(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する磁気ディスクに対向させるスライダーを有し、前記磁気ディスクと前記スライダーとの接触あるいは衝突を検出する磁気ディスク用グライドヘッドであって、
前記スライダーは、浮上用レールと突起検出用のレールもしくはパッドを備え、前記突起検出用のレールもしくはパッドは流出端側に直線状の縁を有し、前記直線状の縁がスライダーの流出端に対して傾斜していることを特徴とする磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項２】
前記直線状の縁がスライダーの流出端に対して１５度より大きく、４５度より小さい角度で傾斜しており、
前記直線状の縁が磁気ディスク面に対して略平行状態で浮上することを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項３】
前記スライダーを磁気ディスク上で浮上させたときに、前記直線状の縁が磁気ディスクに近づいて突起を検出するように、スライダーの浮上飛行時のロール姿勢角の大きさを５．７×１０−４度以上且つ３．４×１０−３度以下の範囲とすることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項４】
前記突起検出用のレールもしくはパッドが、スライダーの長手方向に沿った中心軸からみて左右いずれかに配置されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項５】
回転する磁気ディスクに対向させるスライダーを有し、前記磁気ディスクと前記スライダーとの接触あるいは衝突を検出する磁気ディスク用グライドヘッドであって、
前記スライダーは、浮上用レールと突起検出用のレールもしくはパッドを備え、前記突起検出用のレールもしくはパッドがスライダー長手方向の中心軸に対して左右対称な傾斜した直線状の縁を有し、左右どちらか一方の傾斜した直線状の縁を磁気ディスク面に対して略平行状態で突起を検出することを特徴とする磁気ディスク用グライドヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ディスクの製造検査等に使用されるグライドヘッドに係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
ハードディスク装置に使用される磁気ディスクは、ガラスあるいはアルミニウム等で構成した円盤状の非磁性材基板を用い、その表面に磁性材料と、必要に応じて主に炭素からなる保護膜を成膜し、さらにフルオロカーボン系の潤滑剤を塗布したものであり、磁気ヘッドによって情報を記録あるいは再生する記録媒体として用いられている。グライドヘッドは、磁性ディスクの表面における微小な突起物あるいは異物等を検出するためのセンサーとして、磁気ディスクの検査工程で用いられている。このグライドヘッドは各種の構成のものが考案され実用化されている。近年、磁気ディスクの小径化や高記録密度化に伴って、圧電素子を搭載したグライドヘッドやヘッド外部にＡＥ（Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ）センサーを取り付けたものが主流となっている。
【０００３】
図５は、特開平１１−１６１６３号公報に開示されている圧電素子をスライダーに搭載したグライドヘッドの斜視図である。スライダー３は、一対のレールからなる浮上面（ＡＢＳ面）４を有する。以下、浮上面を含む媒体対向面をＡＢＳ面（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）と称する。スライダー３の側面にある張り出し部３ａにおいて、ＡＢＳ面の反対側に圧電素子９を固着した構成である。圧電素子９の出力電圧は圧電素子を構成する結晶の分極方向の両端からリード線１０により取り出され、サスペンション２に設けた絶縁性チューブ１１を通じて外部に出力される。なお、ＡＢＳ面は、スライダーで磁気ディスクに対向する側の面を言い、空気流によってスライダーを支えて浮上させる部位もしくは摺動させるため部位を含むものである。以下、類似の部位については同じ符号で説明する。
【０００４】
図７は、グライドヘッドの動作原理を説明するものである。グライドヘッドのスライダー３は磁気ディスク１８の回転に伴う空気流の作用により浮上する。空気流はスライダーの流入端２１から流出端２２に沿って流れる。グライドヘッドの浮上量ｈは、磁気ディスクの回転数と磁気ディスク上のグライドヘッド位置によって決まる線速度により制御され、線速度を磁気ディスク面内で一定とすることで、一定の浮上量ｈで磁気ディスク１８上を飛行する。一般に、グライドヘッドは、磁気ディスク面内を一定の条件、すなわち、突起の高さを判定する浮上量ｈを磁気ディスク面内で一定とし、かつ、突起とグライドヘッドの衝突時に発生するエネルギーを揃える（突起とグライドヘッドの相対速度を一定にする）ために、線速度を磁気ディスク面内で一定としている。また、浮上量や飛行時の姿勢を磁気ディスク面内で一定とするために、グライドヘッドのスライダーは磁気ディスク上のいずれの位置においても、スライダーとスライダーが飛行する磁気ディスク上の円周の接線とのなす角（ＹＡＷ角）は一定であり、グライドハイトテストでは、通常０度で用いられる。スライダー３が磁気ディスク上の突起物１８ｂに接触あるいは衝突すると、衝撃波がスライダー３中を伝播して圧電素子９を振動変形させる。圧電素子９の電極に電荷が誘起されるので、リード線１０から電極間電圧を取り出すことにより突起物の検出に用いることできる。さらに、所定の浮上量ｈをもつスライダー３を磁気ディスクの表面で移動すると、浮上量ｈより高い突起物あるいは変形した部分にスライダーのＡＢＳ面４が接触（衝突）する。このとき発生する衝撃波と磁気ディスクの位置を求めれば、磁気ディスク表面にある規格外の突起物を検知することができる。
【０００５】
このような原理で動作するグライドヘッドのＡＢＳ面には２本のレールを形成するのが一般的である。２本のレールを用いることにより、飛行時の姿勢を安定に保つことができる。また、２本レールのグライドヘッドの場合、その浮上量は、グライドヘッドの浮揚力を生じさせているレールの幅を変えることで、比較的容易に制御でき、検査する磁気ディスクの突起、異物の高さに応じ、必要なグライドヘッドの浮上量設計が容易にできる。このような２本のレールでＡＢＳ面が構成されているグライドベッドは、磁気ディスクが一定の回転数で回転している場合、当然のことながら周速は内周側より外周側が速い。同じ長さ、同じレール幅をもつ２本レールのグライドヘッドが磁気ディスク上を飛行する際には、その周速差により外周側のレールの浮上量が内周側のレールの浮上量より高くなり、マイナスの飛行ロール姿勢（スライダー長手方向に垂直な面内で内周側のレールが外周側のレールより低い浮上量となるようなスライダーの回転方向をマイナスとする）をとる。ただし、製造上の要因からレール幅のアンバランスはもちろんのこと、グライドヘッドとサスペンションのアセンブリ状態などにより、静的状態でのロール姿勢角（グライドヘッドを磁気ディスク上にロードした状態と同一の取り付け高さ（Ｚハイト）にサスペンションを固定した際の、グライドヘッドの取り付け面に対してスライダーが持つ傾きのうち、スライダー長手方向に垂直な面内での回転角）がプラス方向やマイナス方向に振れることがあり、結果として浮上飛行時にプラスもしくはマイナスのロール飛行姿勢を得ることもある。よって、磁気ディスク検査用のグライドヘッドでは、一般にその飛行ロール姿勢の角度は０±３×１０−４度程度の範囲となっている。以下、内周側とは磁気ディスクの回転中心の方を向いている側を示し、外周側とは磁気ディスクの周縁の方を向いている側を示す。同様に、スライダーの内周側とはスライダーの磁気ディスクの回転中心に近い側を言い、スライダーの外周側とはスライダーの磁気ディスクの周縁に近い側を言う。ＡＢＳ面を構成するレールにおいて、内周側のレールは外周側のレールよりも磁気ディスクの回転中心に近いものをいう。
【０００６】
２本レールのグライドヘッドの場合、検知した衝撃波が外周側のレールが突起物に衝突して発生したものか、内周側のレールが突起物に衝突して発生したものかの区別がつきにくく、正確な突起物の位置を検知することが困難である。これらの課題を解決する技術として、レールの長さを変えたグライドヘッドが米国特許公報第５９６３３９６号に開示されている。図６に示す様に、磁気ディスクの外周側のレール１６が内周側のレール１７より流出端側を長くした２本レール形状のスライダー３を備えるグライドヘッドが提案されている。グライドヘッドが磁気ディスク上を飛行している場合、浮上量の最下点は流出端となる。磁気ディスクの外周側のレール１６が内周側のレール１７より流出端側を長くすることにより、浮上量の最下点は外周側のレール１６の流出端に限定される為、突起物に最初に衝突するレールは外周側のレール１６に限定される。この場合、やはりその飛行ロール姿勢は０±３×１０−４度程度となるよう内周側と外周側のレール幅を制御し、極力、外周側のレール幅全てを磁気ディスク上の突起検出部として使えるようにしている。
【０００７】
最近の磁気ディスク装置の高容量化と小型化、つまり高記録密度化は猛烈な勢いで進んでいる。記録密度を上げる為に記録ビットの大きさはますます小さくなり、それに伴い磁気ヘッド自体の小型化、磁気ギャップ長の狭ギャップ化が進んでいる。それと並行して、磁気ディスクと磁気ヘッドとの隙間、即ち磁気ヘッドのスライダーの浮上量は２０ｎｍ以下というあたりまで極小化されている。スライダーが磁気ディスク上を飛行し、情報の記録や再生を行う場合、磁気ディスク表面に磁気ヘッドのスライダーの浮上量より高い突起や異物があると、スライダーが磁気ディスクと衝突を起こし、正確な情報の記録や再生ができない。また、データの破損や磁気ディスク装置の故障を引き起こす原因にもなる。
【０００８】
そのために、磁気ディスク表面の突起や異物は磁気ヘッドのスライダーの浮上量より低くする必要がある。スライダーの浮上量の極小化に伴って、磁気ディスクの突起や異物の許容される高さはますます低くなる傾向にあり、その高さは１０ｎｍ以下になっている。よって、磁気ディスク上の突起や異物を検査するグライドヘッドも、その高さに応じた浮上量のものが必要となってきた。
【０００９】
【発明が解決しようとしている課題】
この要求に対し、従来の２本レールのグライドヘッドでは浮上量を下げるためには、浮揚力を発生しているレールの幅を狭くすることが有効であるが、このレールは突起検出の検出部でもあり、レール幅を狭くすると、突起検出部の幅が小さくなり、磁気ディスク表面の全面を検査する際には、グライドヘッドをそのレール幅間隔で磁気ディスクの径方向に移動しながら検査することから、検査に時間がかかるという問題が発生する。
【００１０】
また、ハードディスクドライブとしては、少しでも記録容量を上げる為にデータエリアとして面積的に広く取れる磁気ディスクの外周部をより多く使う方向であり、外周部でのグライドハイト保証が求められている。磁気ディスクの外周部をより多くデータエリアとして保証する為には、グライドヘッドが確実に外周部を検査していることが必要である。しかし、従来のグライドヘッドでは、両方のレールが検出部となる場合には検知した衝撃波がどちらのレールが異物にあたったのか分からず、グライドヘッドがプラスもしくはマイナスのどちらか一方向にロールを持って飛行すること、すなわちヘッドの突起検出レールが外周側あるいは内周側のレールであったりする際には、同一検査条件において磁気ディスク検査を行った場合に磁気ディスク上の外周側に未検査部分が発生する可能性があり磁気ディスクの製品保証に支障が生じる。
【００１１】
この現象の回避策として、特定のレールを検査用として限定すべく米国特許５９６３３９６に記載されているグライドヘッドも考案されたものであるが、この場合でも、より低い浮上量を得る為にレール幅を狭くすると突起検出部の幅が小さくなり検査に時間がかかるという問題が発生した。また、飛行ロール姿勢が傾いた場合には、検査用として限定されたレールの検出縁が磁気ディスクに対して傾くことにより実効的な突起検出部分が狭い領域となり、更なる検査時間の冗長や未検査部分が発生するという問題があった。
【００１２】
よって、本発明は従来技術の課題である、低浮上量での磁気ディスク検査におけるグライドヘッドの突起検出レール幅の狭小化による磁気ディスク検査時間の冗長化と、磁気ディスク上の外周側に未検査部分が発生して磁気ディスクの製品保証に支障が生じること解決するためになされたものであり、以下に詳しく述べることにする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気ディスク用グライドヘッドは、回転する磁気ディスクに対向させるスライダーを有し、前記磁気ディスクと前記スライダーとの接触あるいは衝突を検出する磁気ディスク用グライドヘッドであって、前記スライダーは、浮上用レールと突起検出用のレールもしくはパッドを備え、前記突起検出用のレールもしくはパッドは流出端側に直線状の縁を有し、前記直線状の縁がスライダーの流出端に対して傾斜していることを特徴とする。その直線状の縁はスライダーの流出端に対して１５度より大きく且つ４５度より小さい角度で傾斜しており、磁気ディスク面に対して略平行状態で浮上させる。このように浮上させるときにはスライダーの浮上飛行時のロール姿勢角の大きさは５．７×１０−４度以上、３．４×１０−３度以下であることが望ましい。また、前記突起検出用のレールもしくはパッドが、スライダーの長手方向に沿った中心軸からみて左右いずれかに配置されている構成にすることができる。
【００１４】
従来の２レールタイプをはじめとするグライドヘッドにおいて、その突起検出レールもしくはパッドを形成する周縁の中で浮上最下点を含む直線状の突起検出縁が、スライダーの流入端側から流出端側方向へ流れる空気流方向と垂直に交差するグライドヘッドでは、低浮上量に対応する為にそのレール幅を狭くしていくと突起検出縁が狭くなり、磁気ディスクの検査時間が長くなる。また、磁気ディスクの外周部を確実に検査するために、スライダーの外周側のレールもしくはパッドを突起検出用レールもしくはパッドに限定する為に、その浮上飛行ロール姿勢をプラスとなるようにＡＢＳ面形状やスライダーとサスペンションのアセンブリによりに浮上アンバランスを付けた場合には、突起検出に関わる領域は更に狭くなる。この状態では、実質的な突起検出領域の減少から、更に検査時間が長くなってしまう。
【００１５】
この問題の解決手段として、スライダーのＡＢＳ面に形成されるＡＢＳ面形状は図１で示すようにスライダー上の突起検出用レールもしくはパッドの直線状の突起検出縁がスライダーの流出端に対して傾斜していることが望ましく、その角度θsは１５度より大きく且つ４５度より小さいことが望ましい。そして、前記スライダーを用いたグライドヘッドは、スライダーの飛行姿勢を記する為、サスペンションおよび圧電素子とそれを支えるスライダーに設けられる梁を図示せず、また、浮上方向を示すＺ軸方向はスケールを拡大して図示した図８に示す様に磁気ディスクの外周部を検査すべくプラスのロール姿勢で飛行することが必要である。
【００１６】
ＡＢＳ面形状において、突起検出レールもしくはパッドの突起検出縁に前述の様な角度を持たせ、所定のプラス方向の飛行ロール姿勢をもって浮上するグライドヘッドは、突起検出レールもしくはパッドの浮上最下点と、突起検出レールもしくはパッドの突起検出縁上での浮上量との差が小さい、もしくは同等の浮上量となり、突起検出縁の全体が突起検出部として機能し、図中ｄで示す線分長さが、磁気ディスクを検査する実質的な突起検出領域となる。このとき、突起検出縁は磁気ディスクに略平行な状態である。
【００１７】
ここで、略平行とは突起検出縁を示す直線と磁気ディスク面との交差角が、０±１×１０−３度程度のことを言う。すなわち、磁気ディスクの突起検査におけるグライドヘッドの浮上量は、許容される公差内に突起検出縁の浮上量があれば突起検査を行うグライドヘッドとしての検出能力は十分である。よって、突起検出縁と磁気ディスク面は完全な平行である必要は必ずしも無く、前記範囲の略平行な関係であれば良い。このような、突起検出縁は、浮上状態のグライドヘッドのスライダー上の同一浮上量の位置を結んだ線で表される浮上等高線に沿って形成させる。スライダー上の浮上等高線が、磁気ディスクに対して平行であることは言うまでも無い。
【００１８】
ＡＢＳ面形状において、突起検出の機能を持たせることのできるレールもしくはパッドの突起検出縁は、スライダー上に複数存在していてもかまわない。その複数の突起検出縁は、一つのレールもしくはパッド上にあっても良く、もしくは、それぞれ別のレールもしくはパッドにあっても良い。また、複数の突起検出縁をもつレールもしくはパッドを含むＡＢＳ面形状は、スライダー長手方向に平行なスライダーの中心線に対して、左右対称であっても良い。
【００１９】
本発明の他の磁気ディスク用グライドヘッドは、回転する磁気ディスクに対向させるスライダーを有し、前記磁気ディスクと前記スライダーとの接触あるいは衝突を検出する磁気ディスク用グライドヘッドであって、前記スライダーは、浮上用レールと突起検出用のレールもしくはパッドを備え、前記突起検出用のレールもしくはパッドがスライダー長手方向の中心軸に対して左右対称な傾斜した直線状の縁を有し、左右どちらか一方の傾斜した直線状の縁を磁気ディスク面に対して略平行状態で突起を検出することを特徴とする。左右対称のＡＢＳ面形状とした場合、磁気ディスクの両面の検査に必要とされる一対のグライドヘッド（いわゆるアップ／ダウンヘッド）を、一つのＡＢＳ面形状で賄うことができ、製造工程が簡易化される利点が生じる。この場合、スライダー上に複数個ある突起検出縁に成り得るレールもしくはパッドの直線状縁の一つを選択し、スライダーとサスペンションの接着位置、もしくは静的なロール姿勢角を当初からグライドヘッドに与えることにより、アップ用、ダウン用のグライドヘッドにそれぞれ所定の飛行ロール姿勢を与えてアップ用とダウン用のヘッドを容易に製造することができる。
【００２０】
以下に、飛行時に所定のロール姿勢を得るための方法について記述する。第１の方法として、スライダー長手方向に平行なスライダー中心線に対して左右のＡＢＳ面形状を非対称にすることによって、飛行時に所定のロール姿勢を与えることができる。すなわち、磁気ディスクの最外周部までも検査を確実に行うグライドヘッドはその飛行ロール姿勢において、スライダーに設けた外周側のレールもしくはパッドが、内周側のレールもしくはパッドの浮上量よりも低くなることが必要である。これはＡＢＳ面形状において、スライダーの内周側の浮上に寄与する内周側のレールもしくはパッドにおいて効率良く浮揚力を生み出すような形状（大面積浮上面や微小段差による空気流の導き）とすることにより、スライダーの内周側のレールに外周側のレールより大きな浮揚力を発生させて達成される。ＡＢＳ面形状を制御することにより、グライドヘッドは所定の飛行ロール姿勢を得ることができる。
【００２１】
第２の方法として、スライダーとサスペンションの接着において、スライダー中心とサスペンションピボットをずらして貼り合わせることによって、飛行時に所定のロール姿勢を与えることができる。すなわち、磁気ディスクの最外周部までも検査を確実に行うグライドヘッドはその飛行ロール姿勢において、ヘッドの外周側のレールの浮上量が内周側のレールの浮上量よりも低くなることが必要であるが、スライダーの長手方向に平行なスライダー中心線をサスペンションの長手方向の中心線に対して、外周側にずらして接着することによりグライドヘッドにかかる荷重支点位置（ロードビームディンプルが支点）を偏移させ、スライダー面での浮揚力が均一でも支点を中心にアンバランスを生じさせて、スライダーの内周側のレールが外周側のレールより大きな浮上量となることにより達成される。このような手段において、スライダーとサスペンションの接着位置を制御することにより、グライドヘッドは所定の飛行ロール姿勢を得ることが出来る。
【００２２】
第３の方法として、グライドヘッドの初期ロール姿勢角をロール方向にあらかじめ与えることによって飛行時に所定のロール姿勢を与えることができる。すなわち、磁気ディスクの最外周部までも検査を確実に行うグライドヘッドはその飛行ロール姿勢において、グライドヘッドの外周側のレールの浮上量が内周側のレールの浮上量よりも低くなることが必要であるが、初期値としてグライドヘッドの静的ロール姿勢角がプラス方向に傾いている場合、グライドヘッドが磁気ディスク上にロードされた際には、その傾き角度とサスペンションのバネ定数の積で決まるスライダーをプラスロール方向に回転させるモーメントの発生により、内周側のレールが外周側のレールより大きな浮上量となることにより達成される。この様な手段において、グライドヘッドの静的ロール姿勢角を制御することにより、グライドヘッドは所定の飛行ロール姿勢を得ることが出来る。なお、本方法では、ロードビーム上にディンブルのあるサスペンションを用いる必要は必ずしも無い。つまり、その静的姿勢角をサスペンション自身に与えていることから、いわゆるピボットレスタイプのサスペンションを用いても同等の効果を得ることができる。
【００２３】
グライドヘッドが磁気ディスク上の突起に衝突し、その姿勢が揺らいだ際にも内周側のレールもしくはパッドが磁気ディスクに衝突することが無く、外周側のレールもしくはパッド上にその最小浮上点があり、引き続き磁気ディスク検査を外周側のレールもしくはパッドにて行うために、プラスの飛行ロール姿勢は５．７×１０−４度以上が望ましい。この際、外周側のレールもしくはパッドを突起検出用のレールもしくはパッドに特定することができる。また、浮上を安定させ、磁気ディスクとの衝突を抑えるため、プラスの飛行ロール姿勢は３．４×１０−３度以下が望ましい。同時に、磁気ディスクのグライドハイト検査中にスライダーと磁気ディスクの間に蓄積される潤滑剤によって引き起こされるフライングスティクション（蓄積された潤滑剤により発生するグライドヘッドと磁気ディスクの吸着現象からグライドヘッドの飛行姿勢が継続的に乱れる現象）を回避するため、飛行ピッチ姿勢角はプラス３．４×１０−３度以上であることが望ましい。この飛行姿勢角の組み合わせは、ＡＢＳ面形状とスライダーとサスペンションのアセンブリにより制御することができる。その際に、突起検出用レールもしくはパッドの流出端側の直線状の縁と、スライダーの流出端とのなす角θｓは一意的に決まるが、ＡＢＳ面形状を最適に配置することにより、磁気ディスクの半径・回転数に応じて変化する周速に対して角θｓを一定とすることもできる。
【００２４】
いずれの場合においても、浮上中のスライダー浮上面において同一浮上量からなる位置を結んだ少なくとも一つの浮上等高線と、突起検出用レールもしくはパッドを形成する周縁の中で浮上最下点を含む直線状の突起検出縁が平行であることにより、突起検出縁は直線状に長いものとなり実質的な突起検出縁も長くなることから、確実に磁気ディスク外周部のグライド検査が行え、かつ検査時間の短縮が図れるグライドヘッドが得られる。なお、磁気ディスク上の突起検査時には、ＹＡＷ角を一定（０度が望ましい）とし、磁気ディスクの回転数をグライドヘッドの半径位置に応じて制御して線速度を磁気ディスク面内で一定とする。
【００２５】
浮上飛行時の姿勢角の組み合わせを前述までの範囲とした場合、突起検出用レールもしくはパッドの流出端側の直線状の縁と、スライダーの流出端とのなす角θｓは、１５度より大きく、４５度より小さい角度が適切であった。これは、１５度以下では浮上飛行時のロール姿勢角が前述の範囲外になること、また、４５度以上となる浮上飛行時のロール姿勢角とピッチ姿勢角の組み合わせ、すなわち飛行ロール姿勢角≧飛行ピッチ姿勢角となるような場合は、浮上姿勢の不安定さが顕著となることによる。
【００２６】
なお、磁気ディスクの外周部まで安定に測定するためには突起を検出する突起検出用レールもしくはパッドはスライダー中心よりスライダーの外周側に有ることがより望ましい。また、スライダーに圧電素子を固着して磁気ディスク用グライドヘッドを構成することが望ましい。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施形態を説明する。図１は本発明によるグライドヘッドの斜視図である。このグライドヘッドは、圧電素子９を張り出し部３ｂに載せたスライダー３と、スライダー３とリード線１０を支えるサスペンション２を備える構成とした。スライダーは、スライダー中心とサスペンションピボット位置１３（ロードビームディンプル１４の直上位置）が一致するようサスペンションフレキシャー２ｂに接着した。スライダー３の一方の面には、レールや段差面等を設けてＡＢＳ面４（媒体対向面）を構成した。ＡＢＳ面の流出端近傍には突起検出用パッド５ａを設けた。この突起検出用レールの直線状の突起検出縁１は、ＡＢＳ面形状と、グライドヘッドのスライダーとサスペンションのアセンブリで決まる浮上等高線に沿ったもので、磁気ディスクと略平行な関係にある。突起検出用パッド５ａに付した幅ｄは、突起検出縁１の実質的な磁気ディスク検査幅である。ＡＢＳ面の流入端側から中央部にかけては、一対の浮上用レール６ａ，６ｂとそれに空気流を導く浅い段差面８を設けた。スライダーの中央部には空気流を巻き込む深い段差面７を設けた。
【００２８】
主に浮上量に寄与するレール６ａについては、そのレール長を長くすることにより内周側のレールに大きな浮揚力を発生させて、周速８ｍ／ｓにおいてプラス２．３×１０−３度の飛行ロール姿勢を生み出した。また、このときの飛行ピッチ姿勢角はプラス５．７×１０−３度であった。また、周速４ｍ／ｓにおいてはプラス１．１×１０−３度飛行ロール姿勢とプラス３．４×１０−３度飛行ピッチ姿勢角であった。また、周速１６ｍ／ｓにおいてはプラス４．０×１０−３度飛行ロール姿勢とプラス６．９×１０−３度飛行ピッチ姿勢角であった。この飛行姿勢角の組み合わせにおいて、ＡＢＳ面形状として形成された突起検出用パッド５ａの流出端側の直線状の縁と、スライダーの流出端とのなす角θｓ（図１中、符号１９で示す）は２５度にした。このとき、突起検出用パッドの突起検出縁１の磁気ディスク面からの浮上量ｈは５ｎｍであった。
【００２９】
さらに、スライダーの幅方向には、スライダーよりも厚さの薄い張り出し部３ｂを突出させた。その張り出し部３ｂの背面の端には圧電素子９を固着させた。圧電素子９の出力電圧は一対のリード線１０によって取り出され、サスペンション２に設けられた絶縁チューブ１１を通じて外部に出力させた。このグライドヘッドを用いたところ、磁気ディスク突起や異物の位置情報を外周部にまでわたって正確に検出し、かつ従来の構成よりも短時間で磁気ディスクを検査することができた。
【００３０】
図２は、本発明の他の実施形態に係るグライドヘッドの斜視図である。このグライドヘッドにおいても、圧電素子９を張り出し部３ｂに載せたスライダー３と、スライダー３とリード線１０を支えるサスペンション２を備える構成とした。スライダーは、スライダー中心とサスペンションのピボット位置（ロードビーム２ａ上のディンプル位置）が一致するようサスペンションフレキシャー２ｂに接着した。スライダー３の一方の面には、２つのレール５ｂ，６を設けてＡＢＳ面４（媒体対向面）を構成した。さらにＡＢＳ面４の流入端側には、浮上角と呼ばれる傾斜１２も設けている。本実施形態では、突起検出用レール５ｂは外周側のレールと兼用である。この突起検出用レールの直線状の突起検出縁１は、ＡＢＳ面のレール形状と、スライダーとサスペンションのアセンブリで決まる浮上等高線に沿ったもので、浮上の際に磁気ディスクと略平行な関係にある。ＡＢＳ面形状として形成された突起検出用レールの流出端側の直線状の縁と、スライダーの流出端とのなす角をθsとした。突起検出用レール５ｂに付した幅ｄは、突起検出縁１の実質的な磁気ディスク検査幅である。
【００３１】
浮上量を制御し、かつプラス方向の飛行ロール姿勢を生み出すレール６については、内周側のレールを太くすることにより内周側のレールに大きな浮揚力を得た。飛行ロール姿勢角をプラス６．９×１０−３度、飛行ピッチ姿勢角をプラス５．７×１０−３度となるように、レールの幅、浮上角部分の長さ・角度を形成したところ、突起検出用レールの流出端側の直線状の縁と、スライダーの流出端とのなす角θｓ（図中、符号１９で示す）は７８度であった。さらに、スライダーの幅方向には、スライダーよりも厚さの薄い張り出し部３ｂを突出させた。その張り出し部３ｂの背面の端には圧電素子９を固着させた。圧電素子９の出力電圧は一対のリード線１０によって取り出され、サスペンション２に設けられた絶縁チューブ１１を通じて外部に出力させた。このグライドヘッドを用いたところ、磁気ディスク突起や異物の位置情報を外周部にまでわたって正確に検出し、かつ従来の構成よりも短時間で磁気ディスクを検査することができた。
【００３２】
図３は、本発明の他の実施形態に係るグライドヘッドの平面図である。同図中、（ｂ）は（ａ）の平面図をスライダーの流出端側からみた側面図である。図１と同様の部材には同じ符号を用いて説明する。本実施形態はスライダー３に、突起検出用パッド５ａと、浮上に寄与する２本のレール６と、浅い段差面８と、空気流を巻き込む深い段差面７を設けて、ＡＢＳ面を構成した。この構成は図１の実施形態と同様であるが、突起検出用パッド５ａはθｓ＝７０度の左右対称とした。本実施例では、スライダーとサスペンションの接着において、図中にて示す様に、スライダーは、スライダー中心１５とサスペンションピボット位置１３をプラスＸ方向に１００μｍずらしてサスペンションフレキシャー２ｂ上に接着した。ｙ方向についてはスライダー中心１５と、サスペンションピボット位置１３（ロードビームディンプル１４の直上位置）を一致させて接着した。
【００３３】
これより、このグライドヘッドは、周速８ｍ／ｓにおいて飛行姿勢としプラス８．６×１０−４度のロール姿勢を持ち、かつプラス７．５×１０−３度のピッチ姿勢角を持ってスライダーが飛行した。突起検出用パッドにおいて、本実施形態ではθｓ１９の表示の有る縁側で磁気ディスク上の突起を検出した。この飛行姿勢角の組み合わせにより、ＡＢＳ面形状として形成された突起検出用パッド５ａの直線状の突起検出縁１の浮上量は８ｎｍであった。さらに、スライダーの幅方向には、スライダーよりも厚さの薄い張り出し部３ｂを突出させた。その張り出し部３ｂの背面の端には圧電素子９を固着させた。圧電素子９の出力電圧は一対のリード線１０によって取り出され、サスペンション２に設けられた絶縁チューブ１１を通じて外部に出力させた。このグライドヘッドを用いたところ、磁気ディスク突起や異物の位置情報を外周部にまでわたって正確に検出し、かつ従来の構成よりも短時間で磁気ディスクを検査することができた。
【００３４】
図４は、本発明の他の実施形態に係るグライドヘッドの平面図である。同図中、（ｂ）は（ａ）の平面図をスライダーの流出端側からみた側面図である。図１と同様の部材には同じ符号を用いて説明する。本実施形態は図３に示すスライダー３と同一とし、突起検出用パッド５ａと、浮上に寄与する２本のレール６と、浅い段差面８と、空気流を巻き込む深い段差面９を設けて、ＡＢＳ面を構成した。スライダーは、スライダー中心とサスペンションのピボット位置（ロードビーム２ａ上のディンプル位置）が一致するようサスペンションフレキシャー２ｂに接着した。
【００３５】
本実施例では、スライダーとサスペンションの接着後、サスペンションにプラスのロール方向の力を加え、静的なロール姿勢角０．３度を与えた。その結果、飛行姿勢としてプラス８．６×１０−４度の飛行ロール姿勢を持ち、かつプラス７．５×１０−３度の飛行ピッチ姿勢角を持って飛行した。この飛行姿勢角の組み合わせによりＡＢＳ面形状として形成された突起検出用パッド５ａの直線状の突起検出縁１の浮上量は磁気ディスク面からの浮上量ｈは８ｎｍであった。突起検出用パッドにおいて本実施例ではθｓの表示の有る縁側で磁気ディスク上の突起を検出した。
【００３６】
さらに、スライダーの幅方向には、スライダーよりも厚さの薄い張り出し部３ｂを突出させた。その張り出し部３ｂの背面の端には圧電素子９を固着させた。圧電素子９の出力電圧は一対のリード線１０によって取り出され、サスペンション２に設けられた絶縁チューブ１１を通じて外部に出力させた。このグライドヘッドを用いたところ、磁気ディスク突起や異物の位置情報を外周部にまでわたって正確に検出し、かつ従来の構成よりも短時間で磁気ディスクを検査することができた。
【００３７】
図１，３，４のスライダーにおいて、ＡＢＳ面の形状は物理的エッチング処理により形成した。その工程を説明する。まず、スライダー用の基板上にフォトレジストを塗布し、露光および現像処理を施し、突起検出用パッド５ａと浮上用レール６を形成する箇所以外の部分でフォトレジストを除去してレジストマスクを形成した。つぎに、イオンミリング装置でミリング加工を行い、レジストマスク以外の部分を浅い段差の深さに相当する分だけ削った。つぎに、基板上にもう一度フォトレジストを塗布し、露光および現像処理を施して、突起検出用パッド５ａと浮上に寄与するレール６と浅い段差８に相当する部分のフォトレジストを残し、他の部分のフォトレジストを除去してレジストマスクを形成した。再度、ミリング加工を行ってレジストマスクを被覆していない部分を削った。ミリング加工を２度施した部分は深い段差面７と同じ深さにした。以上の工程でＡＢＳ面を形成した。そして、スライダーの張り出し部３ｂを形成し、その幅ｗ＝０．５ｍｍ、長さｌ＝０．９ｍｍ、厚さｔ＝０．８ｍｍの圧電素子９を固着させた。
【００３８】
以上、これまでに発明の実施形態について詳細に述べてきたが、数値・製法はこれらに限定されるものではない。また、磁気ディスク検査の問題点とその解決方法として、プラスの飛行ロール姿勢角を用いて解決する方法を述べてきたが、飛行姿勢としてマイナス方向のロール姿勢角とした場合にも同様の考えにより、スライダー状での突起検出用レールもしくはパッドの確定と、磁気ディスク上の突起・異物の位置情報の精度向上効果が得られることは自明である。
【００３９】
【発明の効果】
本発明の磁気ディスク用グライドヘッドにより、磁気ディスクの検査を短時間で行うことができる。また磁気ディスク上の外周側に未検査部分を発生させず磁気ディスクの製品保証を十分に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明による他の実施例を示す斜視図である。
【図３】本発明による他の実施例を示す平面図である。
【図４】本発明による他の実施例を示す平面図である。
【図５】従来のグライドヘッドの斜視図である。
【図６】従来のグライドヘッドの平面図である。
【図７】グライドヘッドの動作原理を説明する図である。
【図８】本発明のグライドヘッドの浮上状態を示す概略図である。
【符号の説明】
１  突起検出縁、  ２  サスペンション、２ａ  ロードビーム、
２ｂ  サスペンションフレキシャー、３  スライダー、３ａ  張り出し部、
３ｂ  張り出し部、４  ＡＢＳ面、５ａ  突起検出用パッド、
５ｂ  突起検出用レール、６  浮上用レール、６ａ，６ｂ  浮上用レール、
７  深い段差面、８  浅い段差面、９  圧電素子、１０  リード線、
１１  絶縁チューブ、１２  浮上角、１３  サスペンションピボット位置、
１４  ロードビームディンプル、１５  スライダー中心、
１６  外周側のレール、１７  内周側のレール、１８  磁気ディスク、
１８ｂ  突起物、
１９  突起検出用レールもしくはパッドの流出端側の縁とスライダー流出端がなす角θｓ、２１  流入端、２２  流出端
【図１】
0003712183.tif 000002
【図２】
0003712183.tif 000003
【図３】
0003712183.tif 000004
【図４】
0003712183.tif 000005
【図５】
0003712183.tif 000006
【図６】
0003712183.tif 000007
【図７】
0003712183.tif 000008
【図８】
0003712183.tif 000009