【手続補正書】
【提出日】令和3年8月23日(2021.8.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モールドを用いて基板上のショット領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、
前記基板上のインプリント材と前記モールドとが接触している部分を含むショット領域を撮像して該ショット領域に対応する画像を取得する撮像部と、
前記基板の複数のショット領域の配列を示すショットレイアウトに、前記撮像部で取得された複数の前記ショット領域に対応する前記画像を重畳して表示するように表示部を制御する制御部と、
を有することを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記インプリント処理の状況を示す画像を表示するように前記表示部を制御することを特徴とする、請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記基板上のインプリント材と前記モールドとが接触した状態で前記基板と前記モールドとの間の距離に応じて変化する画像を表示するように前記表示部を制御することを特徴とする、請求項１又は２に記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記基板で反射された光と前記モールドで反射された光との干渉により生じる干渉縞を含む画像を表示するように前記表示部を制御することを特徴とする、請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項５】
前記制御部は、同一の基板上の複数の前記ショット領域に対応する複数の前記画像を表示するように前記表示部を制御することを特徴とする、請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項６】
前記制御部は、異なる基板上の複数の前記ショット領域に対応する複数の前記画像を表示するように前記表示部を制御することを特徴とする、請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項７】
前記制御部は、異なる基板間で同一位置のショット領域に対応する複数の前記画像を表示するように前記表示部を制御することを特徴とする、請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記インプリント処理の間に前記撮像部で取得された動画像を表示するように前記表示部を制御することを特徴とする、請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項９】
前記表示部を介してユーザが複数の前記ショット領域から少なくとも１つのショット領域を選択するための選択部を更に有し、
前記制御部は、前記選択部で選択された前記少なくとも１つのショット領域に対応する、前記撮像部で取得された前記画像を表示するように前記表示部を制御することを特徴とする、請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１０】
前記制御部は、複数の前記ショット領域について、複数の前記ショット領域のそれぞれに対する前記インプリント処理を開始してからの経過時間が同期するように、前記動画像を表示するように前記表示部を制御することを特徴とする、請求項８に記載のインプリント装置。
【請求項１１】
前記制御部は、
前記撮像部で取得された前記画像に基づいて、前記インプリント処理に異常が発生したショット領域を検知し、
複数の前記ショット領域のうち、前記異常が発生したショット領域に対応する、前記撮像部で取得された前記インプリント処理の状況を示す画像を識別可能に表示するように前記表示部を制御することを特徴とする、請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１２】
前記基板ごとに、複数の前記ショット領域のそれぞれに対応する、前記撮像部で取得された画像を記憶する記憶部を更に有し、
前記制御部は、前記記憶部に画像が記憶されている複数の基板のリストを前記表示部に表示するように制御することを特徴とする、請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１３】
前記表示部を介してユーザが前記複数の基板から少なくとも２つの基板を指定するための指定部を更に有し、
前記制御部は、前記指定部で指定された前記少なくとも２つの基板のショット領域の配列を示すショットレイアウトのそれぞれに、前記２つの基板のそれぞれに対応する、前記記憶部に記憶された画像を並べて表示するように前記表示部を制御することを特徴とする、請求項１２に記載のインプリント装置。
【請求項１４】
前記表示部に表示される前記動画像の再生速度を入力する入力部を更に有し、
前記制御部は、前記表示部に表示される前記動画像を前記入力部に入力された再生速度で再生することを特徴とする、請求項８に記載のインプリント装置。
【請求項１５】
前記制御部は、前記画像として、前記インプリント処理の間に前記撮像部で取得される動画像を前記表示部にリアルタイムで表示するように制御することを特徴とする、請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項１６】
前記動画像は、前記基板上にインプリント材を供給する工程から前記基板上の硬化したインプリント材から前記モールドを引き離す工程までの期間の動画像を含むことを特徴とする、請求項８に記載のインプリント装置。
【請求項１７】
前記動画像は、前記基板上のインプリント材と前記モールドとを接触させる工程から前記基板上のインプリント材と前記モールドとを接触させた状態で前記インプリント材を硬化させる工程までの期間の動画像を含むことを特徴とする、請求項８に記載のインプリント装置。
【請求項１８】
前記制御部は、前記画像として、前記インプリント処理の間に前記撮像部で取得された静止画像を表示するように前記表示部を制御することを特徴とする、請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項１９】
モールドを用いて基板上のショット領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、
前記基板上のインプリント材と前記モールドとが接触している領域を含むショット領域を撮像して該ショット領域に対応する画像を取得する撮像部と、
前記撮像部で取得された前記画像に基づいて、前記インプリント処理に異常が発生したショット領域を検知し、前記異常が発生したショット領域に対応する前記撮像部で取得された前記画像を表示するように表示部を制御する制御部と、
を有することを特徴とするインプリント装置。
【請求項２０】
モールドを用いて基板上のショット領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント処理を行う際に前記基板上のインプリント材と前記モールドとが接触している領域を含むショット領域を撮像して該ショット領域に対応する画像を取得する撮像部で取得された複数の前記ショット領域に対応する前記画像を、前記基板の複数のショット領域の配列を示すショットレイアウトに重畳して表示するように表示部を制御することを特徴とする情報処理装置。
【請求項２１】
請求項１乃至１９のうちいずれか１項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された前記基板を処理する工程と、
処理された前記基板から物品を製造する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのインプリント装置は、モールドを用いて基板上のショット領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、前記基板上のインプリント材と前記モールドとが接触している部分を含むショット領域を撮像して該ショット領域に対応する画像を取得する撮像部と、前記基板の複数のショット領域の配列を示すショットレイアウトに、前記撮像部で取得された複数の前記ショット領域に対応する前記画像を重畳して表示するように表示部を制御する制御部と、を有することを特徴とする。