(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面硬化処理又は表面硬化処理後研削加工した立体歯車にショットピーニング処理を施すショットピーニング装置と、
前記ショットピーニング装置に隣接して位置し、前記ショットピーニング装置で処理を施した歯車にバレル処理を施すバレル装置と、
前記ショットピーニング装置および前記バレル装置に隣接して位置し、前記ショットピーニング装置と前記バレル装置との間で歯車を搬送する歯車搬送装置と、前記各装置に隣接して位置し、歯車を固定部にて固定する歯車固定装置を備え、歯車搬送装置は歯車を把持する把持部と歯車回転機構と上下動機構を有する制御駆動部を備え、
その前記把持部は、前記ショットピーニング装置のショットノズルに対する前記歯車の３次元相対姿勢の調整保持手段と、前記バレル装置内の前記歯車の３次元保持姿勢手段を備え、前記各装置は装置間移動と固定機構構造を特徴とする表面微細加工装置。
【請求項２】
前記歯車搬送装置は、前記把持部の位置及び角度を調整する駆動装置と、その駆動装置を制御する制御プログラムが内蔵された制御装置と、加工条件を入力する入力装置を有し、
前記制御装置は、入力装置から入力された加工条件と制御プログラムに基づいて、前記各装置に対する歯車の位置決め制御を行うようにしたことを特徴とする請求項１に記載の表面微細加工処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は浸炭、浸炭窒化、窒化、高周波焼入れ等による表面硬化処理が施された歯車又は表面硬化処理後に研削加工した歯車の歯元曲げ、歯面強度、耐摩耗性、効率等のいずれかまたは複合された特性を向上させるための処理装置に関する。ここで、前記歯車には、従来の代表的歯形形状の歯車、平歯車、はすば歯車、やまば歯車の他、ねじ歯車、かさ歯車、ハイポイド歯車、ウォーム歯車等の立体歯車およびノビコフ、円弧、トロコイド、サイクロイド歯形形状の歯車も含まれる。
【０００２】
【従来の技術】
従来から表面硬化処理が施された歯車（又は表面硬化処理後に研削加工が施された歯車）には、歯元曲げ強度または歯面強度等を向上させるためにショットピーニング処理及び／又はバレル処理が施される。
従来のショットピーニング装置は、歯車を固定する回転台と、その回転台の周囲に設けられた噴射ノズルを備える。この回転台は、装置本体に対して回転可能に設けられており、これにより噴射ノズルから射出される金属球の衝突する歯車表面（回転台に固定）の位置を調整できるようになっている。また、金属球を高速にて噴射する噴射ノズル（例えば、エアー方式、噴射空気圧は０．２ＭＰａ〜０．５ＭＰａ、ノズル径φ６〜φ１２、金属球の径φ０．１〜φ２．０）は、回転台の周囲に１又は複数設けられる。
かかる装置により歯車の歯元にショットピーニングを施すためには、回転台に歯車を固定し、次にノズルの噴射方向及び位置を手動にて調整する。そして、ノズルから金属球を噴射させては歯車の表面に金属球を衝突させ、ショットピーニング処理を行う。
【０００３】
一方、従来の典型的なバレル装置は、砥石を収容するバレル槽と、歯車等のワークを固定した冶具を掴むチャック部を備える。バレル槽は電動モータと連結され、この電動モータの回転により回転（回転速度０〜２００ｍ／ｍｉｎ）するように構成され、一方、チャック部も電動モータ（回転速度２０〜５０ｒｐｍ）の出力軸と連結され、それ自身で回転可能とされる。また、チャック部は、エアーまたは油圧駆動にて上下動が可能とされ、これによりバレル槽内への進退が可能な構成となっている。
かかるバレル装置を用いてバレル処理する場合、歯車を固定した冶具をチャック部にセットし、そしてチャック部をバレル槽内に進入させる。そして、バレル槽を回転させることによりバレル槽内の砥石に遠心力を働かせ、また、チャック部自身も回転することにより歯車と砥石の間に相対速度差を生じさせる。これにより、歯車表面を砥石により研削加工するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のショットピーニング装置やバレル装置は、効率的に処理するためには装置毎にワークの位置決め・条件設定等を行う必要がある等の理由により、両者を有機的に結合し両処理を自動的に行う装置は未だ開発されていない。
すなわち、ショットピーニング装置においては、ノズルから射出された金属球をワークに衝突させ、それにより歯車表面を塑性変形させ歯車の歯元強度を向上させる。したがって、ワーク全体に均一な塑性変形を付与するためには、ノズルとワーク表面との距離を一定に保つことが必要となる。
この場合、従来のショットピーニング装置では歯車が回転台に固定されていることから、ノズル側の角度及び位置を調整することにより対処する必要が生じる。しかしながら、複雑な形状を有する歯車、例えばベベル歯車やハイポイド歯車の場合には、歯車外歯回転面が円錐状となるため、歯元とノズルの距離を一定とするためには特殊な治具や特殊なノズルガイドが必要となった。このため、ショットピーニング装置を完全には自動化できず、人の手でワークのセット・ノズルの位置及び角度の調整を行う必要があった。
【０００５】
また、バレル装置においては、バレル槽を公転させることでバレル槽内の砥石に遠心力を生じさせ、そのバレル槽の砥石内にチャック部に固定した歯車を挿入して自転させることで、砥石と歯車の間に相対速度を生じさせ歯車表面を研磨する。このため、バレル槽の回転中心から離れるにしたがって歯車と砥石のあいだの相対速度及び砥石に作用する遠心力が大きくなるため、歯車の研削能力もバレル槽の回転中心から離れるにしたがって大きくなる。したがって、ワークを上述したバレル装置において処理する場合、できるだけバレル槽の壁面に近い位置にワークをセットすることが好ましく、さらには均一にワーク表面を研削するためにはバレル槽の壁面に対してワークを平行にセットすることが好ましい。こうすることにより歯車表面粗さ等の表面性状が改善される。しかしながら、複雑な形状を有する歯車、例えばベベル歯車やハイポイド歯車の場合には、歯車外歯回転面が円錐状となるため、バレル槽の側壁面に近い部分では歯車は短時間で研削され、バレル槽の側壁面から遠い部分では長時間を要することとなり、結果的に長時間の処理が必要となっていた。
そこで、複雑な形状を有する歯車を含め、歯車全体を均一に加工するため、歯車の外歯回転面の稜線方向とバレル槽側壁面が平行になるように角度調整や位置調整を行う方法が考えられる。このような方法としては、従来はチャック部に掴まれた治具を、自在継ぎ手を介して次の治具に連結し、その治具を一定角度で固定治具に固定する方式が採られていた。したがって、従来の装置では効率的な研削加工を行おうとすると、歯車を固定する冶具に自在継手等を介して他の冶具を連結する必要があり、これらの作業を人手で行うため、ショットピーニング装置と同様自動化する事が困難であった。
【０００６】
本発明は、上述した実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、高品位歯車を製造するためのショットピーニング処理及び／又はバレル処理を自動化でき、かつ、これらの処理を効率的に行うことができる表面微細加工処理装置を提供することである。
【０００７】
【課題を達成するための手段およびその作用・効果】
上記課題を解決するために請求項１に記載の表面微細加工処理装置は、表面硬化処理又は表面硬化処理後研削加工した歯車にショットピーニング処理を施すショットピーニング装置と、前記ショットピーニング装置に隣接して位置し、前記ショットピーニング装置で処理を施した歯車にバレル処理を施すバレル装置と、前記ショットピーニング装置および前記バレル装置に隣接して位置し、前記ショットピーニング装置と前記バレル装置との間で歯車を搬送する歯車搬送装置を備え、その歯車搬送装置は歯車を把持する把持部を備え、その把持部は前記ショットピーニング装置のショットノズルに対する前記歯車の３次元相対姿勢の調整保持手段と、前記バレル装置内の前記歯車の３次元姿勢の調整保持手段を備えている。
上記装置では、ショットピーニング装置とバレル装置との間で歯車を搬送する歯車搬送装置の把持部は、ショットピーニング装置に対する位置と角度が調整可能とされ、かつ、バレル装置に対する位置と角度も調整可能とされている。したがって、上記装置によれば把持部に把持した歯車をショットピーニング装置に対して所定の位置及び角度に位置決めし、その位置決めした歯車にショットピーニング処理を施すことができる。また、ショットピーニング処理が施された歯車は、そのままの状態でバレル装置に搬送され、バレル装置に対して所定位置及び角度に位置決めすることができる。そして、この位置決めされた歯車に対してバレル処理を施すことができる。このため、各装置において所定の位置及び角度に歯車が位置決めされるため、ショットピーニング処理及びバレル処理を効率的に行うことができるとともに、歯車搬送装置に把持した状態でショットピーニング装置への歯車搬入から、バレル装置からの歯車搬出までの一連の加工プロセスを、被処理物の歯車を任意の３次元姿勢に制御保持して高品質・高能率の自動加工ができる。
【０００８】
請求項１に記載の表面微細加工処理装置では、前記歯車搬送装置は、前記把持部の位置及び角度を調整する駆動装置と、その駆動装置を制御する制御プログラムが内蔵された制御装置と、加工条件を入力する入力装置を有し、前記制御装置は、入力装置から入力された加工条件と制御プログラムに基づいて、前記各装置に対する歯車の位置決め制御を行うように構成しても良い。（請求項２）。
上記装置によれば、入力装置から制御条件、加工条件（速度、位置、角度等）を入力すると、予め内蔵された制御プログラムに基づいて各装置への位置決めが行われる。したがって、入力装置から入力される加工条件を適宜変えることにより、異なる形状の歯車等に対して同一の装置で効率的に処理することができる。
【０００９】
ここで、上記歯車搬送装置としては、ロボット装置を利用することができる。歯車搬送装置にロボット装置を用いれば、ショットピーニング装置・バレル装置への位置決め及び角度調整等を容易に自動化することができる。
また、上記各装置はその底面に車輪・キャスター等の簡易移動手段を設け、移動可能な構成としても良い。このような構成によれば、設置場所の制限からショットピーニング装置及びバレル装置に対する歯車の位置決めに制限を受けるような場合においても、各装置を適宜移動し設置場所の制限を受けないようにレイアウトすることが可能となる。
なお、上記装置で処理される歯車は、その種類によってはショットピーニング処理のみ又はバレル処理のみによっても歯元曲げ強度又は歯面強度の高い高品位な歯車が得られる場合もある。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明を具現化した一実施形態に係る表面微細加工処理装置を図１乃至図７に基き詳細に説明する。ここで、図１は、本実施の形態に係る表面微細加工処理装置の平面図を示し、図２はショットピーニング装置の構造を説明するための図面であり、図３はバレル装置の構成を説明するための図面であり、図４はロボット装置の構造を説明するための図面であり、図５は歯車ワーク固定部の構成を説明するための図面である。図６は主処理プロセスを示す例であり、図７はハイポイドギアのバレル処理状況を模式的に示している。
図１に示すように、本実施の形態に係る表面微細加工処理装置は、表面硬化処理または表面硬化処理が施されていない歯車にショットピーニング処理を施すショットピーニング装置１０と、ショットピーニング装置１０に隣接して設置されたバレル装置２０と、ショットピーニング装置１０及びバレル装置２０に隣接して設けられた歯車搬送装置３０と、歯車を固定する作業を行う作業台等からなる歯車ワーク固定部４０とを備えている。
【００１１】
ショットピーニング装置１０は、図２に示すように、本体フレーム１１に固定された処理槽１８を備える。この処理槽１８の上端には、蓋１５が取付けられており、この蓋１５は本体フレーム１１に固定した空気シリンダ１７により処理槽１８の上端開口部を開閉する。また、空気シリンダ１７近傍の本体フレーム１１には光センサー１６が設けられ、この光センサー１６により処理槽１８内への歯車等のワークの搬入・搬出チェックを行う。
また、処理槽１８の下端には、処理槽１８内で射出された金属球を回収する金属球回収容器１３が設けられる。この金属球回収容器１３内にはコンプレッサからの圧縮空気供給部が収容され、この圧縮された空気を利用して金属球回収容器１３内に回収された金属球がノズル１４に供給される。ノズル１４は、その先端が処理槽１８の周壁から処理槽１８内部に突出するように処理槽１８に取付けられている。ノズル１４の突出量は、ノズル１４を処理槽１８の周壁に対してスライドさせることにより調整できるようになっている。
なお、本体フレーム１１の底面にはキャスター１２ａ、１２ｂ固定脚１９ａ、１９ｂが取付けられており、これら固定脚１９ａ、１９ｂを緩めることによりキャスター１２ａ、１２ｂにてショットピーニング装置１０自体を移動可能としている。
【００１２】
バレル装置２０は、図３に示すように本体フレーム２４の上部に固定されたバレル槽外壁２７と、その内部に設けられた金網と金属フレーム材からなるバレル槽側壁２１と、このバレル槽側壁２１の下部に溶接またはボルトにて固定された底板部２８を備えている。バレル槽外壁２７には光センサー１６が設けられ、この光センサーによりバレル槽内への歯車ワーク等の搬入・搬出チェックを行う。また、バレル槽中心部には円筒体部２４ａが設けられている。
バレル槽底板部２８は軸、軸受け、板状治具からなる接続部２８ａに接続されている。この接続部２８ａは、図示されないシール部に接触した状態でバレル槽外壁２７の底部を貫通し、本体フレーム２４に設置された直交タイプ減速機２３の段付き出力軸２８ｂに連結されて電動モータ６の出力が伝達されるようになっている。
また、バレル槽外壁２７の底部には循環用水溶液を排出する配管部８０が設置され、図示されない循環ポンプ部および排出水の沈殿分離槽部に連結されている。
なお、本体フレーム２４の底面にはキャスター２２、固定脚２９ａ，２９ｂが取り付けられており、固定脚２９ａ、２９ｂを緩めるとキャスター２２にてバレル装置２０自体を移動可能としている。
【００１３】
歯車搬送装置３０は、図４に示すように、機械−電気制御方式の多関節型ロボットである。主構成は装置全体を回転または移動させる下部構造部、支柱や電動モータ、リードネジで装置の角度や位置制御を行う中部構造部（アーム部）およびアーム先端（アタッチメント先端部）で歯車ワークを把持したり、回転および上下動可能とするための電動モータ、リードネジやチャック部等からなる上部構造部からなる。
下部構造部は架台３７に溶接された台板６０およびそれに溶接された固定治具３６，５７およびこれらの治具にピン５２，５３が取り付けられている。台板６０は基礎部３７の図示されない減速機付き電動モータ６１の出力軸と連結しており、台板６０そのものが水平面内で回転自在となっている。さらに基礎部３７内には電動モータ１が付帯しており、その出力軸６２はベルト６３を介して車輪６１に接続されており、これにより歯車搬送装置３０の固定部６４を解除した状態では、歯車搬送装置３０自体が移動可能となる。
中部構造部は支柱３５、電動モータ２つきの駆動部７１、電動モータ３付きの駆動部７２および上部アタッチメント部７３から構成される。駆動部７１はピン５３を介して下部架台治具３７につながり、さらに電動モータ２の出力軸はリードネジ３８ａと治具５６を介して上下動可能なガイド３９ａに連結している。治具５６は支柱３５とピン５５を介して連結され、これにより、電動モータ２の出力軸が回転するとピン５２を中心に支柱３５が揺動する。
同様に、駆動体７２も電動モータ３とリードネジ３８ｂ、治具５９を介してガイド部３９ｂにつながり、リードネジ３８ｂの上端部はピン５４に連結されている。また、治具５９は支柱３５にピン５８を介して連結されている。従って、電動モータ３の出力軸が回転すると、ピン５１を中心にアタッチメント３４ａとアタッチメント本体部３４ｂからなる上部アタッチメント部７３が揺動する。従って、チャック部３１を含めた把持部７４は垂直平面内で角度を変えることが出来る。
アタッチメント３４ａの先端の把持部７４には電動モータ４と電動モータ５が設置されている。電動モータ５が固定される固定用フレーム６９とアタッチメント３４ａとは溶接等にて連結している。電動モータ５の出力軸と一体とされたリードネジ３８ｃ、３８ｄそれぞれは治具６５ａ，６５ｂ及びガイド３９ｃ，３９ｄに連結している。電動モータ４の出力部６６はベルト３３ａ，３３ｂにより補助治具６８ａ、６８ｂと連結している。この補助治具６８ａ、６８ｂには治具３２が固定され、この治具３２の先端部には図に示されないエアーまたは油圧による治具固定のチャック部３１が設置されている。このチャック部３１にて歯車ワーク７の固定治具が把持される。従って、電動モータ４の駆動にてベルト３３ａ，３３ｂ及び治具３２が回転することで歯車ワーク７が回転可能となる。また、治具６５は電動モータ４の固定治具６７と溶接等にて固定されているため、電動モータ５が回転すると、リードネジ３８ｃ，３８ｄが回転し治具６５ａ，６５ｂおよび電動モータ４全体および治具３２とチャック部３１に取り付けた歯車ワークが上下動する。
歯車搬送装置（ロボット）３０の基本動作は次の通りとなる。把持部７４はリードネジ３８ｃ，３８ｄと電動モータ４、５およびチャック部３１で構成される構造をしており、歯車ワーク７は固定用治具を介してチャック部３１に連結される。歯車の上下動は電動モータ５駆動によるリードネジの回転にて行われ、一方、もう一つの電動モータ４により、その回転がベルト３３ａ，３３ｂを介してチャック部３１に伝達され、チャック部３１に掴まれた歯車固定治具３２が回転することで歯車ワークが回転する。
また中部構造部(アーム部)に付帯したその他の電動モータ２，３とリードネジ３８ａ，３８ｂとガイド３９ａ，３９ｂおよび各ピン５１，５２，５３，５４，５５，５８間での２次元平面での各アーム間（支柱３５とアタッチメント３４間）の角度と位置制御が行われ、台板６０が回転することによりアーム部全体が３次元的に移動可能となる。アーム部の２次元平面内での位置、例えば歯車位置が電動モータ２，３の制御出力によるアーム間角度が決まれば、あとは搬送装置３０全体の回転角度を決めることで３次元空間座標位置がきまる。またチャック部３１に固定された歯車ワーク７は回転するとともに上下動するので、さらに任意の微調整位置決めと角度調節が可能となる。
かかるロボット装置にて、例えば２次元平面内にてアタッチメント３４ａが仰角１５度、俯角２３度まで変化可能な場合、歯車外歯回転面の稜線方向がその回転中心方向に対して３８度まで傾いている歯車も外歯回転面の稜線方向は例えばバレル装置のバレル槽側壁面と平行な面が保て効果的処理ができる。
【００１４】
歯車固定部４０は、図５に示すように、固定用フレーム４４の内部に歯車固定用治具４２をエアーにて固定する装置４３ａ，４３ｂが設置されている。固定用フレーム４４の上部にはベルトコンベアー９０および歯車移動部８を経由して送られてきた単数または複数個の歯車ワーク７を上述の固定装置４３ａ，４３ｂにて固定するための治具部４１ａ，４１ｂが設けてある。
冶具部４１ａ，４１ｂの所定の位置（図５では４５と４６の位置）にセットされた歯車ワーク７は、これを固定する専用治具４４ａの端部を歯車搬送装置３０の把持部７４のチャック部３１にて掴まれることで固定される。歯車ワーク７は処理後４５，４６の位置に戻り、セットされた場合はチャック部３１の解放後、歯車固定部４０に対し前述の歯車移動部８とベルトコンベアー９０と反対の位置におかれた歯車移動部８とベルトコンベアー９０を経由して搬出される。
なお、固定用フレーム４４の下部にはキャスター４６、固定脚４９ａ，４９ｂが付帯しており、固定脚４９ａ，４９ｂの固定を解放するとキャスター４６にて歯車固定部４０自体を移動可能としている。図５には制御装置５０も同時に示している。
なお、ベルトコンベアー９０は別の搬送装置としても良い。
【００１５】
上述したように構成される表面微細加工処理装置を用いて歯車に対して表面処理加工を施す場合を説明する。
本装置での一般的処理工程は次の通りである。すなわち、搬入―歯車固定―搬送―ショットピーニング―搬送―バレル―搬送―歯車解放―搬出工程である。この全ての行程でロボット装置３０が使われる。各工程での各装置１０、２０、３０の主制御および加工条件パラメータは次の通りである。
すなわち、ロボット装置３０は角度、位置、速度、時間であり、ショットピーニング装置１０は速度、時間、蓋開閉であり、バレル装置２０は速度、時間であり、上記各装置１０、２０、３０に共通のものは、開始、停止、復帰、再起動、緊急停止である。図６に処理プロセスの一例を、代表的制御条件、加工条件パラメータとともに示す。
以下の説明では、モジュール３、歯数４６、歯幅２５のハイポイド歯車の処理を対象に説明する。上記サイズの歯車をショットピーニング処理する場合は1分以内、バレル処理では稼働率と経済性の点から一個あたり数分以内が好ましい。このため効率的処理を考慮し歯車を積み重ねた歯車ロットとして処理する場合を示す。
【００１６】
上記表面微細加工自動処理装置では次のようにして処理される。歯車の一個流しまたは数個積み重ねた歯車のロット７は、ベルトコンベアー９０にて本装置に搬入される。その歯車７は固定部（作業台）４０にて図２に示されない装置にて掴み位置４５，４６へ移動する。この歯車７を位置決めした位置に、歯車搬送装置（ロボット装置）３０のチャック部３１を移動させ、歯車ワーク７を固定した治具部を掴み固定する。本ロボット装置３０の把持部にはチャック部３１が２個所あり上記歯車では計１０個程度の歯車が設置可能である。
【００１７】
ロボット装置３０のチャック部３１に歯車ワーク７が固定されると、ロボット装置３０は、支柱３５、アタッチメント３４ａ，３４ｂのアーム位置関係を調節させるための電動モータ１，２，３を駆動し、ショットピーニング装置１０内に搬送される。すなわち、歯車搬送装置（ロボット装置）３０にて固定された歯車ワーク７は、ショットピーニング球散逸防止のためのゴムカバー付き蓋１５が開の状態にてショットピーニング装置１０内へと搬送される。図２にショットピーニング装置１０とロボット装置３０との関係概要を示す。
その際、前項と同様の制御方式つまり、ロボット装置３０の回転とアーム部の支柱３５とアタッチメント３４ａまたはアタッチメント本体部３４ｂの角度関係にて歯車ワーク７は適切な位置へ移動し、適切なノズル投射角度と位置関係にて保持される。またノズル１４から１００ないし２００ｍｍの範囲で歯車表面とノズル１４との間の距離を一定に保ち、歯車ワーク７の歯元へ垂直に入射できるようにロボット装置３０にて微調整される。これらはロボット装置３０の把持部７４にＣＣＤカメラ９を設置し遠隔にてモニター操作も可能であり、位置センサーと電動モータおよびコンピュータ制御装置と結びつけることにより自動制御が可能である。上記位置決め後、ショットピーニング装置の蓋１５が閉められショットピーニング処理が施される。ショットピーニング処理の処理空気圧力の調整は空気供絵部１３にて行われる。
歯車ロットの上下動は電動モータ５の駆動にても行え、角度と位置の微調整はロボット装置３０のアーム部の制御と回転により行われる。
特に、ベベル歯車やハイポイド歯車の処理では歯車外歯回転面の稜線方向が回転中心に傾斜した円錐面であり、且つ、ねじれ角を持っている場合が多く、ノズルを適切な角度と距離を保持して効果的な歯元狙いの処理が困難で手間が掛かっていたが、本実施の形態のロボット装置３０を適用することにより、歯車の傾斜保持が容易で且つ任意角度と位置設定が容易となり効果的処理ができる。また、処理中の角度や位置の変更も容易で、処理条件の変更も可能である。
処理後蓋１５が開けられ、歯車搬送装置３０の回転とアーム部の制御にて歯車ワーク７はショットピーニング装置１０から次の工程へ搬送される。
【００１８】
次に歯車ワーク７はバレル装置２０へ搬送される。図３にバレル装置２０とロボット装置３０との関係概要例を示す。
このバレル装置３０への搬送と同時に、バレル装置２０に電源が入りバレル槽回転用電動モータ６と歯車上下動用電動モータ５、歯車回転用電動モータ４が回転し始める。この後は前項ショットピーニング処理の場合と同様にロボット装置３０により歯車ワーク７は任意に角度と位置が決められる。
歯車ワーク７の外歯回転面の稜線７ａはバレル槽の側壁面２１と平行となるようにロボットにて微調整される。特にベベルやハイポイド歯車の場合でもロボットの制御にて容易に設定できる。従って、バレル装置２０の回転による砥石遠心力を利用して歯車の歯幅全体に均一に且つ効果的に加工処理できる。この時の状況を図７に模式的に示す。
処理時の歯車ワーク７の装置深さは主に前の処理工程と同様に電動モータ５駆動にても上下動調整可能である。また、処理中の角度と位置の変更および処理条件の変更がロボット装置３０の制御にて可能である。
【００１９】
バレル装置３０による処理が施された後に、電動モータ４，５，６は停止し、ロボット装置３０の制御にてアーム部（支柱３５、アタッチメント３４ａ、アタッチメント本体部３４ｂ、把持部７４）は角度や位置を替え、且つロボット装置の回転動作との連動にて搬送され、歯車固定部４０へと移動する。この後、チャック部３１の固定を解放し、上記固定部（作業台）４０の図示されない歯車移動部８へと移る。その後ベルトコンベアー９０へ移動し、本装置から搬出される。
【００２０】
なお、ショットピーニング処理のみまたはバレル処理のみの場合はそれぞれ後者または前者の工程が省かれる場合もある。例えば、装置番号にてそのプロセスを順に示すと、ベルトコンベアー９０−固定部４０−ショットピーニング装置１０−固定部４０−ベルトコンベアー９０、またはベルトコンベアー９０−固定部４０−バレル装置２０−固定部４０−ベルトコンベアー９０の各装置工程にたいしても前項と同様の内容にて処理される。
【００２１】
なお、上述した例では、歯車固定部４０、ショットピーニング装置１０、およびバレル装置２０の相互関係は図１では互いに歯車搬送装置（ロボット装置）３０の中心Ｏに対してそれぞれの中心Ｓ、Ｂとを結んだ線ＯＢ，ＯＳとは９０度の角度と位置関係を保って隣接して併設しているが、ロボット装置３０のアーム部（支柱３５とアタッチメント３４ａ、アタッチメント本体部３４ｂ）が届く範囲内にで、ショットピーニング装置１０とバレル装置２０の各固定脚部に例えばキャスター１２ａ、１２ｂ、および２２を付帯することにより任意の位置へ移動可能である。このようにして処理上、有効な角度と位置関係決めが可能となり、結果的に設置空間を有効に使えることとなる。
【００２２】
また、図４に示すように歯車搬送装置３０の上部構造部のアタッチメント３４ａまたは把持部７４へＣＣＤカメラ９を設置することにより、ＣＲＴ等のモニターを通して位置決め角度決めが可能で容易となる。また、ロボット装置３０の電動モータ２、３，５のリードネジ部およびショットピーニング装置蓋部１５の空気シリンダー部１７への位置センサー、ショットピーニング装置１０の蓋部とバレル装置２０の側壁面上部への各光センサー１６、２６を設置することにより移動量限界と物の搬入・搬出チェックができ、安全装置としての機能も具備している。光センサー１６，２６の設置位置例を図２および図３に☆印で示す。
【００２３】
また、図４のロボット装置３０の電動モータ２，３，４，５および図示されない下部構造部内の電動モータおよびバレル部電動モータ６、チャック部３１，ショットピーニング装置１０の空気シリンダー１７、コンプレッサー部１３、および上記各装置に設置した前項の位置センサーや光センサーを用いることで、機械−電気制御によるシーケンシャル制御、またはＡ／Ｄ変換装置によるプログラム制御にて位置、角度制御、開始、停止、速度等の条件設定が可能となりトータルシステム装置としての全自動が可能である。また位置センサーや光センサー、電動モータ等はリミッターとして機能し上記自動化機能と連携することにより安全運転停止復帰が容易な機能も併せ持っている。さらには、ロボット装置３０の把持部７４の先端に設置したＣＣＤカメラ９を通しＣＲＴ等のモニターにて遠隔制御も可能であり、より効果的処理が可能な装置である。
【００２４】
上述したことから明らかなように、本実施の形態にかかわる表面微細加工自動処理装置によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
（１）ショットピーニング装置１０とロボット装置３０との関係において歯車ワーク７の位置を、ロボット装置３０の各アーム間の角度および回転を調整させることで任意の位置と角度に位置決めすることができる。従って、有効なショットピーニング効果が得られ処理が容易となる。これにより従来の方式では歯車の歯元や歯面の処理が不可能な複雑形状な歯車歯面処理ができ高品位歯車が容易に得られることとなる。
【００２５】
（２）バレル装置２０においても前記ショットピーニング装置１０と前記ロボット装置３０との関係が同様に当てはまる。
つまり、バレル装置２０とロボット装置３０との関係においてロボット装置３０の制御にて３次元空間の任意の角度と位置の設定が可能である。例えば、従来処理効果が十分でなかったハイポイドやベベル歯車で歯車外歯回転面の稜線をバレル槽の側壁面と平行に置くことにより砥石と歯車の相対運動差と遠心力を利用した研削力を最大限に引き出すことで有効な処理が可能となる。また、微少角度と位置の制御が可能なため処理が容易となる。さらに、従来不可能であった処理中の上記制御も可能となり且つ処理条件の変更も可能なため処理効果がさらに上がる。
【００２６】
（３）ショットピーニング装置１０、バレル装置２０、歯車固定部４０それぞれの脚部に移動可能なキャスターを付帯し、ロボット装置３０にも電動モータ駆動の車輪を付帯することにより、ロボット装置３０の可動範囲と各装置１０、２０、４０の移動範囲が広がり各装置での処理の際さらに大きい角度と位置制御範囲が得られることとなるので、歯車処理上さらに有利な条件が生じる。
【００２７】
（４）高品位歯車を得るために、歯車搬入後の処理の際、上記ロボット装置３０とショットピーニング装置１０、バレル装置２０との相互関係において、ロボット装置３０による歯車チャック、搬送、ショットピーニング、搬送、バレル処理、搬送、歯車固定治具開放と一連の処理が連続で可能であり、上記処理工程中の角度と位置設定が可能である。従って、電動モータ制御出力とアームの動きを関連つけた機械−電気制御のシーケンシャル制御またはＡ／Ｄ変換装置付帯のコンピュータ制御装置とリンクすることにより全処理工程を全自動にて運転することができる。
【００２８】
（５）従来、高品位歯車を得るのに困難であったベベル歯車やハイポイド歯車等の複雑形状歯車の表面微細加工処理が本装置を用いることにより角度と位置制御が容易に行え効果的処理が可能となった。これにより従来３０分から１時間掛かる処理が半分以下の短時間処理が可能である。
また、同時にロット処理（１０個程度）を可能にすることにより１個あたりの処理時間はさらに短縮し数分にて処理できることとなった。各隣接して併設したロボット装置３０、ショットピーニング装置１０、バレル装置２０を電気−機械制御にて前項の如く有機的に結びつけることにより自動処理が可能となり、処理毎に装置から外すことなく処理できるのでさらに処理時間の短縮が可能となった。
さらに各種位置センサーの設置により作業の改善と安全な運転操作が可能となった。
【００２９】
なお、本実施の形態に係る表面微細加工処理装置は、表面硬化処理や表面被覆処理した金属歯車に限らず、非金属、セラミックス、高分子材の歯車、およびシリンダー、ピストン、軸、カム、ネジ、チェーン、ピン、軸受、等の機械部品すべてに対し高品位処理が可能である。また、歯車に代表される要素技術としての歯元曲げ、歯面強度向上のみならず、摺動部の耐摩耗性向上、コーナー部の円滑化、バリ取り処理としても有効である。さらには、電気部品やＩＣ部品の研削やコーナー丸み付けや形状揃え処理にも、バレル装置２０とロボット装置３０は用いることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】装置全体概要平面図
【図２】ショットピーニング装置とロボット装置相関概要
【図３】バレル装置とロボット装置相関概要
【図４】ロボット装置概要
【図５】歯車ワーク固定部概要
【図６】主処理プロセス例
【図７】ハイポイド歯車バレル処理状況
【符号の説明】
１０・・ショットピーニング装置
２０・・バレル装置
３０・・歯車搬送装置（ロボット装置）
４０・・固定部
５０・・制御部
７４・・ロボット装置アタッチメント上部（把持部）
９０・・ベルトコンベアー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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