【手続補正書】
【提出日】令和3年1月22日(2021.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を熱処理するための装置であって、
本体と、
角度がついた突起と、
ガス注入チャネルであって、
第１半角、及び、
第２半角
を備え、前記第１半角は前記第２半角とは異なる、ガス注入チャネルと
を備える、装置。
【請求項２】
前記本体が、
第１の面と、
前記第１の面の反対側の第２の面であって、前記第１の面は前記第２の面と実質的に同じ長さである、第２の面と、
前記第１の面に対して直角な第３の面と、
前記第１の面と前記第３の面との間に延在する、第１の湾曲面と、
前記第３の面と前記第２の面との間に延在する、第２の湾曲面と、
前記第２の面に対して直角な第４の面と、
前記第１の面と前記第４の面との間に延在する、第３の湾曲面と、
前記第４の面と前記第２の面との間に延在する第４の湾曲面であって、前記第３の面が前記第４の面の反対側にある、第４の湾曲面と、
前記第１の面に対して直角な第５の面と、
前記第１の面に対して直角な第６の面であって、前記第６の面は前記第５の面の反対側にある、第６の面とを備える、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
角度がついた突起が前記第５の面に配置され、ガス注入チャネルが前記第６の面に配置される、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記角度がついた突起が三角形である、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記角度がついた突起が、
第１ファセットと、
第２ファセットと、
前記ガス注入チャネルと流体連通している円形の入口と
を備える、請求項２に記載の装置。
【請求項６】
前記ガス注入チャネルが、流路に平行な基板支持面の接線から約５ｍｍから約１０ｍｍの距離にある前記流路に沿って、ガス流を提供する、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１半角が約２９．５度から約３０．５度であり、前記第２半角が約３１．８度から約３２．８度である、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記ガス注入チャネルが、湾曲面を伴って処理空間に向かって広がる、扁平な漏斗型構造物である、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
処理空間を画定するチャンバ本体と、
前記処理空間内に配置された基板支持体であって、基板支持面を有する、基板支持体と、
前記チャンバ本体の入口に連結された、ガス源と、
前記チャンバ本体の出口に連結された、排気アセンブリと、
前記チャンバ本体の側壁に連結された、側方ガスアセンブリと
を備える、基板を処理するための装置であって、
前記側方ガスアセンブリが、
ガス注入チャネルであって、
第１半角、及び、
第２半角
を備え、前記第１半角は前記第２半角とは異なる、ガス注入チャネル
を備える、装置。
【請求項１０】
前記側方ガスアセンブリが、
本体と、
角度がついた突起と
を更に備える、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記本体が、
第１の面と、
前記第１の面の反対側の第２の面であって、前記第１の面は前記第２の面と実質的に同じ長さである、第２の面と、
前記第１の面に対して直角な第３の面と、
前記第１の面と前記第３の面との間に延在する、第１の湾曲面と、
前記第３の面と前記第２の面との間に延在する、第２の湾曲面と、
前記第２の面に対して直角な第４の面と、
前記第１の面と前記第４の面との間に延在する、第３の湾曲面と、
前記第４の面と前記第２の面との間に延在する第４の湾曲面であって、前記第３の面が前記第４の面の反対側にある、第４の湾曲面と、
前記第１の面に対して直角な第５の面と、
前記第１の面に対して直角な第６の面であって、前記第６の面は前記第５の面の反対側にある、第６の面と
を備える、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記角度がついた突起が前記第５の面に配置され、前記ガス注入チャネルが前記第６の面に配置される、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記角度がついた突起が、
第１ファセットと、
第２ファセットと、
前記ガス注入チャネルと流体連通している円形の入口と
を備える、請求項１０に記載の装置。
【請求項１４】
前記側方ガスアセンブリが、流路に平行な前記基板支持面の接線から約５ｍｍから約１０ｍｍの距離にある前記流路に沿って、ガス流を提供する、請求項９に記載の装置。
【請求項１５】
前記第１半角が約２９．５度から約３０．５度までであり、前記第２半角が約３１．８度から約３２．８度までである、請求項９に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
一実行形態では、本体２３０はエッジが丸み付けされた長方形である。本体２３０は、第２の面２３４の反対側に第１の面２３２を有する。一実行形態では、第１の面２３２と第２の面２３４とは、実質的に同じ長さである。一実行形態では、第１の面２３２と第２の面２３４とは平行である。本体は、図２Ｂに示しているように、第３の面２２４と、第４の面２２２と、第５の面２２６と、第６の面２８２とを有する。第１ファセット２１８が、角度が付いた面２０２を第５の面２２６に接続しうる。第２ファセットが、角度が付いた開口２４６を第５の面２２６に接続しうる。突起２０５は第５の面２２６に接続しうる。角度が付いた開口２４６は、角度がついた面２０２に対して直角でありうる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
ガスインジェクタは、長方形、正方形、円形、多角形、六角形、又はその他の任意の好適な形状といった、任意の望ましい断面形状を有する狭長チャネルを含みうる。ガスインジェクタ２４７は、側方ガス流１４８の大部分を、中空の扇形又は中空の扁平円錐形の形状で、基板１０１のエッジに導くよう適合している。ガスチャネル２４９は、２つの内部表面２７９、２８０を含む。一実行形態では、内部表面２７９、２８０は、その各々が、基板１０１のエッジに実質的に正接する、又は、基板支持体１３８の基板支持面のエッジに実質的に正接する方向に沿って延在するように、構成される。内部表面２７９、２８０は、角度が付いた開口２４６から湾曲面２８２へと延在する。湾曲面２８２は、基板１０１と隣り合い、かつ、突起２０５の反対側にある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
ガスインジェクタ２４７は、面２２６、２３２、２３４、２８２、２２４、及び２２２を含む。第１の面２３２は、第２の面２３４の反対側にある。一実行形態では、第１の面２３２は、第２の側２３４に平行であり、かつ、第２の側２３４と実質的に同じ長さである。第１の湾曲面２３６が、第１の面２３２と第３の面２２４との間に配置される。第３の面２２４は、第１の面２３２に対して直角に配置される。第２の湾曲面２４０が、第２の面２３４と第３の面２２４との間に配置される。第３の湾曲面２３８が、第１の面２３２と第４の面２２２との間に配置される。第４の面２２２は、第１の面２３２に対して直角である。第４の湾曲面２２８が、第２の面２３４と第４の面２２２との間に配置される。第３の面２２４は、第４の面２２２の反対側にある。第５の面２２６が、第６の面２８２の反対側にある。一実行形態では、第６の面２８２は湾曲している。第６の面２８２の曲率半径は約８〜約９インチでありうる。第３の面２２４は、角度がついたガス源突起２０５と同じ平面にある。ガスチャネル２４９が、基板１０１に面して、第６の面２８２に配置される。有利には、第１の面２３２及び第２の面２３４は、第４の面２２２に対して実質的に直角であり、チャンバ１００におけるより密着性の高い密封を可能にする。一実行形態は、オプションで、図２Ｃで視認できるようなファセット２０４、２１８を含みうる。一実行形態では、角度がついたガス源突起２０５は、ファセット２０４、２１８を介して第５の面２２６に接続される。一実行形態では、角度がついた面２０２及び角度がついた開口２４６は、第５の面２２６に直接接続される。第６の面の湾曲は、有利には、ガスのより均一な弁別を促進し、基板１０１に向かって流れるガスは、基板１０１の湾曲に沿うことによって、乱れが少なくなる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
１００  チャンバ
１０１  基板
１０７  コントローラ
１０８  加熱源
１１０  ランプアセンブリ
１１４  石英ウインドウ
１２２  側方ポート
１２３  中心軸
１２４  排気アセンブリ
１２５  排気空間
１３０  チャンバアセンブリ
１３１  ガス入口
１３４  ガス出口
１３５  ガス源
１３６  ポンプシステム
１３７  スリットバルブ
１３８  基板支持体
１３９  処理空間
１４０  ベースリング
１４１  第１ガス源
１４２  第２ガス源
１４３  ２つの入口
１４４  ２つの入口
１４５  主ガス流
１４６  流量調整デバイス
１４７  ガスインジェクタ
１４８  側方ガス流
１４９  カートリッジ
１５０  狭長チャネル
１５１  注入孔
１５２  ガス源
１５３  ガス源
１５４  ガス源
１７９  内表面
１８９  方向
１９７  反時計回り方向
２０２  角度が付いた面
２０４  第２ファセット
２０５  突起
２１０  中心軸線
２１２  点
２１４ 内部空間
２１６  円形の入口
２１８  第１ファセット
２２０  中心交点
２２６  第５の面
２２８  第４の湾曲面
２３０  本体
２３２  面
２３４  面
２３６  第１の湾曲面
２３８  第３の湾曲面
２４０  第２の湾曲面
２４２  角度
２４６  角度が付いたガス源アセンブリ
２４７  ガスインジェクタ
２４８  側方ガス流
２４９  入口チャネル
２５０ａ  一方の半角
２５０ｂ  他方の半角
２７９  内部表面
２８０  内部表面
２８２  湾曲面