(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の対象物に対してスパッタリング法により薄膜を形成する際に使用されるスパッタリングターゲットの発注を行う複数のターゲットユーザ側の通信端末機器と、ターゲットユーザからの発注に応じてスパッタリングターゲットを生産するターゲットメーカ側の通信端末機器と、システムの全体を管理するホストコンピュータとを少なくとも備え、それぞれが所定の通信回線を介して接続されてなるスパッタリングターゲットの生産管理システムであって、
前記ホストコンピュータは、
前記複数のターゲットユーザを各々識別するためのユーザ識別情報と、
前記スパッタリングターゲットの土台として使用され所定のターゲット材を貼着可能なバッキングプレートを各々識別するための識別情報と、各バッキングプレートごとにスパッタリングターゲットとして使用された回数およびその際貼着されたターゲット材の材質・品種の種類を含む使用履歴を登録した履歴情報と、を少なくとも格納する記憶手段と、
前記ユーザ識別情報を照合して所定条件を満たすユーザであるか否かを判定するユーザ識別情報認証手段と、を備え、
前記ターゲットユーザ側の通信端末機器は、前記ユーザが前記ユーザ識別情報認証手段により所定条件を満たすユーザであると認証された場合に、前記ホストコンピュータに記憶された情報にアクセス可能とされ、
前記履歴情報は、バッキングプレートがスパッタリングターゲットとして繰り返し再生・加工される度に前記ターゲットメーカの通信端末機器からの情報入力に基づいて追加更新されることを特徴とするスパッタリングターゲットの生産管理システム。
【請求項２】
前記記憶手段には、前記ターゲットメーカにおけるユーザから受注したスパッタリングターゲットのバッキングプレートの再生加工または新造手配を含む生産状況を示すターゲット生産情報が格納され、
前記ターゲット生産情報は、生産工程が次工程へと移行される度にターゲットメーカの通信端末機器からの情報入力に基づいて更新されることを特徴とする請求項１に記載のスパッタリングターゲットの生産管理システム。
【請求項３】
前記記憶手段には、前記ターゲットメーカから納入されたスパッタリングターゲットの前記ターゲットユーザにおける使用状況を示すターゲット使用情報が格納され、
前記ターゲット使用情報は、スパッタリングターゲットがスパッタリング装置に装着されて使用開始される度にターゲットユーザ側の通信端末機器からの情報入力に基づいて更新されることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のスパッタリングターゲットの生産管理システム。
【請求項４】
前記ターゲットメーカの通信端末機器はスパッタリングターゲットの生産に関係する部署ごとに配置される複数の通信端末機器で構成され、各通信端末機器が前記ホストコンピュータにローカル・エリア・ネットワーク等の通信手段を介して接続されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のスパッタリングターゲットの生産管理システム。
【請求項５】
アクセス権を有さないターゲットユーザの通信端末機器による前記ホストコンピュータへの不正なアクセスを防止する不正アクセス防止機構・機能を備えていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のスパッタリングターゲットの生産管理システム。
【請求項６】
所定の対象物に対してスパッタリング法により薄膜を形成する際に使用されるスパッタリングターゲットの発注を行う複数のターゲットユーザ側の通信端末機器と、ターゲットユーザからの発注に応じてスパッタリングターゲットを生産するターゲットメーカ側の通信端末機器とが所定の通信回線を介して接続可能であり、システムの全体を管理するホストコンピュータであって、
前記複数のターゲットユーザを各々識別するためのユーザ識別情報と、
前記スパッタリングターゲットの土台として使用され所定のターゲット材を貼着可能なバッキングプレートに関し、バッキングプレートを各々識別するための識別情報と、各バッキングプレートごとにスパッタリングターゲットとして繰り返し再生使用された回数およびその際貼着されたターゲットの材質・品種の種類を含む使用履歴を登録した履歴情報と、を少なくとも格納する記憶手段と、
前記ユーザ識別情報を照合して所定条件を満たすユーザであるか否かを判定するユーザ識別情報認証手段と、を備え、
前記ターゲットユーザ側の通信端末機器は、前記ユーザが前記ユーザ識別情報認証手段により所定条件を満たすユーザであると認証された場合に、前記ホストコンピュータに記憶された情報にアクセス可能とされ、
前記履歴情報は、バッキングプレートがスパッタリングターゲットとして繰り返し再生・加工される度に前記ターゲットメーカの通信端末機器からの情報入力に基づいて更新されることを特徴とするスパッタリングターゲットの生産管理システムに用いられるホストコンピュータ。
【請求項７】
前記履歴情報に基づいてバッキングプレートの再利用の適否を判定する再生判定機能を備えていることを特徴とする請求項６に記載のスパッタリングターゲットの生産管理システムに用いられるホストコンピュータ。
【請求項８】
前記ターゲットユーザより送信される次回のスパッタリングターゲットに使用するターゲット材の材質・品種の種類および再生使用するバッキングプレートの識別情報を含む予約発注情報に基づいて、スパッタリングターゲットの生産スケジュールを作成する生産スケジュール作成手段を備え、
作成された生産スケジュールは、前記記憶手段に記憶されるとともに、ターゲットメーカの通信端末機器に送信されることを特徴とする請求項６または請求項７に記載のスパッタリングターゲットの生産管理システムに用いられるホストコンピュータ。
【請求項９】
所定の対象物に対してスパッタリング法により薄膜を形成する際に使用されるスパッタリングターゲットの発注を行う複数のターゲットユーザ側の通信端末機器と、ターゲットユーザからの発注に応じてスパッタリングターゲットを生産するターゲットメーカ側の通信端末機器とが所定の通信回線を介して接続可能であり、システムの全体を管理するホストコンピュータ上で実行されるプログラムを記録した媒体であって、
前記複数のターゲットユーザを各々識別するためのユーザ識別情報と、
前記スパッタリングターゲットの土台として使用され所定のターゲット材を貼着可能なバッキングプレートに関し、バッキングプレートを各々識別するための識別情報と、各バッキングプレートごとにスパッタリングターゲットとして使用された回数およびその際貼着されたターゲット材の材質・品種の種類を含む使用履歴を登録した履歴情報とを少なくとも含む生産管理情報を管理する機能と、
前記ユーザが前記ユーザ識別情報認証機構・機能により所定条件を満たすユーザであると認証された場合に、前記ホストコンピュータに記憶された情報へのアクセスを許可する機能と、
前記ターゲットメーカまたはターゲットユーザの通信端末機器から前記生産管理情報が入力されるのを支援する機能と、
前記ホストコンピュータに記憶された生産管理情報および前記入力された生産管理情報を前記通信端末機器上で閲覧可能にする機能とを備えたスパッタリングターゲットの生産管理システム用プログラムを記録した媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、バッキングプレートの再利用を伴うスパッタリングターゲットの生産工程に利用して有効なシステムに関し、特にターゲットユーザとターゲットメーカとの間でデータ通信を介して種々の情報の授受を円滑に行ってスパッタリングターゲットの生産効率を向上させることのできるスパッタリングターゲットの生産管理システムおよびそのシステムに用いられるホストコンピュータとプログラムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板に薄膜を形成する方法の一つにスパッタリング法がある。スパッタリング法は、スパッタリングターゲットと呼ばれる薄膜原料となる物質にＡｒ＋等のイオンを衝突させてターゲット表面をスパッタし、ターゲットからスパッタされた粒子を所定の位置に配置された基板上に堆積させて薄膜を形成する方法である。
【０００３】
図７に示すように、上記スパッタリングターゲットＳＴはバッキングプレートと呼ばれる土台ＢＰにターゲットの原料粉を成形して焼結させたターゲット材ＴＡが貼着されて構成される。また、スパッタリングに使用されターゲット材ＴＡがバッキングプレートＢＰ表面近くまで浸食されたスパッタリングターゲットＳＴは、バッキングプレートＢＰ上に残留したターゲット材ＴＡを除去され、再生されたバッキングプレートＢＰに新たにターゲット材ＴＡを貼着されて再利用される。
【０００４】
通常、バッキングプレートには、純銅あるいは銅系合金が用いられ、まれにステンレスが用いられる。
【０００５】
従来から、スパッタリングターゲットはこれを使用するターゲットユーザ（以下、単にユーザと称する）からの発注を受けたターゲットメーカ（以下、単にメーカと称する）が生産を行っており、ユーザからメーカに発注がなされてはじめて製造が開始されていた。また、ユーザは発注したスパッタリングターゲットの数量に基づいてバッキングプレートを用意してメーカに送付し、メーカは発注に応じてターゲットの原料粉を製造し、ターゲット材として成形した後、前記バッキングプレート上にターゲット材を貼着してユーザに製品としてのスパッタリングターゲットを出荷する。
【０００６】
また、バッキングプレートは繰り返し再生利用が可能であり、ユーザで使用されたスパッタリングターゲットはメーカへと再送付され、ターゲット材部分を剥離後、バッキングプレート接着面が洗浄（バッキングプレートの再生）され、再生されたバッキングプレートは再度スパッタリングターゲットの土台として利用される。
【０００７】
図６（Ａ）は、通常のスパッタリングターゲット生産工程を表す説明図である。
【０００８】
まず、メーカからユーザに出荷された例えば１００個の製品ターゲット群が、ユーザのスパッタリング装置１００台に装填される。通常、装置に装填されたスパッタリングターゲットは４〜５週間で完全に消費され、ユーザはスパッタリングターゲットが消費される直前または消費された後、次回のスパッタリングターゲットをメーカに発注する。
【０００９】
次に、メーカはユーザからの発注に応じてターゲット原料の手配を開始する。現状では、原料粉を製造するのに約６週間、ターゲットを成形・焼結させるのに約３週間を要する。この間、ユーザは使用済みのスパッタリングターゲットの送付処理を行い、メーカでのターゲットの成形・焼結に合わせて使用済みターゲットを送付する。
【００１０】
ユーザからメーカに送付された使用済みターゲットからターゲット材部分が剥離・洗浄されてバッキングプレートが再生される。再生されたバッキングプレートは再利用可能であるか検査され、再利用可能であれば先に成形された新規ターゲット材が貼着され、製品として完成したスパッタリングターゲットがユーザに送付される。メーカでバッキングプレートを再生してからターゲット本体を貼着するまで約２週間を要する。このように、従来のスパッタリングターゲットの生産工程ではユーザがスパッタリングターゲットを発注してからメーカが納入するまで現状では最低でも約１１週間を要する。
【００１１】
一方、再生されたバッキングプレートを検査して再利用が不可能であると判定された場合には、図６（Ｂ）に示すように、約２週間〜１ヶ月かけてユーザまたはメーカによって別のバッキングプレートが手配される。すなわち、予備在庫品のバッキングプレートを送付するか、予備がなければこの時点でバッキングプレートを新造することになる。その分納入もずれ込みユーザがターゲットを発注してからメーカが納入するまで約１４〜１６週間を要することとなってしまう。
【００１２】
図５は、メーカの生産管理システムのシステム構成を示すブロック図である。符号１０はユーザからのスパッタリングターゲットの発注を登録する、例えばメーカの営業課等に設置されている通信端末機器で、符号２０は工場の各現場（生産管理課、加工・検査係、成形係、原料係、物流係等）に設置されている通信端末機器である。これらの通信端末機器１０，２０がイントラサーバ３０、企業内ＬＡＮ用のＤＮＳサーバ５０に接続されて企業内ＬＡＮが構築される。さらに、企業内ＬＡＮに生産管理データベースサーバ（例えばSQL Server）４０が接続されてメーカ内の生産管理システムが構築され、各通信端末機器１０，２０でＳＱＬサーバ４０に蓄積されたターゲットの生産管理に関する情報を閲覧可能となる。このように、従来はメーカ内においてのみ生産管理に関する情報が電子データによって授受され、ユーザからの発注処理や原料メーカへの原料粉の手配等は専ら電話・ＦＡＸ・郵便等のアナログデータの送受信により行われていた。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上述した生産方法では、ユーザがメーカにスパッタリングターゲットを発注してからメーカがユーザに製品としてのスパッタリングターゲットを納入するまで長期間を要するだけでなく、メーカはユーザにスパッタリングターゲットを納入してから次回の発注がなされるまでターゲットの製造装置等を有効に稼働できず、ユーザはスパッタリングターゲットを完全に使用してから次回のスパッタリングターゲットが納入されるまでスパッタリング装置等を稼働できないので、お互いに装置の稼働率が低下してしまい生産効率を向上できなかった。
【００１４】
また、バッキングプレートの再利用の適否は、ユーザから送付された使用済みターゲットからバッキングプレートを再生した後検査してはじめて判定されるので、バッキングプレートからターゲット材質部分を剥がさなければ分からない反りや、接着面のキズ等のある不良バッキングプレートが発見されたときの対処にかなりの時間が費やされてしまいさらに納期が遅れてしまうということもあった。
【００１５】
また、ユーザは複数のターゲット群を用意しておき、第１ターゲット群が完全に使用されると第２ターゲット群を装填するとともに使用済みの第１ターゲット群をメーカに送付して新たにターゲットを発注し、第２ターゲット群が完全に使用されると第３ターゲット群を装填するとともに使用済みの第２ターゲット群をメーカに送付して新たにターゲットを発注し、というように順次スパッタリング装置にターゲット群を装填できるように複数のターゲット群を準備しておけばスパッタリング装置を有効に稼働させることもできるが、その場合にはユーザは常にスパッタリング装置台数の３倍以上という多数のバッキングプレートを所有し、それぞれを繰り返し再生使用しなければならず多数のバッキングプレート制作費と管理運用コストが増大するという問題が生じる。
【００１６】
本発明は、ユーザがスパッタリング装置を効率よく稼働させることができ、一方、メーカはスパッタリングターゲットの納期を格段に短縮できるスパッタリングターゲットの生産管理システムおよびそれに用いられるホストコンピュータ並びに生産管理システム用プログラムを記録した媒体を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためこの発明は、所定の対象物に対してスパッタリング法により薄膜を形成する際に使用されるスパッタリングターゲットの発注を行う複数のユーザ側の通信端末機器と、ユーザからの発注に応じてスパッタリングターゲットを生産するメーカ側の通信端末機器と、システムの全体を管理するホストコンピュータとを少なくとも備え、それぞれが所定の通信回線を介して接続されてなるスパッタリングターゲットの生産管理システムであって、前記ホストコンピュータは、前記複数のユーザを各々識別するためのユーザ識別情報と、前記スパッタリングターゲットの土台として使用され所定のターゲット材を貼着可能なバッキングプレートを各々識別するための識別情報と、各バッキングプレートごとにスパッタリングターゲットとして使用された回数およびその際貼着されたターゲット材の材質・品種の種類や、過去の再生加工時におけるバッキングプレートとターゲット材との接合表面のキズや反り等の判定結果等を含む再生使用履歴を登録した履歴情報と、を少なくとも格納する記憶手段と、前記ユーザ識別情報を照合して所定条件を満たすユーザであるか否かを判定するユーザ識別情報認証手段とを備え、前記ユーザ側の通信端末機器は、前記ユーザが前記ユーザ識別情報認証手段により所定条件を満たすユーザであると認証された場合に、前記ホストコンピュータに記憶された情報にアクセス可能とされ、前記履歴情報は、バッキングプレートがスパッタリングターゲットとして繰り返し再生・加工される度に前記メーカ側の通信端末機器からの情報入力に基づいて更新されるようにした。
【００１８】
ユーザは、バッキングプレートの履歴情報を把握することにより所有するバッキングプレートがあとどれくらい使用可能かどうかを知ることができる。これにより、ユーザは、次回ターゲットを発注する際には使用済みターゲットの中でバッキングプレートが再利用可能なものだけを選別して送付するようになり、一方再利用できないものについては代わりのバッキングプレートを予め用意するようになるので、メーカで使用済みターゲットからバッキングプレートを再生し検査した時点で再利用不能のバッキングプレートが発見される可能性は低くなり、新たにバッキングプレートを調達することに伴い納期が延長される心配がなくなる。
【００１９】
また、前記記憶手段には、前記メーカにおけるユーザから受注したスパッタリングターゲットの生産状況を示すターゲット生産情報が格納され、前記ターゲット生産情報は、生産工程が次工程へと移行される度に前記メーカ側の通信端末機器からの情報入力に基づいて更新されるようにした。
【００２０】
これにより、ユーザは発注したターゲットの生産状況をリアルタイムで確認できるため、安心して製品ターゲットの納入を待つことができる。また、バッキングプレートの再利用の判定で再利用不可能なバッキングプレートがあった場合、メーカでのターゲット成形工程が終わるまでに別のバッキングプレートを手配すればよいので、メーカの生産状況に応じて余裕を持って手配することができる。
【００２１】
また、前記記憶手段には、前記メーカから納入されたスパッタリングターゲットの前記ユーザにおけるスパッタリング装置に装着して使用開始したことを示すターゲット使用情報が格納され、前記ターゲット使用情報は、スパッタリングターゲットが使用開始される度に前記ユーザ側の通信端末機器からの情報入力に基づいて更新されるようにした。
【００２２】
これにより、メーカでは次回の発注を予測できるので、原料の手配や原料粉の製造などを前もって行い納期を短縮することができる。ターゲット使用情報としては、例えば、スパッタリング装置に装填した日、使用完了予定日およびターゲットに使用されているバッキングプレートの識別情報等がある。
【００２３】
さらに、前記メーカの通信端末機器は、スパッタリングターゲットの生産に関係する各部署ごとに配置される複数の通信端末機器で構成され、各通信端末機器が前記ホストコンピュータにローカル・エリア・ネットワーク等の通信手段を介して接続されるのが望ましい。
【００２４】
また、アクセス権を有さないユーザの通信端末機器による前記ホストコンピュータへの不正なアクセスを防止する不正アクセス防止機構・機能を設ける。これにより、ユーザとメーカとだけが共有する情報を第三者の不正なアクセスから保護し、安全に管理することができる。
【００２５】
また、前記ホストコンピュータは、前記履歴情報に基づいてバッキングプレートの再利用の適否を判定する再生判定手段を備えるようにするとよい。なお、前記履歴情報に基づいてバッキングプレートの再利用の適否を判定するプログラムを記憶手段に格納しておき、例えば再利用の判定を要求されたときに該プログラムが実行されるようにしてもよい。
【００２６】
ユーザ側でも次回のターゲットに使用するバッキングプレートが再利用可能かどうか履歴情報より判定できるが、メーカ側でも確認することにより、再利用不可能なバッキングプレートが送付されることはなくなる。また、バッキングプレートの再利用の適否を再利用判定機能により自動的に判定することにより、より確実に再利用不可能なバッキングプレートが送付されるのを回避できる。
【００２７】
なお、バッキングプレートの再利用の適否を自動的に判定するにあたり、従来使用してきたバッキングプレートについて、使用回数および貼着されたターゲットの種類やバッキングプレートとターゲット材質との接合面の判定結果とバッキングプレート再利用の適否との関係を蓄積したデータベースを利用することにより精度良くバッキングプレート再利用の適否を判定することができる。
【００２８】
また、前記ユーザより送信される次回のスパッタリングターゲットに使用するターゲット原料の種類および使用するバッキングプレートの識別情報を含む予約発注情報に基づき生産スケジュールを作成する生産スケジュール作成手段を備え、作成された生産スケジュールは前記ホストコンピュータの記憶手段に記憶されるとともに、メーカの通信端末機器に送信されるようにするとよい。具体的には、前記予約発注情報に基づいてスパッタリングターゲットの生産スケジュールを作成するプログラムを記憶手段に格納しておき、例えばユーザがスパッタリング装置にターゲットを装着した時点で予約発注情報が送信されるとすぐに該プログラムが実行されるようにしてもよい。
【００２９】
これにより、ユーザからの予約発注を受けるとすぐにメーカの各部署（例えば、生産管理課、加工・検査係、成形係、原料係等）に生産スケジュールが送信されるので、各部署ごとにターゲット生産に関わる準備を前もって行うことができスムーズにターゲットを生産することができる。なお、作成された生産スケジュールは各部署の担当者によって調整することもできる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施例を図面に基づいて説明する。本実施形態では、メーカの通信端末機器は企業内ＬＡＮを介してホストコンピュータに接続され、ユーザの通信端末機器は電話回線を通して接続したインターネットを介してホストコンピュータに接続され、情報の授受は一般のウェブブラウザを利用してホームページの形式で行われる。
【００３１】
図１は、本発明に係る生産管理システムのシステム構成を示すブロック図である。図中、破線１００で囲まれた部分は企業内ＬＡＮ等の通信ネットワークを利用して構築されたメーカ内の生産管理システムであり、図５の構成と同じである。符号１０はユーザからのターゲットの発注を登録する、例えば本社営業部等に設置されている通信端末機器で、符号２０は工場の各現場（生産管理課、加工・検査係、成形係、原料係、物流係、資材等）に設置されている通信端末機器である。なお、通信端末機器１０，２０には一般のパーソナルコンピュータを利用できる。
【００３２】
符号３０はイントラサーバで、符号４０は生産管理に関する情報（ＢＰ履歴情報等）が記憶されている生産管理データベースサーバ（例えばSQL Server）で、符号５０は企業内ＬＡＮ用のＤＮＳサーバである。各通信端末機器１０，２０とこれらのサーバ３０，４０，５０とがＬＡＮ用ケーブル等で接続されてメーカ内の生産管理システム１００（企業内ＬＡＮ）が構築されている。
【００３３】
符号６０は部外者の不正アクセスを防止する機能を備えたコンピュータ（いわゆるファイアウォール）で、符号７０はメーカおよびユーザに生産管理情報を提供するユーザ用インターネットサーバであり、該ユーザ用インターネットサーバ７０が本発明のホストコンピュータの役割を担う。このユーザ用インターネットサーバ７０は、ユーザの識別情報（ユーザＩＤ及びパスワード）やバッキングプレートの識別情報、バッキングプレートの履歴情報および本実施形態の生産管理システムを実現するための生産管理用プログラムを記憶しておく磁気ディスク等の記憶装置と、前記生産管理用プログラムを実行して各種情報をホームページ形式でディスプレイ上に表示したりユーザ識別情報により正規のユーザかどうかを判定したりするＣＰＵとを少なくとも備えている。なお、記憶媒体としては、磁気的、光学的、光磁気的記憶媒体、あるいは半導体メモリで構成され、記憶装置に固定的に設けたもの、あるいは着脱自在に装着するものなど種々の形式のものが適用可能である。
【００３４】
なお、本実施形態では専用のコンピュータを設けてファイアウォール６０を構成しているが、ホストコンピュータに第三者の不正アクセスを防止する機能を有するソフトウェアやファームウェアを組み込んでファイアウォールを構成することもできる。
【００３５】
メーカ内の生産管理システム１００およびユーザ用インターネットサーバ７０は、ファイアウォール６０を介してインターネットに接続されることにより、部外者の不正アクセスを防止することができ安全性を高めている。
【００３６】
一方、ユーザの通信端末機器８０はインターネットサーバ９０を介してインターネットに接続される一般のパーソナルコンピュータであり、ファイアウォール６０を介してメーカの提供するユーザ用インターネットサーバ７０に接続される。
【００３７】
また、ユーザは、ユーザ用インターネットサーバ７０に接続した後、自社のスパッタリングターゲットに関する情報にアクセスする場合はユーザ識別情報（ユーザＩＤ、パスワード）の入力を要求され、入力したユーザ識別情報が照合され正規のユーザであることを認証されてはじめて情報が提供される。このとき、ユーザＩＤ、パスワードの送受信は公開鍵と暗号鍵を組み合わせて暗号化することで安全性を一層高めることができる。
【００３８】
正規のユーザであることを認証されると、ユーザに納入されているスパッタリングターゲットに関するターゲット使用情報（ターゲット識別番号、使用開始日等を含む）やユーザが発注した次回ターゲットの生産状況等が示されるターゲット生産情報およびユーザが所有するバッキングプレートの情報等を入手することができる。これらの情報についても暗号化して送受信することでインターネット上の第三者にのぞき見られるのを防ぐことができる。
【００３９】
このように、本実施形態での生産管理システムは、メーカの通信端末機器１０，２０およびユーザの通信端末機器８０がユーザ用インターネットサーバ７０（ホストコンピュータ）に接続されて構築される。また、該ユーザ用インターネットサーバ７０には種々の生産管理に関する情報が記憶されており、メーカの通信端末機器１０，２０およびユーザの通信端末機器８０からいわゆるホームページの形式でこれらの生産管理情報を閲覧可能であり、情報によっては書込（更新）も可能とされる。
【００４０】
例えば、ユーザ用インターネットサーバ７０に記憶される生産管理情報には、ユーザ識別情報、ターゲット使用情報、ターゲット生産情報、バッキングプレート（ＢＰ）情報、バッキングプレート（ＢＰ）再利用判定結果等がある。このうち、ユーザ識別情報、ＢＰ情報、ターゲット生産情報、ＢＰ再利用判定結果はメーカの通信端末機器より更新され、ターゲット使用情報はユーザの通信端末機器より更新される。
【００４１】
なお、前記生産管理情報は生産管理ＤＢサーバ４０に記憶され、必要に応じてユーザ用インターネットサーバ７０は生産管理ＤＢサーバ４０から生産管理情報を引き出すような構成とすることもできる。
【００４２】
次に、図２〜図４をもとにユーザでスパッタリングターゲットが装填（ターゲット使用開始）されてから、次回スパッタリングターゲットが納入されるまでの流れについて説明する。図２は本発明の生産管理システムを利用することにより実現されるターゲットの生産工程を表す説明図であり、図３はユーザ用インターネットサーバ７０または生産管理ＤＢサーバ４０に記憶されるデータチャートの構成例である。また、図４は本発明の生産管理システムにおける情報および物（バッキングプレート，ターゲット等）の流れを示す概略図であり、点線は情報の流れを、実線は物の流れを意味している。
【００４３】
まず、メーカから納品されたスパッタリングターゲットが、ユーザ８０でスパッタリング装置に装填される。これらのスパッタリングターゲットには製品番号等の識別情報が付され、また、ターゲットに使用されているバッキングプレートには識別番号が刻印等によって付されており、どのスパッタリングターゲットにどのバッキングプレートが使用されているかを識別できるようになっている。これらの情報はユーザ用インターネットサーバ７０または生産管理ＤＢサーバ４０に例えば図３（Ａ）に示すような形式で格納されている。
【００４４】
ユーザ８０は、スパッタリング装置にスパッタリングターゲットを装填することに伴い、ユーザ用インターネットサーバ７０に装填したスパッタリングターゲットの使用開始日および完了予定日を登録する（装填通知）。そして、ユーザからの登録情報に基づき図３（Ａ）のターゲット使用情報データベースが更新される。このとき、ユーザ側の通信端末装置８０は、ファイアウォール６０を介してユーザ用インターネットサーバに接続される。そして、自社のスパッタリングターゲットに関する情報にアクセスする場合はユーザ識別情報（ユーザＩＤ、パスワード）の入力を要求され、入力したユーザ識別情報が照合され正規のユーザであることを認証されてはじめて情報が提供されるとともにスパッタリングターゲットの使用開始日等の情報を登録可能となる。
【００４５】
これにより、メーカは、現在ユーザで装填されているスパッタリングターゲットの使用完了される時期を把握でき、次回ターゲットの原料粉等の手配を開始することができる。
【００４６】
また、ユーザからの装填通知に伴い、装填されたスパッタリングターゲットに使用されているバッキングプレートが再利用可能かどうかの判定をメーカで行い、判定結果がターゲット使用情報（図３（Ａ））の判定欄に例えば○、△、×等が登録される。
【００４７】
具体的には、図４において、生産管理課▲１▼２７で生産管理ＤＢサーバ４０に格納されているＢＰ情報をもとに装填されたスパッタリングターゲットに使用されているバッキングプレートが再利用可能かどうかの判定が行われる。そして、生産管理課▲１▼２７が再生適否の判定結果を登録して生産管理ＤＢサーバ４０内のターゲット使用情報ＤＢの情報が更新される。
【００４８】
ここで、ＢＰ情報とは、各バッキングプレートを識別可能なＢＰ識別情報と、それぞれどのように使用されてきたかを示すＢＰ履歴情報とからなり、具体的には図３（Ｃ）に示す形式で格納されている情報を示す。本実施形態では、それぞれのバッキングプレート（ＢＰ識別情報）に対応してＢＰ履歴情報（使用回数）が格納されるようにし（図３（Ｃ）左側）、さらに詳細なＢＰ履歴情報がバッキングプレートごとに格納されている（図３（Ｃ）右側）。なお、ＢＰ履歴情報としては、例えばターゲットの種類、使用回数、バッキングプレート材質との接合面のキズや反り、前回の再利用の適否判定等が含まれる。
【００４９】
また、本実施形態ではユーザからのスパッタリングターゲット装填通知に伴い、装填されたスパッタリングターゲットに使用されているバッキングプレートについて再利用の判定を行うようにしているが、例えば、メーカでスパッタリングターゲットを生産した時点でそのスパッタリングターゲットに使用されているバッキングプレートが再利用可能かどうかを判定するようにしてもよい。また、ユーザ用インターネットサーバにＢＰ情報をもとにバッキングプレートの再利用の判定を行うプログラムを格納しておき自動的に判定させるようにしてもよい。
【００５０】
これにより、ユーザはユーザ用インターネットサーバ７０にアクセスしてターゲット使用情報を閲覧し、どのスパッタリングターゲットに使用されているバッキングプレートが再利用可能であるかを知ることができる。
【００５１】
通常、バッキングプレートは２週間から１ヶ月で手配して入手できるので、ユーザは判定結果に基づいて早急にバッキングプレートを手配すれば、メーカで原料粉の製造およびターゲットの成形・焼結が行われる約９週間の間に別のバッキングプレートを手配することができる。
【００５２】
また、バッキングプレートの再利用適否の判定結果は、生産管理ＤＢサーバ４０から例えば本社営業部１０を通してユーザに判定結果を送信するようにすれば、ユーザはバッキングプレートの再利用の判定結果を迅速に知ることができるとともに、早急に新規バッキングプレートを手配することも可能となる。
【００５３】
さらに、本実施形態では装填通知と同時にユーザ８０から予約発注情報（ターゲットの種類、数量、納期等）がユーザ用インターネットサーバ７０に送信され、送信された情報をもとに生産管理ＤＢに格納されている情報が更新される。特に、次回生産するターゲットの種類が今回のスパッタリングターゲットに使用されたターゲットと異なる場合は、ユーザから予約発注情報としてターゲット種類、品種がメーカに通知されることにより間違って原料粉を手配してしまうこともなくなる。
【００５４】
前記予約発注情報がユーザ用インターネットサーバに送信されると、この予約発注情報は生産管理ＤＢサーバ４０を介してメーカの生産管理課▲２▼２６の通信端末機器に送信される。生産管理課▲２▼２６は、この予約発注情報に基づきターゲット生産スケジュールを立案し、各部署の通信端末機器に生産スケジュールが送信される。
【００５５】
なお、ユーザ用インターネットサーバ７０において予約発注情報に基づき自動的に生産スケジュールが作成されるようにしてもよい。このとき、ユーザ用インターネットサーバ７０で作成された生産スケジュールはメーカの各通信端末機器に送信されてから各部署の担当者によって修正されるようにもできる。これにより、各部署ごとにスパッタリングターゲット生産に関わる準備を前もって行うことができスムーズにスパッタリングターゲットを生産することができる。
【００５６】
前記ターゲット生産スケジュールに従って、メーカでは次回のスパッタリングターゲットに使用される原料粉の製造が開始される。
【００５７】
具体的には、まず、生産管理ＤＢサーバ４０から送信された生産スケジュールに従って資材係２１は、原料メーカ１１０にターゲット原料の製造を発注するとともに生産管理ＤＢサーバ４０にターゲット原料の発注を完了したことを登録する。なお、資材係２１と原料メーカ１１０との間のやりとりは電話等のアナログデータで行うようにしてもよい。
【００５８】
次に、原料メーカ１１０でターゲット原料が製造されると、物流係▲１▼２２は製造されたターゲット原料を受領するととともに生産管理ＤＢサーバ４０にターゲット原料の受領が完了したことを登録する。
【００５９】
そして、受領したターゲット原料は原料係２３に供給され、原料係２３はターゲット原料から原料粉を製造するとともに生産管理ＤＢサーバ４０に原料粉の生産状況を登録する。
【００６０】
製造された原料粉は成形係２４に供給され、成形係２４はターゲット原料粉を成形・焼結して成形板を製造するとともに生産管理ＤＢサーバ４０に成形板の生産状況を登録する。そして、製造されたターゲット成形板が加工・検査係２５に供給される。
【００６１】
このように、メーカでスパッタリングターゲットの生産が進行される間、生産工程が移行する度に各部署の通信端末機器２１〜２４から登録される情報に基づいて生産管理ＤＢサーバ４０のターゲット生産情報が更新される。ユーザは、ユーザ用インターネットサーバ７０に接続することにより、例えば、図３（Ｂ）に示すようなターゲット生産情報をリアルタイムで入手することができる。これにより、今現在ターゲット生産はどのような工程であるのか（図では原料粉製造工程）、いつまでにその工程が終わるのか等をユーザは知ることができる。
【００６２】
そして、次回スパッタリングターゲットのバッキングプレートに使用するための使用済みターゲットをメーカに送付する準備をすすめるとともに、再利用が不可能なバッキングプレートがあった場合には別のバッキングプレートを手配したりして、ターゲット成形工程後に遅滞なくターゲット貼着に移行できるように作業をすすめる。
【００６３】
通常、スパッタリング装置に装填されたスパッタリングターゲットは４〜５週間で完全に消費されるので、装填したスパッタリングターゲットが消費される直前または消費された後、次回のスパッタリングターゲットがメーカの例えば本社営業部１０に正式発注される。
【００６４】
前述したようにメーカはユーザからの予約発注情報に基づいて、すでに原料粉の製造を開始しているので、ユーザから正式発注を受けてから約２週間後にはターゲットの原料粉の製造が完了され、その後、約３週間でターゲットの成形・焼結が行われる。
【００６５】
この間に、ユーザは使用済みターゲットの送付処理を行い、メーカでのターゲットの成形・焼結に合わせて使用済みターゲットを送付する。ユーザから送付された使用済みターゲットは、図４に示すように物流係▲２▼２８で受領される。そして、物流係▲２▼２８は生産管理ＤＢサーバ４０に使用済みターゲットの受領登録を行うとともに、受領した使用済みターゲットを加工・検査係２５に供給する。
【００６６】
また、使用済みターゲットに用いられているバッキングプレートの中に再利用不可能なものがあった場合は、ユーザはメーカの例えば本社営業部１０に新しいバッキングプレートを用意するように依頼して、メーカ側で新規バッキングプレートを製造あるいは用意するようにして加工・検査係２５に供給される。または、ユーザ側で新しいバッキングプレートを用意してメーカに送付するようにしてもよい。
【００６７】
そして、加工・検査係２５において、物流係▲２▼２８から供給された使用済みターゲットからターゲット部分が剥離・洗浄されてバッキングプレートが再生加工され、再利用することが可能であるか検査される。加工・検査係検査２５は、検査が完了したことを生産管理ＤＢサーバ４０に登録するとともに、再利用可能なバッキングプレートをボンディング工程へ供給する。なお、ユーザ８０から送付される使用済みターゲットに用いられているバッキングプレートは予めＢＰ履歴情報から再利用可能と判定されたものであるから、この検査で再生されたバッキングプレートが再利用不可能であると判定されることは極めて少なく、新たにバッキングプレートを手配する必要はないため生産スケジュール通りに製品ターゲットを納入することができる。
【００６８】
そして、加工・検査係２５において、再生されたバッキングプレートまたは新たに手配されたバッキングプレートにターゲットの成形板が貼着（ボンディング）され、製品としてのスパッタリングターゲットが製造される。図２に示すように、このバッキングプレートとターゲット成形板の貼付工程は約２週間を要する。
【００６９】
そして、物流係▲３▼２９は製品としてのスパッタリングターゲットをユーザに納入するとともに、納入が完了したことを生産管理ＤＢサーバ４０に登録する。
【００７０】
このように、メーカにおける生産工程が移行するごとに生産管理ＤＢサーバ４０に格納される生産管理情報を詳細に更新することにより、ユーザは発注したスパッタリングターゲットの生産状況を把握できるため、次回使用するスパッタリング装置の点検・準備等を計画的に進めることができる。
【００７１】
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではない。例えば、ユーザ側の通信端末機器とメーカ側のホストコンピュータは、一般公衆電話回線等を利用したインターネットを介して接続するのではなく、生産管理システム用の専用線を用いて接続されるようにしてもよい。
【００７２】
また、スパッタリングターゲットおよびバッキングプレートには、例えば、磁気ＩＤやバーコード等の識別情報を付して、専用装置によって前記識別情報は自動読み取り可能とすることもできる。
【００７３】
すなわち、ユーザにおいて、スパッタリング装置に装填する前に、使用するスパッタリングターゲットの識別情報を前記読み取り専用装置で読み取り、ターゲットの装填通知と前記スパッタリングターゲットの識別情報を自動的にホストコンピュータに送信させることもできる。或いは、スパッタリング装置自体に、ターゲット識別情報を装填時に自動的に読み取って所定のコンピュータに装填通知情報を送信する機能を組み込むこともできる。
【００７４】
一方、メーカにおいては、スパッタリングターゲットを生産した後にスパッタリングターゲットに使用されたバッキングプレートの識別情報を読み取り専用装置で読み取り、読み取った識別情報に対応するＢＰ履歴情報を自動的に更新させることができる。同様に、生産工程において次の工程に移行する前に前記読み取り専用装置でバッキングプレートの識別情報を読み取ることにより、そのバッキングプレートを使用したターゲットの生産情報を自動的に更新させることもできる。
【００７５】
【発明の効果】
本願において開示される発明によれば、ホストコンピュータにスパッタリングターゲットに関する種々の情報を記憶させ、これらの情報をメーカとユーザとで共有できるようにしたので、効率的に情報のやりとりが行われスパッタリングターゲットの生産性が向上するという効果を奏する。
【００７６】
特に、バッキングプレートの再利用の適否を把握しておくことによりバッキングプレートを再生した後で再利用不可能なバッキングプレートが発見されることは少なくなるので、バッキングプレートを新たに手配することにより納期が延長されるという不具合を回避することができる。
【００７７】
また、本発明の生産管理システムを用いて種々の情報を電子データでやりとりすることにより、早く正確な情報の伝達が可能となり納期を短縮することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の生産管理システムの構成を表すブロック図である。
【図２】本発明の生産管理システムを利用した生産工程の説明図である。
【図３】本発明の生産管理システムの記憶装置に記憶されるデータチャートの一構成例である。
【図４】本発明の生産管理システムにおける情報および物の流れを示す説明図である。
【図５】従来のメーカ内における生産管理システムである。
【図６】従来のターゲット生産工程の説明図である。
【図７】スパッタリングターゲットの概略図である。
【符号の説明】
１０  メーカ通信端末機器（本社営業課等）
２０  メーカ通信端末機器（現場等）
３０  イントラサーバ
４０  生産管理（ＳＱＬ）サーバ
５０  企業内ＤＮＳサーバ
６０  ファイアウォール
７０  ユーザ用インターネットサーバ（ホストコンピュータ）
８０  ユーザ通信端末機器
９０  インターネットサーバ（ユーザ使用のプロバイダ提供）
１００  企業内生産管理システム
１１０  原料メーカ
【図１】
0003684501.tif 000002
【図２】
0003684501.tif 000003
【図３】
0003684501.tif 000004
【図４】
0003684501.tif 000005
【図５】
0003684501.tif 000006
【図６】
0003684501.tif 000007
【図７】
0003684501.tif 000008