(57)【要約】【課題】装置本体に対する放電管の取り付け及び取り外しを容易にし、放電管の一対の電極に接続されるリード線を不要にして小型化及びコストダウンを可能にするとともに、放電管を被照射物に近接配置可能とする。【解決手段】放電管４と、放電管４に設けられた一対の電極５１、５２と、放電管４の軸方向両端部４ｍ、４ｎにおいて軸方向から異なる一方向に延び設けられた一対の接続端子６１、６２と、装置本体側に設けられ、一対の接続端子６１、６２が装着されることにより、一対の接続端子６１、６２から一対の電極５１、５２に給電する一対の給電ソケット３１、３２とを備え、前記一対の接続端子６１、６２が、前記放電管４の軸方向両端部において前記一方向とは反対側の側面よりも外側に位置しない構成とされている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電管と、
前記放電管に設けられた一対の電極と、
前記放電管の軸方向両端部において軸方向から異なる一方向に延び設けられ、前記一対の電極に接続された一対の接続端子とを備え、
前記一対の接続端子が、前記放電管の軸方向両端部において前記一方向とは反対側の側面よりも外側に位置しない構成とされている放電ランプ。
【請求項２】
前記一対の接続端子が、前記放電管の軸方向両端部に設けられたブロック体に取り付けられている請求項１記載の放電ランプ。
【請求項３】
前記一対の接続端子が、前記放電管の軸方向両端部に設けられたフランジ部に取り付けられている請求項１記載の放電ランプ。
【請求項４】
前記放電管の光放出面である下面及び前記下面に対向する上面が平坦面であり、前記一対の接続端子が前記放電管の上面に垂直に延出している請求項１乃至３の何れか一項に記載の放電ランプ。
【請求項５】
前記一対の接続端子は、前記下面と前記上面を繋ぐ一対の側面より外側に突出していない請求項１乃至４の何れか一項に記載の放電ランプ。
【請求項６】
前記一対の電極が、前記一対の接続端子が延出する延出方向を向く面に設けられた第１の外部電極と、前記延出方向とは反対側を向く面に設けられた第２の外部電極とからなる請求項１乃至５の何れか一項に記載の放電ランプ。
【請求項７】
前記第１の外部電極が、高圧側電極である請求項６記載の放電ランプ。
【請求項８】
前記放電管は、エキシマランプである請求項１乃至７の何れか一項に記載の放電ランプ。
【請求項９】
前記放電管は、装置本体側に設けられ、同一の装着方向を有する一対の給電部材に装着される請求項１乃至８の何れか一項に記載の放電ランプ。
【請求項１０】
放電管と、
前記放電管に設けられた一対の電極と、
前記放電管の軸方向両端部において軸方向から異なる一方向に延び設けられ、前記一対の電極に接続された一対の接続端子と、
装置本体側に設けられ、前記一対の接続端子が装着されることにより、前記一対の接続端子から前記一対の電極に給電する一対の給電部材とを備え、
前記一対の接続端子が、前記放電管の軸方向両端部において前記一方向とは反対側の側面よりも外側に位置しない構成とされている光照射装置。
【請求項１１】
前記一対の給電部材に前記一対の接続端子が装着されることにより、前記放電管が、略水平に吊り下げられた状態となる請求項１０記載の光照射装置。
【請求項１２】
前記一対の給電部材のうち少なくとも一方が、移動可能に設けられている請求項１０又は１１記載の光照射装置。
【請求項１３】
高圧側の接続端子が差し込まれる給電部材が固定されており、
アース側の接続端子が差し込まれる給電部材が、移動可能に設けられている請求項１２記載の光照射装置。
【請求項１４】
移動可能に設けられた給電部材が、装置本体側に設けられた平面に沿って移動するものである請求項１３記載の光照射装置。
【請求項１５】
移動可能に設けられた給電部材が、装置本体側において少なくとも２方向に設定された回転軸周りに回転するものである請求項１２又は１３記載の光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばエキシマランプ等の放電ランプ及び前記放電ランプを有する光照射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイのガラス基板や半導体ウエハ等の被照射物を光洗浄等するための紫外線照射装置の紫外線ランプとして、エキシマランプが用いられている。
【０００３】
このエキシマランプは、放電用ガスとしてキセノンガスを用いた場合に、中心波長が１７２ｎｍの紫外線を放射するものであり、放電用ガスが封入された放電管の外面に一対の外部電極を設け、当該一対の外部電極に高周波高電圧を印加することによって紫外線を射出するように構成されている。
【０００４】
そして、前記一対の外部電極に高周波高電圧を印加するために、一対の外部電極にリード線が接続されている。このリード線として、シリコーン電線を用いたものや、紫外線によっても劣化し難く、絶縁性及び耐熱性が高いＰＦＡでシリコーン電線のシリコーン樹脂を被覆したものが用いられている。
【０００５】
しかしながら、シリコーン電線を用いたものでは、シリコーン樹脂に紫外線が当たり、チョーキング（白亜化）が生じてしまい、このチョーキングによる粉状物が落下して被照射物が汚染されるという問題がある。また、ＰＦＡを被覆したものであっても、劣化によってＰＦＡにひび割れが生じてしまうと、下層のシリコーン樹脂に紫外線が当たりチョーキング（白亜化）が生じてしまい、このチョーキングによる粉状物が落下して被照射物が汚染されるという問題がある。
【０００６】
また、リード線を用いて外部電極に給電するものであれば、リード線が外部電極に溶接又は半田付けによって接続されているため、紫外線ランプを交換する場合には、リード線の溶接又は半田付け箇所を破断させるか、当該溶接又は半田付け箇所以外でリード線を分離させる機構を設ける必要があり、構造が複雑化する恐れがある。
【０００７】
前記問題を解決するものとして、リード線を用いずに外部電極に給電する構造として、放電管の外周面の周方向に沿って１巻きを超えて巻回された巻回部と前記外周面から離れる方向に延在された突出部を有する給電端子を装置本体に装着するもや、放電管の上壁と下壁の外表面端部に設けた一対のコネクタ端子を装置本体側のソケット部に装着するものもあるが、前記巻回部や前記コネクタ端子や前記ソケット部は、前記放電管の外周面より外側に突出する構成のため、光照射効率を上げるために、放電管の光照射面を被照射物に限りなく近接配置したくても、その突出面が邪魔になり、近接配置にも限界がある。また、前記放電管を複数個並列配置して使用する場合にも、その突出面が邪魔になり、やはり近接配置にも限界がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１０−３３８８３
【特許文献２】特開２００９−２３１２２１
【特許文献３】ＷＯ２０１０−０３２８４９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、光照射装置の装置本体に対する放電管の取り付け及び取り外しを容易にし、放電管に設けられた一対の電極に接続されるリード線を不要にして小型化及びコストダウンを可能にするとともに、放電管を被照射物に近接配置可能とすることをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち本発明に係る放電ランプは、放電管と、前記放電管に設けられた一対の電極と、前記放電管の軸方向両端部において軸方向から異なる一方向に延び設けられ、前記一対の電極に接続された一対の接続端子とを備え、前記一対の接続端子が、前記放電管の軸方向両端部において前記一方向とは反対側の側面よりも外側に位置しない構成とされていることを特徴とする。
【００１１】
このような放電ランプであれば、一対の電極に接続された一対の接続端子が、放電管の軸方向両端部において軸方向から異なる一方向に延び設けられ、装置側に設けられた一対の給電部材に装着するだけで一対の電極への給電を行うことができるので、一対の電極に接続されるリード線を不要にできる。これにより、当該リード線の接続に伴う溶接又は半田付け等の煩雑な作業を不要として、光照射装置の装置本体に対する放電管の取り付け及び取り外しを容易にすることができる。
また、上記の放電ランプであれば、前記リード線を不要とすることができるため、小型化及びコストダウンを可能にすることができる。さらに、紫外線を照射するものであれば、紫外線がリード線に当たることにより生じる汚染物の発生を解消することができる。
さらに、一対の接続端子が、放電管の軸方向両端部において一方向とは反対側の側面（光放出面）よりも外側に位置しない構成とされているので、放電管を被照射物に近接配置することができる。
つまり、放電管の光放出面より被照射物側に、接続端子が突出していないので、光放出面を被照射物に近接配置することができる。
【００１２】
前記一対の接続端子が、前記放電管の軸方向両端部に設けられたブロック体に取り付けられていることが望ましい。
これならば、一対の接続端子をブロック体に軸方向から離間する一方向に延び設けることができる。
ここでブロック体は、放電管と同一材料又は近い種類の材料から構成されている。例えば、放電管が、合成石英ガラスから形成されている場合には、ブロック体は合成石英ガラス又は溶融石英ガラスから形成されている。また、放電管の軸方向両端部に対してブロック体を溶着するようにしても良いし、放電管及びブロック体を一体形成しても良い。
【００１３】
前記一対の接続端子が、前記放電管の軸方向両端部に設けられたフランジ部に取り付けられていることが望ましい。
これならば、ブロック体を用いるより、放電ランプを軽量化することができる。
ここでフランジ部は、放電空間と隔離された放電管の軸方向に延び設けられた放電管と同一材料又は近い種類の材料から構成されているはみだし部分である。
【００１４】
前記放電管の光放出面である下面及び前記下面に対向する上面が平坦面であり、前記一対の接続端子が、前記放電管の上面に垂直に延出していることが望ましい。
このように放電管が広い平坦面を有するので、放電管及び被照射物の間に、放電管の周囲を窒素ガスで満たすためのガラス板等の窓材を配置する必要がない。つまり、放電管が紫外線を射出するものにおいて、放電管の下方に２〜３ｍｍの僅かな隙間を介して被照射物に紫外線を照射することができる。したがって、紫外線の空気中での減衰を低減し、照射効率を高くすることができる。このように窓材を介さずに被照射物に紫外線を照射する放電ランプにおいて、リード線を用いる必要が無くなるので、本発明の効果を一層顕著にすることができる。
【００１５】
前記一対の接続端子は、前記下面と前記上面を繋ぐ一対の側面より外側に突出していないことが望ましい。
これならば、複数の放電ランプを並列配置する場合においても、それぞれの放電ランプを近接配置することができる。
【００１６】
前記一対の電極が、前記一対の接続端子が延出する延出方向を向く面に設けられた第１の外部電極と、前記延出方向とは反対側を向く面に設けられた第２の外部電極とからなることが望ましい。このとき、前記放電管の軸方向一端部に設けられた第１の接続端子が、前記第１の外部電極に電気的に接続されており、前記放電管の軸方向他端部に設けられた第２の接続端子が、前記第２の外部電極に電気的に接続されている。
これならば、一対の給電部材に一対の接続端子を装着した状態で、第１の外部電極が被照射物とは反対側に位置することになり、第１の外部電極が高圧側電極の場合には、第１の外部電極に印加された高圧が被照射物に与える影響を抑制することができる。
【００１７】
なお、第１の外部電極及び第２の外部電極は、例えば金属薄膜により構成しても良いし、金属板により構成しても良い。金属薄膜により構成する場合には、放電管の外表面に隙間なく密着させることができるので、放電効率を高めることができる。また、金属板により構成する場合には、外部電極の取り付けが容易となる。
【００１８】
前記放電管は、エキシマランプであることが望ましい。
これならば、エキシマランプの下方に２〜３ｍｍの僅かな隙間を介して被照射物に紫外線を照射することができるので、紫外線の空気中での減衰を低減し、照射効率を高くすることができる。
【００１９】
前記放電管は、装置本体側に設けられ、同一の装着方向を有する一対の給電部材に装着されることが望ましい。
これならば、同一の装着方向を有する一対の給電部材に接続端子を装着できるので、リード線を不要とすることができるため、小型化及びコストダウンを可能にすることができる。
【００２０】
また本発明に係る光照射装置は、放電管と、前記放電管に設けられた一対の電極と、前記放電管の軸方向両端部において軸方向から異なる一方向に延び設けられ、前記一対の電極に接続された一対の接続端子と、装置本体側に設けられ、前記一対の接続端子が装着されることにより、前記一対の接続端子から前記一対の電極に給電する一対の給電部材とを備え、前記一対の接続端子が、前記放電管の軸方向両端部において前記一方向とは反対側の側面よりも外側に位置しない構成とされていることを特徴とする。
このような光照射装置であれば、一対の電極に接続された一対の接続端子が、放電管の軸方向両端部において軸方向から異なる一方向に延び設けられ、装置側に設けられた一対の給電部材に装着するだけで一対の電極への給電を行うことができるので、一対の電極に接続されるリード線を不要にできる。これにより、当該リード線の接続に伴う溶接又は半田付け等の煩雑な作業を不要として、光照射装置の装置本体に対する放電管の取り付け及び取り外しを容易にすることができる。
また、上記の放電ランプであれば、前記リード線を不要とすることができるため、小型化及びコストダウンを可能にすることができる。さらに、紫外線を照射するものであれば、紫外線がリード線に当たることにより生じる汚染物の発生を解消することができる。
さらに、一対の接続端子が、放電管の軸方向両端部において一方向とは反対側の側面（光放出面）よりも外側に位置しない構成とされているので、放電管を被照射物に近接配置することができる。
つまり、放電管の光放出面より被照射物側に、接続端子が突出していないので、光放出面を被照射物に近接配置することができる。
【００２１】
前記一対の給電部材に前記一対の接続端子が装着されることにより、前記放電管が、略水平に吊り下げられた状態となることが望ましい。
このように放電管が略水平に吊り下げられる構成とすることにより、放電管と被照射物との距離を小さくすることができる。
【００２２】
前記一対の給電部材のうち少なくとも一方が、移動可能に設けられていることが望ましい。
これならば、放電管の加工における寸法のばらつき誤差、器具の熱膨張による伸縮及び接続端子の位置誤差を吸収して、一対の給電部材により確実に一対の接続端子を装着することができ、一対の電極に確実に給電することができる。
【００２３】
高圧側の給電部材を移動させる場合には、周囲の耐圧構造を工夫する必要があり、また、安全上好ましくない。このため、高圧側の接続端子が差し込まれる給電部材が固定されており、アース側の接続端子が装着される給電部材が、移動可能に設けられていることが望ましい。
これならば、高圧側の給電部材の耐圧構造を複雑化する必要がなく、また安全性を確保しながらも、一対の給電部材により確実に一対の接続端子を介して一対の電極に給電することができる。
【００２４】
移動可能に設けられた給電部材が、装置本体側に設けられた平面に沿って移動するものであることが望ましい。
これならば、放電管の加工における寸法のばらつき誤差及び器具の熱膨張による伸縮を好適に吸収することができる。
【００２５】
移動可能に設けられた給電部材が、装置本体側において少なくとも２方向に設定された回転軸周りに回転するものであることが望ましい。
これならば、接続端子の位置誤差、特に接続端子の傾き誤差を好適に吸収することができる。
【発明の効果】
【００２６】
このように構成した本発明によれば、光照射装置の装置本体に対する放電管の取り付け及び取り外しを容易にし、放電管に設けられた一対の電極に接続されるリード線を不要にして小型化及びコストダウンを可能にするとともに、放電管を被照射物に近接配置可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本実施形態の紫外線照射装置を模式的に示す断面図。
【図２】同実施形態の紫外線ランプを模式的に示す平面図、側面図及び底面図。
【図３】同実施形態の接続端子構造を主として示す部分拡大断面図。
【図４】同実施形態の高圧側の給電部材（給電ソケット）及び周辺構造を模式的に示す断面図。
【図５】同実施形態のアース側の給電部材（給電ソケット）及び周辺構造を模式的に示す断面図。
【図６】同実施形態の給電部材（給電ソケット）保持部材を模式的に示す平面図。
【図７】変形実施形態のアース側の給電部材（給電ソケット）及び周辺構造を模式的に示す平面図。
【図８】変形実施形態のアース側の給電部材（給電ソケット）及び周辺構造の断面図。
【図９】変形実施形態の接続端子構造を主として示す部分拡大断面図。
【図１０】変形実施形態の接続端子構造を主として示す平面図、側面図及び部分拡大断面図。
【図１１】変形実施形態の接続端子構造を主として示す平面図、側面図及び部分拡大断面図。
【図１２】変形実施形態の接続端子構造を主として示す平面図、側面図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下に本発明に係る光照射装置の一例として紫外線照射装置の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００２９】
本実施形態に係る紫外線照射装置１００は、液晶ディスプレイのガラス基板等の被照射物の光洗浄等を行うものであり、図１に示すように、直管状の放電管４を有する紫外線ランプ（放電ランプ）２と、当該紫外線ランプ２が着脱自在に装着される一対の給電ソケット３１、３２とを備える。
【００３０】
紫外線ランプ２は、図２に示すように、キセノンガスを封入した角形直管状の放電管４を用いたエキシマランプである。
【００３１】
具体的に放電管４は、合成石英ガラスからなる断面概略矩形状の筒体における軸方向両端の開口を断面概略矩形状の溶融石英ガラスブロックで塞ぐことにより内部に放電空間４Ｓを形成した密閉容器であり、この放電空間４Ｓに放電用ガスとしてキセノンガスが封入されている。また、この放電管４は、上下の外表面がほぼ平坦な上平坦面４ａと下平坦面４ｂを有し、上平坦面４ａには第１の外部電極５１が形成されるとともに、下平坦面４ｂには第２の外部電極５２が形成されている。
【００３２】
上平坦面４ａの第１の外部電極５１は、放電管４の上平坦面４ａのほぼ全面に一様に成膜されたアルミ蒸着膜とこの表面を保護する金属蒸着膜からなる２層の金属薄膜である。また、下平坦面４ｂの第２の外部電極５２は、放電管４の下平坦面４ｂのほぼ全面に網状のパターンで成膜されたアルミ蒸着膜とこの網状の表面を保護する金属蒸着膜からなる２層の金属薄膜である。
【００３３】
上記構成のエキシマランプ２の放電管４は、図示しない高周波高電圧電源からの高周波高電圧を一対の外部電極５１、５２間に印加すると、誘電体からなる放電管４の内部の放電空間４Ｓで誘電体バリア放電が発生するので、この放電空間４Ｓで放電用ガスであるキセノン原子が励起され、このキセノン原子が基底状態に戻る際に中心波長が１７２ｎｍの真空紫外線を放射する（エキシマ発光）。そして、この真空紫外線は、放電管４の下平坦面４ｂの第２の外部電極５２の網目の隙間を通って下方に放出される。つまり、下平坦面４ｂが紫外線放出面となる。したがって、この放電管４の下方に放出された真空紫外線を僅かな隙間を介して被照射物に照射すれば、この被照射物の光洗浄を行うことができる。
【００３４】
そして、本実施形態の放電管４の軸方向両端部４ｍ、４ｎには、前記一対の給電ソケット３１、３２に下方から差し込まれる一対の接続端子６１、６２が設けられている。
【００３５】
具体的に一対の接続端子６１、６２は、放電管４の軸方向両端部４ｍ、４ｎに形成されたブロック体４１、４２に取り付けられている。ブロック体４１、４２は、放電管４と同一材料からなるものであり、本実施形態では溶融石英ガラスである。なお、本実施形態の放電管４は、合成石英ガラスからなる筒体の軸方向両端の開口を溶融石英ガラスブロックで塞ぐことにより形成されており、前記溶融石英ガラスブロックにより形成された部分が前記ブロック体４１、４２となる。
【００３６】
そして、一対の接続端子６１、６２は、ブロック体４１、４２において軸方向に略直交する一方向に延び設けられている。詳細には、一対の接続端子６１、６２は、ブロック体４１、４２の上面（上平坦面４ａ）に略垂直に延び設けられている。そして、第１の接続端子６１が、上平坦面４ａに設けられた第１の外部電極５１に接続されており、第２の接続端子６２が、下平坦面４ｂに設けられた第２の外部電極５２に接続されている。言い換えれば、一対の接続端子６１、６２が延出する延出方向を向く面（上平坦面４ａ）に第１の外部電極５１が設けられており、延出方向とは反対側を向く面（下平坦面４ｂ）に第２の外部電極５２が設けられている。また、後述する高圧側の給電ソケット３２により、第１の外部電極５１が高圧側電極となる。
【００３７】
これら第１の接続端子６１及び第２の接続端子６２の具体的な取り付け構造について図３を参照して説明する。
【００３８】
第１の接続端子６１は、図３の左図に示すように、軸方向一端部４ｍに設けられたブロック体４１に形成された取り付け孔４１１を介して取り付けられる。具体的に第１の接続端子６１は、ブロック体４１の取り付け孔４１１に設けられたナット部材７１に、第１の接続端子６１の下端部に設けられた雄ねじ部６１ａを螺合させることによって、ブロック体４１に固定される。
【００３９】
本実施形態の取り付け孔４１１は、ブロック体４１の上平坦面４ａ及び下平坦面４ｂに亘って貫通しており、下側の大径孔部及び上側の小径孔部を有している。また、ナット部材７１は、セラミックス等の絶縁体からなり、前記取り付け孔４１１の形状に対応した形状を有しており、小径孔部に挿入される小径部７１ａと、大径孔部に挿入される大径部７１ｂとを有している。
【００４０】
そして、第１の接続端子６１は、前記ナット部材７１に螺合する雄ねじ部６１ａと、当該雄ねじ部６１ａの上部に設けられ、ブロック体４１の上面４ａに接触する鍔部６１ｂと、当該鍔部６１ｂの上部に設けられ、高圧側の給電ソケット３１に差し込まれる丸棒状をなす接続端子部６１ｃとを有する。
【００４１】
このような構成により、第１の接続端子６１の雄ねじ部６１ａをナット部材７１に螺合させて、第１の接続端子６１の鍔部６１ｂ及びナット部材７１の大径部７１ｂによりブロック体４１を挟圧することにより、第１の接続端子６１がブロック体４１に固定される。
【００４２】
そして、このように取り付けられた第１の接続端子６１は、上平坦面４ａにおいて垂直に延び設けられる。また、ブロック体４１の上面４ａに位置する鍔部６１ｂと、第１の外部電極５１とが、半田８１により電気的に接続される。なお、電気的に接続する方法としては、その他、鍔部６１ｂ及び第１の外部電極５１との物理的な接触によって接続するようにしても良い。
【００４３】
第２の接続端子６２は、図３の右図に示すように、軸方向他端部４ｎに設けられたブロック体４２に形成された取り付け孔４２１を介して取り付けられる。具体的に第２の接続端子６２は、ブロック体４２の取り付け孔４２１に設けられたナット部材７２に、第２の接続端子６２の下端部に設けられた雄ねじ部６２ａを螺合させることによって、ブロック体４２に固定される。
【００４４】
この取り付け孔４２１は、上記と同様、ブロック体４２の上平坦面４ａ及び下平坦面４ｂに亘って貫通しており、下側の大径孔部及び上側の小径孔部を有している。また、ナット部材７２は、金属等の導体からなり、前記取り付け孔４２１の形状に対応した形状を有しており、小径孔部に挿入される小径部７２ａと、大径孔部に挿入される大径部７２ｂとを有している。
【００４５】
そして、第２の接続端子６２は、前記ナット部材７２に螺合する雄ねじ部６２ａと、当該雄ねじ部６２ａの上部に設けられ、ブロック体４２の上面に接触する鍔部６２ｂと、当該鍔部６２ｂの上部に設けられ、アース側の給電ソケット３２に差し込まれる丸棒状をなす接続端子部６２ｃとを有する。
【００４６】
このような構成により、第２の接続端子６２の雄ねじ部６２ａをナット部材７２に螺合させて、第２の接続端子６２の鍔部６２ｂ及びナット部材７２の大径部７２ｂがブロック体４２を挟圧することによって、第２の接続端子６２がブロック体４２に固定される。
【００４７】
そして、このように取り付けられた第２の接続端子６２は、上平坦面４ａにおいて垂直に延び設けられる。また、ブロック体４２の下面４ｂに面するナット部材７２と、第２の外部電極５２とが、半田８２により電気的に接続される。なお、電気的に接続する方法としては、その他、ナット部材７２と第２の外部電極５２との物理的な接触によって接続するようにしても良い。
【００４８】
また、図２に示すように、ブロック体４１、４２の中心軸Ｃ上には排気管４３及び排気路４４が設けられるため、第１の接続端子６１及び第２接続端子６２は当該排気管４３及び排気路４４を避けて中心軸Ｃからずれた位置に設けられている。また、紫外線ランプ２全体の重心を考えて、第１の接続端子６１及び第２の接続端子６２は、各ブロック体４１、４２において対角上に設けられている。なお、後述する高圧側の給電ソケット３１及びアース側の給電ソケット３２に対する、第１の接続端子６１及び第２の接続端子６２の差し間違いを防止するために、第１の接続端子６１の接続端子部６１ｃ及び第２の接続端子６２の接続端子部６２ｃのサイズを異ならせるようにしても良い。
【００４９】
また、前記実施形態では、接続端子６１、６２を放電管４のブロック体４１、４２に設けるものであったが、ブロック体４１、４２に限られるものではなく、図１０に示すように、放電管４の放電空間４Ｓから隔離された放電管軸方向に延び形成されたフランジ部（はみだし部分）４Ｆに設けるものであっても良い。この場合は、ブロック体４１、４２を用いるより放電ランプ２の重量を軽くすることができるので、より好ましい。
【００５０】
また、前記実施形態では、接続端子６１、６２をブロック体４１、４２の上平坦部に設けるものであったが、上平坦部に限られるものではなく、図１１、図１２に示すようにブロック体４１、４２の上平坦面４ａと下平坦面４ｂを繋ぐ長手方向側面４ｐ又は短手方向側面４ｑに設けるものであっても良い。
その他、接続端子６１、６２を、放電管４の光放出面より被照射面側に突出しないように設けるものであれば、前記に限られるものではなく、様々な変形が可能である。
【００５１】
次に、一対の給電ソケット３１、３２について説明する。
【００５２】
一対の給電ソケット３１、３２は、装置本体側に設けられており、同一の差し込み方向を有するものである。この一対の給電ソケット３１、３２は、一対の接続端子６１、６２が前記差し込む方向から差し込まれることにより、紫外線ランプ２（放電管４）を略水平に吊り下げた状態で保持するものである（図１参照）。具体的に第１の給電ソケット３１は、高圧側の給電ソケットであり、第２の給電ソケット３２は、アース側の給電ソケットである。
【００５３】
高圧側の給電ソケット３１は、図４に示すように、装置本体を構成する筐体の上壁１０１に固定されている。
【００５４】
具体的に高圧側の給電ソケット３１は、ソケット固定部材９により上壁１０１に固定される。このソケット固定部材９は、例えばセラミックス等の絶縁体から形成されており、内部に給電ソケット３１が装着される装着部９１が形成されている。前記装着部９１は、上下に貫通した装着孔である。そして、この装着孔９１に高圧側の給電ソケット３１が装着されたソケット固定部材９を上壁１０１の貫通孔Ｈ１に固定することにより、高圧側の給電ソケット３１が下方を向いた状態で固定される。
【００５５】
アース側の給電ソケット３２は、前記上壁１０１に形成された平面に沿って移動可能に設けられている。本実施形態のアース側の給電ソケット３２は、前記上壁１０１の上面１０１ａに沿って移動するように設けられている。
【００５６】
具体的にアース側の給電ソケット３２は、図５に示すように、アース側の給電ソケット３２を保持するソケット保持部材１０を上壁１０１の上面１０１ａに設定されたスライド面１０１ｓ上をスライドすることによって移動するように構成されている。なお、ソケット保持部材１０により保持されたアース側の給電ソケット３２は、上壁１０１に形成された貫通孔Ｈ２の内面から離間した状態で、当該貫通孔Ｈ２から下方に延び、下方を向いた状態で保持される。
【００５７】
ここで、ソケット保持部材１０の下面にテフロン（登録商標）等の摺動部材１１を設けるとともに、前記スライド面１０１ｓをテフロン（登録商標）等の摺動部材１２により構成して、それら摺動部材１１、１２同士が摺動することによりソケット保持部材１０がスライドするように構成している。これにより、アース側の給電ソケット３２の移動が容易となる。
【００５８】
また、ソケット保持部材１０の平面内での移動範囲を制限するために、ソケット保持部材１０の周囲には、移動制限部材１３が設けられている。これにより、ソケット保持部材１０が必要以上に移動してしまうことを防止している。
【００５９】
さらに、ソケット保持部材１０の下面（具体的には摺動部材１１）をスライド面１０１ｓに押し付けるために、ソケット保持部材１０の上方には、抑え部材１４が設けられている。この抑え部材１４は、移動制限部材１３の上面に固定されている。そして、ソケット保持部材１０の上面には、抑え部材１４の下面に押圧接触して転動する転動体１５が設けられている。本実施形態では、転動体であるボール１５をばねにより付勢したボールプランジャ１６により構成している。具体的には、図６に示すように、３つのボールプランジャ１６をアース側の給電ソケット３２を中心として周方向に等間隔に設けている。これにより、抑え部材１４の下面にボールプランジャ１６のボール１５が押圧接触することにより、ソケット保持部材１０のガタつきを抑え、ソケット保持部材１０の下面をスライド面１０１ｓに押し付けることができる。また、ボールプランジャ１６のボール１５がプランジャ本体に対して進退移動することにより、アース側の給電ソケット３２の傾き（つまりソケット保持部材１０の傾き）を吸収することができる。なお、ボールプランジャ１６をソケット保持部材１０の下面に設けても良い。この場合、ソケット保持部材１０の上面は、抑え部材１４の下面と摺動部材を介して接触する。
【００６０】
また、ソケット保持部材１０、移動制限部材１３及び抑え部材１４を収容するように、上壁１０１の上面１０１ａにはカバー体１７が固定されている。このカバー体１７の上壁には、アース側の給電ソケット３２を設置するための外部端子１８が設けられている。この外部端子１８は、可撓性を有する接続導体１９によりアース側の給電ソケット３２に接続されている。また、この接続導体１９は、アース側の給電ソケット３２の移動を許容すべく撓むように長く構成されている。
【００６１】
このようにアース側の給電ソケット３２が移動可能であり、高圧側の給電ソケット３１に対してアース側の給電ソケット３２が相対移動可能に設けられているので、一対の給電ソケット３１、３２に対して一対の接続端子６１、６２を差し込んだ場合、一対の接続端子６１、６２の距離にバラつきがあったとしても、アース側の給電ソケット３２が移動することにより、前記バラつきを吸収することになる。これにより、放電管４の加工寸法のばらつき、器具の熱膨張による伸縮及び接続端子６１、６２の位置誤差等を吸収して、一対の給電ソケット３１、３２により確実に一対の接続端子６１、６２を介して一対の外部電極５１、５２に給電することができる。
【００６２】
このように構成した本実施形態に係る紫外線照射装置１００によれば、一対の給電ソケット３１、３２に、放電管４の軸方向両端部４ｍ、４ｎに設けた一対の接続端子６１、６２を差し込むだけで一対の外部電極５１、５２への給電を行うことができる。これにより、一対の外部電極５１、５２に接続されるリード線を不要とし、当該リード線の接続に伴う溶接又は半田付け等の煩雑な作業を不要とすることができる。したがって、紫外線照射装置１００の装置本体に対する紫外線ランプ２（放電管４）の取り付け及び取り外しを容易にすることができる。
【００６３】
また、放電管４に設けられた一対の外部電極５１、５２に接続するためのリード線を不要とすることができるため、紫外線がリード線に当たることにより生じる汚染物の発生を解消することができ、また、リード線が不要となることによって小型化及びコストダウンを可能にすることができる。
【００６４】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、アース側の給電ソケット３２を移動可能にする構成としては、図７及び図８に示すように、筐体の上壁１０１に設けられた少なくとも２方向に設定された回転軸方向に移動可能とし、当該回転軸周りに回転可能に構成しても良い。
【００６５】
具体的には、ソケット保持部材１０をＸ軸方向に移動可能且つＸ軸周りに回転可能とする第１軸体２０及び第１軸受２１と、ソケット保持部材１０をＹ軸方向に移動可能且つ当該Ｙ軸周りに回転可能とする第２軸体２２及び第２軸受２３とを有する。なお、第１軸受２１及び第２軸受２３として第１軸体２０及び第２軸体２２の直線運動及び回転運動を可能とする軸受を用いている。
【００６６】
第２軸体２２はソケット保持部材１０に設けられており、第２軸受２３はソケット保持部材１０の周囲に設けられた可動部材２４に設けられている。第１軸体２０は可動部材２４に設けられており、第１軸受２１は筐体の上壁１０１に設けられた基台２５に設けられている。なお、第２軸体２２を可動部材２４に設け、第２軸受２３をソケット保持部材１０に設けても良いし、第１軸体２０を基台２５に設け、第１軸受２１を可動部材２４に設けても良い。また、第１軸体２０及び第１軸受２１と、第２軸体２２及び第２軸受２３とを設ける部材を逆にしても良い。
【００６７】
このように構成したものであれば、放電管４の加工寸法のばらつき、器具の熱膨張による伸縮及び接続端子６１、６２の位置誤差等を吸収して、一対の給電ソケット３１、３２により確実に一対の接続端子６１、６２を介して一対の外部電極５１、５２に給電することができる。特に、ソケット保持部材１０が回転可能に設けられているので、接続端子６１、６２の傾き誤差を好適に吸収することができる。
【００６８】
また、アース側の給電ソケット３２に加えて、或いはアース側の給電ソケット３２に替えて高圧側の給電ソケット３１を移動可能にすることも考えられる。特に、一対の給電ソケット３１、３２の両方を移動可能に構成すれば、紫外線ランプ２を一層取り付けやすくすることができる。
【００６９】
さらに、第１の接続端子６１及び第２の接続端子６２の取り付け構造は、前記実施形態の他に、例えば図９（Ａ）、（Ｂ）に示すものであっても良い。なお、（Ａ）及び（Ｂ）のいずれも第１の接続端子６１の取り付け構造を示している。
【００７０】
図９（Ａ）の構造は、ブロック体４１の取り付け孔４１１に固定ねじ７１１によってナット部材７１を固定して、その固定されたナット部材７１に第１の接続端子６１の雄ねじ部６１ａを螺合させて取り付けるものである。なお、第１の接続端子６１側においては、ナット部材７１及び固定ねじ７１１はともにセラミックス等の絶縁体から形成される。一方、第２の接続端子６２側においては、ナット部材及び固定ねじはともに金属製の導体から形成される。
【００７１】
図９（Ｂ）の構造は、ブロック体４１の取り付け孔４１１を概略等断面形状にして、ナット部材７１がブロック体４１の下面に接触する鍔部７１ｃを有しており、第１の接続端子６１の雄ねじ部６１ａをナット部材７１に螺合させることによって、第１の接続端子６１の鍔部６１ｂ及びナット部材７１の鍔部７１ｃがブロック体４１を挟圧するように構成しても良い。
【００７２】
また、前記実施形態では、紫外線ランプ（放電管）を下方に吊り下げて保持する構成であったが、その他、紫外線ランプ（放電管）の中心軸が水平面から傾斜した状態で保持する構成としても良い。
【００７３】
その上、前記実施形態では、キセノンガスを用いたエキシマランプであったが、エキシマ発光が可能な他の希ガスやそのハロゲン化物、その他の物質を用いたエキシマランプとしても良い。また、波長１７２ｎｍの真空紫外線を放射するものに限られず、紫外線の波長は放電用ガスとして用いる物質によって決まるので、波長１７２ｎｍに限定されるものではなく、真空紫外線であるとも限らない。
【００７４】
加えて、紫外線ランプとしては、エキシマランプに限られず、その他の誘電体バリア放電ランプに適用することもできるし、その他、一対の電極が設けられた放電管を有する紫外線ランプであれば適用可能である。また、前記実施形態では、放電ランプが紫外線ランプである紫外線照射装置について説明したが、放電管ランプが可視光ランプである光照射装置にも適用可能である。
【００７５】
さらに加えて、前記実施形態では、放電管が断面概略矩形状をなすものであったが、上面と下面が平坦面であれば、放電管の中心軸に沿った左右側面は必ずしも平坦面である必要はなく、例えば多少外側に湾曲していてもよい。その他、例えば円筒管からなる放電管を用いたものであっても良い。放電管が円筒管等の場合には、紫外線の放出面（前記実施形態の下平坦面に対応する面）が平坦面とはならないため、エキシマランプの周囲の酸素等をパージするために、下方の被照射物との間にガラス板等を配置してもよい。このようにガラス板等を配置した場合でも、樹脂の劣化により分解ガスやチョーキングによる粉状物が発生すると、一対の外部電極が変色したり放電管の表面やガラス板が汚れるので、本発明の効果を奏することができる。
【００７６】
また、前記実施形態では、丸棒状の接続端子を接続端子の受け口をもつ給電ソケットに装着する構成であったが、接続端子の先端部を折り曲げて、給電ソケットではなく、給電部材の先端に開けた穴に引っ掛けて放電管を吊り下げても良いし、様々な変形が可能である。
【００７７】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００７８】
１００・・・紫外線照射装置（光照射装置）
２・・・紫外線ランプ（放電ランプ）
３１・・・第１の給電ソケット（高圧側の給電ソケット）（給電部材）
３２・・・第２の給電ソケット（アース側の給電ソケット）（給電部材）
４・・・放電管
Ｃ・・・中心軸
４ａ・・・延出方向を向く面（上面）
４ｂ・・・延出方向とは反対側を向く面（下面）
４ｍ・・・放電管の軸方向一端部
４ｎ・・・放電管の軸方向他端部
４１・・・軸方向一端部のブロック体
４２・・・軸方向他端部のブロック体
５１・・・第１の外部電極（高圧側電極）
５２・・・第２の外部電極（アース側電極）
６１・・・第１の接続端子
６２・・・第２の接続端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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