(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ビームを発生する光源と、前記光源からの光ビームを反射偏向させる複数の反射面を有する偏向器と、前記偏向器の第１反射面により反射偏向された少なくとも主走査方向において平行な光ビームを前記偏向器の第２反射面に伝達入射させる主走査方向においてアフォーカル光学系である伝達光学系と、前記偏向器の前記第２反射面により反射偏向された光ビームを被走査面上にビームスポットを形成させて走査させる走査光学系とを備えた光走査装置において、
前記伝達光学系は主走査方向の少なくとも光軸近傍において、横軸にディオプターの値を縦軸に走査角をとったとき、正のディオプター方向に対して凸に湾曲したディオプターを有し、前記走査光学系は主走査方向の少なくとも光軸近傍において光の進行方向に対して凸の像面湾曲を有していることを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
前記伝達光学系の前群が主走査方向において少なくとも１面が非球面（非円弧面）の単レンズからなることを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
【請求項３】
前記単レンズの入射側の面が主走査方向において非球面（非円弧面）であることを特徴とする請求項２記載の光走査装置。
【請求項４】
前記伝達光学系の前記単レンズの非球面（非円弧面）のコーニック係数ＫがＫ＜−１であることを特徴とする請求項２又は３記載の光走査装置。
【請求項５】
前記走査光学系の前群が単レンズからなることを特徴とする請求項１から３の何れか１項記載の光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザービームプリンタ等に用いられる光走査装置に係り、特に、回転多面鏡等の複数の反射面を有する偏向器に光ビームを順に２度入射させる光走査装置において、第１反射面から第２反射面に伝達入射させる伝達光学系の構成に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、本出願人により、回転多面鏡を用いた光走査装置において、異なる反射面に順に２度入射させるようにすることにより、高速で良好な画像再現を可能としたものが提案されている。特に、特開平１１−６４７７１号のものにおいては、回転多面鏡の第１反射面から第２反射面へ伝達入射させる伝達光学系を、主走査方向でアフォーカル光学系としているが、その伝達光学系の前群が３枚の球面レンズ（円筒レンズ）からなっており、かつ、伝達光学系の主走査方向のディオプター（第２反射面から集束点までのｍ単位で表した距離の逆数）が正のディオプター方向に対して光軸近傍で凹に湾曲している。
【０００３】
また、米国特許第５，３９２，１４９号及び米国特許第５，５８５，９５５号では、同様に主走査方向でアフォーカルな伝達光学系を用いているが、具体的なレンズ構成は明記されていない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本出願人による上記特開平１１−６４７７１号のものにおいては、伝達光学系の前群が３枚、後群が１枚の計４枚からなり、また、伝達光学系の主走査方向のディオプターが光軸近傍で凹に湾曲しているため、回転多面鏡と被走査面の間の走査光学系によって生じる主走査方向の光軸近傍での凸の像面湾曲（光の進行方向に対して凸形状の像面）と強め合って全光学系の主走査方向の像面湾曲が増加する結果となる。
【０００５】
本発明は従来技術のこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、特に像面湾曲特性が良く高速で良好な画像再現な可能な光走査装置を提供することである。
【０００６】
上記目的を達成する本発明の光走査装置は、光ビームを発生する光源と、前記光源からの光ビームを反射偏向させる複数の反射面を有する偏向器と、前記偏向器の第１反射面により反射偏向された少なくとも主走査方向において平行な光ビームを前記偏向器の第２反射面に伝達入射させる主走査方向においてアフォーカル光学系である伝達光学系と、前記偏向器の前記第２反射面により反射偏向された光ビームを被走査面上にビームスポットを形成させて走査させる走査光学系とを備えた光走査装置において、
前記伝達光学系は主走査方向の少なくとも光軸近傍において、横軸にディオプターの値を縦軸に走査角をとったとき、正のディオプター方向に対して凸に湾曲したディオプターを有し、前記走査光学系は主走査方向の少なくとも光軸近傍において光の進行方向に対して凸の像面湾曲を有していることを特徴とするものである。
【０００７】
この場合に、伝達光学系の前群が主走査方向において少なくとも１面が非球面（非円弧面）の単レンズからなることが望ましい。
【０００８】
また、その単レンズの入射側の面が主走査方向において非球面（非円弧面）であることが望ましい。
【０００９】
また、伝達光学系のその単レンズの非球面（非円弧面）のコーニック係数ＫがＫ＜−１であることが望ましい。
【００１０】
また、走査光学系の前群が単レンズからなることが望ましい。
【００１１】
本発明においては、伝達光学系は主走査方向の少なくとも光軸近傍において正のディオプター方向に対して凸に湾曲したディオプターを有し、走査光学系は主走査方向の少なくとも光軸近傍において光の進行方向に対して凸の像面湾曲を有しているので、像面湾曲に関して伝達光学系と走査光学系とは互いに逆の特性を持つことになり、光学系全体の像面湾曲は相互に打ち消し合って、全光学系の主走査方向の像面湾曲が良好になる。そのため、高速で良好な画像再現が可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき本発明の光走査装置について詳細に説明する。
【００１３】
まず、本発明の光走査装置の実施例について説明する。図１は本実施例の光走査装置の構成を示す平面図、図２はその側面図、図３はその主要部の斜視図、図４はその主要部の側面図である。以下、本発明では、光学系の任意の位置において、その位置における光学系の光軸を含み偏向器である回転多面鏡４の回転軸４１に平行な面を副走査面と定義し、光軸を含み副走査面に垂直な面を主走査面と定義する。さらに、主走査面内において、光軸に垂直な方向を主走査方向と定義し、また、副走査面内において、光軸に垂直な方向を副走査方向と定義する。
【００１４】
光源としての半導体レーザー１から射出した光ビームは、第１整形レンズ２、第１アパーチャ６１（図５）、第２整形レンズ３、第２アパーチャ６２（図５）を透過して整形され、偏向器としての回転多面鏡４の第１反射面５に入射し、１度目の偏向がなされる。このとき、光ビームは、回転多面鏡４の回転軸４１に垂直な面に対して角度を持って第１反射面５に入射するため、入射する光ビームと反射された光ビームは干渉しない。第１反射面５で反射された光ビームは、第１伝達レンズ７を透過して第１伝達ミラー１０で反射され、第２伝達レンズ１１、第３伝達レンズ１２を透過して第２伝達ミラー１３で反射され、再び回転多面鏡４の第２反射面６に入射し、２度目の偏向がなされる。このときも、光ビームは、回転多面鏡４の回転軸４１に垂直な面に対して角度を持って第２反射面６に入射するため、入射する光ビームと反射された光ビームは干渉しない。
【００１５】
第２反射面６で反射された光ビームは、第１走査レンズ１４、第２走査レンズ１５及び第３走査レンズ１６により被走査面１７上に光ビームスポットとして結像されて走査される。回転多面鏡４の面数は１２面（偶数）である。第３走査レンズ１６は、副走査方向に偏心しており、その方向は図２中の矢印の方向である。第３走査レンズ１６をこのように偏心させる理由は、回転多面鏡４の第２反射面６で反射され偏向される光ビームは円錐状の軌跡を描き、その光ビームの断面の座標系が偏向角に依存して回転してしまい、被走査面１７上の結像スポットの形状が崩れてしまうが、第３走査レンズ１６をこのように偏心させることにより、その崩れが防止できるからである。
【００１６】
ところで、半導体レーザー１から第１反射面５までの間の光学系を整形光学系２１、第１反射面５から第２反射面６の間の光学系を伝達光学系２２、第２反射面６から被走査面１７までの間の光学系を走査光学系２３と称するとすると、回転多面鏡４の第１反射面５と第２反射面６は回転軸４１を挟んで対向する相互に平行な反射面であり、かつ、整形光学系２１、伝達光学系２２、走査光学系２３の光軸は回転軸４１を含む共通の副走査面内に配置されている。したがって、この光走査装置は、２度入射で斜め入射でありながら、この副走査面に関して対称な構成になっている。このような配置にすると、整形光学系２１、伝達光学系２２、走査光学系２３の光軸が主走査面で見て一直線上に配置されるので、構造上の主走査方向の基準面が１面に集約され、光学系を構成する各要素を高精度に配置することができる。また、主走査面で見て、伝達光学系２２の光軸が整形光学系２１及び走査光学系２３の光軸と一部重なるため、少ないスペースで配置でき、光走査装置の設置面積の減少、装置の小型化が図れる。そして、このような配置により、回転多面鏡４の回転軸４１の偏心に基づく走査線の副走査方向での位置変動を防止することができる。
【００１７】
図５に、整形光学系２１の主走査方向の光路図（ａ）と副走査方向の光路図（ｂ）を示す。主走査面に垂直で副走査面に平行な接合面を備えカバーガラスを有する半導体レーザー１から副走査方向に比べて主走査方向により広がるように射出された光ビームｂは、非球面レンズの第１整形レンズ２により集束する光ビームに変換され、第１整形レンズ２の射出面位置に配置された矩形開口の第１アパーチャ６１によって副走査方向周辺部のみが遮蔽される。第２整形レンズ３は主走査方向にのみ負屈折力を有する負シリンドリカルレンズである。そのため、第２整形レンズ３を透過した光ビームは、主走査面において平行な光ビームに変換され、第２アパーチャ６２によって主走査方向周辺部のみが遮蔽されて第１反射面５に入射し、副走査面においては第１反射面５近傍に結像（集束）する。
【００１８】
図６に、伝達光学系２２の主走査方向の光路図（ａ）と副走査方向の光路図（ｂ）を示す。第１伝達レンズ７は主走査方向にのみ屈折力を有する非円筒面シリンドリカルレンズである。また、第２伝達レンズ１１は副走査方向にのみ正屈折力を有する正シリンドリカルレンズであり、第３伝達レンズ１２は正屈折力を有する球面レンズである。そして、これらの作用は、第１反射面５で反射された光ビームは、主走査面において、第１伝達レンズ７により一旦結像する。第１伝達レンズ７の像側焦点７１と第３伝達レンズ１２の物体側焦点は一致し、主走査面においてアフォーカル光学系を構成している。したがって、主走査面において、第１伝達レンズ７がアフォーカル光学系の前群を構成し、第３伝達レンズ１２がアフォーカル光学系の後群を構成している。そのため、光ビームは、第３伝達レンズ１２で主走査面内で再び平行な光ビームに変換され、第２反射面６に入射する。副走査面においては、第２伝達レンズ１１と第３伝達レンズ１２の合成正屈折力により、第１反射面５と第２反射面６とは共役関係になっており、第１反射面５近傍の集束点を第２反射面６近傍に再び結像する。
【００１９】
図７に、走査光学系２３の主走査方向の光路図（ａ）と副走査方向の光路図（ｂ）を示す。第１走査レンズ１４は正屈折力を有する球面レンズである。第２走査レンズ１５は副走査方向にのみ屈折作用を有するプリズムであり、第３走査レンズ１６は樹脂製の主走査方向に長い長尺レンズである。第３走査レンズ１６の入射面は、主走査方向に曲率半径の大きな凹形状となっており、副走査面方向には曲率半径の小さな凸形状となっており、主走査方向の断面曲線をその入射面よりも被走査面１７側に位置する主走査方向に平行な軸の回りに回転させることにより形成される面である。このような面は鞍型トーリック面とも呼ばれる。また、第３走査レンズ１６の射出面は、光軸周りに回転対称な非球面である。このような構成の走査光学系２３は、副走査面において、第２反射面６と被走査面１７を共役関係にして、第２反射面６近傍の集束点を被走査面１７近傍に結像する。また、主走査面においては、第２反射面６から反射された平行な光ビームを被走査面１７近傍に結像する。
【００２０】
次に、伝達光学系２２の作用について説明する。図８は伝達光学系２２の主走査面の断面展開図である。第２伝達レンズ１１は主走査方向の屈折力を持たないため、図示していない。図８（ａ）と（ｂ）に回転多面鏡４が回転するときの光ビームの状態を示す。ところで、図１〜図４等に示すように、伝達光学系２２の光路は、伝達ミラー１０、１３により２回反射される。すなわち、偶数回反射される。図８では、これらの偶数回の反射について展開しているので、図８（ｂ）のように、第１反射面５と第２反射面６の回転方向は同じである。
【００２１】
第１反射面５に入射する平行な光ビームの直径はｗi である。伝達光学系２２は主走査面内ではアフォーカル光学系を構成しているので、第２反射面６に入射する光ビームも平行であり、光ビームの直径はｗo である。第１伝達レンズ７の焦点距離をｆ1 、第３伝達レンズ１２の焦点距離をｆ2 とすると、ｗo をｗi で除した光ビームの直径の比の値は、ｆ2 をｆ1 で除した値に等しい。
【００２２】
図８（ｂ）に示すように、回転多面鏡４が角度θ1 だけ回転すると、第１反射面５で光ビームは角度２θ1 だけ偏向される。偏向された光ビームは第１伝達レンズ７、第３伝達レンズ１２を透過して、角度θ2 だけ偏向される。この光ビームは点Ｑで光軸と交差する。第２反射面６上において、偏向された光ビームと光軸との距離はｄであるが、回転多面鏡４が角度θ1 だけ回転すると、第２反射面６も同じ距離ｄだけ移動するような位置関係に設定される。したがって、光ビームの移動量と第２反射面６の移動量が一致し、第２反射面６から光ビームがはみ出すことはない。
【００２３】
このとき、偏向された光ビームは、第２反射面６に対して角度θ2 だけ入射角が増大する側に偏向されるので、第２反射面６で反射された光ビームの走査角θs は、θs ＝２θ1 ＋θ2 と表わされる。
【００２４】
本実施例の伝達光学系２２は主走査面においてアフォーカル光学系であるので、その光学倍率βは焦点距離ｆ2 を焦点距離ｆ1 で除した値であり、上記のように、光ビームの直径の比ｗo ／ｗi にも等しい。また、伝達光学系２２を透過する光ビームは角度２θ1 から角度θ2 に偏向角が変化するので、光学倍率βは２θ1 ／θ2 と表すこともできる。したがって、光学倍率βは次式で表される。
【００２５】
β＝ｗo ／ｗi ＝ｆ2 ／ｆ1 ＝２θ1 ／θ2 
本実施例のような回転多面鏡４で光ビームが２度の偏向をされる光走査装置は、従来の１度しか偏向されない光走査装置に比べて、走査速度を速くすることができる。このことについて次に説明する。
【００２６】
従来の１度しか偏向しない光走査装置では、回転多面鏡が回転すると反射面が移動するため、１回の走査において常に光ビーム全体を同一反射面に入れるために、回転多面鏡に入射する光ビームの主走査方向の大きさよりも、反射面の大きさを大きくしなければならない。したがって、回転多面鏡の反射面の面数をあまり多くすることができない。
【００２７】
本実施例では、主走査面において、第１反射面５に平行な光ビームが入射する。また、β＞１であるため、第１反射面５上における光ビームの主走査方向の直径ｗi は、第２反射面６上における光ビームの主走査方向の直径ｗo よりも小さい。そのため、従来の光走査装置に対して第１反射面５の大きさが小さくても、１回の走査において常に光ビーム全体を同一反射面に入れることができる。ｗi を小さくすればする程、さらに第１反射面５の大きさを小さくすることができる。また、２度目の偏向では、回転多面鏡４が回転したときの光ビームの移動量と第２反射面６の移動量が一致するため、第２反射面６の主走査方向の大きさは、少なくとも入射する光ビームの大きさと同じ大きさだけあればよい。
【００２８】
したがって、従来の１度しか偏向しない光走査装置に比べて、本実施例の２度の偏向をする光走査装置では、第２反射面６上における光ビームの主走査方向の直径ｗo に対して、第１反射面５上における光ビームの主走査方向の直径ｗi を小さくすることにより、回転多面鏡４の反射面を小さくすることができるため、反射面の面数を多くすることができ、それだけ走査速度を上げることができる。
【００２９】
このように構成された光走査装置の具体的な第１実施例の数値例を表−１に示す。この表−１では、シリンドリカル面、トーリック面は副走査方向、主走査方向の曲率半径をｒix、ｒiyとしている（ｉは光源１から被走査面１７までの面番号を示す。）。また、非球面である面については、曲率半径は光軸上の値を示している。なお、長さの単位はｍｍである。
0003680921.tif 000002
0003680921.tif 000003
注）Ｓi ：面番号ｉの面、
ｒi ：面番号ｉの曲率半径、
ｄi ：面番号ｉとｉ＋１の間の面間隔、
ｎi ：面番号ｉとｉ＋１の間の媒体の波長７８０ｎｍの屈折率である。
【００３０】
第１整形レンズ２、第１伝達レンズ７及び第３走査レンズ１６の非球面を表す式は、
0003680921.tif 000004
であり、その非球面係数を次の表−２に示す。ただし、Ｋは上記式中のＫi で定義されるコーニック係数である。
0003680921.tif 000005
注）Ｓ4 ：面番号４の非球面係数、
Ｓ8y：面番号８の主走査方向の非球面係数、
Ｓ22：面番号２２の非球面係数である。
【００３１】
この具体例において、第３走査レンズ１６の入射面Ｓ21は、ｒ21y ＝−１０３８．１９７２６の円弧をｒ21x ＝３７．５９６６１で回転させて形成されるトーリック面である。なお、第２走査レンズ１５で光路が屈折されるが、表−１のパラメータの基準となる光軸も屈折されるものとする。
【００３２】
また、回転多面鏡４の面数は１２、その内接円直径は３８．６４ｍｍであり、回転多面鏡４の第１反射面５、第２反射面６への光ビームの副走査方向の入射角は何れも６°であり、第１伝達ミラー１０、第２伝達ミラー１３への光ビームの副走査方向の入射角は何れも３°である。また、第２走査レンズ１５の射出面Ｓ20は副走査断面において１２．０７６５２６°傾いており、第３走査レンズ１６の入射面Ｓ21は副走査断面において８．６０９６１０°傾いている。これらの傾き角の向きについては、図２において、それぞれ時計回り、反時計回りである。第３走査レンズ１６の射出面は、図２において下方に０．２ｍｍ偏心している。
【００３３】
また、第１整形レンズ２の射出面直後に、主走査方向４ｍｍ、副走査方向１．６４ｍｍの矩形の第１アパーチャ６１が配置されており、第２整形レンズ３の射出面の後方５３．３ｍｍの位置に、主走査方向１ｍｍ、副走査方向４ｍｍの矩形の第２アパーチャ６２が配置されている。そして、副走査方向において、発光点１と回転多面鏡４の第１反射面５は幾何光学的共役関係から外れている。ただし、回転多面鏡４の第１反射面５、第２反射面６、被走査面１７の３面は、何れも互いに共役関係にあるため、回転多面鏡４の面倒れ補正が行われている。したがって、発光点１と被走査面１７は共役関係から外れている。しかしながら、回折の影響により、光ビームが最小となる位置（ビームウエスト）は幾何光学的結像点からずれた位置にあり、光ビームが略最小となる位置（ビームウエスト）に被走査面１７が配置されている。
【００３４】
ここで、第２走査レンズ１５は、前記したように、副走査方向にのみ屈折作用を有するプリズムである。このプリズムの作用について説明する。回転多面鏡４の反射面６で反射され偏向された光ビームは円錐状の軌跡を描き、第２走査レンズ１５のプリズムを配置しない場合、第３走査レンズ１６の長尺レンズ上で湾曲したビーム軌跡となってしまう。このプリズム１６は、図９に模式的に示すように、円錐状の光ビームａの軌跡を第３走査レンズ１６の入射面上で直線状のビーム軌跡Ａに変換する作用を有している。
【００３５】
図１０は、上記の具体例の第３走査レンズ１６の入射面におけるビーム軌跡を示した図であり、そのビーム軌跡を実線で示す。なお、図のＹ方向が主走査方向、Ｘ方向が副走査方向を示す。比較のために、上記具体例の光学系の回転多面鏡４の第２反射面６から第３走査レンズ１６までの距離は変えずに、第２走査レンズ１５のみを取り除いた場合の、第３走査レンズ１６の入射面におけるビームの軌跡を破線で示す。図１０より、第２走査レンズ１５のプリズム作用によりビームの軌跡を直線状に補正する作用があることが分かる。
【００３６】
図１１は、第３走査レンズ１６の副走査断面を主走査方向の数か所（５か所）の位置で示したもので、断面形状の設計値に対する測定値の誤差を示したものである。図中、Ｘ、Ｙ、Ｚはそれぞれ副走査方向、主走査方向、光軸方向とする。図１１のように、第３走査レンズ１６のような鞍型トーリック面を持つレンズの形状誤差は、主走査方向の位置によらず略同じ様子を示すが、副走査方向に周期的に変化する特徴がある。上記のように、第２走査レンズ１５のプリズム作用により、第３走査レンズ１６上のビーム軌跡は直線Ａとなり、ビームは主走査方向の位置に係わらず点Ｂ1 〜Ｂ5 の常に形状誤差が凸の部分に入射する。主走査方向の何れの位置においても、第３走査レンズ１６の形状誤差が凸の部分に光ビームが入射すると、副走査方向の結像位置は設計された位置より手前にずれるが、走査領域全体にわたって常に同一量だけ手前にずれるため、第３走査レンズ１６の位置を調整する等、光学系の調整をすれば補正することが可能であり、このような調整により像面湾曲は生じない。
【００３７】
さて、ここで、伝達光学系２２に要求される特性について説明すると、主走査方向では面追従特性と平行性の２つ、副走査方向では像面湾曲特性の１つである。
【００３８】
主走査方向の面追従特性とは、図８を用いて説明したように、回転多面鏡４が回転したときに第２反射面６の移動量と第２反射面６に入射する光ビームの移動量とが一致することである。また、主走査方向の平行性とは、伝達光学系２２から射出される光ビームの平行性が走査している間常に維持されることである。副走査方向の像面湾曲特性とは、第２反射面６での像面湾曲、すなわち、副走査方向における第２反射面６近傍の結像点による像面湾曲のことである。
【００３９】
伝達光学系２２の主走査方向の平行性については、ディオプターで評価することができる。ディオプターとは、第２反射面６に入射する光ビームの主走査方向の第２反射面６から結像点までの距離をｍ単位で表したものの逆数であり、伝達光学系２２から射出した光ビームが主走査方向で集束していると正の値、発散していると負の値となる。
【００４０】
上記実施例の伝達光学系２２の主走査方向のディオプターは、図１２に示したように、光軸から離れるに従い負方向に減少しており、光軸近傍で正のディオプター方向に対して凸に湾曲しており、光ビームは発散する方向へ向かう傾向にある。光軸近傍でディオプターを凸に湾曲させるためには、第１伝達レンズ７の凸面非球面（上記実施例では入射側の面）のコーニヅク係数Ｋを、Ｋ＜−１とすればよい。Ｋ＜−１であれば、その凸面非球面は凸の双曲面となり、光軸から離れるに従って正の屈折力が弱くなり、伝達光学系２２の主走査方向のディオプターは光軸近傍で凸に湾曲した形状になる。
【００４１】
ところで、走査光学系２３は、第１走査レンズ１４である前群と、第３走査レンズ１６である後群に分けられる。ここで、プリズムである第２走査レンズ１５はレンズとしての機能はないので除いてある。走査光学系２３を前群と後群に分ける基準は、第２反射面６と被走査面１７の中間点を境にしてその第２反射面６側のレンズ群を前群、その被走査面１７側のレンズ群を後群とする。走査光学系２３の後群は被走査面１７に近いため大口径のレンズとなるので、主走査方向において強いパワーを持たせるとレンズが厚くなりすぎるため、強いパワーを持たせることができない。したがって、走査光学系２３の主走査方向の正のパワーは、主に前群が担うことになる。上記の実施例のように、前群が正のパワーを有する単レンズ（第１走査レンズ１４）であると、主走査方向の像面湾曲が光軸近傍で凸となり（ペッツバール和が負であるため）、上記実施例の走査光学系２３だけの主走査方向の像面湾曲は図１３のＡ（破線）のようになる。この像面湾曲は、走査光学系２３に伝達光学系２２から入射する光ビームの主光線の位置と角度は実際と同じにし、完全に平行な光ビームが走査光学系２３に入射するものとして求めた像面湾曲である。
【００４２】
図１２に示したように、伝達光学系２２の主走査方向のディオプターが光軸近傍で凸に湾曲していることと、図１３に示したように、走査光学系２３の像面湾曲が光軸近傍で凸であることとは、互いに逆の性質であるので、全光学系の像面湾曲としては相互にキャンセルし合い、図１３にＢ（実線）で示した像面湾曲となり、Ａ（破線）に比べて変動幅が小さくなる。Ａの変動幅１．７ｍｍに対し、Ｂの変動幅は１．６ｍｍと小さくなっている。なお、被走査面１７は幾何光学的にはこの変動幅内に配置すると良好な走査画像を形成することができるが、実際には、前記のように光ビームが略最小となるビームウエストの位置に被走査面１７を配置しれいる。
【００４３】
このように、本発明においては、主走査方向において、伝達光学系２２は少なくとも光軸近傍において正のディオプター方向に対して凸に湾曲したディオプターを有し、走査光学系２３は少なくとも光軸近傍において光の進行方向に対して凸の像面湾曲を有するようにして、像面湾曲に関して伝達光学系２２と走査光学系２３とが互いに逆の特性を持つようにして、光学系全体の像面湾曲が相互に打ち消し合って、全光学系の主走査方向の像面湾曲が良好になるようにしている。
【００４４】
なお、以上の実施例では、偏向器として回転多面鏡を使用するものについて説明したが、偏向器として回転多面鏡の他に、回転２面鏡の場合にも同様の効果を達成することができる。
【００４５】
以上、本発明の光走査装置を実施例に基づいて説明してきたが、本発明はこれらに限定されず、種々の変形が可能である。
【００４６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の光走査装置によれば、伝達光学系は主走査方向の少なくとも光軸近傍において正のディオプター方向に対して凸に湾曲したディオプターを有し、走査光学系は主走査方向の少なくとも光軸近傍において光の進行方向に対して凸の像面湾曲を有しているので、像面湾曲に関して伝達光学系と走査光学系とは互いに逆の特性を持つことになり、光学系全体の像面湾曲は相互に打ち消し合って、全光学系の主走査方向の像面湾曲が良好になる。そのため、高速で良好な画像再現が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光走査装置の１実施例の構成を示す平面図である。
【図２】図１の光走査装置の側面図である。
【図３】図１の光走査装置の主要部の斜視図である。
【図４】図１の光走査装置の主要部の側面図である。
【図５】図１の光走査装置の整形光学系の主走査方向と副走査方向の光路図である。
【図６】図１の光走査装置の伝達光学系の主走査方向と副走査方向の光路図である。
【図７】図１の光走査装置の走査光学系の主走査方向と副走査方向の光路図である。
【図８】伝達光学系の作用を説明するための主走査面の断面展開図である。
【図９】屈折プリズムの補正作用を説明するための図である。
【図１０】本発明の１つの具体例の第３走査レンズの入射面におけるビーム軌跡を示した図である。
【図１１】本発明の１つの具体例において第３走査レンズの形状誤差によって像面湾曲が発生しない理由を説明するための図である。
【図１２】本発明の１実施例の伝達光学系による主走査方向のディオプターを示すグラフである。
【図１３】本発明の１実施例の走査光学系のみの像面湾曲と、伝達光学系と走査光学系の組み合わせによる像面湾曲とを示すグラフである。
【符号の説明】
１…半導体レーザー（光源）
２…第１整形レンズ
３…第２整形レンズ
４…回転多面鏡
５…回転多面鏡の第１反射面
６…回転多面鏡の第２反射面
７…第１伝達レンズ
１０…第１伝達ミラー（伝達光学系の前群）
１１…第２伝達レンズ
１２…第３伝達レンズ（伝達光学系の後群）
１３…第２伝達ミラー
１４…第１走査レンズ（走査光学系の前群）
１５…第２走査レンズ（プリズム）
１６…第３走査レンズ（走査光学系の後群）
１７…被走査面
２１…整形光学系
２２…伝達光学系
２３…走査光学系
４１…回転軸
６１…第１アパーチャ
６２…第２アパーチャ
７１…第１伝達レンズの像側焦点
ｂ…光ビーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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