(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録ヘッドの測定を行うための磁気記録ヘッド測定装置であって、
前記磁気記録ヘッドに所定の搬送波周波数と変調周波数とで振幅変調された振幅変調電流を印加する電流印加手段と、
磁性体を有する探針が取り付けられ、前記探針に作用するファン・デル・ワールス力勾配よりも大きいばね定数を有するカンチレバーと、
前記カンチレバーを一定の振動振幅で振動させる振動手段と、
前記電流印加手段からの振幅変調電流の印加により前記磁気記録ヘッドに生じる磁界が前記振動手段により振動される前記探針に及ぼす力学的相互作用を測定する測定手段とを具備し、
前記探針が前記磁界による力学的相互作用を測定するために走査されている間は、前記磁気記録ヘッドの表面から生じる磁界の減衰距離までの範囲内に、前記探針の振動する範囲が収まっていることを特徴とする磁気記録ヘッド測定装置。
【請求項２】
前記カンチレバーの振動振幅は50nm未満であることを特徴とする請求項１記載の磁気記録ヘッド測定装置。
【請求項３】
磁気記録ヘッドの測定を行う磁気記録ヘッド測定装置に適用される測定方法であって、
前記磁気記録ヘッドに所定の搬送波周波数と変調周波数とで振幅変調された振幅変調電流を印加するステップと、
磁性体を有する探針が取り付けられ、前記探針に作用するファン・デル・ワールス力勾配よりも大きいばね定数を有するカンチレバーを一定の振動振幅で振動させるステップと、
前記振幅変調電流の印加により前記磁気記録ヘッドに生じる磁界が前記カンチレバーと共に振動する前記探針に及ぼす力学的相互作用を測定するステップとを有し、
前記探針が前記磁界による力学的相互作用を測定するために走査されている間は、前記磁気記録ヘッドの表面から生じる磁界の減衰距離までの範囲内に、前記探針の振動する範囲が収まるようにすることを特徴とする測定方法。
【請求項４】
前記カンチレバーの加振周波数と振動振幅の少なくとも一方を調整することを特徴とする請求項３記載の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気力顕微鏡を利用して磁気記録ヘッドの測定を行う磁気記録ヘッド測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、磁気記録ヘッドの磁界の分布や磁気力などを測定する場合に、磁気力顕微鏡を利用した専用の磁気記録ヘッド測定装置が使用されている。磁気力顕微鏡は、走査型プローブ顕微鏡の一種で、通常ではカンチレバーに搭載された探針を測定対象試料である磁気記録ヘッドに接近させて、非接触状態で当該ヘッドから発生する磁界による力学的相互作用（力または力勾配）を検出する。
【０００３】
磁気記録ヘッド（以下単にヘッドと略す場合がある）は、例えばインダクティブ型の薄膜ヘッドであり、コイルに印加される信号電流に応じた記録磁界を発生する磁気ギャップを有する。前記ヘッド測定装置は、試料であるヘッド（のコイル）に高周波の信号電流を印加し、当該磁気ギャップから発生する磁界分布を測定する。具体的な測定方法としては、振動しているカンチレバーの位相または変位（ヘッドの磁界に伴う力学的相互作用）を検出し、この検出結果に基づいて探針と試料間に作用する力勾配または力を測定する。この場合、カンチレバーの位相は力勾配に近似し、またカンチレバーの変位は力に近似するという関係を利用して測定を行う。
【０００４】
ところで、測定方式としては種々なものがある。例えば“Measuring the gigahertz response of recording heads with the magnetic force microscope”, R. Proksch et al. (Digital Instruments et al.), Applied Physics Latters, Vol. 74, No. 9, March 1999, pp 1308-1310（以下、先行技術１と称する）には、磁気記録ヘッドに振幅変調された電流を印加し、その変調周波数をカンチレバーの共振周波数に合わせることによって、振動したカンチレバーの変位（力）の共振周波数成分を検出する技術が開示されている。この技術では、カンチレバーの機械的共振周波数のＱ値を利用することによって感度を向上させている。
【０００５】
また、「記録および再生ヘッドの評価解析技術」，大森広之，ソニー株式会社，日本応用磁気学会誌，vol. 23, No. 12, 1999, pp2111-2117（以下、先行技術２と称する）には、磁気記録ヘッドに高周波の正弦波を印加し、ヘッドの周りに生じた磁界によるカンチレバーの位相変化（力勾配）のＤＣ成分を測定する技術が開示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記先行技術１では、カンチレバーの変位を磁界強度としてとらえるため、探針の走査中はカンチレバーの振動振幅が一定でなく、磁界に反映した像を測定できない。また、カンチレバーの機械的共振周波数のＱ値を利用することによって感度を向上させているが、高いＱ値がカンチレバーの変化に応答遅れを生じさせる可能性がある。
【０００７】
また、上記先行技術２ではヘッドの周りに生じた磁界によるカンチレバーの位相変化（力勾配）のＤＣ成分を測定するが、このＤＣ成分には高周波成分以外の寄与も含まれているため、得られたデータの解析が困難である。
【０００８】
いずれにしても、磁気記録ヘッドから生じる磁界の周波数はＭＨｚオーダーであり、走査プローブ顕微鏡の応答速度を決定するカンチレバーの機械的共振周波数に対して非常に大きい。このため、高周波応答のみを抽出して高感度かつ高分解能に測定することは困難である。
【０００９】
本発明は上記実状に鑑みてなされたものであり、高周波応答を高感度かつ高分解能に測定することのできる磁気記録ヘッド測定装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る磁気記録ヘッド測定装置は、磁気記録ヘッドの測定を行うための磁気記録ヘッド測定装置であって、前記磁気記録ヘッドに所定の搬送波周波数と変調周波数とで振幅変調された振幅変調電流を印加する電流印加手段と、磁性体を有する探針が取り付けられ、前記探針に作用するファン・デル・ワールス力勾配よりも大きいばね定数を有するカンチレバーと、前記カンチレバーを一定の振動振幅で振動させる振動手段と、前記電流印加手段からの振幅変調電流の印加により前記磁気記録ヘッドに生じる磁界が前記振動手段により振動される前記探針に及ぼす力学的相互作用を測定する測定手段とを具備し、前記探針が前記磁界による力学的相互作用を測定するために走査されている間は、前記磁気記録ヘッドの表面から生じる磁界の減衰距離までの範囲内に、前記探針の振動する範囲が収まっていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る測定方法は、磁気記録ヘッドの測定を行う磁気記録ヘッド測定装置に適用される測定方法であって、前記磁気記録ヘッドに所定の搬送波周波数と変調周波数とで振幅変調された振幅変調電流を印加するステップと、磁性体を有する探針が取り付けられ、前記探針に作用するファン・デル・ワールス力勾配よりも大きいばね定数を有するカンチレバーを一定の振動振幅で振動させるステップと、前記振幅変調電流の印加により前記磁気記録ヘッドに生じる磁界が前記カンチレバーと共に振動する前記探針に及ぼす力学的相互作用を測定するステップとを有し、前記探針が前記磁界による力学的相互作用を測定するために走査されている間は、前記磁気記録ヘッドの表面から生じる磁界の減衰距離までの範囲内に、前記探針の振動する範囲が収まるようにすることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
【００１３】
（磁気記録ヘッド測定装置の構成）
図１に、本発明の一実施形態に係る磁気記録ヘッド測定装置の構成を示す。
【００１４】
本磁気記録ヘッド測定装置には、走査プローブ顕微鏡（Scanning Probe Microsocpe; SPM）の一形態である高周波磁気力顕微鏡（High-Frequency Magnetic Force Microscope; HF-MFM）が組み込まれている。また、本測定装置は、試料である磁気記録ヘッドにＡＭ信号（振幅変調信号）を発生させ、高周波（MHz〜GHz）の磁界を探針に働く力（磁気力）として測定する。また、同時に試料の表面の凹凸像を測定する。
【００１５】
本測定装置は、図１に示すように、探針１、カンチレバー２、試料３、走査用圧電素子４、加振用圧電素子５、信号発生器６、変位検出計７、スイッチ８、同期検波器９、位相検出器１０、同期検波器１１、振幅／直流電圧変換器（ＲＭＳ−ＤＣ回路）１２、フィードバック回路１３、第１の信号発生器１４、第２の信号発生器１５、ＡＭ信号発生器（振幅変調信号発生器）１６、電流値モニタ１７、コンピュータ１８、スイッチ１９などを有する。
【００１６】
探針１は、磁性体物質をコーティングし磁化されたものであり、カンチレバー２の前端に取り付けられる。
【００１７】
カンチレバー２は、探針１を有し、機械的共振周波数ωｒを有する。
【００１８】
試料３は、磁気記録ヘッドであり、所定の条件で高周波磁界を発生する。
【００１９】
走査用圧電素子４は、試料３をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各方向に駆動制御し、探針１と試料３との相対的位置関係を変化させる。
【００２０】
加振用圧電素子５は、カンチレバー２の後端に取り付けられ、当該カンチレバー２を振動させる。
【００２１】
信号発生器６は、加振用圧電素子５を駆動してカンチレバー２を一定の振動振幅で振動させる。
【００２２】
変位検出計７は、レーザ光源やフォトダイオードなどから構成され、カンチレバー２の変位を検出する。
【００２３】
スイッチ８は、力の測定と力勾配測定のいずれを行うかに応じて、変位検出計７の検出信号の出力先を切り替える。
【００２４】
同期検波器９は、力測定系を構成し、カンチレバー２の振動振幅（変位のＡＣ成分）を検出する。
【００２５】
位相検出器１０は、同期検波器１１と共に力勾配測定系を構成し、信号発生器６の振動振幅とカンチレバー２の振動振幅との位相差を検出する。
【００２６】
同期検波器１１は、位相検出器１０と共に力勾配測定系を構成し、位相検出器１０の出力のＡＣ成分（ＡＭ変調の側波帯成分）を検出する。
【００２７】
なお、力勾配測定系では、変位検出計７〜信号発生器６〜加振用圧電素子５〜カンチレバー２でフィードバックループを形成し、カンチレバー２を一定の振幅で振動させながら共振周波数の変化に相当する量（周波数シフト）を測定する場合（周波数検出方式）もある。
【００２８】
振幅／直流電圧変換器１２は、変位検出計７の実効値を測定する。
【００２９】
フィードバック回路１３は、振幅／直流電圧変換器１２の出力に基づいて走査用圧電素子４を駆動し、振幅／直流電圧変換器１２の出力が一定となるように制御する。また、フィードバック回路１３は、走査用圧電素子４を駆動して試料３をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各方向に移動させ、振幅／直流電圧変換器１２の出力に基づいて試料３の表面の凹凸像を示す信号（ディジタルデータ）を、コンピュータ１８に出力する。
【００３０】
信号発生器１４は、ＡＭ信号の側波帯周波数（変調周波数）ωｍを設定するためのものであり、ωｍが設定された信号を発生する。
【００３１】
信号発生器１５は、ＡＭ信号の搬送波周波数ωｃ（＞＞ωｒ）を設定するためのものであり、ωｃが設定された信号を発生する。
【００３２】
ＡＭ信号発生器１６は、信号発生器１４からの出力信号と信号発生器１４からの出力信号とに基づくＡＭ信号を発生する。
【００３３】
電流値モニタ１７は、ＡＭ信号発生器１６から試料３に印加される電流の値を測定し、その電流を調節する機能を有する。
【００３４】
コンピュータ１８は、測定装置全体の制御を司るものである。このコンピュータ１８は、ＡＭ信号発生器１６から発生する電流の条件を入力・保存する機能を有し、またＡＭ信号発生器１６と電流値モニタ１７の状態を監視・制御する機能を有する。また、コンピュータ１８は、試料３に印加する電流の条件と測定データとを対応付けて同一のファイルに保存する機能を有する。
【００３５】
また、コンピュータ１８は、得られた複数の画像の差分を算出し、磁界位置を特定し、その部分のコントラストを効果的に表示する機能を有する。例えば、試料３に印加する電流値の異なる像どうしを引算処理することで、磁界強度の変化が大きいところを特定し、さらにその部分のコントラストを変更することで磁界発生位置を視覚的に表示することが可能となる。
【００３６】
また、コンピュータ１８は、力測定系を構成する同期検波器９の出力信号に基づいて力像を測定したり、力勾配測定系を構成する同期検波器１１の出力信号に基づいて力勾配像を測定したりする（表示処理及び保存処理を含む）。力像及び力勾配像は、磁気記録ヘッドの高周波磁界による磁気力に関係する高周波ヘッド像である。コンピュータ１８は、スイッチ８及び１９を切り替えることにより、力測定及び力勾配測定を選択的に行う。
【００３７】
スイッチ１９は、上記スイッチ８と連動し、力の測定と力勾配測定のいずれを行うかに応じて信号入力先を切り替える。
【００３８】
（カンチレバーの条件）
図２は、カンチレバーの条件を説明するための図である。
【００３９】
測定の際の空間分解能を向上させるためには、図示のように、振動する探針１が試料３の表面に当たらない限りカンチレバー２の高さ方向（Ｚ方向）の振動振幅Ａcantをできるだけ大きく設定することが望ましい。すなわち、試料３の表面とカンチレバー２の振動中心との間の距離ｈの２倍と、カンチレバー２の振動振幅Ａcantとの差を０に近づけることが望ましい。
【００４０】
２ｈ−Ａcant  →  ０    （但し、Ａcant  ＜  ２ｈ）    …（１）
なお、距離ｈは、走査用圧電素子４をＺ軸方向（高さ方向）に移動させることにより調整することができる。
【００４１】
しかし、空間分解能の向上を図るがために振動する探針１を試料３の表面に近づけすぎると（試料３と探針１との間隔（探針−試料間距離）ｚが小さすぎると）、探針１の先端が試料３に吸着する現象が起きてしまう（なお、吸着が生じるときの探針−試料間距離は、試料３の材質や励起場の種類によって異なる）。すなわち、探針１に働くファン・デル・ワールス力勾配がカンチレバー２のばね定数より大きくなると、カンチレバー２は探針１を支えきれなくなる。その結果、探針１が試料３の表面にジャンプインしてしまい、測定が困難となる（森田清三, K BOOKS SERIES 83, 走査プローブ顕微鏡のすべて（工業調査会）1992）。したがって、カンチレバー２のばね定数ｋcantは、次式のようにファン・デル・ワールス力勾配よりも大きいことが望ましい。
【００４２】
ｋcant  ＞  ∂Ｆvdw／∂ｚ    …（２）
ここで、Ｆvdwは探針１に働くファン・デル・ワールス力であり、ｚは探針−試料間距離である。
【００４３】
ところで、カンチレバー２を振動させながら磁界による力学的相互作用を測定するダイナミックモードでは、力学的相互作用は振動している各点における探針１と磁界の磁気力の平均として表される（F. J. Giessibl, Physical Review B 56 (1997) 16010.）。よって、振動振幅Ａcantが減衰距離αmagよりも大きければ、探針１が磁界と相互作用しない場所が存在し、効率良く測定できないことになる。ここで、減衰距離とは、試料３の表面から探針２が磁界と相互作用しなくなる点までの距離をいう。
【００４４】
したがって、力学的相互作用の検出効率を一層高めるためには、振動する探針１が磁界と相互作用しない場所が存在しないことのないようにする。換言すれば、探針１が磁界による力学的相互作用を測定するために走査されている間は、探針１の振動する範囲が、試料３の表面から探針が磁界と相互作用しなくなる点までの範囲内に収まるようにする。この場合、次式のように、カンチレバー２の振動振幅Ａcantを磁界の減衰距離αmagよりも小さくする必要がある。
【００４５】
Ａcant  ＜  αmag            …（３）
なお、磁界の減衰距離αmagは50nm程度であるため、カンチレバー２の振動振幅Ａcantを50nm未満にすることが望ましい。
【００４６】
以上のような条件でカンチレバー２を設定することにより、高周波応答を高分解能にかつ安定に測定することができる。
【００４７】
（測定方法）
以下、図１と共に、図３のフローチャートを参照して、同実施形態の測定方法を説明する。
【００４８】
まず、測定対象の磁気記録ヘッドである試料３を、走査用圧電素子４により駆動制御される所定の部材上に配置させる。
【００４９】
ＡＭ信号発生器１６から発生されるべきＡＭ信号の側波帯周波数ωｍ及び搬送波周波数ωｃを設定し（ステップＳ１）、ωｃとωｍとで振幅変調されたＡＭ信号電流をＡＭ信号発生器１６から発生させ、試料３に印加する（ステップＳ２）。
【００５０】
上記設定においては、側波帯周波数ωｍを「ωｍ＜＜ωｒ」なる条件で設定する。この場合、側波帯周波数ωｍについては、カンチレバー２の共振周波数ωｒの１０分の１以下となるように設定することが望ましい。位相検出器１０で検出される交流成分の最大の周波数はカンチレバーの共振周波数の約１０分の１以下という、変調理論ならびに回路系の構造上の制約があるからである。
【００５１】
また、搬送波周波数ωｃについては、カンチレバー２の共振周波数ωｒより高い値（数MHz〜GHz）に設定する。もし、搬送波周波数ωｃをカンチレバー２の共振周波数ωｒ近傍に設定して測定を行うと、カンチレバー２自身が探針１に働くエネルギーを貯えてしまい、正しく画像を測定することができないからである。更に、搬送波周波数ωｃを共振周波数ωｒ以下に設定すると、もはや高周波の測定を行うことができないからである。
【００５２】
次に、カンチレバー２に関して上記（１）式〜（３）式を満たす条件の設定を行った上で、カンチレバー２を振動させ、探針１と試料３との相対的位置関係を変化させながら探針１によって試料３の表面を走査する（ステップＳ３）。このとき、信号発生器６から加振用圧電素子５へ一定の信号（例えばカンチレバー２の共振周波数ωｒに近似する周波数を有する信号）を印加することによって、カンチレバー２を一定の振動振幅で振動させる。
【００５３】
これにより、試料３から生じる磁界による力学的相互作用が探針１に働く。このときの探針１には、低周波のＡＣ成分（ωｍ成分）の力および力勾配が働く。このωｍ成分には、高周波のωｃ成分が含まれている。ωｍの値はカンチレバー２の共振周波数より十分小さく、検出は比較的容易なので、搬送波周波数ωｃの値を数MHz〜GHzに設定しておけば、試料３の高周波磁界分布を測定することができる。すなわち、探針１に働く力学的相互作用の高周波成分（搬送波成分）を低周波成分（側波帯成分）に変換して測定することが可能となる。
【００５４】
変位検出計７は、力及び力勾配をカンチレバー２の変位として検出する。ここで、コンピュータ１８は、変位検出計７、振幅／直流電圧変換器１２、及びフィードバック回路１３からなる測定系から試料３の表面の凹凸像の信号を入力して当該凹凸像を測定すると共に、スイッチ８及び１９を制御することにより力像と力勾配像とを選択的に測定する。
【００５５】
コンピュータ１８がスイッチ８を位相検波器１０側（ＰＤ側）に接続した場合には（ステップＳ４の「ＰＤ」）、位相検波器１０及び同期検波器１１により力勾配像の信号が生成される。一方、コンピュータ１８がスイッチ８を同期検波器９側（ＰＤ側）に接続した場合には（ステップＳ４の「ＳＤ」）、同期検波器９により力像の信号が生成される。
【００５６】
位相検波器１０及び同期検波器１１により生成された力勾配像の信号は、スイッチ１９を介してコンピュータ１８に取り込まれる（ステップＳ７の「勾配」）。一方、同期検波器９により生成された力像の信号は、スイッチ１９を介してコンピュータ１８に取り込まれる（ステップＳ７の「力像」）。
【００５７】
コンピュータ１８は、力勾配像の信号を取り込んだときには力勾配像の測定を行い（ステップＳ８）、力像の信号を取り込んだときには力像の測定を行う（ステップＳ９）。
【００５８】
このように本測定装置では、試料３の表面の凹凸像を測定すると同時に、力像と力勾配像とを選択的に測定することができる。また、スイッチ８及び１９を切り替え制御することにより、同一条件で同一視野内の高周波の力像と力勾配像との比較を行うことも可能となる。
【００５９】
なお、高周波磁界測定において、記録磁気記録ヘッドからの磁界強度が大きすぎると、表面形状にその影響が及んでしまう。そのような場合には、得られた表面形状のコントラストから、カンチレバー２の加振周波数もしくは振動振幅を制御することが望ましい。例えば、加振用圧電素子５もしくは信号発生器６を調整することにより、カンチレバー２の加振周波数を共振周波数ωｒからずらすか、加振振幅を大きくする。これにより、強磁界の影響を低減させた状態で測定を行うことが可能となる。
【００６０】
以上のように同実施形態の測定装置によれば、カンチレバー２の条件を適切に設定した状態で、測定対象の磁気記録ヘッドに対して振幅変調した高周波電流を印加して磁界を発生させることにより、空間分解能を向上させた高周波応答の測定を実現することができる。
【００６１】
図４及び図５は、同実施形態の測定装置により磁気記録ヘッドの力勾配像及び力像を測定した場合の測定例を示す図である。
【００６２】
図４（Ａ）は、同実施形態の測定装置での力勾配測定系により得られる高周波ヘッド像である力勾配像の画像である。同図（Ｂ）及び（Ｃ）は、それぞれラインプロファイルである。ここで、測定対象である磁気記録ヘッド（試料３）は、図６に示すように、磁極５０間にギャップ５１を有する。また、電流値モニタ１７から試料に印加される信号電流値（振幅）は２０ｍＡである。さらに、当該信号電流を生成するためのＡＭ信号の搬送波周波数は、「ωｃ＝２π×１０ＭＨｚ」であり、側波帯周波数は、「ωｍ＝２π×３００Ｈｚ」である。また、探針１の操作範囲は、「５μｍ×５μｍ」である。図４（Ａ）の範囲３０は、磁気記録ヘッドのギャップ５１の位置に相当し、高周波磁界が大きい部分であることを意味する。同図（Ｂ）は、ギャップ位置の近傍で磁界が大きくなっていることを示すラインプロファイル（図６のライン５２に相当）である。また、同図（Ｃ）は、ギャップのエッジ部分に過電流による損失の効果により発生したと推定されるピーク３１を示すラインプロファイル（図６のライン５３に相当）である。
【００６３】
図５（Ａ）は、同実施形態の測定装置での力測定系により得られる高周波ヘッド像である力像の画像である。同図（Ｂ）及び（Ｃ）は、それぞれラインプロファイル（図６のライン５２，５３に相当）である。測定対象の磁気記録ヘッド３及び探針１は、図４の測定例と同一である。また、測定条件は、ＡＭ信号の側波帯周波数が、「ωｍ＝２π×４７．２ｋＨｚ（＝ωｒ）」である以外は同一である。図５（Ａ）の範囲４０は、磁気記録ヘッドのギャップ位置に相当し、高周波磁界が大きい部分であることを意味する。同図（Ｂ）は、ギャップ位置の近傍で磁界が大きくなっていることを示すラインプロファイルであるが、前記図４（Ｂ）に示す場合と比較してコントラストの変化が緩やかであり、分解能が低いことを示す。また、同図（Ｃ）は、前記図４（Ｃ）に示すギャップのエッジ部分に過電流による損失の効果により発生したと推定されるピーク３１が確認できないことを示す。
【００６４】
以上の測定結果から、力勾配測定系は、力測定系と比較して分解能が高く、磁気記録ヘッドから発生する高周波磁界を良好に反映した像を測定できることが確認できた。
【００６５】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することが可能である。
【００６６】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、高周波応答を高感度かつ高分解能に測定することのできる磁気記録ヘッド測定装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る磁気記録ヘッド測定装置の構成を示すブロック図。
【図２】同実施形態のカンチレバーの条件を説明するための図。
【図３】同実施形態の測定方法を説明するためのフローチャート。
【図４】同実施形態の力勾配像の測定例を示す図。
【図５】同実施形態の力像の測定例を示す図。
【図６】同実施形態の測定例での試料のギャップ位置とプロファイルとの関係を示す図。
【符号の説明】
１…探針
２…カンチレバー
３…試料（磁気記録ヘッド）
４…走査用圧電素子
５…加振用圧電素子
６…信号発生器
７…変位検出計
８…スイッチ
９…同期検波器
１０…位相検出器
１１…同期検波器
１２…振幅／直流電圧変換器
１３…フィードバック回路
１４…信号発生器
１５…信号発生器
１６…ＡＭ信号発生器
１７…電流値モニタ
１８…コンピュータ
１９…スイッチ
【図１】
0003637297.tif 000002
【図２】
0003637297.tif 000003
【図３】
0003637297.tif 000004
【図４】
0003637297.tif 000005
【図５】
0003637297.tif 000006
【図６】
0003637297.tif 000007