(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の機能ブロックを有する半導体装置からの出力信号を検査する装置であって、
前記各機能ブロックからの出力信号を所定周期で切換入力して合成する合成手段と、
前記合成した信号を処理するディジタイザと、を備え、
前記ディジタイザは、
前記合成した信号から前記各出力信号成分をそれぞれ抽出する複数の抽出手段と、
前記抽出した各出力信号成分をそれぞれ周波数スペクトル変換する変換手段と、を備えることを特徴とする半導体装置の検査装置。
【請求項２】
複数の機能ブロックを有する半導体装置からの出力信号を検査する方法であって、
前記各機能ブロックからの出力信号を所定周期で切換入力して合成するステップと、
前記合成した信号をディジタイザにより処理する処理ステップとを含み、
前記処理ステップは、
前記合成した信号から前記各出力信号成分をそれぞれ抽出するステップと、
前記抽出した各出力信号成分をそれぞれ周波数スペクトル変換するステップと、を含むことを特徴とする半導体装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、複数の機能ブロックを有する半導体装置からの出力信号を検査する装置および方法に係り、特に、複数の出力信号を同時に検査するのに好適な半導体装置の検査装置およびその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
複数の機能ブロックを有する半導体装置の検査においては、効率化を図るために、各機能ブロックからの出力信号を同時に検査できることが要求されている。これを実現するために、従来、半導体装置の検査においては、機能ブロックからの出力信号を周波数スペクトルに変換して表示するディジタイザを、機能ブロックの数だけテスタに搭載し、それらディジタイザにより、各機能ブロックからの出力信号をそれぞれ別々に検査していた。すなわち、例えば、検査対象となる機能ブロックが３つあるときは、３つのディジタイザをテスタに搭載する必要があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、従来の半導体装置の検査においては、検査対象となる機能ブロックが多数にわたる場合は、多数のディジタイザをテスタに搭載する必要があるため、検査対象となる機能ブロックの数に比例してコストがかかり、また、テスタに搭載できるディジタイザの数には限度があるため、この搭載数を越えた機能ブロックを有する半導体装置については、各機能ブロックからの出力信号を同時に検査することができないという問題があった。さらに、各機能ブロックからの出力信号をそれぞれ別々に検査していたため、検査対象となる機能ブロックが多数にわたる場合は、検査が煩雑となって検査の正確性を損なうおそれがあるという問題もあった。
【０００４】
そこで、本発明は、このような従来の問題を解決することを課題としており、コストの面で有利であるとともに、多数の機能ブロックを有する半導体装置であっても同時検査が可能となる半導体装置の検査装置およびその方法を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る請求項１記載の半導体装置の検査装置は、複数の機能ブロックを有する半導体装置からの出力信号を検査する装置であって、前記各機能ブロックからの出力信号を所定周期で切換入力して合成する合成手段と、前記合成した信号を処理するディジタイザと、を備え、前記ディジタイザは、前記合成した信号から前記各出力信号成分をそれぞれ抽出する複数の抽出手段と、前記抽出した各出力信号成分をそれぞれ周波数スペクトル変換する変換手段と、を備える。
【０００６】
このような構成であれば、各機能ブロックから出力信号が出力されたときは、合成手段により、各出力信号が所定周期で切換入力されて合成され、ディジタイザにより、合成された信号が処理される。ディジタイザでは、複数の抽出手段により、合成された信号から各出力信号成分がそれぞれ抽出され、変換手段により、抽出された各出力信号成分がそれぞれ周波数スペクトル変換される。
【０００８】
ここで、より具体的な構成としては、請求項１記載の半導体装置の検査装置において、前記変換した周波数スペクトルを出力する出力手段を備える。このような構成であれば、変換手段で周波数スペクトル変換されたのちは、出力手段により、その変換された周波数スペクトルが出力される。
【０００９】
ここで、出力手段は、例えば、ＣＲＴ等の表示手段、プリンタ等の印刷手段、ＦＤＤ等の情報書込手段、若しくはモデム等の通信手段であってもよく、または、これらの手段に、変換した周波数スペクトルを出力するための処理であってもよい。
【００１０】
また、より具体的な構成としては、請求項１記載の半導体装置の検査装置において、前記変換した周波数スペクトルに基づいて所定の判定処理を行う判定処理手段を備える。このような構成であれば、変換手段で周波数スペクトル変換されたのちは、判定処理手段により、所定の判定処理が行われる。
【００１１】
ここで、判定処理手段による判定処理としては、例えば、変換した周波数スペクトルが、所定値を上回っているか否か、所定値を下回っているか否か等のリミット判定処理、所定の周波数領域に属しているか否か等の領域判定処理が挙げられる。
【００２０】
一方、本発明に係る請求項２記載の半導体装置の検査方法は、複数の機能ブロックを有する半導体装置からの出力信号を検査する方法であって、前記各機能ブロックからの出力信号を所定周期で切換入力して合成するステップと、前記合成した信号をディジタイザにより処理する処理ステップとを含み、前記処理ステップは、前記合成した信号から前記各出力信号成分をそれぞれ抽出するステップと、前記抽出した各出力信号成分をそれぞれ周波数スペクトル変換するステップと、を含む。
【００２２】
ここで、より具体的な方法としては、請求項２記載の半導体装置の検査方法において、前記変換した周波数スペクトルを出力するステップを含む。このステップは、例えば、ＣＲＴ等の表示手段、プリンタ等の印刷手段、ＦＤＤ等の情報書込手段、またはモデム等の通信手段に出力するものである。
【００２３】
また、より具体的な方法としては、請求項２記載の半導体装置の検査方法において、前記変換した周波数スペクトルに基づいて所定の判定処理を行うステップを含む。このステップによる判定処理としては、上記請求項１記載に同様のものが挙げられる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明に係る半導体装置の検査装置の第１の実施の形態の構成を示すブロック図である。
【００２８】
まず、構成を説明すると、図１中、２つの機能ブロック１１０，１２０を有する半導体装置１００には、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号を検査する検査装置２００が取り付けられている。なお、発明の理解を容易にするため、機能ブロックを２つしか図示していないが、実際には、さらに複数の機能ブロックが半導体装置１００に含まれている。
【００２９】
半導体装置１００は、ディジタル／アナログコンバータ（ＤＡＣ）機能を有する機能ブロック１１０と、ディジタル／アナログコンバータ（ＤＡＣ）機能を有する機能ブロック１２０と、機能ブロック１１０の入力端子１１２および出力端子１１４と、機能ブロック１２０の入力端子１２２および出力端子１２４と、で構成されている。
【００３０】
検査装置２００は、入力端子１１２，１２２にそれぞれ所定値のディジタル入力信号を与える入力信号発振器２１０と、出力端子１１４からの出力信号と出力端子１２４からの出力信号とを加算する加算器２４０と、加算器２４０で加算された信号を高速フーリエ変換（ＦＦＴ）により周波数スペクトル変換する周波数スペクトル変換装置２６０と、周波数スペクトル変換装置２６０で変換された周波数スペクトルを表示する表示装置２７０と、で構成されている。なお、図中、周波数スペクトル変換装置２６０と、表示装置２７０と、でディジタイザ３００を構成している。また、図示しないが、周波数スペクトル変換装置２６０は、入力信号の高周波成分を除去するＬＰＦ（Low Pass Filter ）を有している。
【００３１】
次に、上記第１の実施の形態の動作を図面を参照しながら説明する。図２は、ディジタイザ３００に入出力される信号を示すグラフであって、図２（ａ）は、周波数スペクトル変換装置２６０に入力される信号を示すグラフであり、図２（ｂ）は、表示装置２７０に表示される信号を示すグラフである。
【００３２】
まず、半導体装置１００の検査を開始するにあたり、入力信号発振器２１０において、各機能ブロック１１０，１２０からそれぞれ異なる周波数の出力信号が得られるように、各機能ブロック１１０，１２０に与えるディジタル入力信号の値をそれぞれ設定する。すなわち、機能ブロック１１０，１２０の設計仕様から、機能ブロック１１０に与えるディジタル入力信号の値を、機能ブロック１１０からの出力信号の周波数が、例えば０．９９［ｋＨｚ］となるような所定値に設定し、機能ブロック１１０に与えるディジタル入力信号の値を、機能ブロック１２０からの出力信号の周波数が、例えば１．０７［ｋＨｚ］となるような所定値に設定する。
【００３３】
なお、周波数スペクトル変換装置２６０においては、例えば、サンプリング周波数を８８．２［ｋＨｚ］、サンプリング点数を２０４８点、図示しないＬＰＦの共振周波数を３０［ｋＨｚ］に設定する。
【００３４】
このように入力信号発振器２１０を設定したのち、半導体装置１００の検査を開始すると、機能ブロック１１０では、入力信号発振器２１０からのディジタル入力信号を受けて、周波数０．９９［ｋＨｚ］の正弦波からなる出力信号が出力される。一方、機能ブロック１２０では、同様に、入力信号発振器２１０からのディジタル入力信号を受けて、周波数１．０７［ｋＨｚ］の正弦波からなる出力信号が出力される。
【００３５】
各機能ブロック１１０，１２０から出力信号が出力されると、加算器２４０により、機能ブロック１１０からの出力信号と、機能ブロック１２０からの出力信号と、が加算される。すなわち、加算器２４０からは、図２（ａ）に示すように、周波数０．９９［ｋＨｚ］，１．０７［ｋＨｚ］の正弦波を含んだ信号が出力される。
【００３６】
そして、ディジタイザ３００では、周波数スペクトル変換装置２６０により、加算器２４０からの出力信号が周波数スペクトル変換され、表示装置２７０により、図２（ｂ）に示すように、変換された周波数スペクトルが表示される。
【００３７】
このように各機能ブロック１１０，１２０からは、それぞれ異なる周波数の出力信号が出力されるので、表示装置２７０には、図２（ｂ）に示すように、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号が異なる周波数スペクトル（０．９９［ｋＨｚ］，１．０７［ｋＨｚ］）として表示される。したがって、表示装置２７０の表示に基づけば、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号について、その信号成分、高調波成分、雑音成分等の検査を同時に行うことができる。
【００３８】
このようにして、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号を加算する加算器２４０と、加算した信号を周波数スペクトル変換する周波数スペクトル変換装置２６０と、を備えたから、多数の機能ブロックを有する半導体装置を検査する場合であっても、ディジタイザ３００を増設する必要がないので、従来に比して、コストを削減することができるとともに、多数の機能ブロックを有する半導体装置であっても、機能ブロックの数に制限を受けることなく同時検査を行うことができる。
【００３９】
また、各機能ブロック１１０，１２０からそれぞれ異なる周波数の出力信号が得られるように各機能ブロック１１０，１２０に所定の入力信号を与える入力信号発振器２１０を備えたから、表示装置２７０において、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号を異なる周波数領域で表示することができるので、各出力信号の検査を確実に行うことができる。
【００４０】
次に、本発明の第２の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図３は、本発明に係る半導体装置の検査装置の第２の実施の形態の構成を示すブロック図である。なお、以下、上記第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００４１】
まず、構成を説明すると、図３中、半導体装置１００には、検査装置２００が取り付けられている。なお、発明の理解を容易にするため、機能ブロックを２つしか図示していないが、実際には、さらに複数の機能ブロックが半導体装置１００に含まれている。
【００４２】
半導体装置１００は、機能ブロック１１０と、機能ブロック１２０と、入力端子１１２および出力端子１１４と、入力端子１２２および出力端子１２４と、で構成されている。
【００４３】
検査装置２００は、入力信号発振器２１０と、出力端子１１４からの出力信号の高周波雑音を除去するＬＰＦ２２２と、所定周波数のキャリアを出力するキャリア発振器２３２と、ＬＰＦ２２２からの出力信号をキャリア発振器２３２からのキャリアで周波数変調する変調器２３４と、出力端子１２４からの出力信号の高周波雑音を除去するＬＰＦ２２４と、所定周波数のキャリアを出力するキャリア発振器２３６と、ＬＰＦ２２４からの出力信号をキャリア発振器２３６からのキャリアで周波数変調する変調器２３８と、変調器２３４からの出力信号と変調器２３８からの出力信号とを加算する加算器２４０と、周波数スペクトル変換装置２６０と、表示装置２７０と、で構成されている。なお、図中、周波数スペクトル変換装置２６０と、表示装置２７０と、でディジタイザ３００を構成している。
【００４４】
次に、上記第２の実施の形態の動作を図面を参照しながら説明する。図４は、ディジタイザ３００に入出力される信号を示すグラフであって、図４（ａ）は、周波数スペクトル変換装置２６０に入力される信号を示すグラフであり、図４（ｂ）は、表示装置２７０に表示される信号を示すグラフである。
【００４５】
まず、半導体装置１００の検査を開始するにあたり、キャリア発振器２３２，２３６において、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号を異なる周波数のキャリアで変調するために、キャリアの周波数をそれぞれ設定する。すなわち、キャリア発振器２３２においては、キャリアの周波数を、例えば４４．１［ｋＨｚ］に設定し、キャリア発振器２３６においては、キャリアの周波数を、例えば１３２．３［ｋＨｚ］に設定する。
【００４６】
また、入力信号発振器２１０においては、各機能ブロック１１０，１２０からそれぞれ同一の周波数の出力信号が得られるように、各機能ブロック１１０，１２０に与えるディジタル入力信号の値をそれぞれ設定する。すなわち、機能ブロック１１０，１２０の設計仕様から、各機能ブロック１１０，１２０に与えるディジタル入力信号の値をいずれも、機能ブロック１１０，１２０からの出力信号の周波数が、例えば０．９９［ｋＨｚ］となるような所定値に設定する。
【００４７】
なお、周波数スペクトル変換装置２６０においては、例えば、サンプリング周波数を３５２．８［ｋＨｚ］、サンプリング点数を８１９２点、図示しないＬＰＦの共振周波数を３００［ｋＨｚ］に設定する。
【００４８】
このようにキャリア発振器２３２，２３６および入力信号発振器２１０を設定したのち、半導体装置１００の検査を開始すると、機能ブロック１１０，１２０ではいずれも、入力信号発振器２１０からのディジタル入力信号を受けて、周波数０．９９［ｋＨｚ］の正弦波からなる出力信号が出力される。
【００４９】
各機能ブロック１１０，１２０から出力信号が出力されると、ＬＰＦ２２２により、各機能ブロック１１０からの出力信号の高調波雑音が除去され、変調器２３４により、ＬＰＦ２２２からの出力信号が周波数４４．１［ｋＨｚ］のキャリアで周波数変調される。一方、ＬＰＦ２２４により、各機能ブロック１２０からの出力信号の高調波雑音が除去され、変調器２３８により、ＬＰＦ２２４からの出力信号が周波数１３２．３［ｋＨｚ］のキャリアで周波数変調される。
【００５０】
次いで、加算器２４０により、変調器２３４からの出力信号と、変調器２３８からの出力信号と、が加算される。すなわち、加算器２４０からは、図４（ａ）に示すように、周波数０．９９［ｋＨｚ］の正弦波からなる変調信号が、周波数４４．１［ｋＨｚ］のキャリアで周波数変調されたものと、周波数０．９９［ｋＨｚ］の正弦波からなる変調信号が、周波数１３２．３［ｋＨｚ］のキャリアで周波数変調されたものと、を含んだ信号が出力される。
【００５１】
そして、ディジタイザ３００では、周波数スペクトル変換装置２６０により、加算器２４０からの出力信号が周波数スペクトル変換され、表示装置２７０により、図４（ｂ）に示すように、変換された周波数スペクトルが表示される。
【００５２】
このように変調器２３４，２３８では、それぞれ異なる周波数のキャリアで周波数変調されるので、表示装置２７０には、図４（ｂ）に示すように、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号が異なる周波数スペクトルとして表示される。したがって、表示装置２７０の表示に基づけば、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号について、その信号成分、高調波成分、雑音成分等の検査を同時に行うことができる。
【００５３】
このようにして、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号を加算する加算器２４０と、加算した信号を周波数スペクトル変換する周波数スペクトル変換装置２６０と、を備えたから、多数の機能ブロックを有する半導体装置を検査する場合であっても、ディジタイザ３００を増設する必要がないので、従来に比して、コストを削減することができるとともに、多数の機能ブロックを有する半導体装置であっても、機能ブロックの数に制限を受けることなく同時検査を行うことができる。
【００５４】
また、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号をそれぞれ異なる周波数のキャリアで変調する変調器２３４，２３８を備えたから、表示装置２７０において、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号を異なる周波数領域で表示することができるので、各出力信号の検査を確実に行うことができる。
【００５５】
さらに、変調器２３４，２３８は、ＬＰＦ２２２，２２４からの出力信号を周波数変調するようにしたから、表示装置２７０に表示される出力信号の周波数スペクトルから、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号成分を比較的容易に把握することができる。
【００５６】
次に、本発明の第３の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図５は、本発明に係る半導体装置の検査装置の第３の実施の形態の構成を示すブロック図である。なお、以下、上記第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００５７】
まず、構成を説明すると、図５中、半導体装置１００には、検査装置２００が取り付けられている。なお、発明の理解を容易にするため、機能ブロックを２つしか図示していないが、実際には、さらに複数の機能ブロックが半導体装置１００に含まれている。
【００５８】
半導体装置１００は、機能ブロック１１０と、機能ブロック１２０と、入力端子１１２および出力端子１１４と、入力端子１２２および出力端子１２４と、で構成されている。
【００５９】
検査装置２００は、入力信号発振器２１０と、所定周期（例えば、８８．２［ｋＨｚ］）の切換パルス信号を出力する切換パルス発振器２４２と、切換パルス発振器２４２からの切換パルス信号に基づいて各出力端子１１４，１２４からの出力信号を所定周期で切換入力するマルチプレクサ２４４と、マルチプレクサ２４４の出力信号から機能ブロック１１０の出力信号成分を抽出する出力信号抽出装置２５２と、マルチプレクサ２４４の出力信号から機能ブロック１２０の出力信号成分を抽出する出力信号抽出装置２５４と、出力信号抽出装置２５２，２５４からの出力信号を個別に周波数スペクトル変換する周波数スペクトル変換装置２６０と、表示装置２７０と、で構成されている。なお、図中、出力信号抽出装置２５２，２５４と、周波数スペクトル変換装置２６０と、表示装置２７０と、でディジタイザ３００を構成している。また、出力信号抽出装置２５２，２５４は、図示しないが、例えば切換パルス発振器２４２からの切換パルス信号に基づいて、出力信号を抽出するようになっている。
【００６０】
次に、上記第３の実施の形態の動作を図面を参照しながら説明する。図６は、ディジタイザ３００に入出力される信号を示すグラフであって、図６（ａ）は、マルチプレクサ２４４から出力される信号を示すグラフであり、図６（ｂ）は、周波数スペクトル変換装置２６０に入力される信号を示すグラフであり、図６（ｃ）は、表示装置２７０に表示される信号を示すグラフである。
【００６１】
まず、半導体装置１００の検査を開始するにあたり、入力信号発振器２１０において、各機能ブロック１１０，１２０からそれぞれ同一の周波数の出力信号が得られるように、各機能ブロック１１０，１２０に与えるディジタル入力信号の値をそれぞれ設定する。すなわち、機能ブロック１１０，１２０の設計仕様から、各機能ブロック１１０，１２０に与えるディジタル入力信号の値をいずれも、機能ブロック１１０，１２０からの出力信号の周波数が、例えば０．９９［ｋＨｚ］となるような所定値に設定する。
【００６２】
なお、周波数スペクトル変換装置２６０においては、例えば、サンプリング周波数を１７６．４［ｋＨｚ］、サンプリング点数を４０９６点に設定する。
このように入力信号発振器２１０を設定したのち、半導体装置１００の検査を開始すると、機能ブロック１１０，１２０ではいずれも、入力信号発振器２１０からのディジタル入力信号を受けて、周波数０．９９［ｋＨｚ］の正弦波からなる出力信号が出力される。
【００６３】
各機能ブロック１１０，１２０から出力信号が出力されると、マルチプレクサ２４４では、切換パルス発振器２４２からの切換パルス信号を受けて、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号が所定周期で切換入力される。すなわち、切換パルス信号がハイレベルであるときは、機能ブロック１１０からの出力信号が入力され、切換パルス信号がローレベルであるときは、機能ブロック１２０からの出力信号が入力されるので、マルチプレクサ２４４からは、図６（ａ）に示すような信号が出力される。なお、図中、白丸は機能ブロック１１０からの出力信号を示し、黒丸は、機能ブロック１２０からの出力信号を示している。
【００６４】
次いで、ディジタイザ３００では、図６（ｂ）に示すように、出力信号抽出装置２５２により、マルチプレクサ２４４の出力信号から機能ブロック１１０の出力信号成分が抽出され一方、出力信号抽出装置２５４により、マルチプレクサ２４４の出力信号から機能ブロック１２０の出力信号成分が抽出される。そして、周波数スペクトル変換装置２６０により、出力信号抽出装置２５２，２５４からの出力信号がそれぞれ周波数スペクトル変換され、表示装置２７０により、図６（ｃ）に示すように、変換された周波数スペクトルがそれぞれ表示される。
【００６５】
このように表示装置２７０には、図６（ｃ）に示すように、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号がそれぞれ個別に表示される。したがって、表示装置２７０の表示に基づけば、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号について、その信号成分、高調波成分、雑音成分等の検査を同時に行うことができる。
【００６６】
このようにして、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号を切換入力するマルチプレクサ２４４と、切換入力した信号を周波数スペクトル変換する周波数スペクトル変換装置２６０と、を備えたから、多数の機能ブロックを有する半導体装置を検査する場合であっても、ディジタイザ３００を増設する必要がないので、従来に比して、コストを削減することができるとともに、多数の機能ブロックを有する半導体装置であっても、機能ブロックの数に制限を受けることなく同時検査を行うことができる。
【００６７】
また、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号を所定周期で切換入力するマルチプレクサ２４４と、切換入力した信号から各出力信号成分を抽出する出力信号抽出装置２５２，２５４と、抽出した各出力信号成分をそれぞれ周波数スペクトル変換する周波数スペクトル変換装置２６０と、を備えたから、表示装置２７０において、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号をそれぞれ個別に表示することができるので、各出力信号の検査を確実に行うことができる。
【００６８】
なお、上記第３の実施の形態においては、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号を、表示装置２７０にそれぞれ個別に表示するように構成したが、これに限らず、例えば、入力信号発振器２１０において、各機能ブロック１１０，１２０からそれぞれ異なる周波数の出力信号が得られるように、各機能ブロック１１０，１２０に与える入力信号をそれぞれを設定し、周波数スペクトル変換装置２６０により、出力信号抽出装置２５２，２５４からの出力信号をそれぞれ周波数スペクトル変換した後、これらを一の表示画面に表示するように構成してもよい。
【００６９】
また、上記第１、第２および第３の実施の形態においては、周波数スペクトル２６０で変換した周波数スペクトルを単に表示装置２７０に表示するように構成したが、これに限らず、周波数スペクトル２６０で変換した周波数スペクトルに基づいて所定の判定処理を行う判定処理装置を設け、判定処理装置により、変換した周波数スペクトルについて、例えばリミット判定処理や領域判定処理等を行い、その結果を表示装置２７０に表示するように構成してもよい。
【００７０】
さらに、上記第１、第２および第３の実施の形態においては、各機能ブロック１１０，１２０からの出力信号を合成する手段を、それぞれ独立の構成として示したが、これに限らず、上記第１、第２および第３の実施の形態の構成を適宜組み合わせて構成してもよい。例えば、４つの機能ブロック１１０〜１４０がある場合に、機能ブロック１１０，１２０からの出力信号は、上記第１の実施の形態に示すように、加算することにより合成し、機能ブロック１３０，１４０からの出力信号は、上記第２の実施の形態に示すように、変調加算することにより合成し、さらに、機能ブロック１１０，１２０の加算信号と、機能ブロック１３０，１４０の変調加算信号とは、上記第３の実施の形態に示すように、所定周期で切換入力することにより合成するような構成とすることもできる。
【００７３】
また、上記第３の実施の形態において、マルチプレクサ２４０は、請求項１記載の合成手段に対応し、出力信号抽出装置２５２，２５４は、請求項１記載の抽出手段に対応し、周波数スペクトル変換装置２６０は、請求項１記載の変換手段に対応している。
【００７４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る半導体装置の検査装置によれば、従来に比して、コストを削減することができるとともに、多数の機能ブロックを有する半導体装置であっても、機能ブロックの数に制限を受けることなく同時検査を行うことができるという効果が得られる。また、各機能ブロックからの出力信号の検査を確実に行うことができるという効果も得られる。
【００７６】
一方、本発明に係る半導体装置の検査方法によれば、従来に比して、コストを削減することができるとともに、多数の機能ブロックを有する半導体装置であっても、機能ブロックの数に制限を受けることなく同時検査を行うことができるという効果が得られる。また、各機能ブロックからの出力信号の検査を確実に行うことができるという効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る半導体装置の検査装置の第１の実施の形態の構成を示すブロック図である。
【図２】ディジタイザ３００に入出力される信号を示すグラフである。
【図３】本発明に係る半導体装置の検査装置の第２の実施の形態の構成を示すブロック図である。
【図４】ディジタイザ３００に入出力される信号を示すグラフである。
【図５】本発明に係る半導体装置の検査装置の第３の実施の形態の構成を示すブロック図である。
【図６】ディジタイザ３００に入出力される信号を示すグラフである。
【符号の説明】
１００                半導体装置
１１０，１２０        機能ブロック
１１２，１２２        入力端子
１１４，１２４        出力端子
２００                検査装置
２１０                入力信号発振器
２２２，２２４        ＬＰＦ
２３２，２３６        キャリア発振器
２３４，２３８        変調器
２４０                加算器
２４２                切換パルス発振器
２４４                マルチプレクサ
２５２，２５４        出力信号抽出装置
２６０                周波数スペクトル変換装置
２７０                表示装置
３００                ディジタイザ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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