(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそれぞれ導圧管を介して測定流体に接する高圧側と低圧側のダイアフラムシールユニットを具備するダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記ダイアフラムシールユニットの前記導圧管との接続部に一端が固定された導圧パイプと、
この導圧パイプ内に挿入され導通をシールするシール部材と、
前記導圧パイプの他端に設けられた導圧パイプテーパー部と、
前記導圧管の前記ダイアフラムシールユニットとの接続部に一端が固定されたボス部と、
このボス部の他端に設けられ導圧パイプテーパー部とメタルシールをするボステーパー部と、
前記ボス部の他端に一端が接続され他端側が前記ダイアフラムシールユニットと前記導圧管との組み立て時に前記シール部材を貫通して前記ダイアフラムシールユニットと前記導圧管とを導通する注射針部と、
前記ボスに係合しこのボスを前記導圧パイプに固定する袋ナット部と
を具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項２】
前記導圧管としてフレキシブルチューブが使用されたこと
を特徴とする請求項１記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項３】
前記シール部材としてゴムが使用されたこと
を特徴とする請求項１又は請求項２記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項４】
差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそれぞれ導圧管を介して測定流体に接する高圧側と低圧側のダイアフラムシールユニットを具備するダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記差圧測定装置本体の前記導圧管との接続部に一端が固定された導圧パイプと、
この導圧パイプ内に挿入され導通をシールするシール部材と、
前記導圧パイプの他端に設けられた導圧パイプテーパー部と、
前記導圧管の前記差圧測定装置本体との接続部に一端が固定されたボス部と、
このボス部の他端に設けられ導圧パイプテーパー部とメタルシールをするボステーパー部と、
前記ボス部の他端に一端が接続され他端側が前記差圧測定装置本体と前記導圧管との組み立て時に前記シール部材を貫通して前記差圧測定装置本体と前記導圧管とを導通する注射針部と、
前記ボス部に係合しこのボス部を前記導圧パイプに固定する袋ナット部と
を具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項５】
前記導圧管としてフレキシブルチューブが使用されたこと
を特徴とする請求項４記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項６】
前記シール部材としてゴムが使用されたこと
を特徴とする請求項４又は請求項５記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、保守コストを低減出来るダイアフラムシール型差圧測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図５は、従来より一般に「ダイアフラムシール付き差圧計」として使用されている従来例の構成説明図で、例えば、実開昭６２−８６５２８号の従来例に示されている。
【０００３】
図において、差圧測定装置本体１は差圧測定装置の本体部分である。
差圧測定装置本体１は、本体カプセル２と本体カプセル２を覆うカバー３とよりなる。
【０００４】
本体カプセル２は、この場合は、静電容量検出型が使用されている。
シールダイアフラム４、５は、本体カプセル２の両側面の高圧側と低圧側のそれぞれに設けられたダイアフラムである。
【０００５】
高圧側のキャピラリーチューブ６は，高圧側のカバー３に、一端が接続されたチューブである。
この場合は、可撓性のキャピラリーチューブが使用されている。
【０００６】
ダイアフラムシールユニット７は、高圧側のキャピラリーチューブ６の他端に接続されユニットである。
ダイアフラムシールユニット７は、フランジ７１と本体ブロック７２とシールダイアフラム７３とを有する。
【０００７】
封入液８は、ダイアフラムシールユニット７とキャピラリーチューブ６と高圧側のカバー３内に封入された封入液である。
この場合は、シリコンオイルが使用されている。
【０００８】
低圧側のキャピラリーチューブ９は、低圧側側のカバー３に、一端が接続されたチューブである。
この場合は、可撓性のキャピラリーチューブが使用されている。
【０００９】
ダイアフラムシールユニット１１は、低圧側のキャピラリーチューブ９の他端に接続されたユニットである。
ダイアフラムシールユニット１１は、フランジ１１１と本体ブロック１１２とシールダイアフラム１１３とを有する。
【００１０】
封入液１２は、ダイアフラムシールユニット１１とキャピラリーチューブ９と低圧側のカバー３内に封入された封入液である。
この場合は、シリコンオイルが使用されている。
変換器部１３は、本体カプセル２に取付られた変換器部である。
【００１１】
以上の構成において、ダイアフラムシールユニット７，１１が、測定流体Ａに接すると、測定圧は、キャピラリーチューブ６，９中の封入液８，１２を介して、本体カプセル２に伝達され、差圧が測定される。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この様な装置においては、
（１）ダイアフラムシールユニット７，１１とキャピラリーチューブ６，９、キャピラリーチューブ６，９と差圧測定装置本体１との結合は、溶接構造又はメタルシール構造であり、基本的に、故障時（特にダイアフラム破損時）には、その修理対象が全体装置に及ぶ。
【００１３】
現場での修理は不可能な事は勿論、工場での修理も、コスト的に高くなり、修理の納期的にも長くなる。
【００１４】
これは、シールダイアフラム７３，１１３内に封入される封入液８，１２内への気泡の混入を避けるため、良く管理された装置等での封入が必要であるためである。
【００１５】
しかし、測定流体ＦＬｏが高い真空下にある場合でない限りは、気泡の混入も、ある程度許容出来るものである。
【００１６】
従って、高い真空下で使用されない場合は、現場で、簡単に修理出来る構造の、ダイアフラムシール型差圧測定装置が望まれる。
【００１７】
また、現場での交換が難しい点として、ダイアフラムシールユニット部７、１１の温度静圧等の特性が、個々に異なるため、補正が出来ず、誤差が大きくなり、使用出来ない事があるからである。
【００１８】
本発明は、この問題点を解決するものである。
本発明の目的は、保守コストを低減出来るダイアフラムシール型差圧測定装置を提供するにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、本発明は、
（１）差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそれぞれ導圧管を介して測定流体に接する高圧側と低圧側のダイアフラムシールユニットを具備するダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記ダイアフラムシールユニットの前記導圧管との接続部に一端が固定された導圧パイプと、この導圧パイプ内に挿入され導通をシールするシール部材と、前記導圧パイプの他端に設けられた導圧パイプテーパー部と、前記導圧管の前記ダイアフラムシールユニットとの接続部に一端が固定されたボス部と、このボス部の他端に設けられ導圧パイプテーパー部とメタルシールをするボステーパー部と、前記ボス部の他端に一端が接続され他端側が前記ダイアフラムシールユニットと前記導圧管との組み立て時に前記シール部材を貫通して前記ダイアフラムシールユニットと前記導圧管とを導通する注射針部と、前記ボスに係合しこのボスを前記導圧パイプに固定する袋ナット部とを具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装置。
（２）前記導圧管としてフレキシブルチューブが使用されたことを特徴とする（１）記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
（３）前記シール部材としてゴムが使用されたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
（４）差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそれぞれ導圧管を介して測定流体に接する高圧側と低圧側のダイアフラムシールユニットを具備するダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記差圧測定装置本体の前記導圧管との接続部に一端が固定された導圧パイプと、この導圧パイプ内に挿入され導通をシールするシール部材と、前記導圧パイプの他端に設けられた導圧パイプテーパー部と、前記導圧管の前記差圧測定装置本体との接続部に一端が固定されたボス部と、このボス部の他端に設けられ導圧パイプテーパー部とメタルシールをするボステーパー部と、前記ボス部の他端に一端が接続され他端側が前記ダイアフラムシールユニットと前記導圧管との組み立て時に前記シール部材を貫通して前記ダイアフラムシールユニットと前記導圧管とを導通する注射針部と、前記ボスブに係合しこのボス部を前記導圧パイプに固定する袋ナット部とを具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装置。
（５）前記導圧管としてフレキシブルチューブが使用されたことを特徴とする（４）記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
（６）前記シール部材としてゴムが使用されたことを特徴とする（４）又は（５）記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
を構成したものである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、本発明は、
（１）差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそれぞれ導圧管を介して測定流体に接する高圧側と低圧側のダイアフラムシールユニットを具備するダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記ダイアフラムシールユニットの前記導圧管との接続部に一端が固定された導圧パイプと、この導圧パイプ内に挿入され導通をシールするシール部材と、前記導圧パイプの他端に設けられた導圧パイプテーパー部と、前記導圧管の前記ダイアフラムシールユニットとの接続部に一端が固定されたボス部と、このボス部の他端に設けられ導圧パイプテーパー部とメタルシールをするボステーパー部と、前記ボス部の他端に一端が接続され他端側が前記ダイアフラムシールユニットと前記導圧管との組み立て時に前記シール部材を貫通して前記ダイアフラムシールユニットと前記導圧管とを導通する注射針部と、前記ボスに係合しこのボスを前記導圧パイプに固定する袋ナット部とを具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装置。
（２）前記導圧管としてフレキシブルチューブが使用されたことを特徴とする（１）記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
（３）前記シール部材としてゴムが使用されたことを特徴とする（１）又は（２）記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
（４）差圧測定装置本体の高圧側と低圧側にそれぞれ導圧管を介して測定流体に接する高圧側と低圧側のダイアフラムシールユニットを具備するダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記差圧測定装置本体の前記導圧管との接続部に一端が固定された導圧パイプと、この導圧パイプ内に挿入され導通をシールするシール部材と、前記導圧パイプの他端に設けられた導圧パイプテーパー部と、前記導圧管の前記差圧測定装置本体との接続部に一端が固定されたボス部と、このボス部の他端に設けられ導圧パイプテーパー部とメタルシールをするボステーパー部と、
前記ボス部の他端に一端が接続され他端側が前記差圧測定装置本体と前記導圧管との組み立て時に前記シール部材を貫通して前記差圧測定装置本体と前記導圧管とを導通する注射針部と、前記ボス部に係合しこのボス部を前記導圧パイプに固定する袋ナット部とを具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装置。
（５）前記導圧管としてフレキシブルチューブが使用されたこと
を特徴とする（４）記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
（６）前記シール部材としてゴムが使用されたことを特徴とする（４）又は（５）記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
を構成したものである。
【００２１】
而して、ダイアフラムシールユニットとキャピラリーチューブとを組み立てるには、袋ナット部を、導圧パイプのねじ部に、ねじ込む。
【００２２】
注射針部がゴム材を貫通し、ダイアフラムシールユニットとキャピラリーチューブの内部が連通して、封入液が移動出来るようになる。
以下、実施例に基づき詳細に説明する。
【００２３】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図５と同一記号の構成は同一機能を表わす。
以下、図５と相違部分のみ説明する。
【００２４】
導圧パイプ２１は、ダイアフラムシールユニット７，１１のキャピラリーチューブ６，９との接続部に一端が固定されている。
導圧パイプ２１の他端の外周部には、ねじ部２１１が設けられている。
【００２５】
シール部材であるゴム材２２は、導圧パイプ２１内に挿入され、導通をシールする。
導圧パイプテーパー部２３は、導圧パイプ２１の他端に設けられている。
【００２６】
ボス部２４は、キャピラリーチューブ６，９のダイアフラムシールユニット７，１１との接続部に一端が固定されている。
ボステーパー部２５は、ボス部２４の他端に設けられ、導圧パイプテーパー部２３とメタルシールをする。
【００２７】
注射針部２６は、ボス部２４の他端に一端が接続され、他端側がダイアフラムシールユニット７，１１とキャピラリーチューブ６，９との組み立て時に、ゴム２２を貫通して、ダイアフラムシールユニット７，１１とキャピラリーチューブ６，９とを導通する。
【００２８】
袋ナット部２７は、ボス部２４に係合し、ボス部２４を、導圧パイプ２１に固定する。
【００２９】
以上の構成において、ダイアフラムシールユニット７，１１が、測定流体に接すると、測定圧は、キャピラリーチューブ６，９中の封入液８，１２を介して、本体カプセル２に伝達され、差圧が測定される。
【００３０】
而して、ダイアフラムシールユニット２，１１とキャピラリーチューブ６，９とを組み立てるには、図２に示す如く、袋ナット部２７を、導圧パイプ２１のねじ部２１１に、ねじ込む。
【００３１】
注射針部２６がゴム材２２を貫通し、ダイアフラムシールユニット７，１１とキャピラリーチューブ６，９の内部が連通して、封入液８，１２が移動出来るようになる。
【００３２】
以上の結果、
（１）真空度が高くない測定流体ＦＬｏの場合は、ダイアフラムシールユニット７，１１と、キャピラリーチューブ部分６，９とをユニットとして交換出来ることになる。
【００３３】
したがって、腐蝕が激しい、激しい圧力変動などにより、シールダイアフラム７３，１１３が破壊されやすい測定流体ＦＬｏでの使用のような、使用環境の厳しい場合での、安価な保守交換が可能になり、保守コストが安価なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００３４】
（２）導圧管６，９にフレキシブルチューブが使用されれば、測定個所への取付が容易で、取付け作業性が向上された、ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００３５】
（３）シール材としてゴムが使用されれば、シール部が弾性に富みシール性が確保されると共に安価な、ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００３６】
なお、ダイアフラムシールユニット７，１１は、ユニット単体で温度補正係数を測定し、この測定値を、ダイアフラムシールユニット７，１１に添付すれば、この測定値に基づき、ダイアフラムシールユニット７，１１の交換時に、差圧測定装置本体１の補正用ＲＡＭを書き替えることにより、良好な、温度や静圧補正が実現できる。
【００３７】
図３は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図において、図５と同一記号の構成は同一機能を表わす。
以下、図５と相違部分のみ説明する。
【００３８】
導圧パイプ２１は、差圧測定装置本体１のカバー３の、キャピラリーチューブ６，９との接続部に一端が固定されている。
導圧パイプ２１の他端の外周部には、ねじ部２１１が設けられている。
【００３９】
シール部材であるゴム材２２は、導圧パイプ２１内に挿入され、導通をシールする。
導圧パイプテーパー部２３は、導圧パイプ２１の他端に設けられている。
【００４０】
ボス部２４は、キャピラリーチューブ６，９の、カバー３との接続部に一端が固定されている。
ボステーパー部２５は、ボス部２４の他端に設けられ、導圧パイプテーパー部２３とメタルシールをする。
【００４１】
注射針部２６は、ボス部２４の他端に一端が接続され、他端側がカバー３とキャピラリーチューブ６，９との組み立て時に、ゴム２２を貫通して、差圧測定装置本体１とキャピラリーチューブ６，９とを導通する。
【００４２】
袋ナット部２７は、ボス部２４に係合し、ボス部２４を、導圧パイプ２１に固定する。
【００４３】
而して、差圧測定装置本体１とキャピラリーチューブ６，９とを組み立てるには、図４に示す如く、袋ナット部２７を、導圧パイプ２１のねじ部２１１に、ねじ込む。
【００４４】
注射針部２６がゴム材２２を貫通し、差圧測定装置本体１とキャピラリーチューブ６，９との内部が連通して、封入液８，１２が移動出来るようになる。
【００４５】
以上の結果、
（１）真空度が高くない測定流体ＦＬｏの場合は、キャピラリーチューブ部分６，９と、差圧測定装置本体１とをユニットとして交換出来ることになる。
【００４６】
したがって、腐蝕が激しい、激しい圧力変動などにより、シールダイアフラム７３，１１３が破壊されやすい測定流体ＦＬｏでの使用のような、使用環境の厳しい場合での、安価な保守交換が可能になり、保守コストが安価なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００４７】
（２）導圧管６，９にフレキシブルチューブが使用されれば、測定個所への取付が容易で、取付け作業性が向上された、ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００４８】
（３）シール材としてゴムが使用されれば、シール部が弾性に富みシール性が確保されると共に安価な、ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００４９】
なお、前述の実施例においては、ダイアフラムシールユニット２，１１とキャピラリーチューブ６，９、或いは、キャピラリーチューブ６，９と差圧測定装置本体１との接続の構成について説明したが、ダイアフラムシールユニット２，１１と、キャピラリーチューブ６，９と、差圧測定装置本体１との三者が各々独立のユニットになるような接続の構成にしても良いことは勿論である。
【００５０】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の請求項１によれば、真空度が高くない測定流体の場合は、ダイアフラムシールユニットと、キャピラリーチューブ部分とをユニットとして交換出来ることになる。
【００５１】
したがって、腐蝕が激しい、激しい圧力変動などにより、シールダイアフラムが破壊されやすい測定流体での使用のような、使用環境の厳しい場合での、安価な保守交換が可能になり、保守コストが安価なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００５２】
本発明の請求項２によれば、導圧管にフレキシブルチューブが使用されたので、測定個所への取付が容易で、取付け作業性が向上された、ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００５３】
本発明の請求項３によれば、シール材としてゴムが使用されたので、シール部が弾性に富みシール性が確保されると共に安価な、ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００５４】
本発明の請求項４によれば、真空度が高くない測定流体ＦＬｏの場合は、キャピラリーチューブ部分６，９と、差圧測定装置本体１とをユニットとして交換出来ることになる。
【００５５】
したがって、腐蝕が激しい、激しい圧力変動などにより、シールダイアフラム７３，１１３が破壊されやすい測定流体ＦＬｏでの使用のような、使用環境の厳しい場合での、安価な保守交換が可能になり、保守コストが安価なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００５６】
本発明の請求項５によれば、導圧管にフレキシブルチューブが使用されたので、測定個所への取付が容易で、取付け作業性が向上された、ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００５７】
本発明の請求項６によれば、シール材としてゴムが使用されたので、シール部が弾性に富みシール性が確保されると共に安価な、ダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００５８】
従って、本発明によれば、保守コストを低減出来るダイアフラムシール型差圧測定装置を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の構成説明図である。
【図２】図１の動作説明図である。
【図３】本発明の他の実施例の構成説明図である。
【図４】図３の動作説明図である。
【図５】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【符号の説明】
１      差圧測定装置本体
２      本体カプセル
３      カバー
４      シールダイアフラム
５      シールダイアフラム
６      高圧側のキャピラリーチューブ
７      高圧側のダイアフラムシールユニット
７１    フランジ
７２    本体ブロック
７３    シールダイアフラム
８      封入液
９      低圧側のキャピラリーチューブ
１１    低圧側のダイアフラムシールユニット
１１１  フランジ
１１２  本体ブロック
１１３  シールダイアフラム
１２    封入液
２１    導圧パイプ
２２    ゴム材
２３    導圧パイプテーパー部
２４    ボス部
２５    ボステーパー部
２６    注射針部
２７    袋ナット部
【図１】
0003633779.tif 000002
【図２】
0003633779.tif 000003
【図３】
0003633779.tif 000004
【図４】
0003633779.tif 000005
【図５】
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