(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有し、下面に複数の第１の外部接続端子を有する基板と、
下面に複数のパッドを有し、該複数のパッドのうち周囲部のパッドを該基板と電気的に接続させて該基板上に実装してあり、該下面が上記開口に臨んでいる半導体チップと、
該半導体チップのパッドのうち該開口内に位置しているパッドに直接接続してあり、該開口より突き出ている複数の第２の外部接続端子とを有し、
上記半導体チップの周囲部のパッドと上記第１の外部接続端子とが該基板を介して電気的に接続してある構成としたことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
上記半導体チップは、下面の複数のパッドの配置が、周囲部に信号用パッドを有し、内側部に、電源用パッドとグランド用パッドとを有する配置であり、
上記複数の第２の外部接続端子は、上記電源用パッド及びグランド用パッドと直接接続してある構成としたことを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
上記半導体チップは、下面の複数のパッドの配置が、周囲部に信号用パッドを有し、内側部に、電源用パッドとグランド用パッドとを有し、且つ、該電源用パッドとグランド用パッドは、信号用パッドのピッチより大きいピッチで並んでいる配置であり、
上記複数の第２の外部接続端子は、上記電源用パッド及びグランド用パッドと直接接続してある構成としたことを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項４】
上記複数の第２の外部接続端子を露出させた状態で、上記基板の上記開口内を占めている下面覆いを更に有する構成としたことを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置に係り、特に、ＢＧＡ（ｂａｌｌ  ｇｒｉｄ  ａｒｒａｙ）型の半導体装置に関する。
近年、半導体チップ内の素子の高集積度化に伴い、動作時の半導体チップの発熱量が増えてきている。よって、ＢＧＡ型の半導体装置においては、内部に封止されている半導体チップの熱を外部に効率良く放熱することが重要な特性として求められてきている。
【０００２】
また、高密度実装のために、ＢＧＡ型の半導体装置のサイズを小さくすることも求められている。
【０００３】
【従来の技術】
図８は、従来の１例のＢＧＡ型の半導体装置１０を示す。
半導体装置１０は、図９に併せて示すように、基板１１と、基板１１上に実装してある半導体チップ１２と、半導体チップ１２の周囲を囲んで半導体チップ１２を保護する合成樹脂部１３と、半導体チップ１２の上面に接着してある放熱板１４と、基板１１の下面に並んでいるバンプ１５とよりなる。半導体装置１０は、ａ×ａのサイズを有する。半導体チップ１２は、ｂ×ｂのサイズを有する。
【０００４】
半導体チップ１２は、図４（Ｂ）に示すように、下面に、マトリックス状に並んでいる信号用パッド１６Ｓ、電源用パッド１６Ｐ、及びグランド用パッド１６Ｇを有する。各パッド１６Ｓ，１６Ｐ，１６Ｇのサイズは、共にｃ×ｃであり、ピッチは、共にｐである。
【０００５】
半導体チップ１２は、下面の複数のパッド１６Ｓ，１６Ｐ，１６Ｇを、基板１１上の対応するパッド１７と接続されて基板１１上に実装してある。
半導体装置１０は、図９に示すように、バンプ１５をプリント板２０上のパッド２１に接続されて、プリント板２０上に実装されて使用される。
【０００６】
なお、バンプ１５は、図５（Ｂ）に示すように、信号用バンプ１５Ｓと、電源用バンプ１５Ｐと、グランド用バンプ１５Ｇとが、混在して並んだ構成である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
発生した半導体チップ１２の熱は、放熱板１４に逃がされるとともに、プリント板２０に逃がされ、最終的には大気中に逃がされる。放熱板１４に対しては、半導体チップ１２の熱は、矢印Ａで示すように、直接に伝わる。しかし、プリント板２０に対しては、半導体チップ１２の熱は、矢印Ｂで示すように、基板１１を面方向に伝わった後に、バンプ１５を通って、始めてプリント板２０に到る。基板１１の面方向の部分は熱抵抗が高い。よって、プリント板２０への放熱性が良くなかった。
【０００８】
また、半導体装置１０は、バンプ１５が専らプリント板２０の周囲に並んだ構成であるため、半導体装置１０のサイズを小さくするとが困難であった。
なお、バンプ１５は、図５（Ｂ）に示すように、信号用バンプ１５Ｓと、電源用バンプ１５Ｐと、グランド用バンプ１５Ｇとが、混在して並んだ構成である。そこで、本発明は、上記課題を解決した半導体装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、開口を有し、下面に複数の第１の外部接続端子を有する基板と、
下面に複数のパッドを有し、該複数のパッドのうち周囲部のパッドを該基板と電気的に接続させて該基板上に実装してあり、該下面が上記開口に臨んでいる半導体チップと、
該半導体チップのパッドのうち該開口内に位置しているパッドに直接接続してあり、該開口より突き出ている複数の第２の外部接続端子とを有し、
上記半導体チップの周囲部のパッドと上記第１の外部接続端子とが該基板を介して電気的に接続してある構成としたたものである。
【００１１】
請求項２の発明は、上記半導体チップは、下面の複数のパッドの配置が、周囲部に信号用パッドを有し、内側部に、電源用パッドとグランド用パッドとを有する配置であり、
上記複数の第２の外部接続端子は、上記電源用パッド及びグランド用パッドと直接接続してある構成としたものである。
【００１２】
請求項３の発明は、上記半導体チップは、下面の複数のパッドの配置が、周囲部に信号用パッドを有し、内側部に、電源用パッドとグランド用パッドとを有し、且つ、該電源用パッドとグランド用パッドは、信号用パッドのピッチより大きいピッチで並んでいる配置であり、
上記複数の第２の外部接続端子は、上記電源用パッド及びグランド用パッドと直接接続してある構成としたものである。
【００１３】
請求項４の発明は、上記複数の第２の外部接続端子を露出させた状態で、上記基板の上記開口内を占めている下面覆いを更に有する構成としたものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１、図２及び図３は本発明の一実施例になるＢＧＡ型の半導体装置３０を示す。
半導体装置３０は、大略、矩形状の開口３１ａを有する基板３１と、基板３１上に実装してあり、下面３２ａが開口３１ａに露出している半導体チップ３２と、半導体チップ３２の周囲を囲んで半導体チップ３２を保護するエポキシ系樹脂製の囲い３３と、半導体チップ３２の上面に接着してある放熱板３４と、基板１１の下面に並んでいる信号用バンプ３５Ｓと、半導体チップ３２に直接固定されて並んでいる半田ボール３６と、半導体チップ３２の下面３２ａのうち上記開口３１ａに露出している部分を覆って保護するエポキシ系樹脂製の下面覆い３７と、ダム枠３８とよりなる。
【００１５】
半田ボール３６が半導体チップ３２に直接固定されており、この半田ボール３６がＢＧＡ型半導体装置３０の下面に突き出ている構成が本発明の要部をなす。
半導体装置３０は、ｄ×ｄのサイズを有し、図８の半導体装置１０より小さい。また、半導体装置３０は、厚さｔ１０を有し、図８の半導体装置１０の厚さｔ１より薄い。
【００１６】
信号用バンプ３５Ｓが、特許請求の範囲の欄記載の「第１の外部接続端子」を構成する。半田ボール３６（後述する電源用半田ボール３６Ｐ及びグランド用半田ボール３６Ｇ）が、特許請求の範囲の欄記載の「外部接続端子」及び「第２の外部接続端子」を構成する。
【００１７】
次に、半導体装置３０を構成する各構成部分について説明する。
先ず、半導体チップ３２について説明する。
半導体チップ３２は、図８に示す従来のＢＧＡ型半導体装置１０の半導体チップ１２のサイズと同じサイズであり、ｂ×ｂである。
【００１８】
半導体チップ３２は、半田ボール３６が半導体チップ３２に直接固定される構成を実現する等のため、図１及び図４（Ａ）に示す構成を有する。
ここで、説明の便宜上、半導体チップ３２の下面３２ａを、帯状に周囲に沿う枠状の領域３２ａ−１と、領域３２ａ−１により囲まれた半導体チップ３２の中央寄りの矩形状の領域３２ａ−２とに分ける。枠状領域３２ａ−１には、専ら信号用のパッド４０Ｓが、半導体チップ３２の周囲に沿って並んでいる。矩形状領域３２ａ−２は、ｅ×ｅのサイズであり、この矩形状領域３２ａ−２には、電源用のパッド４０Ｐとグランド用のパッド４０Ｇとがマトリックス状に並んでいる。よって、半導体チップ３２が動作するとき、半導体チップ３２のうちでも上記の矩形状領域３２ａ−２の部分が特に発熱し易い。
【００１９】
信号用パッド４０Ｓのサイズは通常であり、ｃ×ｃであり、ピッチも通常であり、ｐである。電源用パッド４０Ｐとグランド用パッド４０Ｇのサイズは信号用パッド４０Ｓのサイズの約２倍であり、２ｃ×２ｃであり、ピッチは信号用パッド４０Ｓのピッチの約２倍であり、２ｐである。
【００２０】
電源用パッド４０Ｐとグランド用パッド４０Ｇとを矩形状領域３２ａ−２に集めたのは、電源用パッド４０Ｐとグランド用パッド４０Ｇとが基板３１の矩形状の開口３１ａ内に露出して、半田ボール３６が電源用パッド４０Ｐ及びグランド用パッド４０Ｇへの直接固定を可能にするためである。電源用パッド４０Ｐとグランド用パッド４０Ｇのサイズ及びピッチを信号用パッド４０Ｓのそれよりも大きくしたのは、外部接続端子として半田ボール３６を使用可能とするため、及び、半田ボール３６の電源用パッド４０Ｐ及びグランド用パッド４０Ｇへの直接固定が、短絡等を起こさずに支障なくなされるようにするためである。
【００２１】
次に、基板３１について説明する。
基板３１は、ｄ×ｄのサイズを有し、配線層（図示せず）を有し、開口３１ａを有する。開口３１ａは、半田ボール３６を電源用パッド４０Ｐ及びグランド用パッド４０Ｇへの直接固定を可能とするために設けてある。このため、開口３１ａは、基板３１の中央部に位置してあり、形状は矩形であり、サイズは半導体チップ３２のサイズｂ×ｂより一周り小さく、矩形状領域３２ａ−２と同じサイズｅ×ｅを有する。
【００２２】
基板３１は、下面３１ｂのうち周囲に沿って、複数の信号用バンプ３５Ｓを有する。
基板３１は、電源用バンプ及びグランド用バンプを有しない。電源用バンプ及びグランド用バンプを有しない分、基板３１の内部の内層の数が従来に比べて少なく、よって、基板３１の厚さｔ１１は、図８の従来の半導体装置１０の基板１１の厚さｔ２より薄い。基板３１の厚さｔ１１が薄いことにより、半導体装置３０の厚さｔ１０が薄くなり、且つ、半田ボール３６の径Ｄは小さくて足りる。
【００２３】
また、基板３１は、上面３１ｃのうち周囲に沿って、複数のパッド４１を有する。パッド４１は、半導体チップ３２の信号用パッド４０Ｓと対応して並んでいる。
半導体チップ３２は、下面の信号用パッド４０Ｓを、基板３１上の対応するパッド４１と接続されて基板３１上に実装してある。半導体チップ３２は、開口３１ａを塞いでおり、開口３１ａ内に、電源用パッド４０Ｐ及びグランド用パッド４０Ｇが露出している。
【００２４】
なお、基板３１は、フレキシブル基板、セラミック板、プリント板、又は、ＴＡＢテープである。
次に、半田ボール３６について説明する。
半田ボール３６の径Ｄは、基板３１の厚さｔ１１より少し大きい。
【００２５】
半田ボール３６は、電源用パッド４０Ｐ及びグランド用パッド４０Ｇに直接固定してある。電源用パッド４０Ｐに直接固定された半田ボール３６は、電源用半田ボール３６Ｐを構成し、グランド用パッド４０Ｇに直接固定された半田ボール３６は、グランド用半田ボール３６Ｇを構成する。
【００２６】
電源用半田ボール３６Ｐ及びグランド用半田ボール３６Ｇは、開口３１ａより突き出ており、電源用半田ボール３６Ｐ及びグランド用半田ボール３６Ｇの下端は、信号用バンプ３５Ｓの下端と同じ高さＨ０に位置している。即ち、電源用半田ボール３６Ｐの下端、、グランド用半田ボール３６Ｇの下端、及び信号用バンプ３５Ｓの下端は、同一平面内に位置している。
【００２７】
なお、半田ボール３６の電源用パッド４０Ｐ及びグランド用パッド４０Ｇへの固定は、半導体チップ３２を基板３１上に実装した後に行われる。
次に、ダム枠３８について説明する。
ダム枠３８は上記の基板３１と同じ大きさを有し、半導体チップ３２取り囲んで、基板３１上に接着して固定してある。ダム枠３８は、ポッティングされたエポキシ樹脂が外に流れ出すことを防止する役割を有する。基板３１上に接着された状態で、ダム枠３８の上面は、基板３１上に実装してある半導体チップ３２の上面と同じ高さに位置している。
【００２８】
次に、放熱板３４について説明する。
放熱板３４は、銅板であり、上記の基板３１と同じ大きさを有し、半導体チップ３２の上面に接着してある。放熱板３４の周囲の部分は、ダム枠３８の上面に接着してある。
【００２９】
次に、囲い３３について説明する。
囲い３３は、エポキシ系樹脂製であり、半導体チップ３２を囲んでおり、半導体チップ３２の周囲を保護している。
次に、下面覆い３７について説明する。
【００３０】
下面覆い３７は、エポキシ系樹脂製であり、電源用半田ボール３６Ｐの下端及びグランド用半田ボール３６Ｇの下端を露出させて、基板３１の開口３１ａ内を占めている。よって、下面覆い３７は、半導体チップ３２の下面３２ａのうち上記開口３１ａに露出している部分を覆っており、半導体チップ３２の下面３２ａを保護している。
【００３１】
下面覆い３７は、厚さｔ１２を有する。厚さｔ１２は、基板３１の下面３１ｂにまではみ出ない厚さである。下面覆い３７は、電源用半田ボール３６Ｐ及びグランド用半田ボール３６Ｇの高さの約半分を包み込んでおり、電源用半田ボール３６Ｐ及びグランド用半田ボール３６Ｇを固定する機能も有している。
【００３２】
上記の下面覆い３７及び囲い３３は、基板３１上に半導体チップ３２を実装し、ダム枠３８を接着固定し、放熱板３４を接着した後に、放熱板３４が下側となる向きとし、開口３１ａ内にエポキシ系樹脂をポッティングすることにより形成される。
【００３３】
次に、上記構成の半導体装置３０の製造方法について、図６（Ａ）乃至（Ｆ）を参照して説明する。
図６（Ｂ）乃至（Ｆ）は、理解し易いように概略的に示す。
半導体装置３０は、以下の工程を経て製造される。
【００３４】
▲１▼  半導体チップ接合工程５０
フリップチップボンディングの手法により、半導体チップ３２を基板３１上に接合する。半導体チップ３２の下面の信号用パッド４０Ｓは、基板３１上の対応するパッド４１と接続される。これにより、図６（Ｂ）に示す第１段階の組立体６１をうる。電源用パッド４０Ｐとグランド用パッド４０Ｇが、開口３１ａより露出している。
【００３５】
▲２▼  半田ボール接合工程５１
第１段階の組立体６１の電源用パッド４０Ｐとグランド用パッド４０Ｇ上に、半田ボール３６を置き、続いてリフローを行う。これにより、半田ボール３６が電源用パッド４０Ｐとグランド用パッド４０Ｇに直接接合されて、図６（Ｃ）に示す第２段階の組立体６２をうる。
【００３６】
▲３▼  ダム付け工程５３
第２段階の組立体６２の基板３１の上面に、ダム枠３８を接着固定する。これにより、図６（Ｄ）に示す第３段階の組立体６３をうる。
▲４▼  放熱板付け工程５４
第３段階の組立体６３の半導体チップ３２の上面に、放熱板３４を接着固定する。これにより、図６（Ｅ）に示す第４段階の組立体６４をうる。
【００３７】
▲５▼  エポキシ系樹脂をポッティング工程５５
図６（Ｆ）に示すように、第４段階の組立体６４を上下反転させた姿勢とし、ポッティング治具７０を使用してエポキシ系樹脂を開口３１ａ内にポッティングする。開口３１ａ内にポッティングされたエポキシ系樹脂は、半導体チップ３２と基板３１との間の隙間を通って、半導体チップ３２とダム枠３８との間の空間内に到り、この空間及び隙間内に充填されて、且つ、開口３１ａ内を埋める。これにより、図６（Ｆ）に示す第５段階の組立体６５をうる。
【００３８】
なお、ポッティング時、基板３１の開口３１ａの内周面は、ダムとして機能する。
▲６▼  キュア工程５６
充填されたエポキシ系樹脂が硬化され、上記の下面覆い３７及び囲い３３が形成され、図１に示す半導体装置３０が完成する。
【００３９】
次に、上記構成の半導体装置３０の特長について説明する。
▲１▼  良好な放熱性を有する。
半導体装置３０は、図７に示すように、信号用バンプ３５Ｓ、電源用半田ボール３６Ｐ及びグランド用半田ボール３６Ｇを、プリント板２０上の対応するパッド２１に接続されて、プリント板２０上に実装されて使用される。動作により発生した半導体チップ３２の熱は、放熱板３４に逃がされるとともに、プリント板２０に逃がされ、最終的には大気中に逃がされる。放熱板１４に対しては、半導体チップ３２の熱は、矢印Ａ１で示すように、直接に伝導する。
【００４０】
次に、プリント板２０への熱の伝導についてみる。半導体チップ３２の熱がプリント板２０へ伝導する経路は、大きく分けて二つある。
一の熱伝導経路８０は、矢印Ｂ１で示すように、信号用パッド４０Ｓ及びパッド４１を経て基板３１に到り、基板３１を面方向に伝わった後に、バンプ３５Ｓを通って、始めてプリント板２０に到る経路である。
【００４１】
別の熱伝導経路８１は、矢印Ｂ２で示すように、電源用半田ボール３６Ｐを経てプリント板２０に到る経路、及びグランド用半田ボール３６Ｇを経てプリント板２０に到る経路である。
熱伝導経路８０は、図８に示す従来の半導体装置１０も有していた経路である。この熱伝導経路８０は、途中に基板３１を面方向に伝わる部分を有し、この部分の熱抵抗が高いため、熱抵抗Ｒ１が高く、熱伝導経路８０により伝導される熱量は多くは期待出来ない。
【００４２】
しかし、熱伝導経路８１は、図８に示す従来の半導体装置１０は有していない新たな経路である。この熱伝導経路８１は、途中に基板３１を有していず、熱抵抗Ｒ２は上記の熱伝導経路８０の熱抵抗Ｒ１に比べて格段に低い。よって、半導体チップ３２内で発生した熱量の大半は、熱伝導経路８１を通ってプリント板２０に伝導する。
【００４３】
よって、半導体チップ３２の熱のプリント板２０への放熱性は、従来のものに比べて良好である。
従って、半導体装置３０は、従来の半導体装置１０に比べて良好な放熱性を有し、半導体チップ３２が熱的ダメージを受けにくくなり、その分、高い信頼性を有する。
【００４４】
ここで、半導体チップ３２は、周囲に比べて中央の部分が多く発熱する構成と成っており、且つ、熱伝導経路８１は、半導体チップ３２の中央の部分の真下より開始している。このことによっても、半導体チップ３２内で発生した熱は、効率良く、プリント板２０への放熱される。
【００４５】
▲２▼  サイズが小さい。
半導体装置３０は、信号用バンプ３５Ｓ、電源用半田ボール３６Ｐ及びグランド用半田ボール３６Ｇが、下面の全面に配された構成である。即ち、下面の中央の部分も電源用半田ボール３６Ｐ及びグランド用半田ボール３６Ｇを配置するのに利用している構成である。よって、半導体装置３０は、従来の半導体装置１０に比べてサイズが小さい。
【００４６】
▲３▼  薄い。
基板３１の内層数は従来の基板１１の内層数より少ないため、基板３１の厚さｔ１１は、従来の基板１１の厚さｔ２より薄い。よって、半導体装置３０は、従来の半導体装置１０に比べて薄い。
【００４７】
▲４▼  封止性は損なわれていない。
半導体チップ３２の下面３２ａのうち上記開口３１ａに露出している部分は、エポキシ系樹脂製の下面覆い３７により覆われており、更には、半導体チップ３２の周囲がエポキシ系樹脂製の囲い３３により覆われている。よって、半導体チップ３２は十分に封止されており、劣化は防がれている。
【００４８】
次に、変形例について説明する。
放熱板３４は、銅以外の材質、例えば、銅・タングステン合金、アルミニウム、窒化アルミニウムでもよい。
囲い３３及び下面覆い膜３７は、エポキシ系樹脂の樹脂、例えば、シリコーン系樹脂、ポリイミド系樹脂でもよい。
【００４９】
信号用バンプ３５Ｓに代えて、信号用ピンでもよい。電源用半田ボール３６Ｐに代えて、電源用ピンでもよい。グランド用半田ボール３６Ｇに代えて、グランド用ピンでもよい。
また、本発明の半導体装置は、基板３１の下面にバンプを有しない構成、即ち、基板３１は半導体チップ３２の周囲を機械的に支持するだけの役割を有し、外部接続端子を専ら半導体チップ３２の下面に直接接続した構成とすることもできる。
【００５０】
【発明の効果】
上述の如く、請求項１の発明によれば、基板がその下面に第１の外部接続端子を有する構成であり、半導体チップが、その下面が基板の開口に臨んで実装してあり、複数の第２の外部接続端子が、半導体チップのパッド直接接続してあり、開口より突き出ている構成であるため、プリント基板に実装されて動作しているときに半導体チップ内で発生した熱を、基板を介さずに、第２の外部接続端子を通してプリント基板に逃がすことが出来、よって、熱を基板を通してプリント基板に逃がしている従来の半導体装置に比べて、格段に良好な放熱性を有する。よって、動作時の発熱量が増えることになる半導体チップ内の素子の高集積度化に十分に対応することが出来る。
【００５２】
請求項２の発明によれば、半導体チップは、下面の複数のパッドの配置が、周囲部に信号用パッドを有し、内側部に、電源用パッドとグランド用パッドとを有する配置であり、且つ、複数の第２の外部接続端子は、電源用パッド及びグランド用パッドと直接接続してある構成であるため、半導体チップ内の発熱量の分布を半導体チップ内のうち発熱量の多い部分が中央部となるようにし、この中央部の熱を複数の第２の外部接続端子を通してプリント基板に効率良く逃がすようにすることが出来る。よって、半導体チップ内で発生した熱のプリント基板への放熱の効率化を図ることが出来る。
【００５３】
請求項３の発明によれば、内側部の電源用パッドとグランド用パッドは、周囲部の信号用パッドのピッチより大きいピッチで並んでいる配置であり、且つ、複数の第２の外部接続端子が、電源用パッド及びグランド用パッドと直接接続してある構成であるため、第２の外部接続端子が電源用パッド及びグランド用パッドとの直接接続された状態の信頼性の向上を図ることが出来る。
【００５４】
請求項４の発明によれば、基板の開口内を占めている下面覆いを更に有する構成であるため、半導体チップは封止され、半導体チップが無用に劣化することから防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の半導体装置を下方からみて示す斜視図である。
【図２】図１の半導体装置の半分を上方からみて示す斜視図である。
【図３】図１の半導体装置の半分を下方からみて示す斜視図である。
【図４】半導体チップの下面を示す図である。
【図５】図１の半導体装置の下面を示す図である。
【図６】図１の半導体装置の製造方法を示す図である。
【図７】半導体チップで発生した熱の放熱を説明する図である。
【図８】従来の１例の半導体装置を示す図である。
【図９】図８の半導体装置が実装されているときの放熱状態を説明する図である。
【符号の説明】
２０  プリント板
２１  パッド
３０  半導体装置
３１  基板
３１ａ  矩形状の開口
３１ｂ  下面
３１ｃ  上面
３２  半導体チップ
３２ａ  下面
３２ａ−１  枠状領域
３２ａ−２  矩形状領域
３３  囲い
３４  放熱板
３５Ｓ  信号用バンプ
３６Ｐ  電源用半田ボール
３６Ｇ  グランド用半田ボール
３７  エポキシ系樹脂製の下面覆い
３８  ダム枠
４０Ｓ  信号用パッド
４０Ｐ  電源用パッド
４０Ｇ  グランド用パッド
４１  パッド
８０，８１  熱伝導経路
【図１】
0003634048.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0003634048.tif 000010