(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
送受信源回路と光ファイバとの間を接続するための光コネクタモジュールであって、次の各構成を有することを特徴とする光コネクタモジュール。
（イ）光送受信端が予め定められた部位に配置されて形成され、前記送受信源回路に接続される光送受信部と、
この光送受信部の光送受信端に対する設定された部位に、断面がＶ字状に形成されたウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝と、
を備えて成る光送受信ウエハ
（ロ）前記光送受信部との光送受信端面が一方の端面に、前記光送受信部の光送受信端と対応して配置され、かつ前記光ファイバとの光接続端面が他方の端面に配置されてその間をつなぐように形成された光導波路、前記光送受信ウエハのウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝と対応する部位に、断面がＶ字状に形成されたウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝、及びこのＶ溝と延長一体形成されたコネクタガイドピン用のＶ溝、を備えて成る光導波路ウエハと、
この光導波路ウエハの他方の端面から予め設定された長さだけ突出するように、前記光導波路ウエハのコネクタガイドピン用のＶ溝に保持固定されたコネクタガイドピンと、を含んで成る光導波路側コネクタ
（ハ）前記光送受信ウエハのウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝と前記光導波路ウエハのウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝との間に挿入され、前記光送受信ウエハと前記光導波路ウエハとが互いに接近するように結合したとき、これらウエハのＶ溝に挟み付けられてこれらウエハを位置決め固定し、これらウエハの、光送受信部の光送受信端と光導波路の光送受信端面とを位置合わせする、ウエハ間位置決めガイドピン
（ニ）前記光送受信ウエハと前記光導波路ウエハとを結合させて保持固定するウエハ間結合固定用部材
（ホ）前記光ファイバを、その光接続端面が一方の端面に配置されるように保持固定し、前記光導波路側コネクタのコネクタガイドピンと対応する部位にガイドピン用孔が形成されて成り、このガイドピン用孔に前記コネクタガイドピンが挿入されて前記光導波路側コネクタと結合し、前記光ファイバの光接続端面を前記光導波路の光接続端面に接続する光ファイバ側コネクタ
【請求項２】
前記光導波路側コネクタのコネクタガイドピンと前記ウエハ間位置決めガイドピンとが一体形成されて、前記光導波路ウエハに一体形成されたＶ溝に配置、保持固定される構造である、請求項１記載の光コネクタモジュール。
【請求項３】
前記光導波路側コネクタは、その光導波路ウエハに、更に、一体形成されたウエハ間位置決め用のＶ溝及びコネクタガイドピン用のＶ溝に直交して、ウエハ間位置決め用の直交Ｖ溝が形成された構造であり、前記光送受信ウエハにも、前記光導波路ウエハの直交Ｖ溝と対応する部位に直交Ｖ溝が形成されて、前記光導波路ウエハの、延長、一体形成されたウエハ間位置決め用のＶ溝、及び直交Ｖ溝と、前記光送受信ウエハのウエハ間位置決め用のＶ溝、及び直交Ｖ溝との間に、ウエハ間位置決めガイドピンを挟み込む構造である、請求項１記載の光コネクタモジュール。
【請求項４】
前記コネクタガイドピンと、前記光導波路ウエハの、延長、一体形成されたＶ溝に配置されるウエハ間位置決めガイドピンとが、一体形成された構造である、請求項３記載の光コネクタモジュール。
【請求項５】
前記光導波路ウエハの、延長、一体形成されたＶ溝、及び前記光送受信ウエハのＶ溝に挟み込まれるウエハ間位置決めガイドピンの直径と、前記光導波路ウエハの直交Ｖ溝、及び前記光送受信ウエハの直交Ｖ溝に挟み込まれるウエハ間位置決めガイドピンの直径とを、異なる寸法とし、これらウエハ間位置決めガイドピンの直径に合わせて、前記Ｖ溝及び直交Ｖ溝を異なる寸法とした、請求項３記載の光コネクタモジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光コネクタモジュールに関し、特に送受信源回路と光ファイバとの間を接続するための光コネクタモジュールに属する。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバを通して信号を伝送する場合、信号の送受信源回路と光ファイバとの間に光導波路を介在させた光コネクタモジュールが多く用いられる。このような光コネクタモジュールの従来の一例を図５に示す。
この光コネクタモジュールは、光送受信ウエハ１００ｘ、光導波路側コネクタ２００ｘ、光ファイバ側コネクタ４００、及び光送受信ウエハ１００ｘ・光導波路側コネクタ２００ｘ間結合固定用部材から成り、これらの詳細は次のとおりである。
【０００３】
まず、光送受信ウエハ１００ｘは、光送信端となる発光ダイオード（ＬＥＤ）、半導体レーダ（ＬＤ）などの発光素子１１１、及び光受信端となるホトダイオード（ＰＤ）などの受光素子１１２が予め定められた部位に配置されて形成され、送受信源回路（図示省略）に接続される光送受信部１１０と、発光素子１１１及び受光素子１１２の光送受信端前方に設けられたマーカー１４０と、を備えている。
【０００４】
次に、光導波路側コネクタ２００ｘは、光送受信ウエハ１００ｘの光送受信部１１０との光送受信端面が一方の端面に配置され、光ファイバ５００との光接続端面が他方の端面に配置されて形成された光導波路２１１、及びこの光導波路２１１の両側の、他方の端面寄りに断面Ｖ字状に形成されたガイドピン用Ｖ溝２１２ｘ、並びに、光導波路２１１の両側の、一方の端面寄りで、光送受信ウエハ１００ｘのマーカー１４０と対応する位置に設けられたマーカー２１４を備えて形成された光導波路ウエハ２１０ｘと、この光導波路ウエハ２１０ｘの他方の端面から予め設定された長さだけ突出するようにガイドピン用Ｖ溝２１２ｘに配置、保持されるコネクタ・ガイドピン２２０と、このコネクタ・ガイドピン２２０をガイドピン用Ｖ溝２１２ｘに配置、保持した状態で光導波路ウエハ２１０ｘに固定するピン固定用部材２３０と、を含む。
【０００５】
また、光ファイバ側コネクタ４００は、光導波路側コネクタ２００ｘとの接続端面（図の破線の部分）に光ファイバ５００の光接続端面が配置されるようにこの光ファイバ５００を配置、保持固定し、上記接続端面に明けられたガイドピン挿入孔（図の破線の部分）に、コネクタ・ガイドピン２２０の突出部分が挿入されて光導波路側コネクタ２００ｘと結合したとき、光ファイバ５００が光導波路２１１と接続されるようになっている。
【０００６】
更に、光導波路側コネクタ２００ｘと光送受信ウエハ１００ｘとは、光導波路ウエハ２１０ｘの下面側のマーカー２１４と光送受信ウエハ１００ｘの上面側のマーカー１４０とが、フリップチップボンディングにより位置合わせして接合され、互いに結合される。このとき、光送受信部１１０の発光素子１１１及び受光素子１１２の光送受面と光導波路２１１の光送受信端面との間も位置合わせされる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の光コネクタモジュールは、光送受信ウエハ１００ｘの上面側に形成されたマーカー１４０と、光導波路ウエハ２１０ｘの下面側に形成されたマーカー２１４とを、フリップチップボンディングにより、位置合わせして接合することにより、光送受信部１１０の発光素子１１１及び受光素子１１２の光送受信面と、光導波路２１１の光送受信端面との間を位置決めする構成、構造となっているので、マーカー１４０，２１４間の位置合わせが困難な上に、接合時に位置ずれが生じる危険性がある、という問題点があった。
【０００８】
本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑みて、光送受信ウエハ・光導波路ウエハ間の位置合わせが容易となり、しかもウエハ間結合時の、光送受信部の光送受信面と光導波路の光送受信面との位置ずれする危険性がない、光コネクタモジュールを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の光コネクタモジュールは、送受信源回路と光ファイバとの間を接続するための光コネクタモジュールであって、次の各構成を有することを特徴とする。
（イ）光送受信端が予め定められた部位に配置されて形成され、前記送受信源回路に接続される光送受信部と、
この光送受信部の光送受信端に対する設定された部位に、断面がＶ字状に形成されたウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝と、
を備えて成る光送受信ウエハ
（ロ）前記光送受信部との光送受信端面が一方の端面に、前記光送受信部の光送受信端と対応して配置され、かつ前記光ファイバとの光接続端面が他方の端面に配置されてその間をつなぐように形成された光導波路、前記光送受信ウエハのウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝と対応する部位に、断面がＶ字状に形成されたウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝、及びこのＶ溝と延長一体形成されたコネクタガイドピン用のＶ溝、を備えて成る光導波路ウエハと、
この光導波路ウエハの他方の端面から予め設定された長さだけ突出するように、前記光導波路ウエハのコネクタガイドピン用のＶ溝に保持固定されたコネクタガイドピンと、を含んで成る光導波路側コネクタ
（ハ）前記光送受信ウエハのウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝と前記光導波路ウエハのウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝との間に挿入され、前記光送受信ウエハと前記光導波路ウエハとが互いに接近するように結合したとき、これらウエハのＶ溝に挟み付けられてこれらウエハを位置決め固定し、これらウエハの、光送受信部の光送受信端と光導波路の光送受信端面とを位置合わせする、ウエハ間位置決めガイドピン
（ニ）前記光送受信ウエハと前記光導波路ウエハとを結合させて保持固定するウエハ間結合固定用部材
（ホ）前記光ファイバを、その光接続端面が一方の端面に配置されるように保持固定し、前記光導波路側コネクタのコネクタガイドピンと対応する部位にガイドピン用孔が形成されて成り、このガイドピン用孔に前記コネクタガイドピンが挿入されて前記光導波路側コネクタと結合し、前記光ファイバの光接続端面を前記光導波路の光接続端面に接続する光ファイバ側コネクタ
【００１１】
また、前記光導波路側コネクタのコネクタガイドピンと前記ウエハ間位置決めガイドピンとが一体形成されて、前記光導波路ウエハに一体形成されたＶ溝に配置、保持固定される構造である、構成を有している。
【００１２】
また、前記光導波路側コネクタは、その光導波路ウエハに、更に、一体形成されたウエハ間位置決め用のＶ溝及びコネクタガイドピン用のＶ溝に直交して、ウエハ間位置決め用の直交Ｖ溝が形成された構造であり、前記光送受信ウエハにも、前記光導波路ウエハの直交Ｖ溝と対応する部位に直交Ｖ溝が形成されて、前記光導波路ウエハの、延長、一体形成されたウエハ間位置決め用のＶ溝、及び直交Ｖ溝と、前記光送受信ウエハのウエハ間位置決め用のＶ溝、及び直交Ｖ溝との間に、ウエハ間位置決めガイドピンを挟み込む構造である、構成を有し、更にまた、前記コネクタガイドピンと、前記光導波路ウエハの、延長、一体形成されたＶ溝に配置されるウエハ間位置決めガイドピンとが、一体形成された構造である、構成を有している。
【００１３】
また、前記光導波路ウエハの、延長、一体形成されたＶ溝、及び前記光送受信ウエハのＶ溝に挟み込まれるウエハ間位置決めガイドピンの直径と、前記光導波路ウエハの直交Ｖ溝、及び前記光送受信ウエハの直交Ｖ溝に挟み込まれるウエハ間位置決めガイドピンの直径とを、異なる寸法とし、これらウエハ間位置決めガイドピンの直径に合わせて、前記Ｖ溝及び直交Ｖ溝を異なる寸法とした、構成を有している。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態は、送受信源回路と光ファイバとの間を接続するためのものであって、光送受信ウエハと、光導波路側コネクタと、ウエハ間位置決めガイドピンと、ウエハ間結合固定用部材と、光ファイバ側コネクタと、を含んで構成され、これらの詳細は次のとおりである。
【００１５】
光送受信ウエハは、光送受信端が予め定められた部位に配置されて形成され、上記送受信源回路に接続される光送受信部と、この光送受信部の光送受信端に対する設定された部位に、断面がＶ字状に形成されたウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝と、を備えている。
【００１６】
光導波路側コネクタは、上記光送受信部との光送受信端面が一方の端面に、上記光送受信部の光送受信端と対応して配置され、かつ上記光ファイバとの光接続端面が他方の端面に配置されてその間をつなぐように形成された光導波路、上記光送受信ウエハのウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝と対応する部位に、断面がＶ字状に形成されたウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝、及びこのＶ溝を延長一体形成されたコネクタガイドピン用のＶ溝、を備えて成る光導波路ウエハと、この光導波路ウエハの他方の端面から予め設定された長さだけ突出するように、この光導波路ウエハのコネクタガイドピン用のＶ溝に保持固定されたコネクタガイドピンと、を含んで構成される。
【００１７】
ウエハ間位置決めガイドピンは、上記光送受信ウエハのウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝と上記光導波路ウエハのウエハ間位置決めガイドピン用のＶ溝との間に挿入され、上記光送受信ウエハと上記光導波路ウエハとが互いに接近するように結合したとき、これらウエハのＶ溝に挟み付けられてこれらウエハを位置決め固定し、これらウエハの、光送受信部の光送受信端と光導波路の光送受信端面とを位置合わせする。
【００１８】
ウエハ間結合固定用部材は、上記光送受信ウエハと上記光導波路ウエハとを結合させて保持固定する。
光ファイバ側コネクタは、上記光ファイバを、その光接続端面が一方の端面に配置されるように保持固定し、上記光導波路側コネクタのコネクタガイドピンと対応する部位にガイドピン用孔が形成されて成り、このガイドピン用孔に上記コネクタガイドピンが挿入されて上記光導波路側コネクタと結合し、上記光ファイバの光接続端面を上記光導波路の光接続端面に接続する。
【００１９】
このような構成、構造とすることにより、両ウエハのＶ溝間にウエハ間位置決めガイドピンを挿入し、これらウエハを互いに接近するように結合、保持固定する、という単純、かつ容易な作業で、光導波路の光送受信端面と光送受信部の光送受信端とを正確に位置合わせすることができ、かつ、ウエハ間結合時の位置ずれをなくすことができる。
【００２０】
【実施例】
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
図１は本発明の第１の実施例を示す分解斜視図である。この第１の実施例は、光送受信ウエハ１００、光導波路側コネクタ２００、ウエハ間位置決めガイドピン３００、及び光ファイバ側コネクタ４００の４つの部分と、図示されていないウエハ間結合固定用部材とを含んで構成され、これらの詳細は次のとおりである。
【００２１】
まず、光送受信ウエハ１００は、光送信端となる、発光ダイオード（ＬＥＤ）、半導体レーダ（ＬＤ）などの発光素子１１１、及び光受信端となる、ホトダイオード（ＰＤ）などの受光素子１１２が予め定められた部位に配置されて形成され、送受信源回路（図示省略）に接続される光送受信部１１０と、この光送受信部１１０の、発光素子１１１及び受光素子１１２による光送受信端前方両側に、断面がＶ字状に形成された２本のガイドピン用Ｖ溝１２０と、を備えている。
【００２２】
次に、光導波路側コネクタ２００は、光送受信ウエハ１００の光送受信部１１０との光送受信端面が一方の端面に、光送受信部１１０の光送受信端と対応して配置され、光ファイバ５００との光接続端面が他方の端面に配置されてその間をつなぐように形成された光導波路２１１と、この光導波路２１１の両側に沿って、光送受信ウエハ１００のガイドピン用Ｖ溝１２０と対応する部位、及びこれらの延長線上に、断面Ｖ字状に形成されたガイドピン用Ｖ溝２１２とを備えて成る光導波路ウエハ２１０と、この光導波路ウエハ２１０の他方の端面から予め設定された長さだけ突出するように、ガイドピン用Ｖ溝２１２のうちの、他方の端面寄り部分に納められたコネクタ・ガイドピン２２０と、このコネクタ・ガイドピン２２０を、ガイドピン用Ｖ溝２１２に納めた状態で光導波路ウエハ２１０に保持固定するピン固定用部材２３０と、を含んで構成される。
【００２３】
次に、ウエハ間位置決めガイドピン３００は、光送受信ウエハ１００のガイドピン用Ｖ溝１２０と、光導波路ウエハのガイドピン用Ｖ溝２１２のうちの、ガイドピン用Ｖ溝１２０と対応する部分との間に挿入され、光送受信ウエハ１００と光導波路ウエハ２１０とが互いに接近するように結合したとき、これらウエハのガイドピン用Ｖ溝１２０，２１２に挟み付けられてこれらウエハ（１００，２１０）を位置決め固定し、これらウエハの、光送受信部１１０の光送受信端と光導波路２１１の光送受信端面とを位置合わせする。
【００２４】
光ファイバ側コネクタ４００は、前述の従来技術における光ファイバ側コネクタ４００と同一の構造を有し、そのガイドピン用孔に光導波路側コネクタ２００の、コネクタ・ガイドピン２２０の突出部分が挿入されてこの光導波路側コネクタ２００と結合し、光ファイバ５００の光接続端面を光導波路２１１の光接続端面に接続させる。
【００２５】
なお、図示されていないウエハ間結合固定用部材は、光送受信ウエハ１００と光導波路ウエハ２１０とを、互いに接近するように結合させて互いに保持固定する。
【００２６】
この第１の実施例において、ウエハ間位置決めガイドピン３００の直径寸法は、光送受信ウエハ１００及び光導波路ウエハ２１０を互いに接近させて結合させたとき、そのガイドピン用Ｖ溝１２０，２１２に挟み付けられるような寸法となっているので、光送受信ウエハ１００及び光導波路ウエハ２１０を互いに接近させて結合させ、これらＶ溝（１２０，２１２）で挟み付けると、これらウエハ（１００，２１０）の相対位置は、ウエハ間位置決めガイドピン３００の、中心軸と直交する方向に対し一意的に決定される。
【００２７】
従って、光送受信部１１０の光送受信端面と、光導波路２１１の光送受信端面とが相対向する位置となるように、ガイドピン用Ｖ溝１２０，２１２の位置及び寸法、並びにウエハ間位置決めガイドピン３００の寸法等を幾何学的に決定すれば、光送受信ウエハ１００と光導波路ウエハ２１０とを互いに接近させて結合させるだけで、これらウエハ間の位置は一意的に定まり、光送受信部１１０の光送受信端と光導波路２１１の光送受信端面とを正確に位置合わせすることができる。
【００２８】
すなわち、この第１の実施例においては、光送受信ウエハ１００のガイドピン用Ｖ溝１２０と光導波路ウエハ２１０のガイドピン用Ｖ溝２１２の間に、ウエハ間位置決めガイドピン３００を挿入してこれらウエハ（１００，２１０）を互いに接近するように結合させ、保持固定する、という極めて単純、容易な作業により、光送受信部１１０の光送受信端と光導波路２１１の光送受信端面とを正確に位置合わせすることができ、しかも、ウエハ間結合時に、その位置ずれが生じることはない。
【００２９】
図２は本発明の第２の実施例を示す分解斜視図である。
この第２の実施例が前述の第１の実施例と相違する点は、第１の実施例における、光導波路側コネクタ２００のコネクタ・ガイドピン２２０と、ウエハ間位置決めガイドピン３００とを、一体化してこれをガイドピン２４０とし、このガイドピン２４０を光導波路ウエハ２１０のガイドピン用Ｖ溝２１２に納めてそのコネクタ・ガイドピン部分をピン固定用部材２３０で保持固定し、光導波路側コネクタ２００ａとした点にある。
【００３０】
この第２の実施例では、コネクタ・ガイドピンとウエハ間位置決めガイドピンとが一体化されて光導波路側コネクタ２００ａ内に納められているので、第１の実施例のようにウエハ間位置決めガイドピンを単体で取り扱う、という必要がなくなり、光送受信ウエハ１００と光導波路ウエハ２１０との間の結合作業が、更に単純、容易化される、という利点がある。なお、その他の作用効果は第１の実施例と同様である。
【００３１】
図３は本発明の第３の実施例を示す分解斜視図である。
前述の第２の実施例では、ガイドピン２４０、及びこのガイドピン２４０を挟み付けるガイドピン用Ｖ溝１２０，２１２が、光導波路２１１の両側に沿って配置されているが、この第３の実施例では、光導波路２１１の両側に沿って配置されたガイドピン２４０ａ、及びこのガイドピン２４０ａを挟みつけるガイドピン用Ｖ溝１２０ａ，２１２ａのほかに、これらガイドピン用Ｖ溝１２０ａ，２１２ａと直交するガイドピン用Ｖ溝１３０，２１３を形成して光送受信ウエハ１００ａ及び光導波路ウエハ２１０ａとし、これらガイドピン用Ｖ溝１３０，２１３に挟みつけられるウエハ間位置決めガイドピン３５０を新たに設けている。
【００３２】
このような構成、構造とすることにより、光送受信部１１０の光送受信端と光導波路２１１の光送受信端面との間の、相互の光軸に対する位置だけでなく、端面相互間の間隔や接触状態を一意的に制御することができて、その結合状態を制御することができる、という効果がある。
なお、そのほかの作用効果は第２の実施例と同様である。
【００３３】
図４は本発明の第４の実施例を示す分解斜視図である。
この第４の実施例は、前述の第３の実施例における、一体化されたガイドピン２４０ａを、第１の実施例のように、コネクタ・ガイドピン２２０とウエハ間位置決めガイドピン３００ａとに分割したものであり、このような構成、構造とすることにより、コネクタ・ガイドピン２２０の直径寸法とは異なる直径寸法のウエハ間位置決めガイドピン３００ａを使用することができて、位置合わせ精度、ウエハ結合精度等を制御することができる、という利点がある。
【００３４】
また、ウエハ間位置決めガイドピン３００ａと直交するウエハ間位置決めガイドピン３５０についても同様に、その直径寸法により、位置合わせ精度、ウエハ間結合精度等を制御することができる。その他の作用効果は、第３の実施例と同様である。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、光送受信ウエハに、光送受信部の光送受信端に対する設定された部位に断面Ｖ字状のＶ溝を形成し、光導波路側コネクタの、光導波路ウエハに、光送受信ウエハのＶ溝と対応して断面Ｖ字状のＶ溝を形成し、これら光送受信ウエハのＶ溝と光導波路ウエハのＶ溝との間にウエハ間位置決めガイドピンを挿入してこれを両ウエハのＶ溝で挟みつけるように光送受信ウエハ及び光導波路ウエハを接近、結合させる構成、構造とすることにより、これら両ウエハのＶ溝間にウエハ間位置決めガイドピンを挿入してこれら両ウエハを互いに接近、結合させる、という単純、かつ容易な作業で、光送受信部の光送受信端と光導波路の光送受信端面とを正確に位置合わせすることができ、かつ、ウエハ間結合時に、その位置ずれが発生する危険性もなく、位置合わせできる、という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の第３の実施例を示す分解斜視図である。
【図４】本発明の第４の実施例を示す分解斜視図である。
【図５】従来の光コネクタモジュールの一例を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
１００，１００ａ，１００ｘ  光送受信ウエハ
１１０  光送受信部
１１１  発光素子
１１２  受光素子
１２０，１２０ａ，１３０  ガイドピン用Ｖ溝
１４０  マーカー
２００，２００ａ〜２００ｃ，２００ｘ  光導波路側コネクタ
２１０，２１０ａ，２１０ｘ  光導波路ウエハ
２１１  光導波路
２１２，２１２ａ，２１２ｘ，２１３  ガイドピン用Ｖ溝
２１４  マーカー
２２０  コネクタ・ガイドピン
２３０  ピン固定用部材
２４０，２４０ａ  ガイドピン
３００，３００ａ，３５０  ウエハ間位置決めガイドピン
４００  光ファイバ側コネクタ
５００  光ファイバ
【図１】
0003656190.tif 000002
【図２】
0003656190.tif 000003
【図３】
0003656190.tif 000004
【図４】
0003656190.tif 000005
【図５】
0003656190.tif 000006