(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光取出し窓が形成された概略円柱状のランプ容器と、当該ランプ容器の概略円柱軸上に形成された中心電極を有する誘電体バリア放電ランプであって、
前記ランプ容器の管軸に垂直な断面において、前記中心電極の外側には、径が異なる略同心円に沿って電極が複数形成されており、隣接する電極間には少なくとも一枚の誘電体壁が間装されて、前記中心電極を中心として環状の放電空間が複数形成されることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ。
【請求項２】
前記放電空間は、前記ランプ容器内において連通していることを特徴とする請求項１記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項３】
前記放電空間の少なくとも１つは、他の放電空間と離隔されていることを特徴とする請求項１記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項４】
放電空間において放出される光が、他の放電空間において放出される光とは、最大ピークの波長の領域が異なることを特徴とする請求項３記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項５】
前記放電空間の少なくとも１つは、他の放電空間よりも、前記ランプ容器の管軸方向の長さが長いことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、光化学反応用の紫外線光源として利用される放電ランプの一種で誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成し、該エキシマ分子から放射される光を利用するいわゆる誘電体バリア放電ランプの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
誘電体バリア放電ランプの一形態として、例えば特開平７−２２０６８９号公報に記載のものがある。この公報には、例えば、図９に示すような高出力のランプに関する技術が記載されている。図９は、誘電体バリア放電ランプの管軸方向断面図である。誘電体バリア放電ランプ（以下、単に「ランプ」ともいう。）のランプ容器１は概略円柱状であり、この円柱の一方の底面５となる位置には光取出し窓２が形成されている。ランプ容器１の中心軸と同位置に管軸を有するように、石英ガラス製の外側管３及び内側管４が配置されてランプ容器１の側面が形成されており、この光取出し窓３側には、外側管３の底面部５及び内側管の底面部６が形成されている。つまり、光取出し窓２は外側底面部５で構成されている。なお、ランプ容器１の光取出し窓２とは反対側の底面部分においては、外側管３と内側管４とが溶着部７において周方向に溶着されており、これにより、密閉されたランプ容器１が構成されている。そしてこのランプ容器内に希ガス又は希ガス−ハロゲン等の放電ガスが封入されることにより、断面が環状の放電空間Ａが形成される。なお、８はランプ容器１内にガスを封入する時に使用された排気管の残部である。
【０００３】
ランプ容器１には、内側管５の内周面上に内側電極９が、一方、外側管３の外周面上には外側電極１０が、それぞれ配設されている。つまり一対の電極（９，１０）が、誘電体である外側管３と内側管４、及び、放電空間Ａを挟んで配置されている。なおこの内側電極９及び外側電極１０は、例えば半円筒状の金属板が２枚組み合わされて構成されたものである。係る一対の電極に高周波電源１１より高周波電圧が印加されると、該電極間で誘電体バリア放電が発生して、希ガスのエキシマ光が放射され、例えば希ガスとしてキセノンを用いた場合は、波長１７２ｎｍの真空紫外光が放出される。
【０００４】
ところで、上記同様の高出力ランプにおいては、例えば、図１０に示す形態のものを考えることができる。以下、を説明する。なお、図１０において、先に説明した図９で示したものと構成が同様である個所については、同符号を用いて説明する。
図１０において、略円柱状のランプ容器１の底面５に光取出し窓２が形成されており、その内部に有底円筒状の放電空間Ａが形成されている。ランプ容器１の外周面には放電空間外に、前述の内側電極（９）に構成上対応する中心電極９’が配置されており、これに対向する外側電極１０がランプ容器１の外側管３上に形成されている。中心電極９’と外側電極１０の電極間に高周波電源１１より高周波電圧が印加されると、電極間において誘電体バリア放電が発生して、希ガスのエキシマ光が光取出し窓２から放射されるようになる。
【０００５】
近時、上記構成に係る誘電体バリア放電ランプにおける有用性は増してきており、高効率で、光出力が大きく、放射強度が高いものが要求されている。更に、より広範囲の被照射面を照射できて、かつ、その被照射面における照度分布が均一であるのが望ましいとされている。
【０００６】
エキシマ光は原子の共鳴線と異なり自己吸収がないという特徴があるので、厚みのあるプラズマでも奥の光を取出すことができ、従って、図９、図１０の構成に係る誘電体バリア放電ランプによれば、プラズマ発生空間の厚みを大きくする、つまり、ランプ容器の軸方向の長さを大きくすることで一層放射強度の高いランプとすることが理論的に可能である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図９の構成に係る誘電体バリア放電ランプでは、ランプ容器１における内側管４の内部空間Ｂにおいては放電が発生しないため、この内部空間Ｂにおけるプラズマの厚み（つまり、放電空間の長さ）が被照射面からみて実質ゼロになり、光取出し窓２からの放射照度の分布は極めて不均一になってしまう。
【０００８】
一方の図１０の構成係る誘電体バリア放電ランプは、プラズマ発生空間の厚みがゼロになる部分が、図９の構成に係るランプよりも小さいので、放射照度のむらが少なくてすむ。しかしながら、この構成に係るものでは、外側電極１０の表面積に対して中心電極９’の表面積が格段に小さいために各々電極を覆う誘電体の放電空間側表面積の差異が大きくなり、結果、誘電体の単位面積あたりに付与される電荷の差が大きくなるので放電が不安定になる。また、十分な光出力が得られない。
【０００９】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的とするところは、高効率で光出力が高く、更には、より広範囲の被照射面を照射できて、被照射面における放射照度が均一な誘電体バリア放電ランプを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本願発明の誘電体バリア放電ランプは、光取出し窓が形成された概略円柱状のランプ容器と、当該ランプ容器の概略円柱軸上に形成された中心電極を有する誘電体バリア放電ランプであって、前記ランプ容器の管軸に垂直な断面において、前記中心電極の外側には、径が異なる略同心円に沿って電極が複数形成されており、隣接する電極間には少なくとも一枚の誘電体が間装されて、前記中心電極を中心として環状の放電空間が複数形成されることを特徴とする。
【００１１】
また、上記誘電体バリア放電ランプは、放電空間がランプ容器内において連通していることを特徴とする。
【００１２】
また、上記誘電体バリア放電ランプは、放電空間の少なくとも１つは、他の放電空間と離隔されていることを特徴とする。
【００１３】
また、上記誘電体バリア放電ランプは、放電空間において放出される光が、他の放電空間において放出される光とは、最大ピークの波長の領域が異なることを特徴とする。
【００１４】
また、上記誘電体バリア放電ランプ放電空間の少なくとも１つは、他の放電空間よりも、ランプ容器の管軸方向の長さが長いことを特徴とする。
【００１５】
【作用】
本発明によれば、ランプの断面方向の全域で放電を生じ、従って被照射面における放射照度はその中心においても低下するような問題がない。電極を覆う誘電体の単位面積あたりに付与される電荷の差が小さいので放電が安定し、かつ、光出力も大きい。更には被照射面を拡大することが可能となる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の第一の実施形態を説明する図であり（ａ）はランプ容器の管軸方向断面、（ｂ）は（ａ）中のＬ−Ｌ’断面図である。誘電体バリア放電ランプ（以下、簡単に「ランプ」ともいう）におけるランプ容器２０は例えば誘電体である石英ガラスからなり、全体形状が概略円柱状で、その一方の底面２１において光取出し窓３０が形成され、内部にはキセノンガスが封入されている。ランプ容器２０の側面は円筒状の外側管２２により構成されており、該ランプ容器１内には、外側管２２と中心軸が略同軸で、かつ、外側管２２よりも径が小さい２枚の円筒管状の誘電体２３ａ，２３ｂからなる内側管２３が、ランプ容器２０における他方の底面に支持されてランプ容器２０内に中空に保持された状態で配置されている。これらの誘電体２３ａ，２３ｂは、例えば石英ガラスからなる。
【００１７】
ランプ容器２０の略中心軸上には、例えば、棒状金属よりなる中心電極４０が配置されている。一方、ランプ容器２０の外側管２２の外表面上には半円筒状の板状金属が２つ組合されることにより、外側電極４１が形成されている。
また、内側管２３の２枚の誘電体２３ａ，２３ｂの間には、ランプ容器２０内においてその全体が覆われるように、例えば金属箔からなる内側電極４２が気密に埋設されており、従って、中心電極４０と外側電極４１の間に、各電極との間に少なくとも１枚の誘電体の壁（２３ａ，２３ｂ，２２）を挟んで内側電極４２が配置された状態になっている。
【００１８】
上述した電極（４０，４１，４２）は、高周波電源５０に接続されており、例えば、中心電極４０と外側電極４１を接地電極とし、内側電極４２に高周波電圧を印加すると、中心電極４０と内側電極４２の間の放電空間Ｓ１において誘電体２３ａを介して誘電体バリア放電が発生し、内側電極４２と外側電極４１の間の放電空間Ｓ２において誘電体２３ｂ及び外側管２２を介して誘電体バリア放電が発生する。これら、放電空間Ｓ１及び放電空間Ｓ２で発生した真空紫外光が光取出し窓３０を透過して外部に放出される。
【００１９】
なお、放電空間Ｓ１及び放電空間Ｓ２とはランプ容器２０における光取出し窓２１の近傍において連通しており、ランプ容器２０内に単一の放電ガスを封入して光取出し窓３０から波長領域が単一の真空紫外光を放出させる場合は、ガスの封入作業を簡単に行える。
【００２０】
本発明に係る誘電体バリア放電ランプの製造方法を、具体的数値を用いて説明する。中心電極（４０）は例えば外径が２ｍｍのタングステン棒より構成される。上記第一の実施形態では中心電極（４０）は該電極の構成材料が放電空間に露出した形態となっているが、石英ガラスなどの誘電体で表面を被覆してもよい。
【００２１】
内側管（２３）を構成する２枚の誘電体（２３ａ，２３ｂ）は、一方の外径が他方の内径よりも僅かに小さくなるような、管経が僅かに異なる２本の石英ガラス管が使用される。例えば、中心電極（４０）側に配置される誘電体２３ａ用には厚さ１ｍｍ、内径１１ｍｍ、外径１３ｍｍの石英ガラス管が、他方の外側電極（４１）側に配置される誘電体２３ｂには厚さ１ｍｍ、内径１４ｍｍ、外径１６ｍｍの石英ガラス管が、それぞれ使用される。管径の大きい一方の石英ガラス管の内部に、予め内側電極用のモリブデン箔が外周面上に添設された他方の石英ガラス管を挿通して、二重のガラス管とする。この二重石英ガラス管の一端においてガラス管の周縁部同士を周方向に溶着して閉塞したのち、他端部から２本の石英ガラス管の隙間を真空状態としながら二重石英ガラス管石英ガラスをバーナーで焼きこむ。これによりモリブデン箔が気密に埋設された内側管用の石英ガラス構造体が形成される。
【００２２】
外側管（２２）は、例えば、厚さ２ｍｍ、内径３６ｍｍ、外径４０ｍｍの一方が開放された有底筒状の石英ガラス管よりなり、その底面において、光取出し窓が形成される。この外側管（２２）用の石英ガラス管の内部に、この外側管（２２）用の石英ガラス管の略中心軸上に前記中心電極用のタングステン棒をそして内側管用石英ガラス構造体を同軸に配置して、反光取出し窓側である開放端側において互いに加熱、溶着されることにより固定されて、ランプ容器（２０）の略全体が構成される。
このランプ容器（２０）の一部には排気管が取付けられており、ランプ容器（２０）の内部が排気された後、例えば、放電ガスとしてキセノンガスが約５０ｋＰａ程度封入され、封止される。図１中の６０は排気管残部である。
このようにして製作したランプ容器（２０）の外表面上の所定個所に外側電極（４１）が添設される。
【００２３】
以上の構成に係る誘電体バリア放電ランプによれば、被照射物側からランプを見たときのプラズマの厚みがゼロになる部分を小さくすることができて光取出し窓からの真空紫外光の放射照度を均一にすることができ、かつ、各電極間の放電ギャップも小さく、各電極を覆う誘電体の表面積の差を小さくすることができて誘電体バリア放電を安定して発生させることができるため放電が不安定になることを防止することができる。その結果、光取出し窓から見たときの放射照度の空間分布が均等でかつ大出力の誘電体バリア放電ランプを提供することができるようになる。
【００２４】
図２は、本発明の第二の実施形態を説明する図であり（ａ）はランプ容器の管軸方向断面図、（ｂ）は（ａ）中のＬ−Ｌ’断面図であり、上述した第一の実施形態と構成上同様である個所については、図１と同符号で示している。即ち、ランプ容器２０は概略円柱状で、全体が誘電体からなりランプ容器２０の底面２１により光取出し窓３０が形成され、該ランプ容器２０と、当該ランプ容器２０の略中心軸上に形成された中心電極４０と、該ランプ容器２０の側面に沿って設けられた外側電極４１と、を有し、前記中心軸に垂直な断面において、中心電極４０と外側電極４１との間に各電極と少なくとも一枚の誘電体壁を挟んで、中心電極４０と対極となる内側電極４２が配設されている。そして、略環状の放電空間Ｓ１とＳ２が形成されている。
【００２５】
この第二の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプが、第一の実施形態に係るものと相違する点は、ランプ容器２０が内側管２３を構成する誘電体２３ａ，２３ｂにより完全に２つの放電空間に分けられている点である。従って、中心電極４０と内側電極４２により形成される放電空間Ｓ１と、内側電極４２と外側電極により形成される放電空間Ｓ２において、放電ガスの種類や封入圧等を適宜に変更することができる。例えば、それぞれの放電空間Ｓ１，Ｓ２の放電ギャップや電極面積の比などの条件において、最も発光効率が高くなるようにそれぞれガスの封入圧を最適化し、光取出し窓３０全体において最も高い光出力が得られるランプとすることができる。また、放電空間Ｓ１と放電空間Ｓ２のガスの封入圧を変え、発光効率をコントロールすることで、光取出し窓３０全体において均一な光が放射されるようにすることもできるし、従来型のランプとは逆に、光取出し窓３０の中心側、つまり内側光取出し窓３０ａ側においてより高い光出力が得られるようにすることも可能になる。また、放電空間Ｓ１と放電空間Ｓ２における放電ガスの種類を変えることによれば、内側光取出し窓３０ａと外側光取出し窓３０ｂとで、異なる波長の光を放出させることも可能である。なおこの実施形態では、放電空間Ｓ１に放電ガスを封入するための内側排気管残部６１と放電空間Ｓ２に放電ガスを封入するための外側排気管残部６２とが形成される。
なお、同図に示すように中心電極４０が例えば石英ガラスなどからなる誘電体層２４により被覆されていてもよい。
【００２６】
第二の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプによれば、光取出し窓からの真空紫外光の放射照度を均一にすることができると共に、各電極間の放電ギャップを小さくすることができて、各電極を覆う誘電体の表面積の差を小さくすることができる。その結果、誘電体バリア放電を安定して発生させることができて放電が不安定になることを防止することができる。
【００２７】
図３は、本発明の第三の実施形態を説明する図でランプ容器の管軸方向断面図である。なお、この実施形態の説明について上記実施形態で説明した構成と同様の構成については、同じ部号を用い説明する。
同図において、誘電体からなるランプ容器２０は、断面が環状の放電空間Ｓ１と放電空間Ｓ２がそれぞれ形成される中空円筒状の内側ランプ容器２０ａ及び外側ランプ容器２０ｂとからなり、外側ランプ容器２０ｂに内部ランプ容器２０ａが挿通された状態で構成されている。同図において、内側ランプ容器２０ａには誘電体層２４で形成された内側管部の内部に中心電極２０が挿通されており、該内側ランプ容器２０ａの外側管部を構成する誘電体２３ａと外側ランプ容器２０ｂにおける誘電体２３ｂで形成された内側管部との間には、内側電極４２が間装されている。更に、ランプ容器２０の外側管２２外表面上に外側電極４１が配設されている。そして、例えば高周波電源５０より高周波電圧が印加されると、中心電極４０と内側電極４２間、及び、内側電極４２と外側電極４１間において、誘電体を介して誘電体バリア放電が発生する。
光取出し窓３０は、内側ランプ容器２０ａの底面２１ａにより形成される内側窓部３０ａと、外側ランプ容器２０ｂの底面２１ｂにより形成される外側窓部３０ｂとからなる。
つまり、ランプ容器２０は概略円柱状で、内側ランプ容器２０ａ及び外側ランプ容器２０ｂとからなるランプ容器２０の底面２１ａ、２１ｂにより光取出し窓３０が形成され、該ランプ容器２０と、当該ランプ容器２０の略中心軸上に形成された中心電極４０と、該ランプ容器２０の側面に沿って設けられた外側電極４１と、を有し、前記中心軸に垂直な断面において、中心電極４０と外側電極４１との間に各電極と少なくとも一枚の誘電体壁を挟んで、中心電極４０と対極となる内側電極４２が配設されている。そして、略環状の放電空間Ｓ１とＳ２が形成されている。
【００２８】
この実施形態においても放電空間Ｓ１と放電空間Ｓ２とが離隔されており、従って、光取出し窓３０における内側窓部３０ａと外側窓部３０ｂとで異なる波長の光を取出すことも可能である。
【００２９】
また、この第三の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプによれば、被照射物側からランプを見たときのプラズマの厚みを最も大きくすることができる。
【００３０】
図４は、本発明の第四の実施形態を説明するランプ容器の管軸方向断面図であり、先の実施形態で説明した構成と同様の構成については同じ符号を用いて説明する。
同図において、ランプ容器２０は、石英ガラスからなる中空の略有底筒状の内側ランプ容器２０ａ及び外側ランプ容器２０ｂとが、外側ランプ容器２０ｂの内部に内側ランプ容器２０ａが挿入されて構成されている。内側ランプ容器２０ａの誘電体層２４により形成された有底筒孔内に中心電極４０が挿入され、該内側ランプ容器２０ａにおける誘電体２３ａと外側ランプ容器２０ｂにおける誘電体２３ｂとの間に、前記中心電極４０が間装されており、更に、ランプ容器２０の外周面上に外側電極４１が配置されて構成されている。
そして、高周波電源５０より、高周波電圧が印加されると中心電極４０と内側電極４２との間、及び、該内側電極と外側電極との間において放電が発生する。光取出し窓３０は、外側ランプ容器２０ｂに連設されてなる底面２１ｂにより形成されている。
【００３１】
従って、この実施形態に係る誘電体バリア放電ランプも、誘電体からなり、光取出し窓３０が形成された概略円柱状のランプ容器２０と、このランプ容器２０の概略中心軸上に形成された中心電極４０と、該ランプ容器２０の側面に沿って設けられた外側電極４１と、を具備しており、中心電極４０と外側電極４２との間に二枚ずつ誘電体の壁を挟んで中心電極と対向する内側電極４２が配設されている。そして、ここでは図示省略するが、略環状の放電空間が複数形成される。
【００３２】
この第四の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプによれば、図９の構成に係る誘電体バリア放電ランプに対しプラズマ発生空間の厚みがゼロになる部分において、放射照度のむらが少ない図１０の構成に係る中心電極を有する誘電体バリア放電ランプが配置された構成になっているので、光取出し窓からの放射照度の分布を均一にすることが可能となる。尚、図１０の構成に係る誘電体バリア放電ランプにおいては、中心電極と対向する電極との距離が短いために、各々電極を覆う誘電体の表面積の差が小さくなり、放電が不安定になることが回避される。
【００３３】
図５は、先に示した図４の構成に係る誘電体バリア放電ランプを発展させた形態であり、本発明の第五の実施形態を説明するランプ容器の管軸方向断面図である。図５中、図４で示した誘電体バリア放電ランプと同様の構成について同一符号を付しその説明は省略する。
内側ランプ容器２０ａと外側ランプ容器２０ｂの管軸方向の長さを異ならせると共に、放電空間Ｓ１と放電空間Ｓ２のプラズマ発生空間の厚みを変えている。同図においては、具体的には内側ランプ容器２０ａの管軸方向の長さを、外側ランプ容器２０ｂの管軸方向の長さよりも長くすると共に、中心電極４０とこれに対向する内側電極４１の長さを長くすることで、光取出し窓３０からの放射照度を中心部においても高くすることができ、従って照度分布を均一にすることが可能となる。
【００３４】
図６は、本発明の第六の実施形態を説明するランプ容器の管軸方向断面図である。また、図７は、図６中Ｌ−Ｌ’で切断した断面図である。尚、図６，７において先に説明した実施形態のものと同様の構成については、同一符号を付し、その説明は省略する。
ランプ容器２０は例えば石英ガラスよりなり、一方の底面２１において光取出し窓３０が形成されている。このランプ容器２０の内部には、中心軸上に誘電体層２４に覆われた中心電極が配置され、該ランプ容器２０の側面２２の外周上には外側電極４１が添設されている。ランプ容器２０の内部には、例えば径が異なる内側管が例えば３本同心円上に円筒の空間を形成して配設されている。ここで内側管（２３１，２３２，２３３）の各々には、ランプ容器２０内の空間に露出しないように、モリブデン箔などからなる内側電極（４２１，４２２，４２３）が埋設されている。そして、例えば高周波電源５０より、小径の内側電極４２１及び最大径を有する内側電極４２３のみ高周波電圧を印加して他の電極（４０、４２２、４１）を接地電極とすると、環状の放電空間（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）が形成されるようになる。
【００３５】
従って、この実施形態に係る誘電体バリア放電ランプにおいても、光取出し窓３０が形成された概略円柱状の誘電体からなるランプ容器２０と、このランプ容器２０の概略中心軸上に形成された中心電極４０と、該ランプ容器２０の側面に沿って設けられた外側電極４１と、を具備しており、中心電極４０と外側電極４２との間に二枚ずつ誘電体の壁を挟んで中心電極４０と対向する内側電極４２１が配設された構成になっている。そして、中心電極４０と対向する内側電極４２１と、外側電極４２との間に、更に、他の内側電極（４２２，４２３）を設けたので、環状の放電空間を多数形成できて、光取出し窓３０を大きくすることが可能となる。また、光取出し窓３０の大きさを変えない場合は、対向する電極間で、誘電体の表面積の差異を小さくすることができ、安定した誘電体バリア放電が得られるようになる。
【００３６】
以上説明した実施形態は、いずれも適宜変更が可能である。例えば、対向する電極間に介在させる誘電体の壁は、少なくとも１枚あれば足りる。また、電圧印加側とする電極も、上述した構成に限定されるものではなく要は対極となる電極が半径方向で交互に配置されていればよい。また、例えば中心電極に係る構成も、棒状部材に限定されるものではなくこれと略同径のコイル状としても良い。無論その他の電極に係る構成も、箔状や板状の金属に限定されるものではなく、コイル状、網状など、適宜変更が可能であり、更に電極は同心円の全周に設ける必要もない。また、内側電極及び外側電極の少なくとも一部に光透過性の部分を設けることで、光取出し窓をランプ容器の側面に形成することも可能である。
【００３７】
【実施例】
本発明の構成に係る誘電体バリア放電ランプを点灯し、中心軸に直行する面の放射照度分布を測定した。
本実施例に用いた誘電体バリア放電ランプは、先に図２で示した、第二の実施形態の構成に係る誘電体バリア放電ランプであり、ランプ容器における外側管は厚さ２ｍｍ、内径３６ｍｍ、外径４０ｍｍであり、内側管は厚さ１ｍｍ、内径１４ｍｍ、外径１６ｍｍの石英ガラス管内に、厚さ１ｍｍ、内径１１ｍｍ、外径１３ｍｍ石英ガラス管が挿入されて、内側電極用のモリブデン箔が気密に埋設されたものである。中心電極は、外径が２ｍｍのタングステン棒であり、この表面を石英ガラスにより厚さ１ｍｍで被覆して構成した。外側電極は外側管の外径に合せて半円筒状に形成された２枚のアルミ板で構成し、いずれの電極もランプ容器内における長さを１３０ｍｍとした。中心電極と内側電極間の放電ギャップ長は３ｍｍ、内側電極と外側電極間の放電ギャップ長は５ｍｍであった。放電空間は何れもキセノンガスを５０ｋＰａ封入した。
窒素雰囲気中で光取出し窓からの距離を３ｍｍとし、放射照度分布を測定した。図８にこの結果を示す。尚、同図において縦軸は、本実施例に係るランプの最高放射照度を１００としたときの相対値である。
【００３８】
〔比較例〕
図９に示した従来型の誘電体バリア放電ランプを点灯し、中心軸に直行する面の放射照度分布を上記実施例と同様の方法で測定して、比較例とした。比較例に係る誘電体バリア放電ランプは、外径が４０ｍｍ、電極の長さは１３０ｍｍであり、放電ギャップ長は４．５ｍｍであった。この結果を、図８に示す。尚、同図において縦軸は、比較例に係るランプの最高放射照度を１００としたときの相対値である。
【００３９】
図８に示すように、実施例に係る誘電体バリア放電ランプによれば、ランプの中心においての照度は約７８％であった。一方、比較例に係る従来型の誘電体バリア放電ランプでは約５８％まで低下した。このように、実施例に係る誘電体バリア放電ランプによれば、約２０％近く照度の差を小さくできて照度分布を均一にすることが可能となることが分った。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、高効率で光出力が高く、更には、より広範囲の被照射面を照射できて、被照射面における放射照度が均一な誘電体バリア放電ランプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施形態を説明する図であり（ａ）はランプ容器の管軸方向断面、（ｂ）は（ａ）中のＬ−Ｌ’断面図
【図２】本発明の第二の実施形態を説明する図であり（ａ）はランプ容器の管軸方向断面図、（ｂ）は（ａ）中のＬ−Ｌ’断面図
【図３】本発明の第三の実施形態を説明する図でランプ容器の管軸方向断面図である
【図４】本発明の第四の実施形態を説明するランプ容器の管軸方向断面図
【図５】本発明の第五の実施形態を説明するランプ容器の管軸方向断面図
【図６】本発明の第六の実施形態を説明するランプ容器の管軸方向断面図
【図７】図６中Ｌ−Ｌ’で切断した断面図
【図８】実施例並びに比較例に係るランプの放射照度分布を測定した結果を示す図
【図９】従来技術に係る誘電体バリア放電ランプの一形態を示す説明図
【図１０】従来技術に係る他の誘電体バリア放電ランプを示す説明図
【符号の説明】
２０    ランプ容器
２１    底面
２２    外側管
２３、２３１、２３２、２３３  内側管
２４    誘電体層
３０    光取出し窓
４０    中心電極
４１    外側電極
４２、４２１、４２２、４２３  内側電極
５０    電源
６０、６１、６２    排気管残部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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