(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の導電膜、絶縁膜および第２の導電膜を積層して構成される非線形抵抗素子の製造方法であって、
基板上に、主成分であるタンタルにタングステンが添加された第１の導電膜を形成する工程と、
タングステン酸イオンを含む電解液を使用し、かつ、前記電解液のｐＨを前記第１の導電膜に含まれるタングステン濃度に応じて調整するという条件下で前記第１の導電膜を陽極酸化して、前記第１の導電膜上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に第２の導電膜を形成する工程と、を含み、
前記第１の導電膜には、タングステンが０．２重量％〜１重量％の割合で添加されており、
前記電解液のｐＨは、８．２〜９であることを特徴とする非線形抵抗素子の製造方法。
【請求項２】
第１の導電膜、絶縁膜および第２の導電膜を積層して構成される非線形抵抗素子の製造方法であって、
基板上に、主成分であるタンタルにタングステンが添加された第１の導電膜を形成する工程と、
タングステン酸イオンを含む電解液を使用し、かつ、前記電解液のｐＨを前記第１の導電膜に含まれるタングステン濃度に応じて調整するという条件下で前記第１の導電膜を陽極酸化して、前記第１の導電膜上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に第２の導電膜を形成する工程と、を含み、
前記第１の導電膜には、タングステンが０．２重量％〜１重量％の割合で添加されており、
前記電解液のｐＨは、８．２〜９であり、
前記絶縁膜には、タングステンが前記第１の導電膜および前記電解液から導入されることを特徴とする非線形抵抗素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
[技術分野]
本発明は、非線形抵抗素子およびその製造方法ならびに液晶表示装置に関し、特に、アクティブマトリクス型液晶表示装置のスイッチング素子として用いられるＭＩＭ（Ｍｅｔａｌ−Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ−Ｍｅｔａｌ）構造を有する素子（以下、ＭＩＭ素子という）およびその製造方法に関する。
[背景技術]
ＭＩＭ素子は、絶縁体薄膜を２枚の導電性薄膜でサンドイッチした構造を有しており、導電性薄膜間の電圧−電流特性が非線形を示すことを利用したスイッチング素子である。
ＭＩＭ素子を用いた液晶パネルにおいて、高い画質を実現するためには、以下に示す特性を満足させることが必要である。
▲１▼素子の容量が液晶の容量に対して十分に小さいこと、
▲２▼素子の特性の経時的変化が小さいこと、
▲３▼素子の電圧−電流特性において大きな非線形性を有し、オン電流とオフ電流の比が十分に大きいこと、
▲４▼駆動電圧の極性を周期的に異ならせて素子を駆動した場合の、電圧−電流特性が、正電圧側と負電圧側とで対称的であること。
なお、駆動電圧の極性を周期的に異ならせて素子を駆動する駆動法を、以下、「反転駆動」という。
本願発明者等は、ＭＩＭ素子に要求される上述の特性を改善するべく、先に、ガラス基板上に、主成分であるタンタル（Ｔａ）にタングステン（Ｗ）が添加された第１の金属膜を形成し、その第１の金属膜上に陽極酸化により絶縁膜を形成する技術を開発し、特許出願を行っている（国際出願番号；ＰＣＴ／ＪＰ９４／００２０４、国際公開番号；ＷＯ  ９４／１８６００）。
この技術を用いると、ＭＩＭ素子の特性の経時的変化を大きく低減できる。
本願発明者は、ＭＩＭ素子のさらなる特性の向上をめざして研究を続行した。その研究は、ＭＩＭ素子の特性の経時的変化をさらに低減すること、ならびに反転駆動をした場合のＭＩＭ素子の正電圧側と負電圧側における（逆極性における）電圧−電流特性を対称的なものとして「極性差」を低減する技術を確立すること、に重点をおいて行われた。
「極性差」とは、図１６に示されるように、ＭＩＭ素子を反転駆動した場合において、第１の導電膜から絶縁膜を介して第２の導電膜へ１Ａ／ｃｍ2の電流（Ｐｏｏｌｅ−ｆｒｅｎｋｅｌ電流）を流すのに必要な電圧Ｖ１と、第２の導電膜から絶縁膜を介して第１の導電膜へ１Ａ／ｃｍ2の電流を流すのに必要な電圧Ｖ２との電位差ΔＶ（＝Ｖ１−Ｖ２）をいう。なお、図１６において、縦軸は電流密度の絶対値（対数スケール）であり、横軸は電圧の絶対値（リニアスケール）である。また、図１６中、参照番号１１００と参照番号１２００は、それぞれＭＩＭ素子の正電圧側と負電圧側における特性を示している。
「極性差」が大きいと、長時間にわたって同一のパターンを液晶画面に表示した後に次の画面に切り替えたときに、前の表示パターンがはっきりと残ってしまうという、いわゆる「焼き付き現象」が発生し、液晶表示装置の表示品質が低下する。「焼き付き現象」が発生する原因は、ＭＩＭ素子の反転駆動時の非対称性に起因して生じる直流成分により、液晶素子において分極が生じるからである。したがって、液晶表示装置の表示品質を向上させるためには、ＭＩＭ素子の極性差を低減することが重要である。
本発明は、本発明者によってなされた上述の研究の結果に基づいてなされたものである。
[発明の開示]
本発明の一つの目的は、ＭＩＭ素子の特性の経時的変化をさらに低減できる新規なＭＩＭ素子およびその製造方法を提供することである。
本発明の他の目的は、ＭＩＭ素子の「極性差」を低減して液晶表示装置における「焼き付き現象」を防止することである。
また、本発明のさらに他の目的は、上述の「極性差」の低減に加え、さらにＭＩＭ素子のオン電流とオフ電流の比を従来より大きくして、これにより、信頼性が高く、かつ高品位表示が可能な液晶表示装置を提供することである。
本発明のＭＩＭ素子は、基板上に、第１の導電膜、絶縁膜および第２の導電膜を積層して構成され、絶縁膜中に、タングステン原子が絶縁膜の膜厚方向に連続して分布していることを特徴とする。
本発明者の研究により、タングステン原子が絶縁膜の膜厚方向に連続して分布している素子は、不連続な分布の素子に比べて、素子特性の経時的変化がより小さいことが明らかとなった。
本発明の非線形抵抗素子の製造方法は、主成分であるタンタルにタングステンが添加された第１の導電膜を基板上に形成する工程と、タングステン酸イオンを含む電解液を使用し、かつ、前記電解液のｐＨを前記第１の導電膜に含まれるタングステン濃度に応じて調整するという条件下で前記第１の導電膜を陽極酸化して、前記第１の導電膜上に絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に第２の導電膜を形成する工程と、を含む。
本発明者の研究によると、タングステン原子を連続して分布させるためには、第１の導電膜からのタングステン原子の供給だけでは不十分であり、さらに、タングステン酸イオンを含む電解液を使用して陽極酸化を行い、電解液から絶縁膜中にタングステン原子を供給することが必要であることがわかった。
また、本発明者の研究により、ＭＩＭ素子の「極性差」は、第１の導電膜におけるタングステン濃度に依存して変化し、かつ、同一のタングステン濃度であっても電解液のｐＨに依存して変化することがわかった。したがって、第１の導電膜におけるタングステン濃度を規定し、そのタングステン濃度に応じて陽極酸化に使用する電解液のｐＨを設定することにより、「極性差」をほぼ零とすることができる。第１の導電膜におけるタングステン濃度は、望ましくは、非線形抵抗素子のオン電流とオフ電流の比を大きくとれる濃度に設定する。
陽極酸化の電解液としては、タングステン酸塩、例えばタングステン酸カリウム、タングステン酸ナトリウム、タングステン酸リチウム、タングステン酸アンモニウムなどの水溶液を用いることができ、望ましくは、タングステン酸アンモニウム水溶液を用い、さらに、ｐＨ調整剤としてアンモニアを用いる。この場合、非線形抵抗素子の「極性差」のｐＨ依存性が顕著であり、したがって、「極性差」を零とするための調整が容易となる。
また、望ましくは、電解液を０℃〜１０℃に保持して第１の導電膜の陽極酸化を行う。ＭＩＭ素子のオン電流とオフ電流の比を増大させるのに有効である。
また、望ましくは、第１の導電膜上を陽極酸化した後にアニールを施す。本発明者の研究によると、第１の導電膜のタングステン濃度が同じでも、アニール温度に応じて、ＭＩＭ素子の「極性差」に与える影響が異なることがわかった。つまり、アニール温度が異なると、ＭＩＭ素子の「極性差」を零とするために必要なｐＨ値は同じでも、その必要なｐＨ値からずれた場合の「極性差」の変化量が異なることがわかった。ｐＨ値の制御の容易性等を考慮して最適なアニール温度を選択するのが望ましい。
また、第２の導電膜として例えばクロム等の金属膜を使用する場合には、第１の導電膜には、タングステンを０．１重量％〜２重量％の割合で添加するのが望ましい。これにより、絶縁膜中にタングステン原子を連続して分布させることができ、かつ、導電率を適正な値に維持することが可能となる。この場合、タングステンの添加量が少なすぎると素子の特性の経時変化を十分小さくすることができず、タングステンの添加量が多すぎると素子の急峻性を十分高くすることができなくなる。
また、第２の導電膜として例えばインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）からなる透明導電膜を使用する場合には、第１の導電膜には、タングステンを１．０重量％〜１０重量％の割合で添加するのが望ましい。これにより、第２の導電膜としてＩＴＯ膜を使用した場合には、絶縁膜中にタングステン原子を連続して分布させることができ、かつ、絶縁膜の導電率を適正な値に維持することが可能となる。
すなわち、ＩＴＯ膜を使用した場合には、そのＩＴＯ膜から酸素原子が絶縁膜中に移動して絶縁膜の抵抗が高くなり、オン電流が小さくなってしまう。したがって、この高抵抗化を緩和して絶縁膜の導電率をＭＩＭ素子として適正な値に維持するために、第１の導電膜からのタングステン原子の供給を増やす必要があり、そのために、第１の導電膜のタングステン濃度は、第２の導電膜としてクロム等の金属膜を使用する場合に比べて、高濃度となっているが、素子の特性の経時変化特性及び素子の急峻性は十分確保されている。この場合、第２の導電膜をＩＴＯ以外の酸化物導電膜にしても、第１の導電膜にはタングステンを１．０〜１０重量％の割合で添加するのが望ましい。
本発明の液晶表示装置は、本発明の製造方法により製造された非線形抵抗素子をスイッチング素子として用いた、アクティブマトリクス型の液晶表示装置である。液晶の特性の経時変化が少なく、焼き付き現象が発生しにくく、かつ高コントラスト表示が可能な高性能な液晶表示装置が実現される。
【図面の簡単な説明】
図１ＡはＳＩＭＳ（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を用いて、陽極酸化により作成された絶縁膜中に含まれる元素の濃度の分布を分析した分析結果の一例を示す図であり、図１Ｂは、分析結果の他の例（比較例）を示す図であり、
図２Ａは、ＭＩＭ素子の第１の導電膜におけるタングステンの添加量と、１０時間の連続したＭＩＭ素子の駆動の前後におけるＭＩＭ素子のオン電流の変化量との関係を示す図であり、図２ＢはＭＩＭ素子の第１の導電膜におけるタングステンの添加量と、絶縁膜中におけるタングステンが含まれない領域の長さとの関係を示す図であり、
図３は、ＭＩＭ素子の第１の導電膜としてタンタルとタングステンの合金膜を用いた場合のＭＩＭ素子のオン電流の経時変化（特性線６１）と、タンタルのみの金属膜を用いた場合のＭＩＭ素子のオン電流の経時変化（特性線６２）とを比較して示す図であり、
図４Ａは、第２の導電膜として金属膜を用いたＭＩＭ素子の平面図であり、図４Ｂは、図４ＡのＡ−Ａ線に沿うＭＩＭ素子の断面図であり、
図５Ａは、第２の導電膜としてＩＴＯ膜を用いたＭＩＭ素子の平面図であり、図５Ｂは、図５ＡのＣ−Ｃ線に沿うＭＩＭ素子の断面図であり、
図６は、ＭＩＭ素子をスイッチング素子として用いたアクティブマトリクス型液晶表示装置の構造を示す図であり、
図７Ａ〜図７Ｃはそれぞれ、ＭＩＭ素子の製造プロセスを説明するための各工程におけるＭＩＭデバイスの断面図であり、
図８Ａ，図８Ｂはそれぞれ、陽極酸化による絶縁膜の形成法を説明するための図であり、
図９は、電解液の温度を低温（０℃〜１０℃）に保って陽極酸化を行った場合と室温（２５℃）で行った場合とで、ＭＩＭ素子の電流−電圧特性の急峻性がどのように異なるかを説明するための図であり、
図１０は、第１の導電膜に含まれるタングステン量ならびにｐＨ値と、ＭＩＭ素子の「極性差」との関係を示す図であり、
図１１は、第１の導電膜に含まれるタングステン量と、ＭＩＭ素子の「極性差」を零とするために必要なｐＨ値との関係を示す図であり、
図１２は、第１の導電膜に含まれるタングステン量と、ＭＩＭ素子の電流−電圧特性の急峻性（β値）との関係を示す図であり、
図１３は、ＭＩＭ素子の電流−電圧特性の急峻性（β値）を説明するための図であり、
図１４は、陽極酸化後のアニール温度と、ＭＩＭ素子の「極性差」との関係を示す図であり、
図１５は、ＭＩＭ素子をスイッチング素子として用いたアクティブマトリクス型液晶表示装置の回路構成を示す図であり、
図１６は、ＭＩＭ素子の「極性差」を説明するための図であり、
図１７Ａは、ＳＩＭＳによる分析方法を説明するための図であり、図１７Ｂは、電解液のタングステン酸イオン濃度と、絶縁膜の膜厚方向にタングステンが進入する深さとの関係を示す図である。
[発明を実施するための最良の形態]
本発明のＭＩＭ素子は、基板上に、第１の導電膜、絶縁膜および第２の導電膜を積層して構成され、絶縁膜中に、タングステン原子が絶縁膜の膜厚方向に連続して分布している。タングステン原子は、前記絶縁膜の膜厚方向に、実質的に均一に分布していることが望ましい。
また、第１の導電膜は主成分であるタンタルにタングステンが添加された金属膜であり、絶縁膜は前記第１の導電膜を陽極酸化して得られる陽極酸化膜であり、かつ、第２の導電膜中にはタンタル原子およびタングステン原子が前記絶縁膜の膜厚方向に連続して分布しており、第２の導電膜は金属膜、あるいはインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）などからなる透明導電膜であることが望ましい。
また、第２の導電膜として金属膜を使用する場合には、第１の導電膜には、タングステンが０．１重量％〜２重量％の割合で添加されていることが望ましい。
また、第２の導電膜としてＩＴＯ膜を使用する場合には、第１の導電膜には、タングステンが１．０重量％〜１０重量％の割合で添加されているのが、望ましい。
本発明のＭＩＭ素子９００は具体的には、第２の導電膜として金属からなる膜を使用する場合には、図４Ａ，図４Ｂに示される構成となる。図４ＡはＭＩＭ素子の平面図であり、図４Ｂは図４ＡのＡ−Ａ線に沿う断面図である。
ガラス等の透明基板１００上に、タンタル酸化物（ＴａＯX）からなる膜１１０が形成され、その上に第１の導電膜としてタンタルとタングステンの合金膜１２０が形成されている。その上に陽極酸化により作成される絶縁膜１３０が形成され、その上に第２の導電膜としてクロムからなる膜１４０が形成されている。そして、クロム膜１４０の一端に、画素電極であるＩＴＯ膜１５０が導電接続されている。
また、第２の導電膜としてＩＴＯ膜を使用する場合には、本発明のＭＩＭ素子は、図５Ａ，図５Ｂに示される構成となる。図５ＡはＭＩＭ素子の平面図であり、図５Ｂは図５ＡのＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
図４Ａ，Ｂの場合とほぼ同じ構成をしているが、第２の導電膜としてＩＴＯ膜１５１が形成されていて、このＩＴＯ膜１５１が画素電極も兼ねている点が異なる。
なお、図５Ａ，図５Ｂにおいて、ＩＴＯ膜１５１の代わりにクロム膜等の金属膜を使用してもよい。このようなＭＩＭ素子は、反射型の液晶装置に適用できる。
また、本発明のＭＩＭ素子の製造方法は、基板上に、主成分であるタンタルにタングステンが添加された第１の導電膜を形成する工程と、タングステン酸イオンを含む電解液を使用し、かつ、前記電解液のｐＨを前記第１の導電膜に含まれるタングステン濃度に応じて調整するという条件下で前記第１の導電膜を陽極酸化して、前記第１の導電膜上に絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に第２の導電膜を形成する工程とを含む。特に、陽極酸化の電解液としてタングステン酸アンモニウム水溶液を用い、ｐＨ調整剤としてアンモニアを用いて、電解液のｐＨを調整するのが望ましい。
また、電解液を０℃〜１０℃に保持するのが望ましい。
また、駆動電圧の極性を周期的に反転させてＭＩＭ素子を駆動した場合の、正電圧側と負電圧側のそれぞれの電圧−電流特性間に生じるずれ量を最小にできる電解液のｐＨ値と、第１の導電膜に含まれるタングステン濃度との関係をあらかじめ調べておき、その関係を用いて、第１の導電膜に含まれるタングステン濃度に対応した最適な電解液のｐＨ値を求め、電解液のｐＨを前記最適のｐＨ値に調整して第１の導電膜の陽極酸化を行うのが望ましい。
また、第１の金属膜に含まれるタングステン濃度が増大すると、これに合わせて電解液のｐＨを減少させて第１の導電膜の陽極酸化を行うのが望ましい。
また、第１の導電膜上を陽極酸化した後にアニールを施し、そのアニール温度は３５０℃〜４５０℃の範囲であることが望ましい。
また、主成分であるタンタルにタングステンが０．２重量％添加された第１の導電膜を形成し、タングステン酸アンモニウムの、飽和水溶液ないし飽和水溶液の１／１０の濃度の水溶液を電解液として使用し、かつ、ｐＨ調整剤としてアンモニアを用いて前記電解液のｐＨを９．０に調整して前記第１の導電膜の陽極酸化を行い、その後、４３０℃で熱処理して、前記第１の導電膜上に絶縁膜を形成するのが望ましい。
また、ＭＩＭ素子をスイッチング素子として用いた、本発明のアクティブマトリクス型の液晶表示装置は、図１５に示されるような回路構成をしている。信号線６００と走査線７００との間にＭＩＭ素子９００と液晶素子８００とが直列に接続されている。信号線６００は信号線駆動回路４００により駆動され、走査線７００は走査線駆動回路５００により駆動される。なお、図１５では、ＭＩＭ素子９００が走査線７００に接続され、液晶素子８００が信号線６００に接続されているが、これに限定されず、ＭＩＭ素子９００が信号線６００に接続され、液晶素子８００が走査線７００に接続されてもよい。
本発明の液晶表示装置の構造が図６に示される。画素電極１５０が形成されたアクティブマトリクス基板１００と帯状の対向電極７００が形成された対向基板２２０とを対向して配置し、その間に液晶層２３０を封入した構造となっている。
本発明のＭＩＭ素子とその製造方法を、さらに具体的に説明するために、以下、その好適な実施例および実験例について説明する。
（実施例および実験例）
図７Ａ〜図７Ｃに示される製造工程により、第１の導電膜のタングステン濃度や陽極酸化の条件を変えながら複数のＭＩＭ素子のサンプルを作成し、それらの特性を調べた。ＭＩＭ素子の作成は以下のようにして行われた。
ガラス基板１００の表面に設けられたタンタル酸化物（ＴａＯX）膜１１０上に、タンタルとタングステンの合金膜（第１の導電膜）１２０を形成して、所定のパターンに加工する（図７Ａ）。
タンタルとタングステンの合金膜の膜厚は３００ｎｍである。この合金膜は、純度９９．９９％のタンタル−タングステン混合化合物をターゲットとして用い、０．１パスカル〜０．５パスカル程度の真空度および３ｋＷのパワーで、スパッタリングを行って作成された。なお、比較例としてタンタルだけの膜も作成した。
次に、第１の導電膜１２０を陽極酸化して絶縁膜１３０を形成する（図７Ｂ）。
陽極酸化は図８Ａに示すように基板１００を電解液中に挿入し、基板１００を陽極とし、基板に対向させて陰極３００を配置して、定電流法（０．１ｍＡ／ｃｍ2）を用いて２８Ｖまで電圧を上昇させた後、２８Ｖを定常的に印加しながら２時間放置した。その結果、図８Ｂに示すように、タンタルとタングステンの合金膜１２０上に、５０ｎｍの絶縁膜が形成された。
電解液としては、タングステン酸アンモニウム水溶液を使用した。なお、比較例としてクエン酸水溶液を使用した。
また、ｐＨ調整剤としてアンモニア（アンモニア水）を用いた。
また、電解液の温度は、０℃〜１０℃の範囲に制御して行った。なお、比較例として、電解液の温度を室温に維持した場合についても実験を行った。
さらに、陽極酸化後に、種々の温度の下で陽極酸化膜のアニールを行った。
次に、スパッタリング法によりクロム膜を１００ｎｍ堆積して第２の導電膜１４０を形成し、続いて、５０ｎｍのＩＴＯ電極１５０を形成した。また、第２の導電膜１４０としてＩＴＯ膜（５０ｎｍ）を用いたサンプルも作成した。
このようにして作成されたサンプルを解析して、以下の結果を得た。
（１）第１の導電膜１２０におけるタングステン添加の効果について
▲１▼図３に示すように、タングステンを添加したサンプルのオン電流値の経時的変化（特性線６１）は、タングステンを添加しないサンプルの経時的変化（特性線６２）に比較して極めて小さい。
▲２▼但し、陽極酸化の電解液としてタングステン酸アンモニウムを用いる場合と、クエン酸を用いる場合とでは、ＭＩＭ素子のオン電流値の経時的変化を抑制する効果に差が生じる。つまり、タングステン酸アンモニウムを用いた場合には、クエン酸を用いた場合に比べて、さらにＭＩＭ素子のオン電流値の経時的変化が小さくなる。
その理由を調べるために、良好な特性を示す第１のサンプルおよび第１のサンプルよりも特性が劣る第２のサンプルについて、ＳＩＭＳ（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を用いて、陽極酸化により作成された絶縁膜中の絶縁膜の膜厚方向に沿う不純物濃度の分布を分析した。各サンプルは、以下のようにして作成された。
第１のサンプル
第１の導電膜としては、タングステンが０．２重量％含まれるタンタル膜を使用した。陽極酸化の電解液としてタングステン酸アンモニウムを用い、アンモニアでｐＨ調整を行って、ｐＨ９に調整した。陽極酸化に用いられる電解液の濃度は、アンモニア添加によりｐＨ調整が可能な濃度であればよく、その具体的な濃度は特に問題とならない。また、電解液の温度は０℃〜１０℃に保持した。また、陽極酸化後には４３０℃でアニールを行った。
第２のサンプル
第１の導電膜としては、タングステンが０．２重量％含まれるタンタル膜を使用した。陽極酸化の電解液としてクエン酸を用い、アンモニアでｐＨ調整を行って、ｐＨ９に調整した。陽極酸化に用いられる電解液の濃度は、アンモニア添加によりｐＨ調整が可能な濃度であればよく、その具体的な濃度は特に問題とならない。また、電解液の温度は０℃〜１０℃に保持した。また、陽極酸化後には４３０℃でアニールを行った。
第１のサンプルのＳＩＭＳによる分析結果は図１Ａに示され、第２のサンプルの分析結果は図１Ｂに示される。ＳＩＭＳによる分析は、図１７Ａに示されるように、セシウムイオン（ＣX+）や酸素イオン（Ｏ2-）を用いて、ＭＩＭ素子の表面のＡ点から素子を削っていき、飛び出してきた原子の数を質量分析計にてカウントすることにより行われた。
図１Ａ，図１Ｂにおいて、縦軸はＳＩＭＳによるカウント値（任意単位）であり、横軸は図１７Ａの表面のＡ点からの距離である。
図１Ａ，図１Ｂにおいて、特性線１０は酸素原子の分布を示し、特性線２０はタンタル原子の分布を示し、特性線３０はタングステン原子の分布を示し、「Ｌ１」は絶縁膜の厚み（＝５０ｎｍ）であり、「Ｌ２」はタングステン原子が存在しない層の厚みを示している。
電流値の経時的変化が少ない第１のサンプルでは、図１０Ａに示すように、絶縁膜１３０には途切れることなくタングステン原子が分布している。一方、特性が劣る第２のサンプルについては、絶縁膜１３０にはタングステン原子が含まれない層（Ｌ２に相当する）が存在している。このような構造の差は、電解液からのタングステン原子の供給があるか否かにより決定される。
つまり、第２のサンプルは、タングステン酸イオンを含まないクエン酸を用いた陽極酸化により作成されるため、絶縁膜へのタングステンの供給は、第１の導電膜１２０からのみ行われる。そして、第１の導電膜１２０からの供給だけでは、絶縁膜中に連続した分布を形成するのに十分な量のタングステンの供給がなされず、ゆえに、図１Ｂに示すように、タングステン原子が存在しない層「Ｌ２」が形成されるのである。
一方、第１のサンプルの場合は、電解液であるタングステン酸アンモニウムから絶縁膜へとタングステンが供給されるため、図１Ａに示すように、絶縁膜中にタングステンがほぼ均一に連続して分布するようになる。
電解液のタングステン酸イオン濃度と、絶縁膜の膜厚方向にタングステンが進入する深さとの関係を調べた結果を図１７Ｂに示す。図１７Ｂから明らかなように、電解液のタングステン酸イオン濃度が極めて小さい場合を除き、絶縁膜中にタングステンが進入する深さは電解液の濃度に依存せず、ほぼ一定となる。
すなわち、アンモニア添加によりｐＨ調整が可能な濃度で陽極酸化を行えば、図１Ａに示すように、絶縁膜中のタングステン濃度は、絶縁膜の膜厚方向にほぼ連続し、かつ実質的に均一となり、濃度勾配をもつことはない。
このように、絶縁膜中における連続かつ均一なタングステンの分布によって、ＭＩＭ素子のオン電流の変化が極めて低減されることがわかった。
なお、第１の導電膜１２０に含まれるタングステンの量が増すにつれて絶縁膜中へのタングステンの供給が良好となり、ＭＩＭ素子のオン電流値の経時的変化は、図２Ａに示されるように、第１の導電膜１２０に含まれるタングステンの量が増大するにつれて小さくなる。そして、図２Ｂに示すように、第１の導電膜１２０に含まれるタングステンの量が増すにつれてタングステン原子が含まれない領域の厚み「Ｌ２」も減少する。
但し、上述のとおり、第１の導電膜１２０に含まれるタングステンの量が少ない場合には、第１の導電膜１２０からのタングステンの供給だけでは、タングステン原子が含まれない領域の厚み「Ｌ２」を効果的に零とすることはむずかしい。ゆえに、電解液からのタングステンの供給が重要となる。
つまり、図２Ｂに例示されるように、例えば、第１の導電膜中のタングステン濃度を０．１重量％とし、かつ電解液としてクエン酸を用いた場合には、タングステン原子が含まれない領域「Ｌ２」の厚さは７ｎｍ程度となる。
一方、第１の導電膜にタングステンが添加されておらず、かつ陽極酸化の電解液としてタングステン酸アンモニウム水溶液を用いたサンプルについて、ＳＩＭＳによって絶縁膜中におけるタングステンの分布を分析し、電解液のみからのタングステンの供給の効果を調べたところ、次のことが明らかとなった。すなわち、この場合、タングステン酸アンモニウム水溶液からのタングステン供給により、上述した、タングステン原子が含まれない領域の厚み「Ｌ２」に相当する領域に十分な量のタングステンが絶縁膜中に導入されることがわかった。
以上の考察より、第１の導電膜中のタングステン濃度を少なくとも０．１重量％とし、電解液としてタングステン酸アンモニウム水溶液を用いて、第１の導電膜および電解液の双方からタングステンを絶縁膜中に導入することによって、絶縁膜中においてタングステンを絶縁膜の厚さ方向に連続かつほぼ均一に分布させることができることが確認された。
▲３▼本発明者は、第２の導電膜として金属膜やＩＴＯ膜を用いた場合の、第１の導電膜におけるタングステン濃度の適正値についても検討した。
本発明者がさらに解析した結果、第２の金属膜として金属（クロム）用いた場合、第１の導電膜中に含まれるタングステン原子の重量比を０．１重量％〜２重量％にして、タングステン酸アンモニウム溶質を含んだ溶液を電解液として用いて陽極酸化することにより、図１Ａに示されるように、連続かつ均一な分布が実現されることが確認された。
また、第２の導電膜としてＩＴＯ膜を用いた場合、第１の導電膜中に含まれるタングステン原子の重量比を１重量％〜１０重量％にして、絶縁膜１３０をタングステン酸アンモニウム溶質を含んだ溶液を用いた陽極酸化法で作成すれば、タングステン原子が存在しない領域がなくなり、かつ、タングステン原子のドーピングによる絶縁膜の低抵抗化も達成できることが確認された。
すなわち、ＩＴＯ膜を使用した場合には、そのＩＴＯ膜から酸素原子が絶縁膜中に移動して絶縁膜の抵抗が高くなり、オン電流が流れにくくなってしまう。したがって、この高抵抗化を緩和するために、第１の導電膜からのタングステン原子の供給を増やす必要があり、そのために、第１の導電膜のタングステン濃度は、第２の導電膜としてクロム等の金属膜を使用する場合に比べて、高濃度となっている。
（２）陽極酸化における電解液の最適温度について
陽極酸化における電解液の最適温度について検討した。その結果、タンタルとタングステンを含んだ第１の金属膜１２０に対して陽極酸化法を実行する場合において、電解液の温度を０℃〜１０℃（好ましくは１℃〜５℃）に保って処理すれば電圧−電流特性の急峻性が大きく、かつ「極性差」が小さいＭＩＭ素子を得られることがわかった。
図９に各種のサンプルについて、ＭＩＭ素子の電圧−電流特性（印加電圧に対する導電率の変化）を調べた結果を示す。
特性線９１１は、タングステンが０．７重量％添加されたタンタル膜（第１の導電膜）を、タングステン酸アンモニウム水溶液の温度を３℃±０．２℃に保って陽極酸化した場合の特性を示す。
特性線９２１は、タングステンが０．７重量％添加されたタンタル膜（第１の導電膜）を、タングステン酸アンモニウム水溶液の温度を室温に保って陽極酸化した場合の特性を示す。
電解液の温度を３℃に保ったサンプルの特性を示す特性線９１１は電流−電圧特性の急峻性（β値）が大きい。これに対し、電解液の温度を室温に保ったサンプルの特性を示す特性線９２１では、電流−電圧特性の急峻性が低下している。従って、ＭＩＭ素子の容量を同じとすれば、３℃の液温で陽極酸化して得られた絶縁膜を用いたＭＩＭ素子は、室温の電解液を用いて陽極酸化して得られた絶縁膜を用いたＭＩＭ素子よりも、その電流−電圧特性の急峻性が１５％程度大きくなっている。
（３）第１の導電膜に含まれるタングステンの量ならびに電解液のｐＨと、「極性差」との関係について
第１の導電膜に含まれるタングステンの量ならびに電解液のｐＨと、「極性差」との関係を調べた結果を図１０に示す。この結果を得るためのサンプルとしては、第１の導電膜上に陽極酸化膜を形成した後、３８０℃でアニールを施したものを用いた。図１０において、横軸はｐＨ値であり、縦軸は極性差である。
図１０において、特性線４０は第１の導電膜にタングステンを０．２重量％添加した場合の特性を示し、特性線５０は第１の導電膜にタングステンを０．７重量％添加した場合の特性を示し、特性線６０は第１の導電膜にタングステンを１．０重量％添加した場合の特性を示す。各特性線から明らかなように、第１の導電膜に含まれるタングステン量によって、ｐＨ値が「極性差」に与える影響が異なる。なお、図１０において、「Ｗ１」はＭＩＭ素子の仕様として許容される「極性差」の範囲である。
図１０からわかるように、第１の導電膜にタングステンを０．２重量％添加した場合には、「極性差」が零となるｐＨ値は「９．０」であった。また、第１の導電膜にタングステンを０．７重量％添加した場合には、「極性差」が零となるｐＨ値は「８．５」であった。第１の導電膜にタングステンを１．０重量％添加した場合には、「極性差」が零となるｐＨ値は「８．２」であった。第１の導電膜に含まれるタングステン量と、「極性差」を零とするｐＨ値との関係をグラフ化すると、図１１のようになる。極性差を零とするｐＨ値はタングステン濃度の増加と共に低下し、右下がりのグラフとなっている。
このように、陽極酸化の電解液としてタングステン酸アンモニウム水溶液等のタングステン酸イオンを含むものを用い、アンモニア添加によって第１の導電膜に含まれるタングステン量に対応させてｐＨ値を制御することにより、「極性差」を零とすることができる。
一方、ｐＨ調整剤として水酸化カリウムを用いた場合には、アンモニアを用いた場合のような、ＭＩＭ素子の「極性差」の顕著なｐＨ依存性がみられなかった。したがって、ｐＨ調整剤としてはアンモニアを用いるのが望ましい。つまり、ｐＨ調整剤としてアンモニアを用いれば、「極性差」を零とするためのｐＨ調整が容易である。
但し、「極性差」を零とすることだけでなく、良好なＭＩＭ素子の電圧−電流特性を得ることも重要であり、両者を両立するためには、第１の導電膜に含まれるタングステン量を減らすのがよい。
すなわち、図１２に示すように、タングステン濃度が低い方が、ＭＩＭ素子は高い「β値」を示すようになる。「β値」は、図１３に示すように、ＭＩＭ素子のオン電圧（ＶON）とオフ電圧（ＶOFF）との差電圧（Ｄ１またはＤ３）と、それぞれの電圧に対応するＭＩＭ素子の導電率（対数値）の変化量（Ｄ２またはＤ４）との比、すなわち、導電率の変化率を示す量であり、特性線１０１の方が特性線１０２に比べ「β値」が高い。
したがって、第１の導電膜にタングステンを１．０重量％添加したものと、０．７重量％添加したものと、０．２重量％添加したものの中では、高い「β値」が得られる０．２重量％添加したものを使用するのが望ましい。この場合、陽極酸化における電解液のｐＨ値を「９．０」に制御し、「極性差」を零とするのがよい。
（４）陽極酸化後のアニール温度と「極性差」との関係について
出願人は、第１の導電膜にタングステンを０．２重量％添加したサンプルを用い、陽極酸化後のアニール温度を種々変化させ、陽極酸化におけるｐＨ値とＭＩＭ素子の「極性差」との関係に与える影響を調べた。
図１４において、特性線７０はアニール温度を３５０℃とした場合の特性を示し、特性線８０はアニール温度を３８０℃とした場合の特性を示し、特性線９０はアニール温度を４３０℃とした場合の特性を示す。図１４中、「Ｗ２」はＭＩＭ素子の仕様として許容される「極性差」の範囲（±０．２）である。
図１４から明らかなように、いずれの特性線も、前述のとおりｐＨ値が「９．０」で極性差が零になり、この点では共通するが、その他のｐＨ値における「極性差」の値に大きな差がある。
すなわち、アニール温度を３５０℃とした場合の特性線７０は、ｐＨ値の変化に対する極性差の変化率が大きく、制御性に難がある。したがって、アニール温度が３５０℃未満では、ＭＩＭ素子の特性の正確な制御が困難となる。
また、アニール温度を４３０℃とした場合の特性線９０の、「９．０」以外のｐＨ値における「極性差」は、アニール温度を３８０℃とした場合の特性線８０の「極性差」の約半分である。したがって、アニール温度を４３０℃とした方が素子特性の制御が容易である。なお、アニール温度が４５０℃以上では基板自体の信頼性が低下する。したがって、アニール温度は３５０℃〜４５０℃が望ましく、さらに、素子特性の制御を容易にするためには、アニール温度を４３０℃とするのが望ましい。
上述した第１のサンプルを用いて「極性差」を測定したところ、「極性差」は零であった。一方、上述した第２のサンプルを用いて「極性差」を測定したところ、「極性差」は０．４Ｖであり、その値は電解液のｐＨを変化させても変化せず、ほぼ一定であった。
以上のように、良好な特性を示すＭＩＭ素子を得るためには、タングステン酸イオンを含む電解液を使用し、かつ、前記電解液のｐＨを前記第１の導電膜に含まれるタングステン濃度に応じて調整するという条件下で前記第１の導電膜を陽極酸化して前記第１の導電膜上に絶縁膜を形成するのが望ましく、また、陽極酸化の電解液としてタングステン酸アンモニウム水溶液を用い、ｐＨ調整剤としてアンモニアを用いることが望ましく、また、電解液を０℃〜１０℃に保持することが望ましく、さらに、陽極酸化後のアニール温度はを所定温度とするのが望ましい。
上述の製造方法によれば、絶縁膜中に、タンタル原子およびタングステン原子が絶縁膜の膜厚方向に連続して分布しているＭＩＭ素子を製造できる。このＭＩＭ素子は、「極性差」が小さく、ＭＩＭ素子のオン電流とオフ電流の比が従来より大きい。
そして、そのＭＩＭ素子をスイッチング素子として用いて、図６や図１５に示される液晶表示装置を作成すれば、信頼性が高く、かつ高品位表示が可能な液晶表示装置を提供することができる。したがって、本発明の液晶表示装置をパーソナルコンピュータ等の機器における表示装置として使用すれば、製品の価値が向上する。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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