(57)【要約】    【課題】  砥石の研削部の全周に略均等にクーラントを供給できワークの加工精度が向上すると共に、構造的にも簡単で容易且つ安価に製作できるようにする。    【解決手段】  砥石軸３側の供給通路９からその砥石側端部の飛散手段７にクーラントを供給し、その飛散手段７を経て砥石６の研削部に内側から供給する。飛散手段７は飛散板１４と、この飛散板１４を砥石軸３の砥石装着台５に固定するベース板１７と、これら飛散板１４及びベース板１７間に設けられ且つ遠心力により外側へと飛散するクーラントを衝突させて周方向に分散させる障害部１８〜２１とを備え、その外周からクーラントを研削部の全周に供給する。【選択図】図１
2014039969.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
砥石軸側の供給通路から前記砥石軸の砥石側端部の飛散手段に供給されたクーラントを、前記砥石軸の回転による遠心力により飛散させて前記砥石の研削部に内側から供給しつつ、前記砥石によりワークを研削する平面研削方法において、遠心力により外側へと飛散するクーラントを前記飛散手段内で外周側の障害部に衝突させて周方向に分散させながら、該飛散手段の外周からクーラントを前記研削部の全周に供給することを特徴とする平面研削方法。
【請求項２】
砥石軸側の供給通路から前記砥石軸の砥石側端部の飛散板側に供給されたクーラントを、前記砥石軸の回転による遠心力により飛散させて前記砥石の研削部に内側から供給するようにした平面研削盤のクーラント供給装置において、前記飛散板と該飛散板に対向する前記砥石軸側との対向面との間に、遠心力により飛散するクーラントを衝突させて周方向に分散させる障害部を設けたことを特徴とする平面研削盤のクーラント供給装置。
【請求項３】
前記飛散板と前記対向面との少なくとも一方に前記障害部を設けたことを特徴とする請求項２に記載の平面研削盤のクーラント供給装置。
【請求項４】
前記砥石軸の先端に固定された砥石装着台を備え、該砥石装着台の前記砥石側に、略中心部にクーラント用の流通孔を有するベース板を装着し、該ベース板に前記飛散板を装着したことを特徴とする請求項２又は３に記載の平面研削盤のクーラント供給装置。
【請求項５】
前記飛散板は前記障害部を有することを特徴とする請求項２〜４の何れかに記載の平面研削盤のクーラント供給装置。
【請求項６】
前記障害部はクーラントが外側へと飛散する周方向に複数個の飛散通路と、該飛散通路間に配置され且つ遠心力により飛散するクーラントが衝突する周方向に複数個の障害壁とを備えたことを特徴とする請求項２〜５の何れかに記載の平面研削盤のクーラント供給装置。
【請求項７】
内外に略同心状に複数個の前記障害部を備え、内外の前記障害部は前記飛散通路と前記障害壁とが内外方向に対応していることを特徴とする請求項６に記載の平面研削盤のクーラント供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面研削方法及び平面研削盤のクーラント供給装置に関し、シリコンウェーハ等のワークを研削する際に、砥石の研削部の全面に内側から略均等にクーラントを供給するようにしたものである。
【背景技術】
【０００２】
平面研削盤によりシリコンウェーハ等のワークの片面研削又は両面同時研削を行う場合、砥石軸の軸端に固定された砥石装着台に砥石を装着する一方、この砥石装着台の砥石の内周側に、砥石装着台との間に所定の間隔をおいて配置された飛散板を備え、砥石軸側の供給通路から飛散板の中心側に供給されたクーラントを、飛散板と砥石装着台との間を経て外周側へと飛散させて、飛散板の外周から砥石の研削部へと内側から供給するようにしている。
【０００３】
この種のクーラント供給装置には、従来、飛散板に砥石装着台に対向して羽根を設け、この羽根の回転によるポンプ作用を利用してクーラントを供給するもの（特許文献１）、飛散板に砥石装着台に対向して放射状に通路を設け、飛散板の回転による遠心力によって各通路を経てクーラントを飛散させて供給するもの（特許文献２）、更には砥石軸と飛散板とに、所定の間隙をおいて相対向するテーパー面を形成し、その間隙部を経て遠心力によりクーラントを飛散させて供給するもの（特許文献３、４）等がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−３８８６６号公報
【特許文献２】特開２００２−１１６６０号公報
【特許文献３】特開昭５８−４５８７４号公報
【特許文献４】特開平１１−２６７９７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のクーラント供給装置では、砥石軸の回転時のポンプ作用又は遠心力を利用して飛散板の外周から砥石の研削部へとクーラントを飛散させるようにしており、飛散板の中心部から外周までのクーラントの流れ経路中に、そのクーラントの流れを遮ってクーラントの流量を周方向に分散させるようになっていない。
【０００６】
このため飛散板の全周のどこかで飛散板と砥石装着台の対向面との隙間が異なる等のバラツキがあるか、又は飛散板の中心部に供給されたクーラントに偏流が生じた場合には、クーラントが飛散板の流れ易い箇所に集中する偏りが生じ、その状態で一定の軌道を描きながら飛散することとなり、砥石の研削部の全周にクーラントを略均一に供給できず、加工後のワークの平面度が低下する等の研削精度の低下を招く惧れがある。
【０００７】
その対策として、飛散板と砥石装着台の対向面との間の隙間を全周で一定にしたり、飛散板の中心部のクーラントの偏流の発生原因を除去したりする等、飛散板を含む周辺部分の精度を厳密に管理することが考えられるが、この場合には製作が困難であり、その製作コストが大幅に高騰するという欠点がある。
【０００８】
またクーラントの供給量のバラツキがあってもワークの加工精度に影響を与えない程度までクーラントの供給量を増やして加工精度の低下を防止することが考えられるが、その場合にはクーラントの供給量が必要以上に増加し、その結果、研削屑や砥石屑の排出が良くなり、研削屑や砥石屑で砥石の目立てが行える砥石の自生作用が低下するという問題がある。
【０００９】
本発明は、このような従来の問題点に鑑み、砥石の研削部の全周に略均等にクーラントを供給できワークの加工精度が向上すると共に、構造的にも簡単で容易且つ安価に製作でき、しかもクーラントの供給量を少なくでき、また砥石の自生作用を促進できる平面研削方法及び平面研削盤のクーラント供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る平面研削方法は、砥石軸側の供給通路から前記砥石軸の砥石側端部の飛散手段に供給されたクーラントを、前記砥石軸の回転による遠心力により飛散させて前記砥石の研削部に内側から供給しつつ、前記砥石によりワークを研削する平面研削方法において、遠心力により外側へと飛散するクーラントを前記飛散手段内で外周側の障害部に衝突させて周方向に分散させながら、該飛散手段の外周からクーラントを前記研削部の全周に供給するものである。
【００１１】
本発明に係る平面研削盤のクーラント供給装置において、砥石軸側の供給通路から前記砥石軸の砥石側端部の飛散板側に供給されたクーラントを、前記砥石軸の回転による遠心力により飛散させて前記砥石の研削部に内側から供給するようにした平面研削盤のクーラント供給装置において、前記飛散板と該飛散板に対向する前記砥石軸側との対向面との間に、遠心力により飛散するクーラントを衝突させて周方向に分散させる障害部を設けたものである。
【００１２】
前記飛散板と前記対向面との少なくとも一方に前記障害部を設けてもよい。前記砥石軸の先端に固定された砥石装着台を備え、該砥石装着台の前記砥石側に、略中心部にクーラント用の流通孔を有するベース板を装着し、該ベース板に前記飛散板を装着してもよい。前記飛散板は前記障害部を有するものでもよい。
【００１３】
前記障害部はクーラントが外側へと飛散する周方向に複数個の飛散通路と、該飛散通路間に配置され且つ遠心力により飛散するクーラントが衝突する周方向に複数個の障害壁とを備えたものでもよい。内外に略同心状に複数個の前記障害部を備え、内外の前記障害部は前記飛散通路と前記障害壁とが内外方向に対応してもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明では、砥石の研削部の全周に略均等にクーラントを供給できワークの加工精度が向上すると共に、構造的にも簡単で容易且つ安価に製作でき、しかもクーラントの供給量を少なくでき、また砥石の自生作用を促進できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す横型両頭平面研削盤の一部切欠き正面図である。
【図２】同飛散板及び障害部の側面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態を示す飛散板及び障害部の側面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態を示す飛散板及び障害部の側面図である。
【図７】図６のＣ−Ｃ線断面図である。
【図８】本発明の第４の実施形態を示す飛散板及び障害部の側面図である。
【図９】図８のＤ−Ｄ線断面図である。
【図１０】本発明の第５の実施形態を示す飛散板及び障害部の側面図である。
【図１１】図１０のＥ−Ｅ線断面図である。
【図１２】本発明の第６の実施形態を示す横型両頭平面研削盤の一部切欠き正面図である。
【図１３】本発明の第７の実施形態を示す横型両頭平面研削盤の一部切欠き正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳述する。図１〜図３はシリコンウェーハ等のワークの両面を平面研削する横型両頭平面研削盤に採用した場合のクーラント供給装置を例示する。図１及び図２において、1 はシリコンウェーハ等の薄板状のワークである。２は横型両頭平面研削盤、３はその砥石軸で、ワーク１の左右両側に相対向して配置され、左右方向に摺動自在な左右一対の摺動ベース（図示省略）上の軸受台４により軸心廻りに回転自在に支持されている。
【００１７】
各砥石軸３には相対向する一端側に砥石装着台５を有し、その砥石装着台５に、ワーク１を研削するリング状の砥石６と、ワーク１の研削時に砥石軸３の回転による遠心力によりクーラントを飛散させて砥石６の研削部２７の全周に内側から略均等に供給する飛散手段７とが装着され、また他端側には砥石軸３を軸心廻りに回転駆動する駆動源（図示省略）が設けられている。そして、ワーク１を研削する際には、駆動源の駆動により砥石軸３を軸心廻りに回転させて、その砥石６によりワーク１の両面を研削し、また飛散手段７により、砥石６の研削部２７の全周に内側からクーラントを略均等に供給するようになっている。
【００１８】
砥石軸３は砥石６側端部に一体に形成されたフランジ部８と、略中心部に軸心方向の全長に亘って貫通状に形成された供給通路９とを備え、そのフランジ部８に周方向に複数本のボルト等の固定手段１０により砥石装着台５が着脱自在に装着されている。砥石６は研削部２７と、この研削部２７を支持する基台１１を略同心状に備え、その基台１１が砥石装着台５のワーク１側端面の外周部に周方向に複数本のボルト等の固定手段１２により着脱自在に装着されている。基台１１の砥石６の内周側には、飛散手段７から供給されたクーラントを砥石６の研削部２７側へと案内するテーパー部１３が略同心状に設けられている。
【００１９】
供給通路９はクーラントの供給用であって、砥石軸３の他端側で回転管継ぎ手、供給管（何れも図示省略）等を介してクーラント供給源（図示省略）に接続されている。なお、クーラントは砥石軸３の軸心方向の中途で供給通路９に供給するようにしても良い。その場合には、供給通路９の他端側を栓で閉塞するか、又は砥石軸３に、そのフランジ部８側から軸方向の中途部まで供給通路９を形成しても良い。
【００２０】
砥石装着台５の内周孔１５は砥石軸３の供給通路９よりも大径であり、この内周孔１５の内側が供給通路９に連通するクーラント用の貯留室１６となっている。飛散手段７は、砥石装着台５に装着されたベース板１７と、このベース板１７に相対向して装着された飛散板１４と、このベース板１７と飛散板１４との間に配置された障害部１８〜２０とを有し、貯留室１６からベース板１７の流通孔２２を経て供給されるクーラントを、砥石軸３の回転による遠心力により径方向の外側へと飛散させながら外側の障害部１８〜２０に衝突させて周方向の全周に略均等に分散させるようになっている。
【００２１】
ベース板１７は飛散板１４と対向する対向面２３が砥石軸３の軸心方向と略直角の平坦状であり、その略中心部に供給通路９及び内周孔１５よりも小径の流通孔２２が、外周側にクーラントを砥石６の研削部２７へと案内するテーパー部２４が夫々略同心状に形成されている。このベース板１７は対向面２３と反対側の嵌合部１７ａを砥石装着台５の内周孔１５に嵌合させて、テーパー部２４の内側近傍に配置された周方向の複数個のボルト等の固定手段２５により砥石装着台５の端面に着脱自在に固定されている。
【００２２】
飛散板１４はベース板１７の対向面２３に対して所定の間隔をおいて略平行に配置され、且つベース板１７のテーパー部２４よりも内周側に略同心状に配置されている。飛散板１４とベース板１７との間隔は、ベース板１７のテーパー部２４の高さよりも若干大である。
【００２３】
障害部１８〜２０は飛散板１４側に内外に略同心状に複数個設けられており、飛散板１４の中心部側に供給されたクーラントが砥石軸３の回転による遠心力を受けて外周側へと飛散する間に障害部１８〜２０に複数回衝突することにより、そのクーラントを周方向の全周に略均等に分散させるようになっている。
【００２４】
例えばこの実施形態の障害部１８〜２０は、図２、図３に示すように、最内周側である第１障害部１８と、中間側である第２障害部１９と、最外周側である第３障害部２０とにより構成されている。第１〜第３障害部１８〜２０はクーラントが外側へと飛散する周方向に複数個の飛散通路１８ａ〜２０ａと、この飛散通路１８ａ〜２０ａ間に配置され且つ遠心力により飛散するクーラントが衝突してそのクーラントを周方向に分散させるための複数個の障害壁１８ｂ〜２０ｂとを備え、飛散通路１８ａ〜２０ａ及び障害壁１８ｂ〜２０ｂが周方向に略均等に配置されている。
【００２５】
第１〜第３障害部１８〜２０の各飛散通路１８ａ〜２０ａは周方向に略等間隔に配置され、第１〜第３障害部１８〜２０毎に全体として飛散板１４の中心から略放射状になっている。第１障害部１８はベース板１７の流通孔２２の外周側近傍に配置されている。この第１障害部１８の複数個の障害壁１８ｂの内、その一部又は全部の複数個（例えば８個の内の４個）の障害壁１８ｂの取り付け孔１８ｃに挿通されたねじ等の固定手段２６により、飛散板１４がベース板１７に着脱自在に固定されている。
【００２６】
なお、取り付け孔１８ｃは他の第２障害部１９又は第３障害部２０の障害壁１９ｂ，２０ｂに設けてもよい。また第１〜第３障害部１８〜２０の障害壁１８ｂ〜２０ｂ以外の箇所に固定手段２６を配置してもよい。その場合、クーラントがベース板１７、飛散板１４間で固定手段２６の軸部に対して衝突するように設けてもよいし、障害壁１８ｂ〜２０ｂの外側近傍に固定手段２６を配置してもよい。
【００２７】
第１障害部１８の障害壁１８ｂは飛散板１４の取り付け用を兼用しており、他の第２、第３障害部１９、２０の障害壁１９ｂ、２０ｂに比較して径方向の寸法が大である略台形状に構成されている。第２、第３障害部１９、２０の障害壁１９ｂ，２０ｂは円弧状に構成されている。第１〜第３障害部１８〜２０の障害壁１８ｂ〜２０ｂの突出高さは略同一であり、その先端はベース板１７の対向面２３に当接している。
【００２８】
第１〜第３障害部１８〜２０は内周側の飛散通路１８ａ，１９ａと外周側の障害壁１９ｂ，２０ｂ、内周側の障害壁１８ｂ，１９ｂと外周側の飛散通路１９ａ，２０ａが夫々径方向に対応して配置されている。例えば第１、第２障害部１８，１９の飛散通路１８ａ，１９ａ及び障害壁１８ｂ，１９ｂは周方向に同数であり、第１障害部１８の飛散通路１８ａ及び障害壁１８ｂの外周側には、第２障害部１９の障害壁１９ｂ及び飛散通路１９ａが対応して配置されている。
【００２９】
飛散板１４にはその第３障害部２０の障害壁２０ｂの周方向の途中に、飛散板１４の取り付け用の固定手段２５の頭部２５ａに対応する切り欠き部２８が設けられている。この切り欠き部２８は第２障害部１９の障害壁１９ｂの外側に対応している。また切り欠き部２８は固定手段２５の頭部２５ａにより一部を残して塞がれており、その頭部２５ａと障害壁２０ｂとの隙間でクーラントの飛散通路２０ａの一部が形成されている。なお、切り欠き部２８では固定手段２５の頭部２５ａが障害壁２０ｂを兼用している。
【００３０】
この実施形態では内外方向に３組の障害部１８〜２０を備えているが、クーラントを周方向の全周に略均等に分散させることが可能であれば、その数は飛散板１４の径方向に１組でもよいし、２組以上の複数組でもよい。また第１〜第３障害部１８〜２０の飛散通路１８ａ〜２０ａ、障害壁１８ｂ〜２０ｂについても、クーラントを周方向の全周に略均等に分散させることが可能であればその数は任意であり、増やしてもよいし、減らしてもよい。
【００３１】
各砥石軸３の先端の砥石６によりワーク１の両面を平面研削するに際しては、駆動源により各砥石軸３を回転させながら、砥石軸３の供給通路９から飛散手段７へとクーラントを送り、その飛散手段７によりクーラントを砥石６の研削部２７の全周に内側から略均等に供給する。
【００３２】
即ち、供給通路９から貯留室１６、流通孔２２を経てベース板１７と飛散板１４との間の中心部にクーラントを供給すると、クーラントは砥石軸３の回転による遠心力によって外周方向へと移動し、第１障害部１８から第２障害部１９、第３障害部２０を経て外側へと飛散する間に、その各障害部１８〜２０に順次衝突して周方向の全周に略均等に分散されて行く。
【００３３】
例えば飛散板１４の中心部に供給されたクーラントは、最内周側の第１障害部１８の障害壁１８ｂに衝突した後又は直接第１障害部１８の飛散通路１８ａを図２のａ矢示方向に通過し、その外側の中間の第２障害部１９の障害壁１９ｂに衝突して流れを遮られる。中間の第２障害部１９の障害壁１９ｂに衝突したクーラントは、遠心力により第２障害部１９の障害壁１９ｂの内周面に張りつき、後から飛散して来るクーラントにより押されながら第２障害部１９の障害壁１９ｂの内周面に沿って回転方向（図２のＸ矢示方向）に対して後方へと図２のｂ矢示方向に移動して周方向に分散され、その後、第２障害部１９の飛散通路１９ａを経て図２のｃ矢示方向へと通過し、最外周側の第３障害部２０の障害壁２０ｂに衝突する。
【００３４】
この第３障害部２０の障害壁２０ｂに衝突したクーラントは第２障害部１９と同様に遠心力作用により、第３障害部２０の障害壁２０ｂの内周面に沿って回転方向（Ｘ矢示方向）に対して後方へと図２のｄ矢示方向に移動して、その後方側の第３障害部２０の飛散通路２０ａから飛散板１４の外方へと図２のｅ矢示方向へと飛散する。
【００３５】
このように飛散板１４の中心部に供給されたクーラントは、ベース板１７と飛散板１４との間を通過する際に、図２の矢印ａ〜ｄに示すような流れ経路を辿りながら順次外側へと飛散しながら周方向へと拡散されて行く。そして、クーラントの拡散が飛散板１４の全周で行われるので、クーラントが飛散板１４の中心部に供給され続ける限りは、その中心部分でのクーラントに多少の偏流があったり、周方向の一部でベース板１７と飛散板１４との間隔に多少のバラツキ等があっても、それらに関係なくクーラントを飛散板１４の周方向の全周に略均等に分散させることができる。
【００３６】
従って、飛散板１４とベース板１７との間で全周に略均等に分散されたクーラントを、飛散板１４から外方側へと飛散させて、砥石６の研削部２７の全周に略均等に供給することができる。このためクーラントの部分的な偏りによるワーク１の研削精度の低下等を防止でき、加工後のワーク１の平面度を向上させることができる。また必要以上のクーラントを要することなく砥石６の全周に略均等に供給できるので、クーラントの供給量を少なくできる上に、クーラントの供給量の減少により砥石６の自生作用を安定させることができる。
【００３７】
しかも飛散板１４側でのクーラントの分散効果が大であるため、遠心力の影響が弱まる低回転数で、クーラントの設定量が少量のような場合にも、砥石６の研削部２７の全面にクーラントを略均等に供給することができる。なお、第１〜第３障害部１８〜２０の障害壁１８ｂ〜２０ｂの周方向の長さを適宜変更することによって、クーラントが障害壁１８ｂ〜２０ｂに遮られて周方向に分散する分散効果を適宜調整できる。
【００３８】
クーラントは飛散板１４の外周から飛散するが、そのクーラントの多くはベース板１７のテーパー部２４に案内されて砥石６の研削部２７の全周に略均等に供給されるか、その外周に配置された砥石６の基台１１に衝突してミスト状になる等して、この基台１１のテーパー部１３の案内により砥石６の研削部２７の全周に略均等に供給されて行く。なお、クーラントの一部は飛散板１４から外側の空中へと飛散するものもある。
【００３９】
また砥石装着台５側に飛散板１４と対向するベース板１７がなければ、砥石装着台５の内周孔１５が大であるため、飛散板１４の径方向に複数個の第１〜第３障害部１８〜２０を配置するには、飛散板１４の直径を大きくする必要がある。しかし、砥石装着台５側に飛散板１４と対向してベース板１７があり、そのベース板１７の中心部の流通孔２２が砥石装着台５の内周孔１５の内径よりも小さくなっているため、ベース板１７がない場合に比較して飛散板１４の直径を小さく抑えつつ、飛散板１４とベース板１７との間に径方向に複数個の障害部１８〜２０を配置できる利点がある。
【００４０】
更に飛散板１４に障害部１８〜２０を設けているため、嵌合部１７ａ等を有するベース板１７側に障害部１８〜２０を設ける場合に比較して、ベース板１７及び飛散板１４の個々の製作を容易に行うことができる。
【００４１】
またベース板１７を砥石装着台５に固定するための固定手段２５と対応して飛散板１４に切り欠き部２８があるため、その切り欠き部２８から固定手段２５を操作してベース板１７を砥石装着台５に対して着脱できる。従って、ベース板１７を砥石装着台５に着脱する都度、飛散板１４をベース板１７から取り外す必要がなく、ベース板１７の着脱時の取り扱いが容易である。
【００４２】
また切り欠き部２８の内側に第２障害部１９の障害壁１９ｂがあり、しかもその切り欠き部２８内に固定手段２５の頭部２５ａがあるので、第２障害部１９の飛散通路１９ａを通過したクーラントは先ず第３障害部２０の障害壁２０ｂに衝突し、次いでその障害壁２０ｂの内周面に沿って回転方向の後方へと図２のｄ矢示方向に移動して固定手段２５の頭部２５ａに衝突した後、切り欠き部２８と固定手段２５の頭部２５ａとの間の飛散通路２０ａを経て外側に飛散することとなる。
【００４３】
このためクーラントが切り欠き部２８を経てそのまま飛散板１４の外側へと飛散することはなく、クーラントの分散性が向上する。しかも切り欠き部２８と固定手段２５の頭部２５ａとの隙間が第３障害部２０の一つの飛散通路２０ａとなっているため、切り欠き部２８の近傍に専用の飛散通路２０ａを設ける煩雑さを同時に回避することができる。
【００４４】
また第３障害部２０の障害壁２０ｂは切り欠き部２８の有無によって周方向の長さに長短があり、長い障害壁２０ｂと短い障害壁２０ｂとが交互に配置されており、短い障害壁２０ｂの両側では長い障害壁２０ｂの両側に比較して飛散通路２０ａの分布が密になっているが、飛散通路２０ａは所定の粗密間隔で周方向に交互に配列されているため、クーラントの極端な偏りが生じることはない。
【００４５】
図４、図５は本発明の第２の実施形態を例示する。この実施形態では、飛散板１４は第１〜第３障害部１８〜２０を有し、その飛散通路１８ａ〜２０ａと障害壁１８ｂ〜２０ｂとが周方向に略等間隔に配置されている。特に第３障害部２０には、通常の飛散通路２０ａと、切り欠き部２８と固定手段２５の頭部２５ａとの間に飛散通路２０ａが形成されている。他の構成は第１の実施形態と同様である。
【００４６】
このようにすれば第１〜第３障害部１８〜２０において、その飛散通路１８ａ〜２０ａが周方向の全周で略均等に分布することとなり、飛散板１４内で周方向の全周に略均一にクーラントを分散させることができる。従って、最外周側の第３障害部２０の外周から砥石６の研削部２７により均等にクーラントを供給することができる。
【００４７】
図６、図７は本発明の第３の実施形態を例示する。この実施形態では、飛散板１４に第１〜第４障害部１８〜２１が設けられている。第４障害部２１は飛散板１４の最外周側にあり、他の第１〜第３障害部１８〜２０と同様に飛散通路２１ａと障害壁２１ｂとを有する。各障害壁１８ｂ〜２１ｂは周方向に長い円弧状に形成され、その障害壁２１ｂの途中に第１の実施形態と同様に切り欠き部２８が設けられている。他の構成は第１の実施形態と同様である。
【００４８】
このように飛散板１４に４組の第１〜第４障害部１８〜２１を設ける等、その障害部１８〜２１の数を増やすことにより、クーラントがより複雑な流れ経路を辿りながら飛散するため、クーラントの周方向の分散性を更に向上させることができる。
【００４９】
図８、図９は本発明の第４の実施形態を例示する。この実施形態では、飛散板１４の第１〜第３障害部１８〜２０の内、その第１障害部１８は飛散通路１８ａと障害壁１８ｂとが周方向に略等間隔に配置されているが、第２障害部１９には、第３障害部２０と同様に周方向の長さの異なる障害壁１９ｂが交互に配置されている。他の構成は第１の実施形態と同様である。
【００５０】
このように第３障害部２０と同様に第２障害部１９の障害壁１９ｂに長短があり、飛散通路１９ａの分布に粗密がある場合にも、第１〜第３障害部１８〜２０の各飛散通路１８ａ〜２０ａが径方向に対応しない限り、飛散板１４の回転によりその外周の飛散通路２０ａを経て砥石６の研削部２７の全周に略均等にクーラントを供給することができる。
【００５１】
図１０、図１１は本発明の第５の実施形態を例示する。この実施形態では、飛散板１４に径方向に第１〜第４障害部１８〜２１が設けられ、飛散板１４の外周側に固定手段２６用の取り付け孔２９が設けられている。
【００５２】
このように飛散板１４の外周側に取り付け孔２９を設ける等によって、他の実施形態に比較して第１障害部１８の障害壁１８ｂの径方向の寸法を小さく構成することができる。従って、飛散板１４に第１〜第４障害部１８〜２１を設ける等、飛散板１４の直径を抑えたままで障害部１８〜２１の数を増やすことも可能である。他の構成は第１の実施形態と同様である。
【００５３】
図１２は本発明の第６の実施形態を例示する。この実施形態では、ベース板１７の流通孔２２とテーパー部２４との第１〜第３障害部１８〜２０に一体に形成され、その第１〜第３障害部１８〜２０に、切り欠き部２８を有する円板状の飛散板１４が固定手段２６により着脱自在に固定されている。その他の構成は第１の実施形態と同様である。
【００５４】
このようにベース板１７と飛散板１４との間に障害部１８〜２０を設けるに当たっては、飛散板１４に設ける他、ベース板１７に設けることも可能である。この場合には、ベース板１７は構造的に複雑になるが、飛散板１４は単純化できる。
【００５５】
なお、障害部１８〜２０はベース板１７と飛散板１４との何れか一方に設けてもよいし、ベース板１７と飛散板１４との両方に設けてもよい。また障害部１８〜２０はベース板１７、飛散板１４と別体にして、ベース板１７と飛散板１４とにより障害部１８〜２０を両側から挟むようにしてもよい。
【００５６】
図１３は本発明の第７の実施形態を例示する。この実施形態では、砥石装着台５の端面を飛散板１４に対向する対向面２３とし、この対向面２３と飛散板１４との間に障害部１８〜２０が設けられている。障害部１８〜２０は第１の実施形態と同様に飛散板１４に設けられている。飛散板１４の外周側には、飛散板１４から飛散するクーラントを砥石６の研削部２７へと案内するテーパー案内体３０が設けられている。テーパー案内体３０はリング状であり、砥石装着台５の装着溝３１に嵌合され、砥石装着台５に固定された飛散板１４の第３障害部２０等により押えて固定されている。他の構成は第１の実施形態と同様である。
【００５７】
このように飛散板１４を砥石装着台５に装着して、その飛散板１４と砥石装着台５の対向面２３との間に障害部１８〜２０を設けてもよい。このようにすれば、ベース板１７を省略することができる。またベース板１７を省略しても、飛散板１４の外周側のテーパー案内体３０を砥石装着台５側に設けることによって、飛散板１４から飛散するクーラントを砥石６の研削部２７へと案内することができる。
【００５８】
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。例えば実施形態では、横型両頭平面研削盤２について例示しているが、単頭式でも同様に実施でき、また両頭、単頭の別を問わず、縦型の平面研削盤でも同様に実施可能である。またワーク１としてシリコンウェーハを具体的に例示しているが、シリコンウェーハ以外の各種のワーク１を研削する場合にも、前述と同様に実施できる。
【００５９】
障害部１８〜２０の障害壁１８ｂ〜２０ｂは飛散通路１８ａ〜２０ａから外側へと飛散するクーラントが衝突する構造であればよい、その形状は実施形態に例示する台形状、円弧状以外のものを適宜採用してもよい。また障害部１８〜２０の飛散通路１８ａ〜２０ａは飛散板１４の中間から放射方向に配置するのが一般的であるが、遠心力によりクーラントが外側へと飛散可能な方向に配置すればよく、必ずしも中間から放射方向である必要はない。
【符号の説明】
【００６０】
１              ワーク
３              砥石軸
５              砥石装着台
６              砥石
７              飛散手段
９              供給通路
１７            ベース板
１８            第１障害部
１９            第２障害部
２０            第３障害部
２１            第４障害部
１８ａ〜２１ａ  飛散通路
１８ｂ〜２１ｂ  障害壁
２７            研削部
２８            切り欠き部
【図１】
2014039969.tif 000003
【図２】
2014039969.tif 000004
【図３】
2014039969.tif 000005
【図４】
2014039969.tif 000006
【図５】
2014039969.tif 000007
【図６】
2014039969.tif 000008
【図７】
2014039969.tif 000009
【図８】
2014039969.tif 000010
【図９】
2014039969.tif 000011
【図１０】
2014039969.tif 000012
【図１１】
2014039969.tif 000013
【図１２】
2014039969.tif 000014
【図１３】
2014039969.tif 000015