(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板で構成されたロットを順次に搬送し、所定の処理を行う基板処理装置であって、
(a) 前記基板の投入が行われるとともに、前記基板を搬送すべき複数の基板搬送位置を設けた基板投入部と、
(b) 前記基板投入部内に設けられ、前記複数の基板搬送位置間で前記基板の搬送を行う基板搬送手段と、
(c) 特定の機能を付与した操作ボタンと、
(d) 前記基板の搬送状態および前記基板搬送手段の搬送動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記操作ボタンが、押し続けられた時間に応じた第１の操作を受けた場合には、前記投入された前記基板のうち搬送が開始されていない基板についてのみ搬送解除状態として回収可能な状態とし、
前記操作ボタンが、押し続けられた時間に応じた第２の操作を受けた場合には、未処理の基板について前記基板搬送手段の搬送モードを変更することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板処理装置において、
前記基板搬送手段の前記搬送モードの変更は、前記基板搬送手段の搬送方向を逆方向にすることであることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１記載の基板処理装置において、
前記基板搬送手段の前記搬送モードの変更は、前記基板搬送手段の搬送先を変更することであることを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第１の操作は、前記操作ボタンが第１の時間以上で前記第１の時間より大きい第２の時間未満の時間押し続けられることであり、
前記第２の操作は、前記操作ボタンが前記第２の時間以上の時間押し続けられることであることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体基板、液晶ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板および光ディスク用基板などの薄板状基板（以下、単に「基板」と称する）を所定の処理手順に従って搬送する基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、上記のような基板処理装置は、基板に対して洗浄処理やエッチング処理などの諸処理を行う複数の処理部を備えている。そして、予め定められた手順に従って、各処理部に基板を循環搬送ないし一方向へ搬送し、搬送先のそれぞれの処理部において所定の処理を行う複数工程により、一連の基板処理を達成している。
【０００３】
このような基板処理装置においては、一般に、オペレータが複数の基板（以下、「ロット」と称する）を収納したキャリアを装置の端部にセットし、処理開始ボタンを押すことにより、装置の基板搬送ロボットがキャリアの搬送を開始し、キャリア内の基板について処理が行われるようにされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、基板搬送ロボットがキャリアの搬送を開始してから、オペレータが不具合を見いだす場合がある。例えば、当該キャリア内に収納されている基板が処理すべき基板でないことに事後的に気付いた場合などである。
【０００５】
従来、このような場合に、当該キャリアについて搬送を中止するための手段は存在しなかった。そして、どうしても搬送を中止したい場合には、装置全体を停止させ、キャリアを回収することとしていた。
【０００６】
しかし、通常、上記のような基板処理装置は、１つのロットについての処理が終了する前に、他のロットの処理を開始するため、装置全体を停止させると不具合のあるロットについてのみならず、正常に処理が行われているロットについても処理が中断することになる。そして、例えば、正常なロットについてのエッチング処理中に装置が停止すると、エッチング処理を行っている処理槽からロットを搬出することができなくなるため、いわゆるオーバーエッチングの状態となり、そのロットは不良ロットとして処分せざるを得ない。近年は、基板の大口径化に伴って、基板の単価も急激に上昇しており、不良のロットを発生させることは著しい経済的損失に繋がる。
【０００７】
そこで、基板処理装置に、搬送開始後のキャリアについての搬送を中止させるための専用のスイッチを設けることも考えられるが、部品・回路・配線等を変更する必要があるため、多くの時間・経費・労力を費やさなければならない。
【０００８】
また、物理的なスペースの問題や装置内ＣＰＵの処理能力に起因して、そのような専用のスイッチを増設することが不可能な基板処理装置も存在する。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、装置を物理的に改造することなく、基板搬送についての新たな機能を付加することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、複数の基板で構成されたロットを順次に搬送し、所定の処理を行う基板処理装置であって、(a) 前記基板の投入が行われるとともに、前記基板を搬送すべき複数の基板搬送位置を設けた基板投入部と、(b) 前記基板投入部内に設けられ、前記複数の基板搬送位置間で前記基板の搬送を行う基板搬送手段と、(c) 特定の機能を付与した操作ボタンと、(d) 前記基板の搬送状態および前記基板搬送手段の搬送動作を制御する制御部と、を備え、前記制御部に、前記操作ボタンが、押し続けられた時間に応じた第１の操作を受けた場合には、前記投入された前記基板のうち搬送が開始されていない基板についてのみ搬送解除状態として回収可能な状態とさせ、前記操作ボタンが、押し続けられた時間に応じた第２の操作を受けた場合には、未処理の基板について前記基板搬送手段の搬送モードを変更させている。
【００１１】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る基板処理装置において、前記基板搬送手段の前記搬送モードの変更を、前記基板搬送手段の搬送方向を逆方向にすることとしている。
【００１２】
また、請求項３の発明は、請求項１の発明に係る基板処理装置において、前記基板搬送手段の前記搬送モードの変更を、前記基板搬送手段の搬送先を変更することとしている。
【００１３】
また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３までのいずれかに記載の基板処理装置において、前記第１の操作を、前記操作ボタンが第１の時間以上で前記第１の時間より大きい第２の時間未満の時間押し続けられることとし、前記第２の操作を、前記操作ボタンが前記第２の時間以上の時間押し続けられることとしている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１７】
＜第１実施形態＞
＜Ａ．基板処理装置の構成＞
図１は、本発明に係る基板処理装置の全体概略構成を示す平面図である。この基板処理装置は、硫酸、アンモニア、塩酸、フッ酸、過酸化水素水またはそれらの混合液などの薬液および純水を使用して、基板に洗浄処理を行う装置である。そして、この基板処理装置は、未処理基板からなるロットを収納したキャリアの投入を行う基板投入部Ａ、基板洗浄処理を行う洗浄処理部Ｂおよび洗浄処理済みの基板からなるロットを収納したキャリアを払い出す基板払出部Ｃを備えている。なお、第１実施形態の基板処理装置は、キャリアに収納された状態で投入されたロットを、そのキャリアから取り出した状態で洗浄処理を行う装置、すなわちいわゆるキャリアレスの基板処理装置である。
【００１８】
基板投入部Ａには、キャリア載置位置Ｐ１、予備位置Ｐ２および処理準備位置Ｐ３の３種類の基板搬送位置が設けられている。キャリア載置位置Ｐ１は、オペレータが未処理基板からなるロットを収納したキャリアを載置する基板搬送位置である。処理準備位置Ｐ３は、図示を省略するホルダによってキャリア底部からロットが突き上げられて取り出される基板搬送位置である。また、予備位置Ｐ２は、処理準備位置Ｐ３にキャリアを搬送できない場合に、そのキャリアを一時的に待機させるバッファエリア的な機能を果たす基板搬送位置である。
【００１９】
ここで、それぞれの基板搬送位置は２つずつ設けられているため、厳密には基板投入部Ａに６つの基板搬送位置が設けられていることになるが、基板搬送手順として考えた場合、例えば２つの予備位置Ｐ２は相互に等価であるため、実質的には３つの基板搬送位置が設けられていることになる。
【００２０】
基板投入部Ａのキャリア載置位置Ｐ１の側方には搬入扉Ｄ１が設けられている。搬入扉Ｄ１は、通常は安全のため、閉じられた状態となっているが、キャリアの投入時には、オペレータが搬入扉Ｄ１を開けた状態でキャリア載置位置Ｐ１にキャリアを載置することになる。
【００２１】
また、基板投入部Ａには、基板搬送ロボットＴＲ１が設けられている。基板搬送ロボットＴＲ１は、キャリア載置位置Ｐ１、予備位置Ｐ２および処理準備位置Ｐ３の配列の方向に沿って移動することが可能であり、それら基板搬送位置間でのキャリアの搬送を行う。
【００２２】
さらに、基板投入部Ａには、オペレータが基板投入の操作を行うための操作部１０が設けられている。図２は、基板投入部Ａの操作部１０を示す模式図である。操作部１０は、４つの操作ボタンで構成されている。動作禁止ボタンＢ１は、基板搬送ロボットＴＲ１の動作を禁止するため操作ボタンであり、これによりオペレータと基板搬送ロボットＴＲ１とが干渉する危険を防ぐことができる。投入確認ボタンＢ２は、オペレータがキャリアを投入したときに搬送を開始させる旨を装置に指示するための操作ボタンである。払出確認ボタンＢ３は、オペレータが基板投入部Ａからキャリアを回収したときに、その旨を装置に伝えるための操作ボタンである。また、１キャリア搬送ボタンＢ４は、２つのキャリアを並列的に搬送するのではなく、それぞれが２つずつ設けられている基板搬送位置の１つのみを使用して、１つのキャリアを搬送するための操作ボタンである。このように、４つの操作ボタンのそれぞれには予め固有の機能が付与されている。
【００２３】
図１に戻り、洗浄処理部Ｂは、複数の処理槽を備え、それぞれの槽には上記薬液または純水が貯留されている。そして、洗浄処理部Ｂにおいては、ロットを薬液または純水に浸漬させることによって、基板に対するエッチングや洗浄等の処理を行う。洗浄処理部Ｂには、基板搬送ロボットＴＲ３が設けられており、基板搬送ロボットＴＲ３は処理準備位置Ｐ３で受け取ったロットを処理槽に順次搬送し、後述する処理終了位置Ｐ４までの基板搬送を担当する。
【００２４】
基板払出部Ｃは、基板投入部Ａと類似の構成とされており、すなわち処理終了位置Ｐ４、予備位置Ｐ５およびキャリア載置位置Ｐ６の３種類の基板搬送位置が設けられている。処理終了位置Ｐ４は、処理準備位置Ｐ３と同じ構成であり、キャリア底部から突き出された図示を省略するホルダがロットを受け取り、キャリア内に収納する基板搬送位置である。キャリア載置位置Ｐ６は、オペレータが処理済み基板からなるロットを収納したキャリアを回収する基板搬送位置である。また、予備位置Ｐ５は、キャリア載置位置Ｐ６にキャリアを搬送できない場合に、そのキャリアを一時的に待機させるバッファエリア的な機能を果たす基板搬送位置である。
【００２５】
基板払出部Ｃのキャリア載置位置Ｐ６の側方には搬出扉Ｄ２が設けられている。搬出扉Ｄ２は、通常は安全のため、閉じられた状態となっているが、キャリアの回収時には、オペレータが搬出扉Ｄ２を開けた状態でキャリア載置位置Ｐ６からキャリアを回収することになる。
【００２６】
また、基板払出部Ｃには、基板搬送ロボットＴＲ２が設けられている。基板搬送ロボットＴＲ２は、キャリア載置位置Ｐ６、予備位置Ｐ５および処理終了位置Ｐ４の配列の方向に沿って移動することが可能であり、それら基板搬送位置間でのキャリアの搬送を行う。
【００２７】
さらに、基板払出部Ｃにも、基板投入部Ａの操作部１０と同様の操作部（図示省略）が設けられている。
【００２８】
次に、上記基板処理装置の制御機構について説明する。図３は、基板処理装置の制御機構を説明するための機能ブロック図である。この基板処理装置には、卓上型コンピュータ３０が組み込まれており、オペレータは当該卓上型コンピュータ３０を介して装置に指令を与えたり、処理パターンや処理条件の設定を行ったりできる。
【００２９】
卓上型コンピュータ３０は、その本体部であるＣＰＵ３１と、読み出し専用メモリーであるＲＯＭ３２と、読み書き自在のメモリーであるＲＡＭ３３と、制御用ソフトウェアやデータなどを記憶しておく磁気ディスク３４と、付随する入出力機器とのインターフェイスである入出力ポート３５と、基板処理装置を直接制御する装置とのインターフェイスであるネットワークポート３６と、基板処理装置外部に設けられているホストコンピュータなどと通信を行う通信ポート３７とを備えている。また、卓上型コンピュータ３０には、入出力ポート３５を介してディスプレイ３８とキーボード３９とが付随して設けられており、オペレータはディスプレイ３８の表示を確認しつつ、キーボード３９からコマンドやパラメータを入力することができる。
【００３０】
卓上型コンピュータ３０に入力された指令は、処理用のソフトウェアに基づいて処理され、必要に応じて当該卓上型コンピュータ３０からネットワークポート３６を介してマスターコントローラ４０および槽コントローラ５０などに伝達される。マスターコントローラ４０は、上述した基板搬送ロボットＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３の動作などを制御する。また、槽コントローラ５０は、洗浄処理部Ｂに設けられた各処理槽への注排液などを制御する。
【００３１】
＜Ｂ．基板処理装置の処理手順＞
次に、以上のような構成を有する基板処理装置における処理手順について説明する。図４は、本発明に係る基板処理装置における処理手順を説明するためのフローチャートである。
【００３２】
まず、ステップＳ１において、オペレータがキャリア搬送準備を行う。この作業は、オペレータが基板投入部Ａのキャリア載置位置Ｐ１に未処理ロットを収納したキャリアを載置してから処理を開始するまでに行う一連の作業であり、その内容については図５のフローチャートに示している。
【００３３】
すなわち、図５のステップＳ１１では、オペレータが操作部１０の動作禁止ボタンＢ１を押す。これにより、基板搬送ロボットＴＲ１は人と干渉しない位置に待避する（ステップＳ１２）。そして、基板搬送ロボットＴＲ１の待避が終了すると、搬入扉Ｄ１が開閉可能な状態となり、オペレータが搬入扉Ｄ１を開け（ステップＳ１３）、そこから未処理基板のロットを収納したキャリアを投入し、キャリア載置位置Ｐ１に載置する（ステップＳ１４）。なお、このときには、２つのキャリア載置位置Ｐ１のそれぞれに１つずつキャリアを載置して並列的に処理を行わせるのが普通であるが、どちらか一方のキャリア載置位置Ｐ１に１つのキャリアのみを載置するようにしても良い。
【００３４】
キャリアの載置が終了すると、ステップＳ１５に進み、オペレータが搬入扉Ｄ１を閉じた後、投入確認ボタンＢ２を押す（ステップＳ１６）。既述したように、投入確認ボタンＢ２は、オペレータがキャリアを投入したときに搬送を開始させる旨を装置に指示するための操作ボタンである。そして、このとき同時に、オペレータはキャリアの状態をチェックする（ステップＳ１７、Ｓ１８）。ここで、キャリアの状態とは、キャリア載置位置Ｐ１の載置の状態であり、例えば、キャリアを載置する向きが間違っていないか等をチェックする。
【００３５】
ここで、間違いがなければ、ステップＳ１９に進み、オペレータが上記卓上型コンピュータ３０のキーボード３９を介して確認入力を行うことにより、そのキャリアに収納されたロットについての処理用データが卓上型コンピュータ３０によってマスターコントローラ４０にセットされる。その後、オペレータが再び動作禁止ボタンＢ１を押すことにより（ステップＳ２０）、基板搬送ロボットＴＲ１が搬送を開始する。
【００３６】
一方、キャリアの状態に間違いがある場合には、ステップＳ１８からステップＳ２１に進み、オペレータは投入確認ボタンＢ２を３秒以上押し続ける。このようにすると、マスターコントローラ４０は搬入扉Ｄ１を開閉可能な状態とし、ステップＳ１３に戻る。そして、オペレータは、再び搬入扉Ｄ１を開けてキャリアを載置し直した後、上記と同様の手順が行われる。
【００３７】
図４に戻り、以上のようなキャリア搬送準備の後、基板搬送ロボットＴＲ１による搬送が開始される（ステップＳ２）。この時点においては、マスターコントローラ４０は、処理対象となるキャリアについての正方向のタスクを許可している（ステップＳ３）。ここで、タスクとは、基板搬送ロボットＴＲ１によるキャリアの搬送手順であり、具体的には、
（１）キャリア載置位置Ｐ１から予備位置Ｐ２へのキャリア搬送、
（２）予備位置Ｐ２から処理準備位置Ｐ３へのキャリア搬送、
（３）キャリア載置位置Ｐ１から処理準備位置Ｐ３へのキャリア搬送、
（４）処理準備位置Ｐ３から予備位置Ｐ２へのキャリア搬送、
（５）予備位置Ｐ２からキャリア載置位置Ｐ１へのキャリア搬送、
（６）処理準備位置Ｐ３からキャリア載置位置Ｐ１へのキャリア搬送、
の６つのパターンがある。そして、正方向のタスクとは、本来の基板処理の流れに沿ったタスクであり、上記（１），（２），（３）のパターンが該当する。これに対して逆方向のタスクとは、本来の基板処理の流れとは反対方向のタスクであり、上記（４），（５），（６）のパターンが該当する。なお、以下では、上記（１）〜（６）を丸数字で示す。
【００３８】
次に、ステップＳ４に進み、その時点において投入確認ボタンＢ２が１０秒以上押し続けられているか否かがマスターコントローラ４０によって判断される。投入確認ボタンＢ２が１０秒以上押し続けられていない場合には、ステップＳ５に進み、基板搬送ロボットＴＲ１によって正方向のタスクが実行される。
【００３９】
したがって、基板搬送ロボットＴＲ１は、処理準備位置Ｐ３が空いているときには、キャリア載置位置Ｐ１から直接処理準備位置Ｐ３にキャリアを搬送し（タスク▲３▼のパターン）、処理準備位置Ｐ３に他のキャリアが存在するときには、キャリア載置位置Ｐ１から一旦予備位置Ｐ２へキャリアを搬送（タスク▲１▼のパターン）した後、予備位置Ｐ２から処理準備位置Ｐ３へのキャリア搬送（タスク▲２▼のパターン）を実行する。
【００４０】
そして、ステップＳ６において、キャリアが処理準備位置Ｐ３まで搬送され、そのキャリア内のロットについての正方向のタスク処理が終了したか否かがマスターコントローラ４０によって判断される。ここで、終了していると判断されたときは、基板投入部Ａにおける一連の処理が終了したことになる。また、終了していないと判断されたときは、再びステップＳ４に戻り、ステップＳ４〜ステップＳ６の工程が繰り返される。
【００４１】
一方、基板搬送ロボットＴＲ１による正方向のタスクが実行されている過程において、オペレータが投入確認ボタンＢ２を１０秒以上押し続けたと判断されると、ステップＳ４からステップＳ７に進み、マスターコントローラ４０が処理対象キャリアについての正方向のタスクを禁止するとともに、逆方向のタスクを許可する。そして、ステップＳ８に進み、基板搬送ロボットＴＲ１によって逆方向のタスクが実行される。
【００４２】
ここで、オペレータが投入確認ボタンＢ２を１０秒以上押し続けるのは、キャリアの搬送を開始してから、何らかの不具合を見いだした場合である。そして、このような場合に、投入確認ボタンＢ２が１０秒以上押され続けると、基板搬送ロボットＴＲ１が逆方向のタスクを実行し、搬送中のキャリアをキャリア載置位置Ｐ１まで戻すこととなるため、装置全体を停止させることなく、オペレータは不具合のあるキャリアを回収することができる。
【００４３】
ところで、上記処理内容をマスターコントローラ４０の側からみると、投入確認ボタンＢ２が押し続けられる時間によって異なる２つの制御内容を実行することとなる。このことを図６を用いて説明する。
【００４４】
図６は、第１実施形態におけるマスターコントローラ４０の制御内容を説明するための概念図である。図中において、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３と記載しているのは、それぞれキャリア載置位置Ｐ１、予備位置Ｐ２および処理準備位置Ｐ３を示している。また、図の横軸は時間軸とし、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３と記載しているのは、それぞれ未処理ロットを収納したキャリアを示している。ここでは、キャリアＬ１は基板搬送ロボットＴＲ１によって予備位置Ｐ２から処理準備位置Ｐ３へ搬送される途中であり、キャリアＬ２は予備位置Ｐ２に待機しており、またキャリアＬ３はキャリア載置位置Ｐ１において搬送準備中である。
【００４５】
この時点においては、全てのキャリアが正方向のタスクに従って処理されるように制御されている。そして、オペレータがキャリアＬ３について不具合を見いだした場合には、投入確認ボタンＢ２を３秒以上１０秒未満押し続ける。すると、上述したように、マスターコントローラ４０は搬入扉Ｄ１を開閉可能な状態とし、未だ確認入力がなされていないキャリアＬ３については搬送解除状態とする（図中のキャリアＬ３についての一点鎖線）。なお、投入確認ボタンＢ２が３秒以上１０秒未満押されたとしても、確認入力が終了しているキャリアＬ１、Ｌ２についての処理には影響を与えない。
【００４６】
また、オペレータがキャリアＬ１またはキャリアＬ２について不具合を見いだした場合には、投入確認ボタンＢ２を１０秒以上押し続ける。すると、マスターコントローラ４０は、キャリアＬ３については上記同様、搬送解除状態とするとともに、キャリアＬ１、Ｌ２については逆方向のタスクを許可し、基板搬送ロボットＴＲ１にキャリア載置位置Ｐ１に向けて搬送させるようにする（図中のキャリアＬ１、Ｌ２についての二点鎖線）。
【００４７】
このように、本実施形態では投入確認ボタンＢ２を押し続ける時間によって、投入確認ボタンＢ２に本来付与されている機能とは異なる基板搬送ロボットＴＲ１の搬送方向の変更機能または搬送が開始されていないキャリアについて搬送解除状態とする機能を能動化させることができるのであり、装置を物理的に改造することなく、処理プログラムの変更のみによって基板搬送についての新たな機能を付加できるのである。
【００４８】
＜第２実施形態＞
第１実施形態の基板処理装置はロットをキャリアから取り出した状態で洗浄処理を行うキャリアレスの基板処理装置であったが、第２実施形態の基板処理装置はロットをキャリアに収納した状態でキャリアごと洗浄処理を行う基板処理装置である。通常、このタイプの基板処理装置では、他の処理装置との間で基板を搬送するのに使用する基板搬送専用の搬送キャリアにロットを収納した状態で装置に投入し、装置内部でロットを洗浄処理専用の処理キャリアに移載し、洗浄処理終了後にロットを再び搬送キャリアに移載する。
【００４９】
第２実施形態の基板処理装置の構成は、図１〜図３に示した第１実施形態の基板処理装置の構成と同じであり、その説明は省略する。但し、第２実施形態の基板処理装置においては、搬送キャリアから処理キャリアへのロットの移載を予備位置Ｐ２と処理準備位置Ｐ３との間で図示を省略する移載装置によって行う。また、処理終了後の空の処理キャリアは、循環使用されるのではなく、ロットを収納した搬送キャリアとともに基板払出部Ｃのキャリア載置位置Ｐ６から回収される。そして、新たな空の処理キャリアが基板投入部Ａのキャリア載置位置Ｐ１から投入される。すなわち、この基板処理装置においては、キャリア載置位置Ｐ１に、未処理のロットを収納した搬送キャリアおよび空の処理キャリアの２種類のキャリアが投入されることになる。搬送キャリアはキャリア載置位置Ｐ１から予備位置Ｐ２へ搬送され、処理キャリアはキャリア載置位置Ｐ１から処理準備位置Ｐ３へ直接搬送される。
【００５０】
従って、キャリア載置位置Ｐ１に投入されたキャリアが搬送キャリアであるか処理キャリアであるかによってその搬送先を異なったものとする必要があるが、本実施形態においてはこれを以下のようにして行わせている。
【００５１】
図７は、第２実施形態の基板処理装置の処理手順を説明するためのフローチャートである。まず、ステップＳ１ａにおいて、オペレータがキャリア搬送準備を行う。この作業は、図４のステップＳ１の作業と同じであり、対象となるキャリアが搬送キャリアであるか処理キャリアであるかに関係なく同じ操作となる。そして、基板搬送ロボットＴＲ１による搬送が開始される（ステップＳ２ａ）。この時点においては、マスターコントローラ４０は、対象となる全てのキャリアについてキャリア載置位置Ｐ１から予備位置Ｐ２へのタスクを許可している（ステップＳ３ａ）。
【００５２】
ここで、対象となるキャリアが処理キャリアである場合には、オペレータが投入確認ボタンＢ２を１０秒以上押し続ける。そして、投入確認ボタンＢ２が１０秒以上押し続けられているとマスターコントローラ４０が判断した場合には（ステップＳ４ａ）、キャリア載置位置Ｐ１から予備位置Ｐ２へのタスクを禁止し、キャリア載置位置Ｐ１から処理準備位置Ｐ３へのタスクを許可する（ステップＳ７ａ）。その後、基板搬送ロボットＴＲ１によってキャリア載置位置Ｐ１から処理準備位置Ｐ３へのキャリア搬送が実行され、処理キャリアは直接処理準備位置Ｐ３に搬送されることになる。
【００５３】
一方、対象となるキャリアが搬送キャリアである場合には、オペレータは搬送開始後に特別な作業を行わない。この場合、投入確認ボタンＢ２が１０秒以上押し続けられていないとマスターコントローラ４０が判断し、ステップＳ４ａからステップＳ５ａに進み、基板搬送ロボットＴＲ１によってキャリア載置位置Ｐ１から予備位置Ｐ２へのキャリア搬送が実行される（ステップＳ５ａ）。そして、ステップＳ６ａにおいて、キャリア載置位置Ｐ１から予備位置Ｐ２へのキャリア搬送が終了したか否かがマスターコントローラ４０によって判断される。ここで、終了していると判断されたときは、基板投入部Ａにおける一連の処理が終了したことになる。また、終了していないと判断されたときは、再びステップＳ４ａに戻り、ステップＳ４ａ〜ステップＳ６ａの工程が繰り返される。その結果、搬送キャリアについては、キャリア載置位置Ｐ１から予備位置Ｐ２への搬送が行われることになる。
【００５４】
上記第２実施形態の処理内容を図８を用いてさらに説明する。図８は、第２実施形態におけるマスターコントローラ４０の制御内容を説明するための概念図である。図６と同様に、図中において、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３と記載しているのは、それぞれキャリア載置位置Ｐ１、予備位置Ｐ２および処理準備位置Ｐ３を示している。また、図の横軸は時間軸とし、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６と記載しているのは、それぞれキャリアを示している。ここで、キャリアＬ４、Ｌ６は搬送キャリアであり、キャリアＬ５は処理キャリアである。
【００５５】
第１実施形態と同様に、オペレータがキャリアＬ６について不具合を見いだした場合には、投入確認ボタンＢ２を３秒以上１０秒未満押し続ける。すると、マスターコントローラ４０は搬入扉Ｄ１を開閉可能な状態とし、未だ確認入力がなされていないキャリアＬ６については搬送解除状態とする（図中のキャリアＬ６についての一点鎖線）。
【００５６】
一方、キャリアＬ４については、オペレータが搬送開始後に特別な作業を行わなかったため、マスターコントローラ４０が基板搬送ロボットＴＲ１にキャリア載置位置Ｐ１から予備位置Ｐ２へのキャリア搬送を行わせたものである。これに対して、キャリアＬ５については、搬送開始後にオペレータが投入確認ボタンＢ２を１０秒以上押し続けたとマスターコントローラ４０が判断し、基板搬送ロボットＴＲ１にキャリア載置位置Ｐ１から処理準備位置Ｐ３へのキャリア搬送を行わせている（図中のキャリアＬ５についての二点鎖線）。
【００５７】
すなわち、搬送キャリアと処理キャリアとは全く異なる用途に使用されるものであるが、基板投入部Ａの基板搬送ロボットＴＲ１の側から見れば、これらの相違は搬送先が予備位置Ｐ２であるか処理準備位置Ｐ３であるかの相違となるのである。そして、オペレータが投入確認ボタンＢ２を押し続ける時間によって、投入確認ボタンＢ２に本来付与されている機能とは異なる基板搬送ロボットＴＲ１の搬送先の変更機能または搬送が開始されていないキャリアについて搬送解除状態とする機能を能動化させることができるのであり、装置を物理的に改造することなく、処理プログラムの変更のみによって基板搬送についての新たな機能を付加できるのである。
【００５８】
＜変形例＞
以上、この発明の実施形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。すなわち、上記実施形態においては、投入確認ボタンＢ２を押し続ける時間によって機能変更を行っていたが、これを投入確認ボタンＢ２を連続して押す回数によって行うようにしてもよい。例えば、投入確認ボタンＢ２を連続して２回押した場合は、搬送が開始されていないキャリアについて搬送解除状態とし、連続して３回押した場合は、基板搬送ロボットＴＲ１の搬送方向または搬送先を変更するようにすればよい。
【００５９】
また、投入確認ボタンＢ２以外の操作ボタンに上記機能を付与するようにしてもよいし、２以上の操作ボタンを押す組み合わせまたは順序によって上記機能を能動化させるようにしてもよい。例えば、動作禁止ボタンＢ１と投入確認ボタンＢ２とが同時に押された場合または投入確認ボタンＢ２、払出確認ボタンＢ３の順に所定の時間間隔以下で連続して押された場合に上記機能を能動化させるようにすればよい。
【００６０】
また、第２実施形態においては、基板払出部Ｃから処理済み基板を収納するための空の搬送キャリアを投入する必要があるが、このときの基板搬送ロボットＴＲ２による処理キャリアおよび搬送キャリアの搬送先を区別するために本発明を適用してもよい。
【００６１】
また、第２実施形態においては、投入確認ボタンＢ２が１０秒以上押し続けられたときにキャリア載置位置Ｐ１から処理準備位置Ｐ３へのキャリア搬送（処理キャリアについての搬送）を行わせていたが、逆に投入確認ボタンＢ２が１０秒以上押し続けられたときにキャリア載置位置Ｐ１から予備位置Ｐ２へのキャリア搬送（搬送キャリアについての搬送）を行わせるようにしてもよい。
【００６２】
【発明の効果】
以上、説明したように、請求項１から請求項４までの発明によれば、操作ボタンが、押し続けられた時間に応じた第１の操作を受けた場合には、投入された基板のうち搬送が開始されていない基板について搬送解除状態とし、操作ボタンが、押し続けられた時間に応じた第２の操作を受けた場合には、未処理の基板について基板搬送手段の搬送モードを変更する。このため、搬送が開始されていない基板についてのみ不具合を見いだしたときであっても、搬送中の基板に影響を与えることなく、搬送が開始されていない基板のみを効率的に回収することができる。また、操作ボタンが受けた操作に応じて、当該操作ボタンに付与された特定の機能と異なる機能である基板の処理状態の変更機能または基板搬送手段の搬送モードの変更機能を能動化させるため、装置を物理的に改造することなく、処理プログラムの変更のみによって基板搬送についての新たな複数の機能を付加することができる。
【００６３】
特に、請求項２の発明によれば、搬送モードの変更を基板搬送手段の搬送方向を逆方向にすることとしているため、搬送中の基板について不具合を見いだしたときであっても、装置全体を停止させることなく、不具合のある基板を回収することができる。
【００６４】
特に、請求項３の発明によれば、搬送モードの変更を基板搬送手段の搬送先を変更することとしているため、異なる用途の基板を順次搬送させるのに適している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理装置の全体概略構成を示す平面図である。
【図２】図１の基板処理装置の基板投入部の操作部を示す模式図である。
【図３】図１の基板処理装置の制御機構を説明するための機能ブロック図である。
【図４】図１の基板処理装置における処理手順を説明するためのフローチャートである。
【図５】図４のキャリア搬送準備を説明するためのフローチャートである。
【図６】第１実施形態におけるマスターコントローラの制御内容を説明するための概念図である。
【図７】第２実施形態の基板処理装置の処理手順を説明するためのフローチャートである。
【図８】第２実施形態におけるマスターコントローラの制御内容を説明するための概念図である。
【符号の説明】
１０  操作部
３０  卓上型コンピュータ
４０  マスターコントローラ
Ａ  基板投入部
Ｂ２  投入確認ボタン
Ｄ１  搬入扉
Ｐ１  キャリア載置位置
Ｐ２  予備位置
Ｐ３  処理準備位置
ＴＲ１、ＴＲ２、ＴＲ３  基板搬送ロボット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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