(57)【要約】      （修正有）【課題】バーナと反応容器との隙間を良好なシール状態で長期にわたってシールしつつ製造条件の調整も容易に行うことができるガラス微粒子堆積体の製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】反応容器１２の壁部に設けられた筒状のバーナ取付部３１と、バーナ取付部３１に挿入されたバーナ１５との隙間を、シール部材３５で気密にシールした状態で、バーナ１５で生成されるガラス微粒子を反応容器１２内で堆積させてガラス微粒子堆積体を製造する。シール部材３５は、バーナ取付部３１の使用温度の耐熱性を有する弾性材からなり、バーナ取付部３１の内側とバーナ１５の外側との間に装着される環状の形状を有し、バーナ取付部３１の内壁に密着する外周部３７よりバーナ１５の外周面に密着する内周部３８が薄肉である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
反応容器の壁部に設けられた筒状のバーナ取付部と、前記バーナ取付部に挿入されたバーナとの隙間を、シール部材で気密にシールした状態で、前記バーナで生成されるガラス微粒子を前記反応容器内で堆積させてガラス微粒子堆積体を製造するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記シール部材は、前記バーナ取付部の使用温度の耐熱性を有する弾性材からなり、前記バーナ取付部の内側と前記バーナの外側との間に装着される環状の形状を有し、前記バーナ取付部の内壁に密着する外周部より前記バーナの外周面に密着する内周部が薄肉であることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記シール部材は、径方向の中間部に、周方向にわたって屈曲された屈曲部を有することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記シール部材の外周部には、前記バーナ取付部の内壁と面接触する箇所に面取り部が形成されていることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項４】
請求項１から３の何れか一項に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記シール部材を、前記バーナ取付部と前記バーナとの隙間に、前記バーナの軸方向に沿って複数装着することを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
【請求項５】
出発基材にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を製造するガラス微粒子堆積体の製造装置であって、
前記出発基材が配置される反応容器と、
前記反応容器の壁部に設けられた筒状のバーナ取付部と、
前記バーナ取付部に挿入されて前記反応容器内で前記出発基材にガラス微粒子を噴き付けるバーナと、
前記バーナ取付部と前記バーナとの隙間を気密にシールするシール部材とを備え、
前記シール部材は、前記バーナ取付部の使用温度の耐熱性を有する弾性材からなり、前記バーナ取付部の内側と前記バーナの外側との間に装着される環状の形状を有し、前記バーナ取付部の内壁に密着する外周部より前記バーナの外周面に密着する内周部が薄肉とされていることを特徴とするガラス微粒子堆積体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を製造するガラス微粒子堆積体の製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバ等のガラス母材となるガラス微粒子堆積体は、例えば、反応容器内で出発ロッドの外周にバーナから噴出するガラス微粒子を堆積させることで製造される。
ところで、ガラス微粒子堆積体を製造する際に、バーナと反応容器との間に隙間があると、この隙間から外気中の異物が反応容器内に巻き込まれ、その異物がガラス微粒子堆積体に混入することがある。すると、ガラス微粒子堆積体を透明なガラス母材とすべく焼結する際に気泡が発生して母材内に残留してしまうことがある。そのようなガラス母材は、線引きして光ファイバを製造する際に断線するおそれがある。
【０００３】
このため、ガラス微粒子堆積体を製造する際に、バーナと反応容器との間を、ガラステープ、アルミテープ、Ｏリング、アルミ板および／またはニッケル板からなるシール材で隙間がないようにして堆積することが知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−７３１３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ガラステープやアルミテープからなるシール材は、粘着材の粘着性が熱により低下することがあり、長期にわたる気密性の確保が困難である。また、粘着材が熱によって固化して剥がれ、異物として反応容器内に巻き込まれて不具合を生じさせることもある。
また、ガラス微粒子堆積体の製造条件を調整するために、バーナの軸方向の位置や傾き角度の調整を行うことがあるが、上記のガラステープ、アルミテープ、Ｏリング、アルミ板あるいはニッケル板などからなるシール材では、バーナの位置調整への対応が困難である。しかも、バーナの位置調整を行うことで、バーナに対する良好なシール性が得られなくなるため、シールのやり直しを要することとなる。
【０００６】
本発明の目的は、バーナと反応容器との隙間を良好なシール状態で長期にわたってシールしつつ、バーナの位置調整による製造条件の調整も容易に行うことができるガラス微粒子堆積体の製造方法および製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決することのできる本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法は、
反応容器の壁部に設けられた筒状のバーナ取付部と、前記バーナ取付部に挿入されたバーナとの隙間を、シール部材で気密にシールした状態で、前記バーナで生成されるガラス微粒子を前記反応容器内で堆積させてガラス微粒子堆積体を製造するガラス微粒子堆積体の製造方法であって、
前記シール部材は、前記バーナ取付部の使用温度の耐熱性を有する弾性材からなり、前記バーナ取付部の内側と前記バーナの外側との間に装着される環状の形状を有し、前記バーナ取付部の内壁に密着する外周部より前記バーナの外周面に密着する内周部が薄肉であることを特徴とする。
【０００８】
本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法において、前記シール部材は、径方向の中間部に、周方向にわたって屈曲された屈曲部を有することが好ましい。
【０００９】
本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法において、前記シール部材の外周部には、前記バーナ取付部の内壁と面接触する箇所に面取り部が形成されていることが好ましい。
【００１０】
本発明のガラス微粒子堆積体の製造方法において、前記シール部材を、前記バーナ取付部と前記バーナとの隙間に、前記バーナの軸方向に沿って複数装着することが好ましい。
【００１１】
本発明のガラス微粒子堆積体の製造装置は、
出発基材にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体を製造するガラス微粒子堆積体の製造装置であって、
前記出発基材が配置される反応容器と、
前記反応容器の壁部に設けられた筒状のバーナ取付部と、
前記バーナ取付部に挿入されて前記反応容器内で前記出発基材にガラス微粒子を噴き付けるバーナと、
前記バーナ取付部と前記バーナとの隙間を気密にシールするシール部材とを備え、
前記シール部材は、前記バーナ取付部の使用温度の耐熱性を有する弾性材からなり、前記バーナ取付部の内側と前記バーナの外側との間に装着される環状の形状を有し、前記バーナ取付部の内壁に密着する外周部より前記バーナの外周面に密着する内周部が薄肉とされていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、反応容器のバーナ取付部とバーナとの隙間がシール部材によって気密にシールされているので、このバーナ取付部とバーナとの隙間から外気中の異物が反応容器内に巻き込まれるようなことがない。したがって、製造されるガラス微粒子堆積体に異物が混入することで透明ガラス化する際に気泡が発生するような不具合を防ぎ、線引きによる光ファイバの製造時における断線等をなくすことができる。
また、シール部材が、バーナ取付部の使用温度の耐熱性を有する弾性材からなるので、シール部材を長期にわたって使用することができる。これにより、バーナ取付部とバーナとの隙間における良好なシールを長期にわたって維持することができる。
【００１３】
また、シール部材が、バーナ取付部の内側と前記バーナの外側との間に装着される環状の形状を有し、バーナ取付部の内壁に密着する外周部よりバーナの外周面に密着する内周部が薄肉であることから、シール部材の外周部をバーナ取付部に強く密着させることができる。また、シール部材の内周部を、外径が一定とは限らないバーナに対して柔軟に弾性変形させて密着させることができる。これにより、バーナ取付部とバーナとの隙間をシール部材で確実にシールすることができる。
また、ガラス微粒子堆積体の製造条件を調整するために、バーナの軸方向の位置や傾き角度の調整を行う際にも、シール部材の内周部が、位置調整されるバーナに追従して柔軟に変形する。これにより、バーナ取付部とバーナとの隙間をシール部材で確実にシールしつつ、バーナの位置調整を行ってガラス微粒子堆積体の製造条件を容易に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態に係るガラス微粒子堆積体の製造方法および製造装置を説明する製造装置の概略断面図である。
【図２】図１のバーナ取付部における断面図である。
【図３】図２においてバーナ取付部とバーナとの隙間をシールするシール部材の一部を側面視した断面図である。
【図４】バーナ取付部の他の実施形態を示す断面図である。
【図５】図４においてバーナ取付部とバーナとの隙間をシールするシール部材の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係るガラス微粒子堆積体の製造方法および製造装置の実施の形態の例を、図面を参照して説明する。
図１に示すように、製造装置１１は、反応容器１２を備え、ＶＡＤ（Vapor Phase Axial Deposition）法によって反応容器１２内で多孔質ガラスからなるガラス微粒子堆積体Ｇを製造する装置である。反応容器１２は、矩形筒状または円筒状に形成されており、その上部には吊り下げ装置（図示略）が設けられている。この吊り下げ装置には、例えば、石英ガラスなどから形成された出発基材１４が把持されており、この出発基材１４は、吊り下げ装置によって軸回りに回転されながら軸方向へ移動可能とされている。
【００１６】
反応容器１２には、その下部に、斜め上方へ向けて配置されたバーナ１５が設けられている。このバーナ１５には、原料ガス（ＳｉＣｌ４，ＧｅＣl４）、燃焼ガス（Ｈ２）および助燃ガス（Ｏ２）が供給され、バーナ１５は、反応容器１２内で酸水素火炎Ｆを出発基材１４へ向かって噴出する。これにより、このバーナ１５から噴出されるガラス原料と火炎ガスにより、加水分解反応によって生成されるガラス微粒子が、軸回りに回転される出発基材１４に吹き付けられて堆積される。そして、この出発基材１４にガラス微粒子を堆積させながら出発基材１４を徐々に引き上げることで、出発基材１４に、円柱状のガラス微粒子堆積体Ｇが形成される。このガラス微粒子堆積体Ｇは、その後、脱水、焼結して透明ガラス化されたガラス母材とされる。このガラス母材は例えば光ファイバ用ガラス母材として用いられ、このガラス母材を線引きすることで光ファイバが製造される。
【００１７】
また、反応容器１２には、バーナ１５の左右両側に吸気部（図示略）が設けられ、これらの吸気部から反応容器１２内にクリーンエアが供給される。また、反応容器１２には、バーナ１５の反対側に排気部１６が設けられ、この排気部１６によって、余剰なガラス微粒子が排出され、反応容器１２の内壁へのガラス微粒子の付着が抑制される。
【００１８】
バーナ１５は、支持台２１に支持されている。支持台２１は、台座２２と、この台座２２上に設けられた調整機構２３とを有している。調整機構２３は、バーナ１５が挿通される筒状の支持筒２４と、この支持筒２４を支持するベース部２５とを有している。ベース部２５は、台座２２に対して鉛直軸Ｙを中心に回動可能とされ、支持筒２４は、ベース部２５に対して水平軸Ｘを中心に回動可能とされている。これにより、バーナ１５は、水平軸Ｘ及び鉛直軸Ｙを中心として回動可能とされている。また、バーナ１５は、支持筒２４に対して、バーナ１５の中心軸Ａに沿って移動可能とされている。このように、バーナ１５は、ガラス微粒子堆積体Ｇの製造条件を調整するために、軸方向の位置や傾き角度の調整を行うことが可能とされている。なお、バーナ１５の位置調整は、通常、ガラス微粒子堆積体Ｇの製造開始前に実施し、製造途中においては、バーナ１５は位置の調整をされずに固定される。
【００１９】
図２に示すように、反応容器１２の壁部には、開口部１２ａが形成されている。また、反応容器１２の壁部には、バーナ取付部３１が設けられている。このバーナ取付部３１は、筒状に形成されており、その一端には、固定板部３２が設けられている。バーナ取付部３１は、その固定板部３２を反応容器１２の壁部に面接触させてボルトとナット等によって壁部に固定することにより、開口部１２ａを覆うように反応容器１２に取り付けられている。
【００２０】
バーナ取付部３１は、バーナ１５の外径よりも大きい内径を有しており、このバーナ取付部３１に、バーナ１５が挿入されている。これにより、バーナ１５は、その先端部が反応容器１２内に配置されている。バーナ取付部３１と、このバーナ取付部３１に挿入されたバーナ１５との隙間には、複数（例えば３枚から５枚程度）のシール部材３５が設けられており、これらのシール部材３５によって、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間が気密にシールされている。
【００２１】
図３に示すように、シール部材３５は、バーナ取付部３１の内側とバーナ１５の外側との間に装着可能な環状の形状を有している。また、シール部材３５は、径方向の中間部に、周方向にわたって屈曲された屈曲部３６を有している。これにより、このシール部材３５は、断面視Ｖ字状に形成されており、屈曲部３６よりも外周側が外周部３７とされ、屈曲部３６よりも内周側が内周部３８とされている。このシール部材３５は、例えば屈曲部３６の突出方向が反応容器１２の外側へ向くように装着され、外周部３７の縁部がバーナ取付部３１の内壁に密着し、内周部３８の縁部がバーナ１５の外周面に密着する。これにより、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間がシールされる。
【００２２】
シール部材３５は、外周部３７よりも内周部３８が薄肉とされている。例えば、外周部３７の縁部での肉厚は３ｍｍとされ、内周部３８の縁部での肉厚は０．５ｍｍとされており、外周部３７から内周部３８へ向かって次第に薄くされている。また、シール部材３５の外周部３７には、バーナ取付部３１の内壁と面接触する箇所に面取り部３７ａが形成されており、これにより、シール部材３５のバーナ取付部３１との密着性が向上されている。
【００２３】
このシール部材３５は、バーナ取付部３１の使用温度の耐熱性を有する弾性材から形成されている。具体的には、このシール部材３５は、高い耐熱性（約３３０℃）を有するポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などの弾性材から形成されている。なお、シール部材３５の材料としては、フッ素系耐熱ゴムも使用可能である。
【００２４】
上記の製造装置１１によって出発基材１４にガラス微粒子を堆積させてガラス微粒子堆積体Ｇを製造するには、まず、出発基材１４を吊り下げ装置に吊り下げ、出発基材１４を所定位置に配置させる。
【００２５】
次に、出発基材１４を軸回りに回転させながら、バーナ１５から噴出される酸水素火炎Ｆによって火炎加水分解されて生成されるガラス微粒子を出発基材１４に吹き付ける。
【００２６】
この状態で、吊り下げ装置によって出発基材１４を軸回りに回転させながら徐々に引き上げる。これにより、出発基材１４にガラス微粒子が堆積され、円柱状のガラス微粒子堆積体Ｇが形成される。
【００２７】
このとき、反応容器１２のバーナ取付部３１とバーナ１５との隙間をシール部材３５によって気密にシールするので、このバーナ取付部３１とバーナ１５との隙間から外気中の異物が反応容器１２内に巻き込まれることがない。したがって、製造されるガラス微粒子堆積体Ｇに異物が混入することで透明ガラス化する際に気泡が発生するような不具合を抑え、光ファイバの線引き時における断線等をなくすことができる。
【００２８】
ガラス微粒子堆積体Ｇの製造時において、バーナ１５の外周は１００℃程度の温度となり、バーナ取付部３１は、３００℃程度の温度まで上昇する。この温度差は、バーナ１５中をガスが流れていることによる冷却効果や、熱線を透過する石英製のバーナ１５と温まり易いニッケル等の金属製のバーナ取付部３１との材料の熱伝導率や比熱により生じると考えられる。
【００２９】
このような温度環境において、本実施形態では、反応容器１２のバーナ取付部３１とバーナ１５との隙間を気密にシールするシール部材３５が、バーナ取付部３１の使用温度（約３００℃）の耐熱性を有する弾性材からなるので、このシール部材３５を長期にわたって使用することができる。これにより、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間における良好なシールを長期にわたって維持することができる。
【００３０】
また、シール部材３５が、バーナ取付部３１の内側とバーナ１５の外側との間に装着される環状の形状を有し、バーナ取付部３１の内壁に密着する外周部３７よりバーナ１５の外周面に密着する内周部３８が薄肉であることから、シール部材３５の外周部３７をバーナ取付部３１に強く密着させることができる。
【００３１】
バーナ取付部３１に対して、バーナ１５の外径が一定とは限らないが、シール部材３５の内周部３８が薄肉とされていることから、このシール部材３５の内周部３８をバーナ１５に対して柔軟に弾性変形させて密着させることができる。これにより、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間をシール部材３５で確実にシールすることができる。
【００３２】
また、ガラス微粒子堆積体Ｇの製造条件を調整するために、バーナ１５の軸方向の位置や傾き角度の調整を行う際にも、シール部材３５の内周部３８が、位置調整されるバーナ１５に追従して柔軟に変形する。これにより、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間をシール部材３５により確実にシールしつつ、バーナ１５の位置調整を行ってガラス微粒子堆積体Ｇの製造条件を容易に調整することができる。
【００３３】
特に、シール部材３５の径方向の中間部に、周方向にわたって屈曲された屈曲部３６を設け、屈曲部３６の外周側よりも屈曲部３６の内周側を薄肉としたので、位置調整のためにバーナ１５を動かしても、屈曲部３６よりも内周側だけが変形してバーナ１５との気密を保ちやすく、屈曲部３６よりも外周側は変形しないで、バーナ取付部３１に強く密着した状態を維持しやすい。
【００３４】
また、シール部材３５の外周部３７に、バーナ取付部３１の内壁と面接触する箇所に面取り部３７ａを形成したので、シール部材３５とバーナ取付部３１との密着性を向上させることができ、良好なシール性を確保することができる。
【００３５】
しかも、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間に、複数のシール部材３５を、バーナ１５の軸方向に沿って装着させたことにより、多重のシール効果が得られてさらに良好なシール性を確保することができる。
【００３６】
そして、上記実施形態によれば、バーナ１５の取付位置や取付角度が異なる複数の製造装置１１に対しても、それぞれのバーナ取付部３１とバーナ１５との隙間を容易にシールすることができる。
【００３７】
なお、上記の実施形態では、シール部材３５として、径方向の中間部に屈曲部３６を有するものを例示したが、使用可能なシール部材３５としては、屈曲部３６を有する上記のシール部材３５に限定されない。
【００３８】
次に、上記のシール部材３５と異なるシール部材を用いた他の実施形態について説明する。
図４に示す形態例では、屈曲部３６のない複数（例えば３枚から５枚程度）のシール部材４１を用いている。これらのシール部材４１も、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間に設けられ、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間を気密にシールする。
【００３９】
図５に示すように、シール部材４１は、バーナ取付部３１の内側とバーナ１５の外側との間に装着可能な環状の形状を有している。また、シール部材４１は、外周側の外周部４２から内周側の内周部４３へ向かって次第に軸方向へ傾斜して突出した形状とされている。このシール部材４１は、例えば内周部４３の突出方向が反応容器１２の内側へ向くように装着され、外周部４２の縁部がバーナ取付部３１の内壁に密着し、内周部４３の縁部がバーナ１５の外周面に密着する。これにより、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間がシールされる。なお、シール部材４１は、内周部４３の突出方向が反応容器１２の外側へ向くように装着しても良い。シール部材４１は、外周側から内周側へ向かって肉厚が次第に薄くされている。これにより、シール部材４１は、外周部４２よりも内周部４３が薄肉とされている。例えば、外周部３７の縁部での肉厚は３ｍｍとされ、内周部３８の縁部での肉厚は０．５ｍｍとされている。
このシール部材４１も、上記のシール部材３５と同様の弾性材から形成されている。また、シール部材４１の外周部４２には、バーナ取付部３１の内壁と面接触する箇所に面取り部４２ａが形成されており、これにより、シール部材４１のバーナ取付部３１との密着性が向上されている。
【００４０】
そして、この図４および図５に示す形態の場合も、反応容器１２のバーナ取付部３１とバーナ１５との隙間を気密にシールするシール部材４１が、バーナ取付部３１の使用温度の耐熱性を有する弾性材からなるので、シール部材４１を長期にわたって使用することができる。これにより、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間における良好なシールを長期にわたって維持することができる。
【００４１】
また、シール部材４１が、バーナ取付部３１の内側とバーナ１５の外側との間に装着される環状の形状を有し、バーナ取付部３１の内壁に密着する外周部４２よりバーナ１５の外周面に密着する内周部４３が薄肉であることから、シール部材４１の外周部４２をバーナ取付部３１に強く密着させることができる。また、シール部材４１の内周部４３が薄肉とされていることから、このシール部材４１の内周部４３をバーナ１５に対して柔軟に弾性変形させて密着させることができる。これにより、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間をシール部材４１で確実にシールすることができる。また、シール部材４１の外周部４２に、バーナ取付部３１の内壁と面接触する箇所に面取り部４２ａを形成したので、シール部材４１とバーナ取付部３１との密着性を向上させることができ、良好なシール性を確保することができる。
【００４２】
また、ガラス微粒子堆積体Ｇの製造条件を調整するために、バーナ１５の軸方向の位置や傾き角度の調整を行う際にも、シール部材４１の内周部４３が、位置調整されるバーナ１５に追従して柔軟に変形する。これにより、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間をシール部材４１で確実にシールしつつ、バーナ１５の位置調整を行ってガラス微粒子堆積体Ｇの製造条件を容易に調整することができる。
【００４３】
しかも、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間に、複数のシール部材４１を、バーナ１５の軸方向に沿って装着させたことにより、さらに良好なシール性を確保することができる。
【００４４】
なお、上記実施形態では、一つのバーナ１５を備える場合について説明したが、複数のバーナ１５を備える場合では、それぞれのバーナ取付部３１とバーナ１５との隙間をシール部材３５またはシール部材４１でシールすることが好ましい。この場合も、それぞれのバーナ取付部３１とバーナ１５との隙間を容易にかつ確実にシールすることができる。
また、上記実施形態では、ガラス微粒子堆積体Ｇを、ＶＡＤ法によって製造する場合を例示して説明したが、本発明は、ＯＶＤ（Outside Vapor Phase Deposition）法等の他の製造方法にも適用可能である。
【実施例】
【００４５】
異なる各種のシール方法によってバーナ取付部３１とバーナ１５との隙間をシールし、各種の評価を行う。
【００４６】
（１）シール方法
（比較例１）
バーナ取付部３１を設けず、反応容器１２の開口部１２ａを覆うように開口部１２ａとバーナ１５との隙間にニッケル製の薄板を配置し、薄板の上から耐熱テープを貼り付けて隙間を封鎖する。
（実施例１）
径方向の中間部に屈曲部３６を有するポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製のシール部材３５を４枚重ねて、バーナ取付部３１とバーナ１５との隙間に装着してシールする（図２参照）。
（実施例２）
外周側から内周側へ向かって次第に軸方向へ傾斜して突出した形状のポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製のシール部材４１を４枚重ねてバーナ取付部３１とバーナ１５との隙間に装着してシールする（図４参照）。
【００４７】
（２）評価項目
（交換作業時間）
バーナ１５を交換する際に、バーナ１５と反応容器１２の間の隙間をシール処理するためにかかる作業時間を測定する。
（シール性）
バーナ１５を交換してから、長期（１週間）後におけるシール状態を目視で観察する。
（バーナ位置調整後の隙間量）
バーナ１５の位置（角度）を調整した後におけるシール状態を観察する。
（クリーン度）
反応容器１２内のクリーン度を測定する。具体的には、１立法フィート当たりに０．５ミクロン以上の大きさの塵が存在する数をパーティクル数として計測する。
（断線回数）
各シール方法によってバーナ１５を交換してから製造したガラス微粒子堆積体Ｇを透明ガラス化して光ファイバ用のガラス母材とし、このガラス母材から光ファイバを線引きした際の断線回数（頻度）を測定する。
【００４８】
（３）評価結果
評価結果を表１に示す。
【００４９】
【表１】
2014009142.tif 000003
【００５０】
（交換作業時間）
比較例１では、バーナ１５の交換作業に伴うシールに３時間を要する。これに対して、実施例１および実施例２では、バーナ１５の交換作業に伴うシールに係る時間は何れも１５分程度であり、比較例１と比較して交換作業に伴うシールに係る時間を大幅に短縮させることができる。
（シール性）
比較例１では、耐熱テープの粘着性が低下し、バーナ取付部３１とバーナ１５と間に隙間が生じる。これに対して、実施例１及び実施例２では、良好なシール状態が確保されており、長期使用が可能であることがわかる。
（バーナ位置調整後の隙間量）
比較例１では、耐熱テープでニッケル製の薄板を貼り付けているため、バーナ１５が薄板と耐熱テープを介して反応容器１２に固定される。このため比較例１では、バーナ１５の角度を変更する位置調整を行うには、耐熱テープを貼り直してシールし直さなければならない。これに対して、実施例１では、バーナ１５の角度を変更してもバーナ取付部３１とバーナ１５と間に隙間が生じることはなく、良好なシール状態が維持される。また、実施例２では、バーナ取付部３１とバーナ１５との間に、ガラス微粒子の堆積に影響を与えることがない０．５ｍｍ以下の極めて微細な隙間がバーナ取付部３１側（筒側）に生じるだけである。
（クリーン度）
比較例１では、パーティクル数が１０００個であり、シール性の低下によって反応容器１２内へ外気中の塵が巻き込まれるおそれがある。これに対して、実施例１では、パーティクル数が５０個以下であり、反応容器１２内へ外気中の塵が巻き込まれることが殆どないことがわかる。また、実施例２では、パーティクル数が２００個と少なく、反応容器１２内へ外気中の塵の巻き込みが抑えられることがわかる。
（断線回数）
比較例１では、１０００ｋｍの線引き長さ（光ファイバ長さ）に対して、１０回の断線が生じる。これに対して、実施例１では、１０００ｋｍの線引き長さに対して、断線は１回以下であり、また、実施例２では、１０００ｋｍの線引き長さに対して、断線は５回に抑えられる。
【符号の説明】
【００５１】
１１：製造装置、１２：反応容器、１５：バーナ、３１：バーナ取付部、３５，４１：シール部材、３６：屈曲部、３７，４２：外周部、３７ａ，４２ａ：面取り部、３８，４３：内周部、Ｇ：ガラス微粒子堆積体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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