(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動フィルムを駆動する可動フィルムシャッターを用いて画素毎に光の透過、遮光を制御して階調表示を行う可動フィルム型表示装置において、
前記可動フィルムシャッターは、
同電位の第１及び第２固定電極と、
前記第１固定電極と対を成し、固定された固定端及び変位可能な変位端を有し、前記第１固定電極との間の第１電位差で臨界点に達して撓む可撓性第１可動フィルム電極と、
前記第２固定電極と対を成し、固定された固定端及び変位可能な変位端を有し、前記第２固定電極との間の前記第１電位差とは異なる第２電位差で臨界点に達して撓む可撓性第２可動フィルム電極とを具備し、
前記第１固定電極と前記第１可動フィルム電極の間、及び前記第２固定電極と第２可動フィルム電極の間とに等しい電圧が印加され、印加される当該電圧を変化させることにより階調を制御することを特徴とする可動フィルム型表示装置。
【請求項２】
前記第１可動フィルム電極の前記固定端と前記変位端との間の長さが、前記第２可動フィルム電極の前記固定端と前記変位端との間の長さと異なることを特徴とする請求項１記載の可動フィルム型表示装置。
【請求項３】
前記第１可動フィルム電極の厚さが、前記第２可動フィルム電極の厚さと異なることを特徴とする請求項１記載の可動フィルム型表示装置。
【請求項４】
前記第１固定電極と前記第１可動フィルム電極の前記固定端との距離が、前記第２固定電極と前記第２可動フィルム電極の前記固定端との距離と異なることを特徴とする請求項１記載の可動フィルム型表示装置。
【請求項５】
１画素内に、前記第１及び第２固定電極と前記第１及び第２可動フィルム電極の対を有することを特徴とする請求項１記載の可動フィルム型表示装置。
【請求項６】
可動フィルムを駆動する可動フィルムシャッターを用いて画素毎に光の透過、遮光を制御して階調表示を行う可動フィルム型表示装置において、
前記可動フィルムシャッターは、１画素内に
一端から長さが異なる絶縁された複数の導体層を積層してなる固定電極と、
前記固定電極の前記一端側に固定された固定端及び変位可能な変位端を有する可撓性可動フィルム電極と、
前記固定電極の前記複数の導体層にそれぞれ異なる電位を与える電位供給手段と
を具備することを特徴とする可動フィルム型表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可動フィルム型表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、大型のディスプレイ装置、または携帯可能なディスプレイ装置において、低消費電力化が求められている。
【０００３】
この低消費電力化を実現するディスプレイ装置として、可動フィルムを静電力によって駆動する可動フィルムシャッター方式の、可動フィルム型表示装置がある。可動フィルム型表示装置の基本原理を図１１〜図１８を用いて示す。
【０００４】
図１１は可動フィルムシャッターを１つ取り出したものである。可動フィルムシャッターは、透光性の透明導光体１１１と、透明導光体１１１の湾曲した表面に設けられる遮光部のブラックマトリクス１１２、ブラックマトリクス１１２に囲まれる開口部１１３、透明導光体１１１の開口部１１３に対向して設けられる遮光性の可動フィルム１１４、透明導光体１１１を挟み可動フィルム１１４と対向して設けられる遮光板１１５からなる。遮光板１１５は反射板であっても良い。
【０００５】
光は矢印の向きに透明導光体１１１中に入射し、透過する。複数の透明導光体１１１によって１画素を構成し、任意の数の可動フィルム１１４を撓ませ、開口部１１３を覆う面積を変化させることにより、開口部１１３から出射する光量を変化させ、階調表示を行なう。
【０００６】
透明導光体１１１の表面には導電性が与えられており固定電極と呼ぶ。また、可動フィルム１１４にも導電性が与えられており、可動電極と呼ぶ。固定電極の表面には図示しない透光性の絶縁膜が形成され、可動電極と固定電極の短絡を防ぐ。
【０００７】
可動フィルム１１４が変位する原理を示す。図１２（ａ）に示すように、スイッチ１２１をＯＮ状態とし、電源１２２から２つの電極１２３、１２４の間に電圧を加えると静電力が生じる。図１２（ｂ）に示すように、この２つの電極を、図１１の可動電極（可動フィルム）１１４と透明導光体表面の固定電極１２５とする。そして電圧を加えることにより、破線で示すように可動フィルム１１４が撓んで固定電極１２５を覆うと、可動フィルム１１４が遮光性である事から、電圧をかけない場合は光が透過し、電圧をかけ可動フィルム１１４が撓むと光が遮断される。
【０００８】
電圧をかけ、可動フィルムが撓んだ際の、印加電圧と可動フィルム先端の変位量の関係を図１２（ｃ）に示す。図１２（ｃ）では、電圧を上げていくと、それに伴い可動フィルムの先端変位量が緩やかに増加する。変位量が臨界点に達すると急激に変位し、最大変位量に到達する。ここでは、可動フィルムが固定電極表面の絶縁膜に付着しているために、電圧を上げても変位量は増加しない。また、電圧を下げてもしばらく変位量は減少しない。これは電極間距離が狭まり、電極間の静電力が強まっているためであり、可動フィルムの弾性力が静電力に打ち勝つまで変位はない。いわば、ヒステリシス特性を持っていると言える。
【０００９】
次に、このような特性を持った可動フィルムシャッターを用いた可動フィルム型表示装置について説明する。
【００１０】
図１３に示すように、１本の透明導光体固定電極部１３１に対し、複数枚の可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｅが対向配置されている。透明導光体固定電極部１３１に隣接して回路基板１３３が設けられ、回路基板１３３上に駆動用ＩＣ１３４が設置されている。可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｅは、配線１３５を介して駆動用ＩＣ１３４に接続されている。また、回路基板１３３にはコネクタ部１３６が設けられ、隣接するディスプレイユニットと情報交換を行なうことが出来る。
【００１１】
そして、図１４に示すように、このように列方向に配列された可動フィルムシャッターのユニット１４１を行方向に並べることにより、マトリクス状の可動フィルム型表示装置となる。図１４では、蛍光灯１４２からの光が拡散板１４３で拡散され、透明導光体固定電極部１３１に入射し、可動フィルム電極１３２が撓んで開口部１１３を覆っていない場合に開口部１１３から出射し、図示しないカラーフィルタによって着色され出力される。
【００１２】
次に、この可動フィルム型表示装置の駆動方法を、図１５の配線図を用いて説明する。
【００１３】
この可動フィルム型表示装置では、透明導光体固定電極部１３１が走査線の役割を果たしている。信号源１５１から送られてきた映像情報は、一度駆動用ＩＣ１３４に蓄えられ、可動フィルム電極１３２に電位として伝えられる。この時、走査線駆動用ＩＣ１５２から透明導光体固定電極部１３１に走査電位が与えられていれば、可動フィルム電極１３２との間に電位差が生じ、可動フィルム電極１３２を透明導光体固定電極部１３１の方へ撓ませることが出来る。もし、可動フィルム電極１３２と透明導光体固定電極部１３１とが同電位ならば、可動フィルム電極１３２と透明導光体固定電極部１３１の間に引力は働かず、可動フィルム電極１３２の弾性力によって、可動フィルム電極１３２と透明導光体固定電極部１３１とは離れている。
【００１４】
つぎに、可動フィルム型表示装置を用いて中間調を表示する従来の方法を説明する。
【００１５】
図１６は、複数の可動フィルムシャッターからなる１画素を示している。この例では、１画素は、３×２のマトリクスで配列された６つのサブ画素１６１〜１６６を有する。
【００１６】
これら６つのサブ画素１６１〜１６６の光透過量は、全て異なるものにしてある。まず、サブ画素１６１とサブ画素１６４は可動フィルムシャッターが１つ、サブ画素１６２とサブ画素１６５は可動フィルムシャッターが２つ、サブ画素１６３とサブ画素１６６は可動フィルムシャッターが４つから構成されている。さらに、可動フィルムシャッターの幅方向は、図面に対し法線方向であり、図面に示していないが、図１６においてはサブ画素１６１、１６２、１６３の開口部の幅（奥行き）は狭く、サブ画素１６４、１６５、１６６の開口部の幅（奥行き）は広い。
【００１７】
この場合、１画素は、複数（この場合、６つ）のサブ画素によって中間調を表示することが出来る。すなわち、６つのサブ画素を選択的に開閉することによって、面積的に光透過量が変わり、中間調が表示される。この原理を以下に説明する。
【００１８】
図１６のように、各可動フィルムシャッターは、可動フィルム電極１３２が信号線につながり、Ｖ１〜Ｖ３の電位が印加される。また各透明導光体固定電極部１３１が走査線ａｎ、ｂｎ（ｎ＝１，２）につながり、それぞれ湾曲した側の面にＶａｎ（ｎ＝１，２）の電位、湾曲しない側の面にＶｂｎ（ｎ＝１，２）の電位が印加される。さらに、各サブ画素の湾曲した面の端には、Ｖｂｎが印加される平面電極が設けられている。ここでは、可動フィルム１３２はＶａｎとＶｂｎが印加される電極に挟まれ、両電極との静電力により変位する。
【００１９】
このような構成での動作の一例を説明すると、１組の駆動したい走査線に、正負対称な電位を印加する。また、信号線には表示信号に応じて、Ｖｎ（ｎ＝１〜３）の電位を与える。この際、Ｖｎが０であれば、可動フィルム電極１３２は撓まず、Ｖｎが０でなければ、ＶａｎまたはＶｂｎとの電位差の大きい方へ、可動フィルム電極１３２は撓む。そして、その１組の走査線をＯＦＦとした後も、その変位が保持され、次の走査線の組を駆動して、それぞれの信号線に信号電位を与える、ということを繰り返すことにより、画素内の所望のサブ画素を開閉することが出来、面積階調表示が可能となる。よってこれらの信号線、走査線の電位設定によって、６つのサブ画素に個々の画像情報を送ることが出来る。
【００２０】
図１７は、可動フィルム型表示装置の、カラーフィルター側から画素を見た場合であり、１７１、１７２、１７３はそれぞれカラーフィルターのＲＧＢを示す。図１８は、図１７のＲＧＢのうちの１つ、例えばＢをカラーフィルターをはずして見た図である。図１８では、Ｓ１〜Ｓ１２８の８つのサブ画素があり、これらのサブ画素の面積比が、１：２：４：８：１６：３２：６４：１２８となっており、駆動されるサブ画素の組合せによって、２５６階調を作ることが出来る。一般に２５６階調あれば、テレビ画像を表示することも出来る。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような可動フィルム型表示装置で中間調を表示する場合は、１画素中の複数のサブ画素を選択的に開閉する際、多数の信号線、走査線が必要となる。従って、これら多数の信号線、走査線を駆動するための、多数の駆動用ＩＣが必要となり、コストがかかるという問題があった。また、これら多数の駆動用ＩＣを配置するために装置が大きくなるという問題もあった。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明の第１は、可動フィルムを駆動する可動フィルムシャッターを用いて画素毎に光の透過、遮光を制御して階調表示を行う可動フィルム型表示装置において、可動フィルムシャッターは、同電位の第１及び第２固定電極と、第１固定電極と対を成し、固定された固定端及び変位可能な変位端を有し、第１固定電極との間の第１電位差で臨界点に達して撓む可撓性第１可動フィルム電極と、第２固定電極と対を成し、固定された固定端及び変位可能な変位端を有し、第２固定電極との間の前記第１電位差とは異なる第２電位差で臨界点に達して撓む可撓性第２可動フィルム電極とを具備し、第１固定電極と前記第１可動フィルム電極の間、及び第２固定電極と第２可動フィルム電極の間とに等しい電圧が印加され、印加されるこの電圧を変化させることにより階調を制御することを特徴とする可動フィルム型表示装置を提供する
【００２３】
本発明の第１では、第１可動フィルム電極の固定端と変位端との間の長さが、第２可動フィルム電極の固定端と変位端との間の長さと異なっても良い。
【００２４】
また本発明の第１では、第１可動フィルム電極の厚さが、第２可動フィルム電極の厚さと異なっても良い。
【００２５】
また本発明の第１では、第１固定電極と第１可動フィルム電極の固定端との距離が、第２固定電極と第２可動フィルム電極の固定端との距離と異なっても良い。
【００２６】
さらに本発明の第１では、１画素内に、第１及び第２固定電極と第１及び第２可動フィルム電極の対を有しても良い。
【００２７】
また、本発明の第１では、異なる特性を有する固定電極と可撓性可動フィルム電極の組は、複数種類あればよく、その数は限定されるものではない。
【００２８】
本発明の第２は、可動フィルムを駆動する可動フィルムシャッターを用いて画素毎に光の透過、遮光を制御して階調表示を行う可動フィルム型表示装置において、可動フィルムシャッターは、１画素内に一端から長さが異なる絶縁された複数の導体層を積層してなる固定電極と、固定電極の前記一端側に固定された固定端及び変位可能な変位端を有する可撓性可動フィルム電極と、固定電極の前記複数の導体層にそれぞれ異なる電位を与える電位供給手段とを具備することを特徴とする可動フィルム型表示装置を提供する。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。
【００３０】
本発明の可動フィルム型表示装置は、図１２と同様の原理で変位する、図１１と同様の可動フィルムシャッターを有する。これらの可動フィルムシャッターは図１３で示すように配置され、これら列方向に配列された可動フィルムシャッターを、図１４のように行方向に配置させることにより、マトリクス状の可動フィルム型表示装置を得る。また、この可動フィルム型表示装置の配線は、図１５と同様に行われる。
【００３１】
（第１の実施形態）
まず本発明の第１の実施形態を説明する。本発明の第１の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を図１に示す。
【００３２】
本実施形態の可動フィルム型表示装置は、少なくとも２種類以上の長さを有する可動フィルムシャッターを用いて１画素を形成する。
【００３３】
本実施形態では、長さの異なる可動フィルムシャッターを３種類用意する。即ち、各可動フィルムシャッターは、異なる長さの可動フィルムと、それに対応する長さの透明導光体固定電極部を備える。各透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃは接地されており、各透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃに対応した長さの各可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃには、可変電圧電源１１によって電圧を印加する。また、蛍光灯を光源１２として用い、この光源１２からの光は透明導光体１３ａ〜１３ｃを透過し、矢印の方向に出射する。
【００３４】
なお、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、厚さ約１２μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムからなり、両面にアルミニウムが約１０〜約１００ｎｍ蒸着されている。これをカッターやレーザー光を用いて所望の大きさに形成すれば良い。その他、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃのフィルムの材料としては、ポリイミド、アラミド、ポリエチレン、ポリカーボネーとなどを用いても良く、これらの材料は限定されない。
【００３５】
また、透明導光体１３ａ〜１３ｃとしては、ポリアセタール、ポリスチレン、液晶ポリマー等からなれば良く、これらを射出成形やプレス成形することにより成形する。また、透明導光体１３ａ〜１３ｃ表面には透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃとして、アルミニウム、金、銅、銀などの金属が、約１０〜約１００ｎｍ程度蒸着されている。透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃ表面には、図示しないが電着などにより厚さ約１〜約１０μｍ程度の絶縁膜が形成されており、この絶縁膜の外周部にブラックマトリクスが設けられ、それ以外の部分が開口部となり、そこから光が出射する。
【００３６】
本実施形態では、各可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの長さをそれぞれ、約３．５ｍｍ、約２．５ｍｍ、約１．５ｍｍとして、これらに対応した長さの透明導光体１３ａ〜１３ｃを形成する。
【００３７】
本実施形態の動作を説明する。３種類の可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃに、等しい電圧を徐々に印加することにより、図２に示すように臨界点に達するとそれぞれ急激に変位するが、本実施形態では、黒丸で示される臨界点となる電圧Ａ、Ｂ、Ｃがそれぞれ、約５０Ｖ、約７０Ｖ、約１００Ｖとなり、それぞれ異なる。これは、各可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃと透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃの組の固定端と変位端間の長さが異なることから、弾性力と静電力の兼ね合いも異なり、これらの各可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、異なる電位差で急激に変位するのである。本実施形態では、長さの長い可動フィルム電極１３２ａが、最も小さい電位差で臨界点に達する。図示しないが、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃを挟んで透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃの反対側に平面電極を設け、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの変位をより安定させる事が出来る。
【００３８】
本実施形態の可動フィルム表示装置では、１画素に印加する電圧を変化させるのみで、選択的に開閉する可動フィルムの数を変化させることが出来、多数の信号線、走査線を用いて中間調を表示する必要がなくなる。この事により、多数の信号線、走査線を駆動するための多数の駆動用ＩＣを使用する必要がなくなり、低コスト化を図ることが出来る。また、多数の駆動用ＩＣを配置する必要がなくなるために装置サイズを小型化することも出来る。
【００３９】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態を説明する。本発明の第２の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を図３に示し、第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００４０】
本実施形態の可動フィルム型表示装置は、１画素中に複数の可動フィルムシャッターを設ける点は第１の実施形態と同様であるが、少なくとも２種類以上の厚さの可動フィルム電極を有する可動フィルムシャッターを用いて１画素を形成する点が、第１の実施形態とは異なる。
【００４１】
図３に示すように、本実施形態の可動フィルム型表示装置では、透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃ、透明導光体１３ａ〜１３ｃ、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは第１の実施形態と同様に配線されている。また、これらは第１の実施形態と同様の材料を用いて同様に形成すれば良い。
【００４２】
しかし、本実施形態の可動フィルム型表示装置の可動フィルムシャッターの長さは全て等しく、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの長さを全て約２．５ｍｍとする。そして、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの厚さをそれぞれ、約６μｍ、約１２μｍ、約１８μｍとする。
【００４３】
そして、３種類の可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃに、等しい電圧を徐々に印加すると、臨界点に達した可動フィルム電極から急激に変位するが、本実施形態では、図２と同様に黒丸で示される臨界点となる電圧Ａ、Ｂ、Ｃがそれぞれ、約２５Ｖ、約７０Ｖ、約１６０Ｖとなり、それぞれ異なる。これは、各可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの厚さが異なることから、弾性力と静電力の兼ね合いも異なり、これらの可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、異なる電位差で急激に変位するのである。図示しないが、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃを挟んで透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃの反対側に平面電極を設け、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの変位をより安定させる事が出来る。
【００４４】
本実施形態では、厚さが薄い可動フィルム電極１３２ａが、最も小さい電位差で臨界点に達する。よって、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、１画素に印加する電圧を変化させるのみで、選択的に開閉する可動フィルムの数を変化させることが出来、多数の信号線、走査線を用いて中間調を表示する必要がなくなる。
【００４５】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態を説明する。本発明の第３の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を図４に示し、第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００４６】
本実施形態の可動フィルム型表示装置は、１画素中に複数の可動フィルムシャッターを設ける点は第１の実施形態と同様であるが、透明導光体固定電極部と可動フィルム電極の一端の間の距離を、少なくとも２種類以上とする可動フィルムシャッターを用いて１画素を形成する点が、第１の実施形態とは異なる。
【００４７】
図４に示すように、本実施形態の可動フィルム型表示装置では、透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃ、透明導光体１３ａ〜１３ｃは第１の実施形態と同様に配線されている。また、これらは第１の実施形態と同様の材料を用いて同様に形成すれば良い。
【００４８】
しかし、本実施形態の可動フィルム型表示装置の可動フィルムシャッターの長さは全て等しく、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの長さを全て約２．５ｍｍである。
【００４９】
そして、透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃと可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの固定端との間の各距離を、それぞれ約１００μｍ、約５０μｍ、約０μｍとする点が、第１の実施形態とは異なる。これらの距離は、透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃと可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの一端とを、テープなどのスペーサーを介在させて貼り付ける等すれば良い。
【００５０】
そして、３種類の可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃに、等しい電圧を徐々に印加することにより、臨界点に達した可動フィルム電極から急激に変位するが、本実施形態では、図２と同様に黒丸で示される臨界点となる電圧Ｃ、Ｂ、Ａがそれぞれ、約１８０Ｖ、約１１０Ｖ、約７０Ｖとなり、それぞれ異なる。これは、透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃと可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの固定端との間の各距離が異なることから、弾性力と静電力の兼ね合いも異なり、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、異なる電位差で急激に変位するのである。本実施形態では、この距離が小さい１３２ｃが、最も小さい電位差で臨界点に達する。図示しないが、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃを挟んで透明導光体固定電極部１３１ａ〜１３１ｃの反対側に平面電極を設け、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの変位をより安定させる事が出来る。
【００５１】
よって、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に１画素に印加する電圧を変化させるのみで、選択的に開閉する可動フィルムの数を変化させることが出来、多数の信号線、走査線を用いて中間調を表示する必要がなくなる。
【００５２】
（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態を説明する。本発明の第４の実施形態の可動フィルム型表示装置の１つの可動フィルムシャッターを図５、図６に示す。
【００５３】
本実施形態では、透明導光体表面に透明導光体固定電極部が形成されるのではなく、図５（ａ）に示すように、可動フィルム電極１３２と固定電極５１の２つの平行平板電極を用いて、可動フィルムシャッターを形成する。
【００５４】
図５（ａ）に示すように、可動フィルム電極１３２と固定電極５１の間の一端には、光を透過する穴の形成された支持体５２が設けられている。両電極間に電圧をかけない場合は、光源５３から出た光は、図５（ａ）のように支持体５２の穴を通過し、外へ放出される。両電極間に電圧をかけた場合は、図５（ｂ）のように可動フィルム電極１３２が撓むために、光を遮断する。ここで、可動フィルム電極１３２の固定電極５１と対向する側の面と、支持体５２の内面は、光を吸収させるために、黒色とすることが好ましい。
【００５５】
本実施形態の可動フィルムシャッターは、さらに具体的には、図６に示すように、第１の実施形態と同様の材料で同様に形成される可動フィルム電極１３２と、可動フィルム電極１３２と対向して設けられ、ステンレス等の硬度の大きな金属、またはポリエステル、ポリイミド等のプラスチックからなる固定電極５１、これら両電極間に設けられ、光の透過できる穴を有し、ポリエステル、ポリイミド等のプラスチックや、セラミックスからなる支持体５２からなる。
【００５６】
これらの可動フィルムシャッターは例えば図７のように６つ並べられ、１つの画素を形成する。図７では６種類の長さを有する可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｆを有し、これらは第１の実施形態と同様に図示しない可変電圧電源によって電圧を印加される。また固定電極５１は接地し、下方から光を照射すれば良い。
【００５７】
本実施形態では、各可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｆの長さをそれぞれ、約６．５ｍｍ、約５．５ｍｍ、約４．５ｍｍ、約３．５ｍｍ、約２．５ｍｍ、約１．５ｍｍとして、これらの可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｆに、等しい電圧を徐々に印加することにより、臨界点に達した可動フィルム電極から急激に変位する。本実施形態では、臨界点となる電圧は、それぞれ約５２Ｖ、約５５Ｖ、約６０Ｖ、約７０Ｖ、約９０Ｖ、約１２０Ｖとなる。これは、第１の実施形態と同様に、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｆの長さが異なることから、弾性力と静電力の兼ね合いも異なり、これらの可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、異なる電位差で急激に変位するのである。本実施形態では、長さが長い可動フィルム電極１３２ａが、最も小さい電位差で臨界点に達する。図示しないが、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｆを挟んで固定電極５１の反対側に平面電極を設け、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｆの変位をより安定させる事が出来る。
【００５８】
よって、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、１画素に印加する電圧を変化させるのみで、選択的に開閉する可動フィルムの数を変化させることが出来、多数の信号線、走査線を用いて中間調を表示する必要がなくなる。
【００５９】
（第５の実施形態）
次に、本発明の第５の実施形態を説明する。本発明の第５の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を図８に示す。
【００６０】
本実施形態では、可動フィルム電極と固定電極の平行平板電極を用いて、可動フィルムシャッターを形成する点は第４の実施形態と同様であるが、長さが等しく、少なくとも２種類以上の厚さの可動フィルム電極を用いて１画素を形成する点が、第４の実施形態とは異なる。
【００６１】
本実施形態では、固定電極５１、支持体５２、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、第４の実施形態と同様な材料、方法で形成し、配線すれば良い。
【００６２】
しかし、本実施形態の可動フィルム型表示装置の可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの長さは全て等しく、全て約２．５ｍｍとし、厚さはそれぞれ、約１８μｍ、約１２μｍ、約６μｍとする。
【００６３】
そして、３種類の可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃに、等しい電圧を徐々に印加することにより、臨界点に達した可動フィルム電極から急激に変位するが、本実施形態では、図２と同様に黒丸で示される臨界点となる電圧Ｃ、Ｂ、Ａがそれぞれ、約１８０Ｖ、約９０Ｖ、約４５Ｖとなり、それぞれ異なる。これは、各可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの厚さが異なることから、弾性力と静電力の兼ね合いも異なり、これらの可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、異なる電位差で急激に変位するものである。本実施形態では、厚さの薄い可動フィルム電極１３２ｃが、最も小さい電位差で臨界点に達する。図示しないが、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃを挟んで固定電極５１の反対側に平面電極を設け、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの変位をより安定させる事が出来る。
【００６４】
よって、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、１画素に印加する電圧を変化させるのみで、選択的に開閉する可動フィルムの数を変化させることが出来、多数の信号線、走査線を用いて中間調を表示する必要がなくなる。
【００６５】
（第６の実施形態）
次に、本発明の第６の実施形態を説明する。本発明の第６の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を図９に示す。
【００６６】
本実施形態では、可動フィルム電極と固定電極の平行平板電極を用いて、可動フィルムシャッターを形成する点は第４の実施形態と同様であるが、固定電極と可動フィルム電極の固定端の間の距離を、少なくとも２種類以上とする可動フィルムシャッターを用いて１画素を形成する点が、第４の実施形態とは異なる。
【００６７】
本実施形態では、固定電極５１、支持体５２ａ〜５２ｃ、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、第４の実施形態と同様な材料、方法で形成し、配線すれば良い。
【００６８】
しかし、本実施形態の可動フィルム型表示装置の可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの長さは全て等しく、全て約２．５ｍｍとし、支持体５２ａ〜５２ｃの厚さ、つまり、固定電極５１と可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの間の距離をそれぞれ、約１５０μｍ、約１００μｍ、約５０μｍとする。
【００６９】
そして、３種類の可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃに、等しい電圧を徐々に印加することにより、臨界点に達した可動フィルムから急激に変位するが、本実施形態では、図２と同様に黒丸で示される臨界点となる電圧Ｃ、Ｂ、Ａがそれぞれ、約２１０Ｖ、約１３０Ｖ、約９０Ｖとなり、異なる。これは、固定電極５１と可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの各距離が異なるため、弾性力と静電力の兼ね合いも異なり、これらの可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃは、異なる電位差で急激に変位するのである。本実施形態では、この距離が小さい可動フィルム電極１３２ｃが、最も小さい電位差で臨界点に達する。図示しないが、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃを挟んで固定電極５１の反対側に平面電極を設け、可動フィルム電極１３２ａ〜１３２ｃの変位をより安定させる事が出来る。
【００７０】
よって、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、１画素に印加する電圧を変化させるのみで、選択的に開閉する可動フィルムの数を変化させることが出来、多数の信号線、走査線を用いて中間調を表示する必要がなくなる。
【００７１】
（第７の実施形態）
次に、本発明の第７の実施形態を説明する。本発明の第７の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を図１０に示す。
【００７２】
本実施形態では、１つの可動フィルムシャッターの、各固定電極１０１ａ〜１０１ｄにそれぞれ異なる電圧を印加し、可動フィルム電極１３２の撓み量を変化させ、光透過量を変化させることにより中間調を表示する。よって１つの可動フィルムシャッターで中間調の表示の可能な１画素を形成する事が出来る。
【００７３】
まず、可動フィルム電極１３２を第１の実施形態と同様な材料、方法で形成する。次に、固定電極１０１ａ〜１０１ｄをそれぞれ、例えば厚さ約１０〜約１００ｎｍの金、銅またはアルミニウムなどの導体で形成し、可動フィルム電極１３２に対向する側の表面を、ポリイミド、ポリエステル、ナイロンまたはポリカーボネート等の樹脂等で約１０μｍ被覆する。固定電極１０１ａ〜１０１ｄは撓ませた形状で固定しても良いし、図１０の破線で示すように、透明導光体を第１の実施形態と同様に形成して、その表面に形成しても良い。
【００７４】
そして、可動フィルム電極１３２を接地し、固定電極１０１ａ〜１０１ｄにはそれぞれ表示信号に応じて、Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃ、Ｖｄを与えることとする。これらそれぞれの電極に、電位を与えることにより、可動フィルム電極１３２の、撓み量によって、光透過量が異なり、中間調が表示される。光は図１０の下方から上方に向かって照射すれば良い。さらに、図示しないが、可動フィルム電極１３２を挟む固定電極１０１ａ〜１０１ｄの反対側にも電極を設け、電位Ｖ0を与えて、可動フィルム電極１３２の変位をより安定させる事が出来る。
【００７５】
本実施形態では、１画素で中間調を表示できるため、これまでの実施形態と同様に、多数の走査線、信号線を用いることなく中間調を表示することが可能となる。
【００７６】
【発明の効果】
上述したように、本発明によって、可動フィルム型表示装置で、多数の信号線、走査線を必要とせずに中間調を表示できる。従って、多数の信号線、走査線を駆動するための、多数の駆動用ＩＣが必要となくなり、コストの低減が可能となる。また、これら多数の駆動用ＩＣを配置する必要がないために、装置を小さくすることも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を説明する図。
【図２】  可動フィルムシャッターに印加する電圧と可動フィルム電極の先端変位量の関係を示す図。
【図３】  本発明の第２の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を説明する図。
【図４】  本発明の第３の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を説明する図。
【図５】  本発明の第４の実施形態の可動フィルムシャッターの動作原理を説明する図。
【図６】  本発明の第４の実施形態の１つの可動フィルムシャッターを説明する図。
【図７】  本発明の第４の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を説明する図。
【図８】  本発明の第５の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を説明する図。
【図９】  本発明の第６の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を説明する図。
【図１０】  本発明の第７の実施形態の可動フィルム型表示装置の１画素を説明する図。
【図１１】  １つの可動フィルムシャッターを説明する図。
【図１２】  （ａ）、（ｂ）、（ｃ）とも可動フィルムシャッターの動作原理を説明する図。
【図１３】  可動フィルム型表示装置について説明する図。
【図１４】  可動フィルム型表示装置について説明する図。
【図１５】  可動フィルム型表示装置について説明する図。
【図１６】  従来の可動フィルム型表示装置における中間調の表示を説明する図。
【図１７】  従来の可動フィルム型表示装置における中間調の表示を説明する図。
【図１８】  従来の可動フィルム型表示装置における中間調の表示を説明する図。
【符号の説明】
１１…可変電圧電源
１２…光源
１３…透明導光体
５１…固定電極
５２…支持体
５３…光源
１０１…固定電極
１１１…透明導光体
１１２…ブラックマトリクス
１１３…開口部
１１４…可動フィルム
１１５…遮光板
１２１…スイッチ
１２２…電源
１２３，１２４…電極
１２５…固定電極
１３１…透明導光体固定電極部
１３２…可動フィルム電極
１３３…回路基板
１３４…駆動用ＩＣ
１３５…配線
１３６…コネクタ部
１４１…ユニット
１４２…蛍光灯
１４３…拡散板
１５１…信号源
１５２…走査線駆動用ＩＣ
１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，１６６…サブ画素
１７１…ＲＥＤ
１７２…ＧＲＥＥＮ
１７３…ＢＬＵＥ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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