(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
つば部を有しシールダイアフラム突出型ダイアフラムユニットを具備する差圧測定装置において、
前記つば部の一方の面を覆う第１の被覆と前記本体ブロックの外側面を覆う第２の被覆と前記本体ブロックの底面の外表面に張り出して設けられシールリングの取付け部を構成する第３の被覆とを有しタンタル材よりなる被覆部
を具備したことを特徴とする差圧測定装置。
【請求項２】
薄板からスピニング加工により前記つば部と前記本体ブロックとに密着成形加工された被覆部
を具備したことを特徴とする請求項１記載の差圧測定装置。
【請求項３】
円筒状の筒部と円板状の底部とよりなる本体ブロックを具備したこと
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の差圧測定装置。
【請求項４】
前記つば部と前記本体ブロックとが最初から一体構成に作りだされたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の差圧測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、安価で、耐食性が向上された差圧測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
【従来の技術】
図５は、従来より一般に「ダイアフラム突出形ダイアフラムシール付きの差圧計」として使用されている従来例の構成説明図で、タンクに取付けられた例を示し、例えば、特開平１１−１３２８８８号公報に示されている。
図６は図５の要部詳細説明図である。
【０００３】
図において、 差圧測定装置本体１は、本体カプセル２と、本体カプセル２を覆うカバー３とよりなる、差圧測定装置の本体部分である。
本体カプセル２は、この場合は、静電容量検出型が使用されている。
【０００４】
高圧側のキャピラリーチューブ４は，高圧側のカバー３に、一端が接続されたチューブである。
この場合は、可撓性のキャピラリーチューブが使用されている。
【０００５】
高圧側のダイアフラムシールユニット５は、高圧側のキャピラリーチューブ４の他端に接続されたダイアフラムシールユニットである。
高圧側のダイアフラムシールユニット５は、フランジ５１と本体ブロック５２とシールダイアフラム５３とを有する。
【０００６】
高圧側のダイアフラムシールユニット５は、図６に示す如く、タンク本体Ａの取付け孔Ｂに設けられたフランジＣに、ガスケットＤを介してフランジ５１部分が取付けられる。
フランジ５１は、フランジＣとフランジＥとの間に挟み込まれ、ボルトＦとナットＧとにより固定される。
【０００７】
封入液６は、ダイアフラムシールユニット５と高圧側のキャピラリーチューブ４と高圧側のカバー３内に封入された封入液である。
この場合は、シリコンオイルが使用されている。
【０００８】
低圧側のキャピラリーチューブ７は、低圧側側のカバー３に、一端が接続されたチューブである。
この場合は、可撓性のキャピラリーチューブが使用されている。
低圧側のダイアフラムシールユニット８は、低圧側のキャピラリーチューブ７の他端に接続されたダイアフラムシールユニットである。
【０００９】
低圧側のダイアフラムシールユニット８は、フランジ８１と本体ブロック８２とシールダイアフラム８３とを有する。
【００１０】
低圧側のダイアフラムシールユニット５は、図６に示す如く、タンク本体Ａの取付け孔Ｂに設けられたフランジＣに、ガスケットＤを介してフランジ８１が取付けられる。
フランジ８１は、フランジＣとフランジＥとの間に挟み込まれ、ボルトＦとナットＧとにより固定される。
【００１１】
封入液９は、ダイアフラムシールユニット８と低圧側のキャピラリーチューブ９と低圧側のカバー３内に封入された封入液である。
この場合は、シリコンオイルが使用されている。
変換器部１１は、本体カプセル２に取付られた変換器である。
【００１２】
以上の構成において、腐蝕性の測定流体に対しては、ダイアフラムシールユニット５，８の測定流体との接液部分には、タンタル材で保護する必要がある場合が発生する。
【００１３】
図７は、溶接を利用して、接液部分をタンタル材で保護した従来例の要部構成説明図である。
図において、本体ブロック５２，８２の底面に、タンタル材のシールリング１２を介して、タンタル材のシールダイアフラム１３を溶接する。
【００１４】
被覆１４は、この場合は、板厚０．１ｍｍのタンタルのシートを、本体ブロック５２，８２の外側面とフランジ５１，８１の接液面とが露出しないように覆って、電子ビーム溶接等により全面にわたって被せたものである。
【００１５】
図８は、溶射を利用して、接液部分をタンタル材で保護した従来例の要部構成説明図である。
図において、本体ブロック５２，８２の底面に、タンタル材のシールリング１２を介して、タンタル材のシールダイアフラム１３を溶接する。
【００１６】
溶射膜１５は、この場合は、膜厚０．５ｍｍのタンタルの溶射膜を、本体ブロック５２，８２の外側面とフランジ５１，８１の接液面とが露出しないように覆って、溶射付着させたものである。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この様な図６従来例装置においては。
（１）本体ブロック５２，８２の外側面とフランジ５１，８１の接液面とに、タンタルのシートを溶接する。
【００１８】
このため、溶接部分では、タンタル材の被覆１３と、本体ブロック５２，８２、あるいはフランジ５１，８１の母材とが、溶接により混ざり合い、本体ブロック５２，８２、あるいはフランジ５１，８１の母材が、表面に露出するおそれがある。このため、母材の腐蝕が発生し易い欠点がある。
【００１９】
（２）容積の大きな本体ブロック５２，８２やフランジ５１，８１と、本質的に溶接の困難なタンタル材の、而も、容量の小さい薄いシートとの溶接には、長時間を要する欠点がある。
【００２０】
次に、図８従来例のような装置においては。
（１）溶射膜１５には、ピンホールが発生し易く、ピンホールを埋めるために、タンタルの溶射膜１５の上に、更に、セラミックスを溶射する必要が生ずる場合が多い欠点を有する。
（２）溶射の温度は、高いため、シールダイアフラム１３に熱が加わらないようにするために、冷却装置が必要となる欠点を有する。
【００２１】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、安価で、耐食性が向上された差圧測定装置を提供することにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明では、請求項１の差圧測定装置においては、
つば部を有しシールダイアフラム突出型ダイアフラムユニットを具備する差圧測定装置において、
前記つば部の一方の面を覆う第１の被覆と前記本体ブロックの外側面を覆う第２の被覆と前記本体ブロックの底面の外表面に張り出して設けられシールリングの取付け部を構成する第３の被覆とを有しタンタル材よりなる被覆部
を具備したことを特徴とする差圧測定装置。
【００２３】
本発明の請求項２においては、請求項１記載の差圧測定装置において、
薄板からスピニング加工により前記つば部と前記本体ブロックとに密着成形加工された被覆部
を具備したことを特徴とする。
【００２４】
本発明の請求項３においては、本発明の請求項1又は請求項２記載の差圧測定装置において、
円筒状の筒部と円板状の底部とよりなる本体ブロックを具備したことを特徴とする。
【００２５】
本発明の請求項４においては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載の差圧測定装置において、
前記つば部と前記本体ブロックとが最初から一体構成に作りだされたことを特徴とする。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の要部構成説明図、図３は図１の部品説明図、図４は図３の組立図である。
図において、図５と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図５と相違部分のみ説明する。
【００２７】
図において、２１は、外側底面がシールダイアフラム１３の取付面となる断面コの字状の本体ブロックである。
この場合は、本体ブロック２１は円筒状の筒部２１１と円板状の底部２１２とよりなる。
底部２１２は、チタン材より成る第１の板とステンレス材より成る第２の板とより成るクラッド材より成る。
【００２８】
２２は、本体ブロック２１の開口部２１３が内径部分に一方の面側２２１から挿入固定されるドーナツ盤状のつば部である。
この場合は、つば部２２と本体ブロック２１とが最初から一体構成に作りだされている。
【００２９】
２３は、つば部２２の一方の面２２１を覆う第１の被覆２３１と、本体ブロック２１の外側面を覆う第２の被覆２３２と、本体ブロック２１の底面の外表面に張り出して設けられ、シールリング１２の取付け部を構成する第３の被覆２３３とを有しタンタル材よりなる被覆部である。
この場合は、被覆部２３は、薄板からスピニング加工により、つば部２２と本体ブロック２１とに密着成形加工されて形成されている。
【００３０】
以上の構成において、図２はシールダイアフラムを溶接する要部の製作説明図である。
タンタル製の第３の被覆２３３を、内側に向かって絞り込み、絞り込んだ第３の被覆２３３にタンタル材のシールリング１２及びダイアフラム１３を溶接Ｈする。
【００３１】
図３は本体ブロック部分の製作説明図である。
筒部２１１とつば部２２とは、この場合は、一体で削り出されており、タンタル材のシールリング１２及びダイアフラム１３と溶接が可能で、比較的安価なチタン材が使用されている。
【００３２】
なお、筒部２１１とつば部２２とは別体に作られて、これを組み立てても良いことは勿論である。
被覆部２３は、例えば、厚さ０．５〜３ｍｍのタンタル製の薄板を、スピニング加工（別名：へら絞り）で、本体ブロック２１とつば部２２との外皮として密着成形加工されている。
【００３３】
タンタル材よりなる第３の被覆２３３の端面と、第１の被覆２３１の端面とは、チタン材より成る本体ブロック２１とつば部２２とに、この場合は、Ｔｉｇ溶接Ｉ，Ｊされ、本体ブロック２１とつば部２２との接合部からのリークが防がれている。
【００３４】
底部２１２は、チタン材より成る第１の板２１２１とステンレス材より成る第２の板２１２２とより成るクラッド材より成る。
第１の板２１２１がチタン材より成る筒部２１１とＴｉｇ溶接Kされ、第２の板２１２２がステンレス材より成るキャピラリチューブ４，７と溶接Lされ、クラッド材が使用されて、溶接される部分の材質が同じに合わされている。
【００３５】
図４は本体ブロック部分の組み立て図である。
タンタルと溶接が可能なチタン材のつば部２２と本体ブロック２１との外側に、タンタル材の平板薄板を直接スピニング加工する。
【００３６】
あるいは図４に示す如く、あらかじめ、 ある程度母材の形状に成形したタンタル製の外皮２３Aをかぶせる様にはめ込み、この状態で、つば部２２と本体ブロック２１とにスピニング加工し一体化する。
【００３７】
図１のシールダイアフラム１３と本体ブロック２１との間の空間は、シリコーンオイルなどの非圧縮性の流体で満たされ、受圧室２４を構成し、タンタル製のシールダイアフラム１３で受圧したプロセス圧を、非圧縮性流体を介してキャピラリチューブ４あるいは７により本体カプセル２へ伝えられる。
【００３８】
この結果、
（１）シールダイアフラム１３と被覆部２３とで、つば部２２と本体ブロック２１とを覆うことが出来、構造が簡潔に出来、安価で、耐食性が向上された差圧測定装置が得られる。
【００３９】
（２）薄板からスピニング加工によりつば部２２と本体ブロック２１とに密着成形加工された被覆部２３が設けられたので、スピニング加工という安価で、短時間で加工出来る加工方法により、耐食性に優れた受圧部分を有する差圧測定装置が得られる。
【００４０】
（３）本体ブロック２１を、筒部２１１と底部２１２とで構成したので、筒部２１１より底部２１２の厚さを自由に厚く出来、測定流体ＦＬに対して、耐圧が高い差圧測定装置が得られる。
【００４１】
（４）つば部２２と本体ブロック２１とが最初から一体構成に作りだされたので、つば部２２と本体ブロック２１とを組み立てる必要が無く、安価な差圧測定装置が得られる。
【００４２】
なを、前述の実施例においては、溶接Ｉ、ＪはＴｉｇ溶接が使用されていると説明したが、これに限る事は無く、たとえば、シーム溶接でも良く、要するに、溶接であれば良い。
但し、シーム溶接Ｉの場合は、筒部２１１はステンレス材が使用出来、底部２１２もステンレス材が使用出来、クラッド材を使用する必要が無い。
【００４３】
また、本発明ではキャピラリチューブ４，７で受圧部分と差圧測定装置本体１とを結ぶダイアフラムシール形について説明したが、プロセスタンクＡ等に直接取りつけてレベルを測定する「フランジ取付レベル計形差圧測定装置」にもまったく同様の構造を取る事が出来きることは勿論である。
【００４４】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
外側底面がシールダイアフラムの取付面となる断面コの字状の本体ブロックと、この本体ブロックの開口部が内径部分に一方の面側から挿入固定されるドーナツ盤状のつば部と、このつば部の一方の面を覆う第１の被覆と本体ブロックの外側面を覆う第２の被覆と本体ブロックの底面の外表面に張り出して設けられシールリングの取付け部を構成する第３の被覆とを有しタンタル材よりなる被覆部とが設けられた。
従って、シールダイアフラムと被覆部とでつば部と本体ブロックとを覆うことが出来、構造が簡潔に出来、安価で、耐食性が向上された差圧測定装置が得られる。
【００４６】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
薄板からスピニング加工によりつば部と本体ブロックとに密着成形加工された被覆部が設けられたので、スピニング加工という安価で、短時間で加工出来る加工方法により、耐食性に優れた受圧部を有する差圧測定装置が得られる。
【００４７】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
本体ブロックを、筒部と底部とで構成したので、筒部より底部の厚さを自由に厚く出来、測定流体に対して、耐圧が高い差圧測定装置が得られる。
【００４８】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
つば部と本体ブロックとが最初から一体構成に作りだされたので、つば部と本体ブロックとを組み立てる必要が無く、安価な差圧測定装置が得られる。
【００４９】
従って、本発明によれば、安価で、耐食性が向上された差圧測定装置を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部構成説明図である。
【図３】図１の部品説明図である
【図４】図３の組立図である。
【図５】従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【図６】図５の要部詳細説明図である。
【図７】図５の製作図である。
【図８】図５の製作図である。
【符号の説明】
１        差圧測定装置本体
２        本体カプセル
３        カバー
４        高圧側のキャピラリーチューブ
５        高圧側のダイアフラムシールユニット
６        封入液
７        低圧側のキャピラリーチューブ
８        低圧側のダイアフラムシールユニット
９        封入液
１１      変換器
１２      タンタルのシールダイアフラム
１３      タンタルのシールリング
２１      本体ブロック
２１１    筒部
２１２    底部
２１２１  第1の板
２１２２  第２の板
２１３    開口部
２２      つば部
２２１    一方の面
２３      被覆部
２３Ａ    外皮
２３１    第１の被覆
２３２    第２の被覆
２３３    第３の被覆
２４      受圧室
Ｈ        溶接
Ｉ        溶接
Ｊ        溶接
Ｋ        溶接
Ｌ        溶接
ＦＬ        測定流体
【図１】
0003680313.tif 000002
【図２】
0003680313.tif 000003
【図３】
0003680313.tif 000004
【図４】
0003680313.tif 000005
【図５】
0003680313.tif 000006
【図６】
0003680313.tif 000007
【図７】
0003680313.tif 000008
【図８】
0003680313.tif 000009