(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクチャンバ内のインクに振動を与え、オリフィスより前記インクを噴出させる加振部と、該加振部を保持する保持部材とを備えたインクジェット記録装置のノズルにおいて、
前記加振部は、前記振動を発生する円筒形状の圧電体と、該圧電体の軸方向端部に取り付けられ前記発生した振動を前記インクチャンバ内のインクに伝える加振部材とで構成され、さらに前記圧電体の内周面と外周面に、内面電極と外面電極とをそれぞれ独立して形成すると共に、前記内面電極に対し前記外面電極が対向しない電界未形成部を形成し、前記電界未形成部で前記加振部材を接着固定するように構成されていることを特徴とするインクジェット記録装置のノズル。
【請求項２】
請求項１において、前記加振部材は、前記保持部材に外周部を保持されたダイヤフラムであることを特徴とするインクジェット記録装置のノズル。
【請求項３】
請求項２において、前記インクチャンバに供給するインクの流路を、前記圧電体の円筒内を介し前記ダイヤフラムの中央部を貫通して設けることを特徴とするインクジェット記録装置のノズル。
【請求項４】
請求項１において、前記加振部材は、前記保持部材に設けられたシリンダに嵌められたピストンであることを特徴とするインクジェット記録装置のノズル。
【請求項５】
請求項１において、前記加振部は、前記オリフィスを備えたオリフィスプレートと、該オリフィスプレートに取り付けられ前記振動を発生する円筒形状の圧電体と、前記オリフィスプレートの内側に設けられた前記インクチャンバに前記インクを供給する流路とで構成され、前記オリフィスプレートは、前記圧電体で発生した振動を前記インクチャンバ内のインクに与えることを特徴とするインクジェット記録装置のノズル。
【請求項６】
圧電体の振動をインクチャンバ内のインクに与え、オリフィスよりインクを噴出してインク粒子を発生するノズルと、前記インク粒子を所定の記録信号に応じて帯電して偏向することにより記録媒体上に印字を行う偏向制御手段とを備えたインクジェット記録装置において、
前記ノズルは、請求項１ないし請求項５のいずれか１項記載のインクジェット記録装置のノズルであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェット記録装置及びそのノズルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、インクを常に噴出しインク粒子を発生させて印字を行う連続型インクジェット記録装置のノズルは、特開平５−２１２８６２号公報に記載されているように、噴出するインクに所定の振動を圧電体により与えることにより、インクの粒子化を行う。そして、インクの流体的共振や機械的共振を用いて、圧電体の振動を増幅するように設定されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術のノズルは、オリフィスが取り付けられたオリフィスプレートと、本体の端面に円形の凹部とを有し、その凹部に着脱可能な円環型の圧電体を設け、インク室のインクを加振している。その円環型の圧電体は電圧が印加されると軸方向に振動可能である。
【０００４】
しかしながら、上記円環型の圧電体は、軸方向振動だけでなく径方向振動も発生しており、そのためインクの粒子化が安定せず、径方向振動を除去する必要があった。また、圧電体とインクが接触しているため、圧電体の圧電性が劣化するため、所望の振動変位が得られなくなる問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、インクチャンバ内のインクを、圧電体の軸方向の振動で効率よく、かつ安定して加振できるインクジェット記録装置及びそのノズルを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明におけるインクジェット記録装置のノズルの特徴とするところは、インクチャンバ内のインクに振動を与え、オリフィスよりインクを噴出させる加振部を、振動を発生する円筒形状の圧電体と、該圧電体の軸方向端部に取り付けられ発生した振動をインクチャンバ内のインクに伝える加振部材とで構成し、さらに圧電体の内周面と外周面に、内面電極と外面電極とをそれぞれ独立して形成すると共に、内面電極に対し外面電極が対向しない電界未形成部を形成し、電界未形成部で加振部材を接着固定することにある。
【０００７】
具体的には本発明は次に掲げるノズル及び装置を提供する。◆
本発明は、インクチャンバ内のインクに振動を与え、オリフィスより前記インクを噴出させる加振部と、該加振部を保持する保持部材とを備えたインクジェット記録装置のノズルにおいて、前記加振部は、前記振動を発生する円筒形状の圧電体と、該圧電体の軸方向端部に取り付けられ前記発生した振動を前記インクチャンバ内のインクに伝える加振部材とで構成され、さらに前記圧電体の内周面と外周面に、内面電極と外面電極とをそれぞれ独立して形成すると共に、前記内面電極に対し前記外面電極が対向しない電界未形成部を形成し、前記電界未形成部で前記加振部材を接着固定するように構成されていることを特徴とするインクジェット記録装置のノズルを提供する。
【０００９】
好ましくは、前記加振部材は、前記保持部材に外周部を保持されたダイヤフラムである。
【００１０】
好ましくは、前記インクチャンバに供給するインクの流路を、前記圧電体の円筒内を介し前記ダイヤフラムの中央部を貫通して設ける。
【００１１】
好ましくは、前記加振部材は、前記保持部材に設けられたシリンダに嵌められたピストンである。
【００１２】
好ましくは、前記加振部は、前記オリフィスを備えたオリフィスプレートと、該オリフィスプレートに取り付けられ前記振動を発生する円筒形状の圧電体と、前記オリフィスプレートの内側に設けられた前記インクチャンバに前記インクを供給する流路とで構成され、前記オリフィスプレートは、前記圧電体で発生した振動を前記インクチャンバ内のインクに与える。
【００１３】
また、本発明は、圧電体の振動をインクチャンバ内のインクに与え、オリフィスよりインクを噴出してインク粒子を発生するノズルと、前記インク粒子を所定の記録信号に応じて帯電して偏向することにより記録媒体上に印字を行う偏向制御手段とを備えたインクジェット記録装置において、前記ノズルは、請求項１ないし請求項５のいずれか１項記載のインクジェット記録装置のノズルであることを特徴とするインクジェット記録装置を提供する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態例に係るインクジェット記録装置及びそのノズルを、図を用いて説明する。
【００１５】
まず、本発明の一実施の形態例に係るインクジェット記録装置の概略構成を、図１３を用いて説明する。
【００１６】
インク供給経路２１は、インク１６を貯めておくインク容器１と、インク１６を圧送する供給ポンプ２と、インク圧力を調節する調圧弁３と、インク流路の開閉を行う電磁弁４と、フィルタ５とからなり、ノズル６にインク１６を供給する。
【００１７】
ノズル６は、励振源（図示せず）に接続しており、インク１６を加振することによりインク粒子８を規則的に発生する。本実施の形態例では、６８［ｋＨｚ］で駆動する。
【００１８】
帯電電極７には、記録信号源（図示せず）が接続されており、帯電電極７に記録信号電圧を印加することによって、ノズル６より規則的に噴射するインク粒子８を帯電する。
【００１９】
上部偏向電極９には高電圧源（図示せず）が印加され、下部偏向電極１０は接地されている。そのため上部偏向電極９と下部偏向電極１０との間に静電界が形成されており、帯電したインク粒子８はその帯電量に応じて偏向され、印字が行われる。
【００２０】
インク回収経路２２は、ガタ−１１と、フィルタ１２と、回収ポンプ１４とからなり、帯電電極７で帯電されない記録に関与しないインク粒子８を回収し、インク１６を再利用するためにインク容器１へ戻す。
【００２１】
インク循環経路２３は、ノズル６から電磁弁１５を介してインク回収経路２２に至るインク流路であり、ノズル６内のインク１６をインク容器１に還流させる。
【００２２】
次に、本発明の第１の実施の形態例に係るノズルであり、かつ図１３のインクジェット記録装置に用いられるノズルを、図１を用いて説明する。
【００２３】
ノズル６は、ボディ２５と、このボディ２５の先端に取り付けたオリフィスプレート２９と、ボディ２５の基端に取り付けたベース３８によって筐体を構成する。
【００２４】
インク供給経路２１は、ボディ２５とオリフィスプレート２９に設けられ、ボディ２５に接続された継ぎ手４３を通して加圧されたインク１６を供給する。そして、インク１６は、オリフィスプレート２９に設けたインクチャンバ２７に導かれ、オリフィスプレート２９にあるオリフィス２８から噴出する。
【００２５】
オリフィスプレート２９は、ボディ２５とネジで締結されており、取り外しが可能である。そのため、オリフィスプレート２９とボディ２５のシールはＯリング３２，３３で行っている。
【００２６】
インクチャンバ２７内のインク１６に振動を与える加振部は、圧電体３１と、ダイヤフラム３０と、カウンタウェイト２６とで構成され、保持部材であるボディ２５に保持されている。
【００２７】
圧電体３１には、その一端をダイヤフラム３０に、別の一端にはカウンタウェイト２６が接着固定されている。圧電体３１は、加振部の高次の共振周波数をあげるために軽いほうがよく、変位効率を上げるために薄い方がよい。また、接着強度をあげるため接着面積が広くとれる形状とする必要がある。そのため、圧電体３１は円筒形状をしている。円筒形状であるため剛性も大きい。
【００２８】
圧電体３１には、図１１に示すように、内外面に電極が設けられている。内面側の電極５１は、内面全面と円筒部の端面５３に設けられている。また、外面電極５２は、内面電極５１との間で電気的絶縁を保つために、０．５ｍｍの間隔を持っている。
【００２９】
ダイヤフラム３０は円板形状で、ボディ２５とカラー２４にてダイヤフラム３０の外周部を挟むことにより固定されている。カラー２４は、円筒形状であり、ベース３８で押さえられている。ダイヤフラム３０とボディ２５とオリフィスプレート２９とでインクチャンバ２７を形成し、圧電体３１とインク１６とが接触しないようにしている。
【００３０】
ダイヤフラム３０の中心部には圧電体３１を固定するための凸部３０ｃがある。凸部３０ｃは圧電体３１の円筒内部に嵌められ、圧電体３１はダイヤフラム３０の凸部３０ｃで接着される。接着部は、図１１に示す圧電体３１の端部５３及び、圧電体３１に電界がかからない電界未形成部５４の内面側とし、接着剤はエポキシ系接着剤を使用するのがよい。また、銀ペーストのような導電性の接着剤を用いてもよい。
【００３１】
これは、電界がかからない電界未形成部５４では変位が発生しないため、接着部に圧電体３１の歪みにより発生する歪み応力を低減し、圧電体３１の軸方向振動の信頼性を向上させている。
【００３２】
インク１６に伝達する振動は、ダイヤフラム３０の撓み変位によるものなので、圧電体３１の軸方向振動のみとなる。またダイヤフラム３０によりインク加振面積を増加しているので、効率よくインクに振動を伝達することができる。
【００３３】
剛性と振動絶縁の観点からダイヤフラム３０の厚みは、０．５ｍｍ程度以下であればよく、本実施の形態例では０．５ｍｍとした。この結果、加振部の低次の共振周波数は３０［ｋＨｚ］程度で、駆動周波数６８［ｋＨｚ］と十分離れているので、駆動周波数での振動を安定にできる。
【００３４】
カウンタウェイト２６は、圧電体３１の一端に接着固定され、その重量により特に加振部の高次の共振周波数を調節することができる。高次の共振周波数をより高く設定する場合、カウンタウェイト２６はなくてもよい。本実施の形態例では、カウンタウェイト２６の重さが０．１［ｇ］で、高次の共振周波数は１００［ｋＨｚ］であり、カウンタウェイトがない場合では、１２０［ｋＨｚ］である。カウンタウェイト２６と圧電体３１との接着も、上記同様に圧電体３１の端部５３及び、圧電体３１に電界がかからない電界未形成部５４の内面側で行っている。
【００３５】
圧電体３１と励振源（図示せず）との接続は、リード線（図示せず）で行っている。内部電極５１とリード線を接続するため、カウンタウェイト２６は円筒形状をしている。別の方法として、内部電極５１は、ダイヤフラム３０とカウンタウェイト２６に接触しているため、内部電極側のリード線をダイヤフラム３０とカウンタウェイト２６に接続してもよい。また、図１２に示すように、内面側の電極５１を外面側にまで折り返すようにすれば、内部電極５１とリード線との接続は外部電極５２側で行える。
【００３６】
次に、インク１６の噴出を安定にするために行うインクチャンバ２７内のエアや異物をインク循環経路２３で除去する方法について説明する。まず、インク供給および循環制御回路について、図１４を用いて説明する。
【００３７】
ＣＰＵ３００は、本実施の形態例のインク供給及び循環の制御を司る中央演算処理装置である。ＲＯＭ３２０は、ＣＰＵ３００が動作するのに必要なプログラムや制御データを記憶する読み出し専用のメモリである。ＲＡＭ３１０は、プログラム実行途上でＣＰＵ３００が扱うデータ等を一時的に記憶する書き換え可能なメモリである。
【００３８】
バスライン４００は、ＣＰＵ３００からのデータ、アドレス信号、コントロール信号全てを含む信号ラインである。インターフェース回路３３０は、データ、アドレス信号、コントロール信号等の入出力を仲介する。
【００３９】
ポンプ制御回路３５０は、ＣＰＵ３００からの命令に基づいて供給ポンプ２、回収ポンプ１４の駆動制御を行う。
【００４０】
弁制御回路３４０は、ＣＰＵ３００からの命令に基づいて電磁弁４，１５の開閉の動作制御を行う。
【００４１】
クロック発生器３９０と分周回路３８０、カウンタ回路３７０とラッチ回路３６０は、タイマーを構成する。分周回路３８０は、クロック発生器３９０から出力される信号を分周する。カウンタ回路３７０は、分周回路３８０で分周された信号を計数する。カウンタ回路３７０は、ＣＰＵ３００の命令によりリセットが可能で、分周回路３８０の分周割合は、ＣＰＵ３００の命令により変更可能である。
【００４２】
１３は励振源、１６は記録信号源、４１０は入力装置である。
【００４３】
次に、インク循環制御について、図１５を用いて説明する。
【００４４】
ＣＰＵ３００は、入力装置４１０から装置起動の命令を受けると、ステップ１００の処理を行う。まず回収ポンプ１４と供給ポンプ２を起動し（ステップ１００）、電磁弁４と電磁弁１５を開き（ステップ１１０）、インクをインク供給経路２１からノズル６に供給する。電磁弁１５は開いている状態なのでインクはノズル６より噴出せず、インク回収経路２３にてインク容器１に回収される。
【００４５】
次に、インク循環時間を設定するタイマーをリセット後に始動させ（ステップ１２０）、このタイマーが設定値に達すると（ステップ１３０）、ステップ１４０に処理を移行し、電磁弁１５を閉にする（ステップ１４０）。よってインクチャンバ２７内のインク１６が加圧され、オリフィス２８からインク１６が噴出する。
【００４６】
励振源１３から励振電圧を出力して圧電体３１に印加する（ステップ１５０）。励振電圧が印加された圧電体３１は、伸縮振動し、その軸方向の振動が、ダイヤフラム３０を振動させ、インクチャンバ２７内のインク１６を加振し、オリフィス２８より噴出するインク１６を規則的に粒子化する。これによりインク粒子８は印字可能な状態となり、装置起動の処理は終了する。
【００４７】
このようにインク循環を行うことにより、インクチャンバ２７、インク供給経路２１及びインク循環経路２３のエアや異物を除去でき、安定的にインク噴出ができる。
【００４８】
図２は、本発明の第２の実施の形態例に係るノズルの構成を示す。このノズル６の特徴は、ダイヤフラム３０に連結部３０ａ及び圧電体支持部３０ｂを形成し、ダイヤフラム３０の外周部でボディ２５に固定する薄鍔構造である。
【００４９】
ダイヤフラム３０と圧電体支持部３０ｂとは、連結部３０ａを介して連結されている。連結部３０ｂの外径は、ダイヤフラム３０、圧電体支持部３０ｂの外径より小さい。圧電体支持部３０ｂには凸部３０ｃがあり、圧電体３１は圧電体支持部３０ｂと凸部３０ｃで接着されている。接着部は、第１の実施の形態形態と同様に、圧電体３１の端部５３及び圧電体３１の電界未形成部５４の内面側としている。
【００５０】
圧電体３１の他端には、カウンタウェイト２６が接着されている。カウンタウェイト２６の重量を変えることにより、加振部の高次の共振周波数を調節できるが、共振周波数を高く設定する場合、カウンタウェイト２６はなくてもよい。薄鍔構造にすることにより、ダイヤフラム３０の剛性を低減でき、加振部の低次の共振周波数は１０［ｋＨｚ］程度、高次の共振周波数は第１の実施形態と同じで駆動周波数６８［ｋＨｚ］と十分離れているので、振動は安定である。
【００５１】
図３は、本発明の第３の実施の形態例に係るノズルの構成を示す。第１の実施形態例と異なる点は、インク１６の流路構成を変えている点である。ダイヤフラム３０には継ぎ手４３が一体に形成され、ダイヤフラム３０の中心部を貫いてインクチャンバ２７と連通ずるインク供給経路２１が設けられている。インク供給経路２１は圧電体３１及びカウンタウェイト２６と接することなく、圧電体３１は、ダイヤフラム３０に接着されている。ダイヤフラム３０の中心部にインク供給流路２１を設けているので、ノズルの小型化が可能となる。
【００５２】
図４は、本発明の第４の実施の形態例に係るノズルの構成を示す。このノズル６は、第３の実施の形態例のノズルの流路構成を変えたものであり、インク供給経路２１を加振部側２１ａと継ぎ手側２１ｂに分離した例である。ダイヤフラム３０と連結するインク供給経路２１ａは、スペーサ３５に設けたＯリング４７で支持され、ベース３８に設けられたインク供給経路２１ｂと接続されている。
【００５３】
ベース３８には、継ぎ手４３とＯリング４８が設けられている。ペーサ３５は継ぎ手４３が設けられたベース３８とボディ２５とで挟持される。また、この実施の形態例のように、ダイヤフラム３０の支持をボディ２５とオリフィスプレート２９とで行ってもよく、Ｏリング３４は、オリフィスプレート２９に設けた溝に嵌められている。このような構成にすると、圧電体３１の軸方向の振動は、継ぎ手４３の影響を受けることなく、ダイヤフラム３０を介してインクチャンバ２７内のインクに伝達することができる。
【００５４】
図５は、本発明の第５の実施の形態例に係るノズルの構成を示す。このノズル６は、第３の実施の形態例のノズルの加振部を第２の実施の形態例の薄鍔構造にしたものである。これにより、さらに加振部の振動安定化が行える。
【００５５】
図６は、本発明の第６の実施の形態例に係るノズルの構成を示す。このノズル６は、第３の実施の形態例のノズルに、インク循環経路２３を設けた例である。インク循環経路２３は、ダイヤフラム３０と干渉しないようにボディ２５とオリフィスプレート２９に設けられている。そして、ボディ２５とオリフィスプレート２９の継ぎ目には、ボディ２５側にＯリング３３を設け、シールを行っている。循環方法は、第１の実施形態と同じでよい。
【００５６】
これにより、インクチャンバ２７の気泡や異物等を取り除くためのインク１６の循環が行え、安定したインク噴出が可能となる。ただし、インク循環経路２３からインク１６をインクチャンバ２７に供給し、インク供給経路２１からインクを回収してもよい。
【００５７】
図７は、本発明の第７の実施の形態例に係るノズルの構成を示す。このノズル６は、第６の実施の形態例のノズルの加振部を第２の実施の形態例の薄鍔構造にしたものである。これにより、さらに加振部の振動安定化が行える。
【００５８】
図８は、本発明の第８の実施の形態例に係るノズルの構成を示す。このノズル６は、加振部をピストン３７、Ｏリング３６、圧電体３１、ベース３８で構成したことを特徴とする。ピストン３７は圧電体３１に接着されており、圧電体３１の振動をインク１６に加える。
【００５９】
ピストン３７は、円柱形状をしており、側面にはＯリング２６が入る溝が設けられている。Ｏリング２６は、材料がＥＰＤＭで、線径０．８ｍｍのものを使用し、ピストン３７に設けられた溝に嵌められている。そしてＯリング２６を嵌めたピストン３７は、ボディ２５に設けた円筒形のシリンダに嵌められ、インクチャンバ２７内のインクが圧電体３１側に侵入しないような封止構造となっている。なお、Ｏリング２６を固定する溝をボディ２５側に設けるようにしてもよい。
【００６０】
圧電体３１の他端はベース３８と接着されている。ベース３８には、鍔状に周囲に張り出した鍔部３８ａがあり、ボディ２５とベース押さえ３９で鍔部３８ａを挟持して、加振部を固定している。
【００６１】
ピストン３７には、中心部に圧電体３１固定するための凸部３７ａがある。この凸部３７ａは圧電体３１の円筒内部に嵌められ、圧電体３１はピストン３７の凸部３７ａで接着される。接着部は、圧電体３１の端部５３及び圧電体３１に電界未形成部５４の内面側としている。これは、電界がかからない電界未形成部５４では変位が発生しないため、接着部に圧電体３１の変形により発生する歪み応力を低減できるためである。
【００６２】
ベース３８と圧電体３１との接着は、上記と同様に、ベース３８側は凸部３８ｂ、圧電体３１側は圧電体３１の端部５３及び圧電体３１に電界がかからない電界未形成部５４の内面側で行なっている。
【００６３】
圧電体３１と励振源１３の接続は、リード線で行っている。内部電極５１は、ダイヤフラム３０とベース３８に接触しているため、内部電極側のリード線をダイヤフラム３０とカウベース３８に接続してもよい。また、図１２に示すように、内面側の電極５１を外面側にまで折り返すようにすれば、内部電極５１とリード線との接続は外部電極５２側で行える。
【００６４】
このような構成にすることにより、圧電体３１の振動変位は、ピストン３７を介してインク１６に効率よく伝達することができる。
【００６５】
図９は、本発明の第９の実施の形態例に係るノズルの構成を示す。ベース３８を圧電体支持部３８ｃ、連結部３８ｄ、鍔部３８ａで構成したものである。圧電体支持部３８ｃより外径が小さい連結部３８ｄで鍔部３８ａに連結することにより鍔部３８ａの剛性を低減し、さらにベース押さえ３９に鍔部３８ｃが干渉しないように隙間４６を設けている。
【００６６】
これにより、第２の実施の形態例と同様に、ボディ２５やベース押さえ３９とを振動絶縁することができるので、加振部の振動を安定化することができる。剛性と振動絶縁の観点からダイヤフラム３０の厚みは、前述したように、０．５ｍｍ程度以下であればよい。
【００６７】
図１０は、本発明の第２の実施の形態例に係るノズルの構成を示す。インクチャンバ２７内のインクに振動を与える加振部は、圧電体３１、オリフィスプレート２９、カウンタウェイト２６で構成されている。圧電体３１は円筒形状であり、その一端をオリフィスプレート２９に、別の一端にはカウンタウェイト２６が固定されている。
【００６８】
カウンタウェイト２６は、その重量を変えることにより、加振部の共振周波数を調節できるが、共振周波数を高く設定する場合、カウンタウェイト２６はなくてもよい。
【００６９】
圧電体３１には、図１１に示すように、内外面に電極が設けられている。内面側の電極５１は内面全面と円筒部の端面５３に設けられている。また、外面電極５２は内面電極５１との間で電気的絶縁を保つため、０．５ｍｍの間隔を持っている。
【００７０】
オリフィスプレート２９は、円板形状で、その中心部には圧電体３１を固定するための凸部４２と、パイプ４４を支持するハウジング４１がある。この凸部４２は圧電体３１の円筒内部に嵌められ、圧電体３１は凸部４２で接着される。接着部は、圧電体３１の端部５３及び圧電体３１に電界がかからない電界未形成部５４の内面側としている。また、カウンタウェイト２６と圧電体３１との接着は、上記と同様に、圧電体３１の端部５３及び圧電体３１に電界がかからない電界未形成部５４の内面側で行っている。
【００７１】
圧電体３１と励振源１３の接続は、リード線で行っている。内部電極５１は、オリフィスプレート２９とカウンタウェイト２６に接触しているため、内部電極側のリード線をオリフィスプレート２９とカウンタウェイト２６に接続してもよい。また、図１２に示すように、内面側の電極５１を外面側にまで折り返すようにすれば、内部電極５１とリード線との接続は外部電極５２側で行える。
【００７２】
インク供給経路２１は、パイプ４４内に設けられ、その一端には継ぎ手４３が設けられている。パイプ４４には、Ｏリング３６が嵌まる溝があり、Ｏリング３６が嵌められている。パイプ４４内のインク供給経路２１は、継ぎ手からストレートになっており、Ｏリング３６を超えたところで、直角に曲がり、流路４０を形成している。
【００７３】
流路４０からインク１６は、オリフィスプレート２９のハウジング部４１、パイプの一端４５、継ぎ手４３に設けたＯリング３６で形成されたインクチャンバ２７に流入する。そしてオリフィスプレート２９にあるオリフィス２８からインク１６が噴出する。
【００７４】
オリフィスプレート２９の外周部は、ボディ２５固定されており、オリフィスプレート２９の中央部が軸方向に振動する。
【００７５】
【発明の効果】
本発明によれば、インクチャンバ内のインクを、圧電体の軸方向の振動で効率よく、かつ安定して加振できるので、オリフィスより噴出するインクの粒子化が安定し、ノズルの信頼性を向上させることができる。
【００７６】
また、加振部の低次と高次との共振周波数が駆動周波数と十分に離れているため、安定した振動を得ることができる。
【００７７】
さらに、圧電体の接着部に作用する歪み応力の発生を押さえ、圧電体がインクに接触しないので安定した振動を長期に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態例に係るノズルの構成図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態例に係るノズルの構成図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態例に係るノズルの構成図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態例に係るノズルの構成図である。
【図５】本発明の第５の実施の形態例に係るノズルの構成図である。
【図６】本発明の第６の実施の形態例に係るノズルの構成図である。
【図７】本発明の第７の実施の形態例に係るノズルの構成図である。
【図８】本発明の第８の実施の形態例に係るノズルの構成図である。
【図９】本発明の第９の実施の形態例に係るノズルの構成図である。
【図１０】本発明の第１０の実施の形態例に係るノズルの構成図である。
【図１１】圧電体の電極構成を示す図である。
【図１２】圧電体の他の電極構成を示す図である。
【図１３】本発明の一実施の形態例に係るインクジェット記録装置の概略構成図である。
【図１４】図１３のインクジェット記録装置のインク供給循環制御回路の構成図である。
【図１５】図１３のインクジェット記録装置のインク循環制御動作のフローチャート図である。
【符号の説明】
１…インク容器、２…供給ポンプ、６…ノズル、７…帯電電極、８…インク粒子、９…上部偏向電極、１１…ガター、１６…インク、２６…カウンタウェイト、２７…インクチャンバ、２８…オリフィス、２９…オリフィスプレート、３０…ダイヤフラム、３１…圧電体、３７…ピストン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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