(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（イ）吐出ポートと受けポートと戻しポートと、これらポートを連ねる連絡通路を有するコネクタを、セルに接続することにより、セルの導入ポートとコネクタの吐出ポートを連通する工程と、
（ロ）上記セルの吸引ポートから排気を行う工程と、
（ハ）上記コネクタの受けポートに接続された液晶供給通路を介し、さらにコネクタの受けポート，連絡通路および吐出ポートを介して、加圧液晶をセル内に供給する工程と、
（ニ）液晶が充填されたセルからコネクタを外した後に、コネクタの戻しポートに一端が接続された液晶戻し通路と、この液晶戻し通路の他端に接続された液晶貯留手段と、この液晶貯留手段に接続された吸引通路を介して、吸引を行うことにより、コネクタ内に残留していた液晶を液晶貯留手段で回収する工程と、
を順に実行することを特徴とする液晶充填回収方法。
【請求項２】
上記液晶回収工程は、新しい空のセルをコネクタに接続した状態で実行することを特徴とする請求項１に記載の液晶充填回収方法。
【請求項３】
上記液晶供給工程は、液晶供給通路に設けた第１弁を開き、液晶戻し通路に設けた第２弁を閉じた状態で実行し、上記液晶回収工程は、第１弁を閉じ、第２弁を開いた状態で実行することを特徴とする請求項２に記載の液晶充填回収方法。
【請求項４】
（イ）セルへの接続状態でセルの導入ポートに連通する吐出ポートと、この吐出ポートに連絡通路を介して連なる受けポートおよび戻しポートとを有するコネクタと、
（ロ）一端が上記コネクタの受けポートに接続された液晶供給通路と、
（ハ）上記液晶供給通路の他端に接続された加圧液晶供給手段と、
（ニ）一端が上記コネクタの戻しポートに接続された液晶戻し通路と、
（ホ）上記液晶戻し通路の他端に接続された液晶貯留手段と、
（ヘ）上記液晶貯留手段に一端が接続された吸引通路と、
（ト）吸引通路の他端に接続された吸引手段と、
（チ）上記液晶供給通路に設けられた第１弁と、
（リ）上記液晶戻し通路に設けられた第２弁と、
を備えたことを特徴とする液晶充填回収システム。
【請求項５】
さらに、弁制御手段を備え、この弁制御手段は、第１弁を開き第２弁を閉じ、この状態で上記加圧液晶供給手段からの加圧液晶を液晶供給通路およびコネクタを介してセルに供給する作業を待ち、この液晶供給終了後に第１弁を閉じ、この状態で上記コネクタを液晶が充填されたセルから取り外し新しい空のセルに接続する作業を待ち、この接続作業の終了後に第２弁を開き、この状態で吸引手段の吸引作用によりコネクタ内の液晶を液晶貯留手段に回収させる作業を待つことを特徴とする請求項４に記載の液晶充填回収システム。
【請求項６】
上記液晶貯留手段は撹拌手段を備えており、この液晶貯留手段は、液晶補充通路を介して上記加圧液晶供給手段に連なっていることを特徴とする請求項４または５に記載の液晶充填回収システム。
【請求項７】
上記液晶貯留手段は、ベローズと、このベローズを伸縮させるための駆動手段を備え、上記撹拌手段は、ベローズ内に収容された撹拌子と、この撹拌子を回転させる回転手段とを備えており、
ベローズの上部空間が、上記液晶戻し通路を介してコネクタに連なり、液晶補充通路を介して加圧液晶供給手段に連なり、吸引通路を介して吸引手段に連なっていることを特徴とする請求項６に記載の液晶充填回収システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶をコネクタを介してセルに充填し、このコネクタに残留した液晶を回収する方法およびシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
セルに液晶を充填するために、セルには、導入ポートと吸引ポートが形成されている。特開平１−３７５２９号公報に開示されている液晶充填システムは、導入ポートと吸引ポートにそれぞれ接続される供給コネクタと吸引コネクタを有している。吸引コネクタは吸引通路を介して真空ポンプに接続される。供給コネクタは、吐出ポートと、この吐出ポートに連絡通路を介して連なる受けポートとを有している。受けポートは液晶供給通路を介して加圧液晶供給手段に接続されている。吐出ポートは、供給コネクタがセルに接続された状態でセルの導入ポートに連通している。上記吸引コネクタと吸引通路を介してセルの内部空間が真空吸引され、供給コネクタと液晶供給通路を介して加圧状態の液晶がセルの内部空間に導入される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
セルの内部空間への液晶の充填が終了した後、セルから吸引コネクタ，供給コネクタが外される。この際、供給コネクタ内には液晶が残留したままであり、この液晶に、吐出ポートから空気が入り込む。そのため、次の新しいセルには空気が混入した液晶が充填される不都合が生じる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、液晶充填回収方法において、（イ）吐出ポートと受けポートと戻しポートと、これらポートを連ねる連絡通路を有するコネクタを、セルに接続することにより、セルの導入ポートとコネクタの吐出ポートを連通する工程と、（ロ）上記セルの吸引ポートから排気を行う工程と、（ハ）上記コネクタの受けポートに接続された液晶供給通路を介し、さらにコネクタの受けポート，連絡通路および吐出ポートを介して、加圧液晶をセル内に供給する工程と、（ニ）液晶が充填されたセルからコネクタを外した後に、コネクタの戻しポートに一端が接続された液晶戻し通路と、この液晶戻し通路の他端に接続された液晶貯留手段と、この液晶貯留手段に接続された吸引通路を介して、吸引を行うことにより、コネクタ内に残留していた液晶を液晶貯留手段で回収する工程と、を順に実行することを特徴とする。
【０００５】
請求項２の発明は、請求項１に記載の液晶充填回収方法において、上記液晶回収工程は、新しい空のセルをコネクタに接続した状態で実行することを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項２に記載の液晶充填回収方法において、上記液晶供給工程は、液晶供給通路に設けた第１弁を開き、液晶戻し通路に設けた第２弁を閉じた状態で実行し、上記液晶回収工程は、第１弁を閉じ、第２弁を開いた状態で実行することを特徴とする。
【０００６】
請求項４の発明は、液晶充填回収システムにおいて、（イ）セルへの接続状態でセルの導入ポートに連通する吐出ポートと、この吐出ポートに連絡通路を介して連なる受けポートおよび戻しポートとを有するコネクタと、（ロ）一端が上記コネクタの受けポートに接続された液晶供給通路と、（ハ）上記液晶供給通路の他端に接続された加圧液晶供給手段と、（ニ）一端が上記コネクタの戻しポートに接続された液晶戻し通路と、（ホ）上記液晶戻し通路の他端に接続された液晶貯留手段と、（ヘ）上記液晶貯留手段に一端が接続された吸引通路と、（ト）吸引通路の他端に接続された吸引手段と、（チ）上記液晶供給通路に設けられた第１弁と、（リ）上記液晶戻し通路に設けられた第２弁と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
請求項５の発明は、請求項４に記載の液晶充填回収システムにおいて、さらに、弁制御手段を備え、この弁制御手段は、第１弁を開き第２弁を閉じ、この状態で上記加圧液晶供給手段からの加圧液晶を液晶供給通路およびコネクタを介してセルに供給する作業を待ち、この液晶供給終了後に第１弁を閉じ、この状態で上記コネクタを液晶が充填されたセルから取り外し新しい空のセルに接続する作業を待ち、この接続作業の終了後に第２弁を開き、この状態で吸引手段の吸引作用によりコネクタ内の液晶を液晶貯留手段に回収させる作業を待つことを特徴とする。
請求項６の発明は、請求項４または５に記載の液晶充填回収システムにおいて、上記液晶貯留手段は撹拌手段を備えており、この液晶貯留手段は、液晶補充通路を介して上記加圧液晶供給手段に連なっていることを特徴とする。
請求項７の発明は、請求項６に記載の液晶充填回収システムにおいて、上記液晶貯留手段は、ベローズと、このベローズを伸縮させるための駆動手段を備え、上記撹拌手段は、ベローズ内に収容された撹拌子と、この撹拌子を回転させる回転手段とを備えており、ベローズの上部空間が、上記液晶戻し通路を介してコネクタに連なり、液晶補充通路を介して加圧液晶供給手段に連なり、吸引通路を介して吸引手段に連なっていることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態をなす液晶充填回収システムを図面に基づき説明する。このシステムを説明する前に、セルについて説明しておく。図１に示すように、このセル１は、透明材料例えばガラスからなる矩形の基板２，３を有している。これら基板２，３の周縁部が接着層４により貼り付けられている。これら基板２，３と接着層４によって、微小厚さ（５μｍ程度）の内部空間５が形成されている。セル１の一方の縁部１ａでは接着層４が途切れており、この部位が導入ポート６となっている。セル１の反対側の縁部１ｂでも接着剤層３が途切れており、この部位が吸引ポート７となっている。
【０００９】
液晶充填回収システムは、図１に示すように、吸引コネクタ１０と、供給コネクタ２０とを備えている。吸引コネクタ１０には吸引通路１５の一端が接続されている。吸引通路１５の中途部には上流側から順に液晶トラップ，フィルタ（いずれも図示せず），真空度調節装置１６等が設けられ、他端には真空ポンプ１７（吸引手段）が接続されている。
【００１０】
上記供給コネクタ２０は、図２に最も良く示すように、本体２１と、この本体２１内に収容されたシール部材２２と、このシール部材２２の収容孔２２ａに圧入されたノズル部材２３と、本体２１の両端部に取り付けられた継手２４，２５と、ノズル部材２３を押圧する押圧部材２６と、押圧部材２６をノズル部材２３に向けて付勢するコイルスプリング２７とを備えている。上記ノズル部材２３には、吐出ポート２３ａが形成されている。一方の継手２４には受けポート２４ａが形成され、他方の継手２５には戻しポート２５ａが形成されている。本体２１には、吐出ポート２３ａを受けポート２５ａ，戻しポート２５ａに連通させるとともに、受けポート２５ａと戻しポート２５ａを互いに連通させるための連絡通路２１ａが形成されている。
【００１１】
上記供給コネクタ２０は、エアシリンダ等によってセル１に向かって移動され、セル１の縁部１ａに接続される。この接続状態で、シール部材２２がセル１の縁部１ａに押し付けられ、ノズル部材２３が導入ポート６を形成した部位に当たり、吐出ポート２３ａが導入ポート６に連通される。
【００１２】
図１に戻って説明すると、上記システムは、さらに、液晶貯留装置３０（液晶貯留手段）と加圧液晶供給装置４０（加圧液晶供給手段）を備えている。この液晶貯留装置３０は、容器３１と、この容器３１の上端開口を塞ぐ蓋３２と、蓋３２に取り付けられ液晶を貯留するベローズ３３と、このベローズ３３を伸縮させるための駆動手段３４と、このベローズ３３内の液晶を撹拌する撹拌手段３５とを備えている。
【００１３】
上記蓋３２は、容器３１に螺合される取付リング３６により、気密をなして着脱可能に容器３１に取り付けられている。蓋３２の中央には継手３７が気密をなして着脱可能に螺合されている。
上記撹拌手段３５は、ベローズ３３に収容された撹拌子３５ａと、容器３１の下方に配置された回転子３５ｂと、この回転子３５ｂを回転させるモータ３５ｃとを備えている。撹拌子３５ａと回転子３５ｂは、それぞれ永久磁石を含む。
上記ベローズ３３のための駆動手段３４は、一端が上記容器３１とベローズ３３との間の空間に接続され他端が加圧エア源５０に連なるエア供給通路５１と、一端が上記容器３１とベローズ３３との間の空間に接続され他端が真空ポンプ１７に接続される吸引通路５２とを備えている。エア供給通路５１および吸引通路５２には、それぞれ電磁開閉弁Ｖ６，Ｖ７が設けられている。
【００１４】
上記ベローズ３３の上部空間は、継手３７，吸引通路５３を介して真空ポンプ１７に接続されている。この吸引通路５３には、上流側から順に液晶トラップ，フィルタ（いずれも図示せず），電磁開閉弁Ｖ１が設けられている。
【００１５】
上記加圧液晶供給装置４０は、互いに連結される一対の型４１，４２と、これら型４１，４２に挟まれたダイヤフラム４３とを備えている。型４１，４２間に形成された内部空間４０ａは、ダイヤフラム４３により第一室４４と第二室４５に仕切られている。
【００１６】
上記加圧液晶供給装置４０の第二室４５は、大気解放通路５４を介して大気に連なり、エア供給通路５５を介して上記加圧エア源５０に接続されている。これら大気解放通路５４，エア供給通路５５には、それぞれ電磁開閉弁Ｖ８，Ｖ９が設けられている。
【００１７】
上記加圧液晶供給装置４０の第一室４４は、液晶供給通路５６を介して上記供給コネクタ２０の受けポート２４ａに連なっている。この液晶供給通路５６には、電磁開閉弁Ｖ４（第１弁）が設けられている。この電磁開閉弁Ｖ４は、供給コネクタ２０の近傍に位置している。さらに、この第一室４４は、液晶補充通路５７および上記継手３７を介して上記ベローズ３３の上部空間に連なっている。この液晶補充通路５７には、電磁開閉弁Ｖ３が設けられている。電磁開閉弁Ｖ３は液晶貯留装置３０の近傍に位置している。
【００１８】
上記供給コネクタ２０の戻しポート２５ａとベローズ３３の上部空間とは、液晶戻し通路５８と継手３７を介して連なっている。この液晶戻し通路５８には電磁開閉弁Ｖ２，Ｖ５が設けられている。電磁開閉弁Ｖ２は液晶貯留装置３０の近傍に位置し、電磁開閉弁Ｖ５（第２弁）は供給コネクタ２０の近傍に位置している。
【００１９】
なお、上述したすべての通路１５，５１〜５８は、チューブや管等で構成されている。
さらに、上記システムは、マイクロコンピュータを含む制御装置６０（制御手段）を備えている。この制御装置６０は、上記操作ボタンやタイマ等に応答して、コネクタ１０，２０のためのエアシリンダ，真空度調節装置１６，ポンプ１７，モータ３５ｃ，電磁開閉弁Ｖ１〜Ｖ９やその他の構成要素を制御する。
【００２０】
上記構成のシステムにおいて、まず、液晶貯留装置３０の作用について説明する。液晶貯留装置３０では、液晶の撹拌，脱泡と加圧液晶供給装置４０への液晶の補充が交互に行われる。まず、撹拌，脱泡作用について説明する。電磁開閉弁Ｖ６を閉じ、電磁開閉弁Ｖ７を開いた状態で容器３１とベローズ３３との間の空間を真空吸引し、ベローズ３３を伸ばし状態にする。この状態で、電磁開閉弁Ｖ１を開いてベローズ３３の内部空間を真空吸引しながら、モータ３５ｃを駆動する。モータ３５ｃの駆動により、回転子３５ｂが回転し、これに追随して撹拌子３５ａが回転する。この撹拌子３４の回転により、液晶が撹拌され、液晶内の空気が抜ける。この抜けた空気が吸引通路５３から吸引される。
【００２１】
液晶貯留装置３０から加圧液晶供給装置４０への液晶補充は次のようにして行われる。電磁開閉弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ４を閉じるとともに、電磁開閉弁Ｖ３を開くことにより、液晶補充通路５７を流通可能な状態にし、他の通路５３，５６，５８を流通遮断状態にする。この状態で、電磁開閉弁Ｖ７を閉じ、電磁開閉弁Ｖ６を開く。すると、容器３１とベローズ３３との間の空間に、加圧エア源５０からの加圧エアがエア供給通路５１を介して供給され、これにより、ベローズ３３が縮み、ベローズ３３内の液晶が加圧液晶供給装置４０の第一室４４に供給される。
【００２２】
上記加圧液晶供給装置４０では、上記液晶貯留装置３０からの液晶の補充と、供給コネクタ２０を介してのセル１への加圧液晶供給とが交互に行われる。上記液晶貯留装置３０からの液晶補充の際には、電磁開閉弁Ｖ９が閉じ電磁開閉弁Ｖ８が開いていて、第二室４５が大気に解放された状態にあり、第一室４４への液晶供給は、ダイヤフラム４３が下側の型４２の内面に接し、第二室４５が容積ゼロ，第一室４４が最大限の容積になるまで行われる。
【００２３】
上記セル１への加圧液晶供給の際には、電磁開閉弁Ｖ３，Ｖ５を閉じ、電磁開閉弁Ｖ４を開くことにより、液晶補充通路５７，液晶戻し通路５８を流通遮断状態にし液晶供給通路５６を流通可能な状態にする。この状態で、電磁開閉弁Ｖ８を閉じ、電磁開閉弁Ｖ９を開くことにより、第二室４５に加圧エアを導入し、ダイヤフラム４３を介して液晶を加圧する。その結果、加圧液晶を、供給コネクタ２０の受けポート２４ａ，連絡通路２１ａ，吐出ポート２３ａ，セル１の導入ポート６を介して、セル１の内部空間５へ供給することができる。
【００２４】
次に本発明の重要な作用について説明しておく。上記セル１への液晶充填が終了した時点では、図４に示すように、液晶（図中符号ＬＣで示す）は、液晶供給通路５６および供給コネクタ２０の内部，電磁開閉弁Ｖ５より上流側の液晶戻し通路５８に残留している。液晶が充填されたセル１からコネクタ１０，２０を外した時、空気が吐出ポート２３ａを介して残留液晶に侵入する。そこで、新しい空のセル１にコネクタ１０，２０を接続した後、この残留液晶を回収する。
【００２５】
詳述すると、電磁開閉弁Ｖ３，Ｖ４を閉じ、電磁開閉弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ５を開くことにより、液晶供給通路５６，液晶補充通路５７を流通遮断状態にし、液晶戻し通路５８，吸引通路５３を流通可能状態にする。その結果、真空ポンプ１７による吸引作用が、吸引通路５３，ベローズ３３の上部空間，液晶戻し通路５８を介して供給コネクタ２０に及び、これにより、図５に示すように、供給コネクタ２０内に残留している液晶がベローズ３３へ戻される。この際、供給コネクタ２０の吐出ポート２３ａが新しいセル１に対峙しているので、吐出ポート２３ａでの吸引が過剰にならず、吸引作用が受けポート２４ａにまで確実に及び、供給コネクタ２０内部のすべての液晶を確実にベローズ３３へ戻すことができる。
【００２６】
さらに、上記吸引作用により、電磁開閉弁Ｖ４と供給コネクタ２０との間の液晶供給通路５６に残留していた液晶，供給コネクタ２０と電磁開閉弁Ｖ５との間の液晶戻し通路５８に残留していた液晶も、ベローズ３３に戻される。
上記のように、空気が侵入した液晶を回収するので、この液晶が次の新しいセル１に充填されるのを防止することができる。ベローズ３３に戻された液晶は上述したようにして脱泡された後で、加圧液晶供給装置４０に送られ、再使用される。
なお、上記液晶回収の際に、ベローズ３３の伸び状態を維持するため、電磁開閉弁Ｖ６が閉じられ、電磁開閉弁Ｖ７が開かれている。
【００２７】
次に、制御装置６０に基づくシステムの詳細な制御について図３のタイムチャートを参照しながら説明する。ここで、初期状態すなわちソレノイドオフの状態では、電磁弁Ｖ１，Ｖ６，Ｖ７，Ｖ９が閉じ、電磁弁Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ８が開きの状態になっている。図３のタイムチャートでは、電磁弁が開き状態を斜線で示している。
【００２８】
予め、液晶貯留装置３０の継手３７を蓋３２から外した状態で、液晶ＬＣをベローズ３３に供給する。この後、継手３７を蓋３２に取り付けてベローズ３３内を気密にする。
次に、操作ボタンのオン操作により、制御装置６０がシステムの制御を開始する。すなわち、真空ポンプ１７の駆動を開始するとともに、準備工程▲１▼を実行する。この真空ポンプ１７は、これ以後、駆動を継続される。準備工程▲１▼は、液晶を撹拌，脱泡するための工程であり、まず、電磁開閉弁Ｖ２，Ｖ３を閉じる。次に、モータ３５ｃの駆動によりベローズ３３内の液晶の撹拌を開始する。この撹拌開始とほぼ同時期に、電磁開閉弁Ｖ１，Ｖ７が開かれる。なお、ベローズ３３の縮みを防止するため、電磁開閉弁Ｖ７が電磁開閉弁Ｖ１より早く開かれる。この準備工程▲１▼は、設定時間例えば１時間以上続けられる。
【００２９】
上記設定時間が経過した時点で、モータ３５ｃを停止し、撹拌，脱泡のための準備工程▲１▼を終了する。次に、通路排気工程▲２▼を実行する。すなわち、電磁開閉弁Ｖ１，Ｖ７，Ｖ８を開き状態に維持し、Ｖ２，Ｖ６，Ｖ９を閉じ状態に維持したまま、電磁開閉弁Ｖ４を閉じ、それから短時間経過後に電磁開閉弁Ｖ３を開く。これにより、電磁開閉弁Ｖ４より上流側の液晶供給通路５６，液晶補充通路５７，加圧液晶供給装置４０の第一室４４がベローズ３３の上部空間，吸引通路５３を介して真空吸引される。この時、加圧液晶供給装置４０の第二室４５が大気解放されているので、ダイヤフラム４３は上側の型４１の内面に張り付く。設定時間経過後に、電磁開閉弁Ｖ１，Ｖ７を閉じて通路排気工程▲２▼を終了する。
【００３０】
上記通路排気工程▲２▼に続いて、最初の液晶補充工程▲３▼を実行する。すなわち、、電磁開閉弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ４，Ｖ７，Ｖ９の閉じ状態、電磁開閉弁Ｖ３，Ｖ５，Ｖ８の開き状態を維持したまま、電磁開閉弁Ｖ６を開く。これにより、ベローズ３３を縮め、このベローズ３３内の液晶を加圧液晶供給装置４０の第一室４４へ供給する。所定時間経過後に、電磁開閉弁Ｖ３を閉じ、それから短時間経過後に電磁開閉弁Ｖ６を閉じることにより、この液晶補充工程▲３▼を終了する。
【００３１】
上記液晶補充工程▲３▼に続いて、最初のセル１およびコネクタ１０，２０のセット工程▲４▼を実行する。すなわち、セル１を所定位置にセットするとともに、このセット１にコネクタ１０，２０を接続する。このセット工程▲４▼では、電磁開閉弁Ｖ１，Ｖ７を上記と同様の順序で開くとともに、モータ３５ｃの駆動により、液晶撹拌と脱泡を再開する。この液晶撹拌，脱泡は後述の終了タイミングまで続けられる。
【００３２】
上記セット工程▲４▼に続いて、通路，セル排気工程▲５▼を実行する。すなわち、真空度調節装置１６を全開にし、吸引コネクタ１０，吸引通路１５を介しての、セル１の内部空間５の真空吸引を開始する。これとほぼ同時期に、電磁開閉弁Ｖ３，Ｖ４，Ｖ９の閉じ状態および電磁開閉弁Ｖ１，Ｖ５，Ｖ８の開き状態を維持したまま、電磁開閉弁Ｖ２を開く。これにより、電磁開閉弁Ｖ３より上流側の液晶補充通路５７，電磁開閉弁Ｖ４より下流側の液晶供給通路５６，供給コネクタ２０の内部，液晶戻し通路５８が、ベローズ３３の上部空間，吸引通路５３を介して真空吸引される。
【００３３】
上記セル１の内部空間５が所定の真空度（例えば１Ｔｏｒｒ）に達するに十分な設定時間が経過した時点、または、吸引通路１５に設けた圧力計によりセル１の内部空間５が所定の真空度に達したことを検出した時点で、電磁開閉弁Ｖ５，Ｖ８を閉じて、セル排気工程▲５▼を終了し、液晶供給工程▲６▼に移行する。すなわち、短時間経過後に電磁開閉弁Ｖ３，Ｖ５の閉じ状態を維持したまま、電磁開閉弁Ｖ４を開き、さらに短時間経過後に電磁開閉弁Ｖ９を開く。これにより、加圧液晶供給装置４０からの加圧液晶が、真空状態の液晶供給通路５６および供給コネクタ２０の内部に達し，液晶戻し通路５８を通って電磁開閉弁Ｖ５に至る。さらに、この加圧液晶は、供給コネクタ２０の吐出ポート２３ａ，セル１の導入ポート６を介して、セル１の内部空間５に浸透し始める。なお、この液晶供給工程▲６▼において、吸引コネクタ１０を介しての真空吸引は継続されている。
【００３４】
液晶供給工程▲６▼を開始してから上記セル１の内部空間５の全域に液晶が浸透するのに十分な設定時間経過時点、または、セル１の吸引ポート７近傍に設けた液晶検出センサで、液晶を検出して所定時間経過した時点で、電磁開閉弁Ｖ４を閉じ、それから短時間経過後に電磁開閉弁Ｖ９を閉じることにより、液晶供給工程▲６▼を終了する。なお、この液晶供給工程▲６▼の終了時点で、電磁開閉弁Ｖ２を閉じ、後述する２回目の液晶補充工程▲９▼に備える。
【００３５】
上記液晶供給工程▲２▼に続いて真空度調節工程▲７▼を実行する。すなわち、真空度調節装置１６を制御して、この真空度調節装置１６により吸引コネクタ１０の圧力を時間をかけて（例えば１０数分かけて）大気圧に戻す。詳述すると、液晶供給工程▲６▼終了直後に、吸引コネクタ１０の負圧の程度を一気に１Ｔｏｒｒからー７５０ｍｍＨｇまで緩和する。以後、−７５０ｍｍＨｇから徐々に大気圧まで戻す。
【００３６】
上記真空度調節工程▲７▼に続いて、後処理工程▲８▼を実行する。すなわち、コネクタ１０，２０を液晶が充填されたセル１から後退させて導入ポート６，吸引ポート７から取り外し、それからセル１を所定位置から取り外す。セル１の取り外し前または取り外し後に、セル１の導入ポート６と吸引ポート７は速やかに接着剤で封止し、紫外線で硬化させる。この後処理工程▲８▼の終了間際に、電磁開閉弁Ｖ１，Ｖ７を閉じるとともに、モータ３５ｃの駆動を停止して、液晶の撹拌，脱泡を中断する。この時、すべての電磁開閉弁Ｖ１〜Ｖ９は閉じ状態になる。
【００３７】
上記後処理工程▲８▼に続いて、２回目の液晶補充工程▲９▼を実行する。すなわち、、電磁開閉弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ７，Ｖ９の閉じ状態を維持したまま、電磁開閉弁Ｖ８を開き、さらに短時間経過後に電磁開閉弁Ｖ３を開き、さらに短時間経過後に電磁開閉弁Ｖ６を開く。これにより、ベローズ３３を縮め、このベローズ３３内の液晶を加圧液晶供給装置４０の第一室４４へ補充する。所定時間経過後に、電磁開閉弁Ｖ３を閉じ、それから短時間経過後に電磁開閉弁Ｖ６を閉じることにより、２回目の液晶補充工程▲３▼を終了する。
【００３８】
上記液晶補充工程▲９▼に続いて、２枚目のセル１およびコネクタ１０，２０のためのセット工程10を実行する。すなわち、２枚目のセル１を所定位置にセットするとともに、このセット１にコネクタ１０，２０を接続する。このセット工程10では、電磁開閉弁Ｖ１，Ｖ７を上記と同様の順序で開くとともに、モータ３５ｃの駆動により、液晶撹拌と脱泡を開始する。また、電磁開閉弁Ｖ８を閉じて、後述の液晶供給工程に備える。
【００３９】
上記セット工程10に続いて、液晶回収工程11を実行する。すなわち、電磁開閉弁Ｖ３，Ｖ４，Ｖ６，Ｖ８，Ｖ９の閉じ状態，および電磁開閉弁Ｖ１，Ｖ７の開き状態を維持したまま、電磁開閉弁Ｖ２，Ｖ５を開く。これにより、図４に示すように、電磁開閉弁Ｖ４の下流側の液晶供給通路５６，供給コネクタ２０の内部，電磁開閉弁Ｖ５より上流側の液晶戻し通路５８に残留していた液晶が、図５に示すように、ベローズ３３に回収される。なお、電磁開閉弁Ｖ３，Ｖ４が閉じられているので、加圧液晶供給装置４０に蓄えられている液晶は、ベローズ３３へ戻されることなく、そのまま維持される。液晶の回収の後、電磁開閉弁Ｖ４の下流側の液晶供給通路５６，供給コネクタ２０の内部，液晶戻し通路５８の排気がなされる。
【００４０】
上記液晶回収工程11に続いてセル排気工程12を実行する。すなわち、真空度調節装置１６を全開にし、吸引コネクタ１０，吸引通路１５を介しての、セル１の内部空間５の真空吸引を開始する。このセル排気工程12では、電磁開閉弁Ｖ４の下流側の液晶供給通路５６，供給コネクタ２０の内部，液晶戻し通路５８の排気が、継続される。
【００４１】
セル排気工程12に続いて２枚目のセル１への液晶供給工程が実行される。この工程は、前述した液晶供給工程▲６▼と同じであるので同工程番号▲６▼を付してその詳細な説明を省略する。以後工程▲６▼〜12を繰り返し実行し、次々とセル１への液晶充填を行う。
【００４２】
本発明は、上記実施形態に制約されず、種々の態様が可能である。例えば、液晶貯留装置３０は、加圧液晶供給手段を兼ねてもよい。この場合、ベローズ３３の上部空間は、液晶供給通路を介して供給コネクタ２０の受けポート２４ａに直接接続される。そして、ベローズ３３の縮み動作により加圧液晶をセル１に供給する。
セル１は真空槽内にセットしてもよい。この場合、吸引コネクタは不要となる。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、コネクタ内部に残留していた液晶を回収することにより、次の新しいセルに対して大気が混入した液晶を充填する不都合を解消できる。
請求項２の発明によれば、コネクタを新しいセルに接続した状態で液晶の回収を行うので、コネクタの連絡通路，受けポートに残留していた液晶をも確実に回収できる。
請求項３の発明によれば、液晶をセルに供給する工程では、液晶戻し通路が閉じられているので、加圧液晶を確実にセルへ供給できる。液晶を回収する工程では、液晶供給通路が閉じられているので、加圧液晶供給手段の液晶の回収を防止することができる。
請求項４の発明によれば、コネクタに戻しポートが設けられ、この戻しポートが液晶戻し通路を介して液晶貯留手段に連なっているので、液晶回収を行うことができ、上述した請求項１の効果を得ることができる。
請求項５の発明によれば、弁制御手段で弁を制御することにより、請求項３の効果を得ることができる。
請求項６の発明によれば、回収された液晶を脱泡して再使用することができ、液晶循環サイクルを構成することができる。
請求項７の発明によれば、ベローズを用いたことにより加圧液晶供給装置への液晶の補充を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態をなす液晶充填回収システムを示す概略図である。
【図２】供給コネクタの断面図である。
【図３】液晶充填回収システムの制御を示すタイムチャートである。
【図４】液晶充填終了後の液晶の残留状態を示す概略図である。
【図５】液晶回収工程が終了した時点での液晶の残留状態を示す概略図である。
【符号の説明】
１  セル
５  内部空間
６  導入ポート
１７  真空ポンプ（吸引手段）
２０  供給コネクタ
２１ａ  連絡通路
２３ａ  吐出ポート
２４ａ  受けポート
２５ａ  戻しポート
３０  液晶貯留装置（液晶貯留手段）
３３  ベローズ
３４  駆動手段
３５  撹拌手段
４０  加圧液晶供給装置（加圧液晶供給手段）
５３  吸引通路
５６  液晶供給通路
５７  液晶補充通路
５８  液晶戻し通路
６０  制御装置（制御手段，弁制御手段）
Ｖ４  電磁開閉弁（第１弁）
Ｖ５  電磁開閉弁（第２弁）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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