(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電動回転型モータ（１２）と、
往復直進動作できるように支持された基軸（１４）と、
前記電動回転型モータ（１２）の正逆回転動作を前記基軸（１４）の往復直進動作に変換する運動変換手段（１３）と、
前記基軸（１４）の往復直進動作によって駆動される出力体（１６）と、
前記基軸（１４）の端部に対し、前記出力体（１６）をその基端側を中心として揺動可能に連結する連結手段（１５，５０，６１）と、
前記連結手段（１５，５０，６１）を前記基軸（１４）側へ付勢することにより、前記出力体（１６）を前記基軸（１４）側へ付勢する手段（４７）と
を備えたアクチュエータ。
【請求項２】
前記連結手段（１５）は、前記基軸（１４）に設けられたボール部（３８）と、前記出力体（１６）に固定されて前記ボール部（３８）が係合するボール係合部（４２）と、前記ボール部（３８）が前記ボール係合部（４２）に係合した状態で前記ボール部（３８）を保持する固定用ばね（４０）とを備えた請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記連結手段（５０）は、前記基軸（１４）に設けられた連結片（５１）と、前記出力体（１６）に固定された一対の支持片（５５）と、前記出力体（１６）の揺動中心としての連結用軸（５３）とを備え、前記連結片（５１）及び両支持片（５５）には前記連結用軸（５３）が貫通する孔（５１ａ，５５ａ）が設けられ、前記両支持片（５５）の間に、両支持片（５５）の孔（５５ａ）と前記連結片（５１）の孔（５１ａ）とが対応するように連結片（５１）が配置された状態で、両支持片（５５）及び連結片（５１）の孔（５１ａ，５５ａ）に前記連結用軸（５３）が嵌合させて、前記基軸（１４）と前記出力体（１６）とが連結されている請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記連結手段（６１）は、前記基軸（１４）に固定された基軸側連結部材（６５）と、前記出力体（１６）に固体された出力側連結部材（６３）とを備え、前記基軸側連結部材（６５）と出力側連結部材（６３）とは、前記基軸（１４）が前記出力体（１６）側に移動するときに互いに面接触するように形成されている請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記連結手段（１５，５０，６１）は、前記出力体（１６）が前記基軸（１４）と共に往復直進動作するように該出力体（１６）と基軸（１４）とを連結する請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記運動変換手段（１３）は、
中心軸線方向に移動不能にかつ回転可能に支持され、前記電動回転型モータ（１２）によって正逆回転駆動される固定側ねじ体（２３）と、
前記中心軸線方向に移動可能にかつ回転不能に支持され、前記固定側ねじ体（２３）の正逆回転動作によって往復直進駆動されるとともに前記基軸（１４）に結合された移動側ねじ体（３２）と
からなる請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記電動回転型モータ（１２）は、ステッピングモータである請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータに係り、詳しくはモータの正逆回転によって出力体を所定の直進方向に往復動作させることができるアクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えばモータを正逆回転させることによって出力軸をその軸線方向に往復動作させるアクチュエータが知られている。このアクチュエータは、例えば、軸線方向に移動不能に支持した送りナットを正逆回転駆動させ、その送りナットに螺合させた送りねじを直進動作させる。そして、送りねじに一体化された出力軸を往復直進動作させることで、出力軸の先端に接続した被操作部を往復直進動作させる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このようなアクチュエータを使用して、リンク機構のレバーのように揺動動作する被操作部を往復揺動動作させたい場合がある。しかしながら、出力軸を往復直進動作させるだけのアクチュエータでは、レバー等の被操作部を往復揺動動作させることができなかった。
【０００４】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、その目的は、往復直進動作可能な出力体で被操作部を往復揺動動作させることができるアクチュエータを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、電動回転型モータと、往復直進動作できるように支持された基軸と、前記電動回転型モータの正逆回転動作を前記基軸の往復直進動作に変換する運動変換手段と、前記基軸の往復直進動作によって駆動される出力体と、前記基軸の端部に対し、前記出力体をその基端側を中心として揺動可能に連結する連結手段と、前記連結手段を前記基軸側へ付勢することにより、前記出力体を前記基軸側へ付勢する手段とを備えたことを要旨とする。
【０００６】
請求項１に記載の発明によれば、電動回転型モータによって往復直進駆動される基軸の端部に基端側が連結された出力体が、その基端側を中心として基軸の軸線に平行な平面上で揺動する。従って、被操作部の先端側に出力体の先端側をピン接続して基軸を直進往復動作させると、被操作部が揺動する場合には出力体も揺動しながら被操作部を往復揺動動作させる。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記連結手段は、前記基軸に設けられたボール部と、前記出力体に固定されて前記ボール部が係合するボール係合部と、前記ボール部が前記ボール係合部に係合した状態で前記ボール部を保持する固定用ばねとを備えたことを要旨とする。
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記連結手段は、前記基軸に設けられた連結片と、前記出力体に固定された一対の支持片と、前記出力体の揺動中心としての連結用軸とを備え、前記連結片及び両支持片には前記連結用軸が貫通する孔が設けられ、前記両支持片の間に、両支持片の孔と前記連結片の孔とが対応するように連結片が配置された状態で、両支持片及び連結片の孔に前記連結用軸が嵌合させて、前記基軸と前記出力体とが連結されていることを要旨とする。
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記連結手段は、前記基軸に固定された基軸側連結部材と、前記出力体に固体された出力側連結部材とを備え、前記基軸側連結部材と出力側連結部材とは、前記基軸が前記出力体側に移動するときに互いに面接触するように形成されていることを要旨とする。
【０００８】
請求項４に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明の作用に加えて、出力体が延出して推力を被操作部材に加えるように動作するとき、被操作部材から出力体が受ける反力は、面接触する両連結部材を介して基軸に加わる。従って、両連結部材の摺接面が摩耗や変形を起こし難い。その結果、出力体と基軸との軸線方向での位置関係が変化し難い。また、連結部材同士が円滑に動作し、出力体が円滑に揺動する。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明において、前記連結手段は、前記出力体が前記基軸と共に往復直進動作するように該出力体と基軸とを連結することを要旨とする。
【００１０】
請求項５に記載の発明によれば、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明の作用に加えて、基軸の往復直進動作に伴い、出力体も強制的に往復直進動作する。従って、被操作部を強制的に往復揺動動作させることができる。
【００１１】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の発明において、前記運動変換手段は、中心軸線方向に移動不能にかつ回転可能に支持され、前記電動回転型モータによって正逆回転駆動される固定側ねじ体と、前記中心軸線方向に移動可能にかつ回転不能に支持され、前記固定側ねじ体の正逆回転動作によって往復直進駆動されるとともに前記基軸に結合された移動側ねじ体とからなることを要旨とする。
【００１２】
請求項６に記載の発明によれば、請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の発明の作用に加えて、回転型モータの正逆回転動作が、固定側ねじ体及び移動側ねじ体を介して基軸の往復直進動作に変換される。従って、回転型モータのトルクが小さくても、固定側ねじ体及び移動側ねじ体で減速して基軸の推力を大きくすることができる。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の発明において、前記電動回転型モータはステッピングモータであることを要旨とする。
請求項７に記載の発明によれば、請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の発明の作用に加えて、基軸の直進動作量がオープンループで制御されるので、その位置を検出する必要がない。従って、基軸の位置制御を行う場合に、基軸の位置を検出する位置センサが不要となる。その結果、構成が簡素化される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した第１実施形態を図１〜図４に従って説明する。
【００１５】
図１に示すように、アクチュエータ１０は、ボディ１１、電動回転型モータとしてのステッピングモータ（以下、単にモータという）１２、運動変換手段としての送り機構１３、基軸１４、連結手段としての連結機構１５、出力体としての出力軸１６等を備えている。
【００１６】
モータ１２は永久磁石（ＰＭ）型であって、そのモータケース１７はボディ１１に固定されている。モータケース１７の内側には固定子を形成する励磁コイル１８が設けられている。各励磁コイル１８には、ボディ１１に固定された電気コネクタ１９を介して外部から所定の励磁シーケンスで駆動電流が供給される。
【００１７】
また、モータ１２は、モータケース１７に支持された軸受２１と、ボディ１１に設けられた円柱状の第１凹部１１ａに支持された軸受２２とによって回転可能に支持された固定側ねじ体としての軸部２３及び永久磁石２４とからなる回転子を備えている。軸部２３は両軸受２１，２２に回転可能に支持され、円筒状の永久磁石２４は軸部２３に外嵌した状態で固定されている。
【００１８】
軸部２３は、その軸線方向に組み合された内筒２５及び外筒２６からなる。内筒２５には、その内周面に雌ねじ孔２７が形成されている。外筒２６には前記永久磁石２４が外嵌されている。
【００１９】
軸部２３及び永久磁石２４からなる回転子は、ボディ１１の第１凹部１１ａ内に設けられた圧縮コイルばね２８によって、軸受２２に当接する環状部材２９を介して軸受２１側に付勢されている。これは、アクチュエータ１０に対し外部から振動が加わっても、軸線方向での位置が変動しないようにするためである。
【００２０】
また、前記ボディ１１には、前記第１凹部１１ａと反対側に略円柱状の第２凹部１１ｂが設けられている。第２凹部１１ｂは、その軸線が第１凹部１１ａの軸線と一致するように設けられている。第１凹部１１ａと第２凹部１１ｂとの間には貫通孔１１ｃが設けられ、この貫通孔１１ｃ内には四角枠状の軸受３０が設けられている。
【００２１】
前記基軸１４は、前記雌ねじ孔２７と軸受３０とによって、その軸線回りに回転不能に、かつ、軸線方向に変位可能に支持されている。基軸１４は、雌ねじ孔２７に螺合する移動側ねじ体としての送りねじ部３２と、軸受３０によって軸線回りに回転不能にかつ軸線方向に移動可能な状態で支持される板状の軸部３３とからなる。前記送り機構１３は、軸部２３及び送りねじ部３２からなる。
【００２２】
前記出力軸１６は、その基端が基軸１４の端部に連結され、その先端部が外部に延出されている。基軸１４と出力軸１６とは、第２凹部１１ｂ内に配置される前記連結機構１５によって連結されている。出力軸１６は、その基端に設けられた円柱状の突起３６を圧入嵌合することによって連結機構１５に対して結合され、その先端にはアクチュエータ１０が操作する外部の被操作部に接続される接続部３７が設けられている。接続部３７は板状に形成され、その厚さ方向に貫通する連結用孔３７ａが設けられている。
【００２３】
前記連結機構１５は所謂ボールジョイントであって、図３に示すように、基軸１４の軸部３３の端部に一体で設けられたボール部３８と、出力軸１６の基端に固定されたマウント部３９と、固定用ばね４０とからなる。
【００２４】
マウント部３９は、突起３６が螺合された略円柱状の基部４１と、ボール部３８が係合する略ブロック状のボール係合部４２とからなる。ボール係合部４２は、ボール部３８を係合するためのボール収容部４３を備えている。ボール収容部４３は、その周面の１つに設けられた開口部からボール収容部４３にボール部３８を収容し、収容したボール部３８を出力軸１６の軸線に対して全方位に回動可能に保持する。
【００２５】
固定用ばね４０は「コ」字形状に形成された板ばねからなり、対をなす両翼部４０ａの端部に係止部４０ｂがそれぞれ形成されている。固定用ばね４０は、ボール係合部４２に対してボール収容部４３が開口する周面側から組み付けられ、ボール係合部４２を両翼部４０ａで弾性的に挟んだ状態で各係止部４０ｂが反対側の周面に係止される。このとき、固定用ばね４０は、ボール部３８に当接してボール収容部４３内に保持する。
【００２６】
そして、基軸１４と出力軸１６とは、ボール部３８がボール収容部４３に係合することで連結されている。出力軸１６は、ボール部３８回りにマウント部３９が全方位に相対回動可能であることで、図１に二点鎖線で示すように、その基端側を中心として基軸１４の軸線を含む全平面上で揺動可能な状態で基軸１４に対して連結されている。
【００２７】
また、前記第２凹部１１ｂには、図１，２に示すように、第２凹部１１ｂの底面に近い位置に配置された連結機構１５のボール係合部４２の外周側を覆うように形成された円筒状の周壁４４が形成されている。
【００２８】
マウント部３９の基部４１には、円環板状のプレートカップ４５が外嵌する状態で固定されている。プレートカップ４５は、基部４１に外嵌する略円筒状の胴部４５ａと、この胴部４５ａのボール係合部４２側の端部に設けられたつば部４５ｂとを備えている。
【００２９】
一方、ボディ１１には、出力軸１６を貫通させた状態で第２凹部１１ｂの開口部を覆うように形成されたエンドキャップ４６が固定されている。このエンドキャップ４６は、ボディ１１に固定される略円錐状の外筒部４６ａと、この外筒部４６ａの端部から折り返すように形成された略円錐状の内筒部４６ｂとを備えている。そして、内筒部４６ｂの端部には、出力軸１６が貫通する開口孔４６ｃが形成されている。本実施形態では、開口孔４６ｃは、出力軸１６の全方位での揺動を許容する内径の円形に形成されている。
【００３０】
前記プレートカップ４５のつば部４５ｂと、エンドキャップ４６の外筒部４６ａ及び内筒部４６ｂとの間には、プレートカップ４５を第２凹部１１ｂの底面側に付勢する圧縮コイルばね４７が介在されている。圧縮コイルばね４７は、プレートカップ４５が固定されている連結機構１５を介して基軸１４を送りねじ部３２側に付勢する。
【００３１】
次に、以上のように構成されたアクチュエータの作用について説明する。
アクチュエータ１０は、図４に示すように、揺動動作するレバーＬを往復揺動動作させるために使用する。レバーＬは、その先端が出力軸１６の接続部３７にピン接続されている。
【００３２】
図１，２に示す状態では、基軸１４の送りねじ部３２が最大限に軸部２３の雌ねじ孔２７に螺合している。この状態から、モータ１２を正転駆動するように所定の励磁シーケンスで励磁コイル１８に駆動電流を供給すると、この駆動電流によって指令されたステップ数に対応する回転角だけ回転子が回転する。そして、軸部２３の回転によって送りねじ部３２が雌ねじ孔２７から延出するように直進駆動され、基軸１４が同ステップ数に対応する変位量だけより第２凹部１１ｂ側に直進移動する。その結果、出力軸１６が同ステップ数に対応する変位量だけボディ１１から延出する。
【００３３】
反対に、出力軸１６を延出させた状態から、モータ１２を逆転駆動するように励磁コイル１８に駆動電流を供給すると、指令されたステップ数に対応する回転角だけ回転子が逆向きに回転する。そして、軸部２３の回転によって送りねじ部３２が雌ねじ孔２７に没入するように直進移動する。その結果、出力軸１６が同ステップ数に対応する変位量だけボディ１１内に没入する。
【００３４】
基軸１４を往復直進動作させると、図４に二点鎖線で示すように、出力軸１６は基端側を中心として揺動しながら、接続部３７にピン接続されたレバーＬを往復揺動動作させる。
【００３５】
以上詳述した本実施形態によれば、以下に記載する各効果を得ることができる。
（１）  本実施形態では、往復直進駆動される基軸１４の端部に、連結機構１５によって出力軸１６をその基端側を中心として揺動可能に連結した。従って、レバーＬ等の被操作部材の先端側に出力軸１６の接続部３７をピン接続して基軸１４を往復直進動作させると、出力軸１６が揺動しながら被操作部材を往復揺動動作させる。その結果、往復直進動作可能な出力体で被操作部を往復揺動動作させることができる。このとき、出力軸１６自体が揺動するので、直進動作する基軸１４にレバーＬから曲げモーメントが加わることがなく、基軸１４、軸部２３、軸受３０等に無理な力が加わることがない。また、従来の揺動しない出力軸によってレバーＬを揺動動作させるときのように、接続部３７に長孔等の特殊な係合孔を設ける必要がない。
【００３６】
（２）  加えて本実施形態では、直進動作する基軸１４に設けたボール部３８と、出力軸１６の基端に固定したマウント部３９とからなる連結機構１５によって、出力軸１６が基軸１４の軸線を含む全平面上で揺動可能に連結した。従って、レバーＬが揺動動作する平面に対し、同平面と直交する方向でアクチュエータ１０の固定位置が多少ずれても、基軸１４が曲げモーメントを受けることなく出力軸１６が延出及び没入動作する。
【００３７】
（３）  加えて本実施形態では、回転型のモータ１２の回転動作を、雌ねじ孔２７を備えた軸部２３と、雌ねじ孔２７に螺合する送りねじ部３２を備えた基軸１４とからなる送り機構１３によって基軸１４の往復直進動作に変換するようにした。従って、送り機構１３の減速によって、モータ１２のトルクが小さくても出力軸１６の推力を大きくすることができる。
【００３８】
（４）  加えて本実施形態では、モータ１２をステッピングモータとしたので、出力軸１６の変位量がオープンループで制御される。このため、出力軸１６の位置制御を行う場合に、出力軸１６の位置を検出する必要がない。従って、出力軸１６の変位位置を検出するための位置センサを設ける必要がないので、ＤＣモータを使用する場合に比較して、アクチュエータ１０の構成を簡素化することができる。
【００３９】
（５）  加えて本実施形態では、互いに摺接するボール部３８及びボール係合部４２の外周側を覆う周壁４４を設けたので、開口孔４６ｃからエンドキャップ４６の内部に浸入した塵埃が、ボール収容部４３内に浸入し難い。従って、連結機構１５の作動状態が、外部から浸入した塵埃によって悪化し難い。
【００４０】
（６）  加えて本実施形態では、連結機構１５が、基軸１４と出力軸１６とを、基軸１４の往復直進動作に伴って出力軸１６が強制的に往復直進動作するように連結する。従って、出力軸１６がレバーＬを強制的に往復揺動動作させることができるので、レバーＬを確実に往復揺動動作させることができる。
【００４１】
（７）  さらに本実施形態では、出力軸１６の基端に固定された連結機構１５のマウント部３９と、ボディ１１に固定したエンドキャップ４６との間に、出力軸１６を没入させる向きに付勢する圧縮コイルばね４７を設けた。従って、圧縮コイルばね４７によって付勢される出力軸１６は、その軸線が基軸１４の軸線に対して大きく傾かないように保持される。その結果、アクチュエータ１０の取付時に、出力軸１６を作業者が保持しておく必要がないので、取り付けを容易に行うことができる。
【００４２】
（第２実施形態）
次に、本発明を具体化した第２実施形態を図５〜図７に従って説明する。尚、本実施形態は、前記第１実施形態における連結手段としての連結機構１５を連結機構５０に変更したことのみが第１実施形態と異なる。従って、第１実施形態と同じ構成については符号を同じにしてその説明を省略し、連結機構５０のみについて詳述する。
【００４３】
連結機構５０は、図７に示すように、基軸１４の軸部３３の端面に一体で設けられた板状の連結片５１と、出力軸１６の基端に固定された連結部材５２と、連結用軸５３とからなる。
【００４４】
連結片５１には、連結用軸５３が貫通して相対回動可能な内径の孔５１ａが形成されている。
連結部材５２は、出力軸１６の突起３６が圧入嵌合された基部５４と、基部５４の端面５４ａに設けられた一対の支持片５５とを備えている。各支持片５５には、連結用軸５３が嵌合する内径の孔５５ａがそれぞれ設けられている。
【００４５】
そして、基軸１４と出力軸１６とは、図５，６に示すように、両支持片５５の間に配置された連結片５１の孔５１ａに連結用軸５３が貫通する状態で各孔５５ａに嵌合することで連結されている。出力軸１６は、連結用軸５３を回動中心として、連結用軸５３と直交しかつ基軸１４の軸線を含む平面上で揺動可能な状態で基軸１４に対して連結されている。
【００４６】
以上のように構成されたアクチュエータによっても、基軸１４を往復直進動作させると、出力軸１６が基端側を中心として揺動しながら、接続部３７にピン接続したレバーＬを往復揺動動作させる。
【００４７】
以上詳述した本実施形態によれば、前記第１の実施形態における（１）〜（７）に記載した各効果を得ることができる。
（第３実施形態）
次に、本発明を具体化した第３実施形態を図８〜図１０に従って説明する。尚、本実施形態は、前記第１実施形態における基軸１４を基軸６０に変更したこと、及び、連結手段としての連結機構１５を連結機構６１に変更したことのみが第１実施形態と異なる。従って、第１実施形態と同じ構成については符号を同じにしてその説明を省略し、基軸６０及び連結機構６１のみについて詳述する。
【００４８】
基軸６０は、図８，９に示すように、雌ねじ孔２７に螺合する送りねじ部３２と、軸受３０によって軸線回りに回動不能な状態で支持される板状の軸部６２とからなる。
【００４９】
前記連結機構６１は、図１０に示すように、軸部６２の端部６２ａと、出力軸１６の基端に固定された出力側連結部材としての連結部材６３と、連結用軸６４とからなる。
【００５０】
軸部６２の端部６２ａには、その厚さ方向に貫通する孔６２ｂが形成されるとともに、その端面に基軸側連結部材としての半球部６５が形成されている。孔６２ｂは、連結用軸６４の外径よりも大きな内径に形成されている。
【００５１】
連結部材６３は、出力軸１６の突起３６が圧入嵌合された基部６６と、一対の支持片６７とを備えている。基部６６の端面６６ａには、半球部６５が入る大きさの半球状の凹部６６ｂが形成されている。各支持片６７は、凹部６６ｂを挟むように端面６６ａ上に形成されるとともに、互いに平行に、かつ、その厚さ方向が軸部６２の厚さ方向と平行となるように設けられている。各支持片６７には、連結用軸６４が嵌合する孔６７ａが設けられている。
【００５２】
そして、基軸６０と出力軸１６とは、半球部６５が凹部６６ｂに入り込むとともに、両支持片６７の間に配置された端部６２ａの孔６２ｂに連結用軸６４が貫通した状態で各支持片６７の孔６７ａに嵌合することで連結されている。また、出力軸１６は、連結部材６３が連結用軸６４回りに回動可能であることと、連結用軸６４が貫通する孔６２ｂが大径であることにより、その基端側を中心として基軸６０の軸線を含む全平面上で揺動可能に基軸６０に対して連結されている。さらに、基軸６０が出力軸１６側に移動するとき、半球部６５が凹部６６ｂの内周面に対して面接触するようになっている。
【００５３】
以上のように構成されたアクチュエータによっても、出力軸１６を延出及び没入動作されとる、出力軸１６が基端側を中心として揺動しながら、接続部３７にピン接続したレバーＬを往復揺動動作させる。
【００５４】
以上詳述した本実施形態によれば、前記第１の実施形態における（１）〜（７）に記載した各効果と、以下に記載する効果とを得ることができる。
（１）  本実施形態では、基軸６０が延出動作するとき、基軸６０に設けた半球部６５が、出力軸１６に固定した連結部材６３に設けた半球状の凹部６６ｂの内周面に面接触するようにした。従って、出力軸１６を延出させてレバーＬ等の被操作部を操作するときに、レバーＬから出力軸１６に対し大きな反力が加わっても、半球部６５又は凹部６６ｂの接触部が変形し難い。その結果、基軸６０と出力軸１６との軸線方向における距離が変化し難いので、出力軸１６の目標位置からの偏差が発生し難い。また、出力軸１６が揺動するときの半球部６５及び凹部６６ｂの摺動面が当初の状態から変化し難いので、出力軸１６が円滑に揺動する。
【００５５】
以下、上記実施形態以外の実施形態を列挙する。
・  上記各実施形態で、出力軸１６及び基軸１４，６０を後退側に付勢する圧縮コイルばね４７を設けない構成としてもよい。
【００５６】
または、出力軸１６を延出させる向きに付勢する圧縮コイルばねを、ボディ１１とプレートカップ４５との間に設けてもよい。
・  上記各実施形態で、各連結機構１５，５０，６１を、基軸１４，６０が後退駆動されるときに出力軸１６側に係合しない構成とし、出力軸１６が圧縮コイルばね４７の付勢力によってのみ基軸１４，６０側に復帰動作するようにしてもよい。
【００５７】
・  上記各実施形態で、運動変換機構は、軸線方向に移動不能にかつ回転可能に支持された固定側雌ねじ体と、同軸線方向に移動可能にかつ回転不能に支持された移動側雄ねじ体と、固定側雌ねじ体のねじ溝と移動側雄ねじ体のねじ溝との間に介在された複数のボールとからなるボール、固定側雌ねじ体の回転を移動側雄ねじ体に伝達する複数のボールとからなるボールねじ型の送り機構であってもよい。
【００５８】
・  上記各実施形態で、ステッピングモータは、永久磁石型に限らず、可変レラクタンス型、複合型であってもよい。
・  上記各実施形態で、電動回転型モータは、ステッピングモータ１２に限らず、ＤＣモータであってもよい。
【００５９】
・  上記各実施形態で、出力軸は、中空の筒体であってもよく、また、直線状に延びる軸体に限らず、例えばＬ字状、円弧状に曲がったものでもよい。
以下、前述した各実施形態から把握される技術的思想をその効果とともに記載する。
【００６０】
（１）  前記出力体は、その基端側を中心として前記基軸の軸線を含む１つの平面上でのみ揺動可能に、その基端側が前記基軸の端部に対し連結されている。このような構成によれば、揺動動作する被操作部材を、その揺動面上で往復揺動動作させることができる。
【００６１】
（２）  前記出力体は、その基端側を中心として前記基軸の軸線を含む全平面上で揺動可能に、その基端側が前記基軸の端部に対し連結されている。このような構成によれば、揺動動作する被操作部材の揺動面に対し、出力体の基端が直交方向に離れた位置にあっても、被操作部材をその揺動面上で往復揺動動作させることができる。
【００６２】
（３）  前記基軸と出力軸とを連結する連結機構（１５）の外周側には、該連結機構の少なくとも一部を覆う周壁（４４）が設けられている。このような構成によれば、異物の連結機構側への移動が周壁によって制限されるので、連結機構の作動に異物による支障が発生し難い。
【００６３】
（４）  前記ステッピングモータは永久磁石型である。
【００６４】
【発明の効果】
各請求項に記載の発明によれば、往復直進動作可能な出力体で被操作部を往復揺動動作させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１実施形態のアクチュエータを示す概略断面図。
【図２】  図１のＡ−Ａ線要部概略断面図。
【図３】  連結機構を示す分解斜視図。
【図４】  作動状態を示すアクチュエータの一部模式図。
【図５】  第２実施形態のアクチュエータを示す概略断面図。
【図６】  図５のＢ−Ｂ線要部概略断面図。
【図７】  連結機構を示す分解斜視図。
【図８】  第３実施形態のアクチュエータを示す概略断面図。
【図９】  図８のＣ−Ｃ線要部概略断面図。
【図１０】  連結機構を示す分解斜視図。
【符号の説明】
１０…アクチュエータ、１２…電動回転型モータとしてのステッピングモータ、１３…運動変換手段としての送り機構、１４…基軸、１５…連結手段としての連結機構、１６…出力体としての出力軸、２３…運動変換手段を構成する固定側ねじ体としての軸部、３２…同じく移動側ねじ体としての送りねじ部、５０…連結手段としての連結機構、６０…基軸、６１…連結手段としての連結機構、６３…出力側連結部材としての連結部材、６５…基軸側連結部材としての半球部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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