【手続補正書】
【提出日】令和3年5月10日(2021.5.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する基板保持ユニットと、
前記基板を処理するための処理液を吐出するための処理液ノズルと、
前記処理液ノズルに処理液を供給する供給配管と、
前記供給配管に介装され、当該供給配管を開閉する供給バルブと、
前記処理液ノズルから吐出された処理液であって、前記基板保持ユニットに保持されている基板に供給されない処理液が流れる流通配管と、
前記供給バルブからの処理液の漏出を検出するための漏液検出ユニットであって、前記流通配管に介装されて当該流通配管を開閉する流通バルブと、前記流通配管のうち前記流通バルブよりも上流側の上流側領域に溜まる処理液、または前記上流側領域から分岐し、処理液を溜めておくことが可能な分岐領域に溜まる処理液を検出するための検出器とを有し、前記供給バルブおよび前記流通バルブの閉状態において前記上流側領域または前記分岐領域に溜まる処理液に基づいて前記供給バルブからの漏液を検出する漏液検出ユニットとを含む、基板処理装置。
【請求項２】
前記処理液ノズルを、前記基板保持ユニットに保持されている基板の上方に位置する処理位置と、前記基板保持ユニットに保持されている基板の上方から側方に退避する退避位置との間で移動させるノズル移動ユニットをさらに含み、
前記流通配管が、前記退避位置に配置されている前記処理液ノズルから吐出された処理液が流れる退避流通配管を含む、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記退避位置に配置された前記処理液ノズルから吐出される処理液を受け止めるポットをさらに含み、
前記退避流通配管が、前記ポットに接続され、前記ポットに受け止められた処理液が、排液のために流れる排液配管を含む、請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記漏液検出ユニットが、前記処理液ノズルが前記退避位置に配置されている状態で前記流通バルブを閉じるバルブ閉成工程を実行する、請求項２または３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記ノズル移動ユニットが、前記退避位置に配置されている前記処理液ノズルを当該退避位置から他の位置に移動させる移動工程を実行し、
前記漏液検出ユニットが、前記移動工程に先立って、閉状態にある前記流通バルブを開く、第１のバルブ開成工程を実行する、請求項２〜４のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記漏液検出ユニットが、前記処理液ノズルが前記退避位置に配置されている状態で前記供給バルブを開く退避吐出工程に先立って、閉状態にある前記流通バルブを開く、第２のバルブ開成工程を実行する、請求項２〜５のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記漏液検出ユニットが、前記供給バルブから漏液を検出した場合に、閉状態にある前記流通バルブを開く、第３のバルブ開成工程を実行する、請求項１〜６のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記検出器が、前記上流側領域に溜まる処理液を検出し、
前記漏液検出ユニットが、前記処理液ノズルが前記退避位置に配置されかつ前記流通バルブが閉じられた状態にある場合に、当該漏液検出ユニットによる漏液検出を有効にし、それを除く所定の場合に、当該漏液検出ユニットによる漏液検出を無効にする、請求項２〜６のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記漏液検出ユニットが、前記処理液ノズルが前記退避位置に配置されている状態で前記供給バルブおよび前記流通バルブが開かれる退避吐出工程の実行中において、当該漏液検出ユニットによる漏液検出を無効にする、請求項８に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記漏液検出ユニットが、
予め定める検出期間内に予め定める検出量の処理液が検出された場合に、前記供給バルブからの漏液ありと検出し、
前記流通バルブが閉じられてから前記検出期間内に前記検出量の処理液が検出されなかった場合には、前記供給バルブからの漏液なしと検出する、請求項１〜９のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１１】
前記検出器が、前記上流側領域または前記分岐領域に溜まる処理液の液位が所定高さに達したか否かを検出する液位センサを含む、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１２】
前記供給配管が、前記供給バルブが介装された第１の配管部分と、前記第１の配管部分の下流端から上方に延びる第２の配管部分と、前記第２の配管部分の下流端から水平に延びる第３の配管部分と、前記第３の配管部分と前記処理液ノズルとを接続する第４の配管部分とを含み、
前記処理液ノズルからの処理液の吐出後に、前記供給配管内の処理液を吸引して、当該処理液の先端面を、前記第３の配管部分または第４の配管部分に設定された所定の後退位置まで吸引する吸引装置をさらに含む、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１３】
基板に向けて処理液を吐出するための処理液ノズルに処理液を供給する供給配管と、前記供給配管に介装され、当該供給配管を開閉する供給バルブと、前記処理液ノズルから吐出された処理液であって、前記基板に供給されない処理液が流れる流通配管と、前記流通配管に介装されて当該流通配管を開閉する流通バルブとを含む基板処理装置において実行される基板処理方法であって、
前記供給バルブが閉状態にある状態で、前記流通バルブを閉じるバルブ閉成工程と、
前記供給バルブの閉状態かつ前記流通バルブの閉状態において、前記流通配管のうち前記流通バルブよりも上流側の上流側領域に溜まる処理液、または前記上流側領域から分岐し、処理液を溜めておくことが可能な分岐領域に溜まる処理液に基づいて前記供給バルブからの処理液の漏出を検出する漏液検出工程とを含む、基板処理方法。
【請求項１４】
前記流通配管が、前記基板の上方から側方に退避する退避位置に配置されている前記処理液ノズルから吐出された処理液が流れる退避流通配管を含み、
前記基板処理方法が、前記処理液ノズルを、前記バルブ閉成工程に先立って、前記退避位置に配置する退避位置配置工程をさらに含む、請求項１３に記載の基板処理方法。
【請求項１５】
前記退避位置に配置されている前記処理液ノズルを当該退避位置から他の位置に移動させる移動工程と、
前記移動工程に先立って、閉状態にある前記流通バルブを開く、第１のバルブ開成工程とをさらに含む、請求項１４に記載の基板処理方法。
【請求項１６】
前記処理液ノズルが前記退避位置に配置されている状態で前記供給バルブを開くことにより、プリディスペンスのために前記処理液ノズルから処理液を吐出する退避吐出工程と、
前記退避吐出工程に先立って、閉状態にある前記流通バルブを開く、第２のバルブ開成工程とをさらに含む、請求項１４または１５に記載の基板処理方法。
【請求項１７】
前記漏液検出工程が前記供給バルブからの漏液を検出した場合に、閉状態にある前記流通バルブを開く、第３のバルブ開成工程をさらに含む、請求項１３〜１６のいずれか一項に記載の基板処理方法。
【請求項１８】
前記漏液検出工程が、
前記処理液ノズルが前記基板の上方から側方に退避する退避位置に配置されかつ前記流通バルブが閉じられた状態にある場合に、当該漏液検出工程における漏液検出を有効にし、それ以外の所定の場合に、当該漏液検出工程における漏液検出を無効にする検出無効工程を含む、請求項１３〜１７のいずれか一項に記載の基板処理方法。
【請求項１９】
前記検出無効工程が、前記処理液ノズルが前記退避位置に配置されかつ前記供給バルブおよび前記流通バルブが開かれている場合に、前記漏液検出工程における漏液検出を無効にする、請求項１８に記載の基板処理方法。
【請求項２０】
前記漏液検出工程が、
予め定める検出期間内に予め定める検出量の処理液が検出された場合に、前記供給バルブからの漏液ありと検出し、かつ前記流通バルブが閉じられてから前記検出期間内に前記検出量の処理液が検出されなかった場合には、前記供給バルブからの漏液なしと検出する工程を含む、請求項１３〜１９のいずれか一項に記載の基板処理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
この発明の一実施形態は、基板を保持する基板保持ユニットと、前記基板を処理するための処理液を吐出するための処理液ノズルと、前記処理液ノズルに処理液を供給する供給配管と、前記供給配管に介装され、当該供給配管を開閉する供給バルブと、前記処理液ノズルから吐出された処理液であって、前記基板保持ユニットに保持されている基板に供給されない処理液が流れる流通配管と、前記供給バルブからの処理液の漏出を検出するための漏液検出ユニットであって、前記流通配管に介装されて当該流通配管を開閉する流通バルブと、前記流通配管のうち前記流通バルブよりも上流側の上流側領域に溜まる処理液、または前記上流側領域から分岐し、処理液を溜めておくことが可能な分岐領域に溜まる処理液を検出するための検出器とを有し、前記供給バルブおよび前記流通バルブの閉状態において前記上流側領域、または前記分岐領域に溜まる処理液に基づいて前記供給バルブからの漏液を検出する漏液検出ユニットとを含む、基板処理装置を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
処理液ノズルから吐出された処理液を用いて供給バルブからの処理液の漏出を検出するから、処理液の先端面を大きく後退させることなく供給バルブからの処理液の漏出を検出することができる。ゆえに、スループットの短縮を図りながら、供給バルブからの処理液の漏出を検出することができる。
この発明の一実施形態では、前記基板処理装置が、前記処理液ノズルを、前記基板保持ユニットに保持されている基板の上方に位置する処理位置と、前記基板保持ユニットに保持されている基板の上方から側方に退避する退避位置との間で移動させるノズル移動ユニットをさらに含む。そして、前記流通配管が、前記退避位置に配置されている前記処理液ノズルから吐出された処理液が流れる退避流通配管を含む。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
この構成によれば、退避流通配管を用いて供給バルブからの漏液の検出を行う。基板処理時に基板に供給される処理液が流入しない退避流通配管を用いて供給バルブからの漏液の検出を行うので、供給バルブからの漏液の検出を精度良く行うことができる。
この発明の一実施形態では、前記基板処理装置が、前記退避位置に配置された前記処理液ノズルから吐出される処理液を受け止めるポットをさらに含む。そして、前記退避流通配管が、前記ポットに接続され、前記ポットに受け止められた処理液が、排液のために流れる排液配管を含む。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
この発明の一実施形態では、前記漏液検出ユニットが、前記処理液ノズルが前記退避位置に配置されている状態で前記流通バルブを閉じるバルブ閉成工程を実行する。
この構成によれば、処理液ノズルが退避位置に配置されている状態で流通バルブを閉じる。これにより、供給バルブからの漏液がある場合に、供給バルブから漏出した処理液を、退避流通配管の上流側領域または分岐領域で溜めることができる。そして、上流側領域または分岐領域に溜められた処理液を検出することにより、供給バルブからの漏液を、退避流通配管において良好に検出することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
この発明の一実施形態では、前記ノズル移動ユニットが、前記退避位置に配置されている前記処理液ノズルを当該退避位置から他の位置に移動させる移動工程を実行する。そして、前記漏液検出ユニットが、前記移動工程に先立って、閉状態にある前記流通バルブを開く、第１のバルブ開成工程を実行する。
この構成によれば、退避位置から他の位置に移動させる移動工程に先立って、閉状態にある流通バルブを開状態にする。これにより、退避流通配管の上流側領域または分岐領域に溜められている処理液がある場合に、この処理液を上流側領域外または分岐領域外に放出することができる。そのため、漏液検出を行わない期間において上流側領域または分岐領域に処理液が溜められるのを防止することができる。ゆえに、次回の漏液検出を良好に行うことができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
この発明の一実施形態では、前記漏液検出ユニットが、前記処理液ノズルが前記退避位置に配置されている状態で前記供給バルブを開く退避吐出工程に先立って、閉状態にある前記流通バルブを開く、第２のバルブ開成工程を実行する。
この構成によれば、退避吐出工程に先立って、閉状態にある流通バルブを開状態にする。そのため、流通バルブを開状態に維持しながら退避吐出工程を行うことができ、これにより、退避吐出工程を良好に行うことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
この発明の一実施形態では、前記漏液検出ユニットが、前記供給バルブから漏液を検出した場合に、閉状態にある前記流通バルブを開く、第３のバルブ開成工程を実行する。
この構成によれば、供給バルブから漏液を検出した場合に、閉状態にある流通バルブを開くことにより、流通配管の上流側領域または分岐領域に溜められた処理液を上流側領域外に放出することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
この発明の一実施形態では、前記検出器が、前記上流側領域に溜まる処理液を検出する。そして、前記漏液検出ユニットは、前記処理液ノズルが前記退避位置に配置されかつ前記流通バルブが閉じられた状態にある場合に、当該漏液検出ユニットによる漏液検出を有効にし、それを除く所定の場合に、当該漏液検出ユニットによる漏液検出を無効にする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
この構成によれば、処理液ノズルが処理位置に配置されかつ供給バルブが閉状態にある場合、すなわち、基板に対する処理液の供給中において、漏液検出ユニットによる漏液検出を有効にする。これにより、非処理時において供給バルブからの漏液の検出を行うことができる。
この発明の一実施形態では、前記漏液検出ユニットが、前記処理液ノズルが前記退避位置に配置されている状態で前記供給バルブおよび前記流通バルブが開かれる退避吐出工程の実行中において、当該漏液検出ユニットによる漏液検出を無効にする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
この発明の一実施形態のように、前記漏液検出ユニットが、予め定める検出期間内に予め定める検出量の処理液が検出された場合に、前記供給バルブからの漏液ありと検出し、前記流通バルブが閉じられてから前記検出期間内に前記検出量の処理液が検出されなかった場合には、前記供給バルブからの漏液なしと検出してもよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
この発明の一実施形態では、前記検出器が、前記上流側領域または分岐領域に溜まる処理液の液位が所定高さに達したか否かを検出する液位センサを含む。
この構成によれば、上流側領域または分岐領域に溜まる処理液を、比較的簡単な構成の液位センサによって検出できる。そのため、処理液ノズルから落液する処理液を直接検出する場合と比較して、供給ノズルからの漏液の検出を、安価に行える。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
この発明の一実施形態では、前記供給配管が、前記供給バルブが介装された第１の配管部分と、前記第１の配管部分の下流端から上方に延びる第２の配管部分と、前記第２の配管部分の下流端から水平に延びる第３の配管部分と、前記第３の配管部分と前記処理液ノズルとを接続する第４の配管部分とを含む。そして、前記基板処理装置が、前記処理液ノズルからの処理液の吐出後に、前記供給配管内の処理液を吸引して、当該処理液の先端面を、前記第３の配管部分または第４の配管部分に設定された所定の後退位置まで吸引する吸引装置をさらに含む。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
この発明の一実施形態は、基板に向けて処理液を吐出するための処理液ノズルに処理液を供給する供給配管と、前記供給配管に介装され、当該供給配管を開閉する供給バルブと、前記処理液ノズルから吐出された処理液であって、前記基板に供給されない処理液が流れる流通配管と、前記流通配管に介装されて当該流通配管を開閉する流通バルブとを含む基板処理装置において実行される基板処理方法であって、前記供給バルブが閉状態にある状態で、前記流通バルブを閉じるバルブ閉成工程と、前記供給バルブの閉状態かつ前記流通バルブの閉状態において、前記流通配管のうち前記流通バルブよりも上流側の上流側領域に溜まる処理液、または前記上流側領域から分岐し、処理液を溜めておくことが可能な分岐領域に溜まる処理液に基づいて前記供給バルブからの処理液の漏出を検出する漏液検出工程とを含む、基板処理方法を提供する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
処理液ノズルから吐出された処理液を用いて供給バルブからの処理液の漏出を検出するから、処理液の先端面を大きく後退させることなく供給バルブからの処理液の漏出を検出することができる。ゆえに、スループットの短縮を図りながら、供給バルブからの処理液の漏出を検出することができる。
この発明の一実施形態では、前記流通配管が、前記基板の上方から側方に退避する退避位置に配置されている前記処理液ノズルから吐出された処理液が流れる退避流通配管を含む。そして、前記基板処理方法が、前記処理液ノズルを、前記バルブ閉成工程に先立って、前記退避位置に配置する退避位置配置工程をさらに含む。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
この発明の一実施形態では、前記基板処理方法が、前記退避位置に配置されている前記処理液ノズルを当該退避位置から他の位置に移動させる移動工程と、前記移動工程に先立って、閉状態にある前記流通バルブを開く、第１のバルブ開成工程とをさらに含む。
この方法によれば、退避位置から他の位置に移動させる移動工程に先立って、閉状態にある流通バルブを開状態にする。これにより、退避流通配管の上流側領域または分岐領域に溜められている処理液がある場合に、この処理液を上流側領域外または分岐領域外に放出することができる。そのため、漏液検出を行わない期間において上流側領域または分岐領域に処理液が溜められるのを防止することができる。ゆえに、次回の漏液検出を良好に行うことができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
この発明の一実施形態では、前記基板処理方法が、前記処理液ノズルが前記退避位置に配置されている状態で前記供給バルブを開くことにより、プリディスペンスのために前記処理液ノズルから処理液を吐出する退避吐出工程と、前記退避吐出工程に先立って、閉状態にある前記流通バルブを開く、第２のバルブ開成工程とをさらに含む。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
この方法によれば、退避吐出工程に先立って、閉状態にある流通バルブを開状態にする。そのため、流通バルブを開状態に維持しながら退避吐出工程を行うことができ、これにより、退避吐出工程を良好に行うことができる。
この発明の一実施形態では、前記基板処理方法が、前記漏液検出工程が前記供給バルブからの漏液を検出した場合に、閉状態にある前記流通バルブを開く、第３のバルブ開成工程をさらに含む。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
この方法によれば、供給バルブから漏液を検出した場合に、閉状態にある流通バルブを開くことにより、流通配管の上流側領域または分岐領域に溜められた処理液を上流側領域外に放出することができる。
この発明の一実施形態では、前記漏液検出工程が、前記処理液ノズルが前記基板の上方から側方に退避する退避位置に配置されかつ前記流通バルブが閉じられた状態にある場合に、当該漏液検出工程における漏液検出を有効にし、それ以外の所定の場合に、当該漏液検出工程における漏液検出を無効にする検出無効工程を含む。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
この方法によれば、処理液ノズルが処理位置に配置されかつ供給バルブが閉状態にある場合、すなわち、非処理時において漏液検出ユニットによる漏液検出を有効にする。これにより、非処理時において供給バルブからの漏液の検出を行うことができる。
この発明の一実施形態では、前記検出無効工程が、前記処理液ノズルが前記退避位置に配置されかつ前記供給バルブおよび前記流通バルブが開かれている場合に、前記漏液検出工程における漏液検出を無効にする。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
この発明の一実施形態のように、前記漏液検出工程が、予め定める検出期間内に予め定める検出量の処理液が検出された場合に、前記供給バルブからの漏液ありと検出し、かつ前記流通バルブが閉じられてから前記検出期間内に前記検出量の処理液が検出されなかった場合には、前記供給バルブからの漏液なしと検出する工程を含んでいてもよい。