(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
任意のターゲットの表面に接着剤を利用して薄膜を接着させる方法であって、
（Ａ）ターゲットの表面に接着剤を塗布し、薄膜を前記接着剤上に載せる段階と、
（Ｂ）前記ターゲットの表面及び薄膜に、圧力を時間の経過に連れ薄膜とターゲットの表面の中心部から外周縁側に加えながらそれらの間の接着を漸次的に進行させる段階と、
（Ｃ）前記接着剤を硬化させる段階と、
を包含し、
前記（Ｂ）段階は、
（Ｂ１）前記薄膜上に磁性微粒子を含む磁性懸濁液を塗布する段階と、
（Ｂ２）前記ターゲットの表面及び薄膜を回転させながら、前記ターゲットの表面の下部に隣接して位置されて直径方向に移動可能に設置された磁力発生手段によって磁性微粒子との間で発生する押圧力を、前記薄膜及びターゲットの表面の中心部から外周縁側に直線的に移動させながらそれらの間の接着を漸次的に進行させる段階と、
（Ｂ３）前記塗布された磁性懸濁液を除去する段階と、
を包含することを特徴とする薄膜接着方法。
【請求項２】
第１基板上に薄膜を接着させる光ディスクの接着方法であって、
（Ａ）第１基板上に接着剤を介して薄膜を載せる段階と、
（Ｂ）前記第１基板及び該第１基板に載せられた薄膜を回転させながら、圧力を時間の経過に連れ前記第１基板及び薄膜の中心部から外周縁側に加えて、それらの間の接合を螺旋状に進行させる段階と、
（Ｃ）前記接着剤を硬化させる段階と、
を包含し、
前記（Ｂ）段階は、
（Ｂ１）前記薄膜上に磁性微粒子を含む磁性懸濁液を塗布する段階と、
（Ｂ２）前記薄膜及び第１基板を回転させながら、前記第１基板の下部に隣接して位置されて直径方向に移動可能に設置された磁力発生手段によって磁性微粒子との間に発生する押圧力を、前記薄膜及び第１基板の中心部から外周縁側に直線的に移動させることによってそれらの間の接着を漸次的に進行させる段階と、
（Ｂ３）前記磁性懸濁液を除去する段階と、
を包含することを特徴とする光ディスクの薄膜接着方法。
【請求項３】
回転力を発生する駆動モータに一体に結合された回転軸と、
前記回転軸の一端に結合され、上面に厚い第１基板を載せることができるディスク支持部と、
前記ディスク支持部に載せられた前記第１基板の上面に接着剤を供給するために、前記ディスク支持部の上側に配置された第１ノズルと、
前記接着剤を介して前記第１基板上から載せられる薄膜に、圧力を時間の経過に連れ前記第１基板及び薄膜の中心部から外周縁側に加えて、それらの間の接着を螺旋状に進行させる圧力供給手段と、
を備え、
前記圧力供給手段は、
前記薄膜上に磁性微粒子を含む磁性懸濁液を供給するために、前記ディスク支持部の上側に配置された第２ノズルと、
前記ディスク支持部の下面に隣接して位置し、前記ディスク支持部の直径方向に移動可能に設置された磁力発生手段と
を具備する
ことを特徴とする光ディスクの薄膜接着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜の接着方法に係るもので、詳しくは、光ディスクの製造の際に用いられる薄膜の接着方法及びそれを利用した光ディスク接着方法並びにその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
最近、光記録媒体として一般化されたコンパクトディスク（ＣＤ）に続いてデジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）の規格が提案されて標準化され、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ及びＤＶＤ＋ＲＷなどの多様な製品が一般化されている。
【０００３】
それらＤＶＤは既存のＣＤよりも記録密度が著しく向上しており、普及が拡大される展望である。例えば、ＤＶＤの容量は、片面単層（Single-sided single layer）を基準として約４．７ギガバイト（ＧＢ）程度で、ＶＨＳ級の画質で約２時間分の映画を録画することができる。
【０００４】
このような光記録媒体中、再生専用の場合は、図６に示したように、ピットパターンの形成された情報記録層及び反射膜を含む第１基板２と、第１基板２の上部に塗布される接着剤４を介して第１基板２に接合される第２基板６とにより構成されている。
【０００５】
そして、第１基板２は、光透過層であって、通常、ポリカーボネートなどのような高分子物質により形成され、０．６ｍｍ程度の厚さを有する。
【０００６】
第１基板２の一方の面がピットパターンまたは案内溝などを形成して情報を記録する情報記録層として利用されている。情報記録層の上面（図面上）には第１基板２を介して入射されるレーザービームＬＢを反射するための反射膜が形成されている。
【０００７】
且つ、第２基板６は、ダミー基板であって、第１基板２と同一材質により形成されて、第１基板２の変形及び反射膜の劣化を防止する保護層としての役割を果たしている。
【０００８】
第２基板６も第１基板２と同様の０．６ｍｍ程度の厚さで、接着剤４により第１基板２の反射膜上に接合されている。
【０００９】
従って、保護層としての機能を果たす第２基板６と、情報が記録される第１基板２とが接合された構造となっている光記録媒体は、厚さ１．２ｍｍ、直径１２ｃｍの円板形状に形成される。
【００１０】
このような光記録媒体においては、情報を記録するか、または、媒体上の情報をリードするために光ピックアップ（未図示）から発生するレーザービームＬＢが第１基板２を透過して情報記録層上に照射される。
【００１１】
この場合、光記録媒体の記録密度を決定する情報記録層上に形成されるビームスポットの大きさは、光ピックアップに含まれた光源の波長に比例し、対物レンズ（ＯＬ）の開口数（ＮＡ）に反比例する。
【００１２】
従って、光記録媒体の記録密度を向上させるためには、与えられた光透過層、即ち、第１基板２の厚さに対して短波長の光源及び開口数の大きい対物レンズを使用することが必須である。
【００１３】
然し、対物レンズの開口数を増加させると、光ディスクのチルトに対するコマ収差が開口数の３乗（ＮＡ3)に比例して著しく増加するため、記録された光情報の信頼性が低下するという問題点がある。
【００１４】
コマ収差は、図７（Ａ）（Ｂ）に示したように、光が透過される各透明基板１０、１２の厚さの４乗（ｔ4）に比例して増加する。
【００１５】
ここで、コマ収差について説明する。対物レンズＯＬを介して集束されるレーザービームＬＢが、図７（Ａ）の厚い第１基板１０と図７（Ｂ）の薄い第１基板１２を透過する場合を考える。それらのチルト角（θ１）が同一であるとすると、同一の材質により形成される各基板の内部での屈折角（θ２）が同じであるので、同一位置に焦点が形成されるが、各基板１０、１２の厚さが異なる場合は、像が形成される焦点の位置（ｆ）が各基板１０、１２の厚さによって変化する。
【００１６】
従って、透過する基板の厚さに敏感なレーザービームＬＢは、傾斜された薄い第１基板１２を透過する時の位置偏差（δ２）よりも厚い第１基板１０を透過する時の位置偏差（δ１）が大きくなる。
【００１７】
このようにレーザービームＬＢが第１基板１２を通過して照射される位置が正常の位置から外れると、フォーカス制御やトラックキング制御に悪影響を及ぼして、情報記録及び再生に致命的なエラーが発生する。
【００１８】
そこで、一つの光ディスクが約２０ＧＢ以上の高記録容量を有する光記録媒体においては、高開口数の対物レンズ及び薄い光透過層基板を有する光記録媒体の導入が提案された。
【００１９】
その改善された提案において、光ディスクは、図８に示したように、保護層を形成する厚い第１基板１４と、情報記録用の薄い第２基板１８とにより構成される。これらが接着剤１６を介して接合される。第２基板１８には、先の例と同様に、ピットパターンの形成された情報記録層及び反射膜を備えている。
【００２０】
レーザービームＬＢが透過する第２基板１８は、コマ収差の基板厚さに対する依存性を最小化するために、０．１ｍｍの厚さとした。
【００２１】
一方、接着剤１６を介して第２基板１８と接合される第１基板１４は、保護層であって、１．２ｍｍの厚さを有する既存の光ディスクとの互換性を有するために１．１ｍｍの厚さを有する。
【００２２】
然し、このように光透過層として薄い第２基板１８を備える光ディスクは、コマ収差の発生を最小化し得るというメリットはあるが、第２基板１８が薄すぎるため、生産性が著しく低下して実用化され難いという問題点があった。それは極度に薄い第２基板１８を第１基板１４に接着することが容易でないからである。
【００２３】
以下、従来の光ディスクの接着方法に対し、図９及び図１０に基づいて説明する。
先ず、光ディスク接着装置１９は中心に回転軸１７を備え、その先端に円板形状の光ディスク支持部１５が取り付けられている。その支持部１５の上に厚い第１基板１４を載せる、すなわち安着させる（Ｓ２０）。
【００２４】
次いで、光ディスク支持部１５上に載せられた第１基板１４を回転させながら、紫外線により硬化される液状接着剤を第１基板１４上に塗布して接着剤層１６を形成する（Ｓ２２）。
その接着剤層１６上に反射膜を含む薄い第２基板１８を載せる（Ｓ２４）。
【００２５】
次いで、第２基板１８の全面に一気に圧力を加え、その力を利用して接着剤１６である紫外線硬化樹脂を第１基板１４と第２基板１８間の境界面に満遍なく拡散させる（Ｓ２６）。
次いで、紫外線を照射して接着剤層１６を硬化させて（Ｓ２８）、光ディスクの接着を終了する。
【００２６】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、このような従来光ディスクの接着方法においては、第２基板１８の全面を一気に加圧するため、第１基板１４と第２基板１８間に空気が捕らえられるトラップが発生するか、接着剤層１６の厚さが不均一になるという不都合な点があった。
【００２７】
第１基板１４と第２基板１８間にトラップされた空気中大きい気泡は、光ディスクの記録密度向上条件の一つである光ディスクの平面度を悪化させ、また、小さい気泡も温度変化によって膨脹して光ディスクの平面度を悪化させるという問題点があった。
【００２８】
このような光ディスクの平面度低下は、光ディスクのたわみ、チルトまたは振動及び光スポットのにじみを誘発して、情報の記録及び再生動作に悪影響を及ぼすという問題点があった。
【００２９】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたもので、薄膜を均一に接着することができる薄膜接着方法を提供することを目的とする。
本発明の他の目的は、光ディスクに用いる薄膜に空気のトラップを発生せず、均一厚さに接着することができる光ディスクの接着方法及びその装置を提供しようとするものである。
【００３０】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成する本発明に係る薄膜接着方法は、（Ａ）ターゲットの表面に接着剤を塗布し、薄膜をその接着剤上に載せる段階と、（Ｂ）ターゲットの表面及び薄膜に、流体を利用した圧力を時間の経過に連れそれら薄膜及びターゲットの表面の中心部から外周縁側に加えながらそれら間の接着を漸次的に進行させる段階と、（Ｃ）接着剤を硬化させる段階と、を順次行うことを特徴とする。
【００３１】
本発明に係る光ディスクの薄膜接着方法は、（Ａ）第１基板上に接着剤を介して薄膜を載せる段階と、（Ｂ）第１基板及び第１基板に載せられた薄膜を回転させながら、流体圧力を、時間の経過に連れ第１基板及び薄膜の中心部から外周縁側に順次加えて、それら間の接合を螺旋状に進行させる段階と、（Ｃ）接着剤を硬化させる段階とを順次行うことを特徴とする。
【００３２】
本発明に係る光ディスクの薄膜接着装置は、回転力を発生する駆動モータに一体に結合された回転軸と、回転軸の一端側に結合され、上面に厚い第１基板を載せることができるディスク支持部と、ディスク支持部に載せられた第１基板の上面に接着剤を供給するために、ディスク支持部の上側に配置された第１ノズルと、接着剤を介して第１基板上に載せられた薄膜に、流体圧力を時間の経過に連れ第１基板と薄膜の中心部から外周縁側に加えて、それら間の接着を螺旋状に進行させる圧力供給手段とを備えることを特徴とする。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に対し、図面を用いて説明する。
本発明に係る光ディスク接着装置の第１実施形態においては、図１に示したように、回転力を発生する駆動モータ（未図示）に一体に結合された回転軸４０と、回転軸４０の一端に結合されて上面に厚い第１基板４４が載せられるディスク支持部４２と、紫外線により硬化される接着剤４６を第１基板４４の上面に供給するために、ディスク支持部４２の上側に所定間隔を保って配置される第１ノズル５０と、第１基板４４上に接合される薄い第２基板４８の上面に磁性懸濁液を供給するために、ディスク支持部４２の上側に所定間隔を保って配置される第２ノズル５２と、ディスク支持部４２の下面に隣接して位置される電磁石５４と、電磁石５４が含まれ、電磁石５４がディスク支持部４２の半径方向を沿って移動できるように形成されたガイドレール５６とを備えている。
【００３４】
ここで、電磁石５４の代わり永久磁石を使用して、接着装置の電気的構成を簡単にすることもできる。
【００３５】
以下、図１の接着装置を利用した光ディスクの接着方法に対し、図２に基づいて説明する。
先ず、ディスク支持部４２の上面に厚い第１基板４４を載せる（Ｓ３０）。この時、ディスク支持部４２の上面に載せられた第１基板４４は、ディスク支持部４２の所定部位に穿孔形成された複数の真空吸入口４１から発生する真空吸入力によってディスク支持部４２に瞬間的に固定される。
【００３６】
次いで、駆動モータ（未図示）の回転によってディスク支持部４２の上面に載せられた第１基板４４を回転させながら、第１基板４４の上方中央部に位置する第１ノズル５０を利用して液状接着剤４６を供給する（Ｓ３２）。
【００３７】
この時、液状接着剤４６は、第１基板４４の回転による遠心力及び自体の粘性によって第１基板４４の中心部から外周縁側に広がって所定厚さに塗布される。ここで、液状接着剤層４６の厚さは、第１基板４４の回転速度、接着剤４６の粘性及び回転時間などの組合せによって決定される。
【００３８】
次いで、接着剤４６の塗布された第１基板４４の上面に薄い第２基板４８を載せる（Ｓ３４）。
【００３９】
次いで、駆動モータ（未図示）の回転によって第１基板４４の上面に載せられた第２基板４８を回転させながら、第２基板４８の上方中央部に配置した第２ノズル５２を利用して磁性微粒子を含む磁性懸濁液または磁性流体を供給する（Ｓ３６）。その結果、回転している第２基板４８の上面に磁性懸濁液または磁性流体が均一に塗布される。
【００４０】
次いで、段階（Ｓ３６）での回転を継続的に維持しながら、ディスク支持部４２の下面に隣接して位置する電磁石５４をガイドレール５６を利用してディスク支持部４２の中心部から外周縁側に直線的に移動させる（Ｓ３８）。
【００４１】
この過程で、電磁石５４及び、第２基板４８上に塗布された磁性懸濁液または磁性流体によって発生する磁力が第１基板４４及び第２基板４８に垂直に作用する。したがって、第１基板４４と第２基板４８間には、第２基板４８の上面とディスク支持部４２の下側との間で発生する磁力による押圧力が作用するので、その圧力によって第１基板４４と第２基板４８との接着が堅固に維持される。
【００４２】
特に、ガイドレール５６に沿ってディスク支持部４２の中心部から外周縁側に直線的に移動する電磁石５４の磁力によって発生する押圧力は、支持部４２が回転しているので、ディスク支持部４２の中心部から外周縁側に螺旋状に進む。したがって、第１基板４４と第２基板４８間に塗布された接着剤層４６にトラップされた空気若しくは気泡を接着剤層４６の外部であるディスク支持部４２の外周縁側に押し出すことができるので、第１基板４４と第２基板４８とは空気トラップが発生せずに高速に堅固に接合される。
【００４３】
次いで、このような第１基板４４と第２基板４８との接合が終了すると、第２基板４８の上面に塗布された磁性懸濁液または磁性流体を除去する（Ｓ４０）。
【００４４】
ここで、第２基板４８の上面に塗布された磁性懸濁液または磁性流体の除去は、電磁石５４をディスク支持部４２の外側に完全に移動させて、ディスク支持部４２と各基板４４、４８間に形成された磁場を除去して行われる。
【００４５】
このように電磁石５４を移動させると、磁性懸濁液または磁性流体が流動性を有するので、ディスク支持部４２を回転させて発生する遠心力によって迅速に除去される。また、このように除去された磁性懸濁液または磁性流体は、別途の容器に回収されてリサイクルされる。
【００４６】
次いで、第２基板４８の上方側に形成された紫外線放出ランプ（未図示）を介して紫外線を照射して、第１基板４４と第２基板４８間の接着剤４６を硬化させて（Ｓ４２）、光ディスクの接着を終了する。
【００４７】
このように本発明に係る光ディスク接着装置及びその方法によると、磁性懸濁液または磁性流体及び、電磁石または永久磁石を利用した磁力による押圧力が、時間の経過に連れてディスクの中心部から外周縁側に加えられるので、第１基板４４と第２基板４８間の接着剤層４６に存在する空気トラップが除去されて、空気トラップによるディスクの平面度低下を防止することができる。
【００４８】
なお、図１及び図２に示した本発明に係る光ディスク接着装置及びその方法においては、第１基板４４に一枚の第２基板４８を接着する方法に限定されず、多層膜の接着方法としても容易に適用することが可能である。すなわち、上述したような方法によって多層膜の間々に接着剤を塗布し、最上位層に磁性懸濁液または磁性流体を塗布した後、大きい磁場を発生させる電磁石または永久磁石を利用して、磁力による押圧力を基板の中心部から外周縁側に印加させることによって接着させることができる。
【００４９】
一方、本発明に係る光ディスク接着装置の第２実施形態においては、図３に示したように、回転力を発生する駆動モータ（未図示）に一体に結合された回転軸６０と、回転軸６０の一端に結合され、上面に第１基板４４が載せられるディスク支持部６２と、紫外線により硬化される接着剤４６を第１基板４４の上面に供給するために、ディスク支持部６２の上側に所定間隔を保って配置される第１ノズル６４と、第１基板４４の上面に接合される第２基板４８の上面中心部から外周縁側に空気圧を供給するために、ディスク支持部６２の上側に所定間隔を保って配置される第２ノズル６６とを備えている。
【００５０】
以下、図３の接着装置を利用した光ディスクの接着方法の１実施形態に対し、図４に基づいて説明する。
【００５１】
先ず、ディスク支持部６２の上面に厚い第１基板４４を載せる（Ｓ５０）。この時、ディスク支持部６２の上面に載せられた第１基板４４は、ディスク支持部６２の所定部位に形成された複数個の真空吸入口６１から発生する真空吸入力によってディスク支持部６２に瞬間的に固定される。
【００５２】
次いで、駆動モータ（未図示）の回転によってディスク支持部６２の上面に載せられた第１基板４４を低速回転させながら、第１基板４４の上方中央部に位置する第１ノズル６４を利用して液状接着剤４６を供給する（Ｓ５２）。
【００５３】
この時、液状接着剤４６は、第１基板４４の回転による遠心力及び自体の粘性によって第１基板４４の中心部から外周縁側に広がって所定厚さに塗布される。ここで、液状接着剤層４６の厚さは、第１基板４４の回転速度、接着剤４６の粘性及び回転時間などの組合せによって決定される。
【００５４】
次いで、接着剤４６が塗布された第１基板４４の上面に薄い第２基板４８を載せる（Ｓ５４）。
【００５５】
次いで、載せられた第２基板４８を高速回転させながら第２ノズル６４を利用して圧縮空気を加えて、第２基板４８を加圧させる（Ｓ５６）。
【００５６】
その際合、圧縮空気を加える第２ノズル６４を光ディスクの中心部から外周縁側に直線的に移動させる。ディスク支持部６２の高速回転によって、圧縮空気による圧力が第２基板４８の上面に螺旋状に加えられて行く。このように螺旋状に進みながら加えられる圧縮空気圧によって、第１基板４４と第２基板４８間の接着剤層４６にトラップされていた空気または気泡が接着剤層４６の外部であるディスク支持部６２の外周縁側に押し出されるので、第１基板４４と第２基板４８間は空気のトラップが発生せずに高速に堅固に接合される。
【００５７】
空気トラップを效果的に除去するためには、加えられる空気圧の一部分は先に印加された部分と部分的に重畳されることが好ましく、それを実現するためにディスク支持部６２の回転速度及び第２ノズル６６の移動速度を適切に制御する。
【００５８】
光ディスクの中心部及び外周縁側に空気圧を均一に印加するために、所定線速度（ＣＬＶ）方式でディスク支持部６２を回転させる駆動モータ（未図示）の回転速度を制御する。
【００５９】
次いで、圧縮空気により加えられる空気圧が第２基板４８の外周縁側に到達した後、高圧の圧縮空気を利用して第２基板４８の全面を瞬間的に加圧する（Ｓ５８）。これは必要に応じて行えばよい。
次いで、第２基板４８の上方側に形成された紫外線放出ランプ（未図示）を利用して紫外線を照射して、第１基板４４と第２基板４８間の接着剤４６を硬化させて（Ｓ６０）、光ディスクの接着を終了する。
【００６０】
圧力発生流体として、空気の代りに窒素を使用することも可能で、この場合、接着剤４６である紫外線硬化樹脂の酸化を防止して、紫外線による接着剤４６の硬化を效果的に行うことができるという効果がある。
【００６１】
以上のように、本実施形態に係る光ディスク接着装置及びその方法においては、空気圧による圧力が時間の経過に連れディスクの中心部から外周縁側に加えられるので、第１基板４４と第２基板４８間の接着剤層４６に存在する空気トラップを効果的に除去することができる。
【００６２】
以下、図３の接着装置を利用した光ディスクの接着方法の他の実施形態に対し、図５に基づいて説明する。
【００６３】
先ず、別々のディスク接着装置に具備された各ディスク支持部の上面に厚い第１基板４４及び第２基板をそれぞれ載せる（Ｓ６２、Ｓ６８）。
次いで、それぞれのディスク接着装置の各駆動モータ（未図示）の回転によって各ディスク支持部の上面に載せられた第１基板４４及び第２基板４８を低速回転させながら、第１基板４４と第２基板４８の上方中央部にそれぞれ位置する第１ノズルを利用して液状接着剤４６を供給する（Ｓ６４、Ｓ７０）。
【００６４】
次いで、接着剤４６の塗布された第１基板４４及び第２基板４８をそれぞれ高速回転させる（Ｓ６６、Ｓ７２）。
【００６５】
この時、液状接着剤４６は、各基板４４、４８の回転による遠心力及び自体の粘性によって第１基板４４及び第２基板４８の中心部から外周縁側に広がって所定の厚さに塗布される。ここで、液状接着剤層４６の厚さは、第１基板４４及び第２基板４８の回転速度、接着剤４６の粘性及び回転時間などの組合せによって決定される。
【００６６】
次いで、接着剤４６の塗布された第２基板４８を、やはり接着剤４６の塗布された第１基板４４の上面に載せた後、第１基板４４と第２基板４８とを接合させる（Ｓ７４）。
【００６７】
次いで、接合された第１基板４４及び第２基板４８を高速回転させながら第２ノズルを利用して圧縮空気を加えて、第２基板４８を加圧させる（Ｓ７６）。
【００６８】
この場合、圧縮空気を加える第２ノズルをディスクの中心部から外周縁側に直線的に移動させると、ディスク支持部６２の高速回転によって第２基板４８の上面に形成される圧縮空気の圧力の分布が螺旋状となる。このように螺旋状に進みながら加えられる圧縮空気圧によって第１基板４４と第２基板４８間の接着剤層４６にトラップされた空気または気泡は、接着剤層４６の外部であるディスク支持部６２の外周縁側側に押し出される。したがって、第１基板４４と第２基板４８とは空気のトラップが発生せずに高速に堅固に接合される。
【００６９】
空気トラップを效果的に除去するために、加えられる空気圧の一部分は先に印加された部分と部分的に重畳されることが好ましく、そのためにディスク支持部の回転速度及び第２ノズルの移動速度を適切に制御する。
【００７０】
光ディスクの中心部及び外周縁側に空気圧を均一に印加するために、所定線速度（ＣＬＶ）方式でディスク支持部を回転させる駆動モータ（未図示）の回転速度を制御する。
【００７１】
次いで、圧縮空気によって加えられる空気圧が第２基板４８の外周縁側に到達した後、別の高圧の圧縮空気を利用して第２基板４８の全面を瞬間的に加圧させる（Ｓ７８）。
【００７２】
次いで、第２基板４８の上方側に形成された紫外線放出ランプ（未図示）を介して紫外線を照射して、第１基板４４と第２基板４８間の接着剤４６を硬化させて（Ｓ８０）、光ディスクの接着を終了する。
【００７３】
圧力発生流体としては、空気の代りに窒素を使用することも可能である。その場合、接着剤４６である紫外線硬化樹脂の酸化を防止して、紫外線による接着剤４６の硬化を效果的に行うことができるという効果がある。更に、ディスクを冷却させると、紫外線の照射時、ディスクの温度上昇によるディスクの変形を防止することができる。
【００７４】
以上説明したように、図５に示した光ディスクの接着方法は、図４に示した接着方法において、第１基板４４と第２基板４８の安着段階（Ｓ５０、Ｓ５２）を順次に行わず、別々のディスク接着装置を利用して第１基板４４の安着工程（Ｓ６２）及び第２基板４８の安着工程（Ｓ６８）をそれぞれ進行させた後、それら第１基板４４と第２基板４８との接着工程を行うことが特徴である。
【００７５】
上述した本発明に係る光ディスクの接着方法においては、空気圧による押圧力が時間の経過と共にディスクの中心部から外周縁側に加えられるので、第１基板４４と第２基板４８間の接着剤層４６に存在する空気トラップが除去されて、空気トラップによるディスクの平面度低下を防止することが可能である。また、ディスク全面を均一な高圧力によりさらに加圧すると、ディスクの平面性を一層向上させることができる。
【００７６】
上記の二つの例においてはいずれも光ディスクを例としてあげているが、光ディスクに限らず、薄膜状の物体すなわち薄膜を任意の平坦な物体すなわちターゲットに接着することに利用することができる。
【００７７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る薄膜接着方法及びそれを利用した光ディスクの接着方法並びにその装置においては、薄膜接合時に流体または磁力を有する流体を利用した押圧力が、時間の経過に連れディスクの中心部から外周縁側に螺旋状に進むように加えられるので、接着剤層に存在する空気トラップを效果的に除去して、空気トラップによるディスクの平面度低下を防止し得るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る光ディスク接着装置の第１実施形態を示した断面概略図である。
【図２】  図１の接着装置を利用した光ディスクの接着方法を示したフローチャートである。
【図３】  本発明に係る光ディスク接着装置の第２実施形態を示した断面概略図である。
【図４】  図３の接着装置を利用した光ディスクの接着方法の１実施形態を示したフローチャートである。
【図５】  図３の接着装置を利用した光ディスクの接着方法の他の実施形態を示したフローチャートである。
【図６】  一般の光ディスクを示した概略図である。
【図７】  （Ａ）（Ｂ）、光ディスクから発生するコマ収差の基板厚さに対する依存性を示したもので、（Ａ）は、基板が厚い場合、（Ｂ）は、基板が薄い場合、をそれぞれ示した模式図である。
【図８】  光ディスクから発生するコマ収差を解消させるために提案された光ディスクの構造を示した概略図である。
【図９】  図８に示した光ディスクの接着装置を示した概略図である。
【図１０】  図８に示した光ディスクの接着方法を示したフローチャートである。
【符号の説明】
４０、６０：回転軸、６２：ディスク支持部、４４：第１基板、４６：接着剤、４８：第２基板、５０、６４：第１ノズル、５２、６６：第２ノズル、５４：電磁石、５６：ガイドレール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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