(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
螺旋状にまたは同心円状にピット列を形成してなる信号層を複数層積層形成し、光ディスクの基材表面側から再生用レーザを前記信号層のいずれかに照射して反射する光から再生波形を読み取る多層光ディスクの作製方法において、
前記多層光ディスクに記録すべき情報の信号に応じて変調された光のパルス列を露光光として、ピット列を形成した前記各信号層用の原盤を基に、前記ピット列を写したピット列を有する金型を各信号層に対しそれぞれ少なくとも１つ作製する工程と、
前記金型を基に複製品を作製し、複数の複製品を積層接合して情報が記録された複数の信号層を有する光ディスクを作製する工程を備え、
前記原盤は、前記各信号層から得られる再生信号が、同一記録信号に対しては実質的に同一の再生波形が得られるように、いずれかの信号層における光パルス列を基準にしてその信号層に対する再生波形の相対的変化に応じて、前記信号層用毎にピットの形成条件を変えて作成するにあたり、記録すべき情報の信号に応じて変調された光パルス列の露光時に、各光パルスの始端または終端の時間を早めるまたは遅くする量を変えることにより、ピットの幅または長さを変え、同一信号に対しては実質的に同一の再生波形が得られるように、原盤を作製することを特徴とする多層光ディスク作製方法。
【請求項２】
記録すべき信号に応じて変調された光パルス列の各光パルスの始端および終端の時間を早めるまたは遅くする量を変えることにより、ピットの幅または長さを変えて各信号層用原盤を作製するにあたり、前記光パルス全てについて、始端および終端の時間を早めるまたは遅くする量を同じにして原盤を作製する請求項２記載の多層光ディスク作製方法。
【請求項３】
螺旋状にまたは同心円状にピット列を形成してなる信号層を複数層積層形成し、光ディスクの基材表面側から再生用レーザを前記信号層のいずれかに照射して反射する光から再生波形を読み取る多層光ディスクの作製方法において、
前記多層光ディスクに記録すべき情報の信号に応じて変調された光のパルス列を露光光として、ピット列を形成した前記各信号層用の原盤を基に、前記ピット列を写したピット列を有する金型を各信号層に対しそれぞれ少なくとも１つ作製する工程と、
前記金型を基に複製品を作製し、複数の複製品を積層接合して情報が記録された複数の信号層を有する光ディスクを作製する工程を備え、
前記原盤は、前記各信号層から得られる再生信号が、同一記録信号に対しては実質的に同一の再生波形が得られるように、いずれかの信号層における光パルス列を基準にしてその信号層に対する再生波形の相対的変化に応じて、前記信号層用毎にピットの形成条件を変えて作成するにあたり、記録すべき情報の信号に応じて変調された光パルス列の露光時に、各光パルスの強度を変えることにより、ピットの幅または長さを変え、同一記録信号に対しては実質的に同一の再生波形が得られるように、原盤を作製することを特徴とする多層光ディスク作製方法。
【請求項４】
記録すべき信号に応じて変調された光パルス列の各光パルスの強度を変えることにより、ピットの幅または長さを変えて各信号層用原盤を作製するにあたり、前記信号層ごとに露光する光パルス列の各パルスの光強度を全て同じにして原盤を作製する請求項３記載の多層光ディスク作製方法。
【請求項５】
請求項１または３に記載の方法で作製される多層光ディスクが、再生光を入射させる基材側から見て、最も遠い信号記録層には反射膜を、それ以外には、信号記録層に半透明膜が形成される片側読み出し型再生専用多層光ディスクであって、いずれかの信号層における光パルス列を基準にしてその信号層に対する再生波形の相対的変化を考慮し、同一信号に対しては実質的に同一の再生波形が得られるように、各信号層のピットの幅または長さが調整されている多層光ディスク。
【請求項６】
再生光を入射させる基材側から見て、最も近い信号記録層における光パルス列を基準にしてその信号層に対する再生波形の相対的変化を考慮し、同一記録信号に対しては実質的に同一の再生波形が得られるように、各信号層のピットの幅または長さが調整されている請求項５記載の多層光ディスク。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、片面読み取り型多層光ディスク、特に再生専用多層光ディスクおよびその作製方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
かつてレコードが、音楽ソフトを購入する時のメディアとして主流であったが、１９８０年代に入り、ＣＤ（コンパクトディスク）が発売されると、その小ささと、取り扱いの容易さによって、レコードからＣＤへの代替が急速に進んだ。さらに、最近では、その記録容量の大きさから、情報機器分野での注目が集まり、ＣＤ−ＲＯＭ（読み出し専用メモリー）として市場に普及している。他方、信号を記録再生できるタイプの光ディスクも実用化されている。
【０００３】
前者のＣＤ−ＲＯＭにはスパイラル状に配されたピット列に情報が記録された光ディスクが汎用されており、情報化社会の進展により、さらに多くの情報を記録できる高密度光ディスクが望まれている。光ディスクの高密度化法として、ピットの大きさを小さくして物理的に密度を高くするとともに、複数の信号記録層を持つ多層光ディスクが提案されている。この多層光ディスクにはその読み取り方式により、ディスクの一方側から読み取りを行う片面読み取り方式とディスクの両側から読み取りを行う両面読み取り方式とがあり、米国特許第４，４５０，５５３号には両者の方式が提案されている。
【０００４】
ところで、多層光ディスクにおいて記録された情報の読み出しは、基本的に、再生用レーザ光を基材の中を通して信号記録層で集光されるようにフォーカス制御して照射し、その反射光が信号記録層の凹凸あるいは反射率や波面の変化によって変調されるのを検出し、その信号から記録された情報を復元することによって行われる。また、各信号記録層の信号を確実に再生するには、他の信号記録層からの信号を分離するため各層間それらを隔てる厚みが必要であり、そのため、各信号記録層を再生する場合、再生光を入射させる基材の厚みと、その層までの信号記録層間の厚みを加算した厚みのディスクを再生することと同じになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、再生光学系は規定のディスクの厚みに対してのみ最良に集光されるように構成されており、さらに高密度ディスクを再生するために再生用レーザ光の短波長化あるいは再生装置における対物レンズの高開口数化がはかられ、その結果、焦点深度が短くなっている。このため、各信号記録層でその加算された厚みに応じて再生光のスポットの大きさが異なる。他方、再生波形は、再生光学系の集光スポットの大きさと作製されたディスクのピットあるいはマークの大きさに左右される。このため、各信号記録層のピットあるいはマークを同様に作製すると、各層での再生光のスポットの大きさとピットあるいはマークの大きさの相対関係が層毎に異なり、再生波形が変化するため、全層に記録された信号を良好に再生することができないという問題点がある。
【０００６】
また、片面読み取り方式では、記録信号層の構造および製造方法によっては、各層でピットの凹と凸が反転する場合がある。特に、各信号層用のピット列を有した複製物に反射あるいは半透明膜を形成し、その信号層どうしを対向させて複製物を貼り合わせることにより、１枚の２層光ディスクを形成する方法においては、各層のピットの凹凸を形成し、その上に半透明膜または反射膜を形成するため、その形成状態によってピットの大きさが変わる。したがって、上記と同じく各層で再生波形が変化し、全層に記録された信号を良好に再生できないという問題点がある。
【０００７】
そこで、本発明は同一記録信号では実質的に同一の再生波形を得ることができる多層光ディスクおよびその製造方法を提供することを目的とする。
即ち、本発明は同一記録信号では実質的に同一の再生波形を得ることができるように、再生用レーザに対する信号記録面の再生特性を考慮して適性なピット形状を備えた多層光ディスクおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
各信号記録層毎に最適な幅および長さのピットを形成するには、その基となる各信号記録層の原盤のピットの形成条件を変えることが必要となる。
そこで、本発明は、螺旋状にまたは同心円状にピット列を形成してなる信号層を複数層積層形成し、光ディスクの基材表面側から再生用レーザをいずれかの信号層に照射して反射する光からの再生波形を読み取る多層光ディスクを作製するにあたり、
記録すべき情報の信号に応じて変調された光のパルス列を露光光として、ピット列を形成した各信号層用原盤を作製する工程と、
前記原盤を基に前記ピット列を写したピット列を有する金型を各信号層に対しそれぞれ少なくとも１つ作製する工程と、
前記金型を基に複製品を作製し、複数の複製品を積層接合して情報が記録された複数の信号層を有する光ディスクを作製する工程を備え、
前記原盤として各信号層から得られる再生信号が同一記録信号に対しては実質的に同一の再生波形が得られるように設定されたピットの幅または長さを有するものを用いることを特徴とする多層光ディスク作製方法を提供する。
【０００９】
本発明においては、原盤は、通常、感光材料を塗布したガラス円盤に、記録信号に応じて変調された記録光をスパイラル状に照射し、それを現像してピットを形成することにより作成される。
原盤に形成されるピットの幅や長さは、照射した記録光の強度や変調された光パルスの長さおよび感光材料の組成あるいはその現像の条件も含めたプロセス全体の光に対する感度により決まる。このうち、露光する光の強度や光パルスの長さを変えることは、比較的容易な上、効果が大きい。
即ち、照射する記録光の強度を強くすれば形成されるピットは大きくなり、弱くすれば形成されるピットは小さくなる。また、光パルスの長さを長くすれば形成されるピットは大きくなり、短くすれば形成されるピットは小さくなる。
これらの条件を変えることにより、各層について形成されるピットの大きさすなわち幅および長さを調整でき、各層に対し最適なピットの大きさを有した原盤が作製できる。
【００１０】
本発明の好ましい実施形態としては、上記各信号層用原盤を作製する工程において、記録すべき情報の信号に応じて変調された光パルス列の露光時に、いずれかの信号層における光パルス列を基準にしてその信号層に対する再生波形の相対的変化を考慮し、各光パルスの始端または終端の時間を早めるまたは遅くする量を変えることにより、ピットの幅または長さを変え、同一信号に対しては実質的に同一の再生波形が得られるように、原盤を作製することができる。
特に、記録すべき信号に応じて変調された光パルス列の各光パルスの始端および終端の時間を早めるまたは遅くする量を変えることにより、ピットの幅または長さを変えて各信号層用原盤を作製するにあたっては、前記光パルス全てについて、始端および終端の時間を早めるまたは遅くする量を同じにして原盤を作製するのがよい。
【００１１】
また、他の実施形態としては、上記各信号層用原盤を作製する工程において、記録すべき情報の信号に応じて変調された光パルス列の露光時に、いずれかの信号層における光パルス列を基準にしてその信号層に対する再生波形の相対的変化を考慮し、各光パルスの強度を変えることにより、ピットの幅または長さを変え、同一記録信号に対しては実質的に同一の再生波形が得られるように、原盤を作製することもできる。
この場合、記録すべき信号に応じて変調された光パルス列の各光パルスの強度を変えることにより、ピットの幅または長さを変えて各信号層用原盤を作製するにあたり、前記信号層ごとに露光する光パルス列の各パルスの光強度を全て同じにして原盤を作製するのがよい。
【００１２】
したがって、本発明は、上記多層光ディスクが複数の信号層を有し、再生光を入射させる基材側から見て、最も遠い信号記録層には反射膜を、それ以外には、信号記録層に半透明膜が形成される片側読み出し型再生専用多層光ディスクであって、いずれかの信号層における光パルス列を基準にしてその信号層に対する再生波形の相対的変化を考慮し、同一信号に対しては実質的に同一の再生波形が得られるように、各信号層のピットの幅または長さが調整されている多層光ディスクを提供するものでもある。特に、再生光を入射させる基材側から見て、最も近い信号記録層における光パルス列を基準にしてその信号層に対する再生波形の相対的変化を考慮し、同一記録信号に対しては実質的に同一の再生波形が得られるように、各信号層のピットの幅または長さが調整されている多層光ディスクを提供するものである。
【００１３】
【発明の効果】
本発明によれば、上記原盤を用いることにより、複数の信号記録層に記録された情報を全て良好に再生できる光ディスクを実現できる。特に、反転した凹凸のピット列が対向する一対の記録信号層を形成するように貼り合わせて作製される多層光ディスクにおいては、各層のピットの凹凸上に形成される半透明膜または反射膜の形成状態によってピットの大きさが変わるが、同一記録信号に対しては実質的に同一の再生波形が得られるようにしたため、各層に記録された信号を良好に再生でき、情報を読み出すことができる優れた特性を持つ多層光ディスクを作製することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
まず、本発明で用いた原盤を作製するための記録装置と、多層光ディスクの作製方法を説明する。
本発明で用いた記録装置は、大別して、感光材料を塗布したガラス基板を回転させ、所望の位置に記録光を照射する記録ヘッドを移動させる機構系、記録すべき信号に応じて変調した記録光を作成し照射する光学系からなる。
【００１５】
まず、機構系は、ガラス基板を回転させる回転機構系、任意の半径位置に記録ヘッドを移動させるスライド機構系、それらの動きを複合的に制御する制御系からなる。
回転機構系は、ガラス基板を吸着するターンテーブルと、それを回転させる空気軸受けのスピンドルからなる。
スライド機構系は、空気浮上で非接触のスライダーと、それを動かすリニアモーター、移動量を測る測長システムからなる。
スライダーは、固定されたガイド部とそれに沿って１軸に可動な空気浮上のテーブル部からなり、ガラス基板の任意の半径位置に記録光を照射するための記録ヘッドを付帯している。
リニアモーターは、スライダーの下面に取り付けられ、可動部をスライダーのテーブル部とつなぐことにより、テーブル部を駆動する。
測長システムには、レーザー測長器（ヒューレット・パッカード社製）を搭載しており、スライダーのテーブル部の動きを１０ｎｍの分解能で検出できる。
制御系は、上記の回転機構系とスライド機構系を複合的に動作させ、回転数とトラックピッチを指定してＣＡＶ（Constant Angler Velocity）、線速度とトラックピッチを指定してＣＬＶ（Constant Linear Velocity）の動作が可能である。また、スピンドルの回転方向も時計回りおよび反時計回りが可能で、スライドの送り方向についてもガラス基板の内周から外周および外周から内周方向への指定トラックピッチでの送りが可能である。
【００１６】
さらに、制御系には、記録光のシャッタの開閉や、後述の記録光強度調整装置での出射強度を設定する電圧設定機能も有しており、記録動作のパラメーターを入力することにより、記録動作を自動的に行う機能を持っている。
【００１７】
次に、光学系を図７の構成図を用いて説明する。基本構成は、記録用光源、光強度調整器、光変調器、ビーム拡大器、記録光強度モニタ、焦点制御系を含む移動照射ヘッド、ガラス基板からの反射光モニタおよびそれらをつなぐミラー類からなる。
【００１８】
記録用光源にはアルゴンイオンレーザー７０１（コヒーレント社製、Ｉｎｎｏｖａ３０７）を用い、４５７．９ｎｍの波長で発振させている。レーザーミラーの調整または交換により、３５１ｎｍまたは３６４ｎｍの波長での発振も可能である。
【００１９】
光強度調整器には、電気光学効果を利用した素子であるノイズイータ７０２（コンオプティクス社製、ＬＡＳＳ−II）を用い、気体レーザに代表的な出力の変動を取り除くとともに、透過光の強度を所望の強度に調整する。ノイズイータは、電気光学効果を持つ結晶を配したヘッド、波面の方向に応じて光を分離する偏光ビームスプリッタ、透過光の一部を反射するピックオフ、反射された光の強度を測るシリコン系のフォトダイオードを用いたディテクタ、ならびにそれらを制御する制御ボックスと電源からなる。そして、制御ボックスに入力される電圧と、ディテクタの出力電圧を比較し、素子に加える電圧で波面の回転量を調整することにより偏光ビームスプリッタの透過光強度を変え、両者の電圧を等しくするよう調整することにより、レーザの出力変動を取り除くとともに、出射強度を調整する。
【００２０】
光変調器にも、電気光学効果を利用した変調器７０３（コンオプティクス社製、帯域５０ＭＨｚ）を用いる。これは、電気光学効果を持つ結晶を配したヘッド、波面の方向に応じて光を分離する偏光ビームスプリッタ、透過光の一部を反射するピックオフおよびその強度を測るディテクタ、偏光ビームスプリッタの反射光の一部を反射するピックオフ及びその強度を測るディテクタ、ヘッドに電圧を加える電源ドライバ、およびそのバイアス点を最適に自動調整するＡＢＣ（Auto Bias Control）装置からなる。変調器は、ＨＩＧＨまたはＬＯＷの２値的な記録すべき信号に応じて、ヘッドに電圧を加えることにより、透過光のＯＮ・ＯＦＦを行う。ＡＢＣ装置としては、素子の透過強度の平均値が一定になるようにバイアス点を調整するＣ−ＡＢＣ、変調する信号と同期して入力がＬＯＷになる時を知らせるブランキングパルスを受け取り、そのパルスの時に透過光または反射光のディテクタ出力が最小になるようにバイアス点を調整するＢ−ＡＢＣに加え、変調信号がＬＯＷになったのを判断して、自動的にその時のディテクタ出力を最小になるようバイアス点を調整する機能も合わせ持っている。
【００２１】
ビーム拡大器７０５は、２枚の平凸レンズの組とピンホールで構成したケプラー型のビーム拡大器を用いており、使用する対物レンズに対して、拡大器を用いたときの透過率が、拡大器のない時の透過率の概８０％程度になるように倍率を調整している。また、入射側のレンズの焦点に配したピンホールにより、ビームの波面を整形する。
【００２２】
さらに、ヘッド入射光軸の調整用として、拡大器の後に３枚のミラー７０６を配している。これにより、ビームの平行移動２軸、あおり２軸のステアリングができ、後述するスライダの動きとの平行度調整と、対物レンズへの入射位置を微調整できる。なお、これらのミラーでの反射における波面の乱れは、集光したときのスポットの大きさに影響を与えるため、直径３０ｍｍ以上、厚み５ｍｍ以上の基板を用いてミラーを作製するのが望ましい。
【００２３】
また、記録時の記録強度をモニタする目的で、入射調整ミラー７０６の後に配した偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）７０７と、光変調器の直後に配した２分の１波長板７０４の回転角度を調整することにより、光の一部を取り出し、レンズで集光してフォトディテクタ７１５で受けて変調された光の平均強度を検出する構成を有している。
【００２４】
移動照射ヘッドは、前述のスライダーのテーブル部付帯して構成されており、Ｈｅ−Ｎｅレーザ７１３からの光を用いた焦点制御光学系７１２と、Ｈｅ−Ｎｅレーザと記録光を合成するため、記録光４５７．９ｎｍを透過し、６３２．８ｎｍを反射するキューブ型のダイクロイックミラー７０９と、両波長を反射するミラー７１０とフォーカスアクチュエータに取り付けられた対物レンズ７１１からなる。
【００２５】
焦点制御光学系７１２は、光源であるＨｅ−Ｎｅレーザ７１３をスライダー外に配置し、ステージ部の動きと平行に光軸を調整してステージ部に導き、焦点制御法として、斜め入射法および非点収差法の両方に対応可能である。
また、ガラス基板７１６での記録光の集光状態を確認するために、偏光ビームスプリッタ７０７の後に反射率約１０％のビームスプリッタ７０８を配し、記録光のガラス基板７１６での反射光の内約１０％を反射し、分離した光をレンズを用いてＣＣＤカメラ７１４の受光面とガラス基板７１６の表面が共焦点となるように配置して結像させ、そのスポット形状から集光状態を確認する。
【００２６】
この装置を用いて作製された２つの原盤から２つの信号層を有する多層光ディスクを作製する工程を図５を用いて説明する。
まず前述の記録装置によりそれぞれの層用の２つの原盤１と２を作製する。このとき、原盤２は原盤１とピット列のスパイラル方向を逆に形成する。
次にそれぞれの原盤のピットを転写した金型（スタンパ）１’と２’を作製する。そして、それらを用いて射出成形によってそれぞれ厚み０．６ｍｍで片面にピットを転写した複製品１”と２”を作製する。
一方の複製品１”には、ピットを有する面にＡｕの半透明膜をスパッタリングにより形成し、もう一方の複製品２”には、ピットを有する面にＡｌの反射膜をスパッタリングにより形成する。
【００２７】
そして、両者をピットを有する面どうしが向かい合うようにアクリル系の紫外線照射により硬化する透明な接着剤により、接着層の厚みが５０±１０μｍとなるよう貼り合わせて、１”側から１”の信号層である第１層と２”信号層である第２層の２層の情報が再生できる光ディスクを作製する。
【００２８】
上記の工程により作製された２層光ディスクの構造は図６のように、透明基材６１、その信号層である第１層６２、半透明膜６３、透明な接着層６４、反射膜６５、裏の透明基材６７の信号層である第２層６６、そして裏の透明基材６７を積層した構造となる。各信号層の読み出しは、透明基材６１側から行う。このディスクの構造では、透明基材６１側から見た場合、第１層６２と第２層６６は凹凸が逆転している。
これらの記録装置および光ディスクの作製工程を用いて行った、本発明での多層光ディスクの作製方法と多層光ディスクの実施例を説明する。
【００２９】
（実施例１）
実施例１として、図１に示すように第１層用の原盤よりも第２層用の原盤の記録時の光の強度を小さくして（第１層を１とすると、第２層は０.９４）、記録時の光の強度を変えることにより、ピットの幅および長さを変えた原盤を用いて、信号記録層を２つ有する多層光ディスクＡを作製した。記録強度の変更は、光強度調整器への入力電圧を変えることにより行った。
記録した信号は、基準の時間Ｔｗ＝１５０ｎｓの２倍（２Ｔ）から９倍（９Ｔ）の長さで構成されたランダムディジタル信号であり、線速度１．５ｍ／ｓ、トラックピッチ０．７９μｍでスパイラル状に記録することにより、最短ピット長０．４５μｍでピット列がトラックピッチ０．７９μｍでスパイラル状に形成される。
【００３０】
この光ディスクＡと、同じ工程を用いて、第２層用原盤と第１層用原盤を同じ光強度で形成した多層光ディスクＢを作製し、波長６８０ｎｍ、開口数０．６の再生光学系を用いて信号再生したときの再生波形を図２に示す（通常アイパターンといわれる）。
（ａ１）、（ｂ１）はディスクＡ、（ａ２）、（ｂ２）はディスクＢの再生波形であり、（ａ１）、（ａ２）は第１層、（ｂ１）、（ｂ２）は第２層を示す。
ディスクＢでは、再生波形の中の最短ピット長に対応した波形の位置が、第１層の（ａ２）に比べ、第２層の（ｂ２）の方が高くなっている。しかし、ディスクＡでは、両層の再生波形がほぼ等しい。
【００３１】
本実施例で作製の２層光ディスクは、図６に示すように、１層目と２層目でピットの凹凸が反転しており、さらに２層目は凹凸にＡｌ反射膜を形成し、Ａｌ反射膜側から再生される。このため、２層目は形成されたＡｌ膜の生成形状等の状態によってピットの形状が変化するため、実質的なピットの大きさが異なることになる。
【００３２】
図２の（ａ２）、（ｂ２）の波形は、本実施例で用いた作製条件では第２層のピットが、第１層に比べ実質的に大きなピットとなることを意味する。
そのため、ディスクＡでは、第２層の原盤記録時の光の強度を小さくし、第１層よりも小さいピットを形成させたことで、図２の（ａ１）、（ｂ１）に示すように両層の再生波形をほぼ等しくすることができた。
【００３３】
以上の作用効果を原信号との対比で検討すると一層明確になる。
即ち、図９に示す２Ｔ凸−３Ｔ凹−４Ｔ凸−２Ｔ凹−３Ｔ凸−４Ｔ凹−６Ｔ凹の原信号に対応して露光パルス列１と露光パルス列２とを上記比率（１：０.９４）に設定し、第１信号層と第２信号層を露光パルス列１で形成すると、再生信号（１）および（２）のように不一致となる。また、露光パルス列２で第１信号層と第２信号層を形成しても再生信号（１）’および（２）’のように不一致となる。しかしながら、再生信号（１）、（２）、（１）’および（２）’を比較すると（１）と（２）’が実質的に一致した信号となることがわかる。
【００３４】
さらに、これら再生波形を基にジッタを測定した結果を（表１）に示す。ジッタとは、再生された信号長と正規信号長の差であり、その標準偏差σをＴｗで割った値（σ／Ｔｗ）で示している。
【表１】
0003643179.tif 000002
【００３５】
（表１）より、本発明の記録方法を用いると、再生時のジッタが向上しており、再生信号の品質が向上したことがわかる。
また、ディスクＡは、ディスクＢに比べ、各層から情報を良好に読み出せる特徴を持った優れた光ディスクであるといえる。
なお、本実施例では、第２層用の原盤記録時の強度を小さくしたが、光ディスクの作製条件により、第２層の再生波形の最短ピットに対応した波形の位置が、第１層に比べ低くなる場合には、第２層の原盤記録時の光の強度を高くすることで同様の効果を得ることができる。
【００３６】
（実施例２）
実施例２として、露光するパルス列の発生回路に、各パルスの始端および終端を５ｎｓ刻みで等しく長さを調整する回路を付加し、図３に示すように第１層用の原盤記録時よりも、第２層用の原盤記録時の露光する光パルス列の各パルスの始端を遅らせかつ終端を早めて、実際に照射されるパルスの長さ短くする事により（記録時の各パルス削り量を第１信号層：５０ｎｓ（ディスク上の長さにすると７５ｎｍに相当）であるときは、第２信号層は８０ｎｓ（ディスク上の長さにすると１２０ｎｍ）とする。）、各層で露光するパルス列の長さを変えた２つの原盤を用いて、各層で大きさの異なったピットを有する２層の信号層を持った多層光ディスクＣを作製した。
【００３７】
ディスクの作製工程は、前述の図５の通りである。
この光ディスクＣと実施例１で用いた光ディスクＢを、実施例１と同じ再生光学系で再生したときの波形を図４に示す。光ディスクＣに記録された信号も光ディスクＢと同様である。（ａ１）、（ｂ１）はディスクＣ、（ａ２）、（ｂ２）はディスクＢの再生波形であり、（ａ１）、（ａ２）は第１層、（ｂ１）、（ｂ２）は第２層を示す。
光ディスクＣは、各層の再生波形がほぼ等しくなっていることが分かり、露光パルスの長さを短くすることで、実施例１と同様に第２層の実質的なピットの大きさを小さくでき、両層の再生波形をほぼ等しくできた。
【００３８】
以上の作用効果を原信号との対比で検討すると一層明確になる。
即ち、図１０に示す２Ｔ凸−３Ｔ凹−４Ｔ凸−２Ｔ凹−３Ｔ凸−４Ｔ凹−６Ｔ凹の原信号に対応して露光パルス列１と露光パルス列２とをパルス削り量比率（５０ｎｓ：８０ｎｓ）に設定し、第１信号層と第２信号層を露光パルス列１で形成すると、再生信号（１）および（２）のように不一致となる。また、露光パルス列２で第１信号層と第２信号層を形成しても再生信号（１）’および（２）’のように不一致となる。しかしながら、再生信号（１）、（２）、（１）’および（２）’を比較すると、（１）と（２）’が実質的に一致した信号となることがわかる。
【００３９】
さらに、これら再生波形を基にジッタを測定した結果を（表２）に示す。
【表２】
0003643179.tif 000003
【００４０】
（表２）より、本発明の方法を用いると、再生時のジッタが向上しており、再生信号の品質が向上したことがわかる。
また、ディスクＣは、ディスクＢに比べ、各層から情報を良好に読み出せる特徴を持った優れた光ディスクであるといえる。
【００４１】
なお、本実施例では、第２層用の原盤記録時の各露光パルスの始端と終端の位置を変えることにより各原盤のピットの大きさを変えたが、各露光パルス全てを同じ長さだけ変える場合は、始端または終端のみを変えるだけでも良い。
【００４２】
また、本実施例では、第２層用の原盤の露光パルス列を、第１層用に比べて短くしたが、光ディスクの作製条件により、第２層の再生波形の最短ピットに対応した波形の位置が、第１層に比べ低くなる場合には、第２層の原盤記録時の露光パルス列の方を長くすることで同様の効果を得ることができる。
【００４３】
さらに、本実施例での２層光ディスクの作製工程および構造によらない２層光ディスク、あるいはさらに多くの信号記録層を有する多層光ディスクについても、各層がある厚みで隔てられ、各層を再生するときの実質的な基材厚が変わる構造の多層光ディスクであれば、本発明の多層光ディスク作製方法は有効であり、またその結果作製された多層光ディスクは、各層の情報を良好に再生できる優れた多層光ディスクである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例１における原盤記録時の光パルス列の補正方法を説明する図である。
【図２】  本発明の実施例１における多層光ディスクの再生波形の図である。
【図３】  本発明の実施例２における原盤記録時の光パルス列の補正方法を説明する図である。
【図４】  本発明の実施例２における多層光ディスクの再生波形の図である。
【図５】  本発明の実施例における多層光ディスクの製造方法の工程図である。
【図６】  本発明の実施例における２層光ディスクの構造図である。
【図７】  本発明の実施例で用いた記録装置の光学系構成図である。
【図８】  従来の光ディスクの構造図である。
【図９】  本発明の実施例１における原信号、露光パルス列１および２、第１および第２再生波形の対比を示すグラフである。
【図１０】  本発明の実施例２における原信号、露光パルス列１および２、第１および第２再生波形の対比を示すグラフである。
【符号の説明】
６１、６７  透明基材
６２  第１信号記録層
６３  半透明膜
６４  透明接着層
６５  反射膜
６６  第２信号記録層
７０１  アルゴンイオンレーザー
７０２  光強度調整器
７０３  光変調器
７０４  ２分の１波長板
７０５  ビーム拡大器
７０６  入射光軸調整ミラー
７０７  偏光ビームスプリッター
７０８  ビームスプリッター
７０９  ダイクロイックミラー
７１０  ２波長反射ミラー
７１１  対物レンズ
７１２  焦点制御光学系
７１３  Ｈｅ−Ｎｅレーザー
７１４  ＣＣＤカメラ
７１５  フォトディテクター
７１６  ガラス基板
８１  透明基材
８２  信号記録層
８３  反射膜
８４  保護膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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