(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験パターンデータが与えられ、この試験パターンデータに従ってＨ論理及びＬ論理の電圧値を持つアナログ波形を持つ試験パターン信号を生成する波形発生器と、この波形発生器が生成した試験パターン信号を増幅して被試験ＩＣの入力端子に与えるドライバと、被試験ＩＣが出力する応答出力信号を取込み、所定のＬ論理電圧及びＨ論理電圧を具備しているか、否かを判定する電圧比較器とを搭載して構成される複数のピンカードと、このピンカードに被試験ＩＣの各端子を電気的に接続するＩＣソケットとによって構成されるＩＣ試験装置において、
上記ピンカードの中の何れかを基準ピンカードと定めると共に、この基準ピンカードと他のピンカードとを上記ＩＣソケット上で接続する疑似デバイスを上記ＩＣソケットの端子の数に対応させて用意し、複数の疑似デバイスを順次上記ＩＣソケットに装着して対応するピンカードのドライバから出力される駆動信号を上記疑似デバイスを通じて上記基準ピンカードの電圧比較器に供給し、上記基準ピンカードの電圧比較器で測定したタイミングが一定になるように上記各ピンカードのドライバの駆動タイミングを調整することを特徴とするＩＣ試験装置におけるスキュー調整方法。
【請求項２】
請求項１記載のＩＣ試験装置におけるスキュー調整方法によってドライバのタイミングが調整された上記各ピンカードの何れかを基準ピンカードと定め、この基準ピンカードのドライバから出力される駆動信号を上記疑似デバイスを通じて順次他のピンカードに供給し、各ピンカードの電圧比較器が測定したタイミングが一定になるように各ピンカードの電圧比較器の検出タイミングを設定することを特徴とするＩＣ試験装置におけるスキュー調整方法。
【請求項３】
被試験ＩＣとほゞ同一形状を有し、上記ＩＣソケットの一つの特定した端子を他の端子に接続する配線を１本ずつ内蔵して構成したことを特徴とする請求項１または２記載のスキュー調整方法に用いる疑似デバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は例えばメモリのような半導体集積回路（以下ＩＣと称す）の良否を判定するＩＣ試験装置の、特に被試験ＩＣの各端子に与える試験パターン信号のタイミング、及び被試験ＩＣが出力する応答出力信号を取り込むタイミングを各端子ごとに合致させるための調整、いわゆるスキュー調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来よりＩＣ試験装置では定期的に被試験ＩＣの各入力端子（データ入力端子及びアドレス入力端子）に与える試験パターン信号のタイミング及び被試験ＩＣの出力端子または出力モードにあるＩ／Ｏ端子が出力する応答出力信号を読み取るタイミングを被試験ＩＣの各端子ごとに合致させる調整を行っている。この調整を一般にスキュー調整と称している。
【０００３】
図３にＩＣ試験装置において被試験ＩＣを接触させるＩＣソケットの部分と、このＩＣソケットに接続され被試験ＩＣに試験パターン信号を与える動作と、被試験ＩＣの応答出力信号を取り込む動作を実行するピンカードの部分の構成を示す。
図３において、１０は被試験ＩＣ（特に図示しない）を装着するＩＣソケットを示す。このＩＣソケット１０は被試験ＩＣの端子の数に対応した数の端子Ｐ１，Ｐ２  ，Ｐ３  …ＰＮ  を具備している。ＩＣソケット１０の各端子Ｐ１  〜ＰＮ  にはピンカード１１Ａ〜１１Ｎが接続される。各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎは波形発生器ＦＦと、この波形発生器ＦＦが発生する試験パターン信号を増幅して被試験ＩＣに与えるドライバＤＲと、被試験ＩＣが出力する応答出力信号を取り込む電圧比較器ＣＰとを搭載して構成される。
【０００４】
波形発生器ＦＦは、例えばセット端子Ｓとリセット端子Ｒを具備したＳ−Ｒフリップフロップによって構成することができ、このＳ−Ｒフリップフロップによって構成される波形発生器ＦＦに入力端子ＳＥＴから可変遅延回路ＤＲＹ１を通じてセット入力信号ＰＳＥＴ  （図４Ｂ）が供給され、このセット入力信号ＰＳＥＴ  が入力されることにより波形発生器ＦＦは図４Ｄに示すＨ論理に立上がる駆動信号ＶＤＲを発生する。
【０００５】
一方、波形発生器ＦＦのリセット端子Ｒには入力端子ＲＥＳＥＴから可変遅延回路ＤＲＹ２を通じてリセット入力信号ＰＲＥＳＥＴ  （図４Ｃ）が供給され、このリセット入力信号ＰＲＥＳＥＴ  が入力されることにより波形発生器ＦＦは図４Ｄに示す駆動信号ＶＤＲをＬ論理に立下げる。
このようにして波形発生器ＦＦはセット入力信号ＰＳＥＴ  とリセット入力信号ＰＲＥＳＥＴ  の供給により駆動信号ＶＤＲを生成し、この駆動信号ＶＤＲをドライバＤＲを通じて被試験ＩＣの各入力端子（アドレス入力端子及び入力専用端子、或いは入出力兼用端子の入力モードにある入力端子）に試験パターン信号（アドレス信号とデータ信号及びデバイスコントロール信号等）として供給する。
【０００６】
セット入力信号ＰＳＥＴ  とリセット入力信号ＰＲＥＳＥＴ  は試験周期ＴＴＥＳ  を規定する周期パルスＰＲＥＴ  （図４Ａ）の発生タイミングを基準に遅延時間τ１  とτ２  が与えられてセット入力端子ＴＳＥＴ  とリセット入力端子ＴＲＥＳＥＴ  に入力され、各試験周期ＴＴＥＳ  ごとに試験パターン信号が発生される。ここで示す遅延時間τ１  とτ２  は試験パターンの発生条件によって決められた遅延時間である。
【０００７】
ここで、全てのピンカード１１Ａ〜１１Ｎに入力するセット入力信号ＰＳＥＴ  とリセット入力信号ＰＲＥＳＥＴ  に与えれた遅延時間が図４ＢとＣに示したτ１  とτ２  であったとすると、ＩＣソケット１０の各端子Ｔ１  〜ＴＮ  には同一位相（タイミング）で試験パターン信号が供給されなければならない。
しかしながら、現実にはピンカード１１Ａ〜１１Ｎと各ＩＣソケット１０との間の配線長のバラツキ等によって信号の伝播遅延時間Ｔｐｄ（図３参照）に差が生じ、ＩＣソケット１０の各端子Ｐ１  〜ＰＮ  に到達する駆動信号ＶＤＲのタイミングにバラツキが発生する。このタイミングのバラツキを吸収し、同一位相に調整するために可変遅延回路ＤＲＹ１とＤＲＹ２が設けられている。可変遅延回路ＤＲＹ１とＤＲＹ２を調整して全ての端子の位相を合致させる調整がスキュー調整である。
【０００８】
一方、各ピンカード１１Ａ〜１１ＮとＩＣソケット１０との間の伝播遅延時間Ｔｐｄに時間差が存在した場合には、被試験ＩＣから出力された応答信号が各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎに搭載した電圧比較器ＣＰに伝播するまでの時間にも時間差を与える。この時間差を吸収するために電圧比較器ＣＰに与えるストローブパルスＰＳＴＲＢの供給通路にも可変遅延回路ＤＲＹ３が設けられ、電圧比較器ＣＰ側でもスキュー調整が行われている。
【０００９】
以下にドライバＤＲ側のスキュー調整と、電圧比較器側のスキュー調整の方法を説明する。従来はドライバＤＲ側のスキュー調整のために基準位相検出手段として基準電圧比較器ＳＴＤＣＰ（図３参照）を設け、この基準電圧比較器ＳＴＤＣＰにリレーマトリックスＲＭＡＸを通じて各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎの各出力端子を順次選択的に接続し、各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎごとにスキュー調整を実行する。以下にピンカード１１Ａのスキュー調整を行う場合について説明する。
【００１０】
基準電圧比較器ＳＴＤＣＰは図５に示すように２個の比較器ＣＰ１  とＣＰ２  を具備して構成され、これら２個の比較器ＣＰ１  とＣＰ２  によってウインドコンパレータを構成している。つまり、比較器ＣＰ１  は入力信号ＶＸ  が比較電圧ＶＨ  より大きいときＬ論理を出力し、小さいときＨ論理を出力する。一方、比較器ＣＰ２  は入力信号ＶＸ  が比較電圧ＶＬ  より小さければＬ論理を出力し、大きいときＨ論理を出力する。従って出力端子ＴＶＨとＴＶＬに出力されている論理値を監視することにより、入力信号ＶＸ  がＶＨ  とＶＬ  に対してどの関係にあるかを知ることができる。
【００１１】
比較電圧ＶＬ  とＶＨ  を例えば図６に示すように、入力信号ＶＸ  のＬ論理よりわずかに高い電圧と、Ｈ論理よりわずかに低い電圧に設定し、比較器ＣＰ１  とＣＰ２  にストローブパルスとして与える基準クロックＣＬＫの位相を図６Ｃに示すようにＣＬＫ１  ，ＣＬＫ２  …のように順次シフトさせ、比較タイミングをずらすことにより入力信号ＶＸ  の電圧が比較電圧ＶＬ  より低い領域では出力端子ＴＶＬがＬ論理、出力端子ＴＶＨはＨ論理を出力する。ＶＸ  がＶＨ  とＶＬ  の間にあるときは、ＴＶＬ＝Ｈ，ＴＶＨ＝Ｈが出力され、ＶＸ  がＶＨ  より大きい領域では、ＴＶＬ＝Ｈ，ＴＶＨ＝Ｈが出力される。このようにして出力端子ＴＶＬとＴＶＨに出力される論理値を監視することにより、入力信号ＶＸ  の状態を知ることができる。スキュー調整はこのような電圧比較器の特性を利用して入力信号ＶＸ  の、例えば立上がりのタイミングを検出し、入力信号ＶＸ  の遅延時間を測定し、その遅延時間が所定の値になるように各可変遅延回路ＤＲＹ１，ＤＲＹ２の遅延時間を設定する。
【００１２】
つまり、従来のドライバＤＲ側のスキュー調整は予め可変遅延回路ＤＲＹ１とＤＲＹ２の遅延時間を基準値（例えば可変遅延時間幅の中央値）に設定し、その状態で所定の遅延時間、例えば図４に示したτ１  とτ２  に設定されたセット入力信号ＰＳＥＴ  とリセット入力信号ＰＲＥＳＥＴ  を入力し、ドライバＤＲから駆動信号ＶＤＲを出力させる。
【００１３】
ＩＣソケット１０は被試験ＩＣを装着しない状態とし、端子Ｐ１  で信号を反射させる。従って、基準電圧比較器ＳＴＤＣＰには図７Ｂに示すようにドライバＤＲが出力した直接波ＲＸ１に加えてピンカード１１ＡとＩＣソケット１０との間の伝播遅延時間Ｔｐｄの２倍の遅延時間ＴＱ  だけ遅れた反射波ＲＸ２が入来する。基準電圧比較器ＳＴＤＣＰの比較電圧ＶＨ  とＶＬ  を図７Ｃに示すように直接波ＲＸ１の立上がりのタイミングＴ１  と反射波ＲＸ２の立上がりのタイミングＴ２  を横切るレベルに設定し、基準電圧比較器ＳＴＤＣＰにストローブパルスとして与える基準クロックＣＬＫの位相を図７Ｄに示すように各テスト周期ＴＴＥＳ  ごとにＣＬＫ１  ，ＣＬＫ２  ，…のように、わずかずつ順次ずらすことにより直接波ＲＸ１と反射波ＲＸ２が入来するタイミングＴ１  とＴ２  を検出することができる。このタイミングＴ１  とＴ２  によって直接波ＲＸ１と反射波ＲＸ２の時間差ＴＱ  を検出することができる。この時間差ＴＱ  を１／２にするとピンカード１１ＡとＩＣソケット１０の端子Ｐ１  との間の伝播遅延時間Ｔｐｄを求めることができる。
【００１４】
この測定を各ピンカードごとに実施し、それぞれの伝播遅延時間Ｔｐｄを求め、この伝播遅延時間Ｔｐｄのバラツキの範囲の例えば中心値を基準値と定め、この基準値との偏差を各ピンカードごとに算出し、その偏差値に対応した遅延時間を各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎの可変遅延回路ＤＲＹ１とＤＲＹ２に設定してドライバ側のスキュー調整を完了する。
【００１５】
ドライバ側のスキュー調整が完了した状態で、各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎに搭載した電圧比較器ＣＰの比較タイミングの調整を行う。各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎに搭載した電圧比較器ＣＰも図５に示した基準電圧比較器ＳＴＤＣＰと同様の構成とされ、比較電圧ＶＬ  をＬ論理レベルよりわずかに高い電圧に設定することによりドライバＤＲが出力する駆動信号ＶＤＲの立上がりのタイミングを検出することができる。
【００１６】
つまり、電圧比較器ＣＰの比較のタイミングを調整する場合には、図８に示すようにドライバＤＲから電圧比較器ＣＰに駆動信号ＶＤＲを直接入力し、駆動信号ＶＤＲが比較電圧ＶＬ  （図９参照）を横切るタイミングＴＳ  を検出し、そのタイミングＴＳ  を可変遅延回路ＤＲＹ３に設定する。つまり、可変遅延回路ＤＲＹ３の遅延時間をスルー状態に設定し、その状態でドライバＤＲの駆動信号ＶＤＲの入来タイミングＴＳ  を測定し、その測定したタイミングＴＳ  がセット入力信号ＰＳＥＴ  の遅延時間τ１  と合致するように可変遅延回路ＤＲＹ３の遅延時間を設定することにより、電圧比較器ＣＰの検出タイミングをドライバＤＲ側の遅延時間に合致させることができる。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来のスキュー調整においては特にドライバ側のスキューに関しては反射を利用し、しかもその反射を基準となる電圧比較器ＳＴＤＣＰにリレーマトリックスを介して供給してドライバＤＲとＩＣソケット１０の各端子Ｐ１  ，Ｐ２  ，Ｐ３  …  ＰＮ  までの間の遅延位相を計測しているから、遅延位相の計測値は正確に得られない欠点がある。
【００１８】
つまり、リレーマトリックスＲＭＡＸはスキュー調整時に基準電圧比較器ＳＴＤＣＰを各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎに接続することに用いられるだけで、被試験ＩＣを試験する場合には用いられない回路である。しかも、各ドライバＤＲに対して基準電圧比較器ＳＴＤＣＰを順次切り換えて接続するものであるから、リレーマトリックスＲＭＡＸの遅延時間は切り換え状態に応じて異なるものとすると、各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎごとに求めるドライバＤＲとＩＣソケット１０の各端子Ｐ１  ，Ｐ２  ，Ｐ３  …までの間の遅延時間にも誤差を与えることになる。この結果、全てのピンカード１１Ａ〜１１Ｎの位相を正確に合致させることができないことになる。
【００１９】
このようにドライバ側のスキュー調整が正確でないことから、電圧比較器ＣＰのスキュー調整も正確さに欠ける欠点がある。
この発明の目的はドライバ側及び電圧比較器側のスキュー調整を正確に行うことができるスキュー調整方法と、このスキュー調整方法に用いる疑似デバイスとを提案するものである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
この発明では、被試験ＩＣの各端子が接触するとＩＣソケットの各端子に接続される複数のピンカードの中から一つのピンカードを選択し、このピンカードに搭載されている電圧比較器を基準電圧比較器と定め、この基準電圧比較器に順次疑似デバイスを用いて他のピンカードのドライバを接続することにより、各ピンカードのドライバ側の遅延位相を基準電圧比較器を用いて直接測定することができる。
【００２１】
従って、この発明によればピンカードのドライバの遅延位相を正確に計測できることから、そのスキュー調整も正確に行うことができる。更に、各ドライバのスキュー調整が正確に行うことができることから、電圧比較器のスキュー調整も正確に行うことができる利点が得られる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１にこの発明によるＩＣ試験装置のスキュー調整方法と、この調整方法に用いる疑似デバイスの実施例を示す。図１において図３と対応する部分には同一符号を付して示す。
この発明では、ＩＣソケット１０の各端子Ｐ１  ，Ｐ２  ，Ｐ３  …ＰＮ  に接続される各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎの中から基準となるピンカードを定め、この基準ピンカードに疑似デバイス１２を用いて順次他のピンカードを接続し、基準ピンカード１１Ｎの電圧比較器ＣＰＮ  を使って各ピンカードのドライバＤＲ側の遅延位相を測定する。
【００２３】
図１に示す実施例では、ＩＣソッケト１０の端子Ｐｎ  に接続したピンカード１１Ｎを基準ピンカードとして定めた場合を示す。図１に示す状態はこの基準ピンカード１１Ｎの電圧比較器ＣＰＮ  を用いてＩＣソケット１０の端子Ｐ１  に接続したピンカード１１ＡのドライバＤＲの遅延位相を測定し調整する場合を示す。
つまり、この場合を用いる疑似デバイス１２はＩＣソケット１０の端子Ｐ１  とＰｎ  を接続する接続線を内蔵し、この疑似デバイス１２をＩＣソケット１０に装着することにより、端子Ｐ１  に接続されているピンカード１１ＡのドライバＤＲを基準ピンカード１１Ｎに接続することができる。
【００２４】
この接続状態で電圧比較器ＣＰＮ  にストローブパルスＰＳＴＲＢを与える可変遅延回路ＤＲＹ３の遅延時間を予め既知の値に設定し、この既知の遅延時間を基準値と定め、ピンカード１１Ａから駆動信号ＶＤＲを基準ピンカード１１Ｎに入力し、この駆動信号ＶＤＲの例えば立上がりのタイミング及び立下りのタイミングを電圧比較器ＣＰＮ  に与えるストローブパルスＰＳＴＲＢのタイミングＣＬＫ１  〜ＣＬＫｍ  （図７参照）によって測定する。
【００２５】
図２に疑似デバイス１２の実施例を示す。図２ＡはＩＣソケット１０の端子Ｐ２  を端子ＰＮ  に接続する疑似デバイス、図２Ｂは端子Ｐ３  を端子ＰＮ  に接続する疑似デバイス、図２Ｃは端子Ｐ４  を端子ＰＮ  に接続する疑似デバイス、図２Ｎは端子ＰＮ−１  を端子ＰＮ  に接続するデバイスをそれぞれ示す。
これらの各疑似デバイス１２を順次ＩＣソケット１０に装着することにより、ピンカード１１Ａ〜１１Ｎ−１を順次基準ピンカード１１Ｎに接続することができ、各接続状態で各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎ−１までのドライバＤＲ側の遅延時間を測定することができる。各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎ−１のドライバＤＲ側の遅延時間を測定した結果により、各遅延時間が一定値となるように各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎ−１に搭載した可変遅延回路ＤＲＹ１，ＤＲＹ２の遅延時間を設定する。
【００２６】
例えば各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎ−１の各ドライバＤＲから出力される駆動信号ＶＤＲの立上がりのタイミングの測定値（図４に示したτ１  に相当）がτ１  を中心に７ｎｓ〜１３ｎｓの間に存在した場合、その中心値のτ１  ＝１０ｎｓを基準値と定め、各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎ−１に搭載した可変遅延回路ＤＲＹ１の遅延時間を調整して、各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎ−１から出力される駆動信号ＶＤＲの立上がりのタイミングが１０ｎｓとなるように設定する。
駆動信号ＶＤＲの立下がりのタイミングも同様に測定し、その測定結果に応じて各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎ−１に搭載した可変遅延回路ＤＲＹ２の遅延時間τ２  を設定すればよい。
ドライバ側の可変遅延回路ＤＲＹ１とＤＲＹ２の遅延時間を設定した後に電圧比較器ＣＰ側の可変遅延回路ＤＲＹ３の遅延時間を測定する。この場合には、例えばＩＣソケット１０の端子ＰＮ  に接続したピンカード１１Ｎを基準ピンカードに定め、この基準ピンカード１１Ｎに搭載したドライバから基準となる駆動信号ＶＤＲを出力させ、この基準駆動信号ＶＤＲを各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎ−１に疑似ピンカードを通じて順次入力させ、基準駆動信号ＶＤＲの例えば立上がりのタイミングを各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎ−１の電圧比較器ＣＰを使って測定し、その測定した各タイミングが一定値に揃うように各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎ−１の可変遅延回路ＤＲＹ３の遅延時間を設定して全てのスキュー調整が完了する。
【００２７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、この発明によれば基準ピンカード１１ＮとＩＣソケット１０との間の伝播遅延時間及び疑似デバイス１２内の伝播遅延時間を予め正確に測定しておけば、各ピンカード１１Ａ〜１１Ｎ−１のそれぞれとＩＣソケット１０までの伝播遅延時間を正確に測定することができる。
【００２８】
従って、この正確に測定した伝播遅延時間を基に各可変遅延回路ＤＲＹ１とＤＲＹ２の遅延時間を設定するから、各可変遅延回路ＤＲＹ１とＤＲＹ２に設定される遅延時間も正確となり、ドライバ側のスキュー調整を正確に行うことができる。
また、各ドライバＤＲ側のスキュー調整を正確に行うことができることから、電圧比較器ＣＰの検出位相のスキュー調整も正確に行うことができる。
【００２９】
従って、この発明によれば全てのピンカードに関してスキュー調整が正確に調整できるから、試験結果の信頼性を向上させることができる利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるＩＣ試験装置のスキュー調整方法を説明するための接続図。
【図２】この発明で提案する疑似デバイスの実施例を説明するための平面図。
【図３】従来の技術を説明するための接続図。
【図４】図３の動作を説明するための波形図。
【図５】図３に示した電圧比較器の具体的な構成の一例を説明するための接続図。
【図６】図５に示した電圧比較器の動作を説明するための波形図。
【図７】従来の技術によりドライバ側のスキュー調整方法を説明するための波形図。
【図８】従来の技術により電圧比較器側のスキュー調整方法を説明するための接続図。
【図９】図８の動作を説明するための波形図。
【符号の説明】
１０    ＩＣソケット
１１Ａ〜１１Ｎ    ピンカード
ＦＦ    波形発生器
ＤＲ    ドライバ
ＣＰ    電圧比較器
ＣＰＮ          基準電圧比較器
１２    疑似デバイス
【図１】
0003616247.tif 000002
【図２】
0003616247.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003616247.tif 000005
【図５】
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【図６】
0003616247.tif 000007
【図７】
0003616247.tif 000008
【図８】
0003616247.tif 000009
【図９】
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