(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを吸着保持して回転するテーブルと、このテーブルの上方に配設されたユニット保持部材と、このユニット保持部材の中央で前記テーブルの中央に対応した部分に軸受を介して上下動自在に設けられたリニアシャフトと、このリニアシャフトの下端に球面軸受を介して設けられたパッドホルダーと、前記ウェーハの端部に対応して前記パッドホルダーに固定されたリング状で平板形状よりなるパッドと、前記ユニット保持部材に設けられ、前記パッドホルダーを直接押圧し、前記パッドがウェーハを押圧する一定圧を加圧するシリンダーと、前記パッドの内側のウェーハ上にスラリーを供給するシリンジとを備えたことを特徴とするウェーハ端部処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェーハ端部の研磨、清浄化等の処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウェーハの端部は、パターンニングの際の露光ずれ等により異常パターンが発生し易い。この異常パターンは、後工程中に脱落して異物となり易い。また後工程のチャッキング等により前記異常パターンが脱落することがある。この脱落した異物は清浄なパターン部に付着することがある。そこで、ウェーハの縁から約３ｍｍの範囲を各工程毎に清浄化することが行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、ウェーハの端部処理を簡素化された装置で行うことができるウェーハ端部処理装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の手段は、ウェーハを吸着保持して回転するテーブルと、このテーブルの上方に配設されたユニット保持部材と、このユニット保持部材の中央で前記テーブルの中央に対応した部分に軸受を介して上下動自在に設けられたリニアシャフトと、このリニアシャフトの下端に球面軸受を介して設けられたパッドホルダーと、前記ウェーハの端部に対応して前記パッドホルダーに固定されたリング状で平板形状よりなるパッドと、前記ユニット保持部材に設けられ、前記パッドホルダーを直接押圧し、前記パッドがウェーハを押圧する一定圧を加圧するシリンダーと、前記パッドの内側のウェーハ上にスラリーを供給するシリンジとを備えたことを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１及び図２により説明する。図１に示すように、図示しないモータで回転させられる回転軸１の上端には、テーブル２が固定されており、回転軸１及びテーブル２の中心には、図示しない真空源より真空吸引される吸引穴１ａ、２ａが形成されている。テーブル２の上面外周は、リング部２ｂとなっており、リング部２ｂ内にウェーハ３が載置される。テーブル２の上面には、リング状溝２ｃが形成され、このリング状溝２ｃに連通するようにパイプ４の一端が接続され、パイプ４の他端は、必要に応じて水を注入する注入口４ａとなっている。
【０００７】
テーブル２の上方には、装置の固定部５に位置決め固定される円板状のユニット保持部材６が配設されている。ユニット保持部材６の外周は、固定部５の内周部５ａによって径方向が位置決めされる。ユニット保持部材６の回転方向を位置決めするために、固定部５には位置決め穴５ｂが形成され、ユニット保持部材６には位置決め穴５ｂに挿入される位置決めピン７が固定されている。固定部５に載置されたユニット保持部材６は、押さえ爪８をボルト９で固定部５に締め付けることにより固定部５に固定される。なお、図には１個の押さえ爪８を図示したが、押さえ爪８は固定部５に等間隔に３個設けられている。
【０００８】
ユニット保持部材６には、中央に軸受部６ａが形成され、軸受部６ａには軸受１０が固定されている。軸受１０には、リニアシャフト１１が上下動自在に設けられ、リニアシャフト１１の上方部にはストッパー１２が固定されている。リニアシャフト１１の下端には、球面軸受１３のボール付シャフト１３ａが固定され、球面軸受１３の外輪１３ｂにはパッドホルダー１４が固定されている。
【０００９】
パッドホルダー１４の下面には、ウェーハ３の外周より約３ｍｍ内側の部分にリング状突起１４ａが形成され、リング状突起１４ａの外側には図２に示すウレタン系のパッド２０が固定されている。パッド２０は、硬度の高い下側パッド２１と、柔軟性を有する上側パッド２１とからなっており、下側パッド２１には、排液溝２１ａが形成されている。排液溝２１ａは外周から内周に向けてテーブル２の回転方向２３に傾斜して形成されている。
【００１０】
パッドホルダー１４には回り止め用穴１４ｂが形成され、回り止め用穴１４ｂにはユニット保持部材６に固定された回り止め用ピン３０が遊嵌されている。またユニット保持部材６には、パッドホルダー１４の外周上面部に対応してエアーシリンダー３１が等間隔に３個固定され、エアーシリンダー３１の作動ロッドには押圧ピン３２が固定されている。パッドホルダー１４には、リング状突起１４ａより内側にスラリー滴下用穴１４ｃが形成されている。スラリー滴下用穴１４ｃに対応してユニット保持部材６にはシリンジ３３が固定され、シリンジ３３には逆止弁付ニードル３４が固定されている。なお、３５は取っ手を示す。
【００１１】
次に作用について説明する。ユニット保持部材６を取り外した状態で、テーブル２上にウェーハ３を載置する。そして、吸引穴１ａ、２ａへの真空をオンにすると、ウェーハ３はテーブル２に吸着保持される。次に位置決めピン７を固定部５の位置決め穴５ｂに合わせて挿入し、ユニット保持部材６を固定部５上に載置する。これにより、パッドホルダー１４に設けられたパッド２０がウェーハ３の端部に載置される。次に押さえ爪８をボルト９で締め付け、ユニット保持部材６を固定部５に固定する。
【００１２】
次にエアーシリンダー３１にエアーが供給され、押圧ピン３２が下降してパッドホルダー１４を押し、パッド２０がウェーハ３を一定圧で押圧する。続いて回転軸１が回転し、テーブル２と共にウェーハ３も回転する。ここで、パッドホルダー１４は３本のエアーシリンダー３１で加圧され、またパッドホルダー１４は球面軸受１３でフローティングするように支持されているので、パッドホルダー１４はウェーハ３の回転振れの影響を受けず、常に一定の圧力が掛かる。
【００１３】
また同時にシリンジ３３内のスラリーが逆止弁付ニードル３４よりスラリー滴下用穴１４ｃを通してウェーハ３上に定期的に一定量滴下される。このスラリーとして研磨液を用いた場合には、ウェーハ３の端部のパターンをパッド２０によって研磨除去する。スラリーとして純水を用いた場合には、ウェーハ３の端部の異物を除去する。またパッド２０の内側のウェーハ３上に滴下されたスラリーは、ウェーハ３の回転によりパッド２０の排液溝２１ａを通って外部に排出される。
【００１４】
端部処理後、エアーシリンダー３１のエアー供給がオフとなって押圧ピン３２が上昇し、また回転軸１の回転は停止する。そこで、ボルト９を緩めて押さえ爪８を外し、取っ手３５を持ち上げてユニット保持部材６を装置より取り外す。次に注入口４ａよりパイプ４に水を注入すると、水はテーブル２のリング状溝２ｃに供給される。これにより、ウェーハ３のテーブル２への密着状態が緩和され、ウェーハ３は取外し易くなる。ウェーハ３をテーブル２より取外すと、一連の工程が終了する。
【００１５】
【発明の効果】
本発明によれば、ウェーハを吸着保持して回転するテーブルと、このテーブルの上方に配設されたユニット保持部材と、このユニット保持部材の中央で前記テーブルの中央に対応した部分に軸受を介して上下動自在に設けられたリニアシャフトと、このリニアシャフトの下端に球面軸受を介して設けられたパッドホルダーと、前記ウェーハの端部に対応して前記パッドホルダーに固定されたリング状で平板形状よりなるパッドと、前記ユニット保持部材に設けられ、前記パッドホルダーを直接押圧し、前記パッドがウェーハを押圧する一定圧を加圧するシリンダーと、前記パッドの内側のウェーハ上にスラリーを供給するシリンジとを備えた構成よりなるので、ウェーハの端部処理を簡素化された装置で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウェーハ端部処理装置の一実施の形態を示す断面図である。
【図２】パッドを示し、（ａ）は下面図、（ｂ）は断面図である。
【符号の説明】
２    テーブル
３    ウェーハ
６    ユニット保持部材
１０  軸受
１１  リニアシャフト
１３  球面軸受
１４  パッドホルダー
２０  パッド
２１ａ  排液溝
３１  エアーシリンダー
３３  シリンジ
【図１】
0003664894.tif 000002
【図２】
0003664894.tif 000003