(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向して配置された受熱壁と放熱壁とを有し、この受熱壁及び放熱壁とともに閉空間を形成してその閉空間に冷媒が封入された沸騰冷却容器を備え、
前記受熱壁の表面に固定された発熱体の熱を前記受熱壁から冷媒を媒体として前記放熱壁へ伝達して外部へ放出する沸騰冷却装置であって、
前記沸騰冷却容器は、伝熱性を有する伝熱部材が前記閉空間で前記受熱壁と前記放熱壁とに接触して設けられると共に、容器内部に冷媒を注入するための注入パイプが接続される注入口を有し、前記注入口が設けられた壁面の一部を内側へ窪ませていることを特徴とする沸騰冷却装置。
【請求項２】
前記沸騰冷却容器は、前記受熱壁が前記放熱壁より天地方向の上方側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載した沸騰冷却装置。
【請求項３】
前記伝熱部材は、柱状の部材から成ることを特徴とする請求項１または２に記載した沸騰冷却装置。
【請求項４】
前記伝熱部材は、前記受熱壁側より前記放熱壁側の方が太くなっていることを特徴とする請求項１〜３に記載した何れかの沸騰冷却装置。
【請求項５】
前記伝熱部材は、複数本設けられ、前記受熱壁及び前記放熱壁の平面内で前記発熱体の取付け部位に対応する領域に密に配置されていることを特徴とする請求項１〜４に記載した何れかの沸騰冷却装置。
【請求項６】
前記放熱壁の内壁面が凹形状に設けられていることを特徴とする請求項１〜５に記載した何れかの沸騰冷却装置。
【請求項７】
前記閉空間にて冷媒が凝縮する凝縮領域に冷媒より比重の重い可動体が収容され、この可動体が前記沸騰冷却容器の姿勢変化に応じて前記凝縮領域を移動できることを特徴とする請求項１〜６に記載した何れかの沸騰冷却装置。
【請求項８】
前記放熱壁に伝達された熱を放出する放熱フィンを備え、この放熱フィンが前記放熱壁と同一部材で構成されていることを特徴とする請求項１〜７に記載した何れかの沸騰冷却装置。
【請求項９】
前記放熱壁に伝達された熱を放出する放熱フィンを備え、この放熱フィンが前記放熱壁と金属結合されていることを特徴とする請求項１〜７に記載した何れかの沸騰冷却装置。
【請求項１０】
前記放熱フィンは、中空形状に形成されて、その中空部と前記沸騰冷却容器の冷媒が封入された空間とが連通して設けられ、且つ前記中空部の体積が冷媒の液体体積より小さいことを特徴とする請求項８または９に記載した沸騰冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体素子等の発熱体を冷却する沸騰冷却装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、冷媒の沸騰蒸発と凝縮液化の繰り返しによる熱伝達を利用して発熱体を冷却する沸騰冷却装置が知られている。
この沸騰冷却装置は、冷媒を収容する冷媒槽と、この冷媒槽の上部に設けられた放熱器とを備え、冷媒槽で発熱体の熱を吸収して沸騰した冷媒が冷媒槽から放熱器へ移動し、その放熱器で冷やされて凝縮液化した後、再び冷媒槽へ戻る様に構成されている。発熱体から発生した熱は、冷媒が放熱器で凝縮する際に凝縮潜熱として外部に放出される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
近年、携帯端末等の需要により、あらゆる姿勢での使用に対応できる沸騰冷却装置が要求されているが、従来の沸騰冷却装置では、冷媒を如何に冷媒槽へ供給するかが問題となっている。例えば、沸騰冷却装置を天地方向に逆転した状態で使用する場合（冷媒槽が上で放熱器が下）、冷媒が放熱器内に溜まって冷媒槽へ供給できなくなるため、事実上、冷却装置として使用できない。
本発明は、上記事情に基づいて成されたもので、その目的は、あらゆる姿勢での使用に対応できる沸騰冷却装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
請求項１の手段によれば、伝熱性を有する伝熱部材が沸騰冷却容器内の閉空間で受熱壁と放熱壁とに接触して設けられている。これにより、受熱壁が放熱壁より下方に位置する使用状態では、閉空間に封入されている冷媒が受熱壁の内壁面に接触しているため、発熱体の熱は、冷媒の沸騰と凝縮の繰り返しによって受熱壁から放熱壁へ伝達されるとともに、伝熱部材を通じても放熱壁へ伝達されて、放熱壁より外部へ放出される。
また、注入口が設けられた壁面の一部を内側へ窪ませたことにより、注入口に接続される注入パイプが容器壁面より外側へ飛び出るのを無くすことができる。
【０００５】
請求項２の手段によれば、受熱壁が放熱壁より天地方向の上方側に配置されている。この場合、閉空間の冷媒が受熱壁の内壁面に接触していないため、発熱体の熱は受熱壁から伝熱部材に伝わり、この伝熱部材を通じて放熱壁へ伝達されるとともに、伝熱部材から冷媒へ伝達され、冷媒の沸騰と凝縮の繰り返しによって放熱壁へ伝熱される。これにより、受熱壁が放熱壁より天地方向の上方側に配置されている場合でも冷媒の沸騰と凝縮の繰り返しによる熱伝達が可能となり、発熱体の冷却装置として用いることができる。
【０００６】
請求項３の手段によれば、伝熱部材が柱状の部材で構成されている。これにより、請求項１と同様の効果が得られる。
【０００７】
請求項４の手段によれば、伝熱部材は、受熱壁側より放熱壁側の方が太くなっている。この場合、受熱壁が放熱壁の上方側に配置される使用状態の時は、受熱壁が放熱壁の下方側に配置される使用状態の時より、閉空間に封入されている冷媒の液面が高くなる。これにより、発熱体の熱が受熱壁から伝熱部材を通じて冷媒へ伝わる伝熱経路が短くなり、その分、熱抵抗を小さくできるため、冷媒液面が低く伝熱経路が大きい場合より放熱性能が向上する。なお、受熱壁側より放熱壁側の方が太くなっている伝熱部材の形状としては、例えば円錐形状、あるいは受熱壁側から放熱壁側へ向かって段階的に太くなる段付き形状等が考えられる。
【０００８】
請求項５の手段によれば、伝熱部材は、複数本設けられて、受熱壁及び放熱壁の平面内で発熱体の取付け部位に密に配置されている。
受熱壁の発熱体が取付けられている部分は、熱流束が高い（単位断面積当たりの移動熱量が大きい）ため、受熱壁が放熱壁の上方側に配置される使用状態において受熱壁からより速く冷媒へ伝熱するためには、伝熱部材の放熱面積（伝熱面積）を大きく取った方が良い。そこで、発熱体の取付け部位に伝熱部材を密に配置して放熱面積を大きくすることで放熱性を向上できる。
【０００９】
請求項６の手段によれば、放熱壁の内壁面が凹形状に設けられている。この場合、受熱壁が放熱壁の上方側に配置される使用状態の時は、受熱壁が放熱壁の下方側に配置される使用状態の時より、閉空間に封入されている冷媒の液面が高くなる。これにより、発熱体の熱が受熱壁から伝熱部材を通じて冷媒へ伝わる伝熱経路が短くなり、その分、熱抵抗を小さくできるため、冷媒液面が低く伝熱経路が大きい場合より放熱性能が向上する。
【００１０】
請求項７の手段によれば、閉空間の凝縮領域に冷媒より比重の重い可動体が収容され、この可動体が沸騰冷却容器の姿勢変化に応じて凝縮領域を移動できる。なお、凝縮領域とは、発熱体の熱を受けて沸騰した冷媒が凝縮潜熱を放出して凝縮できる領域である。これにより、閉空間の凝縮領域に可動体が収容されていない場合と比較して、凝縮領域での液冷媒の淀み（凝縮領域と沸騰領域とを循環しないで淀んでいる液冷媒）を少なくできることにより放熱性能を向上できる。
【００１１】
請求項８の手段によれば、放熱フィンが放熱壁と同一部材で構成されている。この場合、放熱フィンを放熱壁と別体で形成して放熱壁に接触して取り付けた場合と比較して、両者（放熱フィンと放熱壁）間の接触熱抵抗が無くなるため、放熱性能が向上する。また、放熱フィンを放熱壁に取り付ける手間を省くこともできる。
【００１２】
請求項９の手段によれば、放熱フィンが放熱壁と金属結合（例えば、ろう付け、溶接等）されている。この場合、両者を同一部材で構成した場合と同様に、両者間の接触熱抵抗が無くなるため、放熱性能が向上する。
【００１３】
請求項１０の手段によれば、放熱フィンが中空形状に形成され、その中空部と冷媒が封入された閉空間とが連通して設けられている。これにより、受熱壁を放熱壁より天地方向の下方側に配置した状態で沸騰冷却器を使用した時、沸騰気化した冷媒が放熱フィンの中空部へ入り込み、中空部の末端部近くで凝縮できるため、放熱性能が向上する。
また、放熱フィンは、中空部の体積が冷媒の液体体積より小さくなる様に形成されているため、放熱壁を受熱壁より天地方向の下方側に配置した状態で沸騰冷却器を使用した場合でも、冷媒の液面が放熱壁より上方に位置するため、発熱体の熱を受熱壁から柱部材を経由して冷媒へ伝達することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の沸騰冷却装置を図面に基づいて説明する。
（第１実施例）
図１は沸騰冷却装置の断面図である。
本実施例の沸騰冷却装置１は、携帯端末に使用される半導体素子等を具備した発熱体２を冷却するもので、沸騰冷却容器３（下述する）と放熱フィン４から成る。
沸騰冷却容器３は、一定の間隔を保って対向する受熱壁５と放熱壁６、この両者間の外周を囲む周側壁７、受熱壁５と放熱壁６との間に設けられた複数の柱部材８（本発明の伝熱部材）より成り、受熱壁５、放熱壁６、及び周側壁７によって密閉された空間を形成して、その閉空間に所定量の冷媒Ｒが封入されている。
【００１６】
この沸騰冷却容器３は、例えばアルミニウム等の熱伝導性に優れる金属材料から成り、横寸法及び縦寸法に対して高さ寸法（図１の上下方向の寸法）が小さい偏平な箱型（例えば縦：６０〜７０mm、横：６０〜７０mm、高さ：５〜１０mm）に設けられている。なお、放熱壁６、周側壁７、及び柱部材８は一体に成形され、受熱壁５とろう付けにより気密に組合わされている。容器３の材料としては、アルミニウム以外に銅、ステンレス等を使用しても良い。
本実施例の特徴である柱部材８は、周側壁７と同じ高さで複数個設けられ、放熱壁６の平面上で相互に略等間隔に配置されている（図２参照）。
【００１７】
冷媒Ｒは、容器３内に形成される閉空間の半分強程度（閉空間の容積の約６〜７割）の量が注入パイプ９を通じて注入されている（図１参照）。注入パイプ９は、図３に示す様に、周側壁７の一部に設けられた注入口１０に接続され、冷媒Ｒを注入した後、先端を封じ切って密閉される。なお、容器３の形状は、注入パイプ９の飛び出しを無くすために、図４に示す様に、注入口１０が設けられた周側壁７の一部を内側へ窪ませた形状としても良い。
発熱体２は、受熱壁５の表面略中央部に配されて、図示しないボルト等の締め付けによって受熱壁５の表面に密着した状態で固定されている。
放熱フィン４は、熱伝導性に優れるアルミニウム又は銅等で形成され、放熱壁６の表面全体に渡って配され、図示しないボルト等の締め付けにより放熱壁６の表面に密着した状態で固定されている。
【００１８】
次に、本実施例の作動を説明する。
ａ）沸騰冷却装置１を図５に示す姿勢（受熱壁５が放熱壁６の下方側に位置する）で使用する場合。
発熱体２から発生した熱は、受熱壁５を通じて容器３内に封入された冷媒Ｒに伝達されて冷媒Ｒを沸騰させる。但し、発熱体２から受熱壁５へ伝わる熱は、発熱体２の取付け部位から遠くなる程少なくなるため、容器３内の冷媒Ｒは、主に発熱体２の取付け部位に対応する領域（沸騰領域）で沸騰する。沸騰領域で沸騰した蒸気冷媒Ｒは、閉空間を水平方向（図５の左右方向）に拡がり、閉空間の沸騰領域から外れた領域（凝縮領域）で容器内壁面（放熱壁６、周側壁７、柱部材８の各壁面）に凝縮して液化する。液化した冷媒Ｒは、凝縮領域から再び沸騰領域へ供給されて、上記サイクル（沸騰−凝縮−液化）を繰り返す。発熱体２から冷媒Ｒに伝達された熱は、蒸気冷媒Ｒが容器内壁面に凝縮する際に凝縮潜熱として放出され、その凝縮潜熱が放熱壁６全体に伝わり、放熱壁６から放熱フィン４を通じて大気に放出される。
この場合、柱部材８は、沸騰領域では放熱面積を増大し、凝縮領域では凝縮面積を増大させることができるため、その放熱面積及び凝縮面積の増大した分、放熱性能を向上させることができる。
【００１９】
ｂ）沸騰冷却装置１を図１に示す姿勢（受熱壁５が放熱壁６の上方側に位置する）で使用する場合。
発熱体２から発生した熱は、受熱壁５から柱部材８に伝達され、その柱部材８を通じて放熱壁６に伝達されるとともに、柱部材８に接触する冷媒Ｒに伝達されて冷媒Ｒを沸騰させる。但し、発熱体２の取付け部位から遠くなる程、柱部材８の温度も低下するため、容器３内の冷媒Ｒは、発熱体２の取付け部位に配置された柱部材８に接触する領域（沸騰領域）で主に沸騰する。沸騰した蒸気冷媒Ｒは、閉空間を水平方向（図１の左右方向）に拡がり、閉空間の沸騰領域から外れた領域（凝縮領域）で容器内壁面（受熱壁５、周側壁７、柱部材８の各壁面）に凝縮して液化する。液化した冷媒Ｒは、凝縮領域から再び沸騰領域へ供給されて、上記サイクル（沸騰−凝縮−液化）を繰り返す。発熱体２から冷媒Ｒに伝達された熱は、蒸気冷媒Ｒが容器内壁面に凝縮する際に凝縮潜熱として放出され、その凝縮潜熱が放熱壁６全体に伝わり、放熱壁６から放熱フィン４を通じて大気に放出される。一方、柱部材８を通じて放熱壁６に伝達された熱も、放熱壁６から放熱フィン４を通じて大気に放出される。
【００２０】
（本実施例の効果）
本実施例によれば、受熱壁５が放熱壁６の上方側に位置する使用状態の時でも、発熱体２から発生した熱を柱部材８を通じて冷媒Ｒに伝達できるため、冷媒Ｒの沸騰／凝縮の繰り返しによる熱伝達によって発熱体２を冷却することができる。また、柱部材８によって直接受熱壁５から放熱壁６へ熱伝達できるため、高い放熱性能を得ることができる。
なお、本実施例では、複数の柱部材８を放熱壁６の平面上で略等間隔に配置したが、図６に示す様に、ランダムに配置しても良い。
【００２１】
（第２実施例）
図７は沸騰冷却装置１の断面図である。
本実施例は、柱部材８の断面積を高さ方向（図７の上下方向）で変化させた一例を示すものである。
柱部材８は、図７に示す様に、受熱壁５側から放熱壁６側へ向かって断面積が次第に大きくなる略円錐形状に設けられている。
この場合、容器３内の閉空間は、容器３の高さ方向において放熱壁６側より受熱壁５側の方が広くなる。このため、受熱壁５が放熱壁６の上方側に位置する使用状態の時には、図７に示す様に、冷媒Ｒの液面が高くなって受熱壁５に近づけることができる。このため、受熱壁５から柱部材８を通じて冷媒Ｒへ伝熱される伝熱経路を小さく（短く）できることから、熱抵抗が小さくなって放熱性能を向上できる。
また、受熱壁５が放熱壁６の下方側に位置する使用状態の時には、図８に示す様に、冷媒Ｒの液面が低くなって容器３内の凝縮空間を大きく確保できるため、放熱性を向上する上で効果がある。
【００２２】
（第３実施例）
図９は沸騰冷却装置１の断面図である。
本実施例は、柱部材８を閉空間の沸騰領域（発熱体２の取付け部位に対応する領域）に密に配置した一例を示すものである。
受熱壁５の発熱体２が取付けられている部分は、熱流束が高い（単位断面積当たりの移動熱量が大きい）ため、受熱壁５が放熱壁６の上方側に配置される使用状態において受熱壁５から冷媒Ｒへより速く熱を伝えるためには、柱部材８の放熱面積（伝熱面積）を大きく取れば良い。そこで、図９及び図１０（図９のＢ−Ｂ線に沿う断面図）に示す様に、閉空間の沸騰領域に柱部材８を密に配置して放熱面積を大きくすることで放熱性を向上できる。
【００２３】
（第４実施例）
図１１は沸騰冷却装置１の断面図である。
本実施例は、放熱壁６の内壁面（受熱壁５と対向する面）を凹形状（緩やかに湾曲した形状）とした一例を示すものである。
本実施例の場合、容器３内の閉空間は、容器３の高さ方向（図１１の上下方向）において放熱壁６側より受熱壁５側の方が広くなる。このため、受熱壁５が放熱壁６の上方側に配置される使用状態の時（図１１に示す状態）は、受熱壁５が放熱壁６の下方側に配置される使用状態の時より、閉空間に封入されている冷媒Ｒの液面が高くなる。その結果、発熱体２の熱が受熱壁５から伝熱部材を通じて冷媒Ｒへ伝わる伝熱経路が短くなり、熱抵抗が小さくなって放熱性能が向上する。
【００２４】
（第５実施例）
図１２は沸騰冷却装置１の断面図である。
本実施例は、容器３内の凝縮領域に可動体１１を収容した一例を示すものである。
可動体１１は、図１４（図１２のＣ−Ｃ線に沿う断面図）に示す様に略口字形に設けられて、容器３内の沸騰領域に配置された柱部材８Ａの周囲に配されている。この可動体１１は、容器３に対して固定されておらず、容器３内を上下移動可能に設けられている。但し、可動体１１は冷媒Ｒより比重が重く、容器３を天地方向に逆転して使用した場合でも絶えず容器３内の下部側に位置している（図１２及び図１３参照）。この様に、容器３内の凝縮領域に可動体１１を収容したことで、沸騰領域の冷媒Ｒ液面が上昇するとともに、凝縮領域での液冷媒Ｒの淀み（凝縮領域と沸騰領域とを循環しないで淀んでいる液冷媒Ｒ）を少なくできることから放熱性能を向上できる効果が生じる。
【００２５】
（第６実施例）
図１５は沸騰冷却装置１の断面図である。
本実施例は、容器３内の凝縮領域に可動体１１を収容した他の例を示すものである。
可動体１１は、図１５に示す様に容器３を立てた姿勢で使用した場合に、容器３内の下部側に形成される凝縮領域に収容されている。また、可動体１１は、図１６（図１５のＤ−Ｄ線に沿う断面図）に示す様に、容器３内の凝縮領域を上下方向に移動可能な状態で収容されており、容器３を上下逆転して使用した場合でも絶えず容器３内の下部側に位置している（図１５参照）。本実施例でも、凝縮領域での液冷媒Ｒの淀みを少なくできるので放熱性能の向上を期待できる。
【００２６】
（第７実施例）
図１７及び図１８は沸騰冷却装置１の断面図である。
本実施例は、放熱壁６と放熱フィン４とを同一部材で構成した一例を示すものである。この場合、第１実施例の構成（放熱フィン４を放熱壁６と別体で形成して放熱壁６の表面に密着した状態でボルト等により固定している）と比較して、両者（放熱壁６と放熱フィン４）間の接触熱抵抗が無くなるため、放熱性能が向上する。また、放熱フィン４を放熱壁６に取り付ける手間を省くこともできる。なお、沸騰冷却容器３の周側壁７と柱部材８は、図１７に示す様に、放熱壁６と一体に成形して受熱壁５とろう付けにより気密に接合しても良いし、図１８に示す様に、受熱壁５と一体に成形して放熱壁６とろう付けにより気密に接合しても良い。
【００２７】
（第８実施例）
図１９は沸騰冷却容器３の分解斜視図である。
本実施例は、放熱壁６と放熱フィン４とを金属結合により組合わせた一例を示すもので、周側壁７と柱部材８が受熱壁５と一体に成形され、それに注入パイプ９、放熱壁６、及び放熱フィン４を一体ろう付けして組み合わせている。この場合、放熱壁６と放熱フィン４とを同一部材で構成しなくても、両者（放熱壁６と放熱フィン４）をろう付けにより結合することで、両者間の接触熱抵抗が無くなるため、放熱性能を向上できる。
なお、図１９に示す様に、注入口１０が設けられた周側壁７の一部を内側へ窪ませることにより、注入口１０に接続された注入パイプ９が容器壁面より外側へ飛び出るのを防ぐことができる（図２０参照）。
【００２８】
（第９実施例）
図２１は沸騰冷却装置１の断面図である。
本実施例は、放熱フィン４を中空形状とした一例を示すものである。
放熱フィン４は、放熱壁６と同一部材により構成されて、中空形状に形成され、且つその中空部４ａが沸騰冷却容器３の内部空間（冷媒Ｒが封入された空間）と連通されている。これにより、図２１に示す様に、受熱壁５を放熱壁６より天地方向の下方側に配置した状態で沸騰冷却容器３を使用した時、沸騰気化した冷媒Ｒが放熱フィン４の中空部４ａへ入り込み、中空部４ａの末端部近くで凝縮できるため、放熱性能が向上する。
また、放熱フィン４は、中空部４ａの体積が冷媒Ｒの液体体積より小さくなる様に形成されている。これにより、図２２に示す様に、放熱壁６を受熱壁５より天地方向の下方側に配置した状態で沸騰冷却容器３を使用した場合でも、冷媒Ｒの液面が放熱壁６より上方に位置するため、発熱体２の熱を受熱壁５から柱部材８を経由して冷媒Ｒへ伝達することができる。その結果、発熱体２から冷媒Ｒに伝達された熱は、蒸気冷媒が容器３の内壁面に凝縮する際に凝縮潜熱として放出され、その凝縮潜熱が放熱壁６全体に伝わり、放熱壁６から放熱フィン４を通じて大気に放出される。
【図面の簡単な説明】
【図１】沸騰冷却装置の断面図である（第１実施例）。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である（第１実施例）。
【図３】沸騰冷却容器の分解斜視図である（第１実施例）。
【図４】沸騰冷却容器の斜視図である（第１実施例）。
【図５】沸騰冷却装置の断面図である（第１実施例）。
【図６】柱部材の配置を示す沸騰冷却容器の断面図である（第１実施例）。
【図７】沸騰冷却装置の断面図である（第２実施例）。
【図８】沸騰冷却装置の断面図である（第２実施例）。
【図９】沸騰冷却装置の断面図である（第３実施例）。
【図１０】図９のＢ−Ｂ線に沿う断面図である（第３実施例）。
【図１１】沸騰冷却装置の断面図である（第４実施例）。
【図１２】沸騰冷却装置の断面図である（第５実施例）。
【図１３】沸騰冷却装置の断面図である（第５実施例）。
【図１４】図１２のＣ−Ｃ線に沿う断面図である（第５実施例）。
【図１５】沸騰冷却装置の断面図である（第６実施例）。
【図１６】図１５のＤ−Ｄ線に沿う断面図である（第６実施例）。
【図１７】沸騰冷却装置の断面図である（第７実施例）。
【図１８】沸騰冷却装置の断面図である（第７実施例）。
【図１９】沸騰冷却容器の分解斜視図である（第８実施例）。
【図２０】沸騰冷却容器の外観を示す斜視図である（第８実施例）。
【図２１】沸騰冷却装置の断面図である（第９実施例）。
【図２２】沸騰冷却装置の断面図である（第９実施例）。
【符号の説明】
１    沸騰冷却装置
２    発熱体
３    沸騰冷却容器
４    放熱フィン
４ａ  中空部
５    受熱壁
６    放熱壁
８    柱部材（伝熱部材）
９    注入パイプ
１０    注入口
１１    可動体
Ｒ    冷媒
【図１】
0003654323.tif 000002
【図２】
0003654323.tif 000003
【図３】
0003654323.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003654323.tif 000008
【図８】
0003654323.tif 000009
【図９】
0003654323.tif 000010
【図１０】
0003654323.tif 000011
【図１１】
0003654323.tif 000012
【図１２】
0003654323.tif 000013
【図１３】
0003654323.tif 000014
【図１４】
0003654323.tif 000015
【図１５】
0003654323.tif 000016
【図１６】
0003654323.tif 000017
【図１７】
0003654323.tif 000018
【図１８】
0003654323.tif 000019
【図１９】
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【図２０】
0003654323.tif 000021
【図２１】
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【図２２】
0003654323.tif 000023