(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚みに応じた振動周波数を検出して水晶片を分類する水晶振動子の周波数分類装置において、前記水晶片を個々に隔離して収容するパレットと、前記パレットから多孔とした吸着ノズルによって前記水晶片を移載する吸着移載装置と、前記吸着移載装置から移載された水晶片の保持穴を回転板の外周に有して前記保持穴の一主面側から前記水晶片を吸着して押し上げる筒状とした吸着構造の第１検出電極棒及び前記保持穴の他主面側に設けられて前記水晶片の接近する第２検出電極棒によって前記水晶片の振動周波数を検出する周波数検出機構と、前記周波数検出機構における前記回転板の水晶片を回転アームの先端側に設けた多孔とした吸着ノズルによって吸着して前記回転アームの支点を中心として円状に配置された分類箱に前記水晶片の振動周波数に応じて収容する吸着分類装置とからなる水晶振動子の周波数分類装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は水晶片を振動周波数に応じて分類する水晶振動子の周波数分類装置を産業上の技術分野とし、特に高周波数帯の水晶片に適した周波数分類装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
（発明の背景）水晶振動子は、周波数及び時間の基準源として通信機器を含む電子機器に広く用いられている。近年では水晶振動子の高周波数化（１００ＭHZ）が進み、ＡＴカットの水晶片は極薄化（２０μ以下）を余儀なくされている。その一方で、自動生産化も進み、このようなものの一つに周波数分類装置がある。
【０００３】
（従来技術の一例）第５図は一従来例を説明する周波数分類装置の概念図である。
周波数分類装置は、概ね、振動型部品供給装置１、吸着移載装置２、周波数検出機構３及び分類収容装置４からなる。振動型部品供給装置１はすり鉢状として、内周に螺旋状の移動路としての切込みを有する振動体からなる。吸着移載装置２は、第６図のブロック図に示したように、真空引きとエア送出の切替器５によって、吸着と離脱を切替えられる吸着ノズル６を有した真空吸着装置を具える。そして、吸着ノズル６は、制御装置７によって、上下左右に移動する。なお、真空引きは真空ポンプ８により、エアー送出はコンプレッサ９による。図中の符号１０は回転アーム、同１１はフレキシブルホースである。
【０００４】
周波数検出機構３は金属からなり落し穴１２を有する基準台１３と、外周に複数の保持孔１４を有して基準台１３上を回転する第１回転板１５と、保持孔１４に出し入れ自在の検出電極棒１７からなる。基準台１３の所定の箇所にはセラミック１９ａで分離独立した電極部１９を有する（第７図）。分類収容装置４は、外側に傾斜して内容物を排出する受皿２０の形成された第２回転板２１を中央に有し、振動周波数に対応した複数の分類箱１８を外周に配置する。
【０００５】
このようなものでは、振動型部品供給装置１の底部に研磨された水晶片（未図示）を多数投入する。振動型部品供給装置１は、底部の水晶片を振動によって移動路を這わせ、上面の供給口に一個づつ整列させる。吸着移載装置２は、水晶片を一個づつ吸着して周波数検出機構３（第１回転板１５）の保持孔１４に移載する。
【０００６】
周波数検出機構３は、第１回転板１５の回転によって電極部１９に移動した水晶片に検出電極棒１７を近接させ、水晶片の振動周波数を測定する。なお、検出電極棒１７が一方の、基準台１３が他方の電極となる。水晶片は回転板１５の移動によって、落し穴１２から分類収容装置４（第２回転板２１）の受皿２０に落下する。そして、周波数検出機構３からの周波数分類指令に基づき、予め設定された振動周波数帯の分類箱１８に水晶片を排出する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
（従来技術の問題点）しかしながら、上記構成の周波数分類装置では、水晶振動子の高周波数化（水晶片の極薄化）に起因して次の問題があった。すなわち、水晶片が薄くなればなるほど軽くなり、静電気によって水晶片同士がくっつき合う現象が生じた。このため、振動型部品供給装置１の上面の供給口には、複数枚の水晶片が分離されず一体化して送られ、そのまま吸着されて移載される問題があった。
【０００８】
また、この振動型部品供給装置１に代えて、水晶片を一枚ずつ供給できるようにしても、今度は吸着移載装置２の吸着ノズル６に、水晶片が同様の静電現象により付着し、水晶片を確実に移載できない問題があった。また、吸着ノズル６からエアーによって水晶片を落としても、水晶片外周における吸着強度の異なりや吸着ノズル６の位置誤差等によって、斜めに落下して保持孔１４に確実に入らない問題があった。なお、吸着ノズル６の位置が水晶片の中心からずれた場合には、吸着ノズル６からのエアーが水晶片を傾斜させる。そして、そのまま吸着ノズル６に静電気によって付着したり、あるいは傾斜したまま落下する。
【０００９】
さらに、水晶片が極薄のため、例えば周波数検出機構３の基準台１３と第１回転板１５との間に水晶片が侵入したり、静電気で電極部に付着して吸着できなかったりする問題があった。そして、分類収容装置４では、同様に第２回転板２１の受皿２０に水晶片が静電気でくっついたまま、排出できない問題もあった。これらは、いずれも周波数分類装置としての機能を停止させ、生産性を極端に悪化させる要因となる。
【００１０】
（発明の目的）本発明は、静電気による弊害を防止して周波数分類を確実とした水晶振動子の周波数分類装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、厚みに応じた振動周波数を検出して水晶片を分類する水晶振動子の周波数分類装置において、前記水晶片を個々に隔離して収容するパレットと、前記パレットから多孔とした吸着ノズルによって前記水晶片を移載する吸着移載装置と、前記吸着移載装置から移載された水晶片の保持穴を回転板の外周に有して前記保持穴の一主面側から前記水晶片を吸着して押し上げる筒状とした吸着構造の第１検出電極棒及び前記保持穴の他主面側に設けられて前記水晶片の接近する第２検出電極棒によって前記水晶片の振動周波数を検出する周波数検出機構と、前記周波数検出機構における前記回転板の水晶片を回転アームの先端側に設けた多孔とした吸着ノズルによって吸着して前記回転アームの支点を中心として円状に配置された分類箱に前記水晶片の振動周波数に応じて収容する吸着分類装置とから水晶振動子の周波数分類装置を構成する。
【００１２】
【作用】
本発明では、水晶片を隔離してパレットに収容するので、水晶片の静電気によるくっつきを防止する。これにより、吸着移載装置による一枚づつの吸着を確実にする。また、回転板の保持孔に水晶片を保持して両主面側から検出電極棒を当接するので、水晶片が間隙に侵入することがない。さらに、吸着分類装置によって水晶片を収容箱に分類するので、確実に収容できる。
【００１３】
また、吸着ノズルを多孔としたので、均等にエアーが吹付けられ、水晶片が傾斜して離脱することを防止する。以下、本発明の一実施例を説明する。
【００１４】
【実施例】
第１図は、本発明の一実施例を説明する周波数分類装置の概念的な平面図である。なお、前従来例図と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
本発明は、パレット型部品供給装置２２、吸着移載装置２３、周波数検出機構２４及び吸着分類装置２５からなる。パレット部品供給装置２２はパレット２６とパレット収納庫２７からなる。パレット２６は縦横に仕切られた溝を有し、溝内に水晶片を収容してなる。そして、パレット収納庫２７に複数枚が重ねられて収納され、一枚ずつ下側から移送される。吸着移載装置２３は、前述したように切替器５によって吸着と離脱を切替えられる吸着ノズル６を有した真空吸着装置を備え、上下左右に移動する（前第６図参照）。そして、吸着ノズル６は従来よりパイプ径を大きくし、第２図に示したように貫通孔２８を複数とした多孔とする。あるいは単孔とした吸着ノズル６に多孔の補助ノズル２９を接続する（第３図）。
【００１５】
周波数検出機構２４は、回転板３０と一対の検出電極棒３１（ａｂ）とからなる。回転板３０は、板面を貫通して止め部を有する台形状の保持孔３２を外周に有する（第４図の一部図参照）。そして、一対の検出電極棒３１（ａｂ）は、図示しない周波数計測器に接続し、回転板の外周における所定の位置に両主面側から出し入れ自在に配置される。そして、底面（下面）側からの検出電極棒３１ｂは筒状として吸着構造とする。
【００１６】
吸着分類装置２５は、振動周波数に応じて円状に配置された複数の分類箱３３と、複数の分類箱３３の中心を支点３４として回転し、両端に前述同様の多孔とした吸着ノズル６を有する回転アーム３５とからなる。
【００１７】
このようなものでは、パレット収納庫２７から、水晶片が整列されたパレット２６を一枚づつ引き出す。次に、吸着移載装置２３の吸着ノズル６によって水晶片を吸着し、周波数検出機構２４（回転板３０）の保持孔３２に移載する。そして、回転板３０によって移動した所定の位置で、一対の検出電極棒３１（ａｂ）を両主面側から接近させる。そして、検出電極棒３１ｂが下面から水晶片を吸着しながら押し上げ、検出電極棒３１ａを押下げ水晶片に近接する。そして、周波数測定器によって水晶片の振動周波数を測定する。なお、水晶片の振動周波数は、厚みに反比例し、厚みが小さいほど高い。
【００１８】
次に、回転板３０によって所定の位置に到達すると、吸着分類装置２５における回転アーム３５の吸着ノズル６によって水晶片は吸着される。そして、回転アーム３５は周波数検出機構２４からの周波数分類信号を受けて回転し、振動周波数帯に一致する分類箱３３に水晶片を投入する。これらの動作は、各装置が同期して連続的に行なわれる。
【００１９】
このような構成であれば、従来の振動型部品供給装置１に代えて、パレット２６に水晶片を収容して吸着するので、水晶片が静電気によってくっつき重なり合うことがない。そして、一枚づつ確実に吸着できる。また、吸着移載装置２３の真空吸着装置は、吸着ノズル６を単孔から多孔にして板面を大きくしたので、水晶片の離脱時にコンプレッサのエアーが板面に均等に吹付けられる。したがって、水晶片が傾斜することなく離脱し、静電気によって吸着ノズル６に付着することを防止し、確実に保持孔３２に投入できる。
【００２０】
また、周波数検出機構２４の回転板３０は単板として保持孔３２を形成するので、従来例のように基準台１３と第１回転板１５の間隙に侵入することがなく、水晶片を取出し自在として確実に保持できる。また、下面側の検出電極棒３１ｂは吸着式としたので、振動周波数の測定後、上面側の検出電極棒３１ａに静電気によって付着することを防止する。そして、吸着分類装置２５は、回転アーム３５の前述した吸着ノズル６を多孔とする吸着によって水晶片を直接に収納部に投入するので、従来例のように受皿２０に付着することなく、確実に分類できる。
【００２１】
【他の事項】
上記実施例では、吸着分類装置２５の回転アーム３５は、両端側に吸着ノズル６を有するとしたが、支点３４に一端側を回動自在として固定して他端側のみに設けてもよい。また、周波数分類装置に吸着ノズル６を多孔とした真空吸着装置を適用したが、これ以外の移載時あるいは手動でも適用できることは勿論であり、これを排除するものではない（請求項２）。要するに、本発明では静電気対策を趣旨としてなされたものであり、請求項１に記載した構成のものは適宜自在な変更を含めて本発明の技術的範囲に属する。
【００２２】
【発明の効果】
本発明は、厚みに応じた振動周波数を検出して水晶片を分類する水晶振動子の周波数分類装置において、前記水晶片を個々に隔離して収容するパレットと、前記パレットから多孔とした吸着ノズルによって前記水晶片を移載する吸着移載装置と、前記吸着移載装置から移載された水晶片の保持穴を回転板の外周に有して前記保持穴の一主面側から前記水晶片を吸着して押し上げる筒状とした吸着構造の第１検出電極棒及び前記保持穴の他主面側に設けられて前記水晶片の接近する第２検出電極棒によって前記水晶片の振動周波数を検出する周波数検出機構と、前記周波数検出機構における前記回転板の水晶片を回転アームの先端側に設けた多孔とした吸着ノズルによって吸着して前記回転アームの支点を中心として円状に配置された分類箱に前記水晶片の振動周波数に応じて収容する吸着分類装置とから構成するので、静電気による弊害を防止して周波数分類を確実とした水晶振動子の周波数分類装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例を説明する周波数分類装置の概念的な平面図である。
【図２】  本発明の一実施例に適用される吸着ノズルの図である。
【図３】  本発明の一実施例に適用される他の吸着ノズルの図である。
【図４】  本発明の一実施例を説明する周波数分類装置（回転板）の一部断面図である。
【図５】  従来例を説明する周波数分類装置の概念的な平面図である。
【図６】  従来例を説明する吸着移載装置のブロック図である。
【図７】  従来例を説明する基準台の平面図である。
【符号の説明】
１  振動型部品供給装置、２、２３  吸着移載装置、３、２４  周波数検出機構、４  分類収容装置、５  切替器、６  吸着ノズル、７  制御装置、８  真空ポンプ、９  コンプレッサ、１０、３５  回転アーム、１１  フレキシブルパイプ、１２  落し穴、１３  基準台、１４、３２  保持孔、１５、２１、３０  回転板、１７、３１  検出電極棒、１８、３３  分類箱、１９  電極部、２０  受皿、２２  パレット型部品供給装置、２５  吸着分類装置、２６  パレット、２７  パレット収納庫、２８  貫通孔、２９  補助ノズル、３４  支点．
【図１】
0003694431.tif 000002
【図２】
0003694431.tif 000003
【図３】
0003694431.tif 000004
【図４】
0003694431.tif 000005
【図５】
0003694431.tif 000006
【図６】
0003694431.tif 000007
【図７】
0003694431.tif 000008