(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子と、
これに対向配置した半導体位置検出器と、
前記発光素子と前記半導体位置検出器の間において、前記発光素子側に配置された移動スリット板と、
前記半導体位置検出器の側において前記移動スリット板に平行配置された固定スリット板とを有し、
前記移動スリット板および固定スリット板のうちの一方の側に形成された第１のスリット群は、前記半導体位置検出器の受光面と同一方向に延びる等間隔に形成されたスリット群であり、他方の側に形成された第２のスリット群は前記第１のスリット群に対して一定の角度だけ傾斜させた状態で等間隔に形成したスリット群であり、
前記発光素子は、第１および第２の発光素子を含み、
前記半導体位置検出器は、前記第１および第２の発光素子のそれぞれに対向配置した第１および第２の半導体位置検出器を含み、
前記固定スリット板は、第１および第２の固定スリット板を含み、
前記第１の固定スリット板は、前記第１の発光素子および前記第１の半導体位置検出器間の光軸を遮る状態に配置され、
前記第２の固定スリット板は、前記第２の発光素子および前記第２の半導体位置検出器間の光軸を遮る状態に配置され、
前記第１および第２の固定スリット板に形成されているスリット群は、同一間隔に形成されているが、相互に位相をずらした状態に形成され、
前記第１および第２の半導体位置検出器は、それらの受光面が相対的に一定の角度だけ傾斜した状態となるように配置されていることを特徴とする光学式位置検出装置。
【請求項２】
第１および第２の発光素子と、
これらの発光素子のそれぞれに対向配置した第１および第２の半導体位置検出器と、
前記第１の発光素子および前記第１の半導体位置検出器間の光軸を遮る状態に配置した第１の固定スリット板部分と、
前記第２の発光素子および前記第２の半導体位置検出器間の光軸を遮る状態に配置した第２の固定スリット板部分と、
前記第１の固定スリット板部分および前記第２の固定スリット板部分が形成されている固定スリット板と、
前記第１、第２の発光素子と前記第１、第２の固定スリット板部分との間に配置された移動スリット板とを有し、
前記第１の固定スリット板部分に形成された第１のスリット群は等間隔で同一方向に延びる複数のスリットであり、
前記第２の固定スリット板部分に形成された第２のスリット群は、前記第１のスリット群に対して逆位相となるように形成された等間隔で同一方向に延びる複数のスリットであり、
前記移動スリット板には、当該移動スリット板の移動方向に直交する方向に離れた位置において当該移動方向に配列した移動側の第１のスリット群および第２のスリット群が形成されており、
前記第１の固定スリット板部分に形成した前記第１のスリット群は前記移動側の第１のスリット群に対峙した位置に形成され、
前記第２の固定スリット板部分に形成した前記第２のスリット群は前記移動側の第２のスリット群に対峙した位置に形成され、
前記第１の固定スリット板部分に形成した前記第１のスリット群と前記第２の固定スリット板部分に形成した前記第２のスリット群とは、全体として、前記移動スリット板の移動方向において相互に離れた対角位置に形成されていることを特徴とする光学式位置検出装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光学式位置検出装置が組み込まれていることを特徴とする光学式真空計。
【請求項４】
請求項１または２に記載の光学式位置検出装置が組み込まれていることを特徴とする光学式寸法測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光学式位置検出装置に関し、さらに詳しくは、受光素子として半導体位置検出器を利用して、廉価に製造でき、しかも高精度で位置検出を行うことの可能な光学式位置検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光学式位置検出装置は、一般に、発光素子と受光素子の間にスリット板を配置した構成となっており、スリット板を測定対象の移動部材に担持させて移動させることにより、受光素子が受け取る光をスリット板により通過、遮断し、これによって得られる受光素子の側からの出力に基づき、移動部材の移動位置等を検出するようになっている。
【０００３】
ここで、工作機械等において高精度の位置決めが要求される分野においては、発光素子としてレーザー光などのコヒーレントな光を用い、受光素子として、光照射位置に対応した直線性の高い出力を得ることのできる半導体位置検出器を用いた高精度のものが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、廉価に製造できると共に、コンパクトでしかも高い精度で位置検出を行うことのできる光学式位置検出装置を提案することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の光学式位置検出装置は次の構成を採用している。図１を参照して説明すると、本発明の光学式位置検出装置１においては、発光素子として例えば発光ダイオード２を使用し、受光素子として半導体位置検出器３を使用している。更に、これらの間に配置した移動スリット板４と固定スリット板５のうちの例えば固定スリット板５の側に、半導体位置検出器３の受光面３ａと同一方向に延びるスリット群５ａを形成し、他方の移動スリット板４の側に、これに対して一定の角度Θ１だけ傾斜したスリット群４ａを形成している。半導体位置検出器３からは受光位置に応じた検出信号が出力され、この出力は、信号処理回路９によって処理されて、位置検出が行われる。
【０００６】
ここに、二組の発光素子、例えば発光ダイオード２、６と、二組の半導体位置検出器３、７とをそれぞれ配置し、それぞれに対向配置した固定スリット板５、８におけるスリット群５ａ、８ａの位相を相互にずらした構成を採用することが好ましい。このように二つのスリット板５、８間においてそれらに形成したスリットの位相をずらすことにより、一方の半導体位置検出器の側において、スリットを通過した光の照射位置がその受光面の端に至ったために、位置検出が不可能となるような場合においても、他方の半導体位置検出器の側の出力を用いて、位置検出が可能となる。
【０００７】
また、これら二つの半導体位置検出器３、７を、検出面が一定の角度Θ２だけ相対的に傾斜した状態に配置し、これに合わせて、傾斜した側の半導体位置検出器７に対向する固定スリット板８に形成されたスリット群８ａも同様に傾斜させることが好ましい。このようにすることにより、移動スリット板の移動量に応じて、双方の半導体位置検出器から得られる検出信号の位相がずれていくので、このずれに基づき、移動スリット板が担持された測定対象の移動部材の絶対位置を検出することができる。
【０００８】
次に、本発明の光学式位置検出装置においては、図１７に示すように、移動スリット板４および固定スリット板２１を挟み、第１の発光素子２および第１の半導体位置検出器３と、第２の発光素子６および第２の半導体位置検出器７を配置し、固定スリット板５に形成された第１のスリット群５ａを等間隔で同一方向に延びる複数本のスリットとし、第２のスリット群８ａを第１のスリット群５ａに対して逆位相となるように形成された等間隔で同一方向に延びる複数本のスリットとしている。このようにすると、各半導体位置検出器３、７からの出力信号が逆位相となり、これらの信号の差を作動増幅器によって増幅することにより、Ｓ／Ｎ比を高めて、検出精度を向上させることができる。
【０００９】
ここに、図１９に示すように、第１のスリット群５ａと第２のスリット群８ａを、相互に移動スリット板４の移動方向に直交する方向に離した位置であって、且つ、相互に移動スリット板の移動方向に沿ってずらした位置に形成し、これらのスリット群５ａ、７ａに対峙するように、移動スリット板４の側に二列のスリット群４ａ、４ｂを形成する構成を採用できる。このようにすると、各スリット板４、２１の相対的なヨーイング、ピッチング、ローリングに伴う出力変動が、二つの半導体位置検出器３、７の出力信号の位相のずれとして出力されるので、これらの出力信号に基づき、これらの動きに起因した出力変動を容易に補償することができる。
【００１０】
【実施例】
以下に、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００１１】
（第１の実施例）
図２、図３、図４および図５には、本発明の第１の実施例の光学式位置検出装置が組み込まれたリニアアクチュエータの一例を示してある。図２はその側面図であり、図３は下面図であり、図４は矢印Ａの方向から見た端面図であり、また図５は矢印Ｂの方向から見た端面図である。このリニアアクチュエータ１０において、１１は、エンコーダ１２を備えたモータである。このモータ１１の出力回転は、その出力軸１１ａからベルト１３を介して、調和歯車式減速機１４の入力軸１４ａに伝達される。調和歯車式減速機１４の減速回転出力軸１４ｂによって送りねじ１５が回転される。送りねじ１５はリニアガイドによってガイドされており、回転すると、リニアガイドに沿って直線移動する。この送りねじ１５の移動が、光学式位置検出装置２０によって検出されるようになっている。
【００１２】
図６から図１１には、本例の光学式位置検出装置２０の構造を示してある。本例の光学式位置検出装置２０の構造は図１に示すものと同様であるので、対応する部分には同一の符号を付してある。
【００１３】
まず、図６、図７、図８および図９に示すように、光学式位置検出装置２０は、２組の発光ダイオード２、６と、これに対向配置した２組の半導体位置検出器３、７を有しており、これらの間に、移動スリット板４および固定スリット板２１（５、８）が挟まれた構造となっている。移動スリット板４は上記の送りねじ１５に担持され、これと一体となって直線運動するようになっている。固定スリット板２１は一枚板であり、そこにおける発光ダイオード２と半導体位置検出器３の間に位置する部分には、固定スリット群５ａが形成され、発光ダイオード６と半導体位置検出器７の間に位置する部分には固定スリット群８ａが形成されている。
【００１４】
図１０に示すように、固定スリット板２１に形成されたスリット群５ａは、送りねじの移動方向ａに対して垂直な方向、すなわち、半導体位置検出器３の受光面の方向（感応方向）ｂに沿って切ったスリットを等間隔ｐで配置したものである。これに対して、他方のスリット群８ａは、この方向ｂに対して僅かな角度Θ２だけ傾斜した方向ｃに沿って切ったスリットを等間隔ｐで配置したものである。これは、半導体位置検出器７を角度Θ２だけ傾斜配置したことに対応している。さらに、本例においては、これらのスリット群５ａと８ａとは、位相が半分（ｐ／２）だけずらした状態に配置してある。これに対して、移動スリット板４の側に形成したスリット群４ａは、間隔は同一のｐとしてあるが、図１１に示すように、検出面の方向ｂに対して角度Θ１だけ傾斜させてある。
【００１５】
図１２および図１３には、本例における半導体位置検出器３および７から得られるスリット移動量に対する出力例を示してある。
【００１６】
このように構成した本例の光学式位置検出装置２０は、固定スリット板の側のスリット群５ａ、８ａと、移動スリット板の側のスリット群４ａとは同一の間隔で形成されているが、移動スリット板側のスリット群４ａを傾斜させてある。よって、このスリット板４が送りねじ１５と共に移動することによって、発光ダイオードの側から半導体位置検出器に到達する光の位置が、検出面の方向ｂに向けて移動する。この移動位置から、送りねじ１５の移動量あるいは移動位置を検出できる。
【００１７】
また、本例では、発光ダイオードと半導体位置検出器を２組使用し、それらの固定スリット板５、８に形成したスリット群５ａと８ａを、位相を半分ずらしてある。このために、図１２、１３から分かるように、半導体位置検出器の受光面の端に光が到達した場合においても、いずれか一方の半導体位置検出器の出力を用いることができるので、測定不能領域を無くすことができる。
【００１８】
さらに、本例では一方の半導体位置検出器７の側を傾斜配置してある。この結果、移動スリット板の側の移動に応じて、双方の半導体位置検出器からの出力信号の位相が少しずつずれていく。よって、この量を検出することによって、送りねじの絶対位置を検出することが可能である。
【００１９】
図１４には、本例のリニアアクチュエータの制御系の例を示してある。図に示すように、位置指令入力により、センサ出力値を計算して、その位置となるようにモータ１１の駆動が制御される。しかし、動力伝達機構を構成している歯車のバックラッシュ、ねじのバックラッシュ等が原因で、位置制御をフィードバック制御により行うことは困難な場合が多い。そこで、図１５に示すように、高分解能のエンコーダ１２を利用して、光学式位置検出装置２０から得た位置情報に相当するパルス指令を送出するようにすればよい。ここに、１ｍｍ、２ｍｍといった大きな動きでは、モータのエンコーダは不正確であるが、数ミクロンの範囲ならば精度が良いことが確認された。したがって、図１４に示す制御系よりも制御を迅速に制定することができる。
【００２０】
次に、図１６には、本例の光学式位置検出装置２０を位置センサとして使用する場合における制御系の概略構成を示してある。なお、この場合、双方の発光ダイオード２、６を同時に点灯すると、相互に干渉が生ずるので、片側ずつ順次に点灯制御する。各半導体位置検出器３、７の出力３Ａ、７Ａは、Ａ／Ｄコンバータ３１に送られ、ここでデジタル化された後に、ＣＰＵ３２に送られる。ＣＰＵ３２では、供給された信号に基づき、絶対位置を算出し、算出結果を、例えば表示装置３３上に表示する。
【００２１】
なお、位置的に双方の位相差が測定できない位置がある場合には、予め、イニシャライズの時点で絶対位置を記憶しておき、スリットの通過回数をカウントして、絶対位置を覚えておくようにすればよい。これに対して、位相差が測定できる位置では、計算により絶対位置を算出し、これを、メモリ内に記憶してある絶対位置と比較して、不一致ならばエラー表示などを行うようにすればよい。
【００２２】
（第２の実施例）
次に、図１７、１８、１９には、第１の実施例における光学式位置検出装置２０の代わりに採用可能な別の構成の光学式位置検出装置５０を示してある。本例の光学式位置検出装置５０においても、２組の発光ダイオード２、６と、これに対向配置した２組の半導体位置検出器３、７を有しており、これらの間に、移動スリット板４および固定スリット板２１が挟まれた構造となっている。移動スリット板４は前述の送りねじ１５に担持され、これと一体となって直線運動するようになっている。固定スリット板２１は一枚板であり、そこにおける発光ダイオード２と半導体位置検出器３の間に位置する部分には、固定スリット群５ａが形成され、発光ダイオード６と半導体位置検出器７の間に位置する部分には固定スリット群８ａが形成されている。
【００２３】
本例においては、図１７から分かるように、移動スリット板４に形成したスリット群４ａは、移動スリット板の移動方向に対して直交方向に延びる等ピッチのスリット群であり、これに対して、固定スリット板２１に形成されたスリット群５ａ、８ａは次のように構成したものである。まず、一方のスリット群５ａは、移動スリット板の側のスリット群４ａに対して一方向に一定の角度だけ傾斜した方向に延びる等ピッチで形成した斜めスリット群であり、他方のスリット群８ａは、このスリット群５ａとは逆方向に一定の角度だけ傾斜した方向に延びる等ピッチで形成した斜めスリット群である。このように、本例においては、スリット群５ａと８ａとは逆位相となる状態に形成されている。
【００２４】
図１８は、本例の光学式位置検出装置５０の駆動系の概略ブロック図である。この図に示すように、ＬＥＤ駆動回路５１によって駆動された各発光ダイオード（ＬＥＤ）２、６からの光は、移動スリット板のスリット群４ａおよび固定スリット板のスリット群５ａ、８ａをそれぞれ通過して、半導体位置検出器（ＰＳＤ）３、７の受光面３ａ、７ａに至る。ここに、固定スリット板の側のスリット群５ａ、８ａは逆位相の状態に形成されているので、各受光面３ａ、８ａにおける受光位置は、移動スリット板４の移動に伴って逆方向に移動する。すなわち、半導体位置検出装置の駆動回路５２、５３によって駆動される各半導体位置検出器３、７から出力される信号は逆位相の電圧特性を示す。この位相差は、作動増幅器５４において増幅されて、位置検出用の出力信号として出力される。
【００２５】
一般に、半導体位置検出器の出力電圧は微小であるので、検出精度を高めるためには、出力電圧とノイズの比（Ｓ／Ｎ比）を高めることが検出精度を向上するために必要である。本例においては、２つの半導体位置検出器３、７を使用し、これらの出力が逆位相となるように構成し、この位相差を作動増幅器によって増幅している。したがって、Ｓ／Ｎ比を大きくすることができ、検出精度を高めることができるという利点がある。
【００２６】
ここに、半導体位置検出器においては、微小な位置検出を行うために、スリット群自体のヨーイング、ピッチング、ローリング等が検出精度に大きく影響する。このような影響を除去するためには、図１９に示すように、各スリット群を配置すればよい。すなわち、固定スリット板２１に形成するスリット群５ａおよび８ａを、スリット形成面上において、移動スリット板４の移動方向に対して上下方向の対角位置に配置する。そして、これらのスリット群５ａ、８ａに対峙するように、移動スリット板４の側に、それぞれスリット群４ａおよび４ｂを形成する。
【００２７】
各スリット板４、２１の間にヨーイングが発生した場合には図１９（Ｂ）に示すような状態になり、各半導体位置検出器３、７からの出力信号の位相差が、図１９（Ａ）に示す状態から変化する。同様に、図１９（Ｃ）、（Ｄ）に示すように、ローリング、ピッチングが起きた場合においては、スリット間隔が変更されたのと同様な状態になるので、出力信号の位相がずれる。よって、このようなヨーイング等に伴う位相のずれを補償することにより、正確な位置検出を行うことができる。
【００２８】
（第３の実施例）
図２０には、上記の各構成の光学式位置検出装置を光学式真空計として利用した場合の例を示してある。この図に示すように、本例の光学式真空計７０は、シール板７１を介して、測定対象の真空室７２の側に接続されている。光学式真空計７０においては、撓み板７３を挟み、真空室７２の側と、大気圧の側が区画されている。この撓み板７３の中心には、装置軸線７０ａの方向にスライド可能な状態で移動スリット板７４の先端が当接している。この移動スリット板７４の元端側にはばね７５が配置されており、このばね７５のばね力によって、移動スリット板７４の先端は撓み板７３の側に押しつけられ、撓み板の撓みに伴ってスライド可能である。移動スリット板７４は、スライドテーブル７６によって装置軸線７０ａの方向にスライド自在に支持されている。
【００２９】
図２０（Ｂ）に示すように、移動スリット板７４を挟み、一方の側には発光ダイオード７７が配置され、他方の側には、固定スリット板７８および半導体位置検出器７９がこの順序に配置されている。これらの発光ダイオード７７、移動スリット板７４、固定スリット板７８および半導体位置検出器７９から構成される光学式位置検出装置８０は、前述した光学式位置検出装置２０、５０のいずれのものであってもよい。
【００３０】
真空室７２の側の圧力が変動すると、それに伴って撓み板７３が図において破線で示すように撓む。移動スリット板７４はばね力によってこの撓み板７３に押しつけられているので、撓み板の撓みに伴って軸線７０ａの方向に移動する。この移動が光学式位置検出装置８０によって検出され、この検出結果に基づき、真空室内の真空度を測定することができる。
【００３１】
次に、図２１には、本発明を適用した光学式真空計の別の例を示してある。図に示す真空計９０において、９１が撓み板であり、これにより、測定対象の真空室に連通した室９２の側と、大気圧の側の室９３とが区画されている。大気圧の側の室９３においては、撓み板９１の中心に、装置軸線９０ａの方向にスライド可能なスライド部材９４の先端が当接している。ここに、装置軸線９０ａとは直交する方向に板ばね９５が配置され、その元端は装置に固定され、先端側は自由端となっている。この自由端の側に、スライド部材９４と、光学式位置検出装置１００の構成要素である移動スリット板１０１が支持されている。
【００３２】
光学式位置検出装置１００の構成は、前述した第２の実施例における光学式位置検出装置５０と同様である。すなわち、スライド部材９４と一体に移動する移動スリット板１０１と、これに対向配置した固定スリット板１０２と、これらを挟み、対向配置した２組の発光ダイオード（図示せず）および半導体位置検出装置（図示せず）から構成されている。そして、移動スリット板１０１の側には、図２１（Ｃ）に示すように、移動方向に向けて２列のスリット群１０１ａ、１０１ｂが形成されている。これに対して、固定スリット板１０２の側においては、スリット面上において上下の対角位置に、スリット群１０２ａ、１０２ｂが形成されている。ここに、スリット群１０２ａと１０２ｂは、逆位相の状態に形成されている。
【００３３】
この構成の光学式真空計９０において、板ばね９５によってスライド部材９４の先端は常に撓み板９１に押しつけられているので、真空側の真空度が変動して撓み板が撓むと、これに応じてスライド板９４が軸線９０ａの方向に移動する。すなわち、これと一体に移動する移動スリット板１０１も移動する。したがって、光学式位置検出装置１００によって、この移動量が検出され、これに基づき、真空室側の真空度を測定することができる。
【００３４】
このように、本例の光学式真空計においては、従来のダイヤフラムゲージ、ブルドンゲージ等のように歯車、てこ等を利用して撓み板の撓み量を検出せずに、半導体位置検出器を利用して検出するようにしている。したがって、廉価で信頼性の高い真空計を実現することができる。
【００３５】
（第４の実施例）
図２２には、本発明を適用して構成した限界ゲージの例を示してある。この限界ゲージ１１０は、測定物Ｗを挟むための測定板１１１、１１２を有しており、一方の測定板１１１の裏面には、これを装置軸線１１０ａの方向に移動させるためのリニアアクチュエータ１１３が配置されている。他方の測定板１１２の裏面には、板ばね１１４の先端に支持された移動部材１１５が連結されている。この移動部材１１５には一体となって軸線方向に移動するように、光学式位置検出装置１２０の構成要素である移動スリット板が取付けられている。
【００３６】
光学式位置検出装置１２０は上記の第３の実施例における光学式位置検出装置１００と同一構成のものを使用することができる。
【００３７】
図２３には本例の限界ゲージ１１０の制御系を概略的に示してある。この図を参照して本例の限界ゲージ１１０による測定動作を説明する。まず、測定原器（中心寸法）を用意し、これを測定板１１１、１１２の間に配置し、これを挟み込む状態となるように、リニアアクチュエータ１１３を駆動する。このために使用するのがスイッチＳＷ１、ＳＷ２である。スイッチＳＷ１は測定板１１１を測定板１１２の側に移動させるようにリニアアクチュエータ１１３を駆動するためのものであり、スイッチＳＷ２はその逆の操作のためのものである。これらを操作して、指令入力部１３１を介してリニアアクチュエータ駆動部１３２を操作し、これによってリニアアクチュエータ１１３を駆動する。測定物が測定板１１１、１１２によって丁度挟まれた状態になると、これが、光学式位置検出装置１２０の出力および基準電圧発生装置１３３の出力を、コンパレータ１３４において比較することによって検出される。この状態が検出されると、発光ダイオードＬＥＤ１が点灯する。
【００３８】
次に、ディップスイッチＤＳＷによって公差値を設定する。例えば、プラス、マイナス５０ミクロンの範囲に設定する。次に、スイッチＳＷ３を操作して実際の測定を開始する。測定板１１１、１１２の間に実際の測定物Ｗを入れる。この測定物が大きすぎる場合には発光ダイオードＬＥＤ２が点灯し、逆に、小さすぎると発光ダイオードＬＥＤ３が点灯する。このようにして測定物Ｗの計測を行うことができる。
【００３９】
ここに、限界ゲージとしては、レーザ測長機などが利用されているが、このような機械は相当に高価なものである。また、試作あるいは小ロッドの生産に関して限界ゲージを起こすことは納期がかかり、また費用も嵩む。しかし、本例によれば、廉価で、しかも、測定物に則して測長範囲を変更可能な限界ゲージを実現することができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光学式位置検出装置では、発光ダイオード等の発光素子と半導体位置検出器を用いることにより、廉価に製造でき、高い精度で位置等の検出を行うことができる。
【００４１】
また、本発明では、発光ダイオードと半導体位置検出器を２組用いると共に、その一方の側に用いる固定スリット板のスリット群を他方の側に対して位相をずらして形成する構成を採用している。したがって、半導体位置検出器による検出不能領域の発生を回避することができる。
【００４２】
さらに、本発明では、一方の半導体位置検出器を他方の側に対して傾斜させる構成を採用している。したがって、双方の検出信号の位相のずれが、スリットの移動に応じて増加するので、この位相のずれ量から測定対象の移動部材の絶対位置を検出することができる。
【００４３】
次に、本発明の光学式位置検出装置においては、固定スリット板に形成された２組のスリット群を逆位相となるように形成している。このようにすると、各半導体位置検出器からの出力信号が逆位相となり、これらの信号の差を作動増幅器によって増幅することにより、Ｓ／Ｎ比を高めて、検出精度を向上させることができる。
【００４４】
また、第１のスリット群と第２のスリット群を、これらが形成されているスリット面上において移動スリット板の移動方向に直交する方向に離れた位置であって、且つ、当該移動方向にずれた位置となるように形成すれば、各スリット板の相対的なヨーイング、ピッチング、ローリングに伴う出力変動を容易に補償でき、検出精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した第１の実施例に係る光学式位置検出装置を示す構成図である。
【図２】図１の光学式位置検出装置が組み込まれたリニアアクチュエータを示す概略側面図である。
【図３】図２のリニアアクチュエータの概略下面図である。
【図４】図２のリニアアクチュエータを矢印Ａの側から見た端面図である。
【図５】図２のリニアアクチュエータを矢印Ｂの側から見た端面図である。
【図６】図２のリニアアクチュエータに取り付けた光学式位置検出装置を取り出して示す側面図である。
【図７】図６の光学式位置検出装置の下面図である。
【図８】図６の光学式位置検出装置の側面図である。
【図９】図６の光学式位置検出装置の端面図である。
【図１０】図６の光学式位置検出装置の固定スリット板を示す側面図である。
【図１１】図６の光学式位置検出装置の移動スリット板を示す側面図である。
【図１２】図６の光学式位置検出装置の半導体位置検出器３の出力を示すグラフである。
【図１３】図６の光学式位置検出装置の半導体位置検出器７の出力を示すグラフである。
【図１４】図２のリニアアクチュエータの制御系を示す概略ブロック図である。
【図１５】図２のリニアアクチュエータの制御系の別の例を示す概略ブロック図である。
【図１６】本発明の光学式位置検出装置の制御系を示す概略ブロック図である。
【図１７】本発明を適用した第２の実施例に係る光学式位置検出装置の構成を示す概略斜視図である。
【図１８】図１７の装置の制御系の概略ブロック図である。
【図１９】図１７の装置の変形例を示す図である。
【図２０】本発明を適用した光学式真空計の例を示す概略構成図である。
【図２１】本発明を適用した光学式真空計の別の例を示す概略構成図である。
【図２２】本発明を適用した限界ゲージの例を示す概略構成図である。
【図２３】図２２の限界ゲージの制御系を示す概略ブロック図である。
【符号の説明】
１、５０、１００、１２０    光学式位置検出装置
２、６    発光ダイオード
３、７    半導体位置検出器
４    移動スリット板
４ａ    スリット群
５、８  固定スリット板
５ａ、８ａ  スリット群
９    信号処理回路
４１    集光レンズ
７０、９０  光学式真空計
１１０  限界ゲージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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