８１や外部モニター８２に裸眼対応の３Ｄ画像を表示することができる。
【００２８】
（マイクロレンズ付き撮像素子５）
図３は、本発明の実施の形態１に係るマイクロレンズ付き撮像素子５の説明図であり、図３（ａ）、（ｂ）は、マイクロレンズ付き撮像素子５の構成を模式的に示す断面図、およびマイクロレンズ付き撮像素子５の製造方法の要部を示す説明図である。なお、図３では、１つのマイクロレンズ３０に対応する受光素子４０の数を減らす等、構成を簡素化して表してある。
【００２９】
図１および図２を参照して説明した撮像装置１では、マイクロレンズ３０の１つ毎に対応させた複数の受光素子４０の各々で受光した結果に、マイクロレンズ３０に対して入射した角度方向に対応する情報等が含まれていることを利用して、画像を合成する。このため、複数のマイクロレンズ３０のいずれにおいても、マイクロレンズ３０に対する複数の受光素子４０の位置に高い精度が求められる。そこで、本形態では、マイクロレンズアレイ３と受光素子アレイ４とを一体化したマイクロレンズ付き撮像素子５が用いられている。
【００３０】
具体的には、図３に示すように、本形態のマイクロレンズ付き撮像素子５は、基板５０と、基板５０の一方面に形成された受光素子アレイ４と、受光素子アレイ４に対して基板５０と反対側に形成されたマイクロレンズアレイ３とを有している。マイクロレンズアレイ３において、複数のマイクロレンズ３０は各々、正のパワーを有している。また、受光素子アレイ４では、マイクロレンズアレイ３の複数のマイクロレンズ３０の１つ毎に複数の受光素子４０が重なっている。基板５０としては、シリコン基板等の遮光性基板や、石英基板やガラス基板等の透光性基板を用いることができ、本形態では、基板５０として透光性基板が用いられている。
【００３１】
ここで、マイクロレンズアレイ３は、受光素子アレイ４に対して基板５０と反対側に積層された透光膜５５により構成されている。より具体的には、透光膜５５は、受光素子アレイ４に対して基板５０とは反対側に積層された第１透光膜５６と、第１透光膜５６に対して基板５０と反対側に積層された第２透光膜５７とを有している。第１透光膜５６と第２透光膜５７は、異なる屈折率を有している。本形態において、第１透光膜５６は、シリコン酸化膜（ＳｉＯ2）からなり、屈折率は１．４０である。これに対して、第２透光膜５７は、シリコン酸窒化膜（ＳｉＯＮ）からなり、屈折率は１．７０である。従って、第２透光膜５７の屈折率は、第１透光膜５６の屈折率より大である。このため、第１透光膜５６の基板５０と反対側の面には、凹曲面３２が形成されており、かかる凹曲面３２には第２透光膜５７が充填されている。それ故、第１透光膜５６と第２透光膜５７との境界面には、基板５０に向けて突き出た凸曲面３１が形成されており、かかる凸曲面３１によって、正のパワーをもつマイクロレンズ３０が形成されている。
【００３２】
かかる構成のマイクロレンズ付き撮像素子５を製造するには、図３（ｂ）に示すように、基板５０の一方面に半導体プロセスを利用して受光素子アレイ４（複数の受光素子４０）を形成した後、受光素子アレイ４に対して基板５０と反対側に第１透光膜５６を形成する。
【００３３】
次に、第１透光膜５６の表面（基板５０と反対側の面）に対して、マイクロレンズ３０の間に相当する領域にエッチングマスク５１を形成し、その後、エッチングマスク５１の開口部５１０からウエットエッチングを行い、凹曲面３２を形成する。次に、第１透光膜５６の上層側（基板５０と反対側）に第２透光膜５７を形成し、しかる後に、第２透光膜５７の表面（基板５０と反対側の面）を研磨等によって平坦化すると、マイクロレンズ付き撮像素子５を得ることができる。
【００３４】
なお、隣り合うマイクロレンズ３０の間と重なる領域に遮光膜を形成してもよい。この場合、遮光膜は、第１透光膜５６の表面（基板５０と反対側の面）、あるいは、第２透光膜５７の表面（基板５０と反対側の面）に形成される。
【００３５】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、マイクロレンズアレイ３が、受光素子アレイ４に対して基板５０と反対側に積層された透光膜５５により構成されることにより、マイクロレンズアレイ３と受光素子アレイ４とは、マイクロレンズ付き撮像素子５として一体化されている。このため、半導体プロセス等を利用して、マイクロレンズアレイ３および受光素子アレイ４を同一の基板５０に形成することができる。従って、マイクロレンズ３０に対して複数の受光素子４０を高い位置精度で配置することができる。
【００３６】
また、透光膜５５において、第２透光膜５７の屈折率は、第１透光膜５６の屈折率より大であり、第１透光膜５６と第２透光膜５７との境界面には、基板５０に向けて突き出た凸曲面３１が形成されている。かかる構成であれば、ウエットエッチング等を利用して、マイクロレンズ３０を構成する凸曲面３１を容易に形成することができる。
【００３７】
また、基板５０は透光性基板であるため、基板５０に到達した光が反射して受光素子４０に入射することを防止することができる。このため、受光素子４０へ光ノイズの入射を防止することができる。
【００３８】
また、複数のマイクロレンズ３０の各々に、複数の受光素子４０として、３列以上および３行以上の受光素子４０が重なっているため、マイクロレンズ３０の１つ毎に対応させた複数の受光素子４０を介して、マイクロレンズ３０に対する入射方向の情報を２方向の各々について得ることができる。しかも、複数の受光素子４０は各々、異なる波長域の光を受光する複数の受光部４０ｒ、４０ｇ、４０ｂを備えているため、マイクロレンズ３０に対する入射方向を含む情報を色毎に得ることができる。
【００３９】
また、複数のマイクロレンズ３０は各々、正のパワーを有しているため、マイクロレンズ３０を透過した光束を小径化することができる。従って、マイクロレンズ３０と重なる領域内に複数の受光素子４０を配置することができる。
【００４０】
［実施の形態２］
図４は、本発明の実施の形態２に係るマイクロレンズ付き撮像素子５の構成を模式的に示す断面図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態１と同様であるため、共通する部分には、同一の符号を付してそれらの説明を省略する。また、図４では、図３と同様、１つのマイクロレンズ３０に対応する受光素子４０の数を減らす等、構成を簡素化して表してある。
【００４１】
図４に示すように、本形態でも、実施の形態１と同様、マイクロレンズ付き撮像素子５は、基板５０と、基板５０の一方面に形成された受光素子アレイ４と、受光素子アレイ４に対して基板５０と反対側に形成されたマイクロレンズアレイ３とを有している。マイクロレンズアレイ３において、複数のマイクロレンズ３０は各々、正のパワーを有している。また、受光素子アレイ４では、マイクロレンズアレイ３の複数のマイクロレンズ３０の１つ毎に複数の受光素子４０が重なっている。本形態では、基板５０として透光性基板が用いられている。
【００４２】
ここで、マイクロレンズアレイ３は、受光素子アレイ４に対して基板５０と反対側に積層された透光膜５５により構成されている。より具体的には、透光膜５５は、受光素子アレイ４に対して基板５０とは反対側に積層された第１透光膜５８と、第１透光膜５８に対して基板５０と反対側に積層された第２透光膜５９とを有している。ここで、第１透光膜５８と第２透光膜５９は、異なる屈折率を有している。本形態において、第１透光膜５８は、シリコン酸窒化膜（ＳｉＯＮ）からなり、屈折率は１．７０である。これに対して、第２透光膜５９は、シリコン酸化膜（ＳｉＯ2）からなり、屈折率は１．４０である。従って、第２透光膜５９の屈折率は、第１透光膜５８の屈折率より小である。このため、第１透光膜５８の基板５０と反対側の面には、基板５０と反対側に突き出た凸曲面３３が形成されており、かかる凸曲面３３および周辺を覆うように、第２透光膜５９が積層されている。それ故、第１透光膜５８と第２透光膜５９との境界面には、基板５０に向けて突き出た凸曲面３３が形成されており、かかる凸曲面３３によって、正のパワーをもつマイクロレンズ３０が形成されている。
【００４３】
かかる構成のマイクロレンズ付き撮像素子５を製造するには、基板５０の一方面に半導体プロセスを利用して受光素子アレイ４（複数の受光素子４０）を形成した後、受光素子アレイ４に対して基板５０と反対側に第１透光膜５８を形成する。次に、例えば、インクジェットプリンター等により吐出された液状物によって、第１透光膜５８の表面（基板５０と反対側の面）に基板５０とは反対側に突出した凸曲面を有するエッチングマスクを形成し、その後、エッチングマスクとともに、第１透光膜５８に対してドライエッチングを行い、凸曲面３３を形成する。次に、第１透光膜５８の上層側（基板５０と反対側）に第２透光膜５９を形成し、しかる後に、第２透光膜５９の表面（基板５０と反対側の面）を研磨等によって平坦化すると、マイクロレンズ付き撮像素子５を得ることができる。
【００４４】
なお、隣り合うマイクロレンズ３０の間と重なる領域に遮光膜を形成してもよい。この場合、遮光膜は、第１透光膜５８の表面（基板５０と反対側の面）、あるいは、第２透光膜５９の表面（基板５０と反対側の面）に形成される。
【００４５】
以上説明したように、本形態でも、実施の形態１と同様、マイクロレンズアレイ３が、受光素子アレイ４に対して基板５０と反対側に積層された透光膜５５により構成されることにより、マイクロレンズアレイ３と受光素子アレイ４とは、マイクロレンズ付き撮像素子５として一体化されている。このため、半導体プロセス等を利用して、マイクロレンズアレイ３および受光素子アレイ４を同一の基板５０に形成することができる。従って、マイクロレンズ３０に対して複数の受光素子４０を高い位置精度で配置することができる等、実施の形態１と同様な効果を奏する。
【００４６】
［他の実施の形態］
上記実施の形態１、２では、複数のマイクロレンズ３０が、同一の形状を有しており、焦点距離が同一であったが、複数の第１マイクロレンズと、第１マイクロレンズと異なる焦点距離を有する複数のマイクロレンズとを形成し、これらのマイクロレンズの１つ毎に複数の受光素子４０を設けてもよい。かかる構成によれば、１台の撮像装置で同じ被写体の異なる深度に焦点が合った画像を得ることができる。かかる構成のマイクロレンズアレイ３は、凸曲面３１、３３を形成する工程を異なる領域に対して行うことにより実現することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１・・撮像装置、２・・撮像レンズ、３・・マイクロレンズアレイ、４・・受光素子アレイ、５・・マイクロレンズ付き撮像素子、６・・受光データ記憶部、７・・画像合成部、３０・・マイクロレンズ、３１、３３・・凸曲面、４０・・受光素子、４０ｒ、４０ｇ、４０ｂ・・受光部、５０・・基板、５５・・透光膜、５６、５８・・第１透光膜、５７、５９・・第２透光膜、８１・・モニター、８２・・外部モニター
【図１】
2014127549.tif 000003
【図２】
2014127549.tif 000004
【図３】
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【図４】
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