(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
離型紙で片面が覆われた貼着物からなる貼着物テープにおける前記貼着物を被貼着物に貼着する貼着物の貼着方法において、
供給リールによって繰り出される貼着物テープを巻取りリールによって間欠的に巻取り、これら両リール間の貼着物テープを一対のガイドローラによって前記被貼着物の上方に前記離型紙を上側にして張り渡し、この貼着物テープと被貼着物との間に所定形状の抜き孔を有する型抜きプレートを挿入し、加熱ツールの押圧面に設けた弾性部材によって前記貼着物テープを上方から押圧することにより、前記型抜きプレートの抜き孔から所定形状の貼着物を型抜きして被貼着物に貼着することを特徴とする貼着物の貼着方法。
【請求項２】
請求項１記載の貼着物の貼着方法において、
一対のガイドローラのうち少なくとも一方のガイドローラを、前記加熱ツールの押圧後、上方に移動させることを特徴とする貼着物の貼着方法。
【請求項３】
離型紙で片面が覆われた貼着物からなる貼着物テープにおける前記貼着物を被貼着物に貼着する貼着物の貼着装置において、
前記貼着物テープを繰り出す供給リールと、
前記供給リールから繰り出された貼着物テープを間欠的に巻取る巻取りリールと、
前記両リール間に配置され前記貼着物テープを被貼着物の上方に張り渡す一対のガイドローラと、
同一円周上に複数個の抜き孔を設けるとともに水平面内において間欠的に所定角度回動されることにより前記抜き孔を貼着位置と待機位置に順次移動させる型抜きプレートと、
押圧面に弾性部材を有して前記貼着位置の上方に昇降自在に設けられ前記弾性部材によって前記貼着物テープを押圧することにより、前記型抜きプレートの前記抜き孔から所定形状の貼着物を型抜きして前記被貼着物に貼着する加熱ツールと、
前記待機位置に待機中の前記型抜きプレートの前記抜き孔をクリーニングするクリーニング装置と、
を備えたことを特徴とする貼着物の貼着装置。
【請求項４】
請求項３記載の貼着物の貼着装置において、
前記一対のガイドローラのうち少なくとも一方を上下動自在に構成したことを特徴とする貼着物の貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、両面に粘着性を有し片面が離型紙によって覆われた貼着物（たとえば異なる異方性導電膜のようなもの）の貼着方法およびその装置に係り、特に、液晶パネル等の配線基板の配線パターンとタブとの間に介在させ、これらを電気的に接続する異方性導電膜を貼着する際に用いて好適な貼着物の貼着方法およびその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイを構成する部品の一つに液晶パネルがある。この液晶パネルの端子と液晶パネル駆動回路を構成するタブとを電気的に接続する方法の一つとして、液晶パネルの端子とタブとの間に異方性導電膜を介在させ、これを加熱加圧することによりこれらを電気的に接続する方法が知られている。
【０００３】
この異方性導電膜は、導電粒子を合成樹脂中に均一に分散させた高分子層を熱圧着して導電粒子を互いに接触させることにより形成されるもので、膜の厚み方向のみ導電性が付与され、それ以外の方向に対しては絶縁性を示す特性を有している。そして、このような異方性導電膜は、取扱い性を考慮して通常その片面または両面が離型紙によって覆われることにより２層または３層構造とされ、異方性導電フィルムテープとしてリールに巻回されている。
【０００４】
図９はこのような異方性導電フィルムテープを示すものである。ここで、２は導電粒子を合成樹脂中に均一に分散して形成された貼着物としての異方性導電膜、３は異方性導電膜２の片面を覆う離型紙で、これらによって異方性導電フィルムテープ１を形成している。異方性導電フィルムテープ１の幅は３ｍｍ程度、厚さは１００μｍ前後とされる。異方性導電膜２を被貼着物としての液晶パネルに貼着するには、離型紙３を剥離した後、異方性導電膜２を液晶パネルの端子とタブとの間に位置付けて熱圧着することにより、異方性導電膜２の熱硬化特性を利用して貼り着ける。
【０００５】
このように異方性導電膜２を液晶パネルの端子に貼り着ける方法としては、作業者が手で異方性導電フィルムテープ１をタブの長さ、たとえば３５ｍｍ〜７０ｍｍ程度の長さに切断するとともに、その離型紙３を剥離して異方性導電膜２を端子とタブとの間に位置付けて貼り着けるか、予め異方性導電フィルムテープ１を所望の形状に加工したものを人手で貼り着けている。
【０００６】
しかしながら、タブの長さに応じて切断された異方性導電フィルムテープ１は、柔軟で細長いものであるから、取扱いが面倒であり、量産に適さない。その上、貼着位置への位置合わせの精度が悪いなどの問題があった。また、離型紙３を着けたまま切断すると、貼り着ける際に離型紙３を剥離するのが難しくなるなどの問題もあった。
【０００７】
そこで、本出願人はこれらの問題を解決するものとして、先に特願平５−２６２９３０号によって「異方性導電膜貼り着け方法およびその装置」を提案した。図１０〜図１３によってその方法を説明すると、１はリール４に巻回された異方性導電フィルムテープで、この異方性導電フィルムテープ１は図１０に示すように、リール４から繰り出されると、異方性導電膜２と離型紙３とに分離され、離型紙３は離型紙巻取りリール５に巻取られる。一方、異方性導電膜２はその端部がチャック６によって挾持されてガイドローラ７および８に添接されて水平方向に所定長さ引き出され、図１１に示すようにエア吸引口をそれぞれ備えた固定ブロック９と可動ブロック１０とにより吸着される。次ぎに、図１２に示すように両ブロック９，１０間に配置されたカッター１１によって異方性導電膜２を切断する。切断後、固定ブロック９による吸着状態を解除し、切断された異方性導電膜２’を可動ブロック１０によって図示しない液晶パネルの上方に搬送して所定位置に貼り着ける。
【０００８】
このような貼着方法およびその装置によれば、リール４からの異方性導電フィルムテープの供給、カッター１１による異方性導電膜２の切断および可動ブロック１０による異方性導電膜２’の搬送および貼着工程を全て自動的に行っているので、手作業に比べて作業性がよくなるとともに、異方性導電膜２を正確に位置決めして貼着することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の貼着方法およびその装置は、一回毎に異方性導電膜２をチャック６によって挾持し、カッター１１によって切断しているため、一回の貼着処理にかなりの時間を要し、貼着作業の迅速化が図れず、またカッター１１の刃先形状は通常直線であるため、異方性導電フィルムテープ１の切断される端縁の形状が直線となり、任意の形状に切断することができない。このため、矩形もしくは平行四辺形の異方性導電膜２しか得られない。さらに、カッター１１に異方性導電膜２の切り糟が付着すると、カッター１１の切れ味が低下し、異方性導電膜２を精度よく切断することができないという問題があった。
【００１０】
本発明は上記した従来の問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、型抜きプレートを用いることにより、チャックで挾持したりカッターで切断したりする工程をなくすことができ、貼着作業の迅速化を図るとともに貼着物を任意形状に型抜きすることができるようにした貼着物の貼着方法を提供することにある。
また、本発明は、貼着物の貼着を効率よく実行することができる貼着物の貼着装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、離型紙で片面が覆われた貼着物からなる貼着物テープにおける前記貼着物を被貼着物に貼着する貼着物の貼着方法において、供給リールによって繰り出される貼着物テープを巻取りリールによって間欠的に巻取り、これら両リール間の貼着物テープを一対のガイドローラによって被貼着物の上方に前記離型紙を上側にして張り渡し、この貼着物テープと被貼着物との間に所定形状の抜き孔を有する型抜きプレートを挿入し、加熱ツールの押圧面に設けた弾性部材によって前記貼着物テープを上方から押圧することにより、前記型抜きプレートの抜き孔から所定形状の貼着物を型抜きして被貼着物に貼着することを特徴とする。
また、本発明は、一対のガイドローラのうち少なくとも一方のガイドローラを、加熱ツールの押圧後、上方に移動させることを特徴とする。
また、本発明は、離型紙で片面が覆われた貼着物からなる貼着物テープにおける前記貼着物を被貼着物に貼着する貼着物の貼着装置において、前記貼着物テープを繰り出す供給リールと、前記供給リールから繰り出された貼着物テープを間欠的に巻取る巻取りリールと、前記両リール間に配置され前記貼着物テープを被貼着物の上方に張り渡す一対のガイドローラと、同一円周上に複数個の抜き孔を設けるとともに水平面内において間欠的に所定角度回動されることにより前記抜き孔を貼着位置と待機位置に順次移動させる型抜きプレートと、押圧面に弾性部材を有して前記貼着位置の上方に昇降自在に設けられ前記弾性部材によって前記貼着物テープを押圧することにより、前記型抜きプレートの前記抜き孔から所定形状の貼着物を型抜きして前記被貼着物に貼着する加熱ツールと、前記待機位置に待機中の前記型抜きプレートの前記抜き孔をクリーニングするクリーニング装置とを備えたことを特徴とする。
また、本発明は、一対のガイドローラのうち少なくとも一方のガイドローラを上下動自在に構成したことを特徴とする。
【００１２】
【作用】
本発明において、一対のガイドローラ間に張り渡された貼着物テープは、被貼着物上に離型紙を上側にした状態で所定量ずつ間欠的に移送される。抜き孔を有する型抜きプレートが加熱ツールと被貼着物との間に挿入されると、加熱ツールは下降して貼着物テープの前記抜き孔に対応する部位を被貼着物に押し付けることにより、貼着物を型抜きし、被貼着物に貼着する。
加熱ツールの押圧が解除されると、一対のガイドローラの中のいずれか一方のガイドローラを上昇させて離型紙と被貼着物に貼着された貼着物を剥離する。
型抜きプレートは複数個の抜き孔を有し、間欠的に回動させることにより、抜き孔を貼着位置と待機位置に順次移動させる。待機中の抜き孔はクリーニング装置によってクリーニングされる。
【００１３】
【実施例】
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明に係る貼着物の貼着装置の一実施例を示す正面図、図２は同装置の部分的な左側面図、図３は装置全体の右側面図、図４は貼着物を型抜きするときの様子を示す斜視図、図５は型抜きプレートの斜視図である。これらの図において、本実施例は液晶パネルの端子とタブを異方性導電膜によって電気的に接続する貼着装置２０に適用した例を示す。貼着装置２０は、基台２２上に立設された装置本体２１を備えている。装置本体２１の前面側には、異方性導電フィルムテープ１が巻回された供給リール２３と、供給リール２３から繰り出される被貼着物としての異方性導電フィルムテープ１を巻取る巻取りリール２４と、両リール２３，２４間の異方性導電フィルムテープ１を液晶パネル２５の上方に張り渡す左右一対のガイドローラ２６，２７と、異方性導電フィルムテープ１に所定のテンションを付与する一対のテンションローラ２８，２９と、異方性導電フィルムテープ１と液晶パネル２５との間に挿入される型抜きプレート３０と、異方性導電フィルムテープ１を液晶パネル２５に押し付ける加熱ツール３１等が配設されている。また、型抜きプレート３０の後方には型抜きプレート３０に形成された抜き孔３２をクリーニングするクリーニング装置３３が配設されている。
【００１４】
前記異方性導電フィルムテープ１は、図９に示したものと同様に、導電粒子を熱硬化性樹脂または熱可遡性樹脂に均一に分散して形成された異方性導電膜２と、異方性導電膜２の片面を覆う離型紙３とで構成されている。異方性導電膜２は、型抜きプレート３０の抜き孔３２によって型抜きされることにより貼着物として液晶パネル２５に貼着される。供給リール２３から繰り出された異方性導電フィルムテープ１は、テンションローラ２８とガイドローラ２６によって貼着位置Ａに離型紙３を上側にした状態で導かれ、ガイドローラ２７、テンションローラ２９、ガイドピン３５およびテープ送り機構３６を経て巻取りリール２４に巻取られる。貼着位置Ａは前記加熱ツール３１の真下の位置とされる。
【００１５】
供給リール２３側のガイドローラ２６とテンションローラ２８は上下動自在に設けられており、加熱ツール３１による異方性導電フィルムテープ１の押圧状態が解除されると、図示しないシリンダ、駆動モータ等の適宜な駆動手段によって一体に上昇されるように構成されている。こうすることにより、異方性導電フィルムテープ１に上方向の張力を付与することができるため、型抜きプレート３０の抜き孔３２によって型抜きされ液晶パネル２５に貼着された異方性導電膜２と離型紙３との剥離をよくすることができる。
【００１６】
前記テープ送り機構３６は、表面に滑り止めの合成ゴムがコーティングされ、駆動モータ３８によって異方性導電フィルムテープ１の送り方向に間欠的に回転されるローラ３９と、このローラ３９に圧接されたピンチローラ４０とで構成されており、これによって前記異方性導電フィルムテープ１を所定量ずつ間欠的に送るようにしている。
【００１７】
前記型抜きプレート３０は、ベリリューム銅、ステンレス鋼等の弾性を有する金属薄板によって形成されており、図５に示すように一側端縁に前記抜き孔３２が形成されている。この場合、本実施例においては抜き孔３２を切欠き部で構成した例を示したが、所望形状の異方性導電膜２を型抜きするためには種々の形状とすることができる。たとえば、図６に示すように長円形に形成されたものとか、図７に示すように長円形の抜き孔３２を直線上に２つ並列させて形成したものであってもよい。このように抜き孔３２の形状を変えても加熱ツール３１の形状を変える必要はない。何故なら、後述するが異方性導電膜２の切断は、加熱ツール３１の下面に設けられた弾性部材５５と抜き孔３２の上端縁によってなされるからである。
そして、このような型抜きプレート３０は、抜き孔３２とは反対側端部が図４に示すようにホルダー４１にねじ等によって固定される。
【００１８】
前記ホルダー４１は、図３に示すように垂直に支承された回転軸４２の下端にその中央がねじ等によって着脱可能に固定されている。また、ホルダー４１には図４に示すように２枚の型抜きプレート３０が前記回転軸４２を挟んで対称に取り付けられている。これらの型抜きプレート３０の抜き孔３２は、回転軸４２の中心を中心とする同一円周上に位置付けられている。前記回転軸４２は、前記ホルダー４１に取り付けられた２枚の型抜きプレート３０を貼着位置Ａと待機位置Ｂに交互に移動させるために駆動モータ４３によって異方性導電膜２の型抜きが１回終わる度に１８０°ずつ間欠的に回動されるように構成されている。待機位置Ｂは貼着位置Ａの真後ろの位置とされる。駆動モータ４３の回転は、一対のプーリ４４，４５と、これらプーリ間に張設されたタイミングベルト４６によって前記回転軸４２に伝達されるが、これに限らず駆動モータ４３と回転軸４２を直結してもよい。また、駆動モータ４３に限らず他のアクチュエータ、たとえば電磁ソレノイドとラチェット機構とによりホルダー４１を間欠的に回動させる構造としてもよい。
【００１９】
前記装置本体２１の前面上部に前方に向かって突設された張り出し部２１Ａの下側は、スピンドル４８が上下動自在に設けられている。スピンドル４８の下端には加熱ブロック５０が平行度調整機構４９を介して固定されている。平行度調整機構４９としては、種々のものを採用することができるが、本実施例ではスピンドル４８側に設けられた上板５１と、加熱ブロック５０側に設けられた下板５２を、その四隅に設けたボルト５３によって互いに連結し、これらのボルト５３の緊締量を調節することによって上板５１と下板５２の平行度を調節、言い換えれば加熱ブロック５０に取り付けられる前記加熱ツール３１の下面が水平になるように調節するように構成されている。前記加熱ブロック５０には、シーズヒータ等の加熱ヒータ５４が埋設されており、これによって常時一定の温度に加熱されている。また、加熱ブロック５０の下面には前記加熱ツール３１が複数個のボルトによって固定されている。加熱ツール３１の下面は、前記型抜きプレート３０の抜き孔３２より若干大きめの押圧面を形成しており、またこの押圧面にはシリコンゴム等の耐熱性の高い弾性部材５５が固着されている。この弾性部材５５は、前記型抜きプレート３０との間に異方性導電フィルムテープ１を挾み押圧されることによって抜き孔３２の上端縁に沿って弾性変形し、この上端縁によって異方性導電膜２を破断するように機能する。また、押圧状態が解除された時の剥離紙３との離れがよい材料であることが望ましい。
【００２０】
前記型抜きプレート３０の後方に配設された前記クリーニング装置３３は、図３に示すようにロッド６１が前後方向に進退するように水平に設置されたエアシリンダ６０と、供給側リール６２から繰り出され複数個のガイドローラ６３〜６８を添接して巻取り側リール６９に巻取られる粘着テープ等のクリーニング用テープ７０と、可動テーブル７１等で構成されている。ガイドローラ６３〜６８のうち三つのローラ６４〜６７は、前記ロッド６１の先端に固定されたブロック７２の一側面に回転自在に取り付けられている。また、その中の一つのローラ６５は、前記ロッド６１の進退動作に伴い待機位置Ｂに移動した型抜きプレート３０上を摺動し、クリーニング用テープ７０を型抜きプレート３０に押し付けることによりクリーニングローラとして機能する。前記可動テーブル７１は、前記待機位置Ｂの下方に上下動自在に配設されており、待機位置Ｂに待機している型抜きプレート３０のクリーニング時に駆動モータ７３によって型抜きプレート３０の下面まで上昇して型抜きプレート３０をクリーニングローラ６５に押し付け、クリーニングが終了すると同時に下降されるように構成されている。
【００２１】
次に、上記構造からなる貼着装置２０による貼着動作を主として図８に基づいて説明する。
先ず、異方性導電フィルムテープ１の引出し量等の初期条件を設定した後、型抜きプレート３０、加熱ツール３１、クリーニング装置３３、その他機構部品の位置等が所定位置になるように初期化する。この初期化した状態において、型抜きプレート３０は異方性導電フィルムテープ１の下方にこれと近接して平行に位置する。また、加熱ツール３１は上死点位置に待機している。図８（ａ）はこの状態を示す。また、クリーニング装置３３のエアシリンダ６０は、図３に示すようにロッド６１を前方に突出させてクリーニングローラ６５を待機位置Ｂに位置させている。この時、可動テーブル７１は下死点位置に待機している。
【００２２】
今、図３に示すように搬送テーブル７５を上昇させて貼着位置Ａに位置付けし、その上面に載置されている液晶パネル２５を型抜きプレート３０の下面に接触させると、図８（ｂ）に示すように加熱ツール３１が下降して異方性導電フィルムテープ１を型抜きプレート３０を介して液晶パネル２５の上面に押し付ける。この時、異方性導電フィルムテープ１の型抜きプレート３０の抜き孔３２に対応する部位が加熱ツール３１の下面に固着された弾性部材５５によって抜き孔３２内に押し込まれるため、この部位の異方性導電膜２’が抜き孔３２の両端縁の形状に切断されて液晶パネル２５の上面に貼着される。この切断は先にも述べたように弾性部材５５の抜き孔３２の上端縁への押圧による弾性変形によるものである。この型抜きされた異方性導電膜２’が貼着されると、加熱ツール３１は図８（ｃ）に示すように上昇して上死点位置に復帰すると同時に、図２に示すテープ送り機構３６の駆動モータ３８が駆動して異方性導電フィルムテープ１を巻取りローラ２４に所定量巻取る。また、この時、図１に示すガイドローラ２６とテンションローラ２８は上方に上昇することにより異方性導電フィルムテープ１を上方へ引き上げ、液晶パネル２５に貼着された異方性導電膜２’から離型紙３を分離する。ガイドローラ２６とテンションローラ２８を上昇させるタイミングは、加熱ツール３１が異方性導電フィルムテープ１を押圧した後であれば何時でもよい。
この場合、本実施例においては、ガイドローラ２６とテンションローラ２８を共に上下動させるようにしたが、ガイドローラ２６のみを上下動させてもよい。また、このガイドローラ２６の代わりに巻取りリール２４側のガイドローラ２７を単独にまたはテンションローラ２９と一体に上下動させたり、あるいは左右のガイドローラ２６，２７を同時に上下動させたり、ガイドローラ２６，２７およびテンションローラ２８，２９を同時に上下動させるようにしてもよい。
【００２３】
一方、型抜きプレート３０は、加熱ツール３１が上昇して上死点位置に復帰すると、駆動モータ４３の駆動によって回転軸４２を回転することにより、１８０°回動して待機位置Ｂに移動し、代わりに待機位置Ｂに待機していた他の型抜きプレート３０が貼着位置Ａに位置付けられる。待機位置Ｂに型抜きプレート３０が位置すると、クリーニング装置３３の可動テーブル７１は駆動モータ７３の駆動によって待機位置Ｂまで上昇して前記型抜きプレート３０をクリーニングローラ６５にクリーニング用テープ７０を介して押し付ける。次いで、エアシリンダ６０が駆動してロッド６１を後退させると、前記クリーニングローラ６５は型抜きプレート３０上を転動しながら後退し、クリーニング用テープ７０によって型抜きプレート３０に付着している異方性導電フィルムテープ１の残さを拭き取ることによって除去する。この時、当然のことながらクリーニング用テープ７０は供給側リール６２からクリーニングに必要な量だけ繰り出される。クリーニングローラ６５が型抜きプレート３０の後端まで移動すると、クリーニングが終了し、ロッド６１が前進してクリーニングローラ６５を元の位置に復帰させ、可動テーブル７１が初期位置に下降し、もって一回の貼着動作が終了する。このような動作を繰り返すことにより供給リール２３に巻かれている異方性導電フィルムテープ１の異方性導電膜２を液晶パネル２５に順次貼着することができる。
【００２４】
クリーニング装置３３によるクリーニング動作は、通常異方性導電膜２を一回貼着する毎に行われるが、型抜きプレート３０の抜き孔３２の形状によっては異方性導電フィルムテープ１の残さが殆ど付着しない場合がある。このようなときは異方性導電膜２を数回貼着する毎にクリーニングを行うようにしてもよい。
【００２５】
なお、上記実施例は液晶パネル２５に異方性導電膜２を貼着物として貼着するようにした例を示したが、本発明はこれに限らず、種々の貼着物に対しても適用することができる。
また、上記実施例はホルダー４１に２枚の型抜きプレート３０を取り付けた例を示したが、一つあるいは三つ以上であってもよい。
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る貼着物の貼着方法およびその装置は抜き孔を有する型抜きプレートと加熱ツールを用いて貼着物テープの貼着物を被貼着物に貼着するようにしたので、貼着物をチャックで保持したり、カッターで切断する必要がなく、一回の貼着処理を短時間で行うことができ、貼着作業の迅速化を図ることができる。また、型抜きプレートを用いているので、任意の形状のものを精度よく型抜きすることができる。
また、本発明は、貼着物テープをガイドする一対のガイドローラのうち少なくとも一方のガイドローラを上下動自在に構成し、加熱ツールによる押圧後、このガイドローラを上方に移動させるようにしているので、被貼着物に貼着された貼着物と離型紙を確実に分離することができる。
さらに、本発明はクリーニング装置によって型抜きプレートの抜き孔をクリーニングするようにしているので、貼着物を精度よく型抜きすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る貼着物の貼着装置の一実施例を示す正面図である。
【図２】同装置の部分的な左側面図である。
【図３】装置全体の右側面図である。
【図４】貼着物を型抜きするときの様子を示す斜視図である。
【図５】型抜きプレートの斜視図である。
【図６】型抜きプレートの他の実施例を示す斜視図である。
【図７】型抜きプレートのさらに他の実施例を示す斜視図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は貼着動作を説明するための図である。
【図９】異方性導電フィルムテープの断面図である。
【図１０】貼着方法の従来例を示す図である。
【図１１】貼着方法の従来例を示す図である。
【図１２】貼着方法の従来例を示す図である。
【図１３】貼着方法の従来例を示す図である。
【符号の説明】
１…異方性導電フィルムテープ、２…異方性導電膜、３…離型紙、２３…供給リール、２４…巻取りリール、２５…液晶パネル、２６，２７…ガイドローラ、２８，２９…テンションローラ、３０…型抜きプレート、３１…加熱ツール、３２…抜き孔、３３…クリーニング装置、５５…弾性部材、Ａ…貼着位置、Ｂ…待機位置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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