(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
MnO   : 20〜30 mol％
ZnO   : 10〜25 mol％
Fe2O3 : 残部
からなる基本成分中に、
CaO   : 0.01〜0.15wt％
SiO2  : 0.002 〜0.03wt％
Nb2O5 : 0.002 〜0.03wt％
を粒界絶縁物として含有する組成になり、平均結晶粒径が10μm 以上で、かつCa含有量のばらつきが、次式
標準偏差／平均値≦0.2
（上記式において、平均値および標準偏差とは、断面のEPMA線分析により、Caの相対強度を平均結晶粒径の10倍の距離で区切って結晶粒ごとに平均化した各平均値をさらに平均した値およびその標準偏差である）
の範囲を満足し、しかもCaの50％以上が結晶粒界に沿った幅10nmの領域内に濃化して存在していることを特徴とする高透磁率Mn−Znフェライト。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、 100 kHz〜１MHz 程度の高周波域におけるローパスフィルタ等に用いて好適な高透磁率フェライト材料に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
Mn−Znフェライトは、高透磁率の磁心材料として広く用いられているが、最近では使用される周波数が高くなってきたことから、 100 kHz〜１MHz 程度の高周波数域でも高透磁率を呈する材料が求められている。
このような要請に応える手法の一つとして、フェライトの結晶粒界に絶縁物を濃化偏析させ、フェライト粒子間を電気的に絶縁することによって、渦電流損失による高周波域での透磁率の低下を防止する方法が提案された。かような添加絶縁物の代表的なものとしては、CaO, SiO2, Nb2O5等が挙げられる。
【０００３】
しかしながら、かような絶縁物の添加により、フェライトの透磁率が高周波域になるに従って低下する点は改善されるけれども、低周波域での透磁率そのものが低下することから、やはり、高周波域において高透磁率を得るのは難しいのが実情である。
そのため、低周波域での透磁率を損なうことなく、しかも高周波域でもその透磁率が維持できるようなフェライト材料の開発が要望されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、上記の要請に有利に応えるもので、100 kHz 〜１MHz 程度の高周波域まで高い透磁率を維持できるMn−Znフェライトを提案することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
さて発明者らは、粒界絶縁物としてのCaO, SiO2, Nb2O5を十分に含有させ渦電流による高周波域での透磁率の低下を防止することを前提として、低周波域における透磁率を改善すべく、鋭意検討を重ねた結果、フェライト結晶粒を成長させると共に、とくに CaOの分布を均一化し、しかも結晶粒界に濃化させることが、所期した目的の達成に関し、極めて有効であることの知見を得た。
この発明は、上記の知見に立脚するものである。
【０００６】
すなわち、この発明は、
MnO   : 20〜30 mol％
ZnO   : 10〜25 mol％
Fe2O3 : 残部
からなる基本成分中に、
CaO   : 0.01〜0.15wt％  （100 〜1,500 ppm ）
SiO2  : 0.002 〜0.03wt％（ 20 〜 300  ppm ）
Nb2O5 : 0.002 〜0.03wt％（ 20 〜 300  ppm )
を粒界絶縁物として含有する組成になり、平均結晶粒径が10μm 以上で、かつ結晶粒10個以内の平均Ca含有量のばらつきが、次式
標準偏差／平均値≦0.2
（上記式において、平均値および標準偏差とは、断面のEPMA線分析により、Caの相対強度を平均結晶粒径の10倍の距離で区切って結晶粒ごとに平均化した各平均値をさらに平均した値およびその標準偏差である）
の範囲を満足し、しかもCaの50％以上が結晶粒界に沿った幅10nmの領域内に濃化して存在していることを特徴とする高透磁率Mn−Znフェライトである。
【０００８】
【作用】
まず、この発明において、フェライト組成を上記の範囲に限定した理由について説明する。
MnO : 20〜30 mol％、ZnO : 10〜25 mol％、Fe2O3 : 残部
Mn−Znフェライトの固有の透磁率は、磁気異方性定数および磁歪定数がいずれも小さいほど大きくなる。そこで、透磁率の温度依存性が実用上支障ないこと、キュリー温度が十分に高いことを考慮しつつ、上記三元系の好適範囲を模索した結果、上記の組成範囲が得られたのである。
【０００９】
CaO : 0.01〜0.15wt％、SiO2 : 0.002〜0.03wt％、Nb2O5 : 0.002 〜0.03wt％
CaO, SiO2 は、共存することによって焼結性を高め、粒界絶縁物となって渦電流を抑制し、透磁率およびその周波数特性を改善する。
また Nb2O5は、粒界に濃化して絶縁効果をさらに高めると共に、磁性に対する粒界の悪影響を抑制することにより、透磁率およびその周波数特性の改善に寄与する。
ただし、この発明で目指す結晶粒径の粗大化およびCa分布の均一化に対して効果があるのは、それぞれ CaO : 0.01 wt％以上、SiO2 : 0.002wt％以上、Nb2O5 : 0.002 wt％以上の範囲である。しかしながら、添加量があまりに多いと、この発明法をもってしても、Mn−Znフェライトの本来の透磁率を低下させるので、それぞれCaO : 0.15wt％、SiO : 0.03wt％、Nb2O5 : 0.03wt％を上限とした。
【００１０】
次に、この発明において、平均結晶粒径を10μm 以上としたのは、結晶粒径を大きくすると、粒界のピンニング効果による透磁率の低下が軽減されて高透磁率が得られるからであり、この効果が特に10μm 以上で顕著となるからである。
【００１１】
また、本発明においてCa含有量のばらつきを、次式
標準偏差／平均値≦ 0.2
（上記式において、平均値および標準偏差とは、断面のEPMA線分析により、Caの相対強度を平均結晶粒径の10倍の距離で区切って結晶粒ごとに平均化した各平均値をさらに平均した値およびその標準偏差である）
の範囲としたのは次の理由による。
Caは、通常のMn−Znフェライトでは巨視的に偏析することが多く、十分な粒界絶縁効果を発揮しない上に、フェライト固有の透磁率を劣化させてもいる。もちろんCaは粒界に濃化するから、結晶粒径以下の微視的スケールでは濃度分布のばらつきは著しい。ここで問題なのは結晶粒サイズを超える大きさの範囲での濃度分布であり、EPMA
(Ｘ線マイクロアナライザ）の線分析により、平均結晶粒径の10倍の範囲で平均した含有量のばらつきが、上掲式の範囲におさまっていれば、優れた透磁率とその高周波特性が得られることが判明した。
そこで、この発明では、Caの濃度分布に関して、上掲式の範囲を満足させるものとしたのである。
【００１２】
またCaは、ミクロに見た場合には結晶粒界に濃化して絶縁効果を発現する必要があるが、そのためにはCaの50％以上を有効に粒界近傍に存在させる必要がある。そうでないと、結晶粒内のCa過多に起因してフェライト結晶の本来の磁気特性の劣化を招くからである。しかもこの時、Caは粒界に沿って、幅10nm以内の限定した領域内に濃化していることが肝要で、これを超えて濃化範囲が広がると、やはり結晶の磁気特性が阻害され、また絶縁効果の低下も招く。
従って、この発明では、Caについてはその50％以上を結晶粒界に沿った幅10nmの領域内に濃化させることが重要である。
【００１３】
次に、この発明の好適製造方法について説明する。
この発明では、最終組成が所望組成となるように原料粉末を混合したのち、仮焼し、粉砕後、成形、焼成することによってフェライトを製造するが、粒界絶縁物の添加は、原料の調整段階であればいずれでも良い。すなわち、最初の原料混合段階で添加しても良いし、また仮焼後の微粉砕段階で添加しても良い。
【００１４】
ただし、添加する絶縁物粉末とくにCa原料となるCaO, CaCO3等の粉末の平均粒径が大きいと、マルロ的に均一に分散させることが難しく、上述したような、絶縁効果の低下や結晶の磁気特性の劣化を招く。
しかし、この点については、Ca原料粉末を微粉にするか、粉砕粒径を小さくすることによって解決できる。
そこで、この発明では、上記の問題をCa原料粉末の粒度調整によって解消する場合には、該粉末の平均粒径を２μm 以下とし、また粉砕粉の粒度調整によって解消する場合には、粉砕粉の平均粒径を１μm 以下にするものとした。
【００１５】
また、この発明では、平均結晶粒径を10μm 以上とする必要があるが、この点については、仮焼粉末を平均粒径：１μm以下まで微粉砕することが有利である。
なお、この仮焼粉の粉砕工程において、とくにCa原料粉末の均一分散化を考慮する必要がない場合には、平均粒径で 1.3μm 以下程度に粉砕すれば良い。
フェライト結晶粒の粗大化方法としては、上記した粉砕粒径を小さくすることの他、焼成温度を高く、焼成時間を長くする方法や、Bi2O3
などの焼結促進剤を添加する方法（好ましくは0.01〜0.10wt％）などが有効である。
【００１６】
ついで、成形後、焼成するが、この焼成条件は結晶粒の粗大化の面から、1300〜1400℃，1.5 〜５ｈとする必要がある。
さらに、Caを結晶粒界に濃化させるためには、焼成後の冷却工程が重要である。
Caが粒界に濃化する傾向が出るのは1100℃以下の温度域であり、一方Caの拡散が速やかに起こるのは 800℃以上の温度域である。従ってこの温度域に一定時間滞留させる必要があるが、その効果は30分以上で顕著になるので、この発明では、Caを結晶粒界に効果的に濃化させるために、焼成後の冷却工程において、1100〜800 ℃の温度域に30 min以上滞留させるものとした。
【００１７】
【実施例】
Mn−Znフェライトの基本組成として、最終組成が、MnO : 27.0 mol％、ZnO : 20.6 mol％、Fe2O3 : 52.4 mol％となるように原料を混合した後、大気中で1000℃、25 minの仮焼を施した。この仮焼粉に、表１に示す添加物を加え、ボールミルで湿式粉砕した。なお CaOは通常粒度の粉末（平均粒径：９μm ）と、より微細な粉末（１μm ）の２種類を用いた。粉砕条件は、粉砕粒径を空気透過法で測定し、目標の平均粒度を得るように調節した。
ついで、得られた粉砕粉にバインダとしてポリビニルアルコールを添加したのち、リング状に成形し、酸素分圧を調整した窒素雰囲気中で焼成し、外形：31mm、内径：19mm、高さ：８mmの試料を得た。この時、焼成温度と焼成時間は、所定の結晶粒径が得られるように調節した。
焼成後、とくに1100〜800 ℃の温度域については、５℃/min、10℃/min、15℃/minのいずれかの速度で冷却し、それ以外の温度域については20℃/minで冷却した。また、冷却速度を20℃/minと一定とした上で、冷却途中1000℃で30 min保持する冷却パターンも採用した。
【００１８】
表１に、フェライト材料の添加物組成、粉砕粒径、焼成温度、焼成時間を、また表２には、冷却パターン、平均結晶粒径、Ca量の変動比率、Caの粒界近傍10nm幅以内の濃化度、１kHz および 200 kHzにおける透磁率を、それぞれ示す。
【００１９】
なお、平均結晶粒径は断面の顕微鏡観察により、またCa量の変動は断面のEPMA（Ｘ線マイクロアナライザ）線分析のCaの相対強度を、平均結晶粒径の10倍の距離で区切って結晶粒ごとに平均化し、各平均値の平均と標準偏差とから求めた。さらに、Caの粒界近傍の濃化度は、透過電子顕微鏡の微小領域電子線回折法によってCaの分布を測定し、粒界に沿った幅10nmの範囲に存在するCaの量を全体のCa量に対する百分率で評価した。
【００２０】
【表１】
0003644548.tif 000002
【００２１】
【表２】
0003644548.tif 000003
【００２２】
表２より明らかなように、この発明に従い得られたものは、従来材に比べて低周波域および高周波域のいずれにおいても高い透磁率が得られている。
【００２３】
【発明の効果】
かくしてこの発明によれば、低周波域では勿論、100 kHz 〜１MHz の高周波域においても高い透磁率を呈するMn−Znフェライトを得ることができ、高周波用磁心材料として偉効を奏する。