(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマディスプレイパネルを構成する基板上に形成された隔壁に発生した欠陥部分を修正するためのプラズマディスプレイパネルの修正装置であって、
上記隔壁の材料成分を含む液状の充填材を貯える容器と、
その先端部に上記容器内の充填材を付着させて、上記基板上に形成された隔壁の欠陥部分に上記充填材を塗布するための針状部材と、
該針状部材によって上記欠陥部分に塗布させた充填材を、上記隔壁の高さと略等しくなるような形状に整形するための整形部材と、
を備え、
上記整形部材を走査させることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの修正装置。
【請求項２】
プラズマディスプレイパネルを構成する基板上に形成された隔壁に発生した欠陥部分を修正するためのプラズマディスプレイパネルの修正方法であって、
針状部材の先端部に充填材を付着させる工程と、
上記基板上に形成された隔壁に生じた欠陥部分に上記針状部材の先端部に付着した充填材を塗布する工程と、
整形部材を走査させることにより、塗布された充填材を上記隔壁の高さと略等しくなるような形状に整形する工程と
を含むプラズマディスプレイパネルの修正方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板上に形成されたパターンの欠陥部分を修正するための修正装置および修正方法に関するものであり、特にプラズマディスプレイパネルの隔壁に発生した欠陥部分を修正するに好適な修正装置および修正方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図９は、例えば、特開平９−２３６９３３号公報に記載された、従来の修正装置として液晶表示装置に用いられるカラーフィルタに発生した欠陥を修正するための修正装置における修正用のインク塗布機構を示す斜視図である。図において５はインク塗布用の針状部材（以下、針と称す）、２６は針５を保持し、アクチュエータ２４の駆動軸２５の先端部に設けられた針保持部である。
【０００３】
また、２７は水平面内に回転する回転テーブル、３０〜３２は回転テーブル２７上の円周方向に順次配列された液状のインクを貯えてあるインク容器、３３は針５に付着したインクを洗浄剤によって洗浄するための洗浄装置、３４は洗浄装置３３によって洗浄された針５に付着した洗浄剤を風圧によって吹き飛ばすためのエアーパージ装置である。
【０００４】
２８は回転テーブル２７の中心に立設された回転軸、２９は回転テーブル２７に設けられ、インクを塗布する際に針５を通過させるための切り欠き部である。
【０００５】
３５は回転テーブル２７の回転軸２８を回転させるためのインデックス用モータ、３６は回転軸２８と共に回転するインデックス板、３７はインデックス板３６を介して回転テーブル２７の回転位置を検出するためのインデックス用センサ（以下、Ａセンサと称す）、３８はインデックス板３６を介して回転テーブル２７の回転位置が原点に復帰したことを検出するための原点復帰用センサ（以下、Ｂセンサと称す）である。
【０００６】
インデックス用モーター３５は、Ａセンサ３７およびＢセンサ３８の各出力に基づいて制御され、回転テーブル２７を回転させて、図９に示すような切り欠き部２９、インク容器３０〜３２、洗浄装置３３およびエアーパージ装置３４の内のいずれかを針５の下方に位置させる。
【０００７】
なお、アクチュエータ２４およびインデックス用モーター３５は図示しないＺ軸の移動機構（図９の紙面内の上下方向をＺ方向とするとき、上下方向への移動機構）に固定され、欠陥修正の対象部は塗布針５の下方の図示しないＸＹ移動機構（図９の紙面内の上下方向に垂直な２方向への移動機構）上に載置される。
【０００８】
図１０はカラーフィルタ上に発生した欠陥部（図１０（ａ））と、修正後のカラーフィルタ（図１０（ｂ））、その欠陥部を修正する方法（図１０（ｃ）〜（ｅ））を模式的に示した説明図であり、７０はカラーフィルタ、７１は透明基板、７２は透明基板７１上に一定の周期で形成されたＲＧＢの色付き部分、７２’は同じく透明基板７１上にマトリックス状に形成された黒色のマトリックス部、７３および７３’は色付き部分７２あるいは黒色のマトリックス部７２’の形成時に透明基板７１に異物が付着することによって発生する色抜け部（欠陥部）、５は針、７５および７５’はインクである。
【０００９】
以下、従来の修正装置における動作について図９および図１０を参照しながら説明する。まず、図示しないＸＹ移動機構およびＺ軸移動機構を駆動させて、針５を欠陥部７３の上方の所定の位置に移動させる。
【００１０】
次いで、回転テーブル２７を回転させて、欠陥部７３に付着すべき、欠陥部７３周辺の色付き部分７２と同質のインク７５が貯えられたインク容器３０〜３２のいずれかを針５の下方に位置させた後、アクチュエータ２４によって針５を上下させ、図１０（ｃ）に示すように針５の先端部に修正用のインク７５を付着させる。
【００１１】
次いで、図１０（ｄ）に示すように、その針５の先端部を欠陥部７３に接触させてインク７５を欠陥部７３に付着させる。次いで、図１０（ｅ）に示すように、針５を欠陥部７３から離間させ、インク７５を乾燥させて欠陥部７３の修正を終了する。これと同様に黒色のマトリックス部７２’の欠陥部７３’も修正する。
【００１２】
上述の修正動作を実行することによって、図１０（ｂ）に示すように、欠陥部７３および７３’が、その周囲と同じ色のインク７５および７５’で覆われることになる。
【００１３】
この後、アクチュエータ２４によって針５を元の位置に上昇させ、回転テーブル２７を回転させて洗浄装置３３を針５の下方に位置させる。次いで、アクチュエータ２４によって針５を下降させて洗浄装置３３内に位置させ、この洗浄装置３３においては、針５の先端部が洗浄液に浸され洗浄される。
【００１４】
洗浄終了後、アクチュエータ２４によって針５を元の位置に上昇させ、回転テーブル２７を回転させてエアパージ装置３４を針５の下方に位置させる。次いで、アクチュエータ２４によって針５を下降させ、針５の先端をエアパージ装置３４に設けられた小孔に挿入する。その後、針５の先端に、エアパージ装置３４に設けられた小孔内においてエアーが噴射され、風圧によって洗浄液を除去（エアパージ）する。このエアパージが終了した後、アクチュエータ２４によって針５を元の位置に上昇させ、一連の欠陥部７３の修正動作が完了する。これと同様の動作により黒色のマトリックス部７２’の欠陥部７３’の修正動作も完了する。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の修正装置は、以上述べたような一連の動作によって、針５にインク７５を付着させて欠陥部７３を修正するように構成していた。しかしながら、液状のインク７５の粘度がある程度低く、さらに図１０（ｂ）に示したように欠陥部７３の周囲に拡がったインクの乾燥後の厚さが諸特性に影響を与えない程度まで薄くなる場合には問題が発生しないが、例えば、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと称す）等のように、（ガラス）基板上に隔壁（以下、リブと称す）のような構造体が形成され、このリブにおける欠陥を修正する場合、従来の修正装置と同様の構成による修正装置において、上述した従来の修正装置のインク７５に代えてリブと同質の液状材料（リブペースト）を用いるとすると、リブペーストの粘度がインク７５に比して高いために、欠陥部の両側のリブ上に載ったリブペーストが盛り上がったように付着してしまう。反対に、欠陥部の両側のリブ上にリブペーストが盛り上がらないような付着状態（ペーストの粘度が低い、あるいは付着する量が適正量より少ない）では、欠陥部をリブペーストによって十分に埋められた修正を行うことができないため、依然として欠陥部が存在することになる。
【００１６】
特にＰＤＰにおいてはリブの頂部の状態が重要であって、欠陥を修正した部分の頂部と欠陥の生じていないリブの頂部とが同じ高さである方が望ましい。なぜならば、ＰＤＰの場合には、ガラスで形成された前面基板および背面基板が張り合わせて構成されるために、上述したようなリブペーストが部分的に盛り上がった状態では前面基板および背面基板を張り合わせるに際し、両基板間における部分的な離間距離が不均一となることから放電状態の均一性が保てず、また、前面基板と背面基板とを張り合わせることによって、盛り上がった部分によりリブが破損したり、基板自体にダメージを与えてしまう等の問題点があった。
【００１７】
また、針５にリブペーストを付着させて欠陥を修正するのであるが、針５の先端部におけるリブペーストの付着状況がわからないためリブペーストを貯める容器（従来のインク容器３０〜３２に相当）に適正量のリブペーストが入っているかどうかは欠陥部に塗布、充填してみなければ分らなかった。また、リブペーストの粘度変化や経時変化があった場合に、適正な付着量（塗布、充填量）を設定することができなかった。
【００１８】
さらに、例えばＰＤＰの蛍光体パターンの混色を修正する場合など、例えば図１１に示すようなカラー表示用のＰＤＰにおける緑色蛍光体ペースト２２の上部に赤色蛍光体ペースト２３が付着（混色）している状態を修正するために、さらにその上から緑色蛍光体ペースト２２を重ね塗りすると、その部分だけ蛍光体ペーストの厚みが増えたり形がいびつになってしまうため、発色の異常を引き起こす要因となっていた。
【００１９】
この発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、例えばＰＤＰのように、基板上に形成されるリブのような構造体の一部に発生した欠陥部に、ペースト状の充填材（リブペースト）を塗布、充填して欠陥修正を行うに際し、当該欠陥部への適正量の充填材を塗布、補充可能な修正装置を得ることを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
第１の発明に関わるプラズマディスプレイパネルの修正装置は、プラズマディスプレイパネルを構成する基板上に形成された隔壁に発生した欠陥部分を修正するためのプラズマディスプレイパネルの修正装置であって、上記隔壁の材料成分を含む液状の充填材を貯える容器と、その先端部に上記容器内の充填材を付着させて、上記基板上に形成された隔壁の欠陥部分に上記充填材を塗布するための針状部材と、該針状部材によって上記欠陥部分に塗布させた充填材を、上記隔壁の高さと略等しくなるような形状に整形するための整形部材と、を備え、上記整形部材を走査させるようにしたものである。
【００２１】
第２の発明に関わるプラズマディスプレイパネルの修正方法においては、プラズマディスプレイパネルを構成する基板上に形成された隔壁に発生した欠陥部分を修正するためのプラズマディスプレイパネルの修正方法であって、針状部材の先端部に充填材を付着させる工程と、上記基板上に形成された隔壁に生じた欠陥部分に上記針状部材の先端部に付着した充填材を塗布する工程と、整形部材を走査させることにより、塗布された充填材を上記隔壁の高さと略等しくなるような形状に整形する工程とを含むようにした。
【００３９】
【発明の実施の形態】
実施の形態．
以下、この発明に関わる実施の一形態を図面を参照しながら説明する。なお、この発明に関わる修正装置は以下に述べるような整形部材を有する構成に、充填材の付着状態を確認する光学系、清掃部材を付加的に有することができる。また、異質部分を除去する構成においては、残査除去のための構成を付加的に有することができる。さらに以上の構成がそれぞれ適宜組み合わされて１つの修正装置を構成しても良い。また、以下の説明においてはＰＤＰにおける修正を例に述べるが、必ずしもＰＤＰのみに限定されることはなく、例えば液晶表示装置（ＬＣＤ）や電気光学表示装置（ＥＬ）の表示装置等に同様に適用できるものであることは言うまでもない。
【００４０】
〔整形手段〕
図１は、この発明の実施の形態による修正装置における整形手段（以下、スキージ（ｓｑｕｅｅｇｅｅ）機構と称す）を有する構成を示す要部断面図である。なお、ここにいうスキージ動作とは、基本的に被整形部分に圧力を加えて整形を施す動作およびそれに類する動作をいい、スキージ機構とは上記スキージ動作を実現するための機構を表すものとする。
【００４１】
スキージ機構は、例えば図１に示すような基本構成よりなる。図１において、１は例えばゴムのような軟性部材、あるいはプラスチック、樹脂などの硬質部材等によって形成されたスキージヘッド（整形部材）、２はスキージヘッド１を保持するためのスキージホルダ、３はスキージヘッド１およびスキージホルダ２への衝撃を吸収するため（または、接触圧を適正化するため）のスプリング、４はスキージヘッド１およびスキージホルダ２の昇降を行うための昇降機構であり、例えば空気圧を用いて昇降動作を行うエアシリンダである。
【００４２】
なお、このスキージ機構は、図９に示したインク塗布機構と同様に、図示しないＺ軸方向への移動機構（以下、Ｚ軸移動機構と称す）に取り付けられており、欠陥部を修正するための機構、欠陥部を修正するための動作については、従来の技術の説明におけるものと同様であるため、ここではその説明を省略し、ペースト状の充填材（リブペースト）が基板上に形成された構造体であるリブに生じた欠陥部（以下、リブ欠陥と称す）に塗布、充填された後のスキージ機構を用いた整形動作について説明する。また、以下の説明においては、インクの塗布に代えてリブペーストの塗布を行うため、従来の修正装置におけるインク塗布機構という名称に代えペースト塗布機構と表現する（液状のものを塗布するための機構としては、両者同様のものである）。
【００４３】
図２は、ペースト塗布機構によってリブペーストがリブ欠陥に塗布、充填される状態を模式的に示した説明図であり、図において２１はリブ、１９はリブ２１上に発生した欠陥部であるリブ欠陥、２０はリブペースト、５は針状部材（以下、塗布針と称す）である。なお、図２（ａ）はリブ２１にリブ欠陥１９が存在する様子、図２（ｂ）は塗布針５に付着したリブペースト２０をリブ欠陥１９に付着させる直前の様子、図２（ｃ）はリブ欠陥１９にリブペースト２０が付着された様子をそれぞれ示している。
【００４４】
まず、図示しないＺ軸移動機構およびＸ・Ｙ軸方向への移動機構（以下、Ｘ・Ｙ軸移動機構と称す）を駆動させて、従来と同様のペースト塗布機構によってリブ欠陥の修正がなされた部位を、スキージ機構によるスキージ動作が可能な位置まで移動させる。
【００４５】
スキージ動作は、Ｘ・Ｙ軸移動機構を駆動させて、スキージヘッド１を被整形部分（リブ欠陥にリブペーストが塗布、充填された部分）に接触させてＸ方向、Ｙ方向の少なくともいずれか一方に移動（以下、走査と称する）させることによって行い、基本的にはＺ方向の位置はスプリング３を介して接触された状態となっているが、構造体の形状に応じてＺ方向の位置が変化するように構成されていても良い。
【００４６】
例えば、ＰＤＰにおけるリブ２１を整形する場合、リブ２１の材料がガラス材料であり、スキージ動作における力のかかり具合によってはリブ２１に破損が生じる場合がある。従って、スキージヘッド１の面積をエアシリンダ４とスプリング３の押し付ける力によりリブ２１を破損することの無いように、数本から数１０本分のリブ上を走査できる面積にしてやれば、スキージ動作における力の分散が図られ、破損を防止することができる。なお、例えばＰＤＰの場合における走査する距離は数ｍｍ程度である。
【００４７】
図３は、以上の動作によって、付着したリブ欠陥１９にリブペースト２０が付着（塗布、充填）された後の、スキージヘッド１によるスキージ動作によるリブペースト２０の付着状態の変化（被整形部分の整形される様子）を模式的に示した説明図である。すなわち、従来であればリブ欠陥１９にリブペースト２０を塗布、充填した場合にできる両肩が盛り上がったような形（図３（ａ））を、スキージヘッド１を走査させることにより（図３（ｂ））リブ２１の高さにならすことができ、凹凸の無い形状に整形することができる（図３（ｃ））。
【００４８】
従って、上述のような構成を備えることによって、その上部に凹凸のない構造体を得ることができ、基板同士の張り合わせが必要な場合における構造体の破損や、それぞれの基板へのダメージを無くすることができる。特にＰＤＰに採用した場合には、リブの高さが均一となることで前面基板と背面基板との離間距離を均一にすることができ、安定な放電状態を実現でき、さらに基板上の構造体としてのリブにおける破損や基板へのダメージを防ぐことができる。
【００４９】
〔光学手段〕
図４は、この発明の実施の形態による修正装置の塗布針５の先端におけるペースト状の充填材の付着状態を確認するための光学系を示す概略構成図およびペースト状の充填材の付着状態の一例を模式的に示した説明図である。
【００５０】
図４（Ａ）において、６は反射ミラー、７は半透過ミラー（以下、ハーフミラーと称す）、８は対物レンズ、９はＣＣＤカメラ、１０は落射照明のための光源（以下、光源と称す）であり、光源１０より照射された光はハーフミラー７によって図４中下方に向かい、反射ミラー６に入射して塗布針５を照明する。塗布針５の光学像は反射ミラー６に向かい、ハーフミラー７を透過して対物レンズ８を通してＣＣＤカメラ９に入射する。ＣＣＤカメラ９からは、塗布針５の光学像に対応する映像信号を出力し、図４（Ｂ）および（Ｃ）に示すようなモニター画面１１に、塗布針５の先端に付着したペースト状の充填材（ＰＤＰの場合にはリブペースト）の付着状態が映し出される。なお、上述の落射照明の光は光ファイバ等の導光体によって装置外部より与えられても良い。
【００５１】
ペースト塗布機構を用いて、ＰＤＰのリブ欠陥１９にペースト状の充填材をリブペースト２０として塗布、充填するのであるが、上述したようなスキージ動作を行わせるに際し、充填材が適正な場合にはスキージ動作によって良好な整形状態となるが、充填材の過剰が生じたままスキージ動作を実行すると、リブ２１の高さにならされた状態ではあっても、リブ２１の幅が広がってしまう場合がある。
【００５２】
また、リブ２１は例えば、高さ１００〜１５０μｍ前後、幅数十μｍ前後の形状のものであり、またリブ欠陥１９は放電に影響を与える程度のものであるが、例えばその厚さが１０μｍに満たない、従来の装置の説明にも述べたようなカラーフィルタの修正や、ＰＤＰにおける透明電極等の薄膜層の修正を行う場合には、上述したようなスキージ動作を行わず、欠陥部分に点状の塗布のみを行うことが多く、充填材の過剰が生じたまま塗布を行うと、欠陥部分（電極の場合は電極パターン）よりも広範に充填材が広がってしまう場合がある。
【００５３】
そこで、ペースト状の充填材を塗布、充填する前に、塗布針５の先端に付着した充填材の状況を確認してペーストタンク３０〜３２に最適なペースト状の充填材が蓄えられているか、充填材の粘度が適切であるかどうかを判断する必要があり、また、連続して修正装置を稼働する場合における経時変化（充填材の乾燥など）によって塗布針５に付着する充填材の付着状態が変化してしまうのを、適宜、確認する必要がある。
【００５４】
また、通常、塗布針５の先端は整形すべき規模（幅、深さ等）に対応可能とするために、幾種類かの先端形状を有するものを備えており、特に、その切っ先部分はフラットに研磨加工されていて、その幅分にペーストの張力で突起が形成されているような状態、つまり図４（Ｂ）に示すような状態でペーストが針先に付着していれば、加工された幅に近い整形状態が得られるように、適宜塗布針５を選択して使用するようになっている。
【００５５】
そこで、選択された塗布針５のそれぞれに適正な充填材の付着が行われているかどうかを確認するために、上述のような光学系を備えるようにすれば、いずれの塗布針５を用いても常に適正な量の充填材を付着させることができ、初期状態（欠陥部に塗布、充填を行う前）の調整だけではなく、連続して装置を稼動した場合に、経時変化によりペーストが乾燥したりして針先の付着状況が変化し、修正形状が変化してしまうのも防ぐことができ、適正な塗布、充填量を設定できる。
【００５６】
〔清掃手段〕
図５は、この発明の実施の形態による修正装置におけるスキージヘッドの清掃部材を有する構成の概略を示す斜視図である。
【００５７】
図において、１３はＹ軸移動機構、１２は例えばスポンジや多孔質材料等により構成されたスキージヘッド清掃部である。なお、このスキージヘッド清掃部１２が取り付けられたＹ軸移動機構１３上にはＰＤＰのガラスパネルが固定され、図示しないが固定用のピンが取り付けられている。
【００５８】
次にこのスキージヘッド清掃部の動作について図６を参照して説明する。Ｙ軸移動機構１３に取り付けられたスキージヘッド清掃部１２上にスキージ動作（被整形部のならし）を終えたスキージヘッド１を移動させる。スキージヘッド１の下部にはリブペースト２０が付着している（図６（ａ））。
【００５９】
スキージヘッド１をスキージヘッド清掃部１２にこすり付ける（図６（ｂ））ことによりスキージヘッド１に付着したリブペースト２０を取り去る（図６（ｃ））。スキージヘッド清掃部１２はスポンジ状のもので形成されているのでリブペースト２０が染み込みスキージヘッド１が払拭、清掃される。また、このスキージヘッド清掃部１２は塗布針５の先端に付着したペーストの除去にももちろん使用できる。そして、上述のような構成を備えることによって整形動作を行う毎に初期状態を同様とすることが可能となり、例えば連続的に整形動作が行われる場合においても初期状態を同様とすることによって均質な整形状態を実現できる。
【００６０】
〔異質部分の除去手段と残査除去手段〕
図７は、この発明の実施の形態による修正装置における異質部分を除去する手段および除去に伴う残査を取り除くための手段を有する構成の概略を示す要部断面図である。
【００６１】
図において、１４は不要なペースト（異質部分）を除去するための除去針、１５は除去針１４を保持し、アクチュエータ１７の駆動軸４１の先端部に設けられた除去針保持部、１６は除去針１４および除去針保持部１５への衝撃を吸収するためのスプリング、１８は除去したペースト片を吹き飛ばすか吸引するためのノズルである。なお、このペースト除去機構は、図９に示したペースト塗布機構と同様に、図示しないＺ軸移動機構に取り付けられている。
【００６２】
特にカラー表示を行うためのＰＤＰにおいては、カラー画像を構成する原色（一般的には赤、緑および青の３色）の発光色の組合せによって色を再現、表示することが行われている。この発光色を得るために放電によって発生した紫外線を、上述の各原色に対応する色光を発生する蛍光体に照射して発光色を得ている。
【００６３】
このような各原色に対応する蛍光体を有するＰＤＰにおいて、各原色に対応する蛍光体が混在する部分を、以下では混色部分と表現する。すなわち、混色部分においては一材質部分に発生した、この一材質部分とは異なる材質を含む部分が異質部分となる。従って、各原色に対応する蛍光体が存在する場合、カラー画像を構成する原色の内の１色（例えば、赤）に対応する蛍光体が一材質部分であり、この１色とは異なる色（例えば、緑や青）に対応する蛍光体が異質部分となる。
【００６４】
次に、このペースト除去機構の動作について図７を参照して説明する。
まず、図示しないＺ軸移動機構およびＸ・Ｙ軸移動機構を駆動させて、蛍光体ペースト上にある混色部分（異なる発光色の蛍光体ペーストが混在してしまった部分）に移動させる。すなわち上述のＺ軸移動機構、Ｘ・Ｙ軸移動機構、およびアクチュエータ１７がそれぞれ除去針１４および基板の相対的な移動を行わせるための変移機構を構成している。この変移機構の相対的な移動により、スプリング１６を介して除去針保持部１５に保持された除去針１４を異質部分に接触させたうえで、除去針１４のスキージ動作が行われる。この際のスキージ動作（混色部分を除去あるいは剥がし取るための動作）する方向は、蛍光体ペースト（蛍光体パターン）の延びる方向によってＸ方向、Ｙ方向どちらの方向にも走査することができる。移動する距離は、混色の程度にもよるが、除去するのに十分な距離（例えば、数ｍｍ程度）である。
【００６５】
図８（ａ）に例として示した混色部分は、緑色の蛍光体ペースト２２が正常に形成された上に、蛍光体ペーストの塗布過程において蛍光体ペーストのハネなどの何らかの原因によって赤色の蛍光体ペースト２３が載った場合である。その上部に緑色の蛍光体ペースト２２を塗布すると膜厚が厚くなりすぎたり、赤色の蛍光体ペースト２３が一部露出したりして、輝度に影響を与えたり本来の発光色とは異なる発光色を発生したりする。そのため、混色した部分の赤色の蛍光体ペースト２２と緑色の蛍光体ペースト２３を除去針１４を用いて図８（ａ）中の矢印に示すようなスキージ動作を行って取り去ることにより、蛍光体ペーストの混色部を解消する。この混色部分を除去した後は、再度緑色の蛍光体ペーストを部分的に塗布することによって混色した部分がない（正常な）蛍光体パターンを形成できる。そして、このようにすることによって修正動作に入る前に混色が生じた部分などの局所的な除去を行うことが可能となることから、発色状態が安定して性能が均質化され、また修正作業の効率向上が図れる。
【００６６】
このスキージ動作によって剥がしたペースト片は、図８（ｂ）に示すようにノズル１８から吹き出されるエアーによって吹き飛ばすか、もしくは吸引することによって図８（ｃ）に示すようにパネル上から除去する。このようにすれば、剥がれたペースト片によって新たな混色を引き起こすことが無いため、その後の蛍光体ペーストの再塗布工程に影響を与えることがなく、確実な修正動作を行うことができる。
【００６７】
以上の説明においては、蛍光体ペーストに混色が生じた場合について説明したが、他の例として、例えば電極パターンに異物が付着した場合等にも適用することができ、異物が付着した部分を上述したと同様の方法を用いて一旦除去し、再度電極パターンをスタンプあるいは塗布するようにすれば、異物の付着がない良好な電極パターンを得るための修正を施すことができ、電極パターンに異物がかみ込んだ場合の短絡防止や、断線あるいは電気抵抗の増加を防止することができる。
【００６８】
また、以上の説明においては、塗布針５、スキージヘッド１、除去針１４を各々別々の位置決め機構に取り付けるものについて述べたが、一つの位置決め機構に塗布針５、スキージヘッド１、除去針１４を取り付け、動作内容に応じて適宜選択的に動作可能な位置に移動するようにしてもよく、このようにすることで、複数の位置決め機構を用いた場合に起こる位置決め精度のばらつきを抑えることができ、修正装置の小型化、軽量化を実現することもできる。
【００６９】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、以下に述べるような効果を奏する。第１の発明に関わるプラズマディスプレイパネルの修正装置は、プラズマディスプレイパネルを構成する基板上に形成された隔壁に発生した欠陥部分を修正するためのプラズマディスプレイパネルの修正装置であって、上記隔壁の材料成分を含む液状の充填材を貯える容器と、その先端部に上記容器内の充填材を付着させて、上記基板上に形成された隔壁の欠陥部分に上記充填材を塗布するための針状部材と、該針状部材によって上記欠陥部分に塗布させた充填材を、上記隔壁の高さと略等しくなるような形状に整形するための整形部材と、を備え、上記整形部材を走査させるようにしたので、ＰＤＰのリブ欠陥を修正する場合、凹凸がないリブに修正することが可能となり、前面基板と背面基板の付着の際におけるリブの破損や、それぞれの基板へのダメージをなくすることができる。
【００７０】
第２の発明に関わるプラズマディスプレイパネルの修正方法においては、プラズマディスプレイパネルを構成する基板上に形成された隔壁に発生した欠陥部分を修正するためのプラズマディスプレイパネルの修正方法であって、針状部材の先端部に充填材を付着させる工程と、上記基板上に形成された隔壁に生じた欠陥部分に上記針状部材の先端部に付着した充填材を塗布する工程と、整形部材を走査させることにより、塗布された充填材を上記隔壁の高さと略等しくなるような形状に整形する工程とを含むようにしたので、ＰＤＰのリブ欠陥を修正する場合、凹凸がないリブに修正することが可能となり、前面基板と背面基板の付着の際におけるリブの破損や、それぞれの基板へのダメージをなくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施の形態の整形手段の構成を示す要部断面図である。
【図２】  ペースト塗布機構によってリブペーストがリブ欠陥に塗布、充填される状態を模式的に示した説明図である。
【図３】  スキージヘッドのスキージ動作によるリブペーストの付着状態の変化を模式的に示した説明図である。
【図４】  実施の形態の光学手段の概略構成図およびモニター画面の例である。
【図５】  実施の形態の清掃手段における清掃部材を有する構成の概略を示す斜視図である。
【図６】  スキージヘッド清掃部の清掃動作を説明するための説明図である。
【図７】  実施の形態の異質部分の除去手段と残査除去手段を有する構成の概略を示す要部断面図である。
【図８】  ペースト除去機構によって混色した蛍光体ペーストを除去される状態を模式的に示した説明図である。
【図９】  従来の修正装置におけるインク塗布機構を示す斜視図である。
【図１０】  従来の修正装置における、カラーフィルタ上の欠陥部の一連の修正動作を模式的に示した説明図である。
【図１１】  蛍光体上に発生した混色の状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  スキージヘッド、２  スキージホルダー、３，１６  スプリング、４  エアシリンダー、５  塗布針、６  反射ミラー、７  ハーフミラー、８  対物レンズ、９  ＣＣＤカメラ、１０  光源、１１  モニター、１２  スキージヘッド清掃部、１３  Ｙ軸移動機構、１４  除去針、１５  除去針保持部、１７  アクチュエータ、１８  ノズル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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