(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
口金のスリット間隙から押し出された溶液膜を、移動するキャスト面に密着させるフィルム密着装置において、口金の、溶液膜がキャスト面に密着する地点よりキャスト面移動方向の上流側に、独立した吸引口を持ちそれぞれ独立した減圧手段を有する負圧領域を複数有し、少なくとも一つの負圧領域は溶液膜との接触部分を有し、少なくとも一つの負圧領域は溶液膜との接触部分を有していないことを特徴とするフイルムの密着装置。
【請求項２】
第一の負圧領域は、溶液膜と溶液膜の全幅に渡って接触部分を有し、第二の負圧領域は、溶液膜との接触部分を有しておらず、第一の負圧領域を取り囲むように配設されたことを特徴とする請求項１に記載のフイルムの密着装置。
【請求項３】
第一の負圧領域には第一の減圧手段が接続され、第二の負圧領域には第二の減圧手段が接続されていることを特徴とする請求項２に記載のフィルム密着装置。
【請求項４】
第一の負圧領域は、溶液膜と溶液膜の全幅に渡って接触部分を有し、第二・第三・第四の負圧領域は、溶液膜との接触部分を有しておらず、第二の負圧領域は、第一の負圧領域と平行に配設され、第三・第四の負圧領域は、第一の負圧領域の両端部に配設されていることを特徴とする請求項１に記載のフィルム密着装置。
【請求項５】
第一の負圧領域には第一の減圧手段が接続され、第二の負圧領域には第二の減圧手段が接続され、第三・第四の負圧領域には第三の減圧手段が接続され第一の減圧手段と第二の減圧手段と第三の減圧手段のそれぞれに  、吸引バルブ・ブロワ・排気バルブが配設されていることを特徴とする請求項４に記載のフィルム密着装置。
【請求項６】
キャスト面はベルトであることを特徴とする請求項１に記載のフィルム密着装置。
【請求項７】
口金のスリット間隙から押し出された溶液膜を、移動するキャスト面に密着させるフィルム製造方法において、
口金の、溶液膜がキャスト面に密着する地点よりキャスト面移動方向の上流側に、独立した吸引口を持ち、それぞれ独立した減圧手段を有する、負圧領域を複数有し、溶液膜との接触部分を有する負圧領域と、溶液膜との接触部分を有していない負圧領域とにより、フィルムをキャスト面に密着させることを特徴とするフィルム製造方法。
【請求項８】
溶液膜と、溶液膜の全幅に渡って接触部分を有する、第一の負圧領域と、溶液膜との接触部分を有せず、第一の負圧領域を取り囲むように配設された第二の負圧領域とにより、フイルムをキャスト面に密着させることを特徴とする請求項７記載のフィルム製造方法。
【請求項９】
溶液膜と溶液膜の全幅に渡って接触部分を有し、第一の負圧領域と、溶液膜との接触部分を有せず、第一の負圧領域と平行に配設された第二の負圧領域と、第一の負圧領域の両端部に配設された第三・第四の負圧領域とにより、フィルムをキャスト面に密着させることを特徴とする請求項７に記載のフィルム製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、溶媒または溶液に溶解させた樹脂を口金のスリット間隙からの押し出すプラスチックフィルムの製造に使用される、フィルム密着装置及びプラスチックフィルム製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、溶媒または溶液に溶解させた樹脂（溶液膜）を口金のスリット間隙からの押し出し、キャスト面に密着させた後加熱・乾燥させるプラスチックフィルムの製造方法が知られている。この製造方法においてキャスト面への密着点が安定していれば破れることなく、乾燥斑および厚み斑の無いプラスチックフィルムが製造できる。
【０００３】
しかし、この密着点が不安定になると、密着点が最も遅れた所から溶液膜とキャスト面との間にエアーの噛み込み、これにより乾燥斑を引き起こしたり、その後の加熱によりエアーが膨張、破裂しフィルム破れを引き起こしたり、また厚み斑を引き起こしたりするという問題があった。さらに製膜速度が高速になるとこの現象は顕著になるという問題があった。
【０００４】
この問題を解決するため、溶融された熱可塑性樹脂を口金のスリット間隙からの押し出し、冷却キャスト面に密着させ固着させるプラスチックフィルムの製造方法で利用されている、静電気力やエアーナイフあるいは吸引ノズル等のフィルム密着装置の応用展開が考えられる。しかし、これらの密着装置は熱可塑性樹脂用のものであり応用展開は不可能であった。
【０００５】
例えば、静電気力は、溶媒または溶液を使用するため火災または分解ガスの発生があるため使用できない。エアーナイフあるいは吸引ノズルは、エアーの動圧を使用するため密着点が安定しない、またノズルの位置・方向及び流量調整が微妙かつ複雑であり使用できない。
【０００６】
そこで唯一応用展開が考えられるフィルム密着装置に、特公昭６２−３８１３３公報に記載されたものが知られている。このフィルム密着装置においては、図６、７に示すように、溶融膜１０６は、口金１０１を通って、矢印１１３の方向に回転するキャストドラム１０４に押し出される。口金１０１には、隔離壁１０９により分離された第一の負圧領域１０８と第二の負圧領域１１０を有する吸引ボックス１０７が固定されている。ただし第一の負圧領域１０８のエアーは隔離壁１０９の下を通って第二の負圧領域１１０に吸引される。吸引ボックス１０７はキャストドラム（ベルト）１０４との間で接触シールまたはラビリンスシールするシール面１１１を有する。第二の負圧領域１１０にのみ負圧源１１２が接続さている。
【０００７】
また、実公平８−４２７５公報に記載されたものが知られている。このフィルム密着装置においては、図８、９に示すように、溶融膜２０３は、口金２０１を通ってキャストドラム２０２に押し出される。口金２０１には、吸引口２０４が固定されておりキャストドラム２０２と吸引口２０４との間にはキャストドラム２０２とに接触してフェルト２０５を設け、更に口金２０１と吸引口２０４との間はシリコーンゴム２０６を用いて隙間をふさぎ、外気の侵入を遮断している。
【０００８】
吸引口２０４は、吸引ブロアーと複数の配管２０８で接続されている。配管２０８には、調整弁２０７が設けてある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、図６、７に示したフィルム密着装置においては、第一の負圧領域１０８に負圧源１１２が接続されていないために必要な負圧を得ることができず、溶液膜の密着時に問題となる微少なエアーの噛み込みを防止することができないという問題があった。また、強引にエアーの噛み込みを防止したとしても密着点が安定せず厚み斑を引き起こすという問題があった。
【００１０】
また、図８、９に示したフィルム密着装置においては、吸引ブロアーが一台であるため、ひとつの調整弁２０７を絞ると他の配管２０８の流量が増加するという現象が発生し、実質的に個別で調整できないという問題があった。
【００１１】
また、溶融製膜で使用されるキャストドラム２０２との接触シールは、
接触→（伝熱）シール材冷却→シール剤収縮→接圧減少→（伝熱減少）膨張のサイクル繰り返すことで適正な接圧を維持し使用可能であるが、これを溶液膜に適用した場合、
接触→（伝熱）シール材加熱→シール材膨張→接圧過大
となり短時間で接圧過大となり、キャスト面を傷つけたり、キャスト面がベルトであった場合は、ベルトの撓みが発生するので根本的に使用できないという問題があった。
本発明は、溶液膜がキャスト面に密着する際に発生する不都合を防止することにより、製品の品質を向上し、かつ高速製膜が可能なフィルム密着装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明者らが鋭意検討した結果、本発明の上記目的は下記の構成を有する本発明によって工業的に有利に達成された。
【００１３】
［１］口金のスリット間隙から押し出された溶液膜を、移動するキャスト面に密着させるフィルム密着装置において、口金の、溶液膜がキャスト面に密着する地点よりキャスト面移動方向の上流側に、独立した吸引口を持ちそれぞれ独立した減圧手段を有する負圧領域を複数有し、少なくとも一つの負圧領域は溶液膜との接触部分を有し、少なくとも一つの負圧領域は溶液膜との接触部分を有していないことを特徴とするフイルムの密着装置。
【００１４】
［２］第一の負圧領域は、溶液膜と溶液膜の全幅に渡って接触部分を有し、第二の負圧領域は、溶液膜との接触部分を有しておらず、第一の負圧領域を取り囲むように配設されたことを特徴とする上記［１］に記載のフイルムの密着装置。
【００１５】
［３］第一の負圧領域には第一の減圧手段が接続され、第二の負圧領域には第二の減圧手段が接続されていることを特徴とする上記［２］に記載のフィルム密着装置。
【００１６】
［４］第一の負圧領域は、溶液膜と溶液膜の全幅に渡って接触部分を有し、第二・第三・第四の負圧領域は、溶液膜との接触部分を有しておらず、第二の負圧領域は、第一の負圧領域と平行に配設され、第三・第四の負圧領域は、第一の負圧領域の両端部に配設されていることを特徴とする上記［１］に記載のフィルム密着装置。
【００１７】
［５］第一の負圧領域には第一の減圧手段が接続され、第二の負圧領域には第二の減圧手段が接続され、第三・第四の負圧領域には第三の減圧手段が接続され第一の減圧手段と第二の減圧手段と第三の減圧手段のそれぞれに  、吸引バルブ・ブロワ・排気バルブが配設されていることを特徴とする上記［４］に記載のフィルム密着装置。
【００１８】
［６］キャスト面はベルトであることを特徴とする上記［１］に記載のフィルム密着装置。
【００１９】
［７］口金のスリット間隙から押し出された溶液膜を、移動するキャスト面に密着させるフィルム製造方法において、
口金の、溶液膜がキャスト面に密着する地点よりキャスト面移動方向の上流側に、独立した吸引口を持ち、それぞれ独立した減圧手段を有する、負圧領域を複数有し、溶液膜との接触部分を有する負圧領域と、溶液膜との接触部分を有していない負圧領域とにより、フィルムをキャスト面に密着させることを特徴とするフィルム製造方法。
【００２０】
［８］溶液膜と、溶液膜の全幅に渡って接触部分を有する、第一の負圧領域と、溶液膜との接触部分を有せず、第一の負圧領域を取り囲むように配設された第二の負圧領域とにより、フイルムをキャスト面に密着させることを特徴とする上記［７］記載のフィルム製造方法。
【００２１】
［９］  溶液膜と溶液膜の全幅に渡って接触部分を有し、第一の負圧領域と、溶液膜との接触部分を有せず、第一の負圧領域と平行に配設された第二の負圧領域と、第一の負圧領域の両端部に配設された第三・第四の負圧領域とにより、フィルムをキャスト面に密着させることを特徴とする上記［７］に記載のフィルム製造方法。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明で使用される溶液膜としては、特に制限はないが、例えばメタ系アラミドフィルムやパラ系アラミドフィルム等があげられる。
【００２３】
以下、これを図１、２を用いて説明する。
【００２４】
図１は本発明のフィルム密着装置の概略の側面断面図である。図２は吸引ボックスの概略の平面断面図である。
【００２５】
図１について、押出機（図示せず）で溶液は口金１により溶液膜３として押し出される。このとき溶液膜３のベルト１４への密着は、口金１の、溶液膜がキャスト面に密着する地点より、ベルト１４移動方向の上流側（矢印１４の逆方向側）に配設された吸引ボックス２内の第一の負圧領域４と第二の負圧領域５とにより作り出される真空度により制御される。第一の負圧領域４には、第一の減圧系１５が接続され、第一の減圧系１５には、第一のブロアー８と、第一のブロアー８の吸気側に第一の吸気弁７と、第一のブロアー８の排気側に第一の排気弁９と、これらを繋ぐ第一の配管６とが設置してある。また第二の負圧領域５には、第二の減圧系１６が接続され、第二の減圧系１６には、第二のブロアー１２と、第二のブロアー１２の吸気側に第二の吸気弁１１と、第二のブロアー１２の排気側に第二の排気弁１１と、これらを繋ぐ第二の配管１０とが設置してある。
【００２６】
図２について、第一の負圧領域４は、溶液膜３とほぼ同等の幅方向長さを有している。幅方向長さの詳細には製膜条件等により任意に選択して良い。例えば、溶液膜３の端部の厚みが、中央部の厚みより薄い場合は、第一の負圧領域４の幅方向長さを溶液膜３より数ミリ程度短くした方が良く、また、溶液膜３の端部の厚みが、中央部の厚みより厚い場合は、第一の負圧領域４の幅方向長さを溶液膜３より数ミリ程度長くした方が良い。第一の負圧領域４のＡ寸法も製膜条件等により任意に選択して良く、１０〜２００ｍｍが最適である。
【００２７】
第二の負圧領域５は、第一の負圧領域４が溶液膜３と接している部分を除き、第一の負圧領域４を取り囲むように配設してある。第二の負圧領域５のＣ寸法及びＦ寸法も製膜条件等により任意に選択して良く、Ｃ寸法は１０〜２００ｍｍが最適であり、Ｆ寸法は５〜１００ｍｍが最適である。
【００２８】
吸引ボックス２のＢ・Ｄ・Ｅ及びＧ寸法は、必要強度・有効スペース及び製膜条件等により任意に選択して良く、Ｂ寸法及びＤ寸法は１０〜１００ｍｍが最適であり、Ｅ寸法及びＧ寸法は１〜５０ｍｍが最適である。
【００２９】
また、本発明の別の形態を図１、図３を用いて説明する。
【００３０】
図１は、本発明のフィルム密着装置の概略の側面断面図である。図３は吸引ボックス野概略の平面断面図である。
【００３１】
図１、３において、押出機（図示せず）で溶液は口金１により溶液膜３として押し出される。このとき溶液膜３のベルト１４への密着は、口金１の、溶液膜がキャスト面に密着する地点より、ベルト１４移動方向の上流側（矢印１７の逆方向側）に配設された吸引ボックス２内の第一の負圧領域４と第二の負圧領域５と第三の負圧領域２４と第四の負圧領域２５とにより作り出される真空度に
より制御される。第三の負圧領域２４と第四の負圧領域２５とは、第三の配管２６により接続され、また第三の減圧系（図示せず）に接続されている。第三の減圧系には第三のブロアー（図示せず）と、第三のブロアーの吸気側に第三の吸気弁２７と、第三のブロアーの排気側に第三の排気弁（図示せず）と第三の流量計（図示せず）と、これらを繋ぐ第三の配管２６とが設置してある。第三の負圧領域２４と第四の負圧領域２５は同じ真空度となるため代表して、第三の負圧領域２４に第三の真空計（図示せず）が設置されている。
【００３２】
図３において、第一の負圧領域４は、溶液膜３とほぼ同等の幅方向長さを有している。幅方向長さの詳細は製膜条件等により任意に選択して良い。第一の負圧領域４のＡ寸法も製膜条件等により任意に選択して良く、１０〜２００ｍｍが最適である。
【００３３】
第二の負圧領域５は、第一負圧領域４のベルト１４移動方向の上流側（矢印１７の逆方向側）に第一の負圧領域４と平行配設してある。第二の負圧領域５のＣ寸法及びＦ寸法も製膜条件等により任意に選択して良く、Ｃ寸法は、１０〜２００ｍｍが最適であり、Ｆ寸法は、５〜１００ｍｍが最適である。第二の負圧領域５のＨ寸法も製膜条件等により任意に選択して良いが、溶液膜３の幅方向長さより長くした方が望ましく、溶液膜３の幅方向長さに両端部にＥ寸法とＦ寸法を加えたものが最も望ましい。
【００３４】
第三の負圧領域２４と第四の負圧領域２５のＦ寸法も製膜条件等により任意に選択して良く５〜１００ｍｍが最適である。
【００３５】
吸引ボックス２のＢ・Ｄ・Ｅ・Ｉ及びＧ寸法は、必要強度・有効スペース及び製膜条件等により任意に選択して良く、Ｂ寸法及びＤ寸法は１０〜１００ｍｍが最適であり、Ｅ寸法及びＧ寸法及びＩ寸法は１〜５０ｍｍが最適である。
【００３６】
次に、本発明のフィルム密着装置及びフィルム製造方法の作用について説明する。
【００３７】
溶液膜３を高速で移動するベルト１４に、溶液膜３の製膜で特に問題となる微小な微小なエアーの噛み込みを発生させることなく密着できるよう、ベルト１４の移動速度に見合った第一の真空領域４に必要な真空度は第一の真空系１５によって制御し、吸引ボックス２の周囲より侵入するエアーは第二の真空領域５を制御する第二の真空系１６により排除することができる。
【００３８】
これにより、溶液膜３をベルト１４に密着させる力は、静圧により発生させることができ、安定した密着点で密着させることができる。
【００３９】
このとき第二の負圧領域５は、第一の負圧真空領域４を取り囲むように配設しすべての方向からの侵入を排除するのが最も望ましいが、用途によっては所定の方向から侵入するエアーのみを排除することが望ましいことも考えられ、このときは所定の部分のみに第二の負圧領域５が配設されていても良い。このとき第二の負圧領域５は一カ所ではなく数カ所で配設して良い。
【００４０】
また、第二の負圧領域５を、第一の負圧真空領域４と平行に配設し、第一の負圧真空領域４の両端部に第三の負圧領域２４と第四の負圧領域２５とを配設し、第二の負圧領域５と第三の負圧領域２４と第四の負圧領域２５とにより第一の負圧真空領域４を取り囲むことにより、すべての方向からの侵入を排除し、特に側面からの侵入を第三の負圧領域２４と第四の負圧領域２５により積極的に排除することが、望ましい。
【００４１】
キャスト面はドラム状、ベルト状等任意形状で良いが、ベルトであった場合は、吸引ボックス２の形状が最も単純となるので望ましい。
【００４２】
また第一の減圧系１５は第一の負圧領域４を微妙に調整するため、第一の吸気弁７により粗調整を実施し、第一の排気弁９により微調整を実施することが最も望ましいが、弁を使用せずブロアーの回転数をインバータにより制御しても良い。
【００４３】
また第二の減圧系１６は第二の負圧領域５を微妙に調整するため、第二の吸気弁１１により粗調整を実施し、第二の排気弁１３により微調整を実施することが最も望ましいが、弁を使用せずブロアーの回転数をインバータにより制御しても良い。
【００４４】
【実施例】
以下、実施例および比較例によって本発明をより具体的に説明するが、本発明は、これら実施例に限定されるものではない。
【００４５】
［実施例１］
Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）に芳香族ジアミン成分として８０モル％に相当する２−クロルパラフェニレンジアミンと、２０モル％に相当する４、４’−ジアミノジフェニルエーテルとを溶解させ、これに１００モル％に相当する２−クロルテレフタル酸クロリドを添加し、２時間攪拌して重合を完了した。これを水酸化リチウムで中和して、ポリマ濃度１１重量％、粘度２０００ポイズの芳香族ポリアミド溶液を得た。この溶液を幅２ｍの口金より２ｋｇ／分で押出し溶液膜を得た。
【００４６】
吸引ボックス２の詳細寸法は次の通りとした。第一の負圧領域４のＡ寸法は１００ｍｍとした。第二の負圧領域５は、第一の負圧領域４が溶液膜３と接している部分を除き、第一の負圧領域４を取り囲むように配設した。第二の負圧領域５のＣ寸法は８０ｍｍとし、Ｆ寸法は２０ｍｍとした。
【００４７】
吸引ボックス２のＢ寸法及びＤ寸法は６０ｍｍとし、Ｅ寸法及びＧ寸法は２５ｍｍとした。
【００４８】
この吸引ボックス２により、表面温度が９０℃で矢印１７方向に移動するベルト１４に密着させた。その後熱風による乾燥、水洗工程における延伸及び水洗、熱処理工程における延伸及び熱処理工程を経た後、巻取厚さ６μｍのポリアミドフィルムを得た。
【００４９】
ベルト１４の移動速度を５ｍ／分としたところから密着を開始し、第一の負圧領域４と第二の負圧領域５の真空度を、第一の真空計１８と第二の真空計１９とにより確認しながら第一の排気弁９と第二の排気弁１３とにより微調整し、移動速度を増速した。ベルト速度が２５ｍ／分であっても、第一の負圧領域４の真空度が９０ｍｍＡｑでこのときの第一の流量計の風量が３ｍ３／分で、第二の負圧領域５の真空度が１００ｍｍＡｑでこのときの第二の流量計２１の風量が１５ｍ３／分であれば、溶液膜３とベルト１４との間にエアーを噛み込むことなく、密着点が安定し、厚み斑の良好なポリアミドフィルムを巻き取ることができた。
【００５０】
［比較例１］
第一の吸気弁７を閉じ、第一の減圧系１５を使用せずに、ベルト１４の移動速度を５ｍ／分としたところから密着を開始した。９ｍ／分辺りから、溶液膜３とベルト１４との間のエアーの噛みが発生し、１０ｍ／分では実施例で２５ｍ／分を実現した合計風量となる、第二の負圧領域５の真空度が１０５ｍｍＡｑでこのときの第二の流量計２１の風量が１８ｍ３／分、であってもエアーの噛みが収まらず、熱風乾燥時に膨張、破裂しフィルム破れが発生した。このときの第一の負圧領域４は第二の負圧領域５により間接的に減圧され真空度が８０ｍｍＡｑとなった。この時の密着状態の概略は図４の通りであった。
【００５１】
［比較例２］
第一の吸気弁７を閉じ、第一の減圧系１５を使用しないが、第一の負圧領域４の真空度を実施例と合わせるようにし、ベルト１４の移動速度を５ｍ／分としたところから密着を開始した。開始直後より密着点が安定せず１２ｍ／分となったところで突発的なエアーの噛み込みが発生するようになった。第一の負圧領域４は第二の負圧領域５により間接的に減圧され真空度が９０ｍｍＡｑとなるようにし、このときの第二の負圧領域５の真空度が１２０ｍｍＡｑでこのときの第二の流量計２１の風量が２４ｍ３／分となった。この時の密着状態の概略は図４の通りであった。
【００５２】
実施例１、比較例１及び２の主要条件と密着結果とを表１にまとめた。
【００５３】
【表１】
0003633271.tif 000002
［実施例２］
Ｎーメチルー２ーピロリドン（ＮＭＰ）に芳香族ジアミン成分として８０モル％に相当する２ークロルパラフェニレンジアミンと、２０モル％に相当する４、４′ージアミノジフェニルエーテルとを溶解させ、これに１００モル％に相当する２ークロルテレフタル酸クロリドを添加し、２時間攪拌して重合を完了した。
【００５４】
これを水酸化リチウムで中和して、ポリマ濃度１１重量％、粘度２０００ポイズの芳香族ポリアミド溶液を得た。この溶液を幅２ｍの口金より２ｋｇ／分で押し出し溶液膜を得た。
【００５５】
吸引ボックス２の詳細寸法はつぎの通りとした。第一の負圧領域４のＡ寸法は１００ｍｍとした。第二の負圧領域５は、第一の負圧領域４に平行に配設した。第二の負圧領域５のＣ寸法は８０ｍｍとし、Ｈ寸法は２０９０ｍｍとした。第三の負圧領域２４と第四の負圧領域２５のＦ寸法は２０ｍｍとした。
【００５６】
吸引ボックス２のＢ寸法及びＤ寸法は６０ｍｍとし、Ｅ寸法及びＧ寸法は２５ｍｍとしＩ寸法は５ｍｍとした。
【００５７】
この吸引ボックス２により、表面温度が９０℃で矢印１７方向に移動するベルト１４に密着させた。その後熱風による乾燥、水洗工程における延伸及び水洗、熱処理工程における延伸及び熱処理工程を経た後、巻取厚さ６μｍのポリアミドフィルムをえ得た。
【００５８】
ベルト１４の移動速度を５ｍ／分としたところから密着を開始し、第一の負圧領域４と第二の負圧領域５と第三の負圧領域の真空度を、第一の真空計１８と第二の真空計１９と第三の真空計とにより確認しながら第一の排気弁９と第二の排気弁１３と第三の排気弁とにより微調整し、移動速度を増速した。ベルト速度が２７ｍ／分であっても、第一の負圧領域４の真空度９０ｍｍＡｑでこのときの第一の
流量計２１の風量が１ｍ３／分で、  第二の負圧領域５の真空度１２０ｍｍＡｑでこのときの第二の流量計２１の風量が９ｍ３／分で、第三の負圧領域５の真空度が１２０ｍｍＡｑでこのときの第三の流量計の風量が９ｍ３／分であれば、溶液膜３とベルト１４との間にエアーを噛み込むことなく、密着点が安定し、厚み斑の良好なポリアミドフィルムを巻き取ることができた。
【００５９】
［実施例３］
ベルト１４の移動速度を５ｍ／分としたところから密着を開始し、第一の負圧領域４と第二の負圧領域５と第三の負圧領域の真空度を、第一の真空計１８と第二の真空計１９と第三の真空計とにより確認しながら第一の排気弁９と第二の排気弁１３と第三の排気弁とにより微調整し、移動速度を増速した。ベルト速度が２５ｍ／分であっても、第一の負圧領域４の真空度９０ｍｍＡｑでこのときの第一の
流量計２１の風量が４ｍ３／分で、  第二の負圧領域５の真空度が  ５０ｍｍＡｑでこのときの第二の流量計２１の風量が４ｍ３／分で、第三の負圧領域５の真空度が１２０ｍｍＡｑでこのときの第三の流量計の風量が１０ｍ３／分であれば、溶液膜３とベルト１４との間にエアーを噛み込むことなく、密着点が安定し、厚み斑の良好なポリアミドフィルムを巻き取ることができた。
【００６０】
［比較例３］
ベルト１４の移動速度を５ｍ／分としたところから密着を開始し、第一の負圧領域４と第二の負圧領域５と第三の負圧領域の真空度を、第一の真空計１８と第二の真空計１９と第三の真空計とにより確認しながら第一の排気弁９と第二の排気弁１３と第三の排気弁とにより微調整し、移動速度を増速した。第一の負圧領域４の真空度９０ｍｍＡｑでこのときの第一の流量計２１の風量が８ｍ３／分で、第二の負圧領域５の真空度  ５０ｍｍＡｑでこのときの第二の流量計２１の風量が５ｍ３／分で、第三の負圧領域５の真空度が５０ｍｍＡｑでこのときの第三の流量計の風量が６ｍ３／分であった場合、ベルト速度が１８ｍ／分から密着点が不安定となり  、２０ｍ／分で突発的なエアの噛みこみが発生するようになった。
実施例２及び比較例３の主要条件と密着結果とを表２にまとめた。
【００６１】
【表２】
0003633271.tif 000003
【００６２】
【発明の効果】
接触シールを使用することなく、しかも簡便で安価な構造で、溶液膜を、高速で移動するベルトに溶液膜の製膜で特に問題となる微小なエアーの噛み込みを発生させることなく密着でき、ベルトの移動速度に見合いかつ必要な真空度を、溶液膜と接触する第一の真空領域および、第一の真空領域に接続された第一の減圧系により微妙に制御することができ、吸引ボックスの周囲より侵入するエアーは第二の真空領域及び第二の真空領域に接続された第二の減圧系により排除されるので、溶液膜は、静圧により発生された密着力により、安定した密着点で密着することができる。
【００６３】
これにより従来、溶液膜の製膜では考えることのできなかった、厚み斑が無く高品質を保ちながらの、高速製膜が可能となった。
【００６４】
また、第二の負圧領域を、第一の負圧真空領域と平行に配設し、第一の負圧真空領域の両端部に第三の負圧領域と第四の負圧領域とを配設し、第二の負圧領域と第三の負圧領域と第四の負圧領域とにより第一の負圧真空領域４４を取り囲むことにより、すべての方向からの侵入を排除し、特に側面からの侵入わ第三の負圧領域と第四の負圧領域により積極的に排除することによりさらなる、製膜速度の高速化が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るフィルム密着装置の一実施例の断面概略図である。
【図２】本発明に係るフィルム密着装置の一実施例の平面（底面）概略図である。
【図３】比較例１におけるフィルム密着状態の概略図である。
【図４】比較例２におけるフィルム密着状態の概略図である。
【図５】従来のフィルム密着装置の断面概略図である。
【図６】従来のフィルム密着装置の平面概略図である。
【図７】従来のフィルム密着装置の断面概略図である。
【図８】従来のフィルム密着装置の平面略図である。
【図９】従来のフィルム密着装置の断面概略図である。
【符号の説明】
１：口金
２：吸引ボックス
３：溶液膜
４：第一の負圧領域
５：第二の負圧領域
６：第一の配管
７：第一の吸気弁
８：第一のブロアー
９：第一の排気弁
１０：第二の配管
１１：第二の吸気弁
１２：第二のブロアー
１３：第二の排気弁
１４：ベルト
１５：第一の減圧系
１６：第二の減圧系
１７：矢印
１８：第一の真空計
１９：第二の真空計
２０：第一の流量計
２１：第二の流量計
２２：密着線
２３：噛み込みエアー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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