(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマディスプレイパネル用の基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の検査、修正方法であって、順次、（ａ）撮影手段により得られた試料の撮影画像データを画像処理することにより、検査対象領域全面にわたり欠陥位置座標を抽出する欠陥抽出工程と、（ｂ）抽出された欠陥箇所のうち修正可能な、断線、短絡、および他の形状不良を修正する修正工程と、（ｃ）電気的に各電極配線の断線、短絡の有無を検査する電気的導通検査工程とを有し、前記欠陥抽出工程が、隣接する電極配線の画像データ同志を比較して得られた差分画像データから欠陥箇所を抽出する処理と、デザインルールに基づき撮影画像データに対し、順次、収縮処理、膨張処理をあるいは順次、膨張処理、収縮処理を施して得られた画像データと元の撮影画像データを比較することにより欠陥部を抽出する処理とを併用するものであることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用基板の検査、修正方法。
【請求項２】
請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル用基板の検査、修正方法において、電気的導通検査工程は、プローブを用い、各電極配線内における導通の有無の検査、および各隣接する電極配線間における導通の有無の検査を行うものであることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用基板の検査、修正方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル用基板の電極配線の断線、短絡を検査、修正する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰとも記す）は、その奥行きの薄いこと、軽量であること、更に鮮明な表示と液晶パネルに比べ視野角が広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。
一般に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、２枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体とするガスを封入した構造となっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を行うようにしている。特に情報表示をするためには、規則的に並んだセルを選択的に放電発光させている。
【０００３】
ここで、ＰＤＰの構成を、図５に示すＡＣ型ＰＤＰの１例を挙げて説明しておく。
図５はＰＤＰ構成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス基板５１０）、背面板（ガラス基板５２０）とを実際より離して示してある。
図５に示すように、２枚のガラス基板５１０、５２０が互いに平行に且つ対向して配設されており、両者は背面板となるガラス基板５２０上に互いに平行に設けられた障壁（セル障壁とも言う）５３０により、一定の間隔に保持されている。
前面板となるガラス基板５１０の背面側には、放電維持電極である透明電極５４０とバス電極である金属電極５５０とで構成される複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、誘電体層５６０が形成されており、更にその上に保護層（ＭｇＯ層）５７０が形成されている。
また、背面板となるガラス基板５２０の前面側には前記複合電極と直交するように障壁５３０間に位置してアドレス電極５８０が互いに平行に形成されており、更に障壁５３０の壁面とセル底面を覆うように螢光面５９０が設けられている。
障壁５３０は放電空間を区画するためのもので、区画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。
このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合電極間に交流電圧を印加し、で放電させる構造である。この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫外線により螢光体５９０を  発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認できるものである。なお、ＤＣ型ＰＤＰにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同じである。
また、図５に示すものは、ガラス基板５２０の一面に下地層５６７を設けその上に誘電体層５６５を設けた構造となっているが、下地層５６７、誘電体層５６５は必ずしも必要としない。
【０００４】
このようなプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）用基板の背面板、前面板の製造工程は複雑で長い為、製造過程で不良が発生し、製造中および製造後に各種検査が行われている。中でも背面板、前面板の最終的な品質を保証するものとして電極配線の断線、短絡の検査は、不可欠である。
従来より、このようなプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）用基板の背面板、前面板の電極配線の断線、短絡の検査は、例えば、図４（ａ）に示すようなプローブを用い、図４（ｂ）に示すようにして、電気的に各配線について、断線が有るか否か、隣接する配線と短絡が有るか否かを、それぞれ各配線について調べる電気的導通検査方法が知られていた。
この方法は、ブローブ検査法とも呼ばれるもので、基本的には、所定の２箇所間に電圧をかけて、その間での導通の有無を確認する操作を、同一配線内および隣接する２配線において行うもので、検査対象の全ての配線についてこの操作を行うものである。尚、フローブについては、各種形状のものがある。
ここで、図４（ａ）に示すプローブを用い、電極配線４４０（４４１、４４２）の検査を行う方法を説明しておく。
尚、説明を分かり易くするため電極配線４４０が所定のピッチで直線状に配置されているものを、端子である針（図４（ａ）の４１５）の間隔が、電極配線４４０のピッチに略相当する、プローブカードを有する２個のプローブを用いて検査する場合を挙げる。
図４（ｂ）に示すように、はじめに、電極配線４４０の両端部を、各プローブのプローブカード４１０Ａ、４１０Ｂの針端子にて、それぞれ、接触させる。プローブカード４１０の針Ｐ１とプローブカード４１０Ｂの針Ｐ２とがともに配線４１１に接触しており、各プローブカードの針は順次隣の配線に接触している。この状態で、プローブカード４１０Ａの所定の１針とプローブカード４１０Ｂの所定の１針の、所定の２針を選択し、この２針間に電圧をかけ、その間の電圧をチエックすることにより、該２針間の断線ないし導通状態を知ることができる。
即ち、図４（ｂ）に示す２針Ｐ１、Ｐ２を指定すれば配線４４１の断線の有無を確認でき、２針Ｐ１、Ｐ３を指定すれば、隣接する配線４４１、配線４４２間の導通の有無を確認することができる。
実際には、検査する２針の指定は、図示していない検出部により、順に変え（走査し）て行う。そして、得られた電圧波形を処理部にて処理して配線の断線の有無、隣接する配線間の導通の有無を検出する。
このようにして、▲１▼の領域の電極配線について全て、配線の断線の有無、隣接する配線間の導通の有無を検出する。
次いで、▲２▼の領域の各配線全てについは、プローブカード４１０Ａを矢印の方向に、Ｐ１がＰ５の位置にくるまで移動させ、プローブカード４１０Ｂを矢印の方向に、Ｐ２がＰ６の位置にくるまで移動させ、各針を配線に接するようにする。
尚、プローブカード４１０Ａ、４１０Ｂの移動を行う際には、一端針を配線から離した状態とする。
前述のようにして、▲２▼の領域の各配線について全て、配線の断線の有無、隣接する配線間の導通の有無を検出する。
このプローブカードを用いた検査方法は、このようにして、２個のプローブをそれぞれプローブの端子数（針の数）と針間のピッチに対応する所定のピッチでそれぞれ、配線に直交する方向に、順送りしながら基板全域の全ての配線について検査を行うものである。
【０００５】
また、別の検査方法として、撮影手段により得られた試料の画像データを画像処理することにより、検査対象領域全面にわたり、電極配線の形状欠陥位置座標を抽出する欠陥抽出方法が知られている。この方法は、画像処理検査方とも呼ばれるもので、簡単には、隣接する電極配線の画像データ同志を比較して得られた差分画像データから欠陥箇所を抽出する処理と、デザインルールに基づき撮影画像データに対し、順次、収縮処理、膨張処理をあるいは順次、膨張処理、収縮処理を施して得られた画像データと元の撮影画像データを比較して欠陥部を抽出する処理とを併用するものである。
【０００６】
上記プローブ検査法における検査では、単に導通、短絡を検査するだけで、形状の良否は検査できないという欠点がある。
また、上記画像処理検査法における検査では、形状の良否は検査できるが、透明に近い状態での短絡や、極めて小さい幅での断線を抽出することは困難である。
このため、例えば、プローブ検査法による検査と、画像処理法による検査をそれぞれ、試料の検査対象領域全面について行い、両検査から得られる欠陥箇所について修正を行う第１の検査、修正方法や、プローブ検査法にて試料の検査対象領域全面を検査して断線ないし短絡欠陥箇所を抽出し、抽出された箇所のみを画像処理検査法にて、更に検査して、修正すべき欠陥箇所のみを修正する第２の検査、修正方法が採られていた。
第１の検査、修正方法においては、第２の方法に比べ、形状欠陥を含め、欠陥の抽出は確実であるが、検査時間がかかるという問題がある。
第２の方法においては、画像処理検査法による検査は、プローブ検査法による検査で抽出された箇所に対してのみ行われるため、検査時間は第１の検査方法に比べ少なくてすむという利点はあるが、形状欠陥の抽出は十分ではない。
また、第１の方法および第２の方法とも、プローブ検査法による検査と画像処理法による検査の後に修正を行うため、修正後の状態についての最終的な品質保証はできない。
これに対しては、修正後に再度プローブ検査を行えば良いが、検査、修正工程が煩雑化してしまう。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来のプラズマディスプレイパネル用の基板上に設けられた電極配線の断線、短絡、および他の形状不良の検査、修正方法においては、検査、修正工程全体を煩雑化しないで、効率的に、且つ確実に、検査対象領域全面の形状不良を含めた修正すべき欠陥を修正できる検査、修正方法が求められていた。
本発明は、ますますの大型化とセルの微細化が進むプラズマディスプレイパネルの量産化に対応し、プラズマディスプレイパネル用基板上に設けられた電極配線の断線、短絡、および他の形状不良の検査、修正方法において、効率的に、且つ確実に、検査対象領域全面の形状不良を含めた修正すべき欠陥を修正できる検査、修正方法を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明のプラズマディスプレイパネル用基板の検査、修正方法は、プラズマディスプレイパネル用の基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の検査、修正方法であって、順次、（ａ）撮影手段により得られた試料の撮影画像データを画像処理することにより、検査対象領域全面にわたり欠陥位置座標を抽出する欠陥抽出工程と、（ｂ）抽出された欠陥箇所のうち修正可能な、断線、短絡、および他の形状不良を修正する修正工程と、（ｃ）電気的に各電極配線の断線、短絡の有無を検査する電気的導通検査工程とを有し、前記欠陥抽出工程が、隣接する電極配線の画像データ同志を比較して得られた差分画像データから欠陥箇所を抽出する処理と、デザインルールに基づき撮影画像データに対し、順次、収縮処理、膨張処理あるいは順次膨張処理、収縮処理を施して得られた画像データと元の撮影画像データを比較することにより欠陥部を抽出する処理とを併用するものであることを特徴とするものである。
また、上記において、電気的導通検査工程は、プローブを用い、各電極配線内における導通の有無の検査、および各隣接する電極配線間における導通の有無の検査を行うものであることを特徴とするものである。
尚、欠陥抽出工程における欠陥とは形状不良を意味し、ここでは、断線、短絡、および断線や短絡とはならない凹欠陥、凸欠陥を形状不良としている。
【０００９】
【作用】
本発明のプラズマディスプレイパネル用基板の検査、修正方法は、このような構成にすることにより、プラズマディスプレイパネル用の基板上に設けられた電極配線の断線、短絡、および他の形状不良の検査、修正方法において、効率的に、且つ確実に、検査対象領域全面の形状不良を含めた修正すべき欠陥を修正できる検査、修正方法の提供を可能としている。
結果、ますますの大型化とセルの微細化が進むプラズマディスプレイパネルの量産化に対応可能としている。
具体的には、順次、（ａ）撮影手段により得られた試料の撮影画像データを画像処理することにより、検査対象領域全面にわたり欠陥位置座標を抽出する欠陥抽出工程と、（ｂ）抽出された欠陥箇所のうち修正可能な、断線、短絡、および他の形状不良を修正する修正工程と、（ｃ）電気的に各電極配線の断線、短絡の有無を検査する電気的導通検査工程とを有するものであることにより、これを達成している。即ち、撮影手段により得られた試料の画像データを画像処理することにより、検査対象領域全面にわたり欠陥位置座標を抽出する欠陥抽出工程を行うことにより、断線、短絡欠陥や形状欠陥を抽出できるものとしている。そして、抽出された欠陥箇所のうち修正可能な、断線、短絡、および他の形状不良を修正する修正工程を行った後に、電気的導通検査工程を行うことにより、欠陥検出漏れのものや、修正できない基板のプロセス下流への流出を防止できるものとしている。
【００１０】
欠陥抽出工程における撮影された試料の画像データの画像処理としては、具体的には、撮影画像信号をＡ／Ｄ変換して取り込んだ後に、隣接する電極配線の撮影画像データ同志を比較して得られた差分画像データから欠陥箇所を抽出する処理と、デザインルールに基づき撮影画像データに対し、順次、収縮処理、膨張処理あるいは順次、膨張処理、収縮処理を施して得られた画像データと元の撮影画像データを比較することにより欠陥部を抽出する処理とを併用する。また、電気的導通検査工程としては、図４（ａ）に示すようなプローブ４００を用い、各電極配線内における導通の有無の検査、および各隣接する電極配線間における導通の有無を検査する方法が挙げられる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明のプラズマディスプレイパネル用基板の検査、修正方法の実施の形態を挙げて説明する。
図１は実施の形態の１例を示すフロー図であり、図２は電極配線の絵柄の１例を示した図で、図３は撮影方法を説明するための概略構成図である。
図１に示す検査、修正方法は、プラズマディスプレイパネル用の基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の検査、修正方法である。
そして、順に、（ａ）撮影手段により得られた試料の撮影画像データを画像処理することにより、検査対象領域全面にわたり欠陥位置座標を抽出する欠陥抽出工程と、（ｂ）抽出された欠陥箇所のうち修正可能な、断線、短絡、および他の形状不良を修正する修正工程と、（ｃ）電気的に各電極配線の断線、短絡の有無を検査する電気的導通検査工程とを行うものである。
【００１２】
先ず、図１に示すように、背面板（ガラス基板）の一面に設けられた電極配線を撮像手段により撮影し、得られた画像データを画像処理することにより、電極配線の形状不良を欠陥として抽出する。（Ｓ１１０）
ここでは、断線、短絡、および断線や短絡とはならない凹欠陥、凸欠陥が抽出される。
撮影は、図３に示すように、試料（背面板）３７０の裏面側から照明光３２０Ａをあて、ＣＣＤ素子等を用いたラインセンサ（あるいは、エリアセンサ）等の撮影手段３１０を用い、試料（背面板３７０）と撮影手段３１０とを相対的に移動させることにより、試料３７０の検査領域全体を透過光３２０Ｂにより撮影するもので、各撮影により得られた撮影画像信号はＡ／Ｄ変換されて撮影画像データとして得られ、画像処理部３４０にて処理され欠陥抽出がおこなわれる。尚、検査領域全てを撮影するため、撮影は、通常、移送部３３０により試料３７０を所定の一方向（太線矢印方向）に移動させながら行うが、撮影のタイミングはエンコーダ３８０にて行う。
尚、図３中、３００は撮影検査装置、３１０は撮影手段、３２０は照明手段、３２０Ａは照明光、３２０Ｂは透過光、３２１は拡散板、３３０は移送部、３４０は画像処理部、３５０はモニター、３６０は制御部、３７０は背面板、３８０はエンコーダ、３８１は信号検出用ヘッド、３８５は信号検出部である。
電極配線は、例えば、図２に示すような絵柄を持つ。このため、周期性パターンとして扱うことができるストライプ部２２３に関しては、隣接する電極配線に対応する画像データ間で比較することにより、欠陥箇所を抽出することはできる。
周期性パターンとして扱うことができない端子部（引出し部とも言う）（図２の２２５）等については、撮影により得られた画像データに対し、デザインルールに基づき、順次、収縮処理、膨張処理をあるいは順次、膨張処理、収縮処理を施し（これをデザインルールチェック（ＤＲＣ）処理とも言う）、得られた画像データと元の撮影画像データとを比較することにより、欠陥箇所を抽出することができる。
即ち、デザインルールにより限界がある所定サイズ以下の断線、短絡、凹欠陥、凸欠陥等の形状不良については、短絡や凸欠陥は順次、収縮処理、膨張処理を施すことにより、撮影画像データから形状不良を除去でき、断線や凹欠陥は順次、膨張処理、収縮処理をを施すことにより、撮影画像データから形状不良を除去できることを利用した欠陥抽出である。
尚、ここでいう画像データ間の比較とは、画素単位で差をとり、差分画像データを得ることで、得られた差分画像データについては、通常、微分処理等の欠陥箇所強調処理を行った後、所定の不良検出レベルと比較することにより、欠陥箇所が抽出される。
差分画像データを得ることにより撮影画像データに含まれる、照明ムラ、撮像面の感度ムラ等に起因するゆるやかな信号変化（シェーディング）や撮影に基づく固定のムラ（光学系へのゴミ付着等に基づく局部的ムラ等）は除かれる。ビデオ信号回路等により発生するランダムノイズについては、同一箇所での撮影を複数回（Ｎ回）行い、それぞれの画像データを画素毎に加算して平均したものをその箇所における画像データとすることにより除くことができる。ビデオ信号等で発生するランダムノイズは１／Ｎ１／２  となる。
【００１３】
次いで、このようにして、検出された全ての欠陥箇所に対し、必要に応じ、修正を施す。（Ｓ１２０）
修正は、断線の場合は、導電性のペーストを断線部に塗布し、これを焼成する。また、短絡の場合は、その部分を除去する処理を行う。
形状欠陥部についても同様にして、所定の形状に合わせる。
【００１４】
次いで、このようにして修正された、電極配線について、更に、図４に示すようなプローブ４１０を用いるプローブ検査法により、各電極配線の断線、短絡を検査し（Ｓ１３０）、検査結果がＯＫ（良判定）のものだけを、次（下流）のプロセスに流す。（Ｓ１４０）
そして、検査結果がＯＵＴ（不良判定）のものについては、次（下流）のプロセスに流さずに、その段階で不良品とする。（Ｓ１４５）
【００１５】
電極配線は、例えば、図２に示すような絵柄を持つ場合、２個のプローブを▲１▼と▲２▼の位置の配置し、更に▲３▼と▲４▼に配置して、図４（ｂ）にて説明した方法と同様にして、検査領域の全てについて、各配線の断線、短絡の有無を検査する。
尚、言うまでもなく、▲１▼〜▲４▼の各位置のプローブは、検査する配線のピッチに合わせたものを使用する必要がある。また、電極配線の絵柄によっては、▲１▼、▲２▼に使用するプローブを、▲４▼、▲３▼の位置のプローブとして用いることもできる。
尚、図２中のＹ方向は、ストライプ部２２３に沿う方向で、Ｘ方向はこれに直交する方向で、且つ背面板（ガラス基板）２３１０の面に沿う方向である。▲１▼〜▲４▼の位置のプローブはほぼＸ方向に沿い移動させて検査を行う。
【００１６】
このようにして、検査、修正することにより、不良品が次（下流）のプロセスに流されることを阻止できる。即ち、電極配線不良のものが用いられたＰＤＰを作成するというような無駄の発生が無くなる。
【００１７】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、プラズマディスプレイパネル用の基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の検査、修正方法において、効率的に、且つ確実に、検査対象領域全面の修正すべき欠陥を修正できる検査、修正方法の提供を可能とした。特に、ますますの大型化とセルの微細化が進むプラズマディスプレイパネル用の電極配線を有する基板に有効で、結果、プラズマディスプレイパネル用の基板の量産に対応できるものとしている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の１例のフロー図
【図２】電極配線の絵柄（パターン）を示した図
【図３】撮影方法を説明するための図
【図４】プローブカードを用いた検査方法を説明するための図
【図５】ＰＤＰを説明するための斜視図
【符号の説明】
Ｓ１１０〜Ｓ１４５          処理ステップ
２１０                      背面板（ガラス基板）
２２０                      電極配線
２２３                      ストライプ部
２２５                      端子部（引き込み部）
３００                      撮影検査装置
３１０                      撮影手段
３２０                      照明手段
３２０Ａ                    照明光
３２０Ｂ                    透過光
３２１                      拡散板
３３０                      移送部
３４０                      画像処理部
３５０                      モニター
３６０                      制御部
３７０                      背面板
３８０                      エンコーダ
３８１                      信号検出用ヘッド
３８５                      信号検出部
４１０、４１０Ａ、４１０Ｂ  プローブカード
４１５                      針（端子）
４１５Ａ                    針先端部
４４０、４４１、４４２      電極配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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