(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性のある内容物を電気絶縁性のある被膜によって覆った被検査物の被膜部分のピンホールの有無を検査するピンホール検査装置であって、
前記被検査物の被膜部分に当接する複数の電極と、
圧電トランスを使用して、その複数の電極により、前記被検査物の被膜部分に交流電圧またはインパルス状の出力電圧を印加する電圧印加手段と、
前記圧電トランスの出力電圧を検出する電圧検出手段とを備え、
前記電圧検出手段によって前記複数の電極と前記内容物との間のインピーダンスの変化に伴う前記圧電トランスの出力電圧の変化を検出することにより、前記被膜部分のピンホールの有無を検査することを特徴とするピンホール検査装置。
【請求項２】
導電性のある内容物を電気絶縁性のある被膜によって覆った被検査物の被膜部分のピンホールの有無を検査するピンホール検査装置であって、
前記被検査物の被膜部分に当接する複数の電極と、
圧電トランスを使用して、その複数の電極により、前記被検査物の被膜部分に交流電圧またはインパルス状の出力電圧を印加する電圧印加手段と、
制御電圧に応じて発振信号を生成し、その発振信号に応じて前記圧電トランスを駆動する交流電圧源と、
前記圧電トランスの出力電圧を検出し、その出力電圧を所定値に制御すべく、前記交流電圧源に前記制御電圧を供給する制御手段とを備え、
前記制御手段によって前記複数の電極と前記内容物との間のインピーダンスの変化に伴う周波数の変化を検出することにより、前記被膜部分のピンホールの有無を検査することを特徴とするピンホール検査装置。
【請求項３】
導電性のある内容物を電気絶縁性のある被膜によって覆った被検査物の被膜部分のピンホールを検出するピンホール検出方法であって、
前記被検査物の被膜部分に複数の電極を当接し、
圧電トランスにより、前記被検査物の被膜部分に前記複数の電極を介して交流電圧またはインパルス状の電圧を印加し、
前記複数の電極と前記内容物との間のインピーダンスの変化に伴う前記圧電トランスの出力電圧の変化を検出することにより、前記被膜部分のピンホールを検出することを特徴とするピンホール検出方法。
【請求項４】
導電性のある内容物を電気絶縁性のある被膜によって覆った被検査物の被膜部分のピンホールを検出するピンホール検出方法であって、
前記被検査物の被膜部分に複数の電極を当接し、
制御電圧に応じて発振信号を生成し、
その発振信号に応じて圧電トランスを駆動することにより、前記被検査物の被膜部分に前記複数の電極を介して交流電圧またはインパルス状の出力電圧を印加し、
前記圧電トランスの出力電圧を検出し、その出力電圧を所定値に制御すべく前記制御電圧を生成し、
前記複数の電極と前記内容物との間のインピーダンスの変化に伴う周波数の変化を検出することにより、前記被膜部分のピンホールを検出することを特徴とするピンホール検出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、食品、薬品アンプル、或は被覆線材等の絶縁被膜の所謂ピンホールの有無を検出するピンホール検査装置及びそのピンホール検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えばレトルト食品等の密封包装品や注射用薬品のアンプル等においては、滅菌した食品や薬液を包装材もしくはガラス容器で密封することにより、長期間の保存による品質の劣化を防止している。このような食品の密封包装材や薬品アンプル容器にピンホールが存在すると、内容物の漏れや細菌等の侵入による内容物や薬液の変質を生じる可能性があるため、製造工程において全数に渡ってピンホールの有無の検査を行うことは必要不可欠なものとなっている。また、電線の絶縁被膜についても、ピンホールの有無の検査は電線の品質保証上、重要な事項である。このようなピンホールの有無の検査するピンホール検査装置では、被検査物に放電を施すのが一般的である。
【０００３】
図１は、従来例としてのピンホール検査装置の回路構成を示す概要図である。
【０００４】
図中、ピンホール検査の対象物の一例としての食品１０１は、導電性のある内容物１０１ｂを電気絶縁性のある薄い包装材１０１ａで密封したものである。この食品１０１は、その上部面に先端部の面積が小さい形状の第１電極１０２ａが配置され、下部面には面積の大きい第２電極１０２ｂが配置されている。
【０００５】
巻線トランス１０４は、交流電源１０３から交流電圧を印加されることにより、２次側に交流高電圧を発生し、その交流高電圧を第１電極１０２ａと第２電極１０２ｂとに印加する。そこで、第２電極１０２ｂとグランド間に電流検出抵抗１０５（Ｒd）を直列に接続し、第１電極１０２ａと第２電極１０２ｂ間に流れる電流を、電流検出抵抗１０５の両端間に生じた交流電圧とし、その交流電圧を整流回路１０６により直流電圧に変換する。そして、電圧比較回路１０７は、整流回路１０６からの直流電圧を、予め設定した基準電圧と比較することにより判別信号を出力する。ここで、基準電圧には、ピンホールが存在する場合に整流回路１０６から出力される直流電圧よりは小さく、且つ通常動作時動作時の整流回路１０６の出力電圧よりは大きな電圧を設定すればよいことは言うまでもない。
【０００６】
図２及び図３は、従来例としての図１のピンホール検査装置の電気的な等価回路図である。図２及び図３は、交流高電圧Ｖを印加した状態を示しており、図中のＣ1，Ｃ2，Ｒ，Ｉはそれぞれ以下のパラメータを示している。
【０００７】
Ｃ1 ：第１電極１０２ａと内容物１０１ｂとの間の静電容量
Ｃ2 ：第２電極１０２ｂと内容物１０１ｂとの間の静電容量
Ｒ  ：内容物１０１ｂの電気抵抗
Ｉ  ：食品１０１が良品のときに等価回路に流れる微少電流
また、図１において、対向する第１電極１０２ａと第２電極１０２ｂとは、前述したように第２電極１０２ｂと比較して第１電極１０２ａの方が電極面積が非常に小さいので、Ｃ2のインピーダンスＸC2は、Ｃ1のインピーダンスＸC1及びＲと比較して無視することができる。従って、図１のピンホール検査装置の電気的な等価回路は、図３のように近似することができる。この時、食品の上部包装材１０１ａ、即ち、Ｃ1に印加される電圧ＶC1は次式で表される。
【０００８】
ＶC1＝ＸC1／（ＸC1＋Ｒ＋Ｒd）×Ｖ    ・・・・・・（１）
ここで、Ｃ1のインピーダンスＸC1を考える。一般的に、装置で使用される交流電圧の周波数は、商用周波数（５０Ｈzまたは６０Ｈz）等の低い周波数が使われる。従って、図３の等価回路において、Ｃ１の静電容量を数１０ｐＦ程度と想定すれば、Ｃ1のインピーダンスＸC1は数１０ＭΩから数１００ＭΩとなる。従って、図３のＲＣ等価回路の合成インピーダンスにおいて、Ｃ1のインピーダンスＸC1は内容物の電気抵抗Ｒ及び検出抵抗Ｒdと比較して非常に大きいため、（１）式は（２）式のように近似できる。
【０００９】
ＶC1≒ＸC1／ＸC1×Ｖ＝Ｖ             ・・・・・・（２）
即ち、交流高電圧Ｖのほとんどが食品上部の包装材に印加されることになる。
【００１０】
また、食品の包装材にピンホールが存在しない場合には、Ｃ1のインピーダンスＸC1は非常に大きく、回路には微弱な電流しか流れない。一方、ピンホールが第１電極１０２ａの下、或いはその近傍に存在すると、第１電極１０２ａと食品の内容物１ａとの間に印加されている電圧Ｖc1によって、ピンホールを通じて火花放電が発生し、ピンホールが無い時に流れていた電流と比較して非常に大きな放電電流が流れることになる。従って、この電流を検出抵抗１０５（Ｒd）で電圧に変換後、整流回路７により直流電圧に変換し、その直流電圧が予め設定されている基準値より大きいか否かを電圧比較回路１０７にて比較することでピンホールの有無が検出可能となる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来例では、ピンホールにより誘起された放電電流を検出しているため、包装材１０１ａの状態等によっては放電が生じないような不完全なピンホールが存在する場合には検出できない可能性が有る。また、巻線トランス１０４の２次側には常に交流高電圧が発生しているため、ピンホール部分で放電が持続的に発生する可能性が有り、包装材が熱に弱い材質の場合には放電電流により包装材が融けて大きな穴が生じ、内容物が漏れ出す虞れがある。また、高電圧発生部品として巻線トランスを使用しているため、検出装置全体が非常に重く（１〜１０ｋｇ）、携帯には不便である。
【００１２】
また、特開昭４９−３０８２６号では、不良箇所の正確な検出と装置の小型軽量化を目的とした圧電トランスを使用した耐電圧試験装置が提案されている。しかしながら、検出手段の具体的な原理や構造等の開示に乏しく、また、圧電トランスの出力電圧を整流回路にて整流した直流電圧を、被検査物に印加するため、上述した放電による内容物の流出の問題に加え、その直流電圧により被検査物を帯電させてしまう可能性が有る。また、一般に、整流回路にはコンデンサが含まれるため、圧電トランスの負荷特性を利用した耐電圧試験装置が良好に動作しない可能性も有る。
【００１３】
そこで本発明は、被検査物のピンホールの有無を高精度で検出し、且つその被検査物への放電による損傷を防止可能なピンホール検査装置及びそのピンホール検出方法の提供を目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明のピンホール検査装置は、以下の構成を特徴とする。
【００１５】
即ち、導電性のある内容物を電気絶縁性のある被膜によって覆った被検査物の被膜部分のピンホールの有無を検査するピンホール検査装置であって、前記被検査物の被膜部分に当接する複数の電極と、圧電トランスを使用して、その複数の電極により、前記被検査物の被膜部分に交流電圧またはインパルス状の出力電圧を印加する電圧印加手段と、前記圧電トランスの出力電圧を検出する電圧検出手段とを備え、前記電圧検出手段によって前記複数の電極と前記内容物との間のインピーダンスの変化に伴う前記圧電トランスの出力電圧の変化を検出することにより、前記被膜部分のピンホールの有無を検査することを特徴とする。これにより装置を軽量化し、携帯性を向上する。
【００１８】
或は、導電性のある内容物を電気絶縁性のある被膜によって覆った被検査物の被膜部分のピンホールの有無を検査するピンホール検査装置であって、前記被検査物の被膜部分に当接する複数の電極と、圧電トランスを使用して、その複数の電極により、前記被検査物の被膜部分に交流電圧またはインパルス状の出力電圧を印加する電圧印加手段と、制御電圧に応じて発振信号を生成し、その発振信号に応じて前記圧電トランスを駆動する交流電圧源と、前記圧電トランスの出力電圧を検出し、その出力電圧を所定値に制御すべく、前記交流電圧源に前記制御電圧を供給する制御手段とを備え、前記制御手段によって前記複数の電極と前記内容物との間のインピーダンスの変化に伴う周波数の変化を検出することにより、前記被膜部分のピンホールの有無を検査するとよい。
【００１９】
または、上記の目的を達成するため、本発明のピンホール検出方法は、以下の方法によりピンホールを検出することを特徴とする。
【００２０】
即ち、導電性のある内容物を電気絶縁性のある被膜によって覆った被検査物の被膜部分のピンホールを検出するピンホール検出方法であって、前記被検査物の被膜部分に複数の電極を当接し、圧電トランスにより、前記被検査物の被膜部分に前記複数の電極を介して電圧を印加し、前記複数の電極と前記内容物との間のインピーダンスの変化に伴う前記圧電トランスの出力電圧の変化を検出する。
【００２４】
或は、前記被検査物の被膜部分に複数の電極を当接し、制御電圧に応じて発振信号を生成し、その発振信号に応じて圧電トランスを駆動することにより、前記被検査物の被膜部分に前記複数の電極を介して交流電圧またはインパルス状の出力電圧を印加し、前記圧電トランスの出力電圧を検出し、その出力電圧を所定値に制御すべく前記制御電圧を生成し、前記複数の電極と前記内容物との間のインピーダンスの変化に伴う周波数の変化を検出する。
【００２５】
以上の各構成により、被検査物に存在する不完全な状態のピンホールをも高精度で検出し、放電が生じた場合はその持続を防止して内容物の損傷を防止する。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るピンホール検査装置の実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２７】
＜第１の実施形態＞
以下、第１の実施形態を図４から図６を参照して説明する。
【００２８】
図４は、本発明の第１の実施形態としてのピンホール検査装置の回路構成を示す概要図である。
【００２９】
図中、ピンホール検査の対象物である食品１は、導電性のある内容物１ｂを電気絶縁性のある薄い包装材１ａで密封したものである。この食品１は、その上部面に先端部の面積が小さい形状の第１電極２ａが配置され、下部面には面積の大きい第２電極２ｂが配置されている。
【００３０】
尚、実際のピンホール検査装置において、第１電極１０２ａは、不図示の機構により包装材１０１ａ上を２次元方向に掃引する方式や、或は第１電極１０２ａを櫛状に複数配列したものを不図示の機構により１方向に掃引する方式を採用すればよい。
【００３１】
圧電トランス４は、交流電源３から交流電圧を印加されることにより、出力側に交流高電圧を発生し、その交流高電圧を第１電極２ａと第２電極２ｂとに印加する。また、圧電トランス４からの交流高電圧は、直列に接続された検出抵抗５ａ，５ｂにより分圧される。また、、検出抵抗５ａ，５ｂにより検出される交流電圧は、整流回路６により直流電圧に変換され、電圧比較回路７に入力される。そして、電圧比較回路７では、整流回路６からの直流電圧を、予め設定した基準電圧と比較することにより判別信号を出力する。そして、この判別信号を使用して不図示のランプやブザーによりオペレータに報知する。また、自動生産ラインであれば、その判定信号を使用して不図示の機構を制御し、良品ラインからピンホールの有る不良品を排除すればよい。ここで、基準電圧には、ピンホールが存在する場合に整流回路１０６から出力される直流電圧を設定する。
【００３２】
次に、圧電トランス４について図５を参照して説明する。
【００３３】
図５は、圧電トランスの構造及び動作を説明する図である。同図に示すように、例えばローゼン型と呼ばれる圧電トランス４は、重量が１００ｇにも満たない小型軽量なものであり、その構造は長方形板状の圧電素子４ａの左半分では厚み方向（図５の上下方向）の上下面に入力電極４ｂ，４ｃが形成されており、面に垂直に分極されている。また、圧電素子４ａの長手方向の右端面には、出力電極４ｄが形成されており、入力電極４ｃとの間で分極されている。圧電トランス４において、電極４ｂ，４ｃは巻線トランスの１次側に相当し、電極４ｄは巻線トランスの２次側に相当する。そして、１次側の電圧を圧電効果を利用して機械エネルギーに変換し、２次側において再び電圧に変換することにより昇圧して高電圧を得る。
【００３４】
図６は、圧電トランスに接続された負荷抵抗による入力電圧と出力電圧との関係を示す図である。同図に示すように、一般に圧電トランスは出力インピーダンスが大きいため、負荷抵抗値が小さくなるほど出力電圧が小さくなるという特徴を有する。そこで、この圧電トランスの特徴をうまく利用することにより、放電を防止してピンホールの検出を実現する。以下、その理由について説明する。
【００３５】
前述した図３の等価回路は、本実施形態のピンホール検査装置にも相当する。図３において、第１電極２ａと内容物１ｂ間の静電容量Ｃ1のインピーダンスＸC1は、包装材１ａの状態によって変化する。インピーダンスＸC1は、包装材１ａにピンホールが無い場合は非常に大きな値を示すが、ピンホールが有る場合は小さな値となる。また、包装材１ａにピンホールが存在するが、内容物１ｂの状態等によりそのピンホールの状態が不完全な場合は、ピンホールが無い時と比較してインピーダンスＸC1は小さな値となる。従って、図６に示すような圧電トランス４の出力特性により、出力電圧Ｖは小さくなる。そこで、この出力電圧Ｖの変化を、検出抵抗５ａ，５ｂで直接検出し、上記の如く整流回路６及び電圧比較回路７を用いて基準電圧と比較すればよい。その際、基準電圧より検出電圧が小さければ、包装材１ａにピンホールが有ると判断する。
【００３６】
また、本実施形態では、インピーダンスＸC1の大きさに基づいてピンホールを検出しているため、従来例のようにあえて放電を起こす必要はない。そこで、例えばパッシェンの法則を利用して、圧電トランス４の出力電圧Ｖを、ピンホール検査装置を設置する雰囲気において放電を起さない電圧に設定する。これにより、放電の発生を未然に防止する。また、ピンホール部分で放電が起きたとしても、その部分のインピーダンスＸC1の大きさにより、圧電トランスの出力電圧Ｖが急激に小さくなるため、そのピンホール部分で放電が持続することを防止でき、包装材１ａが融けてしまい内容物１ｂが漏れ出すのを防止できる。
【００３７】
＜第２の実施形態＞
以下、第２の実施形態を図７を参照して説明する。
【００３８】
図７は、本発明の第２の実施形態としてのピンホール検査装置の回路構成を示す概要図である。本実施形態の構成において第１の実施形態（図４）と異なるのは、同図に示すように圧電トランス４の出力電流を、図１の場合と同様に第２電極２ｂとグランド間に電流検出抵抗５（Ｒd）を直列に接続し、第１電極２ａと第２電極２ｂ間に流れる電流を、電流検出抵抗５の両端間に生じた交流電圧とし、その交流電圧を整流回路６により直流電圧に変換していることである。以下、その検出原理について説明する。
【００３９】
圧電トランス４の出力電流、即ち、図３における等価回路に流れる電流Ｉ1は、（３）式で表される。
【００４０】
Ｉ1≒Ｖ／（ＸC1＋Ｒ＋Ｒd）             ・・・・・・（３）
先に述べたように、ピンホールが有る場合は、インピーダンスＸC1が小さいので圧電トランス４の出力電圧Ｖは小さくなるが、その際、（３）式の関係において出力電圧Ｖの低下が過渡的に遅れることにより、瞬間的に電流Ｉ1が増加する。従って、この瞬間的な電流Ｉ1の増加を、検出抵抗５及び整流回路６で検出することによってピンホールを検出することができる。
【００４１】
また、本実施形態においても、包装材１ａにピンホールが有る場合は圧電トランス４の出力電圧Ｖが低下するため、第１電極２ａと内容物１ｂ間の印加電圧により放電が生じた場合であってもその放電が長時間継続することは防止でき、包装材１ａが融けてしまい内容物１ｂが漏れ出すのを防止できる。
【００４２】
＜第３の実施形態＞
以下、第３の実施形態を図８及び図９を参照して説明する。
【００４３】
図９は、圧電トランスの周波数と出力電圧との関係を示す図である。同図に示すように、圧電トランスは入力される交流電圧の周波数により昇圧比が大きく変化する特性を有しており、出力電圧Ｖは共振周波数で極大を示す。
【００４４】
図８は、本発明の第３の実施形態としてのピンホール検査装置の回路構成を示す概要図である。
【００４５】
図中、交流電源３は、入力される電圧に応じて発振周波数ｆを変えられる電圧制御発振回路（ＶＣＯ）３ａと、その発振信号により交流電圧を生成する駆動回路３ｂを備える。この駆動回路３ｂからの交流電圧により、圧電トランス４を駆動し、交流高電圧を発生する。そして、その交流高電圧を、第１の実施形態と同様に検出抵抗５ａ，５ｂで直接検出し、整流回路６にて整流する。そして、整流後の検出電圧と予め設定した基準電圧（Ｖt1）とを差動増幅回路８により比較し、その差動増幅回路８の出力電圧を、交流電源３の電圧制御発振回路３ａにフィードバックして周波数ｆを制御することにより、圧電トランス４の出力電圧Ｖを所定値に保持することができる。例えば、交流電源３において出力電圧を共振周波数より高周波側で制御する場合は、図９に示すように、圧電トランス４の出力電圧Ｖの検出値が基準電圧Ｖt1より小さい時は電圧制御発振回路３ａの発振周波数ｆを低く、逆に圧電トランス４の出力電圧Ｖの検出電圧の方が基準電圧Ｖt1より大きい時は発振周波数ｆを高く制御することにより、圧電トランス４の出力電圧Ｖを所定値に保持する。
【００４６】
このような制御が働いている状態において、第１電極２ａの下にピンホールがあると第１電極２ａと内容物１ｂ間のインピーダンスＸC1は小さくなるため、図６の関係により圧電トランス４の出力電圧Ｖは小さくなる方向、つまり図９では実線の特性から点線の特性に推移する。しかし、実際には圧電トランス４の出力電圧Ｖを所定値にする制御が交流電源３によりなされるので、圧電トランス４の出力電圧Ｖは小さくならず、その代わりに発振周波数が低周波数（ｆ2）に移動する。その際、低周波側に周波数ｆが変化するのは、元をたどれば差動増幅回路８の出力電圧の変化により発生するものであるから、この差動増幅回路８の出力電圧を電圧比較回路７により基準電圧（Ｖt2）と比較することでピンホール検出が可能となる。
【００４７】
次に、本実施形態における放電防止策について説明する。本実施形態においては、ピンホールが検出された後も、交流電源３は圧電トランス４の出力電圧Ｖを制御しているが、インピーダンスＸC1が小さいために電圧発振回路３ａにて発振周波数ｆを小さくしても出力電圧Ｖを所定値に制御することはできなくなる。即ち、図９において、電圧発振回路３ａが発振周波数ｆを共振周波数方向に小さくシフトしていっても、所望する出力電圧Ｖが得られず、結果として発振周波数ｆは共振周波数を超えて小さくなり、出力電圧Ｖは低下する。従って、第１電極２ａと内容物１ｂ間の印加電圧により放電が生じた場合であってもその放電が長時間継続することは防止でき、包装材１ａが融けてしまい内容物１ｂが漏れ出すのを防止できる。
【００４８】
また、他の方法として、電圧比較回路７及び差動増幅回路８によりピンホールを検出した場合には、例えば、不図示の回路から基準電圧（Ｖt1）をある所定値に変化させることにより、電圧制御発振回路３ａの発振周波数ｆを大きくする方向に変化させ、圧電トランス４の出力電圧Ｖを低下させてもよい。従ってこの場合は、次の被検査物を検査するのに先立って、電圧制御発振回路３ａの発振周波数ｆを共振周波数より高周波側（図９の右側）にリセットする必要はない。
【００４９】
尚、上述した各実施形態では、被検査物として食品を対象としているが、薬品のアンプルや絶縁被覆された電線のピンホール検査にも適用できることは言うまでもない。
【００５０】
また、本願では、第１電極２ａと食品内容物１ｂとの間に形成される静電容量Ｃ1が第２電極２ｂと内容物１ｂとの間に形成される静電容量Ｃ2と比較して無視できる程度に小さくなるようにしたが、これは両電極間に印加される交流電圧Ｖが第１電極２ａと内容物１ｂの間に効果的に印加されるようにする１つの方法であり、本発明の実施に際して必ずしも上記構成を採る必要があるものではない。即ち、第１電極２ａの面積を第２電極２ｂと同程度にして両電極と内容物１ｂとの静電容量Ｃ1，Ｃ2との間に差が無い場合でも本発明が達成できることは言うまでもない。但し、その場合には、印加電圧ＶがＣ1，Ｃ2とによって分圧されるので、必要に応じて印加電圧Ｖを高くすることが望ましい。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被検査物のピンホールの有無を高精度で検出し、且つその被検査物への放電による損傷を防止可能なピンホール検査装置及びそのピンホール検出方法の提供が実現する。
【００５２】
即ち、被検査物のピンホールを、第１電極と内容物との間の静電容量の変化により検出するため、不完全な状態のピンホールをも高精度に検出可能となる。また、圧電トランスを使用することにより、ピンホールによる第１電極と内容物との間の静電容量の変化に応じて被検査物に印加する電圧を低下させることができるため、放電が生じた場合でもその持続は防止できる。従って、放電により包装材が融けて大きな穴が開くこと、そして内容物の損傷を防止できる。
【００５３】
【図面の簡単な説明】
【図１】従来例としてのピンホール検査装置の回路構成を示す概要図である。
【図２】従来例としての図１のピンホール検査装置の電気的な等価回路図である。
【図３】従来例としての図１のピンホール検査装置の電気的な等価回路図である。
【図４】本発明の第１の実施形態としてのピンホール検査装置の回路構成を示す概要図である。
【図５】圧電トランスの構造及び動作を説明する図である。
【図６】圧電トランスに接続された負荷抵抗による入力電圧と出力電圧との関係を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施形態としてのピンホール検査装置の回路構成を示す概要図である。
【図８】本発明の第３の実施形態としてのピンホール検査装置の回路構成を示す概要図である。
【図９】圧電トランスの周波数と出力電圧との関係を示す図である。
【符号の説明】
１，１０１  食品
１ａ  食品の包装材
１ｂ，１０１ｂ  食品の内容物
２ａ，１０２ａ  第１電極
２ｂ，１０２ｂ  第２電極
３  交流電源
３ａ  電圧制御発振回路
３ｂ  駆動回路
４  圧電トランス
５，５ａ，５ｂ，１０５  検出抵抗
６，１０６  整流回路
７，１０７  電圧比較回路
８  差動増幅回路
【図１】
0003728483.tif 000002
【図２】
0003728483.tif 000003
【図３】
0003728483.tif 000004
【図４】
0003728483.tif 000005
【図５】
0003728483.tif 000006
【図６】
0003728483.tif 000007
【図７】
0003728483.tif 000008
【図８】
0003728483.tif 000009
【図９】
0003728483.tif 000010