【手続補正書】
【提出日】令和3年4月21日(2021.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
前記流体が流れる計測流路（３２）と、
前記計測流路において前記流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
前記物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
前記計測流路を形成し、前記センサ支持部を支持する流路ハウジング部（１５１）と、
を備え、
前記センサ支持部は、
前記計測流路に設けられた１つの端部である支持先端部（５５ａ，９００ａ）と、
前記支持先端部から離間した位置に設けられ且つ前記流路ハウジング部の内面に固定される表固定部（８１０，９１０）を含み、前記物理量センサが露出した側の面である支持表面（５５ｅ，９０１）と、
を有しており、
前記物理量センサは、前記支持表面から露出したセンサ露出面（８７０）と、前記流体の物理量を検出するための検出素子が設けられ且つ前記センサ露出面の一部を形成するメンブレン部（６２）と、を有しており、
前記支持先端部と前記表固定部とが並んだ高さ方向（Ｙ）において、前記表固定部における前記支持先端部とは反対側の端部である表固定基端部（８１４，９１４）と、前記センサ露出面における前記支持先端部とは反対側の端部である露出基端部（８７２）との離間距離（Ｌ６２ａ，Ｌ７２ａ）が、前記露出基端部と前記支持先端部との離間距離（Ｌ６１ａ，Ｌ７１ａ）よりも小さくなっており、
前記メンブレン部は、前記高さ方向において前記支持先端部よりも前記露出基端部に近い位置に設けられている、物理量計測装置。
【請求項２】
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
前記流体が流れる計測流路（３２）と、
前記計測流路において前記流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
前記物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
前記計測流路を形成し、前記センサ支持部を支持する流路ハウジング部（１５１）と、
を備え、
前記センサ支持部は、
前記計測流路に設けられた１つの端部である支持先端部（５５ａ，９００ａ）と、
前記支持先端部から離間した位置に設けられ且つ前記流路ハウジング部の内面に固定される表固定部（８１０，９１０）を含み、前記物理量センサが露出した側の面である支持表面（５５ｅ，９０１）と、
を有しており、
前記物理量センサは、前記支持表面から露出したセンサ露出面（８７０）と、前記流体の物理量を検出するための検出素子が設けられ且つ前記センサ露出面の一部を形成する膜状のメンブレン部（６２）とを有しており、
前記メンブレン部は、前記支持先端部と前記表固定部とが並んだ高さ方向（Ｙ）において、前記支持先端部よりも、前記センサ露出面における前記支持先端部とは反対側の端部である露出基端部（８７２）に近い位置に設けられている、物理量計測装置。
【請求項３】
前記センサ支持部は、
前記支持先端部から離間した位置に設けられ且つ前記流路ハウジング部の内面に固定された裏固定部（８２０，９２０）を含み、前記支持表面とは反対の面である支持裏面（５５ｆ）、を有しており、
前記高さ方向において、前記表固定部における前記支持先端部とは反対側の端部である表固定基端部（８１４，９１４）と前記露出基端部との離間距離（Ｌ６２ａ）が、前記裏固定部における前記支持先端部とは反対側の端部である裏固定基端部（８２４，９２４）と前記露出基端部との離間距離（Ｌ６２ｂ）とは異なっている、請求項２に記載の物理量計測装置。
【請求項４】
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
前記流体が流れる計測流路（３２）と、
前記計測流路において前記流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
前記物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
前記計測流路を形成し、前記センサ支持部を支持する流路ハウジング部（１５１）と、
を備え、
前記センサ支持部は、
前記計測流路に設けられた１つの端部である支持先端部（５５ａ，９００ａ）と、
前記支持先端部から離間した位置に設けられ且つ前記流路ハウジング部の内面に固定される表固定部（８１０，９１０）を含み、前記物理量センサが露出した側の面である支持表面（５５ｅ，９０１）と、
前記支持先端部から離間した位置に設けられ且つ前記流路ハウジング部の内面に固定された裏固定部（８２０，９２０）を含み、前記支持表面とは反対の面である支持裏面（５５ｆ）と、
を有しており、
前記物理量センサは、前記支持表面から露出したセンサ露出面（８７０）を有しており、
前記支持先端部と前記表固定部とが並んだ高さ方向（Ｙ）において、前記表固定部における前記支持先端部とは反対側の端部である表固定基端部（８１４，９１４）と、前記センサ露出面における前記支持先端部とは反対側の端部である露出基端部（８７２）との離間距離（Ｌ６２ａ，Ｌ７２ａ）が、前記裏固定部における前記支持先端部とは反対側の端部である裏固定基端部（８２４，９２４）と前記露出基端部との離間距離（Ｌ６２ｂ，Ｌ７２ｂ）とは異なっている、物理量計測装置。
【請求項５】
前記高さ方向において、前記表固定基端部と前記露出基端部との前記離間距離が、前記裏固定基端部と前記露出基端部との離間距離よりも大きい、請求項４に記載の物理量計測装置。
【請求項６】
前記物理量センサは、前記流体の物理量を検出するための検出素子が設けられ且つ前記センサ露出面の一部を形成する膜状のメンブレン部（６２）を有しており、
前記メンブレン部は、前記高さ方向において、前記支持先端部よりも前記露出基端部に近い位置に設けられている、請求項４又は５に記載の物理量計測装置。
【請求項７】
前記センサ支持部は、
樹脂材料により形成され、前記物理量センサを保護する保護樹脂部（５５）、を有しており、
前記高さ方向において、前記保護樹脂部における前記支持先端部とは反対側の反対側端部（５５ｂ）と前記露出基端部との離間距離が、前記露出基端部と前記支持先端部との離間距離よりも大きい、請求項４〜６のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
【請求項８】
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
前記流体が流れる計測流路（３２）と、
前記計測流路において前記流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
前記物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
前記計測流路を形成し、前記センサ支持部を支持する流路ハウジング部（１５１）と、
を備え、
前記センサ支持部は、
前記計測流路に設けられた１つの端部である支持先端部（５５ａ，９００ａ）と、
前記支持先端部から離間した位置に設けられ且つ前記流路ハウジング部の内面に固定される表固定部（８１０，９１０）を含み、前記物理量センサが露出した側の面である支持表面（５５ｅ，９０１）と、
を有しており、
前記物理量センサは、前記支持表面から露出したセンサ露出面（８７０）を有しており、
前記支持先端部と前記表固定部とが並んだ高さ方向（Ｙ）において、前記表固定部における前記支持先端部とは反対側の端部である表固定基端部（８１４，９１４）と、前記センサ露出面における前記支持先端部とは反対側の端部である露出基端部（８７２）との離間距離（Ｌ６２ａ，Ｌ７２ａ）が、前記露出基端部と前記支持先端部との離間距離（Ｌ６１ａ，Ｌ７１ａ）よりも小さい、物理量計測装置。
【請求項９】
前記センサ支持部は、
前記支持先端部から離間した位置に設けられ且つ前記流路ハウジング部の内面に固定された裏固定部（８２０，９２０）を含み、前記支持表面とは反対の面である支持裏面（５５ｆ）、を有しており、
前記高さ方向において、前記表固定基端部と前記露出基端部との離間距離（Ｌ６２ａ）が、前記裏固定部における前記支持先端部とは反対側の端部である裏固定基端部（８２４，９２４）と前記露出基端部との離間距離（Ｌ６２ｂ）とは異なっている、請求項１又は８に記載の物理量計測装置。
【請求項１０】
前記高さ方向において、前記裏固定部における前記支持先端部とは反対側の端部である裏固定基端部（８２４，９２４）と前記露出基端部との離間距離（Ｌ６２ｂ，Ｌ７２ｂ）が、前記露出基端部と前記支持先端部との前記離間距離（Ｌ６１ａ，Ｌ７１ａ）よりも小さい、請求項３〜７，９のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
【請求項１１】
前記高さ方向において、前記表固定部における前記支持先端部側の端部である表固定先端部（８１３，９１３）は、前記物理量センサにおける前記支持先端部側の端部であるセンサ先端部（８６１）と、前記物理量センサにおける前記センサ先端部とは反対側の端部であるセンサ基端部（８６２）との間に設けられている、請求項１〜１０のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
【請求項１２】
前記物理量センサは、
導電性を有し、前記センサ露出面に沿って延び、前記センサ露出面に直交する方向（Ｘ）に前記物理量センサが変形することを規制する導電層（６６ｂ）、を有している請求項１〜１１のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
【請求項１３】
前記導電層は白金により形成されている、請求項１２記載の物理量計測装置。
【請求項１４】
前記物理量センサにおいて前記センサ露出面とは反対側のセンサ裏面（２２ｂ）に重ねられた状態で前記物理量センサを支持する支持板部（５３）と、
前記物理量センサと前記支持板部とを接着し、前記支持板部の変形に伴って変形することで前記物理量センサの変形を規制する接着部（６７）と、
を備えている請求項１〜１３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
【請求項１５】
前記接着部はシリコン樹脂を含んで形成されている、請求項１４に記載の物理量計測装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上記特許文献１では、バイパス流路でのセンサチップの位置がずれると、センサチップによる流量検出の精度が低下しやすくなってしまう。このように、空気等の流体について流量等の物理量を検出する精度が低下すると、物理量計測装置の計測精度が低下してしまう。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するため、開示された１つの態様は、
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
流体が流れる計測流路（３２）と、
計測流路において流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
計測流路を形成し、センサ支持部を支持する流路ハウジング部（１５１）と、
を備え、
センサ支持部は、
計測流路に設けられた１つの端部である支持先端部（５５ａ，９００ａ）と、
支持先端部から離間した位置に設けられ且つ流路ハウジング部の内面に固定される表固定部（８１０，９１０）を含み、物理量センサが露出した側の面である支持表面（５５ｅ，９０１）と、
を有しており、
物理量センサは、支持表面から露出したセンサ露出面（８７０）と、流体の物理量を検出するための検出素子が設けられ且つセンサ露出面の一部を形成するメンブレン部（６２）と、を有しており、
支持先端部と表固定部とが並んだ高さ方向（Ｙ）において、表固定部における支持先端部とは反対側の端部である表固定基端部（８１４，９１４）と、センサ露出面における支持先端部とは反対側の端部である露出基端部（８７２）との離間距離（Ｌ６２ａ，Ｌ７２ａ）が、露出基端部と支持先端部との離間距離（Ｌ６１ａ，Ｌ７１ａ）よりも小さくなっており、
メンブレン部は、高さ方向において支持先端部よりも露出基端部に近い位置に設けられている、物理量計測装置である。
開示された１つの態様は、
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
流体が流れる計測流路（３２）と、
計測流路において流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
計測流路を形成し、センサ支持部を支持する流路ハウジング部（１５１）と、
を備え、
センサ支持部は、
計測流路に設けられた１つの端部である支持先端部（５５ａ，９００ａ）と、
支持先端部から離間した位置に設けられ且つ流路ハウジング部の内面に固定される表固定部（８１０，９１０）を含み、物理量センサが露出した側の面である支持表面（５５ｅ，９０１）と、
を有しており、
物理量センサは、支持表面から露出したセンサ露出面（８７０）と、流体の物理量を検出するための検出素子が設けられ且つセンサ露出面の一部を形成する膜状のメンブレン部（６２）とを有しており、
メンブレン部は、支持先端部と表固定部とが並んだ高さ方向（Ｙ）において、支持先端部よりも、センサ露出面における支持先端部とは反対側の端部である露出基端部（８７２）に近い位置に設けられている、物理量計測装置である。
開示された１つの態様は、
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
流体が流れる計測流路（３２）と、
計測流路において流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
計測流路を形成し、センサ支持部を支持する流路ハウジング部（１５１）と、
を備え、
センサ支持部は、
計測流路に設けられた１つの端部である支持先端部（５５ａ，９００ａ）と、
支持先端部から離間した位置に設けられ且つ流路ハウジング部の内面に固定される表固定部（８１０，９１０）を含み、物理量センサが露出した側の面である支持表面（５５ｅ，９０１）と、
支持先端部から離間した位置に設けられ且つ流路ハウジング部の内面に固定された裏固定部（８２０，９２０）を含み、支持表面とは反対の面である支持裏面（５５ｆ）と、
を有しており、
物理量センサは、支持表面から露出したセンサ露出面（８７０）を有しており、
支持先端部と表固定部とが並んだ高さ方向（Ｙ）において、表固定部における支持先端部とは反対側の端部である表固定基端部（８１４，９１４）と、センサ露出面における支持先端部とは反対側の端部である露出基端部（８７２）との離間距離（Ｌ６２ａ，Ｌ７２ａ）が、裏固定部における支持先端部とは反対側の端部である裏固定基端部（８２４，９２４）と露出基端部との離間距離（Ｌ６２ｂ，Ｌ７２ｂ）とは異なっている、物理量計測装置である。
開示された１つの態様は、
流体の物理量を計測する物理量計測装置（２０）であって、
流体が流れる計測流路（３２）と、
計測流路において流体の物理量を検出する物理量センサ（２２）と、
物理量センサを支持するセンサ支持部（５１）と、
計測流路を形成し、センサ支持部を支持する流路ハウジング部（１５１）と、
を備え、
センサ支持部は、
計測流路に設けられた１つの端部である支持先端部（５５ａ，９００ａ）と、
支持先端部から離間した位置に設けられ且つ流路ハウジング部の内面に固定される表固定部（８１０，９１０）を含み、物理量センサが露出した側の面である支持表面（５５ｅ，９０１）と、
を有しており、
物理量センサは、支持表面から露出したセンサ露出面（８７０）を有しており、
支持先端部と表固定部とが並んだ高さ方向（Ｙ）において、表固定部における支持先端部とは反対側の端部である表固定基端部（８１４，９１４）と、センサ露出面における支持先端部とは反対側の端部である露出基端部（８７２）との離間距離（Ｌ６２ａ，Ｌ７２ａ）が、露出基端部と支持先端部との離間距離（Ｌ６１ａ，Ｌ７１ａ）よりも小さい、物理量計測装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記態様によれば、計測流路での物理量センサの位置ずれが大きくなりにくいため、物理量センサの検出精度が低下することを抑制できる。したがって、物理量計測装置の計測精度を高めることができる。