(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の素子基板と、該素子基板上に電気信号を弾性表面波に変換するすだれ状の電極指を組み合わせて構成される入力ＩＤＴ電極および弾性表面波を電気信号に変換する出力ＩＤＴ電極と、該入力ＩＤＴ電極及び該出力ＩＤＴ電極の弾性表面波の伝搬方向に沿った両外側にそれぞれ設けられた反射器とから構成された共振器型弾性表面波フィルタにおいて、
該共振器型弾性表面波フィルタを構成する各々の電極のうち、該反射器と、該素子基板の弾性表面波の伝搬方向にある各辺の素子端面との間の該素子基板上に、相対するバスバー電極間に弾性表面波の伝搬方向に直交するよう形成した複数本の各々電極指に、伝搬する弾性表面波の進行方向に開口した少なくとも一つのスリットが形成され、且つ隣り合う該電極指に形成した各々の該スリットにおいて、そのスリットの開口位置が該電極指毎にずれている構成の阻止電極を各々配置したことを特徴とする共振器型弾性表面波フィルタ。
【請求項２】
矩形状の素子基板と、該素子基板上に電気信号を弾性表面波に変換するすだれ状の電極指を組み合わせて構成される入力ＩＤＴ電極および弾性表面波を電気信号に変換する出力ＩＤＴ電極を、該素子基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置して構成するトランスバーサル型弾性表面波フィルタにおいて、
該トランスバーサル型弾性表面波フィルタを構成する各々の電極のうち、弾性表面波の進行方向に沿って最も外側に配置された両端の電極と、該素子基板の弾性表面波の伝搬方向にある各辺の素子端面との間の該素子基板上に、相対するバスバー電極間に弾性表面波の伝搬方向に直交するよう形成した複数本の各々電極指に、伝搬する弾性表面波の進行方向に開口した少なくとも一つのスリットが形成され、且つ隣り合う該電極指に形成した各々の該スリットにおいて、そのスリットの開口位置が該電極指毎にずれている構成の阻止電極を各々配置したことを特徴とするトランスバーサル型弾性表面波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、共振器型弾性表面波フィルタ及びトランスバーサル型弾性表面波フィルタにおける、弾性表面波の伝搬方向にある各辺の素子端面の弾性波反射軽減に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から弾性表面波デバイスは、矩形平板状の基板の表面上に櫛形電極（ＩＤＴ）と、ＩＤＴの弾性表面波の伝播方向を挟む様に両側に配置された反射器とから構成される場合、この弾性表面波デバイスの小型化を図るためには、反射器の本数を最少限度に抑えることが重要になる。しかし、反射器の本数を減らしていくと、エネルギー閉じ込め量が１００％から減少し、弾性波が反射器の外側に漏れだし、素子端面に反射して特性の不具合を発生する。
【０００３】
そこで、この様な不具合を改善するために、従来から、各反射器の外側部に樹脂等を塗布することによる弾性表面波のダンピング部を設ける（特開平５−１０２７８２号公報）ことで、反射器の外側のエッジまたは端面からの反射波を減衰させたり、エッジを荒らしてエッジの反射波を乱反射させて、反射波の影響を軽減していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし樹脂を塗布することは、塗布や硬化には設備や工数を必要としたり、樹脂を塗布するスペースの損失も大きい。そこで、樹脂の塗布を行うことを省略したいという課題が有った。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
矩形状の素子基板と、この素子基板上に電気信号を弾性表面波に変換するすだれ状の電極指を組み合わせて構成される入力ＩＤＴ電極および弾性表面波を電気信号に変換する出力ＩＤＴ電極と、入力ＩＤＴ電極及び出力ＩＤＴ電極の弾性表面波の伝搬方向に沿った両外側にそれぞれ設けられた反射器とから構成された共振器型弾性表面波フィルタ、及び前記素子基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って入力ＩＤＴ電極と出力ＩＤＴ電極とを配置して構成するトランスバーサル型弾性表面波フィルタにおいて、これら弾性表面波フィルタを構成する各々の電極のうち、弾性表面波の進行方向に沿って最も外側に配置された両端の電極、もしくは反射器と素子基板の弾性表面波の伝搬方向にある２辺の素子端面との間の素子基板上に、相対するバスバー電極間に弾性表面波の伝搬方向に直交するよう形成した複数本の各々電極指に、伝搬する弾性表面波の進行方向に開口した少なくとも一つのスリットが形成され、且つ隣り合う電極指に形成した各々のスリットにおいて、そのスリットの開口位置が電極指毎にずれている構成の阻止電極を各々配置した弾性表面波デバイスにより、弾性表面波の進行方向を、阻止電極を構成する電極指に形成した各々のスリットにより散乱させることで課題を解決した。
【０００６】
【作用】
阻止電極は、ホイヘンの定理に基づく波の回折現象を利用している。原理は、図２に示す様に、直進波がスリットの一方の開口口から侵入し通過するとスリットの他方の開口口にて回折して波の進行方向が拡散する。スリットの位置を各々で変えた電極指を複数段重ねた阻止電極を、直進波の進行方向に沿って最も外側に配置された両端の電極もしくは反射器と、素子基板の弾性表面波の伝搬方向にある２辺の素子端面との間の素子基板上に形成することにより、阻止電極を通過し素子端面に達した波は、阻止電極進入前の直進成分は殆ど残らず、方向が変わっている。このため素子端面で反射した結果は、直進波を乱反射させたものとほぼ同じ結果が得られる。更に素子端面での反射波も更に前記阻止電極のスリットを通過するので、なお波の方向が変えられて、反射波の悪影響は避けられる。
【０００７】
【実施例】
図３に実施の一例を示す。図２の原理を応用したもので、阻止電極におけるスリットの開口口の幅（以下スリットの幅という）と、阻止電極を構成するスリットにより分断された個々の電極指の弾性表面波の伝搬方向に直交する方向の長さ（以下阻止電極の個々の電極指の長さという）とは、素子基板を伝搬する弾性表面波の中心周波数から導き出される波長λ以下でも或いは波長λ以上でも弾性表面波の散乱効果は有るが、スリットの幅が広ければ阻止電極指１段当たりの直進波の通り抜けが多くなり、反射波の散乱効果を奏するためには阻止電極の電極指段数を多くしなければならず、又阻止電極の個々の電極指の長さを長く形成すると、阻止電極を構成する個々の電極指による不要な弾性表面波の反射波が多くなる。このことから、伝搬する弾性表面波の波長λと、形成する阻止電極におけるスリットの幅及び阻止電極の個々の電極指の長さとの割合は、スリットの幅と阻止電極の個々の電極指の長さを（１／２）λ〜２λの間にするのが望ましい。
【０００８】
隣接する阻止段相互間のスリット位置のずらし方は、スリット幅／２〜λ／２が望ましい。図３ではスリット幅＝λ、スリット位置ずらし幅＝λ／２の場合について表現している。
【０００９】
スリットが１波長（１λ）であれば、直進して来た表面弾性波はスリットのセンターの１線のみ直進で通過するが、他は程度の差こそあれ回折され方向が変わる。しかも、この直進した波も次の電極でスリットのエッジを通過するため大きく回折されるので、結局全ての波は進行方向が回折される。これを１ペアーとして数段繰り返せば、直進する表面弾性波は完全に回折され、その直進成分が無くなった状態で素子端面に到達する。この場合、素子端面での波の反射はいろいろな角度に反射するので乱反射の状態を呈し、仮に反射波が素子電極に戻って来ても素子の特性に悪影響は与えない。
【００１０】
図３において、スリットの幅が１波長（１λ）以上の場合は、スリット幅から１波長分を差し引いた値の寸法だけエッジを重ねる構成にすることで最大の効果が得られる。
また、スリットの幅が１波長以下の場合は、スリツト幅の１／２だけエッジを重ねる構成にすることで最大の効果が得られる。スリットの幅が１波長以下の場合は、スリットのセンターが同心円状に広がって行くので、波の先端が平行になる部分が無いために直進する波は殆ど残らないので効率の良い回折が行われる。さらにこの手法は、弾性表面波デバイス全般に用いられるが、とくに弾性表面波フイルタの場合共振器型でもトランスバーサル型でも使用出来る。
【００１１】
【発明の効果】
本発明により、従来の様に吸収材を塗布または接着したり、素子端面を荒らしたり、端面の角度を変えて切断したり等の余計な工程を必要とせず、阻止電極は弾性表面波デバイスの素子電極と同一工程で作成出来ることにより、工程の簡素かによるコストダウンに対応出来るのみならず、素子電極と同一工程で阻止電極が作り込まれるために阻止電極の均一性が確保され、信頼性の向上と共に歩留まりも向上し合わせてコストダウンに寄与している。また微細加工で済むのでスペースが狭くても効果があるため小型化が容易になった。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の概略を表す構成図である。図（ａ）は、共振器型フイルタに用いた例を示す構成図である。図（ｂ）は、トランスバーサル型フイルタに用いた例を示す構成図である。
【図２】図２は、本発明で使用したホイヘンスの定理を説明する図である。
【図３】図３は、本発明の阻止電極の１例を示した図である。
【符号の説明】
１      素子端面
２，３  阻止電極
【図１】
0003624229.tif 000002
【図２】
0003624229.tif 000003
【図３】
0003624229.tif 000004