(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測流体が流通する流路内に配置される素子取付体と、該素子取付体に設けられ被測流体の流れと接触することによって流量を検出する流量検出素子とからなり、
前記流量検出素子は、前記素子取付体に取付けられる裏面側に凹窪部が形成され該凹窪部に対応する表面側部位が薄肉部となった基板と、該基板の薄肉部上に設けられた検出部とからなる流量計測装置において、
前記素子取付体と基板の裏面との間には、前記基板の凹窪部と異なる位置で素子取付体と基板との間に隙間を確保する隙間形成体を設け、
該隙間形成体は、前記基板と素子取付体とを接着するための接着剤を収容する接着剤収容凹部を取囲む枠状突起によって構成し、
前記基板と素子取付体との間には、該枠状突起によって確保される前記隙間を用いて前記基板の凹窪部を素子取付体の外部に連通させる通気路を設けたことを特徴とする流量計測装置。
【請求項２】
前記枠状突起は前記基板の凹窪部を挟んで両側に設けてなる請求項１に記載の流量計測装置。
【請求項３】
前記素子取付体には、前記接着材収容凹部内に位置して余剰な接着剤を逃すための接着剤逃し溝を設けてなる請求項１または２に記載の流量計測装置。
【請求項４】
被測流体が流通する流路内に配置される素子取付体と、該素子取付体に設けられ被測流体の流れと接触することによって流量を検出する流量検出素子とからなり、
前記流量検出素子は、前記素子取付体に取付けられる裏面側に凹窪部が形成され該凹窪部に対応する表面側部位が薄肉部となった基板と、該基板の薄肉部上に設けられた検出部とからなる流量計測装置において、
前記素子取付体には、前記流量検出素子を収容する素子収容凹部と、前記基板の凹窪部と異なる位置で該素子収容凹部内に開口し前記基板と素子取付体とを接着するための接着剤を収容した状態で前記基板によって塞がれる接着剤収容凹部と、前記接着材収容凹部内に位置して余剰な接着剤を逃すための接着剤逃し溝とを設け、
前記素子取付体には、前記基板の凹窪部を素子取付体の外部に連通させる通気路を設け、
該通気路は、前記基板の凹窪部と対応する位置で前記素子取付体の厚み方向に貫通して設けた通気孔により構成したことを特徴とする流量計測装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば自動車用エンジン等の吸入空気流量を検出するのに用いて好適な流量計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、自動車用エンジン等では、吸入空気と燃料とを混合して適切な空燃比の混合気を形成するため、流量計測装置によってエンジンの吸入空気流量を検出し、その検出値に応じて燃料の噴射量等を定める構成としている。
【０００３】
この種の従来技術による流量計測装置は、エンジンの吸入空気が流通する吸気通路内に配置される素子取付体と、該素子取付体に設けられ吸入空気と接触することによって流量を検出する流量検出素子とから構成されている（例えば特開平８−２７１３０８号、特開２０００−２５７２号公報等）。
【０００４】
ここで、流量検出素子は、シリコン材料等により形成された基板と、該基板上に白金等の金属薄膜を用いて形成された感温抵抗体とからなり、基板には、裏面側からエッチング処理を施して凹窪部を形成することにより表面側に薄肉部が設けられている。
【０００５】
そして、感温抵抗体は、基板の薄肉部上に配置されることによって周囲の厚肉部位から熱的に絶縁されている。また、薄肉部上には、外部から通電されることによって感温抵抗体を加熱するヒータが設けられている。
【０００６】
また、基板は、裏面側が接着剤等を用いて素子取付体に固着され、この状態で基板の表面側は、感温抵抗体の検出感度等を安定させるために吸入空気の流れに対してほぼ平行に配置される。
【０００７】
そして、流量検出素子は、感温抵抗体がヒータにより加熱された状態で吸入空気の流れと接触して冷却されることにより、感温抵抗体の温度（抵抗値）の変化を吸入空気の流量として検出するものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来技術では、流量検出素子の基板を接着剤等によって素子取付体に固定し、この状態で基板を吸入空気の流れに対して平行に配置することにより、流量の検出感度を安定させる構成としている。
【０００９】
しかし、流量検出素子の基板を素子取付体に接着するときには、基板の表面側を吸入空気の流れに対してほぼ平行に配置する必要があるために、基板の裏面側を素子取付体に均一に当接させる。この場合、基板の裏面側に開口した凹窪部は、素子取付体によって塞がれた状態となり、基板と素子取付体との間に塗布された接着剤によって密閉されてしまうことがある。
【００１０】
この結果、基板の凹窪部内に密閉された空気は、ヒータからの熱等によって熱膨張したり、熱収縮したりして圧力変化することになり、この圧力変化は薄肉部に対して裏面側から加わるため、薄肉部は、その表面側に設けられた感温抵抗体、ヒータ等と共に僅かに撓み変形することになる。
【００１１】
このため、従来技術では、凹窪部内の空気が長期間に亘って膨張、収縮を繰返すことにより、薄肉部、感温抵抗体、ヒータ等の部材が早期に劣化して損傷される虞れがあり、耐久性、信頼性が低下するという問題がある。
【００１２】
本発明は上述した従来技術の問題に鑑みなされたもので、本発明の目的は、基板の薄肉部に凹窪部側から圧力が加わるのを防止でき、薄肉部、検出部等を保護できると共に、耐久性、信頼性を向上できるようにした流量計測装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために本発明は、被測流体が流通する流路内に配置される素子取付体と、該素子取付体に設けられ被測流体の流れと接触することによって流量を検出する流量検出素子とからなり、前記流量検出素子は、前記素子取付体に取付けられる裏面側に凹窪部が形成され該凹窪部に対応する表面側部位が薄肉部となった基板と、該基板の薄肉部上に設けられた検出部とからなる流量計測装置に適用される。
【００１４】
そして、請求項１の発明が採用する構成の特徴は、前記素子取付体と基板の裏面との間には、前記基板の凹窪部と異なる位置で素子取付体と基板との間に隙間を確保する隙間形成体を設け、該隙間形成体は、前記基板と素子取付体とを接着するための接着剤を収容する接着剤収容凹部を取囲む枠状突起によって構成し前記基板と素子取付体との間には、該枠状突起によって確保される前記隙間を用いて前記素子取付体には前記基板の凹窪部を素子取付体の外部に連通させる通気路を形成したことにある。
【００１５】
このように構成することにより、基板の裏面を素子取付体に固定した状態でも、素子取付体側の通気路によって基板の凹窪部を外部に連通させることができ、凹窪部内の圧力変化を外部に逃がすことができる。
【００１６】
また、素子取付体または基板の裏面にはこれらの間に位置して隙間形成体を設けると共に、該隙間形成体を基板と素子取付体とを接着するための接着剤を収容する接着剤収容凹部を取囲む枠状突起によって構成している。これにより、流量検出素子の取付時には、枠状突起の接着剤収容凹部内に予め収容した接着剤によって基板と素子取付体とを接着することができる。
【００１７】
さらに、素子取付体と基板との間には枠状突起からなる隙間形成体を設けたから、素子取付体と基板との間には、素子取付体の枠状突起によって隙間を確保でき、この隙間を通気路として基板の凹窪部内を外部に連通させることができる。
【００１８】
また、請求項２の発明では、枠状突起は前記基板の凹窪部を挟んで両側に設けている。これにより、基板の裏面または素子取付体を凹窪部の両側で枠状突起に当接させることができ、これらの枠状突起によって基板の両側部位を支持できると共に、各枠状突起の間には通気用の隙間を確保することができる。
【００１９】
また、請求項３の発明では、素子取付体には接着材収容凹部内に位置して接着剤逃し溝を設ける構成としている。これにより、接着剤逃し溝は接着剤のうち余剰となった分を溝内に逃がすから、接着剤収容凹部から接着剤の一部が外部に食み出すのを防止することができる。
【００２０】
さらに、請求項４の発明が採用する構成の特徴は、前記素子取付体には、前記流量検出素子を収容する素子収容凹部と、前記基板の凹窪部と異なる位置で該素子収容凹部内に開口し前記基板と素子取付体とを接着するための接着剤を収容した状態で前記基板によって塞がれる接着剤収容凹部と、前記接着材収容凹部内に位置して余剰な接着剤を逃すための接着剤逃し溝とを設け、前記素子取付体には、前記基板の凹窪部を素子取付体の外部に連通させる通気路を設け、該通気路は、前記基板の凹窪部と対応する位置で前記素子取付体の厚み方向に貫通して設けた通気孔により構成したことにある。
【００２１】
このように構成することにより、例えば基板の裏面が素子取付体の素子収容凹部の底面に当接した状態でも、基板の凹窪部内を素子取付体の通気孔によって外部に連通させることができ、凹窪部内の圧力変化を外部に逃がすことができる。
【００２２】
また、素子取付体には接着剤収容凹部を設けたから、流量検出素子の取付時には、接着剤収容凹部内に予め収容した接着剤によって基板と素子取付体とを接着することができる。さらに、接着材収容凹部内には接着剤逃し溝を設ける構成としたから、接着剤逃し溝によって接着剤のうち余剰となった分を溝内に逃がすことができ、接着剤収容凹部から接着剤の一部が外部に食み出すのを防止することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態による流量計測装置を、添付図面に従って詳細に説明する。
【００２４】
ここで、図１ないし図６は本発明による第１の実施の形態を示し、図中、１はエンジンの吸気管（図示せず）等の途中に接続される管体で、該管体１の内部は、被測流体となるエンジンの吸入空気が矢示Ａ方向に流通する流路としての吸気通路２となっている。
【００２５】
３は流量計測装置の本体部分を構成するセンサボディで、該センサボディ３は、管体１に取付けられた取付部４と、該取付部４から管体１内に突出した回路収容部５とから構成されている。
【００２６】
６はセンサボディ３を介して管体１内に設けられた取付板で、該取付板６は、例えば金属板、樹脂板等によって形成されている。そして、取付板６は、基端側が回路収容部５内に固定された回路基板取付部６Ａとなり、該回路基板取付部６Ａには、後述する流量検出素子８用の電子回路を搭載した回路基板７が固着されている。
【００２７】
また、取付板６の先端側は、センサボディ３から吸気通路２内に突出した素子取付体としての素子取付部６Ｂとなり、該素子取付部６Ｂは吸入空気の流れとほぼ平行に配置されている。また、素子取付部６Ｂには、図２、図３に示す如く素子収容凹部６Ｃが四角形状の有底穴として設けられている。そして、素子収容凹部６Ｃは、後述の基板９よりも大きな面積をもって取付板６の表面側に開口し、その底面は取付板６の表面の一部を構成すると共に、素子収容凹部６Ｃの底面側には後述の枠状突起１６，１６が設けられている。
【００２８】
８は例えばエッチング処理等の微細加工技術によって形成された流量検出素子で、該流量検出素子８は、図３、図５に示す如く、シリコン材料等により形成された略四角形状の基板９と、該基板９の表面側に設けられた薄肉部１０と、例えば白金等の金属薄膜にエッチング処理等を施すことにより該薄肉部１０上に設けられたヒータ１１と、該ヒータ１１とほぼ同様に白金膜等を用いて薄肉部１０上に設けられ、吸入空気の流れ方向に対しヒータ１１を挟んで両側に配置された検出部としての一対の感温抵抗体１２，１２とを含んで構成されている。
【００２９】
ここで、基板９の表面側には、例えば酸化シリコン、窒化シリコン等によって絶縁膜９Ａが形成され、基板９の裏面側にも、該絶縁膜９Ａとほぼ同様の絶縁膜９Ｂが形成されている。また、基板９には、絶縁膜９Ｂをマスクとして裏面側からエッチング処理等を施すことにより、略四角形状をなして裏面側に開口した有底の凹窪部１３が形成されている。また、薄肉部１０は、絶縁膜９Ａのうち凹窪部１３に対応する部位によって形成され、周囲の厚肉部位からヒータ１１と各感温抵抗体１２とを熱的に絶縁している。
【００３０】
そして、基板９は、図２、図３に示す如く、取付板６の素子収容凹部６Ｃ内に収容され、その裏面側が後述の接着剤２０，２０によって素子収容凹部６Ｃの底面側に固着されている。また、基板９の端面と素子収容凹部６Ｃの周壁との間には、基板９の外側を取囲んで四角形状に延びた外側隙間１４が形成されている。
【００３１】
また、基板９は取付板６に支持された状態で管体１内に配置され、その表面側は図１中の吸気通路２内に露出している。この場合、基板９の表面側は、各枠状突起１６により吸入空気の流れ（矢示Ａ方向）に対してほぼ平行に保持され、これにより感温抵抗体１２の検出感度を安定させる構成となっている。
【００３２】
一方、ヒータ１１は、図２に示す如く二又状をなす金属導体部として形成され、その両端側は配線部１１Ａ，１１Ａとなっている。また、各感温抵抗体１２も、ヒータ１１とほぼ同様に、薄肉部１０上で二又状をなすように折曲がった形状を有し、その両端側は薄肉部１０の外側に延びた配線部１２Ａ，１２Ａとなっている。また、これらの配線部１１Ａ，１２Ａは、ボンディングワイヤ１５，１５，…によって回路基板７上の電子回路にそれぞれ接続されている。
【００３３】
そして、流量検出素子８の作動時には、ヒータ１１が通電されると、その両側の感温抵抗体１２，１２のうち吸入空気の流れ方向に対して下流側に位置する感温抵抗体１２がヒータ１１により強く加熱されるようになり、この状態で感温抵抗体１２は基板９に沿って流れる吸入空気の流れと接触して冷却される。この結果、各感温抵抗体１２には、吸入空気の流れ方向と流量とに応じた温度差が生じ、流量検出素子８は感温抵抗体１２，１２間の温度差（抵抗値の差）を吸入空気の流量として検出する構成となっている。
【００３４】
１６，１６は基板９の凹窪部１３と異なる位置として取付板６の素子収容凹部６Ｃ内に基板９の凹窪部１３を挟んで設けられた隙間形成体としての例えば２個の枠状突起で、該各枠状突起１６は、図２ないし図４に示す如く、四角形の枠状体として取付板６と一体に形成され、素子収容凹部６Ｃの底面から一定の高さをもって突出すると共に、吸入空気の流れ方向とほぼ直交する図２中の前，後方向に対して凹窪部１３の両側に配置されている。
【００３５】
そして、各枠状突起１６は、図３に示す如く、その突出側端面が基板９の裏面（絶縁膜９Ｂ）側に当接し、これにより基板９を取付板６の表面に対してほぼ平行に位置決めすると共に、枠状突起１６の突出寸法に応じて取付板６と基板９との間に後述の通気用隙間１９，１９を確保している。
【００３６】
１７，１７は各枠状突起１６に取囲まれてその内側に形成された接着剤収容凹部で、該各接着剤収容凹部１７は、枠状突起１６の突出側端面に開口した四角形状の有底穴として形成され、その内部には基板９との間に接着剤２０が収容されている。また、取付板６の素子収容凹部６Ｃ内には、接着剤収容凹部１７内に開口し接着剤２０を取囲んで四角形状に延びた接着剤逃し溝１８が設けられている。そして、接着剤逃し溝１８は接着剤２０のうち余剰となった分を溝内に逃がし、接着剤収容凹部１７から接着剤２０の一部が外部に食み出すのを防止するものである。
【００３７】
１９，１９は各枠状突起１６間に位置して取付板６の素子収容凹部６Ｃ内に設けられた通気路としての通気用隙間で、該各通気用隙間１９は、図２に示す如く、枠状突起１６によって基板９の裏面と素子収容凹部６Ｃの底面との間に確保される隙間であり、基板９を取囲んだ外側隙間１４を介して凹窪部１３内を取付板６の外部に連通している。
【００３８】
２０，２０は取付板６と基板９とを接着する接着剤で、該各接着剤２０は、図３に示す如く接着剤収容凹部１７内に収容され、位置して接着剤逃し溝１８に取囲まれる位置に塗布されている。
【００３９】
本実施の形態による流量計測装置は、上述の如き構成を有するもので、次にその作動について説明する。
【００４０】
まず、エンジンの運転時には、図１に示す如く、その吸入空気が吸気通路２を矢示Ａ方向に流れると、流量検出素子８は吸入空気の流量を検出し、回路基板７の電子回路等を介して検出信号を外部に出力する。
【００４１】
この場合、流量検出素子８の作動時には、例えばヒータ１１から伝わる熱等によって凹窪部１３内の空気が熱膨張することがある。しかし、凹窪部１３内の空間は通気用隙間１９と外側隙間１４とを介して外部に連通しているから、その内部は吸気通路２等とほぼ等しい圧力に保持される。
【００４２】
また、流量計測装置の組立時には、図６に示すように、取付板６の各接着剤収容凹部１７内に接着剤２０を塗布した後に、流量検出素子８を取付板６の素子収容凹部６Ｃ内に収容する。そして、基板９の裏面（絶縁膜９Ｂ）側を各枠状突起１６に当接させ、基板９を各接着剤２０によって素子収容凹部６Ｃの底面側に接着する。
【００４３】
かくして、本実施の形態では、取付板６の素子収容凹部６Ｃ内に通気用隙間１９を形成する構成としたので、該通気用隙間１９は、外側隙間１４と協働して基板９の凹窪部１３内を外部に連通させることができる。この結果、例えば凹窪部１３内の空気がヒータ１１から伝わる熱等によって熱膨張する場合でも、その圧力を基板９の裏面側から外部に逃がすことができる。
【００４４】
従って、本実施の形態によれば、凹窪部１３内の圧力変化によって基板９の薄肉部１０に外力が加わるのを防止でき、薄肉部１０、ヒータ１１、感温抵抗体１２等を保護できると共に、耐久性、信頼性を向上させることができる。
【００４５】
また、取付板６の素子収容凹部６Ｃ内に設けた２個の枠状突起１６，１６を基板９の裏面側に当接させたので、該各枠状突起１６は、素子収容凹部６Ｃの底面側と基板９との間に通気用隙間１９を容易に形成できると共に、基板９を取付板６の表面側に対してほぼ平行に位置決めでき、流量検出素子８を取付板６に対して平行状態で精度よく固定することができる。これにより、吸入空気は、取付板６の表面から基板９に沿って整流状態で流通しつつ、各感温抵抗体１２と接触でき、これによって感温抵抗体１２による空気流量の検出感度を安定させることができる。
【００４６】
この場合、例えば２個の枠状突起１６，１６を基板９の凹窪部１３を挟んで前，後方向の両側に設けたので、該各枠状突起１６によって基板９を２箇所で面接触させ安定した状態に支持でき、取付板６に対する基板９の傾き等を防ぐことができる。
【００４７】
また、各枠状突起１６には、接着剤収容凹部１７と接着剤逃し溝１８とを設けたので、取付板６と基板９とを接着する接着剤２０を接着剤収容凹部１７内に安定して収容できると共に、該接着剤収容凹部１７内で余剰となった接着剤を接着剤逃し溝１８内に逃がすことができ、接着剤２０の一部が固化する前に枠状突起１６の外側に食み出して基板９の凹窪部１３等に浸入するのを確実に防止することができる。
【００４８】
次に、図７および図８は本発明による第２の実施の形態を示し、本実施の形態の特徴は、素子取付体に通気孔を形成する構成としたことにある。なお、本実施の形態では、前記第１の実施の形態と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
【００４９】
２１はセンサボディ３に取付けられた取付板で、該取付板２１には、第１の実施の形態とほぼ同様に、素子取付部２１Ａ側に位置して四角形状の素子収容凹部２１Ｂが設けられている。しかし、素子収容凹部２１Ｂの底面側には後述の通気孔２６が設けられている。
【００５０】
２２は取付板２１の素子収容凹部２１Ｂ内に開口して設けられた接着剤収容凹部で、該接着剤収容凹部２２は、基板９の凹窪部１３と異なる位置として基板９の凹窪部１３に対して前，後方向の一側に配置されている。また、素子収容凹部２１Ｂの底面側には、基板９の凹窪部１３と異なる位置として凹窪部１３に対して前，後方向の他側に位置して左，右方向に離間した接着剤収容凹部２３，２３が設けられている。
【００５１】
そして、接着剤収容凹部２２，２３内には、第１の実施の形態とほぼ同様に、接着剤逃し溝２４，２４，…が設けられると共に、接着剤２５，２５，…がそれぞれ収容され、基板９は、該各接着剤２５によって取付板２１の素子収容凹部２１Ｂ内に固定されている。これにより、接着剤収容凹部２２，２３は、接着剤２５を収容した状態で基板９によって塞がれる。
【００５２】
２６は取付板２１に厚み方向に貫通して設けられた通気路としての通気孔で、該通気孔２６は、基板９の凹窪部１３に面して取付板２１の素子収容凹部２１Ｂ内に開口し、凹窪部１３内を外部に連通している。
【００５３】
かくして、このように構成される本実施の形態でも、前記第１の実施の形態とほぼ同様の作用効果を得ることができる。そして、特に本実施の形態では、取付板２１の通気孔２６によって基板９の凹窪部１３内を外部に連通する構成としたので、通気孔２６は、基板９の裏面側が取付板２１の素子収容凹部２１Ｂ内に密着された状態であっても、凹窪部１３内の通気性を保持することができる。
【００５４】
また、通気孔２６を細管等によって取付板２１の裏面側から吸気管の外部に連通させる構成とすることも可能となり、この場合には、エンジンの燃焼ガスが吸気管内に吹返すときでも、凹窪部１３内の汚損を防止することができる。
【００５５】
次に、図９および図１０は本発明による第３の実施の形態を示し、本実施の形態の特徴は、流量検出素子の裏面側に通気路を形成する隙間形成体を設ける構成としたことにある。なお、本実施の形態では、前記第１の実施の形態と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。
【００５６】
３１はセンサボディ３に取付けられた取付板で、該取付板３１には、第１の実施の形態とほぼ同様に、素子取付部３１Ａ側に位置して四角形状の素子収容凹部３１Ｂが設けられている。そして、素子収容凹部３１Ｂの底面側には、後述する流量検出素子３４の凹窪部３８を挟んだ両側に位置して接着剤逃し溝３２，３２が形成され、素子収容凹部３１Ｂの底面側で各接着剤逃し溝３２に取囲まれた内側部位には、流量検出素子３４の基板３５を素子収容凹部３１Ｂ内に接着した接着剤３３，３３がそれぞれ設けられている。
【００５７】
３４は本実施の形態による流量検出素子で、該流量検出素子３４は、第１の実施の形態とほぼ同様に、基板３５、薄肉部３６、ヒータ３７、凹窪部３８、感温抵抗体（図示せず）等を有し、基板３５の両面側には絶縁膜３５Ａ，３５Ｂが設けられている。しかし、基板３５の裏面側には、例えば凹窪部３８を形成した後に絶縁膜３５Ｂにエッチング処理を施すことにより、後述の枠状突起３９，３９が設けられている。
【００５８】
３９，３９は基板３５の裏面側に突設された隙間形成体としての２個の枠状突起で、該各枠状突起３９は、絶縁膜３５Ｂの一部により四角形の枠状体として形成され、基板３５の凹窪部３８と異なる位置として基板３５の凹窪部３８を挟んで前，後方向の両側に配置されると共に、その突出側端面は取付板３１の素子収容凹部３１Ｂ内に当接している。また、各枠状突起３９の内側は、素子収容凹部３１Ｂの底面側との間に接着剤３３を収容する接着剤収容凹部４０となっている。
【００５９】
４１は各枠状突起３９により基板３５の裏面側に確保された通気路としての通気用隙間で、該通気用隙間４１は、第１の実施の形態とほぼ同様に、取付板３１の素子収容凹部３１Ｂと基板３５との間に配置され、基板３５を取囲んだ外側隙間１４を介して凹窪部３８内を外部に連通している。
【００６０】
かくして、このように構成される本実施の形態でも、前記第１の実施の形態とほぼ同様の作用効果を得ることができる。そして、特に本実施の形態では、基板３５の裏面側に絶縁膜３５Ｂを用いて２個の枠状突起３９を設ける構成としたので、流量検出素子３４の取付時には、その基板３５と枠状突起３９とを予め一体化しておくことができ、基板３５の凹窪部３８等に対する枠状突起３９の位置ずれ等を防止することができる。
【００６１】
なお、前記第１および第３の実施の形態では、２個の枠状突起１６，３９を設ける構成としたが、本発明はこれに限らず、素子取付体または基板に対して３個以上の隙間形成体を設ける構成としてもよい。
【００６２】
また、前記各実施の形態では、流量検出素子８，３４がヒータ１１，３７の両側に２個の感温抵抗体１２等を有する構成としたが、本発明はこれに限らず、感温抵抗体がヒータをもたずに、自ら発熱しつつ吸入空気の流れと接触して冷却される構成とした流量検出素子を用いてもよい。
【００６３】
【発明の効果】
以上詳述した通り、請求項１の発明によれば、素子取付体と基板の裏面との間には基板の凹窪部を外部に連通させる通気路を形成する構成としたので、例えば凹窪部内の空気が熱膨張する場合でも、凹窪部内の圧力を通気路によって基板の裏面側から外部に逃がすことができる。従って、凹窪部内の圧力変化によって基板の薄肉部に外力が加わるのを防止でき、薄肉部、検出部等を保護できると共に、耐久性、信頼性を向上させることができる。
【００６４】
また、素子取付体と基板の裏面との間には通気路となる隙間を確保する隙間形成体を設ける構成したので、該隙間形成体によって通気用の隙間を容易に形成することができる。また、隙間形成体は、基板を素子取付体に対して精度よく位置決めすることができる。これにより、基板の表面に沿って流れる被測流体の流れを検出部に対し整流状態で接触させることができ、検出部による流量の検出感度を安定させることができる。
【００６５】
さらに、隙間形成体は接着剤収容凹部を形成する枠状突起によって構成したので、流量検出素子の接着時には、このときの接着剤を枠状突起の接着剤収容凹部内に安定して収容でき、この接着剤が固化する前に食み出して基板の凹窪部等に浸入するのを確実に防止することができる。
【００６６】
また、請求項２の発明によれば、枠状突起は基板の凹窪部を挟んで両側に設ける構成としたので、該各枠状突起間に通気用の隙間を確実に形成でき、各枠状突起によって基板を複数箇所で安定的に支持できると共に、素子取付体に対する基板の傾き等を防止することができる。
【００６７】
また、請求項３の発明によれば、素子取付体には接着材収容凹部内に位置して接着剤逃し溝を設ける構成としたので、接着剤逃し溝によって接着剤のうち余剰となった分を溝内に逃がすことができ、接着剤収容凹部から接着剤の一部が外部に食み出すのを防止することができる。
【００６８】
また、請求項４の発明によれば、素子取付体には、基板の凹窪部内を外部に連通させる通気孔を貫通して設ける構成としたので、例えば基板の裏面を素子取付体に密着した状態で固定する場合でも、素子取付体の通気孔によって凹窪部内の通気性を安定的に確保することができる。
【００６９】
また、素子取付体には接着剤収容凹部を設けたから、流量検出素子の取付時には、接着剤収容凹部内に予め収容した接着剤によって基板と素子取付体とを接着することができる。さらに、接着材収容凹部内には接着剤逃し溝を設ける構成としたから、接着剤逃し溝によって接着剤のうち余剰となった分を溝内に逃がすことができ、接着剤収容凹部から接着剤の一部が外部に食み出すのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施の形態による流量計測装置を管体に取付けた状態で示す縦断面図である。
【図２】  図１中のａ部を拡大して示す流量検出素子等の正面図である。
【図３】  図２中の矢示III−III方向からみた流量検出素子と素子取付部の断面図である。
【図４】  図３中の矢示IV−IV方向からみた素子取付部等の断面図である。
【図５】  流量検出素子を単体で示す正面図である。
【図６】  流量検出素子を素子取付部に接着する状態を示す断面図である。
【図７】  本発明の第２の実施の形態による流量計測装置を示す正面図である。
【図８】  図７中の矢示VIII−VIII方向からみた流量検出素子と素子取付部の断面図である。
【図９】  本発明の第３の実施の形態による流量計測装置を示す断面図である。
【図１０】  流量検出素子を素子取付部に接着する状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１  管体
２  吸気通路（流路）
３  センサボディ
４  取付部
５  回路収容部
６，２１，３１  取付板
６Ａ  回路基板取付部
６Ｂ，２１Ａ，３１Ａ  素子取付部（素子取付体）
６Ｃ，２１Ｂ，３１Ｂ  素子収容凹部
７  回路基板
８，３４  流量検出素子
９，３５  基板
９Ａ，９Ｂ，３５Ａ，３５Ｂ  絶縁膜
１０，３６  薄肉部
１１，３７  ヒータ
１２  感温抵抗体（検出部）
１３，３８  凹窪部
１４  外側隙間
１５  ボンディングワイヤ
１６，３９  枠状突起（隙間形成体）
１７，２２，２３，４０  接着剤収容凹部
１８，２４，３２  接着剤逃し溝
１９，４１  通気用隙間（通気路）
２０，２５，３３  接着剤
２６  通気孔（通気路）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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