(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
繰出リールから繰り出されたワイヤを、複数個のガイドプーリを通して、各外周面にワイヤ溝が形成された複数本の溝ローラ間にコイル状に巻き架けた後、別の複数個のガイドプーリを介して巻取リールに巻き取った構造を有し、
遊離砥粒を含む砥液を供給しながら、上記溝ローラ間に巻き架けられたワイヤ列を走行させてインゴットを切断するワイヤソーにおいて、
上記ワイヤの引回し経路のほぼ全域に、ワイヤ巻き上げ時のワイヤ路となる複数個のチューブ状のガイドチャネルを配設するとともに、
このガイドチャネルの一部が、上記ガイドプーリのプーリ溝と合致するプーリ合わせ溝を内面に設けたプーリ外カバー、およびまたは、上記溝ローラの周面に形成されたワイヤ溝と合致するローラ合わせ溝を内面に設けたローラ外カバーであるワイヤソー。
【請求項２】
少なくとも上記溝ローラ間のインゴット切断部分に配置されたガイドチャネルを、組付け撤去自在とした請求項１に記載のワイヤソー。
【請求項３】
繰出リールから繰り出されたワイヤを、複数個のガイドプーリを通して、各外周面にワイヤ溝が形成された複数本の溝ローラ間にコイル状に巻き架けた後、別の複数個のガイドプーリを介して巻取リールに巻き取った構造を有し、
遊離砥粒を含む砥液を供給しながら、上記溝ローラ間に巻き架けられたワイヤ列を走行させてインゴットを切断するワイヤソーにおいて、
上記ワイヤの引回し経路のほぼ全域に、ワイヤ巻き上げ時のワイヤ路となる複数個のチューブ状のガイドチャネルを配設するとともに、少なくとも上記溝ローラ間のインゴット切断部分に配置されたガイドチャネルを、組付け撤去自在としたワイヤソー。
【請求項４】
上記ワイヤの引回し経路の途中に、このワイヤの通過検出手段を設け、このワイヤの通過検出手段からの検出信号の有無により、上記繰出リールからのワイヤの繰出しを制御する制御手段を配備した請求項１〜請求項３のうちのいずれか１項に記載のワイヤソー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はワイヤソー、詳しくはワイヤをその引回し経路のほぼ全域に自動巻き上げ可能なワイヤソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ワイヤソーとは、ラッピングオイルに遊離砥粒（以下、単に砥粒という場合がある）を入れたスラリー状の砥液を、単結晶シリコン製などのインゴットに一定量だけ連続供給しながら、往復走行するワイヤ列にインゴットを相対的に押し付けて、その研削作用により多数枚のウェーハに切断する機械である。
ワイヤソーのワイヤは、通常、繰出リールから繰り出された後、複数個のガイドプーリを経て、互いに離反した複数本の溝ローラ間にコイル状に巻き架けられ、それから別の複数個のガイドプーリを通って巻取リールに巻き取られるという、引回し経路になっている。
【０００３】
ところで、ワイヤソーにおけるワイヤの巻き上げは、通常、作業員の手作業により行われていた。しかし、例えば溝ローラへの巻き架け作業などは、通常、ワイヤを１００回以上も巻き架けなければならず、手間がかかっていた。
そこで、これを解消する従来手段として、例えば特公平４−４０９５号公報に記載された「ワイヤ巻付装置」が知られている。
この従来装置は、溝ローラへのワイヤの巻き架け専用装置である。すなわち、ワイヤソーに着脱可能で、かつ複数の溝ローラを面板間で軸支した溝ローラユニットを周方向へ間歇回動させ、これと同期して、ワイヤ巻き架けリールとワイヤガイドプーリとを搭載した走行体を、溝ローラユニットの回転主軸に沿って間歇移動させることで、ワイヤ巻き架けリールからのワイヤを、ワイヤガイドプーリを介して、各溝ローラの溝位置に対向して順次移行しながら巻き架けるものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この従来技術のワイヤ巻付装置においては、以下の問題点があった。
すなわち、（１）このワイヤ巻付装置は溝ローラへの巻き架け専用であり、ワイヤソー全体にかけてワイヤを巻き上げられない。そこで、通常は、残り部分の巻き上げは手作業となっている。ところが、この残部領域には、たくさんのガイドプーリが散在している。したがって、順次、ワイヤを架けて行くには、手間と時間がかかっていた。
（２）また、この従来技術では、工場内に、ワイヤソーとは別個のワイヤ巻付装置の設置スペースが必要であった。さらに、例えばワイヤの断線時などには、ワイヤソーから溝ローラユニットを取り外したり、巻付け完了したユニットをワイヤソーへ装着したりしなければならず、その着脱作業が面倒であった。しかも、このユニットがガタつき状態でワイヤソーに固定されるおそれもある。この場合には、インゴット切断時に、ワイヤ列の走行方向がインゴットの軸線方向に対して斜めになってしまう。この結果、例えば切断されたウェーハの表面の結晶方位が所期の方位と異なるといったウェーハの品質に問題が起きるおそれがあった。
【０００５】
そこで、発明者は、鋭意研究を重ねた結果、ワイヤの引回し経路のほぼ全域にチューブ状のガイドチャネルを配設すれば、このガイドチャネル内のワイヤ路を通して、ワイヤソーのほぼ全体にワイヤを自動巻き上げすることができることを見出し、この発明を完成させた。
【０００６】
【発明の目的】
この発明は、ワイヤをその引回し経路のほぼ全域に自動巻き上げ可能なワイヤソーを提供することを、その目的としている。また、比較的巻き架けが困難なガイドプーリや溝ローラの部分にも、円滑にワイヤを自動巻付けすることができるワイヤソーを提供することを、その目的としている。さらに、ガイドチャネルのワイヤ詰まりなどを検知することができるワイヤソーを提供することを、その目的としている。さらにまた、ワイヤ巻き上げ時の自動巻き上げ作業と、インゴット切断時の切断作業とを円滑に実施することができるワイヤソーを提供することを、その目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、繰出リールから繰り出されたワイヤを、複数個のガイドプーリを通して、各外周面にワイヤ溝が形成された複数本の溝ローラ間にコイル状に巻き架けた後、別の複数個のガイドプーリを介して巻取リールに巻き取った構造を有し、遊離砥粒を含む砥液を供給しながら、上記溝ローラ間に巻き架けられたワイヤ列を走行させてインゴットを切断するワイヤソーにおいて、上記ワイヤの引回し経路のほぼ全域に、ワイヤ巻き上げ時のワイヤ路となる複数個のチューブ状のガイドチャネルを配設するとともに、このガイドチャネルの一部が、上記ガイドプーリのプーリ溝と合致するプーリ合わせ溝を内面に設けたプーリ外カバー、およびまたは、上記溝ローラの周面に形成されたワイヤ溝と合致するローラ合わせ溝を内面に設けたローラ外カバーであるワイヤソーである。
【０００８】
なお、発明が適用されるワイヤソーはどのような種類のものでもよい。例えば、インゴットをワイヤ列に押圧・接触して切断するものでも、反対にワイヤ列をインゴットに押接して切断するものでもよい。また、ワイヤ列の上部にインゴットが当接するものでも、ワイヤ列の下部に押し当てられるものでもよい。溝ローラの本数も、互いに所定間隔だけ離間した２本または３本などの複数本であればよい。
さらに、このワイヤソーでは、ワイヤの回転を行う方法または行わない方法でも、一方向の走行でも往復走行でも良い。繰出リールから繰り出されるワイヤとしては、例えば汎用されている０．１６〜０．２０ｍｍ程度のピアノ線や撚線などが使用することができる。巻き上げ時のワイヤの繰出し速度は、初動時０．０６〜０．３ｍ／分から上昇し、安定定速時１〜１０ｍ／分である。
【０００９】
ガイドチャネルの素材としては、ステンレスなどの各種金属、ＡＢＳなどの各種硬質合成樹脂、各種木材などが挙げられる。内径は、ワイヤの太さに応じて変更される。すなわち、ガイドチャネルの内径は、内部空間を高速で走行するワイヤが、チャネル内周面に接触してワイヤの走行を阻害せず、かつ隣接するガイドチャネルや、他の周辺部品の設置を阻害しない程度の内径である。
また、ガイドチャネルの接続部分は、巻き上げ作業時にはタイトである一方、切断作業時にはルーズとなって、ワイヤが余裕をもって走行することができる余地を残した構造が好ましい。このために、各ガイドチャネルの端部は、例えばラッパ状に外方へ拡径化していてもよい。ラッパ状にすれば、ワイヤがガイドチャネルの端に引っかかったり、逸脱したりしにくい。
【００１０】
ガイドチャネルには、直線チャネルと曲線チャネルとがある。また、通常のガイドチャネルは、ワイヤの引回し経路の所要箇所に複数個配置される。なお、引回し経路のどの部分に、どれだけの数だけ配置するかは設計者の任意である。
ガイドプーリは、固定プーリでも可動プーリでもよい。また、その設置個数も限定されない。溝ローラの本数は、２本、３本などの複数本であればよい。インゴットとしては、例えばシリコン単結晶体製、磁性材料製、セラミックス製などのものが挙げられる。
切断用の砥液は、インゴット切断用のどのような砥液でも採用することができる。例えばシリコン単結晶のインゴットを切断する場合には、平均粒径１０〜５０μｍの砥粒を含む周知成分のものを採用することができる。また、この砥液の供給装置もどのような構造のものでもよい。
さらに、溝ローラ間に巻かれたワイヤ列用のガイドチャネルを、溝ローラの軸線方向へ複数に分割するとともに、ワイヤ列をも複数に分割して、各ワイヤ列の分割部分ごとに繰出リールと巻取リールとを配設すれば、繰出リールが１つの場合に比べて、各繰出リールに巻回されるワイヤの長さが短くなって、ワイヤソー全体の小型化が図れるとともに、自動巻き上げ時間が短縮される。例えば、ガイドチャネルおよびワイヤ列を５分割すれば、この自動巻き上げ時間が１／５に短縮される。
プーリ外カバーの素材や形状などは限定されない。要は、カバー内面にガイドプーリのプーリ溝と合致するプーリ合わせ溝が設けられていればよい。
ローラ外カバーの素材や形状などは限定されない。要は、カバー内面に溝ローラの外周面に多数条平行に形成されたワイヤ溝と合致するローラ合わせ溝が設けられていればよい。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、少なくとも上記溝ローラ間のインゴット切断部分に配置されたガイドチャネルを、組付け撤去自在とした請求項１に記載のワイヤソーである。
ガイドチャネルは、少なくとも溝ローラ間のインゴット切断部分に配置されたものであればよい。例えば、ワイヤソーの全体に配備されたガイドチャネルを組付け撤去自在としてもよい。このガイドチャネルの組付け撤去構造としては、例えばチャネル取り付け用のピンを使用し、このピンにより簡単にガイドチャネルを組付けたり、撤去したりできるようにしたものでもよい。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、繰出リールから繰り出されたワイヤを、複数個のガイドプーリを通して、各外周面にワイヤ溝が形成された複数本の溝ローラ間にコイル状に巻き架けた後、別の複数個のガイドプーリを介して巻取リールに巻き取った構造を有し、遊離砥粒を含む砥液を供給しながら、上記溝ローラ間に巻き架けられたワイヤ列を走行させてインゴットを切断するワイヤソーにおいて、上記ワイヤの引回し経路のほぼ全域に、ワイヤ巻き上げ時のワイヤ路となる複数個のチューブ状のガイドチャネルを配設するとともに、少なくとも上記溝ローラ間のインゴット切断部分に配置されたガイドチャネルを、組付け撤去自在としたワイヤソーである。
【００１３】
請求項４の発明は、上記ワイヤの引回し経路の途中に、このワイヤの通過検出手段を設け、このワイヤの通過検出手段からの検出信号の有無により、上記繰出リールからのワイヤの繰出しを制御する制御手段を配備した請求項１〜請求項３のうちのいずれか１項に記載のワイヤソーである。
ここでいうワイヤの通過検出手段とは、レーザ光、赤外線などの光を利用した非接触式の位置センサや、絶縁材料を用いたガイドチャネルの外側に巻いたコイルにより、導電性ワイヤの有無を検出する電磁式センサなどを採用することができる。
通過検出手段の設置位置は、ワイヤの引回し経路のどの位置でもよい。例えば、繰出リールと最初のガイドチャネルとの隙間、ガイドチャネル間の隙間、ガイドチャネルとガイドプーリとの隙間、ガイドチャネルと溝ローラとの隙間、最後のガイドチャネルと巻取リールとの隙間などでもよい。
ここでいう制御手段とは、通過検出手段からの検出信号に基づいて、繰出リールからのワイヤの繰出しを制御するものである。すなわち、例えばワイヤ移動プログラム、異常時アラーム・停止機能、ワイヤ繰出し速度調整プログラムなどにより、ワイヤの巻き上げを制御する。
【００１４】
【００１５】
【作用】
これらの請求項１〜請求項４の発明によれば、ワイヤの引回し経路のほぼ全域にチューブ状のガイドチャネルが配設されている。これにより、繰出リールから繰り出されたワイヤは、まずワイヤソーの繰出し側にあるガイドプーリ間の各ガイドチャネル内のワイヤ路を通って、外周面にワイヤ溝を有する複数本の溝ローラ間に自動的に巻き架けられる。当然ながら、各繰出リールおよび各溝ローラも上記引回し経路を構成し、この部分にもガイドチャネルのワイヤ路が形成される。なお、各溝ローラの外周面に形成されたワイヤ溝にワイヤを巻き架けると、コイル状のワイヤ列になる。
その後、溝ローラを通過したワイヤは、ワイヤソーの巻取り側にある複数個のガイドプーリ間の各ガイドチャネル内のワイヤ路を通過する。そして、ワイヤは巻取リールまで到達して巻き取られる。これにより、ワイヤがその引回し経路のほぼ全域に自動的に巻き上げられる。
【００１６】
繰出リールから繰り出されたワイヤが、ガイドプーリを通過する際には、ガイドプーリのプーリ溝と、プーリ外カバーのプーリ合わせ溝との間に形成されたワイヤ路を通過するので、比較的巻き架けが困難なガイドプーリの部分にも、円滑にワイヤを自動巻付けすることができる。
また、繰出リールから繰り出されたワイヤが、溝ローラを通過する際には、溝ローラのワイヤ溝と、ローラ外カバーのローラ合わせ溝との間に形成されたワイヤ路を通過するので、比較的巻き架けが困難な溝ローラの部分にも、円滑にワイヤを自動巻付けすることができる。
【００１７】
さらにまた、少なくとも溝ローラ間にあるインゴットの切断作業部にガイドチャネルを組付け後、ワイヤを巻き上げる。巻き上げ終了後は、少なくともこの切断作業部のガイドチャネルを撤去し、それから切断作業部に露呈したワイヤ列によってインゴットを切断する。これにより、ワイヤ巻き上げ時の自動巻き上げ作業と、インゴット切断時の切断作業とを円滑に実施することができる。
【００１８】
さらに、請求項４に記載の発明によれば、通過検出手段からのワイヤ検出信号の有無により、繰出リールから繰り出されたワイヤが、ガイドチャネル内のワイヤ路内でワイヤ詰まりなどの有無を検出し、この検出結果に基づいて制御手段により繰出リールからのワイヤの繰出しを制御する。
【００１９】
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。
図１はこの発明の一実施例に係るワイヤソーの構成図であり、図２は同ダンサーローラ部の昇降説明図であり、図３は同ガイドローラのワイヤ路部分の拡大断面図であり、図４は同溝ローラの拡大斜視図であり、図５は同溝ローラのワイヤ路部分の拡大断面図である。
【００２１】
図１において、１０はワイヤソーであり、このワイヤソー１０は、ＣＺ法により引き上げられた単結晶シリコン製のインゴットＩを多数枚のウェーハにワイヤ切断する装置であって、多数本のワイヤ１１ａを横一列に束ねたワイヤ列１１を有している。ワイヤ１１ａは、繰出リール１２から繰り出され、繰出し側のダンサープーリ部１３を経て、三角配置された３本の溝ローラ１４間に巻き架けられる。なお、各溝ローラ１４の外周面には、多数条の平行なワイヤ溝１４ａが形成されている。その後、巻取り側のダンサープーリ部１５を通って、巻取リール１６に巻き取られている。駆動モータ１７，１８により、繰出しおよび巻取リール１２，１６を図１において時計回りに同一速度で往復回転させることにより、溝ローラ１４のワイヤ列１１が往復走行される。溝ローラ１４の両側上方には、砥液をワイヤ列１１上に連続供給する一対の砥液供給部１９が配設されている。砥液は、高粘度でかつＳｉＣ製の平均粒径４０μｍの遊離砥粒が混入されたものである。
両ダンサープーリ部１３，１５は、互いに所定間隔だけ離反した一対の固定側ガイドプーリ２２と、ガイドプーリの一種であり、しかもウエイト２３が吊り下げられた昇降プーリ２４とを有している（図２参照）。
【００２２】
この発明の特長は、同じく図１に示すように、ワイヤ１１ａの繰出リール１２から溝ローラ１４を経て巻取リール１６に達するワイヤ１１ａの引回し経路のほぼ全域に、ワイヤ巻き上げ時のワイヤ路となる複数個のチューブ状のガイドチャネル３０を配設した点にある。以下、ガイドチャネル３０を詳細に説明する。
ガイドチャネル３０はワイヤ接触部を仕上げ研磨したアルミニウム（またはガラス、セラミック）製であり、例えば繰出リール１２と繰出し側のダンサープーリ部１３との間に配置された直線チャネル３１と、それ以外の曲線チャネル３２とがある。各チャネル３１，３２の内径は所定の値に設計されている。また、各ガイドチャネル３０の端部はラッパ状になっている。これにより、ワイヤ１１ａがガイドチャネル３０の端に引っかかったり、チャネル間の隙間から逸脱しにくい。
【００２３】
直線チャネル３１のうち、ワイヤ列１１を被覆する直線チャネル群３１１は、ワイヤ列１１のワイヤ１１ａの本数に見合う数だけ直線チャネル３１を一体的に並べたものである。また、直線チャネル群３１１のうち、溝ローラ１４間のインゴット切断部分（三角形の底辺部分）に配置された直線チャネル群３１２は、組付け撤去自在に上下に二分割されている。これらの上下部分は、図外のチャネル取り付けピンによりワンタッチで掛脱することができるようになっている。
また、繰出リール１２側の最初の直線チャネル３１と、巻取リール１６側の最後の直線チャネル３１は、各リール１２，１６からのワイヤ１１ａの繰出し時や巻取り時にリール外周面を往復動するワイヤ１１ａの巻き端位置に応じて首振りする。なお、この首振りは、対応するダンサープーリ部１３，１５側の端部を支点にして行われる。
また、曲線チャネル３２には、各プーリ２２，２４の外周側部に配置されたプーリ外カバーや、溝ローラ１４の外周側部に配置されたローラ外カバーがある。このうち、ローラ外カバーは、ワイヤ列１１のワイヤ１１ａの本数に見合う分だけ曲線チャネル３２を一体的に並設した曲線チャネル群３２１となっている。なお、各直線チャネル３１や各曲線チャネル３２は、それぞれの部位に対応する長さや曲率を有している。
【００２４】
ワイヤソー１０におけるワイヤ１１ａの引回し経路の途中には、ワイヤ１１ａの通過検出手段の一例であって、発光部から照射されたレーザ光の反射光を受光部により受光して、ワイヤ１１ａの通過を検出する多数個の光センサ３３が配設されている。具体的な光センサ３３の配置位置は、繰出リール１２および最初の直線チャネル３１の間と、経路途中の各チャネル３１，３２の間と、直線チャネル群３１１および曲線チャネル群３２１の間と、曲線チャネル群３２１および直線チャネル群３１２の間と、曲線チャネル群３２１および直線チャネル３１の間と、最後の直線チャネル３１および巻取リール１６の間である。それぞれの光センサ３３は、検出信号の有無により、繰出リール１２からのワイヤ１１ａの繰出しを制御する制御手段３４に、電気的に接続されている。
【００２５】
次に、この発明の一実施例に係るワイヤソー１０におけるワイヤの巻き上げ作業を説明する。
図１に示すように、例えば外径１８０μｍのワイヤ１１ａを使用するワイヤソー１０において、駆動モータ１７の駆動により初動０．０６〜０．３ｍ／分程度から上昇し、かつ安定定速時１〜１０ｍ／分で繰出リール１２から繰り出されたワイヤ１１ａは、まず最も繰出し側の直線チャネル３１のワイヤ路内を通って、ダンサープーリ部１３の各曲線チャネル３２の内部へ入る。その後、ワイヤ１１ａは、直線チャネル３１を経て、３本組の溝ローラ１４の外方にそれぞれ組配置された直線チャネル群３１１，組付け撤去可能な直線チャネル群３１２，曲線チャネル群３２１を順に通過してこれらの溝ローラ１４間にコイル状に巻き架けられる。続いて、各溝ローラ１４を通過したワイヤ１１ａは、直線チャネル３１を経て、ワイヤソー１０の巻取り側にあるダンサープーリ部１５の各曲線チャネル３２内のワイヤ路を通過する。その後、ワイヤ１１ａは最も巻取り側に配置された直線チャネル３１を介して巻取リール１６に到達し、ここで図外のクリップ装置により自動的にクリップ（固定）される。または、センサにより巻取リール１６に到達した時、ワイヤ走行を止めて手動によりクリップ止めしても良い。このような経路をたどることで、ワイヤ１１ａはワイヤソー１０の引回し経路の全域において自動的に巻き上げられる。
【００２６】
なお、例えば設計ミス、製作ミス、組立ミス、保守ミスなどにより、ワイヤ１１ａが所定のワイヤ路から逸脱したり、ワイヤ路の途中に引っかかって通過点を所定時間通りに通過しない場合には、各要部に配置された光センサ３３が制御手段３４と連動して異常を検出し、アラームにより警報を発して、緊急停止などの必要処置を行う。
【００２７】
次に、図１および図４を参照して、ワイヤソー１０によりインゴットＩを切断する作業を説明すると、砥液を砥液供給部１９から供給しながら、３本の溝ローラ１４間でワイヤ列１１を往復走行させる。このワイヤ列１１の往復走行時に、下方からインゴットＩをワイヤ列１１へ押し付けることで、インゴットＩが、順次、接触長さの短い切断始端部、接触長さの長い切断中央部、接触長さの短い切断終端部へと徐々に切断される。すなわち、ワイヤ列１１の往復走行時に、砥液中の砥粒がワイヤ列１１の各ワイヤ１１ａにより、切断溝の底部に擦りつけられて徐々に削り取られ、最終的に多数枚のウェーハに切断される。なお、この切断作業に先駆けて、溝ローラ１４間のインゴット切断部分の直線チャネル群３１２は撤去される。これにより、ワイヤ１１ａの巻き上げ時の自動巻き上げ作業と、インゴットＩの切断時の切断作業とを円滑に実施することができる。
【００２８】
この一実施例に係るワイヤソー１０では、ワイヤ１１ａはワイヤソー１０の全域に自動的に巻き上げられるという基本的な効果のほか、次の付属的な効果も有する。
すなわち、前述した従来手段のワイヤ巻付装置では、工場内にワイヤソーとは別個に、このワイヤ巻付装置の設置スペースが必要であった。しかしながら、ここではワイヤソー１０の内部だけでワイヤ１１ａが巻き上げられるので、この設置スペースが不要になる。しかも、この従来のワイヤ巻付装置では、ワイヤの巻き上げ作業毎に溝ローラユニットをワイヤソーから着脱する必要があったが、この手間も不要となる。また、ユニット装着時には、この溝ローラユニットがワイヤソーの回転主軸にガタつき状態で装着されるおそれがある。これを原因としてウェーハの品質の低下が起きるおそれもある。しかし、この実施例では、これを解消することができる。
【００２９】
また、図３に示すように、ワイヤ１１ａの各ガイドプーリ通過時には、ワイヤ１１ａが、各プーリ２２、２４のプーリ溝２２ａ，２４ａと、曲線チャネル３２（プーリ外カバー）のプーリ合わせ溝３２ａとの間に形成されたワイヤ路を通過するので、直線部分に比べて巻き架けが困難な各プーリ２２，２４の部分にも、円滑にワイヤ１１ａを自動巻付けすることができる。
【００３０】
さらに、図５に示すように、ワイヤ１１ａの溝ローラ１４通過時には、溝ローラ１４のワイヤ溝１４ａと、曲線チャネル群３２１（ローラ外カバー）のローラ合わせ溝３２１ａとの間に形成されたワイヤ路を通過するように構成させたので、比較的巻き架けが困難な溝ローラ１４の部分にも、円滑にワイヤ１１ａを自動的に巻付けることができる。
【００３１】
さらにまた、光センサ３３からのワイヤ検出信号の有無により、ガイドチャネル３０内のワイヤ路内でワイヤ１１ａの詰まりや逸脱の有無を検出し、これに基づいて制御手段３４により繰出リール１２からのワイヤ１１ａの繰出しを制御する。これにより、ワイヤ１１ａの自動巻き上げ中のワイヤ詰まりなどに対処することができる。
この発明はこの実施例に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲での設計変更などがあってもこの発明に含まれる。
【００３２】
【発明の効果】
この発明によれば、ワイヤの引回し経路のほぼ全域にチューブ状のガイドチャネルを配設したので、繰出リールから繰り出されたワイヤを、引回し途中で各溝ローラのワイヤ溝に巻き架けながら、ガイドチャネルの内のワイヤ路を通して巻取リールまで自動的に送られる。これにより、ワイヤをワイヤソーの引回し経路のほぼ全域に自動巻き上げすることができる。
また、従来技術では工場内にワイヤソーとは別個のワイヤ巻付装置の設置スペースが要ったが、これが不要となる。しかも、ワイヤの巻き上げ作業毎に、溝ローラユニットをワイヤソーから着脱する手間が要らない。また、ユニット装着時におけるガタつき装着を原因としたウェーハの品質の低下を防止することができる。
【００３３】
ワイヤのガイドプーリ通過時に、ガイドプーリのプーリ溝と、プーリ外カバーのプーリ合わせ溝との間に形成されたワイヤ路を通過するように構成したので、比較的巻き架けが困難なガイドプーリの部分にも、円滑にワイヤを自動巻付けすることができる。
また、ワイヤの溝ローラ通過時に、溝ローラのワイヤ溝と、ローラ外カバーのローラ合わせ溝との間に形成されたワイヤ路を通過するように構成したので、比較的巻き架けが困難な溝ローラの部分にも、円滑にワイヤを自動巻付けすることができる。
【００３４】
さらにまた、少なくとも上記溝ローラ間のインゴット切断部分に配置されたガイドチャネルを、組付け撤去自在としたので、ワイヤ巻き上げ時の自動巻き上げ作業と、インゴット切断時の切断作業とを円滑に実施することができる。
【００３５】
さらに、請求項４に記載の発明によれば、通過検出手段からのワイヤ検出信号の有無により、ガイドチャネル内のワイヤ路内でワイヤ詰まりの有無を検出し、これに基づいて制御手段により繰出リールからのワイヤの繰出しを制御するようにしたので、ワイヤの自動巻き上げ中のワイヤ詰まりに対応することができる。
【００３６】
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の一実施例に係るワイヤソーの構成図である。
【図２】  この発明の一実施例に係るダンサーローラ部の昇降説明図である。
【図３】  この発明の一実施例に係るガイドローラのワイヤ路部分の拡大断面図である。
【図４】  この発明の一実施例に係る溝ローラの拡大斜視図である。
【図５】  この発明の一実施例に係る溝ローラのワイヤ路部分の拡大断面図である。
【符号の説明】
１０  ワイヤソー、
１１ａ  ワイヤ、
１１  ワイヤ列、
１２  繰出リール、
１４  溝ローラ、
１４ａ  ワイヤ溝、
１６  巻取リール、
２２  ガイドプーリ、
２２ａ，２４ａ  プーリ溝、
２４  昇降プーリ、
３０  ガイドチャネル、
３１  直線チャネル、
３１１  直線チャネル群、
３１２  直線チャネル群、
３２  曲線チャネル（プーリ外カバー）、
３２ａ  プーリ合わせ溝、
３２１  曲線チャネル群（ローラ外カバー）、
３２１ａ  ローラ合わせ溝、
３３  光センサ（通過検出手段）、
３４  制御手段、
Ｉ  インゴット。
【図１】
0003664354.tif 000002
【図２】
0003664354.tif 000003
【図３】
0003664354.tif 000004
【図４】
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【図５】
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