(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型基板を真空処理室外の基板受渡しステージで基板を受け渡しする搬送台車と、この搬送台車上で傾斜安定角にて基板を傾斜保持する基板搬送機構とを具えた大型基板搬送装置において、
前記基板を水平に維持した状態で搬送基板受渡しステージ位置まで搬送する搬送ローラと、前記基板搬送ローラ下流側の基板受渡しステージ位置にあり、その上流側に位置する他の基板搬送ローラ側と分離してなるローラフレームと、前記ローラフレーム下面に取り付けた第１のエアシリンダとを具え、前記ローラフレームの基板保持機構と対面する基板搬送方向終端側に設けた回転軸を支点として前記第１のエアシリンダによりローラフレームを水平位置より前記基板保持機構と対面する傾斜安定角度まで基板を荷重集中で破損させることなく起伏させるように基板受渡し機構が設けられていることを特徴とする大型基板搬送装置。
【請求項２】
可倒式基板受渡し機構に前記回転軸側のローラフレーム終端側に、該ローラフレームが積載している基板の下端を支持する支持手段とを具えていることを特徴とする請求項１記載の大型基板搬送装置。
【請求項３】
前記可倒式基板受渡し機構に、前記ローラフレームが基板保持機構に離接する方向に進退する進退機構を具えており、前記ローラフレームが傾斜安定角度まで起立した状態で、前記進退機構により搬送台車の基板保持機構に対面して進退可能に構成した請求項１記載の大型基板搬送装置。
【請求項４】
大型基板を真空処理室外の基板受渡しステージで基板を搬送台車に受け取り、搬送台車上の基板保持機構で傾斜安定角にて基板を傾斜保持して、基板を真空処理室に出入りさせる大型基板搬送方法において、
前記基板を水平に維持した状態で搬送基板受渡しステージ位置まで搬送する搬送ローラと、前記基板搬送ローラ下流側の基板受渡しステージ位置にあり、その上流側に位置する他の基板搬送ローラ部と分離してなるローラフレームと、前記ローラフレーム下面に取り付けた第１のエアシリンダとを具え、前記ローラフレームの基板保持機構と対面する基板搬送方向終端側に設けた回転軸を支点として前記第１のエアシリンダにより前記ローラフレームを水平位置より前記基板保持機構と対面する傾斜安定角度まで起伏させるように構成した基板受渡し機構と、前記ローラフレームを基板保持機構に離接する方向に進退させる進退機構とが用意され、
基板搬送ローラにより基板受渡しステージ位置まで水平状態で搬送された基板を、前記ローラフレームを介して水平位置より基板保持機構と対面する傾斜安定角度まで起立させた後、前記進退機構により前記ローラフレームを基板保持機構側に接近させて、搬送台車の基板保持機構に搬送台車の基板保持機構に受渡すことを特徴とする大型基板搬送方法。
【請求項５】
前記進退機構が前記ローラフレームを基板保持機構に離接する方向に進退させる第２のシリンダであって、
前記真空処理室より基板保持機構で基板を傾斜安定角にて基板を傾斜保持した状態で基板受渡しステージ位置まで導かれた基板をローラフレーム側で受け取る際に、前記ローラフレームを傾斜安定角度まで起立させた状態で、前記第２のエアシリンダにより前記ローラフレームを基板保持機構側に接近させて前記基板を基板保持機構から受取り、その後該ローラフレームを介して基板を水平に倒伏させて搬送ローラで搬送することを特徴とする請求項４記載の大型基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、プラズマＣＶＤ、スパッタリング、ドライエッチング等の処理を大型基板に施すための大型基板用真空処理装置に用いる大型基板搬送装置及び搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年太陽電池などの製造を目的として、大型の基板を真空中でプラズマＣＶＤ、スパッタリング、ドライエッチング等の処理を均質・連続・大量に施す必要性が益々高まっている。本発明者等は今までに一連の関連技術の発明を出願、開示してきたが、真空処理装置の各部において解決すべき課題が多々あるなかで、特に大型脆性材質からなる基板を操作するところの基板搬送装置について特願平１１−３０１２７１にその発明の１つを出願した。
【０００３】
前記先願技術（非公知）の要点を図３を参照しながら説明すると、トレイレス斜め基板搬送装置１０１において、該装置は基板Ｇを減圧下で処理する真空処理室１１０と、この真空処理室との間で基板を受け渡しする基板搬送台車１０６Ａ、１０６Ｂ、１０６Ｃ、１０６Ｄと、この搬送台車上で基板を斜めに立て掛けて支持する基盤保持機構と、基板台車を真空処理室１１０に出し入れして操作可能にするレールを含む進退機構を有している。基板台車の基盤保持機構は、基板受渡しステージ１０２上で図示のように倒れてローラ１０３で搬送されてきた基板Ｇを把持し、斜め安定角度まで起立した後、真空処理室へと進む。
【０００４】
しかしこのような基板受渡しステージ上での基板受渡し機構であると、基板の大型化に伴い、脆弱な薄い材質であるので、搬送台車側の保持機構を回転起立させるとき、基板を把持している部分に集中してかかる荷重で基板が破損することがあり、製造の歩留や製品の品質に影響した。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みなされたもので、大型基板を真空処理室外の基板受渡しステージで基板を受け渡しさせる搬送台車と、この搬送台車上で基板を保持する基板保持機構とを具えた大型基板搬送装置において、基板搬送ローラの基板受渡しステージでの基板受渡しの機構において、基板を傾斜安定角まで起立したり倒したりするとき、基板が基板保持機構に把持されている部分に荷重が集中してかからず、安定した動作で起立転倒可能な基板受渡し機構及び方法とすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、大型基板を真空処理室外の基板受渡しステージで基板を受け渡しする搬送台車と、この搬送台車上で傾斜安定角にて基板を傾斜保持する基板搬送機構とを具えた大型基板搬送装置において、
前記基板を水平に維持した状態で搬送基板受渡しステージ位置まで搬送する搬送ローラと、前記基板搬送ローラ下流側の基板受渡しステージ位置にあり、その上流側に位置する他の基板搬送ローラ側と分離してなるローラフレームと、前記ローラフレーム下面に取り付けた第１のエアシリンダとを具え、前記ローラフレームの基板保持機構と対面する基板搬送方向終端側に設けた回転軸を支点として前記第１のエアシリンダによりローラフレームを水平位置より前記基板保持機構と対面する傾斜安定角度まで基板を荷重集中で破損させることなく起伏させるように基板受渡し機構が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
即ち、先願技術のように台車側の保持機構が基板を把持して、起立させるのではなく、本発明はローラコンベアーが延在してその終点となっている基板受渡しステージで、その部分のローラフレーム自体が基板と共に傾斜安定角まで起立し、台車側の受け取り機構に接近して受け渡す機構を組み込んである。
【０００８】
本発明は可倒式基板受渡し機構に前記回転軸８側のローラフレーム１端側に、該ローラフレーム１が積載している基板の下端を支持する支持手段１２とを具えている。即ち、可倒式基板受渡し機構のローラフレームが傾斜安定角度まで起立したとき、該ローラフレームが積載している基板の下端を支持する支持手段を具えている事を特徴とする。即ち基板の支え具を基板下端側に当たるところのローラフレーム上に設けて基板がずり落ちないようにしている。
【０００９】
本発明は更に、前記可倒式基板受渡し機構に、前記ローラフレームが基板保持機構に離接する方向に進退する進退機構１１、例えばエアシリンダ１１（第２のエアシリンダ）を具えており、前記ローラフレームが傾斜安定角度まで起立した状態で、搬送台車２０の基板保持機構４に対面して進退可能に構成した。即ち可倒式基板受渡し機構のローラフレームが傾斜安定角度まで起立した状態で、搬送台車の基板保持機構に対面して進退することによって、受け取り時、受け渡し時にローラフレームが前記起立状態で基板保持機構に接離可能である進退機構を具えていている。
【００１０】
即ち、本発明の可倒式基板受渡し機構が台車側の基板保持機構と良好な共働関係で基板のやり取りができるよう、位置関係を調整する機構としてこのような進退機構を設けることが好ましい。
【００１１】
更に、本発明は、大型基板を真空処理室外の基板受渡しステージで基板を搬送台車に受け取り、搬送台車上の基板保持機構で傾斜安定角にて基板を傾斜保持して、基板を真空処理室に出入りさせる大型基板搬送方法において、
前記基板を水平に維持した状態で搬送基板受渡しステージ位置まで搬送する搬送ローラと、前記基板搬送ローラ下流側の基板受渡しステージ位置にあり、その上流側に位置する他の基板搬送ローラ部と分離してなるローラフレームと、前記ローラフレーム下面に取り付けた第１のエアシリンダとを具え、前記ローラフレームの基板保持機構と対面する基板搬送方向終端側に設けた回転軸を支点として前記第１のエアシリンダにより前記ローラフレームを水平位置より前記基板保持機構と対面する傾斜安定角度まで起伏させるように構成した基板受渡し機構と、前記ローラフレームを基板保持機構に離接する方向に進退させる進退機構とが用意され、
基板搬送ローラにより基板受渡しステージ位置まで水平状態で搬送された基板を、前記ローラフレームを介して水平位置より基板保持機構と対面する傾斜安定角度まで起立させた後、前記進退機構により前記ローラフレームを基板保持機構側に接近させて、搬送台車の基板保持機構に搬送台車の基板保持機構に受渡すことを特徴とする。
【００１２】
更に、本発明は、進退機構が前記ローラフレームを基板保持機構に離接する方向に進退させる第２のシリンダであって、
前記真空処理室より基板保持機構で基板を傾斜安定角にて基板を傾斜保持した状態で基板受渡しステージ位置まで導かれた基板をローラフレーム側で受け取る際に、前記ローラフレームを傾斜安定角度まで起立させた状態で、前記第２のエアシリンダにより前記ローラフレームを基板保持機構側に接近させて前記基板を基板保持機構から受取り、その後該ローラフレームを介して基板を水平に倒伏させて搬送ローラで搬送することを特徴とする。
【００１３】
即ち、台車上にロードするときにも、アンロードするときにも本発明の可倒式基板受渡し方法を適用できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を例示的に説明する。但し本実施の形態に記載される製品の形状、寸法、材質、その相対配置等は特に特定的な記載がない限りは本発明をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例に過ぎない。
【００１５】
図１は可倒式基板受渡し機構を搬送ローラに組み込んだ大型基板搬送装置の概要図である。
【００１６】
図１で１は基板受渡しステージにあるローラフレーム、２は真空処理室６に出入りする方向と直交する方向（図１の→方向）に延在して基板Ｇを水平に搬送する搬送ローラ、３は前記ローラフレームと基板搬送台車基板保持機構４との位置関係を調節するため等の搬送コンベアー本体移動装置、４は基板台車２０上の基板搬送台車２０における基板保持機構、５は基板台車２０が真空処理室に出入りする真空処理室ゲート、６は基板Ｇが台車上の基板保持機構４から基板Ｇを受け渡して、基板Ｇが真空処理される真空処理室、７はＬＭガイド、８はローラフレームが跳ね上がったり、倒れたりする回転運動の中心である回転軸である。
【００１７】
前記搬送ローラ２で搬送された基板Ｇは基板受渡しステージにあるローラフレーム１で停止、待機する。基板受渡しステージにあるローラフレーム１は全体のローラコンベアーと分断されていて、シリンダー１０に駆動されて回転軸８を中心に回転可能に配置されている。
【００１８】
基板台車の保持機構４は傾斜安定角度で基板を保持できるような機構を具えていて、ローラフレーム１が回転軸８を中心に回転し、同角度まで起立して接近したとき、基板Ｇにタッチ、把持する把持爪１２を含む把持機構（図２に図示）も具えている。
【００１９】
前記したように受渡し動作の際、起立したローラフレ−ム１と基板台車間が最適の距離に位置するよう、ローラフレ−ム１が取りつけられている枠組み全体が基板台車２０に向って、ＬＭガイド７にスライドして接離方向に進退できるよう、搬送コンベアー本体移動装置３を具えている。
【００２０】
かくして、基板Ｇを受け取った台車２０は、真空処理室ゲート５を潜って真空処理室６に、図示していない台車進退機構によって、入り、真空処理後再び真空処理室内の基板を受け取って、基板受渡しステージに戻り、そこで、再び空のローラフレ−ム１が起立して台車にＬＭガイド７により接近し、台車が基板を受渡して、ローラフレ−ム１上に斜めに載せ、ローラフレーム１が水平位置まで倒伏させた後、基板は回転駆動される搬送ローラ２で搬送されていくよう構成されている。
【００２１】
図２は本発明の可倒式基板受渡し機構の１例の側面を見た図で、ローラフレーム１の進退機構を示す概要図である。
【００２２】
この例では、ローラフレーム１を、回転軸８を中心に起伏可能に駆動されるシリンダ１０と、ローラフレーム１の右端に、起立した時はローラフレーム１の下部の基板積載面側に基板支持爪１２を具えていて、基板がずり落ちないよう構成されている。またローラフレーム１自体が台車２０の基板保持機構４に進退可能なように、ローラフレーム進退機構、具体的にはエアシリンダー１１を設けてある。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明により、大型基板を真空処理室外の基板受渡しステージで基板を受け渡しさせる搬送台車と、この搬送台車上で基板を保持する基板保持機構とを具えた大型基板搬送装置において、基板搬送ローラの基板受渡しステージでの基板受渡しの機構において、基板を傾斜安定角まで起立したり倒したりするとき、基板が基板保持機構に把持されている部分に荷重が集中してかからず、安定した動作で起立転倒可能な基板受渡し機構を提供することができ、従来のトラブルは皆無となり、製造の歩留まりが向上した。
【図面の簡単な説明】
【図１】  可倒式基板受渡し機構を搬送ローラに組み込んだ大型基板搬送装置の概要図
【図２】  ローラフレームの進退機構を示す概要図
【図３】  トレイレス斜め基板搬送装置概要図
【符号の説明】
１          ローラフレーム
２          搬送ローラ
３          搬送コンベアー本体移動装置
４          基板搬送台車基板保持機構
５          真空処理室ゲート
６          真空処理室
７          ＬＭガイド
１０        エアシリンダー
１１        ローラフレーム進退機構
１２        基板支持爪
１０１      トレイレス斜め基板搬送装置
１０６Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ            搬送台車
１０８Ａ        台車レール
１１０      真空処理室
Ｇ          基板
【図１】
0003690982.tif 000002
【図２】
0003690982.tif 000003
【図３】
0003690982.tif 000004