(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に複数形成された直線状凹部に、蛍光体液をディスペンサーから吐出し、熱処理で蛍光体膜を形成する方法であって、前記ディスペンサーからの吐出量を前記直線状凹部の体積に対する充填率が６５％から１０５％になる量にし、前記基板と前記ディスペンサーの間に、選択的に開口部が形成されたマスクを前記基板と略平行に位置させ、前記マスクを介して前記ディスペンサーから蛍光体液を吐出させながら前記基板と前記マスクとを前記ディスペンサーに対して前記直線状凹部の直線方向に相対的に移動させることを特徴とするカラー表示ＰＤＰの蛍光体形成方法。
【請求項２】
基板の表面に複数形成された直線状凹部に、蛍光体液をディスペンサーから吐出し、熱処理で蛍光体膜を形成する方法であって、前記ディスペンサーからの吐出量を前記直線状凹部の体積に対する充填率が６５％から１０５％になる量にし、前記ディスペンサーで蛍光体液を吐出させながら前記直線状凹部の直線方向にそって前記基板と前記ディスペンサーを相対的に移動させ、前記直線方向の移動中に吐出を一時的に止めることを特徴とするカラー表示ＰＤＰの蛍光体形成方法。
【請求項３】
ディスペンサーは、吐出口が略直線状に配置された複数のディスペンサーからなる請求項１または２に記載のカラー表示ＰＤＰの蛍光体形成方法。
【請求項４】
複数のディスペンサーのそれぞれから異なった色を同時に吐出する請求項３に記載のカラー表示ＰＤＰの蛍光体形成方法。
【請求項５】
直線状凹部の直線方向と基板面内で直交する方向の間隔を検出し、複数のディスペンサーの吐出口の配置方向が前記直線状凹部の直線方向に対して傾くように前記複数のディスペンサーを回転させ、検出した間隔に前記ディスペンサーの前記直線状凹部の直線方向と直交する方向の塗布ピッチをあわせる請求項３または４に記載のカラー表示ＰＤＰの蛍光体形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は壁掛けテレビや情報表示用のディスプレイとして用いられるカラープラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）の背面板には、細長いストライプ状の凹部が多数併設
されている。この凹部ごとに、赤、青、緑色の３色の蛍光体膜を作製することが必要である。そして蛍光体を形成する方法としては、簡単に低コストでできる等の理由によりスクリーン印刷法が多く用いられている。
【０００３】
この方法は、凹部を有する背面パネル全体に、蛍光体粒子が溶剤に分散されてなる蛍光体液を塗布し乾燥硬化させて蛍光体膜を形成する方法で、各色ごとに、所望の凹部にマスキングのパターンをあわせて同様の作業を繰り返す方法である。
【０００４】
しかしながら、スクリーン印刷方法ではスキージおよび蛍光体液の重みによりマスクが機械的変形を起こしその結果精度の高いパターンを形成するのが非常に困難である。
【０００５】
また、高精度で作製できる方法として、フォトグラフィーを用いた方法もあるが、この場合、塗布、露光、現像、乾燥等の多くの工程が必要であり高コストになる。
【０００６】
また、高精度で作製できる方法として、蛍光体と高粘度溶剤からなる蛍光体フィルムを基板の上に、貼り付け、凹部内部に押しつけ、不必要な部分を露光等の方法で取り除く方法もあるが、蛍光体量が必要量の３倍以上必要であり、高コストになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ＰＤＰにおいて、各凹部の発光を良好に行わせるには、凹部で発生した放電を蛍光体に効率よく作用させ、蛍光体で発生した光を効率よく外部に取り出す必要がある。そのため、蛍光体膜の配置形状として、凹部内部にある程度以上の膜厚（２０μｍ±５μｍ）で、均質で、全体に作製されていることが必要である。ドーム状、パラボラ状の形状が好ましい。また、膜厚は、基板すべてに対して同じように作製されていないと、むら等が発生する。また、当然、混色等が存在することは好ましくない。また、各凹部間に蛍光体が付着しているとコントラストが落ちるため良好な画面品質が期待できない。
【０００８】
ところが、前記した基板の全体に、印刷方法で蛍光体液を塗布して乾燥硬化させる方法では、上記のような要求を十分に満足させることができなかった。凹部の内面全体に確実に蛍光体膜を形成させるほど大量の蛍光体液を凹部の内部に充填すると形成させる膜厚が厚くなりすぎるとともに、蛍光体膜が凹部からはみでて形成される可能性も高い。蛍光体液の量を少なくすると、凹部の底部近くにしか蛍光体液が供給させず、その部分にのみ蛍光体膜が形成させる。
【０００９】
さらに、蛍光体液を塗布乾燥する前に、液中の蛍光体が沈降し、凹部底部にしか付着しないとい問題もある。
【００１０】
このような問題を解決するため、凹部を完全に埋めるほど蛍光体を供給して分厚い蛍光体膜を形成後、蛍光体膜の一部を研磨除去し、所望の膜厚にする方法も考えだされたが、研磨のコストおよび、蛍光体費用、研磨の制御が困難である等の問題がある。
【００１１】
前記に示した蛍光体フィルムを基板の上に、貼り付け、凹部内部に押しつけ、不必要な部分を露光等の方法で取り除く方法もあるが、蛍光体量が必要量の３倍以上必要であり、高コストになる。
【００１２】
基板自身の課題として、特に、印刷工法で作製された基板の場合、印刷で使用した溶剤を飛ばすため、５００度付近で焼成を行う。そのため、基板ガラスがゆがみ、凹凸部分において、規則性（凸部間隔、凹部間隔）が欠如する部分ができる場合が多い。この場合、ノズルの吐出間隔がリブ間隔と一致しないため、単純には塗布できない。また、他の工法で作製した基板にも、熱処理にともなうゆがみ、ひずみが存在する。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
基板の表面に複数形成された直線状凹部に、蛍光体液をディスペンサーから吐出し、熱処理で蛍光体膜を形成する方法であって、前記ディスペンサーからの吐出量を前記直線状凹部の体積に対する充填率が６５％から１０５％になる量にし、前記基板と前記ディスペンサーの間に、選択的に開口部が形成されたマスクを前記基板と略平行に位置させ、前記マスクを介して前記ディスペンサーから蛍光体液を吐出させながら前記基板と前記マスクとを前記ディスペンサーに対して前記直線状凹部の直線方向に相対的に移動させる方法を用いる。
【００１４】
基板の表面に複数形成された直線状凹部に、蛍光体液をディスペンサーから吐出し、熱処理で蛍光体膜を形成する方法であって、前記ディスペンサーからの吐出量を前記直線状凹部の体積に対する充填率が６５％から１０５％になる量にし、前記ディスペンサーで蛍光体液を吐出させながら前記直線状凹部の直線方向にそって前記基板と前記ディスペンサーを相対的に移動させ、前記直線方向の移動中に吐出を一時的に止める方法を用いる。
【００１５】
ディスペンサーが、吐出口が略直線状に配置された複数のディスペンサーからなり、前記複数のディスペンサーのそれぞれから異なった色を同時に吐出する方法を用いる。
【００１６】
直線状凹部の直線方向と基板面内で直交する方向の間隔を検出し、ディスペンサーが、吐出口が略直線状に配置された複数のディスペンサーからなり、前記複数のディスペンサーを回転させ、検出した間隔に前記ディスペンサーの吐出口のピッチをあわせる方法を用いる。
【００１７】
ディスペンサーの吐出口を含む面を除いて、蛍光体液が接するすべての面において、液と接する側の面の法線方向ベクトルと重力方向ベクトルのなす角度において、小さい方の角度が０度〜１３５度までである方法を用いる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
図１に本発明の実施形態１を示す。２０はディスペンサー、２２は蛍光体液供給系、３０は蛍光体液、４０はマスク、１０は基板である。
【００１９】
基板１０は、ガラス材料からなり、基板上には異種の物質からなる凹部がライン状に作製されている。ディスペンサー２０は、液を吐出させながら、約０．５〜２ｍ／秒で、開口部に沿って高速に移動することで、基板１０の開口部に相当する部分に蛍光体液を満たす。ディスペンサー２０の吐出口の大きさは、０．１５ｍｍの溝に蛍光体を挿入するため、これより小さい直径の円状の口径が必要である。なお、ディスペンサー２０を固定し、基板１０をセットしている台をマスクと一体でモーターで往復移動させる構成をとってもよい。凹部の体積の９０％が蛍光体液で満たされるように、吐出量を制御する。ディスペンサー２０から吐出する液は、常時連続吐出することが望ましい。
【００２０】
マスク材として、アルミとＳＵＳ３１６の厚み０．５ｍｍの金属板を用いた。マスクの厚みが厚く、マスクと基板間の距離が近い場合には、厚みの部分で蛍光体液の跳ね返りがたまり、再落下することで、別の部分に蛍光体液が入ったり、色むらがおこる。蛍光体液は、粘度３０〜１００ｃｐｓと粘度が低いのものを用いる。
【００２１】
基板の凹凸パターンに応じて、マスクの開口部および非開口部の構成を自由に選択することができる。
【００２２】
ディスペンサー２０の吐出口と基板との距離は、ディスペンサー２０からの蛍光体液の広がりの状態と曲がりの状態で決まる。まず、広がり状態について考える。この発明の場合、通常の場合と違い、吐出口が約０．１ｍｍ直径と小さく、吐出の断面積あたり表面積が大きく、吐出速度も大きい。また、高濃度のスラリ−液を使用しているため、通常の水の場合とかなり違う挙動を示す。つまり、図２のような吐出状態になる。図２に示すように、地点Ａ、初速度Ｖ１、断面積Ｓ１、吐出量Ｑ１（Ｑ１＝Ｖ１×Ｓ１）で吐出させた液が、地点Ｂ、速度Ｖ２、断面積Ｓ２、吐出量Ｑ２（Ｑ２＝Ｖ２×Ｓ２）になるとする。Ｖ２は、自由落下によりＶ１より大きくなり、吐出量は一定（Ｑ１＝Ｑ２）であるため、必然的にＳ２はしだいに小さくなる。さらに、自由落下距離が進むと速度が大きくなり、ついには、地点Ｃで、外側の部分が微細粒子化し散乱する。凹部に蛍光体液を塗布するには、吐出断面積が、凹部の溝幅より小さくないといけないし、直線状につながっている必要がある。上記の広がり状態は、液の表面張力と粘度、初速度に大きく影響される。初速度は、ディスペンサーの安定性（目づまり）等から範囲が限定され、表面張力も、溶剤で限定される。また、液の粘度も約０．１ｍｍの吐出口から吐出させるため限定される。そのため、この工法で用いることのできる蛍光体液は、特性的に限定されている。図３に、今回用いた液の吐出断面積とディスペンサーからの距離の関係を実験で求めた値を示す。５０ｍｍを越えたところから、粒状になり散乱が始まる。従って直線状に安定な塗布を行うには、ディスペンサー吐出口と基板間距離ｈを５０ｍｍ以下にしないと塗布できない。
【００２３】
つぎに、まがり状態について考える。図４（ａ）に示すように、ディスペンサーからの液の吐出３０は垂線３１に対して微小角度曲がる。曲がる原因は、吐出口の加工直進精度や対象性の欠如、傷などや吐出口の表面状態の不均一性による。とくに、この場合、液の粘性が高く、高濃度スラリー液のため、吐出口近傍で液が微小量でも不均一にぬれ広がり、表面張力バランスがくずれて吐出が曲がりやすい。吐出口の加工精度や対象性の欠如、傷などの場合、いつも同じ方向に曲がる。一方、吐出口の表面状態の不均一性による場合は、吐出とともに変化する。前者の加工精度等が完全に保証された場合のディスペンサーにて、曲がり状態を調べた。その結果を図５に示す。図５で、９９％の再現性確率が保証できる曲がりの範囲は、±０．０５度となり、常にこの程度の直進度の角度ずれを見込んでおく必要がある。
【００２４】
上記の２つの制約条件から凹部とディスペンサー間距離ｈを求める。吐出断面積の状態からは、５０ｍｍ以下で用いることが必須となる。一方、吐出の曲がりからは、凹部とディスペンサー間距離ｈを６０ｍｍとした場合、吐出にて曲がる距離は、Ｌ１＝０．０５２ｍｍずれる。図４（ｂ）で示すように、凹部の溝の半分の幅はＬ２＝０．０７５ｍｍであり、その中央から０．０５２ｍｍずれ、その差０．０２３ｍｍが吐出液の許される最大の半径となる。この直径として、０．０４６ｍｍまで許される。現在の吐出口約１ｍｍから吐出された場合、６０ｍｍの距離で、その吐出の直径は、０．０４５ｍｍであり、凹部内に完全に吐出できる。さらに、ディスペンサーと凹部間距離が６０ｍｍ以下に縮まれば、吐出曲がりから許される吐出の直径が大きくなり、吐出すべてを凹部に挿入することができる。以上の２つの共通範囲から、ディスペンサー吐出口と基板間距離は、５０ｍｍ以下であることが必須となる。
【００２５】
また、マスクの応用として、図６（ａ）とその断面図６（ｂ）に示すように、基板全体と同じ大きさのマスク４０を作製し、マスク４０に凹部部分に対応する開口部分を開け、その上から蛍光体液を吐出することも考えられる。このようにすれば、凸部分に蛍光体を付着させずに、凹部にのみ選択的に蛍光体塗布ができる。マスク４０の厚みは、１〜０．５ｍｍ程度がよい。厚みが厚いと、吐出が曲がってマスク４０の内側部分に蛍光体液がふれて、マスク４０の裏面（基板側）に伝わり、凸部上についてしまう。
【００２６】
（実施の形態２）
図７と図８で本発明を説明する。図７は従来のディスペンサー２０の断面と基板１０の断面をしめしている。その他、液等は、実施形態１と同じである。図７からわかるように、蛍光体液は、水やアルコールとちがい、粘性がたかく、表面張力が低いため、吐出口の近傍にぬれ広がり５０を生成しやすく、その結果、吐出が曲がりやすい。ぬれ広がり５０が生成すると、吐出はその方向に曲がる。吐出口を布等で拭き取れば、まっすぐ吐出するが、時間変化および、長期の安定性から吐出は曲がる傾向にある。この発明では、図８に示すように、液のガイド９０を設けることで吐出をまっすぐにしている。ガイド９０は、ディスペンサー２９の吐出口の略中央付近にあって、吐出面よりも突出して線状に位置する。このガイド９０に引き寄せられ、まっすぐに下に落ちる。ガイド９０は、ピアノ線や、馬、ブタ、やぎの毛、ナイロン等の細い線で作製できる。柔なんな馬、ブタ、やぎの毛、ナイロンの場合、凹部の底部に直接接触させながら、蛍光体液を吐出させると、確実に凹部へ蛍光体液を吐出できる。さらに液の吐出ＯＮ／ＯＦＦ動作を繰り返しても、液によるディスペンサー２０の吐出口のよごれが生じないため安定である。また、この実施例では、吐出口の中央から液ガイドを吐出させているが、吐出口の一部を吐出面より突出させた突出部９１を設けることで、上と同様の効果を得ることができる（図８（ｃ））。
【００２７】
（実施の形態３）
図９と１０と１１で実施形態３を説明する。ディスペンサー２０は例えば、３本吐出口をもつディスペンサーである。その他、液等は、実施形態１と同じである。図９は従来のディスペンサーの蛍光体吐出後の断面であり、時間がたつにつれて、蛍光体１１０が吐出口の周辺に沈澱し、吐出口が詰まったり、吐出ラインがまがる。特に、吐出口とディスペンサー側面の間は、流速が遅く、蛍光体が沈澱しやすい。それに比較すると吐出口と吐出口の間は、流速が速く沈澱もすくない。これらの沈殿を無くす方法として、この発明のヘッドの断面図１０、１１を示す。図１０では、ヘッド内にセラミック圧電素子１２０が１組埋め込まれていて、超音波を発生できる。蛍光体液を基板に塗布する時は、吐出の安定性を保つため、超音波を発生させないのが望ましい。または、低出力の超音波を連続的に発生させてもよい。この超音波によって、蛍光体の沈殿１１０は生成されず、長期に渡って、吐出ラインが安定する。また、吐出のＯＮ／ＯＦＦと組み合わせることもできる。つまり、ＯＦＦの場合、超音波を発生させ、蛍光体が沈殿するのを防ぎ、ＯＮの場合、超音波を発生させない。図１１（ａ）では、蛍光体が沈澱しないような急斜面をディスペンサー内の全面に設けている。面の傾斜の角度の定義は、液と接する面の法線と重力方向のなす角度の小さい方の角度で定義した（図１１（ｂ））。沈殿を抑える限界の斜面の角度は次のような実験で求めた。つまり傾斜角度を任意に変えた金属板の上に、蛍光体液を滴下し、金属板上の蛍光体液の挙動を観察した。その結果、θ＝０〜１３５度までの場合、蛍光体液が残らず、沈殿もなく金属板上を下方に流れることを確認した。
【００２８】
（実施の形態４）
図１２（ａ）と（ｂ）で実施形態４を説明する。図１２（ａ）でディスペンサー２０は３本吐出口をもつディスペンサーである。その他、液等は、実施形態１と同じである。１４０は蛍光体液をおくりだすポンプ、１４２は蛍光体液タンク、１４３はポンプの制御ユニット、１４４は基板の移動モーター制御ユニット、１４５は熱電対、１４６はベルト、１４７はモーター、１４８はベルト１４６と基板とを機械的に締結する締結金具である。蛍光体液の温度を１４５の熱電対で測定し、予め計測しておいた図１２（ｂ）のグラフから吐出量を見積もり、凹部の中に蛍光体液を一定量充填する基板速度を求める。１４４のモーター制御ユニットにて、基板移動速度を変化させることで、液の温度による吐出量変化を補正し、均一に蛍光体液を凹部に吐出させる。蛍光体液は温度により、粘度が大きく変わり、吐出変化の主な原因である。そのため、液温の変化によって、吐出が大きく変化する。また、基板速度は、基板下部につけてあるモーター１４７の回転をベルト１４６をとおして、基板に伝えることで変化させていて、モーター１４７の回転数はコントローラー１４４で自由に制御できる。この発明では、液温の変化による吐出量変化を、精度よく
制御しやすい基板速度で補って、凹部への充填率を一定にして、均質な蛍光体膜を作製する。すなわち、温度が２℃上昇すると、蛍光体液の実質粘度が約１０％変化し、吐出量が増加する。この時、基板速度を吐出量が増加した分だけ上げてやることで、凹部には結果的に一定量の蛍光体が充填できることになる温度が下降した場合は、この逆をやればよいことになる。
【００２９】
また、ポンプは容積移動型のギアポンプでも、液面を空気圧等で押しだしてもよい。
【００３０】
また、流量計を供給系２２とポンプ１４１の間にセットし、流量を直接検出し、基板移動速度を変化させてもよい。
【００３１】
（実施の形態５）
図１３（ａ）（ｂ）で実施形態５を説明する。１５２は変位計、１５３はヘッド回転角度付き装置、２０は例えば３本吐出のディスペンサー、１５６は、変位計移動モーター、１５５は、ヘッド移動モーター、１４４は、基板移動モーターの制御盤、１５４は、コントローラーである。まず、変位計１５２にて、凹部ラインのピッチ方向の凹凸を測定し、そのデータをもとに、ディスペンサー２０を回転させる角度と凹部ラインのピッチ方向に移動させる（並進）距離をきめる。図１３（ｂ）にレーザー変位計の測定データを示す。このデータの凹部間の間隔を読み取り、ヘッドを移動させる（並進）距離を決定する。ディスペンサー２０は、３本吐出のものを用いた。補正の分解能を上げるためにはディスペンサー本数は少ない方が良い。３本の吐出口の間隔と凹部の間隔が合うように、ディスペンサーに回転角を与える。図１３（ｃ）に凹部の間隔とディスペンサー２０の回転の模式図を示す。ディスペンサーの吐出間隔は決まっているので、凹部の間隔から、計算で回転角度が出される。
【００３２】
動作を示す。変位計１５２を、凹部のラインのピッチ方向に、凹部の端から端まで移動させ、凹凸の間隔より、ディスペンサー２０の回転角、ディスペンサーの移動距離を求め実行する。ディスペンサー２０から蛍光体液を吐出させながら、下方にある基板を移動させることで、凹部ラインにそって、凹部内部に蛍光体液を吐出する。
【００３３】
基板の凹凸部分の規則性がゆがみなどのためで、部分的にで悪い場合、以下の方法で蛍光体液を塗布できる。変位計１５２を、上記と同様に、凹部のラインのピッチ方向に、凹部の端から端まで移動させ、凹部の間隔を読み取ることを、基板全体に行い、記録することにより、凹部ライン群のゆがみやピッチずれを基板全面にわたって読み取る。このデータをもとに、蛍光体液をディスペンサー２０から吐出させながら、基板に塗布する時に、モーター１５５でヘッドを凹部ラインのピッチ方向に、微小距離移動させながら、不規則性にも対応する。このようにすれば、基板内で一部分凹凸部分がゆがんでいても、蛍光体液を正確に凹部に吐出できる。基板の一部がゆがんでいる場合に関しては、今回は３本で行ったが、本数が、多くなれば、凹部の間隔とあわなくなるので、１０本以下がのぞましい。少ないほど、精度よく位置があう。
【００３４】
また、ディスペンサーの回転角を与えることと並進を組み合わせれば、どんな不規則な凹部に対しても、蛍光体が形成できる。
【００３５】
（実施の形態６）
図１４（ａ）（ｂ）（ｃ）で、実施形態６を説明する。従来の印刷方法では、にじみや裏うつりのため、約数万ｃｐｓの高粘度液のみしか用いることができない。そのため、蛍光体液の凹部充填率が低く、図１４（ａ）の基板断面図で示すように、蛍光体膜が底部にしか形成できなかった。そのため、輝度が低かった。この発明では、図１４（ｂ）に示すように、凹部の容積の６５％〜１０５％の充填率の蛍光体液を吐出させ、溶剤を蒸発させ
ることで、図１４（ｃ）のように、凹部全体に蛍光体膜を付着させる。これにより、表面積が向上し、輝度が約５０％以上上昇した。
【００３６】
この発明で用いている蛍光体液は、粘度３０〜１００ｃｐｓのものを用いた。図１４（ｃ）の凹部の場合、Ｌ３＝０．１００ｍｍ、Ｌ４＝０．１５０ｍｍ、断面積は０．０２３５５ｍｍ２で、１００％充填し、溶剤を蒸発させると、蛍光体膜が凹部内部に均質に付着し、平均約３２ミクロンの膜厚となった。蛍光体膜のスペックは、２５μｍ±５μｍであり、液の物性が同一の場合。充填量と最終的に形成される平均蛍光体膜厚との間にはほぼ正比例の関係が成立する。従って、吐出の安定性（±１％）、穴間の吐出量（±１％）を考慮すると６５％以上の充填率が必要となる。
【００３７】
また、最大充填率は、凹部自体が溶剤を吸収するため、１０５％まで設定しても、凹部からあふれることはなかった。
【００３８】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の方法は、基板の表面に有する複数のライン状凹部の内面に、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体液を、ディスペンサーから吐出し、熱処理で蛍光体膜を形成する方法において、混色なく、精度よく、更に、必要最小限の塗布液使用量にて、パターン形成を行うものである。
【００３９】
この方法により、高精細なプラズマディスプレイパネルを効率よく製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施形態の一例を示す図
【図２】  本発明の蛍光体液吐出の模式図
【図３】  ディスペンサーからの距離と吐出断面積の関係を示す図
【図４】  （ａ）はディスペンサーからの吐出の曲がり角度θを示す図
（ｂ）は液の曲がりと位置ずれを示す説明図
【図５】  実験で求めた曲がり角度θの分布図
【図６】  （ａ）は本発明の別の実施形態を示す図
（ｂ）は図６−ａの断面図
【図７】  従来のディスペンサーの吐出状態を示す図
【図８】  （ａ）本発明の別の実施形態を示す図
（ｂ）図８−ａの吐出口の斜視図
（ｃ）他の実施形態を示す図
【図９】  従来のディスペンサーの断面図
【図１０】  本発明のノズルの断面図
【図１１】  （ａ）は本発明のディスペンサーの断面図
（ｂ）は角度の定義を示す図
【図１２】  （ａ）は本発明の別の実施形態を示す図
（ｂ）は温度と吐出量の関係を示す図
【図１３】  （ａ）は本発明の別の実施形態を示す図
（ｂ）は凹凸の測定結果を示す図
（ｃ）はディスペンサーの回転角と凹凸部の関係を示す図
【図１４】  （ａ）従来の蛍光体膜の形状を示す図
（ｂ）本発明の蛍光体液の充填状態を示す模式図
（ｃ）本発明の蛍光体の形状を示す模式図
【符号の説明】
１０  基板
２０  ディスペンサー
２２  蛍光体液供給系
３０  蛍光体液
３１  垂線
４０  マスク
５０  ぬれ広がり
９０  液ガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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