(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端から所定の距離で屈曲している形状のプローブ針において、先端部を単結晶化し、先端に先端部と一体化して単結晶化した突起物を１個または複数個設けたことを特徴とするプローブ針。
【請求項２】
先端から所定の距離で屈曲している形状のプローブ針において、先端部から屈曲部に至る部分を単結晶化したことを特徴とするプローブ針。
【請求項３】
先端に先端部と一体化して単結晶化した突起物を１個または複数個設けたことを特徴とする請求項２記載のプローブ針。
【請求項４】
先端を鋭角にしたことを特徴とする請求項２記載のプローブ針。
【請求項５】
先端から所定の距離で屈曲している形状のプローブ針を製造するに当たり、先端部にレーザ光を照射して、該先端部を単結晶化する際に、レーザ光の照射を、該先端部を金型に配置した後に行うことを特徴とするプローブ針の製造方法。
【請求項６】
先端から所定の距離で屈曲している形状のプローブ針を製造するに当たり、先端部から屈曲部に至る部分にレーザ光を照射して、該先端部から該屈曲部に至る部分を単結晶化することを特徴とするプローブ針の製造方法。
【請求項７】
レーザ光の照射を、先端部から屈曲部に至る部分を金型に配置した後に行うことを特徴とする請求項６記載のプローブ針の製造方法。
【請求項８】
レーザ光の照射を、複数のレーザ光を用いて行うことを特徴とする請求項６記載のプローブ針の製造方法。
【請求項９】
レーザ光の照射を、複数の方向から行うことを特徴とする請求項６記載のプローブ針の製造方法。
【請求項１０】
金型として、先端部の配置位置の先にくぼみを有するものを用いることを特徴とする請求項５または請求項６記載のプローブ針の製造方法。
【請求項１１】
金型として、先端部の配置位置の先にくぼみを有するものを用い、レーザ光の照射を、該くぼみにプローブ針と同じ材質の小塊を配置した後に行うことを特徴とする請求項５または請求項６記載のプローブ針の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体装置（以下、ＬＳＩという）のウエハテスト時に使用するプローブ針およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＬＳＩのウエハテスト時に使用するプローブ針として、バネ性や耐久性に優れている、例えばタングステンやレニウムタングステンから成るものを用いている。この従来のプローブ針は、タングステンやレニウムタングステンのロッドを線引きして得られるタングステン線やレニウムタングステン線を所定の長さに切断し、この切断して得られるものを所定の形状に加工することにより製造している。
【０００３】
従来のプローブ針は、このようにして製造しているため、プローブ針の内部に、線引き方向に沿った直線状の空間が生じている。また、タングステン線やレニウムタングステン線の切断面に相当するプローブ針の先端は凸凹している。例えば、プローブ針の先端の直径が２０μｍ〜５０μｍ程度のとき、プローブ針の先端には、直径数百ｎｍの凹部が生じている。アドバンスドプロービングシステム社（Advanced Probing Systems, Inc.）の技術資料、タイトル名は「レニウム  タンステン（“ダブリュウアール”）プローブ  ニードルズ：ホエン  アンド  ホワイ？（Rheniu Tunsten(“WR”) Probe Needles:When and Why?）」に掲載されている従来のプローブ針の線引き方向の断面写真には、線引き方向に沿った直線状の空間が生じている様子が示されている。また、上述の資料に掲載されている従来のプローブ針を輪切りにした断面写真には、断面が凸凹している様子が示されている。なお、従来のプローブ針は、その先端を研磨しているが、先端を研磨しても新たな凸凹が現れるため、プローブ針の先端は常に凸凹している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来のプローブ針は以上のように構成されているので、ウエハテスト時に、プローブ針の先端を電極パッドに接触させたとき、プローブ針の先端の凹部に電極パッドの主成分であるアルミニウムが入り込む。そして、凹部に入り込んだアルミニウムは数分でその表面が酸化し、厚さ５ｎｍ〜１５ｎｍ程度の酸化膜となる。この酸化はプローブ針に電流が流れることによる発熱により加速する。このように、従来のプローブ針では、ウエハテスト時に、アルミニウムの酸化膜が生成し、この酸化膜が生成した位置の接触抵抗が高くなるため、ウエハテスト時の接触抵抗が安定せず、テスト結果が不安定であるという課題があった。
【０００５】
また、最悪の場合には、アルミニウムの酸化膜が生成することにより、ＬＳＩに電源や電気信号が印加されなくなり、良品が不良品と判定され、ＬＳＩの歩留まりが低下するという課題があった。
【０００６】
さらに、プローブ針の先端の凹部に入り込んだアルミニウムを除去するために、プローブ針の先端を数十μｍ研磨するため、プローブ針の寿命が短く、ウエハテスト時のコストが高いという課題があった。
【０００７】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、ウエハテスト時に、電極パッドの主成分であるアルミニウムが付着しにくく、かつウエハテスト時に付着したアルミニウムを除去しやすいプローブ針およびそのようなプローブ針の製造方法を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明に係るプローブ針は、先端部を単結晶化し、先端に先端部と一体化して単結晶化した突起物を１個または複数個設けたものである。
【０００９】
請求項２記載の発明に係るプローブ針は、先端部から屈曲部に至る部分を単結晶化したものである。
【００１０】
請求項３記載の発明に係るプローブ針は、先端に先端部と一体化して単結晶化した突起物を１個または複数個設けたものである。
【００１１】
請求項４記載の発明に係るプローブ針は、先端を鋭角にしたものである。
【００１２】
請求項５記載の発明に係るプローブ針の製造方法は、先端部にレーザ光を照射して、先端部を単結晶化する際に、レーザ光の照射を、該先端部を金型に配置した後に行うものである。
【００１４】
請求項６記載の発明に係るプローブ針の製造方法は、先端部から屈曲部に至る部分にレーザ光を照射して、先端部から屈曲部に至る部分を単結晶化するものである。
【００１５】
請求項７記載の発明に係るプローブ針の製造方法は、レーザ光の照射を、先端部から屈曲部に至る部分を金型に配置した後に行うものである。
【００１６】
請求項８記載の発明に係るプローブ針の製造方法は、レーザ光の照射を、複数のレーザ光を用いて行うものである。
【００１７】
請求項９記載の発明に係るプローブ針の製造方法は、レーザ光の照射を、複数の方向から行うものである。
【００１８】
請求項１０記載の発明に係るプローブ針の製造方法は、金型として、先端部の配置位置の先にくぼみを有するものを用いるものである。
【００１９】
請求項１１記載の発明に係るプローブ針の製造方法は、金型として、先端部の配置位置の先にくぼみを有するものを用い、レーザ光の照射を、くぼみにプローブ針と同じ材質の小塊を配置した後に行うものである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１によるプローブ針の概略的な構成図であり、先端方向の一部分のみを示している。図において、１１はタングステンから成るプローブ針、１２はプローブ針１１の先端部（先端から１００μｍ程度の距離の部分）、１３はプローブ針１１の屈曲部である。プローブ針１１は、先端から所定の距離Ｘで屈曲している。先端からの距離Ｘは、１５０μｍ〜１ｍｍ程度である。
この実施の形態１のプローブ針１１は、先端部１２を単結晶化したものである。図１中、単結晶化した先端部１２には、ハッチングを付して示している。プローブ針１１のバネ性は、単結晶化した先端部１２以外の部分で確保している。
【００２１】
以上のように、この実施の形態１のプローブ針１１によれば、先端部１２を単結晶化したため、プローブ針１１の先端に凹部がなくなっている。これは、先端部１２を単結晶化する際に、先端部１２が溶解するためである。このため、以下の２つの効果が得られる。第１に、ウエハテスト時に、プローブ針１１の先端に、電極パッドの主成分であるアルミニウムが付着しにくくなるため、テスト結果が安定するという効果が得られる。第２に、ウエハテスト時に、プローブ針１１の内部に、電極パッドの主成分であるアルミニウムが入り込まず、ウエハテスト時にプローブ針の先端に付着したアルミニウムを除去するためのプローブ針１１の先端の研磨量が少なくて済むため、プローブ針１１の寿命が長くなり、ウエハテスト時のコストが低下するという効果が得られる。この第２の効果は、プローブ針１１の先端部が硬くなっており、プローブ針１１の先端が研磨されにくいということからも得られる。
【００２２】
実施の形態２．
図２はこの発明の実施の形態２によるプローブ針の概略的な構成図であり、先端方向の一部分のみを示している。図において、２１はプローブ針、２２はプローブ針２１の先端部、２３はプローブ針２１の屈曲部である。プローブ針２１は、先端から所定の距離で屈曲している。
この実施の形態２のプローブ針２１は、先端部２２から屈曲部２３に至る部分を単結晶化したものである。図２中、単結晶化した先端部２２から屈曲部２３に至る部分には、ハッチングを付して示している。プローブ針２１のバネ性は、単結晶化した先端部２２から屈曲部２３に至る部分以外の部分で確保している。
【００２３】
以上のように、この実施の形態２のプローブ針２１によれば、実施の形態１と同様の効果が得られる。また、屈曲部２３を単結晶化したため、屈曲部２３が硬くなっており、屈曲部２３の角度θが変わりにくいという効果が得られる。
【００２４】
実施の形態３．
図３はこの発明の実施の形態３によるプローブ針の概略的な構成図であり、先端方向の一部分のみを示している。図において、３１はプローブ針、３２はプローブ針３１の先端部、３３はプローブ針３１の屈曲部、３４はプローブ針３１の先端に設けた突起物である。プローブ針３１は、先端から所定の距離で屈曲している。
この実施の形態３のプローブ針３１は、先端に突起物３４を設け、先端部３２と突起物３４とを一体化して単結晶化したものである。突起物３４は直径５μｍ〜１０μｍの球体と同程度の大きさを有している。図３中、単結晶化した先端部３２および突起部３４には、ハッチングを付して示している。
【００２５】
以上のように、この実施の形態３のプローブ針３１によれば、実施の形態１と同様の効果が得られる。また、先端に突起物３４を設けたため、以下の２つの効果が得られる。第１に、ウエハテスト時に、電極パッドの表面に生じている厚さ５ｎｍ〜１５ｎｍ程度の酸化膜を突き破り易くなるという効果が得られる。第２に、電極パッドの開口部のサイズが６０μｍ以下である多ピン、狭ピッチのＬＳＩのウエハテストに用いることができるという効果が得られる。これは、ウエハテスト時に、プローブ針３１にかけるオーバードライブが小さくても、突起物３４が、電極パッドの表面に生じている厚さ５ｎｍ〜１５ｎｍ程度の酸化膜を突き破るため、プローブ針３１にかけるオーバードライブは小さくて済み、大きなオーバードライブをかけた場合のように、プローブ針３１が電極パッド上をすべることがないからである。
【００２６】
なお、この実施の形態３では、先端部３２が単結晶化している実施の形態１に対応するプローブ針の先端に突起物３４を設けた場合について説明したが、先端部３２から屈曲部３３に至る部分が単結晶化している実施の形態２に対応するプローブ針の先端に突起物３４を設けた場合であっても同様の効果が得られる。
また、この実施の形態３では、プローブ針３１の先端に、突起物３４を１個設けた場合について説明したが複数個設けた場合であっても同様の効果が得られる。
【００２７】
実施の形態４．
図４（Ａ）および（Ｂ）はこの発明の実施の形態４によるプローブ針の概略的な構成図であり、先端方向の一部分のみを示している。図において、４１はプローブ針、４２はプローブ針４１の先端部、４３はプローブ針４１の屈曲部である。プローブ針４１は、先端から所定の距離で屈曲している。なお、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示すプローブ針４１の先端部４２の拡大図である。
この実施の形態４のプローブ針４１は、先端部４２を単結晶化し、先端を鋭角にしたものである。プローブ針４１の先端が、電極パッドとなす角度αは１０゜〜４５゜であり、電極パッドと接触する部分の曲率半径Ｒは０μｍ〜５μｍである。図４（Ａ）および（Ｂ）中、単結晶化した先端部４２には、ハッチングを付して示している。
【００２８】
以上のように、この実施の形態４のプローブ針４１によれば、実施の形態１と同様の効果が得られる。また、先端を鋭角にしたため、ウエハテスト時に、電極パッドの表面に生じている厚さ５ｎｍ〜１５ｎｍ程度の酸化膜を突き破り易くなるという効果が得られる。
【００２９】
なお、この実施の形態４では、先端部４２が単結晶化している実施の形態１に対応するプローブ針の先端を鋭角にした場合について説明したが、先端部４２および屈曲部４３が単結晶化している実施の形態２に対応するプローブ針の先端を鋭角にした場合であっても同様の効果が得られる。
【００３０】
この実施の形態４のプローブ針４１は、先端部４２を単結晶化した後、先端部４２をダイヤモンドカッターなどで削ることにより製造する。
【００３１】
実施の形態５．
この発明の実施の形態５では、実施の形態１のプローブ針の製造方法について説明する。図５（Ａ）および（Ｂ）は、この実施の形態５によるプローブ針の製造方法の説明図である。図において、５１はタングステン線を所定の形状に加工したもの、５２は炭酸ガスレーザであり、５３は炭酸ガスレーザ５２から放射されたレーザ光である。
【００３２】
実施の形態１のプローブ針を製造する場合、先ず、従来と同様に、タングステンのロッドを線引きして得られるタングステン線を所定の長さに切断し、この切断して得られるものを所定の形状に加工する。
【００３３】
その後、炭酸ガスレーザ５２を用いて、この所定の形状に加工したもの５１の先端部にレーザ光５３を照射する（図５（Ａ））。この場合、レーザ光５３のスポット径を光学レンズ（図示せず）を用いて徐々に絞り、最終的に、単結晶化する部分全体が照射可能な大きさである直径１００μｍ程度とする。そして、この状態で、単結晶化する部分の体積に応じた所定の時間だけレーザ光５３を照射する。
【００３４】
その後、レーザ光５３の照射をやめる。このとき、レーザ光５３を照射することにより溶解した部分は、自然冷却することにより単結晶化する（図５（Ｂ））。図５（Ｂ）中、単結晶化した部分には、ハッチングを付して示している。
【００３５】
以上のように、この実施の形態５のプローブ針の製造方法によれば、先端部にレーザ光５３を照射して、先端部を単結晶化するため、容易に、先端部を単結晶化したプローブ針を製造することができるという効果が得られる。
【００３６】
実施の形態６．
この発明の実施の形態６では、実施の形態１のプローブ針の製造方法について説明する。図６（Ａ）および（Ｂ）は、この実施の形態６によるプローブ針の製造方法の説明図である。図において、６１はタングステン線を所定の形状に加工したもの、６２は金型、６３は金型６２に設けられたタングステン線を所定の形状に加工したもの６１の配置位置、６４は炭酸ガスレーザから放射されたレーザ光である。金型６２には、レーザ光６４が照射されても、溶解しないだけの耐熱性の高いものを用いる。
【００３７】
実施の形態１のプローブ針を製造する場合、先ず、従来と同様に、タングステンのロッドを線引きして得られるタングステン線を所定の長さに切断し、この切断して得られるものを所定の形状に加工する。
【００３８】
その後、この所定の形状に加工したもの６１を、金型６２に設けられた配置位置６３に配置する（図６（Ａ））。
【００３９】
その後、炭酸ガスレーザを用いて、この所定の形状に加工したもの６１の先端部にレーザ光６４を照射する（図６（Ｂ））。この場合、レーザ光６４のスポット径を光学レンズ（図示せず）を用いて徐々に絞り、最終的に、単結晶化する部分全体が照射可能な大きさである直径１００μｍ程度とする。そして、この状態で、単結晶化する部分の体積に応じた所定の時間だけレーザ光６４を照射する。
【００４０】
その後、レーザ光の照射をやめる。このとき、レーザ光６４を照射することにより溶解した部分は、自然冷却することにより単結晶化する。図６（Ｂ）中、単結晶化する部分には、ハッチングを付して示している。
【００４１】
以上のように、この実施の形態６のプローブ針の製造方法によれば、実施の形態５と同様な効果が得られる。また、タングステン線を所定の形状に加工したもの６１を、金型６２に配置した後、レーザ光６４を照射するため、寸法のばらつきが小さくなり、生産性も良くなるという効果が得られる。
【００４２】
なお、この実施の形態６では、タングステン線を所定の形状に加工したもの６１の全体を金型６２に設けられた配置位置６３に配置する場合について説明したが、少なくとも、先端部を金型に配置する場合であれば同様の効果が得られる。
【００４３】
実施の形態７．
この発明の実施の形態７では、実施の形態２のプローブ針の製造方法について説明する。図７（Ａ）および（Ｂ）は、この実施の形態７によるプローブ針の製造方法の説明図である。図において、７１はタングステン線を所定の形状に加工したもの、７２は炭酸ガスレーザであり、７３は炭酸ガスレーザ７２から放射されたレーザ光である。
【００４４】
実施の形態２のプローブ針を製造する場合、先ず、従来と同様に、タングステンのロッドを線引きして得られるタングステン線を所定の長さに切断し、この切断して得られるものを所定の形状に加工する。
【００４５】
その後、炭酸ガスレーザ７２を用いて、この所定の形状に加工したもの７１の先端部から屈曲部に至る部分にレーザ光７３を照射する（図７（Ａ））。この場合、レーザ光７３のスポット径を光学レンズ（図示せず）を用いて徐々に絞り、最終的に、単結晶化する部分全体が照射可能な程度の大きさとする。そして、この状態で、単結晶化する部分の体積に応じた所定の時間だけレーザ光７３を照射する。
【００４６】
その後、レーザ光７３の照射をやめる。このとき、レーザ光７３を照射することにより溶解した部分は、自然冷却することにより単結晶化する（図７（Ｂ））。図７（Ｂ）中、単結晶化した部分には、ハッチングを付して示している。
【００４７】
以上のように、この実施の形態７のプローブ針の製造方法によれば、先端部から屈曲部に至る部分にレーザ光７３を照射して、先端部から屈曲部に至る部分を単結晶化するため、容易に、先端部から屈曲部に至る部分を単結晶化したプローブ針を製造することができるという効果が得られる。
【００４８】
実施の形態８．
この発明の実施の形態８では、実施の形態２のプローブ針の製造方法について説明する。図８（Ａ）および（Ｂ）は、この実施の形態８によるプローブ針の製造方法の説明図である。図において、８１はタングステン線を所定の形状に加工したもの、８２は金型、８３は金型８２に設けられたタングステン線を所定の形状に加工したもの８１の配置位置、８４は炭酸ガスレーザから放射されたレーザ光である。金型８２には、レーザ光８４が照射されても、溶解しないだけの耐久性の高いものを用いる。
【００４９】
実施の形態２のプローブ針を製造する場合、先ず、従来と同様に、タングステンのロッドを線引きして得られるタングステン線を所定の長さに切断し、この切断して得られるものを所定の形状に加工する。
【００５０】
その後、この所定の形状に加工したもの８１を、金型８２に設けられた配置位置８３に配置する（図８（Ａ））。
【００５１】
その後、炭酸ガスレーザを用いて、この所定の形状に加工したもの８１の先端部から屈曲部に至る部分にレーザ光８４を照射する（図８（Ｂ））。この場合、レーザ光８４のスポット径を光学レンズ（図示せず）を用いて徐々に絞り、最終的に、単結晶化する部分全体が照射可能な程度の大きさとする。そして、この状態で、単結晶化する部分の体積に応じて所定の時間だけレーザ光８４を照射する。
【００５２】
その後、レーザ光の照射をやめる。このとき、レーザ光８４を照射することにより溶解した部分は、自然冷却することにより単結晶化する。図８（Ｂ）中、単結晶化する部分には、ハッチングを付して示している。
【００５３】
以上のように、この実施の形態８のプローブ針の製造方法によれば、実施の形態７と同様な効果が得られる。また、タングステン線を所定の形状に加工したもの８１を、金型８２に配置した後、レーザ光８４を照射するため、寸法のばらつきが小さくなり、生産性も良くなるという効果が得られる。
【００５４】
なお、この実施の形態８では、タングステン線を所定の形状に加工したもの８１の全体を金型８２に設けられた配置位置８３に配置する場合について説明したが、少なくとも、先端部から屈曲部に至る部分を金型に配置する場合であれば同様の効果が得られる。
【００５５】
実施の形態９．
この発明の実施の形態９では、実施の形態２のプローブ針の製造方法について説明する。図９は、この実施の形態９によるプローブ針の製造方法の説明図である。図において、９１はタングステン線を所定の形状に加工したもの、９２は炭酸ガスレーザであり、９３は炭酸ガスレーザ９２から放射されたレーザ光である。
【００５６】
実施の形態２のプローブ針を製造する場合、先ず、従来と同様に、タングステンのロッドを線引きして得られるタングステン線を所定の長さに切断し、この切断して得られるものを所定の形状に加工する。
【００５７】
その後、５つの炭酸ガスレーザ９２を用いて、この所定の形状に加工したもの９１の先端部から屈曲部に至る部分に５つのレーザ光９３を照射する（図９）。この場合、各レーザ光９３のスポット径を光学レンズ（図示せず）を用いて徐々に絞り、最終的に、各レーザ光９３が重なり合いながら、単結晶化する部分全体がレーザ光の照射領域内に収まる程度の大きさとする。そして、この状態で、単結晶化する部分の体積に応じた所定の時間だけ各レーザ光９３を照射する。
【００５８】
その後、各レーザ光９３の照射をやめる。このとき、各レーザ光９３を照射することにより溶解した部分は、自然冷却することにより単結晶化する。
【００５９】
以上のように、この実施の形態９のプローブ針の製造方法によれば、実施の形態７と同様な効果が得られる。また、先端部から屈曲部に至る部分に複数のレーザ光９３を照射して、先端部から屈曲部に至る部分を単結晶化するため、均一に単結晶化させることができるという効果が得られる。
【００６０】
実施の形態１０．
この発明の実施の形態１０では、実施の形態２のプローブ針の製造方法について説明する。図１０は、この実施の形態１０によるプローブ針の製造方法の説明図である。図において、１０１はタングステン線を所定の形状に加工したもの、１０２は炭酸ガスレーザであり、１０３は炭酸ガスレーザ１０２から放射されたレーザ光である。
【００６１】
実施の形態２のプローブ針を製造する場合、先ず、従来と同様に、タングステンのロッドを線引きして得られるタングステン線を所定の長さに切断し、この切断して得られるものを所定の形状に加工する。
【００６２】
その後、８つの炭酸ガスレーザ１０２を用いて、この所定の形状に加工したもの１０１の先端部から屈曲部に至る部分に、対向する２つの方向から、８つのレーザ光１０３を照射する（図１０）。８つのレーザ光１０３のうち、４つは一方の方向から、他の４つは対向する他方の方向から照射する。この場合、各レーザ光１０３のスポット径を光学レンズ（図示せず）を用いて徐々に絞り、最終的に、各方向ごとに、各レーザ光１０３が重なり合いながら、単結晶化する部分全体がレーザ光の照射領域内に収まる程度の大きさとする。そして、この状態で、単結晶化する部分の体積に応じた所定の時間だけ各レーザ光１０３を照射する。
【００６３】
その後、各レーザ光１０３の照射をやめる。このとき、各レーザ光１０３を照射することにより溶解した部分は、自然冷却することにより単結晶化する。
【００６４】
以上のように、この実施の形態１０のプローブ針の製造方法によれば、実施の形態９と同様な効果が得られる。また、先端部から屈曲部に至る部分に、対向する２つの方向から、複数のレーザ光１０３を照射して、先端部から屈曲部に至る部分を単結晶化するため、実施の形態９の場合よりさらに均一に単結晶化させることができるという効果が得られる。
【００６５】
なお、この実施の形態１０では、対向する２つの方向からレーザ光１０３を照射する場合について説明したが、より多くの方向からレーザ光を照射した場合には、さらに均一に単結晶化させることができるという効果が得られる。
【００６６】
実施の形態１１．
この発明の実施の形態１１では、実施の形態３のプローブ針の製造方法について説明する。図１１（Ａ）および（Ｂ）は、この実施の形態１１によるプローブ針の製造方法の説明図である。図において、１１１はタングステン線を所定の形状に加工したもの、１１２は金型、１１３は金型１１２に設けられたタングステン線を所定の形状に加工したもの１１１の配置位置、１１４は配置位置１１３の先に設けられたくぼみ、１１５は炭酸ガスレーザから放射されたレーザ光である。
【００６７】
実施の形態３のプローブ針を製造する場合、先ず、従来と同様に、タングステンのロッドを線引きして得られるタングステン線を所定の長さに切断し、この切断して得られるものを所定の形状に加工する。
【００６８】
その後、この所定の形状に加工したもの１１１を、金型１１２に設けられた配置位置１１３に配置する（図１１（Ａ））。
【００６９】
その後、炭酸ガスレーザを用いて、この所定の形状に加工したもの１１１の先端部から屈曲部に至る部分にレーザ光１１５を照射する（図１１（Ｂ））。この場合、レーザ光１１５のスポット径を光学レンズ（図示せず）を用いて徐々に絞り、最終的に、単結晶化する部分全体が照射可能な程度の大きさとする。そして、この状態で、単結晶化する部分の体積に応じた所定の時間だけレーザ光１１５を照射する。このとき、配置位置１１３の先に設けられたくぼみ１１４に溶解液が流れ込む。
【００７０】
その後、レーザ光１１５の照射をやめる。このとき、レーザ光１１５を照射することにより溶解した部分およびくぼみ１１４に流れ込んだ溶解液は、自然冷却することにより単結晶化する。図１１（Ｂ）中、単結晶化する部分には、ハッチングを付して示している。
【００７１】
以上のように、この実施の形態１１のプローブ針の製造方法によれば、実施の形態８と同様な効果が得られる。また、金型として、配置位置１１３の先にくぼみ１１４を有するものを用いるため、容易に、先端に先端部と一体化して単結晶化した突起物を設けたプローブ針を製造することができるという効果が得られる。
【００７２】
なお、この実施の形態１１では、先端部から屈曲部に至る部分が単結晶化している実施の形態２に対応するプローブ針の先端に突起物を設けたプローブ針を製造する場合ついて説明したが、先端部が単結晶化している実施の形態１に対応するプローブ針の先端に突起物を設けたプローブ針を製造する場合であっても同様の効果が得られる。
【００７３】
実施の形態１２．
この発明の実施の形態１２では、実施の形態３のプローブ針の製造方法について説明する。図１２（Ａ）および（Ｂ）は、この実施の形態１２によるプローブ針の製造方法の説明図である。図において、１２１はタングステン線を所定の形状に加工したもの、１２２は金型、１２３は金型１２２に設けられたタングステン線を所定の形状に加工したもの１２１の配置位置、１２４は配置位置１２３の先に設けられたくぼみに配置されたタングステンからなる小塊、１２５は炭酸ガスレーザから放射されたレーザ光である。
【００７４】
実施の形態３のプローブ針を製造する場合、先ず、従来と同様に、タングステンのロッドを線引きして得られるタングステン線を所定の長さに切断し、この切断して得られるものを所定の形状に加工する。
【００７５】
その後、この所定の形状に加工したもの１２１を、金型１２２に設けられた配置位置１２３に配置し、小塊１２４をくぼみに配置する（図１２（Ａ））。
【００７６】
その後、炭酸ガスレーザを用いて、この所定の形状に加工したもの１２１の先端部から屈曲部に至る部分およびくぼみに配置した小塊１２４にレーザ光１２５を照射する。この場合、レーザ光１２５のスポット径を光学レンズ（図示せず）を用いて徐々に絞り、最終的に、単結晶化する部分全体が照射可能な程度の大きさとする。そして、この状態で、単結晶化する部分の体積に応じた所定の時間だけレーザ光１２５を照射する。
【００７７】
その後、レーザ光の照射をやめる。このとき、レーザ光１２５を照射することにより溶解した部分は、自然冷却することにより単結晶化する。図１２（Ｂ）中、単結晶化する部分には、ハッチングを付して示している。
【００７８】
以上のように、この実施の形態１２のプローブ針の製造方法によれば、実施の形態８と同様な効果が得られる。また、金型として、配置位置１２３の先にくぼみを有するものを用い、くぼみに小塊１２４を配置した後、レーザ光を照射するため、容易に、先端に先端部と一体化して単結晶化した突起物を設けたプローブ針を製造することができるという効果が得られる。
【００７９】
なお、この実施の形態１２では、先端部から屈曲部に至る部分が単結晶化している実施の形態２に対応するプローブ針の先端に突起物を設けたプローブ針を製造する場合ついて説明したが、先端部が単結晶化している実施の形態１に対応するプローブ針の先端に突起物を設けたプローブ針を製造する場合であっても同様の効果が得られる。
【００８０】
なお、上述した各実施の形態では、プローブ針としてタングステンから成るものの場合について説明したが、レニウムタングステンから成るものの場合であっても同様の効果が得られる。
また、実施の形態５から実施の形態１２の場合には、レーザとして炭酸ガスレーザを用いる場合について説明したが、ＹＡＧレーザを用いる場合であっても同様の効果が得られる。
【００８１】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載の発明によれば、先端部を単結晶化するように構成したので、テスト結果が安定するという効果がある。また、プローブ針の寿命が長くなり、ウエハテスト時のコストが低下する効果がある。
また、先端に先端部と一体化して単結晶化した突起物を１個または複数個設けるように構成したので、ウエハテスト時に、電極パッドの表面に生じている厚さ５ｎｍ〜１５ｎｍ程度の酸化膜を突き破り易くなる効果がある。また、電極パッドの開口部のサイズが６０μｍ以下である多ピン、狭ピッチのＬＳＩのウエハテストに用いることができる効果がある。
【００８２】
請求項２記載の発明によれば、先端部から屈曲部に至る部分を単結晶化するように構成したので、屈曲部の角度が変わりにくい効果がある。
【００８３】
請求項３記載の発明によれば、先端に先端部と一体化して単結晶化した突起物を１個または複数個設けるように構成したので、ウエハテスト時に、電極パッドの表面に生じている厚さ５ｎｍ〜１５ｎｍ程度の酸化膜を突き破り易くなる効果がある。また、電極パッドの開口部のサイズが６０μｍ以下である多ピン、狭ピッチのＬＳＩのウエハテストに用いることができる効果がある。
【００８４】
請求項４記載の発明によれば、先端を鋭角になるように構成したので、ウエハテスト時に、電極パッドの表面に生じている厚さ５ｎｍ〜１５ｎｍ程度の酸化膜を突き破り易くなる効果がある。
【００８５】
請求項５記載の発明によれば、先端部にレーザ光を照射して、先端部を単結晶化するように構成したので、容易に、先端部を単結晶化したプローブ針を製造すると共に、レーザ光の照射を、先端部を金型に配置した後に行うように構成したので、寸法のばらつきが小さくなり、生産性も良くなる効果がある。
【００８７】
請求項６記載の発明によれば、先端部から屈曲部に至る部分にレーザ光を照射して、先端部から屈曲部に至る部分を単結晶化するように構成したので、容易に、先端部から屈曲部に至る部分を単結晶化したプローブ針を製造することができる効果がある。
【００８８】
請求項７記載の発明によれば、レーザ光の照射を、先端部から屈曲部に至る部分を金型に配置した後に行うように構成したので、寸法のばらつきが小さくなり、生産性も良くなる効果がある。
【００８９】
請求項８記載の発明によれば、レーザ光の照射を、複数のレーザ光を用いて行うように構成したので、均一に単結晶化させることができる効果がある。
【００９０】
請求項９記載の発明によれば、レーザ光の照射を、複数の方向から行うように構成したので、請求項８記載の場合よりさらに均一に単結晶化させることができる効果がある。
【００９１】
請求項１０記載の発明によれば、金型として、先端部の配置位置の先にくぼみを有するものを用いるように構成したので、容易に、先端に先端部と一体化して単結晶化した突起物を設けたプローブ針を製造することができる効果がある。
【００９２】
請求項１１記載の発明によれば、金型として、先端部の配置位置の先にくぼみを有するものを用い、レーザ光の照射を、くぼみにプローブ針と同じ材質の小塊を配置した後に行うように構成したので、容易に、先端に先端部と一体化して単結晶化した突起物を設けたプローブ針を製造することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１によるプローブ針の概略的な構成図である。
【図２】  この発明の実施の形態２によるプローブ針の概略的な構成図である。
【図３】  この発明の実施の形態３によるプローブ針の概略的な構成図である。
【図４】  （Ａ）および（Ｂ）はこの発明の実施の形態４によるプローブ針の概略的な構成図である。
【図５】  （Ａ）および（Ｂ）はこの発明の実施の形態５によるプローブ針の製造方法の説明図である。
【図６】  （Ａ）および（Ｂ）はこの発明の実施の形態６によるプローブ針の製造方法の説明図である。
【図７】  （Ａ）および（Ｂ）はこの発明の実施の形態７によるプローブ針の製造方法の説明図である。
【図８】  （Ａ）および（Ｂ）はこの発明の実施の形態８によるプローブ針の製造方法の説明図である。
【図９】  この発明の実施の形態９によるプローブ針の製造方法の説明図である。
【図１０】  この発明の実施の形態１０によるプローブ針の製造方法の説明図である。
【図１１】  （Ａ）および（Ｂ）はこの発明の実施の形態１１によるプローブ針の製造方法の説明図である。
【図１２】  （Ａ）および（Ｂ）はこの発明の実施の形態１２によるプローブ針の製造方法の説明図である。
【符号の説明】
１１，２１，３１，４１  プローブ針、１２，２２，３２，４２  先端部、１３，２３，３３，４３  屈曲部、３４  突起物、５３，６４，７３，８４，９３，１０３，１１５，１２５  レーザ光、６２，８２，１１２，１２２  金型、１１４  くぼみ、１２４  小塊。
【図１】
0003654399.tif 000002
【図２】
0003654399.tif 000003
【図３】
0003654399.tif 000004
【図４】
0003654399.tif 000005
【図５】
0003654399.tif 000006
【図６】
0003654399.tif 000007
【図７】
0003654399.tif 000008
【図８】
0003654399.tif 000009
【図９】
0003654399.tif 000010
【図１０】
0003654399.tif 000011
【図１１】
0003654399.tif 000012
【図１２】
0003654399.tif 000013