(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の指令流量設定値に対応したバルブ駆動電圧値を学習値としてテーブル化して記憶したテーブル記憶部と、ＰＩＤ制御の比例定数と積分定数とを少なくとも記憶したＰＩＤ定数記憶部とを有する流量制御装置を用いて、入力された指令流量設定値に基づいて前記テーブル記憶部から対応するバルブ駆動電圧値を求めてバルブ駆動信号を出力し、この信号により流体通路に介設した流量制御弁を制御して流体の流量を制御する流量制御方法において、前記指令流量設定値がある一定値以上変化した時には前記テーブル記憶部より対応する学習値をバルブ駆動電圧値として求め、この値の所定の割合の値を所定の時間だけバルブ駆動信号として出力する初期工程と、その後、ＰＩＤ制御を行なうＰＩＤ工程と、流量整定後において指令流量設定値に対応する前記テーブル記憶部中のバルブ駆動電圧と実際のバルブ駆動電圧との比が所定の範囲内の場合には、前記ＰＩＤ定数記憶部の比例定数と積分定数の少なくとも一方を書き換え、所定の範囲外の場合には前記テーブル記憶部に記憶された各バルブ駆動電圧としての学習値を書き換える書き換え工程とを有し、前記比例定数と積分定数の少なくとも一方の書き換えは、流量変化過渡時の所定の時点の流量センサの出力値と指令流量設定値との比で表される応答係数と比例定数または／及び積分定数との関係を予めテーブル化したＰＩＤ定数テーブル記憶部から選択した値を用いて書き換えるように構成したことを特徴とする流量制御方法。
【請求項２】
複数の指令流量設定値に対応したバルブ駆動電圧値を学習値としてテーブル化して記憶したテーブル記憶部と、ＰＩＤ制御の比例定数と積分定数とを少なくとも記憶したＰＩＤ定数記憶部とを有する流量制御装置を用いて、入力された指令流量設定値に基づいて前記テーブル記憶部から対応するバルブ駆動電圧値を求めてバルブ駆動信号を出力し、この信号により流体通路に介設した流量制御弁を制御して流体の流量を制御する流量制御方法において、前記指令流量設定値がある一定値以上変化した時には前記テーブル記憶部より対応する学習値をバルブ駆動電圧値として求め、この値の所定の割合の値を所定の時間だけバルブ駆動信号として出力する初期工程と、その後、ＰＩＤ制御を行なうＰＩＤ工程と、流量整定後において指令流量設定値に対応する前記テーブル記憶部中のバルブ駆動電圧と実際のバルブ駆動電圧との比が所定の範囲内の場合には、前記ＰＩＤ定数記憶部の比例定数と積分定数の少なくとも一方を書き換え、所定の範囲外の場合には前記テーブル記憶部に記憶された各バルブ駆動電圧としての学習値を書き換える書き換え工程とを有し、前記比例定数と積分定数の少なくとも一方の書き換えは、前記応答係数が１００％よりも大きくずれている時には比例定数と積分定数の内、少なくとも比例定数の書き換えを行い、小さくずれている時には積分定数のみの書き換えを行なうように構成したことを特徴とする流量制御方法。
【請求項３】
前記テーブル記憶部のバルブ駆動電圧の書き換えは、前記テーブル記憶部のバルブ駆動電圧と実際のバルブ駆動電圧との比に基づいて行なわれることを特徴とする請求項１または２記載の流量制御方法。
【請求項４】
前記初期工程と前記ＰＩＤ工程との間には、前記初期工程の終点状態を保持する休止期間を設けるように構成したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の流量制御方法。
【請求項５】
前記休止期間の長さは、前記比例定数または／及び積分定数と共に補正されることを特徴とする請求項４記載の流量制御方法。
【請求項６】
前記初期工程における所定の割合は、流量が増加する時は求められた学習値の８０〜９０％の範囲内であり、流量が減少する時には１１０〜１２０％の範囲内であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の流量制御方法。
【請求項７】
前記流量変化過渡時の所定の時点は、流量が増加する場合において前記流量センサの出力値に山部が存在する時にはその山部の時点であり、流量が減少する場合において前記流量センサの出力値に谷部が存在する時にはその谷部であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の流量制御方法。
【請求項８】
前記流量変化過渡時の所定の時点は、前記流量センサの出力値に山部及び谷部が存在しない場合には、指令流量設定値の変化後、所定の時間が経過した時点であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の流量制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス等の比較的小流量の流体の流量を制御する流量制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体製品等を製造するためには、半導体ウエハ等に対して例えばＣＶＤ成膜やエッチング操作が繰り返し行われるが、この場合に微量のプロセスガスを精度良く制御する必要から例えば精密ガス流量制御装置が用いられている。この種のガス流量制御装置は、微量ガスの質量流量を検出するセンサ部と、バルブ部と、これを制御する制御回路部とにより主に構成されている。センサ部は、全ガス量の僅かな比率の量が通過するセンサ管に電熱コイルを巻回してなるセンサを有しており、大部分のガスはバイパスを流れるようになっている。そして、このセンサ部での検出値に基づいて制御回路部はバルブ部の弁開度を制御し、設定値に合致したガス流量を流すようになっている。また、弁開度を制御するには、全体のガス流量自体が非常に少ないことから例えば数１０μｍ程度のストローク範囲内で精度良く弁開度を制御しなければならず、このためにアクチュエータとして大きな推力を持ち、微小変位を生ぜしめることができることから、一般的には積層型圧電素子体が用いられており、これによりガス指令流量設定値に基づいてダイヤフラムよりなる弁体を操作し、所望の弁開度に制御するようになっている。
【０００３】
ところで、バルブの弁開度すなわち操作量を制御してガス流量をコントロールする方式としては、位置ＰＩＤ制御方式や速度型ＰＩＤ制御方式等が知られており、また、ガス流量の制御に際しては、急激なガス流の流れ込みにより半導体処理室内に製品の欠陥の原因となるパーティクルが巻き上がらないように制御する必要がある。従って、パーティクル巻き上げの発生原因となるオーバシュートの発生は極力抑制しなければならない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
流量制御に一般的に使用される速度型ＰＩＤ制御の制御式は一般的にはデジタル系において下記に示す数１のように表される。
【０００５】
【数１】
0003666107.tif 000002
【０００６】
ここでΔｍn は、現在のバルブ開度からの修正分を示し、現在のバルブ開度ｍn を認めて、それに対してどのような変化を与えるかという式を与えるものである。
この制御によれば、式より明らかなようにバルブ開度の変化分のみ算出し、出力の前回位置との和は出力処理部で行うために、内部での出力計算値が出力信号域を越え難い点や、出力計算値が過大に変化し難い点や積分値の内部計算において飽和することによる問題が生じない点などの利点を有する反面、設定値が急激に変化した時など、すなわちステップ応答時の応答速度がかなり劣るという問題がある。図１４はこの状態を示しており、設定値が例えば０Ｖから５Ｖに急激にステップ状に変化した時には、バルブの開度（操作量）は点線で示されるように緩慢に上昇し、そのために実際の流量もオーバシュートすることはないが流量は緩慢に設定値に向けて上昇することになり、応答速度が悪いという問題がある。
【０００７】
特に、実際のバルブ部の流量特性は、弁開度が小さい時の流量変化は少なく、ある程度以上の弁開度になると流量変化も大きくなるような特性を有しているので、バルブ全閉状態で流量ゼロからステップ状に設定値が変化した時の応答性がかなり劣るという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明者は、先の出願（特願平５−３３９７３７号）において、上記問題点を解決するために、指令流量設定値が変化した場合には、予め作成しておいたテーブルに基づいて、定常操作量よりも低めの初期操作量を求めてその値を流量制御弁に出力し、その後、直ちに速度型ＰＩＤ制御に移行するようにした流量制御方法を開示した。
この制御方法によれば、ある程度迅速に所望の流量に設定できるが、場合によっては流量のオーバシュートが発生することが判明した。
【０００９】
このようにオーバシュートが生じる原因は、上述のように最初に初期操作量のバルブ駆動電圧をオンオフ的にステップ状に出力することから、このステップ状のバルブ開度の変化によるガス流量の急変がＰＩＤ制御系にとって外乱として作用し、これがためにオーバシュートやハンチングが発生する。また、ある種の精密ガス流量制御装置には、センサ部の後段に、センサの応答速度を早めるために微分回路を設けるようにしたものもあるが、上記したようなステップ状の変化が発生すると、この微分回路が過度に応答してしまい、これがハンチングの原因にもなっていた。
また、上記した先の出願の方法例においては、流量制御弁のヒステリシス特性を考慮してテーブルを作成するようにしているため、この作成が非常に煩雑になるという欠点もあった。
【００１０】
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、オーバシュートを生ずることなく迅速に、且つ精度良く所定の流量になるように制御することができる流量制御方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記問題点を解決するために、複数の指令流量設定値に対応したバルブ駆動電圧値を学習値としてテーブル化して記憶したテーブル記憶部と、ＰＩＤ制御の比例定数と積分定数とを少なくとも記憶したＰＩＤ定数記憶部とを有する流量制御装置を用いて、入力された指令流量設定値に基づいて前記テーブル記憶部から対応するバルブ駆動電圧値を求めてバルブ駆動信号を出力し、この信号により流体通路に介設した流量制御弁を制御して流体の流量を制御する流量制御方法において、前記指令流量設定値がある一定値以上変化した時には前記テーブル記憶部より対応する学習値をバルブ駆動電圧値として求め、この値の所定の割合の値を所定の時間だけバルブ駆動信号として出力する初期工程と、その後、ＰＩＤ制御を行なうＰＩＤ工程と、流量整定後において指令流量設定値に対応する前記テーブル記憶部中のバルブ駆動電圧と実際のバルブ駆動電圧との比が所定の範囲内の場合には、前記ＰＩＤ定数記憶部の比例定数と積分定数の少なくとも一方を書き換え、所定の範囲外の場合には前記テーブル記憶部に記憶された各バルブ駆動電圧としての学習値を書き換える書き換え工程とを有し、前記比例定数と積分定数の少なくとも一方の書き換えは、流量変化過渡時の所定の時点の流量センサの出力値と指令流量設定値との比で表される応答係数と比例定数または／及び積分定数との関係を予めテーブル化したＰＩＤ定数テーブル記憶部から選択した値を用いて書き換えるように構成したものである。
【００１２】
本発明は、以上のように、例えば工場出荷時等において、流量制御弁を介設した流体通路にある一定の圧力をかけた状態で、複数の指令流量設定値を与え、ＰＩＤ制御の結果、最終的に整定したバルブ駆動信号の値を初期値としてテーブル記憶部に記憶しておく。また、ＰＩＤ制御を行なうための最適と思われる比例定数、積分定数、微分定数及び休止期間等も工場出荷段階においてＰＩＤ定数記憶部に記憶させておく。
この流量制御弁を実際に使用する場合は、これを使用系の流体通路に接続し、指令流量設定値に応じてテーブル記憶部に基づいて対応する初期値をバルブ駆動信号として出力する。この場合、当初の所定時間だけは求めた初期値の所定の割合、例えば８０〜９０％程度の出力とし、その後、一定の休止期間を設け、或いは設けないで、ＰＩＤ制御へ移行する。
【００１３】
そして、所定の時間、例えば１．５秒程度が経過して流量が整定したならば、上記したバルブ駆動電圧の初期値やＰＩＤ制御の各種定数等が適正か否かを学習判断し、初期値が不適正な場合には初期値を学習値で置き換え、また、各種定数等が不適正な場合にはこれらの定数を補正する。
このような学習操作或いは補正操作（書き換え操作）は定期的に頻繁に行なわれ、使用系の圧力条件等が反映されて常にその系に適応した最適な値となるようにアップデートされる。
これにより、流量にオーバシュートを生じることなく所定の流量値まで迅速に変化させることが可能となる。
【００１４】
テーブル記憶部に記憶したバルブ駆動電圧である初期値（学習値）の書き換えは、その流量に対応するテーブル記憶中のバルブ駆動電圧を実際のバルブ駆動電圧との比が所定の範囲、例えば指令流量設定値が増加する場合には８０〜８５％の範囲以外の時には、テーブル記憶部中の学習値が不適切であることから応答性が遅過ぎる、或いは早過ぎるとしてこの学習値をアップデートする。尚、指令流量設定値が減少する場合には例えば１１５〜１２０％の範囲が基準となる。
また、両駆動電圧の比が、上記範囲内に収まっている場合であっても、流量変化過渡時の所定の時点の流量センサ出力値と指令流量設定値との比で表される応答係数に応じて比例定数や積分定数或いは休止期間の長さを適切に補正する。この時の補正値は、応答係数と各補正対象値との関係を予めＰＩＤ定数記憶部に記憶させており、これより適切な値を選択することにより行なう。
【００１５】
具体的には、応答係数が１００％よりも大きくずれている時は、応答変位量に大きな影響を与える比例定数を少なくとも補正し、小さくずれている時には、応答変位量に小さな影響しか与えない積分定数のみを補正する。
ここで、応答係数を算出するにあたり、用いる流量センサの出力値は、応答が速くてピーク値が生じている場合にはそのピーク値を用い、逆に応答が遅くてピーク値が判別しにくい場合には、例えば、指令流量設定値の変動後、０．５秒経過した時のセンサ出力値を用いる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る流量制御方法の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。
図１は本発明に係る流量制御方法を実施するためのガス質量流量制御装置を示す概略構成図、図２は図１に示す制御装置の流量制御部の構成を示すブロック図、図３はセンサ制御回路の出力からバルブ駆動信号を出力するまでの間の一般的な制御状態を示す概略ブロック図である。
【００１７】
まず、本発明に係る流量制御方法を実施するためのガス質量流量制御装置について説明する。
図示するようにこのガス質量流量制御装置２は、実際の使用系である、例えば半導体製造装置のガス配管系ＰＡに着脱可能に設けられる。この制御装置２は、例えばステンレススチール等により成形された流体通路４を有しており、この流体通路４のガス流体の流れ方向の上流側には大部分の流量を流すバイパス６が設けられ、下流側にはガス流体の流量を制御するために弁体として例えばダイヤフラム８を備えた流量制御弁１０が設けられる。
【００１８】
上記バイパス６の両端側には、質量流量検出センサ部１２のセンサ管１４が接続されており、これにバイパス６と比較して少量のガス流体を流し得るようになっている。このセンサ管１４には制御用の一対の電熱コイル１６が巻回されており、これに接続されたセンサ入力回路１８によりガス流体の質量流量を検出するようになっている。
【００１９】
ここでの検出値は、例えば２チャンネルのＡ／Ｄコンバータ２０を介して例えばマイクロコンピュータ等よりなる流量制御部２２へ入力されている。また、外部から入力される指令流量設定値を示す設定信号もこのＡ／Ｄコンバータ２０を介して上記流量制御部２２へ入力される。この設定信号は、通常０〜５Ｖのアナログ信号であり、上記Ａ／Ｄコンバータ２０にてデジタル信号へ変換された後に流量制御部２２へ入力される。
【００２０】
また、上記流量制御弁１０は上記ダイヤフラム８を上下駆動するためのアクチュエータとして大きな推力を有し、微小変位を生ずる例えば積層型圧電素子２４を有しており、圧電素子駆動部２６からの駆動信号で制御される。上記駆動部２６へは、流量制御部２２からのデジタル駆動信号がＤ／Ａコンバータ２８によりアナログ信号へ変換された後に入力されており、上記指令流量設定値に対応した流量が流れるように流量制御弁１０の操作量すなわち弁開度を制御している。
【００２１】
本発明においては、例えば工場出荷段階で予め複数の指令流量設定値に応じて得られたバルブ駆動信号（電圧）を初期の学習値としてテーブル化して後述するテーブル記憶部に記憶させてあり、そして、この装置を実際の使用系に取り付けた後に、流体を流しつつ実際のバルブ駆動信号（電圧）と各設定値に対応するテーブル上の上記学習値とに基づいて上記複数の指令流量設定値に対応した学習値を求めてこの学習値に基づいてバルブ駆動信号を出力するようにプログラムされている。
【００２２】
また、この学習値は、必要に応じて、例えば流量整定後において実際のバルブ駆動電圧と対応する学習値との比が所定の範囲、例えば指令流量設定値が増加した時には８０〜８５％の範囲外の時にはアップデートされて補正するようにプログラムされている。
また、同様に工場出荷段階でＰＩＤ制御に必要とされる各種定数、例えば比例定数、積分定数、微分定数や制御の休止期間が後述する応答係数との関係でテーブル化して後述するＰＩＤ定数テーブル記憶部に予め記憶させてあり、実際の使用系において動作後、必要に応じて適切にアップデートされて補正するようにプログラムされている。この補正は、上記実際のバルブ駆動電圧値と学習値との比が例えば指令流量設定値が増加した時は８０〜８５％の範囲内に収まっているときに、上記応答係数に依存して行なわれることになる。
【００２３】
このプログラム内容を機能的に表現すると、図２のように示され、大きくは工場等においてバルブ特性の初期値を学習するバルブ特性初期値用ブロック３０と実際の使用系にて実際の流量制御バルブ特性の学習を行なう学習ブロック３２とよりなり、それぞれのブロックは、バルブ特性初期値演算制御部３４及び学習演算制御部３６を含んでいる。各制御部３４、３６には、指令流量設定値とバルブ駆動電圧である学習値との関係を示す表１に示すようなテーブルを記憶するテーブル記憶部３８及び表中の各指令流量設定値の順列をカウントするテーブルカウンタ４０が共通に接続される。
【００２４】
【表１】
0003666107.tif 000003
【００２５】
上記バルブ特性初期値演算制御部３４には、初期設定時に種々の指令流量設定値を電気的に発生させる指令流量設定値発生部４２が接続されており、また、制御部３４は、センサ出力とその時の指令流量設定値とを比較して偏差を求めるための比較部４４の出力が接続されている。
【００２６】
そして、両２つのブロック３０、３２間を選択的に切り替えるために学習フラグ４６が設けられている。このフラグ４６は図示例では理解を容易にするためにスイッチとして記載されてるが、実際にはプログラムで特定のビットを立てるか否かで選択されることになる。
【００２７】
また、学習演算制御部３６には、以下のものが接続されている。
センサ出力記憶部４８は、指令流量設定値変化後のセンサ出力値を順次数秒間に亘って記憶するメモリである。ＰＩＤ定数テーブル記憶部５０は、ＰＩＤ制御時に必要となる比例定数Ｋｐ、積分定数Ｋｉ、微分定数Ｋｄ及び制御の休止期間Ｐｔと応答係数Ｒｋとの関係を予めテーブル化しておくメモリであり、例えば表２に示すようなテーブルが記憶されており、後述するように応答係数Ｒｋの値に応じて最適な値を選択できるようになっている。
【００２８】
【表２】
0003666107.tif 000004
【００２９】
ＰＩＤ定数記憶部５２は、上記ＰＩＤ定数テーブル記憶部５０にて選択された各定数や休止期間或いは計算で求められた休止期間を記憶するメモリであり、工場出荷時には一定条件下での適正な値でそれぞれ初期設定されており、動作後においては、必要に応じてアップデートされ、補正される。尚、実施例では、微分定数Ｋｄは固定値として、変更しないものとする。
タイマ５４は、指令流量設定値が変化した時からの時間をカウントするカウンタである。Ｖｇ／Ｖｎ記憶部５６は、実際のバルブ駆動電圧Ｖｎとその時の対応するテーブル上の学習値Ｖｇとの比の許容範囲を記憶するメモリであり、本実施例では指令流量設定値が増加する場合には、例えば８０〜８５％の範囲に予め初期設定されている。
【００３０】
所定の時点記憶部５８は、応答が遅い時、すなわち指令流量設定値が増加した時にセンサ出力にピーク値（山部）が判別し難い場合において、指令流量設定値がある一定値以上、例えば１０％以上変化した時から、例えば０．５秒経過した時のセンサ出力値を記憶するメモリであり、この値は上記応答係数Ｒｋを算出する時に用いる。
変化点記憶部６０は、指令流量設定値がある一定値以上増加した時にセンサ出力にピーク値が存在した場合において、そのピーク値のセンサ出力値を記憶するメモリであり、上述のように応答係数Ｒｋを算出する時に用いる。
【００３１】
整定時間記憶部６２は、指令流量設定値がある一定値以上変化した後に、流量修正が収まって整定するであろうと予期される時間を記憶するメモリであり、本実施例では例えば１．５秒に設定されている。後述するようにこの整定時間１．５秒が経過した時に、テーブル中の学習値を書き換える補正をすべきか否か、或いはＰＩＤ制御定数等を補正すべきか否かの判断処理を開始することになる。ＳＯｍ／ＳＰ記憶部６３は、指令流量設定値ＳＰとセンサ出力の反動出力値ＳＯｍとの比の基準値を記憶するメモリであり、ここでは例えば９８％が記憶される。学習演算制御部３６は、学習値補正ブロック３６ＡとＰＩＤ定数補正ブロック３６Ｂとに区分され、両者はＶｇ／Ｖｎ判断部６４の判断結果によりいずれか一方が選択される。すなわち、Ｖｇ／Ｖｎ×１００の値が、Ｖｇ／Ｖｎ記憶部５６に記憶する範囲、８０〜８５％の範囲外の時は学習値を補正するために学習値補正ブロック３６Ａが選択され、逆に、８０〜８５％の範囲内の時は、ＰＩＤ制御定数等を補正するためにＰＩＤ定数補正ブロック３６Ｂが選択される。
【００３２】
上記学習値補正ブロック３６Ａは、センサ出力とその時の指令流量設定値とを比較してこれらの偏差を求める比較部６６、指令流量設定値が変化したか否かを検出するための設定値変化検出部６８及びこれらの出力値に応じて最新の学習値を求めてテーブル中の学習値を書き換える学習値演算部７０を有している。
【００３３】
一方、上記ＰＩＤ定数補正ブロック３６Ｂは、応答係数Ｒｋに応じてＰＩＤ定数テーブル記憶部５０から対応するＰＩＤ制御定数等を選択し、この値でＰＩＤ定数記憶部５２の定数や休止期間の長さを書き換えるＰｋ判断部７２と、ＰＩＤ制御定数が最適値である場合にはおいてもキックバック量を最低に制御するために指令流量設定値ＳＰとセンサ出力の反動出力値ＳＯｍとの比ＳＯｍ／ＳＰに応じて休止期間を増減させるためのＳＯｍ／ＳＰ判断部７４を有している。反動出力値ＳＯｍとしては、指令流量設定値が増加する場合には、センサ出力がピーク値（山部）を越えた後の最小値が用いられ、上記比ＳＯｍ／ＳＰ×１００の値が９８よりも小さい時に、現在の休止期間よりも例えば１０ｍ秒だけ休止期間を長くし、しかし、最長は１００ｍ秒とする。
【００３４】
上記した流量制御弁の駆動は、設定値が変化した後の僅かな時間を除き、通常の動作時にはＰＩＤ制御が行われる。この時の制御ブロック図の概要は、図３に示すように表される。すなわち、センサ入力回路１８からのセンサ出力は、微分回路７６にてその位相が早められ、その出力は比較部７８にて指令流量設定値と比較されてその偏差が求められる。そして、この偏差に応じてＰＩＤ制御され、バルブ駆動信号出力部８０から所定の電圧を示すバルブ駆動信号が出力される。
【００３５】
また、バルブ駆動信号出力部８０の出力側には、指令流量設定値がある一定値以上変化した時に、その後の僅かな時間の間に学習値を出力する加算部８４が設けられると共に、この学習値を出力している間はＰＩＤ制御を停止するためのスイッチ部８６を設けている。これらの動作は、ソフトウエア的に行なわれるのは勿論である。
尚、図１中、８８は流量出力を例えば０〜５Ｖのアナログ信号に変換するＤ／Ａコンバータであり、９０は外部との通信を行う例えばＲＳ２３２Ｃ規格のインタフェースである。
【００３６】
次に、以上のように構成されたガス質量流量制御装置を用いて行われる本発明方法の一例を具体的に説明する。
図１において、例えば差圧３ｋｇｆ／ｃｍ2 の流体通路４にガス流体が流れると、この一部はセンサ部１２のセンサ管１４を流れ、大部分はバイパス６を流れて行き、流体制御弁１０によりその流量が制御されつつ、例えば半導体製造装置へ向かう。
【００３７】
センサ管１４を流れるガス流体の流量はセンサ入力回路１８により検出されて流体通路４全体に流れる質量流量が求められ、流量制御部２２へ入力される。そして、この検出値が外部から入力されている指令流量設定値と同一になるようにフィードバック制御がかけられて流量制御弁１０の積層型圧電素子２４を駆動することにより弁開度をＰＩＤ制御することになる。
【００３８】
さて、図４に基づいて上記制御動作を具体的に説明する。図４は指令流量設定値ＳＰが増加した時のセンサ出力ＳＯと実際のバルブ駆動電圧Ｖｎの関係を示すグラフである。この場合は、センサ出力ＳＯにオーバーシュートが見られ、応答が少し速い場合を示している。
まず、指令流量設定値ＳＰがステップ状にある一定値以上変化すると、図２中のテーブル記憶部３８に記憶されている表１から対応する学習値を求め、この値の８０〜９０％の値をバルブ駆動電圧として出力する。このように学習値の１００％の値を出力しない理由は、１００％の値を出力すると制御系が過度に応答してオーバーシュートを生ずることが考えられるからである。また、出力値が８０％よりも少な過ぎると制御性に大きな遅れが生じて好ましくなく、逆に、９０％よりも大きくなると上記したオーバーシュートが生ずる可能性が大きくなるので同様に好ましくない。この８０〜９０％の出力値は、ステップ状に出力してもよく、或いは図示するように例えば３００ｍ秒程度の時間をかけて漸増し、リニアに出力させるようにしてもよい。
【００３９】
上記８０〜９０％の出力が終了したならば、このままの状態を維持する休止期間に入り、ＰＩＤ制御によるキックバックを抑制するようにする。この休止期間は、ＰＩＤ制御定数等にもよるが、通常は５０ｍ秒〜１００ｍ秒の範囲内に設定する。尚、この休止期間は、上述のようにキックバックを抑制するために好ましくは設けるのがよいが、より速い応答性を望む場合には設けなくてもよい。
休止期間が終了したならば、次に、通常のＰＩＤ制御へ移行して弁開度を制御する。
【００４０】
図４では応答が速くなるように、ＰＩＤ制御定数を調整しているのでセンサ出力特性に山部（ピーク値）Ｐ１が生じ、その後、キックバックが生じて最低値Ｐ２を記録して、流量が安定する整定状態へと入って行く。そして、指令流量設定値ＳＰの変化後、略１．５秒経過した頃には略確実に整定状態となっている。
ここでは、設定値変動後、１．５秒経過して整定状態に入った時に、学習値を補正するか否か、或いはＰＩＤ制御定数等を補正するか否かの判断操作が行なわれることになる。
【００４１】
本発明においては、流量制御装置２をユーザにおける実際の使用系に取り付ける前に、例えば組み立て工場にて行なう初期設定モードと、ユーザの実際の使用系に取り付けた後に行なう学習モード（通常動作モード）があり、これらの選択は図２に示す学習フラグ４６の切り替えで行なう。
まず、全体の流れについて説明すると、テーブル記憶部３８は、前記表１に示すようになテーブルで構成される。
表１中のテーブルカウンタ値ｎは、０〜１０まで１１段階に区分され、この値はテーブルカウンタ４０でカウントされる。尚、カウンタ値は１１段階に限定する必要はなく、もっと細かく多段階にしてもよい。
【００４２】
指令流量設定値は、カウンタ値と対応させて２％〜１００％までの間で、適当に略等間隔に設定される。また、初期値は、学習値の計算のベースとなる値であり、工場レベルにて計測されて記憶されるバルブ駆動信号の電圧値である。これに対して、学習値は流量制御装置を実際の使用系に組み付けた後に計測されて記憶されるバルブ駆動信号の電圧値である。工場出荷時にはこの初期値が学習値の欄にコピーされて記憶されている。この学習値は後述するように、適当時にアップデートされ、必要に応じて常に補正される。
【００４３】
このように学習値を設ける理由は、工場にて行なうテスト圧力条件と実際の使用系における使用圧力条件とは通常異なるものであり、工場での評価をそのまま、実際の使用系に適用できないからである。例えば、同じ弁開度でも流すガス圧力によってその流量も異なるので評価をし直す必要が生ずるからである。
この表１の内容は、図５に示すグラフに表されており、初期値を求める場合には、そのテーブルカウンタ４０の値ｎを順次増加することによって指令流量設定値を２％〜１００％まで順次１１段階に変化させ、その時のバルブ駆動信号の電圧値をリードする。尚、１回目の学習値の補正については、後述するように、ある所定の指令流量設定値ＳＰの時の実際のバルブ駆動信号の電圧（実際の使用系なので初期値とは異なるのが一般的である）をリードし、この時の学習値（コピーされた初期値）との関係より比例配分で学習値をシフトすることにより演算で求める。以後、２回目の学習値の補正は、直前の学習値を参照して行なわれることになる。
【００４４】
ここで、工場段階において、先の表１に示す学習値を求めるために行われるバルブ特性初期設定操作を図６に示すフローを参照して説明する。
【００３０】
バルブ特性は、個々の流量制御装置の固有の特性であり、工場での装置組み立て調整時に一定圧力（例えば１．５ｋｇｆ／ｃｍ2 ）のガス圧のもとで初期設定させるが、この操作は、学習フラグを初期設定側へセットすることで自動的に開始される。
この場合、前述のように表１に示す１１段階の各指令流量設定値は、テーブルカウンタ３４の内容を１つずつインクリメントすることにより指令流量設定値発生部４２から発生させる。
【００４５】
図６ににおいて、まず、学習フラグ４６が初期設定側へセットされたか否かをチェックする（Ｓ１）。図２では、学習フラグ４６としては、便宜上、スイッチとして表されているが、実際にはＣＰＵの所定のメモリに［１］を書き込むことでセットが行われる。以後の動作はバルブ特性初期値演算制御部３４の制御下で行われる。
学習フラグ４６がバルブ特性初期設定側にセットされると、指令流量設定値を０％にし（Ｓ２）、更にテーブルカウンタ４０の値ｎをクリアする（Ｓ３）。
次に、テーブルカウンタのカウント値ｎに従い、指令流量設定値をセットする（Ｓ４）。この場合、カウント値ｎは０なので例えば５秒間、指令流量設定値を０％（バルブ全閉）とした後、指令流量設定値を２％にセットする。これにより、流量制御弁１０は、ＰＩＤ制御で実際のガス流量がセンサ出力（流量）に一致するように動作する（Ｓ５）。
そして、次に、例えば５秒後、実際の流量を示すセンサ出力と現在の指令流量設定値（２％）とが比較部４４にて比較されてこれらの偏差を求め、この偏差値が所定の範囲内、例えば±１．０％以下であるか否かが判断される（Ｓ６）。この動作は、偏差値が所定の範囲内に入るまで行われる。
【００４６】
ここで、偏差値が所定の範囲内に収まったならば（ＹＥＳ）、流量が安定して整定状態になっていることを示していることから、その時のバルブ駆動信号の電圧をリードし、このリード値をテーブルの対応する初期値の欄に記憶する（Ｓ７）。
ここでは指令流量設定値が２％であるのに対して、初期値Ｃ０が記憶される。
次に、テーブルカウンタ４０の値ｎが、１０に達したか否かが判断され（Ｓ８）、ＮＯの場合には、テーブルカウンタ４０が値ｎを１つインクリメントし（Ｓ９）、上記Ｓ４からＳ８のステップを繰り返し行なう。これにより、指令流量設定値は１０〜１００％まで段階的に上げられ、表１のＣ１０まで埋められることになる。
そして、カウンタ４０の値ｎが１０まで達すると、Ｓ８にてＹＥＳとなり、得られた初期値を学習値の欄にコピーし（Ｓ１０）、学習フラグ４６をクリアし（Ｓ１１）、バルブ特性初期設定操作を終了する。
【００４７】
また、上述のようなＰＩＤ制御を行なう場合、センサ出力ＳＯは、例えば図４に示すような曲線を描くのであるが、ここで、ＰＩＤ制御定数、すなわち比例定数Ｋｐ、積分定数Ｋｉ、微分定数Ｋｄも種々変更して流量制御を行い、各定数の最適値と思われる値を基準値として予め設定しておく。この場合、制御系の過敏な応答を抑制し得、しかも過度な制御遅れを生ずることなくキックバックを抑制することが可能な休止期間の範囲を予め設定しておく。そして、実際の流量制御時において、各制御定数や休止期間をより最適な値に補正するために求められた各制御定数及び休止期間を応答係数Ｒｋとの関係を表２に示すように予めテーブル化して記憶しておく。
【００４８】
尚、微分定数Ｋｄは応答特性に他の定数程影響を与えないので、ここでは固定値とする。表２において、横線は補正しないで現状維持する場合を示し、休止期間Ｐｔは、本実施例では５０ｍ秒から１００ｍ秒までの範囲とし、後述するように必要に応じてこの間を１０ｍ秒ずつ増減する。
また、応答係数Ｒｋが１００％よりも上下に大きくずれている時には、比例定数Ｋｐと微分定数Ｋｉの両方を補正し、小さくずれている時には積分定数Ｋｉのみを補正することとした理由は以下の理由による。
バルブ駆動電圧修正量△ｍは以下の数２で与えられる。
【００４９】
【数２】
0003666107.tif 000005
【００５０】
この数２から明らかなように比例定数Ｋｐの変化は、修正量△ｍに大きな変動を与えるのに対して、積分定数Ｋｉの変化は、修正量に対して小さな変動しか与えないからである。従って、本実施例では応答係数Ｒｋが１００％より大きくずれている時にはＫｐ、Ｋｉの相方を補正するようにしたが、少なくともバルブ駆動電圧修正量に大きな影響を与えるＫｐを補正するようにすればよい。
このように、テーブル記憶部３８には表１に示す数値が埋められた状態で、また、ＰＩＤ定数テーブル記憶部５０には表２に示す数値が埋められた状態で、流量制御装置２は工場より出荷され、ユーザの実際の使用系の配管類に接続される。尚、ＰＩＤ定数記憶部５２には初期値として、例えば先に求められたＫｉ、Ｋｐ、Ｋｄ、Ｐｔがコピーされて記憶される。
次に、この実際の使用系の配管系に接続された状態で行われる実際の流量制御動作と、これに併せて行なわれる学習値と制御定数等の補正操作について説明する。
【００５１】
まず、流量制御全体の流れについて説明する。
図７は流量制御の全体の流れを示すフローであり、図４に示すような制御形態を例にとって説明する。
まず、図２中の学習フラグ４６は、学習（通常動作）側へたおされ、ホストコンピュータ等より入力される指令流量設定値ＳＰがある一定値以上、例えば１０％以上変化したか否かが常時判断されており（Ｓ１、Ｓ１’）、この変化すなわち流量変更指令が確認されると、タイマ５４（図１参照）のカウントが開始される（Ｓ２）。以下の時間的基準はこのカウント値を参照して判断される。そして、この指令流量設定値ＳＰ値に対応する学習値、すなわちバルブ駆動電圧Ｖｇを表１から求める。表１中に存在しない場合には補完法により求める（Ｓ３）。
【００５２】
次に、上記指令流量設定値が上がったか（増加）、或いは下がったか（減少）が判断され（Ｓ４）、上がった場合には、まず、上記求めた学習値の所定の割合、例えば８５％の値をステップ状或いは図４に示すように僅かな時間、例えば３００ｍ秒程度の時間をかけてリニアに出力する（Ｓ５）。この所定の割合の範囲は、例えば８０〜９０％の範囲とし、これよりも小さいと制御に遅れが生じ、大き過ぎるとオーバショートが発生する恐れが生ずる。
また、指令流量が下がった場合には、求めた学習値の所定の割合、例えば１１０〜１２０％の範囲内の値、例えば１１５％の値を出力する（Ｓ６）。この場合は、図８に示すように弁開度が小さくなって流量が低下するのでオーバショート等を防止するためにはＳ５の場合と異なり、初期出力時には学習値よりも大きなバルブ駆動電圧を出力する。
【００５３】
このように学習値の所定の割合の出力を行なったならば、キックバックの発生を抑制するために所定の長さの休止期間を設ける（Ｓ７）。この期間は、キックバックの抑制と過度の制御遅れを生じないようにするために、例えば５０〜１００ｍ秒の範囲内に設定し、本実施例では、後述するように、この範囲内で可変となっている。この休止期間中に、応答性の遅いセンサ出力が次第に増加して行く。尚、この休止期間は、制御系の過剰応答を抑制するためのものであり、図示例のように設けるのが好ましいが、設けなくてもよい。
この所定の長さの休止期間が終了したならば（Ｓ８）、通常のＰＩＤ制御へと移行する（Ｓ９）。そして、指令流量設定値の変化後、流量が整定するであろう所定の時間、例えば１．５秒経過したならば（Ｓ１０）、次に、表１の学習値の補正操作やＰＩＤ制御定数及び休止期間の長さの補正操作へ移行して行く（Ｓ１１）。この時の所定の時間の基準値１．５秒は、、整定時間記憶部６２に記憶されている。
このような補正操作が終了したならば、また、最初のステップＳに戻り、同じ操作が繰り返し行なわれることになる。
【００５４】
上記補正操作の概略的フローについて図９を参照して説明する。
まず、流量整定後において実際の流量を示すセンサ出力と指令流量設定値との差、すなわち偏差が許容範囲内、例えば±２％以内に収まっているか否かが判断され（Ｓ１）、これが収まっていない場合には、機械的故障と考えられるので（Ｓ２）、処理を終了する。
【００５５】
上記偏差が、±２％の範囲内に入っている場合には、まず、表１の学習値が適切か否かが判断される（Ｓ３）。この判断に際しては、後述するように実際のバルブ駆動電圧Ｖｎとその時の流量に対する学習値Ｖｇの比が参照される。ここで、学習値が適切でない場合には（ＮＯ）、学習値の補正操作が実際に実行されることになる（Ｓ４）。また、Ｓ３において学習値が適切な場合には（ＹＥＳ）、次に、応答係数Ｒｋが適切か否かが判断され（Ｓ５）、ＮＯの場合、すなわち不適切な場合には、ＰＩＤ制御定数Ｋｐ，Ｋｉや休止期間の長さなどを表２に基づいて選択的に補正する（Ｓ６）。また、Ｓ５において応答係数Ｒｋが適切な場合には（ＹＥＳ）、より適正な制御を行なうために、必要に応じて休止期間の長さを微調整する（Ｓ７）。
このように制御性が劣る場合には、まず、学習値が適正な値になっているか否かを判断し、これが適正な場合に初めてＰＩＤ制御定数等を補正するようにしている。
【００５６】
次に、表１中の学習値の補正操作について説明する。
この学習操作は、主にガス流の圧力条件で決まる実使用条件に適合させるための操作であり、例えば次の条件を満足する時に学習を行なう。
▲１▼応答係数Ｒｋが所定の範囲外となること。
▲２▼指令流量設定値に変化がないこと。
▲３▼指令流量設定値とセンサ出力（流量）との偏差が、所定の範囲、例えば±１．０％以内に一定時間、例えば５秒間、収まっていること。
この学習操作は、上記▲１▼▲２▼▲３▼の条件を満たしている時に、現在の指令流量設定値ＳＰと上記表１中の学習値の内、ＳＰを挟む２つの学習値により仮の学習値（バルブ駆動電圧）Ｖｃを数３により求め、次に、現実のバルブ駆動電圧Ｖｍと上記仮の学習値Ｖｃの比から各指令流量設定値の新たな学習値ｍn を数４により求める。従って、図５に示すように新たな学習値のグラフは、初期値或いは旧学習値のグラフを所定の量だけシフトしたような形態となる。
【００５７】
【数３】
0003666107.tif 000006
【００５８】
【数４】
0003666107.tif 000007
【００５９】
尚、ｍn ，ｍn-1 は表１中のＳＰに対応する指令流量設定値の両側の指令流量設定値（ｎ：１〜１０）。
そして、新たな学習値が計算された後は、指令流量設定値が変化した場合にはこの学習値を基にしてバルブ駆動電圧が出力される。
ここでは、現在の指令流量設定値が６５％の場合を例にとって説明する。
図１０において、指令流量設定値が変化した後、所定時間、例えば１．５秒が経過して応答係数Ｒｋが所定の範囲外となっていることを前提とし、設定値変化検出部６８（図２参照）にて指令流量設定値が変化しているか否かを判断する（Ｓ１）。ここで、指令流量設定値が変化していないものと判断されたならば、比較部６６にて現在の指令流量設定値（６５％）と実際の流量を示すセンサ出力とを比較して偏差を求め、この偏差が所定の範囲内、例えば±１．０％以内に一定の時間、例えば５秒間収まっているか否かが判断される（Ｓ２）。
【００６０】
そして、上記判断の結果、ＹＥＳの場合には現在のバルブ駆動信号の電圧Ｖｍをリードする（Ｓ３）。
次に、上記バルブ電圧Ｖｍと表１中の学習値より、数３、数４に基づいて新たな学習値を求める（Ｓ４）。ここでは指令流量設定値ＳＰは６５％に設定されることからこれを挟む両側の学習値はｍ６、ｍ７となる。まず、数３より仮の学習値Ｖｃは以下の数５のようになる。
【００６１】
【数５】
0003666107.tif 000008
【００６２】
この仮の学習値Ｖｃを数４に代入して、ｍn を０から１０まで変化させることにより、表１中の全ての新たな学習値ｍ０〜ｍ１０を得ることができ、この新たな学習値で旧学習値を置き換える。尚、ＳＰ値が表１中に示す指令流量設定値ならば、仮の学習値Ｖｃとしてそれに対応する学習値を用いればよい。また、新たな学習値が前の旧学習値から変化が少ない場合（例えば、１〜２％）は、指令流量設定値を挟む両側の学習値だけを書き換えてもよい。
【００６３】
このように、実際の流量の制御過程において、例えば指令流量設定値が変化した時には、繰り返し上記学習値が更新（アップデート）されて、常に補正がなされる。尚、表１中に示されていない指令流量設定値に対する学習値を求めるには、補完法を用い、その値を出力すればよい（図５参照）。例えば、指令流量設定値が０％から８５％（ＳＰ値）に変化した時には、補完法により出力すべき学習値（バルブ駆動電圧）Ｖｍは数６に示すように求められる。
【００６４】
【数６】
0003666107.tif 000009
【００６５】
次に、図１１及び図１２に基づいてＰＩＤ制御定数等の補正操作の詳細について説明する。ここでは、指令流量設定値がステップ状に増加した時を例にとって説明する。この時の制御態様は大きく分けて図１２に示すように３つに分けられ、図１２（Ａ）は応答が遅い場合、図１２（Ｂ）はオーバショートが生じて応答が速い場合、図１２（Ｃ）は応答が略適正な場合をそれぞれ示している。
図１１において、まず、前述したように指令流量設定値が変化した後、１．５秒経過して流量が整定したか否かが判断され（Ｓ１）、流量が整定したならばＶｇ／Ｖｎ判断部６４（図２参照）にてＶｇ／Ｖｎ×１００の値が８０〜８５％の範囲内に入っているか否かを判断する（Ｓ２、Ｓ３）。ここで、Ｖｎは実際のバルブ駆動電圧、Ｖｇはその時の流量に対応する学習値である。
【００６６】
Ｖｇ／Ｖｎ×１００の値が８０％よりも小さくて図１２（Ａ）に示すような応答性を示すような場合（Ｓ２のＹＥＳ）及び８５％よりも大きくで図１２（Ｂ）に示すような応答性を示すような場合（Ｓ３のＹＥＳ）には、ともに学習値と実際のバルブ駆動電圧との差が大き過ぎることを意味しているので、表１中の学習値を補正する（Ｓ４）。この時の補正操作は先に説明した図１０に示すフローに従って行なわれる。尚、基準値８０〜８５％は、Ｖｇ／Ｖｎ記憶部５６に予め記憶されている。
【００６７】
Ｖｇ／Ｖｎ×１００が８０〜８５％の範囲内の場合には（Ｓ３のＮＯ）、学習値は適正であることから実質的にＰＩＤ制御定数等の補正操作に入る。
まず、流量変化過渡時にセンサ出力に凸部（山部）があったか否かに応じて（Ｓ５）、Ｒｋ判断部７２にて応答係数Ｒｋを求める。ここで応答係数Ｒｋは、応答の速さを表す係数であり、センサ出力に凸部が存在しなかった場合（Ｓ５のＮＯ）、例えば図１２（Ａ）に示すような遅い応答の場合には例えば設定値変化後、０．５秒後のセンサ出力と設定値との比（ＳＯ0.5／ＳＰ）×１００で表され （Ｓ６）、センサ出力に凸部（ピーク）が存在した場合（Ｓ５のＹＥＳ）、例えば図１２（Ｂ）に示すような速い応答の場合には、ピーク時点のセンサ出力と設定値との比（ＳＯｐｋ／ＳＰ）×１００で表される（Ｓ７）。尚、図１２（Ｃ）に示すような応答性の場合にも上記いずれか一方の方法で応答係数Ｒｋが求められる。また、指令流量設定変化後のセンサ出力はセンサ出力記憶部４８に記憶されており、上記した０．５秒経過時のセンサ出力値及びピーク時のセンサ出力値は、センサ出力記憶部４８よりピックアップされて、それぞれ所定の時点記憶部５８及び変曲点記憶部６０に記憶されている。
【００６８】
次に、上記求めた応答係数Ｒｋが所定の範囲、例えば９８〜１０２％の範囲内に入っているか否かが判断され（Ｓ８）、ＮＯの場合、すなわち上記範囲内に入っていない場合には、応答係数Ｒｋに基づいて表２から対応するＫｐ、Ｋｉ、休止期間Ｐｔを求め（Ｓ９）、この値でＰＩＤ定数記憶部５２に記憶されていた各値をアップデートし、補正する（Ｓ１０）。  前述したように表２中において横線は変更しない場合を示し、また、例えばＫｐ×０．９は、工場にて設定された基準値Ｋｐに対して０．９を乗算した値を設定することを意味する。
【００６９】
応答係数Ｐｋが９８〜１０２％の範囲内の場合には（Ｓ８のＹＥＳ）、図１２（Ｃ）に示すように応答性がかなり良好な場合であるが、この場合にはキックバックをより少なくして制御性を向上させるために必要ならば休止期間Ｐｔを微調整する。そのために、ＳＯｍ／ＳＰ判断部７４において、ＳＯｍ／ＳＰ×１００の値が所定の値、例えば９８％よりも小さいか否かを判断する（Ｓ１１）。ここで、ＳＯｍは、ここではセンサ出力の最小値を示し、ＳＰは設定値を示す。また、基準値９８％は、予めＳＯｍ／ＳＰ記憶部６３に記憶されている。
【００７０】
この判断の結果、両者の比が９８％よりも小さい場合には（Ｓ１１のＹＥＳ）、現在の休止期間Ｐｔに対して１０ｍ秒を加えた値を新たな休止期間としてＰＩＤ定数記憶部５２の対応する値を補正し（Ｓ１２）、ＰＩＤ制御の修正動作を穏やかにすることによってキックバックをより抑制させる。ただし、この休止期間は５０ｍ秒を最小とし、１００ｍ秒を最大とする。従って、５０ｍ秒から１００ｍ秒の範囲内で適宜選択されることになる。
また、Ｓ１１において両者の比が９８％から１００％の範囲内の場合には（Ｓ１１のＮＯ）、適正な値であることから何ら補正は行なわない（Ｓ１３）。
このように、本発明においては実際の流量制御の特性を参照して指令流量設定値に対応した学習値（バルブ駆動電圧）を補正したり、学習値が適正な場合にはＰＩＤ制御定数等を選択的に補正するようにしたので、常に、実際の流量制御特性に対応させて各値を適正値に変更、補正することが可能となる。
【００７１】
従って、オーバシュートを生ずることなく迅速且つ高精度な流量制御が可能となる。
尚、上記実施例における各判断基準の定数、例えばＳＯｍ／ＳＰ基準値の９８％、整定基準値の１．５秒、Ｖｇ／Ｖｍ基準範囲の８０〜８５％、表２中の各制御定数Ｋｐ、Ｋｉ、休止期間Ｐｔの長さ等はすべて一例を示したに過ぎず、これに限定されない。また、これらの値は、バルブ使用系に対応させて可変的に記憶できる構造としてもよい。
また、図１１に示すフローは、指令流量設定値が増加した場合のフローを示しているが、指令流量設定値が減少した時のフローは図１３に示される。
この場合には、図８において説明したように流量が減少することから、この場合にもアンダーシュート等が生じないようにするために図１１に示すフローの各基準値が、１００％を越えて相補的な関係となる。すなわち、図１３中のＳ２及びＳ３においては、Ｖｇ／Ｖｎ×１００の値が１１５％〜１２０％の範囲内に収まっているか否かが判断され、また、Ｓ４においては流量変化過渡時にピーク値ではなく谷部が存在するか否かが判断される。図８においてはセンサ出力に谷部Ｐ２が存在している時の曲線を示している。
【００７２】
また、Ｓ７においては応答係数Ｒｋの算出にあたり、凸部ではなく、上記谷部Ｐ２におけるセンサ出力値を用いている。更には、Ｓ１１においては、ＳＯｍ／ＳＰを算出するにあたり、ＳＯｍの値としては、谷部Ｐ２を経過した後の最大値を用いている。このように、指令流量設定値が増加する時と減少する時の制御方向は互いに逆方向となるので、各基準値も上述のように相補的となるように設定すればよい。
また、本実施例ではダイヤフラム８を駆動するアクチュエータとして圧電素子を用いているが、これに限定されず、例えば電磁式のアクチュエータを用いることもできる。バルブ駆動電圧は、圧電素子の場合には、０〜１２０Ｖ程度の範囲内になるのに対し、電磁式のアクチュエータの場合は、０〜１５Ｖ程度の範囲内となる。
【００７３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の流量制御方法によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
実際の流量制御特性を参照して、指令流量設定値に対応した学習値（バルブ駆動電圧）やＰＩＤ制御定数等を選択的に適切に補正して制御特性に合致させるようにしたので、常に、高速で、且つオーバシュート等が生ずることのない制御性の良好な流量制御を行なうことができる。
また、制御途中に可変になされた休止期間を設けることにより、ＰＩＤ制御の修正動作を適正に制御でき、制御の遅延等を生ずることなく一層精度の高い流量制御を行なうことができる。
更に、上述のように学習値やＰＩＤ制御定数等は、所定の条件下において常にアップデートされるので、バルブの経年変化や流体の圧力変化によってバルブ特性が変化してもこれに追従することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る流量制御方法を実施するためのガス質量流量制御装置を示す概略構成図である。
【図２】図１に示す制御装置の流量制御部の構成を示すブロック図である。
【図３】センサ制御回路の出力からバルブ駆動信号を出力するまでの間の一般的な制御状態を示す概略ブロック図である。
【図４】本発明の流量制御方法を説明するための特性図である。
【図５】表１中の初期値（学習値）から新たな学習値へ補正する場合のバルブ駆動電圧の変化を示すグラフである。
【図６】バルブ特性の初期設定を行なう時のフローを示す図である。
【図７】全体の流量制御フローを示す図である。
【図８】指令流量設定値が減少した時の制御特性の一例を示すグラフである。
【図９】補正の概略的フローを示す図である。
【図１０】表１の設定値を補正する時の学習フローを示す図でる。
【図１１】流量増加時のＰＩＤ制御定数等の補正の詳細フローを示す図である。
【図１２】流量制御時の特性パターンを示す図である。
【図１３】流量減少時のＰＩＤ制御定数等の補正の詳細フローを示す図である。
【図１４】一般的な流量制御特性を示すグラフである。
【符号の説明】
２  ガス質量流量制御装置
４  流体通路
１０  流量制御弁
１２  質量流量検出センサ部
１８  センサ入力回路
２２  流量制御部
２４  積層型圧電素子
２６  圧電素子駆動部
３０  バルブ特性初期値用ブロック
３２  学習ブロック
３４  バルブ特性初期値演算ブロック
３６  学習演算制御部
３６Ａ  学習値補正ブロック
３６Ｂ  ＰＩＤ定数補正ブロック
３８  テーブル記憶部
４２  流量設定発生部
５０  ＰＩＤ定数テーブル記憶部
５２  ＰＩＤ定数記憶部
６４  Ｖｇ／Ｖｎ判断部
７０  学習値演算部
７２  Ｒｋ判断部
７４  ＳＯｍ／ＳＰ判断部
８２  ＰＩＤ制御部
【図１】
0003666107.tif 000010
【図２】
0003666107.tif 000011
【図３】
0003666107.tif 000012
【図４】
0003666107.tif 000013
【図５】
0003666107.tif 000014
【図６】
0003666107.tif 000015
【図７】
0003666107.tif 000016
【図８】
0003666107.tif 000017
【図９】
0003666107.tif 000018
【図１０】
0003666107.tif 000019
【図１１】
0003666107.tif 000020
【図１２】
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【図１３】
0003666107.tif 000022
【図１４】
0003666107.tif 000023