(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を第１の方向に列状に備えたキャビティプレートユニットと、前記各圧力室ごとに選択的に駆動可能な活性部を有し、インクを吐出させるアクチェータとを積層させてなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記各圧力室の中途部には、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って延びる一対の側壁間を薄肉状のブリッジにて連結し、
該各ブリッジにおけるノズル方向へのインクの流れに対して対面する上流側側壁と前記一対の側壁とのなす夾角を、鈍角になるように設定したことを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項２】
前記各ブリッジにおけるノズル方向へのインクの流れに対して対面する上流側側壁を、前記一対の側壁間の略中央部寄りに行くに従って、前記ノズル方向へのインクの流れの下流側に向くように傾斜形成させたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項３】
前記各ブリッジにおける前記一対の側壁間の略中央部の平面視形状を、前記ノズル方向へのインクの流れの下流側に向かって略Ｖ字状またはＵ字状に形成したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電式等のインクジェットプリンタヘッドの構成に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
先行技術のオンディマンド型の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいては、特開平８−２５６３１号公報に記載されているように、複数個のノズルが列状に形成されたノズルプレートと、振動板との間に配置され、ノズル列に対応するように配置された圧力室、リザーバ、それらを接続するインク供給口、インクタンクからのインクを各リザーバに分配する流路等を備えたスペーサプレートと、前記振動板を前記圧力室毎に選択的に駆動させて、その圧力室を収縮膨張させて圧力室内のインクをノズル方向に送り、ノズルからインク滴を被記録媒体に吐出させるための圧電素子ユニットとからなるインクジェットプリンタヘッドが開示されている。
【０００３】
そして、前記公報にも開示されているように、印字性能を高め且つヘッドを小型化するためには、ノズル列の間隔を狭くする必要があり、他方、圧電素子ユニットのエネルギーを効率良く使用するためには、圧力室を可及的に大きくする必要があり、これらは相反する要請である。この問題を解決するため、前記圧力室の配置間隔を狭くし、且つ圧力室の長手方向の寸法を大きくして圧力室の容積を大きくする必要がある。この要請に従って、隣り合う圧力室間を隔てる（区画する）壁部（桁）の幅寸法も可及的に短くすると、該壁部（桁）の剛性が小さくなり、製造工程中のスペーサプレートの取り扱い中に前記壁部が塑性変形し易くなり、インクジェットヘッドの製造歩留りが悪化するという問題があった。
【０００４】
この問題を解決するため、前記先行技術では、シリコン単結晶材からなるスペーサプレートにおける圧力室を、エッチングにより、リザーバからノズル方向に沿って長く形成し、且つ、その長手方向の中途部には、圧力室の一方の壁面と他方の壁面とを連結する薄肉状のブリッジを、前記リザーバからノズル方向に斜め方向に延ばすように形成することを提案している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記の構成では、前記ブリッジの圧力室の壁面との連結の付け根部分の角度は、その一方の壁面に対して鈍角である一方、他方の壁面に対しては鋭角となる。ところで、前記圧力室の長手方向に沿って流れるインク流の速度分布は、水力学（流体力学）の粘性流体の層流または乱流による一般的原則に従い、壁面で速度が零であり、両壁面間の略中央部で速度が最大となる凸湾曲状で示される。
【０００６】
従って、いずれにしても、ブリッジにおけるインク流の上流側側面と、前記壁面との連結付け根部近傍でのインク流の速度が極めて遅いから、インクに載って運ばれる気泡は、連結付け根部近傍に滞留し易い。特に、前記連結付け根部の角度が鋭角状の箇所では、滞留した気泡の数が多くなると、体積の大きい気泡に成長して、その気泡がノズルに到達すると、いわゆるノズル詰まりが発生し、印字不良となるという問題を解消できなかった。
【０００７】
本発明は、このような問題を解消したインクジェットプリンタヘッドを提供することを技術的課題とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため、請求項１に記載の発明のインクジェットプリンタヘッドは、複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を第１の方向に列状に備えたキャビティプレートユニットと、前記各圧力室ごとに選択的に駆動可能な活性部を有し、インクを吐出させるアクチェータとを積層させてなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記各圧力室の中途部には、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って延びる一対の側壁間を薄肉状のブリッジにて連結し、該各ブリッジにおけるノズル方向へのインクの流れに対して対面する上流側側壁と前記一対の側壁とのなす夾角を、鈍角になるように設定したものである。
【０００９】
そして、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記各ブリッジにおけるノズル方向へのインクの流れに対して対面する上流側側壁を、前記一対の側壁間の略中央部寄りに行くに従って、前記ノズル方向へのインクの流れの下流側に向くように傾斜形成させたものである。
【００１０】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記各ブリッジにおける前記一対の側壁間の略中央部の平面視形状を、前記ノズル方向へのインクの流れの下流側に向かって略Ｖ字状またはＵ字状に形成したものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。図１〜図７は、本発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。これらの図において、キャビティユニット１０に対して接合されるプレート型の圧電アクチュエータ２０の上面には、外部機器との接続のために、フレキシブルフラットケーブル４０が重ね接合されているものであり、キャビティユニット１０の下面側に開口されたノズル５４から下向きにインクが吐出するものとする。
【００１２】
実施の形態によるキャビティユニット１０は、図３及び図４に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート４３、ダンパープレート１１、マニホールドプレート１２、スペーサプレート１３及びキャビティプレート１４の五枚の薄板を接着にて重ねて接合して積層した構造である。実施形態では、ノズルプレート４３を除く各プレート１１、１２、１３、１４は４２％ニッケル合金鋼板製で、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さである。この各プレートには、エッチング等により、以下の各流路または室を構成する開口または凹部が形成されている。前記ノズルプレート４３には、微小径のインク噴出用のノズル５４が、当該ノズルプレート４３における第１の方向（長辺方向）に沿って２列の千鳥配列状に設けられている。即ち、ノズルプレート４３の前記第１の方向と平行な２つの基準線４３ａ、４３ｂに沿って、微小ピッチＰの間隔で千鳥状配列にて多数個のノズル５４が穿設されている。
【００１３】
また、前記各ノズル５４に対応する後述の圧力室１６と、後述する圧電アクチュエータ２０における圧電素子の活性部とは各プレートの平面視において上下に重なり対応する位置となるように配列され、前記各圧力室１６は前記第１の方向と交差（直交）する方向に延びるように形成されて、圧力室１６の列は前記第１の方向に沿って延びる。そして、前記マニホールドプレート１２には、インク通路としての一対のマニホールド室１２ａ、１２ａが、前記ノズル５４の列の両側に沿って延びるように穿設されている。その場合、この各マニホールド室１２ａは、プレートの平面視において、前記圧力室１６の列と重なり且つ圧力室１６の列を跨ぐように延びている（図３及び図４参照）。
【００１４】
このマニホールドプレート１２における各マニホールド室１２ａは、当該マニホールドプレート１２の下面側に薄い厚さの底板１２ｂを残して上側のスペーサプレート１３に向かって開放された凹部により形成され、当該スペーサプレート１３の下面とマニホールドプレート１２の上面とを接着することにより、密閉される構造になっている（図６参照）。
【００１５】
また、前記キャビティプレート１４には、その長辺（前記第１の方向）に沿う中心線に対して直交する第２の方向（短辺方向）に延びる細幅の圧力室１６の多数個が穿設されている。後述するように、エッチング加工により、各圧力室１６の大部分（他端１６ｂ及びブリッジ５７を除く）がキャビティプレート１４の板厚方向に貫通するように形成され、キャビティプレート１４をスペーサプレート１３と、圧電アクチュエータ２０における下面（圧力室１６と対面する広幅面）全体の接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート４１とによって挟まれて密閉状の圧力室１６が形成されるものである（図６参照）。
【００１６】
キャビティプレートの第１の方向に沿う前記中心線を挟んで左右両側にて平行状の長手基準線１４ａ、１４ｂを設定すると、前記中心線より左側の圧力室１６の先端１６ａは前記左側の長手基準線１４ａ上に位置し、逆に前記長手中心線より右側の圧力室１６の先端１６ａは前記右側の長手基準線１４ｂ上に位置し、且つこの左右の圧力室１６の先端１６ａが交互に配置されているので、左右両側の圧力室１６は一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に配置されていることになる（図４参照）。
【００１７】
この各圧力室１６の先端１６ａは、前記ノズルプレート４３における前記千鳥状配列のノズル５４に、前記スペーサプレート１３、マニホールドプレート１２及びダンパープレート１１に同じく千鳥状配列にて穿設されている微小径の貫通孔１７、１７を介して連通している。一方、前記各圧力室１６の他端１６ｂは、前記スペーサプレート１３における左右両側部位に穿設された貫通孔１８を介して、前記マニホールドプレート１２におけるマニホールド室１２ａに連通している。なお、前記他端１６ｂは、図４に示すように、キャビティプレート１４の下面側にのみ開口するように凹み形成されているものである。
【００１８】
前記各圧力室１６における長手方向（前記第２の方向）に沿って延びる一対の壁面１６ｃ，１６ｃの中途部には（図２、図４参照）、隣接する圧力室１６、１６間の幅寸法ｗ１の狭い桁６０を補強するための薄肉状のブリッジ６１を連結するように形成する。なお、前記ブリッジ６１よりもインク流の上流側において当該インクの流れの速度分布は、両側壁１６ｃ、１６ｃで零であって、両側壁１６ｃ、１６ｃの間の中央部で最大となる凸湾曲分布曲線を描くものとする。
【００１９】
そして、本発明によれば、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、ブリッジ６１におけるノズル５４方向（換言すると先端方向１６ａ）へのインクの流れ（図５（ａ）の矢印Ａで示す）に対して対面する上流側側壁６１ａと、圧力室の前記一対の壁面１６ｃ，１６ｃとのなす夾角θ１を９０度より大きい鈍角、好ましくは１１０度乃至１６０度の範囲となるように設定する。
【００２０】
また、前記各ブリッジ６１におけるノズル方向へのインクの流れ（図５（ａ）の矢印Ａで示す）に対して対面する上流側側壁６１ａを、前記一対の側壁１６ｃ，１６ｃ間の略中央部寄りに行くに従って、前記ノズル方向（圧力室の先端１６ａ方向）へのインクの流れの下流側に向くように傾斜形成する。このように形成することにより、ブリッジ６１と、両側壁１６ｃ、１６ｃとの連結付け根部は、インクの流れの滞留するポケット部とならない。従って、吸引手段をノズルプレートに押しつけて、マニホールド等に溜まった気泡を吸い出すための吸引パージの際に、インク流れの上流側から搬送されてきた気泡６２のうち、側壁１６ｃに近い側のインク及び気泡６２の流れ速度が遅くても、当該気泡６２は、ブリッジ６１と、両側壁１６ｃ、１６ｃとの連結付け根部に滞留せず、前記上流側側壁６１ａに沿って、両側壁１６ｃ、１６ｃ間の中央側に円滑に移動できるので、該気泡はインクの流れ速度の大きい箇所（前記中央箇所）でブリッジ６１の上面を乗り越えて、下流側（圧力室１６の先端１６ａ側）に流れてノズルから除去できるのである。
【００２１】
なお、各ブリッジ６１の平面視形状は、前記構成を踏まえると、前記各ブリッジにおける前記一対の側壁１６ｃ、１６ｃ間の略中央部の平面視形状を、前記ノズル方向へのインクの流れの下流側（圧力室１６の先端１６ａ側）に向かって略Ｖ字状（図５（ａ）参照）またはＵ字状（図８参照）に形成して良い。なお、ブリッジ６１におけるインク流の下流側側壁６１ｂと前記一対の側壁１６ｃ、１６ｃとの連結付け根部の夾角θ２を、図９に示すように、鈍角に設定しても良い。このように、両夾角θ１、θ２ともに鈍角とし、または前記一対の側壁１６ｃ、１６ｃに近い側のインク流に沿うブリッジ６１の幅寸法を中央側の寸法より大きくすれば、ブリッジ６１の側壁１６ｃに対する連結付け根部のインク流れ方向に沿う寸法を大きくできて、この連結部の強度が大きくなり、隣接する圧力室１６、１６間の桁６０の強度（剛性）高めるのに寄与できる。
【００２２】
各ブリッジ６１を薄肉状に形成する加工法は、肉厚ｔ１だけ残すようにハーフエッチング処理をするのである。実施形態では、キャビティプレート１４の板厚さは５０μｍ、ブリッジ６１の厚さ（肉厚ｔ１）は２０μｍ、一対の側壁１６ｃ、１６ｃ間の圧力室１６の幅は２５０μｍ、桁の幅寸法は８０μｍとした。
【００２３】
なお、最上層のキャビティプレート１４の一端部に穿設された供給孔１９ａの上面には、その上方のインクタンク（図示せず）から供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ２９が張設されている。
【００２４】
これにより、図示しないインク供給源（インクタンク）から前記前記キャビティプレート１４及びスペーサプレート１３の一端部に穿設の供給孔１９ａ，１９ｂを介して前記左右両マニホールド室１２ａ，１２ａ内に流入したインクは、前記各貫通孔１８を通って前記各圧力室１６内に分配されたのち、この各圧力室１６内から前記貫通孔１７を通って、当該圧力室１６に対応するノズル５４に至るという構成になっている（図３及び図６参照）。
【００２５】
他方、前記ダンパープレート１１の上面には、前記各マニホールド室１２ａとほぼ同じ位置にて平面視形状で略同じ形状のダンパー室１１ａが上向き開放するように凹み形成されている。従って、マニホールドプレート１２とダンパープレート１１とを接合した状態では、マニホールド室１２ａとダンパー室１１ａとは前記底板１２ｂにより隔離されることになる。この各ダンパー室１１ａには、平面視で前記各マニホールド室１２ａの外周縁より外側に膨らんだ連通部５５が形成されている。
【００２６】
そして、前記ダンパープレート１１、マニホールドプレート１２、スペーサプレート１３、及びキャビティプレート１４を積層、接着剤等にて接合固定した状態で、前記連通部５５からペースプレート１４の上面（ノズルプレート４３から最も遠い側面）に連通し得る空気逃がし孔としての連通孔５６を、前記各プレート１２、１３、１４に各々予め穿設させておく。前記ダンパー室１１ａによるダンパー効果を発揮させるには、実施形態では５μｍ程度が好ましい。
【００２７】
図３及び図６に示すように、ダンパープレート１１に一対のダンパー室１１ａ，１１ａが形成されている場合には、その各ダンパー室１１ａに対応して連通部５５及び連通孔５６が形成されるものとし、また、ペースプレート１４の上面に後述する圧電アクチュエータ２０を接着剤にて固定する場合に、当該圧電アクチュエータ２０及び接着剤にて塞がれない箇所に前記連通孔５６が開口するように設定すべきである。
【００２８】
一方、前記圧電アクチュエータ２０は、図２、図６及び図７に示すように、９枚の圧電シート２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２２，２３を積層した構造で、前記各圧電シートのうち最下段の圧電シート２２とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート２１ｂ，２１ｄ，２１ｆの上面（広幅面）には、前記キャビティユニット１０における各圧力室１６の箇所ごとに細幅の個別電極２４が、第１の方向（長辺方向）に沿って列状に形成され、各個別電極２４は前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って各圧電シートの長辺の端縁部近傍まで延びている。下から偶数段目の圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの上面（広幅面）には、複数個の圧力室１６に対して共通のコモン電極２５が形成されている。
【００２９】
実施形態においては、前記各個別電極２４の幅寸法は対応する圧力室１６における平面視での広幅部より少し狭く設定されている。
【００３０】
他方、圧力室１６は前記のキャビティプレート１４の短辺の中央部側で、前記第１の方向（長辺）に沿って２列状に配列されているので、前記コモン電極２５は、その２列の圧力室１６、１６を一体的に覆うように、偶数段目の圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの短辺方向の中央において長辺に沿って延びる平面視略矩形状に形成されると共に、該偶数段目の圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの対の短辺の端縁部近傍では当該端縁部のほぼ全長にわたって延びる引き出し部２５ａ，２５ａが一体的に形成されている。
【００３１】
そして、前記偶数段目の圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの対の長辺の端縁部近傍の表面であって、前記コモン電極２５が形成されていない箇所には、前記各個別電極２４と同じ上下位置（対応する位置）に、当該個別電極２４と略同じ幅寸法で長さの短いダミー個別電極２６を形成する。この場合、図７に示すように、各ダミー個別電極２６の端部は前記コモン電極２５の第１の方向（長辺に沿う方向）の側縁に対して適宜の隙間寸法の切れ目があるように隔てる。ダミー個別電極２６の層の１つおきの長さをＬ２とＬ３（＜Ｌ２）のように長短に設定して、ダミー個別電極２６の端部とコモン電極２５の側縁とのパターンの切れ目の位置を圧電シートの積層の１枚おきに当該圧電シートの第２の方向（短辺方向）にずらせても良い。実施形態では、下から２番目の層（圧電シート２１ａ）及び６番目の層（圧電シート２１ｅ）でのダミー個別電極２６の長さＬ２を、４番目の層（圧電シート２１ｃ）及び８番目の層（圧電シート２１ｇ）でのダミー個別電極２６の長さＬ３より前記隙間寸法だけ長くなるように設定する。
【００３２】
他方、最下段の圧電シート２２とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート２１ｂ，２１ｄ，２１ｆの上面（広幅面）のうち、前記引き出し部２５ａ，２５ａに対応する位置（同じ上下位置、圧電シートの対の短辺の端縁部近傍）には、ダミーコモン電極２７を形成するのである。
【００３３】
前記最上段のトップシート２３の上面には、その長辺の端縁部に沿って、前記各個別電極２４の各々に対する表面電極３０と、前記コモン電極２５に対する表面電極３１とが、設けられている（図２参照）。
【００３４】
さらに、前記最下段の圧電シート２２を除いて、他の全ての圧電シート２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇとトップシート２３とには、前記各表面電極３０と、それに対応する位置（同じ上下位置）の個別電極２４並びにダミー個別電極２６とが互いに連通するように、スルーホール３２を穿設する。同様に、前記少なくとも１つの表面電極３１（実施形態では、トップシート２３の４隅の位置の表面電極３１）と、それに対応する位置（同じ上下位置）のコモン電極２５乃至はその引き出し部２５ａが互いに連通するように、スルーホール３３を穿設し、スルーホール３２、３３内に充填された導電性材料を介して、各層の個別電極２４同士及びそれと対応する位置の表面電極３０とが電気的に接続されているように構成し、同じく、各層のコモン電極２５同士及びそれと対応する位置の表面電極３１とが電気的に接続されているように構成するものである。
【００３５】
これにより、上下に積層された複数枚の圧電シート２１とトップシート２３とは上下同じ位置の前記個別電極２４及びダミー個別電極２６が表面電極３０の箇所と電気的に接続されるし、同じく上下複数枚のコモン電極２５及びダミーコモン電極２７が表面電極３１の箇所と電気的に接続されることになる（図２及び図７参照）。
【００３６】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２０における下面（圧力室１６と対面する広幅面）全体に、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート４１を予め貼着し、次いで、前記キャビティユニット１０に対して、当該圧電アクチュエータ２０における各個別電極２４が前記キャビティユニット１０における各圧力室１６の各々に対応するように接着・固定される（図６参照）。また、この圧電アクチュエータ２０における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル４０が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル４０における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極３０、３１に電気的に接合される。
【００３７】
なお、前記接着剤シート４１等の接着剤層の材料としては、少なくともインク非浸透性であり、且つ電気絶縁性を備えたものであって、ナイロン系やダイマー酸ベースのポリアミド樹脂を主成分とするポリアミド系ホットメルト形接着剤、ポリエステル系ホットメルト形接着剤のフィルム状のものを使用しても良いが、ポリオレフィン系ホットメルト形接着剤を前記圧電アクチュエータ２０の前記広幅面に塗布してから、キャビティユニット１０に接着・固定するようにしても良い。接着層の厚さは約１μｍ程度である。
【００３８】
この構成において、前記圧電アクチュエータ２０における各個別電極２４のうち任意の個別電極２４と、コモン電極２５との間に電圧を印加することにより、圧電シート２１のうち前記電圧を印加した個別電極２４に対応する部分に圧電による積層方向の歪みが発生するという圧電素子の活性部となる。圧電アクチュエータ２０における圧電素子の活性部と、前記各ノズル５４に対する圧力室１６とは各プレートの平面視において上下に重なることになる。
【００３９】
そして、前記活性部の歪みにて前記各個別電極２４に対応する圧力室１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６内のインクが、ノズル５４から液滴状に噴出して、所定の印字が行われる。
【００４０】
上述のように、圧電アクチュエータ２０とキャビティユニット１０との間に、全ての圧力室１６を覆うように、前記接着剤層を介在させることにより、この接着剤層がインクを浸透させない被膜の役割を果たすと共に、圧電アクチュエータ２０とキャビティユニット１０とを強固に固定する作用も同時にできる。そして、接着剤であるので、その層の厚さを従来のダイヤフラムプレートに比して極めて薄く形成でき、且つ低コストにてインクジェットプリンタヘッドを製造することができるという効果を奏する。また、複数の圧力室１６にわたって延びる圧電シート２１、２２を積層した圧電アクチュエータ２０を構成しているから、圧電アクチュエータ２０全体の剛性が高くなり、従来のダイヤフラムプレートのような振動を起こすことがなく、高い周波数での駆動を可能にすることができる。
【００４１】
そして、前記圧電アクチュエータ２０における活性部を選択的に駆動した場合、当該活性部が圧電アクチュエータ２０の板部の平面を湾曲させるように弾性変形して、所定の圧力室１６が選択的に加圧され、その圧力が対応するノズル５４に伝播されて、インク滴の吐出により印刷が実行される。
【００４２】
なお、本発明における前記圧力室を活性化させる活性部の駆動手段（アクチュエータ）は、個別的圧電素子を、前記各圧力室毎に配置しても良い。
【００４３】
【発明の作用・効果】
以上に説明したように、請求項１に記載の発明のインクジェットプリンタヘッドは、複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を第１の方向に列状に備えたキャビティプレートユニットと、前記各圧力室ごとに選択的に駆動可能な活性部を有し、インクを吐出させるアクチェータとを積層させてなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記各圧力室の中途部には、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って延びる一対の側壁間を薄肉状のブリッジにて連結し、該各ブリッジにおけるノズル方向へのインクの流れに対して対面する上流側側壁と前記一対の側壁とのなす夾角を、鈍角になるように設定したものである。
【００４４】
このように構成することにより、インクの流速の小さい圧力室の側壁近傍に沿って流れる気泡が、ブリッジにおけるノズル方向へのインクの流れに対して対面する上流側側壁と前記一対の側壁との連結付け根部に突き当たったとしても、その箇所が流れの滞留するポケット部とならないから、圧力室の幅方向に中央側に移動でき、インクの流の速い箇所で気泡がブリッジを乗り越えられる。従って、吸引パージ時であっても、圧力室内に気泡が溜まり、且つ気泡が成長する等してインク詰まりが発生することがないという効果を奏する。
【００４５】
そして、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記各ブリッジにおけるノズル方向へのインクの流れに対して対面する上流側側壁を、前記一対の側壁間の略中央部寄りに行くに従って、前記ノズル方向へのインクの流れの下流側に向くように傾斜形成させたものであるから、当該側壁とブリッジとの夾角が鈍角である連結付け根部から圧力室の幅方向の中央部に向かって、気泡が一層移動し易くなり、請求項１の発明による作用・効果をより高めることができる。
【００４６】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記各ブリッジにおける前記一対の側壁間の略中央部の平面視形状を、前記ノズル方向へのインクの流れの下流側に向かって略Ｖ字状またはＵ字状に形成したものであり、このような平面視形状により、前記ブリッジにおけるノズル方向へのインクの流れに対して対面する上流側側壁を圧力室の幅方向の中央部に向かって滑らかにでき、気泡がブリッジを乗り越え、且つインク流の下流側へ移動する作用を一層高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視図である。
【図２】キャビティユニットと圧電アクチュエータとの一端部を示す拡大斜視図である。
【図３】キャビティユニットの分解斜視図である。
【図４】キャビティユニットの部分的拡大斜視図である。
【図５】（ａ）は圧力室の両側壁とブリッジとの連結角度等を示す要部平面図、（ｂ）は図５（ａ）のVb−Vb線矢視断面図である。
【図６】図１のVI−VI線矢視で示す圧電式インクジェットプリンタヘッドの拡大側断面図である。
【図７】圧電アクチュエータの分解斜視図である。
【図８】ブリッジの第２実施形態を示す拡大平面図である。
【図９】ブリッジの第３実施形態を示す拡大平面図である。
【符号の説明】
１０          キャビティユニット
１１          ダンパープレート
１１ａ        ダンパー室
１２          マニホールドプレート
１２ａ        マニホールド室
１３          スペーサプレート
１４          キャビティプレート
１６          圧力室
１６ａ        先端
１６ｂ        他端
１６ｃ，１６ｃ        一対の側壁
２０          圧電アクチュエータ
３０，３１    表面電極
５４          ノズル
５５          連通部
５６          連通孔
４３          ノズルプレート
５４          ノズル
６０          桁
６１          ブリッジ
６１ａ        上流側側壁
６１ｂ        下流側側壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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