(57)【要約】【課題】従来の成膜技術で問題となっていた材料使用効率、精密パターニング、膜厚制御性を改善し、有機薄膜形成の生産性向上と低コスト化を可能とする液体材料真空成膜装置を実現させる。【解決手段】上記課題を解決する手段として、成膜材料を外部空間に放出する材料放出部と、材料放出部内に気化した成膜材料を供給する液体気化部と、材料放出部内に液体状のまま成膜材料を供給する液体迂回部と、液体気化部または液体迂回部に液体状の成膜材料を供給する液体供給部を有し、液体供給部内のタンクから供給された成膜材料が液体気化部内の気化器で気化され、または気化器を経ずに液体のまま、材料放出部内の噴出バルブにより材料放出部内空間に向かって噴出される成膜材料放出装置と、材料放出部に接続され、材料放出部内に供給された成膜材料が分離部で分離されたのちに放出口から内部空間に放出される真空槽を有する液体材料真空成膜装置を提案する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜材料を外部空間に放出する材料放出部と、前記材料放出部内に気化した前記成膜材料を供給する液体気化部と、前記材料放出部内に液体状のまま前記成膜材料を供給する液体迂回部と、前記液体気化部または前記液体迂回部に液体状の前記成膜材料を供給する液体供給部を有する成膜材料放出装置であって、前記材料放出部は、前記成膜材料を前記材料放出部内に供給する噴出バルブと、気化した前記成膜材料を加熱する加熱部と、前記成膜材料を前記成膜材料放出装置外部空間に放出する放出口とを有し、前記液体供給部は、液体状の成膜材料が配置されるタンクと、前記タンクに接続された液体流量制御器とを有し、前記液体気化部は、前記液体流量制御器に接続された気化器とを有し、前記気化器の上流側には噴射バルブが設けられ、下流側には遮断バルブが設けられ、前記液体迂回部は前記液体流量制御器から前記気化器を通らずにバイパスバルブを介して前記材料放出部に接続され、前記タンクから供給された前記成膜材料は前記気化器で気化され、前記噴出バルブにより前記材料放出部内空間に向かって噴出、または前記気化器を経ずに液体のまま前記噴出バルブにより前記材料放出部内空間に向かって噴出されることを特徴とする成膜材料放出装置。
【請求項２】
前記気化器は加熱ヒータと圧力制御装置を有し、前記タンクから前記噴射バルブにより前記気化器に供給された前記成膜材料が、前記圧力制御装置により減圧状態を保持しながら加熱気化されることを特徴とする請求項１記載の成膜材料放出装置。
【請求項３】
前記材料放出部内に配置された分離部と、前記分離部を加熱する加熱手段とを有し、前記噴出バルブから噴出された前記成膜材料が、前記分離部を通過しながら加熱分離されるようにしたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の成膜材料放出装置。
【請求項４】
前記材料放出部内に配置された分離部と、前記成膜材料を分離部で気体放電させる無電極放電手段とを有し、前記噴出バルブから噴出された前記成膜材料が、前記分離部を通過しながら放電分離されるようにしたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の成膜材料放出装置。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか記載の成膜材料放出装置と、前記材料放出部に接続され、前記材料放出部内に供給された成膜材料が、前記放出口から内部空間に放出される真空槽とを有する液体材料真空成膜装置。
【請求項６】
前記真空槽は、前記真空槽内壁面を前記成膜材料から分離した溶媒が析出しない温度に加熱する加熱ヒータと前記溶媒を吸着回収するコールドトラップを接続した成膜プロセス排気装置を有する請求項５記載の液体材料真空成膜装置。
【請求項７】
前記噴射バルブは、前記噴射バルブ内部の液体状の前記成膜材料の供給または停止を高速かつ精度良く制御出来る隔膜式弁体電磁駆動装置を有し、高速精密制御された液体状の前記成膜材料が前記気化器内に噴射されることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか記載の成膜材料放出装置。
【請求項８】
前記噴出バルブは、前記噴出バルブ内部の気化したまたは液体状の前記成膜材料の供給または停止を高速かつ精度良く制御出来る隔膜式弁体電磁駆動装置を有し、高速精密制御された気化したまたは液体状の前記成膜材料が前記材料放出部内に噴出されることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか記載の成膜材料放出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は成膜材料放出装置と、該成膜材料放出装置を用いた液体材料真空成膜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
機能性有機薄膜の開発は著しく、有機EL発光デバイス、有機CMOSセンサー、有機太陽電池、有機TFTと応用開発が進み、実用化まで到達している。しかし、生産効率が低く、コスト面で先行する無機デバイス製造技術を凌駕するまでは至っていない。有機薄膜の代表的な形成方法としては、湿式成膜法であるスピンコート法（図4）、スクリーン印刷法（図５）、インクジェット印刷法（図６）と、乾式成膜法である真空蒸着法（図７）とがあるが、いずれも生産性で満足できるものではない。
【０００３】
生産性とコスト面の向上を実現させるためには高い材料使用効率、精密なパターニング、正確な光学的膜厚制御が必要となるが、全ての成膜方法で材料使用効率が数％台と低い。また、スピンコート法は全面成膜となるため、成膜後に不要部分の除去が必要となり精密なパターニングが困難であり、スクリーン印刷法は光学膜に必要な正確な膜厚制御ができない。インクジェット印刷法を含めて全ての印刷法は成膜後溶剤を乾燥させるのに長時間を要するため生産量を確保するためには大掛かりな乾燥設備が必要となる。
【０００４】
一方、真空蒸着法では、光学的膜厚制御及び高精細金属マスクによるパターニングが可能だが、高精細金属マスクが蒸着材料容器からの熱輻射により変形し、デバイス作製の歩留まりを著しく悪化させている。また、生産現場においては有機材料を２５０℃〜４５０℃に加熱しながら１２０時間以上連続して成膜処理を行うため、蒸着材料容器内の有機蒸着材料が長時間高温に曝されることになり、蒸着材料容器中の水分と反応して変質したり、加熱による分解が進行する。その結果、初期状態に比べて有機蒸着材料が劣化し、有機薄膜の膜質が悪くなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１４０３３４号公報
【特許文献２】特開２００６−３０７２３９号公報
【特許文献３】特開２００７−７０６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記課題を解決するためのものであり、その目的は、材料使用効率、精密パターニング、膜厚制御性に優れ、有機薄膜形成の生産性向上と低コスト化を可能とする液体材料真空成膜装置を実現させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために下記の手段を提案するものである。
第1の手段は、
材料放出部と、前記材料放出部内に気化した成膜材料を供給する液体気化部と、前記材料放出部内に液体状のまま前記成膜材料を供給する液体迂回部と、前記液体気化部または前記液体迂回部に液体状の前記成膜材料を供給する供給部を有する成膜材料放出装置であって、前記材料放出部は、前記成膜材料を前記材料放出部内に供給する噴出バルブと、気化した前記成膜材料を加熱する加熱部と、前記成膜材料を前記成膜材料放出装置外部空間に放出する放出口とを有し、前記液体供給部は、液体状の成膜材料が配置されるタンクと、前記タンクに接続された液体流量制御器とを有し、前記液体気化部は、前記液体流量制御器に接続された気化器とを有し、前記気化器の上流側には噴射バルブが設けられ、下流側には遮断バルブが設けられ、前記液体迂回部は前記液体流量制御器から前記気化器を通らずにバイパスバルブを介して前記材料放出部に接続され、前記タンクから供給された前記成膜材料は前記気化器で気化され前記材料放出部内空間に向かって噴出、または前記気化器を経ずに液体のまま前記材料放出部内空間に向かって噴出されることを特徴とする成膜材料放出装置である。
第２の手段は、
本発明の成膜材料放出装置であって、前記気化器は加熱ヒータと圧力制御装置を有し、前記タンクから前記噴射バルブにより前記気化器に供給された前記成膜材料が、前記圧力制御装置により減圧状態を保持しながら加熱気化されることを特徴とする成膜材料放出装置である。
第３の手段は、
本発明の成膜材料放出装置であって、前記材料放出部内に配置された分離部と、前記分離部を加熱する加熱手段とを有し、前記噴出バルブから噴出された前記成膜材料が、前記分離部を通過しながら加熱分離されるようにしたことを特徴とする成膜材料放出装置である。
第４の手段は、
本発明の成膜材料放出装置であって、前記材料放出部内に配置された分離部と、前記成膜材料を分離部で気体放電させる無電極放電手段とを有し、前記噴出バルブから噴出された前記成膜材料が、前記分離部を通過しながら放電分離されるようにしたことを特徴とする成膜材料放出装置である。
第５の手段は、
本発明の真空成膜装置であって、前記成膜材料放出装置と、前記材料放出部に接続され、前記材料放出部内に供給された成膜材料が、前記放出口から内部空間に放出される真空槽とを有する液体材料真空成膜装置である。
第６の手段は、
本発明の液体材料真空成膜装置であって、前記真空槽は、前記真空槽内壁面を前記成膜材料から分離した溶媒が析出しない温度に加熱する加熱ヒータと前記溶媒を吸着回収するコールドトラップを接続した成膜プロセス排気装置を有する液体材料真空成膜装置である。
第７の手段は、
本発明の成膜材料放出装置であって、前記噴射バルブが、前記噴射バルブ内部の液状の前記供給材料の供給または停止を高速かつ精度良く制御出来る隔膜式弁体電磁駆動装置を有し、高速精密制御された液状の前記供給材料が噴射口から前記気化器へ噴射されることを特徴とする成膜材料放出装置である。
第８の手段は、
本発明の成膜材料放出装置であって、前記噴出バルブが、前記噴出バルブ内部の気化したまたは液体状の前記供給材料の供給または停止を高速かつ精度良く制御出来る隔膜式弁体電磁駆動装置を有し、高速精密制御された気化したまたは液体状の前記供給材料が前記材料放出部へ噴出されることを特徴とする成膜材料放出装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明により、
成膜材料の必要量を正確に基板上に供給することができるため、材料使用効率が２０％以上に向上する。また、成膜材料が長時間加熱されないため、従来の固体材料直接加熱蒸着法のような材料の加熱劣化が起こらず、有機機能薄膜に必要な良質な有機薄膜が得られる。
さらに、有機薄膜を分子サイズ毎にレイヤーバイレイヤーで形成できるため光学的膜厚制御が可能となるだけでなく、溶媒の分離も真空中で可能なため、基板上での有機薄膜の乾燥時間が大幅に短縮され、生産効率が著しく向上する。高精細金属マスクを用いたパターニングにおいても、成膜材料放出装置からの熱輻射による高精細金属マスク変形が抑えられ、デバイス作製の歩留まりを飛躍的に向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】機能性有機薄膜製造装置の一例を説明するための平面図
【図２】本発明の液体材料真空成膜装置の一例を説明するための模式的な断面図
【図３】本発明の成膜材料放出装置を説明するための断面図
【図４】従来技術のスピンコート法を説明するための模式的な断面図
【図５】従来技術のスクリーン印刷法を説明するための模式的な断面図
【図６】従来技術のインクジェット印刷法を説明するための模式的な断面図
【図７】従来技術の真空蒸着法を説明するための模式的な断面図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１の符号１は本発明の機能性有機薄膜製造装置の一例である有機ＥＬ発光デバイス製造装置の一例を示している。製造装置１は搬送室２と、液体材料真空成膜装置１０と、有機蒸着室４と、電極室５と、搬出入室３を有しており、液体材料成膜装置１０と、有機蒸着室４と、電極室５と、搬出入室３はそれぞれ搬送室２に接続されている。
【００１１】
搬送室２と、液体材料成膜装置１０と、有機蒸着室４と、電極室５と、搬出入室３には、真空排気系９が接続されている。真空排気系９により、搬送室２内部と、液体材料成膜装置１０内部と、有機蒸着室４内部と、電極室５内部と、搬出入室３内部に真空雰囲気が形成される。
【００１２】
搬送室２の内部には搬送ロボット８が配置されており、予め他の製造装置で表面に下部電極を形成された基板は、搬送ロボット８により真空雰囲気中で搬送され、液体材料成膜装置１０でホール注入層の有機薄膜が形成され、有機蒸着室４で、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層等の有機薄膜が形成され、電極室５で有機薄膜上に上部電極が形成され、有機ＥＬ発光デバイスが得られる。得られた有機ＥＬデバイスは搬出入室３から外部に搬出される。
【００１３】
次に、有機薄膜の一例であるホール注入層の成膜に用いられる液体材料真空成膜装置について説明する。図２は本発明の液体材料真空成膜装置１０の模式的な断面図であり、液体材料真空成膜装置１０は、真空槽１１と、材料放出部５０と、液体気化部２０と、液体供給部３０と、液体迂回部４０からなる成膜材料放出装置６０とを有している。
【００１４】
材料放出部５０は少なくとも一部が真空槽１１内部に配置され、材料放出部５０の真空槽１１内部に配置された部分には、放出口５２が形成されている。放出口５２を介して、真空槽１１の内部空間と材料放出部５０の内部空間とが互いに接続されている。
【００１５】
図３は蒸着材料放出装置６０の断面図である。蒸着材料放出装置６０は液体気化部２０と、液体供給部３０と、液体迂回部４０と、材料放出部５０とを有している。材料放出部５０は、分離部５１と、加熱手段５３とを有している。加熱手段５３は分離部５１に取り付けられており、電源５４から加熱手段５３に通電すると、輻射熱や熱伝導により、分離部５１が加熱される。
【００１６】
液体気化部２０は、気化器２１を有している。気化器２１は加熱ヒータ２３を有している。加熱電源２４から加熱ヒータ２３に通電すると、輻射熱や熱伝導により、気化器２１が加熱される。
【００１７】
気化器２１の下流側には遮断バルブ２７と噴出バルブ５５が設けられている。遮断バルブ２７と噴出バルブ５５を開状態にすると液体気化部２０が材料放出部５０に接続され、遮断バルブ２７と噴出バルブ５５を閉状態にすると液体気化部２０が材料放出部５０から遮断される。
【００１８】
噴出バルブ５５と分材料放出部５０との間には断熱部材５９が配置され、気化器２１及び噴出バルブ５５へは熱が伝わりにくくなっており、材料放出部５０が高温に加熱される時も、気化器２１、遮断バルブ２７及び噴出バルブ５５は高温にはならないため、気化器２１と材料放出部５０はそれぞれ独立して温度制御を行える。
【００１９】
液体供給部３０は、タンク３１と液体流量制御器３３を有している。タンク３１は気化器２１の上流側に配置されている。図３はタンク３１に液体状の成膜材料３９を収容した状態を示している。タンク３１と気化器２１との間には、液体流量制御器３３と噴射バルブ２５が設けられている。
【００２０】
液体流量制御器３３と噴射バルブ２５を開けると、不活性気体供給源３８から供給された加圧不活性気体(Ｎ２、Ａｒ等)に押されたタンク３１内の成膜材料３９が気化器２１へ供給される。逆に、液体流量制御器３３と噴射バルブ２５を閉じると、タンク３１内の成膜材料３９の気化器２１への供給が停止する。タンク３１から気化器２１への成膜材料３９の供給量は液体流量制御器３３と噴射バルブ２５で制御される。
【００２１】
気化器２１には加熱ヒータ２３が取り付けられており、加熱ヒータ２３は加熱電源２４に接続されている。加熱電源２４から加熱ヒータ２３に通電し、気化器２１を成膜材料３９が気化可能な加熱温度（５０℃以上２００℃以下）に加熱する。気化器２１は圧力制御装置２８により減圧状態が保持され、減圧状態で加熱された気化器２１の内部の成膜材料３９は加熱気化される。遮断バルブ２７と噴出バルブ５５を開けると、気化器２１の内部の成膜材料３９が放出口５２から気化状態のまま放出される。遮断バルブ２７と噴出バルブ５５を閉じた場合は、放出口５２から成膜材料３９が放出されず、気化器２１内に保持される。
【００２２】
液体気化部２０の噴射バルブ２５及び遮断バルブ２７を閉じて、液体迂回部４０のバイパスバルブ４５と噴出バルブ５５を開けると、タンク３１内の成膜材料３９が液体状のまま材料放出部５０へ供給される。逆に、バイパスバルブ４５と噴出バルブ５５を閉じると、タンク３１内の成膜材料３９の材料放出部５０への供給が停止する。タンク３１から材料放出部５０への成膜材料３９の供給量は液体流量制御器３３で制御される。
【００２３】
噴射バルブ２５は、噴射バルブ２５内部の液体状の成膜材料３９の供給または停止を高速かつ精度良く制御出来る隔膜式弁体電磁駆動装置２６を有しており、高速精密制御された成膜材料３９が気化器２１へ噴射される。
【００２４】
噴出バルブ５５は、噴出バルブ５５内部の気化したまたは液体状の成膜材料３９の供給または停止を高速かつ精度良く制御出来る隔膜式弁体電磁駆動装置５６を有しており、高速精密制御された気化したまたは液体状の成膜材料３９が材料放出部５０へ噴出される。
【００２５】
上述したように、噴出バルブ５５により材料放出部５０内に噴出された成膜材料３９は、溶質が低分子有機材料の場合には気化された状態で、溶質が高分子有機材料の場合には液体状のままで分離部５１に到達する。
成膜材料３９が気化されているときには、分離部５１を成膜材料３９の溶媒からの分離温度以上に加熱しておけば、成膜材料３９は溶媒から分離し、薄膜形成に必要な溶質単体が生成され、放出口５２から真空槽１１内部に放出される。成膜材料３９が液体状のときにも、分離部５１を成膜材料３９の溶媒からの分離温度以上に加熱しておけば、成膜材料３９は溶媒から分離し、薄膜形成に必要な溶質単体が生成され、放出口５２から真空槽１１内部に放出される。
【００２６】
次に、この液体材料真空成膜装置１０を用いて有機薄膜を成膜する工程について説明する。ホール注入性低分子有機材料を、溶剤に溶解又は分散させて、液体状の成膜材料３９を用意する。この蒸着材料３９をタンク３１に収容する。
【００２７】
少なくとも真空槽１１と、気化器２１には成膜プロセス排気系１２がそれぞれ接続されている。タンク３１と気化器２１との間の液体材料流量制御器３３を閉じ、気化器２１が空の状態で、気化器２１の内部を真空排気し、真空槽１１の内部を真空排気して、気化器２１内部と、材料放出部５０内部に、所定圧力（例えば１０-5Ｐａ）の真空雰囲気を形成する。
【００２８】
上記真空雰囲気を維持しながら、分離部５１を加熱手段５３で加熱し、上記真空雰囲気で、成膜材料３９の各成分（有機材料、溶媒）が分離可能な加熱温度（１００℃以上４５０℃以下）にする。当該加熱温度を維持しながら、上記真空雰囲気で、遮断バルブ２７及び噴出バルブ５５を開け、気化器２１内の成膜材料３９を材料放出部５０内に移送する。
【００２９】
材料放出部５０内では、気化した成膜材料３９が当該構成成分である溶質(有機材料)と溶媒にそれぞれ分離する。材料放出部５０は上記加熱温度に維持されているから、材料放出部５０内で分離した成膜材料３９は、途中で析出せずに、放出口５２から放出される。
【００３０】
真空槽１１の内部には基板ホルダ１６が配置されている。真空雰囲気を維持したまま、基板１９を真空槽１１内部に搬入し、少なくとも放出口５２から蒸気が放出され始めるまでには、基板ホルダ１６に基板１９を保持させ、基板表面を放出口５２と対面させておく。放出口５２から放出された気化した有機材料と溶媒は、基板１９表面に到達する。
蒸着材料３９に用いられる溶媒は、有機材料よりも低分子の芳香族炭化水素類、アルコール類、エステル類、エーテル類、ケトン類、脂肪族炭化水素類等を主成分とし、溶媒の蒸気圧は有機材料の蒸気圧よりも高い。
【００３１】
基板１９表面の温度と、真空槽１１内部の真空雰囲気は、基板１９表面に有機材料が析出しても、気化した溶媒が析出しないように設定されており、溶媒は基板１９表面に析出せずにコールドトラップ１３を有する成膜プロセス排気系１２に排出され、基板１９表面上には有機薄膜のみが形成される。排出された溶媒はコールドトラップ１３により、吸着回収される。
【００３２】
成膜が終了した基板１９を基板ホルダ１６から取り外し、新たな基板１９を成膜槽１１に搬入して基板ホルダ１６に取り付ければ、新たな基板１９にも有機薄膜を形成することができる。基板１９の交換と、有機薄膜の形成とを繰り返せば、複数枚の基板１９に連続して有機薄膜を形成することができる。成膜が終了してから、次の成膜を開始するまでの間、真空槽１１の内部を真空排気系９で真空排気し、残留気体を除去してもよい。
【００３３】
材料放出部５０に複数の液体気化部２０と液体供給部３０が接続されている場合、液体供給部３０にそれぞれ異なる成膜材料３９を収容しておけば、基板１９表面上に２種類以上の異なる有機薄膜を形成することができる。具体的には、一の有機薄膜を成膜後、基板１９を交換せずに、基板ホルダ１６に保持したまま、成膜が終了した気化器２１と材料放出部５０を遮断し、別の液体気化部２０の気化器２１から別の成膜材料３９を材料放出部５０に供給して、材料放出部５０で異なる気化した成膜材料を分離生成させる。
【００３４】
噴出バルブ５５の出口に断熱部材５９を設けることにより、気化器２１がより加熱され難くなる。断熱部材５９は、例えばセラミック等の断熱材料からなり、噴出バルブ５５と材料放出部５０の間に配置され、材料放出部５０からの熱伝導を防ぐ。
【００３５】
気化器２１は、分離部５１が加熱されても、高温にはならず、成膜材料３９の気化温度範囲（５０℃以上２００℃以下）に維持され、気化器２１内部で成膜材料３９が分離生成することはなく、従って、変質もしない。尚、タンク３１は気化器２１から離間して配置されているので、加熱されることはなく、タンク３１内の成膜材料３９は劣化しない。
【００３６】
成膜すべき有機薄膜の膜厚が予め決まっている場合は、実際の成膜工程の前に、実際の成膜工程と同じ条件で成膜し、成膜材料３９の量と膜厚との関係を求めておき、求めた関係から決められた膜厚の成膜に必要な成膜材料３９の供給量を求める。噴出バルブ５５から１回に噴出される成膜材料３９の噴出量が分かっているので、成膜に必要な総放出量を１回の噴出量で割ることにより必要な噴出回数が求まる。
【００３７】
１つの有機薄膜の成膜に要する成膜時間は決まっている。噴出バルブ５５の、噴出開始から成膜時間が経過するまでの噴出回数を、予め求めた回数にする。成膜時間が経過し、予め求めた回数の噴出が終わったら、噴出を停止する。材料放出部５０内に噴出された成膜材料３９の合計は、決められた膜厚の成膜に必要な必要量になるから、基板１９表面上に形成された有機薄膜は決められた膜厚になる。
【００３８】
噴出バルブ５５の噴出回数を複数にし、必要量の成膜材料３９を複数回に分けて基板１９上に供給すれば、一度に多量の成膜材料３９が供給されないから、有機薄膜の膜厚分布と膜質が良くなる。
【００３９】
分離部５１の加熱方法は特に限定されない。例えば、分離部５１を高抵抗の導電材料で構成し、材料放出部５０の内部に電磁場を形成して、分離部５１を誘導加熱することもできる。更に、材料放出部５０にレーザー光が透過可能な窓を設け、該窓を介して、外部のレーザー発生装置から、分離部５１表面にレーザー光を照射して、分離部５１を加熱してもよい。
【００４０】
成膜材料３９が容易に加熱分解されない場合には、材料放出部５０内に分離部５１を配置し、材料放出部５０外に設置された無電極放電手段(図示されず)で、前記分離部５１で気体放電を発生させることにより、噴出バルブ５５から噴出された成膜着材料３９が、分離部内で効率良く分離生成される。
【００４１】
気化器２１にガス供給系を接続しておき、不活性ガス（Ne、Ａｒ、Kr、Ｘｅ等）を供給しながら、成膜材料３９を気化させれば、気化した成膜材料３９が不活性ガスで押し流されるから、成膜材料３９の移動効率が上がる。
【００４２】
成膜材料３９に用いる溶媒は特に限定されないが、有機薄膜中の溶媒残留量を減らすためには、低分子の芳香族炭化水素類、アルコール類、エステル類、エーテル類、ケトン類、脂肪族炭化水素類等を主成分とするものが望ましい。有機薄膜の膜質に影響を与えないのであれば、成膜材料３９に界面活性剤等を添加することもできる。
当然ではあるが、本発明の液体材料放出装置６０及び液体材料真空成膜装置１０は、有機ＥＬ発光デバイスの有機薄膜形成以外の液体有機材料成膜にも用いることができる。
【符号の説明】
【００４３】
１０……液体材料真空成膜装置  １１、４１１……真空槽  １９、１１９、２１９、３１９、４１９……基板  ２０……液体気化部 ２１……気化器 ２５……噴射バルブ    ２７……遮断バルブ  ３０……液体供給部 ３１……タンク ３３……液体流量制御器  ３９、１３９、２３９、３３９、４３９……成膜材料  ４０……液体迂回部  ４５……バイパスバルブ  ５０……材料放出部  ５５……噴出バルブ  ６０……成膜材料放出装置  １００……スピンコート法  １７０……モーター  ２００……スクリーン印刷法  ２０５、４０５……マスク  ３００……インクジェット印刷法  ３３８……不活性気体供給部  ４００……真空蒸着法
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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