【手続補正書】
【提出日】令和3年2月16日(2021.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロバルブシステムであって、
オリフィスを含むオリフィスプレート、及び
前記オリフィスプレートに対して離間された関係に連結される片持ち梁を備え、前記片持ち梁は、前記片持ち梁によって前記オリフィスが閉鎖される位置と開口される位置との間で移動可能であり、
前記片持ち梁は、一つ以上の電気信号の一つ以上の圧電層への印加に応答して前記片持ち梁の曲りを容易にする一つ以上の圧電層と、
前記一つ以上の電気信号が前記一つ以上の圧電層に印加されない時に前記片持ち梁に曲がりを持たせる材料の層とを備え、
前記一つ以上の電気信号の前記一つ以上の圧電層への印加に応答して、前記片持ち梁は、前記オリフィスプレートに隣接する開始位置から前記オリフィスプレートから離れるように移動し、そして、
前記一つ以上の電気信号の前記一つ以上の圧電層への印加の終了に応答して、前記片持ち梁は、前記オリフィスプレートに隣接する前記開始位置に戻るマイクロバルブシステム。
【請求項２】
前記片持ち梁は、互いから離間され且つ前記オリフィスプレートから離間された一対の圧電層を含み、
前記第１の電気信号の印加終了は、前記オリフィスプレートに隣接する前記開始位置へ戻るための第２の電気信号の前記一対の圧電層の内の他方への印加をさらに含む請求項１に記載のマイクロバルブシステム。
【請求項３】
前記片持ち梁は、その基端部で前記オリフィスプレートに連結され、前記片持ち梁は、その先端部で前記オリフィスが閉鎖される位置と前記オリフィスが開口される位置との間で移動可能である請求項１に記載のマイクロバルブシステム。
【請求項４】
前記オリフィスプレートに向かって曲がる前記片持ち梁は、前記オリフィスを閉鎖する請求項１に記載のマイクロバルブシステム。
【請求項５】
材料の前記層のより薄い厚み及びより厚い厚みは、前記一つ以上の電気信号が前記一つ以上の圧電層に印加されない時に、夫々より大きな曲り及びより少ない曲りを前記片持ち梁に有させる請求項１に記載のマイクロバブルシステム。
【請求項６】
前記片持ち梁は、複数の層を含み、及び
平面視で、前記片持ち梁の前記層の内の少なくとも一つの層は、以下の形状、即ち、矩形、台形、多角形及び湾曲形状の一つ又はそれらの組合せを有する請求項１に記載のマイクロバルブシステム。
【請求項７】
更に、前記片持ち梁が前記オリフィスプレートに向かって曲がると、前記オリフィスをシールするための手段を含む請求項１に記載のマイクロバルブシステム。
【請求項８】
前記オリフィスをシールするための前記手段は、以下のもの、即ち
前記片持ち梁の先端部上の隆起表面、及び／又は
前記オリフィスを囲む前記オリフィスプレート上の隆起表面の少なくとも一つを含む請求項７に記載のマイクロバルブシステム。
【請求項９】
更に、
前記オリフィスプレートにおける複数のオリフィス、及び
前記オリフィスプレートから離間した関係に配置される複数の前記片持ち梁を含み、各片持ち梁が、前記複数のオリフィスの一つが前記片持ち梁によって閉鎖される位置と開口される位置との間で移動可能である請求項１に記載のマイクロバルブシステム。
【請求項１０】
前記複数の片持ち梁は、並列に、相互に組み合わされて、又はｘとｙアレイに配置される請求項９に記載のマイクロバルブシステム。
【請求項１１】
更に、前記片持ち梁とは反対側の前記オリフィスプレートの側に連結される出力マニフォルドを含む請求項１に記載のマイクロバルブシステム。
【請求項１２】
前記出力マニフォルドは、一つ以上のパスを含み、前記パスの各々は、前記パスと連通する各オリフィスから出力された流体を所定の方向に向けるように構成される請求項１１に記載のマイクロバルブシステム。
【請求項１３】
前記圧電層の少なくとも一つは、前記片持ち梁の先端部へは延在しない請求項１に記載のマイクロバルブシステム。
【請求項１４】
プリントヘッドであって、
入力マニフォルド、及び
前記入力マニフォルドに連結される複数のマイクロバルブを備え、前記複数のマイクロバルブは、複数のオリフィスを含むオリフィスプレートと前記オリフィスプレートに対して離間した関係に配置される複数の片持ち梁を含み、各片持ち梁は、前記片持ち梁によって前記複数のオリフィスの内の一つが閉鎖される位置と開口される位置との間を移動可能であり、
各片持ち梁は、一つ以上の電気信号の一つ以上の圧電層への印加に応答して前記片持ち梁の曲りを容易にする一つ以上の圧電層と、シリコン又は不活性材料の第１の層とを備え、前記第１の層は、上に、前記電気信号が前記片持ち梁に印加されることがない場合に前記片持ち梁を曲げる材料の第２の層を含み、
前記一つ以上の電気信号の前記一つ以上の圧電層への印加に応答して、前記片持ち梁は、前記オリフィスプレートに隣接する開始位置から前記オリフィスプレートから離れるように移動し、そして、
前記一つ以上の電気信号の前記一つ以上の圧電層への印加の終了に応答して、前記片持ち梁は、前記オリフィスプレートに隣接する前記開始位置に戻るプリントヘッド。
【請求項１５】
少なくとも一つの片持ち梁は、互いから離間され且つ前記オリフィスプレートから離間された一対の圧電層を含み、
前記第１の電気信号の印加終了は、前記オリフィスプレートに隣接する前記開始位置へ戻るための第２の電気信号の前記一対の圧電層の内の他方への印加をさらに含む請求項１４に記載のプリントヘッド。
【請求項１６】
各片持ち梁は、その基端部で前記オリフィスプレートと前記入力マニフォルドとの間に連結され、前記片持ち梁は、その先端部で前記オリフィスの一つが閉鎖される位置と前記オリフィスの一つが開口される位置との間で移動可能である請求項１４に記載のプリントヘッド。
【請求項１７】
前記オリフィスプレートに向かって曲がる各片持ち梁は、前記オリフィスの内の一つを閉鎖する請求項１４に記載のプリントヘッド。
【請求項１８】
前記不活性材料は、ニッケル又はピエゾ電気的に不活性の材料であり、
材料の前記第２の層は、酸化物層、ＳｉＮｘの層、又はＳｉＣｘの層である請求項１４に記載のプリントヘッド。
【請求項１９】
材料の前記第２の層は、酸化物層であり、
前記酸化物層のより厚い厚み及びより薄い厚みは、前記一つ以上の電気信号が前記片持ち梁に印加されない時に、夫々より大きな曲り及びより少ない曲りを前記片持ち梁に有させる請求項１４に記載のプリントヘッド。
【請求項２０】
平面視において、前記第１の層は、以下の形状、即ち、矩形、台形、多角形及び曲線形状の内の一つ又はそれらの組合せを有する請求項１４に記載のプリントヘッド。
【請求項２１】
更に、前記片持ち梁の一つが前記オリフィスプレートに向かって曲がると、各オリフィスをシールするための手段を含む請求項１５に記載のプリントヘッド。
【請求項２２】
各オリフィスをシールするための前記手段は、以下のもの、即ち
前記片持ち梁の隆起表面又は隆起、又は
前記オリフィスを囲む前記オリフィスプレート上の隆起表面又は隆起の少なくとも一つを含む請求項２１に記載のプリントヘッド。
【請求項２３】
前記入力マニフォルドと前記複数のマイクロバルブは、プレナムを形成する請求項１５に記載のプリントヘッド。
【請求項２４】
前記複数の片持ち梁は、並列に、相互に組み合わされて、又はｘとｙアレイに配置される請求項１６に記載のプリントヘッド。
【請求項２５】
前記圧電層の内の少なくとも一つは、前記片持ち梁の先端部へは延在しない請求項１５に記載のプリントヘッド。