(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤上で移動部の移動を案内する案内手段と、前記案内手段で案内される移動部を所定距離移動させる粗送り移送手段と、前記移動部上に設けられて被検査物を検査可能な位置まで微小距離移動させる微動部とが設けられた被検査物の位置決め装置において、
前記移動部には定盤を吸着する吸着手段が搭載されており、前記粗送り移送手段により前記移動部が所定距離移動させられた位置で前記吸着手段により定盤上で前記移動部が固定され、その後に前記微動部により被検査物が検査可能な位置に位置決めされることを特徴とする被検査物の位置決め装置。
【請求項２】
前記被検査物は、記録機能部及び再生機能部を有する磁気ヘッド装置であり、前記微動部により被検査物が微小距離送られて位置決めされたときに、前記記録機能部及び／または再生機能部が、検査用ディスクの所定位置に対向するように位置決めされる請求項１記載の被検査物の位置決め装置。
【請求項３】
前記吸着手段は、前記移動部上で弾性部材を介して定盤方向へ昇降自在に支持された吸着プレートと、前記吸着プレートを定盤から持ち上げる持ち上げ手段と、前記吸着プレートに対して前記定盤に吸着するための負圧を設定する負圧設定手段と、を有している請求項１または２記載の被検査物の位置決め装置。
【請求項４】
前記弾性部材は、前記移動部と前記吸着部材との間に設けられた板ばね部材であり、前記吸着プレートが定盤に吸着された状態で、前記板ばね部材が前記定盤とほぼ平行になり、前記板ばねの板面方向の剛性により、吸着プレートと移動部とが前記案内手段による案内方向へ移動しないように位置決めされる請求項１ないし３のいずれかに記載の被検査物の位置決め装置。
【請求項５】
被検査物である記録機能部及び再生機能部を有する磁気ヘッド装置を搭載して、前記磁気ヘッド装置を、前記記録機能部及び再生機能部が検査用ディスク上に位置決めされる位置へ移送する移動部と、
前記移動部上に設けられて、前記磁気ヘッド装置を検査用ディスクに対向させ且つ検査用ディスクから退避させる可動アームと、
前記磁気ヘッド装置が検査用ディスクに対向している状態で、前記可動アームを吸着固定する吸着手段と、
が設けられていることを特徴とする被検査物の位置決め装置。
【請求項６】
前記移動部を定盤上で案内する案内手段と、前記案内手段で案内される移動部を所定距離移動させる粗送り移送手段と、前記移動部上で微小距離移動する微動部とが設けられ、
前記可動アームが、前記微動部上に回動自在に支持され、且つ前記吸着手段により、前記可動アームが前記微動部に吸着固定される請求項５記載の被検査物の位置決め装置。
【請求項７】
前記移動部と微動部との間には圧電素子を使用したアクチュエータが設けられ、このアクチュエータにより移動部上で微動部が微小距離移動させられる請求項１ないし６のいずれかに記載の被検査物の位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製品の検査工程において被検査物を位置決めする被検査物の位置決め装置に係り、特に、位置決め装置を確実に固定することによって検査の精度を向上させることのできる被検査物の位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６は、磁気ヘッド装置を示す斜視図である。この磁気ヘッド装置Ｈは、ロードビーム（支持部材）１の先部にフレキシャ２が設けられ、このフレキシャ２を介して磁気ヘッド３が支持されている。ロードビーム１とフレキシャ２は板ばねなどで形成された弾性支持部材である。ロードビーム１の基端部にはマウント板４が接合されている。
【０００３】
磁気ヘッド３のトレーリング側端部Ｔには、記録機能部及び再生機能部５が設けられている。
【０００４】
磁気ヘッド３は、記録媒体である検査用ディスクが回転する時に前記ディスク上の空気流を受けてリーディング側端部Ｌが前記ディスク面から持ち上がる傾斜姿勢となって浮上する。また、前記ディスクの停止時には、磁気ヘッド３は前記ディスクに着地する。
【０００５】
磁気ヘッド装置Ｈの記録機能部及び再生機能部５は、例えば、再生機能部として磁気抵抗効果を利用したＭＲ型薄膜再生素子、及び記録機能部としてインダクティブ型の薄膜記録素子が設けられたものである。
磁気ヘッド装置Ｈは、組み立て終了後、記録及び再生特性に関して検査される。
【０００６】
図７は、従来の被検査物の位置決め装置として、磁気ヘッド装置Ｈの位置決め装置を示す平面図である。
【０００７】
円盤状の検査用ディスクＤが、駆動装置１１によって回転させられる。磁気ヘッド装置Ｈは、検査用ディスクＤ上で、磁気ヘッド３に自己記録再生を行わせることによって、記録再生特性が検査される。
【０００８】
磁気ヘッド装置Ｈは、ロードビーム１の基端部１ａが、ヘッド保持部材３８を介して、微動部３７上に設けられた可動アーム３９によってよって保持されている。微動部３７は、移動部３２上に設置されている。
【０００９】
移動部３２は、モータ３４とカップリング３５を介して結合された送りねじ３６の回転によって、定盤３１上を送りレール３３によって案内されながら左右方向に移動し、磁気ヘッド装置Ｈの磁気ヘッド３を検査用ディスクＤ上の所定位置に位置決めする。
【００１０】
移動部３２によって、磁気ヘッド装置Ｈの磁気ヘッド３が検査用ディスクＤ上の所定位置に位置決めされた状態で、磁気ヘッド装置Ｈに自己記録再生を行わせる。
【００１１】
図７では、磁気ヘッド３の記録機能部は、検査用ディスクＤ上に半径Ｒの記録トラックＤｔを形成する。磁気ヘッド３が固定された状態では、記録機能部が検査用ディスクＤ上を走査する走査領域と、磁気ヘッド３の再生機能部が検査用ディスク上を走査する走査領域にわずかなずれが生じるので、記録トラックＤｔに記録された信号を、磁気ヘッド３の再生機能部によって自己再生させるときに、微動部３７を移動部３２上でわずかに移動させて、磁気ヘッド３の再生機能部が記録トラックＤｔ上を確実に走査するように調整する。
【００１２】
微動部３７は、両側面に設けられた圧電素子を使用したアクチュエータ３７ｃによって微小移動させられる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
図８は、図７の移動部３２周辺を、図７の矢印Ａ方向から見た背面図である。
送りガイド３２ａが送りレール３３に沿って、移動部３２が左右方向に移動する。移動部３２は、磁気ヘッド装置Ｈの磁気ヘッド３を検査用ディスクＤ上の所定位置に位置決めした状態のときに、送りレール３３上で固定されることができない。移動部３２の固定は、送りねじ３６及びカップリング３５を介して結合しているモータ３４の固定保持力に依存する。しかし、カップリング３５や送りねじ３６のねじれ変形をなくすことはできず、移動部３２を完全に固定させることは難しかった。移動部３２が完全に固定されないと、微動部３７を移動部３２上でわずかに移動させて、磁気ヘッド３の再生機能部が記録トラックＤｔ上を確実に走査するように調整するときに、微動部３７がブレてしまい正確な調整を行うことができなくなってしまう。特に、微動部３７は、０．１μｍの単位で微小移動させることが必要になってきており、移動部３２を定盤上に完全に固定できるようにすることが大きな課題となっている。
【００１４】
また、移動部３２を空気圧で浮上させて左右方向に移動させ、磁気ヘッドＨの位置決め後に定盤上に真空吸着させる方式も提案されているが、この方式では、移動部３２の移動をガイドする送りレールの加工精度を非常に高くすることが要求されるので、必然的に高価なものとなり実用的ではなかった。
【００１５】
図９及び図１０は、移動部３２上に設置された微動部３７の側面図である。
磁気ヘッド装置Ｈは支持部材１の基端部１ａにおいて、ヘッド保持部材３８を介して可動アーム３９によって保持される。可動アーム３９は、磁気ヘッド装置Ｈを、検査用ディスクＤ上に対向させかつ検査用ディスクＤから退避させる。可動アーム３９は、微動部３７の可動支持部３７ａによって回動自在に支持されている。また、磁気ヘッド装置Ｈが検査用ディスクＤ上に対向させられている時に、可動アーム３９と当接し、可動アーム３９を固定支持する制動部３７ｂが可動支持部３７ａ上に設けられている。
【００１６】
さらに、可動支持部３７ａが設置される基体部３７ｄの両側面に、微動部３７を微小移動させるためのアクチュエータ３７ｃが設けられている。
【００１７】
図９は、磁気ヘッド装置Ｈが、検査用ディスクＤ上から退避させられている状態を示している。
【００１８】
磁気ヘッド装置Ｈの記録再生特性を評価するときには、可動アーム３９を、回転軸３７eを中心として回動させて、図１０のように、磁気ヘッドＨを検査用ディスクＤ上に対向させる。この時、可動アーム３９は、下面部が制動部３７ｂに突き当てられ、さらに、固定ばね３７ｆによって固定される。
【００１９】
しかし、可動アーム３９の固定を固定ばね３７ｆのみに依存する方式では、可動アーム３９の固定を確実に行うことができず、微動部３７を微小移動させて、磁気ヘッド３の再生機能部が記録トラックＤｔ上を確実に走査するように調整するときに、正確な調整を行うことを困難にしていた。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、定盤上で移動部の移動を案内する案内手段と、前記案内手段で案内される移動部を所定距離移動させる粗送り移送手段と、前記移動部上に設けられて被検査物を検査可能な位置まで微小距離移動させる微動部とが設けられた被検査物の位置決め装置において、
前記移動部には定盤を吸着する吸着手段が搭載されており、前記粗送り移送手段により前記移動部が所定距離移動させられた位置で前記吸着手段により定盤上で前記移動部が固定され、その後に前記微動部により被検査物が検査可能な位置に位置決めされることを特徴とするものである。
【００２１】
本発明では、前記移動部が所定位置に移動させられた状態のときに、前記吸着手段を前記定盤に吸着させて、前記移動部を確実に固定させることができる。従って、前記微動部を前記定盤上に固定された前記移動部上でわずかに移動させて、被検査物の位置を調整するときに、前記微動部がブレることを防ぐことができる。特に、前記微動部を、０．１μｍの単位で微小移動させることが必要になる場合でも正確な調整を行うことができる。
【００２２】
また本発明では、前記吸着手段を前記定盤に吸着させて、前記移動部を確実に固定させることができるので、前記移動部の移動方式に、モータに結合された送りねじの回転によって、前記送りレールに沿って移動させるという、安価に実現できる方式を採用した場合でも、前記移動部を確実に固定できる。
【００２３】
本発明は、例えば、前記被検査物が、記録機能部及び再生機能部を有する磁気ヘッド装置であり、前記微動部により被検査物が微小距離送られて位置決めされたときに、前記記録機能部及び／または再生機能部が、検査用ディスクの所定位置に対向するように位置決めされる被検査物の位置決め装置である。
【００２４】
また、前記吸着手段は、前記移動部上で弾性部材を介して定盤方向へ昇降自在に支持された吸着プレートと、前記吸着プレートを定盤から持ち上げる持ち上げ手段と、前記吸着プレートに対して前記定盤に吸着するための負圧を設定する負圧設定手段とを有しているものとして構成されることができる。
【００２５】
前記移動部が、前記定盤上を移動しているときには、前記吸着プレートを持ち上げて前記定盤から離れさせておき、前記移動部が所定位置に移動させられたときに、前記吸着プレートを前記定盤上に当接させた状態で吸着させると、前記移動部を移動させるときに、前記吸着プレートが移動の邪魔をしないようにできるので好ましい。
【００２６】
また、前記吸着プレートの前記定盤との対向面には、例えば、凹部が設けられ、前記吸着プレートが前記定盤上に当接させられたときに、この凹部と前記定盤の上面によって囲まれた空間に負圧が設定されることにより、前記吸着プレートを前記定盤に吸着させることができる。
【００２７】
また、前記吸着プレートが、前記移動部に弾性部材を介して定盤方向に昇降自在に支持されていると前記吸着プレートが持ち上げられて前記定盤上から離れた状態から、前記吸着プレートを下方向に動かして前記定盤上に当接させることが容易になる。
【００２８】
なお、前記弾性部材は、前記移動部と前記吸着部材との間に設けられた板ばね部材であり、前記吸着プレートが前記定盤に吸着された状態で、前記板ばね部材が前記定盤とほぼ平行になり、前記板ばねの板面方向の剛性により、吸着プレートと移動部とが前記案内手段による案内方向へ移動しないように位置決めされることが好ましい。
【００２９】
また、本発明の被検査物の位置決め装置は、被検査物である記録機能部及び再生機能部を有する磁気ヘッド装置を搭載して、前記磁気ヘッド装置を、前記記録機能部及び再生機能部が検査用ディスク上に位置決めされる位置へ移送する移動部と、
前記移動部上に設けられて、前記磁気ヘッド装置を検査用ディスクに対向させ且つ検査用ディスクから退避させる可動アームと、
前記磁気ヘッド装置が検査用ディスクに対向している状態で、前記可動アームを吸着固定する吸着手段と、
が設けられていることを特徴とするものである。
【００３０】
本発明では、前記磁気ヘッド装置が前記検査用ディスクに対向させられているときに、前記可動アームを吸着固定することにより、前記可動アームを確実に固定できる。
【００３１】
従って、前記磁気ヘッド装置の走査領域の位置を調整するときに、正確な調整を行うことができる。
【００３２】
また、本発明は、例えば、前記移動部を定盤上で案内する案内手段と、前記案内手段で案内される移動部を所定距離移動させる粗送り移送手段と、前記移動部上で微小距離移動する微動部とが設けられたものであり、
前記可動アームが、前記微動部上に回動自在に支持され、且つ前記吸着手段により、前記可動アームが前記微動部に吸着固定されるものである。
【００３３】
なお、前記移動部と微動部との間には圧電素子を使用したアクチュエータが設けられ、このアクチュエータにより移動部上で微動部が微小距離移動させられることができる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施の形態として磁気ヘッド装置を被検査物とする、被検査物の位置決め装置を示す背面図である。
【００３５】
移動部４２は、送りガイド４２ａが案内手段である送りレール４３に沿って、定盤４１上を左右方向に移動する。また、移動部４２を移動させる粗送り移送手段は、モータ４４とカップリング４５を介して結合された送りねじ４６によって構成されている。
【００３６】
図６に示された磁気ヘッド装置Ｈのロードビーム１の基端部１ａが、ヘッド保持部材５４及び可動アーム５５を介して、移動部４２上に設置されている微動部５３によって保持されている。
【００３７】
移動部４２は、図７に示した従来の検査装置と同様に、磁気ヘッド装置Ｈの磁気ヘッド３を円盤状の検査用ディスクの所定位置に位置決めする。
【００３８】
移動部４２によって、磁気ヘッド装置Ｈの磁気ヘッド３が前記検査用ディスクの所定位置に位置決めされた状態で磁気ヘッド装置Ｈに自己記録再生を行わせる。
【００３９】
磁気ヘッド３が固定された状態では、記録機能部が前記検査用ディスク上を走査する走査領域と、磁気ヘッド３の再生機能部が前記検査用ディスク上を走査する走査領域にわずかなずれが生じるので、記録された信号を、磁気ヘッド３の再生機能部によって自己再生させるときに、微動部５３を移動部４２上でわずかに移動させて、磁気ヘッド３の再生機能部が記録トラック上を確実に走査するように調整する。
【００４０】
微動部５３は、両側面に設けられた圧電素子を使用したアクチュエータ５３ｃによって微小移動させられる。
【００４１】
本実施の形態では、移動部４２の下面部４２ｅと定盤４１との間に、定盤４１に吸着することができる吸着プレート４９が設けられている。移動部４２の上面部４２ｄに設けられた、吸着プレート４９の持ち上げ手段である空圧アクチュエータ４７のシャフト４８が貫通孔４２ｃを通って延び、吸着プレート４９の上面部と連結している。空圧アクチュエータ４７は、空気圧を利用してシャフト４８を上方向に動かし、吸着プレート４９を持ち上げる。
【００４２】
磁気ヘッド装置Ｈを、前記検査用ディスクの所定位置に対向させるために、移動部４２が送りレール４３に案内されて移動しているときには、空圧アクチュエータ４７が、吸着プレート４９を上方向に持ち上げて定盤４１から離れさせる。磁気ヘッド装置Ｈが前記検査用ディスクの所定位置に対向させられた時に、吸着プレート４９を下方向に動かして、図１のように、定盤４１に当接させた状態で負圧設定手段である真空ポンプ５６によって真空吸着させる。
【００４３】
本実施の形態では、吸着プレート４９、空圧アクチュエータ４７、真空ポンプ５６などが吸着手段を構成している。
【００４４】
なお、図１では、移動部４２、シャフト４８、及び吸着プレート４９は、断面図で表されている。
【００４５】
吸着プレート４９の定盤４１との対向面には、凹部４９ｂが設けられている。吸着プレート４９の枠部４９ａが定盤４１上に当接した状態で、吸着プレート４９の凹部４９ｂの底面に開けられた貫通孔４９ｃ、移動部４２に開けられた貫通孔４２ｂ、及び貫通孔４９ｃと貫通孔４２ｂを連結するパイプ５０を通って、真空ポンプ５６によって空気が吸引され、凹部４９ｂと定盤４１の上面によって囲まれた空間が真空状態になる。
【００４６】
また、吸着プレート４９と移動部４２の下面部４２ｅが、弾性部材である板ばね部材５１，５１によって連結されており、板ばね部材５１，５１は、吸着プレート４９の上下動に伴って変形可能である。
【００４７】
磁気ヘッド装置Ｈを、前記検査用ディスクの所定位置に対向させるために、移動部４２が送りレール４３に沿って移動しているときには、図２のように、空圧アクチュエータ４７が、吸着プレート４９を上方向に持ち上げて定盤４１から離れさせる。このとき、板ばね部材５１，５１は上方向にたわんでいる。磁気ヘッド装置Ｈが前記検査用ディスクの所定位置に対向させられた時に、空圧アクチュエータ４７による吸引を解除すると、板ばね部材５１，５１の弾性力によって、吸着プレート４９が下方向に動かされ、定盤４１に当接される。本実施の形態では、移動部４２の下面部４２ｅと吸着プレート４９とを連結する圧縮ばね５２，５２が設けられている。圧縮ばね５２，５２は、吸着プレート４９を下方向に動かすときの補助、及び吸着プレート４９を定盤４１に押し付けることにより、真空吸着による固定の補助をしている。
【００４８】
なお、板ばね部材５１，５１は、吸着プレート４９が定盤４１上に当接し吸着された状態の時に、図１のように、板ばね部材５１，５１の板面方向が、定盤４１とほぼ平行になっている。従って図１の状態のとき、板ばね部材５１，５１の板面方向の剛性により、吸着プレート４９と移動部４２とが送りレール４３による案内方向（Ｘ方向）へ移動しないように位置決めされる。
【００４９】
従って、本実施の形態では、移動部４２が、定盤４１上に真空吸着している吸着プレート４９を介して、定盤４１に対して確実に固定されている。
【００５０】
従って、微動部５３を定盤４１上に固定された移動部４２上でわずかに移動させて、磁気ヘッド３の走査領域の位置を調整するときに、微動部５３がブレることを防ぐことができる。特に、微動部５３を、０．１μｍの単位で微小移動させることが必要になる場合でも正確な調整を行うことができる。
【００５１】
また、移動部４２の移動方式（粗送り移送手段）に、モータ４４に結合された送りねじ４６の回転によって移動させるという安価に実現できる方式を採用した場合でも、移動部４２の固定を確実にできる。
【００５２】
図３は、本発明の他の実施の形態の検査装置の吸着プレート周辺の部分断面図である。
図３では、吸着プレート６１には、底面６１ａに複数の開口孔６１ｂが設けられ、この開口孔６１ｂは吸着プレート６１の内部を通って、上面６１ｄの開口孔６１ｃにおいて出口が一つにまとめられている。開口孔６１ｃはパイプ５０を介して、移動部４２を貫通する貫通孔４２ｂと連結されている。
【００５３】
本実施の形態では、吸着プレート６１の底面６１ａが定盤４１上に当接した状態で、吸着プレート６１の開口孔６１ｂ、開口孔６１ｃ、パイプ５０及び移動部４２に開けられた貫通孔４２ｂを通って、真空ポンプ５６によって空気が吸引され、吸着プレート６１が定盤４１に真空吸着させられる。
【００５４】
従って、本実施の形態でも、移動部４２が、定盤４１上に真空吸着している吸着プレート６１を介して、定盤４１に対して確実に固定されている。
【００５５】
図４及び図５は、移動部４２上に設置された微動部５３の側面図である。
磁気ヘッド装置Ｈは支持部材１の基端部１ａにおいてヘッド保持部材５４を介して可動アーム５５に保持される。可動アーム５５は磁気ヘッド装置Ｈを検査用ディスクＤに対向させ且つ検査用ディスクＤから退避させる。可動アーム５５は、微動部５３の可動支持部５３ａで回動自在に支持される。可動アーム５５は、磁気ヘッド装置Ｈが検査用ディスクＤ上に対向させられている時に、制動部５３ｂと面当接し、固定支持される。本実施の形態では可動支持部５３ａと制動部５３ｂは一体に形成されている。なお、図４及び図５では制動部５３ｂの周辺のみ断面図で示している。また、可動支持部５３ａ及び制動部５３ｂが設置される基体部５３ｄの両側面には、微動部５３を移動部４２上で微小距離移動させるための圧電素子を使用したアクチュエータ５３ｃが設けられている。
【００５６】
図４は、磁気ヘッド装置Ｈが、検査用ディスクＤから退避させられている状態を示している。
【００５７】
磁気ヘッド装置Ｈの記録再生特性を評価するときには、可動アーム５５を圧縮ばね５３ｅの復元力によって回転軸５３ｆを中心として回動させて、図５のように、磁気ヘッド装置Ｈを検査用ディスクＤ上に対向させる。この時、可動アーム５５は、下面部５５ａが制動部５３ｂに面当接される。
【００５８】
制動部５３ｂには、可動アーム５５と面当接する面５３ｂ１に、可動アーム５５の下面部５５ａによって、開口部が完全に覆われる凹部５３ｂ２が設けられ、この凹部５３ｂ２の底面から空気を吸引するための貫通孔５３ｂ３が、制動部５３ｂの外側面にまで貫通しており、貫通孔５３ｂ３から真空ポンプ５７によって空気が吸引されることにより、可動アーム５５と制動部５３ｂとが真空吸着させられる。従って、可動アーム５５を微動部５３に確実に固定できる。可動アーム５５と微動部５３とが真空吸着によって固定されると、可動アーム５５が微動部５３と一体構造で形成されたのと同じくらい頑強に固定される。
【００５９】
なお、本実施の形態では、制動部５３ｂ及び真空ポンプ５７が可動アーム５５の吸着手段を提供している。
【００６０】
従って、移動部４２上で、微動部５３を微小移動させて磁気ヘッド装置Ｈの走査領域の位置を調整するときに、可動アーム５５が特にトラッキング方向にブレることを防ぐことができ、正確な調整を行うことができる。
【００６１】
【発明の効果】
以上詳細に説明した本発明によれば、前記移動部が前記案内手段によって案内されて所定位置に移動させられた状態のときに、前記吸着手段を前記定盤に吸着させて、前記移動部を確実に固定させることができる。従って、前記微動部を前記定盤上に固定された前記移動部上でわずかに移動させて、被検査物の位置を調整するときに、前記微動部がブレることを防ぐことができる。特に、前記微動部を、０．１μｍの単位で微小移動させることが必要になる場合でも正確な調整を行うことができる。
【００６２】
また本発明では、前記吸着手段を前記定盤に吸着させて、前記移動部を確実に固定させることができるので、前記移動部の移動方式（粗送り移送手段）に、モータに結合された送りねじの回転によって、前記送りレールに沿って移動させるという、安価に実現できる方式を採用した場合でも、前記移動部を確実に固定できる。
【００６３】
また、本発明では、前記磁気ヘッド装置が前記検査用ディスクに対向させられているときに、前記可動アームを吸着固定することにより、前記可動アームを確実に固定できる。
【００６４】
従って、前記磁気ヘッド装置の走査領域の位置を調整するときに、正確な調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態として磁気ヘッド装置を被検査物とする、被検査物の位置決め装置を示す背面図
【図２】図１の被検査物の位置決め装置の吸着プレート周辺部の部分断面図
【図３】本発明の他の実施の形態の被検査物の位置決め装置の吸着プレート周辺部の部分断面図
【図４】図１の被検査物の位置決め装置の微動部周辺の側面図
【図５】図１の被検査物の位置決め装置の微動部周辺の側面図
【図６】磁気ヘッド装置の斜視図
【図７】従来の被検査物の位置決め装置を示す平面図
【図８】図７の被検査物の位置決め装置の背面図
【図９】図７及び図８の被検査物の位置決め装置の微動部周辺の側面図
【図１０】図７及び図８の被検査物の位置決め装置の微動部周辺の側面図
【符号の説明】
４１  定盤
４２  移動部
４４  モータ
４６  送りねじ
４７  空圧アクチュエータ
４８  シャフト
４９、６１  吸着プレート
５１  板ばね部材
５２  圧縮ばね
５３  微動部
５５  可動アーム
５６、５７  真空ポンプ
Ｈ  磁気ヘッド装置
Ｄ  検査用ディスク
【図１】
0003643733.tif 000002
【図２】
0003643733.tif 000003
【図３】
0003643733.tif 000004
【図４】
0003643733.tif 000005
【図５】
0003643733.tif 000006
【図６】
0003643733.tif 000007
【図７】
0003643733.tif 000008
【図８】
0003643733.tif 000009
【図９】
0003643733.tif 000010
【図１０】
0003643733.tif 000011