【手続補正書】
【提出日】令和3年6月14日(2021.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入口及び出口を有する内部流路を備えるターゲットの温度を制御する温度制御システムであって、
前記温度制御システムは、
前記入口から前記出口まで延びる外部流路であって、前記内部流路及び前記外部流路に熱媒体を循環させる前記外部流路と、
前記ターゲットから離れて前記外部流路内に配置された第１バイパス流路と、
前記ターゲットに隣接して前記外部流路内に配置された第２バイパス流路と、
前記外部流路に配置され、かつ、前記出口の下流または前記入口の上流に配置され、熱媒体を循環させる第１ポンプと、
前記外部流路の中間点に配置された温度調節器と、
前記外部流路に配置され、かつ、前記温度調節器の下流に配置され、熱媒体を循環させる第２ポンプと、
前記第２ポンプの下流の前記外部流路に配置され、かつ、前記第１バイパス流路と前記第２バイパス流路との間に配置された第１バルブと、
前記温度調節器の上流の前記外部流路に配置され、かつ、前記第２バイパス流路と前記第１バイパス流路との間に配置された第２バルブと、
前記第１バイパス流路に配置された第３バルブと、
前記第２バイパス流路に配置された第４バルブと、を備え、
前記第１バルブと前記第２バルブの組及び前記第３バルブと前記第４バルブの組のうち、少なくとも一方の組は、流量制御弁で構成される、
温度制御システム。
【請求項２】
前記組のうち、他方の組は、開閉弁で構成される、
請求項１に記載の温度制御システム。
【請求項３】
前記第１ポンプは、
前記出口と、前記外部流路と前記第２バイパス流路との接続部と、の間に配置される、
請求項１または請求項２に記載の温度制御システム。
【請求項４】
前記第１ポンプは、
前記入口と、前記外部流路と前記第２バイパス流路との接続部と、の間に配置される、
請求項１または請求項２に記載の温度制御システム。
【請求項５】
前記第１バルブ、前記第２バルブ、前記第３バルブ及び前記第４バルブを制御する制御部を有し、
前記制御部は、
熱媒体の一部を前記温度調節器及び前記第１バイパス流路を通して循環させ、熱媒体の他の一部を前記内部流路及び前記第２バイパス流路を通して循環させる第１の工程と、
前記内部流路に温度調節された熱媒体を供給する第２の工程と、を実行するように構成される、
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の温度制御システム。
【請求項６】
前記制御部は、前記第１の工程において、前記第１バルブ及び前記第２バルブを閉じ、前記第３バルブ及び前記第４バルブの開く、
請求項５に記載の温度制御システム。
【請求項７】
前記制御部は、前記第２の工程において、前記第１バルブ乃至前記第４バルブの開く、
請求項５または請求項６に記載の温度制御システム。
【請求項８】
前記制御部は、前記第１バルブ、前記第２バルブ、前記第３バルブ及び前記第４バルブを制御して、前記温度調節器で温度調節された熱媒体を前記内部流路に供給する第３の工程を実行するように構成され、
前記制御部は、前記第３の工程において、前記第１バルブ及び前記第２バルブの開き、前記第３バルブ及び前記第４バルブを閉じる、
請求項５乃至請求項７のいずれか１項に記載の温度制御システム。
【請求項９】
前記内部流路の前記入口または前記出口と、前記外部流路と前記第２バイパス流路との接続部と、の間に配置された温度センサを備え、
前記制御部は、前記温度センサが検出した温度に基づき、前記第１バルブと前記第２バルブの組及び前記第３バルブと前記第４バルブの組のうち、少なくとも一方の組のバルブを制御する、
請求項５乃至請求項８のいずれか１項に記載の温度制御システム。
【請求項１０】
前記内部流路の前記入口または前記出口と、前記外部流路と前記第２バイパス流路との接続部と、の間に配置された流量センサを備え、
前記制御部は、前記流量センサが検出した流量に基づき、前記第１バルブと前記第２バルブの組及び前記第３バルブと前記第４バルブの組のうち、少なくとも一方の組のバルブを制御する、
請求項５乃至請求項９のいずれか１項に記載の温度制御システム。
【請求項１１】
前記ターゲットは、処理容器内にて生成されるプラズマ及び前記ターゲットに配置された加熱部の少なくとも１つにより加熱される、
請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の温度制御システム。
【請求項１２】
前記第１バルブと前記第２バルブの組及び前記第３バルブと前記第４バルブの組は、全て流量制御弁で構成される、
請求項１に記載の温度制御システム。
【請求項１３】
前記外部流路、前記第１バイパス流路及び前記第２バイパス流路のうちの１つに配置された逆止弁を備える、
請求項１に記載の温度制御システム。
【請求項１４】
前記第１バルブ及び前記第３バルブは、前記外部流路と前記第１バイパス流路との接続部に配置された三方弁によって置き換えられる、
請求項１に記載の温度制御システム。
【請求項１５】
前記第２バルブ及び前記第４バルブは、前記外部流路と前記第２バイパス流路との接続部に配置された三方弁によって置き換えられる、
請求項１に記載の温度制御システム。
【請求項１６】
前記第１バルブ及び前記第４バルブは、前記外部流路と前記第２バイパス流路との接続部に配置された三方弁によって置き換えられる、
請求項１に記載の温度制御システム。
【請求項１７】
前記第２バルブ及び前記第３バルブは、前記外部流路と前記第１バイパス流路との接続部に配置された三方弁によって置き換えられる、
請求項１に記載の温度制御システム。
【請求項１８】
入口及び出口を有する内部流路を備えるターゲットの温度を制御する温度制御システムであって、
前記温度制御システムは、
前記入口から前記出口まで延びる外部流路であって、前記内部流路及び前記外部流路に熱媒体を循環させる前記外部流路と、
前記ターゲットから離れて前記外部流路内に配置された第１バイパス流路と、
前記ターゲットに隣接して前記外部流路内に配置された第２バイパス流路と、
前記外部流路に配置され、かつ、前記出口の下流または前記入口の上流に配置され、熱媒体を循環させる第１ポンプと、
前記外部流路の中間点に配置された温度調節器と、
前記外部流路に配置され、かつ、前記温度調節器の下流に配置され、熱媒体を循環させる第２ポンプと、
熱媒体を循環させるための第２の流路と、
熱媒体の流れを調整する流量調整器と、
前記流量調整器を制御する制御部と、を備え、
前記内部流路、前記温度調節器及び前記外部流路の一部は、第１の循環流路を形成し、
前記前記温度調節器、前記第１バイパス流路及び前記外部流路の一部は、第２の循環流路を形成し、
前記内部流路、前記第２バイパス流路及び前記外部流路の一部は、第３の循環流路を形成し、
前記制御部は、前記流量調整器を制御して、
前記第１の循環流路を閉じ、前記第２の循環流路に熱媒体の一部を循環させ、前記第３の循環流路に熱媒体の他の一部を循環させる第１の工程と、
前記第１の循環流路を循環する熱媒体の一部と、前記第３の循環流路を循環する熱媒体の一部との混合比を制御し、前記第１の循環流路及び前記第３の循環流路に熱媒体を循環させる第２の工程と、を実行するように構成される、
温度制御システム。
【請求項１９】
入口及び出口を有する内部流路を備えるターゲットの温度を制御する温度制御システムの温度制御方法であって、
前記温度制御システムは、
前記内部流路に熱媒体を循環させる第１ポンプと、
熱媒体を吐出する第２ポンプと、
温度調節器と、
前記内部流路の一方と前記温度調節器の一方とを熱媒体が通流可能に接続する第１流路と、
前記内部流路の他方と前記温度調節器の他方とを熱媒体が通流可能に接続する第２流路と、
前記第１流路に配置された第１バルブと、
前記第２流路に配置された第２バルブと、
前記第１バルブおよび前記第２バルブよりも前記温度調節器に近い位置で、前記第１流路と前記第２流路とを接続する第１バイパス流路と、
前記第１バルブおよび前記第２バルブよりも前記内部流路に近い位置で、前記第１流路と前記第２流路とを接続する第２バイパス流路と、
前記第１バイパス流路に配置された第３バルブと、
前記第２バイパス流路に配置された第４バルブと、を備え、
前記第１バルブと前記第２バルブの組および前記第３バルブと前記第４バルブの組のうち、少なくとも一方の組は、流量制御弁で構成され、
熱媒体の一部を前記温度調節器及び前記第１バイパス流路を通して循環させ、熱媒体の他の一部を前記内部流路及び前記第２バイパス流路を通して循環させるステップと、
前記内部流路に温度調節された熱媒体を供給するステップと、を含む、
温度制御方法。
【請求項２０】
熱媒体を循環させるステップの前に、熱媒体の温度が目標温度よりも閾値温度差以上低いと判定し、
熱媒体の温度が目標温度から循環と供給の間の閾値温度差を引いたものよりも高いと判定する、
請求項１９に記載の温度制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するために、一の態様によれば、入口及び出口を有する内部流路を備えるターゲットの温度を制御する温度制御システムであって、前記温度制御システムは、前記入口から前記出口まで延びる外部流路であって、前記内部流路及び前記外部流路に熱媒体を循環させる前記外部流路と、前記ターゲットから離れて前記外部流路内に配置された第１バイパス流路と、前記ターゲットに隣接して前記外部流路内に配置された第２バイパス流路と、前記外部流路に配置され、かつ、前記出口の下流または前記入口の上流に配置され、熱媒体を循環させる第１ポンプと、前記外部流路の中間点に配置された温度調節器と、前記外部流路に配置され、かつ、前記温度調節器の下流に配置され、熱媒体を循環させる第２ポンプと、前記第２ポンプの下流の前記外部流路に配置され、かつ、前記第１バイパス流路と前記第２バイパス流路との間に配置された第１バルブと、前記温度調節器の上流の前記外部流路に配置され、かつ、前記第２バイパス流路と前記第１バイパス流路との間に配置された第２バルブと、前記第１バイパス流路に配置された第３バルブと、前記第２バイパス流路に配置された第４バルブと、を備え、前記第１バルブと前記第２バルブの組及び前記第３バルブと前記第４バルブの組のうち、少なくとも一方の組は、流量制御弁で構成される、温度制御システムが提供される。