(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイド孔が形成されたプローブガイドを有する本体ベースに着脱自在に設けられた測定プローブ装置において、
フレームと、
フレームに揺動自在に設けられた揺動アームと、
揺動アームに保持され、プローブガイドのガイド孔に進入する測定プローブと、
フレームのプローブガイド側に設けられ、測定プローブ先端を収容して保護する保護孔を有する保護ガイドとを備え、
測定プローブ装置を本体ベースから取外した場合に揺動アームが揺動して測定プローブ先端が保護ガイドの保護孔内に引込み、測定プローブ先端が保護ガイドにより保護され、測定プローブ装置を本体ベースに取付けた場合に揺動アームが揺動して測定プローブ先端が保護ガイドの保護孔からプローブガイドのガイド孔内に進入することを特徴とする測定プローブ装置。
【請求項２】
保護ガイドの保護孔は、プローブガイドのガイド孔内に向かって先細状に形成されていることを特徴とする請求項１記載の測定プローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はチップ状の電子部品の測定を行うための測定プローブを有する測定プローブ装置に係り、とりわけ分解時に測定プローブ先端を有効に保護することができる測定プローブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
チップ状の電子部品の電気的特性を測定するため、電子部品に測定プローブを接触させて測定することが行われている。
【０００３】
測定プローブは、測定プローブ装置に組み込まれており、測定プローブ装置はガイド孔が形成されたプローブガイドを有する本体ベースに着脱自在に取り付けられている。
【０００４】
このような測定プローブ装置はフレームと、フレームに揺動自在に設けられ測定プローブを保持する揺動アームとを有している。
【０００５】
このような測定プローブ装置は本体ベースに取り付けられ、測定プローブがプローブガイドのガイド孔内に挿入されて、揺動アームの揺動作用によりガイド孔から突出したり引込んだりするようになっている。
【０００６】
また測定プローブ装置は本体ベースから着脱可能となっており、測定プローブ装置を本体ベースに取り付ける際、測定プローブ先端が外方に露出していると、この測定プローブ先端が破損することがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、測定プローブ装置は本体ベースから着脱自在となっているが、測定プローブ装置を本体ベースに取り付ける際、測定プローブ先端が他の部品に当接することが考えられる。測定プローブ先端は非常に細くてもろいため、他の部品に当接すると容易に破損してしまう。
【０００８】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、本体ベースに測定プローブ装置を取り付ける際、測定プローブ先端を確実に保護することができる測定プローブ装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ガイド孔が形成されたプローブガイドを有する本体ベースに着脱自在に設けられた測定プローブ装置において、フレームと、フレームに揺動自在に設けられた揺動アームと、揺動アームに保持され、プローブガイドのガイド孔に進入する測定プローブと、フレームのプローブガイド側に設けられ、測定プローブ先端を収容して保護する保護孔を有する保護ガイドとを備え、測定プローブ装置を本体ベースから取外した場合に揺動アームが揺動して測定プローブ先端が保護ガイドの保護孔内に引込み、測定プローブ先端が保護ガイドにより保持され、測定プローブ装置を本体ベースに取付けた場合に揺動アームが揺動して測定プローブ先端が保護ガイドの保護孔からプローブガイドのガイド孔内に進入することを特徴とする測定プローブ装置である。
【００１０】
本発明によれば、測定プローブ装置を本体ベースから取り外した場合に測定プローブ先端が保護ガイドの保護孔内へ引き込み、測定プローブ先端が保護ガイドにより保護され、測定プローブ装置を本体ベースに取り付けた場合に測定プローブ先端が保護ガイドの保護孔からプローブガイド孔内へ進入するので、測定プローブ装置の取り付けに際して測定プローブ先端が外方へ露出することはない。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１２】
図１乃至図６は、本発明による測定プローブ装置の一実施の形態を示す図である。
【００１３】
図１乃至図６に示すように、測定プローブ装置１０は、ガイド孔３が形成されたプローブガイド２を有する本体ベース１に着脱自在に取り付けられるようになっている。
【００１４】
また図示しないワークが本体ベース１のプローブガイド２上まで達すると、測定プローブ装置１０に組込まれた２本の測定プローブ２０が上方へ突出し、測定プローブ２０の先端がワークに接触して、ワークの電気的特性が測定プローブ２０により行われる。
【００１５】
次に本発明による測定プローブ装置１０につき、詳述する。図１乃至図６に示すように、測定プローブ装置１０は、本体ベース１に固定されるフレーム１１と、フレーム１１に支点１２ａを介して揺動自在に取り付けられた揺動アーム１２とを備え、２本の測定プローブ２０は揺動アーム１２の先端に保持されている。
【００１６】
この場合、測定プローブ２０は揺動アーム１２より上方部分が柔軟性を有し、容易に撓むことができるようになっている。また本体ベース１には上述のように、測定プローブ２０の先端を案内するプローブガイド２が設けられ、このプローブガイド２には測定プローブ２０の先端側が貫通するガイド孔３が形成されている。
【００１７】
揺動アーム１２は測定プローブ２０がプローブガイド２から上方へ突出する突出位置と、測定プローブ２０がプローブガイド２から下方へ後退する後退位置との間で揺動可能となっている。
【００１８】
またフレーム１１には電磁コイル１９が固着され、一方、揺動アーム１２には電磁コイル１９の通電時に電磁コイル１９に吸着される吸着板１７が固着され、これら電磁コイル１９と吸着板１７とにより、揺動アーム１２を突出位置まで駆動する駆動機構が構成されている。この場合、吸着板１７と電磁コイル１９とが当接した位置が、揺動アーム１２の突出位置となる。
【００１９】
またフレーム１１には、ブッシュ１４が摺動自在に設けられ、このブッシュ１４は固定スプリング１３により揺動アーム１２側へ付勢されている。またブッシュ１４には調整ねじ１６が取り付けられ、この調整ねじ１６によりダンパ１５が保持されている。また調整ねじ１６の外周には、ブッシュ１４と揺動アーム１２との間に位置するリターンスプリング２１が取り付けられている。このリターンスプリング２１は揺動アーム１２を後退位置まで駆動する駆動機構を構成する。揺動アーム１２の後退位置はダンパ１５によって規制されるが、調整ねじ１６をブッシュ１４に対して締め込んだり緩めることにより、ダンパ１５の位置は可変となっている。
【００２０】
さらに、フレーム１１には、揺動アーム１２側へ移動するブッシュ１４の動きを規制するストッパ２９が設けられている。
【００２１】
また測定プローブ２０の先端側において、フレーム１１にはフレーム１１とプローブガイド２との間に位置する保護ガイド２２が設けられている。この保護ガイド２２には、測定プローブ２０先端を収容して保護する保護孔２２ａが形成されている。
【００２２】
測定プローブ装置１０は本体ベース１に対して着脱自在となっており、測定プローブ装置１０を本体ベース１から取り外した場合に、測定プローブ２０先端が保護ガイド２２の保護孔２２ａ内に引込み、測定プローブ２０先端が保護ガイド２２により保護される。
【００２３】
なお、測定プローブ装置１０のフレーム１１は、固定ボルト１８を本体ベース１を貫通してブッシュ１４内に挿着することにより本体ベース１に固定される。
【００２４】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。まず図５により測定プローブ装置１０が本体ベース１から取外された状態を示す。この場合、固定ボルト１８が本体ベース１およびブッシュ１４から引抜かれ、これによりブッシュ１４は固定スプリング１３により下方へ付勢され、ストッパ２９に当接して停止する。
【００２５】
また電磁コイル１９は無通電状態となっているので、揺動アーム１２はリターンスプリング２１の作用によりダンパ１５側へ押付けられる。このとき測定プローブ２０先端は保護ガイド２２の保護孔２２ａ内に引込み、このようにして測定プローブ２０先端は保護ガイド２２により保護される。
【００２６】
次に図６に示すように、測定プローブ装置１０が本体ベース１に取り付けられる。この場合、固定ボルト１８が本体ベース１を貫通してブッシュ１４内へ挿着され、固定ボルト１８をブッシュ１４内に締め込むことにより本体ベース１に対して測定プローブ１０が取り付けられる。
【００２７】
このように本体ベース１に測定プローブ装置１０を取り付けることにより、測定プローブ２０の先端は、図４に示す保護ガイド２２の保護孔２２ａ内から、図３に示すプローブガイド２のガイド孔３内に進入する。
【００２８】
図３および図４に示すように、保護ガイド２２の保護孔２２ａ内は、プローブガイド２のガイド孔３に向かって先細状に形成されている。このため保護ガイド２２の保護孔２２ａ内に配置されていた測定プローブ２０の先端を、スムースにプローブガイド２のガイド孔３へ導くことができる。
【００２９】
また、プローブガイド２のガイド孔３も、外方へ向かって先細状に形成されている。
【００３０】
上述のように本体ベース１に測定プローブ装置１０を取り付ける際、測定プローブ２０の先端は保護ガイド２２により保護されるので、測定プローブ２０の先端が他の部品に当接して破損したりすることはない。このため測定プローブ装置１０の取付時において、測定プローブ２０を確実に保護することができる。
【００３１】
次に測定プローブ装置１０を本体ベース１に取り付けた後の作用について説明する。
【００３２】
まずワークがプローブガイド２の上方まで達する。この場合、電磁コイル１９は無通電状態となっており、揺動アーム１２はリターンスプリング２１の作用によりダンパ１５側へ押付けられ揺動アーム１２は後退位置にある。すなわち測定プローブ２０の先端はプローブガイド２から突出しない（図３参照）。
【００３３】
次にワークの電気的特性を測定プローブ２０により測定する場合、電磁コイル１９が通電され、これにより電磁コイル１９に吸着板１７が吸着されて、揺動アーム１２は突出位置、すなわち測定プローブ２０の先端がプローブガイド１８から突出する突出位置まで揺動する。
【００３４】
この場合、測定プローブ２０は円弧軌道を描いて上方へ移動するが、測定プローブ２０の先端はプローブガイド２により案内されて真上へ上昇することができる。また、円弧軌道を描く測定プローブ２０の横方向の動きは、測定プローブ２０の撓みにより吸収される。
【００３５】
揺動アーム１２が突出位置までくると、測定プローブ２０のワークに対する測定作業が開始される。
【００３６】
測定プローブ２０によるワークに対する電気的測定が終了した後、電磁コイル１９は無通電状態となり、揺動アーム１２はリターンスプリング２１の作用により後退位置まで戻る。
【００３７】
以上のように本実施の形態によれば、本体ベース１に測定プローブ装置１０を取り付ける際、測定プローブ２０の先端は保護ガイド２２により保護されるので、測定プローブ２０の先端を確実に保護して測定プローブの破損を防止することができる。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、測定プローブ装置を本体ベースに取り付ける際、測定プローブ先端が外方へ露出することはないので、この取り付けに当たって測定プローブ先端が他の部品に当接して破損することはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による測定プローブ装置の一実施の形態を示す図。
【図２】図１の矢印Ａ線方向断面図。
【図３】図１のＢ部拡大図であって測定プローブがプローブガイド内にある状態を示す図。
【図４】図１のＢ部拡大図であって測定プローブが保護ガイド内にある状態を示す図。
【図５】測定プローブ装置を本体ベースから取り外した状態を示す図。
【図６】測定プローブ装置を本体ベースに取り付ける状態を示す図。
【符号の説明】
１  本体ベース
２  プローブガイド
３  ガイド孔
１０  測定プローブ装置
１１  フレーム
１２  揺動アーム
１２ａ  支点
１３  固定スプリング
１４  ブッシュ
１５  ダンパ
１６  調整ねじ
１７  吸着板
１８  固定ボルト
１９  電磁コイル
２０  測定プローブ
２１  リターンスプリング
２２  保護ガイド
２２ａ  保護孔
２９  ストッパ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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