(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を追跡し、アクセスするシステムであって、
物品を隔離された環境に収容するようになった移動コンテナであって、
コンテナシェルに解放可能に結合されたコンテナドアと、
前記移動コンテナに格納された物品のアイデンティティと処理履歴に関するデータを受信し、格納し、送信するようになったデータ装置と、
を有する前記移動コンテナ、
前記コンテナシェルから前記コンテナドアを取り外し、前記コンテナドアを前記コンテナシェルに挿入するようになったポートドアと、
前記データ装置からのデータを受信し及び該装置にデータを送信し、前記データ装置から受信したデータを処理し、前記データ装置に格納された前記データに基づいて前記ポートドアの作動を制御するワークステーションデータ処理手段と、
を有するワークステーション、及び、
前記データ装置と前記ワークステーションデータ処理手段からデータを受信しかつ該データ装置及びワークステーションデータ処理手段にデータを送信する中央データ処理手段、
を備えたことを特徴とするシステム。
【請求項２】
前記データ装置と前記ワークステーションデータ処理手段が物品の現状とワークステーションの現状に関するデータを前記中央処理手段に送信することを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
半導体ウェハー処理システムであって、
半導体ウェハーを収容するようになった移動コンテナであって、該コンテナ内にストアされるウエハに関係するデータを送信し、受信し、格納し、そして表示する第１データ処理手段を有する移動コンテナ、
前記移動コンテナを収容し、前記移動コンテナに格納されたウエハへのアクセスを制御するようになったインターフェースステーションを有するワークステーションであって、
前記移動コンテナと前記ワークステーションとの間で半導体ウェハーを移送する移送手段と、
前記第１データ処理手段と電気的に通信する第２データ処理手段であって、前記第１データ処理手段に格納された前記データに基づいて前記インターフェースステーションと前記移送手段の動作を制御するようになった第２データ処理手段と、
を有するワークステーション、及び
前記各第２データ処理手段と電気的に通信し、前記第１及び第２データ処理手段から受信されたデータを処理する第３データ処理手段、
を備えたことを特徴とするシステム。
【請求項４】
前記第１データ処理手段は前記コンテナに収容された各ウェハーについての格納と、行われる処理ステップと、処理履歴とを含むデータを格納することを特徴とする請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
物品の移送と処理を行うシステムであって、
コンテナーシェルに解放可能に係止されたコンテナドアを有する移動コンテナであって、物品を収容するようになった内部領域を形成する移動コンテナ、
前記移動コンテナ内に設けられ、前記移動コンテナに収容された物品に関する情報を受信し、格納し、送信し、表示するデータ装置、
前記移動コンテナを収容するコンテナアドバンスプレートと前記コンテナドアに解放可能に係止されるようになったポートドアとを有するロードポートアセンブリを有するワークステーションであって、
前記移動コンテナと前記ワークステーションとの間の物品を移送するようになった物品移送ロボットと、
前記データ装置と電気的に通信するようになっており、前記データ装置に格納された前記データに基づいて前記ロードポートアセンブリと前記物品移送ロボットとを制御する通信装置と、
を有するワークステーション、
前記通信装置と前記データ装置との通信を行うデータ処理手段、
を備えたことを特徴とするシステム。
【請求項６】
さらに、前記移動コンテナの１つを収容し、そこに収容された移動コンテナの前記データ装置と前記通信を行うデータ処理手段との間の通信を与える手段（６３０，６４４）を有することを特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
物品を収容し、搬送し、処理するシステムであって、
複数の移動コンテナを備え、各移動コンテナは複数の物品を収容する内部領域を有しており、前記システムはさらに、
前記各移動コンテナに設けられ、対応する移動コンテナに収容された物品に関する情報を受信し、格納し、送信し、表示するデータ処理手段、
前記データ処理手段と通信する複数のワークステーションを備え、各ワークステーションは物品の選択されたものを処理する手段を有し、前記システムはさらに、
前記各ワークステーションと通信して対応するワークステーションの現状に関する情報を受信し、前記ワークステーションによって行われるべき処理に関する情報をダウンロードし、移動コンテナに設けられたデータ処理手段によって格納された情報を受信する中央処理ユニット、及び、
移動コンテナを収容し、移動コンテナ上に設けられたデータ処理手段と中央処理ユニットとの間の通信を与え、前記データ処理手段によって格納された情報のバックアップコピーを作成する手段とを備えたストレージステーション、
を備えたことを特徴とするシステム。
【請求項８】
物品を格納し、搬送し、処理するシステムであって、
コンテナシェルに解放可能に係止されたコンテナドアと複数の物品を格納するようになった内部領域を有する移動コンテナ、
前記移動コンテナに設けられ、前記移動コンテナに格納される物品に関する情報を受信し、格納し、送信し、表示するようになったデータ処理手段（４０）、
前記データ処理手段と通信するようになった通信装置を有するワークステーションであって、前記移動コンテナ、前記ワークステーション及び前記物品を処理する手段との間の物品を移送する手段を有し、前記通信装置は、前記物品を移送する手段と前記物品を処理する手段とを制御するようになっている、ワークステーション、
前記通信装置と通信して該ワークステーションの現状に関する情報を受信し、前記ワークステーションによって行われるべき処理に関する情報をダウンロードし、前記データ処理手段によって格納された情報を受信する中央処理ユニット、及び、
移動コンテナを格納するようになっており、前記データ処理手段と中央処理ユニットとの間の通信をし、前記データ処理手段によって格納された情報の電子コピーを作成するようになった通信装置を有するストレージステーション、
を備えたことを特徴とするシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
〔背景技術〕
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体加工中において半導体ウェハーのパーティクル汚染を減少する標準化されたメカニカルインターフェースシステムに関する。特に、本発明は標準メカニカルインターフェースシステムにおける情報処理装置に関する。
【０００２】
〔関連技術の説明〕
標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）はウェハーへのパーティクルフラックス（粒子流動）を減少させることによってパーティクル汚染を減少させるよう提案されたものである。この目的は、ウェハーの移送、貯蔵及び処理中にウェハーの周囲のガス媒体（たとえば空気あるいは窒素）をウェハーに対する実質的な静止状態を機械的により確実にすることにより、また外部環境からパーティクルがその中間内部ウェハー環境に入り込まないことを確実にすることによって達成することができる。
【０００３】
この標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）は小容量の静止したパーティクルのない空気であって、内部パーティクル源を有しないものがウェハーに対する可能な最もきれいな環境であるという認識に基づく、この提案システムの詳細は、Mihir parikh  及び Ulrich kaemph  著、 Solid State Technology 、１９８４年７月、第１１１頁〜１１５頁「ウェハーカセットトランスファー及びＶＬＳＩ製造のための技術」及びこれを引用した出願に記載されている。
【０００４】
標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）は３つの主な構成からなる。すなわち、（１）最小容量の防塵輸送コンテナあるいはボックスをウェハーカセットのストア及び搬送に用いる、（２）キャノピーを処理装置のカセットポートにかぶせ、ボックスとキャノピーの内側の環境を小さなクリーンスペースにする、及び（３）ボックスのドアは装置のキャノピーのインターフェースポートのドアと合うように設計されており、２つのドアは同時に開くようになっている。これによって、外側のドアの表面にたまる可能性のあるパーティクルがドアの間にトラップされる（挟まれる）。
【０００５】
提案されている標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）では、ボックスが所定の処理ステーションにあるキャノピーの上のインターフェースポートに配置される。ラッチ機構によってボックスのドアとインターフェースポートのドアが同時に開放されるようになっている。機械式のエレベータが２つのドアを下げ、カセットが上から、キャノピーで覆われたスペースになかに入れられる。マニピュレータがカセットをピックアップして、装置のカセットポートエレベータのなかに入れる。処理後、逆の操作が行われる。
【０００６】
今日の代表的な処理環境においては、「クリーンルーム」が設けられ、そこでフィルターその他の技術によって、半導体ウェハー表面を汚すようなパーティクルを除去する試みが行われる。標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）の考え方はクリーンルームで可能な処理環境を改善する対策する方法である。
【０００７】
提案された標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）は処理ステーションからボックス内部の処理ステーションにウェハーのカセットを輸送することに関係する。処理ステーションは先行するステーションから十分離れた場所に設けられる。さらに、この処理は、複雑で、数多くの処理時間の異なるステップに関係し、処理ステーションにストアされるウェハーカセットを収容するボックスが必要となる。したがって、ボックス内のウェハーについての情報を処理することができるようにウェハーを収容するボックスを特定する必要が生じる。
【０００８】
しかし、提案された標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）は十分満足のゆくものではない。従来の標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）は「ＯＣＲ」あるいはバーコードでマーキングされたボックスを備える。この種のマーキングは特定ボックスを識別するものであるが、ユーザーはボックス内のウェハーに関する情報をボックスの情報と一緒に有効に含めることができない。さらに、この種の外部マーキングはボックス内部のウェハーに物理的にアクセスする制御に役立てることはできない。したがって、標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）において情報処理のための改良された装置が切望されていた。
【０００９】
〔発明の概要〕
したがって、本発明の目的は、物品を搬送し、ストアするシステムであって、物品のすぐれた監視システムを提供することである。
【００１０】
本発明の別の目的は、処理中の物品を集中的に監視し、様々な位置で処理中の物品に関するデータを集中的にストアするシステムを提供することである。
【００１１】
本発明の他の目的は、複数のワークステーションで処理されている物品の処理を集中的に制御し、適正な処理ステップを適正な順序で実行できるシステムを提供することである。
【００１２】
本発明のさらに他の目的は、処理の場面で行われる当該処理についての人間の判断を減少させ、あるいは解消することができる物品処理システムを提供することである。
【００１３】
本発明の上記及びその他の目的は、複数のコンテナの各々がストアされたデータを読み込み、更新するデータストレージと通信リンクを備えたシステムによって達成できる。複数のワークステーションの各々がコンテナにストアされたデータを読みコンテナの物品が適正な位置に到達したことを確認する通信リンクを備えている。ワークステーションはまた物品が到達したこと及びその物品の状態を中央データプロセッサに報告する。中央データプロセッサは処理情報をダウンロードし、次に該ワークステーションはコンテナから当該物品を取り出し、処理する。処理済後、ワークステーションは中央データプロセッサに報告し、コンテナにある情報を更新する。
【００１４】
本発明に係る物品のための一連の処理ステップを遂行するシステムは、
物品の移動コンテナを備え、該移動コンテナは、該移動コンテナ中の物品へのアクセスを制御する第１インターフェース手段と、物品のアイデンティティ及び処理ヒストリーに関するデータを受取り、ストアし、伝送するコンテナデータ処理手段と、各ワークステーションに設けられ前記第１インターフェース手段とインターフェースする第２インターフェース手段とを有し、
該システムはさらに、各ワークステーションに設けられ前記コンテナデータ視力手段からデータを受取り及びこれに対してデータを伝送し、前記コンテナデータ処理手段からデータを受け取り及びこれに対してデータを伝送し、及び第１及び第２インターフェース手段を制御し物品の処理ヒストリーとワークステーションと認識との比較に基づいて前記移動コンテナにある物品へのアクセスを許容するワークステーションデータ処理手段と、
前記各コンテナ及びワークステーションデータ処理手段のそれぞれからデータを受取り及びこれに対してデータを伝送し、前記コンテナ及びワークステーションデータ処理手段の各々から受け取ったデータを処理する中央データ処理手段とを備えている。
【００１５】
〔好ましい実施例の説明〕
図面を参照して、本発明を詳細に説明する。
図１には、半導体ウェハー処理ステーション１００が示されている。任意の半導体製造プロセスは図１に示すようなステーション１００のような任意の数の処理ステーションを備える。これらのステーションは、フォトレジスト材料の塗布、フォトレジスト材料を露出するためのマスクの配列、半導体ウェハー上への材料のデポジット等の処理ステップを取り扱うように製造される。
【００１６】
図１は、処理される半導体ウェハーまたはその他の物品の移動コンテナ１０を示しており、このコンテナは、処理ステーション１００に取り付けられている。移動コンテナ１０は、図２を参照して説明される係合手段６０によって処理ステーション１００のキャノピー３０に着脱可能に取り付けられている。
【００１７】
移動コンテナ１０は複数の半導体ウェハー３２を保持するカートリッジ３１含むようになっている。カートリッジ３１は外気に晒されることなく処理ステーション１００内に下ろされる。
【００１８】
本発明によれば、情報データカード４０は移動コンテナ１０に取り付けられる。本書で使用する「データカード」の語は、移動コンテナ１０の取り付けられる本発明の部分を指し、少なくとも後述のデータストア手段を含む。さらに、処理ステーション１００には、処理ステーション１００上に係合する移動コンテナ１０の電子カード４０に通信する手段５０が設けられる。データカード４０との通信手段５０は処理ステーション１００にあるデータプロセッサ２０に接続されている。データプロセッサ２０は「ＬＥＤ」や液晶ディスプレーのようなディスプレーを備えている。また、データプロセッサ２０はそのプロセスの制御を与えるたとえば、データをイップットするキーボード２２を備える。
【００１９】
操作において、オペレータは移動コンテナ１０を該コンテナ１０に付けられたデータカード４０と一緒に第１処理ステーション１００から第２処理ステーション１００まで運ぶ。移動コンテナ１０が結合されたときデータカード４０にストアされているデータは処理ステーション１００にあるデータカード４０との通信手段に連結される。移動コンテナ１０のデータカード４０からのデータは、データプロセッサ２０に該通信手段５０を介して通信される。詳細に後述するように好ましい態様では、データプロセッサ２０は、手段５０を介してデータカード４０にも通信できるようになっている。
【００２０】
図２は、処理ステーションのキャノピー３０に結合されている移動コンテナ１０を概略的に示している。処理ステーションのキャノピー３０に移動コンテナ１０を結合するための結合手段６０が示されている。結合手段６０は、キャノピー３０上にガイド６１を備えている。また、タブ６２が移動コンテナ１０に形成されている。移動コンテナ１０がガイド６１に取り付けられて完全に結合されると半導体ウェハーのカートリッジがそこを介して下ろされるキャノピー３０のポート７０が移動コンテナ１０と整合する。データカード４０は、移動コンテナ１０の少なくとも一方の側に沿って移動コンテナ１０に取り付けられる。通信手段５０はカード４０に関連して係合手段６０に隣接して取り付けられる。通信手段５０は通信線５１により処理ステーション１００のプロセスコントローラ２０に接続される。
【００２１】
図３Ａは本発明の１実施例にかかるデータカードに装着するための回路を示す。図３Ｂは図３Ａに図示されるカード４０からデータを受け取る通信手段を示す。図３Ａの回路はタイマー／カウンター４１と「ＰＲＯＭ」あるいはその他の安定ストレージ装置のようなストレージ手段４２を備えている。タイマー／カウンター４１は通信バス４３を介してストレージ手段４２に接続されている。タイマー／カウンターは、電源が供給されている場合には、ストレージ手段４２に連続したアドレスを与え、発光ダイオード４４あるいはその他の光学的電送手段を介してデータを出力する。図３Ａの実施例において、データカード４０には単一の発光ダイオード４４が設けられている。この方法では、ストレージ手段４２にあるデータロケーションを介してタイマー／カウンターは連続しており、発光ダイオード４４を介してデータを連続的に出力するようになっている。
【００２２】
図３Ｂの通信手段は感光性トランジスタ５２あるいはその他のフォトディテクタを備えており、これらのものは、発光ダイオード４４によって伝送されたデータに応答して処理ステーション１００にあるプロセスコントロールと通信するコントロールライン５１を介して信号を発生する。移動コンテナ１０が図２に図示のように結合手段６０と結合したとき、発光ダイオード４４と感光性トランジスタ５２とは光通信ができるように整列させられる。
【００２３】
データカード４０はバッテリのような電源４５を備えており、電力はスイッチ４６をかいしてタイマー／カウンターに与えられるようになっており、このスイッチ４６は移動コンテナ１０が結合手段６０に完全に結合したときだけ、接続される。
【００２４】
図４には、データカード４０にある回路の変形例が示されている。図４の実施例では、マイクロコンピュータ１０１またはその他の処理手段及びＲＡＭ１０２のようなスタティックメモリ装置が設けられる。マイクロコンピュータ１０１はメモリ装置にバス１０３によって接続されている。マイクロコンピュータ１０１は発光ダイオード１０５のようなトランスミッタ１０４に接続されている。さらに、マイクロコンピュータ１０１は感光性トランジスタ１０７のような受信装置１０６に接続されている。マイクロコンピュータはライン１０８によって５ボルトで電源から（後述）電力供給を受ける。メモリ装置１０２はライン１０９によってバッテリから電力供給を受ける。ストレージ装置１０２も同様に、マイクロコンピュータ１０１への電力供給が行われているときには、ライン１１０によってイネイブル信号を受け取る。
【００２５】
ライン１０８の電源電圧、ライン１０９のバッテリ電圧、ライン１１０のイネイブル信号の発生は図５に示す回路で行われる。
【００２６】
図５は、図４に示される回路と組み合わせて使用されるデータカード４０に設けられる電源１２０を示す。移動コンテナ１０が処理ステーション１００の結合手段６０に結合されたとき、電源１２０が変圧カップリング装置１２１を介して電力の供給を受けるようになっている。変圧カップリングの関係は図６を参照してさらに詳細に説明する。変圧カップリング手段１２１から受け取られたＡＣ信号はたとえば図５に示すようなブリッジからなるＡＤ／ＤＣコンバータ１２２でＤＣに変換される。電圧レギュレータ１２３が設けられており、これによってデータカード４０のコンポーネントが作動するための安定した電圧が与えられるようになっている。電圧レギュレータ１２３の出力は図４の例ではライン１０８を介してマイクロコンピュータ１０１へ供給電圧として与えられる。データカード４０には、バッテリ１２５が設けられている。バッテリ電圧はライン１０８の電圧レギュレータ１２３の出力より僅かに小さい。バッテリはショットレーダイオード１２６を介してノード１２７に接続されており、このノード１２７は同様にショットレーダイオード１２８を介してライン１０８の電源出力に接続されている。ノード１２７はライン１０９のストレージ装置１０２にバッテリ電圧として供給される。メモリイネイブル信号（ＭＥＮＡＢＬＥ）は変圧器結合電源１２１が入っているときに限り、メモリ装置１０２の動作を可能にするように作用する。
【００２７】
図５に示す整流オプトカプラー１４１を含む回路に対し及びＲ１、Ｃ１及びダイオード１４２を含む回路に対し、メモリイネイブル回路は図８に関連して説明するように設けられる。整流オプトカプラー１４１は、変圧カップリング装置の電源が切られたとき、バッテリ１２５のような電源からライン１４３に電圧を与える手段である。変圧カップリング装置からの電源がポイント２０１において図８のライン２００によって示されるように入ると、図８のライン３００のポイント３０１で見られるようにライン１４３の出力は降下する。しかし、ライン１４３、メモリイネイブル信号（ＭＥＮＡＢＬＥ）の電圧が降下する速度はＲ１及びＣ１によって与えられる時定数によって決定される。したがってライン１０８の電源は、ライン１１０のイネイブル信号がメモリ装置１０２を作動可能にするレベルに到達する前に、マイクロコンピュータ１０１を駆動するのに必要な電圧に到達する。これによって、電源がデータカード４０で完全に立ち上がる前にメモリ装置にストアされているデータがこわれるのを防止できる。
【００２８】
しかし、電源が図８のポイント２０２において断たれると、整流オプトカプラー１４１はライン１４３から充電電流を供給し、これによって、図８のラインにあるポイント３０２で示されるようにキャパシタＣ１はすぐに充電される。従って、スタティックＲＡＭは電源が変圧カップリング装置１２１から断たれたときは、きわめて早く不能になる。
【００２９】
メモリ装置１０２にストアされているデータを保護する他の様々な回路は、ユーザが選択するデータカード４０の特定の実施例に適するように変更することができる。
【００３０】
図６は、データカード４０からのデータを受け取り、データカード４０に対してデータを伝送する通信手段５０と通信して、図４及び図５を参照して説明したようなデータカード４０を装着するための１つの形態を示す。移動コンテナ１０が結合手段６０に完全に結合し、処理ステーションのキャノピー３０に完全に取り付けられたとき、データカード４０と通信手段５０とは通信できるように配列される。図５を参照して述べたように、変圧カップリング装置１２１がデータカード４０に取り付けられる。同様に、これと対をなす変圧カップリング装置１３１が通信手段５０に取り付けられる。移動コンテナ１０が結合手段６０に完全に結合したとき、変圧カップリング装置１２１とその対の装置１３１は整合し、これによって電力が通信手段５０から移動コンテナ１０のデータカード４０に伝送される。
【００３１】
また、図６には、カード４０上にある伝送手段１０４と受信手段１０６とが概略的に示されている。移動コンテナ１０が完全に結合されたとき、データカード４０からのデータを受け取るための対をなす受信手段１３４が通信手段５０にある伝送手段１０４に隣接して設けられる。また、伝送手段１３６が通信手段５０に設けられており、これによって、移動コンテナ１０が結合手段６０に完全に結合したとき移動コンテナ１０の受信手段１０６に隣接する。通信手段５０は通信線５１によって処理ステーション１００のデータ処理手段２０と連絡する。データカード４０に設けられる回路の好ましい実施例が図７に示されている。図７に概略的に示されるデータカード４０はバス１５２を介して複数の入出力装置１５３と連絡するデータ処理システム１５１を備えている。
【００３２】
このデータ処理システムはＣＰＵ１５４、ＲＯＭ１５５のような不揮発性メモリ装置、データの読みこみ、書き込みを行うランダムアクセスメモリ装置１５６及び図５に示すような電源１５７を備える。
【００３３】
複数の入出力装置は以下の任意の装置を含む。まず、ＬＥＤあるいは液晶ディスプレーのようなディスプレー１６０がオペレータにデータを与えるためにデータカード４０に設けられる。また、キーボード１６１が移動コンテナ１０と一緒のデータカード４０に設けられ、これによってデータカード４０にストアされたデータをオペレータが制御することができる。センサ装置１６２が移動コンテナ１０の複数のセンサと接続されるデータカード４０に設けられる。これらのセンサは移動コンテナ１０と結合手段６０との結合、結合解除といった状態に関す情報、コンテナにストアされている物品へのアクセスを許容するためのコンテナ１０にあるポートの開閉の状態その他の状態に関する情報を与える。さらに、コンテナにストアされている物品に保持装置が係合したかどうかを示すセンサが設けられる。遂行される特定の処理ステップにより及び移動コンテナ１０で搬送される物品の特性により他の多くのセンサを設けることができる。
【００３４】
複数の入出力装置１５３は発光ダイオード４４及び感光性トランジスタ５２のような送信装置１６３及び受信装置１６４を備えており、これらについては図４及び図６を参照して説明する。発信装置１６３及び受信装置１６４は所望の特定の用途に応じ他のいろいろなフォトトランジスタ及び光検出装置で構成することができる。さらに、送信装置及び受信装置は磁気テープ及び磁気読み取りヘッドを備えることができる。電子的データカード４０と通信手段５０との間のデータ通信を達成するために他の音響的、誘電的、光学的な手段を装置の特定の必要性に応じて設けることができる。
【００３５】
さらに、データカード４０はリアルタイムに関するデータを発生するためにリアルタイムクロック１６５を備える。クロック１６５からのデータは処理ステーションにおいて、処理のためのパラメータ等を決定するにあたって活用できる。また、クロック１６５は移動コンテナ１０に収容される物品のストレージ時間の長さを決めるのに使用できる。
【００３６】
分配処理システム
本発明によれば、移動コンテナ１０はこれに付けられたデータカード４０とともに図１に示すようなワークステーション１００のような複数のワークステーションと組み合わせて使用することができ、新規な分配処理システムを構成する。かつて、そのような分配処理システムは半導体集積回路の製造に使用された。半導体集積回路の製造は、代表的には、対応する各種のワークステーションを使用する各種別々の処理操作を用いる半導体ウェハーの製造に関連している。
【００３７】
たとえば、半導体ウェハーから半導体集積回路の製造において関係する処理操作及び対応するワークステーションは以下の操作及びワークステーションを含む。レジストが第１のワークステーションでウェハーに加えられる。レジストの厚みが第２ワークステーションで測定される。回路パターンが第３ワークステーションでレジスト上に露光される。回路パターンが第４ワークステーションで現像される。１つ以上の回路トレースの幅が第５ワークステーションで測定される。露光されたレジストのエッチングが第６ワークステーションで行われる。上記例示の処理ステップとワークステーションは多くのさまざまな可能な処理ステップとワークステーションの代表的なものにすぎないことを当業者は理解するであろう。
【００３８】
任意の半導体集積回路製造環境において、さまざまな同時進行するウェハー製造にかかるバッチがある。各バッチは異なる移動コンテナ１０または各々がこれと協働するカード４０を有する一連のコンテナ内に含まれる。さらに、異なるバッチのウェハーは異なるワークステーションで異なる操作を受け、これによって最終的に異なる形式の半導体集積回路になる。また、異なるバッチの半導体ウェハーに同じワークステーションを使用することができるが、ワークステーションによって異なる処理を行うことによって、最終的に形式の半導体ウェハーを製造することができる。たとえば、２つのバッチのウェハーのレジストを第６ワークステーションで双方をエッチングすることができるが、一方のバッチを他方のバッチより長い時間エッチングすることができる。
【００３９】
さらに、あるバッチのウェハーから集積回路を製造する過程で行われる処理操作の種類は先行の処理ステップの結果による。たとえば、第６ワークステーションにおける露光レジストのエッチングステップは第５ワークステーションで測定された１つ以上の回路トレースの幅によって異なるエッチング時間を与えてもよい。したがって、回路トレースの測定結果がエッチング時間の決定に使用されることとなる。
【００４０】
この結果、半導体集積回路の製造のような複雑な処理操作の制御に対して本発明のような処理システムの必要性が生じてくる。
【００４１】
図１を参照すると、ワークステーション１００は本発明に従う処理システムの一部を構成することができる各種のワークステーションの代表的なもののほんの一例にすぎないことを理解されたい。したがって、図１に示すようにワークステーション１００を参照して処理システムを説明するけれども、現実の処理システムは、上記のようなレジストの付加、レジスト厚さの測定、レジストの露光、回路トレース幅の測定及びレジストのエッチングといった各種の処理操作を行う複数のワークステーションを備えていることを理解されたい。
【００４２】
再び図２を参照するとローカル操作コントロールプロセッサ２０（以下ローカル２０）にはローカルトランスファコントロールプロセッサ３００とローカル操作コントロールプロセッサ３０２が接続されている。操作において、ローカル２０は手段５０と電子的に接続されているワークステーション１００に設けられる。この手段５０はデータカード４０に対し２方向通信手段として作用する。図４を参照すると、データカード４０のマイクロコンピュータ１０１は送信装置１０４と受信装置１０６を介して手段５０と２方向通信で結合される。図９を参照すると、ローカル２０はローカルトランスファコントロールプロセッサ３００及びローカル操作コントロールプロセッサ３０２に対し電子的な通信関係にある。ローカルトランスファコントロールプロセッサ３００はトランスファ手段３０４の操作を制御する。このトランスファ手段３０４は、ウェハー３２を収容するカートリッジ３１をワークステーション１００と移動コンテナ１０との間で移送するアーム３０６を備えている。好ましいトランスファ手段３０４の１例が米国特許第４，６７６，７０９号に記載されている。トランスファ手段３０４の他の例が米国特許第４，６７４，９３６号に記載されている。この２つの特許はこの参照によって本書に組み入れられている。ローカル操作コントロールプロセッサ３０２はワークステーション１００の操作を制御する。上記したように、ワークステーション１００は例示目的だけで図示されているものである。対応する各種の処理操作を行う数多くの各種の異なる形式のワークステーションを処理システムに含めることができる。
【００４３】
このシステムを例示的な製造操作を参照して、特に半導体集積回路の製造を参照して説明するが、このシステムを他の操作に対しても同様に適用できることを理解されたい。図９及び図１０のフローチャートは本システムの新規な分配制御特徴を示すものである。分配制御は本発明のシステムでは重要な特徴であって、各種の処理ステップ及びワークステーションのなかから効率的に選択できる程度に柔軟性をもっていなければならない。
【００４４】
図１を参照して説明したように、付属のデータカード４０を伴う移動コンテナ１０は例えば、人間オペレータによってワークステーションに搬送される。図１及び図９を参照すると、コンテナ１０がワークステーション１００に結合された後、図９のフローチャートのステップ４０２に示すようにワークステーション１００に結合されたローカル２０は、データカード４０に対し、ステップ４０４においてデジタル情報を交換できるかどうかたずねる。データカード４０は、そのマイクロコンピュータ１０１（図４参照）によって発生されたデジタルメッセージに対し、ステップ４０６においてデジタル情報を交換する用意がととのっているという応答をする。ステップ４０８において、ローカル２０はデータカード４０に対しそのステータスを報告するように指示する。これに応え、データカード４０のマイクロコンピュータ１０１はステップ４１０で自己テストを行う。自己テストは例えば、カードのバッテリ１２５とＲＡＭ１０２が適性な作業順序であるかどうかを決定するテストを含む。もし自己テストによってカードが適性な作業順序になっていないと判定した場合には、マイクロコンピュータ１０１は信号を発生してステップ４１１でカードのディスプレー２１上にカード４０が適性に作動していないことを表示させる。そして、通常、カード４０とローカル２０とのデジタル通信は停止する。しかし、もし自己テストの結果により、カード４０が適性に動作していることが判明した場合にはカード４０はステップ４１２において作業を進めることを報告する。
【００４５】
ローカル２０は次に、ステップ４１４で、カード４０に対し自己を識別すること及び現在の処理データを与えるように要求する。これに応え、カード４０は識別コードを与える。半導体集積回路製造処理システムでは、ステップ４１６においてカードは処理される半導体ウェハーのロット番号を識別させるとともに、つぎに処理するステップを行うワークステーションとどんな処理ステップが次に行われるかという仕様をし識別させる。たとえば、次の処理ステップは第３ワークステーションにおけるレジストへの回路パターンの露光である。ローカル２０は、コンテナ１０がその内容物及びそのカード４０とともにつぎの処理ステップを行う正しいワークステーションにあるかどうかを判定する（ステップ４１８）。もしそうでないならば、データカード４０にコンテナ１０が間違ったワークステーションにあるということをディスプレー２１によって報告し（ステップ４２０）、通常は、カード４０とローカル２０とのデジタル通信を停止する。もしローカル２０が、カード４０が正しいワークステーションにあると判定したときはデジタル通信はカード４０とローカル２０との間で継続される。
【００４６】
ローカル２０はローカルトランスファコントロールプロセッサ３００に指示することによって応答し、処理すべき物品を移動コンテナ１０からワークステーション１００に移送させる（ステップ４２２）。たとえば、半導体集積回路の製造では、処理すべきウェハー３２を収容したカートリッジ３１がコンテナ１０からワークステーション１００にアーム３０６を介して下ろされる。
【００４７】
つぎに、ローカル２０はローカル操作コントロールプロセッサ３０２に対して指示を出し、処理操作を開始させる（ステップ４２４）。たとえば、ワークステーションで行われる処理操作は半導体ウェハーの付加されるレジストの上への回路パターンの露光である。
【００４８】
ローカル２０はカードに対し、移送が完了し、処理操作が開始したことを知らせる（ステップ４２６）。ローカル２０はワークステーションを識別し、移送が完了して処理操作が開始されたことを示す第１ヒストリー記録を作成する（ステップ４２８）。ローカル２０は第１ヒストリー記録をカード４０に連絡する（ステップ４３０）。カード４０は第１ヒストリー記録をストアする（ステップ４３２）。ローカル２０はカード４０に指示を出し、マイクロコンピュータ１０１とリアルタイムクロック１６５（図７参照）を用い、日付と時間によって第１ヒストリー記録を類別させる。カード４０は指示に応じて第１ヒストリー記録の日付と時間を記録する（ステップ４３４）。
【００４９】
処理操作が完了すると、ローカル操作コントロールプロセッサ３０２はローカル２０にその完了を知らせる（ステップ４３６）。ローカル２０はローカルトランスファコントロールプロセッサ３００に指示を出し、処理される物品例えば半導体ウェハー３２をワークステーション１００から移動コンテナ１０に戻す搬送を開始させる（ステップ４３８）。
【００５０】
ローカル２０は第２ヒストリー記録を作成する。第２ヒストリー記録は例えば半導体ウェハーに付加されるレジストの上に回路パターンを露光する操作の記録を与える。ローカル２０は第２ヒストリー記録をカード４０に連絡し（ステップ４４２）、カードに指示を出して日付と時間によって類別させ、第２ヒストリー記録をストアさせる（ステップ４４４）。
【００５１】
ローカル２０はカード４０に指示を出してつぎの処理ステップに進ませる（ステップ４４６）。これに応え、カード４０はつぎの処理ステップの準備を行う（ステップ４４８）。たとえば、次のワークステーションにおいてステップ４１６で識別されたワークステーションと処理のアイデンティティを変更する。最後に、カード４０はそのディスプレー２１に対しオペレータが移動コンテナ１０が行くべき次のワークステーションを識別できるようにさせる（ステップ４５０）。次の２つの例はカード４０にあるマイクロコンピュータ１０１を備えることの重要性を説明するものである。
【００５２】
第１の例を図１０を参照して説明する。図１０には、図９のフローチャートのステップ４０８から４２０に代用できる別のフローチャートが示されている。この変形フローチャートにおいて、ステップ４０６につづいて、上記のようにカード４０は上記ステップ４１０に関連して説明したような自己テストを開始してこれを遂行する（ステップ５００）。もしカード４０が、正常の動作していないと判定したときはカード４０はディスプレー２１にその操作不能状態を報告させ（ステップ５０２）、通常ローカル２０との通信を停止する。一方、もしカード４０が正常に動作していると判定したときは、カード４０はローカル２０に対しそのアイデンティティを報告するように要求する（ステップ５０４）。これに応えて、ローカル２０はカード４０に対して自身を識別する（ステップ５０６）。つぎに、カード４０は正しいワークステーションであるかどうかを判定する。正しくない場合には、ディスプレー２１に対し適当なメッセージを表示させ（ステップ５０８）、は通常ローカル２０との通信を停止する。カード４０が正しいワークステーションにあると判定した場合には、カード４０はローカル２０に対して指示を出し、第１材料の搬送を開始させる（ステップ５１０）。
【００５３】
第２の例を図１１のフローチャートを参照して説明する。図１１には、例示的な半導体集積回路製造工程からの代表的な一連のカード操作及びワークステーション操作が示されている。本例の目的のために、カード４０はエッチング時間を計算する式をＲＡＭ１０２の中にストアしているものと仮定する。ステップ６００はその式のストアを表す。該式はたとえば、Ｋ＋Ａ（特定幅−測定幅）＋Ｂ（レジスト厚さ）とすることができる。ここでＫ、Ａ及びＢは定数、及び「特定幅」は回路トレースの特定の幅を指し、「測定幅」は回路トレースの測定幅を指し、「レジスト厚さ」は半導体ウェハーに付加されたレジストの測定厚さである。
【００５４】
第１処理ステップは処理される半導体ウェハーにレジストを付加することである（ステップ６０２）。このステップはたとえば、第１ワークステーションで行われる。レジストの厚さは第２ワークステーションで測定され（ステップ６０４）、測定厚さはカードのＲＡＭにストアされる（ステップ６０６）。回路パターンは第３ワークステーションでレジスト上に露光される（ステップ６０８）。回路パターンは第４ワークステーションで現像される（ステップ６１０）。１つ以上の回路トレースの幅が第５ワークステーションで測定される（ステップ６１２）。その測定幅はカードのＲＡＭ１０２にストアされる（ステップ６１４）。マイクロコンピュータ１０１を用い、ステップ６００でストアした式及びステップ６０６及び６１４でストアした測定結果を使ってカード４０はエッチング時間を計算する（ステップ６１６）。露光されたレジストは計算されたエッチング時間だけエッチングが施される（ステップ６１８）。
【００５５】
上記の２つの例から、カード４０が集中制御を必要としない分配処理システムの一部として有利に使用できることを理解されたい。そのかわり、処理される物品を収容した移動コンテナ１０と協働するカード４０は特定の物品に関する処理データをストアすることができ、物品を適正に処理するのに必要な計算を行うことができる。
【００５６】
在庫管理システム
また、本発明は処理操作の間に物品たとえば半導体ウェハーのステータスを有利にモニターできる新規な在庫管理システムを提供する。
【００５７】
図１２を参照すると、図示のように取り付けられたデータカード４０を有する移動コンテナ１０を収容できる大きさの凹部６３２を有するトレー６３０が示されている。トレー６３０は、ワークステーション１００が設けられる上記した２方向通信手段５０のような２方向通信手段５０−１を備えている。破線６３４で示すように、移動コンテナ１０の基部６３６は凹部６３２にちょうど収まることができる。移動コンテナ１０が凹部６３２に収容されると、カード４０は２方向通信手段５０−１と整列して、カード４０と通信手段５０−１とが互いに２方向通信によって連携する。
【００５８】
図１３を参照すると、ブロックダイヤグラムの形式で在庫管理システム６３７が示されている。この在庫管理システム６３７は各グループのトレー６３０−１乃至６３０−Ｎに分割された複数のトレーを有する。各トレーは図１２を参照して説明したものと同様である。各グループのトレー６３０−１乃至６３０−Ｎにある各トレーは各制御ライン６３９−１乃至６３９−Ｎによって多重回路６４０−１乃至６４０−Ｎに接続されている。各マルチプレクサ回路６４０−１乃至６４０−Ｎは制御ライン６４２（このラインはたとえばＲＳ２３２Ｃラインとすることができる）によってストレージ制御プロセッサ６４４に結合されている。
【００５９】
現在好ましい態様では、ストレージ制御プロセッサ６４４はＩＢＭと共通使用可能なパーソナルコンピュータを備えている。マルチプレクサ６４０−１乃至６４０−Ｎは互いにデージーチェーンで結合されており、コントロールライン６４２によって伝達された信号があるマルチプレクサ回路から他のマルチプレクサ回路へ連続的に送られるようになっている。二つのグループのトレー６３０−１乃至６３０−Ｎのみが２つの協働するマルチプレクサ回路６４０−１乃至６４０−Ｎとともに図示されているが、複数のグループのトレーと対応する複数のグループのマルチプレクサを在庫管理システム６３７に含めることができることを理解されたい。操作において、複数の移動コンテナ１０が在庫管理システム６３７のそれぞれのトレー６３０−１乃至６３０−Ｎのなかに配置される。オペレータはたとえば、システム６３７の任意のトレーに収容された任意のコンテナ１０の内容物の処理状態を確認するためにストレージ制御プロセッサを使用することができる。
【００６０】
特に、たとえば、図１２に示すコンテナ１０の内容物に関する情報を得るために、ストレージ制御プロセッサ６４４はそのトレー６３０に接続された各マルチプレクサ回路（図示せず）に指示を出し、そのトレー６３０を選択して、それをプロセッサ６４４に接続させる。ストレージ制御プロセッサ６４４はデジタル信号を選択されたトレー６３０に送る。このトレー６３０は、トレーが取り付けられた２方向通信手段５０−１とカード４０との２方向通信を生じさせる。２方向通信を通して、ストレージ制御プロセッサ６４４は例えば、コンテナ１０の内容物、この内容物に対してすでに行われた処理ステップと将来どんな処理ステップが行われることになっているかを確認することができる。さらに、２方向通信によって、ストレージ制御プロセッサ６４４はカード４０のマイクロコンピュータ１０１を、たとえば、カードのＲＡＭ１０２にストアされた処理指令を修正し、そのリアルタイムを正すように再プログラムすることができる。
【００６１】
したがって、本発明の在庫管理システム６３７によって有利に処理ステップのヒストリーを維持するタスク、各移動コンテナ１０にある物品の将来の処理ステップのスケジュールを有効に分配することができる。この結果、ストレージ制御プロセッサ６４４ではそのような情報を維持し管理する必要がない。
【００６２】
本発明に従う、ＳＭＡＲＴトラベラーシステム（ＳＴＳ）として知られる材料追跡システムの１例を図１４を参照して説明する。
【００６３】
図１４に示すシステムは複数のワークセンター７００ｎ（ただ１つのワークセンターのみ図示）とコントロールセンター７０１とを備える。このシステムは処理される各物品をトラックし、各物品の処理を中央から制御する能力を有するためにＳＭＡＲＴシステムとして知られる。
【００６４】
データカード４０（ＳＭＲＡＴタグとして知られる）がＳＴＳシステムの基本である。データカード４０が各材料コンテナに取り付けられており、データカード４０が取り付けられたコンテナ１０の中の材料に関する全ての情報を保有している。各データカード４０は８キロバイトのＲＡＭ１５６、２方向赤外線通信システム、１年以上連続使用可能な寿命を有するバッテリ、１６文字液晶ディスプレー１６０、オンボードマイクロプロセッサ１５４及びソフトウェアをストアするＲＯＭ１５５を有する。ＲＯＭ１５５にストアされたソフトウェアはデータカード４０に対して赤外線通信システムを使用する外部装置と通信する能力与えるプログラムを備えている。エラーのない通信がハンドシェイクとダブルチエックサムエラー検出方法によって達成される。送信エラーが検出されると通信が繰り返される。
【００６５】
各処理ステーション７０２では、ローカルデータプロセッサ（ＳＭＡＲＴアームマスター（ＳＡＭ）として知られる）７０４が各材料キャリア１０に取り付けられたデータカード４０をチェックする責任をもっており、適正な材料が適正な処理ステップを通って処理されたということを確認する。材料が処理ステーション７０２に到達すると、ＳＡＭ７０４は材料が適正なステーション７０２に到達したことを確認する。材料が適正なステーションにない場合には、これは処理装置７０６に装填されない。いったん、材料が処理装置７０６に装填されると、発生した日付と時間がコントロールセンター７０１に報告される。同様なメッセージが処理が完了した場合にも記録される。その後、つぎのシーケンスステップ情報がデータカード４０上に表示される。
【００６６】
ＳＡＭ７０４は通信リンク７０８を介して各ワークステーション７０２に設けられた上記のトランスファ手段３０４のような自動装填ユニット（ＡＬＵ）７０７と通信する。構成通信リンク７１０がＳＡＭ７０４と処理装置７０６との間に設けられ制御情報が直接処理装置７０６に伝送できるようになっている。同様に処理装置７０６で発生した処理パラメータデータがＳＡＭ７０４によって集められコントロールセンター７０１に伝送できる。各ＳＡＭ７０４とＡＬＵ７０７と処理装置７０６との間の通信は９６００ボーでＲＳ−２３２−Ｃ通信によりＳＥＣＳＩ及びＳＥＣＳIIプロトコルである。
【００６７】
ＳＭＡＲＴストレージ領域（ＳＳＡｓ）７４０が各ワークセンター７００に設けられている。処理を受けていないときは、ウェハーはＳＳＡ７４０においてコンテナ１０に付随のデータカード４０とともにストアされている。コンテナ１０がＳＳＡ７４０に持ち込まれると、これらはストレージトレー６３０に配置される。各ストレージトレー６３０はＲＳ−２３２ベース通信リンク７４６によってストレージ制御プロセッサ６４４に接続されており、これによってデータカード４０がストレージ制御プロセッサ６４４と通信できるようになっている。ストレージ制御プロセッサ６４４はたとえば、ＩＢＭと共通使用可能なパーソナルコンピュータであって、ストレージにあるすべての材料をモニターし、データカード４０のデータのバックアップコピーを保持し、変更がロット（たとえば、ロット到着、待ちロットのロットデータ変更）に影響するときはデータカード４０を更新するユーザーインターフェイスを与え、そしてストレージ制御プロセッサ６４４によって保持されるＳＳＡ７４０データベース及びコントロールセンター７０１データベースを更新する。ストレージ制御プロセッサ６４４によって実行されるプログラムは、メニュー・ドリブン・ユーザー・インターフェイスを与える。多くのコマンドはライトペン７５０を用いてアクセスすることができ、キーボードの必要はない。また、全ての特徴部にキーボードによってアクセスすることもできる。
【００６８】
コントロールセンター７０１は全体の設備とワークセンターの制御を行うものであって中央データプロセッサ（ＣＤＰ）７２０を備えている。このＣＤＰ７２０はＣＰＵ７２１、データストレージ装置７２２及びオペレータインターフェイスのためのターミナル７２３を有する。本発明の現状での好ましい実施例では、ＣＰＵ７２１はデジタルイクイップメントコーポレーション（ＤＥＣ）が製造するＶＡＸコンピュータである。ＶＡＸコンピュータはプロミスシステムコーポレーションから市販されるＰＲＯＭＩＳバージョン４．３中央設備ホストシステムまたは、コンシリウムから市販のＣＯＭＥＴＳ中央設備ホストシステムに適合することができる。
【００６９】
ＳＴＳシステムのＣＤＰ７２０及びその他全ての構成部分とのあいだの連結はネットワークが行う。このネットワークは３つの通信レベル、すなわち、エサーネットベースＬＡＮ７６０、ＲＳ−４８５ベースＬＡＮｓ７６２、及びＲＳ−２３２ベース通信リンクを含む。
【００７０】
エサーネットベースＬＡＮ７６０はたとえば、ＤＥＣＮＥＴ、デジタルイクイップメントコーポレーション（ＤＥＣ）の適合性のあるネットワークであって、エサーネット（ＩＥＥＥ  ８０２．３）ハードウェア及びローレベルプロトコルに基づくものとすることができる。データは１０Ｍボー（公称）で各ネットワークノードにおいて特別のタップ及び電子カードを有する同軸ケーブルによって伝送される。各ストレージ制御プロセッサ６４４はＬＡＮ７６０を用いてＣＤＰ７２０と通信する。ＬＡＮ７６０上で送られるメッセージは、ＣＯＭＥＴＳまたはＰＲＯＭＩＳシステムに関するデータのためのＳＥＭＩ装置通信基準プロトコル（ＳＥＣＳII）に従って、または、ＳＡＭ７０４がＣＤＰ７２０のターミナルとして使用される場合にはＤＥＣローカルエリアターミナルプロトコル（ＬＡＴ）に従って、フォーマットされている。
【００７１】
マルチードロップＲＳ−４８５「ｂｕｓ」７６２は各処理ステーション７０２にあるＳＡＭ７０４をローカルリンクマネージャー７７０に接続する。このＲＳ−４８５チェーンはＳＤＬＣローレベルプロトコルを用いた同期通信モードで１Ｍボーで動作する。各ＳＡＭ７０４はＳＥＣＳIIでフォーマットされたメッセージを発生し、このメッセージはリンクマネージャー７７０に送られ、リンクマネージャー７７０はこれをＬＡＮ７６０によってＣＤＰ７２０に伝送する。
【００７２】
あるワークセンターでは幾つかのＳＡＭ７０４はＣＤＰ７２０との通信のためには設けなくともよい。この場合、ＳＡＭ７０４で実行されるプログラムはワークステーションに持ち込まれるコンテナについてデータカード４０に質問をしてコンテナにあるウェハーのステータスについて最終のＣＤＰ７２０に報告されていらい行われた処理ステップの数を決定する。処理ステップを数が所定数を越えると、たとえば、４ステップを越えるとＳＡＭ７０４はステータス情報がＣＤＰ７２０に報告されるまでウェハーの処理を行わせない。ＳＡＭ７０４とデータカード４０の双方がコンテナ１０がＳＡＭ７０４内または更新のためにストレージセンター７４０に配置されていなければならないということを示すメッセージを表示する。
【００７３】
図１４のＳＴＳにおけるウェハー処理は以下の通りである。設備内にあるウェハーのログを始めるために、オペレータは初期化タスクのために指定されたＡＬＵ７０７にからのコンテナ１０を配置する。つぎにオペレータはＡＬＵ７０７を制御してコンテナ１０を開く。ウェハーがカセットに挿入し、カセットをＡＬＵ７０７にある開かれたコンテナ１０ドアの上に配置する。ＳＡＭ７０４に関し、ＮＥＷＬＯＴ機能を開始し、ロットＩＤとウェハーＩＤ番号とを入力する。ＣＤＰ７２０はロットＩＤの重複をチェックし、当該ロットＩＤが唯一のものであることを確認する。つぎに、ＳＡＭ７０４はＣＤＰ７２０からロットのステータスを受け取り、データカード４０にそのロットＩＤ、つぎの装置形式、ワークセンターを書き込む。オペレータはＡＬＵ７０７を制御してウェハーのカセットを中にいれてコンテナ１０を閉じる。コンテナはＡＬＵ７０７によって解放されて、第１処理装置または任意のＳＳＡ７４０に搬送する用意が整う。
【００７４】
処理が行われていないとき、ウェハーは各ワークセンター７００にあるＳＳＡ７４０にストアされる。ウェハーはコンテナ１０内にこれに取り付けられたデータカード４０とともに保持される。各コンテナ１０のデータカード４０はロット名称、ワークセンターアイデンティティ及び次の処理ステップに使用される装置形式を示す。輸送オペレータは設備を通してウェハーのコンテナ１０を移動させるカートとともにワークセンターのＳＳＡ７４０の中を移動する。輸送オペレータが一つのＳＳＡ７４０に近づくと、オペレータはライトペンを使って異なるＳＳＡ７４０にあるロット（ストレージ制御プロセッサ６４４にストアされているストレージエリアによって支持されているワークセンターのリストにもとづいて）を要求する。これらのロットに含まれるストレージトレー６３０にあるＬＥＤが所定時間（たとえば１０秒間）点滅する。輸送オペレータはこれらのコンテナ１０を除去し、異なるＳＳＡ７４０に移動させるためにカートに載せる。輸送オペレータは目的のワークセンターついて各データカード４０の液晶ディスプレー（ＬＣＤ）で調べる。
【００７５】
材料がＳＳＡ７４０に到着すると、ストレージ制御プロセッサ６４４はメッセージをＣＤＰ７２０に送り、次の処理ステップ情報を要求する。ＣＤＰ７２０からの応答によってストレージ制御プロセッサ７０４に対する正しい装置形式及びワークセンターを識別する。データカード４０は必要に応じて更新される。つぎのロットについてのワークセンターがそのストレージ領域７４０についてリストにのっていない場合には、ロットＬＥＤが（１０秒間）点滅して、輸送オペレータに除去するように指示する。
【００７６】
ストレージ制御プロセッサ６４４は「ＡＣＣＥＰＴ  ＩＮＴＯ  ＣＥＬＬ」時刻スタンプメッセージを送る。このメッセージはロットの現在のビン番号を含んでおり、ＣＤＰ７２０はこれを後で使用するためにストアする。ロットは装置オペレータが処理のために除去するまで待機する。
【００７７】
装置オペレータがウェハーを処理する用意をすると、オペレータはＣＤＰ７２０ターミナル、すなわちＳＡＭ７０４に行き、材料の列を調べる。オペレータは１つのロットを列から選択し、ＣＤＰ７２０はこのロットの位置を（最終時刻スタンプ位置に基づいて）表示する。つぎに、オペレータはビン番号によってこのコンテナを配置し、除去する。オペレータはデータカード４０にある液晶ディスプレー（ＬＣＤ）をチェックして適正なコンテナが得られたことを確認しなければならない。データカード４０のＬＣＤは、次の処理ステップのロットＩＤ、ワークセンター及び装置形式を表示する。コンテナが除去されたときストレージ制御プロセッサ６４４はＣＤＰ７２０に「ＡＣＣＥＰＴ  ＩＮＴＯ  ＣＥＬＬ」時刻スタンプによって、それが除去されたことを知らせる。
【００７８】
次の処理ステップの前に制御動作が必要であるということをＣＤＰ７２０のデータが示している場合には、データカード４０の液晶ディスプレーは装置形式と行われるべき制御ウェハー動作（ＡＤＤまたはプットバック）を表示する。及び指定されたＡＬＵ７０７にコンテナ１０を搬送し、コンテナ１０をＡＬＵ７０７の上に配置する。ＡＬＵ７０７と協働するＳＡＭ７０４は制御ウェハー動作が必要であることを認識し、及びコンテナ１０を開くことを許容する。
【００７９】
オペレータは適正な制御ウェハーをカセットに入れ、ウェハーＩＤ番号をＳＡＭ７０４に入力する。これらのウェハー番号は制御材料動作メッセージの中で送られＣＤＰ７２０に制御材料のＡＤＤ／プットバックの完了を知らせる。つぎにデータカード４０はオペレータにロットを処理のためにワークステーション７０２に持っていくように告げる。
【００８０】
ワークステーション７０２の１つがソーターである場合には、ソーターにあるＳＡＭ７０４はデータカード４０から制御ウェハー要求を読み取り自動ソーターに命令を出す。制御ウェハーのカセットスロットはソーターで選択され、データカード４０に記録される。完了すると、ＳＡＭ７０４は制御材料動作メッセージを発生してＣＤＰ７２０に制御材料のＡＤＤ／プットバックの完了を知らせる。つぎに、データカード４０はオペレータにコンテナ１０を処理のために処理ツールに持っていくように告げる。
【００８１】
オペレータはコンテナ１０を処理装置に搬送する。該装置では、ロットがＡＬＵ７０７の上に配置される。ロットＩＤと意図される処理目的がＳＡＭ７０４によってデータカード４０から読み取られる。コンテナが間違った処理装置にある場合には（データカード４０のデータとＳＡＭ７０４の構成が一致しないことを意味する）、ＳＡＭ７０４はＣＤＰ７２０からのロットステータス情報を要求し、必要ならば、データカード４０を更新し、（コンテナが依然として間違った装置にある場合には）ＬＥＤを点滅させる。
【００８２】
コンテナ１０が適正な処理装置にある場合には（データカード４０のデータとＳＡＭ７０４の構成とが一致することを意味する）、ＳＡＭ７０４はオペレータにオペレータＩＤを要求し、この処理装置７０６にロットをトラック−インさせる。受け入れるために、ＣＤＰ７２０はロットが待ち状態にあることを照合し、現在の目的地として適正な装置／ワークステーション７０６が有効であり、かつオペレータＩＤが有効であるかどうかを確認する。
【００８３】
ＣＤＰ７２０が拒絶した場合には、ＳＡＭ７０４はメッセージをＣＤＰ７２０に送ってロットステータスを要求する。この場合には、ＡＬＵ７０７の赤ランプが点灯し、データカード４０の液晶ディスプレーがこのコンテナの最終目的地を示し、カセット搬送操作は許可されない。必要があれば、データカード４０を更新する。
【００８４】
ロット−トラック−インが受入れられたとき、ＡＬＵ７０７のオペレータ制御パネルにあるライトはそのように表示する。ロットが除去されると、ＳＡＭ７０４は「ＩＮＱＵＩＲＥ  ＣＡＮＣＥＬ  ＴＲＡＣＫ−ＩＮ」を発生し、操作を中止する。ロットはＡＬＵ７０７により装置に装填される。データカード４０はラン状態にあるロットを示すようにマークされる。データカード４０にストアされたまたは、ＣＤＰ７２０で送られた任意の処理仕様は、ＳＡＭ７０４のターミナルスクリーン上の表示される。
【００８５】
ＳＡＭ７０４は「Ｓｔａｒｔ  Ｒｕｎ」時間スタンプをＣＤＰ７２０に送る。もしステーションがコンフィギュレーション可能の装置インターフェース７１０を有している場合には、ＳＡＭ７０４は、ＣＤＰ７２０に「Ｓｔａｒｔ  Ｒｕｎ」時間スタンプの信号を送るまえに、コンフィギュレーションをして処理装置スタートメッセージを待つ。
【００８６】
もし当該ステーションが、コンフィギュレーション可能な装置インターフェース７１０を備えている場合であってロットデータが自動レシピー（ｒｅｃｉｐｅ）を必要とする場合には、ＳＡＭ７０４はロットパラメータをロットデータから前もってストアされたレシピースケルトンに入れ、このレシピーを装置７０６に送る。
【００８７】
データ収集動作（ＤＣＯＰ）には２つのやり方がある。もしステーション７０２がコンフィギュレーション可能な装置インターフェース７１０を備えているばあいには、ＳＡＭ７０４によってデータは装置７０６から直接得られる。このデータはＣＤＰ７２０に送られる。この方法が使用されない場合には、収集はオペレータが直接ＣＤＰ７２０に入力することによって行われる。ＳＡＭ７０４は事実上この目的のために使用される。
【００８８】
処理ステップが完了すると、オペレータはＡＬＵ７０７にウェハーを装置７０６から下ろさせ、該ウェハーはコンテナ１０に戻させる。まず、オペレータはＳＡＭ７０４にある識別番号を入力するように求められる。ＳＡＭ７０４は「Ｅｎｄ  Ｒｕｎ」時間スタンプの信号をＣＤＰ７２０に送る。ステーションがコンフィギュレーション可能な装置インターフェース７１０を備えている場合には、装置「Ｓｔｏｐ」メッセージを受け取るとＳＡＭ７０４はコンフィギュレーションを行って「Ｅｎｄ  Ｒｕｎ」時間スタンプの信号をＣＤＰ７２０に送る。ＳＡＭ７０４によってトラック−アウトがＣＤＰ７２０システム上で自動的に行われる。ロットはこのとき更新され、オペレータに解放される。液晶ディスプレー（ＬＣＤ）によってオペレータに当該ロットがつぎにどのワークセンターのどの装置に行くべきかを知らせる。
【００８９】
オペレータはそのロットをつぎのステーション７０２またはＳＳＡ７４０に運ぶ。ロットがＳＳＡ７４０に着くと、「Ｓｅｎｄ  ｆｒｏｍ  Ｃｅｌｌ」時間スタンプが送られ、つぎにロットの場所が確認される。
【００９０】
この方法で、どのウェハーの処理もＣＤＰ７２０によって追跡される。この精密なウェハー追跡を行うことは、異なるウェハーが単一のコンテナ１０収容されて異なる処理ステップにかかる場合には特に重要である。ＣＤＰ７２０との相互作用を行うことの別の重要な点は、オペレータが各種のバッチの処理パラメータを決定する必要がないということであり、処理パラメータはＣＤＰ７２０からＳＡＭ７０４にダウンロードされ、ＳＡＭ７０４で表示されるかあるいはＳＡＭ７０４から装置７０６にインターフェース７１０を介してダウンロードされる。
【００９１】
マニュアルの処理ステップを行う場合には、ＡＬＵ７０７は処理のためにコンテナ１０からロットを移動させるのに使用される。処理すべきロットは１度にＡＬＵ７０７の上に配置される。そのロットは有効なものとされロットデータをコンテナ１０に入力することによって追跡される。つぎに、コンテナ１０が開けられ、ウェハーは処理を行うために取り出される。処理が完了すると、ロットはＡＬＵ７０７に戻される。空のコンテナ１０（空のカセットを収容する）がＡＬＵ７０７に配置されてコンテナ１０が開かれる。ロットはコンテナ１０内部に配置され、オペレータはロットＩＤを入力する。ＳＡＭ７０４は「Ｔｒａｃｋｏｕｔ」を行い、ロット情報をデータカード４０に書き込む。ＡＬＵ７０７はコンテナ１０を閉じる。
【００９２】
再作業、分割、結合または廃棄が必要な場合には、オペレータはＣＤＰ７２０にターミナルに行って、これらのシーケンスの内の１つ以上のものを開始しなければならない。ロットはつぎにストレージの中に配置されるかまたは、ＡＬＵ７０７に配置され、データカード４０を更新する。
【００９３】
ある場合には、トラック−インに関してＳＡＭ７０４によって得られた材料情報には、トラック−アウトの前に制御動作を指示するフラグが必要となるということを含めることができる。この場合には、処理ツールにあるＳＡＭ７０４は「Ｒｅｑｕｅｓｔ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ｒｅｍｏｖａｌ  Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ」のメッセージを送る。得られた材料取り出し命令は擬似処理ステップに形式でデータカード４０にストアされる。材料取り出し命令が処理ステップに後に続く場合には、オペレータはデータカード４０からテストウェハーを取り出すためにＡＬＵ７０７に行くように知らされる。ＡＬＵ７０７では、ウェハーは手動で取り出され、ＣＤＰ７２０には、「Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ａｃｔｉｏｎ」メッセージによって知らされ、その後トラック−アウトされる。
【００９４】
本発明の好ましい実施例についての上記の説明は、例示と説明の目的で行われたものである。これは本発明を消耗させるものでも、開示された正確な形態に限定するものでもなく、多くの修正変更が上記の教示に照らして可能となる。特定の実施例が本発明の原理を最も良く説明するために選択され、説明されており、これによって、当業者が各種の実施態様で本発明を活用することが可能となり、各種の変更を特定の用途に適合させることができる。本発明の範囲は添付の特許請求の範囲によって規定されるものであることを意図している。
【図面の簡単な説明】
【図１】処理装置に隣接して設けられる標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）の斜視図である。
【図２】本発明に使用される標準メカニカルインターフェースシステム（ＳＭＩＦ）の概略図である。
【図３Ａ】本発明の１実施例に係る回路図である。
【図３Ｂ】本発明の１実施例に係る回路図である。
【図４】本発明に従う装置の変形例である。
【図５】本発明に従う電源の概略図である。
【図６】本発明に従う装置の取付け関係を示す概略図である。
【図７】本発明の１実施例における移動コンテナに含まれるシステムのブロック図である。
【図８】図５の回路の一部の説明に使用するチャートである。
【図９Ａ】本発明に従う処理システムの説明に使用されるフローチャートである。
【図９Ｂ】本発明に従う処理システムの説明に使用されるフローチャートである。
【図９Ｃ】本発明に従う処理システムの説明に使用されるフローチャートである。
【図１０】図９のフローチャートの一部の差し替え用の変更フローチャートである。
【図１１】本発明に従う処理システムの説明に使用されるフローチャートである。
【図１２】本発明に従う在庫管理のトレーと移動コンテナの斜視図である。
【図１３】本発明に従う在庫管理システムのブロックダイヤグラムである。
【図１４】本発明に従うシステムの応用にかかるブロックダイヤグラムである。
【符号の説明】
１０  移動コンテナ
２０  データプロセッサ
３０  キャノピー
３１  カートリッジ
３２  半導体ウェハー
４０  電子カード
４１  タイマー／カウンター
４２  ストレージ手段
４３  通信バス
４４  発光ダイオード
５０  通信手段
５１  通信線
６０  結合手段
６１  ガイド
６２  タブ
１００  処理ステーション
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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