(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平な回転軸を中心として回転可能に設けられ、上記回転軸を中心として複数列の同心円状に配列された複数のキャビティを有し、かつ各列のキャビティが半径方向に一直線状に並ぶように配列されたターンテーブルと、
上記ターンテーブルを間欠的に回転駆動する第１の駆動手段と、
ランダムな状態で投入された複数の電子部品を一列に整列しながら連続的に供給するパーツフィーダと、
水平面に沿って回転可能に設けられ、外周部に一定ピッチ間隔で複数の凹部が形成され、上記パーツフィーダによって一列に整列されて供給された電子部品を上記凹部に１個ずつ分離した状態で受け入れる振分けロータと、
上記振分けロータを上記ターンテーブルのキャビティの列数倍のピッチ速度で間欠回転させる第２の駆動手段と、
上記振分けロータの外周部と上記ターンテーブルの一側面との間に設けられ、上記キャビティの列数と同数のガイド通路を持ち、振分けロータの凹部から法線方向に同時に排出されたキャビティ列数分の電子部品の移動方向を上記ガイド通路によって平行方向に修正し、ターンテーブルの半径方向に並んだキャビティへ電子部品を個別に導く移載シュートと、
上記ターンテーブルのキャビティから電子部品を取り出す取出し手段と、を備えた電子部品の搬送装置。
【請求項２】
上記振分けロータの各凹部の内径部にエアー通路が設けられ、上記パーツフィーダと対応する位置で上記エアー通路からエアー吸引を行うことにより先頭の電子部品のみを凹部へ引込み、上記移載シュートと対応する位置で上記エアー通路からエアーを噴出することにより、各凹部から電子部品を移載シュートのガイド通路に向かって排出することを特徴とする請求項１に記載の電子部品の搬送装置。
【請求項３】
上記ターンテーブルの背後に近接してガイド板が配置されており、このガイド板にはターンテーブルの半径方向に並んだキャビティと対応する位置にエアー通路が形成され、このエアー通路からエアー吸引を行うことによりガイド通路内の電子部品をキャビティへ引き込むことを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品の搬送装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の搬送装置を備え、
上記ターンテーブルの回転方向に沿って、上記キャビティに収容された電子部品をキャビティ列数だけ同時に検査する検査部が複数個設けられていることを特徴とする電子部品の検査装置。
【請求項５】
上記検査部は、測定端子を持つ特性測定器で構成され、
上記ターンテーブルが所定位置に回転した時、上記測定端子を各キャビティ列に収容された電子部品に接触させて電子部品の電気的特性を測定することを特徴とする請求項４に記載の電子部品の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はチップ型コンデンサのような小型の電子部品を１個ずつ分離された形態で搬送する搬送装置およびこの搬送装置を用いた検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子部品を対象とした特性選別機に対する要求はますます高度化しており、種々の検査項目を一台の設備で行なうことが求められている。このような要求に応えるものとして、特開平２−１９５２７２号公報には、電子部品をその両端部が突出するように貫通保持する複数の保持穴を形成した可動テーブルと、可動テーブルの保持穴に対応して平面状に配列された複数の固定側端子と、可動テーブルを間にして固定側端子と対向配置された複数の可動側端子とを備えた特性測定装置が提案されている。
【０００３】
また、特性選別機には、同時に処理能力の向上も求められている。ところが、近年、チップ型コンデンサのように高容量化が進み、測定時間（絶縁抵抗の測定時間）が長くなる傾向の電子部品がある。このように測定時間のかかる電子部品の特性選別に際して、上記のように可動テーブルに一列の保持穴を設けただけでは、一度に処理できる電子部品の個数に限度があり、処理能力の向上が見込めない。
【０００４】
処理能力を向上させる１つの解決方法として、特開平１１−２９２２５２号公報に、回転円板に同心円状の複数のキャビティ列を設け、これらキャビティ列に電子部品を振り込んだ後、積替えを行なう部位まで搬送し、保持プレートなどに移載する装置が提案されている。このような複数のキャビティ列を持つ回転円板を特性選別機に適用すれば、処理能力の向上を実現できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、さらなる処理能力の向上を実現するには、回転円板に電子部品が取り入れられた後、電子部品を取り出すまでにどれだけ多くの作業領域を確保できるかが問題である。つまり、電子部品の取入れ部、取出し部などの特性選別機として必要不可欠な機能ブロックを除く領域をどれだけ拡大できるかが重要である。しかし、上記移載装置では、電子部品の取入れ部に櫛歯状ガイドを有する大型の収容部が設けられ、ランダムな状態で収容部に投入された電子部品をこの櫛歯状ガイドによって整列させ、回転円板のキャビティに供給するようになっているので、取入れ部が回転円板全体の約２５％もの大きなスペースを占め、特性選別に要する作業領域が制約されるという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、取入れ部のスペースを小さくし、作業領域を拡張して、処理能力が高い電子部品の搬送装置およびこの搬送装置を用いた検査装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、水平な回転軸を中心として回転可能に設けられ、上記回転軸を中心として複数列の同心円状に配列された複数のキャビティを有し、かつ各列のキャビティが半径方向に一直線状に並ぶように配列されたターンテーブルと、上記ターンテーブルを間欠的に回転駆動する第１の駆動手段と、ランダムな状態で投入された複数の電子部品を一列に整列しながら連続的に供給するパーツフィーダと、水平面に沿って回転可能に設けられ、外周部に一定ピッチ間隔で複数の凹部が形成され、上記パーツフィーダによって一列に整列されて供給された電子部品を上記凹部に１個ずつ分離した状態で受け入れる振分けロータと、上記振分けロータを上記ターンテーブルのキャビティの列数倍のピッチ速度で間欠回転させる第２の駆動手段と、上記振分けロータの外周部と上記ターンテーブルの一側面との間に設けられ、上記キャビティの列数と同数のガイド通路を持ち、振分けロータの凹部から法線方向に同時に排出されたキャビティ列数分の電子部品の移動方向を上記ガイド通路によって平行方向に修正し、ターンテーブルの半径方向に並んだキャビティへ電子部品を個別に導く移載シュートと、上記ターンテーブルのキャビティから電子部品を取り出す取出し手段と、を備えた電子部品の搬送装置を提供する。
【０００８】
パーツフィーダにランダムな状態で電子部品を投入すると、電子部品はパーツフィーダによって一列に整列されて連続的に供給される。連続的に供給された電子部品は水平回転する振分けロータの凹部に入り、１個ずつ分離される。さらに、振分けロータの凹部に入った電子部品は、複数個同時に移載シュートのガイド通路を通ってターンテーブルのキャビティへ取り入れられる。ターンテーブルには、処理能力を高めるため、回転軸に対して複数列の同心円状のキャビティが設けられている。これら各列のキャビティに複数の電子部品を収容して搬送することにより、搬送効率をキャビティ列数だけ向上させることができる。ターンテーブルによって所定位置まで搬送された電子部品は、取出し手段によってキャビティから取り出される。
このようにターンテーブルのキャビティに挿入される前の段階で、電子部品は１個ずつ分離されているので、振分けロータとしてはこれら電子部品を搬送媒体のキャビティ列へ挿入するだけでよく、取り入れミスが発生しにくくなるとともに、取入れ部が大きなスペースを占めず、ターンテーブル上の作業領域を広く確保できる。
また、パーツフィーダで一列に整列された電子部品を振分けロータの凹部に振り分けて収容することで、部品を１個ずつ分離できる。そして、振分けロータの凹部に収容された電子部品を、移載シュートを介してターンテーブルのキャビティ列と同数ずつ同時にキャビティに送り込むことで、効率よく取り入れることが可能である。この場合には、パーツフィーダが１台で済むので、設備全体を小型化できるとともに、安価となる。
振分けロータが円形で、ターンテーブルのキャビティが円弧状に配列されているので、複数個の電子部品を同時にキャビティへ送り込もうとすると、両者の間で電子部品が脱落しやすい。しかし、複数のガイド通路を持つ移載シュートを用いて、振分けロータで分離供給された電子部品をターンテーブルのキャビティ列に個別にガイドしているので、電子部品が途中で脱落したり、停滞するのを防止でき、キャビティに確実に取り入れることができる。
【０００９】
請求項２のように、振分けロータの各凹部の内径部にエアー通路を設け、パーツフィーダと対応する位置でエアー通路からエアー吸引を行うことにより先頭の電子部品のみを凹部へ引込み、移載シュートと対応する位置でエアー通路からエアーを噴出することにより、各凹部から電子部品を移載シュートのガイド通路に向かって排出するのがよい。
【００１０】
請求項３のように、ターンテーブルの背後に近接してガイド板が配置されており、このガイド板にはターンテーブルの半径方向に並んだキャビティと対応する位置にエアー通路が形成され、このエアー通路からエアー吸引を行うことによりガイド通路内の電子部品をキャビティへ引き込むようにしてもよい。
【００１３】
請求項４のように、ターンテーブルの回転方向に沿って、キャビティに収容された電子部品をキャビティ列数だけ同時に検査する検査部を複数個設けることで、検査装置として構成することができる。
この場合には、キャビティ列の数だけ同時に複数の電子部品を処理することができ、容易に高速化を図ることができる。そして、ターンテーブルへの電子部品の取入れスペースを小さくすることで、ターンテーブル上の検査領域を最大限拡大させることができる。
この場合の検査部の機能としては、例えば外観検査や電気的な特性測定などがある。
【００１４】
請求項７のように、検査部は、測定端子を持つ特性測定器で構成され、ターンテーブルが所定位置に回転した時、測定端子を各キャビティ列に収容された電子部品に接触させて電子部品の電気的特性を測定するようにしてもよい。
測定端子を各キャビティ列に収容された電子部品に同時に接触させるのがよい。例えば４本の同心状のキャビティ列が設けられたターンテーブルの場合、４個の電子部品に同時に測定端子を接触させて特性測定を行えば、１個当たりの電子部品に対する測定時間を従来（１列のキャビティ列を持つ場合）に比べて４倍掛けることが可能となり、測定時間の長いコンデンサなどの絶縁抵抗測定に適した検査装置を実現できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１〜図８は本発明にかかる搬送装置を検査装置に適用した一例を示す。
この実施例では、検査すべき電子部品として、図９に示すように、高さおよび幅がそれぞれＨ，Ｗ（但し、Ｈ≒Ｗ）で、長さがＬ（Ｌ＞Ｈ，Ｌ＞Ｗ）の直方体形状のチップ状電子部品Ｃが用いられる。この電子部品Ｃの長さ方向の両端には電極Ｃａ，Ｃｂが形成されている。
【００１６】
本検査装置は、図１に示すように、搬送媒体であるターンテーブル３、供給手段であるパーツフィーダ１０、分離手段である振分けロータ２０などで構成されている。
固定部に設置されたベース１上には垂直な取付壁２が設けられ、この取付壁２にターンテーブル３が水平な回転軸４を中心として回転可能に取り付けられている。ターンテーブル３は絶縁性材料で円板状に一体形成されており、複数列（ここでは４列）の同心円状のキャビティ５（図５参照）が表裏貫通するように設けられている。各列のキャビティ５は、ターンテーブル３の半径方向に一直線状に並ぶように形成されている。各キャビティ５には電子部品Ｃが、その両端の電極Ｃａ，Ｃｂを表裏方向に向けて収容保持される。ターンテーブル３の回転軸４はサーボモータなどの駆動モータ６と連結され、ターンテーブル３は矢印Ａ方向にキャビティ５のピッチ間隔ずつ間欠回転される。
【００１７】
ベース１上にはレール１１に沿って前後方向に移動可能な可動テーブル１２が設けられ、この可動テーブル１２上に、加振機１３とリニアフィーダ１５とからなる振動式パーツフィーダ１０が取り付けられている。ホッパ１６から多数の電子部品Ｃをランダムな状態で投入すると、電子部品Ｃは加振機１３による振動によってリニアフィーダ１５へ導かれて一列に整列され、リニアフィーダ１５の整列通路１５ａに沿って連続的に搬送される。
【００１８】
リニアフィーダ１５の終端部には、図６，図７に示す振分けロータ２０が設置されている。振分けロータ２０は可動テーブル１２上に支柱２１を介して水平に支持されたテーブル２２上に回転自在に設けられている。振分けロータ２０の回転軸２３はサーボモータなどの駆動モータ２４と連結されており、振分けロータ２０は矢印Ｂ方向に一定ピッチで、かつターンテーブル３の４倍のピッチ速度で間欠回転される。振分けロータ２０の外周部には、間欠回転ピッチと同一間隔で電子部品Ｃを収容する凹部２５が形成され、振分けロータ２０を回転させることにより、パーツフィーダ１０によって一列に整列されて供給された電子部品Ｃを、凹部２５に１個ずつ分離した状態で振り分けることができる。なお、図６では、振分けロータ２０の外周部に１２個の凹部２５を設けた例を示したが、実際にはこれより多数の凹部２５が形成されている。
【００１９】
なお、パーツフィーダ１０から振分けロータ２０への乗り移り部において、パーツフィーダ１０を搬送された先頭の電子部品Ｃのみを凹部２５に収容し、後続の電子部品Ｃと確実に分離するため、図７に示すように凹部２５の内径部にエアー通路２６を設け、このエアー通路２６を介してエアー吸引を行ってもよい。また、リニアフィーダ１５の終端部に出没自在なストッパピン２７を設け、先頭の電子部品Ｃが凹部２５に収容された後、ストッパピン２７を突き出して後続の電子部品Ｃの移動を阻止するようにしてもよい。また、ストッパピンに代えて、先頭から２番目の部品をエアー吸引して停止させる方法を用いることもできる。その他、先頭の電子部品Ｃと後続の電子部品Ｃを分離するためにいかなる手段を用いてもよい。
【００２０】
振分けロータ２０の凹部２５に振り分けられた電子部品Ｃは、ロータ２０の回転に伴って水平に回転し、テーブル２２上に設けられた測定器２８（図２参照）によって電気的特性が測定される。例えば、電子部品Ｃがセラミックコンデンサの場合には、測定器２８では比較的短時間に測定できる特性（例えば容量）が測定され、ここで不良品と判定された場合には、後段のターンテーブル３へ搬送される前に、不良品取出部（図示せず）で取り出される。
【００２１】
振分けロータ２０によって良品取出部まで搬送された電子部品Ｃは、エアー通路２６から圧縮エアーを噴出することにより、図４，図５に示す移載シュート３０に向かって４個同時に排出される。つまり、振分けロータ２０が４ピッチ分回転した後で、４個の電子部品Ｃを同時に排出する。移載シュート３０はテーブル２２上に固定されており、その上面にはターンテーブル３のキャビティ列と同数（ここでは４本）のガイド通路３１が形成されている。移載シュート３０の上面には、ガイド通路３１の上面を閉じる上カバー３２が装着されている。移載シュート３０を間にして、ロータ２０の良品取出部と対向する位置には、ターンテーブル３の水平に並んだキャビティ群５が位置している。そのため、ロータ２０の凹部２５から排出された電子部品Ｃは、移載シュート３０のガイド通路３１を通って、４個同時にターンテーブル３の水平に並んだキャビティ群５に導入される。そのため、電子部品Ｃの取入時間を短縮できる。このように移載シュート３０は、振分けロータ２０の凹部２５から法線方向に排出される電子部品Ｃの移動方向を平行方向に修正し、ターンテーブル３のキャビティ５へ円滑に導く機能を有する。キャビティ５に入った電子部品Ｃが、反対側へ落下しないように、ターンテーブル３の背後にはガイド板７が配置されている。なお、キャビティ５に電子部品Ｃを確実に導入するため、必要に応じてガイド板７にエアー通路７ａを設け、振分けロータ２０のエアー通路２６からエアー噴射を行うと同時に、ガイド板７のエアー通路７ａからエアー吸引を行ってもよい。ガイド板７は、ターンテーブル３の背後のほぼ全周に設けられている。
なお、図示していないが、ターンテーブル３の前面側にも電子部品Ｃの前方への脱落を防止するため、別のガイド板が配置されている。このガイド板は、後述する測定器３３の配置部に端子挿通穴が設けられている。
【００２２】
ターンテーブル３の周囲には、図３に示すように、取付壁２の表面に取り付けられた複数の測定器３３が配置されている。ターンテーブル３のキャビティ５に取り入れられた電子部品Ｃはこれら測定器３３を通過する間に、その電気的特性が測定される。具体的には、図８に示すように、測定器３３の可動側端子ブロック３４がターンテーブル３の表面に沿って半径方向に延びており、この端子ブロック３４には４本の測定端子３５がターンテーブル３に収容された電子部品Ｃに対向して設けられている。なお、各測定端子３５と端子ブロック３４との間には、電子部品Ｃとの接触圧を得るためのスプリング３５ａが介装されている。可動側端子ブロック３４は、直動アクチュエータ３６の駆動シャフト３６ａと連結されており、直動アクチュエータ３６によってターンテーブル３の接近／離間方向へ駆動され、測定端子３５が電子部品Ｃの一方の端面に接触する。シャフト３６ａはガイド３６ｂによって一方向にのみ直進ガイドされ、シャフト３６ａの終端位置（測定端子３５の開き位置）はストッパボルト３６ｃによって規定されている。また、ターンテーブル３の裏面側には、固定側端子ブロック３７が設けられ、この端子ブロック３７に固定された４本の測定端子３８が、ターンテーブル３の裏面を支持するガイド板７を貫通して、電子部品Ｃの他方の端面に接触するようになっている。上記測定端子３５，３８は図示しない測定機器と接続されている。
【００２３】
ターンテーブル３が回転して、測定端子３５，３８の間に電子部品Ｃが位置した時、直動アクチュエータ３６によって可動側端子ブロック３４をターンテーブル３と接近方向へ駆動し、測定端子３５を内方へ突出させて４個の電子部品Ｃの電極Ｃａ，Ｃｂに同時に接触させることで、その電気的特性を測定することができる。例えば、セラミックコンデンサの絶縁抵抗を測定する場合、その充電時間に長い時間を要するが、ターンテーブル３には４列のキャビティ５が設けられているので、１列のみのキャビティを有するターンテーブルに比べて、コンデンサ１個当たりの測定時間を４倍かけることができる。逆に、コンデンサ１個当たりの測定時間が同一であれば、１列のキャビティを有するターンテーブルに比べて４倍の処理能力を得ることができる。
なお、測定器３３は図８に示す構造に限るものではなく、ターンテーブル３のキャビティ５のうち、半径方向に一直線状に並んだキャビティ５に収容された複数の電子部品Ｃを同時に測定できるものであればよい。
【００２４】
全ての測定器３３を通過した電子部品Ｃは、キャビティ５がターンテーブル３の回転軸４の直下位置より取入部である移載シュート３０側に寄った位置に到達した時点で、良品／不良品などに選別されて取出部３９で取り出される。この場合も、ターンテーブル３の背後のガイド板７に設けられたエアー通路７ａから圧縮エアーを噴射して、電子部品Ｃを取り出してもよい。
【００２５】
以上のように、振分けロータ２０で予め分離された複数の電子部品Ｃが、移載シュート３０を介してターンテーブル３の各列のキャビティ５に同時に取り入れられるので、ターンテーブル３の取入部でランダムな状態の電子部品を分離する必要がなく、ターンテーブル３の取入部のスペースを最小限に小さくできる。そして、移載シュート３０から取出部３９までの領域を作業領域として使用できるので、作業領域を最大限に拡張できる。
【００２６】
図１０は本発明にかかる搬送装置の第２実施例を示す。なお、第１実施例と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
この実施例では、搬送媒体として水平軸を中心として回転し、２列の同心円状のキャビティ５を設けたターンテーブル３を用いるとともに、キャビティ５の列数と同数の振動式パーツフィーダ１０と、分離機構４０とを用いたものである。パーツフィーダ１０にランダムな状態で投入された電子部品Ｃは、一列に整列されかつ連続状態でリニアフィーダ１５の通路１５ａに沿って搬送される。リニアフィーダ１５の終端部まで搬送された電子部品Ｃは、次に分離機構４０によって先頭部品と後続部品とが分離される。分離機構４０による分離方法は、例えば図７と同様にして行ってもよい。分離機構４０によって後続部品と分離された先頭の電子部品Ｃは、取入部４１に位置しているターンテーブル３のキャビティ５側からエアー吸引などを行うことで、キャビティ５に収納される。その後、ターンテーブル３はサーボモータなどの駆動手段によって１ピッチずつ間欠回転し、電子部品Ｃを矢印Ａ方向へ搬送する。
【００２７】
ターンテーブル３の周囲には複数の測定器（図示せず）が配置され、半径方向に一直線状に並んだキャビティ５内の電子部品Ｃを同時に測定する。測定が終了した後、ターンテーブル３で搬送された電子部品Ｃは、取入部４１の直前に設けられた取出部４２からエアーブローなどの手段によって取り出される。
なお、上記説明では複数台のパーツフィーダ１０を用いたが、１台のパーツフィーダに複数本のリニアフィーダ１５を連結してもよい。
この実施例では、パーツフィーダ１０からターンテーブル３へ直接電子部品Ｃを供給できるので、設置スペースを小さくできる。また、取入部４１と取出部４２とが隣接して設けられているので、これら部分を除く作業領域を拡張できるという利点がある。
【００２８】
図１１は図１０の変形例である第３実施例を示す。
この実施例は、ターンテーブル３の両側に透明アクリル板などからなるガイド板４３，４４を配置したものであり、ターンテーブル３のキャビティ５に収容されて搬送される電子部品Ｃの姿勢を安定させることができる。
なお、表側のガイド板４３は、取入部および取出部に対応する部分が切り欠かれ、開口部４３ａが形成されている。
図では、説明を簡単にするため、表裏のガイド板４３，４４には穴等が設けられていないが、実際には測定端子などが挿通される穴や開口部が設けられる。
【００２９】
図１２〜図１７は本発明にかかる搬送装置の第４実施例を示す。なお、第１実施例と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
この実施例では、搬送媒体として第１実施例と同様な４列の同心円状のキャビティ５を有するターンテーブル３を用い、供給手段として特開平１１−２０８８７１号公報に示された振込円板５０を用いたものである。
この搬送装置は、斜めに配置された振込円板５０で電子部品Ｃを１個ずつ分離し、この電子部品Ｃを水平軸を中心として回転するターンテーブル３のキャビティ５に、取入部４２（図１２参照）においてキャビティ５の列数だけ同時に送り込むようにしたものである。
【００３０】
振込円板５０は、図１２，図１３に示すように、斜めに設置されたベース５２上に水平面に対して所定の傾斜角θをもって摺動自在に配置されている。ベース５２の中心部には駆動軸５３が回転自在に挿通され、駆動軸５３の先端部に振込円板５０の中心部が連結されている。駆動軸５３はモータ５４と連結され、振込円板５０を反時計回り方向に、後述する振込溝５０ａの開き角ずつ間欠駆動する。ベース５２の上面には、振込円板５０の外周部の一部を取り囲む外ガイド５６が固定されている。
【００３１】
振込円板５０の上面には、内径部から外周縁まで放射状に延びる多数本の振込溝５０ａが形成されており、各振込溝５０ａの幅および深さは電子部品Ｃの短辺Ｈ，Ｗより大きく、長辺Ｌより小さく設定されている。そのため、振込円板５０上に多数の電子部品Ｃを投入し、振込円板５０に回転運動を加えると、電子部品Ｃは重力の作用により振込溝５０ａに落ち込む。振込溝５０ａに電子部品Ｃが落ち込むことで、電子部品Ｃを縦列方向に一列に整列させることができる。
【００３２】
振込溝５０ａの外周端部には、図１５に示すように、電子部品Ｃを１個だけ保持できる段穴状の凹部５０ｂが振込溝５０ａより一段低く形成されている。なお、この実施例では、凹部５０ｂの半径方向の長さｍは電子部品Ｃの長辺Ｌより短いため、凹部５０ｂに収納された電子部品Ｃの一部が振込円板５０の外周面側に突出する。凹部５０ｂと振込溝５０ａとの底面の段差ｎは、電子部品Ｃの短辺の長さＷより小さく、そのため下向き状態の振込溝５０ａに入った後続の電子部品Ｃが凹部５０ｂ方向へ移動しようとしても、凹部５０ｂ内の電子部品Ｃによって外径方向への移動が規制される。凹部５０ｂの内周部にはエアー通路５０ｃが形成されており、エアー通路５０ｃを介してエアー吸引することで、凹部５０ｂに収納された電子部品Ｃは凹部５０ｂの内周側に吸着保持される。
【００３３】
振込円板５０の上面外周部には、振込溝５０ａに整列された電子部品Ｃのみを振込円板５０の外周方向に通過させるゲート口５７（図１６参照）を形成するガイドリング５８が固定れている。また、振込円板５０の上面であって振込溝５０ａの内径側端部には内リング５９が固定されている。そのため、振込円板５０の上面には、内リング５９とガイドリング５８との間で、多数の電子部品Ｃを収納するための環状の収納空間が形成される。
【００３４】
外ガイド５６は、振込溝５０ａを滑って凹部５０ｂに入った電子部品Ｃが振込円板５０からこぼれ落ちないように、振込円板５０の外周部、特に下側半分を含む領域を取り囲むように適当な隙間を設けて配置されている。この実施例では、図１４に示すように振込円板５０の約２４０°の範囲を取り囲んでいる。外ガイド５６が途切れた振込円板５０の頂部付近、つまり取入部４２には、ベース５２に固定された移載シュート６０が配置されている。振込円板５０の凹部５０ｂに分離されて保持された電子部品Ｃは、複数個（例えば４個）同時に移載シュート６０を介してターンテーブル３のキャビティ５へ送り込まれる。この移載シュート６０は前述の実施例の移載シュート３０とほぼ同様な構造を有するものであり、斜め上方へ傾斜した振込円板５０の凹部５０ｂから排出された電子部品Ｃの移動方向を水平方向に修正して、ターンテーブル３のキャビティ５にガイドするガイド通路６１を有する。なお、この時、電子部品Ｃを凹部５０ｂから排出するために、凹部５０ｂの内周に形成されたエアー通路５０ｃから圧縮エアーを噴射するのがよい。
【００３５】
次に、上記構成よりなる搬送装置の作動について説明する。
まず、回転している振込円板５０の上面、特に内リング５９とガイドリング５８とで囲まれた収納空間に多数の電子部品Ｃをランダムな状態で投入する（図１６参照）。このとき、振込円板５０の上面は傾斜しているので、重力により電子部品Ｃは振込円板５０の下部に溜まり、その一部が振込溝５０ａに落ち込んで整列される。振込溝５０ａに落ち込んだ電子部品Ｃは重力により下方へ滑り、ゲート口５７を通過して先端の１個の電子部品Ｃのみが凹部５０ｂに収納される。なお、振込円板５０の回転による攪拌効果と姿勢変化とにより、最初は振込溝５０ａに落ち込まなかった電子部品Ｃも次第に振込溝５０ａに落ち込むようになる。
【００３６】
電子部品Ｃが落ち込んだ振込溝５０ａが上方へ回転すると、重力によって凹部５０ｂ内の電子部品Ｃのみを残し、他の電子部品Ｃは振込溝５０ａに沿って下方へ滑る。そのため、凹部５０ｂ内の電子部品Ｃが１個だけ分離される。なお、凹部５０ｂ内の電子部品Ｃはエアー通路５０ｃによって凹部５０ｂの内周面に吸着保持されるので、誤って振込溝５０ａへ脱落するのを防止できるとともに、外ガイド５６との摺動摩擦が軽減される。振込円板５０の回転にともなって、凹部５０ｂに１個ずつ分離保持された電子部品Ｃは振込円板５０の上部へ運ばれ、外ガイド５６に続いて設けられた移載シュート６０を通ってターンテーブル３のキャビティ５へ送り込まれる。この時、エアー通路５０ｃから圧縮エアーを噴射することにより、確実に送り込むことができる。
【００３７】
振込円板５０から移載シュート６０を介してターンテーブル３へ電子部品Ｃを送り込む際、ターンテーブル３には４列の同心円状のキャビティ５が形成されているので、振込円板５０が４ピッチ分回転した後で、４個の電子部品Ｃを同時にターンテーブル３へ送り込む。そのため、送り込みに要する時間を短縮できる。
なお、ターンテーブル３へ取り込まれた電子部品Ｃに対する作業（外観検査や電気的特性の検査）および取出し工程は第１実施例と同様であるので、説明を省略する。
【００３８】
本発明は上記実施例の構造に限定されるものではないことは勿論である。
搬送媒体は、同心円状の複数列のキャビティを設けた円板状のターンテーブルに限るものではなく、例えば図１８に示すように、円筒形状の搬送媒体７０を用い、この搬送媒体７０の同一円周上に内外に貫通するキャビティ７１を軸方向に複数列に形成したものでもよく、図１９に示すように、外周部にキャビティ８１を定ピッチ間隔で形成した円板状の搬送媒体８０を複数枚重ねて使用してもよい。また、電子部品Ｃとして、図９に示すような直方体形状のチップ部品を例にして説明したが、立法体形状、円柱形状、円板形状などいかなる形状の電子部品でもよい。
さらに、供給手段として、チップマウンタなどに用いられる部品整列機能と分離機能とを備えた公知のバルクフィーダ（例えば特開昭６３−１２７６００号公報、特開平８−２２２８９０号公報など）を搬送媒体のキャビティ列と同数だけ配置してもよい。この場合には、既存の装置を用いて容易に供給手段を構成できる。
【００３９】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、各種作業を行なうためのターンテーブルが複数列の同心円状に配列されたキャビティを有するので、キャビティ列数だけ処理能力を向上させることができる。また、ターンテーブルのキャビティに挿入される前の段階で、電子部品は振分けロータにより１個ずつ分離されているので、移載シュートとしてはこれら電子部品をターンテーブルのキャビティ列へ挿入するだけでよく、取り入れミスが発生しにくくなるとともに、取入れ部が大きなスペースを占めず、ターンテーブル上の作業領域を広く確保できる。
また、振分けロータの凹部に収容された電子部品を、移載シュートを介してターンテーブルのキャビティ列と同数ずつ同時にキャビティに送り込むことで、効率よく取り入れることが可能である。
さらに、パーツフィーダが１台で済むので、設備全体を小型化できるとともに、安価となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる搬送装置を用いた検査装置の一例の全体斜視図である。
【図２】図１の検査装置の平面図である。
【図３】図１の検査装置の正面図である。
【図４】図１の振分けロータからターンテーブルへの移載部の拡大図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図１のパーツフィーダから振分けロータへの振分部の拡大平面図である。
【図７】図６のVII − VII線断面図である。
【図８】測定器の一部の拡大図である。
【図９】電子部品の一例の斜視図である。
【図１０】本発明にかかる搬送装置の第２実施例の概略斜視図である。
【図１１】本発明にかかる搬送装置の第３実施例の概略斜視図である。
【図１２】本発明にかかる搬送装置の第４実施例の概略斜視図である。
【図１３】図１２に示す搬送装置の詳細な縦断面図である。
【図１４】図１３のXIV 方向から見た図である。
【図１５】図１２の振込円板の外周部の斜視図である。
【図１６】図１４のXVI − XVI線断面図である。
【図１７】図１４のXVII−XVII線断面図である。
【図１８】本発明にかかる搬送媒体の他の例の斜視図である。
【図１９】本発明にかかる搬送媒体のさらに他の例の斜視図である。
【符号の説明】
Ｃ          電子部品
３          ターンテーブル（搬送媒体）
５          キャビティ
６          モータ（駆動手段）
１０        パーツフィーダ
２０        振分けロータ
３０        移載シュート
３３        測定器
３５        測定端子
４０        分離手段
５０        振込円板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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