(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カルシウム（Ｃａ）を１〜１００重量ppm 、さらに銀（Ａｇ）又は白金（Ｐｔ）のうち少なくとも１種を０．２〜５．０重量％含有し、残部が金及び不可避不純物からなる組成を有する金合金線であって該金合金線の引張強さが３３．０kg／mm2 以上、伸び率が１〜３％であることを特徴とするウエッジボンディング用金合金線。
【請求項２】
カルシウム（Ｃａ）を１〜１００重量ppm 、さらに銀（Ａｇ）又は白金（Ｐｔ）のうち少なくとも１種及びパラジウム（Ｐｄ）を０．２〜５．０重量％含有し、残部が金及び不可避不純物からなる組成を有する金合金線であって該金合金線の引張強さが３３．０kg／mm2 以上、伸び率が１〜３％であることを特徴とするウエッジボンディング用金合金線。
【請求項３】
さらにＭｇ，Ｙ，Ｌａ，Ｅｕ，Ｇｅ，Ｂｅのうち少なくとも１種を１〜１００重量ppm 添加したことを特徴とする請求項１又は２記載のウエッジボンディング用金合金線。
【請求項４】
カルシウム（Ｃａ）を１〜１００重量ppm 、パラジウム（Ｐｄ）を０．２〜５．０重量％、さらにＭｇ又はＬａのうち少なくとも１種を１〜１００重量ppm含有し、残部が金及び不可避不純物からなる組成を有する金合金線であって該金合金線の引張強さが３３．０kg／mm2 以上、伸び率が１〜３％であることを特徴とするウエッジボンディング用金合金線。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウエッジボンディング用金合金線に係り、高温接合強度に優れてＩＣチップの高密度配線用として好適な金合金線に向けられる。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣチップの電極と外部配線を接続する場合、ワイヤーを介して配線するワイヤーボンディング方法が知られている。この中でもＩＣチップのＡｌ電極とワイヤーを接合する方式により、超音波併用熱圧着接合及び超音波接合が主流を占めている。
【０００３】
ここで超音波併用熱圧着接合は通常ネールヘッドボンディング方法により行われている。ネールヘッドボンディング方法による接合法を図１を用いて説明する。
図１（ａ）に示す様にワイヤー２をキャピラリー１に挿通しその先端に電気トーチ３を対向させ、ワイヤー２との間で放電させることにより、ワイヤー２の先端を加熱、溶融してボール４を形成する。
【０００４】
次いで図１（ｂ）に示すようにキャピラリー１を下降させて該ボール４をＩＣチップ６上のＡｌ電極５の上に押圧接合する。この時図示しないが超音波振動がキャピラリー１を通して付加されると共に、ＩＣチップ６はヒーターブロックで加熱されるため上記ボール４は熱圧着され圧着ボール４′となる。
次いで図１（ｃ）に示すようにキャピラリー１は所定の軌跡を描いて、外部配線８の上に移動し、下降する。この時図示しないが超音波振動がキャピラリー１を通して付加され、外部配線８はヒーターブロックで加熱されるためワイヤー２側面が熱圧着される。
【０００５】
次いで図１（ｄ）に示すようにクランパー７はワイヤー２をクランプしたまま上昇することにより、ワイヤー２が切断され配線が完了する。
一方超音波接合は通常振動を接合部へ伝えるのに最適なウエッジボンディング方法により行われている。これはウエッジ状ツールを用いる方法である。
ウエッジボンディング方式による接合法を図２を用いて説明する。
【０００６】
図２（ａ）に示す様にワイヤー１２をウエッジ１１下端部に挿通し、この下方にＩＣチップ１６上のＡｌ電極１５を移動する。
次いで図２（ｂ）に示すようにウエッジ１１を下降させて常温のまま超音波振動を付加してワイヤー１２をＡｌ電極１５に接合する。
次いで図２（ｃ）に示すようにクランパー１７が開放され、ウエッジ１１は所定の軌跡を描いて、外部配線１８の上に移動し、下降する。この時図示しないが常温のまま超音波振動がウエッジ１１を通して付加され、ワイヤー１２を外部配線１８に接合する。
【０００７】
次いで図２（ｄ）に示すようにクランパー１７はワイヤー２をクランプしたままウエッジ１１が上昇することにより、ワイヤー１２が切断され配線が完了する。
前記ネールヘッドボンディング方法は生産性に優れている為好ましい方法であるが、熱を用いる為ワイヤー材料として金合金線を用いて使用され、酸化し易いアルミ合金線には不適である。
【０００８】
また図３（ａ）に示す様に圧着ボール径Ｌ1 がワイヤー外径Ｄの３〜４倍になることが微細な配線を行う際のネックになるという限界を有している。
次のウエッジボンディング方法は生産性は低下するものの室温で処理出来る為ワイヤー材料としてアルミ合金線を用いて使用されている。また図３（ｂ）に示す様につぶれ幅Ｌ2 がワイヤー外径Ｄの１．５〜２．５倍に抑制出来るという特徴を有している。
【０００９】
ここで前述のワイヤー材料として金合金線は他の材料と対比して耐蝕性に優れている為、半導体装置の耐蝕性に対する信頼性を確保する面で配線材料として最も好ましい材料である。
一方最近の半導体装置に対して高密度配線が要求されている。これの対応として金合金線とＩＣチップ電極との接合部の配線方向と直角方向での拡がりを小さくすることが必要である。
【００１０】
この為ワイヤー材料として金合金線を用いてネールヘッドボンディングを行うに当たって、圧着ボールの外径を小さくする事が試みられたがその大きさにも限度がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
前述の従来事情に鑑み従来からネールヘッドボンディング用として提案されている金合金線を用いてＩＣチップ電極にウエッジボンディングを行ってみたところ、接合部の配線方向と直角方向での拡がりはネールヘッドボンディング方法と対比して小さくすることは出来るものの、ＩＣチップの作動状態を考えて高温状態に晒した後の接合部での接合強度（以下高温接合強度という）が小さく半導体装置の信頼性が低下するという問題が生じてきた。
【００１２】
この為本発明に於いては金合金線を用いてＩＣチップ電極にウエッジボンディングを行うことにより、配線方向と直角方向での接合部の拡がりを小さくして高密度配線に対応するとともに高温接合強度を向上させて半導体装置の信頼性を向上させることの出来る金合金線を提供する事を目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明者等が鋭意研究を重ねた結果、高純度金に所定量のＣａ及び所定量のＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を共存し、通常のネールヘッドボンディング用金合金線より伸び率を小さくし且つ引張り強さを大きくした金合金線とすることにより、前記組成と材料特性の相乗効果によって前述の目的を達成し得ることを知見し、本発明を完成するに至った。
【００１４】
具体的には、本発明により、下記が提供される。
（１）カルシウム（Ｃａ）を１〜１００重量ppm 、さらに銀（Ａｇ）又は白金（Ｐｔ）のうち少なくとも１種を０．２〜５．０重量％含有し、残部が金及び不可避不純物からなる組成を有する金合金線であって該金合金線の引張強さが３３．０kg／mm2 以上、伸び率が１〜３％であることを特徴とするウエッジボンディング用金合金線。
（２）カルシウム（Ｃａ）を１〜１００重量ppm 、さらに銀（Ａｇ）又は白金（Ｐｔ）のうち少なくとも１種及びパラジウム（Ｐｄ）を０．２〜５．０重量％含有し、残部が金及び不可避不純物からなる組成を有する金合金線であって該金合金線の引張強さが３３．０kg／mm2 以上、伸び率が１〜３％であることを特徴とするウエッジボンディング用金合金線。
【００１５】
（３）上記（１）（２）において、さらにＭｇ，Ｙ，Ｌａ，Ｅｕ，Ｇｅ，Ｂｅのうち少なくとも１種を１〜１００重量ppm 添加したウエッジボンディング用金合金線。
（４）カルシウム（Ｃａ）を１〜１００重量ppm 、パラジウム（Ｐｄ）を０．２〜５．０重量％、さらにＭｇ又はＬａのうち少なくとも１種を１〜１００重量ppm含有し、残部が金及び不可避不純物からなる組成を有する金合金線であって該金合金線の引張強さが３３．０kg／mm2 以上、伸び率が１〜３％であることを特徴とするウエッジボンディング用金合金線。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明のウエッジボンディング用金合金線は高純度金に所定量のＣａとＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を含有した組成を有し、伸び率を小さくし、引張り強さを大きくすることを特徴とする。
（１）組成
▲１▼  原料高純度金としては少なくとも９９．９９重量％以上、好ましくは９９．９９５重量％以上、最も好ましくは９９．９９９重量％以上に精製した高純度金が用いられる。
【００１７】
▲２▼  〔Ｃａ〕
（ａ）この様な高純度金に上記所定量のＣａとＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を共存した組成にするとともに所定の伸び率及び引張り強さとすることにより、その相乗効果によって高温接合強度を向上させる事ができる。
（ｂ）Ｃａ含有量が１重量ppm 未満になると１重量ppm 以上と対比して高温接合強度は小さくなる。Ｃａ含有量が１００重量ppm を超えるとＩＣチップに割れが生じる為、これを避けるため不十分な接合しか出来なくなり高温接合強度は小さくなる。
【００１８】
この為Ｃａ含有量は伸び率及び引張り強さの条件のもとに１〜１００重量ppm と定めた。好ましくは１〜５０重量ppm である。
（ｃ）この効果は上記所定量のＣａとＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種の共存に加えて、Ｍｇ，Ｙ，Ｌａ，Ｅｕ，Ｇｅ，Ｂｅのうち少なくとも１種の成分を１〜１００重量ppm の範囲内で添加しても所定の伸び率及び引張り強さを有する金合金線であれば所定量のＣａ及びＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を共存した効果が維持され高温接合強度を向上させる事ができる。
【００１９】
（ｄ）この場合Ｐｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を所定量添加し、所定量のＣａを添加しない場合、所定の伸び率及び引張り強さを有しても高温接合強度は小さくなる。
▲３▼  〔Ｐｄ，Ａｇ，Ｐｔ〕
（ａ）前記高純度金に上記所定量のＣａとＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を共存して所定量の金純度を有する組成にするとともに所定の伸び率及び引張り強さとすることにより、その相乗効果によって高温接合強度を向上させる事ができる。
【００２０】
（ｂ）Ｐｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種が０．２重量％未満になると０．２重量％以上と対比して高温接合強度は小さくなる。５．０重量ppm を超えるとＩＣチップに割れが生じる為、これを避けるため不十分な接合しか出来なくなり高温接合強度は小さくなる。
この為Ｐｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種の含有量は所定の伸び率及び引張り強さの条件のもとに０．２〜５．０重量％と定めた。
本発明の金合金線は、出発高純度金にやはり高純度の添加元素を添加することにより、得られる金合金線の不純物量を制御することができる。添加元素も９９．９９重量％以上、さらには９９．９９５重量％以上、９９．９９９重量％以上にすることができるので、得られる金合金線の不純物を１００重量ppm 以下、さらには２０重量ppm 以下にすることができる。
（２）伸び率
▲１▼  上記所定量のＣａとＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を含有し残部が金及び不可避不純物からなる組成にし、所定の引張り強さにするとともに伸び率を１〜３％とすることにより、その相乗効果によって高温接合強度を向上させる事ができる。
本発明に於いて伸び率は、室温で、金合金線を標点距離を１００mmとして引張速度１０mm／分で引張試験機で引っ張り、破断した時の伸び量を測定して次式の値を伸び率とする。
【数１】
0003690902.tif 000002
ここで破断した時の伸び量はチャート紙の図形から測定することが好ましい。
【００２１】
▲２▼  伸び率が３％を超えると高温接合強度は小さくなる。この為伸び率は１〜３％と定めた。好ましくは２〜３％である。
（３）引張り強さ
▲１▼  上記所定量のＣａとＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を含有し残部が金及び不可避不純物からなる組成にし、所定の伸び率にするとともに引張り強さを３３．０kg／mm2 以上とすることにより、その相乗効果によって高温接合強度を向上させる事ができる。
【００２２】
▲２▼  引張り強さが３３．０kg／mm2 未満になると３３．０kg／mm2 以上と対比して、高温接合強度は小さくなる。
この為引張り強さは３３．０kg／mm2 以上と定めた。好ましくは３３．０〜７０．０kg／mm2 であり、さらに好ましくは３３．０〜６３．０kg／mm2 である。（４）金合金線の製造方法
本発明になる金合金線の好ましい製造方法を説明する。
【００２３】
高純度金に所定量の元素を添加し真空溶解炉で溶解した後インゴットに鋳造する。該当インゴットに溝ロール、伸線機を用いた冷間加工と中間アニールを施し、最終冷間加工により直径１０〜１００μｍの細線とした後最終アニールを施すものである。
ここで本発明になる合金組成の場合、最終アニールの温度が上昇するにつれて伸び率は１〜３％を維持したまま、引張り強さが徐々に低下する温度領域がある。また同一組成であっても最終冷間加工率の大きさによって引張り強さは変わってくる。この為最終冷間加工率と最終アニール温度を制御して伸び率と引張り強さを調整する。このようにして伸び率は１〜３％を維持し、引張り強さが３３．０kg／mm2 以上、好ましくは３３．０〜７０．０kg／mm2 となる温度領域でアニールする事が必要である。更にアニール温度が上昇すると伸び率が４％以上となり引張り強さは更に低下してくる。従来から使用されているネールヘッドボンディング用の金合金線は伸び率が４％以上のものが使用されているが本発明になる金合金線では所定の引張り強さと１〜３％伸び率を与えるために、合金組成に対応した最終冷間加工率を調整し更に低い温度領域でアニールする。
（５）用途
本発明になるウエッジボンディング用金合金線はＩＣチップをリードに接続する方法及びＩＣチップを直接基板に接続するリードレスで接続する方法の何れに用いても好適である。
なお、ここでいうウエッジボンディングとは、ＩＣチップの電極、例えばＡｌ電極と外部リードや他の電極をワイヤーで配線する際、ワイヤーと電極部の接合がファーストボンド、セカンドボンド共にボールを形成することなく、ウエッジ状ツールを用いてワイヤー側面を圧着して接合するボンディングであり、必要に応じてウエッジ状ツールを介して超音波を印加したり電極部を加熱する。
【００２４】
【作用】
本発明になる金合金線がウエッジボンディングを行った後高温接合強度に優れている理由は明らかではないが、有効元素としてのＣａが添加されていること、有害元素がその含有量を規制されていること、又伸び率が小さく、引張り強さが大きいことがウエッジボンディングによる超音波接合を行う際、材料の不必要な変形を阻止することと相まって生成されるＡｕ−Ａｌ金属間化合物が熱的に安定なものが得られているためではないかと考えられる。
【００２５】
【実施例】
表１〜３に示す実施例、参考例及び比較例について説明する。
（参考例１）
純度９９．９９９重量％の高純度金に所定量のＣａ及びＰｄを添加し真空溶解炉で溶解した後鋳造して表１に示す組成の金合金、即ち１重量ppm Ｃａ、１．０重量％Ｐｄ、残部が金及び不可避不純物からなる組成の金インゴットを得、これに溝ロール、伸線機を用いた冷間加工と中間アニールを施し、最終線径２５μｍとし、最終アニールにより引張り強さが３９．８kg／mm2 、伸び率２〜３％になるように仕上げた。
【００２６】
この金合金線をウエッジボンディング装置（新川株式会社製  ＳＷＢ−ＦＡ−ＵＳ３０）を用いて前述の図２に示す方法でＩＣチップのＡｌ電極上及び外部配線上に超音波ボンディングを行った。この時ＩＣチップ側のボンディングはボンディング荷重を４５ｇ、ボンディング時間を３０ms、ボンディングパワーを０．６４ｗの条件で行った。
【００２７】
次に試料１０個を２００℃に設定した高温炉で１００時間保持した。次いで試料を炉から取り出し、外部配線側でワイヤーを切断し次の方法でＩＣチップ側の高温接合強度を測定した。即ちＩＣチップ側を治具で固定し、ワイヤーを上方に引っ張り破断荷重を測定した。１０個の平均値を測定値とし、測定結果を表１に示す。
（参考例２〜１４、実施例１〜３７、比較例１〜２６）
金及び金合金線の組成、伸び率及び引張り強さを表１に示すようにしたこと以外は参考例１と同様にして細線に仕上げ、超音波ボンディングを行った後高温接合強度を測定した。
【００２８】
測定結果を表１〜５に示す。
（試験結果）
（１）高純度金に１〜１００重量ppm のＣａ及び０．２〜５．０重量％のＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を添加した組成であって、伸び率２〜３％、引張強さ３９．１〜４１．５kg／mm2 である実施例１〜１６及び参考例１〜７は高温接合強度が３．５〜５．１ｇと優れた効果を示した。
【００２９】
この中でもＣａ添加量が１〜５０重量ppm のとき高温接合強度が４．１〜５．１ｇである為好ましく用いられる。
（２）前記組成にＭｇ，Ｙ，Ｌａ，Ｅｕ，Ｇｅ，Ｂｅのうち少なくとも１種を所定量添加して、伸び率１〜３％（２〜３％）、引張強さ３９．２〜４１．５kg／mm2 である実施例１７〜２８及び参考例８〜１４は高温接合強度が４．３〜５．１ｇであり、同様に優れた効果を示していることが判る。
【００３０】
（３）参考例３及び実施例３，９，１８に示す組成及び伸び率を有し、引張強さが３３．０〜６０．６kg／mm2 である参考例１４，１５及び実施例２９〜３５は高温接合強度が３．８〜４．４ｇであり優れた効果を示した。
（４）本発明に係わるＣａ及びＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのいずれも含有しない比較例１は高温接合強度が０．６ｇと悪い事が判る。
【００３１】
（５）本発明の必須成分であるＣａを含有せず、Ｐｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を含有する比較例２〜５は高温接合強度が２．５〜２．８ｇと悪い事が判る。
（６）５０重量ppm のＣａを含有するものの、Ｐｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種にかえて２．０重量％のＣｕを含有し所定の伸び率及び引張強さを有する比較例６は高温接合強度が０．５ｇと悪い事が判る。
【００３２】
（７）所定量のＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を含有するものの、Ｃａの含有量が２００重量ppm である比較例７〜１０は高温接合強度が１．０〜１．４ｇと悪い事が判る。
（８）所定量のＣａを含有するものの、Ｐｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種の含有量が０．１１重量％である比較例１１〜１４は高温接合強度が３．２〜３．３ｇと悪い事が判る。
【００３３】
（９）所定量のＣａを含有するものの、Ｐｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種の含有量が６．０重量％である比較例１５〜１８は高温接合強度が１．２〜１．６ｇと悪い事が判る。
（１０）所定量のＣａ及びＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を含有し、所定の伸び率を有するものの引張り強さが３３．０kg／mm2 未満である比較例１９〜２２は高温接合強度が２．６〜２．９ｇと悪い事が判る。
【００３４】
（１１）所定量のＣａ及びＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を含有し、所定の引張り強さを有するものの伸び率が２〜３％を超える比較例２３〜２６は高温接合強度が２．０〜２．４ｇと悪い事が判る。
【００３５】
【表１】
0003690902.tif 000003
【００３６】
【表２】
0003690902.tif 000004
【００３７】
【表３】
0003690902.tif 000005
【００３８】
【表４】
0003690902.tif 000006
【００３９】
【表５】
0003690902.tif 000007
【００４０】
【発明の効果】
本発明により、請求項に記載の如く、所定量のＣａ及びＰｄ，Ａｇ，Ｐｔのうち少なくとも１種を含有し残部が金及び不可避不純物からなる組成を有し且つ所定の伸び率と引張り強さを有するウエッジボンディング用金合金線によれば高温接合強度を向上させることが出来半導体装置の信頼性向上に効果的である。前記含有成分に加えて所定量のＭｇ，Ｙ，Ｌａ，Ｅｕ，Ｇｅ，Ｂｅのうち少なくとも１種を含有した場合においても同様の効果を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】ネールボンディング方法による接合法の説明。
【図２】ウエッジボンディング方法による接合法の説明。
【図３】ネールボンディング方法とウエッジボンディング方法による接合部の形状、寸法を示す。
【符号の説明】
１１…ウエッジ
１２…ワイヤー
１２′…ボンディングワイヤー
１４′…ワイヤー接合部
１５…Ａｌ配線
１６…ＩＣチップ
１７…クランパー
１８…外部配線
Ｄ…ワイヤ径
Ｌ1 …圧着ボール径
Ｌ2 …つぶれ幅
【図１】
0003690902.tif 000008
【図２】
0003690902.tif 000009
【図３】
0003690902.tif 000010