【手続補正書】
【提出日】令和3年5月12日(2021.5.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置の一部を構成する第１部材に対する、前記半導体製造装置の他の一部を構成する第２部材の傾きを調整するための傾き調整装置であって、  前記第１部材と、  前記第１部材と対向するように設けられる前記第２部材と、  前記第１部材と前記第２部材の間に設けられる球面滑り軸受けと、を備え、 前記球面滑り軸受けは、内輪及び外輪を有し、前記内輪及び前記外輪のいずれか一方が前記第１部材に取り付けられ、前記内輪及び前記外輪のいずれか他方が前記第２部材に取り付けられ、 前記球面滑り軸受けには、前記内輪及び前記外輪のいずれか一方と前記第１部材との間、及び、前記内輪及び前記外輪のいずれか他方と前記第２部材との間の少なくともいずれかに高さ位置調整機構が介在することを特徴とする、傾き調整装置。
【請求項２】
少なくとも三つの前記球面滑り軸受けを備え、  少なくとも三つの前記球面滑り軸受は、高さ方向から見て互いに異なる箇所に配置され、  少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの少なくとも二つに、前記高さ位置調整機構が設けられる、請求項１に記載の傾き調整装置。
【請求項３】
少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの少なくとも二つは、それぞれ、前記内輪が前記第１部材に取り付けられ、前記外輪が前記第２部材に取り付けられ、かつ、前記内輪と前記第１部材との間に前記高さ位置調整機構が介在する、請求項２に記載の傾き調整装置。
【請求項４】
少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの少なくとも一つは、前記外輪が前記第１部材に取り付けられ、前記内輪が前記第２部材に取り付けられ、かつ、前記外輪と前記第１部材との間に前記高さ位置調整機構が介在しない、請求項２又は３に記載の傾き調整装置。
【請求項５】
前記高さ位置調整機構は、    モータと、    前記モータにより駆動され、高さ方向に移動可能な移動部材と、を有し、  前記移動部材は、前記内輪及び前記外輪のいずれかに取り付けられる、請求項１乃至４のいずれかに記載の傾き調整装置。
【請求項６】
前記高さ位置調整機構は、セルフロック機構を備え、  前記セルフロック機構は、ネジ溝を有する、ウォーム及び雄ネジ部材のうちの少なくとも一つを含み、  前記ネジ溝は、前記ウォーム及び前記雄ネジ部材のうちの少なくとも一つに直接的又は間接的に加わる外力のうち、前記ウォーム及び前記雄ネジ部材のうちの少なくとも一つを回転させる成分が小さくなるように所定のリード角を有する、請求項１乃至５のいずれかに記載の傾き調整装置。
【請求項７】
前記高さ位置調整機構は、前記モータによる動力を減じて前記移動部材に出力するための減速機構をさらに有する、請求項５又は６に記載の傾き調整装置。
【請求項８】
前記半導体製造装置の一部として構成され、半導体基板を保持して搬送するためのロボットであって、 請求項１乃至７のいずれかに記載の傾き調整装置と、  前記半導体基板を保持するための保持位置が規定されたブレードと、  前記ブレードの基端を保持するための保持部材と、  前記保持部材よりも基端側に設けられる手首部と、を備えることを特徴とする、ロボット。
【請求項９】
前記保持部材を支持するための支持部材をさらに備え、  前記保持部材は、前記支持部材上を直動可能であり、  前記傾き調整装置は、前記手首部側に前記第１部材が位置し、前記支持部材側に前記第２部材が位置するように、前記手首部と前記支持部材との間に設けられる、請求項８に記載のロボット。
【請求項１０】
前記高さ方向に延び、前記第２部材に取り付けられる回転軸をさらに備え、  前記支持部材が前記回転軸周りに回動可能である、請求項９に記載のロボット。
【請求項１１】
前記手首部の基端が取り付けられ、前記高さ方向に延びるベース体をさらに備え、  前記手首部は、前記ベース体上を前記高さ方向に移動可能である、請求項８乃至１０のいずれかに記載のロボット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】  前記課題を解決するために、本発明に係る傾き調整装置は、半導体製造装置の一部を構成する第１部材に対する、前記半導体製造装置の他の一部を構成する第２部材の傾きを調整するための傾き調整装置であって、前記第１部材と、前記第１部材と対向するように設けられる前記第２部材と、前記第１部材と前記第２部材の間に設けられる球面滑り軸受けと、を備え、前記球面滑り軸受けは、内輪及び外輪を有し、前記内輪及び前記外輪のいずれか一方が前記第１部材に取り付けられ、前記内輪及び前記外輪のいずれか他方が前記第２部材に取り付けられ、前記球面滑り軸受けには、前記内輪及び前記外輪のいずれか一方と前記第１部材との間、及び、前記内輪及び前記外輪のいずれか他方と前記第２部材との間の少なくともいずれかに高さ位置調整機構が介在することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】  上記構成によれば、球面滑り軸受けが、高さ位置調整機構によって高さ位置を調整される。これにより、第１部材及び第２部材が、それぞれ、歪むことなく互いの傾きを調整される。その結果、半導体製造装置の一部を構成する第１部材に対する、当該半導体製造装置の他の一部を構成する第２部材の傾きを確実に調整することが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】  （まとめ）  本発明に係る傾き調整装置は、半導体製造装置の一部を構成する第１部材に対する、前記半導体製造装置の他の一部を構成する第２部材の傾きを調整するための傾き調整装置であって、前記第１部材と、前記第１部材と対向するように設けられる前記第２部材と、前記第１部材と前記第２部材の間に設けられる球面滑り軸受けと、を備え、前記球面滑り軸受けは、内輪及び外輪を有し、前記内輪及び前記外輪のいずれか一方が前記第１部材に取り付けられ、前記内輪及び前記外輪のいずれか他方が前記第２部材に取り付けられ、前記球面滑り軸受けには、前記内輪及び前記外輪のいずれか一方と前記第１部材との間、及び、前記内輪及び前記外輪のいずれか他方と前記第２部材との間の少なくともいずれかに高さ位置調整機構が介在することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】  上記構成によれば、球面滑り軸受けが、高さ位置調整機構によって高さ位置を調整される。これにより、第１部材及び第２部材が、それぞれ、歪むことなく互いの傾きを調整される。その結果、半導体製造装置の一部を構成する第１部材に対する、当該半導体製造装置の他の一部を構成する第２部材の傾きを確実に調整することが可能となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】  例えば、少なくとも三つの前記球面滑り軸受けを備え、少なくとも三つの前記球面滑り軸受は、高さ方向から見て互いに異なる箇所に配置され、少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの少なくとも二つに、前記高さ位置調整機構が設けられてもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】  例えば、少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの少なくとも二つは、それぞれ、前記内輪が前記第１部材に取り付けられ、前記外輪が前記第２部材に取り付けられ、かつ、前記内輪と前記第１部材との間に前記高さ位置調整機構が介在してもよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】  例えば、少なくとも三つの前記球面滑り軸受けのうちの少なくとも一つは、前記外輪が前記第１部材に取り付けられ、前記内輪が前記第２部材に取り付けられ、かつ、前記外輪と前記第１部材との間に前記高さ位置調整機構が介在しなくてもよい。  前記高さ位置調整機構は、モータと、前記モータにより駆動され、高さ方向に移動可能な移動部材と、を有し、前記移動部材は、前記内輪及び前記外輪のいずれかに取り付けられてもよい。  上記構成によれば、モータを用いて移動部材を高さ方向に移動させることで、第１部材に対する第２部材の傾きを容易かつ精確に調整することが可能となる。  例えば、前記高さ位置調整機構は、セルフロック機構を備え、前記セルフロック機構は、ネジ溝を有する、ウォーム及び雄ネジ部材のうちの少なくとも一つを含み、前記ネジ溝は、前記ウォーム及び前記雄ネジ部材のうちの少なくとも一つに直接的又は間接的に加わる外力のうち、前記ウォーム及び前記雄ネジ部材のうちの少なくとも一つを回転させる成分が小さくなるように所定のリード角を有してもよい。  上記構成によれば、モータブレーキを必要としないセルフロック機構を得ることが可能となる。  例えば、前記高さ位置調整機構は、前記モータによる動力を減じて前記移動部材に出力するための減速機構をさらに有してもよい。