(57)【要約】【課題】平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部が平板部と一体に形成された放熱板を鋳型により製造しても、鋳型から容易に離型して所望の形状の柱状突起部を形成することができ且つ鋳型の破損を防止することができる、放熱板およびその製造方法を提供する。【解決手段】金属材料からなり、平板部１０ａの一方の主面から突出する多数の柱状突起部１０ｂが平板部と一体に形成された放熱板１０において、平板部および柱状突起部の金属材料より融点が高い材料からなる板状の強化部材１２が、平板部の内部で且つ平板部の一方の主面に近接した領域（平板部の一方の主面から０．１〜１．０ｍｍ離間した領域）に配置されて、平板部の一方の主面と略平行に平板部の内部を貫通して延び、その強化部材の端面が外部に露出し、その端面以外の全面（強化部材の平板部の内部を貫通して延びている部分の全面）が平板部に直接接合している。【選択図】図１Ａ
2014082466.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属材料からなり、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部が平板部と一体に形成された放熱板において、平板部の内部で且つ平板部の一方の主面に近接した領域に、平板部の一方の主面と略平行に延びる強化部材が配置されていることを特徴とする、放熱板。
【請求項２】
前記強化部材が前記平板部の内部を貫通して延びていることを特徴とする、請求項１に記載の放熱板。
【請求項３】
前記強化部材の前記平板部の内部を貫通して延びている部分の全面が前記平板部に直接接合していることを特徴とする、請求項２に記載の放熱板。
【請求項４】
前記強化部材の端面が外部に露出し、その端面以外の全面が前記平板部に直接接合していることを特徴とする、請求項１または２に記載の放熱板。
【請求項５】
前記強化部材が、前記平板部および前記柱状突起部の金属材料より融点が高い材料からなることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれかに記載の放熱板。
【請求項６】
前記平板部および前記柱状突起部の金属材料がアルミニウムまたはアルミニウム合金からなることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれかに記載の放熱板。
【請求項７】
前記強化部材がニッケル、コバルト、銅およびマンガンからなる群から選ばれる１種以上と鉄を含有する金属からなることを特徴とする、請求項６に記載の放熱板。
【請求項８】
前記強化部材がアルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素および炭化珪素からなる群から選ばれる１種以上のセラミックスからなることを特徴とする、請求項６に記載の放熱板。
【請求項９】
前記平板部の一方の主面に近接した領域が、前記平板部の一方の主面から０．１〜１．０ｍｍ離間した領域であることを特徴とする、請求項１乃至８のいずれかに記載の放熱板。
【請求項１０】
前記平板部の他方の主面にセラミックス基板の一方の主面が直接接合し、このセラミックス基板の他方の主面に金属板が直接接合していることを特徴とする、請求項１乃至９のいずれかに記載の放熱板。
【請求項１１】
金属材料からなり、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部が平板部と一体に形成された放熱板の製造方法において、平板部および柱状突起部より融点が高い材料からなる強化部材の端部を鋳型に支持させ、鋳型内の強化部材の端部を除く全面に接触するように溶湯を金属材料の注湯した後に冷却して固化させることにより、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部を平板部と一体に形成するとともに、平板部の内部で且つ平板部の一方の主面に近接した領域に、平板部の一方の主面と略平行に延びる強化部材を配置させて平板部と直接接合させることを特徴とする、放熱板の製造方法。
【請求項１２】
金属材料からなり、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部が平板部と一体に形成され、平板部の他方の主面にセラミックス基板の一方の面が直接接合した放熱板の製造方法において、平板部および柱状突起部より融点が高い材料からなる強化部材と、セラミックス基板とを鋳型内に離間して配置させるように、セラミックス基板の端部と強化部材の端部を鋳型に支持させ、鋳型内のセラミックス基板の両面に接触するとともに強化部材の端部を除く全面に接触するように金属材料の溶湯を注湯した後に冷却して固化させることにより、金属板を形成してセラミックス基板の他方の主面に直接接合させ、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部を平板部と一体に形成して平板部の他方の主面をセラミックス基板の一方の主面に直接接合させるとともに、平板部の内部で且つ平板部の一方の主面に近接した領域に、平板部の一方の主面と略平行に延びる強化部材を配置させて平板部と直接接合させることを特徴とする、放熱板の製造方法。
【請求項１３】
前記強化部材が前記平板部の内部を貫通して延び、前記強化部材の前記平板部の内部を貫通して延びている部分の全面が前記平板部に直接接合することを特徴とする、請求項１１または１２に記載の放熱板の製造方法。
【請求項１４】
前記平板部から突出した強化部材の端部を除去することを特徴とする、請求項１１乃至１３のいずれかに記載の放熱板の製造方法。
【請求項１５】
前記鋳型が上側鋳型部材と下側鋳型部材とからなり、前記強化部材の端部が上側鋳型部材と下側鋳型部材に挟持されることによって前記鋳型に支持されることを特徴とする、請求項１１乃至１４のいずれかに記載の放熱板の製造方法。
【請求項１６】
前記溶湯がアルミニウムまたはアルミニウム合金の溶湯であることを特徴とする、請求項１１乃至１５のいずれかに記載の放熱板の製造方法。
【請求項１７】
前記強化部材がニッケル、コバルト、銅およびマンガンからなる群から選ばれる１種以上と鉄を含有する金属からなることを特徴とする、請求項１６に記載の放熱板の製造方法。
【請求項１８】
前記強化部材がアルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素および炭化珪素からなる群から選ばれる１種以上のセラミックスからなることを特徴とする、請求項１６に記載の放熱板の製造方法。
【請求項１９】
前記平板部の一方の主面に近接した領域が、前記平板部の一方の主面から０．１〜１．０ｍｍ離間した領域であることを特徴とする、請求項１１乃至１８のいずれかに記載の放熱板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放熱板およびその製造方法に関し、特に、放熱フィンが一体に形成された放熱板およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、パワーモジュール用絶縁基板として使用されている金属−セラミックス接合基板では、セラミックス基板の一方の面に金属回路板が接合するとともに他方の面に放熱用金属ベース板が接合し、金属回路板上に半導体チップなどが搭載されている。
【０００３】
このような半導体チップなどの発熱素子からの熱を外部に放熱するために、放熱用金属ベース板の裏面に放熱グリースを介して放熱フィンを取り付ける方法や、半導体装置実装用基板にろう材を介して放熱フィンを接合する方法（例えば、特許文献１参照）が知られている。
【０００４】
また、金属−セラミックス接合基板の冷却能力をさらに向上させるために、一方の面に（放熱フィンとして）多数の略円錐台形状の柱状突起部が一体に形成された部材を備えた放熱器が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平４−３６３０５２号公報（段落番号０００６）
【特許文献２】特開２００７−２９４８９１号公報（段落番号００１４−００１９）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献２の放熱器のように、放熱フィンとして多数の略円錐台形状の柱状突起部を形成する場合、鋳型に流し込んだ（アルミニウムやアルミニウム合金などの）溶湯を冷却して凝固させる方法（所謂溶湯接合法）では、（等方性カーボンなどからなる）鋳型とアルミニウムやアルミニウム合金などの熱膨張係数が大きく異なり、溶湯を冷却して凝固させる際に大きな熱応力が発生するため、テーパ角度が（５°以下と）小さい放熱フィンを多数形成して、放熱フィンの総表面積を増加させると、鋳型からの離型が非常に困難であり、放熱フィンにキズや折れが生じて所望の形状の放熱フィンを得ることができなくなったり、また、鋳型が破損するという問題があった。
【０００７】
したがって、本発明は、このような従来の問題点に鑑み、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部が平板部と一体に形成された放熱板を鋳型により製造しても、鋳型から容易に離型して所望の形状の柱状突起部を形成することができ且つ鋳型の破損を防止することができる、放熱板およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究した結果、金属材料からなり、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部が平板部と一体に形成された放熱板において、平板部の内部で且つ平板部の一方の主面に近接した領域に、平板部の一方の主面と略平行に延びる強化部材を配置することにより、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部が平板部と一体に形成された放熱板を鋳型により製造しても、鋳型から容易に離型して所望の形状の柱状突起部を形成することができ且つ鋳型の破損を防止することができる、放熱板を製造することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち、本発明による放熱板は、金属材料からなり、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部が平板部と一体に形成された放熱板において、平板部の内部で且つ平板部の一方の主面に近接した領域に、平板部の一方の主面と略平行に延びる強化部材が配置されていることを特徴とする。
【００１０】
この放熱板において、強化部材が平板部の内部を貫通して延びているのが好ましく、強化部材の平板部の内部を貫通して延びている部分の全面が平板部に直接接合しているのが好ましい。また、強化部材の端面が外部に露出し、その端面以外の全面が平板部に直接接合しているのが好ましい。また、強化部材が、板状部材であるのが好ましく、互いに離間して延びる複数の板状部材でもよい。また、強化部材が、平板部および柱状突起部の金属材料より融点が高い材料からなるのが好ましい。また、平板部および柱状突起部の金属材料がアルミニウムまたはアルミニウム合金からなるのが好ましく、強化部材がニッケル、コバルト、銅およびマンガンからなる群から選ばれる１種以上と鉄を含有する金属、あるいはアルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素および炭化珪素からなる群から選ばれる１種以上のセラミックスからなるのが好ましい。また、多数の柱状突起部の各々が略円柱形状または略円錐台形状を有するのが好ましく、略角柱形状または略平板形状でもよい。さらに、平板部の一方の主面に近接した領域が、平板部の一方の主面から０．１〜１．０ｍｍ離間した領域であるのが好ましい。また、平板部の他方の主面にセラミックス基板の一方の主面が直接接合し、このセラミックス基板の他方の主面に金属板が直接接合してもよい。
【００１１】
本発明による放熱板の製造方法は、金属材料からなり、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部が平板部と一体に形成された放熱板の製造方法において、平板部および柱状突起部より融点が高い材料からなる強化部材の端部を鋳型に支持させ、鋳型内の強化部材の端部を除く全面に接触するように金属材料の溶湯を注湯した後に冷却して固化させることにより、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部を平板部と一体に形成するとともに、平板部の内部で且つ平板部の一方の主面に近接した領域に、平板部の一方の主面と略平行に延びる強化部材を配置させて平板部と直接接合させることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明による放熱板の製造方法は、金属材料からなり、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部が平板部と一体に形成され、平板部の他方の主面にセラミックス基板の一方の主面が直接接合した放熱板の製造方法において、平板部および柱状突起部より融点が高い材料からなる強化部材と、セラミックス基板とを鋳型内に離間して配置させるように、セラミックス基板の端部と強化部材の端部を鋳型に支持させ、鋳型内のセラミックス基板の両面に接触するとともに強化部材の端部を除く全面に接触するように金属材料の溶湯を注湯した後に冷却して固化させることにより、金属板を形成してセラミックス基板の他方の主面に直接接合させ、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部を平板部と一体に形成して平板部の他方の主面をセラミックス基板の一方の主面に直接接合させるとともに、平板部の内部で且つ平板部の一方の主面に近接した領域に、平板部の一方の主面と略平行に延びる強化部材を配置させて平板部と直接接合させることを特徴とする。
【００１３】
これらの放熱板の製造方法において、強化部材が平板部の内部を貫通して延び、強化部材の平板部の内部を貫通して延びている部分の全面が平板部に直接接合するのが好ましい。また、平板部から突出した強化部材の端部を除去するのが好ましい。また、鋳型が上側鋳型部材と下側鋳型部材とからなり、強化部材の端部が上側鋳型部材と下側鋳型部材に挟持されることによって鋳型に支持されるのが好ましい。また、強化部材が板状部材であるのが好ましく、互いに離間して延びる複数の板状部材でもよい。また、溶湯がアルミニウムまたはアルミニウム合金の溶湯であるのが好ましく、強化部材がニッケル、コバルト、銅およびマンガンからなる群から選ばれる１種以上と鉄を含有する金属、あるいは、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素および炭化珪素からなる群から選ばれる１種以上のセラミックスからなるのが好ましい。また、多数の柱状突起部の各々が略円柱形状または略円錐台形状を有するのが好ましく、略角柱形状または略平板形状でもよい。さらに、平板部の一方の主面に近接した領域が、平板部の一方の主面から０．１〜１．０ｍｍ離間した領域であるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、平板部の一方の主面から突出する多数の柱状突起部が平板部と一体に形成された放熱板を鋳型により製造しても、鋳型から容易に離型して所望の形状の柱状突起部を形成することができ且つ鋳型の破損を防止することができる、放熱板を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１Ａ】本発明による放熱板の第１の実施の形態を示す斜視図である。
【図１Ｂ】図１Ａの放熱板の平面図である。
【図１Ｃ】図１ＢのＩＣ−ＩＣ線断面図である。
【図２Ａ】図１Ａ〜図１Ｃに示す放熱板を製造するために使用する鋳型の断面図である。
【図２Ｂ】図２Ａの鋳型の下側鋳型部材の斜視図である。
【図２Ｃ】図２Ａの鋳型の下側鋳型部材の平面図である。
【図２Ｄ】図２Ａの鋳型の上側鋳型部材の底面図である。
【図３Ａ】本発明による放熱板の第２の実施の形態を示す断面図である。
【図３Ｂ】図３Ａの放熱板の（金属−セラミックス接合基板側の）平面図である。
【図４Ａ】図３Ａ〜図３Ｂに示す放熱板を製造するために使用する鋳型の断面図である。
【図４Ｂ】図４Ａの鋳型の下側鋳型部材の斜視図である。
【図４Ｃ】図４Ａの鋳型の下側鋳型部材の平面図である。
【図４Ｄ】図４Ａの鋳型の上側鋳型部材の底面図である。
【図５Ａ】本発明による放熱板の第３の実施の形態を示す斜視図である。
【図５Ｂ】図５Ａの放熱板の（柱状突起部側の）平面図である。
【図６】第１〜第３の実施の形態の放熱板の柱状突起部の第１の変形例を示す平面図である。
【図７】第１〜第３の実施の形態の放熱板の柱状突起部の第２の変形例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して、本発明による放熱板の実施の形態について詳細に説明する。
【００１７】
［第１の実施の形態］
図１Ａ〜図１Ｃは、本発明による放熱板の第１の実施の形態を示している。図１Ａは本実施の形態の放熱板の斜視図、図１Ｂは図１Ａの放熱板の平面図、図１Ｃは図１ＢのＩＣ−ＩＣ線断面図である。
【００１８】
本実施の形態の放熱板１０は、アルミニウムやアルミニウム合金などの金属材料からなり、図１Ａ〜図１Ｃに示すように、略矩形の平面形状を有する平板部１０ａと、この平板部１０ａの一方の主面から突出するように平板部１０ａと一体に形成された（放熱フィンとしての）多数の柱状突起部１０ｂと、平板部１０ａの内部に配置された１つまたは複数の板状（本実施の形態では平面形状および横断面形状が略矩形の３つの細長い板状）の金属またはセラミックスからなる強化部材１２とから構成されている。
【００１９】
各々の柱状突起部１０ｂは、略円柱形状または略円錐台形状（略円錐の上端を底面と略平行に切断した形状）を有し、平板部１０ａの主面に対して略垂直方向に延びている。また、柱状突起部１０ｂは、それぞれ所定の間隔で離間して一列に配置された柱状突起部１０ｂの複数列が互いに平行に且つ隣接する柱状突起部１０ｂの列と互いに半ピッチ（隣接する柱状突起部１０ｂの中心線（柱状突起部１０ｂが延びる軸線）間の距離の半分）ずれるように配置され、隣接する柱状突起部１０ｂの間隔を確保しながらより多くの柱状突起部１０ｂが配置されるようにしているが、隣接する柱状突起部１０ｂの間隔を確保しながら多数の柱状突起部１０ｂを配置することができれば、他の配置でもよい。本実施の形態では、平板部１０ａの厚さは３〜１０ｍｍ程度であり、柱状突起部１０ｂは、例えば、底面の直径が１〜１０ｍｍ、好ましくは１．５〜８ｍｍ、高さが２〜５０ｍｍ、好ましくは５〜１０ｍｍ、ピッチ（隣接する柱状突起部１０ｂの中心線間の距離）が２〜１０ｍｍ、好ましくは３〜７ｍｍ、（柱状突起部１０ｂの中心線と側面の間の角度である）テーパ角度が０．５〜５°、好ましくは１〜３°になっている。また、柱状突起部１０ｂの数は、例えば、２０〜１０００であるのが好ましく、５０〜１０００であるのがさらに好ましい。
【００２０】
強化部材１２は、平板部１０ａの（長手方向および厚さ方向に対して垂直な）幅方向の両端面の一方の端面から他方の端面まで平板部１０ａの内部を貫通して幅方向に延びており、放熱板１０の平板部１０ａの一方の主面（柱状突起部１０ｂ側の主面）の（見掛けの）熱膨張係数が（図２Ａ〜図２Ｄに示す）鋳型２０の熱膨張係数に近くなるように、平板部１０ａの一方の主面（柱状突起部１０ｂ側の主面）に近接した領域（放熱板１０と鋳型２０との間で最も応力が生じる領域に近接した領域）に配置されている。強化部材１２は、平板部１０ａの一方の主面（柱状突起部１０ｂ側の主面）から、平板部１０ａの厚さの２０％以下の距離だけ離間した領域に配置されるのが好ましい。本実施の形態では、強化部材１２は、平板部１０ａの一方の主面から、好ましくは０．１〜１．０ｍｍ、さらに好ましくは０．１５〜０．８ｍｍ、（溶湯の給湯を容易にするために０．２ｍｍ以上であるのが好ましいことから）さらに好ましくは０．２〜０．７ｍｍ離間した領域に配置されている。
【００２１】
この強化部材１２の長手方向（平板部１０ａの幅方向）の両端面は外部に露出し、その両端面以外の全面（強化部材１２の平板部１０ａの内部を貫通して延びる部分の全面）が平板部１０ａに直接接合している。このように、平板部１０ａの一方の主面（柱状突起部１０ｂ側の主面）に近接した部分において、平板部１０ａの幅方向の両端面の一方の端面から他方の端面まで平板部１０ａの内部を貫通して幅方向に延びる強化部材１２により、鋳型２０により放熱板１０を作製した後に離型を容易にすることができる。
【００２２】
なお、一体に形成された平板部１０ａおよび柱状突起部１０ｂは、電気伝導性、熱伝導率および（放熱板１０の平板部１０ａの他方の主面にセラミックス基板を接合する場合に）セラミックス基板との接合の信頼性の観点から、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるのが好ましい。また、強化部材１２は、平板部１０ａおよび柱状突起部１０ｂより融点が高い材料からなるのが好ましい。強化部材１２が金属材料からなる場合には、安価で高強度の鋼または鉄含有金属からなるのがさらに好ましく、鉄含有金属がニッケル、コバルト、銅およびマンガンからなる群から選ばれる１種以上と鉄を含有する金属からなるのが好ましい。また、強化部材１２がセラミックス材料からなる場合には、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素および炭化珪素からなる群から選ばれる１種以上のセラミックスからなるのが好ましく、放熱性を考慮すると、窒化アルミニウムからなるのが好ましい。
【００２３】
図１Ａ〜図１Ｃに示す実施の形態の放熱板１０は、図２Ａ〜図２Ｄに示す鋳型２０内に強化部材１２を配置させるように、強化部材１２の長手方向の両端部を鋳型に支持させ、鋳型２０内の強化部材１２の長手方向の両端部を除く全面に接触するように溶湯を流し込んで冷却することによって製造することができる。
【００２４】
鋳型２０は、カーボンなどからなり、図２Ａに示すように、それぞれ平面形状が略矩形の下側鋳型部材２２と上側鋳型部材２４とから構成されている。
【００２５】
図２Ａ〜図２Ｃに示すように、下側鋳型部材２２の上面には、平板部１０ａの他方の主面（柱状突起部１０ｂと反対側の主面）側の部分を形成するための凹部（平板形成部）２２ａが形成されている。また、平板形成部２２ａの幅方向の両側面の上部には、各々の強化部材１２の長手方向の両端部と略同一の形状および大きさでその部分を収容するための凹部（強化部材支持部）２２ｂが互いに離間して形成されている。
【００２６】
また、図２Ａおよび図２Ｄに示すように、上側鋳型部材２４の下面（裏面）には、平板部１０ａの一方の主面（柱状突起部１０ｂ側の主面）側の部分（強化部材１２より柱状突起部１０ｂ側の部分）を形成するための凹部（平板形成部）２４ａが形成され、この凹部２４ａの底面には、多数の柱状突起部１０ｂを形成するための凹部（柱状突起形成部）２４ｂが形成されている。なお、上側鋳型部材２４の平板形成部２４ａと下側鋳型部材２２の平板形成部２２ａによって画定された空間内に平板部１０ａが形成されるようになっている。また、下側鋳型部材２２の強化部材支持部２２ｂに強化部材１２を収容した後に上側鋳型部材２４を下側鋳型部材２２に被せると、強化部材１２が下側鋳型部材２２の強化部材支持部２２ｂと上側鋳型部材２４によって挟持されるようになっている。このように強化部材１２を挟持することにより、強化部材１２を所定の位置（平板部１０ａの主面に沿った方向および厚さ方向の所定の位置）に精度良く固定することができる。なお、それぞれの強化部材１２の両端部を支持する強化部材支持部２２ｂ間の距離（平板形成部２２ａの幅）は、鋳型２０内の溶湯により強化部材１２が撓まない長さであるのが好ましく、例えば、強化部材１２の厚さが０．６ｍｍのときに７５ｍｍ以下であるのが好ましいが、強化部材１２が厚くなれば、さらに長くなってもよい。また、下側鋳型部材２２または上側鋳型部材２４には、（図示しない）注湯ノズルから平板形成部２４ａ内に溶湯を注湯するための（図示しない）注湯口が形成されている。
【００２７】
このような鋳型２０を使用して図１Ａ〜図１Ｃに示す実施の形態の放熱板１０を製造するためには、まず、下側鋳型部材２２の強化部材支持部２２ｂに強化部材１２を載せて上側鋳型部材２４を下側鋳型部材２２に被せる。この状態で鋳型２０内にアルミニウムまたはアルミニウム合金などの金属の溶湯を流し込んで冷却すると、内部に配置された強化部材１２の長手方向の両端部が側面から突出した平板部１０ａの一方の主面に柱状突起部１０ｂが一体に形成された放熱板１０を製造することができる。その後、平板部１０ａから突出した強化部材１２の長手方向の両端部を周知の切断方法で除去することにより、図１Ａ〜図１Ｃに示す実施の形態の放熱板１０を製造することができる。なお、強化部材１２の切断位置に、レーザーやスクライバなどを用いて予め精度良く分割溝（ブレークライン）を形成しておけば、強化部材１２の両端部を（手で）容易に分割して除去することができる。
【００２８】
鋳型２０内に溶湯を流し込む際には、鋳型２０を（図示しない）接合炉内に移動し、この接合炉内を窒素雰囲気にして酸素濃度を１００ｐｐｍ以下、好ましくは１０ｐｐｍ以下まで低下させ、ヒーターの温度制御によって鋳型２０を注湯温度（例えばアルミニウムまたはアルミニウム合金の溶湯を注湯する場合には６００〜８００℃）まで加熱した後、溶湯の表面の酸化皮膜を除去しながら、注湯温度まで加熱して予め計量された金属溶湯を、窒素ガスによって所定の圧力で加圧して、注湯口から鋳型２０内に流し込むのが好ましい。また、鋳型２０内に溶湯を流し込んだ後、（図示しない）ノズルから注湯口に窒素ガスを吹き込むことによって、鋳型２０内の溶湯を所定の圧力で加圧したまま冷却して凝固させるのが好ましい。なお、注湯および冷却の際に窒素ガスにより加圧される所定の圧力は、１〜１００ｋＰａであるのが好ましく、３〜８０ｋＰａであるのがさらに好ましく、５〜１５ｋＰａであるのが最も好ましい。この圧力が低過ぎると鋳型２０内（特に鋳型２０の柱状突起形成部２４ｂ内）に溶湯が入り難くなり、高過ぎると強化部材１２の位置がずれたり、鋳型２０が破壊するおそれがある。特に、カーボン製の鋳型２０を使用する場合、１ＭＰａ以上の高圧になると、鋳型２０が破壊されたり、鋳型２０から溶湯が漏れたり、強化部材１２の位置がずれるおそれがある。
【００２９】
本実施の形態において、放熱板１０の平板部１０ａの他方の主面（柱状突起部１０ｂと反対側の主面）に、半導体チップなどが搭載された金属−セラミックス接合基板のように発熱体から放熱する必要がある部品を搭載して放熱することができる。
【００３０】
［第２の実施の形態］
図３Ａ〜図３Ｂは、本発明による放熱板の第２の実施の形態を示している。図３Ａは本実施の形態の放熱板の断面図、図３Ｂは図３Ａの放熱板の（金属−セラミックス接合基板側の）平面図である。
【００３１】
本実施の形態では、半導体チップなどが搭載された金属−セラミックス接合基板のように発熱体から放熱する必要がある部品に、第１の実施の形態の放熱板と同様の放熱板を接合して一体にしている。
【００３２】
本実施の形態では、図３Ａ〜図３Ｂに示すように、一方の主面に多数の柱状突起部１１０ｂが形成されるとともに内部に強化部材１１２が配置された放熱板１１０の平板部１１０ａの他方の主面（柱状突起部１１０ｂと反対側の主面）に１つまたは複数（本実施の形態では１つ）のセラミックス基板１１４の一方の主面が接合され、このセラミックス基板１１４の他方の主面に金属板１１６が接合されて、セラミックス基板１１４に金属板１１６が接合した金属−セラミックス接合基板が放熱板１１０に一体に接合されている。本実施の形態のように、金属−セラミックス接合基板が放熱板１１０に一体に接合される場合には、強化部材１１２は、平板部１１０ａの一方の主面（柱状突起部１１０ｂ側の主面）から、金属板１１６の厚さの０．５〜２．５倍の距離だけ離間した領域に配置されるのが好ましく、金属板１１６の厚さの０．７〜２倍の距離だけ離間した領域に配置されるのがさらに好ましい。なお、図３Ａ〜図３Ｂおよび以下に示す図４Ａ〜図４Ｄにおいて、上述した実施の形態の放熱板１０と同一の構成を有する部分には、参照符号に１００を加えて示している。
【００３３】
このように金属−セラミックス接合基板を一体に接合した放熱板１１０は、図４Ａ〜図４Ｄに示す鋳型１２０内にセラミックス基板１１４と強化部材１１２とを離間して配置させるように、セラミックス基板１１４の周縁部と強化部材１１２の長手方向の両端部を鋳型に支持させ、鋳型１２０内のセラミックス基板１１４の両面に接触するとともに強化部材１１２の長手方向の両端部を除く全面に接触するように溶湯を流し込んで冷却することによって製造することができる。
【００３４】
鋳型１２０は、カーボンなどからなり、図４Ａに示すように、それぞれ平面形状が略矩形の下側鋳型部材１２２と上側鋳型部材１２４とから構成されている。
【００３５】
図４Ａ〜図４Ｃに示すように、下側鋳型部材１２２の上面には、平板部１１０ａの他方の主面（柱状突起部１１０ｂと反対側の主面）側の部分を形成するための凹部（平板形成部）１２２ａが形成され、この凹部１２２ａの底面には、セラミックス基板１１４と略同一の形状および大きさでセラミックス基板１１４を収容するための凹部（セラミックス基板収容部）１２２ｃが形成され、この凹部１２２ｃの底面には、回路パターン用の金属板１１６を形成するための凹部（金属板形成部）１２２ｄが形成されている。また、平板形成部１２２ａの幅方向の両側面の上部には、各々の強化部材１１２の長手方向の両端部と略同一の形状および大きさでその部分を収容するための凹部（強化部材支持部）１２２ｂが互いに離間して形成されている。
【００３６】
また、図４Ａおよび図４Ｄに示すように、上側鋳型部材１２４の下面（裏面）には、平板部１１０ａの一方の主面（柱状突起部１１０ｂ側の主面）側の部分（強化部材１１２より柱状突起部１１０ｂ側の部分）を形成するための凹部（平板形成部）１２４ａが形成され、この凹部１２４ａの底面には、多数の柱状突起部１１０ｂを形成するための凹部（柱状突起形成部）１２４ｂが形成されている。なお、上側鋳型部材１２４の平板形成部１２４ａと下側鋳型部材１２２の平板形成部１２２ａによって画定された空間内に平板部１１０ａが形成されるようになっている。また、下側鋳型部材１２２の強化部材支持部１２２ｂに強化部材１１２を収容した後に上側鋳型部材１２４を下側鋳型部材１２２に被せると、強化部材１１２が下側鋳型部材１２２の強化部材支持部１２２ｂと上側鋳型部材１２４によって挟持されるようになっている。このように強化部材１１２を挟持することにより、強化部材１１２を所定の位置（平板部１１０ａの主面に沿った方向および厚さ方向の所定の位置）に精度良く固定することができる。なお、それぞれの強化部材１１２の両端部を支持する強化部材支持部１２２ｂ間の距離（平板形成部１２２ａの幅）は、鋳型１２０内の溶湯により強化部材１１２が撓まない長さであるのが好ましく、例えば、強化部材１１２の厚さが０．６ｍｍのときに７５ｍｍ以下であるのが好ましいが、強化部材１１２が厚くなれば、さらに長くなってもよい。
【００３７】
また、上側鋳型部材１２４には、（図示しない）注湯ノズルから平板形成部１２４ａ内に溶湯を注湯するための（図示しない）注湯口が形成されているとともに、下側鋳型部材１２２には、平板形成部１２２ａと金属板形成部１２２ｄとの間に延びる（図示しない）溶湯流路が形成されて、セラミックス基板収容部１２２ｃ内にセラミックス基板１１４を収容したときにも平板形成部１２２ａと金属板形成部１２２ｄとの間が連通するようになっている。
【００３８】
このような鋳型１２０を使用して図３Ａ〜図３Ｂに示す金属−セラミックス接合基板を一体に接合した放熱板１１０を製造するためには、まず、下側鋳型部材１２２のセラミックス基板収容部１２２ｃ内にセラミックス基板１１４を配置した後、下側鋳型部材１２２の強化部材支持部１２２ｂに強化部材１１２を載せて上側鋳型部材１２４を下側鋳型部材１２２に被せる。この状態で鋳型１２０内にアルミニウムまたはアルミニウム合金などの金属の溶湯を流し込んで冷却すると、内部に配置された強化部材１１２の長手方向の両端部が側面から突出した平板部１１０ａの一方の主面に柱状突起部１１０ｂが一体に形成された放熱板１１０をセラミックス基板１１４の一方の面に直接接合させるとともに、セラミックス基板１１４の他方の面に回路パターン用の金属板１１６を直接接合させて、金属−セラミックス接合基板が一体に接合した放熱板１１０を製造することができる。その後、平板部１１０ａから突出した強化部材１１２の長手方向の両端部を周知の切断方法で除去することにより、図３Ａ〜図３Ｂに示す金属−セラミックス接合基板が一体に接合した放熱板１１０を製造することができる。
【００３９】
鋳型１２０内に溶湯を流し込む際には、鋳型１２０を（図示しない）接合炉内に移動し、この接合炉内を窒素雰囲気にして酸素濃度を１００ｐｐｍ以下、好ましくは１０ｐｐｍ以下まで低下させ、ヒーターの温度制御によって鋳型１２０を注湯温度（例えばアルミニウム溶湯を注湯する場合には６００〜８００℃）まで加熱した後、注湯温度まで加熱して予め計量された金属溶湯を、窒素ガスによって所定の圧力で加圧して、注湯口から鋳型１２０内に流し込むのが好ましい。このように注湯することにより、金属とセラミックスとの間で大きな接合欠陥が発生するのを防止することができる。また、鋳型１２０内に溶湯を流し込んだ後、（図示しない）ノズルから注湯口に窒素ガスを吹き込むことによって、鋳型１２０内の溶湯を所定の圧力で加圧したまま冷却して凝固させるのが好ましい。なお、注湯および冷却の際に窒素ガスにより加圧される所定の圧力は、１〜１００ｋＰａであるのが好ましく、３〜８０ｋＰａであるのがさらに好ましく、５〜１５ｋＰａであるのが最も好ましい。この圧力が低過ぎると鋳型１２０内に溶湯が入り難くなり、高過ぎると強化部材１１２の位置がずれたり、鋳型１２０が破壊するおそれがある。特に、カーボン製の鋳型１２０を使用する場合、１ＭＰａ以上の高圧になると、鋳型１２０が破壊されたり、鋳型１２０から溶湯が漏れたり、強化部材１１２やセラミックス基板１１４の位置がずれるおそれがある。
【００４０】
このようにして放熱板１１０に一体に接合した金属−セラミックス接合基板の金属板１１６を金属回路板に形成するために、金属板１１６をエッチングして回路パターンを形成してもよく、また、回路パターンに半田付けできるようにするために、回路パターンをＮｉめっきやＮｉ合金めっきなどによって被覆してもよい。
【００４１】
［第３の実施の形態］
図５Ａ〜図５Ｂは、本発明による放熱板の第３の実施の形態を示している。図５Ａは本実施の形態の放熱板の斜視図、図５Ｂは図５Ａの放熱板の（柱状突起部側の）平面図である。
【００４２】
本実施の形態では、図５Ａ〜図５Ｂに示すように、半導体チップなどが搭載された金属−セラミックス接合基板のように発熱体から放熱する必要がある部品が配置される（平板部２１０ａの他方の主面の）領域（発熱部品搭載領域）２１８に対応するように、放熱板２１０の平板部２１０ａの一方の主面に柱状突起部２１０ｂを形成してもよい。なお、図５Ａ〜図５Ｂにおいて、第１の実施の形態の放熱板１０と同一の構成を有する部分には、参照符号に２００を加えて示している。
【００４３】
なお、上述した第１〜第３の実施の形態において、柱状突起部１０ｂ、１１０ｂ、２１０ｂの各々の形状を略円柱形状または略円錐台形状にしたが、図６に示すように略角柱形状にしてもよいし、図７に示すように略平板形状にしてもよい。なお、図６および図７において、第１の実施の形態と同一の構成を有する部分には、それぞれ参照符号３００および４００を加えて示している。
【００４４】
また、上述した第１〜第３の実施の形態の放熱板では、空冷の放熱フィン（柱状突起部１０ｂ、１１０ｂ、２１０ｂ）を使用しているが、冷却能力を高めるために、（図示しない）ケースによって柱状突起部１０ｂ、１１０ｂ、２１０ｂを覆って内部に冷却液が流れるようにした水冷用放熱器にしてもよい。
【実施例】
【００４５】
以下、本発明による放熱板およびその製造方法の実施例について詳細に説明する。
【００４６】
[実施例１]
３対の強化部材支持部１２２ｂを１対にした以外は、図４Ａ〜図４Ｄに示す鋳型１２０と同様の形状のカーボン製の鋳型を使用し、セラミックス基板収容部１２２ｃ内に９０ｍｍ×４０ｍｍ×０．６ｍｍの大きさの窒化アルミニウムからなるセラミックス基板１１４を配置し、９０ｍｍ×５６ｍｍ×０．６ｍｍの大きさの窒化アルミニウムからなる１枚の強化部材１１２の両端部（それぞれ幅３ｍｍの部分）を下側鋳型部材１２２の強化部材支持部１２２ｂに配置した後、下側鋳型部材１２２に上側鋳型部材１２４を被せて炉内に入れ、炉内を窒素雰囲気にして酸素濃度を４ｐｐｍ以下まで低下させた。この状態でヒーターの温度制御によって鋳型１２０を７２０℃まで加熱した後、７２０℃まで加熱して予め計量された純度９９．９％のアルミニウム溶湯を、鋳型１２０の注湯口に取り付けられた注湯ノズルから、窒素ガスによって１０ｋＰａの圧力で加圧して、表面の酸化皮膜を除去しながら、鋳型１２０内の平板形成部１２２ａと（深さ０．４ｍｍの）平板形成部１２４ａによって画定された１１５ｍｍ×５０ｍｍ×５ｍｍの大きさの空間内に流し込んで充填するとともに、下側鋳型部材１２２に形成された溶湯流路を介して８８ｍｍ×３８ｍｍ×０．４ｍｍの大きさの金属板形成部１２２ｄまで充填した。その後、注湯ノズルから注湯口に窒素ガスを吹き込むことによって、鋳型１２０内の溶湯を１０ｋＰａの圧力で加圧したまま冷却して溶湯を凝固させた。このようにして、所謂溶湯接合法により、強化部材１１２の一方の主面（柱状突起部１１０ｂ側の主面）が平板部１１０ａの一方の主面（柱状突起部１１０ｂ側の主面）から０．４ｍｍ離間した領域において平板部１１０ａの内部を貫通して平板部１１０ａと直接接合し、強化部材１１２の両端部が側面から突出した平板部１１０ａの一方の主面に底面の直径４ｍｍ、高さ８ｍｍ、テーパ角度２°の略円錐台形状の１２８本の柱状突起部１１０ｂがピッチ５ｍｍで配置（柱状突起部１１０ｂの総表面積７６２８ｍｍ２）され、平板部１１０ａの他方の主面にセラミックス基板１１４の一方の主面が直接接合し、このセラミックス基板１１４の他方の主面に金属板１１６が直接接合した放熱板を製造した。この放熱板を鋳型１２０から取り出した後、平板部１１０ａから突出した強化部材１１２の長手方向の両端部を（予めレーザー加工により形成したブレークラインに沿って手で分割して）除去することにより、図３Ａ〜図３Ｂと同様の形状の放熱板１１０を製造した。
【００４７】
なお、放熱板を鋳型１２０から取り出す際に、下側鋳型部材１２２を外した後、上側鋳型部材１２４を離型装置に固定し、上側鋳型部材１２４上に鉄板を接触させて配置し、（鋳型に定量的に衝撃を与えて離型する）ノッカーにより鉄板上をノックして、離型するまでの衝撃回数により離型し易さ（離型性）を評価するとともに、放熱板と鋳型の表面を観察したところ、２回の衝撃で離型することができ、放熱板の平板部および柱状突起部の形状に問題はなく、鋳型も破損していなかった。
【００４８】
[実施例２〜４]
実施例２では、柱状突起部１１０ｂの高さを５ｍｍ、テーパ角度を５°として柱状突起部１１０ｂの総表面積を５０１８ｍｍ２とし、実施例３では、柱状突起部１１０ｂの高さを５ｍｍ、テーパ角度を３°として柱状突起部１１０ｂの総表面積を５２３５ｍｍ２とし、実施例４では、柱状突起部１１０ｂの高さを５ｍｍとして柱状突起部１１０ｂの総表面積を５３６４ｍｍ２とした以外は、実施例１と同様の方法により、放熱板１１０を製造して、放熱板の離型性の評価および放熱板と鋳型の表面の観察を行ったところ、それぞれ０回（実施例２）、１回（実施例３）、２回（実施例４）の衝撃で離型することができ、いずれも放熱板の平板部および柱状突起部の形状に問題はなく、鋳型も破損していなかった。
【００４９】
[実施例５〜８]
実施例５では、柱状突起部１１０ｂの底面の直径を２ｍｍ、高さを４ｍｍ、ピッチを３ｍｍ、個数を３６３個として柱状突起部１１０ｂの総表面積を５４０５ｍｍ２とし、実施例６では、柱状突起部１１０ｂのテーパ角度を３°として柱状突起部１１０ｂの総表面積を７４４７ｍｍ２とし、実施例７では、柱状突起部１１０ｂの底面の直径を２ｍｍ、高さを４ｍｍ、テーパ角度を５°、ピッチを３ｍｍ、個数を３６３個として柱状突起部１１０ｂの総表面積を５０６２ｍ２とし、実施例８では、柱状突起部１１０ｂの底面の直径を２ｍｍ、高さを４ｍｍ、テーパ角度を３°、ピッチを３ｍｍ、個数を３６３個として柱状突起部１１０ｂの総表面積を５２８５ｍ２とした以外は、実施例１と同様の方法により、放熱板１１０を製造して、放熱板の離型性の評価および放熱板と鋳型の表面の観察を行ったところ、それぞれ０回（実施例５）、１回（実施例６）、１回（実施例７）、０回（実施例８）の衝撃で離型することができ、いずれも放熱板の平板部および柱状突起部の形状に問題はなく、鋳型も破損していなかった。
【００５０】
［実施例９］
図５Ａ〜図５Ｂに示すような形状の放熱板を製造するために、セラミックス基板収容部１２２ｃを互いに１ｍｍ離間して配置した３つのセラミックス基板収容部とし、それぞれのセラミックス基板収容部１２２ｃの底面に金属板形成部１２２ｄが形成された以外は、図４Ａ〜図４Ｄに示す鋳型１２０と同様の形状のカーボン製の鋳型を使用し、それぞれのセラミックス基板収容部１２２ｃ内に６５ｍｍ×６０ｍｍ×０．６ｍｍの大きさの窒化アルミニウムからなるセラミックス基板２１４を配置し、５９ｍｍ×１１０ｍｍ×０．６ｍｍの大きさの窒化アルミニウムからなる３枚の強化部材２１２が互いに７ｍｍ離間してそれぞれのセラミックス基板２１４の略中央部に対向するように、それらの両端部（それぞれ幅５ｍｍの部分）を下側鋳型部材１２２の強化部材支持部１２２ｂに配置した後、下側鋳型部材１２２に上側鋳型部材１２４を被せて炉内に入れ、炉内を窒素雰囲気にして酸素濃度を４ｐｐｍ以下まで低下させた。この状態でヒーターの温度制御によって鋳型１２０を７２０℃まで加熱した後、７２０℃まで加熱して予め計量された純度９９．９％のアルミニウム溶湯を、鋳型１２０の注湯口に取り付けられた注湯ノズルから、窒素ガスによって１０ｋＰａの圧力で加圧して、表面の酸化皮膜を除去しながら、鋳型１２０内の平板形成部１２２ａと（深さ０．７ｍｍの）平板形成部１２４ａによって画定された２２０ｍｍ×１００ｍｍ×４ｍｍの大きさの空間内に流し込んで充填するとともに、下側鋳型部材１２２に形成された溶湯流路を介してそれぞれ６２ｍｍ×５７ｍｍ×０．４ｍｍの大きさの金属板形成部１２２ｄまで充填した。その後、注湯ノズルから注湯口に窒素ガスを吹き込むことによって、鋳型１２０内の溶湯を１０ｋＰａの圧力で加圧したまま冷却して溶湯を凝固させた。このようにして、所謂溶湯接合法により、それぞれの強化部材２１２の一方の主面（柱状突起部２１０ｂ側の主面）が平板部２１０ａの一方の主面（柱状突起部２１０ｂ側の主面）から０．７ｍｍ離間した領域において平板部２１０ａの内部を貫通して平板部２１０ａと直接接合し、それぞれの強化部材２１２の両端部が側面から突出した平板部２１０ａの一方の主面のそれぞれの発熱部品搭載領域（セラミックス基板２１４が接合される領域）２１８に対向するそれぞれの領域に底面の直径２．５ｍｍ、高さ８ｍｍ、テーパ角度２°の略円錐台形状の６６２本の柱状突起部１１０ｂがピッチ６ｍｍで配置され、平板部２１０ａの他方の主面にそれぞれのセラミックス基板２１４の一方の主面が直接接合し、これらのセラミックス基板２１４のそれぞれの他方の主面に金属板２１６が直接接合した放熱板を製造した。この放熱板を鋳型１２０から取り出した後、平板部２１０ａから突出した強化部材２１２の長手方向の両端部を（予めレーザー加工により形成したブレークラインに沿って手で分割して）除去することにより、図５Ａ〜図５Ｂと同様の形状の放熱板２１０を製造した。
【００５１】
なお、放熱板を鋳型１２０から取り出す際に、下側鋳型部材１２２を外した後、上側鋳型部材１２４を離型装置に固定し、上側鋳型部材１２４上に鉄板を接触させて配置し、（鋳型に定量的に衝撃を与えて離型する）ノッカーにより鉄板上をノックして、離型するまでの衝撃回数により離型し易さ（離型性）を評価するとともに、放熱板と鋳型の表面を観察したところ、２回の衝撃で離型することができ、放熱板の平板部および柱状突起部の形状に問題はなく、鋳型も破損していなかった。
【００５２】
［実施例１０〜１１］
実施例１０では、柱状突起部２１０ｂの底面の直径を４ｍｍ、テーパ角度を５°、ピッチを１２．５ｍｍ、本数を２５２本とし、実施例１１では、柱状突起部２１０ｂの底面の直径を３ｍｍ、テーパ角度を３．５°、ピッチを９ｍｍ、本数を５４４本とした以外は、実施例９と同様の方法により、放熱板２１０を製造して、放熱板の離型性の評価および放熱板と鋳型の表面の観察を観察したところ、いずれも１回の衝撃で離型することができ、放熱板の平板部および柱状突起部の形状に問題はなく、鋳型も破損していなかった。
【００５３】
[比較例１〜２]
比較例１では、強化部材１１２の一方の主面（柱状突起部１１０ｂ側の主面）と平板部１１０ａの一方の主面（柱状突起部１１０ｂ側の主面）との間隔を２．７ｍｍとし、柱状突起部１１０ｂの高さを５ｍｍ、テーパ角度を５°として柱状突起部１１０ｂの総表面積を５０１８ｍ２とし、比較例２では、強化部材１１２と平板部１１０ａの一方の主面（柱状突起部１１０ｂ側の主面）との間隔を１．２ｍｍとし、柱状突起部１１０ｂの高さを５ｍｍテーパ角度を５°として柱状突起部１１０ｂの総表面積を５０１８ｍ２とした以外は、実施例１と同様の方法により、放熱板１１０を製造して、放熱板の離型性の評価および放熱板と鋳型の表面の観察を行ったところ、それぞれ１５回（比較例１）、８回（比較例２）の衝撃を加えなければ離型することができず、放熱板の柱状突起部（放熱フィン）にキズや変形が確認された。なお、鋳型は破損していなかったが、離型性が悪いことから、鋳型が破損する可能性が高くなる。
【００５４】
［比較例３］
強化部材の一方の主面（柱状突起部１１０ｂ側の主面）と平面部１１０ａの一方の主面（柱状突起部側１１０ｂ側の主面）との間隔を１．３ｍｍとした以外は、実施例１と同様の方法により、放熱板１１０を製造して、放熱板の離型性の評価および放熱板と鋳型の表面の観察を試みたが、離型装置を使用して３０回の衝撃を与えても離型しなかったため、手作業により上側鋳型部材１２４から離型させた結果、上側鋳型部材１２４が破壊してしまった（破壊しないと離型することができなかった）。また、放熱板の柱状突起部にキズや変形が確認された。
【００５５】
上述したように、実施例１〜１１では、放熱板１１０の平板部１１０ａの（長手方向と垂直な）幅方向の両端面の一方の端面から他方の端面まで平板部１１０ａの内部を貫通して幅方向に延びる強化部材１１２を、放熱板１１０の平板部１１０ａの一方の主面（柱状突起部１１０ｂ側の主面）の熱膨張係数が鋳型１２０の熱膨張係数に近くなるように、平板部１１０ａの一方の主面（柱状突起部１１０ｂ側の主面）に近接した領域（放熱板１１０と鋳型１２０との間で最も応力が生じる領域に近接した領域）に配置したので、柱状突起部（放熱フィン）１１０ｂのテーパ角度が（５°以下と）小さくても、放熱板１１０の鋳型１２０からの離型性が良好であり、寸法精度に優れた放熱フィンを良好に形成することができ、カーボンからなる鋳型１２０の破損を防止することができた。
【符号の説明】
【００５６】
１０、１１０、２１０、３１０、４１０  放熱板
１０ａ、１１０ａ、２１０ａ、３１０ａ、４１０ａ  平板部
１０ｂ、１１０ｂ、２１０ｂ、３１０ｂ、４１０ｂ  柱状突起部
１２、１１２、２１２  強化部材
２０、１２０  鋳型
２２、１２２  下側鋳型部材
２２ａ、１２２ａ  平板形成部
２２ｂ、１２２ｂ  強化部材支持部
２４、１２４  上側鋳型部材
２４ａ、１２４ａ  平板形成部
２４ｂ、１２４ｂ  柱状突起形成部
１１４、２１４  セラミックス基板
１１６、２１６  金属板
１２２ｃ  セラミックス基板収容部
１２２ｄ  金属板形成部
２１８  発熱部品搭載領域
【図１Ａ】
2014082466.tif 000003
【図１Ｂ】
2014082466.tif 000004
【図１Ｃ】
2014082466.tif 000005
【図２Ａ】
2014082466.tif 000006
【図２Ｂ】
2014082466.tif 000007
【図２Ｃ】
2014082466.tif 000008
【図２Ｄ】
2014082466.tif 000009
【図３Ａ】
2014082466.tif 000010
【図３Ｂ】
2014082466.tif 000011
【図４Ａ】
2014082466.tif 000012
【図４Ｂ】
2014082466.tif 000013
【図４Ｃ】
2014082466.tif 000014
【図４Ｄ】
2014082466.tif 000015
【図５Ａ】
2014082466.tif 000016
【図５Ｂ】
2014082466.tif 000017
【図６】
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【図７】
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