(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
傾斜して設置し裏面に超音波振動子を結合した超音波振動板と、
洗浄すべき対象物の裏面と前記超音波振動板表面との間隔を周期的に変動させるための載置駆動手段と、
前記対象物の表面、前記対象物の裏面と前記超音波振動板との間のいずれか一方または両方に洗浄液を散布する洗浄液散布手段と、
前記超音波振動子に超音波電流を印加する超音波発振手段とを備え、
前記超音波発振手段から超音波電流を前記超音波振動子に印加しつつ前記洗浄液散布手段により前記対象物の表面、前記対象物の裏面と前記超音波振動板との間のいずれか一方または両方に洗浄液を散布流下させ、前記載置駆動手段により前記対象物の裏面と前記超音波振動板との間隔をその上方において周期的に変えながら前記対象物を超音波洗浄することを特徴とする超音波洗浄装置。
【請求項２】
超音波洗浄後に洗浄液の散布流下を停止させ超音波発振手段から超音波電流を超音波振動子に印加することによって超音波振動板から発生する振動および輻射する熱によって対象物を乾燥させることを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄装置。
【請求項３】
載置駆動手段は洗浄すべき対象物の裏面と超音波振動板表面との間隔をその上方と下方とにおいてそれぞれ周期的に変動させるものである請求項１または２のいずれかに記載の超音波洗浄装置。
【請求項４】
洗浄すべき対象物の裏面と超音波振動板表面との間隔変動の幅は上方におけるものが大である請求項３記載の超音波洗浄装置。
【請求項５】
傾斜して設置し裏面に超音波振動子を結合した超音波振動板の超音波振動子に超音波発振器からの超音波電流を印加して洗浄すべき対象物の裏面と前記超音波振動板表面との間隔をその上方において周期的に変動させながら前記洗浄すべき対象物の表面、前記洗浄すべき対象物の裏面と前記超音波振動板表面との間のいずれかまたは両方に洗浄液を散布流下させて超音波洗浄することを特徴とする超音波洗浄方法。
【請求項６】
超音波洗浄後に対象物の裏面と前記超音波振動板表面との間隔を固定にして洗浄液の散布流下を停止させ超音波発振器からの超音波電流を超音波振動子に印加することによって前記超音波振動板から発生する振動および輻射する熱によって前記対象物を乾燥させることを特徴とする請求項５記載の超音波洗浄方法。
【請求項７】
洗浄すべき対象物の裏面と超音波振動板表面との間隔をその上方と下方とにおいてそれぞれ周期的に変動させるものである請求項５または６のいずれかに記載の超音波洗浄方法。
【請求項８】
洗浄すべき対象物の裏面と超音波振動板表面との間隔変動の幅は上方におけるものが大である請求項７記載の超音波洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はシルクスクリーンの版等の洗浄対象物を超音波で洗浄する超音波洗浄装置およびその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、シルクスクリーン印刷法を用いて印刷配線基板にクリームはんだや部品接着用の接着剤を印刷する方法が広く用いられている。これには化学繊維の織物でできた版やステンレス、ニッケル板等の金属製の版が用いられている。この方法を用いて、たとえばクリームはんだを印刷配線基板上に印刷するとき、時間の経過と共にクリームはんだの溶剤の揮散により版が目詰まりを起こして所望の印刷品質が得られなくなる。またエポキシ系の接着剤を印刷配線基板上等に印刷するときもポットライフが短いために短時間内に版の目詰まりを起こすなどの問題があった。したがってこのような印刷に用いる版は所定時間ごとに洗浄し、乾燥させる必要がある。
【０００３】
洗浄のためには、従来は版が入る大きさの金属製の容器に洗浄液を満たし、容器の底面に結合した超音波振動子を振動させて洗浄液を介して版に振動を与えて超音波洗浄し、また乾燥させるには容器から取り出して送風したり、ヒーターを併用して熱風を送って乾燥させる等の方法をとっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記のような従来の方法では洗浄の際の容器が大きいために大量の洗浄液が必要であり、この大量の洗浄液を振動させる超音波振動子の駆動には大きなパワーが必要であった。
【０００５】
また乾燥の際、洗浄液にアルコール等を用いると、送風のみでは洗浄液の蒸発の際の気化熱により版面の温度が低下して空気中の水分が結露して水滴ができて、版面にむらとなって残り乾燥状態がよくないという問題点があった。
【０００６】
また乾燥時にヒーターを併用する方法では発熱体を必要とし、またヒーターに近い部分では局部的に高温となり、洗浄液に引火するという危険があり、また冷風でも、温風であっても送風のエアーのほこりを取るためのフィルタが必要であった。
【０００７】
また洗浄用の容器に出し入れし、また取り出したワークを乾燥機に掛け直す等の手数がかかっていた。
【０００８】
本発明は上記のような従来の問題点を解決するためのもので、少量の洗浄液で短時間に洗浄でき、洗浄の際に洗浄液を対象物に行き渡らせ剥離した付着物を滞留させずに流下させ、また洗浄した後に、そのままの位置で短時間に乾燥を行うこともできる超音波洗浄装置およびその方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この課題を達成するために本発明の超音波洗浄装置の請求項１のものは、傾斜して設置し裏面に超音波振動子を結合した超音波振動板と、洗浄すべき対象物の裏面と超音波振動板表面との間隔を周期的に変動させるための載置駆動手段と、対象物の表面、対象物の裏面と超音波振動板との間のいずれか一方または両方に洗浄液を散布する洗浄液散布手段と、超音波振動子に超音波電流を印加する超音波発振手段とを備えた構成である。
【００１０】
この構成において、超音波発振手段から超音波電流を超音波振動子に印加しつつ洗浄液散布手段により対象物の表面、対象物の裏面と超音波振動板との間のいずれか一方または両方に洗浄液を散布流下させ、載置駆動手段により対象物の裏面と超音波振動板との間隔をその上方において周期的に変えながら対象物を超音波洗浄することによって間隙への洗浄液の流通を良好にするとともに、対象物から剥離した付着物は洗浄液とともに下方へ流されて滞留しないために対象物の洗浄を促進するように作用する。
【００１１】
また請求項２のものは、請求項１の構成において、超音波洗浄後に洗浄液の散布流下を停止させ超音波発振手段から超音波電流を超音波振動子に印加させ超音波振動板から発生する振動および輻射する熱によって対象物を乾燥させるものである。
【００１２】
これによって超音波振動によって対象物に付着した洗浄液の液滴は振り切られ、また超音波振動子から発生する熱と超音波振動板の振動による熱損失とにより振動板から熱を輻射して対象物を短時間に乾燥するように作用する。
【００１３】
この請求項１または２における載置駆動手段は、請求項３において、載置駆動手段は洗浄すべき対象物の裏面と超音波振動板表面との間隔をその上方と下方とにおいてそれぞれ周期的に変動させるものであるとしている。そして請求項４においては、この請求項３においてさらに洗浄すべき対象物の裏面と超音波振動板表面との間隔変動の幅は上方におけるものが大であるとしている。
【００１４】
このように間隔変動方法を変えることによって間隙への洗浄液の流通をさらに良好にするとともに、対象物から剥離した付着物の滞留を防ぐ効果をさらに高めるように作用する。
【００１５】
また本発明の超音波洗浄方法は、請求項５において、傾斜して設置し裏面に超音波振動子を結合した超音波振動板の超音波振動子に超音波発振器からの超音波電流を印加して洗浄すべき対象物の裏面と超音波振動板表面との間隔をその上方において周期的に変動させながら洗浄すべき対象物の表面、洗浄すべき対象物の裏面と超音波振動板表面との間のいずれかまたは両方に洗浄液を散布流下させて超音波洗浄することを特徴とするものであり、その作用は請求項１の作用に対応する。
【００１６】
また請求項６の超音波洗浄方法は、請求項５の方法に加えて、超音波洗浄後に、対象物の裏面と超音波振動板表面との間隔を固定にして洗浄液の散布流下を停止させ超音波発振器からの超音波電流を超音波振動子に印加することによって超音波振動板から発生する振動および輻射する熱によって対象物を乾燥させることを特徴とするものであり、その作用は請求項２の作用に対応する。
【００１７】
そして請求項７では同じく請求項５または６の方法において、洗浄すべき対象物の裏面と超音波振動板表面との間隔をその上方と下方とにおいてそれぞれ周期的に変動させるものである。そして請求項８では請求項７の方法において、洗浄すべき対象物の裏面と超音波振動板表面との間隔変動の幅は上方におけるものが大であるとするものである。そしてその作用はそれぞれ請求項３および４の作用に対応する。
【００１８】
本発明は上記の装置または方法によってシルクスクリーン版等を洗浄対象物としたとき、少ない洗浄液で対象物と超音波振動板と対象物との間隙への洗浄液の流通を良好にするとともに、対象物から剥離した付着物を洗浄液とともに下方へ流して滞留させないで迅速に洗浄し、また必要により洗浄が終わると洗浄液の供給を止めるだけという簡単な操作で乾燥工程に入り、版面や超音波洗浄駆動部分の乾燥を結露なく行うことができ、ヒーター等の局部高温発熱体がないために引火の危険がなく安全であり、送風のエアーのほこりを取るフィルタも不要である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の超音波洗浄装置の一実施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態の超音波洗浄装置の分解斜視図、図２は同じくその装置要部の側断面図、図３は同じく超音波振動板と版との関係を示す要部側断面図、図４は同じく版上方部の載置駆動手段および間隔調整手段の要部側断面図、図５は同じく版下方部の載置駆動手段および間隔調整手段の要部側断面図である。
【００２０】
洗浄ヘッド部１は上面が平面で周辺を下方に向けて曲げた超音波振動板（ホーン）２の裏面に１ないし複数個の超音波振動子４をスタッドボルトによるネジ止めまたは接着等の方法で固定して構成する。超音波振動子４を複数個用いる場合はそれぞれ並列に接続したうえ超音波発振器６の出力に接続されている。超音波発振器６は超音波振動子４の共振周波数に合わせて、たとえば４０．５±１ｋＨｚで発振し、超音波電流を超音波振動子４に印加できるように調整しておく。この洗浄ヘッド部１は斜めに傾斜した取り付け台８上に取り付け、また取り付け台８には載置駆動手段の一部として超音波振動板２の上方と下方の両側に上版受け１０および下版受け１２を設け、これは洗浄すべき対象物である版１４の枠１４ａの内方において版面１４ｂの裏面を上下で載置して保持するようになっている。図１においては見やすくするために版１４は超音波振動板２から上方に離して図示しているが、定常状態では版１４の版面１４ｂの裏面は超音波振動板２の表面に近接して配置されている。
【００２１】
ワークである版１４の版面１４ｂは前述のように化学繊維の織物またはステンレス、ニッケル等の金属板で作られ、エッチング等によってインクを通すための開口１４ｃを設けてある。この版面１４ｂはアルミニウム等で作られた枠１４ａに接着等の方法で張り付けられている。
【００２２】
版１４の版面１４ｂの表面に洗浄液を散布するための版表用送液パイプ１６には多数の細孔１６ａを少なくとも版１４の洗浄されるべき部分の幅１４ｄまたはそれより少し広い幅にわたって設け、洗浄される版１４の表面側の上端付近に版１４の幅方向に配置し、超音波振動板２の周囲にめぐらした版裏用送液パイプ１８にも多数の細孔１８ａを設ける。そして洗浄液タンク２０からポンプ２２によって版表用送液パイプ１６と版裏用送液パイプ１８とに洗浄液が送られるように接続する。洗浄液タンク２０とポンプ２２と版表用送液パイプ１６とを表面側の洗浄液散布手段とする。同様に洗浄液タンク２０とポンプ２２と版裏用送液パイプ１８とを裏面側の洗浄液散布手段とする。
【００２３】
ポンプ２２が作動したときに版表用送液パイプ１６の細孔１６ａから洗浄液１６ｂを版１４の版面１４ｂの表面上端に均等に流出散布させて版面１４ｂの表面を流下させ、また版裏用送液パイプ１８の細孔１８ａから版面１４ｂの裏面と超音波振動板２の表面との間に洗浄液１８ｂを均等に流出散布させて版面１４ｂの裏面と洗浄ヘッド１の超音波振動板２の表面との隙間に流入させるように構成する。したがって取り付け台８の傾斜は流下する洗浄液がワークである版面１４ｂの表面および裏面をまんべんなく潤すように決定する。傾斜が緩やかすぎると洗浄液の流れにむらが起こり、版から剥離した付着物１５が流れにくくなり、また傾斜が急に過ぎれば洗浄液が早く流下してしまい、ワーク表裏面に滞留しなくなり、洗浄液を大量に必要とする。
【００２４】
以下に載置駆動手段について説明する。上版受け１０の中央下部にはカムローラ１０ａを設け、上版受け１０の内部には上下２個の同軸のスライド軸受１０ｂ，１０ｃを１組としてこれが両端に２組設けられている。取り付け台８には２本のスライド軸２４がそのボルト部２４ａと座金２５とナット２６とによって上版受け１０のスライド軸受１０ｂ，１０ｃに対応嵌合するように固定され、上版受け１０をスライド軸２４の軸方向（Ｚ１−Ｚ２方向）に摺動自在に保持する。そして上版受け１０はスライド軸受１０ｂとスライド軸２４のストッパ部２４ｂとの間に挿入した戻しばね２８によって取り付け台８方向すなわちＺ２方向に付勢されている。
【００２５】
また上版受け１０と同様に下版受け１２の中央下部にはカムローラ１２ａを設け、内部には上下２個の同軸のスライド軸受１２ｂ，１２ｃを１組として両端に２組設けられている。取り付け台８には２本のスライド軸３０がそのボルト部３０ａと座金３１とナット３２とによって下版受け１２のスライド軸受１２ｂ，１２ｃに対応嵌合するように固定され、下版受け１２をスライド軸３０の軸方向（Ｚ１−Ｚ２方向）に摺動自在に保持する。そして下版受け１２はスライド軸受１２ｂとスライ下軸３０のストッパ部３０ｂとの間に挿入した戻しばね３４によって取り付け台８方向すなわちＺ２方向に付勢されている。
【００２６】
一方減速ギヤボックスを有するモータ３６は、その減速された回転軸３６ａがカップリング３８を介してカムシャフト４０に結合され、カムシャフト４０は両端で２個のカムシャフト軸受け支持板４２に取り付けられたベアリング４４によって回転自在に保持されている。カムシャフト４０には軸に対して外周がたとえば各１個所または２個所突出するように偏芯したカム４６，４８が２個所で固定され、カム４６は上版受け１０の中央下部に設けたカムローラ１０ａの下面に当接し、カム４８は下版受け１２の中央下部に設けたカムローラ１２ａの下面に当接するように構成されている。そしてカムシャフト４０の１回転においてカム４６，４８の突起が各１個所ずつであればたとえば互いに１８０度ずれており、カムの突起が各２個所ずつであればたとえば互いに９０度ずれるように配置されている。
【００２７】
つぎに版１４の版面１４ｂの裏面と洗浄ヘッド部１の超音波振動板２の表面との間隔を微調整する間隔調整手段として、取り付け台８に取り付けた保持アングル５６の孔５６ａから調整ボルト５０を挿入して調整ばね５４を介して超音波振動板２の下端の耳２ａに溶接したナット５２にねじ込む。そして調整ボルト５０を回動すると振動板２の耳２ａが調整ばね５４の弾力に抗して取り付け台８から離れる方向、すなわちＺ１方向へ引き寄せられ、振動板２はＺ１方向へ移動して版１４の版面１４ｂの裏面に近接する。この間隔を確認しながら４個所の調整ボルト５０を回動させて振動板２の高さを調整することができる。この調整は振動板２の下方から行うように構成を変えてもよい。この間隙は定常状態では洗浄液を効率良く版全面に行き渡らせるために上方の間隙を広くして洗浄液を多く流下させ、液が少なくなる下方を狭くして液に気泡が入らないように保つのが効果的である。
【００２８】
コントロールボックス６０は超音波発振器６とポンプ２２とモータ３６とをコントロールするように接続されている。必要によってポンプ２２の出力を版表用送液パイプ１６と版裏用送液パイプ１８のいずれか一方だけにも送れるように選択することもできる。そして上記各構成部分を筺体６２内におさめ筺体６２の前面窓６４から内部の洗浄状態を監視できるようにし、コントロールボックス６０を筺体６２外から操作できるようにすればよい。またここでは図示しないが流下した洗浄液を濾過して洗浄液を分離するフィルタ等を設てもよい。
【００２９】
上記のように構成された本実施形態の超音波洗浄装置についてその動作を説明する。筺体６２の前面窓６４を開き、版１４を取り付け台８上の上版受け１０と下版受け１２に載置して洗浄ヘッド部１の超音波振動板２上を版１４の洗浄すベき版面１４ｂが覆うようにする。そして前面窓６４を閉じてコントロールボックス６０を操作して、ポンプ２２を作動させて版表用送液パイプ１６の細孔１６ａから洗浄液１６ｂを版面１４ｂの表面に散布流下させ、また版裏用送液パイプ１８の細孔１８ａから洗浄液１８ｂを流出させて図３（ａ）のように版面１４ｂの裏面と超音波振動板２との隙間に散布流下させる。同時に超音波発振器６を発振させ、その出力を超音波振動子４に印加することにより超音波振動板２を振動させ、この超音波振動により洗浄液を超音波振動させて版面１４ｂを洗浄する。
【００３０】
図３（ｂ）は版面の開口部の側断面図であるが、この図に基づいて洗浄時の振動のメカニズムを説明すると、超音波は空気中では秒速約３４０ｍで伝搬するが、液体中では秒速約１．４ｋｍ、金属中では秒速約５ｋｍであり、物質によって異なるため、化学繊維やステンレス、ニッケルの薄板でできた版面１４ｂの開口１４ｃにインク、クリーム半田、接着剤や異物などの付着物１５が付着した状態で超音波振動を加えると、すべての物質が同じモードで振動できないために付着物が振り切られるような状態になるものと考えられる。版面１４ｂに与えられた超音波振動により付着物の付着界面において振動起伏のずれによってマイクロクラックが発生して、その隙間に洗浄液が侵入して化学溶解し約４０ｋＨｚの振動により付着物は付着力の限界を超えて版面１４ｂから剥離洗浄される。版面１４ｂから剥離した付着物は洗浄液と共に流出する。この付着物を含んだ洗浄液は貯蔵しておいて定期的に回収して洗浄液とはんだ等の物質を回収して再利用してもよく、または同一筺体６２中に図示しないフィルタ装置を内蔵して付着物と洗浄液とを分離してもよい。
【００３１】
洗浄対象物である版１４の版面１４ｂは超音波振動板２に近いほど超音波振動のエネルギーが強く与えられて洗浄効果が高くなるので、一例としてこの間隔は０．７±０．１ｍｍ程度に管理している。付着物の粘度が高いときには相応に溶解力の高い洗浄液を用いるが、それでも間隔が狭くなると版面１４ｂと振動板との間隙に洗浄液が十分に行き渡らなかったり、版面１４ｂから剥離した付着物１５が版面１４ｂの裏面と振動板２の表面の隙間に滞留して洗浄の促進を阻害することがある。このときコントロールボックス６０によってモータ３６を起動する。モータ３６の回転軸３６ａの回転はカップリング３８を介してカムシャフト４０をが回転させ、カム４６，４８は上版受け１０のカムローラ１０ａおよび下版受け１２のカムローラ１２ａを交互に戻しばね２８，３４の付勢力に抗して押し上げ、上版受け１０および下版受け１２はスライド軸２４，３０に沿って交互にＺ１−Ｚ２方向に上下される。
【００３２】
図４における２点鎖線１４ｄは上版受け１０近辺で版１４が最も超音波振動板２から離れた位置を示し、また図５における２点鎖線１４ｅは下版受け１２近辺で版１４が最も超音波振動板２から離れた位置を示す。この上下動幅はカム４６，４８の突起の形状で決まり、カム４６とカム４８の突起の形状を変えることによって上版受け１０近辺の上下動幅を下版受け１２近辺の上下動幅より大きくすることもできる。したがってこの上に載置された版１４の版面１４ｂは上方と下方とが交互に振動板２から離れるので、間隙への洗浄液の流通を良好にするとともに、超音波洗浄によって版面１４ｂから剥離した付着物１５は洗浄液とともに下方へ流されて滞留しないために版面１４ｂの洗浄を促進することができる。一例としてモータ３６を１分間５回転させ２つの突起のあるカムを用い１分間１０回の上下を繰り返すことにより、固定状態で２０分間でも十分に洗浄できなかったものが約３分で洗浄することができた。洗浄対象の付着物の粘性が少ない場合等、必要がなければモータ３６は駆動しなくてもよい。
【００３３】
所定の時間洗浄した後、コントロールボックス６０を操作してポンプ２２を停止させ、洗浄液１６ｂ，１８ｂの散布流下を停止する。またモータ３６の回転も停止する。ただし超音波発振器６の振動は継続する。するとまず洗浄液１６ｂ，１８ｂの流れなくなった洗浄ヘッド部１の超音波振動板２の超音波振動によって版１４上の洗浄液の液滴を霧化させる。液滴がなくなるまで十分に洗浄液を霧化した後、超音波振動板２の熱損失による発熱や、また超音波振動子４から発生して伝導する熱が輻射することによって温度が６０度Ｃ程度に上昇し、熱伝導で洗浄液はさらに気化されて蒸発し、洗浄された版面１４ｂは超音波振動板２からの振動による霧化と輻射熱とによって加熱されて約２分間で乾燥する。とくに乾燥は熱だけでなく超音波振動板２が振動していることによって液体が直接霧化し、さらに空気分子の動きも激しくなり熱だけで乾燥する場合に比べて乾燥が促進されるものと考えられる。このようにコントロールボックス６０を設けて操作を手動で行ってもよいがコンピュータによって超音波発振器６の発振および停止、ポンプ２２の作動および停止、モータ３６の作動および停止を外部から自動的に行ってもよい。
【００３４】
このように本実施形態においては、洗浄ヘッド部１の超音波振動板２が超音波振動子４によって超音波振動をしている所へ、その上に僅かな距離をおいて載置されている版１４の版面１４ｂの表面を流下する洗浄液１６ｂおよび版面１４ｂの裏面と超音波振動板２の隙間を流下する洗浄液１８ｂを介して超音波洗浄され、モータ３６の駆動によって上版受け１４および下版受け１６は交互に上下されて版面１４ｂの裏面と振動板２との間に間隙を生じるので、洗浄液の流通がよくなり、洗浄されて剥離した付着物１５は洗浄液とともに下方へ流されて滞留することがない。その後洗浄液の散布を停止し、モータ３６の回転も停止することによって超音波振動する超音波振動板２の振動および超音波振動子から発生する熱と超音波振動板の振動による熱損失とにより超音波振動板から熱を輻射してすばやく乾燥される。
【００３５】
すなわち洗浄対象物を載置したまま、洗浄液を散布流下して超音波振動を与え、この間必要により対象物を上下に揺動して洗浄液を流下して洗浄が完了すれば洗浄液の流下のみを止めて超音波振動を与え続けて乾燥するという簡単な構成と簡単な操作によって洗浄と乾燥がなされ、少量の洗浄液で洗浄でき、結露を生じることもほこりの付着も発火の危険もなく短時間に良好な乾燥状態が得られるものである。
【００３６】
なお、必要によって異なった大きさの版に対応できるよう上下の版受け１０，１２の幅を変更できるようにしてもよく、その場合は版面の大きさに合わせて版表用送液パイプ１６の細孔１６ａにカバーを設けておき、このカバーをスライドさせて送液範囲を版の大きさに合わせるようにすれば洗浄液を有効に利用することができる。本実施の形態では版表用送液パイプ１６は版１４の上方のみ、また版裏用送液パイプ１８は版の四周にわたって設ける例を説明したが、必要によりいずれも上方のみ、またはいずれも四周に設けても差し支えない。また細孔１６ａ，１８ａは上方、側方、下方において孔径や孔の間隔を変えることによって洗浄液の散布量を変えることができる。
【００３７】
また洗浄液散布手段は図では版の上面と裏面に設けたが、版などの対象物の種類により裏面だけでよい場合もある。この場合散布手段は裏面だけに設けてもよく、上記のようにポンプ２２によって選択的に散布してもよい。
【００３８】
また上版受け１０と下版受け１２の上下の動きのタイミングはカム４６，４８の突起の位置を変えて上記のものと異なってもよい。上下のカム４６，４８の突起の位置の差は１８０度または９０度等に限らず、また上下のカム４６，４８の突起の数を変えて動きに変化を付けてもよい。また下方のカム４８を用いずに版１４の上方だけを駆動させてもよい。
【００３９】
また、本実施形態ではシルクスクリーンの版の乾燥について説明したが、シルクスクリーンの版だけではなく平面の物体であれば対象物として洗浄と乾燥を行えることはいうまでもない。
【００４０】
さらに実施形態に例示のものは一例であり超音波振動子の数とか共振周波数、間隔、時間その他の数値や構成、方法の細部は例示のものに限定されるものではない。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は請求項１の超音波洗浄装置の構成または請求項５の超音波洗浄方法によって、洗浄液を介して洗浄対象物を超音波洗浄し、必要によって洗浄対象物と超音波振動板と間隔をその上方において周期的に変えることによって洗浄液の流通を促進し付着物の滞留を防いで短時間で洗浄できるものである。
【００４２】
そして請求項１の構成または請求項５の方法において超音波洗浄した後に請求項２または請求項５では、洗浄液の散布を停止して超音波振動子の振動によって洗浄液の液滴を振り切り超音波振動子から発生する熱と超音波振動板の振動による熱損失とにより振動板から熱を輻射して対象物を迅速に乾燥させるものである。
【００４３】
また本発明の請求項３または４の超音波洗浄装置および請求項７または８の超音波洗浄方法は、請求項１の装置および請求項５の方法における洗浄対象物と超音波振動板との間隔を変える方法を具体的に示すことによって洗浄液の流通の促進と付着物の滞留を防ぐ効果をさらに高めるものである。
【００４４】
このように本発明は上記の装置または方法によって、少量の洗浄液で洗浄液を対象物への洗浄液の流通を促進し付着物の滞留を防ぎ、迅速に超音波洗浄できるものであり、また洗浄が終わると洗浄液の供給を止めるだけという簡単な操作で乾燥工程に入ることもでき、さらに乾燥する場合は対象物や超音波洗浄駆動部分の乾燥を結露なく行うこと、ヒーター等の局部高温発熱体がないために引火の危険がなく安全であること、送風のエアーのほこりを取るフィルタも不要である等、短時間に良好な乾燥状態を得ることができる実用効果高いものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の超音波洗浄装置の分解斜視図
【図２】同じく超音波洗浄装置要部の側断面図
【図３】同じく超音波振動板と版との関係を示す要部側断面図
【図４】同じく版上方部の載置駆動手段および間隔調整手段の要部側断面図
【図５】同じく版下方部の載置駆動手段および間隔調整手段の要部側断面図
【符号の説明】
１  洗浄ヘッド部
２  超音波振動板
４  超音波振動子
６  超音波発振器
８  取り付け台
１０  上版受け
１０ａ，１２ａ  カムローラ
１０ｂ，１０ｃ，１２ｂ，１２ｃ  スライド軸受
１２  下版受け
１４  版
１４ａ  枠
１４ｂ  版面
１４ｃ  開口
１５  付着物
１６  版表用送液パイプ
１６ａ，１８ａ  細孔
１６ｂ，１８ｂ  洗浄液
１８  版裏用送液パイプ
２０  洗浄液タンク
２２  ポンプ
２４，３０  スライド軸
２６，３２  ナット
２８，３４  戻しばね
３６  モータ
３８  カップリング
４０  カムシャフト
４２  カムシャフト軸受け支持板
４４  ベアリング
４６，４８  カム
５０  調整ボルト
５２  ナット
５４  調整ばね
５６  保持アングル
５８  調整ナット
６０  コントロールボックス
６２  筺体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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