(57)【要約】【課題】コントロールユニットがポンプユニットから取り外されたことを判断すること。【解決手段】  第１データ管理部と第２データ管理部とは最初同じデータを同じ時点で保持している。ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されているとき、第１データ管理部及び第２データ管理部は時間の経過と共に同じ態様でデータを更新する。ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されていないとき、第１データ管理部は時間の経過と共にデータを更新するが、第２データ管理部はデータを更新しない。従って、第１データ管理部のデータと第２データ管理部のデータとを比較することによって、ポンプユニットとコントロールユニットとが分離されたか否かを判断することができる。【選択図】図１
2014009642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプユニットに対して取り外し可能に接続され、前記ポンプユニットを駆動制御するコントロールユニットであって、
前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき、及び、接続されていないときの両方において、時間の経過と共にデータを更新する第１データ管理部と、
前記第１データ管理部と同じデータを同じ時点で保持しており、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき、時間の経過と共に前記第１データ管理部と同じ態様でデータを更新し、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されていないとき、データを更新しない第２データ管理部と、
前記第１データ管理部によって管理されているデータと、前記第２データ管理部によって管理されているデータとに基づいて、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されたか否かを判断する判断部とを備える、コントロールユニット。
【請求項２】
前記判断部が、前記第１データ管理部によって管理されているデータと前記第２データ管理部によって管理されているデータとが異なるとき、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されたことを判断し、前記第１データ管理部によって管理されているデータと前記第２データ管理部によって管理されているデータとが同じであるとき、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されなかったことを判断する、請求項１に記載のコントロールユニット。
【請求項３】
前記データが時間情報であって、
前記第１データ管理部が、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき、及び、接続されていないときの両方において、時間情報を計時し、
前記第２データ管理部が、前記第１データ管理部と同じ時間情報を同じ時点で保持しており、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき、時間情報を計時し、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されていないとき、時間情報を計時せず、
前記判断部が、前記第１データ管理部によって計時されている時間情報と、前記第２データ管理部によって計時されている時間情報とを比較することによって、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されたか否かを判断する、請求項１に記載のコントロールユニット。
【請求項４】
前記判断部が、前記第１データ管理部によって計時されている時間情報と前記第２データ管理部によって計時されている時間情報との差が所定の閾値以上であるとき、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されたことを判断し、前記第１データ管理部によって計時されている時間情報と前記第２データ管理部によって計時されている時間情報との差が所定の閾値未満であるとき、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されなかったことを判断する、請求項３に記載のコントロールユニット。
【請求項５】
前記第１データ管理部及び前記第２データ管理部に電源電圧を供給する電源供給部と、
前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき前記電源供給部からの電源電圧を前記第２データ管理部に供給し、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されていないとき前記電源供給部からの電源電圧を前記第２データ管理部に供給しない電源切換部とをさらに備え、
前記第２データ管理部が、前記電源供給部からの電源電圧が供給されているとき、データを更新し、前記電源供給部からの電源電圧が供給されていないとき、データを更新しない、請求項１〜４のいずれかに記載のコントロールユニット。
【請求項６】
前記電源切換部が、前記ポンプユニット内に設けられた電源供給ラインを経由して、前記電源供給部からの電源電圧を前記第２データ管理部に供給することにより、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されていないとき、前記電源供給部から前記第２データ管理部への電源供給ラインを切断させ、前記電源供給部からの電源電圧を前記第２データ管理部に供給しない、請求項５に記載のコントロールユニット。
【請求項７】
前記電源切換部が、前記ポンプユニットと前記コントロールユニットとが接続されたときにオン状態になることにより、前記電源供給部からの電源電圧を前記第２データ管理部に供給する経路を導通させ、前記ポンプユニットと前記コントロールユニットとが接続されていないときにオフ状態になることにより、前記電源供給部からの電源電圧を前記第２データ管理部に供給する経路を開放させる検出スイッチを有する、請求項５に記載のコントロールユニット。
【請求項８】
ポンプユニットに対して取り外し可能に接続され、前記ポンプユニットを駆動制御するコントロールユニットであって、
前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき、及び、接続されていないときの両方において、データを保持する前記第１データ管理部と、
前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき、前記データを保持し、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されていないとき、前記データを保持しない前記第２データ管理部と、
前記第１データ管理部によって管理されているデータと、前記第２データ管理部によって管理されているデータとに基づいて、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されたことを判断する判断部とを備える、コントロールユニット。
【請求項９】
前記判断部が、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されたことを判断した場合、前記ポンプユニットの駆動を禁止する、あるいは、警報処理を実行する処理部をさらに備える、請求項１〜８のいずれかに記載のコントロールユニット。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の前記コントロールユニットと、
前記ポンプユニットとを備える、真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コントロールユニット、及び、それを備える真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプは、真空排気を行うポンプユニットと、ポンプユニットを駆動制御するコントロールユニットとを備えている。例えば、特許文献１には、ポンプユニットとコントロールユニットとを一体とした一体型のターボ分子ポンプが記載されている。
【０００３】
一般的に、ターボ分子ポンプを使用する場合には、定期的なメンテナンスやオーバーホールが必要となる。例えば、メカニカルベアリングで支持するタイプのターボ分子ポンプにおいては、メカニカルベアリングの定期的な交換が必須である。また、磁気軸受式のターボ分子ポンプであって、タッチダウンベアリングとして使用されているメカニカルベアリングが、ポンプの長期使用により摩耗して交換が必要となる場合がある。さらにまた、腐食性ガスを排気するような装置で用いられる場合には、ポンプ内のガス流路に生成物が固着してポンプ運転に支障をきたすので、生成物を除去するためのメンテナンスが必要となる。  
【０００４】
ターボ分子ポンプに限らず真空ポンプにおいては、真空性能や安全性を確保するためにポンプ組み立てに当たっては厳しい組み立て精度が要求される。そのため、真空ポンプの分解および組み立てを伴うメンテナンスは、訓練を受けた専門の作業者によって、すなわちポンプ製造メーカーや指定のメンテナンス業者によって行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２３６４６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、真空ポンプの分解および組み立て作業においては、特殊な工具等を必要としないので、ポンプ製造メーカや指定のメンテナンス業者以外の業者にメンテナンスを委託したり、使用者自身がメンテナンスを行ったりすることも可能である。しかしながら、メンテナンス作業が正しく行われないと、ポンプ性能が低下したりポンプ寿命を縮めたりするだけでなく、故障が発生したり安全性が損なわれたりするという問題がある。
【０００７】
本発明は上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、コントロールユニットがポンプユニットから取り外されたことを判断することができるコントロールユニットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の好ましい実施形態によるコントロールユニットは、ポンプユニットに対して取り外し可能に接続され、前記ポンプユニットを駆動制御するコントロールユニットであって、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき、及び、接続されていないときの両方において、時間の経過と共にデータを更新する第１データ管理部と、前記第１データ管理部と同じデータを同じ時点で保持しており、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき、時間の経過と共に前記第１データ管理部と同じ態様でデータを更新し、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されていないとき、データを更新しない第２データ管理部と、前記第１データ管理部によって管理されているデータと、前記第２データ管理部によって管理されているデータとに基づいて、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されたか否かを判断する判断部とを備える。
【０００９】
第１データ管理部と第２データ管理部とは最初同じデータを同じ時点で保持している。ポンプユニットとコントロールユニットとが接続され（結合され、一体化され、あるいは、組み立てられ）ているとき、第１データ管理部及び第２データ管理部は時間の経過と共に同じ態様でデータを更新する。従って、ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されている限り、第１データ管理部が管理するデータと第２データ管理部が管理するデータとは同じである。一方、ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されていないとき、第１データ管理部は時間の経過と共にデータを更新するが、第２データ管理部はデータを更新しない。なお、「更新しない」には、データをそのままの値に維持する意味の他に、データをリセットして初期値に戻すという意味を含む。従って、ポンプユニットとコントロールユニットとが分離されると、第１データ管理部が管理するデータと第２データ管理部が管理するデータとが異なるようになる。なお、ポンプユニットとコントロールユニットとが分離された後、再度ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されたとしても、第１データ管理部が管理するデータと第２データ管理部が管理するデータとは異なったままである。従って、第１データ管理部のデータと第２データ管理部のデータとを比較することによって、ポンプユニットとコントロールユニットとが分離されたか否かを判断することができる。
【００１０】
好ましい実施形態においては、前記判断部が、前記第１データ管理部によって管理されているデータと前記第２データ管理部によって管理されているデータとが異なるとき、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されたことを判断し、前記第１データ管理部によって管理されているデータと前記第２データ管理部によって管理されているデータとが同じであるとき、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されなかったことを判断する。
【００１１】
好ましい実施形態においては、前記データが時間情報であって、前記第１データ管理部が、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき、及び、接続されていないときの両方において、時間情報を計時し、前記第２データ管理部が、前記第１データ管理部と同じ時間情報を同じ時点で保持しており、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき、時間情報を計時し、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されていないとき、時間情報を計時せず、前記判断部が、前記第１データ管理部によって計時されている時間情報と、前記第２データ管理部によって計時されている時間情報とを比較することによって、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されたか否かを判断する。
【００１２】
第１データ管理部と第２データ管理部とは最初同じ時間情報を同じ時点で保持している。ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されているとき、第１データ管理部及び第２データ管理部は時間の経過と共に同じ態様で時間情報を計時する。従って、ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されている限り、第１データ管理部が計時する時間情報と第２データ管理部が計時する時間情報とは同じである。一方、ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されていないとき、第１データ管理部は時間の経過と共に時間情報を計時するが、第２データ管理部は時間情報を計時しない。従って、ポンプユニットとコントロールユニットとが分離されると、第１データ管理部が計時する時間情報と第２データ管理部が計時する時間情報とが異なるようになる。なお、ポンプユニットとコントロールユニットとが分離された後、再度ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されたとしても、第１データ管理部が計時するデータと第２データ管理部が計時するデータとは異なったままである。従って、第１データ管理部の時間情報と第２データ管理部の時間情報とを比較することによって、ポンプユニットとコントロールユニットとが分離されたか否かを判断することができる。
【００１３】
好ましい実施形態においては、前記判断部が、前記第１データ管理部によって計時されている時間情報と前記第２データ管理部によって計時されている時間情報との差が所定の閾値以上であるとき、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されたことを判断し、前記第１データ管理部によって計時されている時間情報と前記第２データ管理部によって計時されている時間情報との差が所定の閾値未満であるとき、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されなかったことを判断する。
【００１４】
この場合、第１データ管理部が時間情報を計時するクロック周波数と、第２データ管理部が時間情報を計時するクロック周波数とに若干のずれがあることに起因し、時間の経過と共に、第１データ管理部が計時する時間情報と第２データ管理部が計時する時間情報とに多少の誤差が生じる場合であっても、ポンプユニットとコントロールユニットとが取り外されたか否かをより正確に判断することができる。
【００１５】
好ましい実施形態においては、前記第１データ管理部及び前記第２データ管理部に電源電圧を供給する電源供給部と、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき前記電源供給部からの電源電圧を前記第２データ管理部に供給し、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されていないとき前記電源供給部からの電源電圧を前記第２データ管理部に供給しない電源切換部とをさらに備え、前記第２データ管理部が、前記電源供給部からの電源電圧が供給されているとき、データを更新し、前記電源供給部からの電源電圧が供給されていないとき、データを更新しない。
【００１６】
従って、当該電源切換部を備えることによって、ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されているとき、電源供給部からの電源電圧を第２データ管理部に供給し、ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されていないとき、電源供給部からの電源電圧を第２データ管理部に供給しないようにすることができる。
【００１７】
好ましい実施形態においては、前記電源切換部が、前記ポンプユニット内に設けられた電源供給ラインを経由して、前記電源供給部からの電源電圧を前記第２データ管理部に供給することにより、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されていないとき、前記電源供給部から前記第２データ管理部への電源供給ラインを切断させ、前記電源供給部からの電源電圧を前記第２データ管理部に供給しない。
【００１８】
従って、ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されているとき、電源供給部からの電源電圧が、ポンプユニット内の電源供給ラインを経由して、第２データ管理部に供給される。一方、ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されていないとき、電源供給部からの電源電圧が、ポンプユニット内の電源供給ラインを経由して第２データ管理部に供給されない。
【００１９】
好ましい実施形態においては、前記電源切換部が、前記ポンプユニットと前記コントロールユニットとが接続されたときにオン状態になることにより、前記電源供給部からの電源電圧を前記第２データ管理部に供給する経路を導通させ、前記ポンプユニットと前記コントロールユニットとが接続されていないときにオフ状態になることにより、前記電源供給部からの電源電圧を前記第２データ管理部に供給する経路を開放させる検出スイッチを有する。
【００２０】
従って、ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されているとき、電源供給部からの電源電圧が、検出スイッチを経由して、第２データ管理部に供給される。一方、ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されていないとき、電源供給部からの電源電圧が、検出スイッチを経由して第２データ管理部に供給されない。
【００２１】
本発明の別の好ましい実施形態によるコントロールユニットは、ポンプユニットに対して取り外し可能に接続され、前記ポンプユニットを駆動制御するコントロールユニットであって、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき、及び、接続されていないときの両方において、データを保持する前記第１データ管理部と、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されているとき、前記データを保持し、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットに接続されていないとき、前記データを保持しない前記第２データ管理部と、前記第１データ管理部によって管理されているデータと、前記第２データ管理部によって管理されているデータとに基づいて、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されたことを判断する判断部とを備える。
【００２２】
ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されているとき、第１データ管理部及び第２データ管理部は共にデータを保持する。従って、ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されている限り、第１データ管理部が管理するデータと第２データ管理部が管理するデータとは同じである。一方、ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されていないとき、第１データ管理部はデータを保持するが、第２データ管理部はデータを保持しない。「データを保持しない」とは、データを初期値にリセットすること、あるいは、データを消去すること等を意味する。従って、ポンプユニットとコントロールユニットとが分離されると、第１データ管理部が管理するデータと第２データ管理部が管理するデータとが異なるようになる。なお、ポンプユニットとコントロールユニットとが分離された後、再度ポンプユニットとコントロールユニットとが接続されたとしても、第１データ管理部が管理するデータと第２データ管理部が管理するデータとは異なったままである。従って、第１データ管理部のデータと第２データ管理部のデータとを比較することによって、ポンプユニットとコントロールユニットとが分離されたか否かを判断することができる。
【００２３】
好ましい実施形態においては、前記いずれかのコントロールユニットは、前記判断部が、前記コントロールユニットが前記ポンプユニットから取り外されたことを判断した場合、前記ポンプユニットの駆動を禁止する、あるいは、警報処理を実行する処理部をさらに備える。
【００２４】
本発明の別の局面においては、上記いずれかの前記コントロールユニットと、前記ポンプユニットとを備える真空ポンプが提供され得る。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、上記いずれかの構成を備えることによって、コントロールユニットがポンプユニットから取り外されたことを判断することができるコントロールユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の好ましい実施形態による真空ポンプを示す図である。
【図２】電源切換部の構成を示すブロック図である。
【図３】電源切換部の構成を示すブロック図である。
【図４】主制御部３１の処理を示すフローチャートである。
【図５】電源切換部の構成を示す図である。
【図６】電源切換部の構成を示す図である。
【図７】検出スイッチ等を示す図である。
【図８】検出スイッチ等を示す図である。
【図９】主制御部３１の処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明するが、本発明はこれらの実施形態には限定されない。図１は本実施形態によるターボ分子ポンプ１の概略構成を示す断面図である。ターボ分子ポンプ１は、ポンプユニット２０と、コントロールユニット３０とを備える。ターボ分子ポンプ１は、電源（コントロールユニット）一体型のターボ分子ポンプであり、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とは、例えばボルト等の結合部材を介して相互に接続されている。図１においては、説明のため、ポンプユニット２０については構造の断面を示し、コントロールユニット３０については機能ブロック図を示す。
【００２８】
まず、ポンプユニット２０について説明する。ロータ２が取り付けられたシャフト３は、ベース４に設けられた電磁石５１、５２によって非接触支持されている。シャフト３の浮上位置は、ベース４に設けられたラジアル変位センサ７１およびアキシャル変位センサ７２によって検出される。ラジアル磁気軸受を構成する電磁石５１と、アキシャル磁気軸受を構成する電磁石５２と、変位センサ７１、７２とで５軸制御型磁気軸受が構成される。なお、磁気軸受が作動していない状態では、シャフト３はメカニカルベアリング２７、２８によって支持される。
【００２９】
シャフト３の下端には円形のロータディスク４１が設けられており、ロータディスク４１を上下に挟むように電磁石５２が設けられている。電磁石５２によりロータディスク４１を吸引することによりシャフト３がアキシャル方向に浮上する。ロータディスク４１はナット部材４２によりシャフト３の下端部に固定されている。ベース４の底面には裏蓋４３が図示しないボルトによって固定されている。裏蓋４３とベース４との隙間はＯリングにより密封されている。
【００３０】
ロータ２には、回転軸方向に複数段の回転翼８が形成されている。上下に並んだ回転翼８の間には固定翼９がそれぞれ配設されている。これらの回転翼８と固定翼９とにより、ポンプユニット２０のタービン翼段が構成される。各固定翼９は、スペーサ１０によって上下に挟持されるように保持されている。スペーサ１０は、固定翼９を保持する機能とともに、固定翼９間のギャップを所定間隔に維持する機能を有している。
【００３１】
固定翼９の後段（図示下方）にはドラッグポンプ段を構成するネジステータ１１が設けられており、ネジステータ１１の内周面とロータ２の円筒部１２との間にはギャップが形成されている。ロータ２と、スペーサ１０によって保持された固定翼９とは、吸気口１３ａが形成されたケーシング１３内に納められている。ロータ２が取り付けられたシャフト３を電磁石５１、５２により非接触支持しつつモータ６により回転駆動すると、吸気口１３ａ側のガスは背圧側に排気され、背圧側に排気されたガスは排気口２６に接続された補助ポンプにより排出される。
【００３２】
ポンプユニット２０を駆動制御するコントロールユニット３０には、主制御部３１、磁気軸受駆動制御部３２、モータ駆動制御部３３、および、警報部３４等が設けられており、それらは、ケース３８内に収納されている。また、図示しない入力部には電源スイッチ、ポンプスタートスイッチや、データを入力するための入力ボタン等が設けられている。
【００３３】
磁気軸受駆動制御部３２は、主制御部３１の指令に基づいて、ポンプユニット２０に設けられた磁気軸受を駆動制御する。モータ駆動制御部３３は、主制御部３１の指令に基づいて、ポンプユニット２０のモータ６を駆動制御する。磁気軸受駆動制御部３２及びモータ駆動制御部３３からの制御信号ラインはコネクタ６０を介してポンプユニット２０内へと配線されている。警報部３４は、主制御部３１の指令に基づいて、ポンプユニット２０やコントロールユニット３０に異常が発生した場合に警報を発する。そのため、警報部３４は、警告音を発生するスピーカや警告を表示する表示装置等を有する。
【００３４】
ところで、ポンプユニット２０をオーバーホールする際には、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とを締結している図示しないボルトを外し、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とを分離、分解する。その後、ポンプユニット２０の裏蓋４３を外し、ロータディスク４１をシャフト３に固定しているナット部材４２を外して、ロータディスク４１をシャフト３から抜き取ることで、ロータ２およびシャフト３からなる回転体をポンプユニット２０から取り外す。
【００３５】
例えば、ロータ２に固着した生成物の除去作業の場合には、ロータ２をシャフト３から外して除去作業を行った後、ロータ２をシャフト３に組み付けた後にバランス取りを行い、上述した手順とは逆の手順で回転体をポンプユニット２０に取り付ける。このような分解・組み立て作業を行うには特殊な技能を必要とするので、通常は、メーカーやメーカーの指定するメンテナンス業者においてメンテナンス作業が行われる。
【００３６】
ロータ２やシャフト３をポンプユニット２０から取り外す作業には特殊な工具を必要としないので、ユーザ側において容易に分解・組み立てを行うことが可能である。しかしながら、ユーザで組み立てた場合、回転体のバランスが崩れたり、部品間のクリアランスが保てない等によって、ポンプの信頼性低下を招くという問題がある。
【００３７】
そこで、本実施形態のターボ分子ポンプ１では、ポンプユニット２０を起動させる際に、これまでにポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離されたか否かを判断し、分離されたと判断した場合には、警報処理を実行すると共に、ポンプユニット２０の動作を禁止する。そして、所定の手順を実行しない限り、再度ポンプユニット２０を動作開始できないようにする。これを実現するために、コントロールユニット３０は、図２、図３に示すように、第１データ管理部３５と、第２データ管理部３６と、第１データ管理部３５及び第２データ管理部３６に電源電圧を供給する電源供給部（例えば、電池等のバッテリ）３７とを備える。電源供給部３７は、ターボ分子ポンプ１が電源オフ状態であっても、常時、電源電圧を供給する。第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とは、最初は双方同じデータを同じ時点で保持している。このデータは、例えば、主制御部３１から第１データ管理部３５及び第２データ管理部３６に与えられる。第１データ管理部３５は、コントロールユニット３０がポンプユニット２０に接続され（結合され、一体化され、あるいは、組み立てられ）ているとき、及び、接続されていないときの両方において、時間の経過と共に第１データ管理部３５の内部で管理するデータを更新する。一方、第２データ管理部３６は、コントロールユニット３０がポンプユニット２０に接続されているとき、第２データ管理部３６の内部で管理するデータを第１データ管理部３５と同じ態様で更新するが、コントロールユニット３０がポンプユニット２０に接続されていないとき、データを更新しない（データを更新しないという意味には、データをリセットするという意味も含まれる）。
【００３８】
ここで、「同じ態様でデータを更新」とは、第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とが、同じ時点で同じデータを保持している状態から、時間が経過しても、これらの更新処理の経過時間が同じであれば（すなわち、第２データ管理部３６がデータを更新しない期間が存在しない限り）同じデータを管理するように、データを更新することを意味する。例えば、第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とが最初ある時点で「Ａ」というデータを管理しており、そのＴ１時間経過後、第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とが共にデータを「Ａ」から「Ｂ」に更新し、さらにそのＴ２時間経過後、第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とが共にデータを「Ｂ」から「Ｃ」に更新する。
【００３９】
従って、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが接続されているとき、第１データ管理部３５が管理するデータと第２データ管理部３６が管理するデータとは同じである。一方、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離されると、第１データ管理部３５が管理するデータと第２データ管理部３６が管理するデータとは異なるようになる。例えば、上記の例において、Ｔ１時間経過するまではポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが接続されており、第１データ管理部３５及び第２データ管理部３６が管理するデータは共に「Ｂ」であったが、その後、Ｔ２時間経過する際にポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離されていれば、第１データ管理部３５のデータは「Ｂ」から「Ｃ」に更新されるものの、第２データ管理部３６のデータは「Ｂ」のままである（あるいは初期値の「Ａ」にリセットされてもよい）。
【００４０】
なお、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離された後、再度ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが接続されたとしても、第１データ管理部３５が管理するデータと第２データ管理部３６が管理するデータとは、一度異なってしまうと、その後は、異なったままである。従って、第１データ管理部３５のデータと第２データ管理部３６のデータとを比較することによって、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離されたか否かを判断することができる。
【００４１】
より具体的には、コントロールユニット３０は、電源切換部（詳細は後述する。）をさらに備える。電源切換部は、コントロールユニット３０がポンプユニット２０に接続されているとき電源供給部３７からの電源電圧を第２データ管理部３６に供給し、コントロールユニット３０がポンプユニット２０に接続されていないとき電源供給部３７からの電源電圧を第２データ管理部３６に供給しないように制御する。第２データ管理部３６は、電源供給部３７からの電源電圧が供給されるときデータを更新するが、電源供給部３７からの電源電圧が供給されないときデータを更新しない。なお、第１データ管理部３５には、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが接続されているとき、及び、接続されていないときの両方において、電源供給部３７からの電源電圧が供給される。従って、第１データ管理部３５は、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが接続されているとき、及び、接続されていないときの両方において、データを更新する。
【００４２】
主制御部３１は、第１データ管理部３５によって管理されているデータと、第２データ管理部３６によって管理されているデータとに基づいて（例えばこれらのデータを比較することによって）、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から取り外されたか否かを判断する。すなわち、主制御部３１は、第１データ管理部３５によって管理されているデータと第２データ管理部３６によって管理されているデータとが異なるとき、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から取り外されたと判断し、第１データ管理部３５によって管理されているデータと第２データ管理部３６によって管理されているデータとが同じであるとき、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から取り外されなかったと判断する。
【００４３】
その結果、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離、分解されない限り、第１データ管理部３５および第２データ管理部３６によって管理されているデータは同じであるので、この判断結果に基づいて、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から取り外されなかったと判断することができる。一方、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離、分解された場合、第１データ管理部３５および第２データ管理部３６によって管理されているデータが異なるので、この判断結果に基づいて、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から取り外されたと判断することができる。主制御部３１は、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から取り外されたと判断した場合には、ポンプユニット２０の駆動を禁止するように制御すると共に、警報部３４にユーザに対して警報処理を実行させる。
【００４４】
ここで、電源切換部の一実施例について説明する。電源切換部は、コントロールユニット３０内に配され、電源供給部３７からの電源電圧を第２データ管理部３６に供給するための電源電圧ライン６０を含む。電源ライン６０は、コネクタ６１に電気的に接続されており、コネクタ６１を介してポンプユニット２０の電源電圧ライン６１に電気的に接続可能である。なお、ポンプユニット２０内の電源電圧ラインもコネクタ内に設けられていてもよい。ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが接続されているとき、図２に示すように、電源電圧ライン６０は、ポンプユニット２０内に配された電源電圧ライン６１と電気的に接続（すなわち導通）されることにより、第２データ管理部３６への電源電圧ラインが導通状態とされる。すなわち、電源供給部３７から、コントロールユニット３０の電源電圧ライン６０、ポンプユニット２０の電源電圧ライン６１、及び、コントロールユニット３０の電源電圧ライン６０を経由して第２データ管理部３６へと続く経路が導通する。従って、電源供給部３７からの電源電圧が、ポンプユニット２０内に設けられた電源供給ライン６１を経由して、第２データ管理部３６に供給される。一方、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが接続されていないとき、図３に示すように、電源電圧ライン６０が、ポンプユニット２０内に配された電源電圧ライン６１と電気的に接続（すなわち導通）されないことにより、第２データ管理部３６への電源電圧ラインが開放状態とされる。すなわち、電源供給部３７からの電源電圧ラインは、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０との分離によって、切断される。従って、電源供給部３７からの電源電圧が、第２データ管理部３６に供給されない。
【００４５】
特に限定されないが、好ましくは、第１データ管理部３５及び第２データ管理部３６において管理、更新されるデータは時間情報である。時間情報とは、例えば、日時（すなわち日付（年月日）及び時刻）情報、あるいは、単に計時開始時からの経過時間が採用され得る。第１データ管理部３５及び第２データ管理部３６は、最初同じ時間情報を同じ時点で管理している。第１データ管理部３５は、コントロールユニット３０がポンプユニット２０に接続されているとき、及び、接続されていないときの両方において、時間情報を計時（カウント）する。第２データ管理部３６は、コントロールユニット３０がポンプユニット２０に接続されているとき、第１データ管理部３５と同じ態様で時間情報を計時するが、コントロールユニット３０がポンプユニット２０に接続されていないとき、時間情報を計時しない。
【００４６】
ここで、「同じ態様で時間情報を計時」とは、第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とが、同じ時点で同じ時間情報を保持している状態から、時間が経過しても、これらの計時処理の経過時間が同じであれば（すなわち、第２データ管理部３６が時間情報を計時しない期間が存在しない限り）同じ時間情報を管理するように、時間情報を計時することを意味する。すなわち、第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とにおいて、時間計時のクロック周波数が概略同じであることを意味する。例えば、第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とが最初ある時点で「Ｔ０」という時間情報を管理しており、そのＴ１時間経過後、第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とが共に時間情報を「Ｔ０」から「Ｔ０＋Ｔ１」に更新し、さらにそのＴ２時間経過後、第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とが共に時間情報を「Ｔ０＋Ｔ１」から「Ｔ０＋Ｔ１＋Ｔ２」に更新する。
【００４７】
主制御部３１は、第１データ管理部３５によって計時されている時間情報と、第２データ管理部３６によって計時されている時間情報とを比較することによって、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から取り外されたか否かを判断する。すなわち、主制御部３１は、第１データ管理部３５によって計時されている時間情報と第２データ管理部３６によって計時されている時間情報とが異なる（好ましくは、これらの時間情報の差が所定の閾値以上である）とき、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から取り外されたと判断する。一方、第１データ管理部３５によって計時されている時間情報と第２データ管理部３６によって計時されている時間情報とが同じ（好ましくは、これらの時間情報の差が所定の閾値未満）であるとき、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から取り外されなかったと判断する。
【００４８】
以上の構成を有するターボ分子ポンプ１について、その動作を説明する。本例では、データが時間情報の場合を例に説明するが、その他のデータの場合も同様である。第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とは、最初、同時刻に同じ時間情報を保持しており、それぞれこの状態から計時処理を開始する。例えば、主制御部３１から第１データ管理部３５および第２データ管理部３６に基準時間情報を与える。この基準時間情報は、例えば、主制御部３１が管理している現在の日時情報である（例えば、２０１２年６月１日１０時３０分１５秒）。第１データ管理部３５および第２データ管理部３６は、主制御部３１から取得した基準時間情報を最初の時間情報として、自身のクロック信号を利用して計時処理を開始する。あるいは、第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とは、同時に時間情報をリセットすることによって、同じ時間情報を保持してもよい。
【００４９】
従って、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離されない限り、第１データ管理部３５と第２データ管理部３６とは共に時間情報の計時を継続するので、第１データ管理部３５が計時する時間情報と、第２データ管理部３６が計時する時間情報とは概略一致する（双方のクロック周波数によって若干の誤差が生じることもある）。一方、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離されると、第１データ管理部３５は電源電圧が供給されて、時間情報の計時を継続するが、第２データ管理部３６は電源電圧が供給されなくなり、時間情報の計時を停止する。（このとき、第２データ管理部３６は、電源電圧が供給されなくなったときの時間情報を保持してもよいし、所定の初期値（例えば、２０００年１月１日００時００分００秒）にリセットしてもよい。）従って、第１データ管理部３５が計時する時間情報と、第２データ管理部３６が計時する時間情報とは一致しなくなる。
【００５０】
図４は、主制御部３１の判断処理を示すフローチャートである。コントロールユニット３０が電源オン状態になって起動すると（Ｓ１）、主制御部３１は、第１データ管理部３５および第２データ管理部３６にアクセスし、これらが管理している時間情報を読み出す（Ｓ２）。
【００５１】
主制御部３１は、第２データ管理部３６から時間情報を読み出すことができたか否かを判断する（Ｓ３）。ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが現在分離されている場合、第２データ管理部３６には電源供給部３７からの電源電圧が供給されていないので、第２データ管理部３６は動作しておらず、その結果、主制御部３１は第２データ管理部３６から時間情報を読み出すことができない。従って、第２データ管理部３６から時間情報を読み出すことができない場合（Ｓ３でＮＯ）、主制御部３１は、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが現在分離されていると判断し、警報部３４に警報処理を実行させる（Ｓ６）。さらに、主制御部３１は、ポンプユニット２０の動作を禁止状態とする（Ｓ７）。例えば、主制御部３１は、モータ制御部３３の制御を停止し、ポンプユニット２０の動作を強制的に停止させる。
【００５２】
一方、Ｓ３において、第２データ管理部３６から時間情報を読み出すことができたと判断された場合（Ｓ３でＹＥＳ）、主制御部３１は、第１データ管理部３５から読み出した時間情報と、第２データ管理部３６から読み出した時間情報との差を算出し、算出された差が所定の閾値未満であるか否かを判断する（Ｓ４）。なお、所定の閾値は予めターボ分子ポンプ１の製造者によって主制御部３１のメモリに格納されている。第１データ管理部３５から読み出した時間情報と、第２データ管理部３６から読み出した時間情報との差が所定の閾値以上であると判断された場合（Ｓ４でＮＯ）、主制御部３１は、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離されたことがあることを判断する。その結果、主制御部３１は、警報部３４に警報処理を実行させる（Ｓ６）。さらに、主制御部３１は、ポンプユニット２０の動作を禁止状態とする（Ｓ７）。例えば、主制御部３１は、モータ制御部３３の制御を停止し、ポンプユニット２０の動作を強制的に停止させる。
【００５３】
一方、Ｓ４において、第１データ管理部３５から読み出した時間情報と、第２データ管理部３６から読み出した時間情報との差が所定の閾値未満であると判断された場合（Ｓ４でＹＥＳ）、主制御部３１は、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離されなかったと判断する。従って、主制御部３１は、通常の起動処理を実行し、ポンプユニット２０の動作を開始させる（Ｓ５）。
【００５４】
以上のように、本実施形態によると、第１データ管理部のデータ（例えば時間情報）と、第２データ管理部のデータとを比較することによって、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から分離されたか否かを判断することができる。
【００５５】
次に本発明の別の好ましい実施形態を説明する。本実施形態においては、電源切換部の構成が先の実施形態と異なり、その他の構成は同じであるので、説明を援用する。図５、図６は、本実施形態による電源切換部を示すブロック図である。電源切換部は、検出スイッチ４５を含む。検出スイッチ４５は、コントローラ３０のケース上面に形成された凹部内に配置されている。図５に示すように、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが接続されているとき、ポンプユニット２０の底面部によって検出スイッチ４５が押し込まれ、検出スイッチ４５はオン状態となっている。一方、図６に示すように、ポンプユニット２０とコントローラユニット３０とが分離されているとき、ポンプユニット２０の底面部によって検出スイッチ４５が押し込まれず、検出スイッチ４５はオフ状態になっている。
【００５６】
図７、図８は、検出スイッチ４５を含む、電源電圧ラインを示す図である。ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが接続されており、検出スイッチ４５がオン状態のとき、図７に示すように、電源供給部３７から第２データ管理部３６への電源電圧ラインは検出スイッチ４５を介して導通する。従って、電源供給部３７からの電源電圧が第２データ管理部３６に供給される。一方、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離されており、検出スイッチ４５がオフ状態のとき、図８に示すように、電源供給部３７から第２データ管理部３６への電源電圧ラインは検出スイッチ４５によって開放される。従って、電源供給部３７からの電源電圧は、第２データ管理部３６には供給されない。
【００５７】
次に、本発明のさらに別の好ましい実施形態を説明する。本実施形態においては、上記の各実施形態と比較して、以下の構成が異なっており、その他の構成は同じである。主制御部３１は、第１データ管理部３５および第２データ管理部３６に、同一のデータを供給し、保持させる。このデータは、任意の適切な文字列、数字列、記号列等であればよい。第１データ管理部３５は、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが接続されているとき、及び、接続されていないときの両方において、電源供給部３７からの電源電圧が供給されて、主制御部３１から供給されたデータを保持し続ける。第２データ管理部３６は、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが接続されているとき、電源供給部３７からの電源電圧が供給されて、主制御部３１から供給されたデータを保持し続けるが、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離されたとき、電源供給部３７からの電源電圧が供給されなくなり、その結果、主制御部３１から供給されたデータを初期データにリセットする（あるいは、主制御部３１から供給されたデータ消去する、これらを総称して「保持しない」という）。
【００５８】
主制御部３１は、第１データ管理部３５によって管理されているデータと、第２データ管理部によって管理されているデータとに基づいて、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から取り外されたか否かを判断する。すなわち、第１データ管理部３５のデータおよび第２データ管理部３６のデータが同じである場合、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から取り外されなかったと判断される。一方、第１データ管理部３５のデータおよび第２データ管理部３６のデータが異なる（あるいは、第２データ管理部３６のデータが消去されている）場合、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から取り外されたと判断される。
【００５９】
図９は、本実施形態における主制御部３１の判断処理を示すフローチャートである。コントロールユニット３０が電源オン状態になって起動すると（Ｓ１１）、主制御部３１は、第１データ管理部３５および第２データ管理部３６にアクセスし、これらが管理しているデータを読み出す（Ｓ１２）。
【００６０】
主制御部３１は、第２データ管理部３６からデータを読み出すことができたか否かを判断する（Ｓ１３）。ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが現在分離されている場合、第２データ管理部３６には電源供給部３７からの電源電圧が供給されていないので、第２データ管理部３６は動作しておらず、その結果、主制御部３１は第２データ管理部３６からデータを読み出すことができない。従って、第２データ管理部３６からデータを読み出すことができない場合（Ｓ１３でＮＯ）、主制御部３１は、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが現在分離されていると判断し、警報部３４に警報処理を実行させる（Ｓ１６）。さらに、主制御部３１は、ポンプユニット２０の動作を禁止状態とする（Ｓ１７）。例えば、主制御部３１は、モータ制御部３３の制御を停止し、ポンプユニット２０の動作を強制的に停止させる。
【００６１】
一方、Ｓ１３において、第２データ管理部３６からデータを読み出すことができた場合（Ｓ１３でＹＥＳ）、主制御部３１は、第１データ管理部３５から読み出したデータと、第２データ管理部３６から読み出したデータとが同じであるか否かを判断する（Ｓ１４）。第１データ管理部３５から読み出したデータと、第２データ管理部３６から読み出したデータとが異なる（あるいは第２データ管理部３６のデータは消去されている）と判断された場合（Ｓ１４でＮＯ）、主制御部３１は、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離されたと判断する。その結果、主制御部３１は、警報部３４に警報処理を実行させる（Ｓ１６）。さらに、主制御部３１は、ポンプユニット２０の動作を禁止状態とする（Ｓ１７）。例えば、主制御部３１は、モータ制御部３３の制御を停止し、ポンプユニット２０の動作を強制的に停止させる。
【００６２】
一方、Ｓ１４において、第１データ管理部３５から読み出したデータと、第２データ管理部３６から読み出したデータとが同じであると判断された場合（Ｓ１４でＹＥＳ）、主制御部３１は、ポンプユニット２０とコントロールユニット３０とが分離されなかったと判断する。従って、主制御部３１は、通常の起動処理を実行し、ポンプユニット２０の動作を開始させる（Ｓ１５）。
【００６３】
以上のように、本実施形態においても、第１データ管理部３５のデータと、第２データ管理部３６のデータとを比較することによって、コントロールユニット３０がポンプユニット２０から分離されたか否かを判断することができる。
【００６４】
以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明はこれらの実施形態には限定されない。例えば、本実施形態においては、磁気軸受式のターボ分子ポンプを例に説明したが、磁気軸受式以外にも本発明は適用可能である。さらに、ターボ分子ポンプに限らず電源一体型の真空ポンプであれば、ドラッグポンプのような真空ポンプにも同様に適用することができる。また、主制御部３１の上記判断処理を主制御部３１に実行させるためのコンピュータプログラム、及び、それを格納した記憶媒体という形態で提供されても良い。すなわち、主制御部３１の動作プログラムを後から主制御部３１にファームウェアアップデートする場合にも適用される。
【符号の説明】
【００６５】
１      ターボ分子ポンプ
２      ロータ
８      回転翼
９      固定翼
１１    ネジステータ
１２    円筒部
２０    ポンプユニット
３０    コントロールユニット
３１    主制御部
３２    磁気軸受駆動制御部
３３    モータ駆動制御部
３４    警報部
３５    第１データ管理部
３６    第２データ管理部
３７    電源供給部
６０    電源供給ライン
６１    電源供給ライン
【図１】
2014009642.tif 000003
【図２】
2014009642.tif 000004
【図３】
2014009642.tif 000005
【図４】
2014009642.tif 000006
【図５】
2014009642.tif 000007
【図６】
2014009642.tif 000008
【図７】
2014009642.tif 000009
【図８】
2014009642.tif 000010
【図９】
2014009642.tif 000011