(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーブル化された光ファイバの端面に薄膜を形成する方法であって、
薄膜形成装置の真空度を維持するためのパッキンに、パッキンの幅方向を貫く、光ファイバ心線の直径に見合った孔径の貫通孔を穿設し、
貫通孔に至る切込みをパッキン上面または下面から設け、
切込みを通して光ファイバ心線を貫通孔内に嵌装し、
薄膜を形成すべき端面側のケーブル化光ファイバの一部を薄膜形成装置内部に収納して所定位置にセットするとともに、残余のケーブル化光ファイバ部分は薄膜形成装置の外部に置き留め、
薄膜形成装置内を真空排気して光ファイバ端面に薄膜を形成することを特徴とする、ケーブル化された光ファイバ端面の薄膜形成方法。
【請求項２】
ケーブル化された光ファイバの端面に薄膜を形成する方法であって、
真空槽に開口部を設けるとともに、該開口部を可撓性を有する導入用シール部材で真空シールし、
導入用シール部材に、真空槽内部側から大気側に貫く、光ファイバーの心線に見合った孔径の貫通孔を穿設し、
貫通穴に至る切込みを導入用シール部材の外周面から設け、
切込みを通して光ファイバ心線を貫通孔内に嵌装し、
薄膜を形成すべき端面側のケーブル化光ファイバーの一部を薄膜形成装置内部に収納して所定位置にセットするとともに、残余のケーブル化光ファイバ部分は薄膜形成装置の外部に置き留め、
薄膜形成装置内を真空排気して光ファイバ端面に薄膜を形成することを特徴とする、ケーブル化された光ファイバ端面の薄膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はケーブル化された光ファイバの、光ファイバ端面に薄膜を形成する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバは、それのみでは取扱いにくく、また光通信部品として不完全である。そこで図１にケーブル化光ファイバ１１を示すように、光ファイバをナイロンやポリエチレンで被覆して光ファイバ心線１５としている。さらに、光ファイバ端面１３での結合を容易にするなどの目的で光コネクタ１９を設けてケーブル化する。なお、図１の左側では、光コネクタ１９からフェルール１７を分解した状態を示している（フェルール１７を取り外した光コネクタ１９を、１９′として示してある）。
【０００３】
一方、光ファイバで両端面を露出しており、光ファイバ端面１３同士を突き合わせて結合する必要がある。そこで、この結合面での光損失を少なくするために、光ファイバの端面１３に反射防止膜を形成することが要求される。ところが、工程上の都合で、反射防止膜の形成をケーブル化の後に行なう必要があるため、面倒な問題が生じる。
【０００４】
すなわち、フェルール１７側の光ファイバ端面１３に真空蒸着するには、ケーブル化光ファイバ全体を真空蒸着槽内に収納しなければらない。しかし、ケーブル化光ファイバ１１は長尺化しているためバルキーであり、非常に非効率的であった。また、ケーブル化光ファイバ１１からの放出ガスによって、目的とする真空度まで排気するのに時間を要したり、真空槽の汚染も懸念された。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記不都合に対する解決策を鋭意検討した結果なされたものであり、薄膜形成に際して真空槽内に持込むケーブル化光ファイバ部分を極力少なくすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１のケーブル化された光ファイバ端面の薄膜形成方法は、ケーブル化された光ファイバの端面に薄膜を形成する方法であって、
薄膜形成装置の真空度を維持するためのパッキンに、パッキンの幅方向を貫く、光ファイバ心線の直径に見合った孔径の貫通孔を穿設し、
貫通孔に至る切込みをパッキン上面または下面から設け、
切込みを通して光ファイバ心線を貫通孔内に嵌装し、
薄膜を形成すべき端面側のケーブル化光ファイバの一部を薄膜形成装置内部に収納して所定位置にセットするとともに、残余のケーブル化光ファイバ部分は薄膜形成装置の外部に置き留め、
薄膜形成装置内を真空排気して光ファイバ端面に薄膜を形成することを特徴とする。
【０００７】
本発明の第２のケーブル化された光ファイバー端面の薄膜形成方法は、ケーブル化された光ファイバの端面に薄膜を形成する方法であって、
真空槽に開口部を設けるとともに、該開口部を可撓性を有する導入用シール部材で真空シールし、
導入用シール部材に、真空槽内部側から大気側に貫く、光ファイバーの心線に見合った孔径の貫通孔を穿設し、
貫通穴に至る切込みを導入用シール部材の外周面から設け、
切込みを通して光ファイバ心線を貫通孔内に嵌装し、
薄膜を形成すべき端面側のケーブル化光ファイバーの一部を薄膜形成装置内部に収納して所定位置にセットするとともに、残余のケーブル化光ファイバ部分は薄膜形成装置の外部に置き留め、
薄膜形成装置内を真空排気して光ファイバ端面に薄膜を形成することを特徴とする。
【０００８】
【実施例】
図２は本発明の実施例を説明するための一部断面図であり、真空蒸着装置の天板の近傍を示している。
蒸着装置本体２１は、天板に開口を有しており、ここにケーブル化光ファイバ１１をセットした本発明の蒸着治具３１を固定し、装置本体２１を真空シールする。
【０００９】
蒸着治具３１は、蓋板３３と、蓋板３３に固定されたセット板３５と、ケーブル化光ファイバ１１のセット板３５へのセット後に蓋板３３に固定される中間リング３７と、蓋板３３と中間リング３７をシールする部材であって本発明の骨子である導入パッキン４１とからなる。なお、図２ではただ１つのケーブル化光ファイバ１１のフェルール１７を、セット板３５のセット穴に挿入した状態を示したが、実際には多数設けられ、１ロットで多くの蒸着処理が為される。
【００１０】
図３に示すように、ゴム製の導入パッキン４１には、幅方向を貫く貫通孔４３が多数穿設されており、さらに導入パッキン４１の上面から貫通孔４３に至る斜めの切込み４５が設けられている。なお、この切込み４５は、導入パッキン４１の下面側から設けてもよい。貫通孔４３の孔径は光ファイバ心線１５の直径に見合った径であり、具体的には光ファイバ心線１５の直径とほぼ同等とする。
【００１１】
また、導入パッキン４１は、装置本体２１に対して直接的に当接するものではないが、導入パッキン４１の真空シールが保てなければ装置本体２１内部の真空雰囲気が達成されないので、導入パッキン４１は本願発明に言う「薄膜形成装置の真空度を維持するためのパッキン」の１つである。
【００１２】
次に、図２、図３に沿って本願発明における薄膜形成の手順について説明する。
まず、図２において装置本体２１から中間リング３７を外し、さらに中間リング３７から蓋板３３を取り外す。そして、蒸着済みのケーブル化光ファイバ１１を回収する。次に中間リング３７のシール溝に嵌装された導入パッキン４１の切込み４５に光ファイバ心線１５を通して、貫通孔４３に光ファイバ心線１５を嵌装する。
【００１３】
なお、予じめ、光コネクタ１９からフェルール１７を分解して、フェルール１７を導入パッキン４１の内側とし、残余の光コネクタ１９′は、真空槽外に配置せしめるようにする。ついで、中間リング３７に導入パッキン４１を介して蓋板を当接し、ネジ５１により固定する。これにより、導入パッキン４１は真空シール可能な状態となる。ついで、光ファイバ端面１３が下方を向くように、セット板３５のセット穴にフェルール１７を挿入して取り付ける。ついで、パッキン５５を介してネジ５３により、中間リング３７を装置本体２１真空シール可能に固定する。
【００１４】
これで準備は完了であり、装置本体２１の内部を真空排気したのち、下方から真空蒸着を行ない、光ファイバ端面１３に反射防止膜を真空蒸着する。
図４は、本発明の他の実施例を説明するための一部断面図であり、真空蒸着装置の天板の近傍を示している。
【００１５】
蒸着装置本体２１は、天板に開口を有しており、ここにケーブル化光ファイバ１１をセットした本発明の蒸着治具６１を、パッキン５５を介してネジ５３に固定し、装置本体２１を真空シールする。
【００１６】
蒸着治具６１は、透孔６３ａを有する蓋板６３と、筒状受け部材６７と、ゴム栓８１（導入用シール部材）と、押え部材７３と、固定環７５と、蓋体６３に固定され真空槽側に延設されたセット板６５とからなる。なお、図４ではただ１つのケーブル化光ファイバ１１のフェルール１７を、セット板６５のセット穴に挿入した状態を示したが、実際には蓋板６３に多数のゴム栓８１が設けられ、各々のゴム栓８１からフェルール１７が真空槽内に導かれ、セット板６７のセット穴に挿入されて、１ロットで多くの蒸着処理が為される。
【００１７】
筒状受け部材６７は、中空部６７ａ（開口部）を透孔６３ａに整合して、ネジ７１によりパッキン６９を介して蓋板６３に固定され、真空シールを実現している。中空部６７ａの上部は、真空槽側に向かって縮径するテーパ部６７ｂを形成しており、このテーパ６７ｂにゴム栓８１が押し込まれるようにして固定されている。
【００１８】
ゴム栓８１の上部には、押え部材７３が載置され、筒状受け部材６７の外周側に形成された雄ネジに螺合している固定環７５を、真空槽側に向かって螺進させることにより、押さえ部材７３を介してゴム栓８１が下方に押え付けられて、真空シールが実現する。
図５に斜視図を示すように、ゴム栓８１の外径は、下方に向かって徐々に縮径しており、また、ゴム栓８１の上下方向を貫く貫通孔８３が穿設されており、さらにゴム栓８１の外周面から貫通孔８３に至る切込み８５が設けられている。貫通孔８３の孔径は光ファイバー心線１５の直径に見合った径であり、具体的には光ファイバ心線１５の直径とほぼ同等とする。
【００１９】
次に、図４、図５に沿って、光ファイバの端面に薄膜を形成する方法について説明する。
まず、図４において装置本体２１から蓋板６３を取り外し、固定環７５を緩めて筒状受け部材６７から外し、押え部材７３を取り除く、この状態で、透孔６３ａ側からゴム栓８１を突き上げるようにして、ゴム栓８１を取り外し、蒸着済みのケーブル化光ファイバ１１を回収する。
【００２０】
次に、図５に示したように、ゴム栓８１の切込み８５を通して、光ファイバ心線１５を貫通孔８３内に嵌装する。なお、予じめ光コネクタ１９からフェルール１７を分解して、フェルール１７をゴム栓８１の下側（真空槽内）とし、残余の光コネクタ１９′はゴム栓８１の上側（大気側）に配置せしめるようにする。ついで、ゴム栓８１を筒状受け部材６７の中空部６７ａに挿入し、真空槽側の光ファイバ心線１５の長さを調整して、フェルール１７をセット板６５のセット穴に挿入してセットする。次に、押え部材７３をゴム栓８１上に載置し、固定環７５を筒状受け部材６７に対して螺合・螺進させ、筒状受け部材６７の中空部６７ａのテーパ部６７ｂとゴム栓８１との間にシール構造を形成する。ついで、蓋板６３を装置本体２１に対して固定することにより、真空槽のシール構造が完成し、蒸着準備が終了する。
【００２１】
以下は通常の蒸着操作と同様であり、装置本体２１の内部を真空排気した後、下方から真空蒸着を行ない、光ファイバ端面１３に反射防止膜を形成する。
なお本発明では、形成される薄膜が反射防止膜に限定されることはなく、また、薄膜形成装置も真空蒸着装置に限定されない。
【００２２】
【発明の効果】
本発明によれば、ケーブル化光ファイバを真空槽に持ち込む部分を少なくして、露出している光ファイバ端面に簡単に薄膜を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ケーブル化光ファイバを示す一部省略側面図である。
【図２】本発明の薄膜形成方法の実施例を示す一部省略断面図である。
【図３】本発明で用いられる導入パッキンの一例を示す一部省略斜視図である。
【図４】本発明の薄膜形成方法の実施例を示す一部省略断面図である。
【図５】本発明で用いるられる導入用シール部材の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１１  ケーブル化光ファイバ
１３  光ファイバ端面
１５  光ファイバ心線
１７  フェルール
１９  光コネクタ
２１  装置本体
３１  蒸着治具
３３  蓋板
３５  セット板
３７  中間リング
４１  導入パッキン
４３  貫通孔
４５  切込み
５１，５３  ネジ
５５  パッキン
６１  蒸着治具
６３  蓋板
６３ａ  透孔
６５  セット板
６７  筒状受け部材
６７ａ  中空部
６７ｂ  テーパ部
６９  パッキン
７１  ネジ
７３  押え部材
７５  固定環
８１  ゴム栓
８３  貫通孔
８５  切込み
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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