(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアー送入されるエアーボックスに複数のスピンノズルを突設し、各スピンノズルは、軸受ブロックに基端部を軸受けされたパイプノズルの中間部が、軸線と直交するＸ方向へ緩やかに湾曲するとともに、先端部が、中間部に対してＸ方向と直交するＹ方向へ緩やかに湾曲し、先端の噴射口が斜めに指向していて、エアー噴射に伴いパイプノズルが自動的に旋回するようになっている除水機において、
低発塵性ボールベアリングを前記軸受ブロック内に設置し、この低発塵性ボールベアリングにより前記パイプノズルの基端部を軸受けしたこと、
前記エアーボックスにエアーを供給するブロアを本体ハウジング内に設置し、該ブロアによるエアー吸引により本体ハウジング内が負圧になるようにしたこと、
前記ブロアと前記エアーボックスとの間の配管中にヘパフィルタを配置したこと、を特徴とする除水機。
【請求項２】
低発塵性ボールベアリングがグリース封入型ボールベアリングであることを特徴とする請求項１に記載の除水機。
【請求項３】
低発塵性ボールベアリングがフッ素樹脂等による固体潤滑膜が形成されたボールベアリングであることを特徴とする請求項１に記載の除水機。
【請求項４】
ブロアにて吸引されるエアーを濾過するプレフィルタを本体ハウジング内に設置し、該プレフィルタを通じたブロアによるエアー吸引により本体ハウジング内が負圧になるようにしたことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の除水機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エアーを噴射して除水する除水機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本出願人は、この種の除水機として、特許文献１（特許第２９６４３３６号公報）に記載されているように、各ノズルからのエアー噴射範囲を広くするため、エアー噴射に伴い自動的に旋回するスピンノズルを用いたものを既に提供し、例えば飲食品等を収容した容器類の表面の除水をする場合などに広く使用されている。
【０００３】
ところで、ＩＣやＬＳＩ等の電子部品は、そのケース等の関連部品も含めて、高いクリーン環境での処理が要求され、洗浄をした場合、その後に乾燥するときも高いクリーン環境で行わなければならない。
【０００４】
【特許文献１】
特許第２９６４３３６号公報（第２頁、図３）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来は、これらの部品を洗浄後、直ちに乾燥機に入れて長時間かけて乾燥していたため、稼働率が低く、また電熱乾燥方式のためランニングコストが高かった。
【０００６】
そこで、特許文献１に記載されているような除水機で除水してから乾燥させれば、このような問題を解決できるが、除水機もクリーン環境仕様としなければならない。
【０００７】
本発明の目的は、電子部品やその関連部品等を洗浄後にクリーンルームで除水するのに好適なクリーン環境仕様の除水機を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の除水機は、エアー送入されるエアーボックスに複数のスピンノズルを突設し、各スピンノズルは、軸受ブロックに基端部を軸受けされたパイプノズルの中間部が、軸線と直交するＸ方向へ緩やかに湾曲するとともに、先端部が、中間部に対してＸ方向と直交するＹ方向へ緩やかに湾曲し、先端の噴射口が斜めに指向していて、エアー噴射に伴いパイプノズルが自動的に旋回するようになっている除水機において、低発塵性ボールベアリングを軸受ブロック内に設置し、この低発塵性ボールベアリングによりパイプノズルの基端部を軸受けしたこと、エアーボックスにエアーを供給するブロアを本体ハウジング内に設置し、該ブロアによるエアー吸引により本体ハウジング内が負圧になるようにしたこと、ブロアとエアーボックスとの間の配管中にヘパフィルタを配置したこと、を特徴とする。
【０００９】
低発塵性ボールベアリングとしては、グリース封入型ボールベアリング、又はフッ素樹脂等による固体潤滑膜が形成されたボールベアリングのいずれでもよい。
【００１０】
更に、ブロアにて吸引されるエアーを濾過するプレフィルタを本体ハウジング内に設置し、該プレフィルタを通じたブロアによるエアー吸引により本体ハウジング内が負圧になるようにする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１２】
この除水機は、図１〜図３に示すように、本体ハウジング１上に下側エアー噴射ユニット２を固定設置するとともに、この下側エアー噴射ユニット２上に上側エアー噴射ユニット３を上下に開閉自在に装着している。
【００１３】
下側エアー噴射ユニット２及び上側エアー噴射ユニット３は、前述の特許文献１（特許第２９６４３３６号公報）に記載の従来例の場合と基本構造は同じであって、下側エアー噴射ユニット２は、下側エアーボックスの上面に多数のスピンノズル４を上向きに旋回自在に装着するとともに、コンベア５を装着し、また上側エアー噴射ユニット３は、上側エアーボックスの下面に多数のスピンノズル４を下向きに旋回自在に装着しており、コンベア５上を搬送される除水対象物に上下両側からエアーを噴射して除水する。コンベア５の下側には、水受け用のウォーターパン６が設置されている。
【００１４】
本体ハウジング１は、上板と底板と前板と後板と左右の側板とにより箱状をなし、その内部には、下側エアー噴射ユニット２のエアーボックスへエアーを供給するための下ユニット用ブロア７Ａと、上側エアー噴射ユニット３のエアーボックスへエアーを供給するための上ユニット用ブロア７Ｂとが並置されている。これらブロア７Ａ・７Ｂは、本体ハウジング１内に設置されたそれぞれに対応するプレフィルタ８を通じてエアーを吸引するもので、これにより本体ハウジング１内は負圧となる。本体ハウジング１の底板には、それぞれのプレフィルタ８に対向するエアー取り入れ口が形成されている。
【００１５】
本体ハウジング１の外側でその一側には、下ユニット用ブロア７Ａからのエアーを高精度に濾過して下側エアー噴射ユニット２のエアーボックスへエアーホースを通じて供給する下ユニット用ヘパフィルタ９Ａと、同様に上ユニット用ブロア７Ｂからのエアーを高精度に濾過して上側エアー噴射ユニット３のエアーボックスへエアーホース１０を通じて供給する上ユニット用ヘパフィルタ９Ｂとが並設されている。これらヘパフィルタ９Ａ・９Ｂは、本体ハウジング１に対してそれぞれ個別に回動可能に装着され、フィルタエレメントの交換が容易になっている。
【００１６】
下側エアー噴射ユニット２のスピンノズル４と上側エアー噴射ユニット３のスピンノズル４とは、エアーボックスに対する装着の向きが上下逆になっているだけで、個々には実質的に同じ構造であるので、その一個について図４〜図７を参照して説明する。
【００１７】
各スピンノズル４は、パイプノズル１１とこれを旋回自在に軸受けするキャップ状軸受ブロック１２とからなる。図６に示すように、パイプノズル１１は、従来と同様に、その基端部１１ａに対して中間部１１ｂが、軸線と直交するＸ方向へ緩やかに湾曲しているのに対し、先端部１１ｃは、中間部１１ｂに対してＸ方向と直交するＹ方向へ緩やかに湾曲し、先端の噴射口１１ｅが斜めに指向しているため、噴射口１１ｅからのエアーの噴射力によって軸受ブロック１２に対して自動的に旋回する。軸受ブロック１２は雄ねじ付きニップル１２ａを有する。
【００１８】
パイプノズル１１の基端部１１ａの外周には雄ねじ１１ｆが形成され、図７に示すように、この雄ねじ１１ｆに螺合させた２個の第１のナット１３（１個はロック用）と１個の第２のナット１４とで低発塵性ボールベアリング１５を両側から挟持することにより、低発塵性ボールベアリング１５がパイプノズル１１の基端部１１ａに固定されている。そして、図４及び図５に示すように、軸受ブロック１２の内周面に形成された段部１２ｂと該内周面の雌ねじ１２ｃに螺合させた雄ねじナット１６とで低発塵性ボールベアリング１５を挟持することにより、低発塵性ボールベアリング１５は軸受ブロック１２内に固定されている。その固定の安定性を高めるため、低発塵性ボールベアリング１５と雄ねじナット１６との間に皿バネ１７を介在させて雄ねじナット１６で緊締してあり、皿バネ１７は、第２のナット１４の外周に位置して、該ナット１４と軸受ブロック１２の周壁と低発塵性ボールベアリング１５と雄ねじナット１６とで包囲されている。
【００１９】
低発塵性ボールベアリング１５自体は、ボールを介在させた内外の軌道輪の軌道面にフッ素樹脂等による固体潤滑膜を形成することにより、又はボールと共にグリースを封入状態とすることにより、通常のボールベアリングに比べて発塵量が格段に低い構造となっている。低発塵性ボールベアリング１５は、軸受ブロック１２及びパイプノズル１１に対して上記のように固定されているため、雄ねじナット１６を緩めて軸受ブロック１２から外せば、低発塵性ボールベアリング１５をパイプノズル１１と共に軸受ブロック１２から離脱でき、またナット１３及び１４を緩めてパイプノズル１１から外せば、低発塵性ボールベアリング１５をパイプノズル１１から離脱できる。
【００２０】
このように構成された各スピンノズル４は、軸受ブロック１２のニップル１２ａを上下のエアー噴射ユニット２・３のエアーボックスに設けられているねじ孔に螺合させて装着される。上下のエアー噴射ユニット２・３のエアーボックスには、上下それぞれ、プレフィルタ８及びヘパフィルタ９Ａ・９Ｂで濾過したエアーが送入されるため、各スピンノズル４の噴射口１１ｅから旋回して噴射されるエアーはクリーンなエアーであり、しかもスピンノズル４には低発塵性ボールベアリング１５が用いられているため、スピンノズル４からの発塵は極めて少ない。また、本体ハウジング１内は負圧となるため、本体ハウジング１内で発生した塵等が外部へ放出することも防止されるので、電子部品やその関連部品等を洗浄後にクリーンルームで除水するのに好適である。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、スピンノズルを装着したエアーボックスに、ヘパフィルタを介してエアーが送入されるため、各スピンノズルから旋回して噴射されるエアーはクリーンなエアーであり、しかもスピンノズルには低発塵性ボールベアリングが用いられているため、スピンノズルからの発塵は極めて少ない。また、本体ハウジング内は負圧となるため、本体ハウジング内で発生した塵等が外部へ放出することも防止されるので、電子部品やその関連部品等を洗浄後にクリーンルームで除水するのに好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の除水機の側面図である。
【図２】同除水機の正面図である。
【図３】同除水機の平面図である。
【図４】一個のスピンノズルの一部切欠正面図である。
【図５】同上の部分拡大図である。
【図６】スピンノズルの分解図である。
【図７】スピンノズルのパイプノズルに低発塵性ボールベアリングを固定した断面図である。
【符号の説明】
１  本体ハウジング
２  下側エアー噴射ユニット
３  上側エアー噴射ユニット
４  スピンノズル
５  コンベア
６  ウォーターパン
７Ａ・７Ｂ  ブロア
９Ａ・９Ｂ  ヘパフィルタ
１０  エアーホース
１１  パイプノズル
１２  軸受ブロック
１３・１４  ナット
１５  低発塵性ボールベアリング
１６  雄ねじナット
１７  皿バネ
【図１】
0003709865.tif 000002
【図２】
0003709865.tif 000003
【図３】
0003709865.tif 000004
【図４】
0003709865.tif 000005
【図５】
0003709865.tif 000006
【図６】
0003709865.tif 000007
【図７】
0003709865.tif 000008