【手続補正書】
【提出日】令和3年8月6日(2021.8.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３２６】
【表２３】
2021130821.tif 000001
本願は特許請求の範囲に記載の発明に係るものであるが、本願の開示は以下も包含する：
１．
構造（１）を有する、連結基を持つブロックコポリマー。
【化４２】
2021130821.tif 000002
式中、
Ａはブロックポリマー鎖であり、
Ｂはブロックポリマー鎖であり、
ここでＡ及びＢは、化学的に異なる共有結合した、相分離可能なポリマー鎖であり；
部分Ｘ（Ｙ（Ｚ）ｂ）ａは、表面活性ペンダント部分Ｙ（Ｚ）ｂを含む連結基であり、ここで；
ａは１〜４の整数であり、ｂは１〜５の整数であり；
Ｘは、Ａポリマーブロック、Ｂポリマーブロック及び部分Ｙの間のリンク基であり、
Ｙは、ＸとＺとの間のリンク基または直接原子価結合であり；及び
Ｚは、フッ素含有部分、好ましくはフッ素基、フッ素含有線状炭化水素基、フッ素含有分枝状炭化水素基、フッ素含有環状炭化水素基、フッ素含有線状アルキルエーテル基、フッ素含有分枝状アルキルエーテル基、フッ素含有環状アルキルエーテル基及びこれらの混合物からなる群から選択されるフッ素含有部分；Ｓｉ１〜Ｓｉ８シロキサン含有部分、好ましくは、Ｓｉ１〜Ｓｉ８シロキサン、Ｓｉ１〜Ｓｉ８シロキサンペンダント基を有する線状炭化水素部分、Ｓｉ１〜Ｓｉ８シロキサンペンダント基を有する分枝状炭化水素部分、Ｓｉ１〜Ｓｉ８シロキサンペンダント基を有する環状炭化水素部分からなる群から選択されるＳｉ１〜Ｓｉ８シロキサン含有部分；カルボシラン類、カルボシランペンダント基を有する線状炭化水素部分、カルボシランペンダント基を有する分枝状炭化水素部分、カルボシランペンダント基を有する環状炭化水素部分；シラン類、シランペンダント基を有する線状炭化水素部分、シランペンダント基を有する分枝状炭化水素部分、シランペンダント基を有する環状炭化水素部分、及びこれらの混合物；または少なくとも１８個の炭素を有する炭化水素部分、好ましくは、少なくとも１８個の炭素を有する線状炭化水素基及び少なくとも１８個の炭素を有する分枝状炭化水素からなる群から選択される少なくとも１８個の炭素を有する炭化水素部分から独立して選択される部分であり、そして更に前記連結基Ｘ（Ｙ（Ｚ）ｂ）ａは、ブロックＡの表面エネルギーよりも低くかつブロックＢの表面エネルギーよりも低い表面エネルギーを有する。
２．
（ｉ）ブロックＡのポリマー鎖が、エチレン性不飽和の重合可能なモノマーから誘導される単位、または環状モノマーの開環重合（ＲＯＰ）から誘導される単位を含み、及び
（ｉｉ）ブロックＢ中のポリマー鎖が、エチレン性不飽和の重合可能なモノマーから誘導される単位、または環状モノマーの開環重合（ＲＯＰ）から誘導される単位を含み、及び更にポリマーブロックＡ及びＢは化学的に異なっておりかつ相分離可能である、上記１に記載のブロックコポリマー。
３．
Ｚとしてのフルオロカーボン含有部分が、線状Ｃ１〜Ｃ１０フルオロアルキル基、Ｃ３〜Ｃ１０分枝状フルオロアルキル基、Ｃ４〜Ｃ１０環状フルオロアルキル基、アルキレンフルオロアルキル基（−（ＣＨ２）ｑ（ＣＦ２）ｒ−ＣＦ３）、ＣＦＨ含有アルキレンフルオロアルキル基−（−ＣＨ２−）ｑ（ＣＨＦ）ｑ２（ＣＦ２）ｒ−ＣＦ３）、アルキレンフルオロエーテル−フルオロアルキル基−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ−）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−ＣＨＦ含有アルキレンフルオロエーテル−フルオロアルキル基（−ＣＨ２−）ｑ（ＣＨＦ）ｑ２（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ−）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、または構造（２）を有する部分から選択されるフッ素含有炭化水素基であり、
【化４３】
2021130821.tif 000003
ここで、ｑは０〜１０の整数であり、ｑ２は１〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、ｘは１〜５であり、ｙは１〜５であり、Ｐは水素、Ｃ１〜Ｃ４アルキル、または−ＣＨ２−ＣＨ２−（ＣＦ２）４Ｆ部分である、
上記１または２に記載のブロックコポリマー。
４．
表面活性ペンダント部分−Ｙ（Ｚ）ｂが、
−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、
−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、
構造（ｘｘ）を有する部分
【化４４】
2021130821.tif 000004
及び構造（４）を有する部分
【化４５】
2021130821.tif 000005
からなる群から選択され、ここで−Ｒ１’及び−Ｒ１’’は、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、及び−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３から独立して選択され、そして更にここでｂ’及びｂ’’は１〜５の整数であり、ｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数である、
上記１〜３のいずれか一つに記載のブロックコポリマー。
５．
連結基を有するブロックコポリマーが構造（７）を有し、
【化４６】
2021130821.tif 000006
［式中、
Ｒ２’は水素、Ｃ１〜Ｃ８アルキル基、またはＣ６〜Ｃ２０アリール基であり、
Ｒ３’及びＲ４’は、独立して、Ｃ１〜Ｃ８アルキル基、水素、臭素、塩素、またはヨウ素であり、
ｘａは１〜６の整数であり、
ｙａは２〜１６の整数であり、そしてｗ及びｗ’は独立して１〜４の整数であり；
ブロックＡは、ラクトン、エポキシドまたは環状カーボネートから誘導され、そして
ブロックＢは、ビニルアリールモノマーから誘導され、ここでアリール基は、トリ（Ｃ１〜Ｃ８アルキル）シリル基、トリ（Ｃ１〜Ｃ８アルキル）シリル（Ｃ１〜Ｃ８アルキレン）基、及びトリ（Ｃ１〜Ｃ８アルキル）シリル基（Ｃ２〜Ｃ８オキシアルキレン）基からなる群から選択されるケイ素含有部分で置換されており、更にここでブロックＡ及びＢは相分離可能である］
あるいは、連結基を持つブロックコポリマーが構造（９）を有し、
【化４７】
2021130821.tif 000007
［式中、Ｒ２’は水素、Ｃ１〜Ｃ８アルキル基またはＣ６〜Ｃ２０アリール基であり、Ｒ３’及びＲ４’は独立してＣ１〜Ｃ８アルキル基、水素、臭素、塩素またはヨウ素であり、ｘａ及びｘｂは独立して１〜６の整数であり；ｙａは２〜１６の整数であり；ｗ及びｗ’は独立して１〜４の整数であり、そしてｂ’は１〜５の整数であり、
ブロックＡは、ラクトン、エポキシドまたは環状カーボネートから誘導され、そしてブロックＢは、ビニルアリールモノマーから誘導され、ここでアリール基は、トリ（Ｃ１〜Ｃ８アルキル）シリル基、トリ（Ｃ１〜Ｃ８アルキル）シリル（Ｃ１〜Ｃ８アルキレン）基、及びトリ（Ｃ１〜Ｃ８アルキル）シリル基（Ｃ２〜Ｃ８オキシアルキレン）基からなる群から選択されるケイ素含有部分で置換されており、更にここでブロックＡ及びＢは相分離可能である］
あるいは、連結基を持つブロックコポリマーが構造（１０）を有し、
【化４８】
2021130821.tif 000008
［式中、Ｒ２’は、Ｃ１〜Ｃ４アルキルから選択され、及びＲ３’及びＲ４’は、独立して、Ｃ１〜Ｃ８アルキル基であり、及びＲａｂは、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３及び−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３からなる群から選択され、及び更にｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、及びｘｂ、ｗ及びｗ’は独立して１〜５の整数であり、及び更にブロックＢはビニルアリールから誘導され、及びブロックＡはラクトン、ラクタム、エポキシドまたは環状カーボネートから誘導され、及び更にブロックＡ及びＢは相分離可能である］
あるいは、連結基を持つブロックコポリマーが構造（１１）を有し、
【化４９】
2021130821.tif 000009
［式中、Ｒ２’はＣ１〜Ｃ４アルキルから選択され、及びＲ３’及びＲ４’は独立してＣ１〜Ｃ８アルキル基であり、及びＲｆ１及びＲｆ２は独立して−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、または−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３から選択され、更にここでｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、更にここでブロックＢはビニルアリールから誘導され、及びブロックＡは、ラクトン、ラクタム、エポキシドまたは環状カーボネートから誘導され、及び更にブロックＡ及びＢは化学的に異なっておりかつ相分離可能である］
あるいは、連結基を持つブロックコポリマーが構造（１２）を有し、
【化５０】
2021130821.tif 000010
［式中、Ｘ’は直接原子価結合または部分（１３）である］
【化５１】
2021130821.tif 000011
［式中、Ｒ５’は、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３または−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３であり、及びＲ６’は、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３または水素であり、Ｒ７’及びＲ９’は独立して水素及びＣ１〜Ｃ４アルキルであり、Ｒ８’及びＲ１０’は、独立して、水素、Ｃ１〜Ｃ４アルキルまたはＣ２〜Ｃ６アルキレンオキシアルキル部分から選択され、Ｘ’’は、−Ｏ−または−Ｓ−であり、及びｂａ及びｂｂは１〜５の整数であり、ｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、
及び、更にブロックＡはビニルアリールから誘導され、及びブロックＢはラクトン、ラクタム、エポキシドまたは環状カーボネートから、またはＸ’が直接原子価結合である場合には、エチレン性不飽和モノマーから誘導され、更にブロックＡ及びＢは相分離可能である］
あるいは、連結基を持つブロックコポリマーが構造（１４）を有し、
【化５２】
2021130821.tif 000012
［式中、Ｒａｃは−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３であり、及びＲａｄは−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３または水素であり、更にｑは０〜１０の整数であり、及びｒは１〜１０の整数であり、更にブロックＡはビニルアリールから誘導され、及びブロックＢは、ラクトン、ラクタム、エポキシド、環状カーボネートまたはエチレン性不飽和モノマーから誘導され、更にブロックＡ及びＢは相分離可能である］
あるいは、連結基を持つブロックコポリマーが構造（２３）を有し、
【化５３】
2021130821.tif 000013
［式中、Ｒａｆ、Ｒａｋ及びＲａｉは独立してＣ１〜Ｃ１０線状アルキレン部分、Ｃ３〜Ｃ１０分枝状アルキレン部分、Ｃ３〜Ｃ１０環状アルキレン部分であり、Ｒａｇ及びＲａｈは独立してＣ１〜Ｃ４アルキル部分から選択され、及びＲａｊは、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３または−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３であり、更にｂ’及びｂ’’は１〜５の整数であり、ｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、更に、ブロックＡはビニルアリールから誘導され、及びブロックＢはラクトン、ラクタム、エポキシド、環状カーボネート、またはブロックＡが誘導されるものとは同一ではないエチレン性不飽和モノマーから誘導され、更にブロックＡ及びＢは化学的に異なっておりかつ相分離可能である］
上記１〜４のいずれか一つに記載のブロックコポリマー。
６．
連結基を有するブロックコポリマーが構造（２５）を有し、
【化５４】
2021130821.tif 000014
［式中、Ｒａｌは水素またはＣ１〜Ｃ４アルキルであり、Ｒａｍ及びＲａｎは独立してＣ１〜Ｃ２０線状アルキレン部分、Ｃ３〜Ｃ３０分枝状アルキレン部分、またはＣ３〜Ｃ３０環状アルキレン部分であり、及びＲａｏは、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３または−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３であり、更にｂ’及びｂ’’は１〜５の整数であり、ｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、更にブロックＡはビニルアリールから誘導され及び鎖Ｂはラクトン、ラクタム、エポキシド、環状カーボネート、またはブロックＡが誘導されるものとは同一ではないエチレン性不飽和モノマーから誘導され、更にブロックＡ及びＢは化学的に異なっておりかつ相分離可能である］
あるいは、連結基を持つブロックコポリマーが構造（２７）を有し、
【化５５】
2021130821.tif 000015
［式中、Ｒ１１は水素またはＣ１〜Ｃ４アルキルであり、Ｒａｐ及びＲａｑは独立してＣ１〜Ｃ２０線状アルキレン部分、Ｃ３〜Ｃ３０分枝状アルキレン部分、またはＣ３−Ｃ３０環状アルキレン部分であり、ＸａｂはＯまたはＳであり、及びＲａｒは、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３または−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３であり、更にｂ’及びｂ’’は１〜５の整数であり、ｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、及びブロックＡはビニルアリールから誘導され、及びブロックＢはラクトン、ラクタム、エポキシド、環状カーボネート、またはブロックＡが誘導されるビニルアリールとは同一ではないエチレン性不飽和モノマーから誘導され、更にブロックＡ及びＢは化学的に異なっておりかつ相分離可能である］
あるいは、連結基を持つブロックコポリマーが構造（２９）を有し、
【化５６】
2021130821.tif 000016
［式中、Ｒａｓ及びＲａｔは独立してＣ１〜Ｃ２０線状アルキレン部分、Ｃ３〜Ｃ３０分枝状アルキレン部分、Ｃ３〜Ｃ３０環状アルキレン部分であり、及びＲａｕは−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３または−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３であり、更にｂ’及びｂ’’は１〜５の整数であり、ｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、及びブロックＡはビニルアリールから誘導され、及びブロックＢはラクトン、ラクタム、エポキシド、環状カーボネート、またはブロックＡが誘導されるビニルアリールとは同一ではないエチレン性不飽和モノマーから誘導され、更にブロックＡ及びＢは化学的に異なっておりかつ相分離可能である］
あるいは、連結基を持つブロックコポリマーが構造（２０）を有し、
【化５７】
2021130821.tif 000017
［式中、Ｅ’及びＥ’’は独立して水素またはメチルから選択され、Ｒａｘは水素、Ｃ１〜Ｃ３アルキル基、Ｃ３〜Ｃ２０トリアルキルシリル基、Ｃ３〜Ｃ２０トリアルキルゲルマニウム基、Ｃ３〜Ｃ２０トリアルキルスズ基、Ｃ３〜Ｃ２０トリアルキルチタン基、Ｃ２〜Ｃ２０アルキルカルボニル、Ｃ２〜Ｃ２０アルキルカルボニルオキシ、Ｃ１〜Ｃ２０アルコキシまたはＣ９〜Ｃ３６トリス（トリアルキルシリル）シリル基であり、Ｒａｖは、Ｃ１〜Ｃ４アルキレンスペーサー部分であり、及びＲａｗは、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３または−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３であり、更にｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、及びｂａは１〜５の整数であり、更にブロックＡはビニルアリールから誘導され、及びブロックＢはラクトン、ラクタム、エポキシドまたは環状カーボネートから誘導され、更にブロックＡ及びＢは相分離可能である］
上記１〜４のいずれか一つに記載のブロックコポリマー。
７．
ブロックコポリマーが、構造（２１ａ）及び（２１ｂ）を有するブロックコポリマーの混合物である、上記１〜６のいずれか一つに記載のブロックコポリマー。
【化５８】
2021130821.tif 000018
［式中、ｘｂは１〜６の整数であり、及びｙｂは４〜２０の整数であり、更にブロックＡはビニルアリールから誘導され、及びブロックＢはラクトン、ラクタム、エポキシドまたは環状カーボネートから誘導され、更にブロックＡ及びＢは化学的に異なっておりかつ相分離可能である］
８．
連結部分Ｘ（Ｙ（Ｚ）ｂ）ａが、約３０ｍＮｍ−１未満の表面エネルギーを有する、上記１〜７のいずれか一つに記載のブロックコポリマー。
９．
上記１〜８のいずれか一つに記載のブロックコポリマー及び溶媒を含む、組成物。
１０．
他のブロックコポリマーを更に含む、上記９に記載の組成物。
１１．
ホモポリマーを更に含む、上記９または１０に記載の組成物。
１２．
周期性Ｌｏを有するブロックコポリマーの層を用いて未パターン化基材上で第一及び第二ブロックコポリマードメインを垂直に配向する方法であって、次のステップ：
ａ）上記９〜１１のいずれか一つに記載の組成物を用いて、連結基を有するブロックコポリマーのコーティング層を上記の未パターン化基材上に形成するステップ；及び
ｂ）このブロックコポリマーの層をアニールして、上記未パターン化基材上に垂直に配向した、ゼロ以外の正の整数の第一及び第二のブロックコポリマードメインを生成するステップ、
を含む前記方法。
１３．
周期性Ｌｏを有するブロックコポリマーから構成されるコーティングを用いて、第一のパターン化された基材上に第一及び第二のブロックコポリマードメインを垂直に配向し、ここでこの基材上のパターンのトポグラフィの高さが、Ｌｏの少なくとも０．７倍であり、及びこれらのドメインを前記パターンで整列させる方法であって、次のステップ：
ａ）上記９〜１１のいずれか一つに記載の組成物を用いて、連結基を有するブロックコポリマーのコーティング層を上記第一のトポグラフィ基材上に形成し、ここで、該ブロックコポリマーのコーティング層の平均厚さの厚さが、第一のトポグラフィ基材のトポグラフィの高さ未満であり、該ブロックコポリマー層は、トポグラフィによって側面が閉じ込められており；及び
ｂ）該ブロックコポリマー層をアニールして、上記第一のパターン化された基材上に垂直に配向しておりかつ凹んだ領域内に閉じ込められた、第一及び第二のブロックコポリマードメインを生成するステップ、
を含む前記方法。
１４．
トポグラフィパターンを有する第二のパターン化された基材上に周期性Ｌｏを持つ第一及び第二ブロックコポリマードメインを垂直に配向させ、ここで前記トポグラフィパターンは、Ｌｏの０．７倍超のトポグラフィの高さ及びピッチＰ１を有し、ピッチＰ１は、Ｌｏを乗じたゼロ以外の正の整数であり、及びこれらのドメインを前記パターンで整列させる方法であって、次のステップａ）及びｂ）：
ａ）上記９〜１１のいずれか一つに記載の組成物を用いて、表面活性連結基を有するブロックコポリマーのコーティング層を、上記の第二のパターン化基材上に形成し、ここで該ブロックコポリマーのコーティング層の厚さが、第二のパターン化基材のトポグラフィの高さ超であるステップ；及び
ｂ）上記ブロックコポリマー層をアニールして、上記第二のパターン化基材上に垂直に配向したゼロ以外の正の整数の第一及び第二のブロックコポリマードメインを生成し、そしてこれらのドメインを第二のパターン化基材に整列させ、ここで垂直に配向されたドメインの総和がトポグラフィパターンのピッチＰ１以上であるステップ、
を含む前記方法。
１５．
ピッチＰ２を有する表面化学的プリパターンを有する基材上に第一及び第二ブロックコポリマードメインを垂直に配向させ、ここでピッチＰ２はＬｏを乗じたゼロ以外の正の整数であり、及びこれらのドメインを整列させる方法であって、次のステップ：
ａ）上記９〜１１のいずれか一つに記載の組成物を用いて、表面活性連結基を有するブロックコポリマーのコーティング層を、表面化学的プリパターンを有する基材上に形成させるステップ；及び
ｂ）前記ブロックコポリマー層をアニールして、ピッチＰ２を有する表面化学的プリパターンを有する基材で整列された、垂直に配向した第一及び第二のブロックコポリマードメインを生成するステップ、
を含む前記方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の構造（７）、構造（９）、構造（１０）、構造（１１）、構造（１２）または構造（１４）を有し、かつ３，０００〜５００，０００ｇ／モルの範囲の重量平均分子量（Ｍｗ）、及び１，０００〜６０，０００ｇ／モルの数平均分子量（Ｍｎ）、及び１．０１〜６の多分散性（Ｍｗ／Ｍｎ）（ＰＤ）を有する、連結基を持つブロックコポリマー。
構造（７）：
【化１】
2021130821.tif 000019
［式中、
Ｒ２’は水素、Ｃ１〜Ｃ８アルキル基、またはＣ６〜Ｃ２０アリール基であり、
Ｒ３’及びＲ４’は、独立して、Ｃ１〜Ｃ８アルキル基、水素、臭素、塩素、またはヨウ素であり、
ｘａは１〜６の整数であり、
ｙａは２〜１６の整数であり、そしてｗ及びｗ’は独立して１〜４の整数であり；
ブロックＡは、ラクトン、エポキシドまたは環状カーボネートから誘導され、そして
ブロックＢは、ビニルアリールモノマーから誘導され、ここで前記ビニルアリールモノマー中のアリール基は、トリ（Ｃ１〜Ｃ８アルキル）シリル基、トリ（Ｃ１〜Ｃ８アルキル）シリル（Ｃ１〜Ｃ８アルキレン）基、及びトリ（Ｃ１〜Ｃ８アルキル）シリル（Ｃ２〜Ｃ８オキシアルキレン）基からなる群から選択されるケイ素含有基で置換されており、更にここでブロックＡ及びＢは相分離可能である］
構造（９）：
【化２】
2021130821.tif 000020
［式中、Ｒ２’は水素、Ｃ１〜Ｃ８アルキル基またはＣ６〜Ｃ２０アリール基であり、Ｒ３’及びＲ４’は独立してＣ１〜Ｃ８アルキル基、水素、臭素、塩素またはヨウ素であり、ｘａ及びｘｂは独立して１〜６の整数であり；ｙａは２〜１６の整数であり；ｗ及びｗ’は独立して１〜４の整数であり、そしてｂ’は１〜５の整数であり、
ブロックＡは、ラクトン、エポキシドまたは環状カーボネートから誘導され、そしてブロックＢは、ビニルアリールモノマーから誘導され、ここで前記ビニルアリールモノマー中のアリール基は、トリ（Ｃ１〜Ｃ８アルキル）シリル基、トリ（Ｃ１〜Ｃ８アルキル）シリル（Ｃ１〜Ｃ８アルキレン）基、及びトリ（Ｃ１〜Ｃ８アルキル）シリル（Ｃ２〜Ｃ８オキシアルキレン）基からなる群から選択されるケイ素含有基で置換されており、更にここでブロックＡ及びＢは相分離可能である］
構造（１０）：
【化３】
2021130821.tif 000021
［式中、Ｒ２’は、Ｃ１〜Ｃ４アルキルから選択され、及びＲ３’及びＲ４’は、独立して、Ｃ１〜Ｃ８アルキル基であり、及びＲａｂは、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３及び−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３からなる群から選択され、及び更にｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、及びｘｂ、ｗ及びｗ’は独立して１〜５の整数であり、及び更にブロックＢはビニルアリールから誘導され、及びブロックＡはラクトン、ラクタム、エポキシドまたは環状カーボネートから誘導され、及び更にブロックＡ及びＢは相分離可能である］
構造（１１）：
【化４】
2021130821.tif 000022
［式中、Ｒ２’はＣ１〜Ｃ４アルキルから選択され、及びＲ３’及びＲ４’は独立してＣ１〜Ｃ８アルキル基であり、及びＲｆ１及びＲｆ２は独立して−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、または−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３から選択され、更にここでｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、更にここでブロックＢはビニルアリールから誘導され、及びブロックＡは、ラクトン、ラクタム、エポキシドまたは環状カーボネートから誘導され、及び更にブロックＡ及びＢは化学的に異なっておりかつ相分離可能である］
構造（１２）：
【化５】
2021130821.tif 000023
［式中、Ｘ’は直接原子価結合または基（１３）である］
【化６】
2021130821.tif 000024
［式中、Ｒ５’は、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３または−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３であり、及びＲ６’は、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３または水素であり、Ｒ７’及びＲ９’は独立して水素及びＣ１〜Ｃ４アルキルであり、Ｒ８’及びＲ１０’は、独立して、水素、Ｃ１〜Ｃ４アルキルまたはＣ２〜Ｃ６アルキレンオキシアルキル基から選択され、Ｘ’’は、−Ｏ−または−Ｓ−であり、及びｂａ及びｂｂは１〜５の整数であり、ｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、
及び、更にブロックＡはビニルアリールから誘導され、及びブロックＢはラクトン、ラクタム、エポキシドまたは環状カーボネートから、またはＸ’が直接原子価結合である場合には、エチレン性不飽和モノマーから誘導され、更にブロックＡ及びＢは相分離可能である］
構造（１４）：
【化７】
2021130821.tif 000025
［式中、Ｒａｃは−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３であり、及びＲａｄは−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３または水素であり、更にｑは０〜１０の整数であり、及びｒは１〜１０の整数であり、更にブロックＡはビニルアリールから誘導され、及びブロックＢは、ラクトン、ラクタム、エポキシド、環状カーボネートまたはエチレン性不飽和モノマーから誘導され、更にブロックＡ及びＢは相分離可能である］
【請求項２】
次の構造（２０）を有し、かつ３，０００〜５００，０００ｇ／モルの範囲の重量平均分子量（Ｍｗ）、及び１，０００〜６０，０００ｇ／モルの数平均分子量（Ｍｎ）、及び１．０１〜６の多分散性（Ｍｗ／Ｍｎ）（ＰＤ）を有する、連結基を持つブロックコポリマー。
【化８】
2021130821.tif 000026
［式中、Ｅ’及びＥ’’は独立して水素またはメチルから選択され、Ｒａｘは水素、Ｃ１〜Ｃ３アルキル基、Ｃ３〜Ｃ２０トリアルキルシリル基、Ｃ３〜Ｃ２０トリアルキルゲルマニウム基、Ｃ３〜Ｃ２０トリアルキルスズ基、Ｃ３〜Ｃ２０トリアルキルチタン基、Ｃ２〜Ｃ２０アルキルカルボニル、Ｃ２〜Ｃ２０アルキルカルボニルオキシ、Ｃ１〜Ｃ２０アルコキシまたはＣ９〜Ｃ３６トリス（トリアルキルシリル）シリル基であり、Ｒａｖは、Ｃ１〜Ｃ４アルキレンスペーサー基であり、及びＲａｗは、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−）ｒ−ＣＦ３、−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３、−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３または−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−（−ＣＨ２−）ｑ（−ＣＦ２−Ｏ−）ｓ（−ＣＦ２ＣＦ２−Ｏ）ｔ（ＣＦ２）ｕＣＦ３であり、更にｑは０〜１０の整数であり、ｒは１〜１０の整数であり、ｓは０〜１０の整数であり、ｔは１〜１０の整数であり、ｕは０と１０との間の整数であり、及びｂａは１〜５の整数であり、更にブロックＡはビニルアリールから誘導され、及びブロックＢはラクトン、ラクタム、エポキシドまたは環状カーボネートから誘導され、更にブロックＡ及びＢは相分離可能である］
【請求項３】
それぞれ３，０００〜５００，０００ｇ／モルの範囲の重量平均分子量（Ｍｗ）、及び１，０００〜６０，０００ｇ／モルの数平均分子量（Ｍｎ）、及び１．０１〜６の多分散性（Ｍｗ／Ｍｎ）（ＰＤ）を有する次の構造（２１ａ）及び（２１ｂ）を有するブロックコポリマーの混合物である、連結基を持つブロックコポリマー。
【化９】
2021130821.tif 000027
［式中、ｘｂは１〜６の整数であり、及びｙｂは４〜２０の整数であり、更にブロックＡはビニルアリールから誘導され、及びブロックＢはラクトン、ラクタム、エポキシドまたは環状カーボネートから誘導され、更にブロックＡ及びＢは化学的に異なっておりかつ相分離可能である］
【請求項４】
連結基が、３０ｍＮｍ−１未満の表面エネルギーを有する、請求項１〜３のいずれか一つに記載のブロックコポリマー。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一つに記載のブロックコポリマー及び溶媒を含む、組成物。
【請求項６】
他のブロックコポリマーを更に含み、該他のブロックコポリマーが、連結基は含まないが、エチレン性不飽和モノマーまたは環状モノマーのいずれかから誘導されるブロックを含み、上記エチレン性不飽和モノマーが、ビニルアリールモノマー、アルキルビニルモノマー、アルキルメタクリレートモノマー、またはアルキルアクリレートモノマーから選択され、上記環状モノマーが、エポキシド、ラクトン、ラクタムまたは環状カーボネートから選択される、請求項５に記載の組成物。
【請求項７】
エチレン性不飽和モノマーまたは環状モノマーから誘導されるホモポリマーを更に含み、前記エチレン性不飽和モノマーがビニルアリールモノマー、アルキルビニルモノマー、アルキルメタクリレートモノマーまたはアルキルアクリレートモノマーから選択され、前記環状モノマーが、エポキシド、ラクトン、ラクタムまたは環状カーボネートから選択される、請求項５または６に記載の組成物。
【請求項８】
周期性Ｌｏを有するブロックコポリマーの層を用いて未パターン化基材上で第一及び第二ブロックコポリマードメインを垂直に配向する方法であって、次のステップ：
ａ）請求項５〜７のいずれか一つに記載の組成物を用いて、連結基を有するブロックコポリマーのコーティング層を上記の未パターン化基材上に形成するステップ；及び
ｂ）このブロックコポリマーの層をアニールして、上記未パターン化基材上に垂直に配向した、ゼロ以外の正の整数の第一及び第二のブロックコポリマードメインを生成するステップ、
を含む前記方法。
【請求項９】
周期性Ｌｏを有するブロックコポリマーから構成されるコーティングを用いて、パターン化された基材上に第一及び第二のブロックコポリマードメインを垂直に配向し、ここでこの基材上のパターンのトポグラフィの高さが、Ｌｏの少なくとも０．７倍であり、及びこれらのドメインを前記パターンで整列させる方法であって、次のステップ：
ａ）請求項５〜７のいずれか一つに記載の組成物を用いて、連結基を有するブロックコポリマーのコーティング層を上記トポグラフィ基材上に形成し、ここで、該ブロックコポリマーのコーティング層の平均厚さが、上記トポグラフィ基材のトポグラフィの高さ未満であり、該ブロックコポリマー層は、トポグラフィによって側面が閉じ込められており；及び
ｂ）該ブロックコポリマー層をアニールして、上記パターン化された基材上に垂直に配向しておりかつ凹んだ領域内に閉じ込められた、第一及び第二のブロックコポリマードメインを生成するステップ、
を含む前記方法。
【請求項１０】
トポグラフィパターンを有するパターン化された基材上に周期性Ｌｏを持つ第一及び第二ブロックコポリマードメインを垂直に配向させ、ここで前記トポグラフィパターンは、Ｌｏの０．７倍超のトポグラフィの高さ及びピッチＰ１を有し、ピッチＰ１は、Ｌｏを乗じたゼロ以外の正の整数であり、及びこれらのドメインを前記パターンで整列させる方法であって、次のステップａ）及びｂ）：
ａ）請求項５〜７のいずれか一つに記載の組成物を用いて、表面活性連結基を有するブロックコポリマーのコーティング層を、上記のパターン化基材上に形成し、ここで該ブロックコポリマーのコーティング層の厚さが、上記パターン化基材のトポグラフィの高さ超であるステップ；及び
ｂ）上記ブロックコポリマー層をアニールして、上記パターン化基材上に垂直に配向したゼロ以外の正の整数の第一及び第二のブロックコポリマードメインを生成し、そしてこれらのドメインをパターン化基材に整列させ、ここで垂直に配向されたドメインの総和がトポグラフィパターンのピッチＰ１以上であるステップ、
を含む前記方法。
【請求項１１】
ピッチＰ２を有する表面化学的プリパターンを有する基材上に第一及び第二ブロックコポリマードメインを垂直に配向させ、ここでピッチＰ２はＬｏを乗じたゼロ以外の正の整数であり、及びこれらのドメインを整列させる方法であって、次のステップ：
ａ）請求項５〜７のいずれか一つに記載の組成物を用いて、表面活性連結基を有するブロックコポリマーのコーティング層を、表面化学的プリパターンを有する基材上に形成させるステップ；及び
ｂ）前記ブロックコポリマー層をアニールして、ピッチＰ２を有する表面化学的プリパターンを有する基材で整列された、垂直に配向した第一及び第二のブロックコポリマードメインを生成するステップ、
を含む前記方法。
【請求項１２】
第一及び第二のコポリマードメインを含む構造体において、前記第一及び第二のコポリマードメインは、周期性Ｌｏを有するブロックコポリマーのコーティング層から形成され、かつ未パターン化基材上に垂直に配向している、構造体であって、
前記ブロックコポリマーが請求項１〜４のいずれか一つに記載のブロックコポリマーである、前記構造体。
【請求項１３】
第一及び第二のコポリマードメインを含む構造体において、前記第一及び第二のコポリマードメインは、周期性Ｌｏを有するブロックコポリマーのコーティング層から形成され、かつパターン化された基材上に垂直に配向されている、構造体であって、
・前記ブロックコポリマーが、請求項１〜４のいずれか一つに記載のブロックコポリマーであり、
・前記基材上のパターンのトポグラフィの高さが、Ｌｏの少なくとも０．７倍であり、
・前記ドメインが前記パターンで整列されており、かつ前記トポグラフィ中の凹んだ領域内に閉じ込められており、及び
・前記ブロックコポリマーのコーティング層の平均厚さが、前記トポグラフィ基材のトポグラフィの高さ未満である、
前記構造体。
【請求項１４】
ゼロ以外の正の整数の第一及び第二のコポリマードメインを含む構造体において、前記第一及び第二のコポリマードメインは、ブロックコポリマーのコーティング層から形成され、かつパターン化された基材上に垂直に配向されている、構造体であって、
・前記ブロックコポリマーが、請求項１〜４のいずれか一つに記載のブロックコポリマーであり、
・前記ドメインが前記パターンで配列されており、かつＬｏの周期性を有し、
・前記パターン化された基材が、Ｌｏの０．７倍超のトポグラフィの高さ及びピッチＰ１を有するトポグラフィパターンを有し、ここでピッチＰ１は、Ｌｏを乗じたゼロ以外の正の整数であり、
・前記ブロックコポリマーのコーティング層の厚さが、前記パターン化された基材のトポグラフィの高さ超であり、及び
・垂直に配向したドメインの総和が前記トポグラフィパターンのピッチＰ１の高さ以上である、
前記構造体。
【請求項１５】
第一及び第二のコポリマードメインを含む構造体において、前記第一及び第二のコポリマーブロックは、ブロックコポリマーのコーティング層から形成され、かつ表面化学的プリパターンを持つ基材上に垂直に配向されており、かつ前記表面化学的プリパターンは、Ｌｏを乗じたゼロ以外の正の整数であるピッチＰ２を有する、構造体であって、
・前記ブロックコポリマーは、請求項１〜４のいずれか一つに記載のブロックコポリマーであり、及び
・前記第一及び第二のドメインは、ピッチＰ２を有する表面化学的プリパターンを有する前記基材で整列されている、
前記構造体。