【手続補正書】
【提出日】令和3年9月30日(2021.9.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体入口及び流体出口を有する内部流路を含む対象物体の温度を制御するための温度制御装置であって、
流体入口及び流体出口を有し、前記流体入口から流入した流体の温度を第１温度に調節する第１温度調節部と、
流体入口及び流体出口を有し、前記流体入口から流入した流体の温度を前記第１温度とは異なる第２温度に調節する第２温度調節部と、
複数のバルブと、
前記複数のバルブの切り替えを制御するように構成される制御部と、を備え、
前記制御部は、
第１のモードにおいて、第１流体を前記内部流路の流体出口から前記第１温度調節部を介して前記内部流路の流体入口に流すとともに、第２流体を前記複数のバルブのうち少なくとも一つと前記第２温度調節部との間で循環するように前記複数のバルブを制御し、
第２のモードにおいて、前記第２流体を前記内部流路の流体出口から前記第２温度調節部を介して前記内部流路の流体入口に流すとともに、前記第１流体を前記複数のバルブのうち少なくとも一つと前記第１温度調節部との間で循環するように前記複数のバルブを制御するように構成される、
温度制御装置。
【請求項２】
前記複数のバルブは、
第１ポート、第２ポート及び第３ポートを有する第１三方弁であり、前記第１三方弁の第１ポートは、前記内部流路の流体入口に接続され、前記第１三方弁の第２ポートは、前記第１温度調節部の流体出口に接続され、前記第１三方弁の第３ポートは、前記第１温度調節部の流体入口に接続される、第１三方弁と、
第１ポート、第２ポート及び第３ポートを有する第２三方弁であり、前記第２三方弁の第１ポートは、前記内部流路の流体入口に接続され、前記第２三方弁の第２ポートは、前記第２温度調節部の流体出口に接続され、前記第２三方弁の第３ポートは、前記第２温度調節部の流体入口に接続される、第２三方弁と、
第１ポート、第２ポート及び第３ポートを有する第３三方弁であり、前記第３三方弁の第１ポートは、前記内部流路の流体出口に接続され、前記第３三方弁の第２ポートは、前記第１温度調節部の流体入口に接続され、前記第３三方弁の第３ポートは、前記第２温度調節部の流体入口に接続される、第３三方弁と、を含み、
前記制御部は、
前記第１のモードにおいて、前記第１流体を前記内部流路の流体出口から前記第１温度調節部を介して前記内部流路の流体入口に流すとともに、前記第２流体を前記第２三方弁と前記第２温度調節部との間で循環するように前記第１三方弁、前記第２三方弁及び前記第３三方弁を制御し、
前記第２のモードにおいて、前記第２流体を前記内部流路の流体出口から前記第２温度調節部を介して前記内部流路の流体入口に流すとともに、前記第１流体を前記第１三方弁と前記第１温度調節部との間で循環するように前記第１三方弁、前記第２三方弁及び前記第３三方弁を制御するように構成される、
請求項１に記載の温度制御装置。
【請求項３】
前記複数のバルブは、
第１ポート及び第２ポートを有する第１二方弁であり、前記第１二方弁の第１ポートは、前記第１温度調節部の流体出口に接続され、前記第１二方弁の第２ポートは、前記第１温度調節部の入口に接続される、第１二方弁と、
第１ポート及び第２ポートを有する第２二方弁であり、前記第２二方弁の第１ポートは、前記第２温度調節部の流体出口に接続され、前記第２二方弁の第２ポートは、前記第２温度調節部の入口に接続される、第２二方弁と、
第１ポート、第２ポート及び第３ポートを有する第１三方弁であり、前記第１三方弁の第１ポートは、前記内部流路の流体入口に接続され、前記第１三方弁の第２ポートは、前記第１温度調節部の流体出口に接続され、前記第１三方弁の第３ポートは、前記第２温度調節部の流体出口に接続される、第１三方弁と、
第１ポート、第２ポート及び第３ポートを有する第２三方弁であり、前記第２三方弁の第１ポートは、前記内部流路の流体出口に接続され、前記第２三方弁の第２ポートは、前記第１温度調節部の流体入口に接続され、前記第２三方弁の第３ポートは、前記第２温度調節部の流体入口に接続される、第２三方弁と、を含み、
前記制御部は、
前記第１のモードにおいて、前記第１流体を前記内部流路の流体出口から前記第１温度調節部を介して前記内部流路の流体入口に流すとともに、前記第２流体を前記第２二方弁と前記第２温度調節部との間で循環するように前記第１二方弁、前記第２二方弁、前記第１三方弁及び前記第２三方弁を制御し、
前記第２のモードにおいて、前記第２流体を前記内部流路の流体出口から前記第２温度調節部を介して前記内部流路の流体入口に流すとともに、前記第１流体を前記第１二方弁と前記第１温度調節部との間で循環するように前記第１二方弁、前記第２二方弁、前記第１三方弁及び前記第２三方弁を制御するように構成される、
請求項１に記載の温度制御装置。
【請求項４】
前記複数のバルブは、
第１ポート及び第２ポートを有する第１二方弁であり、前記第１二方弁の第１ポートは、前記第１温度調節部の流体出口に接続され、前記第１二方弁の第２ポートは、前記第１温度調節部の流体入口に接続される、第１二方弁と、
第１ポート及び第２ポートを有する第２二方弁であり、前記第２二方弁の第１ポートは、前記第２温度調節部の流体出口に接続され、前記第２二方弁の第２ポートは、前記第２温度調節部の流体入口に接続される、第２二方弁と、
第１ポート及び第２ポートを有する第３二方弁であり、前記第３二方弁の第１ポートは、前記内部流路の流体入口に接続され、前記第３二方弁の第２ポートは、前記第１温度調節部の流体出口に接続される、第３二方弁と、
第１ポート及び第２ポートを有する第４二方弁であり、前記第４二方弁の第１ポートは、前記内部流路の流体入口に接続され、前記第４二方弁の第２ポートは、前記第２温度調節部の流体出口に接続される、第４二方弁と、
第１ポート及び第２ポートを有する第５二方弁であり、前記第５二方弁の第１ポートは、前記内部流路の流体出口に接続され、前記第５二方弁の第２ポートは、前記第１温度調節部の流体入口に接続される、第５二方弁と、
第１ポート及び第２ポートを有する第６二方弁であり、前記第６二方弁の第１ポートは、前記内部流路の流体出口に接続され、前記第６二方弁の第２ポートは、前記第２温度調節部の流体入口に接続される、第６二方弁と、を含み、
前記制御部は、
前記第１のモードにおいて、前記第１流体を前記内部流路の流体出口から前記第１温度調節部を介して前記内部流路の流体入口に流すとともに、前記第２流体を前記第２二方弁と前記第２温度調節部との間で循環するように前記第１〜第６二方弁を制御し、
前記第２のモードにおいて、前記第２流体を前記内部流路の流体出口から前記第２温度調節部を介して前記内部流路の流体入口に流すとともに、前記第１流体を前記第１二方弁と前記第１温度調節部との間で循環するように前記第１〜第６二方弁を制御するように構成される、
請求項１に記載の温度制御装置。
【請求項５】
前記複数のバルブは、
第１ポート、第２ポート及び第３ポートを有する第１三方弁であり、前記第１三方弁の第１ポートは、前記内部流路の流体出口に接続され、前記第１三方弁の第２ポートは、前記第１温度調節部の流体出口に接続され、前記第１三方弁の第３ポートは、前記第１温度調節部の流体入口に接続される、第１三方弁と、
第１ポート、第２ポート及び第３ポートを有する第２三方弁であり、前記第２三方弁の第１ポートは、前記内部流路の流体出口に接続され、前記第２三方弁の第２ポートは、前記第２温度調節部の流体出口に接続され、前記第２三方弁の第３ポートは、前記第２温度調節部の流体入口に接続される、第２三方弁と、
第１ポート、第２ポート及び第３ポートを有する第３三方弁であり、前記第３三方弁の第１ポートは、前記内部流路の流体入口に接続され、前記第３三方弁の第２ポートは、前記第１温度調節部の流体出口に接続され、前記第３三方弁の第３ポートは、前記第２温度調節部の流体出口に接続される、第３三方弁と、を含み、
前記制御部は、
前記第１のモードにおいて、前記第１流体を前記内部流路の流体出口から前記第１温度調節部を介して前記内部流路の流体入口に流すとともに、前記第２流体を前記第２三方弁と前記第２温度調節部との間で循環するように前記第１三方弁、前記第２三方弁及び前記第３三方弁を制御し、
前記第２のモードにおいて、前記第２流体を前記内部流路の流体出口から前記第２温度調節部を介して前記内部流路の流体入口に流すとともに、前記第１流体を前記第１三方弁と前記第１温度調節部との間で循環するように前記第１三方弁、前記第２三方弁及び前記第３三方弁を制御するように構成される、
請求項１に記載の温度制御装置。
【請求項６】
前記対象物体は、
基板を載置する載置台である、
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の温度制御装置。
【請求項７】
第１温度の第１流体又は第２温度の第２流体が循環する対象物体の温度を制御する温度制御方法であって、
ａ）  第１温度調節部により前記第１流体を前記第１温度に調節する工程と、
ｂ）  第２温度調節部により前記第２流体を前記第２温度に調節する工程と、
ｃ）  前記第１温度に調節された前記第１流体を、前記対象物体に接続された第１流体循環路に供給するとともに、前記第２温度に調節された前記第２流体を、前記対象物体から分離された第１バイパス流路に供給する工程と、
ｄ）  前記第２温度に調節された前記第２流体を、前記対象物体に接続された第２流体循環路に供給するとともに、前記第１温度に調節された前記第１流体を、前記対象物体から分離された第２バイパス流路に供給する工程と、
ｅ）  前記第１流体循環路、前記第２流体循環路、前記第１バイパス流路及び前記第２バイパス流路内に配置された複数のバルブの切り替えにより前記工程ｃ）と前記工程ｄ）とを切り替える工程と、
を有する、温度制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】温度制御装置及び温度制御方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本開示は、温度制御装置及び温度制御方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
一の側面では、本開示は、弁の数を低減する温度制御装置及び温度制御方法を提供する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するために、一の態様によれば、流体入口及び流体出口を有する内部流路を含む対象物体の温度を制御するための温度制御装置であって、流体入口及び流体出口を有し、前記流体入口から流入した流体の温度を第１温度に調節する第１温度調節部と、流体入口及び流体出口を有し、前記流体入口から流入した流体の温度を前記第１温度とは異なる第２温度に調節する第２温度調節部と、複数のバルブと、前記複数のバルブの切り替えを制御するように構成される制御部と、を備え、前記制御部は、第１のモードにおいて、第１流体を前記内部流路の流体出口から前記第１温度調節部を介して前記内部流路の流体入口に流すとともに、第２流体を前記複数のバルブのうち少なくとも一つと前記第２温度調節部との間で循環するように前記複数のバルブを制御し、第２のモードにおいて、前記第２流体を前記内部流路の流体出口から前記第２温度調節部を介して前記内部流路の流体入口に流すとともに、前記第１流体を前記複数のバルブのうち少なくとも一つと前記第１温度調節部との間で循環するように前記複数のバルブを制御するように構成される、温度制御装置が提供される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
一の側面によれば、弁の数を低減する温度制御装置及び温度制御方法を提供することができる。