(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液を貯留しその薬液中に基板が浸漬されて処理される処理槽と、
この処理槽内に貯留された薬液を処理槽外へ流出させて、その流出した薬液を再び処理槽内へ戻す循環経路と、
この循環経路中に介設されたポンプと、
このポンプの吐出側において前記循環経路から分岐した排液路と、
前記ポンプにより前記循環経路を通して薬液を循環させる状態と、前記ポンプにより前記処理槽内から流出した薬液を、前記排液路を通って排出させる状態とを、択一的に切り替える流路切替え手段とを備えた薬液循環式基板処理装置において、
水流によって流体を吸引するアスピレータ、このアスピレータの吸入口に一端が連通接続され他端が薬液流入口とされる排液管、前記アスピレータの水流入口に連通接続された水導入管、および、前記アスピレータの水流出口に連通接続された水排出管からなる非常時排液ユニットを有し、
前記循環経路中の少なくとも１個所に、前記非常時排液ユニットの排液管の薬液流入口に接続される薬液流出口を形設して、前記非常時排液ユニットの排液管の薬液流入口と前記循環経路中の薬液流出口とを接続させる連接手段、および、前記循環経路中の薬液流出口を開閉自在に閉塞する閉塞手段を備え、非常時に、前記非常時排液ユニットの排液管の薬液流入口と前記循環経路中の薬液流出口とを前記連接手段を介して接続させるとともに、前記循環経路中の薬液流出口を開放し、常時は、前記非常時排液ユニットの排液管を前記循環経路から外すとともに、前記閉塞手段によって前記循環経路中の薬液流出口を閉塞することを特徴とする薬液循環式基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、電子部品などの基板を、処理槽内に貯留された薬液中に浸漬させて表面処理する基板処理装置、特に、処理槽内に貯留された薬液を処理槽外へ流出させて再び処理槽内へ戻すようにして薬液を循環させながら、処理槽内へ搬入された基板の表面処理を行う薬液循環式基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
処理槽内に貯留された薬液を処理槽外へ流出させて再び処理槽内へ戻すようにして薬液を循環させながら、処理槽内の薬液中に基板、例えば半導体ウエハを浸漬させて表面処理する装置、例えば薬液循環式基板洗浄装置は、図２に模式図で示すような概略構成を有している。この洗浄装置は、洗浄用薬液が貯留される処理槽（洗浄槽）１０、および、この処理槽１０に付設され処理槽１０の上部から溢れ出た洗浄用薬液を受け入れる溢流液受け部１２を有している。処理槽１０および溢流液受け部１２のそれぞれの内底部には、開閉弁１４、１８が介挿された流出管１６、２０が連通しており、両流出管１６、２０は互いに連通して合流流出管２２となり、合流流出管２２にポンプ２４が介設されている。合流流出管２２は、ポンプ２４の吐出側において戻り管２６と排液管２８とに分岐している。戻り管２６には、開閉弁３０、ヒータ３２およびフィルタ３４がそれぞれ介挿されている。そして、戻り管２６は、処理槽１０の内底部に連通していて、処理槽１０、溢流液受け部１２、両流出管１６、２０、合流流出管２２および戻り管２６により洗浄用薬液の循環経路が構成されている。また、排液管２８には開閉弁３６が介挿されており、排液管２８は、浄水場などへ流路連絡されている。なお、合流流出管２２が戻り管２６と排液管２８とに分岐する管路部分および２つの開閉弁３０、３６が１つの流路切替弁で構成されていてもよい。
【０００３】
図２に示したような構成の洗浄装置において、定常運転時には、開閉弁１４、１８、３０を開いて開閉弁３６を閉じ、循環経路を通して洗浄用薬液を循環させながら、洗浄用薬液を所定温度に保ち清浄な状態に維持して、処理槽１０内の洗浄用薬液中へ半導体ウエハを浸漬させて洗浄処理する。このとき、ポンプ２４は循環ポンプとして機能する。一方、洗浄用薬液の入れ替えやメンテナンスなどに際して処理槽１０内から洗浄用薬液を排出する時には、開閉弁１４、１８、３６を開いて開閉弁３０を閉じ、処理槽１０内および溢流液受け部１２から流出した洗浄用薬液を、両流出管１６、２０、合流流出管２２および排液管２８を通って排出する。このとき、ポンプ２４は排液ポンプとして機能することになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ポンプ（通常はベローズポンプ）は、循環と排液との２つの機能を兼ねており、その稼働率が高いため、破損や故障などを起こし易い。しかしながら、ポンプの破損などによってポンプを交換しようとしたときに、従来の装置では、処理槽１０内からすべての薬液を速やかに排出することができず、ポンプの交換作業に長時間を要していた。また、排液系統に異常が発生したときには、処理槽１０内から薬液を排出することができなくなる、といった問題点があった。
【０００５】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、薬液の循環と排液との２つの機能を兼ねたポンプを使用した薬液循環式基板処理システムにおいて、ポンプの破損などによるポンプの交換時に処理槽内からすべての薬液を速やかに排出することができ、また、排液系統の異常時にも処理槽内から薬液を排出することができる薬液循環式基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、薬液を貯留しその薬液中に基板が浸漬されて処理される処理槽と、この処理槽内に貯留された薬液を処理槽外へ流出させて、その流出した薬液を再び処理槽内へ戻す循環経路と、この循環経路中に介設されたポンプと、このポンプの吐出側において前記循環経路から分岐した排液路と、前記ポンプにより前記循環経路を通して薬液を循環させる状態と、前記ポンプにより前記処理槽内から流出した薬液を、前記排液路を通って排出させる状態とを、択一的に切り替える流路切替え手段とを備えた薬液循環式基板処理装置において、水流によって液体を吸引するアスピレータ、このアスピレータの吸入口に一端が連通接続され他端が薬液流入口とされる排液管、前記アスピレータの水流入口に連通接続された水導入管、および、前記アスピレータの水流出口に連通接続された水排出管からなる非常時排液ユニットを有し、前記循環経路中の少なくとも１個所に、前記非常時排液ユニットの排液管の薬液流入口に接続される薬液流出口を形設して、前記非常時排液ユニットの排液管の薬液流入口と前記循環経路中の薬液流出口とを接続させる連接手段、および、前記循環経路中の薬液流出口を開閉自在に閉塞する閉塞手段を備え、非常時に、前記非常時排液ユニットの排液管の薬液流入口と前記循環経路中の薬液流出口とを前記連接手段を介して接続させるとともに、前記循環経路中の薬液流出口を開放し、常時は、前記非常時排液ユニットの排液管を前記循環経路から外すとともに、前記閉塞手段によって前記循環経路中の薬液流出口を閉塞することを特徴とする。
【０００９】
請求項１に係る発明の薬液循環式基板処理装置においては、ポンプの破損などによってポンプを交換するときや、排液系統に異常が発生して処理槽内から薬液を排出することができないときに、閉塞手段によって常時は閉塞されている循環経路中の薬液流出口を開放するとともに、連接手段により非常時排液ユニットの排液管の薬液流入口と循環経路中の薬液流出口とを接続させ、非常時排液ユニットの水導入管からアスピレータを経て水排出管へ水道水等の水を流すと、吸入口が排液管に連通接続されたアスピレータの吸引力によって、処理槽内から流出した薬液が循環経路からその薬液流出口を通り非常時排液ユニットの排液管内へその薬液流入口を通って導入され、その薬液は、非常時排液ユニットの排液管を通りアスピレータを経て排出される。したがって、ポンプが破損するなどしてポンプによる排液を行うことができないときでも、また、排液系統に異常が発生して排液路を通した排液を行うことができないときでも、処理槽内からすべての薬液が速やかに排出されることとなる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図１を参照しながら説明する。
【００１５】
図１は、この発明の１実施形態を示し、非常時における排液を行う非常時排液ユニットの概略構成を示す模式図である。この非常時排液ユニット５４は、アスピレータ５６、このアスピレータ５６の吸入口５８に一端が連通接続され薬液流入口となる他端にコネクタ６２が設けられた排液管６０、アスピレータ５６の水流入口６４に一端が連通接続され他端にコネクタ６８が設けられた水導入管６６、および、アスピレータ５６の水流出口７０に一端が連通接続され他端にコネクタ７４が設けられた水排出管７４から構成されている。排液管６０、水導入管６６および水排出管７４は、それぞれ可撓性素材により形成されている。この非常時排液ユニット５４は、携帯可能であり、必要により図２に示したような薬液循環式基板洗浄装置の循環経路に排液管６０の薬液流入口が連通接続される。このために、洗浄装置には、図示していないが、循環経路中の１個所もしくは複数個所に薬液流出口が形設されている。洗浄装置の循環経路中に形設された薬液流出口は、通常時にはプラグなどによって閉塞されており、必要時にプラグなどを取り外して開放され、非常時排液ユニット５４の排液管６０の薬液流入口にコネクタ６２を介して連接される。また、この非常時排液ユニット５４を使用する際には、水導入管６６の末端を加圧水供給源、例えば水道管７６の給水口７８にコネクタ６８を介して接続するとともに、水排出管７２の末端を、浄水場などに流路接続された排液管８０の連接口８２にコネクタ７４を介して接続する。
【００１６】
非常時排液ユニット５４の排液管６０を、図２に示した薬液循環式基板洗浄装置の循環経路に連接し、水導入管６６を水道管７６に連接するとともに水排出管７２を排液管８０に連接した後は、以下のような動作により、処理槽１０内および溢流液受け部１２内から流出した洗浄用薬液が非常時排液ユニット５４を通して装置外へ排出される。
すなわち、定常運転時や通常の薬液排出時には、図２に示した洗浄装置と同様に上述したような操作が行われる。これらの際には、洗浄装置の循環経路中に形設された薬液流出口は、プラグなどによって閉塞されている。そして、ポンプ２４の破損などによってポンプ２４を交換するときや、排液系統に異常が発生したことにより排液管２８を通して処理槽１０内および溢流液受け部１２内の洗浄用薬液を排出することができないときには、プラグなどを取り外して循環経路の薬液流出口を開放し、非常時排液ユニット５４の排液管６０を循環経路に連接して、水導入管６６からアスピレータ５６を通して水排出管７２へ水を流す。これにより、アスピレータ５６によって排液管６０を通し循環経路内の洗浄用薬液が排液管６０の方へ吸引される。そして、処理槽１０内および溢流液受け部１２内から流出した洗浄用薬液が、流出管１６、２０および合流流出管２２を通って排液管６０内へ流入し、排液管６０内を流れて、吸入口５８からアスピレータ５６内へ流入し、水導入管６６内からアスピレータ５６内を通って水排出管７２内へ流れる水と共に水排出管７２内へ流れ込んで、装置外へ排出される。このようにして、ポンプ２４による排液を行うことができないときでも、また、排液管２８を通して排液することができないときでも、処理槽１０内および溢流液受け部１２内からすべての洗浄用薬液を速やかに排出することができる。
処理槽１０内および溢流受け部１２内からすべての洗浄用薬液を排出し終わると、洗浄装置の循環経路から非常時排液ユニット５４の排液管６０を外し、循環経路の薬液流出口をプラグなどによって閉塞する。
【００１７】
【発明の効果】
請求項１に係る発明の薬液循環式基板処理装置を使用すると、薬液の循環と排液との２つの機能を兼ねたポンプが破損するなどしてそのポンプを交換するときに、処理槽内からすべての薬液を速やかに排出することができて、ポンプの交換作業に要する時間を短くすることができ、さらに、ポンプの交換時に作業者に薬液がかかる心配が減って安全性が向上し、また、排液系統に異常が発生したときでも、処理槽内からの薬液の排出を行うことができる。
【００１８】
そして、請求項１に係る発明の処理装置では、必要時にだけ洗浄装置の循環経路に非常時排液ユニットを接続すればよく、配管系を簡略化し、また配管のための設置スペースを抑えることができ、また、循環経路の複数個所の薬液流出口に対しあるいは複数の洗浄装置に対して１つの非常時排液ユニットを共用することが可能であり、非常時排液ユニットを効率良く使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の１実施形態を示し、薬液循環式基板洗浄装置の構成要素である非常時排液ユニットの概略構成を示す模式図である。
【図２】  従来の薬液循環式基板洗浄装置の概略構成の１例を示す模式図である。
【符号の説明】
１０  処理槽（洗浄槽）
１２  溢流液受け部
１４、１８、３０、３６  開閉弁
１６、２０  流出管
２２  合流流出管
２４  ポンプ
２６  戻り管
２８  排液管
３２  ヒータ
３４  フィルタ
５６  アスピレータ
６４  アスピレータの水流入口
６６  水導入管
７０  アスピレータの水流出口
７２  水排出管
５８  アスピレータの吸入口
５４  非常時排液ユニット
６０  非常時排液ユニットの排液管
６２、６８、７４  コネクタ
７６  水道管
７８  水道管の給水口
８０  排液管
８２  排液管の連接口
【図１】
0003686239.tif 000002
【図２】
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