(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の化学式（化１）を繰り返し単位に有するオリゴチオフェン重合体。
【化１】
0003624554.tif 000006
（ただしｍは１以上３以下の整数、ｎは２以上５以下の整数）
【請求項２】
請求項１記載のオリゴチオフェン重合体を、蒸着重合法を用いて製造するオリゴチオフェン重合体の製造方法。
【請求項３】
基板をチャンバ内に用意する工程と、前記チャンバ内に前記基板と対向して第１のヒータ手段に第１の出発材料を用意する工程と、前記チャンバ内に前記基板と対向して第２のヒータ手段に第２の出発材料を用意する工程と、前記基板、前記第１の出発材料及び前記第２の出発材料を用意した後、前記チャンバ内を実質的に真空に引く真空形成工程と、前記真空形成工程後、前記第１のヒータ手段及び前記第２のヒータ手段を加熱して前記基板上に蒸着膜状に前記第１の出発材料及び前記第２の出発材料の共重合体を形成する請求項２記載のオリゴチオフェン重合体の製造方法。
【請求項４】
第１の出発材料は下記の（化２）に示す化合物であり、第２の出発材料は下記の（化３）に示す化合物である請求項３記載のオリゴチオフェン重合体の製造方法。
【化２】
0003624554.tif 000007
（ただしｍは１以上３以下の整数、ｎは２以上５以下の整数）
【化３】
0003624554.tif 000008
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学工業や電子工業の分野で利用し得る電子活性を持つ有機高分子材料に関し、特にオリゴチオフェン重合体及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、化学工業や電子工業の分野で種々の有用な材料が提案され、また実用に供されている。
【０００３】
一般に、有機材料は、無機材料に比べて多くの種類の化合物が存在するので、様々な機能を実現できる可能性を持つ。その中でも、チオフェン化合物はその可能性が高いものと期待されている材料の一つである。
【０００４】
このチオフェンが多数つながったポリチオフェンは、電子活性を持つ高分子化合物として、電子材料やセンサーの材料として多く開発研究されている。
【０００５】
また、ポリチオフェンに限らず、チオフェンモノマーを数個から十数個連続的に結合させた「オリゴマー」を用いた薄膜トランジスタ、発光ダイオードなどのデバイスが、電子工業の分野で数多く提案されてきている。
【０００６】
ここでいう電子活性とは、他の物質と電子を授受し、その結果安定な酸化状態や還元状態を持つこと、又は酸化状態や還元状態において良好な導電性を示すことなどとして定義されるものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のポリチオフェンは、モノマーの連結個数が明確に制御されない重合体（導電性高分子）であり、しかも枝分かれや欠陥をもち、非晶質である。しかも、重合触媒などを不純物として含み、純粋なポリチオフェンの特性を示していない。
【０００８】
したがって、電子活性を随意に変化させたり、制御したりすることは非常に困難であった。
【０００９】
一方、オリゴチオフェンは、モノマーの連結個数によって随意にその電子活性を変えることができ、しかも連結個数（重合度）もそろっているので、特に優れた有用性を発揮し得ると考えられる。
【００１０】
その証拠として、例えば、オリゴチオフェンは、ポリチオフェンに比べて鋭い電子スペクトルが得られるし、結晶性がよいので有機化合物の中では最も高い電子移動度を持つ。
【００１１】
このようにオリゴチオフェンは、確かに、電子活性という面では優れているが、低分子であるので、物理的、化学的安定性に欠け、したがって実用性に乏しいという側面がある。例えば、オリゴチオフェン膜は簡単に有機溶媒に溶解する性質を有する。
【００１２】
本発明は、上記の課題を解決するものであり、オリゴチオフェンの呈する利点を生かしながら物理的、化学的安定性に優れた高分子材料を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明のオリゴチオフェン化合物は、オリゴチオフェンを主鎖に有するポリアミドであるオリゴチオフェン重合体である。
【００１４】
また、本発明のオリゴチオフェン重合体を製造する方法は、蒸着重合法を用いて製造するものである。
【００１５】
以上の構成により、オリゴチオフェンの呈する利点を生かしながら物理的、化学的安定性に優れた高分子材料を実際に提供する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明のオリゴチオフェン重合体は、請求項１記載のように、下記の化学式（化４）を繰り返し単位に有するオリゴチオフェン重合体でもある。
【００１８】
【化４】
0003624554.tif 000002
【００１９】
（ただしｍは１以上３以下の整数、ｎは２以上５以下の整数）
以上のオリゴチオフェン重合体は、オリゴチオフェンの本来有する優れた電子活性を維持しながら、低分子にはない物理的、化学的安定性を有する。
【００２０】
一方、このようなオリゴチオフェン重合体は、請求項２記載のように、蒸着重合法を用いて製造することが好適である。
【００２１】
より具体的には、請求項３記載のように、基板をチャンバ内に用意する工程と、前記チャンバ内に前記基板と対向して第１のヒータ手段に第１の出発材料を用意する工程と、前記チャンバ内に前記基板と対向して第２のヒータ手段に第２の出発材料を用意する工程と、前記基板、前記第１の出発材料及び前記第２の出発材料を用意した後、前記チャンバ内を実質的に真空に引く真空形成工程と、前記真空形成工程後、前記第１のヒータ手段及び前記第２のヒータ手段を加熱して前記基板上に蒸着膜状に前記第１の出発材料及び前記第２の出発材料の共重合体を形成する請求項３記載のオリゴチオフェン重合体の製造方法である。
【００２２】
ここで、請求項４記載のように、第１の出発材料は下記の（化５）に示す化合物であり、第２の出発材料は下記の（化６）に示す化合物であることが好適である。
【００２３】
【化５】
0003624554.tif 000003
【００２４】
（ただしｍは１以上３以下の整数、ｎは２以上５以下の整数）
【００２５】
【化６】
0003624554.tif 000004
【００２６】
以上の製造方法は、実際にオリゴチオフェン重合体を製造し得るのみならず、蒸着重合法を用いているので、純度がよく、超薄膜形成が可能である。
【００２７】
なお、上記の（化４）と（化５）のｍとｎについては、理論上はどのような正の整数でもよいが、現時点で合成することに成功し実際に提供し得るという観点からは、上記の範囲に限定することが好適である。
【００２８】
つまり、本実施の形態で用いた合成方法は、蒸着重合法と呼ばれるものを採用し、真空中で重合体薄膜を形成した。
【００２９】
また、（化４）に示すオリゴチオフェン重合体は、（化５）に示すモノマーであるα，α’−ビス（アミノメチル）オリゴチオフェンと（化６）に示す２，２’−ビチオフェン−５，５’−ジカルボニルクロライドの共重合によって合成したものである。
【００３０】
以下、（化４）に示すオリゴチオフェンを主鎖に持つポリアミドであるオリゴチオフェン重合体の合成についてより詳細に説明をする。
【００３１】
（実施の形態１）
本実施の形態においては、（化４）のオリゴチオフェン重合体のｍ＝１，ｎ＝４の場合の合成について代表的に説明をする。
【００３２】
この化合物の合成に先立ち、まず、（化５）に示すモノマーの合成を行なった。
【００３３】
本実施の形態においては、代表的に（化５）のｍ＝１、ｎ＝４の場合に相当するα，α’−ビス（アミノメチル）クォータチオフェンの合成方法を説明する。
【００３４】
このモノマーは、ジャーナル・オブ・ヘテロサイクリック・ケミストリー（六車他、第３３巻、１７３−１７８ページ、１９９６年）や特願平６−３０１０６５号に開示された内容に即し、図１に示す工程に従って合成した。
【００３５】
具体的には、最初に２−アミノメチルチオフェン２２．６ｇ（０．２ｍｏＬ）とトリエチルアミン４０．５ｇ（０．４ｍｏＬ）を塩化メチレン２００ｍＬ中に用意し氷浴上で撹拌する。
【００３６】
これに、１，１，４，４，−テトラメチル−１，４−ジクロロシリエチレン４３．１ｇ（０．２ｍｏＬ）を塩化メチレン４００ｍＬに溶解したものを加える。
【００３７】
そして、氷浴を取り除き窒素置換して、室温で２時間放置する。
次に、ろ過によって塩を取り除き、塩化メチレンを蒸発させて取り除き、残留物をヘキサンで抽出し、ろ過して、再び蒸発させる。
【００３８】
そして、その残留物を減圧蒸留すると無色で油状の液体が得られた。なお、沸点は、９１℃／２−３ｍｍＨｇであった。
【００３９】
この物質が、図１（ａ）の工程で得られた化合物であり、アミノ基を保護したチオフェンである２−［（２，２，５，５，−テトラメチル−１−アザ−２，５−ジシラ−１−シクロペンチル）メチル］チオフェンである。
【００４０】
次に、この２−［（２，２，５，５−テトラメチル−１−アザ−２，５−ジシラ−１−シクロペンチル）メチル］チオフェン５．１ｇ（２０ｍｍｏＬ）を８０ｍＬの乾燥蒸留したエーテルに混合し、窒素雰囲気中、氷浴で冷やす。
【００４１】
ついで、これに、２．５ｍｏＬ／Ｌのｎ−ブチルリチウムヘキサン溶液を８．８ｍＬ（２２ｍｍｏＬ）滴下する。この時、溶液は赤紫色に変化する。以上が図１（ｂ）に示す工程である。
【００４２】
ついで３０分経過後、図１（ｃ）に示すように、５．６８ｇ（２２ｍｍｏＬ）のマグネシウムブロマイドエーテラートを固形のまま投入すると、マグネシウムブロマイドエーテラートは直ちに溶解し、溶液は無色になる。
【００４３】
ついで、氷浴を取り除き３０分放置した後で、図１（ｄ）に示すように、１６０ｍｇの１，３−ビス（ジフェニルフォスフィノ）プロパンニッケル（ＩＩ）クロライドを投入し、この後、２．６ｇ（８ｍｍｏＬ）の２，２’−ジブロモビチオフェンを投入する。
【００４４】
なお、これらの１，３−ビス（ジフェニルフォスフィノ）プロパンニッケル（ＩＩ）クロライドと２，２’−ジブロモビチオフェンは、順次固形のまま投入した。
【００４５】
そして、そのまま一昼夜撹拌した後、４時間還流した。
なお、２，２’−ジブロモビチオフェンの合成は、市販品のビチオフェンをメタノールから再結晶し、これに対して２．２倍当量のＮ−ブロモサクシンイミドを加えて、分子の２及び２’の位置をブロム化し、そして、これをアセトンから再結晶して生成し、２，２’−ジブロモビチオフェンを得たものである。
【００４６】
次に、４時間の還流終了後、沈澱物をヘキサンに溶解して抽出し、得られた物質をヘキサンで再結晶すると黄色の針状結晶が得られ、これが、α，α’−ビス［（２，２，５，５，−テトラメチル−１−アザ−２，５−ジシラ−１−シクロペンチル）メチル］クォータチオフェンである。
【００４７】
ついで、図１（ｇ）に示すように、このα，α’−ビス［（２，２，５，５，−テトラメチル−１−アザ−２，５−ジシラ−１−シクロペンチル）メチル］クォータチオフェン１ｇを、クロロホルム５０ｍＬに溶解し、３規定の塩酸５ｍＬを加えて沈澱物をろ過すると、黄色い粉末のα，α’−ビス（アミノメチル）クォータチオフェン塩酸塩が得られる。このα，α’−ビス（アミノメチル）クォータチオフェン塩酸塩は、水の再結晶で精製した。
【００４８】
ついで、図１（ｈ）に示されるように、このα，α’−ビス（アミノメチル）クォータチオフェン塩酸塩０．５ｇを水１００ｍＬに分散させ、更に、１０％の水酸化ナトリウム水溶液１０ｍＬを加えると、分散していたα，α’ービス（アミノメチル）クォータチオフェン塩酸塩は、明るい黄色の沈澱物になる。
【００４９】
そして、この沈澱物をろ過するとα，α’−ビス（アミノメチル）クォータチオフェンが得られる。
【００５０】
なお、このα，α’−ビス（アミノメチル）クォータチオフェンは、ジメチルホルムアミドで再結晶して黄金色の板状結晶として得た。
【００５１】
ここでこの化合物は、以下のように同定した。
つまり、赤外吸収スペクトル（ＫＢｒ）伸縮（ＮＨ２）：３３３４，３２８４ｃｍ−１；芳香族伸縮：３０８１，３０５６ｃｍ−１；脂肪族伸縮（ＣＨ２）：２９１０，２８５１ｃｍ−１；面内変角（ＮＨ２）：１６０１ｃｍ−１；環伸縮：１５０９，１４４３ｃｍ−１；面外変角（ＣＨ）：７９５ｃｍ−１；紫外可視スペクトル（ＣＨ２Ｃｌ２）  λｍａｘ＝４００ｎｍ；元素分析（Ｃ１８Ｈ１６Ｎ２Ｓ４）の理論値Ｃ５５．６４，Ｈ４．１５，Ｎ７．２１，Ｓ３３．００に対して測定値Ｃ５５．３５，Ｈ４．０７，Ｎ７．３０，Ｓ３３．３８による。
【００５２】
さて、次に（化６）に示すモノマーである２，２’−ビチオフェン−５，５’−ジカルボニルクロライドの合成について説明をする。
【００５３】
このモノマーの合成方法は、マクロモレキュール・ケミストリー・ラピッド・コミュニケーションズ（Ｐ．Ｇ．Ｂａｒｂｅｒ他、第７巻、２７−３１ページ、１９８７年）に開示されたものによったが、以下具体的に説明をする。
【００５４】
市販のビチオフェン３．３２ｇ（０．０２ｍｏＬ）と乾燥蒸留したエーテル１６０ｍＬをフラスコに入れ氷浴上で撹拌する。
【００５５】
ついで、これに、図２（ａ）に示されるように、１．６ｍｏＬ／Ｌのｎ−ブチルリチウムヘキサン溶液を２５ｍＬ（４０ｍｍｏＬ）滴下し１５分放置する。ついで、３０分還流させたのちドライアイス・アセトンバスで冷却する。
【００５６】
そして、細かく砕いたドライアイスを入れ、そのまま一晩放置し、得られた沈澱物をろ過する。
【００５７】
これが、２，２’−ビチオフェン−５，５’−ジカルボン酸である。
この２，２’−ビチオフェン−５，５’−ジカルボン酸２ｇを、図２（ｂ）に示すように、１０ｍＬのベンゼンと２０ｍＬの塩化チオニルの中で分散させ、一晩還流する。
【００５８】
そして、冷却すると針状の緑の結晶が析出し、これが、２，２’−ビチオフェン−５，５’−ジカルボニルクロライドである。
【００５９】
以上のように得られた（化５）のモノマーと（化６）の化合物を用いて、（化４）に示す、共重合体を合成するわけであるが、代表的に、（化４）のｍ＝１，ｎ＝４の場合について説明する。
【００６０】
本実施の形態においては、重合は、図３に示す蒸着重合装置を用いた真空中で重合体薄膜を形成する蒸着重合法によった。
【００６１】
図３において、１はチャンバ、２は石英基板、３はタングステンヒータａ、４はタングステンヒータｂである。
【００６２】
まず、（化５）のｍ＝１，ｎ＝４の場合に相当するα，α’−ビス（アミノメチル）クォータチオフェンと、（化６）の２，２’−ビチオフェン−５，５’−ジカルボニルクロライドを、各々タングステンヒータａ，ｂにセットしてチャンバ１内に配置し、基板２をタングステンヒータａ，ｂに対向させてチャンバ１内に配置する。
【００６３】
ついで、、蒸着重合装置のチャンバー１内を不図示の真空ポンプで１×１０−５Ｔｏｒｒの圧力下になるように引く。
【００６４】
そして、石英基板２を、不図示の加熱手段で８０℃に加熱した後、２，２’−ビチオフェン−５，５’−ジカルボニルクロライドの入ったヒータｂを８０℃に加熱する。
【００６５】
次に、約５分後、α，α’−ビス（アミノメチル）クォータチオフェンの入ったヒータａを１４０℃までゆっくり昇温する。
【００６６】
するとこの２つの物質が石英基板２上で重合を開始し、この基板２上に（化４）の化学式のｍ＝１，ｎ＝４の場合の化合物が薄膜状に形成される。
【００６７】
図４は、各々（ａ）α，α’−ビス（アミノメチル）クォータチオフェン：（化５）のｍ＝１，ｎ＝４の場合、（ｂ）２，２’−ビチオフェン−５，５’−ジカルボニルクロライド：（化６）、（ｃ）オリゴチオフェンを主鎖に持つポリアミド：（化４）のｍ＝１，ｎ＝４の場合の、赤外スペクトルを示す。
【００６８】
図４の各スペクトルを観察すると、図４（ｃ）において、１６３０ｃｍ−１のピークはアミド基中のカルボニル基（Ｃ＝Ｏ）の伸縮振動によるものであり、１５３７ｃｍ−１のピークは、アミド基中のＣＮ伸縮振動とアミド基のＮＨ面内変角振動によるものである。これらのピークは、図４（ａ）と図４（ｂ）におけるモノマーのスペクトル中には観測されない。
【００６９】
そして、図４（ｂ）中の１７２５ｃｍ−１の強いピークは、塩化カルボニル基の伸縮振動によるものであるが、このピークは、重合体のスペクトル図４（ｃ）中には観測されない。
【００７０】
さらに、図４（ｃ）の８００−１７００ｃｍ−１の範囲に比較的ブロードで小さなピークが多く観測される。
【００７１】
以上の事実より、重合により高分子化合物、つまり重合体が形成されていることが理解できる。
【００７２】
次に、図５は、各々（ａ）α，α’−ビス（アミノメチル）クォータチオフェン：（化５）のｍ＝１，ｎ＝４の場合、（ｂ）２，２’−ビチオフェン−５，５’−ジカルボニルクロライド：（化４）、（ｃ）オリゴチオフェンを主鎖に持つポリアミド：（化２）のｍ＝１，ｎ＝４の場合の紫外可視スペクトルを示す。
【００７３】
特に、図５（ａ）と図５（ｃ）を比べると、得られた重合体：（化４）のｍ＝１，ｎ＝４の場合は、重合反応後もオリゴチオフェンの持つ電子状態が保たれていることがわかる。
【００７４】
ここで、最大吸収波長３８２ｎｍのピークは、オリゴチオフェン４量体のπ−π＊遷移によるものである。また、４５０ｎｍ付近の肩は、振動遷移によるものである。なお、図５（ｂ）における化合物（化６）で観測される３２５ｎｍのピークは、図５（ａ）の重合体中ではピークの中うに埋もれて観測されなかった。
【００７５】
次に、本実施の形態で石英基板２上に蒸着膜として得られた重合体：（化４）のｍ＝１，ｎ＝４の場合）について耐薬品性の評価試験を行った。
【００７６】
具体的には、水、メタノール、エタノール、アセトン、ヘキサン、クロロホルムに浸したところ、本実施の形態における重合体については、どの薬品にも溶け出したり、基板からはがれたりすることはなく、優れた耐薬品性、付着性を実現していることが判明した。
【００７７】
（実施の形態２）
本実施の形態においては、（化４）のオリゴチオフェン重合体のｍ＝２若しくは３の場合，またはｎ＝２，３若しくは５の場合等実施の形態１以外の組合せのの場合の合成について説明をする。
【００７８】
本実施の形態における重合体の合成については、実施の形態１と基本的には同様であるため、異なった部分について概略説明する。
【００７９】
まず、一方の出発原料の（化５）の場合、他の数字のｍ，ｎに対応した化合物も基本的には同様の方法で合成できる。
【００８０】
但し、ｎ＝３、５の場合には、ｎ＝４と全く同様であるが、ｎ＝２の場合には、図１（ｂ）の後３０分経過させ、図１（ｅ）の様に、５．５８ｇ（４４ｍｍｏＬ）のヨウ素を固形のまま投入することが好適で、これによりヨウ素は直ちに溶解し、溶液は黒くなる。
【００８１】
ついで、この場合、図１（ｆ）に示すように、氷浴を取り除いて３０分放置し、０．２４ｇ（１０ｍｍｏＬ）のマグネシウムを固形のまま投入した後、さらに６０分間放置し、マグネシウムを完全に溶解させる。
【００８２】
さらに、反応系をドライアイス・アセトンバスで冷却した後、８０ｍｇの１，３−ビス（ジフェニルフォスフィノ）プロパンニッケル（ＩＩ）クロライドを投入する。
【００８３】
そして、そのまま一昼夜撹拌した後、ドライアイス・アセトンバスを取り除き４時間還流後、ろ過して、ろ液に約１５０ｍＬのヘキサンを加え、水でよく洗浄をする。この際、生じるヘドロ状の物質も取り除く。このヘキサン溶液を塩化カルシウムで乾燥後、ヘキサンを蒸発させると白色の固体が残る。そして、これを、冷メタノールで洗浄し、エタノールで再結晶すると白色の結晶が得られる。
【００８４】
これが、α，α’−ビス［（２，２，５，５，−テトラメチル−１−アザ−２，５−ジシラ−１−シクロペンチル）メチル］ビチオフェンであり、以降は図１（ｇ）、図１（ｈ）の工程を実行することになる。
【００８５】
また、ｍが２、３の場合には、ｎが２であるか、３から５のいずれかであるかに対応して、図１（ｅ）、（ｆ）を経由するか図１（ｃ）、（ｄ）を経由するかの相違はあるが、前述したｍ＝１の場合と同様に実行し（化５）のモノマーを得ることができる。
【００８６】
また、他方の出発材料である（化６）の化合物については、実施の形態１と全く同じものを用いる。
【００８７】
そして、このようにして得られた（化５）と（化６）の化合物を用いて、（化４）の重合体を合成するわけであるが、具体的には、実施の形態１と同様に、図３に示す蒸着重合装置を用いた真空中で重合体薄膜を形成する蒸着重合法によった。
【００８８】
但し、蒸着時のヒータ温度等は化合物の種類によって適宜調整した。
図６は、（ａ）（ｍ，ｎ）＝（１，２）、（ｂ）（ｍ，ｎ）＝（１，３）、（ｃ）（ｍ，ｎ）＝（１，５）の重合体の紫外可視スペクトルを、各々代表的に示す。
【００８９】
図６によれば、最大吸収波長は、（ａ）３３７ｎｍ、（ｂ）３６１ｎｍ、（ｃ）３９１ｎｍであり、このようなスペクトルから判断すると、これらは、各出発材料の重合度に対応した電子状態が反映されていることがわかる。
【００９０】
次に、本実施の形態で石英基板２上に蒸着膜として得られた各重合体：（化４）のｍ＝１，ｎ＝４以外の場合）について耐薬品性の評価試験を行った。
【００９１】
本実施の形態においても、水、メタノール、エタノール、アセトン、ヘキサン、クロロホルムに浸したところ、本実施の形態における重合体については、どの薬品にも溶け出したり、基板からはがれたりすることはなく、優れた耐薬品性、付着性を実現していることが判明した。
【００９２】
（比較例）
耐薬品性、付着性の比較を行なうために以下の（化７）に示す従来のジメチルクォータチオフェンの重合体薄膜を、実施の形態１と同様に、図３に示す蒸着重合装置を用い真空中で蒸着重合法により石英基板上に形成した。
【００９３】
【化７】
0003624554.tif 000005
【００９４】
このジメチルクォータチオフェンを用い、水、メタノール、エタノール、アセトン、ヘキサン、クロロホルムに浸してみたところ、水以外の溶媒にはほとんど溶解した。また、水中では基板から剥離した。
【００９５】
一方、実施の形態１や実施の形態２において説明した（化４）のオリゴチオフェン重合体は、前述したようにこれらのどの薬品にも溶け出したり、基板からはがれたりすることはない。
【００９６】
よって、本発明のオリゴチオフェン重合体は、従来のオリゴチオフェンのような低分子では得ることができない優れた耐薬品性、付着性を実現していることが確認された。
【００９７】
【発明の効果】
以上のように、本発明のオリゴチオフェン重合体は、オリゴチオフェンを主鎖に持つポリアミドであり、オリゴチオフェンの本来有する優れた電子活性を維持しながら、低分子にはない物理的、化学的安定性を有するものである。
【００９８】
したがって、本発明のオリゴチオフェン重合体は、化学工業及び電子工業の広範な分野において有効に利用し得るといえる。
【００９９】
さらに、このようなオリゴチオフェン重合体は、所定の出発材料を用いた蒸着重合法を用いて好適に製造することができ、結果物である重合体の純度は極めて高く、超薄膜状の重合体の形成も可能な点に優位性が認められるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１のオリゴリオフェン重合体の出発原料となるモノマー（化３）の合成反応図
【図２】同オリゴリオフェン重合体の出発原料となるモノマー（化４）の合成反応図
【図３】同オリゴリオフェン重合体の形成に用いる製造装置図
【図４】同オリゴリオフェン重合体及び出発材料の赤外吸収スペクトル図
【図５】同オリゴリオフェン重合体及び出発材料の紫外可視スペクトル図
【図６】本発明の実施の形態２のオリゴリオフェン重合体の紫外可視スペクトル図
【符号の説明】
１  チャンバ
２  基板
３  ヒータａ
４  ヒータｂ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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