(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
逆浸透膜装置と、逆浸透膜装置の後段に配置された水質監視装置と、を備え、上記水質監視装置を用いて、大気との接触により大気中のガスが溶存する上記逆浸透膜装置からの脱塩水の抵抗率を導電率計により測定し、この測定値に基づいて上記脱塩水の水質を監視する方法であって、上記脱塩水を加熱手段で８０℃以上に加熱して上記脱塩水の溶存炭酸ガスを除去する工程と、上記導電率計で上記脱塩水の水質を監視し、上記溶存炭酸ガスの影響を除いた本来の抵抗率が５ＭΩ・ｃｍ以上の脱塩水を得る工程と、を備えたことを特徴とする脱塩水の水質監視方法。
【請求項２】
上記溶存炭酸ガスを除去する工程は、加熱手段で加熱された上記脱塩水を脱気手段に通水する工程を有することを特徴とする請求項１に記載の脱塩水の水質監視方法。
【請求項３】
上記脱気手段として脱気膜装置を用いることを特徴とする請求項２に記載の脱塩水の水質監視方法。
【請求項４】
上記脱気膜装置の減圧空間に不活性ガスを供給するガス供給手段を設けたことを特徴とする請求項３に記載の脱塩水の水質監視方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、脱塩水の水質監視方法に関し、更に詳しくは、大気との接触により大気中のガスが溶存する脱塩水本来の抵抗率を導電率計により測定し、この測定値に基づいて脱塩水の水質を監視する脱塩水の水質監視方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば各種の産業分野では洗浄用水、薬品希釈用水、分析用水、あるいはボイラー給水等として純水が使用されている。純水は、その使用目的に応じて、例えば、除濁装置、活性炭装置、イオン交換樹脂装置、逆浸透膜装置（ＲＯ）、電気透析装置、蒸留装置、電気再生式脱塩装置（ＥＤＩ）、脱炭酸装置等を単独であるいはこれらを適宜組み合わせて製造される。更に高純度の純水を製造する場合には、上述の装置に紫外線酸化装置、真空脱気装置、限外濾過装置等を付加したものが使用されている。
【０００３】
ところで、脱塩水等の純水はその使用目的に応じた水質管理が極めて重要であるため、製造工程に適宜配置された水質監視装置を用いて懸濁成分やイオン成分等の不純物を常に監視している。監視項目としては、例えば、抵抗率、ＴＯＣ、ＤＯ、微粒子、生菌、蒸発残留物等がある。そして、例えば、不純物が除去された脱塩水の水質は最終的に導電率計を用いた水質監視装置により抵抗率を監視し、一定の許容レベルに維持している。
【０００４】
また、脱塩水等の純水は大気中で使用されることが多く、このような脱塩水には大気中のガス成分が溶解して溶存ガスとして存在する。脱塩水の用途によっては溶存ガスが悪影響を及ぼすことがあるため、貯留する際に窒素ガス等の不活性ガスでシールし、空気中のガスの溶解を防止しているが、多くの用途では溶存ガス自体による弊害がないため、溶存ガスを含んだまま使用している。また、溶存ガス自体が用途に悪影響を及ぼすものではないが、脱塩水本来の抵抗率を許容レベルで厳重に管理する場合もある。このような場合には従来から水質監視装置として導電率計を用いて導電率を監視している。しかしながら、大気からの溶存ガスのうち、炭酸ガスは脱塩水中に溶解して炭酸水素イオン等の電解質を生成するため、導電率計ではこの炭酸ガスの影響を除いた脱塩水本来の抵抗率を測定できず、脱塩水を本来の抵抗率で管理することができない。そこで、例えば特願平６−１１４０６号公報において脱塩水等の純水の導電率を測定する前に真空脱気等により溶存炭酸ガスを除去する技術が提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、単なる真空脱気では酸素ガスや窒素ガスは除去できるものの、炭酸ガスは脱塩水等の純水中に溶解して水分子と結合して電解質を生成し、水分子と結合していない未解離の炭酸ガスの濃度に応じて脱気されるため、多くの炭酸水素イオン等の電解質が残り、炭酸ガスを期待するほど除去することができず、導電率計を用いた簡便な水質監視装置では純水本来の抵抗率を測定できないという課題があった。真空脱気をより確実に行うために真空度を高めようとすれば大型の真空ポンプ等の排気装置が必要になり、本来小型で簡便である筈の水質監視装置が高価なものになってしまう。勿論、溶存炭酸ガス由来のイオンを僅かに残存するＮａイオンやＣｌイオン等から分離して純水本来の抵抗率を測定するイオンクロマトグラフや、溶存炭酸ガス由来のイオンのみを測定できる測定装置等を用いてその存在を確認することはできるが、水質監視装置としては高価で複雑になってしまう。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、溶存炭酸ガスの影響を格段に抑制し、脱塩水の本来の抵抗率を簡単且つ確実に測定し、溶存炭酸ガスの影響を除いた本来の抵抗率が５ＭΩ・ｃｍ以上である脱塩水を得ることができる脱塩水の水質監視方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の脱塩水の水質監視方法は、逆浸透膜装置と、逆浸透膜装置の後段に配置された水質監視装置と、を備え、上記水質監視装置を用いて、大気との接触により大気中のガスが溶存する上記逆浸透膜装置からの脱塩水の抵抗率を導電率計により測定し、この測定値に基づいて上記脱塩水の水質を監視する方法であって、上記脱塩水を加熱手段で８０℃以上に加熱して上記脱塩水の溶存炭酸ガスを除去する工程と、上記導電率計で上記脱塩水の水質を監視し、上記溶存炭酸ガスの影響を除いた本来の抵抗率が５ＭΩ・ｃｍ以上の脱塩水を得る工程と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の請求項２に記載の脱塩水の水質監視方法は、請求項１に記載の発明において、上記溶存炭酸ガスを除去する工程は、加熱手段で加熱された上記脱塩水を脱気手段に通水する工程を有することを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の請求項３に記載の脱塩水の水質監視方法は、請求項２に記載の発明において、上記脱気手段として脱気膜装置を用いることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の請求項４に記載の脱塩水の水質監視方法は、請求項３に記載の発明において、上記脱気膜装置の減圧空間に不活性ガスを供給するガス供給手段を設けたことを特徴とするものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図３に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。尚、図１は本発明の水質監視装置の一実施形態を示すフロー図、図２は本発明の水質監視装置の他の実施形態の要部を示す模式図、図３は本発明の水質監視装置を備えた脱塩装置の一例を示すフロー図である。
【００１７】
本実施形態の水質監視装置１は、例えば図１に示すように、大気に開放された状態で脱塩水等の検水Ｗを貯留するタンク２に配管３を介して接続された加熱装置４と、この加熱装置４に配管３を介して接続され且つ加熱装置４において加熱された加熱水中のガスを脱気する脱気手段である減圧塔５と、この減圧塔５に配管３を介して接続された送水ポンプ６と、この送水ポンプ６の下流側に配管３を介して接続された導電率計（水質計）７のセル７Ａとを備え、排気装置８により減圧塔５を所定の真空度まで減圧するようになっている。
【００１８】
タンク２内に貯留された検水Ｗは例えば公知の純水製造装置（図示せず）により懸濁成分やイオン成分が除去された超純水（脱塩水）である。しかし、タンク２は大気に開放されて常に大気と接触して大気中のガス、主として窒素ガス、酸素ガス及び炭酸ガスが溶存しているため、検水Ｗの抵抗率をそのまま測定しても検水本来の抵抗率を示さず、本来の抵抗率よりも小さな抵抗率を示すことは前述した通りである。
【００１９】
窒素ガス、酸素ガス及び炭酸ガスは大気中のそれぞれの分圧に応じて検水中に溶解し、窒素ガス、酸素ガス及び炭酸ガスは分子状で溶存ガスとして溶解する。しかし、炭酸ガスは化学平衡に基づいて水分子と結合して炭酸水素イオン等の電解質を生成する。従って、炭酸ガスを脱気する際には、分子状の溶存炭酸ガスが脱気されるだけで、電解質は残留し、化学平衡に基づいて電解質が徐々に分子状の溶存炭酸ガスに変化して除去されるに過ぎない。従って、従来のような単なる脱気処理では未解離の分子状炭酸ガスの濃度に即して炭酸ガスを脱気するに過ぎず、他のガスほど簡単に脱気することはできない。
【００２０】
そこで、本実施形態では、加熱装置４を用いて検水Ｗを加熱し、大気中に含まれているガスの溶解度を低下させる。炭酸ガスの場合には加熱装置４により分子状炭酸ガスの溶解度を低下させて上述の化学平衡をずらし、炭酸ガスとして効率良く脱気することができる。加熱装置４としては例えば電気ヒータ、マイクロウエーブ、電磁誘導等を用いることができる。検水Ｗの加熱温度は、高い方が好ましく、例えば８０℃以上が好ましく、９０℃以上がより好ましい。更に、本実施形態では、加熱水を加熱した温度にほぼ保持したまま減圧塔５に通すことにより加熱水中の気泡を脱泡し、後段のセル７Ａへ気泡を含まない加熱水を供給し、水質計７で抵抗率を精度良く測定する。また、排気装置８は減圧塔５内に減圧空間を作ることができれば特に制限されないが、排気装置８としては例えば真空ポンプ、アスピレータが用いられる。本実施形態では脱気手段として排気装置８を有する減圧塔５を用いたものを示したが、脱気手段としては、その他にポンプあるいは超音波振動を利用したキャビテーションの発生によって脱気を促進する方法もあるが、単に常圧塔を通すだけでも検水中に混じった気泡を検水から分離することができる。また、加熱水が高温であるため、セル７Ａは耐熱性のあるものが用いられることは云うまでもない。図１では炭酸ガスの脱気を促進する手段として加熱装置４を用いたが、加熱装置４に代えて脱気膜手段や曝気手段を用いることができる。
【００２１】
上記脱気膜手段としてはた例えば図２に示す中空糸膜モジュールを用いた装置が用いられる。この脱気膜装置１０は、中空糸膜１１Ａを有する中空糸膜モジュール１１と、この中空糸膜モジュール１１のシェル１１Ｂに配管１２を介して接続され且つ不活性ガスとして窒素ガスを供給するガス供給源１３と、中空糸膜モジュール１１のシェル１１Ｂに配管１２を介して接続され且つシェル１１Ｂ内に減圧空間を作る真空ポンプ１４とを備えている。中空糸膜モジュール１１では検水Ｗが中空糸膜１１Ａの一端からその内側へ流入して他端から流出し、ガス供給源１３から供給された窒素ガスが真空ポンプ１４で吸引されて中空糸膜１１Ａの外側でシェル１１Ｂの内側を予め設定された真空度（例えば、５０Torr）で流通する。このようにシェル１１Ｂ内に窒素ガスを流通させてシェル１１Ｂ内の窒素ガスの分圧を高め、炭酸ガスの分圧を低下させることでヘンリーの法則に基づいて溶存炭酸ガスの脱気を促進することができる。検水中に窒素ガスが残留しても後段の水質計７への障害はなく、より精度の高い抵抗率を測定することができる。本実施形態において、不活性ガスとしては抵抗率に悪影響を及ぼさない（検水中に溶解しても解離イオンを生成しない）ガスであれば特に制限されないが、窒素ガスが好ましい。また、上記曝気手段では検水中に不活性ガスをバブリングさせて検水Ｗの抵抗率に悪影響を及ぼす溶存ガスである炭酸ガスを脱気する。尚、中空糸膜の外側に検水Ｗを流し、中空糸膜の内側の一端から不活性ガスを流し中空糸膜の内側の他端から真空ポンプで減圧するタイプの中空糸膜モジュールも用いることができる。
【００２２】
本実施形態の水質監視装置１は、例えば図３に示すように、２台の逆浸透膜装置２１を直列に接続した脱塩装置２０に対して適用することができる。この脱塩装置２０は、前段の逆浸透膜装置２１の入口に検水Ｗを供給する送水ポンプ２２が配管２３を介して接続され、後段の逆浸透膜装置２１の出口に本実施形態の水質監視装置１が配管２３を介して接続されている。逆浸透膜装置２１は懸濁成分やイオン成分を除去できるが、溶存ガスは除去することができず、そのため、脱塩装置２０によって得られた脱塩水は炭酸ガス等の溶存ガスを含んでいる。しかし、この脱塩装置２０には本実施形態の水質監視装置１が配管２３を介して接続されている。従って、脱塩装置２０によって得られた脱塩水の抵抗率は本実施形態の水質監視装置１によって溶存炭酸ガスを除去した状態で正確に測定することができる。ところが、この脱塩装置２０に従来の水質監視装置を適用したものであれば、溶存炭酸ガスを除去することができないため、脱塩水本来の抵抗率を測定することができない。
【００２３】
実施例
本実施例では、タンク２に貯留された超純水（抵抗率：１８．０ＭΩ・ｃｍ以上、導電率：０．０５６μＳ／ｃｍ以下）を検水として図１に示す水質監視装置１に供給し、この水質監視装置１を表１に示す条件に設定して超純水の抵抗率を測定し、その結果を表１に示した。水質監視装置１は、減圧塔５が直径１０ｃｍ、高さ１００ｃｍで、抵抗率計が電気化学工業（株）製のＡＱ−１０によって９９℃以下で測定可能なものから構成されている。尚、減圧塔５はアスピレータを用いて減圧して使用し、また、常圧塔としても使用した。また、比較例として表１に示す条件で超純水の抵抗率を測定し、その結果を表１に示した。
【００２４】
表１の結果に示す比較例１〜４からも明らかなように、無処理の検水の場合（比較例１の場合）には抵抗率が１．５ＭΩ・ｃｍで、従来の水質監視装置を用いて常温下で減圧処理のみを行った場合（比較例２〜４の場合）には抵抗率は最高値で４．６ＭΩ・ｃｍであった。しかし、実施例１〜３からも明らかなように、加熱処理を行うことにより溶存炭酸ガスが除去されて従来法より抵抗率が大きくなり、溶存炭酸ガスの影響が小さくなっていることが判る。また、実施例１と実施例４の比較からも明らかなように加熱処理をした上に減圧処理を行うことにより更に抵抗率が大きくなって溶存炭酸ガスの影響が小さくなっていることが判る。参考例１、実施例１及び参考例２からも明らかなように、４０℃程度の加熱処理では溶存炭酸ガスを殆ど除去できず、８０℃以上に加熱することにより加熱効果が顕著に現れることも判った。
【００２５】
従って、例えば水質の基準値が５．０ＭΩ・ｃｍである場合には、従来の水質監視手法によれば、検水本来の抵抗率が基準値に達しているにも拘らず、溶存炭酸ガスの影響によるものであることを認識できず、本来不要な脱塩処理用設備を付設する。ところが、本実施例の場合には８０℃以上に加熱すれば基準値を達成することができ、無駄な設備投資を無くすことができる。
【００２６】
【表１】
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【００２７】
参考例
本参考例では工業用水を凝集濾過し、濾過水を安全フィルタに通した後、図３に示す逆浸透膜装置２０を用いて脱塩水を作り、この脱塩水の抵抗率を実施例１で用いた水質監視装置１を用いて測定し（参考例４〜６）、その結果を表２に示した。また、参考例７として脱塩水を窒素ガスにより曝気処理（常温、窒素ガス流量＝１ＮＬ／分）して抵抗率を測定し、その結果を表２に示した。逆浸透膜装置２０として日東電工社製ＥＳ２０を用いた。ここで、試験例８は試験例２と、試験例９は試験例３と、試験例１０は試験例７と同一測定条件であった。また、比較例５は比較例１と、比較例６は比較例２と同一測定条件であった。
【００２８】
表２の結果に示す比較例５、６では検水の抵抗率は１ＭΩ・ｃｍ以下であった。しかし、参考例４〜７では検水の抵抗率が１ＭΩ・ｃｍ以上になり、明らかに溶存炭酸ガスの影響が除去され、抵抗率が大きくなっている。
【００２９】
【表２】
0003712225.tif 000003
【００３０】
以上説明したように本実施形態によれば、大気との接触により大気中のガスが溶存する脱塩水の抵抗率を導電率計により測定し、この測定値に基づいて脱塩水の水質を監視する場合、脱塩水を加熱して溶存炭酸ガスを除去する加熱装置４を水質計（導電率計）６の前段に設けたため、溶存炭酸ガスの影響を格段に抑制し、脱塩水等の検水本来の抵抗率を簡単且つ確実に測定することができる。また、加熱装置４の後段に減圧塔５を設け、減圧塔５に加熱水を通水するようにしたため、減圧塔５によって更に溶存炭酸ガスを除去し、脱塩水本来の抵抗率をより正確に測定することができる。
【００３１】
また、脱塩水中に窒素ガスをバブリングする曝気手段を水質計７の前段に設けることにより、溶存炭酸ガスを除去することができ、脱塩水本来の抵抗率をより正確に測定することができる。また、逆浸透膜装置２１等の脱塩装置に本実施形態の水質監視装置１を設けることにより、炭酸ガスの影響のない透過水本来の抵抗率を正確に知ることができる。
【００３２】
尚、上記各実施形態では、水質監視装置に加熱装置、減圧装置、あるいは曝気装置を設けたものについて説明したが、本発明は上記各実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて各構成要素を適宜設計変更することができる。
【００３３】
【発明の効果】
本発明の請求項１〜請求項４に記載の発明によれば、溶存炭酸ガスの影響を格段に抑制し、脱塩水の本来の抵抗率を簡単且つ確実に測定し、溶存炭酸ガスの影響を除いた本来の抵抗率が５ＭΩ・ｃｍ以上である脱塩水を得ることができる脱塩水の水質監視方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の水質監視装置の一実施形態を示すフロー図である。
【図２】本発明の水質監視装置の他の実施形態の要部を示す模式図である。
【図３】本発明の水質監視装置を備えた脱塩装置の一例を示すフロー図である。
【符号の説明】
４ 加熱装置（加熱手段）
５ 減圧塔（脱気手段）
７ 水質計（導電率計）
１０ 脱気膜装置（脱気膜手段）
１１ 中空糸膜モジュール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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