(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の表裏の表面を検査し、その検出信号から疵の幅、長さなど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な特徴量の内少なくとも一つ以上の特徴量を検出し、該特徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する表面欠陥検査装置において、
前記被検査体の表裏両面に検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置の両方が所定の範囲内に入っている場合、表裏両面の疵は同一疵と判定し、同一疵と判定された二つの疵の特徴量を統合する判定部と、
この判定部で同一と判定された二つの疵の統合された特徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する疵種／疵程度判定部とを具備することを特徴とする表面欠陥検査装置。
【請求項２】
被検査体の表裏の表面を検査し、その検出信号から疵の幅、長さなど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な特徴量の内少なくとも一つ以上の特徴量を検出し、該特徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する表面欠陥検査装置において、
前記被検査体の表裏両面に検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置の両方が所定値内の場合に、表裏の疵は同一疵と判定し、同一疵と判定された二つの疵の種別及び程度から、所定のルールに基づき、疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する判定部を具備することを特徴とする表面欠陥検査装置。
【請求項３】
被検査体の表裏の表面欠陥を検査し、その検出信号から疵の幅、長さなど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な特徴量の内一つ以上の特徴量を検出し、該特徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する表面欠陥検査装置において、
前記被検査体の表裏の一方の面に疵が検出された場合、検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置から、所定範囲内の他方の面に所定の疵種及び程度の疵が検出されなければ、一方の面で検出された疵の種別及び程度の少なくとも一方を再判定する判定部を具備することを特徴とする表面欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、鋼板やアルミニウム等の比較的厚さが薄い被検査体表面の欠陥を検出する表面検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
鋼板やアルミニウム等の比較的厚さが薄い薄板に対してプレスやメッキを行う場合、その処理前に表面欠陥検査装置により薄板表面の疵の検査を行う。図７に従来の表面欠陥検査装置の概略構成を示す。
【０００３】
図７に示すように、被検査体１０の表面に画像入力部１１（１１ａ，１１ｂ）が設置されている。画像入力部１１は、ＣＣＤカメラやフォトマル（光電子増倍管）等の画像入力手段と、画像入力手段に被検査体表面からの光を導くためのレンズ、ミラーや光学的な補正を行うためのフィルタから構成されている。
【０００４】
画像入力部１１は、画像処理部１２に接続されている。画像処理部１２は、画像入力部からの電気信号を増幅する増幅器、電気的ノイズをカットするフィルタ、画像入力部からのアナログ出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器などの入力手段、入力された信号に対して地合の影響を除くためのシェーディング補正など各種補正処理や空間フィルタなどの前処理部分、得られた画像から２値以上にクラス分けするｎ値化や所定のしきい値により疵候補を抽出する処理部から構成されている。
【０００５】
画像処理部１２が、画像処理部１２で得られた疵候補の長さや幅、面積、被検査体基準線から長手方向の距離、被検査体基準端部からの幅方向の距離などの特徴量を演算する特徴量演算部１３に接続されている。特徴量演算部１３は、疵種別判定部１４及び疵程度判定部１５に接続されている。疵種別判定部１４は、特徴量演算部１３で得られた疵候補の特徴量から所定のアルゴリズムにしたがって疵種別を判定する。また、疵種別判定部１４は、疵程度判定部１５に接続されている。疵程度判定部１５は、特徴量演算部１３で得られた疵の特徴量及び疵種別判定部１４で判定された疵種別から、疵の程度を判定する。
【０００６】
疵種別判定部１４及び疵程度判定部１５が、疵種別及び疵程度をＣＲＴなどのモニタ、プリンタ、ランプ、ブザーなどのアナンシエータに出力する結果出力部１８に接続されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の表面欠陥検査装置では、片面単位で検査をおこなうのが一般的であり、両面の検査をおこなう場合には検査装置をそれぞれの面に設置することでおこなっている。
【０００８】
ところで、鋼板やアルミニウム等の比較的厚さが薄い被検査体の場合、程度の極めて悪い疵は両面に現れるのが一般的である。ところが、従来の表面検査装置では、片面単位で検査しているので、疵程度が悪く正確に検出を行わなければならない疵であるにもかかわらず、疵の種別や程度を正確に判定できない場合があった。
【０００９】
また一方、鋼板に汚れや処理ムラなどが生じた場合は、程度の軽い疵であるにもかかわらず、疵の面積が大きいため程度の悪い疵として誤判定してしまう場合があった。
【００１０】
本発明の目的は、被検査体の両面に現れるような程度の悪い欠陥の種別、程度を高い精度で判定することができる表面欠陥検査方法を提供することにある。
【００１１】
また、本発明の別の目的は、程度の軽い欠陥を程度の悪い欠陥と誤判定することを防ぐことができる表面欠陥検査方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
［構成］
本発明は、上記目的を達成するために以下のように構成されている。
（１）本発明に係わる表面欠陥装置は、被検査体の表裏の表面を検査し、その検出信号から疵の幅、長さなど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な特徴量の内少なくとも一つ以上の特徴量を検出し、該特徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する表面欠陥検査装置において、前記被検査体の表裏両面に検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置の両方が所定の範囲内に入っている場合、表裏両面の疵は同一疵と判定し、同一疵と判定された二つの疵の特徴量を統合する判定部と、この判定部で同一と判定された二つの疵の統合された特徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する疵種／疵程度判定部とを具備することを特徴とする表面欠陥検査装置。
【００１６】
（２）本発明は、被検査体の表裏の表面を検査し、その検出信号から疵の幅、長さなど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な特徴量の内一つ以上の特徴量を検出し、該特徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する表面欠陥検査装置において、前記被検査体の表裏両面に検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置の両方が所定値内の場合に、表裏の疵は同一疵と判定し、同一疵と判定された二つの疵の種別及び程度から、所定のルールに基づき、疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する判定部を具備することを特徴とする。
【００１７】
（３）本発明は、被検査体の表裏の表面欠陥を検査し、その検出信号から疵の幅、長さなど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な特徴量の内一つ以上の特徴量を検出し、該特徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する表面欠陥検査装置において、前記被検査体の表裏の一方の面に疵を検出した場合、検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置に対して、所定範囲内に他方の面に所定の疵種及び程度の疵が検出されなければ、一方の面で検出された疵の種別及び程度の少なくとも一方を再判定する判定部を具備することを特徴とする。
【００１８】
［作用］
本発明は、上記構成によって以下の作用・効果を有する。
【００１９】
薄板の場合、疵は表裏両面に現れるので、同一疵と判定した疵の特徴量を統合することによって、被検査体の疵の種別、程度の判定を高精度化することができる。
【００２０】
また、表裏の疵の分布と、疵の種別及び程度の少なくとも一方とから、疵の種別、程度の判定を高精度化することができる。
【００２１】
また、同一疵と判定された疵の種別及び程度の少なくとも一方から、被検査体内部の疵の種別及び程度の少なくとも一方を推定することができ、被検査体の疵の種別、程度の判定を高精度化することができる。
【００２２】
また、程度の悪い疵は、表裏両面に欠陥が現れるので、検出された疵の位置から所定範囲内に他方の面に疵が検出されなかったときに、検出された疵を再判定することで、程度の軽い欠陥を程度の悪い欠陥と誤判定することがない。例えば、一方の面に程度の悪いと判定された疵があった場合、裏面に疵が無ければその判定は誤りであるということが分かる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を以下に図面を参照して説明する。
【００２４】
［第１実施形態］
図１は、本発明の一実施形態に係わる表面欠陥検査装置の概略構成を示す図である。
図１に示すように、鋼板やアルミニウム等の比較的厚さが薄い被検査体１０の表面側及び裏面側にそれぞれ画像入力部１１（１１ａ，１１ｂ）が設置されている。画像入力部１１は、ＣＣＤカメラやフォトマル（光電子増倍管）等の画像入力手段と、画像入力手段に被検査体表面からの光を導くためのレンズ、ミラーや光学的な補正を行うためのフィルタから構成されている。
【００２５】
それぞれの画像入力部１１は、画像処理部１２（１２ａ，１２ｂ）に接続されている。画像処理部１２は、画像入力部からの電気信号を増幅する増幅器、電気的ノイズをカットするフィルタ、画像入力部からのアナログ出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器などの入力手段、入力された信号に対して地合の影響を除くためのシェーディング補正など各種補正処理や空間フィルタなどの前処理部分、得られた画像から２値以上にクラス分けするｎ値化や所定のしきい値により疵候補を抽出する処理部から構成されている。
【００２６】
画像処理部１２が、画像処理部１２で得られた疵候補の長さや幅、面積、被検査体基準線から長手方向の距離、被検査体基準端部からの幅方向の距離などの特徴量を演算する特徴量演算部１３（１３ａ，１３ｂ）に接続されている。
【００２７】
記憶部１６が、特徴量演算部１３に接続されている。記憶部１６は、疵候補の長さや幅、面積、被検査体基準線から長手方向の距離、被検査体基準端部からの幅方向の距離等の特徴量、並びに疵の種別及び程度を記憶する。
【００２８】
判定部１７が、記憶部１６に接続されている。判定部１７は、被検査体基準線から長手方向の距離、被検査体基準端部からの幅方向の距離から疵の同一性の判定を行うと共に、同一と判定された疵の特徴量を統合する。
【００２９】
疵種別判定部１４及び疵程度判定部１５が判定部１７に接続されている。疵種別判定部１４は、判定部１７で同一と判定された疵の特徴量から、所定のアルゴリズムにしたがって疵種別を判定する。また、疵種別判定部１４は、疵程度判定部１５に接続されている。疵程度判定部１５は、判定部１７で同一と判定された疵の特徴量、及び疵種別判定部１４で判定された疵種別から、疵の程度を判定する。
【００３０】
判定部１７が、判定された結果をＣＲＴなどのモニタ、プリンタ、ランプ、ブザーなどのアナンシエータに出力する結果出力部１８に接続されている。
【００３１】
次に、画像入力部１１，画像処理部１２，特徴量演算部１３，従来装置と同様なので説明を省略し、本装置の判定部１７の動作について説明する。ここでは、図２に示すような、疵が被検査体にあった場合を用いて説明する。
【００３２】
記憶部１６に格納された、被検査体表面１０ａに存在する疵２１の被検査体の基準線からの長手方向の距離をＬｔ、被検査体裏面１０ｂに存在する疵２２の被検査体基準線からの長手方向の距離をＬb、疵２１，２２の被検査体基準端からの幅方向の距離をそれぞれＷt，Ｗbとする。
【００３３】
そして、判定部１７は、
｜Ｌt−Ｌb｜≦Ｌs，
｜Ｗt−Ｗb｜≦Ｗs
（Ｌs，Ｗsは任意の設定値）
が成り立つとき、疵２１と疵２２とが同一の疵であると判定する。
【００３４】
次に、同一な疵と判定した疵に対して、例えば疵長さとして長い方を採用する、又はまたは表裏面のＯＲをとり合成された幅、長さを採用するなどして疵の特徴量を統合する。
そして、疵疵種別判定部１４及び疵程度判定部１５により、同一と判定された疵の統合された特徴量から、疵の疵種・等級を決定する。
【００３５】
例えば、疵２１及び疵２２が、それぞれ（長さ３，幅１）、（長さ１，幅１）であった場合、疵２１及び疵２２を同一の疵として取り扱い、それぞれの疵の長さ、幅の大きい値ほうを採用し同一の疵として取り扱い、（長さ３，幅１）の疵として取り扱う。
【００３６】
裏面の疵が線状形態の疵（ヘゲなど）であり、そのうちの特にひどい部分が表面に現れた場合、表面では点状形態の疵と認識する場合がある。一般的にヘゲ疵（線状〜面状）は母材の疵なので極めて有害であるが、ドロスや異物付着などの点状疵は表面への付着物なので有害度は軽く判断される場合がある。
【００３７】
ここで表面保証の製品については表を重点的に検査するが、表が点状疵と判断されると実際はヘゲであるにもかかわらず見逃してしまう場合がある。本発明のように表裏の特徴量を統合して判定するとこのような場合でも有害疵を見逃す危険が少なくなる。
【００３８】
［第２の実施形態］
本実施形態では、第１の実施形態に示した判定部と、異なる判定方法を用いた判定方法について説明する。
【００３９】
図４は、本発明の第２の実施形態に係わる表面欠陥検査装置の概略構成を示す構成図である。図４において、図１と同一な部分には同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。図４に示す装置が、図１に示した装置と異なるのは、特徴量演算部１３は、疵種別判定部１４（１４ａ，１４ｂ）及び疵程度判定部１５が、表面及び裏面側に設けられた特徴量演算部１３（１３ａ，１３ｂ）に接続されていることである。また、後述するテーブル１９が、判定部１７に接続されている。
【００４０】
ここでは、図３に示すような、疵が被検査体にあった場合を用いて説明する。
疵の集合３１，３２から所定の疵種別、程度のものを抽出し、検出面（表面側，裏面側）に係わらず、物理的な位置で統合、再配置し、その分布から所定のアルゴリズムに従って疵種別、程度を判定する。具体的には、被検査材の検査面に関わらず、特徴量演算部１３で得られた特徴量から疵種別判定部１４（１４ａ，１４ｂ）及び疵程度判定部１５（１５ａ，１５ｂ）により疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する。
【００４１】
隣接する疵との距離が所定値以下である疵の集合３１，３２から、それぞれ所定の疵種別、程度のものを抽出する。被検査材の検査面に関わらず、疵の種別及び程度の少なくとも一方の情報が記載された分布図を作成する。
【００４２】
被検査体表面１０ａに存在する疵３１の被検査体の基準線からの長手方向の距離をＬｔ、被検査体裏面１０ｂに存在する疵集合３２の被検査体基準線からの長手方向の距離をＬb、疵集合３１，３２の被検査体基準端からの幅方向の距離をそれぞれＷt，Ｗbとする。
【００４３】
そして、判定部１７は、
｜Ｌt−Ｌb｜≦Ｌs，
｜Ｗt−Ｗb｜≦Ｗs
（Ｌs，Ｗsは任意の設定値）
が成り立つとき、疵集合３１と疵集合３２とが同一の疵集合であると判定する。
【００４４】
次に、同一な疵集合と判定した疵集合に対して、所定のアルゴリズムに従って、疵の種別、程度を判定する。すなわち、同一疵と判定した疵２１，２２に対して、それぞれの疵種別、程度からテーブル１９に格納された所定のルールにより、被処理体内部の疵種別、程度を再判定する。
【００４５】
次に、より具体的な例をあげて本実施形態をより詳細に説明する。先ず、第１の例について説明する。酸洗ラインでは反応が過剰に進行すると“変色”と呼ばれる過酸洗が発生する。これは次工程の冷間圧延で圧延すると判別できなくなり無害である。しかし“変色”はその名の通り黒っぽく色が変わっており部分的に見ると“ヘゲ”や“汚れ”など有害欠陥と判定されてしまう。“変色”は酸洗槽の広い範囲で発生するため本発明のような疵の分布を考慮した判定を行えば“変色”の判断が可能となる。また“変色”は表裏同時に発生するため、表裏両面の疵による判定を行えばより確実に“変色”を判定できる。具体的には、例えば表裏のＮ1ｍ内に“ヘゲ”または“汚れ”などがＮ2個以上あれば対象疵を“変色”に変更する。
【００４６】
次に、第２の例について説明する。例えば圧延ロールに異物が付着すると、異物の一部が板に転写され異物付着等の欠陥が生じる。一方、欠陥が転写された面の反対側の面にはこの異物に押し出される形で凸状の疵が発生するが、圧延ロールの異物がとれるまで周期的に疵が発生する。ＣＧＬラインなどではこのような凸状の点状疵はドロスと判断するが、本発明を適用すればこれは異物と判断可能となる。
【００４７】
一般的に表面検査装置は判定閾値を超えた信号のうち幅方向または長手方向に連続したものをひとかたまりとして扱い、このかたまりの特徴量から疵種を判定する。一方、疵の中にはそれぞれ独立した疵が一定の範囲内に分布する場合があり、これらをひとまとまりとして疵種・等級を定義するものがある。
【００４８】
次に、第３の例について説明する。短い（概ね１ｍｍ前後）スリ疵状のものを単独では“スクラッチ”と呼ぶが、これは板と何かが接触してこすられて発生する。“スクラッチ”は極めて小さい疵であるためブリキのような極薄板では有害であるが、冷延鋼板などでは単独の場合あまり問題とならない場合がある。しかし、この“スクラッチ”がコイルの先端または尾端に密集して発生すると、通常これはＰＯＲ（巻き戻しリール）で板と板が接触して発生する“ヒッキマーク”と呼ばれる疵となる。
【００４９】
“スクラッチ”は概ね上流工程での疵であるが、“ヒッキマーク”は自ラインでの機械または制御設備の不具合によるものであるので疵種を正確に当てることはトラブルの早期発見に役立つ。本発明のような疵の位置情報、分布などから疵種を判定すれば“スクラッチ”と“ヒッキマーク”とを区別して判定することが可能となる。
【００５０】
具体的にはコイルの先端Ｎ1ｍまたは尾端Ｎ2ｍ内にＮ3個以上の“スクラッチ”があればこれを“ヒッキマーク”に変更する。等級は例えばＮ4個（Ｎ4＞Ｎ3）以上検出すればＤ級、それ以下ならＣ級などと判定する。なお、“スクラッチ”と“ヒッキマーク”とを区別して判定する場合、あえて表裏両面の疵情報を統合して判定する必要は無い。
【００５１】
［第３の実施形態］
本実施形態では、第１の実施形態に示した疵判定部と、異なる判定方法を用いた判定方法について説明する。
【００５２】
図４は、本発明の第３実施形態に係わる表面欠陥検査装置の概略構成を示す構成図である。図４において、図１と同一な部分には同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。図４に示す装置が、図１に示した装置と異なるのは、
特徴量演算部１３は、疵種別判定部１４（１４ａ，１４ｂ）及び疵程度判定部１５が、表面及び裏面側に設けられた特徴量演算部１３（１３ａ，１３ｂ）に接続されていることである。また、後述するテーブル１９が、判定部１７に接続されている。
【００５３】
次に、本装置の動作を、図２に示すような、疵が被検査体にあった場合を用いて説明する。
それぞれの、被検査材の検査面に関わらず、特徴量演算部１３で得られた特徴量から疵種別判定部１４（１４ａ，１４ｂ）及び疵程度判定部１５により疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する。
【００５４】
被検査体表面１０ａに存在する疵２１の被検査体の基準線からの長手方向の距離をＬｔ、被検査体裏面１０ｂに存在する疵２２の被検査体基準線からの長手方向の距離をＬb、疵２１，２２の被検査体基準端からの幅方向の距離をそれぞれＷt，Ｗbとする。そして、判定部１７は、
｜Ｌt−Ｌb｜≦Ｌs，
｜Ｗt−Ｗb｜≦Ｗs
（Ｌs，Ｗsは任意の設定値）
が成り立つとき、疵２１と疵２２とが同一の疵であると判定する。
【００５５】
次に、判定部１７は、同一疵と判定した疵２１，２２に対して、それぞれの疵種別、程度からテーブル１９に格納された所定のルールにより、被処理体内部の疵種別、程度を再判定する。
【００５６】
例えば、表面側の疵種及び程度がＡ，Ｄ級、裏面側の疵種及び程度がＢ，Ｃ級であった場合に、表１に示すようなテーブルを参照して、被処理対内部の疵種及び程度がＡ，Ｄ級と判断することができる。
【００５７】
【表１】
0003669256.tif 000002
【００５８】
このようにすれば、疵２１と疵２２との両方が共に程度の悪い疵であった場合、表裏共に程度が悪いので疵部表面のみならず内部の品質の程度も悪いと推定することができる。このようにして被検査体の疵の種別、程度の判定を高精度化することができる。
【００５９】
疵検査で例えばＡ〜Ｄ級にランク分けするが、穴や大ヘゲなどをさらにひどい疵としてＥ級判定する場合がある。このＥ級の疵は、単に信号レベルが高いとか面積が大きいなどでは判断できないが、例えば表裏ともにＤ級以下であればＥ級である確率は高くなるので、このような場合を判断するのに有効である。
【００６０】
あるいは片面が「ヘゲ」、「帯ヘゲ」、「線ヘゲ」など比較的面積の広いヘゲ系欠陥と判定し、反対面が点状欠陥である場合、これはヘゲの特にひどい部分が反対面に現れたものである可能性が極めて高いため反対面の点状欠陥を「ヘゲ」として疵種別、程度を再判定する。
【００６１】
本実施形態は、表裏の疵を判定する方法としては、第１の実施形態で説明した方法が理想的である。しかし、現実問題としては処理能力の問題等から本発明の処理を使用しても、同等の効果が得られる。
【００６２】
［第４の実施形態］
本実施形態では、第１，第２，及び第３の実施形態に示した疵判定部と、異なる判定方法を用いた判定方法について説明する。
【００６３】
図５は、本発明の第４実施形態に係わる表面欠陥検査装置の概略構成を示す構成図である。図５において、図４と同一な部分には同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。ただし、判定部１７の動作は、図４に示した装置と異なる
本実施形態では、図６に示すような、疵が被検査体にあった場合の判定部１７の動作について説明する。被検査体表面１０ａに存在する疵５１の被検査体基準位置からの長手方向の距離をＬt、被検査体裏面１０ｂに存在する疵の被検査体基準位置からの長手方向の距離をＬｂ、疵の被検査体基準部からの幅方向の距離をそれぞれＷｔ、Ｗｂとする。そして、反対面のＬt±Ｌs又はＷｔ±Ｗｓ（Ｌs，Ｗsは任意の設定値）の少なくとも一つの条件を満足する範囲に所定の疵種別、程度の疵が存在するか調べ、この有無により被検査体表面１０ａの疵５１の疵種別、程度を再判定する。
【００６４】
例えば、被検査体の片側の面のみに疵を検出した場合には、誤検出であると判定する。
このようにすれば、疵５１が何らかの要因により程度の悪い疵と判定されても、反対面に所定の疵種別又は程度の疵が存在しないとき、疵５１の疵種別、程度を再判定することができる。
例えば、鋼板のエッジ部に「線状マーク」と呼ばれるマークが発生することがあるがこれはほとんどの場合無害である。しかし表面検査装置によってはこれを「帯ヘゲ」と判定してしまうことがある。この場合、「線状マーク」は連続して発生するため疵長さが長くなり極めて有害な等級として判定されてしまう。このようなケースの場合、程度の悪い帯ヘゲであれば反対面にも何らかの疵が現れるが、「線状マーク」の場合反対面にも疵があるケースはまれである。
【００６５】
したがって本発明を適用すれば、例えば反対面に疵がないので検出された疵は程度の軽い「帯ヘゲ」または第２の実施形態に記載した処理（疵の分布による判定）を利用して「線状マーク」に変更することが可能となる。
【００６６】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、光学手段による疵の検出装置に限らず、磁気や渦電流を用いた探傷装置など、疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定可能なすべての装置に本発明を適用することができる。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することが可能である。
【００６７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、薄板の場合、程度の悪い疵は表裏両面に現れるので、同一疵と判定した疵の特徴量を統合することによって、被検査体の疵の種別、程度の判定を高精度化することができる。
【００６８】
また、表裏の疵の分布と、疵の種別及び程度の少なくとも一方と、疵の種別、程度の判定を高精度化することができる。
【００６９】
また、同一疵と判定された疵の種別及び程度の少なくとも一方から、被検査体内部の疵の種別及び程度の少なくとも一方を推定することができ、被検査体の疵の種別、程度の判定を高精度化することができる。
【００７０】
また、程度の悪い疵は、表裏両面に欠陥が現れるので、検出された疵の位置から所定範囲内に他方の面に疵が検出されなかったときに、検出された疵を再判定することで、程度の軽い欠陥を程度の悪い欠陥と誤判定することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態に係わる表面欠陥検査装置の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施形態に係わる検査方法の説明に用いた、被検査体の疵を示す図。
【図３】第２の実施形態に係わる検査方法の説明に用いた、被検査体の疵を示す図。
【図４】第２及び３実施形態に係わる表面欠陥検査装置の概略構成を示す図。
【図５】第４実施形態に係わる表面欠陥検査装置の概略構成を示す図。
【図６】第４の実施形態に係わる検査方法の説明に用いた、被検査体の疵を示す図。
【図７】従来の表面欠陥検査装置の概略構成を示す図。
【符号の説明】
１０…被検査体
１１…画像入力部
１２…画像処理部
１３…特徴量演算部
１４…疵種別判定部
１５…疵程度判定部
１６…記憶部
１７…判定部
１８…結果出力部
【図１】
0003669256.tif 000003
【図２】
0003669256.tif 000004
【図３】
0003669256.tif 000005
【図４】
0003669256.tif 000006
【図５】
0003669256.tif 000007
【図６】
0003669256.tif 000008
【図７】
0003669256.tif 000009