【手続補正書】
【提出日】令和3年1月27日(2021.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
【図１】第１実施形態の基板処理装置１００の全体構成を示す図である。
【図２】第１実施形態の洗浄処理ユニット１の平面図である。
【図３】第１実施形態の洗浄処理ユニット１の縦断面図である。
【図４】カメラ７０とノズル３０との位置関係を示す図である。
【図５】カメラ７０および制御部９のブロック図である。
【図６】位置ずれ検出部９１による検出処理のための事前準備の手順を示すフローチャートである。
【図７】位置ずれ検出部９１による検出処理の手順を示すフローチャートである。
【図８】カメラ７０が処理区間ＰＳ１におけるノズル３０の先端を含む撮像領域ＰＡを撮像して得た画像の一例を示す図である。
【図９】基準画像ＲＰの登録処理を概念的に示す図である。
【図１０】基準画像ＲＰに対応する実画像ＧＰを特定する様子を概念的に示す図である。
【図１１】基準軌道情報ＳＴ１を概念的に示す図である。
【図１２】ノズル３０を連続撮像する様子を示すタイムチャートである。
【図１３】基準画像ＲＰの登録を行うための登録画面Ｗ１を示す図である。
【図１４】第２実施形態の制御部９Ａを示す図である。
【図１５】分類器Ｋ２を概念的に示す図である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
基準画像登録部９０は、正しい位置にあるノズル３０を撮像して得られる撮影画像を基準画像ＲＰとして登録する。位置ずれ検出部９１は、判定対象の位置である判定位置における、ノズル３０の鉛直方向または水平方向の位置ずれを検出する。画像判定部９１０および画像比較部９１２を含む。画像判定部９１０は、既定の判定規則に基づき、判定対象であるノズル３０を撮影することによって得られる実画像ＧＰについて、ノズル３０の位置ずれを判定する判定位置（例えば、第１端ＴＥ１、第２端ＴＥ２）にあるときの画像であるか否かを判定する。既定の判定規則については、後に詳述する。画像比較部９１２は、画像判定部９１０によって判定位置にあると判定された実画像ＧＰと、正しいノズル３０の位置を示す基準画像ＲＰを比較するパターンマッチング処理を行う。このパターンマッチング処理についても、後に詳述する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０２】
図１０は、基準画像ＲＰに対応する実画像ＧＰを特定する様子を概念的に示す図である。図１０に示す例では、基準画像ＲＰと実画像ＧＰとを比較することによって、基準画像ＲＰに対応する実画像ＧＰが特定される。この比較には、公知のパターンマッチングの手法を適用してもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
例えば、ノズル３０は、待機位置から第１端ＴＥ１へ向けて移動した後、第１端ＴＥ１に一旦停止する。ノズル３０が第１端ＴＥ１へ向けて移動中であるときの連続する実画像ＧＰ，ＧＰ間では、それらの差分画像においてノズル３０の像が残存しやすい。このため、差分画像における階調値の絶対値の総和は、比較的大きい値となる。これに対して、ノズル３０が第１端ＴＥ１で停止した後の連続する実画像ＧＰ，ＧＰ間では、ノズル３０の位置が同一となるため、それらの差分画像においてノズル３０が除去される。このため、差分画像における階調値の絶対値の総和は、比較的小さい値となる。このような原理に基づき、閾値を適切に設定することによって、ノズル３０が第１端ＴＥ１に停止したことを容易かつ精度良く検出できる。画像判定部９１０は、第２端ＴＥ２におけるノズル３０の停止も、第１端ＴＥ１におけるノズル３０の停止と同一原理に基づいて検出してもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１２】
以上は、ノズル３０についての位置ずれの検出処理の説明であったが、ノズル３０以外の他のノズル６０，６５についても、図７に示した流れと同一の手順にて位置ずれを検出することができる。なお、ノズル３０以外の他のノズルが基板Ｗ上の一定の処理位置に停止した状態で処理液の吐出を行うように構成されている場合、上述したように、事前準備であるステップＳ１３において、処理位置に正しく停止した状態のノズル３０の画像が基準画像ＲＰとして登録される。このため、ステップＳ２４では、マッチングまたは停止判定によって、処理位置に対応する実画像ＧＰが基準画像ＲＰに対応する画像として特定され、ステップＳ２５ではこれらの基準画像ＲＰと実画像ＧＰとの比較に基づき、他のノズルの位置ずれが判定されるとよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１５】
ノズル３０の判定位置各々における位置ずれの判定が、判定位置各々の基準画像ＲＰと実画像ＧＰとの比較に基づいて行われる。このため、処理区間ＰＳ１を移動によってノズル３０が形状変化しても、各判定位置のノズル３０の形状に応じて実画像ＧＰを精度良く特定できる。したがって、各判定位置でのノズル３０の位置ずれを精度良く検出できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１８】
基準軌道情報ＳＴ１は、位置ずれ検出部９１が、基準画像ＲＰからノズル３０の位置を特定することによって生成されてもよい。具体的には、図１１に示すように、第１および第２基準画像ＲＰ１，ＲＰ２、および、複数の中間基準画像ＲＰＭからノズル３０の先端位置が特定されるとともに、これらの先端位置が、公知の補間処理によって互いにつなぎ合わされることによって、基準軌道情報ＳＴ１が生成されてもよい。基準軌道情報ＳＴ１の生成は、ステップＳ１３の後、適宜のタイミングで行われるとよい。なお、ステップＳ１３において登録された複数の基準画像ＲＰからだけではなく、ステップＳ１２の連続撮像によって得られた一連の撮影画像を利用して、基準軌道情報ＳＴ１が生成されてもよい。この場合、ノズル３０の精密な軌道を示す基準軌道情報ＳＴ１を生成できる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２６】
画像表示領域ＷＲ２は、一連の撮影画像を取得された順に連続して表示する領域である。ノズル／ポジション選択領域ＷＲ４は、複数のノズル３０，６０，６５のいずれか１つを選択する操作、および、選択されたノズルの移動先を選択する操作を受け付ける領域である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４４】
１００  基板処理装置
１  洗浄処理ユニット
１０  チャンバー
２０  スピンチャック
２１  スピンベース
２１ａ  保持面
２２  スピンモータ
３０，６０，６５  ノズル
３１  吐出ヘッド
７０  カメラ
７１  照明部
８  サーバ
８２  機械学習部
９，９Ａ  制御部
９０  基準画像登録部
９１，９１Ａ  位置ずれ検出部
９１０，９１０Ａ  画像判定部
９１０２  特徴ベクトル算出部
９１２  画像比較部
９２  コマンド送信部
９５  表示部
９６  入力部
９７  通信部
Ｃ１−Ｃ４  コマンド（制御情報）
ＧＰ  実画像
Ｋ２  分類器
ＰＡ  撮像領域
ＰＳ１  処理区間
ＲＰ  基準画像
ＲＰ１  第１基準画像
ＲＰ２  第２基準画像
ＲＰＭ  中間基準画像
ＲＰＭ１  第１中間基準画像
ＲＰＭ２  第２中間基準画像
ＳＴ１  基準軌道情報
ＴＥ１  第１端
ＴＥ２  第２端
Ｗ  基板
Ｗ１  登録画面
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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