(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、測定子と、前記ベースおよび測定子を相対移動させる移動機構とを備えた測定装置において、
前記移動機構は、前記測定子を直線的に移動させる第１軸移動機構と、前記測定子を前記第１軸移動機構の移動方向に対して直交する方向へ移動させる第２軸移動機構と、前記測定子を前記第１および第２軸移動機構の移動方向に対して直交する方向へ移動させる第３軸移動機構とを含んで構成され、
前記各軸移動機構において、移動可能な構造材はアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成されていることを特徴とする測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の測定装置において、
前記第１軸移動機構は、前記ベース上の両側に前後方向へ移動可能に設けられたコラムおよびサポータと、これらコラムおよびサポータの上端間に掛け渡されたＸビームとを含んで構成され、前記第２軸移動機構は、前記Ｘビームに沿って左右方向へ移動可能に設けられたスライダを含んで構成され、前記第３軸移動機構は、前記スライダにＺ軸構造体を介して上下方向へ移動可能に設けられかつ下端に前記測定子を有するＺ軸スピンドルを含んで構成され、
前記コラム、サポータ、Ｘビーム、スライダおよびＺ軸スピンドルは、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成されていることを特徴とする測定装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の測定装置において、
前記第１、第２および第３軸移動機構のうちの少なくとも１つの軸移動機構は、移動方向に沿って固定されたガイド部材と、このガイド部材に移動自在に設けられたスライダと、前記ガイド部材にスライダの移動方向に沿って配置されかつ両端がガイド部材に固定された送りねじ軸と、この送りねじ軸に螺合され送りねじ軸の回転によってスライダを送りねじ軸の長手方向へ移動させるナット部材とを更に備え、
前記ガイド部材は、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって形成されるとともに、
前記送りねじ軸は、鉄によって形成され、かつ、少なくとも一端部が軸方向へスライド可能に支持されていることを特徴とする測定装置。
【請求項４】
請求項１に記載の測定装置において、
前記軸移動機構の前記構造体に対して接合される部材がアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金以外の材料によって構成され、この両者の接合部には弾性部材が介在されていることを特徴とする測定装置。
【請求項５】
請求項１に記載の測定装置において、
前記軸移動機構の前記構造体に対して接合される部材がアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金以外の材料によって構成され、かつ、一部に弾性変形容易な部分を備えていることを特徴とする測定装置。
【請求項６】
請求項２に記載の測定装置において、
前記Ｚ軸構造体も、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成され、このＺ軸構造体に対して接合される部材がアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金以外の材料によって構成され、この両者の接合部には弾性部材が介在されていることを特徴とする測定装置。
【請求項７】
請求項２に記載の測定装置において、
前記Ｚ軸構造体も、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成され、このＺ軸構造体に対して接合される部材がアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金以外の材料によって構成され、かつ、一部に弾性変形容易な部分を備えていることを特徴とする測定装置。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれかに記載の測定装置において、
前記ベースは、周囲がカバーによって覆われているとともに、空気をそのカバー内外へ流通させるファンを備えていることを特徴とする測定装置。
【請求項９】
請求項１〜請求項８のいずれかに記載の測定装置において、
前記移動機構の移動動作を制御するコントローラが設けられているとともに、前記コントローラを覆う断熱カバーが設けられ、かつ、コントローラからの排熱をコントローラの外部へ排出するファンを備えていることを特徴とする測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、三次元測定機や座標測定機などの測定装置に関する。詳しくは、ベースと、測定子と、前記ベースおよび測定子を相対移動させる移動機構とを備えた測定装置において、温度変化に対する精度保障、さらに、その精度保証温度範囲の拡大が可能な測定装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
ベースと、測定子と、この測定子をベースに対して三次元方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向）へ移動させる移動機構と、この移動機構の移動動作を制御するとともに、測定子が被測定物に接触したときの各軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）の座標値を取り込み、その座標値を基に被測定物の寸法などを求めるコントローラとを備えた測定装置、たとえば、三次元測定機や座標測定機などの測定装置が知られている。
【０００３】
従来、この種の測定装置では、ベースや移動機構の構造物については、それぞれの部分において要求される剛性を備えた材料を用いて構成していた。
たとえば、ベースは、石、セラミックス、鋳物などによって構成し、その周囲をカバーで覆った構造であった。また、移動機構を構成する門型フレームの両脚部には鋳物を、その上端間に掛け渡されるビームにはセラミックスを用い、これらを組み合わせて移動機構を構成していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の測定装置では、それぞれの部分において要求される剛性を備えた異なる材料を用いていたため、温度変化時の幾何学精度の劣化が問題となる。この幾何学精度の劣化は、次の要因によって引き起こされると考えられる。
【０００５】
・機械内部の温度分布の違いによる幾何学精度の劣化
従来の測定装置では、それぞれの部分において要求される剛性を備えた異なる材料が用いられていたため、熱伝導率が各部において異なり、機械内部の温度分布が不均一になり、これが要因となって幾何学精度の劣化を引き起こすと考えられる。
【０００６】
ところで、三次元測定機の中には、温度補正機能を搭載し、この温度補正機能によって精度保障温度範囲を拡大しようとするものも知られている。
しかし、その温度補正機能を有効に機能させるためには、上記問題（温度変化時の幾何学精度の劣化）を解決することが前提である。
【０００７】
本発明の目的は、従来の課題を解決すべくなされたもので、温度変化時の幾何学精度を保障し、温度変化時の精度保障、さらに、その精度保障温度範囲の拡大を図った測定装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の測定装置は、ベースと、測定子と、前記ベースおよび測定子を相対移動させる移動機構とを備えた測定装置において、前記移動機構は、前記測定子を直線的に移動させる第１軸移動機構と、前記測定子を前記第１軸移動機構の移動方向に対して直交する方向へ移動させる第２軸移動機構と、前記測定子を前記第１および第２軸移動機構の移動方向に対して直交する方向へ移動させる第３軸移動機構とを含んで構成され、前記各軸移動機構において、移動可能な構造材はアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成されていることを特徴とする。
このような構成によれば、移動機構を第１〜３軸移動機構によって構成するとともに、各軸移動機構において、移動可能な構造材を熱伝導率の高いアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成したので、温度変化に対する温度追従性を向上させることができ、その結果、装置全体の温度分布を均一化させることができる。
よって、温度変化時の幾何学精度の低下も極力抑えることができるから、温度変化しても精度を保障でき、さらに、その精度保障温度範囲の拡大も可能である。
【０００９】
以上において、前記第１軸移動機構は、前記ベース上の両側に前後方向へ移動可能に設けられたコラムおよびサポータと、これらコラムおよびサポータの上端間に掛け渡されたＸビームとを含んで構成され、前記第２軸移動機構は、前記Ｘビームに沿って左右方向へ移動可能に設けられたスライダを含んで構成され、前記第３軸移動機構は、前記スライダにＺ軸構造体を介して上下方向へ移動可能に設けられかつ下端に前記測定子を有するＺ軸スピンドルを含んで構成され、前記コラム、サポータ、Ｘビーム、スライダおよびＺ軸スピンドルは、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成されていることが望ましい。
【００１０】
また、前記第１、第２および第３軸移動機構のうちの少なくとも１つの軸移動機構は、移動方向に沿って固定されたガイド部材と、このガイド部材に移動自在に設けられたスライダと、前記ガイド部材にスライダの移動方向に沿って配置されかつ両端がガイド部材に固定された送りねじ軸と、この送りねじ軸に螺合され送りねじ軸の回転によってスライダを送りねじ軸の長手方向へ移動させるナット部材とを更に備え、前記ガイド部材は、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって形成されるとともに、前記送りねじ軸は、鉄によって形成され、かつ、少なくとも一端部が軸方向へスライド可能に支持されていることが望ましい。
【００１１】
このような構成とすれば、軸移動機構を構成するガイド部材と送りねじ軸とを熱膨張率の異なる材料によって構成した場合でも、温度変化によってガイド部材と送りねじ軸とに伸縮量の違いが生じても、送りねじ軸がその軸方向へスライドできる構造であるから、ガイド部材と送りねじ軸とを熱膨張率の異なる材料によって構成した場合による不具合を解消することができる。
もとより、ガイド部材はアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって形成されているから、移動機構の構造材の温度分布を均一化できる一方、送りねじ軸は剛性の高い鉄によって形成されているから、スライダの摺動精度を確保できる。
【００１２】
また、軸移動機構の前記構造材に対して接合される部材がアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金以外の材料によって構成した場合には、この両者の接合部には弾性部材を介在させるのが好ましい。
このようにすれば、温度変化によって、構造材とそれに接合される部材とに伸縮量の違いが生じても、その違いを弾性部材の弾性変形によって吸収することができるから、構造材とそれに接合される部材とを熱膨張率の異なる材料によって構成した場合による不具合を解消することができる。
【００１３】
また、軸移動機構の前記構造材に対して接合される部材がアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金以外の材料によって構成した場合には、軸移動機構の前記構造材に対して接合される部材の一部に弾性変形容易な部分を備えた構成でもよい。
この場合でも、温度変化によって、構造材とそれに接合される部材とに伸縮量の違いが生じても、その違いを接合される部材の弾性変形によって吸収することができるから、構造材とそれに接合される部材とを熱膨張率の異なる材料によって構成した場合による不具合を解消することができる。
【００１４】
また、前記ベースは、周囲がカバーによって覆われているとともに、空気をそのカバー内外へ流通させるファンを備えていることが望ましい。
このような構成によれば、ファンによってベースを覆うカバー内の温度分布を均一にすることができるから、温度変化時の幾何学精度を補償できる。
【００１５】
さらに、前記移動機構の移動動作を制御するコントローラが設けられているとともに、前記コントローラを覆う断熱カバーが設けられ、かつ、コントローラからの排熱をコントローラの外部へ排出するファンを備えていることが望ましい。
このような構成によれば、コントローラからの熱は、ファンによって外部へ排出されるから、この熱による悪影響を極力抑えることができ、この点からも温度変化時の幾何学精度を補償できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の測定装置を三次元測定機に適用した実施形態について、説明する。
［全体構成］
本実施形態の三次元測定機は、図１に示すように、ベース１０と、測定子としてのタッチ信号プローブＰと、このタッチ信号プローブＰを前記ベース１０に対して三次元方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向）へ移動させる移動機構２０と、この移動機構２０の移動動作を制御するとともに、タッチ信号プローブＰが被測定物に接触したときの各軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）の座標値を取り込み、その座標値を基に被測定物の寸法などを求めるコントローラ６０とを備えている。
【００１７】
移動機構２０は、前記ベース１０上の両側に前後方向（Ｙ軸方向）へ移動可能に設けられたコラム２１およびサポータ２２と、このコラム２１およびサポータ２２の上端間に掛け渡されたＸビーム２３と、このＸビーム２３に沿って左右方向（Ｘ軸方向）へ移動可能に設けられたスライダ２４と、このスライダ２４にＺ軸構造体２５を介して上下方向へ移動可能に設けられたＺ軸スピンドル２６とから構成されている。
【００１８】
ここに、コラム２１、サポータ２２およびＸビーム２３によってタッチ信号プローブＰをＹ軸方向へ移動させる第１軸移動機構としてのＹ軸移動機構が、スライダ２４によってタッチ信号プローブＰをＹ軸方向に対して直交するＸ軸方向へ移動させる第２軸移動機構としてのＸ軸移動機構が、Ｚ軸構造体２５およびＺ軸スピンドル２６によってタッチ信号プローブＰをＹ軸およびＸ軸方向に対して直交するＺ軸方向へ移動させる第３軸移動機構としてのＺ軸移動機構がそれぞれ構成されている。
【００１９】
［Ｘ、Ｙ、Ｚ軸移動機構における温度対策］
本実施形態では、移動機構２０を構成するＸ、Ｙ、Ｚ軸移動機構の構造材が熱伝導率の高いアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成されている。具体的には、Ｙ軸移動機構を構成するコラム２１、サポータ２２およびＸビーム２３、Ｘ軸移動機構を構成するスライダ２４、Ｚ軸移動機構を構成するＺ軸構造体２５およびＺ軸スピンドル２６が、熱伝導率の高いアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成されている。
【００２０】
従って、移動機構を構成する構造材がアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成されているから、温度変化に対する温度追従性を向上させることができ、その結果、温度分布も均一化することができる。従って、温度変化時の幾何学精度低下を防止できる。
なお、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成する部材については、上述した構成部材に限られない。精度確保上、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金以外の材料で構成しなくてはならない箇所を除いて、全ての構成部材を同一の材料（アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金）によって構成するのが望ましい。
【００２１】
また、本実施形態では、各軸移動機構の移動位置（座標値）を検出する変位検出器（スケールおよび検出器からなる）を備えているが、スケールを各軸の構造材に固定するためのスケール取付板（スケールを固定するための部材）についても、同一材料（アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金）によって構成されている。たとえば、Ｘ軸方向の座標位置を検出する変位検出器では、図１に示すように、Ｘビーム２３と、それに取り付けられるスケール取付板２７（スケール２８を固定するための部品）とが同一材料（アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金）によって構成されている。
【００２２】
［Ｘ、Ｙ、Ｚ軸移動機構の駆動系における温度対策］
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸移動機構は、それぞれの可動部材を移動させるための駆動系を備えている。たとえば、Ｙ軸移動機構では、図２に示すように、移動方向（Ｙ軸方向）に沿って固定されたガイド部材３１と、このガイド部材３１に移動自在に設けられたスライダ３２と、前記ガイド部材３１にスライダ３２の移動方向に沿って配置されかつ両端が軸受３３，３４を介してガイド部材３１に保持された送りねじ軸としてのボールねじ軸３５と、このボールねじ軸３５を回転させる駆動源３６と、前記ボールねじ軸３５に螺合されかつ前記スライダ３２に固定され、ボールねじ軸３５の回転によって軸方向へ移動しながらスライダ３２を送りねじ軸３５の長手方向へ移動させるナット部材３７からなる駆動系３８を備える。
【００２３】
ここで、ガイド部材３１は熱伝導率の高いアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって、また、ボールねじ軸３５は剛性の高い鉄によって形成されている。つまり、ガイド部材３１とボールねじ軸３５とが熱膨張率の異なる材料によって形成されている。熱膨張率の異なる材料を互いに接合した場合、温度変化が生じたとき、伸縮量に違いが生じるため、いずれかの部材に撓みが生じるという問題がある。
そこで、本実施形態では、ボールねじ軸３５の片方の端部を軸受３３を介してガイド部材３１に支持するとともに、他の片方の端部を軸方向へスライド可能に保持するスラスト軸受３４を介してガイド部材３１に支持している。つまり、図３に示すように、円筒状のリティーナ３４Ａの周壁に複数のボール３４Ｂを回転自在に埋設した構造のスラスト軸受３４を介して、ボールねじ軸３５の他端をガイド部材３１に回転可能かつ軸方向へスライド可能に支持している。
【００２４】
このような構造にすれば、温度変化によってボールねじ軸３５の伸縮量とガイド部材３１の伸縮量とに違いが生じた場合でも、ボールねじ軸３５が軸方向へスライドするので、いずれかの部材に撓みが生じるという問題を解消することができる。
この場合、図４に示すように、ボールねじ軸３５の一端にボールベアリング４１を嵌合し、そのボールベアリング４１をベアリング支持部材４２に形成した孔４３に「すきばばめ」の状態で嵌合させた構造、具体的には、ボールベアリング４１の外径とベアリング支持部材４２の孔４３の内径との間に僅かな隙間（たとえば、５μｍ程度のクリアランス）をもって嵌合させた構造としても、同様な効果が期待できる。
【００２５】
［Ｚ軸移動機構における温度対策］
Ｚ軸移動機構は、図５に示すように、前記Ｚ軸構造体２５を覆うＺカバー５１Ａ，５１Ｂを備え、これらがボルト５２によってＺ軸構造体２５に固定されている。具体的には、図６に示すように、Ｚ軸構造体２５の上下部にブラケット５３，５４が固定され、この上下のブラケット５３，５４の間に２つのカバー取付板５５が対向して固定され、この２つのカバー取付板５５に前記Ｚカバー５１Ａ，５１Ｂが前記ボルト５２によって固定されている。つまり、Ｚ軸移動機構の構造材であるＺ軸構造体２５に、ブラケット５３，５４を介してカバー取付板５５が固定されている。
【００２６】
ここで、Ｚ軸移動機構の構造材であるＺ軸構造体２５が熱伝導率の高いアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって形成され、これにブラケット５３，５４を介して取り付けられるカバー取付板５５がアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金以外の材料によって構成されている。この場合でも、熱膨張率の異なる材料が互いに接合されているから、温度変化が生じたとき、いずれかの部材に撓みが生じるという問題がある。
【００２７】
そこで、本実施形態では、図７に示すように、Ｚ軸構造体２５とカバー取付板５５との接合部、具体的には、Ｚ軸構造体２５に取り付けられたブラケット５３，５４とカバー取付板５５との接合部に、ゴムなどの弾性部材５６が介在させてある。
つまり、Ｚ軸構造体２５に取り付けられたブラケット５３（５４）に孔５７を形成し、この孔５７に弾性部材５６の一端径大部５６Ａを保持させる。弾性部材５６の他端側には、径大部５６Ｂと径小部５６Ｃとが形成されている。径大部５６Ｂを挟んで、径小部５６Ｃにカバー取付板５５に形成した孔５８を嵌合させたのち、そのカバー取付板５５側からボルト５９を弾性部材５６に螺合することにより、Ｚ軸構造体２５に取り付けられたブラケット５３とカバー取付板５５とを中間に弾性部材５６を挟んで固定した構造である。
【００２８】
このような構造では、温度変化によってＺ軸構造体２５の伸縮量とカバー取付板５５の伸び量とに違いが生じた場合でも、その違いを弾性部材５６の弾性変形によって吸収することができるから、いずれかの部材に撓みが生じるという問題を解消することができる。
この場合、図８に示すように、カバー取付板５５の腕の部分５５Ａを長く形成して弾性変形しやくすしても、同様な効果が期待できる。つまり、構造材に対して接合される部材の一部に、剛性の弱い部分（弾性変形容易な部分）を形成して弾性変形しやすくしても、同様な効果が期待できる。
【００２９】
［ベースにおける温度対策］
ベース１０は、図９に示すように、上面にテーブル１１Ａ（図１参照）を有する脚１１と、この脚１１の周囲を覆う脚カバー１２とを備える。
脚カバー１２は、図１０にも示すように、複数に分割されたカバー部材１２Ａ〜１２Ｈによって矩形枠状に形成されている。具体的には、前面カバー部材１２Ａと、右前カバー部材１２Ｂと、左前カバー部材１２Ｃと、右側面カバー部材１２Ｄと、左側面カバー部材１２Ｅと、右後カバー部材１２Ｆと、左後カバー部材１２Ｇと、後面カバー部材１２Ｈとから構成されている。
【００３０】
これらのカバー部材１２Ａ〜１２Ｈのうち、前面カバー部材１２Ａおよび後面カバー部材１２Ｈは、パンチングメタル（多孔板）によって形成されている。また、一側部には、前記コントローラ６０を収納する収納部１３が形成されているとともに、それらの周囲壁には、空気を脚カバー１２内外へ流通させるための複数のファン１４Ａ〜１４Ｇが所定間隔位置にそれぞれ設けられている。
従って、ファン１４Ａ〜１４Ｇが駆動すると、空気は、前面カバー部材１２Ａおよび後面カバー部材１２Ｈの孔から脚カバー１２内へ吸入されたのち、ファン１４Ａ〜１４Ｇを通じて脚カバー１２の外へ排気されるため、ベース内の温度分布を均一にすることができる。よって、温度変化時の幾何学精度を補償できる。
【００３１】
［コントローラにおける温度対策］
コントローラ６０は、図１１および図１２に示すように、キャスタ６１を有するラック６２内に収納されている。ラック６２の外側は断熱カバー６３によって覆われている。断熱カバー６３は、ラック６２の前面および底面を除く全ての面を覆う主カバー６４と、ラック６２の前面を覆う補助カバー６５とから構成されている。断熱カバー６３の側面には、カバー６３内の熱を外部へ排出するファン６６が設けられている
従って、コントローラ６０からの熱は、断熱カバー６３によって遮断され、かつ、ファン６６によって外部へ排出されるから、この熱による悪影響を極力抑えることができ、この点からも温度変化時の幾何学精度を補償できる。
【００３２】
なお、測定子としては、タッチ信号プローブＰに限らす、非接触式のプローブでもよい。
【００３３】
【発明の効果】
本発明の測定装置によれば、移動機構の構造材を熱伝導率の高いアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金によって構成したので、温度変化時の温度追従性を向上させることができ、その結果、移動機構の構造材の温度分布を均一化させることができる。よって、温度変化時の幾何学精度を補償できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る三次元測定機を示す斜視図である。
【図２】同上実施形態におけるＹ軸移動機構の駆動系を示す図である。
【図３】図２に示すＹ軸移動機構の駆動系におけるボールねじ軸の一端を支持する支持機構を示す断面図である。
【図４】図２に示すボールねじ軸の一端を支持する支持機構の他の例を示す断面図である。
【図５】同上実施形態における移動機構の一部を示す斜視図である。
【図６】図５の内部構造を示す斜視図である。
【図７】図６の部分断面図である。
【図８】図６の異なる例を示す図である。
【図９】同上実施形態におけるベースの断面図である。
【図１０】図９に示す脚カバーを示す斜視図である。
【図１１】同上実施形態におけるコントローラの斜視図である。
【図１２】同上実施形態におけるコントローラの分解斜視図である。
【符号の説明】
１０  ベース
１２  脚カバー
１４Ａ〜１４Ｆ  ファン
２０  移動機構
２１  コラム
２２  サポータ
２３  Ｘビーム
２４  スライダ
２５  Ｚ軸構造体
２６  Ｚ軸スピンドル
３１  ガイド部材
３２  スライダ
３３  軸受
３４  スラスト軸受
３５  ボールねじ軸（送りねじ軸）
３７  ナット部材
５５  カバー取付板
５６  弾性部材
６０  コントローラ
６３  断熱カバー
６６  ファン
Ｐ    タッチ信号プローブ（測定子）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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