(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射用光ファイバからの光ビームを反射ミラーによって、２本の出力用光ファイバのいずれか一方に入射させることにより光路を切替える光スイッチであって、２枚の反射ミラーを備え、前記２枚の反射ミラーは固定式ミラーと可動式ミラーで構成され、前記入射用光ファイバからの光ビームを前記固定式ミラーで反射させることにより前記２本の出力用光ファイバのうちの一方の出力用光ファイバに光路を結合させ、前記可動式ミラーが前記光路を遮るように移動して前記入射用光ファイバからの光ビームを反射させることにより前記２本の出力用光ファイバのうちの他方の出力用光ファイバに光路を結合させて光路の切換を行い、前記２枚の反射ミラーにおける光ビーム入射角度αbとαcが異なり（αb≠αc）、その角度差が０．５°以上であり、前記２枚の反射ミラーの光ビームの入射角度が２０°以下であることを特徴とする光スイッチ
【請求項２】
前記固定式ミラーにおける前記入射用光ファイバと前記一方の出力用光ファイバ間の光路長と、前記可動式ミラーにおける前記入射用光ファイバと前記他方の出力用光ファイバ間の光路長とが等しいことを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光スイッチにおいて、前記出力用光ファイバのいずれか一方からの光ビームを反射ミラーで反射して、前記入射用光ファイバに入射させることにより、入出力ファイバの関係を反対にしたことを特徴とする光スイッチ。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の光スイッチを複数個用いて多段接続することにより、Ｎ×Ｍ光スイッチを構成することを特徴とする光スイッチ。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれかに記載の光スイッチの構成を備え、且つＮ個の光路切替えを行なうＮ×２Ｎ光スイッチであることを特徴とする光スイッチ。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の光スイッチを搭載することを特徴とする光路切替装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光通信等の光ファイバ伝送路中に挿入されて、伝送路を切り替えるための光スイッチに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光スイッチはこれまで多くのタイプのスイッチが提案されている。そのうち、メカニカルスイッチとしては、特開昭６３−３１３１１１号公報に開示される図８に示すような入射光ファイバ１Ａに付加された磁性膜５を磁気コイル４により直接駆動して入射光ファイバ１Ａから出力光ファイバ１Ｂへの光路３を出力光ファイバ１Ｃへ切替える構造の光ファイバ可動型１×２光スイッチが提案されている。光ファイバ１Ａ、１Ｂ、１Ｃはホルダー６Ａおよび６Ｂに固定されており、磁気コイル４の外周部に設けられた永久磁石７の磁力により入射光ファイバ１Ａの磁性膜５は自己保持される。
【０００３】
また、ミラーやプリズム等の微小光学素子を駆動して光路を切替える特開昭５４−１６２５５１号公報および特開昭５５−８７１０７公報に開示される図９、図１０に示すような微小光学素子可動型１×２光スイッチも開示されている。図９の光スイッチでは反射ミラー２の反射面を中心とした円周上に１２０゜間隔で光ファイバ１Ａ、１Ｂ、１Ｃが配置されている。入射光ファイバ１Ａからの光路３は光ファイバに付加されたレンズによる光学系により平行ビームとして出射され、反射ミラー２で反射して出力光ファイバ１Ｂに入射結合出力される。反射ミラー２の回転角度を制御することによりそれぞれの光ファイバを選択する。図１０では入射光ファイバ１Ａを中心とする円周上に出力光ファイバ１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇを配置して、入射光ファイバ１Ａからの光路３は光ファイバに付加されたレンズによる光学系により平行ビームとして出射され、２つの４５゜の反射ミラー２で反射することで折り返され、出力光ファイバ１Ｂに入射結合出力される。反射ミラー２の回転角度を制御することにより、それぞれの出力光ファイバを選択する。従来の微小光学素子可動型スイッチにおけるプリズムやミラーはパルスモータ等により機械的回転角度および位置を制御していたが、光通信に用いられる光ファイバの結合ではサブミクロンオーダーでの位置合わせが必要となるためにパルスモータ等による位置制御では、０．５゜程度の回転角度精度であるために再現性に乏しく損失の増加をまねいていた。また、常にモータに電界を印加する必要があり、常時電力を必要としていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の図９等に示すような微小光学素子可動型スイッチにおけるミラー等の反射手段の回転角度が大きい場合には、光ファイバを放射状に配置しているために光スイッチの設置面積が大きくなる等の問題がある。図１１の比較例の光スイッチでは反射ミラー２の回転角θで光ビームをＡからＢまたはＣに振り分ける構成をとっている。回転角度θが小さいと反射ミラー２と光ファイバの距離は長くする必要があり、光スイッチが大きくなってしまう。また、図１１に示すような反射手段の回転のみによる従来の光スイッチの場合には常にミラーが動いており、その回転角度を精度良くあわせる必要があった。本発明の目的は、従来のこのような課題を解決し、高精度の位置決めおよび高い再現性が得られる小型で低損失の光スイッチを製造することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の光スイッチは、入射用光ファイバからの光ビームを反射ミラーによって、２本の出力用光ファイバのいずれか一方に入射させることにより光路を切替える光スイッチであって、２枚の反射ミラーを備え、前記２枚の反射ミラーは固定式ミラーと可動式ミラーで構成され、前記入射用光ファイバからの光ビームを前記固定式ミラーで反射させることにより前記２本の出力用光ファイバのうちの一方の出力用光ファイバに光路を結合させ、前記可動式ミラーが前記光路を遮るように移動して前記入射用光ファイバからの光ビームを反射させることにより前記２本の出力用光ファイバのうちの他方の出力用光ファイバに光路を結合させて光路の切換を行い、前記２枚の反射ミラーにおける光ビーム入射角度αbとαcが異なり（αb≠αc）、その角度差が０．５°以上であり、前記２枚の反射ミラーの光ビームの入射角度が２０°以下であることを特徴とする。なお、入射用光ファイバは、入力用光ファイバと称することもある。さらに、前記固定式ミラーにおける前記入射用光ファイバと前記一方の出力用光ファイバ間の光路長と、前記可動式ミラーにおける前記入射用光ファイバと前記他方の出力用光ファイバ間の光路長とが等しいことがより好ましい。
【０００６】
本発明の他の光スイッチは、２本の入射用光ファイバのいずれか一方からの光ビームを反射ミラーによって光路変更させて、１本の出力用光ファイバに光路を接続する光スイッチであって、２枚の反射ミラーを備えることを特徴とする。すなわち、前段落［０００５］に記載の光スイッチにおいて、出力用光ファイバのいずれか一方からの光ビームを反射ミラーで反射して、前記入射用光ファイバに入射させることにより、入出力ファイバの関係を反対にした構成に相当する。
【０００７】
上記いずれかの光スイッチにおいて、２枚の反射ミラーのうち１枚は動かない固定式ミラーであることが望ましい。すなわち、前記２枚の反射ミラーは、固定式ミラーと可動式ミラーで構成される。また、前記２枚の反射ミラーにおける光ビーム入射角度αbとαcが異なり（αb≠αc）、その角度差が０．５°以上であることが望ましい。また、前記２枚の反射ミラーの光ビームの入射角度が２０°以下であることが望ましい。
また、上記いずれかの光スイッチには、光路を切替えるために、一方の反射ミラー（可動式ミラー）を動かすための駆動装置を設けるものとする。
【０００８】
上記本発明に係る光スイッチを複数個用いて多段接続することにより、Ｎ×Ｍ光スイッチを構成することができる。多段に接続することで１×２より分岐の多い光スイッチを構成することができる。この場合、Ｎ＜Ｍの関係があり、Ｎは１以上の整数であり、Ｍは３以上の整数である。この明細書において、”Ｎ×Ｍ光スイッチ”とは、光を入力することができる入力端をＮ個有して、光を出力することができる出力端をＭ個有する光スイッチに相当する。多段に接続するという用語は、ある１×２光スイッチの少なくとも一方の出力光ファイバを、他の１×２光スイッチの入射光ファイバに接続して、光路を切替えるための分岐の数を増やすことに相当する。
【０００９】
上記本発明に係る光スイッチの構成を備え、且つＮ個の光路切替えを行なうＮ×２Ｎ光スイッチである光スイッチを構成することができる。Ｎは２以上の整数である。この光スイッチは次のようなタイプの光スイッチを包含する。第１のタイプは、上記本発明に係る１×２光スイッチをＮ個並列させ、各々の光路切替えを独立して行うことができるＮ×２Ｎ光スイッチである。第２のタイプは、上記本発明に係る光スイッチの構成を備え、且つ一組の固定式ミラー及び可動式ミラーによりＮ個の光路切替えを同時に行なうＮ×２Ｎ光スイッチである。
なお、これらのＮ×２Ｎ光スイッチや、多段接続したＮ×Ｍ光スイッチは、本発明に係る小型化した光スイッチを基に組合わせて作製するため、従来の光スイッチを組合わせた光スイッチに比べて全体を小型化することができる。
【００１０】
本願の構成によると、図２に示すように、２枚の反射ミラー２Ａ、２Ｂの各々における光ビーム入射角度αb、αcが異なり（αb≠αc）、その角度差が０．５°以上であり、その反射ミラーの光ビームの入射角度が２０°以下である光スイッチを構成することができる。角度差は（αｂ−αｃ）の絶対値で表わす。なお、一方の反射ミラーにおける光ファイバ間の光路長と、他方の反射ミラーにおける光ファイバ間の光路長は等しいことが望ましい。このように角度差や入射角度を規定することにより、光路を接続するための精度を得るとともに、光スイッチの小型化を図ることができる。例えば、入射角度を９０°にすると、部品間の間隔が離れて光スイッチ全体の構成が大きくなり、小型化には適さない。なお、本発明の１×２光スイッチの小型化により、Ｎ×Ｍ光スイッチの小型化も実現することができる。
【００１１】
これまでのミラー駆動型光スイッチでは、常にミラーが大きく動いており、その位置及び回転角度に高い精度を必要としていた。本発明では反射ミラーを２枚用いて、固定式ミラーによる光路と、その光路を可動式ミラーで遮り異なる方向に反射させた光路を備える。固定式ミラーによる光学系では位置的に安定であり、可動式ミラー動作時は単純な動作のため、位置や角度に高い精度と再現性を得ることができる。
【００１２】
本発明の光路切替装置は、本願に係る上記いずれかの光スイッチを搭載することを特徴とする光路切替装置である。例えば、アドドロップマルチプレクサ（ＯＡＤＭ：Optical  Add  Drop  Multiplexer：分岐挿入装置）もしくはクロスコネクト（ＯＸＣ：Optical  Cross  Connect）等の機能を有する光路切替装置に本願の光スイッチを備える。ここで、ＯＡＤＭは、伝送経路の途中で特定の波長の光を取り出して地域系のネットワークに割り当てるものであり、ＯＸＣは、他の幹線系と交差する地点で各波長の信号を振り分けるものである。
また、本願の他の光路切替装置は、本願に係る上記いずれかの光スイッチを搭載するとともに、電子回路もしくは電気回路を有する。前記電子回路もしくは電気回路は、光路の切替を制御するための制御回路（例えば、ドライバーＩＣやＯＰアンプを用いる）、光ファイバがどちらの光路に切替えられているかを検出する位置検出回路、駆動装置に電流を供給する回路もしくは電源等である。なお、切替のために、光スイッチに備えた駆動装置に駆動電流を流すが、この駆動電流の向きを一方向のみとすることで、駆動電流の向きを反転する必要のある光スイッチに比べて、駆動回路や制御回路を簡略化し、光路切替装置全体の小型化に寄与する。例えば、駆動装置に電磁コイルを用いると、切替えを行うためには電流の向きを正負反転させる。これに対して、駆動装置にリレー等を用いると、切替えを行うためには電流のＯＮ・ＯＦＦで済む。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施例を説明する。ただし、これら実施例により本発明が限定されるものではない。なお、類似の部品については同じ符号で説明する。
（実施例１）
図１は本発明に適用する１×２光スイッチの一実施例に係る平面図である。光路の切替え部分のみを概略的に図示した。この光スイッチは、入射光ファイバ１Ａからの光ビームを固定式反射ミラー２Ｂで反射させることにより、光路を出力光ファイバ１Ｃに結合させる。このときの光路を点線矢印で示す。可動式反射ミラー２Ａが光路を遮るように移動すると、可動式反射ミラー２Ａにより入射光ファイバ１Ａからの光ビームが反射され、光路３は出力光ファイバ１Ｂに結合される。このときの光路を実線矢印で示す。この光スイッチでは、入射光ファイバ１Ａと出力光ファイバ１Ｂ間の距離と、入射光ファイバ１Ａと出力光ファイバ１Ｃ間の距離は、それぞれ等しい。すなわち光路長が等しい。各々の光ファイバは、光路の切替を行なう側の先端にコリメータを装着してある。入射光ファイバの端における光の発散がコリメータによって抑制され、入射光ファイバから出た光が効率よく出力光ファイバに導かれる。各々の図面において便宜的に光ファイバーを線で図示したが、これは光ファイバー外径の寸法を示すものではない。
【００１４】
図２は、図１の詳細を説明するための拡大平面図であり、反射ミラーと光路の関係を詳細に示すものである。入射光ファイバ１Ａからのビームが固定式反射ミラー２Ｂで反射されて、光路３（矢印で表示）が出力光ファイバ１Ｃに接続される。このとき、ビームの入射角＝反射角＝αｃとした。次に、可動式反射ミラー２Ａを光路に移動・配置することにより、入射光ファイバ１Ａからのビームが可動式反射ミラー２Ａで反射されて、光路３が出力光ファイバ１Ｂに接続される。この際、ビームの入射角＝反射角＝αｂ＜αｃとした。図２中の点線は、各々の反射ミラーの鏡面における垂線を示す。符号１Ａ，１Ｂ，１Ｃは、図１のように、光ファイバが光路の延長線上にあることを示す。
【００１５】
実施例１による光スイッチの概略構造を図３の平面図に示す。可動式反射ミラー２Ａは駆動部８に設置されている。駆動部８は、バーを支柱で支えたシーソー型とした。固定と駆動の方法は、電磁コイル９Ａ、９Ｂにお互いに反対向きの電流を流すことで、シーソー型のバー（中央に支点を有する軟磁性体）を吸引または反発させることにより、駆動部を回転させて、バーの端に設けた可動式反射ミラー２Ａを光路上に出入りさせるというものである。支柱の他端はケース１０に固定した。バーが電磁コイル９Ａに吸引されている状態を実線で表示し、バーが電磁コイル９Ｂに吸引されている状態を点線で表示する。電磁コイルに外部から電流を供給する導線や、導線を接続すべくケースに設けた電極端子については、図示を省略した。光路切替えの構造を覆うケース１０の寸法は幅１４ｍｍ、長さ１６ｍｍ、厚さ８．５ｍｍとした。
【００１６】
実施例１では入射光ファイバからミラーへ入射するビームの入射角度αｂを８゜に設定した。なお、角度が２０°以上となると、切替時間が長くなるのと挿入損失の偏光依存性が大きくなるため、２０゜以下であることが必要とされる。また、可動式反射ミラー２Ａと固定式反射ミラー２Ｂについて入射するビーム角度差を設けることで出力光ファイバ１Ｂと出力光ファイバ１Ｃの重なりが無くなり、光路配置を小型化するとともに、容易に調整しやすくなる。本実施例では反射ミラーと光ファイバとの距離によるが、ビーム角度差を５°とし、入射角度αｃを１３°とした。この光スイッチの挿入損失は０．６５ｄＢ以下となった。低損失で高精度の位置決めができる小型の光スイッチを作製することができた。
【００１７】
図４、図５に実施例１の光スイッチの切替特性を測定した結果を示す。図４は固定式反射ミラー２Ｂによる光路の場合で、駆動部に印加したパルス電圧と出力光ファイバ１Ｃの光出力のグラフである。図５は可動式反射ミラー２Ａによる光路の場合で、駆動部に印加したパルス電圧と出力光ファイバ１Ｂの光出力のグラフである。双方とも、横軸は時間であり、図中の上の波形は印加したパルス電圧に相当し、図中の下の波形は出力光ファイバから得られた光の強さ（光出力）に相当する。パルス電圧を電磁コイルに印加すると、すなわち電磁コイルに電流を流すと、磁界が発生してバー及び可動式反射ミラーが駆動される。図４の切替特性において、初期変動は全く無く安定な切替動作が得られていることがわかる。それぞれ５Ｖ、５ｍｓの切替入力として印加したパルス電圧に対して、約３ｍｓ以下の切替時間で光出力が得られていることがわかる。０．５ｓ（秒）毎の繰り返し切替テストの結果を図６のグラフに示す。図６で横軸は指数表示した切替回数（回）であり、縦軸は出力光ファイバにおける挿入損失（ｄＢ）を表わす。印加パルスは５Ｖ、１０ｍｓであり、周期０．５ｓである。出力光ファイバ１Ｂ及び１Ｃともに、２０万回以上の切替を行っても挿入損失の変化は０．１ｄＢ以下であり、安定な動作が得られていることがわかる。
【００１８】
実施例１の光スイッチは挿入損失１ｄＢ以下と低損失で切替時間３ｍｓと高速である。また、２０万回以上の繰り返し再現性として挿入損失１ｄＢ以下の低損失で再現性の高い光スイッチとして実現された。
【００１９】
（実施例２）
実施例１の光スイッチについて、光路の向きを逆にして使用することにより、２つの光源の出力信号を１つの光測定装置で交互に測定する光スイッチとして使用することができた。詳細を説明する。まず、光源として２つの発光ダイオードを用い、各々の発光を出力光ファイバ１Ｂ、１Ｃに導入した。次いで、光ファイバ１Ｂから出た光を可動式反射ミラー２Ａで反射させて光ファイバ１Ａに入射させ、光ファイバの他端に接続した光測定装置に導いて、第２の発光ダイオードの光の波長と強度の関係を測定した。このとき、光ファイバ１Ｃから出た光は可動式反射ミラー２Ａの裏面で遮られた。次いで、光スイッチに駆動電流を通電して可動式反射ミラー２Ａを引き込ませて、光ファイバ１Ｃから出た光を固定式反射ミラー２Ｂで反射させて光ファイバ１Ａに入射させ、光ファイバの他端に接続した光測定装置に導いて、第２の発光ダイオードの光の波長と強度の関係を測定した。このとき、光ファイバ１Ｂから出た光は固定式反射ミラーの端で反射されるが、光ファイバ１Ａには入射されなかった。光ファイバ１Ａに入射されない方の光が迷光にならないように、光路に直接関係しない部位やケース１０の内壁につや消し塗料を塗布しておいた。
次に、各々の発光ダイオードに流す電流を増加させて、同様の方法で光路を切替えて、１つの光測定装置で２つの発光ダイオードの光特性を順に測定した。このように、実施例２では、同じ測定装置で時間を置かず順に測定するため、測定装置の精度や発光ダイオードと室温の関係に影響されることなく、２つの発光ダイオードの光特性を比較することができた。
【００２０】
（実施例３）
図３の構成において、シーソー型の駆動部を平行移動型の駆動部に置き換えることにより、実施例３の光スイッチを構成した。平行移動型の駆動部は、板状のバーを平行移動させることができるリレーと、バーの側面に設けた反射ミラー面で構成した。光路を遮るようにバーを突出させたとき、入射光ファイバからのビームは反射ミラー面で反射されて出力光ファイバ１Ｂに接続される。バーを引き込んだとき、ビームは固定式反射ミラー２Ｂで反射されて出力光ファイバ１Ｃに接続される。実施例３の光スイッチは、実施例１と同様に、繰り返し再現性が高く、挿入損失１ｄＢ以下になった。なお、実施例３の構成は実施例１の構成に比べて、光スイッチ全体の構成をより小型化することができた。反射ミラー面はバーの端面にメッキ膜を施すことで形成したが、軽量且つ薄型のミラーを固着することにより、反射ミラー面を構成することも可能である。ただし、メッキ膜を用いる方がバーの重量増加が少なく、光路を切替える際に、薄型ミラーを用いる構成に比べてより高速な光路切り替えに対応することができる。
【００２１】
（実施例４）
図７は本発明に適用する光スイッチの一実施例に係る斜視図である。この光スイッチは、図１と同様な光ファイバおよび反射ミラーの構成であるが、入射光ファイバ１Ａと２本の出力光ファイバ１Ｂ、１Ｃの組合せによる１×２光スイッチと、入射光ファイバ２１Ａと２本の出力光ファイバ２１Ｂ、２１Ｃの組合せによる１×２光スイッチを上下に配置して、一組の可動式反射ミラー２Ａ及び固定式反射ミラー２Ｂを共通の反射手段として用いたものである。反射ミラーの共通化により、部品点数を低減し、組立ての工数を減らすことができた。この光スイッチの動作を詳細に説明する。可動式反射ミラー２Ａが固定式反射ミラー２Ｂから遠ざけて保持されているとき、入射光ファイバ１Ａから出た光は固定式反射ミラー２Ｂで反射されて出力光ファイバ１Ｃに導かれ、入射光ファイバ２１Ａから出た光は固定式反射ミラー２Ｂで反射されて出力光ファイバ２１Ｃに導かれた。可動式反射ミラー２Ａを矢印ｘの向きに沿って移動させて固定式反射ミラー２Ｂに近づけた状態で保持されているとき、入射光ファイバ１Ａから出た光は可動式反射ミラー２Ａ（図では符号２Ａ’で示す）で反射されて出力光ファイバ１Ｂに導かれ、入射光ファイバ２１Ａから出た光は可動式反射ミラー２Ａで反射されて出力光ファイバ２１Ｂに導かれた。すなわち、一組の可動式反射ミラーと固定式反射ミラーによって、２つの１×２光スイッチを同時に切替えるという機能を備える２×４光スイッチを作製した。同図中、上下の方向は矢印ｙに沿った向きに相当する。符号２Ａおよび２Ａ’の可動式反射ミラーは、一つのミラーの移動前後の状態を図示するものであり、同じミラーが二つある訳ではない。
【００２２】
なお、実施例４を発展させた他の実施例として、一組の可動式反射ミラーと固定式ミラーに対して、矢印ｙの向きに沿って、１×２の光ファイバを３組配置することにより、３×６光スイッチを作製することができた。さらに、矢印ｙ方向に沿って可動式反射ミラーと固定式反射ミラーの長さを大きくすれば、１×２の光路切替機構をＮ個配置して、Ｎ×２Ｎ光スイッチを得ることも可能である。
【００２３】
（実施例５）
実施例４では２個の１×２スイッチを同時に切替える構成としたが、実施例１の１×２光スイッチをＮ個配列する事でＮ倍の１×２光スイッチを実現できる。実施例５では、実施例１の光スイッチを８個作製し、ＳＵＳ製の筐体内に並列させるように配置し、各々の光ファイバを筐体外に出して、入力端が８個有り、出力端が１６個有る８×１６の光スイッチを作製した。８連のミラー駆動型１×２光スイッチと言える。入力端と出力端は、光ファイバの端に光ファイバー用コネクタを設けたものである。この光スイッチは実施例４とは異なり、駆動装置を別々に操作する制御装置があれば、各々の光路分岐を任意に切替えることができる。なお、並列配置する数を変えれば、４×８の４連光スイッチや１２×２４の１２連光スイッチを作製することが可能である。
【００２４】
（実施例６）
実施例１の１×２のミラー駆動型光スイッチを３個用いて多段接続し、１×４型の光スイッチを作製した。第１の１×２光スイッチの２つの出力光ファイバの端に、第２及び第３の１×２光スイッチの入射光ファイバの端を各々接続した。この際、光ファイバ接続用のコネクタを介して光ファイバの端同士を接続した。なお、コネクタの使用に代えて、光ファイバー融着装置を用いて光ファイバ同士を直接に接続する方法を用いることも可能である。接続した３個の光スイッチを筐体に収めて、第１の１×２光スイッチの入射光ファイバを１つの入力端とし、第２及び第３の１×２光スイッチの出力光ファイバを４つの出力端とすることにより、ミラー駆動型の１×４光スイッチを作製した。
【００２５】
さらに同様の多段化手法を利用して、実施例６を発展させて、ミラー駆動型の１×８光スイッチ、ミラー駆動型の１×１６光スイッチ、ミラー駆動型の１×３２光スイッチ等を構成することができた。
また、Ｎ×Ｍ光スイッチを構成する際に、実施例６のようにツリー状の多段接続は必ずしも左右対称である必要はなく、ＮとＭの必要な値に応じて最終段よりも前の段でＭの少なくとも１つに相当する出力端を出すように構成することもできる。このような選択により、ミラー駆動型で、１×３光スイッチ、１×７光スイッチ、１×９光スイッチ、１×１０光スイッチ、１×１２光スイッチ等を構成することができた。
【００２６】
（実施例７）
実施例４のミラー駆動型２×４光スイッチを３個作製し、実施例６の要領で多段接続して、２×８光スイッチを作製した。まず、第１の２×４光スイッチの一方の入力端に対応する２個の出力端に、第２の２×４光スイッチの２個の入力端を接続した。次いで、第１の２×４光スイッチの他方の入力端に対応する残りの２個の出力端に、第３の２×４光スイッチの２個の入力端を接続し、２×８光スイッチを作製した。
なお、実施例７をさらに発展させて、１×２光スイッチと、Ｎ×２ＮのＮ連光スイッチ（Ｎ＝２、３、４・・・のいずれか）を組合わせて多段接続し、１×２Ｎ光スイッチ等を構成することも可能である。
【００２７】
【発明の効果】
本発明に係る構成を用いることにより、高精度の位置決めおよび高い再現性が得られる小型で低損失の光スイッチを実現することができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の１×２光スイッチを説明する平面図である。
【図２】図１の詳細を説明するための拡大平面図である。
【図３】本発明の光スイッチを説明するための平面図である。
【図４】本発明の光スイッチの切替特性を説明するグラフである。
【図５】本発明の光スイッチの切替特性を説明するグラフである。
【図６】光スイッチの繰り返し切替テストの特性を説明するグラフである。
【図７】本発明の一実施例の１×２光スイッチを説明するための斜視図である。
【図８】従来の光スイッチを説明するための断面図である。
【図９】従来例の光スイッチを説明するための平面図である。
【図１０】従来例の光スイッチを説明するための斜視図である。
【図１１】比較例の１×２光スイッチを説明するための平面図である。
【符号の説明】
１Ａ  入射光ファイバ、１Ｂ  出力光ファイバ、１Ｃ  出力光ファイバ、
１Ｄ  １Ｅ  １Ｆ  １Ｇ  出力光ファイバ、
２  反射ミラー、
２Ａ  可動式反射ミラー、２Ｂ  固定式反射ミラー、
３  光路、４  磁気コイル、
５  磁性膜、
６Ａ  ６Ｂ  光ファイバ固定ホルダー、
７  永久磁石、８  駆動部、
９Ａ  ９Ｂ  磁気コイル、
１０  ケース、
２１Ａ  入射光ファイバ、２１Ｂ  出力光ファイバ、
２１Ｃ  出力光ファイバ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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