(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カップ内に保持された基板に処理液を吐出する処理液吐出ノズルであって、互いに連通している複数の吐出口を下面に有するノズル本体部を備え、前記複数の吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように配列されたことを特徴とする処理液吐出ノズル。
【請求項２】
前記複数の吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように円弧状に配列されたことを特徴とする請求項１記載の処理液吐出ノズル。
【請求項３】
前記複数の吐出口が基板の外周部と前記カップの内側縁部との間に位置した状態で前記カップの内側縁部の上方に位置するように前記ノズル本体部の下面における前記カップ側の縁部に沿って凹所が設けられたことを特徴とする請求項１または２記載の処理液吐出ノズル。
【請求項４】
カップ内に保持された基板に処理液を吐出する処理液吐出ノズルであって、下面にスリット状吐出口を有するノズル本体部を備え、前記スリット状吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように形成されたことを特徴とする処理液吐出ノズル。
【請求項５】
前記スリット状吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように円弧状に形成されたことを特徴とする請求項４記載の処理液吐出ノズル。
【請求項６】
前記スリット状吐出口が基板の外周部と前記カップの内側縁部との間に位置した状態で前記カップの内側縁部の上方に位置するように前記ノズル本体部の下面における前記カップ側の縁部に沿って凹所が設けられたことを特徴とする請求項４または５記載の処理液吐出ノズル。
【請求項７】
基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、
基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持された基板の周囲を取り囲むように配設されたカップと、
前記基板保持手段に保持された基板の上方の位置と前記カップ外の待機位置との間で移動可能に設けられ、下面に処理液を吐出する複数の吐出口を有する処理液吐出ノズルとを備え、
前記基板保持手段に保持された基板の外周部と前記カップの内側縁部との間の隙間に処理液を吐出可能に前記処理液吐出ノズルの前記複数の吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように配列されたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項８】
前記基板保持手段を回転駆動する駆動手段と、
前記基板保持手段に保持された基板の外周部と前記カップの内側縁部との間に前記処理液吐出ノズルの前記複数の吐出口が位置する状態で処理液の吐出を開始させ、前記駆動手段により前記基板保持手段を回転駆動しつつ前記処理液吐出ノズルを基板上へ移動させる制御手段とをさらに備えたことを特徴とする請求項７記載の基板処理装置。
【請求項９】
基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、
基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持された基板の周囲を取り囲むように配設されたカップと、
前記基板保持手段に保持された基板の上方の位置と前記カップ外の待機位置との間で移動可能に設けられ、下面に処理液を吐出するスリット状吐出口を有する処理液吐出ノズルと備え、
前記処理液吐出ノズルの前記スリット状吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように形成されたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項１０】
前記基板保持手段を回転駆動する駆動手段と、
前記基板保持手段に保持された基板の外周部と前記カップの内側縁部との間に前記処理液吐出ノズルの前記スリット状吐出口が位置する状態で処理液の吐出を開始させ、前記駆動手段により前記基板保持手段を回転駆動しつつ前記処理液吐出ノズルを基板上へ移動させる制御手段とをさらに備えたことを特徴とする請求項９記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、処理液を吐出する処理液吐出ノズルおよびそれを備えた基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の基板に所定の処理を行うために基板処理装置が用いられる。基板処理装置には、現像装置、塗布装置、洗浄装置等がある。
【０００３】
現像装置では、基板上に形成された感光性膜に処理液として現像液を供給することにより現像処理を行う。塗布装置では、基板の表面に処理液としてフォトレジスト液等の塗布液を供給することにより塗布処理を行う。洗浄装置では、基板の表面に処理液として洗浄液を供給することにより洗浄処理を行う。
【０００４】
このような基板処理装置では、基板上に供給された処理液が周囲に飛散することを防止するために基板の周囲を取り囲むように処理液飛散防止用のカップが設けられている。
【０００５】
図１２は従来の回転式現像装置の主要部の構成を示す模式図である。
図１２の現像装置は、基板１００を保持する基板保持部１を備える。基板保持部１は、モータ２の回転軸３の先端部に水平に固定され、鉛直方向の軸の周りで回転駆動される。基板保持部１に保持された基板１００の周囲を取り囲むように飛散防止用のカップ５０が設けられている。カップ５０の上端部には、内側に傾斜したテーパ部５０ａが形成されている。それにより、カップ５０内に浮遊する現像液のミスト（液体粒子）が外部に漏れ出ることが阻止される。
【０００６】
また、現像液吐出ノズル９０が、水平面内で回動自在に設けられたノズルアーム（図示せず）の先端に取り付けられており、カップ５０内の基板保持部１に保持された基板１００の上方位置とカップ５０外の待機位置との間で移動可能に構成されている。
【０００７】
現像処理時には、現像液吐出ノズル９０がカップ５０外の待機位置からカップ５０内の基板１００の上方位置に移動した後、基板１００上の感光性膜に現像液を供給する。供給された現像液は、基板１００の回転によって基板１００の全面に塗り広げられ、感光性膜と接触する。表面張力により基板１００上に現像液を保持した状態（液盛り）で一定時間基板１００を静止させることにより感光性膜の現像が行われる。現像液の供給が終了すると、現像液吐出ノズル９０はノズルアームの回動によりカップ５０内の基板１００の上方位置からカップ５０外の待機位置に移動する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記の従来の現像装置では、回転する基板１００に吐出開始時の現像液が当たることにより基板１００上の感光性膜が大きな衝撃を受ける。その衝撃で現像液中に気泡が生じ、感光性膜の表面に残留する微小な気泡が現像欠陥となる場合がある。また、吐出開始時の現像液による衝撃で感光性膜が損傷するおそれもある。
【０００９】
そこで、基板の上方から外れた位置で現像液吐出ノズルによる現像液の吐出を開始し、現像液を吐出しながら現像液吐出ノズルを基板上に移動させることにより、吐出開始時の現像液による衝撃が基板に加わることを防止することが提案されている。
【００１０】
一方、基板上に均一に現像液を供給するために複数の吐出口を有する現像液吐出ノズルが提案されている。図１３（ａ），（ｂ）は複数の吐出口を有する現像液吐出ノズルのそれぞれ正面図および底面図である。図１３に示すように、現像液吐出ノズル６０の下面には、複数の吐出口６１が一直線状に配列されている。
【００１１】
図１３の現像液吐出ノズル６０を用いて基板１００の上方から外れた位置で現像液の吐出を開始する方法として次の２つの方法が考えられる。
【００１２】
第１の方法は、図１４に示すように、カップ５０のテーパ部５０ａに切り欠き部５１を設け、切り欠き部５１において現像液吐出ノズル６０からの現像液の吐出を開始するものである。
【００１３】
第２の方法は、図１５に示すように、カップ５０の開口部の径を拡大し、基板１００の外周部とテーパ部５０ａの内側縁部との間の拡大された隙間において現像液吐出ノズル６０からの現像液の吐出を開始するものである。
【００１４】
しかしながら、図１４に示した第１の方法では、カップ５０の切り欠き部５１による風切り現象でカップ５０内の気流が乱れる。それにより、カップ５０内の現像液のミストが種々の方向に飛び散って、現像装置の各部や基板に付着するおそれがある。また、気流の乱れにより現像処理にむらが生じるおそれもある。
【００１５】
一方、図１５に示した第２の方法では、カップ５０の開口部が大きいので、カップ５０内の現像液のミストがカップ５０外に漏れ出ることを十分に防止することができない。
【００１６】
このように、吐出開始時の現像液を基板１００とカップ５０との間に滴下するためにカップ５０に切り欠き部５１を設けたりカップ５０の開口部を拡大すると、カップ５０の性能が損なわれることになる。
【００１７】
本発明の目的は、カップの性能を維持しつつ処理液の吐出開始時の衝撃による処理不良を防止することができる処理液吐出ノズルおよびそれを備えた基板処理装置を提供することである。
【００１８】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
第１の発明に係る処理液吐出ノズルは、カップ内に保持された基板に処理液を吐出する処理液吐出ノズルであって、互いに連通している複数の吐出口を下面に有するノズル本体部を備え、複数の吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように配列されたものである。
【００１９】
本発明に係る処理液吐出ノズルにおいては、互いに連通している複数の吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように配列されているので、基板の外周部とカップの内側縁部との間の隙間が狭い場合でも、処理液吐出ノズルの複数の吐出口を基板の外周部とカップの内側縁部との間に位置させることができる。それにより、吐出開始時に処理液を基板の外周部とカップの内側縁部との間に滴下することができる。
【００２０】
したがって、カップに切り欠き部を設けたり、カップの開口部を拡大することなく、吐出開始時の処理液による衝撃が基板の表面に加わることを防止することができる。その結果、カップの性能を維持しつつ処理液の吐出開始時の衝撃による処理不良を防止することが可能となる。
【００２１】
第２の発明に係る処理液吐出ノズルは、第１の発明に係る処理液吐出ノズルの構成において、複数の吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように円弧状に配列されたものである。
【００２２】
これにより、複数の吐出口を基板の外周部により近づけることができるので、カップの開口部の径をより小さくすることが可能となる。それにより、カップ内の処理液のミストがカップ外に漏れ出ることを十分に防止することができるとともに、カップを小型化することができる。
【００２３】
第３の発明に係る処理液吐出ノズルは、第１または第２の発明に係る処理液吐出ノズルの構成において、複数の吐出口が基板の外周部とカップの内側縁部との間に位置する状態でカップの内側縁部の上方に位置するようにノズル本体部の下面におけるカップ側の縁部に沿って凹所が設けられたものである。
【００２４】
この場合、基板の外周部とカップの内側縁部との間の隙間が狭い場合でも、カップの内側縁部の上方にノズル本体部の凹所を位置させることにより、複数の吐出口を基板の外周部とカップの内側縁部との間に位置させることができる。それにより、基板の外周部とカップの内側縁部との間で処理液の吐出を開始させ、処理液を吐出しながら複数の吐出口を基板の表面に近接させた状態で処理液吐出ノズルを基板上へ移動させることができる。したがって、基板の表面に衝撃を与えることなく基板の表面に処理液を均一に供給することができる。
【００２５】
第４の発明に係る処理液吐出ノズルは、カップ内に保持された基板に処理液を吐出する処理液吐出ノズルであって、下面にスリット状吐出口を有するノズル本体部を備え、スリット状吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように形成されたものである。
【００２６】
本発明に係る処理液吐出ノズルにおいては、スリット状吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように形成されているので、基板の外周部とカップの内側縁部との間の隙間が狭い場合でも、処理液吐出ノズルのスリット状吐出口を基板の外周部とカップの内側縁部との間に位置させることができる。それにより、吐出開始時に処理液を基板の外周部とカップの内側縁部との間に滴下することができる。
【００２７】
したがって、カップに切り欠き部を設けたり、カップの開口部を拡大することなく、吐出開始時の処理液による衝撃が基板の表面に加わることを防止することができる。その結果、カップの性能を維持しつつ処理液の吐出開始時の衝撃による処理不良を防止することが可能となる。
【００２８】
第５の発明に係る処理液吐出ノズルは、第４の発明に係る処理液吐出ノズルの構成において、スリット状吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように円弧状に形成されたものである。
【００２９】
これにより、スリット状吐出口を基板の外周部により近づけることができるので、カップの開口部の径をより小さくすることが可能となる。それにより、カップ内の処理液のミストがカップ外に漏れ出ることを十分に防止することができるとともに、カップを小型化することができる。
【００３０】
第６の発明に係る処理液吐出ノズルは、第４または第５の発明に係る処理液吐出ノズルの構成において、スリット状吐出口が基板の外周部とカップの内側縁部との間に位置する状態でカップの内側縁部の上方に位置するようにノズル本体部の下面におけるカップ側の縁部に沿って凹所が設けられたものである。
【００３１】
この場合、基板の外周部とカップの内側縁部との間の隙間が狭い場合でも、カップの内側縁部の上方にノズル本体部の凹所を位置させることにより、スリット状吐出口を基板の外周部とカップの内側縁部との間に位置させることができる。それにより、基板の外周部とカップの内側縁部との間で処理液の吐出を開始させ、処理液を吐出しながらスリット状吐出口を基板の表面に近接させた状態で処理液吐出ノズルを基板上へ移動させることができる。したがって、基板の表面に衝撃を与えることなく基板の表面に処理液を均一に供給することができる。
【００３２】
第７の発明に係る基板処理装置は、基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、基板を保持する基板保持手段と、基板保持手段に保持された基板の周囲を取り囲むように配設されたカップと、基板保持手段に保持された基板の上方の位置とカップ外の待機位置との間で移動可能に設けられ、下面に処理液を吐出する複数の吐出口を有する処理液吐出ノズルとを備え、基板保持手段に保持された基板の外周部とカップの内側縁部との間の隙間に処理液を吐出可能に処理液吐出ノズルの複数の吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように配列されたものである。
【００３３】
本発明に係る基板処理装置においては、基板保持手段に保持された基板の周囲を取り囲むようにカップが配設され、処理液吐出ノズルが基板保持手段に保持された基板の上方の位置とカップ外の待機位置との間で移動可能に設けられている。
【００３４】
特に、基板保持手段に保持された基板の外周部とカップの内側縁部との間の隙間に処理液を吐出可能に処理液吐出ノズルの下面に設けられた複数の吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように配列されているので、基板の外周部とカップの内側縁部との間の隙間が狭い場合でも、処理液吐出ノズルの複数の吐出口を基板の外周部とカップの内側縁部との間に位置させることができる。それにより、吐出開始時に処理液を基板の外周部とカップの内側縁部との間に滴下することができる。
【００３５】
したがって、カップに切り欠き部を設けたり、カップの開口部を拡大することなく、吐出開始時の処理液による衝撃が基板の表面に加わることを防止することができる。その結果、カップの性能を維持しつつ処理液の吐出開始時の衝撃による処理不良を防止することが可能となる。
【００３６】
第８の発明に係る基板処理装置は、第７の発明に係る基板処理装置の構成において、基板保持手段を回転駆動する駆動手段と、基板保持手段に保持された基板の外周部とカップの内側縁部との間に処理液吐出ノズルの複数の吐出口が位置する状態で処理液の吐出を開始させ、駆動手段により基板保持手段を回転駆動しつつ処理液吐出ノズルを基板上へ移動させる制御手段とをさらに備えたものである。
【００３７】
この場合、吐出開始時の処理液を基板の外周部とカップの内側縁部との間に滴下した後、処理液吐出ノズルが処理液を吐出しながら回転する基板上へ移動する。それにより、基板の表面の全体に均一に処理液を供給することができる。
【００３８】
第９の発明に係る基板処理装置は、基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、基板を保持する基板保持手段と、基板保持手段に保持された基板の周囲を取り囲むように配設されたカップと、基板保持手段に保持された基板の上方の位置とカップ外の待機位置との間で移動可能に設けられ、下面に処理液を吐出するスリット状吐出口を有する処理液吐出ノズルとを備え、処理液吐出ノズルのスリット状吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように形成されたものである。
【００３９】
本発明に係る基板処理装置においては、基板保持手段に保持された基板の周囲を取り囲むようにカップが配設され、処理液吐出ノズルが基板保持手段に保持された基板の上方の位置とカップ外の待機位置との間で移動可能に設けられている。
【００４０】
特に、処理液吐出ノズルの下面に設けられたスリット状吐出口の少なくとも一部が基板の外周部に沿うように形成されているので、基板の外周部とカップの内側縁部との間の隙間が狭い場合でも、処理液吐出ノズルのスリット状吐出口を基板の外周部とカップの内側縁部との間に位置させることができる。それにより、吐出開始時に処理液を基板の外周部とカップの内側縁部との間に滴下することができる。
【００４１】
したがって、カップに切り欠き部を設けたり、カップの開口部を拡大することなく、吐出開始時の処理液による衝撃が基板の表面に加わることを防止することができる。その結果、カップの性能を維持しつつ処理液の吐出開始時の衝撃による処理不良を防止することが可能となる。
【００４２】
第１０の発明に係る基板処理装置は、第９の発明に係る基板処理装置の構成において、基板保持手段を回転駆動する駆動手段と、基板保持手段に保持された基板の外周部とカップの内側縁部との間に処理液吐出ノズルのスリット状吐出口が位置する状態で処理液の吐出を開始させ、駆動手段により基板保持手段を回転駆動しつつ処理液吐出ノズルを基板上へ移動させる制御手段とをさらに備えたものである。
【００４３】
この場合、吐出開始時の処理液を基板の外周部とカップの内側縁部との間に滴下した後、処理液吐出ノズルが処理液を吐出しながら回転する基板上へ移動する。それにより、基板の表面の全体に均一に処理液を供給することができる。
【００４４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る基板処理装置の一例として現像装置について説明する。
【００４５】
図１は本発明の一実施例における現像装置の主要部の断面図、図２は図１の現像装置の平面図である。
【００４６】
図１に示すように、現像装置は、基板１００を水平姿勢で吸引保持する基板保持部１を備える。基板保持部１はモータ２の回転軸３の先端部に固定され、鉛直方向の軸の周りで回転可能に構成されている。
【００４７】
基板保持部１の周囲には、基板１００を取り囲むように処理液飛散防止用のカップ４，５が配設されている。カップ５は固定されており、カップ４はカップ駆動部（図示せず）により上下動自在に設けられている。このカップ４は、内方に傾斜するテーパ部４ａと、そのテーパ部４ａの外側上方を取り囲む円筒状のスプラッシュガード４ｂとを有する。
【００４８】
図２に示すように、カップ４外の待機位置には待機ポット６が配置されている。また、ノズルアーム７がアーム駆動部８により水平面内で回動可能に設けられている。ノズルアーム７の先端部の下面側には現像液吐出ノズル１０が取り付けられており、ノズルアーム７の回動により現像液吐出ノズル１０が矢印Ｒで示すようにカップ４内の基板１００の上方位置と待機ポット６の位置とで移動可能となっている。
【００４９】
現像液吐出ノズル１０の移動経路におけるスプラッシュガード４ｂの部分には、現像液吐出ノズル１０の通過を可能にするように切り欠き部４ｃが設けられている。現像液吐出ノズル１０には、現像液供給系（図示せず）から処理液として現像液が供給される。
【００５０】
図１の制御部９は、モータ２の回転動作、アーム駆動部８による現像液吐出ノズル１０の移動、現像液吐出ノズル１０からの現像液の吐出およびカップ駆動部によるカップ４の上下動を制御する。
【００５１】
現像処理時には、モータ２により基板１００を回転させつつ現像液吐出ノズル１０が基板１００の外周部とカップ４のテーパ部４ａとの間の位置から回転する基板１００の中心部まで現像液を吐出しながら移動する。
【００５２】
図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は現像液吐出ノズル１０のそれぞれ正面図、底面図および側面図である。また、図４（ａ），（ｂ），（ｃ）は図３（ａ）の現像液吐出ノズル１０のそれぞれＡ−Ａ線断面図、Ｂ−Ｂ線断面図およびＣ−Ｃ線断面図である。
【００５３】
以下、現像液吐出ノズル１０が基板１００の外周部とカップ４のテーパ部４ａの内側縁部との間に位置する状態でカップ４側を矢印Ｘで示し、基板１００側を矢印Ｙで示す。
【００５４】
図３に示すように、現像液吐出ノズル１０は、上部材１１および下部材１２を備え、上部材１１と下部材１２とがシート状パッキン１３を挟んでボルト１４，１５で接合されている。これらの上部材１１、シート状パッキン１３および下部材１２によりノズル本体部２０が構成される。
【００５５】
ノズル本体部２０の上面には液入口２１が設けられ、下面には複数の吐出口２２が設けられている。複数の吐出口２２のうち少なくとも一部の吐出口２２は、基板１００の外周部に沿うように円弧状に配列されている。
【００５６】
また、下部材１２の下面におけるカップ４側の縁部に沿って切り欠き凹所２３が設けられている。これにより、ノズル本体部２０の吐出口２２よりもカップ４側の部分の厚みが他の部分の厚みよりも薄くなるようにノズル本体部２０の底面が段差状に形成されている。
【００５７】
上部材１１の一端部の近くには、図４（ａ）に示すように、液入口２１から現像液が導入される液導入部２４が設けられている。図４（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、下部材１２には、一端部側から他端部側に延びる液溜まり部２５、および各吐出口２２から上方に延びる管状の吐出流路２７，２７ａが形成されている。
【００５８】
特に、図４（ｃ）に示すように、一部の吐出流路２７ａの上端は、上部材１１に設けられた管状の上部流路２８を介して液溜まり部２５の上端に連通している。残りの複数の吐出流路２７の上端は、図４（ａ），（ｂ）に示すように、斜め下方に延びる管状の傾斜流路２６を介して液溜まり部２５の下端に連通している。本実施例では、２つの吐出流路２７ａが上部流路２８を介して液溜まり部２５に連通している。
【００５９】
図５（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は現像液吐出ノズル１０における上部材１１のそれぞれ平面図、正面図、底面図およびＤ−Ｄ線断面図である。
【００６０】
図５に示すように、上部材１１には上下に貫通する液導入部２４が形成されている。この上部材１１の下面には、上部流路２８を構成する２つの溝部２８ａが形成されている。また、上部材１１のカップ４側の縁部に沿ってボルト１４を挿入するための複数のねじ孔３１が形成され、基板１００側の縁部に沿ってボルト１５を挿入するための複数のねじ孔３２が形成されている。
【００６１】
図６（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）は現像液吐出ノズル１０における下部材１２のそれぞれ平面図、正面図、底面図、Ｅ−Ｅ線断面図およびＦ−Ｆ線断面図である。
【００６２】
図６に示すように、下部材１２の上面には、液溜まり部２５を構成する凹部２５ａが形成されている。また、下部材１２の下面には、複数の吐出口２２が形成されている。さらに、複数の吐出口２２から上面に貫通する複数の吐出流路２７，２７ａが形成されている。また、下部材１２には、２つの吐出流路２７ａを除く残りの吐出流路２７と凹部２５ａの下端とを結合する傾斜流路２６が形成されている。下部材１２の下面には、カップ４側の縁部に沿って切り欠き凹所２３が形成されている。
【００６３】
下部材１２のカップ４側の縁部に沿ってボルト１４を挿入するための複数のねじ孔３３が形成され、基板１００側の縁部に沿ってボルト１５を挿入するための複数のねじ孔３４が形成されている。
【００６４】
図７はシート状パッキン１３の平面図である。図７に示すように、シート状パッキン１３には、上部材１１の液導入部２４と下部材１２の凹部２５ａとを連通させる連通孔３６、上部材１１の溝部２８ａと下部材１２の凹部２５ａとを連通させる連通孔３５および上部材１１の溝部２８ａと下部材１２の吐出流路２７ａとを連通させる連通孔３７が設けられている。
【００６５】
また、シート状パッキン１３のカップ４側の縁部に沿ってボルト１４を挿入するための複数のねじ孔３８が形成され、基板１００側の縁部に沿ってボルト１５を挿入するための複数のねじ孔３９が設けられている。
【００６６】
図５の上部材１１の下面と図６の下部材１２の上面との間に図７のシート状パッキン１３を挟み込んでねじ孔３１，３８，３３にボルト１４を通しかつねじ孔３２，３９，３４にボルト１５を通して上部材１１、シート状パッキン１３および下部材１２を連結することにより、図４に示した液溜まり部２５および上部流路２８が構成される。
【００６７】
本実施例では、基板保持部１が基板保持手段に相当し、現像液吐出ノズル１０が処理液吐出ノズルに相当し、制御部９が制御手段に相当する。
【００６８】
図８および図９は現像液吐出ノズル１０の吐出口２２を基板１００の外周部とカップ４のテーパ部４ａの内側縁部との間に配置した場合のそれぞれ平面図および正面図である。
【００６９】
本実施例の現像液吐出ノズル１０においては、複数の吐出口２２の少なくとも一部が基板１００の外周部に沿うように円弧状に配列されているので、基板１００の外周部とカップ４のテーパ部４ａとの間の隙間が狭い場合でも、図８に示すように、すべての吐出口２２を基板１００の外周部とカップ４のテーパ部４ａの内側縁部との間に配置することが可能となる。
【００７０】
また、現像液吐出ノズル１０の下面のカップ４側の縁部に沿って切り欠き凹所２３が設けられているので、基板１００の外周部とカップ４のテーパ部４ａの内側縁部との間の隙間が狭い場合でも、図９に示すように、切り欠き凹所２３をテーパ部４ａの内側縁部の上部に位置させることにより吐出口２２を基板１００の外周部とカップ４のテーパ部４ａの内側縁部との間に配置することができる。
【００７１】
したがって、現像液吐出ノズル１０による現像液の吐出開始時に、現像液を基板１００とカップ４との間の隙間に滴下し、現像液を吐出しながら現像液吐出ノズル１０を回転する基板１００上へ移動させることができる。それにより、吐出開始時の現像液による衝撃が基板１００上の感光性膜に加わることを防止しつつ基板１００の表面の全体に現像液を均一に供給することができる。
【００７２】
また、カップ４のテーパ部４ａに切り欠きを設けたり、カップ４の開口部の径を拡大する必要がないので、カップ４の性能を維持することができ、カップ４内の現像液のミストがカップ４外に漏れ出ることや風切り現象による現像むらが発生することを防止することができる。これらの結果、均一な現像処理を行うことができる。さらに、カップ４の寸法を小さくし、現像装置全体を小型化することも可能となる。
【００７３】
また、本実施例の現像液吐出ノズル１０においては、図４（ｂ）に示したように、複数の吐出流路２７の上端が傾斜流路２６を介して液溜まり部２５の下端に連通しているので、気泡が吐出口２２から液溜まり部２５に侵入しにくくなっている。液溜まり部２５に気泡が侵入した場合には、その気泡は液溜まり部２５の上部に溜まるため、傾斜流路２６を通して吐出口２２から抜けにくくなる。特に、液溜まり部２５の端部および液導入部２４の付近に気泡が溜まりやすくなる。しかし、図４（ｃ）に示したように、液溜まり部２５の端部および液導入部２４の付近の吐出流路２７ａが上部流路２８を介して液溜まり部２５の上端に連通しているので、液溜まり部２５の上部に溜まった気泡を上部流路２８および吐出流路２７ａを通して吐出口２２から容易に抜き出すことができる。
【００７４】
したがって、現像液の吐出時に気泡が混入した現像液を吐出することや、現像液の吐出終了時に気泡が膨張等を起こして液垂れが発生することを防止することができる。それにより、気泡の混入による現像欠陥の発生を回避することができる。
【００７５】
なお、本実施例の現像液吐出ノズル１０では、複数の吐出口２２の一部が基板１００の外周部に沿うように円弧状に配列されているが、複数の吐出口２２の全てを基板１００の外周部に沿うように円弧状に配列してもよい。また、複数の吐出口２２の少なくとも一部を基板１００の外周部にほぼ沿うように階段状に配列してもよい。
【００７６】
図１０は本発明の他の実施例における現像装置の平面図である。
図１０の現像装置においては、ノズルアーム７の先端部の下面側に２つの現像液吐出ノズル１０ａ，１０ｂが取り付けられている。一方の現像液吐出ノズル１０ａの下面には、基板１００の一方側の外周部に沿うように複数の吐出口２２が円弧状に配列されている。また、他方の現像液吐出ノズル１０ｂの下面には、基板１００の他方側の外周部に沿うように複数の吐出口２２が円弧状に配列されている。
【００７７】
本実施例の現像装置では、２種類の現像液を使用することができる。現像液吐出ノズル１０ａを用いる場合には、現像液吐出ノズル１０ａから現像液を吐出しつつ、矢印Ｒ１で示すように、ノズルアーム７の先端部を基板１００の一方側の外周部から中心部へ移動させ、他方の現像液吐出ノズル１０ｂを用いる場合には、現像液吐出ノズル１０ｂから現像液を吐出しつつ、矢印Ｒ２で示すように、ノズルアーム７の先端部を基板１００の他方側の外周部から中心部へ移動させる。
【００７８】
本実施例の現像装置においても、カップ４の性能を維持しつつ吐出開始時の現像液による衝撃が基板１００上の感光性膜に加わることを防止し、基板１００の表面の全体に現像液を均一に供給することができる。また、カップ４の寸法を小さくし、現像装置全体を小型化することも可能となる。さらに、気泡の混入による現像欠陥の発生を防止することができる。
【００７９】
なお、上記実施例では、複数の吐出口２２を有する現像液吐出ノズル１０，１０ａ，１０ｂについて説明したが、本発明はスリット状吐出口を有する現像液吐出ノズルにも適用することができる。
【００８０】
図１１（ａ），（ｂ），（ｃ）はスリット状吐出口を有する現像液吐出ノズルのそれぞれ正面図、底面図および側面図である。
【００８１】
図１１に示す現像液吐出ノズル１１０も、図３の現像液吐出ノズル１０と同様に、上部材１１と下部材１２とを備え、上部材１１と下部材１２とがシート状パッキン１３を挟んでボルト１４，１５で接合されている。
【００８２】
現像液吐出ノズル１１０の下部材１２の下面にはスリット状吐出口４０が設けられている。スリット状吐出口４０は、基板１００の外周部に沿うように円弧状に形成されている。また、現像液吐出ノズル１１０の下部材１２の下面におけるカップ４側の縁部に沿って切り欠き凹所２３が設けられている。
【００８３】
図１１の現像液吐出ノズル１１０の他の部分の構成は、図３の現像液吐出ノズル１０の構成と同様である。
【００８４】
図１１の現像液吐出ノズル１１０においても、スリット状吐出口４０の全体を基板１００の外周部とカップ４のテーパ部４ａの内側縁部との間に配置することができ、吐出開始時の現像液を基板１００の外周部とカップ４のテーパ部４ａの内側端部との間の隙間に滴下することができる。
【００８５】
図１１の現像液吐出ノズル１１０では、スリット状吐出口４０の全体が基板１００の外周部に沿うように円弧状に形成されているが、スリット状吐出口４０の一部を基板１００の外周部に沿うように円弧状に形成してもよい。また、スリット状吐出口４０の少なくとも一部を基板１００の外周部にほぼ沿うように階段状に形成してもよい。
【００８６】
なお、上記実施例では、本発明を現像液吐出ノズルおよび現像装置に適用した場合を説明したが、本発明は、例えばレジスト液等の塗布液を吐出する塗布液吐出ノズルおよびそれを用いた塗布装置など、他の処理液吐出ノズルおよびそれを用いた基板処理装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例における現像装置の主要部の断面図である。
【図２】図１の現像装置の平面図である。
【図３】図１の現像装置に用いられる現像液吐出ノズルの正面図、底面図および側面図である。
【図４】図３の現像液吐出ノズルのＡ−Ａ線断面図、Ｂ−Ｂ線断面図およびＣ−Ｃ線断面図である。
【図５】現像液吐出ノズルにおける上部材の平面図、正面図、底面図およびＤ−Ｄ線断面図である。
【図６】現像液吐出ノズルにおける下部材の平面図、正面図、底面図、Ｅ−Ｅ線断面図およびＦ−Ｆ線断面図である。
【図７】現像液吐出ノズルにおけるシート状パッキンの平面図である。
【図８】現像液吐出ノズルの吐出口を基板の外周部とカップのテーパ部の内側縁部との間に配置した状態を示す平面図である。
【図９】現像液吐出ノズルの吐出口を基板の外周部とカップのテーパ部の内側縁部との間に配置した状態を示す正面図である。
【図１０】本発明の他の実施例における現像装置の平面図である。
【図１１】スリット状吐出口を有する現像液吐出ノズルの正面図、底面図および側面図である。
【図１２】従来の現像装置の主要部の構成を示す模式図である。
【図１３】複数の吐出口を有する現像液吐出ノズルの正面図および底面図である。
【図１４】吐出開始時の現像液を基板外に滴下する第１の方法を示す平面図である。
【図１５】吐出開始時の現像液を基板外に滴下する第２の方法を示す平面図である。
【符号の説明】
１  基板保持部
２  モータ
４  カップ
４ａ  テーパ部
７  ノズルアーム
８  アーム駆動部
１０，１０ａ，１０ｂ，１１０  現像液吐出ノズル
１１  上部材
１２  下部材
１３  シート状パッキン
１４，１５  ボルト
２１  液入口
２２  吐出口
２３  切り欠き凹所
２４  液導入部
２５  液溜まり部
２６  傾斜流路
２７，２７ａ  吐出流路
２８  上部流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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