(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＸＹＺ座標の原点から略等距離にあるＸ軸上の二つの撮像エリアを個別に撮像する二視野撮像装置であって、
Ｚ軸に対して所定の傾斜角度に配された一対の傾斜反射面により原点から撮像エリアまでの距離に応じたＺ座標位置でＸ軸の正方向及び負方向に向って反射される前記各撮像エリアの像をＺ軸方向に位置調整可能に配された一対の撮像素子で撮像する撮像光学系を備え、
各撮像エリアと前記各傾斜反射面の間に、各撮像エリアから夫々の反射面に向う光軸の一方をＹ軸方向にオフセットさせる光軸調整素子が配されると共に、前記一対の反射面同士が、そのオフセット量に応じてＹ軸方向に重なってＹＺ面と交差する位置に配されたことを特徴とする二視野撮像装置。
【請求項２】
ＸＹＺ座標の原点から略等距離にあるＸ軸上の二つの撮像エリアを個別に撮像する二視野撮像装置であって、
Ｚ軸に対して所定の傾斜角度に配された一対の傾斜反射面により、原点から撮像エリアまでの距離に応じたＺ座標位置でＸ軸の正方向及び負方向に向って反射される前記各撮像エリアの像を、Ｚ軸方向に位置調整可能に配された一対の撮像素子で撮像する撮像光学系を備え、
前記各傾斜反射面が、所定のＺ座標位置に調整された撮像素子の撮像光軸を原点で交差させるように反射させる傾斜角度に設定されたことを特徴とする二視野撮像装置。
【請求項３】
前記撮像素子から傾斜反射面に至る撮像光軸に、両側テレセントリックレンズからなる結像光学系が介装された請求項１又は２記載の二視野撮像装置。
【請求項４】
前記撮像素子から傾斜反射面に至る撮像光軸に結像光学系が介装されると共に、撮像素子と結像光学系の間に介装されたハーフミラーにより、照明光を撮像光軸に同軸落射させて各撮像エリアを照明する照明装置を備えた請求項１乃至３のいずれか１項に記載の二視野撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＸＹＺ座標の原点から略等距離にあるＸ軸上の二つの撮像エリアを個別に撮像する二視野撮像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
二視野撮像装置は、プリント配線基板にチップ状電子部品を実装する電子回路や、ハイブリッド集積回路の製造工程等において、電子部品の位置確認やハンダ付け状態の良否を検査する場合等に用いられる。
【０００３】
図４は電子回路の製造工程で使用する従来の二視野撮像装置を示す説明図である（特開平３−２１２６０９号公報参照）。
この二視野撮像装置４１は、プリント配線基板４２の回路面上に実装されるチップ状電子部品４３の両端に形成された電極位置を撮像エリア４４Ｒ、４４Ｌとして、二台の撮像素子４５Ｒ、４５Ｌで同時に撮像するものである。
【０００４】
そして、各撮像素子４５Ｒ、４５Ｌから撮像エリア４４Ｒ、４４Ｌに至る撮像光軸４６Ｒ、４６Ｌに、レンズ（結像光学系）４７Ｌ、４７Ｒと、プリズムやミラーなどで形成された左右一対の反射面４８Ｒ、４８Ｌが介装され、各撮像エリア４４Ｒ、４４Ｌからの光が前記反射面４８Ｒ、４８Ｌで反射され、撮像素子４５Ｒ、４５Ｌに入射されるようになっている。
【０００５】
また、電子部品４３の大きさや電極位置などに応じて撮像エリア４４Ｒ、４４Ｌの間隔を変えることができるように、各撮像素子４５Ｒ、４５Ｌ、レンズ４７Ｌ、４７Ｒ及び各反射面４８Ｒ、４８Ｌを含む左右の撮像光学系４９Ｒ、４９Ｌが左右に移動可能に設けられている
【０００６】
しかしながら、各撮像光学系４９Ｒ、４９Ｌを別方向に移動させなければならないことから、駆動機構が複雑になるという問題があった。
このため、本出願人は図５に示すように駆動機構が単純な二視野撮像装置５１を試作した。
【０００７】
これは、プリズムやミラーなどで形成された左右一対の反射面４８Ｒ、４８Ｌを固定しておき、各撮像素子４５Ｒ、４５Ｌ及び各反射面４８Ｒ、４８Ｌを一体に配した撮像光学系５２が上下に位置調整可能に設けられている。
【０００８】
これらによれば、いずれの二視野撮像装置４１及び５１も、撮像光学系４９Ｒ，４９Ｌ及び５２を左右又は上下に移動させることにより、チップ状電子部品４３の大きさに応じて撮像エリア４４Ｒ、４４Ｌを互いに遠ざけたり近づけたりして、視野間隔を調整することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、多品種の製品が製造可能な汎用ラインでは、製造計画に従って夫々の製品を所定数ずつ製造することから、例えば、午前中に製造される製品と、午後に製造される製品では、検査すべきチップ状電子部品４３の大きさも、電極間隔が数ｍｍ以下というものから数ｃｍ程度のものまで多岐にわたる。
したがって、このようなラインを流れる製品に応じて撮像すべき二つの視野間隔も調整しなければならず、１台の撮像装置で０〜数ｃｍという広いレンジの全てに対応することが要求されている。
【００１０】
しがしながら、従来のいずれのタイプの二視野撮像装置４１及び５１も、比較的視野間隔が広い場合は撮像可能であるが、重なる程度に近接した撮像エリア４４Ｒ、４４Ｌを撮像することは構造上不可能であった。
【００１１】
すなわち、左右の撮像光学系４９Ｒ、４９Ｌが左右方向に移動して撮像エリア４４Ｒ、４４Ｌの間隔を調整するタイプの二視野撮像装置４１は、撮像光学系４９Ｒ、４９Ｌを最も近接させたときに反射面４８Ｒ、４８Ｌ同士がぶつからないように予めある程度の間隔をあけて設計せざるを得ない。
したがって、重なる程度に近接した撮像エリア４４Ｒ、４４Ｌを撮像することができなかった。
【００１２】
また、撮像光学系５２を上下移動させて間隔を調整するタイプの二視野撮像装置５１は、二つの反射面４８Ｒ、４８Ｌを固定して設けることができるので、その下端部同士を接して配することができるので、その分、視野間隔を近づけることができる。
この場合の理論上の最近接視野間隔（光軸間距離）は、撮像光束の直径に等しく、したがって二つの撮像エリア４４Ｒ、４４Ｌを接するまで近づけることができる。
【００１３】
しかし現実には、プリズムの下端部は割れ防止の面取加工がなされており、ミラーは厚みがある。
このため、撮像エリア４４Ｒ、４４Ｌが近づいて、その光が反射面４８Ｒ、４８Ｌの下端部近傍で反射されるようになると、像が暗くなって解像度が低下したり、視野の端部が欠け、二つの撮像エリア４４Ｒ、４４Ｌを接するまで近づけて撮像することができないという問題があった。
【００１４】
そこで本発明は、二つの撮像素子の撮像エリアを重なる程度まで近接させた０ｃｍの撮像間隔から、数ｃｍ程度まで広範囲にわたって撮像できるようにすることを技術的課題としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、請求項１の発明は、ＸＹＺ座標の原点から略等距離にあるＸ軸上の二つの撮像エリアを個別に撮像する二視野撮像装置であって、Ｚ軸に対して所定の傾斜角度に配された一対の傾斜反射面により、原点から撮像エリアまでの距離に応じたＺ座標位置でＸ軸の正方向及び負方向に向って反射される前記各撮像エリアの像を、Ｚ軸方向に位置調整可能に配された一対の撮像素子で撮像する撮像光学系を備え、各撮像エリアと前記各傾斜反射面の間に、各撮像エリアから夫々の反射面に向う光軸の一方をＹ軸方向にオフセットさせる光軸調整素子が配されると共に、前記一対の反射面同士が、そのオフセット量に応じてＹ軸方向に重なってＹＺ面と交差する位置に配されたことを特徴としている。
【００１６】
請求項１の発明によれば、撮像エリアと傾斜反射面の間に、各撮像エリアから夫々の反射面に向う光軸の一方をＹ軸方向にオフセットさせる光軸調整素子が配されているので、撮像エリアから反射面に向う一の光はＺ軸方向に沿って直進し、もう一方の光軸はＹ軸方向に折り曲げられて所定量オフセットされた後、再びＺ軸方向に折り曲げられて反射面に達する。
【００１７】
各反射面はそのオフセット量に応じてＹ軸方向に重なっているので、撮像エリアからの光は夫々の反射面で反射されて、原点から撮像エリアまでの距離に応じたＺ座標位置でＸ軸の正方向及び負方向に向って進む。
このとき、原点から撮像エリアまでの間隔が小さければ傾斜反射面のＺ軸方向下端寄りで反射され、原点から撮像エリアまでの間隔が広ければＺ軸方向上端寄りで反射される。
したがって、各撮像光軸が前記傾斜反射面の反射光軸に一致するように撮像素子をＺ軸方向に移動させることにより、原点から撮像エリアまでの距離に応じて視野間隔が自由に調整される。
【００１８】
また、各反射面は、ＹＺ面と交差するように配されているので、撮像エリアを原点に重ねたときに、夫々の撮像エリアからの光は光軸調整素子によりＹ軸方向に二つに分岐され、夫々が傾斜反射面によりＸ軸の正方向及び負方向に向って個別に反射される。
したがって視野間隔を０まで近付けても、像が暗くなったりけられたりすることなく鮮明に撮像できる。
【００１９】
請求項２の発明は、Ｚ軸に対して所定の傾斜角度に配された一対の傾斜反射面により、原点から撮像エリアまでの距離に応じたＺ座標位置でＸ軸の正方向及び負方向に向って反射される前記各撮像エリアの像を、Ｚ軸方向に位置調整可能に配された一対の撮像素子で撮像する撮像光学系を備え、各傾斜反射面が、所定のＺ座標位置に調整された撮像素子の撮像光軸を原点で交差させるように反射させる傾斜角度に設定されたことを特徴としている。
【００２０】
請求項２の発明によれば、各撮像エリアの像が一対の傾斜反射面で反射されると、原点から撮像エリアまでの距離に応じたＺ座標位置でＸ軸の正方向及び負方向に向って進む。
このとき、原点から撮像エリアまでの間隔が小さければ傾斜反射面のＺ軸方向下端寄りで反射され、原点から撮像エリアまでの間隔が広ければＺ軸方向上端寄りで反射される。
したがって、各撮像光軸が前記傾斜反射面の反射光軸に一致するように撮像素子をＺ軸方向に移動させることにより、原点から撮像エリアまでの距離に応じて視野間隔が自由に調整される。
【００２１】
このとき、各傾斜反射面が、所定のＺ座標位置に調整された撮像素子の撮像光軸を原点で交差させるように反射させる傾斜角度に設定されているので、撮像エリアを原点に重ねたときに、夫々の撮像エリアからの光はＺ軸方向に広がりながら夫々の傾斜反射面でＸ軸の正方向及び負方向に向って個別に反射される。
したがって視野間隔を０まで近付けても、像が暗くなったりけられたりすることなく鮮明に撮像できる。
【００２２】
請求項３の発明のように、平行入射光軸に対して平行出射光軸が得られる両側テレセントリックレンズを撮像素子の結像光学系として用いれば、撮像光束が平行に維持されるので光学設計が容易で、解像度も向上する。
【００２３】
請求項４の発明のように、結像光学系を通して撮像光軸に照明光を同軸落射させて被観察面の撮像エリアを照明する照明装置を設ければ、撮像エリアを確実に照明できる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて具体的に説明する。
図１は本発明に係る二視野撮像装置の概略構成を示す斜視図、図２はその正面図、図３は他の実施形態を示す説明図である。
【００２５】
図１に示す二視野撮像装置１は、ＸＹＺ座標の原点Ｐから略等距離にあるＸ軸上の二つの撮像エリア２Ｒ，２Ｌを個別に撮像するもので、例えば、被観察面となるＸＹ面の原点Ｐ上に定置された被観察物３について、その両端に形成された電極部を撮像する場合などに使用される。
【００２６】
この二視野撮像装置１は、Ｚ軸に対して所定の傾斜角度に配された一対の傾斜反射面４Ｒ、４Ｌにより、原点Ｐから撮像エリア２Ｒ，２Ｌまでの距離に応じたＺ座標位置でＸ軸の正方向及び負方向に向って反射される前記各撮像エリア２Ｒ，２Ｌの像を、Ｚ軸方向に位置調整可能に配された一対の撮像素子７Ｒ、７Ｌで撮像する撮像光学系を備えている。
撮像素子７Ｒ、７Ｌの撮像光軸５Ｒ、５Ｌは、前記一対の傾斜反射面４Ｒ、４Ｌにより反射される各撮像エリア２Ｒ，２Ｌの像の反射光軸と平行に設定され、撮像素子７Ｒ、７Ｌから各反射面４Ｒ、４Ｌに至る撮像光軸５Ｒ、５Ｌに、結像光学系となるレンズ６Ｒ、６Ｌが介装されている。
【００２７】
前記撮像素子７Ｒ、７ＬをＺ軸方向に位置調整する視野間隔構成機構８は、一対の傾斜反射面４Ｒ、４Ｌと後述する光軸調整素子９を設けた固定ベース１０と、当該固定ベース１０上をＺ軸方向にスライド可能なスライダ１１からなり、このスライダ１１に前記撮像素子７Ｒ、７Ｌと、そのレンズ６Ｒ、６Ｌが搭載されている。
なお、スライダ１１の駆動機構は問わないが、本例ではモータ１２で送りネジ１３を正逆回転させることにより位置調整できるようになっている。
【００２８】
前記固定ベース１０に取り付けられる傾斜反射面４Ｒ、４Ｌは、各撮像エリア２Ｒ、２ＬからＺ軸と平行に向かう光をＸ軸の正方向及び負方向に向って直角に曲げる傾斜角度４５°のプリズムやミラーが用いられており、Ｙ軸方向に重なってＹＺ面と交差する位置に配されている。
【００２９】
光軸調整素子９は、前記傾斜反射面４Ｒ、４Ｌと各撮像エリア２Ｒ、２Ｌの間に配され、各撮像エリア２Ｒ、２Ｌからの光をＺ軸方向及びＹ軸方向に分岐させるハーフミラー９Ａと、そのＹ軸方向に分岐された光をさらにＺ軸方向に反射させるミラー９Ｂとからなる。
【００３０】
そして、ハーフミラー９Ａが一方の傾斜反射面４ＲとＸＹ面の間に配されると共に、ミラー９Ｂがもう他方の傾斜反射面４ＬとＸＹ面の間に配されている。
これにより、一方の撮像エリア２Ｒから反射面４Ｒに向う一の光はハーフミラー９Ａを透過してＺ軸方向に沿って直進し、もう一方の撮像エリア２Ｌから反射面４Ｌに向う光はハーフミラー９ＡでＹ軸方向に反射され、所定量オフセットされたところで、ミラー９Ｂで再びＺ軸方向に反射される。
【００３１】
また、スライダ１１に取り付けられる撮像素子７Ｒ、７Ｌは、その撮像光軸５Ｒ、５ＬがＸ軸と平行になるようにセットされ、スライダ１１を移動させて傾斜反射面４Ｒ、４Ｌの反射光軸と一致させることにより、傾斜反射面４Ｒ、４ＬでＸ軸の正方向及び負方向に向って反射された各撮像エリア２Ｒ、２Ｌの光を受光できるように配されている。
【００３２】
なお本例では、撮像素子５Ｒ、５Ｌの結像光学系として、平行入射光軸に対して平行出射光軸が得られる両側テレセントリックレンズ６Ｒ、６Ｌが用いられている。このレンズ６Ｒ、６Ｌは、平行入射光軸に対して平行出射光軸が得られ、レンズ６Ｒ、６Ｌを透過する前後で撮像光束が平行に維持されるので光学設計が容易で、解像度も向上する。
【００３３】
さらに、撮像素子７Ｒ、７Ｌとレンズ６Ｒ、６Ｌの間の撮像光軸５Ｒ、５Ｌにはハーフミラー１４が介装され、離れた位置に配された光源１５から照射され光ファイバ１６で導かれた照明光を撮像光軸５Ｒ、５Ｌに同軸落射させて各撮像エリア２Ｒ、２Ｌを照明する照明装置１７を備えている。
【００３４】
以上が本発明の構成例であって、次にその作用について説明する。二視野撮像装置１を用いて、プリント配線基板の回路面にはんだ付けされたチップ状電子部品を検査する場合、その電子部品の両端に形成された電極間隔に応じて撮像エリア２Ｒ、２Ｌを撮像できるようにスライダ１１をＺ軸方向に移動させる。
【００３５】
この場合に、撮像エリア２Ｒ、２ＬからＺ軸と平行に進む光は光軸調整素子９に入射される。
ここで、一方の撮像エリア２Ｒからの光はハーフミラー９Ａを透過してＺ軸と平行に直進し、一方の傾斜反射面４Ｒに達して直角に反射され、Ｘ軸の正方向に曲げられる。
また、他方の撮像エリア２Ｌからの光はハーフミラー９Ａで反射されてＹ軸方向に曲げられ、ミラー９Ｂで反射されてＺ軸方向に曲げられ、他方の傾斜反射面４Ｌに達して直角に反射され、Ｘ軸の負方向に曲げられる。
【００３６】
このとき、原点Ｐから各撮像エリア２Ｒ、２Ｌまでの距離が小さければ、撮像エリア２Ｒ、２Ｌからの光は各傾斜反射面４Ｒ、４ＬのＺ軸方向下端寄りで反射されるので、その反射光軸のＺ軸座標が小さい。
【００３７】
そして、各撮像エリア２Ｒ、２Ｌを近付けて原点Ｐに重ねると、原点からＺ軸と平行に直進する光は、光軸調整素子９によりＹＺ軸面をＺ軸方向に進む二つの平行な光に分岐された後、夫々が各傾斜反射面４Ｒ、４ＬでＸ軸の正方向及び負方向に反射される。
この反射面４Ｒ、４Ｌは、ＹＺ面と交差しているのでＹＺ面上を進む光もその全部を確実に反射させることができ、画像が暗くなったり像がけられたりすることもない。
【００３８】
また、原点Ｐから各撮像エリア２Ｒ、２Ｌまでの距離が大きければ、撮像エリア２Ｒ、２Ｌからの光は各傾斜反射面４Ｒ、４ＬのＺ軸方向上端寄りで反射されるので、その反射光軸のＺ軸座標が大きい。
【００３９】
したがって、原点Ｐから各撮像エリア２Ｒ、２Ｌまでの距離が小さいときはスライダ１１をＺ軸方向下方に、また、原点Ｐから各撮像エリア２Ｒ、２Ｌまでの距離が大きいときはスライダ１１をＺ軸方向上方に移動させることにより、撮像光軸５Ｒ、５Ｌを各傾斜反射面４Ｒ、４Ｌの反射光軸と一致させれば、視野間隔が調整され、各撮像エリア２Ｒ、２Ｌを撮像できる。
【００４０】
なお、上述したように、必ずしも傾斜反射面４Ｒ、４Ｌの傾斜角度を４５°とし、各撮像素子７Ｒ、７Ｌの撮像光軸５Ｒ、５ＬをＸ軸と平行にしなければならないものではないが、このように設定すれば、スライダ１１をＺ軸方向に移動させても、レンズ６Ｒ，６Ｌから各撮像エリア２Ｒ、２Ｌまでの至る光路長は常に一定であるので、被写界深度の浅い高倍率レンズを使用しても撮像エリア２Ｒ、２Ｌのピントがボケることがなく、また、夫々の光軸を水平・垂直に設定すればよいので光軸合せも容易になる。
【００４１】
さらに、照明装置１７から各撮像エリア２Ｒ、２Ｌに照明光が同軸落射されるので、拡大倍率が大きいときでもその撮像エリア２Ｒ、２Ｌを確実に照明することができる。
【００４２】
図３は他の実施形態を示す説明図であって、図１及び図２と共通する部分は同一符号を付して詳細説明は省略する。
本例の二視野撮像装置２１は、各撮像エリア２Ｒ、２ＬからＺ軸方向に向かう光を原点Ｐから撮像エリア２Ｒ、２Ｌまでの距離に応じたＺ座標位置でＸ軸の正方向及び負方向に向って反射させる一対の傾斜反射面２２Ｒ，２２Ｌと、その反射光を入射可能な方向の撮像光軸５Ｒ、５Ｌ及びレンズ６Ｒ、６Ｌを有する一対の撮像素子７Ｒ、７Ｌと、前記各撮像光軸５Ｒ、５Ｌが前記傾斜反射面２２Ｒ，２２Ｌの反射光軸に一致するように前記撮像素子７Ｒ、７ＬをＺ軸方向に移動させる視野間隔調整機構８を備えている。
【００４３】
そして、撮像素子７Ｒ，７Ｒの撮像光軸５Ｒ、５Ｌが、原点Ｐから夫々の反射面２２Ｒ，２２Ｌに対して所定の傾斜角度θで拡がりながら入射される光の反射光軸と平行に配されている。
本例では、傾斜反射面２２Ｒ，２２ＬとＺ軸のなす角が４６°に設定されているので、原点ＰからＺ軸に対して傾斜角度２°で拡がりながら夫々の反射面２２Ｒ，２２Ｌに達した光が、Ｘ軸と平行にその正方向及び負方向に反射されるようになっている。
したがって、撮像素子７Ｒ，７Ｒの撮像光軸５Ｒ、５Ｌは、Ｘ軸と平行に設定されている。
【００４４】
原点Ｐから各撮像エリア２Ｒ、２Ｌまでの距離が小さければ、撮像エリア２Ｒ、２Ｌからの光は各傾斜反射面２２Ｒ、２２ＬのＺ軸方向下端寄りで反射されるので、その反射光軸のＺ軸座標が小さい。
なお、原点Ｐから反射面２２Ｒ，２２Ｌに達するまでの光の光路長が約１０ｃｍだとすると、各撮像エリア２Ｒ、２Ｌを近付けて原点Ｐ上で重ねても、当該光路はＹＺ面から約３．５ｍｍ離れたところで夫々の反射面２２Ｒ，２２Ｌに入射される。
したがって、反射面２２Ｒ、２２Ｌがプリズムで形成されている場合にその下端部が面取りされていても、また、ミラーで形成されている場合にその厚みがある場合でも、原点Ｐの画像が暗くなったりけられたりすることもない。
【００４５】
また、原点Ｐから各撮像エリア２Ｒ、２Ｌまでの距離が大きければ、撮像エリア２Ｒ、２Ｌからの光は各傾斜反射面２２Ｒ、２２ＬのＺ軸方向上端寄りで反射されるので、その反射光軸のＺ軸座標が大きい。
【００４６】
したがって、原点Ｐから各撮像エリア２Ｒ、２Ｌまでの距離が小さいときはスライダ１１をＺ軸方向下方に、また、原点Ｐから各撮像エリア２Ｒ、２Ｌまでの距離が大きいときはスライダ１１をＺ軸方向上方に移動させることにより、撮像光軸５Ｒ、５Ｌを各傾斜反射面２２Ｒ、２２Ｌの反射光軸と一致させれば、視野間隔が調整され、各撮像エリア２Ｒ、２Ｌを撮像できる。
【００４７】
なお本例では、スライダ１１のＺ軸方向の移動範囲が３０ｍｍ程度の場合に、レンズ６Ｒ，６Ｌから各撮像エリア２Ｒ、２Ｌまでの至る距離の変化はせいぜい１ｍｍ程度であるので、十分にレンズの被写界深度に入り、撮像エリア２Ｒ、２Ｌのピントがボケることもない。
【００４８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、一つのラインを流れる製品に応じて撮像すべき二つの視野間隔を広範に調整しなければならない場合でも、そのレンジがも０〜数ｃｍと極めて広く、１台の撮像装置で、撮像エリアが重なる程度まで近接した０ｃｍの撮像間隔から、数ｃｍ程度まで広範囲にわたって撮像することができると言う大変優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る二視野撮像装置を示す説明図。
【図２】その正面図。
【図３】他の実施形態を示す説明図。
【図４】従来装置を示す説明図。
【図５】従来装置を示す説明図。
【符号の説明】
１………………二視野撮像装置
Ｐ………………原点
２Ｒ，２Ｌ……撮像エリア
３………………被観察物
４Ｒ、４Ｌ……傾斜反射面
５Ｒ、５Ｌ……撮像光軸
６Ｒ、６Ｌ……結像光学系
７Ｒ、７Ｌ……撮像素子
８………………視野間隔調整機構
９………………光軸調整素子
１４………………ハーフミラー
１５………………光源
１７………………照明装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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