(57)【要約】【課題】従来よりも信頼性の高い識別子を付与することができる半導体集積回路の識別子生成方法を提供する。【解決手段】本発明に係る識別子生成方法は、同一の構成を有する複数の半導体集積回路を互いに識別するための識別子を生成する識別子生成方法であって、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、当該半導体集積回路の非動作状態における予め定められた複数の内部状態に対する電源電流値に基づいて生成する、ことを特徴としている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一の構成を有する複数の半導体集積回路を互いに識別するための識別子を生成する識別子生成方法であって、
上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、当該半導体集積回路の非動作状態における予め定められた複数の内部状態に対する電源電流値に基づいて生成する、
ことを特徴とする識別子生成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の識別子生成方法であって、
上記予め定められた複数の内部状態を互いに識別するための内部状態識別番号を、各内部状態識別番号に対応する内部状態に対する電源電流値の値の大小関係に応じて並べ替えて得られる識別番号リストに基づいて、上記識別子を生成することを特徴とする識別子生成方法。
【請求項３】
請求項２に記載の識別子生成方法であって、
上記識別番号リストに含まれる内部状態識別番号のうち、対応する電源電流値が大きい方の上位Ｎ個（Ｎは自然数）の内部状態識別番号、および、対応する電源電流値が小さい方の下位Ｎ個の内部状態識別番号を、上記識別子とする
ことを特徴とする識別子生成方法。
【請求項４】
請求項１から３の何れか１項に記載の識別子生成方法であって、
上記半導体集積回路は、液晶ドライバであり、
上記電源電流値は、上記液晶ドライバの非動作状態における複数の階調に対する電源電流値である
ことを特徴とする識別子生成方法。
【請求項５】
同一の構成を有する複数の半導体集積回路を互いに識別するための識別子を生成する識別子生成装置であって、
上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、当該半導体集積回路の非動作状態における予め定められた複数の内部状態に対する電源電流の値に基づいて生成する識別子生成手段を備えている、
ことを特徴とする識別子生成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体集積回路の識別子生成方法および識別子生成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路の製造工程において不良品の発生率を下げること、すなわち、歩留まりを向上させることは、半導体の製造業者にとって重要な課題の一つである。歩留まりを向上させるためには、個々の半導体集積回路の製造時期、製造ライン、製造ロットなどの製造履歴や、検査種別、検査結果などの検査履歴等の履歴情報に基づいて不良原因の解明が行われることが望ましい。
【０００３】
これらの履歴情報の特定を行うための手段の一つとして、半導体集積回路の各々に、当該半導体集回路を他の半導体集積回路と識別するため識別子を付与し、当該半導体集積回路の履歴情報を当該識別子と関連付けてデータベース上で管理することが挙げられる。
【０００４】
個々の半導体集積回路に識別子を付与することは、歩留まりの向上に役立つのみならず、製造後に不良が発見された場合等においても、不良箇所の迅速な特定および解析に役立つというメリットがある。
【０００５】
従来、半導体集積回路への識別子の付与方法として、半導体集積回路内に、不揮発性メモリを設け、当該不揮発性メモリに識別子を書き込む方法が知られていた。しかしながら、一般に半導体集積回路内部へ不揮発性メモリを作りこむ工程は複雑であるため、半導体集積回路が本来の規格として不揮発性メモリを有し、そこに識別子を書き込むことが可能であるような場合を除き、工程数や製造コストが増加してしまうという問題が生じる。
【０００６】
また、別の方法として、レーザーで半導体集積回路へ直接マーキングする方法、レーザーを用いたヒューズカットによる方法などが知られていたが、それぞれ、マーキングやヒューズカットを行うための工程が別途必要になるため、上記の方法と同様に工程数や製造コストが増加するという問題を生じる。
【０００７】
特許文献１には、従来の識別子生成方法の問題点である、工程数や製造コストの増加を抑制するための技術が開示されている。特許文献１に係る発明は、同一の構成を有する複数の半導体集積回路を互いに識別するための識別子を生成する識別子生成方法であって、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、同一条件下で該半導体集積回路から出力されるアナログ信号に基づいて生成する識別子生成方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１１−９６９１号公報（２０１１年１月１３日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１の手法では、識別子の信頼性において改善の余地があった。
【００１０】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、従来に比べて信頼性の高い識別子を生成することができる識別子生成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明に係る識別子生成方法は、同一の構成を有する複数の半導体集積回路を互いに識別するための識別子を生成する識別子生成方法であって、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、当該半導体集積回路の非動作状態における予め定められた複数の内部状態に対する電源電流の値に基づいて生成する、ことを特徴としている。
【００１２】
また、本発明に係る識別子生成装置は、同一の構成を有する複数の半導体集積回路を互いに識別するための識別子を生成する識別子生成装置であって、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、当該半導体集積回路の非動作状態における予め定められた複数の内部状態に対する電源電流の値に基づいて生成する、ことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の一態様によれば、従来に比べて信頼性の高い識別子を生成することができる識別子生成方法および識別子生成装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施形態を示すものであって、識別子生成装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施形態を示すものであって、識別子生成方法に関する説明図である。
【図３】本発明の実施形態において識別子を付与すべき半導体集積回路を示すものであって、液晶ドライバの構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施形態において識別子を付与すべき半導体集積回路を示すものであって、液晶ドライバにおけるガンマ抵抗を有する基準電圧発生回路の回路図である。
【図５】本発明の実施形態を説明するものであって、液晶ドライバからの出力電圧の値を示すグラフである。
【図６】本発明の実施形態を説明するものであって、同一の液晶ドライバの複数の内部状態毎の電源電流値のグラフである。
【図７】本発明の実施形態を示すものであって、識別子生成方法の一変形例に関する説明図である。
【図８】本発明の実施形態を示すものであって、識別子生成方法の一変形例に関する説明図である。
【図９】本発明の第２の実施形態を説明するものであって、液晶ドライバのある特定の電源供給端子に対して供給される電源電流値を測定した結果をプロットしたグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
〔実施形態１〕
本発明の実施形態に係る半導体集積回路の識別子生成方法について、図面を参照して説明すれば以下のとおりである。
【００１６】
まず、本実施形態に係る識別子生成方法の識別子付与対象となる半導体集積回路の例として、アナログ出力機能を有する液晶ドライバのブロック図を図３に示す。図３に示した液晶ドライバは、液晶ディスプレイの液晶パネル（不図示）を駆動するための駆動信号（アナログ信号）を出力するための半導体集積回路である。
【００１７】
図３を参照して液晶ドライバの動作を簡単に説明する。液晶ドライバは、図３に示すようにシフトレジスタ、サンプリングメモリ、ホールドメモリ、レベルシフタ、ＤＡコンバータ、出力オペアンプ、データラッチ、基準電圧発生回路を備えている。
【００１８】
ＲＧＢ入力は液晶パネルに表示する色（Ｒ：red、Ｇ：Green、Ｂ：Blue）と輝度（明るさ）をデジタル値で示している映像入力信号で液晶ドライバにはシリアルに入力される信号である。液晶ドライバは、ＲＧＢ入力で示されるデジタル値をアナログ値（電圧）に変換して液晶パネルに出力する動作を行う。
【００１９】
まず、液晶ドライバはＲＧＢ入力からの映像データを、動作クロック（ＣＫ）のタイミングでデータラッチに保持（ラッチ）する。保持された映像データはシフトレジスタがＣＫを基に作成するサンプリングクロックによりサンプリングメモリに保持される。シフトクロックのタイミングにて順次ＲＧＢ入力の信号がサンプリングメモリに蓄えられることにより、ＲＧＢ入力からシリアルに入力される映像データはシリアル・パラレル変換される。この事により映像データを並列処理することができるようになる。サンプリングメモリに蓄えられた映像データはＬＳからの信号によりホールドメモリに転送される。
【００２０】
ホールドメモリに転送されたデータはレベルシフタにより電圧変換を行い、ＤＡコンバータに与えられる。ＲＧＢ入力からの映像データは３Ｖ程度のデジタル信号であるが、液晶パネルを動作させるための信号は十数Ｖの電圧であるため、電圧変換が必要になる。
【００２１】
液晶パネルに入力される映像データ（デジタル値）はＤＡコンバータにより、対応した電圧（アナログ値）に変換され、さらに出力オペアンプでインピーダンス変換され液晶パネルへ出力される。
【００２２】
図４は液晶ドライバにおける基準電圧発生回路の構成を示した図である。基準電圧発生回路は、ＤＡコンバータが、映像データ（デジタル値）に対応して選択する電圧を作成する。基準電圧発生回路は図４に示すように、シリアルにつながる複数の抵抗（ｍ１〜ｍｎ）とシリアルにつながる抵抗の両端と、途中に電圧を与えるＶ０Ｈ〜ＶｋＨで構成される（ｎ、ｋは自然数）。両端の電圧を与えるＶ０ＨとＶｋＨに、液晶パネルを駆動するための最大の電圧と最小の電圧を入力すると、シリアルにつながる抵抗ｍ１〜ｍｎの間に抵抗分割された電圧が発生する。例えば、２５６個の抵抗（ｍ１〜ｍ２５６）を使用することにより２５６階調の電圧を作成することができる。
【００２３】
液晶パネルは、液晶ドライバから出力される電圧の大きさにより、明るさが変化するが、与えられる電圧の変化に対して均一に明るさの変化が起こらないため、表示が暗い場合と明るい場合とにおける与えられる電圧の差を大きくする必要がある。このため基準電圧発生回路では抵抗分割で作成する電圧を液晶パネルの特性に合わせるようにｍ１〜ｍｎの抵抗値を変更して、液晶ドライバが、図５に示すような出力特性をもつようにする。
【００２４】
図５は横軸に液晶ドライバに与える映像データ（例えば１階調を示すデータから２５６階調を示すデータ）、縦軸に液晶ドライバの出力をプロットしたものである。
【００２５】
図４に示すように、基準電圧発生回路の途中の電圧を与えるＶ１Ｈ〜Ｖｋ−１Ｈは上記出力特性を変更するためのものである。
【００２６】
さらに、液晶ドライバには電源ＶＤＤとＶＬＳとがつながっている。ＶＤＤはシフトレジスタ、データラッチ、サンプリングメモリ、ホールドメモリ、レベルシフタの動作に必要な電圧を与える。ＶＬＳはレベルシフタ、ＤＡコンバータ、出力オペアンプ、基準電圧発生回路の動作に必要な電圧を与える。電源ＶＤＤとＶＬＳからＧＮＤへ流れる電流ＩＤＤとＩＬＳはＶＤＤ、ＶＬＳ各々に電流計を接続することで測定することができる。
【００２７】
以下、図３に示した液晶ドライバの電源電流値に基づいて識別子を生成する方法について説明する。
【００２８】
電源電流値は、液晶ドライバがスタティックな状態（非動作状態とも呼ぶ）で測定する。ここでスタティックとは入力信号であるＣＫ、ＲＧＢ入力、ＬＳをＶＤＤレベルもしくはＧＮＤレベルにして信号を停止し、さらにアナログ回路で常時流れる電流を切断して、液晶ドライバが動作しないようにした状態である。
【００２９】
スタティックな状態において液晶ドライバが発生する電流はほぼゼロに等しいが、ゼロではない。液晶ドライバを構成するトランジスタがオフしているときに、微小なリーク電流が発生しているためである。
【００３０】
スタティックな状態でのリーク電流はオフしているトランジスタの数とサイズによって決まる。オフしているトランジスタが多いほど、または、オフしているトランジスタのサイズが小さいほどリーク電流は大きくなる。このため、デバイスがスタティックな状態になる前の状態により内部状態、すなわちオフしているトランジスタの数、オフしているトランジスタのサイズが変動するので、測定電流も変動を伴う。
【００３１】
さらに、トランジスタのリーク電流は、加工寸法の僅かな不均一性や、ドープされる不純物の僅かな不均一性などの要因によるばらつきにより、デバイスが異なれば、内部状態が同じでも電流値は異なる。従って、様々なデバイスの内部状態ごとの電源電流値により、識別子の生成を行うことができる。
【００３２】
図６は、映像信号データが８ビットの２５６階調出力の液晶ドライバに供給される電源ＶＤＤとＶＬＳの電流の値（ＩＤＤ＋ＩＬＳ）を、以下に示す１０２４状態においてそれぞれ測定し、プロットしたグラフの一例を示すものであり、縦軸の単位はμＡである。ここで、１０２４状態とは、
状態１）液晶ドライバがＲＧＢ入力からの映像データを取り込み始めた時のスタティックな状態
状態２）液晶ドライバがＲＧＢ入力からの映像データの取り込み終了時、すなわちサンプリングメモリすべてに映像データを取り込んだ後のスタティックな状態
状態３）サンプリングメモリからホールドメモリへデータ転送時。すなわち液晶ドライバの出力状態変更開始時のスタティックな状態
状態４）液晶ドライバの出力が開始された後出力状態が安定した状態でのスタティックな状態
の４つのスタティック状態と、入力データ（階調）の２５６通りを組み合わせた１０２４状態である。以下では、上記の４つのスタティック状態と、入力データ（階調）の２５６通りとによって決定される１０２４状態を液晶ドライバの内部状態と呼称する。
【００３３】
この液晶ドライバの内部状態は、半導体デバイスを測定する装置（テスター）で状態設定を行う。テスターは入力信号のタイミングや電流の測定タイミング等を正確に制御できるので、測定毎に、測定対象となる液晶ドライバの内部トランジスタを同一の内部状態に設定することができる。
【００３４】
図２は本発明の実施形態を示すものであって、識別子生成方法に関する説明図である。図２の（ａ）の上段は、ウエハ状態における、液晶ドライバの１０２４状態における電源電流値をそれぞれ測定したグラフの一例を示したものであり、縦軸の単位はμＡである。図２の（ａ）の下段に示すように、測定した１０２４状態の電源電流値の各々に対し、測定時の液晶ドライバの内部状態を識別する番号である内部状態識別番号（ナンバーとも呼ぶ）として、００１１、００１２、００１３、００１４、・・・、をそれぞれ関連付ける。
【００３５】
ここで関連付ける数字は、入力データの何れかの階調を示す３桁の数字と、スタティック状態の何れかを示す１桁の数字とからなる数字である。例えば、００１１とは１階調の第１の状態、００１２は１階調の第２の状態、００１３は１階調の第３の状態、００１４は第１階調の第４の状態を表しており、第２階調以降も同様に、００２１、００２２、００２３、００２４、・・・、として関連付ける。例えば、図２の（ａ）の下段に示す例においては、００１１＝０．８２２μＡ、００１２＝０．８２１μＡ、００１３＝０．７９９μＡ、００１４＝０．８２４μＡである。
【００３６】
全ての階調における４つのスタティック状態の電源電流値を測定することにより、２５６階調×４状態の１０２４状態分の電源電流値を示す電源電流データを収集することができる。収集した電源電流データを識別子として用いてもよいが、本実施形態においては、測定した電源電流値に対応する内部識別番号を示す識別番号リスト（００１１、００１２、００１３、００１４、００２１、００２２、・・・、２５６１、２５６２、２５６３、２５６４）を識別子として用いる。測定した１０２４状態のそれぞれの電源電流値を比較し、電源電流値の多い順番もしくは、少ない順番に（図２の（ａ）に示す例においては、１４６３→２２７３→２２６３→０８６２…）識別番号リストを並べ替え、この並べ替えた識別番号リストを半導体集積回路の識別子とする。
【００３７】
〔生成した識別子を用いたトレース方法について〕
この識別子はウエハ状態、個片のパッケージ状態（個片状態とも呼ぶ）で温度条件や測定条件が変わってもほぼ変動はない。例えば、ウエハ状態のデバイスの電源電流値を室温の測定条件で測定した値が１．２μＡである場合、個片状態のデバイスの電源電流値を高温条件で測定すると、半導体集積回路の特性上、温度シフト分、電流値もシフトした２．４μＡとなる。本実施形態においては、測定値そのものを識別子とせず、電流値の多い状態、および少ない状態に並べ替えた識別番号リストを識別子とするため、測定環境の影響を低減することができる。
【００３８】
図２の（ｂ）の上段は、個片状態における、液晶ドライバの１０２４状態における電源電流値をそれぞれ測定したグラフの一例を示したものであり、縦軸の単位はμＡである。図２の（ｂ）の下段に示すように、ウエハ状態における識別子生成と同様に、測定した１０２４状態の電源電流値の各々に対し、内部状態識別番号００１１、００１２、００１３、００１４、・・・、をそれぞれ関連付ける。
【００３９】
例えば、図２（ａ）に示したウエハ状態でのナンバー００１１の電源電流値は０．８２２μＡであり、一方で、図２（ｂ）の下段に示すように、個片状態でのナンバー００１１の電源電流値は０．８３２μＡである。ナンバー００１２、００１３、００１４などについても、いずれも電源電流値がシフトしている。このように、液晶デバイスの電源電流値は、温度条件や測定条件の変化により変動するため、電源電流値そのものを識別子とした場合には、個片状態のデバイスとウエハ状態のデバイスとの紐付け（トレース）が正しく行われない場合が起こり得る。
【００４０】
したがって、以下に説明するような電流値の大小関係に基づいて作成する本識別子を使用することにより、個片状態のデバイスとウエハ状態のデバイスとの紐付けが可能になる。
【００４１】
具体的には、図２の（ｂ）の下段には、個片状態における、１０２４状態の電源電流値を比較し、電源電流値の多い順番に並べ替えた識別番号リストの一例を示している。図２の（ａ）の下段に示したウエハ状態の識別番号リストは、上位から順に、１４６３、２２７３、２２６３、０８６２、・・・、であるのに対し、図２（ｂ）に示した個片状態の識別番号リストは、１４６３、２２７３、２２６３、１０１１、・・・、の順である。同様に図２（ａ）に示したウエハ状態の識別番号リストは、下位から順に２４２２、２４１２、１９８４、１７６３、・・・、であるのに対し、図２（ｂ）に示した個片状態の識別番号リストは、２４２２、２１０３、１９８４、１７６３、・・・、の順である。
【００４２】
各々の内部状態識別番号に対応する電源電流値の大小関係すべてが一致することが望ましいが、図２の（ａ）、および（ｂ）に示した例では、各々の状態における電源電流値の測定値差が０．００１μＡ程度の極小値であるため、電流の測定精度によっては大小関係が入れ替わることも考えられる。この点を考慮して、ウエハ状態の識別子と個片状態での識別子とを比較して、一致率が予め定められた閾値以上（例えば８５％以上）であれば、個片状態のデバイスとウエハ状態のデバイスとの紐付けが可能であり、トレースを可能にすることが好ましい。なお、この一致率の閾値は、紐付けされたウエハ状態のデバイスの識別子と、個片状態のデバイスの識別子とを収集し、積み重ね統計的に定めることができる。
【００４３】
したがって、本発明に係る識別子生成方法によれば、信頼性の高い識別子を生成することができる。
【００４４】
上記実施例では、１０２４状態のすべてを使用して、識別子を生成する場合について説明したが、以下では、１０２４状態の一部を用いて識別子を生成する場合について説明する。
【００４５】
図７は本発明の実施形態を示すものであって、識別子生成方法の一変形例に関する説明図である。図７の（ａ）の上段は図２の（ａ）の上段と同様にウエハ状態における、液晶ドライバの１０２４状態における電源電流値をそれぞれ測定したグラフの一例を示したものであり、縦軸の単位はμＡである。測定した１０２４状態の電源電流値の各々に対し、測定時の液晶ドライバの内部状態を識別する番号である内部状態識別番号（ナンバーとも呼ぶ）として、００１１、００１２、００１３、００１４、・・・、をそれぞれ関連付ける。図７の（ａ）の下段に示すように、測定した１０２４状態のそれぞれの電源電流値を比較し、電源電流値の多い順番に識別番号リストを並べ替える。さらに、図７の（ａ）の下段に示すように、並べ替えた識別番号リストのうち、１からＮ番目（Ｎは１０２４以下の自然数）までの電源電流値の多い状態、同様に１からＮ番目までの電源電流値の少ない状態に並べ替えた識別番号リストを作成する。作成した識別番号リストに基づいて個々の半導体集積回路の識別子を生成する。
【００４６】
この識別子を用いることにより、ウエハ状態での識別子と個片状態での識別子とを比較して、紐付けすることが可能となる。
【００４７】
識別子として使用する個数Ｎは、一致率によってＮ個を決定することができる。一致率、および必要なＮの値は、データを積み重ね統計的に算出する。一致率が高ければＮを小さく設定することができる。
【００４８】
なお、Ｎの具体的な値は、本実施形態を限定するものではないが、例えば、Ｎ＝３０や、Ｎ＝５０などを典型的な値としてとることができる。
【００４９】
特許文献１では、液晶ドライバを例に数百から１０００ピン以上ある出力端子毎の出力電圧値や各々の内部状態毎の電流値バラツキを特徴とし、それを各々の識別子として用いている。特許文献１の手法では、各々の識別子として用いている数百から１０００ピン以上ある出力端子毎の出力電圧値を分析して、トレースするためデータ量が膨大となり、その膨大なデータを分析する必要があるために、トレースに要する時間が増大し得る。
【００５０】
本発明に係る識別子生成方法によれば、チップ面積を増加させることなく、該半導体集積回路の電源電流値を識別子とするため、データ量と共に、データ収集時間（テスト時間短縮）を抑制し、高効率でトレースすることができる。
【００５１】
また、本実施例では、液晶ドライバの１０２４状態（２５６階調×４状態）の内部状態における電源電流値のバラツキを利用しているが、内部回路の様々な状態の電源電流値を利用することも可能である。
【００５２】
例えば、液晶ドライバの状態１（液晶ドライバがＲＧＢ入力からの映像データを取り込み始めた時のスタティック状態）における２５６階調の入力データを入力した２５６状態を内部状態と定義し、各状態における電源電流値を測定してもよい。具体例について図８を参照して説明する。
【００５３】
図８は、本発明の実施形態を示すものであって、識別子生成方法の一変形例に関する説明図である。図８の（ａ）、および（ｂ）に示すように、２５６階調×１状態の２５６状態分の電源電流データを収集する。測定した２５６状態のそれぞれの電源電流値を比較し、電源電流値の多い順番もしくは、少ない順番に識別番号リストを並べ替え、この並べ替えた識別番号リストを半導体集積回路の識別子とする。この場合には、テスターを用いて４状態をそれぞれ設定する手間を省くことができるため、電源電流値の測定に要する時間を短縮することができる。
【００５４】
さらに、上記２５６状態のうち、電源電流値の多い順番にＭ個（Ｍは２５６以下の自然数）、少ない順番にＭ個並べ替えた識別番号リストに基づいて識別子を生成してもよい。
【００５５】
この場合の識別子として使用する個数Ｍも、一致率によってＭ個を決定することができる。一致率、および必要なＭの値は、データを積み重ね統計的に算出する。一致率が高ければＭを小さく設定することができる。
【００５６】
この場合には、上記の手順にて生成された識別子を用いてトレースを行う際に要する時間をさらに短縮することができる。
【００５７】
また、測定した１０２４状態の電源電流値の各々に対して内部状態識別番号を関連付けるのではなく、非動作状態における予め定められた２つの条件下に置かれた該半導体集積回路からの電源電流値の差分に対して識別番号の関連付けを行ってもよい。例えば、状態１における階調００１の入力データを入力した場合の電源電流値と、状態２における階調００１の入力データを入力した場合の電源電流値との差分を求め、識別番号００１１を関連付ける。同様に、各階調の入力データを入力した際における状態１の電源電流値と状態２の電源電流値との差分をそれぞれ求め、順に識別番号００２１、００３１、・・・、２５４１、２５５１、２５６１を関連付ける。求めた２５６個の差分値を比較し、差分値の多い順番もしくは、少ない順番に識別番号を並べ替えた識別番号リストを作成し、この識別番号リストを識別子として用いてもよい。さらに、並べ替えた識別番号リストのうち、差分値の多い順番にＬ個（Ｌは２５６以下の自然数）、少ない順番にＬ個並べ替えた識別番号リストを識別子として用いてもよい。
【００５８】
この場合の識別子として使用する個数Ｌも、一致率によってＬ個を決定することができる。一致率、および必要なＬの値は、データを積み重ね統計的に算出する。一致率が高ければＬを小さく設定することができる。
【００５９】
この場合には、２つの状態における各電源電流値の差分に基づいて、識別子を生成するため、より信頼性の高い識別子を生成することができる。
【００６０】
なお、本実施形態においては、内部状態識別番号として４桁の数字を用いているが、これは本発明を限定するものではない。すなわち、半導体集積回路の非動作状態における内部状態の識別が可能であればよく、文字列、および数字と文字列との組み合わせを用いてもよい。例えば、２５６階調の入力データを示す３桁の数字を１６進数で表現し、２桁にすることにより、内部状態識別番号の桁数を減らすことができ、識別子のデータ量を減らすことができる。
【００６１】
また、上記の例では、半導体集積回路として液晶ドライバを例に挙げ説明を行ったが、本発明はこれに限定されるものではなく、液晶ドライバ以外の半導体集積回路に対して適用することが可能である。
【００６２】
以上が、本実施形態に係る半導体集積回路の識別子生成方法、および生成された識別子を用いたトレース方法についての説明である。次に、上記識別子生成方法を実際に使用するために使用される、本発明に係る識別子生成装置１について説明する。
【００６３】
〔識別子生成装置１〕
図１は、本実施形態に係る識別子生成装置１のブロック図を示している。識別子生成装置１は、ＤＣ測定部１１と、メモリ部１２と、演算部１３と、比較部１４と、電源供給部１５と、を備えている。識別子生成装置１は、例えば、データベース５０に接続される。図１における２重線は電源電流の経路を、実線は信号の経路を示している。まず、識別すべき液晶ドライバ（半導体集積回路）に識別子を付与する識別子付与工程を具体的な信号の流れに沿って説明する。
【００６４】
電源供給部１５は識別すべき半導体集積回路に対して、電源を供給するための手段である。
【００６５】
識別すべき液晶ドライバには半導体デバイスを測定するテスターが接続されている。テスターは液晶ドライバの状態設定を行う手段であり、具体的には、上述した４つのスタティック状態の設定を行う。
【００６６】
また、識別子生成装置１は、図示しない入力信号供給部を備えている。入力信号供給部は、２５６階調の入力データを識別すべき液晶ドライバに供給する手段である。入力信号供給部は、テスターが設定する上記の４つのスタティック状態において、２５６階調の入力データを液晶ドライバにそれぞれ入力するように、テスターによって信号入力のタイミングを制御されている。本実施形態においては、テスターおよび入力信号供給部によって、１０２４の内部状態を設定する。
【００６７】
なお、本実施形態においては、識別子生成装置１が入力信号供給部を備えており、入力信号供給部から半導体集積回路に入力データが供給される構成について説明するが、これは本発明を限定するものではない。上記入力データを供給する入力信号供給部は、識別子生成装置１が備えていてもよいし、別の装置が備えている構成としてもよい。
【００６８】
ＤＣ測定部１１は、電源供給部１５から半導体集積回路に供給される電源電流を測定するための手段である。特に、本実施形態においては、ＤＣ測定部１１は、複数の内部状態ごとの電源電流値を測定し、測定した電源電流値を順次メモリ部１２へ送信する。また、ＤＣ測定部１１は、テスターによって電源電流値の測定タイミングを制御されている。
【００６９】
メモリ部１２はＤＣ測定部１１から送られてきた複数の内部状態ごとの電源電流値を、半導体集積回路ごとに蓄積する手段である。
【００７０】
演算部１３は、メモリ部１２に蓄積された半導体集積回路ごとの複数の内部状態における電源電流値に基づいて識別子を生成するための手段である。演算部１３は、具体的には、ＤＣ測定部１１が測定した１０２４状態の電源電流値の各々に対し、液晶ドライバの内部状態を識別する番号である内部状態識別番号００１１、００１２、００１３、００１４、・・・、をそれぞれ関連付ける。続いて、演算部１３は、内部状態識別番号と関連づけられたそれぞれの電源電流値を比較し、電源電流値の多い順番もしくは、少ない順番に内部状態識別番号を並べ替え、識別番号リストを作成する。さらに、演算部１３は並べ替えた識別番号リストのうち、１からＮ番目までの電源電流値の多い状態、同様に１からＮ番目までの電源電流値の少ない状態に並べ替えた識別番号リストを作成する。演算部１３は、作成した識別番号リストを半導体集積回路の識別子として生成する。演算部１３は、このようにして半導体集積回路ごとに生成された識別子を、データベース５０に出力する。
【００７１】
データベース５０は、各半導体集積回路に対して入力される識別子を、当該半導体集積回路に関する製造履歴や検査履歴等との関連付けを行い、関連付けされた情報を蓄積および管理するための手段である。
【００７２】
データベース５０は、具体的には、入力された識別子と、当該液晶ドライバの製造履歴や検査履歴等との関連付けを行い、関連づけされたデータを液晶ドライバごとに蓄積し管理する。
【００７３】
このようにして、本実施形態に係る識別子生成装置１を用いることで、液晶ドライバごとに固有の識別子を生成することができ、データベース５０と併用することで、個々の半導体集積回路に関する製造情報や検査情報等を蓄積および管理することができる。
【００７４】
〔識別子生成装置１を用いたトレース方法について〕
一方で、検査工程において不良が見つかった液晶ドライバや、ユーザーから返品された液晶ドライバの製造情報や検査情報等を特定するための識別子判別工程は、以下のように行うことができる。
【００７５】
まず、当該液晶ドライバのウエハ状態における識別子は識別子生成装置１によって生成され、データベース５０に予め格納されているものとする。個片状態の当該液晶ドライバは、テスターおよび入力信号供給部によって１０２４の内部状態にそれぞれ設定され、各状態における電源電流値をＤＣ測定部１１に送信する。ＤＣ測定部１１は、上記信号の電源電流値を測定し、測定した値をメモリ部１２に順次出力する。
【００７６】
メモリ部１２はＤＣ測定部１１から入力された電源電流測定値を、液晶ドライバごとに蓄積する。演算部１３は、メモリ部１２に蓄積された電源電流測定値に基づいて、ウエハ状態での識別子生成と同様の処理を行い、液晶ドライバごとに識別子を生成する。生成された識別子は、比較部１４に入力される。
【００７７】
比較部１４は、入力された識別子を、データベース５０に蓄積された同種の半導体集積回路についての識別子と比較し、入力された識別子を、データベース５０に蓄積された同種の半導体集積回路についての識別子のうち、いずれか１つに同定する手段である。
【００７８】
具体的には、比較部１４は入力された識別子と、データベース５０に蓄積された同種の液晶ドライバについての全ての識別子とを比較し、入力された識別子を、データベース５０に蓄積された同種の液晶ドライバの識別子のいずれか１つに同定する。
【００７９】
上記同定作業は、データベース５０に蓄積された識別子のうちいずれか１つと、上記入力された識別子とを、例えば、並べ替えた識別番号リストのうち、１からＮ番目までの電源電流値の多い状態を順次比較していくことにより、簡便に行うことができる。
【００８０】
理想的な状況においては、比較部１４、データベース５０に蓄積された識別子と、入力された識別子とを比較し、識別番号リストの内部状態識別番号の順序がすべて一致する場合に両識別子を同一の識別子と判定する。
【００８１】
実際上、ＤＣ測定部１１における電源電流値の測定には、測定誤差が伴うため、データベース５０に蓄積された識別子と、入力された識別子とが、完全には一致しない場合もあり得るが、実際上十分な精度で同定が可能である。具体的には、比較部１４は、データベース５０に蓄積された識別子と、入力された識別子とが、測定誤差に起因して順序が異なる内部状態識別番号が数箇所存在していたとしても、残りの内部状態識別番号の順序が一致していれば、両識別子を同一の識別子であると同定してもよく、当該同定作業は実用上全く問題のない程度に、非常に高い精度を有する。
【００８２】
〔実施形態２〕
本発明に係る第２の実施形態は、半導体集積回路の電源電流値のセットから、ノイズ、または、接触不良などに起因した、他の値と有意に異なる値を除いたものに基づいて識別子を生成する方法についてである。
【００８３】
図９は、液晶ドライバの電源電流値を、当該液晶ドライバへ入力する入力データの階調を変化させながら測定した結果をプロットしたものである。また、図９における濃淡の異なる複数のグラフは、異なる４つのスタティック状態における電源電流値を示している。また、図９において丸印で囲まれた部分は、他の測定ポイントにおける測定値と大きく異なる異常値を示している。なお、図９の縦軸の単位はミリアンペア（ｍＡ）である。
【００８４】
一般に、測定される半導体集積回路の電源電流値は一定ではなく、測定誤差が付随する。従って、特定の電源供給端子に対してデバイス状態ごとの複数回のサンプリングを行うことにより、上記電源電流を利用した識別子の生成を行うことができる。
【００８５】
図９に示すように、実際の測定には、ノイズの影響や測定系の接触不良により異常データが発生する。
【００８６】
本実施形態においては、上記異常データ（すなわち、他のサンプリングポイントにおける電源電流値からかけ離れた電源電流値）を除いた電源電流値のセットに基づいて、上記半導体集積回路に付与する識別子を生成する。ここで、上記異常データとは、他のサンプリングポイントにおける電源電流値からの偏差の大きい電源電流値と捉えることができる。
【００８７】
このような方法をとることによって、本実施形態においては、ノイズや接触不良などに起因した異常データの影響を抑制しつつ、識別子を生成することが可能となる。
【００８８】
このように、本実施形態においては、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、該半導体集積回路が非動作状態である複数の内部状態における電源電流値から、偏差の大きい電源電流値（異常データ）を除いて識別番号リストを作成し、作成した識別番号リストを識別子として用いる。
【００８９】
上記の方法によれば、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、該半導体集積回路が非動作状態である複数の内部状態における電源電流値から、偏差の大きい電源電流値（異常データ）を除いて作成した識別番号リストに基づいて生成することができるので、ノイズや接触不良などによって生じる異常な値の電源電流の影響を抑制しつつ識別子を生成することができる。
【００９０】
なお、具体的な識別子の生成方法としては、上記実施形態において説明した方法を用いればよい。また、データが異常データであるか否かは、例えば、全データの平均値との差が、予め定められた閾値以上であることを以って判別することができる。また、上記予め定められた閾値としては、例えば、全データの分散を用いてもよいし、全データの標準偏差を用いてもよい。
【００９１】
また、本実施形態は、上記のように半導体集積回路の電源電流値のセットから、異常データを除いたセットに基づいて識別子を生成する場合に限定されるものではない。
【００９２】
例えば、本実施形態においては、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、非動作状態において予め定められた２つの条件下に置かれた該半導体集積回路の電源電流値の差分に基づいて生成するようにしてもよい。
【００９３】
上記の方法によれば、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、非動作状態のおいて予め定められた２つの条件下に置かれた該半導体集積回路の電源電流値の差分に基づいて生成することができるので、ノイズや接触不良などによって生じる異常な値の電源電流の影響を抑制しつつ識別子を生成することができる。
【００９４】
また、上記の例では、半導体集積回路として液晶ドライバを例に挙げ説明を行ったが、本発明はこれに限定されるものではなく、液晶ドライバ以外の半導体集積回路に対して適用することが可能である。
【００９５】
（まとめ）
本発明の一態様に係る識別子生成方法は、同一の構成を有する複数の半導体集積回路（液晶ドライバ）を互いに識別するための識別子を生成する識別子生成方法であって、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、当該半導体集積回路の非動作状態（スタティック状態）における予め定められた複数の内部状態に対する電源電流値に基づいて生成する、ことを特徴としている。
【００９６】
一般に、半導体集積回路を構成する各半導体素子は、加工寸法の僅かな不均一性や、ドープされる不純物の僅かな不均一性などの微視的要因に起因して、同種の半導体素子であってもそれらの特性は互いに異なる。従って、同種の半導体素子により構成された同一の構成を有する半導体集積回路であっても、同一条件下の電源電流値は半導体集積回路毎に異なる。
【００９７】
また、半導体集積回路を構成する各半導体素子の特性は、時間が経過したり、ウエハ状態から個片状態へ切り出したりしたとしてもほとんど変化することはない。従って、同一条件下で或る半導体集積回路の電源電流値は、ほとんど変化することがない。それゆえ、同一条件で半導体集積回路の電源電流値を各半導体集積回路に固有の識別子として利用することが可能である。
【００９８】
さらに、上記識別子生成方法によれば、半導体集積回路の非動作状態（スタティック状態）における予め定められた複数の内部状態に対する電源電流値に基づいて生成するので、従来に比べて信頼性の高い識別子を生成することができる。
【００９９】
また、本発明の一態様に係る識別子生成方法において、上記予め定められた複数の内部状態を互いに識別するための内部状態識別番号（ナンバー）を、各内部状態識別番号に対応する内部状態に対する電源電流値の値の大小関係に応じて並べ替えて得られる識別番号リストに基づいて、上記識別子を生成することが好ましい。
【０１００】
一般に、半導体集積回路から出力されるアナログ信号値や電源電流を測定する際には、測定誤差が付随する。当該測定誤差は、生成される識別子に含有されているため、当該測定誤差の影響が大きくなると、生成される識別子の同一性（再現性）が害されるという問題を招来する。
【０１０１】
上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、該半導体集積回路の非動作状態における複数の内部状態毎に付与された内部状態識別番号を該複数の内部状態の各々の電源電流値に応じて並べ替える。この並べ替えた識別番号リストに基づいて個々の半導体集積回路の識別子を生成することにより、測定誤差の影響を小さくすることができるので、より信頼性の高い識別子を生成することができる。
【０１０２】
さらに、本発明の一態様に係る識別子生成方法において、上記識別番号リストに含まれる内部状態識別番号のうち、対応する電源電流値が大きい方の上位Ｎ個（Ｎは自然数）の内部状態識別番号、および、対応する電源電流値が小さい方の下位Ｎ個の内部状態識別番号を、上記識別子とすることが好ましい。
【０１０３】
上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、並べ替えた識別番号リストのうちの、上位Ｎ個、および下位Ｎ個のみ抽出し、個々の半導体集積回路の識別子とすることにより、さらに少量のデータ量で信頼性の高い識別子を生成することができる。
【０１０４】
また、本発明の一態様に係る識別子生成方法において、上記予め定められた複数の内部状態は、複数の非動作状態と、半導体集積回路への入力データの値とによって定められるものであり、上記複数の非動作状態のうち、一つの非動作状態と、上記入力データの値とによって定められる内部状態を互いに識別するための内部状態識別番号を、各内部状態識別番号に対応する内部状態に対する電源電流値の値の大小関係に応じて並べ替えて識別番号リストを作成し、上記識別番号リストに含まれる内部状態識別番号のうち、対応する電源電流値が大きい方の上位Ｍ個（Ｍは自然数）の内部状態識別番号、および、対応する電源電流値が小さい方の下位Ｍ個の内部状態識別番号を、上記識別子とすることが好ましい。
【０１０５】
上記電源電流値を測定する際の複数の内部状態を低減することにより、識別子生成における生成時間を短縮することができる。また、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、並べ替えた識別番号リストのうちの、上位Ｍ個、および下位Ｍ個のみを抽出し、個々の半導体集積回路の識別子とすることにより、さらに少量のデータ量で信頼性の高い識別子を生成することができる。
【０１０６】
また、本発明の一態様に係る識別子生成方法において、予め定められた２つの条件下に置かれた該半導体集積回路に供給される電源電流値の差分に基づいて生成する、ことが好ましい。
【０１０７】
上記の方法によれば、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、予め定められた２つの条件下に置かれた該半導体集積回路に供給される電源電流値の差分に基づいて生成することができるので、ノイズや接触不良などによって生じる異常な電源電流値の影響を抑制しつつ識別子を生成することができるという更なる効果を奏する。
【０１０８】
また、本発明の一態様に係る識別子生成方法において、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、当該半導体集積回路の非動作状態における予め定められた複数の内部状態に対する電源電流値群から、偏差の大きい電源電流値を除いた電源電流値群に基づいて生成する、ことが好ましい。
【０１０９】
ここで、偏差の大きい電源電流値とは、例えば、他の電源電流値の平均から、予め定められた閾値以上離れている電源電流値のことを指す。
【０１１０】
上記の方法によれば、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、当該半導体集積回路の非動作状態における予め定められた複数の内部状態に対する電源電流値群から、偏差の大きい電源電流値を除いた電源電流値群に基づいて生成することができるので、ノイズや接触不良などによって生じる異常な値の電源電流の影響を抑制しつつ識別子を生成することができるという更なる効果を奏する。
【０１１１】
さらに、本発明の一態様に係る識別子生成方法において、上記半導体集積回路は、液晶ドライバであり、上記電源電流値は、上記液晶ドライバの非動作状態における複数の階調に対する電源電流値であることが好ましい。
【０１１２】
また、本発明の一態様に係る半導体集積回路のトレース方法は、当該半導体集積回路のウエハ状態と、当該半導体集積回路個片状態との紐付けを、上述の識別子を用いて関連付けることを特徴としている。
【０１１３】
上記のトレース方法を用いることにより、半導体集積回路に新たな識別子用回路や工程を用いることなく、従来から備わっている機能を利用して識別子を生成することができるので、製造コストの増加を抑えることができる。また、ユーザーからの返品や不良品のように、識別すべき半導体集積回路の一部に不具合があり状態によって電源電流が大電流となるような場合であっても、識別子の判別が可能であるため、半導体集積回路の製造履歴を確実にトレースすることが可能になる。
【０１１４】
さらに、本発明の一態様に係る識別子生成装置は、同一の構成を有する複数の半導体集積回路を互いに識別するための識別子を生成する識別子生成装置であって、上記複数の半導体集積回路の各々に付与する識別子を、当該半導体集積回路の非動作状態における予め定められた複数の内部状態に対する電源電流の値に基づいて生成する識別子生成手段を備えている、ことを特徴としている。
【０１１５】
上記の識別子生成装置によれば、上記の識別子生成方法と同様の効果を奏する。
【０１１６】
また、本発明の一態様に係る識別子生成装置が備えているコンピュータを動作させるためのプログラムであって、当該コンピュータを上記識別子生成装置が備えている各手段として機能させるためのプログラム、および、それらのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体についても本発明の範疇に含まれる。
【０１１７】
（付記事項）
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【０１１８】
〔ソフトウェアによる実現例〕
最後に、識別子生成装置１の各ブロックは、集積回路（ＩＣチップ）上に形成された論理回路によってハードウェア的に実現してもよいし、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてソフトウェア的に実現してもよい。
【０１１９】
後者の場合、識別子生成装置１は、各機能を実現するプログラムの命令を実行するＣＰＵ、上記プログラムを格納したＲＯＭ（Read Only Memory）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶装置（記録媒体）などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである識別子生成装置１の制御プログラムのプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、上記識別子生成装置１に供給し、そのコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。
【０１２０】
上記記録媒体としては、一時的でない有形の媒体（non-transitory tangible medium）、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ類、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディスクを含むディスク類、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード類、マスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ類、あるいはＰＬＤ（Programmable logic device）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の論理回路類などを用いることができる。
【０１２１】
また、識別子生成装置１を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークは、プログラムコードを伝送可能であればよく、特に限定されない。例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、ＬＡＮ、ＩＳＤＮ、ＶＡＮ、ＣＡＴＶ通信網、仮想専用網（Virtual Private Network）、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、この通信ネットワークを構成する伝送媒体も、プログラムコードを伝送可能な媒体であればよく、特定の構成または種類のものに限定されない。例えば、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、電力線搬送、ケーブルＴＶ回線、電話線、ＡＤＳＬ（Asymmetric Digital Subscriber Line）回線等の有線でも、ＩｒＤＡやリモコンのような赤外線、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、ＩＥＥＥ８０２．１１無線、ＨＤＲ（High Data Rate）、ＮＦＣ（Near Field Communication）、ＤＬＮＡ（Digital Living Network Alliance）、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。
【産業上の利用可能性】
【０１２２】
本発明に係る識別子生成方法は、半導体集積回路の識別に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【０１２３】
１    識別子生成装置
１１  ＤＣ測定部
１２  メモリ部
１３  演算部
１４  比較部
１５  電源供給部
【図１】
2014082314.tif 000003
【図２】
2014082314.tif 000004
【図３】
2014082314.tif 000005
【図４】
2014082314.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2014082314.tif 000009
【図８】
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【図９】
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