(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造工程におけるウェーハのローディングを行うウェーハ移送装置でボートに収納したウェーハを搬送するハンガとチャージャとからなるウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリにおいて、
前記チャージャは、Ｔ字形の一対の支持部材と、前記支持部材の間に挟んで支持して前記Ｔ字形の中心から左右に一対に分離したウェーハガイドとを備え、該ウェーハガイドを左右一対に支持したチャージャは、前記ボートから複数収納したウェーハを垂直状態に保持できるようにウェーハの両側に一対に配置され、この両側のチャージャに各々一対に支持されて対向する前記ウェーハガイドの内側に前記ウェーハを挿入する多数のスロットであるグルーブを形成して移し変え可能にするとともに、前記支持部材に支持される前記ウェーハガイドの分離した左右間のギャップ間隔を調整することで前記ボートのグルーブと前記ウェーハガイドのグルーブとが一致するように設けたことを特徴とするウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリ。
【請求項２】
請求項１に記載のウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリにおいて、
前記支持部材は、前記ウェーハガイドを挟むように一対に設けてそれぞれねじを挿通してナットで固定して支持することを特徴とするウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリ。
【請求項３】
請求項２に記載のウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリにおいて、
前記ウェーハガイドは、前記チャージャの支持部材に一対に支持されお互いに分離した左右間で隣接する側面からお互いに複数個の連結片を突出して前記支持部材に取り付けられて前記左右間が結合されるとともに、この結合された分離する左右間の前記ギャップ間隔を前記ねじの締め付け解除により調整する調整部を備えることを特徴とするウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリ。
【請求項４】
請求項３に記載のウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリにおいて、
前記調整部は、
前記ウェーハガイドの左右分離したそれぞれの上段部に一定間隔で形成される所定幅の第１長孔と、
前記ウェーハガイドの左右分離して相互に結合する複数の前記連結片に形成される所定幅の第２長孔と、
を有することを特徴とするウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリ。
【請求項５】
請求項３に記載のウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリにおいて、
前記ウェーハガイドの左右分離して隣接する側面に突出して設けられた前記連結片が、互い違いに相互にずれた位置に配置されることを特徴とするウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工程で使用されるウェーハチャージャアッセンブリに関し、特にウェーハ移送装置のボート又はキャリアからウェーハを取り出し、又は、ボート又はキャリアに収納するためのウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工程では、ウェーハ移送装置におけるボート又はキャリアなどを用いて、その工程間でのウェーハの搬送を行っている。この搬送後にボート又はキャリアなどからウェーハを取り出して工程処理装置に配置し、また、工程処理装置での処理が完了したウェーハをボート又はキャリアのウェーハ移送装置に移し替えて、さらに、次工程に搬送（移送）している。このような工程処理では、次に説明するようにフォトレジストストリップ工程におけるウェーハローディングによる移し替える部位の間隔の違い（位置ずれ）によってウェーハが破損することがある。すなわち、平面状態のウェーハが、ねじれ状態になって破損する場合がある。
【０００３】
図５は従来のウェーハ移送装置の全体構成を分解して示す斜視図である。図５において、この従来のウェーハ移送装置は、図示しないチャンバからの複数枚のウェーハ４００が一定間隔かつ垂直状態を保持して収納されるボート２００と、このボート２００の図における下方に配置されて、ボート２００に収納されたウェーハ４００を上方に押圧して移動させるためのプッシャ３００とを有している。さらに、この従来のウェーハ移送装置にはボート２００の図における上部に配置され、プッシャ３００の押圧によってウェーハ４００を安定して一定間隔かつ垂直状態に保持するためのチャージャアッセンブリ１００が設けられている。
【０００４】
このようなウェーハ移送装置のチャージャアッセンブリ１００には、プッシャ３００の押圧でウェーハ４００が案内して挿入され、その配置が行われるチャージャ１１０と、このチャージャ１１０に配置されたウェーハ４００が離脱しないように保持するハンガ１２０とが設けられている。
【０００５】
また、チャージャアッセンブリ１００のチャージャ１１０には、空間をもって対向し、図における左右に配置された一対の支持部材１１１と、この支持部材１１１の下部に一定間隔で配置されたウェーハガイド１１２とを有している。このウェーハガイド１１２の内側には、所定間隔で配列した溝（スロット）である多数のグルーブ１１２ａが形成されている。
【０００６】
次に、この従来例のウェーハ移送装置の動作及び機能について説明する。
図５において、ボート２００に収納されたウェーハ４００がチャージャ１１０のウェーハガイド１１２上部のグルーブ１１２ａで案内されて所定位置に到達する。このウェーハ４００の到達によって、両側のハンガ１２０がウェーハガイド１１２の内側に回転して移動し、ウェーハ４００がウェーハガイド１１２に案内されて挿入される。この後にウェーハ４００がボート２００から離脱する。さらに、この後、ウェーハ４００を図示しない工程処理装置に配置して、その工程が処理される。又は他の工程処理装置へ移送される。
【０００７】
図６は図５におけるチャージャ１１０の詳細な構成を示す側面図であり、図７図８はチャージャとボートのグルーブ間隔の調整状態を示す側面図である。
図６において、このチャージャ１１０は支持部材１１１にテフロン材などのウェーハガイド１１２が固定されている。このウェーハガイド１１２の内側には一定間隔の多数のグルーブ１１２ａが形成されている。また、このチャージャ１１０の支持部材１１１に固定された一対のウェーハガイド１１２Ｌ，１１２Ｒは、ギャップａを形成して固定されている。
【０００８】
また、図７に示すようにボート２００に形成されるウェーハ挿入案内用のグルーブ２００ａ（２００Ｇ，２００Ｇａ）にも、その縦方向の中心線の左右の両側の空間であるギャップｂが形成されている。
【０００９】
このような構成の図７において、ボート２００に収納されているウェーハ４００を、チャージャ１１０のウェーハガイド１１２の所定の正確な位置に搬送するためには、ウェーハガイド１１２Ｌ，１１２Ｒのグルーブ１１２ａと、ボート２００に形成されたグルーブ２００Ｇ，２００Ｇａとが一直線線上で正確に一致している必要がある。
【００１０】
したがって、チャージャ１１０の下部にボート２００が位置した状態で図７に図示されたように、チャージャ１１０のウェーハガイド１１２におけるギャップａの中心線ｍａとボート２００のギャップｂの中心線ｍｂとが不一致の場合、チャージャ１１０のウェーハガイド１１２に形成されたグルーブ１１２ａと、ボート２００に形成されたグルーブ２００ａ（２００Ｇ，２００Ｇａ）の上下における間隔部分（又は突出部分）が不一致になる。
【００１１】
このようなグルーブ１１２ａ，２００ａの上下における間隔部分（又は突出部分）の不一致は、チャージャ１１０又はボート２００の製造上での誤差によって発生する。このためチャージャ１１０とボート２００の間のウェーハ４００の整列の不一致を防止するためには、チャージャ１１０のウェーハガイド１１２Ｌ，１１２Ｒの間に形成されるギャップａの間隔を狭くしたり、又は、広くする調整が必要となる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例のチャージャアッセンブリ１００は、チャージャ１１０のウェーハガイド１１２（１１２Ｌ，１１２Ｒ）が、支持部材１１１上に固定される構造であるため、ウェーハガイド１１２（１１２Ｌ，１１２Ｒ）間に形成されるギャップａの間隔を、チャージャ１１０のウェーハガイド１１２に形成されたグルーブ１１２ａと、ボート２００のグルーブ２００ａの上下における間隔部分（又は突出部分）とを一致するように調整することが不可能である。
【００１３】
この場合、図８に示すようにチャージャ１１０又はボート２００の位置を移動させながらチャージャ１１０のウェーハガイド１１２に形成されたグルーブ１１２ａと、ボート２００のグルーブ２００ａの上下における間隔部分（又は突出部分）とを一致するように、その間隔調整が可能であるが、この場合、装置全体を微細に移動させることが困難であり、完全に前記の間隔が一致せずに、近似値で一致するものであった。
【００１４】
したがって、従来のチャージャ１１０のギャップａとボート２００におけるギャップｂの間隔差が大きい場合は、チャージャ１１０のウェーハガイド１１２に形成されたグルーブ１１２ａと、ボート２００のグルーブ２００ａの上下における間隔部分が互いに少しずつずれて配置されてしまうという問題がある。
【００１５】
図９Ａ及び図９Ｂは従来のチャージャとボートと間のグルーブ間隔がずれた際のウェーハの破損状態を説明するための側面図である。図９Ａ及び図９Ｂにおいて、チャージャ１１０のウェーハガイド１１２に形成されたグルーブ１１２ａと、ボート２００のグルーブ２００ａの上下における間隔部分が互いに少しずつずれて配置されると、この状態でのプッシャ３００の作動によって、ボート２００のグルーブ２００ａから上昇するウェーハ４００がチャージャ１１０のウェーハガイド１１２に形成されたグルーブ１１２ａに案内して挿入される際に、平面状のウェーハ４００が、ねじれ状態になって破損してしまう。
【００１６】
このようなウェーハ４００の破損は、他にも悪影響を与える。すなわち、ウェーハ４００の破損時に発生するパーチクルが、搬送される他のウェーハ及び搬送装置を汚染して、処理装置の運転停止が発生することがある。
【００１７】
また、このような悪影響は後処理工程での欠陥を誘発する。すなわち、後処理工程での正確な工程処理が困難になる。この結果、加工処理の効率が低下する。さらに、人手による汚染の除去処理に伴う損失が発生し、その生産性が低下して、経済性が悪化する。
【００１８】
本発明は、このような従来の技術における課題を解決するものであり、比較的簡単な構成によって半導体ウェーハのフォトレジストストリップ工程などにおけるウェーハのローディング欠陥によるウェーハ破損を確実に防止して、高い効率の加工処理が可能になり、その生産性が向上するウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリの提供を目的としている。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、半導体製造工程におけるウェーハのローディングを行うウェーハ移送装置でボートに収納したウェーハを搬送するハンガとチャージャとからなるウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリにであって、チャージャは、Ｔ字形の一対の支持部材と、この支持部材の間に挟んで支持してＴ字形の中心から左右に一対に分離したウェーハガイドとを備え、該ウェーハガイドを左右一対に支持したチャージャは、ボートから複数収納したウェーハを垂直状態に保持できるようにウェーハの両側に一対に配置され、この両側のチャージャに各々一対に支持されて対向する前記ウェーハガイドの内側にウェーハを挿入する多数のスロットであるグルーブを形成して移し変え可能にするとともに、支持部材に支持されるウェーハガイドの分離した左右間のギャップ間隔を調整することでボートのグルーブと前記ウェーハガイドのグルーブとが一致するように設ける。
【００２０】
また、本発明は、支持部材が、ウェーハガイドを挟むように一対に設けてそれぞれねじを挿通してナットで固定して支持するものである。
【００２１】
さらに、本発明は、ウェーハガイドとして、チャージャの支持部材に一対に支持されお互いに分離した左右間で隣接する側面からお互いに複数個の連結片を突出して支持部材に取り付けられて左右間が結合されるとともに、この結合された分離する左右間のギャップ間隔をねじの締め付け解除により調整する調整部を備えるものである。
【００２２】
また、本発明は、前記調整部として、ウェーハガイドの左右分離したそれぞれの上段部に一定間隔で形成される所定幅の第１長孔と、ウェーハガイドの左右分離して相互に結合する複数の連結片に形成される所定幅の第２長孔とを有するものである。
【００２３】
さらに、本発明は、ウェーハガイドの左右分離して隣接する側面に突出して設けられた連結片が、互い違いに相互にずれた位置に配置されるものである。
【００２４】
このような構成のウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリでは、比較的簡単な構成によって、ウェーハのフォトレジストストリップ工程におけるウェーハのローディング欠陥によるウェーハ破損が確実に防止される。この結果、高い効率の加工処理が可能になり、その生産性が向上する。
【００２５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の望ましい実施形態及び、その作用効果を添付した図面に基づいて詳細に説明する。以下の文章及び図面にあって、前記の従来の技術と同一の一部の構成要素には同一の参照符合を付して、その重複する詳細な説明を省略する。
【００２６】
図１は本発明のウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリにおけるチャージャ３０の構成を分解して示す斜視図であり、図２は図１に示したチャージャ３０の側面構成を示す側面図である。図１及び図２において、このチャージャ３０は、Ｔ字形の一対の支持部材１０，１１と、この支持部材１０，１１との間に設けられ、図における左右に分離した一対のウェーハガイド２０，２０ａとを有している。以下、一対のウェーハガイド２０，２０ａを結合する支持部材１０のみを図示して説明を行う。
【００２７】
ウェーハガイド２０，２０ａは、その内面にウェーハが挿入される溝（スロット）である多数のグルーブ２２が所定間隔で形成されている。また、ウェーハガイド２０，２０ａは、支持部材１０，１１で挟まれて配置されるとともに、平面上で対向する側面が相互に隣接し、かつ、図における平面上の左右方向で接近し、又は離れるように移動させるためのＵ字形の連結片２１，２１ａが突出して設けられている。図中、ウェーハガイド２０には、二つのＵ字形の連結片２１が設けられ、ウェーハガイド２０ａには、三つのＵ字形の連結片２１ａが設けられている。
【００２８】
この構成によって、ウェーハガイド２０，２０ａの上段部と、ウェーハガイド２０，２０ａが連結するための連結片２１，２１ａに支持部材１０が取り付けられるとともに、ウェーハガイド２０，２０ａの間に形成されるギャップ（従来の技術における図６中のギャップａに相当）の間隔を調整するための調整部が形成される。
【００２９】
この調整部はウェーハガイド２０，２０ａのそれぞれの上段部に二つずつの所定幅を有した長孔２１０ａが形成されている。また、調整部としての連結片２１，２１ａのそれぞれのＵ字部である合計五つの長孔２１ａａが形成されている。また、これらの四つの長孔２１０ａ及び五つの長孔２１ａａの位置に該当する支持部材１０，１１に、四つの連結孔１０ａ及び五つの連結孔１１ａが形成されている。この四つの連結孔１０ａと、五つの連結孔１１ａには、それぞれねじ１０Ｔ，１１Ｔが挿通されてナットで固定される。
【００３０】
この結果、四つの長孔２１０ａ及び五つの長孔２１ａａに挿通されたねじ１０Ｔ，１１Ｔを中心とする図における左右方向にウェーハガイド２０，２０ａが、それぞれ自由に移動できるようになる。換言すれば、ウェーハガイド２０，２０ａの間に形成される図２に示したギャップａの間隔を広く又は狭く調整できるようになる。
【００３１】
次に、実施形態の動作について説明する。
図３は図１及び図２に示したチャージャの動作及び機能を説明するための側面図である。図１、図２及び図３において、チャージャ３０の支持部材１０，１１で挟んで配置されたウェーハガイド２０，２０ａの間に形成されるギャップａ（図２参照）の間隔と、図示しないウェーハを収納したボート２００（従来の技術における図５参照）に形成されるウェーハ挿入案内用のグルーブ２００ａ（２００Ｇ，２００Ｇａ）のギャップｂ（図３参照）の間隔が一致しない場合には、図４に示すように支持部材１０，１１に形成された連結孔１０ａ，１１ａを通じて締結されるねじ１０Ｔ，１１Ｔの締め付けを解除する。この後、ウェーハガイド２０，２０ａを移動させる。この移動は四つの長孔２１０ａ及び五つの長孔２１ａａの長手方向の間隔（幅）を最大として移動する。
【００３２】
この移動では、ウェーハガイド２０，２０ａにおけるギャップａの中心線ｍａとボート２００のギャップｂの中心線ｍｂとを一致させる。この結果、ウェーハガイド２０，２０ａに形成されたグルーブ２２と、ボート２００のグルーブ２００ａ（２００Ｇ，２００Ｇａ）の上下における間隔部分（又は突出部分）が一致する。
【００３３】
この一致させた状態で再度、ねじ１０Ｔ，１１Ｔをナットに締結して、そのウェーハガイド２０，２０ａの位置を固定する。このようにしてウェーハガイド２０，２０ａを固定した後に、図示しないウェーハの搬送を行う。
【００３４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明のウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリによれば、ウェーハガイドの間に形成されるギャップの間隔がボートに形成されるギャップの間隔に整合するように、比較的簡単な構成で容易に調整できるため、ウェーハの搬送工程でのボートとチャージャとにおける上下のグルーブの間隔に差異が発生しなくなる。この結果、ウェーハローディング時における破損が無くなる。すなわち、ウェーハの正確な移送が可能になる。
【００３５】
したがって、ウェーハの破損時に発生するパーチクルによるウェーハ及び搬送装置の汚染が無くなり、工程処理装置の運転停止が発生することなく、高い効率の加工処理が可能になり、その生産性が向上することになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウェーハ移送装置用ウェーハチャージャアッセンブリにおける構成を分解して示す斜視図。
【図２】図１に示したチャージャの側面構成を示す側面図。
【図３】図１及び図２に示したチャージャの動作及び機能を説明するための側面図（その１）。
【図４】図１及び図２に示したチャージャの動作及び機能を説明するための側面図（その２）。
【図５】従来のウェーハ移送装置の全体構成を分解して示す斜視図。
【図６】図５中のチャージャの詳細な構成を示す側面図。
【図７】従来例におけるチャージャとボートのグルーブ間隔の調整状態を示す側面図（その１）。
【図８】従来例におけるチャージャとボートのグルーブ間隔の調整状態を示す側面図（その２）。
【図９】従来例におけるチャージャとボートと間のグルーブ間隔がずれた際のウェーハの破損状態を説明するための側面図。
【符号の説明】
１０，１１  支持部材
１０ａ，１１ａ  連結孔
１０Ｔ，１１Ｔ  ねじ
２０，２０ａ  ウェーハガイド
２１，２１ａ  連結片
２１ａａ  ２１０ａ，長孔
２２，２００ａ，２００Ｇ，２００Ｇａ  グルーブ
３０  チャージャ
２００  ボート
【図１】
0003690893.tif 000002
【図２】
0003690893.tif 000003
【図３】
0003690893.tif 000004
【図４】
0003690893.tif 000005
【図５】
0003690893.tif 000006
【図６】
0003690893.tif 000007
【図７】
0003690893.tif 000008
【図８】
0003690893.tif 000009
【図９】
0003690893.tif 000010