(57)【要約】【課題】流量調整する際の操作性を高めつつ小型化を実現した流量調整装置を提供する。【解決手段】操作者の操作に応じて回転する流量調整つまみ３と、中心軸Ｃ方向に移動することにより弁孔３２へのダイヤフラムニードル５の挿入量を調整するスクリューロッド１０と、流量調整つまみ３に固定され中心軸Ｃに略直交する方向に延在するスプリングロールピン１３とを備える流量調整機構を備え、スクリューロッド１０が、カバー部９の内周面に形成された雌ねじ部９ａと締結する第１雄ねじ部と、中心軸Ｃに略直交する方向に貫通し中心軸Ｃ方向に沿って所定幅を有する貫通穴１０ｄを備え、スプリングロールピン１３が貫通穴１０ｄに挿入されている流量調整装置１００を提供する。【選択図】図３
2014228058.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に突起部が設けられた弁体部と、
前記弁体部が収容される弁室が形成された本体部と、
前記突起部が挿入可能となっており、流体の流入流路と前記弁室とを連通させる弁孔と、
前記弁孔に対する前記突起部の挿入量を調整して該弁孔から前記弁室に流入する流体の流量を調整する流量調整機構とを備え、
前記流量調整機構は、
操作者の操作に応じて前記弁体部の中心軸周りに回転するつまみ部と、
前記中心軸に沿って延在し、該中心軸方向に移動することにより前記挿入量を調整するロッド部材と、
前記つまみ部に固定され、前記中心軸に略直交する方向に延在するピン部材とを備え、
前記ロッド部材は、前記本体部の内周面に形成された本体側ねじ部と締結する第１ねじ部と、前記中心軸に略直交する方向に貫通し前記中心軸方向に沿って前記弁体部の移動範囲に応じた所定幅を有する貫通穴を備え、
前記ピン部材が前記貫通穴に挿入されていることを特徴とする流量調整装置。
【請求項２】
前記弁体部と同軸に配置される円筒形状の移動部材と、
前記移動部材の前記中心軸周りの回転を規制する規制部材とを有し、
前記ロッド部材は、前記第１ねじ部よりも前記弁孔に近い先端部に、前記移動部材の内周面に形成された移動部材ねじ部と締結する第２ねじ部を備え、
前記第２ねじ部のピッチが前記第１ねじ部のピッチよりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の流量調整装置。
【請求項３】
前記移動部材の外周面の径は、前記本体部の内周面の径よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載の流量調整装置。
【請求項４】
前記弁体部に連結され、前記弁体部とともに前記中心軸方向に移動可能なピストン部と、
前記ピストン部を介して、前記弁体部に該弁体部を前記弁孔に近づける方向の第１付勢力を与えるスプリング部とを備え、
前記本体部には、外部からの圧縮空気を導入する空気導入口が形成されており、
前記空気導入口に連通した圧力室に導入される圧縮空気により、前記ピストン部を介して前記弁体部に該弁体部を前記弁孔から遠ざける方向の第２付勢力が発生し、
前記第１付勢力が前記第２付勢力を上回る場合に前記移動部材と前記ピストン部が離間し、前記第２付勢力が前記第１付勢力を上回る場合に前記移動部材と前記ピストン部が接触することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の流量調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、弁孔が設けられた本体部と、弁孔に挿入されるニードル弁を備えた流量調整装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特許文献１に開示された流量調整装置は、内周面にネジ山部が形成された本体部と、本体部のネジ山部に締結される他のネジ山部が形成されたニードル弁を備えている。ニードル弁はつまみ部に連結されており、つまみ部を回転させることによりニードル弁が軸方向に移動する。そして、ニードル弁の軸方向の移動に応じて、弁孔の内周面とニードル弁の外周面との間に形成される隙間が調整され、流体の流量が調整される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１５３０３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された流量調整装置は、ニードル弁と流量調整つまみが一体的に連結されており、ニードル弁の移動量と流量調整つまみの移動量とが一致している。従って、流体の流量を増加させるためにニードル弁を弁孔から所定距離だけ移動させる場合、流量調整つまみも同じ距離だけ移動することとなる。
【０００５】
このように、特許文献１に開示された流量調整装置では、流量の調整に応じて流量調整つまみが移動して流量調整装置の全高が変化するため、流量調整つまみの移動範囲を予め考慮して流量調整装置を設置する必要がある。従って、流量調整装置を十分に小型化できないという問題があった。
【０００６】
また、特許文献１に開示された流量調整装置では、流量調整つまみがニードル弁の中心軸方向に移動することに応じて、流量調整つまみの位置が移動してしまう。従って、流量調整つまみの位置が一定とはならず、流量調整する際の操作性が良くないという問題があった。
【０００７】
本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、流量調整する際の操作性を高めつつ小型化を実現した流量調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明に係る流量調整装置は、先端に突起部が設けられた弁体部と、前記弁体部が収容される弁室が形成された本体部と、前記突起部が挿入可能となっており、流体の流入流路と前記弁室とを連通させる弁孔と、前記弁孔に対する前記突起部の挿入量を調整して該弁孔から前記弁室に流入する流体の流量を調整する流量調整機構とを備え、前記流量調整機構は、操作者の操作に応じて前記弁体部の中心軸周りに回転するつまみ部と、前記中心軸に沿って延在し、該中心軸方向に移動することにより前記挿入量を調整するロッド部材と、前記つまみ部に固定され、前記中心軸に略直交する方向に延在するピン部材とを備え、前記ロッド部材は、前記本体部の内周面に形成された本体側ねじ部と締結する第１ねじ部と、前記中心軸に略直交する方向に貫通し前記中心軸方向に沿って前記弁体部の移動範囲に応じた所定幅を有する貫通穴を有し、前記ピン部材が前記貫通穴に挿入されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る流量調整装置によれば、操作者の操作に応じてつまみ部が弁体部の中心軸周りに回転することにより、つまみ部に固定されたピン部材が中心軸周りに回転する。中心軸に沿って延在するロッド部材に形成された貫通穴には、ピン部材が挿入されているので、ピン部材の回転に応じてロッド部材が中心軸周りに回転する。ロッド部材が備える第１ねじ部は本体部の内周面に形成された本体側ねじ部に締結されているので、ロッド部材が中心軸周りに回転することによりロッド部材が中心軸に沿って移動する。
【００１０】
また、ロッド部材は、中心軸方向に沿って弁体部の移動範囲に応じた所定幅を有する貫通穴を備える。従って、ピン部材が貫通穴の中心軸方向の端部に接触しない範囲では、ピン部材を一定の位置に固定したままで、ロッド部材を中心軸に沿って移動させることができる。そして、ロッド部材が中心軸方向に移動することにより、弁体部の先端に設けられた突起部の弁孔への挿入量が調整される。
このようにすることで、つまみ部の位置を一定の位置に固定したままで流量の調整が可能となり、流量調整する際の操作性を高めつつ小型化を実現した流量調整装置を提供することができる。
【００１１】
本発明の第１態様の流量調整装置は、前記弁体部と同軸に配置される円筒形状の移動部材と、前記移動部材の前記中心軸周りの回転を規制する規制部材とを有し、前記ロッド部材は、前記第１ねじ部よりも前記弁孔に近い先端部に、前記移動部材の内周面に形成された移動部材ねじ部と締結する第２ねじ部を備え、前記第２ねじ部のピッチが前記第１ねじ部のピッチよりも小さいことを特徴とする。
【００１２】
本発明の第１態様の流量調整装置によれば、つまみ部を１回転させるとロッド部材が中心軸周りに１回転し、第１ねじ部のピッチに応じた距離だけロッド部材が移動する。ここで、第２ねじ部と締結する移動部材ねじ部を内周面に有する移動部材の中心軸周りの回転は、規制部材により規制されているので、移動部材はロッド部材の移動方向とは逆方向に移動する。そして、ロッド部材に対する移動部材の相対的な移動量は第２ねじ部のピッチに応じた距離であり、その距離はロッド部材の移動量よりも少ない。従って、移動部材の絶対的な移動量は、第１ねじ部のピッチと第２ねじ部のピッチの差分に応じた移動量となる。
【００１３】
このようにすることで、移動部材の先端部の移動量をロッド部材の移動量よりも少なくし、移動部材の先端部の移動量の微調整が可能となる。移動部材の先端部の位置により弁孔に対する弁体部の突起部の挿入量が調整されるので、流量の微調整が可能となる。
【００１４】
本発明の第２態様の流量調整装置は、前記移動部材の外周面の径が、前記本体部の内周面の径よりも小さいことを特徴とする。
このようにすることで、本体部の内周面とロッド部材の隙間の領域に移動部材を収容するようにし、流量調整装置を小型化することが可能となる。
【００１５】
本発明の第３態様の流量調整装置は、前記弁体部とともに前記中心軸方向に移動可能なピストン部と、前記ピストン部を介して、前記弁体部に該弁体部を前記弁孔に近づける方向の第１付勢力を与えるスプリング部とを備え前記本体部には、外部からの圧縮空気を導入する空気導入口が形成されており、前記空気導入口に連通した圧力室に導入される圧縮空気により、前記ピストン部を介して前記弁体部に該弁体部を前記弁孔から遠ざける方向の第２付勢力が発生し、前記第１付勢力が前記第２付勢力を上回る場合に前記移動部材と前記ピストン部が離間し、前記第２付勢力が前記第１付勢力を上回る場合に前記移動部材と前記ピストン部が接触することを特徴とする。
【００１６】
本発明の第３態様の流量調整装置によれば、スプリング部により弁体部を弁孔に近づける方向の第１付勢力が与えられるので、圧力室に圧縮空気が導入されない通常状態において弁体部が弁孔に接触する全閉状態となっている（ノーマルクローズ型）。空気導入口から圧力室に圧縮空気が導入されると、弁体部を弁孔から遠ざける方向の第２付勢力が発生し、第２付勢力が第１付勢力を上回ると、弁体部が弁孔から離間して開状態となる。そして、弁体部に連結されたピストン部が移動部材に接触することにより、弁体部の位置が規定されることとなる。従って、弁体部の先端に設けられた突起部の弁孔への挿入量は、移動部材の位置により調整されるので、第２付勢力により弁孔から離間した弁体部の全開状態での開度は、移動部材の位置に応じたものとなる。
このようにすることで、ノーマルクローズ型の流量調整装置における全開状態における弁体部の開度を、移動部材の位置に応じた適切な開度に調整することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、流量調整する際の操作性を高めつつ小型化を実現した流量調整装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態の流量調整装置の正面図である。
【図２】本発明の第１実施形態の流量調整装置の背面図である。
【図３】図１に示される流量調整装置の全閉状態におけるＡ−Ａ矢視部分断面図である。
【図４】図１に示される流量調整装置の全開状態におけるＡ−Ａ矢視部分断面図である。
【図５】図１に示される流量調整装置の全開状態におけるＡ−Ａ矢視部分断面図である。
【図６】図１に示される流量調整装置の全開状態におけるＡ−Ａ矢視部分断面図である。
【図７】スクリューロッド及び移動体を示す図であり、（ａ）が図４に示されるスクリューロッド及び移動体のＢ−Ｂ矢視部分断面図であり、（ｂ）が図５に示されるスクリューロッド及び移動体のＤ−Ｄ矢視部分断面図であり、（ｃ）が図６に示されるスクリューロッド及び移動体のＥ−Ｅ矢視部分断面図である。
【図８】スクリューロッド及び移動体を示す図であり、（ａ）が図４に示されるスクリューロッド及び移動体の部分断面図であり、（ｂ）が図５に示されるスクリューロッド及び移動体の部分断面図であり、（ｃ）が図６に示されるスクリューロッド及び移動体の部分断面図である。
【図９】第２実施形態の流量調整装置の全閉状態における部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
＜第１実施形態＞
以下、本発明の第１実施形態の流量調整装置１００を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の第１実施形態の流量調整装置１００の正面図である。図２は、本発明の第１実施形態の流量調整装置１００の背面図である。図３は、図１に示される流量調整装置１００の全閉状態におけるＡ−Ａ矢視断面図である。図４は、図１に示される流量調整装置１００の全開状態におけるＡ−Ａ矢視断面図である。
【００２０】
図１に示される流量調整装置１００は、半導体製造装置等に用いられる流体（薬液、純水等）の配管流路に設置される機器である。流量調整装置１００は、ボディ１（本体部）と、ベース部２と、流量調整つまみ３（つまみ部）と、ロックナット４とを備える。ボディ１には、操作ポート３６が形成されている。流入流路３１は、流量調整装置１００の外部の上流側配管（不図示）から流入する流体を流量調整装置１００の内部へ導く流路である。
【００２１】
図２に示されるように、流量調整装置１００の背面には、流量調整装置１００の内部の流体を下流側配管（不図示）に導くための流出流路３５が設けられている。
図１および図２に示されるように、流量調整装置１００は、設置面Ｓ上に設置されている。設置面Ｓに対してベース部２が固定されており、ベース部２に対してボディ１が着脱可能となっている。
【００２２】
次に、図３および図４を用いて流量調整装置１００の内部構造について説明する。
図３には、図１に示される流量調整装置１００を全閉状態とした場合のＡ−Ａ矢視部分断面図が示されている。図４には、図１に示される流量調整装置１００を全開状態とした場合のＡ−Ａ矢視部分断面図が示されている。第１実施形態の流量調整装置１００は、操作ポート３６を介して圧力室３７に圧縮空気が供給されない場合に閉状態となるノーマルクローズ型の空気圧操作弁である。
【００２３】
図３および図４に示されるボディ１は、ダイヤフラムニードル５（弁体部）を上下方向に移動させて弁座部３３に当接または離間させる流量調整機構（流量調整部）を収納する樹脂製の部材である。ここで、流量調整機構とは、後述するピストン部７、移動体８（移動部材）、カバー部９（本体部）、スクリューロッド１０（ロッド部材）、及びスプリング１１（スプリング部）を含む機構をいう。
【００２４】
流量調整機構は、弁孔３２に対するニードル部５ａ（突起部）の挿入量を調整して弁孔３２から弁室３０に流入する流体の流量を調整するものである。弁孔３２は、ダイヤフラムニードル５の先端に設けられたニードル部５ａが挿入可能となっており、流体の流入流路３１と弁室３０とを連通させるものである。ボディ１とカバー部９とを含む本体部は、ダイヤフラムニードル５が収容される弁室３０を形成するとともに、流量調整機構が収納されている。
【００２５】
ダイヤフラムニードル５にはダイヤフラム部５ｂが設けられており、ダイヤフラム５ｂによって流体の流路と他の部分とが隔離されている。ダイヤフラム部５ｂは、平面視が円環形状の薄膜部材であり、ニードル部５ａが中心軸Ｃ方向に移動するのに応じて変形する部材となっている。
【００２６】
ダイヤフラムニードル５には環状縁部５ｃが設けられている。環状縁部５ｃは、平面視が円環形状の部材である。環状縁部５ｃの外周側縁部の下方には周方向に延在する突起部が設けられており、ボディ１に設けられた平面視が円環形状の溝部に挿入されている。また、環状縁部５ｃの外周側縁部の上面は、ダイヤフラム支持部６と接触した状態となっている。環状縁部５ｃの外周側縁部の上面をダイヤフラム支持部６によって押さえつけることにより、環状縁部５ｃがボディ１に固定される。
【００２７】
弁室３０は、中心軸Ｃに沿った平面視が円形状となっており、ニードル部５ａを含むダイヤフラムニードル５が収容される。弁室３０は、ダイヤフラムニードル５の流体接触面と、ボディ１の流体接触面である弁座部３３によって画定される空間である。弁室３０の中心軸は、ダイヤフラムニードル５の中心軸Ｃと一致している。
【００２８】
弁座部３３は、弁室３０の中心軸Ｃ方向に沿って弁孔３２から遠ざかるに従って、中心軸Ｃからの距離が一定の勾配で漸次長くなるテーパ形状となっている。弁座部３３の一端は弁孔３２の端部である弁孔縁部に接続されており、弁座部３３の他端はダイヤフラムニードル５の環状縁部５ｃおよびダイヤフラム部５ｂに接続されている。
【００２９】
流量調整装置１００は、図３に示される状態において、弁孔３２から弁室３０への流体の流入が遮断される遮断状態となる。図３に示す遮断状態から圧力室３７に供給される空気圧を高めていくと、ダイヤフラムニードル５が弁座部３３から離間する。弁座部３３からダイヤフラムニードル５が離間すると、弁孔３２から弁室３０へ流体が流入する。弁室３０に流入した流体は、弁室３０に設けられた開口部を介して流出流路３５に流入し流量調整装置１００の外部に流出する。
【００３０】
ダイヤフラムニードル５は締結ねじ２２によってピストン部７に締結されており、ダイヤフラムニードル５の中心軸Ｃ方向にピストン部７と一体となって上下動する。ボディ１（本体部）は、内部に流入流路３１および流出流路３５が形成された樹脂製（例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製）の部材であり、ピストン部７を収納するための円筒部分を備えている。ボディ１の円筒部分の内面にはダイヤフラム支持部６が固定されている。ダイヤフラム支持部６は、ピストン部７を中心軸Ｃ方向に移動可能とする部材である。ダイヤフラム支持部６の内周面の径は、ピストン部７の外周面の径と略同径となっている。
【００３１】
ダイヤフラム支持部６の外周面の径は、ボディ１の内周面の径と略同径となっている。ボディ１にダイヤフラムニードル５を挿入した後、ダイヤフラム支持部６をボディ１に圧入することにより、ダイヤフラムニードル５がボディ１に対して固定される。ダイヤフラムニードル５がボディ１に対して固定された後、回り止めピン１２を挿入することにより、ボディ１に対する中心軸Ｃ周りのダイヤフラム支持部６の回転が防止される。
【００３２】
ダイヤフラム支持部６の外周面には、Ｏリング１６が設けられている。ピストン部７の外周面には、Ｏリング１７とＯリング１８とが設けられている。Ｏリング１６，１７，１８は、通常のシール機能に加え、腐食性ガスが流量調整機構に侵入するのを防止する機能も備えている。腐食性ガスは、フッ酸や硝酸などの薬液の一部がダイヤフラムニードル５のダイヤフラム部５ｂを透過することによって生じる。
【００３３】
ピストン部７には、スプリング１１により、中心軸Ｃに沿ってピストン部７を設置面Ｓ側に押し付ける方向の付勢力が与えられている。スプリング１１は、ピストン部７を介してダイヤフラムニードル５にダイヤフラムニードル５を弁孔３２に近づける方向の付勢力（第１付勢力）を与える。操作ポート３６（空気導入口）には、外部の空気供給源（不図示）から圧縮空気が供給される。操作ポート３６から流入した圧縮空気は、ピストン部７とダイヤフラム支持部６とボディ１とにより画定される圧力室３７に供給される。
【００３４】
圧力室３７に供給される空気が生成する空気圧は、空気供給源（不図示）により調整される。スプリング１１の付勢力（第１付勢力）がピストン部７に与える下向きの力よりも、圧力室３７の空気圧がピストン部７に与える上向きの力が小さい場合には、図３に示されるように、ダイヤフラムニードル５が弁座部３３に接触した閉状態となる。
【００３５】
圧力室３７の空気圧はピストン部７に作用し、ピストン部７を中心軸Ｃに沿って設置面Ｓから遠ざける方向の付勢力（第２付勢力）をピストン部７に与える。この付勢力によって、ダイヤフラムニードル５には、ピストン部７を介してダイヤフラムニードル５を弁孔３２から遠ざける方向の力が与えられる。
【００３６】
圧力室３７の空気圧が高まり、ピストン部７を中心軸Ｃに沿って設置面Ｓから遠ざける方向の付勢力が、スプリング１１により与えられる付勢力を上回ると、ピストン部７が中心軸Ｃに沿って設置面Ｓから遠ざかる方向に移動する。この移動により、ダイヤフラムニードル５が弁座部３３から離間した状態となり、流入流路３１から流れ込んだ流体が流出流路３５に流通する開状態となる。
【００３７】
弁座部３３から離間したダイヤフラムニードル５は、中心軸Ｃに沿って上方に移動し、ピストン部７に締結された締結ねじ２２の上面と移動体８の先端部が接触する位置で停止する。従って、移動体８の先端部の位置によって全開状態となるダイヤフラムニードル５の開度が調整される。
【００３８】
以下、流量調整装置１００が全開状態となる場合のダイヤフラムニードル５の開度の調整について図４〜図８を用いて説明する。図４〜図６は、図１に示される流量調整装置１００のＡ−Ａ矢視部分断面図であり、図４、図５、図６の順に、ダイヤフラムニードル５の開度が大きい。図７及び図８は、スクリューロッド１０及び移動体８を示す図である。
【００３９】
図７（ａ）は、図４に示される流量調整装置１００をＢ−Ｂ矢視方向に見た場合のスクリューロッド１０及び移動体８を示す図である。図７（ｂ）は、図５に示される流量調整装置１００をＤ−Ｄ矢視方向に見た場合のスクリューロッド１０及び移動体８を示す図である。図７（ｃ）は、図６に示される流量調整装置１００をＥ−Ｅ矢視方向に見た場合のスクリューロッド１０及び移動体８を示す図である。
【００４０】
図７に示すように、スクリューロッド１０は、ロッド本体１０ａと、第１雄ねじ部１０ｂと、第２雄ねじ部１０ｃとを含む。ロッド本体１０ａと、第１雄ねじ部１０ｂと、第２雄ねじ部１０ｃとは、ステンレス等の金属部材により一体成形されている。図３〜図６に示すように、第１雄ねじ部１０ｂは、カバー部９の上面よりも設置面Ｓ側に配置されている。そのため、第１雄ねじ部１０ｂ及び第２雄ねじ部１０ｃがボディ１の内部に配置されることとなり、流量調整装置１００の小型化が実現される。
【００４１】
図８（ａ）は、図４に示される流量調整装置１００のスクリューロッド１０及び移動体８の部分断面図である。図８（ｂ）は、図５に示される流量調整装置１００のスクリューロッド１０及び移動体８の部分断面図である。図８（ｃ）は、図６に示される流量調整装置１００のスクリューロッド１０及び移動体８の部分断面図である。図８では、ロッド本体１０ａと第１雄ねじ部１０ｂの一部が断面で示され、第１雄ねじ部１０ｂの他の一部及び第２雄ねじ部１０ｃが外観で示されている。
【００４２】
流量調整装置１００が図４〜図６に示される全開状態となる場合、ピストン部７の中央部に設けられた凹部の上面（締結ねじ２２の上面）と移動体８の下面（先端部）が接触する。従って、移動体８の下面の位置によって、流量調整装置１００が図４に示される全開状態となる場合のダイヤフラムニードル５の開度が決定する。本実施形態では、スクリューロッド１０を中心軸Ｃ方向に移動させ、移動体８の下面の位置を調整することにより、全開状態となる場合のダイヤフラムニードル５の開度（ニードル部５ａの弁孔３２への挿入量）が調整される。
【００４３】
図４〜図６に示されるように、スプリングロールピン１３の位置は流量調整装置１００が設置される設置面Ｓから一定の高さに固定されている。そして、図７及び図８に示されるように、スクリューロッド１０の先端に締結された移動体８の先端部のスプリングロールピン１３からの中心軸Ｃ方向の距離Ｄは、図７（ａ）及び図８（ａ）ではＤ１、図７（ｂ）及び図８（ｂ）ではＤ２、図７（ｃ）及び図８（ｃ）ではＤ３となっている。ここで、Ｄ１＜Ｄ２＜Ｄ３の関係となっている。従って、流量調整装置１００の全開状態におけるダイヤフラムニードル５の開度は、図４に示される流量調整装置１００が最も大きく、図５に示される流量調整装置１００が次に大きく、図６に示される流量調整装置１００の開度が一番小さい。
【００４４】
ここで、スクリューロッド１０の回転に応じて移動体８が中心軸Ｃに沿って移動する仕組みについて説明する。
移動体８は、ダイヤフラムニードル５と同軸に配置される円筒形状の部材であり、内周面に雌ねじ部８ａ（移動部材ねじ部）が設けられている。移動体８の外周面には、中心軸Ｃと平行な方向に延在し、中心軸Ｃに直交する方向の断面視が半円形状の凹溝部が形成されている。凹溝部には、平行ピン２１が接触した状態で配置されている。
【００４５】
ピストン部７の中央部に設けられた凹部の内周面には、中心軸Ｃと平行な方向に延在し、中心軸Ｃに直交する方向の断面視が半円形状の凹溝部が形成されている。凹溝部には、平行ピン２１が接触した状態で配置されている。平行ピン２１（規制部材）によって、ピストン部７と移動体８とは、中心軸Ｃ周りに相対的に回転しないように規制されている。
【００４６】
移動体８の内周面に設けられた雌ねじ部８ａには、スクリューロッド１０の第２雄ねじ部１０ｃ（第２ねじ部）が締結されている。スクリューロッド１０は、移動体８に締結される第２雄ねじ部１０ｃの他に、第１雄ねじ部１０ｂ（第１ねじ部）とロッド本体１０ａを備える。第２雄ねじ部１０ｃは、第１雄ねじ部１０ｂよりも弁孔３２に近い部分（スクリューロッド１０の先端部）に配置されている。
【００４７】
ロッド本体１０ａには中心軸Ｃと略直交する方向に貫通する貫通穴１０ｄが設けられている。貫通穴１０ｄは中心軸Ｃに沿ってダイヤフラムニードル５の移動範囲に応じた所定幅Ｗを有している。貫通穴１０ｄには、スプリングロールピン１３（ピン部材）が挿入されている。スプリングロールピン１３の両端は、ホールド部１９（つまみ部）に固定されている。スプリングロールピン１３は、中心軸Ｃに略直交する方向に延在するように配置されている。
【００４８】
ホールド部１９は中心軸Ｃ周りに回転可能な円筒形状の部材であり、上端部の外周面が流量調整つまみ３の内周面に連結されている。流量調整つまみ３とホールド部１９とは、相対的に中心軸Ｃ周りに回転しないように固定されている。従って、流量調整つまみ３とホールド部１９によりつまみ部が構成されており、流量調整装置１００の操作者が流量調整つまみ３をつまんで中心軸Ｃ周りに回転させることにより、ホールド部１９も中心軸Ｃ周りに回転する。また、ホールド部１９が中心軸Ｃ周りに回転することにより、ホールド部１９に固定されたスプリングロールピン１３が中心軸Ｃ周りに回転する。スプリングロールピン１３は貫通穴１０ｄに挿入されているので、スプリングロールピン１３の回転に応じてスクリューロッド１０が中心軸Ｃ周りに回転する。
【００４９】
スクリューロッド１０の第１雄ねじ部１０ｂは、カバー部９の内周面に設けられた雌ねじ部９ａ（本体側ねじ部）に締結されている。カバー部９は、ダイヤフラムニードル５と同軸上に配置される円筒形状の部材であり、その外周面がボディ１の内周面と接触した状態で配置されている。カバー部９は、スプリングロールピン１４によって、ボディ１に対して中心軸Ｃ周りに回転しないように固定されている。
【００５０】
次に、流量調整つまみ３を回転させた場合の移動体８の位置の変化について説明する。
流量調整つまみ３は、前述したように、ホールド部１９とスプリングロールピン１３を介して、スクリューロッド１０に固定されている。従って、流量調整つまみ３を１回転させると、スクリューロッド１０が１回転する。スクリューロッド１０が１回転すると、第１雄ねじ部１０ｂおよび第２雄ねじ部１０ｃもそれぞれ１回転する。
【００５１】
ここで、第１雄ねじ部１０ｂと第２雄ねじ部１０ｃのピッチ（１回転で軸方向に進む距離）は、それぞれＡおよびＢであり、Ａ＞Ｂの関係となっている。従って、第２雄ねじ部１０ｃのピッチＢが第１雄ねじ部１０ｂのピッチＡよりも小さい。
また、第１雄ねじ部１０ｂの呼び径は、第２雄ねじ部１０ｃの呼び径よりも大きい。第１雄ねじ部１０ｂの呼び径は、第２雄ねじ部１０ｃに締結される移動体８の外周面の径よりも更に大きくなっている。
【００５２】
第１雄ねじ部１０ｂが中心軸Ｃに沿って下方向に移動するように流量調整つまみ３を１回転させると、第１雄ねじ部１０ｂは中心軸Ｃに沿って下方向に距離Ａだけ移動する。この際、第２雄ねじ部１０ｃは第１雄ねじ部１０ｂと一体の部材であるので、第１雄ねじ部１０ｂと同様に中心軸Ｃに沿って下方向に距離Ａだけ移動する。
【００５３】
第２雄ねじ部１０ｃが中心軸Ｃに沿って下方向に距離Ａだけ移動する際、移動体８は、第１雄ねじ部１０ｂのピッチＡと第２雄ねじ部１０ｃのピッチＢの差分の距離（Ａ−Ｂ）だけ、中心軸Ｃに沿って下方向に移動する。このように距離（Ａ−Ｂ）だけ下方向に移動するのは、第２雄ねじ部１０ｃのピッチＢが第１雄ねじ部１０ｂのピッチＡよりも小さく、移動体８が平行ピン２１によってピストン部７に対して中心軸Ｃ周りに回転しないようになっているからである。
【００５４】
同様に、第１雄ねじ部１０ｂが中心軸Ｃに沿って上方向に移動するように流量調整つまみ３を１回転させると、第１雄ねじ部１０ｂは中心軸Ｃに沿って上方向に距離Ａだけ移動する。この際、第２雄ねじ部１０ｃは第１雄ねじ部１０ｂと一体の部材であるので、第１雄ねじ部１０ｂと同様に中心軸Ｃに沿って上方向に距離Ａだけ移動する。
【００５５】
第２雄ねじ部１０ｃが中心軸Ｃに沿って上方向に距離Ａだけ移動する際、移動体８は、第１雄ねじ部１０ｂのピッチＡと第２雄ねじ部１０ｃのピッチＢの差分の距離（Ａ−Ｂ）だけ、中心軸Ｃに沿って上方向に移動する。このように距離（Ａ−Ｂ）だけ上方向に移動するのは、第２雄ねじ部１０ｃのピッチＢが第１雄ねじ部１０ｂのピッチＡよりも小さく、移動体８が平行ピン２１によってピストン部７に対して中心軸Ｃ周りに回転しないようになっているからである。
【００５６】
以上のように、スクリューロッド１０にピッチの異なる第１雄ねじ部１０ｂおよび第２雄ねじ部１０ｃを設けることで、流量調整つまみ３の回転に対する移動体８の移動量を小さくし、移動体８の移動量の微調整が可能となっている。そして、流量調整つまみ３を回転させて移動体８の位置を調整することにより、ピストン部７の移動範囲が決定し、全開状態となる場合のダイヤフラムニードル５の開度が調整される。
【００５７】
なお、移動体８の外周面の径は、カバー部９の内周面の径よりも小さくなっている。従って、カバー部９の内周面とスクリューロッド１０の隙間の領域に移動体８が収容されるので、流量調整装置１００の小型化が実現されている。
【００５８】
移動体８の中心軸Ｃ方向の移動範囲は、貫通穴１０ｄの中心軸Ｃ方向に沿った幅Ｗにより規定されている。図７及び図８に示すように、図７（ａ）及び図８（ａ）ではスプリングロールピン１３が貫通穴１０ｄの下端面に接触している。従って、設置面Ｓに対して位置が固定されたスプリングロールピン１３に対し、スクリューロッド１０を更に中心軸Ｃに沿って上方に移動させることはできない。同様に、図７（ｃ）及び図８（ｃ）ではスプリングロールピン１３が貫通穴１０ｄの上端面に接触している。従って、設置面Ｓに対して位置が固定されたスプリングロールピン１３に対し、スクリューロッド１０を更に中心軸Ｃに沿って下方に移動させることはできない。
【００５９】
流量調整つまみ３を回転させることにより移動体８の位置を調整した後は、ロックナット４を締結して移動体８の位置を固定する。ロックナット４は、ロッド本体１０ａの外周面に設けられた雄ねじ部に締結される雌ねじ部を備えている。ロックナット４を回転させて、ロックナット４を中心軸Ｃ方向の下方（カバー部９に近づく方向）に移動させることにより、ロックナット４の下面とカバー部９の上面とが接触する。ロックナット４の下面とカバー部９の上面とが接触すると、流量調整つまみ３が中心軸Ｃ周りに回転しないように固定される。
【００６０】
以上説明したように、本実施形態の流量調整装置１００によれば、操作者の操作に応じて流量調整つまみ３がダイヤフラムニードル５の中心軸Ｃ周りに回転することにより、ホールド部１９に固定されたスプリングロールピン１３が中心軸Ｃ周りに回転する。中心軸Ｃに沿って延在するスクリューロッド１０に形成された貫通穴１０ｄには、スプリングロールピン１３が挿入されているので、スプリングロールピン１３の回転に応じてスクリューロッド１０が中心軸Ｃ周りに回転する。スクリューロッド１０が備える第１雄ねじ部１０ｂはカバー部９の内周面に形成された雌ねじ部９ａに締結されているので、スクリューロッド１０が中心軸Ｃ周りに回転することによりスクリューロッド１０が中心軸Ｃに沿って移動する。
【００６１】
また、スクリューロッド１０は、中心軸Ｃ方向に沿ってダイヤフラムニードル５の移動範囲に応じた所定幅Ｗを有する貫通穴１０ｄを備える。従って、スプリングロールピン１３が貫通穴１０ｄの中心軸Ｃ方向の端部に接触しない範囲では、スプリングロールピン１３を一定の位置に固定したままで、スクリューロッド１０を中心軸Ｃに沿って移動させることができる。そして、スクリューロッド１０が中心軸Ｃ方向に移動することにより、ダイヤフラムニードル５の先端に設けられたニードル部５ａの弁孔３２への挿入量が調整される。
このようにすることで、流量調整つまみ３の位置を一定の位置に固定したままで流量の調整が可能となり、流量調整する際の操作性を高めつつ小型化を実現した流量調整装置１００を提供することができる。
【００６２】
＜第２実施形態＞
以下、本発明の第２実施形態の流量調整装置を図面に基づいて説明する。図９は、第２実施形態の流量調整装置２００の全閉状態における縦断面図である。第２実施形態は第１実施形態の変形例であり、流量調整つまみの形状を除き、他の部分の構成は第１実施形態と同様である。図９において図３と同様の符号を付した部分は、第１実施形態と同様であるので、以下での説明を省略する。
【００６３】
第２実施形態の流量調整装置２００と第１実施形態の流量調整装置１００とでは、流量調整つまみの形状が異なる。第１実施形態の流量調整装置１００の流量調整つまみ３は、スクリューロッド１０の中心軸Ｃ方向の上端部を覆う形状となっており、流量調整装置１００の上方からスクリューロッド１０の上端部を視認することができない。
それに対して、第２実施形態の流量調整装置２００の流量調整つまみ２０３は、スクリューロッド１０の中心軸Ｃ方向の上端部が流量調整つまみ２０３によって覆われない形状となっており、流量調整装置２００の上方からスクリューロッド１０の上端部を視認することができる。
【００６４】
第１実施形態の図４〜図８で説明したように、スクリューロッド１０の上端部の位置は、ダイヤフラムニードル５の開度によって異なる。従って、第２実施形態によれば、スクリューロッド１０の中心軸Ｃ方向の上端部が流量調整つまみ２０３によって覆われない形状となっているので、ダイヤフラムニードル５の開度を視認により確認することができる。
【００６５】
＜他の実施形態＞
第１実施形態および第２実施形態では、流量調整装置がノーマルクローズ型の流量調整装置であるものとしたが、他の態様であってもよい。例えば、ノーマルオープン型の流量調整装置であってもよい。
その他、本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。
【符号の説明】
【００６６】
１    ボディ（本体部）
３，２０３  流量調整つまみ（つまみ部）
５    ダイヤフラムニードル（弁体部）
５ａ  ニードル部（突起部）
５ｂ    ダイヤフラム部
７    ピストン部
８    移動体（移動部材）
８ａ  雌ねじ部（移動部材ねじ部）
９    カバー部（本体部）
９ａ  雌ねじ部（本体側ねじ部）
１０    スクリューロッド（ロッド部材）
１０ｂ  第１雄ねじ部（第１ねじ部）
１０ｃ  第２雄ねじ部（第２ねじ部）
１１    スプリング（スプリング部）
１３    スプリングロールピン（ピン部材）
１９    ホールド部（つまみ部）
２１    平行ピン（規制部材）
３０    弁室
３２    弁孔
３３    弁座部
３５    流出流路
３６    操作ポート（空気導入口）
１００，２００  流量調整装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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