(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板を搬送するボートを出し入れするための開口部に蓋を有する熱処理炉と、この熱処理炉の開口部付近に間隔を設けて設置され、前記ボートを支持する支持台と、前記開口部付近と前記支持台との間に設けられ、前記間隔を前記ボートが滑りながら通過する際に前記ボートを支持するとともに、前記熱処理炉の蓋を開閉する際に、前記蓋を開閉可能な位置に移動する移動式補助台と、を備えた半導体用熱処理装置。
【請求項２】
半導体基板を搬送するボートを出し入れするための開口部に蓋を有する熱処理炉と、この熱処理炉と同じ高さになるように間隔を設けて設置され、前記ボートを支持する支持台と、前記開口部付近と前記支持台との間に設けられ、前記間隔を前記ボートが通過する際に前記ボートを支持するとともに、前記熱処理炉の蓋を開閉する際に、前記蓋を開閉可能な位置に移動する移動式補助台と、を備えた半導体用熱処理装置。
【請求項３】
前記ボートは、複数の車輪を有し、これら複数の車輪の隣り合う車輪同士の間隔が、前記熱処理炉と前記移動式補助台との間隔よりも狭いことを特徴とする請求項２に記載の半導体用熱処理装置。
【請求項４】
前記ボートを着脱自在に保持し、前記熱処理炉から前記ボートを出し入れするフック手段と、このフック手段の振れを規制するガイド手段と、を備えたことを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の半導体用熱処理装置。
【請求項５】
前記フック手段を前記ボートにフックするとともに、前記ボートを前記熱処理炉に対して出し入れする方向に駆動する第１の駆動手段と、前記蓋を開閉する第２の駆動手段と、前記移動式補助台を駆動する第３の駆動手段と、前記ボートを前記熱処理炉に収納する場合に、前記第２の駆動手段を制御して前記蓋を開け、前記第３の駆動手段を制御して前記移動式補助台を前記ボートが通過できる位置に移動し、前記第１の駆動手段を制御して前記ボートを前記熱処理炉へ収納するとともに、前記半導体基板を前記熱処理炉で処理する場合に、前記第３の駆動手段を制御して前記移動式補助台を前記蓋が開閉可能な位置に移動し、前記第１の駆動手段を制御して前記フック手段を前記ボートから切り離すとともに、前記フック手段を前記蓋を閉められる位置に移動し、前記第２の駆動手段を制御して前記蓋を閉める制御装置と、を備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体用熱処理装置。
【請求項６】
半導体基板を搬送するボートを出し入れするための開口部に蓋を有する熱処理炉とこの熱処理炉の開口部付近に間隔を設けて設置され、前記ボートを支持する支持台と前記開口部付近と前記支持台との間に設けられた移動式補助台とにおいて、前記ボートが、前記移動式補助台に支持されるとともに、前記ボートを支持する前記支持台と前記熱処理炉の開口部付近との間を滑らせて通過する通過ステップと、前記熱処理炉の蓋を開閉する際に、前記蓋を開閉可能な位置に移動する移動ステップと、を備えたことを特徴とする半導体製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体素子の製造に用いる熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１４及び１５は、従来の半導体素子の製造に用いる横形熱処理炉の一例を示した構成図である。図１４及び１５において、１は石英チューブ、２は基板をセットするためのボート、３は処理される基板、４は搬送するボートを置くためのトレイであり、このトレイ４は石英チューブ１と同じ高さとなるように位置が調整してある。５は石英扉である。
次に、動作について説明する。半導体を処理するときには、まず図１４に示すようにトレイ４の上にボートが置かれ、ボート２はトレイ４及び石英チューブ１の上を滑られて押し入れられる。そして、ボート２を石英チューブ１内に設置した後、図１５のように石英扉５を閉めて石英チューブ１内を密閉した後、熱処理が行われる。処理完了後、石英扉５を開けてボート２をトレイ４上に引き出し、冷却完了後、ボート２を別の場所に移動させて処理が完了した基板３をボート２から取り出し、別の未処理の基板３を再度ボート２上にセットして次の処理を行う。
【０００３】
ここで、石英チューブ１は高温に保たれているので、高熱による損傷を避けるため石英チューブ１とトレイ４の間には間隔が開いている。また、石英扉５は石英チューブ１を完全に密閉するために石英チューブ１の外径よりも大きくなっているので、閉状態での石英扉５を配置するためにも石英チューブ１とトレイ４の間には間隔が必要である。
例えば、ボート２が中心位置に重心を持つ場合、ボート２を支える底辺部の長さの半分よりも間隔が大きくなると、間隔上をボート２が通過する際に重心を両側から支えることができなくなってボート２が間隔に落ちてしまう。従ってボート２の長さは間隔の２倍よりも長くなければならない。ここで、間隔の幅は装置の構成上決まっており、一定以上は狭くすることができない。従って、通常はボート２の長さを変えることによって間隔に落ちないような構成をとる。
【０００４】
図１６はボート２を引き出す際にフックさせた時点での横形熱処理炉の側面図である。図１６に示すようにボート２を石英チューブ１内から引き出す際には、耐久性のフック棒７で引っかけて引き出すことによる。ここで、フック棒７は石英チューブ１の外側から支持して挿入するため、フック棒７の先で横ぶれが発生してしまう。
図１７は、フックミスが発生したときの従来のボート２とフック棒７の位置関係示す上面図であり、９はボートにフック棒７を引っかけるためのフック穴である。ここで、横ぶれが大きいと、図１７のようにフックミスが発生し、移載機によって自動的にフック棒７をフックさせることが困難になるので、その工程のみ作業者が主導でフックさせることが必要になり、自動運転ができない。さらにこの作業は、高温の石英チューブ１の中に設置されたボート２対する操作で、かつフック棒７は通常耐熱性を持たせるために石英製なので破損しやすい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の横形熱処理炉は、このように構成されているため、ボートの長さが必要以上に長くなるという問題があった。また、これに伴ってトレイの長さ等の装置構成も長くなって、装置コストも高くなるという問題があった。
また、フック棒が横ぶれしてしまうためボート引き出しの際のフックが自動的にできなくなるという問題があった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたもので、小型で半導体の製造効率のよい半導体用熱処理装置を得ることを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明にかかる半導体用熱処理装置においては、半導体基板を搬送するボートを出し入れするための開口部に蓋を有する熱処理炉と、この熱処理炉の開口部付近に間隔を設けて設置され、前記ボートを支持する支持台と、前記開口部付近と前記支持台との間に設けられ、前記間隔を前記ボートが通過する際に前記ボートを支持するとともに、前記熱処理炉の蓋を開閉する際に、前記蓋を開閉可能な位置に移動する移動式補助台と、を備えたものである。
【０００７】
また、前記移動式補助台は、前記熱処理炉に対して上下に移動し、前記ボートが移動する際には、前記ボートが前記支持台から前記開口部へ移動自在な高さに上昇するものである。
【０００８】
また、前記ボートは、複数の車輪を有し、これら複数の車輪の隣り合う車輪同士の間隔が、前記熱処理炉と前記移動式補助台との間隔よりも狭いものである。
【０００９】
また、前記ボートを着脱自在に保持し、前記熱処理炉から前記ボートを出し入れするフック手段と、このフック手段の振れを規制するガイド手段と、を備えたものである。
【００１０】
また、前記フック手段を前記ボートにフックするとともに、前記ボートを前記熱処理炉に対して出し入れする方向に駆動する第１の駆動手段と、前記蓋を開閉する第２の駆動手段と、前記移動式補助台を駆動する第３の駆動手段と、前記ボートを前記熱処理炉に収納する場合に、前記第２の駆動手段を制御して前記蓋を開け、前記第３の駆動手段を制御して前記移動式補助台を前記ボートが通過できる位置に移動し、前記第１の駆動手段を制御して前記ボートを前記熱処理炉へ収納するとともに、前記半導体基板を前記熱処理炉で処理する場合に、前記第３の駆動手段を制御して前記移動式補助台を前記蓋が開閉可能な位置に移動し、前記第１の駆動手段を制御して前記フック手段を前記ボートから切り離すとともに、前記フック手段を前記蓋を閉められる位置に移動し、前記第２の駆動手段を制御して前記蓋を閉める制御装置と、を備えたものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
この実施の形態１による半導体用横形熱処理装置を図１及び図２を用いて説明する。図１及び図２において、１ａはボート２ａを収納し、基板３を熱処理する石英チューブ、２ａは基板３をセットするためのボート、３は処理される基板、４は搬送するボート２ａを置くためのトレイであり、このトレイ４は石英チューブ１ａと同じ高さとなるように位置が調整してある。５は石英チューブ１ａに蓋をするための石英扉、６ａは石英チューブ１ａとトレイ４との間に設けられ、上下に稼動してボート２ａを支える補助トレイである。なお、図において、石英チューブ１ａは、内部が見えるように断面図で表示してある。
ここで、石英チューブ１ａは熱処理炉、トレイ４は支持台、石英扉５は蓋、補助トレイ６ａは移動式補助台の一例である。
【００１２】
次に動作について説明する。ボート２ａを石英チューブ１ａ内に挿入する際には、まず始めに、トレイ４の上にボート２ａが置かれ、ボート２ａはトレイ４および補助トレイ６ａの上を滑らせて押し入れられる。この際、補助トレイ６ａは、石英チューブ１ａの開口部の底面及びトレイ４上の上面とほぼ同じ高さに押し上げられる。
ボート２ａを石英チューブ１ａ内に設置した後、図２のように補助トレイ６ａを押し下げてから石英扉５を閉めて石英チューブ１ａ内を密閉し、石英チューブ１ａ内で基板３の熱処理を行う。ここで、補助トレイ６ａは、押し下げられることにより、石英チューブ１ａとの間隔が広げられるため、石英チューブ１ａの熱による補助トレイ６ａのダメージを抑制することができる。
【００１３】
次にこの処理が完了後、石英扉５を開ける。そして、図１に示すように、再び、補助トレイ６ａを石英チューブ１ａの開口部の底面及びトレイ４上の上面とほぼ同じ高さに押し上げてから、ボート２ａをトレイ４上に引き出す。続いて、トレイ４上で冷却完了後、ボート２ａを別の場所に移動させて処理が完了した基板３をボート２ａから取り出し、未処理の基板を再セットして次の処理を行う。
このような手順でボート２ａの搬送を行うことにより、ボート２ａを出し入れする際には補助トレイ６ａを石英チューブ１ａ及びトレイ４と同じ高さになるまで上げるため、石英チューブ１ａとトレイ４との間に発生する間隔の幅を狭くすることができる。そのため、ボート２ａが間隔に落ちにくくなる。
【００１４】
従って、これまでボートの長さＬとしては石英チューブ１ａとトレイ４の間隔の幅の２倍以上必要であったのが、補助トレイ６ａの導入により、石英チューブ１ａと補助トレイ６ａの間隔ｇの２倍以上あればよいことになり、ボート２ａの長さを短くすることができる。また、これに伴ってトレイ４の長さやボート２ａを搬送する機構部の長さが短くなるため、装置全体を小型化でき、装置にかかるコストを抑えることができる。
【００１５】
なお、補助トレイ６ａは、補助トレイ６ａの支持棒６ａ１を上下にスライドする様に支える図示しない基台に取り付けられ、補助トレイ６ａを石英チューブ１ａの開口部の底面及びトレイ４上の上面とほぼ同じ高さに一時的に固定し、又は、その固定を解除する機構を備えている。
この補助トレイは、石英チューブ１ａとトレイ４の間隔をボート２ａが通過する際にボート２ａを支持でき、石英チューブ１ａを開閉する際に、石英扉５を開閉可能な位置に移動することができるものであればどのような構造のものでもよい。
例えば、図３は、補助トレイの変形例を表しており、半導体用横形熱処理装置の側面図である。図３において、図１と同一の符号は同一又は相当の部分を表している。図３に示すように、トレイ４の一端と補助トレイ６ｂの一端とを蝶番で接続し、ボート２ａの搬送時は、図６（ａ）のようにトレイ４と補助トレイ６ｂを水平にすることにより、ボート２が間隔ｇに落ちることを防止できる。一方、石英扉５を開閉するときには、図６（ｂ）のように蝶番を中心に補助トレイ６ｂを回転させることにより、補助トレイ６ｂを石英扉５の開閉を邪魔しない位置に移動することができる。
【００１６】
また、図４、５に示すように補助トレイを変形してもよい。図４は半導体用横形熱処理装置を図１の矢印Ｈ方向からみた正面図であり、図５はその側面図である。図４又は５において、図１と同一の符号は同一又は相当の部分を表している。６ｃは一側面をトレイ４に対して回転可能に接続された補助トレイである。４ａはこの補助トレイ６ｃを降ろしたときに、石英チューブ１ａの開口部の底面及びトレイ４上の上面とほぼ同じ高さに保持するストッパである。図４（ｂ）及び図５（ｂ）に示すように、ボート２ａを搬送するときは、補助トレイ６ｃを降ろしてストッパ４ａ上に乗せることにより、ボート２ａを石英チューブ１ａとトレイ４の間隔に落とさずに搬送することができる。一方、石英扉５を開閉する際には、補助トレイ６ｃを図４（ｂ）及び図５（ｂ）に示すように上げることにより、補助トレイ６ｃを石英扉５の開閉を邪魔しない位置に移動することができる。その他、例えば、石英扉５の開閉時には、補助トレイを横方向にスライドさせるなどして、補助トレイ６ｃを石英扉５の開閉を邪魔しない位置に移動するようにしてもよい。
【００１７】
実施の形態２．
図６〜８は、この実施の形態２の半導体横形熱処理装置の側面図である。図６〜８において、図１と同一の符号は同一又は相当の部分を表しており、２ｂはボート２に複数の車輪８を取り付けたものであり、５ａは、後述する制御装置１８によって駆動され、この制御装置１８の制御信号に従って開閉する石英扉である。また、７はボート２ｂのフック穴９を引っかける突起部を有し、フック穴９に突起部を引っかけてボート２ｂを石英チューブ１ａ内に押し入れたり、石英チューブ１ａからトレイ４上に引き出したりするフック手段たるフック棒である。９はボート２ｂに取り付けられ、フック棒７と着脱自在に結合するフック穴、１０はフック棒７を上下に動かすことにより、フック棒７とフック穴９を結合し、さらにこの結合を外す上下シリンダ、１３はフック棒７に接続されフック棒７を支持する支持部連結棒、１５はこの支持部連結棒１３を介してフック棒７をボート２ｂの搬入及び搬出方向に駆動する駆動装置、１６は補助トレイ６ａを上下方向に駆動する駆動装置、１７は上下シリンダ１０を上下に駆動する駆動装置であり、１８は駆動装置１５〜１７の駆動及び石英扉５ａの開閉を制御する制御装置である。ここで、石英扉５ａは蝶番に制御装置１８によって制御される第２の駆動装置を備えており、駆動手段１５及び１７は第１の駆動手段の一例、駆動手段１６は第３の駆動手段の一例である。駆動手段は、公知のモータ等、扉の開閉、シリンダの伸縮等ができる駆動手段であれば、いかなるものを使用してもよい。
【００１８】
次に図６〜８を用いて動作を説明する。
まず、ボート２ｂを搬入する際には、１８が石英扉５ａを開ける指令を石英扉５ａに出力し、石英扉５ａが自動的に開く。このとき、補助トレイ６ａは駆動装置１６により石英扉５ａの開閉の邪魔にならない位置に押し下げられている。次に、制御装置１８は駆動装置１６を駆動して、補助トレイ６ａを石英チューブ１ａの開口部の底面及びトレイ４上の上面とほぼ同じ高さに移動させる。ここまでで図６に示した状態になる。
次に、制御装置１８は駆動装置１５を制御して支持部連結棒１３を長手方向に駆動し、ボート２ｂを図７に示すように石英チューブ１ａ内に搬入する。
そして、制御装置１８は駆動装置１７に制御信号を出力し、駆動装置１７に上下シリンダ１０を上げさせ、フック棒７をフック穴９から外す。続いて、制御装置１８は、図８に示すように、駆動装置１５を制御して支持部連結棒１３を長手方向かつ先ほどの搬入時とは逆方向に駆動し、フック棒７を石英チューブ１ａ内から取り出すとともに、駆動装置１６を制御して補助トレイ６ａを押し下げる。
【００１９】
続いて、制御装置１８は石英扉５ａを制御し、石英扉５ａを自動的に閉める。そして、制御装置１８は石英チューブ１ａ内で基板３の処理を行い。処理が終了した後、制御装置１８は、石英扉５ａを開け、図７に示すように再び駆動装置１５を駆動して、フック棒７をフック穴９の上に移動させる。次に、駆動装置１７を駆動し上下シリンダ１０をトレイ４よりも下に下げることにより、フック棒７も下方に移動し、フック棒７とフック穴９が連結する。続いて、制御装置１８は駆動装置１６を駆動し補助トレイ６ａを石英チューブ１ａの開口部の底面及びトレイ４上の上面とほぼ同じ高さに移動させ、駆動装置１５を駆動してボート２ｂを図６のようにトレイ４上に引き出す。
以上のように、この実施の形態２では、制御装置１８により石英扉５ａの開閉、補助トレイ６ａの移動、及び、ボート２ｂの搬入出を制御することにより、基板３の処理にかかる一連の動作を自動的に行うことができる。
【００２０】
ここで、実施の形態１のようなボート２ａでは、ボート２ａを出し入れする際に、トレイ４や石英チューブ１上を滑らせながら押すと摩擦抵抗が大きいため、ボート２ａの重量が重い場合には押すための負荷が大きくなる。そのため、フック棒７の強度が弱い場合にはフック棒７が破損しやすくなる。そこで、この実施の形態２では、摩擦抵抗を減らすためにボート２ｂに車輪８を設けてある。ところがこの場合には、ボート２ｂを支える位置は車輪８の位置になるため、石英チューブ１ａと補助トレイ６ａの間隔ｇの幅についてさらに注意を払う必要がある。例えば、図６のようにボート２ｂの車輪８を片側５個、両側計１０個で構成した場合、間隔ｇの幅が車輪８の間隔ｆよりも広い場合には、この間隔ｇに車輪８が落ち込むことになる。従って、石英チューブ１ａと補助トレイ６ａとの間隔ｇが車輪８の幅ｆよりも狭くなるように構成することにより、石英チューブ１ａと補助トレイ６ａの間に間隔ｇがあってもボート２に車輪８を設けたボート２ｂを使用することができ、ボート２ｂを押し入れる際の抵抗を減らしてボート２ｂの搬送機構の負荷を減らして装置構成を容易にかつ安価にすることができる。例えば、石英チューブ１ａとトレイ４との間隔が４００ｍｍであり、車輪間隔ｆが１５０ｍｍであるとき、長さ３００ｍｍの補助トレイ６ａをいれることにより、石英チューブ１ａと補助トレイ６ａとの間隔ｇが１００ｍｍとなる。そのため、車輪８が間隔ｇに落ち込むことを防止できる。
【００２１】
実施の形態３．
実施の形態３は、フック棒７の横ぶれを規制するガイドを設けたことにより、フック棒７のフックミスを防ぐものである。
図９及び１０は、図６の半導体横形熱処理装置にガイド１１を設けたものである。ここで、図９は側面図、図１０は上面図である。図９及び１０において、図６と同一の符号は同一又は相当の部分を表している。ただし、この実施の形態３では、車輪８のついたボート２ｂの代わりに、車輪の付いていないボート２ａを使用している。他の点は、実施の形態２と同様である。従来の技術において、図１６に示したようにフック棒７にフック穴１０が引っかからないことがあり、作業性が落ちるという問題があった。そのため、この実施の形態３では、図９及び図１０に示すように、ガイド手段たるガイド１１を設け、フック棒７の横方向の動きをガイド穴９に引っかる範囲内に規制することにより、フック棒７をガイド穴９にかかり易くした。
【００２２】
図１１は、図９及び１０のフック棒７、支持部１２、及びそのガイド１１の部分を拡大した斜視図である。図１１において、図９と同一の符号は同一又は相当の部分を表している。１２はフック棒７を支持する支持部であり、この支持部１２は自在継ぎ手によってフック手段の長手方向に対して垂直にかかる荷重を逃がす支持手段として構成されている。１４は支持部連結棒１３とガイド１１とを接続し、ガイド１１を支持するガイド連結棒である。
フック棒７はボート２ａを押し入れる際にボート２ａの摩擦抵抗により横方向の荷重を受ける。フック棒７は熱に対する耐久性が必要なため、例えば、石英のような熱に強い材料を使用して作られている。従って、フック棒７にかかる横方向の荷重をなるべく逃がし、フック棒７の損傷を抑制するために、支持部１２は自在継ぎ手で構成されている。この支持部１２が支持部連結棒１３で駆動装置１５に接続され、駆動装置１５によって支持部１２が前進又は後退してフック棒７を介してボート２ａを押し込んだり、引き出したりする。
【００２３】
ここで、支持部１２は自在継ぎ手で構成するためにフック棒７は支持部１２を中心に回転する。ここで、もし図１７に示すようにボート引き出しの際にフック棒７が大きく横ぶれしていると、ボート２ａのフック穴９はフック棒７がはまらずボート２ａを引き出すことができない。そこで、この実施の形態３のように、ガイド１１があるとフック棒７の横ぶれが規制されるため、フックミスの発生を抑制することができる。
【００２４】
図１２及び図１３は、図１０の半導体横形熱処理装置の上面図の部分拡大図であり、図１０と同一の符号は同一又は相当の部分を表している。ここで、図１３はフック棒７がガイド１１の規制する範囲内で、最大に横ぶれした状態を示す。ここで、図１２、図１３に示すように、支持部１２からガイド１１までの長さをＡ、支持部１２からフック棒７の先端のフック位置までの長さをＢ、ガイド１１の幅をＣ、フック穴９の横幅をＤ、フック棒７がガイド１１が規制する範囲内で最大に横ぶれしたときの横ぶれ量をＥとすると、
Ｂ／Ａ＝２Ｅ／Ｃ
である。ここで、最大横ぶれ量がフック穴９の横幅Ｄの半分よりも小さければ必ずフック棒７の先端は、フック穴９の中に入る。すなわち、
Ｄ＞２Ｅ
であれば良い。すなわち、
Ｄ＞ＢＣ／Ａ
となるようにガイド１１の幅Ｃとフック穴９の横幅Ｄを決めることにより、フックミスを防止することができる。
例えば、Ｂを１５００ｍｍ、Ｄを１５０ｍｍ、Ａを２００ｍｍ以上、Ｃを２０ｍｍ以下となるようにすればよい。
【００２５】
このようにこの実施の形態では、フックミスを抑制することができるので、自動的にフック棒７をボート２ａにフックさせることが可能となり、半導体用横形熱処理装置の自動運転が可能となる。
【００２６】
以上のように、この発明の実施の形態１〜３によれば、以下のような効果がある。
石英チューブ１ａとトレイ４の間に、上下等に移動する補助トレイを設けたことにより、装置及びボートの長さを短くすることができ、コストを低く抑えることができる。
また、補助トレイを設け、かつ石英チューブ１ａと補助トレイの間隔をボート２ｂの車輪間隔より狭くすることにより、車輪を設けたボート２ｂを用いることを可能とし、車輪を設けたボート２ｂを用いることによって、ボート２ｂを押し入れる際の抵抗を減らしてボート２ｂの移送機構の負荷を減らし、装置構成を容易にかつ安価にする効果がある。
また、フック棒７の支持部１２より炉体側にガイド１１を設けることにより、フック棒７の横ぶれを規制して確実にフックできるようにしたため、フックミスが減って不良品の発生が減り、歩留まり向上につながる。さらに、装置の自動化が可能となり、作業効率が向上する。
また、フック棒７の横ぶれよりも広い幅でボートにフック穴９を設けることにより、フックミスを防いで確実にフックできるようにしたため、上述同様、フックミスが減って不良品の発生が減り歩留まり向上、工程の自動化が可能となる。
【００２７】
【発明の効果】
この発明は、以上に説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
この発明にかかる半導体用熱処理装置においては、半導体基板を搬送するボートを出し入れするための開口部に蓋を有する熱処理炉と、この熱処理炉の開口部付近に間隔を設けて設置され、前記ボートを支持する支持台と、前記開口部付近と前記支持台との間に設けられ、前記間隔を前記ボートが通過する際に前記ボートを支持するとともに、前記熱処理炉の蓋を開閉する際に、前記蓋を開閉可能な位置に移動する移動式補助台と、を備えたため、半導体用熱処理装置を小型化することができる。
【００２８】
また、前記移動式補助台は、前記熱処理炉に対して上下に移動し、前記ボートが移動する際には、前記ボートが前記支持台から前記開口部へ移動自在な高さに上昇するため、半導体用熱処理装置を小型化することができる。
【００２９】
また、前記ボートは、複数の車輪を有し、これら複数の車輪の隣り合う車輪同士の間隔が、前記熱処理炉と前記移動式補助台との間隔よりも狭いため、脱輪を抑制することができる。
【００３０】
また、前記ボートを着脱自在に保持し、前記熱処理炉から前記ボートを出し入れするフック手段と、このフック手段の振れを規制するガイド手段と、を備えたため、フックミスを抑制することができる。
【００３１】
また、前記フック手段を前記ボートにフックするとともに、前記ボートを前記熱処理炉に対して出し入れする方向に駆動する第１の駆動手段と、前記蓋を開閉する第２の駆動手段と、前記移動式補助台を駆動する第３の駆動手段と、前記ボートを前記熱処理炉に収納する場合に、前記第２の駆動手段を制御して前記蓋を開け、前記第３の駆動手段を制御して前記移動式補助台を前記ボートが通過できる位置に移動し、前記第１の駆動手段を制御して前記ボートを前記熱処理炉へ収納するとともに、前記半導体基板を前記熱処理炉で処理する場合に、前記第３の駆動手段を制御して前記移動式補助台を前記蓋が開閉可能な位置に移動し、前記第１の駆動手段を制御して前記フック手段を前記ボートから切り離すとともに、前記フック手段を前記蓋を閉められる位置に移動し、前記第２の駆動手段を制御して前記蓋を閉める制御装置と、を備えたため、効率よく一連の工程を実施することができる。
【００３２】
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１のボート引き出し状態における半導体用横形熱処理装置の側面図である。
【図２】この発明の実施の形態１のボート収納状態における半導体用横形熱処理装置の側面図である。
【図３】この発明の実施の形態１における半導体用横形熱処理装置の側面図である。
【図４】この発明の実施の形態１における半導体用横形熱処理装置の正面図である。
【図５】この発明の実施の形態１における半導体用横形熱処理装置の側面図である。
【図６】この発明の実施の形態２のフック動作時における半導体用横形熱処理装置の側面図である。
【図７】この発明の実施の形態２のフック動作時における半導体用横形熱処理装置の側面図である。
【図８】この発明の実施の形態２のフック動作時における半導体用横形熱処理装置の側面図である。
【図９】この発明の実施の形態３のフック動作時における半導体用横形熱処理装置の側面図である。
【図１０】この発明の実施の形態３のフック動作時における半導体用横形熱処理装置の上面図である。
【図１１】この発明の実施の形態３における半導体用横形熱処理装置のフック棒支持部分を拡大した斜視図である。
【図１２】この発明の実施の形態３のフック動作時における半導体用横形熱処理装置の部分拡大上面図である。
【図１３】この発明の実施の形態３のフック動作時の横ぶれを示すための上面図である。
【図１４】従来の技術の半導体用横形熱処理装置におけるボート引き出し状態の側面図である。
【図１５】従来の技術の半導体用横形熱処理装置におけるボート収納状態の側面図である。
【図１６】従来の技術における半導体用横形熱処理装置の上面図である。
【図１７】従来の技術における半導体用横形熱処理装置の上面図である。
【符号の説明】
１、１ａ  石英チューブ、  ２、２ａ、２ｂ  ボート、  ３  基板、  ４  トレイ、  ５、５ａ  石英扉、  ６ａ〜ｃ  補助トレイ、  ７  フック棒、  ８  車輪、  ９  フック穴、  １０  上下シリンダ、  １１  ガイド、  １２  支持部、  １３  支持部連結棒、  １４  ガイド連結棒、  １５〜１７  駆動装置、
１８  制御装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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