(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
格納体と該格納体内に配設され、前記格納体内に存在する特定のガス汚染物に曝されるとき発熱反応を示す清浄化材とを含み、未清浄化ガス入力ラインに連結される吸気口と清浄化ガス出力ラインに連結される排気口とを有するガス清浄化ユニットと、
前記ガス清浄化ユニットの外側において前記未清浄化ガス入力ラインに連結される安全装置とを備え、
該安全装置は、前記ガス清浄化ユニット内の前記特定のガス汚染物と同様の前記安全装置内のガス汚染物が一定時間に渡って所定の濃度レベル以上になれば、警報信号を発信し、
前記ガス清浄化ユニットの上流側にバルブを備え、前記安全装置から警報信号を受信すると前記ガス清浄化ユニットへの未清浄化ガスの流入を防止すべく前記バルブを閉鎖する制御ユニットを備えたガス清浄化システム。
【請求項２】
前記安全装置は第１安全装置であり、さらに第２安全装置とから構成され、前記第１安全装置が前記未清浄化ガス入力ラインに連結され、前記第２安全装置が前記清浄化ガス出力ラインに連結されることを特徴とする請求項１に記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項３】
前記安全装置が、前記特定のガス汚染部及び検知材の間の発熱反応によって、一定濃度レベル以上の前記特定のガス汚染物の存在を検知することを特徴とする請求項１又は２に記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項４】
前記検知材が前記清浄化材と同一種類であることを特徴とする請求項３に記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項５】
前記安全装置が、前記未清浄化ガス入力ラインに直列に連結されることを特徴とする請求項１に記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項６】
前記安全装置が、前記未清浄化ガス入力ラインに並列に連結されることを特徴とする請求項１に記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項７】
前記安全装置が、前記未清浄化ガス入力ライン内に設けられることを特徴とする請求項１に記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項８】
ガス清浄化ユニットの下流側にバルブを更に備え、制御ユニットは、安全装置から警報信号を受信すると上流側のバルブと下流側のバルブを閉鎖することを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項９】
ガス清浄化ユニットからガスを大気に排出するための通気バルブを備え、制御ユニットは、安全装置から警報信号を受信すると通気バルブを開放する請求項８記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項１０】
前記安全装置が、検知材としてのゲッター材と前記ゲッター材の温度を検知するための温度感知手段を含むことを特徴とする請求項１から９の何れかに記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項１１】
前記ゲッター材が粉末状のゲッター材であることを特徴とする請求項１０に記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項１２】
前記ゲッター材が基材に塗布されることを特徴とする請求項１０に記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項１３】
前記安全装置が、前記特定のガス汚染物が所定の濃度レベル以上であるとき溶融可能であるフィラメントを含むことを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項１４】
前記フィラメントが緊張状態にあることを特徴とする請求項１３に記載の安全装置を備えたガス清浄化システム。
【請求項１５】
未清浄化ガスの発生源を提供し、前記未清浄化ガスを、特定のガス汚染物に曝されたとき発熱反応を示す、清浄化ガスを提供するための清浄化材を含むガス清浄化ユニットに通過させ、前記未清浄化ガスに於いて、一定時間に渡って所定濃度以上の過剰レベルの、前記ガス清浄化ユニット内の前記特定のガス汚染物に類似したガス汚染物の存在を検知し、前記過剰レベルのガス汚染物の検知に基づき警報信号を発し、該警報信号の発生に基づき、バルブによって少なくとも前記未清浄化ガスの流れを遮断することからなる、ガスを安全に清浄化する方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（発明の背景）
本発明は、ガス清浄器に関し、特にはガス流を遮断及び不純ガスを除去するための安全システムを有したガス清浄器に関する。
【０００２】
不純物を吸収するためのガス清浄器は、主に、ゲッターベースの清浄器と触媒ベースの清浄器の２つの形式に分類される。これら２つの形式間の相違点は、ゲッターベースの清浄器が化学吸着の原理、即ち非可逆的吸収を用いて作動するため、清浄器が一旦消耗されてしまえば交換しなければならないのに対して、触媒ベースの清浄器は物理吸着の原理を用いて作動することによって、一旦消耗された後でも熱又は化学処理をすることによって再生することが出来る点にある。触媒ベースの清浄器はその再生特性の点で好ましいものであるが、清浄化できるガスの範囲は、ゲッターベースの清浄器の可能な範囲と比較してより狭いものとなる。両形式の清浄器は（清浄器の化学物質に対して）不活性のガスから反応性の不純物の痕跡を取り除くことを意図したものである。さらに、両形式の清浄器は、誤ったガス又は高濃度の特定ガスが清浄器に供給された場合、又は大気ガスがガスラインの欠陥によって入り込んでくる場合に破壊されてしまうことがある。
【０００３】
ゲッターベースの清浄器は、例えば、アルゴン、ヘリウム、水素及び窒素等のセミコンダクター処理等に適用される純粋ガスを生産する。場合によって「ゲッターコラム」として言及されるこれらガス清浄器は、一般的に、通過するガスをそこから不純物を吸着することによって清浄化するゲッター材のベッドを含む。
【０００４】
ゲッターベースのガス清浄器はそこに含まれるゲッター材が高濃度の特定不純物によって大きく反応することがあることから、潜在的に有害なものである。例えば、高濃度の、水素等の不純ガスが周知のジルコニウムベースのゲッター材を含むガス清浄器内に誤って導入され、発熱反応を起こすこと場合がある。ここで言及される不純ガス（又は反応ガス）の「高」濃度とは、ユニット時間当たりのガス量を意味するものであり、ゲッターによる発熱反応によって生じた熱は（伝導、又は流れるガス自体によって）分散される時間を持たず、温度の急激な上昇によって蓄積する。ガスの臨界量はガスの特性（即ち、ゲッターによる反応熱が高くなれば、ガスの臨界量は少なくなる）、全体のガス組成に於ける反応種の濃度、及びガスの流速に依存している。一般的に、１〜２％を越える酸素濃度が臨界であるのに対して、５〜６％未満の窒素濃度は、窒素が低反応性であることから、清浄器に対して問題を生じないことが観察された。
【０００５】
発熱反応から生じた急激な温度上昇は、清浄器の格納壁を溶かしてしまう場合がある。一般的にステンレス鋼によって形成される格納壁は、格納壁に接触するゲッター材がそれと反応して共晶組成物を生成することから、約1000℃の低い温度で溶融することがある。格納壁が溶けてそこに孔が形成された場合、ゲッター材の格納容器に破損が生じることになり、これは致命的なものとなる可能性がある。ゲッター式清浄器の破壊及びそれに続く処理の中断はこのような反応の結果から生じる。
【０００６】
触媒ベースの清浄器も又、高濃度の反応性ガスによって破損することがある。最も良く知られ且つ用いられる触媒ベースの清浄器は、窒素清浄化のためのゼオライト支持のニッケルを基礎としたものである。大気ガスと接触した場合、ゼオライト・ニッケルベッドは約600〜800℃の温度値まで熱せられて、これによって粒子の焼結及びニッケル酸化物の大量生成が生じ、その結果、清浄器はもはや再生不能となる。
【０００７】
以上の点から、高濃度の不純ガスが導入された場合の、清浄器材料の格納容器破損からガス清浄器を保護するための安全装置に対する必要性が存在する。ガス清浄器が、常に清浄器材料の格納破損に対して保護されることを保証するためには、安全装置を非常に信頼あるものにする必要がある。換言すれば、安全装置は、好ましくは、高価なことに加えて、半導体の製造設備に対して混乱を起こし且つ費用的負担を及ぼす、誤作動を起こすか又は誤った警報の発生を起こすような複雑な計測装置を含んだものではあってはならない。
【０００８】
（好ましい実施形態の詳細な説明）
本発明の好ましい実施形態について、添付の図面を参照して詳細に説明する。
【０００９】
（安全システム）
図１は、本発明の第１実施形態により形成されたガス清浄器12と安全システム14を含む清浄器システム10を示している。ガス清浄器12は吸気口18と排気口20を有するハウジング16を含む。不純ガスは発生源22から流出して、ガスパイプライン24を通って吸気口18からガス清浄器12内に流入する。ガスを清浄化した後、ガスは排気口20からガスパイプライン24に戻り、半導体処理室等の所望の環境28内に流入する。ガス清浄器12はゲッターベースの清浄器又は触媒ベースの清浄器であってもよい。ここでは、ゲッターベースの材料及び清浄器に特に焦点を当てるが、本発明の安全システムの原理は、ベースメタルを用いてガスから酸化種を除去する清浄器等の他の清浄器にも適用され、例えば、触媒ベースの清浄器に於けるゼオライト・ニッケルベッドに、適当なガスと共に使用するのに最適化した安全装置を設けて、同等の結果を得るようにしてもよい。
【００１０】
ガス清浄器12内に含まれるようなゲッター式清浄器の実施化は当業者にとり良く知られたものである。ガス清浄器12のハウジング16は十分な強度と耐高温性を有した、例えば金属材料等の適切な材料から形成してもよい。好ましき実施例に於いて、ハウジング16はステンレス鋼から形成される。当業者に良く知られているように、ガス清浄器12の内部は、格納壁及びガス清浄化を容易に行うためのゲッターポンプ又はベッド（図示せず）を含んでいる。清浄化すべきガスがゲッターベッドを通って流れるとき、ベッドを形成しているゲッター材はガスから不純物を吸収することでガスを清浄化している。清浄化されるガスに適した市販のゲッター材は、ゲッターベッドを形成するのに適したものである。ゲッターベッドを形成するゲッター材は、小球状、丸薬状、粉末状、顆粒状又は他の適当な形状のものであってもよい。一例として、Ar及びHe等の希ガスを清浄化するための好ましきゲッター材は、イタリアミランのSAES Getters S.p.A.が、St 707（商標）及びSt 101（登録商標）の商業記号で販売している。St 707（商標）合金は、70重量％のZr、24.6重量％のＶ及び5.4重量％のFeの組成を有している。St 101R（登録商標）合金は、84重量％のZrと16重量％のAlの組成を有している。N2を清浄化するための好ましきゲッター材は、イタリアミランのSAES Getters S.p.A.がSt 198（商標）の商業記号で販売している。St 198（商標）ゲッター材はZr2Fe化合物である。
【００１１】
本発明の安全システム14は、激しい反応を引き起こし、清浄器の破壊並びに安全性と環境に対して危険なものとなる、ゲッター材に対して反応性の不純ガスの誤った大量導入からガス清浄器12を保護するために提供されるものである。本発明の安全システムは、好ましくは、大量の反応性不純ガスの存在を感知する安全装置20a, 20bを含む。安全装置は、好ましくは、不純ガスの感知に反応して電気的危険信号を発し、以下に説明されるように、制御ユニットがガス清浄器を保護するために危険信号を受信してバルブを制御する。この第１実施例に於いて、安全装置20aは、ガスパイプライン24上に載置されて、パイプラインを通って流れる全てのガスが安全装置20aを通って移動するようにしている。
【００１２】
上流安全装置20aは、好ましくは、ガス清浄器12を通るガス流の上流に配設される。（以下に説明される）下流安全装置20bと反対に、上流安全装置は、一般的に、通常の流れ方向でパイプライン24内に流入する不純ガスを検出してそれと反応する。従って、上流安全装置20aは長時間のエージングに耐え得るものでなければならない。よって、上流安全装置は、通常の運転に於いて最小耐用年数の必要性と、緊急時の高速反応性の間のバランスに基づく反応レベルを有していなければならない（以下に詳細に説明される）。例えば、一般的な最小耐用年数の要求は約６ヶ月であってもよい。対照的に、下流安全装置20bは、以下に説明されるように「一回限りの」装置以上のものであることから、高い反応性を有することができる。安全装置20aの好ましき実施化については以下に詳細に説明される。電気信号及び制御ユニットの運転については図４を参照して説明される。
【００１３】
下流安全装置20bは、ガス清浄器12を通って流れるガス流の下流に配設される。安全装置20bは、矢印21方向でガス清浄器12内に戻るガスの逆流の可能性からガス清浄器12を保護するために設けられる。例えば、清浄器12の吸気口18へのパイプライン24内の不純ガスの流れは、システムの作動停止、処理要求等により停止するようにしてもよい。そのような場合、清浄器12は、圧力の下流側より低い内部圧力を有することで、大気又はパイプラインから下流側ガスを引き戻すようにしてもよい。これは、「逆拡散」として知られるものである。「逆流」は、清浄器からの圧力上流が圧力下流より低い、同様の状況である。これら２種類の現象の両方ともここでは「逆流」として言及される。他の状況に於いては、ゲッター式清浄器の運転に於いて誤作動が発生して、矢印21方向への不純ガスの流れが引き起こされることがある。逆流事故は隔離された状況に於いてのみ発生し、下流安全装置20bは、短時間の中で大量の不純ガスを感知するための高い反応性を有した材料を含んでいてもよい１回限りの装置であってもよい。安全装置20bの好ましき実施化については以下に詳細に説明される。
【００１４】
主ガスパイプライン24上に安全装置20a, 20bを載置する１つの利点は、ガスの一部を主ガスパイプライン24と独立した安全装置に巡回させることによってガスを浪費させないことである。しかし、この構成による不都合な点は、パイプ部分の長さが減少することであり、これは、高い流速が必要なとき特に問題となることにある。さらに、装置20a又は20bを交換することで主ライン24及び清浄器の運転を中断してしまう。
【００１５】
本発明の安全システム14及び／又は装置20a, 20bは、他の安全システム又は装置に関連して用いることもできる。
【００１６】
図２は、本発明の清浄器システムの第２実施例10'を示し、ここでは、システム10'が本発明の第２実施例によって構成されたゲッターガス清浄器12と安全システム14を含んでいる。ガス清浄器12とパイプライン24は図１を参照することによって説明された清浄器と同様のものである。安全装置20a, 20bも上記説明のものと同様のものであり、図７〜図１１を参照することによって詳細に説明される。
【００１７】
システム10'は、主パイプライン24から分岐したパイプラインに設けられるシステム装置20a, 20bを含んでいる。例えば、上流システム装置20aは分岐パイプラインによって主パイプライン24に接続される一方で、下流システム装置20bは分岐パイプライン32によって主パイプライン24に接続される。さらに、安全装置20a, 20bは通気孔を有し、そこを通ってガスが大気に放出される。ここで、システム装置20aは通気孔34を含み、システム装置20bは通気孔36を有している。
【００１８】
この構成に於いて、主パイプライン24を通って流れるガスの一部は分岐パイプラインを通り、さらにシステム装置20a、20bを経由して大気に送られる。よって、このガスの一部がシステムに対して損失となるという不都合がある。一般的には、システムに流入するガスの約1/100〜1/1000がこの方法によって損失となる。例えば、一般的な清浄器は約85〜850L/min.に相当する5〜50m3/hrの間の流量を有する。このような流量によると、１分間当たり約0.8〜0.9リッターのガスが両システム装置を通り、排気によって失われる。しかし、このシステムの利点は、ガスラインの継手及び溶接の数を最小にしてこれら可能性のある汚染源を減少させることから、製造が容易なものとなることにある。さらに、システム装置20a又は20bは、図１の実施例と違って、清浄化処理を中断することなしに交換することができる。これら理由から、システム10'はここに記載の好ましき実施態様となる。
【００１９】
図３は、本発明の清浄器システムの第３実施形態10''を示し、ここでシステム10''は本発明の第３実施形態により構成されたゲッターガス清浄器12と安全システム14を含んでいる。ガス清浄器12とパイプライン24は、図１を参照することにより説明された清浄器に類似のものである。安全装置20a,20bも、上記説明のものと同様のものであり、図７〜図11を参照することによって詳細に説明される。システム10''は主パイプライン24に対して並列に配設されている。従って、システム装置20aは主パイプラインからシステム装置の吸気口まで延びる分岐パイプライン40と、システム装置の排気口から主パイプラインに戻る分岐パイプライン42を含んでいる。このシステムは、よって、ガスはシステム装置を通過した後に主パイプライン24に戻ることから、大気にガスが浪費又は損失されることがない。システム装置20bには、同様に吸気パイプライン44と排気パイプライン46が設けられる。幾つかの実施例に於いては、流量制御装置が安全装置20a（及び20b)への吸気及び排気接合点間のパイプライン24に設けて、所望の量のガスを安全装置に転送することを可能とするのに適正な圧力を得るようにしてもよい。
【００２０】
本実施形態の不都合な点としては、分岐パイプラインを、図２の実施例のように、主パイプライン24の１カ所だけに取り付けるのに替えて、安全装置毎に２カ所に取り付けなければならないことにある。さらに、平行な配置によって、パイプライン中で望ましくない圧力降下が生じることがある。
【００２１】
前記３つの実施例の構成を単体の安全システム14に混合させることができることに留意すべきである。つまり、上流システム装置20a用に図１の直列的配置、さらには下流システム装置20b用に図２の「Ｔ字形」配置を単体のシステム14内に有することが可能である。
【００２２】
図４は、本発明の制御ユニットを含む、図２の清浄器システム実施例10'を示すブロック図である。制御ユニットも、ここに記載された他の清浄器システムに用いることができる。
【００２３】
制御ユニット50は、大量の反応性ガスがシステム装置20a又は20bによって検出されたときの、ガス清浄器12を保護する緊急手順を制御するために設けられる。本実施形態に於いて、警報信号は、高レベルの反応性ガスの閾値がシステム装置20aによって検出されたとき、ライン52上のシステム装置20aから制御ユニット50に送信される。これに応じて、制御ユニット50は、ライン54を経由して制御バルブ56に対して閉鎖信号を送信する。制御バルブ56は、主パイプライン24の吸気口18の前に置かれ、制御ユニットからの閉鎖信号に反応して、ガスが清浄器12に流入することを防止する。制御ユニット50は、同様に、開放信号をライン54を介してバルブ56に送ってバルブを開放し、ガスが清浄器12内に流入することを可能としている。同様に、大量の反応性ガスが逆流状況の中で感知されると、システム装置20bは、ライン58を経由して制御ユニット50に対して危険信号を送信するようにしてもよく、さらに制御ユニットは、主パイプライン24の排気口20の後に位置されるバルブ62に対してライン60を経由して開放又は閉鎖信号を送信するようにしてもよい。制御ユニットからの信号に従い、バルブ62によって適切に主パイプライン24を開放又は閉鎖する。従って、反応性ガスの緊急の場合、制御ユニット50は、緊急領域に応じてバルブ56又は62を閉鎖する。好ましき実施例に於いて、ユニット50は、緊急の場合、特定の緊急領域に関わらず両バルブ56及び62を閉鎖する。これによって、１個だけのバルブ閉鎖の結果起きる圧力差及びガス濃度勾配によって生じる、清浄器の非緊急領域に於ける如何なる汚染も防止することができる。
【００２４】
制御ユニット50は、多くの異なる方法によって実施化することができ、例えば、離散型ロジックコンポーネント、マイクロプロセッサ及び／又はソフトウェアによってバルブの動作及び信号I/Oを制御するようにしてもよく、及び／又はソフトウェア及びハードウェアの組み合わせによって制御ユニットの機能を実現するようにしてもよい。このような信号を制御するための方法及び装置は、当業者にとり良く知られたものである。
【００２５】
さらに、図４は、図２，図４及び／又は図５の安全装置20a, 20bの「Ｔ字形」配置に選択的に用いてもよい他のコンポーネントを示している。逆止弁41a, 45aを安全装置の周囲に設けて、通気孔からパイプライン内にガスが流入することを防止するようにしてもよい。流量制御装置又はオリフィス43aを安全装置20aの前に設けて、安全装置を通るガスの流速を固定するようにしてもよい。他のバルブ47aを設けることによって、安全装置へのアクセスを制御するようにしてもよい。同様のバルブ47b, 41b及び45bと流量制御装置43bを安全装置20b用に設けることもできる。
【００２６】
図５は、図４に示されたシステム10'の代替実施例の概略図である。図５に於いて、制御ユニット50'は、清浄器チャンバの通気を制御することで清浄器12をさらに保護している。
【００２７】
図４に示されるように、制御ユニット50'は各システム装置20a, 20bからライン52, 58を介して危険信号を受信し、バルブ56, 60のそれぞれにライン54, 60を介して開放／閉鎖信号を送信する。さらに、制御ユニット50'はライン68を経由して、吸気通気バルブ66に開放又は閉鎖信号を送って、バルブを開放又は閉鎖するようにしてもよい。通気バルブを開放すると、清浄器12内のガスはパイプライン70を通って大気に排出される。同様に、制御ユニット50'は、ライン74を経由して排気通気バルブ72に開放又は閉鎖信号を送信して、バルブを開放又は閉鎖するようにして、通気バルブ72が開放のとき、清浄器12内のガスがパイプライン76を通って大気に排出されるようにしてもよい。
【００２８】
通気バルブ66, 72は、不測事態の時に、清浄器12の本体から大部分の反応性ガスを放出するために用いられる。例えば、清浄器は、一般的に略一定圧力に於いて運転される。緊急時には、清浄器は、制御ユニット50'によって吸気バルブ56と排気バルブ62を閉鎖することによって隔離される。安全システムは、不測事態のまさしく最初の数秒の内にシステムを遮断するために運転されることから、隔離された清浄器内のガス組成の大部分は、清浄器の作動圧力に於いて清浄化される不純ガスから構成される。不測事態の種類によって、望ましくない大量の反応性ガスは、吸気側又は排気側から流入する。従って、清浄器の臨界領域（高温に達する領域）は、吸気付近又は排気付近の何れかとなる。反応性ガスに最も近いところの通気バルブを開放することによって、超大気圧下で清浄器内に存在するガスは清浄器本体を避けつつ、反応性ガスの臨界領域を洗う。これにより２つの効果が生じる。つまり、臨界領域がガス流による熱除去により冷却され、さらに反応性ガスが除去される。
【００２９】
清浄器容器内の圧力が大気圧より高くなることで、ガスが外方へ流れるのを停止することを確実にして、清浄器本体内の逆流を避けることを確実にすべく、通気バルブ66, 72を圧力降下の所定大きさに調整されるようにしてもよい。勿論、清浄化すべきガスが危険なとき（例えば、高温で空気に当てられた場合に爆発する水素等）、又は有害であるとき（例えば、ハロゲン化ガス、アンモニア等）には、通気バルブの運転を停止してもよい。代替実施例に於いて、通気バルブを排ガスラインに接続し、さらにその端部のところに気体洗浄装置又は他のシステムを設けて、危険なガスの勢いを減衰させるようにしてもよい。前述したシステム構成の実施例の全てに於いて、通気バルブは一方の端部（吸気口又は排気口）のみ、若しくは清浄器12の両端部に設けてもよい。
【００３０】
さらに、熱電対を清浄器内の吸気口18及び排気口20付近に位置させることにより、臨界領域の温度を感知するようにしてもよい。制御ユニット50'を熱電対に連結して、温度変化を何れの熱電対が検知したかを感知するようにしてもよい。この場合、対応する臨界領域の通気バルブだけが両バルブの代わりに開放するだけでよく、これにより、（外方への流れの全てが臨界領域を通過することから）安全システムの効率を改善することができる。
【００３１】
図６は、本発明の安全システムの他の代替実施形態の概略図であり、安全装置は清浄器12の端部に位置決めされている。例えば、安全装置20aをゲッターコラム式清浄器の前端部に位置決めして、図１の実施例と同様に、入力ガスが清浄器12内のゲッター材に到達する前にこれを感知するようにしてもよい。高濃度の反応ガスが検知された場合、ガス流は前記実施例に説明されているように、停止又は方向転換される。同様に、安全装置20bを清浄器の後端部に位置決めして、逆流ガスを感知するようにしてもよい。
【００３２】
前記実施形態の全ては各種方法によって組み合わせて、異なる構造の安全清浄器システムを得ることができる。従って、本発明により、各種システムを実施化することができる。
【００３３】
（安全装置）
本発明の安全装置20a, 20bは各種方法によって実施化することができる。以下にそのうち幾らかの可能性のある実施形態を詳細に説明する。
【００３４】
（ゲッター材のカートリッジ）
図７は、安全装置20a, 20bを実施化するためのカートリッジの実施例100を示している。小シリンダ102には吸気口104及び排気口106を設けられ、例えば、約400℃の、シリンダ内部に位置されたゲッター材108の作動温度に耐え得る材料から形成される（安全装置20a又は20bの運転温度は、使用されるゲッター材の形状、及び安全装置を通過するガスの流速等の他の条件に依存するようにしてもよい）。シリンダの材料は、運転温度のところでゲッターに対して不活性なものである。システム装置に、清浄器12のゲッター材と異なるゲッター材を装填するようにしてもよいが、一般的に、清浄器と安全装置の両方用に同一のゲッター材を採用する方がより容易である。安全装置はゲッター材に到達する反応性ガスの量が極端に多いことによって、ゲッター材の温度が上昇すること検知する（これは、小縮尺では、清浄器の同一の性質である）。シリンダは、好ましくは、コイルヒーター等を用いて、350〜400℃等の運転温度まで加熱される。
【００３５】
反応性ガスは、ゲッター材に対して不活性なガスから除去されるべき不純物である。通常運転の間、ゲッターに接触するユニット時間当たりの反応性ガスの量は、ガスとゲッターの間の反応によって発生する熱がシステムから排除されるだけの時間を有した、安定した条件に到達することができる程度まで十分に少ないものである。これら条件に於いて、システムの温度は、基本的に、外部ヒーター（ここに記載の他の実施例にも適用可能な、ゲッター式ガス清浄器に用いられる外部ヒーター等）によって加えられた熱である。緊急時に於いては、状況は逆転し、ユニット時間当たりのゲッターに到達する反応性ガスの量は、反応熱が分散されずに、所定の温度以上に安全装置の温度が上昇する程に多いものとなる。よって、安全装置の内部に熱電対110を設けて、この通常の運転温度以上の温度までの上昇を感知するようにすることは可能である。熱電対は、ゲッター材108内のゲッターベッド108の前端部105から距離dのところに位置決めされる。制御ユニット50は、好ましくは、ライン(s)によって熱電対に連結される。清浄器の不必要な運転停止を避けるために、統計的な温度変化の可能性を予測することが望ましい。この目的に従って安全装置を実施化するためには、システムが警報条件を発生するのに越えなければならない所定温度Ｔの閾値を定義することが望ましい。一般的には、清浄器と安全装置は約350〜600℃で作動する一方で、清浄器壁は少なくとも1000〜1100℃の温度に耐えるものである。従って、所定の警報温度を選択するための余地は残されていることになる。この警報温度は、しかし、安全装置の反応時間が出来るだけ短くなければならないことから、あまりに高い値を選択してはならない。実際上の一般的原則として、安全装置に接続されるエレクトロニクス又は制御ユニット50は、安全装置の熱電対が清浄器の運転温度より50〜100℃高い温度を感知すると、警報を発するように事前設定しておいてもよい。以下に提示される試験は、50℃以上及び100℃以上の２つの警報温度のときに行ったものである。
【００３６】
安全装置の詳細な構造を予備検討の中で試験した。主パイプライン24から安全装置を介してあまりに大量の流れが送られてこないためには、安全装置への吸気口は好ましくは小型のものとされる。各種直径が採用され、具体的には、開口の直径は1インチから3/8インチの範囲である。実施された試験の中では、1/2インチの直径が、特に212ミクロン未満の粒径のゲッター粉末を用いたときに好ましいことが証明された。異なる粒径のゲッターが用いられるようであれば、他の大きさのものが好ましいものとなる。
【００３７】
安全装置20（特に、装置20a)の経年変化は別の大きな関心事である。通常の耐用年数の間では、安全装置は不純ガスに曝され、吸気口に隣接するゲッター材は不純物を吸収し使用済みの状態（又は殆どそのような状態）になる。これが起きると、不純物は安全装置内に移動しゲッター材の未使用部分等と反応する。未使用のゲッター材の移動正面部114（エージング正面部）が形成され、これは安全装置の吸気口104から排気口106に向けて移動する。不測の事態が発生した場合に於いては、過剰な不純物による反応が第１未使用ゲッター領域、即ち移動エージング正面部のところで発生する。熱電対110の最善の位置は反応領域のところであるが、熱電対は固定されたものであり、反応正面部はエージング正面部とともに移動する。未使用の安全装置に於いては、熱電対の最善位置は、安全装置内のゲッターベッド（又は他の構造物）の正面部に出来るだけ近いところである。例えば、熱電対110は吸気口から約0.2cm離れたところに位置させることによって、熱電対がゲッター材内に埋め込まれることを確実にするようにしてもよい。安全装置の目標耐用期間は６ヶ月である。標準的な運転条件下で６ヶ月経過の後に、エージング正面部はゲッターベッド内に約0.7cm移動することが測定された。吸気口から0.2cmのところに位置決めされたゲッターベッドを、（耐用期間の終わりのところの）６ヶ月経過した装置によって試験を行い、警報検知時間は新品の安全装置のものから３倍になった。しかし、この経年変化の間、清浄器も部分的に使用済み状態になり、清浄器のゲッター材の反応性は減少することから、この後半の段階に於いて、より長い警報時間が容器破損といった深刻な事態が発生することを防止するのに十分なものとなる。その結果、安全装置の吸気口から0.2cmのところで固定されることは、熱電対にとり安全装置の全耐用年数の間で適切なものとなる(d=0.2cm)。熱電対の適切な材料の１つはNi/NiCrであり、熱電対は0.2cm位置のところで結線される２本の裸線を含んでいる。
【００３８】
安全装置内のゲッター材の形状に関しては、粉末が丸薬状と比較して好ましいものである。粉末状のゲッター材は、一般的に、検知機構に関連した、より良い反応均一性を可能とするものである。さらに、ゲッター材用の格納容器材料は、好ましくは、ステンレス鋼又はガラスとされる。ガラスは、透明又は部分的に透明な格納壁となることから、それを通して熱電対の適切な位置を観察することが可能となるといった別の利点を有している。
【００３９】
不純ガスの危険レベルの検知時間は、安全装置の実施化が本発明の安全システムにとり適切なものであるかどうかを判断するために重要である。酸素を不純ガスとして使用して試験を行った。あらゆる特定濃度のガスを少なくとも３つの測定に於いて試験を行った（全ての試験について以下に説明される）。安全装置に、212ミクロン未満の粒径のSt 707（商標）等の微粉末状のゲッター材を装填した。酸素を各種割合で含有するアルゴン(Ar)流を安全装置に接触させた。ガス流の直線速度を、良好な流れ条件を得る18.5 cm/secに維持した。試験の結果を以下の表１に示す。コラム２は、安全装置が作動温度から50℃の温度上昇を感知するのに必要な時間を示しており、コラム３は、100℃の温度上昇を検知するのに必要な時間を示している。
【表１】
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【００４０】
酸素割合が一定のときの結果の幅は、熱電対の位置の僅かな相違によるものと考えられる。
【００４１】
安全装置が、清浄器が損傷を受ける前に安全装置が作動しなければならない限界時を決定するために、２つの実際の試験を清浄器に対して行い、幾らかの限界時を得て、さらに試験結果を適合させることによって最適化した模型に基づき、その他の限界時についての理論的データを得た。アルゴン中に酸素１％の場合、46.5秒間の流れの後、清浄器が約480℃の温度に達することを確認した。安全装置が反応する40秒の反応時間は、よって限界温度に達する前にシステムが遮断するのに十分なものである。反応時間は、同様にAr中に1.5％の酸素の場合にも十分である。
【００４２】
アルゴン中に酸素2〜3％の場合、清浄器が限界温度（約1000℃）に達するのに必要な時間は、約25秒間の流れである。安全装置は15秒未満の後に+50℃を検知し、これは清浄器の安全運転を可能とする。
【００４３】
アルゴン中に酸素１0％の場合、清浄器のゲッター塊上の流れの限界時間は約８秒である。安全装置は、制御ユニットがバルブを通気させ、又清浄器への吸気及び排気バルブを遮断するように命令すれば、（図５に示されるように）清浄器の破壊を防止することができる。
【００４４】
アルゴン中に酸素20％の場合、3〜5秒間の安全装置反応時間は、制御ユニットがバルブを通気させ、又清浄器への吸気及び排気バルブを遮断するように命令すれば、清浄器を保護するのに十分であることを、標準的なゲッターコラムによる実験結果は示した。
【００４５】
アルゴンと違い窒素がSt707等の特定のゲッター材に対して反応する、酸素と窒素の混合物がある点に於いて、空気は前述の不純ガスと相違するものである。この特別の反応性が表１に示される低反応時間の原因である。しかし、制御ユニットが両吸気・排気バルブ及び通気バルブを制御するのであれば、安全装置は清浄器を保護することができることを試験は示している。
【００４６】
St 707に代えて異なるゲッター材であるSt 198を用いて他の一連の試験を行った。350℃の作動温度に於いて、St 198を用いて窒素の清浄化を行った。つまり、使用された不純ガスは窒素中の酸素であった。結果を以下の表２に示す。
【表２】
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【００４７】
統計変動と離れて、St 198とSt 707の反応時間は同様のものである。St 198は、St 707と比較して、酸素による発熱反応がより小さいものであるが、（酸素との反応によって）温度が400℃を越えるところまで上昇したとき、St 198は、同様に窒素の吸収を開始し、反応熱、及び検知時間の短縮に寄与することになる。希ガスに存在する窒素は、St 707ゲッター材を採用する清浄器を破壊する場合がある。さらに、試験を行って、清浄器を400℃のところに維持した状態で、アルゴン中の異なる量のN2を吸入することから清浄器を保護する可能性について評価を行った。表３に於いてこれら試験の平均結果を示す。
【表３】
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【００４８】
６％の窒素濃度は、450℃に到達することがないことから全く重要なものではない。標準的なゲッターコラムを用いて行った試験は、6.5秒の流れの後、純粋窒素によって清浄化された流れは650℃に達することを示している。安全装置が純粋窒素中で4.9秒後に反応するので、清浄器を効果的に保護することができる。6％は危険ではなく、安全装置は最も危険な条件から清浄器を保護するので、表３の時間は、全て若しくは殆ど全ての場合に於いて安全装置が清浄器を保護するのに十分な程度に低い。
【００４９】
（ゲッターコーティング片）
図８は、ゲッター粉末が付着された金属製の支持片又は基材を含む安全装置20a, 20bの第２実施例130を示す。金属片132は、例えば、ステンレス鋼からなるシリンダ134内に載置される。ゲッター材136は支持片132上にスクリーン印刷されたものであってもよい。スクリーン印刷は、同時継続中の特許出願第08/855,080号に説明されており、ここに於いてそれを参照することによって組み込まれる。例えば、20ミクロン厚、１cm幅及び10cm長のニクロームホイル20にSt 122ゲッター粉末をスクリーン印刷してもよい。St122はチタニウム粉末及びSt 707合金粉末の機械的な混合物である。ゲッター粉末からなる付着物の厚みは70〜200ミクロンの間で変更することができる（従って、図８の直径は誇張されたものである）。他の実施例に於いては、他の直径及び材料を用いてもよい。例えば、St 172、St 707及びジルコニウム粉末の機械的混合物を用いてもよい、
【００５０】
あるいは、他の方法を用いて、前記片上にゲッター材を付着するようにしてもよい。例えば、粉末冶金技術に於ける当業者に良く知られているように、冷間圧延を用いることができ、又は、本願の譲渡人に譲渡され、ここに参照することで組み込まれた特許出願公開第WO95/23425号に記載されているように噴霧法を行ってもよい。熱電対138は金属片132に連結され、さらにワイヤ140によって制御器50に連結される。シリンダは、好ましくは、コイルヒーター等を用いて、例えば500℃の運転温度まで加熱される。
【００５１】
この安全装置に対する運転原理、即ち、熱電対を使って、安全装置の安定運転温度から50℃又は100℃の温度上昇を検知することは、前述したゲッターカートリッジ実施例に対するのと同じである。熱電対138は、１本のNiワイヤ140及び１本のNiCrワイヤ140を金属支持片に溶接することによって得られる。ここに説明しているように、酸素検知のみが示されているが、酸素試験に基づく結論は、前記ゲッターカートリッジ実施例で示されているように、窒素及び他のガスに拡大適用することは容易にできる。
【００５２】
以下に説明される条件には、酸素濃度、安全装置の経年変化、安全装置の形状（平坦又は湾曲）、運転温度、及び支持片に付着されるゲッター粉末の厚みが含まれる。
【００５３】
１実施例に於いて、コーティングされた支持片は、直径１インチ、長さ５インチのステンレス鋼のシリンダ内に載置される。この実施例に於いて、支持片は平坦であり（湾曲していない）、ガス流方向に並列に位置決めされている。安全装置は、先ず、約３０分間、300cc/minの純粋アルゴン下で、約400〜500℃でゲッターを作動させることによって、調整される。
【００５４】
安全装置の反応時間への酸素濃度の効果は、実施した試験からの結果として以下の表４に要約される。安全装置は400〜500℃に維持され、アルゴン中の各種酸素濃度に曝された（流量は1000cc/minで一定）。未使用の汚染されていない安全装置を各試験で用いた。前記片上にゲッター材を付着するためにスクリーン印刷技術を用いた。
【表４】
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【００５５】
装置は400℃に於いて適切に運転される一方で、500℃では反応時間が全ての酸素濃度に於いて極端に速くなったことで、装置が清浄器に対する損傷の防止に効果的であるということに留意すべきである。
【００５６】
安全装置に関する経年変化についての効果を、促進老化の後に、試験装置によって測定した。１つの結果に於いては、+100℃反応時間が、未使用安全装置の１〜２秒と比較して、３〜４秒になる50%の酸素濃度では経年変化による影響は殆どなかった。この相違は、希釈された不純物（１％）を検知するときさらに顕著なものとなる。１つの試験に於いて、22℃の最大温度上昇が生じた中で、+50℃状況は到達されなかった。
【００５７】
支持片の形状も本実施例における全体の温度に影響がある。湾曲片は、一般的に、熱除去が湾曲片に対しては影響が少ないことから、直線状片に比較して全体温度上昇がより高い。しかし、湾曲片の各部位が同じ片の他の部位上のガス伝導を妨げるという、「影の」効果が起きる。これら相対する効果のバランスとは、50%酸素に於いて、湾曲片はより速く、又直線状片に比してより広範囲に反応し、さらに前記片が溶融する点まで到達する可能性があるということである。しかし、10％又はそれ以下の酸素では、検知時間が１〜２秒から４〜７秒まで延びることが起きる。
【００５８】
安全装置の反応時間への温度効果は、酸素濃度効果と関連して説明された。低酸素濃度検知に於いて、経年変化は400〜500℃の間の挙動差を隠すべく温度条件に作用するということに留意すべきである。
【００５９】
支持片上のゲッター付着物136の厚みも安全装置の運転に影響を与える。500℃、1000cc/minの全体流量、アルゴン中酸素10％（２〜４秒）に於いて比較試験を行い、付着物厚みの効果を評価した。結果として、70ミクロンの付着物の安全装置は、200ミクロン付着物安全装置に比して、+50℃上昇をより速く（１〜２秒）検出する。
【００６０】
上記についての結果として、この安全装置に対して好ましい最適の運転条件は、約500℃で、ゲッター付着物厚みが70ミクロンであると説明することができる。直線状片が、安全装置運転にとり最も重要な条件である、低不純物濃度に於いてより速い検知を可能とすることから、湾曲片よりも直線状片を用いることが好ましい。試験を行った前述の条件は動作する安全装置を提供するが、これら条件の幾つかの最適組み合わせが系統的試験を通して判明する可能性がある。条件のこれら「最善の結果」のセットのうち、１つだけをここで説明する。
【００６１】
（金属熱フィラメント）
図９は、電流用の接続端子を有したシリンダ内に設置される金属フィラメントを含む、ここに説明された安全装置20a, 20bの第３実施例150を示している。シリンダ152は、電流源156に連結される金属フィラメント154を保持する。制御ユニット50又は50'は回路中に含まれる。具体的には、内径が30mmで長さが230mmのガラスシリンダを用いることができるが、その大きさは他の実施例に於いて変更可能である。運転原理は、反応性ガスの存在下で熱フィラメントが、白熱灯で起きることに非常に良く似て断線し、これにより電気回路を遮断するということである。回路の遮断は制御ユニット50又は50'により警報信号として読み取られる。１試験に於いて、金属タングステン（Ｗ）を試験した。タングステンは酸素及び水（この場合、単純に酸素の貯蔵物として機能する）に対して、これらガスが窒素及び水素と共に存在していない間だけ反応する。従って、タングステンは希ガス、並びに窒素及び水素の清浄化に於いて、酸素又は水の存在を検知するために用いることができる。
【００６２】
室温で少なくとも５分間、安全装置に純粋アルゴンを通すことによって安全装置を調整して、可能性のある汚染物質を除去するようにしてもよい。次に、フィラメントに電気を通すことによって、フィラメントを熱する。異なる濃度の酸素を含有する安全装置にアルゴンを通し、フィラメントが断線し警報信号を発するのに要した時間を評価することによって、試験を行った。安全装置を、アルゴン中の酸素濃度１％と10％で試験した。結果は、フィラメント径、給与電圧、及び全体ガス流に依存する。特に、所定の不純物濃度では、フィラメント径が増加し、給与電圧（従ってフィラメント温度）が減少し、さらに全体ガス流が減少するに従い、フィラメントを断線する時間（安全装置の検知時間）は増加する。
【００６３】
アルゴン中の酸素不純物を試験ガスとして用いて一連の試験を行った。評価下の条件は変更する一方で、他の条件は一定とするマトリクススキームにより試験を実施した。即ち、全体ガス流を200〜1000cc/minの間で変化させ、酸素濃度を１〜10％の間で変化させ、フィラメントに加えられる電圧を８〜220Vの間で変化させ、さらにフィラメント径を0.05〜0.2mmの間で変化させた。約２秒の最も短い断線時間を、900cc/min, 10%酸素、24V及び0.05mmのフィラメント径のところで得た一方で、約80秒の最も長い時間を、1000cc/min, 1％酸素、8V及び0.2mmのフィラメント径のところで得た。これらの結果は、速く高い反応性装置を意味するが、反応時間は、より長い反応性、例えば、より長い寿命の装置を得るために調節することもできる。
【００６４】
従って、本発明の金属フィラメントは、本発明の安全システム用の速い反応の安全装置として非常に良く機能する。しかし、金属フィラメント装置は、不純ガスに曝されるようであれば、他の実施例の安全装置と比べて、比較的短い寿命となるという欠点を有する。よって、金属フィラメント装置は、下流安全装置20bの位置であれば、清浄器12を出た後の高純度のガスのみを受けることになるので適切な寿命を有することになり、又、清浄器内への逆流の場合に於いて速い反応を有していることから、下流安全装置20bとして用いるのに最適なものである。
【００６５】
（ゲッターヒューズ）
本発明のゲッター「ヒューズ」式安全装置の実施例は前述した金属フィラメントの実施例と同様のものである。ゲッター「ヒューズ」を形成するために、金属基材又は片にゲッター材が付着される。例えば、ステンレス鋼のリボンにゲッター材を付着させる、具体的には、前述したように、ゲッターがコーティングされた片の実施例に於ける技術と同様に、ステンレス鋼にゲッター材をスクリーン印刷、冷間圧延、又は噴霧等を行うようにしてもよい。ゲッターがコーティングされた金属片は、フィラメント154に代えて図９のシリンダ及び電気回路に設けるようにしてもよい。シリンダは、好ましくは、500〜600℃等の運転温度までヒータによって加熱される。高濃度の不純ガスがシリンダに流入すると、反応ガスとゲッター材の間で反応が生じ、金属リボンが溶融し、これにより前述した金属フィラメント同様に回路が遮断され警報条件を示す。前記実施例は、警報温度を検出するのに熱電対が使用されるのに対して、本実施例は単純に回路を遮断することで警報状況を示すようにされている点が、本実施例と前記ゲッターコーティング片との相違点である。
【００６６】
図１０は、安全装置20a又は20bに用いることができる、本発明のゲッターヒューズの他の実施例160を示す。ゲッターヒューズのように平坦若しくは僅かに湾曲したゲッターコーティング片を用いることによる問題は、大量の熱がゲッター片から逃げることによって、不純ガスとゲッター材の間で反応を起こすのにシリンダ内で大量の熱が要求されるということである。図１０に於いて、「コンサーティーナ」形状の金属片162に前記実施例と同様にゲッター材164をスクリーン印刷する。例えば、直線状片にゲッター材をコーティングして、該片を示されている形状に湾曲させる。コーティング片162をシリンダ等のチャンバ166内に置く。直線状ゲッターヒューズを用いるときのように、ゲッター材164が高濃度の不純ガスと反応すると、反応によって前記片162が容落ちし、電気接続に於いて遮断が起きる。この遮断は高濃度の不純ガスの存在を示す警報信号として検知される。コンサーティーナ形状の片は、熱が浪費されないようにしていることから、不純ガスとゲッター材の間で高速反応を生じさせることができる。例えば、矢印168により示されているように、前記片162の一部から逃げる熱は、前記片の異なる部位上に発せられることによって、異なる部位から放射される熱は、前記片の隣接部位上で高速反応が起きるように増熱される。これによって、金属片162は直線状金属片の実施例に比しより速く溶融し、安全装置の反応時間が短くなる。他の実施例に於いて、他の形状を実施化することができ、例えば、四角又は円形状のコンサーティーナ形状にしてもよい。
【００６７】
さらに、好ましくは、前記片から移動し前記片に戻る熱を反射するための放射線遮蔽体をゲッターコーティング片162の周辺に設ける。例えば、管状放射線遮蔽体169は、図１０に示されているように、シリンダ又はチャンバの壁に対向して設けられる複数の管部を含むものである（さらに、好ましくはチャンバを運転温度まで加熱するための外部ヒータがチャンバ内に含まれる）。ここで説明した平坦若しくは湾曲片等の安全装置の他の実施例も、管状放射線遮蔽体169等の放射線遮蔽体を含んでいてもよい。或いは、チャンバ又はシリンダ壁を、効果的に熱を反射させる材質で形成するか、それをコーティングしてもよい。
【００６８】
（緊張状態のワイヤ）
図１１は、ゲッター材内のバネ張力がかけられたワイヤが警報条件を示す、安全装置20a又は20bの他実施例170を示す。ゲッター材又はベッド172は容器174内に設けられ、そこを通ってガスが流れる。400〜500℃等の運転温度が容器内に与えられる。フィラメント又はワイヤ176がゲッターベッド172を貫通して設けられ、容器の他端部に連結されるバネ178に連結される。電流源180は、図９にあるように、電流をワイヤを介して流すために設けられる。例えば、ワイヤはステンレス鋼又はアルミニウムであってもよい。ゲッターが高濃度の不純ガスと反応すると、ワイヤは知られた特定温度に於いて溶融するか断線し、バネ178の張力によってワイヤが断線して、電流が確実に流れないようにする。電流の遮断は制御ユニットによって警報条件として検知される。例えば、ワイヤ176がアルミニウムである場合、遮断する前に600℃（又は共融条件）にゲッターベッドを到達するようにしても良く、又は、ワイヤがステンレス鋼の場合には、電流が遮断される前にゲッターベッドを1000℃（又は共融）に到達するようにしてもよい。
【００６９】
（示差センサ）
図12a及び図12bは、示差熱伝導センサを用いて警報条件を判断するようにした、安全装置20a又は20bの他実施例200を示している。図12aに於いて、チャンバ202は、チャンバ202を通って流れるガス内の不純ガスの濃度に依存して伝導性に変化が生じる測定熱伝導フィラメント206を含む。清浄器12の吸気口内に流入する入力ガスはチャンバを通って流される。電流?im?はフィラメント206を通って流される。第２チャンバ204は電流imが流される、同様基準の熱伝導フィラメント208を含む。清浄器12からの出力ガスはチャンバ204を通って流される。
【００７０】
図12bは流されるガスに於ける不純物濃度を感知する回路を示している。電流源212からの電流imはフィラメント206, 208のそれぞれに流れるように分割される。抵抗器214, 216はフィラメント206と208のそれぞれと接地220の間に設けられる。基準電圧VREFは、ノード222と接地の間で測定され、電圧VMはノードと接地の間で測定される。これら電圧の差は、フィラメント206, 208の熱伝導性はそれほど大きな差ではなく、よって電流im及び電圧は大きな差にならないことから、低濃度の不純ガスがチャンバ202を通って流れるようであれば、少なくなるべきである。しかし、高濃度の不純ガスがチャンバ202を通って流れるようであれば、清浄化されたガスに於ける不純ガス濃度に対して大きな差となり、測定された電圧VREFとVMの間で大きな差を生じさせることになる。従って、測定された電圧間に所定の閾値以上の差が存在し、さらにそれが制御ユニット50によって検知されれば、警報条件が生じる。本実施例での１つの問題点は、装置が先の実施例より複雑なものとなり、よって信頼性とコストの問題が生じるということである。
【００７１】
本発明は幾らかの好ましき実施例に関連して説明されたが、本発明の範囲に属する変更、順列及び均等物は存在する。又、本発明の方法及び装置を実施化する方法は数多く存在する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、本発明のガス清浄器及び安全システムの第１実施例のブロック図である。
【図２】  図２は、本発明のガス清浄器及び安全システムの第２実施例のブロック図である。
【図３】  図３は、本発明のガス清浄器及び安全システムの第３実施例のブロック図である。
【図４】  図４は、本発明の制御ユニットを含む、図１のガス清浄器及び安全システムの第１実施例のブロック図である。
【図５】  図５は、図４のガス清浄器及び安全装置の他の実施例のブロック図である。
【図６】  図６は、本発明のガス清浄器及び安全システムの第４実施例のブロック図である。
【図７】  図７は、本発明の安全装置の第１実施例の線図である。
【図８】  図８は、本発明の安全装置の第２実施例の線図である。
【図９】  図９は、本発明の安全装置の第３実施例の線図である。
【図１０】  図１０は、本発明の安全装置の第４実施例の線図である。
【図１１】  図１１は、本発明の安全装置の第５実施例の線図である。
【図１２】  図１２a及び図１２bは本発明の安全装置の第６実施例の線図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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