(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のリソースを備えた基板処理装置により、各リソースを使用しながら基板に対する処理を施すにあたり、各々のリソースを使用するタイミングを実際に基板に対する処理を行なう前に作成する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
（ａ）スケジュールを作成する過程と、
（ｂ）スケジュール作成に要したスケジュール作成時間と基準時間とを比較し、スケジュール作成時間が基準時間を越えているか否かを判断する過程と、
（ｃ）前記（ｂ）過程においてスケジュール作成時間が基準時間を越えている場合には、基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間とする過程と、
（ｄ）前記（ｂ）過程でスケジュール作成時間が基準時間内となるまで前記（ａ）過程から再び実行する過程と、
を含むことを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記（ｂ）過程でスケジュール作成時間が基準時間内となった場合には、基準時間の経過時点で前記（ａ）過程で作成されたスケジュールに基づき基板の処理を開始することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記（ｃ）過程における所定の時間を最初の基準時間とすることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項４】
複数個のリソースを備えた基板処理装置により、各リソースを使用しながら基板に対する処理を施すにあたり、各々のリソースを使用するタイミングを実際に基板に対する処理を行なう前に作成する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
（ａ）スケジュールを作成する処理と、
（ｂ）スケジュール作成に要したスケジュール作成時間と基準時間とを比較し、スケジュール作成時間が基準時間を越えているか否かを判断する処理と、
（ｃ）前記（ｂ）過程においてスケジュール作成時間が基準時間を越えている場合には、基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間とする処理と、
（ｄ）前記（ｂ）処理でスケジュール作成時間が基準時間内となるまで前記（ａ）処理から再び実行する処理と、
を含ませるようにコンピュータを制御することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）に所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムに係り、特にリソースの使用タイミングを決定してタイムテーブルを予め作成するスケジューリング技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の方法では、複数枚の基板をカセットが載置台に載置され、スタートボタンがオペレータによって押下された時点でスケジューリングが開始され、リソースの使用タイミングを規定したタイムテーブルが作成された後に、そのタイムテーブルのスケジュールに従って処理が行なわれる。当然のことながら、スケジューリングを行なっている間にも時間が経過してゆくので、複雑なレシピであったりリソースの競合などがあったりするとスケジュール作成に時間がかかることになる。
【０００３】
そのような場合には、スケジュールが完了した時点で既にスケジュールされた時刻を過ぎているといった事態が生じ得るので、スケジュールに要した時間と基準時間とを比較して、基準時間内であるか否かによって作成したスケジュールの実行可否を決めている。なお、この基準時間には、スケジュール作成に要する時間に対して余裕のある基準時間（例えば３０秒程度の長い時間）が固定的に設定されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の方法は基準時間が固定されているので、スケジュールが短時間で完了したとしても、基準時間が経過するまではスケジュールが実行されない。そのためスケジュールが完了しているにも関わらず装置が処理を開始せず、基板処理装置の稼働率が低下するという問題がある。
【０００５】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、スケジュール作成時間に応じて基準時間を可変することによって、作成したスケジュールによる処理に素早く移行できて稼働率を向上することができる基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、複数個のリソースを備えた基板処理装置により、各リソースを使用しながら基板に対する処理を施すにあたり、各々のリソースを使用するタイミングを実際に基板に対する処理を行なう前に作成する基板処理装置のスケジュール作成方法において、（ａ）スケジュールを作成する過程と、（ｂ）スケジュール作成に要したスケジュール作成時間と基準時間とを比較し、スケジュール作成時間が基準時間を越えているか否かを判断する過程と、（ｃ）前記（ｂ）過程においてスケジュール作成時間が基準時間を越えている場合には、基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間とする過程と、（ｄ）前記（ｂ）過程でスケジュール作成時間が基準時間内となるまで前記（ａ）過程から再び実行する過程と、を含むことを特徴とするものである。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記（ｂ）過程でスケジュール作成時間が基準時間内となった場合には、基準時間の経過時点で前記（ａ）過程で作成されたスケジュールに基づき基板の処理を開始することを特徴とするものである。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記（ｃ）過程における所定の時間を最初の基準時間とすることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、複数個のリソースを備えた基板処理装置により、各リソースを使用しながら基板に対する処理を施すにあたり、各々のリソースを使用するタイミングを実際に基板に対する処理を行なう前に作成する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、（ａ）スケジュールを作成する処理と、（ｂ）スケジュール作成に要したスケジュール作成時間と基準時間とを比較し、スケジュール作成時間が基準時間を越えているか否かを判断する処理と、（ｃ）前記（ｂ）過程においてスケジュール作成時間が基準時間を越えている場合には、基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間とする処理と、（ｄ）前記（ｂ）処理でスケジュール作成時間が基準時間内となるまで前記（ａ）処理から再び実行する処理と、を含ませるようにコンピュータを制御することを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
すなわち、スケジュール作成時間と基準時間とを比較し、基準時間を越えている場合には基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間とし、スケジュールの作成が基準時間内でできるまでスケジューリングを繰り返す。したがって、基準時間内におけるスケジュールに失敗する場合には、基準時間が徐々に延長される。一方、短時間でスケジュールが完了した場合には、スケジュール作成開始から短い基準時間後に処理が開始される。
【００１１】
なお、リソースとは、例えば、基板を搬送する搬送機構、基板を洗浄する純水洗浄処理部、薬液を含んだ処理液で基板を洗浄する薬液処理部、基板を加熱する加熱処理部などを含むものである。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、基準時間内でスケジュール作成が完了した場合には、基準時間が経過した時点でスケジュールに基づく基板に対する実際の処理を開始する。
【００１３】
請求項３に記載の発明によれば、基準時間に加算する所定の時間を最初の基準時間とする。これによりスケジュールに失敗すると、新たな基準時間が最初の基準時間の整数倍にされて延長されてゆく。
【００１４】
請求項４に記載の発明によれば、プログラムとして上記の請求項１と同様の作用を生じる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
図１及び図２はこの発明の一実施例に係り、図１は実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図２はそのブロック図である。
【００１６】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理及び純水洗浄処理及び乾燥処理を施すための装置である。基板Ｗは複数枚（例えば２５枚）がカセット１に対して起立姿勢で収納されている。未処理の基板Ｗを収納したカセット１は、投入部３に載置される。投入部３は、カセット１を載置される載置台５を二つ備えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済みの基板Ｗをカセット１に収納してカセット１ごと払い出す。このように機能する払出部７は、投入部３と同様に、カセット１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００１７】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構１１が配置されている。第１搬送機構１１は、投入部３に載置されたカセット１ごと複数枚の基板Ｗを第２搬送機構１３に対して搬送する。
【００１８】
第２搬送機構１３は、収納されている全ての基板Ｗをカセット１から取り出した後、第３搬送機構１５に対して全ての基板Ｗを搬送する。また、第３搬送機構１５から処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板Ｗをカセット１に収容して第１搬送機構１１に搬送する。
【００１９】
第３搬送機構１５は、基板処理装置の長手方向に向けて移動可能に構成されており、上述した第２搬送機構１３との間で基板Ｗの受け渡しを行なう。上記第３搬送機構１５の移動方向における最も手前側には、乾燥処理部１７が配備されている。この乾燥処理装置１７は、例えば、低圧のチャンバ内に基板Ｗを収納して乾燥させる。
【００２０】
第３搬送機構１５の移動方向であって上記乾燥処理部１７に隣接する位置には、第１処理部１９が配備されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部２１を備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して薬液処理を施すための薬液処理部２３を備えている。
【００２１】
第１副搬送機構２５は、第１処理部１９内での基板搬送の他に、第３搬送機構１５との間で基板Ｗを受け渡しする。純水洗浄処理部２１の上方に位置する非処理位置では、第３搬送機構１５との間で基板Ｗを受け渡す動作が行なわれる一方、薬液処理部２３の上方に位置する非処理位置では、基板Ｗの受け渡しは行なわれない。また、基板Ｗを処理する際には、純水洗浄処理部２１や薬液処理部２３の槽内に位置する処理位置にまで下降する。第２副搬送機構５３は、上記の第１副搬送機構２５と同様の機能を有し、純水洗浄処理部４９と薬液処理部５１を備えた第２処理部４７内での基板搬送等を行なう。
【００２２】
第１搬送機構１１と第２搬送機構１３に隣接する位置には、バッファ装置７１が配備されている。このバッファ装置７１は、第２搬送機構１３と基板Ｗを受け渡しする機能を備え、スケジュールの対象外となった複数枚の基板Ｗ（以下、ロットと称する）を一時的に収容する。そして、そのロットがスケジュールの対象となった時点で第２搬送機構１３によって受け取られて搬送される。
【００２３】
上記のように構成されている基板処理装置は、図２のブロック図に示すように制御部７３によって統括的に制御される。
【００２４】
制御部７３は、ＣＰＵなどから構成されており、以下に説明するスケジュール作成プログラムに相当する手順に基づき、レシピに応じて上述した薬液処理部２３，５１などの各リソースの使用タイミングを、ロットに対する処理を実際に開始する前に予め決定する。その後、実際にロットを処理するにあたり、作成されたスケジュールに基づき各リソースを使用してレシピに応じた処理をロットに対して施す。
【００２５】
記憶部７５には、この基板処理装置のユーザによって予め作成され、ロットをどのようにして処理するかを規定した複数種類のレシピと、スケジュール作成プログラムと、作成されたスケジュールと、スケジュールを実行する処理プログラム等が予め格納されている。
【００２６】
図３のフローチャート及び図４並びに図５に示すタイムチャートを参照しながらスケジュール作成プログラムに相当する手順について説明する。なお、理解を容易にするために一部を省略して簡略化したレシピを例に採って説明する。
【００２７】
その具体的なレシピは、第２搬送機構１３でロットを純水洗浄処理部２１に搬送し、ここで洗浄処理を施した後、薬液処理部２３に基板を搬送して薬液処理を施す。その後、純水洗浄処理部２１に再度基板を搬送して、純水洗浄を行なった後、乾燥処理部１７で乾燥処理を施してから第２搬送機構１３で搬送するというものである。
【００２８】
なお、本実施例では、スケジュール作成に要する時間の目安である基準時間をＴRとし、この基準時間ＴRが図４に示すように、ｔ０時間からｔａ時間までの時間間隔に設定されているものとする。
【００２９】
ステップＳ１
オペレータがロットを収容したカセット１を載置台５に載置し、さらにレシピを選択指示するとともに図示しないスタートボタンを押下する。すると、制御部７３は、そのロットについてスケジュールの作成を開始する。なお、スケジュール作成の開始時点は、図４のｔ０時点であるとする。
【００３０】
ステップＳ２
制御部７３は、本ロットのレシピに基づき、他のロットの状況やリソースの競合などを考慮しながら、ステップＳ１０の処理工程を第２搬送機構１３に配置し、ステップＳ１１の処理工程を純水洗浄処理部２１に配置するなどして、ステップＳ１５の処理工程まで順に各リソースの使用タイミングを決定する。
【００３１】
これにより、例えば、図４のタイムチャート中に示すｔａ時間以降のステップＳ１０〜Ｓ１５のように使用タイミングが決定されたとする（ステップＳ３）。また、スケジュールの作成は、例えば、ｔ０時点からＴC1時間経過したｔ１時点で完了したものとする。つまり、時間ＴC1がスケジュール作成時間である。
【００３２】
ステップＳ４
スケジュール作成時間ＴC1と基準時間ＴRとを比較して、スケジュール作成時間ＴC1が基準時間ＴR以内であればステップＳ６に移行し、作成した上記のスケジュールを確定し、このスケジュールを記憶部７５に対して書き込む。そして、現在の時間ｔ１から時間ｔａまでの短い待ち時間ＴW1が経過した後に、制御部７３によりスケジュールに基づいた実際の処理が行なわれる。
【００３３】
なお、従来例では、ｔ０時間からｔｂ時間までのように十分に長い基準時間ＴR0（例えば、３０秒程度）に設定されているので、基準時間ＴR0とスケジュール作成時間ＴC1との差分である、時間ｔ１から時間ｔｂまでの時間ＴW2が待ち時間となる。したがって、上述した待ち時間ＴW1よりも待機する時間が長くなることが分かる。
【００３４】
次に、上記のステップＳ４における比較の結果、スケジュール作成時間ＴC1が基準時間ＴRを超える場合について、図５のタイムチャートを参照しながら説明する。
【００３５】
この場合には、スケジュール作成時間をＴC2とし、ステップＳ２０からＳ２５までの処理工程を配置し終えた時点を、ｔ０時点からスケジュール作成時間ＴC2が経過したｔ１時点とする。するとスケジュール作成時間ＴC2が基準時間ＴRを越えていることになり、図３のステップＳ４からステップＳ５に分岐する。
【００３６】
ステップＳ５
現在の基準時間ＴRではスケジュール作成が間に合わなかったので、基準時間ＴRを延長する。ここでは新たな基準時間ＴR´を、元の基準時間ＴRに対して所定の時間ＴS、例えば、最初の基準時間ＴRを加算したものとする。そして、ステップＳ２に戻って再びスケジューリング作成を行ない、ステップＳ４でスケジュール作成時間ＴC2が新たな基準時間ＴR´以内となるまで繰り返す。
【００３７】
なお、上記の基準時間ＴRはレシピ等によって適宜に設定されるものであるが、例えば、７秒あるいは１０秒程度であり、所定の時間ＴSはそれとほぼ同じ値が例示される。
【００３８】
また、上述したステップＳ２が本発明における（ａ）過程に相当し、ステップＳ４が（ｂ）過程に相当し、ステップＳ５が（ｃ）過程に相当し、ステップＳ２ないしＳ４が（ｄ）に相当する。
【００３９】
上記のように新たな基準時間ＴR´を設定した後、再びスケジューリングを行なった場合に、スケジュール作成時間が先のものと同じＴC2であったとする。すると、スケジュールはｔ３時間に完了し、時間ｔ３からの待ち時間ＴW3が経過するｔ５時点でスケジュールに基づく処理が開始される。
【００４０】
このようにスケジュール作成時間ＴCと基準時間ＴRとを比較し、基準時間ＴRを越えている場合には基準時間ＴRに基準時間ＴR（所定の時間ＴS）を加算し、スケジュールの作成が基準時間ＴR内でできるまでスケジューリングを繰り返す。したがって、基準時間ＴR内におけるスケジュールに失敗する場合には基準時間ＴRが徐々に延長される一方、短時間でスケジュールが完了した場合には短い基準時間ＴR後に処理が開始される。その結果、作成したスケジュールによる処理に迅速に移行することができ、基板処理装置の稼働率を高めることができるようになっている。
【００４１】
なお、上記の説明では、基準時間ＴRに加算する所定の時間を最初の基準時間ＴRとすることで、スケジュールに失敗するたびに基準時間ＴRが最初の基準時間ＴRの整数倍にされて延長されるようにしている。このような延長の仕方に代えて、例えば、基準時間ＴRの半分を加算するようにしたり、基準時間ＴRとは何ら関連のない定数を加算したり、スケジューリングに失敗した際のリソースの競合状態に応じて加算する時間を可変したりするようにしてもよい。
【００４２】
また、上記の説明では単一のロットを処理するものとして説明しているが、複数のロットを並行して処理する場合であって本発明においてスケジュールする方法としては、次のようなものが好適である。
【００４３】
なお、以下の方法における処理工程とは、上述した純水洗浄処理部２１における洗浄処理や薬液処理部５１における薬液処理であり、またそれらを一連の処理として扱うブロックとした場合も含む。
【００４４】
すなわち、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置するのである。
【００４５】
この方法によれば、予めスケジュールすることで前の処理工程の後作業と、その後の処理工程の前作業とを重複させて配置することができるとともに、配置可能な処理工程のうち前の処理工程が早く終わるロットの処理工程を次の処理工程として選択して配置することで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮することができる。したがって、基板処理装置の処理部を有効利用することができるので、待機時間を抑制して稼働率を向上することができる。
【００４６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、スケジュール作成時間と基準時間とを比較し、基準時間を越えている場合には基準時間に所定の時間を加算して新たな基準時間とし、スケジュールの作成が基準時間内でできるまでスケジューリングを繰り返す。したがって、基準時間内におけるスケジュールに失敗する場合には基準時間が徐々に延長される一方、短時間でスケジュールが完了した場合には短い基準時間後に処理が開始される。その結果、作成したスケジュールによる処理に迅速に移行することができ、基板処理装置の稼働率を高めることができる。
【００４７】
請求項２に記載の発明によれば、基準時間内でスケジュール作成が完了した場合には、基準時間が経過した時点でスケジュールを開始して、基板に対して実際の処理を施す。
【００４８】
請求項３に記載の発明によれば、新たな基準時間として基準時間に加算する所定の時間を最初の基準時間とすることで、スケジュールに失敗するたびに新たな基準時間が最初の基準時間の整数倍にされて延長されるようにできる。
【００４９】
請求項４に記載の発明によれば、プログラムとして上記の請求項１と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【図３】スケジュール作成の流れを示すフローチャートである。
【図４】スケジュール例の一部を示すタイムチャートである。
【図５】スケジュール例の一部を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
Ｗ  …  基板
１  …  カセット
３  …  投入部
５  …  載置台
１１  …  第１搬送機構
１３  …  第２搬送機構
１５  …  第３搬送機構
１７  …  乾燥処理部
１９  …  第１処理部
２１  …  純水洗浄処理部
２３  …  薬液処理部
２５  …  第１副搬送機構
４７  …  第２処理部
４９  …  純水洗浄処理部
５１  …  薬液処理部
５３  …  第１副搬送機構
７１  …  バッファ装置
７３  …  制御部
ＴＲ  …  基準時間
ＴＲ´  …  基準時間
ＴS  …  所定の時間
ＴC1，ＴC2  …  スケジュール作成時間
ＴW1，ＴW2，ＴW3  …  待ち時間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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