(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体と流体との間に熱を伝達させる熱交換システムの製造方法において、
流体と接する固体の表面を、水系媒体中で酸またはアルカリと混在している炭素、金属酸化物のいずれか１種類からなる直径１００ｎｍ以下の粒子の群で処理することにより、それらの粒子群からなる多孔質層を形成することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記固体が金属である請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記固体が金属であり、前記粒子群は固体と同一の金属の酸化物からなる請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
流体が水又は空気である請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
【背景技術】
この発明は、固体と流体との間で熱伝達させる熱交換システムに属する。
【０００２】
熱エネルギーの伝達と移動は、熱放射（thermal radiation）、熱伝導(heat conduction)、熱伝達(heat transfer)の３つの移動現象に大別でき、その工学利用においては、なんらかの熱媒体による顕熱および潜熱輸送 (heat transport)や、他の媒質内に変換および伝播移動 (heat transmission)を利用して、熱的な効率を高めることは単に省エネルギーのみならず、今や全地球的規模に於ける大きな課題となってきている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の一つの課題は、伝熱現象のなかの対流熱伝達(convective heat transfer)に関して、低コストで画期的に高い効率を示す全く新しい熱交換システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
その課題を解決するために、この発明の方法は、
固体と流体との間に熱を伝達させる熱交換システムの製造方法において、
流体と接する固体の表面を、水系媒体中で酸またはアルカリと混在している炭素、金属酸化物のいずれか１種類からなる直径１００ｎｍ以下の粒子（以下、「ナノ粒子」という。）の群で処理することにより、それらの粒子群からなる多孔質層を形成することを特徴とする。
従来、熱伝達現象は、流体運動の動的特性を表すRe(レイノルズ数)、作動流体の動的物性を特徴付けるPr(プラントル数)、作動流体と固体表面との間の熱伝達を表すNu(ヌセルト数)、作動流体が温度差或いは密度差による浮力駆動流れである場合の熱流動特性を表すGr(グラスホフ数)などを関数とした実験相関式として議論・整理され、固有の条件を有する熱伝達率の推定に関して多大なる成果を上げてきた。
【０００５】
しかしながら、これらの無次元数に基づく実験相関式の多くは、境界層理論を背景とした流体の温度分布及び速度分布に基づくものである。この発明によれば、流体と接する固体の表面をナノ粒子群で処理することで、その表面に多数のナノサイズの気孔を有する多孔質層が形成される。その結果、従来の理論では流体側の分子熱伝導としか取り扱われていない層流境界底層内の伝熱機構が大幅に改善され、熱伝達率が増大する。
対流伝熱においては、この発明の製造方法で製造されたシステムは高温熱源が固体側にある場合には高温固体から低温流体へ熱を伝達させることに利用でき、逆に、高温熱源が流体側にある場合には高温流体から低温固体へ熱伝達させる際にも適用可能である。
【０００６】
それ故、この発明の方法を実現したある適切な熱交換システムは、
金属等の固体と水や空気等の流体との間で熱を交換するシステムにおいて、流体と接する表面を有する固体を備え、その表面に直径１００ｎｍ以下の粒子の群からなり直径１００ｎｍ以下の多数の気孔を含む多孔質層が形成されていることを特徴とする。
前記粒子群としては、酸化銅ＣｕＯ、炭素Ｃ、アルミナＡｌ２Ｏ３等が挙げられる。粒子は通常球状をなすが、これに限定されず例えば炭素の場合は単層または多層のチューブ状であってよく、炭素ナノチューブの場合には直径が１００ｎｍ程度以下であればよい。
【０００７】
以上のように、この発明によれば、熱伝達の対象流体と接する固体の表面をナノ粒子で処理する、あるいは多数のナノサイズの気孔を有する層を形成するだけで熱伝達率が著しく向上するので、空調機、温水器などにおける熱交換システムや熱伝達を必要とするあらゆる分野で有益である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
−実施例１−
［実験装置］
この発明の方法による効果を確認するための実験に用いた装置の概念図を図１に示す。実験装置は、主に円筒状の密閉室１、冷却室２、温度制御部３、温度モニター４、対象流体用循環ポンプ５、冷却水用循環ポンプ６及び冷却水タンク７を備え、２５℃の屋内に設置した。
【０００９】
密閉室１は、硬質塩化ビニール製で内径１００ｍｍ、高さ１００ｍｍの円筒８と、その上端面に液密に固定されたＳＵＳ３０４製の蓋板９と、下端面に液密に固定されたＳＵＳ３０４製の底板１０とで構築されている。蓋板９及び底板１０は、厚み１０ｍｍの円盤状をなす。蓋板９の下面には、外径９９．５ｍｍ、厚み１．５ｍｍで円盤状銅製の伝達板１１が図略のシリコングリス（台湾 Plowstar社製型式:AK-100）を介して図略のビスにて固着されている。また、蓋板９の上面には外径１００ｍｍで容量８０Ｗのパネルヒータ１２がシリコングリス（同上）を介して装着されている。シリコングリスの厚さはいずれも０．０５ｍｍ程度であり、パネルヒータ１２から伝達板１１までの距離は熱伝導（固体内部の熱移動）の領域である。蓋板９、伝達板１１及びパネルヒータ１２は、いずれも中心に直径１０ｍｍの貫通孔を有し、そこに空気抜きと対象流体の体積膨張時の体積膨張分・圧力逃げを兼ねてパイプ１３が液密に嵌合されている。円筒８の外周面及びパネルヒータ１２の中心を除く上面は、断熱材２５にて覆われている。
【００１０】
蓋板９の内部には白金抵抗体からなる２本の温度センサー１４、１５が装填され、１本の温度センサー１４は温度制御部３に接続して蓋板９を所定の温度にＰＩ自動制御し、もう１本の温度センサー１５は温度モニター４に接続して蓋板９内部の温度をモニターするために用いられる。尚、蓋板９と伝達板１１との境界には厚さ０．９ｍｍ程度の白金抵抗体薄膜からなる温度センサー１６が埋め込まれており、伝達板１１上面の温度をモニターするために温度モニター４と接続されている。また、円筒８内にも上下方向に等間隔で計５本の温度センサー１７〜２１が挿入され、更に底板１０の内部に１本の温度センサー２２が埋め込まれ、冷却水タンク７の水の中にもう１本の温度センサー２３が浸けられ、いずれも温度モニター４と接続されている。
【００１１】
一方、冷却室２は密閉室１を支持するように密閉室１の下に設置され、上面にあるＳＵＳ３０４製の台２４が底板１０と密接している。冷却室２の内径は１００ｍｍで、室内は冷却水タンク７から送られる温度２７．７℃の冷却水が実験中常時満たされた状態で冷却水循環ポンプ６により強制循環させられている。また、密閉室１内には水道水が満たされた状態で、対象流体用循環ポンプ５により上部から吸い込み、下部から吐き出すように強制循環させられている。
以上の実験装置において、蓋板９の温度が５０℃になるようにパネルヒータ１２に通電したところ、各部の温度が４０分後に定常状態になることを確認した。
【００１２】
次に、酸化銅ＣｕＯの粒子（米国 Nanophase Technologies社製、BET法に基づくSSA(比表面積)の測定から決まる平均粒径＝１６〜３２ｎｍ、ほぼ球状）と硝酸を混合してペースト状に調製し、これを伝達板１１の下面全体に塗布し、乾燥後に水洗した。塗布された下面には酸化銅のナノ粒子に由来すると認められる薄い層が形成されていた。この層を走査型電子顕微鏡（以下、ＳＥＭという。）にて観察すると、直径１００ｎｍ以下の多数の気孔を有していた。
【００１３】
［実験手順及び結果］
酸化銅ナノ粒子に由来する多孔質層が形成された伝達板１１を再度上記実験装置に組み込み、蓋板９の温度が５０℃又は４５℃になるようにパネルヒータ１２に通電し、開始後１分毎に各部を測温し、各部の温度が一定となる定常状態から更に２０分経過した時点で終了した。尚、予め比較のために、伝達板１１に多孔質層を形成する前に同一条件で測温しておいた。測定結果を図２に示す。図のグラフ上の各温度は２０回の測定値の平均値、横軸は温度センサーの位置を示し、横軸の数値は底板１０からの距離である。図中、［銅板＋CuO粒子 01］は、酸化銅ナノ粒子に由来する多孔質層が形成された伝達板１１を用いて蓋板９の設定温度を５０℃に設定した場合のデータであり、［銅板＋CuO粒子 02］は再現性を確認するために同じ条件で繰り返して測定して得られたデータである。また、［銅板＋CuO粒子 03］は設定温度を４５℃に設定した場合のデータである。そして、［銅板のみ 01］、［銅板のみ 02］及び［銅板のみ 03］ は、酸化銅ナノ粒子と硝酸の混合液に代えて硝酸単独を用いた以外は上記と同一条件で測定して得られたデータである。
【００１４】
先ず、[銅板のみ 01]及び[銅板のみ 02]のデータが殆ど重なっていることから、この発明の方法に再現性があることが認められる。注目すべきことは、伝達板から[80mm]〜[20mm]の位置の水への熱伝達が、ナノ粒子の有無による明確な水温の差として確認できることである。一方、密閉室中の下層の水［20mm］から底板に対しての熱伝達は、冷却水を含め全ての実験において同じ条件として良く、当然のことながら水温に応じた底板温度となっている。
【００１５】
［熱伝達率］
上述のデータは、全て各部の温度が定常になった状態を基としている。また、データから判るように、密閉室内の流体温度は蓋板９の上面温度と底板１０の下面温度の平均温度を示しており、密閉室からの熱損失が無いこと、また、密閉室中間部の流体域が等温であることから流体部分では断熱層が形成されていることを証明している。したがって、直径100mmの密閉室上面を通過した熱流は、密閉室の上層部で中間流体層と対流熱伝達し、熱損失することなく中間層を輸送され、下層部で底板と対流熱伝達しており、この際に上下層部を通過する熱流の大きさは同一であると言える。この実験により、伝熱機構が定常的に存在することも明らかとなっている。
【００１６】
伝達板、密閉室内水温、底板の温度をそれぞれTC, TwM, TBとし、面積Sの伝達板から水への熱流束及び熱伝達率をｑupper, αCuTop、また下層の水から底板へのそれをｑlower, αbottomとするとき、各々に対して次式が成立する。
ｑupper＊S=αCuTop＊(TC−TwM)＊S
ｑlower＊S=αbottom＊(TwM−TB)＊S
前述の如く定常状態に於いては、熱流は同一：ｑupper＊S=ｑlower＊Sであるから、
次式が成立する。
αCuTop/αbottom=(TwM−TB)/(TC−TwM)
【００１７】
図２を基に、このαCuTop/αbottomの値を各実験ケースに対して図示したのが、図３である。ポンプ５の回転数を一定とした条件下では、流動条件は同一と考えられるので、下層の水から底板への熱伝達率αbottomは不変と考えて良い。したがって、αCuTop/αbottomの値はそのままαCuTopの特性、即ち上層の伝達板から水への熱伝達率の相対的な増加割合の指標を示していると考えることが出来る。
【００１８】
図３より蓋の設定温度が50℃及び45℃と異なっても、αCuTop/αbottomの値には差異が出ないということが判る。このことはデータに再現性が認められることを含めて、上記の熱伝達率の評価に関する推論の正当性を立証していると言える。
驚くべきことに、銅から水への熱伝達率は、微量の酸化銅CuOナノ粒子に由来する多孔質層が伝達板（銅板）表面に形成されたことによって、伝達板単体の特性より６割以上も向上している。従って、流体の境界層理論に立脚する熱伝達の概念からすれば、多孔質層自体がまさに温度境界層に多大な影響を及ぼすとしか考えられない。そして、その影響は母体たる金属や用いるナノ粒子の化学種には大きく依存しないであろうということが推察される。
【００１９】
−実施例２−
酸化銅ナノ粒子に代えて直径２０〜３０ｎｍ、長さ５〜１０μｍのカーボンナノチューブを用いて伝達板１１を処理した以外は実施例１の［銅板＋CuO粒子 01］と同一条件で測温した。測温結果を［銅板＋Ｃチューフ゛ 01］として図４に示す。尚、伝達板１１の表面をＳＥＭ観察したところ、直径１００ｎｍ以下の多数の気孔を有する層が形成されていた。また、元の形状を維持した微量のカーボンナノチューブが付着していた。
【００２０】
酸化銅ナノ粒子の層に代えて酸化アルミニウムＡｌ２Ｏ３の粒子（米国 Nanophase Technologies社製、平均粒径２７〜５６ｎｍ、ほぼ球状）を用いて伝達板１１を処理した以外は実施例１の［銅板＋CuO粒子 01］と同一条件で測温した。測温結果を［銅板＋Al2O3粒子 01］として図４に示す。尚、伝達板１１の表面をＳＥＭ観察したところ、直径１００ｎｍ以下の多数の気孔を有する層が形成されていた。
【００２１】
伝達板１１の材質を銅に代えて真鍮にした以外は実施例１の［銅板＋CuO粒子 01］又は［銅板のみ 01］と同一条件で測温した。測温結果をそれぞれ［真鍮板＋CuO粒子 01］又は［真鍮板のみ 01］として図４に示す。
伝達板１１の材質を銅に代えてアルミニウムにし、酸化アルミニウムＡｌ２Ｏ３の粒子を苛性ソーダで処理した以外は実施例１の［銅板＋CuO粒子 01］又は［銅板のみ 01］と同一条件で測温した。測温結果をそれぞれ［アルミ板＋Al2O3粒子 01］又は［アルミ板のみ 01］として図４に示す。
尚、［銅板のみ 01］及び［銅板のみ 02］は、比較のために図３のデータを複写したものである。
【００２２】
図より明らかなように、伝達板の材質や用いるナノ粒子の化学種に拘わらず、ナノ粒子に由来する多孔質層の有無による実験水温の相違が確認できる。銅の伝達板とカーボンナノチューブ(銅板＋Ｃチューフ゛)の結果が比較的低い水温を示したのは、カーボンナノチューブが他のナノ粒子と比べて伝達板に多孔質層を形成しにくかったためと考えられる。いずれにしても多孔質層形成の再現性は確認されており、実験を繰り返す毎に形成の度合いが悪くなったり熱伝達率が劣化したりするというような現象は見られ無かった。
次に実施例１と同じ計算式を用いて熱伝達率を算出した結果を図５に示す。この一連のデータに限れば、真鍮の伝達板と酸化銅ナノ粒子の組み合わせ(真鍮板＋CuO粒子)の値が最も高い、即ち熱伝達率が最も良いという結果が得られた。その値は伝達板のみに比較して８割以上という驚異的な向上を示している。
【００２３】
−比較例−
実施例１の実験装置から伝達板１１及び温度センサー１６を取り除いた。そして、密閉室１内の水に前記カーボンナノチューブを０．０１ｇ／Ｌの濃度で添加した。即ち、蓋板９の下面にカーボンナノチューブ含有水が接する構成とした。その他は実施例１の［銅板＋CuO粒子 01］と同一条件で測温した。また、対照としてカーボンナノチューブを水に添加しない場合も測温した。これらの測温結果をそれぞれ順に［Ｃチューフ゛添加］及び[無し]として図６に示す。
【００２４】
図６から判るように、［Ｃチューフ゛添加］よりもむしろ[無し]の水温の方が０．６℃程度高くなった。ちなみにカーボンナノチューブは水に溶けず、実験終了時には粒子間がくっついて固まりとなる現象も認められた。
αCuTop/αbottomの値についても水だけの場合のαCuTop/αbottom＝0.3667に対して、カーボンナノチューブ含有水の場合のαCuTop/αbottom＝0.3576が若干小さかった。従って、カーボンナノチューブを添加することにより、熱伝達率はむしろ低下していると認められる。
【００２５】
−実施例３−
[実験装置]
図７に示すように、温水槽２８と冷水槽２９を準備した。また、厚さ１０ｍｍの硬質塩化ビニ−ル樹脂製の直方体状の箱３０にて上下二層の流路３１，３２を形成した。流路３１，３２は、流れ方向に各々高さ１５ｍｍ×幅３１０ｍｍの一様な大きさの断面を有し、上流路３１と下流路３２とが厚さ１．５ｍｍの銅板３３により仕切られている。流路３１，３２は、流れ方向の一端に入り口、他端に出口を有する。
【００２６】
箱３０を入り口が下、出口が上になるように傾け、上流路３１の入り口に温水、下流路３２の入り口に冷水（いずれも上水道水）をポンプ３４，３５により供給した。そして、流路３１，３２の出口から出た温水及び冷水は各々温水槽２８及び冷水槽２９に流れ落ちるとともに、その流量が同じになるよう図略のバルブで調節した。流路３１，３２の上流（入り口付近）と下流（出口付近）にＬ＝１．８ｍの距離を置いて温度センサー３６，３７，３８，３９を設置し、水温を自動計測した。温水と冷水の入口温度が定常状態に達した後、更に10分間10秒毎に計測し、その内から少なくとも5分間以上にわたる計測値（データ数30個）の各平均値をもって計測結果とした。
【００２７】
上層の温水より銅板３３を通じて下層の冷水に熱が移動し、１．８m通過後の温水は温度が低下し、逆に冷水は温度が上昇する。その各々の温度差は、上下二層の流体を仕切る銅板３３自体の物性による熱伝導と、温水から銅板３３への熱伝達、及び銅板３３から冷水への熱伝達により決まることになり、当然ながら熱伝達率が高い程その温度差が大きくなる。
実験は銅板３３が硝酸だけで処理されたもの[銅板のみ]、銅板３３の両面を実施例１と同じ酸化銅のナノ粒子含有ペーストで処理したもの[両面ナノ粒子]、銅板３３の温水側片面だけを酸化銅ナノ粒子含有ペーストで処理したもの[温面ナノ粒子]、逆に銅板３３の冷水側片面だけを酸化銅ナノ粒子含有ペーストで処理したもの[冷面ナノ粒子]の４条件について行った。
【００２８】
［実験結果１］
流速 u=4.41cm/secの際の実験結果を図８(Heat exchange Nano vs Cu-only graphF)に示す。４条件とも温水の入口温度(Hinlet)と冷水のそれ(Cinlet)は殆ど同じ条件となっている。
[両面ナノ粒子]と[銅板のみ]の比較により、温水・冷水ともその入口と出口の温度差に明確な差異が生じている。両者の流量と伝熱面積(0.31m x 1.8m)が同じであるから、この差異は温水から銅板、銅板から冷水への熱伝達率の相違により生じたと考えて良い。
[銅板のみ]の場合の結果は、従来の実験相関式（ダクト内層流のChurchill & Ozoeの式）によって推定でき、その計算値と実験値とはかなりの精度（出口温度の計算値と実験値との差は0.36℃）で符合した。それに対して[両面ナノ粒子]の実験値は、温水から銅、銅から冷水への各々の熱伝達率が計算値の１．８倍に向上していた。
[温面ナノ粒子]及び[冷面ナノ粒子]の結果は、それぞれナノ粒子に由来する多孔質層が形成された方の熱伝達率が向上することを示している。
【００２９】
以上の結果を柱状グラフで示したものが図９(熱交換による水温変化率U=4.4cm/s)である。温水と冷水の入口温度差(Inlet)を基に、温水の温度差(Hot＝Hinlet−Houtlet)及び冷水のそれ(Cool＝Coutlet−Cinlet)との比率を示したものが(Hot/Inlet) 及び(Cool/Inlet)である。[1-(Outlet)/(Inlet)]は温水と冷水の出口温度差(Outlet)を組み込んだもので、(Hot/Inlet)と(Cool/Inlet)の和が[1-(Outlet)/(Inlet)]の値を示すことにもなる。概念的にいえば、[1-(Outlet)/(Inlet)]の値の大小が熱交換、即ち熱伝達の向上度を示し、(Hot/Inlet)と(Cool/Inlet)はそれぞれの貢献度を示唆していることになる。
【００３０】
[両面ナノ粒子]と[銅板のみ]の場合に、(Hot/Inlet)と(Cool/Inlet)の値が何れも同程度であることは、通常の並行流の場合の熱交換が定常的に成立していることを示しており、熱交換の理論が適用できると考えられ、前述の実験相関式による推算も有効であると判断できる。
【００３１】
［実験結果２］
流速 u=8cm/sec前後の実験結果を図１０(Heat exchange Nano vs Cu-only graphE)に示す。流速が速いため４条件の温水の入口温度(Hinlet)と冷水のそれ(Cinlet)は制御が難しく若干異なった条件となっている。
実験結果１と同じく柱状グラフで示したものを図１１(熱交換による水温変化率U=約8cm/s)に示す。各条件の実験結果は、先の流速u=4.41cm/sの場合の結果とまったく同じ傾向を示している。上記実験相関式に乱流を加えた式（ダクト内乱流のPetukhovの修正式と層流のChurchill & Ozoeの式）による[銅板のみ]の場合の計算結果と実験結果との差は、出口温度で０．０２℃以内と良い精度で符合した。それに対して[両面ナノ粒子]の実験値は、温水から銅、銅から冷水への各々の熱伝達率が計算値の2.1倍も向上していた。
図１１は、また4種類の実験条件を端的に示唆している。[片面ナノ粒子]が、[銅板のみ]と[両面ナノ粒子]の中間になっているからである。
【００３２】
［流体の流動に伴う損失について］
通常の一般的な熱交換システムを考えた場合、例えば伝熱面積を増やすためフィンなどが考慮される場合が多い。しかし、それ等は流体の流動に伴うエネルギー損失が増加するという負の要素を合わせ持つことになる。従って多孔質層による流路の摩擦損失の増加もシステム全体の評価には欠かせない。
【００３３】
この実験に於いて、我々はその摩擦損失を計測することを意図したが、従来の実験相関式（滑らかな管の普遍抵抗法則Prandtle・Karman公式、及び等価砂粗さを考慮したColebrookの近似式）に基づく計算では１．５ｍ間の流路長に対して０．９mm水柱程度の損失しか発生せず、事実１．０mm水柱以下であるというマノメータでの目視判断しか出来なかった。多孔質層の有無による摩擦損失の評価に関しては、更に流速を速くした実験を実施せざるを得ない。但し、多孔質層が形成された表面は、塗装したような面であり、等価砂粗さを導入したムーディ線図を基にした計算では、滑らかな管と比較しても摩擦係数に於いて３%以下の増加しかもたらさないという結果が得られていることを付記しておく。
【００３４】
−実施例４−
これまでの実施例は、流体が水の場合である。本例では流体を空気とした。実施例１の[銅板＋CuO粒子 01]及び[銅板のみ]と同じ工程を経て得られた試験板４０を図１２に平面図、図１３に正面図として示すように送風ダクト４１の出口の一端に斜め(仰角α＝30度)に固定した。また、試験板４０の裏面に白金抵抗体薄膜の温度センサー４２、送風ダクト４１の出口付近に温度センサー４３を取り付けた。そして、試験板４０に温風(117℃)を0.5m/sの風速で吹きつけ、温風が試験板４０の裏側に回り込まないことを確認した。温度センサー４２により定常状態に達した試験板４０の温度を計測した結果、[銅板のみ]の温度が57.5℃で[銅板＋CuO粒子 01]の温度が59.2℃と明らかな差異が認められた。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】この発明の効果を確認する実験装置の概念図である。
【図２】上記装置を用いて測温した実施例１の結果を示すグラフである。
【図３】上記グラフに基づいて算出した熱伝達率の相対的評価である。
【図４】上記装置を用いて測温した実施例２の結果を示すグラフである。
【図５】上記グラフに基づいて算出した熱伝達率の相対的評価である。
【図６】上記装置から伝達板を除いたものを用いて測温した比較例の結果を示すグラフである。
【図７】この発明の効果を確認するもう一つの実験装置の概念図である。
【図８】上記装置を用いて測温した実施例３の実験結果１を示すグラフである。
【図９】実験結果１の水温変化率を示すグラフである。
【図１０】上記装置を用いて測温した実施例３の実験結果２を示すグラフである。
【図１１】実験結果２の水温変化率を示すグラフである。
【図１２】この発明の効果を確認する更にもう一つの実験装置の平面図である。
【図１３】同じく正面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  密閉室
２  冷却室
３  温度制御部
４  温度モニター
５、６  循環ポンプ
７  冷却水タンク
８  円筒
９  蓋板
１０  底板
１１  伝達板
１２  パネルヒーター
１３  パイプ
１４〜２３  温度センサー
２４  台
２５  断熱材
【図１】
0003690527.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003690527.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0003690527.tif 000011
【図１１】
0003690527.tif 000012
【図１２】
0003690527.tif 000013
【図１３】
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