【手続補正書】
【提出日】令和3年3月15日(2021.3.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
一列に配置された複数の処理ブロックと、
前記複数の処理ブロックのうちの一端の処理ブロックに連結され、複数の基板を収納することが可能なキャリアを載置するための第１キャリア載置台が設けられた第１インデクサブロックと、を備えた基板処理装置の基板搬送方法において、
前記第１インデクサブロックによって、前記第１キャリア載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を、前記複数の処理ブロックのうちの少なくとも１つの一端側の処理ブロックに送る工程と、
送られた基板に対して、前記一端側の処理ブロックにより予め設定された処理を行う工程と、
前記一端側の処理ブロックと、前記複数の処理ブロックのうちの少なくとも１つの他端側の処理ブロックとの間に配置された第２インデクサブロックによって、前記一端側の処理ブロックで処理された基板を前記他端側の処理ブロックに送る工程と、
送られた基板に対して、前記他端側の処理ブロックにより予め設定された処理を行う工程と、
前記第２インデクサブロックによって、前記他端側の処理ブロックで処理された基板を、前記第２インデクサブロックに設けられた第２キャリア載置台に載置された前記キャリアに戻す工程と、
を備えていることを特徴とする基板搬送方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
一列に配置された複数の処理ブロックと、
前記複数の処理ブロックのうちの一端の処理ブロックに連結され、複数の基板を収納することが可能なキャリアを載置するための第１キャリア載置台が設けられた第１インデクサブロックと、を備えた基板処理装置の基板搬送方法において、
前記複数の処理ブロックのうち少なくとも１つの一端側の処理ブロックと少なくとも１つの他端側の処理ブロックとの間に配置された第２インデクサブロックによって、前記第２インデクサブロックに設けられた第２キャリア載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を前記他端側の処理ブロックに送る工程と、
送られた基板に対して、前記他端側の処理ブロックにより予め設定された処理を行う工程と、
前記第２インデクサブロックによって、前記他端側の処理ブロックで処理された基板を前記一端側の処理ブロックに送る工程と、
送られた基板に対して、前記一端側の処理ブロックにより予め設定された処理を行う工程と、
前記第１インデクサブロックによって、前記一端側の処理ブロックで処理された基板を前記第１キャリア載置台に載置された前記キャリアに戻す工程と、
を備えていることを特徴とする基板搬送方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】
一列に配置された複数の処理ブロックと、
前記複数の処理ブロックのうちの一端の処理ブロックに連結され、複数の基板を収納することが可能なキャリアを載置するための第１キャリア載置台が設けられた第１インデクサブロックと、を備えた基板処理装置の基板搬送方法において、
前記複数の処理ブロックのうち少なくとも１つの一端側の処理ブロックと少なくとも１つの他端側の処理ブロックとの間に配置された第２インデクサブロックによって、前記第２インデクサブロックに設けられた複数の第２キャリア載置台のうちの第１載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を前記他端側の処理ブロックに送る工程と、
前記他端側の処理ブロックによって、送られた基板に対して予め設定された処理を行う工程と、
前記第２インデクサブロックによって、前記他端側の処理ブロックで処理された基板を前記第１載置台に載置された前記キャリアに戻す工程と、
前記第２インデクサブロックによって、前記複数の第２キャリア載置台のうちの第２載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を前記一端側の処理ブロックに送る工程と、
前記一端側の処理ブロックによって、送られた基板に対して予め設定された処理を行う工程と、
前記第１インデクサブロックによって、前記一端側の処理ブロックで処理された基板を前記第１キャリア載置台に載置された前記キャリアに戻す工程と、
を備えることを特徴とする基板搬送方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、上述の基板処理装置において、前記キャリア搬送機構は、前記第１処理ブロックの上に搭載されていることが好ましい。従来、キャリア搬送機構は、インデクサブロックに対して水平方向に配置されていた。本発明によれば、キャリア搬送機構は、第１処理ブロックの上に設けられている。そのため、インデクサブロックに対して水平方向に配置していた従来のキャリア搬送機構の設置面積を削減することができる。すなわち、基板処理装置のフットプリントを削減することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明に係る基板搬送方法において、一列に配置された複数の処理ブロックと、前記複数の処理ブロックのうちの一端の処理ブロックに連結され、複数の基板を収納することが可能なキャリアを載置するための第１キャリア載置台が設けられた第１インデクサブロックと、を備えた基板処理装置の基板搬送方法において、前記第１インデクサブロックによって、前記第１キャリア載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を、前記複数の処理ブロックのうちの少なくとも１つの一端側の処理ブロックに送る工程と、送られた基板に対して、前記一端側の処理ブロックにより予め設定された処理を行う工程と、前記一端側の処理ブロックと、前記複数の処理ブロックのうちの少なくとも１つの他端側の処理ブロックとの間に配置された第２インデクサブロックによって、前記一端側の処理ブロックで処理された基板を前記他端側の処理ブロックに送る工程と、送られた基板に対して、前記他端側の処理ブロックにより予め設定された処理を行う工程と、前記第２インデクサブロックによって、前記他端側の処理ブロックで処理された基板を、前記第２インデクサブロックに設けられた第２キャリア載置台に載置された前記キャリアに戻す工程と、を備えていることを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本発明に係る基板搬送方法は、一列に配置された複数の処理ブロックと、前記複数の処理ブロックのうちの一端の処理ブロックに連結され、複数の基板を収納することが可能なキャリアを載置するための第１キャリア載置台が設けられた第１インデクサブロックと、を備えた基板処理装置の基板搬送方法において、前記複数の処理ブロックのうち少なくとも１つの一端側の処理ブロックと少なくとも１つの他端側の処理ブロックとの間に配置された第２インデクサブロックによって、前記第２インデクサブロックに設けられた第２キャリア載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を前記他端側の処理ブロックに送る工程と、送られた基板に対して、前記他端側の処理ブロックにより予め設定された処理を行う工程と、前記第２インデクサブロックによって、前記他端側の処理ブロックで処理された基板を前記一端側の処理ブロックに送る工程と、送られた基板に対して、前記一端側の処理ブロックにより予め設定された処理を行う工程と、前記第１インデクサブロックによって、前記一端側の処理ブロックで処理された基板を前記第１キャリア載置台に載置された前記キャリアに戻す工程と、を備えていることを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、本発明に係る基板搬送方法は、一列に配置された複数の処理ブロックと、前記複数の処理ブロックのうちの一端の処理ブロックに連結され、複数の基板を収納することが可能なキャリアを載置するための第１キャリア載置台が設けられた第１インデクサブロックと、を備えた基板処理装置の基板搬送方法において、前記複数の処理ブロックのうち少なくとも１つの一端側の処理ブロックと少なくとも１つの他端側の処理ブロックとの間に配置された第２インデクサブロックによって、前記第２インデクサブロックに設けられた複数の第２キャリア載置台のうちの第１載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を前記他端側の処理ブロックに送る工程と、前記他端側の処理ブロックによって、送られた基板に対して予め設定された処理を行う工程と、前記第２インデクサブロックによって、前記他端側の処理ブロックで処理された基板を前記第１載置台に載置された前記キャリアに戻す工程と、前記第２インデクサブロックによって、前記複数の第２キャリア載置台のうちの第２載置台に載置された前記キャリアから基板を取り出して、取り出した基板を前記一端側の処理ブロックに送る工程と、前記一端側の処理ブロックによって、送られた基板に対して予め設定された処理を行う工程と、前記第１インデクサブロックによって、前記一端側の処理ブロックで処理された基板を前記第１キャリア載置台に載置された前記キャリアに戻す工程と、を備えることを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。また、以下の説明において、回路パターン等の各種パターンが形成される基板の面を表面と呼び、その反対側の面を裏面と呼ぶ。また、下方に向けられた基板の面を下面と呼び、上方に向けられた基板の面を上面と呼ぶ。図１は、実施例に係る基板処理装置１の縦断面図である。図２は、基板処理装置１の横断面図である。図３は、基板処理装置１の右側面図である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
また、図１，図９に示すように、載置台１３および開口部１４（オープナ９，１０）は、第１処理ブロック３側に設けられ、載置台７４および開口部７６（オープナ７１，７２）は、第１処理ブロック３側に設けられている。すなわち、載置台１３および載置台７４が向かい合うように設けられている。これにより、載置台１３および載置台７４は、キャリア搬送機構７８に向いて設けられるので、キャリア搬送機構７８はキャリアＣを搬送しやすくなる。また、例えば、従来のように、ＩＤブロック２を挟んで第１処理ブロック３の反対側（図９の矢印ＡＲ１参照）に載置台が設けられる場合は、載置台１３が突出する。しかし、載置台１３および載置台７４が向かい合うように設けられているので、載置台１３が突出することを抑えることができる。そのため、基板処理装置１のフットプリントを小さくすることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
なお、キャリア搬送機構７８は、２組の多関節アームおよび把持部を備えているが、１組または３組以上の多関節アームおよび把持部を備えていてもよい。また、昇降駆動部８５は、支持部８７Ａに対して垂直軸周りに回転駆動されるように構成されていてもよい。また、レール９７は、第１のＩＤブロック２の上方以外を通過してもよい。この場合、装置１の上方を外部搬送機構ＯＨＴが通過する位置に入力ポート９１および出力ポート９２が設けられる。キャリア保管棚７９の個数および種類は適宜変更される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
〔ステップＳ０３〕第２のＩＤブロック４
第２のＩＤブロック４は、裏面洗浄処理が行われ、かつ第１処理ブロック３から送られた基板Ｗを第２処理ブロック５の２つの処理層５Ａ，５Ｂのいずれかに送る。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
第１処理ブロック３の２つの処理層３Ａ，３Ｂは各々、４つの表面洗浄ユニットＳＳおよび４つの端面洗浄ユニットＳＳＢを備えている。また、第２処理ブロック５の２つの処理層５Ａ，５Ｂは各々、４つの裏面洗浄ユニットＳＳＲを備えている。また、図１２に示すように、第１のＩＤブロック２には、２つの反転ユニットＲ１，Ｒ２が設けられていない。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
図１４を参照する。第２のＩＤブロック４は、２つのオープナ７１，７２のいずれかの載置台７４に載置されたキャリアＣから基板Ｗを取り出して、取り出した基板Ｗを第２処理ブロック５に送る。第２処理ブロック５に基板Ｗを送るときに、２つの反転ユニットＲ３，Ｒ４のいずれかは、基板Ｗの表面の向きを上向きから下向きに変更するように、基板Ｗを反転する。すなわち、反転された基板Ｗの裏面が上向きの状態になっている。第２のＩＤブロック４は、反転された基板Ｗを第２処理ブロック５に送る。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
第１のＩＤブロック２は、第１処理ブロック３から送られた基板Ｗを２つのオープナ９，１０のいずれかの載置台１３に載置されたキャリアＣに戻す。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
本実施例によれば、第１のＩＤブロック２には載置台１３が設けられ、第２のＩＤブロック４には載置台７４が設けられている。従来は、第１のＩＤブロック２だけにキャリア載置台が設けられていた。そのため、往路および復路の両方において、第１のＩＤブロック２と第２処理ブロック５との間で基板Ｗを搬送させていた。本発明によれば、往路において、第１のＩＤブロック２から基板Ｗの搬送を開始せずに、２つの処理ブロック３，５の間に配置された第２のＩＤブロック４から基板Ｗの搬送を開始している。そのため、往路において、第１のＩＤブロック２と第２のＩＤブロック４との間の第１処理ブロック３による搬送工程が削減される（図１４の符号ＡＲ２参照）。その結果、基板処理装置１全体のスループットを向上させることができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２４】
（４）上述した各実施例および各変形例では、第１処理ブロック３および第２処理ブロック５は、裏面洗浄ユニットＳＳＲ、表面洗浄ユニットＳＳおよび端面洗浄ユニットＳＳＢを備えていたが、処理ユニットＵはこれらに限定されない。例えば、一方の処理ブロックがベベル洗浄（エッチング）処理を行う処理ユニットＵを備え、他方の処理ブロックが裏面洗浄（エッチング）処理を行う処理ユニットＵを備えていてもよい。ベベル洗浄を行う処理ユニットＵは、図１８のように、例えば、図６、図７に示す基板Ｗの裏面を例えば真空吸着して保持する保持回転部４７と、基板Ｗの周縁部に処理液（例えばリン酸加水Ｈ３ＰＯ４＋Ｈ２Ｏ２）を吐出するノズル２０３とを備えていてもよい。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２９】
また、第１のＩＤブロック２の単一の基板搬送機構ＴＭ１は、実施例１のように、水平方向（特にＹ方向）に移動しないように第１のＩＤブロック２の床部に固定されていてもよい。また、第１のＩＤブロック２は、３つ以上の基板搬送機構を備えていてもよい。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３１】
また、第２のＩＤブロック４の単一の基板搬送機構ＴＭ４は、実施例１のように、水平方向（特にＹ方向）に移動しないように第２のＩＤブロック４の床部に固定されていてもよい。また、第２のＩＤブロック４は、３つ以上の基板搬送機構を備えていてもよい。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５０】
本変形例によれば、第１のＩＤブロック２には載置台１３が設けられ、第２のＩＤブロック４には載置台７４が設けられている。従来は、第１のＩＤブロック２だけにキャリア載置台が設けられていた。そのため、往路および復路の両方において、第１のＩＤブロック２と他端の第３処理ブロック２１５との間で基板Ｗを搬送させていた。本発明によれば、往路において、第１のＩＤブロック２から基板Ｗの搬送を開始せずに、一端側の処理ブロック２１３，２１４と他端側の処理ブロック２１５との間に配置された第２のＩＤブロック４から基板Ｗの搬送を開始している。そのため、往路において、第１のＩＤブロック２と第２のＩＤブロック４との間の一端側の処理ブロック２１３，２１４による搬送工程が削減される。その結果、基板処理装置１全体のスループットを向上させることができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６２】
第１処理ブロック３は１つの洗浄処理（裏面洗浄処理）を行うのに対して、第２処理ブロック５は、２つの洗浄処理（端面洗浄処理および表面洗浄処理）を行う。そのため、第２処理ブロック５による処理を行っている間に、キャリアＣに裏面洗浄処理が行われた基板Ｗを回収することができる。そのため、効果よく洗浄処理を行うことができる。図２２、図２３において、オープナ７１の載置台７４は、本発明の第１載置台に相当し、オープナ７２の載置台７４は、本発明の第２載置台に相当する。