(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）下記〔化１〕の一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位の少なくとも１種５〜９５重量％、下記〔化２〕の一般式（II）で表される繰り返し単位の少なくとも１種５〜９５重量％および下記〔化３〕の一般式 (III)で表される繰り返し単位の１種以上０〜５０重量％未満からなる共重合体と、（ｂ）オキサゾリン環を２個以上有するオキサゾリン化合物とを含有し、さらに、（ｃ）アクリル酸もしくはメタクリル酸と多価アルコールとのエステル化合物および／または光重合開始剤を含有する硬化性樹脂組成物。
【化１】
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【化２】
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【化３】
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〔上記式（Ｉ）〜(III)中、Ｒ1、Ｒ3およびＲ4は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ2は炭素原子数１〜１８のアルキレン基、シクロアルキレン基、アリーレン基を示し、Ｘ1およびＸ2は水素原子、炭素原子数１〜４のアルキル基またはＣＯＯＨを示し、Ｘ3はＣＯＯＨ、ＣＯＮＲ5Ｒ6（Ｒ5およびＲ6は各々独立に水素原子または炭素原子数１〜８のアルキル基を示す）またはＣＯＯＲ7（Ｒ7は炭素原子数１〜４のアルキル基を示す）を示し、Ｘ1、Ｘ2、Ｘ3のいずれか一つはＣＯＯＨを示し、ｎは０または１を示す。〕
【請求項２】
上記一般式（Ｉ）におけるＲ2が、アリーレン基である請求項１記載の硬化性樹脂組成物。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マレイミド類およびエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の共重合物で、且つカルボン酸を有する共重合体と、オキサゾリン化合物とからなる硬化性樹脂組成物に関し、詳しくは、積層回路基板の絶縁材などに適した高いガラス転移温度、体積固有抵抗、ピール強度および低誘電率を有するアルカリ現像可能な硬化性樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
硬化性樹脂組成物は、熱または光により硬化して塗料、接着剤、集積回路の絶縁材料および造形用途等に利用されている。
【０００３】
近年、プリント配線板の高密度化方法としてフルアディティブ法が注目されている。フルアディティブ法においては、使用されるメッキレジストが最終的に配線間の絶縁層にもなるため多層化時の配線のズレなどを防止することが可能となり、高アスペクト比の配線を有するプリント配線板を多層化するのに適している。
【０００４】
上記絶縁層としてプリント配線板に残存するメッキレジストは、高度に集積化された配線による発熱や絶縁層の薄層化、導体層と絶縁層の接着強度の低下に対応できる高いガラス転移温度、体積固有抵抗、ピール強度および低誘電率を有することが要求される。また、配線パターンの作製における現像工程は、作業環境や自然保護の観点から有機溶剤を用いない、アルカリ現像が主流となっており、アルカリ現像において優れた現像性を有することも望まれている。
【０００５】
このような要求に対応するために、特開平２−１６９６０２号公報にはカルボン酸を有する光重合性組成物にオキサゾリン化合物を添加して、現像後に熱硬化させることでカルボン酸を低減することで、アルカリ現像可能でソルダーレジストに適した硬化性樹脂組成物が提案されている。また、特開平６−２５６６８４号公報にはアクリル酸類とエポキシ基を有する重合性化合物の共重合体を用い、現像後にエポキシ基とカルボン酸を熱硬化させることで、耐熱性を改善する硬化性樹脂組成物が提案されている。しかし、いずれの公報に記載された硬化性樹脂組成物も実用上は満足しえるものではなく、ピール強度、誘電率、体積固有抵抗のいずれかの性能において満足のいくものではなかった。
【０００６】
また、特開平６−２７３９３０号公報には、特定のポリマレイミドからなる硬化性樹脂組成物が提案されている。しかし、この組成物は耐熱性に優れ低誘電率ではあるものの、有機溶媒による現像が必要であり、アルカリ現像に対応できるものではなった。
【０００７】
従って、本発明の目的は、アルカリ現像に対応でき、優れたピール強度、体積抵抗、誘電率を示し、更に高いガラス転移温度を有する硬化性樹脂組成物を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、マレイミド化合物およびエチレン性不飽和の重合性化合物の共重合体で、且つ、カルボン酸を有する共重合体と、特定のオキサゾリン化合物とからなる硬化性樹脂組成物が、上記目的を達成し得ることを知見した。
【０００９】
本発明は、上記知見に基づきなされたもので、（ａ）下記〔化４〕（前記〔化１〕と同じ）の一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位の少なくとも１種５〜９５重量％、下記〔化５〕（前記〔化２〕と同じ）の一般式（II）で表される繰り返し単位の少なくとも１種５〜９５重量％および下記〔化６〕（前記〔化３〕と同じ）の一般式(III)で表される繰り返し単位の１種以上０〜５０重量％未満からなる共重合体と、（ｂ）オキサゾリン環を２個以上有するオキサゾリン化合物とを含有し、さらに、（ｃ）アクリル酸もしくはメタクリル酸と多価アルコールとのエステル化合物および／または光重合開始剤を含有する硬化性樹脂組成物を提供するものである。
【００１０】
【化４】
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【００１１】
【化５】
0003662327.tif 000003
【００１２】
【化６】
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【００１３】
〔上記式（Ｉ）〜 (III)中、Ｒ1 、Ｒ3 およびＲ4 は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ2 は炭素原子数１〜１８のアルキレン基、シクロアルキレン基、アリーレン基を示し、Ｘ1 およびＸ2 は水素原子、炭素原子数１〜４のアルキル基またはＣＯＯＨを示し、Ｘ3 はＣＯＯＨ、ＣＯＮＲ5 Ｒ6 （Ｒ5 およびＲ6 は各々独立に水素原子または炭素原子数１〜８のアルキル基を示す）またはＣＯＯＲ7 （Ｒ7 は炭素原子数１〜４のアルキル基を示す）を示し、Ｘ1 、Ｘ2 、Ｘ3 のいずれか一つはＣＯＯＨを示し、ｎは０または１を示す。〕
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の硬化性樹脂組成物について詳細に説明する。
【００１５】
先ず本発明に用いられる（ａ）成分である共重合体について説明する。
上記共重合体における上記一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位において、Ｒ2 で示される炭素原子数１〜１８のアルキレン基としては、メチレン、エチレン、プロピレン、イソプロピレン、ブチレン、第二ブチレン、第三ブチレン、ペンチレン、ヘキシレン、ヘプチレン、オクチレン、第三オクチレン、ノニレン、イソノニレン、デシレン、イソデシレン、ドデシレン、トリデシレン、テトラデシレン、ペンタデシレン、ヘキサデシレン、ヘプタデシレン、オクタデシレンなどの基が挙げられ、シクロアルキレン基としては、シクロペンチレン、シクロヘキシレンなどの基が挙げられ、アリーレン基としては、フェニレン、トルイレン、キシリレン、ナフチレンなどの基が挙げられる。これらのうち、Ｒ2 としては、硬化後の樹脂組成物が機械的に優れる点で、アリーレン基が好ましい。
【００１６】
また、上記一般式（Ｉ）、（II）および（III)で表される繰り返し単位において、Ｘ1 、Ｘ2 および、Ｘ3 がＣＯＯＲ7 （エステル基）である場合のＲ7 で示される炭素原子数１〜４のアルキル基としては、メチル、エチル、プロピル、ブチル、第二ブチル、第三ブチルなどの基が挙げられる。
【００１７】
また、上記一般式（III)で表される繰り返し単位において、Ｘ3 がＣＯＮＲ5 Ｒ6 （アマイド基）である場合のＲ5 およびＲ6 で示される炭素原子数１〜８のアルキル基としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、第二ブチル、第三ブチル、ペンチル、第三ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、２−エチルヘキシル、イソオクチル、第三オクチルなどの基が挙げられる。
【００１８】
従って、上記一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位としては、より具体的には、下記〔化７〕〜〔化１２〕に示す繰り返し単位Ｉ−１〜Ｉ−６などが挙げられる。
【００１９】
【化７】
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【００２０】
【化８】
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【００２１】
【化９】
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【００２２】
【化１０】
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【００２３】
【化１１】
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【００２４】
【化１２】
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【００２５】
上記一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位がカルボキシル基を有するとき（Ｘ1 ＝ＣＯＯＨのとき）、該カルボン酸はアミン塩であってもよい。該アミン塩の形成に用いられるアミン化合物としては、トリメチルアミン、トリエチルアミン等のトリアルキルアミンの他、ジエチルエタノールアミンと（メタ）アクリル酸のエステル等が挙げられる。
【００２６】
また、上記一般式（II）で表される繰り返し単位としては、例えば、下記〔化１３〕〜〔化１８〕に示す繰り返し単位II−１〜II−６などが挙げられる。
【００２７】
【化１３】
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【００２８】
【化１４】
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【００２９】
【化１５】
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【００３０】
【化１６】
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【００３１】
【化１７】
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【００３２】
【化１８】
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【００３３】
上記一般式（II）で表される繰り返し単位がカルボキシル基を有するとき（Ｘ2 ＝ＣＯＯＨのとき）、該カルボン酸はアミン塩であってもよい。該アミン塩としては、上記一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位がアミン塩を有する場合に用いられるものと同様のアミン化合物との塩が挙げられる。
【００３４】
本発明に用いられる共重合体は、上記一般式（Ｉ）および（II）で表される繰り返し単位の他の成分として上記一般式（III)で表される繰り返し単位を含んでもよく、該（III)で表される繰り返し単位の原料となる反応性単量体としては、公知の種々の（メタ）アクリル酸およびそのエステル化合物もしくはアマイド化合物を用いることができる。
【００３５】
本発明に用いられる上記共重合体の組成は、上記一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位を５〜９５重量％（以下、単に％とする）、好ましくは１０〜９０％、上記一般式（II）で表される繰り返し単位を５〜９５重量％、好ましくは１０〜９０％含み、該一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位と該一般式（II）で表される繰り返し単位との合計が５０％以上である。また、上記共重合体のカルボン酸当量は１０００ｇ／ｅｑ以下が好ましい。
上記一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位および上記一般式（II）で表される繰り返し単位の含有量がそれぞれ上記範囲を外れると、得られる硬化性樹脂組成物の硬化後のガラス転移温度やピール強度が低下して実用的でなくなる。また、上記カルボン酸当量が１０００ｇ／ｅｑより大きいとアルカリ現像に適さなくなる。
【００３６】
また、上記共重合体の平均分子量は、１，５００〜２００，０００であるのが好ましく、２，０００〜１５０，０００であるのが特に好ましい。該平均分子量が１，５００未満であると硬化後の樹脂組成物の機械的強度が不十分であり、２００，０００を超えると溶液としたときの粘度が高くなり、取扱が困難になる。
【００３７】
次に本発明に用いられる（ｂ）成分であるオキサゾリン環を２個以上有するオキゾリン化合物について説明する。
上記オキゾリン化合物としては、特に限定されるものではないが、例えば、2,2'- ビス(2- オキサゾリン) 、2,2'- ビス(4- メチル-2- オキサゾリン) 、2,2'- ビス(5- メチル-2- オキサゾリン) 、2,2'- ビス(5,5'-ジメチルオキサゾリン) 、2,2'- ビス(4,4,4',4'- テトラメチル-2- オキサゾリン) 、1,2-ビス(2- オキサゾリン-2- イル) エタン、1,4-ビス(2- オキサゾリン-2- イル) ブタン、1,6-ビス(2- オキサゾリン-2- イル) ヘキサン、1,8-ビス(2- オキサゾリン-2- イル) 、1,4-ビス(2- オキサゾリン-2- イル) シクロヘキサン、1,2-ビス(2- オキサゾリン-2- イル) ベンセン、1,3-ビス(2- オキサゾリン-2- イル) ベンゼン、1,4-ビス(2- オキサゾリン-2- イル) ベンゼン、1,2-ビス(5- メチル-2- オキサゾリン-2- イル) ベンゼン、1,3-ビス(5- メチル-2- オキサゾリン-2- イル) ベンゼン、1,4-ビス(5- メチル-2- オキサゾリン-2- イル) ベンゼン、1,4-ビス(4,4'-ジメチル-2- オキサゾリン-2- イル) ベンゼン等のビスオキサゾリン化合物、および、前記ビスオキサゾリン化合物のオキサゾリン基２化学当量と多塩基性カルボン酸（例えばマレイン酸、琥珀酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、クロレンド酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸等）のカルボキシル基１化学当量とを反応させて得られる末端オキサゾリン基を有する化合物等を挙げることができる。
【００３８】
上記オキサゾリン化合物は、本発明に用いられる前記共重合体に含まれるカルボン酸の１化学当量当り０．１〜１．２化学当量の範囲で用いるのが好ましく、０．５〜１．１化学当量の範囲で用いるのがより好ましい。上記範囲を外れると、得られる硬化物の耐薬品性、耐熱性、耐メッキ性、電気絶縁性、密着性などが低下するおそれがある。
【００３９】
次に、本発明の硬化性樹脂組成物に用いられる前記共重合体の具体的な合成例を示す。ただし、本発明は、下記の合成例によってなんら制限を受けるものではない。
【００４０】
合成例−１（ポリマー１〔N-(p- カルボキシフェニル) マレイミドとスチレンとの共重合体〕の合成）
N-(p- カルボキシフェニル) マレイミド6.86g(0.04モル) とスチレン4.16g(0.04モル) をメチルエチルケトン200gに溶解し、アゾビスイソブチロニトリル（以下、「ＡＩＢＮ」という）2g(0.012モル) を加えて75℃で2 時間反応した。析出した白色沈澱を濾別してトルエン洗浄して白色粉末状ポリマー10.5g(収率95%)を得た。得られたポリマーは、酸価174mgKOH/gであり、ゲルパーミエーションクロマトグラフ（ＧＰＣ）より平均分子量47800 であった。
【００４１】
合成例−２（ポリマー２〔N-フェニルマレイミドと4-ビニルベンジル-2- カルボキシフェニルエーテルとの共重合体〕の合成）
N-フェニルマレイミド6.92g(0.04モル) と4-ビニルベンジル-2- カルボキシフェニルエーテル10.16g(0.04 モル) をメチルエチルケトン250gに溶解し、ＡＩＢＮ2.65g(0.014 モル) を加えて75℃で2 時間反応した。析出した白色沈澱を濾別してトルエン洗浄して白色粉末状ポリマー15.7g(収率92%)を得た。得られたポリマーは、酸価131mgKOH/gであり、ＧＰＣより平均分子量51200 であった。
【００４２】
合成例−３（ポリマー３〔N-(p- カルボキシフェニル) マレイミドとスチレンとアクリル酸メチルとの共重合体〕の合成)
N-(p- カルボキシフェニル) マレイミド6.86g(0.04モル) とスチレン4.16g(0.04モル) とメタクリル酸メチル6.88g(0.08モル) をメチルエチルケトン300gに溶解し、ＡＩＢＮ3.23g(0.020 モル) を加えて75℃で2 時間反応した。析出した白色沈澱を濾別してトルエン洗浄して白色粉末状ポリマー16.1g(収率90%)を得た。得られたポリマーは、酸価125mgKOH/gであり、ＧＰＣより平均分子量38000 であった。
【００４３】
合成例−４（ポリマー４〔上記ポリマー１のトリエチルアミン塩〕の合成）
ポリマー１10g(カルボン酸換算で0.031 モル) をシクロヘキサノン90g に溶解し、攪拌下トリエチルアミン3.1g(0.031モル) を滴下して、析出した白色沈澱を濾別してシクロヘキサノンで洗浄して白色粉末状ポリマー12.7g(収率９７%)を得た。
【００４４】
合成例−５（ポリマー５〔上記ポリマー１のジエチルエタノールアミンのアクリル酸エステル塩〕の合成）
ポリマー１10g(カルボン酸換算で0.031 モル) をシクロヘキサノン90g に溶解し、攪拌下2-アクリロイルオキシエチル- ジエチルアミン5.3g(0.031モル) を滴下して、析出した白色沈澱を濾別してシクロヘキサノンで洗浄して白色粉末状ポリマー14.7g(収率９６%)を得た。
【００４５】
比較合成例−１（比較ポリマー１〔アクリル酸とスチレンとの共重合体〕の合成）
アクリル酸2.88g(0.04モル) とスチレン4.16g(0.04モル) をメチルエチルケトン100gに溶解し、ＡＩＢＮ3.23g(0.020 モル) を加えて75℃で2 時間反応した。析出した白色沈澱を濾別してメタノール洗浄して白色粉末状ポリマー6.9g( 収率９８%)を得た。得られたポリマーは、酸価318mgKOH/gでありＧＰＣより平均分子量33100 であった。
【００４６】
本発明の硬化性樹脂組成物は、さらに、（ｃ）アクリル酸もしくはメタクリル酸と多価アルコールとのエステル化合物および／または光重合開始剤を必須成分として含有するものであり、得られる硬化物の硬度などの機械特性を調整するために必要に応じてアクリル酸またはメタクリル酸と多価アルコールとのエステル化合物を含有する。
【００４７】
ここで、上記のアクリル酸またはメタクリル酸と多価アルコールとのエステル化合物としては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４のポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４のポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の多価アルコールをα，β−不飽和カルボン酸でエステル化して得られる化合物；トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルアクリル酸付加物（１／３）、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアクリル酸付加物（１／２）等のグリシジル基含有化合物に（メタ）アクリル酸を付加して得られる化合物；β−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートのフタル酸ジエステル、β−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートのトルエンジイソシアネート付加物等の水酸基およびエチレン性不飽和結合を有する化合物と多価カルボン酸とのエステル化合物またはポリイソシアネートとの付加物；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル等があげられる。
【００４８】
本発明の硬化性樹脂組成物は、熱および光により硬化可能であり、光により硬化させる場合には、必要に応じて任意の光重合開始剤を用いる。
【００４９】
上記光重合開始剤としては、従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、ベンゾフェノン、フェニルビフェニルケトン、１−ヒドロキシ−１−ベンゾイルシクロヘキサン、ベンジル、ベンジルジメチルケタール、１−ベンジル−１−ジメチルアミノ−１−（４’−モルホリノベンゾイル）プロパン、２−モルホリル−２−（４’−メチルメルカプト）ベンゾイルプロパン、チオキサントン、１−クロル−４−プロポキシチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、エチルアントラキノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルスルフィド、ベンゾインブチルエーテル、２−ヒドロキシ−２−ベンゾイルプロパン、２−ヒドロキシ−２−（４’−イソプロピル）ベンゾイルプロパン、４−ブチルベンゾイルトリクロロメタン、４−フェノキシベンゾイルジクロロメタン、ベンゾイル蟻酸メチル、１，７−ビス（９’−アクリジニル）ヘプタン、９−ｎ−ブチル−３，６−ビス（２’−モルホリノイソブチロイル）カルバゾール、９−ｎ−オクチル−３，６−ビス（２’−モルホリノイソブチロイル）カルバゾール、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ナフチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（Ｎ−ｎ−ブチル−３’−カルバゾリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（Ｎ−（２”−メトキシ−１”−メチルエトキシカルボニルメチル）−３’−カルバゾリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどがあげられる。これらの光重合開始剤は、安息香酸系または第三級アミン系などの公知の光重合促進剤の１種または２種以上と組み合わせて用いてもよい。
【００５０】
また、本発明においては、前記（ａ）成分である共重合体とともに、熱可塑性有機重合体を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該熱可塑性有機重合体としては、例えば、（メタ）アクリル酸エステル化合物と（メタ）アクリル酸との共重合体、（メタ）アクリル酸エステル化合物、（メタ）アクリル酸およびこれらと共重合しえる他のビニルモノマーとの共重合体があげられる。
【００５１】
上記（メタ）アクリル酸エステル化合物としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレートテトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、第三ブチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレートなどがあげられ、また、上記の他のビニルモノマーとしては、例えば、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等があげられる。
【００５２】
また、本発明の硬化性樹脂組成物は、密着性を改善するために硬化後に行なわれる粗化工程のためのゴム成分などを含んでいてもよい。ここで、「粗化工程」とは、硬化性樹脂組成物中にジエン系合成ゴムなどを分散し、クロム混酸などの酸化剤で表面層のゴムを除去することでアンカーを形成する工程である。
【００５３】
また、本発明の硬化性樹脂組成物には、必要に応じて、ｐ−アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール、第三ブチルカテコール、フェノチアジン等の熱重合抑制剤；可塑剤；官能性シランカップリング剤などの接着促進剤；シリカ、アルミナ、タルク、ベントナイト、ジルコニウムシリケート、粉末ガラス、炭酸カルシウムなどの充填剤、顔料、染料および塗布性・消泡性・レベリング性を改善するための界面活性剤等の慣用の添加物を加えることができる。
【００５４】
本発明の硬化性樹脂組成物は、通常、必要に応じて前記の各成分を溶解または分散しえる溶媒、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチロセロソルブ、エチルセロソルブ、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ’−ジメチルアセトアミド、クロロホルム、塩化メチレン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソプロパノールを加えた溶液状組成物として用いられる。
【００５５】
本発明の硬化性樹脂組成物は、ロールコーター、カーテンコーター、スピンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、フィルム、金属、紙、プラスチック等の支持基体上に適用される。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。
【００５６】
本発明の硬化性樹脂組成物は、塗料、インキ、接着剤、印刷版および印刷配線板用フォトレジスト等の各種の用途に使用することができ、その用途に特に制限はない。
【００５７】
また、本発明の硬化性樹脂組成物を光により硬化する場合には、通常光硬化に用いられる各種の光源が利用可能で、例えば、アルゴンレーザー、水銀蒸気アーク、カーボンアークおよびキセノンアーク等、従来既知の光源を使用することができる。
【００５８】
【実施例】
以下、実施例によって本発明を更に詳細に説明するが、本発明は以下の実施例によって限定されるものではない。
【００５９】
実施例１
下記〔表１〕に示す配合物（配合量の単位；重量部）を十分に混合したのち、この溶液を表面処理アルミニウム板上にナイフコーターを用いて乾燥後の膜厚が３０μｍになるよう塗布した。８０℃で５分間加熱乾燥した後、キセノンランプ照射（２０ｍｗ／ｃｍ2 ×１０秒）により紫外線硬化した。さらに１５０℃で３０分間ベーキングして硬化物を得た。なお、下記〔表１〕中の共重合体であるポリマー１〜５および比較ポリマー１は、前記の合成例−１〜５および比較合成例−１で得られたものである。
【００６０】
【表１】
0003662327.tif 000017
【００６１】
得られた硬化物についてJIS K7198 に基づいてガラス転移温度（Ｔｇ）を、JIS C6481 に基づいてピール強度を、JIS K6911 に基づいて体積抵抗を、JIS K6911 に基づいて誘電率を測定した。それらの結果を下記〔表２〕に示す。
【００６２】
また、解像度については次のようにして行なった。上記配合物をＳｉＯ2 ガラス基板上にスピンナーを用いて塗布後、８０℃で５分間プレキュアして膜厚３０μｍの塗膜を形成した。次に、テスト用ネガマスク（線幅３０μｍ）を介して高圧水銀灯により３００ｍＪ／ｃｍ2 露光した。これを０．５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現像して、流水洗浄後、窒素ブローして残存パターンを得た。得られたパターンの解像度を光学顕微鏡で観察した。パターンが正確に現像できたものを○とし、一部欠損のあるものを△とし、全体に欠損が認められるものを×として評価した。その結果を下記〔表２〕に示す。
【００６３】
【表２】
0003662327.tif 000018
【００６４】
上記〔表２〕の結果より、本発明に係る前記（ａ）成分である共重合体と、前記（ｂ）成分であるオキサゾリン化合物とを含有する本発明の硬化性樹脂組成物（実施例 1-1〜1-6 ）は、他の硬化性樹脂組成物（比較例 1-1,1-2）に比して、ピール強度、体積抵抗、誘電率および解像度に優れ、高いガラス転移温度を有するものであることが判る。
【発明の効果】
本発明の硬化性樹脂組成物は、アルカリ現像に適しているばかりでなく、優れたピール強度、体積抵抗、誘電率を示し、更に高いガラス転移温度を有するものであり、フルアディティブ法に適したものである。