【手続補正書】
【提出日】令和3年10月27日(2021.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に周期をもつ１次元の第１回折格子と、前記第１方向に前記第１回折格子と異なる周期をもつ１次元の第２回折格子と、を照明する照明光学系と、
前記第１回折格子と前記第２回折格子で回折された回折光を検出する検出光学系と、を備える検出装置であって、
前記照明光学系は、その瞳面において第１極と光軸に対して前記第１極とは反対側の第２極とを形成するための光学部材を有し、
前記照明光学系により前記第１極と前記第２極からの光を前記第１方向から斜入射させて前記第１回折格子及び前記第２回折格子を照明することによって前記第１回折格子及び前記第２回折格子の一方で回折され、さらに他方で回折された回折光を前記検出光学系が検出する、ことを特徴とする検出装置。
【請求項２】
前記検出装置は、該検出された回折光に基づいて前記第１回折格子と前記第２回折格子の前記第１方向の相対位置を求めることを特徴とする請求項１に記載の検出装置。
【請求項３】
前記第１極と前記第２極は前記光軸に対して対称であることを特徴とする請求項１又は２に記載の検出装置。
【請求項４】
前記第１極と前記第２極は前記第１方向における光強度分布のピークを含むことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の検出装置。
【請求項５】
前記検出光学系は、前記第１回折格子と前記第２回折格子で回折された回折光により生じるモアレ縞を検出することを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の検出装置。
【請求項６】
前記光学部材は開口絞りであることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の検出装置。
【請求項７】
ｍ１、ｎ１、ｍ２、ｎ２を整数とし、回折次数の符号を０次光に対して一方側を正、他方側を負とすると、
前記第１極からの照明によって発生する、前記第１回折格子をｍ１次、前記第２回折格子をｎ１次で回折した回折光、および前記第１回折格子をｍ２次、前記第２回折格子をｎ２次で回折した回折光を干渉させることによる干渉縞と、
前記第２極からの照明によって発生する、前記第１回折格子を−ｍ１次、前記第２回折格子を−ｎ１次で回折した回折光、および、前記第１回折格子を−ｍ２次、前記第２回折格子を−ｎ２次で回折した回折光を干渉させることによる干渉縞と、を合成した光強度分布を前記検出光学系が検出することを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の検出装置。
【請求項８】
前記第１極からの照明によって発生する、前記第１回折格子を１次、前記第２回折格子を０次で回折した回折光、および前記第１回折格子を０次、前記第２回折格子を１次で回折した回折光を干渉させることによる干渉縞と、
前記第２極からの照明によって発生する、前記第１回折格子を−１次、前記第２回折格子を０次で回折した回折光、および前記第１回折格子を０次、前記第２回折格子を−１次で回折した回折光を干渉させることによる干渉縞と、
を合成した光強度分布を前記検出光学系が検出することを特徴とする請求項７に記載の検出装置。
【請求項９】
前記第１極からの照明によって発生する、前記第１回折格子を２次、前記第２回折格子を−１次で回折した回折光、および前記第１回折格子を０次、前記第２回折格子を１次で回折した回折光を干渉させることによる干渉縞と、
前記第２極からの照明によって発生する、前記第１回折格子を−２次、前記第２回折格子を１次で回折した回折光、および前記第１回折格子を０次、前記第２回折格子を−１次で回折した回折光を干渉させることによる干渉縞と、
を合成した光強度分布を前記検出光学系が検出することを特徴とする請求項７に記載の検出装置。
【請求項１０】
前記第１極からの照明によって発生する、前記第１回折格子を２次、前記第２回折格子を−１次で回折した回折光、および前記第１回折格子を１次、前記第２回折格子を０次で回折した回折光を干渉させることによる干渉縞と、
前記第２極からの照明によって発生する、前記第１回折格子を−２次、前記第２回折格子を１次で回折した回折光、および前記第１回折格子を−１次、前記第２回折格子を０次で回折した回折光を干渉させることによる干渉縞と、
を合成した光強度分布を前記検出光学系が検出することを特徴とする請求項７に記載の検出装置。
【請求項１１】
前記第１回折格子又は前記第２回折格子はセグメント化された部分を有することを特徴とする請求項１乃至１０の何れか１項に記載の検出装置。
【請求項１２】
前記検出光学系は、前記検出光学系の瞳面において、前記照明光学系の瞳面における前記第１極と前記第２極の位置より光軸側の位置に配置された検出開口を有し、
前記検出光学系は、前記第１回折格子及び前記第２回折格子の一方で回折され、さらに他方で回折された回折光を前記検出開口を介して検出することを特徴とする請求項１乃至１１の何れか１項に記載の検出装置。
【請求項１３】
型を用いて基板上にパターンを形成するインプリント装置において、
請求項１乃至１２の何れか１項に記載の検出装置と、
前記検出装置による検出結果に基づいて前記型と前記基板の位置合せを行う制御部と、
を有し、
前記型に形成された第１回折格子と前記基板に形成された第２回折格子とで回折された回折光を前記検出装置の検出光学系が検出する、ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項１４】
型を用いて基板上の組成物を平坦化する平坦化装置において、
請求項１乃至１２の何れか１項に記載の検出装置と、
前記検出装置による検出結果に基づいて前記型と前記基板の位置合せを行う制御部と、
を有し、
前記型に形成された第１回折格子と前記基板に形成された第２回折格子とで回折された回折光を前記検出装置の検出光学系が検出する、ことを特徴とする平坦化装置。
【請求項１５】
第１方向に周期をもつ１次元の第１回折格子と、前記第１方向に前記第１回折格子と異なる周期をもつ１次元の第２回折格子と、を照明光学系を用いて照明する照明工程と、
前記第１回折格子と前記第２回折格子で回折された回折光を検出する検出工程と、を含む検出方法であって、
前記照明工程において、前記照明光学系の瞳面に形成された第１極からの光と、光軸に対して前記第１極とは反対側の第２極からの光を前記第１方向から斜入射させて前記第１回折格子及び前記第２回折格子を照明し、
前記検出工程において、前記第１極からの光と前記第２極からの光で照明された前記第１回折格子及び前記第２回折格子の一方で回折され、さらに他方で回折された回折光を検出する、ことを特徴とする検出方法。
【請求項１６】
前記照明工程において、前記第１回折格子からの回折光の強度と前記第２回折格子からの回折光の強度とが等しくなるように、前記第１極からの光と前記第２極からの光の波長を選択することを特徴とする、請求項１５に記載の検出方法。
【請求項１７】
前記第１回折格子からの回折光の強度と前記第２回折格子からの回折光の強度とが等しくなるように、前記第１回折格子又は前記第２回折格子がセグメント化されていることを特徴とする、請求項１５に記載の検出方法。
【請求項１８】
前記第１回折格子からの回折光の強度と前記第２回折格子からの回折光の強度とが等しくなるように、前記第１回折格子又は前記第２回折格子のデューティが調整されていることを特徴とする、請求項１５に記載の検出方法。
【請求項１９】
ｍを整数として、前記検出工程において前記第１回折格子又は前記第２回折格子からのｍ次の回折光を検出するために、前記第１回折格子又は前記第２回折格子の周期を１／ｍにすることを特徴とする、請求項１５に記載の検出方法。
【請求項２０】
前記検出工程において、前記第１回折格子及び前記第２回折格子の一方で回折され、さらに他方で回折された回折光を検出光学系の検出開口を介して検出し、
前記検出光学系の検出開口は、前記検出光学系の瞳面において、前記照明光学系の瞳面における前記第１極と前記第２極の位置より光軸側の位置に配置されていることを特徴とする請求項１５乃至１９の何れか１項に記載の検出装置。
【請求項２１】
請求項１５乃至２０の何れか１項に記載の検出方法を用いて、検出された回折光に基づいて型に設けられた第１回折格子と基板に設けられた第２回折格子の第１方向の相対位置を求める工程と、
求められた相対位置に基づいて前記型と前記基板を位置合せする工程と、
位置合せされた前記基板上の組成物にパターンを形成する工程と、
パターンが形成された基板から物品を製造する工程と、を有することを特徴とする物品の製造方法。
【請求項２２】
請求項１５乃至２０の何れか１項に記載の検出方法を用いて、検出された回折光に基づいて型に設けられた第１回折格子と基板に設けられた第２回折格子の第１方向の相対位置を求める工程と、
求められた相対位置に基づいて前記型と前記基板を位置合せする工程と、
位置合せされた型を用いて基板上の組成物を平坦化する工程と、
平坦化された組成物を有する基板上にパターンを形成する工程と、
パターンが形成された基板から物品を製造する工程と、を有することを特徴とする物品の製造方法。