(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに貼合わされた一対の基板と、
これら一対の基板のうち、一方の基板の対向面における所定箇所に設けられた検査用の内側電極と、
他方の基板の対向面に前記内側電極の外周をそれと重なり合わずに囲む形状で前記内側電極と対向可能に設けられた検査用の外側電極と、
前記一対の基板間における前記内側電極と前記外側電極との対応可能な領域内に設けられ、厚み方向に導電性を呈し、面方向に絶縁性を呈する異方導電性部材と
を備えたことを特徴とする基板の検査構造。
【請求項２】
前記内側電極は円形状に形成され、前記外側電極は、その内径が前記内側電極の外径よりも前記一対の基板の相対的な位置ずれ量の許容範囲だけ大きいほぼリング形状に形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板の検査構造。
【請求項３】
前記内側電極は円形状に形成され、前記外側電極は、その内径が前記内側電極の外径とほぼ同じ大きさのほぼリング形状で、そのリング形状の幅が前記一対の基板の相対的な位置ずれ量の許容範囲よりも大きい間隔で形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板の検査構造。
【請求項４】
前記一対の基板間における前記内側電極と前記外側電極との対応可能な領域の近傍には導電部が設けられ、この導電部には前記内側電極と前記外側電極のいずれか一方が接続されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか記載の基板の検査構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶表示素子などの平面型表示素子に用いられる基板の検査構造に関し、更に詳しくは互いに貼合わされた一対の基板の相対的な位置ずれを検査する基板の検査構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶表示素子においては、互いに対向する一対の透明基板を備え、これら一対の透明基板の対向面にそれぞれ透明電極を多数形成し、これら透明電極を互いに対向させた状態で一対の透明基板をシール材により貼合わせ、この貼合わされた一対の透明基板間におけるシール材で囲われた領域内に液晶を封入し、この状態で、対向する透明電極間に選択的に電圧を印加することにより、情報を表示するように構成されたものが知られている。この場合、一方の透明基板にカラーフィルタを設けることにより、情報をカラーで表示することのできるカラー液晶表示素子も知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このような液晶表示素子では、一対の透明基板をシール材により貼合わせる際、一対の透明基板が相対的に位置ずれを起こすと、これに伴って互いに対向する透明電極同士も位置ずれを起こすことになり、これにより画素変形や異常点灯、コントラストの低下などが発生し、またカラー液晶表示素子では色見が変化するなどの不具合が生じ、表示品位の低下や製品不良などの原因になる。このようなことは、特に液晶表示素子の大型化および高精細化が進むにつれて顕著に現れる。
そのため、このような液晶表示素子の品質を確保するには、製造した後に、互いに貼合わされた一対の透明基板の相対的な位置ずれを検査し、許容範囲を越えた不良品を取り除く必要がある。この検査方法には、専用の測定装置を用いて一対の透明基板の相対的な位置ずれ量を測定する方法、あるいは液晶表示素子を駆動させてその表示状態を検査者の肉眼で検査する感応検査法などがあるが、前者の測定装置による検査方法では専用の測定装置が必要であるため検査コストが高くなるという問題があり、後者の感応検査では検査者の肉眼で検査しているため判定結果にバラツキが生じるという問題がある。
【０００４】
この発明の課題は、低価格で、許容範囲を越えた一対の基板の相対的な位置ずれを正確にかつ速やかに判定できるようにすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明は、互いに貼合わされた一対の基板と、これら一対の基板のうち、一方の基板の対向面における所定箇所に設けられた検査用の内側電極と、他方の基板の対向面に前記内側電極の外周をそれと重なり合わずに囲む形状で前記内側電極と対向可能に設けられた検査用の外側電極と、前記一対の基板間における前記内側電極と前記外側電極との対応可能な領域内に設けられ、厚み方向に導電性を呈し、面方向に絶縁性を呈する異方導電性部材とを備えたことを特徴とする。
この発明によれば、一対の基板を貼合わせた際、内側電極が外側電極に重なり合わずに囲まれた状態で異方導電性部材を介して対向している場合には、異方導電性部材が介在されていても、内側電極と外側電極とが導通せず、また内側電極と外側電極との一部が異方導電性部材を介して重なり合った状態で対向している場合には、異方導電性部材を介して内側電極と外側電極とが導通することになり、この導通状態に基づいて一対の基板の相対的な位置ずれ量が許容範囲を越えているか否かが検出でき、これにより許容範囲を越えた一対の基板の相対的な位置ずれを正確にかつ速やかに判定することができ、また一方の基板に内側電極を設け、他方の基板に外側電極を設け、これら両電極間に異方導電性部材を設けた構成であるから、構造が簡単で、低価格なものを得ることができる。
【０００６】
この場合、請求項２に記載のごとく、前記内側電極は円形状に形成され、外側電極は、その内径が前記内側電極の外径よりも前記一対の基板の相対的な位置ずれ量の許容範囲だけ大きいほぼリング形状に形成されていることにより、互いに貼合わされた一対の基板の相対的な位置ずれ量が許容範囲を越えていると、内側電極と外側電極との一部が異方導電性部材を介して重なり合った状態で対向し、内側電極と外側電極とが異方導電性部材を介して導通するので、許容範囲を越えた一対の基板の相対的な位置ずれを速やかに判定することができる。
また、請求項３に記載のごとく、前記内側電極は円形状に形成され、前記外側電極は、その内径が前記内側電極の外径とほぼ同じ大きさのほぼリング形状で、そのリング形状の幅が前記一対の基板の相対的な位置ずれ量の許容範囲よりも大きい間隔で形成されていることにより、一対の基板が相対的に位置ずれして貼合わされると、その位置ずれ量に応じて内側電極と外側電極との一部が異方導電性部材を介して重なり合った状態で対向し、その重なり合って対向した部分の面積に応じて異方導電性部材の電気抵抗が変化するので、この電気抵抗の変化に基づいて一対の基板の相対的な位置ずれ量を数値化して検出することができる。
さらに、請求項４に記載のごとく、前記一対の基板間における前記内側電極と前記外側電極との対応可能な領域の近傍には導電部が設けられ、この導電部には前記内側電極と前記外側電極のいずれか一方が接続されていることにより、内側電極と外側電極のいずれか一方を導電部を介して他方の基板側と導通させることができ、これにより内側電極と外側電極の各検査用端子を同一基板に設けることができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
［第１実施形態］
以下、図１〜図４を参照して、この発明を液晶表示素子に適用した第１実施形態について説明する。
図１は液晶表示素子の正面図、図２はそのＡ−Ａ拡大断面図である。この液晶表示素子は、一対の透明基板１、２を備えている。これら透明基板１、２は、ガラスや合成樹脂からなる板状またはフィルム状のものであり、図２に示すように、上下に対向して配置されている。この場合、上側の透明基板１は、図１に示す左端部が上側の透明基板１の左端部よりも外側に突出しており、下側の透明基板２は、図１に示す上下の各端部が下側の透明基板２の上下の各端部よりも外側に突出している。
【０００８】
これら透明基板１、２のうち、下側の透明基板２の上面には、ＩＴＯなどの透明な導電材料からなる信号電極３が図１に示す縦方向（列方向）に形成され、この信号電極３が図１に示す横方向（行方向）に多数配列されている。また、この下側の透明基板２の上面における上下の各端部には、図１に示すように、各信号電極３の電極端子４が配列されている。
また、上側の透明基板１の下面には、ＩＴＯなどの透明な導電材料からなる走査電極５が図１に示す行方向に形成され、この走査電極５が同図に示す列方向に多数配列されている。この上側の透明基板１の下面における左端部には、図１に示すように、走査電極５の電極端子６が配列されている。
そして、上下の透明基板１、２は、信号電極３と走査電極５とを互いに直交させて対向させ、この状態で透明基板１、２間の周縁部に設けられたシール材７により接合されている。また、上下の透明基板１、２間におけるシール材７で囲われた領域内には、液晶８が封入されている。この液晶８が封入された領域内には、信号電極３と走査電極５とが対向し、これら両電極３、５間に選択的に電圧が印加されたときに、情報を表示する有効表示領域９が設けられている。
【０００９】
ところで、この液晶表示素子には、上下の透明基板１、２が貼合わされた際、その透明基板１、２の相対的な位置ずれを検査する検査部１０が設けられている。この検査部１０は、下側の透明基板２の上面に設けられた内側電極１１と、上側の透明基板１の下面に設けられた外側電極１２と、これら内側電極１１と外側電極１２とが対向可能な領域内に設けられた異方導電性部材１３とを備え、液晶８が封入された領域内における有効表示領域９の外側に設けられている。
すなわち、内側電極１１は、図１に示す下側の透明基板２の上面の左上隅に設けられ、その形状が図３（ａ）に示す円形状に形成されている。この内側電極１１は、接続ライン１４により下側の透明基板２の上面における上端部に設けられた検査用の出力端子１５と電気的に接続されている。なお、この接続ライン１４は、後述する外側電極１２と対向する箇所、もしくはその全部が絶縁膜（図示せず）で覆われている。また、内側電極１１、接続ライン１４、および出力端子１５は、信号電極３と同時に下側の透明基板２に形成されている。
【００１０】
また、外側電極１２は、図１に示す上側の透明基板１の下面の左上隅で、図３および図４に示すように、上下の透明基板１、２が貼合わされた際、内側電極１１と対向可能な箇所に設けられている。すなわち、この外側電極１２は、図３（ａ）に示すように、内側電極１１の外周をそれと重なり合わずに囲むほぼリング形状に形成され、その内径が内側電極１１の外径よりも大きく、外側電極１２の内周と内側電極１１の外周との間に上下の透明基板１、２の相対的な位置ずれ量の許容範囲の隙間Ｐをもって形成されている。この場合、許容範囲が位置ずれの方向によって異なるときには、許容範囲の隙間Ｐを均等に形成せず、位置ずれ方向の許容範囲に応じて異なる幅の隙間で形成する。このときには、外側電極１２が例えば楕円などのリング形状となる。また、この外側電極１２は、接続ライン１６により下側の透明基板１２の上面における左端部に設けられた検査用の入力端子１７と電気的に接続されている。なお、外側電極１１は、図３（ａ）に示す基準状態（つまり上下の透明基板１、２の相対的な位置ずれがまったく無い状態）で、内側電極１１の接続ライン１４と対向する箇所に切欠部１１ａが設けられているが、接続ライン１４が絶縁膜で覆われていることにより、必ずしも切欠部１１ａを設ける必要はない。また、外側電極１２、接続ライン１６、および入力端子１７は、走査電極５と同時に上側の透明基板１に形成されている。
【００１１】
さらに、異方導電性部材１３は、図３（ｂ）および図４（ｂ）に示すように、上下の透明基板１、２間における内側電極１１と外側電極１２とが対応可能な領域内に外側電極１２の外周と同じか、それよりも少し大きく設けられている。この異方導電性部材１３は、エポキシ樹脂、アクリル樹脂などの合成樹脂のベース中に導電粒子を分散させたものである。導電粒子は、無機質、有機質からなるほぼ球状のスペーサの表面にクロム（Ｃｒ）や銀（Ａｕ）などの金属膜を形成したものであり、その粒径ｘは上下の透明基板１、２間のギャップｄ（液晶層の厚み）と同等か、もしくはそれよりも２０％程度大きく形成されており（ｄ≦ｘ≦１．２ｄ）、その混合比は０．１〜１０重量％程度である。この異方導電性部材１３では、上下の透明基板１、２が貼合わされて所定のギャップｄに形成されると、その厚み方向に導電性を有するが、それと垂直な面方向には導電粒子が互いに接触しない限りにおいて導電性を有しない絶縁性を呈する。なお、この異方導電性部材１３は、透明基板１、２が貼合わされる前に、スクリーン印刷またはディスペンサにより予め透明基板１、２のいずれかにその内側電極１１またはその外側電極１２を覆って設けられている。
【００１２】
次に、このような液晶表示素子の上下の透明基板１、２の相対的な位置ずれを検査する場合について説明する。
上下の透明基板１、２をシール材７を介して貼合わせた際、図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように、上下の透明基板１、２が相対的に矢印Ｚ方向にずれ量Ｑだけ位置ずれしたとする。
このときのずれ量Ｑが許容範囲内である場合（Ｑ≦Ｐ）には、内側電極１１が外側電極１２に重なり合わずに囲まれた状態で異方導電性部材１３を介して対向する。このときには、内側電極１１と外側電極１２との間に異方導電性部材１３が介在されていても、内側電極１１と外側電極１２とが重なり合った状態で対向していないため、内側電極１１と外側電極１２とが導通することがなく、入力端子１７に電流を供給しても出力端子１５に電流は流れない。
また、上下の透明基板１、２の相対的なずれ量Ｑが許容範囲を越えている場合（Ｑ＞Ｐ）には、内側電極１１と外側電極１２との一部が異方導電性部材１３を介して重なり合った状態で対向する。このときには、内側電極１１と外側電極１２との重なり合った状態で対向する部分が異方導電性部材１３を介して導通するので、入力端子１７に電流を供給すると、出力端子１５に電流が流れる。
【００１３】
このように、この液晶表示素子によれば、上下の透明基板１、２の相対的なずれ量Ｑが許容範囲を越えていなければ、内側電極１１と外側電極１２とが異方導電性部材１３を介して導通せず、ずれ量Ｑが許容範囲を越えていれば、内側電極１１と外側電極１２とが重なり合った状態で対向する部分が、異方導電性部材１３を介して導通するので、許容範囲を越えた上下の透明基板１、２の相対的な位置ずれを正確にかつ速やかに判定することができる。
また、この液晶表示素子では、下側の透明基板２の上面に内側電極１１を設け、上側の透明基板１の下面に外側電極１２を設け、内側電極１１と外側電極１２との対応可能な領域に異方導電性部材１３を設けた構成であるから、内側電極１１を下側の透明基板２に信号電極３と同時に形成でき、外側電極１２を上側の透明基板１に走査電極５と同時に形成でき、異方導電性部材１３をシール材７と同じ工程で形成することができ、これにより検査部１０を設けても製造工程が増えることがなく、構造も簡単で、低価格なものを得ることができる。
【００１４】
［第２実施形態］
次に、図５および図６を参照して、この発明を液晶表示素子に適用した第２実施形態について説明する。なお、図１〜図４に示された第１実施形態と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
この液晶表示素子は、検査部１０の近傍における上下の透明基板１、２間に導電部２０を設け、上側の透明基板１の外側電極１２と接続される入力端子１７を下側の透明基板２に設けた構成で、これら以外は第１実施形態とほぼ同じ構成になっている。
【００１５】
すなわち、導電部２０は、図５に示すように、液晶８が封入された領域内における有効表示領域９の外側で、内側電極１１と外側電極１２とが対応可能な領域の近傍に設けられている。この導電部２０は、図６に示すように、下側の透明基板２の上面に設けられた下側電極２１と、上側の透明基板１の下面に下側電極２１と対向して設けられた上側電極２２と、これらの間に設けられた異方導電性部材１３とからなり、この異方導電性部材１３により下側電極２１と上側電極２２とが常に導通した構成になっている。この場合、異方導電性部材１３は、検査部１０と同じもので、その検査部１０が形成される領域から導電部２０が形成される領域内に延出されて設けられている。
そして、上側の透明基板１に設けられた外側電極１２は、接続ライン２３により導電部２０の上側電極２２に接続されている。また、下側の透明基板２の上面における上端部には、入力端子１７が出力端子１５の右隣に設けられており、この入力端子１７は接続ライン２４により導電部２０の下側電極２１に接続されている。
【００１６】
このような液晶表示素子では、第１実施形態と同様の作用効果があるほか、特に検査部１０の近傍における上下の透明基板１、２間に導電部２０を設け、この導電部２０の上側電極２２に上側の透明基板１の外側電極１２を接続ライン２３により接続したので、上側電極２２が異方導電性部材１３により下側電極２１と導通することになり、これにより上側の透明基板１の外側電極１２と下側の透明基板２の下側電極２１とを導通させることができ、このため出力端子１５と入力端子１７を下側の透明基板２のみに設けることができる。
なお、上記第２実施形態では、上側の透明基板１の外側電極１２を導電部２０に接続したが、これに限らず、例えば、下側の透明基板２の内側電極１１を導電部２０に接続しても良い。このようにすれば、入力端子１７と出力端子１５を上側の透明基板１のみに設けることができる。
【００１７】
［第３実施形態］
次に、図７および図８を参照して、この発明を液晶表示素子に適用した第３実施形態について説明する。この場合にも、図１〜図４に示された第１実施形態と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
この液晶表示素子は、検査部３０の外側電極３１の形状およびその機能が第１実施形態と異なり、これら以外は第１実施形態と同じ構成になっている。
すなわち、この検査部３０は、下側の透明基板２の上面に設けられた内側電極１１と、上側の透明基板１の下面に設けられた外側電極３１と、これら内側電極１１と外側電極１２との対向可能な領域内に設けられた異方導電性部材１３とを備えている。内側電極１１は、第１実施形態と同様、下側の透明基板２の上面に円形状に形成されており、異方導電性部材１３も、第１実施形態と同じ構造で設けられている。
【００１８】
外側電極３１は、図７および図８に示すように、上側の透明基板１の下面で、内側電極１１と対応可能な箇所に、内側電極１１の外周をそれと重なり合わずに囲むほぼリング形状に形成されている。この外側電極３１は、そのリング形状の内径が内側電極１１の外径と同等か、それよりも僅かに大きく形成され、そのリング形状の幅が上下の透明基板１、２の相対的な位置ずれ量の許容範囲よりも大きい間隔Ｒで形成されている。この場合、許容範囲が位置ずれの方向によって異なるときには、外側電極３１を円形のリング形状に形成せず、位置ずれ方向の許容範囲に応じて外側電極３１の内周と内側電極１１の外周との間に異なる隙間を有するような例えば楕円などのリング形状に形成する。なお、外側電極３１は、図７（ａ）に示す基準状態で、内側電極１１の接続ライン１４と対向する箇所に切欠部３１ａが設けられているが、第１実施形態と同様、接続ライン１４が絶縁膜で覆われていれば、必ずしも切欠部３１ａを設ける必要はない。
【００１９】
このような液晶表示素子では、上下の透明基板１、２を貼合わせた際、図８（ａ）および図８（ｂ）に示すように、上下の透明基板１、２が相対的に矢印Ｚ方向にずれ量Ｑだけ位置ずれしたとすると、そのずれ量Ｑに応じて内側電極１１と外側電極３１との一部が異方導電性部材１３を介して重なり合った状態で対向し、この重なり合った状態で対向した部分のみが異方導電性部材１３を介して導通し、この導通状態に応じて入力端子１７に供給された電流が出力端子１５に流れる。すなわち、ずれ量Ｑに応じて内側電極と外側電極との一部が重なり合った状態で対向すると、その重なり合った状態で対向した部分の面積に応じて異方導電性部材１３の電気抵抗が変化するので、この電気抵抗値または電流値に基づいてずれ量Ｑを数値化して検出することができる。このとき、外側電極３１はリング形状の幅が上下の透明基板１、２の相対的な位置ずれ量の許容範囲よりも大きい間隔Ｒで形成されているので、ずれ量Ｑの値が位置ずれ量に応じてゼロから許容範囲以上の値まで検出されることになるため、予め、位置ずれ量の許容範囲の限界値を電気抵抗値または電流値として設定しておくことにより、許容範囲を越えた上下の透明基板１、２の相対的な位置ずれを数値化して正確にかつ速やかに判定することができる。
【００２０】
なお、上記第３実施形態では、内側電極１１を下側の透明基板２の出力端子１５に接続し、外側電極３１を上側の透明基板１の入力端子１７に接続したが、これに限らず、第２実施形態と同様、検査部３０の近傍における上下の透明基板１、２間に導電部２０を設け、この導電部２０に外側電極３１を接続し、この導電部２０を介して外側電極３１を下側の透明基板２側に導通させることにより、下側の透明基板２に入力端子１７と出力端子１５を設けるようにしても良く、また内側電極１１を導電部２０に接続し、この導電部２０を介して内側電極１１を上側の透明基板１側に導通させることにより、上側の透明基板１に出力端子１５と入力端子１７を設けるようにしても良い。
また、上記第１〜第３実施形態では、検査部１０、３０の内側電極１１を円形状に形成し、外側電極１２、３１をほぼリング形状に形成したが、これに限らず、例えば、内側電極１１を四角形、六角形などの多角形状に形成し、外側電極１２、３１を四角形、六角形などの多角形の枠形状に形成しても良い。
さらに、上記第１〜第３実施形態では、白黒表示用の液晶表示素子に適用した場合について述べたが、これに限らず、例えば、カラー表示用の液晶表示素子に適用することもでき、また液晶表示素子に限らず、プラズマディスプレイなど、他の平面型ディスプレイにも適用できるほか、複数の基板を貼合わせるものに広く適用することができる。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、互いに貼合わされた一対の基板のうち、一方の基板の対向面に内側電極を設け、他方の基板の対向面における内側電極と対向可能な箇所に、内側電極をそれと重なり合わずに囲む形状の外側電極を設け、これら内側電極と外側電極との対向可能な領域内に、厚み方向のみに導電性を呈する異方導電性部材１３を設けたので、一対の基板を貼合わせた際、内側電極が外側電極に重なり合わずに囲まれた状態で対向している場合には、異方導電性部材を介して内側電極と外側電極とが導通せず、また内側電極と外側電極との一部が重なり合った状態で対向している場合には、異方導電性部材を介して内側電極と外側電極とが導通し、この導通状態に基づいて位置ずれ量が許容範囲を越えているか否かが検出でき、これにより許容範囲を越えた一対の基板の相対的な位置ずれを正確にかつ速やかに判定することができ、また一方の基板に内側電極を設け、他方の基板に外側電極を設け、これら両電極間に異方導電性部材を設けた構成であるから、構造が簡単で、低価格なものを得ることができる。
【００２２】
この場合、内側電極を円形状に形成し、外側電極を、その内径が内側電極の外径よりも一対の基板の相対的な位置ずれ量の許容範囲だけ大きいほぼリング形状に形成することにより、互いに貼合わされた一対の基板の相対的な位置ずれ量が許容範囲を越えていると、内側電極と外側電極とが異方導電性部材を介して重なり合った状態で対向し、内側電極と外側電極とが異方導電性部材を介して導通するので、許容範囲を越えた位置ずれを速やかに判定することができる。
また、内側電極を円形状に形成し、外側電極をその内径が内側電極の外径とほぼ同じ大きさのほぼリング形状に形成し、そのリング形状の幅を一対の基板の相対的な位置ずれ量の許容範囲よりも大きい間隔で形成することにより、一対の基板が相対的に位置ずれして貼合わされると、その位置ずれ量に応じて内側電極と外側電極との一部が重なり合った状態で対向し、その重なり合った状態で対向した部分の面積に応じて異方導電性部材の電気抵抗が変化するので、この電気抵抗の変化に基づいて一対の基板の相対的な位置ずれ量を数値化して検出することができる。
さらに、一対の基板間における内側電極と外側電極との対応可能な領域の近傍に導電部を設け、この導電部に内側電極と外側電極のいずれか一方を接続することにより、内側電極と外側電極のいずれか一方を導電部を介して他方の基板側と導通させることができ、これにより内側電極と外側電極の各検査用端子を同一基板に設けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を液晶表示素子に適用した第１実施形態の正面図。
【図２】図１のＡ−Ａ拡大断面図。
【図３】図１の検査部の基準状態を示し、（ａ）はその拡大図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図。
【図４】図１の上下の透明基板が相対的に位置ずれしたときの図３の検査部の状態を示し、（ａ）はその拡大図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図。
【図５】この発明を液晶表示素子に適用した第２実施形態の要部を示した正面図。
【図６】図５のＤ−Ｄ拡大断面図。
【図７】この発明を液晶表示素子に適用した第３実施形態の検査部の基準状態を示し、（ａ）はその拡大図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ断面図。
【図８】図７において上下の透明基板が相対的に位置ずれしたときの検査部の状態を示し、（ａ）はその拡大図、（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ断面図。
【符号の説明】
１、２  透明基板
１０、３０  検査部
１１  内側電極
１２、３１  外側電極
１３  異方導電性部材
２０  導電部
【図１】
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【図２】
0003617352.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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