(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スイッチング電源の電力により、被測定対象に出力を与え、電流測定または電圧測定の少なくとも一方を行う測定装置において、
前記電流測定または電圧測定の電圧を入力し、デジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器と、
このＡ／Ｄ変換器で、デジタルデータに変換する時に、前記スイッチング電源の停止またはスイッチング周波数を測定帯域外にする制御部と
を有することを特徴とする測定装置。
【請求項２】
スイッチング電源の電力により、被測定対象に電圧出力を与え、電流測定を行う測定装置において、
前記被測定対象に与える電圧出力の信号経路上に設けられ、信号経路上の電流値を電圧に変換する電流／電圧変換部と、
この電流／電圧変換部からの電圧を入力し、デジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器と、
このＡ／Ｄ変換器で、デジタルデータに変換する時に、前記スイッチング電源の停止またはスイッチング周波数を測定帯域外にする制御部と
を有することを特徴とする測定装置。
【請求項３】
スイッチング電源の電力により、被測定対象に電流出力を与え、電圧測定を行う測定装置において、
前記被測定対象の入力電圧を入力するバッファと、
このバッファの出力を入力し、デジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器と、
このＡ／Ｄ変換器で、デジタルデータに変換する時に、前記スイッチング電源の停止またはスイッチング周波数を測定帯域外にする制御部と
を有することを特徴とする測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばＩＣテスタに用いられ、スイッチング電源により動作する測定装置に関し、測定誤差が小さい測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣテスタは、ＩＣ、ＬＳＩ等の被測定対象（ＤＵＴ）の直流特性を試験するために、電圧・電流測定装置を用いて、試験を行っている。このような装置を図４に示し説明する。
【０００３】
図において、測定装置１００は、交流源１、スイッチング電源２、Ｄ／Ａ変換器３、アンプ４、電流／電圧変換部５、バッファ６、スイッチＳＷ、Ａ／Ｄ変換器７、コントローラ８から構成される。ＤＵＴ２００は、負荷９、インピーダンス１０を有する。
【０００４】
交流源１は交流電圧を出力する。スイッチング電源２は、交流源１からの交流電圧を入力し、グランド、アースに接続し、直流電圧Ｖａを出力する。Ｄ／Ａ変換器３は、電圧設定値を入力し、アナログ信号を出力する。アンプ４は、スイッチング電源２からの直流電圧Ｖａとグランドとにより動作し、Ｄ／Ａ変換器３からのアナログ信号を入力し、電圧出力、電流出力を行う。
【０００５】
電流／電圧変換部５は、抵抗Ｒと差動増幅器５１とからなる。抵抗Ｒは、一端をアンプ４の出力に接続し、他端を負荷９の入力端に接続する。差動増幅器５１は、抵抗Ｒの両端に接続し、抵抗Ｒの両端間の電圧を出力する。
【０００６】
バッファ６は、入力端を、負荷９の入力端に接続する。スイッチＳＷは、差動増幅器５１の出力とバッファ６の出力とを切り換える。Ａ／Ｄ変換器７は、スイッチＳＷからの出力をデジタルデータに変換する。コントローラ８は、Ｄ／Ａ変換器３に設定値を出力すると共に、Ａ／Ｄ変換器７からのデジタルデータを測定値とする。
【０００７】
負荷９は、インピーダンス９１、コンデンサＣとからなる。インピーダンス９１は、一端を電流／電圧変換部５の出力端及びバッファ６の入力端に接続し、他端をグランドに接続すると共に、インピーダンス１０を介して、アースに接続する。コンデンサＣは、インピーダンス９１に並列に接続する。つまり、一端をインピーダンス９１の一端に接続し、他端をインピーダンス９１の他端に接続する。
【０００８】
このような装置の動作を以下に説明する。まず、電圧出力、電流測定を行う場合について説明する。スイッチＳＷを電流／電圧変換部５の出力に接続する。そして、コントローラ８は、設定値を出力し、Ｄ／Ａ変換器３により所定の出力電圧を発生する。この出力電圧を、アンプ４は増幅し、抵抗Ｒを介して、負荷９に出力する。そして、Ａ／Ｄ変換器７は、差動増幅器５１からの出力をデジタルデータ（測定値）として、コントローラ８に出力する。
【０００９】
次に、電流出力、電圧測定を行う場合について説明する。スイッチＳＷをバッファ６の出力に接続する。そして、コントローラ８は、設定値を出力し、Ｄ／Ａ変換器３により所定の出力電圧を発生する。この出力電圧により、アンプ４は電流出力を行い、抵抗Ｒを介して、負荷９に出力する。そして、バッファ６を介して、Ａ／Ｄ変換器７は、負荷９の入力端の電圧をデジタルデータ（測定値）として、コントローラ８に出力する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
このような装置では、スイッチング電源２により発生する出力ノイズが、アンプ４の出力、グランド、抵抗Ｒ等の電圧・電流測定系に混入するために、測定確度が悪化してしまう。特に、負荷９のコンデンサＣにノイズ電流が流れ、測定誤差が増大してしまうという問題点があった。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、スイッチング電源を用いても、測定誤差が小さい測定装置を実現することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、
スイッチング電源の電力により、被測定対象に出力を与え、電流測定または電圧測定の少なくとも一方を行う測定装置において、
前記電流測定または電圧測定の電圧を入力し、デジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器と、
このＡ／Ｄ変換器で、デジタルデータに変換する時に、前記スイッチング電源の停止またはスイッチング周波数を測定帯域外にする制御部と
を有することを特徴とするものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図４と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【００１４】
図において、スイッチング電源２１は、測定装置１００に設けられ、図示しない出力コンデンサ（平滑コンデンサ）を有し、交流源１からの交流電圧を入力し、グランド、アースに接続し、直流電圧Ｖａをアンプ４に出力する。
【００１５】
Ａ／Ｄ変換器７１は、測定装置１００に設けられ、スタート信号とエンド信号とにより、スイッチＳＷからの出力をデジタルデータに変換する。
【００１６】
コントローラ（制御部）８１は、測定装置１００に設けられ、Ｄ／Ａ変換器３に設定値を出力すると共に、スイッチング電源２１を停止させ、Ａ／Ｄ変換器７１にスタート信号とエンド信号とを出力し、Ａ／Ｄ変換器７１からのデジタルデータを測定値とする。
【００１７】
このような装置の動作を以下で説明する。図２は図１に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。（ａ）はスイッチング電源２１のスイッチ素子（図示せず）への制御信号、（ｂ）はスイッチング電源２１へのオン／オフ信号、（ｃ）はＡ／Ｄ変換器７１のスタート信号、（ｄ）はＡ／Ｄ変換器７１のエンド信号、（ｅ）はスイッチング電源２１が出力する直流電圧Ｖａである。
【００１８】
電圧出力、電流測定を行う場合、スイッチＳＷを差動増幅器５１の出力に接続する。そして、コントローラ８１は、スイッチング電源２１をオンとし、設定値を出力する。この設定値により、Ｄ／Ａ変換器３は所定の出力電圧を発生する。この出力電圧を、アンプ４は増幅し、抵抗Ｒを介して、負荷９に出力する。Ａ／Ｄ変換器７は、スイッチＳＷを介して、差動増幅器５１の出力を入力する。
【００１９】
時刻ｔ１のとき、コントローラ８１は、スイッチング電源２１をオフとする。これにより、スイッチング電源２１は、スイッチ素子への制御信号を止める。この結果、スッチング電源２１の直流電圧Ｖａは、出力コンデンサから電流が流れ、徐々に下降し始める。
【００２０】
時刻ｔ２のとき、コントローラ８１は、Ａ／Ｄ変換器７１にスタート信号を与え、Ａ／Ｄ変換器７１は、差動増幅器５１からの電圧をデジタルデータとして、コントローラ８１に出力を開始する。
【００２１】
時刻ｔ３のとき、コントローラ８１は、Ａ／Ｄ変換器７１にエンド信号を与え、Ａ／Ｄ変換器７１はＡ／Ｄ変換を終了する。
【００２２】
時刻ｔ４のとき、コントローラ８１は、スイッチング電源２１をオンとする。これにより、スイッチング電源２１は、スイッチ素子への制御信号の動作を再び開始する。この結果、スイッチング電源２１の直流電圧Ｖａは、元の電圧に復帰する。
【００２３】
なお、時刻ｔ１〜ｔ４、スイッチング電源２１のオフ時間は、直流電圧Ｖａの許容範囲内で収まることが条件である。
【００２４】
電流出力、電圧測定を行う場合は、スイッチＳＷをバッファ６の出力に接続するだけで、その他の動作は変わらないので、説明を省略する。
【００２５】
このように、Ａ／Ｄ変換器７１のＡ／Ｄ変換時に、コントローラ８１がスイッチング電源２１の停止を行うので、スイッチング電源２１のノイズ発生を防止でき、測定誤差を小さくすることができる。特に、高精度電流測定では、一般に測定電流が小さく、スイッチング電源２の出力電流が小さいので、スイッチング電源２の出力コンデンサにより、直流電圧Ｖａを維持することができる。
【００２６】
また、スイッチング電源２１の出力ノイズの対策部品やシールドを設ける必要がないので、安価にできる。
【００２７】
次に、他の実施例を図３に示し説明する。ここで、図１と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【００２８】
図において、電流／電圧変換部５は、抵抗Ｒ１〜Ｒ４、スイッチＳＷ１〜ＳＷ３、差動増幅器５１からなる。抵抗Ｒ１〜Ｒ４は、一端をアンプ４の出力に接続する。スイッチＳＷ１〜ＳＷ３は、それぞれ一端を抵抗Ｒ１〜Ｒ３の他端に接続する。抵抗Ｒ４、スイッチＳＷ１〜ＳＷ３の他端は、負荷９に接続する。差動増幅器５１は、抵抗Ｒ１〜Ｒ４の一端とスイッチＳＷ１〜ＳＷ３、抵抗Ｒ４の他端とに接続し、両端間の電圧を出力する。
【００２９】
このような装置は、電流測定時に、スイッチＳＷ１〜ＳＷ３を切り換えて、低電流レンジの電流測定を可能にしている。その他の動作は上記と同一なので、説明を省略する。
【００３０】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、コントローラ８１はスイッチング電源２１をオン／オフする構成を示したが、スイッチング電源２１によるノイズを防止できる構成であればよい。すなわち、コントローラ８１が、スイッチング電源２１のスイッチング周波数を高くしたり、低くしたりして、測定帯域外にする構成でもよい。
【００３１】
【発明の効果】
本発明によれば、Ａ／Ｄ変換器のＡ／Ｄ変換時に、制御部がスイッチング電源の停止またはスイッチング周波数を測定帯域外にするので、スイッチング電源のノイズ発生を防止でき、測定誤差を小さくすることができる。
【００３２】
また、スイッチング電源の出力ノイズの対策部品やシールドを設ける必要がないので、安価にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図２】図１に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。
【図３】本発明の他の実施例を示した構成図である。
【図４】従来の測定装置の構成を示した図である。
【符号の説明】
５  電流／電圧変換部
６  バッファ
２１  スイッチング電源
７１  Ａ／Ｄ変換器
８１  コントローラ
１００  測定装置
２００  ＤＵＴ
【図１】
0003690583.tif 000002
【図２】
0003690583.tif 000003
【図３】
0003690583.tif 000004
【図４】
0003690583.tif 000005