(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
版枠に張られたスクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルが形成されたスクリーン印刷用版において、該スクリーンメッシュを形成する線材がステンレス鋼線またはカーボン繊維からなる芯材とその上に除去可能な被膜層を形成した複合材料からなり、且つ、開口部分の被膜層が該開口部分の形状にあわせ除去されていることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版。
【請求項２】
版枠に張られたスクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルが形成されたスクリーン印刷用版において、該スクリーンメッシュを形成する２種以上の線材のうち少なくとも１種がステンレス鋼線またはカーボン繊維からなる芯材とその上に除去可能な被膜層を形成した複合材料からなり、且つ、開口部分の被膜層が該開口部分の形状にあわせ除去されていることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版。
【請求項３】
請求項１または２記載の除去可能な被膜層が金属材料層からなることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版。
【請求項４】
請求項１または２記載の除去可能な被膜層が有機材料からなることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版。
【請求項５】
請求項１または２記載の除去可能な被膜層が金属材料層及び合成樹脂層との複数の層からなることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版。
【請求項６】
版枠に張られたスクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルが形成されたスクリーン印刷用版の製造方法において、ステンレス鋼線またはカーボン繊維からなる芯材とその上に除去可能な被膜層を形成した複合材料からなる線材でスクリーンメッシュを形成する工程と、スクリーンメッシュを版枠に張りスクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルを形成する工程と、ステンシルを除去防止マスクとして開口部分の被膜層を該開口部分の形状に合わせ除去する工程からなることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版の製造方法。
【請求項７】
版枠に張られたスクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルが形成されたスクリーン印刷用版の製造方法において、２種以上の線材のうち少なくとも１種がステンレス鋼線またはカーボン繊維からなる芯材とその上に除去可能な被膜層を形成した複合材料からなる線材でスクリーンメッシュを形成する工程と、スクリーンメッシュを版枠に張りスクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルを形成する工程と、ステンシルを除去防止マスクとして開口部分の被膜層を該開口部分の形状に合わせ除去する工程からなることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷に使用されるスクリーン印刷用スクリーン版およびスクリーン印刷用スクリーン版の製造方法に関し、特にインキの被印刷物への転移率が高いことを望むスクリーン印刷の場合、例えば液晶表示装置、蛍光表示装置、ガス放電パネル、印刷配線板、混成集積回路等における抵抗素子、誘電体あるいはレジストなど電子工業部品作成の微細印刷パターンを形成する方法に係わり、特に大面積で同時に高精細も要求されるプラズマディスプレイにおける電極やバリアリブなどの厚膜印刷パターンを形成するためのスクリーンにおいて要望されるスクリーン印刷用スクリーン版およびその製造方法に係わるものである。
【０００２】
【従来の技術】
ステンレス鋼線や合成繊維の線材から織られたスクリーンメッシュを版枠に張り、写真製版法で、スクリーンメッシュ上に、感光乳剤を用いて被膜（レジスト）を形成後、被膜内に１ケ以上の開口部分（孔）を設けた孔あき被膜（以後ステンシルと称する）を有するスクリーン印刷版が知られる。
このスクリーン印刷版を使用したスクリーン印刷による印刷パターン形成方法は、他のパターン形成方法（印刷方法）に比較して、版の作成および印刷方法が簡単で、さらに設備費や経費が少なくてすみ、インキ層を厚くかつ細かな印刷パターンを形成できるという利点がある。このため、通常の商業印刷物以外に、レジストエッチング方式による回路形成、導電性インキを用いた回路形成および受動素子形成など、電子工業の分野で広範囲に利用されている。
【０００３】
スクリーン版に対する要求特性には、耐刷性、寸法安定性、耐溶剤性、耐水性、耐酸性、耐アルカリ性および弾力性などがあり、かつ印刷インキが抜け易いように開口率が大きいことが望ましいとされている。
【０００４】
最近のスクリーン印刷の電子工業への適用、特にプラズマディスプレイパネルにおいては、大面積のガラス基板に対して電極ペーストやガラスペーストなどを印刷して微細印刷パターンを有する高度な印刷精度が要求されている。
【０００５】
このような高精細印刷を実現するためには、一般的にはスクリーンメッシュの織り密度を高くして、即ちハイメッシュを使って、より細線のパターンを作成するのが通常である。このように単純に織り密度を高くしたハイメッシュを使用する方法では、織物の個々の目開き、すなわち開口面積が減少するために、全体としての開口率が低下して、インキ通過性が低下し、かえって印刷精度が低下し高精細印刷を実現できないという問題を生じている。
【０００６】
例えば、上記のプラズマディスプレイパネルにおいては、大面積のガラス基板に対して電極ペーストやガラスペーストなどを印刷して微細印刷パターンを有する高度な印刷精度を得ようとすると、従来のハイメッシュのスクリーン版では、開口率が低いために版からガラス基板へのペーストの抜けがスムーズでなく、版へのペーストの付着による印刷パターンのにじみ、さらにはスキージ圧力を高くして印刷するなどしていたために、版の伸びによる印刷精度の低下や耐刷性等に問題を生じている。
【０００７】
一方、細繊度糸を使用して開口面積の大きな織物を製織りしたメッシュで版を作る方法も当然のことながら考えられる。
しかしながら、細繊度モノフィラメントを製糸する上で、製繊時の設計段階から開口面積の大きい織物を得ようとすると、縦糸と横糸共に目ずれを生じやすく、均一な開口面積の織物とすることが困難なために、実用上寸法安定性の良いスクリーンメッシュは得られていない。
従って、この方法で製織りしたメッシュは高精細印刷には適したものは出来ていない。
【０００８】
また、実公昭４１ー２０６２９号公報ではスクリーンメッシュを版枠に張る前に熱収縮によってメッシュ数を増加させた後、アルカリ性溶液で繊維表面を加水分解して、開口面積を増加させる方法が開示されている。しかしながら、この方法では減量処理に先立ち熱収縮処理を施すことを必須要件としており、織り密度の増加には有効な手段ではあるが、一方この公報の図２に明らかに示されているように収縮過程で繊維が蛇行し、メッシュの構造が不均一となるという致命的な欠点を有している。さらに減量率がアルカリ溶剤の濃度、温度および処理時間によって左右されやすいために、減量率を一定に保つことが困難で再現性に乏しいという問題もあった。また、減量処理によるスクリーンメッシュの引っ張り強度の低下が大きいために、高テンションの紗（スクリーンメッシュ）張りが出来ないという欠点に加えて、繊維構造がルーズなものなのでスクリーン版の応力緩和が大きくなり、寸法精度が劣化する欠点もあった。よってこの方法で作られた版は高精細印刷には適したものではなかった。
【０００９】
上記欠点を解決するために、特開平６ー２７８２６７号公報では、アルカリ性溶剤への溶解度の速度の大なるポリエステル成分を鞘成分とし、この鞘成分よりも溶解速度が小なるポリエステル成分を芯成分とした芯鞘型複合モノフィラメントからなる平織りスクリーンを生機セット後、アルカリ性溶剤で実質的に鞘成分を溶解除去した印刷用スクリーンメッシュ（紗）が、開示されている。
この発明により３００メッシュ以上のハイメッシュで開口率が３５％以上であることを特徴とする印刷用スクリーン紗（スクリーンメッシュ）が可能であるとされている。実施例として４２０メッシュの平織りハイメッシュ紗を作成、型枠に張った後、苛性ソーダ溶液で溶解処理して開口率を３１．５％から４０％に上げてから、一辺１００ｍｍの正方形に線幅７０μｍ、長さ８０ｍｍの細線パターンを等間隔で３００本の版パターンを製版し、この版を用いて銅箔に紫外線硬化型エッチングレジストインキを印刷した後に、印刷のかすれ部がないことと断線のないことを確かめている。
【００１０】
また、さらにハイメッシュが必要とされる場合については、上記平織りでは織ることが難しくなり綾織りで紗を作成することとなる。これについては、特開平６ー２７８３８３号公報では、アルカリ性溶剤への溶解度の速度の大なるポリエステル成分を鞘成分とし、この鞘成分よりも溶解速度が小なるポリエステル成分を芯成分とした芯鞘型複合モノフィラメントからなる綾織りスクリーン紗を生機セット後、アルカリ性溶剤で実質的に鞘成分を溶解除去した印刷用スクリーン紗が、開示されている。
【００１１】
この発明により４００メッシュ以上のハイメッシュで開口率が３０％以上であることを特徴とする印刷用スクリーン紗が可能であるとされている。実施例として５００メッシュの２／２綾織りハイメッシュ紗を作成、型枠に張った後苛性ソーダ溶液で溶解処理して開口率を２３％から３７％に上げてから、一辺１００ｍｍの正方形に線幅７０μｍ、長さ８０ｍｍの細線パターンを等間隔で３００本のパターンを製版し、この版を用いて銅箔に紫外線硬化型エッチングレジストインキを印刷した後に、印刷のかすれ部が１箇所見つかったものの、断線のないことを確かめている。
【００１２】
上記特開平６ー２７８２６７号公報と特開平６ー２７８３８３号公報に開示されたスクリーン紗（スクリーンメッシュ）を用いて作成されたスクリーン印刷用スクリーン版を用いることで、確かにインキ通過性があがり、従来のステンレス鋼線使用ハイメッシュのスクリーン版を使うよりは（比較的簡単に）高精細な印刷が可能になった。
【００１３】
しかしながら、いずれも、使用するスクリーンメッシュの線材はポリエステル樹脂であり吸湿性が０．４％とあり、またその熱膨張率がステンレス鋼のそれに比べて５倍以上あり、これにより大面積の印刷時の位置精度が悪い、即ち目的とする位置に印刷できない。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上のような問題点に着目してなされたものであり、高開口率で同時に印刷時の位置精度を有し、高精細な印刷物が得られるスクリーン印刷用スクリーン版およびその製造方法を提供することを課題とする。
【００１５】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、
版枠に張られたスクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルが形成されたスクリーン印刷用版において、該スクリーンメッシュを形成する線材がステンレス鋼線またはカーボン繊維からなる芯材とその上に除去可能な被膜層を形成した複合材料からなり、且つ、開口部分の被膜層が該開口部分の形状にあわせ除去されていることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版としたものである。
【００１６】
また、請求項２においては、
版枠に張られたスクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルが形成されたスクリーン印刷用版において、該スクリーンメッシュを形成する２種以上の線材のうち少なくとも１種がステンレス鋼線またはカーボン繊維からなる芯材とその上に除去可能な被膜層を形成した複合材料からなり、且つ、開口部分の被膜層が該開口部分の形状にあわせ除去されていることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版としたものである。
【００１７】
また、請求項３においては、
請求項１または２記載の除去可能な被膜層が金属材料層からなることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版としたものである。
【００１８】
また、請求項４においては、
請求項１または２記載の除去可能な被膜層が有機材料からなることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版としたものである。
【００１９】
また、請求項５においては、
請求項１または２記載の除去可能な被膜層が金属材料層及び合成樹脂層との複数の層からなることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版としたものである。
【００２０】
また、請求項６においては、
版枠に張られたスクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルが形成されたスクリーン印刷用版の製造方法において、少なくとも、ステンレス鋼線またはカーボン繊維からなる芯材とその上に除去可能な被膜層を形成した複合材料からなる線材でスクリーンメッシュを形成する工程と、スクリーンメッシュを版枠に張りスクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルを形成する工程と、ステンシルを除去防止マスクとして開口部分の被膜層を該開口部分の形状に合わせ除去する工程からなることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版の製造方法としたものである。
【００２１】
また、請求項７においては、
版枠に張られたスクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルが形成されたスクリーン印刷用版の製造方法において、２種以上の線材のうち少なくとも１種がステンレス鋼線またはカーボン繊維からなる芯材とその上に除去可能な被膜層を形成した複合材料からなる線材でスクリーンメッシュを形成する工程と、スクリーンメッシュを版枠に張りスクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルを形成する工程と、ステンシルを除去防止マスクとして開口部分の被膜層を該開口部分の形状に合わせ除去する工程からなることを特徴とする高精細スクリーン印刷用スクリーン版の製造方法としたものである。
【００２５】
ステンシルとは、孔を有する被膜を指すものとし、孔は開口部分と同じものである。
スクリーンメッシュとは、線材を織って作られるものである。
除去するとは、腐食液を用いてあるいは電気分解などで化学的にエッチングする、又サンドブラストや液体ホーニングで物理的に削ることである。
【００２６】
図による発明の詳細な説明をする。
図４は、除去可能な線材１２を示すものであり、芯材１４の周囲に除去可能な被膜層１５を形成した複合材料である例であり、又、図５は、複数の芯材１４からなる線材１６の例である。
図２は、除去により開口部分４０、４１、４３の線材が細くなった状態を示すスクリーン用スクリーン印刷版１０の例であり、スクリーン用スクリーン印刷版１０の一部を示す平面図である。
図１は、開口部分４０、４１、４２の線材を細くする前のスクリーン用スクリーン印刷版１１の例であり、スクリーン用スクリーン印刷版１１の一部を示す平面図である。
図４の線材１２を使用して縦糸と横糸とし、平織りの手法でスクリーンメッシュを型枠（図示せず）に張った後、このスクリーンメッシュ上に感光乳剤被膜に開口部分４０、４１、４２を有するステンシル３０を形成して、除去前のスクリーン印刷用スクリーン版１１を作成し、次にステンシル３０の開口部分４０、４１、４２に露出した除去可能な線材１２の被膜層１５のみを除去してスクリーン印刷用スクリーン版１０を作成したものである。
図３は、版枠に２種以上の線材からなり、線材の少なくとも１種が除去可能な線材１２からなるスクリーンメッシュであって、この例は、２種の線材からなり、この内１種が除去可能な線材１２で縦糸とし、残りの１種が除去されない線材１３で横糸としたスクリーンメッシュであり、スクリーン印刷用スクリーン版１０は、スクリーンメッシュを型枠（図示せず）に張った後、このスクリーンメッシュ上に感光液被膜に開口部分４０を有するステンシル３０を形成し、次にステンシル３０の開口部分４０に露出した除去可能な線材１２の被膜層１５のみを除去して作成したものである。
【００２７】
本発明は、スクリーンメッシュ上に開口部分を有するステンシルを形成し、  次にステンシル３０を除去防止マスクとして、開口部分に露出した除去可能な線材のみを除去して細くすることにより、高開口率のステンシルを得ることができ、又、特に耐吸湿性、耐熱性に優れていて伸縮が殆どないステンレス鋼線又はカーボン繊維を線材又は芯材にすることにより、印刷時の位置精度を良くすることができる。従って高精細な印刷物が得られる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
除去とは、腐食液を用いて除去可能な線材を化学的に除去する（効果を高めるために超音波を照射しながら行うことも有効な場合がある）、電気分解して化学的に除去するなどであるが、物理的にサンドブラストや液体ホーニングで削るなどである。
いずれにしても、除去の際にステンシルを損傷する方法であってはならないので、ステンシルの材質をも考えたスクリーン版の作成が大切となる。また、芯材と除去可能な被膜層との物理的あるいは化学的性質の違いを考慮にいれてどの方法で除去可能な被膜層を除去するかを予め検討することが肝心である。
【００２９】
除去可能な線材は、ステンレス鋼線、カーボン繊維などからなり、紗張りの際のテンションを保時できるような、引っ張り強度が強く、応力緩和の少ない、熱膨張率の少ないものである。特に、ステンレス鋼によるスクリーンメッシュは一般的に市販されており入手し易く、高精細パターンの印刷には３２５メッシュ以上のものが好適である。
又、芯材としても、上記線材が使用できる。
【００３０】
スクリーンメッシュは、線材を織って作られるが、除去可能な線材だけで、又は、除去可能な線材と除去されない線材とを組み合わせて作られる。後者の場合、例えば、２種の線材を使用し、どちらかを除去可能な線材とし、どちらかを縦糸又は横糸とする。
【００３１】
芯材とその上に除去可能な被膜層を形成した複合材料からなる線材における除去可能な被膜層は、芯材と適度に接着するものであり、細くする際に芯材との性質がその細くする方法に対して際だって異なるものが好適であり、亜鉛、錫、ニッケル、銅、クロムなどの金属材料やポリエステル樹脂、ナイロン樹脂などの合成樹脂などの有機材料からなる。
【００３２】
除去により細くした後では、除去可能な被膜層が除去されているので、芯材のみで周囲からのテンションに耐えることになるので、除去可能な被膜層が取り除かれてもテンションのバランスが崩れて版パターンが変形しないように、また変形しても高精細の印刷に十分適用できることを構成を考える必要がある。
具体的には版パターンが縦糸と横糸のそれぞれ１ないし数本程度の細くすべき微小パターンが点在しているのであれば、被膜除去後も版の変形が微小なので、他の工程で容易であったりあるいはコストのメリットを考えて材質を選定すればよい。また、版パターンがスクリーン版の全体に拡がっているような場合は、被膜除去後も版の変形が問題となるので、芯材と被膜の材質および太さあるいは厚さの選定は慎重にする必要がある。
【００３３】
以上のような手段を用いてスクリーン印刷版を作成するにあたり、以下のような注意事項を考慮に入れて置く必要がある。
まず、スクリーンメッシュの張り方は印刷パターンにより、正張りから紗張りの角度を変えて開口部に対する線材の方向を予め決定しておき、印刷時にメッシュ目が出ないようにする。また、線材としては紗張りの際のテンションに耐えられるものでなければならない。
また、線材を除去して細くする際には、スクリーン版における開口部の分布に、より注意を要する。
また、線材の材質は製版時のステンシル形成時の現像液、印刷時のインキの溶剤、さらに版の洗浄時に変質してはならないので組み合わせを注意する。
いずれにせよ、製版の設計段階で印刷する印刷パターンにより、手段を慎重に選ぶことが高精細印刷を実現する上でもっとも重要である。
【００３４】
型枠にスクリーンメッシュを張り、スクリーンメッシュ上に感光乳剤を塗布して被膜を設け、写真製版法で、焼き付け、現像してステンシルとする。
【００３５】
上記の製版後に前記ステンシルパターンをレジストとして用いて開口部分のスクリーンメッシュの線材を細くする際において、スクリーン版の全てに行われるとは限らず、必要な一部分のパターンのみに処置すればよく、パターンの形状が大きくインキの抜けが問題にならないところはマスクを設けて、問題となる部分のみ処置して、印刷の出来上がり品質の向上を図ることも行える。
【００３６】
除去手段は次のような場合にも有効である。
図１に示すように、同一パターンであっても開口部分４１と４２のように、パターンの場所によりメッシュによる開口部分の塞がり状況は変化する。この開口部分４１では印刷の際にインキが目詰まりしてインキが転移しない。併し、図２に示すように、開口部分４１の線材を除去して細らせることにより、開口率が向上して、インキの通過が良くなり印刷が可能となる。
【００３７】
【実施例】
以下実施例により本発明を詳細に説明する。
〈実施例１〉
図４、図６、図７を用いて説明する。
図４に示すように、芯材１４としての線径２０μｍのステンレス鋼線に、従来公知の溶融亜鉛メッキの方法で、除去可能な被膜層１５として厚さ２．５μｍ亜鉛被膜層を設け除去可能な線材１２を作成した。
この除去可能な線材１２を用いて４００メッシュの平織りのスクリーンメッシュを作成した。
このスクリーンメッシュを、型枠（図示せず）としてのアルミ版枠に、張り付けた。
このスクリーンメッシュ上に、感光乳剤として栗田研究所（株）製の「ＥＸ３０８」を使用して、刷毛塗りで塗布してスクリーンメッシュを覆って被膜を設けた。
写真製版法で、焼き付け、現像し、スクリーンメッシュ上に一辺が２００ｍｍの正方形に直径５０μｍの円形パターンを１ｍｍの等間隔で４０４１個のパターンである開口部分４３を有するステンシル３０を作成し、図６（ａ）（ｂ）に示すような除去前のスクリーン印刷用スクリーン印刷版１１を作成した。
この時の開口部分の開口率は３７％であった。
【００３８】
次ぎに、このステンシル３０を除去防止マスク（レジスト）として、下記に示す除去液で、２３度Ｃにおいて、亜鉛被膜の除去を３０秒間行い、芯材１４から除去可能な被膜層１５を取り除いて、開口部分に露出したスクリーンメッシュの除去可能な線材１２を細くし、図７（ａ）（ｂ）に示すようなスクリーン印刷用スクリーン印刷版１０を作成した。
除去液の処方は、無水クロム酸（ＣｒＯ３）２００ｇに、ＪＩＳ規格ｋ８９５１の硫酸（Ｈ２ＳＯ４）（比重１．８４）を２７ｃｃ（５０ｇ）を加え、さらに、蒸留水を加えて１ｌ（リットル）としたものである。
【００３９】
この時スクリーンメッシュの交差点では被膜は殆ど除去されず、縦糸と横糸は強固に接合されたままであり、メッシュ目はずれなかった。この作業により線幅が２０μｍとなり開口率が４７％となった。
【００４０】
このスクリーン印刷用スクリーン印刷版１０と、除去前のスクリーン印刷用スクリーン印刷版１１とを使用して、印刷状況を比較してみた。
印刷は、１．６ｍｍ厚さのプリント基板用の１／２オンス銅張りガラスエポキシ板に、太陽インキ製造（株）製の「紫外線硬化型除去レジストインキＡＳ−４００」を印刷したものである。
除去前のスクリーン印刷用スクリーン印刷版１１では、インキが出ず刷れない箇所が３個あり、かすれ部が１０箇所あった。
スクリーン印刷用スクリーン印刷版１０では、かすれ部が１箇所あったのみで、高精細印刷物が得られた。
又、目的とした印刷位置に正確に印刷されていた。
【００４１】
〈実施例２〉
図４、図８、図９を用いて説明する。
図４に示すように、芯材１４としての線径２０μｍのステンレス鋼線に、毎分１０００ｍの速度で溶融した変成ポリエチレンテレフタレート樹脂の溶融した槽を通過させて、除去可能な被膜層として厚さ３μｍの被膜層１５を設け除去可能な線材１２を作成した。
この除去可能な線材１２を用いて４００メッシュの平織りのスクリーンメッシュを作成した。
このスクリーンメッシュを、型枠（図示せず）としてのアルミ版枠に、４５度のバイアスで張り付けた。
このスクリーンメッシュ上に、感光乳剤として栗田研究所（株）製の「ＥＸ３０８」を使用して、刷毛塗りで塗布してスクリーンメッシュを覆って被膜を設けた。
写真製版法で、焼き付け、現像し、スクリーンメッシュ上に８００ｍｍ x６００ｍｍの長方形に線幅５０μｍ、長さ６００ｍｍの開口部分４４である細線パターンを２００μｍの等間隔で４００１本のパターンを有するステンシル３０を作成し、除去前のスクリーン印刷用スクリーン印刷版１１を作成した。
この時は開口率は３５％であった。
【００４２】
次ぎに、このステンシル３０を除去防止マスク（レジスト）として、被膜の樹脂成分のみ苛性ソーダ溶液で芯材から除去可能な被膜層を溶解除去処理して取り除いて、開口部分に露出したスクリーンメッシュの除去可能な線材を細くしたスクリーン印刷用スクリーン印刷版１０を得た。
【００４３】
この時メッシュの交差点では被膜は殆ど溶解されず、縦糸と横糸は強固に接合されたままであり、メッシュ目はずれなかった。この作業により線幅が２０μｍとなり開口率が４７％となった。
【００４４】
この版の印刷状況を、除去する前後で比較してみた。３ｍｍ厚さのソーダライムガラス板に、（株）ノリタケカンパニーリミテッド製のプラズマディスプレイパネルのリブ用である「ファインライン用ガラスペーストＮＰ−７８５０」を印刷と乾燥を繰り返し、乾燥時のリブ高さを１８０μｍの目標で多重印刷した。
除去前の版では、多重印刷する際にメッシュ目がつまるなどしてインキが出ず刷れなくなる欠陥箇所が多数でてしまい（抜け落ち）、２０回印刷・乾燥したもので高さ１００μｍから１５０μｍとリブの頂上部が凸凹になってしまった。
除去後の版では、ペーストの詰まりも少なく２５回印刷・乾燥したもので高さ１８０μｍ±５μｍとリブの頂上部がかなり平坦に刷れた。又、目的とした印刷位置に正確に印刷されていた。このように、高精細印刷物が得られた。
また、ペーストの詰まりも少ないので、版の洗浄回数が減った。
【００４５】
〈実施例３〉
図３、図４、図５を用いて説明する。
図４に示すような、芯材１４に除去可能な被膜層１５を形成した除去可能な線材を縦糸とし、図５に示すような除去されない線材を横糸としてスクリーンメッシュを使用して、型枠（図示せず）としてのアルミ版枠に張り付けた。
このスクリーンメッシュ上に、感光乳剤として栗田研究所（株）製の「ＥＸ３０８」を使用して、刷毛塗りで塗布してスクリーンメッシュを覆って被膜を設けた。
写真製版法で、焼き付け、現像し、スクリーンメッシュ上にパターンを有するステンシル３０を作成し、除去前のスクリーン印刷用スクリーン印刷版１１を得た。
次ぎに、このステンシル３０を除去防止マスク（レジスト）として、下記に示す除去液で、２３度Ｃにおいて、亜鉛被膜の除去を３０秒間行い、芯材１４から除去可能な被膜層１５を取り除いて、開口部分に露出したスクリーンメッシュの除去可能な線材１２を細くして、スクリーン印刷用スクリーン印刷版１０を作成した。
このスクリーン印刷用スクリーン印刷版１０版を使用して、印刷した。高精細印刷物が得られた。又、目的とした印刷位置に正確に印刷されていた。
【００４６】
【発明の効果】
本発明は以上の構成であるから、下記に示す如き効果がある。
（１）高開口率で高精細な印刷ができる、スクリーン印刷用スクリーン版が得られる。
（２）同時に印刷時の位置精度の優れたスクリーン印刷用スクリーン版が得られる。
従って本発明は、特に大面積で同時に高精細も要求されるプラズマディスプレイにおける電極やバリアリブなどの厚膜パターンを形成するためのスクリーン印刷用スクリーン版およびその製造方法として、優れた実用上の効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を説明するスクリーン印刷用スクリーン版の概念図で、開口部分の線材を細くする前のスクリーン印刷用スクリーン版の一部の平面図である。
【図２】本発明を説明するスクリーン印刷用スクリーン版及び実施例３の概念図で、除去により線材が細くなった状態のスクリーン印刷用スクリーン版の一部の平面図である。
【図３】本発明を説明するスクリーン印刷用スクリーン版の概念図で、２種の線材からなり、この内１種が除去可能な線材１２で縦糸とし、残りの１種が除去されない線材１３で横糸としたスクリーンメッシュを使用したものである。
【図４】芯材に除去可能な被膜層を形成した複合材料からなる除去可能な線材の断面図である。
【図５】複数の芯材からなる線材の断面図の例である。
【図６】実施例１における開口部分の線材を細くする前のスクリーン印刷用スクリーン版の一部を示す概念図である。
（ａ）：平面図である。
（ｂ）：平面図におけるｗーｗ’部分の断面図である。
【図７】実施例１における開口部分の線材を細くしたスクリーン印刷用スクリーン版の一部を示す概念図である。
（ａ）：平面図である。
（ｂ）：平面図におけるｘーｘ’部分の断面図である。
【図８】実施例２における開口部分の線材を細くする前のスクリーン印刷用スクリーン版の一部を示す概念図である。
（ａ）：平面図である。
（ｂ）：平面図におけるｙーｙ’部分の断面図である。
【図９】実施例２における開口部分の線材を細くしたスクリーン印刷用スクリーン版の一部を示す概念図である。
（ａ）：平面図である。
（ｂ）：平面図におけるｚーｚ’部分の断面図である。
【符号の説明】
１０…スクリーン印刷用スクリーン版
１１…除去前のスクリーン印刷用スクリーン版
１２…除去可能な線材
１３…除去されない線材
１４…芯材
１５…除去可能な被膜層
３０…ステンシル
４０、４１、４２、４３、４４…開口部分
【図１】
0003705313.tif 000002
【図２】
0003705313.tif 000003
【図３】
0003705313.tif 000004
【図４】
0003705313.tif 000005
【図５】
0003705313.tif 000006
【図６】
0003705313.tif 000007
【図７】
0003705313.tif 000008
【図８】
0003705313.tif 000009
【図９】
0003705313.tif 000010