(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の波長の光ビームを、複数本照射可能な第１の光源手段と、
前記第１の波長と異なる第２の波長の光ビームを、複数本照射可能な第２の光源手段と、
前記第１の波長の光ビームと前記第２の波長の光ビームとを縮小して、露光面上に導く縮小光学系とを有し、
前記縮小光学系に入射する前記第１の波長の複数本の光ビームのピッチと、前記第２の波長の複数本の光ビームのピッチとが実質的に異なり、
前記露光面上における、前記第１の波長の光ビームのピッチと、前記第２の波長の光ビームのピッチとが実質的に等しいことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記第１及び第２の光源手段は、各光ビームの数に等しい数の光源を有し、前記光源の間隔は、前記露光面上における、前記第１の波長の光ビームのピッチと、前記第２の波長の光ビームのピッチとが等しくなるように設定されていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記第１の光源手段と前記第２の光源手段の少なくとも一方は、光ビームを１点に集光させるように前記光源を配置しており、
前記光ビームを透過する平行光化レンズと、前記平行光化レンズの位置を調整可能な調整部材とを有し、
前記調整部材により、前記平行光用レンズの位置を調整することにより、前記露光面上における、前記第１の波長の光ビームのピッチと、前記第２の波長の光ビームのピッチとが等しくなるように設定されていることを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記第１及び第２の光源手段の少なくとも一方は、単一の光源からの光ビームを複数本に分割するビーム分割手段を有し、前記ビーム分割手段により分割された光ビームの間隔は、前記露光面上における、前記第１の波長の光ビームのピッチと、前記第２の波長の光ビームのピッチとが等しくなるように設定されていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項５】
前記第１の波長及び前記第２の波長と異なる第３の波長の光ビームを、複数本照射可能な第３の光源手段を有し、
前記露光面上における、前記第３の波長の光ビームのピッチは、前記第１及び第２の波長の光ビームのピッチに等しく設定されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】
第１の波長の光ビームを、複数本照射可能な第１の光源手段と、
前記第１の波長の光ビームを縮小して、露光面上に導く縮小光学系とを有し、  前記第１の波長の各光ビームは、平行状態で前記縮小光学系に入射することを特徴とする露光装置。
【請求項７】
前記第１の波長と異なる第２の波長の光ビームを、複数本照射可能な第２の光源手段と、
前記第１の波長及び前記第２の波長と異なる第３の波長の光ビームを、複数本照射可能な第３の光源手段とを有し、
前記縮小光学系は、前記第２の波長の光ビーム及び前記第３の波長の光ビームを縮小して、露光面上に導くようになっており、
前記第２の波長の各ビーム及び前記第３の波長の各光ビームは、平行状態で前記縮小光学系に入射することを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
第１の波長の光ビームを、複数本照射可能な第１の光源手段と、
前記第１の波長と異なる第２の波長の光ビームを、複数本照射可能な第２の光源手段と、
前記第１の波長及び前記第２の波長と異なる第３の波長の光ビームを、複数本照射可能な第３の光源手段とを有し、
前記第１の波長の光ビーム、前記第２の波長の光ビーム及び前記第３の波長の光ビームを縮小して、露光面上に導く縮小光学系と、
前記縮小光学系と、前記露光面との間隔を調整自在な調整手段とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項９】
光ビームを、所定のピッチで複数本照射可能な光源手段を有し、前記光源手段は、互いに波長の異なる光ビームを照射可能な３群の光源を有し、前記光源は、３次元的に配置され、且つ、前記光源は、前記光ビームを１点に集光させるように配置され、各光源からの光ビームを、互いに平行に延在するように屈折させる平行光化レンズが設けられ、前記平行光化レンズを透過した後、各波長毎の複数本ビームが互いに平行になるように各光源が配置され、前記各光源は、前記平行光化レンズの光軸に対して直角な方向における光ビームの間隔が一定となるように配置されていることを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
前記光源手段からの前記光ビームを縮小して、露光面上に導く縮小光学系を有し、露光面上で各波長のビームピッチが互いに等しくなるよう前記平行光化レンズの光軸に対して直角な方向における光ビームの間隔が波長によって異なることを特徴とする請求項９に記載の露光装置。
【請求項１１】
被露光シートを外面上に固定して回転するドラムと、前記３群の光源と、前記平行光化レンズと、前記縮小光学系とを具備する光学ユニットと、前記光学ユニットを前記ドラムの回転軸方向に移動させる副走査機構と、を有し、
前記ドラムの回転により主走査し、前記光学ユニットの移動により副走査することで前記被露光シートを露光するものであり、
露光面上で各波長の光ビームの主走査方向の露光位置のずれによる露光タイミングのズレを調整する遅延回路を有することを特徴とする請求項１０に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は露光装置に関し、特に、ダイレクトディジタルカラープルーフ（以下ＤＤＣＰという）などに用いる露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
印刷製版工程においては、最終的な印刷作業を行なう前に、出力対象の絵柄、色調、文章文字等の確認を行なうカラープルーフ（校正用サンプル）を作成するのが一般的である。
【０００３】
従来、この作業は一旦製版用フィルム上に画像情報を記録してから、当該フィルムを専用校正機上で処理することにより行なっていたが、近年、コンピュータ上で加工されたディジタル画像データをカラー感光材料上に直接記録することによってカラープルーフを作成する、いわゆるダイレクトディジタルカラープルーフ（ＤＤＣＰ）が注目されるようになった。
【０００４】
ＤＤＣＰの一タイプにおいては、シート状の感光材料を外周面に保持した円筒状部材としてのドラムを（主走査方向に）回転させ、一方、レーザ光の光源をドラムの軸線方向（副走査方向）に移動させつつ、レーザ光を制御しながら感光材料に照射することにより所望の画像を感光材料に形成する露光装置を設けている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、カラー画像を形成するには、互いに波長の異なる少なくとも３つのレーザ光を、感光材料に照射する必要がある。更に、微細な画像を形成するためには、レーザ径を縮小光学系などにより縮小しつつ、各レーザ光を感光材料に照射することが望ましい。かかる場合、画像形成効率を上げるためには、各色のレーザ光を一本でなく複数本同時に感光材料に対して照射することが好ましい。ところが、３種類の波長のレーザ光のそれぞれに対して縮小光学系を設けることは、装置の構成を複雑化させ、かつそのコストを増大させるため一般的には困難である。
【０００６】
そこで、単一の縮小光学系を用いて、３種類の波長のレーザ光を、複数本同時に縮小することにより、コストダウンと高速な露光を図ることが考えられる。ところが、縮小光学系には、色収差などのレンズ固有の特性が存在するため、３種類の波長のレーザ光を単一の縮小光学系を用いて集光すると、かかる色収差により、波長毎に、露光面上におけるレーザ光のピッチ（光軸間隔）が変化するという問題が生じる。
【０００７】
かかる問題に対して、縮小光学系の最適設計を行って、波長が異なった場合でも、露光面上におけるレーザ光のピッチを同一にすることも考えられる。しかしながら、縮小光学系の最適設計には手間がかかり、それにより縮小光学系のコストも増大するという問題が生じる。
【０００８】
更に、露光装置をコンパクトにするために、レーザ光の光源を３次元的に配置しようとする試みがある。かかる場合、単一の縮小光学系を用いて、３次元的に配置されたレーザ光源からのレーザ光を集光する場合、色収差に基づく同様な問題が生じる可能性がある。
【０００９】
かかる問題に鑑み、本発明の目的は、低コストでありながら、高速かつ良質な露光ができる露光装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段及び作用】
（１）上記目的達成のため、本発明の露光装置は、第１の波長の光ビームを、複数本照射可能な第１の光源手段と、前記第１の波長と異なる第２の波長の光ビームを、複数本照射可能な第２の光源手段と、前記第１の波長の光ビームと前記第２の波長の光ビームとを縮小して、露光面上に導く縮小光学系とを有し、前記縮小光学系に入射する前記第１の波長の複数本の光ビームのピッチと、前記第２の波長の複数本の光ビームのピッチとが実質的に異なり、前記露光面上における、前記第１の波長の光ビームのピッチと、前記第２の波長の光ビームのピッチとが実質的に等しいので、低コストで、前記縮小光学系の色収差に関わらず、露光面上において、波長の異なる光ビームのピッチを同一にでき、それにより高速かつ良質な露光が可能となる。
【００１１】
（２）更に、前記第１及び第２の光源手段に、各光ビームの数に等しい数の光源を設け、前記光源の間隔を、前記露光面上における、前記第１の波長の光ビームのピッチと、前記第２の波長の光ビームのピッチとが等しくなるように設定すれば、低コストで、前記縮小光学系の色収差に関わらず、露光面上において、波長の異なる光ビームのピッチを同一にでき、それにより高速かつ良質な露光が可能となる。
【００１２】
（３）更に、前記第１の光源手段と前記第２の光源手段の少なくとも一方は、光ビームを１点に集光させるように前記光源を配置して、前記光ビームを透過する平行光化レンズと、前記平行光化レンズの位置を調整可能な調整部材とを設け、前記調整部材により、前記平行光用レンズの位置を調整することにより、前記露光面上における、前記第１の波長の光ビームのピッチと、前記第２の波長の光ビームのピッチとが等しくなるように設定することにより、低コストで、前記露光面上における、前記第１の波長の光ビームのピッチと、前記第２の波長の光ビームのピッチとが等しくなるように設定すれば、前記光学系の色収差に関わらず、露光面上において、波長の異なる光ビームのピッチを同一にでき、それにより高速かつ良質な露光が可能となる。
【００１３】
（４）更に、前記第１及び第２の光源手段の少なくとも一方に、単一の光源からの光ビームを複数本に分割するビーム分割手段を設け、前記ビーム分割手段により分割された光ビームの間隔を、前記露光面上における、前記第１の波長の光ビームのピッチと、前記第２の波長の光ビームのピッチとが等しくなるように設定すれば、低コストで前記光学系の色収差に関わらず、露光面上において、波長の異なる光ビームのピッチを同一にでき、それにより高速かつ良質な露光が可能となる。
【００１４】
（５）更に、前記第１の波長及び前記第２の波長と異なる第３の波長の光ビームを、複数本照射可能な第３の光源手段を設けて、前記露光面上における、前記第３の波長の光ビームのピッチを、前記第１及び第２の波長の光ビームのピッチに等しく設定すれば、低コストで、前記光学系の色収差に関わらず、露光面上において、波長の異なる光ビームのピッチを同一にでき、それにより高速かつ良質なフルカラー露光が可能となる。
【００１５】
（６）本発明の露光装置は、第１の波長の光ビームを、複数本照射可能な第１の光源手段と、前記第１の波長の光ビームを集光して、露光面上に導く縮小光学系とを有し、前記第１の波長の各光ビームは、平行状態で前記縮小光学系に入射するので、例えば露光面に対して縮小光学系を離隔もしくは近接移動させても、光ビームのピッチは変わらず、一方、露光面に対して縮小光学系を離隔もしくは近接移動させることにより、低コストで、光ビームの焦点位置を容易に調節できるため、それにより高速かつ良質な露光ができる。
【００１６】
（７）更に、前記第１の波長と異なる第２の波長の光ビームを、複数本照射可能な第２の光源手段と、前記第１の波長及び前記第２の波長と異なる第３の波長の光ビームを、複数本照射可能な第３の光源手段とを設け、前記縮小光学系により、前記第２の波長の光ビーム及び前記第３の波長の光ビームを集光して、露光面上に導くようにすれば、例えば露光面に対して縮小光学系を離隔もしくは近接移動させても、波長の異なる光ビームのピッチは変わらず、一方、露光面に対して縮小光学系を離隔もしくは近接移動させることにより、低コストで光ビームの焦点位置を容易に調節できるため、それにより高速で良質なフルカラー露光ができる。
【００１７】
（８）本発明の露光装置は、第１の波長の光ビームを、複数本照射可能な第１の光源手段と、前記第１の波長と異なる第２の波長の光ビームを、複数本照射可能な第２の光源手段と、前記第１の波長及び前記第２の波長と異なる第３の波長の光ビームを、複数本照射可能な第３の光源手段とを有し、前記第１の波長の光ビーム、前記第２の波長の光ビーム及び前記第３の波長の光ビームを縮小して、露光面上に導く縮小光学系と、前記縮小光学系と、前記露光面との間隔を調整自在な調整手段とを有するので、例えば露光面に対して縮小光学系を離隔もしくは近接移動させることにより、低コストで波長の異なる光ビームの焦点位置を容易に調節できるため、それにより高速で良質な露光ができる。
【００１９】
（９）本発明の露光装置は、光ビームを、所定のピッチで複数本照射可能な光源手段を有し、前記光源手段は、互いに波長の異なる光ビームを照射可能な３群の光源を有し、前記光源は、３次元的に配置され、且つ、前記光源は、前記光ビームを１点に集光させるように配置され、各光源からの光ビームを、互いに平行に延在するように屈折させる平行光化レンズが設けられ、前記平行光化レンズを透過した後、各波長毎の複数本ビームが互いに平行になるように各光源が配置され、前記各光源は、前記平行光化レンズの光軸に対して直角な方向における光ビームの間隔が一定となるように配置されているので、低コストでコンパクトな構成で高速かつ良質な露光ができる。
【００２１】
（１０）更に、前記光源手段からの前記光ビームを縮小して、露光面上に導く縮小光学系を有し、露光面上で各波長のビームピッチが互いに等しくなるよう前記平行光化レンズの光軸に対して直角な方向における光ビームの間隔が波長によって異なるように設定すれば、低コストで、コンパクトな構成で高速かつ良質な露光ができる。
【００２２】
（１１）更に、被露光シートを外面上に固定して回転するドラムと、前記３群の光源と、前記平行光化レンズと、前記縮小光学系とを具備する光学ユニットと、前記光学ユニットを前記ドラムの回転軸方向に移動させる副走査機構と、を設け、
前記ドラムの回転により主走査し、前記光学ユニットの移動により副走査することで前記被露光シートを露光するものであり、露光面上で各波長の光ビームの主走査方向の露光位置のずれによる露光タイミングのズレを調整する遅延回路を有すれば、光ビームの波長が異なることによるビームのズレを補正して、低コストでコンパクトな構成で高速でより良質な露光ができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態として、カラープルーフ作成装置を図面を用いて説明するが、本発明はこの実施の形態に限られるものではなく、また本発明の用語の意義も実施の形態での説明で限られるものではない。
【００２４】
カラープルーフ作成装置は、印刷物の仕上がりを事前に確認する校正物を得るための装置である。具体的には、カラー印刷物を作成するに当たって、原稿フィルムの段階で色校正（カラープルーフ）を行う際、Ｙ版、Ｍ版、Ｃ版及び墨版に色分解された各分解網原稿フィルムを使って校正物を作成し、本番の印刷版を作成する前に、原稿フィルムのレイアウト、色、文字等に誤りがないかを検査し、印刷物の仕上がりを事前に確認することが一般的に行われており、かかる校正物を作成する装置をカラープルーフ作成装置と言う。
【００２５】
カラープルーフ作成装置は、網点画像データ生成手段と網点画像記録手段とから構成されており、網点画像データ生成手段から網点画像データを生成して出力し、網点画像記録手段はこの網点画像データを基に感光材料上に画像を直接記録する。
【００２６】
図１はカラープルーフ作成装置の内部構成を示す概略図である。露光ユニット３の内部は、概略、下記構成を備える。
【００２７】
一対のローラ２１および所定長に感光材料Ｐを切断するためのカッタ２２が、感光材料Ｐを感光面を外側にして巻かれたロール状で収納するマガジン８の装填部７の直下に設けられている。
【００２８】
ドラム給排紙ローラ２３は前記ローラ対の下側に設けられ、ドラム３１に対して接離可能である。ドラム３１に感光材料Ｐを給紙する時は、ドラム３１へ押圧され、露光する時はドラム３１から離れる。
【００２９】
マガジン８の引き出し口からドラム給排紙ローラ２３に至るまでの感光材料Ｐの搬送路は、略垂直下方に延びている。
【００３０】
ドラム３１は回転可能であり、感光材料Ｐを感光面を外側にして、空気吸引によりドラム表面に固定し、露光時に主走査するようになっている。
【００３１】
ドラム３１に対向して光学ユニット３２が配置されており、光学ユニット３２は副走査部４０によりドラム３１の回転軸と平行に移動するようになっている。
【００３２】
また、光学ユニット３２は、デジタル信号を受けてドラム３１上の感光材料Ｐにレーザビームにより画像を露光する。
【００３３】
露光ユニット内における排紙部５０は、位置可変の剥離ガイド５１を有し、画像の露光が終了した感光材料Ｐを、ドラム３１から剥離して現像処理ユニット４側に送り込む。
【００３４】
アキュムレータ部６０は感光材料Ｐを一時的に蓄積する。これにより、露光ユニット３内での感光材料Ｐの搬送速度よりも現像処理ユニット４内での搬送速度が遅く、その速度差による不都合が生じないように、整合を図るための場所である。
【００３５】
一方、現像処理ユニット４の内部は、概略、下記構成を備える。
【００３６】
即ち、露光ユニット３側から送り込まれてくる画像を露光された感光材料Ｐに一様な露光を行う第２露光部４１，発色現像処理部４２、漂白定着処理部４３、安定化処理部４４および乾燥部４５を備える。
【００３７】
第２露光部４１における露光は発色現像処理液中に感光材料Ｐがある状態で行われるものであり、図における第２露光部４１および発色現像処理部４２は実質１つの処理槽からなっていて、その内の浅い処理部を第２露光部４１としてある。
【００３８】
第２露光部４１は、使用される感光材料Ｐが内部潜像型ダイレクトポジ感光材料である場合に必要であって、化学カブリ型ダイレクトポジ感光材料を用いる場合は不要である。
【００３９】
次に、図２を用いて、ドラム３１，光学ユニット３２及びその周辺について詳しく説明する。
【００４０】
ドラム３１には軸部３１ａ、３１ｂが設けられており、ドラム３１の軸部３１ａ、３１ｂは、軸受け３３ａ、３３ｂを介して支持台３４ａ、３４ｂに回転可能に軸支してある。
【００４１】
ドラム３１の一方の軸部３１ａには駆動プーリ３５ａを設けてあり、当該駆動プーリは、ドラム回転モータＭ６の出力プーリ３５ｂとベルト３６を介して動力的に連結している。
【００４２】
ドラム３１の軸上であって、前記プーリを配設して有る位置よりも更に外側には、ロータリーエンコーダ３７を付設してあり、これから出力される回転パルスを、ドラム回転に同期した画素クロック制御に用いる。
【００４３】
ドラム３１の他方の軸部３１ｂは、吸引ブロアＡに連結されている。
【００４４】
ドラム３１は中空体で形成してあり、かつ、表面を貫通する多数の吸着孔３１ｃを有するので、吸引ブロアＡの作動によりドラム内部が減圧され、空気吸引により、感光材料Ｐをその表面上に固定できる。
【００４５】
また、回転ドラム３１は、回転ドラム３１の軸３１ａを介して、回転ドラム３１を回転させるためのドラム用モータＭ６に接続されており、このドラム用モータＭ６により回転する。
【００４６】
また、回転ドラム３１は、軸３１ａ側の面が塞がった円筒形状であり、他方の円筒内面が円板状の保持板３１ｄにより回転自在に保持されていて、周面から内部に貫通する孔を除いて、回転ドラム３１内部に外気が漏れないような構造になっている。そして、この保持板３１ｄに設けられた孔から、回転ドラム３１の内部を減圧する減圧ポンプとしての吸引ブロアＡが管を介して接続されている。そして、吸引ブロアＡが作動することにより、回転ドラム３１内部が減圧される。
【００４７】
光学ユニット３２は、移動ベルト３４０に固定してあり、一対のガイドレール３４１、３４２に案内されてドラム軸と平行に移動出来るようになっている。
【００４８】
移動ベルト３４０は一対のプーリ３４３、３４４に掛け渡され、一方のプーリ３４４は副走査モータＭ７の出力軸３４５に連結されて駆動力を得る。
【００４９】
光学ユニット３２は、図３（ａ）に示すように、赤色（Ｒ）の波長（６００〜７００ｎｍ）のレーザビームを発生する赤色レーザ光源（ＬＤ）１０３、緑色（Ｇ）の波長（５００〜５６０ｎｍ）のレーザビームを発生する緑色レーザ光源（ＨｅＮｅ）１０１、赤外（ＩＲ）の波長（７５０〜１０００ｎｍ）のレーザビームを発生する赤外レーザ光源（ＬＤ）１０４を有する。
【００５０】
そして、前記緑Ｇのレーザ光源として、ガスレーザであるＨｅ−Ｎｅレーザを用いる一方、赤Ｒ，赤外ＩＲのレーザ光源として半導体レーザ（ＬＤ）を用いる。
【００５１】
図３（ａ）に示すように、緑ＧのレーザとしてのＨｅ−Ｎｅレーザ１０１からのレーザビームＬｇ（緑レーザビーム）は、３つのミラーＭ１，Ｍ２，Ｍ３を介して、ビームセパレータ１０２ａに入射し、ここで１０本の平行なレーザビームに分割された後、音響光学変調素子（Ａｃｏｕｔｏ−Ｏｐｔｉｃ  Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ：以下、ＡＯＭと略す）１０２ｂに入射する。かかるＡＯＭ１０２ｂにおいて、レーザビームは、変調信号（画像信号）に応じて光量変調され、ミラーＭ４を介して、３つのレンズ群から構成される縮小光学系１０５に入射し、縮小された状態で露光面ＥＰに照射されるようになっている。
【００５２】
また、赤Ｒ，赤外ＩＲのレーザとしての半導体レーザ装置１０３，１０４は、それぞれ１０個のレーザダイオードＬＤを、各々のレーザダイオードＬＤから照射されるレーザビームのビーム中心が平行光化レンズ１０７，１０６の焦点ＦＰＲ、ＦＰＩＲを通過する様に水平面上に扇状に配置されている。レーザダイオードＬＤから各１０本照射されるレーザビームＬｒ、Ｌｉは、平行光化レンズ１０７，１０６に入射する。
【００５３】
ここで、半導体レーザ装置１０４の各レーザダイオードＬＤは、これらより照射される各レーザビームＬｉが、平行光化レンズ１０６の光軸を中心として左右対称となるように、配置されている。更に、これらのレーザビームＬｉの集光位置（平行光化レンズ１０６の焦点）ＦＰＩＲからレーザダイオードＬＤ側に距離Ｌ寄った位置における、平行光化レンズ１０６の光軸に対し直角方向の隣接するレーザビームＬｉの各間隔をｄ１、ｄ２，ｄ３，ｄ３，ｄ５，ｄ６，ｄ７，ｄ８，ｄ９とすると、ｄ１＝ｄ２＝ｄ３＝ｄ３＝ｄ５＝ｄ６＝ｄ７＝ｄ８＝ｄ９＝ｄｉという関係が成立する。
【００５４】
また、半導体レーザ装置１０３の各レーザダイオードＬＤは、これらより照射される各レーザビームＬｒが平行光化レンズ１０７の光軸を中心として左右対称になるように、配置されている。また、これらのレーザビームＬｒの集光位置（平行光化レンズ１０７の焦点）ＦＰＲから半導体レーザ装置１０３のレーザダイオードＬＤ側に距離Ｌ寄った位置における、平行光化レンズ１０７の光軸に対し直角方向の隣接するレーザビームの各間隔をｄ１１，ｄ１２，ｄ１３，ｄ１４，ｄ１５，ｄ１６，ｄ１７，ｄ１８，ｄ１９とすると、ｄ１１＝ｄ１２＝ｄ１３＝ｄ１４＝ｄ１５＝ｄ１６＝ｄ１７＝ｄ１８＝ｄ１９＝ｄｒという関係が成立する。また、縮小光学系１０５の色収差を補正し、露光面上の各色ビームピッチを等しくするように、ｄｒとｄｉは以下の関係にある。
ｄｒ≠ｄｉ
【００５５】
また、このような位置関係によれば、例えばこの半導体レーザ装置用に最適設計を行ったｆθレンズなどを用いなくても、平行光化レンズ１０６を通過した時点で、各レーザビームＬｉの間隔を一定に維持することができ、それにより画像の画質を維持することができる。
【００５６】
レーザビームＬｉは、平行光化レンズ１０６により平行ビームに変換された後に、シリンドリカルレンズ１０８を透過して、更にダイクロイックミラーＤＭ１で、レーザビームＬｇ，Ｌｒとともに、縮小光学系１０５へと入射して、縮小された状態で露光面ＥＰに照射されるようになっている。
【００５７】
一方、レーザビームＬｒは、平行光化レンズ１０７により平行ビームに変換された後に、ミラーＭ５で反射され、更にシリンドリカルレンズ１０９を透過して、更にダイクロイックミラーＤＭ２で、レーザビームＬｇとともになり、ダイクロイックミラーＤＭ１を通過して、縮小光学系１０５へと入射して、縮小された状態で露光面ＥＰに照射される。
【００５８】
尚、上記のように、赤外レーザビームＬｉは、他の２波長のレーザビームＬｇ、Ｌｒに比べて光路途中に介装されるミラーの数が最も少なくなるようにしてある。これにより、最も見えにくい長波長レーザである赤外レーザビームＬｉについて、ミラー調整が必要となるミラー数が少なく、組み立て調整の容易化が図れることになる。
【００５９】
回転ドラム３１は、その回転軸３１ａ周りに回転駆動されるようになっており、これにより主走査が行われる一方、光源、ミラー、縮小光学系を含む光学ユニット３２全体が、回転軸３１ａと平行な方向に駆動にされて副走査が行われる。
【００６０】
ところで、縮小光学系１０５は、汎用性の高いレンズ群を用いているため、ある程度色収差が存在する。かかる色収差により、以下に述べるような問題が生じる。
【００６１】
図４に示すように、レーザビームＬｇ、Ｌｒ、Ｌｉは、互いに波長が異なるので、縮小光学系１０５により縮小されたときに、色収差に基づき焦点位置が露光面ＥＰに対して前後する。従って、縮小光学系１０５と露光面ＥＰとの位置が一定であれば、露光面上における１０本のレーザビームのピッチは、波長に応じて変化することとなる。
【００６２】
図３（ｂ）は、露光面上におけるレーザビームＬｇ、Ｌｒのピッチを示したものであるが、理解しやすいように、離れた露光面にレーザビームが照射される様子を示している。図３（ａ）に示す縮小光学系１０５に入射する際に、レーザビームＬｇ、Ｌｒのピッチが同一であるとすると、波長の短いレーザビームＬｇは、縮小光学系１０５に近い位置で合焦するが、それに比べ波長の長いレーザビームＬｒは、縮小光学系１０５に遠い位置で合焦する。
【００６３】
かかる関係より、図３（ｂ）に示すように、露光面ＥＰにおいて、１０本のレーザビームＬｇのピッチＬ１は、１０本のレーザビームＬｒのピッチＬ２より小さくなる。すなわち各レーザビームＬｇの中心間距離は、各レーザビームＬｒの中心間距離より小さくなる。同様なことは、レーザビームＬｉとの間でも生じる。このように、波長毎にレーザビームのピッチが異なると、レーザビームのピッチ端近傍における画像がぼける恐れがある。
【００６４】
かかる不具合に対し、本実施の形態においては、ビームセパレータ１０２ａを調整することにより、又は半導体レーザ装置１０３，１０４におけるレーザダイオードＬＤの間隔ｄ１〜ｄ９を波長に応じて異なる様にする事により、縮小光学系１０５に入射する直前の、各レーザビームＬｇ、Ｌｒ，Ｌｉのビーム中心のピッチＰｇ、Ｐｒ、Ｐｉを図４に示すように、互いに異なるように設定し、それにより露光面ＥＰ上における、各波長のレーザビームのピッチを互いに等しくなるようにして、高画質な画像を形成できるようにしている。
【００６５】
尚、このような構成にすると、露光面上におけるレーザビーム径が、例えばレーザビームＬｒとレーザビームＬｉとでは異なることになるが、かかる場合には例えばフィルタなどを用いて光量を絞ることにより、ある程度調整が可能なため、特に画質を低下させる不具合とはならない。
【００６６】
かかる実施の形態の変形例として、平行光化レンズ１０６、１０７を、光軸方向に可動とする構成が考えられる。より具体的には、平行光化レンズ１０６，１０７を、可動台１０６ａ，１０７ａにより支持して、かかる可動台１０６ａ、１０７ａをマイクロメータ１０６ｂ、１０７ｂを用いて、それぞれ光軸方向に微小に移動させる。
【００６７】
半導体レーザ装置１０３，１０４からのレーザビームＬｒ、Ｌｉは、１点に集光し、その後発散しつつ平行光化レンズ１０７，１０６に入射するので、平行光化レンズ１０７，１０６を半導体レーザ装置１０３，１０４に対して移動させることにより、平行光化レンズ１０６，１０７から出射されるレーザビームＬｉ，Ｌｒのビーム中心のピッチを変更することができる。それにより、上述した実施の形態におけるレーザダイオードＬＤの間隔を調整することと同様な効果が得られ、もって高画質な画像を形成することが可能となる。尚、レーザビームＬｇに関しては、平行光化レンズを用いていないため、かかる方法ではそのピッチを変更することはできない。しかしながら、レーザビームＬｉ、Ｌｒのピッチを露光面上で、レーザビームＬｇのピッチに合わせればよいため、特に問題は生じない。
【００６８】
尚、レーザビームは、扇状（放射状）でなく直線状に配置した場合でも、ビームエキスパンダで縮小することによりピッチを変更でき、又ハーフミラーの組み合わせでピッチを調整することも可能である。
【００６９】
ところで、縮小光学系１０５と露光面ＥＰとの距離は、縮小光学系１０５の焦点位置を調整するため、変更可能とする必要がある。これに対し、露光面ＥＰの位置を移動させることは、回転ドラム３１の駆動系全体を移動させることとなるため、一般的には困難である。
【００７０】
かかる不具合に対し、本実施の形態においては、縮小光学系１０５に入射する各レーザビームＬｇ、Ｌｒ、Ｌｉを、各レーザビームのビーム中心が光軸と平行な平行状態に維持しているので、縮小光学系１０５を光軸方向に移動させることによって、縮小光学系１０５と露光面ＥＰとの距離を調整することができる。
【００７１】
より具体的には、縮小光学系１０５を、可動台１０５ａにより支持して、かかる可動台１０５ａをマイクロメータ１０５ｂを用いて、光軸方向に微小に移動させる。縮小光学系１０５に入射する各レーザビームＬｇ、Ｌｒ、Ｌｉは、平行状態になっているので、縮小光学系１０５を光軸方向に移動させても、縮小光学系１０５に入射するレーザビームの状態を維持できるため、縮小光学系１０５の焦点位置を容易に調整することができる。
【００７２】
ところで、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１０１からのレーザビーム１０５のビーム形状は、略真円であるのに対し、半導体レーザ装置１０３，１０４からのレーザビームＬｒ、Ｌｉのビーム形状は楕円形である。このため、該楕円形のレーザビームＬｒ、Ｌｉを、シリンドリカルレンズ（又はプリズムペア）１０９，１０８において、真円に整形させるようにしてある。これにより、３波長のレーザビームは、全て真円のビーム形状で露光走査される。
【００７３】
また、縮小光学系１０５は、図５に示すように構成されている。この図５に示すように、縮小光学系１０５において、３波長のレーザビームＬｇ、Ｌｒ、Ｌｉ（平行ビーム）は、ビーム径が縮小された平行ビームとして感材上に投影される。このような縮小光学系１０５を用いる構成とすれば、縮小光学系１０５と記録面との距離が回転ドラム３１の振れなどによって変化しても、感材に露光されるレーザビームの径が変化することがない。
【００７４】
ところで、図３（ａ）に示すように、ＡＯＭ１０２による変調と半導体レーザ装置１０３，１０４の直接変調とには応答速度の差があり、前記直接変調の方が応答性が速いため、図３（ａ）に示す構成のままＡＯＭ１０２と半導体レーザ装置１０３，１０４に同じタイミングの変調信号を与えると、ドラム面上で同一点にうちたいビームがずれてしまうことになる。
【００７５】
そこで、図７に示すように、ＬＤ変調データ１３０，ＡＯＭ変調データ１３１はそれぞれＤ／Ａ変換器１３２，１３３でＤ／Ａ変換されて半導体レーザ（ＬＤ）１０３，１０４とＡＯＭ１０２にそれぞれ与えられるが、前記ＬＤ変調データ１３０は、Ｄ／Ａ変換される前に、遅延補正回路１３４（露光タイミング調整手段）によって、ＡＯＭ１０２の応答遅れ分だけ遅延されるようになっている。
【００７６】
かかる構成によると、半導体レーザ装置１０３，１０４は、遅れた変調データに応じて直接変調されるが、先の変調データに基づくＡＯＭ１０２による光量変調に遅れがあるから、ＡＯＭ１０２から光量変調後のレーザビームが出射される段階では、同じタイミングの変調データによって変調されたレーザビームがそれぞれに露光されることになる。
【００７７】
図３（ａ）において、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１０１からの緑レーザビームＬｇは、ビームセパレータ１０２ａで１０本に分割された後、マルチＡＯＭ１０２ｂで光量変調され、反射ミラーＭ４で反射され、ダイクロイックミラーＤＭ１、ＤＭ２を透過して結像レンズ１１０に入射される。
【００７８】
ここでも、マルチＡＯＭ１０２ｂの両側には、それぞれシリンドリカルレンズが介装されており、マルチＡＯＭ１０２ｂに入射する前にビーム径を縮小して、マルチＡＯＭ１４２の応答性の向上を図り、マルチＡＯＭ１０２ｂによる光量変調を受けた後、元のビーム径に戻すようにしてある。
【００７９】
一方、赤Ｒの半導体レーザ装置１０３、及び、赤外ＩＲの半導体レーザ装置１０４から照射されたそれぞれ１０本のレーザビームは、シリンドリカルレンズ（又はプリズムペア）１０８，１０９によって、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１０１のビーム形状である真円に整形されつつ、マルチＡＯＭ１４２におけるビーム間隔に一致するように、１０本の赤レーザビーム，１０本の赤外レーザビームのビーム間隔（ビーム間ピッチ）が縮小される。
【００８０】
前記ビーム間隔が縮小された１０本の赤レーザビーム，１０本の赤外レーザビームは、それぞれダイクロイッチミラーＤＭ１，ＤＭ２で反射して、縮小光学系１０５に入射する。
【００８１】
縮小光学系１０５では、同一のビーム間隔に揃えられた各波長毎のレーザビームを一括して同時に同一のビーム間隔に縮小し、それぞれのレーザビームを平行ビームとして記録面に投影させる。
【００８２】
変化例１
図９は、露光装置の変形例を示す図３（ａ）と同様な図である。本例において、図３（ａ）に示す構成と異なる点は、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１０１の代わりに、１０個のレーザダイオードを有する半導体レーザ装置１０１Ａを設けている点である。
【００８３】
より具体的には、青Ｂのレーザとしての半導体レーザ装置１０１Ａは、１０個のレーザダイオードＬＤを各々のレーザダイオードＬＤから照射されるレーザビームのビーム中心が平行光化レンズ１０７の焦点を通過するように、水平面上に扇状に配置されている。レーザダイオードＬＤから各１０本照射されるレーザビームＬｂは、平行光化レンズ１０７ａに入射する。
【００８４】
レーザビームＬｂは、平行光化レンズ１０７ａにより平行ビームに変換された後に、シリンドリカルレンズ１０９ａを透過して、更にミラーＭ４で、レーザビームＬｂと一体となって、縮小光学系１０５へと入射して、縮小された状態で露光面ＥＰに照射されるようになっている。
【００８５】
また、半導体レーザ装置１０１Ａの各レーザダイオードＬＤは、これらより照射される各レーザビームＬｂが平行光化レンズ１０７ａの光軸を中心にして左右対称になるように、配置されている。
【００８６】
また、これらのレーザビームＬｂの集光位置（平行光化レンズの１０７ａの焦点）ＦＰＢから半導体レーザ装置１０１ＡのレーザダイオードＬＤ側に距離Ｌ寄った位置における、平行光化レンズ１０７ａの光軸に対して直角方向の隣接するレーザビームの各間隔をｄ２１，ｄ２２，ｄ２３，ｄ２４，ｄ２５，ｄ２６，ｄ２７，ｄ２８，ｄ２９とすると、ｄ２１＝ｄ２２＝ｄ２３＝ｄ２４＝ｄ２５＝ｄ２６＝ｄ２７＝ｄ２８＝ｄ２９＝ｄｂという関係が成立する。
【００８７】
また、縮小光学系１０５の色収差を補正し、露光面上の各色のビームピッチを等しくするように、ｄｂは、前述のｄｒ，ｄｉに対して以下の関係にある。
ｄｂ≠ｄｒ
ｄｂ≠ｄｉ
【００８８】
図９の変形例によれば、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１０１を用いることなく、カラー画像を形成することが可能となる。
【００８９】
変形例２
図１０は、露光装置の別の変形例を示す図である。図１０（ａ）において、青、赤、赤外のレーザ光を照射可能な１５個のレーザダイオードＬＤ（Ｂ）、ＬＤ（Ｒ）、ＬＤ（ＩＲ）を、それぞれ互いに平行な平面ＰＦＢ，ＰＦＲ，ＰＦＩＲ上に配置している。各レーザ光は、平行光化レンズＬにより平行光にされている。図１０（ｂ）は、側面から見た配置を示す図である。図１０（ｂ）において、ＬＤ（Ｂ）、ＬＤ（Ｒ）、ＬＤ（ＩＲ）は、平行光化レンズＬにより、互いに平行なビームにされる。
【００９０】
図１０（ｃ）は、上面から見た配置図を示す図である。青（Ｂ）、赤（Ｒ）、赤外（ＩＲ）の各レーザダイオードＬＤ（Ｂ）、ＬＤ（Ｒ）、ＬＤ（ＩＲ）は、これらより照射されるレーザビームＬｂ、Ｌｒ、Ｌｉ全ての集光位置（平行光化レンズＬの焦点）ＦＰから平行光化レンズＬの光軸上にレーザダイオードＬＤ側に距離Ｌ寄った位置における平行光化レンズＬの光軸に対して直角方向の各波長の隣接するレーザビームの間隔（ピッチ）ｄｂ，ｄｒ，ｄｉは一定である。各レーザダイオードＬＤ（Ｂ）、ＬＤ（Ｒ）、ＬＤ（ＩＲ）からのレーザビームのこのピッチｄｂ，ｄｒ，ｄｉを、それぞれ一定の間隔にすることによって、露光面上における各波長のレーザビームのピッチを一定にすることができる。また、縮小光学系の色収差により、露光面上における波長ごとのピッチの差が生じないように、波長によりこのピッチｄｂ，ｄｉ，ｄｒの間隔を変える事（すなわちｄｂ≠ｄｉ≠ｄｒ≠ｄｂ）により、露光面上のレーザビームのピッチを等しくする。
【００９１】
図１０（ａ）の例によれば、レーザダイオードＬＤ（Ｂ）、ＬＤ（Ｒ）、ＬＤ（ＩＲ）を、３次元的に配置できるため、露光装置の構成をよりコンパクトにすることができる。尚、かかる配置により、露光面上における各色レーザビームの照射位置は、回転ドラム３１の回転方向にシフトすることとなるが、例えば前述のように遅延回路を設けて、各色レーザビームの照射をシフト分だけをずらしながら画像を形成すれば良い。
【００９２】
【発明の効果】
本発明によれば、低コストでありながら、高画質を確保可能なカラープルーフ作成装置などに用いることのできる露光装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】カラープルーフ作成装置の内部構成を示す概略図である。
【図２】主走査部、副走査部を示す平面図である。
【図３】図３（ａ）は、実施の形態におけるレーザ露光装置の概略を示すシステム構成図であり、図３（ｂ）は、露光面上におけるレーザビームＬｇ、Ｌｒのピッチを示した図である。
【図４】上記実施の形態における縮小光学系１０５に入射する直前の各レーザビームを示す概略図である。
【図５】上記実施の形態における結像レンズ系を示す図である。
【図６】ＡＯＭの応答遅れを変調データの遅延によって補正するための構成を示すシステム構成図である。
【図７】露光装置の別な例を示す図３（ａ）と同様な図である。
【図８】露光装置の別な例を示す図である。
【符号の説明】
１  カラープルーフ作成装置
２  本体
３  露光ユニット
４  現像処理ユニット
５  上面パネル
７  装填部
８  収納容器
９  カバー
１０  操作部
１１  液晶パネル
２０  給紙部
２１  搬送手段
３０  主走査部
３１  ドラム
４０  副走査部
５０  排紙部
６０  アキュムレータ部
１０１  Ｈｅ−Ｎｅレーザ
１０３、１０４  半導体レーザ装置
１０５  縮小光学系
１０６，１０７  平行光用レンズ
１０８，１０９  シリンドリカルレンズ
ＥＰ  露光面
【図１】
0003654057.tif 000002
【図２】
0003654057.tif 000003
【図３】
0003654057.tif 000004
【図４】
0003654057.tif 000005
【図５】
0003654057.tif 000006
【図６】
0003654057.tif 000007
【図７】
0003654057.tif 000008
【図８】
0003654057.tif 000009