(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の回転駆動手段により送りねじを回動し、上記送りねじに螺合した送りナツトを上記送りねじの軸方向に相対的に移動させることにより、上記送りナツトに連結された被駆動部を所望の位置に位置決めする位置決め装置において、
互いに相対的に回転することなく、かつ上記送りねじの軸線方向に互いに接近又は離間自在に連結された第１及び第２のめねじ部と、
上記第１及び第２のめねじ部の外周に設けられ、上記軸線方向の両端が開口されたガードリングと、
上記第１及び第２のめねじ部に取り付けられたフランジと
を具え、
上記フランジは、
第１及び第２のめねじ部とガードリングとの間に設けられた弾性部材に加圧され、当該加圧に応じて上記第１及び第２のめねじ部を上記軸線方向に離間させる
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
上記被駆動部に光ディスク原盤露光装置の光学系を載置した
ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【目次】
以下の順序で本発明を説明する。
産業上の利用分野
従来の技術
発明が解決しようとする課題
課題を解決するための手段（図１〜図１０）
作用（図１）
実施例（図１〜図１０）
発明の効果
【０００２】
【産業上の利用分野】
本発明は位置決め装置に関し、例えば送りねじと当該送りねじに螺合した送りナツトを用いて、送りナツトに連結された被駆動部を送りねじの回動動作に応じて直線的に移動する送り位置決め装置に適用して好適なものである。
【０００３】
【従来の技術】
従来、この種の送り位置決め装置は工作機械や測定機等において直線的に物体を移動させる装置として広く用いられている。
この送り位置決め装置においては、おねじ部が形成された送りねじとめねじ部が形成された送りナツトとにより構成され、互いに螺合した送りねじと送りナツトの相対的な回転運動を送りねじの軸方向の直線運動に変換するようになされている。
【０００４】
この送りねじ及び送りナツトは加工精度上の誤差や温度変化による寸法変化などによて生じる回転トルクの変動を低減するために、螺合部分に若干の隙間が生じるように設計及び加工されている。このため送り位置決め装置においては送り方向に若干のガタが生じる。
【０００５】
この結果送り位置決め装置においては、送りねじ及び送りナツトに相対的な回転運動があつた場合にも、このガタの分が当該回転運動に係わらず軸線方向に動いてしまうため、回転運動が変わる際の不動量、ガタのある方向に外力が加わつた際の静止位置の変動量、又は送り速度の変動が生じる場合がある（一般にこれをバツクラツシユと呼ぶ）。
【０００６】
このバツクラツシユを回避する１つの方法として従来、送りナツトのめねじ部にねじの軸線方向に延長するような１箇所以上のすり割りを入れることにより当該めねじ部の径方向の剛性を低下させると共に、このすり割りの間隔を外周から力を加えて狭めることにより、おねじ部とめねじ部に予圧を与えておねじ部とめねじ部間のガタを無くする方法（特開昭60-196462 号公報）が提案されている。
【０００７】
また別の方法として、送りナツトのめねじ部を２分割又は２箇所に設け、一方のめねじ部を送りナツト支持部から分離すると共に、回り止めを設けることにより２つのめねじ部を互いに相対的な回転をさせることなくめねじ部間の間隔を若干変化し得るようにし、これによりおねじ部とめねじ部間に予圧を与えてガタを無くする方法（特公昭61-59413号公報）が提案されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、これらの従来の方法においては、送りねじに送りナツトを組み付ける際に、ガタのすきま量及び予圧量を調整するようになされている。
ところが、長時間使用した場合には、おねじ部又はめねじ部が磨耗して双方の寸法が変化することによりおねじ部及びめねじ部間の隙間が拡大する。この結果おねじ部及びめねじ部間にガタが生じたり、また予圧量が低下することにより経時的に性能が劣化し、このため再調整などの保守が必要となり非常に煩雑な問題がある。
【０００９】
またテーパ部材、ねじ又はスペーサなどの比較的剛性の高い部品を用いておねじ部とめねじ部との隙間量をほぼ無くして予圧を与える方法、すなわち位置を規制する方法においては、温度変化による寸法変化やおねじ部とめねじ部の加工精度誤差などが原因となつて、隙間量や予圧量が変化することにより摩擦トルクが変動する。この結果おねじ軸などのねじれ量が変化することにより送り速度精度や停止位置精度に誤差が生じる問題がある。
【００１０】
さらにばね等の弾性体の弾力によつておねじ部にめねじ部を押し当てることによりおねじ部及びめねじ部間の隙間を無くして予圧を与える方法においては、おねじ部又はめねじ部の寸法の変化にある程度追従して予圧を与えることができることにより摩擦トルクの変動をある程度低減することができる。しかしながらこの方法においては、めねじ部の剛性を低く抑える必要があり、これにより上述した位置を規制する方法と同等のねじ部剛性を得るために弾性体の弾性率を大きくすると弾性体の変形に対する力の変動も大きくなる。この結果予圧量が変動することにより結局摩擦トルクが変動し、送り速度精度や停止位置精度に誤差が生じる問題がある。
【００１１】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、おねじ及びめねじ間に磨耗によるガタが生じた場合、またはおねじ及びめねじ間に加工精度による誤差がある場合においても、予圧量を常に所望の値に維持することにより高精度に位置決めすることができる位置決め装置を提案しようとするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため本発明は、所定の回転駆動手段９により送りねじ１３を回動し、送りねじ１３に螺合した送りナツト１５を送りねじ１３の軸方向ａに相対的に移動させることにより、送りナツト１５に連結された被駆動部２を所望の位置に位置決めする位置決め装置１であつて、互いに相対的に回転することなく、かつ送りねじ１３の軸線方向に互いに接近又は離間自在に形成された第１及び第２のめねじ部５０、５１と、当該第１及び第２のめねじ部５０、５１の外周に設けられ、当該軸線方向の両端が開口されたガードリンク５７、５８と、当該第１及び第２のめねじ部５０、５１に取り付けられたフランジ５２、５６とを設けるようにし、これらフランジ５２、５６が、第１及び第２のめねじ部５０、５１とガードリンク５７、５８との間に設けられた弾性部材３６に加圧され、当該加圧に応じて第１及び第２のめねじ部５０、５１を軸線方向に離間させるようにした。
【００１３】
また本発明は被駆動部２に光ディスク原盤露光装置の光学系を載置するようにした。
【００１５】
【作用】
送りねじ１３と第１及び第２のめねじ部５０、５１との間に、弾性部材３６の加圧に応じた予圧をフランジ５２、５６を介して与えることができるため、おねじ及びめねじ間に磨耗によるガタが生じた場合、またはおねじ及びめねじ間に加工精度による誤差が生じた場合においても高精度に位置決めすることができる。
【００１６】
【実施例】
以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。
【００１７】
図１において、１は全体として送り位置決め装置を示し、ステージ状に形成された被駆動部２を矢印ａで示す方向に高精度に移動し得るようになされている。
これにより送り位置決め装置１においては、被駆動部２に例えば光デイスク原盤露光装置の光学系（図示せず）を載置し、これを高精度に移動することによりフオトレジスト膜が形成されたガラス原盤（図示せず）に所定のトラツクピツチで記録トラツクを露光記録し得るようになされいる。
【００１８】
送り位置決め装置１は板状のベース部３上に直方体形状の直動案内部材４が支持脚５Ａ及び５Ｂによつて両端を支持された状態で固定されている。
直動案内部材４には被駆動部２が矢印ａの方向に摺動自在に取り付けられいる。ここで直動案内部材４及び被駆動部２の摺動部分には、空気制圧案内機構又は超精密な直線ころがり案内機構（クロスローラガイド等）が用いられ、これにより被駆動部２は直動案内部材４に支持されながら矢印ａと直交する方向の変動が生じない状態で矢印ａの方向に精度良く摺動し得るようになされている。
【００１９】
またベース部３には第１及び第２の支持板６及び７がベース部３に対して直立状態で固定されており、第１の支持板６には増減速部８を有する回転駆動部９が支持されている。回転駆動部９は回転制御部１０から送出される制御信号Ｓ１に基づいて回転するようになされている。
これにより送り位置決め装置１においては、回転駆動部９の回転トルク及び回転速度を増減速部８により所望の値に変換して第１及び第２の支持板６及び７間に設けられた回転軸継手１１に伝達する。
【００２０】
ここで回転駆動部９としては、回転角度及び回転速度を制御できるサーボモータまたはステツピングモータが用いられており、これにより送り位置決め装置１においては、駆動制御部１０から送出される制御信号Ｓ１に基づいて回転駆動部９の回転角度及び回転速度を制御し得るようになされている。
【００２１】
回転軸継手１１は第２の支持板７に取り付けられた軸受１２によつて回動自在に保持された送りねじ１３に連結され、これにより送り位置決め装置１においては、回転駆動部９の回転を増減速部８、回転軸継手１１を介して送りねじ１３に伝達するようになされている。
ここで回転軸継手１１としては、ねじり剛性が高いゼロバツクラツシユタイプのベローズ型又はデイスク板ばね型が用いられ、これにより回転軸継手１１は回転駆動部９及び送りねじ１３間の偏心及び偏角を吸収して回転駆動部９の回転を正確に送りねじ１３に伝達し得るようになされている。
【００２２】
送りねじ１３は一端が軸受１２によつて回動自在に保持されていると共に、被駆動部２の側面に取り付けられた連結部材１４によつて回動自在に保持され、これにより送りねじ１３は軸線方向が直動案内部材４に平行な状態に保持されるようになされている。
ここで軸受１２としては、空気制圧軸受又は超精密なアンギユラ玉軸受が用いられ、これにより軸受１２は送りねじ１３が回転する際、当該送りねじ１３の軸心のぶれ、軸方向の変位が生じないように送りねじ１３を保持するようになされている。
【００２３】
送りねじ１３には送りナツト１５が螺合され、この結果送りねじ１３及び送りナツト１５は滑りねじを構成し送りねじ１３を１回転するごとに送りねじ１３の軸線方向に送りナツト１５を送りねじ１３のピツチ分だけ移動し得るようになされている。
ここで送りねじ１３及び送りナツト１５は台形ねじ形状又は三角ねじ形状となつていると共に、フアインセラミツクス、エンジニアリングプラスチツク又は樹脂等の剛性の高い材質によつて構成されている。また送りねじ１３及び送りナツト１５の摺動面には潤滑油、グリス、固体潤滑材が塗り込まれている。
【００２４】
また送りナツト１５は連結部材１４に固着され、これにより送り位置決め装置１においては送りナツト１５が送りねじ１３の軸線方向に移動すると、被駆動部２がこの移動距離と同じ距離だけ矢印ａ方向に移動するようになされている。
ここで連結部材１４としては、矢印ａの方向に高い剛性を有すると共に、送りねじ１３の軸の偏芯、ぶれ、そり、又は送りねじ１３と直動案内部材４との平行度誤差によつて生じる送りナツト１５の送りねじ１３の軸と直交する面内における変化に柔軟に追従することができる二方向組合せ平行板ばね、又はすり割と円弧状の切欠を組み合わせた二方向一体型平行ばねが用いられている。
【００２５】
かかる構成に加えて、送りナツト１５には当該送りナツト１５を巻回するように円環状の予圧部１６が取り付けられている。
送り位置決め装置１は圧力源１７から送出される流体を圧力制御部１８を介して管状の圧力伝達部材１９によつて予圧部１６に設けられた継手部２０に与える。
【００２６】
ここで圧力制御部１８としては、減圧弁（レギユレータ）が用いられ、これにより圧力源１７からの圧力を可変し得ると共に、設定した圧力を一定に維持できるようになされている。
また圧力伝達部材１９としては、ウレタンチユーブ、ポリエステルチユーブ又はテフロンチユーブ等が用いられ、これにより当該圧力伝達部材１９は送りナツト１５と共に予圧部１６が移動する際この動きに応じて柔軟に変形しながら追従することにより移動部に不要な力や振動を与えないようになされている。
【００２７】
継手部２０に与えられた流体は当該継手部２０を介して予圧部１６に流入され、これにより予圧部１６は流体の流入量に応じて送りナツト１５を締めつけるようになされている。
これにより送り位置決め装置１においては、圧力源１７からの圧力を圧力制御部１８によつて調整して予圧部１６に与えることにより、送りナツト１５を締めつける締めつけ力を調整でき、かくして送りねじ１３に対する送りナツト１５の接触面圧力を所望の値に調整できるようになされている。
【００２８】
ここで送りナツト１５は、図２に示すように、取付フランジ３０及びめねじ部３４により構成され、取付フランジ３０を連結部材１４のナツト取付部３１に押し板３２を介してねじ３３によつて締結することにより連結部材１４に取り付けられている。
【００２９】
送りナツト１５のめねじ部３４の外周にはガードリング３５及び当該ガードリング３５内に収納されたチユーブ状の予圧部材３６が配置され、当該予圧部材３６がめねじ部３４の外周に当接すると共に予圧部材３６の中空部分３７に継手部２０を介して流体が導入されるようになされている。
予圧部材３６はゴム又は樹脂等の弾性体又は伸縮可能な部材により構成され、これにより予圧部材は導入される流体の量に応じて膨張するようになされている。
送りナツト１５のめねじ部３４には、図３に示すように、送りねじ１３の軸線方向に延長するようなすり割３８が形成されている。
【００３０】
これにより予圧部材３６の中空部分３７に流体が導入されると予圧部材３６は中空部分３７内の圧力が増大することにより膨張し、このとき予圧部材３６の外周部３６Ａがガードリング３５に規制された状態で予圧部材３６の内周部３６Ｂが送りナツト３４を送りねじ１３の径方向に加圧する。
このとき送りナツト３４はすり割３８が形成されていることにより予圧部材３６の内周部３６Ｂから与えられる加圧力に応じて容易に変形し、送りねじ１３のおねじ部と送りナツト１５のめねじ部３４間にこの加圧力に応じた予圧が与えられる。
【００３１】
また送りナツト１５のめねじ部３４と送りナツト１６の取付フランジ３０とは、図４に示すような断面が円弧状の連結部３９のみによつて連結されていることにより、めねじ部３４は予圧部材３６から与えられる加圧力に応じて容易に変形し得るようになされている。
【００３２】
以上の構成において、送り位置決め装置１は回転駆動部９の回転を増減速部８及び回転軸継手１１を介して高精度に送りねじ１３に伝達する。
この結果送りねじ１３に螺合した送りナツト１５が送りねじ１３の回動に応じて矢印ａの方向に移動する。これにより連結部材１４によつて送りナツト１５に連結された被駆動部２が送りナツト１５の移動量に応じて矢印ａの方向に摺動する。
【００３３】
ここで送り位置決め装置１は圧力源１７によつて発生した圧力を圧力制御部１８により所望の値に調整して、当該圧力を送りナツト１５を巻回するように設けられた予圧部１６に供給する。
このとき圧力制御部１８は送りねじ１３と送りナツト１５との接触面圧力が常に一定になるような圧力を予圧部１６に供給する。
【００３４】
これにより送り位置決め装置１においては、送りねじ１３のリードピツチのむらやねじ径のむら等の加工精度上の誤差が原因で、めねじ部３４が局部的に変形した場合でも、圧力制御部１８によつて予圧を一定に保つことができ、この結果送りねじ１３と送りナツト１５との接触面圧力がほぼ一定に保持されることにより従来に比して格段に摩擦トルクの変動を低減し得、位置決め精度を向上することができる。
【００３５】
また送りねじ１３又は送りナツト１５に温度変化による寸法の変化が生じた場合、さらには磨耗による寸法の変化が生じた場合にも、圧力制御部１８がこれに応じて送りねじ１３と送りナツト１５との接触面圧力がほぼ一定に保持されるような予圧を送りナツト１５に供給し、これにより位置決め精度を向上することができる。
【００３６】
さらに送りナツト１５に予圧を与える予圧部材３６として振動減衰能力の高いゴム又は樹脂を用いたことにより、摩擦トルクの変動によるねじり振動を短時間で収束させることができる。この結果送りねじ１３と送りナツト１５との接触面圧力が高いときに生じるステイツクスリツプ（びびり）の発生を抑制し得、これにより予圧量を高くした場合にも送りナツト１５を滑らかに送ることができる。かくして送りねじ１３と送りナツト１５との送り剛性を向上し得ることにより、位置決め精度を向上することができる。
【００３７】
以上の構成によれば、圧力制御部１８を設け、当該圧力制御部１８によつて送りナツト１５に与える予圧を常に所望の値に調整するようにしたことにより、おねじ及びめねじ間に磨耗によるガタが生じた場合、またはおねじ及びめねじ間に加工精度による誤差がある場合においても、送りねじ１３及び送りナツト１５間に生じるガタを無くすることができると共に摩擦トルクの変動を抑制し得、かくして送り位置決め精度が格段に向上した送り位置決め装置１を実現することができる。
【００３８】
なお上述の実施例においては、送り位置決め装置１を、光デイスクの原盤露光装置の光学系を移動する装置として用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、ガラス原盤を搭載した回転軸部の送り装置としても用いることもできる。また送り位置決め装置１は半導体や液晶等のマスクパターンを被露光物に露光する露光装置（ステツパ）における光学系、又は被露光物を正確に定められたステツプで送る装置としても適用することができる。さらに送り位置決め装置１は工作機械や測定器等において直線的に物体を送る装置として広く適用することができる。
【００３９】
また上述の実施例においては、ガードリング３５にチユーブ状の予圧部材３６を収納し、当該予圧部材３６内に継手部２０を介して圧力が制御された流体を導入するようにして送りナツト１５のめねじ部３４の全周方向から予圧を与える場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば図５に示すように、予圧部材３６に代えて２つのチユーブ状予圧部材４０及び４１を設け、当該予圧部材４０及び４１にそれぞれ継手部４２及び４３を介して独立に流体を導入することによりすり割３８を挟んでめねじ部３４を対向する両側から加圧するようにしてもよい。
【００４０】
また上述の実施例においては、送りナツト１６のめねじ部３４と送りナツト１６の取付フランジ３０とを連結部３９のみによつて連結することによりめねじ部３４に対する取付フランジ３０の剛性の影響を低減し、予圧部材３６により与えられる加圧力に応じてめねじ部３４が容易に変形し得るようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、図６〜図８に示すように、めねじ部３４と取付フランジ３０とを板ばねヒンジ部４５によつて連結するようにした場合においても予圧部材３６により与えられる加圧力に応じてめねじ部３４を容易に変形させることができる。また図７に示すように、めねじ部３４に形成するすり割３８の数は１つに限らず複数のすり割３８Ａ〜３８Ｄを形成するようにしてもよい。このようにすれば、めねじ部３４を予圧に応じて一段と容易に変形させることができる。
【００４１】
また上述の実施例においては、一体に形成されためねじ部３４を予圧部材３６によつてねじの径方向に変形させる場合について述べたが、本発明はこれに限らず、図９に示すように、めねじ部３４（図２）を第１及び第２のめねじ部５０及び５１に２分割するようにしてもよい。
【００４２】
この場合第１のめねじ部５０の取付フランジ５２がねじ５３によつてナツト取付部５４に固着されていると共に、第１及び第２のめねじ部５０及び５１が板ばねヒンジ部５５によつて相対的に回転することなく送りねじ１３の軸線と平行な方向にのみ変位するように連結されている。さらにチユーブ状の予圧部材３６が軸線方向の両端が開口されたガードリング５７及び５８内に収納されており、これにより予圧部材３６は継手部２０を介して中空部分３７に流体が導入されると、ガードリング５７及び５８によつて内外径方向の膨張が規制されて送りねじ１３の軸線と平行な方向にのみ膨張するようになされている。この結果予圧部材３６が第１及び第２のめねじ部５０及び５１の取付フランジ５２及び５６をそれぞれ加圧することにより第１及び第２のめねじ部５０及び５１を互いに離間する方向に付勢し、送りねじ１３と第１及び第２のめねじ部５０及び５１との間に所望の予圧を与えることができる。
【００４３】
また上述の実施例においては、送りねじ１３及び送りナツト１５を台形ねじによつて構成した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、上述した２分割めねじ方式はボールねじも適用することもできる。
【００４４】
さらに上述の実施例においては、送りナツト１５が連結部材１４によつて回転することなく支持されると共に、送りねじ１３が軸受１２によつて回動自在に支持される場合について述べたが、本発明はこれに限らず、送りねじと送りナツトが相対的に回転し直線変位を得る構成であれば、送りねじと送りナツトのいづれが回転し、各々のいづれが直線的に移動する場合においても上述の場合と同様の効果を得ることができる。
【００４５】
例えば回転駆動手段及び送りねじが移動側に搭載され、移動部に支持された軸受に保持された送りねじが回転することにより、当該送りねじに螺合する送りナツトが固定部に回転しないように支持されるようにしてもよい。また例えば送りねじが移動側に回転しないように支持された状態で搭載されると共に、回転できるように軸受に保持された送りナツトが固定部に支持された状態で回転駆動手段によつて回転されるようにしてもよい。
【００４６】
【発明の効果】
上述のように本発明によれば、互いに相対的に回転することなく、かつ送りねじの軸線方向に互いに接近又は離間自在に形成された第１及び第２のめねじ部と、当該第１及び第２のめねじ部の外周に設けられ、当該軸線方向の両端が開口されたガードリンクと、当該第１及び第２のめねじ部に取り付けられたフランジとを設けるようにし、これらフランジが、第１及び第２のめねじ部とガードリンクとの間に設けられた弾性部材に加圧され、当該加圧に応じて第１及び第２のめねじ部を軸線方向に離間させるようにしたことにより、送りねじと第１及び第２のめねじ部との間に、弾性部材の加圧に応じた予圧をフランジを介して与えることができるため、おねじ及びめねじ間に磨耗によるガタが生じた場合、またはおねじ及びめねじ間に加工精度による誤差が生じた場合においても高精度に位置決めすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による位置決め装置の一実施例の全体構成を示す斜視図である。
【図２】予圧部の説明に供する断面図である。
【図３】図２のＡＡ′断面図である。
【図４】図２のＢＢ′断面図である。
【図５】他の実施例の予圧部材を示す断面図である。
【図６】他の実施例の説明に供する断面図である。
【図７】図６のＣＣ′断面図である。
【図８】図６のＤＤ′断面図である。
【図９】他の実施例の説明に供する断面図である。
【図１０】図９のＥＥ′断面図である。
【符号の説明】
１……送り位置決め装置、２……被駆動部、８……増減速部、９……回転駆動部、１３……送りねじ、１４……連結部材、１５……送りナツト、１６……予圧部材、１７……圧力源、１８……圧力制御部、１９……圧力伝達部材、２０、４２、４３……継手部、３０、５２、５６……取付フランジ、３１、５４……ナツト取付部、３２……押し板、３４、５０、５１……めねじ部、３５、５７、５８……ガードリング、３６、４０、４１……予圧部材、３７……中空部分、３８、３８Ａ〜３８Ｄ……すり割、４５、５５……板ばねヒンジ部。
【図１】
0003707805.tif 000002
【図２】
0003707805.tif 000003
【図３】
0003707805.tif 000004
【図４】
0003707805.tif 000005
【図５】
0003707805.tif 000006
【図６】
0003707805.tif 000007
【図７】
0003707805.tif 000008
【図８】
0003707805.tif 000009
【図９】
0003707805.tif 000010
【図１０】
0003707805.tif 000011