(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥炉の壁面に設けられた被処理体が貫通し得る第１の開口部を通るガスの流通を減少するための、乾燥炉壁面の被処理体貫通部シール装置であって、
該乾燥炉の該第１の開口部に連通して設けられており、該被処理体が貫通し得る第２の開口部を有するシールボックスと、
該シールボックスの外側に配設された第３の開口部を有する圧力調整室と、
該シールボックス内に不活性ガスを供給する手段と、
該第１の開口部を通るガスの流通を検知する手段と、
検知したガスの流通量を低減するための該圧力調整室の圧力調整手段と、
を具備するシール装置。
【請求項２】
乾燥炉の壁面に設けられた被処理体が貫通し得る第１の開口部を通るガスの流通を減少するための、乾燥炉壁面の被処理体貫通部シール装置であって、
該乾燥炉の該第１の開口部に連通して設けられており、該被処理体が貫通し得る第２の開口部を有するシールボックスと、
該シールボックス内に設けられており、該被処理体が貫通し得る該第２の開口部を共有する圧力調整空間と、
該シールボックス内に不活性ガスを供給する手段と、
該圧力調整空間内に空気を供給および／または排除する手段と、
該第１の開口部を通るガスの流通を検知する手段と、
検知したガスの流通量を低減するための該圧力調整空間の圧力調整手段と、
を具備するシール装置。
【請求項３】
前記第１の開口部を流通するガスの流通を検知する手段が、前記シールボックス内の第１の開口部側と圧力調整室内との圧力差信号または乾燥炉内の入口側及び出口側の酸素濃度計測定値の偏差信号により行われる、請求項１記載のシール装置。
【請求項４】
前記第１の開口部を流通するガスの流通を検知する手段が、前記シールボックス内と前記圧力調整空間内の圧力差信号または乾燥炉内の入口側及び出口側の酸素濃度計測定値の偏差信号により行われる、請求項２記載のシール装置。
【請求項５】
前記圧力調整手段が、前記圧力調整室内または圧力調整空間内への空気の供給手段に設けられた給気調整弁および／または排除手段に設けられた排気調整弁の開閉により行われる、請求項１又は２に記載のシール装置。
【請求項６】
前記圧力調整手段が、前記シールボックス内のガスをファンで乾燥炉内に戻す配管に設置した吸引ガス調整弁で圧力を調整することにより行われる、請求項１又は２に記載のシール装置。
【請求項７】
前記圧力調整手段が、乾燥炉に接続されたイナート方式による溶剤回収装置におけるシールボックスヘのガスの流出入量調整手段である請求項１又は２に記載のシール装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、乾燥炉内雰囲気ガスを不活性ガスで実質的に置換し、且つ乾燥炉内の溶剤濃度を高濃度に保持したイナート乾燥炉において、被処理体が貫通し得る乾燥炉の開口部からの外気の侵入および炉内ガスの漏洩を効率良く抑え、不活性雰囲気を保持するためのシール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、溶剤を含有する被処理体（例えば、顔料等の固形成分を溶剤中に分散させた塗工液を塗布した基材など）を帯状ウェブ式、または連続コンベア式などの搬送手段により連続的に乾燥炉に導入し、塗工液中の溶剤を加熱して蒸発させる乾燥装置が、種々の産業分野において広範囲に使用されている。
【０００３】
このような乾燥装置において、一般に溶剤含有被処理体を空気中で乾燥する方式（エアーモード）により乾燥を行なっているが、他方、特公昭５５−３６３８９号公報に記載のように、乾燥炉内の雰囲気を窒素ガス等の不活性ガスで置換し、酸素濃度を低下することにより、蒸発した溶剤ガスの爆発・燃焼の発生を防止しながら、雰囲気中の溶剤濃度を安全に上昇させる乾燥炉が開示されている。
【０００４】
ところで、乾燥炉には内部雰囲気を外気と連通した被処理体が貫通する開口部を有する（以下乾燥炉開口部とする）。
【０００５】
したがって、前記不活性ガス雰囲気（イナートモード）方式の乾燥炉において、開口部からの外気侵入による酸素濃度の上昇は、高濃度の有機溶剤ガスによる爆発・燃焼の危険を伴う。
【０００６】
したがって、イナート方式の乾燥炉は、乾燥炉開口部の間隙をスライド板等により出来るだけ狭くし外気の侵入を抑え、また乾燥炉開口部の被処理体に窒素ガスをスリット状に吹き付けることにより、内部のガスと外気とを遮断するシール装置も考案されている。一方、乾燥炉内の乾燥用及び被処理体搬送（フローティング）用のための吹出しノズルからの吹出しガスが被処理体の表面に沿って移動するガスの動圧を抑えるために、吹出しノズルから乾燥炉開口部までの距離をとり動圧を緩衝する空間（バッファーゾーン）を乾燥炉開口部に設けたり、またその他種々のシール構造が考案されている。
【０００７】
この様に窒素ガスによりイナート化された乾燥炉内の空間は、吹出しノズルからの乾燥風発生用のガスの循環による圧力バランスの影響で、乾燥炉開口部からのガスの出入りが発生する。イナート方式の乾燥炉は、基本的に密閉循環系による溶剤の回収を組み込むため物質収支的に均一であり、一方の乾燥炉開口部よりガスが出ると反対側の乾燥炉開口部よりガスを吸込むような乾燥炉内でのガスの流れが発生し、その結果乾燥炉内のガスの吸込み側から酸素濃度が上昇し、反対側の乾燥炉開口部より溶剤を含んだ窒素ガスが吹き出す状態となる。
【０００８】
通常、イナート雰囲気が維持される空間では、乾燥炉開口部に設けたシール装置に供給される窒素ガス量と、乾燥炉の出入りガス量との質量バランスを確立させているが、ガスの流れが大きい場合はイナート雰囲気の維持が困難となる。
【０００９】
また、一般にイナート方式の乾燥炉は、溶剤濃度を爆発下限界（ＬＥＬ）を越えて運転しても爆発や燃焼の危険がないので、密閉循環系溶剤回収方式（特公平３−２５２２８号公報に記載）における溶剤ガスの凝縮回収を効率良く行うために、乾燥炉内の溶剤濃度は、ある程度高い濃度（ＬＥＬ〜約３０モル％の範囲内）で運転される。従って、このような高濃度の溶剤ガスを含んだ窒素ガスが乾燥炉開口部より流出した場合、周辺の換気が不十分であると作業環境を悪化させたり、最悪の場合、滞留した溶剤ガスにより爆発の危険がある。
【００１０】
この対策として特公平８−７０２５号公報には、被処理体に接近させて先端を炉内側に折り曲げたシール板により、乾燥炉開口部から被処理体表面に沿って乾燥炉外に流出するガスの吹出しを抑えるシール構造が開示されている。しかしこの方法では、シール板を被処理体にかなり接近させなければ効果が現れないが、吹出しノズルからの乾燥風吹出しによる被処理体の波打ちに対し、シール板が接触しないようにある程度の間隙を設けなければならない。特に上下の吹出しノズルからの吹出しにより被処理体をフローティングさせる形状のものは、この間隙をより大きくとる必要が有る。このように、シール板によるシール構造では、漏洩ガスを充分に抑える事は困難である。
【００１１】
また、乾燥炉内空間の質量バランスをある一定条件で維持することが出来ても、乾燥炉内の圧力バランスに変化が生じたり、開口部周辺の外気の圧力に変化が生じた場合には、乾燥炉内空間の質量バランスの維持が崩れる。
【００１２】
また、被処理体の処理速度（走行速度）が速い（例えば、１００ｍ／分以上）の場合は、被処理体表面の摩擦力（ドラグ力）による慣性で、被処理体とともに乾燥炉内空間に同伴される空気により、乾燥装置内の圧力バランスが変化しイナート雰囲気の維持が崩れることがある。
【００１３】
特に、処理速度の大幅な変化や、被処理体材質の変更により表面摩擦力による同伴ガス移動量の変化に伴う圧力バランスの変化に追従できない問題がある。
【００１４】
結果的に、このような圧力バランスの変化により、乾燥炉内に外部空気中の酸素が入り込み、イナート雰囲気の維持のために、過剰な窒素ガスの供給を余儀なくされているケースが有り、窒素ガスの消費によるランニングコストのアップを引き起こす。
【００１５】
前記した特公平８−７０２５号公報には、乾燥炉壁面の乾燥炉開口部に連通するシールボックスを設け、該シールボックスに排気路および不活性ガス供給路を設けると共に、シールボックスから乾燥炉内への循環路を設けた構成が開示されているが、この循環路は単に過剰なガスを乾燥炉内に戻すためのものであり、前記したように乾燥炉内の圧力バランスの変化に追従できないという問題が依然として残っている。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、上記乾燥炉内の圧力バランスの変化に対して、バランスの矯正を行なうためのシール装置により、窒素ガスの供給量の低減と高濃度の溶剤を含んだガスの放出の低減を行なうことができる乾燥炉壁面の被処理体貫通部シール装置を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明の乾燥炉壁面の被処理体貫通部シール装置は、乾燥炉の壁面に設けられた被処理体が貫通し得る第１の開口部を通るガスの流通を減少するための、乾燥炉壁面の被処理体貫通部シール装置であって、該乾燥炉の該第１の開口部に連通して設けられており、該被処理体が貫通し得る第２の開口部を有するシールボックスと、該シールボックスの外側に配設された第３の開口部を有する圧力調整室と、該シールボックス内に不活性ガスを供給する手段と、該第１の開口部を通るガスの流通を検知する手段と、検知したガスの流通量を低減するための該圧力調整室の圧力調整手段と、を具備し、そのことにより上記目的が達成される。
【００１８】
また、本発明の他の乾燥炉壁面の被処理体貫通部シール装置は、乾燥炉の壁面に設けられた被処理体が貫通し得る第１の開口部を通るガスの流通を減少するための、乾燥炉壁面の被処理体貫通部シール装置であって、該乾燥炉の該第１の開口部に連通して設けられており、該被処理体が貫通し得る第２の開口部を有するシールボックスと、該シールボックス内に設けられており、該被処理体が貫通し得る該第２の開口部を共有する圧力調整空間と、該シールボックス内に不活性ガスを供給する手段と、該圧力調整空間内に空気を供給および／または排除する手段と、該第１の開口部を通るガスの流通を検知する手段と、検知したガスの流通量を低減するための該圧力調整空間の圧力調整手段と、を具備し、そのことにより上記目的が達成される。
【００１９】
一つの実施態様では、前記第１の開口部を流通するガスの流通を検知する手段が、前記シールボックス内の第１の開口部側と圧力調整室内との圧力差信号または乾燥炉内の入口側及び出口側の酸素濃度計測定値の偏差信号により行われる。
【００２０】
一つの実施態様では、前記第１の開口部を流通するガスの流通を検知する手段が、前記シールボックス内と前記圧力調整空間内の圧力差信号または乾燥炉内の入口側及び出口側の酸素濃度計測定値の偏差信号により行われる。
【００２１】
一つの実施態様では、前記ガス流通量の調整手段が、前記圧力調整室内または圧力調整空間内への空気の供給手段に設けられた給気調整弁および／または排除手段に設けられた排気調整弁の開閉により行われる。
【００２２】
一つの実施態様では、前記ガス流通量の調整手段が、前記シールボックス内のガスをファンで乾燥炉内に戻す配管に設置した吸引ガス調整弁で圧力を調整することにより行われる。
【００２３】
一つの実施態様では、前記ガス流通量の調整手段が、乾燥炉に接続されたイナート方式による溶剤回収装置におけるシールボックスヘのガスの流出入量調整手段である。
【００２４】
次に、本発明の作用について説明する。
【００２５】
通常、気体は圧力の高い方より低い方へ移動する。そのため乾燥炉内の圧力が外部の圧力より高い場合は、乾燥炉開口部を通って内部より外部に向かってガスが流出し、逆の場合は逆方向にガス（一般には、外部空気）が流れる。この圧力差が例えば、１ｍｍＡｑであれば、約４ｍ／ｓｅｃの流速でガスが移動し、この圧力差はガスの流速の２乗に比例する。一般に、イナート雰囲気の維持を行なうためには、被処理体上下の開口間隙を１０ｍｍ（間隙は出来るだけ狭い方が好ましい）に仕切った場合のガス移動量が１ｍ／ｓｅｃ以下（好ましくは０．５ｍ／ｓｅｃ以下）にする必要が有る。
【００２６】
したがって、これに見合った圧力差以下にバランスを維持する事により、乾燥炉開口部への少量の窒素ガス供給でイナート雰囲気を維持することが出来る。
【００２７】
第１の発明においては、シールボックスの外側に設けた圧力調整室内に不活性ガスを供給しつつ、乾燥炉の第１の開口部を通るガスの流通を検知手段で検知して、そのガスの流通量を調整手段によって低減するようにすることにより、乾燥炉内の圧力バランスを所定の値以下に維持する事ができ、乾燥炉開口部への少量の窒素ガス供給でイナート雰囲気を維持することが出来る。
【００２８】
また、第２の発明においては、シールボックス内に不活性ガスを供給し、第１の開口部を通るガスの流通を検知手段で検知してそのガスの流通量を低減するための調整手段によって、圧力調整空間内に空気を供給および／または排除することにより、乾燥炉内の圧力バランスを所定の値以下に維持する事ができ、乾燥炉開口部への少量の窒素ガス供給でイナート雰囲気を維持することが出来る。
【００２９】
【発明の実施の形態】
（実施例１）
本発明を実施例に基づいて具体的に説明する。
【００３０】
図１は、本発明の基本的実施態様を示した、乾燥炉出口側の被処理体貫通部における、シール装置の一実施例の断面図である。
【００３１】
本実施例のシール装置は、乾燥炉２の壁面に設けられた、被処理体１が貫通し得る第１の開口部４から炉内ガスの流通を減少するためのものであり、該シール装置は、該乾燥炉２の該第１の開口部４に連通するよう、該乾燥炉２の壁面に設けられたシールボックス５と、該シールボックス５の下流側に設けられた圧力調整室９、を有する。該圧力調整室９はシールボックス５を覆うようにシールボックス５の外側に配設されている。
【００３２】
該シールボックス５には被処理体１が貫通し得る第２の開口部３７が、上記乾燥炉２の第１の開口部４と対応して形成され、また圧力調整室９にも同様に被処理体１が貫通し得る第３の開口部１８が形成されている。
【００３３】
該シールボックス５内に不活性ガスを供給する手段として、窒素ガス供給配管６がシールボックス５に接続されている。また、該シールボックス５内部には、被処理体１の表面、裏面に向けてその走行方向に対し任意の角度で吹き付けるためのオリフィス７ａ，７ｂが上下にそれぞれ設けられている。さらに、シールボックス５の外側には、第２の開口部３７を開閉し得るスライド板８ａ，８ｂが上下に設けられている。これらのスライド板８ａ，８ｂによって、被処理体１の走行に影響が出ない範囲で出来るだけ第２の開口部３７の間隙を狭めることが好ましい。
【００３４】
また、圧力調整室９内に空気を供給および排除する手段として、給気調整弁１６を有する給気管１０と、排気調整弁１７を有する排気管１１が該圧力調整室９にそれぞれ接続されている。
【００３５】
そして、該シールボックス５内に配置された圧力検知部１２と、圧力調整室９内に配置された圧力検知部１３における両圧力の差圧を差圧計１４にて測定し、その信号と制御部１５に設定した値（基本的に設定差圧は０）との偏差により、給気調整弁１６と排気調整弁１７を操作して流量を調整し（給気又は排気のどちらか一方の調整でも可能）、圧力調整室９内の圧力をコントロールし、シールボックス５の第２の開口部３７からのガスの吹出し（もしくは空気吸込み）を抑えるように構成されている。
【００３６】
この圧力調整室９においても給気、排気により圧力調整を行なうため、被処理体１が貫通し得る第３の開口部１８の断面積を小さくすることが好ましく、シールボックス５と同様にその開口部１８にスライド板１９ａ，１９ｂが開閉可能に設けられている。
【００３７】
上記構成のシール装置を備えたイナート方式の乾燥装置において、被処理体１は、窒素ガスによりイナート化された乾燥炉２内の吹出しノズル３より吹出すガスにより、表面に塗布された塗工液の乾燥を行い、第１の開口部４より図右側（矢印方向）に搬送され、シールボックス５の第２の開口部３７及び圧力調整室９の第３の開口部１８を貫通する。イナート方式の乾燥炉２を密閉循環系として溶剤を含むガスを循環させると共に該循環系にコンデンサー等の溶剤回収装置を設けることにより、雰囲気中の溶剤を回収することができる。
【００３８】
ここで、上記シールボックス５においては、上記したように窒素ガス供給配管６より窒素ガスが供給され該シールボックス５内部の上下のオリフィス７ａ，７ｂより、被処理体１の表面、裏面の走行方向に対し任意の角度で吹き付ける。シールボックス５内部の圧力１２と、圧力調整室９内の圧力１３の差圧を差圧計１４にて測定し、その信号と制御部１５に設定した値（基本的に設定差圧は０）との偏差により、給気調整弁１６と排気調整弁１７により流量を調整し（給気又は排気のどちらか一方の調整でも可能）、圧力調整室９内の圧力をコントロールすることにより、つまりシールボックス５内の圧力と圧力調整室９内の圧力とをほぼ等しく設定することにより、シールボックス５の第２の開口部３７からのガスの吹出し（もしくは吸込み）が抑えられる。
【００３９】
上記実施例は、乾燥炉２の出口側の第１の開口部４について説明したが、同様な構成のシール装置を乾燥炉２の入口側に設ける事も可能である。
【００４０】
（実施例２）
図２に、上記の図１に示した実施例に改良を加えた第２の実施例について説明する。
【００４１】
図２の実施例の特徴は、図１の圧力調整室９による圧力調整機能をシールボックス５内に組み込んだ点である。図２は乾燥炉２の入口側、出口側のシール装置の断面構造を示したものである。
【００４２】
被処理体１は、窒素ガスによりイナート化された乾燥炉２内を左側から右側に移動する間に、吹出しノズル３から吹出されるガスにより乾燥される。
【００４３】
該乾燥炉２の入口側および出口側の壁面には、雰囲気のイナート状態を維持するためにそれぞれ第１の開口部４と連通するようシールボックス５が設置されている。
【００４４】
該シールボックス５には、乾燥炉２の第１の開口部４側に乾燥炉２内の吹出しノズル３の吹出しによる動圧を緩衝し弱めるための、緩衝空間２０が設けられている。緩衝空間２０内には動圧の緩衝を効率良く行なうために複数枚の仕切板２１が、被処理体１に出来るだけ間隙を狭めた状態で設置されている（動圧に対して抵抗をつける事で弱める）。その外側には、シール用窒素ガスの吹出しオリフィス７ａ，７ｂが設置されたシール用窒素ガス空間部４０が形成されている。またシールボックス５の外側に図１の圧力調整室９に相当する圧力調整空間２２が設けられ、空気供給配管１０より圧力を加える事が出来るようになっている。
【００４５】
この構成のシール装置におけるイナート雰囲気維持のバランスの調整方法は、緩衝空間２０内に設置された圧力検知部１２による圧力測定と、圧力調整空間２２内に設置された圧力検知部１３による圧力測定の差圧を差圧計１４により測定し、その信号と制御部１５との偏差による信号で、乾燥炉２の入口側と出口側の圧力調整空間２２へ供給する空気の量を給気調整弁１６ａの開閉操作により調整する。例えば、差圧計１４が、緩衝空間２０内の圧力の方が圧力調整空間２２内の圧力に比べて高いことを示す場合は、乾燥炉の開口部４近傍のガスが第１の開口部４を通って外に向かって吹出すので、圧力調整空間２２内の圧力を上げるために空気調整弁１６ａが開き空気を圧力調整空間２２内へ供給する。一方、逆に圧力調整空間２２内の圧力が高い場合には、圧力調整空間２２内の圧力を下げるために給気調整弁１６ａが閉まる方向に作動する。
【００４６】
さらに、給気調整弁１６ａが全閉になってもまだ圧力調整空間２２内の圧力が高い場合は、乾燥炉２の反対側の乾燥炉開口部のシールボックス５の給気調整弁１６ｂが開く方向に移動し圧力調整を行なう。
【００４７】
なお、乾燥炉のシール装置部分で窒素ガスの流通が生じているか否かを検出する方法として、上記シールボックス５と圧力調整空間２２の差圧を検出する方法以外に、乾燥炉内の酸素濃度により実施する事も可能である。
【００４８】
乾燥炉２の入口側に酸素濃度計２３を設置し、その濃度計２３の検出出力と、出口側に設置した酸素濃度計２４の検出出力との偏差よって、制御部２５から所定の信号を給気調整弁１６ａ、１６ｂに送り開度調整を行なう。この場合においても、上記差圧による圧力の調整と同様に、乾燥炉２の入口側の酸素濃度が高い場合は、乾燥炉２の出口側の圧力調整空間２２の圧力を上げる方向に給気調整弁１６ａが作動し、反対に出口側の酸素濃度が高い場合は逆動作となる。
【００４９】
（実施例３）
図３に示す実施例３の特徴は、実施例２（図２）に記載の圧力調整機能を、緩衝空間２０からの吸引ガスにより行なう点である。
【００５０】
シールボックス５の緩衝空間２０と乾燥炉２の下流側とは、ファン２６および吸引ガス調整弁２８を有する戻り配管２７によって接続されており、シールボックス５内のガスをファン２６で吸引して乾燥炉２内ヘガスを戻す事により、緩衝空間２０内の圧力を低下させる事ができる。
【００５１】
これによるイナート雰囲気維持の圧力バランス調整方法は、基本的に実施例２（図２）での説明と同様で、差圧計１４の測定値より、緩衝空間２０内の圧力が圧力調整空間２２の内圧より高い場合は、緩衝空間２０の圧力を下げるために、戻り配管２７のファン２６の吐出側に設置した吸引ガス調整弁２８が開き、緩衝空間２０からの吸引量を増加し、圧力の調整を行なう。逆に、緩衝空間２０内の圧力が低い場合は、吸引ガス量の減少と反対側開口部４のシールボックス５の吸引量増加により調整する。
【００５２】
また、酸素濃度の偏差による圧力バランス調整については、前記の実施例２と同じであるためここでは省略する。
【００５３】
（実施例４）
図４に示す実施例４の特徴は、特公平３−２５２２８号公報に記載の、イナート方式による溶剤回収方法である、乾燥炉内の溶剤蒸気を含んだガスの一部をコンデンサーに導入し、冷熱により溶剤蒸気を凝縮回収し、残りのガスを乾燥炉内に戻す密閉循環系を構成する溶剤回収装置システムにおいて、この密閉循環系のガスを利用し、シールボックス５内の圧力調整を行なう点である。
【００５４】
窒素ガスによりイナート雰囲気が構成された乾燥炉２内のガスは、ファン２９と排気管３０によりコンデンサー３１へ送られ、ここで冷却し溶剤蒸気を凝縮回収する。そして残りのガスは戻り配管３２により再び乾燥炉２へ戻される循環系を構成する。乾燥炉２の壁面に形成された被処理体１が貫通する第１の開口部４の外側に設置されたシールボックス５には、窒素ガス供給配管６よりオリフィス７ａ，７ｂに窒素ガスを供給し、先端部より吹出す。また、圧力調整空間２２には、戻り配管３２からのガスの一部を供給するための、戻りガス供給配管３３と、流量を調整するための戻りガス調整弁３４が設けられている。一方、緩衝空間２０からは、排気管３０ヘガスが吸引できるように、吸引配管３５と流量を調整するための吸引ガス調整弁３６を設けられている。
【００５５】
イナート雰囲気維持のバランス調整方法は、基本的に図２，図３の実施例２及び３に示した方法により行う。差圧計１４からの圧力信号又は酸素濃度計２３，２４の偏差信号により、戻りガス調整弁３４と吸引ガス調整弁３６の流量調整により行なう事が出来る。
【００５６】
【発明の効果】
本発明の乾燥炉の被処理体貫通部のシール装置により、乾燥炉内のイナート雰囲気を維持するための圧力バランスの調整に効果が認められた。それにより、シール用の窒素ガス流量の低減と、外部への高濃度溶剤蒸気を含んだ雰囲気ガスの漏洩を防止する事が出来、ランニングコストの低減と、環境保全の改善が認められる。
【００５７】
特に、乾燥炉内の圧力バランスの変動を、差圧計または酸素濃度計により検知する事によって自動的に圧力によるバランス調整が行えるため、運転中に乾燥炉内の圧力バランスに変動を来す場合（例えば、吹出しノズルの風速の変化や、被処理体の走行速度の変化等）、特に効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】乾燥炉内雰囲気の圧力バランス調整を、圧力調整室の圧力調整により行なった本発明のシール装置の一実施例の要部断面図である。
【図２】乾燥炉雰囲気の圧力バランス調整を、シールボックス内の圧力調整空間の空気供給量調整により行なった本発明のシール装置の他の実施例を示す要部断面図である。
【図３】乾燥炉雰囲気の圧力バランス調整を、シールボックス内緩衝空間からのガス吸引量調整により行なった本発明のシール装置のさらに他の実施例を示す一部切欠断面図である。
【図４】乾燥炉雰囲気の圧力バランス調整を、密閉循環系溶剤回収装置における、シールボックスヘのガス出入り量の調整により行なった本発明のシール装置のさらに他の実施例を示す要部の断面図である。
【符号の説明】
１  被処理体
２  乾燥炉
３  吹出しノズル
４  第１の開口部
５  シールボックス
６  窒素ガス供給配管
７ａ，７ｂ  オリフィス
８ａ，８ｂ  スライド板
９  圧力調整室
１０  給気管
１１  排気管
１２  シールボックス内の圧力検知部
１３  圧力調整室内の圧力検知部
１４  差圧計
１５  制御部
１６，１６ａ，１６ｂ  給気調整弁
１７  排気調整弁
１８  圧力調整室の第３の開口部
１９ａ，１９ｂ  スライド板
２０  緩衝空間
２１  仕切板
２２  圧力調整空間
２３  入口側酸素濃度計
２４  出口側酸素濃度計
２５  制御部
２６  ファン
２７  ガス戻り配管
２８  吸引ガス調整弁
２９  ファン
３０  抽気配管
３１  コンデンサー
３２  戻り配管
３３  戻りガス供給配管
３４  戻りガス調整弁
３５  吸引配管
３６  吸引ガス調整弁
３７  第２の開口部
４０  シール用窒素ガス空間部
【図１】
0003616485.tif 000002
【図２】
0003616485.tif 000003
【図３】
0003616485.tif 000004
【図４】
0003616485.tif 000005