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(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下方に吸い込み口を有し、円弧の部分に吹き出し口を有する４分の１円弧の扇形台状をした室内側送風回路で、前記吹き出し口に、吹き出し流を上下水平に吹き分ける、円弧状で断面が略楕円形の風向変更装置を設けたセパレート型空気調和機の送風回路。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷暖房を行うヒートポンプのセパレート型空気調和機の室内送風回路の構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のセパレート型空気調和機の室内機は図７に示すように、居室内の壁に出ぱった形で取り付けられていた。その構成は、風上側から順番に、前面グリル４、熱交換器３、ケーシング２１とスタビライザ２０で囲まれた貫流送風機２、そして、上下風向き変更装置６により成っていた。モーターで貫流送風機２を回転させるにより、送風作用を生じ、前述の順番で空気が矢印で示したように貫流し、冷暖房，除湿を実施する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記の構造を有するセパレート型空気調和機の室内機は、居室の壁に出ぱった形で設置される為、居室に圧迫感を与えインテリアとの融合に限界がある。更に一方の壁に設置されるので、風向変更装置を駆使しても、居室の空調温度分布にムラが出来て、快適性の面でも問題がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明のセパレート型空気調和機の送風回路は、下方に吸い込み口を有し、円弧の部分に吹き出し口を有する４分の１円弧の扇形台状をした室内側送風回路で、前記吹き出し口に、吹き出し流を上下水平に吹き分ける、円弧状で断面が略楕円形の風向変更装置を設けたものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明は上記した構成において、円弧状の吹き出し口に、吹き出し流を上下水平に吹き分ける、円弧状で断面が略楕円形の風向変更装置を設けることにより、この風向変更装置を上下させるだけで、吹き出し流を、下方向、上下吹き分け、水平方向にコントロールでき、居室の空調温度分布にムラが無くなり、快適性の面が向上する。
【００１２】
【実施例】
（実施例１）
以下に本発明の第１の実施例を図１，図２，図３に沿って説明する。
【００１３】
図１は、本発明のセパレート型空気調和機の室内機を、居室内に設置した場合の斜視図である。
【００１４】
図２は、図１をＡ方向から見た平面図である。
図３は、そのＢＢ断面図である。
【００１５】
居室内の天井と２方の壁のコーナーに密着して取り付けられ、下方に吸い込み口を有し、円弧の部分に吹き出し口６ａを有する４分の１円弧の扇形台状をした室内側空気調和機１である。遠心送風機２が回転し送風作用をしている時、下方に吸い込み口である前面グリル４から空気を吸入し、その下流に順番にエアガイダー８、スクロールケーシング５で囲まれた遠心送風機、遠心羽根車２の半径方向に円弧状の熱交換器３、円弧状の吹き出し口６ａへと空気が流れ、送風作用をする。このように、居室のコーナーに設置されるので、圧迫感がなく、インテリアとの融合性がより良好である。４分の１円弧状の吹き出し口６ａより、広角に吹き出すので、室内空調の温度ムラがなく、快適性がより良好である。
【００１６】
（実施例２）
また、本発明の第２の実施例を図４で説明する。
【００１７】
遠心羽根車２のスクロールケーシング５を、ゼツ部１０を有する螺旋を基本形状に形成することで、遠心羽根車２矢印方向に回転して送風作用をする時、より送風効率の高い、騒音の低い室内送風回路を提供出来る。また、この遠心羽根車２は、バックワードファンかシロッコファンで構成しても良い。
【００１８】
（実施例３）
また、第３の実施例を図５−（ａ），（ｂ），（ｃ）で説明する。
【００１９】
円弧状の吹き出し口６ａに、吹き出し流を上下水平に吹き分ける、円弧状で、断面が略楕円形の風向変更装置６を設ける。これで、この風向変更装置を上下させると、吹き出し流を、図５−（ａ）のように、風向き変更装置６を上位置にすることで、下方向に吹き出させる事が出来る。また、図５−（ｂ）の様に風向変更装置６を、吹き出し口６ａの中間位置にすると上下吹き分けができる。また、風向変更装置６を下位置にすることで水平方向吹き出しが出来る。このようにして、吹き出し流をコントロールでき、居室の空調温度分布にムラが無くなり、快適性の面が向上する。
【００２０】
（実施例４）
また、第４の実施例を図６で説明する。
【００２１】
室内熱交換器３からの内部接続配管９をエアガイダー８と前面グリル４の間に設け、且つ、室内機の片隅に配置する。これで、内部接続配管９が、送風回路を流れる空気に影響を与えず、効率よく収納されるので、室内機をコンパクト化でき、その結果、更に居室のインテリアとの融合性に優れる。
【００２２】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、円弧状の吹き出し口に、吹き出し流を上下水平に吹き分ける、円弧状で断面が略楕円形の風向変更装置を設けることにより、この風向変更装置を上下させるだけで、吹き出し流を、下方向、上下吹き分け、水平方向にコントロールでき、居室の空調温度分布にムラが無くなり、快適性の面が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例のセパレート型空気調和機の斜視図
【図２】本発明の第１の実施例のＡ方向より見た平面図
【図３】本発明の第１の実施例のＢＢ断面図
【図４】本発明の第２の実施例の、分解した平面図
【図５】（ａ）本発明の第３の実施例のＣ部の詳細図
（ｂ）同詳細図
（ｃ）同詳細図
【図６】本発明の第４の実施例の断面図
【図７】従来実施のセパレート型空気調和機の斜視図
【図８】従来実施のセパレート型空気調和機のＢＢ断面図
【符号の説明】
１  セパレート型空気調和機
２  遠心羽根車
３  円弧状熱交換器
４  前面グリル
５  スクロールケーシング
６  風向き変更装置
６ａ  吹き出し口
７  水受け皿
８  エアガイダー
９  モーター
１０  ゼツ部
【図１】
0003661250.tif 000002
【図２】
0003661250.tif 000003
【図３】
0003661250.tif 000004
【図４】
0003661250.tif 000005
【図５】
0003661250.tif 000006
【図６】
0003661250.tif 000007
【図７】
0003661250.tif 000008
【図８】
0003661250.tif 000009
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
室内機の送風ファンとして複数のブレードを周方向に環状に配した貫流ファンを備えた空気調和機において、前記貫流ファンのブレード形状を、最大肉厚位置が前記ブレードの弦長の内側（内径側）から４％の箇所に設けられると共に、前記最大肉厚位置から前記ブレードの両端に向って前記ブレードの肉厚を順次薄くしたことを特徴とする空気調和機の室内ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、室内の冷房あるいは暖房を行う空気調和機の室内ユニットに用いられている貫流ファンに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の空気調和機は特開平９−１００７９５号公報に記載されているように、図６のような形状となっている。前記貫流ファン１を円板２で仕切られる複数のブロックに分割し、少なくとも一つのブロックの羽根３の外径をそのブロックの円板間において変化する部分を有し、前記少なくとも一つのブロックと隣接するブロックの隣接部での羽根外径が異なる構造とする。
【０００３】
従来の空気調和機は特開平１０−７７９８８号公報に記載されているように、図７のような形状となっている。円板状または環状の一対の端板２−１、２―２間に複数の羽根３を周方向に所定の取付ピッチで環状に配して横架固着し、羽根３の軸方向中間部に端板２を配設する。羽根３の軸方向両端部を翼弦長の長い拡幅部Ｌb、Ｌcに形成する一方、軸方向中間部Ｌaを翼弦長の短い弦幅部Ｌaに一体に連成する。
【０００４】
そして、これらのブレード形状の肉厚分布は、以下の２種に分類される。第１は、前縁から後縁にかけて肉厚が一定であるものである。第２は、最大肉厚位置が、前縁と後縁の中間にあるものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記第１の従来例のファンのブレードでは、負荷がかかった時（空気清浄用フィルタにゴミが付着した時等）にブレードの長さが異なるため、2次元流れが崩れ易い。そのため、側壁部近傍では特に２次元流れが崩れ易く、「バサバサ」という断続的な異常音が発生するため極めて不快感を呈する。さらに、負荷がかかった時、著しく送風性能が劣化するため、冷房能力または暖房能力が低下する。
【０００６】
上記第２の従来例のファンのブレードにおいても、同様の課題を有している。また、図８に示す、従来のブレード形状による吹き出し部の流速ベクトルから明らかなように、前縁部での流れの剥離がおき、乱流がおきていることがわかる。本発明はこのような従来の課題を解決するものであり、貫流ファンのブレード形状の肉厚分布の与え方として、最大肉厚位置を中央より内側にすることにより、負荷がかかった時にも、安定した流れ場を形成することができる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明は、室内機の送風ファンとして複数のブレードを周方向に環状に配した貫流ファンを備えた空気調和機において、前記貫流ファンのブレード形状を、最大肉厚位置が前記ブレードの弦長の内側（内径側）から４％の箇所に設けられると共に、前記最大肉厚位置から前記ブレードの両端に向って前記ブレードの肉厚を順次薄くしたことを特徴とするものである。
【０００９】
【実施例】
以下本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【００１０】
図１は本発明の第１の実施例における、空気調和機の室内機に搭載されているクロスフローファンの断面図と、そのクロスフローファンの１個のブレードの拡大図である。そのブレードの弦長は、線分ＩＯで表わされる。その線分の中央より内側に最大肉厚位置を配設することを特徴とするブレード形状である。
【００１１】
最大肉厚位置を、弦長の内側から２％〜６０％の位置に変化させて、そのＰ−Ｑ特性を分析した結果を図２に示す。開放点での傾斜が、静圧の高低を表わす。その傾斜と肉厚分布位置の関係を図３に示す。これより、静圧の上昇しているピークが、４％付近と２０％付近にあり、また、最大肉厚位置が内周側に移動するほど、静圧の上昇する傾向にある。従って、最大肉厚位置が、２％〜３５％の位置で安定して高静圧が得られることがわかる。さらに、騒音あたりの風量性能を図４に示す。これより、最大肉厚位置が弦長の内側から２％〜３５％の領域では、ほぼ安定している。ここでも、中央より内側に２％〜３５％の位置に最大肉厚位置があると騒音あたりの風量性能が安定していることがわかる。
【００１２】
これにより、図５に示す、本実施例ブレード形状による吹き出し部の流速ベクトルから明らかなように、前縁部での流れの剥離が減少して、スムーズな流れを生み出し、風量性能を向上することができた。
【００１３】
【発明の効果】
上記実施例から明らかなように、高静圧化されているため、エアコン本体に負荷がかかろうともバサバサという異常音が発生しにくい。また、冷暖房時に吹き出し部に着目して流れの状況を分析すると、前縁部での流れの剥離が減少して風量性能が向上する。また、翼間の最短距離から吹き出し部にかけて徐々に拡大していくため、後縁剥離が減少して風量性能が向上する。
【００１４】
以上の現状から、乱流成分が減少して騒音も低減されることになり、同一騒音当たりの風量性能が向上する。さらに、開放点付近での圧力が上昇することになり、エアコンなどに応用されるとき、冷房時の熱交換器の露付き、フィルタにゴミが付着した時などに発生する（バサバサ音）などを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す断面図と１個のブレードの拡大図
【図２】Ｐ−Ｑ特性図
【図３】静圧の高低と肉厚分布位置の関係を示す図
【図４】騒音あたりの風量性能を示す図
【図５】本発明一実施例のブレード吹き出し部の流速ベクトル図
【図６】従来の貫流ファンの正面図
【図７】従来の貫流ファンの正面図
【図８】従来のブレード吹き出し部の流速ベクトル図
【符号の説明】
１  貫流ファン
２  円板
３  羽根
【図１】
0003661579.tif 000002
【図２】
0003661579.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
0003661579.tif 000006
【図６】
0003661579.tif 000007
【図７】
0003661579.tif 000008
【図８】
0003661579.tif 000009
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端部に肉挽き部を有し、ほぼ水平方向に延長した肉送り部を設け、一端を該肉送り部と連通させ、他端を上方に延長させた肉投入部を形成し、該肉投入部上端に肉を載置する肉皿を配設し、適所に設けたモーターから駆動部を介して前記肉送り部に動力伝達した肉挽き機において、リング部を有するガードを肉投入部上端付近に固着し、前記ガードのリング部に上下動自在に係合させ、両端に前記リング部より太径部を形成させた突き棒を設けたことを特徴とする肉挽き機の安全ガード兼突き棒。
【請求項２】
リング部を弾性体とし、前記突き棒の下端太径部の外周に前記リング部のほぼ直径相当の溝を形成したことを特徴とする請求項１記載の肉挽き機の安全ガード兼突き棒。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、肉挽き機の安全ガード兼用の突き棒に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の肉挽き機は、リング部を有するガードを肉投入部上端付近に固着されている。突き棒はほぼストレートの円柱状であったため、リング部に対し着脱自在となっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術は、リング部から突き棒が着脱自在であるため、突き棒を取り外した場合、リング部内径から肉投入部を介し、肉送り部に手を入れ巻き込まれるのを防ぐためリング部を設け、肉投入部の内径を小さく（φ７０程度以下）していた。そのため安全性は確保されていたが、肉投入部内に投入できる肉の量が少量であるため、作業能率は低下してしまう。また、作業能率を向上させるため、肉投入部、リング部の内径を大きくすると、手が入りやすくなり事故の原因になる恐れがあった。
【０００４】
本発明の目的は、上記した従来技術の問題点を解消し、安全を損なわず作業能率の向上を図ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、先端部に肉挽き部を有し、ほぼ水平方向に延長した肉送り部を設け、一端を該肉送り部と連通させ、他端を上方に延長させた肉投入部を形成し、該肉投入部上端に肉を載置する肉皿を配設し、適所に設けたモーターから駆動部を介して前記肉送り部に動力伝達した肉挽き機において、リング部を有するガードを肉投入部上端付近に固着し、前記ガードのリング部に上下動自在に係合させ、両端に前記リング部より太径部を形成させた突き棒を設けたことで達成される。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の形態を図１〜図２を用いて説明する。図１は肉挽き機の正面図、図２は図１で肉を投入した状態を示す正面図である。
【０００７】
図において、本体の外郭を構成するハウジング１には、モーター２、モーター２の上部には先端部に肉挽き部３を有する肉送り部４を設け、一端を肉送り部４と連通させ、他端を上方に延長させた肉投入部５が保持収容されている。肉投入部５の上端部には、ハウジング１から突出した肉挽き部３と反対方向に延長させた肉６を載置する肉皿７が配設されている。リング部９を有するガイド８を肉投入部５上端付近に固着し、リング部９に上下動自在に係合させ、両端に太径部１０ａ、１０ｂを形成させた突き棒１０を設け、リング部９、肉投入部５の内径はφ７０程度以上とする。ハウジング１の側面にはモーター２用のスイッチ１１、図示しない駆動部が内蔵されている。
【０００８】
上記構成において、肉皿７に加工する肉６（３ｃｍ角程度）満載し、スイッチ１１を入れると、モーター２が回転し前記駆動部を介して肉挽き部３と肉送り部４が回転する。突き棒１０を持ち上げて、肉投入部５にＡ部から肉６を入れると、肉送り部４により肉挽き部３へ送られ、本体外にミンチ状で排出される。肉投入時は突き棒１０を持ち上げたときに、リング部９下面に突き棒１０の太径部１０ｂが突き当たり、リング部９の内径が突き棒１０の太径部１０ｂで覆われて、手の侵入を防止することができる。また、リング部９、肉投入部５の内径をφ７０程度以上としたため、一度に大量の肉を肉投入部５内に入れ処理することができる。
【０００９】
図３〜図６において他の実施形態を説明する。突き棒１０の太径部１０ｂの上側にリング部９より太いつば部１０ｃを設け、太径部１０ｂとつば部１０ｃの間には、リング部形状同様の凹溝１０ｄを有し、リング部９を弾性体とした構成において、肉６をＡ部より肉投入部５に入れる場合、突き棒１０を持ち上げたとき、つば部１０ｃがリング部９の内径を乗り越え、突き棒１０の凹部１０ｄがリング部９の内径部に枢着する。
【００１０】
また、大きい肉や、冷凍肉、筋肉などの肉６を入れ、肉投入部５内に肉６が残り肉送り部４に供給されない場合は、突き棒１０を押し込めば、突き棒１０のつば部１０ｃがリング部９の内径を乗り越え、肉６を肉送り部４へ押し出すことができる。
【００１１】
このように、突き棒１０を上方に係止自在としたため、突き棒１０を係止状態で肉皿７に満載した肉６を肉投入部５へ入れることができ、作業能率の向上が図れる。
【００１２】
【発明の効果】
本発明によれば、リング部を有するガードを肉投入部上端付近に固着し、前記ガードのリング部に上下可動に係合させ、両端に前記リング部より太径部を形成させた突き棒を設けたので、突き棒を上方に移動させた場合、リング部下部に突き棒の太径部が当接し、太径部でリング部内径を覆うことにより、肉投入部への手の侵入を防止することができ、また、リング部と肉投入部の内径を大きくすることが可能となり、短時間に肉投入部へ大量の肉を入れ処理することができるため、安全性を損なわず、作業能率の向上を図ることができる。
【００１３】
また、前記突き棒の下端太径部の外周に前記リング部の断面形状とほぼ同様の溝を形成し、リング部を弾性体とし、突き棒を上方で係止させる係止手段を設けたので、突き棒を係止状態で肉皿に満載した肉を肉投入部へ入れることができるので、さらに作業能率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を示す肉挽き機の正面図である。
【図２】図１で肉を投入した状態を示す正面図である。
【図３】本発明の他の実施形態を示す肉挽き機の正面図である。
【図４】図３で肉を投入した状態を示す正面図である。
【図５】図３で突き棒で押し込んだ状態を示す正面図である。
【図６】図３で肉を送り込んだ状態を示す正面図である。
【符号の説明】
５…肉投入部、８…ガイド、９…リング部、１０…突き棒、１０ａ、１０ｂ…太径部、１０ｃ…つば部、１０ｄ…凹溝。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0003661389.tif 000006
【図６】
0003661389.tif 000007
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マガジンに重合収納したラベルの前面に複数個の吸着フィンガを同時に当接して１枚のラベルを吸着保持し、該ラベルを金型内に挿入し、吸着フィンガの任意の１個の吸着フィンガ以外の吸着フィンガの吸引力を遮断して金型内のラベル吸着部に当接し吸着保持する如くしたマガジン内のラベルを金型内面に吸着する方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、重合収納したラベルを１枚宛吸着フィンガにより吸着し、金型内面に貼り付けした際にしわを生じないように吸着する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、重合収納したラベルを金型内面に吸着するには、図４、図５に示す如く、ラベル１０１を重合載置したマガジン１０２前面に４個の吸着フィンガ１０３，１０４，１０５，１０６をラベル面と直角水平方向に前後動し得るように配設し、該吸着フィンガ１０３，１０４，１０５，１０６を同時に真空発生機１０７に連通してラベル１０１を吸着し、そのまゝ金型１０８内に挿入し、吸引孔１０９，１１０，１１１，１１２を形成した金型内面に当接し、真空発生機１０７との連通を遮断して吸着フィンガ１０３，１０４，１０５，１０６を金型１０８外に取り出すようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術に於て、ラベルが柔軟な場合、吸着フィンガ間のラベルにしわが生じ、そのまゝ金型内の吸着部内面に吸着されるので成形品外面のラベルにしわが生じ見栄が悪く商品価値が低下するという問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記問題点を解決することを目的とし、マガジンに重合収納したラベルの前面に複数個の吸着フィンガを同時に当接して１枚のラベルを吸着保持し、該ラベルを金型内に挿入し、吸着フィンガの任意の１個の吸着フィンガ以外の吸着フィンガの吸引力を遮断して金型内のラベル吸着部に当接し吸着保持する如くしたことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図１乃至図３に示した一実施例に基づいて詳細に説明する。
１はラベルで、僅か前後動し得るマガジン２内に縦に重合載置してある。その前面縦方向に４個の吸着フィンガ３，４，５，６をラベル面と直角水平方向に前後動し得るように配設されている。７はマガジン２を所定量前後動するエアシリンダ、８は基台９上に配設されたマガジン２の直動軸受である。マガジン２の前面両側には最前位置のラベル両側部を係止する爪１０が取り付けられている。１１は金型でラベル吸着部には４個の吸引孔１２，１３，１４，１５が形成されている。１６は空気清浄化機器で、２個の分岐真空発生装置１７，１８に分岐し、一方の分岐真空発生装置１７は上端の吸着フィンガ３に連通し、他方の分岐真空発生装置１８は他の吸着フィンガ４，５，６に連通するようになっている。
【０００６】
次に作用について説明する。
吸着フィンガ３，４，５，６を同時にマガジン２最前部のラベル１に当接吸着し、該吸着フィンガ３，４，５，６を離間方向に移動する。この時、マガジン２もエアシリンダ７により離間方向に摺動させ、最前端のラベルを係止している爪１０が最前端のラベル１より外れるので最前端のラベル１のみが確実に吸着保持される。次いで金型１１内にそのまゝ送入し、吸着フィンガ３，４，５，６を吸引孔１２，１３，１４，１５に対向位置させる。次いで最上部の吸着フィンガ３のみに分岐真空発生装置１７より吸引力を連通し、他の吸着フィンガ４，５，６へ吸引力を連通する分岐真空発生装置１８の吸引力を遮断する。金型１１内に送入されたラベル１は１個の吸着フィンガ３でのみ吸着保持されているので、他の吸着フィンガ４，５，６がラベル１から離れるので吸着時発生したしわがとれる。次いで吸着フィンガ３を前進させて金型１１内の吸着部に当接し、吸引孔１２，１３，１４，１５により吸着保持する。次いで吸着フィンガ３，４，５，６を金型１１外へ取り出す。
なお、吸着フィンガは２個以上複数個でよく、吸引力を遮断しない吸着フィンガはどの位置の吸着フィンガでもよいが、なるべく上方の吸着フィンガでラベルを保持する方がよい。
【０００７】
【発明の効果】
本発明によると、マガジンに重合収納したラベルの前面に複数個の吸着フィンガを同時に当接して１枚のラベルを吸着保持し、該ラベルを金型内に挿入し、吸着フィンガの任意の１個の吸着フィンガ以外の吸着フィンガの吸引力を遮断して金型内のラベル吸着部に当接し吸着保持する如くしてあるので、ラベルが柔軟な場合でも、マガジン内のラベルを複数の吸着フィンガで吸着し、各吸着フィンガ間に生じたしわをラベル自体の伸長力により取ることができ、成形品の見栄えがよく商品価値を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法に用いる一実施例装置正面図である。
【図２】図１の左側面図である。
【図３】本発明の作動説明図である。
【図４】従来装置のラベルマガジン及び吸着フィンガの正面図である。
【図５】従来装置の作動説明図である。
【符号の説明】
１    ラベル
２    マガジン
３，４，５，６    吸着フィンガ
７    エアシリンダ
１０    爪
１１    金型
１２，１３，１４，１５    吸引孔
１６    空気清浄化機器
１７    分岐真空発生装置
１８    分岐真空発生装置
【図１】
0003661381.tif 000002
【図２】
0003661381.tif 000003
【図３】
0003661381.tif 000004
【図４】
0003661381.tif 000005
【図５】
0003661381.tif 000006
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１個または複数個の電池からなる電池ブロックと、プリント基板と、外部入出力用端子と、リード板とからなる電池パックであり、前記電池ブロックと前記外部入出力用端子との間には前記プリント基板が位置し、前記プリント基板と前記外部入出力用端子とは前記リード板によって接続されており、前記プリント基板と前記電池の＋端子または−端子とが前記リード板によって接続されており、前記リード板は、板バネである電池パック。
【請求項２】
前記リード板は、Ｕ字状またはＶ字状の板バネである請求項１記載の電池パック。
【請求項３】
前記リード板は、複数回折り曲げられた板バネである請求項１記載の電池パック。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気機器用電源としての電池パックに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電池パックは、年々その用途が拡大するとともに需要も増大している。
【０００３】
一般的な電池パックは、１個または複数個の電池からなる電池ブロックと、プリント基板と、外部入出力用端子と、リード板とからなり、電気絶縁性を有する外装ケースもしくはハロンチューブの中に収納されている。
【０００４】
近年においては、電池パックは保護回路などを内臓し、外部入出力用端子を外装ケース外に露出させた構造をとっているものが多くなっている。
【０００５】
このため、従来の電池パックは、電池１と外部入出力用端子３との間にプリント基板４を位置させ、プリント基板４と電池１の＋あるいは−端子との接続をリード板８によってスポット溶接し、かつ外部入出力用端子３とプリント基板４との接続もリード板８によって接続する構成をとっていた。この従来のリード板８の接続状態の斜視図を図４に示す。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような構成では、電池と外部入出力用端子との間にプリント基板を位置させ、電池または外部入出力用端子とプリント基板との接続をするためにリード板をスポット溶接して接続すると、振動や衝撃でスポット溶接外れが生じることがあった。
【０００７】
また、リード板のかわりに導線を用いてはんだ付けすることによって電池または外部入出力用端子とプリント基板との接続を行うと、振動や衝撃によって導線のはんだ付け部で、剥離が起こり、十分な電気的接続を得ることができないという問題があった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために本発明の電池パックは、１個または複数個の電池からなる電池ブロックと、プリント基板と、外部入出力用端子と、リード板とからなる電池パックであって、電池ブロックと、外部入出力用端子との間にプリント基板が位置し、プリント基板と外部入出力用端子とは、リード板によって接続されており、プリント基板と電池の＋端子または−端子とがリード板によって接続されており、リード板は、板バネとしたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、１個または複数個の電池からなる電池ブロックと、プリント基板と、外部入出力用端子と、リード板とからなる電池パックであり、前記電池ブロックと前記外部入出力用端子との間には前記プリント基板が位置し、前記プリント基板と前記外部入出力用端子とは前記リード板によって接続されており、前記プリント基板と前記電池の＋端子または−端子とが前記リード板によって接続されており、前記リード板は、板バネとしたとしたものである。
【００１０】
このリード板が板バネであることによって、リード板は、振動や衝撃を吸収し、外部入出力用端子とプリント基板の接合部や電池とプリント基板のスポット溶接部に対して振動、衝撃が直接かからなくなり、スポット溶接外れやプリント基板の銅箔の剥離が起こらず、確実な電気的接続を得ることができる。
【００１１】
【実施例】
以下、本発明の具体例を詳細に説明する。
【００１２】
本発明の実施例における電池パックの分解斜視図を図１に示し、この図１を参照しながら、以下にその構成を説明する。
【００１３】
電池１としてこの実施例ではニッケル−水素蓄電池を用い、これを６個直列に接続した電池ブロック２と、外部入出力用端子３との間にプリント基板４を位置させる。電池１とプリント基板４とは、リード板５をそれぞれにスポット溶接することによって接続される。このリード板５は、Ｕ字状の板バネであり弾性をもっている。また、外部入出力用端子３とプリント基板４も同じく、リード板５をそれぞれにスポット溶接することによって接続される。
【００１４】
電池１または外部入出力用端子３とプリント基板４へのリード板５のスポット溶接した状態の斜視図を図２に示す。
【００１５】
上記で接続した部品を樹脂ケース６に収納し、樹脂ケースの上部６ａと下部６ｂとの接合部分を超音波によって溶着され、本発明の実施例における電池パックが構成される。この電池パックの分解斜視図を図１に示す。
【００１６】
この電池パックでは、リード板５としてＵ字状の板バネを用いたので、リード板５に弾性が十分にあるため耐衝撃性や耐振動性を向上させた電池パックわ提供できる。
【００１７】
なお、上記で用いたリード板５はＵ字状としたか゜、Ｖ字状でも実施例と同様な効果が得られる。
【００１８】
また、図３に示す斜視図のように複数回折り曲げられたリード板７を用いるとリード板により弾性をもたすことができ、振動や衝撃に対してより強い電池パックを提供できる。
【００１９】
【発明の効果】
以上のように本発明は、１個または複数個の電池からなる電池ブロックと、プリント基板と、外部入出力用端子と、リード板とからなる電池パックであって、電池ブロックと、外部入出力用端子との間にプリント基板が位置し、プリント基板と外部入出力用端子とは、リード板によって接続されていて、プリント基板と電池の＋端子または−端子とがリード板によって接続されていて、このリード板は、板バネとすることによって、リード板が弾性をもち、これによって電池パックの耐振動性と耐衝撃性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例における電池パックの分解斜視図
【図２】同リード板の接続状態を示す斜視図
【図３】同複数回折り曲げられたリード板の接続状態を示す斜視図
【図４】従来のリード板の接続状態を示す斜視図
【符号の説明】
１  電池
２  電池ブロック
３  外部入出力用端子
４  プリント基板
５  リード板
６  外装樹脂ケース
７  リード板
８  従来のリード板
【図１】
0003661453.tif 000002
【図２】
0003661453.tif 000003
【図３】
0003661453.tif 000004
【図４】
0003661453.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金型の合わせ面に対して垂直な面で構成される平面部を回転中心と外径の間に回転中心を挟んで両側に備えた回転軸と、
前記回転軸の回転中心から所定の間隔をおいて設けられたバネ掛け部と、
平板状のトビラ部の一端に前記回転軸と前記バネ掛け部とを一体成形した回転トビラと、
前記回転トビラのバネ掛け部に係着され、垂直方向に前記回転トビラを付勢する巻きバネと、
前記回転トビラの回転軸と係合するＵ字型軸受け部と前記巻きバネを係着させるバネ掛け部を有するパネルと、
前記回転トビラの回転軸を前記パネルのＵ字型軸受けとともに狭持するための凸部を有する軸押さえ部材から構成されることを特徴とする開閉トビラ装置。
【請求項２】
軸押さえ部材の凸部の先端が半円状であることを特徴とした請求項１記載の開閉トビラ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、オーディオやビデオ、情報機器等の分野でテープやディスク等の記録媒体を挿入排出する開閉トビラ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図４は従来の開閉トビラ装置の構造を示しており、１１は回転軸、１２はトビラ、１３は巻きバネ、１４はパネル、１５は軸受け部、１６は軸押さえ部材である。
【０００３】
回転軸１１は、トビラ１２のカール部１２ａ及び巻きバネ１３を貫通し、パネル１４の軸受け部１５に係合され、軸押さえ部材１６によって、保持される構成になっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
この開閉トビラ装置においては、組立性を向上させ、かつ円滑にトビラが開閉動作することが要求されている。
【０００５】
しかしながら、従来の開閉トビラ装置では、回転軸とトビラが別部材になっていることから組立方法が複雑になり、組立性を悪化させている課題があった。
【０００６】
本発明は、組立を簡単にし、かつ円滑にトビラを開閉動作させることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明は、回転軸とトビラとバネ掛け部を一体成形する構成にし、かつパネルのＵ字型軸受け部と軸押さえ部材で回転軸を狭持する構成にしている。
【０００８】
これにより、組立が簡単でかつ円滑にトビラの開閉動作することが可能な開閉トビラ装置が得られる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、金型の合わせ面に対して垂直な面で構成される平面部を回転中心と外径の間に回転中心を挟んで両側に備えた回転軸と、前記回転軸の回転中心から所定の間隔をおいて設けられたバネ掛け部と、平板状のトビラ部の一端に前記回転軸と前記バネ掛け部とを一体成形した回転トビラと、前記回転トビラのバネ掛け部に係着され、垂直方向に前記回転トビラを付勢する巻きバネと、前記回転トビラの回転軸と係合するＵ字型軸受け部と前記巻きバネを係着させるバネ掛け部を有するパネルと、前記回転トビラの回転軸を前記パネルのＵ字型軸受けとともに狭持するための凸部を有する軸押さえ部材から構成されることを特徴とする開閉トビラ装置としたものであり、回転軸とトビラが一体成形されていることで、組立性が簡単になるという作用を有する。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、軸押さえ部材の凸部の先端が半円状であることを特徴とした請求項１記載の開閉トビラ装置としたものであり、円滑にトビラを開閉動作させるという作用を有する。
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について、図１から図３を用いて説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態における開閉トビラ装置の構成図を示し、図１において１はトビラ、２は巻きバネ、３はパネル、４は軸受け部、５は軸押さえ部材を示す。
【００１２】
トビラ１は、回転軸１ａ及びバネ掛け部１ｂと一体成形されており、回転軸１ａはパネル３のＵ字型軸受け部４と軸押さえ部材５によって狭持されている。また巻きバネ２はトビラ１とパネル３に係着され、常にトビラ１を垂直方向に付勢している。カセットやディスクのカートリッジ（以下カートリッジ）がセットの内部から排出される際、トビラ１はカートリッジに押し上げられ回転軸１ａを中心に回転動作を行う。そしてカートリッジがセットから抜き去られると、トビラ１は巻きバネ２の付勢力により、再び元の位置に戻ることになる。カートリッジがセットに挿入させる場合も同様の動作を行う。
【００１３】
図２と図３は、本発明の実施の形態における開閉トビラ装置の軸受け部の断面図を示しており、図２はトビラ１が回転動作をしていない状態を示し、図３は、トビラ１がカートリッジ６によって押し上げられて回転運動している状態を示している。
【００１４】
回転軸１ａは金型構成上、金型合わせ部すなわち凹型と凸型の合わせ部にズレやバリが発生するため、一般に金型合わせ面１ｃと垂直方向にＤカットした面（以下Ｄカット面）１ｄを回転軸の中心点の上下に２箇所設けてある。図３に示すようにトビラ１が回転運動すると、Ｄカット面１ｄが軸押さえ部材５の凸部５ａに接するようになるが、この時凸部５ａの先端形状が平面で構成されているとＤカット面１ｄと凸部５ａが面接触することになり、接触部の摩擦抵抗が巻きバネ２の付勢力より大きくなって、トビラ１がカートリッジ６のない状態になっても元の位置に戻れなくなってしまう可能性がある。そこで図３に示すように軸押さえ部材５の凸部５ａの先端形状を半円状にすることで、トビラ１がどのような回転運動中であっても、Ｄカット面１ｄと凸部５ａは点接触するため、接触抵抗を低減でき、カートリッジ６がない状態になれば常に元の状態に戻すことができる。
【００１５】
なお、以上の説明では、軸押さえ部材の凸部の先端を半円状で構成した例を説明したが、金型作成をより簡単にするため、この凸部の先端を半円状の断面からなるリブ、あるいはコーナーＲ処理したリブで構成しても同様に実施可能である。
【００１６】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、組立が簡単でかつ円滑にトビラの開閉動作が得られるという有利な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態による開閉トビラ装置を示す構成図
【図２】本発明の一実施の形態による開閉トビラ装置の軸受け部を示す断面図
【図３】本発明の一実施の形態による開閉トビラ装置の軸受け部を示す断面図
【図４】従来の開閉トビラ装置を示す構成図
【符号の説明】
１  トビラ
１ａ  回転軸
１ｂ  バネ掛け部
１ｃ  金型合わせ面
１ｄ  Ｄカット面
２  巻きバネ
３  パネル
４  軸受け部
５  軸押さえ部材
５ａ  凸部
６  カートリッジ
【図１】
0003661455.tif 000002
【図２】
0003661455.tif 000003
【図３】
0003661455.tif 000004
【図４】
0003661455.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アノード電極が複数の２次元微小電極の配列で構成されており、通電中めっき皮膜表面で電位測定電極を動かすことで皮膜表面の電位分布を測定し、その結果をもとに電極電流を個別に制御することで、カソード電極のめっき皮膜の表面電位を任意の値に一定に制御すること特徴とする電気めっき方法。
【請求項２】
複数の微小電極を２次元配列され、微小電極の各々に独立して電流が供給されるアノード電極と、通電中カソード電極のめっき皮膜表面の電位分布を測定をする参照電極と、該参照電極で得られた電位分布に基づいてカソード電極のめっき皮膜の表面電位を一定にするように前記アノード電極の微小電極の各々に独立して電流を供給するように制御する制御手段と、を有することを特徴とする電気めっき装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、２次元微小電極を用いた電気めっき方法および電気めっき装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電気めっき法による金属の析出には、カソード電極すなわちめっき領域の表面電位が大きく影響する。たとえば、電気めっきでは、めっき領域の中心部と端部では竃流密度が異なるが、このとき電流密度が高くなるめっき領域端部では、めっき領域中心部に比べて表面電位が低くなっている。合金めっきでは、表面電位の違いによりめっき皮膜組成が影響されるため、めっき領域中心部と端部とで皮膜組成に違いが生じるといった問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
これまで、めっき領域表面での電流密度の大きさをコントロールする方法として、アノード電極とカソード電極の問に遮蔽板を設置する方法が用いられてきた。しかし、この方法では、局所的な表面電位をコントロールすることができないため、皮膜組成を完全に一定にすることができないとともに膜厚を一定にすることができないという問題があった。
【０００４】
したがって、本発明の目的は、皮膜組成および膜厚をほぼ完全に一定にできる電気めっき方法および電気めっき装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の電気めっき方法は、アノード電極が複数の微小電極の配列で構成されており、めっき皮膜表面で電位測定電極（参照電極）を動かすことで皮膜表面全体の電位分布を測定し、その結果をもとに微小電極電流を個別に制御することで、カソード電極の表面電位を任意の値に一定にコントロールすることを特徴とする。
【０００６】
本発明によれば、めっき中連続して表面電位を測定することで各微小電極に流す電流値をコントロールするため、常にめっき皮膜の表面電位を−定に保つことができる。これにより、めっき皮膜の組成を均一に保つことができる。また、表面電位を一定にすることで電流密度も−定になるため、膜厚も均一にコントロールすることが可能となる。
【０００７】
また、上記課題を解決する本発明の電気めっき装置は、複数の微小電極を２次元配列され、微小電極の各々に独立して電流が供給されるアノード電極と、通電中カソード電極のめっき皮膜表面の電位分布を測定をする参照電極と、該参照電極で得られた電位分布に基づいてカソード電極のめっき皮膜の表面電位を一定にするように前記アノード電極の微小電極の各々に独立して電流を供給するように制御する制御手段と、を有することを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、アノード電極は複数の２次元配列の微小電極に独立して電流が供給されるように構成されており、本発明で設けられた参照電極がカソード電極の皮膜表面の電位分布を測定し、制御手段が測定結果に基づいてカソード電極のめっき皮膜の表面電位を一定にするようにアノード電極の微小電極の各々に独立して電流を供給する。これにより、めっき皮膜の組成を均一に保つことができる。また、表面電位を一定にすることで電流密度も−定になるため、膜厚も均一にコントロールすることが可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明で用いられるめっき液は、電気めっきできる金属元素の組み合わせであれば、特に限定されない。
本発明で用いられるアノード電極も特に限定されないが、可溶性アノード電極では電極材料の取替えが必要となるので、不溶性アノードの方が望ましい。
【００１０】
【実施例】
５×５ｃｍの銅箔の表面を電解研磨で平滑にし、めっきサンプルとした。この銅箔に、下記の表１に記載しためっき液を用いて下記の表２のめっき条件で厚さ２０μｍのＦｅ−Ｎｉ合金めっき皮膜を形成した。
【００１１】
【表１】
0003661657.tif 000002
【表２】
0003661657.tif 000003
【００１２】
図１に使用したアノード電極の概略図を示し、図２にめっき装置全体の概略図を示す。図１において、アノード電極１０は、直径５００μｍの点電極１０ａを１００×１００個配列し、各点電極１０ａ間を絶縁材料１０ｂで絶縁し、各点電極１０ａで電流値を個別に(独立して)制御できるように構成した。また、図２のような、縦方向に１０本並べた参照電極１２をめっきサンプル１４の表面で左右に移動させながら（図２の右図の矢印参照）通電を行い、測定した表面電位を元に、各点電極への電流量をコントロールして、めっきサンプル表面電位を−０．５Ｖに固定した。具体的には、左右方向の所定間隔で上下の電位値をサンプリングし、これらの値とめっきサンプル１４における電位との差をそれぞれ電位差計１６で検出して（A/D変換後）コンピュータ１８に入力した。その後、整流器２２を用い、例えば、抵抗器（図示せず）によって電流を分配することによって、アノード電極１０の各微小電極１０ａに個別に電流を供給して、めっきサンプル表面電位を−０．５Ｖに固定した。この実施例では、１０本の参照電極を用いたが、電極本数はこれに限定されず、表面全体の電位を測定できる構造であれば１本でもかまわない。
【００１３】
得られたＦｅ−Ｎｉめっき皮膜に対して皮膜中の組成比率を測定したところ、めっき皮膜の中心部、端部に関係なく、鉄含有量が６１±０．３ｗｔ％となっており、均一組成のめっき皮膜を得ることができた。また、膜厚も２０±μｍと均一なめっき皮膜を得ることができた。
【００１４】
一方、表１に記載のめっき液組成、表２に記載のめっき条件を用い、表面電位測定なしでめっきを行ったところ、皮膜組成が、中心部では５５．３ｗｔ％、端部では７０．１ｗｔ％と大きく異なっており、膜厚も、皮膜中心部で１５μｍ、端部で３０μｍと大きなばらつきが生じていた。
【００１５】
【発明の効果】
本発明を用いることで、めっき面の表面電位を一定に保つことができるので、合金めっき時の皮膜組成を均一にコントロールできる。また、めっき面の電流分布も一定になるため、膜厚を均−に制御することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明で用いるアノード電極の微小電極の配列を説明するための図である。
【図２】図２は本発明のめっき槽全体の概略図である。
【符号の説明】
１０      アノード電極
１２      参照電極
１４      カソード電極
【図１】
0003661657.tif 000004
【図２】
0003661657.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＺｎＳｅ単結晶体の（１００）面をスライスして得た基板に、表面研磨および鏡面エッチング処理を施した後、臭素メタノール溶液に浸漬することによって食刻せしめ、得られた食刻像から該（１００）面上の転位を計測することを特徴とするＺｎＳｅ単結晶体の転位密度測定方法。
【請求項２】
前記臭素メタノール溶液が０.１〜１容積％の臭素メタノール溶液である、請求項１記載のＺｎＳｅ単結晶体の転位密度測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、青色発光デバイスの材料として期待されるセレン化亜鉛（ＺｎＳｅ）等のII-VI 族化合物半導体単結晶中の転位密度を測定する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
II-VI 族化合物半導体の一種であるセレン化亜鉛（ＺｎＳｅ）は、従来、気相成長法や高圧溶融法により製造されているが、これら製造法によって得られた単結晶は結晶学的には不完全であり転位と呼ばれる結晶内の不完全部分を含んでいる。この転位の単位面積当りの数を転位密度と呼ぶが、これは青色発光デバイスの発光寿命等と密接な関係を持ち、エピタキシャル成長用基板として適当であるか否かを判断する上で非常に重要な特性の一つである。
【０００３】
これまでＺｎＳｅ単結晶の転位密度を計測する方法は、単結晶体の（１１１）面および（１１０）面を計測する方法が知られているが、まだ（１００）面に対する計測方法は知られておらず、エピタキシャル成長する結晶方位が（１００）面である場合でも、その方位に配位した単結晶基板から転位密度に関する情報を直接知ることができなかった。
【０００４】
このため、例えば高圧溶融法で得られた大口径で長尺のバルク結晶体からエピタキシャル成長用基板の方位面出しと、転位密度調査用単結晶の方位面出しとの２種類のスライスが必要であった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前述のように従来の転位密度計測方法では、直接的に（１００）面での転位密度を測定できないため、例えばＺｎＳｅ単結晶基板（１００）面上にエピタキシャル成長を行う場合に、基板自体として使用可能な基板であるか否かの判断を短時間で行えないという欠点を有していた。
【０００６】
したがって本発明の目的は、青色発光デバイスの材料として期待されるＺｎＳｅを含めて、II-VI 族化合物半導体結晶体の（１００）面上の転位密度を直接計測する方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記目的を達成すべく鋭意研究した結果、希薄臭素メタノール溶液を用いてＺｎＳｅ単結晶基板の（１００）面を食刻すれば、転位部分が鮮明な食刻像として得られるので、転位密度が測定でき、しかもこの方法がＺｎＳｅ単結晶以外のII-VI 族化合物半導体単結晶体にも適用できることを見いだし本発明に到達した。
【０００８】
すなわち本発明は第１に、ＺｎＳｅ単結晶体の（１００）面をスライスして得た基板に、表面研磨および鏡面エッチング処理を施した後、臭素メタノール溶液に浸漬することによって食刻せしめ、得られた食刻像から該（１００）面上の転位を計測することを特徴とするＺｎＳｅ単結晶体の転位密度測定方法；第２に、前記臭素メタノール溶液が０.１〜１容積％の臭素メタノール溶液である、第１記載のＺｎＳｅ単結晶体の転位密度測定方法を提供するものである。
【０００９】
【作用】
本発明において原料として用いるＺｎＳｅ単結晶基板は、まず垂直ブリッジマン炉または垂直徐冷炉を用いて高圧溶融法によるＺｎＳｅ多結晶を種結晶として該種結晶上に育成することにより単結晶を得る。すなわち前者では溶融体の入ったるつぼを温度勾配のついた電気炉中を降下させて結晶を育成し、後者では上下方向に温度勾配のついた電気炉中にるつぼを置き温度勾配のついたまま徐冷してるつぼ下面より結晶を析出成長させる。
【００１０】
次いでこの単結晶をスライサーで（１００）方位に切り出したものを遊離砥粒を介在させて行うラッピングにより研磨し、さらに表面を鏡面仕上げするために鏡面エッチングして所定形状に切り出したものである。
【００１１】
本発明では、単結晶基板を０．１容積％の臭素メタノール溶液に浸漬することにより基板表面を食刻させるが、食刻条件としては室温で溶液を攪拌しながら８０〜１５０秒程度浸漬すれば鮮明な食刻像が得られるので、これから転位密度を計測することができる。
【００１２】
【実施例】
図１は本実施例に用いられた単結晶基板食刻装置を示す模式断面図、図２はＺｎＳｅ単結晶基板を食刻した後の腐食部分を示す顕微鏡写真で同図（ａ）は４００倍、同図（ｂ）は１０００倍に拡大したものであって、これらを参照して以下説明する。
【００１３】
あらかじめ高圧溶融法によって得られたＺｎＳｅ単結晶体から（１００）面をスライスして５mm角×１mm厚の基板を切り取り、該基板の表面を研磨した後、鏡面エッチング処理を施したものを供試基板とした。
【００１４】
図１に示す単結晶基板食刻装置の反応槽１に入れられた常温（約２０℃）の１容積％臭素メタノール溶液６に上記ＺｎＳｅ基板５が浸漬するようにテフロン製バスケット２に入れて反応槽中にセットした。
【００１５】
反応槽底部にはあらかじめ攪拌子３が設けられてあり、反応槽下部にあるマグネチックスターラー４で撹拌子３を２５０rpm の速度で１２０秒回転させ、食刻処理を行った。
【００１６】
上記食刻処理を施したＺｎＳｅ基板を反応槽より取り出し、メタノール中で超音波洗浄し乾燥した後、ノマルスキー微分干渉顕微鏡で腐食部分（転位部分）を観察した。
【００１７】
観察したＺｎＳｅ基板上の転位部分を図２（ａ）の４００倍、同図（ｂ）の１０００倍の写真として示したが、これらから単位面積当りの転位密度を容易に計測することができた。
【００１８】
なお、ＺｎＳｅ以外のII-VI 族化合物半導体単結晶についても食刻処理を試みたが、ＺｎＳｅの場合とほぼ同様の結果が得られた。
【００１９】
【発明の効果】
以上説明したように、従来II-VI 族化合物半導体単結晶の（１００）面における転位密度を直接計測する手段がなかったが、本発明の方法によれば、簡易な装置を用いて（１００）面に食刻処理を施すことにより明確鮮明になった転位を計測できるので、短時間で（１００）面の転位密度が測定され、II-VI 族半導体のエピタキシャル成長基板としての適否が容易に判断できるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例に用いられた単結晶基板食刻装置を示す模式断面図である。
【図２】ＺｎＳｅ単結晶基板を食刻した後の腐食部分を示す顕微鏡写真で（ａ）は４００倍、（ｂ）は１０００倍の拡大写真である。
【符号の説明】
１    反応槽
２    バスケット
３    攪拌子
４    マグネチックスターラー
５    ＺｎＳｅ基板
６    臭素メタノール溶液
【図１】
0003661801.tif 000002
【図２】
0003661801.tif 000003