(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏光子又はファラデー回転子からなる四角柱状の光学素子を、内部に円柱状ポケット部が形成されたリング状底部を有する金属円筒体であって、該金属円筒体の内周面に、その上端内周縁から少なくともその１０μｍ下方までの部分及び内底面の内周縁から少なくともその径方向に１０μｍ離間した位置までの部分を金属薄膜非形成部とした状態で半田付け可能な金属薄膜が形成された金属円筒体の上記ポケット部内に挿入し、上記光学素子の外周面と上記円筒体内周面との間の隙間に球状接合剤を供給し、該接合剤を溶融後固化して、上記光学素子を上記円筒体と半田接合することを特徴とする光アイソレータ部品の製造方法。
【請求項２】
球状接合剤が光学素子外周面と金属円筒体内周面との間に形成される最大隙間より小さく、かつ０．１ｍｍ以上の直径を有するものである請求項１記載の製造方法。
【請求項３】
球状接合剤を光学素子外周面と金属円筒体内周面との隙間の全体積に対し１０〜６０％充填した請求項１又は２記載の製造方法。
【請求項４】
金属円筒体の少なくとも上端部が嵌挿可能な複数個の取付孔が穿設された平板状治具の該取付孔に上記金属円筒体の少なくとも上端部を嵌挿すると共に、上記治具上に球状接合剤を供給し、上記治具を揺動することにより上記治具上に供給した球状接合剤を光学素子外周面と金属内周面との間の隙間に充填するようにした請求項１乃至３のいずれか１項記載の製造方法。
【請求項５】
球状接合剤の上記隙間への充填後、金属円筒体を加熱して球状接合剤を溶融するようにした請求項４記載の製造方法。
【請求項６】
偏光子又はファラデー回転子からなる光学素子を金属円筒体内部に挿入し、上記光学素子の外周面と上記円筒体内周面との間の隙間に球状接合剤を供給する球状接合剤供給用具であって、上記円筒体の少なくとも上端部が嵌挿される取付孔が穿設され、上面に球状接合剤が供給される平板状治具を備え、上記治具上面に球状接合剤を供給し、治具を揺動することにより該球状接合剤を上記治具の取付孔に嵌挿した円筒体の上記隙間に充填するように構成したことを特徴とする球状接合剤供給用具。
【請求項７】
上記治具の下側にこの治具に取り付けられた金属円筒体の加熱用基板を設けた請求項６記載の用具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光アイソレ−タの各部品である偏光子ユニット、検光子ユニット及びファラデー回転子ユニットの製造方法に関し、更に詳述すると偏光子又はファラデー回転子からなる光学素子を金属筒状体内に挿入し、球状接合剤にて接合する方法に関する。また、本発明は、このような球状接合剤を光学素子と金属筒状体との間の隙間に充填するために用いる球状接合剤供給用具に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
光通信システム等では、レーザ光源から発振した伝送光が光通信路中の各種の光伝送部品の入射面等で反射し、その反射光がレーザ光源まで達することがある。反射光は光源の発光作用を乱し、しばしばノイズを生じさせる。光アイソレ−タは光源と光伝送部品との間に設けられ、光伝送部品の方に進む光だけを透過させ、光源方向に向かう反射光を選択的に遮断するものである。
【０００３】
この光アイソレ−タは、その中央部に円筒磁石が配置されており、円筒磁石内にはファラデー回転子が納められ、ファラデー回転子を中心にして光の入射側には第１の偏光子が設けられ、出射側には第２の偏光子、即ち検光子が設けられているものである。ファラデー回転子は入射した光の偏光面を４５度回転させるものであり、第１偏光子と第２偏光子（検光子）とは互いに偏光方向が４５度異なって配置されている。
【０００４】
光アイソレ−タに入射した光は第１偏光子（以下、単に偏光子という場合がある）を透過し、ファラデー回転子によって偏光面が４５度回転する。回転により光の偏光面が検光子の偏光面と一致するので、光は検光子を通過できる。反射光は逆方向から検光子に入射した後、ファラデー回転子に入射する。反射光はファラデー回転子により偏光面が４５度回転して、偏光子の偏光面と直交するので、偏光子を通過することができなくなる。
【０００５】
一方、光アイソレ−タの光学端面を光源からの光軸と垂直に配置すると、入射光が偏光子、ファラデー回転子、検光子の表面で反射して光源に戻り、ノイズとなってしまう。このノイズを防ぐためには、光学端面を光源からの光軸に対して傾けて配置することで、表面反射光を光路外に外すことが有効である。例えば、特開昭６４−２０５２２号公報には、偏光子、ファラデー回転子、検光子を個別に傾け、偏光子、ファラデー回転子、検光子の表面反射光が光源に戻らないようにした光アイソレ−タが開示されている。
【０００６】
ところで、上記偏光子、ファラデー回転子、検光子といった光学素子は、金属からなる円筒体（ホルダー）内に収容され、これに接合、固定されて使用される。この場合、その接合、固定には半田や低融点ガラスが用いられるが、これが粉末状であったりすると取扱い性などの点で問題がある。
【０００７】
そこで、特開平６−８２７２４号公報においては、ホルダー内の光学素子を固定する固定位置周りに溝が具備され、該溝に球状の低融点ガラス或いは半田を充填し、加熱溶融して光学素子を固定する光学素子の固定構造及び光アイソレ−タを提案している。
【０００８】
しかしながら、特開平６−８２７２４号公報の構造を有するホルダーは加工が難しく、コストアップにつながる。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、金属円筒体（ホルダー）の加工コストを上げることなく、球状半田等の接合剤を用いて光学素子を金属円筒体内に接合、固定できる光アイソレ−タ部品の製造方法、及びこの製造方法に使用でき、一度に多数の光学素子と円筒体との隙間に球状接合剤を充填でき、接合、固定を行うことができる球状接合剤供給用具を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため、偏光子又はファラデー回転子からなる四角柱状の光学素子を、内部に円柱状ポケット部が形成されたリング状底部を有する金属円筒体であって、該金属円筒体の内周面に、その上端内周縁から少なくともその１０μｍ下方までの部分及び内底面の内周縁から少なくともその径方向に１０μｍ離間した位置までの部分を金属薄膜非形成部とした状態で半田付け可能な金属薄膜が形成された金属円筒体の上記ポケット部内に挿入し、上記光学素子の外周面と上記円筒体内周面との間の隙間に球状接合剤を供給し、該接合剤を溶融後固化して、上記光学素子を上記円筒体と半田接合することを特徴とする光アイソレータ部品の製造方法を提供する。
【００１１】
本発明によれば、内部に光学素子を挿入し、またこの光学素子外周面との間に球状接合剤が充填される金属円筒体（ホルダー）の中空部、つまりポケット部が円柱状という単純な形状であるため、ホルダーの製作コストが安価であると共に、四角柱状の光学素子と強固に接合する。
【００１２】
この場合、本発明は、球状半田を用いて半田接合するのに好適であるが、このように半田接合する場合は、金属円筒体の内周面の少なくとも軸方向中間部より下側に半田付け可能な金属薄膜を形成し、上記光学素子が上記円筒体と半田接合すること、その際上記部分以外にも金属薄膜を形成してもよいが、特に金属円筒体の内周面の上端内周縁から少なくともその１０μｍ下方までの部分及び内底面の内周縁から少なくともその径方向に１０μｍ離間した位置までの部分を金属薄膜非形成部とすることが好適であり、これにより半田が光学素子の光入射又は出射端面上に流れ、これを覆うことを抑制することができる。とりわけ、球状接合剤が光学素子外周面と金属円筒体内周面との間に形成される最大隙間より小さく、かつ０．１ｍｍ以上の直径を有するものを使用し、また球状接合剤を光学素子外周面と金属円筒体内周面との隙間の全体積に対し１０〜６０％充填することが好適である。このように、円筒体内周面及び内底面に半田付け可能な金属薄膜の非形成部分を規定し、また使用する球状半田の粒径、上記隙間への球状半田の充填率を規定することで、光学素子の接合に関与しない部分への半田の流れを防止し、半田の有効利用を実現すると共に、半田の光学素子両端面への漏れ出しもなくなり、光アイソレ−タの製造歩留まりに大きく貢献し得るものである。
【００１３】
また、本発明は、偏光子又はファラデー回転子からなる光学素子を金属円筒体内部に挿入し、上記光学素子の外周面と上記円筒体内周面との間の隙間に球状接合剤を供給する球状接合剤供給用具であって、上記円筒体の少なくとも上端部が嵌挿される取付孔が穿設され、上面に球状接合剤が供給される平板状治具を備え、上記治具上面に球状接合剤を供給し、治具を揺動することにより該球状接合剤を上記治具の取付孔に嵌挿した円筒体の上記隙間に充填するように構成したことを特徴とする球状接合剤供給用具を提供する。
【００１４】
この用具を用いることにより、簡単に且つ一度に多数の金属円筒体（ホルダー）とこの内部に挿入される光学素子との間の隙間に球状接合剤を充填でき、生産性を飛躍的に向上することができると共に、球状接合剤を充填後、上記治具を金属円筒体に取り付けた状態又ははずした状態で円筒体を加熱して球状接合剤を溶融させることにより、一度に多数の接合を行うことができ、複数の光アイソレ−タ部品を同時に製造することができる。この場合、上記治具の下側にこの治具に取り付けられた円筒体の加熱用基板を設けることが好適である。
【００１５】
従って、本発明は、上述した製造方法において、金属円筒体の少なくとも上端部が嵌挿可能な複数個の取付孔が穿設された平板状治具の該取付孔に上記金属円筒体の少なくとも上端部を嵌挿すると共に、上記治具上に球状接合剤を供給し、上記治具を揺動することにより上記治具上に供給した球状接合剤を光学素子外周面と金属内周面との間の隙間に充填するようにした上記光アイソレ−タ部品の製造方法、更に、球状接合剤の上記隙間への充填後、金属円筒体を加熱して球状接合剤を溶融するようにした上記製造方法をも提供する。
【００１６】
【発明の実施の形態及び実施例】
以下、本発明につき図面を参照して更に詳しく説明する。
図１は、光アイソレ−タ１の一例を示し、１０は偏光子ユニット、２０はファラデー回転子ユニット、３０は検光子ユニットである。
【００１７】
偏光子ユニット１０は、金属円筒体１１内中央部に第１の偏光子１２が挿入され、これら金属円筒体１１と偏光子１２は互いに半田６０にて接合されている。
【００１８】
また、ファラデー回転子ユニット２０は、ファラデー回転子２２に磁界を印加する円筒磁石（金属円筒体）２１内中央部にファラデー回転子２２が挿入されると共に、この回転子２２を挟んで金属リング体２３，２４が配設され、これら円筒磁石２１、回転子２２、金属リング体２３，２４は互いに半田６０にて接合されている。
【００１９】
更に、検光子ユニット３０は、金属円筒体３１内中央部に第２の偏光子（検光子）３２が挿入されると共に、これら金属円筒体３１と検光子３２は互いに半田６０にて接合されている。
【００２０】
そして、上記各ユニット１０，２０，３０は、外筒４０内に挿入され、半田（特に図示せず）により外筒４０と接合されているものである。なお、上記金属円筒体１１，３１と金属リング体２３，２４はそれぞれ光軸と垂直な端面に図示していないが黒色の薄膜が形成されている。
【００２１】
本発明に用いる偏光子１２，３２としては、偏光ガラス（例えばコーニング社製，商品名ポーラコア）、複屈折結晶、偏光ビームスプリッタ等が用いられ、ファラデー回転子２２としては、ビスマス置換希土類鉄ガーネットやＣｄ，Ｍｎ，Ｔｅ，Ｈｇからなる物質などが用いられる。
【００２２】
本発明は、例えば上記各ユニット１０，２０，３０（光アイソレ−タ部品）において、その第１偏光子１２、ファラデー回転子２２、第２偏光子（検光子）３２を上記金属円筒体１１、円筒磁石（金属円筒体）２１、金属円筒体３１内にそれぞれ接合する方法に係るもので、その方法を図１〜３を参照して説明する。
【００２３】
図２，３は、第１偏光子１２及び第２偏光子３２を固定する金属円筒体１１，３１を示す。これら円筒体１１，３１は短軸に形成されていると共に、リング状底部１１ａ，３１ａが一体に設けられており、内部中空部が短軸円柱状のポケット部１１ｂ，３１ｂをなしている。なお、ポケット部１１ｂ，３１ｂの深さは偏光子１２，３２の厚さとほぼ同じとし、ポケット部１１ｂ，３１ｂに偏光子１２，３２を挿入した際、円筒体１１，３１先端面と偏光子１２，３２先端面とがほぼ同一平面にあるようにすることが、球状接合剤を充填する際に余分な球状接合剤が光学素子上に乗らないようにするために好適であるが、偏光子１２，３２の厚さより若干深めであってもよい。
【００２４】
ここで、上記偏光子１２，３２は四角柱状に形成されたものを用いるものである。
【００２５】
上記円筒体１１，３１に偏光子１２，３２を接合する場合は、上記円柱状ポケット部１１ｂ，３１ｂに四角柱状の偏光子１２，３２を挿入する。この際、偏光子１２，３２は、その側部の四隅縁部が円筒体１１，３１内周面に当接し得るように円筒体１１，３１を形成することが好ましく、これにより円筒体１１，３１に対する偏光子１２，３２の固定状態が確保される。
【００２６】
次いで、円筒体１１，３１内周面と偏光子１２，３２外周面との間に形成される隙間１３，３３に球状接合剤を充填し、次いでこれを加熱して溶融させ、更に室温に冷却して固化させることにより接合する。この場合、球状接合剤の直径は０．１ｍｍ以上で且つ上記隙間１３，３３の最大隙間長以下であることが好適であり、またこの範囲で直径の異なる２種又はそれ以上の球状接合剤を組み合わせて用いることが充填性の点から好ましい。例えば、最大隙間長よりわずかに小さい直径０．３ｍｍのものと、０．２ｍｍのものと、０．１ｍｍのものとを用いることができる。具体的には、最大隙間長が０．３５ｍｍの場合、直径０．３ｍｍのものと０．１ｍｍのものとを用いることにより充填量を上げることができるものであり、更に上記３種の直径の球状接合剤を用いることにより充填量はより向上する。なお、直径０．１ｍｍより小さいものを使用してもよいが、静電気のために扱いが難しくなる場合が生じる。また、上記隙間１３，３３への球状接合剤の充填率は、隙間１３，３３の全体積に対して１０〜６０体積％であることが好ましい。１０％より少ないと、衝撃試験などで光学素子の接合部がはずれ、光学素子が脱離、落下するおそれが生じ、６０％を超えると溶融した球状接合剤が光学素子の端面や円筒体外周部にはみ出したり、接合された光学素子にクラックが生じるおそれがある。
【００２７】
上記球状接合剤としては低融点ガラスや半田が使用できるが、本発明においては、球状半田を用いた接合に有効である。
【００２８】
このように半田接合する場合、上記円筒体１１，３１内に半田付け可能な金属薄膜１４，３４を形成することが好適である。即ち、偏光子ユニット１０、検光子ユニット３０に用いる金属円筒体１１，３１は、通常半田付け性の悪い材質にて形成され、またファラデー回転子ユニット２０に用いる円筒磁石（金属円筒体）２１も半田付け性の悪い材質にて形成されているので、半田接合に際しては半田付け可能な（半田付け性の良好な）金属薄膜１４，３４を金属円筒体１１，３１に形成しておくことが推奨されるものである。
【００２９】
ここで、金属薄膜１４，３４は、金属円筒体１１，３１の内周面の少なくとも軸方向中間部より下側及びリング状底部１１ａ，３１ａの内底面の少なくとも外周縁側（上記隙間１３，３３の底面となる箇所）に形成することが推奨される。この場合、これらの箇所以外の部分に金属薄膜１４，３４を形成してもよく、上記内周面及び上記内底面全面に金属薄膜１４，３４を形成してもよいが、好ましくは内周面上端縁から１０μｍ下方まで、特には１００μｍ下方までは金属薄膜非形成部１５，３５とし、また内底面の内周縁から径方向に１０μｍ、特には１００μｍ離間した位置までは同様に金属薄膜非形成部１６，３６とする。これは、かかる金属薄膜非形成部にまで金属薄膜を形成すると、該部分も半田が容易に濡れ、光学素子の両端面にまで半田がはみ出すおそれがあるからである。
【００３０】
上記金属薄膜を形成する金属としては、錫、銀、金、パラジウム、銅などやこれらを主体とする（これら金属を５０重量％以上、特に７０重量％以上含有する）合金を用いることができる。金属薄膜の形成法としては通常のめっき法を採用して行うことができるが、上記金属薄膜非形成部を得る方法としては、金属円筒体１１，３１内周面及びそのリング状底部１１ａ，３１ａの内底面全面に金属薄膜を形成した後、金属薄膜不要部分をザグリ加工などによって金属薄膜を除去する方法を採用し得る。この場合、図２に示すように、ザグリ加工を行って得た金属薄膜非形成部１５，３５や１６，３６は通常、段差状になる。また、金属薄膜不要部分をマスキング用テープなどでマスキングした後、めっきを行い、次いでマスキング用テープなどを除去することで、マスキングした部分にめっきが付着しないようにして金属薄膜非形成部１５，３５や１６，３６を得ることもできる。
【００３１】
以上は主に偏光子ユニット１０、検光子ユニット３０の金属円筒体１１，３１に偏光子１２，３２を接合する場合について説明したが、ファラデー回転子ユニット２０の円筒磁石（金属円筒体）２１にファラデー回転子２２を接合する場合は、まず円筒磁石２１に一方の金属リング体２３を接合してリング状底部を形成し、次いでその中空円柱状のポケット部内に四角柱状のファラデー回転子２２を挿入し、これによって形成される隙間に球状接合剤を充填し、更に他方の金属リング体２４を円筒磁石２１に嵌挿し、上記球状接合剤を溶融して接合を行うものである。また、半田接合するに際しては上記と同様に金属薄膜を形成するもので、上記金属円筒体１１，３１に偏光子１２，３２を接合する場合と同様である。但し、金属リング体２３，２４の端面には金属薄膜は形成しなくともよい。その例を図４に示す。図４において、２５は金属薄膜、２６は金属薄膜非形成部、２７は黒色薄膜である。
【００３２】
本発明において、上記球状接合剤を上記隙間に充填する場合は、図５，６に示す球状接合剤供給用具５０を使用することが好適である。ここで、この用具５０は、円形平板状で、上面外周縁部にリング状壁部５１が一体に突設され、かつ多数（好ましくは１００以上、特には６００〜１０００）の金属円筒体上部が嵌挿される取付孔５２が穿設された治具５３と、その下面に着脱可能に設けられ、上記取付孔５２に対応した位置に金属円筒体下部が嵌挿される保持凹部５４が形成された円形平板状の金属製加熱用基板５５を具備するものである。この用具５０を用いて例えば上記金属円筒体１１の隙間１３に球状半田を充填する場合は、図６に示すように上記基板５５の各凹部５４に上記円筒体１１の下部を嵌挿し、次いで治具５３をかぶせ、円筒体１１の上部を治具５３の取付孔５２に嵌挿し、この状態で治具５３上に球状半田５６を供給する。そして、治具５３及びこれと一体に基板５５を揺動して、球状半田５６を隙間１３に流入、充填するものである。
【００３３】
従って、このような用具５０を用いることにより、比較的小粒な球状半田を取扱い性よく簡単に隙間１３に充填することができると共に、一度に多数の円筒体１１の各隙間１３に球状半田を充填できる。
【００３４】
更に、このように球状半田を充填した後、上記基板５５を加熱することにより、一度に多数の円筒体１１を加熱して球状半田を溶融することができ、従って一度に多数の接合を行うことができるので、非常に能率がよく、生産性に優れたものである。
【００３５】
なお、治具５３はその取付孔５２が少なくとも円筒体の上端部を嵌挿し得るように形成されていればよく、また基板５５は必ずしも凹部５４を設けない構成とするなど、用具５０の構成は適宜変更することができる。
次に具体例を示す。
【００３６】
〔具体例〕
図１に示す光アイソレ−タを下記のようにして作製した。この場合、第１偏光子１２及び第２偏光子（検光子）３２にはそれぞれ偏光ガラス（コーニング社製，商品名ポーラコア）を用い、金属円筒体１１，３１内に納まる四角柱状に形成し、その円筒体１１，３１の内周面と対向する側面に半田付けが可能な金めっき膜を付着した。また金属円筒体１１，３１はコバール材にて形成し、内周面及び内底面を含む全面に金めっきの薄膜を施し、その後、ザクリ加工により図２に示すように内周面の上端円周縁から０．１ｍｍ下方、及び内底面の内周縁から径方向に０．１ｍｍ離間した位置までを削り取り、金属薄膜非形成部とした。更に、ファラデー回転子２２はビスマス置換希土類鉄ガーネット結晶を用い、Ｓｍ−Ｃｏより形成された円筒磁石２１内に納まる四角柱状に形成した。更に、ファラデー回転子２２を固定する金属リング体２３，２４はそれぞれ強磁性体である鉄−ニッケル合金を使用した。この場合、金属リング体２３，２４は図４に示すように形成した（金属薄膜は金めっき膜とした）。また、円筒磁石２１はその内周面全面に金めっき膜を施し、これと対向する回転子２２の四周側部にも金めっき膜を形成した。なお、金属円筒体１１，３１及び円筒磁石２１の外径は同一であり、これらの幅（軸長）は第１偏光子１２及び第２偏光子３２が上記金属円筒体のポケット部からはみ出さない深さを有するポケット部と偏光子を保持する底部の厚みの和である。
【００３７】
そして、図５，６に示す用具５０を用いて先に説明したようにして各隙間に球状半田を充填し、加熱溶融後、固化して半田接合を行った。この場合、隙間の最大長さは０．３５ｍｍであり、球状半田として直径０．３ｍｍのものと０．１ｍｍのものとの２種類を使用した。この場合、上記球状半田の用いる種類を直径０．１ｍｍ、０．２ｍｍ及び０．３ｍｍの３種にすることによって半田の充填率を向上させることも可能ではあるが、半田漏れが生じるおそれがあり、また使用する半田の種類が多くなってコストアップにつながるおそれがあるので、２種の球状半田を使用した。なお、半田充填率はそれぞれ各隙間の全体積に対して６０容積％であった。
【００３８】
以上のようにして偏光子ユニット１０、ファラデー回転子ユニット２０、検光子ユニット３０を製造した。得られた各ユニット１０，２０，３０を図１に示すように外筒４０内に挿入し、この外筒４０と各ユニット１０，２０，３０とを接合し、光アイソレ−タ１を作製した。
【００３９】
この光アイソレ−タ１の作製においては、上記金属円筒体のポケット部が単純な構造であり、加工コストを上げることがなく、生産性を大幅に向上させることができ、また、上記球状接合剤供給用具、球状半田を用いることで、一度に多数の光アイソレ−タ１の部品を製造することができ、光アイソレ−タ１の作業効率を確実に向上させることができた。更に、上記金属薄膜非形成部により、接合剤として用いる球状半田が不意に漏れたりすることもなく、製造の歩留まりも良好であった。
【００４０】
【発明の効果】
本発明の光アイソレ−タ部品の製造方法によれば、内部に光学素子を挿入し、またこの光学素子外周面との間に球状接合剤が充填される金属円筒体（ホルダー）の中空部、つまりポケット部が円柱状という単純な形状であるため、ホルダーの製作コストが安価であると共に、四角柱状の光学素子と強固に接合する。
【００４１】
また、本発明の球状接合剤供給用具を使用することで、一度に多数の光学素子と円筒体との隙間に球状接合剤を充填でき、接合、固定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】光アイソレ−タの一例を示す断面図である。
【図２】金属円筒体の一部を切断した状態の一例を示す斜視図である。
【図３】同金属円筒体に偏光子を挿入した状態の平面図である。
【図４】金属リング体の一例を示す斜視図である。
【図５】球状接合剤供給用具の一例を示す斜視図である。
【図６】同用具の断面図である。
【符号の説明】
１  光アイソレ−タ
１０  偏光子ユニット
２０  ファラデー回転子ユニット
３０  検光子ユニット
１１，３１  金属円筒体
１１ａ，３１ａ  リング状底部
１１ｂ，３１ｂ  ポケット部
１２，３２  偏光子
１３，３３  隙間
１４，３４  金属薄膜
１５，３５  金属薄膜非形成部
１６，３６  金属薄膜非形成部
２１  円筒磁石（金属円筒体）
２２  ファラデー回転子
２３，２４  金属リング体
４０  外筒
５０  球状接合剤供給用具
５２  取付孔
５３  治具
５４  保持凹部
５５  金属製加熱用基板
５６  球状半田
６０  半田
【図１】
0003690434.tif 000002
【図２】
0003690434.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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