(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
油圧シリンダと、該油圧シリンダの外周部に設けられたオイルタンクと、該油圧シリンダのヘッドブロック内に内蔵された油圧ポンプと、該ヘッドブロックに直結され該油圧ポンプを駆動するモータと、該ヘッドブロックの外部に固定された制御バルブを備え、該ヘッドブロックは油圧ポンプのケーシング部を兼ねており、オイルタンクは密閉されており、オイルタンク内の気圧は、オイルタンク内のオイル量が最も少ない状態のときに大気圧と略同等もしくは大気圧以上であり、オイルタンク内のオイル量が多くなるほど圧力が高くなることを特徴とする油圧シリンダユニット。
【請求項２】
油圧シリンダのピストンロッド側油室と制御バルブとの間のオイル流路が、オイルタンク内を挿通するように設けられていることを特徴とする請求項１記載の油圧シリンダユニット。
【請求項３】
差動回路の油圧回路を有した単動の油圧シリンダユニットであって、油圧シリンダの内部空間は移動可能なシール部によりヘッド側油室とピストンロッド側油室とに仕切られており、油圧シリンダの一方の油室から排出されたオイルはオイルタンクを通ることなく他方の油室に送られ、前記他方の油室を満たすのに過剰な分のオイルはオイルタンクに戻され、不足分のオイルはオイルタンクから供給されることを特徴とする請求項１又は２記載の油圧シリンダユニット。
【請求項４】
油圧回路はシリンダ位置検出手段からの電気信号により切換可能なバルブを有した減速機能付き油圧回路であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の油圧シリンダユニット。
【請求項５】
オイルタンクは分岐した空気貯め部を有しており、該空気貯め部は分岐箇所からモータ寄りの方向に延出しており、該空気貯め部はオイルタンク内の空気の全量を貯留可能であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の油圧シリンダユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、油圧により作動するシリンダユニットに関するものであり、特にコンパクトで、油漏れの少ないものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
油圧シリンダ装置は、油圧により進退するシリンダを備えた油圧シリンダと、油圧シリンダにオイルを送り込む油圧ポンプと、油圧ポンプを駆動するモータと、オイルを蓄えるオイルタンク等の部材からなる。
【０００３】
そして、油圧ポンプと油圧シリンダとオイルタンク間はオイルの流路となる配管が設けられている。
【０００４】
しかしながら、各部材が別個に配されていたため、大きな設置スペースが必要となる。又、各部材間の配管が外部に露出し、見映えが悪く、接続部等からのオイル漏れの心配もあった。オイル漏れを生じると装置周囲が汚れる原因となる。このような理由から、最近は油圧装置が敬遠される傾向にある。
【０００５】
そこで、近年では装置のコンパクト化と配管数を減らすために、各部材を一体に配した油圧シリンダユニットが実用化されている。
【０００６】
図３は従来の一体型油圧シリンダユニットの概要を示した図である。同図において（５１）は油圧シリンダであり、油圧によりピストンロッド（５５）が進退する。油圧の制御はモータ（５２）により油圧ポンプ（５３）を作動させ、オイルタンク（５４）内のオイルを配管（５６），（５７）を通して油圧シリンダ（５１）に送ることにより行う。
【０００７】
しかしながら、この装置の場合でも、モータ（５２）と、油圧ポンプ（５３）と、オイルタンク（５４）を単に並べて一体に固定しているにすぎず、しかもこれらは油圧シリンダ（５１）の外部に設置され、油圧シリンダ（５１）との間は配管により接続されている。
【０００８】
したがって、コンパクトという点では十分でなく、オイル漏れ防止の点でも十分ではない。
【０００９】
又、ピストンロッドの動きによりオイルタンク内のオイル量は変化する。そのためオイルタンクへのオイルの流入やオイルタンクからのオイルの流出をスムーズに行うためにオイルタンク内の空気量が変化できるような構造となっている。
【００１０】
一般的にオイルタンクには給油口の蓋には小さな通気口が設けられており、オイルタンク内にオイルが流入する際にはオイルタンク内の空気は通気口を通ってオイルタンク外に押し出される。そして、オイルがオイルタンクから流出する際には逆に通気口を通って外気がオイルタンク内に導入される。
【００１１】
しかしながら、外気には水分や埃等が含まれているため、長期間使用しているとタンク内のオイルに水分や埃が混入し、故障の原因となる。
【００１２】
又、油圧シリンダから排出されたオイルは、オイルタンクに戻されるが、ピストンロッドの動きが早いと、オイルが高速でオイルタンクに流入することになる。すると、高速で流入したオイルがオイルタンク内のオイルを強く撹拌し、オイル中にタンク内の空気を巻き込みやすい。空気を巻き込むと機器を傷めるだけでなく、混入された空気がクッションのように働き、ピストンロッドの動きが不正確となる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明は、各部材の完全な一体化を図り、小型で、配管によるオイル漏れがない油圧シリンダユニットを提供し、更にはオイルタンク内への水分や埃の混入がなく、オイル中への空気巻き込みも少ない油圧シリンダユニットを提供することを課題とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の油圧シリンダユニットは、油圧シリンダ(3)と、該油圧シリンダ(3)の外周部に設けられたオイルタンク(8)と、該油圧シリンダ(3)のヘッドブロック(7)内に内蔵された油圧ポンプ(2)と、該ヘッドブロック(7)に直結され該油圧ポンプ(2)を駆動するモータ(1)と、該ヘッドブロック(7)の外部に固定された制御バルブ(20)を備え、該ヘッドブロック(7)は油圧ポンプ(2)のケーシング部を兼ねており、オイルタンク(8)は密閉されており、オイルタンク(8)内の気圧は、オイルタンク(8)内のオイル量が最も少ない状態のときに大気圧と略同等もしくは大気圧以上であり、オイルタンク(8)内のオイル量が多くなるほど圧力が高くなることを特徴とする。
【００１５】
これによれば、モータ(1)と油圧ポンプ(2)と油圧シリンダ(3)が一直線上に配される。そして、油圧ポンプ(2)が油圧シリンダ(3)のヘッドブロック(7)内に収納され、オイルタンク(8)が油圧シリンダ(3)の外周部に配される。そのため各部材の一体化が進み、装置全体をコンパクトにすることができ、配管も不要となる。
また、オイルタンク(8)は密閉されているので、水分や埃を含んだ外気と接触することがなく、オイルを良好な状態に維持することができる。そして、オイルタンク(8)内のオイル量が多い場合にはオイルタンク(8)内は加圧された状態となるため、油圧ポンプ(2)へ送り込まれるオイルには圧力がかかることとなる。そのため、油圧ポンプ(2)のオイル吸入が容易に行われる。
【００１６】
そして、油圧シリンダ（３）のヘッドブロック（７）を油圧ポンプ（２）のケーシング部として利用できるので、ヘッドブロック（７）をポンプ可動部にオイルを効率よく吸入、吐出させる流路として兼用することができる。
【００１７】
請求項２記載の油圧シリンダユニットは、請求項１の油圧シリンダユニットであって、油圧シリンダ（３）のピストンロッド側油室（５ａ）と制御バルブ（２０）との間のオイル流路が、オイルタンク（８）内を挿通するように設けられていることを特徴とする。
【００１８】
これによればピストンロッド側油室用流路がオイルタンク（８）内に設けられているので、ピストンロッド側油室用流路も外部に露出せず、更にシンプルな外観となる。
【００２１】
請求項３記載の油圧シリンダユニットは、請求項１又は２記載の油圧シリンダユニットであって、差動回路の油圧回路を有した単動の油圧シリンダユニットであり、油圧シリンダ(3)の内部空間(5)は移動可能なシール部(6)によりヘッド側油室(5b)とピストンロッド側油室(5a)とに仕切られており、油圧シリンダ(3)の一方の油室から排出されたオイルはオイルタンク(8)を通ることなく他方の油室に送られ、前記他方の油室を満たすのに過剰な分のオイルはオイルタンク(8)に戻され、不足分のオイルはオイルタンク(8)から供給されることを特徴とする。
【００２２】
これによれば、油圧シリンダ（３）から排出されたオイルはオイルタンク（８）に直接戻されない。油圧シリンダ（３）から排出されたオイルの多くは、オイルタンク（８）を通ることなく再び油圧シリンダ（３）に送られる。
【００２３】
ピストンロッド（４）の移動に伴う油圧シリンダ（３）の容積変化によりオイルが不足する場合は不足分がオイルタンク（８）から供給され、オイルが余剰となる場合は余剰分がオイルタンク（８）に戻される。
【００２４】
したがって、オイルタンク（８）内のオイルの流動は少なくなり、オイルタンク（８）へのオイル流入速度は遅くなる。よって、オイルタンク（８）内でのオイルの撹拌が少なくなり、オイル中への空気の巻き込みを防止することができる。
【００２５】
請求項４記載の油圧シリンダユニットは、請求項１ないし３のいずれかに記載の油圧シリンダユニットであって、油圧回路はシリンダ位置検出手段からの電気信号により切換可能なバルブを有した減速機能付き油圧回路であることを特徴とする。
【００２７】
請求項５記載の油圧シリンダユニットは、請求項１ないし４のいずれかに記載の油圧シリンダユニットにおいて、オイルタンク(18)は分岐した空気貯め部(19)を有しており、該空気貯め部(19)は分岐箇所からモータ(1)寄りの方向に延出しており、該空気貯め部(19)はオイルタンク(18)内の空気の全量を貯留可能であることを特徴とする。
【００２８】
これによれば、油圧シリンダユニットをモータ（１）が上又は斜め上になるよう立てて（又は斜めにして）使用しても、オイルタンク内の空気は分岐した空気貯め部（１９）内に貯めておくことができるので、オイルタンク（１８）内の空気がオイルと共に油圧ポンプ（２）に入ってしまうことがない。したがって、油圧シリンダユニットの取り付け姿勢の制限が少なくなる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を好適な実施例を用いて説明する。
【００３０】
［実施例１］
図１は本実施例の一部断面正面図であり、図２は本実施例の右側面図である。
【００３１】
モータ（１）は油圧ポンプ（２）と接続され、油圧ポンプ（２）を駆動させる。油圧ポンプ（２）の形式は特に限定されるものではなく、本実施例ではベーンポンプを用いたが、他の形式、例えばピストンポンプ等を用いても良い。
【００３２】
又、油圧ポンプ（２）は油圧シリンダ（３）のヘッドブロック（７）内に内蔵されている。この点において従来の油圧ポンプとは構造が異なる。
【００３３】
すなわち、従来の油圧ポンプはポンプ作用をする可動部と、この可動部を覆うケース部からなっていた。そして、ケース部は可動部を保護すると共にオイルを効率よく吸入、吐出させる流路として働いていた。
【００３４】
本発明では油圧シリンダ（３）のヘッドブロック（７）自体をケース部として兼用し、ヘッドブロック（７）内にはポンプ作用をするベーン，ピストン等の可動部のみを収納している。したがって、油圧ポンプ（２）のスペースを効率よく縮減することが可能となった。
【００３５】
（１２）はヘッドブロック（７）内に形成された油圧ポンプ（２）のオイル吸入側の流路であり、油圧ポンプ（２）はこの部分からオイルを吸入する。そして、ヘッドブロック（７）内の吐出部（１３）からオイルを吐出する。
【００３６】
油圧シリンダ（３）内には、その内部空間（５）を仕切るように移動可能なシール部（６）が配されている。これにより油圧シリンダ（３）内はピストンロッド側油室（５ａ）とヘッド側油室（５ｂ）とに仕切られる。シール部（６）は外周部にシール部材（６ａ）を有しており、ピストンロッド側油室（５ａ）とヘッド側油室（５ｂ）との間は液密に仕切られ、各油室の容積はシール部（６）の位置により変化する。
【００３７】
シール部（６）の略中央部にはピストンロッド（４）が取り付けられており、シール部（６）と共に移動する。
【００３８】
ピストンロッド（４）の先端部（４ａ）は油圧シリンダ（３）のピストンロッド側油室（５ａ）から突出しており、シール部（６）の位置より油圧シリンダ（３）からの突出量が変化する。
【００３９】
油圧シリンダ（３）の外周部にはオイルタンク（８）が設けられている。本実施例では油圧シリンダ（３）の外周の全周にわたり環状のオイルタンク（８）を設けた。すなわち、オイルタンク（８）の中心部に油圧シリンダ（３）が配されたような形状となる。
【００４０】
ピストンロッド側油室（５ａ）と制御バルブ群（２０）との間には両者間のオイル流路となるピストン側油室用流路（９）が設けられている。ピストン側油室用流路（９）はオイルタンク（８）の外側に設けられている。
【００４１】
（２０）はソレノイドバルブ（２１），（２２）、フローコントロールバルブ（２３），（２４），（２５）、パイロットチェックバルブ（２６），（２７）等からなり、油圧制御のロジックを定める制御バルブ群である。
【００４２】
油圧シリンダユニットの用途にあわせて制御バルブ群（２０）の各種バルブを適宜組み合わせて油圧回路を形成することにより、好適な制御が可能となる。
【００４３】
制御バルブ群（２０）における各バルブの配置はオイルの流れが確保されるのであれば特に限定されるものではなく、本実施例のように上方に積み上げても良いし、水平方向に並べて取り付けても良い。
【００４４】
尚、図中（１５）はフローコントロールバルブで排除されたオイルを油圧ポンプの吸引側に戻すための流路である。
【００４５】
オイルタンク（８）内への給油は給油口（１４）から行うことができる。本実施例では給油口（１４）の蓋（１４ａ）は気密に装着されており、オイルタンク（８）内を密閉している。
【００４６】
本実施例では、蓋（１４ａ）は、オイルシリンダー（３）のピストンロッド（４）が最も突出した状態において閉めている。すなわち、ピストンロッド（４）が最も突出しオイルタンク（８）内のオイルの量が最も少なくなっている状態でオイルタンクを密閉した。このとき、オイルタンク（８）内の気圧は大気圧と等しくなる。
【００４７】
但し、空気を圧入した状態で蓋（１４ａ）を閉める等により、オイルタンク（８）内のオイル量が最も少なくなっている状態であってもオイルタンク（８）内の気圧が大気圧より大きくなるようにしても良い。
【００４８】
ピストンロッド（４）が後退するとオイルがオイルタンク（８）内に流入してくるが、オイルタンク（８）は密閉されているので、オイルタンク（８）内の空気は圧縮され、気圧が高くなる。ピストンロッド（４）の後退量が大きくなるほどオイルタンク（８）内のオイル量が増え、オイルタンク（８）内の気圧は高くなる。
【００４９】
したがって、オイルタンク（８）内のオイルはオイルタンク（８）内の空気により押圧され、オイルタンク（８）外に押し出されるような力を受ける。そのため、油圧ポンプ（２）へのオイル供給を安定して行うことができる。
【００５０】
本発明の油圧シリンダユニットは、このように各部材の一体化が進んでおり、従来に比べてコンパクトな装置となる。又、オイルの流路はヘッドブロック（７）内の流路やマニホールドにより確保できるので、別途配管の必要がない。そのため、外観上シンプルで美しいだけでなく、オイル漏れのおそれが減少する。
【００５１】
図４の油圧回路は本実施例の油圧回路と、ピストンロッド（４）の動きを示した図である。ピストンロッド（４）には常に引っ張り力が働いており、ピストンロッド（４）を後退させる時のみモータ（１）を稼働させる差動回路の油圧回路を有する単動シリンダとした。
【００５２】
図７はピストンロッドが後退する際のオイルの流れを説明する図である。
【００５３】
モータ（１）を作動させると、ヘッドブロック（７）内の油圧ポンプ（２）が作動する。油圧ポンプ（２）が作動すると、油圧ポンプ（２）により加圧されたオイルは、油圧ポンプ（２）の吐出部（１３）より吐出され、油圧シリンダ（３）のヘッドブロック（７）に設けられた吐出オイル流路（１６）を通ってヘッドブロック（７）の外部に固定された制御バルブ群（２０）に送られる。
【００５４】
そして、オイルは制御バルブ群（２０）に接続されているピストンロッド側油室用流路（９）を通って油圧シリンダ（３）のピストンロッド側油室（５ａ）に注入される。
【００５５】
ピストンロッド側油室（５ａ）にオイルが注入されると、オイルに押圧されてシール部（６）がヘッド側（図１では左側）に移動する。それに伴って、ピストンロッド（４）も後退して行く。
【００５６】
油圧シリンダ（４）のヘッド側油室（５ｂ）に満たされていたオイルは、シール部（６）により押圧されてヘッド側油室用流路（１７）を通って油圧ポンプの吸入側（１２）に送られる。
【００５７】
ヘッド側油室用流路（１７）から出たオイルは分岐して流れ、その多くは油圧ポンプ（２）、制御バルブ群（２０）、ピストン側油室用流路（９）を通って油圧シリンダ（３）のピストンロッド側油室（５ａ）に流入する。
【００５８】
残りの余剰となったオイルは、タンク−ポンプ間流路（１１）を通ってオイルタンク（８）内に戻される。
【００５９】
したがって、オイルタンク（８）内に流入するオイルの量は、ピストンロッド（４）移動に伴う油圧シリンダ（４）全体の容積減少分だけとなる。したがって、従来のように油圧シリンダ（３）内から排出されたオイルの全てを直接オイルタンク（８）に戻す場合に比べて、オイルタンク（８）へ流入するオイルの量は大幅に少なくなる。
【００６０】
これによりオイルタンク（８）へのオイル流入速度は遅く、オイルタンク（８）内のオイルは撹拌されにくくなるので、オイルタンク（８）内の空気をオイル内に巻き込んでしまう危険性は少なくなる。
【００６１】
図８はピストンロッド（４）が突出（前進）する際のオイルの流れを説明する図である。ピストンロッド（４）を突出させる場合にはスイッチによりバルブを切り替え、オイルの流れを変化させる。
【００６２】
本実施例は単動シリンダであり、ピストンロッド（４）は常に突出する方向に外部から力を受けている。したがって、バルブ切換によりピストンロッド位置を保持していたオイルが流動するために、油圧ポンプ（２）を稼働させなくてもピストンロッド（４）は突出していく。
【００６３】
ピストンロッド（４）が突出していくと、ピストンロッド側油室（５ａ）内のオイルはシール部（６）に押圧され、ピストン側油室用流路（９）を通って制御バルブ群（２０）に流入する。そして、ヘッドブロック（７）に設けられたオイル注入路（１０）通ってヘッド側油室（５ｂ）に流入する。
【００６４】
ピストンロッド（４）の突出により油圧シリンダ（３）内の全容積は大きくなるため、ピストンロッド側油室（５ａ）から排出されたオイルをヘッド側油室（５ｂ）に移動させるだけではオイル量が不足する。
【００６５】
この不足分はオイルタンク（８）からタンク−ポンプ間流路（１１）を通って油圧ポンプ（２）の吸入側（１２）に供給され、ヘッド側油室用流路（１７）を通ってヘッド側油室（５ｂ）に流入する。
【００６６】
従来のように、ピストンロッド側油室（５ａ）から排出されたオイルを全て直接オイルタンクに戻し、オイルタンクからヘッド側油室（５ｂ）に供給しているのではないので、オイルタンク（８）内のオイルの流入、流出は最小限で良い。
【００６７】
したがって本実施例では、ピストンロッド（４）がいずれの方向に移動する場合であっても、ピストンロッド（４）移動により余剰となる分のオイルのみをオイルタンク（８）に戻し、不足する分のオイルのみをオイルタンク（８）から供給することになる。したがって、ピストンロッド（４）がいずれの方向に移動しても、オイルタンク（８）内のオイル撹拌による空気の巻き込みは少ない。
【００６８】
図５及び図６はいずれも油圧回路の他の例を示した図であるが、本発明の用途はこれに限定されるものではない。ちなみに、図５はシンプルな回路例である。図６の油圧回路はシリンダが２重になっており、作動開始時のシリンダの素早い動きと、その後の強い力でのシリンダ移動を可能にしている。これらは復動シリンダの場合の油圧回路である。
【００６９】
シリンダの動きは一定速度であっても良いし、減速機能を有した油圧回路を設けて、シリンダ位置によってシリンダ速度を変更できるようにしても良い。例えば、リミットスイッチ（ＬＳ）や近接センサーなどのシリンダ位置検出手段を用いてシリンダ位置を検出し、検出手段からの電気的信号により油圧回路内のバルブを切り替えてオイルの流れや流量を変化させ、シリンダーの移動速度を減速させることができる。
【００７０】
このような減速機能を有した油圧回路は、例えばシャッターの開閉に用い、シャッターの速やかな開閉を確保すると共に、閉め終わる少し前にシャッターの速度を落としてシャッターが閉まった際の衝撃を少なくする場合等に利用できる。
【００７１】
［実施例２］（図示せず）
実施例１ではピストンロッド側油室用流路（９）をオイルタンク（８）の外側に設けたが、本実施例ではオイルタンク（８）内にパイプ状のピストン側油室用流路を挿通し、制御バルブ群（２０）に導くようにした。
【００７２】
これにより、ピストン側油室用流路も露出することが無く、よりシンプルな外観となり、オイル漏れの可能性も更に低くなる。それ以外の構成、効果は実施例１と同様である。
【００７３】
尚、実施例１及び実施例２以外のピストンロッド側油室用流路配置方法としては、オイルタンク（８）を完全な環状とせず、環を一部切り欠いたような形状（Ｃ字状、円弧状）とし、その切り欠かれた箇所に油圧シリンダ（３）の外周部に接するようにピストン側油室用流路を配しても良い。
【００７４】
［実施例３］
図９は本実施例を示した図である。オイルタンク（１８）は分岐した空気貯め部（１９）を有している。空気貯め部（１９）の内部空間は分岐箇所（１９ａ）からモータ（１）寄りの方向に延びている。
【００７５】
本実施例では、空気貯め部（１９）に給油口を兼ねさせ、空気貯め部（１９）から給油可能とした。給油の際にはオイルタンク（１８）の空気貯め部（１９）以外に空気が残らないように油圧シリンダユニットを横にした状態で給油する。
【００７６】
空気貯め部（１９）にもオイルが入っても良いが、空気を保持するためのスペースは確保しておく。
【００７７】
本実施例の場合、モータ（１）が上方となるように油圧シリンダーユニットを立てて、又は斜めにして使用した場合でも、空気は空気貯め部（１９）に保持される。但し、油圧シリンダーユニットを立てる際に、空気貯め部（１９）内の空気が分岐箇所（１９ａ）を越えてオイルタンク（１８）本体側に入らないように注意する。
【００７８】
このような構造とすれば、オイルタンク内（１８）の空気が油圧ポンプ（２）に送られてしまうことを防止することができるので、油圧シリンダユニットの設置姿勢の自由度が高くなる。
【００７９】
【発明の効果】
以上述べたように本発明により、各部材の完全な一体化を図り、小型で、オイル漏れがない油圧シリンダユニットを提供し、更にはオイルタンク内への水分や埃の混入がなく、オイル中への空気巻き込みも少ない油圧シリンダユニットを提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の一部断面正面図。
【図２】実施例の右側面図。
【図３】従来の一体型油圧シリンダユニットを例示した図。
【図４】実施例の油圧回路とピストンロッドの動きを示した図。
【図５】油圧回路の他の一例を示した図。
【図６】油圧回路の他の一例を示した図。
【図７】オイルの流れを説明する図（ピストンロッド後退時）。
【図８】オイルの流れを説明する図（ピストンロッド前進時）。
【図９】実施例３を示した図。
【符号の説明】
（１）    モータ
（２）    油圧ポンプ
（３）    油圧シリンダ
（４）    ピストンロッド
（４ａ）  ピストンロッド先端部
（５）    油圧シリンダ内部空間
（５ａ）  ピストンロッド側油室
（５ｂ）  ヘッド側油室
（６）    油圧シリンダのシール部
（７）    ヘッドブロック
（８）    オイルタンク
（９）    ピストンロッド側油室用流路
（１０）  オイル注入路
（１１）  タンク−ポンプ間流路
（１２）  ポンプのオイル吸入側
（１３）  ポンプのオイル吐出部
（１４）  給油口
（１４ａ）    給油口の蓋
（１５）  フローコントロールバルブで排除されたオイルの流路
（１６）  吐出オイル流路
（１７）  ヘッド側油室用流路
（１９）  空気貯め部
（２０）  制御バルブ群
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0003615459.tif 000010