(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープを炉体内に供給するテープ入口と、
上記炉体内に配設された加熱機構と、
上記搬送テープの送り方向を反転させる第１反転機構と、
上記送り方向が反転した上記搬送テープの送り方向を再度反転させて、上記搬送テープの送り方向をテープ出口方向にする第２反転機構と、
上記搬送テープを上記炉体外に排出する上記テープ出口とを有する樹脂硬化装置において、
上記炉体の内部と上記炉体の外部とを連通する排出口を、上記テープ入口より上方であって上記第２反転機構とテープ入口側の上記炉体との間の上方の上記炉体部分に配設すると共に上記排出口の鉛直下方に上記加熱機構の一部を配設したことを特徴とする樹脂硬化装置。
【請求項２】
前記排出口は、機密性が保たれた前記炉体の内部の気体を排出することを特徴とする請求項１記載の樹脂硬化装置。
【請求項３】
前記排出口が前記テープ出口より上方に配設されていることを特徴とする請求項１記載の樹脂硬化装置。
【請求項４】
窒素ガスを前記炉体内に導入する導入口が前記テープ入口より下方に設けられていることを特徴とする請求項１記載の樹脂硬化装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送テープ上の素子を樹脂で封止し、封止された樹脂を加熱硬化させる樹脂硬化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の封止された樹脂を加熱硬化させる装置は、搬送テープに封止された樹脂を、発熱体として遠赤外線を用いて直接加熱して硬化させたり、樹脂を温風を用いて直接加熱して硬化させたりして樹脂硬化が行われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来装置では遠赤外線や温風により樹脂を直接加熱するため、樹脂表面に「焼け」と呼ぶ樹脂の変質が発生したり、樹脂の形状変形が頻繁に発生したりしていた。特に、直接加熱のために樹脂表面が早く硬化し、表面の硬化皮膜により閉じこめられた溶剤が蒸発する際に硬化皮膜を押し上げ、「ふくれ」と呼ぶ品質欠陥が発生したりするという問題点を有していた。また、樹脂の周辺部が加熱によって早く硬化するために、周辺部の樹脂が搬送テープ面まで廻り込めず、搬送テープとの接着が悪く、剥離してしまうという問題点も有していた。
【０００４】
本発明は、従来装置における問題点を解消するためになされたもので、搬送テープに塗布された樹脂の溶剤が蒸発しても表面の硬化皮膜によって閉じ込められる危険性を減少させ、樹脂を安定的に硬化させることができる樹脂硬化装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る樹脂硬化装置は、素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープを炉体内に供給するテープ入口と、記炉体内に配設された加熱機構と搬送テープの送り方向を反転させる第１反転機構と、送り方向が反転した搬送テープの送り方向を再度反転させて、搬送テープの送り方向をテープ出口方向にする第２反転機構と、搬送テープを炉体外に排出するテープ出口とを有する樹脂硬化装置において、炉体の内部と炉体の外部とを連通する排出口を、テープ入口より上方であって第２反転機構とテープ入口側の炉体との間の上方の炉体部分に配設すると共に排出口の鉛直下方に加熱機構の一部を配設したものである。
【０００６】
本発明に係る樹脂硬化装置は、さらに、排出口は、機密性が保たれた炉体の内部の気体を排出するものである。
【０００７】
本発明に係る樹脂硬化装置は、さらに、排出口がテープ出口より上方に配設されているものである。
【０００９】
本発明に係る樹脂硬化装置は、さらに、窒素ガスを炉体内に導入する導入口がテープ入口より下方に設けられているものである。
【００１０】
これらの構成によれば、搬送テープに塗布された樹脂の溶剤が蒸発しても表面の硬化皮膜によって閉じ込められる危険性が減少し、樹脂を安定的に硬化させることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明による実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明による実施の形態を示す筐体と炉体の断面図である。図２は、本発明の実施の形態を示す図１のＡ−Ａ拡大断面図である。
【００１２】
図において、１は筐体、２は筐体１上に設けられている炉体、３は搬送テープで、素子４がボンディングされ、樹脂５により封止されている。６、７は、炉体内で搬送テープ３を反転させるための第１，第２反転機構としてのキュアガイド、８、９は、搬送テープ３とキュアガイド６で反転された搬送テープ３との間に設けられている加熱機構の一部となる発熱体、１０は、キュアガイド７で反転された搬送テープ３の上方に設けられている加熱機構の一部となる発熱体である。
【００１３】
１１は、搬送テープ３と発熱体８との間に配設されている加熱機構の一部となる熱板、１２は搬送テープ３と発熱体９との間に配設されている加熱機構の一部となる熱板、１３は、搬送テープ３と発熱体１０との間に配設されている加熱機構の一部となる熱板、１４は、搬送テープ３を挟んで熱板１１と対向する位置に配設されている加熱機構の一部となる反射板である。
【００１４】
搬送テープ３は、テープ入口１５から供給され、キュアガイド６と７により反転させられてテープ出口１６から排出される。テープ入口１５から供給された搬送テープ３は、キュアガイド６で反転されるまでの加熱開始段階において、次のように加熱される。
【００１５】
すなわち、素子４を封止した樹脂５は、遠赤外線等の発熱体８により加熱された熱板１１により間接的に加熱されると共に、熱板１１と対向する位置に配設された反射板１４により熱板１１の熱が輻射され搬送テープ３の裏面側を間接的に加熱する。この結果、搬送テープ３の表面側と裏面側が均一に加熱される。これにより、樹脂５は、熱板１１により間接的に加熱されるために、樹脂表面がゆっくり硬化し、しかも排出口１８の存在によって樹脂の溶剤が蒸発する際、表面の硬化皮膜によって閉じ込められてしまうという危険性が減少する。この結果、「焼け」、「ふくれ」、形状変形もなく樹脂を硬化させることができる。また、搬送テープ３面への樹脂５の廻り込みを容易にし、搬送テープ３と樹脂５の周辺部との密着性が高められ、搬送テープ３に樹脂５を密着させることができる。
【００１６】
キュアガイド７で反転されるまでの加熱中間段階において、搬送テープ３は発熱体９により加熱された熱板１２により間接的に加熱される。これにより、樹脂５の硬化が促進される。キュアガイド７で反転されてテープ出口１６までの加熱最終段階において、搬送テープ３は発熱体１０により加熱された熱板１３により間接的に加熱される。これにより、樹脂５の硬化が更に促進される。また、炉体２は、気密性を保つようになっているので、筐体１に設けられた導入口１７から窒素ガス等を導入し、炉体２に設けられた排出口１８から排出するようにすれば、炉体２内を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の安定化を図ることができる。
【００１７】
以上のように、この実施の形態では、搬送テープに塗布された樹脂の溶剤が蒸発しても表面の硬化皮膜によって閉じ込められる危険性が減少し、樹脂を安定的に硬化させることができる。
【００１８】
特に、加熱硬化工程において、炉内で多段式に搬送テープを送ることで、熱効率が良くなると共に、間接的に搬送テープを加熱するので熱が均一化され、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂硬化ができる。また、反射板の設置によって、発熱体側の熱を搬送テープの裏面など適切な場所に当てることができ、搬送テープの面を容易に加熱できる。
【００１９】
また、反射板は、発熱体の輻射熱を反射し、搬送テープを間接加熱している。このように構成すると、搬送テープの面が反射板からの輻射熱によって全体的に加熱されるので、簡易な構成にも拘わらず、搬送テープの面が万遍なく加熱されることとなり、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂硬化が可能となる。さらに、樹脂硬化の開始段階に、反射板を搬送テープを挟んで発熱体と対向する位置に配設させるようにすると、熱が反射板により輻射され搬送テープの一方の面側を間接的に加熱することとなり、樹脂周辺部が搬送テープへ廻り込むのが容易になり、搬送テープと樹脂との密着性を高めることができる。
【００２０】
【発明の効果】
本発明によれば、搬送テープに塗布された樹脂の溶剤が蒸発しても表面の硬化皮膜によって閉じ込められる危険性を減少させ、樹脂を安定的に硬化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による実施の形態を示す筐体と炉体の断面図である。
【図２】  本発明の実施の形態を示す図１のＡ−Ａ拡大断面図である。
【符号の説明】
１  筐体
２  炉体
３  搬送テープ
４  素子
５  樹脂
６，７  キュアガイド（反転機構）
８，９，１０  発熱体（加熱機構の一部）
１１，１２，１３  熱板（加熱機構の一部）
１４  反射板（加熱機構の一部）
１５  テープ入口
１６  テープ出口
１７  導入口
１８  排出口
【図１】
0003644943.tif 000002
【図２】
0003644943.tif 000003