(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
オゾンが溶解したオゾン水を収容しそのオゾン水中に基板が浸漬されて処理される処理槽と、
この処理槽内へオゾン水を供給するオゾン水供給手段と、
合成樹脂材料によって形成され前記処理槽内から溢れ出たオゾン水を受け入れドレン排出管に連接されるドレン流出部を有する溢流水受け槽とを備えたオゾン水基板処理装置において、
前記溢流水受け槽に、溢流水受け槽を形成する合成樹脂材料より耐オゾン性に優れた材料によって形成されドレン流出管部を有する保護槽を、ドレン流出管部が溢流水受け槽の前記ドレン流出部に嵌挿されるようにして内設し、前記溢流水受け槽のドレン流出部に連接されるドレン排出管を、前記ドレン流出部を形成する合成樹脂材料より耐オゾン性に優れた材料によって形成し、前記保護槽のドレン流出管部の下端流出口を前記ドレン排出管の上端開口部内へ差し入れたことを特徴とするオゾン水基板処理装置。
【請求項２】
前記溢流水受け槽がポリプロピレンによって形成され、前記保護槽がポリフッ化ビニリデンによって形成された請求項１記載のオゾン水基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、電子部品などの基板を、オゾンが溶解したオゾン水を貯留した処理槽内へ挿入して処理するオゾン水基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
オゾン水基板処理装置は、図６に概略構成を模式的に一部破断縦断面図で示すように、フッ素樹脂、石英ガラスなどの耐薬品性を有する材料で形成され複数枚の基板、例えば半導体ウエハを収容可能である処理槽１０を有し、処理槽１０の底部に形設されたオゾン水供給口１２に、フッ素樹脂などで形成されたオゾン水供給管１４が連通接続されている。そして、純水にオゾンが溶解したオゾン水（フッ酸などが混合されている場合もある。以下、同じ。）の供給源からオゾン水供給管１４を通って処理槽１０内へオゾン水が連続して供給され、処理槽１０内にオゾン水が満たされるとともに、オゾン水が処理槽１０の上端縁から処理槽１０外へ溢れ出る。このようにしてオゾン水が貯留された処理槽１０内へ半導体ウエハが挿入され、オゾン水中に半導体ウエハが浸漬されて洗浄処理される。処理槽１０の外側には、処理槽１０を囲むように溢流水受け槽１６が設けられており、処理槽１０内から溢れ出たオゾン水が溢流水受け槽１６内に受け入れられ集められるようになっている。溢流水受け槽１６の底部には、ドレン流出管１８が設けられており、ドレン流出管１８は、ユニオン７０を介してドレン排出管７２に連接されている。そして、処理槽１０内から溢れ出て溢流水受け槽１６内に流入したオゾン水は、ドレン流出管１８を通りドレン排出管７２を通って槽外へ排出される。
【０００３】
上記したオゾン水基板処理装置の溢流水受け槽１６は、通常、複数のほかの基板処理装置の処理槽や溢流液受け槽と連設され一体的に接続されて、一連の処理を行う装置の一部を構成している。そして、処理槽や溢流液受け槽は、通常、ポリプロピレンで形成されており、互いに連設され一体的に接続された複数個の槽のうちの１つだけをポリプロピレン以外の材料によって形成することは、槽間の接続などの点から好ましくない。このため、オゾン水基板処理装置の溢流水受け槽１６も、ほかの槽と同一材料のポリプロピレンで形成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、オゾン水基板処理装置では、処理槽１０から溢れ出て溢流水受け槽１６内へ流入するのは、オゾンが溶解したオゾン水であり、溢流水受け槽１６を形成しているポリプロピレンは、オゾンに対する耐薬品性が劣る。ここで、ドレン排出管７２については、耐オゾン性に優れた材料、例えばフッ素樹脂やポリフッ化ビニリデンなどで形成されたものに変更することは容易であるが、溢流水受け槽１６については、上記したような事情から、ほかの槽と異なる材料のものに変更することができない。このため、溢流水受け槽１６が短期間で劣化してしまう、といった問題点がある。
【０００５】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、オゾンによる溢流水受け槽の劣化を防止することができるオゾン水基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、オゾンが溶解したオゾン水を収容しそのオゾン水中に基板が浸漬されて処理される処理槽と、この処理槽内へオゾン水を供給するオゾン水供給手段と、合成樹脂材料によって形成され前記処理槽内から溢れ出たオゾン水を受け入れドレン排出管に連接されるドレン流出部を有する溢流水受け槽とを備えたオゾン水基板処理装置において、前記溢流水受け槽に、溢流水受け槽を形成する合成樹脂材料より耐オゾン性に優れた材料によって形成されドレン流出管部を有する保護槽を、ドレン流出管部が溢流水受け槽の前記ドレン流出部に嵌挿されるようにして内設し、前記溢流水受け槽のドレン流出部に連接されるドレン排出管を、前記ドレン流出部を形成する合成樹脂材料より耐オゾン性に優れた材料によって形成し、前記保護槽のドレン流出管部の下端流出口を前記ドレン排出管の上端開口部内へ差し入れたことを特徴とする。
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の処理装置において、溢流水受け槽がポリプロピレンによって形成され、保護槽がポリフッ化ビニリデンによって形成されたことを特徴とする。
【０００８】
【０００９】
【００１０】
請求項１に係る発明のオゾン水基板処理装置においては、溢流水受け槽を形成する合成樹脂材料、例えば請求項２に係る発明の装置のようにポリプロピレンより耐オゾン性に優れた材料、例えば請求項２に係る発明の装置のようにポリフッ化ビニリデンによって形成された保護槽が、溢流水受け槽内に配設されており、保護槽のドレン流出管部が溢流水受け槽のドレン流出部に嵌挿されているので、処理槽内から溢れ出たオゾン水は、保護槽内へ流入し、保護槽内からドレン流出管部を通ってドレン排出管内へ流れ込み、装置外へ排出される。したがって、耐オゾン性の劣る溢流水受け槽の内壁面やそのドレン流出部の内周面は、オゾン水と接触することがなくなるので、オゾンによる溢流水受け槽の劣化が防止される。
また、ドレン排出管が、溢流水受け槽のドレン流出部を形成する合成樹脂材料、例えばポリプロピレンより耐オゾン性に優れた材料、例えばポリフッ化ビニリデンによって形成されていて、そのドレン排出管の上端開口部内へ保護槽のドレン流出管部の下端流出口が差し入れられているので、処理槽内から溢れ出たオゾン水は、耐オゾン性の劣る部分と接触することなく、保護槽内からドレン流出管部を通ってドレン排出管内へ流れ込んで装置外へ排出される。
【００１１】
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図１ないし図５を参照しながら説明する。
【００１３】
図１および図２は、この発明の実施形態の１例を示し、図１は、オゾン水基板処理装置の概略構成を模式的に示す一部破断縦断面図であり、図２は、その処理装置の溢流水受け槽のドレン流出部とドレン排出管との接続部分を示す部分拡大縦断面図である。この処理装置において、処理槽および溢流水受け槽の構成自体は従来の処理装置と同様であるので、それぞれの構成要素に図６で使用した符号と同一符号を付して、それらの説明を省略する。また、溢流水受け槽１６およびそのドレン流出管１８は、従来の処理装置と同様に、例えばポリプロピレンによって形成されている。
【００１４】
この処理装置には、溢流水受け槽１６に、それより僅かに小さい外形を有する保護槽２０が内設されている。保護槽２０の底部には、図２に示すように、ドレン流出管１８の内径より僅かに小さい外径を有するドレン流出管部２２が形設されており、ドレン流出管部２２が溢流水受け槽１６のドレン流出管１８内に嵌挿されている。保護槽２０およびそのドレン流出管部２２は、溢流水受け槽１６およびそのドレン流出管１８を形成しているポリプロピレンより耐オゾン性に優れた材料、例えばポリフッ化ビニリデンによって形成されている。また、溢流水受け槽１６のドレン流出管１８は、ユニオン２４によってドレン排出管２６に連接されており、ドレン排出管２６も、耐オゾン性に優れた材料、例えばポリフッ化ビニリデンによって形成されている。保護槽２０およびそのドレン流出管部２２ならびにドレン排出管２６を形成する材料としては、ポリフッ化ビニリデンのほか、フッ素樹脂、石英ガラス、セラミック、ポリ塩化ビニルなどを用いることができる。
【００１５】
保護槽２０のドレン流出管部２２は、図２に示したように、その下端流出口がドレン排出管２６の上端開口部内へ差し入れられる程度の長さ寸法に形成される。また、ユニオン２４のユニオンねじ２８およびユニオンナット３０は、例えば溢流水受け槽１６のドレン流出管１８と同一材料であるポリプロピレンによって形成されており、ユニオンつば３２は、例えばドレン排出管２６と同一材料であるポリフッ化ビニリデンによって形成されている。なお、ユニオン２４のユニオンねじ２８、ユニオンナット３０およびユニオンつば３２の全部を同一材料、例えばポリフッ化ビニリデンで形成するようにしてもよい。図２中の符号３４は、Ｏ−リングである。
【００１６】
上記した構成の処理装置では、処理槽１０内から溢れ出たオゾン水は、保護槽２０内へ流入し、保護槽２０内からドレン流出管部２２を通ってドレン排出管２６内へ流れ込み、装置外へ排出される。このように、処理槽１０内から溢れ出たオゾン水と接触する部分は、すべてポリフッ化ビニリデンによって形成されており、また、ドレン排出管２６の上端部と係合するユニオン２４のユニオンつば３２もポリフッ化ビニリデンによって形成され、一方、ポリプロピレンで形成された溢流水受け槽１６の内壁面やそのドレン流出管１８の内周面ならびにユニオン２４のユニオンねじ２８およびユニオンナット３０には、オゾン水が触れる恐れが全く無い。このため、ドレン中に含まれるオゾンによりこの処理装置の構成部材が腐食される、といった心配は無い。
【００１７】
なお、上記実施形態においては、溢流水受け槽１６のドレン流出管１８とドレン排出管２６とを連接するのにユニオン２４を使用しているが、ドレン流出管とドレン排出管との連接方法は、ユニオン以外の連接具を用いたものであってよい。例えば、図３に示すように、ポリプロピレンで形成された溢流水受け槽１６のドレン流出管１８ａの下端部にフランジ部を形設するとともに、ポリフッ化ビニリデンで形成されたドレン排出管２６ａの上端部にフランジ部を形設し、ドレン流出管１８ａのフランジ部とドレン排出管２６ａのフランジ部とを、パッキン３６を介在させて接合させ、両フランジ部をボルト・ナットで連結するようにしてもよい。この場合にも、保護槽２０のドレン流出管部２２は、その下端流出口がドレン排出管２６ａの上端開口部内へ差し入れられる程度の長さ寸法に形成される。また、図４に示すように、ポリプロピレンで形成された溢流水受け槽１６のドレン流出部１８ｂの内周面に雌ねじを螺刻するとともに、ポリフッ化ビニリデンで形成されたドレン排出管２６ｂの上端部外周面に雄ねじを螺刻し、ドレン流出部１８ｂとドレン排出管２６ｂの上端部とを螺着するようにしてもよい。この場合にも、保護槽２０のドレン流出管部２２の下端流出口がドレン排出管２６ｂの上端開口部内へ差し入れられるようにする。
【００１８】
次に、図５は、この発明の別の実施形態を示し、オゾン水基板処理装置の概略構成を模式的に示した縦断面図である。この処理装置は、耐オゾン性材料、例えば石英ガラスやフッ素樹脂などによって形成されオゾン水供給管４０を通して内底部へオゾン水が連続して供給され槽内にオゾン水を収容する処理槽３８を有し、処理槽３８の底部が、底壁面に超音波照射装置４２が付設された間接超音波照射槽４４に貯留された水４６中に浸漬されている。この処理槽３８では、その槽内に収容されたオゾン水中に基板が浸漬されてオゾン洗浄されるとともに、超音波照射装置４２から照射される超音波によって処理槽３８内のオゾン水中の基板が超音波洗浄される。
【００１９】
処理槽３８の上部外周面には、処理槽３８の上端縁から溢れ出たオゾン水を受け入れる溢流水受け部４８が付設されている。また、処理槽３８が配置されている間接超音波照射槽４４と隣接して溢流水受け槽５０が設けられており、溢流水受け部４８には、その内部に流入したオゾン水を溢流水受け槽５０内へ導入するための溢流水導管５２が一体に形設されている。溢流水受け部４８および溢流水導管５２は、処理槽３８と同一の耐オゾン性材料によって形成されており、間接超音波照射槽４４および溢流水受け槽５０は、例えばポリプロピレンによって形成されている。
【００２０】
溢流水受け槽５０内には、それより僅かに小さい外形を有し耐オゾン性に優れた材料、例えばポリフッ化ビニリデンによって形成された保護槽５４が配設されている。保護槽５４の底部には、図１および図２に示した処理装置と同様に、ポリプロピレンで形成された溢流水受け槽５０のドレン流出管５６の内径より僅かに小さい外径を有しポリフッ化ビニリデンによって形成されたドレン流出管部５８が形設され、ドレン流出管部５８がドレン流出管５６内に嵌挿されている。また、溢流水受け槽５０のドレン流出管５６は、図２に示したユニオン２４と同一構成のユニオン６０により、耐オゾン性に優れた材料、例えばポリフッ化ビニリデンによって形成されたドレン排出管６２に連接されている。そして、図示していないが、保護槽５４のドレン流出管部５８の下端流出口がドレン排出管６２の上端開口部内へ差し入れられている。
【００２１】
図５に示した処理装置においても、処理槽３８内から溢れ出たオゾン水は、溢流水受け部４８内へ流入し、溢流水導管５２を通って保護槽５４内へ流れ込み、保護槽５４内からドレン流出管部５８を通ってドレン排出管６２内へ流入し、装置外へ排出され、処理槽３８内から溢れ出たオゾン水と接触する部分は、すべて耐オゾン性に優れた材料によって形成されている。このため、ドレン中に含まれるオゾンによってこの処理装置の構成部材が腐食される心配が全く無い。
【００２２】
【００２３】
【発明の効果】
請求項１および請求項２に係る各発明のオゾン水基板処理装置を使用すると、それぞれオゾンによる溢流水受け槽の劣化が防止され、装置の寿命が長くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施形態の１例を示し、オゾン水基板処理装置の概略構成を模式的に示す一部破断縦断面図である。
【図２】  図１に示した処理装置の溢流水受け槽のドレン流出部とドレン排出管との接続部分を示す部分拡大縦断面図である。
【図３】  溢流水受け槽のドレン流出部とドレン排出管との連接方法の、図２に示した方法とは異なる方法を示す部分拡大縦断面図である。
【図４】  溢流水受け槽のドレン流出部とドレン排出管との連接方法の、図２および図３に示した各方法とは異なる方法を示す部分拡大縦断面図である。
【図５】  この発明の別の実施形態を示し、オゾン水基板処理装置の概略構成を模式的に示した縦断面図である。
【図６】  従来のオゾン水基板処理装置の概略構成の１例を模式的に示す一部破断縦断面図である。
【符号の説明】
１０、３８  処理槽
１２  オゾン水供給口
１４、４０  オゾン水供給管
１６、５０  溢流水受け槽
１８、１８ａ、５６  溢流水受け槽のドレン流出管
１８ｂ  溢流水受け槽のドレン流出部
２０、５４  保護槽
２２、５８  保護槽のドレン流出管部
２４、６０  ユニオン
２６、２６ａ、２６ｂ、６２  ドレン排出管
３６  パッキン
４２  超音波照射装置
４４  間接超音波照射槽
４８  溢流水受け部
５２  溢流水導管
【図１】
0003662732.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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