(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＯＣ濃度測定の零校正液として用いる高純度水よりなる貯留水に紫外線を照射する紫外線照射手段と、空気中の汚染物質の混入を防止する汚染防止手段とを備える高純度水貯留容器であって、
該貯留水がＴＯＣ濃度２ｐｐｂ以下の高純度水であり、
該汚染防止手段は、該貯留水と同等の水質の高純度水を水封した密閉蓋付き水封ビンと、該容器本体内を高清浄ガス雰囲気に維持する手段とを備えることを特徴とする高純度水貯留容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は高純度水貯留容器に係り、特に、ＴＯＣ濃度測定の零校正液として用いられる高純度水の純度を高く維持することができる高純度水貯留容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体製造分野、生化学分野あるいは医薬分野で使用される超純水の純度向上が重要な課題となっている。
【０００３】
このため、より一層純度の高い高純度水を製造するための研究が行われており、特開昭６３−２８７５９０号公報には、蒸留法と高温燃焼法とを組み合せ、水蒸気を酸素と共に高温の触媒層中に通過させることにより、水蒸気中の有機物を燃焼させて除去し、ＴＯＣ（全有機炭素）２ｐｐｂ程度の高純度水を製造する装置が提案されている。
【０００４】
このようにして得られた高純度水は、貯留容器に注水され、この貯留容器内に使用時まで貯留された後、取り出されて使用に供されるが、容器への注水時又は容器からの採水時においては、高純度水が外気にさらされ、空気中から汚染物質が混入して汚染される。また、容器内での貯留中においても汚染物質が混入して高純度水が汚染される可能性がある。
【０００５】
従って、製造時の純度を使用時まで高く維持するためには、高純度水の容器への注水時、貯留時及び容器からの採水時における高純度水の汚染を極力防止する必要がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、高純度水の注水、貯留から採水に到るまでの間に、高純度水の汚染を十分に防止することができる貯留容器は提供されておらず、高純度水は、その製造時よりも純度が低下している。
【０００７】
特開昭６３−２８７５９０号公報に記載される装置には、製造された高純度水の貯留容器に、空気を遮断するための水封ビンが設けられているが、このような水封ビンの設置のみでは十分な汚染防止効果は得られない。
【０００８】
本発明は上記従来の問題点を解決し、ＴＯＣ濃度測定の零校正液として用いる高純度水の純度を高く維持することができる高純度水貯留容器を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の高純度水貯留容器は、ＴＯＣ濃度測定の零校正液として用いる高純度水よりなる貯留水に紫外線を照射する紫外線照射手段と、空気中の汚染物質の混入を防止する汚染防止手段とを備える高純度水貯留容器であって、該貯留水がＴＯＣ濃度２ｐｐｂ以下の高純度水であり、該汚染防止手段は、該貯留水と同等の水質の高純度水を水封した密閉蓋付き水封ビンと、該容器本体内を高清浄ガス雰囲気に維持する手段とを備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の高純度水貯留容器では、汚染防止手段により、高純度水の注水ないし採水時に空気中の汚染物質が混入して高純度水が汚染されることが防止される。また、紫外線（ＵＶ）照射手段で貯留中の高純度水にＵＶ照射することにより、高純度水中の微量有機物を分解すると共に細菌を殺菌し、貯留中の高純度水のＴＯＣ値を低減する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１２】
図１は本発明の高純度水貯留容器の実施の形態を示す模式的な断面図である。
【００１３】
ＴＯＣ濃度が２ｐｐｂ以下の高純度水を貯留する容器本体１の底面近傍部分に、貯留水にＵＶを照射するためのＵＶランプ２が設けられている。このＵＶランプ２は高純度石英製のＵＶランプホルダ３内に挿入されている。４はランプ電源である。なお、ＵＶランプ２としては、有機物の分解及び殺菌効果の高い１８５〜３５０ｎｍの波長のＵＶを発生する低圧ＵＶランプが好ましい。
【００１４】
容器本体１の上部から水の導入及び排出用の配管５ａが容器本体１内の下部にまで差し込まれており、この配管５ａに開閉バルブ５が設けられている。また、図示はしないが、汚染混入を防止しながら、キャピラリーやチューブ等を挿入する方式で、水の排水を行っても良い。容器本体１の上部には、高清浄ガスを導入するための配管６ａが接続されており、この配管６ａに開閉バルブ６が設けられている。
【００１５】
容器本体１の上部には排気用の配管８が接続されている。この配管８の先端には、空気中の汚染物質の混入を防止する汚染防止手段として、水封ビン７が設けられ、配管８の先端がその中に差し込まれている。この水封ビン７は密閉蓋付きのものであり、該水封ビン７の上部に接続された配管９ａに開閉バルブ９が設けられている。なお、このバルブ９を配管９ａではなく配管８に設けても良い。
【００１６】
この高純度水貯留容器に高純度水を貯留するには、まずバルブ５を閉、バルブ６、９を開とし、容器本体１内の雰囲気を窒素ガスなどの高清浄ガスに置換する。次いで、バルブ６を閉、バルブ５、９を開とし、配管５から高純度水を容器本体１内に供給する。所定量の高純度水を容器本体１内に供給した後、バルブ５、９を閉とする。
【００１７】
容器本体１内から高純度水を取り出すには、バルブ９を閉とし、バルブ５、６を開とする。そして、配管６ａから容器本体１内に窒素ガスなどの高清浄ガスを加圧供給し、容器本体１内の高純度水を配管５ａから取り出す。
【００１８】
この容器本体１内の高純度水にＵＶランプ２からＵＶが照射されることにより、高純度水中の微量の有機物が分解されると共に、細菌が殺菌され、貯留中の高純度水のＴＯＣ値が低減される。
【００１９】
なお、ＵＶランプによる照射は、貯留期間中連続して行っても良く、間欠的に行っても良い。例えば、高純度水の注水又は採水を行ったときのみ所定時間ＵＶ照射を行うようにしても良い。
【００２０】
この容器本体１内の雰囲気は、注水時及び採水時も含めて常に高清浄ガス雰囲気に維持されているため、雰囲気ガスから貯留水に汚染物質が混入することがない。
【００２１】
なお、水封ビン７内の水には、容器本体１に貯留している高純度水と同等の純度の高純度水を用いる。
【００２２】
本発明の高純度水貯留容器は、ＴＯＣ計による超純水のＴＯＣ濃度の測定に当って、ＴＯＣ計の校正を行うために用いられる、零校正液と称される有機物を実質的に含まないＴＯＣ２ｐｐｂ以下の高純度水の貯留容器である。
【００２３】
【実施例】
以下に実施例及び比較例を挙げて本発明を具体的に説明する。
【００２４】
実施例１
図１に示す高純度水貯留容器に、高純度水を室温で５日間貯留した。
【００２５】
容器本体（無アルカリガラス製）の容量は３リットルであり、高純度水をこの容器中に２リットル貯留した。貯留中は、ＵＶランプ（１８５ｎｍ）で常時ＵＶ照射した。また、容器本体内はＮ２ガス雰囲気とし、水封ビン内にも同じ高純度水を入れた。
【００２６】
注入時の高純度水及び５日間貯留後の高純度水について、ＴＯＣ計（栗田工業（株）製高感度型ＴＯＣ計「クリマトック（ＫＵＲＩＭＡＴＯＣ）」（湿式酸化方式））を用いてＴＯＣを測定したところ、表１に示す如く、ＴＯＣ濃度は貯留中に低下する傾向にあり、高純度水の純度を維持できることが確認された。
【００２７】
比較例１
実施例１においてＵＶ照射を行わなかったこと以外は同様にして高純度水を室温で５日間貯留し、そのＴＯＣを測定したところ、表１に示す如く、ＴＯＣが上昇し、高純度を維持することはできなかった。
【００２８】
比較例２
比較例１において、容器本体内を空気雰囲気としたこと以外は同様にして高純度水を室温で５日間貯留し、そのＴＯＣを測定したところ、表１に示す如く、ＴＯＣは大幅に上昇し、高純度を維持することはできなかった。
【００２９】
実施例２
実施例１において、５日間の貯留中に３回、１回当り０．５リットルの高純度水を取り出したこと以外は同様にして高純度水を貯留し、そのＴＯＣを測定したところ、表１に示す如く、ＴＯＣの上昇はなく、純度は高く維持されたことが確認された。
【００３０】
【表１】
0003606689.tif 000002
【００３１】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明の高純度水貯留容器によれば、ＴＯＣ濃度測定の零校正液として用いられる高純度水の注水時、採水時及び貯留中における雰囲気からの汚染物質の混入が防止される。また、貯留中の高純度水のＴＯＣ値を低減することができるため、長期にわたり、高純度水をその純度を高く維持して貯留することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の高純度水貯留容器の実施の形態を示す模式的な断面図である。
【符号の説明】
１  容器本体
２  ＵＶランプ
３  ＵＶランプホルダ
４  電源
５ａ，６ａ，９ａ  配管
５，６，９  バルブ
７  水封ビン
【図１】
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