(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の面と直角な第１の方向に動くように前記基板に対応して設けられて、第１の検出電極を有する検出おもりと、及び
前記基板に対応して設けられた第２の検出電極と、を備え、
前記第１及び第２の検出電極は、それぞれ前記基板に対してある角度で延在するような切込みによって形成された表面を含み、それ等表面間で画定される加速のない場合の検出間隙は、基板と、前記検出おもり及び前記第２の電極を構成している構造体との、相互間に加えられる力作用によって予め決定されたトンネル電流が流れる幅に保持され、前記検出間隙の幅が前記第１の方向における前記検出おもりの動きで変化する加速度計。
【請求項２】
前記検出おもりと前記第１及び第２の検出電極が単一のウェーハ上に構成部材として形成される、
ことを特徴とする請求項１記載の加速度計。
【請求項３】
前記加速度計が単結晶シリコンに形成される、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の加速度計。
【請求項４】
前記検出間隙の幅の変化を検出する検出回路を含む、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の加速度計。
【請求項５】
前記検出回路は、前記第１及び第２の検出電極の間のトンネル電流の変化を検出する、
ことを特徴とする請求項４記載の加速度計。
【請求項６】
前記第２の検出電極が、取囲むように構成された検出おもりの内部に位置するように基板に設けられる、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の加速度計。
【請求項７】
前記検出おもりは、前記基板に対して前記第１の方向に動くようつるされた、穴があけられたダイアフラムを含む、
ことを特徴とする請求項６項記載の加速度計。
【請求項８】
前記基板から離れる前記検出おもりの動きを制限するように配置されたリミットプレートを含む、
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の加速度計。
【請求項９】
基板上の向い合う両端部の領域で支持されてその中央部の領域で前記基板から離間するように構成部材を形成する過程と、
集束された高エネルギイオンビーム又はレーザを使用して、前記基板の面に対してある入射角度で前記構成部材に間隙を切込んで前記基板に対してある角度で延在する２つの傾斜面を形成し、それによって検出間隙を画定する第１及び第２の検出電極を構成する切削過程と、を含み、
前記検出間隙は、前記基板と、前記構成部材を構成する構造体との、相互間に加えられる力作用によって予め決定された加速のない場合の幅に保持され、前記構造体の少なくとも一部の動きによって変化することができるように形成される、加速度計の製造方法。
【請求項１０】
前記加速度計が、シリコン基板、二酸化シリコン層及びシリコンの上部層を含む単一の複合ウェーハに形成される、
ことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は超小形化機構技術を使い、望ましくはシリコンから作られる、超小形化機構加速度計（micromechanical accelerometer）に関する。
発明の背景
超小形製造技術によるシリコン加速度計は低コスト一括製造の可能性があるので集中的に開発されている。このような加速度計は、超小形化機構懸架装置によりシリコン基板に固定された振動性すなわち力検出用のおもり（proof mass）を有する。市販のチップ（ADXL50）において、検出おもりの位置は差動容量測定により検出される。圧力平衡型構成（force−balance configuration）を使うことにより、チップが応答すべき加速度に応じて検出おもり（proof mass）は片寄り、検出おもりを静電的に片寄らせて加速度の効果を相殺するために、差動容量測定から生ずる検出信号が増幅され帰還される。加速度計からの出力は加速度の効果を相殺するために必要な帰還電圧である。
検出信号が検出先端部と対向電極の間とのトンネル電流から導出されるトンネルベースの加速度計も提案されている。このようなトンネルベース・センサは、第７回固体センサ・アクチュエーター国際会議におけるハワード・ケー・ロックスタット他による「電子トンネル変換器による小形高感度広帯域加速度計」と題する論文の836乃至839ページに提案されている。このようなトンネルベースの加速度計は容量性の加速度計よりも大きな感度を有するが、製造上１枚以上のシリコンウェーハを必要とする。ロックスタット他による前記論文に記述された解決方法では、加速度計を作るのに３枚のウェーハを必要とする。各ウェーハは加速度計の構成要素を含み、ウェーハを一緒に固定する時には、注意深く配列されなければならない。このような加速度計の製造コストは、３枚のウェーハに構成要素を作り込み、加速度計の組み立ての時はウェーハを注意深く配列しなければならないために高くなる。
本発明の目的は、高感度で低生産コストの加速度計を提供することである。
発明の概要
本発明の一つの局面において、基板と、上記基板の面と直角な第１の方向に動くように上記基板に対応して設けられて、第１の検出電極を有する検出おもりと、及び上記基板に対応して設けられた第２の検出電極と、を備え、上記第１及び第２の検出電極は、それぞれ上記基板に対してある角度で延在するような切込みによって形成された表面を含み、それ等表面間で画定される検出間隙は、基板と、上記検出おもり及び上記第２の電極を構成している構造体との、相互間に加えられる力作用によって予め決定された幅に保持され、上記検出間隙の幅が前記第１の方向における上記検出おもりの動きで変化する加速度計が提供される。
基板への検出おもりの搭載と比較して相対的に剛性のある方法で、第２の検出電極が一般的に基板に設けられることは明白であろう。
説明する実施例においては、検出おもりは片持ち梁形式（cantilevered fashion）で実装される、すなわち、片持ち梁の一端は基板に固定され、他端は第１の方向に自由に動く。１つの実施例においては、片持ち梁自身が検出おもりを形成しうる。他の実施例においては、方持ち梁は検出おもりを形成するよりも大きい断面の領域を搭載する。さらに別の実施例においては、検出おもりの両側に２つの片持ち梁を使用して、検出おもりを形成するより大きい断面の領域が基板に対して形成される。この配置は基板の平面に平行する平面においてより曲りにくい。
加速度計は検出間隙の幅の変化を検出する回路を有しうる。１つの配置においては、検出回路は第１及び第２の検出電極の間のトンネル電流の変化を検出する。この配置においては、検出おもりと基板の間に電圧が印加される。検出間隙がトンネル電流を生じる幅をうるに必要な電界を発生するに十分な電圧の印加が容易であるから、検出おもりがより大きい断面の領域を具備する配置はこれらの点において有利である。
特に好ましい実施例においては、第２の検出電極は、検出おもりによって取囲まれた内部に位置するように基板に設けられる。検出おもりは、基板に対して第１の方向の動きのためにつるされる穿孔ダイアフラムを含むことができる。
本発明による加速度計は、検出おもり、第１の検出電極及び第２の検出電極を単一のウェーハに構成部材として形成しうるから、従来技術による加速度計よりも容易かつ安価に製造しうる。検出おもり、第１の検出電極及び第２の検出電極は単結晶シリコンに形成することができる。
本発明は、また、基板上の向い合う両端部の領域で支持されてその中央部の領域で上記基板から離間するように構成部材を形成する過程と、上記基板の面に対してある入射角度で上記構成部材に間隙を切込んで上記基板に対してある角度で延在する２つの傾斜面を形成し、それによって検出間隙を画定する第１及び第２の検出電極を構成する切削過程と、を含み、上記検出間隙は、上記基板と、上記構成部材を構成する構造体との、相互間に加えられる力作用によって予め決定された幅に保持され、上記構造体の少なくとも一部の動きによって変化する、加速度計の製造方法を提供する。
これらの過程を使うことにより、加速度計は、シリコン基板、二酸化シリコン層及びシリコンの最上層から成る単一の複合ウェーハに形成することができる。これは特別な長所を提供するが、二酸化シリコン層及びシリコン層をその上に堆積した普通のウェーハ上に、加速度計を形成しうることは容易に理解されるであろう。
切削過程は集束された高エネルギーイオンビームあるいはレーザを使って実行できる。
これらの技術は単純で費用効果が高い方法で傾斜切削を提供する。
本発明のより良い理解のために、また本発明がどのように実現されるかを示すために、例として添付図面を参照する。
【図面の簡単な説明】
第１図ａ及び第１図ｂは、加速度計の検出電極の平面図及び側面図である。
第２図ａ及び第２図ｂは、加速度計の検出電極を有する検出おもりの平面図及び側面図である。
第３図ａ及び第３図ｂは、加速度計の検出電極を有する検出おもりの他の実施例の平面図及び側面図である。
第４図は、加速度計の検出おもりの他の配置の平面図である。
第５図は、加速度計の検出おもりのさらに別の配置である。
第６図ａ及び第６図ｂは、加速度計の検出電極の他の実施例の平面図及び側面図である。
第７図は、加速度計用の検出回路の回路図である。
第８図ａ乃至第８図ｅは、加速度計の製造各過程におけるウェーハの断面図である。
実施の形態
第１図ａ及び第１図ｂは本発明の加速度計の基礎となる概念を示す。第１図ａ及び第１図ｂにおいて、参照番号２は検出おもりに接続した構成部材を示し、それは検出先端部４の形の第１の検出電極を有する。参照番号６は基板に実装され、対向電極８の形の第２の検出電極を有する構成部材を示す。第１図ａにおいて、構成部材２及び６は基板の平面に平行している平面に形成される。上述したように、検出先端部４及び対向電極８はそれぞれ基板に対して適切な角度で延伸する表面から成ることが第１図ｂから判る。検出先端部４及び対向電極８の表面はそれ等の間の検出間隙10を画定し、その幅は、構成部材２が構成部材６に関して動く時に変化する。検出先端部４及び対向電極８の表面の角度は、基板の平面に対して例えば30度と60度の間に存在し、また、特に好ましい実施例においては、結晶（111）方向と調整するために角度は53度と55度の間に存在する。
第２図ａ及び第２図ｂは、それぞれ平面図及び側面図により、第１図ａ及び第１図ｂに関連して上述したように、傾斜表面を有する検出先端部と対向電極を用いる加速度計の一実施例を例示する。
第２図ａにおいて、参照番号21は片持ち梁25の上に検出おもり23を実装した基板を示す。検出おもり23は、第１図ｂにおける検出先端部４と同様の方法で基板に関して傾斜した表面から成る検出先端部24を搭載する。加速度計は、基板21に実装されまた検出おもりを搭載する片持ち梁25に比較して比較的剛性のある構成部材26を含む。構成部材26は、第１図ｂの対向電極８と同様な方法で傾斜表面を有する対向電極28を搭載する。第２図ａ及び第２図ｂの加速度計が加速力を受けると、基板の平面に実質的に直角の方向に検出おもりは動く。（第２図ａの紙面の平面の中へ、また中から）この動きは検出先端部24と対向電極28の間に画定した検出間隙30の幅を変化させる。この変化は後により完全に記述される方法で検出される。
検出おもりの実装が、基板平面に平行に第２図ａに示す実施例よりも大きな剛性を具備する加速度計の他の実施例を第３図ａ及び第３図ｂに例示する。第３図ａにおいて、参照番号33は２つの片持ち梁35a、35bの上に基板31（第３図ｂ）に対して片持ち梁形式で実装された検出おもりを示す。検出おもり33は検出先端部34を搭載する。基板に実装され、また検出おもり実装に関して比較的剛性のある構成部材36は対向電極38を搭載する。第１図ａ及び第１図ｂ並びに第２図ａ及び第２図ｂに関連して上に記述したように、検出先端部34及び対向電極38は基板に関して傾斜し、またその間に検出間隙40を画定する表面から成る。
第２図ａ及び第２図ｂ並びに第３図ａ及び第３図ｂの解決方法において、比較的剛性のある構成部材26、36は検出おもり23及び33の外部に配列される。
第４図は、参照番号43により指示された検出おもりが、検出おもりの取り付けに関して比較的剛性のあるように基板に実装された参照番号46により指示された構成部材の周囲に対称的に組み立てられる一実施例を、平面図により例示する。既に説明したと同様の方法で、比較的剛性のある構成部材46は対向電極48を搭載し、検出おもり43は検出先端部44を搭載する。検出先端部44及び対向電極48はその間に検出間隙50を画定する。第４図の配置は、第２図ａ及び第２図ｂ並びに第３図ａ及び第３図ｂよりも高い面内剛性を有する。
第５図は、参照番号53により示される検出おもりが基板に関して支持された連続ダイアフラムとして形成される配置を平面図により例示する。構成部材56は、検出おもりの実装と比較して比較的剛性のある方法で、基板に実装されたダイアフラムの中央に配列され、また検出おもり53の上に設けられた検出先端部54により検出間隙60を画定する対向電極58を搭載する。第４図及び第５図の解決方法において、検出先端部44及び54並びに対向電極48及び58は、第１図ａ及び第１図ｂ、第２図ａ及び第２図ｂ並びに第３図ａ及び第３図ｂを参照して既に論じられたように、傾斜表面を有する。
第６図ａ及び第６図ｂは、それぞれ検出電極の異なる実施例の平面図及び側面図である、図において、検出先端部は側面図で見ると傾斜表面74aを有する先端74から成り、また対向電極78は傾斜した平面表面78aを有する。先端の鋭さは調整可能で、また多数の先端が使用されうる。
第６図ａ及び第６図ｂの検出先端部74及び対向電極78は、前記図面における平らな傾斜表面の代わりに使うことができる。
第７図は、前記配置の検出間隙の幅の変化を検出するために使われる回路を形成する帰還ループのブロック・ダイアグラムである。トンネル電流が検出先端部と対向電極の間を通過する距離に、検出間隙の幅を動かすように、検出おもりと片持ち梁を形成している構造と基板との間に電圧が印加される。例えば、検出間隙を約5nmに保持するために約８ボルトの電圧が印加される。加速度計が加速力に支配される時、検出おもりは基板の平面に直角の方向に動き、検出間隙の幅を変える。この幅の変化はトンネル電流の大きさを変え、したがって基板と検出先端部の間に印加される電圧を変化させる。電圧の変化は間隔を元の幅に戻すような方向に電界を変化させる。検出器の出力は、トンネル電流の変化の結果の電圧の振幅の変化であり、加速力の平方根に比例する。
第７図において、ｇ（ｓ）は検出おもり23に印加される加速力関数を表す。検出おもりの合成力Fq（ｓ）は、帰還力Fo（ｓ）と共に帰還コンパレータ80への入力である。合成力Fs（ｓ）は、検出おもり23を支えるために用いられる片持ち梁25の剛性に依存する変位ｙ（ｓ）に変換される。変位ｙ（ｓ）は、その出力ｖ（ｓ）が加速度計の出力である電流・電圧コンバータ82に供給されるトンネル電流ｉ（ｓ）の対応する変化を起こす。また、出力ｖ（ｓ）は、帰還ループの起動アームを通して帰還力Fo（ｓ）を発生するようにふるまう。
上述のように、片持ち梁と検出おもりを形成している構造及び基板との間に印加される電圧差は、加速の無い場合に約5nmに間隙を保持するように働く局部電界をもたらす。これはいわゆる静電引力（electrostatic pulling）である。静電引力は圧電気のような他の形式の作用に置換することができる。出力電圧は圧電材料の中に帰還され、またその材料により生ずる力は電界からの力の代わりに間隙幅を復旧させる。他の起動方法も同様に使われうる。
加速度計用の過負荷保護が物理的エンドストップにより設けられる。シリコン基板21自身は極端な下向きの動きを防止する。さらに付加された必ずしも単結晶ではない硝子板、例えば第２図に27と示された本質的には第２の基板を、上向きの運動を制限するために設けることができる。第２の基板を上向きの運動を制限するために設けることができるが、第２の基板の中には何等の素子も形成する必要はない、したがって第２の基板を加速度計構成部材を搭載する基板と注意深く位置合せをする必要がない。
検出電極に損害を与える過負荷の可能性に対して、もし検出おもり構成部材23が基板に衝突したら曲がるように、第２図ａの検出先端部24に最も近い第２図ａの片持ち梁25の先端のばね定数を減少させることにより、さらにそれ以上の保護を追加できる。同様に、第３図ａの検出先端部34を搭載する検出おもり33の延長部に対してもこれを行うことができる。
検出電極に損害を与える過負荷の可能性に対して、もし検出おもり構成部材23が基板に衝突したら曲がるように、第２図ａの構成部材26のばね定数を減少させることにより、さらにそれ以上の保護を追加できる。同様に、第３図ａの構成部材36に対してもこれを行うことができる。
ここで、第８図ａ乃至第８図ｅにより本発明の一実施例による加速度計の製造方法を説明する。第８図ａにおいて、参照番号100はシリコン基板102、基板104の上の二酸化シリコン層及びシリコン106の最上層から成る単一の複合ウェーハを示す。説明例での基板の厚さは500μｍの＜100＞のSi、酸化層104の厚さは２μｍ、上部シリコン層106の厚さは７μｍである。この構造を有する複合ウェーハは市販されている。最上層106は単結晶シリコンあるいは多結晶シリコンである。単結晶シリコンは、シリコンを体積しその後に再結晶することにより、又は２つの酸化ウェーハを接合（bonding）し一方を薄くすることにより製造することができる。窒化ケイ素層108が上部シリコン層106の上に形成される。感光性樹脂110が、例えば第２図ａの平面図に示すパターンをシリコンからエッチングにより画定するために使われる。窒化ケイ素層108は感光性樹脂110をマスクとして使ってエッチングされ、第８図ｂに示す構造を作る。窒化ケイ素層は、上部シリコン層を通じた次のエッチングに対するエッチング防止として使われ、検出おもりと支持する片持ち梁と固定接点構成部材の形を画定する。断面の構造を第８図ｃに示す。片持ち梁形式で支持されアンダー・カット領域103により基板から間隔を置かれたシリコン構成部材を形成するため、上部シリコン層の下から酸化層を除去するべく、緩衝弗化水素酸を用いた湿式エッチングが使われる。これが第８図ｄに断面で示されている。
第８図ａ乃至第８図ｄは、第２図ａ及び第２図ｂにおいて紙面を上下に移動する線に沿った断面図である。第８図ｅは、これらの断面図を横断的に見た断面であり、この断面は先端部及び対向電極を画定する切り込みをする前の、片持ちされて固定された構成部材を貫いて延伸している。切り込みの位置と角度は例として矢印Ａにより示される。切り込みは、加速度計の検出電極を形成する２つの傾斜した平行な表面を画定するために、集束された高エネルギイオンビームあるいはレーザを使って行われる。初期間隙は約200nmの幅を有し、前に論じられたように、電界の印加によりトンネル電流が流れるような幅、例えば約5nm迄閉じられる。
【図１ａ】
0003654905.tif 000002
【図１ｂ】
0003654905.tif 000003
【図２ａ】
0003654905.tif 000004
【図２ｂ】
0003654905.tif 000005
【図６ａ】
0003654905.tif 000006
【図６ｂ】
0003654905.tif 000007
【図３ａ】
0003654905.tif 000008
【図３ｂ】
0003654905.tif 000009
【図４】
0003654905.tif 000010
【図５】
0003654905.tif 000011
【図７】
0003654905.tif 000012
【図８ｂ】
0003654905.tif 000013
【図８ｃ】
0003654905.tif 000014
【図８ｄ】
0003654905.tif 000015
【図８ｅ】
0003654905.tif 000016
【図８ａ】
0003654905.tif 000017