【手続補正書】
【提出日】令和3年5月19日(2021.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージにより保持された原版を走査しながら、前記原版を介して基板の露光を行う露光方法であって、
最大加速度が第１加速度となるように、前記基板の露光を行わずに前記ステージを走査駆動する第１工程と、
前記第１工程の後、最大加速度が第２加速度となるように、前記基板の露光を行わずに前記ステージを走査駆動する第２工程と、
前記第２工程の後、前記基板の露光を行いながら前記ステージを走査駆動する第３工程と、
を含み、
前記第１加速度は前記第２加速度より小さく、
前記第１工程および前記第２工程の各々における前記ステージの走査駆動は、前記ステージの加速度が一定である等加速期間を有する加速動作と、前記ステージの減速度が一定である等減速期間を有する減速動作とを含み、
前記第１工程における前記ステージの走査駆動の回数は、４回から１０回の範囲内である、ことを特徴とする露光方法。
【請求項２】
前記第１工程は、前記ステージによる前記原版の保持が開始された後の最初の前記ステージの走査駆動を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の露光方法。
【請求項３】
前記第１加速度および前記第２加速度は、前記第３工程で適用される前記ステージの走査駆動の最大加速度より小さい、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の露光方法。
【請求項４】
前記第３工程の前に、前記ステージの走査駆動による前記ステージ上での前記原版の位置変動が許容範囲に収まったか否かを判定する判定工程を更に含み、
前記判定工程において前記原版の位置変動が前記許容範囲に収まったと判定された場合に、前記第３工程を開始する、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項５】
前記判定工程において前記原版の位置変動が前記許容範囲に収まっていないと判定された場合、最大加速度を変更して、前記基板の露光を行わずに前記ステージを走査駆動する、ことを特徴とすることを特徴とする請求項４に記載の露光方法。
【請求項６】
前記ステージによる前記原版の保持力の検出結果に応じて前記第１工程を終了する、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項７】
前記ステージによる前記原版の保持が開始された後、前記原版の保持力の検出結果が第１閾値を超えた場合に前記第１工程を開始し、
前記原版の保持力の検出結果が、前記第１閾値より大きい第２閾値を超えた場合に前記第１工程を終了する、ことを特徴とする請求項６に記載の露光方法。
【請求項８】
前記第１工程で前記ステージの走査駆動を行った回数に応じて前記第１工程を終了する、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項９】
前記第１工程を行った時間に応じて前記第１工程を終了する、ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項１０】
前記第１工程では、前記第３工程と同じ移動ストロークで前記ステージを走査駆動する、ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項１１】
前記第１工程は、前記ステージの最大加速度と前記ステージに対する前記原版の位置変動との関係を示す情報に基づいて、前記原版の位置変動が許容範囲に収まるように前記第１加速度を決定することを含む、ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項１２】
前記第１加速度は、前記ステージの最大加速度と前記原版の位置変動の再現性との関係を示す第２情報に更に基づいて決定される、ことを特徴とする請求項１１に記載の露光方法。
【請求項１３】
前記第１工程は、最大加速度が前記第１加速度になるように所定方向へ前記ステージを走査駆動することと、最大加速度が前記第１加速度になるように前記所定方向とは反対の方向に前記ステージを走査駆動することとを含む、ことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項１４】
前記第１加速度は、前記第２加速度の４０％に設定される、ことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項１５】
前記第１加速度は、複数の加速度候補の各々について前記ステージの走査駆動によって得られる前記ステージに対する前記原版の位置変動の結果に基づいて、前記複数の加速度候補の中から決定される、ことを特徴とする請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項１６】
ステージにより保持された原版を走査しながら、前記原版を介して基板の露光を行う露光方法であって、
最大加速度が第１加速度となるように、前記基板の露光を行わずに前記ステージを走査駆動する第１工程と、
前記第１工程の後、最大加速度が第２加速度となるように、前記基板の露光を行いながら前記ステージを走査駆動する第２工程と、
を含み、
前記第１加速度は前記第２加速度より小さく、
前記第１工程における前記ステージの走査駆動の回数は１０回以下である、ことを特徴とする露光方法。
【請求項１７】
前記第１工程における前記ステージの走査駆動の回数は、４回から１０回の範囲内である、ことを特徴とする請求項１６に記載の露光方法。
【請求項１８】
前記第１工程および前記第２工程の各々における前記ステージの走査駆動は、前記ステージの加速度が一定である等加速期間を有する加速動作と、前記ステージの減速度が一定である等減速期間を有する減速動作とを含む、ことを特徴とする請求項１６又は１７に記載の露光方法。
【請求項１９】
前記第１工程では、前記第２工程と同じ移動ストロークで前記ステージを走査駆動する、ことを特徴とする請求項１６乃至１８のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項２０】
請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の露光方法を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光を行われた前記基板を現像する工程と、を含み、
現像された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
【請求項２１】
原版を走査しながら、前記原版を介して基板の露光を行う露光装置であって、
前記原版を保持して移動可能なステージと、
最大加速度が第１加速度となるように、前記基板の露光を行わずに前記ステージを走査駆動する第１工程を制御し、その後、最大加速度が第２加速度となるように、前記基板の露光を行わずに前記ステージを走査駆動する第２工程を制御し、その後、前記基板の露光を行いながら前記ステージを走査駆動する第３工程を制御する制御部と、
を含み、
前記第１加速度は前記第２加速度より小さく、
前記第１工程および前記第２工程の各々における前記ステージの走査駆動は、前記ステージの加速度が一定である等加速期間を有する加速動作と、前記ステージの減速度が一定である等減速期間を有する減速動作とを含み、
前記第１工程における前記ステージの走査駆動の回数は、４回から１０回の範囲内である、ことを特徴とする露光装置。
【請求項２２】
原版を走査しながら、前記原版を介して基板の露光を行う露光装置であって、
前記原版を保持して移動可能なステージと、
最大加速度が第１加速度となるように、前記基板の露光を行わずに前記ステージを走査駆動する第１工程を制御し、その後、最大加速度が第２加速度になるように、前記基板の露光を行いながら前記ステージを走査駆動する第２工程を制御する制御部と、
を含み、
前記第１加速度は前記第２加速度より小さく、
前記第１工程における前記ステージの走査駆動の回数は１０回以下である、ことを特徴とする露光装置。
【請求項２３】
前記第１工程における前記ステージの走査駆動の回数は、４回から１０回の範囲内である、ことを特徴とする請求項２２に記載の露光装置。
【請求項２４】
前記第１工程および前記第２工程の各々における前記ステージの走査駆動は、前記ステージの加速度が一定である等加速期間を有する加速動作と、前記ステージの減速度が一定である等減速期間を有する減速動作とを含む、ことを特徴とする請求項２２又は２３に記載の露光装置。
【請求項２５】
前記第１工程では、前記第２工程と同じ移動ストロークで前記ステージを走査駆動する、ことを特徴とする請求項２２乃至２４のいずれか１項に記載の露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての露光方法は、ステージにより保持された原版を走査しながら、前記原版を介して基板の露光を行う露光方法であって、最大加速度が第１加速度となるように、前記基板の露光を行わずに前記ステージを走査駆動する第１工程と、前記第１工程の後、最大加速度が第２加速度となるように、前記基板の露光を行わずに前記ステージを走査駆動する第２工程と、前記第２工程の後、前記基板の露光を行いながら前記ステージを走査駆動する第３工程と、を含み、前記第１加速度は前記第２加速度より小さく、前記第１工程および前記第２工程の各々における前記ステージの走査駆動は、前記ステージの加速度が一定である等加速期間を有する加速動作と、前記ステージの減速度が一定である等減速期間を有する減速動作とを含み、前記第１工程における前記ステージの走査駆動の回数は、４回から１０回の範囲内である、ことを特徴とする。