【手続補正書】
【提出日】令和3年8月23日(2021.8.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素が配された画素領域と、前記画素領域の周辺に位置する周辺領域と、を備え、互いに反対側の第１面および第２面を有する基板を含む撮像装置であって、
前記撮像装置は、前記画素領域と前記周辺領域との間に、複数のトレンチが前記基板に設けられたトレンチ領域をさらに備え、
前記複数のトレンチは、前記画素領域の外縁のうち第１辺と前記第１辺に対向する前記周辺領域との間に、前記第１辺に沿った第１方向に互いに離隔して配された複数の第１トレンチと、前記第１方向に互いに離隔して配された複数の第２トレンチと、を含み、
前記複数の第１トレンチと前記複数の第２トレンチとは、前記第１方向に交差する第２方向に離隔して配され、
前記第１面に対する正射影において、前記複数の第１トレンチおよび前記複数の第２トレンチに含まれるトレンチの何れとも重なることなく前記第１辺と前記第１辺に対向する前記周辺領域とを結ぶ直線経路が存在しないことを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記複数の第１トレンチは、前記第１方向に互いに隣り合う矩形状の第１１トレンチおよび第１２トレンチを含み、
前記複数の第２トレンチは、前記第１方向に互いに隣り合う矩形状の第２１トレンチおよび第２２トレンチを含み、
前記第１面に対する正射影において、
前記第１１トレンチと前記第１２トレンチとのそれぞれにおける前記第１辺に最も近い点を結ぶ線と、前記第１１トレンチと前記第１２トレンチとのそれぞれにおける前記第１辺から最も遠い点を結ぶ線と、の中心を通る線のうち前記第１１トレンチと前記第１２トレンチとの間を２等分する点を第１点としたとき、
前記第２１トレンチは、前記第１点から前記第２方向に延在する線と重なる位置に配され、
前記第２１トレンチと前記第２２トレンチとのそれぞれにおける前記第１辺に最も近い点を結ぶ線と、前記第２１トレンチと前記第２２トレンチとのそれぞれにおける前記第１辺から最も遠い点を結ぶ線と、の中心を通る線のうち前記第２１トレンチと前記第２２トレンチとの間を２等分する点を第２点としたとき、
前記第１点と前記第２点とを通る直線が、前記第１１トレンチ、前記第１２トレンチ、前記第２１トレンチおよび前記第２２トレンチのうち少なくとも１つと重なることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記第１面に対する正射影において、
前記複数の第１トレンチおよび前記複数の第２トレンチのそれぞれが、前記第１方向に沿った第１長さの長辺および前記第２方向に沿った第２長さの短辺を有する矩形状を備え、前記第１方向に同じピッチで配され、
前記複数の第１トレンチと前記複数の第２トレンチとが、前記第１方向に半ピッチずれて配されることを特徴とする請求項１または２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記第１面に対する正射影において、
前記複数の第１トレンチおよび前記複数の第２トレンチのそれぞれが、第１長さの長辺および前記長辺に直交する第２長さの短辺を有する矩形状を備え、前記第１方向に同じピッチで配され、
前記複数の第１トレンチの前記長辺は、前記第１方向に対して傾きを有し、
前記複数の第２トレンチの前記長辺は、前記複数の第１トレンチの前記長辺と交差する方向に配され、
前記複数の第１トレンチと前記複数の第２トレンチとが、前記第１方向に半ピッチずれて配されることを特徴とする請求項１または２に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記複数の第１トレンチの前記長辺と前記複数の第２トレンチの前記長辺とが、互いに直交する方向に配されることを特徴とする請求項４に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記第１面に対する正射影において、前記複数の第１トレンチの前記長辺が、前記第１方向に対して４５°の傾きを有することを特徴とする請求項４または５に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記複数のトレンチは、前記第１方向に互いに離隔して配された複数の第３トレンチをさらに含み、
前記第２方向において、前記複数の第３トレンチは、前記複数の第１トレンチに対して前記複数の第２トレンチとは反対の側に、前記複数の第１トレンチと離隔して配され、
前記基板の前記第１方向に沿った断面に対する正射影において、前記複数の第３トレンチが、前記複数の第１トレンチとそれぞれ重なるように配されることを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記複数のトレンチは、前記第１方向に互いに離隔して配された複数の第４トレンチをさらに含み、
前記第２方向において、前記複数の第４トレンチは、前記複数の第２トレンチに対して前記複数の第１トレンチとは反対の側に、前記複数の第２トレンチと離隔して配され、
前記基板の前記第１方向に沿った断面に対する正射影において、前記複数の第２トレンチが、前記複数の第４トレンチとそれぞれ重なるように配されることを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項９】
前記複数の画素のそれぞれは、光電変換素子と前記光電変換素子に蓄積された電荷を転送するためのトランジスタとを含み、
前記トランジスタが、前記基板のうち前記第１面に配され、
前記複数のトレンチが、前記第２面から前記第１面に向かって延びていることを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項１０】
前記トレンチ領域には、前記複数のトレンチとは別のトレンチが配され、前記別のトレンチは、前記第１面から前記第２面に向かって延びていて、
前記第１面に対する正射影において、前記別のトレンチと前記複数のトレンチとが、互いに異なる場所に配されることを特徴とする請求項９に記載の撮像装置。
【請求項１１】
前記基板の断面に対する正射影において、前記複数のトレンチが配される深さと前記別のトレンチが配される深さとが、重なっていることを特徴とする請求項１０に記載の撮像装置。
【請求項１２】
前記トレンチ領域には、前記複数のトレンチとは別のトレンチが配され、前記別のトレンチは、前記第１面から前記第２面に向かって延びていて、
前記基板に対する正射影において、前記別のトレンチが、前記複数のトレンチの何れかと接するように配されていることを特徴とする請求項９に記載の撮像装置。
【請求項１３】
前記周辺領域にはコバルトシリサイド層またはニッケルシリサイド層を有するトランジスタが配されることを特徴とする請求項１乃至１２の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項１４】
前記第２方向において、前記複数の画素のうち最も前記トレンチ領域の側に配された画素と前記複数のトレンチのうち最も画素領域の側に配されたトレンチとが、２画素に相当する距離以上、離れていることを特徴とする請求項１乃至１３の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項１５】
前記複数のトレンチのそれぞれが、前記基板の中に底を有することを特徴とする請求項１乃至１４の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項１６】
前記複数のトレンチのそれぞれの深さが、前記基板の厚さの半分以上であることを特徴とする請求項１乃至１５の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項１７】
前記複数のトレンチは、前記画素領域の外縁のうち前記第１方向に沿った、前記第１辺とは反対の側の第２辺と前記第２辺に対向する前記周辺領域との間に、前記第１方向に互いに離隔して配された複数の第５トレンチと、前記第１方向に互いに離隔して配された複数の第６トレンチと、をさらに含み、
前記複数の第５トレンチと前記複数の第６トレンチとは、前記第１方向に離隔して配され、
前記第１面に対する正射影において、前記複数の第５トレンチおよび前記複数の第６トレンチの何れとも重なることなく、前記第２辺と前記第２辺に対向する前記周辺領域とを結ぶ直線経路が存在しないことを特徴とする請求項１乃至１６の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項１８】
前記複数のトレンチは、前記画素領域の外縁のうち前記第２方向に沿った第３辺と前記第３辺に対向する前記周辺領域との間に、前記第２方向に互いに離隔して配された複数の第７トレンチと、前記第２方向に互いに離隔して配された複数の第８トレンチと、をさらに含み、
前記複数の第７トレンチと前記複数の第８トレンチとは、前記第１方向に離隔して配され、
前記第１面に対する正射影において、前記複数の第７トレンチおよび前記複数の第８トレンチの何れとも重なることなく、前記第３辺と前記第３辺に対向する前記周辺領域とを結ぶ直線経路が存在しないことを特徴とする請求項１乃至１７の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項１９】
前記複数のトレンチは、前記画素領域の外縁のうち前記第２方向に沿った、前記第３辺とは反対の側の第４辺と前記第４辺に対向する前記周辺領域との間に、前記第２方向に互いに離隔して配された複数の第９トレンチと、前記第２方向に互いに離隔して配された複数の第１０トレンチと、をさらに含み、
前記複数の第９トレンチと前記複数の第１０トレンチとは、前記第２方向に離隔して配され、
前記第１面に対する正射影において、前記複数の第９トレンチおよび前記複数の第１０トレンチの何れともと重なることなく、前記第４辺と前記第４辺に対向する前記周辺領域とを結ぶ直線経路が存在しないことを特徴とする請求項１８に記載の撮像装置。
【請求項２０】
前記複数の画素は、前記第１面と前記第２面との間に配され、
前記複数のトレンチは、前記第２面から前記第１面に向かって延びている、
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項２１】
請求項１乃至２０の何れか１項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置によって得られた信号を処理する信号処理部と、を備えることを特徴とするカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の１つの側面は、複数の画素が配された画素領域と、前記画素領域の周辺に位置する周辺領域と、を備え、互いに反対側の第１面および第２面を有する基板を含む撮像装置であって、前記撮像装置は、前記画素領域と前記周辺領域との間に、複数のトレンチが前記基板に設けられたトレンチ領域をさらに備え、前記複数のトレンチは、前記画素領域の外縁のうち第１辺と前記第１辺に対向する前記周辺領域との間に、前記第１辺に沿った第１方向に互いに離隔して配された複数の第１トレンチと、前記第１方向に互いに離隔して配された複数の第２トレンチと、を含み、前記複数の第１トレンチと前記複数の第２トレンチとは、前記第１方向に交差する第２方向に離隔して配され、前記第１面に対する正射影において、前記複数の第１トレンチおよび前記複数の第２トレンチに含まれるトレンチの何れとも重なることなく前記第１辺と前記第１辺に対向する前記周辺領域とを結ぶ直線経路が存在しない。