(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＳＩのマスクパターンとして並ぶパターンにおいて、繰返しの基準となるマスタパターンに合同なパターンを、所定の繰返しピッチで配置したときの前記パターンの繰返し数が最大となるようにグループ分けすることで、アレイ構造データを生成するアレイ化方法であって、繰返し数が最大となるときの繰返しピッチを、予め設定された複数の繰返しピッチの候補の中から選択するアレイ化方法において、
繰返しの基準となるマスタパターンと合同であってＸ方向の同一列に存在するパターンのうち前記マスタパターンの近傍のパターンを、候補パターンとして所定の数だけ選択するステップと、
前記マスタパターンと前記候補パターンとの間隔を、Ｘ方向の繰返しピッチの候補として計算するステップと、
当該Ｘ方向の同一列について、前記マスタパターンを起点として各前記Ｘ方向の繰返しピッチの候補で繰り返されるパターンのＸ方向の繰返し数をそれぞれ計算するステップと、
前記Ｘ方向の繰返しピッチの候補のうち前記Ｘ方向の繰返し数が最大となるときのＸ方向の繰返しピッチ、当該Ｘ方向の繰返し数、および前記マスタパターンを含むＸ方向アレイを生成するステップとを備えることを特徴とするアレイ化方法。
【請求項２】
生成されたＸ方向アレイのいずれにも含まれないパターンの１つを更なるマスタパターンとし、更なるＸ方向アレイを生成するステップを備える請求項１に記載のアレイ化方法。
【請求項３】
Ｘ方向アレイの１つをマスタアレイとし、該マスタアレイと合同であってＹ方向の同一列に存在するＸ方向アレイのうち前記マスタアレイの近傍のＸ方向アレイを、候補アレイとして所定の数だけ選択するステップと、
前記マスタアレイと前記候補アレイとの間隔を、Ｙ方向の繰返しピッチの候補として計算するステップと、
当該Ｙ方向の同一列について、前記マスタアレイを起点として各前記Ｙ方向の繰返しピッチの候補で繰り返されるＸ方向アレイのＹ方向の繰返し数をそれぞれ計算するステップと、
前記Ｙ方向の繰返しピッチの候補のうち前記Ｙ方向の繰返し数が最大となるときのＹ方向の繰返しピッチ、当該Ｙ方向の繰返し数、および前記マスタアレイを含むＹ方向アレイを生成するステップとを備える請求項２に記載のアレイ化方法。
【請求項４】
生成されたＹ方向アレイのいずれにも含まれないＸ方向アレイの１つを更なるマスタアレイとし、更なるＹ方向アレイを生成するステップを備える請求項３に記載のアレイ化方法。
【請求項５】
マスタパターンと、当該マスタパターンに対応するＸ方向アレイに含まれるＸ方向の繰返しピッチおよびＸ方向の繰返し数と、当該Ｘ方向アレイに対応するＹ方向アレイに含まれるＹ方向の繰返しピッチおよびＹ方向の繰返し数とを含む前記アレイ構造データを生成するステップを備える請求項４に記載のアレイ化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＬＳＩのマスクパターン等、繰返し構造を有する電子回路の設計データの変換処理、特にマスクデータのアレイ化処理に関する。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路（ＩＣ）あるいは大規模集積回路（ＬＳＩ）においては、回路パターンの規則性ゆえに高密度実装が可能であり、それに伴い設計データは大容量なものとなる。このため、ＬＳＩなどにおいては、回路パターンの規則性に着目し、対象データを現実的な規模に圧縮した上で、論理シミュレーション、回路シミュレーションあるいは設計データチェック等の評価を行うのが通常である。
【０００３】
例えば半導体ウェハ製造工程の中には、フォトマスクを焼くためにフォトマスク用ＣＡＭデータに変換する工程がある。特にＬＳＩにおいては非常に大きなデータ容量を扱うことになるので、通常ＬＳＩのマスクパターンの変換処理においては、マスクデータのデータサイズを圧縮する目的で、「アレイ化処理」と呼ばれる処理が実行される。
【０００４】
アレイ化処理とは、ＬＳＩのマスクパターンとして並ぶフラットなパターンを図形とみなしたとき、この図形の繰返し性を検出し、格子状に並ぶ図形をアレイ構造に変換するものである。
アレイ構造とは、繰返し配置する基準となる図形であるマスタ図形と、マスタ図形を２次元的に繰返し配置する際の繰返しピッチと、そのときの繰返し数と、からなるデータ構造をいう。
【０００５】
従来例によるアレイ化処理の原理について説明する。
従来例によるアレイ化処理においては、まず、同一列における繰返しの基準となる図形としてマスタ図形を１つ選ぶ。次に、マスタ図形のすぐ隣に隣接する図形との間隔を繰返しピッチとして画定する。そして、同一列におけるその先の図形においてこの繰返しピッチで並ぶ図形を探索する。この繰返しピッチで並ぶ図形の存在がなくなったところで探索を終了し、探索により検出された図形を１つのグループとしてアレイ化する。アレイ化された図形は除去され、未だアレイ化されていない図形について同様の処理が実行される。このようにして得られたマスタ図形と、繰返しピッチと、繰返し数との組からなるデータからアレイ構造を生成する。
【０００６】
図７は、従来例によるアレイ化処理の原理説明図である。この図では、ＬＳＩのマスクパターンにおける繰返し配置されたパターンを例えば図形Ａ１〜Ａ６として表している。ここで、各図形Ａ１〜Ａ６は全て合同であるとする。
図７に示す例では、まず、列の先頭にある図形Ａ１をマスタ図形とし、隣接する図形Ａ２との繰返しピッチを計算する。このときの繰返しピッチをＰ１とおく。
【０００７】
次に、図形Ａ２から繰返しピッチＰ１だけ離れた位置に、図形Ａ１に合同な図形が存在するか否かを探索する。図７の例では、図形Ａ３が存在するのでこれを検出することになる。
次に、図形Ａ３から繰返しピッチＰ１だけ更に離れた位置に、図形Ａ１に合同な図形が存在するか否かを探索する。図７に示す例では存在しないので、マスタ図形Ａ１に合同な図形の探索を終了する。なおこれとは逆に、マスタ図形Ａ１に合同な図形が更に存在する場合においては、更に同様の処理が繰り返される。
【０００８】
このように、図７に示す配置例では、マスタ図形が図形Ａ１のときは、繰返しピッチＰ１、繰返し数３のアレイが１つ構成される。アレイ化された図形であるＡ１〜Ａ３は除去され、更なるアレイを構成するための処理に入る。すなわち、今度は図形Ａ４をマスタ図形として同様の処理が実行される。
上述のアレイ化処理の動作フローを具体的な図形の配置例を示して説明する。
【０００９】
図８および９は、従来例によるアレイ化処理のフローチャートであり、図１０は、アレイ化すべき図形の配置例を示す図である。
ここでは、図１０に示されるような、図形Ａ１に合同な図形Ａ２〜Ａ１２および図形Ｂ１に合同な図形Ｂ２〜Ｂ８が配置された例におけるアレイ化処理について説明する。なお、これ以降、図形が存在する平面上において、図１０に示すような向きにＸ軸およびＹ軸をとることにする。一般にアレイ化処理においては、フラットなパターンに対し、まずＸ方向に関してアレイ化処理が実行され（以下「Ｘ方向アレイ化処理」と呼ぶ）、次いでＹ方向に関してアレイ化処理が実行される（以下「Ｙ方向アレイ化処理」と呼ぶ）。
【００１０】
図８に示すＸ方向アレイ化処理について説明する。
図１１は、図１０に示す各図形における合同な図形グループ毎の分類を説明する図である。
まず、図８のステップＳ１０１において、各図形を合同な図形毎に分類する。以下分類されたグループを合同図形グループと呼ぶ。図１１の例では、図形Ａ１に合同な図形グループである合同図形グループＡと、図形Ｂ１に合同な図形グループである合同図形グループＢと、に分類される。
【００１１】
ステップＳ１０２では、全ての合同図形グループにおいて、Ｘ方向へのアレイ化がなされたか否かが判定される。
ステップＳ１０３では、未だＸ方向にアレイ化されていない合同図形グループが抽出される。図１１の例では、最初、例えばグループＡが抽出される。
次にステップＳ１０４において、合同図形グループ毎に分類された各図形を、図形の左下点のＹ座標が同一である図形毎に分類する。以下分類されたグループを図形列グループと呼ぶ。例えば図１１の例では、グループＡは、Ａ１〜Ａ６のグループとＡ７〜Ａ１２のグループとに分類される。また例えば、グループＢの場合では、Ｂ１〜Ａ４のグループとＢ５〜Ｂ８のグループとに分類される。まずこの図形列グループ毎に、図７を参照して説明したアレイ化処理が実行されることになる。
【００１２】
次にステップＳ１０５において、図形列グループ内の各図形を左下点のＸ座標の昇順にソートする。
ステップＳ１０６では、当該合同図形グループ内の全ての図形列グループにおいてＸ方向へのアレイ化がなされたか否かが判定される。
ステップＳ１０７では、未だＸ方向にアレイ化されていない図形列グループが抽出される。
【００１３】
ステップＳ１０８では、当該図形列グループ内の全ての図形についてＸ方向にアレイ化がなされたか否かが判定される。当該図形列グループ内の全ての図形についてＸ方向へのアレイ化がなされたと判定された場合は、未だＸ方向にアレイ化されていない更なる図形列グループを抽出するために、ステップＳ１０６へ進む。当該図形列グループ内に未だＸ方向へのアレイ化がなされていない図形が存在すると判定された場合は、ステップＳ１０９へ戻る。
【００１４】
ステップＳ１０９では、Ｘ方向にアレイ化されていない１つの図形をマスタ図形として画定する。
次いでステップＳ１１０において、マスタ図形と当該マスタ図形のすぐ隣に隣接する図形との間隔を計算し、これを繰返しピッチとする。
次にステップＳ１１１において、当該図形列グループ内においてこの繰返しピッチで並ぶ図形を探索し、マスタ図形のＸ方向の繰返し数を計算する。
【００１５】
そしてＳ１１２において、ステップＳ１０９〜Ｓ１１１において確定されたマスタ図形と、Ｘ方向の繰返しピッチと、Ｘ方向の繰返し数とからなるアレイ構造データの１つ（以下「Ｘ方向アレイ」と呼ぶ。）が形成される。すなわち、図１１の例では図形Ａ１〜Ａ３に対するＸ方向アレイが形成されたことになる。
次いでステップＳ１１３において、Ｘ方向にアレイ化された図形を除去し、未だＸ方向にアレイ化されていない図形について同様の処理を実行するため、ステップＳ１０８へ戻る。
【００１６】
上述のステップＳ１０８〜Ｓ１１３が繰り返し実行されることによって、当該図形列グループ内における全ての図形がＸ方向にアレイ化される。
当該図形列グループ内における全ての図形がＸ方向アレイ化されると、ステップＳ１０６へ戻る。すなわち、ステップＳ１０６〜Ｓ１１３が繰り返し実行されることによって全ての図形列グループ内における全ての図形、換言すれば、当該合同図形グループ内における全ての図形がＸ方向にアレイ化されることになる。
【００１７】
図１２は、図１０の配置例において合同図形グループ内におけるＸ方向へのアレイ化が完了したときを示す図である。図１０の配置例では、上述のＸ方向アレイ化処理によって、グループＡ内の各図形は、「Ａ１、Ａ２、Ａ３」、「Ａ４、Ａ５、Ａ６」、「Ａ７、Ａ８、Ａ９」および「Ａ１０、Ａ１１、Ａ１２」の４組のＸ方向アレイにアレイ化される。すなわち、Ｘ方向アレイとして、「マスタ図形Ａ１、繰返しピッチＰ１、繰返し数３」、「マスタ図形Ａ４、繰返しピッチＰ１、繰返し数３」、「マスタ図形Ａ７、繰返しピッチＰ１、繰返し数３」および「マスタ図形Ａ１０、繰返しピッチＰ１、繰返し数３」の４個が生成される。
【００１８】
続いて図９に示すＹ方向アレイ化処理へ進む。
図９のステップＳ１１４において、全てのＸ方向アレイを合同なＸ方向アレイ毎に分類する。以下分類されたグループを合同アレイグループと呼ぶ。ここで、Ｘ方向アレイの合同とは、マスタ図形が合同であって、かつ繰返しピッチおよび繰返し数が同一であることをいう。
【００１９】
ステップＳ１１５では、全ての合同アレイグループにおいて、Ｙ方向へのアレイ化がなされたか否かが判定される。Ｙ方向へのアレイ化がなされた場合はステップＳ１０２へ進み、そうでない場合はステップＳ１１６へ進む。
ステップＳ１１６では、未だＹ方向にアレイ化されていない合同アレイグループが抽出される。
【００２０】
次にステップＳ１１７において、合同アレイグループ毎に分類された各Ｘ方向アレイを、Ｘ方向アレイ内のマスタ図形の左下点のＸ座標が同一であるＸ方向アレイ毎に分類する。以下分類されたグループをアレイ列グループと呼ぶ。例えば図１２では、「Ａ１、Ａ２、Ａ３」および「Ａ７、Ａ８、Ａ９」のアレイ列グループと、「Ａ４、Ａ５、Ａ６」および「Ａ１０、Ａ１１、Ａ１２」のアレイ列グループとに分類される。このアレイ列グループ毎にＹ方向へのアレイ化が実行されることになる。
【００２１】
次にステップＳ１１８において、アレイ列グループ内の各Ｘ方向アレイを左下点のＹ座標の昇順にソートする。
ステップＳ１１９では、全てのアレイ列グループにおいて、Ｙ方向へのアレイ化がなされたか否かが判定される。
ステップＳ１２０では、未だＹ方向にアレイ化されていないアレイ列グループが抽出される。
【００２２】
ステップＳ１２１では、当該アレイ列グループにおいて、全てのＸ方向アレイについてＹ方向へのアレイ化がなされたか否かが判定される。当該アレイ列グループ内の全てのＸ方向アレイについてＹ方向へのアレイ化がなされたと判定された場合は、未だＹ方向にアレイ化されていない更なるアレイ列グループを抽出するために、ステップＳ１１９へ進む。当該アレイ列グループ内においてＹ方向へのアレイ化がなされていないＸ方向アレイが存在すると判定された場合は、ステップＳ１２２へ進む。
【００２３】
ステップＳ１２２では、Ｙ方向にアレイ化されていない１つのＸ方向アレイをマスタアレイとして画定する。
次いでステップＳ１２３において、マスタアレイと当該マスタアレイのすぐ隣に隣接するＸ方向アレイとの間隔を計算し、これを繰返しピッチとする。
次にステップＳ１２４において、当該アレイ列グループ内においてこの繰返しピッチで並ぶＸ方向アレイを探索し、マスタアレイのＹ方向の繰返し数を計算する。
【００２４】
そしてＳ１２５において、ステップＳ１２２〜Ｓ１２４において確定されたマスタアレイと、Ｙ方向の繰返しピッチと、Ｙ方向の繰返し数とからなるアレイ構造データの１つ（以下「Ｙ方向アレイ」と呼ぶ。）が生成される。
次いでステップＳ１２６において、Ｙ方向にアレイ化された図形を除去し、未だＹ方向にアレイ化されていないＸ方向アレイについて同様の処理を実行するため、ステップＳ１２１へ戻る。
【００２５】
上述のステップＳ１２１〜Ｓ１２６が繰り返し実行されることによって、当該アレイ列グループ内における全てのＸ方向アレイがＹ方向にアレイ化される。
当該アレイ列グループ内における全てのＸ方向アレイがＹ方向にアレイ化されると、ステップＳ１１９へ戻る。そしてステップＳ１１９〜Ｓ１２６が繰り返し実行されることによって全てのアレイ列グループ内における全てのＸ方向アレイ、すなわち、当該合同アレイグループ内における全てのＸ方向アレイがＹ方向にアレイ化される。
【００２６】
当該合同アレイグループ内における全てのＸ方向アレイがＹ方向にアレイ化されと、ステップＳ１１５へ戻る。そしてステップＳ１１５〜Ｓ１２６が繰り返し実行されることによって全ての合同アレイグループ内における全てのＸ方向アレイがＹ方向にアレイ化される。すなわち、当該合同図形グループ内における全ての図形のアレイ化処理が完了する。
【００２７】
図１３は、図１２の配置例において合同アレイグループ内においてＹ方向へのアレイ化が完了したときを示す図である。
上述のＹ方向へのアレイ化によって、例えばグループＡ内の各図形は、「Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ７、Ａ８、Ａ９」、および「Ａ４、Ａ５、Ａ６、Ａ１０、Ａ１１、Ａ１２」の２組にＹ方向にアレイ化される。すなわち、Ｙ方向アレイとして、「マスタ図形Ａ１、Ｘ方向の繰返しピッチＰ１、Ｘ方向の繰返し数３、Ｙ方向の繰返しピッチＰ２、Ｙ方向の繰返し数２」の３×２アレイ、および「マスタ図形Ａ４、Ｘ方向の繰返しピッチＰ１、Ｘ方向の繰返し数３、Ｙ方向の繰返しピッチＰ２、Ｙ方向の繰返し数２」の３×２アレイ、の２つが生成される。
【００２８】
上述の当該合同図形グループ内における全ての図形のアレイ化処理が完了すると、ステップＳ１０２へ戻る。すなわち、ステップＳ１０２〜Ｓ１２６が繰り返し実行されることによって全ての合同図形グループ内における全ての図形がアレイ化処理される。
図１４は、図１０の配置例においてアレイ化処理が完了したときを示す図である。
【００２９】
この図に示すように、図１０のような配置例における各図形は、アレイ化処理によって、Ａ１をマスタ図形とする３×２アレイ、Ａ４をマスタ図形とする３×２アレイ、Ｂ１をマスタ図形とする２×２アレイ、およびＢ３をマスタ図形とする２×２アレイ、の４つのアレイを有するアレイ構造データに変換されることになる。
【００３０】
以上説明したように、従来例においては、マスクパターンにおける各図形は、繰返しの基準となるマスタ図形と、該マスタ図形のすぐ隣に隣接する図形との間隔を繰返しピッチとし、このときの繰返し数を計算することによってアレイ構造データを生成する。アレイ構造データは、マスタ図形と、該マスタ図形に対応する繰返しピッチおよび繰返し数とを組とする構成となる。
【００３１】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、従来例によるアレイ化処理においては、マスタ図形とマスタ図形のすぐ隣に隣接する合同な図形との間隔を繰返しピッチとして画定し、この繰返しピッチで繰り返される図形の数を繰返し数として計算していた。つまり、いかなる場合であっても、繰返しピッチはマスタ図形とマスタ図形のすぐ隣に隣接する合同な図形との間隔としていたので、計算が容易でありコンピュータにおける処理時間を実用的な範囲に収めることができた。
【００３２】
しなしながら、データサイズの圧縮率については有効な結果を必ずしも得ているとはいえず、特に隣接する上下左右の各図形の間隔が不均一であるような場合は生成されるアレイ数が大きくなってしまい、データサイズの十分な圧縮を達成することができないという問題があった。
従って本発明の目的は、上記問題に鑑み、ＬＳＩのマスクパターンの変換処理において、データサイズの圧縮効率の良いアレイ化方法を提供することにある。
【００３３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を実現するために、本発明においては、ＬＳＩのマスクパターンとして並ぶパターンにおいて、繰返しの基準となるマスタパターンに合同なパターンを、所定の繰返しピッチで繰返し配置したときの繰返し数が最大となるようにグループ化し、アレイ構造データを生成する。
【００３４】
本発明によるアレイ化処理においては、繰返し数が最大となるときの繰返しピッチは、予め設定された複数の繰返しピッチの候補の中から選択することができるので、最適な繰返しピッチを選択することができ、この結果、従来例に比べて効率よくデータサイズを圧縮することができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
本発明によるアレイ化処理の原理について説明する。
図１は、本発明によるアレイ化処理の原理説明図である。この図では、ＬＳＩのマスクパターンにおける繰返し配置したパターンを図形Ａ１〜Ａ１０として表している。ここで、各図形Ａ１〜Ａ１０は全て合同であるとする。
【００３６】
本発明のアレイ化方法は、ＬＳＩのマスクパターンとして並ぶフラットなパターンにおいて、パターンを図形とみなしたとき、繰返しの基準となるマスタ図形に合同な図形を、所定の繰返しピッチで繰返し配置したときの繰返し数が最大となるようにグループ化し、アレイ構造データを生成することを特徴とする。繰返し数が最大となるときの繰返しピッチは、予め設定された複数の繰返しピッチの候補の中から選択される。繰返しピッチの候補は、マスタ図形と、マスタ図形の近傍の複数の図形との間隔をそれぞれ計算することによって生成される。
【００３７】
図１に示す例では、繰返しピッチの候補の数を例えば「４」に設定する。なお、この繰返しピッチの候補の数は本発明を限定するものではなく、その他の数であってもよい。
まず、列の先頭にある図形Ａ１をマスタ図形とする。次に、マスタ図形Ａ１の近傍の図形を候補図形として選択する。候補図形は、マスタ図形Ａ１に近い順に選択される。すなわち、図１に示す例では、図形Ａ２〜Ａ５の４個が候補図形となる。
【００３８】
次に、マスタ図形Ａ１と各候補図形Ａ２〜Ａ５との各間隔をそれぞれ計算し、繰返しピッチの候補とする。図１に示す例ではこれをＰ１〜Ｐ４とする。
次いで、マスタ図形Ａ１を起点にして、各繰返しピッチの候補Ｐ１〜Ｐ４で繰り返される図形の繰返し数をそれぞれ計算する。図１に示す例では、繰返しピッチＰ１で繰り返される図形は「Ａ２」、繰返しピッチＰ２で繰り返される図形は「Ａ３、Ａ５、Ａ７、Ａ９」、繰返しピッチＰ３で繰り返される図形は「Ａ４」、繰返しピッチＰ４で繰り返される図形は「Ａ５、Ａ９」である。
【００３９】
表１は、図１の配置例における繰返しピッチと繰返し数との関係を示す。
【００４０】
【表１】
0003664656.tif 000002
【００４１】
表１より繰返しピッチがＰ２のとき、繰返し数が最大となることがわかる。従って、本発明によるアレイ化方法では、繰返しピッチをＰ２としてアレイを構成する。図１の例では、「マスタ図形Ａ１、繰返しピッチＰ２、繰返し数５」のアレイが構成される。
そして、アレイ化された図形であるＡ１、Ａ３、Ａ５、Ａ７およびＡ９は除去され、更なるアレイを構成するための処理に入る。すなわち、例えば図形Ａ２をマスタ図形として同様の処理が実行される。
【００４２】
本発明によるアレイ化処理の動作フローを説明する。
図２および３は、本発明によるアレイ化処理のフローチャートである。
本発明によるアレイ化処理においても、従来例と同様に、フラットなパターンに対し、まずＸ方向に関してアレイ化処理が実行され（Ｘ方向アレイ化処理）、次いでＹ方向に関してアレイ化処理が実行される（Ｙ方向アレイ化処理）。
【００４３】
まず、図２に示すＸ方向アレイ化処理について説明する。
図２のステップＳ２０１において、全ての図形を合同な図形毎に分類する。以下分類されたグループを合同図形グループと呼ぶ。
ステップＳ２０２では、全ての合同図形グループにおいて、Ｘ方向へのアレイ化がなされたか否かが判定される。
【００４４】
ステップＳ２０３では、未だＸ方向にアレイ化されていない合同図形グループが抽出される。
次にステップＳ２０４において、合同図形グループ毎に分類された各図形を、図形の左下点のＹ座標が同一である図形毎に分類する。以下分類されたグループを図形列グループと呼ぶ。本発明では、まずこの図形列グループ毎に、図１を参照して説明したアレイ化処理が実行されることになる。
【００４５】
ステップＳ２０５では、図形列グループ内の各図形を左下点のＸ座標の昇順にソートする。
ステップＳ２０６では、当該合同図形グループの全ての図形列グループにおいてＸ方向にアレイ化がなされたか否かが判定される。
ステップＳ２０７では、未だＸ方向にアレイ化されていない図形列グループが抽出される。
【００４６】
ステップＳ２０８では、当該図形列グループ内の全ての図形についてＸ方向へのアレイ化がなされたか否かが判定される。当該図形列グループ内の全ての図形についてＸ方向へのアレイ化がなされたと判定された場合は、未だＸ方向にアレイ化されていない更なる図形列グループを抽出するために、ステップＳ２０６へ進む。当該図形列グループ内において未だＸ方向にアレイ化がなされていない図形が存在すると判定された場合は、ステップＳ２０９へ進む。
【００４７】
ステップＳ２０９では、Ｘ方向にアレイ化されていない１つの図形をマスタ図形として画定する。図１に示す例では、図形Ａ１をマスタ図形とする。
次に、ステップＳ２１０において、マスタ図形の近傍の図形を候補図形として所定の数だけ選択する。図１に示す例では、候補図形の数は「４」であり、図形Ａ２〜Ａ５を候補図形としている。
【００４８】
次いでステップＳ２１１において、マスタ図形と各候補図形との各間隔をそれぞれ計算し、Ｘ方向の繰返しピッチの候補とする。図１に示す例ではこれをＰ１〜Ｐ４とする。
次に、ステップＳ２１２において、マスタ図形を起点にして、当該図形列グループ内において各繰返しピッチの候補でＸ方向に並ぶ図形を探索し、各繰返しピッチの候補で繰り返される図形のＸ方向の繰返し数をそれぞれ計算する。図１に示す例では、繰返しピッチＰ１で繰り返される図形の繰返し数は「２」、繰返しピッチＰ２で繰り返される図形の繰返し数は「５」、繰返しピッチＰ３で繰り返される図形の繰返し数は「２」、繰返しピッチＰ４で繰り返される図形の繰返し数は「３」である。
【００４９】
そしてＳ２１３において、Ｘ方向の繰返し数が最大となるＸ方向の繰返しピッチで各図形をＸ方向にアレイ化する。すなわち、マスタ図形と、Ｘ方向の繰返し数が最大となるＸ方向の繰返しピッチと、当該繰返し数とで１つのＸ方向アレイが形成される。図１の例では、図形Ａ１、Ａ３、Ａ５、Ａ７およびＡ９がＸ方向のアレイとしてアレイ化され、「マスタ図形Ａ１、繰返しピッチＰ２、繰返し数５」のＸ方向アレイが構成される。
【００５０】
次いでステップＳ２１４において、Ｘ方向アレイ化された図形を除去し、未だＸ方向にアレイ化されていない図形について同様の処理を実行するため、ステップＳ２０８へ戻る。図１の例では、Ｘ方向にアレイ化された図形であるＡ１、Ａ３、Ａ５、Ａ７およびＡ９が除去され、今度は例えば図形Ａ２をマスタ図形とするＸ方向アレイを生成するためにステップＳ２０８へ戻る。
【００５１】
上述のステップＳ２０８〜Ｓ２１４が繰り返し実行されることによって、当該図形列グループ内における全ての図形がＸ方向にアレイ化されることになる。
当該図形列グループ内における全ての図形がＸ方向にアレイ化されると、ステップＳ２０６へ戻る。すなわち、ステップＳ２０６〜Ｓ２１４が繰り返し実行されることによって全ての図形列グループ内における全ての図形、換言すれば、当該合同図形グループ内における全ての図形がＸ方向にアレイ化される。
【００５２】
図４は、本発明によるアレイ化処理において合同図形グループ内においてＸ方向アレイ化が完了したときを示す図である。上述のＸ方向アレイ化によって、各図形は、「Ａ１、Ａ３、Ａ５、Ａ７、Ａ９」、「Ａ２、Ａ４、Ａ６、Ａ８、Ａ１０」の２組のＸ方向アレイにアレイ化される。すなわち、Ｘ方向アレイとして、「マスタ図形Ａ１、繰返しピッチＰ２、繰返し数５」および「マスタ図形Ａ２、繰返しピッチＰ２、繰返し数５」の２つが生成される。ちなみに、従来例によるアレイ化処理によると、Ｘ方向アレイは、「マスタ図形Ａ１、繰返しピッチＰ１、繰返し数２」、「マスタ図形Ａ３、繰返しピッチＰ１、繰返し数２」、「マスタ図形Ａ５、繰返しピッチＰ１、繰返し数２」、「マスタ図形Ａ７、繰返しピッチＰ１、繰返し数２」および「マスタ図形Ａ９、繰返しピッチＰ１、繰返し数２」の５つが生成され、Ｘ方向アレイの数が多くなってしまう。
【００５３】
続いて図３に示すＹ方向アレイ化処理へ進む。
図３のステップＳ２１５において、各Ｘ方向アレイを、合同なＸ方向アレイ毎に分類する。以下分類されたグループを合同アレイグループと呼ぶ。なお、Ｘ方向アレイの合同とは、マスタ図形が合同であって、かつ繰返しピッチおよび繰返し数が同一であることをいう。
【００５４】
ステップＳ２１６では、全ての合同アレイグループにおいて、Ｙ方向へのアレイ化がなされたか否かが判定される。Ｙ方向へのアレイ化がなされた場合はステップＳ２０２へ進み、そうでない場合はステップＳ２１７へ進む。
ステップＳ２１７では、未だＹ方向にアレイ化されていない合同アレイグループが抽出される。
【００５５】
次にステップＳ２１８において、合同アレイグループ毎に分類された各Ｘ方向アレイを、Ｘ方向アレイ内のマスタ図形の左下点のＸ座標が同一であるＸ方向アレイ毎に分類する。以下分類されたグループをアレイ列グループと呼ぶ。
次にステップＳ２１９において、アレイ列グループ内の各Ｘ方向アレイを左下点のＹ座標の昇順にソートする。
【００５６】
ステップＳ２２０では、全てのアレイ列グループにおいて、Ｙ方向へのアレイ化がなされたか否かが判定される。
ステップＳ２２１では、未だＹ方向にアレイ化されていないアレイ列グループが抽出される。
ステップＳ２２２では、当該アレイ列グループにおいて、全てのＸ方向アレイ内のＹ方向へのアレイ化がなされたか否かが判定される。当該アレイ列グループにおいて全てのＸ方向アレイについてＹ方向にアレイ化がなされたと判定された場合は、未だＹ方向にアレイ化されていない更なるアレイ列グループを抽出するために、ステップＳ２２０へ進む。当該アレイ列グループ内にＹ方向へのアレイ化がなされていないＸ方向アレイが存在すると判定された場合は、ステップＳ２２３へ進む。
【００５７】
ステップＳ２２３では、Ｙ方向にアレイ化されていない１つのＸ方向アレイをマスタアレイとして画定する。
次に、ステップＳ２２４において、マスタアレイの近傍のＸ方向アレイを候補アレイとして所定の数だけ選択する。候補アレイはマスタアレイに近い順に選択される。なお、候補アレイの数はステップＳ２１０における候補図形の数を同一にしてもよいし、異なる数としてもよい。
【００５８】
次いでステップＳ２２５において、マスタアレイと各候補アレイとの各間隔をそれぞれ計算し、Ｙ方向の繰返しピッチの候補とする。
次に、ステップＳ２２６において、マスタアレイを起点にして、当該グループ内において各繰返しピッチの候補でＹ方向に並ぶＸ方向アレイを探索し、各繰返しピッチの候補で繰り返されるＸ方向アレイのＹ方向の繰返し数をそれぞれ計算する。
【００５９】
そしてＳ２２７において、Ｙ方向の繰返し数が最大となるＹ方向の繰返しピッチを用いてＸ方向アレイをＹ方向にアレイ化する。すなわち、マスタアレイと、Ｙ方向の繰返し数が最大となるＹ方向の繰返しピッチと、当該繰返し数とでＹ方向アレイが形成される。
次いでステップＳ２２８において、Ｙ方向にアレイ化された図形を除去し、未だＹ方向にアレイ化されていないＸ方向アレイについて同様の処理を実行するため、ステップＳ２２２へ戻る。
【００６０】
上述のステップＳ２２２〜Ｓ２２８が繰り返し実行されることによって、当該アレイ列グループ内における全てのＸ方向アレイがＹ方向にアレイ化される。
当該アレイ列グループ内における全てのＸ方向アレイがＹ方向にアレイ化されると、ステップＳ２２０へ戻る。そしてステップＳ２２０〜Ｓ２２８が繰り返し実行されることによって全てのアレイ列グループ内における全てのＸ方向アレイ、すなわち、当該合同アレイグループ内における全てのＸ方向アレイがＹ方向にアレイ化される。
【００６１】
当該合同アレイグループ内における全てのＸ方向アレイがＹ方向にアレイ化されと、ステップＳ２１６へ戻る。そしてステップＳ２１６〜Ｓ２２８が繰り返し実行されることによって全ての合同アレイグループ内における全てのＸ方向アレイがＹ方向にアレイ化される。すなわち、当該合同図形グループ内における全ての図形のアレイ化処理が完了したことになる。
【００６２】
当該合同図形グループ内における全ての図形のアレイ化処理が完了すると、ステップＳ２０２へ戻る。そしてステップＳ２０２〜Ｓ２２８が繰り返し実行されることによって全ての合同図形グループ内における全ての図形がアレイ化処理される。アレイ構造データは、繰返しの基準となるマスタ図形と、Ｘ方向およびＹ方向の各繰返しピッチと、Ｘ方向およびＹ方向の各繰返し数とを組とする構成となる。
【００６３】
以上説明したように、本発明によるアレイ化処理においては、ＬＳＩのマスクパターンとしてフラットに並ぶパターンを図形とみなしたときに、繰返しの基準となるマスタ図形に合同な図形を、所定の繰返しピッチで繰返し配置したときの繰返し数が最大となるようにグループ化し、アレイ構造データを生成することを特徴とする。このとき、繰返し数が最大となるときの繰返しピッチは、予め設定された複数の繰返しピッチの候補の中から選択することができるので、最適な繰返しピッチを選択することができ、この結果、従来例に比べて効率よくデータサイズを圧縮することができる。
【００６４】
図５は本発明のアレイ化処理による結果を例示する図であり、図６は従来例におけるアレイ化処理による結果を例示する図である。
図５および６は、ＬＳＩのマスタパターンにおける繰返し配置されたパターンを合同な図形Ａ１〜Ａ７２としたとき、それぞれのアレイ化方法によって処理された結果を例示している。このような図形の配置例の場合では、本発明によるアレイ化処理では、図５に示すように、７２個の図形から、Ａ１をマスタ図形とする６×３アレイ、Ａ２をマスタ図形とする６×３アレイ、Ａ１３をマスタ図形とする６×３アレイ、およびＡ１４をマスタ図形とする６×３アレイの４個のアレイが構成される。しかし、従来例によるアレイ化処理では、図６に示すように７２個の図形から、Ａ１をマスタアレイとする２×２アレイをはじめとして１８個ものアレイが構成されてしまい、本発明と比較してデータサイズが十分に圧縮されていないことがわかる。これらの図から本発明によるアレイ化方法の有効性がわかる。
【００６５】
なお、本発明によるアレイ化処理の所要時間については、繰返しピッチの候補を複数計算する分計算量が増えることになるにもかかわらず結果的に生成されるアレイの数を大幅に削減することができるので、アレイ化処理を実行するコンピュータの処理時間も十分に許容範囲内に収めることができる。
【００６６】
【発明の効果】
本発明によるアレイ化処理においては、ＬＳＩのマスクパターンとして並ぶパターンを図形とみなしたときに、繰返しの基準となるマスタ図形に合同な図形を、所定の繰返しピッチで繰返し配置されたときの繰返し数が最大となるようにグループ化し、アレイ構造データを生成する。このとき、繰返し数が最大となるときの繰返しピッチは、予め設定された複数の繰返しピッチの候補の中から選択することができるので、最適な繰返しピッチを選択することができ、この結果、従来例に比べて効率良くデータサイズを圧縮することができる。
【００６７】
従って、ＬＳＩのマスクパターンの変換を実行するコンピュータ等の処理装置内のメモリ資源を格段に節約することができ、また、データ転送も容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるアレイ化処理の原理説明図である。
【図２】本発明によるアレイ化処理のフローチャート（その１）である。
【図３】本発明によるアレイ化処理のフローチャート（その２）である。
【図４】本発明によるアレイ化処理において合同図形グループ内においてＸ方向へのアレイ化が完了したときを示す図である。
【図５】本発明のアレイ化処理による結果を例示する図である。
【図６】従来例におけるアレイ化処理による結果を例示する図である。
【図７】従来例によるアレイ化処理の原理説明図である。
【図８】従来例によるアレイ化処理のフローチャート（その１）である。
【図９】従来例によるアレイ化処理のフローチャート（その２）である。
【図１０】アレイ化すべき図形の配置例を示す図である。
【図１１】図１０に示す各図形における合同な図形グループ毎の分類を説明する図である。
【図１２】図１０の配置例において合同図形グループ内におけるＸ方向アレイ化が完了したときを示す図である。
【図１３】図１２の配置例において合同アレイグループ内においてＹ方向アレイ化が完了したときを示す図である。
【図１４】図１０の配置例においてアレイ化処理が完了したときを示す図である。
【符号の説明】
Ａ１〜Ａ７２、Ｂ１〜Ｂ８…図形
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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