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【手続補正書】
【提出日】令和3年6月4日(2021.6.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の外郭部と、
前記外郭部の内周部に固定された発光素子と
を備えた照明具。
【請求項２】
前記外郭部は、透光性を有し、
前記発光素子は、前記発光素子からの光が前記内周部から離れる向きに発せられるように前記内周部に固定されている請求項１に記載の照明具。
【請求項３】
前記発光素子は、対向する発光素子と光軸が一致しないように筒軸方向にずらした位置に配置されている請求項１又は２に記載の照明具。
【請求項４】
前記発光素子は、光軸が筒軸を通過しないように配置されている請求項１又は２に記載の照明具。
【請求項５】
前記外郭部は、複数面の多角柱形状をしている請求項１又は２に記載の照明具。
【請求項６】
前記内周部に敷設された導電部を備えた請求項１から５のいずれか１項に記載の照明具。
【請求項７】
前記外郭部の内部に光学部品を有する請求項１から６のいずれか１項に記載の照明具。
【請求項８】
前記外郭部は、透光性を有し、
前記発光素子は、前記発光素子からの光が前記内周部から外周部への向きに発せられるように前記内周部に固定されている請求項１に記載の照明具。
【請求項９】
筒状の外郭部と、
前記外郭部の外周部に固定された発光素子と、
前記外郭部の外周部に敷設された導電部と、
少なくとも前記発光素子と前記導電部とを覆うように前記外郭部に設けられた保護層とを備えた照明具。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載の照明具と、
前記照明具が取り付けられた照明器具とを備えた照明装置。
【請求項１１】
外郭部と発光素子とを備えた照明具の製造方法において、
発光素子が搭載された複数の基材を製造し、
前記複数の基材を連結して筒状の外郭部を形成する照明具の製造方法。
【請求項１２】
外郭部と発光素子とを備えた照明具の製造方法において、
筒状の外郭部を製造し、
前記外郭部の内周部に発光素子を配置する照明具の製造方法。
【請求項１３】
外郭部と発光素子と導電部とを備えた照明具の製造方法において、
筒状の外郭部を製造し、
前記外郭部の外周部に発光素子を配置し、
前記外郭部の外周部に導電部を敷設し、
保護層を少なくとも前記発光素子と前記導電部とを覆うように前記外郭部に設ける照明具の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】令和3年6月9日(2021.6.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像から物体を検出する検出手段と、
前記画像から検出された物体のうち、物体のサイズが第１のサイズ範囲に含まれる物体の数を示す第１の情報を取得する第１の取得手段と、
前記第１のサイズ範囲に対して変更を加えた第２のサイズ範囲を設定する設定手段と、
前記画像から検出された物体のうち、物体のサイズが前記第２のサイズ範囲に含まれる物体の数を示す第２の情報を取得する第２の取得手段と、
前記第１の情報と、前記第２の情報と、を併せて表示する表示手段と、
を有することを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記表示手段は、前記画像に重畳して、前記第１のサイズ範囲を示す情報と前記第２のサイズ範囲を示す情報とを表示する
ことを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記画像の部分領域であり、前記物体を検出する対象となる領域を特定する特定手段と、
前記第１のサイズ範囲と前記領域とに基づいて、該領域に含まれる物体の数を判定する第１の判定手段と、
前記第２のサイズ範囲と前記領域とに基づいて、該領域に含まれる物体の数を判定する第２の判定手段と、
を有し、
前記第１の取得手段は、前記第１の判定手段の判定結果を前記第１の情報として取得し、
前記第２の取得手段は、前記第２の判定手段の判定結果を前記第２の情報として取得する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記表示手段は、前記第１の判定手段による判定結果と前記第２の判定手段による判定結果とを関連付けて表示する
ことを特徴とする請求項３に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記設定手段は、ユーザ入力に基づいて、前記物体の最小サイズを示す第１のガイドと、前記物体の最大サイズを示す第２のガイドと、によって表される前記第１のサイズ範囲と、前記第１のガイドを変更した第３のガイドと、前記第２のガイドを変更した第４のガイドと、によって表される前記第２のサイズ範囲と、を設定する
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項６】
前記表示手段は、前記第１の情報と、前記第２の情報と、を同一の表示画面に表示する
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項７】
前記表示手段は、前記第１の情報と、前記第２の情報と、を前記画像に重畳して表示する
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項８】
前記検出手段は、前記物体として人体を検出する
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項９】
画像の部分領域に対して所定の解析処理の対象となる第１の領域を設定する第１の設定手段と、
前記第１の領域に対して変更を加えた第２の領域を設定する第２の設定手段と、
前記第１の領域と前記第２の領域とを併せて表示する表示手段と、
を有し、
前記表示手段は、前記第１の領域に対する前記所定の解析処理の結果と、前記第２の領域に対する前記所定の解析処理の結果とを同時に表示する
ことを特徴とする画像処理装置。
【請求項１０】
前記解析処理は、人体検出であって、
前記表示手段は、前記第１の領域から検出された人体の数と、前記第２の領域から検出された人体の数と、を表示する
ことを特徴とする請求項９に記載の画像処理装置。
【請求項１１】
前記第２の設定手段は、ユーザ入力に基づいて、前記第２の領域を設定する
ことを特徴とする請求項９または１０に記載の画像処理装置。
【請求項１２】
画像から物体を検出する検出工程と、
画像から検出された物体のうち、物体のサイズが第１のサイズ範囲に含まれる物体の数を示す第１の情報を取得する第１の取得工程と、
前記第１のサイズ範囲に対して変更を加えた第２のサイズ範囲を設定する設定工程と、
前記画像から検出された物体のうち、物体のサイズが前記第２のサイズ範囲に含まれる物体の数を示す第２の情報を取得する第２の取得工程と、
前記第１の情報と、前記第２の情報と、を併せて表示する表示工程と、
を含むことを特徴とする画像処理装置の制御方法。
【請求項１３】
画像の部分領域に対して所定の解析処理の対象となる第１の領域を設定する第１の設定工程と、
前記第１の領域に対して変更を加えた第２の領域を設定する第２の設定工程と、
前記第１の領域と前記第２の領域とを併せて表示する表示工程と、
を含み、
前記表示工程では、前記第１の領域に対する前記所定の解析処理の結果と、前記第２の領域に対する前記所定の解析処理の結果とを同時に表示する
ことを特徴とする画像処理装置の制御方法。
【請求項１４】
コンピュータを、請求項１乃至１１の何れか１項に記載の画像処理装置の各手段として機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上述の問題点を解決するため、本発明に係る画像処理装置は以下の構成を備える。すなわち、画像処理装置は、
画像から物体を検出する検出手段と、
前記画像から検出された物体のうち、物体のサイズが第１のサイズ範囲に含まれる物体の数を示す第１の情報を取得する第１の取得手段と、
前記第１のサイズ範囲に対して変更を加えた第２のサイズ範囲を設定する設定手段と、
前記画像から検出された物体のうち、物体のサイズが前記第２のサイズ範囲に含まれる物体の数を示す第２の情報を取得する第２の取得手段と、
前記第１の情報と、前記第２の情報と、を併せて表示する表示手段と、
を有する。
または、画像処理装置は、
画像の部分領域に対して所定の解析処理の対象となる第１の領域を設定する第１の設定手段と、
前記第１の領域に対して変更を加えた第２の領域を設定する第２の設定手段と、
前記第１の領域と前記第２の領域とを併せて表示する表示手段と、
を有し、
前記表示手段は、前記第１の領域に対する前記所定の解析処理の結果と、前記第２の領域に対する前記所定の解析処理の結果とを同時に表示する。
【手続補正書】
【提出日】令和3年6月21日(2021.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像により撮像映像データを取得する撮像デバイスと、
前記撮像映像データから得られる第１階調よりも階調値が小さい第２階調の表示映像データを生成して出力する映像出力部と、を有し、
前記映像出力部は、
前記撮像映像データの輝度値全体に渡って各輝度値のノイズレベルの総和が一様になるように、前記撮像映像データに対して加算ノイズを付加するノイズ付加部と、
前記加算ノイズを付加した後の映像データを前記第２階調の表示映像データに変換する変調部と、を含む、
撮像装置。
【請求項２】
請求項１に記載の撮像装置であって、
前記撮像映像データは、人間の死角時間感度を超える高フレームレートである、
撮像装置。
【請求項３】
請求項１に記載の撮像装置であって、
前記映像出力部は、
前記撮像デバイスから出力される第１のビット数を有する前記第１階調の撮像映像データに基づき、前記第１のビット数よりも小さい第２のビット数を有する前記第２階調の表示映像データを生成して出力する、
撮像装置。
【請求項４】
請求項３に記載の撮像装置であって、
前記ノイズ付加部は、前記第１階調の撮像映像データの輝度値に応じた前記加算ノイズの振幅範囲を算出する演算部と、前記算出された振幅範囲のランダムなノイズを前記加算ノイズとして出力するノイズ発生器と、前記撮像映像データと前記加算ノイズとを加算する加算器と、を含み、
前記変調部は、前記第１階調の撮像映像データに対して前記加算ノイズが付加された映像データを、前記第２階調の映像データに量子化して前記表示映像データとして順次出力する量子化器を含む、
撮像装置。
【請求項５】
請求項１に記載の撮像装置であって、
前記ノイズ付加部は、装置において発生されるランダムなノイズを、前記撮像デバイスから出力される撮像映像データの輝度値に応じた振幅に増幅し、前記加算ノイズとして出力する可変増幅器と、前記撮像デバイスから出力される撮像映像データと前記加算ノイズとを重畳して出力する加算増幅回路と、を含み、
前記変調部は、前記加算増幅回路から出力されるノイズ付加後のアナログの映像信号を、前記第２階調のディジタルデータに変換して前記表示映像データとして順次出力するＡＤコンバータを含む、
撮像装置。
【請求項６】
請求項２に記載の撮像装置であって、
前記高フレームレートの撮像映像データとして４８０ｆｐｓ以上のフレームレートの映像データを取得する、
撮像装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の撮像装置であって、
前記ノイズ付加部は、前記撮像映像データの輝度値に応じて、前記輝度値が増加するにつれて前記加算ノイズを減少させて付加し、前記撮像デバイスにおいて発生する固有ノイズと前記加算ノイズとを含むノイズレベルの総和が前記撮像映像データの輝度値全体に渡って一様となっている、
撮像装置。
【請求項８】
撮像デバイスにより撮像映像データを取得するステップと、
前記撮像映像データの輝度値全体に渡って各輝度値のノイズレベルの総和が一様になるように、前記撮像映像データに対して加算ノイズを付加するステップと、
前記加算ノイズを付加した後の映像データを用いて、前記撮像映像データから得られる第１階調よりも階調値が小さい第２階調の表示映像データを生成するステップと、
前記第２階調の表示映像データを表示装置に出力するステップと、
を有する映像出力方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本開示は、撮像により撮像映像データを取得する撮像デバイスと、前記撮像映像データから得られる第１階調よりも階調値が小さい第２階調の表示映像データを生成して出力する映像出力部と、を有し、前記映像出力部は、前記撮像映像データの輝度値全体に渡って各輝度値のノイズレベルの総和が一様になるように、前記撮像映像データに対して加算ノイズを付加するノイズ付加部と、前記加算ノイズを付加した後の映像データを前記第２階調の表示映像データに変換する変調部と、を含む、撮像装置を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本開示は、撮像デバイスにより撮像映像データを取得するステップと、前記撮像映像データの輝度値全体に渡って各輝度値のノイズレベルの総和が一様になるように、前記撮像映像データに対して加算ノイズを付加するステップと、前記加算ノイズを付加した後の映像データを用いて、前記撮像映像データから得られる第１階調よりも階調値が小さい第２階調の表示映像データを生成するステップと、前記第２階調の表示映像データを表示装置に出力するステップと、を有する映像出力方法を提供する。
【手続補正書】
【提出日】令和3年3月3日(2021.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極を備えた載置台と、
前記電極に当接した給電ピンと、
前記給電ピンの周囲に設けられた筒状絶縁部品と、
前記載置台と前記筒状絶縁部品とを互いに接着する接着層と、
前記筒状絶縁部品の前記接着層側の面に設けられた第１のプライマーと、
を有することを特徴とする静電チャック。
【請求項２】
前記載置台の前記接着層側の面に設けられた第２のプライマーを有することを特徴とする請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記筒状絶縁部品の外側に設けられた金属部品を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記金属部品はヒータであることを特徴とする請求項３に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記金属部品はベースプレートであることを特徴とする請求項３に記載の静電チャック。
【請求項６】
前記金属部品の上に前記接着層が設けられていることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載の静電チャック。
【請求項７】
給電ピンの周囲に設けられた筒状絶縁部品に第１のプライマーを塗布する工程と、
接着剤を用いて、前記筒状絶縁部品の前記第１のプライマーを塗布した面に、電極を備えた載置台を、前記電極に前記給電ピンを当接させながら接着する工程と、
を有することを特徴とする静電チャックの製造方法。
【請求項８】
前記接着剤を用いて前記載置台を接着する工程は、
スクリーン印刷により、前記筒状絶縁部品の前記第１のプライマーを塗布した面に前記接着剤の層を形成する工程を有することを特徴とする請求項７に記載の静電チャックの製造方法。
【請求項９】
前記接着剤を用いて前記載置台を接着する工程は、
前記載置台の前記筒状絶縁部品に接着される面に第２のプライマーを塗布する工程を有することを特徴とする請求項７又は８に記載の静電チャックの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】令和3年6月7日(2021.6.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】トランジスタおよび半導体装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタであって、
前記トランジスタは、ゲート、ソース、及びドレインを有し、
前記酸化物半導体の下方には、第１の絶縁体が形成され、
前記ゲートと、前記酸化物半導体との間には、第２の絶縁体が形成され、
前記第１の絶縁体、及び前記第２の絶縁体のいずれか一方または双方は、
シリコンを含む層と、ガリウムを含む層と、を有する、
トランジスタ。
【請求項２】
チャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタであって、
前記トランジスタは、第１のゲート、第２のゲート、ソース、及びドレインを有し、
前記第２のゲートと、前記酸化物半導体との間には、第１の絶縁体が形成され、
前記第１のゲートと、前記酸化物半導体との間には、第２の絶縁体が形成され、
前記第１の絶縁体、及び前記第２の絶縁体のいずれか一方または双方は、
シリコンを含む層と、ガリウムを含む層と、を有する、
トランジスタ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のトランジスタと、
容量素子と、を有する半導体装置であって、
前記容量素子は、
前記トランジスタに含まれる前記シリコンを含む層と、前記ガリウムを含む層と、を有する、半導体装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記容量素子は、前記トランジスタの上方に形成される、
半導体装置。
【請求項５】
請求項３において、
前記容量素子は、前記トランジスタの下方に形成される、
半導体装置。
【請求項６】
請求項３乃至５のいずれか一において、
第３の絶縁体と、第４の絶縁体と、を有する半導体装置であって、
前記第３の絶縁体は、アルミニウムと、酸素と、を有し、
前記第４の絶縁体は、シリコンと、窒素と、を有し、
前記トランジスタの上面、下面、及び側面のいずれか一または複数は、
前記第３の絶縁体、及び前記第４の絶縁体によって覆われている、
半導体装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記第３の絶縁体は、前記第４の絶縁体よりも内側に位置する、
半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月14日(2020.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の機能を夫々発揮する１以上の他の情報処理装置に対する情報通信を行う情報処理装置において、
前記１以上の他の情報処理装置のうち、１の他の情報処理装置を特定可能な情報を、特定情報として、他の情報処理装置と近接した非接触の状態で取得する取得手段と、
前記取得手段により前記特定情報が取得されたことをトリガとして、前記１の他の情報処理装置から送信されるペアリングのために必要な情報をペアリング情報として取得する処理を開始し、取得した当該ペアリング情報を用いて前記１の他の情報処理装置との間のペアリングを実行するペアリング手段、
を備える情報処理装置。
【請求項２】
所定の機能を発揮するために、他の情報処理装置と情報通信を行う情報処理装置において、
前記情報処理装置を特定可能な情報が特定情報として前記他の情報処理装置に近接した非接触の状態で取得されたことをトリガとして、前記他の情報処理装置において実行されるペアリングのために必要な情報を、ペアリング情報として前記他の情報処理装置に送信する制御を実行するペアリング手段、
を備える情報処理装置。
【手続補正書】
【提出日】令和3年6月18日(2021.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部装置のアドバタイズ信号を受信する第一の通信手段と、
前記外部装置と所定のプロトコルを介して無線通信する第二の通信手段と、
前記外部装置のアドバタイズ信号に基づき、前記外部装置が前記所定のプロトコルに対応しているか否かを判断する制御手段とを有し、
前記外部装置が前記所定のプロトコルに対応していないと判断した場合、前記制御手段は、前記外部装置に対して前記第一の通信手段を介して暗号化通信を開始するための要求を送信するよう制御し、
前記外部装置が前記所定のプロトコルに対応していると判断した場合、前記制御手段は、前記外部装置に対して前記第一の通信手段を介して非暗号化通信を開始するための要求を送信するよう制御することを特徴とする通信装置。
【請求項２】
前記外部装置が前記所定のプロトコルに対応していると判断した場合、前記制御手段は、前記外部装置に対して非暗号化通信を開始するための要求を前記第一の通信手段を介して送信するよう制御すると共に、暗号化通信を開始するための要求を前記第二の通信手段を介して送信するよう制御することを特徴とする請求項１に記載の通信装置。
【請求項３】
記録媒体を更に有し、
前記第二の通信手段を用いて前記外部装置との前記所定のプロトコルを介した無線通信を確立した後、前記制御手段は、前記外部装置に関する情報を記録媒体に記録し、前記所定のプロトコルを介した無線通信を切断するよう制御することを特徴とする請求項２に記載の通信装置。
【請求項４】
前記外部装置とネットワークを介して無線通信する第三の通信手段を更に有し、
前記外部装置が前記所定のプロトコルに対応していないと判断した場合、前記制御手段は、前記第一の通信手段を介した暗号化通信によって、前記外部装置と前記ネットワークの識別子を共有し、
前記外部装置が前記所定のプロトコルに対応していると判断した場合、前記制御手段は、前記第二の通信手段を介した暗号化通信によって、前記外部装置と前記ネットワークの識別子を共有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項５】
前記ネットワークを介した無線通信を確立するための接続要求を、前記第一の通信手段を介して前記外部装置から受信した場合、予め前記第二の通信手段を介した暗号化通信によって前記外部装置と共有した前記ネットワークの識別子を用いて前記ネットワークを形成することを特徴とする請求項４に記載の通信装置。
【請求項６】
前記外部装置は撮像手段を有し、
前記制御手段は、前記第三の通信手段を介して、前記撮像手段の動作をリモートコントロールするよう制御することを特徴とする請求項４または５に記載の通信装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記外部装置のアドバタイズ信号に含まれる所定の文字情報に基づき、前記外部装置が前記所定のプロトコルに対応しているか否かを判断することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記外部装置のアドバタイズ信号に含まれる前記外部装置の機種を示す情報に基づき、前記外部装置が前記所定のプロトコルに対応しているか否かを判断することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項９】
前記制御手段は、前記外部装置のアドバタイズ信号に所定の情報が含まれるか否かに基づき、前記外部装置が前記所定のプロトコルに対応しているか否かを判断することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項１０】
前記所定のプロトコルはＢｌｕｅｔｏｏｔｈ  Ｃｌａｓｓｉｃであり、前記第一の通信手段はＢｌｕｅｔｏｏｔｈ  Ｌｏｗ  Ｅｎｅｒｇｙを介して無線通信することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の通信装置。
【請求項１１】
外部装置のアドバタイズ信号を受信する第一の通信手段と、前記外部装置と所定のプロトコルを介して無線通信する第二の通信手段とを有する通信装置の制御方法であって、
前記外部装置のアドバタイズ信号に基づき、前記外部装置が前記所定のプロトコルに対応しているか否かを判断するステップと、
前記外部装置が前記所定のプロトコルに対応していないと判断した場合、前記外部装置に対して前記第一の通信手段を介して暗号化通信を開始するための要求を送信するよう制御するステップと、
前記外部装置が前記所定のプロトコルに対応していると判断した場合、前記外部装置に対して前記第一の通信手段を介して非暗号化通信を開始するための要求を送信するよう制御するステップとを有することを特徴とする通信装置の制御方法。
【請求項１２】
コンピュータを請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の通信装置の各手段として機能させるための、コンピュータが読み取り可能なプログラム。
【手続補正書】
【提出日】令和3年6月11日(2021.6.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像処理装置であって、
原稿の画像を読み取る読取手段と、
前記読取手段によって読み取られた原稿の画像に含まれる画素の信号値の分散値を取得する取得手段と、
前記取得手段によって取得された分散値に基づいて、前記読取手段によって読み取られた画像が網点領域を有するか否かを判定する判定手段と、
前記読取手段によって読み取られた画像が網点領域を有すると前記判定手段によって判定された場合、前記取得手段によって取得された分散値を用いて前記原稿の画像の裏写りを除去する第１の除去処理を実行し、前記読取手段によって読み取られた画像が網点領域を有しないと前記判定手段によって判定された場合、前記分散値を用いずに前記原稿の画像の裏写りを除去する第２の除去処理を実行する実行手段と
を備えることを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記取得手段によって取得された分散値と閾値に基づいて前記読取手段によって読み取られた画像が前記網点領域を有するか否かを判定し、
前記閾値は、前記取得手段によって取得された分散値の中央値に関連する第１の閾値を含み、
前記実行手段は、前記取得手段によって取得された分散値の中央値が前記第１の閾値を超える場合は前記読取手段によって読み取られた画像が前記網点領域を有すると判定し、前記取得手段によって取得された分散値の中央値が前記第１の閾値以下の場合は前記読取手段によって読み取られた画像が前記網点領域を有しないと判定することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記閾値は、前記取得手段によって取得された分散値の出現頻度のばらつきに関連する第２の閾値を含み、
前記実行手段は、前記取得手段によって取得された分散値の中央値が前記第１の閾値以下の場合において、さらに、前記取得手段によって取得された分散値の出現頻度のばらつきが前記第２の閾値未満の場合は前記読取手段によって読み取られた画像が前記網点領域を有すると判定し、前記取得手段によって取得された分散値の出現頻度のばらつきが前記第２の閾値以上の場合は前記読取手段によって読み取られた画像が前記網点領域を有しないと判定することを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記第１の除去処理では、前記取得手段によって取得された分散値と前記画像に含まれる信号値の平均値とを用いて裏写りを除去することを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記第２の除去処理では、色変換テーブルを用いて裏写りを除去することを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の画像処理装置。
【請求項６】
前記実行手段は、
前記第１の除去処理又は前記第２の除去処理を実行した後に、原稿の地色を除去する地色除去処理を実行することを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の画像処理装置。
【請求項７】
前記実行手段は、
前記第１の除去処理を実行する前後の信号値の差分に従って、前記地色除去処理の地色除去レベルを調整することを特徴とする請求項６に記載の画像処理装置。
【請求項８】
前記地色除去レベルをユーザ入力に従って設定する設定手段をさらに備えることを特徴とする請求項７に記載の画像処理装置。
【請求項９】
前記設定手段は、さらに、
前記第１の除去処理及び前記第２の除去処理の強弱のレベルをユーザ入力に従って設定することを特徴とする請求項８に記載の画像処理装置。
【請求項１０】
前記実行手段は、原稿の種別が印画紙を示す場合には、前記第１の除去処理及び前記第２の除去処理を実行しないことを特徴とする請求項１乃至９の何れか１項に記載の画像処理装置。
【請求項１１】
原稿の画像を読み取る読取手段を備える画像処理装置の制御方法であって、
取得手段が、前記読取手段によって読み取られた原稿の画像に含まれる画素の信号値の分散値を取得する取得工程と、
判定手段が、前記取得工程で取得された分散値に基づいて、前記読取手段によって読み取られた画像が網点領域を有するか否かを判定する判定工程と、
実行手段が、前記読取手段によって読み取られた画像が網点領域を有すると前記判定工程で判定された場合、前記取得工程で取得された分散値を用いて前記原稿の画像の裏写りを除去する第１の除去処理を実行し、前記読取手段によって読み取られた画像が網点領域を有しないと前記判定工程で判定された場合、前記分散値を用いずに前記原稿の画像の裏写りを除去する第２の除去処理を実行する実行工程と
を含むことを特徴とする画像処理装置の制御方法。
【請求項１２】
原稿の画像を読み取る読取手段を備える画像処理装置の制御方法における各工程をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記制御方法は、
取得手段が、前記読取手段によって読み取られた原稿の画像に含まれる画素の信号値の分散値を取得する取得工程と、
判定手段が、前記取得工程で取得された分散値に基づいて、前記読取手段によって読み取られた画像が網点領域を有するか否かを判定する判定工程と、
実行手段が、前記読取手段によって読み取られた画像が網点領域を有すると前記判定工程で判定された場合、前記取得工程で取得された分散値を用いて前記原稿の画像の裏写りを除去する第１の除去処理を実行し、前記読取手段によって読み取られた画像が網点領域を有しないと前記判定工程で判定された場合、前記分散値を用いずに前記原稿の画像の裏写りを除去する第２の除去処理を実行する実行工程と
を含むことを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、上述の問題の少なくとも一つに鑑みて成されたものであり、読み取られた画像が網点領域を有するか否かに基づいて、裏写り除去処理を好適に行う仕組みを提供することを目的とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、例えば、画像処理装置であって、原稿の画像を読み取る読取手段と、前記読取手段によって読み取られた原稿の画像に含まれる画素の信号値の分散値を取得する取得手段と、前記取得手段によって取得された分散値に基づいて、前記読取手段によって読み取られた画像が網点領域を有するか否かを判定する判定手段と、前記読取手段によって読み取られた画像が網点領域を有すると前記判定手段によって判定された場合、前記取得手段によって取得された分散値を用いて前記原稿の画像の裏写りを除去する第１の除去処理を実行し、前記読取手段によって読み取られた画像が網点領域を有しないと前記判定手段によって判定された場合、前記分散値を用いずに前記原稿の画像の裏写りを除去する第２の除去処理を実行する実行手段と
を備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明によれば、読み取られた画像が網点領域を有するか否かに基づいて、裏写り除去処理を好適に行うことができる。
【手続補正書】
【提出日】令和3年6月10日(2021.6.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の原稿を読み取り可能な読取手段と、
前記読取手段によって読み取られた前記複数枚の原稿の画像をシート保持手段に保持されたシートに印刷する印刷手段と、
前記読取手段が原稿を１枚読み取るたびに、前記シート保持手段に保持されたシートが前記読取手段によって読み取られた原稿の画像を印刷するために充分であるか否かを判定する判定手段と、
前記読取手段によって読み取られていない原稿が残っている状態で、前記判定手段による判定の結果に基づく所定の通知をユーザに対して実行可能な通知手段と、を有することを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
表示手段をさらに有し、
前記表示手段は、前記判定の結果に基づく前記所定の通知を実行することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記表示手段は前記判定の結果に基づいて前記印刷手段による印刷を停止するためのオブジェクトを表示することを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記画像処理装置は、前記読取手段によって読み取られた前記複数枚の原稿の画像を印刷するために用いられるシートを保持する複数のシート保持部を選択可能であり、
前記画像処理装置が複数のシート保持部を選択した場合に、前記画像処理装置は、前記選択されたすべてのシート保持部に保持されたシートの合計枚数と、前記読取手段によって読み取られた原稿の画像であって、まだ印刷されていない画像を印刷するために必要なシートの枚数との比較を行い、前記比較の結果に基づく前記所定の通知を実行することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記印刷手段は、前記読取手段による読取に並行して印刷を行うことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項６】
複数枚の原稿を読み取り可能な読取手段と、
前記読取手段によって読み取られた前記複数枚の原稿の画像をシート保持手段に保持されたシートに印刷する印刷手段と、
前記読取手段が原稿を１枚読み取るたびに、前記読取手段によって読み取られた原稿の枚数に基づいて、前記読取手段によって読み取られた原稿の画像を印刷するために必要なシートの枚数を判定する判定手段と、
前記判定手段によって判定されたシートの枚数から既に印刷されたシートの枚数を減算して得られたシートの枚数が、その時点における前記シート保持手段に保持されたシートの枚数を超えた場合に、所定の通知をユーザに対して実行可能な通知手段とを有することを特徴とする画像処理装置。
【請求項７】
前記所定の通知はシートの補充をユーザに促すためのメッセージを含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項８】
複数枚の原稿を読み取り可能な読取手段を有する画像処理装置の制御方法であって、
前記読取手段によって読み取られた前記複数枚の原稿の画像をシート保持手段に保持されたシートに印刷する印刷工程と、
前記読取手段が原稿を１枚読み取るたびに、前記シート保持手段に保持されたシートが前記読取手段によって読み取られた原稿の画像を印刷するために充分であるか否かを判定する判定工程と、
前記読取手段によって読み取られていない原稿が残っている状態で、前記判定工程における判定の結果に基づく所定の通知をユーザに対して実行する通知工程と、
を有することを特徴とする画像処理装置の制御方法。
【請求項９】
複数枚の原稿を読み取り可能な読取手段を有する画像処理装置の制御方法であって、
前記読取手段によって読み取られた前記複数枚の原稿の画像をシート保持手段に保持されたシートに印刷する印刷工程と、
前記読取手段が原稿を１枚読み取るたびに、前記読取手段によって読み取られた原稿の枚数に基づいて、前記読取手段によって読み取られた原稿の画像を印刷するために必要なシートの枚数を判定する判定工程と、
前記判定工程において判定されたシートの枚数から既に印刷されたシートの枚数を減算して得られたシートの枚数が、その時点における前記シート保持手段に保持されたシートの枚数を超えた場合に、所定の通知をユーザに対して実行する通知工程とを有することを特徴とする画像処理装置の制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものである。
本発明の目的は、読み取られていない原稿が残っている状態でも、ユーザはシートの不足を知ることができるようにするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の画像処理装置は以下の構成を備える。
複数枚の原稿を読み取り可能な読取手段と、前記読取手段によって読み取られた前記複数枚の原稿の画像をシート保持手段に保持されたシートに印刷する印刷手段と、前記読取手段が原稿を１枚読み取るたびに、前記シート保持手段に保持されたシートが前記読取手段によって読み取られた原稿の画像を印刷するために充分であるか否かを判定する判定手段と、前記読取手段によって読み取られていない原稿が残っている状態で、前記判定手段による判定の結果に基づく所定の通知をユーザに対して実行可能な通知手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明によれば、読み取られていない原稿が残っている状態でも、ユーザはシートの不足を知ることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】画像処理装置及びその制御方法
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、画像処理装置の用紙保持部に格納された用紙枚数と、プリントに必要な用紙枚数とに応じた用紙補給画面を表示可能な画像処理装置およびその制御方法に関する。
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月17日(2020.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバと、
前記チャンバ内でガスからプラズマを生成するために、パルス状の高周波電力又は合成高周波電力を出力するように構成された高周波電源部であり、該合成高周波電力は、該パルス状の高周波電力と該パルス状の高周波電力に対する反射波に対して逆位相で振動する補正高周波電力との合成電力である、該高周波電源部と、
前記パルス状の高周波電力に対する前記反射波を表す反射波モニタ信号に対して逆位相で振動する補正信号を生成するよう構成された補正信号生成部と、
を備え、
前記高周波電源部は、第１の期間において前記パルス状の高周波電力を出力するように構成されており、
前記補正信号生成部は、前記第１の期間における前記反射波モニタ信号から前記補正信号を生成するように構成されており、
前記高周波電源部は、前記第１の期間の後の一以上の第２の期間の各々において、前記補正信号を用いて生成した前記合成高周波電力を出力するように構成されており、前記第１の期間における前記パルス状の高周波電力の出力と前記一以上の第２の期間における前記合成高周波電力の出力を交互に繰り返すように構成されている、
プラズマ処理装置。
【請求項２】
前記高周波電源部から出力された前記パルス状の高周波電力及び前記合成高周波電力がその上で伝送される電気経路上に設けられた方向性結合器を更に備え、
前記補正信号生成部は、前記方向性結合器によって出力された前記反射波モニタ信号から前記補正信号を生成するよう構成されており、
前記高周波電源部は、
パルス状の高周波信号を発生するよう構成された高周波信号発生器と、
前記パルス状の高周波信号に前記補正信号を加算することにより合成高周波信号を生成するように構成された加算器と、
前記パルス状の高周波信号を増幅することにより前記パルス状の高周波電力を生成し、前記合成高周波信号を増幅することにより前記合成高周波電力を生成するように構成された増幅器と、
を有し、
前記第１の期間では、前記補正信号が前記パルス状の高周波信号に加算されない、
請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記補正信号生成部は、前記反射波モニタ信号の逆相信号を生成し、前記増幅器の入力信号の振幅に対する増幅率の依存性を解消するように前記逆相信号を補正することにより前記補正信号を生成するように構成されている、請求項２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記第１の期間及び前記一以上の第２の期間は、所定の周波数で規定される連続する複数の周期とそれぞれ同一の期間である、請求項１〜３の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
該プラズマ処理装置は、前記高周波電源部を第１の高周波電源部として備え、
下部電極を有し、前記チャンバの中で基板を支持するように構成された支持台と、
前記支持台に電気的に接続されており、別の高周波電力を出力するように構成された第２の高周波電源部であり、該別の高周波電力の周波数は、前記パルス状の高周波電力の周波数よりも低い、該第２の高周波電源部と、
前記別の高周波電力に同期した同期信号を発生するように構成された同期信号発生器と、
を更に備え、
前記第１の期間及び前記一以上の第２の期間は、前記別の高周波電力の連続する複数の周期とそれぞれ同一であり、
前記第１の高周波電源部は、前記同期信号に応じて前記第１の期間において前記パルス状の高周波電力を生成し、前記同期信号に応じて前記一以上の第２の期間の各々において前記合成高周波電力を生成するように構成されている、
請求項１〜３の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
プラズマ処理装置のチャンバ内でプラズマを生成する方法であって、
前記チャンバ内でガスからプラズマを生成するために、第１の期間においてパルス状の高周波電力を出力する工程と、
前記パルス状の高周波電力に対する反射波を表す反射波モニタ信号に対して逆位相で振動する補正信号を生成する工程と、
前記チャンバ内でガスからプラズマを生成するために、前記第１の期間の後の一以上の第２の期間の各々において、合成高周波電力を出力する工程であり、該合成高周波電力は、該パルス状の高周波電力と該パルス状の高周波電力に対する反射波に対して逆位相で振動する補正高周波電力との合成電力であり、前記補正信号を用いて生成される、該工程と、
を含み、
パルス状の高周波電力を出力する前記工程及び合成高周波電力を出力する前記工程は、前記第１の期間における前記パルス状の高周波電力の出力と前記一以上の第２の期間における前記合成高周波電力の出力が交互に繰り返されるように、実行される、
プラズマを生成する方法。
【請求項７】
前記反射波モニタ信号は、前記パルス状の高周波電力及び前記合成高周波電力がその上で伝送される電気経路上に設けられた方向性結合器によって出力され、
前記補正信号は、前記方向性結合器によって出力された前記反射波モニタ信号からを生成され、
前記パルス状の高周波電力は、高周波信号発生器によって発生されるパルス状の高周波信号を増幅器によって加算することによって生成され、
前記合成高周波電力は、加算器によって前記パルス状の高周波信号に前記補正信号を加算することにより生成される合成高周波信号を前記増幅器によって増幅することにより生成され、
前記第１の期間では、前記補正信号が前記パルス状の高周波信号に加算されない、
請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記補正信号は、前記反射波モニタ信号の逆相信号を生成し、前記増幅器の入力信号の振幅に対する増幅率の依存性を解消するように前記逆相信号を補正することによりを生成される、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記第１の期間及び前記一以上の第２の期間は、所定の周波数で規定される連続する複数の周期とそれぞれ同一の期間である、請求項６〜８の何れか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記プラズマ処理装置は、
前記パルス状の高周波電力又は前記合成高周波電力を出力するように構成された第１の高周波電源部と、
下部電極を有し、前記チャンバの中で基板を支持するように構成された支持台と、
前記支持台に電気的に接続されており、別の高周波電力を出力するように構成された第２の高周波電源部であり、該別の高周波電力の周波数は、前記パルス状の高周波電力の周波数よりも低い、該第２の高周波電源部と、
前記別の高周波電力に同期した同期信号を発生するように構成された同期信号発生器と、
を更に備え、
前記第１の期間及び前記一以上の第２の期間は、前記別の高周波電力の連続する複数の周期とそれぞれ同一であり、
前記第１の高周波電源部は、前記同期信号に応じて前記第１の期間において前記パルス状の高周波電力を生成し、前記同期信号に応じて前記一以上の第２の期間の各々において前記合成高周波電力を生成するように構成されている、
請求項６〜８の何れか一項に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】令和3年6月16日(2021.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】熱電発電装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、温度差に応じて発電を行う熱電発電装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、かかる課題を解決するためになされたもので、その目的は、製造コストを抑えつつ、より大きい総発電量を得ることが可能な熱電発電装置を提供することに在る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明に係る熱電発電装置は、配管の外周に固定される熱電変換モジュールと、熱電変換モジュールの配管と対向する面に固定される受熱板と、屈曲形状をなし、屈曲形状の一端が凝縮部、他端が蒸発部を形成し、蒸発部が凝縮部よりも高い位置となるよう受熱板に固定される複数のヒートパイプと、ヒートパイプの凝縮部を含む部分を受熱板に固定する固定部材とを備える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
以下、本発明に係る熱電発電装置の各実施の形態を、図を参照して説明する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管の外周に固定される熱電変換モジュールと、
前記熱電変換モジュールの前記配管と対向する面に固定される受熱板と、
屈曲形状をなし、前記屈曲形状の一端が凝縮部、他端が蒸発部を形成し、前記蒸発部が前記凝縮部よりも高い位置となるよう前記受熱板に固定される複数のヒートパイプと、
前記ヒートパイプの前記凝縮部を含む部分を前記受熱板に固定する固定部材と
を備える熱電発電装置。
【請求項２】
前記複数のヒートパイプは、Ｌ字に屈曲され、前記Ｌ字の１辺が、前記凝縮部として前記配管に固定され、前記Ｌ字の他辺が前記蒸発部として前記凝縮部よりも高い位置に固定される
請求項１に記載の熱電発電装置。
【請求項３】
前記複数のヒートパイプは、クランク状に屈曲され、前記クランク状に屈曲された前記複数のヒートパイプの第１辺が前記凝縮部として前記配管に固定され、前記第１辺に平行に延在する第２辺が前記蒸発部として前記凝縮部よりも高い位置に固定され、前記第１辺と前記第２辺とを繋ぐ第３辺が前記蒸発部を前記配管から離隔する方向に延在される
請求項１に記載の熱電発電装置。
【請求項４】
前記ヒートパイプと前記熱電変換モジュールの熱抵抗との熱抵抗比は、０．１から０．５の間である
請求項１から３のいずれか１項に記載の熱電発電装置。
【手続補正書】
【提出日】令和2年12月17日(2020.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１６】
チャンバと、
下部電極を含み、前記チャンバ内に設けられた基板支持台と、
第１の周波数を有する第１の高周波電力を前記下部電極に供給するように構成された第１の高周波電源部と、
プラズマを生成するために前記第１の周波数よりも高い第２の周波数を有する第２の高周波電力を供給するように構成された第２の高周波電源部と、
前記第１の高周波電源部及び前記第２の高周波電源部を制御するように構成された制御部と、
を備え、
前記制御部は、
第１の期間及び該第１の期間の後の又は該第１の期間に続く第２の期間において、前記第１の高周波電力を連続的に前記下部電極に供給するよう前記第１の高周波電源部を制御し、
前記第２の高周波電源部を、
前記第１の期間内の前記第１の高周波電力の各周期内の第１の部分期間内で、前記第２の高周波電力をパルス状の高周波電力として供給し、前記第２の期間内の前記第１の高周波電力の各周期内で前記第１の部分期間とは異なる期間である第２の部分期間内で、前記第２の高周波電力をパルス状の高周波電力として供給し、或いは、
前記第１の期間内の前記第１の高周波電力の各周期内で、前記第２の高周波電力をパルス状の高周波電力及び連続的な高周波電力のうち一方として供給し、前記第２の期間内の前記第１の高周波電力の各周期内で、前記第２の高周波電力をパルス状の高周波電力及び連続的な高周波電力のうち他方として供給し、或いは、
前記第１の期間内の前記第１の高周波電力の各周期内で、前記第２の高周波電力をパルス状の高周波電力として供給し、前記第２の期間内では前記第２の高周波電力を供給しないよう、
制御する、
プラズマ処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【図１】一つの例示的実施形態に係るプラズマ処理方法の流れ図である。
【図２】一つの例示的実施形態に係るプラズマ処理装置を概略的に示す図である。
【図３】別の例示的実施形態に係るプラズマ処理装置を概略的に示す図である。
【図４】図４の（ａ）は一例の基板の一部拡大断面図であり、図４の（ｂ）及び図４の（ｃ）は方法ＭＴ１の複数の工程それぞれの実行後の状態における一例の基板の一部拡大断面図である。
【図５】方法ＭＴ１に関連する一例のタイミングチャートである。
【図６】連続的な高周波電力としての第２の高周波電力の一例を示すタイミングチャートである。
【図７】別の例示的実施形態に係るプラズマ処理方法の流れ図である。
【図８】図８の（ａ）は、一例の基板の一部拡大断面図であり、図８の（ｂ）〜図８の（ｅ）は、方法ＭＴ２の複数の工程それぞれの実行後の状態における一例の基板の一部拡大断面図である。
【図９】図９は、更に別の例示的実施形態に係るプラズマ処理方法の流れ図である。
【図１０】図１０の（ａ）は、一例の基板の一部拡大断面図であり、図１０の（ｂ）は、図９に示す方法ＭＴ３の工程ＳＴ３１の実行後の状態における一例の基板の一部拡大断面図である。
【図１１】図１１は、更に別の例示的実施形態に係るプラズマ処理方法の流れ図である。
【図１２】図１２の（ａ）は、一例の基板の一部拡大断面図であり、図１２の（ｂ）〜図１２の（ｄ）は、図１１に示す方法ＭＴ４の複数の工程それぞれの実行後の状態における一例の基板の一部拡大断面図である。
【図１３】更に別の例示的実施形態に係るプラズマ処理方法の流れ図である。
【図１４】図１４の（ａ）は、一例の基板の一部拡大断面図であり、図１４の（ｂ）〜図１４の（ｄ）は、図１３に示す方法ＭＴ５の複数の工程それぞれの実行後の状態における一例の基板の一部拡大断面図である。
【図１５】更に別の例示的実施形態に係るプラズマ処理方法の流れ図である。
【図１６】図１６の（ａ）は、一例の基板の一部拡大断面図であり、図１６の（ｂ）及び図１６の（ｃ）は、図１５に示す方法ＭＴ６の複数の工程それぞれの実行後の状態における一例の基板の一部拡大断面図である。
【図１７】方法ＭＴ６に関連する一例のタイミングチャートである。
【図１８】更に別の例示的実施形態に係るプラズマ処理方法の流れ図である。
【図１９】図１８に示す方法ＭＴ７に関連する一例のタイミングチャートである。
【図２０】図２０の（ａ）は、一例の基板の一部拡大断面図であり、図２０の（ｂ）〜図２０の（ｅ）は、方法ＭＴ７の複数の工程それぞれの実行後における一例の基板の一部拡大断面図である。
【図２１】更に別の例示的実施形態に係るプラズマ処理方法の流れ図である。
【図２２】図２１に示す方法ＭＴ８に関連する一例のタイミングチャートである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
次に、図７、図８の（ａ）、図８の（ｂ）、図８の（ｃ）、図８の（ｄ）、及び図８の（ｅ）を参照する。図７は、別の例示的実施形態に係るプラズマ処理方法の流れ図である。図８の（ａ）は、一例の基板の一部拡大断面図である。図８の（ｂ）〜図８の（ｅ）は、図７に示す方法ＭＴ２の複数の工程それぞれの実行後の状態における一例の基板の一部拡大断面図である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２５】
工程ＳＴ５１では、チャンバ１０内に処理ガスが供給される。工程ＳＴ５２では、工程ＳＴ５１で用いられる処理ガスと同じ処理ガス又は別の処理ガスが、チャンバ１０内に、供給される。工程ＳＴ５１及び工程ＳＴ５２では、ガス供給部ＧＳが制御部８０によって制御される。工程ＳＴ５１及び工程ＳＴ５２では、排気装置５０が、チャンバ１０内の圧力を指定された圧力に設定するよう、制御部８０によって制御される。チャンバ１０内の圧力は、例えば数ｍＴｏｒｒ〜１０００ｍＴｏｒｒの範囲内の圧力に設定される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５８】
工程ＳＴ７３では、第２の高周波電力ＨＦが正電圧出力期間内でパルス状の高周波電力として供給される。したがって、工程ＳＴ７３では、支持台１４上の基板のＶｐｐが低くなり、プラズマから支持台１４に向かうイオンのエネルギーが比較的低くなる。