(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行うに際して、交流溶接電流を通電したときに電磁力を加振源として発生するスポット溶接機の電極部分における断続的機械減衰振動の振幅値を検出すると共に、交流溶接電流と断続的機械減衰振動との位相差を検出し、振幅軸およびこれと直交する位相差軸で定められる二次元マップ上に良否判定の判定基準領域を設定して、検出した振幅値および位相差の二次元マップ上における位置に基づいてスポット溶接の良否判定を行うことを特徴とするスポット溶接のモニタリング方法。
【請求項２】
振幅軸に２個の振幅しきい値を設定すると共に位相差軸に１個の位相差しきい値を設定して、二次元マップ上に溶接良好領域，溶接不良注意領域，溶接不良領域および溶接通電不良領域の４つの判定基準領域を設定し、断続的機械減衰振動の振幅値および交流溶接電流と断続的機械減衰振動との位相差が二次元マップ上の溶接良好領域，溶接不良注意領域，溶接不良領域および溶接通電不良領域のうちのどこの領域に属するかによってスポット溶接の良否判定を行う請求項１に記載のスポット溶接のモニタリング方法。
【請求項３】
溶接開始時における初期振幅値および初期位相差に基づいて二次元マップの振幅軸および位相差軸を設定する請求項１または２に記載のスポット溶接のモニタリング方法。
【請求項４】
検出した断続的機械減衰振動の振幅値が予め設定した電極摩耗判定しきい値を越えた段階で電極摩耗と判定し、電極摩耗と判定した段階で摩耗電極の振幅変動幅よりも低くかつ新品電極時における振幅値よりも高い値に電極摩耗判定しきい値を変更する請求項１ないし３のいずれかに記載のスポット溶接のモニタリング方法。
【請求項５】
溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行うに際して、交流溶接電流を通電したときに電磁力を加振源として発生するスポット溶接機の電極部分における断続的機械減衰振動と交流溶接電流との位相差を検出して、前回分の位相差から今回分の位相差を減じて変化量を算出し、この算出した変化量が所定値以上でかつ極性が負の場合にのみその変化量を積算して、積算値が予め設定した良否判定しきい値を下回った場合に溶接不良と判定することを特徴とするスポット溶接のモニタリング方法。
【請求項６】
溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行うに際して、交流溶接電流を通電したときに電磁力を加振源として発生するスポット溶接機の電極部分における断続的機械減衰振動の振幅値を検出すると共に、断続的機械減衰振動の断続周期間の振動波形における正側振幅値を積分し且つその積分結果を最大正側振幅値および周期の積で除して断続的機械減衰振動の減衰量の指標としての減衰指標を算出して位相差に置換し、振幅軸およびこれと直交する位相差軸で定められる二次元マップ上に良否判定の判定基準領域を設定して、検出した振幅値および振動減衰指標から置換した位相差の二次元マップ上における位置に基づいてスポット溶接の良否判定を行うことを特徴とするスポット溶接のモニタリング方法。
【請求項７】
溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行うスポット溶接のモニタリング装置において、交流溶接電流を通電したときに電磁力を加振源として発生するスポット溶接機の電極部分における断続的機械減衰振動の振幅値を検出する振動振幅検出手段と、交流溶接電流と断続的機械減衰振動との位相差を検出する振動位相差検出手段と、良否判定の判定基準領域を振幅軸およびこれと直交する位相差軸で定められる二次元マップ上に設定する良否判定基準領域設定手段と、検出した振幅値および位相差の二次元マップ上における位置に基づいてスポット溶接の良否判定を行う溶接良否判定手段を備えたことを特徴とするスポット溶接のモニタリング装置。
【請求項８】
良否判定基準領域設定手段は、振幅軸に２個の振幅しきい値を設定すると共に位相差軸に１個の位相差しきい値を設定して、二次元マップ上に溶接良好領域，溶接不良注意領域，溶接不良領域および溶接通電不良領域の４つの判定基準領域を設定し、溶接良否判定手段は、振動振幅検出手段で検出した振幅値および振動位相差検出手段で検出した位相差が二次元マップ上の溶接良好領域，溶接不良注意領域，溶接不良領域および溶接通電不良領域のうちのどこの領域に属するかによってスポット溶接の良否判定を行う請求項７に記載のスポット溶接のモニタリング装置。
【請求項９】
二次元マップの振幅軸および位相差軸は、溶接開始時における初期振幅値および初期位相差に基づいて設定されている請求項７または８に記載のスポット溶接のモニタリング装置。
【請求項１０】
振動振幅検出手段が検出した断続的機械減衰振動の振幅値が予め設定した電極摩耗判定しきい値を越えた段階で電極摩耗と判定する電極摩耗判定手段と、電極摩耗判定手段により電極摩耗と判定された段階で摩耗電極の振幅変動幅よりも低くかつ新品電極時における振幅値よりも高い値に電極摩耗判定しきい値を変更する判定しきい値調整手段を備えた請求項７ないし９のいずれかに記載のスポット溶接のモニタリング装置。
【請求項１１】
溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行うスポット溶接のモニタリング装置において、交流溶接電流を通電したときに電磁力を加振源として発生するスポット溶接機の電極部分における断続的機械減衰振動と交流溶接電流との位相差を検出する振動位相差検出手段と、この振動位相差検出手段が検出した前回分の位相差から今回分の位相差を減じた変化量を算出する位相変化量検出手段と、位相変化量検出手段が検出した変化量が所定値以上でかつ極性が負の場合にのみその変化量を積算する位相差変化量積算手段と、位相差変化量積算手段で積算した変化量が予め設定した良否判定しきい値を下回った場合に溶接不良と判定する溶接不良検出手段を備えたことを特徴とするスポット溶接のモニタリング装置。
【請求項１２】
溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行うスポット溶接のモニタリング装置において、交流溶接電流を通電したときに電磁力を加振源として発生するスポット溶接機の電極部分における断続的機械減衰振動の振幅値を検出する振動振幅検出手段と、断続的機械減衰振動の断続周期間の振動波形における正側振幅値を積分する振動振幅積分手段と、この振動振幅積分手段による積分結果を最大正側振幅値および周期の積で除して断続的機械減衰振動の減衰量の指標としての減衰指標を算出して位相差に置換する減衰指標算出手段と、良否判定の判定基準領域を振幅軸およびこれと直交する位相差軸で定められる二次元マップ上に設定する良否判定基準領域設定手段と、検出した振幅値および振動減衰指標から置換した位相差の二次元マップ上における位置に基づいてスポット溶接の良否判定を行う溶接良否判定手段を備えたことを特徴とするスポット溶接のモニタリング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種鋼板などの被溶接材を接合するスポット溶接において、その溶接状態の良否をインプロセスにて判定するのに用いられるスポット溶接のモニタリング方法およびモニタリング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
現在、鋼板を使用する種々の製品において、鋼板の溶接にはスポット溶接が広く利用されている。これらの製品において、従来では、被溶接材として軟鋼板を用いていたため、溶接不良も少なく、所定の溶接条件を管理することにより溶接品質を比較的安定して保つことが可能であった。ところが、近年では、被溶接材として、防錆性能を高めた溶融合金化亜鉛めっき鋼板などの難溶接材が主に用いられるようになり、これに伴ってスポット溶接機の電極チップの摩耗などに起因する溶接不良が発生することから、溶接品質の管理が難しいという問題が生じている。そのため、スポット溶接に際しては、単に溶接条件を一定に管理するだけでなく、打点毎のナゲットの品質をも高精度で管理する必要が生じていた。
【０００３】
そこで、ナゲットの品質を管理するために様々なモニタリング装置が提案されており、例えば、とくに製造ラインにおいて要求の高い全溶接打点のインプロセスモニタリングに適応するものとして、溶接時の金属溶融状況に起因する振動現象に着目してスポット溶接の良否判定を行うモニタリング方法があった。（特願平１１−３５２７９０号および特願平１１−３５３９１５号）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行うスポット溶接のモニタリング方法において、スポット溶接機の形式や構造によっては、金属溶融状況に起因する振動がスポット溶接機の機械振動に埋もれて良否判定が困難になることがある。例えば、一般にＣ型ガンと呼ばれる鉤状のアームを備えたスポット溶接機では、アーム剛性が低いことから、通電に伴ってアーム部や電極チップへ作用する電磁力により引き起こされる機械振動の振幅が大きくなる。この機械振動は通電電流周波数の２倍の周波数に同期した減衰を伴う断続的な振動となる。このため、良否判定の評価対象となる振動が、すなわち、金属溶融状況に起因する振動がスポット溶接機の機械的な断続的振動に埋もれて良否の判定をくだすことが困難になる場合があるという問題を有しており、この問題を解決することが従来の課題となっていた。
【０００５】
【発明の目的】
本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされたもので、溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行う際に、例えば、Ｃ型ガンのような低剛性の交流スポット溶接機であったとしても、安定したスポット溶接の良否判定を行うことができるスポット溶接のモニタリング方法およびモニタリング装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係わるスポット溶接のモニタリング方法は、溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行うに際して、交流溶接電流を通電したときに電磁力を加振源として発生するスポット溶接機の電極部分における断続的機械減衰振動の振幅値を検出すると共に、交流溶接電流と断続的機械減衰振動との位相差を検出し、振幅軸およびこれと直交する位相差軸で定められる二次元マップ上に良否判定の判定基準領域を設定して、検出した振幅値および位相差の二次元マップ上における位置に基づいてスポット溶接の良否判定を行う構成としており、上記構成をもって従来の課題を解決するための手段としている。
【０００７】
本発明の請求項２に係わるスポット溶接のモニタリング装置は、振幅軸に２個の振幅しきい値を設定すると共に位相差軸に１個の位相差しきい値を設定して、二次元マップ上に溶接良好領域，溶接不良注意領域，溶接不良領域および溶接通電不良領域の４つの判定基準領域を設定し、断続的機械減衰振動の振幅値および交流溶接電流と断続的機械減衰振動との位相差が二次元マップ上の溶接良好領域，溶接不良注意領域，溶接不良領域および溶接通電不良領域のうちのどこの領域に属するかによってスポット溶接の良否判定を行うことを特徴としている。
【０００８】
本発明の請求項３に係わるスポット溶接のモニタリング方法は、溶接開始時における初期振幅値および初期位相差に基づいて二次元マップの振幅軸および位相差軸を設定することを特徴としている。
【０００９】
本発明の請求項４に係わるスポット溶接のモニタリング方法は、検出した断続的機械減衰振動の振幅値が予め設定した電極摩耗判定しきい値を越えた段階で電極摩耗と判定し、電極摩耗と判定した段階で摩耗電極の振幅変動幅よりも低くかつ新品電極時における振幅値よりも高い値に電極摩耗判定しきい値を変更することを特徴としている。
【００１０】
本発明の請求項５に係わるスポット溶接のモニタリング方法は、溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行うに際して、交流溶接電流を通電したときに電磁力を加振源として発生するスポット溶接機の電極部分における断続的機械減衰振動と交流溶接電流との位相差を検出して、前回分の位相差から今回分の位相差を減じて変化量を算出し、この算出した変化量が所定値以上でかつ極性が負の場合にのみその変化量を積算して、積算値が予め設定した良否判定しきい値を下回った場合に溶接不良と判定することを特徴としている。
【００１１】
本発明の請求項６に係わるスポット溶接のモニタリング方法は、溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行うに際して、交流溶接電流を通電したときに電磁力を加振源として発生するスポット溶接機の電極部分における断続的機械減衰振動の振幅値を検出すると共に、断続的機械減衰振動の断続周期間の振動波形における正側振幅値を積分し且つその積分結果を最大正側振幅値および周期の積で除して断続的機械減衰振動の減衰量の指標としての減衰指標を算出して位相差に置換し、振幅軸およびこれと直交する位相差軸で定められる二次元マップ上に良否判定の判定基準領域を設定して、検出した振幅値および振動減衰指標から置換した位相差の二次元マップ上における位置に基づいてスポット溶接の良否判定を行うことを特徴としている。
【００１２】
一方、本発明の請求項７に係わるスポット溶接のモニタリング装置は、重ね合わせた被溶接材（鋼板）同士を一対の電極チップで加圧しつつ両電極チップに交流溶接電流を通電して、抵抗加熱により両被溶接材同士を溶接するスポット溶接において、電極チップあるいはその近傍のガンアームに取り付けられて溶接中に発生する振動を検出する振動センサと、この振動センサが検出したスポット溶接機の電極部分における断続的機械減衰振動の振幅値を検出する振動振幅検出手段と、交流溶接電流と断続的機械減衰振動との位相差（遅れ時間）を検出する振動位相差検出手段と、良否判定の判定基準領域を振幅軸およびこれと直交する位相差軸で定められる二次元マップ上に設定する良否判定基準領域設定手段と、検出した振幅値および位相差を二次元マップに照らし合わせてスポット溶接箇所に形成されるナゲットの良否を判定する溶接良否判定手段を備えた構成としており、このスポット溶接のモニタリング装置の構成を前述した従来の課題を解決するための手段としている。
【００１３】
本発明の請求項８に係わるスポット溶接のモニタリング装置において、良否判定基準領域設定手段は、振幅軸に２個の振幅しきい値を設定すると共に位相差軸に１個の位相差しきい値を設定して、二次元マップ上に溶接良好領域，溶接不良注意領域，溶接不良領域および溶接通電不良領域の４つの判定基準領域を設定し、溶接良否判定手段は、振動振幅検出手段で検出した振幅値および振動位相差検出手段で検出した位相差が二次元マップ上の溶接良好領域，溶接不良注意領域，溶接不良領域および溶接通電不良領域のうちのどこの領域に属するかによってスポット溶接の良否判定を行う構成としたことを特徴としている。
【００１４】
本発明の請求項９に係わるスポット溶接のモニタリング装置において、二次元マップの振幅軸および位相差軸は、溶接開始時における初期振幅値および初期位相差に基づいて設定されている構成としたことを特徴としている。
【００１５】
本発明の請求項１０に係わるスポット溶接のモニタリング装置は、振動振幅検出手段が検出した断続的機械減衰振動の振幅値が予め設定した電極摩耗判定しきい値を越えた段階で電極摩耗と判定する電極摩耗判定手段と、電極摩耗判定手段により電極摩耗と判定された段階で摩耗電極の振幅変動幅よりも低くかつ新品電極時における振幅値よりも高い値に電極摩耗判定しきい値を変更する判定しきい値調整手段を備えた構成としたことを特徴としている。
【００１６】
本発明の請求項１１に係わるスポット溶接のモニタリング装置は、より簡便にナゲットの良否の判定を行うために、図１１に示すように、ナゲット径の減少｛Ｄｎ(１)からＤｎ(４）｝と位相差の変化｛Ｊｐ(１)からＪｐ(４)｝との間に相関関係があることに着目してなされたもので、交流溶接電流を通電したときに電磁力を加振源として発生するスポット溶接機の電極部分における断続的機械減衰振動と交流溶接電流との位相差を検出する振動位相差検出手段と、この振動位相差検出手段が検出した前回分の位相差から今回分の位相差を減じた変化量を算出する位相変化量検出手段と、位相変化量検出手段が検出した変化量が所定値以上でかつ極性が負の場合にのみその変化量を積算する位相差変化量積算手段と、位相差変化量積算手段で積算した変化量が予め設定した良否判定しきい値を下回った場合に溶接不良と判定する溶接不良検出手段を備えた構成としたことを特徴としている。
【００１７】
本発明の請求項１２に係わる発明は、溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行うスポット溶接のモニタリング装置において、交流溶接電流を通電したときに電磁力を加振源として発生するスポット溶接機の電極部分における断続的機械減衰振動の振幅値を検出する振動振幅検出手段と、断続的機械減衰振動の断続周期間の振動波形における正側振幅値を積分する振動振幅積分手段と、この振動振幅積分手段による積分結果を最大正側振幅値および周期の積で除して断続的機械減衰振動の減衰量の指標としての減衰指標を算出して位相差に置換する減衰指標算出手段と、良否判定の判定基準領域を振幅軸およびこれと直交する位相差軸で定められる二次元マップ上に設定する良否判定基準領域設定手段と、検出した振幅値および振動減衰指標から置換した位相差の二次元マップ上における位置に基づいてスポット溶接の良否判定を行う溶接良否判定手段を備えた構成としたことを特徴としている。
【００１８】
【発明の効果】
請求項１および請求項７に記載の発明によれば、溶接中に発生する振動に基づいてスポット溶接の良否判定を行うに際して、例えば、低剛性の交流スポット溶接機などにおいてナゲット形成状況に対応した金属溶融振動がスポット溶接機の機械振動に埋もれて容易に検出できない場合であったとしても、通電時の電磁力を加振源とした大振幅の断続的機械減衰振動を検出対象としていることから、信号検出に高度な信号抽出技術を必要とすることなく、金属溶融振動を容易に信号検出することができ、スポット溶接の良否判定を確実に行うことができる。
【００１９】
また、表面コーティング層の溶解振動を検出対象としていないため、様々な鋼材に適用することが可能であり、すなわち、スポット溶接の良否モニタリングの適用範囲拡大を促進することが可能であり、さらに、振動振幅値および位相差の２つの変数を用いて良否の判定を行うことから、電極チップの先端形状や溶接電流や加圧力変動が複合的に作用した場合でも、適正に良否判定を行うことができるという非常に優れた効果がもたらされる。
【００２０】
請求項２および請求項８に記載の発明によれば、上記した構成としているので、請求項１および請求項７に記載の発明と同様の効果を得ることができるうえ、しきい値を定めやすくなること、絶対的な良否判定が可能になること、電極摩耗の進行具合を予測できること、不測の電流低下による溶接不良も判定可能になること、といった非常に優れた効果がもたらされる。
【００２１】
請求項３および請求項９に記載の発明によれば、上記した構成としたから、請求項１，２および請求項７，８に記載の発明と同様の効果を得ることができるうえ、多種類の溶接条件にも対応することが可能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
【００２２】
請求項４および請求項１０に記載の発明によれば、上記した構成としたため、電極チップの先端の摩耗具合と相関の高い振動振幅値と所定の電極摩耗判定しきい値とを比較することで精度の高い摩耗検知を行うことができ、加えて、電極摩耗判定後にしきい値を変更することで、信頼性の低下および電極摩耗の見逃しを防止することが可能であると共に、電極整形時あるいは電極交換時には自動的に電極摩耗警報を解除することが可能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
【００２３】
請求項５および請求項１１に記載の発明によれば、上記した構成としているので、ナゲット径の生成と相関の高い位相変化量と、その発生回数とを積算するといった簡単な演算によって、スポット溶接の良否判定を行うことができるという非常に優れた効果がもたらされる。
【００２４】
請求項６および請求項１２に記載の発明によれば、上記した構成としたから、複雑な振動波形であったとしても、その振動の減衰度合いを示す指標としての実用的な値を簡単に求めることができ、より一層信頼性の高い良否の判定を安定して行うことが可能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
【００２５】
【実施例】
以下、本発明に係わるスポット溶接のモニタリング方法およびモニタリング装置を図面に基づいて説明する。
【００２６】
まず、本発明による良否判定の基本原理について説明する。図１（ａ）は、本発明に係わるスポット溶接のモニタリング装置の基本構成と、通電時に検出される電極チップ部分の振動波形の一例を示すものである。同図において、符号１０はスポット溶接機、１１は溶接制御装置、１２は溶接トランスである。溶接電流波形Ｉｗに対して検出される機械振動Ｖｓは、振動位相差（遅れ時間）ｄθを有していることがわかる。また、振動位相差ｄθを同一電極チップにて溶接不良(丸枠)が発生するまで連続溶接したときの推移で見てみると、図１（ｂ）に示すように、最小合格ナゲット径Ｄｎに初めて至る約１１００回までに単調増加する特性が観察され、溶接不良(丸枠)発生時には、逆に減少する特徴が見られる。さらに、振動振幅値Ａｖも同様に単調増加する傾向が観察される。
【００２７】
そして、これらの振動位相差ｄθおよび振動振幅値Ａｖの各推移を平面座標上(二次元マップ上)にプロットした場合、その座標点の軌跡は、図２(ａ)に示すように、概ね▲１▼→▲２▼→▲３▼と推移することがわかった。
【００２８】
ここで、▲１▼は、新品電極で溶接して合格ナゲット径が生成された場合にプロットされるＯＫ領域に相当し、▲２▼は、電極摩耗が進行した場合にプロットされるＯＫ領域に相当し、▲３▼は、溶接不良が発生した場合にプロットされるＮＧ領域に相当する。なお、▲４▼は、通電不良領域であり、溶接電源の電力供給不足時の通電電流低下を想定した実験においてこの領域にプロットされることがわかった。
【００２９】
本発明は、これらの振動位相差ｄθおよび振動振幅値Ａｖの座標点に着目したものであって、溶接電流波形Ｉｗに対する電極チップ部分の機械振動Ｖｓの振動位相差ｄθおよび振動振幅値Ａｖの座標点を監視することで、溶接不良を検出するものである。
【００３０】
なお、図１（ａ）の振動位相差ｄθの軸の指標は、振動位相差角（ｄｅｇ）を溶接電流の２乗波の一周期（３６０ｄｅｇ）で正規化したものである。また、振動振幅値Ａｖは、半周期（１８０ｄｅｇ）毎の最大振動振幅値Ａｖの平均値をその打点での振動振幅値Ａｖとしている。さらに、図２(ａ)のＸ軸(位相軸)およびＹ軸(振幅軸）は、新品電極で良好に溶接できたときの座標で正規化したものである。
【００３１】
ここで、振動振幅値Ａｖおよび振動位相差ｄθの座標軌跡のメカニズムについて考察すると、図３は被溶接材のナゲット形成部における温度変化と、電極チップの先端形状の変化と、これに伴う溶接点の物理現象の変化とを整理したものであって、溶接状態が『良』のときと『不良』のときの実際の物理現象を正確に表すことはかなり複雑であり、かつ、不規則性要素が多分に含まれているため、ここでは理想的な単純なモデルにてマクロ的な物理現象を考える。
【００３２】
まず、溶接時に電極チップ部分に作用する力学要素を簡単に説明すると、電極チップ１５には加圧シリンダによる加圧力Ｆｐが強く作用している。この電極チップ１５には、溶接電流Ｉｗの通電によって誘導される電磁力が加振源となって、電極チップ１５の軸線に直交するＸ軸方向（Ｆｍｘ）と軸線に沿うＺ軸方向（Ｆｍｚ）に溶接電流Ｉｗの２倍の周波数で脈動的な力が加わる。そして、抵抗加熱により被溶接材Ｗｐの内部にナゲット径（溶融径）Ｄｎの溶融池が形成される。また、電極チップ１５は、加圧力Ｆｐにより被溶接材Ｗｐに食い込み、被溶接材Ｗｐの剛性と溶融池の内圧の合成力と加圧力Ｆｐの釣り合う状態を継続する。
【００３３】
そこで、この状態が溶接不良時にはどのように変化するか、電極部の代表的な機械力学パラメータで見てみると、新品電極チップ１５によって被溶接材Ｗｐの温度が溶接に必要十分な高い温度になっている場合(図３▲１▼)を基準として、この際モデル化した粘性減衰係数Ｃおよびばね定数Ｋを温度の関数Ｃ(ｔ)，Ｋ(ｔ)と電極チップの先端形状の関数Ｃ(ｓ)，Ｋ(ｓ)とでそれぞれ評価する。
【００３４】
まず、図３▲１▼において、電極チップ１５の先端形状の関数Ｃ(ｓ)は、電極チップ１５の先端形状がドーム状をなしている都合上、被溶接材Ｗｐへの食い込み量が深くなる分だけ抵抗力として作用する被溶接材Ｗｐの断面方向の投影面積が大きくなることから、「中」程度と仮定し、一方、温度の関数Ｃ(ｔ)は、被溶接材Ｗｐのナゲット形成部が十分に溶解しているので、外力に対する抵抗力の作用が低いと考えて「小」と仮定する。
【００３５】
次に、電極チップの先端形状の関数Ｋ(ｓ)は、Ｃ(ｓ)と同様に被溶接材Ｗｐの断面方向の投影面積が大きく、その影響はＣ(ｓ)よりは大きいと考えて「大」と仮定し、一方、温度の関数Ｋ(ｔ)は、金属溶解温度近辺において極端にばね定数が低下する関係上「小」と仮定する。
【００３６】
つまり、図３▲１▼において、被溶接材Ｗｐのナゲット形成部における粘性減衰係数Ｃおよびばね定数Ｋは、「Ｃ(ｓ，ｔ)＝中小」および「Ｋ(ｓ，ｔ)＝中」と仮定する。
【００３７】
以降、電極チップ１５が摩耗した場合(図３▲２▼)と、電極チップ１５が摩耗して通電面積が拡大したために生じる電流密度低下により被溶接材Ｗｐのナゲット形成部における温度が下がった場合(図３▲３▼)と、電極チップ１５の先端形状が十分な電流密度が得られる状態であっても通電不足によって必要な電流密度を確保できずに被溶接材Ｗｐのナゲット形成部における温度が下がった場合(図３▲４▼)を上記と同様の考え方でそれぞれ評価すると、図３▲２▼〜▲４▼は、粘性減衰係数Ｃおよびばね定数Ｋの相対的な大小関係にあると考えられる。
【００３８】
ここで、粘性減衰係数Ｃおよびばね定数Ｋを変数とする外力(電磁力)に対する振動振幅値および振動位相差の一般式は、数１および数２で表わされる。
【００３９】
【数１】
0003703017.tif 000002
【００４０】
【数２】
0003703017.tif 000003
【００４１】
但し、ｍは加圧系の質量であり、また、ωは溶接機の加圧機構部の固有振動数であり、いずれも定数として取り扱うことができる。
【００４２】
そこで、上記数１および数２に、仮定した粘性減衰係数Ｃおよびばね定数Ｋを当てはめて評価した結果、振幅および位相差は図３に示すようになる。
【００４３】
この際、完成した図３の電極チップの先端形状と、被溶接材のナゲット形成部の温度との組み合わせの推移は、基準の図３▲１▼から開始して電極チップの先端形状が摩耗して平らになる図３▲２▼へ遷移し、必要な電流密度が得られない程度に摩耗が進んで被溶接材Ｗｐのナゲット形成部の温度が低下する図３▲３▼へと変遷すると考えられる。この▲１▼→▲２▼→▲３▼の状態遷移が通常の溶接作業時における径時変化に対応したものとなる。
【００４４】
一方、電極チップの先端の摩耗が進んでいない場合であったとしても、通電電流が不足すると、電流密度が低下して被溶接材Ｗｐのナゲット形成部の温度が下がる。このとき、通電電流不足により外力(電磁力)も低下するのに伴なって振幅が「小」となる点で他の▲１▼〜▲３▼の状態とは異なる。したがって、この▲４▼の状態は通常の溶接作業時における径時変化とは無関係に発生する。
【００４５】
上記のようにして求めた振幅および位相差の各推移を平面座標上(二次元マップ上)にプロットすると、図４(ａ)に示す軌跡を描いて、溶接不良の発生に至ると推測され、▲１▼から▲２▼への遷移時においては、▲１▼および▲２▼を往復しながら、次第に▲２▼へ遷移する傾向にある。
【００４６】
なお、実際の溶接現場では、偶発的な溶接電流Ｉｗの低下以外にも加圧力Ｆｐの低下が溶接不良を引き起こす要因として挙げられる。この場合、加圧力Ｆｐの低下は、被溶接材Ｗｐへの電極チップ１５の食い込み量が浅くなるために図３▲２▼と等価な状態になると考えられ、したがって、検出した振幅および位相差の座標が図４(ａ)のどの位置にあるかを評価することで、溶接の良否を含む溶接状態を推定することができる。
【００４７】
図５は、本発明に係わるスポット溶接のモニタリング方法およびモニタリング装置の一実施例を示している。
【００４８】
図５に示すように、スポット溶接機１０は、シリンダロッドに加圧軸１７を一体的に設けたエアシリンダ１９と、このエアシリンダ１９に電機絶縁体１４を介して結合された溶接ガンアーム１８と、加圧軸１７と溶接ガンアーム１８に設けられて互いに対向する電極チップ１５，１６を備えており、図示しない重ね合わせた２枚の被溶接材を電極チップ１５，１６で挟んで加圧し、通電による抵抗加熱で両被溶接材を溶着させるものとなっている。加圧軸１７はエアシリンダ１９により空気圧で加圧駆動されるようになっており、他方のガンアーム１８は、少なくとも溶接時において固定状態となっている。
【００４９】
上記スポット溶接機１０は、両電極チップ１５，１６に対する溶接電流、通電時間（サイクル数）および通電角が、溶接制御装置１１で制御され、その出力である１次電流を溶接トランス１２において溶接に必要な電流Ｉｗまで増幅させる。この場合、加圧軸１７、溶接ガンアーム１８、両電極チップ１５，１６および図示しない被溶接材で溶接電流回路が構成される。なお、電極チップ１５，１６の断続的機械減衰振動を検出するための振動センサ２０は、例えば圧電素子を用いた加速度センサを適用し、溶接する際に被溶接材と干渉せず、かつ、電極チップ部分の振動を適切な感度で検出可能な位置にブラケットを用いるか、または直接接着して取り付ける。
【００５０】
上記のスポット溶接機１０を用いて行うスポット溶接のモニタリング装置２１は、電極間電圧Ｖｅを入力して通電タイミング信号φｃを生成する通電角検出回路２１１と、上記振動センサ２０の検出信号Ｖｓを入力してこの検出信号Ｖｓから不必要な周波数成分の除去を行うと共に同検出信号Ｖｓを後段の回路に適正な信号レベルまで増幅させた検出振動信号Ｖｍを出力する振動検出回路２１２と、振動振幅検出回路（振動振幅検出手段）２１３と、振動位相差検出回路（振動位相差検出手段）２１４と、良否判定基準座標設定回路（良否判定基準領域設定手段）２１５と、溶接良否判定回路（溶接良否判定手段）２１６と、電極摩耗判定回路（電極摩耗判定手段）２１７と、判定しきい値調整回路（判定しきい値調整手段）２１８を備えている。
【００５１】
この場合、図８のタイミングチャートに示すように、電極間電圧Ｖｅ（２）は、スポット溶接機１０の通電経路のインダクタンスにより溶接電流Ｉｗ（１）を微分した波形として検出され、この実施例に係わる通電角検出回路２１１では、簡単かつ安価でしかも時間分解能に優れた電極間電圧Ｖｅを検出し、その急峻な電圧変化点のみで細いパルス信号が出るように処理して通電タイミング信号φｃを生成出力している。この際、細いパルス信号の生成には、ハイパスフィルタを適用でき、このようにして得られた細いパルス信号は、はじめの信号Ｐｏが通電開始時期（以下、点弧）に対応し、次の信号Ｐｃが通電停止時期（以下、消弧）に対応して、後段における振動位相差の算出時の基準タイミング信号として使用される。
【００５２】
また、振動振幅検出回路２１３では、入力された振動検出回路２１２からの検出振動信号Ｖｍに基づいて振動振幅値Ａｖを計測して振幅信号Ｊａを出力し、一方、振動位相差検出回路２１４では、入力された通電タイミング信号φｃおよび検出振動信号Ｖｍの位相差ｄθを計測して振動位相差信号Ｊｐを出力するようになっている。
【００５３】
さらに、良否判定基準座標設定回路２１５は、スポット溶接の良否判定の際の判定基準座標Ｊｃを振幅軸およびこれと直交する位相差軸で定められる二次元マップ上に設定出力するものであり、溶接良否判定回路２１６では、良否判定基準座標設定回路２１５が出力する判定基準座標Ｊｃに振動位相差信号Ｊｐおよび振幅信号Ｊａを照らし合わせて溶接良否を判定して判定信号Ｓｊを出力するようになっている。
【００５４】
さらにまた、電極摩耗判定回路２１７では、振動振幅信号Ｊａと電極摩耗判定基準値Ｓｅ’とを比較して電極チップの先端が摩耗したことを判定して、電極摩耗判定信号Ｓｄを出力するようになっており、判定しきい値調整回路２１８では、電極摩耗判定信号Ｓｄを入力し、その電極摩耗判定信号Ｓｄが電極摩耗を示した際に、電極摩耗判定基準値Ｓｅを電極摩耗検知後に設定すべき値に調整するようになっている。
【００５５】
上記モニタリング装置２１の基本処理手順を図６のフローチャートに基づいて説明する。
【００５６】
まず、ステップＳ１において、図５に示すモニタリング装置２１に外部から入力された振幅しきい値Ｓｙ１，Ｓｙ２および位相しきい値Ｓｘに基づいて、図４(ｂ)に示すように、良否判定基準座標を設定する、すなわち、二次元マップ上に、新品電極で溶接した場合のＯＫ領域▲１▼，電極摩耗が進行した場合のＯＫ領域▲２▼，ＮＧ領域▲３▼および通電不良領域▲４▼を設定し、ステップＳ２において、通電タイミング信号φｃを読み込んで溶接電流の通電タイミングを測定し、ステップＳ３において、検出振動信号Ｖｍの振幅Ａｖを測定し、この際、溶接電流の少なくとも１サイクル以上の平均振幅値Ｊａを求め、以降の良否判定において安定した判定結果が得られるようにする。
【００５７】
次に、ステップＳ４において、通電タイミング信号φｃと検出振動信号Ｖｍとを読み込んで、両者の振動位相差ｄθを測定し(図１(ａ)の波形グラフ参照)、この際、溶接電流の少なくとも１サイクル以上の平均位相差Ｊｐを求め、以降の良否判定において安定した判定結果が得られるようにする。
【００５８】
そして、ステップＳ５において、ステップＳ１で設定した良否判定基準座標上に対してステップＳ３，Ｓ４で測定した平均振幅値Ｊａおよび平均位相差Ｊｐの各座標を照合し、まず、ステップＳ６において、平均振幅値Ｊａと振幅しきい値Ｓｙ２とを比較して、平均振幅値Ｊａが通電不良等による溶接不良を起こしているか否かを判定し、振幅しきい値Ｓｙ２＜平均振幅値Ｊａである場合（Ｙｅｓ）は通電不良等による溶接不良を起こしていないと判定して、すなわち、通電不良領域▲４▼にはないと判定して、ステップＳ７に進み、一方、振幅しきい値Ｓｙ２≧平均振幅値Ｊａである場合（Ｎｏ）は通電不良等による溶接不良を起こしていると判定して、すなわち、通電不良領域▲４▼にあると判定して、ステップＳ９において、溶接不良の判定結果を出力する。
【００５９】
次いで、ステップＳ７において、平均振幅値Ｊａおよび平均位相差Ｊｐの各座標がＮＧ領域▲３▼にあるか否かを判定し、この際、振幅しきい値Ｓｙ１≦平均振幅値Ｊａでかつ位相しきい値Ｓｘ≧平均位相差Ｊｐである場合（Ｙｅｓ）はＮＧ領域▲３▼にあると判定して、ステップＳ９において、溶接不良の判定結果を出力し、一方、それ以外である場合（Ｎｏ）はＯＫ領域▲１▼，▲２▼にあると判定し、ステップＳ８において、溶接良好の判定結果を出力する。
【００６０】
次に、電極チップの摩耗判定の処理を開始する。ここで、電極チップ摩耗判定の判定基準値には、図７に示すように、電極チップ摩耗の履歴状態に応じて二通りの値があり、一方は、新品電極あるいは電極先端を新品同様に研磨整形した場合に適用される電極摩耗判定基準値Ｓｅ’(Ｈ)であり、他方は、一旦電極摩耗と判定されてから次の新品電極への交換あるいは電極先端の整形までに適用される電極摩耗判定基準値Ｓｅ’(Ｌ)である。
【００６１】
そこで、まず、ステップＳ１０において、前回の判定で電極チップ摩耗の有無を調べ、既に電極チップ摩耗があった場合（Ｙｅｓ）は、ステップＳ１１において、外部から入力された電極摩耗判定基準値Ｓｅに予め定めた調整係数Ｈを乗じた値を新しい電極摩耗判定基準値Ｓｅ’(Ｌ)とし、一方、電極チップ摩耗がないと判定された場合（Ｎｏ）は、ステップＳ１２において、外部から入力された電極摩耗判定基準値Ｓｅをそのまま電極摩耗判定基準値Ｓｅ’(Ｈ)とする。
【００６２】
次に、ステップＳ１３において、平均振幅値Ｊａと電極摩耗判定基準値Ｓｅ’とを比較し、電極摩耗判定基準値Ｓｅ’＜平均振幅値Ｊａである場合（Ｙｅｓ）は、ステップＳ１４において、電極摩耗と判定し、電極摩耗判定基準値Ｓｅ’≧平均振幅値Ｊａである場合（Ｎｏ）は、ステップＳ１５において、未だ電極チップが摩耗していないと判定する。
【００６３】
以上で一回の溶接における良否判定処理を完了する。なお、続けて次の溶接に備えるために、ステップＳ１４，Ｓ１５からステップＳ２に戻り、次の溶接における新しい振動情報に基づいて上記一連の処理が継続される。
【００６４】
上記したように、この実施例に係わるモニタリング装置２１によれば、通電時の電磁力を加振源とした大振幅の断続的機械減衰振動を検出対象としていることから、信号検出に高度な信号抽出技術を必要とすることなく、金属溶融振動を容易に信号検出することができ、その結果、スポット溶接の良否判定を確実に行うことが可能である。
【００６５】
また、表面コーティング層の溶解振動を検出対象としていないため、様々な鋼材に適用することが可能であり、したがって、スポット溶接の良否モニタリングの適用範囲拡大を促進することが可能であり、加えて、振動振幅値Ｊａおよび位相差Ｊｐの２つの変数を用いて良否の判定を行うため、電極チップの先端形状や溶接電流や加圧力変動が複合的に作用した場合でも、適正に良否判定を行うことができる。
【００６６】
さらに、上記したモニタリング装置２１によれば、電極チップの先端の摩耗具合と相関の高い振動振幅値Ｊａと所定の電極摩耗判定しきい値Ｓｅとを比較することで摩耗検知を行うことができ、加えて、電極摩耗判定後にしきい値Ｓｅを変更することで、信頼性の低下および電極摩耗の見逃しを防止することができる。
【００６７】
図９は、本発明に係わるスポット溶接のモニタリング方法およびモニタリング装置の他の実施例を示している。
【００６８】
図９に示すように、この実施例のモニタリング装置２１’は、電極間電圧Ｖｅを入力して通電タイミング信号φｃを生成する通電角検出回路２１１と、上記振動センサ２０の検出信号Ｖｓを入力してこの検出信号Ｖｓから不必要な周波数成分の除去を行うと共に同検出信号Ｖｓを後段の回路に適正な信号レベルまで増幅させた検出振動信号Ｖｍを出力する振動検出回路２１２と、通電タイミング信号φｃおよび検出振動信号Ｖｍを入力すると共に両信号の位相差ｄθを計測して、前回の位相差に対する変化量を算出して位相変化量信号ΔＪｐを出力する位相変化量検出回路（位相変化量検出手段）２２０と、その位相変化量が所定値以上であった場合にのみその位相変化量を積算して位相差積算信号ΣΔＪｐを出力する位相差積算回路（位相差変化量積算手段）２２１と、外部から入力される溶接不良判定基準値Ｊｂと位相差積算信号ΣΔＪｐとを比較して溶接不良検出信号Ｓｂを出力する溶接不良検出回路（溶接不良検出手段）２２２を備えている。
【００６９】
上記モニタリング装置２１’の基本処理手順を図１０のフローチャートに基づいて説明する。
【００７０】
まず、ステップＳ２１において、図９に示すモニタリング装置２１’に外部から入力された溶接不良判定基準値Ｊｂを設定し、ステップＳ２２において、通電タイミング信号φｃを読み込んで溶接電流の通電タイミングを測定し、ステップＳ２３において、通電タイミング信号φｃと検出振動信号Ｖｍとを読み込んで、両者の振動位相差ｄθを測定し(図１(ａ)の波形グラフ参照)、ステップＳ２４において、数３に示すように、前回の溶接時における振動位相差ｄθに対する変化量を算出して位相変化量信号ΔＪｐを出力する。
【００７１】
【数３】
0003703017.tif 000004
【００７２】
続いて、ステップＳ２５において、予め求めておいた不感幅Ｃと位相変化量信号ΔＪｐとを比較して、Ｃ≧ΔＪｐである場合（Ｎｏ）は、溶接状態が前回とほぼ同様に良好であると判定し、一方、Ｃ＜ΔＪｐである場合（Ｙｅｓ）は、溶接状態に変化があったと判定して次に進み、合わせて、ステップＳ２６において、その位相変化量信号ΔＪｐの極性が負(０＜ΔＪｐ)である場合（Ｙｅｓ）は、溶接が不良の方向へ変化したと判定し、ステップＳ２７において、その負の位相変化量信号ΔＪｐを前回までの位相変化量信号ΔＪｐに積算して位相差積算信号ΣΔＪｐを得る。
【００７３】
次に、ステップＳ２８において、位相差積算信号ΣΔＪｐとステップＳ２１で設定した溶接不良判定基準値Ｊｂとを比較し、溶接不良判定基準値Ｊｂ＜位相差積算信号ΣΔＪｐである場合（Ｙｅｓ）には、溶接不良に至ったことを検出して、ステップＳ２９において、溶接不良検出信号Ｓｂを出力し、一方、溶接不良判定基準値Ｊｂ≧位相差積算信号ΣΔＪｐである（Ｎｏ）には、溶接状態が不良発生の方向にあるものの不良発生には至っていないと判定し、溶接不良検出信号Ｓｂは出力しない。
【００７４】
以上で一回の溶接における良否判定処理を完了する。なお、続けて次の溶接に備えるために、ステップＳ２９からステップＳ２２に戻り、次の溶接における新しい振動情報に基づいて上記一連の処理が継続される。
【００７５】
上記したように、この実施例に係わるモニタリング装置２１’によれば、ナゲット径の生成と相関の高い位相変化量と、その発生回数とを積算するといった簡単な演算によって、スポット溶接の良否判定を行うことができる。
【００７６】
図１２は、本発明に係わるスポット溶接のモニタリング方法およびモニタリング装置のさらに他の実施例を示している。
【００７７】
図１２に示すように、この実施例によるモニタリング方法およびモニタリング装置２１’’が図５に示すモニタリング方法およびモニタリング装置２１と相違するところは、振動位相差の替わりに振動減衰指標をパラメータとした点にあり、他の構成は図５に示すモニタリング方法およびモニタリング装置２１とおなじである。
【００７８】
すなわち、このモニタリング装置２１’’は、通電角検出回路２１１からの通電タイミング信号φｃと振動検出回路２１２からの検出振動信号Ｖｍとを入力して、図１３に示すように、通電０．５サイクル期間（＝Ｔ）における振動波形の正側振幅値を積分した減衰振動積分信号∫Ｖｍおよびその同一期間（＝Ｔ）内の最大振動振幅Ｖｐを同期間で積分した最大振幅積分信号∫Ｖｐを算出して出力する振動振幅積分回路（振動振幅積分手段）２３０と、減衰振動積分信号∫Ｖｍと最大振幅積分信号∫Ｖｐとの比を計算して振動減衰指標を求めると共に位相差信号Ｊｐに置換する減衰指標算出回路（減衰指標算出手段）２３１を備えている。
【００７９】
次に、このモニタリング装置２１’’の動作を説明する。ここでは、振動振幅積分回路２３０と減衰指標算出回路２３１の動作を計算式で説明し、良否判定手順に関する動作説明は、図６のフローチャートにおいて対応する処理ステップのみ示し、全体の説明は省略する。
【００８０】
まず、振動振幅積分回路２３０の減衰振動積分信号∫Ｖｍおよび最大振幅積分信号∫Ｖｐの計算式は、数４および数５で表される。
【００８１】
【数４】
0003703017.tif 000005
【００８２】
【数５】
0003703017.tif 000006
【００８３】
また、減衰指標算出回路２３１の減衰指標Ｉｄ（Ｊｐ）の計算式は、数６で表される。
【００８４】
【数６】
0003703017.tif 000007
【００８５】
この際、対応する良否判定処理手順のステップは、図６のフローチャートにおけるステップ４の「位相差Ｊｐの測定」であり、この「位相差Ｊｐの測定」に替えて数４，数５および数６の演算処理がなされて良否判定が実行される。
【００８６】
なお、減衰振動積分信号∫Ｖｍの正側振幅についての具体的な説明は省いたが、例えば、交流信号の測定に用いられる一般的な整流回路にて実現できることを補足しておく。
【００８７】
上記したように、この実施例に係わるモニタリング装置２１’’によれば、複雑な振動波形であったとしても、その振動の減衰度合いを示す指標としての実用的な値を簡単に求めることができ、より一層信頼性の高い良否の判定を安定して行うことが可能である。
【００８８】
最後に、本発明に係わるスポット溶接のモニタリング方法およびモニタリング装置による良否判定を板厚０．８ｍｍの溶融合金化亜鉛めっき鋼板の２枚重ね溶接において適用した結果の一例を図２(ｂ)に示す。この例では、２枚の鋼板が溶着していない、いわゆる、剥がれに至る溶接不良を検出するように良否判定基準値を定めたものである。当然ながら、溶接不良には溶着があっても、そのナゲット径が合格値に達しないものもあることから、このような不良を検出するためには、振幅しきい値Ｓｙ１と、位相しきい値Ｓｘを加減することで可能となる。
【００８９】
なお、本発明に係わるスポット溶接のモニタリング方法およびモニタリング装置は、その構成が上記各実施例のみに限定されるものではなく、種々の変形実施が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わるスポット溶接の原理を示す説明図（ａ）および溶接打点数に対する振動位相差，振幅値およびナゲット径の関係を示すグラフ（ｂ）である。
【図２】振幅軸およびこれと直交する位相差軸で定められる判定基準座標上における電極チップ先端形状の状態遷移を示すグラフ（ａ）および本発明に係わるスポット溶接のモニタリング方法およびモニタリング装置による良否判定を板厚０．８ｍｍの溶融合金化亜鉛めっき鋼板の２枚重ね溶接において適用した結果を示すグラフ（ｂ）である。
【図３】溶接部分における物理現象を説明する図である。
【図４】振幅および位相差の各推移を二次元マップ上にプロットした説明図（ａ）および二次元マップ上に設定した良否判定の判定基準領域を説明する図（ｂ）である。
【図５】本発明に係わるスポット溶接のモニタリング装置の一実施例を説明する基本ブロック図である。
【図６】本発明に係わるスポット溶接のモニタリング装置による基本的な処理手順を説明するフローチャートである。
【図７】電極摩耗判定手段を説明するグラフである。
【図８】通電タイミングを検出する手段を説明するタイミングチャートである。
【図９】本発明に係わるスポット溶接のモニタリング装置の他の実施例を説明する基本ブロック図である。
【図１０】図９に示したスポット溶接のモニタリング装置による基本的な処理手順を説明するフローチャートである。
【図１１】ナゲット径の減少と位相差の変化との間の相関関係を説明するグラフである。
【図１２】本発明に係わるスポット溶接のモニタリング装置のさらに他の実施例を説明する基本ブロック図である。
【図１３】振動波形の減衰指標を求める方法を説明する図である。
【符号の説明】
１０  スポット溶接機
２１，２１’，２１’’ モニタリング装置
２１３  振動振幅検出回路（振動振幅検出手段）
２１４  振動位相差検出回路（振動位相差検出手段）
２１５  良否判定基準座標設定回路（良否判定基準領域設定手段）
２１６  溶接良否判定回路（溶接良否判定手段）
２１７  電極摩耗判定回路（電極摩耗判定手段）
２１８  判定しきい値調整回路（判定しきい値調整手段）
２２０  位相変化量検出回路（位相変化量検出手段）
２２１  位相差積算回路（位相差変化量積算手段）
２２２  溶接不良検出回路（溶接不良検出手段）
２３０  振動振幅積分回路（振動振幅積分手段）
２３１  減衰指標算出回路（減衰指標算出手段）
【図１】
0003703017.tif 000008
【図２】
0003703017.tif 000009
【図３】
0003703017.tif 000010
【図４】
0003703017.tif 000011
【図５】
0003703017.tif 000012
【図６】
0003703017.tif 000013
【図７】
0003703017.tif 000014
【図８】
0003703017.tif 000015
【図９】
0003703017.tif 000016
【図１０】
0003703017.tif 000017
【図１１】
0003703017.tif 000018
【図１２】
0003703017.tif 000019
【図１３】
0003703017.tif 000020