(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
針状電極を有する電界放射型電子源または熱電界放射型電子源と前記針状電極に強電界を印加して電子線を発生させるための引出電極とを備えた電子銃から放出される電子線の光軸ずれを補正する電子線光軸補正方法において、
前記電界放射型電子源または熱電界放射型電子源に属する針状電極の傾斜量に基づき、偏心量を設定して引出電極を偏心させることにより電子線光軸ずれを補正することを特徴とする電子線光軸補正方法。
【請求項２】
針状電極を有する電界放射型電子源または熱電界放射型電子源と前記針状電極に強電界を印加して電子線を発生させるための引出電極を備えた電子銃から放出される電子線の光軸ずれを補正する電子線光軸補正方法において、
前記電界放射型電子源または熱電界放射型電子源に属する針状電極の傾斜量に基づき、偏心量を設定して前記電子源を偏心させることにより電子線光軸ずれを補正することを特徴とする電子線光軸補正方法。
【請求項３】
針状電極と熱電子の放出を抑制するためのサプレッサー電極とを有する熱電界放射型電子源から放出される電子線の光軸ずれを補正する電子線光軸補正方法において、
前記電子源に属する針状電極の傾斜量に基づき、偏心量を設定して針状電極とサプレッサー電極を偏心させることにより電子源を電子銃に組込んだ際の前記針状電極と前記引出電極の偏心量を間接的に設定し、電子線光軸ずれを補正することを特徴とする電子線光軸補正方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子顕微鏡や電子線描画装置等の電子線を応用した装置およびこれらに用いられる電子銃、電子源に関する。
【０００２】
【従来の技術】
先端を鋭く尖らせた針状電極に強電界を印加して電子線を発生させる電界放射型電子源、および電界印加と通電加熱を同時に行なう熱電界放射型電子源は、熱電子放射型電子源と比較して、高輝度、長寿命であり、放射電子のエネルギーが均一なため、高分解能を要する電子顕微鏡等に適している。しかし、電界放射型電子源および熱電界放射型電子源の電子線放射角は立体角で０．３〜０．５ｓｒ程度の大きさをもつが、そのうち良好な特性が得られる範囲は中心の０．０３〜０．０５ｓｒ程度であり、その範囲を外れた部分の電子線はエネルギーのばらつきが大きく、また、ノイズ成分を多く含むため電子顕微鏡等の電子線応用装置への使用に適さなくなる。従って、電子線装置の性能を確保するには電子源から放射した電子線のうち、中心付近の放射電子のみを選択して使用することが必要となる。
【０００３】
図１６に針状電極の材料として軸方位＜３１０＞のタングステン（以下、Ｗと表記する）単結晶を用いた電界放射型電子源の概略断面図を示す。電界放射型電子源は、Ｗ単結晶でできた針状電極１と、Ｗ多結晶の細線でできたフィラメント２と、電流導入端子３と、フィラメント碍子４で構成されている。引出電源６を用いて引出電極５に、針状電極１に対して正の強電界を印加すると、針状電極１の先端に形成されているＷ（３１０）面から電子放射を得ることが出来る。電子源から放射される電子線光軸１０５は通常、針状電極中心軸１０４に一致する。従って、針状電極１が引出電極中心軸１０１に対してθｗの傾きをもっている場合、引出電極中心軸１０１に対する電子線光軸１０５の傾きθｅはθｗと等しくなる。
【０００４】
図１７に前記電界放射型電子源、または熱電界放射型電子源を搭載した電子銃の概略断面図を示す。電子源１１は、電子銃容器１２内に、フランジ１３、筒２１、絶縁碍子１４を介して引出電極５と対向する位置に設置されている。筒２１はベローズ２２によりフランジ１３と連結され、内部の真空を保持したまま水平方向に移動可能な構造となっており、電子源１１に属する針状電極の角度ずれが原因で電子線光軸１０５に装置中心軸１００に対してθｅの傾斜が生じた場合、円周方向に９０°ピッチで配置された４個の軸調整ねじ２３により筒２１、絶縁碍子１４、引出電極５と一緒に電子源１１を平行移動し、装置中心軸１００に位置する絞り穴を電子線光軸１０５が通過する様に調整を行う。しかし、絞り穴を通過した電子線は依然としてθｅの傾斜をもっているため、このままでは装置中心軸１００から外れてしまう。これを補正するため、鏡体６２に配置された静電偏向または電磁偏向等の原理を用いた偏向手段１８により電磁気的に偏向して電子線を装置中心軸１００に合わせることが必要となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
電界放射型電子源あるいは熱電界放射型電子源から放射される電子線の電子線光軸は針状電極中心軸に一致するので、電子源の製造過程における針状電極の取付け精度が重要となる。しかし、針状電極は通常、フィラメントにスポット溶接により接合される場合が多く、その構造上、実現可能な精度には限界があり、針状電極の傾きに起因する電子線光軸ずれは避けて通ることが出来ない。従来技術では、前述のように、電子銃内での電子源および引出し電極の平行移動に加えて、鏡体側に配置された偏向手段により電子線を電磁気的に偏向し、装置中心軸から外れた電子線を装置中心軸と一致するように補正する必要があり、電子銃および電子線を利用する機器の構造が複雑となる上、上記手段を用いて電子線光軸を補正する作業が装置の製作工程や電子源交換の際の装置停止時間を長引かせる要因となっている。
【０００６】
本発明は、このような問題点に鑑み、前述した針状電極の取付け精度に起因する電子線光軸ずれを複雑な機構を用いること無く補正し、電子線光軸ずれの小さい電子銃、電子源および電子線装置を提供し、更に、電子銃および電子線装置の生産性、保守性を向上することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、電子源に属する針状電極と引出電極の相対位置を任意に設定できる構造とし、針状電極と引出電極の偏心による電子線の偏向作用を利用して電子線光軸を調整する。予め針状電極の傾きを光学顕微鏡、その他の手段により測定しておき、その反対方向に同じ角度だけ偏向する様に針状電極と引出電極を偏心させることにより、傾斜した針状電極から放射した電子線を装置中心軸に平行に補正することが出来る。
【００１１】
本発明による電子線光軸補正方法は、針状電極を有する電界放射型電子源または熱電界放射型電子源と針状電極に強電界を印加して電子線を発生させるための引出電極とを備えた電子銃から放出される電子線の光軸ずれを補正する電子線光軸補正方法において、電界放射型電子源または熱電界放射型電子源に属する針状電極の傾斜量に基づき、偏心量を設定して引出電極を偏心させることにより電子線光軸ずれを補正することを特徴とする。
【００１２】
本発明による電子線光軸補正方法は、また、針状電極を有する電界放射型電子源または熱電界放射型電子源と針状電極に強電界を印加して電子線を発生させるための引出電極を備えた電子銃から放出される電子線の光軸ずれを補正する電子線光軸補正方法において、電界放射型電子源または熱電界放射型電子源に属する針状電極の傾斜量に基づき、偏心量を設定して前記電子源を偏心させることにより電子線光軸ずれを補正することを特徴とする。
【００１３】
本発明による電子線光軸補正方法は、針状電極と熱電子の放出を抑制するためのサプレッサー電極とを有する熱電界放射型電子源から放出される電子線の光軸ずれを補正する電子線光軸補正方法において、電子源に属する針状電極の傾斜量に基づき、偏心量を設定して針状電極とサプレッサー電極を偏心させることにより、電子源を電子銃に組込んだ際の針状電極と引出電極の偏心量を間接的に設定し、電子線光軸ずれを補正することを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。理解を容易にするため、以下の図において、同じ機能を有する部分には同じ符号を付して説明する。
初めに、図１、図２、図３を用いて電子線光軸補正の原理を説明する。針状電極１の先端が引出電極５の中心軸１０１上に位置している場合、電子線光軸１０５は針状電極中心軸１０４に一致する。従って、図１６に示すように針状電極１が引出電極中心軸１０１からθｗのずれをもって取付けられている場合、放射される電子線光軸１０５の傾斜θｅはθｗに等しくなる。しかし、図１に示すように針状電極１の先端が引出電極の中心軸１０１から偏心すると、電子線光軸１０５は電界の偏りにより偏向され、針状電極中心軸１０４から外れる。図１において、φｄは引出電極５の穴径、ａは針状電極１と引出電極５の垂直方向距離、Ｖｅは引出電圧、ｅは針状電極１と引出電極５の偏心量、θｃは偏向量を表す。
【００１５】
図２に偏向量θｃと偏心量ｅの関係の一例を示す。図２の横軸は針状電極と引出電極の偏心量をｅT-H、縦軸は偏向量θｃ［゜］を表す。引出電極の穴径φｄH、針状電極先端と引出電極の垂直方向距離ａ、引出電圧Ｖｅが一定の場合、偏向量θｃは偏心量ｅにほぼ比例し、θｃ＝α×ｅの関係が認められる。図中に示すように、ａ：０．３５ｍｍ、φｄH：１．０ｍｍ、Ｖｅ：２．０〜２．５ｋＶの条件下では比例定数α：０．０３［°／μｍ］の値が確認された。
【００１６】
上記の原理を利用して、傾斜を持った針状電極から放射された電子線光軸を針状電極と引出電極の偏心により偏向し、引出電極の中心軸に平行になるように補正する方法の模式図を図３に示す。前述の関係式を変形するとｅ＝θｃ／αが得られる。従って針状電極の傾きθｗによる電子線光軸ずれを補正するには、針状電極と引出し電極の間にｅ＝θｗ／αの偏心をオフセット量として与えてやれば良い。例えば前述の条件下において、針状電極１が（−）方向に１．５°傾斜している場合、引出電極５に対して針状電極１の先端を（＋）方向に５０μｍ偏心させることにより引出電極の中心軸に平行に補正された電子線光軸１０５を得ることが出来る。
【００１７】
図４は、本発明による電子銃の一例を説明する縦断面図及びそのＡ−Ａ′断面図である。本例の電子銃は、同一フランジ上に電子源および引出電極が配置され、引出電極を電子源に対して任意に偏心させる機能を有する。電子源１１は、電子銃容器１２内にあって、絶縁碍子１４を介してフランジ１３上に真空封じ用ボルト１６で固定されている。引出電極５は電子源１１と対向する位置に取付けられ、円周上に９０°ピッチで配置された４個の光軸補正ねじ１７により引出電極ベース１５に対して水平方向（電子源中心軸１０２に対して垂直な方向）に移動出来る構造となっている。
【００１８】
図５は、電子源１１に属する針状電極の傾斜測定を説明する図である。電子源を電子銃に組込む前に予め、電子源中心軸１０２に対する針状電極中心軸１０４の傾斜量をＸおよびＹ方向に分けて測定しておく。電子源中心軸１０２は仮想の軸であるので、傾斜量測定は実際にはフィラメント碍子４の側面、あるいは、サプレッサー電極付電子源の場合はサプレッサー電極５２の側面等、機械的寸法精度が保証されている面を基準として行う。測定には測長機能付の光学顕微鏡を使用する。より高精度の軸補正を行うためには走査形電子顕微鏡による測定も有効である。
【００１９】
測定の結果、針状電極中心軸１０４が電子源中心軸１０２に対してＸおよびＹ方向にそれぞれθｗｘおよびθｗｙの傾斜量があった場合、引出電極５を電子源１１に属する針状電極１に対してＸおよびＹ方向にそれぞれｅｘ＝θｗｘ／αおよびｅｙ＝θｗｙ／αだけ偏心した位置で固定する。αは電子源の使用条件により決定される定数である。ｅｘおよびｅｙの確認は光学顕微鏡を装置中心軸上に設置して行う。図２に示したα＝０．０３の例では偏心量１μｍあたりの電子線光軸の偏向量は０．０３°であるので、±１０μｍの精度で偏心量ｅｘおよびｅｙを設定出来れば±０．３°の精度で電子線光軸偏向量を制御出来ることになる。
【００２０】
以上の操作により、針状電極に傾斜をもつ電子源であっても電子源中心軸１０２に対して平行になるように補正された電子線を得ることが出来る。電子銃容器１２の中心に位置する絞り穴を通過し鏡体６２内に到達した電子線１０５は、既に装置中心軸１００に一致するように補正されているので、鏡体６２内では電子線光軸補正用として特別な偏向手段を必要としない。
【００２１】
図６は、本発明による電子銃の他の例を説明する縦断面図及びそのＡ−Ａ′断面図である。本例の電子銃は、同一フランジ上に電子源および引出電極が配置され、電子源を可動式にすることにより電子源に属する針状電極と引出電極の偏心量を調整する機能を有する。引出電極５は、電子銃容器１２内にあり、絶縁碍子１４を介してフランジ１３上に設置されている。電子源１１は引出し電極５と対向する位置に取付けられ、円周上に９０°ピッチで配置された４個の光軸補正ねじ１７により水平方向（電子源中心軸１０２に対して垂直な方向）に移動することが出来る。
【００２２】
予め光学顕微鏡、その他の測定手段により電子源１１に属する針状電極の傾斜を測定しておき、予想される電子線光軸の傾斜と反対方向に電子線が偏向される様に電子源１１を引出電極５に対して偏心させて固定することにより、電子源中心軸１０２に対して平行方向に補正された電子線１０５を得ることが出来る。更に電子銃容器１２の中心に位置する絞り穴を通過し鏡体６２内に到達した電子線１０５は、既に装置中心軸１００に一致するように補正されているので鏡体６２内では電子線光軸補正用として特別な偏向手段を必要としない。
【００２３】
図７は、本発明による電子源の一例を示す概略断面図である。本例の電子源は、針状電極の材料として軸方位＜１００＞のＷ単結晶を用い、熱電子の放出を抑制するためのサプレッサー電極を有する熱電界放射型電子源であり、サプレッサー電極に対する針状電極の偏心量を任意に設定できる構造を有する。
【００２４】
熱電界放射型電子源は、針状電極１、フィラメント２、電流導入端子３、フィラメント碍子４、サプレッサー電極５２、および光軸補正ねじ１７を備えて構成される。フィラメント加熱電源５３により電流導入端子３を介してフィラメント２に通電すると、針状電極１の側面に生成されている被覆物質供給源（図示せず）から酸化ジルコニウムが針状電極１の表面に熱拡散される。酸化ジルコニウムは針状電極１の先端に形成されているＷ（１００）面の仕事関数を低下させる作用を有しており、この状態で引出電源６を用いて引出し電極５に、針状電極１に対して正の電圧を印加すると、針状電極１の先端に形成されているＷ（１００）面から選択的にエネルギー幅の狭い電子放射を得ることが出来る。サプレッサー電極５２は、サプレッサー電源５４により針状電極１に対して負の電圧を印加することにより、フィラメント２およびその周辺の高温部から発生する、エネルギーのばらつきが大きく、利用価値が低いとされている熱電子を遮へいする機能を有する。フィラメント２の通電加熱により針状電極１は常に千数百Ｋに保持されているので電子銃容器内のガス分子の吸着が無く、また、被覆物質供給源から熱拡散により酸化ジルコニウムが連続的に供給されるので、被覆物質が枯渇するまで仕事関数の低い状態が保持され、安定した電子放射が得られる。Ｗ（１００）面の仕事関数を低下させる被覆物質として、酸化ジルコニウムの他、チタン、バリウム、スカンジウム等の酸化物を使用したものが実用化、あるいは実用化を目指して研究されている。
【００２５】
針状電極１は電流導入端子３にフィラメント２を介して取付けられており、サプレッサー電極５２はその中心に開けられた穴から針状電極１の先端が所要の長さだけ突出すように配置され、円周上に９０°ピッチで配置された４個の光軸補正ねじ１７によりサプレッサー電極５２の中心軸と針状電極１の偏心ｅを任意に設定出来る構造となっている。
【００２６】
図８は、針状電極１とサプレッサー電極５２および引出電極５の相対位置関係を表す詳細図である。針状電極１とサプレッサー電極５２の偏心量をｅT-S、針状電極と引出電極の偏心量をｅT-H、サプレッサー電極と引出電極の偏心量をｅS-Hで表す。
【００２７】
サプレッサー電極の穴径φｄS、引出電極の穴径φｄH、針状電極先端と引出電極の垂直方向距離ａ、サプレッサー電極と引出電極の間隔Ａ、引出電圧Ｖｅ（図示せず）、サプレッサー電圧Ｖｓ（図示せず）を一定として、針状電極１とサプレッサー電極５２の偏心量ｅT-S、および針状電極１と引出電極５の偏心量ｅT-Hをそれぞれ独立して変化させたときの電子線光軸１０５の偏向量θｃの変化の一例を図９に示す。ｅT-SをゼロとしてｅT-Hを変化させたときの、ｅT-Hに対する偏向量をθｃ（Ｔ−Ｈ）で表す。また、ｅT-HをゼロとしてｅT-Sを変化させたときの、ｅT-Sに対する偏向量をθｃ（Ｔ−Ｓ）で表す。図から分かるように、ａ：０．３５ｍｍ、Ａ：０．６ｍｍ、φｄｓ：０．４ｍｍ、φｄＨ：１．０ｍｍ、Ｖｅ：２．０〜２．５ｋＶ、Ｖｓ：０．１〜１．０ｋＶの条件下において、偏向量は針状電極と引出電極の偏心量ｅＴ−Ｈにのみ依存し、針状電極とサプレッサー電極の偏心ｅＴ−Ｓの影響は殆ど受けない。
【００２８】
サプレッサー電極の外周とそれが組み込まれる電子銃側の部品の寸法精度を確保することにより、電子源を電子銃に組込んだ時にｅS-H＝０、すなわち、サプレッサー電極の穴と引出電極の穴が同一軸上に位置する様な構造とすれば、ｅT-S（針状電極とサプレッサー電極の偏心）＝ｅT-H（針状電極と引出電極の偏心量）とすることが出来る。この性質を利用して、電子源の製作過程で、光学顕微鏡、その他の測定手段により針状電極１の傾斜θｗを測定し、予想される電子線光軸の傾斜θｅ（＝θｗ）と反対方向に電子線が偏向される様にサプレッサー電極５２と針状電極１の偏心量ｅT-Sを調節して電子源を組立てることにより、電子源を電子銃に組込んだ時、間接的に引出電極５と針状電極１の所要偏心量を設定することができる。
【００２９】
図７に記載の電子源５１を搭載した電子銃の断面図を図１０に示す。電子源５１はその製作過程において既に光軸補正が完了しているので、絶縁碍子１４の内周とサプレッサー電極５２の外周の嵌合を利用して組込むだけで、電子源５１に属する針状電極と引出し電極５との間に所要の偏心量が自動的に設定される。電子源は消耗部品であるので定期的に交換作業が発生する。電子源の製作過程において、予めサプレッサー電極と針状電極の間に適正な偏心量を与えておけば、電子源交換の度に電子線光軸の補正をする必要が無くなり、装置の停止時間を短縮することが出来る。
【００３０】
図１１は、以上に説明した電子銃を搭載した本発明による走査形電子顕微鏡の一例を示す模式図である。この装置は、主な構成要素として、電子銃６１、鏡体６２、試料室６３、高圧電源６４、制御部６５から成っており、電子銃６１、鏡体６２、試料室６３は真空ポンプ（図示せず）により内部を真空排気されている。電子源１１（または５１）から放射した電子線１０５は鏡体６２の中心軸に平行に入射する。更に鏡体６２内では、収束レンズ６２１、対物レンズ６２３により細く絞られ、試料ステージ６３１上に設置された試料６３２の表面に焦点を結ぶ。走査偏向器６２２により試料面を走査した際に発生する二次電子１０６は二次電子検出器６２４に取り込まれ、増幅されて制御部に送られ、画像情報を得ることが出来る。
【００３１】
電子線１０５は鏡体６２に入射する時点で既に収束レンズ６２１の中心軸に平行になるように補正されているので、鏡体６２内部に特別の偏向手段を必要としない。その結果、装置の信頼性が向上すると共に装置の小形化を図ることが出来る。
尚、本電子銃および電子源は上記の走査形電子顕微鏡以外にも透過形電子顕微鏡や電子線描画装置等にも適用が可能である。
【００３２】
次に、走査形電子顕微鏡の製作工程について説明する。図１２は従来の製作工程を示し、図１３は本発明による製作工程を示す。図１２に示す従来技術では、（工程１）電子銃組立、（工程２）電子源組込、（工程３）真空排気を行い、（工程４）電子線放射を開始する。（工程５）電子銃の軸調整機構による光軸調整を行い、（工程６）放射電流の測定、耐電圧試験等の単体性能試験に合格すると、（工程７）電子線放射を一時的に停止して、（工程８）電子銃を鏡体に搭載する。（工程９）電子線放射再開後、（工程１０）鏡体側の偏向機能による光軸調整が完了して初めて試料の像観察が可能となる。（工程１１）倍率調整、分解能試験等の総合調整を経て装置完成に至る。
【００３３】
図１３は、本発明による電子銃を採用する走査形電子顕微鏡の製作工程図である。電子銃の製作とは別に、電子源に属する針状電極の傾斜を測定し予想される電子線光軸の傾斜を補正するのに必要な偏心量を算出しておく。電子源組込の段階で針状電極と引出し電極の間に所要の偏心を与えて固定することにより電子線放射開始直後から引出電極の中心軸に平行に補正された電子線を得ることが出来る。これにより図１２に示した従来技術の（工程５）および（工程１０）で示した電子線光軸調整作業が不要となり、電子銃および装置本体の製作時間の短縮に効果的である。
【００３４】
次に、稼働中の電子線装置の電子源が寿命を迎え、新品の電子源に交換する際の作業工程について説明する。図１４に示す従来技術では、（工程１）装置停止後、（工程２）電子銃内部を大気開放して電子源を交換し、（工程３）真空排気再開、（工程４）電子線放射を再開後、（工程５）電子銃の軸調整機構による光軸調整、および（工程６）鏡体側の偏向機能による光軸調整が完了すると装置の稼動再開が可能となる。
【００３５】
これに対して本発明による電子源を採用した場合の作業工程を図１５に示す。電子源は予めその製作工程において、針状電極の傾斜角に基いて針状電極とサプレッサー電極との間に偏心量が与えられているので、電子源取付け部の嵌合に従って電子源を組み込むだけで電子源に属する針状電極と引出し電極の間に所要の偏心量が自動的に与えられる。これにより電子線放射開始直後から引出電極の中心軸に平行に補正された電子線を得られるので、図１４に示した従来技術の（工程５）および（工程６）に示した電子線光軸調整作業が不要となる。従って、電子源交換に伴う装置停止時間を最小限に留めることが出来るので、２４時間連続稼動の半導体検査用電子顕微鏡等、製造ラインで使用される電子線装置に特に有効である。
【００３６】
【発明の効果】
本発明によれば、電子線を利用する装置側に特別な電子線偏向手段を必要としない上、電子銃または電子源の組立段階において針状電極の傾きに起因する電子線光軸ずれを予め予想し、事前に補正することが可能であり、低ノイズ、高電流密度でエネルギーの均一な電子線を効率良く得ることが可能であると同時に、電子銃および電子線装置の生産性向上、電子源交換時の装置停止時間の短縮にも効果的である。
【００３７】
また、従来技術による電子銃では不可欠であった、大気側から水平面内の位置調整をするための機構が不要となるので電子銃の小形化が図れ、これに伴い、構成部品からの放出ガスが低減し、真空度の向上による放射電流の安定化、放電の抑制等、信頼性向上にも有効である。更に、鏡体内部で電子線光軸を補正するための偏向手段も不要となるので、装置全体の小形化に有利であり、耐振性の向上も期待出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】針状電極の偏心と電子線光軸の偏向の関係を説明する図。
【図２】偏向量θｃと偏心量ｅの関係の一例を示す図。
【図３】電子線光軸の補正方法の説明図。
【図４】本発明による電子銃の一例を説明する縦断面図及びそのＡ−Ａ′断面図。
【図５】電子源に属する針状電極の傾斜測定を説明する図。
【図６】本発明による電子銃の他の例を説明する縦断面図及びそのＡ−Ａ′断面図。
【図７】本発明による電子源の一例を示す概略断面図。
【図８】針状電極とサプレッサー電極および引出電極の相対位置関係を表す詳細図。
【図９】針状電極とサプレッサー電極の偏心量、および針状電極と引出電極の偏心量をそれぞれ独立して変化させたときの電子線光軸の偏向量の変化の一例を示す図。
【図１０】図７に記載の電子源を搭載した電子銃の断面図。
【図１１】本発明による走査形電子顕微鏡の一例を示す模式図。
【図１２】従来の走査形電子顕微鏡の製作工程の説明図。
【図１３】本発明による走査形電子顕微鏡の製作工程の説明図。
【図１４】従来の電子源交換の作業工程図。
【図１５】本発明による電子源交換の作業工程図。
【図１６】従来の電界放射型電子源の概略断面図。
【図１７】従来の電界放射型電子源または熱電界放射型電子源を搭載した電子銃の概略断面図。
【符号の説明】
１…針状電極、２…フィラメント、３…電流導入端子、４…フィラメント碍子、５…引出電極、６…引出電源、
１００…装置中心軸、１０１…引出電極中心軸、１０２…電子源中心軸、１０３…サプレッサー電極中心軸、１０４…針状電極中心軸、１０５…電子線光軸、１０６…二次電子、
１１…電界放射型電子源または熱電界放射型電子源、１２…電子銃容器、１３…フランジ
１４…絶縁碍子、１５…引出電極ベース、１６…真空封じ用ボルト、１７…光軸補正ねじ、１８…偏向手段、
２１…筒、２２…ベローズ、２３…軸調整ねじ、
５１…サプレッサー電極付電子源、５２…サプレッサー電極、５３…フィラメント加熱電源、５４…サプレッサー電源、
６１…電子銃、６２…鏡体、６３…試料室、６４…高圧電源、６５…制御部、
６２１…収束レンズ、６２２…走査偏向器、６２３…対物レンズ、６２４…二次電子検出器、６３１…試料ステージ、６３２…試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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