(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
細径で中空円筒状のパイプ電極を電極ホルダに固定保持させ、加工ヘッドに軸を中心とした回転が可能に鉛直に設けた中空円筒状のスピンドルの下端部に該電極ホルダを取り付け、パイプ電極先端を被加工物に微小間隙を介して対向させ、加工液貯留槽内の加工液を吸込むポンプの吐出口と前記スピンドルの中空部を加工液供給管により接続し、該ポンプを駆動して所定圧力の加工液を回転付与状態の前記スピンドル及びパイプ電極の中空部を通して加工部に供給しながら、パイプ電極と被加工物間に間欠的に電圧パルスを印加して繰り返し放電パルスを発生させると共に、両者間に上下方向の相対的な加工送りを与えて細穴の加工を行う細穴放電加工装置に於て、前記加工液供給管から分岐して前記加工液貯留槽に帰還する分岐管の管路に、設定した圧力以上で該管路を開とする第１のばね付逆止弁と固定オリフィスとを直列に介装し、前記スピンドルの中空部に、設定した圧力以上で該中空部を開とする第２のばね付逆止弁を設けて成ることを特徴とする細穴放電加工装置。
【請求項２】
前記第１のばね付逆止弁の動作圧力を前記加工部に供給する加工液の所定圧力よりも低い値に設定し、前記第２のばね付逆止弁の動作圧力を前記第１のばね付逆止弁の設定圧力以下の値に設定して成ることを特徴とする請求項１記載の細穴放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、φ０．３０ｍｍ前後程度以下、φ０．０５ｍｍ程度以上の細径で中空円筒状のパイプ電極を加工用電極として用い、該パイプ電極を電極ホルダに固定保持させ、加工ヘッドに軸を中心とした回転が可能に鉛直に設けた中空円筒状のスピンドルの下端部に電極ホルダを取り付け、該パイプ電極先端を被加工物に対向させ、回転付与状態の前記スピンドル及びパイプ電極の中空部を通して高圧（２０ｋｇｆ／ｃｍ２以上、通常５０〜６０ｋｇｆ／ｃｍ２前後程度またはそれ以上）で加工液を供給することにより加工部に加工液を供給しながら、パイプ電極と被加工物間に間欠的に電圧パルスを印加して繰り返し放電パルスを発生させると共に、両者間にパイプ電極の軸方向（上下方向）の相対的な加工送りを与えることにより、被加工物に細径の貫通孔や底付きの細い穴等を穿孔加工する細穴放電加工装置に関し、特に、高圧で加工液を供給する加工液供給系統の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
このような極細のパイプ電極による細穴の放電加工は、電極消耗比が大凡１：１、即ち約１００％前後またはそれ以上の高消耗条件下で行われることが多いところから、更には、このような高消耗条件下で、パイプ電極の交換頻度を低減し一本のパイプ電極でなるべく多数個の加工を可能として加工能率を向上させるために、パイプ電極は、少なくとも外径の数１００倍以上、４００〜５００ｍｍ程度以下、通常１００〜３５０ｍｍ前後程度の長さに製作仕上げられており、主として銅製あるいは銅タングステン等の銅合金製のパイプ電極が多用されている。
また、パイプ電極の肉厚は外径がφ０．３ｍｍでも約０．１ｍｍ程度であり、細くなれば更に肉厚は薄くなる。
【０００３】
細穴加工用のパイプ電極はこのように極細長尺で剛性に乏しく、僅かな外力が作用しても潰れ、屈曲や折損等の損傷を生じ易く、パイプ電極をスピンドルに直接着脱することは困難であるため、通常は大径のシャンク部を形成して剛性を高めた根元側を電極ホルダ（通常、コレットによりパイプ電極の根元側端部を挟んで締め付け固定するコレットチャック）に取り付け、該電極ホルダをスピンドル下端部に着脱するようにしている。
【０００４】
そして、従来の細穴放電加工装置では、加工部へ加工液を供給する配管系統が図４に示すように構成されている。
即ち、図４に於て、１は中心部に軸方向に貫通する内径がφ３〜５ｍｍ前後程度の中空部（加工液流通孔）１ａを有するスピンドルであり、加工ヘッド２に軸を中心とした回転が可能に鉛直に設けられ、モータ３の出力軸に設けたプーリにベルト掛けされて回転駆動される。４は電極ホルダであり、パイプ電極５の根元側を固定保持し、スピンドル１の下端部に着脱自在に取り付けられる。６はパイプ電極５に対向して配置される被加工物であり、加工槽７に設けた加工台８上に載置される。９は必要に応じ加工槽７中に溜められる加工液である。
【０００５】
また、１０は使用済み加工液を再生処理等した清浄加工液１１を貯留する加工液貯留槽、１２は該貯留槽中の加工液（水ないし水系加工液あるいはケロシン等の鉱油系の加工液）１１を吸込んで高圧で吐出する、例えばアキシャルプランジャポンプ、１３は該ポンプ１２を駆動するモータ、１４はポンプ１２の吐出口とスピンドル１の中空部１ａを接続する管、ホースからなる加工液供給管であり、スピンドル１は加工液供給管１４に回転可能に液密シール状態で接続される。また、１５は加工液供給管１４に介装したフィルタ、１６は加工液供給管１４内の圧力を示す圧力計、１７は加工液供給管１４内の圧力を設定した圧力に保持するリリーフ弁であり、ポンプ１２から吐出された加工液の一部を逃がして、供給加工液の液圧を設定圧力に維持する。１８はリリーフ弁１７により逃がした加工液を加工液貯留槽１０に還流させる管路に介装したクーラであり、還流加工液を冷却して加工液貯留槽１０内の加工液１１の温度上昇を抑える。１９は加工液供給管１４から分岐して加工液貯留槽１０に帰還する分岐管２０の管路に介装した電磁弁である。
【０００６】
従来はこのような構成に於て、加工中は、リリーフ弁１７を例えば最大圧力８０ｋｇｆ／ｃｍ２に設定し、電磁弁１９を閉状態とし、モータ１３によりポンプ１２を駆動して貯留槽１０から加工液１１を汲み上げ、一部の加工液をリリーフ弁１７からクーラ１８を通して貯留槽１０に還流させながら、８０ｋｇｆ／ｃｍ２の高圧加工液を加工液供給管１４に送給する。送給された高圧加工液はフィルタ１５で濾過され回転状態のスピンドル１の中空部１ａを流れ、電極ホルダ４を介してパイプ電極５の先端開口から通常数ｍl/ｍｉｎの流量で噴出する。このようにして、パイプ電極５と被加工物６とが微小な放電間隙を介して対向する加工部に一定圧の状態の加工液を供給しながら、パイプ電極５と被加工物６間に図示しない加工電源から間欠的に電圧パルスを印加して繰り返し放電パルスを発生させると共に、スピンドル１（パイプ電極５）の軸方向の相対的な加工送りを与えて被加工物６に微細な細穴を穿孔加工する。
【０００７】
なお、被加工物６の加工位置の位置決めは、加工槽７をＸＹクロステーブル上に載置し、該ＸＹクロステーブルを移動制御することにより、あるいは加工ヘッド２をＸ軸及びＹ軸に移動制御することによって行われる。また、加工送りは、通常、加工ヘッド２をコラム等に対してをＺ軸方向に移動制御することによって行われるが、場合によっては、被加工物６をＺ軸方向に移動制御するようにしても良い。
【０００８】
そして、加工が終了して、あるいはパイプ電極が消耗して電極交換が必要になり、ポンプ１２を停止して電極ホルダ４をスピンドル１から取り外す際、該取り外し作業を加工液供給管１４内に高圧の加工液が残留したままで行うと、加工液供給管１４及びスピンドル１内の高圧加工液がスピンドル１の先端開口から激しく噴出して周囲に飛散することになり、また、ポンプ１２停止後もパイプ電極５の先端開口から加工液が排出されはするものの、パイプ電極５の中空部の内径はφ０．１ｍｍ前後程度以下であって、加工液供給管１４内の残圧が抜けきるまでには長時間を要するから、電極ホルダ４の取り外し作業は、ポンプ１２を停止し、電磁弁１９を開状態として、加工液供給管１４内の加工液を分岐管２０を通し加工液貯留槽１０に排出させて残圧を抜いてから行う。電極ホルダ４を取り外すと、加工液供給管１４及びスピンドル１の中空部１ａからなる加工液供給路の一部の両端が開放された状態となり、図４に於て言えば、少なくとも加工液供給管１４の分岐管２０接続部から中空部１ａの先端開口までの加工液供給路内の加工液は抜け落ちて、該加工液供給路内は空の状態となる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
この状態で、新しいまたは使用可能な長さのパイプ電極５を装着した電極ホルダ４を再びスピンドル１下端部に取り付け、電磁弁１９を閉状態とし、ポンプ１２を駆動して加工液の供給を再開すると、パイプ電極５の先端開口からは、先ず加工液供給路内に封入された空気が噴出する。そして、空気噴出状態で放電加工を再開すると、加工液が介在しない気中放電が発生して、加工面を傷付ける等の加工不良を生じさせることになる。この気中放電による加工不良を回避するには、前記封入されていた空気の全てが排出されてパイプ電極５の先端開口から加工液が噴出するようになってから放電加工を再開すれば良い。しかし、加工液供給管１４の内径やスピンドル１の中空部（加工液流通孔）１ａの内径、及び前記分岐管２０接続部からスピンドル１の先端開口までの長さにもよるが、通常、該長さは約３ｍ程度となり、またパイプ電極５の中空部の内径はφ０．１ｍｍ前後程度以下と極めて細径であるため、前記封入空気の全てが排出されるにはポンプ１２の駆動開始からかなり長時間を要する。実際の細穴放電加工装置を用い、パイプ電極５の先端開口から加工液が定常的に噴出している状態でポンプ１２を停止し、電磁弁１９を開状態としてから、電極ホルダ４を取り外し、加工液供給路内の加工液を流出させた後、外径φ０．１５ｍｍ、内径φ０．０６ｍｍで長さ２００ｍｍのパイプ電極５を装着した電極ホルダ４をスピンドル１下端部に取り付け、透明容器に満した加工液中にパイプ電極の先端を浸し、ポンプ１２を駆動して６０ｋｇｆ／ｃｍ２の圧力で加工液を供給し、パイプ電極の先端開口から気泡が排出されなくなるまでの時間を測定したところ、４分程度の時間を要した。従って、前記封入空気の全てが排出されるのを待って放電加工を再開していたのでは、装置の非稼働時間が増加して加工能率が低下する。
【００１０】
また、加工液供給路に空気が封入された状態でポンプ１２を駆動すると、該ポンプ１２の駆動開始時に供給加工液圧により前記封入空気が圧縮されてパイプ電極５の先端開口から衝撃的に噴出し、該噴出力の反作用により極細のパイプ電極５が踊ってＵ字形等に屈曲変形してしまい、加工不能となることがある。
【００１１】
叙上の問題点に鑑み、本発明は、加工が終了して、あるいはパイプ電極の交換のために電極ホルダを取り外す際に、スピンドルの先端開口から高圧加工液が激しく噴出して周囲に飛散することがなく、また、再び電極ホルダをスピンドル下端部に取り付けて放電加工を再開する際に、ポンプにより加工液の供給を開始してから短時間でパイプ電極の先端開口から所定圧力の加工液を噴出させて能率良く良好に加工を行うことができる細穴放電加工装置の提供を目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明は、上述した細穴放電加工装置に於て、分岐管２０の管路に、電磁弁１９に代えて、設定した圧力以上で該管路を開とする第１のばね付逆止弁と固定オリフィスとを直列に介装し、またスピンドル１の中空部１ａに、設定した圧力以上で該中空部１ａを開とする第２のばね付逆止弁を設けて成ることを特徴とする。
【００１３】
また、上記の目的をより良く達成するために、本発明は、前記第１のばね付逆止弁の動作圧力を加工部に供給する加工液の圧力よりも低い値に設定し、前記第２のばね付逆止弁の動作圧力を前記第１のばね付逆止弁の設定圧力以下の値に設定して成ることをと特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施例を図１、図２及び図３に基づいて説明する。図１、図２及び図３に於て図４と同符号部分は同一構成部材を示す。
図１に於て、２１は内径がφ０．４ｍｍの固定オリフィス、２２は第１のばね付逆止弁であり、これ等の固定オリフィス２１と第１のばね付逆止弁２２が分岐管２０の管路に直列に介装されている。なお、固定オリフィス２１を加工液貯留槽１０側に配置するようにしても良い。第１のばね付逆止弁２２は動作圧力が、例えば、３ｋｇｆ/ｃｍ２程度に設定されており、加工液供給路の圧力が３ｋｇｆ/ｃｍ２以下のときは該逆止弁２２は閉状態を維持して分岐管２０の管路は閉じられており、加工液供給路の圧力が３ｋｇｆ/ｃｍ２を越えたときに該逆止弁２２が開状態となって分岐管２０の管路が開かれ、加工液供給管１４を介して、スピンドル１及びパイプ電極５と供給される加工液供給路の加工液の内からほんの小部分が分岐管２０から固定オリフィス２１を通って加工液貯留槽１０に流れる。また、２３はスピンドル１の中空部１ａに設けた第２のばね付逆止弁であり、該第２のばね付逆止弁２３は動作圧力が、前記第１のばね付逆止弁の設定圧力と同一以下の通常はより低い値、例えば、１ｋｇｆ/ｃｍ２程度に設定されており、加工液供給路の圧力が１ｋｇｆ/ｃｍ２以下のときは該逆止弁２３は閉状態を維持して中空部１ａは閉じられており、加工液供給路の圧力が１ｋｇｆ/ｃｍ２を越えたときに該逆止弁２３が開状態となって中空部１ａの加工液流通孔が開かれ、加工液供給路の加工液がパイプ電極５の中空部を通って先端開口から、または、電極ホルダ４を取外したスピンドル１の先端開口から流出若しくは噴出する。
【００１５】
以下の図示説明する図２及び図３は、前述した第２ばね付逆止弁２３及びその設置位置廻りの部分を除き、本発明の要旨と直接関係するものではないが、細穴放電加工装置及びその加工液供給路が通じている加工ヘッド廻りの大略の構成等の理解のために簡単に説明しておくものである。
【００１６】
図２及び図３は、図１に於けるスピンドル１と加工液供給管１４との接続部、及びスピンドル１と電極ホルダ４との取り付け部を拡大して示した縦断面図であり、図２は加工中の状態を、また図３は、ポンプ１２を停止してから少し時間が経ち電極ホルダ４を取り外したときの状態を示す。
スピンドル１は加工ヘッド２に軸受２４を介して回転自在に支持されており、スピンドル１に固定したプーリ２５とモータ３の出力軸に固定したプーリ２６間にタイミングベルト２７を懸廻して、モータ３によりスピンドル１を回転駆動する。また、２８はシールパイプ、２９は固定シール、３０はオムニシール、３１は軸受であり、これ等によって加工液供給管１４にスピンドル１が回転可能に且つ液密シール状態で接続される。
【００１７】
また、パイプ電極５を固定保持する電極ホルダ４のスピンドル１に対する取り付け部はカプラ式の接続構造を有しており、スピンドル１の外周に固定されたコイルばねホルダ３２と軸方向（上下方向）に摺動可能なクランパ３３間に圧縮コイルばね３４を介装してクランパ３３を常時下方に付勢し、クランパ３３の下側のスピンドル１周囲に所定間隔で孔３５を形成し、該孔３５にボール３６を内側に脱落しない態様で設け、該ボール３６をクランパ３３の下端部内周縁に形成したテーパ面で押圧して孔３５の内方に移動させ、電極ホルダ４の環状溝３７にボール３６を押圧係合させることにより、電極ホルダ４がスピンドル１の下端部にＯリング３８により中空部１ａと液密シール状態で取り付けられる。
【００１８】
電極ホルダ４の取り付け作業は、該電極ホルダ４の上端部外周縁にテーパ面を形成し、電極ホルダ４をスピンドル１の下端から挿入する際、該テーパ面でボール３６を押圧して外方に移動させることにより、あるいは、クランパ３３を上方に移動させてボール３６の内方への押圧を解除した状態で電極ホルダ４をスピンドル１の下端から挿入することにより行われる。また、電極ホルダ４の取り外し作業は、クランパ３３を上方に移動させてボール３６の内方への押圧を解除し、アンクランプ状態として電極ホルダ４を下方に抜き取ることにより行われる。また、クランパ３３の上方への移動は、手作業によるのではなく、例えば、シリンダ機構３９を設けて、該機構３９のピストンロッドに係合するレバー４０を回動させ、該レバー４０に設けたリフターツメ４１によりクランパ３３を圧縮コイルばね３４の弾発力に抗して上方に移動させるように構成することが、電極ホルダ（パイプ電極）の自動交換を可能とするうえで望ましい。なお、４２は加工電源からの電圧パルスをパイプ電極５に給電するための通電ブラシであり、ばねにより押圧されて通電リングを兼ねるコイルばねホルダ３２に摺接する。
【００１９】
また、図２及び図３に示すように、第２のばね付逆止弁２３は、逆止用ボール２３ａと、ばね押え部材２３ｂと、該ボール２３ａ及び部材２３ｂ間に介装した圧縮コイルばね２３ｃとから構成され、スピンドル１の中空部１ａに下側の方が径が拡大する段部１ｂを形成し、ボール２３ａとして該段部１ｂの小径側の径よりも大きく大径側の径よりも小さい直径を有するボールを用いて、加工液非供給状態で該ボール２３ａが段部１ｂの周縁に当接する態様で配置される。そして、第２のばね付逆止弁２３の動作圧力は、ばね押え部材２３ｂの捩じ込み等による上下位置（段部１ｂと部材２３ｂ間の距離）によりコイルばね２３Ｃの縮み代を調整することにより所定圧力に設定される。また、第１のばね付逆止弁２２も第２のばね付逆止弁２３と同様に構成され、分岐管２０の管路に形成した段部に同様の態様で配置される。
【００２０】
以上の構成により、加工中は、ポンプ１２の吐出加工液の一部を逃がして加工液供給路の圧力を設定された所定の高圧状態に維持するリリーフ弁１７の作用により、加工液供給路が設定された例えば８０ｋｇｆ／ｃｍ２の高圧状態に保持されているから、動作圧力が３ｋｇｆ／ｃｍ２に設定されている第１のばね付逆止弁２２と動作圧力が１ｋｇｆ／ｃｍ２に設定されている第２のばね付逆止弁２３は共に開状態にある。このため、供給加工液は、スピンドル１の中空部１ａの第２のばね付逆止弁２３を流通してパイプ電極５の先端開口から噴出し、また、分岐管２０の第１のばね付逆止弁２２を流通して加工液貯留槽１０内に流出する。
但し、第１のばね付逆止弁２２には固定オリフィス２１が直列に配設されているから、第１のばね付逆止弁２２を流通する加工液の流量はそれ程多くない。このように、加工中は、ポンプ１２及びリリーフ弁１７によって加工液供給路に送給された所定圧力の高圧加工液をパイプ電極５の先端開口から噴出させて加工部に供給すると共に、該高圧加工液の小部分を固定オリフィス２１を通して加工液貯留槽１０に還流させながら加工が行われる。
【００２１】
そして、加工が終了して、あるいはパイプ電極の交換が必要になって電極ホルダ４を取り外す際は、先ずポンプ１２を停止する。ポンプ１２を停止しても加工液供給路は高圧状態にあるから、加工液供給路内の加工液がパイプ電極５の先端開口から流出し続けると共に固定オリフィス２１を流通して加工液貯留槽１０に還流する。固定オリフィス２１は内径がφ０．４ｍｍに形成されており、ポンプ１２停止後、数秒で加工液供給路の圧力が第１のばね付逆止弁２２の設定圧力３ｋｇｆ／ｃｍ２まで低下する。加工液供給路の残圧が３ｋｇｆ／ｃｍ２まで低下すると、第１のばね付逆止弁２２が閉状態となって分岐管２０の管路が閉じられる。次いで、電極ホルダ４を取り外す。この場合、パイプ電極５の先端開口からの加工液流出による残圧の低下は緩慢であるが、電極ホルダ４を取り外す頃には、加工液供給路に残留していた略３ｋｇｆ／ｃｍ２の加工液の残圧は、３ｋｇｆ／ｃｍ２よりもかなり低下しており、この３ｋｇｆ／ｃｍ２より低下した加工液の噴出状態はそれ程激しくはなく、また噴出時間も極短く、噴出加工液が周囲に飛散するようなことはない。電極ホルダ４取り外し後、極短時間で加工液供給路の圧力が第２のばね付逆止弁２３の設定圧力１ｋｇｆ／ｃｍ２まで低下し、該第２のばね付逆止弁２３は閉状態（ばね２３ｂの弾発力により逆止用ボール２３ａが段部１ｂの周縁に圧接した状態。図３の状態）となり、中空部（加工液流通孔）１ａが閉じられ、加工液供給路に加工液が１ｋｇｆ／ｃｍ２の圧力で封入される。
【００２２】
また、放電加工を再開するため、新しいまたは使用可能な長さのパイプ電極を装着した電極ホルダ４を再びスピンドル１の下端部に取り付けて、ポンプ１２の駆動を再開すると、加工液供給路の圧力が急速に上昇し１ｋｇｆ／ｃｍ２を越えて第２のばね付逆止弁２３は開状態（加工液供給路の圧力により逆止用ボール２３ａがばね２３ｂの弾発力に抗して段部１ｂの周縁から下方に移動した状態。図２の状態）となり、中空部（加工液流通孔）１ａの段部１ｂが開かれて、加工液供給路に封入されていた加工液が該段部１ｂの下側の中空部１ａに流入し更にパイプ電極５の中空部を流下して、ポンプ１２の駆動を再開してから極短時間でパイプ電極５の根元部分の中空部付近まで加工液が満たされるようになる。このとき、加工液供給路中の加工液中に空気が混入されていないので、パイプ電極５から加工液が空気侵入状態で一気に噴き出すことがない。
このため加工液の外部への飛散や、パイプ電極５の振動による曲折等のトラブル発生も生じなくなる。
【００２３】
更に、ポンプ１２の駆動継続により加工液供給路の圧力は上昇を続け、３ｋｇｆ／ｃｍ２を越えると第１のばね付逆止弁２２が開状態となり、分岐管２０が開かれて供給加工液が固定オリフィス２１を通って加工液貯留槽１０に還流するようになる。加工液供給路の圧力が更に上昇を続けて、リリーフ弁１７の設定圧力（例えば８０ｋｇｆ／ｃｍ２）を越えると、ポンプ１２の吐出加工液の一部が加工液供給路から逃がされてクーラ１８を通って加工液貯留槽１０に還流するようになり、以後、リリーフ弁１７の作用により加工液供給路の圧力が設定圧力に維持され、パイプ電極５の先端開口から所定圧力の加工液が定常的に噴出するようになる。この状態で加工電源からの電圧パルスを通電ブラシ４２及び電極ホルダ４を介してパイプ電極５に給電すると共に被加工物６に給電して両者間に繰り返し放電パルスを発生させ、パイプ電極５と被加工物６間に上下方向の相対的な加工送りを与えて細穴の放電加工が行われる。
【００２４】
また、ポンプ１２の駆動を再開してからパイプ電極５の先端開口から加工液が噴出するまでの時間は、段部１ｂの下側の中空部１ａの容積に左右されるから、ばね付逆止弁２３は中空部１ａの下部に設けるのが好ましい。しかし、実際のスピンドル１の電極ホルダ４取り付け部を除いた長さは約７０ｍｍ程度であるから、ばね付逆止弁２３を中空部１ａの必ずしも最下部に設けなくても、ポンプ１２の駆動再開から極短時間でパイプ電極５の先端開口から加工液が噴出するようになり、実際上、加工液供給路の圧力がリリーフ弁１７の設定圧力にまで上昇して定常状態となれば、その時にはパイプ電極５の先端開口から所定圧力の加工液が噴出するようになる。
【００２５】
【発明の効果】
以上述べた通り、本発明によれば、加工液供給管から分岐して前記加工液貯留槽に帰還する分岐管の管路に、設定した圧力以上で該管路を開とする第１のばね付逆止弁と固定オリフィスとを直列に介装して、該第１のばね付逆止弁の動作圧力を高圧で供給される加工液の圧力よりも低い値に設定するようにしたから、加工が終了してあるいはパイプ電極の交換のために電極ホルダを取り外す際に、スピンドルの先端開口から高圧加工液が激しく噴出して周囲に飛散することがない。また、スピンドルの中空部に、設定した圧力以上で該中空部を開とする第２のばね付逆止弁を設け、該第２のばね付逆止弁の動作圧力を第１のばね付逆止弁の設定圧力以下の低い値に設定するようにしたから、電極ホルダを再びスピンドル下端部に取り付けて放電加工を再開する際に、ポンプを駆動して加工液の供給を開始してから短時間でパイプ電極の先端開口から所定圧力の加工液を噴出させて、迅速に加工の再開を可能にすることから、能率良く良好に加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例装置の配管構成を示す配管系統図。
【図２】図１に於ける一部を拡大して示す縦断面図。
【図３】図１に於ける一部を拡大して示す縦断面図。
【図４】従来装置の配管構成を示す配管系統図。
【符号の説明】
１    ：  スピンドル
１ａ  ：  中空部
１ｂ  ：  段部
２    ：  加工ヘッド
３    ：  モータ
４    ：  電極ホルダ
５    ：  パイプ電極
６    ：  被加工物
７    ：  加工槽
８    ：  加工台
９    ：  加工液
１０  ：  加工液貯留槽
１１  ：  清浄加工液
１２  ：  ポンプ
１３  ：  モータ
１４  ：  加工液供給管
１５  ：  フィルタ
１６  ：  圧力計
１７  ：  リリーフ弁
１８  ：  クーラ
１９  ：  電磁弁
２０  ：  分岐管
２１  ：  固定オリフィス
２２  ：  第１のばね付逆止弁
２３  ：  第２のばね付逆止弁
２３ａ：  逆止用ボール
２３ｂ：  ばね押え部材
２３ｃ：  圧縮コイルばね
２４  ：  軸受
２５  ：  プーリ
２６  ：  プーリ
２７  ：  タイミングベルト
２８  ：  シールパイプ
２９  ：  固定シール
３０  ：  オムニシール
３１  ：  軸受
３２  ：  コイルばねホルダ
３３  ：  クランパ
３４  ：  圧縮コイルばね
３５  ：  孔
３６  ：  ボール
３７  ：  環状溝
３８  ：  Ｏリング
３９  ：  シリンダ機構
４０  ：  レバー
４１  ：  リフターツメ
４２  ：  通電ブラシ
【図１】
0003708378.tif 000002
【図２】
0003708378.tif 000003
【図３】
0003708378.tif 000004
【図４】
0003708378.tif 000005