(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦部分の周辺に傾斜部分を連続させた形状の素子板を多段状に重ねたコールドパネルの各前記素子板の上面側に、冷却対象流体中の不純物の凝着と吸着とを行う面を設けたクライオポンプ装置であって、
前記傾斜部分の外径が小さく同一の外径をもつ前記素子板を複数段重ねた小径ブロック部分を上側に配置し、前記傾斜部分の外径が前記小径ブロック部分の素子板の外径よりも大きく同一の外径をもつ前記素子板を複数段重ねた大径ブロック部分を下側に配置することにより、外径の異なる複数のブロック部分を積み重ねて前記コールドパネルを形成するコールドパネル形成手段と、
前記小径ブロック部分の外径と前記大径ブロック部分の外径との差を、前記大径ブロック部分の周縁における前記平坦部分の一部と前記傾斜部分とを含む部分が前記小径ブロック部分の外径から外側にはみ出す大きさの差をもたせて形成する外径差形成手段と、
前記大径ブロック部分の最上段に配置された前記素子板の上面側に施す前記吸着のための吸着層を、前記小径ブロック部分の前記素子板の外径よりも小さい範囲に相当する範囲のみに施して形成する吸着層形成手段と
を具備することを特徴とするクライオポンプ装置。
【請求項２】
平坦部分の周辺に傾斜部分を連続させた形状の素子板を多段状に重ねたコールドパネルの各前記素子板の上面側に、冷却対象流体中の不純物の凝着と吸着とを行う面を設けたクライオポンプ装置であって、
前記傾斜部分の外径が小さく同一の外径をもつ前記素子板を複数段重ねた小径ブロック部分を上側に配置し、前記傾斜部分の外径が前記小径ブロック部分の素子板の外径よりも大きく同一の外径をもつ前記素子板を複数段重ねた大径ブロック部分を下側に配置することにより、外径の異なる複数のブロック部分を積み重ねて前記コールドパネルを形成するコールドパネル形成手段と、
前記小径ブロック部分の外径と前記大径ブロック部分の外径との差を、前記大径ブロック部分の周縁における前記平坦部分の一部と前記傾斜部分とを含む部分が前記小径ブロック部分の外径から外側にはみ出す大きさの差をもたせて形成する外径差形成手段と、
前記大径ブロック部分の最上段に配置された前記素子板の上面側に施す前記吸着のための吸着層を、前記小径ブロック部分の前記素子板の前記平坦部分に相当する範囲内のみに施して形成する吸着層形成手段と
を具備することを特徴とするクライオポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、ギホード・マクマホンサイクルあるいはスターリングサイクルによる極低温用冷凍装置などに用いるクライオポンプ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種のクライオポンプ装置として、図６のような構成のものが周知である。図６のクライオポンプ装置５００において、電動機１０２はクランク機構１０３を駆動し、クランク機構１０３は給気弁１０４・排気弁１１１の開閉動作と往復竿１０９の往復動作を所要の行程位相差をもって往復駆動する。
【０００３】
往復竿１０９には、第１ディスプレーサ１０６と第２ディスプレーサ１０８とが連結してあり、第１ディスプレーサ１０６と第２ディスプレーサ１０８とは、それぞれ、第１シリンダ１０５内と第２シリンダ１０７内を同一の行程位相をもって往復移動する。
【０００４】
第１ディスプレーサ１０５・第２ディスプレーサ１０８は、図の下方側に移動する行程の終点近くから膨張冷却行程を行い、図の上方側に移動する行程において排気行程を行い、その終点近くから吸気圧縮行程を行う。
【０００５】
吸気圧縮行程では、冷媒圧縮部（図示せず）で圧縮したヘリウムなどの加圧冷媒１０１が、吸気弁１０４を介して、第１シリンダ１０５内に入り、第１ディスプレーサ１０６の通気穴２０１から蓄冷材２０２を通って通気穴２０３を通り、第１膨張室２０５側に入る。
【０００６】
第１膨張室２０５の加圧冷媒は、膨張冷却行程において、上記の吸気圧縮行程の冷媒の流れと逆に流れ、排気弁１１１を通って排出されると同時に膨張し、蓄冷材２０２に冷却熱容量を蓄積する。
【０００７】
この第１膨張冷却の行程と同行程中に、第１膨張室２０５の冷媒は、第２ディスプレーサ１０８の通気穴２０６から蓄冷材２０７を通り、通気穴２０８から第２膨張室２０９に入り、その後、逆に流れて排気弁１１１より排出されると同時に膨張して、第２膨張冷却を行い、蓄冷材２０７に冷却熱容量を蓄積する。
【０００８】
排気行程では、第２膨張室２０９内と第１膨張室２０５内の膨張冷却を終えて降圧した冷媒は、上記の膨張冷却動作時とは逆の経路を経て第２ディスプレーサ１０８内と第１ディスプレーサ１０６内とを通り、排気弁１１１を介して、クランク機構１０３の室内を通り、降圧冷媒１１２として排出され、冷媒圧縮部（図示せず）に戻り、再び圧縮して加圧冷媒１０１にするという循環を繰り返すように動作する。
【０００９】
内側遮蔽覆１１６は、第１シリンダ１０５の上端側に設けた第１ステージ１１５の部分から第２シリンダ１０７全体に至る間を覆って冷却室１１７を形成し、この冷却室１１７の開口端側から、冷却負荷４００となる装置からの冷却対象流体３００、例えば、半導体基板製造用チャンバからの循環流体を導入する。なお、この内側遮蔽覆１１６は、ラジエーションシールドとも呼ばれている。
【００１０】
冷却室１１７の開口端側には、平面鎧戸状の通気路をもつ低温側の吸熱フィン、つまり、バッフル１２０を配置し、第２シリンダ１０７の上端側の第２ステージ１１８の部分にも筒形鎧戸状の通気路をもつ極低温側の吸熱フィン、つまり、コールドパネル１１９を配置してあり、第１ステージ１１５と第２ステージ１１８とで生ずる冷却熱容量を、バッフル１２０の各表面とコールドパネル１１９の各表面などを介して、冷却対象流体３００に与えることにより所要の冷却を行っている。
【００１１】
外側遮蔽覆１１３は、第１シリンダ１０５の下端側から冷却室１１７の開口端側までの外側を覆って真空室１１４を形成し、この真空室１１４により、第１シリンダ１０５の外面と冷却室１１７の外面とを外部環境から遮断して、冷却熱容量の放熱損失を防いでいる。
【００１２】
また、各構成部材としては、蓄冷材２０２・２０７の部分には、例えば、粒状鉛・銅製網、または、通気性焼結金属材を用い、コールドパネル１１９・バッフル１２０の部分には薄い銅板を用い、その他の部分にはステンレス鋼、つまり、ＳＵＳ材および銅材による金属材を主体にして形成してある。
【００１３】
そして、冷却対象流体３００に含まれた水蒸気などの普通の低温で凝固する気体成分は低温側のバッフル１２０の表面に凝着させ、アルゴンや水素のような極低温で凝固または吸着する気体成分は極低温側のコールドパネル１１９の表面に凝着または吸着させることにより、冷却対象流体３００から不純物を除去する浄化を行って真空度を高めるなどの作用を行わせている。
【００１４】
上記の凝着と吸着のうち、主としてコールドパネル１１９の表面での凝着と吸着とは、比較的短時間で飽和状態に達するため、冷却対象流体３００の流入口に設けた閉塞用シャッター４０１を閉じて、コールドパネル１１９の表面を再生する再生工程を行うようにしている。
【００１５】
この再生工程は、クライオポンプ装置５００の冷却運転を一時的に停止し、冷却対象流体３００の流路を遮断した状態で、内部に設けた電熱体（図示せず）と外部に設けた電熱体３０１とにより加熱して、上記の凝着成分や吸着成分を蒸発させるとともに、加熱吸気口３０２から加熱排気口３０３に向けて冷却室１１７内部と真空室１４内部との気体を循環させるさせるようにしている。また、コールドパネル１１９は、極低温の冷却を行うパネルを形成しているため、クライオパネルとも呼ばれている。
【００１６】
そして、コールドパネル１１９は、図７のように、平坦部分Ａの周辺に傾斜部分Ｂを連続させた形状の素子板１１・１２を間隔を空けて平行に複数枚を多段状に重ねるとともに、特定の表面部分を上記の凝着を行う素表面部分Ｘ、つまり、素材肌の部分とし、残りの表面部分に上記の吸着を行うための吸着層を施した吸着層部分Ｙとして構成したものを、図６のように、適宜に間隔配置した間柱状の支柱１３を串刺状にすることにより、次段以下の素子板１２を、支柱１３によって、最上段の素子板１１に一体に固定支持させたものを、第２ステージ１１８の上からかぶせるように入れ込んで、ねじ１４により第２ステージ１１８に固定してある。
【００１７】
ここで、素材肌のままの素表面部分Ｘ、つまり、アルゴンなどを凝着させる面の部分は、冷却対象流体３００が降り注ぐ面、つまり、最上段の素子板１１の平坦部分Ａの上面Ａ１と傾斜部分Ｂの上面Ｂ１との上面側全面と、次段以下の各素子板１２の傾斜部分Ｂの上面Ｂ２とに限定してある。
【００１８】
また、水素などを吸着させる吸着層部分Ｙは、吸着層を、例えば、多数の活性炭の粒を接着して構成するとともに、次段以下の各素子板１２の平坦部分Ａの上面のみに限定してある。そして、素子板１１・１２の各下面側は、例えば、下面全面を、素表面部分Ｘ、つまり、素材肌の部分として形成する場合と、必要に応じて、下面全面を吸着層部分Ｙとし、または、平坦部分Ａの範囲内のみに吸着層部分Ｙを施す場合とがある。
【００１９】
そして、アルゴンなどが凝着した凝着層Ｐは、冷却対象流体３００の下降流動に沿った部分にのみしか形成されないので、素子板１１・１２の各下面側には、凝着層Ｐは形成されないことになる。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、コールドパネルの素子板にアルゴンなどが凝着して生成される凝着層Ｐは、冷却対象流体の下降流動に沿った部分にのみしか形成されないので、冷却対象流体の状態によっては、凝着層を形成する面が不足するようになり、再生工程を頻繁に行う必要が生ずる。
【００２１】
再生工程のための時間は、冷却対象流体の浄化作用に対しては、実質的には、損失時間になり、機能上から好ましくないので、凝着層Ｐの面積と上記の吸着を行う面積とを増加するために、コールドパネルの外径を大きくし、素子板の積み重ね段数を多くすると、最上段の素子板上に凝着層の極度に増長して、バッフルの通気路を閉塞し、または、コールドパネルと内側遮蔽覆、つまり、ラジエーションシールドとの間の通気路を閉塞してしまい、逆に吸着能力を低減してしまうという不都合が生ずるほか、増長した凝着層の周縁部分が脱落して、温度の高い内側遮蔽覆の底面部分に落下して蒸発し、いわゆるアルゴンのハングアップを起こして、冷却対象流体の真空度に衝撃を与えるなどの不都合が生ずる。
【００２２】
そこで、図８のように、極低温側の吸熱フイン、つまり、コールドパネルを構成する各素子板の傾斜部分の上面を全てずらせた配置にすることにより、傘形に形成したコールドパネルを用いて、凝着面と吸着面とを増加させる試みがなされている。
【００２３】
しかしながら、こうした傘形のコールドパネルを用いる構成では、各素子板の形状が１段ごとに異なるため、全段数分の成形用金型を製作する金型費用を要するほか、１段毎に異なる大きさのもの積み重ねるなどの複雑な工程を要するという不都合があるほか、外径の小さい最上段の素子板に凝着した凝着層の周縁が脱落すると、その下方が全て傾斜面部分の連続になっているため、途中で止まらずに、温度の高い内側遮蔽覆の底面部分、つまり、ラジエーションシールドの底面部分に落下して蒸発するので、上記のハングアップを生じ、冷却対象流体の真空度に衝撃を与えるという不都合を解消し得ない。
【００２４】
このため、こうした不都合のない簡便な構成によるものの提供が望まれているという課題がある。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記のような
平坦部分の周辺に傾斜部分を連続させた形状の素子板を多段状に重ね構成したコールドパネルの各前記素子板の上面側に、冷却対象流体中の不純物の凝着と吸着とを行う面を設けたクライオポンプ装置において、
【００２６】
上記の傾斜部分の外径が小さく同一の外径をもつ素子板を複数段重ねた小径ブロック部分を上側に配置し、上記の傾斜部分の外径が前記小径ブロック部分の素子板の外径よりも大きく同一の外径をもつ素子板を複数段重ねた大径ブロック部分を下側に配置することにより、外径の異なる複数のブロック部分を積み重ねて上記のコールドパネルを形成するコールドパネル形成手段と、
【００２７】
上記の小径ブロック部分の外径と上記の大径ブロック部分の外径との差を、大径ブロック部分の周縁における平坦部分の一部と傾斜部分とを含む部分が上記の小径ブロック部分の外径から外側にはみ出す大きさの差をもたせて形成する外径差形成手段と、
【００２８】
上記の大径ブロック部分の最上段に配置された素子板の上面側に施す上記の吸着のための吸着層を、小径ブロック部分の素子板の外径よりも小さい範囲に相当する範囲のみに施して形成する吸着層形成手段と
を設ける第１の構成と、この第１の構成における吸着層形成手段に代えて、
【００２９】
上記の大径ブロック部分の最上段に配置された素子板の上面側に施す上記の吸着のための吸着層を、上記の小径ブロック部分の素子板の平坦部分に相当する範囲内のみに施して形成する吸着層形成手段
設ける第２の構成とによって、上記の課題を解決し得るようにしたものである。
【００３０】
【作用】
外径の小さい素子板を複数段重ねた小径ブロック部分と、外径の大きい素子板を複数段重ねた大径ブロック部分とに分けて構成しているため、素子板を形成する金型としては上段側素子板用と下段側素子板用とのみを製作すればよいので、金型費用を低減するとともに、素子板の積み重ね作業も、同一外径のものを複数積み重ねるので、作業を簡単化することができ、装置を安価に提供し得るように作用する。
【００３１】
また、小径ブロック部分からはみ出した大径ブロック部分の最上段の素子板の平坦部分の一部と傾斜部分との上面が、中段状の広い凝着面部分を形成するので、平坦な凝着面を大きくしたと同様になり、凝着能力を向上し得るように作用し、さらに、この中段状の広い凝着面によって  最上段の凝着面から脱落した凝着体を受け止めるので、内側遮蔽覆の底面部分に落下することを防止し得るように作用する。
【００３２】
【実施例】
以下、図１〜図５により実施例を説明する。図１〜図５において、図６〜図８の各符号と同一符号で示す部分は、図６〜図８により説明した同一符号の部分と同一の機能をもつ部分である。
【００３３】
〔第１実施例〕
まず、図１〜図３により第１実施例を説明する。これらの図において、コールドパネル１１９は、小径ブロック部分２１を上側に配置し、大径ブロック部分２２を下側に配置することにより、外径の異なる複数のブロック部分を積み重ねた形態に形成してある。
【００３４】
そして、小径ブロック部分２１は、傾斜部分Ｂの外径Ｄ１が小さく同一の外径Ｄ１をもつ素子板２１Ａを複数段重ねて形成してあり、また、大径ブロック部分２２は、傾斜部分Ｂの外径Ｄ２が小径ブロック部分２１の傾斜部分Ｂの外径Ｄ１よりも大きく同一の外径Ｄ２をもつ素子板２２Ａを複数段重ねて形成してある。つまり、大径ブロック部分２２の傾斜部分Ｂの外径Ｄ２を小径ブロック部分２１の素子板２１Ａの外径Ｄ１よりも大きくしてある。
【００３５】
各素子板２１Ａ・２２Ａのうちの最上段の素子板２１Ａのみを、平坦部分Ａが盲板にするとともに、他の素子板２１Ａ・２２Ａには、中心部分に第２ステージ１１８の部分を通し入れるための通し穴２５を設けて、支柱１３により最上段の素子板２１Ａに一体に形成してある。
【００３６】
また、小径ブロック部分２１の外径Ｄ１と大径ブロック部分の外径Ｄ２との差を、大径ブロック部分２１の周縁における平坦部分Ａの一部Ａ′と傾斜部分Ｂとを含むはみ出し部分Ｕが小径ブロック部分２１の外径Ｄ１から外側にはみ出す大きさの差をもたせて形成してある。
【００３７】
さらに、大径ブロック部分２２の最上段に配置した素子板２２Ａ１の上面側に施す吸着層、つまり、吸着層部分Ｙを、小径ブロック部分２１の素子板２１Ａの外径Ｄ１よりも小さい範囲に相当する範囲Ｙａのみに設けてある。
【００３８】
なお、吸着層は、例えば、活性炭素の粒を樹脂系の接着剤で所定面に固定するすることにより層状に形成してある。
【００３９】
そして、小径ブロック部分２１の最上段の素子板２１Ａ１の上面側は、従来のものと同様に、吸着層を施さずに、全面を素材肌のままの素表面部分Ｘにした凝着面にしてある。
【００４０】
また、小径ブロック部分２１の次段以下の素子板２１Ａの上面側と大径ブロック部分２２の次段以下の素子板２１Ａの上面側は、それぞれ、平坦部分Ａの範囲内のみに吸着層部分Ｙを設けて吸着面にしてあり、残りの傾斜部分Ｂの上面側は吸着層を施さずに、素材肌のままの素表面部分Ｘにした凝着面にしてある。
【００４１】
さらに、全ての素子板２１Ａ・２２Ａの下面側は、全て、全面を素材肌のままの素表面部分Ｘにした凝着面とするか、または、吸着能力を向上するために、一部の下面を吸着層部分Ｙにして残りの下面を凝着面とし、もしくは、下面側の全面を吸着層部分Ｙとして形成する。
【００４２】
〔第１実施例の構成の要約〕
第１実施例の構成を要約すると、
平坦部分Ａの周辺に傾斜部分Ｂを連続させた形状の素子板２１Ａ・２２Ａを多段状に重ねて構成したコールドパネル１１９の各素子板２１Ａ・２２Ａの上面側に、冷却対象流体３００中の不純物の凝着と吸着とを行う面、つまり、アルゴンなどを凝着する素表面部分Ｘと水素などを吸着するための吸着層部分Ｙとを設けたクライオポンプ装置５００において、
【００４３】
上記の傾斜部分Ｂの外径が小さく同一の外径Ｄ１をもつ素子板２１Ａを複数段重ねた小径ブロック部分２１を上側に配置し、上記の傾斜部分Ｂの外径Ｄ２が小径ブロック部分２１の素子板２１Ａの外径Ｄ１よりも大きく同一の外径Ｄ２をもつ素子板２２Ａを複数段重ねた大径ブロック部分２２を下側に配置することにより、外径の異なる複数のブロック部分２１・２２を積み重ねて上記のコールドパネル１１９を形成するコールドパネル形成手段と、
【００４４】
上記の小径ブロック部分２１の外径Ｄ１と上記の大径ブロック部分２２の外径Ｄ２との差を、大径ブロック部分２２の周縁における平坦部分Ａの一部と傾斜部分Ｂとを含む部分が上記の小径ブロック部分２１の外径Ｄ１から外側にはみ出す大きさの差、つまり、はみ出し部分Ｕをもたせて形成する外径差形成手段と、
【００４５】
上記の大径ブロック部分２２の最上段に配置された素子板２２Ａの上面側に施す上記の吸着のための吸着層、つまり、活性炭素の粒を接着して形成する吸着層部分Ｙを、小径ブロック部分２１の素子板２１Ａの外径Ｄ１よりも小さい範囲に相当する範囲のみに施して形成する吸着層形成手段と
を設ける第１の構成を構成していることになるものである。
【００４６】
〔第２実施例〕
次に、図４により第２実施例を説明する。図４において、図３の各符号と同一符号で示す部分は、図３により説明した同一符号の部分と同一の機能をもつ部分である。
【００４７】
図４において、図３と異なる箇所は、大径ブロック部分２２の最上段に配置した素子板２２Ａの上面側に施す吸着層部分Ｙを、小径ブロック部分２１の素子板２１Ａの平坦部分Ａに相当する範囲内のみに施すように構成した箇所のみである。
【００４８】
〔第２実施例の構成の要約〕
第２実施例の構成を要約すると、
上記の第１の構成における吸着層形成手段に代えて、
上記の大径ブロック部分２２の最上段に配置された素子板２２Ａの上面側に施す上記の吸着のための吸着層、つまり、吸着層部分Ｙを、上記の小径ブロック部分２１の素子板２１Ａの平坦部分Ａに相当する範囲内のみに施して形成する吸着層形成手段
設ける第２の構成を構成していることになるものである。
【００４９】
そして、第１実施例の場合には、大径ブロック部分２２の最上段に配置した素子板２２Ａの上面側を、その直上に配置した小径ブロック部分２１の素子板２１Ａの下端側との間を、密着状態に配置する場合と、間隙を設けて配置する場合とのいずれかを選択して構成することができるが、いずれの場合にも、大径ブロック部分２２の各素子板２２Ａを、全て同一の吸着層部分Ｙを施したもので構成できる利点がある。
【００５０】
また、第２実施例の場合には、大径ブロック部分２２の最上段に配置した素子板２２Ａの上面側を、その直上に配置した小径ブロック部分２１の素子板２１Ａの下端側とを、間隙を離して配置することにより、その間隙から小径ブロック部分２１の素子板２１Ａの傾斜部分Ｂの分だけ内側に入り込んだ上面部分までを全体的に見た凝着面の面積として増加させて凝着動作を行わせることができる利点がある。
【００５１】
〔変形実施〕
この発明は次のように変形して実施することを含むものである。
【００５２】
（１）外径の異なる複数のブロック部分を積み重ねてコールドパネル１１９を形成する構成を、図５のように、小さい外径Ｄ１で同一の外径をもつ複数の素子板２１Ａを複数段重ねて形成した小径ブロック部分２１の下側に、外径Ｄ１よりも大きい外径Ｄ２で同一の外径をもつ複数の素子板２２Ａを複数段重ねて形成した大径ブロック部分２２を配置し、さらに、その下側に、外径Ｄ２よりも大きい外径Ｄ３で同一の外径をもつ複数の素子板２３Ａを複数段重ねて形成した大径ブロック部分２３を配置して構成する。
【００５３】
（２）上記（１）の構成において、大径ブロック部分２２の最上段の素子板２２Ａの上面側に施す吸着層部分Ｙと、大径ブロック部分２３の最上段の素子板２３Ａの上面側に施す吸着層部分Ｙとを、第１実施例における吸着層形成手段と同様に形成して構成する。
【００５４】
（３）上記（１）の構成において、大径ブロック部分２２の最上段の素子板２２Ａの上面側に施す吸着層部分Ｙと、大径ブロック部分２３の最上段の素子板２３Ａの上面側に施す吸着層部分Ｙとを、第２実施例における吸着層形成手段と同様に形成して構成する。
【００５５】
（４）上記（１）の構成において、大径ブロック部分２２の最上段の素子板２２Ａの上面側に施す吸着層部分Ｙと、大径ブロック部分２３の最上段の素子板２３Ａの上面側に施す吸着層部分Ｙとを、いずれか一方を第１実施例における吸着層形成手段と同様に形成し、他方を第２実施例における吸着層形成手段と同様に形成して構成する。
【００５６】
（５）間隔配置された複数の第２シリンダに対して共通の１つのコールドパネルを設けた構成のものにおいて、当該コールドパネルの外径を第１実施例または第２実施例におけるコールドパネル１１９の外径として、外径の異なる複数のブロック部分を積み重ねてコールドパネルを形成するように構成する。
【００５７】
【発明の効果】
この発明によれば、各ブロック部分が同一外径の素子板を複数段重ねて構成しているため、素子板を形成する金型を、複数分の１に低減し得るとともに、素子板の積み重ね作業も、作業を簡単化することができるので、装置を安価に提供し得る。
【００５８】
また、大径ブロック部分の最上段の素子板が小径ブロック部分からはみ出した部分の平坦部分の一部と傾斜部分との上面が、中段状の広い凝着面部分を形成するので、凝着能力を向上し得るとともに、最上段の凝着面から脱落した凝着体の内側遮蔽覆の底面部分への落下を途中の中段状の広い凝着面で受け止めることより、凝着体の蒸発による冷却対象流体側の真空度に対する衝撃を防止し得るなどの特長がある。
【図面の簡単な説明】
図面中、図１〜図５はこの発明の実施例を、また、図６〜図８は従来技術を示し、各図の内容は次のとおりである。
【図１】全体構成縦断面図
【図２】要部拡大縦断面図
【図３】要部分解縦断面図
【図４】要部分解縦断面図
【図５】要部分解縦断面図
【図６】全体構成縦断面図
【図７】要部拡大縦断面図
【図８】要部拡大縦断面図
【符号の説明】
１１  素子板
１２  素子板
１３  支柱
１４  ねじ
２１  小径ブロック部分
２１Ａ  素子板
２２  大径ブロック部分
２２Ａ  素子板
２３  大径ブロック部分
２３Ａ  素子板
２５  通し穴
１０１  加圧冷媒
１０２  電動機
１０３  クランク機構
１０４  吸気弁
１０５  第１シリンダ
１０６  第１ディスプレーサ
１０７  第２シリンダ
１０８  第２ディスプレーサ
１０９  往復竿
１１１  排気弁
１１２  降圧冷媒
１１３  外側遮蔽覆
１１４  真空室
１１５  第１ステージ
１１６  内側遮蔽覆
１１７  冷却室
１１８  第２ステージ
１１９  コールドパネル
１２０  バッフル
２０１  通気穴
２０２  蓄冷材
２０３  通気穴
２０５  第１膨張室
２０６  通気穴
２０７  蓄冷材
２０８  通気穴
２０９  第２膨張室
３００  冷却対象流体
３０１  電熱体
３０２  加熱吸気口
３０３  加熱排気口
４００  冷却負荷
５００  クライオポンプ装置
Ａ  平坦部分
Ａ１  平坦部分
Ｂ  傾斜部分
Ｂ１  傾斜部分
Ｐ  凝着層
Ｘ  素表面部分
Ｙ  吸着層部分
【図１】
0003615247.tif 000002
【図２】
0003615247.tif 000003
【図３】
0003615247.tif 000004
【図４】
0003615247.tif 000005
【図５】
0003615247.tif 000006
【図６】
0003615247.tif 000007
【図７】
0003615247.tif 000008
【図８】
0003615247.tif 000009