【手続補正書】
【提出日】令和3年9月8日(2021.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置のためのユーザ相互作用を自動化するシステムであって、
基板を処理するよう構成された複数の処理モジュールを備えた基板処理ツールの状態を受信するためのインターフェースであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールの前記処理モジュールから、および前記基板処理ツールに関連付けられた複数のセンサから、受け取ったデータに基づいて、決定される、インターフェースと、
前記インターフェースに接続されたコントローラであって、
前記インターフェースによって受け取られた前記基板処理ツールの前記状態と、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールを制御するために、前記インターフェースから前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と、の相関を生成し、
前記インターフェースによって受け取られた前記基板処理ツールの前記状態と、前記状態の以前の発生に応じて前記インターフェースから前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と、の前記相関に基づいて、以前に受信された前記入力と類似の応答を含む出力であって、前記基板処理ツールを制御するための出力を、生成する、コントローラと、
を備える、システム。
【請求項２】
請求項１に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールの複数の状態と前記複数の状態に基づいて前記基板処理ツールによって受信された対応する入力とをデータベースに格納し、前記データベースを用いて前記相関を実行するよう構成されている、システム。
【請求項３】
請求項２に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールおよびさらなる基板処理ツールの１または複数に関連する履歴データに基づいて前記データベースを更新し、前記更新したデータベースを用いて前記相関を実行するよう構成されている、システム。
【請求項４】
請求項２に記載のシステムであって、前記コントローラは、さらなる基板処理ツールに関連するデータであって、前記さらなる基板処理ツールの状態と、前記状態に基づいて前記さらなる基板処理ツールによって受信された対応する入力と、を含むデータを、前記データベースに格納し、前記データを用いて前記相関を実行するよう構成されている、システム。
【請求項５】
請求項１に記載のシステムであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連するエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーへの対応を示すデータを含む、システム。
【請求項６】
請求項１に記載のシステムであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連する差し迫ったエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーを防止するための対応を示すデータを含む、システム。
【請求項７】
請求項１に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールのオペレータの存在を検出し、前記出力に基づいて前記オペレータによって受信された対応に従って前記基板処理ツールを制御するよう構成されている、システム。
【請求項８】
請求項１に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出し、前記出力に基づいて前記オペレータの不在時に前記基板処理ツールを制御するよう構成されている、システム。
【請求項９】
請求項１に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出し、前記出力に関して前記オペレータに通知するよう構成されている、システム。
【請求項１０】
請求項１に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記基板の処理の完了を確実にし、前記基板への損傷を防止し、前記処理モジュールのアイドリングを防止するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御するよう構成されている、システム。
【請求項１１】
請求項１に記載のシステムであって、前記コントローラは、前記処理モジュールによる前記基板の処理のスケジューリングを最適化するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御するよう構成されている、システム。
【請求項１２】
半導体製造装置のためのユーザ相互作用を自動化する方法であって、
基板処理ツールの複数の処理モジュールから、および前記基板処理ツールに関連付けられた複数のセンサから、データを受け取る工程と、
前記処理モジュールおよび前記センサから受け取った前記データに基づいて、前記基板処理ツールの状態を決定する工程と、
前記基板処理ツールの前記状態と、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールを制御するために前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と、の相関を生成する工程と、
前記基板処理ツールの前記状態と、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と、の前記相関に基づいて、以前に受信された前記入力と類似の応答を含む出力であって、前記基板処理ツールを制御するための出力を、生成する工程と、
を備える、方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールの複数の状態と、前記複数の状態に基づいて前記基板処理ツールによって受信された対応する入力とを、データベースに格納する工程と、
前記データベースを用いて前記相関を実行する工程と、
を備える、方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールおよびさらなる基板処理ツールの１または複数に関連する履歴データに基づいて前記データベースを更新する工程と、
前記更新したデータベースを用いて前記相関を実行する工程と、
を備える、方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の方法であって、さらに、
さらなる基板処理ツールに関連するデータであって、前記さらなる基板処理ツールの状態と、前記状態に基づいて前記さらなる基板処理ツールによって受信された対応する入力と、を含むデータを、前記データベースに格納する工程と、
前記データを用いて前記相関を実行する工程と、
を備える、方法。
【請求項１６】
請求項１２に記載の方法であって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連するエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーへの対応を示すデータを含む、方法。
【請求項１７】
請求項１２に記載の方法であって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連する差し迫ったエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーを防止するための対応を示すデータを含む、方法。
【請求項１８】
請求項１２に記載の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールのオペレータの存在を検出する工程と、
前記出力に基づいて前記オペレータによって受信された対応に従って前記基板処理ツールを制御する工程と、を備える、方法。
【請求項１９】
請求項１２に記載の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出する工程と、
前記出力に基づいて前記オペレータの不在時に前記基板処理ツールを制御する工程と、
を備える、方法。
【請求項２０】
請求項１２に記載の方法であって、さらに、
前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出する工程と、
前記出力に関して前記オペレータに通知する工程と、
を備える、方法。
【請求項２１】
請求項１２に記載の方法であって、さらに、基板の処理の完了を確実にし、前記基板への損傷を防止し、前記処理モジュールのアイドリングを防止するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御する工程を備える、方法。
【請求項２２】
請求項１２に記載の方法であって、さらに、前記処理モジュールによる基板の処理のスケジューリングを最適化するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御する工程を備える、方法。
【請求項２３】
半導体製造装置のためのユーザ相互作用を自動化するシステムであって、
プロセッサと、
有形のマシン読み取り可能な媒体に格納されたマシン読み取り可能な命令であって、前記プロセッサによって実行された時に、
基板処理ツールの複数の処理モジュールから、および前記基板処理ツールに関連付けられた複数のセンサから、データを受け取り、
前記処理モジュールおよび前記センサから受け取った前記データに基づいて、前記基板処理ツールの状態を決定し、
前記基板処理ツールの前記状態と、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールを制御するために前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と、の相関を生成し、
前記基板処理ツールの前記状態と、前記状態の以前の発生に応じて前記基板処理ツールによって以前に受信された入力と、の前記相関に基づいて、以前に受信された前記入力と類似の応答を含む出力であって、前記基板処理ツールを制御するための出力を、生成するように、前記プロセッサを構成する、マシン読み取り可能な命令と、
を備える、システム。
【請求項２４】
請求項２３に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールの複数の状態と、前記複数の状態に基づいて前記基板処理ツールによって受信された対応する入力と、をデータベースに格納し、
前記データベースを用いて前記相関を実行するように、前記プロセッサを構成する、システム。
【請求項２５】
請求項２４に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールおよびさらなる基板処理ツールの１または複数に関連する履歴データに基づいて、前記データベースを更新し、
前記更新したデータベースを用いて前記相関を実行するように、前記プロセッサを構成する、システム。
【請求項２６】
請求項２４に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
さらなる基板処理ツールに関連するデータであって、前記さらなる基板処理ツールの状態と前記状態に基づいて前記さらなる基板処理ツールによって受信された対応する入力とを含むデータを、前記データベースに格納し、
前記データを用いて前記相関を実行するように、前記プロセッサを構成する、システム。
【請求項２７】
請求項２３に記載のシステムであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連するエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーへの対応を示すデータを含む、システム。
【請求項２８】
請求項２３に記載のシステムであって、前記基板処理ツールの前記状態は、前記基板処理ツールに関連する差し迫ったエラーを示すデータを含み、前記入力は、前記エラーを防止するための対応を示すデータを含む、システム。
【請求項２９】
請求項２３に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールのオペレータの存在を検出し、
前記出力に基づいて前記オペレータによって受信された対応に従って前記基板処理ツールを制御するように、前記プロセッサを構成する、システム。
【請求項３０】
請求項２３に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出し、
前記出力に基づいて前記オペレータの不在時に前記基板処理ツールを制御するように、前記プロセッサを構成する、システム。
【請求項３１】
請求項２３に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、
前記基板処理ツールのオペレータの不在を検出し、
前記出力に関して前記オペレータに通知するように、前記プロセッサを構成する、システム。
【請求項３２】
請求項２３に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、基板の処理の完了を確実にし、前記基板への損傷を防止し、前記処理モジュールのアイドリングを防止するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御するように、前記プロセッサを構成する、システム。
【請求項３３】
請求項２３に記載のシステムであって、前記マシン読み取り可能な命令は、前記処理モジュールによる基板の処理のスケジューリングを最適化するために、前記出力に基づいて前記基板処理ツールを制御するように、前記プロセッサを構成する、システム。