(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャップベースと、前記キャップベースの表面に形成した吸収材収容部と、前記吸収材収容部内に配置された機能液吸収材と、前記機能液吸収材を押さえる吸収材押さえと、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面と密着するように形成され且つ前記吸収材押さえを押さえるシール部材と、前記吸収材押さえを押さえた前記シール部材を前記キャップベースに押圧固定するシール固定部材と、を備え、
前記シール固定部材は、環状に形成され、前記シール部材を押圧した状態で前記キャップベースにネジ止め固定されていることを特徴とするヘッドキャップ。
【請求項２】
キャップベースと、前記キャップベースの表面に形成した吸収材収容部と、前記吸収材収容部内に配置された機能液吸収材と、前記機能液吸収材を押さえる吸収材押さえと、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面と密着するように形成され且つ前記吸収材押さえを押さえるシール部材と、前記吸収材押さえを押さえた前記シール部材を前記キャップベースに固定するシール固定部材と、を備え、
前記シール部材は、前記ノズル面に密着する環状突出部と、前記吸収材押さえを押さえる環状押圧部と、前記キャップベースに固定される環状固定部と、を有して一体に形成され、
且つ前記環状突出部の裏面側に前記環状押圧部が形成されていることを特徴とするヘッドキャップ。
【請求項３】
前記シール固定部材は、環状に形成され、
前記シール部材の前記環状固定部を前記キャップベースに押圧した状態で、前記キャップベースにネジ止めされていることを特徴とする請求項２に記載のヘッドキャップ。
【請求項４】
キャップベースと、前記キャップベースの表面に形成した吸収材収容部と、前記吸収材収容部内に配置された機能液吸収材と、前記機能液吸収材を押さえる吸収材押さえと、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面と密着するように形成され且つ前記吸収材押さえを押さえるシール部材と、前記吸収材押さえを押さえた前記シール部材を前記キャップベースに固定するシール固定部材と、前記キャップベースを密着方向にスライド自在に保持するキャップホルダと、前記キャップホルダを受けとして前記キャップベースを密着方向に付勢するばねと、を備え、
前記キャップホルダには、前記ばねに抗して前記キャップベースを僅かに傾いた状態で位置規制する規制突部が形成されていることを特徴とするヘッドキャップ。
【請求項５】
前記吸収材収容部は、前記機能液吸収材が充填される凹溝と、前記凹溝を画成すると共に前記キャップベースから突出した環状周縁部とから成り、
前記吸収材押さえの前記周縁部は、前記環状周縁部に着座していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のヘッドキャップ。
【請求項６】
前記吸収材押さえは、薄肉に形成されてなり、
前記機能液吸収材の周縁部を押さえる枠状部と、中間部を押さえる桟状部とを有していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のヘッドキャップ。
【請求項７】
前記枠状部と前記桟状部とは、一体に形成されていることを特徴とする請求項６に記載のヘッドキャップ。
【請求項８】
前記吸収材押さえは、ステンレスにより形成されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドキャップ。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載のヘッドキャップと、
前記機能液滴吐出ヘッドと、
前記機能液滴吐出ヘッドに対し前記ヘッドキャップを相対的に離接させる離接機構と、
前記ヘッドキャップに接続され、密着させた前記ヘッドキャップを介して前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引機構と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、カラーフィルタの基板上に多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、基板上の多数の絵素ピクセルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、電極上に多数の蛍光体を形成する電子放出装置の製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴とする電子放出装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記背面基板に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴とするＰＤＰ装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、電極上の多数の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記泳動体材料を選択的に吐出して多数の前記泳動体を形成することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、基板上に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１６】
前記多数のフィルタエレメントを被覆するオーバーコート膜が形成されており、
前記フィルタエレメントを形成した後に、
前記機能液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記コーティング材料を選択的に吐出して前記オーバーコート膜を形成することを特徴とする請求項１５に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１７】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬの製造方法。
【請求項１８】
多数の前記ＥＬ発光層と前記基板との間には、前記ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形成されており、
前記機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を選択的に吐出して多数の前記画素電極を形成することを特徴とする請求項１７に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項１９】
多数の前記ＥＬ発光層を覆うように対向電極が形成されており、
前記ＥＬ発光層を形成した後に、
前記機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を選択的に吐出して前記対向電極を形成することを特徴とする請求項１８に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項２０】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するスペーサ形成方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを少なくとも一方の前記基板に対し相対的に走査し、前記粒子材料を選択的に吐出して前記基板上に前記スペーサを形成することを特徴とするスペーサ形成方法。
【請求項２１】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、基板上に金属配線を形成する金属配線形成方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状金属材料を選択的に吐出して前記金属配線を形成することを特徴とする金属配線形成方法。
【請求項２２】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、基板上に多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レンズ材料を選択的に吐出して多数の前記マイクロレンズを形成することを特徴とするレンズ形成方法。
【請求項２３】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、基板上に任意形状のレジストを形成するレジスト形成方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レジスト材料を選択的に吐出して前記レジストを形成することを特徴とするレジスト形成方法。
【請求項２４】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記光拡散材料を選択的に吐出して多数の前記光拡散体を形成することを特徴とする光拡散体形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタのインクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドに密着し、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルを保全するヘッドキャップおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンタ等の液滴吐出装置では、運転停止時に、空気に晒されて増粘した機能液により機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルに目詰まりが生じるおそれがある。このため、液滴吐出装置には、機能液滴吐出ヘッドのノズル面を封止し、且つ吐出ノズルから増粘した機能液を吸引により取り除くキャップユニットが併設されている。キャップユニットは、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着してこれを封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップを機能液滴吐出ヘッドに離接させる昇降機構と、ヘッドキャップを介して吐出ノズルから機能液を吸引する吸引ポンプとを備えている。
例えば、長時間の運転停止時には、機能液の乾燥を防止すべくヘッドキャップを機能液滴吐出ヘッドに押し付けて、いわゆるキャッピングを行い、且つ運転開始時には、この状態で吸引ポンプを駆動して機能液を吸引する、いわゆるクリーニングが行われる。また、装置によっては、ヘッドキャップを機能液滴吐出ヘッドから僅かに離間させておいて、機能液滴吐出ヘッドの全吐出ヘッドから機能液を吐出する、いわゆるフラッシング（空吐出）が行われる。
このような機能液滴吐出ヘッドの保全に用いられるヘッドキャップは、表面に凹溝を形成したキャップベースと、凹溝に充填した機能液吸収材と、ノズル面を封止するシールパッキンとを備えている。また、ヘッドキャップには、機能液を含んで膨潤する機能液吸収材を押さえるべく、吸収材押さえが組み込まれている。
【０００３】
そして、従来の吸収材押さえは、キャップ本体に一体に形成した複数の押さえ突起の先端を熱カシメにより潰して、形成されている。すなわち、機能液吸収材を複数箇所で貫通した押さえ突起を、加熱加圧変形させることで機能液吸収材を複数箇所で押さえるようにしている（例えば、特許文献１および２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−６２２０２号公報（第６頁、図８）
【特許文献２】
特開２００１−３２２２９６号公報（第５頁、図６）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このように構成された従来のヘッドキャップでは、キャップ本体と押さえ突起とが樹脂で一体に形成されているため、機能液吸収材を交換するときに、ヘッドキャップを、全体として交換する必要があった。一方、液滴吐出装置の応用技術では、使用する機能液により、ヘッドキャップを耐食性材料で構成する必要がある。かかる場合に、機能液吸収材のためにヘッドキャップ全体を使い捨てにすると、資源の無駄およびコストの無駄を生ずる。
【０００６】
本発明は、封止動作等の本来の機能を損なうことなく、機能液吸収材を簡単に交換することができるヘッドキャップおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法を提供することをその課題としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のヘッドキャップでは、キャップベースと、キャップベースの表面に形成した吸収材収容部と、吸収材収容部内に配置された機能液吸収材と、機能液吸収材を押さえる吸収材押さえと、機能液滴吐出ヘッドのノズル面と密着するように形成され且つ吸収材押さえを押さえるシール部材と、吸収材押さえを押さえたシール部材をキャップベースに押圧固定するシール固定部材と、を備え、シール固定部材は、環状に形成され、シール部材を押圧した状態でキャップベースにネジ止め固定されていることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、ヘッドキャップの吸収材収容部内に充填された機能液吸収材を吸収材押さえで押さえ、この吸収材押さえをシール部材が押さえているため、シール固定部材をキャップベースから取り外すだけで、各構成部材を個々に分解することができ、且つ順に組み込むことができる。これにより、機能液吸収材あるいは他のヘッドキャップ構成部材のいずれかに劣化や破損が生じたとしても、シール固定部材をキャップベースから取り外すだけで、交換が必要な構成部材のみを個別に且つ容易に交換することが可能である。また、機能液滴吐出ヘッドにヘッドキャップを密着させると、シール部材が吸収材押さえを強く押し付けることになり、機能液吸収材が適切に押さえられて、これが機能液滴吐出ヘッドのノズル面に接触するのを確実に防止することができる。
【０００９】
本発明の他のヘッドキャップは、キャップベースと、キャップベースの表面に形成した吸収材収容部と、吸収材収容部内に配置された機能液吸収材と、機能液吸収材を押さえる吸収材押さえと、機能液滴吐出ヘッドのノズル面と密着するように形成され且つ吸収材押さえを押さえるシール部材と、吸収材押さえを押さえたシール部材をキャップベースに固定するシール固定部材と、を備え、シール部材は、ノズル面に密着する環状突出部と、吸収材押さえを押さえる環状押圧部と、キャップベースに固定される環状固定部と、を有して一体に形成され、且つ環状突出部の裏面側に環状押圧部が形成されていることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、環状突出部に加わる密着力（反力）を、環状押圧部を介してキャップベースが受ける構造となるため、ヘッドキャップを機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたときの密着性を向上させることができ、また、環状固定部をキャップベースとシール固定部材の下面部とで挟持するようにして、シール部材を安定に固定することができるので、キャップベースとシール部材との間の密着性をも向上させることができる。
【００１１】
この場合、シール固定部材は、環状に形成され、シール部材の環状固定部をキャップベースに押圧した状態で、キャップベースにネジ止めされていることが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、ネジを用いることで、シール固定部材をキャップベースに押さえ付けるように強固に固定することができ、シール部材とキャップベースとの間の密着性を向上させることができる。更に、ネジを取り外すだけでヘッドキャップを個々の構成部材に容易に分解することが可能となり、機能液吸収材および他の構成部材に劣化や破損が生じた場合に、交換の対象となる構成部材のみを個々に且つ容易に交換することができる。
【００１３】
本発明の他のヘッドキャップは、キャップベースと、キャップベースの表面に形成した吸収材収容部と、吸収材収容部内に配置された機能液吸収材と、機能液吸収材を押さえる吸収材押さえと、機能液滴吐出ヘッドのノズル面と密着するように形成され且つ吸収材押さえを押さえるシール部材と、吸収材押さえを押さえたシール部材をキャップベースに固定するシール固定部材と、キャップベースを密着方向にスライド自在に保持するキャップホルダと、キャップホルダを受けとしてキャップベースを密着方向に付勢するばねと、を備え、キャップホルダには、ばねに抗してキャップベースを僅かに傾いた状態で位置規制する規制突部が形成されていることを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、キャップベースがばねにより付勢されているため、ヘッドキャップを機能液滴吐出ヘッドに押し付けたときに、シール部材がノズル面に倣って密着する。このため、機能液滴吐出ヘッドのノズル面を確実に封止することができる。また、キャップベースが傾いた状態に位置規制されキャップホルダに取り付けられているので、機能液滴吐出ヘッドからヘッドキャップを引き離すときに、ノズル面に対しシール部材が片側から離れる。このため、ヘッドキャップ内の機能液が飛散するのを防止することができる。
【００１５】
これらの場合、吸収材収容部は、機能液吸収材が充填される凹溝と、前記凹溝を画成すると共にキャップベースから突出した環状周縁部とから成り、吸収材押さえの周縁部は、環状周縁部に着座していることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、キャップベースの環状周縁部とシール部材とで吸収材押さえの周縁部を挟み込むように安定に押さえることができる。このため、シール部材に押さえられた吸収材押さえが、シール部材の内周縁部が吸収材収容部に倒れ込むのを防止することができる。また、ヘッドキャップをノズル面に密着させ吸引動作を行う際に、シール部材の傾斜によりリークが生じるのを抑制することができる。
【００１７】
これらの場合、吸収材押さえは、薄肉に形成されてなり、機能液吸収材の周縁部を押さえる枠状部と、中間部を押さえる桟状部とを有していることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、吸収材押さえの桟状部によって機能液吸収材の中央部を押さえることができ、機能液吸収材が膨潤してもこれを平坦に押さえておくことができる。また、吸収材押さえを薄肉に形成すれば、ヘッドキャップを機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させても吸収材押さえがノズル面と接触することがない。更に機能液吸収材の中央部を押さえる桟状部の幅を細く形成することも可能となるので、桟状部上面に機能液が残留するのを防止することもできる。ここで、吸収材押さえの肉厚、およびは桟状部の幅は共に０．３ｍｍ程度に形成するのが好ましい。また、吸収材押さえは、桟状部をできる限り細幅とすべく、プレスではなくワイヤーソーで加工することが好ましい。
【００１９】
この場合、枠状部と桟状部とは、一体に形成されていることが、好ましい。
【００２０】
この構成によれば、枠状部と桟状部とを一体的に形成することで、枠状部を桟状部に固着する必要がないのは元より、全体の厚みを一定にすることができる。更に、枠状部や桟状部を薄く、且つ幅を細く形成しても、取り扱い難くなることはなく、ヘッドキャップへの装着が容易にできる。
【００２１】
これらの場合、吸収材押さえは、ステンレスにより形成されていることが、好ましい。
【００２２】
この構成によれば、ステンレス材料は機能液によって侵され難く（耐食性）、且つ他の金属に比べ強度が高いために、ステンレスによって吸収材押さえを形成すことで他の材料によって形成した場合よりも薄く、且つ各部を細幅に形成することが可能となる。
【００２３】
本発明の液滴吐出装置は、上記したヘッドキャップと、機能液滴吐出ヘッドと、機能液滴吐出ヘッドに対しヘッドキャップを相対的に離接させる離接機構と、ヘッドキャップに接続され、密着させたヘッドキャップを介して機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引機構と、を備えたことを特徴とする。
【００２４】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに対しヘッドキャップを密着させることにより、機能液滴吐出ヘッドのノズル先端の機能液の気化を抑制し、ノズル詰まりを防止することができる。また、機能液滴吐出ヘッドに対しヘッドキャップを密着させた状態で吸引機構を駆動させることにより、機能液吐出ヘッドのノズルから機能液を吸引することができ、ノズル詰まりの解消や機能液の機能液滴吐出ヘッドへの初期充填が可能になる。一方、機能液滴吐出ヘッドに対しヘッドキャップを離間させた状態で、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴の捨て吐出（フラッシング）を行うことにより、ノズルのメニスカスを適切な状態に維持することができる。したがって、機能液滴吐出ヘッドを適切に保全しておくことができる。また、ヘッドキャップ自体においては、その機能を損なうことなく、省資源化を達成することができる。
【００２５】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、カラーフィルタの基板上に多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィルタ材料を選択的に吐出して多数のフィルタエレメントを形成することを特徴とする。
【００２６】
本発明の有機ＥＬ装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上の多数の絵素ピクセルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、発光材料を選択的に吐出して多数のＥＬ発光層を形成することを特徴とする。
【００２７】
本発明の電子放出装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、電極上に多数の蛍光体を形成する電子放出装置の製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走査し、蛍光材料を選択的に吐出して多数の蛍光体を形成することを特徴とする。
【００２８】
本発明のＰＤＰ装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを背面基板に対し相対的に走査し、蛍光材料を選択的に吐出して多数の蛍光体を形成することを特徴とする。
【００２９】
本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、電極上の多数の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走査し、泳動体材料を選択的に吐出して多数の泳動体を形成することを特徴とする。
【００３０】
このように、上記した液滴吐出装置を、液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置の製造方法および電気泳動表示装置の製造方法に適用することにより、適切に保全された機能液滴吐出ヘッドにより基板処理が適切に行われ、品質を向上させることができる。また、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。
【００３１】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィルタ材料を選択的に吐出して多数のフィルタエレメントを形成することを特徴とする。
【００３２】
この場合、多数のフィルタエレメントを被覆するオーバーコート膜が形成されており、フィルタエレメントを形成した後に、機能液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、コーティング材料を選択的に吐出してオーバーコート膜を形成することが、好ましい。
【００３３】
本発明の有機ＥＬの製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方法であって、機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、発光材料を選択的に吐出して多数のＥＬ発光層を形成することを特徴とする。
【００３４】
この場合、多数のＥＬ発光層と基板との間には、ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形成されており、機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状電極材料を選択的に吐出して多数の画素電極を形成することが、好ましい。
【００３５】
この場合、多数のＥＬ発光層を覆うように対向電極が形成されており、ＥＬ発光層を形成した後に、機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状電極材料を選択的に吐出して対向電極を形成することが、好ましい。
【００３６】
本発明のスペーサ形成方法は、上記した液滴吐出装置を用い、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するスペーサ形成方法であって、機能液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを少なくとも一方の基板に対し相対的に走査し、粒子材料を選択的に吐出して基板上にスペーサを形成することを特徴とする。
【００３７】
本発明の金属配線形成方法は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に金属配線を形成する金属配線形成方法であって、機能液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状金属材料を選択的に吐出して金属配線を形成することを特徴とする。
【００３８】
本発明のレンズ形成方法は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成方法であって、機能液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レンズ材料を選択的に吐出して多数のマイクロレンズを形成することを特徴とする。
【００３９】
本発明のレジスト形成方法は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に任意形状のレジストを形成するレジスト形成方法であって、機能液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レジスト材料を選択的に吐出してレジストを形成することを特徴とする。
【００４０】
本発明の光拡散体形成方法は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、機能液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、ヘッドユニットを介して機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、光拡散材料を選択的に吐出して多数の光拡散体を形成することを特徴とする。
【００４１】
このように、上記した液滴吐出装置を、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法に適用することにより、各製造方法において品質の向上を図ることができる。
【００４２】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態は、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機ＥＬ装置の製造ラインに本発明の液滴吐出装置を組み込んだものであり、複数の機能液滴吐出ヘッドに発光材料等の機能液を導入して、有機ＥＬ装置の発光素子を構成する各画素の正孔注入／輸送層およびＲ・Ｇ・Ｂの各色発光層を形成するものである。
【００４３】
ここでは、まず有機ＥＬ装置の構造およびその製造方法を簡単に説明し、次に製造ラインに組み込まれた液滴吐出装置とその周辺設備とからなる有機ＥＬ装置の製造装置について説明する。
【００４４】
図１は、本発明におけるフラットパネルディスプレイの一種である有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００４５】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００４６】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００４７】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００４８】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第1層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００４９】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００５０】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００５１】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００５２】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いる。
【００５３】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。また、第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層１２０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００５４】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００５５】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００５６】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２〜図１０を参照して説明する。この表示装置６００は、図２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００５７】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００５８】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、後述する機能液滴吐出ヘッド５１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００５９】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１２に示した液滴吐出装置１のＸ軸テーブル８２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【００６０】
図５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド５１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図６に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。
【００６１】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００６２】
そして次に、図７に示すように、各色のうちの何れか（図７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００６３】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００６４】
同様に、機能液滴吐出ヘッド５１を用い、図９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００６５】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【００６６】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図１０に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【００６７】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【００６８】
次に、有機ＥＬ装置の製造装置について説明する。この有機ＥＬ装置の製造装置では、上述した有機ＥＬ装置の製造プロセスにおいて液滴吐出法が行われる工程、すなわち、発光素子形成工程（正孔注入／輸送層形成工程および発光層形成工程）と、表面改質工程とに対応して、機能液滴吐出ヘッド５１に液体機能材料を吐出させながらこれを走査する液滴吐出装置１が用いられている。
【００６９】
例えば、正孔注入／輸送層形成工程を行う正孔注入層形成設備（図示省略）は、第１液滴（正孔注入層材料）を導入する機能液滴吐出ヘッド５１を搭載した液滴吐出装置１と、乾燥装置３と基板搬送装置２とを備えており、且つこれらを収容するチャンバ装置４を備えている。なお、チャンバ装置４には、不活性ガスの雰囲気中で正孔注入／輸送層形成工程を行うための手段が設けられている。
【００７０】
同様に、表面改質工程を行う表面改質設備（図示省略）および発光層を形成する発光層形成設備Ｂも、それぞれ、機能材料を導入する機能液滴吐出ヘッド５１を搭載した液滴吐出装置１、乾燥装置３、基板搬送装置２およびこれらを収容すると共に、不活性ガスの雰囲気中で発光層形成工程を行うための手段が備えられたチャンバ装置４を備えている。なお、発光層形成設備Ｂにおいて、液滴吐出装置１、乾燥装置３、基板搬送装置２およびチャンバ装置４は、色別（Ｒ・Ｇ・Ｂ）に３組備えられている。
【００７１】
有機ＥＬ装置の製造装置で用いられる各液滴吐出装置１は、それぞれ機能液滴吐出ヘッド５１に導入する液体機能材料が異なるのみで、同一構造を有している。また、各乾燥装置３、各基板搬送装置２およびチャンバ装置４もそれぞれ同一の構造を有している。したがって、機能液滴吐出ヘッド５１の交換や液体機能材料の供給系の交換における手間を無視すれば、任意の１組の設備（液滴吐出装置１、乾燥装置３、基板搬送装置２およびチャンバ装置４）で、有機ＥＬ装置の製造は可能である。そこで、図１１における左端の１組の設備、すなわちＢ色の発光層を形成する液滴吐出装置１、乾燥装置３、基板搬送装置２およびチャンバ装置４を例に、各装置構成における一連の流れについて説明する。
【００７２】
まず、図外の装置により上記のバンク部形成工程およびプラズマ処理工程を経た基板が、図１１の左端に位置する基板移載装置５から基板搬送装置２に搬送される。次に、基板は、基板搬送装置２で方向および姿勢転換されて液滴吐出装置１に搬送され、液滴吐出装置１にセットされる。そして、チャンバ装置４内の不活性ガスの雰囲気中で第２液滴吐出工程が行われ、液滴吐出装置１は、その機能液滴吐出ヘッド５１により、基板の多数の画素領域（開口部６１９）にＢ色の発光材料（液滴）を吐出する。
【００７３】
発光材料が塗着した基板は、液滴吐出装置１から基板搬送装置２に受け渡され、乾燥装置３に導入される。乾燥装置３では、基板を所定時間、高温の不活性ガスの雰囲気に曝して、発光材料中の溶剤を気化させる（第２乾燥工程）。そして再度、基板を液滴吐出装置１に導入して、第２液滴吐出工程を行う。すなわち、第２液滴吐出工程と第２乾燥工程とを複数回繰り返し、発光層６１７ｂが所望の膜厚になったところで、Ｒ色の発光層６１７ｂを形成すべく基板は基板搬送装置２により搬送され、Ｒ色の発光層６１７ｂが所望の膜厚まで形成されると、Ｇ色の発光層６１７ｂを形成すべく搬送される。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの各色発光層６１７ｂの形成のための作業順は任意である。また、本実施形態においては、発光層６１７ｂを形成するために第２液滴吐出工程と第２乾燥工程を繰り返し行っているが、これらの工程を１回で行うようにしてもよい。
【００７４】
以上を前提として、ここからは本願発明の主要部を構成する機能液滴吐出装置について説明する。図１２は機能液滴吐出装置の斜視図、図１３は機能液滴吐出装置の正面図、図１４は機能液滴吐出装置の側面図である。液滴吐出装置１は、正孔注入／輸送層６１７ａや発光層６１７ｂ等を形成するために、液滴吐出装置１にセットされた基板Ｗの所定位置に、正孔注入層材料や発光層材料等の機能材料を含む機能液を吐出するものである。
【００７５】
図１２に示すように、液滴吐出装置１は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド５１を有して機能液を吐出するための吐出装置１１と、吐出装置１１に対して一体的に添設する付帯装置１２とで構成されている。そして、付帯装置１２には、吐出装置１１に機能液を供給すると共に不要となった機能液を回収する機能液供給回収手段１０２と、各構成部品への駆動・制御用当の圧縮エアーを供給するエアー供給手段１０３と、吐出装置１１の機能液滴吐出ヘッド５１のメンテナンスに供するメンテナンス手段１０１と、吐出装置１１および付帯装置１２の各手段を制御する制御手段１０４とが設けられている。
【００７６】
図１２および図１３に示すように、吐出装置１１は、アングル材を方形に組んで構成された架台２１と、架台２１の下部に分散配置した複数（９個）のアジャストボルト付き支持脚を有している。架台２１の上部には、固定部材によって石定盤２４が固定されている。石定盤２４は、基板Ｗおよび機能液滴吐出ヘッド５１を精度良く移動させるＸ・Ｙ移動機構８１（後述する）に、周囲の環境条件や振動等により精度（特に平面度）上の狂いが生じないように支持するものであり、平面視長方形の中実の石材で構成されている。
【００７７】
図１２および図１４に示すように、付帯装置１２は、隔壁を介して大小の２つの収容室３３、３４を形成したキャビネット形式の機台本体３２、機台本体３２上に設けた移動テーブル３５、移動テーブル３５上に固定した共通ベース３６、および機台本体３２上の移動テーブル３５から外れた端位置に設けたタンクベース３７からなる共通機台３１に各手段が設けられている。そして、共通ベース３６にはメンテナンス手段１０１が載置され、タンクベース３７には機能液供給回収手段１０２の給液タンク２０４が載置されており、機台本体３２の小さいほうの収容室３４にはエアー供給手段１０３の主要部が収容され、大きいほうの収容室３３には機能液供給回収手段１０２のタンク類が収容されている。
【００７８】
機台本体３２の下面には、アジャストボルト付きの６つの支持脚と４つのキャスタが設けられており、吐出装置１１側には、吐出装置１１の架台２１と連結するための一対の連結ブラケット３８が設けられている。これにより、吐出装置１１と付帯装置１２（共通機台３１）とが一体化され、且つ必要に応じて付帯装置１２を分離し、移動できるようになっている。
【００７９】
またこの他にも、図示は省略したが、基板Ｗの位置を認識する基板認識カメラや、吐出装置１１のヘッドユニット４１（後述する）の位置確認を行うヘッド認識カメラ、各種インジケータ等の付帯装置１２が設けられており、これらも制御手段１０４によりコントロールされている。
【００８０】
ここで、液滴吐出装置１の一連の動作を簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、ヘッド認識カメラによるヘッドユニット４１の位置補正が行われた後、基板認識カメラによる基板Ｗの位置補正がなされる。次に、基板Ｗを主走査方向（Ｘ軸方向）に往復動させると共に複数の機能液滴吐出ヘッド５１を駆動させて、基板Ｗに対する機能液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、基板Ｗを復動させた後、ヘッドユニット４１を副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させ、再度基板Ｗの主走査方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド５１の駆動が行われる。なお、本実施形態では、ヘッドユニット４１に対して、基板Ｗを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット４１を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ヘッドユニット４１を固定とし、基板Ｗを主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００８１】
次に、本願発明と特に関連する吐出装置１１および付帯装置１２のメンテナンス手段１０１、機能液供給回収手段１０２、および制御手段１０４について順に説明する。吐出装置１１は、基板Ｗの所定位置に機能液滴を吐出するもので、複数の機能液滴吐出ヘッド５１を搭載したヘッドユニット４１と、ヘッドユニット４１を支持するメインキャリッジ７１と、石定盤２４に支持されて、基板Ｗを主走査させると共にメインキャリッジ７１を介してヘッドユニット４１を副走査させるＸ・Ｙ移動機構８１とを備えている。
【００８２】
ヘッドユニット４１は、図１５および図１６に示すように、サブキャリッジ４２、サブキャリッジ４２から下方に後述のノズル面５８を突出させた複数個（１２個）の機能液滴吐出ヘッド５１、および各機能液滴吐出ヘッド５１をサブキャリッジ４２に個々に取り付けるための複数個（１２個）のヘッド保持部材６１から構成されている。なお、１２個の機能液滴吐出ヘッド５１は６個ずつに二分され、基板Ｗに対して機能液の十分な塗付密度を確保するために所定角度傾けて配設されている。また、各６個の機能液滴吐出ヘッド５１は、副走査方向に対して相互に位置ずれして配設され、１２個の機能液滴吐出ヘッド５１の全吐出ノズル５９（後述する）が副走査方向において連続（一部重複）するようになっている。なお、基板Ｗに対し機能液滴吐出ヘッド５１を専用部品とすれば、機能液滴吐出ヘッド５１をあえて傾けてセットする必要はない。
【００８３】
サブキャリッジ４２には、各機能液滴吐出ヘッド５１と液体供給回収手段１０２の給液タンク２０４を配管接続するための配管ジョイント４３が設けられており、配管ジョイント４３には、一端に各機能液滴吐出ヘッド５１と接続した配管アダプタ４５からのヘッド側配管部材を接続し、もう一端には給液タンク２０４からの装置側配管部材を接続するための１２個のソケット４４が設けられている。また、サブキャリッジ４２は、ヘッド認識カメラで認識されて、ヘッドユニット４１の位置決めをする際の基準と成る一対の基準ピン４６を有している。
【００８４】
図１７(ａ)は機能液滴吐出ヘッドの斜視図、図１７（ｂ）は機能液滴吐出ヘッド周辺の断面図である。図１７に示すように、機能液滴吐出ヘッド５１は、いわゆる２連のものであり、ヘッド基板Ｗに、配管アダプタ４５と接続する２連の接続針５４を有する機能液導入部５３と、２連のポンプ部５６と２列の吐出ノズル５９が形成されたノズル面５８を有するノズル形成プレート５７とから構成されるヘッド本体５５とが設けられている。ヘッド本体５５内部には、機能液で満たされるヘッド内流路が形成されており、ポンプ部５６の作用により、吐出ノズル５９から機能液滴を吐出する。
【００８５】
メインキャリッジ７１は、ヘッドユニット４１を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット４１を位置決め固定するようになっている。そして、メインキャリッジ７１には、基板Ｗを認識するための基板認識カメラが配設されている。
【００８６】
Ｘ・Ｙ移動機構８１は、石定盤２４の長辺に沿う中心線に軸線を合致させて固定されたＸ軸テーブル８２と、石定盤２４の短辺に沿う中心線に軸線を合致させたＹ軸テーブル９１とを有している。
【００８７】
Ｘ軸テーブル８２は、基板Ｗをエアー吸引により吸着セットする吸着テーブル８３と、吸着テーブル８３を支持するθテーブル８４と、θテーブル８４をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ８５と、θテーブル８４を介して吸着テーブル８３上の基板ＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ(図示省略)と、Ｘ軸エアースライダ８５に併設したＸ軸リニアスケール８７とで構成されている。機能液滴吐出ヘッド５１の主走査は、Ｘ軸リニアモータの駆動により、基板Ｗを吸着した吸着テーブル８３およびθテーブル８４が、Ｘ軸エアースライダ８５を案内にしてＸ軸方向に往復移動することにより行われる。
【００８８】
Ｙ軸テーブル９１は、メインキャリッジ７１を吊設するブリッジプレート９２と、ブリッジプレート９２を両持ちで且つＹ軸方向にスライド自在に支持する一対のＹ軸スライダ９３と、Ｙ軸スライダ９３に併設したＹ軸リニアスケール９４と、一対のＹ軸スライダ９３を案内してブリッジプレート９２をＹ軸方向に移動させるＹ軸ボールねじ９５と、Ｙ軸ボールねじ９５を正逆回転させるＹ軸モータ(図示省略)とを備えている。また、一対のＹ軸スライダ９３の両側に位置して一対のＹ軸ケーブルベアがそれぞれボックス（図示省略）に収容した状態で配設されている。Ｙ軸モータはサーボモータで構成されており、Ｙ軸モータが正逆回転すると、Ｙ軸ボールねじ９５を介してこれに螺合しているブリッジプレート９２が一対のＹ軸スライダ９３を案内にしてＹ軸方向に移動する。すなわち、ブリッジプレート９２の移動に伴い、メインキャリッジ７１（ヘッドユニット４１）がＹ軸方向の往復移動を行い、機能液滴吐出ヘッド５１の副走査が行われる。
【００８９】
次に、付帯装置１２のメンテナンス手段１０１について説明する。メンテナンス手段１０１は、機能液滴吐出ヘッド５１を保守して、機能液滴吐出ヘッド５１が適切に機能液を吐出できるようにするもので、クリーニングユニット１１１、ワイピングユニット１８１、およびフラッシングユニット１９１を備えている。
【００９０】
実施形態のクリーニングユニット１１１は、後述するヘッドキャップ１１３を介して機能液滴吐出ヘッド５１から機能液の吸引する吸引機能と、ヘッドキャップ１１３により機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面を密閉（封止）する保湿機能と、機能液滴吐出ヘッド５１からの捨て吐出（フラッシング）を受けるフラッシングボックス機能を有している。吸引機能は、機能液滴吐出ヘッド５１のノズルから機能液を強制的に吸引するものであり、主に装置稼動開始時等において、ノズル詰まりを解消するために行う。或いは、機能液滴吐出ヘッド５１を含む機能液供給系に機能液を初期充填する場合に行う。保湿機能は、主に装置の非稼動時や基板の搬入・搬出時当の装置を長時間停止させた場合に、機能液滴吐出ヘッド５１をキャッピングして、機能液の乾燥を防止する。フラッシングボックス機能は、描画時以外の定期的に行われるフラッシングを受けるものであり、描画中に行われるフラッシングは、上記のフラッシングユニット１９１が受け持っている。そして、ワイピングユニット１８１は、主に吸引動作によりノズル面に付着した機能液を拭き取るものである。
【００９１】
先ず、図１８および図１９を参照して、クリーニングユニット１１１について説明する。図１８は、クリーニングユニットの斜視図、図１９はクリーニングユニットの断面図である。クリーニングユニット１１１は、ヘッドユニット４１のいわゆるクリーニングを行うもので、１２個の機能液滴吐出ヘッド５１に対応して１２個のヘッドキャップ１１３をベースプレート１１６上に設置したキャップユニット１１２と、キャップユニット１１２を支持する支持部材１５１と、支持部材１５１を介してキャップユニット１１２を昇降させる昇降機構１６１とを備え、各ヘッドキャップ１１３を対応する各機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８に密着させることができるようになっている。更に、各ヘッドキャップ１１３は、吸引ポンプ１５５に接続された吸引通路１６２を介して１２本に分岐させた分岐吸引通路１６２ａに接続されている。各分岐吸引通路１６２ａには、ヘッドキャップ１１３側から順に液体センサ１５２と圧力センサ１５３と吸引用開閉弁１５４とが設けられている。
【００９２】
図２１および図２２に示すように、ヘッドキャップ１１３は、機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８に密着するシール部材１２４を有するキャップ本体１１４と、キャップ本体１１４を支持するキャップホルダ１１５とを有している。そして、キャップ本体１１４は、一対のばね１２８、１２８により付勢された状態でキャップホルダ１１５に支持されており、ヘッドキャップ１１３が機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８に密着したときに、キャップ本体１１４がキャップホルダ１１５に僅かに沈むように構成されている。このヘッドキャップ１１３は、クリーニング実施時に機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８を封止し、吸引動作を行うように構成されている。
【００９３】
ベースプレート１１６には、ヘッドユニット４１の１２個の機能液滴吐出ヘッド５１と同方向に傾斜した１２個のヘッドキャップ１１３が固定される。ヘッドユニット４１と対峙する面上には、１２個のヘッドキャップ１１３に対峙して１２個の取付け開口１４１が形成されると共に、この取付け開口１４１を含むように１２個の浅溝１４２が形成されている。各ヘッドキャップ１１３は、下部を取付け開口１４１に挿入され、その浅溝１４２に位置決めされた状態で、浅溝１４２にネジ止めされている（図２０参照）。
【００９４】
支持部材１５１は、上端にキャップユニット１１２を支持する支持プレート１５３を有する支持部材本体１５２と、支持部材本体１５２を上下方向にスライド自在に支持するスタンドとを備えている。支持プレート１５３の長手方向の両側下面には、一対のエアーシリンダ１５６が固定されており、この一対のエアーシリンダ１５６で昇降される操作プレート１５７を設けて、操作プレート１５７上に各ヘッドキャップ１１３の大気開放弁１３１の操作部に係合するフック１５８を取り付けている。
【００９５】
昇降機構１６１は、スタンド１５４のベース部１５５に立設したエアーシリンダ１５６から成る下段の昇降シリンダ１６２と、このシリンダで昇降されるプレート上に立設したエアーシリンダ１５６から成る上段の昇降シリンダ１６３とを備えており、両昇降シリンダ１６２、１６３の選択作動でキャップユニット１１２の上昇位置を、ヘッドキャップ１１３のシール部材１２４を機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８に密着させる第１位置と、ヘッドキャップ１１３のシール部材１２４と機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８との間に僅かな隙間が空く第２位置と、で切り替え自在としている。
【００９６】
また、上述したように、機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８に密着して吸引動作を行うヘッドキャップ１１３は、キャップ本体１１４と、キャップホルダ１１５とを有している。また、ヘッドキャップ１１３には、キャップ本体１１４を上方（密着方向）に付勢する一対のコイルばね１２８、１２８と、上記の分岐吸引通路１６２ａに連なる接続継手１３５と、上記の大気開放弁１３１が組み込まれている。
【００９７】
図２１ないし図２３に示すように、キャップ本体１１４は、上面に吸収材収容部１２１ａを形成したキャップベース１２１と、吸収材収容部１２１ａに充填した機能液吸収材１２２と、機能液吸収材１２２を押さえる吸収材押さえ１２３と、吸収材収容部１２１ａの上側に配設したシール部材１２４と、シール部材１２４をキャップベース１２１に固定するシール固定部材１２５とで構成され、全体として方形細長形状に形成されている。
【００９８】
図２１ないし図２３に示すキャップベース１２１は、ステンレス等の耐食性材料で構成されており、上部に表面から突出するように吸収材収容部１２１ａが形成され、下部の長手方向の両端部にキャップホルダ１１５に係合する一対の脚片部１２１ｄが形成されている。吸収材収容部１２１ａは、機能液吸収材１２２を収容する凹溝１２１ｂと、凹溝１２１ａを画成すると共にキャップベース１２１から突出した環状周縁部１２１ｃとから成り、凹溝１２１ｂの底部位には接続継手１３５に連なる吸引口１３９と、大気開放弁１３１に連なる大気流入口１３８と、が形成されている。
【００９９】
機能液吸収材１２２は、材質の異なる２種類の機能液吸収材１２２ａ、１２２ｂを積層して構成されており、吸引口１３９および大気流入口１３８に面する部分には、小穴がそれぞれ形成されている。なお、機能液吸収材１２２は、２層構造に限らず単層構成または多層構成にしてもよい。また、機能液吸収材１２２は、例えばカラーフィルタの製造装置に用いる場合にはＰＶＡ（ポリビニルアルコール）フォームを、有機ＥＬの製造装置に用いる場合はＰＥ（ポリエチレン）樹脂性の材料を用いることが好ましい。
【０１００】
吸収材押さえ１２３は、ステンレスの薄板を加工したものであり、方形の枠状部１２３ａと、枠状部１２３ａを横断するように設けた複数（３つ）の桟状部１２３ｂとで、一体に形成されている。この場合、吸収材押さえ１２３は、例えば板厚が０．３ｍｍ程度のステンレス板をワイヤーソーなど切り抜き、枠状部１２３ａや桟状部１２３ｂを最大限細幅（０．３ｍｍ程度）に仕上げるようにしている。特に、桟状部１２３ｂの幅を細く形成することで、桟状部１２３ｂ上面に機能液が残留するのを防止することができる。
【０１０１】
このように構成された吸収材押さえ１２３は、機能液吸収材１２２を上側から押さえた状態で、その周縁部、すなわち枠状部１２３ａが吸収材収容部１２１ａの環状周縁部１２１ｃに着座するように設けられている。また、この状態で両桟状部１２３ｂは、上記の両小穴を逃げ、機能液吸収材１２２の中間部を押さえている。これにより、機能液吸収材１２２が膨潤してもこれを平坦に押さえることができる。
【０１０２】
シール部材１２４は、ゴムや樹脂で構成されており、全吐出ノズル５９を包含してノズル面５８に密着する環状突出部１２４ａと、吸収材押さえ１２３を押さえる環状押圧部１２４ｂと、キャップベース１２１に固定される環状固定部１２４ｃとで、断面クランク状に一体に環状に形成されている。すなわち、吸収材押さえ１２３を挟んで、吸収材収容部１２１ａの環状周縁部１２１ｃに対向するように環状押圧部１２４ｂが設けられ、この環状押圧部１２４ｂの直上部に環状突出部１２４ａが形成されている。これにより、機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８に密着したシール部材１２４（環状突出部１２４ａ）の密着反力が、吸収材収容部１２１ａの環状周縁部１２１ｃとの間に吸収材押さえ１２３を挟み込むように作用し、吸収材押さえ１２３を安定に保持することができる。
【０１０３】
シール固定部材１２５は、ステンレス等で構成され、キャップベース１２１の上面の輪郭と略同形状の方形環状に形成され、且つ上面の周縁部は傾斜させるようにして面取りされている。シール固定部材１２５の内周縁は、シール部材１２４の環状固定部１２４ｃを押さえており、この状態でシール固定部材１２５は、キャップベース１２１にネジ止めされている。
【０１０４】
ここで、図２４を参照して、キャップ本体１１４の組立て手順について簡単に説明する。先ず、キャップベース１２１の吸収材収容部１２１ａに機能液吸収材１２２を敷設した後、機能液吸収材１２２を押さえるようにして吸収材押さえ１２３を、吸収材収容部１２１ａの環状周縁部１２１ｃに着座させる。次に、シール部材１２４を、その環状押圧部１２４ｂで吸収材押さえ１２３の周縁部を押さえるように取り付け、最後に、このシール部材１２４の環状固定部１２４ｃを、シール固定部材１２５によりキャップベース１２１に押し付け、この状態でシール固定部材１２５をキャップベース１２１にねじ止めする。
【０１０５】
このようにキャップ本体１１４は、キャップベース１２１を受けとして、機能液吸収材１２２、吸収材押さえ１２３、シール部材１２４およびシール固定部材１２５の順で、押圧固定する構造であるため、シール固定部材１２５の固定ネジを取り外すだけでキャップ本体１１４を個々の構成部材に容易に分解し、再度組み込むことが可能となる。このため、機能液吸収材１２２および他の構成部材に劣化や破損が生じた場合に、交換の対象となる構成部材のみを個々に交換することができる。
【０１０６】
また、このように構成されたキャップ本体１１４は、その長手方向の下面の２箇所に当接した一対のコイルばね１２８、１２８により、上動端を位置規制された状態で上方に付勢されている。すなわち、キャップ本体１１４は、キャップホルダ１１５に対し上下方向にスライド自在に取り付けられ、且つこの状態で、キャップベース１２１の両の脚片部１２１ｄでキャップホルダ１１５に上動端を位置規制されている。
【０１０７】
キャップホルダ１１５は、細長形状のホルダ本体１２７と、ホルダ本体１２７の長手方向の両端部上面にネジ止めした一対の位置規制ブロック１２６とから成り、ステンレス等で形成されている。ホルダ本体１２７は、その中央部に上記の接続継手１３５および大気開放弁１３１が臨む接続用開口を有すると共に、接続用開口に面して、一対のコイルばね１２８、１２８を保持する一対のピン１２９、１２９を有している。また、ホルダ本体１２７の上面は、長手方向に僅かに傾斜する傾斜面となっている。
【０１０８】
各位置規制ブロック１２６には、キャップ本体１１４側にキャップベース１２１の脚片部１２１ｄが係合する係合溝１２６ａが形成されている。係合溝１２６ａの上面はコイルばね１２８、１２８に付勢されたキャップ本体１１４の位置規制面となっており、両側面はキャップ本体１１４のスライドガイド面となっている。すなわち、各位置規制ブロック１２６のキャップ本体１１４側の上部１２６ｂが、位置規制のための規制突部となっている。
【０１０９】
ホルダ本体１２７の上面に固定した両位置規制ブロック１２６は、ホルダ本体１２７の上面の傾斜に従って僅かに傾斜している。このため、この両位置規制ブロック１２６に位置規制されているキャップ本体１１４は、一対のコイルばね１２８、１２８に付勢された状態で、僅かに傾いてキャップホルダ１１５に保持さている。したがって、ヘッドキャップ１１３を機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８に押し付けたときには、一対のコイルばね１２８、１２８により、シール部材１２４がノズル面５８に倣って密着し、機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８を確実に封止する。また、僅かに傾いた状態のキャップ本体１１４は、機能液滴吐出ヘッド５１から引き離されるときに、ノズル面５８に対しシール部材１２４が片側から離れるため、ヘッドキャップ１１３内の機能液が飛散することがない。
【０１１０】
接続継手１３５は、上記の吸引口１３９に連なる短管１３６と、短管１３６の下端部に接続したＬ字継手１３７とで構成されており、このＬ字継手１３７を介して上記の吸引用の分岐吸引通路１６２ａに接続されている。すなわち、キャップ本体１１４は、吸引用の分岐吸引通路１６２ａを介して吸引ポンプ１５５に接続され、さらに吸引ポンプ１５５を介して再利用タンク２３２に接続されている（いずれも図２５を参照）。
【０１１１】
大気開放弁１３１は、上記の大気流入口１３８に連なると共にキャップベース１２１を貫通するスリーブ１４１と、スリーブ１４１の下端部に拡開形成した弁座１４２と、弁座１４２に収容したゴム製の弁体１４３と、弁体１４３を接着保持する弁操作ロッド１４６と、弁操作ロッド１４６に螺合した係合リング１４５とを備えている。弁操作ロッド１４６は、キャップベース１２１の下面から延びるロッド支持部材１４７に対し、上下方向にスライド自在に取り付けられる一方、ロッド支持部材１４７に組み込んだ弁ばね１４４により、閉弁方向に（上方）に付勢されている。
【０１１２】
係合リング１４５には、上記のフック１５８が係合しており、エアーシリンダ１５６によりフック１５８が下動すると、弁操作ロッド１４６を介して弁体１４３が下動し、大気開放弁１３１が開弁状態となる。一方、弁ばね１４４によりフック１５８が上動すると、弁操作ロッド１４６を介して弁体１４３が上動し、大気開放弁１３１が閉弁状態となる。すなわち、機能液の吸引動作の最終段階で、大気開放弁１３１を引き下げて開弁することにより、機能液吸収材１２２に含浸されている機能液も吸引できるようにしている。
【０１１３】
上述したように構成されたクリーニングユニット１１１は、移動テーブル３５によりヘッドユニット４１のＹ軸方向移動軌跡に交差する位置に移動しており、これに対しヘッドユニット４１がクリーニングユニット１１１の直上部に臨むクリーニング位置にＹ軸テーブル９１により移動する。ここで、昇降機構１６１の下段の昇降シリンダ１６２の作動によりキャップユニット１１２が第１位置に上昇し、ヘッドユニット４１の１２個の機能液滴吐出ヘッド５１に、下側から１２個のヘッドキャップ１１３を押し付ける。各機能液滴吐出ヘッド５１に押し付けられた各ヘッドキャップ１１３は、自身の２つのばね１２８、１２８に抗してそのキャップ本体１１４がキャップホルダ１１５に幾分沈み込み、そのシール部材１２４が機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８に均一に密着する。
【０１１４】
続いて、吸引ポンプ１５５を駆動すると共に、吸引用の各分岐吸引通路１６２ａに介設した吸引用開閉弁１５４を開弁し、各機能液滴吐出ヘッド５１の全吐出ノズル５９から各ヘッドキャップ１１３を介して液体材料を吸引する。そして、吸引完了の直前に大気開放弁１３１を開弁し、その後吸引用開閉弁１５４を閉弁して吸引を完了する。吸引動作が完了したら、キャップユニット１１２を下降端位置に下降させる。また、装置の稼動を停止しているとき等のヘッド保管時には、キャップユニット１１２を第１位置に上昇させ、各機能液滴吐出ヘッド５１を各ヘッドキャップ１１３で封止して、保管状態とするキャッピングが成される。
【０１１５】
ワイピングユニット１８１は、複数の機能液滴吐出ヘッド５１の拭き取りを行う機能を備え、共通ベース３６上に突き合わせた状態で配設された巻き取りユニット１８２と、拭き取りユニット１８４とから構成されている。ワイピングユニット１８１は、ヘッドユニット４１の上記クリーニングが完了すると、クリーニングユニット１１１の直上部に停止しているヘッドユニット４１に対し、繰出しリール（図示省略）からワイピングシートを送り出すと共に、洗浄液噴霧ヘッド（図示省略）で洗浄液を噴霧し、移動テーブル３５により全体としてＸ軸方向に移動しながら、拭取りローラ（図示省略）を用いて各機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８を拭き取る。
【０１１６】
次に、フラッシングユニット１９１について説明する。フラッシングユニット１９１は、Ｘ軸ケーブルベアのボックス上に配設され、Ｘ軸ケーブルベア上に固定したスライドベースと、スライドベース上に進退自在に設けた長板状のスライダと、スライダの両端部に固定した一対のフラッシングボックス２５３，２５３と、各フラッシングボックス２５３内に敷設した一対の機能液吸収材２５４，２５４とで構成されている。このような構成のフラッシングユニット１９１は、θテーブル８４と共にフラッシングユニット１９１が往道（復道）して行くと、右側（左側）のフラッシングボックス（図示省略）の直上をヘッドユニット４１が通過するときに、各機能液滴吐出ヘッド５１が順にフラッシング動作を行い、ヘッドユニット４１は通常の液滴吐出動作に移行する。
【０１１７】
また、フラッシングは、液滴の吐出が或る程度の時間休止されるときにも行う必要がある、ヘッドユニット４１はキャップユニット１１２の直上部に臨むクリーニング位置に移動し、各機能液滴吐出ヘッド５１から各ヘッドキャップ１１３に向けてフラッシングを行う。この場合、ヘッドキャップ１１３のシール部材１２４と機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８との間に僅かな隙間が空く上記第２位置に上昇させフラッシングを行う。フラッシングによって噴霧された機能液はヘッドキャップ１１３内に設けられた機能液吸収材１２２に吸収されると共に、ヘッドキャップ１１３に開設された吸引口１３９を介して吸引ポンプ１４１により吸引される。
【０１１８】
ところで、液滴吐出装置に新たなヘッドユニット４１を投入したときは、機能液滴吐出ヘッド５１のヘッド内流路が空になっているため、液滴吐出作業を開始する前に、ヘッド内流路に機能液を充填することが必要になる。この場合、給液タンク２０４からの機能液の供給は僅かな水頭圧でしか行われないため、ヘッド内流路に機能液を充填するには吸引が必要になる。そこで、機能液充填作業に際しては、ヘッドユニット４１をクリーニング位置に移動し、キャップユニット１１２を上記第１位置に上昇させて、各機能液滴吐出ヘッド５１のノズル面５８に各ヘッドキャップ１１３を密着させ、給液タンク２０４内の機能液を各ヘッドキャップ１１３を介して作用される吸引ポンプ１４１からの吸引力で各機能液滴吐出ヘッド５１のヘッド内流路に充填する。
【０１１９】
また、ヘッドキャップ１１３による吸引を行ったときに、ヘッド内流路で機能液の流速が低下し、ヘッド内流路に残留する気泡の影響で液滴の吐出不良を生ずるのを防ぐために、給液用の各分岐供給通路１６１ａには、供給用開閉弁１５１を介設して吸引用の各分岐吸引通路１６２ａに液体センサ１５２を設けている。この液体センサ１５２は、液体充填開始後ヘッドキャップ１１３まで機能液が吸引されると、これを検知し、ヘッドキャップ１１３による吸引を継続したまま対応する供給用開閉弁１５１を一時的に閉弁し、機能液の流動を円滑に行っている。
【０１２０】
以上に述べた液滴吐出装置は、本実施形態で説明した有機ＥＬ装置の製造装置の他にも、カラーフィルタ、液晶表示装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置（ＦＥＤ、ＳＥＤ装置）等の製造装置として同様に適用可能である。そこで、これら製造対象物の構造と、本実施形態の液滴吐出装置（機能液滴吐出ヘッド５１）１を用いたこれらの製造方法について説明する。
【０１２１】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図２６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図２７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１）では、図２７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【０１２２】
続いて、バンク形成工程（Ｓ２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図２７（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図２７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１０により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【０１２３】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【０１２４】
次に、着色層形成工程（Ｓ３）では、図２７（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド５１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合も、上記の有機ＥＬ装置６００の場合と同様に、機能液滴吐出ヘッド５１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１２５】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ４）に移り、図２７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、基板５０１を個々の有効画素領域毎に切断することによって、カラーフィルタ５００が得られる。
【０１２６】
図２８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図２７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１２７】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【０１２８】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図２８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料により形成されている。
【０１２９】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１３０】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１３１】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド５１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド５１で行うことも可能である。
【０１３２】
図２９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１３３】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１３４】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１３５】
図３０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１３６】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１３７】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１３８】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１３９】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１４０】
次に、図３１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１４１】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１４２】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１４３】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１４４】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板１２６を液滴吐出装置１のＸ軸テーブル８２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１０により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１４５】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１４６】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド５１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１４７】
次に、図３２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１４８】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した素子膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび素子膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。素子膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、素子膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１４９】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、所定のパターンで配置されている。
【０１５０】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、素子膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１５１】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１５２】
以上に述べた液滴吐出装置は、本実施形態で説明した有機ＥＬ装置等の製造装置の他にも、電気泳動表示装置の製造方法等に適用することができる。
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド５１に各色の泳動体材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド５１を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。なお、帯電粒子と染料とからなる泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが好ましい。
【０１５３】
いっぽう、本実施形態の液滴吐出装置１は、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レンズ製造方法、レジスト形成方法、及び光拡散体形成方法等にも、適用可能である。
【０１５４】
スペーサ形成方法は、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するものであり、スペーサを構成する粒子材料を液中に分散させて調整した機能液を複数の機能液滴吐出ヘッド５１に導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド５１を主走査および副走査し、機能液を選択的に吐出して、少なくとも一方の基板上にスペーサを形成する。例えば、上記の液晶表示装置や電気泳動表示装置における２枚の基板間にセルギャップを構成する場合に有用であり、その他この種の微細なキャップを必要とする半導体製造技術に適用することができる。
【０１５５】
金属配線形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド５１に液状金属材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド５１を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用してこれらのデバイスを製造することができる。また、この種のフラットディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることは言うまでもない。
【０１５６】
レンズの形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド５１にレンズ材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド５１を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記ＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスを製造する場合に適用可能である。また、各種光デバイスの製造技術にも適用可能である。
【０１５７】
レンズの製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド５１に透光性のコーティング材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド５１を主走査および副走査し、コーティング材料を選択的に吐出して、レンズの表面にコーティング膜を形成する。
【０１５８】
レジスト形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド５１にレジスト材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド５１を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置におけるバンクの形成はもとより、半導体製造技術の主体をなすフォトリソグラフィ法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【０１５９】
光拡散体形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド５１に光拡散材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッド５１を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して、基板上に多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【０１６０】
【発明の効果】
以上のように、本発明のヘッドキャップによれば、封止動作などの本来の機能を損なうことなく、機能液吸収材を容易に交換することができ、機能液滴吐出ヘッドを適切に保全することができる。
【０１６１】
また、本発明の機能液吐出装置によれば、機能液滴吐出ヘッドを適切に保全することができるため、信頼性を高めることができる。
【０１６２】
一方、本発明の液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法等の各種製造方法によれば、液滴吐出装置を介して製造方法の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図３】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図４】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図５】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図６】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図７】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図８】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図９】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１０】陰極の形成を説明する工程図である。
【図１１】実施形態にかかる有機ＥＬ装置の製造方法における発光層形成設備の模式図である。
【図１２】本実施形態における機能液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図１３】本実施形態における機能液滴吐出装置の正面図である。
【図１４】本実施形態における機能液滴吐出装置の右側面図である。
【図１５】ヘッドユニットの平面図である。
【図１６】ヘッドユニットの正面図である。
【図１７】（ａ）は機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図、（ｂ）は機能液滴吐出ヘッドを配管アダプタに装着したときの断面図である。
【図１８】メンテナンスユニットの外観斜視図である。
【図１９】メンテナンスユニットの正面図である。
【図２０】メンテナンスユニットの平面図である。
【図２１】ヘッドキャップの全体斜視図である。
【図２２】ヘッドキャップの断面図である。
【図２３】ヘッドキャップの部分拡大断面図である。
【図２４】ヘッドキャップの分解斜視図である。
【図２５】機能液滴吐出ヘッド、これに接続される機能液供給系、およびクリーニングユニットの模式図である。
【図２６】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図２７】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図２８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図３０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図３１】ＰＤＰ装置である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３２】ＦＥＤ装置である表示装置の要部断面図である。
【符号の説明】
１  液滴吐出装置                    １１  吐出装置
４１  ヘッドユニット                  ５１  機能液滴吐出ヘッド
５８  ノズル面                        ５９  吐出ノズル
１０４  制御手段                      １１１  クリーニングユニット
１１２  キャップユニット              １１３  ヘッドキャップ
１１５  キャップホルダ                １２１  キャップベース
１２１ａ  吸収材収容部                １２１ｂ  凹溝
１２１ｃ  環状周縁部                    １２２  機能液吸収材
１２３  吸収材押さえ                １２３ａ  枠上部
１２３ｂ  桟状部                        １２４  シール部材
１２４ａ  環状突出部                  １２４ｂ  環状押圧部
１２４ｃ  環状固定部                    １２５  シール固定部材
１２６  位置規制ブロック            １２６ｂ  上部
１２７  ホルダ本体                    １２８  コイルばね
Ｗ  基板（ワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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