(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高性能フィルターの一次側にファン及びファンケースを設け、ファンの作動によりファンケース内に吸入した空気を高性能フィルターで清浄化して二次側に吹出可能としたファンフィルターユニットにおいて、ファンフィルターユニットの作動状況を表示する表示手段として、高性能フィルターの吹出側に発光部材を設け、該発光部材にファンケース側から給電する配線を、フィルター支持枠と高性能フィルターとの間に接着剤を用いて埋め込んだことを特徴とするファンフィルターユニット。
【請求項２】
ファンケース側から発光部材に給電する配線の、フィルターユニット側の発光部材側配線とファンユニット側の給電側配線とのコネクターを、フィルターユニットとファンケースとの接合部に設け該部をパッキンを介して気密状態を保持して分離可能に接合したことを特徴とする請求項１記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルームやクリーンブースの天井部、及び、各種空気清浄機器に使用するファンフィルターユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ファンフィルターユニットは、高性能フィルターとファンケースを一体にしてユニット単体で空気清浄機能を有し、クリーンルームやクリーンブースの天井部、生産ライン上などに多台数用いられている。
【０００３】
図５はクリーンルームの例を示すものであり、天井面に配置されたファンフィルターユニット９１からルーム内空間９２に清浄空気が吹出され、ルーム内空間９２を所定の陽圧度に保持する一方、ルーム内を流下した空気は、床面の空気回収口９３から床下のリターンスペース９４に回収される。
【０００４】
このようなクリーンルームにおいて、多数のファンフィルターユニット９１は、一般に室外に設置した制御盤からの集中制御によって、全体若しくは一部分のみの運転／停止や作動状況を一括して管理されている。しかし、クリーンルーム内の作業者が室内側からファンフィルターユニット９１の運転状況、障害発生等を把握するために、クリーンルーム内に表示灯を点灯するが、この表示灯の配線部分からの微粒子のリークを回避しつつ吹出側にも表示を行える機構は無かった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は従来の技術の上記の点に鑑みて、個々のファンフィルターユニットの作動状況を室内側から直接確認できると共に、高性能フィルターを支持するフィルター枠部に埋設した配線を通じてファンケース側から微粒子のリークを防止して給電する機構を提供することを目的としてなされたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、高性能フィルターの一次側にファン及びファンケースを設け、ファンの作動によりファンケース内に吸入した空気を高性能フィルターで清浄化して二次側に吹出可能としたファンフィルターユニットにおいて、高性能フィルターの吹出側に、ファンフィルターユニットの作動状況を表示する表示手段として、高性能フィルターの吹出側に発光部材を設け、該発光部材にファンケース側から給電する配線を、支持枠と高性能フィルターとの間に接着剤を用いて埋め込んでなる。
また、上記配線の接合手段として、ファンケース側から発光部材に給電する配線の、フィルターユニット側の発光部材側配線とファンユニット側の給電側配線とのコネクターを、フィルターユニットとファンケースとの接合部に設け該部をパッキンを介して気密状態を保持して分離可能に接合した。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１に本発明実施形態のファンフィルターユニット１を示す。図においてファンフィルターユニット１は、フィルターユニット２の上側にファンユニット３を固定してなり、例えば、図示例のように、クリーンルーム天井部を構成するフレームＦにパッキングを介して支持されている。
【０００８】
フィルターユニット２は、ＨＥＰＡフィルター、ＵＬＰＡフィルター等からなる高性能フィルター４、該高性能フィルター４を支持する支持枠５、及び高性能フィルター４の表面を保護するネット状保護部材６（ラス網）からなる。
【０００９】
ファンユニット３は、前記フィルターユニット２の上面を覆うファンケース７の上面中央に空気吸入口８を設け、該空気吸入口８にはプレフィルター９を設ける一方、ファンケース７の内部には前記空気吸入口８に臨ませてファン１０（ターボランナー）を設けてある。ファン１０はファンモータ１１の回転軸に固定され、該ファンモータ１１はファンケース７内に架設した架台１２に固定されている。
【００１０】
ファンモータ１１はサーキットプロテクタ付きの電源スイッチ１３を介して主電源に接続され、該ファンモータ１１の作動により、空気吸入口８からプレフィルター９を介してファンケース７内に空気が吸入され、高性能フィルター４でろ過されて下面より清浄空気が吹出される。
【００１１】
以上のような基本構造をなすファンフィルターユニット１の空気吹出側表面には、ファンフィルターユニット１の作動状況を表示する表示手段として表示灯２１が設けられている。該表示灯２１は、主にファンモータ１１の運転表示を行うものであり、表示灯２１への給電がファンケース７内、即ち、高性能フィルター４の導入側（１次側）からなされるのに対し、表示は高性能フィルター４の吹出側（２次側）で行う必要がある。しかし、ファンフィルターユニット１の吹出側表面は全体的に清浄空気の吹出面である上、周縁部の支持枠５はクリーンルーム天井部のフレームＦで隠れるためこの部分に表示灯を設けることはできない。
【００１２】
そこで本発明においては、高性能フィルター４の吹出側に発光部材（表示灯２１）を設け、フィルター枠部に埋設した配線を通じてファンケース７側から給電する構成によって微粒子のリークを回避しつつ吹出側にて表示を行えるようにした。
【００１３】
図２は、本発明第１実施形態の表示灯２１を示すものであり、図において表示灯２１は、発光ダイオード（ＬＥＤ）等の発光部材をネット状保護部材６に固定すると共に、表示灯２１への給電用に極細配線２２を使用し、該配線２２を支持枠５と高性能フィルター４との間に接着剤２４を用いて埋め込むことで、配線２２部分における微粒子のリークを防止している。
【００１４】
また、フィルターユニット２とファンユニット３は、パッキング２５を介して気密状態を保持しつつ分離可能に接合され、高性能フィルター４やファン１０のメンテナンス時には分離される。そこで、表示灯側配線２２と給電側配線２３とのコネクター２６をファンケース７との接合部２５に設けることで、ファンユニット２とフィルターユニット３との接合と同時に、表示灯２２への給電配線２２，２３の接続がなされるようにしている。
【００１５】
図３は、上記第１実施形態の別の実施例を示し、図示例では、支持枠５に配線２２を通す穴２７，２８を設け、それらを通じて表示灯側配線２２を直接ファンケース７との接合部２５に導いている。この構成により、高性能フィルター４の端部と配線２２との交差を避けることができ、高性能フィルター４の取り付けが容易となる。
【００１６】
図４（ａ）〜（ｃ）は表示灯２１を点灯させる回路の例を示すものであり、図４（ａ）は、ファンモータ１１に異常が発生しサーキットプロテクタＣＰによりファンモータ１１の電源回路が遮断された場合に表示灯２１ａを点灯させファンモータ１１の異常を表示する例を示している。また、図４（ｂ）はファンモータ１１の作動と共に点灯し、ファンモータ１１に異常が発生しサーキットプロテクタＣＰにより電源回路が遮断された場合に表示灯２１ｂを消灯させる例を示している。また、図４（ｃ）は上記（ａ），（ｂ）を併用することで、正常運転時には表示灯２１ｂを、異常発生時には表示灯２１ａを点灯させる例を示し、この場合、各表示灯２１ａ，２１ｂの色を異ならせる。更に、異常発生時に表示灯２１ａまたは２１ｂを点滅させるようにしても良い。また、高性能フィルター４の目詰まりを検知するセンサーを設け、該センサーの信号により、表示灯の色を変化させるようにすることもできる。
【００１７】
尚、上記実施形態においてはファン１０にターボファンを用いる場合を示したが、シロッコファン等、他形式のファンを用いても良い。
【００１８】
【発明の効果】
本発明のファンフィルターユニットは、上述の通り、高性能フィルターの一次側にファン及びファンケースを設け、ファンの作動によりファンケース内に吸入した空気を高性能フィルターで清浄化して二次側に吹出可能としたファンフィルターユニットにおいて、高性能フィルターの吹出側に、ファンフィルターユニットの作動状況を表示する表示手段を設けたので、クリーンルームやクリーンブースの天井部、生産ライン上等に設置した場合に、これら清浄区域内で作業を行う作業者が作業現場において個々のファンフィルターユニットの運転状況を直接目視して判断でき、これにより、異常発生に対する迅速な対応が可能となり、清浄度の低下やそれに伴う不良品の発生を未然に防止できる。
【００１９】
またクリーンルームのレイアウト変更に伴うファンフィルターユニットの配置変更時における運動確認や製造装置天井部に設置されたファンフィルターユニットの運転確認を容易に行うことができる。
【００２０】
更に、本発明装置にあっては、発光部材への配線をフィルター支持枠と高性能フィルターとの間に接着剤を用いて埋め込むことで配線部部における微粒子のリークを防止することが出来、フィルターユニット２側の発光部材側配線２２とファンユニット３側の給電側配線２３とのコネクター２６をフィルターユニット５とファンケース７との接合部２５に設けているために、高性能フィルターの取り付けが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明実施形態のファンフィルターユニットを示す縦断面図である。
【図２】  本発明第１実施形態のファンフィルターユニットを示す要部縦断面図である。
【図３】  本発明第１実施形態のファンフィルターユニットの別の実施例を示す要部縦断面図である。
【図４】  （ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各実施形態における表示灯の点灯回路の例を示す回路図である。
【図５】  ファンフィルターユニットを設置したクリーンルームの例を示す概略縦断面図である。
【符号の説明】
１  ファンフィルターユニット
２  フィルターユニット
３  ファンユニット
４  高性能フィルター
５  支持枠
６  ネット状保護部材
７  ファンケース
８  空気吸入口
９  プレフィルター
１０  ファン
１１  ファンモーター
２１  表示灯
２２，２３  配線
２４  接着剤
２５  接合部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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