(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ電子部品を供給する部品供給部が装着される複数のフィーダーステーションと、前記電子部品が搭載される基板を支持する基板支持ステージと、前記電子部品を吸着する吸着ビットが挿着される上下動可能な中空ロッドを備え前記部品供給部から前記基板ステージに移動して前記電子部品を前記基板に搭載する搭載ヘッドとを有する部品搭載装置に用いられ、前記吸着ビットを交換する吸着ビット交換装置であって、
前記フィーダーステーションに取り付けられるホルダーサポーターと、
前記吸着ビットを収容する複数の収容孔を備え、前記ホルダーサポーターに固定される収容ボックスと、
前記収容孔に対応する複数の絞り孔を備え、前記収容孔に収容された前記吸着ビットを前記中空ロッドから抜く位置と前記中空ロッドに装着させる位置との間でスライド可能に前記収容ボックスに装着されるアウターとを有し、
前記フィーダーステーションに設けられて前記部品供給部を駆動する当接棒により前記アウターが駆動されることを特徴とする吸着ビット交換装置。
【請求項２】
請求項１記載の吸着ビット交換装置であって、前記ホルダーサポーターを前記フィーダーステーションに取り付ける取付手段を前記フィーダーステーションに設けることを特徴とする吸着ビット交換装置。
【請求項３】
請求項１記載の吸着ビット交換装置であって、前記ホルダーサポーターを前記フィーダーステーションに取り付ける取付手段を前記ホルダーサポーターと前記フィーダーステーションとに設けることを特徴とする吸着ビット交換装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は電子部品を吸着する吸着ビット交換装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント基板に対してＩＣやＬＳＩ等の半導体装置、ダイオード、コンデンサ、さらに抵抗などの電子部品を自動的に搭載するために電子部品搭載装置が使用される。この電子部品搭載装置は、プリント基板を案内して所定の位置で位置決めして基板支持ステージを構成するガイドレールと、プリント基板に搭載される複数種類の部品をそれぞれ保持する部品供給部とを有しており、部品供給部における電子部品をプリント基板にまで搬送して搭載するために搭載ヘッドがＸＹ二軸方向に水平移動するようになっている。
【０００３】
この搭載ヘッドには電子部品を負圧により吸着するための吸着ビット（吸着ノズルとも言われる）が装着されており、この吸着ビットは基板支持ステージと部品供給部とにおいてそれぞれ上下動するように搭載ヘッドに設けられている。
【０００４】
吸着ビットは搭載される電子部品のサイズや種類に応じて交換し得るように、予め電子部品搭載装置の吸着ビット交換装置に複数の吸着ビットが保持されており、搭載する電子部品に応じて所定の吸着ビットが搭載ヘッドに装着されるようになっている。
【０００５】
吸着ビットには真空ポンプが接続されており、吸着ビットの中空孔内を負圧状態とすることにより、吸着ビットは電子部品を真空吸着する。
【０００６】
ところで、電子部品の大きさは、数ミリから数センチまで、様々な大きさがある。そのため取り扱う電子部品の大きさに合わせて吸着ビットを交換しなければならない。
【０００７】
係る交換は、吸着ビット自動交換装置を用いて行っていた。吸着ビット自動交換装置は、複数の吸着ビットを載置するための吸着ビット載置部を設けることが要求される。
【０００８】
この吸着ビット載置部は、従来においては、部品供給部と基板支持ステージとの間に設けられていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術では部品供給部と基板支持ステージとの間隔をあけなければならないため、吸着ビット載置部を設けることによって電子部品の搭載時間が長くなり、生産効率が低下するという問題点があった。
【００１０】
本発明の目的は、電子部品の搭載工程等における作業効率を高めることができる吸着ビット交換装置を提供する点にある。
【００１１】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を説明すれば、次の通りである。
【００１３】
すなわち、本発明の吸着ビット交換装置は、それぞれ電子部品を供給する部品供給部が装着される複数のフィーダーステーションと、前記電子部品が搭載される基板を支持する基板支持ステージと、前記電子部品を吸着する吸着ビットが挿着される上下動可能な中空ロッドを備え前記部品供給部から前記基板ステージに移動して前記電子部品を前記基板に搭載する搭載ヘッドとを有する部品搭載装置に用いられ、前記吸着ビットを交換する吸着ビット交換装置であって、前記フィーダーステーションに取り付けられるホルダーサポーターと、前記吸着ビットを収容する複数の収容孔を備え、前記ホルダーサポーターに固定される収容ボックスと、前記収容孔に対応する複数の絞り孔を備え、前記収容孔に収容された前記吸着ビットを前記中空ロッドから抜く位置と前記中空ロッドに装着させる位置との間でスライド可能に前記収容ボックスに装着されるアウターとを有し、前記フィーダーステーションに設けられて前記部品供給部を駆動する当接棒により前記アウターが駆動されることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の吸着ビット交換装置は、前記ホルダーサポーターを前記フィーダーステーションに取り付ける取付手段を前記フィーダーステーションに設けることを特徴とする吸着ビット交換装置。
【００１５】
また、本発明の吸着ビット交換装置は、前記ホルダーサポーターを前記フィーダーステーションに取り付ける取付手段を前記ホルダーサポーターと前記フィーダーステーションとに設けることを特徴とする吸着ビット交換装置。
【００１６】
【作用】
吸着ビット交換装置をフィーダーステーションに取り付けるので、部品供給部と基板支持ステージとの間の間隔を小さくすることができる。
【００１７】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１８】
図１は本発明の一実施例である電子部品搭載装置を示す平面図であり、図２は図１の正面図である。この電子部品搭載装置は、平行に配置された２つの水平支持部材１，２を有し、それぞれの水平支持部材１，２には図２に示すようにガイドレール３，４が取り付けられている。水平支持部材１，２に対して直角方向に延びるクロスバー５はその両端部でガイドレール３，４に装着されており、ガイドレール３，４に案内されて水平支持部材１，２に沿ってＹ方向に移動自在となっている。このクロスバー５にはこれに案内されてヘッドユニット６が摺動自在に装着されており、ヘッドユニット６はクロスバー５の延びる方向つまりＸ方向に移動自在となっている。
【００１９】
クロスバー５をＹ方向に駆動するために、一方の水平支持部材２にはモータ７により駆動されるボールねじ８が回転自在に取り付けられており、このボールねじ８はクロスバー５の一端部にねじ結合されている。クロスバー５にはこれに平行に連動シャフト１０が設けられており、この連動シャフト１０の両端に固定されたピニオン１１，１２は、水平支持部材１，２に固定されたラックギヤ１３，１４に噛み合っている。したがって、モータ７によってボールねじ８を駆動すると、クロスバー５はＹ方向に移動することになり、この移動に伴ってそれぞれのラックギヤ１３，１４と噛み合うピニオンギヤ１１，１２が回転することから、クロスバー５は水平支持部材１，２に対して所定の直角度を維持しながらＹ方向に移動することになる。なお、ラックギヤ１３は図２に示すガイドレール４の上方に位置している。
【００２０】
クロスバー５にはヘッドユニット６をＸ方向に駆動するためのボールねじ１５が回転自在に設けられており、このボールねじ１５はヘッドユニット６にねじ結合されている。このボールねじ１５はモータ１６の主軸に設けられたプーリーとボールねじに設けられたプーリーとに掛け渡されたタイミングベルトを介して駆動されるようになっている。
【００２１】
水平支持部材１，２の下方には、水平支持部材１，２に対して直角の方向に相互に平行となって延びる２本のガイド部材２１，２２が設けられており、これらのガイド部材２１，２２はプリント基板２０を搬送するコンベアを形成し、これらのガイド部材２１，２２に案内されてプリント基板２０がＸ方向に搬送されるようになっている。プリント基板２０はガイド部材２１，２２に案内されて所定の基板支持ステージの位置に位置決めされるようになっている。プリント基板２０のサイズに対応させて、一方のガイド部材２１は他方のガイド部材２２に対して接離可能になっている。
【００２２】
ガイド部材２１，２２により形成されるコンベアの両側には、電子部品を保持する複数の部品供給部２３が設けられている。それぞれの部品供給部における電子部品をプリント基板２０に搭載するために、ヘッドユニット６には複数の搭載ヘッド２４が設けられている。
【００２３】
図２に示すように、搭載ヘッド２４は上下方向に摺動可能な中空ロッドを供え、この中空ロッドの下端に吸着ビット２５を有している。この吸着ビット２５は、クロスバー５を水平支持部材１，２に沿ってＹ方向に移動するとともに、搭載ヘッド２４をクロスバー５に沿ってＸ方向に移動することにより、任意の部品供給部２３における電子部品Ｗを吸着し、プリント基板２０の所定の位置に搭載する。電子部品Ｗを吸着する際には、吸着ビット２５を所定の部品供給部２３に向けて下降移動させ、吸着した後に吸着ビット２５を上昇移動させながら、吸着ビット２５をプリント基板２０の所定の位置に移動する。所定の位置まで移動した状態で吸着ビット２５を下降移動させることにより、電子部品Ｗはプリント基板２０の所定の位置に搭載される。
【００２４】
吸着ビット２５は中空孔２６を有しており、この中空孔２６は真空ポンプ２７に導通され負圧によって電子部品Ｗが吸着ビット２５の先端に吸着されるようになっている。吸着ビット２５の中空孔２６内の圧力を検出するために、圧力センサ２８が設けられている。中空孔２６内の圧力は吸着ビット２５の先端に電子部品Ｗが吸着されない状態では大気圧に近い圧力となっており、電子部品Ｗが吸着されると、真空ポンプ２７によって設定される所定の負圧状態つまり大気圧よりも低い圧力となる。なお、図２にあっては、１つの搭載ヘッド２４にのみ圧力センサ２８が設けられているように示されているが、それぞれの搭載ヘッド２４に圧力センサ２８が設けられている。
【００２５】
吸着ビット２５は電子部品Ｗのサイズや種類などに応じて、複数個用意されており、用意された吸着ビット２５は、図１に示す吸着ビット交換装置２９に保持されている。搭載される電子部品Ｗに応じて所定の吸着ビット２５が選択されて搭載ヘッド２４に装着される。吸着ビット２５の種類により、電子部品Ｗが吸着されたときにおける中空孔２６内の圧力が相違することから、吸着ビット２５が装着され搭載作業が開始される前に吸着ビット２５は所定の位置に設けられたテスト部材に接近移動して中空孔２６が閉塞される。図８に示すように、吸着ビット２５は高さ方向略中央に肉厚円盤状のフランジ（掛止部）２５ａを有し、外形略こま形をなしている。図８における上端を前記中空ロッドの下端に差込み・引抜くことによって、吸着ビット２５の搭載ヘッド２４への着脱を容易に行うことができるようになっている。
【００２６】
吸着ビット交換装置２９は、図３乃至図６に示すように、ホルダーサポーター３０と、このホルダーサポーター３０の上部に固定されたビットホルダー３４とから概略構成される。図３は正面図、図４は図３における右手から見た側面図である。図５は図３のＡーＡ断面図、図６はＢ−Ｂ断面図である。
【００２７】
ホルダーサポーター３０は、板状体であり、電子部品装着装置の本体に設けられたフィーダーステーションＳに係止されている。ホルダーサポーター３０及びフィーダーステーションＳには、それにホルダーサポーター３０を取り付けるための取付手段が設けられている。
【００２８】
この取付手段は、ホルダーサポーター３０に設けられた係止レバー３１及びあり部Ｄと、フィーダーステーションＳの上面に形成されたあり溝Ｇとから概略構成されている。
【００２９】
係止レバー３１は、図３に示すように、略かぎ形状をなし、かぎ部３１ａのほぼ中央をネジＣによってホルダーサポーター３０に鉛直面内において回動可能に固定されている。先端部には、あり溝Ｇの係合面Ｇａに係合可能な係合片３１ｂが形成されている。係止レバー３１の角部には、ホルダーサポーター３０に一端を固定されたスプリング３２の他端が係止され、あり溝Ｇの係合面Ｇａに係合片３１ｂが係合するように付勢されている。
【００３０】
あり部Ｄは、正面視略台形をなし、その斜辺Ｄａは、あり溝Ｇの係合面Ｇｂに係合可能に形成されている。底面の長さは、あり溝Ｇの上面の長さよりも短く、係止レバー３１と相まって、あり溝Ｇの上面の長さとほぼ等しい長さとなっている。
【００３１】
ホルダーサポーター３０を交換するには、係止レバー３１を図３における矢印方向に回転させて係合面Ｇａと係合片３１ｂとの係合状態を解き、そのままの状態で、ハンドル３３を把持して斜め上方（図３における左上方）に引き上げれば、フィーダーステーションＳから吸着ビット交換装置２９を取り外すことができる。
【００３２】
別のホルダーサポーター３０をフィーダーステーションＳに取り付けるには、あり部Ｄの斜面Ｄａを、あり溝Ｇの係合面Ｇｂに係合するように、ホルダーサポーター３０をあり溝Ｇの中に入れ、スプリング３２に抗して係止レバー３１を図３の矢印方向に回転させて、係合片３１ｂをあり溝Ｇ内に入れる。その後、係止レバー３１から手を離すと、スプリング３２によって付勢された係止レバー３１は、図３に示される矢印方向と反対方向に回転し、係合片３１ｂが係合面Ｇａに係合する。以上により、ホルダーサポーター３０をフィーダーステーションＳに取り付けることができる。
【００３３】
斯かるあり溝Ｇは図１に示される全てのフィーダーステーションＳにも設けられている。
【００３４】
ビットホルダー３４は、外輪郭直方体のもので、吸着ビット２５を収納する収納ボックス３６と、吸着ボックスの両平面（図３において見えている面及びその裏面）並びに上面を覆うアウター（外側ケース）４０とから概略構成されている。
【００３５】
収納ボックス３６は、図３、図４及び図６に示すように、外輪郭まな板状のものであり、その平面（図３において見えている面）が、ホルダーサポーター３０の鉛直な面に平行をなし且つその厚さ方向に偏心して、平ネジ３７によって、ホルダーサポーター３０の上部に固定されている。内部には、図３に示すように、上面に開口する鉛直円筒状の、吸着ビット２５を収納するための収納孔３８が複数（本実施例においては６個）設けられている。
【００３６】
収納孔３８は、図７に示すように、収納ボックス３６の長手方向に、それらの中心が同一直線上に存し且つ等間隔に列設されている。図７は平面図である。収納孔３８の内径は、吸着ビット２５のフランジ２５ａの直径よりも僅かに大きなものとなっている。符号３９はピンである。
【００３７】
アウター４０は、図４及び図６に示すように、側面視において下方に開口する略コの字状の薄肉殻体である。厚さ方向の内寸は、収納ボックス３６の厚さ方向の外寸よりも僅かに大きくなっている。それ故、アウター４０は水平方向にスライド可能となっている。その上面には、図７に示すように６つのだるま孔（絞り孔）４１が開設されている。
【００３８】
だるま孔４１の間隔は、長手方向に、それらの中心が同一直線上に存し且つ収納孔３８と同間隔に列設されている。だるま孔４１の頭部の直径は、フランジ２５ａの直径よりも小さく且つ前記中空ロッドの外径よりも大きい。腹部はフランジ２５ａの直径よりも大きくなっている。アウター４０は、その鉛直方向の長さが、収納ボックス３６のそれよりも長く、その下端部が、ホルダーサポーター３０の上部（平ネジ３７よりも下の位置）に、ボルト４２，４３によって取り付けられている。図３に示すように、ボルト４２，４３は、ホルダーサポーター３０の穿設された、水平方向に長い長孔４４に挿通されている。それ故、アウター４０は、水平方向（図３における左右方向）にスライド可能となっている。
【００３９】
ホルダーサポーター３０の水平方向一端部（ハンドル３３の反対側端部）で、高さ方向略中央には、正面視略コの字状のアーム４５が、その中央部を中心にして鉛直面内において回動可能なように、取付ピン５０によって取り付けられている。アーム４５の上側の端部には、バネ４６の一端が取り付けられ、このバネ４６によって、アーム４５の、コの字の水平部に相当する部分が略水平となるように付勢されている。バネ４６の他端は、ホルダーサポーター３０の、アーム４５の高さ方向中央よりも下の位置に取り付けられている。アーム４５の上側のコーナー部には正面視Ｕ字状のカム孔４５ａが開けられている。このカム孔４５ａにはボルト４３が挿通されている。アーム４５の下側の端部には、当接面４７が形成されている。当接面４７は、当接棒４８によって、上方向に押される。当接棒４８は、吸着ビット２５が、ビットホルダー３４の上方に来たときに、当接面４７を上方に押し上げるように制御されている。係る制御方法は、マイコンによるコンピューター制御、機械的、電気的制御などにより行えばよい。
【００４０】
次に、以上のように構成された吸着ビット交換装置の作用・動作について説明する。
【００４１】
当接棒４８が当接面４７を押し上げると、アーム４５は、その中心において図３の矢印方向に回転し、カム孔４５ａは側面はボルト４３を水平方向（図３における左側方向）に押し、アウター４０を水平方向にスライドさせる。カム孔４５ａはＵ字状をなすので、斯かる運動を許容する。
【００４２】
当接棒４８が当接面４７に当接する前は、アーム４５がバネ４６によって付勢されているので、図９に示すように、だるま孔４１の頭部が収納孔３８の上面に位置する。当接棒４８が当接面４７に当接した後は、アーム４５が取付ピン５０を中心にして回転し、アウター４０を水平方向にスライドさせ、図１０に示すように、だるま孔４１の腹部が収納孔３８の上面に位置する。当接棒４８が当接面４７から離間すると、アーム４５は元の状態に戻り、再びだるま孔４１の頭部が収納孔３８の上面に位置する。
【００４３】
搭載ヘッド（前記中空ロッド）２４に挿着されている吸着ビット２５の交換は以下のように行う。
【００４４】
まず、現在使用してる吸着ビット２５を収納すべき収納孔３８の上方に、前記中空ロッドの下端に挿着されている吸着ビット２５が位置するように、搭載ヘッド２４を移動させる。
【００４５】
次いで、アウター４０を図１０に示す状態にし、前記中空ロッドを降下させて、それに挿着された状態の吸着ビット２５を、収納孔３８内に挿入する。
【００４６】
次いで、アウター４０を図９に示す状態に戻した後、前記中空ロッドを上昇させる。上記の如くだるま孔４１の頭部の直径は、図８に示すフランジ２５ａの外径よりも小さいので、吸着ビット２５のフランジ２５ａの外周部の上面が、だるま孔４１の外縁の下面に当接する。さらに、前記中空ロッドを上昇させると、前記中空ロッドの下端から吸着ビット２５の上端が抜け、吸着ビット２５のみが、収納孔３８内に残存する。だるま孔４１の頭部の直径は、前記中空ロッドの外径よりも大きいので、前記中空ロッドのみを収納孔３８から引き抜くことができる。
【００４７】
以上の動作により、吸着ビット２５を搭載ヘッド（前記中空ロッド）２４から取り外すことができる。
【００４８】
次いで、挿着すべき吸着ビット２５を収納している収納孔３８の上方に、前記中空ロッドの下端に挿着されている吸着ビット２５が位置するように、搭載ヘッド２４を移動させる。
【００４９】
次いで、アウター４０を図１０に示す状態にし、前記中空ロッドを降下させて、収納孔３８内に存する吸着ビット２５の上端を、前記中空ロッドの下端に挿入することにより、吸着ビット２５を前記中空ロッドに挿着する。
【００５０】
次いで、アウター４０を図１０に示す状態にしたまま、前記中空ロッドを上昇させる。
【００５１】
以上の動作により、吸着ビット２５を前記中空ロッドに挿着することができる。
【００５２】
なお、これら一連の動作についてはコンピューター制御により行っている。
【００５３】
また、部品搭載装置に装填されているホルダーサポーター３０に、所要の吸着ビット２５が無い場合には、他のホルダーサポーター３０に交換すればよい。
【００５４】
本実施例に係る吸着ビット交換装置は以上の如く構成されているので、吸着ビット交換装置２９をフィーダーステーションＳに取り付けることが可能となり、部品供給部２３と基板支持ステージとの間の間隔を小さくすることができる。その結果、生産効率を向上させることができる。
【００５５】
また、全てのフィーダーステーションＳにもあり溝Ｇを設けているので、いずれのフィーダーステーションＳにも吸着ビット供給装置２９を取り付けることができる。
【００５６】
また、所要の数の吸着ビット供給装置２９を取り付けることができる。
【００５７】
また、コンピューター制御によって吸着ビット２５の着脱を行っているので、生産効率を高めることができる。
【００５８】
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種吸着ビット交換装置々変更可能であることは言うまでもない。
【００５９】
本発明においては、収納孔３８の数は６個には限定されず、本発明を実施する上で好適な数とすることができる。また、図１１に示すように、収納孔７０の配列を千鳥に配列することもできる。
【００６０】
また、吸着ビットの着脱動作についてはコンピューター制御により行っているが、それらの動作の一部を手動、機械的方法など、本発明を実施する上で好適な方法に置換することもできる。
【００６１】
また、掛止部としてフランジ２５ａを採用したが、本発明においてはそれに限定されず、本発明を実施する上で好適な形状にすることができる。また、掛止部を設ける位置も、高さ方向中央に限定されず、好適な位置にすることができる。
【００６２】
また、本発明に係る絞り孔としてだるま孔４１を採用したが、本発明においてはそれに限定されず、例えば、図１２に示される凸の字状の絞り孔６０等、本発明を実施する上で好適な形状にすることができる。符号３８は上記収納孔である。
【００６３】
また、上記実施例においては収納孔３８の断面形状は円であったが、本発明においては、例えば、三角、四角その他の多角形等、本発明を実施する上で好適な形状にすることができる。
【００６４】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下の通りである。
【００６５】
本発明に係る吸着ビット交換装置は、以上のように構成されているので、吸着ビット交換装置をフィーダーステーションに取り付けることが可能となり、部品供給部と基板支持ステージとの間の間隔を小さくすることができる。その結果、部品の搭載工程等における作業効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である電子部品搭載装置の概略構造を示す平面図である。
【図２】図１の正面図である。
【図３】吸着ビット交換装置の正面図である。
【図４】吸着ビット交換装置の側面図である。
【図５】図３のＡーＡ断面図である。
【図６】図３のＢーＢ断面図である。
【図７】ビットホルダーの平面図である。
【図８】吸着ビットの斜視図である。
【図９】だるま孔と収納孔との位置関係を示す平面図である。
【図１０】だるま孔と収納孔との位置関係を示す平面図である。
【図１１】絞り孔の他の実施例を示す平面図である。
【図１２】絞り孔のその他の実施例を示す平面図である。
【符号の説明】
１，２    水平支持部材
３，４    ガイドレール
５        クロスバー
６        ヘッドユニット
７        モータ
８        ボールねじ
１０        連動シャフト
１１，１２  ピニオンギヤ
１３，１４  ラックギヤ
１５        ボールねじ
１６        モータ
２０        プリント基板
２１，２２  ガイド部材
２３        部品供給部
２４        搭載ヘッド
２５        吸着ビット
２５ａ      フランジ
２６        中空孔
２７        真空ポンプ
２８        圧力センサ
２９        吸着ビット交換装置
３０        ホルダーサポーター
３１        係止レバー
３１ａ      かぎ部
３１ｂ      係合片
３２        スプリング
３３        ハンドル
３４        ビットホルダー
３６        収納ボックス
３７        平ネジ
３８        収納孔
３９        ピン
４０        アウター
４１        だるま孔
４２，４３  ボルト
４４        長孔
４５        アーム
４５ａ      カム孔
４６        バネ
４７        当接面
４８        当接棒
５０        取付ピン
６０        絞り孔
７０        収納孔
Ｄ          あり部
Ｄａ        斜面
Ｇ          あり溝
Ｇａ，Ｇｂ  係合面
Ｓ          フィーダーステーション
Ｗ          電子部品
【図１】
0003654944.tif 000002
【図２】
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【図３】
0003654944.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003654944.tif 000008
【図８】
0003654944.tif 000009
【図９】
0003654944.tif 000010
【図１０】
0003654944.tif 000011
【図１１】
0003654944.tif 000012
【図１２】
0003654944.tif 000013