【手続補正書】
【提出日】令和3年9月6日(2021.9.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨パッドの表面温度を調整する熱交換器の洗浄装置であって、
前記熱交換器を、該熱交換器が前記研磨パッドと熱交換可能な温度調整位置と、前記研磨パッドの表面から離間させる待避位置との間で移動させる移動機構と、
前記待避位置に移動した熱交換器の底面を洗浄する洗浄機構と、を備え、
前記待避位置は、前記研磨パッドの側方に位置しており、
前記洗浄機構は、前記待避位置に移動した熱交換器の底面に洗浄液を噴射する少なくとも１つの洗浄液ノズルまたは前記熱交換器の底面が浸漬可能な洗浄槽を含むことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
研磨パッドの表面温度を調整する熱交換器の洗浄装置であって、
前記熱交換器を、該熱交換器が前記研磨パッドと熱交換可能な温度調整位置と、前記研磨パッドの表面から離間させる待避位置との間で移動させる移動機構と、
前記待避位置に移動した熱交換器の底面を洗浄する洗浄機構と、を備え、
前記待避位置は、前記研磨パッドの上方に位置しており、
前記洗浄機構は、前記熱交換器の底面が浸漬可能な洗浄槽を含むことを特徴とする洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄機構は、
前記洗浄槽に連結される洗浄液供給ラインと、
前記洗浄槽に連結される洗浄液排出ラインと、をさらに備え、
前記洗浄液排出ラインは、前記洗浄槽の最下端部に連結されることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄機構は、
前記洗浄槽に連結される洗浄液供給ラインと、
前記洗浄槽から溢れる前記洗浄液を受け止めるオーバーフロー槽と、
前記オーバーフロー槽に連結される洗浄液排出ラインと、をさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄機構は、
前記洗浄槽に連結される洗浄液供給ラインと、
前記洗浄槽に連結される洗浄液排出ラインと、をさらに備え、
前記洗浄液排出ラインは、前記洗浄槽の内部に開口する入口を有しており、
前記入口は、前記洗浄槽の上端よりも下方に位置することを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記洗浄機構は、
前記洗浄槽に連結される洗浄液供給ラインと、
前記洗浄槽に連結される洗浄液排出ラインと、をさらに備え、
前記洗浄液排出ラインは、前記洗浄槽の最下端部に連結された入口と、大気に解放された出口と、を有しており、
前記出口は、前記洗浄槽の上端よりも下方で、かつ前記洗浄槽の下端よりも上方に位置することを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記洗浄液供給ラインは、前記洗浄液が前記洗浄槽の接線方向に放出されるように、前記洗浄槽の側壁に取り付けられていることを特徴とする請求項３乃至６のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記洗浄機構は、
前記洗浄槽の底壁を構成するか、または前記洗浄槽の内部に配置される板部材を有しており、
前記板部材は、前記洗浄液供給ラインに連結される流路と、該流路を前記洗浄槽の内部に連通させる複数の孔とを有していることを特徴とする請求項４乃至６のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項９】
前記移動機構は、
前記熱交換器を前記研磨パッドの表面に対して水平方向に回動させる回動機構と、
前記熱交換器を前記研磨パッドの表面に対して上下動させる昇降機構と、を備えることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項１０】
前記移動機構は、
前記熱交換器を前記研磨パッドの表面に対して水平方向に回動させつつ、該研磨パッドの表面に対して鉛直方向に旋回させる回動機構と、
前記熱交換器を前記研磨パッドの表面に対して上下動させる昇降機構と、を備えることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項１１】
前記回動機構は、
アームを介して前記熱交換器に連結される軸と、
前記軸を回動させることにより、前記アームおよび前記熱交換器を前記研磨パッドの表面に対して回動させるアクチュエータと、
前記軸の回動動作を、前記熱交換器の旋回動作に変換するカム機構と、を備えており、
前記カム機構は、
前記アームに固定されたカムと、
前記カムに接触し、前記熱交換器の旋回動作を案内するガイド面を有するガイド板と、を含むことを特徴とする請求項１０に記載の洗浄装置。
【請求項１２】
前記移動機構は、
ピストンを有するピストンシリンダ機構と、
前記ピストンの動作を、前記熱交換器が連結されたアームの鉛直方向の回動動作に変更するリンク機構と、を備えることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項１３】
前記洗浄機構は、前記熱交換器が前記温度調整位置から前記待避位置まで移動する間に、前記熱交換器の底面と接触する洗浄部材を備えることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項１４】
前記洗浄部材は、洗浄ブラシであり、
前記洗浄ブラシは、前記研磨パッドを取り囲む円筒状カップの上端に形成された切り欠きに配置されることを特徴とする請求項１３に記載の洗浄装置。
【請求項１５】
前記洗浄部材は、洗浄ローラであり、
前記洗浄機構は、前記洗浄ローラの表面に接触して、該洗浄ローラに付着した汚れを除去する洗浄板をさらに備えることを特徴とする請求項１３に記載の洗浄装置。
【請求項１６】
前記洗浄機構は、
前記待避位置にある前記熱交換器の底面と接触する洗浄ブラシ機構であり、
前記洗浄ブラシ機構は、
前記熱交換器の底面に接触する洗浄ブラシと、
前記洗浄ブラシが配置されるブラシ台と、
前記熱交換器の底面に洗浄液を噴射する開口を有する洗浄液ブロックと、
前記ブラシ台および前記洗浄液ブロックが連結され、前記洗浄液を前記洗浄液ブロックから噴射したときに発生する反力を利用して回転する回転軸と、を備えることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項１７】
前記洗浄部材は、前記熱交換器の底面に接触するブラシを有する洗浄パッドであり、
前記洗浄パッドは、自転可能、かつ前記熱交換器の底面に対して公転可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項１８】
前記洗浄パッドは、
該洗浄パッドの上面に形成された凹部に配置され、前記熱交換器の底面の画像を取得可能な撮像装置と、
前記凹部の開口を塞ぐ透明窓と、を有していることを特徴とする請求項１７に記載の洗浄装置。
【請求項１９】
研磨パッドを支持する研磨テーブルと、
基板を前記研磨パッドの表面に押し付けて該基板を研磨する研磨ヘッドと、
前記研磨パッドの表面温度を調整する熱交換器と、
前記熱交換器を洗浄する洗浄装置と、を備え、
前記洗浄装置は、請求項１乃至１８のいずれか一項に記載の洗浄装置であることを特徴とする研磨装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
一態様では、研磨パッドの表面温度を調整する熱交換器の洗浄装置であって、前記熱交換器を、該熱交換器が前記研磨パッドと熱交換可能な温度調整位置と、前記研磨パッドの表面から離間させる待避位置との間で移動させる移動機構と、前記待避位置に移動した熱交換器の底面を洗浄する洗浄機構と、を備え、前記待避位置は、前記研磨パッドの側方に位置しており、前記洗浄機構は、前記待避位置に移動した熱交換器の底面に洗浄液を噴射する少なくとも１つの洗浄液ノズルまたは前記熱交換器の底面が浸漬可能な洗浄槽を含むことを特徴とする洗浄装置が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
一態様では、研磨パッドの表面温度を調整する熱交換器の洗浄装置であって、前記熱交換器を、該熱交換器が前記研磨パッドと熱交換可能な温度調整位置と、前記研磨パッドの表面から離間させる待避位置との間で移動させる移動機構と、前記待避位置に移動した熱交換器の底面を洗浄する洗浄機構と、を備え、前記待避位置は、前記研磨パッドの上方に位置しており、前記洗浄機構は、前記熱交換器の底面が浸漬可能な洗浄槽を含むことを特徴とする洗浄装置が提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
図３は、熱交換器１１が待避位置に移動する様子の一例を模式的に示す平面図である。図４は、一実施形態に係る移動機構に連結された熱交換器１１を模式的に示す斜視図であり、図５は、図４に示す移動機構の概略断面図である。図３に示す例では、待避位置は、研磨パッド３の側方に位置している（図３の二点鎖線参照）。ウェーハＷの研磨が終了すると、熱交換器１１は、図４および図５に示す移動機構１６によって待避位置に移動される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
図４に示すように、熱交換器１１は、アーム１５の一方の端部に連結されている。図４に示す移動機構１６は、アーム１５および熱交換器１１を、該熱交換器１１が研磨パッド３の表面に接触する温度調整位置から研磨パッド３に対して上方に移動させ、さらに回動させることにより待避位置に移動させる。この移動機構１６は、アーム１５に固定される軸２０と、軸２０を上下動させる昇降機構２３と、軸２０を回動させる回動機構２２と、軸２０を上下動自在に支持するボールスプライン軸受２１と、を備えている。図４に示す軸２０は、熱交換器１１が固定されるアーム１５の端部とは逆側の端部に固定されたスプライン軸である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
図１０（ｂ）に示す洗浄槽６０では、洗浄液排出ライン６３の入口６３ａは、洗浄槽６０の最下端部に連結されており、出口６３ｂは、入口６３ａよりも高く、かつ洗浄槽６０の側壁の上端よりも低い位置で開口している。図１０（ｂ）に示すように、洗浄液排出ライン６３の出口６３ｂは、洗浄液供給ライン６１よりも高い位置に配置されるのが好ましい。洗浄液供給ライン６１を通って洗浄槽６０に供給された洗浄液は、洗浄槽６０から洗浄液排出ライン６３に流れ込む。一方で、洗浄液排出ライン６３の出口６３ｂは、入口６３ａよりも高い位置に配置されているので、洗浄槽６０内の洗浄液の液面、および洗浄液排出ライン６３内の洗浄液の液面は、洗浄液排出ライン６３の出口６３ｂに到達するまで徐々に上昇していく。洗浄液の液面が洗浄液排出ライン６３の出口６３ｂに到達すると、洗浄液が出口６３ｂから溢れ出すとともに、洗浄槽６０内の洗浄液の液面の上昇が停止する。洗浄液排出ライン６３の出口６３ｂから溢れ出した洗浄液は、回収パン１３に回収され、該回収パン１３に接続されたドレイン１４を通って研磨装置から排出される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
図１２（ａ）は、板部材７０の変形例を示す概略斜視図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＡ−Ａ線断面図であり、図１２（ｃ）は、図１２（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。図１２（ｄ）は、板部材７０に形成された孔の出口に接続された噴射ノズルを示す概略断面図である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０５】
待避位置に移動された熱交換器１１の底面は、洗浄パッド１０７の上面に固定された洗浄ブラシ１０８に接触する。この状態で、洗浄パッド１０７の上面から洗浄液を噴射しつつ、洗浄パッド１０７を自転させ、さらに、熱交換器１１の底面に対して公転させる。これにより、熱交換器１１の底面に強固に付着した汚れが除去される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
一実施形態では、洗浄ブラシ１０８を省略し、洗浄パッド１０７をポリビニルアルコール（ＰＶＡ：polyvinyl alcohol）などの樹脂から構成してもよい。この場合、待避位置にある熱交換器１１の底面は、洗浄パッド１０７の上面に直接接触する。この状態で、洗浄パッド１０７の上面から洗浄液を噴射しつつ、洗浄パッド１０７を自転させ、さらに、熱交換器１１の底面に対して公転させると、洗浄パッド１０７の上面によって、熱交換器１１の底面に付着した汚れが掻き落とされる。