(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボンディングパッドを備えたサスペンションと、このサスペンション上に搭載され、電気磁気変換素子及び該電気磁気変換素子に接続するボンディングパッドを備えたスライダーとを含み、これらサスペンション及びスライダーのボンディングパッド間を２種類の接合部材によって接合した磁気ヘッドにおいて、
前記２種類の接合部材は融点が高低に異なる一方と他方の接合部材からなり、融点が高い一方の接合部材は前記スライダー側のボンディングパッドに接合し、該一方の接合部材と前記サスペンション側のボンディングパッドとが融点の低い他方の接合部材で接合されていて、
さらに前記一方の接合部材が、前記他方の接合部材に加えられた熱を放散する放熱部を兼用していることを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
ボンディングパッドを有するサスペンションと、このサスペンション上に搭載され、電気磁気変換素子及び該電気磁気変換素子に接続するボンディングパッドを有するスライダーとを含み、これらサスペンション及びスライダーのボンディングパッド間を２種類の接合部材によって接合した磁気ヘッドにおいて、
前記２種類の接合部材は融点が高低に異なる一方と他方の接合部材からなり、融点が高い一方の接合部材は前記スライダー側のボンディングパッドに接合し、該一方の接合部材と前記サスペンション側のボンディングパッドとが融点の低い他方の接合部材で接合されていて、
前記他方の接合部材は、前記電気磁気変換素子の耐熱温度よりも融点が低い素材から形成されることを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２記載の磁気ヘッドにおいて、前記一方の接合部材の表面積が拡大されていることを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項４】
請求項１又は２記載の磁気ヘッドにおいて、前記一方の接合部材が金材から構成され、前記他方の接合部材が金／鉛／錫合金、インジウム、及びインジウム／錫合金のいずれかからなる半田材で構成されていることを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項５】
ボンディングパッドを有するサスペンションと、このサスペンション上に搭載され、電気磁気変換素子及び該電気磁気変換素子に接続するボンディングパッドを有するスライダーとを含み、これらサスペンション及びスライダーのボンディングパッド間を２種類の接合部材によって接合する磁気ヘッドの製造方法において、
前記２種類の接合部材として、融点が高い一方の接合部材と融点が低い他方の接合部材とを準備する工程と、
前記接合部材を前記スライダー側のボンディングパッドに接合する工程と、
前記一方の接合部材に前記他方の接合部材を溶融させずに付着する工程と、
前記スライダーを前記サスペンション上に搭載し、該スライダとサスペンションの互いのボンディングパッドを向き合わせると共に、前記他方の接合部材と前記サスペンション側のボンディングパッドを対向させる工程と、
前記他方の接合部材を加熱溶融させ、前記一方の接合部材と前記サスペンション側のボンディングパッドを接合する工程とを含み、
さらに、前記他方の接合部材を溶融させる際に、該他方の接合部材に加えた熱を前記一方の接合部材で吸収及び放散させることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項６】
ボンディングパッドを有するサスペンションと、このサスペンション上に搭載され、電気磁気変換素子及び該電気磁気変換素子に接続するボンディングパッドを有するスライダーとを含み、これらサスペンション及びスライダーのボンディングパッド間を２種類の接合部材によって接合する磁気ヘッドの製造方法において、
前記２種類の接合部材のうち他方の接合部材と前記スライダーとを治具上にセットする工程と、
前記治具上で前記一方の接合部材を前記スライダーのボンディングパッドに接合するとともに、前記一方の接合部材に前記他方の接合部材を付着する工程と、
前記一方の接合部材が前記スライダーにボンディングされたままで該スライダーを前記治具上から前記サスペンション上に移し替え、前記他方の接合部材を溶融させて前記一方の接合部材と前記サスペンションのボンディングパッドを接合する工程とを含み、
前記治具が前記接合部材と接合し難い材料から形成されていることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項５又は６記載の磁気ヘッドの製造方法において、前記一方の接合部材に前記他方の接合部材を付着させた後に、前記一方の接合部材を押圧して表面積を拡大する工程を含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項８】
請求項５又は６記載の磁気ヘッドの製造方法において、前記一方の接合部材としての線材を球状に形成し、これを前記スライダーのボンディングパッドに圧接したままで超音波を印加し、前記スライダーのボンディングパッドに接合することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項９】
請求項５又は６記載の磁気ヘッドの製造方法において、メッキ法を用いて、前記一方の接合部材を前記スライダーのボンディングパッド上に形成することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
請求項５又は６記載の磁気ヘッドの製造方法において、前記一方の接合部材は金材であり、前記他方の接合部材は、金／鉛／錫合金、インジウム、及びインジウム／錫合金のいずれかで構成された半田材であることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は、磁気ヘッド及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】
この種の磁気ヘッドは図６及び図７に示すように、サスペンション１と、サスペンション１上に搭載されたスライダー２とから構成されている。この磁気ヘッドは例えばハードデイスクに対してデータの記録・再生を行なうために用いられており、その出荷前に電気的な特性検査が行なわれる。この特性検査には、静的な特性検査と動的な特性検査がある。
【０００３】
静的な特性検査はスライダー単体で磁気ヘッドを磁気デイスクに対向させて行なわれるが、スライダーがサスペンション上に搭載された状態で、しかも回転する磁気デイスク上に浮上した状態で行なわれる動的な特性検査が最終的に磁気ヘッドの良否を判定する基礎をなすものであり、特性検査では動的な特性検査が重要視されている。この動的な特性検査には、スライダーがサスペンション上に搭載された最終的な製品としての磁気ヘッドが用いられる。この動的な特性検査を行なう場合には、浮上するスライダーの浮上姿勢によって特性検査で得られる出力が影響を受けるため、サスペンションのバネ荷重特性は、ある規格内にあることが要求される。
【０００４】
従来の磁気ヘッドを製造するには図５（ａ）に示すように、先ずサスペンション１のボンデイングパッド１ａとスライダー２のボンデイングパッド２ａとが向き合う状態でサスペンション１上にスライダー２を搭載し、サスペンション１にスライダー２をポリイミド３で接着する。なお、サスペンション１とスライダー２との接合部分が下方向から治具５で支えられている。
【０００５】
次いで図５（ａ）に示すように、金の線材を放電加工により球状に形成し、この球状の金ボール４を図５（ｂ）に示すようにサスペンション１のボンデイングパッド１ａとスライダー２のボンデイングパッド２ａに圧接させたままで超音波を金ボール４に印加することにより、金ボール４の圧接面をボンデイングパッド１ａ、２ａにそれぞれ接合させている。スライダー２のボンデイングパッド２ａは、スライダー２に組み込まれた電気磁気変換素子に接続されている。この電気磁気変換素子は、記録媒体に記録されたデータを再生する、或いは記録媒体にデータを書き込むために用いられる。
【０００６】
ここで、スライダー２に組み込まれた前記電気磁気変換素子は耐熱温度が低いため、一般的に金ボール４と超音波とを組合せた接合方法が採用されている。
【０００７】
記録密度が低い場合にはスライダーがサスペンション上に搭載されて行なわれる動的な特性検査で不良品が発生する割合が極めて小さいものであり、特に問題が生じることがなかった。ここで、動的な特性検査でスライダーが不良品として判定される場合は、スライダーに組み込まれた電気磁気変換素子が再生或いは記録に必要な特性を発揮し得ない場合が大部分である。近年、記録密度が高まり、これに対応するためにサスペンションに微動トラッキング装置及びＩＣ等の高価な構成部品が搭載される場合が増えており、スライダーが不良品であるとの理由から、不良品のスライダーが搭載されたサスペンションをスライダーとともに廃棄処分することは資源を無駄に浪費することとなり、このサスペンションの有効利用を図るために再生使用することが必要であると考える。
【０００８】
従来例の磁気ヘッドにおいて、敢えてスライダー２をサスペンション１から剥離するには、金ボール４に連続した金属疲労を与えて無理やり剥離することが考えられるが、この方法ではサスペンション１にも同様な金属疲労を与えてしまい、サスペンション１のバネ荷重特性が規格から外れることとなり、サスペンション１の再生使用には不向きである。
【０００９】
【発明の目的】
本発明の目的は、スライダーの剥離に最適な接合構造を有するとともに、良品のスライダーをサスペンションに確実に固定できる構造をもつ磁気ヘッド及びその製造方法を得ることにある。
【００１０】
【発明の概要】
本発明は、ボンディングパッドを備えたサスペンションと、このサスペンション上に搭載され、電気磁気変換素子及び該電気磁気変換素子に接続するボンディングパッドを備えたスライダーとを含み、これらサスペンション及びスライダーのボンディングパッド間を２種類の接合部材によって接合した磁気ヘッドにおいて、２種類の接合部材は融点が高低に異なる一方と他方の接合部材からなり、融点が高い一方の接合部材はスライダー側のボンディングパッドに接合し、該一方の接合部材とサスペンション側のボンディングパッドとが融点の低い他方の接合部材で接合されていて、さらに上記一方の接合部材が、他方の接合部材に加えられた熱を放散する放熱部を兼用していることを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、ボンディングパッドを有するサスペンションと、このサスペンション上に搭載され、電気磁気変換素子及び該電気磁気変換素子に接続するボンディングパッドを有するスライダーとを含み、これらサスペンション及びスライダーのボンディングパッド間を２種類の接合部材によって接合した磁気ヘッドにおいて、２種類の接合部材は融点が高低に異なる一方と他方の接合部材からなり、融点が高い一方の接合部材はスライダーのボンディングパッドに接合し、該一方の接合部材とサスペンションのボンディングパッドとが融点の低い他方の接合部材で接合されていて、上記他方の接合部材は、電気磁気変換素子の耐熱温度よりも融点が低い素材から形成されることを特徴とする。
【００１２】
一方の接合部材の表面積は拡大されていることが望ましい。また、一方の接合部材は金材から構成され、前記他方の接合部材は、金／鉛／錫合金、インジウム、及び、インジウム／錫合金のいずれかからなる半田材で構成されていることが望ましい。
【００１３】
また本発明は、ボンディングパッドを有するサスペンションと、このサスペンション上に搭載され、電気磁気変換素子及び該電気磁気変換素子に接続するボンディングパッドを有するスライダーとを含み、これらサスペンション及びスライダーのボンディングパッド間を２種類の接合部材によって接合する磁気ヘッドの製造方法において、２種類の接合部材として、融点が高い一方の接合部材と融点が低い他方の接合部材とを準備する工程と、一方の接合部材をスライダー側のボンディングパッドに接合する工程と、一方の接合部材に他方の接合部材を溶融させずに付着する工程と、スライダーを前記サスペンション上に搭載し、該スライダとサスペンションの互いのボンディングパッドを向き合わせると共に、他方の接合部材とサスペンション側のボンディングパッドを対向させる工程と、他方の接合部材を加熱溶融させ、一方の接合部材とサスペンション側のボンディングパッドを接合する工程とを含み、さらに、他方の接合部材を溶融させる際に、該他方の接合部材に加えた熱を一方の接合部材で吸収及び放散させることを特徴とする。
【００１４】
また本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、サスペンションのボンデイングパッドと、該サスペンション上に搭載されたスライダーのボンデイングパッドとの間を少なくとも２種類の接合部材で接合する磁気ヘッドの製造方法であって、前記スライダーには電気磁気変換素子が組み込まれ、前記スライダーのボンデイングパッドが前記電気磁気変換素子に接続されており、
前記少なくとも２種類の接合部材のうち他方の接合部材と前記スライダーとを治具上にセットする工程と、
前記治具上で前記少なくとも２種類の接合部材のうち一方の接合部材を前記スライダーのボンデイングパッドに接合するとともに、前記一方の接合部材に前記他方の接合部材を付着する工程と、
前記一方の接合部材が前記スライダーにボンデイングされたままで該スライダーを前記治具上から前記サスペンション上に移し替え、前記一方の接合部材と前記サスペンションのボンデイングパッドとの間を前記他方の接合部材で接合する工程とを含み、
前記治具が前記接合部材と接合し難い材料から形成されていることを特徴とする。
【００１５】
また前記一方の接合部材に前記他方の接合部材を付着させた後に、前記一方の接合部材を押圧して表面積を拡大する工程を含むようにしてもよい。
【００１６】
また一方の接合部材としての線材を球状に形成し、これをスライダーのボンディングパッドに圧接したままで超音波を印加し、スライダーのボンディングパッドに接合するようにしてもよい。またメッキ法を用いて、一方の接合部材をスライダーのボンディングパッド上に形成するようにしてもよい。また他方の接合部材として、金／鉛／錫合金、インジウム、及び、インジウム／錫合金のいずれかからなる半田を用い、該半田を溶融させることにより、一方の接合部材とサスペンションのボンディングパッドとの間を接合するようにしてもよい。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図示例と共に説明する。
【００１９】
図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の実施形態に係る磁気ヘッドの製造方法を工程順に示す断面図である。また図１（ｃ）は本発明の実施形態に係る磁気ヘッドの製品状態を示すものである。また図１（ｄ）は本発明の実施形態に係る磁気ヘッドからスライダーを剥離する状態を示す断面図である。
【００２０】
この実施形態では、サスペンション１と、サスペンション１上に搭載されたスライダー２とを含んでいる。この実施形態のスライダー２は、電気磁気変換素子２ｂを含んでいる。このスライダー２の電気磁気変換素子２ｂは、ハードデイスク等の記録媒体に対してデータの記録・再生を行なうために磁気デイスク上に浮上するスライダー２の空気流出側の側面上に端部が媒体対向面（ＡＢＳ面）２ｃに達するように設けられている。このスライダー２に備えた電気磁気変換素子２ｂは、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）として作用する場合には、記録媒体からの信号磁界で電気抵抗値が変化することを利用して記録媒体からデータを再生する。また電気磁気変換素子２ｂは記録用（記録データ書込み用）として作用する場合には、コイルに記録データ用の電流を流すことにより発生する磁界で記録媒体にデータを記録する。
【００２１】
また前記サスペンション１と前記スライダー２とはそれぞれボンデイングパッド１ａ、２ａを有しており、前記両ボンデイングパッド１ａ、２ａが接合部材４、６を介して接合される。この実施形態の接合部材４、６は融点が異なる少なくとも２種類の接合部材４、６から構成されている。前記ボンデイングパッド２ａが電気磁気変換素子２ｂに接続されているため、接合時にボンデイングパッド２ａに加わる熱が電気磁気変換素子２ｂに影響を与えることとなる。
【００２２】
この実施形態では、前記接合部材４、６のうち、その一方の接合部材４が前記スライダー２のボンデイングパッド２ａに接合され、前記一方の接合部材４と前記サスペンション１のボンデイングパッド１ａとが前記他方の接合部材６で接合される。ところで、特に上述した再生用として作用する電気磁気変換素子２ｂは熱に弱く、数百℃に晒されると、その特性が失われる。
【００２３】
この実施形態では、前記一方の接合部材４が、前記他方の接合部材６の接合時の熱を放散するための放熱部を兼ねている。また前記他方の接合部材６が、前記スライダー２に組み込まれた電気磁気変換素子２ｂの耐熱温度より融点が低い素材から形成される。この実施形態では、一方の接合部材４として金ボールを用いており、他方の接合部材６として半田材を用いている。この半田材としては、金／鉛／錫合金、インジウム、或いはインジウムと錫との合金からなる半田を用いることが望ましい。特にインジウムと錫の合金からなる半田の場合には、その溶融温度が約１１７℃であり、この半田を用いると、スライダー２の電気磁気変換素子２ｂに熱による影響を与えることを回避することができる。
【００２４】
また図２（ｂ）及び図３に示すように、前記一方の接合部材４の表面積を拡大させることにより、他方の接合部材６の溶融時に発生する熱をより有効に放散してスライダー２の電気磁気変換素子２ｂへの熱影響を防止するようにしてもよい。
【００２５】
以上のように、この実施形態によれば、少なくとも融点の異なる２種類の接合部材４、６を用い、その融点が異なることを利用して、一方の接合部材４がスライダー２のボンデイングパッド２ａに接合され、一方の接合部材４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとが他方の接合部材６で接合される。このため、半田付けされる接合部材６がスライダー２のボンデイングパッド２ａに直接接合することがなく、スライダー２のボンデイングパッド２ａと接合部材６との間には接合部材４が介在し、この接合部材４がクッション（緩衝）の作用を行なうこととなる。さらに接合部材６が溶融する際の熱が別の接合部材４に蓄積され、かつ別の接合部材４の表面から放散されることにより、熱による影響がスライダー２の電気磁気変換素子２ｂに伝わることが防止でき、その結果、磁気ヘッドの製造歩留まりを向上させることができる。
【００２６】
さらに、一方の接合部材４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとが他方の接合部材６による半田付けで接合されるため、他方の接合部材６に局部的に熱を加えて溶融することにより、一方の接合部材４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとの間での接合状態を解除してスライダー２をサスペンション１から剥離することができ、サスペンション１に無理な力を加えることがない。したがって、不良品のスライダー２が剥離されたサスペンション１のバネ荷重特性は規格内にあり、サスペンション１を容易に再生使用することができる。
【００２７】
さらに、一方の接合部材４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとが他方の接合部材６による半田付けで接合されるため、スライダー２が動的な電気的特性を検査するためにのみ仮付けするものではなく、サスペンション１にスライダー２が確実に固定される。このため、動的な電気的特性検査の結果、良品であると判定された場合に新たに本付けの作業をする必要がなく、スライダー２の剥離を容易にする構成にしたことによる問題を引起すことがない。
【００２８】
また一方の接合部材４に金ボールを、他方の接合部材６に半田材をそれぞれ選定して用いた場合に、金ボール４の表面は酸化し難いので、半田材６で接合する際に酸化しないため、金ボール４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとの接合強度を劣化させることがない。また金ボール４の半田材６に対する濡れ性を利用して金ボール４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとの界面に半田材６を浸透させることができ、接合強度を向上させることができる。なお、一方の接合部材４に金ボール４を用いたが、この金ボールに代えて金の線材、あるいは板材（リボン）を用いてもよい。
【００２９】
次に、この実施形態の磁気ヘッドを、動的な電気的特性検査が可能な磁気ヘッドとして組み立てるための製造方法について説明する。この製造方法では、一方の接合部材４に金ボールを、他方の接合部材６にボール状の半田材を用いている。
【００３０】
図１（ａ）に示すように、先ず、治具７のデインプル７ａにボール状半田材６をセットし、かつ、ボンデイングパッド２ａをボール状半田材６側に向けてスライダー２を治具７上にセットする。治具７は、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２等の材質からなり、溶融する金ボール４及びボール状半田材６と接合し難い処理が施されている。
【００３１】
次に図１（ａ）、（ｂ）に示すように、金の線材の先端を放電加工することにより球状に形成し、この球状の金ボール４をスライダー２のボンデイングパッド２ａ及び治具７に圧接したままで金ボール４に超音波を印加し、その圧接面で金ボール４をスライダー２のボンデイングパッド２ａに接合するとともに、金ボール４の一部にボール状半田材６を付着する。前述した金ボール４の一部とは、金ボール４のうち、サスペンション１のボンデイングパッド１ａに対向する側の位置を指し示している。ここで、半田付けの場合は、接合する２つの部材が半田の融点温度に達していなければ、半田付けが不可能であるという特性がある。この特性によれば、金ボール４にボール状半田材６を付着させる場合には、ボール状半田材６が付着される箇所が加熱されないため、ボール状半田材６が溶融されずにボール状態で金ボール４に付着する。また、治具７は、上述したように溶融する金ボール４及びボール状半田材６と接合し難い処理がされているため、金ボール４は超音波によるボンデイングによっても、治具７と接合されない。
【００３２】
次に図１（ｃ）に示すように、図１（ｂ）の状態に組み立てられたスライダー２をサスペンション１上に搭載し、スライダー２のボンデイングパッド２ａをサスペンション１のボンデイングパッド１ａと向き合わせて位置決めして、スライダー２をサスペンション１にセットする。その後、スライダー２をサスペンション１にポリイミド３により接着するとともに、２つのボンデイングパッド１ａ、２ａ同士の接合を開始する。
【００３３】
前記２つのボンデイングパッド１ａ、２ａ同士を接合するにあたっては、サスペンション１とスライダー２とを不活性雰囲気中にセットし、不活性ガス８でスライダー２のボンデイングパッド２ａ側を冷却しつつ、金ボール４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとの接合部分を不活性ガス８で酸素雰囲気から遮断する。
【００３４】
次に、細径のビーム状加熱光線９を使用してボール状半田材６を溶融し、金ボール４の表面の濡れ性を利用して、溶融した半田材６を金ボール４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとの界面に浸透させ、半田材６をもって金ボール４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとを接合する。
【００３５】
そして、図１（ｃ）に示す製品状態で磁気ヘッドに対する動的な電気的特性検査が行なわれる。動的な電気的特性検査の結果、サスペンション１に搭載されたスライダー２、特に電気磁気変換素子２ｂが所期の性能を発揮せず、不良品として判定された場合にはスライダー２が廃棄処分されることとなる。
【００３６】
以上のように、この実施形態の製造方法によれば、金ボール４を予めスライダー２のボンデイングパッド２ａに接合しておき、次いで金ボール４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとを半田材６で接合するため、ボール状半田材６を溶融する際に金ボール４がクッション（緩衝）の働きをして、半田６の熱がスライダー２に伝熱するのを遮断する。このため、スライダー２の電気磁気変換素子２ｂに熱による影響を与えることがなく、磁気ヘッドの整合工程でスライダー２の電気磁気変換素子２ｂを損傷するという事故を大幅に削減することができ、磁気ヘッドの製造歩留まりを向上させることができる。
【００３７】
また金ボール４にサスペンション１のボンデイングパッド１ａを半田材６で半田付けする場合に、金ボール４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとの界面に半田材６を浸透させて接合するため、半田材６の使用量が金ボール４を用いない場合と比較して極めて小さく、ボール状半田材６の溶融熱は金ボール４に吸収されて金ボール４から放熱される。したがって、スライダー２側に伝熱される半田材６の溶融熱量が極めて小さく、スライダー２の電気磁気変換素子２ｂに損傷を与えることがない。このことが、金ボール４にクッション（緩衝）の働きをさせる重要なポンイントである。
【００３８】
この実施形態では、スライダー２を廃棄処分する際には不良品であるスライダー２をサスペンション１から剥離してサスペンション１を再生使用する。次に、この実施形態に係るスライダー２をサスペンション１から剥離する方法について説明する。
【００３９】
すなわち、図１（ｄ）に示すように、細径のビーム状加熱光線９ａを使用し、金ボール４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとの間を接合する半田材６の部分にビーム状加熱光線９ａを照射することにより、半田材６を溶融してスライダー２をサスペンション１から剥離する。これにより、不良品のスライダー２のみを剥離してサスペンション１のみを回収する。
【００４０】
回収したサスペンション１は、ボンデインパッド１ａ上に残留する半田材６は極めて少量であるため、図６に示すように隣接するボンデイングパッド１ａ間が残留する半田材６でシート（短絡）することがなく、再生使用が可能となる。
【００４１】
また、剥離されるスイダー２が不良品であるため、スライダー２に半田材６の溶融熱が加わることに問題がなく、スライダー２の剥離作業は大気雰囲気中で行なうことができ、スライダー２の剥離設備を簡素化することができる。したがって、スライダー２の剥離に要する設備費用を極力廉価にして、サスペンション１の再生使用による経済的な効果を十分に確保することができる。
【００４２】
なお、一方の接合部材４に金ボールを用いたが、これに限定されるものではない。また半田材６をボール状にして用いたが、これに限定されるものではなく、線材のものを用いてもよい。
【００４３】
図２は、本発明の他の実施形態に係る磁気ヘッドの製造方法を工程順に示す断面図である。この実施形態では図２（ａ）に示すように、金ボール４をスライダー２のボンデイングパッド２ａに接合し、かつ金ボール４の一部にボール状半田材６を付着する工程において、金ボール４に治具１０の角部１０ａを押し付けて金ボール４を展性変形させることにより、図２（ｂ）に示すように金ボール４の表面積４ａを拡大させる。
【００４４】
この実施形態によれば、金ボール４は、半田材６の接合時に生じる熱を放熱するための表面積４ａが拡大されることとなり、半田材６の接合時の熱がスライダー２の電気磁気変換素子２ｂ側に伝熱されるのをより有効に遮断してスライダー２の電気磁気変換素子２ｂを熱から保護することができる。
【００４５】
図３は、本発明のさらに他の実施形態に係る磁気ヘッドの製造方法を示す断面図である。この実施形態では、接合部材４としての金材の展性を利用して短冊状に圧延し、この短冊状の金リボン４ｂを金ボール４に代えて用いる。
【００４６】
この実施形態によれば、金リボン４ｂが圧延されて短冊状に展性形成されて表面積が拡大されているため、図２のように製造工程の途中にて金材の表面積を拡大する必要がなく、製造工程を簡略化することができる。
【００４７】
図４は、本発明のさらに他の実施形態に係る磁気ヘッドの製造方法を示す断面図である。この実施形態では図４（ａ）に示すように、スライダー２のボンデイングパッド２ａを除く端面にマスキングを行ない、次いでスライダー２の端面にメッキ法を用いて金メッキ１１を所定膜厚に形成する。
【００４８】
次に図４（ｂ）に示すように、スライダー２のボンデイングパッド２ａ上に形成される金メッキ１１のみをマスキングし、それ以外の金メッキを除去することにより、図４（ｃ）に示すようにスライダー２のボンデイングパッド２ａ上に金メッキ１１からなる接合部材４を設ける。そして、金メッキ１１（一方の接合部材４）にボール状半田材６（他方の接合部材６）を付着する。これ以降の処理は図１に示す実施形態と同様に行なわれる。
【００４９】
この実施形態によれば、メッキ法を用いて、パターニングした金メッキ１１（接合部材４）をスライダー２のボンデイングパッド２ａ上に形成するため、スライダー２の電気磁気変換素子２ｂに熱的影響を与えるのを防止することができ、スライダー２の電気磁気変換素子２ｂを熱から保護することができる。
【００５０】
なお、上述した実施形態では、ハードデイスク（ＨＤＤ）用磁気ヘッドについて記述したが、本発明の磁気ヘッドはＨＤＤ用磁気ヘッドに限定されるものではない。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、電気磁気変換素子を組み込んだスライダーの剥離に最適な接合構造を有するとともに、良品の電気磁気変換素子を組み込んだスライダーをサスペンションに確実に固定できる構造を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の実施形態に係る磁気ヘッドの製造方法を工程順に示す断面図であり、（ｃ）は本発明の実施形態に係る磁気ヘッドの製品状態を示すものであり、（ｄ）は本発明の実施形態に係る磁気ヘッドからスライダーを剥離する状態を示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施形態に係る磁気ヘッドの製造方法を工程順に示す断面図である。
【図３】本発明のさらに他の実施形態に係る磁気ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図４】本発明のさらに他の実施形態に係る磁気ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図５】従来例に係る磁気ヘッドの製造方法を工程順に示す断面図である。
【図６】磁気ヘッドを示す斜視図である。
【図７】スライダー部分を拡大した斜視図である。
【符号の説明】
１  サスペンション
１ａ  サスペンションのボンデイングパッド
２  スライダー
２ａ  スライダーのボンデイングパッド
３  ポリイミド
４  金ボール（接合部材）
６  ボール状半田材（接合部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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