(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に隔壁を有するとともに、この隔壁に試料の一端が接触するように当該試料を配置可能な試料配置部を形成した支持管と、
軸方向へ移動自在に配設され、前記試料配置部に配置した試料の他端に先端を接触させる検出棒と、
前記試料配置部から前記検出棒を退避させる検出棒駆動手段と、
軸方向へ移動自在でかつ前記検出棒と平行に並べて配設され、前記支持管の隔壁に先端を接触させる基準検出棒と、
前記基準検出棒に荷重をかけて前記支持管の隔壁へ接触させる付勢手段と、
前記基準検出棒に対する前記検出棒の軸方向の相対変位を検出する主検出手段と、
前記試料配置部の外周に配置可能な電気炉と、
前記試料配置部に配置された試料の温度検出手段と、を備えたことを特徴とする横型示差熱機械分析装置。
【請求項２】
請求項１記載の示差熱分析装置において、
前記電気炉を冷却する冷却ファンを備えたことを特徴とする横型示差熱機械分析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、物質の力学的特性が、温度に対してどのように変化するかを知ることができる熱機械分析（Thermo mechanical analysis,TMA)装置に関し、特に示差方式で試料の物理的変化を検出する構造の示差熱機械分析装置及びその方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
熱機械分析装置は、支持管の先端部に形成した試料配置部に試料を配置し、周囲から試料を加熱したときの力学的変形量を検出する理化学装置である。試料の変形は、該試料に接触させた検出棒を介して差動トランス等の検出器に伝えられ、所定の演算処理を経て自動的に算出されるようになっている。
【０００３】
さて、試料を配置する支持管は、石英ガラスやセラミック等、熱的変形の小さな材料で形成してあるが、それでも１０００〜１５００℃という高温に試料を加熱したとき、それを支持する支持管も僅かながら変形することは避けられない。このように試料が配置されている支持管が熱により変形すると、試料に接触する検出棒には、試料の変形に支持管の変形が重畳して伝えられるため、試料の変形を高精度に測定することが困難となる。
そこで、従来から支持管の変形成分を測定値から取り除き、高精度に試料の力学的変形を測定することができる示差熱分析装置が開発されている。
【０００４】
図７は従来の示差熱機械分析装置の原理を示す模式図である。
同図に示すように、従来の示差熱機械分析装置は、支持管１０１、電気炉１０２、差動トランス１０３、２本の検出棒１０４，１０５、温度センサ１０６を備えており、支持管１０１の先端部（図では底部）に試料配置部１０７が形成してある。
【０００５】
試料配置部１０７には、測定対象となる試料Ｓ1と基準試料Ｓ0とを配置し、これら試料Ｓ1及び基準試料Ｓ0の上端面に各検出棒１０４，１０５の先端を接触させた状態で、電気炉１０２によって支持管１０１内を加熱する。
２本の検出棒１０４，１０５は、試料Ｓ1と接触する検出棒１０４を差動トランス１０３のコア１０３ａに連結し、一方、基準試料Ｓ0と接触する検出棒１０５を差動トランス１０３のコイル１０３ｂ側に連結してある。これにより、各検出棒１０４，１０５の変位の差分が差動トランス１０３によって検出される。
【０００６】
ここで、基準試料Ｓ0は、熱的変形が無視し得るほど小さな材料で形成してある。したがって、この基準試料Ｓ0に接触する検出棒１０５には、熱による支持管１０１の変形等、試料配置部周辺の熱的変位が伝えられる。そこで、差動トランス１０３によって、この試料配置部周辺の熱的変位を試料Ｓ1側の検出棒１０４の変位から除去することで、加熱による試料Ｓ1の力学的変形のみを検出することが可能となる。
なお、図７には支持管１０１を縦に配置した縦型示差熱機械分析装置を示したが、この支持管１０１を横に配置してなる横型示差熱機械分析装置もある。もっとも、縦型と横型で、基本的な構造は変わるところがない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の示差熱機械分析装置は、測定実施の度に、支持管１０１に形成した試料配置部１０７へ試料Ｓ1とともに基準試料Ｓ0を並べて配置する必要があった。試料配置部１０７は、支持管１０１内の狭小空間に形成してあり、しかも試料Ｓ1及び基準試料Ｓ0は、それぞれ検出棒１０４，１０５とほぼ同軸に配置する必要がある。このような制約のもと、基準試料Ｓ0を試料配置部１０７に配置する作業は煩雑であり、作業性を低下させる要因の一つとなっていた。
【０００８】
特に、近年は試料の自動交換を可能として、熱機械分析の完全自動化を実現させようとする動向が見られるが、試料の自動交換に際して、基準試料Ｓ0の配置が大きな障壁となっていた。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、基準試料を不要として示差熱機械分析の作業性の向上を図ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためにこの発明の示差熱機械分析装置は、先端に隔壁を有するとともに、この隔壁に試料の一端が接触するように当該試料を配置可能な試料配置部を形成した支持管と、軸方向へ移動自在に配設され、試料配置部に配置した試料の他端に先端を接触させる検出棒と、軸方向へ移動自在でかつ検出棒と平行に並べて配設され、支持管の隔壁に先端を接触させる基準検出棒と、基準検出棒に対する検出棒の軸方向の相対変位を検出する主検出手段と、試料配置部の外周に配置可能な電気炉と、試料配置部に配置された試料の温度検出手段とを備えた構成としてある。
【００１０】
このような構成によれば、支持管の熱的変形等、試料配置部の周囲の熱的変形が基準検出棒に伝わり該基準検出棒が軸方向に変位する。そして、主検出器により基準検出棒に対する検出棒の軸方向の相対変位を検出することにより、試料配置部の周囲の熱的変形を取り除いた試料の熱的変形のみを測定することができる。
しかも、試料配置部には基準試料を配置する必要がないため、測定準備に際してその作業性を向上させることができる。
【００１１】
また、この発明の示差熱機械分析装置は、電気炉を冷却する冷却ファンを備えた構成としてもよい。
複数の試料について連続的に測定を実施する場合、先の試料に対する測定が終了した後、電気炉が所定温度まで下がるのを待って、次の試料に交換しなければならないが、自然冷却により温度が下がるのを待っていたのでは、試料交換の時間がかかり過ぎ、全試料の測定終了までのトータル時間が長時間となってしまう。
そこで、冷却ファンを設置して電気炉を強制冷却することにより、測定時間を短縮させることができる。
【００１２】
次に、この発明の示差熱機械分析方法は、支持管の先端隔壁に試料の一端を接触させて当該試料を配置し、軸方向に移動自在な検出棒の先端を試料の他端に接触させ、一方、軸方向に移動自在な基準検出棒を検出棒と平行に並べて配設し、この基準検出棒の先端を支持管の先端隔壁に接触させ、次いで、試料を周囲から加熱するとともに、基準検出棒に対する試料側の検出棒の相対変位を検出することにより、加熱による試料の変形を測定するようにしたことを特徴としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１〜図６は、この発明の実施形態に係る横型示差熱機械分析装置を示しており、図１は同装置の原理を示す模式図、図２は同装置の外観を示す側面図、図３は同じく平面図である。また、図４は支持管の内部及び周辺の構造を拡大して示す平面断面図である。
【００１４】
これらの図面に示すように、この実施形態に係る横型示差熱機械分析装置は、装置本体１、電気炉２、及び試料自動交換ユニット３を備えている。装置本体１の側壁からは支持管４が延出しており、この支持管４の先端部に形成した試料配置部５に試料Ｓを配置し、電気炉２によって該試料Ｓを加熱するとともに、装置本体１に内蔵した主検出手段としての差動トランス１０により試料Ｓの変形量を測定する構成となっている。
【００１５】
支持管４は、石英硝子やセラミック等の熱的変形の小さな材料で円筒状に形成してあり、図４に示すように、装置本体１の側壁からほぼ水平に延出している。支持管４の先端近傍には、周壁を上半分ほど切欠いて試料交換窓４ａが形成してあり、また支持管４の先端面は、隔壁４ｂによって閉塞してある。そして、支持管４における先端近傍の内部が試料配置部５となっており、試料Ｓは隔壁４ｂに一端が接触するような状態でこの試料配置部５に配置される。
【００１６】
支持管４の内部には、検出棒１１及び基準検出棒１２が、軸方向に延在しかつそれぞれ平行に並べて配設してある。図４に示すように、検出棒１１の先端は、試料配置部５に配置された試料Ｓの端部に接触させ、一方、基準検出棒１２の先端は、試料Ｓの一端を支持する支持管４の隔壁４ｂに接触させる。この実施形態では、これら検出棒１１及び基準検出棒１２は、石英硝子等の熱的変形の小さな同一の材料で形成してある。
【００１７】
また、これら検出棒１１及び基準検出棒１２の基端は、装置本体１に内蔵した差動トランス１０に連結してある（図１参照）。すなわち、差動トランス１０のコア１０ａには検出棒１１の基端が連結してあり、一方、差動トランス１０のコイル１０ｂには基準検出棒１２の基端が連結してある。差動トランス１０のコア１０ａ及びコイル１０ｂはそれぞれ軸方向に移動自在となっており、検出棒１１及び基準検出棒１２の軸方向移動と一体に同方向へ変位する。差動トランス１０のコア１０ａとコイル１０ｂの相対位置が変化すると、それに対応してコイル１０ｂに流れる電流が変化する。この電流値の変化を検出することにより、検出棒１１と基準検出棒１２との間の相対変位を求めることができる。
【００１８】
差動トランス１０のコア１０ａ及び検出棒１１には、電磁アクチュエータ等の加圧手段１３によって、所要の軸方向荷重を作用させることができる。試料Ｓに圧縮荷重をかけた状態で試料Ｓの熱的変形を測定する圧縮モードや、試料Ｓに引張荷重をかけた状態で試料Ｓの熱的変形を測定する引張モード等での測定実施に際して、この加圧手段１３によって、試料Ｓに図１，図４の左方向へ所要の加重がかけられる。
【００１９】
さらに、差動トランス１０のコア１０ａ及び検出棒１１は、モータ等からなる検出棒駆動手段１４によって、図１，図４の右方向へ駆動可能となっている。この検出棒駆動手段１４は、試料交換の実施に際し、試料配置部５から検出棒１１を退避させるとき等に用いられる。
一方、差動トランス１０のコイル１０ｂ及び基準検出棒１２には、ばね等の付勢手段１５により図１，図４の左方向へ一定の荷重がかけられており、この荷重によって基準検出棒１２の先端が、隔壁４ｂへの接触状態を保持している。
【００２０】
上述のように、基準検出棒１２を支持管４の隔壁４ｂに接触させることにより、試料Ｓを支持する支持管４の熱的変形等が、この基準検出棒１２を介して差動トランス１０へ伝えられるので、図７に示した従来技術のごとく基準試料Ｓ0を用いることなく、高精度な測定を実施することができる。
【００２１】
電気炉２は筒状をしており、図２，図３に示すように、装置本体１の基盤１ａに形成したガイドレール２０に沿って支持管４の軸方向に往復移動可能であり、この移動によって支持管４の外周位置に出没する。すなわち、電気炉２は、同図右方向への移動により、その中心部が支持管４に形成した試料配置部５の外周位置に置かれる。一方、同図左方向への移動によって、試料配置部５を露出させる位置（同図の位置）に置かれる。この電気炉２の駆動は、図１に示すモータ等の電気炉駆動手段２１によって行なわれる。
【００２２】
電気炉２の内側には円筒状の保護管２２が配設してある。この保護管２２は、支持管４の同軸上に位置決めしてあり、電気炉２と一体に移動して支持管４の外周を被覆する。この保護管２２の先端は閉塞してあり、また保護管２２の基端部は電気炉２から露出している。
【００２３】
さて、熱機械分析においては、必要に応じて、所定のガス雰囲気や真空雰囲気下で試料Ｓの熱的変位を測定する場合がある。そこで、装置本体１及び支持管４の内部は、大気から遮断してそれらの雰囲気を形成できるようにしておくことが好ましい。このため、装置本体１の内部は気密構造となっており、しかも図示しないガス供給源や真空ポンプと連通する配管を接続可能となっている。
【００２４】
装置本体１の内部と連通する支持管４は、先端近傍に試料交換窓が開口しているため、この試料交換窓からの大気の流入を防止する必要がある。この実施形態の熱機械分析装置では、保護管２２により支持管４の周囲を被覆することにより、試料交換窓からの大気の流入を防止している。
【００２５】
保護管２２の基端部は、装置本体１における支持管４の根元部分と密接して気密構造を形成する。この気密構造を確実に形成するために、支持管４の根元部分にはＶリング２３が配設してあり、一方、保護管２２の基端部にはこのＶリングが当接する密閉部材２４が装着してある。
【００２６】
図５は、この密閉部材２４及びＶリング２３の構成を拡大して示す平面断面図である。
密閉部材２４の基端には、Ｖリング２３の当接面２４ａが形成してあり、Ｖリング２３は可撓性の舌片２３ａをこの当接面２４ａと対向して配置してある。そして、保護管２２が電気炉２とともに移動して、電気炉２の中心部が試料配置部５の外周に位置決めされたとき、密閉部材２４の当接面２４ａがＶリング２３の舌片２３ａと当接し密閉状態を形成する。
【００２７】
従来の熱機械分析装置では、図８又は図９に示すように、Ｏリング２００を用いて上記支持管４の根元部分と保護管２２の基端部との間の密閉構造が形成されていた。すなわち、図８の密閉構造は、支持管４の外周面にＯリングを装着し、このＯリングを支持管４の外周面と保護管２２の内周面との間に介在させて、密閉状態を形成する。また、図９の密閉構造は、保護管２２の基端面と対向するように、支持管４の根元にＯリング２００を配設し、このＯリング２００を保護管２２の基端面と支持管４の根元との間で押し潰すようにして密閉状態を形成していた。
【００２８】
しかしながら、図８の密閉構造では、支持管４と保護管２２との間を高精度に芯出しする必要があり、電気炉２及び保護管２２を支持するガイドレールの振れ等も防止した高精度な製作が必要となり、製作コストが高価格となる欠点があった。
また、図９の密閉構造では、Ｏリング２００が有効に気密状態を形成するために必要とされる潰し量がＶリング２３に比べて微小であるため、保護管２２の位置決めが困難であった。
【００２９】
Ｖリング２３を対向する密閉部材２４の当接面２４ａに当接させるこの実施形態の密閉構造は、上述のようなＯリング２００を用いた従来の密閉構造に比べて、支持管４と保護管２２との間の芯出しや当接時の位置決めの許容範囲が広く、したがって製作が容易となる利点を有している。
【００３０】
上述した支持管４における試料配置部５の近傍には、図１に示すように、試料Ｓの温度を検出するための試料温度検出器１６が設けてある。また、電気炉２にも発熱温度を検出するための電気炉温度検出器１７が設けてある。この実施形態では、これら試料温度検出器１６及び電気炉温度検出器１７として、熱電対を使用している。
さらに、この実施形態に係る横型示差熱機械分析装置では、図２，図３に示すように、電気炉２の一端開口部近傍に冷却ファン６が配設してある。この冷却ファン６は、電気炉２内に冷風を送り込み、電気炉２を強制冷却する機能を有している。
【００３１】
なお、電気炉２内には、図示しない金属製の均熱筒が配設してあり、この均熱筒を介して電気炉２からの熱を試料へ放射することで、試料を均一に加熱できる構成となっている。また、電気炉２の外周にはカバー２５が設けてある。
【００３２】
次に、試料自動交換ユニット３について説明する。
図６は、試料自動交換ユニット３の全体構造を拡大して示す正面図である。
同図及び図２，図３に示すように、試料自動交換ユニット３は、基台３１、試料ステージ３２、昇降機構３３、水平搬送レール３４、及び支持アーム３５からなる搬送手段３０と、把持手段４０とを備えている。
【００３３】
基台３１は、熱機械分析装置の装置本体１の側方に並べて配設してあり、この基台３１の上部平面に試料ステージ３２が設けてある。この試料ステージ３２には、多数の試料Ｓを、図３のＸ，Ｙ方向へマトリクス状に並べて配置することができる。ここで、Ｘ方向は支持管４の軸と平行な方向であり、角柱又は円柱状の試料Ｓは、長辺をこのＸ方向に延在して試料配置部５に配置される。同様に、試料ステージ３２上でも、試料Ｓは長辺をこのＸ方向に延在して配置されている。
【００３４】
また試料ステージ３２は、基台３１に内蔵した前後移動機構（図示せず）によって、図３のＸ方向に移動可能となっている。なお、試料ステージ３２は、試料Ｓの配置面が熱機械分析装置における支持管４に形成した試料配置部５と略同じ高さに調整してある。
【００３５】
昇降機構３３は、基台３１の後部に設けてあり、基台３１に内蔵したモータ等の昇降駆動源（図示せず）から動力を得て、支柱３３ａが上下方向（図２のＺ方向）に昇降する構成となっている。支柱３３ａの上端には、水平搬送レール３４が図３のＹ方向に延在して配設してある。この水平搬送レール３４には、図３のＸ方向に延出する支持アーム３５の基端が装着してあり、内蔵したモータ等の水平駆動源（図示せず）によりこの支持アーム３５をＹ方向に往復移動する。
【００３６】
把持手段４０は、上述した支持アーム３５の先端に装着してあり、昇降機構３３による上下移動と水平搬送レール３４によるＹ方向への移動により、試料ステージ３２と試料配置部５との間で移動する。把持手段４０は、後述するように把持本体の底面から下方へ突き出した一対の開閉爪４１，４２を有しており、これらの開閉爪４１，４２が協同して試料Ｓを把持する。
【００３７】
上述した試料ステージ３２の前後移動機構、昇降駆動源、及び水平駆動源（いずれも図示せず）は、コントローラ８により制御されている。
また、上述した電気炉２、差動トランス１０のコイル１０ｂ、検出棒１１の加圧手段１３、検出棒駆動手段１４、電気炉駆動手段２１、試料温度検出器１６、及び電気炉温度検出器１７は、図１に示すようにそれぞれ制御装置７により制御され、自動的に熱機械分析を実行できるようになっている。
なお、コントローラ８には、制御装置７から装置本体１や電気炉２側の動作情報が出力されており、試料Ｓの測定開始，終了や電気炉２の開閉、検出棒駆動手段１４の作動等と連携して試料Ｓの交換動作を実行している。
【００３８】
すなわち、試料自動交換ユニット３により試料配置部５へ所要の試料を配置するときは、制御装置７からの指令に基づいて電気炉駆動手段２１が作動し、電気炉２を試料配置部５が露出する位置まで退避させる。それとともに、制御装置７からの指令に基づいて検出棒駆動手段１４が作動し、検出棒１１を軸方向に移動させてその先端を試料配置部５から離間させる。
【００３９】
この状態から、コントローラ８が前後移動機構に指令を発し、試料ステージ３２をＸ方向に移動させて所要の試料Ｓを把持手段４０の移動経路上に配置する。次いで、水平駆動源を作動して、把持手段４０を水平搬送レール３４に沿ってＹ方向に移動させ、試料ステージ３２上の選択された試料Ｓの上方位置に把持手段４０の開閉爪４１，４２を位置決めする。この動作に入るとき、昇降機構３３の支柱３３ａが下降した状態となっていたら、あらかじめ昇降駆動源を作動して、把持手段４０を上昇位置に配置しておく。
【００４０】
続いて、昇降駆動源を作動して把持手段４０を下降させ、把持手段４０の開閉爪４１，４２を試料ステージ３２上の選択された試料Ｓの把持可能位置へと位置決めする。そして、該位置で開閉爪４１，４２が試料Ｓを把持した後、再び昇降駆動源を作動して把持手段４０を上昇させるとともに、水平駆動源を作動して把持手段４０をＹ方向に移動させ、把持している試料Ｓを試料配置部５の上方位置に位置決めする。
【００４１】
該上方位置から昇降駆動源を作動して、把持手段４０を試料配置部５に向けて下降させ、把持していた試料Ｓを試料配置部５に配置する。その後、開閉爪４１，４２を開いて試料Ｓの把持を解除し、昇降駆動源により把持手段４０を上昇させて試料配置部５への試料Ｓの配置動作を完了する。
【００４２】
その後、検出棒駆動手段１４による検出棒１１への駆動力を解除するとともに、加圧手段１３によって検出棒１１に所定の荷重を付与する。この荷重により検出棒１１の先端が試料Ｓの一端に当接した状態が保持される。
【００４３】
次いで、電気炉駆動手段２１を作動して、電気炉２の中心部を試料配置部５の外周位置に配置する。このとき保護管２２の基端部に装着した密閉部材２４が、装置本体１における支持管４の根元部分に配設してあるＶリング２３に当接して、保護管２２の内部から装置本体１の内部にかけて密閉構造を形成する。
ここで、必要に応じて密閉した保護管２２の内部から装置本体１の内部を真空吸引したり、また不活性ガス等を充填して、所要の測定雰囲気を形成することができる。
【００４４】
続いて、電気炉２を作動して試料配置部５に配置した試料Ｓを加熱するとともに、差動トランス１０のコイル１０ｂに流れる電流の変化を検出して、試料Ｓの軸方向への変形を測定する。すなわち、試料Ｓが加熱によって変形すると、その変形量は検出棒１１に伝えられ、検出棒１１が軸方向へ移動する。このとき、試料Ｓを支持する支持管４等の周辺構造が熱により変形した場合には、その変形が支持管４と接触する基準検出棒１２に伝えられ、基準検出棒１２が軸方向に移動する。
【００４５】
この結果、検出棒１１が連結した差動トランス１０のコア１０ａと、基準検出棒１２が連結した差動トランス１０のコイル１０ｂとの間の相対変位は、支持管４の変形成分を差し引いた試料Ｓの変形のみに対応することになる。そして、この相対変位に基づいて、差動トランス１０のコイル１０ｂに流れる電流値が変化する。これを制御装置７が検出して、所定の演算処理を経て、試料Ｓの熱機械分析を実行する。なお、制御装置７による熱機械分析のための演算処理過程は、従来の基準試料を用いた熱機械分析装置と同様であるため、ここではその説明を省略する。
【００４６】
試料Ｓの温度は、試料温度検出器１６によって検出され、制御装置７はこの試料温度検出器１６からの温度情報に基づいて電気炉２を制御する。このとき、併せて電気炉２の加熱温度も電気炉温度検出器１７により測定されており、該電気炉２の温度状況も制御装置７に入力されている。
【００４７】
このようにして試料Ｓに対する熱機械分析が終了すると、電気炉２の差動を停止して、所定の温度まで電気炉２内の温度を自然降下させる。そして、急冷しても損傷しない温度まで電気炉２内の温度が降下したとき、冷却ファン６を駆動して強制冷却を実施する。これにより、電気炉２の冷却を速め、次の試料Ｓに対する熱機械分析測定のサイクルタイムを短縮化することができる。
【００４８】
測定済みの試料Ｓを試料配置部５から取り出すには、電気炉２を開いた後、水平駆動源及び昇降駆動源を作動して把持手段４０を試料配置部５へと移動させる。そして、開閉爪４１，４２により試料配置部５上の試料Ｓを把持し、再び昇降駆動源及び水平駆動源を作動して把持した試料Ｓを試料ステージ３２へと搬送する。
【００４９】
なお、この発明は上述した実施形態に限定されるものではない。
例えば、上述の実施形態は横型示差熱機械分析装置にこの発明を適用した構成を示したが、支持管が鉛直方向に配置された縦型示差熱機械分析装置にも、この発明は同様に適用することができる。
また、一層高精度な分析結果を得たい場合には、基準検出棒と検出棒とを同一材料で形成するとともに、これら検出棒と同一の材料で形成した補正用試料を用意し、適宜、試料の代りにこの補正用試料を支持管の隔壁と検出棒の間に配置して熱機械分析を実施して補正データを収集することが好ましい。
【００５０】
すなわち、上記補正用試料，検出棒，基準検出棒は、同一の材料で形成されているので、補正用試料を介して支持管の隔壁に接する検出棒の変位は、基準検出棒の変位と理論上同一になるため、差動トランスには電流変化が見られないはずである。
しかし、各部材の形状誤差や加熱温度の不均一等、種々の要因からこれら検出棒と基準検出棒とが異なった変位を示すことがあり、これが熱機械分析の誤差となる。この誤差成分を補正データとして収集し、実測データから差し引くことによって測定精度の向上を図ることができる。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したようにこの発明によれば、基準検出棒を備えたことにより、基準試料が不要となり、その結果、示差熱機械分析の作業性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明を実施形態に係る横型示差熱機械分析装置の原理を示す模式図である。
【図２】同装置の外観を示す側面図である。
【図３】同じく平面図である。
【図４】支持管の内部及び周辺の構造を拡大して示す平面断面図である。
【図５】密閉部材及びＶリングの構成を拡大して示す平面断面図である。
【図６】試料自動交換ユニットの全体構造を拡大して示す正面図である。
【図７】従来の示差熱機械分析装置の原理を示す模式図である
【図８】Ｏリングを用いて保護管の基端部と支持管の根元との間を密閉する従来の密閉構造を示す断面図である。
【図９】Ｏリングを用いて保護管の基端部と支持管の根元との間を密閉する従来の他の密閉構造を示す断面図である。
【符号の説明】
１：装置本体              ２：電気炉
３：試料自動交換ユニット  ４：支持管
５：試料配置部            ６：冷却ファン
７：制御装置              ８：コントローラ
１０：差動トランス        １１：検出棒
１２：基準検出棒          １３：加圧手段
１４：検出棒駆動手段      １５：付勢手段
１６：試料温度検出器      １７電気炉温度検出器
２０：ガイドレール        ２１：電気炉駆動手段
２２：保護管              ２３：Ｖリング
２４：密閉部材            ２５：カバー
３０：搬送手段            ３１：基台
３２：試料ステージ        ３３：昇降機構
３４：水平搬送レール      ３５：支持アーム
４０：把持手段
４１，４２：開閉爪
【図１】
0003666769.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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