(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出方向に向けて溶融金属を吐出するノズルであって、
親金属性表面（前記親金属性表面に対する前記溶融金属の接触角は９０°よりも小さい）と、
前記親金属性表面よりも前記吐出方向の行き先側に配置された撥金属性表面（前記撥金属性表面に対する前記溶融金属の接触角は９０°よりも大きい）と
を備え、
前記親金属性表面と前記撥金属性表面との境界よりも前記吐出方向の行き先側において、吐出前の前記溶融金属の液面の周囲を保持するノズル。
【請求項２】
吐出後に前記吐出方向と反対側に向けて引き戻される前記溶融金属の液面の周囲が、前記親金属性表面と前記撥金属性表面との境界よりも前記吐出方向の行き先側において位置する、請求項１記載のノズル。
【請求項３】
前記ノズルは、
前記吐出方向を含む断面において前記吐出方向に対して第１角度で先細る第１内側面と、
前記吐出方向の行き先側で前記第１内側面と連続し、前記吐出方向に対して第２角度で先細るか、前記吐出方向と平行であるか、あるいは第３角度で広がる第２内側面と
を更に備え、
前記第１内側面と前記第２内側面との境界は、前記親金属性表面と前記撥金属性表面との境界よりも前記吐出方向の行き先側に位置し、
前記第１角度は前記第１内側面の前記撥金属性表面に対する前記溶融金属の接触角から９０°を差し引いた値以上に設定され、
前記第２角度は前記第２内側面に対する前記溶融金属の接触角から９０°を差し引いた値未満に設定される、請求項２記載のノズル。
【請求項４】
前記第３角度は、前記第２内側面に対する前記溶融金属の接触角を１８０°から差し引いた値以上に設定される、請求項３記載のノズル。
【請求項５】
前記第１角度は１８０°以下に設定され、
前記親金属性表面を呈して前記第１内側面よりも前記行き先側と反対側に配置され、前記溶融金属を格納する溶融金属室
を更に備える、請求項３および請求項４のいずれか一つに記載のノズル。
【請求項６】
前記撥金属性表面を呈する撥金属性体と、
前記撥金属性体上に形成されて前記親金属性表面を呈する親金属性層と
を備える、請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載のノズル。
【請求項７】
前記溶融金属は溶融半田であり、
前記親金属性層はニッケルを主成分とするメッキ層を有する、請求項６記載のノズル。
【請求項８】
前記親金属性層は、前記メッキ層上に設けられた半田メッキ層を更に有する、請求項７記載のノズル。
【請求項９】
前記撥金属性表面を呈する撥金属性体と、
前記親金属性表面を呈する親金属性体と
を備える、請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載のノズル。
【請求項１０】
前記親金属性表面を呈する親金属性体と、
前記親金属性体上に形成されて前記撥金属性表面を呈する撥金属性層と
を備える、請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載のノズル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は溶融金属を吐出する技術に関し、例えば半田を所定量ずつ吐出する技術に適用できる。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、半田を所定量ずつ吐出する技術が提案されている。例えば特開昭６２−２５７７５０号公報や特開平３−１３８９４２号公報には溶融半田に圧力を与えてノズルから吐出させる技術が、また特開平３−６００３６号公報には静電力によって導体ペーストをノズルから引き出す技術が、それぞれ開示されている。
【０００３】
図２３は半田バンプを形成する装置のノズル２００の構成を例示する断面図である。ノズル２００には溶融半田室１と、これに連通するストレート部５とが設けられている。溶融半田室１には溶融半田２０が蓄えられる。溶融半田２０にストレート部５とは反対側から圧力Ｐが与えられることにより、ストレート部５の溶融半田室１側の開口３から半田滴１１が吐出される。ノズル２００は半田に対する濡れ性が悪いステンレスで形成される。かかる技術は例えば特開平１１−２７４２０４号公報に示されている。
【０００４】
図２４乃至図２６は本願出願人による出願にかかる特開２００２−４３３５１公報に記載されたノズル２０１の構成を示す断面図であり、本願において独自の符号を付記している。ノズル２０１は溶融半田室１に向かって広がるテーパ部６と、テーパ部６からノズル出口表面４に通じるストレート部５を備えている。テーパ部６は端部６ａ，６ｂを有しており、これらはそれぞれ、ストレート部５側および溶融半田室１側に接している。また、ストレート部５はノズル出口表面４において開口３を有している。ノズル２０１も撥半田性の材料で形成される。
【０００５】
溶融半田室１と、これを覆うダイアフラム７との間には、図示されない流路から供給された溶融半田２０が充填される。ダイアフラム７は変形可能であり、これを介して、図示しない応力源、例えば圧電素子などから溶融半田２０に力Ｆが加えられる。
【０００６】
テーパ部６はノズル２０１の内面が撥半田性であっても、また力Ｆがかかっていない状態でも溶融半田２０がテーパ部６に入っていくような角度で設けられている。テーパ部６は例えば、溶融半田室１の底面１ａに垂直な方向を軸とする円錐台の側面を用いて形成される。この円錐台の側面は、当該軸に対して角度αを成す。具体的には、ノズル２０１の内面に対する溶融半田２０の接触角をθｓとした場合、角度αは（θｓ−９０°）以上に設定される。一方、ストレート部５の内側面は当該軸に平行であるので、溶融半田２０の液面（以下、単に「液面」という）の周囲が端部６ａで保持される。
【０００７】
力Ｆは溶融半田２０を開口３へ向けて押し出し、その後に溶融半田室１へと向けて引き戻す。このように方向が往復する力Ｆが印加されることにより、図２５に示されるように、溶融半田２０の一部が半田滴１１として、ストレート部５を介して開口３からノズル２０１の外部へと吐出される。
【０００８】
吐出前には溶融半田２０はその液面の周囲が端部６ａで保持されているが、吐出後は、半田滴１１を吐出した反動によって端部６ａよりもテーパ部６側に引き込まれる（図２６）。
【０００９】
セラミックなどの欠けやすい部材でノズルを形成する場合でも、テーパ部６が存在しないノズル２００と比較して、ノズル２０１はストレート部５が短く、よって容易な加工で足りる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ノズル２０１もノズル２００と同様に溶融半田室１内面が撥半田性なので、溶融半田２０は溶融半田室１への馴染みが悪い。このため、図２７に示されるように、溶融半田室１に溶融半田２０を最初に充填する際、溶融半田室１の一部に気泡４０が残ってしまう問題がある。気泡４０が残ると、ダイアフラム７で溶融半田室１を押しても気泡４０が圧縮されるため、溶融半田２０に印加される圧力が減少したり、時間的遅れが生じるため、本来の吐出性能が得られないとの問題があった。
【００１１】
本発明はかかる問題を解決しようとするもので、溶融金属の吐出性能の向上を目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明のうち請求項１にかかるものは、吐出方向に向けて溶融金属を吐出するノズルであって、親金属性表面（前記親金属性表面に対する前記溶融金属の接触角は９０°よりも小さい）と、前記親金属性表面よりも前記吐出方向の行き先側に配置された撥金属性表面（前記撥金属性表面に対する前記溶融金属の接触角は９０°よりも大きい）とを備える。そして前記親金属性表面と前記撥金属性表面との境界よりも前記吐出方向の行き先側において、吐出前の前記溶融金属の液面の周囲を保持する。
【００１３】
この発明のうち請求項２にかかるものは、請求項１記載のノズルであって、吐出後に前記吐出方向と反対側に向けて引き戻される前記溶融金属の液面の周囲が、前記親金属性表面と前記撥金属性表面との境界よりも前記吐出方向の行き先側において位置する。
【００１４】
この発明のうち請求項３にかかるものは、請求項２記載のノズルであって、前記ノズルは、前記吐出方向を含む断面において前記吐出方向に対して第１角度で先細る第１内側面と、前記吐出方向の行き先側で前記第１内側面と連続し、前記吐出方向に対して第２角度で先細るか、前記吐出方向と平行であるか、あるいは第３角度で広がる第２内側面とを更に備える。そして、前記第１内側面と前記第２内側面との境界は、前記親金属性表面と前記撥金属性表面との境界よりも前記吐出方向の行き先側に位置し、前記第１角度は前記第１内側面の前記撥金属性表面に対する前記溶融金属の接触角から９０°を差し引いた値以上に設定され、前記第２角度は前記第２内側面に対する前記溶融金属の接触角から９０°を差し引いた値未満に設定される。
【００１５】
この発明のうち請求項４にかかるものは、請求項３記載のノズルであって、前記第３角度は、前記第２内側面に対する前記溶融金属の接触角を１８０°から差し引いた値以上に設定される。
【００１６】
この発明のうち請求項５にかかるものは、請求項３および請求項４のいずれか一つに記載のノズルであって、前記第１角度は１８０°以下に設定され、前記親金属性表面を呈して前記第１内側面よりも前記行き先側と反対側に配置され、前記溶融金属を格納する溶融金属室を更に備える。
【００１７】
この発明のうち請求項６にかかるものは、請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載のノズルであって、前記撥金属性表面を呈する撥金属性体と、前記撥金属性体上に形成されて前記親金属性表面を呈する親金属性層とを備える。
【００１８】
この発明のうち請求項７にかかるものは、請求項６記載のノズルであって、前記溶融金属は溶融半田であり、前記親金属性層はニッケルを主成分とするメッキ層を有する。
【００１９】
この発明のうち請求項８にかかるものは、請求項７記載のノズルであって、前記親金属性層は、前記メッキ層上に設けられた半田メッキ層を更に有する。
【００２０】
この発明のうち請求項９にかかるものは、請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載のノズルであって、前記撥金属性表面を呈する撥金属性体と、前記親金属性表面を呈する親金属性体とを備える。
【００２１】
この発明のうち請求項１０にかかるものは、請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載のノズルであって、前記親金属性表面を呈する親金属性体と、前記親金属性体上に形成されて前記撥金属性表面を呈する撥金属性層とを備える。
【００２２】
【発明の実施の形態】
Ａ．発明の前駆的思想および基本的思想．
特開昭６１−１４１５６５号公報には、インクジェットプリンタのインク吐出部についての技術であるが、ノズル２０１のテーパ部６およびストレート部５に相当する部分の表面を親水性とし、ノズル出口表面４に相当する部分を撥水性とする技術が開示されている。そこでノズル２０１のテーパ部６およびストレート部５の表面を親半田性とし、ノズル出口表面４に相当する部分を撥半田性とする構造を、本発明の前駆的思想としてまず検討する。なお、本願において表面が親半田性であるとは、当該表面に対する半田の接触角が９０°よりも小さいことを以て定義する。一方、表面が撥半田性であるとは、当該表面に対する半田の接触角が９０°よりも大きいことを以て定義する。
【００２３】
図１は本発明の前駆的思想にかかるノズル２０２の構成を示す断面図である。溶融半田室１、テーパ部６、ストレート部５の表面には、いずれも親半田性の表面処理が為される。具体的には例えば半田に馴染みやすいメッキ層４１が設けられる。一方、ノズル出口表面４は撥半田性のままである。
【００２４】
このように、ノズル２０２の内面を親半田性にしたので溶融半田室１から開口３までの溶融半田２０の導入が容易である。また溶融半田室１に溶融半田２０を最初に充填する際、溶融半田室１の一部に気泡４０が残ることもない。
【００２５】
半田滴１１を吐出する前、液面の周囲は、ノズル２０１のようなテーパ部６の端部６ａにおいてではなく、開口３において保持される。ストレート部５側の表面は親半田性であるために開口３まで溶融半田２０１が入り込みやすく、かつ開口３においては撥半田性であるノズル出口表面４が大きな角度、ここでは１８０°で開いているからである。
【００２６】
このようにして液面の周囲が開口３で保持されるので、半田滴１１の径や吐出方向、および吐出速度に変動がなく、安定して半田滴１１を吐出することができる。
【００２７】
しかし、開口３は親半田性であるストレート部５の表面と、撥半田性であるノズル出口表面４との境界でもある。従って吐出の反動で液面がストレート部５内へと引き込まれる際にも、液面の周囲は開口３において保持され易く、気泡の巻き込みを生じやすい。
【００２８】
このような不都合は、開口３が液面の周囲を吐出前のみならず吐出後でも保持し、かつ開口３に対して溶融半田室１側（つまり吐出する側とは反対側）に接するストレート部５の表面が親半田性であることに由来する。
【００２９】
しかしながらこのような気泡の発生は、ストレート部５にメッキ層４１を設けず、ストレート部５を撥半田性としても回避されない。図２乃至図６は、本発明の前駆的思想にかかるノズル２０７の構成を示す断面図であり、図２は吐出前の状態を、図３は吐出中の状態を、図４乃至図６は吐出後の状態を、それぞれ示している。
【００３０】
ノズル２０７は図２４乃至図２６を用いて説明したノズル２０１に対して、親半田性のメッキ層４１をテーパ部６および溶融半田室１の内面に設けた構造を有している。但しノズル２０７は図１を用いて説明したノズル２０２とは異なり、ストレート部５にはメッキ層４１を設けていない。従って、吐出前の液面の周囲は図２に示されるように、図２４を用いて示されたノズル２０１と同様に、テーパ部６のストレート部５側の端部６ａで保持される。そして半田滴１１の吐出時も図２５を用いて示されたノズル２０１と同様、液面の周囲が端部６ａで保持されたままである。
【００３１】
そして吐出の反動で液面がテーパ部６内へ引き込まれるが、親半田性であるテーパ部６は液面の周囲を端部６ｂから端部６ａへと向かう方向に引っ張る。その結果、液面の周囲は端部６ａで保持されてしまい、図４に示されるように液面は波打つ。
【００３２】
その後、図５に示されるように気泡１２がテーパ部６近傍で溶融半田２０に巻き込まれる。これが半田滴１１の吐出の度に繰り返されると、巻き込まれた多数の気泡１２が集まり、図６に示すように溶融半田室１内に大きい気泡１３が発生する。大きい気泡１３は吐出の際に圧縮されたり、小さい気泡１２に分離したりして、半田滴１１の安定した吐出を妨げる。
【００３３】
つまりノズル２０７においてはノズル２０１の開口３の機能をテーパ部６の端部６ａが担っており、端部６ａが液面の周囲を吐出前のみならず吐出後でも保持し、かつ端部６ａに対して溶融半田室１側（つまり吐出する側とは反対側）に接するテーパ部６の表面が親半田性であることに由来する。
【００３４】
そこで本発明の基本的思想として、ノズルの内面を、吐出方向に近い側で撥半田性とし、遠い側で親半田性とする。そして吐出前の液面の周囲を、撥半田性の表面と親半田性の表面との境界よりも吐出方向側で保持する。これにより、吐出時及びその後に反動で溶融半田が吐出方向とは反対側に移動する際に、液面の周囲が上記境界において保持されないように圧力を制御することができる。
【００３５】
図７は本発明の基本的思想を示す断面図である。ノズル２は吐出方向Ｚに向けて溶融金属２０を吐出する。ノズル２は領域Ｐ１において親半田性表面を、領域Ｐ２において撥半田性表面を、それぞれ有している。領域Ｐ１よりも領域Ｐ２は吐出方向Ｚの行き先側に位置している。
【００３６】
そしてノズル２は、親半田性表面と撥半田性表面との境界よりも距離δ（＞０）だけ吐出方向Ｚの行き先側の位置Ａにおいて、後述する手法を用いて吐出前の液面の周囲を保持する。換言するとノズル２は、位置Ａよりも吐出方向Ｚの行き先側を領域Ｑ２、位置Ａに関して領域Ｑ２と反対側を領域Ｑ１とすると、吐出前の液面の周囲を領域Ｑ１，Ｑ２の境界たる位置Ａで保持する。
【００３７】
吐出前の液面の周囲を保持することにより、半田滴の径や吐出方向、および吐出速度に変化がなく、安定して半田滴を吐出することができる。またノズル２から吐出する溶融半田２０を領域Ｐ１において親金属性表面で覆って貯蔵することができる。よって図２７に示されたような、溶融半田２０を貯蔵する際における気泡の発生を回避できる。
【００３８】
また溶融半田２０に印加される圧力を制御することにより、吐出時及びその反動で溶融半田２０が吐出方向Ｚとは反対側に移動する際に、液面の周囲は位置Ａよりも距離δ以上は移動させない。液面の周囲が位置Ａよりも距離δ以内で吐出方向Ｚとは反対側に移動しても、液面の周囲は領域Ｐ２にあり、撥半田性表面と接触している。このように液面の周囲の位置を制御することにより、発明の前駆的思想に対して指摘した、半田滴１１を吐出した後での液面の周囲に対して、吐出する側とは反対側で接する部分の表面が親半田性であることに由来する、気泡の発生を回避することができる。
【００３９】
次に、両者の境界において液面の周囲を保持するために設定される領域Ｑ１，Ｑ２の条件について例示する。
【００４０】
Ｂ．吐出前における、溶融半田の液面の周囲の保持．
実施の形態の詳細な説明に入る前に、本発明の基本的思想において更に設定される条件として、液面の周囲を保持する条件について説明する。この保持位置は撥半田性の表面を有する内側面によって規定される。図８は吐出方向Ｚに平行な断面での断面図である。ノズル２０３は第１の内側面３１、第２の内側面３２、および底面３３を備えている。例えば吐出方向Ｚに対して、第１の内側面３１、第２の内側面３２、および底面３３はそれぞれ軸対称に、具体的にはそれぞれ円錐台の側面、円柱の側面、円形に開口した平面を採用することができる。
【００４１】
第１の内側面３１は、当該断面において、吐出方向Ｚに対して角度αで先細っている。第２の内側面３２は吐出方向Ｚに対して平行であり、底面３３は吐出方向Ｚに対して垂直である。よってこれらはそれぞれノズル２０１のテーパ部６、ストレート部５、ノズル出口表面４に相当する。
【００４２】
角度αが、第１の内側面３１に対する溶融半田２０の接触角θ31（＞９０°）を導入した式（１）を満足すれば、溶融半田２０は吐出方向Ｚに沿って移動することができる。
【００４３】
【数１】
0003643089.tif 000002
【００４４】
一方、第２の内側面３２に対する溶融半田２０の接触角θ32（＞９０°）を導入すると、第２の内側面３２において式（２）が成立する。
【００４５】
【数２】
0003643089.tif 000003
【００４６】
第２の内面３２と吐出方向Ｚとが成す角度は、溶融半田２０が吐出方向Ｚに沿って移動する際に第２の内側面３２に対して濡れ性悪く接触するように設定される。これにより、外部から溶融半田２０に圧力を与えない状態で、吐出前の液面の周囲を、第１の内側面３１と第２の内側面３２の境界において保持することができる。
【００４７】
よって大きな、具体的には後述する閾値圧力Ｐ１を越える圧力が、第１の内側面３１と第２の内側面３２の境界に発生しない限り、溶融半田２０は図８に示されるように当該境界で保持される。このとき、当該境界に発生する圧力Ｐと液体の表面張力σによる釣り合いを考えると、式（３）が成立する。但し当該境界が半径Ｒの円を、液面は曲率半径ｒの球面の一部を、それぞれ呈するとし、当該球面の中心Ｏから当該境界に引いた直線と吐出方向Ｚとが成す角φを導入した。
【００４８】
【数３】
0003643089.tif 000004
【００４９】
図８には液面と第２の内面３２とが成す角度θをも図示している。角度θは圧力Ｐが増大するにつれて増大する。角度θが第２の内側面３２に対する溶融半田２０の接触角θ32未満であれば、液面の周囲が当該境界において保持される。しかし角度θを接触角θ32に等しくする圧力Ｐ（これが前述の閾値圧力Ｐ１である）よりも大きな圧力Ｐが当該境界に発生すると、液面の周囲は第２内面３２内に位置することになる。この際、曲率半径ｒは、当該境界が呈する円の半径Ｒよりも大きい。
【００５０】
第２の内面３２は、式（２）に基づき、図８に示すように吐出方向Ｚと平行であってもよいが、吐出方向Ｚに沿って先細りであってもよい。図９は吐出方向Ｚに平行な断面での断面図である。ノズル２０４は第１の内側面３１、第２の内側面３２、および底面３３を備えている。第２の内側面３２は吐出方向Ｚに対して角度βで先細っている。そして吐出前の液面の周囲が、第１の内側面３１と第２の内側面３２の境界で保持されるためには、式（４）が満足されればよい。第２の内側面３２が先細りではない図８に示された場合を除くため、式（４）においてβ＝０を除いている。
【００５１】
【数４】
0003643089.tif 000005
【００５２】
逆に第２の内側面３２は、吐出方向Ｚに沿って広がってもよい。図１０は吐出方向Ｚに平行な断面での断面図である。ノズル２０５は第１の内側面３１、第２の内側面３２、および底面３３を備えている。第２の内側面３２は吐出方向Ｚに対して角度γで広がっている。そして吐出前の液面の周囲が、第１の内側面３１と第２の内側面３２の境界で保持されるためには、式（４）が満足されればよいので、γは０乃至１８０°の範囲に設定することができる。但しγ＝０ならば、第２の内側面３２が先細りではない図８に示された場合に相当する。
【００５３】
図８に示された場合は、液面がその一部を呈する球面の曲率半径ｒは、第１の内側面３１と第２の内側面３２との境界が呈する円の半径Ｒよりも大きい。しかしながら、式（５）が満足されれば、位置Ａにおける液面の接線と第２の内面３２とが成す角度θは、接触角θ32に至るまで増大できる。このことと、角度θが（１８０°−γ）に等しいときに球面の曲率半径ｒが半径Ｒに等しくなることと、式（５）から接触角θ32が（１８０°−γ）以上であることとから、当該境界にかかる圧力Ｐが式（６）で示される最大圧力Ｐmaxにまで達するような角度θが存在することがわかる。換言すれば、当該境界において発生する圧力Ｐが大きくても、液面の周囲を当該境界において保持することができる。但し、角度θが接触角θ32以上になると液面は位置Ａで保持されずに、位置Ａから第２の内側面３２へとあふれ出す。
【００５４】
【数５】
0003643089.tif 000006
【００５５】
【数６】
0003643089.tif 000007
【００５６】
第１の内側面３１と第２の内側面３２とは両者相まって曲面を形成してもよい。図１１は吐出方向Ｚに平行な断面での断面図である。ノズル２０６は、溶融半田室１と、内側面３４と、底面３３とを備えている。内側面３４は溶融半田室１の底面１ａおよび底面３３と連続している。内側面３４が当該断面において呈する曲線の接線が前記吐出方向と成す角度は、吐出方向Ｚに向かうにつれて９０°から０°へと連続的に変化する。図１１では底面１ａ，３３が吐出方向Ｚに対して垂直である場合を例示しており、従って底面１ａと内側面３４とは当該断面において角度０°で交わり、底面３３と内側面３４とは当該断面において９０°で交わる。
【００５７】
内側面３４の断面における接線がこのように設定されるので、内側面３４に対する溶融半田２０の接触角θ34（＞９０°）を導入して、吐出方向Ｚと成す角度が（θ34−９０°）となる接線が内側面３４において存在する。従って、内側面３４が撥半田性である限り、接触角θ34によらずに吐出前の液面の周囲を保持することができる。
【００５８】
Ｃ．種々の実施の形態．
実施の形態１．
図１２乃至図１４は本発明の実施の形態１にかかるノズル１０１の、吐出方向Ｚに平行な断面で現れる構造を示す断面図である。ノズル１０１は溶融半田室１と、これに連通するテーパ部６およびテーパ部６に連通するストレート部５を有している。テーパ部６は端部６ａ，６ｂを有しており、これらはそれぞれ、ストレート部５側および溶融半田室１側に接している。また、ストレート部５はノズル出口表面４において開口３を有している。ノズル１０１の形成には撥半田性の材料、セラミック（例えばジルコニア）、ステンレス、石英ガラス、ルビーを採用することができる。そして、溶融半田室１、ストレート部５、テーパ部６を機械加工で形成することができる。セラミックは撥半田性は良好であるが加工が難しく、ステンレスは強度と加工性に優れるが、撥半田性はセラミックに劣る。
【００５９】
溶融半田室１は、その底面１ａに対向するダイアフラム７で覆われており、溶融半田２０が溶融半田室１とダイアフラム７に囲まれて格納される。ダイアフラム７の底面１ａに対向する側の面には親半田性層４２が設けられる。溶融半田室１にはその底面１ａおよび底面１ａからダイアフラム７に至る側面に親半田性層４３が設けられている。従って溶融半田２０は、濡れ性良く溶融半田室１に格納され、溶融半田室１に溶融半田２０を最初に充填する際に、気泡４０（図２７）が溶融半田室１に残留する問題は解決される。
【００６０】
親半田性層４２，４３を形成する方法として、メッキ、コーティング、スパッタ、蒸着を採用することができる。なかでもメッキが最も容易な処理である。溶融半田２０に対して濡れ性の良いメッキ材料としては、金、銅、錫、ニッケル、白金、パラジウムが挙げられる。しかし、金、銅、錫は溶融半田２０に対する濡れ性は良好であるが、溶融半田２０によって侵食され易い。そして侵食が発生すれば親半田性層４２，４３がなくなってしまい、長期間安定した親半田性を確保することは難しい。また金、パラジウムは貴金属ゆえに高価である。
【００６１】
これらの材料と比較して、ニッケルは溶融半田２０によって侵食され難く、また安価であり、かつ溶融半田２０に対する濡れ性も良好である。しかもノズル１０１の材料としてステンレスを採用する場合は、ニッケルを材料とするメッキを下地を必要とせず直接に行うことができる。
【００６２】
またニッケル（Ｎｉ）に少量の燐（Ｐ）が入ったＮｉ−Ｐや、硼素（Ｂ）の入ったＮｉ−Ｂ、燐とタングステン（Ｗ）が入ったＮｉ−Ｐ−Ｗ、もしくは硼素とタングステンが入ったＮｉ−Ｂ−Ｗを材料とするメッキ層を親半田性層４２，４３として採用することは望ましい。これらの材料を採用したメッキ層の溶融半田２０に対する濡れ性は、ニッケルを材料とするメッキ層と同程度であり、しかもより溶融半田２０に侵食されにくいからである。
【００６３】
なおノズル１０１の材料としてセラミックを採用し、かつ親半田性層４２，４３を上述のニッケルまたはニッケルを主成分とする材料を用いたメッキにて形成する場合、親半田性層４２，４３の付着力を高めるために、クロム（Ｃｒ）あるいはチタン（Ｔｉ）をスパッタリングした後、銅（Ｃｕ）をスパッタリングした後に、上記メッキを施すことが望ましい。
【００６４】
ダイアフラム７を親半田性の部材で形成すれば、親半田性層４２を省略することができる。
【００６５】
テーパ部６は吐出方向Ｚに対して角度αで先細っており、またストレート部５は吐出方向Ｚに平行である。例えば、テーパ部６は吐出方向Ｚに平行な軸を有する円錐台の側面を呈し、ストレート部５は当該軸を有する円柱の側面を呈する。但し必ずしもストレート部５やテーパ部６は軸対称である必要はない。これらは本実施の形態および以降の実施の形態において、後述する角度α，γに対して要求される条件を満足していればよい。
【００６６】
実施の形態１ではテーパ部６とストレート部５とは同じ材料を用いて形成されている。そしてこの材料に対する溶融半田２０の接触角をθｓとすると、角度αは式（７）を満足しているものとする。
【００６７】
【数７】
0003643089.tif 000008
【００６８】
一方、テーパ部６とストレート部５とに採用される材料は撥半田性であるので、接触角θｓは式（８）を満足する。
【００６９】
【数８】
0003643089.tif 000009
【００７０】
従って、式（１），（２）を用いてＢ節で説明されたのと同様に、閾値圧力Ｐ１を越える圧力が、テーパ部６とストレート部５との境界、即ち端部６ａに発生しない限り、溶融半田２０の液面の周囲は図１２に示されるように端部６ａで保持される。
【００７１】
図１３は溶融半田２０を吐出する際の状態を示したものである。ダイアフラム７には、図示しない圧力源、例えば圧電素子によって力Ｆが加えられる。力Ｆは溶融半田２０を開口３へ向けて押し出し、その後に溶融半田室１へと向けて引き戻す。このように方向が往復する力Ｆが印加されることにより、溶融半田２０の一部が半田滴１１として、ストレート部５を介して開口３からノズル１０１の外部へと吐出される。溶融半田２０を吐出する前において、液面の周囲の位置を保持できるので、吐出に必要な圧力の立ち上がりを良好にし、以て半田滴１１を吐出するタイミングの遅れ、半田滴１１の径、吐出方向、および吐出速度のばらつきを回避することができる。
【００７２】
図１４は吐出した後の状態を示したものである。ダイアフラム７には力Ｆは与えられず、ダイアフラム７は元の位置に戻っている。テーパ部６の呈する角度αは式（７）を満足するものの、液面は吐出の反動でテーパ部６内部に引き込まれるため、液面の周囲は端部６ａよりも端部６ｂ側に近い位置Ｂにまで一旦上昇する。その後、図１２に示された状態に戻り、次に半田滴１１を吐出するための力Ｆがダイアフラム７に与えられるまでは、液面の周囲は端部６ａに保持される。
【００７３】
本実施の形態では端部６ａが図７の領域Ｑ１，Ｑ２の境界に、端部６ｂが図７の領域Ｐ１，Ｐ２の境界に、テーパ部６が距離δに、それぞれ対応する。従って液面の周囲が引き戻される位置Ｂがテーパ部６内に留まるように力Ｆを制御することにより、図４に示されたような液面の波打ちを回避でき、気泡１２，１３（図５、図６参照）の発生を回避することができ、よってその後の吐出も安定に行うことができる。もちろん、位置Ｂは底面１ａよりも吐出方向Ｚ側に位置するので、親半田性層４２，４３が溶融半田２０に侵食されても、気泡１２，１３の発生を回避する効果が損なわれることはない。
【００７４】
また、ストレート部５は式（４），（５）に鑑み、式（９）を満足する角度βで吐出方向Ｚに対して先細り、あるいは吐出方向Ｚに対して広がって、より望ましくは式（１０）を満足する角度γで広がってもよい。
【００７５】
【数９】
0003643089.tif 000010
【００７６】
【数１０】
0003643089.tif 000011
【００７７】
図１３では吐出前のみならず、吐出時も液面の周囲が端部６ａに保持されている場合が図示されていた。しかし、半田滴１１の吐出の前に液面が保持されていることが望ましいものの、吐出の際の液面が保持されなくてもよい。あるいは、液面の周囲は吐出前において端部６ａに保持されていても、吐出時においては更に吐出方向Ｚの行き先側において、開口３において保持されていてもよい。つまり端部６ａに発生する圧力Ｐが閾値圧力Ｐ１を越えてもよい。
【００７８】
図１５はノズル２０３において第２の内側面３２と底面３３との境界たる位置Ｃで液面の周囲が保持されている状態を示す断面図である。位置Ｃはノズル１０１の開口３に相当する。底面３３は吐出方向Ｚに対して９０°を成して広がっている。底面３３に対する溶融半田の接触角θ33を導入して、式（５）と同様に式（１１）が成立する。底面３３が撥半田性であることから接触角θ33は９０°よりも大きいからである。
【００７９】
【数１１】
0003643089.tif 000012
【００８０】
よって図１０に示された場合と同様に、位置Ｃで液面の周囲を保持する際に印加される圧力Ｐは、最大圧力Ｐmaxまで到達できる。この場合の当該液面は半径Ｒの半球面Ｓ１を呈している。更に圧力Ｐが増大すると、当該液面は半径がＲよりも大きな球面の一部Ｓ２を呈する。そして位置Ｃにおける液面の接線と底面３３とが成す角ψが接触角θ33以上になると、液面を保持できず、溶融半田２０は位置Ｃから底面３３へとあふれ出す。
【００８１】
図１５で示された位置Ｃはノズル１０１の開口３に相当する。よってノズル１０１の開口３において液面が保持されて半田滴１１の吐出が行われても、吐出の反動による液面の周囲の引き戻しが、端部６ｂにまで達しなければよい。
【００８２】
実施の形態２．
図１６は、本発明の実施の形態２にかかるノズル１０２の、吐出方向Ｚに平行な断面で現れる構造を示す断面図である。ノズル１０２はノズル１０１に対し、親半田性層４３を溶融半田室１の底面１ａのみならず、端部６ｂを経由してテーパ部６に入り込んで延びる変形を施した構造を有している。テーパ部６はノズル１０１と同様に、式（７）を満足する。また、ストレート部５は式（９）を満足する角度βで吐出方向Ｚに対して先細り、あるいは吐出方向Ｚに対して広がって、より望ましくは式（１０）を満足する角度γで広がってもよい。
【００８３】
このような構造であっても、ノズル１０１と同様に、吐出の反動で引き戻された際の液面の周囲の位置Ｂの方が、親半田性層４３よりも吐出方向Ｚの行き先側であれば、実施の形態１に示された効果を得ることができる。
【００８４】
テーパ部６は半田滴１１の吐出時に溶融半田２０が集中して流れるので親半田性層４３は、溶融半田２０に侵食される可能性がある。しかし、テーパ部６であっても端部６ｂ側では端部６ａ側ほどには溶融半田２０の流れは集中しない。よってノズル１０２のように、溶融半田室１の底面１ａのみならず、端部６ｂを経由してテーパ部６に入り込んで延びても、親半田性層４３は容易には溶融半田２０に侵食されることはない。
【００８５】
ノズル１０２は更に作製上の利点がある。ノズル１０１のように、テーパ部６に全く親半田性層４３を設けず、かつ底面１ａに親半田性層４３を設ける構造を作製する場合、親半田性層４３を形成する処理（例えばメッキ）の際にメッキを妨げるマスクがテーパ部６を正確に覆う必要がある。しかしながらノズル１０２では、端部６ｂを経由してテーパ部６へと親半田性層４３が延びて設けられることが許されるので、端部６ｂの大きさよりも小さいマスクを使うことができ、マスクの位置決めがし易くなる。
【００８６】
つまり親半田性表面を呈する親半田性層４３と、テーパ部６のうち撥半田性表面を呈する部分との境界を、テーパ部６において位置させたことにより、テーパ部６に全く親半田性層４３を設けずにテーパ部６を全て撥半田性にする場合と比較して、親半田層４３を設ける処理が容易となる。また、テーパ部６の途中まで親半田性表面となるので、溶融半田２０を最初に充填する際に、テーパ部６に気泡が残留しにくい。
【００８７】
実施の形態３．
図１７および図１８は、本発明の実施の形態３にかかるノズル１０３の、吐出方向Ｚに平行な断面で現れる構造を示す断面図である。ノズル１０３はストレート部５を省略した構造となっている。従って、テーパ部６の端部６ａはテーパ部６とノズル出口表面４との境界として捉えられ、これは開口３として捉えることもできる。また、図１０に即して考えれば、角度γが９０°であり、第２の内側面３２が底面３３と一致する場合に相当する。ノズル１０３においても、ノズル１０２と同様に、親半田性層４３が底面１ａから端部６ｂを経由してテーパ部６に延びて設けられてもよい。テーパ部６はノズル１０１と同様に、式（７）を満足する。
【００８８】
図１７は吐出前の状態を示しており、図１８は半田滴１１を吐出する状態を示している。いずれの状態においても、液面の周囲は開口３（つまり端部６ａ）で保持される。ノズル１０３を用いる際にも、半田滴１１の吐出の反動で引き戻される液面の周囲の位置が、親半田性層４３が設けられている位置に達しないように、力Ｆを制御する。よってノズル１０１，１０２と同様の効果を得ることができる。
【００８９】
ノズル１０３ではノズル１０１，１０２とは異なってストレート部５が設けられていないので、半田滴１１を吐出する際に突出する液面がストレート部５に接触することがない。よって半田滴１１の吐出方向が曲がったり、不安定になったりすることが回避される。
【００９０】
かかる効果を得るには、必ずしも、端部６ａと開口３とが一致することが要求されるものではない。図１７及び図１８は図１０においてγが９０°の場合を示しており、図１０を用いて説明され、式（５）で示されたように、式（５）が満足されれば、位置Ａにおける液面の接線と第２の内面３２とが成す角度θは、接触角θ32に至るまで増大できる。よって角度γが式（５）を満足さえすれば、吐出の際に突出する液面が第２の内面３２に接触することがない。
【００９１】
実施の形態４．
図１９は、本発明の実施の形態４にかかるノズル１０４の、吐出方向Ｚに平行な断面で現れる構造を示す断面図である。図１９はまだ溶融半田室１に溶融半田が充填されていない状態を表している。ノズル１０４はノズル１０１の親半田性層４３上に半田メッキ層１４を設けた構造となっている。テーパ部６はノズル１０１と同様に、式（７）を満足する。ストレート部５は式（９）を満足する角度βで吐出方向Ｚに対して先細り、あるいは吐出方向Ｚに対して広がって、より望ましくは式（１０）を満足する角度γで広がってもよい。またノズル１０２，１０３において設けられた親半田性層４３の上に、半田メッキ層１４を設けてもよい。
【００９２】
図示されない流路から溶融半田室１へと溶融半田が供給される際、溶融半田の半田メッキ層１４に対する濡れ性は非常に大きいので、溶融半田はスムーズに溶融半田室１内に充填される。また、半田メッキ層１４によって親半田性層４３が覆われるので、親半田性層４３の酸化を防止することができる。従って酸化膜による溶融半田の濡れ性の悪化を回避できる。
【００９３】
そして半田メッキ層１４は供給された溶融半田に速やかに溶け込んでしまい、残留しない。そのため、溶融半田を溶融半田室１に格納した後のノズル１０４は、溶融半田が溶融半田室１に格納されたノズル１０１と同じ構造を呈することになる。よって、溶融半田が格納された後は、ノズル１０４も実施の形態１と同様の効果を奏すことができる。
【００９４】
上述のように、溶融半田に対して一旦接触すると、半田メッキ層１４は溶融半田に溶け込んでしまい、残留しない。よってストレート部５やテーパ部６にも半田メッキ１４を行ってもよい。
【００９５】
なお半田メッキ層１４に代えて、金メッキ層を設けても、親半田性層４３の酸化防止や、溶融半田を最初にノズル１０２に供給する際にスムーズに充填する効果を得ることができる。しかしながら、金（Ａｕ）は溶融半田中の錫（Ｓｎ）と反応してＡｕ−Ｓｎ合金が生成される。そしてＡｕ−Ｓｎ合金は半田に比べ粘り気が強い。よって金メッキ層を設けた場合には、Ａｕ−Ｓｎ合金がテーパ部６やストレート部５またはノズル出口表面４の開口３付近に付着しやすく、吐出に悪影響を及ぼす可能性がある。半田メッキ層１４を採用することにより、不要な不純物が生成されることもなく、親半田性層４３の酸化を防止し、溶融半田を最初にノズル１０２に供給する際にスムーズに充填する効果を得ることができる。
【００９６】
実施の形態５．
図２０は、本発明の実施の形態５にかかるノズル１０５の、吐出方向Ｚに平行な断面で現れる構造を示す断面図である。ノズル１０５はノズル２０１と同様に溶融半田室１、テーパ部６、ストレート部５を備えている。テーパ部６はノズル１０１と同様に、式（７）を満足する。ストレート部５は式（９）を満足する角度βで吐出方向Ｚに対して先細り、あるいは吐出方向Ｚに対して広がって、より望ましくは式（１０）を満足する角度γで広がってもよい。
【００９７】
ノズル１０５は親半田性の第１の板１６と、第２の板１５とが貼り合わされて構成されている。第１の板１６よりも第２の板１５の方が、ノズル出口表面４側に配置されている。第１の板１６と第２の板１５との境界は、少なくとも溶融半田２０が接触する面において、吐出の反動によって液面の周囲が最も溶融半田室１側に引き戻される位置Ｂmaxと、溶融半田室１の底面１ａとの間に設定される。
【００９８】
溶融半田室１はダイアフラム７で覆われており、ダイアフラム７の底面１ａに対向する側の面には親半田性層４２が形成される。但しダイアフラム７を親半田性の部材で形成すれば、親半田性層４２を省略することができる。
【００９９】
ノズル１０５において要求された親半田性表面は、ノズル１０１〜１０４で採用されていた親半田性層４３を採用することなく、第１の板１６によって得られている。よって親半田性層４３を新たに表面処理で設ける必要がなく、ノズル１０５の作製時間と工程を減らし、コストダウンに寄与することができる。また、親半田性層４３が溶融半田２０に侵食されて除去されたり、溶融半田２０が冷却される際に収縮することに起因する、親半田性層４３の剥離も回避できる。よって溶融半田２０の親金属性表面、撥金属性表面に対する濡れ性が変化せず、長期に安定した濡れ性を確保でき、信頼性が高い点で有利である。
【０１００】
実施の形態６．
図２１は、本発明の実施の形態６にかかるノズル１０６の、吐出方向Ｚに平行な断面で現れる構造を示す断面図である。ノズル１０６もノズル１０５と同様に、親半田性の第１の板１６と、第２の板１５が貼り合わされて構成されている。但しノズル１０６はノズル１０５と比較して、第１の板１６と第２の板１５との位置関係において異なっている。即ち、第１の板１６が第２の板１５を囲み、第２の板１５がストレート部５と開口３とを形成している。ノズル出口表面４は開口３近傍では第２の板１５によって、その外側では第１の板１６によって、それぞれ提供されている。
【０１０１】
ノズル１０６もノズル１０５と同様に、第１の板１６と第２の板１５との境界が、溶融半田２０が接触する面においては位置Ｂmaxと溶融半田室１の底面１ａとの間に設定される。従って、本実施の形態でも実施の形態５と同じ効果を得ることができる。
【０１０２】
溶融半田室１とテーパ部６およびストレート部５の加工は、第１の板１６に第２の板１５を組み込んだ後で行ってもよいし、先に当該加工を第１の板１６および第２の板１５をそれぞれに行った後、両者を組み込んでもよい。
【０１０３】
実施の形態７．
図２２は、本発明の実施の形態７にかかるノズル１０７の、吐出方向Ｚに平行な断面で現れる構造を示す断面図である。ノズル１０７は溶融半田室１と、これに連通するテーパ部６およびテーパ部６に連通するストレート部５を有している。テーパ部６は端部６ａ，６ｂを有しており、これらはそれぞれ、ストレート部５側および溶融半田室１側に接している。また、ストレート部５はノズル出口表面４において開口３を有している。テーパ部６はノズル１０１と同様に、式（７）を満足する。また、ストレート部５は式（９）を満足する角度βで吐出方向Ｚに対して先細り、あるいは吐出方向Ｚに対して広がって、より望ましくは式（１０）を満足する角度γで広がってもよい。ノズル１０７は親半田性の材料、例えばニッケルを採用して形成することができる。溶融半田室１、ストレート部５、テーパ部６は機械加工で形成することができる。
【０１０４】
溶融半田室１は、その底面１ａに対向するダイアフラム７で覆われており、溶融半田２０が溶融半田室１とダイアフラム７に囲まれて格納される。ダイアフラム７の底面１ａに対向する側の面には親半田性層４２が設けられるが、ダイアフラム７を親半田性の部材で形成すれば親半田性層４２を省略できる。従って溶融半田２０は、濡れ性良く溶融半田室１に格納され、溶融半田室１に溶融半田２０を最初に格納する際にの気泡４０（図２７）が溶融半田室１に残留する問題は解決される。
【０１０５】
ノズル出口表面４、ストレート部５、およびテーパ部６には撥半田性層１７が設けられている。撥半田性層１７は、セラミックやダイヤモンド・ライク・カーボンを材料とするコーティングにより、またはクロムメッキにより、形成することができる。
【０１０６】
ノズル１０７によっても、ノズル１０１と同じ位置に撥半田性表面と親半田性表面とが配置されるので、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。もちろん、ノズル１０２に対応して、撥半田性層１７は、開口３からストレート部５および端部６ａを経由して位置Ｂを越えていれば、テーパ部６を部分的に覆っていてもよい。またノズル１０３に対応して、ストレート部５を省略してもよい。
【０１０７】
撥半田性層１７は、溶融半田２０との馴染みが悪いため、溶融半田２０に侵食されることがなく、長期に渡って安定した吐出が得られる。
【０１０８】
しかし、実施の形態１乃至実施の形態４で示されたノズル１０１〜１０４のように、撥半田性表面を呈する撥半田性体と、その上に形成された親半田性表面を呈する親半田性層４３を備える構造の方が望ましい。ノズル出口表面４に対するクリーニングによって撥半田性層１７が損傷する場合も考えられるからである。そして損傷した場合には、吐出時に溶融半田２０がノズル出口表面４側にあふれ出し、吐出が不安定になる可能性もある。ノズル１０１〜１０４では液面の周囲が位置する部分には表面処理が施されていないので、その部分における撥半田性は劣化せず、安定した吐出が得られ易い。
【０１０９】
【発明の効果】
この発明のうち請求項１、請求項１０にかかるノズルによれば、吐出前の溶融金属の液面の周囲を保持することにより、溶融金属を吐出するタイミングの遅れ、溶融金属滴の径、吐出方向、および吐出速度のばらつきを回避することができる。またノズルから吐出する溶融金属を親金属性表面で覆って貯蔵することができ、溶融金属を貯蔵する際に、気泡が発生することを回避できる。
【０１１０】
この発明のうち請求項２にかかるノズルによれば、溶融金属の液面の周囲に対して吐出する側とは反対側で接する部分の表面は撥金属性である。よってこの部分の表面が親半田性であることに由来する気泡の発生を回避することができる。
【０１１１】
この発明のうち請求項３にかかるノズルによれば、第１内側面と第２内側面との境界において、吐出前の溶融金属の液面の周囲を保持することができる。
【０１１２】
この発明のうち請求項４にかかるノズルによれば、第１内側面と第２内側面との境界において発生する圧力が大きくても、溶融金属の液面の表面を当該境界において保持することができる。また吐出の際に突出する溶融金属の液面が第２内側面と接触せず、吐出方向が曲がったり、吐出が不安定となることがない。
【０１１３】
この発明のうち請求項５にかかるノズルによれば、またノズルから吐出する溶融金属を親金属性表面で覆って貯蔵することができる。
【０１１４】
この発明のうち請求項６にかかるノズルによれば、液面の周囲が位置する部分に表面処理を施してないため、溶融金属に対するテーパ部の濡れ性が変化しないので、常に安定した吐出が得られる。
【０１１５】
この発明のうち請求項７にかかるノズルによれば、ニッケルを主成分とするメッキ層を採用することにより、溶融半田によって侵食され難く、また安価であり、かつ溶融半田に対する濡れ性も良好な親金属性層を得ることができる。また撥金属性体としてステンレスを採用する場合は、親金属性層を形成するメッキを撥金属性体に対して直接に行うことができる。
【０１１６】
この発明のうち請求項８にかかるノズルによれば、ニッケルを主成分とするメッキ層の酸化を半田メッキ層で防止できので、酸化膜によって溶融半田との濡れ性が悪化することを回避できる。また半田メッキ層は溶融半田との濡れ性が良く、かつ、不要な金属間化合物の生成もないので、親金属性層において溶融半田を安定して格納することができる。
【０１１７】
この発明のうち請求項９にかかるノズルによれば、親金属性表面、撥金属性表面を得るための表面処理が要らないため、作製時間と工程を減らし、コストダウンに寄与することができる。また、親半田性表面が溶融半田金属に侵食されて除去されたり、溶融金属が冷却される際に収縮することに起因する親金属性表面の剥離も回避できる。よって溶融金属の親金属性表面、撥金属性表面に対する濡れ性が変化せず、長期に安定した濡れ性を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の前駆的思想の構成を示す断面図である。
【図２】  本発明の前駆的思想の構成を示す断面図である。
【図３】  本発明の前駆的思想の構成を示す断面図である。
【図４】  本発明の前駆的思想の構成を示す断面図である。
【図５】  本発明の前駆的思想の構成を示す断面図である。
【図６】  本発明の前駆的思想の構成を示す断面図である。
【図７】  本発明の基本的思想を示す断面図である。
【図８】  本発明の基本的思想を示す断面図である。
【図９】  本発明の基本的思想を示す断面図である。
【図１０】  本発明の基本的思想を示す断面図である。
【図１１】  本発明の基本的思想を示す断面図である。
【図１２】  本発明の実施の形態１にかかるノズルの構造を示す断面図である。
【図１３】  本発明の実施の形態１にかかるノズルの構造を示す断面図である。
【図１４】  本発明の実施の形態１にかかるノズルの構造を示す断面図である。
【図１５】  本発明の実施の形態１にかかるノズルの構造を示す断面図である。
【図１６】  本発明の実施の形態２にかかるノズルの構造を示す断面図である。
【図１７】  本発明の実施の形態３にかかるノズルの構造を示す断面図である。
【図１８】  本発明の実施の形態３にかかるノズルの構造を示す断面図である。
【図１９】  本発明の実施の形態４にかかるノズルの構造を示す断面図である。
【図２０】  本発明の実施の形態５にかかるノズルの構造を示す断面図である。
【図２１】  本発明の実施の形態６にかかるノズルの構造を示す断面図である。
【図２２】  本発明の実施の形態７にかかるノズルの構造を示す断面図である。
【図２３】  従来の技術を例示する断面図である。
【図２４】  従来の技術を例示する断面図である。
【図２５】  従来の技術を例示する断面図である。
【図２６】  従来の技術を例示する断面図である。
【図２７】  従来の技術を例示する断面図である。
【符号の説明】
１  溶融半田室、１ａ  底部、３  開口、４  ノズル出口表面、５  ストレート部、６  テーパ部、６ａ，６ｂ  端部、１５  第２の板、１６  第１の板、１７  撥半田性層、４２，４３  親半田性層、Ａ，Ｂ  位置、Ｐ１，Ｐ２，Ｑ１，Ｑ２  領域、θ31，θ32，θ33，θｓ  接触角。
【図１】
0003643089.tif 000013
【図２】
0003643089.tif 000014
【図３】
0003643089.tif 000015
【図４】
0003643089.tif 000016
【図５】
0003643089.tif 000017
【図６】
0003643089.tif 000018
【図７】
0003643089.tif 000019
【図８】
0003643089.tif 000020
【図９】
0003643089.tif 000021
【図１０】
0003643089.tif 000022
【図１１】
0003643089.tif 000023
【図１２】
0003643089.tif 000024
【図１３】
0003643089.tif 000025
【図１４】
0003643089.tif 000026
【図１５】
0003643089.tif 000027
【図１６】
0003643089.tif 000028
【図１７】
0003643089.tif 000029
【図１８】
0003643089.tif 000030
【図１９】
0003643089.tif 000031
【図２０】
0003643089.tif 000032
【図２１】
0003643089.tif 000033
【図２２】
0003643089.tif 000034
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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