(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜ペリクルと、薄膜フレームとを有する光学薄膜を製造する方法にして、前記薄膜ペリクル上に所定量の接着剤を前記薄膜フレームの形状に対応するパターンに分配する工程と、前記接着剤及び前記フレームが整合されるように、前記薄膜ペリクル及び前記薄膜フレームを互いに関して位置決めする工程と、前記薄膜ペリクルの接着剤で覆われた部分を前記薄膜フレームと接触させて、該薄膜ペリクルを該薄膜フレーム上に取り付ける工程とを含む光学薄膜の製造方法。
【請求項２】
前記接着剤を分配する工程が、可撓性の末端部分が設けられたディスペンサー先端を有する接着剤ディスペンサーにより接着剤を塗布することを含む請求項１に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項３】
前記接着剤を分配する工程が、剛性な末端部分が設けられたディスペンサー先端を有する接着剤ディスペンサーにより接着剤を塗布することを含む請求項１に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項４】
前記接着剤を分配する工程が、本体部分と、ディスペンサー先端とを有する接着剤ディスペンサーにより接着剤を塗布することを含み、前記ディスペンサー先端が、該ディスペンサーの本体部分に係合する第一の部分と、該第一の部分から外方に伸長する末端部分とを備え、該末端部分が、可撓性の管と、剛性なスリーブとを備え、該可撓性の管が、少なくとも一部分、該剛性なスリーブ内に配置され且つ該剛性なスリーブから突出する請求項１に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項５】
前記接着剤を分配する工程が、前記薄膜ペリクルに作用可能に係合する接着剤ディスペンサーにより接着剤を塗布することを含む請求項１に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項６】
前記接着剤を分配する工程が、可撓性の末端部分が設けられたディスペンサー先端を有する接着剤ディスペンサーにより接着剤を塗布することを含む請求項５に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項７】
前記接着剤を分配する工程が、剛性な末端部分が設けられたディスペンサー先端を有する接着剤ディスペンサーにより接着剤を塗布することを含む請求項５に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項８】
前記接着剤を分配する工程が、本体部分と、ディスペンサー先端とを有する接着剤ディスペンサーにより接着剤を塗布することを含み、前記ディスペンサー先端が、該ディスペンサーの本体部分に係合する第一の部分と、該第一の部分から外方に伸長する末端部分とを備え、該末端部分が、可撓性の管と、剛性なスリーブとを備え、該可撓性の管が、少なくとも一部分、該剛性なスリーブ内に配置され且つ該剛性なスリーブから突出する請求項５に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項９】
前記接着剤が、薄膜フィルムの検査に利用されるような電磁放射線による励起及び露出に対して、その位置的一体性並びにその接着特性を保つように選択される請求項１に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項１０】
前記ディスペンサーを通じて接着剤を塗布して、前記薄膜ペリクルが撓むようにした請求項５に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項１１】
薄膜ペリクルと、薄膜フレームとを有する光学薄膜を製造する方法にして、前記薄膜ペリクルに張力を加えることと、前記薄膜ペリクル上に所定量の接着剤を前記薄膜フレームの形状に対応するパターンに分配することと、前記接着剤が、前記薄膜ペリクルを前記薄膜フレームに接着するように該薄膜フレーム及び薄膜ペリクルを取り付けることとを含むことを特徴とする方法。
【請求項１２】
前記接着剤が、薄膜フィルムの検査に利用されるような電磁放射線による励起及び露出に対して、その位置的一体性並びにその接着特性を保つように選択される請求項１１に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項１３】
前記接着剤を分配する工程が、可撓性の末端部分が設けられたディスペンサー先端を有する接着剤ディスペンサーにより接着剤を塗布することを含む請求項１１に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項１４】
前記接着剤を分配する工程が、剛性な末端部分が設けられたディスペンサー先端を有する接着剤ディスペンサーにより接着剤を塗布することを含む請求項１１に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項１５】
前記接着剤ディスペンサーが、可撓性の管と、剛性なスリーブとを有する末端部分を備え、該可撓性の管が、少なくとも一部分、前記剛性なスリーブ内に配置され且つ該剛性なスリーブから一部分、突出する請求項１１に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項１６】
前記接着剤を分配する工程が、前記薄膜ペリクルと作用可能に係合する接着剤ディスペンサーにより接着剤を塗布することを含む請求項１１に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項１７】
前記接着剤ディスペンサーが、可撓性の末端部分を有するディスペンサー先端を備える請求項１６に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項１８】
前記接着剤ディスペンサーが剛性な末端部分を有するディスペンサー先端を備える請求項１６に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項１９】
前記接着剤ディスペンサーが、可撓性の管と、剛性なスリーブとを有する末端部分を備え、該可撓性の管が、少なくとも一部分、前記剛性なスリーブ内に配置され且つ該剛性なスリーブから一部分、突出する請求項１６に記載の光学薄膜の製造方法。
【請求項２０】
前記ディスペンサーを通じて接着剤を塗布して前記薄膜ペリクルが撓むようにした請求項１６に記載の光学薄膜の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、写真平版法で使用される薄膜ペリクル、具体的には、光学薄膜の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体チップ業界において、フォトマスクから基板へのパターンの転写は、該マスクを光源に露出させることにより行われる。写真平版法とも呼ばれる、このパターンの転写工程中、フォトマスク上のパターンは、感光性物質で処理された基板上に投影される。その結果、基板上にマスク・エッチングが復製される。具合の悪いことに、マスクの表面における全ての異物もまた、基板上に復製され、このため、パターンを基板に適正に転写する妨げとなる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
マスク表面の汚染を解消するため、「ペリクル」と称されるフレーム付き薄膜がマスク表面に取り付けられ、薄膜ペリクルは、マスクから所定の距離にてマスクに対して平行に伸長する。通常、マスク表面に付着する全ての汚染物質は、薄膜ペリクル上に落下する。
【０００４】
薄膜ペリクルにおける汚染物質は基板上に投影されないため、薄膜は、上述の問題点を実質的に解消する。薄膜のフレームは、マスク表面から離間した距離にてペリクルを支持し、このため、薄膜ペリクル上における全てのパーティクル、又はその他の汚染物質はパターンの転写中、焦点外れとなる。
【０００５】
薄膜を使用することにより、形成される回路の品質が向上し、これにより、回路の生産性を著しく向上させることができる。その結果、写真平版法が成功するためには、高品質の薄膜であることが極めて重要であるから、薄膜製造技術は、益々重要となっていることは驚くべきことではない。
【０００６】
薄膜の製造工程中、比較的大きい汚染パーティクル又は比較的小さい汚染パーティクルの何れかが薄膜ペリクルに付着する可能性を最小にすることが重要である。この比較的大きいパーティクルは、焦点外れの場合であっても、写真平版法の実施中、基板に復製される可能性があるため、許容し得ない。薄膜ペリクルの下側に、又は薄膜フレーム上に付着するパーティクル（その大小を問わず）も同様に許容し得ない。かかるパーティクルは精密である写真平版法の実施中、マスク表面に落下する可能性があり、このことは、薄膜を使用して防止しなければならない。
【０００７】
又、薄膜ペリクルはその表面の厚さが極めて均一であることが重要である。これは、写真平版法を行う間にペリクルを透過する光が妨害されず、又、何れの方向にも屈折されないようにするためである。このように、ペリクルの組成は極めて均一であり、ペリクルは、薄膜フレームの全体にて均一に張力を加える必要である。又、薄いフィルムとフレームとの間には、連続的なシールが確実に存在するようにすることが重要である。
【０００８】
又、こうした重要な条件を更に理解するためには、薄膜が形成される方法について説明することが必要である。別体によって支持されることなく形状維持できるペリクルを形成することは、薄膜を製造する最初の工程である。一般に、ペリクルはニトロセルロース又はその他のセルロース系重合体のような適当な重合体を基板上で紡ぐことにより製造される。次に、この新たに製造したペリクルは、基板から除去し、その外周に隣接して張力下で保持し、その後の製造工程のための準備をする。
【０００９】
次に、フレームをペリクルの加工領域に定着し、又は接着させ、加工領域を形成する。現在、この定着工程は、接着剤を薄膜フレームに塗布することと、その後に、薄膜ペリクルをフレーム上に取り付けることとを含む。接着剤を塗布するとき、接着剤は極めて薄い層にて均一なビードで塗布することが重要である。ある既存の製造方法は、接着剤を塗布するとき、薄膜フレームに接触する接着剤ディスペンサーを利用する。その他の技術は、ディスペンサーとフレームとの間の離間した関係を保つ。これら方法の双方において、接着剤の分配過程を検査することは極めて困難である。
【００１０】
薄膜フレームに接触する接着剤ディスペンサーを利用する既存方法において、ディスペンサーの先端は、一般に、剛性か又は可撓性であるように選択される。薄膜フレームに接触する剛性なディスペンサー先端に伴う問題点は薄膜フレーム上に掻き傷又は傷を生じさせる傾向があることである。薄膜をその後に研磨し、又はラッピング加工した場合でも、これらの傷は、全体として残る。また、塗布された接着剤は、掻き傷内に流動し、その結果、接着剤が不均一に、また、過度に広く拡げられる。また、剛性なディスペンサー先端は、薄膜フレームに接触して磨耗する可能性がある。この変形の結果、接着剤が不均一に分配される。可撓性のディスペンサー先端は、フレームに傷又は掻き傷を生じる傾向が少ないのに対して、こうした剛性なディスペンサー先端は、より磨耗し変形し易い。
【００１１】
接着剤ディスペンサーと薄膜フレームとの離間した関係を保つ製造方法は、別の問題を生じさせる。一つの主な問題点は、薄膜フレームと接着剤ディスペンサーとの間にある分配空隙を制御することである。この問題点は、全てのフレームが同一の厚さで製造されているとは限らないことにより悪化する。
【００１２】
薄膜を製造する既存の方法は、接着剤を薄膜フレーム上に手操作で分配することを含む。手操作で分配する方法のこの問題点は、接着剤に要求される均一な薄い層を実現することが極めて難しいことである。接着剤を稀釈するためにアセトンを使用することができるが、このことは、アセトンの蒸発速度を制御することが難しいという新たな問題を生じさせる。
【００１３】
薄膜フレーム上に油があるとき、既存の問題に伴う更に別の問題点が生じる。この油は、塗布した接着剤と薄膜フレームとの親和性を低下させ、接着剤をより広く不均一な層にする。
【００１４】
従って、本発明の目的は、従来方法の欠点及び問題点を解消する光学薄膜を製造する新規な方法を提供することにある。具体的には、本発明は、別体の力をかりることなく形状維持できる薄膜ペリクルをフレームに取り付けるための製造方法を提供することを、その目的とする。本発明の別の目的は、接着剤のディスペンサーの検査を容易にする、薄膜の製造方法を提供することである。
【００１５】
本発明の更に別の方法は、薄膜ペリクルを薄膜フレームに接着する接着剤を塗布する方法であって、高度に自動化し、容易に反復可能な工程の一部となるようにするのに容易に適したものとなる方法を提供することである。本発明の更に別の目的は、薄膜ペリクルを予め切断した薄膜フレーム上に正確に位置決めすることができる、光学薄膜を製造する方法を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の特徴の一つは、（１）薄膜ペリクル上に所定量の接着剤を薄膜フレームの形状に対応したパターンに分配する工程と、（２）接着剤及びフレームが整合されるように、薄膜ペリクル及び薄膜フレームを互いに関して位置決めする工程と、（３）薄膜ペリクルの接着剤を塗布した部分を薄膜フレームと接触させて薄膜ペリクルをフレームに取り付ける工程とを含むことにある。尚、接着剤の分配工程は、薄膜ペリクルに作用可能に係合する接着剤ディスペンサーを使用することを含んでもよい。又、ディスペンサーは、可撓性又は剛性の何れかであるように選択することのできる末端部分を有するディスペンサー先端を備える。
【００１７】
本発明の別の特徴は、（１）薄膜ペリクルに張力を加える工程と、（２）薄膜ペリクル上に所定量の接着剤を薄膜フレームの形状に対応したパターンに分配する工程と、（３）接着剤が薄膜ペリクルを薄膜フレームに接着させるように、薄膜フレームを薄膜ペリクルに取り付ける工程とを含むことにある。尚、薄膜ペリクルに作用可能に係合するディスペンサーを使用することと、剛性又は可撓性の末端部分の何れかを有するディスペンサー先端を備えるディスペンサーを使用してもよい。
【００１８】
本発明の別の目的は、可撓性の管及び剛性なスリーブの双方を備え、その可撓性の管が、少なくとも一部分、剛性な管内に配置され且つその剛性なスリーブから、一部分、突出するディスペンサー先端を使用することである。
【００１９】
本発明の更に別の目的は、長時間に亙り、また、薄膜フィルムの検査に利用されるような電磁放射線による励起及び露出、及び従来の写真平版法で使用される紫外線及びその他の光への露出に対して、その空間的及び位置的な一体性、並びにその接着特性を保つように選択された接着剤を提供することである。
【００２０】
本発明の各種のその他の特徴、目的及び有利な点は、以下の説明からより完全に明らかになるであろう。
【００２１】
【発明の実施の形態】
先ず、図１及び図２には、上述したように写真平版法でダスト・カバーとして使用される従来の光学薄膜１０が図示されている。該薄膜１０は、薄膜ペリクル１２と、薄膜フレーム１４とを備えており、薄膜ペリクル及びフレームは、接着剤１６の一つの層により共に取り付けられる。薄膜１０は、フォトマスクの表面に塵埃が付着するのを防止するためフォトマスク（図示せず）に直接、配置される設計にしてある。その代わり、塵埃、又はその他の粒子は、薄膜ペリクル１２上に付着し、これにより、かかる微粒子をフォトマスクの表面から離間した距離の位置に保つ。このように、かかる微粒子は、平版写真工程中に焦点外れ位置となり、このため、通常、フォトマスク（図示せず）の下方における所定の距離の位置に配置されたシリコン・ウェハ（図示せず）に復製されない。
【００２２】
上述したように、薄膜ペリクル１２は、通常、ニトロセルロースにて、又は、セルロース・アセテートのようなその他のセルロース系重合体にて製造される。この材料は、例えば、最初に適当な溶媒中に溶融させ、次に、基板上で紡ぎ、その後に、その溶媒を加熱して除去する。次に、ある種の周縁フレームによりその縁部にて支持される間に、基板からペリクルを除去する。この周縁フレームは、製造工程中に使用されるものであり、また、その上に薄膜ペリクルを付着させた状態で販売され且つ使用される、図１及び図２に示した薄膜フレーム１４とは異なるものである。
【００２３】
本発明は、周縁に取り付けられたペリクルをその最後の薄膜フレーム１４に取り付ける方法に関するものである。この方法は、相補的であり、且つ薄膜ペリクルに対して分解しないように選択し且つ設計された適当な接着剤１６を利用する。また、この接着剤は、長時間に亙り、また、薄膜フィルムの検査に利用されるような電磁放射線に励起され且つ露出されたとき、その空間的及び位置的一体性、並びにその接着特性を保つように選択される。また、接着剤１６は、塗布後に、分離したり、又は移動しないように、その完全な位置的一体性を保つように選択される。好ましくは、接着剤１６は、ノーランド・プロダクツ・インコーポレーテッドが販売する、ノーランド、光学用接着剤Ｎｏ．６５のようなＵＶ硬化型接着剤であるものを選択する。これと代替的に、ノーランド８１又は６１接着剤等の接着剤、又は従来のエポキシを利用してもよい。
【００２４】
薄膜フレーム１４は、矩形及び楕円形の形状として図示されているが、この薄膜フレームが使用される写真平版装置に対応して、各種の形態の薄膜フレームとすることができることを理解すべきである。薄膜フレームは、典型的に、陽極処理アルミニウムで製造されるが、他の材料で製造したものでもよい。
【００２５】
図３は、形状維持型の薄膜ペリクル１２の平面図である。上述したように、薄膜ペリクル１２は、例えば、ニトロセルロース、又はセルロース・アセテート等のセルロース系化合物で製造される。尚、ペリクル１２は符号１１で略示したように特定の周縁フレームに縁部が支持されなければならない。
【００２６】
図４は、接着剤１６を薄膜フレーム１４に直接、塗布する状態を示す、従来技術の装置の拡大側面断面図である。ディスペンサー先端２０の末端部分２８のみが示してある。図面の便宜上、接着剤の分布の不均一な程度が誇張して示してある。上述したように、薄膜フレーム１４に接触することにより、ディスペンサー先端２０の末端部分２８は磨耗し且つ不均一となる。こうした状況になったならば、接着剤１６は、より広く不均一な状態で分配される。更に、薄膜フレーム１４とディスペンサー１８との接触は、薄膜フレーム１４に傷、又は掻き傷を付ける可能性がある。こうした掻き傷は完成した薄膜１０の品質を更に損なう。
【００２７】
図５には、図１及び図２に示した薄膜を製造するために使用することのできる接着剤ディスペンサー１８の拡大した側面断面図である。該ディスペンサー１８は、本体部分３０と、ディスペンサー先端２０とを備えている。該ディスペンサー先端２０は、本体部分３０に係合する第一の部分２６と、該第一の部分２６から外方に伸長する末端部分２８とを備えている。末端部分２８は、剛性なスリーブ２４と、可撓性の管２２とを備えている。可撓性の管２２は、その一部分が剛性なスリーブ２４内に収容され且つその一部分が剛性なスリーブ２４から突出している。
【００２８】
この剛性なスリーブ２４は、典型的に、内径０．７６２ｍｍ（０．０３０インチ）、外径１．２７ｍｍ（０．０５０インチ）のステンレス鋼で出来ている。該可撓性の管２２は、典型的に、内径０．１２７ｍｍ（０．００５インチ）、外径０．７３６６ｍｍ（０．０２９インチ）のテフロン製である。この剛性なスリーブ２４は、塗布された接着剤１６の位置をより正確に制御する。可撓性の管２２は、接着剤１６を塗布したとき、薄膜ペリクル１２が破れる可能性を著しく軽減する。適当なディスペンサー先端１８は、ロード・アイランド州、東部地区のＥＦＤが製造するものである。このＥＦＤの先端において、剛性なスリーブ２４は、可撓性の管２２の一部分を剛性なスリーブ２４内に固着するために部分的に圧着する。このＥＦＤ先端は、図４に図示するように、接着剤を薄膜フレームに、直接、塗布する場合を含む各種の目的に使用されている。上述のＥＦＤディスペンサーは、本発明の従来の技術を構成するものである。
【００２９】
図６は、図５に図示した接着剤ディスペンサーの一つの代替的な実施例の拡大側面断面図である。この実施例において、該ディスペンサーは、符号１１８で示してあり、該ディスペンサーは、本体部分１３０と、ディスペンサー先端１２０とを備えている。該ディスペンサー先端１２０は、本体部分１３０に係合する第一の部分１２６と、該第一の部分１２６から外方に伸長する末端部分１２８とを備えている。該末端部分１２８は、剛性な材料又は可撓性な材料の何れかで製造することができる。ディスペンサー１１８とディスペンサー１８との相違点は、ディスペンサー１１８が、剛性な材料又は可撓性の材料の何れか一方で製造することのできる末端部分１３０を備える点である。他方、ディスペンサー１８の末端部分３０は、剛性なスリーブ２４と、可撓性の管２２との双方を備えており、該可撓性の管２２は、少なくとも一部分が、剛性なスリーブ２４内に配置され且つ一部分が剛性なスリーブ２４から突出している。
【００３０】
図７において、ある量の接着剤１６を図３に図示した薄膜ペリクル１２に分配する接着剤ディスペンサー１８が図示されている。該接着剤１６は、薄膜フレーム１４の形状に対応したパターンにて分配される。該ディスペンサー１８は、図１０に図示するように、ディスペンサー先端２０の末端部分２８と薄膜ペリクル１２との間に僅かな空隙を保つ位置に配置することができる。好ましくは、末端部分２８は、接着剤１６を塗布するとき、ペリクル１２に作用可能に係合するようにする。これにより、塗布される接着剤１６の位置及び品質の制御を向上させることができる。本明細書で使用するように、「作用可能に係合する」という表現は、接着剤１６を塗布するときのディスペンサー先端２０の末端部分２８と薄膜ペリクル１２との相互作用を意味するものとする。これは、薄膜ペリクル１２に近い位置に配置された末端部分２８が協働すること、及び接着剤１６が末端部分２８から流れることに起因する薄膜ペリクル１２の撓み、及びディスペンサー先端２０の末端部分２８が薄膜ペリクル１２に実際に接触することに起因する撓みを含む。図１０は、接着剤１６を塗布するときに、図７のディスペンサー先端が薄膜ペリクル１２と作用可能に係合する状態を示す拡大側面断面図である。更に、薄膜ペリクル１２の可撓性の性質は、薄膜ペリクル１２を傷付けたり又は破損させずに、この「係合」を容易にする。同様に、「作用可能に係合する」という表現は、末端部分２８が薄膜ペリクル１２に接触するが、薄膜ペリクル１２が撓まない場合も含むことを理解すべきである。
【００３１】
図８において、薄膜フレーム１４と塗布した接着剤１６のパターンとが整合するように、薄膜フレーム１４及び薄膜ペリクル１２が位置決めされている。最後に、図９において、接着剤１６及び薄膜フレーム１４を互いに接触させることにより、薄膜ペリクル１２が薄膜フレーム１４に取り付けられている。
【００３２】
図７乃至図９には、薄膜ペリクル１２の上方の位置に配置され且つ該薄膜ペリクルに取り付けられた薄膜フレーム１４が図示されている。しかしながら、本発明の方法は、薄膜ペリクル１２を予め切った薄膜フレーム１４に取り付けることで実施が可能であることも理解すべきである。
【００３３】
本発明の方法の一つの代替的な実施例において、接着剤１６を塗布する前に、薄膜ペリクル１２に張力を加える。薄膜フレーム１４の形状に対応するパターンにて接着剤１６を薄膜ペリクル１２の上に分配した後、接着剤１６が薄膜ペリクル１２を薄膜フレーム１４に接着させるように、薄膜フレーム１４及び薄膜ペリクル１２を取り付ける。
【００３４】
全体として矩形の薄膜について説明したが、従来の薄膜は、円形又は矩形の形態でより楕円形のようなその他の形状をしている。本発明は、これらの装置の任意のものと共に利用することができる。
【００３５】
更に、薄膜ペリクル１２を薄膜フレーム１４に取り付けるとき、薄膜ペリクル１２を薄膜フレーム１４に接触させるか、又は薄膜フレーム１４を薄膜ペリクル１２に接触させるか、或いは薄膜フレーム１４及び薄膜ペリクル１２を同時に互いに接触させるかどうかを問わずに、本発明の方法は実施が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法に基づいて製造した光学薄膜の平面図、
【図２】説明の都合上、接着剤の層及びペリクルの厚さを誇張して示した、図１の線２−２に沿った図１の薄膜の拡大側面断面図である。
【図３】薄膜ペリクルの平面図である。
【図４】説明の都合上、薄膜フレーム及び接着剤の不均一な分布状態を誇張して示した、薄膜フレームに接着剤を直接、塗布するときの従来技術の装置の拡大側面図である。
【図５】図１及び図２に図示した薄膜を形成するために使用することのできる接着剤ディスペンサーの拡大側面断面図である。
【図６】図６の接着剤ディスペンサーの一つの代替的な実施例の拡大側面図である。
【図７】薄膜ペリクルに接着剤を塗布する状態を示す図である。
【図８】薄膜フレームを薄膜ペリクルの上方に位置決めする状態を示す図である。
【図９】薄膜ペリクルに取り付けられた薄膜フレームを示す図である。
【図１０】説明の都合上、薄膜の厚さを誇張して示した、接着剤の塗布により薄膜ペリクルが撓む状態を示す側面断面図である。
【符号の説明】
１０  光学薄膜
１１  周縁フレーム
１２  薄膜ペリクル
１４  薄膜フレーム
１６  接着剤
１８  接着剤ディスペンサー
２０  ディスペンサー先端
２２  可撓性の管
２４  剛性なスリーブ
２６  接着剤ディスペンサーの第一の部分
２８  接着剤ディスペンサーの末端部分
３０  接着剤ディスペンサーの本体部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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