(57)【要約】【課題】微細かつ高アスペクト比の配線パターンを形成することができる感光性ペーストの提供。【解決手段】１種またはそれ以上の光反応性モノマーおよび１種またはそれ以上のアルカリ可溶性ポリマーを含む感光性ペーストにおいて、上記光反応性モノマーの硬化性官能基の数を４つ以上とし、上記アルカリ可溶性ポリマーに、炭素原子数が８以上のアルキル基を含む側鎖を導入し、かつ、上記アルカリ可溶性ポリマーの酸価を２０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
１種またはそれ以上の光反応性モノマーおよび１種またはそれ以上のアルカリ可溶性ポリマーを含む感光性ペーストであって、
前記光反応性モノマーが、４つ以上の硬化性官能基を有し、
前記アルカリ可溶性ポリマーが、炭素原子数が８以上のアルキル基を含む側鎖を有し、かつ、酸価が２０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上であること
を特徴とする感光性ペースト。
【請求項２】
アルカリ可溶性ポリマーが、下記式（Ｉ）：
【化１】
2014228793.tif 000011
［式中：
Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立して、水素原子または炭素原子数が１〜４のアルキル基であり；
Ｒ４は、炭素原子数が１〜４のアルキル基であり；
Ｒ５は、リンカー基であり；
Ｒ６は、１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい炭素原子数が８以上のアルキル基であり；
ｌ、ｍおよびｎは、それぞれ独立して、１以上３０００以下の整数であり；
添字ｌ、ｍまたはｎを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
で示されるポリマーである、請求項１に記載の感光性ペースト。
【請求項３】
アルカリ可溶性ポリマーが、下記式（Ｉａ）：
【化２】
2014228793.tif 000012
［式中：
Ｒ７は、１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい炭素原子数が６以上のアルキル基であり；
ｌ、ｍおよびｎは、それぞれ独立して、１以上３０００以下の整数であり；
添字ｌ、ｍまたはｎを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は、式中において任意である。］
で示されるポリマーである、請求項１または２に記載の感光性ペースト。
【請求項４】
アルカリ可溶性ポリマーが、エチレン性不飽和基を含む、請求項１〜３のいずれかに記載の感光性ペースト。
【請求項５】
光反応性モノマーが、ペンタエリスリトールまたはジペンタエリスリトールとアクリル酸またはメタクリル酸とのエステル化合物、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレートおよびジトリメチロールプロパンテトラメタクリレートからなる群から選択される化合物である、請求項１〜４のいずれかに記載の感光性ペースト。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性ペーストに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品の小型化の要求に伴い、微細加工が可能で、精度に優れた電子部品の製造技術が要求されている。例えば、積層コイル部品の製造技術として、微細加工に適したフォトリソグラフィー技術により、感光性ガラスペーストと感光性導電ペーストを順次、塗布／露光／現像して積層体を得、これを焼結して積層コイル部品を製造する方法が知られている。積層型コイル部品はますます小型化される傾向にあり、感光性ペーストに関しても、より微細な加工ができること、例えば微細かつ高アスペクト比の配線パターンが形成できることが望まれている。
【０００３】
特許文献１には、無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とし、厚さ４０μｍあたりの全光線透過率が５０％以上である感光性ペーストが開示されている。特許文献１は、かかる感光性ペーストを用いることにより、高アスペクト比かつ高精度のパターン加工が可能になるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−７４３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の実施例によると、光反応性モノマーとして、式（ａ）：
【化１】
2014228793.tif 000002
で示されるＴＭＰＴＡ（トリメチロールプロパントリアクリレート）または式（ｂ）：
【化２】
2014228793.tif 000003
で示されるＢＭＥＸＳ−ＭＡ等が用いられている。しかしながら、これらの光反応性モノマーは硬化性官能基が少なく、硬化物の架橋密度が低くなり、現像の際に硬化物が現像液に流れ出してしまい、微細かつ高アスペクト比の配線パターンを形成するには十分ではないと考えられる。
【０００６】
上記の問題を解決するために、光反応性モノマーの硬化性官能基の数を増やして架橋密度を高めることが考えられる。このように光反応性モノマーの硬化性官能基を増やすと、現像液が硬化物中に浸透しにくくなり、現像による硬化物の流出を抑制することができる。しかしながら、光反応性モノマーの硬化性官能基の数が多いと、未硬化部分のモノマーが現像液に膨潤しにくくなって現像性が低下し、その結果、微細な配線パターンを形成するのが困難になるという新たな問題が生じることが分かった。このように、光反応性モノマーの硬化性官能基の数を調整して高い架橋密度と高い現像性とを両立することは難しく、特許文献１に開示された技術では、微細かつ高アスペクト比の配線パターンを形成するには十分でない。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、上記問題を解消すべく鋭意検討した結果、感光性ペーストにおいて、光反応性モノマーの硬化性官能基の数を４つ以上として架橋密度を上げつつ、アルカリ可溶性ポリマーの側鎖に炭素原子数が８以上のアルキル基を導入し、かつ、酸価を２０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上として現像性を高めることにより、微細かつ高アスペクト比の配線パターンを形成することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】
本発明の要旨によれば、１種またはそれ以上の光反応性モノマーおよび１種またはそれ以上のアルカリ可溶性ポリマーを含む感光性ペーストであって、
上記光反応性モノマーが、４つ以上の硬化性官能基を有し、
上記アルカリ可溶性ポリマーが、炭素原子数が８以上のアルキル基を含む側鎖を有し、かつ、酸価が２０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上であること
を特徴とする感光性ペーストが提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、４つ以上の硬化性官能基を有する光反応性モノマーと、炭素原子数が８以上のアルキル基を含む側鎖を有し、酸価が２０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上であるアルカリ可溶性ポリマーとを用いることにより、微細かつ高アスペクト比の配線パターンを形成することができる感光性ペーストが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施例において形成された配線パターンを模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の感光性ペーストは、４つ以上の硬化性官能基を有する光反応性モノマー、および炭素原子数が８以上のアルキル基を含む側鎖を有し、かつ、酸価が２０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上であるアルカリ可溶性ポリマーを含む。
【００１２】
本発明の感光性ペーストに用いられる光反応性モノマーは、４つ以上、好ましくは５つ以上、さらに好ましくは６つ以上の硬化性官能基を有する。４つ以上の硬化性官能基を有することにより、光照射により感光性ペーストを硬化した際、より高い架橋密度を得ることができる。当該光反応性モノマーは２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１３】
硬化性官能基とは、光照射により重合反応および／または架橋反応を起こし得る官能基を意味する。硬化性官能基の例としては、特に限定されるものではないが、アクリロイル基、メタアクリロイル基、ビニル基、アリル基等のエチレン性二重結合を含む官能基およびエポキシ基等が挙げられる。
【００１４】
本発明の感光性ペーストに用いられる光反応性モノマーの例としては、特に限定されないが、ペンタエリスリトールまたはジペンタエリスリトールとアクリル酸またはメタクリル酸とのエステル化合物（例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート等）、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラメタクリレート等が挙げられる。これらは２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１５】
本発明の感光性ペーストに用いられるアルカリ可溶性ポリマーは、炭素原子数が８以上、好ましくは炭素原子数が１３以上、より好ましくは炭素原子数が１８以上であるアルキル基を含む側鎖を有する。アルカリ可溶性ポリマーの側鎖に炭素原子数が８以上のアルキル基を導入することにより、アルカリ可溶性ポリマーのガラス転移温度が下がり、現像液が感光性ペーストに浸透しやすくなり、現像性が向上する。また、当該アルキル基は、アルカリ可溶性ポリマーの溶剤への溶解性、分散性、またはガラス転移点の観点から、炭素原子数が３０以下であることが好ましく、２４以下であることがより好ましい。当該アルキル基は、直鎖、分枝鎖または環状であってもよい。
【００１６】
また、上記アルカリ可溶性ポリマーは、酸価が２０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上、好ましくは７０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上、より好ましくは１２０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上である。アルカリ可溶性ポリマーの酸価を２０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上とすることにより、アルカリ可溶性ポリマーのアルカリ現像液への溶解度が高くなり、現像性が向上する。なお、酸価とは、アルカリ可溶性ポリマーの試料１ｇ中に含まれる酸（例えば、分子末端に存在するカルボキシル基）を中和するために必要な水酸化カリウムのミリグラム数をいう。酸価は、ＪＩＳ Ｋ ００７０に従って測定される。
【００１７】
このように、炭素原子数が８以上のアルキル基を含む側鎖を有し、かつ、酸価が２０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上であるアルカリ可溶性ポリマーを用いることにより、硬化物が高い架橋密度を有している場合であっても、高い現像性を確保することができる。なお、アルカリ可溶性ポリマーは２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１８】
上記アルカリ可溶性ポリマーとしては、限定するものではないが、例えば、カルボキシル基を有するアクリル系共重合体を主鎖構造とするポリマーが好ましい。このようなカルボキシル基を有するアクリル系共重合体の主鎖構造は、例えば、不飽和カルボン酸とエチレン性不飽和化合物を共重合させることにより形成することができる。
【００１９】
上記不飽和カルボン酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸およびこれらの無水物などが挙げられる。上記エチレン性不飽和化合物としては、アクリル酸メチルおよびアクリル酸エチルなどのアクリル酸エステル、メタクリル酸メチルおよびメタクリル酸エチルなどのメタクリル酸エステル、フマル酸モノエチルなどのフマル酸エステル、ならびにスチレン等が挙げられる。
【００２０】
炭素原子数が８以上のアルキル基を含む側鎖は、自体公知の化学反応、例えば付加反応、縮合反応等を利用して、主鎖構造を有するポリマーに導入することができる。例えば、アルカリ可溶性ポリマーの主鎖構造がカルボキシル基を有する場合、エポキシ基の開環付加反応、またはカルボキシル基と反応可能な官能基、例えばヒドロキシル基、チオール基、アミノ基等との縮合反応を利用することができる。
【００２１】
上記アルカリ可溶性ポリマーの重量平均分子量は、特に限定するものではないが、約１０，０００〜約６０，０００であり、好ましくは約１０，０００〜約５０，０００、より好ましくは約２０，０００〜約３０，０００である。当該アルカリ可溶性ポリマーの重量平均分子量を約１０，０００以上とすることにより、露光部の光硬化反応の進行を促進し、光硬化反応の不足による現像時のパターンの剥離や欠けを防止することができる。また、当該アルカリ可溶性ポリマーの重量平均分子量を約６０，０００以下とすることにより、現像時間を短くすることができる。
【００２２】
好ましくは、上記アルカリ可溶性ポリマーは、下記式（Ｉ）：
【化３】
2014228793.tif 000004
で示されるポリマーである。
【００２３】
上記式（Ｉ）中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立して、水素原子または炭素原子数が１〜４のアルキル基である。炭素原子数が１〜４のアルキル基は、直鎖であっても分枝鎖であってもよく、具体的には、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉｓｏ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｉｓｏ−ブチル基またはｔｅｒｔ−ブチル基である。好ましくは、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３の１つまたはそれ以上はメチル基であり、より好ましくは、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３はすべてメチル基である。
【００２４】
上記式（Ｉ）中、Ｒ４は炭素原子数が１〜４のアルキル基である。当該炭素原子数が１〜４のアルキル基としては、上記と同様のものが挙げられ、好ましくはメチル基である。
【００２５】
上記式（Ｉ）中、Ｒ５はリンカー基である。当該リンカー基としては、特に限定されるものではないが、例えば、−Ｃ（Ｏ）−、−ＮＲ−（式中、ＲはＣ１−６アルキルである）、−Ｏ−、−Ｓ−、−Ｃ（Ｓ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−、−Ｃ（Ｏ）ＮＨ−、−ＮＨＣ（Ｏ）ＮＨ−、−ＮＨＣ（Ｓ）ＮＨ−等が挙げられ、好ましくは−Ｃ（Ｏ）−である。
【００２６】
上記式（Ｉ）中、Ｒ６は、１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい炭素原子数が８以上、好ましくは炭素原子数が１３以上、より好ましくは炭素原子数が１８以上のアルキル基である。当該アルキル基は、直鎖、分枝鎖または環状のいずれであってもよく、また、アルキル鎖の１個またはそれ以上の炭素炭素単結合が、炭素炭素二重結合であってもよい（即ち、アルケニル基等であってもよい）。さらに、当該アルキル基は、その分子鎖中または末端に、１つまたはそれ以上の−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ−（式中、ＲはＣ１−６アルキルである）、アミド、スルホニル等を有していてもよい。
【００２７】
上記Ｒ６のアルキル基の置換基としては、特に限定されないが、酸素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、Ｃ１−６アルケニル基、Ｃ３−１６シクロアルキル基、Ｃ３−１６シクロアルケニル基、Ｃ６−１６ヘテロシクロアルキル基、Ｃ６−１６ヘテロシクロアルケニル基、Ｃ６−１６アリール基、Ｃ６−１６ヘテロアリール基、Ｃ１−６アルコキシ基、Ｃ６−６アリールオキシ基、Ｃ１−６アルキルチオ基等が挙げられる。中でも、より高い架橋密度を得ることができることから、エチレン性不飽和結合を有する基、例えばＣ１−６アルケニル基が好ましい。
【００２８】
上記式（Ｉ）中、ｌ、ｍおよびｎは、それぞれ独立して、１以上３，０００以下の整数であり、好ましくは、１０以上１０００以下の整数である。また、０．０１≦（ｌ／/ｌ＋ｍ＋ｎ)＜０．８が好ましく、０．０１≦（ｌ／/ｌ＋ｍ＋ｎ)＜０．６であることがより好ましい。添字ｌ、ｍまたはｎを付して括弧でくくられた各繰り返し単位の存在順序は任意である。
【００２９】
より好ましくは、アルカリ可溶性ポリマーは、下記式（Ｉａ）： 
【化４】
2014228793.tif 000005
で示されるポリマーである。
【００３０】
上記式（Ｉａ）中、Ｒ７は、１個またはそれ以上の置換基により置換されていてもよい炭素原子数が６以上、好ましくは炭素原子数が１１以上、より好ましくは炭素原子数が１６以上のアルキル基である。
【００３１】
上記Ｒ７のアルキル基の置換基としては、上記式（Ｉ）のＲ６のアルキル基の置換基と同様のものが挙げられる。
【００３２】
上記式（Ｉａ）中、ｌ、ｍおよびｎは、上記式（Ｉ）の記載と同意義である。
【００３３】
上記式（Ｉａ）で示される化合物は、メタクリル酸およびメタクリル酸メチルを共重合させてメタクリル酸−メタクリル酸メチル共重合体を得、これを式（ＩＩ）：
【化５】
2014228793.tif 000006
［式中、Ｒ７は、式（Ｉａ）の記載と同意義である。］
で示されるエポキシ誘導体と反応させることにより得ることができる。
【００３４】
使用するメタクリル酸、メタクリル酸メチルおよび式（ＩＩ）で示されるエポキシ誘導体の量は、所望の酸価、アルキル側鎖の数等に応じて適宜決定することができる。
【００３５】
上記アルカリ可溶性ポリマーと上記光反応性モノマーの合計含有量は、アルカリ可溶性ポリマー、光反応性モノマーおよび下記する光重合開始剤（以下、これらを合わせて感光性樹脂成分とも称する）に対して、８５〜９７．５質量％、好ましくは９０〜９５質量％である。さらに、アルカリ可溶性ポリマーと光反応性モノマーの合計に対する光反応性モノマーの質量比（光反応性モノマー／（光反応性モノマー＋アルカリ可溶性ポリマー））は、０．３〜０．７、好ましくは０．４〜０．６である。光反応性モノマーの質量比を０．３以上にすることにより、十分な光硬化性を得ることができる。また、モノマー比を０．７以下とすることにより、乾燥塗膜の粘着性(べたつき)を抑制でき、フォトマスクの汚れなどによる膜欠陥を抑制できる。
【００３６】
本発明の感光性ペーストは、アルカリ可溶性ポリマーおよび上記光反応性モノマーに加え、さらに光重合開始剤を含みうる。当該光重合開始剤としては、当該分野で公知の光重合開始剤であればよく、特に限定するものではないが、ベンジル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、ベンジルジメチルケタール、２−ｎ−ブトキシ−４−ジメチルアミノベンゾエート、２−クロロチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２−ジメチルアミノエチルベンゾエート、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、３，３’−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、２，４−ジメチルチオキサントン、１−（４−ドデシルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２，２−ジメトキシ−１、２−ジフェニルエタン−１−オン、ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン、メチルベンゾイルフォルメート、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−１−ブタノン、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、およびビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイドなどが挙げられる。これらは２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００３７】
上記光重合開始剤の含有量は、感光性樹脂成分全体に対して、２．５〜１５質量％、好ましくは、５〜１０質量％である。光重合開始剤の含有量を２．５質量％以上とすることにより、光が十分に吸収され、硬化反応を十分に進行させることができる。また、光重合開始剤の含有量１５質量％以下とすることにより、十分な光硬化性が得られる。１５質量％を超えると、塗膜表面での光吸収が多くなりすぎ、内部や深部での硬化性が低下し、また、光重合開始剤が溶解しきれずに析出してしまう懸念がある。
【００３８】
本発明の感光性ペーストは、感光性樹脂成分に加え、さらに光増感剤を含み得る。該光増感剤としては、特に限定するものではないが、例えば、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、ｐ−フェニルベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール、イソプロピルチオキサントン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン、およびｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステルなどが挙げられる。これらは、感光性絶縁ペーストの硬化波長域を調整することを目的として用いることができ、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００３９】
該光増感剤の含有量は、触媒量、即ち光増感作用を発揮し得る量存在すればよい。光増感剤の含有量は、感光性ペースト全体に対して、好ましくは０．１〜１．０質量％、より好ましくは０．１〜０．５質量％である。
【００４０】
本発明の感光性ペーストは、さらに溶剤を含み得る。当該溶剤としては、特に限定されないが、ペンタメチレングリコールなどのグリコール類、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルなどのアルコール類、およびエチルカルビトールアセテートなどのアルコールアセテート類等が好ましい。
【００４１】
本発明の感光性ペーストは、必要に応じて、さらに保存安定剤、酸化防止剤、染料、消泡剤、および界面活性剤などの添加剤を含んでいてもよい。
【００４２】
本発明の感光性ペーストは、感光性絶縁ペーストおよび感光性導体ペーストのいずれであってもよい。
【００４３】
本発明の感光性ペーストが感光性絶縁ペーストである場合、当該感光性絶縁ペーストは、無機成分を含む。上記無機成分は、特に限定されるものではないが、例えば、ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３、Ｋ２Ｏ、Ｌｉ２Ｏ、ＣａＯ、ＺｎＯ、Ｂｉ２Ｏ３、および／またはＡｌ２Ｏ３などを含むガラス、例えば、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ｋ２Ｏ系ガラス、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ｌｉ２Ｏ−ＣａＯ系ガラス、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ｌｉ２Ｏ−ＣａＯ−ＺｎＯ系ガラス、およびＢｉ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系ガラスが挙げられる。これらの無機成分は、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００４４】
上記感光性絶縁ペーストは、さらに、フィラー（骨材）を含み得る。本明細書において、フィラーとは、現像後の焼成温度域で軟化せず粒子として存在する無機粒子を意味する。当該フィラーとしては、種々のセラミック材料を用いることができ、限定するものではないが、例えば、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３系ガラス、クォーツ、アルミナ、マグネシア、スピネル、シリカ、フォルステライド、ステアタイトおよびジルコニアなどが挙げられる。当該フィラーは、２種またはそれ以上を組み合わせて用いてもよい。当該フィラーを用いることにより、絶縁層の熱膨張係数を下げることができ、焼成時の断線等の不良や破壊を回避することができる。また、作製した積層型コイル部品の抗折強度を高めることができる。
【００４５】
本発明の感光性ペーストが感光性導体ペーストである場合、当該感光性導体ペーストは、導電性金属を含む。当該導電性金属としては、特に限定されるものではないが、例えば、Ａｇ、Ａｕ、ＡｕＰｄ、ＡｇＰｄ、ＣｕおよびＮｉが挙げられる。
【００４６】
本発明の感光性ペーストは、当該分野における一般的な感光性ペーストの製法と同様の方法で調製することができる。
【実施例】
【００４７】
・感光性ガラスペーストの調製
感光性ガラスペーストの材料として、下記（ａ）〜（ｋ）を準備した。
【表１】
2014228793.tif 000007
【００４８】
（ｊ）光反応性モノマーとしては、硬化性官能基数が６のジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、硬化性官能基数が５のジペンタエリスリトールペンタアクリレート、硬化性官能基数が４のペンタエリスリトールテトラアクリレート、硬化性官能基数が３のトリメチロールプロパントリアクリレート、および硬化性官能基数が１のフェノールＥＯ（エチレンオキシド）変性アクリレートを準備した。各例において用いる光反応性モノマーを表２に示す。
【００４９】
（ｋ）アルカリ可溶性ポリマーは、メタクリル酸およびメタクリル酸メチルを共重合させた後、得られた共重合体にアルキルエポキシドを付加させることにより調製した（重量平均分子量：約２５０００）。各例において用いるアルカリ可溶性ポリマーの調製に用いるアルキルエポキシドを表２に示す。
【００５０】
【表２】
2014228793.tif 000008
【００５１】
上記表１および表２に示した材料を、表３に示す配合比となるように秤量し、プラネタリーミキサーで３０分間撹拌し、これを３本ロールミルに４回通して混錬することにより、例１〜１８のそれぞれについて、感光性ガラスペーストを作製した。なお、例１〜１２は本発明の実施例であり、例１３〜１８は比較例である。
【００５２】
【表３】
2014228793.tif 000009
【００５３】
・配線パターンの作製
上記で得られた感光性ガラスペーストを、各例について、アルミナ基板上にスクリーン印刷により印刷し、６０℃で４０分間乾燥させ、厚みが１６〜２０μｍの塗膜を形成した。
【００５４】
次に、種々の寸法の配線幅および配線間隔のパターンが形成されたフォトマスク（配線幅および配線間隔ともに、２〜１００μｍの範囲で２μｍ毎の寸法）を介して露光量２０００ｍＪ／ｃｍ２で露光し、現像液トリエタノールアミン水溶液で未露光部を除去し、図１に示したような、配線パターンを作製した。形成された溝の幅を「Ｓ」、感光性ガラスペーストの幅を「Ｌ」とする。
【００５５】
・評価
各例について、上記のようにして形成された配線パターンを光学顕微鏡で観察し、溝が形成できている中で、最も微細な配線パターンを選定し、図１に示した感光性ガラスペーストの幅の幅（Ｌ）、溝の幅（Ｓ）、厚み（ｔ）をマイクロスコープ顕微鏡（ＶＨＸ−９００、株式会社キーエンス社製）で測定し、下記の判定基準により評価した。結果を表４に示す。
○：Ｌ＋Ｓ＜５０
△：５０≦Ｌ＋Ｓ≦７０
×：Ｌ＋Ｓ＞７０
【００５６】
Ｌが３０μｍ、Ｓが７０μｍのパターンで形成した溝の下辺、および上辺を測定し、その測定結果から矩形率（＝下辺÷上辺×１００）を求め、下記の判定基準により評価した。結果を表４に併せて示す。
○：矩形率≧７０
△：矩形率≧５０
×：矩形率＜５０
【００５７】
【表４】
2014228793.tif 000010
【００５８】
表４に示されるように、光反応性モノマーの硬化性官能基の数が４以上であり、アルカリ可溶性ポリマーが、炭素原子数が８以上のアルキル基を含む側鎖を有し、酸価が２０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上である例１〜１２の感光性ガラスペーストを用いることにより、微細かつ高アスペクト比の配線パターンを形成できることが確認された。
【００５９】
一方、光反応性モノマーの硬化性官能基の数が３以下である例１３（３個）および例１４（１個）の感光性ガラスペーストは、微細かつ高アスペクト比の配線パターンを形成することができなかった。これは、これらの光反応性モノマーの硬化性官能基の数が３以下であるため、硬化物の架橋密度が低くなり、現像の際に硬化物が現像液に流れ出してしまい、微細かつ高アスペクト比の配線を形成できなかったと考えられる。
【００６０】
また、アルカリ可溶性ポリマーの側鎖のアルキル基の炭素原子数が７以下である例１５（７個）および例１６（３個）は、微細かつ高アスペクト比の配線パターンを形成することができなかった。これは、アルカリ可溶性ポリマーのガラス転移温度が高くなり、現像液が浸透し難いため、微細かつ高アスペクト比の配線を形成できなかったと考えられる。
【００６１】
さらに、酸価が２０ＫＯＨｍｇ／ｇ以下である、例１７（１５ＫＯＨｍｇ／ｇ）および例１８（１０ＫＯＨｍｇ／ｇ）は、微細かつ高アスペクト比の配線パターンを形成することができなかった。これは、アルカリ可溶性ポリマーがアルカリ現像液に溶解しにくいため、微細かつ高アスペクト比の配線を形成できなかったと考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明の感光性ペーストは、微細かつ高アスペクト比のパターンを形成できることから、積層コイル部品の製造等、幅広く様々な用途に使用され得る。
【図１】
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