(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
低アウトガスクリーンルームの構築方法において、コンクリート成形型枠組立時に、型枠内面に高密度ポリオレフィン系のアウトガスシール性のシートを定着し、次いでフレッシュコンクリートを投入して打設、養生した後、型枠を脱型することにより、硬化コンクリート表面に高密度ポリオレフィン系のアウトガスシール性のシートが貼付されたコンクリート内壁面を形成することを特徴とする低アウトガスクリーンルームの構築方法。
【請求項２】
高密度ポリオレフィン系のアウトガスシール性のシートが、アウトガス分解性の光触媒を含むものであることを特徴とする請求項１記載の低アウトガスクリーンルームの構築方法。
【請求項３】
高密度ポリオレフィン系のアウトガスシール性のシートが、内面に多数の突出部を備えてなるものであることを特徴とする請求項１又は２に記載の低アウトガスクリーンルームの構築方法。
【請求項４】
低アウトガスクリーンルームの構造において、コンクリート構造物表面に、内面に多数の突出部を備えた高密度ポリオレフィン系のアウトガスシール性のシートが、内面の多数の突出部が嵌入した状態で貼付されてなるコンクリート内壁面を有することを特徴とする低アウトガスクリーンルーム。
【請求項５】
高密度ポリオレフィン系のアウトガスシール性のシートが、アウトガス分解性の光触媒を含むものであることを特徴とする請求項４に記載の低アウトガスクリーンルーム。
【請求項６】
アウトガス分解性の触媒が、アナターゼ型二酸化チタンであることを特徴とする請求項４又は５に記載の低アウトガスクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルームの構築方法及びクリーンルームの構造に関するものであり、特に優れたアウトガスシール性を発揮する低アウトガスクリーンルームを簡単な構築手段で提供できる低アウトガスクリーンルームの構築方法及びそうして構成された低アウトガスクリーンルームに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
近年の半導体デバイスの高集積化に伴い、その製造・処理作業用のクリーンルームにおいては、作業雰囲気中に浮遊する微細粒子のみでなくガス状汚染物質の低減が重要となっている。
ガス状汚染物質としては、例えば、有機系ガス、アンモニアガス、ＮＯｘガス、ＳＯｘガス、あるいはシロキサンガスなどが挙げられるが、ある種の有機系ガスはシリコンウェハー上に吸着しＳｉＣを生成し、またアンモニアはフォトレジストと反応し、これらによってデバイスの回路製造に悪影響を与える。
さらに、昨今アンモニアガスが絵画を変色する（使用されるアマニ油がアンモニアによって黄変されるため）ことが問題視され、美術館、収蔵庫等建造物のアンモニア対策が要請されている。
【０００３】
これらの有害ガスはクリーンルームや建造物の構成材料からアウトガスとして放出されるが、最近、その放出を抑制する試みが行われつつある。
例えば、躯体コンクリート等構成材料表面を緻密な膜で塗装して密閉したり、構成材料表面をアウトガスを特異的に吸着するシートで覆う等によって、アウトガスを封じ込める検討が行われている。
しかし前記手段のうち、塗料（塗床材を含む）の塗装仕上げでは、施工時の環境や施工者の技能に大きく影響される等の欠点がある。
また、シート被覆においては施工環境や施工者の技能に影響されることは少ないが、躯体コンクリート表面からの剥離事故や躯体コンクリート表面に塗布されるプライマー、接着剤等の種類によってカビの発生やアウトガスの発生の可能性もある。さらに、一般的に使用される塩化ビニルシートでは添加剤（可塑剤）に由来する多量のアウトガスの発生が懸念される。
そして、コンクリート構造のクリーンルームでは、コンクリート打設後の工事となるため、適切な養生期間を置かないと施工ができず、その結果工期が長くなる等の問題点がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記課題を解決すべくなされたものであり、下記構成の発明である。
（１）低アウトガスクリーンルームの構築方法において、コンクリート成形型枠組立時に、型枠内面に高密度ポリオレフィン系のアウトガスシール性のシートを定着し、次いでフレッシュコンクリートを投入して打設、養生した後、型枠を脱型することにより、硬化コンクリート表面に高密度ポリオレフィン系のアウトガスシール性のシートが貼付されたコンクリート内壁面を形成することを特徴とする低アウトガスクリーンルームの構築方法。
（２）高密度ポリオレフィン系のアウトガスシール性のシートが、アウトガス分解性の光触媒を含むものであることを特徴とする前記（１）項に記載の低アウトガスクリーンルームの構築方法。
（３）高密度ポリオレフィン系のアウトガスシール性のシートが、内面に多数の突出部を備えてなるものであることを特徴とする前記（１）又は（２）項に記載の低アウトガスクリーンルームの構築方法。
（４）低アウトガスクリーンルームの構造において、コンクリート構造物表面に、内面に多数の突出部を備えた高密度ポリオレフィン系のアウトガスシール性のシートが、内面の多数の突出部が嵌入した状態で貼付されてなるコンクリート内壁面を有することを特徴とする低アウトガスクリーンルーム。
（５）高密度ポリオレフィン系のアウトガスシール性のシートが、アウトガス分解性の光触媒を含むものであることを特徴とする前記（４）項に記載の低アウトガスクリーンルーム。
（６）アウトガス分解性の触媒が、アナターゼ型二酸化チタンであることを特徴とする前記（４）又は（５）項に記載の低アウトガスクリーンルーム。
【０００５】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
まず、在来工法によるコンクリート構造の低アウトガスクリーンルームの構築方法では、図２にそのクリーンルームコンクリートの構築手順工程図を示すごとく、型枠１にセパレータ２を取り付けた後、その内部空間にフレッシュコンクリート４’を投入し、養生、硬化する。次いで、脱型された硬化コンクリート４の表面に、プライマー５を塗布した後、その表面にシート６を貼付することによって硬化コンクリート４表面にシート６の貼付施工が行われていた。
こうした、工法においては、養生、硬化したコンクリート４表面とシート６の間に、プライマー５が介在し、溶剤の揮発を伴う悪作業環境のプライマー処理工程を必要とすること及びプライマーからのアウトガスの発生の危険があることの問題があった。
【０００６】
一方、本発明の方法では、図１に示すごとく、「型枠裏張り型コンクリート養生工法」に準じた施工を行う。
すなわちまず、型枠１の内面にアウトガスシール性のシート３を定着し、セパレータ２を取り付けた後、その内部空間にフレッシュコンクリート４’を投入し、養生、硬化する。
次いで、型枠を脱型すると、硬化コンクリート４表面にアウトガスシール性のシート３が接合・貼付された状態となる。
これにより、アウトガスシール性のシート３が貼付された低アウトガスクリーンルーム用の硬化コンクリート４表面が形成される。
なお、図中ではアウトガスシール性のシート３の内面に多数の突出部（多数の棒状突起体）３’を突設したものを使用しており、それら突出部３’・・が打設フレッシュコンクリート表層に一種のアンカーとなって嵌入し、コンクリート硬化後に強固な接合構造を形成する。
また、図１においてはコンクリートの両面にアウトガスシール性のシートを貼付しているが、必要に応じて１面で、３面でも、あるいは全面でもよい。
以上により、型枠の脱型と同時に所要の低アウトガス性のほか、耐薬品性、耐摩耗性などを備えたクリーンルーム用の内装が仕上がる。
さらに、コンクリート表面のアウトガスシール性のシートの作用によって、型枠裏張り型コンクリート養生と同じ効果が得られ、表面構造が緻密なコンクリートとなる。
一般に、硬化コンクリートからはアンモニアが発生することが知られており、その発生量は表面構造が緻密なほど少ない。したがって、型枠裏面にアウトガスシール性のシート３を貼り付けることによって、コンクリートからのアンモニアの発生抑制効果も得られる。また、同時に細孔構造が緻密な高品質（高耐久性、高強度）な硬化コンクリート４となる。
【０００７】
また、アウトガスシール性のシート３は通気性のもの、例えば微細な凹凸部を有する織布、不織布あるいは通気孔等有するものであることも好ましく、そうした通気孔部等とコンクリート表面層との入り乱れた接触構造により、強固な接合構造が形成され、剥離し難いものとなる。そして、織布、不織布等通気性のアウトガスシール性のシート、特にアウトガス分解性の光触媒を含むものを使用した場合においては、コンクリートから発生するアウトガスも分解されて放出される利点があり、かつ表面が布目状のシートからなる美観の優れた内装面とすることもできる。
なお、アウトガスシール性のシート３，３同士のジョイントが必要な場合は、例えばアウトガスシール性のシート３，３の両接合端部を１５０℃程度に加熱して押圧する。又は、ベロクロファスナーで圧接接合することができる。
こうすると、シーリング材が不要となるため、シーリング材からのガス（例えばシロキサンガス）の発生が少なくなる。
【０００８】
アウトガスシール性のシート３の表面にはアウトガス分解性触媒を担持させることも好ましく、アウトガス分解性の光触媒としては、二酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化タングステン、酸化コバルト、酸化亜鉛等が挙げられるが、特にアナターゼ型二酸化チタンが好ましい。
特に、光触媒粉末をそのまま添加混合するのではなく、微小なマイクロカプセルの形にして混合・付着させることも好ましい。
マイクロカプセルの製造方法としては、各種周知の方法が採用できるが、特に界面反応法により製造されることが好ましく、該方法によればマイクロカプセルの壁体が極めて多孔質（例えば、表面積：５００ｍ２／ｇ程度）なものとなり、ガスの吸着や透過に有効となり光触媒との接触が良好となる。
特に、マイクロカプセルの壁材としては、シリカやケイ酸カルシウムのような薄膜で光の透過性の良いものがよい。
光触媒を含むマイクロカプセルは、アウトガスシール性のシート３に混入又は塗布される。
こうして設けられた光触媒を含むマイクロカプセルにアンモニアガス等のアウトガスが接触すると、光触媒（例えば、二酸化チタン）は、クリーンルーム等において例えば蛍光灯からの光照射（３８０ｎｍ以下の光が最適）の元で作用し、アンモニアガス等を分解する。
一般に、アンモニアガスは硝酸イオンを経て窒素ガスと酸素に分解され、有機物質は二酸化炭素と水に分解される。
マイクロカプセル表面に吸着されるアンモニア等のガス分子、あるいはカプセル壁を通過したガス分子は、マイクロカプセル内部又は壁材に保持された二酸化チタンと接触反応する。
【０００９】
【発明の効果】
本発明によれば、クリーンルームの内装工事において、コンクリートの型枠の脱型と同時に優れた低アウトガス性のほか、耐薬品性、耐摩耗性などを備えたクリーンルーム用の内装が仕上がる。これによって、施工労力の低減、施工環境の改善、工期の短縮、工事費の低減等が実現できる。また、アウトガス分解性アナターゼ型二酸化チタン光触媒を担持させたアウトガスシール性のシートを使用すれば、一層優れた低アウトガスクリーンルームが構築できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法に係るクリーンルームコンクリートの構築手順工程図。
【図２】従来法に係るクリーンルームコンクリートの構築手順工程図。
【符号の説明】
１：型枠，                        ２：セパレータ，
３：アウトガスシール性のシート，  ３’：突出部，
４：硬化コンクリート，            ４’：フレッシュコンクリート、
５：プライマー，                  ６：シート
【図１】
0003690457.tif 000002
【図２】
0003690457.tif 000003