(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フイルムを移載搬送する移載搬送装置において、
単数又は複数の吸着穴が穿設された第１の保持部材と、
上記第１の保持部材と上記フイルムを挟み込むようにして保持する第２の保持部材と、
上記第１の保持部材を吸着保持すると共に、上記フイルムを上記吸着穴を介して上記第１の保持部材の一面側に吸着保持する吸着保持手段と、
上記フイルムを挟み込むようにして保持した上記第１の保持部材と上記第２の保持部材とを一体に次工程へ搬送する搬送手段と
を具え、上記吸着保持手段は、上記フイルムを上記吸着穴を介して上記第１の保持部材の上記一面側に吸着保持した後、上記第１の保持部材の上記一面側を上記第２の保持部材の一面側に載置する
ことを特徴とする移載搬送装置。
【請求項２】
上記第１の保持部材は、
上記一面のうち上記フイルムが吸着保持される領域の少なくとも一部の領域に、上記第２の保持部材の上記一面より摩擦係数が大きい吸着領域
を具えることを特徴とする請求項１に記載の移載搬送装置。
【請求項３】
上記第１の保持部材は、
上記一面のうち上記フイルムが吸着保持される領域の少なくとも一部の領域に、弾性体が取り付けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の移載搬送装置。
【請求項４】
上記第１の保持部材の上記吸着穴は、
上記フイルムの形状に応じた領域に穿設されている
ことを特徴とする請求項１に記載の移載搬送装置。
【請求項５】
フイルムを移載搬送する移載搬送方法において、
単数又は複数の吸着穴が穿設された第１の保持部材を吸着保持すると共に、上記第１の保持部材の上記吸着穴を介して上記フイルムを上記第１の保持部材の一面側に吸着保持し、
上記第１の保持部材の上記一面側を上記第２の保持部材の一面側に載置することにより、上記フイルムを上記第１の保持部材の上記一面と上記第２の保持部材の上記一面との間に挟み込むように保持し、
上記フイルムを挟み込むようにして保持した上記第１の保持部材と上記第２の保持部材とを一体に次工程へ搬送する
ことを特徴とする移載搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【目次】
以下の順序で本発明を説明する。
発明の属する技術分野
従来の技術
発明が解決しようとする課題
課題を解決するための手段
発明の実施の形態（図１〜図６）
発明の効果
【０００２】
【発明の属する技術分野】
本発明は移載搬送装置及び移載搬送方法に関し、例えば所定の回路パターンが形成されたフイルムを複数の工程で加工する際に、当該フイルムを次工程へ搬送する際の移載搬送装置及び移載搬送方法に適用して好適なものである。
【０００３】
【従来の技術】
従来、この種のフイルムは、ロール材に巻き付けられており、ロール材から取り外されてプレス加工されて所定の形状に打ち抜かれた後、所定のフイルム収納容器に収納される。このプレス加工されて打ち抜かれたフイルムを次工程へ搬送する１つの方法として、作業者がフイルム収納容器に収納されたフイルムを１枚ずつ別のフイルム収納容器に整列させて収納し直して次工程へ運ぶ方法がある。
【０００４】
またフイルムを次工程へ搬送する他の方法として、フイルムを次工程へ搬送する移載搬送装置を設置し、当該移載搬送装置に設けられた吸着手段にフイルムを吸着させた状態で次工程へ搬送する方法や、フイルムを位置決めピンに串刺しにして固定した状態で次工程へ搬送する方法がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところでこの種のフイルムを加工する各工程においては、最初の工程におけるフイルムの位置を基準位置として各工程におけるフイルムの位置が設定されているため、ある工程から次工程へフイルムを搬送する際には、フイルムの位置をずらすことなく、すなわち各工程間におけるフイルムの位置関係をずらすことなく次工程へ搬送する方が各工程においてその都度フイルムの位置を位置決めする必要がなくなるので、作業効率を大幅に向上させることができると考えられる。またフイルムの厚さが例えば50〔μｍ〕以下のような極薄フイルムを加工する場合には、フイルム搬送時にフイルムが変形するおそれがあるので、フイルムの形状を変形させることなく次工程へ搬送する必要がある。
【０００６】
ところが上述のように人手によつてフイルムを搬送する方法では、作業が煩雑になるため作業時間が増大すると共に、フイルムの位置を基準位置に保持した状態で次工程へ搬送することが極めて困難であるため各工程においてフイルムの位置を基準位置に位置決めし直す必要があり、この結果、製品の歩留りを向上させることが極めて困難であつた。
【０００７】
また吸着手段によつてフイルムを吸着保持した状態で次工程へ搬送する方法では、各工程間においては前工程から搬送されるフイルムを連続的に処理（以下、これを各工程間における処理の連続性と呼ぶ）する必要があるため、次工程のマシンが何らかの理由で停止した場合には、各工程におけるマシンを全て停止させなければならず、製品の生産性を向上させる上での制約となるおそれがあつた。
しかもフイルムを吸着手段に吸着させたままの状態で、停止したマシンが作動するまでの間待機しなければならず、この待機時間中にフイルムに対してなんらかの外力が与えられる可能性が高くなるため、吸着したフイルムが変形したりフイルムの位置がずれるおそれがあつた。
【０００８】
この場合、各工程にフイルム収納容器を設けることで、各工程におけるマシンを停止させることを回避することが考えられるが、フイルム収納器にフイルムを収納する方法は、上述の人手によつてフイルムを搬送する方法と同様の問題が発生する。
【０００９】
また吸着手段によつてフイルムを吸着保持した状態で次工程へ搬送する方法では、１つのフイルムを次工程へ搬送した後、吸着手段を前工程へ戻して次のフイルムを吸着保持して次工程へ搬送しなければならないため、１つのフイルムを次工程へ搬送してから次のフイルムを次工程へ搬送するまでの時間が長大化し、このため製品の生産性を向上させる上での制約となるおそれがあつた。
【００１０】
またフイルムを位置決めピンに串刺しにして次工程へ搬送する方法の場合にも、搬送中に発生する風圧等によつてフイルムが変形するおそれがあると共に、フイルムを変形させずにフイルムに位置決めピン用の穴を形成することは極めて困難であつた。さらに打ち抜かれたフイルムの形状が複雑な場合には、フイルム収納容器を設けてもフイルムの形状を変形させずに保管することが極めて困難であつた。
【００１１】
従つてフイルムを変形させず、かつフイルムの位置をずらすことなくフイルムを次工程へ搬送し、各工程における処理の連続性を確保することができれば、製品の歩留り及び生産性を大幅に向上させることができると考えられる。
【００１２】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、製品の歩留り及び生産性を格段的に向上し得る移載搬送装置及び移載搬送方法を提案しようとするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため本発明においては、単数又は複数の吸着穴が穿設された第１の保持部材を吸着保持すると共に、第１の保持部材の吸着穴を介してフイルムを第１の保持部材の一面側に吸着保持し、第１の保持部材の一面側を第２の保持部材の一面側に載置することにより、フイルムを第１の保持部材の一面と第２の保持部材の一面との間に挟み込むように保持し、フイルムを挟み込むよう保持した第１の保持部材と第２の保持部材とを一体に次工程へ搬送する。
【００１４】
フイルムの移載時においてフイルムは常に第１の保持部材によつて吸着保持され、フイルム搬送時においてフイルムは常に第１の保持部材及び第２の保持部材に保持されるので、フイルムの移載時及び搬送時においてフイルムの位置ずれ及びフイルムの変形を確実に防止することができる。
またフイルムを挟み込むようにして保持した第１の保持部材と第２の保持部材とを一体に次工程へ搬送するようにしたので、各工程間における処理の連続性を確保することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。
【００１６】
図１において、１は全体として移載搬送装置を示し、フイルム供給部２は内部に設置されたプレス機（図示せず）によつて、ロール材に巻き付けられた所定の回路パターンが形成された厚さ25〔μｍ〕の１枚の原フイルムから所定形状でなるフイルム３を打ち抜く。この場合、フイルム供給部２は、プレス機によつて原フイルムから所定形状でなるフイルム３を打ち抜く際、フイルム３に相当する原フイルムの領域を吸引チヤツク４によつて吸着した状態でプレス機によつて打ち抜くようになされている。
【００１７】
フイルム供給部２は、吸引チヤツク４を移動させて吸引チヤツク４に吸着されたフイルム３をインデクステーブル５上に設けられたフイルム載置台６に載置する。このインデクステーブル５上には４つのフイルム載置台６が等間隔に設けられており、インデクステーブル５は、吸引チヤツク４によるフイルム３の受け渡し位置にフイルム載置台６が位置決めされるように回転する。
【００１８】
図２に示すように、各フイルム載置台６にはそれぞれ複数の吸引穴６Ａが設けられており、各フイルム載置台６は所定の吸引手段（図示せず）によつて吸気することによりフイルム３を吸着面６Ｂに吸着する。
実際上、このインデクステーブル５上においてはフイルム３を排出するまでの間に当該フイルム３に対して２次加工（図示せず）が行なれわる。
【００１９】
インデクステーブル５を介してフイルム供給部２と対向する側には、Ｘ軸方向に沿つてコンベア７及びコンベア８が平行に配置されており、これらコンベア７及び８はプラテン９を搬送する。
図３に示すように、プラテン９は板状でなるプラテンベース１０と当該プラテンベース１０上に位置決めされる板状でなるプラテン蓋１１より構成されている。このプラテン９は、フイルム３をプラテンベース１０とプラテン蓋１１との間に挟み込んでフイルム３を位置決め保持するようになされている。
【００２０】
プラテンベース１０には、当該プラテンベース１０を位置決めするための位置決め穴１０Ａ及び１０Ｂが形成されていると共に、プラテンベース１０に対してプラテン蓋１１を位置決めするための位置決めピン１０Ｃ及び１０Ｄが設けられている。
プラテン蓋１１はプラテンベース１０より小さくかつフイルム３より大きく形成されており、位置決め穴１１Ａ及び１１Ｂが形成されている。またプラテン蓋１１にはプラテンベース１０の位置決めピン１０Ｃ及び１０Ｄに対応した位置に位置決め穴１１Ｃ及び１１Ｄが形成されており、当該位置決め穴１１Ｃ及び１１Ｄにそれぞれプラテンベース１０の位置決めピン１０Ｃ及び１０Ｄを嵌合させることにより、プラテンベース１０に対してプラテン蓋１１を位置決めし得るようになされている。
【００２１】
またプラテン蓋１１のプラテンベース１０に対向する面にはプラテンベース１０よりフイルム３に対して摩擦係数の大きい厚さ１〜２〔mm〕のゴムシート１２が貼り付けられており、これによりプラテン蓋１１とプラテンベース１０との間にフイルム３を挟み込んだ際に、プラテン蓋１１に対するフイルム３の位置ずれを防止してフイルム３の位置の基準をプラテン蓋１１側に規定し得るようになされている。このゴムシート１２には、プラテン蓋１１の位置決め穴１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ及び１１Ｄに対応した位置にニゲ穴１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ及び１２Ｄが設けられている。
またプラテン蓋１１及びゴムシート１２には、それぞれフイルム３の形状に応じた領域に複数のフイルム吸着用穴１１Ｅ及びフイルム吸着用穴１２Ｅが形成されている。
【００２２】
コンベア７及び８を介してフイルム供給部２と対向する側には、第１のフイルム移載部１３が設置されていると共に、これらコンベア７及び８の次工程側にはマシン１４が配置されている。またコンベア７のインデクステーブル５が配置されている側のマシン１４近傍に第２のフイルム移載部１５が配置されている。
これら第１及び第２のフイルム移載部１３及び１５は、それぞれＸ軸テーブル１６及び１７によつてＸ軸方向に沿つて移動する。
【００２３】
また第１及び第２のフイルム移載部１３及び１５は、それぞれＸ軸テーブル１６及び１７上に設けられたシリンダ機構１８及び１９のシリンダ軸１８Ａ及び１９Ａによつてアーム２０及び２１をＺ方向に移動させる。またこれらアーム２０及び２１には当該アーム２０及び２１をレールとしてＹ軸方向に沿つて移動するフイルム吸着部２２及び２３が設けられている。
かくしてフイルム吸着部２２及び２３はＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動することができるようになされている。
【００２４】
図２に示すように、フイルム吸着部２２及び２３にはそれぞれプラテン蓋用吸引手段２４及びフイルム用吸引手段２５が設けられている。
プラテン蓋用吸引手段２４は複数の吸引路２４Ａを有し、これら吸引路２４Ａの各吸引口２４Ｂはフイルム吸着部２２及び２３の吸着面２２Ａ及び２３Ａに形成されていると共に、プラテン蓋１１のフイルム吸着用穴１１Ｅが設けられていない位置に対応した位置に形成されている。
【００２５】
フイルム用吸引手段２５は複数の吸引路２５Ａを有し、これら吸引路２５Ａの各吸引口２５Ｂはフイルム吸着部２２及び２３の吸着面２２Ａ及び２３Ａに形成されていると共に、プラテン蓋１１のフイルム吸着用穴１１Ｅが設けられている位置に対応した位置に形成されている。
かくしてフイルム吸着部２２及び２３は吸着面２２Ａ及び２３Ａにプラテン蓋１１を吸着保持した状態で、フイルム用吸引手段２５を動作させることにより、フイルム３をゴムシート１２に吸着保持し得るようになされている。
【００２６】
またフイルム吸着部２２及び２３の吸着面２２Ａ及び２３Ａにはそれぞれ位置決めピン２６Ａ及び２６Ｂが設けられており、プラテン蓋１１を吸着保持する際、当該位置決めピン２６Ａ及び２６Ｂをそれぞれプラテン蓋１１の位置決め穴１１Ａ及び１１Ｂに嵌合させることにより、プラテン蓋１１に対してフイルム吸着部２２及び２３を位置決めし得るようになされている。
ここでプラテン蓋１１に対してフイルム吸着部２２及び２３を位置決めした際、フイルム吸着部２２及び２３の吸引口２５Ｂは、プラテン蓋１１の対応するフイルム吸着用穴１１Ｅに位置決めされるようになされている。
【００２７】
図１及び図４に示すように、コンベア７とコンベア８との間の第１のフイルム移載部１３側及び第２のフイルム移載部１５側に、それぞれ同様の構成でなる第１のプラテン位置決め部２７及び第２のプラテン位置決め部２８が設けられている。図５に示すように、第１及び第２のプラテン位置決め部２７及び２８はシリンダ２９の駆動軸２９Ａによつて上下動する上下動部材３０が設けられている。
【００２８】
この上下動部材３０の上面３０Ａには、プラテンベース１０の位置決め穴１０Ａ及び１０Ｂに対応した位置に位置決めピン３１Ａ及び３１Ｂが設けられている。従つて第１の移動手段（図示せず）及び第２の移動手段（図示せず）によつてそれぞれプラテン９がプラテン位置決め部２７及び２８に移動されたとき、第１及び第２のプラテン位置決め部２７及び２８は上下動部材３０を上昇させて位置決めピン３１Ａ及び３１Ｂをそれぞれプラテンベース１０の位置決め穴１０Ａ及び１０Ｂに嵌合させてプラテンベース１０を位置決めする。
【００２９】
図１に示すように、コンベア７は第１のプラテン位置決め部２７から第１の移動手段によつて移載されたプラテン９を次工程のマシン１４側に搬送し、マシン１４のフイルム搬入位置までプラテン９を搬送する。またコンベア７の終端部にはストツパ７Ａが設けられており、このストツパ７Ａにプラテン９が当接することによりプラテン９を停止させる。この場合、コンベア７のベルト（図示せず）はプラテン９の下面を滑動するようになされており、これによりコンベア７によつて順次搬送されるプラテン９を複数個並べて待機させることができるようになされている。
【００３０】
コンベア８は第２のプラテン位置決め部２８から第２の移動手段（図示ぜす）によつて移載されたプラテン９を第１のフイルム移載部１３側の所定の位置まで搬送する。コンベア８の終端部にはストツパ８Ａ（図４）が設けられており、このストツパ８Ａにプラテン９が当接することによりプラテン９を停止させる。この場合、コンベア８のベルト（図示せず）はプラテン９の下面を滑動するようになされており、これによりコンベア８によつて順次搬送されるプラテン９を複数個並べて待機させることができるようになされている。
【００３１】
ここでこの移載搬送装置１におけるフイルム３の移載搬送方法について説明する。なおこの実施例の場合、フイルム載置台６に吸着された状態でのフイルム３の位置をフイルム３の基準位置とする。
【００３２】
この移載搬送装置１では、まずフイルム供給部２において所定の形状に打ち抜かれたフイルム３を吸引チヤツク４の吸着面に吸着させてその吸着面をフイルム載置台６の吸着面６Ｂに押し当てる。続いて移載搬送装置１は、フイルム載置台６に吸引動作を開始させた後、吸引チヤツク４の吸引動作を停止させることにより、フイルム載置台６の吸着面６Ｂにフイルム３を吸着保持させる。これにより、原フイルムからフイルム３を打ち抜いてフイルム載置台６にフイルム３を吸着させるまでにフイルム３の位置がずれることを防止することができる。
【００３３】
続いて移載搬送装置１は、第１の移動手段によつて第１のプラテン位置決め部２７に位置決めされているプラテン９までフイルム吸着部２２を移動させた後、フイルム吸着部２２をＺ軸方向に沿つて下降させてフイルム吸着部２２の位置決めピン２６Ａと位置決めピン２６Ｂとをそれぞれプラテン蓋１１及びゴムシート１２の位置決め穴１１Ａ及びニゲ穴１２Ａと位置決め穴１１Ｂ及びニゲ穴１２Ｂとに嵌合させることにより、フイルム吸着部２２をプラテン蓋１１に対して位置決めする。
【００３４】
続いて移載搬送装置１は、フイルム吸着部２２のプラテン蓋用吸引手段２４を動作させて吸引路２４Ａを介して吸気させ、フイルム吸着部２２の吸着面２２Ａにプラテン蓋１１を吸着させた後、フイルム吸着部２２をＺ軸方向に沿つて上昇させると共にインデクステーブル５側に移動させてフイルム載置台６の上方に移動させる。次いで移載搬送装置１は、フイルム吸着部２２をＺ軸方向に沿つて下降させてプラテン蓋１１のゴムシート１２をフイルム載置台６に吸着されているフイルム３に押し当てる。
【００３５】
次いで移載搬送装置１は、フイルム吸着部２２のフイルム用吸引手段２５を動作させて吸引路２５Ａを介して吸気させた後、フイルム載置台６による吸引動作を停止させてゴムシート１２にフイルム３を吸着させる（図２）。これによりフイルム３の位置を基準位置に対してずらすことなくフイルム載置台６からプラテン蓋１１にフイルム３を移載することができる。
【００３６】
続いて移載搬送装置１は、フイルム吸着部２２をＺ軸方向に沿つて上昇させて第１のプラテン位置決め部２７まで移動させた後、フイルム吸着部２２をＺ軸方向に沿つて下降させて、プラテン蓋１１及びゴムシート１２の位置決め穴１１Ｃ及びニゲ穴１２Ｃと位置決め穴１１Ｄ及びニゲ穴１２Ｄとにそれぞれプラテンベース１０の位置決めピン１０Ｃと位置決めピン１０Ｄとを嵌合させる。これによりプラテンベース１０に対してプラテン蓋１１を位置決めし得ると共に、プラテンベース１０とプラテン蓋１１との間にフイルム３を挟み込むようにしてフイルム３を保持することができる。
【００３７】
次いで移載搬送装置１は、フイルム吸着部２２のプラテン蓋用吸引手段２４及びフイルム用吸引手段２５による吸引動作を停止させる。この後、移載搬送装置１は、第１のプラテン位置決め部２７の上下動部材３０をＺ軸方向に沿つて下降させると共に、第１の移動手段によつてプラテン９をコンベア７に移載する。このとき、コンベア７は作動しているのでプラテン９はコンベア７によつてマシン１４のフイルム搬入位置まで搬送される。また第１のフイルム移載部９は次のフイルム３をプラテン９に保持させる指令が移載搬送装置１から送られてくるまで所定の位置で待機している。
【００３８】
移載搬送装置１は、コンベア７によつて搬送されたプラテン９を第２の移動手段によつて第２のプラテン位置決め部２８に移載し、第２のプラテン位置決め部２８にプラテン９を位置決めさせる。次いで移載搬送装置１は、第２のフイルム移載部１５のフイルム吸着部２３を第２のプラテン位置決め部２８まで移動させた後、フイルム吸着部２２をＺ軸方向に沿つて下降させてフイルム吸着部２３の位置決めピン２６Ａと位置決めピン２６Ｂとを、それぞれプラテン蓋１１及びゴムシート１２の位置決め穴１１Ａ及びニゲ穴１２Ａと位置決め穴１１Ｂ及びニゲ穴１２Ｂとに嵌合させる。
【００３９】
続いて移載搬送装置１は、フイルム吸着部２３のプラテン蓋用吸引手段２４及びフイルム用吸引手段２５を動作させてフイルム吸着部２３の吸着面２３Ａにプラテン蓋１１を吸着させた状態でゴムシート１２にフイルム３を吸着させた後、プラテン蓋１１をマシン１４のフイルム移載位置（図示せず）まで移動させる。次いで移載搬送装置１はフイルム用吸引手段２５の吸引動作を停止させてフイルム３をマシン１４のフイルム移載位置に移載した後、フイルム吸着部２３を第２のプラテン位置決め部２８まで移動させる。続いて移載搬送装置１は、フイルム吸着部２３をＺ軸方向に沿つて下降させてプラテン蓋１１をプラテンベース１０に位置決めさせた後、プラテン蓋用吸引手段２４の吸引動作を停止させる。
【００４０】
次いで移載搬送装置１は、第２の移動手段によつてプラテン９（フイルム３は保持していない）をコンベア８に移載させる。このときコンベア８は作動しているので、プラテン９はコンベア８によつてフイルム供給部２側まで搬送され、ストツパ８Ａによつて停止される。この後、移載搬送装置１は、所定のタイミングで第１の移動手段によつてプラテン９を第１のプラテン位置決め部２７に移載させた後、第１のプラテン位置決め部２７の上下動部材３０を上昇させて上下動部材３０の位置決めピン３１Ａ及び３１Ｂをそれぞれプラテンベース１０の位置決め穴１０Ａ及び１０Ｂに嵌合させることにより、プラテンベース１０を位置決めする。
以上がフイルム３を次工程まで搬送するまでの移載搬送装置１における移載搬送動作であり、上述の動作が繰り返される。
【００４１】
以上の構成において、この移載搬送装置１では、フイルム載置台６からフイルム３を受け取る場合には、プラテン蓋用吸引手段２４を動作させてフイルム吸着部２２の吸着面２２Ａにプラテン蓋１１を吸着保持した後、フイルム用吸引手段２５を動作させてプラテン蓋１１のゴムシート１２にフイルム３を吸着保持し、フイルム３をマシン１４のフイルム移載位置に移載する際には、プラテン蓋用吸引手段２４及びフイルム用吸引手段２５を動作させてフイルム吸着部２３の吸着面２３Ａにプラテン蓋１１を吸着保持すると共に、ゴムシート１２にフイルム３を吸着保持した後、フイルム移載位置においてフイルム用吸引手段２５を停止させることによりフイルム３をマシン１４のフイルム移載位置に移載する。
従つてこの移載搬送装置１では、フイルム３の移載時においてフイルム３の位置ずれ及び変形を確実に防止することができる。
【００４２】
またこの移載搬送装置１では、フイルム３を吸着保持したプラテン蓋１１の位置決め穴１１Ｃ及び１１Ｄにプラテンベース１０の位置決めピン１０Ｃ及び１０Ｄをそれぞれ嵌合させてプラテンベース１０に対してプラテン蓋１１を位置決めすると共にプラテンベース１０とプラテン蓋１１との間にフイルム３を挟み込むように保持した状態で、フイルム３を次工程へ搬送するようにしたので、フイルム３を次工程へ搬送する際に、フイルム３の位置がずれたり、フイルム３が変形することを確実に防止することができる。
【００４３】
またこの移載搬送装置１では、プラテンベース１０とプラテン蓋１１との間にフイルム３を挟み込むように保持した状態でプラテン９をコンベア７によつて次工程へ搬送するようにしたことにより、各工程間における処理の連続性を確保することができる。
また次工程のマシン１４が停止した場合でも、図１にはプラテン９が４個しか図示していないが、実際には多数あるため、マシン１４に対して上流にあるマシンは作業を継続することができる。またその逆にマシン１４に対して上流にあるマシンが停止した場合でも次工程のマシン１４は作業を継続することができる。またフイルム３はプラテン９に保持されているので、待機時間中にプラテン９に対して外力が与えられた場合でもフイルム３の位置ずれ及びフイルム３の変形を確実に防止することができる。
【００４４】
またこの移載搬送装置１では、プラテン蓋１１に取り付けたゴムシート１２にフイルム３を吸着保持したことにより、フイルム３を極めて密着した状態で吸着保持することができるので、フイルム３の位置ずれ及びフイルム３の変形を一段と確実に防止することができる。
またこの移載搬送装置１では、プラテン蓋１１にゴムシート１２を貼り付けてプラテンベース１０とゴムシート１２との間にフイルム３を挟み込んでフイルム３を保持したことにより、プラテン蓋１１の位置決め穴１１Ｃ及び１１Ｄがプラテンベース１０の位置決めピン１０Ｃ及び１０Ｄに対して遊びがあつてプラテン蓋１１とプラテンベース１０との間において相対的な位置ずれが発生しても、プラテンベース１０よりもゴムシート１２の方が摩擦係数が大きいので、フイルム３とプラテン蓋１１の相対関係は一定に保たれ、プラテン蓋１１に対するフイルム３の位置ずれを一段と防止することができる。
【００４５】
またこの移載搬送装置１では、フイルム３をプラテン９に保持した状態でコンベア７によつてプラテン９を次工程へ搬送すると共に、コンベア７及び８にそれぞれストツパ７Ａ及び８Ａを設けたことにより、フイルム３を保持したプラテン９を複数個コンベア７上に待機させることができるので、１つのフイルム３を次工程へ搬送してから次のフイルム３を次工程へ搬送するまでの時間を大幅に短縮することができる。
【００４６】
またこの移載搬送装置１では、フイルム３をプラテンベース１０とプラテン蓋１１との間に挟み込むようにしてフイルム３を保持したので、フイルム３をプラテン９として保管することができると共に、フイルム３の形状に依存することなく、かつフイルム３を変形させずに保管することができる。
さらにこの移載搬送装置１では、プラテン蓋１１及びゴムシート１２のフイルム３の形状に応じた領域にフイルム吸着用穴１１Ｅ及び１２Ｅを設けると共に、各吸引路２５Ａの吸引口２５Ｂをこれらフイルム吸着用穴１１Ｅに対応した位置に設けたことにより、フイルム用吸引手段２５の吸引効率を向上させることができると共にフイルム３を確実に吸着保持することができる。
【００４７】
以上の構成によれば、フイルム吸着部２２の吸着面２２Ａにプラテン蓋１１を吸着保持した後、プラテン蓋１１に貼り付けられたゴムシート１２にフイルム３を吸着保持し、フイルム３を吸着保持したプラテン蓋１１の位置決め穴１１Ｃ及び１１Ｄにプラテンベース１０の位置決めピン１０Ｃ及び１０Ｄをそれぞれ嵌合させてプラテンベース１０に対してプラテン蓋１１を位置決めすると共に、プラテンベース１０とプラテン蓋１１との間にフイルム１２を挟み込むようにして保持した状態で、プラテン９を次工程へ搬送したことにより、フイルム３の移載時及び搬送時においてフイルム３の位置ずれ及び変形を確実に防止し得ると共に、各工程間における処理の連続性を確保することができる。
かくしてフイルムの歩留り及び生産性を格段的に向上し得る移載搬送装置及び移載搬送方法を実現することができる。
【００４８】
なお上述の実施例においては、フイルム載置台６に吸着されているフイルム３を第１のプラテン位置決め部２７に位置決めされたプラテンベース１０に移載するフイルム移載部として、フイルム移載部１３及び１５を用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、図６に示すようなフイルム移載部３０を用いてもよい。このフイルム移載部３０は全体としてＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向に沿つて移動することができるようになされている。
【００４９】
フイルム移載部３０の支持部材３１には、３つの吸着アーム３２、３３及び３４が設けられており、吸着アーム３２及び３４によつてプラテン蓋１１の側面を吸着保持すると共に、吸着アーム３３によつてプラテン蓋１１を介してフイルム３を吸着保持する。これら吸着アーム３２〜３４はそれぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に沿つて移動する。
【００５０】
この場合、フイルム移載部３０の吸着アーム３２及び３４によつてプラテンベース１０の側面を吸着保持することにより、プラテン９をプラテン位置決め部２７及び２８に移載することができるので、上述の実施例の場合のように、プラテン９をプラテン位置決め部２７及び２８へ移載するための第１及び第２の移動手段を設ける必要がなく、その分移載搬送装置１の構成を簡易化することができる。
【００５１】
また上述の実施例においては、インデクステーブル５上に４つのフイルム載置台６を設けた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、インデクステーブル５上に設けるフイルム載置台６の数を幾つにしてもよい。
また上述の実施例においては、プラテン蓋１１の大きさをプラテンベース１０より小さく形成した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、要はフイルム３より大きければプラテン蓋１１の大きさとしてこの他種々の大きさでなるプラテン蓋１１を適用し得る。
【００５２】
また上述の実施例においては、ゴムシート１２として厚さ１〜２〔mm〕のゴムシート１２を用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、ゴムシート１２の厚さとしてこの他種々の厚みのゴムシート１２を適用し得る。
また上述の実施例においては、厚さ 2.5〔μｍ〕のフイルム３に本発明を適用した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、フイルム３の厚さとしてこの他種々の数値のフイルム３にも適用し得、特に５〔μｍ〕以下の極薄フイルム３に有効である。
【００５３】
また上述の実施例においては、フイルム供給部２側及びマシン１４側にそれぞれ１台のフイルム移載部１３及び１５を設置した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、フイルム供給部２側及びマシン１４側にそれぞれ２台ずつフイルム移載部１３及び１５を設置してもよい。この場合、一方のフイルム移載部１３のフイルム吸着部２２がフイルム載置台６に吸着されているフイルム３を吸着保持してプラテン位置決め部２７へ移動中のときに、他方のフイルム移載部１３のフイルム吸着部２２がプラテン蓋１１を吸着保持してフイルム載置台６にフイルム３を受け取りに移動しているようにする。すなわちプラテンベース１０とプラテン蓋１１とを必ずしも１対１の対の関係にする必要はないということであり、一段と歩留り及び生産性を向上させることができる。
【００５４】
また上述の実施例においては、プラテン蓋１１及びゴムシート１２のフイルム３の形状に応じた領域にそれぞれフイルム吸着用穴１１Ｅ及びフイルム吸着用穴１２Ｅを設けた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、要はゴムシート１２にフイルム３を吸着保持し得れば、プラテン蓋１１及びゴムシート１２のどこにプラテン蓋吸着用穴１１Ｅ及び１２Ｅを設けてもよい。
また上述の実施例においては、プラテン蓋１１にゴムシート１２を貼り付けてゴムシート１２にフイルム３を吸着保持した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、プラテン蓋１１に直接フイルム３を吸着保持させてもよい。
【００５５】
また上述の実施例においては、本発明の移載搬送装置１をフイルム供給部２とマシン１４との間に適用した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、他の工程間にも適用することができる。
また上述の実施例においては、単数又は複数の吸着穴が穿設された第１の保持部材としてプラテン蓋１１を用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、単数又は複数の吸着穴が穿設された第１の保持部材としてこの他種々の第１の保持部材を適用し得る。
【００５６】
また上述の実施例においては、第１の保持部材とフイルムを挟み込むようにして保持する第２の保持部材としてプラテンベース１０を用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、第１の保持部材とフイルムを挟み込むようにして保持する第２の保持部材としてこの他種々の第２の保持部材を適用し得る。
【００５７】
また上述の実施例においては、第１の保持部材を吸着保持すると共に、フイルムを吸着穴を介して第１の保持部材の一面側に吸着保持する吸着保持手段として、フイルム移載部１３、１５及び３０を用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、第１の保持部材を吸着保持すると共に、フイルムを吸着穴を介して第１の保持部材の一面側に吸着保持する吸着保持手段としてこの他種々の吸着保持手段を適用し得る。
【００５８】
また上述の実施例においては、フイルムを挟み込むようにして保持した第１の保持部材と第２の保持部材とを一体に次工程へ搬送する搬送手段としてコンベア７を用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、フイルムを挟み込むようにして保持した第１の保持部材と第２の保持部材とを一体に次工程へ搬送する搬送手段としてこの他種々の搬送手段を適用し得る。
【００５９】
また上述の実施例においては、一面のうちフイルムが吸着保持される領域の少なくとも一部の領域に、第２の保持部材の一面より摩擦係数が大きい吸着領域を有する第１の保持部材として、ゴムシート１２が貼り付けられたプラテン蓋１１を用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、プラテン蓋１１のフイルム３が吸着される領域をプラテンベース１０より摩擦係数の大きい部材で形成してもよく、要はフイルム３が吸着保持される領域の少なくとも一部の領域がプラテンベース１０より摩擦係数が大きければ、第２の保持部材の一面より摩擦係数が大きい吸着領域としてこの他種々の吸着領域を適用し得る。
【００６０】
さらに上述の実施例においては、一面のうちフイルムが吸着保持される領域の少なくとも一部の領域に取り付ける弾性体としてゴムシート１２を用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、一面のうちフイルムが吸着保持される領域の少なくとも一部の領域に取り付ける弾性体として、この他種々の弾性体を用いても上述の実施例と同様の効果を得ることができる。
【００６１】
【発明の効果】
上述のように本発明によれば、単数又は複数の吸着穴が穿設された第１の保持部材を吸着保持すると共に、第１の保持部材の吸着穴を介してフイルムを第１の保持部材の一面側に吸着保持し、第１の保持部材の一面側を第２の保持部材の一面側に載置することにより、フイルムを第１の保持部材の一面と第２の保持部材の一面との間に挟み込むように保持し、フイルムを挟み込むよう保持した第１の保持部材と第２の保持部材とを一体に次工程へ搬送することにより、フイルム移載時においてフイルムを常に第１の保持部材によつて吸着保持し、フイルム搬送時においてフイルムを常に第１及び第２の保持部材に保持し得るので、フイルムの移載時及び搬送時においてフイルムの位置ずれ及びフイルムの変形を確実に防止することができる。また、各工程間における処理の連続性を確保することができる。また第１及び第２の保持部材の数を増やせば、製品の作りだめを行うことができる。
かくして製品の歩留り及び生産性を格段的に向上し得る移載搬送装置及び移載搬送方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による移載搬送装置の実施例を示す略線的斜視図である。
【図２】プラテン蓋にフイルムを吸着させる際の動作の説明に供する略線的断面図である。
【図３】プラテンの構成を示す略線的斜視図である。
【図４】プラテンがプラテン位置決め部に位置決めされている様子を示す略線的断面図である。
【図５】フイルムを吸着保持したプラテン蓋をプラテンベースに対して位置決めした様子を示す略線的断面図である。
【図６】他の実施例によるフイルム移載部の構成を示す略線的断面図である。
【符号の説明】
１……移載搬送装置、２……フイルム供給部、３……フイルム、４……吸引チヤツク、５……インデクステーブル、６……フイルム載置台、７、８……コンベア、７Ａ、８Ａ……ストツパ、９……プラテン、１０……プラテンベース、１１……プラテン蓋、１２……ゴムシート、１３、１５、３０……フイルム移載部、２２、２３……フイルム吸着部、２４……プラテン蓋用吸着手段、２５……フイルム用吸着手段、２７、２８……プラテン位置決め部、３０……上下動部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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