(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
紗と紗上に設けられたステンシルとからなるスクリーン印刷用スクリーン版において、
該ステンシルが感光性のシリコーン樹脂の被膜又は感光性のシリコーン樹脂を主とする複合材料からなる被膜であることを特徴とするスクリーン印刷用スクリーン版。
【請求項２】
感光性のシリコーン樹脂の被膜又は感光性のシリコーン樹脂を主とする複合材料からなる被膜の厚さが１０μｍ〜８０μｍの範囲であることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷用スクリーン版。
【請求項３】
前記紗が、ステンレス鋼線又はポリエステル繊維の線材から織られたものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のスクリーン印刷用スクリーン版。
【請求項４】
紗と紗上に設けられたステンシルとからなるスクリーン印刷用スクリーン版において、
該ステンシルが、紗上に、紗側から金属薄板の被膜と、感光性のシリコーン樹脂の被膜又は感光性のシリコーン樹脂を主とする複合材料からなる被膜とを順次積層された２重被膜であることを特徴とするスクリーン印刷用スクリーン版。
【請求項５】
スクリーン印刷用スクリーン版における感光性のシリコーン樹脂の被膜又は感光性のシリコーン樹脂を主とする複合材料からなる被膜が１０μｍ〜８０μｍの範囲の厚みであることを特徴とする請求項４記載のスクリーン印刷用スクリーン版。
【請求項６】
スクリーン印刷用スクリーン版における紗が、ステンレス鋼線又はポリエステル繊維の線材から織られたものであることを特徴とする請求項５記載のスクリーン印刷用スクリーン版。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スクリーン印刷に使用されるスクリーン印刷用スクリーン版に関し、特にインキの被印刷物への転移率が高くてインキの抜けの良いことを望むスクリーン印刷の場合、例えば液晶表示装置、蛍光表示装置、ガス放電パネル、印刷配線板、混成集積回路等における抵抗素子、誘電体あるいはレジストなど電子工業部品作成の微細印刷パターンを形成する方法に係わり、特に大面積で同時に高精細も要求されるプラズマディスプレイにおける電極やバリアリブなどの厚膜印刷パターンを形成するためのスクリーンにおいて要望されるスクリーン印刷用スクリーン版に係わるものである。
【０００２】
【従来の技術】
ステンレス鋼線や合成繊維の線材から織られたスクリーンメッシュを版枠に張り、写真製版法で、スクリーンメッシュ上に、感光液を用いて被膜（レジスト）を形成後、被膜内に１ケ以上のインキを通過させる為の開口部（孔）を設けた孔あき被膜（以後ステンシルと称する）を有するスクリーン印刷版が知られる。
このスクリーン印刷版を使用したスクリーン印刷による印刷パターン形成方法は、他のパターン形成方法（印刷方法）に比較して、版の作成および印刷方法が簡単で、さらに設備費や経費が少なくてすみ、インキ層を厚くかつ細かな印刷パターンを形成できるという利点がある。このため、通常の商業印刷物以外に、レジストエッチング方式による回路形成、導電性インキを用いた回路形成および受動素子形成など、電子工業の分野で広範囲に利用されている。
【０００３】
最近のスクリーン印刷の電子工業への適用、特にプラズマディスプレイパネルにおいては、大面積のガラス基板に対して電極ペーストやガラスペーストなどの印刷インキを印刷して微細印刷パターンを有する高度な印刷精度の印刷物が要求されている。
【０００４】
スクリーン版に対する要求特性には、耐刷性、寸法安定性、耐溶剤性、耐水性、耐酸性、耐アルカリ性および弾力性などがあり、かつ印刷インキが抜け易いように開口率が大きいことが望ましいとされている。
又、この微細パターンを量産時に維持するためには、上記の性能を可能な限り、長時間保つことが必要であるが、実際の製造工程においては印刷回数の増加に伴って印刷精度の低下が生じ、不良品が発生しないことが必要である。
【０００５】
図３は、従来のスクリーン印刷用スクリーン版における印刷インキの通過性を説明するための断面図であり、被印刷体３７へ、スクリーン印刷用スクリーン版３０をあて、印刷インキ３６をスキージ３４でスキージ動作方向３５に動作して、開口部３３を印刷インキ３６が通過して被印刷体３７に転移した状態の図である。
【０００６】
ところが、プラズマディスプレイパネルにおいては、大面積のガラス基板に対して電極ペーストやガラスペーストなどの印刷インキを印刷して微細印刷パターン有する高度な印刷精度の印刷物を得ようとすると、図３に示すような従来のスクリーン版では、版からガラス基板への印刷インキであるペーストの抜けがスムーズでなく、開口部３３の側壁面３２に付着した印刷インキ３１が残り、印刷物においてもパターンのにじむ現象が見られる。
又、版の伸びによる印刷精度の低下や耐刷性等に問題を生じている。
【０００７】
このような問題を解決すべく、特開昭６３ー９５８０号公報には、フッ素樹脂やシリコーン樹脂層をスクリーン版のステンシル表面に塗布して、耐久性（耐刷性）を向上させて、ペーストの抜けをスムーズにして版のインキ残りを減少させたり、版へのペーストの付着によるパターンのにじみをなくしてインキの裏回りを防止したりすることが開示されている。
また、実施例の２例とも、外寸２５０ｍｍ×３００ｍｍのメタルスクリーン版を使用していると記載されている。
シリコーン樹脂の種類としては２官能成分と３官能成分とのブレンド比率、すなわち、有機側鎖のメチル基とフェニル基などの比率を強度、柔軟性を考慮して決めたものが好適であると記され既に形成した通常のスクリーン版の表面に塗布することによって、被膜を形成している。塗布方法としては、浸漬、スプレー、かけ流し、ハケ塗り、回転塗布などが利用され、塗布厚さとしては、０．５〜１μｍが好ましいとされている。
【０００８】
しかし、この膜厚より厚くなると、目詰まりや開孔率の低下が目立ち、薄くなると、耐刷性が劣る箇所が生じると記載されている。
更に、上記のスクリーン版を、プラズマディスプレイの製造、特にプラズマディスプレイのような対角４０インチを越える大面積のパターンニングにこのスクリーン版を適用しようとした際に用いるには以下に述べる欠点があった。
すなわち、シリコーン樹脂層をステンシルの側面に一様に塗布厚１μm 程度に塗ることが難しく、印刷の際にペーストの抜けが一様にならず印刷むらが生じてしまう問題点があった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような問題点に着目してなされたものであり、大面積高精細用スクリーン版においてステンシルとして感光性のシリコーン樹脂を使用してインキ通過性が良く同時に印刷むらのないスクリーン印刷用スクリーン版を提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、
紗と紗上に設けられたステンシルとからなるスクリーン印刷用スクリーン版において、
該ステンシルが感光性のシリコーン樹脂の被膜又は感光性のシリコーン樹脂を主とする複合材料からなる被膜であることを特徴とするスクリーン印刷用スクリーン版としたものである。
【００１１】
また請求項２においては、
請求項１記載の感光性のシリコーン樹脂の被膜又は感光性のシリコーン樹脂を主とする複合材料からなる被膜の厚さが１０μｍ〜８０μｍの範囲であることを特徴とするスクリーン印刷用スクリーン版としたものである。
【００１２】
また請求項３においては、
前記紗が、ステンレス鋼線又はポリエステル繊維の線材から織られたものであることを特徴とする請求項１乃至２記載いずれかのスクリーン印刷用スクリーン版としたものである。
【００１３】
また請求項４においては、
紗と紗上に設けられたステンシルとからなるスクリーン印刷用スクリーン版において、
該ステンシルが、紗上に、紗側から金属薄板の被膜と、感光性のシリコーン樹脂の被膜又は感光性のシリコーン樹脂を主とする複合材料からなる被膜とを順次積層された２重被膜であることを特徴とするスクリーン印刷用スクリーン版としたものである。
【００１４】
また請求項５においては、
請求項４記載のスクリーン印刷用スクリーン版における感光性のシリコーン樹脂の被膜又は感光性のシリコーン樹脂を主とする複合材料からなる被膜が１０μｍ〜８０μｍの範囲の厚みであることを特徴とするスクリーン印刷用スクリーン版としたものである。
【００１５】
また請求項６においては、
請求項５記載のスクリーン印刷用スクリーン版における紗が、ステンレス鋼線又はポリエステル繊維の線材から織られたものであることを特徴とするスクリーン印刷用スクリーン版としたものである。
【００１６】
本発明の手段により、ステンシル上にシリコーン樹脂を塗布するのではなく、写真製版法その他の手段で、感光性のシリコーン被膜そのものに開口部を設けてステンシルにするので、目詰まりもなく、大面積に渡って一様なインキの通過性が得られる。又、感光性のシリコーン樹脂層の厚さが１０μｍ〜８０μｍの範囲であるので、耐刷性にも優れたものができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態につき説明する。
紗は、線材を平織りなどの織って作られたものであり、寸法安定性の良く、強度のあるステンレス鋼線、ポリエステル繊維からなる線材が好適である。
【００１８】
ステンシル用の被膜の材料は、以下に説明するものである。
（１）感光性のシリコーン樹脂、または感光性のシリコーン樹脂を主ととしブレンド材を混合した複合材料からなる単層の被膜である。このシリコーン樹脂はインキとの濡れ性が悪く、即ちインキ付着性が極めて低いものである。
ブレンド材としては、アクリル、ポリエチレン、ポリプロピレン、メタクリル、ポリイミド、エポキシなどの樹脂である。
また、充填材として、被膜中にシリカ粉末、セラミック粉末などを含ませてもよい。
（２）金属薄板の被膜と、感光性のシリコーン樹脂被膜又は感光性のシリコーン樹脂を主とする複合材料からなる被膜とを順次積層された２重被膜である。
この２重被膜における金属薄板の被膜面が紗上に来るように設ける。又、紗上に先に金属薄板を設け、この金属薄板にシリコーン樹脂被膜又はシリコーン樹脂を主とする複合材料からなる被膜とを設けた２重被膜であっても良い。
金属としては、ニッケル、銅、鉄、クロム、アルミニウム、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金などであり、この金属を薄板にしたものである。
【００１９】
ステンシル内の開口部の形成方法を以下に説明する。
（１）感光性のシリコーン樹脂または感光性シリコーン樹脂を含む樹脂のブレンド材の場合は、通常の写真製版法で形成する。
（２）金属薄板の被膜と、感光性のシリコーン樹脂層又は感光性のシリコーン樹脂を主とする複合材料からなる被膜とを順次積層された２重被膜の場合は、紗上にメッキ接着手法や接着剤などを使って金属薄板を貼りつけ、この金属薄板上に上記感光性のシリコーン樹脂の被膜または感光性シリコーン樹脂を主とする複合材料からなる被膜を設ける。被膜形成方法としては、浸漬、スプレー、かけ流し、ハケ塗り、回転塗布（スピンコート）などである。被膜上に開口部形成の為のパターンマスクを密着させ、焼き付け、現像を施して、金属薄板上に開口部に相当する部分が感光性のシリコーン樹脂の削られたものが得られる（以上は通常の写真製版の工程と同じである）。
次ぎに、この感光性のシリコーン樹脂被膜を孔開き（開口部形成）防止被膜として、エッチングやサンドブラストまたは液体ホーニングなどで孔開け加工（開口部形成加工）を行う。又、被膜上から、直接レーザー光を操作させて、孔開け加工して形成することもできる。
【００２０】
感光性シリコーン樹脂または感光性シリコーン樹脂を含む樹脂の複合材料の膜厚は、１０μｍ〜８０μｍの範囲が良い。１０μｍを下回ると被膜としての強度が得られず、８０μｍを越えると微細パターンの露光、現像ができないことがおこる。
【００２１】
【実施例】
以下実施例により本発明を図を用いて説明する。
〈実施例１〉
図１により説明する。
アルミ版枠（図示せず）に、線径２５μｍのステンレス鋼線の線材を使用した４００メッシュの平織りハイメッシュの紗１１を４５度のバイアスで紗張りした。
この紗１１上に、感光性のシリコーン樹脂を主とする複合材料の被膜１２としてを、東芝シリコーン（株）製の「紫外線硬化型シリコーンハードコート剤ＵＶＨＣ８５５３」を主に、硬さを調整するためのブレンド材である東洋インキ（株）製のアクリル樹脂の６官能性プレポリマー（分子量、３５００から４０００）を重量％で６０％加えたものを、刷毛塗りして５０μｍの厚さに塗布して設けた。
【００２２】
次に８００ｍｍ x６００ｍｍの長方形に線幅５０μｍ、長さ６００ｍｍの細線パターンを２００μｍの等間隔で４００１本の開口部形成の為のマスクパターンを密着させて、２５４ｎｍの紫外線を１７０ｍＪ／ｃｍ２で６分照射露光して細線パターン以外の感光性のシリコーン樹脂を硬化した。さらにＩＰＡにてスプレー現像を行い、未硬化の細線パターンの部分の感光性のシリコーン樹脂を取り除き、ステンシル内に細線パターンの開口部１３を設け、スクリーン印刷用スクリーン版１０を作成した。
【００２３】
この版により、次のように印刷を行った。
３ｍｍ厚さのソーダライムガラス板に、ノリタケカンパニーリミテッド（株）製のプラズマディスプレイパネルのリブ用である「ファインライン用ガラスペーストＮＰ−７８５０」を、印刷と乾燥を繰り返し、乾燥時のリブ高さを１８０μｍの目標で多重印刷した。２５回印刷・乾燥したもので高さ１８０μｍ±５μｍとなった。
リブの頂上部がかなり平坦に刷れ、印刷むらがなかった。又、ペーストの詰まりも殆どなく、版の洗浄回数が減った。
【００２４】
〈実施例２〉
図２により説明する。
アルミ版枠（図示せず）に、線径２５μｍのステンレス鋼線の線材を使用した４００メッシュの平織りハイメッシュの紗１１を紗張りした。
紗１１上に、金属薄膜の被膜１４として厚み１３μｍのニッケル箔を使用し、ニッケルメッキ手法でニッケルを接着剤として貼りつけた。
このニッケル箔上に、シリコーン樹脂であって、感光性のシリコーン樹脂の被膜１５として、東芝シリコーン（株）製の「紫外線硬化型シリコーンハードコート剤ＵＶＨＣ８５５３」をイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）にて重量％で５０％になるように希釈した感光液を、スピンコートにて２０μｍの厚さに均一に塗布し、ＩＰＡを蒸発させ、乾燥させ、紗１１上にステンシル作成用の２重被膜１６を設けた。
次に一辺が２００ｍｍの正方形に直径５０μｍの開口部形成の為の円形パターン（０．２ｍｍの等間隔で１，００２，００１個の円形パターンを有する）マスクパターンを密着させて、２５４ｎｍの紫外線を１７０ｍＪ／ｃｍ２で３分照射露光して円形パターン以外の感光性のシリコーン樹脂を硬化した。さらにＩＰＡにてスプレー現像を行い、未硬化の円形パターンの部分の感光性のシリコーン樹脂を取り除き、金属薄膜を露出させた。
この円形パターンの部分が取り除かれた感光性のシリコーン樹脂の被膜を、レジスト（耐エッチング防止膜）として、ラインケ（株）製のニッケル専用エッチャントでエッチングして、露出した金属薄膜を除去して、ステンシル内に円形の開口部１３を設け、スクリーン印刷用スクリーン版１０を作成した。
【００２５】
この版を使用して、１．６ｍｍ厚さのプリント基板用の１／２オンス銅張りガラスエポキシ板に、太陽インキ製造（株）製の「紫外線硬化型エッチングレジストインキＡＳ−４００」を印刷した。
印刷むらがなく、インキ通過性が格段に上がり、クリアランスを殆ど取らずに低印圧で印刷が出来て、かすれ部が１０箇所あったのみとなった。
【００２６】
【発明の効果】
本発明は以上の構成であるから、下記に示す如き効果がある。
（１）大面積に渡って一様なインキの通過性が得られ、即ち印刷むらのないものを得ることができる。特に、印刷回数が増大するにつれてインキの通過性に場所によるムラが生じない。
（２）耐刷性にも優れている。
従って本発明は、大面積で同時に高精細も要求されるプラズマディスプレイにおける電極やバリアリブなどの厚膜印刷パターンを形成するためのスクリーン印刷に使用されるスクリーン印刷用スクリーン版として、優れた実用上の効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１におけるスクリーン印刷用スクリーン版の構造を示す説明図である。
（ａ）は正面図であり、
（ｂ）は正面図（ａ）の線分ｘ−ｘ’における断面図である。
【図２】本発明の実施例２における二重被膜のステンシルを有するスクリーン印刷用スクリーン版の構造を示す説明図である。
（ａ）は正面図であり、
（ｂ）は正面図（ａ）の線分ｙ−ｙ’における断面図である。
【図３】従来のスクリーン版におけるインキの通過性を説明するための断面図である。
【符号の説明】
１０…スクリーン印刷用スクリーン版
１１…紗
１２…シリコーン樹脂を主とする複合材料の被膜
１３…開口部
１４…金属薄膜の被膜
１５…感光性のシリコーン樹脂の被膜
１６…二重被膜
３０…従来のスクリーン印刷用スクリーン版
３１…付着した印刷インキ
３２…側壁部
３３…開口部
３４…スキージ
３５…スキージ動作方向
３６…印刷インキ
３７…被印刷体
【図１】
0003705314.tif 000002
【図２】
0003705314.tif 000003
【図３】
0003705314.tif 000004