(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
異物除去用のエアフィルタ部材と、
前記エアフィルタ部材の高さ方向に所定間隔で配置され、該エアフィルタ部材に散水する複数のノズル部と、
前記エアフィルタ部材の下方に位置し、エアフィルタ部材を流下する散水された水を溜める水溜部と、
前記水溜部と前記複数のノズル部とを連絡する水路と、
前記水路に設けられ、前記水溜部内の水を複数のノズル部へ送るポンプと、
前記水路に設けられ、前記エアフィルタ部材から除去された異物を捕捉するフィルタと
を備え、
前記エアフィルタ部材には、前記複数のノズル部と対向する側に前記エアフィルタ部材を通過した水を受け止める止水部材が配置されている
ことを特徴とする湿式除塵エアフィルタ装置。
【請求項２】
異物除去用のエアフィルタ部材と、
前記エアフィルタ部材の高さ方向に所定問隔で配置され、該エアフィルタ部材に散水する複数のノズル部と、
前記エアフィルタ部材の下方に位置し、該エアフィルタ部材を流下する散水された水を溜める水溜部と、
前記水溜部と前記複数のノズル部とを連絡する水路と、
前記水路に設けられ、前記水溜部内の水を前記複数のノズル部へ送るポンプと、
前記水路に設けられ、前記エアフィルタ部材から除去された異物を捕捉するフィルタと
を備え、
前記エアフィルタ部材には、前記複数のノズル部と対向する側に前記エアフィルタ部材を通過した水を受け止める樋部材が配置されている
ことを特徴とする湿式除塵エアフィルタ装置。
【請求項３】
異物除去用のエアフィルタ部材と、
前記エアフィルタ部材の高さ方向に所定間隔で配置され、該エアフィルタ部材に散水するノズル群を備えた複数のノズル部と、
前記エアフィルタ部材の下方に位置し、該エアフィルタ部材を流下する散水された水を溜める水溜部と、
前記水溜部と前記複数のノズル部とを連絡する水路と、
前記水路に設けられ、前記水溜部内の水を複数のノズル部へ送るポンプと、
前記水路に設けられ、前記エアフィルタ部材から除去された異物を捕捉するフィルタと、
前記複数のノズル部に個別に設けられる電磁弁と、
前記複数のノズル部が前記エアフィルタ部材の高さ方向の上部から下部に向かって順に散水するように前記電磁弁に開閉弁指令を出力する制御部と
を備えたことを特徴とする湿式除塵エアフィルタ装置。
【請求項４】
請求項３記載の湿式除塵エアフィルタ装置において、
前記エアフィルタ部材には、前記複数のノズル部と対向する側に該エアフィルタ部材を通過した水を受け止める止水部材が配置されている
ことを特徴とする湿式除塵エアフィルタ装置。
【請求項５】
請求項１または請求項４記載の湿式除塵エアフィルタ装橿において、
前記止水部材は、中心部を境にして左右側へ傾斜する板部材によって構成され、受け止めた水を前記エアフィルタ部材の左右の端部に導き、前記止水部材下部の前記エアフィルタ部材を経ずに前記水溜部に導く
ことを特徴とする湿式除塵エアフィルタ装置。
【請求項６】
請求項３記載の湿式除塵エアフィルタ装置において、
前記エアフィルタ部材には、前記複数のノズル部と対向する側に該エアフィルタ部材を通過した水を受け止める前記樋部材が配置されている
ことを特徴とする湿式除塵エアフィルタ装置。
【請求項７】
請求項２または請求項６記載の湿式除塵エアフィルタ装置において、
前記樋部材は、受け止めた水を前記エアフィルタ部材の左右の端部に導き、前記樋部材下部の前記エアフィルタ部材を経ずに前記水溜部に導く
ことを特徴とする湿式除塵エアフィルタ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、湿式除塵エアフィルタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、エアフィルタ装置は、空気中の塵埃を捕捉するために種々の分野において使用されている。
例えば、空調システムの外調機の外気取入側に取り付けられ、取り入れる空気中の塵埃を捕捉したり、半導体製造工場や食品、薬品工場などのクリーンルームにおいては、クリーンルームから排出される空気中の塵埃を捕捉したり、バイオケミカル工場においては、抗生物質製造工程などから排出される空気中の塵埃を捕捉したりしている。
【０００３】
この種のエアフィルタ装置では、空気中の塵埃がろ材に捕捉されると、目詰まりを起こすため、ろ材の再生が行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ろ材の再生には、ろ材の交換、ろ材に捕捉された塵埃の除去などが知られている。
しかし、ろ材の交換は、運転中の装置などを停止する必要があるため、例えば、２４時間連続運転が要求される半導体製造工場、食品、薬品工場、バイオケミカル工場などでは適用できない。
また、ろ材に捕捉された塵埃の除去を行うために、真空掃除機で捕捉された塵埃を吸引して再生する方法が知られている。
【０００５】
この除去方法によれば、運転中の装置などを停止することなく再生することが可能となる。
しかし、真空掃除機による再生では、再生処理時にろ材に捕捉された塵埃が真空掃除機による振動などで空気流中に飛散するおそれがある。
また、真空掃除機では、ろ材に捕捉された塵埃を確実に取り除くことができないので、再生処理後に目詰まりを起こしやすく、再生処理の頻度が高いという問題があった。
【０００６】
また、真空掃除機で捕捉された塵埃は、微細で乾燥しているので処理する作業が面倒である。
また、真空掃除機を駆動するための設備や動力を必要とするため、設備費やランニングコストが高くなるという問題がある。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為されたもので、その目的は、ろ材に捕捉された塵埃を確実に回収することが可能な湿式除塵エアフィルタ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、異物除去用のエアフィルタ部材と、前記エアフィルタ部材の高さ方向に所定間隔で配置され、該エアフィルタ部材に散水する複数のノズル部と、前記エアフィルタ部材の下方に位置し、エアフィルタ部材を流下する散水された水を溜める水溜部と、前記水溜部と前記複数のノズル部とを連絡する水路と、前記水路に設けられ、前記水溜部内の水を複数のノズル部へ送るポンプと、前記水路に設けられ、前記エアフィルタ部材から除去された異物を捕捉するフィルタとを備え、前記エアフィルタ部材には、前記複数のノズル部と対向する側に前記エアフィルタ部材を通過した水を受け止める止水部材が配置されていることを特徴とする。
【０００８】
請求項２に係る発明は、異物除去用のエアフィルタ部材と、前記エアフィルタ部材の高さ方向に所定問隔で配置され、該エアフィルタ部材に散水する複数のノズル部と、前記エアフィルタ部材の下方に位置し、該エアフィルタ部材を流下する散水された水を溜める水溜部と、前記水溜部と前記複数のノズル部とを連絡する水路と、前記水路に設けられ、前記水溜部内の水を前記複数のノズル部へ送るポンプと、前記水路に設けられ、前記エアフィルタ部材から除去された異物を捕捉するフィルタとを備え、前記エアフィルタ部材には、前記複数のノズル部と対向する側に前記エアフィルタ部材を通過した水を受け止める樋部材が配置されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項３に係る発明は、異物除去用のエアフィルタ部材と、前記エアフィルタ部材の高さ方向に所定間隔で配置され、該エアフィルタ部材に散水するノズル群を備えた複数のノズル部と、前記エアフィルタ部材の下方に位置し、該エアフィルタ部材を流下する散水された水を溜める水溜部と、前記水溜部と前記複数のノズル部とを連絡する水路と、前記水路に設けられ、前記水溜部内の水を複数のノズル部へ送るポンプと、前記水路に設けられ、前記エアフィルタ部材から除去された異物を捕捉するフィルタと、前記複数のノズル部に個別に設けられる電磁弁と、前記複数のノズル部が前記エアフィルタ部材の高さ方向の上部から下部に向かって順に散水するように前記電磁弁に開閉弁指令を出力する制御部とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項４に係る発明は、請求項３記載の湿式除塵エアフィルタ装置において、前記エアフィルタ部材には、前記複数のノズル部と対向する側に該エアフィルタ部材を通過した水を受け止める止水部材が配置されていることを特徴とする。
請求項５に係る発明は、請求項１または請求項４記載の湿式除塵エアフィルタ装橿において、前記止水部材は、中心部を境にして左右側へ傾斜する板部材によって構成され、受け止めた水を前記エアフィルタ部材の左右の端部に導き、前記止水部材下部の前記エアフィルタ部材を経ずに前記水溜部に導くことを特徴とする。
【００１１】
請求項６に係る発明は、請求項３記載の湿式除塵エアフィルタ装置において、前記エアフィルタ部材には、前記複数のノズル部と対向する側に該エアフィルタ部材を通過した水を受け止める前記樋部材が配置されていることを特徴とする。
請求項７に係る発明は、請求項２または請求項６記載の湿式除塵エアフィルタ装置において、前記樋部材は、受け止めた水を前記エアフィルタ部材の左右の端部に導き、前記樋部材下部の前記エアフィルタ部材を経ずに前記水溜部に導くことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施形態に基づいて説明する。
図１および図２は、本発明の第一原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置１０を示す。
異物除去用のエアフィルタ部材１１が、箱形の容器１２内に設置されている。
異物除去用のエアフィルタ部材１１は、例えば、ＳＵＳ製の線材などから成る平板形状のろ材１１ａを枠部材１１ｂにより支持固定することにより形成されている。
【００１４】
箱形の容器１２は、例えば、ＳＵＳ材料で構成され、風上側１２ａと風下側１２ｂとが開口している。
このエアフィルタ部材１１に散水する３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃが、エアフィルタ部材１１の風下側に配置されている。ここで、ノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃとしては、直進性の強いスプレーノズルが望ましい。
【００１５】
３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃは、エアフィルタ部材１１の高さ方向に所定間隔で配置されている。
３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃは、箱形の容器１２の天井部１２ｃから垂下する水管１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃに取り付けられている。
エアフィルタ部材１１の下方に水溜部１５が設置されている。水溜部１５は、エアフィルタ部材１１を流下する散水された水を溜めるとともに後述する水路１７を介して溜めた水を循環するための水源となっている。
【００１６】
水路１７は、水溜部１５と３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃとを連絡している。３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃを取り付ける水管１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃは、電磁弁２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃと連絡している。
電磁弁２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃは、開閉弁指令を出力する制御部２５に連絡している。
【００１７】
水路１７には、ポンプ１９とフィルタ２１とが設けてある。
フィルタ２１は、３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃからエアフィルタ部材１１に向かって吹き出された散水によって除去された塵埃や固形物などの異物を捕捉するためのものである。
次に、斯くして構成された本第一原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置１０の作用を説明する。
【００１８】
先ず、図示しない水源から水溜部１５に注水し所定の水位にする。
次に、ポンプ１９を駆動して水溜部１５内の水を水路１７を介して３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃへ送り出す。
次に、エアフィルタ部材１１の高さ方向の上部から下部に向かって３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃが順に散水するように、制御部２５から電磁弁２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃに対して開閉弁指令が出力される。
【００１９】
例えば、制御部２５から電磁弁２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃに対して、第一指令〜第三指令が順次出されることとなる。
第一指令：上部のノズル部１３Ａを開放し、中部のノズル部１３Ｂと下部のノズル部１３Ｃを閉鎖する。
第二指令：上部のノズル部１３Ａを閉鎖し、中部のノズル部１３Ｂを開放し、下部のノズル部１３Ｃを閉鎖する。
【００２０】
第三指令：上部のノズル部１３Ａを閉鎖し、中部のノズル部１３Ｂを閉鎖し、下部のノズル部１３Ｃを開放する。
これにより、エアフィルタ部材１１に向かって各ノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃから順次散水されることとなる。
一方、風上側から矢印のように取り込まれた空気は、エアフィルタ部材１１にて塵埃や固形物が取り除かれた風下側へ送り出される。
【００２１】
そして、エアフィルタ部材１１には、上述のように各ノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃから順次散水されているので、エアフィルタ部材１１のろ材１１ａに捕捉された塵埃や固形物は、図２に示すように、ろ材１１ａの上部から下部に向かって流下する水と一緒に水溜部１５へ送り込まれる。
水溜部１５内に流下した塵埃や固形物は、ポンプ１９によりフィルタ２１へ送り出され、フィルタ２１により捕捉される。
【００２２】
従って、電磁弁２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃへ送り出される循環水には、塵埃や固形物が殆ど含まれていない。
以上のように、本第一原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置１０は、異物除去用のエアフィルタ部材１１と、このエアフィルタ部材１１の風下側においてエアフィルタ部材１１の高さ方向に所定間隔で配置され、エアフィルタ部材１１に散水する３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃと、エアフィルタ部材１１の下方に位置し、エアフィルタ部材１１を流下する散水された水を溜める水溜部１５と、この水溜部１５と３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃとを連絡する水路１７と、この水路１７に設けられ、水溜部１５内の水を３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃへ送るポンプ１９と、水路１７に設けられ、エアフィルタ部材１１から除去された異物を捕捉するフィルタ２１と、３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃに個別に設けられる電磁弁２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃと、各電磁弁２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃに開閉弁指令を出力する制御部２５とを備えているので、取り込まれた空気中の塵埃や固形物がエアフィルタ部材１１により捕捉されると、３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃにより順に噴出される散水により捕捉された塵埃や固形物が水溜部１５に向かって流下し、エアフィルタ部材１１に止まっていることがなく、常にエアフィルタ部材１１が再生された状態で空気中の塵埃や固形物を除去することができる。
【００２３】
従って、エアフィルタ部材１１に散水するにも拘わらず、通気抵抗を高めることなくエアフィルタ部材１１の再生を行うことができる。
しかも、除去された塵埃や固形物は、水路１７に設けたフィルタ２１により捕捉されるので、フィルタ２１から取り除けば良く、運転を中止することはない。
また、本第一原理説明では、風下側からエアフィルタ部材１１に向かって散水しているので、捕捉された塵埃や固形物はエアフィルタ部材１１の風上側へ流下し、誤って風下側へ流入するおそれはない。
【００２４】
また、本第一原理説明では、３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃが斜め上方からエアフィルタ部材１１に向かって散水しているので、捕捉された塵埃や固形物が大きい場合に効果的に除去できる。
なお、上記第一原理説明では、３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃにより順に散水する場合について説明したが、段数は２段または４段以上としても良い。
【００２５】
また、ノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃの取付角度は任意であり、用途目的に応じて適宜変更することが可能である。
また、制御部２５としては、マイクロプロセッサ、シーケンサ、タイマーなどが挙げられるが、用途目的に応じて適宜変更することが可能である。
また、エアフィルタ部材１１の前後に圧力計を設置し、差圧が生じた時点で、ポンプ１９を駆動し、ノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃからエアフィルタ部材１１に散水するようにしても良い。
【００２６】
この場合には、常時散水せずに、再生時だけに散水することとなる。
図３は、本発明の第二原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置３０を示す。
本第二原理説明は、３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃをエアフィルタ部材１１に対して風下記側に設置した点で、第二原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置１０とは相違する。
【００２７】
本第二原理説明においても第二原理説明と同様の作用効果を奏することができる。
図４は、本発明の第三原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置４０を示す。
本第三原理説明は、３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃがエアフィルタ部材１１に対して垂直方向に設置した点で、第一原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置１０とは相違する。
【００２８】
また、３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃとしては、広角型のスプレーノズルが採用されている。
本実施形態では、３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃがエアフィルタ部材１１に対して垂直方向に設置したので、第一実施形態に比し、比較的細かい塵埃に適している。
【００２９】
その他の作用効果は、第一原理説明と同様である。
図５は、本発明の第四原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置５０を示す。
本第四原理説明は、３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃをエアフィルタ部材１１の風上側に設置した点で、第三原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置４０とは相違する。
【００３０】
本第四原理説明においても、第三原理説明と同様の作用効果を奏することができる。
図６ないし図８は、本発明の第一実施形態に係る湿式除塵エアフィルタ装置６０を示す（請求項１、請求項４、請求項５に対応する）。
【００３１】
本実施形態は、エアフィルタ部材１１の風上側に３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃと対向して止水部材６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃを設置した点で、第一実施形態に係る湿式除塵エアフィルタ装置１０とは相違する。
止水部材６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃは、エアフィルタ部材１１の中心部を境にして左右側へ傾斜する板部材によって構成されている。
【００３２】
本実施形態では、３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃから散水された水は、エアフィルタ部材１１を通過した後、各止水部材６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃにて進行が阻止され、左右の端部に向かって流れ、フィルタ枠１１Ｂを介して下部の水溜部１５へ流下する。そのため、上段の塵埃を含んだ排水が、下段のエアフィルタ部材１１のろ材を汚すことがない。
【００３３】
その他の作用効果は、第一原理説明と同様である。
図９は、本発明の第二実施形態に係る湿式除塵エアフィルタ装置７０を示す（請求項１、請求項４、請求項６に対応する）。
本実施形態では、エアフィルタ部材１１の風上側に３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃを配設し、エアフィルタ部材１１の風上側に止水部材７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃを設置した点で、第五実施形態に係る湿式除塵エアフィルタ装置６０とは相違する。
【００３４】
止水部材７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃは、第一実施形態における止水部材６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃと同様に構成されている。
本実施形態においても、第一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
図１０は、本発明の第三実施形態に係る湿式除塵エアフィルタ装置８０を示す（請求項２、請求項４、請求項６、請求項７に対応する）。
【００３５】
本実施形態は、エアフィルタ部材１１の風上側に３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃと対向して樋部材８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃを設置した点で、第三実施形態に係る湿式除塵エアフィルタ装置４０とは相違する。
本実施形態では、３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃから散水された水は、エアフィルタ部材１１を通過した後、各樋部材７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃにて進行が阻止され、左右の端部に向かって流れ、フィルタ枠１１Ｂを介して下部の水溜部１５へ流下する。そのため、上段の塵埃を含んだ排水が、下段のエアフィルタ部材１１のろ材を汚すことがない。
【００３６】
その他の作用効果は、第二実施形態と同様である。
図１１は、本発明の第四実施形態に係る湿式除塵エアフィルタ装置９０を示す（請求項２、請求項４、請求項６、請求項７に対応する）。
本実施形態は、エアフィルタ部材１１の風上側に３組の複数のノズル部１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃを配置し、エアフィルタ部材１１の風下側に樋部材９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃを設置した点で、第三実施形態に係る湿式除塵エアフィルタ装置８０とは相違する。
【００３７】
本実施形態においても第二実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、ノズル部の散水によりエアフィルタ部材に捕捉された塵埃や固形物が水溜部に向かって流下し、エアフィルタ部材に止まっていることがなく、常にエアフィルタ部材が再生された状態で空気中の塵埃や固形物を除去することができるので、２４時間連続運転される各種装置の除塵装置として好適である。
また、除去された塵埃や固形物は、水路に設けたフィルタにより捕捉されるので、除去が容易であり、除塵装置の運転を中止することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第一原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置を示す説明図である。
【図２】  図１における要部の作用を説明する図である。
【図３】  本発明の第二原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置を示す説明図である。
【図４】  本発明の第三原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置を示す説明図である。
【図５】  本発明の第四原理説明に係る湿式除塵エアフィルタ装置を示す説明図である。
【図６】  本発明の第一実施形態に係る湿式除塵エアフィルタ装置を示す説明図である。
【図７】  図６の湿式除塵エアフィルタ装置における要部を説明する図である。
【図８】  図７の湿式除塵エアフィルタ装置における要部を示す説明図である。
【図９】  本発明の第二実施形態に係る湿式除塵エアフィルタ装置を示す説明図である。
【図１０】  本発明の第三実施形態に係る湿式除塵エアフィルタ装置を示す説明図である。
【図１１】  本発明の第四実施形態に係る湿式除塵エアフィルタ装置を示す説明図である。
【符号の説明】
１０，３０，４０，５０，６０，７０，８０，９０  湿式除塵エアフィルタ装置
１１  エアフィルタ部材
１１ａ  ろ材
１１ｂ  枠部材
１２  箱形の容器
１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ  ノズル部
１５  水溜部
１７  水路
１９  ポンプ
２１  フィルタ
２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ  電磁弁
２５  制御部
６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ  止水部材
８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃ，９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ  樋部材
【図１】
0003690664.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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