(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入出部を有するダクト状の処理室内に被処理物を載置する複数の載置ゾーンを水平方向に配置すると共に被処理物を各載置ゾーンに間欠的に移送するリフトアンドキャリー式の移送装置を配置し、処理室の上流側で供給するクリーンエアを処理室の下流側で吸引することによって、処理室内の水平方向にクリーンエアを流し、処理室のクリーンエア供給部でコロナ放電によりイオンを発生し、発生されたイオンをクリーンエアで搬送しながら被処理物に帯電している静電気を除去することを特徴とする除電方法。
【請求項２】
入出部を有するダクト状の処理室内に被処理物を載置する複数の載置ゾーンを水平方向に配置すると共に被処理物を各載置ゾーンに間欠的に移送するリフトアンドキャリー式の移送装置を配置し、処理室の上流側の上部側から供給するクリーンエアを処理室の下流側の下部側で吸引することによって、処理室内の水平方向にクリーンエアを流し、処理室のクリーンエア供給部でコロナ放電によりイオンを発生し、発生されたイオンをクリーンエアで搬送しながら被処理物に帯電している静電気を除去することを特徴とする除電方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項１記載の除電方法において、クリーンルーム内の清浄空気を導入し、浄化したクリーンエアを用いることを特徴とする除電方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リフトアンドキャリー式の移送装置を利用して物品に帯電している静電気を除去する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば液晶用ガラス基板等の物品に帯電している静電気を除去する方法としては、イオナイザを用いて中和する方法が採用されている。
イオナイザは、針状電極（エミッタ）のコロナ放電により発生したイオンを室内の一様流によって搬送し、帯電体上の電荷を逆極性のイオンで中和するものである。
【０００３】
イオナイザは、例えば、特開平２−２５４４１７号公報、特開平３−３４４２４号公報、特開平５−２４３２００号公報等に開示されている。
又、特開平７−７３９９１号公報の図５には、ローラコンベヤ上の除電対象物にイオンを含んだ気流をスリットノズルから高速で吹き付けるスリットノズル式イオナイザが開示されている。
【０００４】
処で、このスリットノズル式イオナイザでは、次のような不具合がある。ローラコンベヤの速度によっては、十分な除電ができない。高速気流により塵埃の巻上等の気流乱れが生じる。上から吹き付けるため、物品の形状が限定される。
図３４は、従来の除電装置の概要を示す説明図である。
図において、１はクリーンルームを表す。クリーンルーム１は、天井側にＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ２を設け、床側にグレーチング板等の床板３を設け、天井空間４と床下空間５とをセントラル空調機６によって連絡することにより、クリーンエアを垂直ダウンフローによって循環供給できるようになっている。
【０００５】
クリーンルーム１内には、２種類の生産装置７、８がローラコンベヤ９を挟んで配置されている。そして、ローラコンベヤ９の上方には、約１ｍ程度の長さの吊り下げ型イオナイザ１０が配置されている。従って、２種類の生産装置７、８間に配置されたローラコンベヤ９及びを吊り下げ型イオナイザ１０によって除電処理領域１２が形成されている。
【０００６】
尚、ローラコンベヤ９での搬送時に、作業者等からのゴミが除電処理領域１２内に侵入しないように、上部には開放フード１３が設けてある。
この従来例では、図３４に示すように、生産装置７で加工された液晶用ガラス基板１１が、ローラコンベヤ９にて次の生産装置８へ搬入される過程で吊り下げ型イオナイザ１０からコロナ放電により発生されるイオンによって静電気を除去するものである。
【０００７】
処が、図３４では、垂直ダウンフローのクリーンルーム１内で、１台の吊り下げ型イオナイザ１０によってスポット的に除電するので、吊り下げ型イオナイザ１０から放電されるイオンは、垂直ダウンフローによって床下空間５へ搬送され、図３５に示すように吊り下げ型イオナイザ１０直下のみが除電される。
而も、吊り下げ型イオナイザの長さが約１ｍ程度であるため、ローラコンベヤ９の速度が０．５ｍ／ｓｅｃ程度で処理される上記従来の除電方法では、液晶用ガラス基板１１が吊り下げ型イオナイザの下を２秒で通過してしまい、除電能力が不十分である。
【０００８】
又、液晶用ガラス基板１１が、複数枚を積み込むカセット式となった場合には、下側の液晶用ガラス基板１１は除電できにくかった。
そこで、図３６及び３７に示すように、複数個の吊り下げ型イオナイザ１０をローラコンベヤ９の流れ方向に配置することが考えられる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
処が、図３６に示すように、複数個の吊り下げ型イオナイザ１０をローラコンベヤ９の流れ方向に配置しても、クリーンルーム１が垂直ダウンフローであるから、液晶用ガラス基板１１が、複数枚を積み込むカセット式となった場合には、下側の液晶用ガラス基板１１は除電できにくかった。
【００１０】
一方、イオナイザは、その電極にゴミが付着しやすく、そのゴミが落下し、被処理物に付着する虞があるので、このゴミ落下防止のためのメンテナンスが必要とされている。
そこで、図３６のように、複数個の吊り下げ型イオナイザ１０を用いる場合には、各吊り下げ型イオナイザ１０の電極に付着したゴミの落下を防止するためのメンテナンスを、１つの吊り下げ型イオナイザを用いた図３４の除電装置に比し頻繁に行わなければならないという問題があった。
【００１１】
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為されたもので、その目的は、１つのイオン発生器によって静電気が帯電した物品を連続的に除電することが可能な除電方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、入出部を有するダクト状の処理室内に被処理物を載置する複数の載置ゾーンを水平方向に配置すると共に被処理物を各載置ゾーンに間欠的に移送するリフトアンドキャリー式の移送装置を配置し、処理室の上流側で供給するクリーンエアを処理室の下流側で吸引することによって、処理室内の水平方向にクリーンエアを流し、処理室のクリーンエア供給部でコロナ放電によりイオンを発生し、発生されたイオンをクリーンエアで搬送しながら被処理物に帯電している静電気を除去することを特徴とするものである。
【００１３】
請求項２の発明は、入出部を有するダクト状の処理室内に被処理物を載置する複数の載置ゾーンを水平方向に配置すると共に被処理物を各載置ゾーンに間欠的に移送するリフトアンドキャリー式の移送装置を配置し、処理室の上流側の上部側から供給するクリーンエアを処理室の下流側の下部側で吸引することによって、処理室内の水平方向にクリーンエアを流し、処理室のクリーンエア供給部でコロナ放電によりイオンを発生し、発生されたイオンをクリーンエアで搬送しながら被処理物に帯電している静電気を除去することを特徴とするものである。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項１記載の除電方法において、クリーンルーム内の清浄空気を導入し、浄化したクリーンエアを用いることを特徴とするものである。
【００２０】
【作用】
請求項１の発明においては、処理室の上流側で供給するクリーンエアを処理室の下流側で吸引することによって、処理室内にクリーンエアを水平方向に流し、被処理物をリフトアンドキャリー式の移送装置により上流側の載置ゾーンから下流側の載置ゾーンに向かって間欠的に移送し、クリーンエアの給気側でコロナ放電により発生されたイオンをクリーンエアで搬送しながら被処理物に帯電している静電気を除去することができる。
【００２１】
請求項２の発明においては、処理室の上流側の上部側から供給するクリーンエアを処理室の下流側の下部側で吸引することによって、処理室内にクリーンエアを水平方向に流し、被処理物をリフトアンドキャリー式の移送装置により上流側の載置ゾーンから下流側の載置ゾーンに向かって間欠的に移送し、クリーンエアの給気側でコロナ放電により発生されたイオンをクリーンエアで搬送しながら被処理物に帯電している静電気を除去することができる。
【００２２】
請求項３の発明においては、クリーンルーム内の清浄空気が、給気側のファン等によって吸引された後、高性能フィルタによって所定のクリーン度に浄化されて処理室の上流側へ吹き出される。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００２７】
図１は、本発明の第１実施例に係る除電装置をクリーンルーム内に設置した例を示す。
図において、２１はクリーンルームを表す。クリーンルーム２１は、天井２３側にＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ２４を敷設し、床側にグレーチング板等の床板２５を設け、天井２３側の空間２２と床下空間２６とをセントラル空調機２７によって連絡することにより、クリーンエアを垂直ダウンフローによって循環供給できるようになっている。
【００２８】
クリーンルーム２１内には、２種類の生産装置２８、２９を挟んで、除電装置３０が配置されている。
この除電装置３０は、図２乃至図１２に示すように、前後に入出部３２、３３を備えたダクト状の処理室３１と、この処理室３１内に水平方向に設けられ液晶用ガラス基板（被処理物）４４を載置する３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃと、液晶用ガラス基板（被処理物）４４を各載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに間欠的に移送するリフトアンドキャリー式の移送装置６０と、処理室３１の上流側の天井３１ａに設けられたファン３６とＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ３７を組み合わせたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５と、処理室３１の下流側の床板３１ｂに設けられたファン３９とＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ４０を組み合わせたファンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８と、ファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５の下面に設けられたイオン発生器（イオナイザ）４１とを備えている。
【００２９】
ここで、処理室３１は、図１及び図４に示すように、入出口３２、３３以外は、閉鎖されている。即ち、天井３１ａ、床板３１ｂ、側板３１ｃで囲われている。
又、この除電装置３０の入出口３２、３３の天井側には、図１及び図１２に示すように、垂れ壁４２、４３が設けてある。
更に、除電装置３０には、図２に示すように、脚３０ａが設けてある。
【００３０】
次に、図１乃至図１１に基づいて、処理室３１内に水平方向に設けられた３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃと、液晶用ガラス基板（被処理物）４４を各載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに間欠的に移送するリフトアンドキャリー式の移送装置６０について説明する。
３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃは、図１乃至図４に示すように、処理室３１の壁面３１ｃ、３１ｃに８本の棒状の受座６１を対向するように配置したものである。受座６１は、先端が小径となり、液晶用ガラス基板（被処理物）４４の端部を載置しやすくしてある。
【００３１】
３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃは、図３に示すように、夫々に液晶用ガラス基板（被処理物）４４が載置されたときに、各液晶用ガラス基板（被処理物）４４が干渉しないような間隔が維持できるように、隙間Ｓが設けてある。この隙間Ｓとしては、１本の受座６１を取り付ける間隔に相当する。
次に、リフトアンドキャリー式の移送装置６０について説明する。
【００３２】
リフトアンドキャリー式の移送装置６０は、図１乃至図３に示すように、３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃを形成する受座６１、６１間に処理室３１の長手方向に設置されている。
リフトアンドキャリー式の移送装置６０は、昇降ユニット７０と、移送装置９０と、制御手段（シーケンサ）とで構成されている。
【００３３】
図４乃至図８に示すように、昇降ユニット７０は、矩形状の受座ベース７１と、この受座ベース７１の両側部に設けた棒状のガラス基板受座ベース７２と、両ガラス基板受座ベース７２の両端部に設けた吸着キャップ７３と、この吸着キャップ７３に連絡するチューブ７４と、矩形状の受座ベース７１の下面に取り付けた受座取付ブラケット７５と、この受座取付ブラケット７５に取り付けたほぼＬ字型の取付ブラケット７６と、この取付ブラケット７６を介して受座取付ブラケット７５を昇降させるエアシリンダ７７と、このエアシリンダ７７を取り付けるほぼＬ字型の取付ブラケット７８と、この取付ブラケット７８を取り付けるベース７９と、取付ブラケット７６に取り付けられエアシリンダ７７の伸縮に伴ってこのベース７９に設けた孔８０を挿通するガイド８１と、ベース７９の下面に取り付けられた走行用のガイド８２と、ベース７９に設けた直方体状のストライカ８３とを備えている。
【００３４】
エアシリンダ７７には、図７に示すように、エアポートイン７７ａとエアポートアウト７７ｂとが設けてある。又、エアシリンダ７７に連結するチューブ７４には、図示しない開閉弁が取り付けられており、真空ポンプに連絡している。
図１乃至図４、図５乃至図１１に示すように、移送装置９０は、処理室３１の床板３１ｂに取り付けられ昇降ユニット７０の走行用のガイド８２を案内するレール９１と、昇降ユニット７０の走行用のガイド８２に押さえ金具９４を介して取り付けられるエンドレスのタイミングベルト９２と、処理室３１の床板３１ｂに取り付けられタイミングベルト９２を駆動するタイミングプーリ９３と、処理室３１の床板３１ｂに取り付けられタイミングベルト９２を回転自在に支持するタイミングプーリ９４と、処理室３１の床板３１ｂの下面側に取り付けられ駆動側のタイミングプーリ９３を正転・逆転させるサーボモータ９５とで構成されている。
【００３５】
サーボモータ９５は、エンコーダを取り付けることによって、昇降ユニット７０の進む距離をこのエンコーダのパルス数で決定するようにしてある。例えば、エンコーダが１０００パルスで駆動部のタイミングプーリ９３が１回転するというように、エンコーダのパルス数で調整する。本実施例では、３００００パルスに設定し、水平に２．４秒で５００ｍｍ移動するようにしてある。
【００３６】
タイミングベルト９３は、図９乃至図１１に示すように、ベルトクランプ９６、９７をボルトナット９９で締付することによって無端状とされている。
図３、図４、図６に示すように、制御手段（シーケンサ）は、移送装置９０のレール９１の両端に設けたオーバラン防止用の近接センサ１０１と、３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃの夫々の中央に設けた基板感知用ファイバーセンサ１０２と、受座７１に設けた基板感知用ファイバーセンサ１０３と、各基板感知用ファイバーセンサ１０２と対向して設けた原点感知用光センサ１０４とで構成されている。
【００３７】
ここで、基本的には本装置は、後述するようにサーボモータ９５にエンコーダを設け、エンコーダに設定されたパルス数だけ移動するようにされているので、オーバランしないものであるが、重量物を搬送した場合にオーバーランを起こす虞があるので、オーバラン防止用の近接センサ１０１が設けてある。
更に、昇降装置７０及び移送装置９０は、図４に示すように、隔壁１１０によって囲われている。
【００３８】
昇降装置９０の受座取付ブラケット７５の位置で、受座取付ブラケット７５の幅より広幅の溝１１１が長手方向に形成されている。
又、タイミングプーリ９３、９４の近傍の床板３１ｂには、駆動部排気口１１２が設けてある。この駆動部排気口１１２には排気ファン１１３が設けてある。
これによって、駆動部門１３０が処理室３１から分離される。
【００３９】
更に、駆動部門１３０の両側には、図４に示すように、パンチング板１２０が取り付けられ、処理室３１内の空気をファンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８で排気できるようにレターンシャフト１２１が形成されている。
次に、本実施例の作用を説明する。
このように構成された本実施例によれば、図１に示すように、クリーンルーム２１では天井２３側の空間２２から供給されるクリーンエアは、床下空間２６に向かって垂直ダウンフローとして流下していく。
【００４０】
これによって、クリーン度をクラス１０にすることができる。
一方、除電装置３０では、処理室３１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５では、クリーンルーム２１内のクリーンエアをファン３６で吸引した後、高性能フィルタ３７で浄化して処理室３１内に吹き出し、同時に、処理室３１の下流側の床板３１ｂに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８において、処理室３１内のクリーンエアをファン３９で吸引した後、高性能フィルタ４０で浄化してクリーンルーム２１内に吹き出している。
【００４１】
これによって、処理室３１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５から処理室３１内に吹き出されたクリーンエアは、処理室３１の下流側の床板３１ｂに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８によって吸引されるため、処理室３１内に水平方向に配置された３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに沿って流れる。
【００４２】
この際、処理室３１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５から処理室３１内に吹き出されたクリーンエアは、図２に示すように、生産装置２８方向へ、垂れ壁４２が設けてあるため、生産装置２８側への流れが低減され、処理室３１の下流側へ流れるようになる。
又、処理室３１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５の下面に設けたイオン発生器（イオナイザ）４１からコロナ放電により発生されたイオンは、上述のように処理室３１内を３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに沿って流れるクリーンエアによって搬送される。
【００４３】
一方、処理室３１における下流側においても、処理室３１内のクリーンエアの生産装置２９への両量を低減するために、図１２に示すように、垂れ壁４３を設ける。
この垂れ壁４２、４３によって、処理室３１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５から処理室３１内に吹き出されたクリーンエアを搬送物に沿った効果的な水平方向の流れとすることができる。
この状態において、生産装置２８で加工された液晶用ガラス基板４４は、最初の載置ゾーン３４Ａに載せられる。
【００４４】
上述したように、処理室３１内では、その上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５の下面に設けたイオン発生器（イオナイザ）４１からコロナ放電により発生されたイオンが、処理室３１内を３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに沿って流れるクリーンエアによって搬送されているので、その上下面４４ａ、４４ｂを含む表面がクリーンエアによって搬送されるイオンと接触し、除電される。
【００４５】
このように、生産装置２８で加工された液晶用ガラス基板４４が、最初の載置ゾーン３４Ａに載せられると、制御装置（シーケンサ）の指令により、載置ゾーン３４Ａの基板感知センサ１０２が液晶用ガラス基板４４を感知する。ここで、基板感知センサ１０２は、処理室３１の天井面３１ａに向かって感知部位が向けられている。
【００４６】
そして、最初の載置ゾーン３４Ａの基板感知センサ１０２が液晶用ガラス基板４４を感知すると、制御装置（シーケンサ）の指令により、サーボモータ９５が駆動し、リフトアンドキャリー式の移送装置６０の移送装置９０が、図２及び図３における右方向へ移動し、基板感知用ファイバーセンサ１０２と対向して設けた原点感知用光センサ１０４からの光を昇降ユニット７０のストライカ８３が遮光すると、制御装置（シーケンサ）の指令により、サーボモータ９５に停止指令が出され、最初の載置ゾーン３４Ａの指定位置で昇降ユニット７０が停止する。
【００４７】
これによって、昇降ユニット７０は、最初の載置ゾーン３４Ａに乗せられている液晶用ガラス基板４４の真下に位置する。
次いで、昇降装置７０の受座ヘッド７１に設けた基板感知用ファイバーセンサ１０３が、液晶用ガラス基板４４が昇降装置７０上にあることを感知すると、制御装置（シーケンサ）の指令により、吸着キャップ７３に連絡する開閉弁を開く。これによって、吸着キャップ７３からはエアが吸引される。そして、制御装置（シーケンサ）の指令により、昇降装置７０のエアシリンダ７７に連絡する圧縮空気弁を開き、そのラム７７ｃが伸長し、受座ヘッド７１を上昇させ、液晶用ガラス基板４４に吸着キャップ７３を当接させ、同時に液晶用ガラス基板４４を吸着キャップ７３で吸着して、エアシリンダ７７のラム７７ｃの長さだけ伸長させ、液晶用ガラス基板４４を最初の載置ゾーン３４Ａの受座６１より上方に持ち上げる。ここでは、ラム７７Ｃの長さを１６ｍｍとした。
【００４８】
次いで、制御装置（シーケンサ）の指令により、サーボモータ９５のモータ９５を正転させ、吸着キャップ７３で液晶用ガラス基板４４を吸着した昇降装置７０を次の載置ゾーン３４Ｂへ水平移送する。ここで、エンコーダからのパルス数が３００００になると、２．４秒で５００ｍｍ移動するように設定してある。
次の載置ゾーン３４Ｂでは、基板感知用ファイバーセンサ１０２と対向して設けた原点感知用光センサ１０４からの光を昇降ユニット７０のストライカ８３が遮光すると、制御装置（シーケンサ）の指令により、サーボモータ９５に停止指令が出され、次の載置ゾーン３４Ｂの指定位置で昇降ユニット７０が停止する。
【００４９】
次に、制御装置（シーケンサ）の指令により、吸着キャップ７３に連絡する開閉弁を閉じる。そして、制御装置（シーケンサ）の指令により、昇降装置７０のエアシリンダ７７に連絡する圧縮空気弁を閉じ、そのラム７７ｃを収縮させ、受座ヘッド７１を下降させ、液晶用ガラス基板４４を次の載置ゾーン３４Ｂの受座６１上に載せ、昇降ユニット７０は更に下方へ移動する。
【００５０】
以下同様にして、最終の載置ゾーン３４Ｃへ送られ、次の生産装置２９へ搬出される。
図１３は、以上の動作を表したものである。
本実施例では、最初の載置ゾーン３４Ａの中心点から次の載置ゾーン３４Ｂの中心点までの距離を５００ｍｍ、次の載置ゾーン３４Ｂの中心点から最後の載置ゾーン３４Ｃの中心点までの距離を５００ｍｍと設定し、この最初の載置ゾーン３４Ａの中心点から最後の載置ゾーン３４Ｃの中心点までの距離を搬送速度０．１ｍ／ｓで搬送するようにしたものである。即ち、１０００ｍｍを大凡１２秒で搬送できるようにした。
【００５１】
そのため、最初の載置ゾーン３４Ａ及び次の載置ゾーン３４Ｂでの待ち時間を１秒、リフトアップ時間及びリフトダウン時間を夫々１秒、リフト後のストップ時間を０．３秒、５００ｍｍの移動時間を２．４秒、移動後のストップ時間を０．３秒とした。
尚、以上の処理過程においては、各載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃは勿論のこと、リフトアンドキャリー式の移送装置６０による移送過程においても、液晶用ガラス基板４４は、その上下面４４ａ、４４ｂを含む表面がクリーンエアによって搬送されるイオンと接触し、除電される。
【００５２】
その後、液晶用ガラス基板４４は、次の生産装置２９へ搬送される。
以上のように、本実施例によれば、水平方向に設けられた液晶用ガラス基板（被処理物）４４を載置する３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃに沿ってクリーンエアを送りながら、液晶用ガラス基板（被処理物）４４をリフトアンドキャリー式の移送装置６０により上流側の載置ゾーン３４Ａから下流側の載置ゾーン３４Ｃに向かって間欠的に移送し、クリーンエアの給気側でコロナ放電により発生されたイオンをクリーンエアで搬送しながら液晶用ガラス基板（被処理物）４４に帯電している静電気を除去することができる。
【００５３】
特に、イオン発生器（イオナイザ）４１からコロナ放電により発生されたイオンは、従来のように垂直ダウンフローではなく、処理室３１の上流側から下流側へほぼ水平方向に流れるクリーンエアによって搬送されるため、３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ上及び移送中の液晶用ガラス基板（被処理物）４４との接触時間が格段に長くなり、液晶用ガラス基板４４に帯電された静電気は、確実に除去される。
【００５４】
又、液晶用ガラス基板（被処理物）４４は、３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ上に載置されているときは勿論のこと、移送中においても、常時クリーンエア及びこれによって搬送されるイオンに接触するため、その上面４４ａは勿論のこと下面４４ｂ側も除電される。
【００５５】
図１４乃至図２２は、処理室３１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５から処理室３１内に吹き出されたクリーンエアが、生産装置２８方向へ流れる量を低減し、且つ処理室３１内の水平方向の流れを速やかに形成するため、ファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５の下面側にクリーンエア流れ制御機構を設けた例を示す。
【００５６】
図１４では、下面側の開口率を側面側の開口率より小さくして、下流側へ向かう流れを作れるようにしたパンチング板４５を配した例を示す。
この例では、垂れ壁４２が設けてあった位置は、閉鎖されてある。
又、パンチング板４５には、開口率の大きい側面側にイオン発生器（イオナイザ）４１が設けてある。
【００５７】
図１５は、図１４におけるパンチング板４５の側面が楕円形状にした例、図１６は、図１４におけるパンチング板４５の側面が半円形状にした例を示す。
図１７は、図１４におけるパンチング板４５に代えてほぼＬ字状に折れ曲がる抵抗板４６とした例を示す。
この抵抗板４６によって、処理室３１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５から処理室３１内に吹き出されたクリーンエアは、下流側へ向かう流れに変えられる。
【００５８】
図１８は、図１７における抵抗板４６に水平方向に延びる板体４６ａを追加した例を示す。
図１９は、図１７における抵抗板４６の傾斜部４６ｂをパンチングにした例を示す。
図２０は、図１８における抵抗板４６に傾斜部４６ｂと水平方向に延びる板体４６ａをパンチングにした例を示す。
【００５９】
図２１は、図１７におけるほぼＬ字状に折れ曲がる抵抗板４６を円弧状にした例を示す。
図２２は、図２に示す垂れ壁４２と同様の効果を奏するように、ファンフィルタユニット３５の高性能フィルタ３７の形状を水平部３７ａとこれに連設する円弧状部３７ｂとすると共に、通気抵抗を水平部３７ａが大きく、円弧状部３７ｂが小さくなるようにした例を示す。
【００６０】
この例によれば、ファン３６から送られる空気は、水平部３７ａでは低速、円弧状部３７ｂでは高速となって給気される。
図２３は、処理室３１における下流側の垂れ壁４３に代えて円弧状の気流案内板４７を設けた例を示す。
この例によれば、処理室３１内のクリーンエアの流れを垂れ壁４３と同様に変更させることができると共に、垂れ壁４３に比してその変更をスムーズに行うことができる。
【００６１】
図２４は、本発明の第２実施例に係る除電装置を示す。
本実施例と図１に示す実施例との相違は、ファンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８が処理室３１の下流側の天井３１ａに設けてある点にある。本実施例においても、図１に示す実施例と同様の作用効果を奏することができる。
【００６２】
ファンフィルタユニット３５から吹き出されたクリーンエアは、処理室３１の下流側に設けたファンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８によって吸引されるため、処理室３１内に水平方向に配置されたローラコンベヤ３４に沿って流れる。
図２５は、本発明の第３実施例に係る除電装置を示す。
【００６３】
本実施例と図１に示す実施例との相違は、処理室３１の上流側の天井３１ａに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）３５と処理室３１の下流側の床板３１ｂに設けたファンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）３８とが、吹出口１５１と吸込口１５２に置き換わると共に、吹出口１５１と吸込口１５２をダクト１５３を介して循環ファン１５０により連結し、循環ファン１５０でクリーンエアを循環させるようにしたものである。
【００６４】
図２６は、本発明の第４実施例に係る除電装置を示す。
図２５に示す実施例における吸込口１５２を処理室３１の下流側の天井３１ａに設けたものである。
本実施例においても、図２５に示す実施例と同様の作用効果を奏することができる。
【００６５】
図２７乃至図３３は、本発明の第５実施例に係る除電装置を示す。
本実施例では、図３１乃至図３３に示すキャリアケース１６０にて複数の液晶用ガラス基板４４を複数枚収容し、除電するものである。
処理室３１では、キャリアケース１６０を載置するために、受座６１の先端にレール８５を取り付け、矩形状の受座ベース７１の両側部に設けた棒状のガラス基板受座ベース７２及び吸着キャップ７３を廃止し、受座ベース７１の両端に立上がり部７１ａを設け、この立上がり部７１ａでキャリアケース１６０を受け止めるようにしたものである。
【００６６】
このキャリアケース１６０は公知であり、枠１６１に液晶用ガラス基板４４を１枚ずつ収容する段部１６１が形成されており、上下左右からクリーンエアが流通できる隙間があり、一側部側から液晶用ガラス基板４４を段部１６１に沿って移動させながら収容するようになっている。
その他の構成は、図１に示す実施例と同様である。
【００６７】
本実施例でも図１に示す実施例と同様の効果を奏することができる。
次に、本実施例による作用を説明する。
図２８において、キャリアケース１６０は、高さが約３００ｍｍで、枠１６１に液晶用ガラス基板４４を１枚ずつ収容する段部１６１が１６個形成されており、上下左右からクリーンエアが流通できる隙間があり、一側部側から液晶用ガラス基板４４を段部１６２に沿って移動させながら収容するようになっている。
【００６８】
このキャリアケース１６０の最上位（枠１６１の上面から約５０ｍｍ下の位置）と中間（最上位から約１００ｍｍ下の位置）と最下位（中間から約１００ｍｍした後で、枠１６１の下面から約５０ｍｍの位置）に液晶用ガラス基板４４を１枚ずつ収容した後、処理室３１内の流速を０．５ｍ／ｓｅｃ、温度２３℃、湿度５５％の条件で、最上位、中間及び最下位の液晶用ガラス基板４４の除電特性を帯電プレートモニタにより測定した。試験した液晶用ガラス基板４４の静電気の帯電量は−１８００Ｖであった。
【００６９】
その結果は、次の通りである。
最上位の液晶用ガラス基板４４は、２５秒後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。
中間の液晶用ガラス基板４４は、５２秒後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。
【００７０】
最下位の液晶用ガラス基板４４は、６０秒後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。
比較のために、垂直ダウンフローのクリーンルーム内で、上記と同様に最上位、中間及び最下位の液晶用ガラス基板４４の除電特性を帯電プレートモニタにより測定した。試験した液晶用ガラス基板４４の静電気の帯電量は−１８００Ｖあった。尚、垂直ダウンフローの流速は０．５ｍ／ｓ、温度２３℃、湿度５５％であった。
【００７１】
最上位の液晶用ガラス基板４４は、５０秒後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。
中間の液晶用ガラス基板４４は、２６０秒後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。
【００７２】
最下位の液晶用ガラス基板４４は、１６０秒後に静電気の帯電量が−１００Ｖとなった。
本実施例では、液晶用ガラス基板４４の上下面から除電するので、従来例のように液晶用ガラス基板４４の上面からの除電に比して短時間に除電できたものと思われる。
【００７３】
尚、上記実施例では、３つの載置ゾーン３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃを設けた場合について説明したが、被処理物及び処理規模によって増減することは任意である。
又、被処理物として液晶用ガラス基板について説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、半導体であっても良い。
更に、天井全面に高性能フィルタを用いたクリーンルームに適用した場合について説明したが、コンベンショナルタイプのクリーンルームとしたものとしても良い。
【００７５】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、水平方向に設置した複数の載置ゾーンに沿ってクリーンエアを送ることができるので、上流側に１つのイオン発生器を設置するだけで、連続的に被処理物に帯電する静電気を確実に除去することができるので、複数のイオナイザを必要とせず、メンテナンスが容易である。
又、水平方向に設置した複数の載置ゾーンに沿って流れるクリーンエアでイオンを搬送するので、被処理物に対し上下面にイオンを接触させることが可能となり、ガラス基板等を複数枚積み込むカセット式であっても、被処理物の上下面に帯電する静電気を確実に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例に係る除電装置をクリーンルーム内に設置した例を示す説明図である。
【図２】図１の除電装置の正面図である。
【図３】図１の除電装置の平面図である。
【図４】図１の除電装置の断面図である。
【図５】図１の昇降ユニットの受座の平面図である。
【図６】図１の昇降ユニットの一部切欠き側面図である。
【図７】図１の昇降ユニットの要部を示す側面図である。
【図８】図１の昇降ユニットと移送装置との関係を示す側面図である。
【図９】図１の移送装置のタイミングベルトの平面図である。
【図１０】図９の移送装置のタイミングベルトの結合部の詳細を示す平面図である。
【図１１】図１０の移送装置のタイミングベルトの結合部の詳細を示す側面図である。
【図１２】図１の除電装置のクリーンエアの排気部におけるクリーンエアの流れを示す説明図である。
【図１３】図１の除電装置の実施例における処理工程を示す説明図である。
【図１４】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。
【図１５】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。
【図１６】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。
【図１７】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。
【図１８】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。
【図１９】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。
【図２０】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。
【図２１】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。
【図２２】図１の除電装置のクリーンエアの供給部に設けたリーンエア流れ制御機構を示す説明図である。
【図２３】図１の除電装置における下流側の垂れ壁に代えて円弧状の気流案内板を設けた例を示す説明図である。
【図２４】本発明の第２実施例に係る除電装置を示す説明図である。
【図２５】本発明の第３実施例に係る除電装置を示す説明図である。
【図２６】本発明の第４実施例に係る除電装置を示す説明図である。
【図２７】本発明の第５実施例に係る除電装置を示す平面図である。
【図２８】図２７の除電装置の断面図である。
【図２９】図２７の除電装置の昇降ユニットの平面図である。
【図３０】図２７の除電装置の昇降ユニットの側面図である。
【図３１】図２７の除電方法に用いられる液晶用ガラス基板を複数枚収容し、搬送するキャリアケースの正面図である。
【図３２】図３１に示すキャリアケースの側面図である。
【図３３】図３１に示すキャリアケースの背面図である。
【図３４】従来の除電装置の概要を示す説明図である。
【図３５】図３４における従来の除電装置のイオナイザとローラコンベヤ上の被処理物との関係を示す説明図である。
【図３６】従来の除電装置の概要を示す説明図である。
【図３７】図３６における従来の除電装置のイオナイザとローラコンベヤ上の被処理物との関係を示す説明図である。
【符号の説明】
２１  クリーンルーム
２２  ファンフィルタユニット
２８、２９  生産装置
３０  除電装置
３１  処理室
３２、３３  入出口
３４  ローラコンベヤ
３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃ  載置ゾーン
３５  ファンフィルタユニット（クリーンエア給気手段）
３８  ファンフィルタユニット（クリーンエア排気手段）
４１  イオン発生器（イオナイザ）
４２、４３  垂れ壁
４４  液晶用ガラス基板
６０  リフトアンドキャリー式の移送装置
６１  受座
７０  昇降ユニット
７３  吸着キャップ
７７  エアシリンダ
８３  ストライカ
９０  移送装置
９１  レール
９２  タイミングベルト
９３、９４  タイミングプーリ
９５  サーボモータ
１０２  基板感知用ファイバーセンサ
１０３  基板感知用ファイバーセンサ
１０４  原点感知用光センサ
１１０  隔壁
１１１  溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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