(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
躯体床の上に設置される嫌振架台において、
規定の平面形状に形成された金属製の箱体の内部に、鉄筋が配されかつコンクリートが充填された架台本体と、上記架台本体に上下に貫通形成されて、上記躯体床に植設されたアンカーボルトが位置する第１孔部と、上記第１孔部の上側開口部を閉塞可能な第１蓋体と、上記架台本体に上下に貫通形成されて、上記架台本体の下面と上記躯体床の上面との対向面間および上記第１孔部と上記アンカーボルトとの間に上方からグラウト材を充填可能な第２孔部と、上記第２孔部の上側開口部を閉塞可能な第２蓋体とを備え、
かつ上記第１孔部は、上部よりも下部が小径に形成されることによりこれらの間にワッシャの受け部が形成され、当該ワッシャに上記アンカーボルトの上端部をはめ合わせて上方からナットを締め付けることにより上記躯体床上に固定されることを特徴とする嫌振架台。
【請求項２】
上記第２孔部の内部に、上記架台本体と上記躯体床との対向間隔を調整可能な調整機構を備えたことを特徴とする請求項１に記載の嫌振架台。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置やコンピュータなどの精密機器を躯体床上に設置する際に、それらの精密機器と躯体床との間に配備される嫌振架台に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体製造装置やコンピュータなどの精密機器が設置されるクリンルームにおいては、２重床構造が採用され、その床下がリターンダクトや各種設備配管の配備スペースとして利用されている。このような２重床構造としては、躯体床上に支柱を介して簡易な床を支持する、いわゆるフリーアクセスフロアーが採用されている。しかしながら、このようなフリーアクセスフロアーにおける歩行面は振動量が大きいという問題点がある。
【０００３】
そこで、従来より、微振動をも避ける必要がある精密機械を設置する場合には、防振構造の躯体床上に、フリーアクセスフロアーとは切り離して、振動量の小さい鉄骨構造またはＲＣ構造の嫌振架台を構築し、その嫌振架台の上に精密機器を設置している。そして、上記鉄骨構造の嫌振架台は、その上に設置されるべき精密機器の大きさに合せて予め作製されてから、幾つかの部分に分割されてクリーンルーム内などの現場に搬入される。その後、それらの部分を現場にて組み立てて、躯体床上にモルタルを介して固定されている。一方、ＲＣ構造の嫌振架台は、その上に設置されるべき精密機器の大きさに合うように、現場にて型枠を組み立ててコンクリートを打設したり、あるいは予め作製しておいてから現場に搬入し、モルタルを介して躯体床上に固定したりする工法が採用されている。
【０００４】
ところで、このような嫌振架台を躯体床上に固定する場合には、先ずレベル調整金物を用いて嫌振架台の高さ、すなわち嫌振架台と躯体床との上下の対向間隔を調整してから、躯体床に植設されたアンカーボルトの上端部に嫌振架台を締結する。次いで、モルタルなどのグラウト材を嫌振架台と躯体床との対向面間に充填し、さらに嫌振架台の表面上におけるレベル調整金物とアンカーボルトの周囲をグラウト材によって埋めてから、その嫌振架台の表面上におけるグラウト材を平滑に仕上げていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の嫌振架台は、設置される精密機器の大きさや重量などに合せて設計されるため、当該精密機器の増設やレイアウト変更などを行う場合には、新たな鉄骨構造またはＲＣ構造の嫌振架台が必要となるたり、新たな嫌振架台のための設計、製作、据え付け、性能測定などには長時間を要し、その嫌振架台が構築されるまでの間は精密機器が稼動できないという問題があった。
【０００６】
また、嫌振架台を躯体床上に固定する際に、グラウト材から、半導体などに有害な浮遊塵埃や化学成分がクリーンルーム内に放出される。そのため、それらの浮遊塵埃などを除去して、クリーンルーム内を清浄な状態に戻すまでのいわゆるクリーンアップに多大な期間を要し、精密機器の稼動中止が長期間に及ぶという問題があった。
【０００７】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、精密機器の大きさや要求される振動性能などに拘わらず、短時間に施工することができ、しかも施工時における浮遊塵埃などの発生を小さく抑えることができる嫌振架台を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の本発明の嫌振架台は、躯体床の上に設置される嫌振架台において、規定の平面形状に形成された金属製の箱体の内部に、鉄筋が配されかつコンクリートが充填された架台本体と、架台本体に上下に貫通形成されて、躯体床に植設されたアンカーボルトが位置する第１孔部と、第１孔部の上側開口部を閉塞可能な第１蓋体と、架台本体に上下に貫通形成されて、架台本体の下面と躯体床の上面との対向面間および上記第１孔部と上記アンカーボルトとの間に上方からグラウト材を充填可能な第２孔部と、第２孔部の上側開口部を閉塞可能な第２蓋体とを備え、かつ上記第１孔部は、上部よりも下部が小径に形成されることによりこれらの間にワッシャの受け部が形成され、当該ワッシャに上記アンカーボルトの上端部をはめ合わせて上方からナットを締め付けることにより上記躯体床上に固定されることを特徴とするものである。
【０００９】
また、請求項２に記載の嫌振架台は、請求項１において、上記第２孔部の内部に、上記架台本体と上記躯体床との対向間隔を調整可能な調整機構を備えたことを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図１０に基づいて、本発明の一実施形態を説明する。
図１は、本実施形態の嫌振架台１０を備えたクリーンルームの床部分の断面図であり、嫌振架台１０は、躯体床１上に設置されている。この嫌振架台１０は、支柱２を介して躯体床１上に設置されたフリーアクセスフロアー３と切り離されており、その嫌振架台１０上に配置される半導体製造装置やコンピュータなどの精密機器４に対して、フリーアクセスフロアー３からの振動が直接伝わらないようになっている。
【００１１】
また、図２は、このようなクリーンルームの床の平面図であり、嫌振架台１０とフリーアクセスフロアー３の平面形状は、それぞれ規定の平面正方形とされている。同図中斜線部で示す部分が嫌振架台１０であり、これらは同図中点線の精密機器４の設置範囲に位置する躯体床１上に設置されている。図３は、嫌振架台１０の断面図であり、ステンレス鋼板製の箱体２０が鉄筋コンクリート３０を内包することによって架台本体が構成されている。鉄筋コンクリート３０は、箱体２０の内部に鉄筋３１が配されてから、コンクリート３２が充填されることによって構成されている。
【００１２】
上記箱体２０は、上側鋼板２１および左右前後の側方鋼板によって構成されており、規定の平面正方形に形成されている。また、下側には、コンクリートからの塵埃発生を防ぐための防塵塗装２２が施されている。箱体２０の上側鋼板２１には、図４に示すように、平面円形の２つの第１開口部２１Ａと、平面円形の４つの第２開口部２１Ｂが開けられている。第２開口部２１Ｂは、上側鋼板２１の４隅に形成されている。これらの開口部２１Ａ，２１Ｂを上側鋼板２１に形成するために、その上側鋼板２１から切り取られた平面円形の残材は、後述するように、開口部２１Ａ，２１Ｂを閉塞するための蓋体２３，２４（図７および図１０参照）として有効利用される。
【００１３】
上側鋼板２１と下側塗装２２との間には、図７に示すように、第１、第２、第３、および第４鋼板４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄが連続的に位置するように取り付けられており、これらによって、上側鋼板２１の第１開口部２１Ａから下側塗装２２に貫通する第１孔部４１が形成されている。したがって、第１孔部４１の内面は鋼板によって覆われ、その内方に鉄筋コンクリート３０は露出しない。第１、第３鋼板４１Ａ，４１Ｃは、中央に円孔が形成された平板状であり、第２、第４鋼板４１Ｂ，４１Ｄは円筒状である。
【００１４】
また、図６に示すように、第１鋼板４１Ａにおける円孔の内径Ｄ１は、第１開口部２１Ａの内径Ｄ２よりも小さく設定されており、これにより、第１開口部２１Ａから切り取られた上側鋼板２１の残材、つまり第１開口部２１Ａの内径Ｄ２よりも外径が若干小さい平面円形の残材は、蓋体２３として有効利用される。すなわち、図７に示すように、その平面円形の残材を第１鋼板４１Ａの上に載せることによって、その残材を第１開口部２１Ａの蓋体２３として利用することができる。第４鋼板４１Ｄは、第２鋼板４１Ｂよりも小径の円筒状であり、それらの間に位置する第３鋼板４１Ｃはワッシャ５の受け部を構成する。そのワッシャ５は、後述するように、躯体床１に植設されたアンカーボルト６に嫌振架台１０を固定する際に、アンカーボルト６に締め付けられるナット７の下に位置する。
【００１５】
また、上側鋼板２１と下側塗装２２との間には、図１０に示すように、第１、第２、第３、および第４鋼板４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄが連続的に位置するように取り付けられており、これらによって、上側鋼板２１の第２開口部２１Ｂから下側塗装２２に貫通する第２孔部４２が形成されている。したがって、第２孔部４２の内面は鋼板によって覆われ、その内方に鉄筋コンクリート３０は露出しない。なお、第１鋼板４２Ａは中央に円孔が形成された平板状、第３鋼板４２Ｃは中央から偏心した位置に円孔が形成された平板状、第２および第４鋼板４２Ｂ，４２Ｄは円筒状である。
【００１６】
図９に示すように、第１鋼板４２Ａにおける円孔の内径Ｄ１は、第２開口部２１Ｂの内径Ｄ２よりも小さく設定されており、これにより、第２開口部２１Ｂから切り取られた上側鋼板２１の残材、つまり第２開口部２１Ｂの内径Ｄ２よりも外径が若干小さい平面円形の残材は、蓋体２４として有効利用される。すなわち、図１０に示すように、その平面円形の残材を第１鋼板４２Ａの上に載せることによって、その残材を第２開口部２１Ｂの蓋体２４として利用することができる。第４鋼板４２Ｄは、第２鋼板４２Ｂよりも小径の円筒状とされ、また第３鋼板４２Ｃと下側塗装２２との間にはナット部材４３が取り付けられている。そのナット部材４３には、第３鋼板４２Ｃと下側塗装２２を貫通するレベル調整ボルト４４が取付けられており、これらによって、嫌振架台１０と躯体床１との対向間隔を調整するための調整機構が構成される。
【００１７】
下側塗装２２の下面には、後述するように、嫌振架台１０と躯体床１との対向面間において、グラウト材８の充填領域を規制するための充填範囲規制部材５１が取り付けられている。
このような本実施形態の嫌振架台１０は、規定の平面正方形に形成され、かつ第１および第２孔部４１，４２が形成された金属製の箱体２０の内部に、鉄筋３１を配してから、コンクリート３２を充填し、次いで下側塗装２２を施工することによって製作される。鉄筋コンクリート３０は、箱体２０の外面および第１、第２孔部４１、４２の内面を形成する鋼板および下側塗装２２によって覆われる。
【００１８】
次に、このような嫌振架台１０の施工手順について説明する。
先ず、所定のモジュール単位の嫌振架台１０を予め製作しておく。そして、図１および図２に示すように、精密機器４の設置範囲に位置する躯体床１上に嫌振架台１０を敷設して、図７に示すように、躯体床１に植設されたアンカーボルト６の上端部を第１孔部４１内に位置させる。嫌振架台１０およびフリーアクセスフロアー３をクリンルームなどの現場に搬入する際は、それらがフリーアクセスフロアー３と同じ大きさであるため、それらの搬入作業は容易となる。また、嫌振架台１０において、鉄筋コンクリート３０が鋼板および下側塗装２２によって予め覆われていることは、コンクリート３２からの浮遊塵埃や化学成分の放出によるクリンルームの汚染を未然に防止することになる。さらに、上記構成からなる嫌振架台１０によれば、これを設置した後に、上記アンカーボルト６を上方から後施工することも可能である。
【００１９】
その後、第２孔部２１Ｂの上方からレベル調整ボルト４４を回して、嫌振架台１０の高さ、つまり嫌振架台１０と躯体床１との対向間隔を調整する。次に、第２孔部４２から、嫌振架台１０と躯体床１との間にモルタルなどのグラウト材８を充填する。そのグラウト材８の充填範囲は、図５に示すように、充填範囲規制部材５１によって囲まれた範囲内に規制される。このように、嫌振架台１０に、グラウト材８の充填範囲を規制する充填範囲規制部材５１を取り付けておくことにより、その充填範囲を規制するための塞ぎ板を特別に用意する必要がなく、グラウト材８は第２孔部４２から流し込むだけで容易に充填することができる。
【００２０】
そして、このようなグラウト材８の充填作業に前後して、図７に示すように、アンカーボルト６の上端部にワッシャ５をはめ合わせてから、ナット７を締め付けて、躯体床１上に嫌振架台１０を固定する。アンカーボルト６が第１孔部４１の中央に位置する場合には、図６のようにワッシャ５が第３鋼板４１Ｃの中央に位置し、またアンカーボルト６が第１孔部４１の中央からずれて位置する場合には、図８に示すように、ワッシャ５が第３鋼板４１Ｃの中央からずれて位置する。このように、第１孔部４１内におけるアンカーボルト６の位置の如何に拘わらずワッシャ５が第３鋼板４１Ｃ上に位置し、ナット７の締め付けにより嫌振架台１０が躯体床１上に固定される。
【００２１】
次いで、第１、第２孔部４１、４２の上側開口部、つまり上側鋼板２１の第１、第２開口部２１Ａ、２１Ｂに蓋体２３、２４をはめ合せて、それらの開口部２１Ａ，２１Ｂを塞ぐ。このように、蓋体２３、２４によって第１、第２孔部４１、４２を塞ぐことにより、グラウト材８からの浮遊塵埃や化学成分の放出によるクリーンルームの汚染が防止される。
【００２２】
このような嫌振架台１０の施工後に、精密機器４の増設やレイアウト変更などを行う場合には、その精密機器４の変更後の設置範囲に位置する躯体床１上に、上記嫌振架台１０を敷設することにより、速やかに対応することができる。嫌振架台１０を撤去する際には、蓋体２３を外して、アンカーボルト６からナット７を外せばよい。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に記載の本発明の嫌振架台は、予め規定した大きさに製作して、その性能を予め測定した上、施工に備えて準備しておくことができるとともに、規定寸法の嫌振架台を敷設することによって、その嫌振架台の上に設置される精密機器の大きさに簡易に対応することができ、よって精密機器の大きさに合せるための嫌振架台の設計、製作、および性能測定に要する手間や時間が不要となる。また、嫌振架台を予め規定寸法を小さくして構成することにより、クリンルームなどの現場に容易に搬入することができる。さらに、鉄筋コンクリートを金属製の箱体によって覆い、またグラウト材充填用とアンカーボルト締結用の孔部を蓋体によって閉塞するため、鉄筋コンクリートおよびグラウト材からの浮遊塵埃や化学物質の発生によるクリーンルームなどの汚染を防止して、いわゆるクリーンアップに要する時間を短縮することができる。
【００２４】
また、請求項２に記載の本発明の嫌振架台によれば、グラウト材充填用の孔部に、嫌振架台と躯体床との対向間隔の調整が可能な調整機構を備えることにより、当該調整機構を備えるための孔部を特別に形成する必要がないといった効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態の嫌振架台を備えたクリーンルームの床部分の概略断面図である。
【図２】図１のＩＩ矢視図である。
【図３】図１における嫌振架台の断面図である。
【図４】  図３のＩＶ矢視図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】図４のＶＩ円部の拡大平面図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面図である。
【図８】図６におけるアンカーボルトの位置がずれた場合の平面図である。
【図９】図４のＩＸ円部の拡大平面図である。
【図１０】図９のＸ−Ｘ線に沿う断面図である。
【符号の説明】
１  躯体床
２  支柱
３  フリーアクセスフロアー
４  精密機器
５  ワッシャ
６  アンカーボルト
７  ナット
８  グラウト材
１０  嫌振架台
２０  箱体
２１  上側鋼板
２２  下側塗装
２３  第１蓋体
２４  第２蓋体
３０  鉄筋コンクリート
４１  第１孔部
４２  第２孔部
４３  ナット部材
４４  レベル調整ボルト
５１  充填範囲規制部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003649159.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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