(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性ボールを配列状態で供給する導電性ボールの供給装置であって、上面に１個の導電性ボールを収容可能な凹部を所定の配列で複数備えた配列部材と、下面に導電性ボールが通過可能なスリット状の開口部を有し複数の導電性ボールを収納する容器と、前記開口部を前記配列部材で塞いだ状態でこの容器を配列部材の上面に沿って相対的に移動させる移動手段とを備え、前記スリット状の開口部の向きは、前記配列部材の凹部の縦横の配列に対して傾斜していることを特徴とする導電性ボールの供給装置。
【請求項２】
導電性ボールを配列状態で供給する導電性ボールの供給装置であって、上面に１個の導電性ボールを収容可能な凹部を所定の配列で複数備えた配列部材と、下面に導電性ボールが通過可能なスリット状の開口部を有し複数の導電性ボールを収納する容器と、前記開口部を前記配列部材で塞いだ状態でこの容器を配列部材の上面に沿って相対的に移動させる移動手段とを備え、前記スリット状の開口部の向きは、前記容器の配列部材に対する相対移動の方向に対して傾斜していることを特徴とする導電性ボールの供給装置。
【請求項３】
上面に１個の導電性ボールを収容可能な凹部を所定の配列で複数備えた配列部材と、下面に導電性ボールが通過可能なスリット状の開口部を有し複数の導電性ボールを収納する容器とを備え、この容器内に収容された導電性ボールを前記凹部に収容して配列状態で供給する導電性ボールの供給方法であって、前記開口部を前記配列部材の上面で塞いだ状態で前記容器と配列部材とを相対的にスライドさせることにより前記開口部を前記凹部の上方を通過させる工程と、前記容器と配列部材とを相対的にスライドさせてこの容器を前記凹部の上方から退避させる工程とを含み、前記スリット状の開口部の向きを前記容器の配列部材に対する相対移動の方向に対して傾斜させ、この相対移動によりこの開口部内の導電性ボールを開口部の長手方向へ移動させることを特徴とする導電性ボールの供給方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性ボールを配列状態で供給する導電性ボールの供給装置および供給方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
基板や電子部品の電極に金属バンプを形成する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを電極上に移載して半田接合する方法が知られている。導電性ボールの移載には、吸着ヘッドにより導電性ボールを真空吸着する方法が広く用いられている。この方法は、吸着ヘッドの下面に設けられた多数の吸着孔に導電性ボールを吸着させてこの吸着ヘッドをワーク上に移動させ、真空吸着を解除することにより導電性ボールをワークに移載するものである。吸着ヘッドの下面に導電性ボールを吸着させる方法として、従来より多数の導電性ボールを貯溜したボール槽に対して吸着ヘッドを下降させ、吸着ヘッドの下面を導電性ボール層内に沈下させた状態で吸着孔から真空吸引する方法が用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ボール槽から直接吸着ツールに直接導電性ボールを吸着させる上記方法では、以下に述べるような問題があった。まず、ボール槽内の導電性ボールはランダムに投入された不規則な状態にあるため、吸着ツール下面の各吸着孔に速やかにもれなく導電性ボールを吸着させることが難しい。このため、導電性ボール層内に気体を吹き込んで導電性ボールを流動化させたり、吸着ツールを導電性ボール層に対して相対的に振動させるなど、導電性ボールの吸着を促進するための手段を必要としており、各吸着孔にもれなく導電性ボールが吸着されるまでには相当の時間を要していた。
【０００４】
また、導電性ボールを吸着した吸着ツールはワークへの移載動作に移行するが、吸着ヘッドがこの移載動作を終えて再びボール槽に戻るまで、ボール槽ではボール吸着のための動作は何ら行われていなかった。このため上述のボール吸着動作そのものに時間を要することと相まって、導電性ボールの移載動作のタクトタイムは短縮が困難であり、大幅な生産性向上は望めなかった。さらに吸着ツールによる吸着動作においては、導電性ボールが吸着されない吸着孔が生じたり、吸着ツールの下面に余分な導電性ボールが吸着されるなどの吸着ミスが発生しやすく、このことがワークへの移載ミスを招く原因となっていた。このように従来の導電性ボールの移載装置には、移載ヘッドへ導電性ボールを速やかにかつ正確に吸着させることが困難であるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、移載ヘッドに導電性ボールを速やかにかつ正確に供給することができる導電性ボールの供給装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の導電性ボールの供給装置は、導電性ボールを配列状態で供給する導電性ボールの供給装置であって、上面に１個の導電性ボールを収容可能な凹部を所定の配列で複数備えた配列部材と、下面に導電性ボールが通過可能なスリット状の開口部を有し複数の導電性ボールを収納する容器と、前記開口部を前記配列部材で塞いだ状態でこの容器を配列部材の上面に沿って相対的に移動させる移動手段とを備え、前記スリット状の開口部の向きは、前記配列部材の凹部の縦横の配列に対して傾斜している。
【０００９】
請求項２記載の導電性ボールの供給装置は、導電性ボールを配列状態で供給する導電性ボールの供給装置であって、上面に１個の導電性ボールを収容可能な凹部を所定の配列で複数備えた配列部材と、下面に導電性ボールが通過可能なスリット状の開口部を有し複数の導電性ボールを収納する容器と、前記開口部を前記配列部材で塞いだ状態でこの容器を配列部材の上面に沿って相対的に移動させる移動手段とを備え、前記スリット状の開口部の向きは、前記容器の配列部材に対する相対移動の方向に対して傾斜している。
【００１１】
請求項３記載の導電性ボールの供給方法は、上面に１個の導電性ボールを収容可能な凹部を所定の配列で複数備えた配列部材と、下面に導電性ボールが通過可能なスリット状の開口部を有し複数の導電性ボールを収納する容器とを備え、この容器内に収容された導電性ボールを前記凹部に収容して配列状態で供給する導電性ボールの供給方法であって、前記開口部を前記配列部材の上面で塞いだ状態で前記容器と配列部材とを相対的にスライドさせることにより前記開口部を前記凹部の上方を通過させる工程と、前記容器と配列部材とを相対的にスライドさせてこの容器を前記凹部の上方から退避させる工程とを含み、前記スリット状の開口部の向きを前記容器の配列部材に対する相対移動の方向に対して傾斜させ、この相対移動によりこの開口部内の導電性ボールを開口部の長手方向へ移動させる。
【００１２】
本発明によれば、下面に導電性ボールが通過可能なスリット状の開口部を有し複数の導電性ボールを収納する容器を配列部材上で移動させて配列部材の凹部に導電性ボールを収容することにより、導電性ボールの供給を速やかにかつ正確に行うことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置の斜視図、図２は同導電性ボールの移載装置のボール供給部の斜視図、図３は同導電性ボールの移載装置のボール供給部の断面図、図４（ａ）は同導電性ボールの移載装置のボール供給部の部分平面図、図４（ｂ）は同導電性ボールの移載装置のボール供給部の開口部の断面図、図５（ａ）は同ボール供給部の配列部材の部分平面図、図５（ｂ）は同ボール供給部の配列部材の断面図、図６、図７、図８、図９は同導電性ボールの移載装置のボール供給動作の説明図、図１０は同残存ボール検出手段による残存ボール検出の説明図、図１１は同ボール供給動作の説明図である。
【００１４】
まず図１を参照して導電性ボールの移載装置の構造を説明する。図１において基台１の中央にはＸ方向に搬送路２が配設されている。搬送路２は基板３を搬送し位置決めする。基台１の上面の両端部には２基のＹ軸テーブル５が配設されている。Ｙ軸テーブル５にはＸ軸テーブル６が架設されており、Ｘ軸テーブル６には吸着ツール８を備えた移載ヘッド７が装着されている。Ｘ軸テーブル６およびＹ軸テーブル５を駆動することにより移載ヘッド７は水平移動する。
【００１５】
搬送路２の前方には、導電性ボール４のボール供給部９（導電性ボールの供給装置）が配設されている。ボール供給部９は導電性ボール４を所定の配列パターンで配列する配列部材１０を備えている。移載ヘッド７を配列部材１０の上方に位置させ、移載ヘッド７を配列部材１０に対して下降させることにより、移載ヘッド７は配列部材１０上に配列された導電性ボール４を吸着ツール８によって吸着してピックアップし、この導電性ボール４を基板３上の所定位置に移載する。
【００１６】
次に図２、図３、図４を参照してボール供給部９について説明する。図２、図３、図４において、箱部材１１の上部には配列部材１０が装着され、箱部材１１の配列部材１０の下方は気密に形成された暗室となっている。箱部材１１の上部には、Ｙ方向に延出し配列部材１０の上面と同一レベルの上面を備えた張り出し部１１ａ，１１ｂが設けられている。また箱部材１１の底面にはスライダ５０が固着されており、スライダ５０は基台１の上面にＹ方向に配設されたガイドレール５１にスライド自在に嵌合している。
【００１７】
ここで図５を参照して配列部材１０について説明する。図５（ａ）に示すように配列部材１０の上面には複数の円形状の凹部１０ａが格子状に設けられている。凹部１０ａの配列ピッチＰｘ，Ｐｙは所定の配列、すなわち移載ヘッド７の吸着ツール８に設けられた吸着孔８ａの配列ピッチと等しく設定されている。図５（ｂ）はＢ−Ｂ断面を示しており、凹部１０ａの径Ｄおよび深さｄ１は、導電性ボール４を１個収容可能な大きさに設定されている。
【００１８】
凹部１０ａの底面には配列部材１０を貫通する貫通孔１０ｃが設けられており、凹部１０ａ内に導電性ボール４が存在する状態で、貫通孔１０ｃから真空吸引することにより、導電性ボール４は凹部１０ａ内に保持される。したがって、凹部１０ａおよび貫通孔１０ｃは導電性ボール４を保持するボール保持部となっている。またＸ方向の凹部列を形成する各凹部１０ａの中心と交差して、直線状の溝１０ｂがＸ方向に設けられている。
【００１９】
図３に示すように箱部材１１の下部にはチューブ５３が接続されており、チューブ５３は切り換え弁３７を介して図示しない真空吸引源および空気供給源と接続されている。切り換え弁３７を切り換えることにより、箱部材１１の内部を真空吸引し、または内部に正圧のエアを送給することができる。配列部材１０の凹部１０ａ内に導電性ボール４が存在する状態で箱部材１１の内部を真空吸引することにより、導電性ボール４は凹部１０ａ内に真空吸着により保持される。また箱部材１１の内部にエアを送給することにより、凹部１０ａ内の導電性ボール４はエアブローにより外部へ排出される。
【００２０】
図３に示すように箱部材１１の底面に固着されたナット６０には、モータ６２によって回転駆動される送りねじ６１が螺入している。モータ６２を駆動することにより、箱部材１１はＹ方向に水平移動する。図２に示すように箱部材１１の移動範囲上には、ガイドレール５１をまたいで基台１上に支柱５９が立設され、支柱５９に支持された水平なプレート部材５８上には複数の導電性ボール４を収納する容器５４が配設されている。
【００２１】
図４（ａ）に示すように、容器５４の底部５５には、スリット状の開口部５５ａが設けられている。開口部５５ａは、配列部材１０において凹部１０ａが設けられているボール配列範囲Ａの、Ｘ方向の幅Ｂ１をカバーする幅方向範囲Ｂ２にわたって形成されており、開口部５５ａの長手方向は配列部材１０の凹部１０ａの縦横の配列方向（ＸＹ方向）に対して角度αだけ傾斜した方向となっている。すなわち、開口部５５ａは、容器５４の配列部材１０に対する相対移動方向（Ｙ方向）に対して同じく角度αだけ傾斜して設けられている。
【００２２】
図４（ｂ）は開口部５５ａのＣ−Ｃ断面を示している。開口部５５ａの断面形状は、上面に向かって拡がったテーパ面５５ｂを有する形状となっており、開口部５５ａの下部の幅Ｂ３は、伝導性ボール４の１個分の幅よりも広く、２個分の幅よりも狭く設定されている。したがって、同一位置においては、導電性ボール４は開口部５５ａを同時に１個だけ通過するようになっている。
【００２３】
底部５５の下面は配列部材１０および張り出し部１１ａ，１１ｂの上面に当接もしくは導電性ボール４の半径以下の距離を保って対面しており、この状態を保ったまま相対的にスライド可能となっている。箱部材１１がＹ方向に前進した状態（図２に示す状態）では、底部５５の下方には張り出し部１１ａが位置し、箱部材１１をＹ方向に後退（矢印ｂ方向）させた状態では、底部５５の下方には配列部材１０、張り出し部１１ｂが位置する。この移動動作において、開口部５５ａの下面は配列部材１０の上面で塞がれた状態となっており、したがって、箱部材１１を移動させるモータ６２、送りねじ６１およびナット６０は、ガイド孔５５ａを配列部材１０で塞いだ状態で容器５４を配列部材１０の上面に沿って相対的に移動させる移動手段となっている。
【００２４】
図２に示すように、プレート部材５８の上面には発光部２９Ａ、受光部２９Ｂを対にして組み合わせた光センサが取り付けられている。発光部２９Ａから発光された光が受光部２９Ｂに至る光軸ａは、その高さ方向が配列部材１０の上面と平行で、かつ水平面内での方向は溝１０ｂと平行となっている。そしてその高さ位置は、溝１０ｂの高さ位置と一致するようになっている（図１０参照）。モータ６２を駆動して箱部材１１を水平移動することにより、発光部２９Ａから発光されて受光部２９Ｂに至る光軸ａは、箱部材１１の配列部材１０に対して相対的に移動し、光軸ａは配列部材１０の溝１０ｂの高さ位置をスキャンする。したがって、箱部材１１を移動させる上述の移動手段は、光軸ａを配列部材１０の上面に平行に移動させる移動手段ともなっている。
【００２５】
この移動において凹部１０ａ内に導電性ボール４が存在する場合には、光軸ａは導電性ボール４に遮光され、受光部２９Ｂが受光する光強度は低下する。この光強度の低下を検知することにより、凹部１０ａ内に存在する導電性ボール４を検出することができる。このボール検出は、配列部材１０上に配列された導電性ボール４を移載ヘッド７によってピックアップするピックアップ動作後に、配列部材１０の凹部１０ａ内に残存する導電性ボール、即ち残存ボールの検出に用いられる。
【００２６】
受光部２９Ｂは検出部７０（図１０）に接続されており、受光部２９Ｂからの信号を検出部７０で受けることにより、検出部７０は後述するグラフの波形に基づいて残存ボールを検出する。したがって、発光部２９Ａ、受光部２９Ｂより成る光センサおよび検出部７０は残存ボール検出手段となっている。そして、残存ボールが検出されたならば、判定部７１（図１０）によって、移載ヘッド７によるピックアップ動作においてピックアップミスがあったと判定される。したがって、判定部７１はピックアップミス判定手段となっている。
【００２７】
なお本実施の形態では、凹部１０ａと交差する溝１０ｂを設けて、光軸ａを溝１０ｂ内を通過させることにより残存ボールを検出するようにしているが、溝１０ｂを設けない場合にあっても同様の方法で残存ボールを検出することができる。この場合には、凹部１０ａの深さ寸法を導電性ボール４の上部が突出するような深さに設定し、光軸ａを配列部材１０の上面に沿ってスキャンさせることにより、光軸ａが導電性ボール４の上部によって遮光されて光量が低下するか否かで残存ボール検出を行えばよい。ただし、導電性ボール４のボール径が小さくなると、上部の突出部分のみによる遮光の有無を安定して検出することが難しくなるので、溝１０ｂを設ける方法が望ましい。
【００２８】
容器５４の斜め後方には、ボール補給部５６が設けられており、容器５４上に位置する補給口５７より導電性ボール４が容器５４内に補給される。容器５４の前側面には、ライン発光部２６が配設されている。ライン発光部２６は光ファイバーを束ねたケーブル２７を介して光源装置２８と接続されている。ライン発光部２６が配列部材１０上に位置した状態で光源装置２８内のランプを点灯することにより、配列部材１０の上方から凹部１０ａに対して光が照射される。したがって光源装置２８およびライン発光部２６は発光手段となっている。なお、本実施の形態では発光手段としてライン発光部２６を用いているが、ＬＥＤ（発光ダイオード）をライン状に配列したものを用いてもよい。
【００２９】
箱部材１１の配列部材１０の下方には暗室が形成されており、ライン発光部２６から照射された光を遮光する遮光物が凹部１０ａ内に存在しない状態では、貫通孔１０ｃを貫通して箱部材１１の内部に光が進入し、内部に斜め方向に配設された反射板３１によって水平方向に反射される。反射された光は、箱部材１１の内側面に配設された光センサ３２に入射する。光センサ３２は検出部３４と接続されており、検出部３４は光センサ３２に光が入射したことを検出する。すなわち、光センサ３２および検出部３４はライン発光部２６から発光され、貫通孔１０ｃを貫通した光を検出する検出手段となっている。
【００３０】
検出部３４には判定部３５が接続されており、判定部３５は検出部３４の検出結果の信号に基づいて導電性ボール４の配列状態を判定する。すなわち、光センサ３２への入光が検出されたならば、配列部材１０の何れかの凹部１０ａに導電性ボール４が収容されていない配列ミスが生じていると判定する。したがって、判定部３５は検出手段からの信号によって配列ミスを判定する配列ミス判定手段となっている。
【００３１】
モータ６２を駆動して箱部材１１を移動させることにより、ライン発光部２６は配列部材１０に対して相対的に移動する。すなわち、箱部材１１を移動させる上述の移動手段は、発光手段であるライン発光部２６を、容器５４と一体的に配列部材１０に対して移動させる移動手段ともなっている。この移動において、図７に示すように導電性ボール４が収容されていない凹部１０ａが存在する場合には、ライン発光部２６より発光された光は凹部１０ａ内の貫通孔１０ｃを通過して箱部材１１内部の暗室内に進入し、反射板３１に反射された光線Ｌは光センサ３２に入射する。この光センサ３２への入光は検出部３４によって検出される。そして入力が検出された場合には判定部３５によってボール配列ミス有りと判定される。
【００３２】
次に図３、図６、図７、図８、図９を参照してボール供給部９による移載ヘッド７へのボール供給動作について説明する。まず図３に示す状態で、容器５４の内部にはボール補給部５６により導電性ボール４が補給される。ボール補給後、ガイド部材５５の開口部５５ａの下面を配列部材１０および張り出し部１１ａの上面で塞いだ状態でモータ６２を駆動して箱部材１１を移動させる（図６矢印ｃ参照）。この動作において、開口部５５ａが凹部１０ａの上方を通過することにより、容器５４内の導電性ボール４は開口部５５ａを介して配列部材１０の凹部１０ａに収容される。
【００３３】
図１１（ａ）は、容器５４内に導電性ボール４が補給された状態で、容器５４に対して配列部材１０を矢印ｆ方向に移動させているときの、開口部５５ａ内における導電性ボール４の移動を示している。導電性ボール４は、底面５５上に投入されることにより、当初はランダムな状態で開口部５５ａ内に存在するが、配列部材１０が矢印ｆ方向に移動することにより、図１１（ｂ）に示すように、開口部５５ａ内に存在する導電性ボール４は配列部材１０とともに矢印ｆ方向へ移動してテーパ面５５ｂに当接する。
【００３４】
このとき、テーパ面５５ｂには導電性ボール４の移動方向に向いた力Ｆが作用するが、開口部５５ａは移動方向に対して傾斜して設けられているため、導電性ボール４を開口部５５ａ内の長手方向へ押す分力Ｆ１が生じる。これにより、配列部材１０の相対移動中には開口部５５ａの内部の導電性ボール４を常に長手方向に移動させる力が作用する。したがって、移動開始時には隙間のあるランダムな状態であっても、移動開始後には開口部５５ａの内部には導電性ボール４が連続して存在する状態となる。
【００３５】
このため、この状態で容器５４を配列部材１０に対して相対移動させることにより、開口部５５ａと凹部１０ａが一致した位置では、開口部５５ａ内の導電性ボール４は凹部１０ａ内に確実に進入する。そしてこの導電性ボール４が開口部５５ａから離脱したことによって生じる隙間は、前述のように開口部５５ａ内では常に導電性ボール４を長手方向に移動させる力が作用していることから速やかに他の導電性ボール４によって占位されて消滅する。これにより、空の凹部１０ａ上に位置した開口部５５ａに導電性ボール４が存在しないという事態が発生せず、全ての凹部１０ａに対して確実に導電性ボール４が送り込まれる。
【００３６】
上記の送り込み動作によって凹部１０ａ内に収容された導電性ボール４は、チューブ５３から真空吸引することにより、貫通孔１０ｃによって真空吸着され、凹部１０ａ内に保持される。次に、図７矢印ｄに示す方向へ、箱部材１１を移動させることにより配列部材１０の上方から容器５４を退避させる。この退避動作においても、開口部１１ａが凹部１０ａの上方を再び通過するので導電性ボール４を収容できなかった凹部１０へ導電性ボールを送り込むことができる。
【００３７】
さらにこの退避動作において、光源装置２８（図２参照）内のランプを点灯してライン発光部２６より下方の配列部材１０に向けて光を発光する。これにより光は配列部材１０を照射し、図７に示すように導電性ボール４を保持していない凹部１０ａが存在する場合には、ライン発光部２６から発光された光は当該凹部１０ａの貫通孔１０ｃを通過して箱部材１１の内部の暗室内に進入し、反射板３１によって反射されて光センサ３２に入射する。そして検出部３４によって光の入射が検出され、この検出結果に基づいて判定部３５によって導電性ボール４の配列ミスの有無が判定される。
【００３８】
本実施の形態では、発光手段（ライン発光部２６）を容器５４と一体的に取り付けているので、容器５４が配列部材１０の上面から退避する動作中に配列ミスの検出を行うことができる。これにより配列ミス検出を行うための時間を退避動作とオーバーラップさせて実質的にゼロとし、作業能率を向上させている。
【００３９】
この後、図８に示すように箱部材１１は更に矢印ｅ方向に前進し、容器５４は張り出し部１１ａ上に移動する。これによって、配列部材１０の各凹部１０ａが完全に露呈されて配列部材１０上がフリーな状態となったならば、移載ヘッド７を配列部材１０上に移動させる。そして吸着ツール８の吸着孔８ａを凹部１０ａに位置合わせして、移載ヘッド７を下降させる。そして吸着ツール８が真空吸引を行うことにより、凹部１０ａ内に保持されていた導電性ボール４は吸着ツール８の吸着孔８ａに真空吸着される。
【００４０】
このとき、切り換え弁３７を切り換えて、箱部材１１の内部にわずかに正圧のエアを送給するようにしてもよい。これにより、凹部１０ａからの導電性ボール４の分離を容易にして、吸着孔８への導電性ボール４の吸着を促進する効果を有する。この後、図９に示すように移載ヘッド７は上昇し、吸着ツール８の各吸着孔８ａによって導電性ボール４をピックアップした移載ヘッド７は、基板３の所定位置に導電性ボール４を移載する。
【００４１】
これにより、配列部材１０の凹部１０ａ内には導電性ボール４が存在しない状態となるが、何らかの原因によって吸着孔８ａへの吸着ミスが発生し、ピックアップ動作後においても、図１０（ａ）に示すように、凹部１０ａ内に導電性ボール４が残存する場合がある。そこでこのような残存ボールを検出するためのボール検出動作を行う。すなわち、モータ６２を駆動して箱部材１１を移動させることにより、発光部２９Ａから受光部２９Ｂに至る光軸ａを配列部材１０に対して相対的に移動させ、光軸ａを溝１０ｂの高さ位置でスキャンさせる。
【００４２】
このとき、溝１０ｂが交差する各凹部１０ａ内に導電性ボール４の残存が全くない場合には、発光部２９Ａからの光は受光部２９Ｂに受光されるため、溝ピッチＰｙごとに光強度の山谷を示す波形のグラフが得られる（図１０（ｂ）（イ）参照）。これに対し、何れかの凹部１０ａ内に導電性ボール４が残存している場合には、発光部２９Ａからの光は導電性ボール４によって遮光され受光部２９Ｂまで到達しない。したがってこのような場合には、当該凹部１０ａの属する凹部列に対応する位置に本来表れるべき山の波形（図中矢印で示す破線部）が欠落したグラフが得られる（図１０（ｂ）（ロ）参照）。
【００４３】
このグラフ波形による残存ボール検出は、受光部２９Ｂからの信号を検出部７０で受けることによって行われ、検出部７０の残存ボール検出結果に基づいて、判定部７１によって移載ヘッド７によるピックアップミスの有無が判定される。本実施の形態では、発光部２９Ａおよび受光部２９Ｂを容器５４と一体的に移動するようにしているので、残存ボールを検出する動作と同時に空となっている凹部１０ａに導電性ボール４を収容する作業が行われ、これによりボール供給部９による導電性ボール供給のサイクルタイムが短縮され、導電性ボールの移載装置による生産性を高めている。
【００４４】
上記説明したように本実施の形態は、容器５４から配列部材１０に対して導電性ボール４を送り込む開口部５５ａの形状を、上述のようなスリット状としたものである。これにより、導電性ボールの配列が異なる場合であっても、同一容器を共用して配列部材１０への導電性ボールの配列を行うことができる。また、開口部形状が単純であることから、加工が簡単で低コストであり、上述の容器共用化と相まって配列機構の低コストかを図ることができる。
【００４５】
この導電性ボールの配列は、容器を配列部材に対して相対移動させることによって行われ、移載ヘッド７への導電性ボールの供給はこの配列された導電性ボールを吸着させるだけでよいため、従来の吸着ツールをボール槽に直接下降させて導電性ボールを吸着させる方法と比較して、きわめて短時間で移載ヘッドへの導電性ボールの供給を行うことができる。
【００４６】
【発明の効果】
本発明によれば、下面に導電性ボールが通過可能なスリット状の開口部を有し複数の導電性ボールを収納する容器を配列部材上で移動させて配列部材の凹部に導電性ボールを収容するようにしたので、導電性ボールの供給を速やかにかつ正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のボール供給部の斜視図
【図３】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のボール供給部の断面図
【図４】（ａ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のボール供給部の部分平面図
（ｂ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のボール供給部の開口部の断面図
【図５】（ａ）本発明の一実施の形態のボール供給部の配列部材の部分平面図
（ｂ）本発明の一実施の形態のボール供給部の配列部材の断面図
【図６】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のボール供給動作の説明図
【図７】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のボール供給動作の説明図
【図８】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のボール供給動作の説明図
【図９】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装置のボール供給動作の説明図
【図１０】本発明の一実施の形態の残存ボール検出手段による残存ボール検出の説明図
【図１１】本発明の一実施の形態のボール供給動作の説明図
【符号の説明】
３  基板
４  導電性ボール
７  移載ヘッド
８  吸着ツール
９  ボール供給部
１０  配列部材
１０ａ  凹部
１０ｂ  溝
１０ｃ  貫通孔
１１  箱部材
２６  ライン発光部
２８  光源装置
２９Ａ  発光部
２９Ｂ  受光部
３２  光センサ
３４  検出部
３５  判定部
５４  容器
５５ａ  開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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