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(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を流すための配管内に、流体の流れに回転を与えるためにスクリュー状に捩じって形成された整流羽根を配置すると共に、磁性体を含む羽根車を上記流体の流量に対応して回転速度が変化するように回転自在に上記整流羽根の下流側に配置し、上記羽根車の回転によって生じる磁界の変化を検出するための磁気検出手段を上記配管の外側に設けた流量検出器において、
上記羽根車には、上記配管の軸線と平行方向に向いた捩じれのない四枚の平面羽根を放射状に略等間隔に配置すると共に、上記整流羽根には、上記配管の軸線方向に対して捩じれた七枚のスクリュー状羽根を放射状に略等間隔に配置したことを特徴とする流量検出器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、流体の流量を検出するための流量検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
流量検出器は一般に、流体を流すための配管内に流体の流れに回転を与えるための整流羽根を配置すると共に、磁性体を含む羽根車を、流体の流量に対応して回転速度が変化するように回転自在に整流羽根の下流側に配置し、羽根車の回転によって生じる磁界の変化を検出するための磁気検出手段を配管の外側に設けて流体の流量を検出している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述のような流量検出器は、配管内を流れる流体に整流羽根で回転運動を与え、その回転を羽根車に当てて回転駆動しているので、流体の流れの変動から騒音が発生する。
【０００４】
そこで、回転する羽根車の羽根の数に比べて整流羽根の羽根の数を一枚多くすることにより、整流羽根と羽根車の羽根の角度のずれを平均化させて騒音の低下を図ったものがある。しかし、それによる騒音低下の効果は必ずしも十分ではなく、さらなる騒音低下が求められていた。
【０００５】
そこで本発明は、流体の流れの変動から生じる騒音をより低下させた静かな流量検出器を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の流量検出器は、流体を流すための配管内に、流体の流れに回転を与えるためにスクリュー状に捩じって形成された整流羽根を配置すると共に、磁性体を含む羽根車を上記流体の流量に対応して回転速度が変化するように回転自在に上記整流羽根の下流側に配置し、上記羽根車の回転によって生じる磁界の変化を検出するための磁気検出手段を上記配管の外側に設けた流量検出器において、上記羽根車には、上記配管の軸線と平行方向に向いた捩じれのない四枚の平面羽根を放射状に略等間隔に配置すると共に、上記整流羽根には、上記配管の軸線方向に対して捩じれた七枚のスクリュー状羽根を放射状に略等間隔に配置したことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施の形態の流量検出器を示している。水又はその他の流体が流される配管１内には、羽根車２が、配管１の軸線位置に配置された軸棒３を中心に回転自在に配置されている。
【０００８】
羽根車２には、図２の側面図に示されるように、中心軸線と平行方向に向いた捩じれのない四枚の平面羽根が、放射状に略等間隔に（即ち、略９０°間隔に）配置されている。
【０００９】
羽根車２は、磁性粉が混合されたプラスチック材でモールド成形されている。一方、軸棒３は潤滑性のよいプラスチック材で形成されていて、羽根車２の両側に突出する状態で羽根車２の軸線位置に圧入等によって嵌め込み固定されている。
【００１０】
図１に戻って、４は、羽根車２の上流側に配置された整流羽根であり、この実施の形態においては、軸線方向に対して捩じれたスクリュー状の七枚の羽根が、図３の側面図に示されるように略等間隔に（即ち、略５１°〜５２°間隔に）放射状に形成されている。
【００１１】
七枚の羽根の外縁部分は配管１の内面に沿う環状に連結されており、下流側に向けて三箇所から突設された足片４ａの各々の先端に、図４の正面図にも示されるように、係止爪４ｂが突設されている。
【００１２】
整流羽根４は、足片４ａ部分を弾性変形させながら配管１内に嵌め込まれ、係止片４ｂを配管１内の段部に係合させると足片４ａが自己の弾性によって自然状態に戻り、図１に示されるように足片４ａが抜け止めとなった状態で配管１内に固定されている。
【００１３】
整流羽根４の中心軸部４ｃには、下流側から配管１の軸線位置に合わせて軸孔５ａが形成されており、その軸孔５ａに軸棒３の上流側端部が回転自在に嵌挿されている。
【００１４】
羽根車２の下流側には、Ｖ−Ｖ断面図である図５にも示されるように、配管１からその中心軸位置に向けて例えば三本のステー１ａが突設されている。このステー１ａ部分は配管１と一体にモールド成形されており、その中心軸部には、図１に示されるように上流側から軸孔５ｂが形成され、軸棒３の下流側端部がその軸孔５ｂに回転自在に嵌挿されている。
【００１５】
配管１の外面部には、ホール素子等を用いた磁気検出器６が羽根車２と位置を合わせて配置されていて、羽根車２の回転によって生じる磁界の変化を検出することができる。なお、磁気検出器６が配置された部分では、配管１の肉厚が薄く形成されている。
【００１６】
このように構成された流量検出器においては、配管１内の流体の流れが整流羽根４を通過することによって回転し、それによって羽根車２が回転をする。その回転速度は、流体の流量に対応するので、磁気検出器６からの出力信号から羽根車２の回転速度を割り出して、配管１内を流れる流体の流量を検出することができる。
【００１７】
図６は、上述の実施の形態の流量検出器から発生する騒音を、羽根車２の羽根の数が四枚で整流羽根４の数が五枚の流量検出器から発生する騒音と比較した実験データを示しており、実線は本願発明の場合であり、破線は、羽根車２の羽根の数が四枚で整流羽根４の数が五枚の場合を示している。
【００１８】
このように、羽根車２の羽根の数を四枚とし、整流羽根４の数を七枚とすることにより、四枚と五枚の場合に比較して騒音が大幅に小さくなる。これは、羽根車２が回転している状態において、整流羽根４と羽根車２の回転方向のずれがより平均化されるからであると思われる。
【００１９】
【発明の効果】
本発明によれば、羽根車には、配管の軸線と平行方向に向いた捩じれのない四枚の平面羽根を放射状に略等間隔に配置すると共に、整流羽根には、配管の軸線方向に対して捩じれた七枚のスクリュー状羽根を放射状に略等間隔に配置したこことにより、流体の流れの変動から生じる騒音がより低下し、非常に静かな流量検出器を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の流量検出器の正面断面図である。
【図２】本発明の実施の形態の羽根車の側面図である。
【図３】本発明の実施の形態の整流羽根の側面図である。
【図４】本発明の実施の形態の整流羽根の正面図である。
【図５】本発明の実施の形態の図１におけるＶ−Ｖ断面図である。
【図６】本発明の実施の形態と従来品の騒音実験比較データを示す線図である。
【符号の説明】
１  配管
２  羽根車
４  整流羽根
６  磁気検出器
【図１】
0003615667.tif 000002
【図２】
0003615667.tif 000003
【図３】
0003615667.tif 000004
【図４】
0003615667.tif 000005
【図５】
0003615667.tif 000006
【図６】
0003615667.tif 000007
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外管（４５）と、当該外管（４５）内に空間（４７）を開けて挿入された内管（４９）とからなり、内管（４９）の屈曲部（５１）に蛇腹部（５３）を設けた車両排気系用二重管に於て、上記外管（４５）の周壁に、内管（４９）の蛇腹部（５３）の各蛇腹山部（５７）に当接する複数の突条（５９）を軸方向に突設したことを特徴とする車両排気系用二重管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車の排気系に使用される車両排気系用二重管の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
車両排気系に於ける遮熱，遮音対策として、更に又、排ガスの温度低下を防止して触媒コンバータの触媒活性を高める目的で、昨今、内管と外管からなる二重管構造の排気管が車両排気系に広く使用されている。
而して、従来、この種の二重管構造の排気管として、図３及び図４に示すように外管１内に内管３を挿入して、これらの間に一定の空間５を設けたものが知られていたが、図示するように排気管７が複雑な曲がり形状を有する場合は、曲げ加工の加工性が悪く製造が困難であり、又、車両走行時等の振動で外管１と内管３が接触して異音（干渉音，打音）が発生してしまう虞があった。
【０００３】
そこで、斯かる不具合を解決したものとして、今日、図５乃至図７に示すように外管９内に蛇腹状内管１１を挿入した二重管構造の排気管１３や、実開昭５２−２４１１９号公報又は図８の如く屈曲部１５のみを蛇腹状に成形した内管１７を外管１９内に挿入して、これらの間に空間２１を設けたもの等が広く用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
然し乍ら、図５に示すように内管１１の全体を蛇腹状に成形した排気管１３にあっては、外管９と内管１１との接触面積が大きいために排ガス温度の低下が大きく、又、図８に示す排気管２３にあっては、内管１７と外管１９との接触箇所が屈曲部１５のみであるため、上記排気管１３に比し排ガス温度の低下が比較的少ないとはいえ、蛇腹山部２５は外管１９の内周と環状に接しているため、未だ十分なものとはいえなかった。
【０００５】
本発明は斯かる実情に鑑み案出されたもので、曲げ加工性に優れ、然も、内管と外管の接触面積を少なくして排ガス温度の低下の軽減を図った車両排気系用二重管を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
斯かる目的を達成するため、請求項１に係る発明は、外管と、当該外管内に空間を開けて挿入された内管とからなり、内管の屈曲部に蛇腹部を設けた車両排気系用二重管に於て、上記外管の周壁に、内管の蛇腹部の各蛇腹山部に当接する複数の突条を軸方向に設けたことを特徴とする。
【０００７】
（作用）
請求項１に係る車両排気系用二重管によれば、内管と外管との接触が屈曲部の突条による点接触であるため、内管内に高温の排ガスが流下しても外管に伝わる熱量が軽減し、外管と内管との空間に存する空気の断熱作用で外管の表面温度の上昇を抑えると共に、排ガス温度の低下を軽減させることとなる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
【０００９】
図１及び図２は請求項１の一実施形態に係る車両排気系用二重管の屈曲部を示し、図示するように本実施形態に係る二重管４３も、外管４５と、当該外管４５内に空間４７を開けて挿入された内管４９とからなり、外管４５と内管４９は曲げ加工されている。
そして、図８の従来例と同様、曲げ加工された内管４９の屈曲部５１に蛇腹部５３が設けられているが、本実施形態は、斯かる従来と同様の構成に加え、図２に示すように外管４５の屈曲部５５の周壁に、内管４９の蛇腹部５３の各蛇腹山部５７に当接する４本の突条（ビード）５９を９０°の間隔を開けて軸方向に突設したものである。
【００１０】
而して、上記突条５９は外管４５の曲げ加工の際に成形される。
即ち、外管４５をベンダー等を用いて曲げ加工する際に、当該外管４５をクランプするクランプ型に上記突条５９を成形する突部が突設されており、外管４５を曲げ加工し乍ら当該突部で外管４５の屈曲部５５の周壁に突条５９が内方に形成され、そして、図１に示すように当該突条５９が内管４９側の蛇腹山部５７に当接して内管４９を保持し乍ら、内管４９が外管４５と同芯精度良く曲げられる。
【００１１】
このように本実施形態は、内管４９と外管４５との接触が屈曲部５１，５５の突条５９による点接触であるため、内管４９内に高温の排ガスが流下しても、図８に示す従来例に比し外管４５に伝わる熱量が軽減することとなって排ガス温度の低下が軽減し、そして、外管４５と内管４９との空間４７に存する空気の断熱作用で外管４５の表面温度の上昇を抑えることとなる。
【００１２】
従って、本実施形態に係る二重管４３をフロントチューブとして利用することで、従来の二重管構造のフロントチューブに比し触媒コンバータの触媒活性をより高めることが可能となる。
又、本実施形態によれば、外管４５と内管４９の曲げ加工の際に、突条５９が内管４９側の蛇腹山部５７に当接して内管４９を保持するので、内管４９が外管４５と同芯精度良く曲げることができる利点を有する。
【００１３】
【発明の効果】
以上述べたように、請求項１に係る車両排気系用二重管によれば、従来例に比し排ガス温度の低下を軽減させることが可能であるから、これをフロントチューブに利用することで触媒コンバータの触媒活性を高めることが可能となる。
又、本発明によれば、外管と内管の曲げ加工の際に、内管が外管と同芯精度良く曲げることができる利点を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】請求項１の一実施形態に係る車両排気系用二重管の屈曲部の断面図である。
【図２】図１のII−II線断面図である。
【図３】従来の車両排気系用二重管の屈曲部の一部切欠き側面図である。
【図４】図３のIV−IV線断面図である。
【図５】従来の他の車両排気系用二重管の屈曲部の一部切欠き側面図である。
【図６】図５のVI−VI線断面図である。
【図７】図５のVII−VII線断面図である。
【図８】従来の車両排気系用二重管の屈曲部の一部切欠き側面図である。
【符号の説明】
４３  二重管
４５  外管
４９  内管
５１，５５  屈曲部
５３  蛇腹部
５７  蛇腹山部
５９  突条
【図１】
0003615635.tif 000002
【図２】
0003615635.tif 000003
【図３】
0003615635.tif 000004
【図４】
0003615635.tif 000005
【図５】
0003615635.tif 000006
【図６】
0003615635.tif 000007
【図７】
0003615635.tif 000008
【図８】
0003615635.tif 000009
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内表面に不動態化処理を施したオゾンガスの運搬貯蔵容器に所定濃度のオゾンガスを加圧充填し、オゾンガスが収容されている運搬貯蔵容器に高圧希釈用ガス容器から冷却した希釈ガスを、運搬貯蔵容器内の圧力が所定圧力になるまで充填するようにしたオゾンガスの充填貯蔵方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する分野】
本発明は、運搬貯蔵容器内に所定濃度のオゾンガスを加圧状態で貯蔵する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に運搬貯蔵容器への高圧ガスの充填は、圧縮機で圧縮された高圧ガスを貯蔵運搬容器内に注入して充填されるのであるが、圧縮機での圧縮は断熱圧縮に近いため、Ｔ2／Ｔ1＝(Ｐ2／Ｐ1)(γ-1/γ)の関係式が成立する。このため、例えば酸素を２０℃・１気圧から５０気圧に一段で圧縮すると、その到達温度は約６２０℃となる。自然放熱したり、圧縮ガスを冷却水で強制冷却したりすることを考慮しても、２００℃に近い温度になることは免れない。
【０００３】
一方、オゾンのような自己分解性のガスは温度が高くなるほど自己分解が著しくなることから、このような自己分解性ガスを圧縮する場合に圧縮機を用いることは不向きである。このため、従来、オゾンを加圧状態で貯蔵したものはなく、オゾンを使用する際には使用個所の近傍でオゾナイザーで生成したものを使用していた。
【０００４】
本発明は、このような点に着目して、各種濃度のオゾンガスを加圧状態で貯蔵容器に充填貯蔵する方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明は、内表面を不動態化処理したオゾンガスの運搬貯蔵容器に所定濃度のオゾンガスを加圧充填し、オゾンガスが収容されている運搬貯蔵容器に高圧希釈用ガス容器から冷却した希釈ガスを、運搬貯蔵容器内の圧力が所定圧力になるまで充填するようにしたことを特徴としている。
【０００６】
【作用】
本発明では、所定濃度のオゾンガスを内表面に不動態化処理を施した運搬貯蔵容器内に加圧充填し、オゾンガスが収容されている運搬貯蔵容器に高圧希釈用ガス容器から冷却した希釈ガスを、運搬貯蔵容器内の圧力が所定圧力になるまで充填するようにしていることから、例えば、オゾナイザーで発生した５ VOL％のオゾンガスをダイヤフラムポンプ等で９Kg/cm2(絶対圧)まで昇圧して、内面に不動態化処理を施した運搬貯蔵容器に充填し、その後、運搬貯蔵容器に１５０Kg/cm2(ゲージ圧)で酸素を貯蔵している酸素ボンベから酸素を注入して容器内圧が５０Kg/cm2(絶対圧)になるまで昇圧すると対酸素比０.９ VOL％のオゾンを貯蔵することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１はオゾンガス充填装置の概略図を示し、図中符号(１)はオゾン原料として使用する液化酸素貯蔵容器、(２)は液化酸素供給路(３)に配置した蒸発器、(４)はオゾナイザー、(５)はダイヤフラムコンプレッサー、(６)はオゾンを貯蔵する運搬容器であり、このオゾン運搬貯蔵容器(６)の内面は不動態化処理を施してある。そして、このオゾン充填は屋内で行われ、充填後のオゾン運搬貯蔵容器(６)は低温室に保存するようにしてある。
【０００８】
本発明では、まず、オゾナイザー(４)で生成された５ VOL％のオゾンガスをダイヤフラムポンプ(５)を用いて９Kg/cm2(絶対圧)まで昇圧し、この昇圧したオゾンガスを内面を不動態化処理した運搬貯蔵容器(６)に９Kg/cm2(絶対圧)となるまで注入する。このとき、運搬貯蔵容器(６)は洗浄処理したのち乾燥させ、しかる後真空引きした状態で保管してあることから、運搬貯蔵容器(６)内は供給されたオゾンガス濃度を維持することができる。
【０００９】
内部に９Kg/cm2(絶対圧)の５ VOL％オゾンガスを封入している運搬貯蔵容器(６)に、１５０Kg/cm2(ゲージ圧)の圧力で充填されている高圧酸素ガス容器(図示略)を接続し、運搬貯蔵容器(６)内の内圧が５０Kg/cm2(絶対圧)になるまで高圧酸素ガス容器から酸素ガスを徐々に注入する。このため、運搬貯蔵容器内には、
(９×０.０５)／５０＝０.００９
すなわち、対酸素比０.９ VOL％のオゾンガスが５０Kg/cm2(絶対圧)で貯蔵されることになる。このとき、酸素ガスを徐々に注入して加圧することにより、運搬貯蔵容器内では断熱圧縮にならず、温度上昇することがあってもガスの温度を２０〜４０℃の範囲に抑えることができ、オゾンの自己分解を極力抑制することができる。
なお、このとき注入する希釈用の酸素ガスは冷却したものを使用している。このように冷却した希釈用ガスを使用すると温度上昇を抑制することができる。
【００１０】
なお、供給するオゾンガスの濃度や供給圧力、あるいは、希釈用の酸素ガスの充填圧力を変えることにより、任意の濃度のオゾンガスを貯蔵することができる。
【００１１】
また上記の実施態様では、希釈用のガスとして酸素を使用しているが、この希釈用のガスは窒素などの酸素以外のガスであってもよい。
【００１２】
図２は、オゾナイザーから発生させた大気圧下５ VOL％(残り酸素)のオゾンガスを、ダイヤフラムポンプで９Kg/cm2(絶対圧)まで昇圧して、あらかじめ内面を不動態化処理したＳＵＳ３０４製シリンダ(貯蔵容器)に充填し、このシリンダを２５℃(室温)で保存した場合と、３℃(冷蔵庫内)で保存した場合での、保存日数に対するオゾン濃度の変化を示す。
【００１３】
図２によれば、５ VOL％のオゾンガスを予め内面を不動態化処理した貯蔵容器に絶対圧で９Kg/cm2 に充填した場合には、内面を不動態化処理していないものにくらべると、はるかに長期間オゾンの自己分解を抑制することができることがわかる。また、同じように内面を不動態化処理した貯蔵容器を使用しても、保存温度が低い方がオゾンの自己分解を抑制して長期間高濃度を維持できることがわかる。
【００１４】
図３は、５ VOL％、９Kg/cm2(絶対圧)で貯蔵容器に充填した後、酸素ガスで５０Kg/cm2(絶対圧)になるまで希釈したガスを室温保存した場合での保存日数に対するオゾン濃度の変化を示す。
【００１５】
図３によれば、０.９VOL％という低い初期濃度であるが、オゾン濃度に大きな変化はなく、１カ月経過後でも０.６VOL％のオゾン濃度を維持していることがわかる。
【００１６】
【発明の効果】
本発明では、内表面に不動態化処理を施した運搬貯蔵容器内に所定濃度のオゾンガスを加圧充填し、オゾンガスが収容されている運搬貯蔵容器に高圧希釈用ガス容器から冷却した希釈ガスを、運搬貯蔵容器内の圧力が所定圧力になるまで充填していることから、運搬貯蔵容器に充填したオゾンガスの濃度と、その容器内に追加充填する所定温度以下の希釈ガス量とで任意の濃度の加圧オゾンガスを運搬貯蔵容器内に充填し、保存しておくことができる。これにより、従来不可能とされていた低濃度オゾンガスの貯蔵保存を一定期間であるが可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】オゾンガス充填装置の概略図である。
【図２】容器に貯蔵したオゾンガスの保存温度によるオゾン濃度変化を示すグラフである。
【図３】高圧保存したオゾンガスの濃度変化を示すグラフである。
【図１】
0003615645.tif 000002
【図２】
0003615645.tif 000003
【図３】
0003615645.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
建物の壁面に設置したガス給湯器と、壁面内部に配設した配管類と、前記配管類を収納し前記壁面に埋め込んで取り付けられる配管箱と、この配管箱内に配設した配管とガス給湯器の接続部とをつなぐ配管を収納する配管カバー本体と、前記配管箱及び前記配管カバー本体のそれぞれの前面開口部を塞ぐ開閉可能な配管ふたとを備えた配管収納装置。
【請求項２】
給湯器に電源を供給するための電源接続部を配管箱内または配管カバー本体内の少なくとも一方に設けた請求項１記載の配管収納装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、建物壁面に設置するガス給湯器への各配管類を覆う配管収納装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のガス給湯器の配管収納装置は、図５に示すように壁面あるいは下面からガス給湯器１に接続する配管Ａ、Ｂ、Ｃの全体あるいは大部分を覆わせるために、大きなものとなっている。
【０００３】
また、ガス給湯器１の近傍に電源コンセント１０を設け、ガス給湯器１からの電源コード１１を接続するために、電源コード１１および電源の接続部である電源コンセント１０が露出状態となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記の従来の構成では、建物にガス給湯器を設置した状態での外観が美観上好ましいものではないという課題があった。
【０００５】
そこで、本発明は建物にガス給湯器を設置した状態で美観に優れた配管収納装置を実現することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の配管収納装置の第１手段は、壁面設置したガス給湯器と、壁面内に配設した各配管類のバルブやガスコックを収納するため壁面内に埋め込んで取り付ける配管箱と、壁面内の各配管と壁面に設置したガス給湯器とを接続する配管部分を収納する配管カバー本体と、配管箱及び配管カバー本体の前面開口部を塞ぐ配管ふたを備えている。
【０００７】
また、本発明の第２手段は、ガス給湯器に電源を供給する電源接続部を、前記配管箱内あるいは配管カバー本体内に備えている。
【０００８】
【作用】
上記した第１手段によれば、壁面から突出する部分が小さな配管収納装置を実現することができ、外観上美観に優れたものとなる。
【０００９】
また、第２手段によれば、電源コードおよびその接続部が配管カバー本体あるいは配管箱内に収納されるため、外観上美観に優れたものとなる。
【００１０】
【実施例】
以下本発明の実施例について、図面を参照しながら説明する。
【００１１】
図１は本発明の実施例で配管ふたの構成を配管箱、配管カバー本体の各々で開閉可能なものとした場合の配管収納装置の分解斜視図、図２は図１の配管収納装置を設置した状態の斜視図、図３は図１の配管収納装置を設置した状態の断面図、図４は本発明の実施例で配管ふたの構成を配管箱、配管カバー本体の両方を一体で覆い開閉可能なものとした分解斜視図である。
【００１２】
図において、１は給湯器、２は配管箱、３は配管カバー本体、４は配管箱、配管カバー本体の前面開口部の両方を一体で塞ぐ場合の配管ふた、４ａは配管箱、配管カバー本体の前面開口部の各々を塞ぐ配管ふたを設けた場合の配管カバー本体部を塞ぐ上配管ふた、４ｂは同じく配管箱部を塞ぐ下配管ふた、５はガス配管、６はガスコック、７は給水配管、８は給水バルブ、９は給湯配管、１０は電源コンセント、１１は電源コード、１２は給湯器の給水配管接続口、１３は給湯器の給湯配管接続口、１４は給湯器の水抜き栓、１５は壁面、１６はビス、１７は止めねじである。
【００１３】
図１において、配管箱２には前面の開口部以外の面（図の例では配管箱の下面）にガス配管５、給水配管７、給湯配管９が貫通する穴を有しており、配管カバー本体３をビス１６で固定するようになっている。また、配管カバー本体３に上配管ふた４ａを、配管箱２の下部に下配管ふた４ｂを止めねじ１７で止め、手で止めねじ１７を取りつけ、取外しをし、容易に開閉できるものである。もちろん、ふたの構造を蝶番を使ったドア式の開閉構造にすることも容易に可能である。
【００１４】
図２、図３に示すように、配管箱２は壁面１５の給湯器１を取りつける側に開けた穴に装着し、固定する。壁面１５の内部に配設されたガス配管５、給水配管７、給湯配管９は配管箱２の前面開口部以外の面に設けた穴部（図の例では下面）より配管箱２内に導かれ、ガス配管５にガスコック６、給水配管７に給水バルブ８を接続した上で給湯配管９とともに給湯器１に接続される。
【００１５】
配管箱２の前面開口部から給湯器１へ接続したガス配管５、給水配管７、給湯配管９は、当然配管箱２の上部において壁面１５より外側に出ることとなるが、この部分を覆うために、配管カバー本体３を給湯器１の下方部、配管箱２の上方部でビス１６で固定する。
【００１６】
通常、給湯器１の使用において、配管部で操作するものは給湯器１の給水配管接続口１２部および給湯配管接続口１３部に取りつけてある給湯器１の内部の水を抜くための水抜き栓１４の開閉、ガスコック６の開閉、給水バルブ８の開閉である。この操作を容易に行えるようにするため、配管カバー本体３の前面開口部に上配管ふた４ａを、配管箱２の下部に下配管ふた４ｂを止めねじ１７で止め、手で容易に上配管ふた４ａ、下配管ふた４ｂを開閉可能としている。
【００１７】
また、給湯器１の底面より取り出した電源コード１１は配管カバー本体３内あるいは配管箱２内に取りつけた電源コンセント１０に接続できるため、電源コード１１は配管カバー本体３内および配管箱２内に納まり、外部から見えることがない。
【００１８】
なお、図４に示すように、上配管ふた４ａ、下配管ふた４ｂを一体のものとした配管ふた４の構造にしても、同様なものとなる。
【００１９】
【発明の効果】
以上のように本発明の請求項１による配管収納装置では、給湯器に接続する配管類（例えばバルブやガスコック等）を壁面に埋め込んで取りつけた配管箱内に納めることができるために、壁面から突出した部分は配管カバー本体だけのコンパクトなものとなり、外観上美観に優れたものとなる。
【００２０】
また、本発明の請求項２では、給湯器に電源を供給する電源コードを配管カバー本体内あるいは配管箱内の少なくとも一方に取りつけた電源コンセントに接続することにより、この電源コードや接続部等は外部から見えることがないのでさらに見栄えが良くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例における配管収納装置の分解斜視図
【図２】同装置が設置されかつ配管ふたを取りはずした状態での斜視図
【図３】同装置が設置された状態での断面図
【図４】同装置における配管ふたが一体的に形成された場合の分解斜視図
【図５】従来の配管収納装置を設置した状態の斜視図
【符号の説明】
１  給湯器
２  配管箱
３  配管カバー本体
４  配管ふた
４ａ  上配管ふた
４ｂ  下配管ふた
１０  電源コンセント
１７  止めねじ
【図１】
0003661207.tif 000002
【図２】
0003661207.tif 000003
【図３】
0003661207.tif 000004
【図４】
0003661207.tif 000005
【図５】
0003661207.tif 000006
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータ内部にボルトが通り前記モータの組立保持を行うモータにおいて、（ＰＥＴまたはＰＢＴまたはフェノールまたはＰＰＳのいずれかの）耐熱性樹脂成形からなるブラシホルダーに設けられた前記ボルトが通る穴または溝の外周上に第１の壁の防水壁が一体に成形されたことを特徴とするブラシホルダー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は家電機器，電装機器などに用いられる整流子モータのブラシホルダーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、エレクトロニクス化が目覚しく、それにともないモータも多用されるようになり、モータの低コスト化が重視されるようになってきているとともに、防水構造にも様々な手が打たれている。
【０００３】
以下に従来のブラシホルダーについて説明する。
図３に示すように、ブラシホルダー１はベーク板の打ち抜き品２をベースとして成り立っており、ベーク板の打ち抜き品２上にブラシ箱３，ターミナル４が組み込まれブラシ箱３内にブラシ５がセットされている。
【０００４】
以上のように構成されたブラシホルダー１は、図４に示すようにブラケット６とフレーム７に挟み込まれて固定されている。
【０００５】
さらに上述のモータ内をボルト８が通り、モータを保持するシステムとなっている。フレーム７には穴９があり、そこへゴムで形成されたパイプ１０が取り付くことにより、モータ内のブラシ１１および整流子１２などへ直接水を受けない構造をとっていた。
【０００６】
また、モータを保持するためにモータ内へボルト８を通す作業において、作業性を良くするため図２に示すようにマグネット１３とマグネット１４の間にガイドとなる板１５をピン１６でカシメて固定することにより、モータ内へボルトを通しやすくする構造になっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の構成では、ブラシホルダーを備えた整流子モータでは、ゴムで形成されたパイプによりモータの径方向のスペースが大きくなりモータの取り付けるスペースを大きく取らなければならなかった。
【０００８】
また、パイプをフレームに取り付ける、またはボルトのガイドとなる板をピンでカシメる作業ロス、および材料ロスによりコスト低減に応えられないという課題を有していた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために本発明は、ブラシホルダーのベースとなるベーク材を樹脂成形としてモータを保持するためのボルトが通る部分の外周上に壁を設け、樹脂成形にて一体とさせてなるものである。
【００１０】
【作用】
この構成によって、モータの外からの水しぶきによるブラシ，整流子などの電源部への水浸入をなくし、またボルトをモータ内へ通す時のガイドにもなり、パイプ，ボルトガイド用の板およびカシメピンを取り付ける必要がなくなり、材料，作業工数的にコストを低減することができる。
【００１１】
【実施例】
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説明する。
【００１２】
図１および図２に示すように、ブラシホルダー１においてモータを保持するためのボルト８が通る部分１６の外周上に第一の壁１７があり一体に成形されている。
【００１３】
また図２に示すように、ブラシホルダー１はブラケット６とフレーム７に挟み込まれて固定されており、フレーム７には穴９がありその穴９を壁１７によりモータの外からの水を直接ブラシ１１，整流子１２などにあたることを防止することができる。
またモータを保持するためのボルト８がモータの中を通ることにより、ボルト８と外周上の壁を部分的に設けることによっても水浸入を防止することが可能となる。また壁１７によってモータを保持するためのボルトがモータ内へ通るときのガイドともなる。
【００１４】
【発明の効果】
以上のように本発明は、防水のためのパイプ，ボルトガイドのための板および板を固定するためのカシメピンの材料および作業工数を必要とせず、防水性の確保，ボルトガイドを一部品によって可能とし、モータのコストを低減できさらにはモータの取付けスペースも小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例のブラシホルダーの構成を示す図
【図２】本発明の一実施例のブラシホルダーの取付状態を示す要部断面図
【図３】従来のブラシホルダーを示す図
【図４】従来のブラシホルダーの取付状態を示す断面図
【図５】従来のモータの断面図
【符号の説明】
１  ブラシホルダー
２  ブラシホルダーのベース板
３  ブラシ箱
４  ターミナル
５，１１  ブラシ
６  ブラケット
７  フレーム
８  ボルト
９  フレームの穴
１０  パイプ
１２  整流子
１３  第１のマグネット
１４  第２のマグネット
１５  ボルトガイトとなる板
１６  ボルトガイトとなる板を固定するピン
１７  ブラシホルダーにボルトが通る部分の外周の壁
【図１】
0003661232.tif 000002
【図２】
0003661232.tif 000003
【図３】
0003661232.tif 000004
【図４】
0003661232.tif 000005
【図５】
0003661232.tif 000006
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電槽蓋に装着された液口栓と該液口栓を覆う覆蓋とを備え、前記覆蓋が電槽蓋に不可逆的に取り付けられていることを特徴とする蓄電池。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は蓄電池に関するものである。
【０００２】
【従来技術】
従来の蓄電池の一般的な構造を、日本及びアメリカの一例としてそれぞれ図１及び図２に示す。
【０００３】
図１において、１と２とは熱溶着された電槽と電槽蓋とであり、４は端子、５はネジ式液口栓である。この電池は、液口栓５がネジ締めによって簡単に取り付けられたものであるため、ユーザー自身が容易に補液等のメンテナンスができる電池構造となっている。しかし、不慣れなユーザーの場合、電解液の飛沫等により、衣装などを傷めてしまうことも少なくないので、補液等のメンテナンスをユーザー自身ですることは好ましくない。
【０００４】
一方、図２において、上蓋１８は電槽蓋２に熱溶着されており、ネジ式液口栓を備えていないので、この電池はユーザー自身でメンテナンスができない電池構造となっている。そのため、不慣れな操作に起因する電解液の飛沫等により、衣装などを傷めてしまうこともない。
【０００５】
しかしながら、販売業者においてメンテナンスができず、行き届いたサービスができなくなる等の問題がある。さらに、電池製造工程においても充電後の熱溶着専用設備が必要となるため、この電池の生産を行うに当たっては相当のコスト増になるという問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は上記のような課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、ユーザー自身がメンテナンスできない電池構造であって、かつ電池販売業者が容易にメンテナンスできる電池構造とした蓄電池を安価に供給することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、電槽蓋に装着された液口栓と該液口栓を覆う覆蓋とを備え、前記覆蓋が電槽蓋に不可逆的に取り付けられていることを特徴とする蓄電池とすることにより、上記課題を解決するものである。
【０００８】
【作用】
本発明になる蓄電池は、電槽蓋に装着された液口栓を覆う覆蓋が電槽蓋に一旦装着されたら、取り外しができないような構造としているので、蓄電池がユーザーの手に渡る時には既に覆蓋が取り付けられているため、ユーザーが覆蓋を外して補液等のメンテナンスをすることがなくなるとともに、不慣れな操作に起因する電解液の飛沫等により、衣装などを傷めてしまうこともない。
【０００９】
さらに、電池販売業者への納品段階では、覆蓋が取り付けられた状態ではないので、販売業者は従来どおりにメンテナンスが行えるとともに覆蓋の取り付けにおいても、例えばワンタッチ式にすることによって容易に行える。
【００１０】
尚、本発明でいう不可逆的な取り付けとは、取り付けることは可能であるが、一度取り付けると、無理に壊さない限り、外れないように取り付けることを意味する。
【００１１】
【実施例】
以下、本発明になる蓄電池の詳細を具体的な図面を用いて説明する。
【００１２】
図３は本発明になる蓄電池の一実施例を示す斜視図である。
【００１３】
図３において、１は電槽、２は電槽蓋、５はネジ式液口栓であり、ここでは６セルモノブロック式蓄電池のため、液口栓は６個装着されている。３は電槽蓋上面に装着された液口栓５を取り外せなくするための覆蓋であり、ここでは全ての液口栓を覆い隠すような無底の長方形状に形成されている。６は覆蓋の左右の下部に設けられた、アンダーカット状の覆蓋固定用の突起部であり、ここでは４本の突起を設けている。
【００１４】
７は電槽蓋上面に形成された、覆蓋３を固定する固定部であり、ここでは覆蓋３の突起６が嵌着される切り欠き部を、４か所、上面長方形状かつ横断面逆Ｔ字形状に形成させている。このとき、切り欠き部７には突起部６のアンダーカット部分が引っかかるような構造としている。このようにしないと覆蓋３が外れてしまうからである。４は端子である。
【００１５】
図４は、本考案の一実施例である覆蓋に設けられたアンダーカット状の突起部６の斜視図である。
【００１６】
覆蓋３を蓄電池に取り付ける時は、突起部６の左右のそれぞれにおいて、２本の突起同士のバネ効果により、電槽蓋２の切り欠き部７に容易に取り付けられる。  しかし、一度取り付けられた後は、アンダーカットが電槽蓋２の切り欠き部の対応する部分にひっかかり、無理に壊さない限り外れない。
【００１７】
したがって、電池販売業者は、覆蓋３を取り付けずに電池を保管すれば、液面調整、補充電等のメンテナンスを容易に行なうことができ、電池をユーザーに渡す前に覆蓋３を取りつけることにより、ユーザーがメンテナンスできない構造とすることができる。また、不慣れな操作に起因する電解液の飛沫等により、衣装などを傷めてしまうこともない。
【００１８】
加えて、既存の蓄電池に覆蓋３を取り付け固定する固定部７を形成させるだけなので、既存設備を大幅に変更することもなく、コスト増になることもない。
【００１９】
また、覆蓋３は電池上面を完全に密封するものではなく、液口栓の取りはずしができない程度の大きさ、形状でよく、上記に限るものでもない。たとえば、液口栓５の上面半分（半円分）を長側面と水平な方向に覆ってしまうような板状の覆蓋でもよい。
【００２０】
さらに、蓄電池の電槽蓋に装着された液口栓を覆う覆蓋との固定方法は、取付が容易で、かつ取り付けたら外れない構造としたものであればよい。
【００２１】
尚、上記の覆蓋３の突起部の位置／数／大きさ／形状、及びアンダーカットの部分の形状等についても、上記に限るものではない。
【００２２】
【発明の効果】
本発明になる蓄電池は、電槽蓋に装着された液口栓と該液口栓を覆う覆蓋とを備え、前記覆蓋が電槽蓋に不可逆的に取り付けられていることを特徴とする。
【００２３】
これにより、蓄電池がユーザーの手に渡る時には既に覆蓋が取り付けられているため、ユーザーが覆蓋を容易に外してメンテナンスすることがなくなるとともに不慣れな操作に起因する電解液の飛沫等により、衣装などを傷めてしまうこともない。
【００２４】
さらに、電池販売業者への納品段階では、覆蓋が取り付けられた状態ではないので、販売業者は従来どおりにメンテナンスが行えるとともに覆蓋の取り付けにおいても、例えばワンタッチ式にすることによって容易に行える。
【００２５】
加えて、既存設備の大幅な変更を必用としない。
【００２６】
それゆえに、本発明の工業的価値は極めて高い。
【図面の簡単な説明】
【図１】  日本における従来蓄電池の一実施例を示す斜視図である。
【図２】  アメリカにおける従来蓄電池の一実施例を示す斜視図である。
【図３】本発明になる蓄電池の一実施例を示す斜視図である。
【図４】本発明になる蓄電池にかかる突起部の一実施例を示す拡大端部斜視図である。
【符号の説明】
１  電槽
２  電槽蓋
３  覆蓋
４  端子
５  液口栓
６  突起部
７  固定部
【図１】
0003661213.tif 000002
【図２】
0003661213.tif 000003
【図３】
0003661213.tif 000004
【図４】
0003661213.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ストラップ（１）に複数のスリット（２）を形成して櫛歯状としたアルカリ蓄電池の集電端子において、前記スリット（２）を介して相対する板片（３，３’）の側面が凹凸形状をなし、凸面（３ａ，３’ａ）同士と凹面（３ｂ，３’ｂ）同士がそれぞれ相対面していることを特徴とするアルカリ蓄電池の集電端子。
【請求項２】
前記凸面（３ａ，３’ａ）は、スリット（２）の長さ方向の寸法が１．５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のアルカリ蓄電池の集電端子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、アルカリ蓄電池の極板群と連結される集電端子の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
アルカリ蓄電池の集電端子は、高純度のニッケルからなり、電池寸法を出来るだけ小さくするために、その占める空間体積が制限され、部分的な精密性が要求される。このような集電端子として、従来図２に示すような構造のものがあった。すなわち、板状のストラップ５に円柱形の極柱６が植立されたものであって、ストラップ５に非常に細い直線状のスリット７が施されていた。このスリット７の幅は、耳部の厚さが０．１〜０．２ｍｍ程度の極板を所要枚数重ねた極板群の耳群を挿入するに足り、しかも耳群との溶接を可能にする程度でなければならず、最低で０．６ｍｍ程度のものがあった。
【０００３】
このように、非常に細いスリット７を前記ストラップ５に施すには、鋳造により板状ストラップを作製した後、機械加工または放電加工により削り出す方法が採用されていたが、前者の方法では０．６ｍｍ程度のスリットを精確に形成するのが難しく、後者の方法はコストアップになるという問題点を有していた。そこで、最近ではロストワックス法と称する方法が採用されるようになった。この方法は、板状ストラップの金型にワックスを注入して模型を作り、この模型を耐火乳液に浸し、砂を被覆して耐火物の層を作製し、次に、ワックスを溶出して鋳型を作り、この鋳型を用いて鋳造し、鋳型を取り除きサンドブラストにより表面をきれいに仕上げる方法である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術で述べたロストワックス法は、非常に細かい部分まで精密に仕上げることができ、スリットが形成された集電端子を一度に作製できる。しかし、図２のような細くて長いスリットには、砂が充分に進入せず耐火乳液と砂による耐火物層が形成できないため、精密なスリット部分が作製できなかった。従って、ワイヤーカット等の後加工が結局必要になり、コストアップになるという問題点を解決できなかった。
【０００５】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、ロストワックス法で一度に作製できる、すなわち、精密加工でき、しかも製造コストを低減できるアルカリ蓄電池の集電端子を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は板状ストラップ１に複数のスリット２を形成して櫛歯状としたアルカリ蓄電池の集電端子において、前記スリット２を介して相対する板片３，３’の側面が凹凸形状をなし、一方の板片３の凸面３ａが他方の板片３’の凸面３’ａと、一方の板片３の凹面３ｂが他方の板片３’の凹面３’ｂに、それぞれ相対面していることを特徴とするものである。そして、一箇所の凸面３ａ，３’ａにおけるスリット２の長さ方向の寸法が１．５ｍｍ以下であることが望ましい。
【０００７】
【作用】
金型のスリット２に凹凸面３ａ，３’ａ，３ｂ，３’ｂ、すなわち、スリットの幅が太い部分と細い部分を交互に形成しておくと、耐火物層を作製する時、細い部分への砂の進入を太い部分から容易に行える。従って、非常に細いスリット幅の凸面を有する集電端子を作製できる。
【０００８】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の一実施例を示す外観斜視図であり、１は高純度ニッケルからなる板状のストラップで、片側に５条のスリット２が形成され櫛歯状になっている。このスリット２を挟んで両側に位置する板片３，３’は、スリット２に面する側面が凹凸形状をなし、一方の板片３の凸面３ａが他方の板片３’の凸面３’ａと相対面し、一方の板片３の凹面３ｂが他方の板片３’の凹面３’ｂと相対面している。また、前記ストラップ１のスリット２の形成されていない片側には、円柱形の極柱４が一体に植立している。
【０００９】
次に、上記構造の集電端子をロストワックス法で製造する方法について説明する。なお、本実施例では図１のＡ寸法が０．６ｍｍのもの、すなわち、スリット２の幅が最小なものであって、Ｂ寸法が１．５ｍｍと２．０ｍｍについて作製した。
先ず、上記構造の金型を準備し、この金型にワックスを注入してワックスによる集電端子の模型を作製した。この模型を耐火乳液に浸し、さらに砂を被覆して乾燥した。この工程を繰り返して、耐火物の層を作り、次に、耐火被覆で覆われている模型を加熱して、ワックスを溶出した。これで耐火被覆の鋳型ができ、この鋳型内に高純度のニッケルを注入し、鋳造した。次に、鋳型を破砕して取り除き、硬さや組織を調整するため熱処理を行った後、サンドブラストにより表面を仕上げた。なお、耐火被覆作製時、Ｂ寸法が１．５ｍｍのものは、凹面３ａと３’ａの間に砂が進入して精確なスリット幅が作製できたが、２．０ｍｍのものは、砂が進入しない部分が生じ、１．５ｍｍのものに比べスリット幅を精確に仕上げることが出来なかった。このように、Ａ寸法が０．６ｍｍの場合は、Ｂ寸法を１．５ｍｍ以下にしないと例えスリット２の形状を凹凸形状にしてもその効果を充分に発揮できなくなる。
【００１０】
また、上記集電端子に極板群の耳群（図示せず）を連結するには、耳群を厚さ方向と直角方向にスリット２に挿入し、スリット２から上方にはみ出た耳群を切断し、その後、耳群とスリット２の凸面３ａとの接触部を溶接して行う。
【００１１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、ロストワックス法を採用することができるので、ローコストで、寸法精度の優れた集電端子を提供できる。また、請求項２によれば、極板群の耳群の厚さが最小のものと連結できる、低価格で寸法精度の優れた集電端子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】従来の一実施例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１    ストラップ
２    スリット
３，３’  板片
３ａ，３’ａ  凸面
３ｂ，３’ｂ  凹面
【図１】
0003661212.tif 000002
【図２】
0003661212.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェットエッチングにより金属膜を加工する工程を含む電子回路基板の製造方法において、
基板上に金属膜を生膜する工程と、
該金属膜の表面を酸化させることにより、前記ウェットエッチングで用いるエッチング液に対するバリア層として機能する酸化物を形成する工程と、
該バリア層の上にレジストを形成する工程と、
該レジストをパターニングする工程と、
パターニングによってレジストが除去された部分の前記酸化物を除去する工程と、
レジスト及び酸化物が除去された部分の金属膜をウェットエッチングにより除去する工程と、
レジストを除去する工程とを有することを特徴とする電子回路基板の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記レジストを除去するとともに前記バリア層を除去する工程を有することを特徴とする電子回路基板の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記金属膜は、Ｎｉ又はＮｉ合金膜であることを特徴とする電子回路基板の製造方法。
【請求項４】
請求項３において、
前記Ｎｉ合金膜は、Ｎｉ−Ｗ合金であることを特徴とする電子回路基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は薄膜厚膜混成基板及び半導体用基板及びプリント回路基板等の電子回路基板に関し、メタライズ配線及びメタライズパターンの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、メタライズを加工するエッチング液がレジスト内部に浸透してしまう場合では、レジスト膜厚の増加及びレジストの現像後におけるポストベーク温度の高温度化によりレジスト内部へのエッチング液の浸透を抑える方法が一般的であった。また、この方法によりメタライズのエッチング時における加工マージン及び電子回路基板の製造歩留まり向上を図っていた。しかし、この方法ではレジストの膜厚の増加によりレジストの解像性を低下させること及びレジストの塗布膜厚の均一性を損なうために限界があった。さらにレジストの現像後におけるポストベーク温度の高温度化は、レジストパターンの変形や他の電子回路基板の部材に対するダメージを引き起こすことがあった。
【０００３】
一方、半導体製造におけるシリコンのエッチングには、楢岡清威、二瓶公志著「フォトエッチングと微細加工」にあるように、シリコンの酸化膜を形成し、これをマスクとしてシリコンをエッチングして加工を行う方法もあるが、この場合、シリコン表面にレジストを形成した後にレジスト形成部分以外にシリコン酸化膜を形成し、さらにレジスト除去を行い、レジストが除去された部分の加工をエッチングを用いて行っている。この方法による加工ではメタライズ材料の種類によってはレジストを剥離する工程でそのメタライズ酸化物が除去されてしまうことがあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術ではレジスト内部に浸透してしまうエッチング液を根本的にメタライズ層に到達させないという点が配慮されておらず、基板の凹凸の影響などによりレジストの膜厚が薄くなってしまうような部分では、エッチング時の加工マージンが十分でなく電子回路基板の製造歩留まりがあがらないという問題があった。また、レジストを形成した後にメタライズ酸化膜を形成し、レジストの剥離工程後にエッチングを行う方法ではレジストの剥離工程でメタライズ酸化膜が除去されてしまうことがあるために、このようなレジストの形成後にメタライズ酸化膜を形成するプロセスを適用することは困難である。
【０００５】
本発明の目的はメタライズ酸化物をレジストの内部に浸透してしまうエッチング液のバリア層として機能させることによりレジスト内部に浸透するエッチング液をメタライズ層に到達させないことによりエッチング時の加工マージンの向上及び電子回路基板の製造歩留まりを向上することある。
【０００６】
また、本発明の他の目的はメタライズ酸化物を形成することによりレジストとの密着強化層として機能させることよりエッチング時の加工マージンの向上及び電子回路基板の製造歩留まりを向上することある。
【０００７】
更に、本発明のさらに他の目的はメタライズをエッチングする場合に、そのメタライズ酸化膜をマスクとして機能させることにより、電子回路基板の製造工程の簡略化及び工数の低減を計ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、メタライズのエッチング時の加工マージンを向上及び電子回路基板の製造歩留まりを向上のために、レジスト内部に浸透してしまうエッチング液をメタライズ層に到達させないように、メタライズ酸化物をレジストの内部に浸透するエッチング液のバリア層として機能させた。
【００１４】
基板１上にＮｉ−Ｗ合金２を２μｍの膜厚でスパッタリングで成膜した（図１（ａ））。
【００１５】
次に、高純度酸素雰囲気中で低圧水銀灯によりオゾンを発生させながら、基板１上のＮｉ−Ｗ合金２を１５０℃で１０分間の加熱し、Ｎｉ酸化膜３を形成した（図１（ｂ））。
【００１６】
次に、ビスアジド・環化イソプレンゴム系レジスト４をスピンナーで５μｍ塗布し、９０℃で３０分窒素雰囲気中でプリベークを行い１００ｍＪ／ｃｍ２で露光した後、現像し、さらに１５０℃で３０分窒素雰囲気中でポストベークを行いレジストパターンを形成した（図１（ｃ））。
【００１７】
次に、基板を３０ｖｏｌ％塩酸で処理し、レジスト形成部分以外のＮｉ酸化膜３の除去を行った（図（ｄ））。
【００１８】
次にフッ酸系のエッチング液を用いてＮｉ−Ｗ合金２を加工した（図１（ｅ））。
【００１９】
最後にレジスト剥離し所望の配線およびパターンを得た（図１（ｆ））。
【００２０】
【発明の効果】
本発明によればメタライズ層をエッチングにより加工した電子回路基板で、そのメタライズとそのメタライズ酸化物とが同一のエッチング液もしくはエッチング方法に対して異なるエッチング速度を示すメタライズを用い、メタライズ層の表面全面にそのメタライズ酸化物を形成し、次にそのメタライズ酸化物上に所望のレジストパターンを形成し、次にレジスト形成部分以外のメタライズ酸化膜を除去し、エッチング液もしくはエッチング方法を用いてメタライズ層の加工を行うことにより、エッチング時の加工マージンの向上及び電子回路基板製造歩留まりの向上を可能とする電子回路基板の製造方法を提供することができる。
【００２１】
また、本発明によれば電子回路基板の製造工程の簡略化及び工数の低減を可能とする電子回路基板の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の電子回路基板製造方法のメタライズの断面図。
【符号の説明】
１…基板、
２…Ｎｉ−Ｗ合金、
３…Ｎｉ酸化膜、
４…レジスト。
【図１】
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