(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端側に供給対象液体の吸入部と吐出部を有する液体吸排用シリンダー内にピストンを摺動自在に収納し、該ピストンを一端側から後退させることにより液体を吸入し、ピストンを上記一端側へ前進させることにより吸入した液体を吐出させるようにしてある液体ポンプの他端側に、エアの作動圧力で作動するポンプ駆動用アクチュエータを連設し、該アクチュエータ内に収納したエアピストンと上記液体吸排用シリンダー内のピストンとをロッドを介し一体として、上記アクチュエータ内に作用させたエアにより該アクチュエータ内のエアピストンを前進後退させることにより上記液体吸排用シリンダー内のピストンを前進後退させるようにし、更に、上記吸入部と吐出部に逆止弁が設けてある液体定量供給装置において、上記逆止弁としてエアの作動圧力により弁体を前進後退作動させて吸入側流路と吐出側流路の開閉を行わせるようにした逆止弁をそれぞれ上記液体の吸入部と吐出部に設け、該吸入側の逆止弁と吐出側の逆止弁に、各々弁体を前進させる方向にエアを作動させるようにする閉止用給排口と、弁体を後退させる方向にエアを作動させるようにする開放用給排口を設けて、上記ポンプ駆動用アクチュエータに作用させるエアの一部を上記各給排口に作用させるようにし、更に、供給対象液体を上記液体ポンプに吸入する時は、吐出側の逆止弁を閉じ方向に作動させた後に上記液体ポンプを吸入側に作動させて負圧を発生させ、しかる後に吸入側の逆止弁を開く方向に作動させることができるように、吐出側逆止弁の閉止用給排口に接続したエア給排管、ポンプ駆動用アクチュエータのポンプ吸入作動側圧力室に接続したエア給排管、吸入側逆止弁の開放用給排口に接続したエア給排管の順に流路径を細くするか又は流路長を順に長くするようにし、且つ上記液体ポンプ内の供給対象液体の吐出時には、吸入側の逆止弁を閉じ方向に作動させた後に上記液体ポンプを吐出側に作動させ、しかる後に吐出側の逆止弁を開く方向に作動させることができるように、吸入側逆止弁の閉止用給排口に接続したエア給排管、ポンプ駆動用アクチュエータのポンプ吐出作動側圧力室に接続したエア給排管、吐出側逆止弁の開放用給排口に接続したエア給排管の順に流路径を細くするか又は流路長を順に長くするようにしてあるエア供給回路を備えた構成を有することを特徴とする液体定量供給装置。
【請求項２】
一端側に供給対象液体の吸入部と吐出部を有する液体吸排用シリンダー内にピストンを摺動自在に収納し、該ピストンを一端側から後退させることにより液体を吸入し、ピストンを上記一端側へ前進させることにより吸入した液体を吐出させるようにしてある液体ポンプの他端側に、エアの作動圧力で作動するポンプ駆動用アクチュエータを連設し、該アクチュエータ内に収納したエアピストンと上記液体吸排用シリンダー内のピストンとをロッドを介し一体として、上記アクチュエータ内に作用させたエアにより該アクチュエータ内のエアピストンを前進後退させることにより上記液体吸排用シリンダー内のピストンを前進後退させるようにし、更に、上記吸入部と吐出部に逆止弁が設けてある液体定量供給装置において、上記吸入側及び吐出側の逆止弁を、液体ポンプの液体吸排用シリンダーの吸入部と吐出部の所要位置に設けた弁座と、該弁座に圧着して吸入側流路と吐出側流路を閉塞する弁体と、該弁体を先端部に有するロッドと、該ロッドの末端部に固定したピストンと、該ピストンを収納したシリンダーとからなる構成とし、上記シリンダーに、ヘッド側圧力室にエアの作動圧力を作用させる閉止用給排口とロッド側圧力室にエアの作動圧力を作用させる開放用給排口をそれぞれ設け、エアの作動圧力で上記ピストンを介して上記弁体を前進させることにより、該弁体を弁座に圧着させて吸入側又は吐出側の流路を閉塞でき、上記弁体を後退させることにより、該弁体を弁座から離して吸入側又は吐出側の流路を開放できるようにして、それぞれ上記液体の吸入部と吐出部に設け、該吸入側の逆止弁と吐出側の逆止弁に、各々弁体を前進させる方向にエアを作動させるようにする閉止用給排口と、弁体を後退させる方向にエアを作動させるようにする開放用給排口を設けて、上記ポンプ駆動用アクチュエータに作用させるエアの一部を上記各給排口に作用させるようにし、更に、供給対象液体を上記液体ポンプに吸入する時は、吐出側の逆止弁を閉じ方向に作動させた後に上記液体ポンプを吸入側に作動させて負圧を発生させ、しかる後に吸入側の逆止弁を開く方向に作動させることができるように、吐出側逆止弁の閉止用給排口に接続したエア給排管、ポンプ駆動用アクチュエータのポンプ吸入作動側圧力室に接続したエア給排管、吸入側逆止弁の開放用給排口に接続したエア給排管の順に流路径を細くするか又は流路長を順に長くするようにし、且つ上記液体ポンプ内の供給対象液体の吐出時には、吸入側の逆止弁を閉じ方向に作動させた後に上記液体ポンプを吐出側に作動させ、しかる後に吐出側の逆止弁を開く方向に作動させることができるように、吸入側逆止弁の閉止用給排口に接続したエア給排管、ポンプ駆動用アクチュエータのポンプ吐出作動側圧力室に接続したエア給排管、吐出側逆止弁の開放用給排口に接続したエア給排管の順に流路径を細くするか又は流路長を順に長くするようにしてあるエア供給回路を備えた構成を有することを特徴とする液体定量供給装置。
【請求項３】
前後方向に所要長さを有する上面板と下面板を平行に配して後端部同士を連結してなるフレームの後端側をポンプ駆動用アクチュエータの軸心方向の後方に突出させるようにして該フレームの前端側をポンプ駆動用アクチュエータに沿わせて取り付け、該フレームの上下の面板に沿って前後方向にスライドできるようにしたロッド固定部に、ピン差込孔を上下方向に貫通させて設けると共に、所要の長さを有する吐出量調整用ロッドの先端部を、先端が上記ポンプ駆動用アクチュエータ内のエアピストンに当るように該ポンプ駆動用アクチュエータ内に気密状態で摺動できるように挿入して、その後端部に、上記ロッド固定部を一体に取り付け、更に、上記フレームの上面板と下面板の長手方向の所要間隔位置に、供給対象液体の吸入量に応じて定められた多数のピン差込孔を設け、該フレームの上下面板に設けたピン差込孔と上記ロッド固定部に設けたピン差込孔に吐出量設定ピンを上下方向に抜取自在に挿通させることにより、上記ポンプ駆動用アクチュエータのストローク量を設定して、液体ポンプの１ストローク当りの吐出量を設定できるようにした請求項１又は２記載の液体定量供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はダイカスト用水溶性離型剤の如き原液を所要の倍率に希釈するために希釈混合用のタンクへ供給するときの如く、液体を定量供給する際に用いる液体定量供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、寸法精度の高い鋳肌のきれいな鋳物を高生産性で作る方法として、精密な金型に、溶融させたアルミニウムや亜鉛合金等を高圧力で圧入させるようにした、いわゆるダイカスト鋳造法が知られている。
【０００３】
かかるダイカスト鋳造法を実施する場合には、金型面にスプレー装置等を用いて離型剤を塗布することが必要であり、通常、上記離型剤としては、離型剤原液を、４０〜３００倍に希釈したものが使用されている。
【０００４】
上記のように離型剤原液を水により所要濃度まで希釈混合してスプレー装置へ圧送する場合は、図６にその一例の概略を示す如く、離型剤原液タンク１内の離型剤原液２を、液体定量供給装置としての定量ポンプ３の作動により原料吸込管４ａを通して吸入し、原料供給管４ｂ、希釈混合管５を通して希釈混合液タンク６内へ所要量供給させると共に、図示しない希釈水供給源から希釈水供給管８を通して導いた所要量の希釈水７を、上記希釈混合管５を介して上記希釈混合液タンク６内へ供給させ、該希釈混合液タンク６内にて、上記離型剤原液２を希釈水７と混合して所定の希釈率となるように希釈させて、離型剤として使用可能な混合液９を調製すると共に一旦貯蔵させるようにしてあり、しかる後、上記希釈混合液タンク６内の混合液９を、混合液圧送ポンプ１０を備えた混合液送給管１１を介して下流側の図示しないスプレー装置へ送給するようにしてある。
【０００５】
上記希釈混合液タンク６は、離型剤原液２の所定の希釈率への希釈を容易にするために、たとえば、内部の混合液９の量が上限（たとえば１２ｌ）になると上限設定レベルに達したことを検出する上限フロートスイッチ１２と、液量が下限（たとえば９ｌ）になると下限設定レベルに達したことを検出する下限フロートスイッチ１３とを装備して、希釈混合液タンク６内の混合液９の量が減少し、液面が下がって下限フロートスイッチ１３により下限設定レベルが検出されるようになると、上記上限フロートスイッチ１２に液面が検出されるまで混合液９の補給を行わせることで、混合液９を３ｌずつ補給できるようにしてあり、この３ｌの混合液９の補給を行う場合に、たとえば、離型剤原液２を４０倍に希釈してなる混合液９を補給しようとする場合には、定量ポンプ３により７５ｍｌの離型剤原液２を希釈混合液タンク６へ供給させると共に、補給量の全量が３ｌに達するまで希釈水７を供給することにより上記離型剤原液２を４０倍に希釈した混合液９を調製するようにしてある。したがって、たとえば、希釈率が１００倍や３００倍の混合液９を補給しようとする場合には、離型剤原液２の供給量をそれぞれ３０ｍｌ、１０ｍｌとすればよいことになる。なお、図６において１４はＹ型ストレーナー、１５は希釈水供給管８に設けた電磁弁、１６は混合液送給管１１に設けたサージタンク、１７は使用側コントロール用減圧弁である。又、１８は撹拌リターン用電磁弁１９を備えたバイパス管であり、希釈混合液タンク６に新たに離型剤原液２と希釈水７を補給した場合には、該バイパス管１８を通して希釈混合液タンク６内の混合液９を循環させることにより撹拌、混合できるようにしてある。
【０００６】
そのために、上記定量ポンプ３としては、離型剤原液２の定量供給を容易に行えるようにすると共に、その供給量を調整できるようにした形式のものとして、図７にその一例の概略を示す如き定量ポンプ３が従来採用されている。この定量ポンプ３は、前端側となる一端部を閉塞して該一端壁に液体の吸入口２１と吐出口２２とを設けた液体吸排用シリンダー２３と、該液体給排用シリンダー２３の内側に収納したピストン２４とからなる液体ポンプ２０の他端側に、上記液体吸排用シリンダー２３の内径よりも大きい内径を有し且つ後端側となる他端部を閉塞したエアシリンダー２６内にエアピストン２７を収納してなるアクチュエータ２５を配置して、上記液体ポンプ２０の液体給排用シリンダー２３の他端側開口部に、上記アクチュエータ２５のエアシリンダー２６の一端側開口部を連通させて一体に連結すると共に、アクチュエータ２５内のエアピストン２７と上記液体吸排用シリンダー２３内のピストン２４とを所要長さのピストンロッド２８を介し一体に連結して、エアピストン２７の前進後退でピストン２４が前進後退できるようにし、上記アクチュエータ２５により、上記液体ポンプ２０を駆動できるようにしてある。
【０００７】
又、上記ポンプ駆動用アクチュエータ２５のロッド側圧力室となるポンプ吸入作動側圧力室２９に外部から作動用のエア３０を給排させるエア給排口３１を、上記液体吸排用シリンダー２３の他端部における壁面内部に形成して、該エア給排口３１に、図示しないエア供給部からエア３０を導くためのエア給排管４２を接続し、一方、上記ポンプ駆動用アクチュエータ２５のヘッド側圧力室となるポンプ吐出側圧力室３２に外部からエア３０を給排させるためのエア給排口３３を、エアシリンダー２６の後端壁外周部に形成して、該エア給排口３３に、エア供給部からエア３０を導くエア給排管４３を接続する。
【０００８】
更に、上記液体ポンプ２０の液体吸入口２１と液体吐出口２２には、それぞれ逆止弁３４ａ，３４ｂを取り付けた構成としてある。上記液体吸入口２１と液体吐出口２２に取り付けた各逆止弁３４ａ，３４ｂは、それぞれ流路の途中位置に形成した弁室３５内に弁体となるボール３６と、該ボール３６を弁室３５の入口側に押し付けるためのスプリング３７とを備えてなる形式としてあり、ボール３６を押し開く方向に圧力が作用する場合にはスプリング３７に抗して液体吸入口２１又は液体吐出口２２が開放され、一方、スプリング３７の弾発力がボール３６を押し開く圧力に勝る場合には、ボール３６が弁室３５の入口に押し付けられて液体吸入口２１又は液体吐出口２２が閉塞されることにより逆流を防止することができるようにしてある。
【０００９】
更に又、ポンプ駆動用アクチュエータ２５のエアシリンダー２６の後端壁の軸心位置に、内面に雌ねじを刻設した貫通孔３８を設けると共に、該貫通孔３８の雌ねじに対応する雄ねじ部３９を先端よりほぼ全長に亘るように形成してなる吐出量調整用ロッド４０を用意して、該吐出量調整用ロッド４０の雄ねじ部３９を、先端側から上記貫通孔３８の雌ねじに螺着させ、該ストローク調整用ロッド４０を回すことにより貫通孔３８に対して前後方向へ移動可能に取り付けて、該吐出量調整用ロッド４０の先端部のエアシリンダー２６内側への挿入量を変えることができるようにし、これによりポンプ駆動用アクチュエータ２５のエアピストン２７の後退側のストロークエンドの位置を前後方向に移動させることにより、上記エアピストン２７と一体に前進後退する液体ポンプ２０のピストン２４の後退側のストロークエンドの位置を前後方向に移動させて、該液体ポンプ２０のピストン２４の１ストローク当りの吸入、吐出量を変化させることができるようにしてある。又、上記エアシリンダー２６の後端部における上記貫通孔３８の近傍位置には、吐出量調整用ロッド４０と平行に延びるスケール４１を設置して、該スケール４１にて上記吐出量調整用ロッド４０のエアシリンダー２６外方への突出量を測ることにより、該吐出量調整用ロッド４０のエアシリンダー２６の内側への挿入量の変化に応じて変更されるようになる液体ポンプ２０の１ストローク当りの吐出量を計測できるようにしてある。
【００１０】
上記構成としてある従来の定量ポンプ３を用いて希釈混合液タンク６への離型剤原液２の供給を行う場合には、液体ポンプ２０の１ストロークによる吐出される量が、上記希釈混合液タンク６内に３ｌの混合液９を補給する際に要求される離型剤原液２の量に一致するように、ストローク調整用ロッド４０を回してその後端部位置を、予めスケール４１の所要位置に合わせた状態において、ポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吸入作動側圧力室２９に、エア給排管４２を通してエア供給部から導いたエア３０を供給して、エアピストン２７を後退させることにより液体ポンプ２０のピストン２４を後退させ、このとき、液体吸排用シリンダー２３内に、所定量の離型剤原液２を、液体吸入口２１に設けた逆止弁３４ａを通して吸入させ、しかる後、上記ポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吐出作動側圧力室３２へエア給排管４３を通して導いたエア３０を供給して、エアピストン２７を前進させることにより液体ポンプ２０のピストン２４を前進させて、上記液体吸排用シリンダー２３内に吸入してある所定量の離型剤原液２を、液体吐出口２２側の逆止弁３４ｂを通して吐出させるようにしてある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記離型剤源液２は、メーカーにより濃度、すなわち、離型剤として使用する混合液９を調製するために要求される希釈率が異なっていることがあり、このため粘度等の性状が変化する場合がある。
【００１２】
この場合、上記従来の定量ポンプ３における液体吸入口２１と液体吐出口２２に装備された逆止弁３４ａ，３４ｂでは、使用するスプリング３７の強さによって開閉動作が左右され、供給すべき離型剤源液２の粘度等の性状が変化するようになると、逆止弁３４ａ，３４ｂにおけるボール３６の動き易さが変化し、逆止弁３４ａ，３４ｂによる逆流防止効果に変化が生じるようになる。そのため吐出量調整用ロッド４０の後端位置をスケール４１の同一位置に設定しても、使用する離型剤原液２の性状の変化に伴って離型剤原液２が早く送られるようになったり、吐出量が少くなったりして離型剤原液２の供給量が変化するという問題があることから、離型剤となる混合液９を調製するための離型剤原液２の希釈が正確に行われなくなるという問題がある。
【００１３】
このために、上記従来の定量ポンプ３では、使用する離型剤原液２の性状が変化するたびに、液体ポンプ２０の１ストローク当りの吐出量を実測して、吐出量調整用ロッド４０による吐出量の調整を行わなければならず、手間及び時間が嵩んでコストアップに繋がるという問題がある。
【００１４】
又、ある離型剤原液２を使用する場合、上記ストローク調整用ロッド４０の後端位置をスケール４１の同じ位置に合わせれば、液体ポンプ２０の１ストローク当りの吐出量は一定になると期待されるが、実際には、上記ストローク調整用ロッド４０の後端位置をスケール４１の所定位置に合わせる際の作業者の視る方向（角度）により、ストローク調整用ロッド４０の後端位置に前後方向の多少の誤差が生じるため、該ストローク調整用ロッド４０の正確な位置決めが期待できないという問題もある。
【００１５】
そこで、本発明は、供給対象液体の性状の変化に影響を受けることなく上記供給対象液体を定量供給できるようにする液体定量供給装置を提供しようとするものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、一端側に供給対象液体の吸入部と吐出部を有する液体吸排用シリンダー内にピストンを摺動自在に収納し、該ピストンを一端側から後退させることにより液体を吸入し、ピストンを上記一端側へ前進させることにより吸入した液体を吐出させるようにしてある液体ポンプの他端側に、エアの作動圧力で作動するポンプ駆動用アクチュエータを連設し、該アクチュエータ内に収納したエアピストンと上記液体吸排用シリンダー内のピストンとをロッドを介し一体として、上記アクチュエータ内に作用させたエアにより該アクチュエータ内のエアピストンを前進後退させることにより上記液体吸排用シリンダー内のピストンを前進後退させるようにし、更に、上記吸入部と吐出部に逆止弁が設けてある液体定量供給装置において、上記逆止弁としてエアの作動圧力により弁体を前進後退作動させて吸入側流路と吐出側流路の開閉を行わせるようにした逆止弁をそれぞれ上記液体の吸入部と吐出部に設け、該吸入側の逆止弁と吐出側の逆止弁に、各々弁体を前進させる方向にエアを作動させるようにする閉止用給排口と、弁体を後退させる方向にエアを作動させるようにする開放用給排口を設けて、上記ポンプ駆動用アクチュエータに作用させるエアの一部を上記各給排口に作用させるようにし、更に、供給対象液体を上記液体ポンプに吸入する時は、吐出側の逆止弁を閉じ方向に作動させた後に上記液体ポンプを吸入側に作動させて負圧を発生させ、しかる後に吸入側の逆止弁を開く方向に作動させることができるように、吐出側逆止弁の閉止用給排口に接続したエア給排管、ポンプ駆動用アクチュエータのポンプ吸入作動側圧力室に接続したエア給排管、吸入側逆止弁の開放用給排口に接続したエア給排管の順に流路径を細くするか又は流路長を順に長くするようにし、且つ上記液体ポンプ内の供給対象液体の吐出時には、吸入側の逆止弁を閉じ方向に作動させた後に上記液体ポンプを吐出側に作動させ、しかる後に吐出側の逆止弁を開く方向に作動させることができるように、吸入側逆止弁の閉止用給排口に接続したエア給排管、ポンプ駆動用アクチュエータのポンプ吐出作動側圧力室に接続したエア給排管、吐出側逆止弁の開放用給排口に接続したエア給排管の順に流路径を細くするか又は流路長を順に長くするようにしてあるエア供給回路を備えた構成を有する液体定量供給装置とする。
【００１７】
液体ポンプによる供給対象液体の吸入時には、吐出側の逆止弁が閉塞されてから上記液体ポンプの吸入側への動作が開始され、しかる後に吸入側の逆止弁が開放されるようになるため、吐出側から供給対象液体が逆流することなく液体ポンプへの供給対象液体の吸入が行われ、一方、液体ポンプによる供給対象液体の吐出時には、吸入側の逆止弁が閉塞されてから上記液体ポンプの吐出動作が開始され、しかる後に吐出側の逆止弁が開放されるようになるため、吐出される供給対象液体が吸入側へ逆流することなく液体ポンプからの供給対象液体の吐出が行われる。このため液体ポンプよる吸入吐出量に狂いが生じる虞を解消でき、供給対象液体の吸入、吐出を正確な量で行わせることが可能になるため、液体ポンプの１ストローク当りの吐出量が上記供給対象液体の性状の変化により影響を受ける虞は解消されるようになる。
【００１８】
又、上記と同様の構成において、吸入側及び吐出側の逆止弁を、液体ポンプの液体吸排用シリンダーの吸入部と吐出部の所要位置に設けた弁座と、該弁座に圧着して吸入側流路と吐出側流路を閉塞する弁体と、該弁体を先端部に有するロッドと、該ロッドの末端部に固定したピストンと、該ピストンを収納したシリンダーとからなる構成とし、上記シリンダーに、ヘッド側圧力室にエアの作動圧力を作用させる閉止用給排口とロッド側圧力室にエアの作動圧力を作用させる開放用給排口をそれぞれ設け、エアの作動圧力で上記ピストンを介して上記弁体を前進させることにより、該弁体を弁座に圧着させて吸入側又は吐出側の流路を閉塞でき、上記弁体を後退させることにより、該弁体を弁座から離して吸入側又は吐出側の流路を開放できるようにした構成とすることにより、吸入側及び吐出側の各逆止弁を容易に構成できると共に、弁体と弁座の摩耗を防止できて、上記各逆止弁における供給対象液体の漏れを防止できる。
【００１９】
更に、上述の各構成において、前後方向に所要長さを有する上面板と下面板を平行に配して後端部同士を連結してなるフレームの後端側をポンプ駆動用アクチュエータの軸心方向の後方に突出させるようにして該フレームの前端側をポンプ駆動用アクチュエータに沿わせて取り付け、該フレームの上下の面板に沿って前後方向にスライドできるようにしたロッド固定部に、ピン差込孔を上下方向に貫通させて設けると共に、所要の長さを有する吐出量調整用ロッドの先端部を、先端が上記ポンプ駆動用アクチュエータ内のエアピストンに当るように該ポンプ駆動用アクチュエータ内に気密状態で摺動できるように挿入して、その後端部に、上記ロッド固定部を一体に取り付け、更に、上記フレームの上面板と下面板の長手方向の所要間隔位置に、供給対象液体の吸入量に応じて定められた多数のピン差込孔を設け、該フレームの上下面板に設けたピン差込孔と上記ロッド固定部に設けたピン差込孔に吐出量設定ピンを上下方向に抜取自在に挿通させることにより、上記ポンプ駆動用アクチュエータのストローク量を設定して、液体ポンプの１ストローク当りの吐出量を設定できるようにした構成とすることにより、液体ポンプの１ストローク当りの供給対象液体の吐出量を容易に変更できると共に、吐出量の設定に個人差が生じる虞を防止できて予め設定した量に正確に合わせることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００２１】
図１乃至図５は本発明の液体定量供給装置の実施の一形態を示すもので、液体ポンプ２０の後端部に、ポンプ駆動用アクチュエータ２５を一体に連結して備えてある図７に示した定量ポンプ３における上記液体ポンプ２０の液体吸入口２１と液体吐出口２２に、ボール３６とスプリング３７とを弁室３５内に備えてなる逆止弁３４ａ，３４ｂをそれぞれ装備した構成に代えて、液体ポンプ２０の液体吸入口２１ａと液体吐出口２２ａに、エア３０の作動圧力により開閉を切替えることができるようにしてある逆止弁４４と４５をそれぞれ設け、更に、上記液体ポンプ２０による供給対象液体としての離型剤原液２の吸入時には、先ず、吐出側の逆止弁４５を閉じる方向に作動させて液体吐出口２２ａを閉塞させた後に、上記液体ポンプ２０を吸入側に作動させるべく上記ポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吸入作動側圧力室２９にエア３０の作動圧力を作用させ、しかる後、吸入側の逆止弁４４を開く方向に作動させることができるようにし、且つ上記液体ポンプ２０内に吸入された離型剤原液２の吐出時には、先ず、吸入側の逆止弁４４を閉じる方向に作動させて吸入口２１ａを閉塞させた後、上記液体ポンプ２０を吐出側に作動させるべく上記アクチュエータ２５のポンプ吐出作動側圧力室３２にエア３０の作動圧力を作用させ、しかる後に吐出側の逆止弁４５を開く方向に作動させることができるようにしてあるエア供給回路４６を備えた構成とする。
【００２２】
詳述すると、上記吸入側の逆止弁４４は、図２に詳細を示す如く、液体ポンプ２０の液体吸排用シリンダー２３の前端部となる一端部における周方向所要位置の外周面に、後述するシリンダー４７の先端部に設けた取付部４７ａを嵌合させ得る凹部４８を設けて、該凹部４８の奥側端面と該凹部４８に取り付けた上記シリンダー４７の取付部４７ａの先端面との間に弁室４９を形成させて、該弁室４９内の上記凹部４８の位置に、該凹部４８の軸心方向と直角方向に延びるように上記液体吸入口２１ａを形成し、該液体吸入口２１ａを、液体吸排用シリンダー２３内に、吸入側流路５０を介し開口させるようにして、該吸入側流路５０の途中に円錐型の弁座５１を形成させるようにする。更に、シリンダー４７内に収納したピストン５４に固定してあって先端側を上記取付部４７ａを貫通させてあるロッド５３の先端部に、上記弁座５１に対応する円錐形の弁体５２を形成し、上記シリンダー４７の取付部４７ａを、上記液体吸排用シリンダー２３の凹部４８に嵌合させて取り付けることにより、上記ロッド５３の先端部の弁体５２を弁座５１に正対させて配置させた構成とする。更に、上記シリンダー４７内のヘッド側圧力室（閉作動側圧力室）５５に、エア３０を給排させる閉止用給排口５５ａを設けると共に、ロッド側圧力室（開作動側圧力室）５６にエア３０を給排させる開放用給排口５６ａを設け、ピストン５４を前進させ、ロッド５３先端部の弁体５２を前進させて弁座５１に圧着させることにより、吸入側流路５０を閉塞させて、液体ポンプ２０の吐出時における液体吸排用シリンダー２３内から液体吸入口２１ａ側への逆流を防止できるようにし、又、ピストン５４を後退させロッド５３先端部の弁体５２を後退させて弁座５１から離反させることにより、吸入側流路５０が開放されて、液体吸入口２１ａから液体吸排用シリンダー２３内への吸入を行わせることができるようにしてある。
【００２３】
一方、上記吐出側の逆止弁４５は、図２に詳細を示す如く、液体ポンプ２０の液体吸排用シリンダー２３の一端部における上記吸入側逆止弁４４の凹部４８と周方向１８０度位置における外周面に、後述するシリンダー４７の先端部に設けた取付部４７ａを嵌合させ得る凹部４８を設けて、該凹部４８の奥側端面と該凹部４８に取り付けた上記シリンダー４７の取付部４７ａの先端面との間に弁室４９を形成させて、該弁室４９内の上記凹部４８の位置に、該凹部４８の軸心方向と直角方向に延びるように液体吐出口２２ａを形成し、該液体吸入口２２ａを、液体吸排用シリンダー２３内に、吐出側流路５７を介し開口させるようにして、該吐出側流路５７の途中に円錐型の弁座５１を形成させるようにする。更に、シリンダー４７内に収納したピストン５４に固定してあって先端側を上記取付部４７ａを貫通させてあるロッド５３の先端部に、上記吐出側流路５７の弁座５１に対応する円錐形の弁体５２を形成し、上記シリンダー４７の取付部４７ａを、上記液体吸排用シリンダー２３の凹部４８に嵌合させて取り付けることにより、上記ロッド５３の先端部の弁体５２を弁座５１に正対させて配置させた構成とする。更に、上記シリンダー４７内のヘッド側圧力室（閉作動側圧力室）５５に、エア３０を給排させる閉止用給排口５５ａを設けると共に、ロッド側圧力室（開作動側圧力室）５６にエア３０を給排させる開放用給排口５６ａを設け、ピストン５４を前進させ、ロッド５３先端部の弁体５２を前進させて弁座５１に圧着させることにより、吐出側流路５０を閉塞させて、液体ポンプ２０の吸入時における液体吐出口２２ａ側から液体吸排用シリンダー２３内への逆流を防止できるようにし、又、ピストン５４を後退させロッド５３先端部の弁体５２を後退させて弁座５１から離反させることにより、吐出側流路５０が開放されて、液体吸排用シリンダー２３内に吸入してある離型剤原液２の液体吐出口２２ａからの吐出を行わせることができるようにしてある。
【００２４】
又、上記エア供給回路４６は、吐出側逆止弁４５の閉止用給排口５５ａと吸入側逆止弁４４の開放用給排口５６ａとポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吸入作動側圧力室２９に各々接続されたエア給排管５９，６０，６１を、接続ブロック５８の分配部５８ａに導いたエア給排管６２ａに接続すると共に、吸入側逆止弁４４の閉止用給排口５５ａと吐出側逆止弁４５の開放用給排口５６ａとポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吐出作動側圧力室３２に各々接続されたエア給排管６３，６４，６５を、接続ブロック５８の分配部５８ｂに導いたエア給排管６２ｂに接続し、且つ上記エア給排管６２ａと６２ｂを、図示しないエア供給源に接続されたエア供給管６７に電磁切替弁６６を介して接続し、離型剤原液２の吸入時と吐出時で電磁切替弁６６をａポートとｂポートに切替えることにより、圧縮されたエア３０を、エア給排管５９，６０，６１又は６３，６４，６５に作用させるようにしてあり、更に、エア給排管５９と６０と６１は、図４（イ）にその断面を比較して示す如く、吐出側逆止弁４５の閉止用給排口５５ａに接続したエア給排管５９、ポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吸入作動側圧力室２９に接続したエア給排管６０、吸入側逆止弁４４の開放用給排口５６ａに接続したエア給排管６１の順に流路径が細くなるようにし、又、エア給排管６３と６４と６５は、図４（ロ）にその断面を比較して示す如く、吸入側逆止弁４４の閉止用給排口５５ａに接続したエア給排管６３、ポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吐出作動側圧力室３２に接続したエア給排管６４、吐出側逆止弁４５の開放用給排口５６ａに接続したエア給排管６５の順に流路径が細くなるようにしてあって、エア３０を作用させたときに、吸入時では上記エア給排管５９と６０と６１の流路径の差に応じてエア３０の作動圧力を、吐出側逆止弁４５の閉止用給排口５５ａと、ポンプ駆動用アクチュエータの２５のポンプ吸入作動側圧力室２９と、吸入側逆止弁４４の開放用給排口５６ａに順に作用させて、吐出側逆止弁４５により吐出側流路５７を閉塞させた後、ポンプ駆動用アクチュエータ２５により液体ポンプ２０の吸入側への作動を開始させて液体吸排用シリンダー２３内に負圧を発生させ、しかる後に吸入側逆止弁４４により吸入側流路５０を開放させることにより、液体吸入口２１ａから弁室５１及び吸入側流路５０を通して液体吸排用シリンダー２３内への離型剤原液２の吸入を行わせることができるようにし、一方、吐出時には、上記エア給排管６３と６４と６５の流路径の差に応じてエア３０の作動圧力を、吸入側逆止弁４４の閉止用給排口５５ａと、ポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吐出作動側圧力室３２と、吐出側逆止弁４５の開放用給排口５６ａに順に作用させて、吸入側逆止弁４４により吸入側流路５０を閉塞させた後、ポンプ駆動用アクチュエータ２５により液体ポンプ２０の吐出側への作動を開始させ、しかる後に吐出側逆止弁４５により吐出側流路５７を開放させることにより、上記液体ポンプ２０の液体吸排用シリンダー２３内に吸入してある離型剤原液２を、吐出側流路５７及び弁室５１を通して液体吐出口２２ａより吐出できるようにする。
【００２５】
更に又、液体ポンプ２０の吐出量を調整可能にするために、ポンプ駆動用アクチュエータ２５のエアシリンダー２６の後端壁の軸心部に貫通孔６８を設け、該貫通孔６８に、所要の長さ寸法を有する吐出量調整用ロッド６９を先端より挿入して軸心に沿って内外方向にスライド自在に保持させる。該吐出量調整用ロッド６９の後端部には、上下方向の両端部を、後述するフレーム７０の上下の各面板７０ａ，７０ｂに沿って前後方向にスライドできるようにした矩形のロッド固定部７１を一体に設け、且つ該ロッド固定部７１には、上下方向に貫通するピン差込孔７２を穿設する。
【００２６】
上記フレーム７０は、前後方向所要長さの上面板７０ａと下面板７０ｂとを、上記吐出量調整ロッド６９のロッド固定部７１を挟むように上下方向に所要間隔を隔てて平行に配すると共に、該上下の各面板７０ａと７０ｂの後端部同士を連結板７０ｃにて連結してコの字型に形成してあり、上記上下の各面板７０ａと７０ｂにより、ポンプ駆動用アクチュエータ２５及び吐出量調整用ロッド６９の上下方向を全長に亘って覆うように配置して、上記ポンプ駆動用アクチュエータ２５のエアシリンダー２６に対して相対位置を固定できるように上記上下の各面板７０ａと７０ｂの前端部を、液体吸排用シリンダー２３の後端部に取り付ける。更に、上記吐出量調整用ロッド６９を前後方向へスライドさせるときのロッド固定部７１のピン差込孔７２の軌跡に臨む上記上下の各面板７０ａ、７０ｂの長手方向所要間隔位置に、多数のピン差込孔７３を上下方向に対応するように穿設して、該ピン差込孔７３に、上記吐出量調整用ロッド６９のロッド固定部７１のピン差込孔７２の位置を一致させた状態として、吐出量設定ピン７４を上下方向に抜取自在に挿通させることにより、上記吐出量調整用ロッド６９の前後方向位置を固定し、これにより該吐出量調整用ロッド６９のエアシリンダー２６内側への挿入量を設定して、ポンプ駆動用アクチュエータ２５のエアピストン２７の後退側のストロークエンドの位置を設定できるようにし、液体ポンプ２０の１ストロークの吸排動作による吐出量を設定できるようにしてある。なお、上記フレーム７０のピン差込孔７３は、液体ポンプ２０の１ストロークの吸排動作により吐出される離型剤原液２を３ｌまで希釈したときの希釈率が、たとえば、４０，５０，６０，７０，８０，１００，１２０，１５０，２００，３００倍になるように、液体ポンプ２０の１ストローク当りの吐出量を７５，６０，５０，４２．８５，３７．５，３０，２５，２０，１５，１０ｍｌにそれぞれ設定できる位置に形成するようにする。
【００２７】
７５はポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吸入作動側圧力室２９のエア抜きバルブ、７６はポンプ吐出作動側圧力室３２のエア抜きバルブであり、液体ポンプ２０の吐出量を変更すべく上記吐出量調整用ロッド６９を前後方向へスライドさせる時には、上記各エア抜きバルブ７５と７６を開放させることにより、ポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吸入作動側圧力室２９とポンプ吐出作動側圧力室３２の双方の圧力を抜くことができるようにしてある。又、７７は吐出量調整用ロッド６９のロッド固定部７１の側面部に設けたハンドルである。その他、図７に示したものと同一のものには同一符号が付してある。
【００２８】
供給対象液体としての離型剤原液２を定量供給する場合は、先ず、各エア抜きバルブ７５と７６を開放した状態にて、液体ポンプ２０の１ストローク当りの吐出量が所定量となるように、吐出量調整用ロッド６９のピン差込孔７２を、フレーム７０の所定のピン差込孔７３に一致させると共に吐出量設定ピン７４を各ピン差込孔７１と７０に上下方向に挿通させて上記吐出量調整用ロッド６９の前後方向位置を固定する。その後、上記各エア抜きバルブ７５と７６は閉じておく。
【００２９】
次に、図１に示す如く、電磁切替弁６６をａポートに切替操作してエア供給源からエア供給管６７を通して導いた圧縮されたエア３０を、エア給排管６２ａを介して接続ブロック５８の分配部５８ａに供給し、該エア３０の作動圧力を、エア給排管５９と６０と６１を介して吐出側逆止弁４５の閉止用給排口５５ａ、ポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吸入作動側圧力室２９、吸入側逆止弁４４の開放用給排口５６ａの順に作用させると、吐出側流路５７が吐出側逆止弁４５により予め閉塞されてから、液体ポンプ２０の吸入側への作動が開始されて液体吸排用シリンダー２３内に負圧が発生するため、吐出側から上記液体吸排用シリンダー２３内への逆流は防止され、しかる後に吸入側逆止弁４４により吸入側流路５０が開放されて、液体吸入口２１ａから液体吸排用シリンダー２３内への吸入が行われる。吸入される離型剤原液２の量は、上記吐出量調整用ロッド６９により設定される所定量に正確に一致させられる。
【００３０】
次いで、図５に示す如く、電磁切替弁６６をｂポートに切替えて、エア３０をエア給排管６２ｂを通して接続ブロック５８の分配部５８ｂに供給し、該エア３０の作動圧力を、エア給排管６３と６４と６５を介して吸入側逆止弁４４の閉止用給排口５５ａ、ポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吐出作動側圧力室３２、吐出側逆止弁４５の開放用給排口５６ａの順に作用させると、先ず吸入側逆止弁４４により吸入側流路５０が閉塞させられてから、液体ポンプ２０の吐出側への作動が開始されて液体吸排用シリンダー２３内の圧力上昇が開始されるようになるため、液体吸排用シリンダー２３内から吸入側への逆流は防止され、しかる後に吐出側逆止弁４５による吐出側流路５７の開放が行われるため、液体給排用シリンダー２３内から吐出される。吐出される離型剤原液２の量は、上記液体ポンプ２０の吸入作動時に液体吸排用シリンダー２３内に吸入された量、すなわち、吐出量調整用ロッド６９にて予め設定した吐出量に正確に一致させられるようになることから、離型剤原液２の定量供給が正確に行われる。
【００３１】
このように、液体ポンプ２０の１ストローク当りの吐出量を正確なものとすることができ、このため、供給対象液体となる離型剤原液２の濃度や粘度が変化しても、その性状の変化に影響を受けることなく吐出量を所望する供給量に正確に合せることができることから、従来要していた如き吐出量の実測作業を不要にすることができて、労力及び時間の削減を図ることができると共に、コストの削減を図ることができる。
【００３２】
又、上記液体ポンプ２０の吸入作動時には、液体吸排用シリンダー２３内に負圧を発生させてから吸入側逆止弁４４を開放するようにしてあるため、初期吸い上げスピードの速さを高めることができる。
【００３３】
更に、吸入側及び吐出側の各逆止弁４４と４５は、いずれも円錐形の弁体５２を前進、後退させることで、円錐形の弁座５１に対して圧着、離反させて開放及び閉塞を切替えることができるようにしてあるため、上記弁体５２と弁座５１の摩耗を防止できて、上記各逆止弁４４と４５における離型剤原液２の漏れを防止できる。
【００３４】
更に又、吐出量調整用ロッド６９は、ピン差込孔７２の位置を、フレーム７０の任意のピン差込孔７３に一致させて吐出量設定ピン７４により前後方向の位置を固定できるようにしてあるため、液体ポンプ２０の吐出量の変更を容易に行うことができると共に、吐出量の設定に個人差が生じる虞を解消することができる。
【００３５】
なお、本発明は上記実施の形態のみに限定されるものではなく、吸入側逆止弁４４及び吐出側逆止弁４５は、エア３０の作動圧力で開閉の切替を行えるものであれば、いかなる形式のものを採用してもよいこと、液体ポンプ２０の吸入時には、エア３０の作動圧力を吐出側逆止弁４５の閉止用給排口５５ａ、ポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吸入作動側圧力室２９、吸入側逆止弁４４の開放用給排口５６ａに順に作用させ、且つポンプ２０の吐出時には、エア３０の作動圧力を吸入側逆止弁４４の閉止用給排口５５ａ、ポンプ駆動用アクチュエータ２５のポンプ吐出作動側圧力室３２、吐出側逆止弁４５の開放用給排口５６ａに順に作用させることができるようにしたエア供給回路４６としては、図４（イ）に示す如く、エア給排管５９と６０と６１の流路径の太さを変えると共に、図４（ロ）に示す如く、エア給排管６３と６４と６５の流路径の太さを変えるものとして示したが、液体ポンプ２０の吸入時及び吐出時においてエア３０の作動圧力を上記順序に従って作用させることができれば、エア３０の作動圧力の作用に時間差を生じさせる手段として、たとえば、エア給排管５９と６０と６１の流路長を順に長くし、且つエア給排管６３と６４と６５の流路長を順に長くするようにしてもよく、又、接続ブロック５８の分配部５８ａにおける各エア給排管５９と６０と６１との接続部のエア流路の径を順に細くし、且つ分配部５８ｂにおける各エア給排管６３と６４と６５との接続部のエア流路の径を順に細くするようにしてもよく、更には、上記エア給排管５９と６０と６１及び６３と６４と６５を、それぞれ接続ブロック５８を介さずに時間差を有して順次作動する弁機構等を備えたエア供給部に直接接続して、上記各エア給排管５９と６０と６１及び６３と６４と６５にエア３０を供給するタイミングに機械的に時間差を与えるようにしてもよいこと、ポンプ駆動用アクチュエータ２５としては、液体ポンプ２０の液体吸排用シリンダー２３の後端側に、エアシリンダー２６を一体に連結してなる形式のものを示したが、液体ポンプ２０のピストン２４を前進後退駆動できれば、液体ポンプ２０と別体のものを採用してもよいこと、フレーム７０に設けるピン差込孔７３は、液体ポンプ２０の１ストローク当りの吐出量が所望する量となるように、その位置及び数は任意に設定してよいこと、定量供給対象液体としては、離型剤原液２以外の液体を採用してよいこと、その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００３６】
【発明の効果】
以上述べた如く、本発明の液体定量供給装置によれば、以下の如き優れた効果を発揮する。
（１）一端側に供給対象液体の吸入部と吐出部を有する液体吸排用シリンダー内にピストンを摺動自在に収納し、該ピストンを一端側から後退させることにより液体を吸入し、ピストンを上記一端側へ前進させることにより吸入した液体を吐出させるようにしてある液体ポンプの他端側に、エアの作動圧力で作動するポンプ駆動用アクチュエータを連設し、該アクチュエータ内に収納したエアピストンと上記液体吸排用シリンダー内のピストンとをロッドを介し一体として、上記アクチュエータ内に作用させたエアにより該アクチュエータ内のエアピストンを前進後退させることにより上記液体吸排用シリンダー内のピストンを前進後退させるようにし、更に、上記吸入部と吐出部に逆止弁が設けてある液体定量供給装置において、上記逆止弁としてエアの作動圧力により弁体を前進後退作動させて吸入側流路と吐出側流路の開閉を行わせるようにした逆止弁をそれぞれ上記液体の吸入部と吐出部に設け、該吸入側の逆止弁と吐出側の逆止弁に、各々弁体を前進させる方向にエアを作動させるようにする閉止用給排口と、弁体を後退させる方向にエアを作動させるようにする開放用給排口を設けて、上記ポンプ駆動用アクチュエータに作用させるエアの一部を上記各給排口に作用させるようにし、更に、供給対象液体を上記液体ポンプに吸入する時は、吐出側の逆止弁を閉じ方向に作動させた後に上記液体ポンプを吸入側に作動させて負圧を発生させ、しかる後に吸入側の逆止弁を開く方向に作動させることができるように、吐出側逆止弁の閉止用給排口に接続したエア給排管、ポンプ駆動用アクチュエータのポンプ吸入作動側圧力室に接続したエア給排管、吸入側逆止弁の開放用給排口に接続したエア給排管の順に流路径を細くするか又は流路長を順に長くするようにし、且つ上記液体ポンプ内の供給対象液体の吐出時には、吸入側の逆止弁を閉じ方向に作動させた後に上記液体ポンプを吐出側に作動させ、しかる後に吐出側の逆止弁を開く方向に作動させることができるように、吸入側逆止弁の閉止用給排口に接続したエア給排管、ポンプ駆動用アクチュエータのポンプ吐出作動側圧力室に接続したエア給排管、吐出側逆止弁の開放用給排口に接続したエア給排管の順に流路径を細くするか又は流路長を順に長くするようにしてあるエア供給回路を備えた構成を有する液体定量供給装置としてあるので、逆止弁の切替作動を確実に行わせることができると共に、吸入、吐出時の逆止弁の閉塞作動を先行させることから、液体ポンプの吸入、吐出の際の逆流を確実に防止できるため、吐出量を、供給対象液体の性状に拘ることなく正確に設定できる。このため、従来要していた如き吐出量の実測作業を不要とすることができ、手間及び時間の削減を図ることができるため、コストの削減を図ることが可能になる。
（２）吸入時に液体ポンプ内にて負圧を発生させるので、液体ポンプの初期吸い上げスピードを高めることができるため、シャーベット状の液体をも定量供給することが可能になる。
（３）更に、上記と同様の構成における吸入側及び吐出側の逆止弁を、液体ポンプの液体吸排用シリンダーの吸入部と吐出部の所要位置に設けた弁座と、該弁座に圧着して吸入側流路と吐出側流路を閉塞する弁体と、該弁体を先端部に有するロッドと、該ロッドの末端部に固定したピストンと、該ピストンを収納したシリンダーとからなる構成とし、上記シリンダーに、ヘッド側圧力室にエアの作動圧力を作用させる閉止用給排口とロッド側圧力室にエアの作動圧力を作用させる開放用給排口をそれぞれ設け、エアの作動圧力で上記ピストンを介して上記弁体を前進させることにより、該弁体を弁座に圧着させて吸入側又は吐出側の流路を閉塞でき、上記弁体を後退させることにより、該弁体を弁座から離して吸入側又は吐出側の流路を開放できるようにした構成とすることにより、上記（１）（２）の効果に加えて、吸入側及び吐出側の各逆止弁を容易に構成できると共に、弁体と弁座の摩耗を防止できて、上記各逆止弁における供給対象液体の漏れを防止できる。
（４）前後方向に所要長さを有する上面板と下面板を平行に配して後端部同士を連結してなるフレームの後端側をポンプ駆動用アクチュエータの軸心方向の後方に突出させるようにして該フレームの前端側をポンプ駆動用アクチュエータに沿わせて取り付け、該フレームの上下の面板に沿って前後方向にスライドできるようにしたロッド固定部に、ピン差込孔を上下方向に貫通させて設けると共に、所要の長さを有する吐出量調整用ロッドの先端部を、先端が上記ポンプ駆動用アクチュエータ内のエアピストンに当るように該ポンプ駆動用アクチュエータ内に気密状態で摺動できるように挿入して、その後端部に、上記ロッド固定部を一体に取り付け、更に、上記フレームの上面板と下面板の長手方向の所要間隔位置に、供給対象液体の吸入量に応じて定められた多数のピン差込孔を設け、該フレームの上下面板に設けたピン差込孔と上記ロッド固定部に設けたピン差込孔に吐出量設定ピンを上下方向に抜取自在に挿通させることにより、上記ポンプ駆動用アクチュエータのストローク量を設定して、液体ポンプの１ストローク当りの吐出量を設定できるようにした構成とすることにより、液体ポンプの１ストローク当りの供給対象液体の吐出量を容易に変更できると共に、吐出量の設定に個人差が生じる虞を防止できて予め設定した量に正確に合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の液体定量供給装置の実施の一形態を示す切断概略側面図である。
【図２】図１の装置の要部拡大図である。
【図３】図１のＡ−Ａ方向矢視図である。
【図４】（イ）（ロ）はいずれも図１の装置に用いるエア給排管の断面の比較を示す図である。
【図５】図１の装置における吐出状態を示す切断概略側面図である。
【図６】離型剤を供給する設備の一例を示す概要図である。
【図７】図６の設備において従来採用されている定量ポンプの一例の概略を示す切断側面図である。
【符号の説明】
２  離型剤原液（供給対象液体）
２０  液体ポンプ
２１，２１ａ  吸入口（吸入部）
２２，２２ａ  吐出口（吐出部）
２３  液体吸排用シリンダー
２４  ピストン
２５  ポンプ駆動用アクチュエータ
２７  エアピストン
２８  ロッド
２９  ポンプ吸入作動側圧力室
３０  エア
３２  ポンプ吐出作動側圧力室
４４  吸入側逆止弁
４５  吐出側逆止弁
４６  エア供給回路
４７  シリンダー
５０  吸入側流路
５１  弁座
５２  弁体
５３  ロッド
５４  ピストン
５５  ヘッド側圧力室
５５ａ  閉止用給排口
５６  ロッド側圧力室
５６ａ  開放用給排口
５７  吐出側流路
５９  エア給排管
６０  エア給排管
６１  エア給排管
６３  エア給排管
６４  エア給排管
６５  エア給排管
６９  吐出量調整用ロッド
７０  フレーム
７０ａ  上面板
７０ｂ  下面板
７１  ロッド固定部
７２  ピン差込孔
７３  ピン差込孔
７４  吐出量設定ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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