(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に液体（３、４）を保持する複数のタンク（１、２）のうち第１のタンク（１）内を減圧する脱泡工程（Ｓ１）と、
前記脱泡工程（Ｓ１）の後、脱泡した前記第１のタンク（１）内を加圧するとともに、第２のタンク（２）内を減圧し、前記第１のタンク（１）とノズル部（２３）とを繋ぐ配管（１９）内に前記第１のタンク（１）内の液体を流し込み、前記配管（１９）内の液体を押し出して、前記第２のタンク（２）と前記ノズル部（２３）とを繋ぐ配管（２０）を介して前記第２のタンク（２）内に移動させる移動工程（Ｓ２）と、
前記移動工程（Ｓ２）の後、前記第１のタンク（１）を加圧して、前記第１のタンク（１）と前記ノズル部（２３）とを繋ぐ前記配管（１９）を介してノズル部（２３）から被注入部品（２９）に液体（３）を注入する注入工程（Ｓ３）とを有することを特徴とする液体注入方法。
【請求項２】
前記複数のタンク（１、２）は２つのタンク（１、２）からなり、
前記２つのタンク（１、２）のうち、一方のタンク（１）を前記第１のタンクとするとともに、他方のタンク（２）を前記第２のタンクとして、前記脱泡工程、前記移動工程、および前記注入工程を順次行なった後、
前記一方のタンク（１）を前記第２のタンクとするとともに、前記他方のタンク（２）を前記第１のタンクとして、前記脱泡工程、前記移動工程、および前記注入工程を順次行なうことを特徴とする請求項１に記載の液体注入方法。
【請求項３】
前記第１のタンク（１）内の加圧が大気圧であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体注入方法。
【請求項４】
前記脱泡工程が前記第１のタンク（１）内を減圧するとともに、前記第１のタンク（１）内の液体（３）を攪拌することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の液体注入方法。
【請求項５】
内部に液体（３、４）を保持する第１、第２のタンク（１、２）と、
これら第１、第２のタンク（１、２）内を加圧または減圧するタンク加減圧手段（５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４）と、
前記第１、第２のタンク（１、２）内の前記液体（３、４）を被注入部品（２９）に注入する共通のノズル部（２３）と、
前記第１のタンク（１）と前記共通のノズル部（２３）とを繋ぐ配管（１９）と、
この配管（１９）の経路を開閉するバルブ（２１）と、
前記第２のタンク（２）と前記共通のノズル部（２３）とを繋ぐ配管（２０）と、
この配管（２０）の経路を開閉するバルブ（２２）とを備え、
前記共通のノズル部（２３）より前記被注入部品（２９）に前記第１のタンク（１）内の液体（３）を注入する前に、前記タンク加減圧手段（５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４）にて前記第１のタンク（１）内を加圧し、かつ前記第２のタンク（２）内を減圧した状態とし、前記第１のタンク（１）と前記共通のノズル部（２３）とを繋ぐ配管（１９）の経路を開閉する前記バルブ（２１）、および前記第２のタンク（２）と前記共通のノズル部（２３）とを繋ぐ配管（２０）の経路を開閉する前記バルブ（２２）を開いて、前記第１のタンク（１）と前記共通のノズル部（２３）とを繋ぐ前記配管（１９）内に前記第１のタンク（１）内の液体を流し込み、前記第１のタンク（１）と前記共通のノズル部（２３）とを繋ぐ前記配管（１９）内の液体を押し出して、前記第２のタンク（２）と前記共通のノズル部（２３）とを繋ぐ前記配管（２０）を介して前記第２のタンク（２）内に移動させる構成としたことを特徴とする液体注入装置。
【請求項６】
前記第１のタンク（１）を前記第２のタンクとし、前記第２のタンク（２）を前記第１のタンクとして、両タンク（１、２）の役割を交換することが可能であることを特徴とする請求項５に記載液体注入装置。
【請求項７】
前記タンク加減圧手段（５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４）の一部を構成するタンク加圧手段（５、６、７、８。）が、大気開放手段であることを特徴とする請求項５または６に記載の液体注入装置。
【請求項８】
前記第１、第２のタンク（１、２）に設けられ、前記第１、第２のタンク（１、２）内の液体（３、４）を攪拌する攪拌手段（１５、１６、１７、１８）を備えたことを特徴とする請求項５ないし７のいずれか１つに記載の液体注入装置。
【請求項９】
前記共通のノズル部（２３）の先端部（２３ａ）を内部に設け、前記被注入部品（２９）を内部に保持する密閉容器（２４）と、この密閉容器（２４）内を減圧する容器減圧手段（２５、２６、２７、２８）を備えたことを特徴とする請求項５ないし８のいずれか１つに記載の液体注入装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体注入方法および液体注入装置に関するもので、例えば電子部品にＩＣチップの保護材料を注入する方法および装置として好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば、電子部品にＩＣチップの保護を目的として液状の熱硬化性樹脂を注入する液体注入装置としては、図９に示すものが知られている。この液体注入装置は、液体１０３を保持しバルブ１０５の操作により大気開放可能なタンク１０１と、このタンク１０１内を減圧する真空ポンプ１１４と、タンク１０１に設けられタンク１０１内の液体１０３を攪拌する攪拌翼１１５と、液体１０３を被注入部品１２９に定量注入するノズル部１２３と、ノズル部１２３の先端１２３ａおよび被注入部品１２９を内部に保持する密閉チャンバ１２４と、密閉チャンバ１２４内を減圧する真空ポンプ１２８と、タンク１０１の底部１０１ａとノズル部１２３とを繋ぐ配管１１９とを備えて構成されている。
【０００３】
これにて、タンク１０１内を減圧するとともにタンク１０１内の液体１０３を攪拌して液体内に溶け込んでいる気体を除去する脱泡工程、タンク１０１内の減圧、攪拌を止め、バルブ１０５を開けタンク１０１内を大気開放するとともに密閉チャンバ１２４内を減圧し、密閉チャンバ１２４内に保持された被注入部品１２９にノズル部１２３より液体１０３を注入する液体注入工程が順に実行されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来技術では、脱泡工程中に、タンクの底部１０１ａとノズル部１２３とを繋ぐ配管１１９内に停留している液体中に溶けている気体が集まり、配管１１９内に気泡が発生する。そして、液体注入工程で配管１１９内の気泡を含む液体を被注入部品１２９に注入すると、液体注入量の精度が低下したり、注入された液体内の気泡が被注入部品１２９の性能を劣化するという欠点がある。
【０００５】
これに対して、被注入部品１２９に液体の注入を開始する前に、図９に示すバルブ１５０を開操作し、配管１１９内の気泡を含む液体を配管１５１を通して減圧された密閉チャンバ１２４内の容器１５２に排出し、配管１１９内にタンク１０１内の液体１０３を供給しておくというものがある。
【０００６】
こうすることで、被注入部品１２９に液体の注入を開始する前に、気泡を含まない液体で配管１１９内を満たすことができ、前記の欠点を克服することができるが、以下のような問題が生じる。
【０００７】
配管１１９から容器１５２に排出された気泡を含む液体を再利用しようとすると、容器１５２を密閉チャンバ１２４から取り出した後、液体注入工程が完了し次回の脱泡工程が開始される前に、容器１５２内の液体をタンク１０１に設けられた図示しない供給口からタンク１０１内に戻さなくてはならない。このとき、密閉チャンバ１２４から取り出した後の容器１５２内の液体が、液体注入装置外部の大気と長時間触れていると、大気中の異物（ほこり等）を取り込んでしまう可能性があるため、厳重に密閉して保管しなくてはならないという問題と、作業者の時間的ロスが発生する。
【０００８】
本発明は上記点に鑑みてなされたもので、タンクとノズル部とを繋ぐ配管内の液体を大気に触れることなく回収し、再利用できる液体注入方法および液体注入装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１ないし請求項４に記載の発明では、ノズル部（２３）から被注入部品（２９）に液体（３）を注入する注入工程（Ｓ３）を実行する前に、脱泡を完了した液体（３）を保持する第１のタンク（１）内を加圧し、同時に第２のタンク（２）内を減圧し、加圧した第１のタンク（１）とノズル部（２３）とを繋ぐ配管（１９）内に第１のタンク（１）内の液体を流し込み、この配管（１９）内の液体を押し出して、第２のタンク（２）とノズル部（２３）とを繋ぐ配管（２０）を介して第２のタンク（２）内に移動する移動工程（Ｓ２）を有することを特徴としている。
【００１０】
これによると、脱泡を完了した液体（３）を保持し加圧された第１のタンク（１）内の圧力と減圧された第２のタンク（２）内の圧力との差により、加圧した第１のタンク（１）とノズル部（２３）とを繋ぐ配管（１９）内に第１のタンク（１）内の液体を流し込み、この配管（１９）内の液体を押し出して、第２のタンク（２）とノズル部（２３）とを繋ぐ配管（２０）を介して第２のタンク（２）内に大気に触れることなく移動させ、回収、再利用することができる。また、第２のタンク（２）内の液体をそのまま利用できるため、従来行なわれていた排出された気泡を含む液体を密閉チャンバ（２４）内から取り出す作業工程が不要となり、従って生産に寄与しない時間の短縮ができる。
また、請求項２に記載の発明のように、複数のタンク（１、２）は２つのタンク（１、２）からなり、２つのタンク（１、２）のうち、一方のタンク（１）を第１のタンクとするとともに、他方のタンク（２）を第２のタンクとして、脱泡工程、移動工程、および注入工程を順次行なった後、前記一方のタンク（１）を第２のタンクとするとともに、前記他方のタンク（２）を第１のタンクとして、脱泡工程、移動工程、および注入工程を順次行なうことにより、回収した液体を容易に再利用することができる。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明では、請求項１または請求項２に記載の発明における第１のタンク（１）内の加圧が大気圧であることを特徴としている。
【００１２】
これによると、大気開放により加圧が達成できるため、高価な加圧手段を必要としない。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明では、脱泡工程が第１のタンク（１）内を減圧するとともに、第１のタンク（１）内の液体（３）を攪拌することを特徴としている。
【００１４】
これによると、第１のタンク（１）内に保持された液体（３）が高粘度液体であっても効果的に脱泡を行うことができる。
【００１５】
また、請求項５ないし請求項９に記載の発明では、内部に液体（３、４）を保持する第１、第２のタンク（１、２）と、これら第１、第２のタンク（１、２）内を加圧または減圧するタンク加減圧手段（５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４）と、第１、第２のタンク（１、２）内の液体（３、４）を被注入部品（２９）に注入する共通のノズル部（２３）と、第１のタンク（１）と共通のノズル部（２３）とを繋ぐ配管（１９）と、この配管（１９）の経路を開閉するバルブ（２１）と、第２のタンク（２）と共通のノズル部（２３）とを繋ぐ配管（２０）と、この配管（２０）の経路を開閉するバルブ（２２）とを備え、共通のノズル部（２３）より被注入部品（２９）に第１のタンク（１）内の液体（３）を注入する前に、タンク加減圧手段（５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４）にて第１のタンク（１）内を加圧し、かつ第２のタンク（２）内を減圧した状態とし、第１のタンク（１）と共通のノズル部（２３）とを繋ぐ配管（１９）の経路を開閉するバルブ（２１）、および第２のタンク（２）と共通のノズル部（２３）とを繋ぐ配管（２０）の経路を開閉するバルブ（２２）を開いて、第１のタンク（１）と共通のノズル部（２３）とを繋ぐ配管（１９）内に第１のタンク（１）内の液体を流し込み、この配管（１９）内の液体を押し出して、第２のタンク（２）と共通のノズル部（２３）とを繋ぐ配管（２０）を介して第２のタンク（２）内に移動させる構成としたことを特徴としている。
【００１６】
この液体注入装置によれば、請求項１に記載の液体注入方法を実施することができる。
また、請求項６に記載の発明のように、第１のタンク（１）を第２のタンクとし、第２のタンク（２）を第１のタンクとして、両タンク（１、２）の役割を交換することにより、請求項２に記載の液体注入方法を行なうことができる。
【００１７】
また、請求項７に記載の発明では、請求項５または請求項６に記載の液体注入装置において、タンク加減圧手段（５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４）の一部を構成するタンク加圧手段（５、６、７、８）が大気開放手段であることを特徴としている。
【００１８】
これによると、請求項３に記載の発明と同様に、大気開放により加圧が達成できるため、高価な加圧手段を必要としない。
【００１９】
また、請求項８に記載の発明では、請求項５ないし請求項７のいずれかに記載の液体注入装置において、第１、第２のタンク（１、２）に設けられ、第１、第２のタンク（１、２）内の液体（３、４）を攪拌する攪拌手段（１５、１６、１７、１８）を備えたことを特徴としている。
【００２０】
これによると、請求項４に記載の発明と同様に、第１、第２のタンク（１、２）内に保持された液体（３、４）が高粘度液体であっても効果的に脱泡を行うことができる。
【００２１】
また、請求項９に記載の液体注入装置においては、共通のノズル部（２３）の先端部（２３ａ）を内部に設け、被注入部品（２９）を内部に保持する密閉容器（２４）と、この密閉容器（２４）内を減圧する容器減圧手段（２５、２６、２７、２８）を備えたことを特徴としている。
【００２２】
これによると、ノズル部（２３）から被注入部品（２９）への液体（３）の注入を減圧下で行うことができ、注入時の空気の巻き込みを防止することができる。
【００２３】
なお、上記各手段に付した括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を示す。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
【００２５】
（第１の実施形態）
図１は本発明における第１の実施形態の液体注入装置を示す配管線図である。１はタンクであり、内部に図示しない液体供給口から供給された液体３を保持している。また、２もタンクであり、内部に図示しない液体供給口から供給された液体４を保持している。タンク１の上面部図中左側にはタンク１内の空間と外部の大気とを連通または遮断する大気開放手段の一部であるバルブ５が設けられており、バルブ５の上部には、バルブ５を通してタンク１内に外部の大気を導入する際に、大気中のほこり等の侵入を防止すると同時に大気吸入音を低減するためのフィルタ機能を備えた大気開放手段の一部であるサイレンサ７が配置されている。このバルブ５とサイレンサ７とでタンク１のタンク加圧手段を構成している。また、タンク２の上部面図中左側には、タンク１と同様に大気開放手段であるバルブ６とサイレンサ８が配置されている。このバルブ６とサイレンサ８とでタンク２のタンク加圧手段を構成している。
【００２６】
また、タンク１の上面部図中右側にはタンク１内の空間と配管１１とを連通または遮断するバルブ９が設けられており、タンク２の上面部図中右側にもタンク２内の空間と配管１１とを連通または遮断するバルブ１０が設けられている。配管１１のバルブ９、１０と反対側の端は、配管１１内に侵入してくる液体のミストを捕獲するトラップ１２と配管１３とを介して真空ポンプ１４に接続している。バルブ９、バルブ１０、配管１１、トラップ１２、配管１３および真空ポンプ１４でタンク減圧手段を構成している。
【００２７】
そして、タンク１、タンク２のタンク加圧手段およびタンク減圧手段でタンク加減圧手段を構成している。
【００２８】
また、タンク１の上面部中央にはモータ１７が配置されており、モータ１７のタンク１内に延びた回転軸の先端には、タンク１内の液体３を攪拌する攪拌翼１５が設けられている。この攪拌翼１５とモータ１７とで、タンク１の攪拌手段を構成している。タンク２の上面部中央にもモータ１８が配置されており、モータ１８のタンク２内に延びた回転軸の先端には、タンク２内の液体４を攪拌する攪拌翼１６が設けられている。この攪拌翼１６とモータ１８とで、タンク２の攪拌手段を構成している。
【００２９】
タンク１の底部１ａには例えばフッ素樹脂チューブからなる配管１９の一端が接続されており、配管１９の他端はノズル部２３に接続されている。そして、タンク１の下方には配管１９の経路を開閉するバルブ２１が設けられている。また、タンク２の底部２ａには配管２０の一端が接続されており、配管２０の他端はノズル部２３に接続されノズル部２３内の上部（図中左側上部）にて配管１９と連通している。そして、タンク２の下方には配管２０の経路を開閉するバルブ２２が設けられている。
【００３０】
ノズル部２３は、その先端部２３ａが密閉チャンバ２４内に配置されており、ノズル部２３の先端部２３ａの下方には被注入部品２９が配置されている。ノズル部２３内には、上端が配管１９、２０と連通し、下端が先端部２３ａに繋がる配管３５が設けられている。配管３５の経路中央付近にはハウジング２３３が配置されており、このハウジング２３３内にプランジャ２３２が摺動可能に嵌合している。このプランジャ２３２は、図示しない空気圧駆動機構によりハウジング２３３内を軸方向（図１上下方向）に移動するようになっている。
【００３１】
配管３５のハウジング２３３の上流側にはバルブ２３１が配置され、配管３５のハウジング２３３の下流側にはバルブ２３４が配置されており、このバルブ２３１、２３４とプランジャ２３２とハウジング２３３とにより液体の吐出機構を構成している。
【００３２】
密閉チャンバ２４の図中右方には配管２５が接続しており、配管２５の密閉チャンバ２４と反対側の端は、配管２５内に侵入してくる液体のミストを捕獲するトラップ２６と配管２７とを介して真空ポンプ２８に接続している。配管２５、トラップ２６、配管２７および真空ポンプ２８で、密閉チャンバ２４の容器減圧手段を構成している。
【００３３】
ここで、バルブ５、６、９、１０、２１および２２はバルブ開閉手段であるソレノイドにより開閉動作を行うソレノイドバルブであり、バルブ２３１およびバルブ２３４は空気圧により開閉動作を行うエアバルブである。
【００３４】
また、制御装置１００は、所定の作業手順に従って、各バルブ５、６、９、１０、２１、２２、２３１、２３４、各モータ１７、１８、真空ポンプ１４、２８およびプランジャ２３２を制御し、図２に示すように、タンク１内の脱泡工程Ｓ１、タンク１とノズル部２３間の配管１９内の液体をタンク２へ移動する移動工程Ｓ２、およびノズル部２３より液体を被注入部品２９に注入する注入工程Ｓ３を順次行うように構成されている。
【００３５】
次に、上記した液体注入装置において液体注入方法を説明すると、まず、図示しない液体供給口から第１のタンクをなすタンク１内に液体３（本例では、硬化前のフロロシリコーンゲル）を供給する。そして、タンク１に設けられたバルブ５と第２のタンクをなすタンク２に設けられたバルブ１０と配管１９の経路中に設けられたバルブ２１と配管２０の経路中に設けられたバルブ２２とを閉じ、タンク１に設けられたバルブ９を開けておく。この状態において真空ポンプ１４を作動させて、タンク１内を減圧するとともに、モータ１７を作動させ攪拌翼１５を回転させて液体３を攪拌し、液体３中に溶け込んでいる気体を除去する。
【００３６】
次に、モータ１７を停止させ、バルブ９を閉じた後バルブ５を開き、タンク１内を大気圧とする。次に、バルブ６を閉じた後バルブ１０を開き、タンク２内を減圧する。この状態においてバルブ２１とバルブ２２とを所定時間開くと、タンク１内の圧力とタンク２内の圧力の差により、第１のタンクであるタンク１内の液体３が配管１９から配管２０に流れ込み、配管１９および配管２０の内部に停留していた液体は第２のタンクであるタンク２内に押し出される。
【００３７】
次に、バルブ２２を閉じ、密閉チャンバ２４内を真空ポンプ２８を作動させて減圧する。そして、ノズル部２３内の配管３５内に停留していた液体を排出した後、ノズル部２３の先端２３ａから液体を吐出し、被注入部品２９に液体を注入する。このときのノズル部２３の作動としては、まず、プランジャ２３２を最大下降位置まで下降させておく。次にバルブ２３１を開くとともにプランジャ２３２を上昇させ、１回の吐出分の液体をハウジング２３３内に取り込む。次にバルブ２３１を閉じバルブ２３４を開きプランジャ２３２を再び下降させると、ハウジング２３３内の液体はノズル部２３の先端部２３ａから吐出する。
【００３８】
上述の液体注入方法によると、脱泡を完了した液体３を保持し大気圧とされたタンク１内の圧力と減圧されたタンク２内の圧力との差により、第１のタンクであるタンク１の底部１ａとノズル部２３とを繋ぐ配管１９内の液体を大気に触れることなく第２のタンクであるタンク２に回収できる。
【００３９】
なお、被注入部品２９に液体を注入することでタンク１内の液体３を使い切る前に、図示しない液体供給口からタンク２内に液体４を追加供給し、タンク２を第１のタンクとし、タンク１を第２のタンクとして、上述の液体注入方法を繰り返すことにより、タンク２内に回収した液体を再利用することができる。なお、このとき注入作業を連続して行うことができれば、ノズル部２３内の配管３５内に液体は長時間停留しないため、配管３５内の液体を排出する必要はない。
【００４０】
さらに、タンク１とタンク２の役割を交互に交換することで、大気に触れることなく回収した液体は常に再利用することができる。
【００４１】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について図３に基づいて説明する。
【００４２】
上記したように、第１の実施形態では、ノズル部２３から被注入部品２９に液体を注入する前に、脱泡を完了した液体３を保持する第１のタンクであるタンク１内を大気圧とし、同時に第２のタンクであるタンク２内を減圧し、バルブ２１とバルブ２２とを所定時間同時に開くことによって、タンク１の底部１ａとノズル部２３とを繋ぐ配管１９内に停留している液体を、配管２０を通してタンク２に回収し、タンク１とタンク２の役割を交換することで回収した液体を再利用している。
【００４３】
これに対し、本第２の実施形態では、図３に示すように、ノズル部２３内で配管１９および配管２０と連通する回収専用配管３０を設け、この配管３０を通して液体を回収しようとするものである。なお、第１の実施形態と同様の部分については、第１の実施形態と同じ符号をつけてその説明を省略する。
【００４４】
図３に示すように、ノズル部２３内の上部（図中左側上部）において配管１９、配管２０および配管３５と連通する配管３０は、ノズル部２３より上方に配置されており、タンク１とタンク２との間で分岐している。この分岐点とタンク１の側面部を繋ぐ配管３１には、その経路中にバルブ３３が設けられており、分岐点とタンク２の側面部を繋ぐ配管３２には、その経路中にバルブ３４が設けられている。
【００４５】
なお、ここで、バルブ３３およびバルブ３４はバルブ開閉手段であるソレノイドにより開閉動作を行うソレノイドバルブである。
【００４６】
また、制御装置２００は、所定の作業手順に従って、各バルブ５、６、９、１０、２１、２２、３３、３４、２３１、２３４、各モータ１７、１８、真空ポンプ１４、２８およびプランジャ２３２を制御し、第１の実施形態と同様に、図２に示すように、タンク１内の脱泡工程Ｓ１、タンク１とノズル部２３間の配管１９内の液体をタンク２へ移動する移動工程Ｓ２、およびノズル部２３より液体を被注入部品２９に注入する注入工程Ｓ３を順次行うように構成されている。
【００４７】
次に、上記した構成の液体注入装置において液体注入方法を説明すると、第１の実施形態と同様にして、第１のタンクであるタンク１内の液体３中に溶け込んでいる気体を除去した後、タンク１内を大気圧とし、第２のタンクであるタンク２内を減圧する。このときバルブ３３およびバルブ３４は閉じられている。この状態においてバルブ２１とバルブ３４とを所定時間開くと、タンク１内の圧力とタンク２内の圧力の差により、タンク１内の液体３が配管１９から配管３０、配管３２に流れ込み、配管１９、配管３０および配管３２の内部に停留していた液体はタンク２内に押し出される。
【００４８】
次に、バルブ３４を閉じ、密閉チャンバ２４内を真空ポンプ２８を作動させて減圧する。そして、ノズル部２３内の配管３５内に停留していた液体を排出した後、ノズル部２３の先端２３ａから液体を吐出し、被注入部品２９に液体を注入する。
【００４９】
上述の液体注入方法によると、脱泡を完了した液体３を保持し大気圧とされたタンク１内の圧力と減圧されたタンク２内の圧力との差により、第１のタンクであるタンク１の底部１ａとノズル部２３とを繋ぐ配管１９内の液体を大気に触れることなく第２のタンクであるタンク２に回収できる。
【００５０】
なお、被注入部品２９に液体を注入することでタンク１内の液体３を使い切る前に、図示しない液体供給口からタンク２内に液体４を追加供給し、タンク２を第１のタンクとし、タンク１を第２のタンクとして、上述の液体注入方法を繰り返すことにより、タンク２内に回収した液体を再利用することができる。さらに、タンク１とタンク２の役割を交互に交換することで、大気に触れることなく回収した液体は常に再利用することができる。
【００５１】
（他の実施形態）
上記各実施形態においては、脱泡を完了した液体３を保持し大気圧とされたタンク１内の圧力と減圧されたタンク２内の圧力との差により、第１のタンクであるタンク１の底部１ａとノズル部２３とを繋ぐ配管１９内の液体を大気に触れることなく第２のタンクであるタンク２に回収し、その後、被注入部品２９に液体を注入することでタンク１内の液体３を使い切る前に、図示しない液体供給口からタンク２内に液体４を追加供給し、タンク２を第１のタンクとし、タンク１を第２のタンクとして、前述の液体注入方法を繰り返している。
【００５２】
ところが、これに限らず、脱泡工程の時間と移動工程および注入工程の合計時間とを同一とし、タンク２内に液体４を追加供給し、タンク２の脱泡工程の開始にあわせて、タンク１の移動工程を開始し、タンク１の底部１ａとノズル部２３とを繋ぐ配管１９内の液体を大気に触れることなく脱泡工程中のタンク２に回収し、その後タンク１とタンク２の役割を交互に交換させてもよい。
【００５３】
また、上記各実施形態において、液体注入装置は、内部に液体を保持するタンクを２つ備えていたが、タンクが３つ以上であって、第１のタンクの役割と第２のタンクの役割を順次変えていくものであってもよい。また、第１のタンクおよび第２のタンクはそれぞれ複数であってもよい。
【００５４】
また、上記第１の実施形態において、配管１９、配管２０および配管３５はノズル部２３内で連通していたが、図４に示すように、配管３５をノズル部２３から突出させ、その突出した配管３５の先端と配管１９および配管２０とを連通させてもよい。
【００５５】
また、上記第２の実施形態において、配管１９、配管２０、配管３０および配管３５はノズル部２３内で連通していたが、図５に示すように、配管３５をノズル部２３から突出させ、その突出した配管３５の先端と配管１９、配管２０および配管３０とを連通させてもよい。
【００５６】
また、上記第２の実施形態において、配管１９、配管２０、配管３０および配管３５はノズル部２３内の同じ位置で連通していたが、図６に示すように、配管１９および配管２０と連通する配管３６を設け、配管３０、配管３５および配管３６をノズル部２３内で連通させてもよいし、図７に示すように、配管１９および配管２０と連通する配管３６を設け、かつ配管３５をノズル部２３から突出させ、その突出した配管３５の先端と配管３０および配管３６とを連通させてもよい。
【００５７】
また、上記第２の実施形態において、配管１９内または配管２０内の液体をタンクに回収する配管３０をタンク１とタンク２との間で分岐させ、分岐した片方の配管３１をタンク１の側面に接続し、分岐した他方の配管３２をタンク２の側面に接続していたが、図８に示すように、ノズル部２３とタンク１の側面およびタンク２の側面とをそれぞれ繋ぐ配管３７および配管３８を独立して設けてもよい。
【００５８】
また、上記第２の実施形態および図５〜８に示した実施形態において、液体の回収専用の役割をする配管は、タンク１の側面およびタンク２の側面に接続していたが、タンクの上面等他の面に接続してもよい。
【００５９】
また、上記各実施形態において、バルブ５、６、９、１０、２１、２２、３３および３４はソレノイドバルブであったが、空気圧等他の駆動源により開閉動作するバルブであったり、手動により開閉するバルブであってもよい。
【００６０】
また、上記各実施形態において、ノズル部２３内のバルブ２３１およびバルブ２３４は、空気圧により駆動するエアバルブであったが、他の駆動源により駆動するものであってもよい。
【００６１】
また、上記各実施形態において、ノズル部２３内のプランジャ２３２は、空気圧により駆動するものであったが、油圧によって駆動するものであったり、サーボモータ等によって駆動するものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す液体注入装置の配管線図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における液体注入方法の工程フロー図である。
【図３】本発明の第２の実施形態を示す液体注入装置の配管線図である。
【図４】本発明の他の実施形態を示す液体注入装置の要部配管線図である。
【図５】本発明の他の実施形態を示す液体注入装置の要部配管線図である。
【図６】本発明の他の実施形態を示す液体注入装置の要部配管線図である。
【図７】本発明の他の実施形態を示す液体注入装置の要部配管線図である。
【図８】本発明の他の実施形態を示す液体注入装置の要部配管線図である。
【図９】従来技術による液体注入装置の配管線図である。
【符号の説明】
１、２  タンク
５、６  バルブ（タンク加減圧手段の一部、タンク加圧手段の一部、大気開放手段の一部）
９、１０  バルブ（タンク加減圧手段の一部、タンク減圧手段の一部）
１４  真空ポンプ（タンク加減圧手段の一部、タンク減圧手段の一部）
１５、１６  攪拌翼（攪拌手段の一部）
１９、２０  配管（タンク１、２の底部１ａ、２ａとノズル部２３とを繋ぐ配管）
２１、２２  バルブ
２３  ノズル部
２４  密閉チャンバ（密閉容器）
２８  真空ポンプ（容器減圧手段の一部）
３０  配管
３５  配管（ノズル部２３内の配管）
１００、２００  制御装置
【図１】
0003654106.tif 000002
【図２】
0003654106.tif 000003
【図３】
0003654106.tif 000004
【図４】
0003654106.tif 000005
【図５】
0003654106.tif 000006
【図６】
0003654106.tif 000007
【図７】
0003654106.tif 000008
【図８】
0003654106.tif 000009
【図９】
0003654106.tif 000010