(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルと、
前記表示パネルの少なくとも一辺に沿って配置された複数の駆動回路部と、
前記駆動回路部に駆動信号を供給する配線基板とを有する表示装置において、
前記表示パネルは、
前記一の駆動回路部に電気的に接続され、前記一の駆動回路部と他の前記駆動回路部との間に配置される複数のパッドを有し、
前記配線基板は、
前記表示パネルの前記一辺の外周に沿う主領域と、
前記主領域から前記一の駆動回路部と前記他の駆動回路部との間に延長される枝領域とを備え、
前記主領域には、複数の主配線からなる主配線群が設けられ、
前記枝領域には、少なくとも前記一の主配線と電気的に接続された枝配線が設けられ、
前記枝配線には、
前記枝配線と電気的に接続され、かつ、前記パッドに対応する位置に配された端子を有し、
前記枝領域の枝配線は、前記主領域の前記主配線と絶縁層を介して主領域において配線されている
ことを特徴とした表示装置。
【請求項２】
前記表示パネルが、信号線及び走査線に接続されるスイッチ素子を介して配置される複数の画素電極を有し、
前記駆動回路部が、少なくとも前記一の信号線に電気的に接続された
ことを特徴とした請求項１記載の表示装置。
【請求項３】
前記表示パネルが、信号線及び走査線に接続されるスイッチ素子を介して配置
される複数の画素電極を有し、
前記駆動回路部が、少なくとも前記一の走査線に電気的に接続された
ことを特徴とした請求項１記載の表示装置。
【請求項４】
前記複数のパッドは、前記配線基板の前記枝領域の延長方向に沿って配列されている
ことを特徴とした請求項１記載の表示装置。
【請求項５】
前記複数のパッドは、２次元的に点在している
ことを特徴とした請求項１記載の表示装置。
【請求項６】
前記複数のパッドは、
前記枝領域の延長方向に沿って配列された少なくとも２以上のグループから構成されている
ことを特徴とした請求項１記載の表示装置。
【請求項７】
前記複数のパッドは、前記枝領域の延長方向とは、所定の角度をなして配列されている
ことを特徴とした請求項１記載の表示装置。
【請求項８】
前記複数のパッドのうち一部のパッドは、前記駆動回路部から所定の距離を介して配置され、かつ、前記複数のパッドのうち他のパッドは、前記駆動回路部から前記所定の距離とは異なる距離を介して配置されている
ことを特徴とした請求項１記載の表示装置。
【請求項９】
前記複数のパッドに対応する複数の端子は、
前記枝領域の延長方向に沿って配列された少なくとも２以上のグループから構成されている
ことを特徴とした請求項１記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示装置及びこれに使用されるＩＣチップに関し、例えば、ガラス基板等の絶縁基板上にＩＣチップを直接実装するチップ・オン・ガラス構造を有するあるいは駆動回路が一体的に形成された表示装置における配線及び実装構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の液晶表示装置の配線及び実装構造を、図１４及び図１５に基づいて説明する。
【０００３】
第１の配線及び実装構造を図１４に基づいて説明する。
【０００４】
液晶表示装置１００は、２枚のガラス基板１１０，１２０を組み合わせ、一方のガラス基板１２０の周縁部には、ガラス基板１２０に形成された薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等のスイッチング素子を駆動するための信号線駆動部用ＩＣチップ１４０が複数個直接実装されている。このＩＣチップ１４０への電源入力等の信号線の接続、及び、ＩＣチップ１４０，１４０相互間の接続は、液晶表示装置１００のガラス基板１２０の周縁部１５０に形成された薄膜配線１７０及びこの配線１７０の入力端子部分にフレキシブル基板１６０を設けて接続している。
【０００５】
しかしながら、この第１の配線及び実装構造では、ガラス基板１２０の周縁部１５０の面積が大きくなるとともに、配線１７０が、ＴＦＴの作成と同一工程で作成される薄膜配線であるため、その配線抵抗が大きくなるという問題があった。
【０００６】
第２の配線及び実装構造を図１５に基づいて説明する。
【０００７】
液晶表示装置１００のガラス基板１２０の周縁部１５０にフレキシブル基板１６０を配するとともに、ＩＣチップ１４０の端子に接続された端子列にこのフレキシブル基板１６０を接続する。
【０００８】
しかしながら、この第２の配線及び実装構造においても、液晶表示装置１００の周縁部１５０に実装されたＩＣチップ１４０の外側においてフレキシブル基板１６０を接続するため、その周縁部１５０が大きくなるという問題があった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、従来より、図１６に示すような液晶表示装置２００が提案されている（特開平５−１０７５５１号）。
【００１０】
これは、複数のＩＣチップ２４０とＩＣチップ２４０との接続端子を一直線上に配置するとともに、フレキシブル基板２６０を端子及びＩＣチップ２４０の上に重ねて配置する構造である。
【００１１】
この構造であると、端子及びＩＣチップ２４０の上にフレキシブル基板２６０を重ねて配置するだけであるため、ガラス基板２２０の周縁部２５０の面積を小さくすることができる。
【００１２】
しかしながら、この構造では、フレキシブル基板２６０をＩＣチップ２４０と端子の上に重ねた後に、フレキシブル基板２６０と端子との接続作業が繁雑になり、組立て工程が難しくなるという問題点があった。
【００１３】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、ガラス基板の周縁部の面積を小さくすることができるとともに、その実装作業を容易にすることができる表示装置を提供するものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１の表示装置は、表示パネルと、前記表示パネルの少なくとも一辺に沿って搭載された複数のＩＣチップと、前記ＩＣチップに駆動信号を供給する配線基板とを有する表示装置において、前記表示パネルは、前記一のＩＣチップに電気的に接続され、前記一のＩＣチップと他の前記ＩＣチップとの間に配置される複数のパッドを有し、前記配線基板は、前記表示パネルの前記一辺の外周に沿う主領域と、前記主領域から前記一のＩＣチップと前記他のＩＣチップとの間に延長される枝領域とを備え、前記主領域には、複数の主配線からなる主配線群が設けられ、前記枝領域には、少なくとも前記一の主配線と電気的に接続された枝配線が設けられ、前記枝配線には、前記枝配線と電気的に接続され、かつ、前記パッドに対応する位置に配された端子を有し、前記枝領域の枝配線は、前記主領域の前記主配線と絶縁層を介して主領域において配線されているものである。
【００１５】
請求項２の表示装置は、請求項１のものにおいて、前記表示パネルが、信号線及び走査線に接続されるスイッチ素子を介して配置される複数の画素電極を有し、前記ＩＣチップが、少なくとも前記一の信号線に電気的に接続されたものである。
【００１６】
請求項３の表示装置は、請求項１のものにおいて、前記表示パネルが、信号線及び走査線に接続されるスイッチ素子を介して配置される複数の画素電極を有し、前記ＩＣチップが、少なくとも前記一の走査線に電気的に接続されたものである。
【００１７】
請求項４の表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数のパッドは、前記配線基板の前記枝領域の延長方向に沿って配列されているものである。
【００１８】
請求項５の表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数のパッドは、２次元的に点在しているものである。
【００１９】
請求項６の表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数のパッドは、前記枝領域の延長方向に沿って配列された少なくとも２以上のグループから構成されているものである。
【００２０】
請求項７の表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数のパッドは、前記枝領域の延長方向とは、所定の角度をなして配列されているものである。
【００２１】
請求項８の表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数のパッドのうち一部のパッドは、前記ＩＣチップから所定の距離を介して配置され、かつ、前記複数のパッドのうち他のパッドは、前記ＩＣチップから前記所定の距離とは異なる距離を介して配置されているものである。
【００２２】
請求項９の表示装置は、請求項１のものにおいて、前記複数のパッドに対応する複数の端子は、前記枝領域の延長方向に沿って配列された少なくとも２以上のグループから構成されているものである。
【００２８】
請求項１の表示装置について説明する。
【００２９】
ＩＣチップ間に、配線基板の枝領域を配置するとともに、この枝領域にある端子とＩＣチップのパッドとを電気的に接続する。
【００３０】
これにより、配線基板とＩＣチップとの接続は、２つのＩＣチップ間において行われるため、周縁部への突出を防止することができる。そのため、周縁部の面積を小さくすることができる。また、枝領域の端子とパッドとを電気的に接続するため、その配線方法は容易である。また、枝配線と主配線とが絶縁層を介して配線され
ているため、細かい配線を行うことができる。
【００３１】
請求項２の表示装置であると、表示パネルの信号線側の周縁部の面積を小さくすることができる。
【００３２】
請求項３の表示装置であると、表示パネルの走査線側の周縁部の面積を小さくすることができる。
【００３３】
請求項４の表示装置であると、複数のパッドが、枝領域の延長方向に沿って配列されているため、パッドと端子の接続が行いやすい。
【００３４】
請求項５の表示装置であると、複数のパッドが２次元的に点在しているため、パッドの数が増えても、面積を最小にしてパッドを配置することができる。
【００３５】
請求項６の表示装置であると、複数のパッドが、２つのグループから構成されているため、端子との接続が行いやすい。
【００３６】
請求項７の表示装置であると、複数のパッドが延長方向とは所定の角度を成して配列されているため、端子との接続が行いやすい。
【００３７】
請求項８の表示装置であると、パッドと端子との接続が行いやすい。
【００３８】
請求項９の表示装置であると、端子は枝領域の延長方向に沿って配列された少なくとも２以上のグループから構成されているため、パッドとの接続を行いやすい。
【００３９】
請求項１０の表示装置であると、枝配線と主配線とが絶縁層を介して配線されているため、細かい配線を行うことができる。
【００４４】
【発明の実施の形態】
第１の実施例
以下、本発明の第１の実施例を図１〜図８に基づいて説明する。
【００４５】
図１に示すように、符号１０は、チップ・オン・ガラス機構を有するアクティブマトリクス型の液晶表示装置であり、一対の電極基板１２，１４を配向膜及び液晶層を介して組合わせて、ディスプレイ部１６を形成している。そして、ディスプレイ部１６の矢印の示す範囲が表示エリアとなる。一方の電極基板１４の大きさは、他方の電極基板１２より大きく形成され、信号線駆動部側周縁部（以下、Ｘ側周縁部という）１８とゲート線駆動部側周縁部（以下、Ｙ側周縁部という）２０が形成されている。なお、以下の説明で、ｘ方向とは、Ｘ側周縁部に平行な方向を意味し、ｙ方向とは、Ｙ側周縁部に平行な方向を意味する。
【００４６】
一方の電極基板１４は、図示しないが、ガラス基板上に、信号線駆動部側周縁部１８に引き出される互いに平行な複数の信号線、信号線に直交してゲート線駆動部側周縁部２０に引き出される互いに平行な複数の走査線、各信号線と走査線との交点近傍に配置され、走査線がゲート電極に、信号線がドレイン電極に電気的に接続されたＴＦＴ、ＴＦＴのソース電極が電気的に接続された透明電極から成る画素電極を備えている。この信号線、走査線、ゲート電極、ソース電極あるいはドレイン電極は、数千オングストローム程度の膜厚のアルミニウム（ＡＩ）、アルミニウム合金、モリブデン−タングステン（Ｍｏ−Ｗ）合金等の低抵抗金属材料がスパッター等の薄膜プロセスで成膜されて成る。
【００４７】
また、他方の電極基板１２は、ガラス基板上にカラー表示を実現するため、各素電極に対応した色部を有するカラーフィルタ、この上に配置される透明電極から成る対向電極を備えている。
【００４８】
符号２２は、Ｘ側周縁部１８に直接実装された信号線駆動部用ＩＣチップ（以下、Ｘ側ＩＣチップという）２２であり、所定の間隔をおいて３個がガラス基板１４に実装されている。
【００４９】
図３に示すように、各Ｘ側ＩＣチップ２２は、平面長方形である。Ｘ側ＩＣチップ２２の短辺側の両側には、信号入力用または他のＩＣチップとの信号を交換するための複数のバンプ２２ａを有している。その長辺側のディスプレイ部１６に向う内側に信号線に接続される複数のバンプ２２ｂを有している。長辺側の外側に複数のダミーバンプ２２ｃを有している。
【００５０】
符号２７は、Ｘ側ＩＣチップ２２，２２の間に設けられ、かつ、Ｘ側ＩＣチップ２２の短辺側の両側の実装エリア外に設けられた複数のパッドであり、Ｘ側ＩＣチップ２２の複数のバンプ２２ａとリード線２６を介してそれぞれ接続されている。これらの複数のパッド２７及びリード線２６は、例えば信号線の形成工程と同一工程で作成される。これら複数のパッド２７は、Ｘ側ＩＣチップ２２の短辺側と平行、すなわち、ｙ方向に配列されている。パッド２７は、ガラス基板１４のＸ側周縁部１８に直接実装されたＸ側ＩＣチップ２２の実装に必要なエリア幅ａと同等、もしくはそれ以下の幅ｂで配列する。
【００５１】
符号２４は、Ｙ側周縁部２０の略中央部のガラス基板１４に直接実装されたゲート線駆動部側ＩＣチップ（以下、Ｙ側ＩＣチップという）である。
【００５２】
符号２８は、外部入力信号線からの電気的な接続並びにＩＣチップ相互間の接続を行うための配線基板、すなわち、フレキシブル配線基板である。このフレキシブル配線基板２８は、主領域３０と、その主領域３０より内方、すなわち、ｙ方向に延長した枝領域３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄからなる。枝領域３２ｄからは、ゲート線駆動部用のゲート線用基板３４が突出している。また、主領域３０には、外部の回路と接続するための外部用接続領域３６が設けられている。
【００５３】
フレキシブル基板２８は、ポリイミド等の合成樹脂材より構成されている。
【００５４】
主領域３０の表面には、１８本の主配線５０が、主領域３０の長手方向、すなわち、ｘ方向に沿って配されている。この１８本の主配線５０は銅箔によって形成され、この主配線のうちの内側即ちディスプレイ部１６側に位置する主配線５０は、電源ラインであり、最も外側には位置するのは、スタートパルス信号線である。そして、電源ラインとスタートパルス信号線の間に位置するのは、クロック信号線、グラウンド線、及び複数のデータ線である。
【００５５】
主配線５０は、外部用接続領域３６において、外部回路等と電気的に接続されている。
【００５６】
枝領域３２ａの裏面には、１８本の枝配線５２が配線されている。これら枝配線５２は、各主配線５０と主領域３０においてコンタクトホール５４を介して電気的にそれぞれ接続されている。
【００５７】
各枝配線５２は、枝領域３２ａの延長方向、すなわちｙ方向に沿って配線された後、Ｘ側ＩＣチップ２２に向かってＬ字状に屈曲してｘ方向に沿って配線されている。各枝配線５２の先端には、各パッド２７と接続するための端子３８がそれぞれ設けられている。この端子３８は、枝領域３２ａの縁部に沿って、すなわちｙ方向に沿って配列されている。
【００５８】
枝領域３２ｂにおける枝配線５２の配線構造は、図２に示すように、枝領域３２ａと同じであるが、２つのＸ側ＩＣチップ２２に配線するために、二股に分かれた構造となっている。
【００５９】
なお、図７に示すように、主配線５０と枝配線５２とは、フレキシブル基板２８を構成するポリイミド層を介して配線されているため、両者は電気的に絶縁された状態となっている。なお、このポリイミド層の厚さは約２５μｍが適当である。主配線５０を保護するために保護層５８が設けられ、枝配線５２を保護するため、保護層６０が設けられている。この保護層５８，６０もポリイミドから形成するのがよい。
【００６０】
ゲート線用基板３４の表面には、ゲート線駆動用のゲート線用配線５６が配線されている。
【００６１】
ゲート線用配線５６の先端にも、Ｙ側ＩＣチップ２４と接続するための端子が設けられている。
【００６２】
上記構成の液晶表示装置１０において、フレキシブル基板２８をＸ側ＩＣチップ２２，Ｙ側ＩＣチップ２４に接続する場合について説明する。
【００６３】
▲１▼  フレキシブル基板２８の主領域３０を、Ｘ側周縁部１８の外方に配するとともに、枝領域３２ｂ，３２ｃをＸ側ＩＣチップ２２，２２の間に配する。
【００６４】
▲２▼  端子３８とパッド２７とを重ねて、電気的に接続する。また、ゲート線用基板３４の端子もＹ側ＩＣチップ２４に接続する。
【００６５】
複数のパッド２７は、枝領域３２の延長方向、すなわち、ｙ方向に沿って配列されているため、枝領域３２の縁部に設けられた端子３８とは位置的に対応しているため容易に接続することができる。
【００６６】
▲３▼  図７に示すように、ガラス基板１４からはみ出したフレキシブル基板２８の主領域３０は、ガラス基板１４の側縁部に沿って枝領域にて折曲げることにより、図８に示すように、ガラス基板１４の裏側に配置する。これにより、ディスプレイ部１６のＸ側周縁部１８の幅をＸ側ＩＣチップ２２の実装エリアと略同じ幅にすることができる。
【００６７】
変  更  例  １
図９は、第１の実施例の変更例であって、外部用接続領域３６を、第１の実施例のものよりも大きな面積にすることによって、外部回路等との接続を容易にしたものである。
【００６８】
第２の実施例
以下、本発明の第２の実施例を図１０〜図１２に基づいて説明する。
【００６９】
第２の実施例の液晶表示装置１０と、第２の実施例の液晶表示装置の異なる点は、パッド２７の配置と、枝領域３２における枝配線５２の配線構造にある。
【００７０】
まず、パッド２７の配置について説明する。
【００７１】
図１１に示すように、複数のパッド２７は、２つのグループから構成されている。第１のグループは、Ｘ側ＩＣチップ２２の短辺側から距離ｃをあけて配されたものであり、第１パッド群６２を形成している。第２のグループは、前記短辺側の位置からｄの距離（ｄ＞ｃ）だけ離れて設けられた第２パッド群６４である。そして、第１パッド群６２に属する複数のパッド２７と、第２パッド群６４に属する複数のパッド２７とが図１１に示すように交互に配置されている。
【００７２】
これにより、Ｘ側ＩＣチップ２２からリード線２６が多数本突出しても、パッド２７同士が互いに重なることがないため、パッド２７間の間隔を小さくすることができる。例えば、リード線２６の幅は３０μｍであり、パッド２７の幅は７０〜８０μｍである。そして、隣接するパッド間の距離は１５０μｍとなり、第１の実施例のパッド２７の配列の方法より２倍密集して配置できる。
【００７３】
次に、枝領域３２における枝配線５２について説明する。
【００７４】
枝配線５２は、主領域３０の主配線５０から、図１２に示すように、第１枝配線群６８と第２枝配線群７０の２つのグループに分かれて、枝領域３２の延長方向、すなわち、ｙ方向に沿って配線されている。第１枝配線群６８と第２枝配線群７０は、それぞれＸ側ＩＣチップ２２の方に屈曲して配線され、その先端に端子３８がそれぞれ設けられている。第１枝配線群６８と第２枝配線群７０の各端子３８の位置は、第１パッド群６２と第２パッド群６４の位置に対応するようにする。
【００７５】
なお、符号６６は、Ｘ側ＩＣチップ２２，２２とを枝領域内で電気的に接続する連絡線であり、チップ２２，２２間のスタートパルスの受けわたしに用いるものである。
【００７６】
このようにすることで、図１２，１３に示すように、枝領域３２をＸ側ＩＣチップ２２，２２の間に配置するとともに枝配線５２の先端に位置する端子３８をパッド２７に容易に電気的に接続することができる。
【００７７】
上述した第１パッド郡６２、第２パット郡６４、およびそれぞれのリード２６は、走査線や信号線の形成と同時に作成することができ、第１パッド群２およびそれに接続されたリード２６を信号線の形成と同時に、また第２パッド群６２及びそれに接続されたリード２６を走査線形成と同時に作成する等して、互いに別層で形成することにより、一層のパッド間ショート等が防止される。
【００７８】
第３の実施例
第３の実施例の液晶表示装置１０について図１３に基づいて説明する。
【００７９】
本実施例と第１の実施例の異なる点は、Ｘ側周縁部２２だけでなくＹ側周縁部２２に２個のＹ側ＩＣチップ２４が配され、そのため、ゲート線用基板３４も、主領域３４ａと主領域３４ａから突出した枝領域３４ｂ，ｃとより形成する。
【００８０】
枝領域３４ｂをＹ側ＩＣチップ２４，２４の間に配置し、Ｙ側ＩＣチップ２４に接続されたパッド２７と枝領域３４ｂの端子とを電気的に接続する。
【００８１】
この場合には、Ｙ側ＩＣチッブ２４の数が増えても、Ｙ側周縁部２０の幅は、Ｙ側ＩＣチップ２４の実装エリアと略同じ幅にすることができる。
【００８２】
したがって、Ｘ側周縁部１８及びＹ側周縁部２０との幅を最小に抑えることができ、液晶表示１０全体の大きさを小さくすることができる。
【００８３】
変  更  例  ２
上記実施例において、Ｘ側ＩＣチップ２２が複数個設けられていたため、Ｘ側周縁部１８側のフレキシブル基板２８を主領域３０と枝領域３２とより形成したが、これに代えて、Ｙ側周縁部２０にのみ複数のＹ側ＩＣチップ２４が配された場合には、Ｙ側のみにフレキシブル基板２８を主領域３０と枝領域３２とより形成してもよい。
【００８４】
上述した各実施例では、各ＩＣチップと外部回路等との電気的な接続のいずれもフレキシブル基板２８の各種配線を用いて行ったが、スタートパルス信号や画像データなど、配線抵抗の影響が少ない信号の伝達は、基板上に信号線や走査線の形成と同時に作成される薄膜配線を用いてもかまわない。
【００８５】
又、各実施例のＩＣチップを、ＴＦＴの作成と同時に基板上に一体的に形成してもかまわない。
【００８６】
また、上記実施例では、液晶表示装置で説明したが、これに限らずプラズマディスプレー等に使用してもよい。
【００８７】
【発明の効果】
本発明の表示装置であると、ＩＣチップ間に、配線基板の枝領域を配置するとともに、端子とパッドを接続することにより、容易にＩＣチップと外部との接続をすることができる。
【００８８】
これにより、ＩＣチップの外側に配線を形成する必要がなくなるため、表示パネルの周縁部を小さくすることができる。
【００８９】
また、表示パネルに設けられたＩＣチップへの配線を、配線基板によって行うことができるため、薄膜による配線に比べて配線抵抗が微小になり、表示装置の大型化が可能になる。
【００９０】
また、表示パネル上に余分な配線を形成する必要がなくなるため、その配線が単純化され、配線に必要なエリアが小さくなる。
【００９１】
さらに、パッドと端子を接続するだけであるため、実装作業が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す液晶表示装置の斜視図である。
【図２】その要部拡大斜視図である。
【図３】その要部拡大平面図である。
【図４】配線基板をガラス基板から離した状態の平面図である。
【図５】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図６】フレキシブル基板の斜視図である。
【図７】ガラス基板にフレキシブル基板を取付けた状態の縦断面図である。
【図８】ガラス基板の側縁部に沿ってフレキシブル基板を曲げた状態の縦断面図である。
【図９】第１の実施例のフレキシブル基板の変更例の斜視図である。
【図１０】第２の実施例の液晶表示装置の要部拡大斜視図である。
【図１１】第２の実施例において、ガラス基板からフレキシブル基板を取付ける状態の平面図である。
【図１２】ガラス基板にフレキシブル基板を取付けた状態の平面図である。
【図１３】第３の実施例の液晶表示装置の斜視図である。
【図１４】従来の第１の液晶表示装置の斜視図である。
【図１５】従来の第２の液晶表示装置の斜視図である。
【図１６】従来の第３の液晶表示装置の斜視図である。
【符号の説明】
１０  液晶表示装置
１２  ガラス基板
１４  ガラス基板
１６  ディスプレイ部
１８  Ｘ側周縁部
２０  Ｙ側周縁部
２２  Ｘ側ＩＣチップ
２４  Ｙ側ＩＣチップ
２７  パッド
２８  フレキシブル基板
３０  主領域
３２  枝領域
３８  端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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