(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に多数の放電電極が配置され放電電極を覆って誘電体層が配置されてなる電極パネルに対して、誘電体層の耐電圧性能を試験する方法であって、
前記電極パネルの誘電体層表面に放電用ガス雰囲気を形成する工程(a) と、
前記放電用ガス雰囲気を介し前記誘電体層との間に間隙をあけて試験電極を配置する工程(b) と、
前記試験電極と前記電極パネルの放電電極との間に電圧を印加する工程(c) とを含む電極パネルの耐圧試験方法。
【請求項２】
前記放電用ガス雰囲気を形成する工程(a) が、前記電極パネルを横断する帯状の領域に放電用ガス雰囲気を形成し、
前記試験電極を配置する工程(b) が、前記放電用ガス雰囲気の帯状領域に沿って試験電極を配置し、
前記電圧を印加する工程(c) が、前記放電用ガス雰囲気の帯状領域および前記試験電極を、前記電極パネルの表面に沿って平行移動させながら、試験電極と前記放電電極との間に電圧を印加する
請求項１に記載の電極パネルの耐圧試験方法。
【請求項３】
前記放電用ガス雰囲気を形成する工程(a) が、前記電極パネルの試験領域全面を覆う放電用ガス雰囲気を形成し、
前記試験電極を配置する工程(b) が、前記電極パネルの試験領域全面と対面する面状の試験電極を配置し，
前記電圧を印加する工程(c) が、前記面状の試験電極と前記電極パネルの放電電極との間に電圧を印加し、
さらに、前記電圧の印加により前記誘電体層の不良個所が発見されれば、前記不良個所に絶縁片を貼着してから、前記電圧を印加する工程(c) を繰り返す工程(d) を備える
請求項１に記載の電極パネルの耐圧試験方法。
【請求項４】
基板の表面に多数の放電電極が配置され放電電極を覆って誘電体層が配置されてなる電極パネルに対して、誘電体層の耐電圧性能を試験する装置であって、
前記電極パネルを保持するパネル保持手段と、
前記電極パネルとの間に間隙をあけ電極パネルを横断して配置され、電極パネルの表面に沿って平行移動する試験腕と、
前記試験腕の軸方向に沿って配置され、前記電極パネルとの間隙に放電用ガスを吹き出すガス吹出手段と、
前記ガス吹出手段による放電用ガスの吹き出し雰囲気中に前記試験腕の軸方向に沿って配置される試験電極と、
前記電極パネルの放電電極と前記試験電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と
を備える電極パネルの耐圧試験装置。
【請求項５】
前記放電電極が、基板の周辺に沿って前記誘電体層から露出して配置された接続部を有し、
前記電圧印加手段が、前記電極パネルの電極の接続部に当接され電圧が印加される接触片と、前記接触片を支持し、接触片を前記電極パネルの外側から前記接続部の上方位置へと進退させる進退機構と、前記接触片を前記接続部に圧接する圧接機構とを有する
請求項４に記載の電極パネルの耐圧試験装置。
【請求項６】
基板の表面に多数の電極が配置され電極を覆って誘電体層が配置されてなる電極パネルに対して、誘電体層の耐電圧性能を試験する装置であって、
前記電極パネルが、前記誘電体層を有する面を向けて装着されるパネル載置台と、
前記パネル載置台に配置され、前記電極パネルの外周辺に沿って当接して電極パネルの表面とパネル載置台の表面との間に間隙を維持する間隙形成枠と、
前記間隙形成枠の内側で前記パネル載置台の表面に開口し、放電用ガスを吹き出すガス吹出口と、
前記電極パネルの表面に対面して前記パネル載置台に配置される面状の試験電極と、
前記電極パネルの電極と前記試験電極との間に電圧を印加する電圧印加手段とを備える電極パネルの耐圧試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電極パネルの試験方法および装置に関し、詳しくは、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）に利用される電極パネルの耐電圧性能を試験する方法と、そのような試験方法を実施するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＤＰは、壁掛式ＴＶなどに利用される画像表示装置である。マトリックス状に配置された小さなセル内でプラズマ放電を起こして、セル内に配置された蛍光体を発光させ、各セルの光点の集合として画像を形成する。色の異なる蛍光体を備えたセルを組み合わせることで、カラー画像を構成できる。
【０００３】
各セルにプラズマ放電を起こさせるための電圧を印加するには、セルの両側に互いに交差する多数の線状電極を配置しておくことで、両側の線状電極の特定の交差点に配置されたセルに電圧を印加する。
ＰＤＰを製造する方法として、セルおよび一方の電極を備えたベースパネルと、他方の電極を備えた透明な前面パネルとをそれぞれ作製したあと、両方のパネルを一体に接合する方法がある。この場合、ベースパネルおよび前面パネルが作製された段階で、それぞれの品質性能を検査して、良品だけをＰＤＰの組み立てに用いるようにしたり、不良品は補修を行うようにしたりすれば、生産性あるいは品質性能の向上が図れ、製品歩留りを高めることもできる。
【０００４】
前面パネルの品質検査試験の一つとして耐圧試験がある。前面パネルは、表面に形成された電極を誘電体層で覆っている。誘電体層は、材料液を塗工して形成される。この誘電体層は、十分な厚みを有し、微細な孔などの欠陥を有しないものでなければならない。前記したセルに電圧が印加されたときに上記誘電体層が印加電圧に耐えることができなければ放電破壊が生じてしまう。
【０００５】
そこで、前面パネルの誘電体層が、要求される耐圧特性を有しているか否かを予め検査しておくことが要求される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記耐圧特性を検査するには、誘電体層の厚みや孔の有無、膜特性などを直接に測定することもできるが、前面パネルの全体にわたって形成された誘電体層に対して上記測定を行うのは大変に面倒である。また、例えば、誘電体層の厚みとＰＤＰに使用したときの機能とは直接には関係がないので、上記試験だけでは、ＰＤＰとしての使用に適しているか否かを正確に判定することは困難である。
【０００７】
本発明の課題は、前記したＰＤＰの前面パネルに対する耐圧試験を、簡単かつ正確に行うことである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る電極パネルの試験方法は、基板の表面に多数の放電電極が配置され放電電極を覆って誘電体層が配置されてなる電極パネルに対して、誘電体層の耐電圧性能を試験する方法であって、以下の工程を含む。
(a) 電極パネルの誘電体層表面に放電用ガス雰囲気を形成する工程。
【０００９】
(b) 放電用ガス雰囲気を介し誘電体層との間に間隙をあけて試験電極を配置する工程。
(c) 試験電極と電極パネルの放電電極との間に電圧を印加する工程。
各構成要件について具体的に説明する。
〔電極パネル〕
ＰＤＰはプラズマパネルディスプレイの略称であり、本発明におけるＰＤＰの基本的な構造は通常のＰＤＰと同様でよい。ＰＤＰの構造には、ＡＣ型とＤＣ型とがあるが、本発明はＡＣ型ＰＤＰに好ましく適用される。
【００１０】
ＰＤＰの具体的構造としては、蛍光体が収容されるセルおよびセルの背面側に互いに平行に配置された多数の線状をなす電極とを備えたベースパネルと、前記ベースパネルの電極と交差する方向に多数の線状をなす電極を互いに平行に備えた前面パネルとで構成される。
前面パネルは、ガラス等からなる透明な基板と、基板の表面に配置され、これも透明な放電用の電極と、この放電電極のうち少なくとも前記セルに配置される部分の全体を覆う透明な誘電体層とを備える。したがって、前面パネルは、ほぼ全体が実質的に透明であり、前記セルにおける発光が前面パネルを通過し、外部に画像として現出される。
【００１１】
なお、放電電極は、前面パネルの基板の表面のうち、前記セルに対応する個所に多数の線状あるいは帯状をなす電極が平行に並んで配置される。この平行部分の電極は、誘電体層で確実に覆っておく必要がある。セルの外側になる個所には、放電電極を外部の電圧印加回路に接続するための接続部を備え、この接続部は誘電体層から露出していてもよい。接続部は、セルに対応する平行な線状部分と電気的に接続されていれば、その配置形状は自由に設定できる。
【００１２】
電極パネルの耐圧試験は、放電電極のうち、前記セルに対応して誘電体層で覆われた部分に対して行い、この領域が試験領域となる。
〔放電用ガス〕
ＰＤＰとして使用する際にセルに充填される放電用ガスと同様のガスが用いられる。具体的には、Ｎe やＨe 、Ｎ2 などを単独あるいは混合して用いることができる。
【００１３】
放電用ガス雰囲気は、電極パネルのうち、耐圧試験を行う部分、あるいは、耐圧試験で電圧が印加される部分を含む範囲に形成する必要がある。放電用ガス雰囲気を、電極パネルの全体に一様に形成しておいてもよいし、試験の進行に伴って必要な個所のみに放電用ガス雰囲気を形成するようにしてもよい。
放電用ガスを蓄えたガスボンベのガス供給源から配管を経て、所定の領域に放電用ガスを吹き出せば、その領域に放電用ガス雰囲気が形成される。
〔試験電極〕
試験電極は、放電用ガス雰囲気を介して誘電体層との間に間隙をあけて放電電極と対向するように配置される。
【００１４】
試験電極の材料は、ステンレス鋼など通常用いられている放電用の電極材料が使用できる。
試験電極と誘電体層との間隔は、ＰＤＰにおけるベースパネルの電極と前面パネルの誘電体層との間隔と同程度に設定しておくことができる。
〔電圧印加〕
試験電極と放電電極との間に電圧を印加するには、それぞれの電極を電源と接続する。
【００１５】
印加する電圧は、ＰＤＰの使用時に加わる電圧、あるいは、パネルの誘電体層が耐える必要のある電圧など、試験の目的に合わせて設定される。具体的には、数百Ｖから数千Ｖの範囲で設定できる。
〔試験腕〕
試験腕は、電極パネルとの間に間隙をあけ電極パネルを横断して配置され、電極パネルの表面に沿って平行移動する。この試験腕の軸方向に沿って試験電極および放電用ガスの吹き出し手段を備えておく。
【００１６】
試験腕の軸方向に沿った帯状の領域に放電用ガス雰囲気を形成し、この放電用ガス雰囲気中で試験電極と電極パネルの放電電極との間に電圧を印加して、その部分の誘電体層の耐圧試験を行うことができる。試験腕を電極パネルに対して平行移動させれば、電極パネルの全体に順次耐圧試験を行うことができる。
ガス吹き出し手段として、帯状に放電用ガスを吹き出すガス吹出口を、試験腕の下面などに備えておけば、帯状の領域に放電用ガス雰囲気を形成することができる。試験腕が平行移動すれば、帯状の放電用ガス雰囲気が電極パネルの全体に順次形成される。
【００１７】
平行移動する試験腕に対して、電極パネルはパネル保持手段で定位置に保持しておく。具体的には、機械的に挟持機構や真空吸着機構など、通常の試験装置における板材の保持手段が採用できる。
上記のような試験腕を用いれば、電極パネルの全面に放電用ガス雰囲気を形成せず、比較的に狭い帯状領域だけに放電用ガス雰囲気を形成すればよく、また、線状または帯状の試験電極だけに電圧を印加すればよい。その結果、放電用ガスの使用量を削減でき、放電に必要な電力の消費も少なくて済む。
【００１８】
特に、不良個所に過大な電流が流れて放電破壊を起こす問題が防げる。これは、電極パネルの誘電体層の不良個所に電圧が印加されると、それまでは試験電極の全体と電極パネルの放電電極との間を流れていた電流が、不良個所だけに集中的に流れ、この集中的な電流で放電破壊を起こす。試験電極と放電電極との対向面積が広いほど大きな電流を流しておく必要があるから、不良個所に集中的に流れる電流の値も大きくなり、放電電極などの電極パネルに放電破壊が生じる可能性が高くなる。しかし、前記した線状あるいは帯状の試験電極であれば、その放電に関与する面積はわずかであるから、試験時に流す電流が少なくて済み、不良個所において集中する電流値も小さくなり、過大な電流による放電破壊が生じ難い。
【００１９】
試験腕で電極パネルの全体を走査すれば、電極パネルの全面に存在する不良個所が全て発見できるので、試験時間は短くて済む。
〔電圧印加手段〕
パネル保持手段で保持された電極パネルの放電電極に電圧を印加するには、以下の電圧印加手段が採用できる。
【００２０】
電極パネルの放電電極の接続部に当接され電圧が印加される接触片と、接触片を支持し、接触片を電極パネルの外側から接続部の上方位置へと進退させる進退機構と、接触片を接続部に圧接する圧接機構とを有する。
接触片は、銅やステンレス鋼などの導体材料からなり、接続部の配置形状に対応する配置形状を有する。圧接されたときにある程度変形して接続部との電気的接触を良好にできるものが好ましい。
【００２１】
接触片は、多数の放電電極毎に配置された多数の接続部に対して、個々の接続部に別々の接触片を当接させてもよいし、複数の接続部に同じ接触片を当接させて同時に電圧を印加することもできる。電極パネルに有する全ての接続部に同時に接触片を当接させて電圧を印加することもできる。
進退機構は、電磁シリンダやカム機構、ラックギア機構など、通常の機械装置における進退作動手段が適用される。
【００２２】
圧接機構は、カムやギアなどの各種動作機構を組み合わせて、接触片を接続部に押し当てることができれば、具体的な機構については通常の電気装置における電極の圧接機構が使用できる。ゴムなどの弾性材料で接触片を接続部に圧接すれば、適度な圧力で確実に圧接させることができる。
〔パネル載置台〕
電極パネルを面状の試験電極を備えたパネル載置台に装着して試験を行うことができる。
【００２３】
パネル載置台には、電極パネルの装着個所の全面にわたって面状の試験電極が配置される。電極パネルは、その誘電体層を有する面を、面状の試験電極との間に間隙をあけて対面させて装着される。
電極パネルと面状の試験電極との間に放電用ガス雰囲気を形成する。パネル載置台の表面に放電用ガスの吹出口を設けることができる。
【００２４】
電極パネルと試験電極との間の間隙を形成するために、間隙形成枠が用いられる。間隙形成枠は、合成樹脂などの絶縁材料からなり、電極パネルの外周辺に沿って当接する位置に配置され、電極パネルと試験電極との隙間を埋める。間隙形成枠を絶縁テープで構成することができる。間隙形成枠が存在すれば、電極パネルと試験電極の間隙を一定に維持できるととせに、間隙形成枠の内側に放電用ガスを確実に溜めることができる。
【００２５】
パネル載置台の試験電極と、パネル載置台に載せられた電極パネルの放電電極との間で電圧を印加する電圧印加手段を備えておく。
上記のようなパネル載置台を用いて耐圧試験を行うには、パネル載置台に装着した電極パネルと試験電極との間に放電用ガスを供給したあと、電極パネルの放電電極と試験電極との間に所定の試験電圧を印加すればよい。
【００２６】
電極パネルの誘電体層に不良個所があれば、不良個所において集中的な放電が生じて発光するので、不良個所の存在が判る。
この方法は、比較的構造の簡単なパネル載置台を使用するだけで、簡単に耐圧試験が行える。
但し、上記方法では、複数個所に不良がある場合にも、最も放電が生じ易い不良個所だけに集中放電および発光が生じるので、その他の不良個所が発見し難い。
【００２７】
そこで、次に説明する絶縁片を用いる方法が適用できる。
〔絶縁片〕
絶縁片は、合成樹脂フィルムなどの絶縁材料からなり、電極パネルの誘電体層に生じる１個の欠陥を覆える程度の面積および形状を有する。通常は、数mm角程度の大きさでよい。絶縁片の片面に粘着層を形成しておけば、電極パネルへの貼着作業が行い易い。
【００２８】
前記した電極パネルの全体と対面する面状の試験電極を用い、電極パネルと試験電極との間に電圧を印加して耐圧試験を行う際に、誘電体層の不良個所が発見されると、その不良個所に絶縁片を貼着してから、再び上記の電圧を印加する工程を繰り返す。
不良個所に絶縁片を貼着すれば、その部分で放電破壊が生じたり集中放電が起きることは無くなる。この状態で、再び電圧の印加を行えば、別の位置に存在する不良個所で集中放電および発光が生じる。発見された不良個所に順次絶縁片を貼着して、電圧の印加を繰り返せば、電極パネルの全体に存在する不良個所の位置を検知することができる。
【００２９】
電極パネルに絶縁片が貼着された個所が不良個所であり、不良個所の絶縁片を剥がして、補修作業を行うことができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
〔ＰＤＰの構造〕
試験に供する電極パネルを含むＰＤＰの概略構造について説明する。
図６に示すように、ＰＤＰは、前面パネル２０とベースパネル１０とを有する。
【００３１】
ベースパネル１０は、基板１２の表面に多数の線状をなす電極１３が間隔をあて平行に並んで配置されている。図６では、紙面を貫く方向に各電極１３が延びている。電極１３は誘電体層１４で覆われ、その上に多数のセル空間１７が設けられた隔壁１６が配置されている。隔壁１６で区切られた各セル空間１７には蛍光体層１８が形成されている。
【００３２】
前面パネル２０は、ベースパネル１０の隔壁１６の上に配置される。透明基板２２の表面に放電電極２４が形成され、放電電極２４を誘電体層２６が覆っている。誘電体層２６がベースパネル１０のセル空間１７に対面している。
図７および図８に示すように、前面パネル２０の放電電極２４は、多数の線状をなす放電電極２４が間隔をあけて平行に配置されている。この放電電極２４が延びる方向は、ＰＤＰを組み立てたときに、前記したベースパネル１０の電極１３が延びる方向とは交差する方向に設定されている。放電電極２４の平行部分は誘電体層２６で完全に覆われている。放電電極２４の端部は誘電体層２６の外側まで延びており、基板２２の外周辺に沿って配置された短冊状の接続部２５に接続されている。
【００３３】
接続部２５は、各放電電極２４毎に設けられているとともに、平行に並んだ放電電極２４…は、交互に左右の外側に配置された接続部２５に接続されている。放電電極２４…と接続部２５とを接続する配線構造は平行ではなくそれぞれが異なる角度で傾斜している。基板２２の両側の外周辺に配置された接続部２５が、交互に中央の放電電極２４…に接続されていることになる。基板２２のそれぞれの外周辺で、複数の接続部２５…がひとまとまりになって隣接して配置され、このような接続部２５…の集まりすなわちブロックが、一定間隔毎に配置されている。
【００３４】
上記した、基板２２と放電電極２４と誘電体層２６を備えた前面パネルすなわち電極パネル２０に対して耐圧試験を行う。
〔第１の実施形態〕
図１〜図３に示す試験装置は、試験腕を備えている。
全体構造
試験機本体３０には、画面サイズ４０インチ相当の電極パネル２０を載置する矩形状の支持台３２を有する。支持体３２の奥側の長手辺に沿って長さ目盛りが表示されたスケール３４が配置されている。支持台３２の上方に試験腕５０が配置される。
【００３５】
試験腕５０の一端は、支持台３２の長手辺の側方で昇降柱６２に支持されており、試験腕５０を上下に昇降させる。昇降柱６２は、支持台３２の側方に沿って配置された摺動部６４に支持され、支持台３２の側方に沿って水平移動する。
その結果、試験腕５０は、支持台３２に支持された電極パネル２０の表面に対して、面と直交する上下方向に移動してその間隙の大きさを調整できる。電極パネル２０を上方を横断した状態で表面に沿って平行移動する。なお、電極パネル２０に配置された放電電極２４の平行部分に対して、試験腕５０は各放電電極２４を横断する方向に配置され、放電電極２４の延びる方向と同じ方向に平行移動することになる。試験腕５０の平行移動速度は、５mm/sec〜５０mm/sec程度の範囲で調整できる。
【００３６】
支持台３２の短手辺の外側には、電圧印加部４０を備える。電圧印加部４０が電極パネル２０の放電電極２４につながる接続部２５に接触することで、放電電極２４に電圧を印加することができる。
試験機本体３０にはモニタ画面を有する制御盤７０を備え、試験腕５０や電圧印加部４０の作動を含む試験機の動作を制御したり、動作状況を監視したりする。
【００３７】
試験腕
図２に詳しく示すように、試験腕５０は全体が透明なアクリル樹脂で構成されている。
試験腕５０の断面中央にはステンレス板からなり、厚み１mm程度の試験電極８０が配置されている。
【００３８】
試験電極８０を挟んで、試験腕５０の中央にはガス室５４が配置されている。試験腕５０の軸方向の両端で、ガス室５４は試験腕５０の外壁によって閉塞されている。試験腕５０の昇降柱６２への支持側で試験腕５０の壁面にガス供給孔５２が設けられ、図示しない外部のガスタンクあるいはガス配管からガス室５４へと放電用ガスが供給される。放電用ガスには、ＨｅとＮｅの混合ガスが用いられ、ガス供給量は２〜３リットル／分程度である。ガス室５４の中央を横断する試験電極８０にはガス通過孔８２が貫通形成されていて、両側のガス室５４を放電用ガスが流通する。
【００３９】
ガス室５４から試験電極８０の両側に沿って狭いガス通過溝５５が設けられ、ガス通過溝５５の先端は、試験腕５０の下端に配置されたガス保持空間５６に連通している。ガス保持空間５６は、試験電極８０の両側にガス通過溝５５よりも広い幅で設けられている。
ガス室５４からガス通過溝５５を経てガス保持空間５６に供給された放電用ガスは、ガス保持空間５６を充満させたあと、試験腕５０の下端と電極パネル２０の誘電体層２６の表面との間の隙間を通過して、試験腕５０の両側から外部に放出される。
【００４０】
その結果、試験電極８０の下端とその周囲の一定範囲については、放電用ガス雰囲気で覆われることになり、試験電極８０と電極パネル２０の放電電極２４とを、ＰＤＰにおけるセル空間と同様の放電雰囲気に維持することができる。
試験電極８０と放電電極２４とは、配線により電源８４に連結される。試験電極８０は、試験腕５０や昇降柱６２を経て試験機本体３０に備える電源８４に配線接続されている。電源８４は、交流０〜２４ｋＶ程度の範囲で電圧を印加する。
【００４１】
電圧印加部
図３に示すように、電極パネル２０の放電電極２４に連結された接続部２５は、支持台３２の側方に配置された電圧印加部４０を介して前記電源８４に接続される。
電圧印加部４０は、接続部２５の上面に当接し、概略√形に屈曲された銅などの導体材料からなる接触片４２を有する。接触片４２は図示しない配線を経て前記電源８４に接続されている。
【００４２】
接触片４２は、断面円形の加圧ゴム４１を介してシーソー板４４に支持されている。シーソー板４４は、中央の支持軸４３を中心にして前後の両端が上下反対方向に旋回運動を行う。
シーソー板４４の後端下面には、水平方向に進退するアクチュエータ４５の作動部材４９が当接している。作動部材４９は自由回転するローラからなる。作動部材４９が前進するとシーソー板４４を上方に押し上げて旋回させる。シーソー板４４が旋回すると、加圧ゴム４１および接触片４２が下方に移動するので、接触片４２を電極パネル２０の接続部２５に圧接することになる。その結果、接触片４２と接続部２５との良好な電気接続が達成される。
【００４３】
アクチュエータ４５およびシーソー板４４の全体を支持する摺動台４６が、試験機本体３０に固定されたアクチュエータ４７に進退自在に取り付けられている。
アクチュエータ４７を作動させて、摺動台４６を進退させると、接触片４２が電極パネル２０の接続部２５の上方に配置したり、接触片４２を電極パネル２０の外側へと退かせたりすることができる。電極パネル２０の取り付けおよび取り外しを行う際には、摺動台４６は電極パネル２０から離れた後退位置に配置してき、電極パネル２０に電圧印加する際には、摺動台４６を電極パネル２０に近づける。
【００４４】
なお、接触片４２は、図７に示す電極パネル２０の平面形状において、各接続部２５毎に別々の接触片４２が当接するようになっていてもよいし、隣接して配置された各群の接続部２５…を一括して一つの接触片４２で接触させてもよい。左右の接続部２５、２５には、それぞれの側に配置された電圧印加部４０の接触片４２が接触することになる。
【００４５】
試験動作
まず、電極パネル２０を試験機本体３０の支持台３２に載せる。試験腕５０を電極パネル２０の上方に配置し、電極パネル２０の接続部２５に電圧印加部４０の接触片４２を当接させる。
図２に示すように、試験電極８０が電極パネル２０の誘電体層２６よりも少し上方に配置された状態で、試験腕５０のガス保持空間５６に放電用ガスを吹き出させる。試験電極８０と誘電体層２６との間隙は１mm前後である。この状態で、試験電極８０と放電電極２４との間に、所定の試験電圧を印加する。
【００４６】
試験電極８０と放電電極２４の間には一定の弱い放電が生じるが、誘電体層２６に孔があいていたり薄くなっていたりすると、その部分で試験電極８０と基板放電電極２４との間に集中放電が起こる。試験電極８０と放電電極２４との間に集中放電に伴う局部的な発光現象も生じる。全体が透明な試験腕５０を透して、上方から発光を目視することが可能である。また、集中放電が生じると、電源回路における電圧値や電流値に変動が生じるので、この電圧や電流の変動を検知することで、誘電体層２６の不良発生を知ることもできる。
【００４７】
試験腕５０を、電極パネル２０の表面全体を走査するように平行移動させながら、前記した電圧の印加を行えば、電極パネル２０の全体について誘電体層２６の耐圧試験を行うことができる。
放電の発生によって誘電体層２６の不良が検知された位置を電子的に記憶させたり記録させたりしておけば、試験後に、不良位置に誘電体の補修塗工などの補修作業を行うことができる。
【００４８】
不良位置の記録は、前記した目視により発光の生じた位置に手作業でマーキングを施すことでも行える。このマーキングを機械的あるいは自動的に行わせることもできる。電極パネル２０の長手辺に沿って配置されたスケール３４の目盛りを読み取って記録することもできる。
また、前記した電圧や電流の局部的な変動と、そのときの試験腕５０の移動位置とを、試験機本体３０の制御コンピュータなどに記憶させておけば、電極パネル２０の長手辺に沿った方向における不良位置を電子データとして取得し、補修工程で利用することができる。
【００４９】
さらに、電極パネル２０の短手辺に沿って平行配置された各放電電極２４に対して、一端側から他端側へと順番に電圧を印加し、前記不良現象が発生したときに電圧を印加していた放電電極２４の位置データと、そのときの試験腕５０の位置データとを組み合わせれば、電極パネル２０の長手辺および短手辺の両方に沿った座標位置が求められ、不良位置の座標を特定することも可能である。
【００５０】
後述する実施形態で用いる絶縁片１２０を不良位置に貼り付けて目印にしておくこともできる。
〔第２の実施形態〕
図４および図５には、面状の試験電極を用いる試験装置を示している。
装置構造
全体が矩形をなすパネル載置台１００の上面には、全面にわたってＣｒ金属層からなる試験電極１０２が配置されている。試験電極１０２は電源８４に接続されている。
【００５１】
試験電極１０２の上には、パネル載置台１００の外周辺に沿って、ビニールテープなどの絶縁材料からなる帯状の間隙形成枠１１６が配置されている。
間隙形成枠１１６よりも内側のパネル載置台１００表面には、ガス吹出口１１５が配置され、ガス吹出口１１５はガス配管１１４を経て放電用ガス供給源に接続されている。
【００５２】
パネル載置台１００の長手辺の側面には、上方に突出する位置決め片１１８、１１８が立設されている。
電極パネル２０が、パネル載置台１００の上に装着される。電極パネル２０の一側辺を位置決め片１１８、１１８に当接させた状態で、パネル載置台１００の上に重ね合わせるようにすれば、電極パネル２０の外周辺が丁度、間隙形成枠１１６の上に載るように位置決めされる。
【００５３】
図５に示すように、電極パネル２０の誘電体層２６とパネル載置台１００の試験電極１０２との間には、１mm前後の隙間があく。電極パネル２０とパネル載置台１００との間には外周を間隙形成枠１１６で囲まれた空間が生じる。この空間にガス吹出口１１５から放電用ガスを吹き出して充満させる。電極パネル２０と間隙形成枠１１６との間の気密性を高めるには、両者を挟み付けたり互いに押圧したりする機構を備えておくことができる。
【００５４】
なお、図５において、図中右側の放電電極２４および誘電体層２６が挟まれている個所と、図中左側の放電電極２４および誘電体層２６がない個所では、間隙形成枠１１６の厚みが大きく違っている。これは、各部の構造を判りやすく表示するための表現であり、実際の試験装置では、間隙形成枠１１６の厚みに比べて放電電極２４および誘電体層２６の厚みは極めて薄く、間隙形成枠１１６の材料自体は枠全体で同じ厚みのものを用いても構わない。通常は、間隙形成枠１１６の材料の弾性変形によって、放電電極２４および誘電体層２６の有無による厚みの違いを吸収することができる。
【００５５】
なお、図５の状態で、電極パネル２０と間隙形成枠１１６との間の空間に配置される放電電極２４あるいは放電電極２４と接続部２５とを結ぶ配線路は、誘電体層２６で全てが覆われているようにする。間隙形成枠１１６で塞がれた部分や間隙形成枠１１６の外側に出る部分においては、電極構造が誘電体層２６で覆われていなくても構わない。
【００５６】
電極パネル２０の放電電極２４に連結された接続部２５には、着脱自在なクリップ状の接続端子１０８が接続される。この接続端子１０８は、電極パネル２０に配置された全ての放電電極２４に対して同時に接続される。電極端子１０８は配線を介して電源８４に接続される。
電極パネル２０のうち、接続端子１０８が取り付けられた側とは反対側の側辺にはアース端子１０４が設けられる。アース端子１０４にはアース線１０６が接続され、アース線１０６は接地される。
【００５７】
試験動作
パネル載置台１００の上に電極パネル２０を装着して、両者の間隙に放電用ガスを充満させた状態で、電源８４から試験電極１０２と基板放電電極２４との間に所定の試験電圧を印加する。試験電圧は、±１０００Ｖ程度の範囲に設定される。
【００５８】
放電用ガスが充満した空間で、放電電極２４を覆う誘電体層２６に孔ｘや厚みの薄い個所があると、基板放電電極２４と試験電極１０２との間で集中放電が生じ、その部分が発光する。透明な電極パネル２０の上方から目視すれば、発光位置すなわち不良の発生位置を特定することができる。
不良個所には、電極パネル２０をパネル載置台１００から持ち上げて、電極パネル２０の下面になる誘電体層２６の表面にポリイミドテープなどの絶縁材料からなる約４mm×４mm程度の小さな絶縁片１２０を貼着する。
【００５９】
絶縁片１２０が貼着された電極パネル２０を、前記同様にして再びパネル載置台１００に装着し、放電用ガスを供給したあと、所定の試験電圧を印加する。再び不良個所が出れば、前記同様の絶縁片１２０の貼着を行う。
このような工程を、不良個所が発生しなくなるまで繰り返す。
その結果、電極パネル２０に有する全ての不良個所を発見することができる。これは、最初の電圧印加で発光する不良個所は、最も耐電圧性の低い個所であり、この不良個所を絶縁片１２０で塞げば、次の電圧印加では、その次に耐電圧性の低い個所が発光する。このような動作を繰り返すことで、耐電圧性の低い不良個所が順番に見つけ出される。
【００６０】
試験を終えた電極パネル２０は、絶縁片１２０が貼着された個所に、絶縁片１２０を取り除いてから誘電体材料を塗工するなどして補修作業を行えば、全ての不良個所を補修して、必要な耐圧性能を備えた電極パネル２０を得ることができる。
【００６１】
【発明の効果】
本発明の電極パネルの耐圧試験方法および装置は、電極パネルの放電電極を覆う誘電体層の表面に放電用ガス雰囲気を形成して、試験電極と放電電極との間に電圧を印加するので、ＰＤＰを組み立てたときの実際の使用状態に近い環境で耐圧試験を行うことができる。その結果、電極パネルの良否を正確かつ簡単に試験することが可能になる。
【００６２】
前記した試験腕などを用い、放電用ガス雰囲気の帯状領域と試験電極とを、電極パネルの表面に沿って平行移動させながら、試験電極と放電電極との間に電圧を印加すれば、電極パネルの全体を能率的にしかも確実に試験することができる。しかも、電極パネルのうち試験電極と対面する一部のみに電流を流せばよいので、比較的に小さな電力しか消費されず、不良個所で集中放電が生じたときに過大な電流が流れることもないので、放電電極などの電極パネルに放電破壊が起こり難い。
【００６３】
電極パネルの試験領域の全体に放電用ガス雰囲気を形成して面状の試験電極で電圧を印加すれば、最も耐圧性能の弱い不良個所が迅速に発見できる。発見した不良個所に絶縁片を貼着して、同様の試験を繰り返せば、耐圧性能の弱い不良個所を順番に見つけることができる。試験電極等に複雑な動作を必要としないので、簡単な装置で容易に試験が行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を表す試験装置の全体斜視図
【図２】走査バーの詳細構造を示す断面図
【図３】基板の電極への電圧印加機構を示す一部断面側面図
【図４】別の実施形態を表す試験装置の全体斜視図
【図５】要部拡大断面図
【図６】ＰＤＰの構造を説明する断面図
【図７】基板の電極配置を示す平面図
【図８】基板の断面図
【符号の説明】
２０  電極パネル（前面パネル）
２２  基板
２４  放電電極
２５  接続部
２６  誘電体層
３０  試験機本体
４０  電圧印加部
５０  試験腕
５４  ガス室
５５  ガス通過溝
５６  ガス保持空間
８０  試験電極
８４  電源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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