(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インゴットを保持する保持テーブルと、インゴットを保持した保持テーブルの位置を調整する位置調整手段と、この保持テーブルを回転するテーブル回転手段と、インゴットの外周に溝を形成する溝形成手段と、この溝形成手段の位置を割り出す位置割り出し手段と、を少なくとも含み、
前記位置調整手段は、前記保持テーブルの上面角度を調整する角度調整部と、前記保持テーブルをＸ軸方向に移動するＸ軸調整部及びＹ軸方向に移動するＹ軸調整部とから構成され、
前記角度調整部は、Ｘ軸調整部を構成するＸ軸移動テーブルと前記保持テーブルとの間に円周方向に複数個設けた高さ調整部材から成り、
前記位置調整手段を上に設けて前記保持テーブルを回転する回転テーブルは、下部に設けられた前記テーブル回転手段を含む基台により回転し、
前記保持テーブル上に保持されたインゴットの軸線を前記回転テーブルの中心軸に合致させるインゴット溝付け装置。
【請求項２】
前記位置割り出し手段は、前記溝形成手段をＺ軸方向に割り出すと共にこの溝成形手段はブレードを進退させる、請求項１記載のインゴット溝付け装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、シリコン等のインゴット溝付け装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウェーハは、通常円柱状に形成されたシリコンインゴットをワイヤーソーで適宜の厚さにスライスすることにより切り出される。この切り出しにおいては、シリコンインゴットを固定しワイヤソーを円周方向に沿って回転させることにより一定のピッチで切断するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記のような切断方法によると、ワイヤーソーの位置ずれや切断曲がりが生じることがあり、又シリコンインゴットに軸線のずれがあると結晶方位がずれて、品質の低いウェーハが切り出されてしまう問題がある。
本発明は、このような従来の問題を解決するためになされ、ワイヤーソーによるシリコンインゴットの切断時に、ワイヤーソーの位置ずれや切断曲がりが生じることなくしかもシリコンインゴットの結晶方位のずれが生じないように、ワイヤーソーの切断に先立ちシリコンインゴットの外周に切断用の案内溝を付けるようにした、インゴット溝付け装置を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前記課題を技術的に解決するための手段として、本発明は、インゴットを保持する保持テーブルと、インゴットを保持した保持テーブルの位置を調整する位置調整手段と、この保持テーブルを回転するテーブル回転手段と、インゴットの外周に溝を形成する溝形成手段と、この溝形成手段の位置を割り出す位置割り出し手段と、を少なくとも含み、
前記位置調整手段は、前記保持テーブルの上面角度を調整する角度調整部と、前記保持テーブルをＸ軸方向に移動するＸ軸調整部及びＹ軸方向に移動するＹ軸調整部とから構成され、
前記角度調整部は、Ｘ軸調整部を構成するＸ軸移動テーブルと前記保持テーブルとの間に円周方向に複数個設けた高さ調整部材から成り、
前記位置調整手段を上に設けて前記保持テーブルを回転する回転テーブルは、下部に設けられた前記テーブル回転手段を含む基台により回転し、
前記保持テーブル上に保持されたインゴットの軸線を前記回転テーブルの中心軸に合致させるインゴット溝付け装置を要旨とする。
又、前記位置割り出し手段は、前記溝形成手段をＺ軸方向に割り出すと共にこの溝成形手段はブレードを進退させる、ことを要旨とするものである。
【０００５】
【作  用】
シリコンインゴットをワイヤーソーで切断するに先立ちシリコンインゴットの円周方向に沿って切断用の案内溝を付けるので、ワイヤーソーの位置ずれや切断曲がりが生じることはなく、又インゴットの軸線の傾きによる結晶方位のずれが生じないように位置調整手段により保持テーブルの位置を調整して、品質の高いウェーハを切り出すことが可能となる。
【０００６】
【実施例】
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳説する。
図１において、１はシリコンインゴット２等のインゴットを保持する保持テーブルであり、シリコンインゴット２は例えばワックスダウン等で垂直状態に固定される。
【０００７】
３は前記保持テーブル１の位置を調整するための位置調整手段であり、保持テーブル１の上面角度を調整する角度調整部３ａと、保持テーブル１をＸ軸方向に移動するＸ軸調整部３ｂと、Ｙ軸方向に移動するＹ軸調整部３ｃとから構成されている。
【０００８】
前記角度調整部３ａは、例えばＸ軸移動テーブル４と保持テーブル１との間に円周方向に一定の間隔をあけて複数個設けた圧電素子やねじ等の高さ調整部材から成り、これらの高さ調整部材を適宜調整することにより保持テーブル１の上面角度を容易に変えられるようにしてある。
【０００９】
前記Ｘ軸調整部３ｂは、Ｘ軸移動テーブル４とＹ軸移動テーブル６の上に設けられた例えばボールスクリュー等によるＸ軸移動機構５により構成され、Ｙ軸調整部３ｃはＹ軸移動テーブル６と回転テーブル８の上に設けられた例えばボールスクリュー等によるＹ軸移動機構７により構成されている。
【００１０】
更に、前記回転テーブル８はその下部に設けられたテーブル回転手段を含む基台９により回転し、このテーブル回転手段（図示しない）により前記位置調整手段３を介して保持テーブル１を回転出来るようにしてある。
【００１１】
１０は位置割り出し手段であって前記基台９の側部に立設され、溝形成手段１１をＺ軸方向に移動してシリコンインゴット２の外周に溝付けすべき位置を割り出せるようにしてある。
【００１２】
前記溝形成手段１１は、位置割り出し手段１０の例えばボールスクリュー等によって移動されるＺ軸移動体１１ａと、このＺ軸移動体１１ａに対して進退するスピンドルユニット１１ｂと、このスピンドルユニット１１ｂの先端部に下向きに取り付けられたスピンドル１１ｃと、その下端部に装着された回転ブレード１２とから構成されている。
【００１３】
本発明に係るインゴット溝付け装置は上記のように構成され、前記のようにシリコンインゴット２をワックスダウン等で保持テーブル１上に垂直状態に固定し、この保持テーブル１を回転させながら前記回転ブレード１２でシリコンインゴット２の外周に一定のピッチで案内溝１３を形成することが出来る。
【００１４】
この時、シリコンインゴット２の軸線と保持テーブル１の回転中心とがずれていると、シリコンインゴット２が円運動を起こしてしまうが、前記Ｘ軸移動テーブル４とＹ軸移動テーブル６とを適宜移動させてシリコンインゴット２の軸線を回転テーブル８の回転中心に合わせれば、この回転テーブル８の回転によってシリコンインゴット２を軸線回りに回転させることが出来る。
【００１５】
又、シリコンインゴット２の軸線が鉛直になっていないと、心振れによる円運動を起こしてしまうが、前記角度調整部３ａにより保持テーブル１の上面角度を調整することによりシリコンインゴット２の軸線が鉛直となるように調整すれば、心振れが生じることなくシリコンインゴット２を軸線回りに回転させることが可能となる。
【００１６】
従って、シリコンインゴット２を保持テーブル１上にワックスダウン等で固定する場合に、保持テーブル１のほぼ中央部に大体垂直状態に固定し、その固定後に位置調整手段３を上記のように働かせてシリコンインゴット２を回転テーブル８に対して適正位置に調整することが出来る。つまり、シリコンインゴット２を保持テーブル１に対して始めから厳密に位置決めする必要がないので、その作業は極めて容易になる。
【００１７】
この後、位置割り出し手段１０によりシリコンインゴット２に溝付すべき位置を割り出し、所定のピッチでＺ軸移動体１１ａを下降させながら、回転ブレード１２でシリコンインゴット２の外周に沿って案内溝１３を切設する。案内溝１３の切り込み深さは、スピンドルユニット１１ｂを進退させることで所定の深さに予め設定することが出来る。
【００１８】
このようにして、ワイヤーソー（図略）での切断に先立ってシリコンインゴット２の外周に案内溝１３を形成しておけば、その案内溝１３によってワイヤーソー（図略）がガイドされるのでワイヤーソーの位置がすれたり切断曲がりが生じることはなく、しかもシリコンインゴット２の軸線の傾きによる結晶方位のずれが生じることもなく、品質の高いウェーハを切り出すことが出来る。
【００１９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、シリコンインゴットをワイヤーソーで切断してウェーハを形成するに先立ち、予め溝付け装置によりシリコンインゴットの外周に案内溝を付けておくので、ワイヤーソーの位置ずれや切断曲がりを未然に防止することが出来、結晶方位のずれのない品質の高いウェーハを切り出すことが出来ると共にその切り出し作業が容易になる等の優れた効果を奏する。
又、本発明に係る溝付け装置は、シリコンインゴットの保持テーブルを位置調整手段により調整して、シリコンインゴットの軸線を回転テーブルの中心軸に簡単に合致させ且つ鉛直に保持出来るようにしたので、シリコンインゴットをワックスダウン等で保持テーブルに固定する作業が比較的ラフで良く、作業が著しく簡単になる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
１…保持テーブル    ２…シリコンインゴット    ３…位置調整手段    ３ａ…角度調整部    ３ｂ…Ｘ軸調整部    ３ｃ…Ｙ軸調整部    ４…Ｘ軸移動テーブル    ５…Ｘ軸移動機構    ６…Ｙ軸移動テーブル    ７…Ｙ軸移動機構
８…回転テーブル    ９…基台    １０…位置割り出し手段    １１…溝形成手段    １１ａ…Ｚ軸移動体    １１ｂ…スピンドルユニット    １１ｃ…スピンドル    １２…回転ブレード    １３…案内溝
【図１】
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