(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を発生するＸ線発生部（１）の下側に、前記Ｘ線を受けるＸ線検出部（２）を有し、且つ、前記Ｘ線発生部と前記Ｘ線検出部の間に、被検査物を搬送する搬送部（３）を有したＸ線異物検出装置において、
前記Ｘ線発生部の底面側に突設されて、前記Ｘ線発生部が発生したＸ線を所望の範囲に集束する第一のスリット（１５ａ）を有して筒状をなすＸ線曝射口（１５）と、
前記Ｘ線発生部の底面側にて前記Ｘ線曝射口の周りを囲むように突設されて、一側部が開口した枠をなす遮蔽部材（１６）と、
前記Ｘ線発生部の底側に位置する支持部材（１８）上にて、前記Ｘ線発生部を摺動載置する如く設けられ、前記Ｘ線発生部の摺動に伴い、前記遮蔽部材を挿通支持し得るように前記遮蔽部材の開口部分と対向する一側部が開口した枠をなす載置台（１９）と、
前記支持部材上に設けられ、前記Ｘ線曝射口の周りを囲むように筒状をなし、前記Ｘ線発生部の摺動に伴い、前記Ｘ線曝射口を挿通し得る切欠（２２ｂ）を有するとともに、前記第一のスリットを介したＸ線を前記Ｘ線検出部側に向けて所望の面状に集束する第二のスリット（２２ａ）を有したＸ線導出部（２２）と、
を備えたことを特徴とするＸ線異物検出装置。
【請求項２】
前記遮蔽部材（１６）及び前記載置台（１９）は、それぞれコ字状枠をなすことを特徴とする請求項１に記載のＸ線異物検出装置。
【請求項３】
前記Ｘ線発生部（１）を前記載置台（１９）に摺動させた際、前記Ｘ線導出部（２２）と前記遮蔽部材（１６）とが当接して、前記第一のスリット（１５ａ）と前記第二のスリット（２２ａ）とが位置決めされることを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載のＸ線異物検出装置。
【請求項４】
前記Ｘ線導出部（２２）に前記Ｘ線曝射口（１５）が挿通されたことを検知する検知手段（２１）を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項３の何れかに記載のＸ線異物検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線発生部からのＸ線をＸ線検出部にて受ける間に、被検査物を搬送部にて搬送して、被検査物にある異物を検出するＸ線異物検出装置にかかり、特にＸ線発生に関する位置決めやＸ線の漏洩を防止するようにしてＸ線発生部の設置を行うＸ線異物検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、生肉や加工食品等の被検査物中に含まれた異物（金属，骨，ガラス，石，合成樹脂材等）を検出するためにＸ線異物検出装置が用いられている。この種のＸ線異物検出装置は、装置本体の上側に対しＸ線発生部を取り付け、且つ、装置本体におけるＸ線発生部の下側となる位置にＸ線検出部を取り付けている。これにより、Ｘ線発生部から曝射されたＸ線をＸ線検出部にて受けるようにしている。また、装置本体には、曝射されたＸ線の間に被検査物を通す搬送部が取り付けられている。搬送部は、装置本体における搬送方向の前後となる位置にそれぞれローラを配し、このローラの間にベルトを掛け回している。ローラの何れかは、装置本体に取り付けられたモータ等の駆動機が連結されて駆動される。ベルトは、ローラの駆動により循環する。これにより、Ｘ線異物検出装置は、ベルト上を搬送された被検査物にＸ線を曝射し、この被検査物を透過した透過Ｘ線をＸ線検出部にて受けることで被検査物中に含まれる異物を検出する。
【０００３】
ところで、上記Ｘ線異物検出装置に用いられるＸ線発生部は、その内部にＸ線を発生するＸ線管を備えている。また、Ｘ線発生部の内部には、Ｘ線管がＸ線を発生する際に生じる熱を放熱するための冷却機構としてオイルが充填されている。このため、Ｘ線発生部は、総重量が約６０ｋｇ程の重さとなる。
【０００４】
また、Ｘ線管から発生されるＸ線は、下側のＸ線検出部に向けて下方に広がる略円錐状となる。Ｘ線発生部側では、曝射されたＸ線を所定の範囲内に絞って、そこに被検査物を搬送させるため、略円錐状のＸ線を長穴状のスリットを介して通し、下方に広がる面状としている。一般には、Ｘ線発生部の底面に第一のスリットがあり、Ｘ線発生部を支持する支持板側に第二のスリットがあって、第一のスリットから第二のスリットを介してＸ線を面状としている。そして、Ｘ線検出部は、この面状とされたＸ線を受けるように構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のＸ線異物検出装置では、第一のスリットと第二のスリットの位置決めが必要であるが、重量の嵩むＸ線発生部を装置本体の上側に持ち上げながら微動させて各スリットの位置決めを行わなければならないため、非常に手間のかかる作業を要すという問題がある。
【０００６】
また、従来のＸ線異物検出装置では、第一のスリットと第二のスリットの間でＸ線の漏洩を防ぐ必要があるが、Ｘ線発生部の重量が嵩むため、Ｘ線発生部を所定の位置に位置決めした後に、各スリット間にＸ線の漏洩を防止する遮蔽部材等を各スリット間の周側に取り付けるようにしなければばらず、これもまた手間のかかる作業となる。
【０００７】
そこで本発明は、上記課題を解消するために、重量の嵩むＸ線発生部の設置を容易に行うことができるＸ線異物検出装置を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明による請求項１に記載のＸ線異物検出装置は、Ｘ線を発生するＸ線発生部１の下側に、前記Ｘ線を受けるＸ線検出部２を有し、且つ、前記Ｘ線発生部１と前記Ｘ線検出部２の間に、被検査物を搬送する搬送部３を有したＸ線異物検出装置において、
前記Ｘ線発生部１の底面側に突設されて、前記Ｘ線発生部１が発生したＸ線を所望の範囲に集束する第一のスリット１５ａを有して筒状をなすＸ線曝射口１５と、
前記Ｘ線発生部１の底面側にて前記Ｘ線曝射口１５の周りを囲むように突設されて、一側部が開口した枠をなす遮蔽部材１６と、
前記Ｘ線発生部１の底側に位置する支持部材１８上にて、前記Ｘ線発生部１を摺動載置する如く設けられ、前記Ｘ線発生部１の摺動に伴い、前記遮蔽部材１６を挿通支持し得るように前記遮蔽部材１６の開口部分と対向する一側部が開口した枠をなす載置台１９と、
前記支持部材１８上に設けられ、前記Ｘ線曝射口１５の周りを囲むように筒状をなし、前記Ｘ線発生部１の摺動に伴い、前記Ｘ線曝射口１５を挿通し得る切欠２２ｂを有するとともに、前記第一のスリット１５ａを介したＸ線を前記Ｘ線検出部２側に向けて所望の面状に集束する第二のスリット２２ａを有したＸ線導出部２２と、
を備えたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載のＸ線異物検出装置は、請求項１に記載のＸ線異物検出装置において、前記遮蔽部材１６及び前記載置台１９は、それぞれコ字状枠をなすことを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載のＸ線異物検出装置は、請求項１あるいは請求項２に記載のＸ線異物検出装置において、前記Ｘ線発生部１を前記載置台１９に摺動させた際、前記Ｘ線導出部２２と前記遮蔽部材１６とが当接して、前記第一のスリット１５ａと前記第二のスリット２２ａとが位置決めされることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載のＸ線異物検出装置は、請求項１〜請求項３の何れかに記載のＸ線異物検出装置において、前記Ｘ線導出部２２に前記Ｘ線曝射口１５が挿通されたことを検知する検知手段２１を備えたことを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して具体的に説明する。
図１は本発明のＸ線異物検出装置の一例を示す斜視図である。
【００１３】
図１に示すように、Ｘ線異物検出装置は、主に、Ｘ線を発生するＸ線発生部１と、Ｘ線発生部１からのＸ線を受けるＸ線検出部２と、Ｘ線発生部１からＸ線検出部２の間に被検査物（不図示）を搬送する搬送部３とからなる。
【００１４】
Ｘ線発生部１は、Ｘ線を発生するＸ線管４の周囲を、遮蔽板にて覆うことにより、Ｘ線の漏洩を防ぐように構成されている。遮蔽板は、鉛等の遮蔽材が内貼りされてなる。Ｘ線発生部１は、Ｘ線異物検出装置の本体をなす筐体５の上部に配置され、下方に向けてＸ線を曝射させる。Ｘ線は、Ｘ線管４から下方に広がる略円錐状に曝射し、その後、Ｘ線発生部１の底面側に形成された後述の第一のスリット１５ａ、及びＸ線発生部１を支持する筐体５側に設けられた後述の第二のスリットを介して、図１に一点鎖線で示すように、下方に広がる面状となって曝射する。また、Ｘ線発生部１では、Ｘ線を発生した際に生じる熱を冷却フィン（不図示）にて放熱する。また、Ｘ線発生部１が配置される筐体５の上部の正面側には、Ｘ線発生部１を望むように開閉可能とされた正面カバー５ａが設けられている。
【００１５】
Ｘ線検出部２は、Ｘ線異物検出装置の本体をなす筐体５の下部に配置され、上記Ｘ線発生部１から曝射されたＸ線を受けるように構成されている。このＸ線検出部２は、金属箱６内に収容されている。金属箱６は、略平坦に形成された上面６ａにスリット７を有している。スリット７は、上面６ａの板金に横方向に延びるように穿設された長穴に、Ｘ線を透過させる樹脂材がシリコン材等で防水されて取り付けられてなる。このスリット７は、Ｘ線発生部１から曝射された面状のＸ線を通す。即ち、スリット７が形成された横方向とは、面状のＸ線を通し得る方向である。金属箱６のスリット７を通ったＸ線は、金属箱６内に配置されたＸ線検出部２で受ける。Ｘ線検出部２では、このＸ線を光変換し、不図示のＸ線処理部に出力する。
【００１６】
金属箱６は、横方向の側面がＸ線異物検出装置の本体をなす筐体５側に固定される。本実施の形態においては、金属箱６を溶接にて固定している。その他、溶接以外に、ボルト止め等でもよい。また、金属箱６は、脚により底面側が支持されていてもよい。
【００１７】
搬送部３は、Ｘ線発生部１からＸ線検出部２に向けて曝射された面状のＸ線に被検査物を通過させるものである。図１に示すように、搬送部３は、主に、ローラ８（８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ）と、モータユニット９と、搬送ベルト１０とからなる。また、搬送部３を構成するローラ８及び搬送ベルト１０は、Ｘ線検出部２が収容された金属箱６に対して着脱自在に取り付けられている。この搬送部３は、モータユニット９の駆動により、ローラ８ｄが回転し、各ローラ８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ間に張設された搬送ベルト１０を一方向に循環させる。搬送ベルト１０の循環は、Ｘ線発生部１から面状に曝射されたＸ線を受ける金属箱６のスリット７と直交する縦方向（前後方向）となる。また、搬送ベルト１０は、金属箱６の上面６ａに沿って循環する。これにより、搬送ベルト１０の上に送られた被検査物は、金属箱６の上面６ａを支持面として、Ｘ線発生部１からＸ線検出部２に至る面状のＸ線の間を通過する。
【００１８】
図１に示すように、Ｘ線検出部２を収容する金属箱６、及び金属箱６に取り付けられた搬送部３の構成は、筐体５の下部に配された前後及び正面のカバー１１によってＸ線の漏洩を防ぐように覆われている。また、カバー１１には、ローラ８ａ，８ｄ及びその上側にかけて開口し、被検査物を通過させる開口部１２が形成されている。
【００１９】
上記の如く構成されたＸ線異物検出装置にかかり、Ｘ線発生部１側と筐体５側との取付構造を以下に説明する。
図２（ａ）はＸ線発生部側の取付構造を示す側面図、図２（ｂ）は図２（ａ）にかかる底面図、図３（ａ）は筐体側の取付構造を示す側面図、図３（ｂ）は図３（ａ）にかかる平面図、図４は前記各取付構造を示す斜視図、図５はＸ線発生部を筐体に取り付けた状態の正面図、図６はＸ線発生部を筐体に取り付けた状態の側面図である。
【００２０】
図２（ａ），（ｂ）及び図４に示すように、Ｘ線発生部１の底面側には、Ｘ線曝射口１５が設けられている。Ｘ線曝射口１５は、Ｘ線発生部１の底面側に突出する矩形筒状をなし、この筒状内に、Ｘ線発生部１のＸ線管４が発生したＸ線を所望の範囲として下側に曝射する第一のスリット１５ａを形成している。なお、Ｘ線曝射口１５は、上記矩形筒状に限らず、第一のスリット１５ａを有していれば楕円筒状等の筒状をなしていてもよい。
【００２１】
また、Ｘ線発生部１の底面側には、Ｘ線曝射口１５の周りを囲むように遮蔽部材１６が設けられている。遮蔽部材１６は、矩形筒状の一側部が開口し、開口した方向に平行に延設される一対の遮蔽枠壁１６ａ、及び開口部分と対向する遮蔽枠壁１６ｂからなるコ字状枠をなす。また、遮蔽部材１６は、Ｘ線曝射口１５よりも下方に長く突出して形成されている。なお、遮蔽部材１６は、上記コ字状枠に限らず、筒状の一側部が開口し、開口した方向に平行に延設される一対の遮蔽枠壁１６ａ、及び開口部分と対向する円弧状の遮蔽枠壁（不図示）からなる略Ｕ字状枠をなしていてもよい。
【００２２】
Ｘ線発生部１の両側部には、それぞれ固定板１７が設けられている。固定板１７は、遮蔽部材１６の各遮蔽枠壁１６ａに沿って延設され、Ｘ線発生部１の底面と略面一な底面をなしている。また、固定板１７の板面には、ネジ止め用の穴が形成されている。
【００２３】
図３（ａ），（ｂ）及び図４に示すように、筐体５の上部には、Ｘ線発生部１の底側に位置して、Ｘ線発生部１を支持すべき板状の支持部材１８が配設されている。この支持部材１８上には、Ｘ線発生部１が載置される載置台１９が設けられている。載置台１９は、矩形筒状の一側部が開口し、開口した方向に平行に延設される一対の載置枠壁１９ａ、及び開口部分と対向する載置枠壁１９ｂからなるコ字状枠をなす。また、各載置枠壁１９ａにおいて、その内壁間隔Ｈ１は、上記遮蔽部材１６の各遮蔽枠壁１６ａの外壁間隔ｈ１を挿通できる若干大きい寸法とされている。また、各載置枠壁１９ａの外壁間隔Ｈ２は、Ｘ線発生部１の幅ｈ２と略同寸法とされている。なお、載置台１９は、上記コ字状枠に限らず、筒状の一側部が開口し、開口した方向に平行に延設される一対の遮蔽枠壁１９ａ、及び開口部分と対向する円弧状の遮蔽枠壁（不図示）からなる略Ｕ字状枠をなしていてもよい。
【００２４】
載置台１９の両側部には、それぞれ固定板２０が設けられている。固定板２０は、各載置枠壁１９ａの外側に沿って延設され、各載置枠壁１９ａの上面と略面一な上面をなしている。また、固体板２０の板面には、ネジ止め用の穴が形成されている。
【００２５】
固定板２０の一方には、検知手段２１が取り付けられている。検知手段２１は、固定板２０の下側であって、載置壁部１９ｂ側に近接して設けられている。検知手段２１は、本実施の形態ではリミットスイッチからなり、作動片２１ａのボール状の先端を固定板２０の上面の穴部から突出させている。検知手段２１は、作動片２１ａを下方に押下されることによってオンし、このオン信号をＸ線発生部１を制御する不図示の制御部に出力する。制御部では、オン信号の入力によりＸ線発生部１におけるＸ線の発生ができる状態として判断する。また、制御部は、検知手段２１がオフの時（オン信号の入力がない時）、Ｘ線発生部１におけるＸ線の発生ができない状態として判断する。
【００２６】
また、支持部材１８上には、Ｘ線導出部２２がが設けられている。Ｘ線導出部２２は、載置台１９に周りを囲まれるように設けられ、支持部材１８の上側に突出する矩形筒状をなす。Ｘ線導出部２２の筒状の内底には、Ｘ線発生部１のＸ線曝射口１５から曝射されたＸ線を、Ｘ線検出部２（金属板６のスリット７）に向けて導出するための第二のスリット２２ａが形成されている。第二のスリット２２ａは、支持部材１８を貫通して支持部材１８の下側に貫通している。また、Ｘ線導出部２２において、載置台１９の開口部分に向く一側部には、上端から中途部分にかけて切り欠かれた切欠２２ｂが形成されている。また、Ｘ線導出部２２の切欠２２ｂ及び枠枠の内幅Ｈ３は、Ｘ線曝射口１５の外幅ｈ３を挿通できる若干大きい寸法とされている。なお、Ｘ線導出部２２は、上記矩形筒状に限らず、第二のスリット２２ａとＸ線曝射口１５を挿通できる切欠２２ｂを有していれば楕円筒状等の筒状をなしていてもよい。
【００２７】
このような取付構造にて、Ｘ線発生部１を筐体５に取り付ける場合には、まず、図４に示すように、遮蔽部材１６の開口部分を載置台１９の開口部分に向けるようにして、Ｘ線発生部１の底面を載置台１９の上面に置く。
【００２８】
次いで、遮蔽部材１６を載置台１９の開口部分に挿通させ、Ｘ線発生部１を載置台１９上に摺動させる。ここで、載置台１９の各載置枠壁１９ａの内壁間隔Ｈ１は、遮蔽部材１６の各遮蔽枠壁１６ａの外壁間隔ｈ１を挿通できる若干大きい寸法とされているため、Ｘ線発生部１は、図５に示すように、各遮蔽部材１６ａがそれぞれ各載置台１９ａによって挿通支持されながら摺動することとなる。即ち、遮蔽部材１６と載置台１９は、Ｘ線発生部１を所定方向に支持しながら摺動させるガイドレールをなす。また、Ｘ線発生部１の固定板１７は、載置台１９の固定板２０上にて互いに面接触する。
【００２９】
次いで、Ｘ線発生部１をさらに摺動させると、Ｘ線発生部１のＸ線曝射口１５が、Ｘ線導出部２２の切欠２２ａを介して、Ｘ線導出部２２内に挿通される。
【００３０】
次いで、Ｘ線発生部１をさらに摺動させると、Ｘ線曝射口１５がＸ線導出部２２に挿通されて、Ｘ線曝射口１５の第一のスリット１５ａの直下にＸ線導出部２２の第二のスリット２２ａが位置する。この際、Ｘ線発生部１の固定板１７の下面が、載置台１９の固定板２０から上側に突出する検知手段（リミットスイッチ）２１の作動片２１ａを押下する。これにより、制御部では、検出手段２１からのオン信号を入力し、Ｘ線発生部１におけるＸ線の発生ができる状態として判断する。
【００３１】
次いで、図６に示すように、Ｘ線発生部１の遮蔽部材１６の遮蔽枠壁１６ｂが、Ｘ線導出部２２の切欠２２ｂが設けられた側に当接することにより、Ｘ線発生部１がそれ以上摺動しなくなる。この際、Ｘ線曝射口１５の第一のスリット１５ａと、Ｘ線導出部２２の第二のスリット２２ａとの位置決めがなされる。さらに、この際、固定板１７のネジ止め用の穴と、固体板２０のネジ止め用の穴が貫通するように一致する。
【００３２】
最後に、固定板１７及び固定板２０の穴を介してネジ止めすることにより、Ｘ線発生部１が載置台１９に固定される。
【００３３】
上記の如くＸ線発生部１を載置台１９に固定したことにより、Ｘ線曝射口１５の第一のスリット１５ａと、Ｘ線導出部２２の第二のスリット２２ａとの位置決めが行われ、図５及び図６に示すように、Ｘ線管４から発生した円錐状のＸ線が第一のスリット１５ａを介して一旦集束され、且つ、第二のスリット２２ａを介して所望の面状となって、下側にあるＸ線検出部２（金属板６のスリット７）に向けて曝射される。
【００３４】
また、図５及び図６に示すように、第一のスリット１５ａと第二のスリット２２ａとの間は、遮蔽部材１６及び載置台１９によって囲まれるため、Ｘ線の漏洩が防止される。
【００３５】
したがって、このように構成されたＸ線異物検出装置では、Ｘ線発生部１を筐体５に設置する際、Ｘ線発生部１を載置台１９に対して置いて摺動させるだけで、第一のスリット１５ａと第二のスリット２２ａを位置決めと、第一のスリット１５ａと第二のスリット２２ａの間のＸ線の漏洩の防止とを兼ねながら、Ｘ線発生部１の設置を行うことが可能となる。これにより、重量の嵩むＸ線発生部１の設置を容易に行うことが可能となる。
【００３６】
特に、作業者側では、Ｘ線発生部１の遮蔽部材１６の遮蔽枠壁１６ｂが、Ｘ線導出部２２の切欠２２ｂが設けられた側に当接して摺動しなくなるまで押せばよいので、設置の完了が明確となる。
【００３７】
また、装置側では、検知手段２１によって、Ｘ線曝射口１５がＸ線導出部２２に挿通されて、Ｘ線曝射口１５の第一のスリット１５ａの直下にＸ線導出部２２の第二のスリット２２ａが位置したことを検知し、Ｘ線を発生できる状態か否かを判断するので、Ｘ線発生部１の設置が不完全な状態にてＸ線を発生するおそれがなく、安全に装置の稼働を行うことが可能となる。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明による請求項１に記載のＸ線異物検出装置は、Ｘ線発生部を設置する際、Ｘ線発生部を載置台に摺動させるだけで、載置台と遮蔽部材によってＸ線発生部が支持されながら摺動する。この摺動に伴い、Ｘ線曝射口がＸ線導出部に挿通されて第一のスリットと第二のスリットを位置決めが行われるとともに、Ｘ線曝射口及びＸ線導出部の周りが載置台と遮蔽部材とで囲まれて第一のスリットと第二のスリットの間のＸ線の漏洩が防止される。このように、Ｘ線発生部を載置台に摺動させるだけで、Ｘ線をＸ線検出部に向けて曝射するための位置決めと、Ｘ線の漏洩の防止とを兼ねてＸ線発生部の設置を行うことが可能となり、重量の嵩むＸ線発生部の設置を容易に行うことができる。
【００３９】
請求項２に記載のＸ線異物検出装置は、遮蔽部材及び前記載置台が、それぞれコ字状枠をなすことにより、Ｘ線発生部を載置台に載せた際、Ｘ線曝射口及びＸ線導出部の周りを囲む遮蔽部材及び載置台が略矩形状の枠をなし、第一のスリットと第二のスリットの間のＸ線の漏洩を確実に防止することができる。
【００４０】
請求項３に記載のＸ線異物検出装置は、Ｘ線発生部を載置台に摺動させた際、Ｘ線導出部と遮蔽部材とが当接して、第一のスリットと第二のスリットとが位置決めされるようにしたことにより、作業者側では、Ｘ線発生部が摺動しなくなるまで押せばよいので設置の完了を明確とすることができる。
【００４１】
請求項４に記載のＸ線異物検出装置は、Ｘ線導出部にＸ線曝射口が挿通されたことを検知する検知手段を備えたので、装置側では、Ｘ線曝射口がＸ線導出部に挿通されて、第一のスリットに第二のスリットが対応したことを検知することで、Ｘ線を発生できる状態か否かが判断できるので、Ｘ線発生部の設置が不完全な状態にてＸ線を発生するおそれがなく安全に装置の稼働を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＸ線異物検出装置の一例を示す斜視図。
【図２】（ａ）Ｘ線発生部側の取付構造を示す側面図。
（ｂ）図２（ａ）にかかる底面図。
【図３】（ａ）筐体側の取付構造を示す側面図。
（ｂ）図３（ａ）にかかる平面図。
【図４】前記各取付構造を示す斜視図。
【図５】Ｘ線発生部を筐体に取り付けた状態の正面図。
【図６】Ｘ線発生部を筐体に取り付けた状態の側面図。
【符号の説明】
１…Ｘ線発生部、２…Ｘ線検出部、３…搬送部、１５…Ｘ線曝射口、１５ａ…第一のスリット、１６…遮蔽部材、１８…支持部材、１９…載置台、２１…検知手段、２２…Ｘ線導出部、２２ａ…第二のスリット、２２ｂ…切欠。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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