(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被トリミング部を有するトリミング部品の特性値又は前記トリミング部品を実装した回路基板の回路特性値を計測しながら前記被トリミング部をレーザビームでトリミングし、前記の計測により得られた計測特性値が所定特性値に到達した時点でトリミングを終了するトリミング方法において、前記トリミング部品について、トリミングすべき各トリミングラインの位置と、前記各トリミングラインの所定トリミング長さとを予め設定し、前記被トリミング部でのトリミング長さに対する前記計測特性値の許容最大特性変化率を予め設定し、計測特性値の変化率を確認しながらのレーザビームによるトリミング中に、前記の確認した計測特性値の変化率が前記許容最大特性変化率に到達した場合は、トリミングラインを次のトリミングラインに切替え、前記の確認した計測特性値が所定特性値に到達した時点でトリミングを終了することを特徴とするトリミング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品をトリミングして電気特性を調整するトリミング方法に関し、特に、レーザビームで電子部品をトリミングするトリミング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、電子部品の電気特性を所定特性に調整するために、レーザビームで前記電子部品の被トリミング部をトリミングしたり、回路基板の回路特性を所定特性に調整するために、前記回路基板に実装した電子部品の被トリミング部を前記回路基板の回路特性値を計測しながらレーザビームでトリミングするトリミング方法が行われている。
【０００３】
レーザビームによるトリミング方法の従来例を図４、図５に基づいて説明する。
【０００４】
従来例では、例えば、回路基板の回路特性値を計測しながらレーザビームで前記回路基板に実装されたトリミング対象となる電子部品（トリミング部品）のトリミング部をトリミングして前記回路特性値を所定特性値に調整する場合、図４に示すように、予め、トリミングすべき抵抗部品１について、トリミングするトリミングラインの所定トリミング長さＴ０  を設定しておき、先ず、前記抵抗部品１の抵抗体２の対向するＡＢ辺とＣＤ辺とを認識手段で認識し、認識結果に基づいて、レーザビームの第１、第２、第３照射開始点３ａ、３ｂ、３ｃと、前記各照射開始点３ａ、３ｂ、３ｃからのトリミング方向とを設定する。この場合、前記第１照射開始点３ａは第１本目のトリミングを開始する点、前記第２照射開始点３ｂは第２本目のトリミングを開始する点、前記第３照射開始点３ｃは第３本目のトリミングを開始する点であり、これらの点と前記トリミング方向とは、前記抵抗体２のトリミング後の電気通路がジグザグ型になるように設定される。
【０００５】
次いで、前記回路基板の回路特性値を計測しながら、レーザビームで前記第１照射開始点３ａから前記トリミング方向にトリミングし、若し、前記所定トリミング長さＴ０  をトリミングするまでに、計測している前記回路基板の回路特性値が所定特性値に到達すれば、その時点でトリミングを終了する。若し、前記所定トリミング長さＴ０  をトリミングして第１トリミング終了位置４ａに到達しても、計測している前記回路基板の回路特性値が所定特性値にならない場合には、前記第２照射開始点３ｂから第２本目のトリミングを開始し、若し、前記所定トリミング長さＴ０  をトリミングして第２トリミング終了位置４ｂに到達しても、計測している前記回路基板の回路特性値が所定特性値にならない場合には、前記第３照射開始点３ｃから第３本目のトリミングを開始し、計測している前記回路基板の回路特性値が所定特性値になったトリミング長さＴ１  の第３トリミング終了位置４ｃでトリミングを終了する。尚、第１トリミングライン５ａと第２トリミングライン５ｂと第３トリミングライン５ｃとの隣接間隔が所定間隔Ｘになるように前記第１、第２、第３照射開始点３ａ、３ｂ、３ｃの位置を設定する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記の従来例の構成では、回路基板の特性の調整精度にバラツキが発生するのを避けられないという問題点があった。
【０００７】
この問題点の原因を調べた結果、
先ず、トリミングにより回路基板の特性を調整する場合、トリミングにより所定特性値に到達する際に、トリミング長さの増加に対する回路基板の特性値の変化率が小さい程、微細な調整が可能で、調整精度が良くなり、前記変化率が大きいと、微細な調整が困難で、調整精度にバラツキが発生するということが判明した。
【０００８】
次いで、トリミングラインで電流通路をジグザグ型に形成しながら特性を調整するトリミング方法では、図６に示すように、トリミングラインの本数の増加に伴って計測回路特性値の変化率が減少する場合と、図７に示すように、各トリミングライン毎に、計測回路特性値の変化率が始めは小さくて次第に増加する場合とがあることが判明した。
【０００９】
最後に、トリミングすべき所定トリミング長さＴ０  を予め設定する従来例のトリミング方法では、図６の場合には、３本目のトリミングラインによる計測回路特性値の変化率が、調整精度の限界を決め、それ以上の調整精度を望めないという問題点があり、図７の場合には、３本目のトリミングラインの前半に所定回路特性値に到達すれば前記変化率が小さいので調整精度が良いが、トリミングラインの後半に所定回路特性値に到達すれば前記変化率が大きくなっているので調整精度が悪くなるという問題点があることが判明した。
【００１０】
本発明は、上記の問題点を解決し、トリミングにより所定特性値に到達する際に、トリミング長さの増加に対する回路基板の特性値の変化率が必ず小さくなり、微細な特性調整が可能なトリミング方法の提供を課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明のトリミング方法は、被トリミング部を有するトリミング部品の特性値又は前記トリミング部品を実装した回路基板の回路特性値を計測しながら前記被トリミング部をレーザビームでトリミングし、前記の計測により得られた計測特性値が所定特性値に到達した時点でトリミングを終了するトリミング方法において、前記トリミング部品について、トリミングすべき各トリミングラインの位置と、前記各トリミングラインの所定トリミング長さとを予め設定し、前記被トリミング部でのトリミング長さに対する前記計測特性値の許容最大特性変化率を予め設定し、計測特性値の変化率を確認しながらのレーザビームによるトリミング中に、前記の確認した計測特性値の変化率が前記許容最大特性変化率に到達した場合は、トリミングラインを次のトリミングラインに切替え、前記の確認した計測特性値が所定特性値に到達した時点でトリミングを終了することを特徴とする。
【００１２】
本発明の具体的なトリミング方法は、ジグザグな電気通路を形成するようにトリミング部品をトリミングしながら、前記トリミング部品の特性値又は前記トリミング部品を実装した回路基板の回路特性値を計測し、得られる計測特性値が、図３に示すように、トリミングラインの切替えによる抵抗部品の特性変化の傾向が略そのまま回路基板の特性変化に反映し、各トリミングラインでトリミング長さが長くなると、回路基板の計測特性値の変化率が大きくなっていく場合に使用するものである。即ち、前記トリミング部品について、トリミングすべき各トリミングラインの位置と、前記各トリミングラインの所定トリミング長さと、前記の計測特性値が前記所定特性値に到達する少し前の段階で次のトリミングラインに切り替える基準になる前記の計測特性値の許容最大特性変化率とを予め設定し、前記の計測特性値の変化率を確認しながら前記レーザビームによるトリミングを行い、前記の確認した計測特性値の変化率が前記許容最大特性変化率に到達した時点で、そのトリミングラインを次のトリミングラインに切替え、前記の確認した計測特性値が前記所定特性値に到達した時点でトリミングを終了することにより、計測特性値が前記所定特性値に到達する少し前の段階でのトリミングラインの切替えを行わない従来例に比較して、計測特性値が、常に、より小さい変化率の状態で前記所定特性値に到達するので、より微細な回路特性の調整が可能になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
トリミング部品を実装した回路基板の回路特性値を計測しながらレーザビームで前記トリミング部品の被トリミング部をトリミングして前記回路基板の回路特性を所定特性に調整する場合の本発明のトリミング方法の一実施形態を図１〜図３に基づいて説明する。
【００１５】
先ず、図２、図３に基づいて、本発明の原理を説明する。
【００１６】
即ち、トリミング部品をトリミングしながら回路基板の回路特性値を計測すると、回路基板の回路特性値は、大きく分けて、図２又は図３に示すように変化する。
【００１７】
図２は、トリミングラインの切替えによって回路基板の計測特性値が所定特性値に収斂するように変化する場合であり、この場合には、トリミングラインを切り替えることにより、回路基板の計測特性値の変化率が切替えの都度小さくなるので、トリミングによって変化する回路基板の計測特性値が所定特性値に到達する少し前に前記のトリミングラインを切り替えるべき回路基板の切替え特性値に到達するように設定しておき、この切替え特性値に到達した時点でトリミングラインを切り替える。このようにすると、例えば、切替えないで▲３▼の勾配で所定特性値に到達するのに比較して、切り替えた▲４▼の勾配で所定特性値に到達すると、より微細な調整が可能になることが明らかである。
【００１８】
又、図３は、トリミングラインの切替えによる抵抗部品の特性変化の傾向がそのまま回路基板の特性変化に反映する場合である。この場合には、各トリミングラインでトリミング長さが長くなると、回路基板の計測特性値の変化率が大きくなっていく、この計測特性値の変化率がある程度以上に大きくなると、回路特性の微細な調整が困難になるので、確認している回路基板の計測特性値の変化率が許容最大特性変化率に到達した時点でトリミングラインを切り替える。このようにすると、例えば、切替えないで▲３▼の勾配で所定特性値に到達するのに比較して、切り替えた▲４▼の前半の勾配で所定特性値に到達すると、より微細な調整が可能になることが明らかである。
【００１９】
次に、本発明の一実施形態を図１〜図３に基づいて説明する。
【００２０】
図１〜図３に示す本実施形態は、従来例のトリミング方法でＮ本のトリミングラインで行うトリミングを、Ｎ本目のトリミングラインにおいて、上記の図２、図３の説明のように、計測回路特性値が所定特性値に到達する少し前に、Ｎ＋１本目のトリミングラインに切替えることにより、より微細な調整を可能にするものである。
【００２１】
例えば、従来例では３本のトリミングラインで行う場合、図１に示すように、トリミング部品１について、先ず、従来例と同様に、トリミングすべき各トリミングライン▲１▼、▲２▼、▲３▼、▲４▼の位置と、トリミングラインの所定トリミング長さＴ０  とを予め設定し、次いで、本実施形態の特徴として、図２に示すように、回路基板の計測特性値が所定特性値に到達する少し前の段階でトリミングラインを切り替えるべき基準になる回路基板の切替え特性値と、図３に示すように、回路基板の計測特性値が所定特性値に到達する少し前の段階でトリミングラインを切り替えるべき基準になる回路基板の計測特性値の許容最大特性変化率＝ΔＰＭ  ／Δｘとを予め設定する。そして、回路基板の計測特性値が前記の切替え特性に近づくまでは前記所定トリミング長さＴ０  によるトリミングラインの切替え作用が働き、最終のトリミングラインの前のトリミングラインにおいて、前記の２種類の切替え特性によるトリミングラインの切替えが行われるようにする。
【００２２】
以下に、本実施形態の動作を図１〜図３に基づいて説明する。
【００２３】
図１において、トリミングライン▲１▼、▲２▼のトリミングについては、従来例と同様なので説明を省略する。
【００２４】
図１の３本目のトリミングライン▲３▼のトリミングを行うと、計測特性値は、図２又は図３に示すように変化する。
【００２５】
若し、図２に示すように変化すると、トリミングラインの切替え毎に、トリミング長さの増加に対する計測特性値の変化率が減少するので、計測特性値が前記切替え特性値に到達して、最後のトリミングラインに切替えられると、より小さな前記計測特性変化率で所定特性に到達し、微細な調整が可能になる。
【００２６】
若し、図３に示すように変化すると、各トリミングライン毎に、トリミング長さの増加に対する計測特性値の変化率が、トリミング長さが長くなるに従って、大きくなるので、計測特性値の変化率が前記の回路基板の計測特性値の許容最大特性変化率＝ΔＰＭ  ／Δｘに到達して、最後のトリミングラインに切替えられ、より小さな計測特性変化率で所定特性に到達し、微細な調整が可能になる。
【００２７】
尚、図２に示すトリミングによる回路特性の変化パターンに対する上記の方法は、図３に示すトリミングによる回路特性の変化パターンに対しても有効であるのは勿論である。
【００２８】
【発明の効果】
本発明のトリミング方法によると、下記の効果が得られる。
【００３０】
回路基板の計測特性値が所定特性値に到達する前にトリミングラインを切り替えるべき回路基板の計測特性値の許容最大特性変化率＝ΔＰM ／Δｘを設定し、この許容最大特性変化率＝ΔＰM ／Δｘに到達した時点でトリミングラインを切り替えることにより、回路基板特性のより微細な調整が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の動作を示す平面図である。
【図２】本発明の一実施形態の回路基板の特性値の変化を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態の回路基板の許容最大特性変化率＝ΔＰＭ  ／Δｘを示す図である。
【図４】従来例の動作を示す平面図である。
【図５】従来例のトリミング方法の問題点を示す平面図である。
【図６】従来例の回路基板の特性値の変化を示す図である。
【図７】従来例の回路基板の特性値の変化を示す図である。
【符号の説明】
１  抵抗部品
２  抵抗体
３ａ  第１照射開始点
３ｂ  第２照射開始点
３ｃ  第３照射開始点
４ａ  第１照射終了位置
４ｂ  第２照射終了位置
４ｃ  第３照射終了位置
Ｘ  所定間隔
Ｔ０    所定トリミング長さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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