(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体材料を気化して材料ガスを発生させる気化器と、
前記気化器に導入する前記液体材料を所望の流量に制御する液体流量制御器と、
キャリアガス源から前記気化器に導入するキャリアガスの流量を検出するとともに制御するガス流量制御器と、
前記気化器からの前記材料ガスおよび前記キャリアガスを導入して、収納された基板上に成膜する成膜チェンバと、
前記気化器と前記成膜チェンバを接続する配管に設けられ、前記材料ガスの赤外線透過率を測定する赤外線センサと、
前記赤外線センサで測定した赤外線透過率と前記ガス流量制御器によって検出したキャリアガスの流量とから前記材料ガスの流量を算出して設定値と比較し、この比較結果に基づいて前記気化器から前記成膜チェンバに導入する前記材料ガスの流量を、前記気化器のバルブの開閉を制御することによって、または、前記材料ガスの流量が前記設定値に対して所定の許容範囲を超えた場合に警報信号を発生させることによって制御する制御機構とを備えたことを特徴とする化学気相成長装置。
【請求項２】
前記液体材料は２種類以上あり、前記気化器および前記キャリアガス源は前記液体材料に対応して２以上配置され、前記気化器で発生する前記２種類以上の材料ガスの合流位置と前記成膜チェンバの間に１の前記赤外線センサが配置される請求項１に記載の化学気相成長装置。
【請求項３】
前記赤外線センサは、
発光部からの赤外線を前記材料ガスを充満させたセル内を通過させて受光部で受けることにより、前記材料ガスについての赤外線透過率Ｔを測定する手段と、
透過率Ｔと設定値Ｔ１とを比較して、Ｔ＞Ｔ１である場合には、透過率Ｔから、前記セル内に前記材料ガスがない状態での透過率であるバックグラウンドの透過率を差し引く補正をする手段と、
Ｔ＜Ｔ１である場合には、警報信号を発して測定を中止する手段とを含む請求項１または２に記載の化学気相成長装置。
【請求項４】
前記赤外線センサがさらに前記発光部からの赤外線を反射させて前記受光部に入射させる反射部を有することにより、前記発光部から前記受光部までの光路長を変えることができる請求項３に記載の化学気相成長装置。
【請求項５】
前記反射部が金属蒸着した鏡である請求項４に記載の化学気相成長装置。
【請求項６】
前記反射部がハーフミラーである請求項４に記載の化学気相成長装置。
【請求項７】
前記材料ガスの進行方向に対する前記セルの断面積が、前記気化器から前記セルに前記材料ガスを導入する配管部の断面積および前記セルから前記成膜チェンバへ前記材料ガスを排出する配管部の断面積より大きい請求項３に記載の化学気相成長装置。
【請求項８】
液体流量制御器を介して導入された所定の流量の液体材料を気化して材料ガスを発生させる気化器に、キャリアガス源からガス流量制御器を介してキャリアガスを導入し、そして前記材料ガスおよび前記キャリアガスを前記気化器から成膜チェンバに供給して基板上に成膜する化学気相成長法において、
前記気化器と前記成膜チェンバとを接続する配管に設けた赤外線センサで前記材料ガスの赤外線透過率測定を行い、該透過率と前記ガス流量制御器によって検出される前記キャリアガスの流量とから前記材料ガスの流量を算出するとともに該流量と設定値とを比較し、この比較結果に基いて前記気化器から前記成膜チェンバに供給する前記材料ガスの流量を、前記気化器のバルブの開閉を制御することによって、または、前記材料ガスの流量が前記設定値に対して所定の許容範囲を超えた場合に警報信号を発生させることによって制御することを特徴とする化学気相成長法。
【請求項９】
前記赤外線透過率測定は、発光部からの赤外線を前記材料ガスを充満させたセル内を通過させて受光部で受けることにより、前記材料ガスについての赤外線透過率Ｔを測定する処理と、
透過率Ｔと設定値Ｔ１とを比較する処理と、
前記比較した結果がＴ＞Ｔ１である場合には、透過率Ｔから、前記セル内に前記材料ガスがない状態での透過率であるバックグラウンドの透過率を差し引く補正をする処理と、
前記比較した結果がＴ＜Ｔ１である場合には、警報信号を発して測定を中止する処理とを含む請求項８に記載の化学気相成長法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学気相成長装置および化学気相成長法に関し、より詳しくは、材料ガスの流量を正確に測定することにより適正量の材料ガスを成膜チェンバに送ることのできる化学気相成長装置および化学気相成長法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体基板表面に原料となるガスを流して化学反応を起こし、所定の組成を有する膜を形成する化学気相成長法（ＣＶＤ法）において、液体状態で貯蔵された原料を気化させることにより原料ガスを安定供給する、液体材料気化供給装置を備えた化学気相成長装置が広く用いられている。図１４および図１５に従来の液体材料気化供給装置の例を示す。
【０００３】
図１４の液体材料気化供給装置１４は、液体材料をN２またはＨｅ若しくはＡｒ等の不活性ガスをキャリアとしてその気流中で加熱気化させる気化器を備える。
【０００４】
図１４において、タンク１４０２内の液体材料１４０３は、圧力源としての圧送用ガス１４０１により、配管１４０４および配管１４０６を介して気化器１４０７に圧送される。圧送用のガスとしては、例えばＨｅガスが使用される。配管１４０４と配管１４０６の間には、液体材料１４０３の流量を制御する液体流量制御器（ＬＭＦＣ：Ｌｉｑｕｉｄ  Ｍａｓｓ  Ｆｌｏｗ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ、以下ＬＭＦＣという）１４０５が配設されている。
【０００５】
気化器１４０７の内部には液体材料１４０３を十分に気化可能な温度に加熱する部位（図示せず）が存在し、液体材料１４０３は該加熱部位に導入されて気化する。また、該加熱部位には配管１４１４および配管１４１６を介してキャリアガス１４１３も導入される。配管１４１４と配管１４１６の間には気体流量制御器（ＧＭＦＣ：Ｇａｓ  Ｍａｓｓ  Ｆｌｏｗ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ、以下ＧＭＦＣという）１４１５が配設されていて、キャリアガス１４１３の流量を制御する。
【０００６】
気化した液体材料１４０３は材料ガスとなって、キャリアガス１４１３とともに配管１４０８および配管１４１０を介して成膜チェンバ１４１１に送られる。配管１４０８と配管１４１０の間には気体流量メータ（ＧＭＦＭ：Ｇａｓ  Ｍａｓｓ  Ｆｌｏｗ  Ｍｅｔｅｒ、以下ＧＭＦＭという）１４０９が配設されていて、材料ガスとキャリアガスとの混合ガスの流量を測定する。ＧＭＦＭ１４０９からの信号１４１７は、制御機構１４１８に入力される。
【０００７】
配管１４０８、ＧＭＦＭ１４０９および配管１４１０は材料ガスが再び液化することのないよう、温度保持機構（図示せず）によって高温に保持されている。この温度は材料ガスにより異なるが、例えば６０℃〜２００℃である。成膜を行わないときは、配管１４１２を通じて材料ガスおよびキャリアガスを排気する。
【０００８】
気化器１４０７から送り出される材料ガスの流量は、ＬＭＦＣ１４０５を製造レシピの値に設定して液体材料１４０３の流量により制御する場合もあるが、制御機構１４１８がＧＭＦＭ１４０９からの出力１４１７に基いて気化器１４０７に信号１４２０を入力し、直接に気化器１４０７内の配管１４０８へ接続するバルブ（図示せず）の開閉を制御することによって成膜チェンバ１４１１に送るガスの流量を制御する場合もある。
【０００９】
図１５の液体材料気化供給装置１５は、液体材料をバブリングにより気化させるバブリング用のタンク（以下、バブラという）を備える。
【００１０】
液体材料１５０６はバブラ１５０５内に貯蔵されており、ヒータ１５１２により加熱されて蒸気圧が高められ、配管１５０２および配管１５０４を介して導入されたキャリアガス１５０１によりバブリングされて気化する。キャリアガス１５０１としてはＮ２またはＨｅ若しくはＡｒ等の不活性ガスが使用され、バブラ１５０５内に導入されるキャリアガス１５０１の流量は、配管１５０２と配管１５０４の間に配設されたＧＭＦＣ１５０３によって制御される。
【００１１】
気化した材料ガスは、キャリアガス１５０１とともに配管１５０７および配管１５０９を介して成膜チェンバ１５１０に送られる。配管１５０７と配管１５０９の間にはＧＭＦＭ１５０８が配設されていて、材料ガスおよびキャリアガス１５０１の流量を測定することにより、適正量のガスが成膜チェンバ１５１０に送られるように制御する。
【００１２】
配管１５０７、ＧＭＦＭ１５０８および配管１５０９は材料ガスが再び液化することのないよう、温度保持機構（図示せず）によって高温に保持されている。この温度は材料ガスにより異なるが、例えば６０℃〜２００℃である。成膜を行わないときは、配管１５１１を通じて材料ガスおよびキャリアガスを排気する。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上記いずれの液体材料気化供給装置においても、半導体基板表面に所定の組成を有する信頼性の高い膜を安定して形成するためには、気化器から成膜チェンバに送られる材料ガスの流量を精密に制御することにより成膜条件に応じた適正量の材料ガスを成膜チェンバ内の半導体基板に供給する必要がある。しかしながら、従来のＧＭＦＭによる材料ガスの流量測定では、以下のような問題があった。
【００１４】
第１に、使用する材料ガスの流量に対してキャリアガスの流量が数倍〜数千倍と多いことから、測定対象である材料ガスのスペクトル強度がキャリアガスのスペクトル強度に対して非常に弱くなる上にノイズとの分離も難しくなるため、材料ガスの流量を精度よく測定することができなかった。図１２に従来のＧＭＦＭによる測定例を示す。図より、キャリアガスのスペクトル強度に比べて材料ガスのスペクトル強度が非常に小さいことがわかる。
【００１５】
第２に、液体材料気化供給装置においてはＧＭＦＭが高温下に曝されるために、用いる電気部品の材料として高耐熱性を有する材料であることが必要とされ、汎用材料を使用することができなかった。また、センサ部での温度は保温温度よりも更に高温になるために、センサキャピラリ部で材料ガスが分解することにより流量測定ができなくなる場合があった。さらに、かかる材料ガスの熱分解により不純物が発生する場合もあった。
【００１６】
第３に、従来の液体材料気化供給装置では、ＬＭＦＣで液相材料の流量を制御することによって、成膜チェンバに送る材料ガスの流量を制御していた。しかしながら、例えばＬＭＦＣで制御された流量の液体材料が全て気化器で気化したとしても、その後で冷却されて再度液化した場合には、実際に成膜チェンバに送られる材料ガスの流量はＬＭＦＣでの設定値よりも少なくなる。
【００１７】
図１３は、ＢＰＳＧ（Ｂｏｒｏ−Ｐｈｏｓｐｈｏ  Ｓｉｌｉｃａｔｅ  Ｇｌａｓｓ）膜をシリコンウェハ上に形成した場合において、膜厚方向でのホウ素およびリンの濃度分布を示したものである。図１３（１）は理想的な濃度分布を示したものであり、一方、図１３（２）は従来の液体材料気化供給装置を用いて成膜した場合の濃度分布を示したものである。図において横軸はＢＰＳＧ膜の膜厚を表しており、膜厚ゼロがシリコンウェハの表面に相当する。一方、縦軸はＢＰＳＧ膜中でのホウ素およびリンの濃度を表していて、これらの濃度は図１３（１）に示すように、ＢＰＳＧ膜の膜厚に依存せずにそれぞれ一定の値をとることが望ましい。しかし、図１３（２）からわかるように、従来の液体材料気化供給装置を用いて成膜した場合には、ホウ素およびリンの濃度はともにある膜厚から減少している。これは、ホウ素含有有機ガスおよびリン含有有機ガスが気化器で気化した後に、例えば気化器内のいずれかの場所において冷却されることによって液化したために、成膜チェンバに導入されるこれらガスの流量が減少したことによるものである。
【００１８】
したがって、上記のような場合、ＬＭＦＣによる制御のみでは成膜チェンバに送る材料ガスの流量を十分に制御することはできないことから、従来より、気化器を通過した後の材料ガスの流量をＧＭＦＭで測定し、測定結果をフィードバックすることによりＬＭＦＣを制御する方法がとられている。しかしながら、前述のように、ＧＭＦＭにおける材料ガスの信号はキャリアガスの信号に比べて非常に弱いためにＬＭＦＣで設定した材料ガスの流量とＧＭＦＭで測定した材料ガスの流量との差を補足することは困難であり、結果として設定値とは異なる流量の材料ガスが成膜チェンバへ送られることになるという問題があった。
【００１９】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものである。即ち、本発明は、材料ガスの流量を正確に測定することにより適正量の材料ガスを成膜チェンバに送ることのできる液体材料気化供給装置を有する化学気相成長装置および化学気相成長法を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本願請求項１に係る発明は、液体材料を気化して材料ガスを発生させる気化器と、前記気化器に導入する前記液体材料を所望の流量に制御する液体流量制御器と、キャリアガス源から前記気化器に導入するキャリアガスの流量を検出するとともに制御するガス流量制御器と、前記気化器からの前記材料ガスおよび前記キャリアガスを導入して、収納された基板上に成膜する成膜チェンバと、前記気化器と前記成膜チェンバを接続する配管に設けられ、前記材料ガスの赤外線透過率を測定する赤外線センサと、前記赤外線センサで測定した赤外線透過率と前記ガス流量制御器によって検出したキャリアガスの流量とから前記材料ガスの流量を算出して設定値と比較し、この比較結果に基づいて前記気化器から前記成膜チェンバに導入する前記材料ガスの流量を、前記気化器のバルブの開閉を制御することによって、または、前記材料ガスの流量が前記設定値に対して所定の許容範囲を超えた場合に警報信号を発生させることによって制御する制御機構とを備えたことを特徴とする。
【００２１】
本願請求項２に係る発明は、請求項１に記載の化学気相成長装置において、前記液体材料は２種類以上あり、前記気化器および前記キャリアガス源は前記液体材料に対応して２以上配置され、前記気化器で発生する前記２種類以上の材料ガスの合流位置と前記成膜チェンバの間に１の前記赤外線センサが配置されることを特徴とする。
【００２２】
本願請求項３に係る発明は、請求項１または２に記載の化学気相成長装置において、前記赤外線センサは、発光部からの赤外線を前記材料ガスを充満させたセル内を通過させて受光部で受けることにより、前記材料ガスについての赤外線透過率Ｔを測定する手段と、透過率Ｔと設定値Ｔ１とを比較して、Ｔ＞Ｔ１である場合には、透過率Ｔから、前記セル内に前記材料ガスがない状態での透過率であるバックグラウンドの透過率を差し引く補正をする手段と、Ｔ＜Ｔ１である場合には、警報信号を発して測定を中止する手段とを含むことを特徴とする。
【００２３】
本願請求項４に係る発明は、請求項３に記載の化学気相成長装置において、前記赤外線センサがさらに前記発光部からの赤外線を反射させて前記受光部に入射させる反射部を有することにより、前記発光部から前記受光部までの光路長を変えることができることを特徴とする。
【００２４】
本願請求項５に係る発明は、請求項４に記載の化学気相成長装置において、前記反射部が金属蒸着した鏡であることを特徴とする。
【００２５】
本願請求項６に係る発明は、請求項４に記載の化学気相成長装置において、前記反射部がハーフミラーであることを特徴とする。
【００２６】
本願請求項７に係る発明は、請求項３に記載の化学気相成長装置において、前記材料ガスの進行方向に対する前記セルの断面積が、前記気化器から前記セルに前記材料ガスを導入する配管部の断面積および前記セルから前記成膜チェンバへ前記材料ガスを排出する配管部の断面積より大きいことを特徴とする。
【００２７】
本願請求項８に係る発明は、液体流量制御器を介して導入された所定の流量の液体材料を気化して材料ガスを発生させる気化器に、キャリアガス源からガス流量制御器を介してキャリアガスを導入し、そして前記材料ガスおよび前記キャリアガスを前記気化器から成膜チェンバに供給して基板上に成膜する化学気相成長法において、前記気化器と前記成膜チェンバとを接続する配管に設けた赤外線センサで前記材料ガスの赤外線透過率測定を行い、該透過率と前記ガス流量制御器によって検出される前記キャリアガスの流量とから前記材料ガスの流量を算出するとともに該流量と設定値とを比較し、この比較結果に基いて前記気化器から前記成膜チェンバに供給する前記材料ガスの流量を、前記気化器のバルブの開閉を制御することによって、または、前記材料ガスの流量が前記設定値に対して所定の許容範囲を超えた場合に警報信号を発生させることによって制御する化学気相成長法であることを特徴とする。
【００２８】
本願請求項９に係る発明は、請求項８に記載の化学気相成長法において、前記赤外線透過率測定は、発光部からの赤外線を前記材料ガスを充満させたセル内を通過させて受光部で受けることにより、前記材料ガスについての赤外線透過率Ｔを測定する処理と、透過率Ｔと設定値Ｔ１とを比較する処理と、前記比較した結果がＴ＞Ｔ１である場合には、透過率Ｔから、前記セル内に前記材料ガスがない状態での透過率であるバックグラウンドの透過率を差し引く補正をする処理と、前記比較した結果がＴ＜Ｔ１である場合には、警報信号を発して測定を中止する処理とを含むことを特徴とする。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００３０】
実施の形態１
図１は、本発明の実施の形態１に係る液体材料気化供給装置の一例を示したものである。図１において、液体材料気化供給装置１は、液体材料を貯蔵するタンク１０１、液体材料を気化する気化器１０５、キャリアガスを供給する供給系１０６および成膜チェンバ１１３を有する。タンク１０１内の液体材料は配管１０２および配管１０４を介して気化器１０５に導入される。配管１０２と配管１０４の間にはＬＭＦＣ１０３が配設され、気化器１０５に導入される液体材料が所望の量となるように液体材料の流量を制御する。一方、供給系１０６からキャリアガスが配管１０７および配管１０９を介して気化器１０５に導入される。配管１０７と配管１０９の間にはＧＭＦＣ１０８が配設されていて、気化器１０５に導入されるキャリアガスの流量が制御される。キャリアガスとしては、例えば、Ｈｅ、Ａｒ等の不活性ガスやＮ２ガスを用いることができる。
【００３１】
気化器１０５で気化した材料ガスとキャリアガスとの混合ガスは、配管１１０および配管１１２を介して成膜チェンバ１１３に送られる。配管１１０と配管１１２の間には赤外線センサ（以下、ＩＲセンサという）１１１が配設されていて、材料ガスの流量を検出するのに用いる。ここで、赤外線はＨｅ，Ａｒ等の不活性ガスに対しては原理的に感度がないことから、キャリアガスとして不活性ガスを用いた場合、材料ガスに対してキャリアガスの量がいかに多くとも材料ガスの流量検出の妨げとなることはない。図２に、ＩＲセンサによる測定例を示す。図より、ＩＲセンサは材料ガスのみ検出し、キャリアガスについては検出しないことがわかる。
【００３２】
一方、赤外線はＮ２に対しては感度を有する。したがって、キャリアガスとしてＮ２を使用する場合には、材料ガス検出の妨げとなるおそれがある。しかし、かかる場合であっても材料ガスの波数を適当に選択すれば、上記不活性ガスの場合と同様に、Ｎ２からの信号による妨げを受けることなく材料ガスを検出することができる。
【００３３】
ＩＲセンサ１１１からの出力１１５は制御機構１１６に送られ、制御機構１１６内の演算機能によって測定結果はリアルタイムでフーリエ変換されて材料ガスごとに特有のスペクトル強度が算出される。一方、予め材料ガスの流量とスペクトル強度との関係を実験により求めておく。ここで、図３は、キャリアガス流量を変えた場合の材料ガスの流量とスペクトル強度との関係の一例を示したものである。図より、材料ガスの流量が同じであってもキャリアガスの流量によってスペクトル強度が変化することがわかる。これは、キャリアガスの量を変えることによって混合ガス中に占める材料ガスの濃度が変化することによるものである。したがって、スペクトル強度から材料ガスの流量を求めるためには、予め、キャリアガスの流量に応じた材料ガス流量値とスペクトル強度との関係を把握することが必要である。
【００３４】
上記関係を求めることにより、上記制御機構１１６によって算出されたスペクトル強度と、ＧＭＦＣ１０８からの出力値１１７によって把握されるキャリアガスの流量とから、実際に気化器１０５から発生する材料ガスの流量を求めることができる。そして、この値を制御機構１１６から気化器１０５に信号１１８によってフィードバックし、成膜条件に適した流量となるように、気化器１０５のバルブ（図示せず）の開閉を制御する。
【００３５】
制御機構１１６は、前記フィードバックする構成ではなく、制御機構１１６で求まる材料ガスの流量を監視し、材料ガスの流量が設定値に対して所定の許容範囲を超えた場合には警報信号を発するような構成としてもよい。
【００３６】
図４は、本実施の形態に係るＩＲセンサの平面図を示す。ＩＲセンサ３は、セル３０２、発光部３０４、受光部３０５を有する。材料ガスとキャリアガスの混合ガスは、気化器（図示せず）より配管１１０を通じて矢印Ａの方向に進行し、セル３０２に導入される。赤外線３０３は、発光部３０４から出てセル３０２の長手方向の一端に取り付けられた透過窓３０６を透過し、セル３０２内を長手方向に沿って進行した後、セル３０２の長手方向の他端に取り付けられた透過窓３０６′を透過して受光部３０５に到達する。
【００３７】
透過窓の材料としては、例えば、石英を用いることができる。腐食性ガスを含有または発生する材料ガスを用いる場合には、透過窓を構成する材料の腐食を防止するため、腐食性成分に対して耐性を有する材料を透過窓構成材料として選択する。または、透過窓の表面若しくはセル内に面する側（図４の３０６ａおよび３０６′ａ）を該材料でコーティングしてもよい。例えば、材料ガスがフッ酸を含有または発生する場合には、透過窓の表面またはセル内に面する側にシリコンコーティングする。さらに、石英を透過窓構成材料として用いた場合約５μｍより長波長の成分については透過率が低くなることから、かかる長波長の成分を透過させることが必要である場合には、例えば、ＣａＦ２，ＢａＦ２およびＺｎＳｅ等の蛍石構造の単結晶を用いる。
【００３８】
透過率測定の際には、材料ガスによる吸収の他に、透過窓を構成する材料自身による吸収や前記腐食防止の目的で表面コーティングした材料等による吸収（バックグラウンド）があることを考慮し、測定結果からかかるバックグラウンドの吸収を差し引く補正をする必要がある。バックグラウンドによる吸収は、セル内に材料ガスがない状態で、赤外線透過率を測定することにより求められる。一方、腐食による透過窓構成材料のエッチング等によってバックグラウンドが変動する場合があることから、かかる変動の有無を把握し、変動がある場合には変動値を把握した上で上記補正を行う必要がある。
【００３９】
透過率が変動した場合の処理方法を図５を用いて説明する。発光部として、赤外線強度が既知である光源または標準黒体炉を用いて所定の測定間隔でガスを通過させない状態での透過率を測定し、バックグラウンドの透過率Ｔを求めておく。一方、所定の基準となる透過率Ｔ１を設定し、Ｔ＞Ｔ１である場合には測定を行うこととしてガスを通過させた状態での透過率を求め、測定結果からバックグラウンドの吸収を差し引く補正をすることにより、材料ガスによる吸収を算出する。一方、Ｔ＜Ｔ１である場合には警報信号を発して測定を中止し、バックグラウンドが大きく変動している原因を究明した後、透過窓を交換するなどの対策を行う。以上のルーチンを所定のタイミングで繰り返し、測定結果を制御機構に送る。
【００４０】
材料ガスの濃度が低い場合、分光測定においては一般に光路長を長くする方法がとられる。しかしながら、セルの長さを長くすることにより光路長を長くしようとする場合には、気化器から成膜チェンバまでの距離が長くなることになるため、温度が低下することによる材料ガスの液化が起こるおそれがある。
【００４１】
本発明によれば、図６の例に示すように、反射板を設け、赤外光を反射させることにより実効的な光路長を長くする方法をとる。図６では、発光部６０４から出た赤外線６０３は透過窓６０６および６０６′を透過した後、反射板６０７′で反射し、再び透過窓６０６′および６０６を透過する。そして、また反射板６０７で反射する。これを複数回繰り返した後に受光部６０５に達して、所望の光路長での測定とする。反射板としては、例えば、アルミニウム蒸着した鏡を用いることができる。反射表面をグレーティング構造としてもよい。
【００４２】
また、本発明によれば、図７の例に示すように、透過窓に適当な半透明材料を用いてハーフミラーとすることにより、透過窓間で反射させて実効的な光路長を長くしてもよい。図７では、光源７０４から出た赤外線７０３は透過窓７０６を透過してＩＲセル７０２内に入った後、透過窓７０６′で反射して進行方向を変え、再び透過窓７０６で反射する。これを複数回繰り返した後に受光部７０５に達して、所望の光路長での測定とする。
【００４３】
さらに、本発明によれば、濃度の低い材料ガスの測定をする場合、図８の例に示すように、矢印Ｂで示す材料ガスの進行方向について、セル８０２の断面積を、配管８１０および配管８１２の断面積より大きくしてもよい。図８において、配管８１０は気化器（図示せず）からセル８０２に材料ガスを導入する配管であり、配管８１２はセル８０２から成膜チェンバ（図示せず）へ材料ガスを排出する配管である。かかる構造にすることによって、混合ガスのセル内での滞留時間を長くして見かけの材料ガスの濃度を大きくすることができるので、スペクトル強度を大きくすることができるとともに、測定時間の短縮を図ることができる。さらに、Ｓ／Ｎ比を大きくして測定分解能の向上を図ることができる。
【００４４】
このように、ＩＲセンサを用いて気化器に導入する材料ガスの流量を成膜条件に応じた適正な値とすることにより、所定の組成を有する信頼性の高い膜を安定して形成することができる。
【００４５】
図１において、成膜に使用されないガスは配管１１４を通じて排出される。また、配管１１０、１１２およびＩＲセンサ１１１は材料ガスが再び液化することのないよう、温度保持機構（図示せず）によって高温に保持されている。この温度は材料ガスにより異なるが、例えば６０℃〜２００℃である。
【００４６】
本実施の形態は、２種類以上の材料ガスを用いて成膜する場合にも適用できる。図９に、ＢＰＳＧ膜を成膜する場合の液体材料気化供給装置９の例を示す。図では、タンク９０１にはエチルシリケート（ＴＥＯＳ：ｔｅｔｒａ  ｅｔｈｙｌｏｒｔｈｏ  ｓｉｌｉｃａｔｅ、以下ＴＥＯＳという）が、タンク９２０にはホウ素含有有機液体ソースが、そしてタンク９３７にはリン含有有機液体ソースがそれぞれ貯蔵されている。これらの液体材料に対応して気化器９０５、９２４および９４１並びにキャリアガス源９０６，９２５および９４２が配置されている。各液体材料がそれぞれ材料ガスとなるまでの動作は、前記図１で説明したのと同様である。
【００４７】
図９において、気化器９０５、９２４および９４１で発生した各材料ガスの流量は、ＩＲセンサ（９１１、９３０、９４７）からの出力（９１６、９３３、９４９）とＧＭＦＣ（９０８、９２７、９４４）に基いて、制御機構（９１７、９３４、９５０）によって求められ、適正量のＴＥＯＳガス、ホウ素含有有機ガスおよびリン含有有機ガスが成膜チェンバ９１４に送られてＢＰＳＧ膜の形成に使用される。
【００４８】
実施の形態２
図１０に、本実施の形態２に係る液体材料気化供給装置１０の例を示す。図１０ではＢＰＳＧ膜を形成する場合の例を示しており、各液体材料が気化器で材料ガスとなるまでの動作は、前記図１および図９で説明したのと同様である。
【００４９】
本実施の形態では、各材料ガスごとにＩＲセンサおよび制御機構を設けるのではなく、装置全体でただ１つのみのＩＲセンサおよび制御機構を有することを特徴とする。
【００５０】
気化器１００５は、配管１００９、配管１０１０および配管１０１２を介して成膜チェンバ１０１４に接続している。また、配管１０１０と配管１０１２の間にはＩＲセンサ１０１１が配設されている。一方、気化器１０４１に接続した配管１０１６は配管１０１０に接続しており、気化器１０２４に接続した配管１０１７は配管１０１６に接続している。したがって、気化器１０２４で発生したホウ素含有有機ガスは、配管１０１７を通った後、配管１０１６において気化器１０４１で発生したリン含有有機ガスと混合する。一方、気化器１００５で発生したＴＥＯＳガスは配管１００９を通過した後、配管１０１０でホウ素含有有機ガスおよびリン含有有機ガスと混合する。そして、これらはキャリアガスとともに成膜チェンバ１０１４に送られるが、その流量はＩＲセンサ１０１１を用いて検出される。成膜に用いられないガスは配管１０１５から排出される。また、尚、材料ガスが再び液化することのないよう、各気化器から成膜チェンバまでの配管およびＩＲセンサが温度保持機構（図示せず）によって高温に保持されているのは、実施の形態１と同様である。この温度は材料ガスにより異なるが、例えば６０℃〜２００℃である。
【００５１】
ＩＲセンサ１０１１で測定されたキャリアガスを除く上記混合ガスについての測定結果は、出力１０１６として制御機構１０１７に送られ、制御機構１０１７内の演算機能によってフーリエ変換された後、分離されて、ＴＥＯＳガス、ホウ素含有有機ガスおよびリン含有有機ガスのそれぞれについてスペクトル強度が算出される。
【００５２】
尚、測定時間の短縮化を図るためには、ＩＲセンサ１０１１内の赤外線参照光の強度を強くすればよい。また、制御機構１０１７での演算機能の単一化（例えば、各材料ガスに特徴的な波数に絞った演算処理）によっても測定時間の短縮化を図ることができるとともに、該方法によればコストダウンも達成できる。
【００５３】
スペクトル強度から各材料ガスの流量を求める方法は、実施の形態1と同様である。即ち、上記制御機構１０１７によって算出されたスペクトル強度と、ＧＭＦＣ１００８、ＧＭＦＣ１０２７およびＧＭＦＣ１０４４からの各出力値（１０１８，１０３５，１０５１）によって把握されるキャリアガスの流量とから、予め求めておいたキャリアガスの流量に応じた各材料ガスの流量値とスペクトル強度との関係に基いて、ＴＥＯＳガス、ホウ素含有有機ガスおよびリン含有有機ガスのそれぞれの流量を求めることができる。
【００５４】
求めた各材料ガスの流量値は制御機構１０１７から各気化器（１００５，１０２４，１０４１）に信号１０１９、信号１０３６および信号１０５２によってフィードバックされ、成膜条件に適した流量となるように、各気化器（１００５，１０２４，１０４１）のバルブ（図示せず）の開閉が制御される。
【００５５】
制御機構１０１７は、前記フィードバックする構成ではなく、制御機構１０１７で求まる材料ガスの流量を監視し、材料ガスの流量が設定値に対して所定の許容範囲を超えた場合には警報信号を発するような構成としてもよい。
【００５６】
本実施の形態では、ＢＰＳＧ膜を成膜する場合の液体材料気化供給装置の例を示したが、本発明は本実施の形態に限定されるものではない。即ち、ＢＰＳＧ膜以外の他の膜、例えばシリコン酸化膜、タリウム酸化膜または低誘電率層間絶縁膜（ｌｏｗ−ｋ  Ｆｉｌｍ）等の成膜にも適用することができる。また、材料ガスの種類も３種類以外の２種類または４種類以上であってもよい。
【００６８】
本発明は、本発明の主旨を逸脱しない範囲で実施の形態の変更が可能である。上記実施の形態１および２では熱ＣＶＤ法についてのみ言及したが、例えばプラズマＣＶＤや減圧ＣＶＤ等のように、液体材料を気化して供給することを必要とするプロセスであれば本発明の適用が可能である。その場合、使用する液体材料に適した温度に気化器および配管等の温度を設定し、材料ガスを検出可能な波数の赤外線を用いて材料ガスの流量を検出する。
【００６９】
【発明の効果】
本発明によれば、不活性ガスや窒素ガス等のキャリアガスに混合した材料ガスの流量をキャリアガスの量にかかわらず正確に測定することができる。
【００７０】
本発明によれば、気化器で気化されて成膜チェンバに送られる材料ガスの実際の流量を正確に測定して測定結果を気化器に入力することにより材料ガスの流量を制御して、成膜チェンバに所望の流量の材料ガスを導入することができる。
【００７１】
本発明によれば、材料ガスの流量を正確に測定することができるので設定値からの測定値のずれにより、例えば材料ガスが冷却されることによる液化現象等を把握することができる。したがって、材料ガスの流量を所望の値となるように調節することによって、成膜チェンバに導入される材料ガスの流量を一定にして組成の安定した膜を基板上に形成することができる。
【００７２】
本発明によれば、材料ガスの流量を正確に測定することができるので、設定値からの測定値の変動を監視することにより、規格から外れた膜が形成されているか否かの判断を容易にすることができる。そして、外れている場合には直ちに所望の値となるように流量を調節することによって、規格外の製品の生成を最小限にとどめることができるので、製品歩留まりの向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る化学気相成長装置において、液体材料気化供給装置を示す構成図である。
【図２】ＩＲセンサによる測定例を説明する図である。
【図３】キャリアガスの流量を変えた場合の材料ガスの流量とスペクトル強度との関係の一例を示す図である。
【図４】本発明に係るＩＲセンサの平面図である。
【図５】透過率補正を説明する図である。
【図６】本発明に係るＩＲセンサの平面図である。
【図７】本発明に係るＩＲセンサの平面図である。
【図８】本発明に係るＩＲセンサの平面図である。
【図９】本発明の実施の形態１に係る化学気相成長装置において、液体材料気化供給装置を示す構成図である。
【図１０】本発明の実施の形態２に係る化学気相成長装置において、液体材料気化供給装置を示す構成図である。
【図１１】  従来のＧＭＦＭによる測定例を説明する図である。
【図１２】  従来の化学気相成長装置によるＢＰＳＧ膜のホウ素およびリンの濃度分布を説明する図である。
【図１３】  従来の化学気相成長装置において、液体材料気化供給装置を示す構成図である。
【図１４】  従来の化学気相成長装置において、液体材料気化供給装置を示す構成図である。
【符号の説明】
１，９，１０，１１，１４，１５  液体材料気化供給装置  １０３，１４０５  ＬＭＦＣ、  １０８，９０８，９２７，９４４１００８，１０２７，１０４４，１４１５，１５０３  ＧＭＦＣ、  １０５，９０５，９２４，９４１，１００５，１０２４，１０４１，１４０７  気化器、  １５０５  バブラ、  １１１，９１１，９３０，９４７，１０１１  ＩＲセンサ、  １１６，９１７，９３４，９５０，１０１７  制御機構、  １１３，９１４，１０１４  成膜チェンバ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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