(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体対向面を有するスライダにおけるエッジ部分を研磨してエッジ部分の面取り加工を行うスライダの加工装置であって、
スライダを保持するためのスライダ保持具と、
このスライダ保持具によって保持されたスライダのエッジ部分を研磨するための研磨部材と、
前記スライダ保持具によって保持されたスライダを前記研磨部材に押し付けるようにスライダ保持具に対して荷重を付加すると共に、スライダ保持具に付加する荷重を調整することが可能な荷重付加手段と、
前記研磨部材によってスライダのエッジ部分が研磨されるように、前記スライダ保持具によって保持されたスライダと前記研磨部材とを相対的に移動させる移動手段と
を備え、
前記荷重付加手段は、面取り加工の進行に応じて、スライダ保持具に付加する荷重を段階的に増加させるものであり、
前記荷重付加手段は、スライダ保持具に荷重を付加するための複数の重りと、この複数の重りによる荷重をスライダ保持具に対して段階的に加えることによって荷重を段階的に増加させる荷重調整手段とを有し、
前記重りは、軸部と、この軸部よりも径の大きな大径部とを含み、
前記荷重調整手段は、それぞれ、前記重りの軸部を挿通させ、前記大径部の挿通を阻止する孔が形成され、この孔によって前記重りを軸部の軸方向に移動可能に保持する複数段の重り保持部と、この重り保持部を上下方向に移動させる重り保持部移動手段とを含み、
最下段の重り保持部によって保持された重りの軸部の下端部がスライダ保持具に対して接触せずにスライダ保持具の上方に位置する状態から、前記重り保持部移動手段によって前記重り保持部を下方向に移動させることにより、複数段の重り保持部によって保持された重りが、下段側から順に、スライダ保持具に対して荷重を付加する状態となることを特徴とするスライダの加工装置。
【請求項２】
前記研磨部材は、シート状をなしていることを特徴とする請求項１記載のスライダの加工装置。
【請求項３】
前記重りは、所定の重さを有する１以上のブロックからなることを特徴とする請求項１または２記載のスライダの加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、浮上型磁気ヘッド等に用いられるスライダのエッジ部分の面取り加工を行うためのスライダの加工装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置等に用いられる浮上型磁気ヘッドは、一般的に、スライダの後端部に薄膜磁気ヘッド素子を形成して構成されるようになっている。スライダは、一般的に、表面が媒体対向面（エアベアリング面）となるレール部を有すると共に、空気流入側の端部近傍にテーパ部またはステップ部を有し、テーパ部またはステップ部より流入する空気流によってレール部が磁気ディスク等の記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。
【０００３】
このようなスライダでは、例えば特開平６−２８２８３１号公報に示されるように、スライダが揺れたりして傾いたときに、例えばレール部の媒体対向面とレール部の外側の側面との間のエッジ部分のようなスライダのエッジ部分によって記録媒体を傷つけないように、スライダのエッジ部分に対して面取り加工を施すことが行われている。
【０００４】
スライダのエッジ部分に対する従来の面取り加工の方法としては、例えば特開平６−１２６４５号公報に示されるように、弾性体上に設けられたダイヤモンドラッピングシートに、荷重を加えながらスライダの媒体対向面を接触させ、スライダをダイヤモンドラッピングシートに対して相対的に移動させて研磨する方法がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような面取り加工の方法では、スライダに荷重を加えて、スライダをダイヤモンドラッピングシートに対して押し付ける必要がある。ところが、ダイヤモンドラッピングシートの基材が薄いため、特に、レール部のエッジ部分の面取りがまだ行われていないときや面取りの初期の段階で、スライダのエッジ部分によってダイヤモンドラッピングシートが切れてしまう場合があるという問題点があった。
【０００６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、研磨部材によってスライダのエッジ部分を研磨してエッジ部分の面取り加工を行うスライダの加工装置および方法において、スライダのエッジ部分によって研磨部材が切れることを防止することができるようにしたスライダの加工装置および方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るスライダの加工装置は、媒体対向面を有するスライダにおけるエッジ部分を研磨してエッジ部分の面取り加工を行うスライダの加工装置であって、スライダを保持するためのスライダ保持具と、このスライダ保持具によって保持されたスライダのエッジ部分を研磨するための研磨部材と、スライダ保持具によって保持されたスライダを研磨部材に押し付けるようにスライダ保持具に対して荷重を付加すると共に、スライダ保持具に付加する荷重を調整することが可能な荷重付加手段と、研磨部材によってスライダのエッジ部分が研磨されるように、スライダ保持具によって保持されたスライダと研磨部材とを相対的に移動させる移動手段とを備えたものである。
【０００８】
このスライダの加工装置では、荷重付加手段によって、スライダ保持具によって保持されたスライダを研磨部材に押し付けるようにスライダ保持具に対して荷重が付加されると共に、スライダ保持具に付加する荷重が調整される。また、本発明に係るスライダの加工装置では、研磨部材は、例えばシート状をなす。
【０００９】
また、本発明に係るスライダの加工装置では、荷重付加手段は、例えば、スライダ保持具に荷重を付加するための複数の重りと、この複数の重りによる荷重をスライダ保持具に対して段階的に加えることによって荷重を調整するための荷重調整手段とを有する。この場合、例えば、重りは、軸部と、この軸部よりも径の大きな大径部とを含み、荷重調整手段は、それぞれ、重りの軸部を挿通させ、大径部の挿通を阻止する孔が形成され、この孔によって重りを軸部の軸方向に移動可能に保持する複数段の重り保持部と、この重り保持部を上下方向に移動させる重り保持部移動手段とを含む。そして、最下段の重り保持部によって保持された重りの軸部の下端部がスライダ保持具に対して接触せずにスライダ保持具の上方に位置する状態から、重り保持部移動手段によって重り保持部を下方向に移動させることにより、複数段の重り保持部によって保持された重りが、下段側から順に、スライダ保持具に対して荷重を付加する状態となる。また、重りは、例えば、所定の重さを有する１以上のブロックからなる。
【００１０】
本発明に係るスライダの加工方法は、媒体対向面を有するスライダにおけるエッジ部分を研磨するための研磨部材にスライダを押し付けるように、スライダ保持具に対して荷重を付加しながら、スライダと研磨部材とを相対的に移動させて、研磨部材によってスライダのエッジ部分を研磨してエッジ部分の面取り加工を行うスライダの加工方法であって、面取り加工の進行に応じて、スライダ保持具に付加する荷重を変化させるものである。
【００１１】
本発明に係るスライダの加工方法では、研磨部材は、例えばシート状をなす。また、本発明に係るスライダの加工方法では、例えば、面取り加工の進行に応じて、スライダ保持具に付加する荷重を、段階的に増加させる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施の形態に係るスライダの加工装置を一部切り欠いて示す正面図、図２は、図１の右側面図である。また、図３は、図１に示した加工装置におけるＸ−Ｙテーブルの近傍を拡大して示す正面図、図４は、図３の右側面図である。本実施の形態に係る加工装置１０は、スライダのエッジ部分を研磨してエッジ部分の面取り加工を行う装置である。なお、本実施の形態では、スライダとして、薄膜磁気ヘッドに利用されるスライダの例を挙げている。
【００１３】
加工装置１０は、装置本体１１を備えている。この装置本体１１の前端部には、操作パネル２３が設けられている。また、装置本体１１上には、ベース部１２が設けられている。ベース部１２上には、上面をＸ方向（図１における矢印が示す左右方向）およびＹ方向（図２における矢印が示す左右方向）に移動可能なＸ−Ｙテーブル１３が設けられている。Ｘ−Ｙテーブル１３は、本発明における移動手段に対応する。
【００１４】
Ｘ−Ｙテーブル１３は、ベース部１２に対して固定された固定プレート１４と、この固定プレート１４上に設けられたＹ方向揺動プレート１５と、このＹ方向揺動プレート１５上に固定されたプレート１６と、このプレート１６上に設けられたＸ方向揺動プレート１７と、このＸ方向揺動プレート１７上に固定されたプレート１８とを備えている。
【００１５】
図３に示したように、固定プレート１４の上面におけるＸ方向の両端部には、それぞれＹ方向に延び、ベアリングを有するガイド１９が設けられている。Ｙ方向揺動プレート１５の下面におけるＸ方向の両端部には、それぞれＹ方向に延び、固定プレート１４に設けられたガイド１９に移動可能に係合する係合部２０が設けられている。そして、この係合部２０が固定プレート１４上のガイド１９に沿って移動することにより、Ｙ方向揺動プレート１５がＹ方向に移動するようになっている。
【００１６】
また、図４に示したように、プレート１６の上面におけるＹ方向の両端部には、それぞれＸ方向に延び、ベアリングを有するガイド２１が設けられている。Ｘ方向揺動プレート１７の下面におけるＹ方向の両端部には、それぞれＸ方向に延び、プレート１６に設けられたガイド２１に係合する係合部２２が設けられている。そして、この係合部２２がプレート１６上のガイド２１に沿って移動することにより、Ｘ方向揺動プレート１７がＸ方向に移動するようになっている。
【００１７】
プレート１８上には、複数のワイヤ巻きブロック３０が固定されている。このワイヤ巻きブロック３０の構成については、後で詳しく説明する。
【００１８】
図３に示したように、装置本体１１内には、Ｙ方向揺動用モータ４０が設けられている。装置本体１１内において、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１には、円板４２が取り付けられている。装置本体１１内には、この円板４２を挟むように、揺動原点センサ４３が設けられている。例えば、円板４２には、所定の箇所に孔が設けられ、揺動原点センサ４３には、アンプを内蔵した透過型のフォトセンサが用いられる。この場合、揺動原点センサ４３は、円板４２における孔の位置を検出して、Ｙ方向の揺動の原点を検出するようになっている。
【００１９】
また、ベース部１２の上面より上方の位置において、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１の上端部には、Ｙ方向揺動幅調整部材４４を介して、Ｙ方向揺動用回転軸４５が連結されている。Ｙ方向揺動幅調整部材４４は、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とをずらすことができると共に、そのずれ量を調節することができるようになっている。Ｙ方向揺動用回転軸４５の上端部には、ベアリングを有するカム４６が取り付けられている。Ｙ方向揺動プレート１５の上面には、Ｘ方向に延び、カム４６を誘導するためのガイド４７が設けられている。Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とがずれている場合には、Ｙ方向揺動用モータ４１を回転させると、カム４６が回転し、このカム４６がガイド４７に沿って移動することにより、ガイド４７、プレート１６およびＹ方向揺動プレート１５がＹ方向に揺動するようになっている。なお、ベース部１２、固定プレート１４、Ｙ方向揺動プレート１５およびプレート１６には、Ｙ方向揺動用回転軸４５が挿通される孔が形成されている。
【００２０】
また、装置本体１１内には、Ｘ方向揺動用モータ５０が設けられている。装置本体１１内において、Ｘ方向揺動用モータ５０の回転軸５１には、円板５２が取り付けられている。装置本体１１内には、この円板５２を挟むように、揺動原点センサ５３が設けられている。例えば、円板５２には、所定の箇所に孔が設けられ、揺動原点センサ５３には、アンプを内蔵した透過型のフォトセンサが用いられる。この場合、揺動原点センサ５３は、円板５２における孔の位置を検出して、Ｘ方向の揺動の原点を検出するようになっている。
【００２１】
本実施の形態では、加工処理の開始時に、揺動原点センサ４３，５３によって、Ｙ方向およびＸ方向の揺動の原点を検出し、Ｘ−Ｙテーブル１３の位置を揺動の原点に復帰させることにより、加工処理の開始時におけるＸ−Ｙテーブル１３の位置を常に一定にするようにしている。これにより、処理結果のばらつきをなくすことができる。
【００２２】
また、ベース部１２の上面より上方の位置において、Ｘ方向揺動用モータ５０の回転軸５１の上端部には、Ｘ方向揺動幅調整部材５４を介して、Ｘ方向揺動用回転軸５５が連結されている。Ｘ方向揺動幅調整部材５４は、Ｘ方向揺動用モータ５０の回転軸５１とＸ方向揺動用回転軸５５とをずらすことができると共に、そのずれ量を調節することができるようになっている。Ｘ方向揺動用回転軸５５の上端部には、ベアリングを有するカム５６が取り付けられている。Ｘ方向揺動プレート１７の下面には、Ｙ方向に延び、カム５６を誘導するためのガイド５７が設けられている。Ｙ方向揺動用モータ５０の回転軸５１とＸ方向揺動用回転軸５５とがずれている場合には、Ｘ方向揺動用モータ５０を回転させると、カム５６が回転し、このカム５６がガイド５７に沿って移動することにより、ガイド５７、Ｘ方向揺動プレート１７およびプレート１８がＸ方向に揺動するようになっている。なお、ベース部１２、固定プレート１４、Ｙ方向揺動プレート１５およびプレート１６には、Ｘ方向揺動用回転軸５５が挿通される孔が形成されている。
【００２３】
ここで、図５ないし図８を参照して、Ｙ方向揺動幅調整部材４４の構成および作用について説明する。図５は、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量がゼロであるときのＹ方向揺動幅調整部材４４の正面図、図６は図５の側面図である。また、図７は、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量がゼロより大きい所定の大きさであるときのＹ方向揺動幅調整部材４４の正面図、図８は図７の側面図である。
【００２４】
Ｙ方向揺動幅調整部材４４は、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１の上端部に固定され、一方向に延びる溝を有する固定部６１と、この固定部６１の溝内に移動可能に収納され、Ｙ方向揺動用回転軸４５の下端部に固定された可動部６２と、固定部６１の側部に取り付けられ、固定部６１に対して可動部６２を移動させるための駆動用ねじ６３と、固定部６１の他の側部に取り付けられ、固定部６１に対して可動部６２を固定するための固定用ねじ６４とを備えている。
【００２５】
このＹ方向揺動幅調整部材４４では、駆動用ねじ６３を回すことによって、固定部６１に対して可動部６２を移動させることができ、固定用ねじ６４を締め付けることによって、固定部６１に対して可動部６２を固定することができる。
【００２６】
Ｙ方向揺動幅調整部材４４では、図５および図６に示したように、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量をゼロにした場合には、Ｙ方向揺動用モータ４０を駆動しても、Ｙ方向揺動用回転軸４５は回転するだけで、その位置は変わらない。従って、Ｙ方向揺動プレート１５の揺動幅はゼロとなる。
【００２７】
また、Ｙ方向揺動幅調整部材４４では、図７および図８に示したように、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量をゼロより大きい所定の大きさにした場合には、Ｙ方向揺動用モータ４０を駆動すると、Ｙ方向揺動用回転軸４５は、回転軸４１に対して偏心した状態で回転し、その結果、Ｙ方向揺動プレート１５が揺動する。この場合、Ｙ方向揺動プレート１５の揺動幅は、回転軸４１とＹ方向揺動用回転軸４５とのずれ量の２倍となる。
【００２８】
なお、Ｘ方向揺動幅調整部材５４の構成および作用も、Ｙ方向揺動幅調整部材４４と同様である。
【００２９】
本実施の形態では、Ｙ方向揺動用モータ４０の回転数は、０〜４０ｒｐｍの範囲内で制御され、Ｘ方向揺動用モータ５０の回転数は、０〜３０ｒｐｍの範囲内で制御されるようになっている。
【００３０】
また、本実施の形態では、Ｙ方向揺動プレート１５の揺動幅は、０〜１５ｍｍの範囲内で制御され、Ｘ方向揺動プレート１７の揺動幅は、０〜３０ｍｍの範囲内で制御されるようになっている。
【００３１】
図１に示したように、ベース部１２の上には、Ｘ−Ｙテーブル１３の左右方向の両側の位置において、Ｙ方向に延びる２本のレール部２９が固定されている。各レール部２９には、それぞれ、Ｙ方向に延びるガイド７１が設けられている。
【００３２】
一方、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方には、スライダ保持治具セットプレート７０が設けられている。このスライダ保持治具セットプレート７０は、スライダを保持するスライダ保持治具８０を位置決めするためのものである。スライダ保持治具８０は、本発明におけるスライダ保持具に対応する。スライダ保持治具セットプレート７０のＸ方向の両端部近傍における下面には、ガイド７１に係合する係合部７２が接合されている。そして、この係合部７２がガイド７１に沿って移動することにより、スライダ保持治具セットプレート７０がＹ方向に移動するようになっている。スライダ保持治具セットプレート７０は、最も前側に配置された状態でＸ−Ｙテーブル１３の上方の位置に配置され、この状態から後ろ側に移動することにより、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置から退避するようになっている。
【００３３】
図９は、スライダ保持治具セットプレート７０が移動する様子を示したものである。スライダ保持治具セットプレート７０が最も後ろ側（図において右側）に配置された状態でスライダ保持治具セットプレート７０の後端部に対応する位置には、スライダ保持治具セットプレート７０の後ろ側への移動を規制するためのストッパ７５が設けられている。
【００３４】
また、図１０は、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置におけるスライダ保持治具セットプレート７０の有無を検出するためのセンサを示す説明図である。この図に示したように、保持治具セットプレート７０の前端部には、センサ作動片７３が設けられている。スライダ保持治具セットプレート７０が最も前側に配置された状態でスライダ保持治具セットプレート７０の前端部に対応する位置には、センサ作動片７３を検出することによって、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置におけるスライダ保持治具セットプレート７０の有無を検出するスライダ保持治具セットプレート検出センサ７４が設けられている。このセンサ７４には、例えば、アンプを内蔵した透過型のフォトセンサが用いられる。
【００３５】
本実施の形態では、スライダ保持治具セットプレート検出センサ７４によって、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置からスライダ保持治具セットプレート７０が退避されたことが検出され、その後、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置にスライダ保持治具セットプレート７０が配置されたことが検出された後でなければ、加工処理を行うことができないようにしている。これは、１回の加工処理が終了する毎に、一旦、Ｘ−Ｙテーブル１３の上方の位置からスライダ保持治具セットプレート７０を退避させ、後述するダイヤモンドラッピングシートを張り替えるようにするためである。
【００３６】
また、図１に示したように、スライダ保持治具セットプレート７０上には、このスライダ保持治具セットプレート７０にスライダ保持治具８０が装着されているか否かを検出するためのスライダ保持治具検出センサ７５が設けられている。このセンサ７５には、例えば、スライダ保持治具８０を挟んで対向する位置に発光部および受光部が配置されたフォトセンサが用いられる。
【００３７】
本実施の形態に係る加工装置１０では、スライダ保持治具検出センサ７５によって、スライダ保持治具８０がないのを確認してから、Ｘ−Ｙテーブル１３の位置を揺動の原点に復帰させるようにしている。
【００３８】
本実施の形態に係る加工装置１０は、更に、スライダ保持治具８０によって保持されたスライダに対して下向きの荷重を付加すると共に、付加する荷重の大きさを調整可能な荷重付加部１００を備えている。荷重付加部１００は、本発明における荷重付加手段に対応する。荷重付加部１００の構成については、後で詳しく説明する。
【００３９】
次に、図１１ないし１５を参照して、ワイヤ巻きブロック３０の構成について説明する。図１１はワイヤ巻きブロック３０の側面図、図１２はワイヤ巻きブロック３０の正面図、図１３はワイヤ巻きブロック３０に用いられる弾性部材を示す斜視図、図１４はワイヤ巻きブロック３０に用いられる変形用部材を示す斜視図である。
【００４０】
図１１および図１２に示したように、ワイヤ巻きブロック３０は、ブロック本体３１を備えている。このブロック本体３１には、上面で開口する直方体形状の凹部３１ａが形成されている。凹部３１ａ内には、図１３に示したような直方体形状の弾性部材３２、または図１４に示したような変形用部材３３が収納されるようになっている。弾性部材３２は、例えばシリコーンゴムによって形成されている。弾性部材３２は、凹部３１ａ内に収納されたとき、その上面がブロック本体３１の上面と同一面となるようになっている。変形用部材３３の上面には、変形用部材３３の長手方向に直交する方向に延びる複数の凸部３３ａが形成されている。各凸部３３ａは、断面が矩形になっている。変形用部材３３は、例えばステンレス鋼によって形成されている。変形用部材３３は、凹部３１ａ内に収納されたとき、その凸部３３ａの上面がブロック本体３１の上面と同一面となるようになっている。
【００４１】
凹部３１ａ内に弾性部材３２または変形用部材３３が収納されたブロック本体３１の外周には、ワイヤ３４が複数回巻き付けられている。ワイヤ３４の各端部は、ブロック本体３１の長手方向の両端部近傍において、ワイヤ止めねじ３５によって、ブロック本体３１に対して固定されている。なお、凹部３１ａ内に変形用部材３３が収納されている場合には、ワイヤ３４のうち、ワイヤ巻きブロック３０における上面部分に位置する部分は、変形用部材３３の凸部３３ａの上に配置されるようになっている。
【００４２】
ブロック本体３１の長手方向の両端部近傍には、止めねじを通すための孔３６が形成されている。そして、図３および図４に示したように、ワイヤ巻きブロック３０は、止めねじ用の孔３６を通された止めねじ３７によって、プレート１８上に固定されている。
【００４３】
図１５は、ワイヤ巻きブロック３０と、その上に配置されるゴムシートおよびダイヤモンドラッピングシートを示す斜視図である。なお、この図では、ワイヤ巻きブロック３０として、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に変形用部材３３が収納されたものを示しているが、凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納されたものでもよい。ワイヤ巻きブロック３０の上には、ゴムシート３８が配置され、このゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。ゴムシート３８は、例えばシリコーンゴムによって形成されている。ダイヤモンドラッピングシート３９は、本発明における研磨部材に対応する。
【００４４】
なお、本実施の形態に係る加工装置１０では、目的によっては、ワイヤ巻きブロック３０の代わりに、図１６に示したようなプレート９０が用いられる。このプレート９０は、例えばステンレス鋼によって形成されている。プレート９０を使用する場合には、プレート９０がプレート１８上に固定され、プレート９０上に、ゴムシート３８が配置され、このゴムシート３８の上に、図１５に示したようなダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。
【００４５】
ここで、図１７ないし図１９を参照して、ワイヤ巻きブロック３０の上に、ゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９を配置する方法の一例について説明する。図１７に示したように、プレート１８上には、複数のワイヤ巻きブロック３０が固定される。ゴムシート３８は、全てのワイヤ巻きブロック３０を覆うように配置される。図１７に示した例では、ゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９を配置する場合、まず、ダイヤモンドラッピングシート３９を台紙９１の上に載せる。このとき、ダイヤモンドラッピングシート３９の端が台紙９１の端よりも少しはみ出るようにする。次に、ダイヤモンドラッピングシート３９の台紙９１の端よりはみ出た部分を、ゴムシート３８上のダイヤモンドラッピングシート３９を配置する領域の端の部分に当て、その部分を手で押さえ、台紙９１を、矢印９２で示した方向に引っ張りながら、ゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９を張ってゆく。
【００４６】
図１８は、このようにしてゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９を張った後の状態を示す平面図、図１９は、その正面図である。図１８に示したように、本実施の形態に係る加工装置１０では、ワイヤ巻きブロック３０は、Ｘ方向（図１８における矢印が示す左右方向）に５個、Ｙ方向（図１８における矢印が示す上下方向）に２個配列され、合計１０個設けられている。また、ワイヤ３４は、Ｘ方向に沿って配置される。
【００４７】
次に、図２０ないし図２３を参照して、スライダ保持治具セットプレート７０について説明する。本実施の形態に係る加工装置１０では、スライダ保持治具セットプレート７０として２種類のものが用意されている。以下、第１の種類のスライダ保持治具セットプレートを符号７０Ａで表し、第２の種類のスライダ保持治具セットプレートを符号７０Ｂで表す。また、符号７０は、２種類のスライダ保持治具セットプレート７０Ａ，７０Ｂを代表して表すものとする。
【００４８】
図２０は、第１の種類のスライダ保持治具セットプレート７０Ａの平面図、図２１は、図２０のＡ−Ａ′線断面図である。これらの図に示したように、スライダ保持治具セットプレート７０Ａには、スライダ保持治具８０が挿通される１０個の孔７６Ａが形成されている。この１０個の孔７６Ａは、図１８における１０個のワイヤ巻きブロック３０と同様の位置関係となるように配置されている。また、孔７６Ａは、図２１に示したように、垂直方向に対して所定の角度で傾いている。これにより、孔７６Ａは、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダの媒体対向面が傾いた状態で、スライダがダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０を位置決めするようになっている。
【００４９】
図２２は、第２の種類のスライダ保持治具セットプレート７０Ｂの平面図、図２３は、図２２のＢ−Ｂ′線断面図である。これらの図に示したように、スライダ保持治具セットプレート７０Ｂには、スライダ保持治具８０が挿通される１０個の孔７６Ｂが形成されている。この１０個の孔７６Ｂは、図１８における１０個のワイヤ巻きブロック３０と同様の位置関係となるように配置されている。また、孔７６Ｂは、図２３に示したように、垂直方向に延びている。これにより、孔７６Ｂは、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダの媒体対向面が平行な状態で、スライダがダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０を位置決めするようになっている。
【００５０】
スライダ保持治具セットプレート７０Ａ，７０Ｂのいずれにも、図１および図２に示した係合部７２にプレート７０Ａ，７０Ｂを固定するためのねじが挿通される複数のねじ孔７７が形成されている。また、スライダ保持治具セットプレート７０Ａ，７０Ｂのいずれにも、スライダ保持治具検出センサ７５を取り付けるためのねじが挿通されるねじ孔７８が形成されている。
【００５１】
次に、図２４を参照して、本実施の形態に係る加工装置１０によって加工されるスライダの一例について説明する。この図に示したスライダ１５０は、薄膜磁気ヘッドに利用されるものであり、表面が媒体対向面（エアベアリング面）となるレール部を有すると共に、スライダ１５０の側面よりも内側にレール部の外側の側面が配置されるようにレール部が形成されたものである。
【００５２】
また、このスライダ１５０は、負圧スライダであり、表面が媒体対向面となる２本のレール部１５３を有すると共に、スライダ１５０の側面１５２すなわちバーの切断部よりも所定距離だけ内側にレール部１５３の外側の側面１５４が配置されるように、レール部１５３が形成されている。
【００５３】
図２４において、動作の際における空気の流れる方向を、符号１６６で示している。スライダ１５０では、空気が流入する側である空気流入側の面を流入側端面ＬＥとし、空気が流出する側である空気流出側の面を流出側端面をＴＲとする。また、それに対し、空気の流れに沿う方向に形成されており、流入側端面ＬＥ、流出側端面ＴＲおよび媒体対向面と交差する面を側面とする。ただし、流入側端面ＬＥ、流出側端面ＴＲと、媒体対向面と、側面とは、多くの場合には互いに直交している。また、図２４に示したスライダ１５０において、レール部１５３の外側の側面１５４とは、レール部１５３の側面のうち、スライダの側面１５２に最も近い２つの側面である。
【００５４】
２本のレール部１５３の間は、凹部形状の負圧発生部１５５になっている。レール部１５３の幅は、空気流入側から空気流出側まで均一ではなく、空気流入側の幅が大きく、次いで空気流出側の幅が大きく、中間部分の幅が最も小さくなっている。また、レール部１５３における空気流入側の端部近傍には、端部側ほど高さの低くなるテーパ部１６０が形成されている。また、スライダ１５０の空気流出側の端部には、磁気ヘッド素子１５７と、この磁気ヘッド素子１５７に接続された端子１５８が形成されている。このようなスライダ１５０では、レール部１５３の高さ（負圧発生部１５５の深さ）は、数μｍ（例えば０．５〜５μｍ）程度である。また、スライダ１５０の側面１５２とレール部１５３の外側の側面１５４との間の幅は、数十μｍ（例えば１０〜６０μｍ）程度である。
【００５５】
なお、図２４に示したスライダ１５０は、符号１５０ａで示した大部分が、例えばアルティック（Ａｌ 2Ｏ 3・ＴｉＣ）によって形成され、符号１５０ｂで示した空気流出側の一部が、磁気ヘッド素子１５７や端子１５８を囲うアルミナ（Ａｌ 2Ｏ 3）によって形成されている。
【００５６】
次に、図２５および図２６を参照して、ワイヤ巻きブロック３０とスライダ１５０との関係について説明する。図２５は、加工時におけるスライダ１５０の近傍を示す説明図である。また、図２６は、図２５のＣ部を拡大して示したものである。なお、図２５は、ワイヤ巻きブロック３０として、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に変形用部材３３が収納されたものを用いた場合の例を表しており、図２５には、このワイヤ巻きブロック３０のうちの変形用部材３３およびワイヤ３４のみを示している。
【００５７】
図２５に示したように、スライダ保持治具８０には、その下端側に、複数のスライダ固定部８０ａが設けられており、各スライダ固定部８０ａに対して、加工対象となるスライダ１５０が、例えば接着によって固定されるようになっている。
【００５８】
変形用部材３３の凸部３３ａの上に配置されたワイヤ３４は、個々のスライダ１５０の分離位置に対応する位置に配置されている。個々のスライダ１５０の分離位置は、言い換えると、図２６に示したように、スライダ保持治具８０に固定されたスライダ１５０のレール部１５３の媒体対向面とレール部１５３の外側の側面１５４との間の第１のエッジ部分１６１およびスライダ１５０の側面１５２とこれに直交するスライダ１５０の記録媒体（磁気ディスク）側となる面１５９との間の第２のエッジ部分１６２に対応する位置である。そのため、ワイヤ３４上に配置されたゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９は、第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に対応する部分が第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２側に突出するように変形される。その結果、ダイヤモンドラッピングシート３９は、少なくとも、第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に当接するようになっている。
【００５９】
上述の作用は、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納された場合も同様である。ただし、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に変形用部材３３が収納されている場合には、凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納されている場合に比べて、ワイヤ３４の移動が容易になる。そのため、凹部３１ａ内に収納する部材として変形用部材３３を用いた場合には、スライダ保持治具８０に対するスライダ１５０の固定位置が若干ずれている場合でも、ワイヤ３４によって隆起されたゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９が、個々のスライダ１５０の分離位置に入り込むことにより、ワイヤ３４が分離位置に対応する位置に移動する。その結果、隣接する２つのスライダ１５０に対して、ダイヤモンドラッピングシート３９が均一に当たり、スライダ１５０の面取り加工を均一に行うことが可能となる。
【００６０】
ところで、スライダ１５０の空気流出側の端部には、磁気ヘッド素子１５７が形成されている。従って、スライダ１５０の空気流出側の端部におけるエッジ部分は、面取り加工を行うにしても、加工の程度を抑えることが好ましい。
【００６１】
ブロック本体３１の凹部３１ａ内に収納する部材として変形用部材３３を用いた場合には、変形用部材３３の凸部３３ａ上にワイヤ３４が配置され、そのワイヤ３４上にゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９が配置されるため、隣接する凸部３３ａ間の部分では、変形用部材３３の上面とゴムシート３８との間に大きな隙間が生じる。その結果、隣接する凸部３３ａ間の部分では、スライダ１５０に対するダイヤモンドラッピングシート３９の当たり方が緩くなる。そのため、スライダ１５０の空気流出側の端部におけるエッジ部分の面取り加工の程度を抑えることが可能となる。
【００６２】
変形用部材３３の凸部３３ａの幅や高さは、スライダ保持治具８０に固定された隣り合うスライダ１５０間の距離（以下、分離幅と言う。）ｄ等に応じて適宜に設定されるが、凸部３３ａの幅は０．０５〜０．２０ｍｍの範囲内で設定されるのが好ましく、凸部３３ａの高さは０．１０〜０．５０ｍｍの範囲内で設定されるのが好ましい。ここでは、一例として、分離幅ｄを０．２ｍｍとし、凸部３３ａの幅を０．１５ｍｍ、高さを０．４０ｍｍとしている。
【００６３】
ワイヤ３４は、例えば、ナイロン（商品名）等の合成繊維やステンレス鋼等によって形成されている。ワイヤ３４の外径は、分離幅ｄ等に応じて適宜に設定されるが、本実施の形態では、０．０３〜０．２０ｍｍの範囲内で設定されるのが好ましい。ここでは、一例として、ワイヤ３４の外径を０．０９ｍｍとしている。
【００６４】
ゴムシート３８の硬度は、３０〜６０が好ましいが、研磨量を多くする場合ほど、柔らかいものを用いるのが好ましい。ここでは、一例として、ゴムシート３８の硬度を５０としている。また、ゴムシート３８の厚みは、０．１０〜０．３０ｍｍが好ましい。ここでは、一例として、ゴムシート３８の厚みを０．３０ｍｍとしている。
【００６５】
ダイヤモンドラッピングシート３９は、例えば、可撓性フィルム上に研磨材層を形成して構成されている。可撓性フィルムは、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）によって形成されている。研磨材層は、例えば、ダイヤモンド粒子をバインダと共に可撓性フィルム上に塗布した後、乾燥することによって形成される。また、ここでは、一例として、ダイヤモンド粒子の粒径を０．２５μｍとしている。可撓性フィルムの厚みは０〜６μｍが好ましい。可撓性フィルムの厚みが０μｍの場合とは、可撓性フィルムを用いずに、ダイヤモンド粒子とバインダによってダイヤモンドラッピングシート３９を形成する場合である。ここでは、一例として、可撓性フィルムの厚みを、４μｍまたは２μｍとしている。
【００６６】
また、Ｘ−Ｙテーブル１３によるＹ方向の揺動幅は、Ｘ方向の揺動幅よりも大きいことが好ましい。上述のように分離幅ｄを０．２ｍｍとし、ワイヤ３４の外径を０．０９ｍｍとした場合には、Ｘ方向の揺動幅は１〜５ｍｍが好ましく、Ｙ方向の揺動幅は０．０５〜０．１５ｍｍが好ましい。ここでは、一例として、Ｘ方向の揺動幅を３ｍｍとし、Ｙ方向の揺動幅を０．０８ｍｍとしている。
【００６７】
ところで、本実施の形態に係る加工装置１０では、プレート１８上に、複数のワイヤ巻きブロック３０を設けている。これに対し、プレート１８上に、１つの大きな弾性部材や変形用部材を固定し、この弾性部材や変形用部材の上に、ワイヤを配置し、その両端部をプレート１８の端部に固定することも考えられる。しかしながら、このような構成では、ワイヤの張力が不安定になり、加工精度が低下するおそれがある。
【００６８】
これに対し、本実施の形態では、各ワイヤ巻きブロック３０において、ワイヤ３４のうちブロック３０の上面部分に位置する部分の長さが短いため、上述のような構成の場合に比べて、ワイヤ３４の張力は安定する。従って、本実施の形態によれば、加工精度を向上させることができる。
【００６９】
次に、図２７および図２８を参照して、荷重付加部１００の構成について説明する。図２７は、荷重付加部１００を正面側から見た断面図、図２８は、荷重付加部１００を側面側から見た断面図である。これらの図に示したように、荷重付加部１００は、１段目の重り保持板１１０と、この重り保持板１１０の上に固定された、側壁のみからなる２つの枠１１１と、各枠１１１の上に固定された２段目の２つの重り保持板１２０と、各重り保持板１２０の上に固定された、側壁のみからなる２つの枠１２１と、各枠１２１の上に固定された３段目の２つの重り保持板１３０と、各重り保持板１３０の上に固定された、側面および上面を有する２つのカバー１３１とを備えている。２つずつ設けられた枠１１１、重り保持板１２０、枠１２１、重り保持板１３０およびカバー１３１は、前後方向に配列されている。
【００７０】
重り保持板１１０には、断面が矩形の１０個の孔１１２が形成されている。この孔１１２は、図２０または図２２に示したスライダ保持治具セットプレート７０における１０個の孔７６と同様の位置関係となるように配置されている。重り保持板１２０，１３０には、重り保持板１１０における孔１１２に対応する位置に、それぞれ、孔１１２と同様の形状の孔１２２，１３２が形成されている。各孔１１２，１２２，１３２には、それぞれ、重り保持具１４０が装着されている。各重り保持具１４０には、垂直方向に延びる断面円形の３個の孔１４１が形成されている。重り保持板１１０，１２０，１３０および重り保持具１４０は、本発明における重り保持部に対応する。
【００７１】
１段目における各重り保持具１４０には、それぞれ３個の重り１１３が装着されている。この重り１１３は、細長い円柱形状の軸部材１１４と、この軸部材１１４の上端部側に固定された、軸部材１１４よりも径の大きな円柱形状の大径部材１１５とで構成されている。軸部材１１４の下端面は、球面状になっている。大径部材１１５には、下端面で開口する断面円形の凹部が形成され、この凹部内に軸部材１１４の上端側が挿入されている。そして、大径部材１１５は、軸部材１１４に対してねじ止めされている。このように軸部材１１４と大径部材１１５からなる重り１１３は、本発明における所定の重さを有するブロックに対応する。なお、このブロックの重さは、任意でよい。つまり、使用用途等に応じて適宜変えればよい。本実施の形態では、例えば２５ｇとする。また、１段目の重り１１３では、軸部材１１４において大径部材１１５の下端面より下側に突出する部分が軸部１１３ａとなり、この軸部１１３ａより上側の部分が大径部１１３ｂとなる。従って、重り保持具１４０は、重り１１３の軸部１１３ａを挿通させ、大径部１１３ｂの挿通を阻止することによって、重り１１３を保持するようになっている。
【００７２】
２段目における各重り保持具１４０には、それぞれ３個の重り１２３が装着されている。この重り１２３は、細長い円柱形状の軸部材１２４と、この軸部材１２４の途中にねじ止めされたフランジ部材１２５と、軸部材１２４におけるフランジ部材１２５よりも上側の部分に装着された１個以上の荷重調整用ブロック１２６とで構成されている。軸部材１２４の下端面は、球面状になっている。フランジ部材１２５の外径は、軸部材１２４の外径よりも大きくなっている。また、荷重調整用ブロック１２６の外径は、フランジ部材１２５の外径と等しくなっている。荷重調整用ブロック１２６には、それぞれ、軸部材１２４を挿通可能な孔が形成されている。そして、この孔に軸部材１２４を挿通することで、複数の荷重調整用ブロック１２６を、フランジ部材１２５の上に積み重ねることができるようになっている。ここでは、最大４個まで、荷重調整用ブロック１２６を積み重ねることができるようになっている。
【００７３】
２段目の重り１２３では、軸部材１２４とフランジ部材１２５とを組み合わせたものが、本発明における所定の重さを有するブロックに対応し、その重さは例えば２５ｇになっている。また、各荷重調整用ブロック１２６も、本発明における所定の重さを有するブロックに対応し、その重さは例えば２５ｇになっている。従って、荷重調整用ブロック１２６の数を変えることで、重り１２３全体の重さを２５ｇ〜１２５ｇの範囲で、２５ｇ単位で変えることができる。
【００７４】
なお、２段目の重り１２３では、最も上に配置される荷重調整用ブロック１２６は、荷重調整用ブロック１２６の個数に関わらず、軸部材１２４に対して一定の位置、すなわち４個の荷重調整用ブロック１２６を積み重ねた場合における最上段のブロック１２６の位置でねじ止めされるようになっている。これは、最も上に配置される荷重調整用ブロック１２６によって、３段目の重り１３３を押し上げる必要があるためである。
【００７５】
また、２段目の重り１２３では、軸部材１２４においてフランジ部材１２５の下端面より下側に突出する部分が軸部１２３ａとなり、この軸部１２３ａより上側の部分が大径部１２３ｂとなる。従って、重り保持具１４０は、重り１２３の軸部１２３ａを挿通させ、大径部１２３ｂの挿通を阻止することによって、重り１２３を保持するようになっている。
【００７６】
３段目における各重り保持具１４０には、それぞれ３個の重り１３３が装着されている。この重り１３３は、細長い円柱形状の軸部材１３４と、この軸部材１３４の途中にねじ止めされたフランジ部材１３５と、軸部材１３４におけるフランジ部材１３５よりも上側の部分に装着された１個以上の荷重調整用ブロック１３６とで構成されている。軸部材１３４の下端面は、球面状になっている。フランジ部材１３５の外径は、軸部材１３４の外径よりも大きくなっている。また、荷重調整用ブロック１３６の外径は、フランジ部材１３５の外径と等しくなっている。荷重調整用ブロック１３６には、それぞれ、軸部材１３４を挿通可能な孔が形成されている。そして、この孔に軸部材１３４を挿通することで、複数の荷重調整用ブロック１３６を、フランジ部材１３５の上に積み重ねることができるようになっている。ここでは、最大４個まで、荷重調整用ブロック１３６を積み重ねることができるようになっている。
【００７７】
３段目の重り１３３では、軸部材１３４とフランジ部材１３５とを組み合わせたものが、本発明における所定の重さを有するブロックに対応し、その重さは例えば２５ｇになっている。また、各荷重調整用ブロック１３６も、本発明における所定の重さを有するブロックに対応し、その重さは例えば２５ｇになっている。従って、荷重調整用ブロック１３６の数を変えることで、重り１３３全体の重さを２５ｇ〜１２５ｇの範囲で、２５ｇ単位で変えることができる。
【００７８】
なお、３段目の重り１３３では、最も上に配置される荷重調整用ブロック１３６を軸部材１３４に対して一定の位置でねじ止めする必要はない。
【００７９】
また、３段目の重り１３３では、軸部材１３４においてフランジ部材１３５の下端面より下側に突出する部分が軸部１３３ａとなり、この軸部１３３ａより上側の部分が大径部１３３ｂとなる。従って、重り保持具１４０は、重り１３３の軸部１３３ａを挿通させ、大径部１３３ｂの挿通を阻止することによって、重り１３３を保持するようになっている。
【００８０】
各重り１１３，１２３，１３３の軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａには、螺旋状の溝１３８が形成されている。この溝１３８は、軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａと重り保持具１４０の孔とが擦れて発生する削りくず（粉）を取り込んで、軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａの円滑な動作を維持させる機能を有している。
【００８１】
なお、図２９に示したように、重り保持具１４０の孔に、螺旋状の溝１３９を形成しても、同様の効果を得ることができる。この効果を得るためには、溝１３８と溝１３９の少なくとも一方を設ければよい。
【００８２】
図１に示したように、ベース部１２の上に設けられたレール部２９には、Ｙ方向に延びるガイド１０１が設けられている。このガイド１０１の上には、Ｙ方向可動部１０３が設けられている。この可動部１０３には、ガイド１０１に係合する係合部１０２が設けられている。そして、係合部１０２がガイド１０１に沿って移動することにより、可動部１０３がＹ方向に移動するようになっている。また、可動部１０３には、上下方向に延びるガイド１０４が設けられている。
【００８３】
一方、重り保持板１１０の左右方向の両端部は、上下方向可動部１０９に連結されている。この可動部１０９には、ガイド１０４に係合する係合部１０５が設けられている。そして、係合部１０５がガイド１０４に沿って移動することにより、可動部１０９が上下方向に移動するようになっている。
【００８４】
上下方向可動部１０９は、上下方向駆動シリンダ１０８によって上下方向に駆動されるようになっている。上下方向駆動シリンダ１０８、上下方向可動部１０９、ガイド１０４および係合部１０５は、本発明における保持部移動手段に対応する。また、Ｙ方向可動部１０３は、図２に示したＹ方向駆動シリンダ１０７によってＹ方向に駆動されるようになっている。
【００８５】
このようにして、荷重付加部１００は、Ｙ方向および上下方向に移動可能になっている。図２には、荷重付加部１００を後方に移動させて、Ｘ−Ｙテーブル１３上から退避させた状態を示しているが、この状態から荷重付加部１００を前方に移動させると、荷重付加部１００をＸ−Ｙテーブル１３上に配置することができる。
【００８６】
また、荷重付加部１００は、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部がスライダ保持治具８０に対して接触せずにスライダ保持治具８０の上方に位置する状態から、下方向に移動させることにより、複数段に配置された重り１１３，１２３，１３３が、下段側から順に、スライダ保持治具８０に対して荷重を付加する状態となる。以下、この作用について、図３０ないし図３３を参照して説明する。
【００８７】
図３０は、荷重付加部１００の最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部がスライダ保持治具８０の上方に位置する状態における荷重付加部１００を表している。この状態では、スライダ保持治具８０には、外部より荷重は付加されない。
【００８８】
図３１は、図３０に示した状態から荷重付加部１００を下方向に移動させて、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部がスライダ保持治具８０の上端部に当接し、最下段における重り保持具１４０に対して、重り１１３が持ち上がった状態を表している。なお、図３１に示した状態では、重り１１３の上端部が２段目における重り１２３の軸部１２３ａの下端部には当接していない。この状態では、スライダ保持治具８０に対して、最下段における重り１１３による荷重のみが付加される。ここで、１つのスライダ保持治具８０には、３個の重り１１３によって荷重が付加されるので、１つの重り１１３を２５ｇとした場合には、１つのスライダ保持治具８０には、７５ｇの荷重が付加されることになる。
【００８９】
図３２は、図３１に示した状態から更に荷重付加部１００を下方向に移動させて、最下段における重り１１３の上端部が２段目における重り１２３の軸部１２３ａの下端部に当接し、２段目における重り保持具１４０に対して、重り１２３が持ち上がった状態を表している。なお、図３２に示した状態では、重り１２３の上端部が３段目における重り１３３の軸部１３３ａの下端部には当接していない。この状態では、スライダ保持治具８０に対して、最下段における重り１１３と２段目における重り１２３による荷重が付加される。ここで、１つのスライダ保持治具８０には、３個の重り１１３および３個の重り１２３によって荷重が付加されるので、１つの重り１１３を２５ｇ、１つの重り１２３を１２５ｇとした場合には、１つのスライダ保持治具８０には、４５０ｇの荷重が付加されることになる。
【００９０】
図３３は、図３２に示した状態から更に荷重付加部１００を下方向に移動させて、２段目における重り１２３の上端部が３段目における重り１３３の軸部１３３ａの下端部に当接し、３段目における重り保持具１４０に対して、重り１３３が持ち上がった状態を表している。この状態では、スライダ保持治具８０に対して、最下段における重り１１３と２段目における重り１２３と３段目における重り１３３による荷重が付加される。ここで、１つのスライダ保持治具８０には、３個の重り１１３、３個の重り１２３および３個の重り１３３によって荷重が付加されるので、１つの重り１１３を２５ｇ、１つの重り１２３を１２５ｇ、１つの重り１３３を１２５ｇとした場合には、１つのスライダ保持治具８０には、８２５ｇの荷重が付加されることになる。
【００９１】
このような荷重付加部１００の機能を実現するには、最下段における重り１１３が上下方向に移動できる距離が、スライダ保持治具８０に荷重を付加しない状態（図３０に示した状態）における重り１１３の上端部と重り１２３の軸部１２３ａの下端部との間の距離と、重り１２３の上端部と重り１３３の軸部１３３ａの下端部との間の距離とを足した距離よりも大きいことが必要である。
【００９２】
このように、本実施の形態では、スライダ保持治具８０に対して複数の重り１１３，１２３，１３３による荷重を段階的に加えることによって、スライダ保持治具８０に付加する荷重を調整することができる。
【００９３】
そのため、本実施の形態では、例えば、スライダ１５０のレール部のエッジ部分の面取りがまだ行われていないときや面取りの初期の段階では、スライダ保持治具８０に対して対して小さい荷重を付加してエッジ部分の面取り加工を行い、面取り加工の進行に応じて、スライダ保持治具８０に付加する荷重を増加させることができる。これにより、スライダ１５０のエッジ部分で、薄いダイヤモンドラッピングシート３９が切れることを防止することができる。なお、１つのスライダ保持治具８０に荷重を付加する１段あたりの重りの数は、３個に限らず、２個や４個以上でもよい。また、荷重付加部１００における各重り１１３，１２３，１３３の重さや、各重り１１３，１２３，１３３を構成するブロックの重さは、適宜変えてもよい。
【００９４】
なお、本実施の形態に係る加工装置１０は、図示しないが、更に、操作パネル２３における操作に対応した信号や各センサの出力信号を入力し、各駆動部分を制御する制御部を備えている。
【００９５】
次に、本実施の形態に係る加工装置１０の作用について説明する。なお、以下の説明は、本実施の形態に係るスライダの加工方法の説明を兼ねている。
【００９６】
加工装置１０を用いてスライダ１５０を加工する場合には、まず、スライダ保持治具８０に対して、加工対象となる複数のスライダ１５０を、記録媒体側となる面が下側となるように、例えば接着によって固定する。なお、この時点におけるスライダ１５０は、一列に配列された複数の磁気ヘッド素子を含み媒体対向面となる面の研磨が終了した後のバーに対して、イオンミリング等によってレール部を形成した後に、バーを切断して得られたものである。
【００９７】
本実施の形態では、スライダ１５０が固定されたスライダ保持治具８０に対して、好ましくは、以下で説明するような３段階の面取り加工を行う。
【００９８】
図３４は、１段階目の面取り加工の様子を示す説明図である。１段階目の面取り加工では、ワイヤ巻きブロック３０の代わりに、図１６に示したようなプレート９０が用いられる。そして、このプレート９０上に、ゴムシート３８が配置され、このゴムシート３８の上に、ダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。また、スライダ保持治具セットプレート７０としては、プレート７０Ａが用いられる。１段階目の面取り加工では、図３４に示したように、プレート７０Ａによって、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ１５０の媒体対向面が傾いた状態で、スライダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０が位置決めされる。
【００９９】
なお、本実施の形態では、スライダ保持治具８０がプレート７０Ａによって位置決めされたときに、スライダ１５０の媒体対向面のうちの空気流入端側が下側となるように、スライダ保持治具８０に対してスライダ１５０が固定されている。
【０１００】
スライダ保持治具８０の側面とダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面とのなす角度θは、６０°以上で、９０°より小さい角度の範囲内が好ましく、特に、７０°±２．５°が好ましい。
【０１０１】
また、スライダ保持治具８０の上端部には、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部が当接する。前述のように、スライダ保持治具８０に付加する荷重は調整することができる。スライダ保持治具８０に付加する荷重は、面取り加工の進行に応じて、段階的に増加させることが好ましい。
【０１０２】
１段階目の面取り加工では、図３４に示した状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動され、スライダ１５０の空気流入端側のエッジのみが面取り加工される。
【０１０３】
図３５は、２段階目の面取り加工の様子を示す説明図である。２段階目の面取り加工では、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納されたワイヤ巻きブロック３０が用いられる。従って、弾性部材３２の上にワイヤ３４が配置され、ワイヤ３４の上にゴムシート３８が配置され、ゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。また、スライダ保持治具セットプレート７０としては、プレート７０Ａが用いられる。２段階目の面取り加工では、図３５に示したように、プレート７０Ａによって、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ１５０の媒体対向面が傾いた状態で、スライダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０が位置決めされる。
【０１０４】
スライダ保持治具８０の側面とダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面とのなす角度θは、６０°以上で、９０°より小さい角度の範囲内が好ましく、特に、７０°前後が好ましい。
【０１０５】
また、スライダ保持治具８０の上端部には、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部が当接する。前述のように、スライダ保持治具８０に付加する荷重は調整することができる。スライダ保持治具８０に付加する荷重は、面取り加工の進行に応じて、段階的に増加させることが好ましい。
【０１０６】
２段階目の面取り加工では、図２５に示したように、ワイヤ３４上に配置されたゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９は、スライダ１５０の第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に対応する部分が第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２側に突出するように変形される。その結果、ダイヤモンドラッピングシート３９は、少なくとも、第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に当接するようになっている。
【０１０７】
２段階目の面取り加工では、図３５に示した状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動され、スライダ１５０の空気流入端側のエッジが更に面取り加工されると共に、段差を有する第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２が同時に面取り加工される。このように、１段階目の面取り加工および２段階目の面取り加工によって、スライダ１５０の空気流入端側のエッジは、他のエッジよりも多く面取り加工が施される。このように、スライダ１５０の空気流入端側のエッジを多く面取り加工するのは、空気流入端側のエッジは、他のエッジよりも記録媒体に接触する可能性が大きいからである。また、１段階目の面取り加工および２段階目の面取り加工によって、スライダ１５０の空気流入端側のエッジは、斜面状に面取りされる。
【０１０８】
図３６は、３段階目の面取り加工の様子を示す説明図である。３段階目の面取りでは、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に変形用部材３３が収納されたワイヤ巻きブロック３０が用いられる。従って、弾性部材３３の凸部３３ａの上にワイヤ３４が配置され、ワイヤ３４の上にゴムシート３８が配置され、ゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。また、スライダ保持治具セットプレート７０としては、プレート７０Ｂが用いられる。３段階目の面取り加工では、図３６に示したように、プレート７０Ｂによって、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ１５０の媒体対向面が平行な状態で、スライダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０が位置決めされる。
【０１０９】
また、スライダ保持治具８０の上端部には、最下段における重り１１３の軸部１１３ａの下端部が当接する。ここで、スライダ１５０の媒体対向面のうちの空気流入端側は、図３６におけるスライダ１５０の右側になっている。本実施の形態では、図３６に示したように、スライダ１５０の媒体対向面のうちの空気流入端側に対してより面取り加工を施すために軸部１１３ａの下端部は、スライダ保持治具８０の上端部のうちの右側に偏った位置に当接するようにしている。また、前述のように、スライダ保持治具８０に付加する荷重は調整することができる。スライダ保持治具８０に付加する荷重は、面取り加工の進行に応じて、段階的に増加させることが好ましい。
【０１１０】
３段階目の面取り加工では、ワイヤ３４上に配置されたゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９は、スライダ１５０の第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に対応する部分が第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２側に突出するように変形される。その結果、ダイヤモンドラッピングシート３９は、少なくとも、第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に当接するようになっている。
【０１１１】
３段階目の面取り加工では、図３６に示した状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動される。これにより、第１のエッジ部分１６１を含むスライダ１５０のレール部１５３のエッジ部分全体と、第２のエッジ部分１６２が同時に面取り加工される。また、３段階目の面取り加工では、第１および第２の面取り加工によって斜面状に面取り加工されたエッジ部分を含め、ダイヤモンドラッピングシート３９に当接するエッジ部分は、曲面状に面取り加工される。
【０１１２】
１段階目ないし３段階目の面取り加工は、１台の加工装置１０を用いて、各段階毎にワイヤ巻きブロック３０やスライダ保持治具セットプレート７０等を取り替えて行うことも可能であるが、各段階用に設定された３台の加工装置１０を用いて行う方が効率的である。
【０１１３】
このような本実施の形態に係るスライダの加工方法によれば、スライダ１５０の空気流入端側のエッジ部分に対して、他のエッジ部分よりも多く面取り加工を施すことができる。これにより、スライダ１５０の耐衝撃性を向上させることができる。
【０１１４】
ここで、スライダ１５０の空気流入端側のエッジ部分に対して、本実施の形態による３段階の面取り加工を施した場合と、他の方法で面取り加工を施した場合とで、エッジ部分の形状を比較する。
【０１１５】
なお、比較のための他の面取り加工の方法には、図３７に示した方法と、図３８に示した方法とを用いた。図３７に示した方法では、図３４に示した１段階目の面取り加工と同様に、ワイヤ巻きブロック３０の代わりに、図１６に示したようなプレート９０が用いられる。そして、このプレート９０上に、ゴムシート３８が配置され、このゴムシート３８の上に、ダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。また、スライダ保持治具セットプレート７０としては、プレート７０Ｂが用いられる。従って、図３７に示した方法では、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ１５０の媒体対向面が平行な状態で、スライダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０が位置決めされる。そして、この状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動されて、スライダ１５０のエッジ部分の面取り加工が施される。
【０１１６】
一方、図３８に示した方法では、図３５に示した２段階目の面取り加工と同様に、ブロック本体３１の凹部３１ａ内に弾性部材３２が収納されたワイヤ巻きブロック３０が用いられる。従って、弾性部材３２の上にワイヤ３４が配置され、ワイヤ３４の上にゴムシート３８が配置され、ゴムシート３８の上にダイヤモンドラッピングシート３９が配置される。また、スライダ保持治具セットプレート７０としては、プレート７０Ｂが用いられる。従って、図３８に示した方法では、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダ１５０の媒体対向面が平行な状態で、スライダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０が位置決めされる。そして、この状態で、Ｘ−Ｙテーブル１３が揺動されて、スライダ１５０のエッジ部分の面取り加工が施される。
【０１１７】
図３７に示した方法や図３８で示した方法によって面取り加工を施した場合におけるスライダ１５０の空気流入端側のエッジ部分の形状の一例を図３９に示す。また、本実施の形態による３段階の面取り加工を施した場合におけるスライダ１５０の空気流入端側のエッジ部分の形状の一例を図４０に示す。なお、図３９０および図４０に示した形状は、触針式表面粗さ計を用いて測定したものである。触針式表面粗さ計としては、英国ランク  テーラー  ホブソン（Rank Taylor-Hobson）社製「タリステップ（Talystep）」（商品名）を用いた。なお、触針には、先端部の曲率半径が２μｍのものを用いた。図３９および図４０において、横軸は水平方向の位置、縦軸は垂直方向の位置を表している。
【０１１８】
図３９に示した形状において、面取り加工が施された領域の高さ方向の長さは、０．５μｍであった。これに対し、図４０に示した形状において、面取り加工が施された領域の高さ方向の長さは、５．０μｍであった。これらの図から、本実施の形態による３段階の面取り加工によれば、スライダ１５０の空気流入端側のエッジ部分に対して多く面取り加工を施すことができ、スライダ１５０の耐衝撃性を向上させることが可能となることが分かる。
【０１１９】
次に、図４１ないし図４６を参照して、本実施の形態におけるスライダ保持治具８０の側面とダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面とのなす角度θと、面取り加工後のエッジ部分の形状との関係について説明する。
【０１２０】
図４１に示したように、１段階目および２段階目の面取り加工におけるθを６０°とした場合、２段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状は、例えば図４２に示したようになり、３段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状は、例えば図４３に示したようになった。
【０１２１】
また、図４４に示したように、１段階目および２段階目の面取り加工におけるθを７５°とした場合、２段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状は、例えば図４５に示したようになり、３段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状は、例えば図４６に示したようになった。
【０１２２】
図４２、図４３、図４５および図４６に示した形状の測定方法は、図３９、図４０の場合と同様である。
【０１２３】
図４２に示した形状において、面取り加工が施された領域の高さ方向の長さは、３．５μｍであった。これに対し、図４５に示した形状において、面取り加工が施された領域の高さ方向の長さは、２．５μｍであった。これらの図からも分かるように、θが小さいほど、面取り加工が施された領域の高さ方向の長さが大きくなる。
【０１２４】
しかし、図４３と図４６とを比較すると分かるように、θが小さいほど、３段階目の面取り加工後においても、面取り加工が施された領域が斜面状に近いままであることが推測される。図４３に示した形状を許容範囲の限度とすると、θは６０°以上とする必要がある。
【０１２５】
以上説明したように、本実施の形態に係る加工装置１０および本実施の形態に係るスライダの加工方法によれば、スライダ１５０の空気流入端側のエッジに対してより多く面取り加工を施すことができると共に、段差を有する第１のエッジ部分１６１と第２のエッジ部分１６２に対して面取り加工を施すことができる。従って、本実施の形態によれば、傾いても、エッジ部分によって記録媒体の面を傷つけることを防止できるスライダ１５０を得ることができる。
【０１２６】
また、負圧を発生させないスライダに比べて負圧スライダの方が、傾いたときに第１のエッジ部分１６１が記録媒体に接触する可能性が大きいので、本実施の形態に係る加工装置１０および本実施の形態に係るスライダの加工方法は、特に、負圧スライダを加工する場合に効果が顕著になる。
【０１２７】
また、本実施の形態に係るスライダの加工方法によれば、スライダ１５０の空気流入端側のエッジや、第１のエッジ部分１６１や、第２のエッジ部分１６２だけではなく、それ以外の、レール部１５３における媒体対向面の周縁部、およびスライダ１５０の外周面の媒体対向面側の周縁部についても、十分に面取り加工を施すことができる。これにより、スライダ１５０が種々の態様で傾いたとしても、記録媒体を傷つけることを防止できるスライダ１５０を得ることができる。
【０１２８】
また、本実施の形態に係る加工装置１０および本実施の形態に係るスライダの加工方法では、ダイヤモンドラッピングシート３９を変形させて、このダイヤモンドラッピングシート３９をスライダ１５０の第１のエッジ部分１６１および第２のエッジ部分１６２に当接させるようにしている。その際、ダイヤモンドラッピングシート３９を、弾性を有するゴムシート３８によって保持するようにしたので、ダイヤモンドラッピングシート３９が切れることを防止でき、安定してスライダ１５０の加工を行うことができる。
【０１２９】
また、本実施の形態では、スライダ保持治具８０に対して複数の重り１１３，１２３，１３３による荷重を段階的に加えることによって、スライダ保持治具８０に付加する荷重を調整することができる。そのため、本実施の形態によれば、スライダ１５０のエッジ部分で、薄いダイヤモンドラッピングシート３９が切れることを防止することができる。
【０１３０】
また、本実施の形態では、重り１１３，１２３，１３３の軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａと重り保持具１４０の孔との少なくとも一方に、螺旋状の溝１３８または溝１３９を形成したので、この溝１３８，１３９によって、軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａと重り保持具１４０の孔とが擦れて発生する削りくず（粉）を取り込んで、軸部１１３ａ，１２３ａ，１３３ａの円滑な動作を維持させることができる。
【０１３１】
また、本実施の形態では、スライダ保持治具セットプレート７０の１種類として、垂直方向に対して所定の角度で傾いた孔７６Ａを有するスライダ保持治具セセットプレート７０Ａを用意している。このプレート７０Ａは、ダイヤモンドラッピングシート３９の研磨面に対してスライダの媒体対向面が傾いた状態で、スライダ１５０がダイヤモンドラッピングシート３９に当接するように、スライダ保持治具８０を位置決めする。従って、本実施の形態によれば、スライダ保持治具セセットプレート７０Ａを用いることにより、スライダ１５０の特定のエッジ部分、例えばスライダ１５０の空気流入端側のエッジに対して、他のエッジ部分よりも多く面取り加工を施すことが可能となる。
【０１３２】
また、本実施の形態では、段差を有する第１のエッジ部分１６１と第２のエッジ部分１６２を同時に面取り加工するために、ワイヤ３４によってゴムシート３８およびダイヤモンドラッピングシート３９を変形させるようにしている。本実施の形態では、ワイヤ３４を、プレート１８上の全面に張らずに、複数のワイヤ巻きブロック３０を用いて、複数の部分に分けて張っている。そのため、本実施の形態によれば、ワイヤ３４の張力が安定し、加工精度を向上させることができる。
【０１３３】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、実施の形態では、スライダ１５０を固定し、Ｘ−Ｙテーブル１３によってダイヤモンドラッピングシート３９を移動させるようにしたが、ダイヤモンドラッピングシート３９を固定し、スライダ保持治具８０を動かしてスライダ１５０を移動（揺動）させるようにしてもよい。
【０１３４】
また、本発明は、図２４に示した形状のスライダに限らず、他の形状のスライダの加工にも適用することができる。また、本発明は、２段構造のスライダに限らず、３段以上の構造のスライダの加工にも適用することができる。
【０１３５】
また、実施の形態では、加工対象としてのスライダとして、負圧スライダの例を挙げたが、本発明は、負圧を発生させないスライダの加工にも適用することができる。
【０１３６】
また、本発明は、磁気ヘッド用以外の他の用途のスライダ、例えば光記録方式や光磁気記録方式による情報の記録または再生を行うためのヘッド（ピックアップ）用のスライダ等にも適用することが可能である。
【０１３７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のスライダの加工装置によれば、荷重付加手段によって、スライダ保持具によって保持されたスライダを研磨部材に押し付けるようにスライダ保持具に対して荷重を付加すると共に、スライダ保持具に付加する荷重を調整することができるようにしたので、スライダのエッジ部分によって研磨部材が切れることを防止することが可能となるという効果を奏する。
【０１３８】
また、本発明のスライダの加工方法によれば、スライダの面取り加工の進行に応じて、スライダを保持するスライダ保持具に付加する荷重を変化させるようにしたので、スライダのエッジ部分によって研磨部材が切れることを防止することが可能となるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るスライダの加工装置を一部切り欠いて示す正面図である。
【図２】図１の右側面図である。
【図３】図１におけるＸ−Ｙテーブルの近傍を拡大して示す正面図である。
【図４】図３の右側面図である。
【図５】図１におけるＹ方向揺動幅調整部材の正面図である。
【図６】図５の側面図である。
【図７】図１におけるＹ方向揺動幅調整部材の正面図である。
【図８】図７の側面図である。
【図９】図２におけるスライダ保持治具セットプレートが移動する様子を示す説明図である。
【図１０】図９に示したスライダ保持治具セットプレートの有無を検出するためのセンサを示す説明図である。
【図１１】図１におけるワイヤ巻きブロックの側面図である。
【図１２】図１１に示したワイヤ巻きブロックの正面図である。
【図１３】図１１に示したワイヤ巻きブロックに用いられる弾性部材を示す斜視図である。
【図１４】図１１に示したワイヤ巻きブロックに用いられる変形用部材を示す斜視図である。
【図１５】図１１に示したワイヤ巻きブロックとその上に配置されるゴムシートおよびダイヤモンドラッピングシートを示す斜視図である。
【図１６】図１１に示したワイヤ巻きブロックの代わりに用いられるプレートとその上に配置されるゴムシートを示す正面図である。
【図１７】図１１に示したワイヤ巻きブロックの上にゴムシートおよびダイヤモンドラッピングシートを配置する方法の一例を説明するための説明図である。
【図１８】図１７に示した方法によってワイヤ巻きブロックの上にゴムシートおよびダイヤモンドラッピングシートを張った後の状態を示す平面図である。
【図１９】図１８の正面図である。
【図２０】本発明の一実施の形態に係る加工装置で使用するスライダ保持治具セットプレートの平面図である。
【図２１】図２０のＡ−Ａ′線断面図である。
【図２２】本発明の一実施の形態に係る加工装置で使用する他のスライダ保持治具セットプレートの平面図である。
【図２３】図２２のＢ−Ｂ′線断面図である。
【図２４】本発明の一実施の形態に係る加工装置によって加工されるスライダの一例を示す斜視図である。
【図２５】本発明の一実施の形態に係る加工装置による加工時におけるスライダの近傍を示す断面図である。
【図２６】図２５のＣ部を拡大して示す説明図である。
【図２７】図１における荷重付加部を正面側から見た断面図である。
【図２８】図１における荷重付加部を側面側から見た断面図である。
【図２９】図２８に示した重り保持具の孔に螺旋状の溝を形成した場合における重り保持具を示す断面図である。
【図３０】図１における荷重付加部の作用を説明するための断面図である。
【図３１】図１における荷重付加部の作用を説明するための断面図である。
【図３２】図１における荷重付加部の作用を説明するための断面図である。
【図３３】図１における荷重付加部の作用を説明するための断面図である。
【図３４】本発明の一実施の形態に係る加工方法における１段階目の面取り加工の様子を示す断面図である。
【図３５】本発明の一実施の形態に係る加工方法における２段階目の面取り加工の様子を示す断面図である。
【図３６】本発明の一実施の形態に係る加工方法における３段階目の面取り加工の様子を示す断面図である。
【図３７】本発明の一実施の形態に係る加工方法と比較するための他の面取り加工の方法を示す断面図である。
【図３８】本発明の一実施の形態に係る加工方法と比較するための他の面取り加工の方法を示す断面図である。
【図３９】図３７に示した方法や図３８で示した方法によって面取り加工を施した場合におけるスライダの空気流入端側のエッジ部分の形状の一例を示す説明図である。
【図４０】本発明の一実施の形態による３段階の面取り加工を施した場合におけるスライダの空気流入端側のエッジ部分の形状の一例を示す説明図である。
【図４１】本発明の一実施の形態におけるスライダ保持治具の側面とダイヤモンドラッピングシートの研磨面とのなす角度を６０°とした場合のスライダ保持治具を示す説明図である。
【図４２】図４１に示した場合における２段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状の一例を示す説明図である。
【図４３】図４１に示した場合における３段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状の一例を示す説明図である。
【図４４】本発明の一実施の形態におけるスライダ保持治具の側面とダイヤモンドラッピングシートの研磨面とのなす角度を７５°とした場合のスライダ保持治具を示す説明図である。
【図４５】図４４に示した場合における２段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状の一例を示す説明図である。
【図４６】図４４に示した場合における３段階目の面取り加工終了後のエッジ部分の形状の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
１０…加工装置、１１…装置本体、１３…Ｘ−Ｙテーブル、３０…ワイヤ巻きブロック、３１…ブロック本体、３２…弾性部材、３３…変形用部材、３４…ワイヤ、３８…ゴムシート、３９…ダイヤモンドラッピングシート、７０，７０Ａ，７０Ｂ…スライダ保持治具セットプレート、８０…スライダ保持治具、１００…荷重付加部、１１３，１２３，１３３…重り、１１３ａ，１２３ａ，１３３ａ…軸部、１３８，１３９…溝、１５０…スライダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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