(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性ボールを貯溜する供給部と、導電性ボールが搭載されるワークを位置決めする位置決め手段と、下面に導電性ボールを吸着する吸着孔が形成された吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを昇降させる昇降手段と、前記吸着ヘッドを前記供給部と位置決めテーブルの間で移動させる移動手段と、前記吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールの有無を検査する検査部と、この検査部に設けられた投光部と受光部よりなる遮光型の光センサと、前記吸着ヘッドが導電性ボールを正常に吸着したときに前記受光部で得られる光量の変化を示す第１の基準波形を記憶する基準波形記憶部と、実際の導電性ボール搭載時に前記受光部で得られた光量の変化を示す第１の読みとり波形を記憶する読みとり波形記憶部と、この第１の読みとり波形を前記第１の基準波形と比較して吸着ヘッドの下面の導電性ボールの有無を判定する制御部とを備えたことを特徴とする導電性ボールの搭載装置。
【請求項２】
導電性ボールを貯溜する供給部と、導電性ボールが搭載されるワークを位置決めする位置決め手段と、下面に導電性ボールを吸着する吸着孔が形成された吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを昇降させる昇降手段と、前記吸着ヘッドを前記供給部と位置決めテーブルの間で移動させる移動手段と、前記吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールの有無を検査する検査部と、この検査部に設けられた投光部と受光部よりなる遮光型の光センサと、前記吸着ヘッドが導電性ボールを吸着していないときに前記受光部で得られる光量の変化を示す第２の基準波形を記憶する基準波形記憶部と、実際の導電性ボール搭載後に前記受光部で得られた光量の変化を示す第２の読みとり波形を記憶する読みとり波形記憶部と、この第２の読みとり波形を前記第２の基準波形と比較して吸着ヘッドの下面の導電性ボールの有無を判定する制御部とを備えたことを特徴とする導電性ボールの搭載装置。
【請求項３】
供給部に貯溜された導電性ボールに対し吸着ヘッドを下降・上昇させることによりこの吸着ヘッドの下面に形成された吸着孔に導電性ボールを真空吸着してピックアップし、次にこの吸着ヘッドをワークの上方へ移動させて再度下降・上昇させることにより導電性ボールをワークに搭載するようにした導電性ボールの搭載方法であって、前記吸着ヘッドの下面に付着した導電性ボールの有無を検査する検査部に設けられた投光部と受光部よりなる遮光型の光センサに対して前記吸着ツールを相対的に水平移動させて前記吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールの有無を検査する第１のボール有無検査工程を含み、この第１のボール有無検査工程において、前記吸着ヘッドが導電性ボールを正常に吸着したときに前記受光部で得られる光量の変化を示す第１の基準波形と、実際の導電性ボール搭載時に前記受光部で得られた光量の変化を示す第１の読みとり波形とを比較して、前記余分に付着した導電性ボールの有無を検出することを特徴とする導電性ボールの搭載方法。
【請求項４】
供給部に貯溜された導電性ボールに対し吸着ヘッドを下降・上昇させることによりこの吸着ヘッドの下面に形成された吸着孔に導電性ボールを真空吸着してピックアップし、次にこの吸着ヘッドをワークの上方へ移動させて再度下降・上昇させることにより導電性ボールをワークに搭載するようにした導電性ボールの搭載方法であって、前記吸着ヘッドの下面に付着した導電性ボールの有無を検査する検査部に設けられた投光部と受光部よりなる遮光型の光センサに対して前記吸着ツールを相対的に水平移動させて導電性ボールの搭載後に前記吸着ヘッドの下面に残留している導電性ボールの有無を検査する第２のボール有無検査工程を含み、この第２のボール有無検査工程において、前記吸着ヘッドが導電性ボールを吸着していないときに前記受光部で得られる光量の変化を示す第２の基準波形と、導電性ボール搭載後に前記受光部で得られた光量の変化を示す第２の読みとり波形とを比較して、前記残留した導電性ボールの有無を検出することを特徴とする導電性ボールの搭載方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半田ボールなどの導電性ボールをワークに搭載する導電性ボールの搭載装置および搭載方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
フリップチップやＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや基板などのワークに搭載する方法として、吸着ヘッドを用いる方法が広く実施されている。
【０００３】
この方法は、容器などに貯溜された導電性ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上に搭載するものであり、多数の導電性ボールを一括してワークに搭載できるので作業性がよいという利点がある。
【０００４】
ところが、吸着ヘッドを用いて導電性ボールをワークに搭載する方法では、導電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するようなピックアップミスやプレースミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空吸着されるとは限らない。例えば、１つの吸着孔に複数の導電性ボールが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多数個の導電性ボールが連なって付着する場合や、吸着孔以外の位置に導電性ボールが付着したままで吸着ヘッドが上昇する場合もある。
【０００５】
また、吸着ヘッドをワークの上に下降させ、導電性ボールをワークに搭載するために真空吸着を解除する際にも、すべての導電性ボールが吸着孔から完全に離脱するとは限らず、吸着ヘッドを上昇させた後にも吸着ヘッドの下面に導電性ボールが付着したままで残留している場合がある。
【０００６】
このように余分に吸着された導電性ボールや、ワークへの搭載後もなお残留して吸着ヘッドの下面に付着している導電性ボールを検出する方法として、レーザ光などを利用した光センサを用いる方法が知られている。この方法は、光センサの投光部から投射された光を受光部によって受け、光の経路上に導電性ボールが存在している場合には光が遮光されて受光量が変化することを利用して導電性ボールの有無を検出するものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記方法には、吸着ツールの製作・取付時の誤差や、吸着孔の加工精度に起因して、以下に述べるような問題点があった。まず、吸着ツールの下面が取り付け誤差により傾いている場合には、吸着ツールの下面が光センサの光軸と正しく平行になっていないため導電性ボールの付着位置によって導電性ボールが投射光を遮光する度合いが異なる。このためこの状態で受光部で得られる光量の波形を、そのまましきい値と比較して判定処理した場合には処理結果は必ずしも正しいものとはならず、導電性ボールの有無を誤判定する場合がある。また吸着孔のテーパ状加工部に深さのばらつきがある場合には、それらの深さのばらつきによって吸着孔に吸着された導電性ボールの高さ位置が異なり、同様に誤った判定結果を与えることがある。このように従来方法には、吸着ツールの取付誤差や加工精度のばらつきのため、導電性ボール有無の検出精度が低いという問題点があった。
【０００８】
そこで本発明は、導電性ボール有無を高い精度で検出することができる導電性ボールの搭載装置および搭載方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の導電性ボールの搭載装置は、導電性ボールを貯溜する供給部と、導電性ボールが搭載されるワークを位置決めする位置決め手段と、下面に導電性ボールを吸着する吸着孔が形成された吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを昇降させる昇降手段と、前記吸着ヘッドを前記供給部と位置決めテーブルの間で移動させる移動手段と、前記吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールの有無を検査する検査部と、この検査部に設けられた投光部と受光部よりなる遮光型の光センサと、前記吸着ヘッドが導電性ボールを正常に吸着したときに前記受光部で得られる光量の変化を示す第１の基準波形を記憶する基準波形記憶部と、実際の導電性ボール搭載時に前記受光部で得られた光量の変化を示す第１の読みとり波形を記憶する読みとり波形記憶部と、この第１の読みとり波形を前記第１の基準波形と比較して吸着ヘッドの下面の導電性ボールの有無を判定する制御部とを備えた。
【００１０】
請求項２記載の導電性ボールの搭載装置は、導電性ボールを貯溜する供給部と、導電性ボールが搭載されるワークを位置決めする位置決め手段と、下面に導電性ボールを吸着する吸着孔が形成された吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを昇降させる昇降手段と、前記吸着ヘッドを前記供給部と位置決めテーブルの間で移動させる移動手段と、前記吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールの有無を検査する検査部と、この検査部に設けられた投光部と受光部よりなる遮光型の光センサと、前記吸着ヘッドが導電性ボールを吸着していないときに前記受光部で得られる光量の変化を示す第２の基準波形を記憶する基準波形記憶部と、実際の導電性ボール搭載後に前記受光部で得られた光量の変化を示す第２の読みとり波形を記憶する読みとり波形記憶部と、この第２の読みとり波形を前記第２の基準波形と比較して吸着ヘッドの下面の導電性ボールの有無を判定する制御部とを備えた。
【００１１】
請求項３記載の導電性ボールの搭載方法は、供給部に貯溜された導電性ボールに対し吸着ヘッドを下降・上昇させることによりこの吸着ヘッドの下面に形成された吸着孔に導電性ボールを真空吸着してピックアップし、次にこの吸着ヘッドをワークの上方へ移動させて再度下降・上昇させることにより導電性ボールをワークに搭載するようにした導電性ボールの搭載方法であって、前記吸着ヘッドの下面に付着した導電性ボールの有無を検査する検査部に設けられた投光部と受光部よりなる遮光型の光センサに対して前記吸着ツールを相対的に水平移動させて前記吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールの有無を検査する第１のボール有無検査工程を含み、この第１のボール有無検査工程において、前記吸着ヘッドが導電性ボールを正常に吸着したときに前記受光部で得られる光量の変化を示す第１の基準波形と、実際の導電性ボール搭載時に前記受光部で得られた光量の変化を示す第１の読みとり波形とを比較して、前記余分に付着した導電性ボールの有無を検出するようにした。
【００１２】
請求項４記載の導電性ボール搭載方法は、供給部に貯溜された導電性ボールに対し吸着ヘッドを下降・上昇させることによりこの吸着ヘッドの下面に形成された吸着孔に導電性ボールを真空吸着してピックアップし、次にこの吸着ヘッドをワークの上方へ移動させて再度下降・上昇させることにより導電性ボールをワークに搭載するようにした導電性ボールの搭載方法であって、前記吸着ヘッドの下面に付着した導電性ボールの有無を検査する検査部に設けられた投光部と受光部よりなる遮光型の光センサに対して前記吸着ツールを相対的に水平移動させて導電性ボールの搭載後に前記吸着ヘッドの下面に残留している導電性ボールの有無を検査する第２のボール有無検査工程を含み、この第２のボール有無検査工程において、前記吸着ヘッドが導電性ボールを吸着していないときに前記受光部で得られる光量の変化を示す第２の基準波形と、導電性ボール搭載後に前記受光部で得られた光量の変化を示す第２の読みとり波形とを比較して、前記残留した導電性ボールの有無を検出するようにした。
【００１３】
各請求項記載の発明によれば、吸着ヘッドが導電性ボールを正常に吸着させたときに受光部で得られる第１の基準波形と、実際の導電性ボール搭載時に受光部で得られる第１の読み取り波形とを比較し、または吸着ヘッドが導電性ボールを吸着していないときに受光部で得られる第２の基準波形と導電性ボール搭載後に受光部で得られる第２の読み取り波形とを比較することにより、吸着ヘッドの傾きや吸着孔の加工誤差による遮光度合いの誤差を除去して導電性ボールの有無を高精度で検出することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の正面図、図２は同導電性ボールの搭載装置の検査部の側面図、図３は同導電性ボールの搭載装置の検査部の部分拡大図、図４（ａ），（ｂ）、図５（ａ）、（ｂ）、図６（ａ），（ｂ），図７，図８，図９は同導電性ボールの搭載装置の検査波形を示すグラフ、図１０は同導電性ボールの搭載装置のボール供給部の部分断面図である。
【００１５】
まず、図１を参照して導電性ボールの搭載装置の全体構造を説明する。図１において、基台４上には位置決め手段としての位置決めテーブル５が設けられている。位置決めテーブル５はＹテーブル６、Ｘテーブル７から構成される。Ｘテーブル７上にはホルダ８が設けられており、ホルダ８はワーク９を保持する。したがって位置決めテーブル５を駆動することにより、ワーク９が所定位置に位置決めされる。なお、位置決め手段として、ワーク９を保持するテーブルを固定とし、後述する吸着ヘッドをワーク９に対してＸＹの水平方向に移動させるものであっても良い。
【００１６】
また基台４上の位置決めテーブル５の反対側の端部には、導電性ボール２のボール供給部１０が配設されている。ボール供給部１０はボール槽１１より成り、ボール槽１１の内部には複数層のメッシュプレート１２が水平に展張されている。メッシュプレート１２は導電性ボール２が通過できない大きさの開孔を無数に設けたものである。最上層のメッシュプレート１２上には導電性ボール２が貯溜される。ボール槽１１の底部にはノズル１４が配設されており、ノズル１４はガス供給源（図外）に接続されている。ノズル１４にガスを供給することにより、ノズル１４から上方に吹き出されたガスはメッシュプレート１２の開孔を通過して導電性ボール２の層に吹き込まれ、導電性ボール２を流動化させる。
【００１７】
次に導電性ボール２を搭載する吸着ヘッド３１について説明する。図１に示す２０は、吸着ヘッド３１をボール供給部１０と位置決めテープル５との間を移動させる移動手段である。吸着ヘッド３１は、ブロック３０に保持されており、吸着ヘッド３１の下面には複数の吸着孔３１ａが設けられている。ブロック３０はブラケット２４の前面に設けられた垂直なガイドレール２５に上下動自在に装着されている。
【００１８】
ブロック３０には、ナット２８が一体的に設けられており、ナット２８には垂直の送りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モータ２７が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転すると、吸着ヘッド３１はガイドレール２５に案内されて上下動する。したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ２６は吸着ヘッド３１を上下させる上下動手段となっている。
【００１９】
ブラケット２４の背面に設けられたナット（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがってＸ軸モータ２３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は位置決めテーブル５とボール供給部１０の間を水平移動する。
【００２０】
図１において、基台１上のボール供給部１０の側方には、検査部４０が配設されている。検査部４０は、吸着ヘッド３１の下面に余分に吸着された導電性ボール２や、搭載後に吸着ヘッド３１の下面に残留している導電性ボール２の有無を検査する。以下、図２を参照して検査部４０について説明する。図２において、基台４１上には取付部材４４が立設されており、取付部材４４にはセンサブラケット４２が固定支点であるピン４５の周りに回転自在に装着されている。ピン４５の左右両側に設けられた固定ねじ４６を締め込むことにより、センサブラケット４２は取付部材４４に固定される。ブラケット４２は左右両端に２つの先端部が立設された形状となっており、それぞれの先端部には、光センサの投光部４３ａと、受光部４３ｂが装着されている。
【００２１】
受光部４３ｂはＡ／Ｄ変換部４７に接続されている。Ａ／Ｄ変換部は受光部４３ｂの受光量を示すアナログデータをデジタルデータに変換する。読み取り波形記憶部４８は、導電性ボールの搭載時に受光部４３ｂに得られる光量の変化を示す第１の読み取り波形及び搭載後に受光部４３ｂに得られる光量の変化を示す第２の読み取り波形を記憶する。基準波形記憶部４９は、導電性ボール２が正常に吸着ヘッド３１に吸着されている状態で受光部４３ｂに得られる第１の基準波形、及び吸着ヘッド３１の下面に導電性ボール２が吸着されていない状態で受光部４３ｂに得られる第２の基準波形を記憶する。
【００２２】
ヘッド駆動機構制御部５０は吸着ヘッド３１の動作、すなわち検査時の光センサ４３に対する相対移動動作を制御する。表示部５１は受光部４３ｂに受光された光量の変化を波形表示する。制御部５２は導電性ボール２の搭載動作全体を制御するほか、読み取り波形記憶部４８に記憶された波形と、基準波形記憶部４９に記憶された基準波形を読み取り、それぞれを比較して引き算演算した結果に基づいて吸着ヘッド３１下面での導電性ボール２の有無を判定する。
【００２３】
ここで、光センサによる導電性ボール２の検出について図３、図４を参照して説明する。図３において、吸着ヘッド３１の下面には導電性ボール２が付着しており、導電性ボール２は検査部４０の投光部４３ａから投射されたレーザ光を遮光する位置にある。投光部４３ａから投射されたレーザ光は受光部４３ｂによって受光され、受光部４３ｂはその受光した光の強度に応じた電気信号を出力する。図３に示すように光軸ａ上に導電性ボール２が位置して投光部４３ａからのレーザ光を遮光している状態では、光軸ａ上になにも存在しない場合と比べて受光部４３ｂからの電気信号は光が遮られた度合いに応じて弱くなる。
【００２４】
したがって、吸着ヘッド３１を水平方向（図面に垂直方向）に移動させながら受光部４３ｂからの電気信号を表示部５１により波形表示させると、吸着ヘッド３１の下面の導電性ボール２が光軸ａを横切る度に、図３に示すような下垂状の波形が現れる。したがって、波形上でこのような下垂状の波形変化を監視することにより、光軸ａを導電性ボール２が横切ったことを表示部５１の画面上で目視により確認することができる。そしてこの波形を制御部５２にて解析することにより、吸着ヘッド３１下面の導電性ボール２の有無を自動的に検査することができる。
【００２５】
ところで上記方法では、吸着ヘッド３１の下面が光軸ａに対して傾いている場合や、吸着ヘッド３１の吸着孔３１ａの加工誤差により吸着された導電性ボール２の高さ位置のばらつきが生じているような場合には、導電性ボール２の有無を正しく検出することができない。以下、表示部５１に表示される波形を用いて導電性ボール２の検出について説明する。
【００２６】
図４（ａ）は吸着ヘッド３１の下面に余分な導電性ボール２が付着しており、かつ吸着ヘッド３１の下面が傾いている場合に受光部４３ｂで得られる波形、図４（ｂ）は、吸着ヘッド３１の下面に余分な導電性ボール２が付着しており、かつ吸着孔３１ａに加工誤差があり導電性ボール２の高さがばらついている場合に受光部４３ｂで得られる波形を示している。いずれの例でも各吸着孔３１ａに正常に吸着された導電性ボール２を示す波形に余分に付着した導電性ボール２を示す波形（図中矢印で示す）が重ね合わされた波形となっている。
【００２７】
しかしこれらの波形をそのまましきい値レベルＬと比較してその相違により導電性ボール２の有無を判定すれば、導電性ボール２が正常に吸着されているにも拘わらず、部分的には導電性ボール２が存在しないという誤判定をする。図４（ａ）、（ｂ）から明らかなように、吸着ヘッド３１の傾きや吸着孔３１ａの加工誤差に起因する導電性ボール２の高さ位置のばらつきにより、直線状のしきい値レベルＬでは正しい判定が行えないからである。
【００２８】
そこで以下に述べる方法により、吸着ヘッド３１の傾きや吸着孔３１ａの加工誤差による影響を除去する操作が行われる。図５（ａ）に示す波形は、吸着ヘッド３１の全ての吸着孔３１ａに正常に導電性ボール２が吸着され、かつ吸着ヘッド３１の下面が傾いた状態で得られる波形を示しており、また図５（ｂ）は同様に導電性ボール２は正常に吸着されているが、吸着孔３１ａの加工誤差により導電性ボール２を示す波形にばらつきを生じている例を示している。これらの波形は、導電性ボール２が正常に吸着された状態での波形、すなわち第１の基準波形を示している。すなわち、これらの第１の基準波形は上述の吸着ヘッド３１の傾きや吸着孔３１ａの加工誤差などに起因するバイアス成分を含んだ波形と考えることができる。
【００２９】
そこで、実際の搭載装置稼働時、すなわち吸着ヘッド３１の下面に余分に付着している導電性ボール２の有無を検査する第１のボール有無検査時に、受光部４３ｂで得られる読み取り波形（図４（ａ）、（ｂ）で示す）を、前述の第１の基準波形と比較する操作を行う。具体的には読み取り波形から、前述の第１の基準波形（図４（ａ），（ｂ）で示す）を引き算して、バイアス成分を除去する演算を行わせる。図６（ａ），（ｂ）はこのようにして得られた波形を示している。この演算により、吸着ヘッド３１が傾いているための影響や、吸着孔３１ａの加工誤差に起因するバイアス成分が除去され、余分に付着した導電性ボール２に起因する形状のみを示す明瞭な波形を得ることができる。
【００３０】
導電性ボール２の搭載後に吸着ヘッド３１の下面に残留する導電性ボール２の有無を検査する第２のボール有無検査時にも同様の操作が行われる。すなわち図７に示すように吸着ヘッド３１が導電性ボール２を全く吸着していないときに受光部４３ｂで得られる第２の基準波形を計測して記憶させておき、実際の導電性ボール２の搭載後に得られる第２の読み取り波形（図８に示す）から引き算することにより吸着ヘッド３１の傾きによる影響が除去され、図９に示すように吸着ヘッド３１の下面に残留する導電性ボール２を示す明瞭な波形を得ることができる。
【００３１】
このように、導電性ボール２が吸着ヘッド３１に正しく吸着されている状態、および導電性ボール２が全く吸着されていない状態で、受光部４３ｂがそれぞれの場合に受光して得られる波形を第１の基準波形および第２の基準波形として記憶させておき、導電性ボール２の有無検査時には、この第１の基準波形および第２の基準波形と、実際のそれぞれの検査時点で得られる第１の読み取り波形および第２の読み取り波形とをそれぞれ比較することにより、吸着ヘッド３１の傾きなどのバイアス成分を除去して導電性ボール２の有無を高い精度で検出することができる。
【００３２】
この導電性ボールの搭載装置は上記のような構成より成り、次に動作を説明する。まず、図１において、Ｘ軸モータ２３を駆動して吸着ヘッド３１をボール供給部１０の上方へ移動させる。そこで、Ｚ軸モータ２７を駆動して吸着ヘッド３１を下降させ、吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール２の層に幾分沈み込ませる。このとき、ボール槽１１のノズル１４よりガスが上方に向って吹き出されており（矢印ａ参照）、導電性ボール２はこのガスの流れによって流動化している。このため導電性ボール２は上方に吹き上げられ、吸着ヘッド３１の吸着孔３１ａに真空吸着される。
【００３３】
このとき、図１０に示すように、吸着ヘッド３１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に余分な導電性ボール２が付着したまま吸着ヘッド３１が上昇することがある。このように余分な導電性ボール２が付着したまま吸着ヘッド３１がワーク９の搭載動作に移行することがないように、検査部４０にて余分に付着した導電性ボール２の有無が検出される。まず、導電性ボール２を吸着した吸着ヘッド３１を検査部４０の上方に移動させ、次いで吸着ヘッド３１を下降させて、吸着ヘッド３１の下面の導電性ボール２が図２に示す光軸ａの高さ位置に一致するように吸着ヘッド３１を位置させる。
【００３４】
この状態で吸着ヘッド３１を一定速度で水平方向に移動させながら投光部４３ａからレーザ光を発射すると、受光部４３ｂで受光されるレーザ光の受光量は、導電性ボール２の有無により変化する。そしてこの変化を示す電気信号はＡＤ変換され第１の読み取り波形として、読み取り波形記憶部４８に記憶される。この記憶された第１の読み取り波形を、予め基準波形記憶部４９に記憶された第１の基準波形と比較して引き算することにより、制御部５２により導電性ボール２の有無が判定される。
【００３５】
そして吸着ヘッド３１の下面に余分な導電性ボール２が検出された場合には、搭載装置の動作を停止し、その旨をオペレータに報知する。オペレータは、余分に吸着された導電性ボール２を除去する処置を行うか、または吸着ヘッド３１をボール供給部１０に戻して真空吸着を解除した後再度吸着動作を行わせるなどの処置を行う。
【００３６】
余分に付着した導電性ボール２が除去され、全ての吸着孔３１ａに１個づつ正しく導電性ボール２を真空吸着してピックアップした吸着ヘッド３１は、位置決めテーブル５の上方に水平移動する。次いで吸着ヘッド３１はホルダ８に保持されたワーク９上に下降し、真空吸着を解除することによりワーク９に導電性ボール２を搭載した後上昇し、導電性ボール２の搭載を完了する。
【００３７】
この後、吸着ヘッド３１は再び検査部４０に移動し、余分に付着した導電性ボール２の検査と同様の方法で、ワーク９への搭載動作後に吸着ヘッド３１の下面に残留する導電性ボール２の有無が検査される。すなわち、得られた第２の読み取り波形を、第２の基準波形比較して引き算することにより、制御部５２により導電性ボール２の有無が判定される。この検査により導電性ボール２の残留が検出されたならば、プレースミスが報知され、当該ワークについてはリペアを行うなどの処置がなされる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明によれば、吸着ヘッドが導電性ボールを正常に吸着したときに得られる第１の基準波形と、実際の導電性ボール搭載時に得られる第１の読み取り波形とを比較し、または吸着ヘッドが導電性ボールを吸着していないときに得られる第２の基準波形と、導電性ボール搭載後に得られる第２の読み取り波形とを比較するようにしているので、吸着ヘッドの傾きや吸着孔の加工誤差に起因する遮光度合いの誤差を除去して導電性ボールの有無を高精度で検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の正面図
【図２】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の検査部の側面図
【図３】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の検査部の部分拡大図
【図４】（ａ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の検査波形を示すグラフ
（ｂ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の検査波形を示すグラフ
【図５】（ａ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の検査波形を示すグラフ
（ｂ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の検査波形を示すグラフ
【図６】（ａ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の検査波形を示すグラフ
（ｂ）本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の検査波形を示すグラフ
【図７】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の検査波形を示すグラフ
【図８】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の検査波形を示すグラフ
【図９】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の検査波形を示すグラフ
【図１０】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置のボール供給部の部分断面図
【符号の説明】
２  導電性ボール
９  ワーク
１０  供給部
３１  吸着ヘッド
３１ａ  吸着孔
４０  検査部
４３ｂ  受光部
４８  読み取り波形記憶部
４９  基準波形記憶部
５２  制御部
【図１】
0003680540.tif 000002
【図２】
0003680540.tif 000003
【図３】
0003680540.tif 000004
【図４】
0003680540.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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