(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されてなる誘電体材料製の放電容器と、誘電体バリア放電を行うための電極とを備えてなる誘電体バリア放電ランプを備え、当該誘電体バリア放電ランプに接続された誘電体バリア放電を行うための電源装置が設けられてなる誘電体バリア放電ランプ装置において、
前記放電容器における表面が屈曲した屈曲面部から放射される可視光を検知する可視光検知手段が、その入光面が当該屈曲面部を臨む状態で、当該屈曲面部に対応する、前記放電容器に係る誘電体壁の延長位置に備えられていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項２】
外管と、この外管内においてその筒軸に沿って配置された、当該外管の内径より小さい外径を有する内管との間に放電空間が形成された二重管構造を有し、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されてなる誘電体材料製の放電容器と、誘電体バリア放電を行うための電極とを備えてなる誘電体バリア放電ランプを備え、当該誘電体バリア放電ランプに接続された誘電体バリア放電を行うための電源装置が設けられてなる誘電体バリア放電ランプ装置において、
前記放電容器における表面が屈曲した屈曲面部から放射される可視光を検知する可視光検知手段が、その入光面が当該屈曲面部を臨む状態で、当該屈曲面部に対応する、前記放電容器の外管または内管に係る誘電体壁の延長位置に備えられていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項３】
誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部が、当該誘電体バリア放電ランプの電極間方向以外の位置にあることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項４】
誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部が、放電容器の端部における周縁部であることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項５】
可視光検知手段が可視光センサーよりなり、当該可視光センサーの入光面が、放電容器の端部を覆うように装着された口金に設けられた貫通孔を介して誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部を臨む状態に配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項６】
可視光検知手段が可視光センサーと、当該可視光センサーの入光面に一端面が対向する導光ファイバーとにより構成されてなるものであり、当該導光ファイバーの他端面が誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部を臨む状態に配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項７】
可視光検知手段が、波長６００〜７００ｎｍの可視光を検知するものであることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、誘電体バリア放電によってエキシマ分子から放射される光を放出させる誘電体バリア放電ランプを備えてなる誘電体バリア放電ランプ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば半導体製造プロセスにおける洗浄工程などに用いられる、波長２００ｎｍ以下の真空紫外光を被処理体に放射する紫外線照射処理装置としては、誘電体バリア放電（別名「オゾナイザ放電」あるいは「無声放電」：電気学会発行改定新版「放電ハンドブック」平成１年６月再版７刷発行第２６３頁参照）によってエキシマ分子を形成し、当該エキシマ分子から放射される光（以下、「エキシマ光」ともいう。）を利用する誘電体バリア放電ランプを備えた誘電体バリア放電ランプ装置が用いられている。
【０００３】
このような誘電体バリア放電ランプ装置においては、信頼性の高い紫外光照射処理を行うためには誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確認することが必要となるが、主として放射される光が真空紫外光（以下、単に「紫外光」ともいう。）であることから、当該誘電体バリア放電ランプの点灯状態は目視にて確認することができないため、誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確認するための種々の手法が提案されている。
【０００４】
誘電体バリア放電ランプ装置において、誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確認するための１つの手法として、放射される紫外光を検知する手法（特許第３０４３５６４号公報参照）が知られているが、紫外光センサーが高価であること、また、紫外光センサーは寿命特性が悪く、紫外光感度の劣化が激しいために、紫外検知対象である紫外光の空気中における光強度が著しく変動するために確実に点灯状態を確認することができない、などの理由から実用的でない。
【０００５】
また、誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確認するための他の手法として、誘電体バリア放電ランプにおける、例えば誘電体である石英ガラスよりなる放電容器によって形成された放電空間内に、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する、例えばキセノンなどの放電用ガスに加えて酸素原子を封入することにより、誘電体バリア放電によって発生する紫外光と共に可視光である緑色光を発生させ、この緑色光を、例えばシリコンフォトダイオードなどの可視光センサーで検知する手法（特許第３１７０９８９号公報参照）が知られている。
【０００６】
この可視光を検知する手法によって誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確認する誘電体バリア放電ランプ装置においては、点灯状態を安価な可視光センサーによって確認することができ、しかも、目視によっても確認することもできるが、当該緑色光は、放電用ガスが酸素と結合して生成した、例えば酸化キセノンに由来して発光するものであるため、結果的に一部のキセノンがエキシマ光の発生に寄与しないこととなり、その結果、高い効率で紫外光を被処理体に照射することができない、という問題がある。
【０００７】
さらに、可視光を検知する他の手法として、誘電体バリア放電ランプから放射される紫外光の光強度に比して極めて僅かな光強度で発生する可視光を、例えばシリコンフォトダイオードなどの可視光センサーで検知する手法（特許第２７８９５５７号公報、特許第２８３６０５８号公報参照）が知られている。
この可視光を検知する手法によって誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確認する誘電体バリア放電ランプ装置は、例えば図９に示すように、ケーシング８０における天井面を構成し、その表面に反射膜８２が形成されてなる冷却ブロック８１に装着された状態の４つの誘電体バリア放電ランプ９０を備え、当該冷却ブロック８１には、各誘電体バリア放電ランプ９０の真上領域に、貫通孔である光導入孔８１Ａが形成されており、この光導入孔８１Ａの一端側に可視光センサー８９が設けられてなるものである。
図において、８３は誘電体バリア放電ランプ９０から放射された光を被処理体に照射するための光取り出し窓部である。
【０００８】
このような構成の誘電体バリア放電ランプ装置によれば、放電用ガスに不純物を混入させることなく、誘電体バリア放電ランプ９０の点灯状態を可視光センサーによって確認することができるが、誘電体バリア放電ランプ９０から光導入孔８１Ａ方向に放射された紫外光は、光取り出し窓部８３を介して放射されないために利用されず、結局、高い効率で紫外光を被処理体に照射することができない、という問題がある。
【０００９】
また、誘電体バリア放電ランプから放射される可視光は、その光強度が経時的に次第に低下してしまうことがある。このことから、可視光センサーによって検知可能な光強度が確保されず、その点灯状態を検知することができないおそれがある点で信頼性が高いものではない。
例えば石英ガラス製の放電容器を用いた誘電体バリア放電ランプに係る放射光の光強度の変化を観察したところ、図１０に示すように、波長６００〜７００ｎｍの光（可視光）の光強度は、時間の経過と共に次第に低下することが確認された。
図１０において、曲線ａは３５時間経過後の放射光のスペクトルを示し、曲線ｂは７８時間経過後の放射光のスペクトルを示し、曲線ｃは１９６時間経過後の放射光のスペクトルを示し、曲線ｄは５２３時間経過後の放射光のスペクトルを示す。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、容易な方法によって誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確実に確認することができ、しかも、高い効率で紫外光を放射することのできる誘電体バリア放電ランプ装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の誘電体バリア放電ランプ装置は、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されてなる誘電体材料製の放電容器と、誘電体バリア放電を行うための電極とを備えてなる誘電体バリア放電ランプを備え、当該誘電体バリア放電ランプに接続された誘電体バリア放電を行うための電源装置が設けられてなる誘電体バリア放電ランプ装置において、
前記放電容器における表面が屈曲した屈曲面部から放射される可視光を検知する可視光検知手段が、その入光面が当該屈曲面部を臨む状態で、当該屈曲面部に対応する、前記放電容器に係る誘電体壁の延長位置に備えられていることを特徴とする。
本発明の誘電体バリア放電ランプ装置は、外管と、この外管内においてその筒軸に沿って配置された、当該外管の内径より小さい外径を有する内管との間に放電空間が形成された二重管構造を有し、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されてなる誘電体材料製の放電容器と、誘電体バリア放電を行うための電極とを備えてなる誘電体バリア放電ランプを備え、当該誘電体バリア放電ランプに接続された誘電体バリア放電を行うための電源装置が設けられてなる誘電体バリア放電ランプ装置において、
前記放電容器における表面が屈曲した屈曲面部から放射される可視光を検知する可視光検知手段が、その入光面が当該屈曲面部を臨む状態で、当該屈曲面部に対応する、前記放電容器の外管または内管に係る誘電体壁の延長位置に備えられていることを特徴とする。
【００１２】
本発明の誘電体バリア放電ランプ装置においては、誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部が、当該誘電体バリア放電ランプの電極間方向以外の位置にあることを特徴とする。
【００１３】
本発明の誘電体バリア放電ランプ装置においては、誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部が、放電容器の端部における周縁部であることが好ましい。
【００１５】
本発明の誘電体バリア放電ランプ装置においては、可視光検知手段が可視光センサーよりなり、当該可視光センサーの入光面が、放電容器の端部を覆うように装着された口金に設けられた貫通孔を介して誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部を臨む状態に配置されていることが好ましい。
【００１６】
また、本発明の誘電体バリア放電ランプ装置においては、可視光検知手段が可視光センサーと、当該可視光センサーの入光面に一端面が対向する導光ファイバーとにより構成されてなるものであり、当該導光ファイバーの他端面が誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部を臨む状態に配置されていてもよい。
【００１７】
本発明の誘電体バリア放電ランプ装置においては、可視光検知手段が、波長６００〜７００ｎｍの可視光を検知するものである。
【００１８】
【作用】
本発明の誘電体バリア放電ランプ装置によれば、誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部から放射される可視光が、十分に可視光検知手段によって検知可能な光強度を有するものであり、この屈曲面部から放射される可視光を検知することによって誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確認するものであると共に、誘電体バリア放電ランプの電極間方向以外の位置に、当該誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部があるようにすることができることから、誘電体バリア放電ランプから放射される紫外光の一部を犠牲とすることがなく、しかも、被処理体に対する紫外光の放射が阻害されることがない。
従って、可視光センサーを用いることによって誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確実に確認することができ、しかも、高い効率で紫外光を放射することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の誘電体バリア放電ランプ装置について詳細に説明する。
図１は、本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の一例における構成を示す説明用概略図であり、図２は、図１の誘電体バリア放電ランプ装置に備えられている誘電体バリア放電ランプの構成を示す説明図である。
この誘電体バリア放電ランプ装置においては、誘電体バリア放電ランプ２０が、全体が矩形の箱型の表面をアルマイト処理したアルミニウム若しくはステンレスよりなるケーシング１０内に、支持部材（図示せず）により固定されることによって装着されてなる構成を有するものであって、当該ケーシング１０の天面板１１および当該天面板１１に連結する側面板１３の内表面全面には、反射膜１５が設けられており、また、当該天面板１１に対向する底面板１２には、光放射窓１４が設けられている。
【００２０】
誘電体バリア放電ランプ２０は、透光性のある誘電体の石英ガラスよりなる円筒状の外管３１と、この外管３１内においてその筒軸に沿って配置された、当該外管３１の内径より小さい外径を有する透光性のある誘電体の石英ガラスよりなる円筒状の内管３２とを有し、外管３１と内管３２との間の両端部が、石英ガラスよりなる封止部材３３によって接合されることによって円筒状の放電空間Ｓが形成されてなる二重管構造を有する放電容器３０を備えており、この放電容器３０の外管３１には、その外周面３１Ａに密接して、例えば金網などの導電性材料よりなる網状の一方の電極（以下、「外部電極」ともいう。）３４が設けられていると共に、内管３２には、その内周面３２Ａに密接して、例えばアルミニウム板よりなる他方の電極（以下、「内部電極」ともいう。）３５が設けられてなる誘電バリア放電ランプ本体２１を有している。
放電容器３０における放電空間Ｓ内には、例えばキセノンガスなどの誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されている。
この図の例においては、誘電体バリア放電ランプ本体２１における外部電極３４および内部電極３５は、高周波電源よりなる電源装置２２に接続されている。
【００２１】
このような誘電体バリア放電ランプ本体２１における放電容器３０の両端部には、各々の端部を覆うように、例えばセラミックよりなる口金４１、４２が接着剤で固着されて装着されており、当該口金４１、４２と、誘電体バリア放電ランプ本体２１とにより誘電体バリア放電ランプ２０が構成されている。
この誘電体バリア放電ランプ２０によれば、後述する電源装置２２の周波数を、例えば５０Ｈｚ（商用周波数）程度から、数ＭＨｚ及至数ＧＨｚ、更にそれ以上として当該誘電体放電バリア放電ランプ２０を点灯させても、高い効率でエキシマ光を得ることができる。
【００２２】
そして、一方の口金４２には、誘電体バリア放電ランプ本体２１を構成する放電容器３０の一方の端部（図において左端部）における周縁部により構成される屈曲面部に対応する、当該放電容器３０の外管３１に係る石英ガラス壁の延長位置に、貫通孔４３が形成されており、この貫通孔４３には、当該貫通孔４３に適合した大きさの可視光センサー４４が、その入光面が誘電体バリア放電ランプ２０における屈曲面部を臨む状態で設けられている。
【００２３】
ここで、誘電体バリア放電ランプ２０における屈曲面部を形成する周縁部とは、放電容器３０における外管３１の一端側部分（図において左端側部分）からこれに連続する封止部材３３の外方端側部分の表面領域であって、放電容器３０における表面が屈曲した部分をいう。
【００２４】
可視光センサー４４としては、例えばシリコンフォトダイオードやゲルマニウムフォトダイオードなどを用いることができる。
【００２５】
このような構成の誘電体バリア放電ランプ装置は、電源装置２２によって誘電体バリア放電ランプ２０における外部電極３４と内部電極３５とに高周波電圧が印加され、当該誘電体バリア放電ランプ２０に係る放電空間Ｓ内において誘電体バリア放電が発生して誘電体バリア放電ランプ２０が点灯状態となり、ケーシング１０の光放射窓１４から紫外光が放射される。
そして、この点灯状態において、例えば誘電体バリア放電によって発生する紫外光の作用により、放電容器３０を構成する石英ガラスの内部に、例えば波長６００〜７００ｎｍの可視光が発生する。また、誘電体バリア放電ランプ２０においては、誘電体バリア放電自体によっても光強度は低いが可視光が発生する。
【００２６】
このようにして発生した可視光（ｈν）の大部分は、図３に示すように、外管３１に係る石英ガラス壁３１Ｂにおいて、または内管３２に係る石英ガラス壁において繰り返し反射されて導光される。
然るに、図４に示すように、屈曲面部においては、石英ガラス壁（図においては、放電容器３０における封止部材３３に係る石英ガラス壁３３Ａ）の外面に対する可視光の入射角度が大きくなるため、導光されてきた可視光は当該屈曲面部から放射されることとなる。しかも、誘電体バリア放電ランプ２０における全長において生じた可視光が、屈曲面部において集光されることなるから、この屈曲面部から放射される可視光は、その光強度が相当に大きいものである。
【００２７】
従って、屈曲面部から放射された可視光が、その入光面が屈曲面部に臨むよう配置された可視光センサー４４によって検知され、これにより、誘電体バリア放電ランプ２０が点灯状態にあることが確認される。
【００２８】
一方、この誘電体バリア放電ランプ装置において、誘電体バリア放電ランプ２０が点灯されていない状態においては可視光も発生せず、可視光センサー４４によって可視光が検知されることがないことから、誘電体バリア放電ランプ２０が不点灯状態にあることが確認される。
【００２９】
以上のように、本発明の誘電体バリア放電ランプ装置によれば、誘電体バリア放電ランプ２０における屈曲面部から外管３１に係る石英ガラス壁の延長方向外方に放射される可視光が、十分に可視光センサー４４によって検知可能な光強度を有するものであり、この屈曲面部から放射される可視光を検知することによって誘電体バリア放電ランプ２０の点灯状態を確認するものであると共に、可視光センサー４４が誘電体バリア放電ランプ２０における屈曲面部に対して、電極間方向と直角方向の位置にあることから、誘電体バリア放電ランプ２０から放射される紫外光の一部を犠牲とすることがなく、しかも、被処理体に対する紫外光の放射が阻害されることがない。
従って、可視光センサー４４を用いることによって誘電体バリア放電ランプ２０の点灯状態を確実に確認することができ、しかも、高い効率で紫外光を放射することができる。
【００３０】
この誘電体バリア放電ランプ装置は、例えば紫外線照射装置として、半導体用ウエハや液晶製造工程のマザーガラスのドライ洗浄や、製造工程中におけるウエハや液晶パネル基板などのドライアッシングなどに用いることができる。また、ＬＣＤプロセス、材料関連の分野における樹脂や金属材料の表面活性などにも用いることができる。
このような装置によれば、誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確認することにより、当該誘電体バリア放電ランプが不点灯状態にあることを把握することができることから、例えば被処理体の各々に対して確実に紫外光照射処理を行うことができるため、高い信頼性が得られる。
【００３１】
本発明の誘電体バリア放電ランプ装置は、上記の実施例に限定されず種々の変更を加えることができる。
例えば、誘電体バリア放電ランプは、図５に示すように、誘電体バリア放電ランプランプ本体５１が、当該誘電体バリア放電ランプ本体５１の光放射方向（図において右方向）に開口を有する反射鏡５２で覆われてなる構成を有するヘッドオン型のものであって、当該反射鏡５２の誘電体バリア放電ランプ本体５１の放電容器６０一方の端部（図において左端部）における周縁部により構成される屈曲面部に対応する、当該放電容器６０の外管６１による石英ガラス壁の延長位置に、貫通孔５３が形成されてなる構成を有するものであってもよい。
この場合においても、可視光検知手段を用いることによって誘電体バリア放電ランプ５０の点灯状態を確実に確認することができ、しかも、高い効率で紫外光を放射することができる。
【００３２】
ここで、誘電体バリア放電ランプ本体５１は、透光性のある誘電体の石英ガラスよりなる円筒状の外管６１と、この外管６１内においてその筒軸に沿って配置された、当該外管６１の内径より小さい外径を有する透光性のある誘電体の石英ガラスよりなる円筒状の内管６２とを有し、外管６１と内管６２との一端部（図において左端部）が、石英ガラスよりなる封止部材６５によって接合されると共に、外管６１の他端部（図において右端部）に石英ガラスよりなる円盤状の光取り出し窓６３が接合されており、また、内管６２における当該光取り出し窓６３側の他端部に石英ガラスよりなる円盤状の封鎖部材６４を接合することによって放電空間Ｓが形成されてなる放電容器６０を備えており、この放電容器６０の外管６１には、その外周面６１Ａに密接して、例えばアルミニウム板よりなる一方の電極（以下、「外部電極」ともいう。）６６が設けられていると共に、内管６２には、その内周面６２Ａに密接して、例えばアルミニウム板よりなる他方の電極（以下、「内部電極」ともいう。）６７が設けられてなるものである。
この図の例においては、誘電体バリア放電ランプ５０における外部電極６６および内部電極６７は、高周波電源よりなる電源装置（図示せず）に接続されている。
【００３３】
また、可視光検知手段としては、図５に示されているように、例えばヘッドオン型の誘電体バリア放電ランプ５０を備えた誘電体バリア放電ランプ５０における反射鏡５２の貫通孔５３に適合した大きさの外径を有する導光ファイバー６９と、この導光ファイバー６９の一端面６９Ａに対向する入光面を有する可視光センサー６８とにより構成されるものであって、当該導光ファイバー６９の他端面６９Ｂを誘電体バリア放電ランプ５０における屈曲面部を臨む状態で当該貫通孔５３内に配置することによって当該誘電体バリア放電ランプ５０の点灯状態を確認する構成を有するものであってもよい。
この場合においても、導光ファイバー６９を介して可視光センサー６８に、屈曲面部から放射された可視光が入光することから、当該可視光センサー６８によって誘電体バリア放電ランプ５０の点灯状態を確実に確認することができ、しかも、高い効率で紫外光を放射することができる。
【００３４】
誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部は、放電容器の端部における周縁部に限定されず、放電容器における表面が屈曲した部分により構成される、例えば排気管残部、外管や内管の突起部などの誘電体バリア放電ランプの製造過程において放電容器を加工することによっていずれかの位置に形成された加工変形部であってもよい。図６に示すように、例えば放電容器の外管に形成された排気管残部により構成される加工変形部７０においても、当該加工変形部７０に係る石英ガラス壁７０Ａの外面に対する可視光の入射角度が大きくなることから、相当に大きな光強度の可視光が放射されることとなる。
従って、可視光検知手段を用いることによって誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確実に確認することができ、しかも、高い効率で紫外光を放射することができる。
【００３５】
更に、放電容器としては、石英ガラスよりなるのものに限定されず、透光性を有し、可視光を導光可能な導電体材料であって、紫外光により可視光（蛍光）を発する誘電体材料よりなるものであってもよい。
また、誘電体バリア放電ランプとしては、図５に示した二重管構造を有するものに限定されず、例えば特開平１１−２６５６８９号公報に開示されているように、放電容器内に内部電極を封装し、メッシュ構造の外部電極を当該放電容器の外周面に当接させた一重管構造を有するものであってもよい。
【００３６】
以下、本発明の作用効果を確認するために行った実験について説明する。
【００３７】
〔実験例１〕
図１の構成に従い、図２の構成を有する誘電体バリア放電ランプを備えた誘電体バリア放電ランプ装置を作製した。
この誘電体バリア放電ランプ装置の誘電体バリア放電ランプにおいては、放電空間内に放電用ガスとしてキセノンガスを封入した。
【００３８】
この誘電体バリア放電ランプ装置の誘電体バリア放電ランプを点灯状態とした直後において、各々、ケーシングにおける光放射窓から放射される光および誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部から放射される光のスペクトルを調べた。結果を、各々、図７および図８に示す。
【００３９】
以上の結果から、誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部において放射される光の波長６００〜７００ｎｍの光（可視光）の光強度は、光放射窓から放射される可視光の光強度よりも極めて大きいことが確認された。
なお、波長８００ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲のスペクトルは、キセノン原子からの発光に由来するものである。
【００４０】
以上の実験例から、屈曲面部から放射される可視光は、その光強度が極めて大きいことが確認された。
【００４１】
【発明の効果】
本発明の誘電体バリア放電ランプ装置によれば、誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部から放射される可視光が、十分に可視光検知手段によって検知可能な光強度を有するものであり、この屈曲面部から放射される可視光を検知することによって誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確認するものであると共に、誘電体バリア放電ランプの電極間方向以外の位置に、当該誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部があるようにすることができることから、誘電体バリア放電ランプから放射される紫外光の一部を犠牲とすることがなく、しかも、被処理体に対する紫外光の放射が阻害されることがない。
従って、可視光センサーを用いることによって誘電体バリア放電ランプの点灯状態を確実に確認することができ、しかも、高い効率で紫外光を放射することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の一例における構成を示す説明用概略図である。
【図２】図１の誘電体バリア放電ランプ装置に備えられている誘電体バリア放電ランプの構成を示す説明図である。
【図３】放電容器における外管に係る石英ガラス壁によって可視光が導光される状態を示す説明図である。
【図４】放電容器の端部における周縁部により構成される屈曲面部において可視光が放射される状態を示す説明図である。
【図５】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の他の例における構成を示す説明図である。
【図６】放電容器の外管に形成された加工変形部により構成される屈曲面部において可視光が放射される状態を示す説明図である。
【図７】実験例１に係る誘電体バリア放電ランプにおける屈曲面部からの放射光のスペクトルを示す図である。
【図８】実験例１に係るケーシングにおける光放射窓からの放射光のスペクトルを示す図である。
【図９】従来の誘電体バリア放電ランプ装置の一例における構成を示す説明図である。
【図１０】誘電体バリア放電ランプの放射光のスペクトルを示す図である。
【符号の説明】
１０    ケーシング
１１    天面板
１２    底面板
１３    側面板
１４    光放射窓
１５    反射膜
２０    誘電体バリア放電ランプ
２１    誘電体バリア放電ランプ本体
２２    電源装置
３０    放電容器
３１    外管
３１Ａ    外周面
３１Ｂ    石英ガラス壁
３２    内管
３２Ａ    内周面
３３    封止部材
３３Ａ    石英ガラス壁
３４、３５    電極
４１、４２    口金
４３    貫通孔
４４    可視光センサー
５０    誘電体バリア放電ランプ
５１    誘電体バリア放電ランプ本体
５２    反射鏡
５３    貫通孔
６０    放電容器
６１    外管
６１Ａ    外周面
６２    内管
６２Ａ    内周面
６３    光取り出し窓
６４    封鎖部材
６５    封止部材
６６、６７  電極
６８    可視光センサー
６９    導光ファイバー
６９Ａ    一端面
６９Ｂ    他端面
７０    加工変形部
７０Ａ    石英ガラス壁
８０    ケーシング
８１    冷却ブロック
８１Ａ    光導入孔
８２    反射膜
８３    光取り出し窓部
８９    可視光センサー
９０    誘電体バリア放電ランプ
Ｓ    放電空間
ｈν    可視光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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