(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キナルジン酸またはベンゾトリアゾールを含有する第１の錯体化剤と、キノリン酸を含有する第２の錯体化剤とを含むことを特徴とする銅のＣＭＰ用研磨スラリー。
【請求項２】
前記第１の錯体化剤と前記第２の錯体化剤の混合比率は、重量比で２：８ないし８：２の範囲であることを特徴とする請求項１に記載の銅のＣＭＰ用研磨スラリー。
【請求項３】
前記第１の錯体化剤と前記第２の錯体化剤の混合比率は、重量比で４：６ないし６：４の範囲であることを特徴とする請求項１に記載の銅のＣＭＰ用研磨スラリー。
【請求項４】
前記第１の錯体化剤はキナルジン酸であり、前記第２の錯体化剤は、キノリン酸であることを特徴とする請求項１または２に記載の銅のＣＭＰ用研磨スラリー。
【請求項５】
前記第１の錯体化剤はキナルジン酸であり、前記第２の錯体化剤は、キノリン酸であって、キナルジン酸とキノリン酸の混合比率は、重量比で４：６ないし６：４の範囲であることを特徴とする請求項１に記載の銅のＣＭＰ用研磨スラリー。
【請求項６】
基板表面に形成された絶縁膜に、溝あるいはホール、又はそれらの組み合わせを形成する工程と、
前記絶縁膜上に、前記溝及び／またはホールを埋めるように銅膜を堆積する工程と、
前記銅膜を、請求項１ないし５のいずれかの項に記載の研磨スラリーを用いて研磨して、前記溝及び／またはホール内に埋め込むとともに、その外側の前記絶縁膜上の銅膜を除去する工程と
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、銅のＣＭＰ用研磨スラリーおよびそれを用いた半導体装置の製造方法に係り、特に、ＤＲＡＭや高速ＬＯＧＩＣ-ＬＳＩにおける銅のダマシン配線の形成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＬＳＩの配線材料としてＣｕ（銅）が注目されている。ＣｕはＲＩＥ（反応性イオンエッチング）による加工が困難であるため、ＣＭＰ法（化学的機械的研磨法）を用いたダマシン配線形成法によるのが一般的である。
【０００３】
ＣｕのＣＭＰによる加工は、Ｃｕ表面に酸化物あるいは有機化合物（有機Ｃｕ錯体）からなる保護膜を形成し、この保護膜で表面を保護した状態でＣｕを研磨することにより行なわれる。このため、ＣＭＰによる加工の特性は、保護膜により大きく影響される。即ち、保護膜としては、無機材料であるＣｕ酸化物よりも、柔軟性のある有機Ｃｕ錯体からなる保護膜の方が、Ｃｕの研磨速度が速く、エロージョンを小さくすることが出来るという点で優れている。なお、Ｃｕ表面に有機Ｃｕ錯体からなる保護膜を形成するには、研磨スラリー中に有機Ｃｕ錯体を形成可能な錯体化剤を含有させればよい。
【０００４】
しかしながら、有機Ｃｕ錯体からなる保護膜を形成する方法は、保護膜が有機材料であるため、疎水性であるという問題がある。保護膜が疎水性であると、ＣＭＰ特性の不安定性の原因となる。例えば、有機Ｃｕ錯体の研磨カスは疎水性であるため研磨スラリーに溶解せず、研磨パッドに蓄積されてしまう。研磨パッドに研磨カスが蓄積されると、Ｃｕの研磨速度が著しく減少してしまう。
【０００５】
また、研磨中のＣｕ表面も疎水的であるため、研磨カスがＣｕ表面に付着し、研磨カスの存在下でＣｕが研磨されるため、Ｃｕ表面にキズが生じてしまう。
【０００６】
従って、有機Ｃｕ錯体からなる保護膜を親水性化することが必要となる。
有機Ｃｕ錯体からなる保護膜を親水性化するため、錯体化剤に界面活性剤を添加することが考えられるが、界面活性剤がイオン性である場合には、Ｃｕと化合物を形成したり、粒子に吸着したりして、ＣＭＰ特性を劣化させてしまう。また、界面活性剤がノニオン性である場合には、Ｃｕと錯体を形成せず、Ｃｕと錯体化剤との反応により形成された疎水性有機錯体に吸着するため、保護膜の親水性は或る程度は向上するものの、親水性化力が小さいため、保護膜の親水性化による効果は非常に小さい。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事情の下になされ、研磨速度が速く、エロージョンが生ずることを防止出来、しかも研磨安定性に優れ、ウエハ面に欠陥を生じさせない高性能の研磨を行うことを可能とする銅のＣＭＰ用研磨スラリーおよびそれを用いた半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、キナルジン酸またはベンゾトリアゾールを含有する第１の錯体化剤と、キノリン酸を含有する第２の錯体化剤とを含むことを特徴とする銅のＣＭＰ用研磨スラリーを提供する。
【０００９】
本発明の研磨スラリーにおいて、第１の錯体化剤と第２の錯体化剤の混合比率は、重量比で２：８ないし８：２の範囲であることが好ましく、４：６ないし６：４の範囲であることがより好ましい。
【００１０】
第１の錯体化剤が上記混合比率より多い（第２の錯体化剤の混合比率が上記混合比率より少ない）場合には、不溶性研磨カスによるＣｕ面のキズが生じ易くなり、また研磨速度が低下する傾向となり、一方、第１の錯体化剤が上記混合比率より少ない（第２の錯体化剤の混合比率が上記混合比率より多い）場合には、Ｃｕ面にエロージョンが生じ易くなる。
【００１１】
第１の錯体化剤は、銅と水不溶性錯体を形成するヘテロ環化合物を含有する。このようなヘテロ環化合物は、それ自体疎水性であるか、親水性配位子を有していてもすべてがＣｕと配位結合して水不溶性錯体を形成するものである。このようなヘテロ環化合物としては、キナルジン酸、ベンゾトリアゾール、７−ヒドリキシ−５−メチル−１，３，４−トリアザインドリジン等を挙げることが出来る。これらの中では、キナルジン酸およびベンゾトリアゾールを好ましく用いることが出来る。
【００１２】
第２の錯体化剤は、銅と水難溶性ないし水可溶性錯体を形成し、錯体形成後に１個以上の配位子を余すヘテロ環化合物を含有する。このようなヘテロ環化合物は、複数の配位子のうちの１個以上がＣｕと結合せず、余っている。このようなヘテロ環化合物としては、キノリン酸（ピリジン−２，３−ジカルボン酸）、ニコチン酸（ピリジン−３−ジカルボン酸）、シンコメロン酸（ピリジン−３，４−ジカルボン酸）、ピリジン−２，３，４−ジカルボン酸、トリプトファン、フェニルギリシン、ビグアニド等を挙げることが出来る。
【００１３】
これらの中では、キノリン酸（ピリジン−２，３−ジカルボン酸）、ニコチン酸（ピリジン−３−ジカルボン酸）、シンコメロン酸（ピリジン−３，４−ジカルボン酸）、およびピリジン−２，３，４−ジカルボン酸を好ましく用いることが出来る。
【００１４】
なお、第１の錯体化剤をキナルジン酸とし、第２の錯体化剤をキノリン酸とし、キナルジン酸とキノリン酸の混合比率を重量比で４：６ないし６：４の範囲とすることにより、最適な効果を得ることが出来る。
【００１５】
本発明において、第１および第２の錯体化剤を構成するヘテロ環化合物は、Ｎ、Ｓ、Ｏ等のヘテロ原子を含む５員環または６員環系化合物が挙げられ、配位子としてカルボキシル基、アミノ基、スルホン基等の官能基を有するものである。
【００１６】
本発明の研磨スラリーは、上記第１および第２の錯体化剤以外に、酸化剤、研磨粒子、研磨速度促進剤、界面活性剤等を含有することが出来る。酸化剤としては、過硫酸、過硫酸アンモニウム、過酸化水素等が挙げられ、研磨粒子としては、シリカ、アルミナ、ジルコニア、セリア等が挙げられ、研磨速度促進剤としては、グリシン、アラニン等が挙げられ、界面活性剤としては、カチオン性、アニオン性、ノニオン性の種々の界面活性剤を用いることが出来る。
【００１７】
より具体的には、カチオン性、アニオン性の界面活性剤としては、ベンゼン環を含むものが好ましく、ドデシルベンゼンスルホン酸カリウム、ドデシルベンゼンスルホン酸アンモニウム等を挙げることが出来、ノニオン性の界面活性剤としては、ＨＬＢ値が２０以下のものが好ましく、アセチレンジオール系ノニオン、パーフルオロアルキルエチレンオキシド付加物等を挙げることが出来る。
【００１８】
また、本発明は、基板表面に形成された絶縁膜に、溝あるいはホール、又はそれらの組み合わせを形成する工程と、前記絶縁膜上に、前記溝及び／またはホールを埋めるように銅膜を堆積する工程と、前記銅膜を、上述の研磨スラリーを用いて研磨して、前記溝及び／またはホール内に埋め込むとともに、その外側の前記絶縁膜上の銅膜を除去する工程を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法を提供する。
【００１９】
以下、本発明の原理について説明する。
【００２０】
本発明の研磨スラリーは、銅と水不溶性錯体を形成するヘテロ環化合物を含有する第１の錯体化剤を含んでいる。この第１の錯体化剤は、研磨スラリーが被研磨体である銅面に供給されるとすぐに銅と水不溶性錯体を形成し、これが研磨に際しての保護膜として機能する。
【００２１】
また、本発明の研磨スラリーは、銅と水難溶性ないし水可溶性錯体を形成し、錯体形成後に１個以上の配位子を余すヘテロ環化合物を含有する第２の錯体化剤を含んでいる。この第２の錯体化剤は、研磨スラリーが被研磨体である銅面に供給されるとすぐに銅と水難溶性ないし水可溶性錯体を形成する。即ち、この錯体は、ヘテロ環化合物のすべての配位子がＣｕと配位結合せず、１個以上の配位子を余しており、この配位子が親水性を示すため、水難溶性ないし水可溶性錯体となるのである。
【００２２】
この水難溶性ないし水可溶性錯体は、研磨スラリー中にすぐには溶解されることはなく、上記水不溶性錯体からなる保護膜中に入り込んでいる状態となる。即ち、第１の錯体化剤および第２の錯体化剤は協動して保護膜を形成するが、この保護膜は、第２の錯体化剤のため、親水性化されている。
【００２３】
図５に、第１の錯体化剤としてキナルジン酸、第２の錯体化剤としてキノリン酸を用いた場合の、形成された錯体の化学構造を表わす化学式を示す。
【００２４】
このような研磨スラリーを用いて銅を研磨すると、銅との錯体からなる有機保護膜の存在のため、銅面にエロージョンが生ずることが防止される。また、この有機保護膜は親水性化されているため、削れカスは研磨パッドに蓄積されたり、銅面に滞留することがなく、研磨スラリー中に溶解される。そのため、研磨パッドが着色したり、銅面にキズが生じたりすることが防止される。
【００２５】
しかも、第１の錯体化剤および第２の錯体化剤がヘテロ環化合物を含有することに起因して、ヘテロ環骨格の疎水性サイト同士の物理吸着により保護膜が形成されている。このような保護膜は、メチル基あるいは直鎖の疎水性サイトで形成した保護膜の場合よりもＣｕ研磨速度が速く、かつエロージョンを小さくすることが出来る。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態としての種々の実施例について説明する。
【００２７】
実施例１
図１は、本実施例に係るＣｕダマシン配線の形成プロセスを工程順に示す断面図である。
【００２８】
まず、半導体ウエハ１００上に形成された絶縁膜１０１をパターニングして、深さ１μｍの溝１０２を形成した。次いで、溝１０２が形成された絶縁膜１０１上に、膜厚１００オングストロームのＴａＮライナ１０３を形成し、更にその上に膜厚２μｍのＣｕ膜１０４を堆積し、溝１０２内をＣｕ膜で埋めた（図１（ａ））。なお、Ｃｕ膜１０４は、最初にスパッタ法によりシード層を形成し、次いでこのシード層上に鍍金法により形成した。
【００２９】
次に、ＣＭＰによりＣｕ膜１０４を研磨し、溝１０２の外側の絶縁膜１０１上にあるＣｕ膜１０４の部分を除去した。ＣＭＰの安定性を評価するため、５０枚のウエハについて、連続して処理を行った。
研磨スラリーとしては、下記の組成のものを用いた。
【００３０】
キナルジン酸（第１の錯体化剤）：０．２ｗｔ％、
キノリン酸（第２の錯体化剤）：０．３ｗｔ％
過硫酸アンモニウム（酸化剤）：１．５ｗｔ％、
コロイダルシリカ（研磨粒子）:１ｗｔ％、
グリシン（研磨速度促進剤）：０．３ｗｔ％、
ドデシルベンゼンスルホン酸カリウム（界面活性剤）：０．０５ｗｔ％、
アセチレンジオール系ノニオン（界面活性剤）：０．１ｗｔ％
なお、その他の成分としてＫＯＨを加え、ｐＨを９．２にコントロールした水分散液とした。
【００３１】
研磨は、以下の条件の下で行った。
流量：３００ｃｃ/ｍｉｎ、
研磨パッド：ＩＣ１０００（ＲＯＤＥＬ社製）、
荷重：４００ｇ/ｃｍ２、
キャリアおよびテーブルの回転数：１００ｒｐｍ
研磨時間は、テーブル電流の下降点により決定し、研磨パッドの一部がＴａＮ膜１０３に到達した時間×３０％のオーバーポリッシュをおこなった。
その結果、溝１０２内にＣｕ膜１０４が埋め込まれた図１（ｂ）に示す構造が得られた。
【００３２】
比較例として、キノリン酸を含まず、キナルジン酸を０．５ｗｔ％含むことを除いて実施例１で用いたのと同様の研磨スラリーを用い、実施例１と同一の研磨条件によりＣｕ膜１０４を研磨した。
【００３３】
図２に、実施例１および比較例について、研磨時間と処理したウエハ枚数の関係を示す。図２から、錯体化剤としてキナルジン酸のみを含む系の研磨スラリーを用いた比較例では、ウエハ１０枚目から徐々に研磨時間が増加していく傾向にあることがわかる。これに対し、錯体化剤としてキナルジン酸とキノリン酸とを併用した系の研磨スラリーを用いた実施例１では、５０枚全てのウエハについて、一定の研磨時間で処理できることがわかる。
【００３４】
また、ウエハ表面の欠陥を観察し、評価した結果、比較例では１００個／ウエハのキズ゛があったのに対し、実施例１では０個／ウエハと改善された。実施例１では、コロージョン(腐食)も観測されなかった。
【００３５】
更に、比較例の場合、研磨パッドは青色に着色した。これは、Ｃｕ錯体の削れカスがパッド上に蓄積されていることを示している。これに対し、実施例１では、研磨パッドは無色であった。これは、削れカスが研磨スラリー中に溶解され、研磨パッド外への排出がスムーズ゛に行なわれたためと考えられる。
【００３６】
なお、キナルジン酸の量を０にし、キノリン酸のみ（０．５ｗｔ％）の錯体化剤を用いた場合には、親水性Ｃｕ錯体のみが形成されるため、保護膜は研磨スラリー中に溶解してしまい、エロージョンが生じてしまう。
【００３７】
次に、キナルジン酸とキノリン酸の混合比率を変化させて、Ｃｕの研磨速度およびエロージョンを測定した。また、ウエハのスクラッチの有無、研磨パッドの着色、研磨速度の安定性、保護膜の溶解性を観察した。これらを総合的に考慮した結果、図３に示すように、キナルジン酸とキノリン酸の混合比率は、２：８〜８:２の範囲が好ましいことがわかった。
【００３８】
このように、キナルジン酸とキノリン酸の混合比率を２：８〜８:２の範囲とすることにより、Ｃｕの研磨速度が１０００ｎｍ/ｍｉｎ以上であり、エロージョン（配線幅５０μｍ）が＜３０ｎｍであり、しかも研磨安定性に優れ、ウエハ面に欠陥を生じさせない高性能の研磨を行うことが出来た。
【００３９】
最後に、ＴａＮライナ１０３の絶縁膜１０１上の部分を研磨により除去して、溝１０２内にＣｕ膜１０４が埋め込まれた図１（ｃ）に示す構造のＣｕダマシン配線を得た。
【００４０】
ＴａＮライナ１０３の除去には、研磨スラリとしてＣＭＳ８３０１（ＪＳＲ社）を用いた。研磨条件は下記の通りである。
【００４１】
スラリー流量：２００ｃｃ/ｍｉｎ、
研磨パッド：ＩＣ１０００（ＲＯＤＥＬ社）、
荷重：２００ｇ／ｃｍ２、
キャリアおよびテーブルの回転数：ともに１００ｒｐｍ、
研磨時間：２分間。
【００４２】
実施例２
研磨スラリーの供給方法を２液法で行ったことを除き、実施例１と同様にしてＣｕ膜の研磨を行い、Ｃｕダマシン配線を形成した。
【００４３】
研磨スラリーに含まれる酸化剤としては、通常、酸化力の高い過硫酸や過酸化水素等が用いられるが、これらは、他のスラリー成分、例えば錯体化剤を酸化し、分解してしまう場合がある。
【００４４】
従って、本実施例では、酸化剤の含まれる溶液と、酸化剤により分解され得るスラリー成分を含む溶液とを分離し、研磨直前に混合して用いた。
【００４５】
即ち、実施例１で用いた研磨スラリーを、酸化剤（過硫酸アンモニウム）含有溶液２００と、その他の成分を含む溶液２０１とに分け、図４に示すようなＦ字型の２液供給ノズルを用い、両者をそれぞれ別々のノズル２０２,２０３に導入し、被研磨体に供給する直前に合流させて混合スラリー２０５とし、単一の供給ノズル２０４からＣｕ膜に供給した。このようにして、酸化剤により他の成分が分解されることなく、研磨スラリーの供給を行うことが出来た。
【００４６】
なお、キナルジン酸のような疎水性錯体化剤は、水中での溶解度が低いので、酸化剤含有溶液と混合しても、直ぐには混じり合わず、安定した研磨性能を発揮することは困難である。これに対し、本発明では、キノリン酸のような親水性サイトの多い錯体化剤を併用しているので、供給直前に合流させても速やかに混じり合い、安定した研磨性能を発揮することが出来る。
【００４７】
即ち、図４に示すＦ字型の２液供給ノズルを用い、錯体化剤としてキナルジン酸のみを含む研磨スラリーを供給し、研磨したところ、全く削れないという研磨異常が頻発した。これに対し、錯体化剤としてキナルジン酸とキノリン酸とを併用した系の研磨スラリーを用いた実施例２では、このような異常はみられず、１液で供給した時と同様の研磨安定性および研磨性能が得られた。
【００４８】
実施例３
研磨スラリーとして以下の組成のものを用いたことを除いて、実施例１と同様の条件でＣｕ膜を研磨した。
【００４９】
ベンゾトリアゾール（第１の錯体化剤）：０．０５ｗｔ％、
ピリジン−２,３,４−トリカルボン酸（第２の錯体化剤）：０．２ｗｔ％
過硫酸アンモニウム（酸化剤）：２ｗｔ％、
コロイダルシリカ（研磨粒子）：１ｗｔ％、
アラニン（研磨速度促進剤）：０．４ｗｔ％、
ドデシルベンゼンスルホン酸カリウム（界面活性剤）：０．０５ｗｔ％、
アセチレンジオール系ノニオン（界面活性剤）：０．１ｗｔ％、
なお、その他の成分としてＫＯＨを加え、ｐＨを９にコントロールした水分散液とした。
【００５０】
その結果、Ｃｕの研磨速度が１０００ｎｍ/ｍｉｎであり、エロージョン（配線幅５０μｍ）が＜３０ｎｍであり、しかも研磨安定性に優れ、ウエハ面に欠陥を生じさせない高性能の研磨を行うことが出来た。
【００５１】
以上の実施例では、第１の錯体化剤としてキナルジン酸およびベンゾトリアゾールを用い、第２の錯体化剤としてキノリン酸およびピリジン−２,３,４−トリカルボン酸を用いたが、本発明はこれに限らず、種々のヘテロ環化合物を用いても、本発明の効果を得ることが可能である。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳説したように、本発明によれば、研磨速度が速く、エロージョンが生ずることが防止出来、しかも研磨安定性に優れ、ウエハ面に欠陥を生じさせない高性能の研磨を行うことを可能とする銅のＣＭＰ用研磨スラリーが提供される。また、この研磨スラリーを用いることにより、Ｃｕダマシン配線を備えた半導体装置を精度よく製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施態様に係るＣｕダマシン配線の形成プロセスを工程順に示す断面図。
【図２】実施例１および比較例についての研磨時間と処理したウエハ枚数の関係を示す特性図。
【図３】キナルジン酸とキノリン酸の混合比率を変化させて、Ｃｕの研磨速度およびエロージョンを測定した結果を示す特性図。
【図４】本発明の他の実施形態に係るＦ字型の供給ノズルを用いた２液供給方法を示す図。
【図５】本発明の研磨スラリーを用いた研磨に際し形成された保護膜を構成するＣｕ錯体の化学式を示す図。
【符号の説明】
１００・・・半導体ウエハ
１０１・・・絶縁膜
１０２・・・溝
１０３・・・ＴａＮライナ
１０４・・・Ｃｕ膜
２００・・・酸化剤（過硫酸アンモニウム）含有溶液
２０１・・・その他の成分を含む溶液
２０２，２０３，２０４・・・供給ノズル
２０５・・・混合スラリー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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