(57)【要約】【課題】人工透析装置用のバルブユニットにおいて、２種類のバルブユニットを用いることなく、１種類のバルブユニットで対応することができるバルブユニットを提供すること。【解決手段】一対の室を備える第１チャンバ１６の一方の室に連通する第１バルブ１２及び第２バルブ１３と、一対の室を備える第２チャンバ１７の一方の室に連通する第３バルブ１４及び第４バルブ１５とを有する人工透析装置用のバルブユニット１において、前記第１バルブ１２、前記第２バルブ１３、前記第３バルブ１４、及び前記第４バルブ１５が順次反時計周りに田の字状に配置されていること、前記第１バルブ１２の出力側と前記第１チャンバ１６の前記一方の室に連通するための第１継手２３が揺動可能な可動継手であること、前記第４バルブ１５の出力側と前記第２チャンバ１７の前記一方の室に連通するための第２継手２５が揺動可能な可動継手であること、を特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の室を備える第１チャンバの一方の室に連通する第１バルブ及び第２バルブと、一対の室を備える第２チャンバの一方の室に連通する第３バルブ及び第４バルブとを有する人工透析装置用のバルブユニットにおいて、
前記第１バルブ、前記第２バルブ、前記第３バルブ、及び前記第４バルブが順次反時計周りに田の字状に配置されていること、
前記第１バルブの出力側と前記第１チャンバの前記一方の室に連通するための第１継手が揺動可能な可動継手であること、
前記第４バルブの出力側と前記第２チャンバの前記一方の室に連通するための第２継手が揺動可能な可動継手であること、
を特徴とする人工透析装置用のバルブユニット。
【請求項２】
請求項１に記載する人工透析装置用のバルブユニットにおいて、
前記第１継手及び前記第２継手が、揺動を制限する第１揺動制限部位及び第２揺動制限部位を有すること、
を特徴とする人工透析装置用のバルブユニット。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する人工透析装置用のバルブユニットにおいて、
前記第１継手及び前記第２継手を第１揺動位置に位置決めする第１位置決め手段と、第２揺動位置に位置決めする第２位置決め手段とを有すること、
を特徴とする人工透析装置用のバルブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の室を備える第１チャンバの一方の室に連通する第１バルブ及び第２バルブと、一対の室を備える第２チャンバの一方の室に連通する第３バルブ及び第４バルブとを有する人工透析装置用のバルブユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
人工透析装置は、体外においてダイアライザ（透析膜）による濾過を利用し、腎臓の代わりに血液中の老廃物や過剰水分などを除去するためのものである。人工透析装置には、図９に示すように、ダイアライザ１８、血液ポンプ１９、第１バルブユニット（第１バルブ１２Ａ、第２バルブ１３Ａ、第３バルブ１４Ａ、第４バルブ１５Ａ）、第２バルブユニット（第１バルブ１２Ｂ、第２バルブ１３Ｂ、第３バルブ１４Ｂ、第４バルブ１５Ｂ）、第１チャンバ１６、第２チャンバ１７、及び透析液供給再生排出ユニット２０が備えたものが知られている。
ダイアライザ１８は、人工の膜でできた細い管が約８千〜２万本も束ねられて構成され、血液と透析液がその膜を挟み、拡散と濾過により血液中の老廃物を交換し、血液を浄化するためのものである。
血液ポンプ１９は、動脈から血液をダイアライザ１８に送り込むためのものである。
第１バルブユニット、及び第２バルブユニットは、ダイアライザ１８に流れる透析液の量を制御するためのものである。ここで、血液は一定量流れ続けるため、透析液も常に一定量流す必要がある。
第１チャンバ１６、及び第２チャンバ１７は、上記バルブユニットを介して透析液を一時貯留するためのものである。第１チャンバ１６は膜１０で室１６Ｃと室１６Ｄに分けられ、第２チャンバ１７は膜１１で室１７Ｃと室１７Ｄに分けられている。
透析液供給再生排出ユニット２０は、上記バルブユニットを介して新鮮な透析液をダイアライザ１８に供給し、ダイアライザ１８から排出された使用済み透析液を新鮮な透析液に再生し、使用済み透析液を排出するためのものである。
【０００３】
人工透析装置の第１工程を図９に示す。第１バルブ１２Ａ、第２バルブ１３Ｂ、第３バルブ１４Ａ、第４バルブ１５Ｂが開放し、第２バルブ１３Ａ、第１バルブ１２Ｂ、第４バルブ１５Ａ、第３バルブ１４Ｂが閉じた状態では、使用済み透析液がダイアライザ１８から第１チャンバ１６の室１６Ｃに排出され、室１６Ｄから新鮮な透析液がダイアライザ１８に供給される。一方、第２チャンバ１７内の室１７Ｄでは、透析液供給再生排出ユニット２０から新鮮な透析液が供給される。それと同時に、室１７Ｃの使用済み透析液が透析液供給再生排出ユニット２０に送られる。
【０００４】
次に、第２工程を図１０に示す。第１バルブ１２Ａ、第２バルブ１３Ｂ、第３バルブ１４Ａ、第４バルブ１５Ｂが閉じ、第２バルブ１３Ａ、第１バルブ１２Ｂ、第４バルブ１５Ａ、第３バルブ１４Ｂが開放した状態では、使用済み透析液がダイアライザ１８から第２チャンバ１７の室１７Ｃに排出され、室１７Ｄから新鮮な透析液がダイアライザ１８に供給される。一方、第１チャンバ１６内の室１６Ｄでは、透析液供給再生排出ユニット２０から新鮮な透析液が供給される。それと同時に、室１６Ｃの使用済み透析液が透析液供給再生排出ユニット２０に送られる。
【０００５】
第１工程と第２工程において、第１チャンバ１６内へ供給される透析液と排出される透析液は等量であり、第２チャンバ１７内へ供給される透析液と排出される透析液は等量である。第１工程と第２工程を交互に繰り返すことにより、常にダイアライザ１８に一定量の透析液が供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭５３−１４２３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の人工透析装置用のバルブユニットは、図１１、図１２に示すように、４個のバルブを直列に並べた直列型バルブユニット１０１を２つ使用していた。しかし、直列型バルブユニット１０１を２つ並べると、人工透析装置全体が大きくなってしまう問題があった。
近年、高齢化に伴い、人工透析を必要とする患者数が増加し、人工透析装置がより多く使われるようになるにつれて、人工透析装置の小型化の要請が強まっている。そこで、出願人は図１３に示すように、４個のバルブを直列ではなく田の字状に並べて設置するバルブユニットを考案した。
しかしながら、従来は、バルブユニットとチャンバとの距離に余裕があり、その距離を利用してバルブユニットの継手とチャンバに連通するチューブとを接続していたが、小型化の要請により、バルブユニットとチャンバを接近して配置するようになり、距離を利用して接続することができなくなった。ここで、第１チャンバ１６及び第２チャンバ１７は、図９に示すように、各々２つの出入力口１６Ｅ、１７Ｅを備え、その中心距離は、Ｗ３（例えば、４８ｍｍ）に既定されている。バルブユニットとチャンバとの距離に余裕がないため、バルブユニットの継手の位置もチャンバの出入力口の中心距離Ｗ３と同じである必要が生じた。
そこで、出願人は図１４に示すように、バルブユニットの中央より出力継手側に固定継手１０４があるバルブユニット１０２と、中央より入力継手側に固定継手１０５があるバルブユニット１０３の２種類のバルブユニットを考案した。バルブユニット１０２、１０３の固定継手１０４、１０５の中心距離はＷ２（例えば、４８ｍｍ）で、チャンバの出入力口の中心距離Ｗ３と同じである。
【０００８】
しかしながら、２種類のバルブユニット１０２、１０３の在庫を置く必要があり、各々異なる部品を準備するのにコストアップする問題があった。また、装置のメンテナンスをするとき、２つのバルブユニットのうち、１つのバルブユニットのみを交換する場合であっても、２種類のバルブユニット１０２、１０３を持ち運ぶ必要があった。
【０００９】
本発明は、上記した従来の人工透析装置用のバルブユニットが有する問題点を解決するためになされたものである。すなわち、その課題とするところは、２種類のバルブユニットを用いることなく、１種類のバルブユニットで対応することができるバルブユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の一態様におけるバルブユニットは、次の構成を有する。
（１）一対の室を備える第１チャンバの一方の室に連通する第１バルブ及び第２バルブと、一対の室を備える第２チャンバの一方の室に連通する第３バルブ及び第４バルブとを有する人工透析装置用のバルブユニットにおいて、前記第１バルブ、前記第２バルブ、前記第３バルブ、及び前記第４バルブが順次反時計周りに田の字状に配置されていること、前記第１バルブの出力側と前記第１チャンバの前記一方の室に連通するための第１継手が揺動可能な可動継手であること、前記第４バルブの出力側と前記第２チャンバの前記一方の室に連通するための第２継手が揺動可能な可動継手であること、を特徴とする。
【００１１】
（２）（１）に記載する人工透析装置用のバルブユニットにおいて、前記第１継手及び前記第２継手が、揺動を制限する第１揺動制限部位及び第２揺動制限部位を有すること、を特徴とする。
【００１２】
（３）（１）または（２）に記載する人工透析装置用のバルブユニットにおいて、前記第１継手及び前記第２継手を第１揺動位置に位置決めする第１位置決め手段と、第２揺動位置に位置決めする第２位置決め手段とを有すること、を特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、上記構成を有することにより、次のような作用、効果を奏する。
（１）一対の室を備える第１チャンバの一方の室に連通する第１バルブ及び第２バルブと、一対の室を備える第２チャンバの一方の室に連通する第３バルブ及び第４バルブとを有する人工透析装置用のバルブユニットにおいて、前記第１バルブ、前記第２バルブ、前記第３バルブ、及び前記第４バルブが順次反時計周りに田の字状に配置されていること、前記第１バルブの出力側と前記第１チャンバの前記一方の室に連通するための第１継手が揺動可能な可動継手であること、前記第４バルブの出力側と前記第２チャンバの前記一方の室に連通するための第２継手が揺動可能な可動継手であること、を特徴とするので、第１バルブユニットの第１継手を出力継手側に揺動し位置決めした後、第１チャンバの一方の室に連通するチューブに接続し、第２バルブユニットの第１継手を入力継手側に揺動し位置決めした後、第１チャンバの他方の室に連通するチューブに接続することにより、第１チャンバの出入力口に対して１種類のバルブユニットで対応することができる。
【００１４】
（２）（１）に記載する人工透析装置用のバルブユニットにおいて、前記第１継手及び前記第２継手が、揺動を制限する第１揺動制限部位及び第２揺動制限部位を有すること、を特徴とするので、例えば、バルブユニットの第１継手を第１チャンバに連通するチューブに差し込むとき、一方の手で第１揺動制限部位を揺動し位置決めすることによって、第１継手が不安定になることを防止し、他方の手でチューブに差し込むことができる。
【００１５】
（３）（１）または（２）に記載する人工透析装置用のバルブユニットにおいて、前記第１継手及び前記第２継手を第１揺動位置に位置決めする第１位置決め手段と、第２揺動位置に位置決めする第２位置決め手段とを有すること、を特徴とするので、例えば、バルブユニットの第１継手を第１チャンバに連通するチューブに差し込むとき、一方の手で第１揺動位置に位置決めする第１揺動位置決め手段で本体に第１継手を固定することによって、第１継手が不安定になることを防止し、他方の手でチューブに差し込むことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】バルブユニットの装置への取付け状態における正面図（第１実施形態）である。
【図２】図１のａ−ａ断面図である。
【図３】バルブユニットの平面図である。
【図４】バルブユニットの側面図である。
【図５】図３のｂ−ｂ断面図である。
【図６】図３のｃ−ｃ断面図（ｄ−ｄ断面図）である。
【図７】図４のｅ−ｅ断面図である。
【図８】バルブユニットの装置への取付け状態における正面図（第２実施形態）である。
【図９】人工透析装置の第１工程を示す図である。
【図１０】人工透析装置の第２工程を示す図である。
【図１１】従来の直列型バルブユニットの平面図である。
【図１２】従来の直列型バルブユニットの側面図である。
【図１３】従来の田の字状バルブユニットの平面図である。
【図１４】従来の田の字状バルブユニットの装置への取付け状態における正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
＜バルブユニットの構成＞
（第１実施形態）
以下、本発明における人工透析装置用のバルブユニット１を具体化した第１の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
まず、バルブユニット１の外部構造を説明する。本実施形態のバルブユニット１の構成を図３に平面図で示し、図４に側面図で示す。
バルブユニット１は、図３に示すように、第１バルブ１２、第２バルブ１３、第３バルブ１４、第４バルブ１５が順次反時計周りに田の字状に配置されている。第１バルブ１２と第２バルブ１３の中間位置に、第１継手２３が配設されている。また、第３バルブ１４と第４バルブ１５の中間位置に、第２継手２５が配設されている。第１バルブ１２の側面には、図４に示すように、上部に一対の配線５０があり、下部に入力継手２１が形成されている。第２バルブ１３の側面には、上部に一対の配線５０があり、下部に出力継手２２が形成されている。第３バルブ１４、及び第４バルブ１５の側面には、各々一対の配線５０が接続されている。
【００１８】
次に、バルブユニット１の内部構造を説明する。図３のｂ−ｂ断面図を図５で示し、ｃ−ｃ断面図を図６で示す。このとき、ｃ−ｃ断面図とｄ−ｄ断面図は構成が共通しているため、ｄ−ｄ断面図で表れる部品については、図６に括弧書きで示す。図４のｅ−ｅ断面図を図７で示す。
図５は、図３のｂ−ｂ断面図である。第１継手２３は、装入部２３ａ、つば部２３ｂ、第１揺動制限部位２３ｃ、及び挿入部２３ｄを備える。装入部２３ａは、ボディ４９に装入され、第１継手２３を回転可能に保持するためのものである。つば部２３ｂは、装入部２３ａの図中上側に設けられ、第１継手２３がボディ４９から外れることを防止する。装入部２３ａの図中下側にはつば部は設けられていない。第１揺動制限部位２３ｃは、第１継手２３の回転を制限するためのものである。挿入部２３ｄは、第１チャンバ１６に接続するためのチューブを挿入するためのものである。
第２継手２５は、装入部２５ａ、つば部２５ｂ、第２揺動制限部位２５ｃ、及び挿入部２５ｄを備える。挿入部２５ｄは、第２チャンバ１７に接続するためのチューブを挿入するためのものである。第２継手２５の他の部位は、第１継手２３の各部位と同じ役割を有するため、詳細な説明を省略する。
ボディ４９は、孔４９ａと、一段大きな孔４９ｂを備える。孔４９ａに、装入部２３ａが装着され、孔４９ｂの図中上側の部位には、つば部２３ｂが装着される。つば部２３ｂの外面には、カバー２６が当接して取り付けられており、つば部２３ｂがボディ４９とカバー２６に挟まれることにより、第１継手２３がボディ４９から外れることを防止する。これにより、第１継手２３は、揺動可能な可動継手となる。
装入部２３ａの溝には、Ｏリング５３が取り付けられ、流体が外部に流出することを防いでいる。
第２継手２５は、第１継手２３と同じ方法で揺動を可能とするため、説明を省略する。
【００１９】
図６は、図３のｃ−ｃ断面図である。出力継手２２の流路２９は、流路３０により第２バルブ１３の弁部４２を介して流路３８に接続している。また、流路２９は、流路３１により第３バルブ１４の弁部４７を介して流路３７に接続している。
弁部４２は、弁座３９、弁体４０、及び弁室４１を備えている。コイル５４に通電すると磁界が発生し、プランジャ４３が固定鉄心５５に吸着される。これにより、弁体４０が弁座３９と離間し、流路３０は弁室４１を介して流路３８に連通する。コイル５４の通電を止めると復帰バネ５６によるバネ力により弁体４０が弁座３９と当接し、流路３０と流路３８は遮断される。
また、弁部４７は、弁座４４、弁体４５、及び弁室４６を備えている。コイル５７に通電すると磁界が発生し、プランジャ４８が固定鉄心５８に吸着される。これにより、弁体４５が弁座４４と離間し、流路３１は弁室４６を介して流路３７に連通する。コイル５８の通電を止めると復帰バネ５９によるバネ力により弁体４５が弁座４４と当接し、流路３１と流路３７は遮断される。
図３の出力継手２２位置の断面図であるｃ−ｃ断面図と、入力継手２１位置の断面図であるｄ−ｄ断面図は、構成及び作用が共通であるため、説明を省略する。
図７は、図４のｅ−ｅ断面図である。第１バルブ１２の出力側と第２バルブ１３の入力側は流路３８によって接続されている。流路３８の中間位置には、第１チャンバ１６の一方の室に連通する第１継手２３内の流路３５が接続されている。また、第４バルブ１５の出力側と第３バルブ１４の入力側は流路３７によって接続されている。流路３７の中間位置には、第２チャンバ１７の一方の室に連通する第２継手２５内の流路３６が接続されている。
【００２０】
＜作用効果＞
バルブユニット１の人工透析装置への取付け状態は、図１に示すように、第１バルブユニット１Ａ、第２バルブユニット１Ｂを並列したものである。２点鎖線は、第１チャンバ１６の出入力口１６Ｅに連通するチューブ２４を示す。
医療機器としての安全性を重視するために、２〜３年おきにバルブユニット１は交換される。交換時のバルブユニット１の取付け方法について説明する。
作業者は、第１バルブユニット１Ａの第１揺動制限部位２３ｃＡを一方の手で図中Ｘ方向へ力を加え、挿入部２３ｄＡを出力継手２２Ａ側へ揺動し、図２に示す溝で形成される第２揺動位置決め手段２８Ａにより第２揺動位置に位置決めする。次に、他方の手で挿入部２３ｄＡに第１チャンバ１６の一方の室１６Ｃ（図９）に連通するチューブ２４Ａを差し込む。
続いて、作業者は、第２バルブユニット１Ｂの第１揺動制限部位２３ｃＢを一方の手で図中Ｙ方向へ力を加え、挿入部２３ｄＢを入力継手２１Ｂ側へ揺動し、図２に示す溝で形成される第１揺動位置決め手段２７Ｂにより第１揺動位置に位置決めする。次に、他方の手で挿入部２３ｄＢに第１チャンバ１６の他方の室１６Ｄ（図９）に連通するチューブ２４Ｂを差し込む。
チューブ２４を挿入部２３ｄに差し込むとき、チューブ２４は屈曲せざるを得ないが、従来の継手に比べて差し込みやすくなっている。作業者が、一方の手で第１継手２３を押さえることにより、第１、及び第２揺動位置で固定され、他方の手でチューブ２４を差し込むことを容易にする。メンテナンス作業性、取付け組立性の向上を可能とする。
第２継手２５Ａ、２５Ｂについては、図示しないが、第１継手２３Ａ、２３Ｂと同じ状態で、第２チャンバ１７の一対の室１７Ｃ、１７Ｄに連通するチューブを差し込む。
以上で、交換時のバルブユニット１の取付け方法は完了する。
【００２１】
第１バルブユニット１Ａの第１継手２３Ａと第２バルブユニット１Ｂの第１継手２３Ｂの中心距離は、Ｗ１（例えば、４８ｍｍ）である。これは、図９に示す第１チャンバ１６、及び第２チャンバ１７の出入力口１６Ｅ、１７Ｅの中心距離Ｗ３と同じである。従来、バルブユニットの中央より出力継手側に固定継手１０４があるバルブユニット１０２と、中央より入力継手側に固定継手１０５があるバルブユニット１０３の２種類のバルブユニット１０２、１０３を必要としていたが、本発明により１種類のバルブユニット１で対応することを可能とした。これにより、部品を共通化し、コストダウンを図ることができる。また、図１３に示すように、下側から直接継手を差し込むためのスペース１０６が必要だったが、揺動可能な継手にすることにより、本体サイズをさらに小型化することを可能とし、軽量化を可能とする。また、本発明により１種類のバルブユニット１で対応できるため、２種類のバルブユニット１０２、１０３の在庫を置く必要がなく、また、装置のメンテナンスをするとき、２種類のバルブユニット１０２、１０３を持ち運ぶ必要がない。
【００２２】
上記取り付けが完了したバルブユニット１は、人工透析装置の第１工程、及び第２工程（図９、及び図１０）を交互に繰り返すことにより、常にダイアライザ１８に一定量の透析液が供給される。
【００２３】
以上、詳細に説明したように、本発明の人工透析装置用のバルブユニット１は、
（１）一対の室を備える第１チャンバ１６の一方の室に連通する第１バルブ１２及び第２バルブ１３と、一対の室を備える第２チャンバ１７の一方の室に連通する第３バルブ１４及び第４バルブ１５とを有する人工透析装置用のバルブユニット１において、前記第１バルブ１２、前記第２バルブ１３、前記第３バルブ１４、及び前記第４バルブ１５が順次反時計周りに田の字状に配置されていること、前記第１バルブ１２の出力側と前記第１チャンバ１６の前記一方の室に連通するための第１継手２３が揺動可能な可動継手であること、前記第４バルブ１５の出力側と前記第２チャンバ１７の前記一方の室に連通するための第２継手２５が揺動可能な可動継手であること、を特徴とするので、第１バルブユニット１Ａの第１継手２３Ａを出力継手２１Ａ側に揺動し位置決めした後、第１チャンバ１６の一方の室１６Ｃに連通するチューブ２４Ａに接続し、第２バルブユニット１Ｂの第１継手２３Ｂを入力継手２２Ｂ側に揺動し位置決めした後、第１チャンバ１６の他方の室１６Ｄに連通するチューブ２４Ｂに接続することにより、第１チャンバ１６の出入力口１６Ｅに対して１種類のバルブユニット１で対応することができる。
すなわち、従来、２種類のバルブユニット１０２、１０３を準備する必要があったが、本発明により、１種類のバルブユニット１に共通化することができ、コストダウンを図ることができる。また、１種類のバルブユニット１のみで人工透析装置に対応できるため、２種類のバルブユニット１０２、１０３の在庫を置く必要がなく、また、装置のメンテナンスをするとき、２種類のバルブユニット１０２、１０３を持ち運ぶ必要がない。
【００２４】
（２）（１）に記載する人工透析装置用のバルブユニット１において、前記第１継手２３及び前記第２継手２５が、揺動を制限する第１揺動制限部位２３ｃ及び第２揺動制限部位２５ｃを有すること、を特徴とするので、例えば、第１バルブユニット１Ａの第１継手２３Ａを第１チャンバに連通するチューブ２４Ａに差し込むとき、一方の手で第１揺動制限部位２３ｃＡを揺動し位置決めすることによって、第１継手２３Ａが不安定になることを防止し、他方の手でチューブ２４Ａに差し込むことができる。これにより、作業を容易にし、メンテナンス作業性の向上をもたらす。
【００２５】
（３）（１）または（２）に記載する人工透析装置用のバルブユニット１において、前記第１継手２３及び前記第２継手２５を第１揺動位置に位置決めする第１位置決め手段２７と、第２揺動位置に位置決めする第２位置決め手段２８とを有すること、を特徴とするので、例えば、第１バルブユニット１Ａの第１継手２３Ａをチューブ２４Ａに差し込むとき、一方の手で第１位置に位置決めする第１位置決め手段２８Ａで本体に第１継手２３Ａを固定することによって、第１継手２３Ａが不安定になることを防止し、他方の手でチューブ２４Ａに差し込むことができる。これにより、作業を容易にし、メンテナンス作業性の向上をもたらす。
【００２６】
（第２実施形態）
続いて、本発明の第２実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。図８は第２実施形態のバルブユニット２の正面図である。本実施形態のバルブユニット２は、第１揺動制限部位５１Ａ、及び５１Ｂをボルト５２Ａ、５２Ｂで固定する点で、第１実施形態のバルブユニット１と相違する。他の共通する構成は、第１実施形態と同一符号を示し、詳細な説明を適宜省略する。
本実施形態のバルブユニット２の第１継手２３には、第１揺動制限部位５１が備えられる。第１揺動制限部位５１とは、第１継手２３の回転を制限するためのものである。第１バルブユニット２Ａの第１継手２３Ａの第１揺動制限部位５１Ａをボルト５２Ａで第２揺動位置に位置決めをして固定すると、チューブ２４Ａを第１継手２３Ａに差し込むとき、第１継手２３Ａは完全に固定されているため、片手のみで作業をすることができる。第２バルブユニット２Ｂの第１継手２３Ｂについては、同様に第１揺動位置に位置決めをして固定することによりバルブユニット２の取り付け方法を完了する。このとき、第１継手２３Ａ、２３Ｂの中心距離はＷ１であり、第１チャンバの出入力口１６Ｅの中心距離Ｗ３と同じである。
【００２７】
なお、本形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に、その要旨を逸脱しない範囲内で様々な改良、変形が可能である。
例えば、本形態では、継手の揺動制限部位を継手の軸心の延長線上で備える必要はなく、揺動制限部位を他の装置との関係で作業性を考慮して継手の直角方向等に設けることもできる。
また、位置決め手段として、第１実施例では、溝である第１位置決め手段２７、及び第２位置決め手段２８がベストモードとして示してある。しかし、それ以外にも、例えば、継手の半分以上の高さの凸部で第１継手の揺動を止める第１位置決め手段、及び第２位置決め手段としてもよい。
【符号の説明】
【００２８】
１      バルブユニット
１２    第１バルブ
１３    第２バルブ
１４    第３バルブ
１５    第４バルブ
１６    第１チャンバ
１７    第２チャンバ
２３    第１継手
２３ｃ  第１揺動制限部位
２５    第２継手
２５ｃ  第２揺動制限部位
２７    第１揺動位置決め手段
２８    第２揺動位置決め手段
【図１】
2014087474.tif 000003
【図２】
2014087474.tif 000004
【図３】
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【図４】
2014087474.tif 000006
【図５】
2014087474.tif 000007
【図６】
2014087474.tif 000008
【図７】
2014087474.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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