(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を所定の速度で搬送する送りローラーと、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線板の進行方向に平行またはある角度で配管された複数のノズルパイプと、ノズルパイプ毎にノズルパイプの揺動機構と処理液を供給するポンプを備え、前記ポンプはインバータ回路または電流または電圧制御回路にてポンプ出力が制御され、前記揺動機構は、ノズルパイプ毎に独立してステッピングモータと連動し、ステッピングモータの制御・駆動回路にて揺動角度および揺動速度を変更できることを特徴とするプリント配線板の製造装置。
【請求項２】
基板のエッチング処理面積のデータを格納する手段と、各ノズルパイプ毎の補正データを格納する手段と、補正データを出力データとして選定する手段と、前記選定された出力データから各ノズルパイプ毎のポンプと揺動機構への最終出力データを算出する手段と、前記最終出力データに対応してポンプ出力と揺動機構を制御する手段を備えた請求項１に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項３】
補正データには、各ノズルパイプ毎に設定されたスプレー圧力または揺動速度および揺動角度の処理条件が電気的信号として入力されている請求項２に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項４】
請求項１に記載のプリント配線板の製造装置を用いたプリント配線板の製造方法であって、ノズルパイプ毎にポンプ出力を制御して圧力を設定し、ノズルパイプ毎に揺動機構を制御して揺動角度および揺動速度を設定し、ノズルパイプを揺動して処理液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬送することにより基板を処理することを特徴とするプリント配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は各種電子機器等に使用されるプリント配線板の製造装置およびそれを用いたプリント配線板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、各種電子機器等に数多く使用されているプリント配線板は電子機器の小型化や多機能化に伴い、配線の高密度化とともに高い信頼性が要求されるようになってきている。
【０００３】
以下に、従来のプリント配線板の導体パターン形成に用いられる製造装置において、特にエッチング装置について説明する。
【０００４】
図９は従来のプリント配線板の製造装置としてのエッチング装置の概略を示すものである。図９において、３１はスプレーノズル、３２は上面用ノズルパイプ、３３は下面用ノズルパイプ、３４は上面用圧力計、３５は下面用圧力計、３６は上面用圧力調整バルブ、３７は下面用圧力調整バルブ、３８は上面用スプレーポンプ、３９は下面用スプレーポンプ、４０は送りローラー、４１はエッチングブース、４２はプリント配線板である。
【０００５】
以上のように構成されたエッチング装置におけるプリント配線板のエッチング方法について、以下に説明する。
【０００６】
まず、所定の大きさに切断された銅張積層板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などによりエッチングレジストを形成したプリント配線板４２をエッチングブース４１内にプリント配線板４２の進行方向に対して平行またはある角度に配管された上面用ノズルパイプ３２及び下面用ノズルパイプ３３の間に送り、ローラー４０上で所定の速度で搬送し、上下面に塩化第２銅などの処理液としてのエッチング液をスプレーノズル３１から吹き付けてエッチングレジスト非形成部分の露出した銅を溶解（以下、エッチングと称す）し、導体パターンを得る。この際、上面用ノズルパイプ３２及び下面用ノズルパイプはプリント配線板４２の進行方向に対して４５°〜６０°の角度で揺動（オシレーション）させることも可能である。その後、エッチングレジストの剥離や水洗・乾燥などの工程を経
て銅張積層板より導体パターンを形成している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のエッチング装置及びエッチング方法では、基板の上下面とも精度よく、かつ均一な銅のエッチングを行うことは困難であり、特に、プリント配線板の上面と下面ではエッチングスピードに大きな差が生じやすい。これはプリント配線板上面においては、その中央部に溶解した銅を多量に含む劣化したエッチング液が滞留しやすいが、その周辺部分の劣化したエッチング液は、直ちにプリント配線板上より流れ落ちるため滞留することがなく、またプリント配線板下面ではエッチング液の滞留がなく、常にエッチング能力の高い新液状態のエッチング液がその下面に供給されるためである。
【０００８】
これにより上面のプリント配線板中央部と周辺部では導体パターンのエッチング精度に大きな差が生じ、さらに上下面ではその差は著しく、高密度・高精度のプリント配線板の導体パターンのエッチングは極めて困難となり、工程歩留まりを著しく悪化させ、プリント配線板の板厚が薄く、導体パターンが密であるほど顕著であるという問題点を有していた。
【０００９】
これらの問題の解決方法として、従来はプリント配線板を傾斜させたり垂直に立て、横方向のスプレーノズルからエッチング液を噴出させ、エッチング液の滞留をなくす方法が考案されたが、プリント配線板の搬送およびエッチング条件の設定も困難であり、その生産性は著しく阻害され、また製造装置の製造コスト高騰を招くことにより、一般的に普及していないのが現状である。
【００１０】
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、製造装置の製造コスト高騰を招くことなく簡便かつ普及が容易なプリント配線板の製造装置としてのエッチング装置とそれを用いたプリント配線板の製造方法を提供するものであり、これによりプリント配線板のエッチングの生産性を低下させることなく上下面のエッチング精度を均一にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩留まりよく生産することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために本発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラーと、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線板の進行方向に平行またはある角度で配管された複数のノズルパイプと、ノズルパイプ毎にノズルパイプの揺動機構と処理液を供給するポンプを備え、前記ポンプはインバータ回路または電流または電圧制御回路にてポンプ出力が制御され、前記揺動機構は、ノズルパイプ毎に独立してステッピングモータと連動し、ステッピングモータの制御・駆動回路にて揺動角度および揺動速度を変更できることを特徴とするプリント配線板の製造装置を用いて、ノズルパイプ毎にポンプ出力を制御して圧力を設定し、ノズルパイプ毎に揺動機構を制御して揺動角度および揺動速度を設定し、ノズルパイプを揺動して処理液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬送することによりプリント配線板を製造するというものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、基板を所定の速度で搬送する送りローラーと、スプレーノズルを複数個取り付けかつプリント配線板の進行方向に平行またはある角度で配管された複数のノズルパイプと、ノズルパイプ毎にノズルパイプの揺動機構と処理液を供給するポンプを備え、前記ポンプはインバータ回路または電流または電圧制御回路にてポンプ出力が制御され、前記揺動機構は、ノズルパイプ毎に独立してステッピングモータと連動し、ステッピングモータの制御・駆動回路にて揺動角度および揺動速度を変更できることを特徴とするプリント配線板の製造装置というものであり、プリント配線板の上面中央部にエッチング液が滞留せず直ちに流れ落ちるようにするため、中央のノズルパイプの圧力を両側のノズルパイプの圧力より高くなるように、圧力計の表示を確認しながらポンプ出力を制御することで容易に設定することができ、また、ノズルパイプの位置に応じて、ノズルパイプの揺動角度、揺動速度の条件をノズルパイプ毎に独立して設定することができる。これによりプリント配線板上のエッチング液の流れをエッチング力が均一になるように設定し、中央部と周辺部および上下面のエッチング速度の均一化を図り、高精度を要求されるプリント配線板の条件設定が容易かつ自動化が可能となるエッチング装置を提供するものである。
【００１３】
本発明の請求項２に記載の発明は、基板のエッチング処理面積のデータを格納する手段と、各ノズルパイプ毎の補正データを格納する手段と、補正データを出力データとして選定する手段と、前記選定された出力データから各ノズルパイプ毎のポンプと揺動機構への最終出力データを算出する手段と、前記最終出力データに対応してポンプ出力と揺動機構を制御する手段を備えた請求項１に記載のプリント配線板の製造装置というものであり、基板上の各領域の処理面積すなわちエッチング面積と、ノズルパイプの配管位置によるエッチング力に応じて各ノズルパイプの圧力設定をポンプ出力と揺動機構を制御することにより、エッチング条件を自動で設定することが可能なエッチング装置を提供するものである。
【００１４】
本発明の請求項３に記載の発明は、補正データには、各ノズルパイプ毎に設定されたスプレー圧力または揺動速度および揺動角度の処理条件が電気的信号として入力されている請求項２に記載のプリント配線板の製造装置というものであり、補正データを出力データとして選定し、最終出力データを算出する際の演算処理を電気的に容易に行い、処理条件としてのエッチング条件を自動で設定することが可能なエッチング装置を提供するものである。
【００１５】
本発明の請求項４に記載の発明は、請求項１に記載のプリント配線板の製造装置を用いたプリント配線板の製造方法であって、ノズルパイプ毎にポンプ出力を制御して圧力を設定し、ノズルパイプ毎に揺動機構を制御して揺動角度および揺動速度を設定し、ノズルパイプを揺動して処理液を基板に吹き付けながら所定の速度で搬送することにより基板を処理することを特徴とするプリント配線板の製造方法というものであり、ノズルパイプの配管位置によるエッチング力に応じて各ノズルパイプの圧力設定をポンプ出力を制御し、またノズルパイプ毎に揺動角度および揺動速度を揺動機構を制御することにより、高精度の導体パターンを形成することができるエッチング条件を自動で設定することができる。これによりプリント配線板上中央部のエッチング液の吹き付け液量および液流れを速くすることにより上面中央部にエッチング液が滞留せず直ちに流れ落ちるようになるため、中央部と周辺部および上下面のエッチング速度の均一化を図り高精度の導体パターンを形成することができる。
【００１６】
（実施の形態１）
以下本発明の実施の形態１について、図面を参照しながら説明する。
【００１７】
図１、図２は、本発明の実施の形態１におけるプリント配線板の製造装置としてのエッチング装置の概略を示す図であり、図３（ａ）、図３（ｂ）は、本発明の実施の形態１における製造装置としてのエッチング装置のノズルパイプの揺動機構の詳細を示す図である。
【００１８】
図１〜図３において、１はスプレーノズル、２ａ〜２ｆはスプレーノズル１を複数個取り付けかつプリント配線板の進行方向に平行またはある角度に配管された複数の上面用ノズルパイプ、３ａ〜３ｆは上面用圧力計、４ａ〜４ｆは処理液としてのエッチング液をノズルパイプ２ａ〜２ｆに供給する上面用スプレーポンプ、５ａ〜５ｆは上面用スプレーポンプ４ａ〜４ｆに対応するインバータ回路部、６は送りローラー、７ａは処理ブースとしての第１のエッチングブース、７ｂは第２のエッチングブース、８は基板としてのプリント配線板、９ａ〜９ｆは上面用ノズルパイプの揺動機構、１０ａは制御用モータ、１０ｂはステッピングモータ、１１はカム、１２ａ，１２ｂはリンク機構、１２ｃは回転板とリンク機構の支点、１３ａは制御用モータ１０ａに対応するインバータ回路部、１３ｂはス
テッピングモータの制御・駆動回路部である。
【００１９】
まず、本発明の実施の形態１におけるプリント配線板のエッチング装置について説明する。
【００２０】
本発明の実施の形態におけるエッチング装置の構成は、従来と同様に上面および下面からの両面同時にエッチングできる構成の装置であり、上面と下面の構成は基本的に同じである。したがって、本発明の説明を容易にするため、上面の構成のみを図面を用いて説明する。
【００２１】
図１に示すように、第１のエッチングブース７ａに平行または１〜５°の角度で上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆが配管され、このノズルパイプは各々独立した揺動機構９ａ〜９ｆを備えている。
【００２２】
また、図２は、第１のエッチングブース７ａ、第２のエッチングブース７ｂの二つのエッチングブースを備えており、第１のエッチングブース７ａ内にプリント配線板８の進行方向に対して１〜５°の角度で上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆが配管され、第２のエッチングブース７ｂにおいては、上面用ノズルパイプ２ａ’〜２ｆ’が第１のエッチングブースのノズルパイプとは逆方向に１〜５°の角度で配管されている。
【００２３】
図３（ａ）に、本発明の実施の形態の、ノズルパイプの独立した揺動機構の詳細を示す。
【００２４】
各ノズルパイプに対応した独立した揺動機構は、カム（回転板）１１とリンク機構１２ａ，１２ｂで構成され、回転板とリンク機構の支点１２ｃの位置を移動することによって、揺動角度を変えることができる。またカム１１は、制御用モータ１０ａに直接またはベルトやギアにより連動し、制御用モータ１０ａはインバータ回路部１３ａにて回転数を容易に変更できる。
【００２５】
この構成により各ノズルパイプにおいて独立して揺動角度と揺動速度を変更することができる。
【００２６】
揺動角度のみを各ノズルパイプ毎に変更する場合は、制御用モータ１０ａは１つだけ用い、設備コストを低減することも可能である。
【００２７】
また、図３（ｂ）にノズルパイプの独立した揺動機構の別の例を示す。
【００２８】
各ノズルパイプに対応した独立した揺動機構は、ステッピングモータ１０ｂに直接またはギアにより連動し、ステッピングモータ１０ｂは、制御・駆動回路部１３ｂにて揺動角度と揺動速度を電気的に容易に変更することができる。
【００２９】
以上のように構成されたエッチング装置におけるプリント配線板のエッチング方法について、以下に説明する。
【００３０】
本発明の実施の形態の図１におけるプリント配線板の第１のエッチングブース７ａのみをエッチング装置での条件として、まず中央のノズルパイプ２ｃと２ｄの揺動角度を揺動機構におけるリンク機構のカム１１とリンク支点１２ｃの位置を移動することによって、他のノズルパイプ２ａと２ｂおよび２ｅと２ｆの揺動角度を程度小さくなるように設定し、さらに中央のノズルパイプ２ｃと２ｄまた揺動速度を他のノズルパイプ２ａと２ｂおよび２ｅと２ｆに比較して大なるようにインバータ回路部１３ａ、電流または電圧制御回路にて設定する。
【００３１】
これによりプリント配線板上中央部のエッチング液の吹き付け液量および液流れを速くすることにより上面中央部にエッチング液が滞留せず直ちに流れ落ちるようになる。
【００３２】
この装置の構成の下まず、所定の大きさに切断され、３５μｍ厚さの銅はくが絶縁基板の両面に形成された銅張積層板（図示せず）にスクリーン印刷法や写真法などによりエッチングレジストを形成してプリント配線板８とする。
【００３３】
このプリント配線板８は、エッチングブース７ａ，７ｂ内に進行方向に平行またはある角度に配管された上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプの間において、送りローラー６上で所定の速度で搬送させ、上下面に塩化第２銅などのエッチング液をスプレーノズル１から吹き付けてエッチングを行う。
【００３４】
エッチングを実施する際、上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆ及び下面用ノズルパイプは、プリント配線板進行方向に対して中央のノズルパイプ２ｃと２ｄを４５°に、他のノズルパイプ２ａと２ｂおよび２ｅと２ｆを６０°に設定し、それぞれ独立した揺動角度及び揺動速度で揺動（オシレーション）させ、また上面用スプレーポンプ４ａ〜４ｆから上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆへ供給されるエッチング液は、上面用スプレーポンプのインバータ回路部５ａ〜５ｆを用いて、上面用スプレーポンプ４ａ〜４ｆの出力が上面用圧力計３ａ〜３ｆに示すスプレー圧力になるよう調整する。
【００３５】
同様に、下面用スプレーポンプから下面用ノズルパイプへ供給されるエッチング液も、下面用スプレーポンプのインバータ回路部で下面用スプレーポンプの出力が下面用圧力計に示すスプレー圧力になるよう調整する。
【００３６】
ここで、上面用圧力計３ａ〜３ｆに表示される圧力は、中央のノズルパイプが高くなるようにそれぞれ３ａは１．２kg／cm2、３ｂは１．６kg／cm2、３ｃは２．０kg／cm2、３ｄは２．０kg／cm2、３ｅは１．６kg／cm2、３ｆは１．２kg／cm2になるように、インバータ回路部５ａ〜５ｆで調整する。
【００３７】
同様に下面用圧力計に表示される圧力も、インバータ回路で送りローラー６の個数や位置関係に応じてそれぞれ最も適した値に調整する。
【００３８】
以上のノズルパイプの揺動角度および揺動速度並びにスプレー圧力設定によりエッチングを実施すると、従来のエッチング装置及びエッチング方法によるエッチング後の導体パターン幅は設定値に対して、プリント配線板の上下面及び中央部と周辺部でそのバラツキは５０〜１００μｍであるが、本発明でのエッチング装置及びエッチング方法ではバラツキが１０〜２０μｍと極端に減少できる。
【００３９】
次に図２に示すように、少なくとも第１のエッチングブース７ａと第２のエッチングブース７ｂの２つのエッチングブースを有するプリント配線板のエッチング装置を用いたプリント配線板の製造方法について説明する。
【００４０】
第１のエッチングブース７ａの中央のノズルパイプ２ｃおよび２ｄの揺動角度を上述の揺動機構の回転板とリンク機構の支点の位置を移動することによって、両側のノズルパイプ２ａと２ｂおよび２ｅと２ｆの揺動角度よりも小さくし、かつインバータ回路部１３ａを用いて制御用モータ１０ａの回転速度をあげ、揺動速度を大とする。
【００４１】
次に第２のエッチングブースの複数のノズルパイプにおいて、中央のノズルパイプ２ｃ’および２ｄ'の揺動角度を両側のノズルパイプの揺動角度よりも小さくかつ揺動速度を大とし、併せて前記第１のエッチングブース７ａのノズルパイプの揺動角度よりも大とし、揺動速度を小として設定する。
【００４２】
第１のエッチングブース７ａにおいて、プリント配線板中央部を（エッチング液の噴射圧力を高くかつ）垂直に近い角度でエッチングすることにより、サイドエッチング量を減少するとともに揺動速度を速くすることにより、中央部のエッチング液の滞留をなくし、第２のエッチングブース７ｂでエッチング回路のサイドフットの発生を広い範囲で防止するとともに中央部のエッチング液の滞留をなくし、より高精度なプリント配線板を製造できるものである。
【００４３】
この際、第１のエッチングブース７ａの中央のノズルパイプ２ｃおよび２ｄの圧力表示を第２のエッチングブース７ｂの中央のノズルパイプ２ｃ'および２ｄ'の圧力表示よりも高くなるように設定することが望ましい。
【００４４】
これにより第１のエッチングブース７ａでプリント配線板を深掘りエッチングすることにより、サイドエッチング（横方向のエッチング）量を減少させ、基板中央部のエッチング液の滞留をなくすことができ、さらに第２のエッチングブース７ｂでエッチングされた導体回路のサイドフット（導体回路の横広がり）の発生を防止し、オーバーエッチングを防ぐとともに、基板中央部のエッチング液の滞留をなくし、より高精度なプリント配線板を製造できるものである。
【００４５】
以上の第１のエッチングブース７ａ及び第２のエッチングブース７ｂでのノズルパイプの揺動角度、および揺動速度の条件のもとによりエッチングを実施すると、従来のエッチング装置及びエッチング方法によるエッチング後の導体パターン幅は設定値に対して、プリント配線板の上下面及び中央部と周辺部でそのバラツキは５０〜１００μｍであるが、本発明でのエッチング装置及びエッチング方法ではバラツキが１０〜２０μｍと極端に減少できる。
【００４６】
なお、図２においては、図１の実施の形態と同様に各ノズルパイプに対応したスプレーポンプと圧力計を備えた形態のエッチング装置とすることも可能であり、上記の第１のエッチングブースと第２のエッチングブースにおけるノズルパイプの揺動角度と揺動速度の設定に加えて、各ノズルパイプの圧力を調整することによってさらに、精度の高いエッチング条件を設定することができる。
【００４７】
また、本実施の形態においては、図３（ａ）に示す揺動機構を用いて揺動角度と揺動速度を設定したが、図３（ｂ）に示す揺動機構を用いて電気的に揺動角度と揺動速度を自動的に設定することも可能であり、この場合においても同様に精度の高いプリント配線板のエッチング条件を設定できる。
【００４８】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２として、プリント配線板のエッチング条件の設定を自動化する場合について説明する。
【００４９】
図４は、本発明の実施の形態２におけるＮの領域に分割されたプリント配線板を示す図であり、図５は、本発明の実施の形態２におけるエッチング条件の設定時のプリント配線板のエッチング状態を示す図であり、図６、図７はエッチングレジストの描画パターンを示す図である。
【００５０】
図４、図５において、１５ａ〜１５ｆは分割ブロック、１６は銅はく残り、１７ａはエッチング部分、１７ｂは非エッチング部分である。
【００５１】
本実施の形態２の説明も、実施の形態１と同様に説明を容易にするため、上面のエッチング条件の設定を中心に図面を用いて説明する。
【００５２】
図４は、Ｎ＝６本の上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆの下方をプリント配線板８が送りローラー６上を搬送されている状態を示している。
【００５３】
図４に示すように、プリント配線板８をノズルパイプの本数と同様に、少なくとも６つのエッチング領域に分割し、それぞれを仮に分割ブロック１５ａ〜１５ｆとする。
【００５４】
この分割ブロック１５ａ〜１５ｆにおけるエッチング状態を示しながら、エッチング条件の設定手順を以下に説明する。
【００５５】
一般に、感光性エッチングレジストを使用したプリント配線板のエッチング装置は、前工程の現像装置と、後工程のエッチングレジスト剥離工程に連結している。従って、前後の工程、およびライン全長、さらに意図する生産性の観点から製造ラインの設計の段階でエッチング装置の送りローラー６上を搬送する速度は、狙うべき目標がほぼ定められている。
【００５６】
本実施の形態２の説明においては、導体パターンの厚さ５０μｍの場合におけるプリント配線板の搬送速度を３ｍ／分とし、エッチング液の比重等や酸化剤の状態や経時変化によるエッチング力の影響については、省略するものとする。
【００５７】
（１）エッチング装置におけるエッチング力のバラツキの把握と調整
一般にエッチング装置は、同一設計および同一部品を用いて組み立てた場合においても、それぞれのエッチング装置毎にエッチング力のコンディションが異なる場合がある（以下「エッチング装置のクセ」という）。
【００５８】
それを把握し、調整するための方法を説明する。
【００５９】
使用するプリント配線板は、銅はくに電気めっきを施し、５０μｍ厚の銅層を有するものを用いてもよいが、３５μｍの銅はく厚みを有する銅張り積層板を使用するほうが効率的である。この場合、エッチング装置のコンベア速度は、厚さ５０μｍの場合における搬送速度３ｍ／分に比例して、３５μｍ銅はくの場合は４．３ｍ／分を、搬送速度の基本設定条件とする。
【００６０】
（１−１）上面のエッチング状態の把握
まず、上記の搬送速度の基本設定条件の場合に比較して、７０〜８０％のエッチング力、いわゆるハーフエッチングの状態となるように搬送速度を設定する。すなわち３５μｍ銅はくの場合は搬送速度を５．３ｍ／分〜６．１ｍ／分に設定する。
【００６１】
まず上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆの圧力を同一に設定する。この状態で、３５μｍ銅はくを有するプリント配線板を上記の搬送速度でエッチングすると、図５（ａ）に示したような状態となり、基板中央部分に銅はく残り１６が発生する。すなわち上面における「エッチング装置のクセ」として、エッチング力のバラツキが、基板上面の中央部と周辺部で異なることが把握できた。この状態を解消するために、上面用ノズルパイプ２ａ〜２ｆの圧力を実施の形態１で説明したように、中央部のノズルパイプ２ｃ及び２ｄの圧力を他のノズルパイプの圧力より高めに調整し、基板全面のハーフエッチングにおける状態が、図５（ｂ）に示すように、全面にわたって均一な銅はく残り１６の状態となるように、全てのノズルパイプの圧力を調整する。
【００６２】
この状態で、基本設定条件の搬送速度４．３ｍ／分でエッチングを施すと、銅はく残りのない状態でエッチングすることができる。
【００６３】
このときの圧力設定において、実際のプリント配線板に使用する５０μｍの銅厚を有する基板で、３．０ｍ／分の搬送速度でエッチングを行い、再度各ノズルパイプの圧力を微調整する。
【００６４】
このときの圧力設定の条件を「補正データＡ０」とする。
【００６５】
（１−２）下面エッチング状態の把握と調整
下面においても、上面と同様でハーフエッチングの条件でエッチングすると、一般に図５（ｃ）に示すような状態となり、基板の進行方向と平行な帯状の銅はく残り１６が発生する。
【００６６】
すなわちこれが、下面における「エッチング装置のクセ」として、上面とは異なるエッチング力のバラツキを有しているものである。
【００６７】
その理由は、送りローラー６上の基板を下方から見た場合、図５（ｄ）に示すように、送りローラー６が基板に接する割合が異なり、送りローラー６の接する割合が多い部分が、図５（ｃ）に示したような、帯状の銅はく残り１６として発生する。
【００６８】
この状態を解消するために、上面の場合とは異なり、下面用の各ノズルパイプの圧力の調整の他に、各ノズルパイプの揺動角度及び揺動速度を調整する必要がある。基板全面のハーフエッチングにおける状態が、図５（ｂ）に示すように全面にわたって均一な銅はく残り１６の状態となるように、全てのノズルパイプの条件を調整する。
【００６９】
この状態で、４．３ｍ／分の前後の搬送速度でエッチングを施すと、銅はく残りのない状態でエッチングすることができる。
【００７０】
このときの条件設定において、実際のプリント配線板に使用する５０μｍの銅厚を有する基板で、３．０ｍ／分前後の搬送速度でエッチングを行い、再度各ノズルパイプの圧力、揺動角度及び揺動速度を微調整する。
【００７１】
このときの下面の各ノズルパイプの圧力、揺動角度、揺動速度の設定の条件を「補正データＢ０」とする。
【００７２】
従来では、下面における「エッチング装置のクセ」を解消するために、送りローラー６の入れ替えや、ローラーピッチの調整で行うことも考えられた。しかし、約５０℃の高温のエッチング液のガスが充満するエッチングブース内でこのような作業を行うことは、危険がともない現実には不可能であった。
【００７３】
本発明は、各ノズルパイプの圧力を個々に調整することができるのみならず、揺動機構をも独立して設定することが可能であるため、エッチング液に触れることなく容易に下面における「エッチング装置のクセ」を解消するための条件を設定することが可能となった。
【００７４】
（１−３）上下面のバラツキの把握と調整
上記（１−１）および（１−２）においては、上下面それぞれのバラツキを調整した。
【００７５】
次に上面と下面のエッチング力のバラツキを調整する。
【００７６】
この場合、（１−１）および（１−２）で調整した際、エッチング力の高い方に基準を合わせる方が望ましい。例えば、上面が３．０ｍ／分のエッチング搬送速度で、下面が２．８ｍ／分のエッチング搬送速度であった場合、下面が３．０ｍ／分で銅はく残りが発生しないよう、下面用ノズルパイプの圧力を全体的に上げることで調整が可能となる。
【００７７】
ここで再度正確に条件設定するために、（１）で行ったハーフエッチングの手法を５０μｍの銅厚の基板でかつ、上下面同時にエッチングを行い、条件を微調整する。
【００７８】
そして３．０ｍ／分の搬送速度において、上下面の条件を再度微調整する。
【００７９】
このときの上面の設定条件を「補正データＡ１」、下面の条件設定を「補正データＢ１」とする。
【００８０】
上記の条件設定は、全面エッチング、すなわち各分割ブロックの処理面積としてのエッチング面積が同一でかつ、エッチング面積率（エッチングされるべき面積÷基板全面積）がそれぞれ１００％における場合の条件を示している。
【００８１】
（２）分割ブロック毎のエッチング力の把握と調整
次に種々のエッチング面積率における条件や分割ブロック毎におけるエッチング面積率の異なる場合におけるエッチング条件の設定の手順について説明する。
【００８２】
（２−１）種々のエッチング面積率における条件の設定
実際のプリント配線板のエッチングの際に用いる製造用の基板は、生産性を高めるため複数の個別プリント配線板（通称単品プリント配線板）のパターンが描画されているケースが最も多く、したがって各分割ブロックのエッチング面積率が同一となっている場合も多い。
【００８３】
そこで以下、各分割ブロックのエッチング面積率が同一で、種々のエッチング面積率における条件設定について説明する。
【００８４】
そこで実際のケースで最も頻度の高いエッチング面積率を有する場合を中心に説明する。
【００８５】
一般に、プリント配線板のエッチング面積率は、そのプリント配線板が使用される電子機器の種類や、使用される電子回路の種類によっても異なる。本説明においては、携帯電話やパソコンのデジタル信号回路に用いられるプリント配線板を主体に説明する。
【００８６】
上記のプリント配線板の実施のＣＡＤデータから算出したエッチング面積率において、頻度の高い順を仮に、５０％、６０％、４０％の順とする。
【００８７】
まずエッチングの際に使用するエッチングレジストの描画パターンは図６（ａ）に示すようなチェック状のパターンを用い、エッチング部分１７ａと、非エッチング部分１７ｂの面積が同一であり、そのエッチング面積率は５０％とする。
【００８８】
チェック状パターンの密度（単位面積当たりのチェック状パターンの数）は、高密度のプリント配線板の場合は、図６（ｂ）の密度の高いものを用いて条件設定を行うことが望ましい。
【００８９】
まず、（１）において設定した「補正データＡ１」、「補正データＢ１」に基づいて上面および下面のエッチング条件を設定する。
【００９０】
次に図６（ａ）または図６（ｂ）のエッチングレジストパターンで５０μｍの銅厚を有する基板を上記条件でエッチングし、その状態を確認する。
【００９１】
その後、実験計画法等の手法を用い、最適条件のためのエッチング条件を把握する。そのときの上面のエッチング条件を「補正データＡ２」、下面のエッチング条件を「補正データＢ２」とする。
【００９２】
同様にエッチング部分１７ａと、非エッチング部分１７ｂの面積が異なり、そのエッチング面積率が６０％および４０％の場合も最適エッチング条件を把握する。
【００９３】
エッチング面積率が６０％の上面のエッチング条件を「補正データＡ３」、下面のエッチング条件を「補正データＢ３」とし、４０％の場合の上面のエッチング条件を「補正データＡ４」、下面のエッチング条件を「補正データＢ４」とする。
【００９４】
その他必要に応じて、７０％や３０％の場合も同様の方法にて、条件を設定し、そのときのエッチング条件を把握しておくのもよい。
【００９５】
（２−２）分割ブロック毎におけるエッチング面積率の異なる場合
上記（２−１）の場合と異なり、分割ブロック毎におけるエッチング面積率の異なる場合について説明する。
【００９６】
この場合も、プリント配線板の実際のＣＡＤデータから算出したエッチング面積率において、最も頻度の高いケースについて条件を設定する。
【００９７】
仮に、図７（ａ）に示すケースが、最も高く、次に図７（ｂ）に示すケースが高いものとする。
【００９８】
まず、図７（ａ）に示すケースにおいては、分割ブロック１５ａ〜１５ｆのエッチング面積率は、それぞれ６０，５０，５０，６０，５０，５０％であり（２−１）で設定した全エッチング面積率５０％の場合に近似している。したがって初めにエッチング条件を「補正データＡ２」、「補正データＢ２」通りに設定する。
【００９９】
次に（２−１）で使用したエッチングパターンと同様なチェックパターンで、かつ各分割ブロックのエッチング面積率が図７（ａ）に示したようなエッチングレジストで５０μｍの銅厚を有する基板を上記条件でエッチングし、その状態を確認する。
【０１００】
この場合、分割ブロック１５ａ及び１５ｄはエッチング面積率が６０％であり、他の分割ブロックの５０％とはエッチング面積率が異なるため、ノズルパイプ２ａ及び２ｄの条件設定を中心に及び実験計画法等の手法を用い、各ノズルパイプの最適エッチング条件を把握する。
【０１０１】
そのときの上面のエッチング条件を「補正データＡ５」、下面のエッチング条件を「補正データＢ５」とする。
【０１０２】
図７（ｂ）に示すようなケースも同様に最適エッチング条件を把握し、そのときの上面のエッチング条件を「補正データＡ６」、下面のエッチング条件を「補正データＢ６」とする。
【０１０３】
また必要に応じて、他のケースの場合も同様の方法にて、条件を設定し、そのときのエッチング条件を「補正データ」として把握しておくのもよい。
【０１０４】
（３）エッチング条件設定の自動化
プリント配線板のエッチング条件の設定を自動化する場合について説明する。
【０１０５】
図８は、本発明の実施の形態２におけるエッチング条件設定の自動化を示すフローチャートである。
【０１０６】
図８において、１８はＣＡＤデータでの処理面積としてエッチング面積を格納する手段、１９は出力データを選定する手段、２０はポンプ出力及び制御用モータの補正データを格納する手段、２１は各補正データ、２２は個々のポンプ出力の最終出力データを算出する手段、２３はポンプ出力を制御する手段、２４は制御用モータの回転数と回転角度を制御する手段、２５はＣＡＤデータ、２６ａ〜２６ｆは分割ブロック毎のＣＡＤデータである。
【０１０７】
具体的説明を行うため、上記（２）の図７（ａ）に示したケースをもって説明する。
【０１０８】
ＣＡＤデータ２５は、各分割ブロック毎にエッチング面積が算出され、ＣＡＤデータ格納手段１８へ格納される。
【０１０９】
次に出力データ選定手段１９において、ＣＡＤデータは、分割ブロック毎のＣＡＤデータ２６ａ〜２６ｆとして格納されるとともに、各分割ブロックのエッチング面積が同一か異なるかを判断し、各分割ブロックのエッチング面積率に対応する「補正データ」を補正データ格納手段２０から選定し、その「補正データ」を最終データ算出手段２２へ出力する。補正データ格納手段２０においては、前述の（１）および（２）で条件設定した際の「補正データ」を予め格納しておく必要がある。
【０１１０】
本事例においては、分割ブロック毎におけるエッチング面積率が異なり、かつＣＡＤデータ２６ａ〜２６ｆのエッチング面積率がそれぞれ、６０％，５０％，５０％，６０％，５０％，５０％であるので「補正データＡ５」、「補正データＢ５」を選定する。
【０１１１】
次に「補正データＡ５」、「補正データＢ５」に応じた出力を、最終出力データ算出手段から、ポンプ出力制御手段と、制御用モータの制御手段へ出力する。
【０１１２】
次に、最終データ算出手段２２へ入力された「補正データＡ５」、「補正データＢ５」をポンプ出力と制御用モータに分離し、それぞれポンプ出力制御手段２３および制御用モータ制御手段２４へ出力する。
【０１１３】
そしてこれらの制御手段から、スプレーポンプのインバータ回路部５、および制御用モータに対応するインバータ回路部１３を経由して各ノズルパイプのスプレーポンプ圧力に応じた出力と、制御用モータの回転速度に応じた出力でスプレーポンプおよび制御用モータを駆動させることができる。これによりＣＡＤデータに基づくエッチング条件の自動設定が完了する。
【０１１４】
上記の事例においては図３（ａ）に示した制御用モータ１０ａを用いたが、図３（ｂ）に示すステッピングモータ１０ｂを用いても同様の方法で自動設定することも可能である。この場合は、各ノズルパイプの揺動機構における揺動角度も自動で設定することができる。
【０１１５】
さらに本発明の実施の形態においては、プリント配線板の製造装置のなかで、特に銅はく等のエッチングを行うエッチング装置について説明したが、本発明は、感光性レジストの未露光部を処理液として現像液を用いて現像・除去するための現像装置としても用いることもできる。
【０１１６】
【発明の効果】
以上のように本発明は、各ノズルパイプ毎にスプレー圧力および揺動角度、揺動速度を設定することのできるプリント配線板の製造装置の構成により、上面・下面および上下面のエッチング精度を均一にし、高密度・高精度のプリント配線板を歩留まりよく生産することができる。
【０１１７】
またエッチング面積に応じたエッチング条件を自動で設定することができる簡便かつ普及が容易であるプリント配線板の製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態１におけるプリント配線板の製造装置の概略図
【図２】  本発明の実施の形態１におけるプリント配線板の製造装置の概略図
【図３】  本発明の実施の形態１における製造装置のノズルパイプの揺動機構の詳細図
【図４】  本発明の実施の形態２におけるＮの領域に分割されたプリント配線板を示す図
【図５】  本発明の実施の形態２におけるエッチング条件の設定時のプリント配線板のエッチング状態と原因を示す図
【図６】  エッチングレジストの描画パターンを示す図
【図７】  エッチングレジストの描画パターンを示す図
【図８】  本発明の実施の形態２におけるエッチング条件設定の自動化を示すフローチャート
【図９】  従来のプリント配線板の製造装置の概略図
【符号の説明】
１  スプレーノズル
２ａ〜２ｆ  上面用ノズルパイプ
３ａ〜３ｆ  上面用圧力計
４ａ〜４ｆ  上面用スプレーポンプ
５ａ〜５ｆ  インバータ回路部
６  送りローラー
７ａ  第１のエッチングブース
７ｂ  第２のエッチングブース
８  プリント配線板
９ａ〜９ｆ  上面用ノズルパイプの揺動機構
１０ａ  制御用モータ
１０ｂ  ステッピングモータ
１１  カム
１２ａ，１２ｂ  リンク機構
１２ｃ  回転板とリンク機構の支点
１３ａ  インバータ回路部
１３ｂ  ステッピングモータの制御・駆動回路部
１５ａ〜１５ｆ  分割ブロック
１６  銅はく残り
１７ａ  エッチング部分
１７ｂ  非エッチング部分
１８  ＣＡＤデータ格納手段
１９  出力データ選定手段
２０  補正データ格納手段
２１  各補正データ
２２  最終出力データ算出手段
２３  ポンプ出力制御手段
２４  制御用モータの制御手段
２５  ＣＡＤデータ
２６ａ〜２６ｆ  分割ブロック毎のＣＡＤデータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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