(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンナーにて回転せしめられるとともに板状被処理物がセットされるインナーカップと、このインナーカップの外側に配置されるとともにインナーカップからのドレインを受けるアウターカップと、前記インナーカップの上面を覆うインナーカップ用蓋体と、前記アウターカップの上面を覆うアウターカップ用蓋体とを備えた回転カップ式液体塗布装置において、前記インナーカップの外周部にはインナーカップの内側空間とアウターカップの内側空間とを連通するバッファ空間が形成され、前記バッファ空間と前記インナーカップの内側空間との間には絞り部が設けられ、また前記バッファ空間とアウターカップ内側の液回収通路との間には絞り部が設けられ、インナーカップの回転時には前記バッファ空間を介してインナーカップ内の空気がアウターカップ内側の液回収通路へ放出され、インナーカップの回転が停止した時には前記バッファ空間を介してアウターカップ内側の液回収通路内の空気がインナーカップ内に流れ込むことを特徴とする回転カップ式液体塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス基板や半導体ウェーハ等の被処理物の表面に被膜形成用の塗布液等を供給する回転カップ式液体塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
スピンナーにて回転せしめられるインナーカップ、この外側に配置されるアウターカップ、更にはこれらそれぞれのカップの上面を閉じる蓋体を備えた回転カップ式液体塗布装置として、特開平７−１３２２６３号公報に開示されるものが知られている。
【０００３】
この先行技術は、インナーカップ用蓋体に通孔を形成し、この通孔の部分に弁体を設け、更にインナーカップ用蓋体及びアウターカップ用蓋体を持上げる昇降部材にも通孔を形成した構成になっており、その作用は、回転塗布後に蓋体を開けるに先立って、弁体を開とし、通孔を介してインナーカップとインナーカップ用蓋体との間に形成される減圧された密閉空間内にガス（空気）を導入して外部との圧力差を小さくし、蓋体を開けたときにカップ外で浮遊している塵がカップ内に流入するのを防止するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した構造にすることにより、回転塗布中にインナーカップと蓋体との間の空間が減圧状態になることに起因する不利を解消できるのであるが、蓋体等に特殊形状の通孔を形成し、更には弁体も必要になり、構造が複雑になる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決すべく本発明は、スピンナーにて回転せしめられるとともに板状被処理物がセットされるインナーカップと、このインナーカップの外側に配置されるとともにインナーカップからのドレインを受けるアウターカップと、前記インナーカップの上面を覆うインナーカップ用蓋体と、前記アウターカップの上面を覆うアウターカップ用蓋体とを備えた回転カップ式液体塗布装置において、前記インナーカップの外周部にはインナーカップの内側空間とアウターカップの内側空間とを連通するバッファ空間が形成され、前記バッファ空間と前記インナーカップの内側空間との間には絞り部が設けられ、また前記バッファ空間とアウターカップ内側の液回収通路との間には絞り部が設けられ、インナーカップの回転時には前記バッファ空間を介してインナーカップ内の空気がアウターカップ内側の液回収通路へ放出され、インナーカップの回転が停止した時には前記バッファ空間を介してアウターカップ内側の液回収通路内の空気がインナーカップ内に流れ込む構成とした。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る回転カップ式液体塗布装置の全体断面図、図２は同回転カップ式液体塗布装置の要部拡大断面図である。
【０００８】
回転カップ式液体塗布装置はベース１上に環状のアウターカップ２を固定し、このアウターカップ２内側にインナーカップ３を配置し、このインナーカップ３の中央部にチャック４を設け、更にインナーカップ３上面を蓋体５で、アウターカップ２上面を蓋体６で閉じるようにしている。
【０００９】
前記アウターカップ２は上半体２ａと下半体２ｂからなり、これら半体２ａ，２ｂを組み付けた状態で環状の液回収通路２ｃが形成され、上半体２ａにはインナーカップ３の外周縁に向けて洗浄液を噴出するノズル７を取り付け、更に上半体２ａの上面にはＯリング８を嵌め付けている。
【００１０】
また、前記Ｏリング８に対し閉じ状態で密着するアウターカップ用蓋体６はアーム９に取り付けられ、更にアウターカップ用蓋体６の中央部に形成した開口１０で前記インナーカップ用蓋体５のボス部１１を落とし蓋状に保持している。即ち、アーム９を上昇することで、アウターカップ用蓋体６が上昇すると、開口１０にインナーカップ用蓋体５のボス部１１上縁部が係止し、インナーカップ用蓋体５も上昇し、逆にアーム９を下降せしめると、先ずインナーカップ用蓋体５がインナーカップ３上面を閉じ、次いでアーム９とアウターカップ用蓋体６が下降してアウターカップ２上面を閉じる。
【００１１】
尚、インナーカップ３の外周部上面には凹凸部１２が形成され、インナーカップ用蓋体５の外周部下面には前記凹凸部１２に対応する凹凸部１３が形成され、凹凸部１２の凹部にＯリング１４を設け、このＯリング１４を凹凸部１３の中央の凸部１５のテーパ面に押し付けてＯリング１４に多少のうねりがあっても密着状態を保てるようにしている。
【００１２】
更に、前記インナーカップ３の外周部にはインナーカップの内側空間とアウターカップの内側空間とを連通するバッファ空間Ｓを形成している。このバッファ空間Ｓは一定の断面積で環状をなし、インナーカップの内側空間、即ち塗布空間とは絞り部１６を介して連通し、アウターカップの内側空間、即ち液回収通路２ｃとは絞り部１７を介して連通している。
【００１３】
以上において、アーム９を上昇させ、アウターカップ２及びインナーカップ３の上面を開放し、チャック４上にガラス基板や半導体ウェーハ等の被処理物Ｗをセットし、この状態で図示しないノズルから被処理物Ｗ上面の中心に塗布液を滴下し、この後アーム９を下降し、蓋体５，６を被せた後にチャック４とインナーカップ３とを一体的に回転せしめ、遠心力により塗布液を被処理物Ｗの表面に均一に拡散塗布する。
【００１４】
このとき、インナーカップ３と蓋体５で囲まれる空間内の空気は遠心力により、バッファ空間Ｓを介してインナーカップ３外に放出され、インナーカップ３と蓋体５で囲まれる空間内は減圧状態となっている。
【００１５】
以上の如くして、被処理物Ｗの表面に塗布液を塗布したならば、インナーカップ３の回転を停止する。すると、遠心力がなくなり、インナーカップ３と蓋体５で囲まれる空間内は減圧状態となっているので、外部からバッファ空間Ｓを介してインナーカップ３の内側空間に空気が流れ込む。
【００１６】
そして、このときバッファ空間Ｓとインナーカップ３の内側空間及びアウターカップの内側空間との間は絞り部１６，１７となっているので、インナーカップ３の内側空間で乱流が生じることなく、インナーカップ３の内側空間内の圧力が上昇し、被処理物Ｗの表面の塗布液（塗膜）表面に波状のうねり等が生じるのを防止できる。
【００１７】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明によれば、回転カップ式液体塗布装置のインナーカップの外周部に、インナーカップの内側空間とアウターカップの内側空間とを絞り部等を介して連通せしめるバッファ空間を形成したので、インナーカップの回転を停止したときに、インナーカップの外側の空気は直接インナーカップ内に戻らず、一旦バッファ空間に受け入れられる。したがって、簡単な構造によってインナーカップ内への塵の流入を防ぐことができ、更には脈動による被処理物表面の塗膜への悪影響を排除できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る回転カップ式液体塗布装置の全体断面図
【図２】同回転カップ式液体塗布装置の要部拡大断面図
【符号の説明】
２…アウターカップ、３…インナーカップ、４…チャック、５…インナーカップ用蓋体、６…アウターカップ用蓋体、７…ノズル、１０…開口、１１…ボス部、１６，１７…絞り部、Ｓ…バッファ空間、Ｗ…板状被処理物。
【図１】
0003707849.tif 000002
【図２】
0003707849.tif 000003