(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の樹脂含有セラミックグリーンシートを前記樹脂含有セラミックグリーンシートの上下に配置した平板により挟み込んで加圧する積層体の製造方法であって、
所定の厚さを有する厚さ設定用部材を前記平板の間に配置して前記樹脂含有セラミックグリーンシートを加圧することを特徴とする積層体の形成方法。
【請求項２】
厚さ設定用部材を、樹脂含有セラミックグリーンシートを囲むように配置する請求項１に記載の積層体の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層体の形成方法に関するものであり、さらに詳しくは、セラミックコンデンサ、圧電素子などの電子部品に用いるセラミックグリーンシートの積層体の形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
プレス機を用いて樹脂含有シートの積層体を作製する場合、積層体の加圧される面の平行性は、プレス機の上下板の平行度に依存する。また、積層体の厚さは樹脂含有シートの圧縮率などに依存する。セラミックコンデンサなど電子部品の製造に必要なセラミックグリーンシートの積層体では、厚さについて特に高い精度が求められる。
【０００３】
従来は、寸法精度の高い樹脂含有シートの積層体を製造するために、プレス機の精度や樹脂含有シート自体の精度を向上させる努力が為されてきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、プレス機の改良や樹脂含有シート自体の精度の向上には技術的な限界があり、また特に高い精度を実現しようとするとコストが高くなるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記従来の問題を解決するべく、簡便な手段により寸法精度の高い樹脂含有シートを形成できる方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の積層体の形成方法は、複数枚の樹脂含有セラミックグリーンシートを前記樹脂含有セラミックグリーンシートの上下に配置した平板により挟み込んで加圧する積層体の製造方法であって、所定の厚さを有する厚さ設定用部材を前記平板の間に配置して前記樹脂含有セラミックグリーンシートを加圧することを特徴とする。
【０００７】
本発明の積層体の形成方法によれば、例えば樹脂含有シートを加圧する上板と下板との平行度が十分ではない場合であっても、厚さの精度の高い積層体を提供することができる。また、各樹脂含有シートの厚さや圧縮率のバラツキが十分に抑制されていなくても、厚さの精度の高い積層体を提供することができる。
【０００９】
また、本発明の積層体の形成方法においては、厚さ設定用部材を、樹脂含有シートを囲むように配置することが好ましい。厚さ設定用部材は、具体的には、所定厚さを備えた枠材であることが好ましい。また、金属製の部材であることが好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい形態について図面を参照しながら説明する。
図１に示したように、まず、下板３上に厚さ設定用枠１を配置し、この枠の中央に被積層物２を配置し、さらにその上に上板４を配置する。これらをプレス機の下板５上に配置してプレス機上板（図示省略）により所定の圧力で加圧する。また、加圧の際には必要に応じて加熱を行う。
【００１１】
被積層物２としては、セラミックグリーンシートなどの樹脂含有シートまたは樹脂シートを所定枚数積み重ねた物を用いる。
【００１２】
厚さ設定用枠としては、所定の厚さを備えた平板状の部材であって、加圧時に上板と下板との間隔を規定することができる程度の硬度を備えている部材であれば特に限定することなく使用できる。厚さ設定用枠は、例えばステンレスなどの金属からなる枠であることが好ましい。
【００１３】
プレスする際の圧力は、厚さ設定用枠を配置しない場合に被積層物２が当該枠の厚さよりも薄くなる範囲の圧力とすることが好ましい。また、用いる厚さ設定用枠が、破壊などに至ることなく、上板と下板との間の距離を一定の間隔に保持できる範囲の圧力とすることが好ましい。
【００１４】
以上のようなプレス方法を採用すれば、プレス機の上板と下板との間に傾きがある場合、あるいは被積層物を構成するシートの厚さや圧縮率がバラツキを有している場合でも、形成される積層体は、精度の高い厚さを有することになる。
【００１５】
【実施例】
（実施例１）
ガラスセラミック粉末を、７重量％のブチラール系バインダ、１重量％の可塑剤（ＢＢＰ）および５０重量％の溶剤（酢酸ブチル）とともに、１０φのジルコニアボールで５０時間以上混合し、ガラスセラミックスラリーを得た。なお、上記重量％表示は、ガラスセラミック粉末の重量に対する割合を示す。このスラリーをドクターブレードを用いて１００μｍに成膜し、セラミックグリーンシートを作製した。このセラミックグリーンシートを１０ｃｍ角に切断して９枚積み重ねて被積層物とした。
【００１６】
一方、一辺１５ｃｍ、厚さ２ｃｍのステンレス板を上板および下板として準備し、さらに一辺１５ｃｍ、厚さ８００μｍで中央部に一辺１２ｃｍの開口部を有するステンレス製の枠材を厚さ設定用枠として準備した。この厚さ設定用枠を下板上に配置し、その開口部に被積層物、さらにその上に上板を配置し、８０℃に加熱したプレス機を用いて３００ｋｇ／ｃｍ２で１分間加圧して積層体を作製した。
【００１７】
また比較のため、厚さ設定用枠を用いない従来のプレス方法でも、上記と同様のプレス条件で積層体を作製した。各々の方法により積層体を２ロット作製した。なお、１ロットで作製する積層体は５枚とした。（表１）に各シートの中央部の厚さをシックネスゲージで測定した結果をまとめて示す。
【００１８】
【表１】
0003615404.tif 000002
【００１９】
表１に示したように、従来のプレス方法では６μｍの厚さのバラツキがあったのに対し、厚さ設定用枠を用いると厚さのバラツキが２μｍ程度にまで抑制できることが確認された。
【００２０】
（実施例２）
鉛系圧電体粉末を上記と同様に混合し、セラミックスラリーを得た。これをドクターブレードで成膜し、４０μｍのセラミックグリーンシートを作製した。このセラミックグリーンシートを５ｃｍ角に切断して１０枚積み重ね、被積層物とした。
【００２１】
一方、一辺２０ｃｍ、厚さ３ｃｍのステンレス板を上板および下板、さらに長辺１０ｃｍ、短辺１ｃｍ、厚さ３５０μｍのステンレス板を厚さ設定用板として４枚準備した。下板上に厚さ設定用板をロの字状となるように配置し、その中央部に被積層物、さらにその上に上板を配置し、４０℃に加熱したプレス機を用いて５００ｋｇ／ｃｍ２で３０秒間加圧して積層体を作製した。
【００２２】
また比較のため、厚さ設定用板を用いない従来のプレス方法でも、上記と同様のプレス条件で積層体を作製した。プレス方法による１枚のシート中の厚さを測定した結果を図２にまとめて示す。なお、厚さの測定は５ｃｍ角のセラミックグリーンシートの中央部４ｃｍ角を５ｍｍおきにシックネスゲージを用いて測定した。
【００２３】
図２に示したように、従来でのプレス方法では１枚の積層体中に１６μｍの厚さのバラツキがあったのに対し、厚さ設定用枠を用いるとバラツキが３μｍ程度にまで抑制できることが確認された。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、厚さ設定用部材を用いることにより、プレス機および被積層物の精度の向上に多くの費用を費やすることなく、厚さの精度が高い樹脂含有シートの積層体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の方法を実施するための装置の一例を説明するために、同装置に含まれる各部材を示す斜視図である。
【図２】本発明の方法の例と従来の方法とによる積層体の厚さの分布を示した図である。
【符号の説明】
１  厚さ設定用枠
２  被積層物
３  下板
４  上板
５  プレス機下板
【図１】
0003615404.tif 000003
【図２】
0003615404.tif 000004