(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に積層される平板状の一対の上，下ガラス板と、
これらの上，下ガラス板間に介装される紫外線硬化型の接着剤と、
前記上ガラス板の裏面側に一端が開口するように凹設されたエア流通溝と、
このエア流通溝に下端が連通し、上端が前記上ガラス板の上面に開口する複数の空気孔とを備え、
前記上ガラス板上にガラス乾板などの被測定対象物を載置して、前記エア流通溝を介してエアを排気ないしは供給することで前記被測定対象物を前記上ガラス板に吸着ないしは脱着することを特徴とする光透過型ガラスエアチャックテーブル。
【請求項２】
前記エア流通溝は、前記紫外線硬化型の接着剤で前記上，下ガラス板を接着する前に、一端開口が上ガラス板の裏面に貼着されたシートで閉塞されることを特徴とする請求項１記載の光透過型ガラスエアチャックテーブル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、光透過型ガラスエアーチャックテーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路の製造用に用いられるフォトマスクは、非常に微細なパターンが焼き付けられていて、高精度が要求されており、このようなフォトマスクの原画は、通常、温，湿度に対して寸法が安定しているガラス乾板に焼き付けられている。ところで、ガラス乾板に焼き付けられているパターンは、製造に使用する前に、その寸法形状が設計図面と一致しているかどうかの検査が行なわれる。
【０００３】
この検査は、ガラス乾板の裏面側から照明光を照射し、ガラス乾板の上面側に顕微鏡を設置して、顕微鏡によりパターンの形状や寸法が測定される。このような検査方法においては、ガラス乾板の固定手段が重要な技術的課題となる。すなわち、例えば、透過照明が可能なガラス板製の測定テーブル上に単にガラス乾板を載せただけで測定すると、テーブルとガラス乾板との間に不均一な隙間が発生して、測定誤差の原因となる。
【０００４】
ところが、このような誤差の原因を排除するために、テーブルに対してガラス乾板を機械的に固定する手段では、ガラス乾板に焼き付けられているバターンを損傷する恐れがあるので望ましくない。そこで、例えば、特開昭６１−１５２４９９号公報に開示されているようなエア吸着により、ガラス乾板の裏面側を固定することが考えられ、このようなエアチャック手段によれば、ガラス乾板のパターンに非接触状態で固定できるので、上述した問題がなくなる。
【０００５】
しかしながら、エアチャックによりガラス乾板を固定する場合には、以下に説明する技術的な課題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
すなわち、ガラス乾板を固定するテーブルの材質としては、光の透過性、温度に対する寸法安定性などの点からガラス板が望ましいが、ガラス板をエアチャツク手段として使用する際には、ガラス板の厚み方向に複数の空気孔を穿設し、ガラス板の面方向に、これらの空気孔間を接続する連通孔を形成しなければならない。
【０００７】
ところが、ガラス板に空気孔を穿設することは、比較的簡単であるが、空気孔間を連通する長い連通孔を形成することは、非常に難しく、このためガラス板製のエアチャックテーブルは、現在まで実用化されていない。
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、比較的簡単に製作することができるガラス板製の光透過型エアチャックテーブルを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、上下方向に積層される平板状の一対の上，下ガラス板と、これらの上，下ガラス板間に介装される紫外線硬化型の接着剤と、前記上ガラス板の裏面側に一端が開口するように凹設されたエア流通溝と、このエア流通溝に下端が連通し、上端が前記上ガラス板の上面に開口する複数の空気孔とを備え、前記上ガラス板上にガラス乾板などの被測定対象物を載置して、前記エア流通溝を介してエアを排気ないしは供給することで前記被測定対象物を前記上ガラス板に吸着ないしは脱着することを特徴とする。
請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明において、前記エア流通溝は、前記紫外線硬化型の接着剤で前記上，下ガラス板を接着する前に、一端開口を上ガラス板の裏面に貼着されたシートで閉塞することを特徴とする。
【０００９】
【作用】
上記構成の光透過型エアチャックテーブルによれば、上下方向に積層される平板状の一対の上，下ガラス板と、これらの上，下ガラス板間に介装される紫外線硬化型の接着剤と、上ガラス板の裏面側に一端が開口するように凹設されたエア流通溝と、このエア流通溝に下端が連通し、上端が前記上ガラス板の上面に開口する複数の空気孔とを備えているので、ガラス板の面方向にエア流通孔を設けなくても、エア流通溝を介してエアを排気ないしは供給することで被測定対象物を上ガラス板に吸着ないしは脱着することができる。
また、請求項２の構成によれば、エア流通溝は、紫外線硬化型の接着剤で上，下ガラス板を接着する前に、一端開口を上ガラス板の裏面に貼着されたシートで閉塞するので、エア流通溝内に紫外線硬化型の接着剤の流入を阻止できる。
【００１０】
【実施例】
以下本発明の好適な実施例について添附図面を参照して詳細に説明する。図１および図２は、本発明にかかる光透過型エアチャックテーブルの一実施例を示している。同図に示すエアチャックテーブルは、上下方向に対面状態で積層される一対の上，下ガラス板１０，１２を有している。これらの上，下ガラス板１０，１２は、これらの間に介装される紫外線硬化型の接着剤（レンズボンド）１４により相互に接着される。
【００１１】
上，下ガラス板１０，１２は、同一寸法形状のものであって、各ガラス板１０，１２は、上下面が平行になっている。上，下ガラス板１０，１２を接着する際には、下ガラス板１２の上面全域に液状の紫外線硬化型接着剤１４（レンズボンド）を塗布し、この接着剤１４（レンズボンド）の上に上ガラス板１０を載せて押圧し、この様態で接着剤１４（レンズボンド）に紫外線を照射することにより硬化させる。
【００１２】
紫外線硬化型の接着剤１４（レンズボンド）は、その粘度が小さく、流動性に富んでいるので、上ガラス板１０を下ガラス板１２上に押圧したときに、過剰の接着剤１４（レンズボンド）がガラス板１０，１２の界面から排除され、その結果、非常に薄い膜状の接着剤層が形成されて、上，下ガラス板１０，１２が強固に接着される。
【００１３】
上ガラス板１０には、その裏面側に一端が開口する凹状のエア流通溝１６が設けられている。このエア流通溝１６は、図１に仮想線で示している測定対象物１８に形成されている測定エリア２０（集積回路パターンが焼付け形成されている範囲）の測定に影響を及ぼさない位置に設けられており、測定対象物１８の外形の内側にあって、その外周縁を周回するように形成されるとともに、４つの測定エリア２０を取り囲むように形成されている。
【００１４】
このように形成されたエア流通溝１６の一端には、エアの排気および供給口２２が設けられている。また、エア流通溝１６の適宜個所には、下端がこのエア流通溝１６に連通し、上端が上ガラス板１０の上面に開口する複数の空気孔２４が形成されている。各空気孔２４は、上ガラス板１０を上下に貫通するものであって、エア流通溝１６の幅よりもかなり小さい直径を有している。
【００１５】
この場合、エア流通溝１６は、上ガラス板１０の裏面側を凹状に削り取ることにより形成され、空気孔２４の長さは、溝１６の厚みに相当する分だけ短くなるので、これらの加工は容易に行なえる。
以上のように構成されたエアチャックテーブルでは、膜状に塗られた紫外線硬化型の接着剤１４（レンズボンド）で相互に接着された、一対の上，下ガラス板１０，１２と、、上ガラス板１０の裏面側に上端が開口するように凹設されたエア流通溝１６と、このエア流通溝１６に下端が連通し、上端が上ガラス板１０の上面に開口する複数の空気孔２４とを備えているので、上ガラス板１０上にガラス乾板などの被測定対象物１８を載置して、エア流通溝１６を介して、その内部に存在するエアを排気口２２から排気することにより、測定対象物１８を上ガラス板１０上に吸着固定することができる。
【００１６】
また、下ガラス板１２の下方から照射する透過照明により測定対象物１８の測定エリア２０の測定が終了すると、エア流通溝１６内にエアを送り込んで、空気孔２４からこれを噴射させると、上ガラス板１０から測定対象物１８を脱着することができる。なお、図１に符号２６で示した部分は、脱着された測定対象物１８を掴むために上ガラス板１０の上面に設けられた指挿入用凹部である。
【００１７】
さて、以上のように構成されたエアチャックテーブルによれば、エアの吸着により測定対象物１８を上ガラス板１０上に固定するので、透過照明により、測定エリア２０の正確な測定が可能になる。このとき、エア流通溝１６と空気孔２４は、測定に影響しない部分に形成されているとともに、上，下ガラス板１０，１２が非常に薄い膜状に塗られた紫外線硬化型接着剤１４（レンズボンド）により接着されているので、透過照明に何ら影響を及ぼさず、測定精度の低下を招くこともない。
【００１８】
図３および図４は、本発明にかかるエアチャツクテーブルの他の実施例を示しており、上記実施例と同一若しくは相当する部分には、同符号を付してのその詳細な説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ説明する。同図に示すエアチャックテーブルは、上記実施例と同様に、紫外線硬化型の接着剤１４（レンズボンド）で相互に接着される一対の上，下ガラス板１０，１２を備え、上ガラス板１０の裏面側には、エア流通溝１６が形成されるとともに、この流通溝１６と下端が連通し、上端が上ガラス板１０上に開口する空気孔２４も形成されている。
【００１９】
この実施例では、エア流通溝１６は、紫外線硬化型の接着剤１４（レンズボンド）で上，下ガラス板１０，１２を接着する前に、一端開口が上ガラス板１０の裏面に貼着されたシート２８で閉塞される。このシート２８は、例えば、エア流通溝１６の横幅よりも若干幅の広いフィルム状の粘着シートであり、その厚みは、接着剤１４（レンズボンド）の厚みよりも小さいものが望ましい。
【００２０】
なお、このシート２８は、上述したものに限られることはなく、例えば、下ガラス板１２にエア流通溝１４と同じ形状の溝を形成しておけば、接着剤１４（レンズボンド）の厚みよりも大きな厚みのものであってもよい。また、シート２８は、透明なものが望ましいが、色彩が施されたものであってもよく、特に、色彩が施されたシート２８を使用すると、上ガラス板１０上に測定対象物１８を載せる際に、このテープ２８を測定対象物１８の位置決め目標とすることができる。
【００２１】
以上のように構成された本実施例のエアチャックテーブルによれば、上記実施例の作用効果に加えて、エア流通溝１６が、紫外線硬化型の接着剤１４（レンズボンド）で上，下ガラス板１０，１２を接着する前に、一端開口を上ガラス板１０の裏面に貼着されたシート２８で閉塞されるので、エア流通溝１６内に紫外線硬化型の接着剤１４（レンズボンド）の流入を確実に阻止することか可能になる。
【００２２】
【発明の効果】
以上、実施例で詳細に説明したように、本発明にかかる光透過型エアチャックテーブルによれば、ガラス乾板などの測定対象物を吸着ないしは脱着させる板ガラス製のものが比較的簡単に製作できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる光透過型エアチャックテーブルの一実施例を示す平面図である。
【図２】図１の要部断面図である。
【図３】本発明にかかる光透過型エアチャックテーブルの他の実施例を示す平面図である。
【図４】図３の要部断面図である。
【符号の説明】
１０            上ガラス板
１２            下ガラス板
１４            接着剤（レンズボンド）
１６            エア流通溝
１８            測定対象物
２０            測定エリア
２２            排気および供給口
２４            空気孔
２６            指挿入凹部
２８            シート
【図１】
0003718253.tif 000002
【図２】
0003718253.tif 000003
【図３】
0003718253.tif 000004
【図４】
0003718253.tif 000005