(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
山形の突起部と、その両側の窪部とが形成された真空蒸着用加熱フィラメントが使用されて、真空蒸着が行われる蒸着材において、
この蒸着材は、管状もしくは輪状に形成されるとともに、横断面形状は、偏平に形成されており、
蒸着材が前記真空蒸着用加熱フィラメントに装着されるにあたっては、蒸着材が真空蒸着用加熱フィラメントにおける突起部に外嵌め状態に装着され、且つこの突起部の頂部は、蒸着材から突き出た状態となるものであり、この装着状態で蒸着が行われることを特徴とする真空蒸着に用いる蒸着材。
【請求項２】
前記蒸着材は線材をコイル状に巻いて管状に形成されたものであることを特徴とする請求項１記載の真空蒸着に用いる蒸着材。
【請求項３】
前記蒸着材は成形加工により管状もしくは輪状に形成されたものであることを特徴とする請求項１記載の真空蒸着に用いる蒸着材。
【請求項４】
前記蒸着材の内幅は、蒸着材の内面が前記突起部のほぼ中間高さ位置に当接して係止されるよう設定されていることを特徴とする請求項１、２または３記載の真空蒸着に用いる蒸着材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空蒸着に用いる蒸着材に関するもので、特に蒸着時間を短縮する蒸着材に係るものである。
【０００２】
【発明の背景】
真空蒸着法は、Ａｌ、Ａｕ、Ｎｉ、ＭｇＦ2 、ＣｅＯ2 等の大気中ではほとんど蒸発しない金属や無機物質あるいは有機物質を１０-3〜１０-6ｔｏｒｒ程度の高真空下で加熱して蒸発させ、その蒸気をガラスや合成樹脂フィルム等の表面に付着させるもので、一種の薄膜製造法である。このうちアルミニウムを真空蒸着するには従来は図５に示すように例えばタングステン製のフィラメント３′を中央部を下方に向けて若干湾曲させて形成し、これにあらかじめ逆Ｖ字状に折り曲げたアルミニウムから成る蒸着材１Ａを二、三本ずつ懸垂させて取り付け、次いで、雰囲気圧力を１０-3〜１０-4ｔｏｒｒに減圧したのち前記フィラメント３′に通電してこれを１０００〜１５００℃程度に加熱し、この熱によってアルミニウムを溶融し、蒸発する方式が採られていた。
【０００３】
しかしながら、このような蒸着手法には、タングステンフィラメントにアルミニウムを取り付ける作業が、注意力と熟練を要し面倒で取付作業時間がかかるという問題点があった。またアルミニウムのタングステンフィラメントとの接触点が一カ所であり、取り付けの面倒を考えるとあまり小さくはできないため、アルミニウムの溶融時間がかかるという問題点もあった。
【０００４】
そこで本出願人は、フィラメントの中央部を山形に折り曲げて突起を形成すると共にその両側を谷形に折り曲げて窪を形成し、突起に輪状、螺旋状あるいは管状に成形した蒸着材を嵌めることによって取り付けるようにした真空蒸着手段に関する新たな発明をし、これが特許取得に至っている（特許第１５８８０９３号「真空蒸着用加熱フィラメント」）。この発明によると、蒸着材を突起の頭部に位置させて落とすだけで突起に嵌まり、極めて簡単容易且つ短時間に蒸着材の取り付けが行え、また溶融時間が短縮されるものである。
しかしながら、この発明も蒸着材の溶融時間の短縮という点では、蒸着材の形態に関し更なる改良の余地があった。
【０００５】
【開発を試みた技術的課題】
本発明はこのような背景からなされたものであって、本出願人がすでに特許取得に至っている真空蒸着用加熱フィラメントによって蒸着するのに用いられる蒸着材の形状を、更に改良することにより、更なる溶融時間の短縮を図ることのできる新規な蒸着材の開発を試みたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
すなわち請求項１記載の真空蒸着に用いる蒸着材は、山形の突起部と、その両側の窪部とが形成された真空蒸着用加熱フィラメントが使用されて、真空蒸着が行われる蒸着材において、この蒸着材は、管状もしくは輪状に形成されるとともに、横断面形状は、偏平に形成されており、蒸着材が前記真空蒸着用加熱フィラメントに装着されるにあたっては、蒸着材が真空蒸着用加熱フィラメントにおける突起部に外嵌め状態に装着され、且つこの突起部の頂部は、蒸着材から突き出た状態となるものであり、この装着状態で蒸着が行われることを特徴として成るものである。
この発明によれば、蒸着材の真空蒸着用加熱フィラメントに接触する面積が多くなるため、真空蒸着用加熱フィラメントの加熱効率が良く、真空蒸着の能率が上がる。
【０００７】
また請求項２記載の真空蒸着に用いる蒸着材は、前記要件に加え、前記蒸着材は線材をコイル状に巻いて管状に形成されたものであることを特徴として成るものである。
この発明によれば、蒸着材を簡単に形成することができ、加熱効率も良い。
【０００８】
更に請求項３記載の真空蒸着に用いる蒸着材は、前記請求項１記載の要件に加え、前記蒸着材は成形加工により管状もしくは輪状に形成されたものであることを特徴として成るものである。
この発明によれば、多種多様な管状もしくは輪状の蒸着材を形成でき、真空蒸着用加熱フィラメントの突起部に合わせた蒸発効率の良い形状とすることも可能である。
【０００９】
更にまた請求項４記載の真空蒸着に用いる蒸着材は、前記請求項１、２または３記載の要件に加え、前記蒸着材の内幅は、蒸着材の内面が前記突起部のほぼ中間高さ位置に当接して係止されるよう設定されていることを特徴として成るものである。
この発明によれば、蒸着材が突起部に嵌めやすく、一旦嵌めた蒸着材が脱落するおそれがない。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図示の実施の形態に基づき説明する。なお本発明に係る蒸着材１の説明をする前に、まずこれを使用するための真空蒸着用加熱フィラメント２について説明する。
真空蒸着用加熱フィラメント２は、図１に示されるように山形の突起部３１と、その両側の窪部３２とが形成されるようにタングステン、モリブデン、タンタル等の融点の高い撚り合わせ金属線または単線を用いて形成されたフィラメント３に対し、金属細線４が巻き付けられて成る。
【００１１】
具体的には、フィラメント３は、山形の突起部３１の両側下部を窪部３２とし、この窪部３２の外端側を３０°以上の傾斜角度の傾斜部３３とし、更にこの傾斜部３３の外端側を水平な平部３４としている。
そして前記窪部３２から平部３４にかけて金属細線４が巻き付けられている。
【００１２】
次に本発明に係る蒸着材１について説明する。蒸着材１は、アルミニウムその他の蒸着用の材料であって、図１または図３（ａ）に示すように、線材をコイル状に巻いて偏平な管状に形成したものである。また蒸着材１の内幅は、蒸着材１が前記突起部３１のほぼ中間位置に係止されるよう設定されている。なお蒸着材１の内幅は、突起部３１の中間位置（上端より５〜１０ｍｍの位置）の幅と同一もしくは広く形成されていることが好ましい。
【００１３】
本発明の真空蒸着に用いる蒸着材１は、以上のような具体的な形態を有するものであって、これを使用する際には、蒸着材１をフィラメント３の突起部３１の頭部に嵌めて落とし込む。すると蒸着材１は、突起部３１のほぼ中間位置において係止されるため、脱落するおそれがない。
また係止時においては、図２（ａ）に示されるように蒸着材１とフィラメント３の接触面Ｓの面積が図２（ｂ）のような従来の円形の蒸着材１Ｂと比較して広いため、加熱効率がよく、溶融時間が短くなり作業時間が短縮される。
【００１４】
【他の実施の形態】
本発明の基本的な実施の形態は以上のようであるが、その他種々の改変が行い得る。
すなわち蒸着材１の形状は、多様な形成手法により種々の形状の管状または輪状に形成されたものが適用できる。具体的には蒸着材１は、図３（ｂ）に示されるような輪状のものでもよい。なお図３（ｂ）に示すものは引抜き成形により成形された管状のものを切断し、輪状のものとしたものである。また図３（ｃ）〜（ｆ）に示されるように板材や太線を曲成して形成したものでもよい。また更に図３（ｇ）〜（ｈ）に示されるように裾広がりのテーパ形状に形成されたものでもよい。また図３（ｉ）に示されるように下部にフランジ状のものが形成されたものでも構わない。
【００１５】
また因みに上述したような本発明の蒸着材１を溶融するのに用いる真空蒸着用加熱フィラメント２は、例えば図４（ａ）（ｂ）に示されるように二つ等の数個または複数個の突起部３１が形成されたものを使用されることもあるし、また図４（ｃ）に示されるように金属細線４が巻き付けられていないものを使用されることもあり、蒸着対象物によって種々の形態のものが用いられる。
【００１６】
【発明の効果】
請求項１記載の真空蒸着に用いる蒸着材によれば、山形の突起部３１と、その両側の窪部３２とが形成された真空蒸着用加熱フィラメント２が使用されて、真空蒸着が行われる蒸着材１において、この蒸着材１は管状もしくは輪状に形成されるとともに、横断面形状は偏平に形成されており、前記真空蒸着用加熱フィラメント２に対し突起部３１の頂部が突き出た状態に外嵌めされて蒸着が行われるものであるため、蒸着材１の真空蒸着用加熱フィラメント２に接触する面積が多くなり、真空蒸着用加熱フィラメント２の加熱効率が上がり、真空蒸着の能率が上がる。
【００１７】
更に請求項２記載の真空蒸着に用いる蒸着材によれば、蒸着材１は線材をコイル状に巻いて管状に形成されたものであるため、蒸着材１を簡単に形成することができ、加熱効率も良い。
【００１８】
また請求項３記載の真空蒸着に用いる蒸着材によれば、蒸着材１は成形加工により管状もしくは輪状に形成されたものであるため、多種多様な管状もしくは輪状の蒸着材１を形成でき、真空蒸着用加熱フィラメント２の突起部３１に合わせた蒸発効率の良い形状とすることも可能である。
【００１９】
また請求項４記載の真空蒸着に用いる蒸着材によれば、蒸着材１の内幅は、蒸着材１の内面が前記突起部３１のほぼ中間高さ位置に当接して係止されるよう設定されているため、蒸着材１が突起部３１に嵌めやすく、一旦嵌めた蒸着材１が脱落するおそれがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の蒸着材を真空蒸着加熱フィラメントに適用した状態を示す斜視図である。
【図２】  本発明の蒸着材と従来の蒸着材との接触面積の違いを対比して示す横断面図である。
【図３】  本発明の蒸着材の形状を異にする種々の実施の形態を示す説明図である。
【図４】  真空蒸着用加熱フィラメントの他の実施の形態を示す正面図である。
【図５】  真空蒸着に用いられる従来のフィラメント及び蒸着材を示す正面図である。
【符号の説明】
１    蒸着材
１Ａ  （従来の）蒸着材
１Ｂ  （従来の）蒸着材
２    真空蒸着用加熱フィラメント
３    フィラメント
４    金属細線
３１  突起部
３２  窪部
３３  傾斜部
３４  平部
Ｓ    接触面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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