(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部材と、
該支持部材に固定された一端部から他端部に向かって支持部材の軸方向に延在する筒状の可撓性部材と、
該可撓性部材の内方に嵌装された非円形拡径部を有する第１の入力軸と、
前記支持部材の軸方向で、第１の入力軸とは異なる位置にて前記可撓性部材の内方に嵌装された非円形拡径部を有する第２の入力軸と、
前記第１および第２の入力軸と同軸に配置されるとともに、前記第１の入力軸の非円形拡径部に対し前記可撓性部材を挟んで放射方向に対向する伝動部を有する第１の出力軸と、
前記第１の出力軸と同軸に配置され、前記第２の入力軸の非円形拡径部に対し前記可撓性部材を挟んで放射方向に対向する伝動部を有する第２の出力軸と、
を備え、
前記可撓性部材が、軸方向の所定位置で閉塞されるとともに、
前記第１および第２の入力軸のうち任意の一方又は双方が回転するとき、前記非円形拡径部に当接する前記可撓性部材の特定撓み部位が前記非円形拡径部の回転に対応して撓み、該可撓性部材の撓み形状の変化に伴って前記第１および第２の出力軸のうち任意の一方又は双方が回転するようにしたことを特徴とする回転運動伝動装置。
【請求項２】
前記可撓性部材が、前記第１および第２の入力軸の非円形拡径部に近接する位置に複数の外歯を有する第１および第２の撓み噛合部を有し、
前記第１の出力軸の伝動部が、第１の撓み噛合部を内側に噛合させた該撓み噛合部より歯数の多い内歯部を有するとともに、
前記第２の出力軸の伝動部が、第２の撓み噛合部を内側に噛合させた該撓み噛合部より歯数の多い内歯部を有し、
それぞれの伝動部とこれに対応するそれぞれの撓み噛合部との歯数差に応じた減速比で、各入力軸からの回転を減速した出力を得るようにしたことを特徴とする請求項１に記載の回転運動伝動装置。
【請求項３】
前記可撓性部材と前記第１および第２の入力軸のそれぞれの非円形拡径部との間に介装され、前記可撓性部材と前記非円形拡径部との相対回転を許容する内側の転動部材と、前記可撓性部材と前記第１および第２の出力軸のそれぞれの伝動部との間に介装され、前記可撓性部材と前記伝動部との相対回転を許容する外側の転動部材と、を設けたことを特徴とする請求項１に記載の回転運動伝動装置。
【請求項４】
軸方向一方側から入力される回転運動を軸方向他方側に出力するとともに、軸方向一方側の空間と軸方向他方側の空間とを気密的に仕切るようにした回転運動伝動装置であって、
円筒状内周面を有する筒状支持部材と、
該筒状支持部材の軸方向に延在し、該筒状支持部材に固定された一端部、および、該筒状支持部材内の軸方向一方側の空間と軸方向他方側の空間とを気密的に仕切るよう閉塞された他端部を有する有底円筒状の可撓性部材と、
該可撓性部材の内方に嵌装された非円形拡径部を有する第１の入力軸と、
第１の入力軸と同軸に配置され、前記筒状支持部材の軸方向で第１の入力軸とは異なる位置にて前記可撓性部材の内方に嵌装された非円形拡径部を有する第２の入力軸と、
前記第１および第２の入力軸と同軸に配置されるとともに、前記第１の入力軸の非円形拡径部に対し前記可撓性部材を挟んで放射方向に対向する環状の伝動部を有する第１の出力軸と、
前記第１の出力軸と同軸に配置され、前記第２の入力軸の非円形拡径部に対し前記可撓性部材を挟んで放射方向に対向する環状の伝動部を有する第２の出力軸と、
を備え、
前記第１および第２の入力軸のうち任意の一方又は双方が回転するとき、前記非円形拡径部に当接する前記可撓性部材の特定撓み部位が前記非円形拡径部の回転に対応して撓み、該可撓性部材の撓み形状の変化に伴って前記第１および第２の出力軸のうち任意の一方又は双方が回転するようにしたことを特徴とする回転運動伝動装置。
【請求項５】
前記軸方向一方側の空間又は軸方向他方側の空間が外部とは雰囲気状態の異なる空間となるよう、該軸方向一方側又は軸方向他方側の空間を画成する室壁を設けたことを特徴とする請求項４に記載の回転運動伝動装置。
【請求項６】
前記第２の入力軸が前記第１の入力軸を収納する中空部を有するとともに、前記第１および第２の入力軸が、前記筒状支持部材と同軸に配置され、
前記第２の出力軸が前記第１の出力軸を収納する中空部を有するとともに、前記第１および第２の出力軸が、前記筒状支持部材に同軸かつ回転自在に支持されたことを特徴とする請求項５に記載の回転運動伝動装置。
【請求項７】
前記筒状支持部材に支持され、前記第２の入力軸を駆動するよう該入力軸の基端部に連結された中空の一方のモータと、
該一方のモータに対し前記筒状支持部材とは軸方向で反対側に配置されるとともに、前記筒状支持部材に直接又は間接的に支持され、前記第１の入力軸を駆動するよう該入力軸の基端部に連結された他方のモータと、
前記軸方向一方側又は他方側の空間内で、前記第１および第２の出力軸の回転に応じて、前記第１および第２の入力軸と共通の中心軸線回りに回動可能な第１および第２の回動アームと、を更に備えたことを特徴とする請求項６記載の回転運動伝動装置。
【請求項８】
前記筒状支持部材が前記室壁に対し軸方向に移動可能に支持されるとともに、
前記他方のモータが前記一方のモータを介して該筒状支持部材に支持され、該一方および他方のモータと前記筒状支持部材とを前記室壁に対し軸方向に移動させる移動手段を設けたことを特徴とする請求項７に記載の回転運動伝動装置。
【請求項９】
前記可撓性部材が、前記第１の入力軸の前記非円形拡径部に当接する第１の特定撓み部位と、前記第２の入力軸の前記非円形拡径部に当接する第２の特定撓み部位と、を有するとともに、
該第１および第２の特定撓み部位が、前記可撓性部材の径方向の内外に離間するよう同軸配置されたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１つに記載の回転運動伝動装置。
【請求項１０】
前記可撓性部材が、前記第１の入力軸の前記非円形拡径部に当接する第１の特定撓み部位と前記第２の入力軸の前記非円形拡径部に当接する第２の特定撓み部位とを有するとともに、該第１および第２の特定撓み部位の間に、該第１および第２の特定撓み部位より高剛性に形成された剛性部を有し、
該剛性部により、前記第１および第２の特定撓み部位の間で前記非円形拡径部の回転に対応する可撓性部材の撓みが伝播されるのを実質的に阻止するようにしたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１つに記載の回転運動伝動装置。
【請求項１１】
前記剛性部が、前記第１および第２の特定撓み部位よりも厚く形成された厚肉の筒状部分を有することを特徴とする請求項１０記載の回転運動伝動装置。
【請求項１２】
前記剛性部が、前記可撓性部材の径方向に延在する板状部分と、該板状部分に連結されて前記可撓性部材の軸方向に延在する筒状部分と、を有し、
前記板状部分および筒状部分のうち少なくとも一方が前記第１および第２の特定撓み部位よりも厚く形成された厚肉部分となっていることを特徴とする請求項１０記載の回転運動伝動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転運動伝動装置に係り、特に入力軸から出力軸までの伝動経路に可撓性部材を介在させた回転運動伝動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転運動伝動装置には撓み噛合式の変速機や減速機として使用されているものがあり、この種の回転運動伝動装置は入力軸と出力軸の間の伝動経路中に金属製の可撓性部材を介在させた構造になっている。
例えば、特開平１−２１６１４１号公報に記載されたものでは、入力軸から出力軸までの伝動経路中に、入力軸に形成した偏心したカム部に外歯歯車を回転自在に支持させるとともに、この外歯歯車を内歯歯車に噛合させ、入力軸の回転により内歯歯車内で外歯歯車を公転（偏心円運動）をさせつつ両歯車の歯数差に応じてこれをゆっくりと自転させ、この自転運動を、外歯歯車と出力部材の間に介装した可撓性部材を介して出力軸から出力させるようになっている。
【０００３】
また、特開平２−１８６１５１号公報に記載されたものでは、カップ状に形成した可撓性部材によってその入力軸側の空間と出力軸側の空間とを気密的に仕切るようになっている。
なお、圧力差のある空間の間で動力伝達する場合にその隔壁部に採用される一般的なシール方式としては、例えば磁性流体シール方式、ダイレクトドライブ方式およびマグネットカップリング方式等が知られているが、何れも、シール手段となる部位を高温加熱することができないので、真空減圧のために気体分子を放出させるベーキングを高温で十分に行なうことができない。これに対し、カップ状に形成した金属製の可撓性部材によってシール手段を構成する場合、そのシール手段をある程度の高温まで加熱することができるので、ベーキングを高温で十分に行なうことができ、高真空を得ることができるという利点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の回転運動伝動装置にあっては、入力軸から出力軸への各伝動経路中に可撓性部材が介装される構成となっていたため、複数の伝動経路が必要な場合、回転運動伝動装置やその支持手段、設置スペース等をそれぞれ複数準備する必要があり、構成の複雑化とコスト高を招いていた。
【０００５】
そこで本発明は、簡素な構成でコンパクト化を図ることができ、しかも複数の伝動経路を構成する複数組の入出力軸に容易に接続することのできる回転運動伝動装置を提供することを目的とし、更に、その可撓性部材によって複数の伝動経路に対するシールをなし得る簡素でコンパクトな回転運動伝動装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的達成のため、請求項１に記載の発明は、支持部材と、該支持部材に固定された一端部から他端部に向かって支持部材の軸方向に延在する筒状の可撓性部材と、該可撓性部材の内方に嵌装された非円形拡径部を有する第１の入力軸と、前記支持部材の軸方向で、第１の入力軸とは異なる位置にて前記可撓性部材の内方に嵌装された非円形拡径部を有する第２の入力軸と、前記第１および第２の入力軸と同軸に配置されるとともに、前記第１の入力軸の非円形拡径部に対し前記可撓性部材を挟んで放射方向に対向する伝動部を有する第１の出力軸と、前記第１の出力軸と同軸に配置され、前記第２の入力軸の非円形拡径部に対し前記可撓性部材を挟んで放射方向に対向する伝動部を有する第２の出力軸と、を備え、前記可撓性部材が、軸方向の所定位置で気密的に閉塞されるとともに、前記第１および第２の入力軸のうち任意の一方又は双方が回転するとき、前記非円形拡径部に当接する前記可撓性部材の特定撓み部位が前記非円形拡径部の回転に対応して撓み、該可撓性部材の撓み形状の変化に伴って前記第１および第２の出力軸のうち任意の一方又は双方が回転するようにしたことを特徴とするものである。したがって、複数の伝動経路を構成する複数組の入出力軸に容易に接続可能な回転運動伝動装置となる。しかも、可撓性部材によって軸方向一方側の空間と他方側の空間とが確実に仕切られることになり、シール構造を有するきわめて簡素な装置となる。なお、複数の入力軸は筒状支持部材に対しその軸方向一端側から挿入されてもよいし、両端側から挿入されてもよい。また、前記可撓性部材の軸方向の所定位置は、複数の入力軸が筒状支持部材に対しそれぞれ一端側から挿入される場合には、筒状の可撓性部材の軸方向一端側となり、複数の入力軸が筒状支持部材に対し両端側から挿入される場合には筒状の可撓性部材の軸方向中間部となる。
【０００７】
請求項２に記載された発明は、前記可撓性部材が、前記第１および第２の入力軸の非円形拡径部に近接する位置に複数の外歯を有する第１および第２の撓み噛合部を有し、前記第１の出力軸の伝動部が、第１の撓み噛合部を内側に噛合させた該撓み噛合部より歯数の多い内歯部を有するとともに、前記第２の出力軸の伝動部が、第２の撓み噛合部を内側に噛合させた該撓み噛合部より歯数の多い内歯部を有し、それぞれの伝動部とこれに対応するそれぞれの撓み噛合部との歯数差に応じた減速比で、各入力軸からの回転を減速した出力を得るようにしたことを特徴とする。したがって、低速、大トルクの出力が容易に得られる。
【０００８】
請求項３に記載された発明は、前記可撓性部材と前記第１および第２の入力軸のそれぞれの非円形拡径部との間に介装され、前記可撓性部材と前記非円形拡径部との相対回転を許容する内側の転動部材と、前記可撓性部材と前記第１および第２の出力軸のそれぞれの伝動部との間に介装され、前記可撓性部材と前記伝動部との相対回転を許容する外側の転動部材と、を設けたことを特徴とする。したがって、各入力軸から対応する各出力軸に回転運動を等速に伝動することができる。
【００１０】
また、上記目的達成のため、請求項４に記載された発明は、軸方向一方側から入力される回転運動を軸方向他方側に出力するとともに、軸方向一方側の空間と軸方向他方側の空間とを気密的に仕切るようにした回転運動伝動装置であって、円筒状内周面を有する筒状支持部材と、該筒状支持部材の軸方向に延在し、該筒状支持部材に固定された一端部、および、該筒状支持部材内の軸方向一方側の空間と軸方向他方側の空間とを気密的に仕切るよう閉塞された他端部を有する有底円筒状の可撓性部材と、該可撓性部材の内方に嵌装された非円形拡径部を有する第１の入力軸と、第１の入力軸と同軸に配置され、前記筒状支持部材の軸方向で第１の入力軸とは異なる位置にて前記可撓性部材の内方に嵌装された非円形拡径部を有する第２の入力軸と、前記第１および第２の入力軸と同軸に配置されるとともに、前記第１の入力軸の非円形拡径部に対し前記可撓性部材を挟んで放射方向に対向する環状の伝動部を有する第１の出力軸と、前記第１の出力軸と同軸に配置され、前記第２の入力軸の非円形拡径部に対し前記可撓性部材を挟んで放射方向に対向する環状の伝動部を有する第２の出力軸と、を備え、前記第１および第２の入力軸のうち任意の一方又は双方が回転するとき、前記非円形拡径部に当接する前記可撓性部材の特定撓み部位が前記非円形拡径部の回転に対応して撓み、該可撓性部材の撓み形状の変化に伴って前記第１および第２の出力軸のうち任意の一方又は双方が回転するようにしたことを特徴とするものである。この場合、入力軸が可撓性部材の一端側から他端側に向かって挿入されるとともに、出力軸が可撓性部材の放射外方に位置することになる。したがって、入力軸側と出力軸側をきわめて容易に結合および切離しすることができ、更に、入力軸の駆動手段を分散させずコンパクトに設置することができる。
【００１１】
請求項５に記載された発明は、前記軸方向一方側の空間又は軸方向他方側の空間が外部とは雰囲気状態の異なる空間となるよう、該軸方向一方側又は軸方向他方側の空間を画成する室壁を設けたことを特徴とする。したがって、出力軸側の雰囲気を入力軸側に漏らすことなく、入力軸側と出力軸側を容易に結合および切離しできる。
【００１２】
請求項６に記載された発明は、前記第２の入力軸が前記第１の入力軸を収納する中空部を有するとともに、前記第１および第２の入力軸が、前記筒状支持部材と同軸に配置され、前記第２の出力軸が前記第１の出力軸を収納する中空部を有するとともに、前記第１および第２の出力軸が、前記筒状支持部材に同軸かつ回転自在に支持されたことを特徴とする。したがって、装置の入出力部の構成をよりコンパクトにすることができる。
【００１３】
請求項７に記載された発明は、前記筒状支持部材に支持され、前記第２の入力軸を駆動するよう該入力軸の基端部に連結された中空の一方のモータと、該一方のモータに対し前記筒状支持部材とは軸方向で反対側に配置されるとともに、前記筒状支持部材に直接又は間接的に支持され、前記第１の入力軸を駆動するよう該入力軸の基端部に連結された他方のモータと、前記軸方向一方側又は他方側の空間内で、前記第１および第２の出力軸の回転に応じて、前記第１および第２の入力軸と共通の中心軸線回りに回動可能な第１および第２の回動アームと、を更に備えたことを特徴とする。したがって、入力軸およびその駆動手段の構成をよりコンパクトにすることができる。
【００１４】
請求項８に記載された発明は、前記筒状支持部材が前記室壁に対し軸方向に移動可能に支持されるとともに、前記他方のモータが前記一方のモータを介して該筒状支持部材に支持され、該一方および他方のモータと前記筒状支持部材とを前記室壁に対し軸方向に移動させる移動手段を設けたことを特徴とする。したがって、複数の出力軸を各々回転方向および軸方向に移動させることのできる回転運動伝動装置となり、ロボット等に好適な装置となる。
【００１５】
さらに、請求項９に記載された発明は、前記可撓性部材が、前記第１の入力軸の前記非円形拡径部に当接する第１の特定撓み部位と、前記第２の入力軸の前記非円形拡径部に当接する第２の特定撓み部位と、を有するとともに、該第１および第２の特定撓み部位が、前記可撓性部材の径方向の内外に離間するよう同軸配置されたことを特徴とするものである。したがって、第１および第２の特定撓み部位を軸方向の同一又は近傍位置に配置可能となり、軸長の短いコンパクトな装置になる。
【００１６】
また、請求項１０に記載された発明は、前記可撓性部材が、前記第１の入力軸の前記非円形拡径部に当接する第１の特定撓み部位と前記第２の入力軸の前記非円形拡径部に当接する第２の特定撓み部位とを有するとともに、該第１および第２の特定撓み部位の間に、該第１および第２の特定撓み部位より高剛性に形成された剛性部を有し、該剛性部により、前記第１および第２の特定撓み部位の間で前記非円形拡径部の回転に対応する可撓性部材の撓みが伝播されるのを実質的に阻止するようにしたことを特徴とするものである。したがって、第１および第２の特定撓み部位の変形を伴う伝動がそれぞれ正確に行われることになり、高精度の装置となる。
【００１７】
請求項１１に記載された発明は、前記剛性部が、前記第１および第２の特定撓み部位よりも厚く形成された厚肉筒状部分を有することを特徴とする。したがって、可撓性部材の肉厚を全体的には小さくしながら第１および第２の特定撓み部位の間に剛性部を配置することができる。
請求項１２に記載された発明は、前記剛性部が、前記可撓性部材の径方向に延在する板状部分と、該板状部分に連結されて前記可撓性部材の軸方向に延在する筒状部分と、を有し、前記板状部分および筒状部分のうち少なくとも一方が前記第１および第２の特定撓み部位よりも厚く形成された厚肉部分となっていることを特徴とする。したがって、板状部分をフランジ部として可撓性部材を接合の容易なセグメントに２分割することができ、可撓性部材の加工が容易化される。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態について添付図面に基づいて説明する。
＜第１の実施形態＞
図１〜図３は本発明に係る回転運動伝動装置の第１の実施形態を示す。
この回転運動伝動装置は、図１に示すように、筒状支持部材11と、この筒状支持部材11に固定されたフランジ状の一端部12ａから他端部12ｂに向かって筒状支持部材11の軸方向に延在する金属製（例えばステンレス製）の有底略円筒状の可撓性部材12と、可撓性部材12の内周面12ｄ側に可撓性の軸受部材17を介して嵌装された非円形拡径部13ａ（例えば楕円形）を有する第１の入力軸13と、筒状支持部材11の軸方向で第１の入力軸とは異なる位置にて可撓性部材12の内周面12ｄ側に可撓性の軸受部材18を介して嵌装された非円形拡径部14ａ（例えば楕円形；図３参照）を有する第２の入力軸14とを備えている。この装置は、更に、第１および第２の入力軸13，14と同軸に配置された第１および第２の出力軸15，16を有しており、第１の出力軸15は第１の入力軸13の非円形拡径部13ａに対し可撓性部材12を挟んで放射方向に対向する環状伝動部15ａを有している。第２の出力軸16は第２の入力軸14の非円形拡径部14ａに対し可撓性部材12を挟んで放射方向に対向する環状伝動部16ａを有している。
【００１９】
可撓性部材12は、第１および第２の入力軸13，14の非円形拡径部13ａ，14ａに近接する位置に、複数の外歯21ａ，22ａを有する第１および第２の撓み噛合部21，22を有している。また、第１の撓み噛合部21に対向する第１の出力軸15の環状伝動部15ａは、第１の撓み噛合部21を内側に噛合させたその撓み噛合部より歯数の多い内歯部15ｂを有し、第２の撓み噛合部22に対向する第２の出力軸16の環状伝動部16ａも同様に、第２の撓み噛合部22を内側に噛合させたこの撓み噛合部より歯数の多い内歯部16ｂを有している。そして、出力軸15，16のそれぞれの環状伝動部15ａ，16ａとこれらに対応するそれぞれの撓み噛合部21，22との歯数差に応じた減速比で、各入力軸13，14からの回転を減速した出力が各出力軸15，16から出力されるようになっている。
【００２０】
また、可撓性部材12は、その一端部12ａ側に図２に示すように湾曲した断面形状の大径部12ｃを有するとともに、その軸方向の所定位置、例えばその他端部12ｂ側で閉塞されて有底の略円筒状（以下、単にカップ状ともいう）に形成されている。そして、この可撓性部材12によって筒状支持部材11内の入力側の空間と出力側の空間とが気密的に仕切られている。本実施形態では、入力側又は出力側の空間、例えば入力側の空間31が出力側である外部の空間30（例えば宇宙空間や半導体プロセスチャンバー内）とは雰囲気状態の異なる空間（例えば宇宙船内の大気圧程度の空間）となるよう、この入力側の空間31を画成する室壁32が設けられ、筒状支持部材11はその一端側のフランジ部11ａを室壁32に当接させた状態で図示しないシール部材を介して室壁32に固定されている。
【００２１】
図１および図２に示すように、２つ（複数）の入力軸のうち第２の入力軸14は、第１の入力軸13の中間部13ｂを収納する中空部14ｂを有しており、この第２の入力軸14と内部に収納された第１の入力軸13は互いに同軸で、かつ、筒状支持部材11に対し同軸に配置されている。これと同様に、第２の出力軸16は第１の出力軸15を収納する中空部16ｃを有しており、クロスローラベアリング等の軸受部材33によって筒状支持部材11に対し同軸にかつ回転自在に支持されている。また、第１の出力軸15は、可撓性部材12の他端部12ｂを収納する中空部15ｃを有し、この中空部15ｃの外周面側でクロスローラベアリング等の軸受部材34により第２の出力軸16および筒状支持部材11に対し同軸にかつ回転自在に支持されている。
【００２２】
41は筒状支持部材11に支持されるとともに第２の入力軸14を駆動するようこの入力軸14の基端部14ｃに連結された中央部が空いた中空の一方のモータであり、42は第１の入力軸13を駆動するよう一方のモータ41に対し筒状支持部材11とは反対側に配置された他方のモータである。これら一方および他方のモータ41，42は、エンコーダが内装された回動位置検出部41ａ，42ａを有し、図示しない制御手段によりそれぞれ検出部41ａ，42ａの検出情報に基づいてその回転角度および回転速度を制御される。また、他方のモータ42は、一方のモータ41に固定されたブラケット43により筒状支持部材11に間接的に支持され（又は筒状支持部材11に直接支持されてもよい）、第１の入力軸13の基端部13ｃに連結されている。
【００２３】
次に、作用を説明する。
一方および他方のモータ41，42のうち何れかが駆動されて第１および第２の入力軸13，14のうち任意の一方又は双方が回転し、両入力軸13，14の非円形拡径部13ａ，14ａが回転すると、可撓性の軸受部材17，18がその非円形拡径部13ａ，14ａの長径部分によって内方から部分的に押し広げられるよう撓むとともに、可撓性部材12の撓み噛合部21，22（可撓性部材12の特定撓み部位）が非円形拡径部13ａ，14ａの回転に対応して撓み、それによって撓み形状の回転していく可撓性部材12が第１、第２の出力部材15，16の環状伝動部15ｂ，16ｂに常時噛合していることから、第１、第２の出力軸15，16のうち任意の一方又は双方が撓み噛合部21，22と出力軸15，16の環状伝動部15ｂ，16ｂとの歯数差に応じゆっくりと回転する。
【００２４】
すなわち、本実施形態では、複数の入力軸13，14と複数の出力軸15，16の間の伝動経路中に可撓性部材12を介在させる一方、入力軸13，14に形成した非円形拡径部13ａ，14ａにより外歯歯車である撓み噛合部21，22を介して内歯歯車である出力軸15，16の環状伝動部15ｂ，16ｂに動力を伝達し、実質的に内歯歯車内で外歯歯車を公転（一定偏心量での円運動）させるのと同じ作用を生じさせつつ、撓み噛合部21，22と出力軸15，16の環状伝動部15ｂ，16ｂとの歯数差に応じた減速出力を出力軸15，16から出力させることができる。
【００２５】
このような本実施形態においては、複数の伝動経路を構成する複数組の入出力側の伝動軸が単一の回転運動伝動装置である本実施形態の装置に容易に接続可能であることから、従来のように複数の伝動経路を構成するために複数の回転運動伝動装置を設ける必要がなくなり、伝動系全体の構成をコンパクトにすることができ、しかも、低速、大トルクで高精度の減速出力を得ることができる。
【００２６】
また、第１および第２の入力軸13，14を同軸配置し、その軸方向で両軸の駆動手段であるモータ41，42を隣接配置していることから、駆動手段を分散させないよりコンパクトな装置とすることができる。
さらに、可撓性部材12によって入力側の空間31と出力側の空間30とが確実に仕切られることになるから、シール構造を有するきわめて簡素な装置とすることができる。さらに、第１および第２の入力軸13，14が可撓性部材12の一端側から他端側に向かって挿入され、第１および第２の出力軸15，16が可撓性部材12を取り囲むように配置されることから、シール構造を採用しながらも、第１および第２の入力軸13，14側と第１および第２の出力軸15,16側とをきわめて容易に結合および切離しすることができる。
＜第２の実施形態＞
図４および図５は本発明に係る回転運動伝動装置の第２の実施形態を示す図で、本発明を所謂スカラー型の産業用ロボットに適用した例を示している。なお、以下の説明においては、上述の実施形態と同一又は類似の構成要素についてはそれと同様の符号を用いて説明する。
【００２７】
本実施形態は、第１および第２の入力軸13，14側の空間50を大気圧の空間とし、出力軸側の空間51を半導体製造装置が設置された真空チャンバーとするもので、両空間50，51を仕切る室壁52に円筒体60が固定され、この円筒体60内に筒状支持部材61が軸方向に移動可能に設けられている。また、他方のモータ42が一方のモータ41およびブラケット43を介して筒状支持部材61に支持されており、一方および他方のモータ41，42は筒状支持部材61と共に室壁52に対し軸方向に移動するよう移動手段70によって移動される。この移動手段70は、例えば一端側で筒状支持部材61に連結されたラック部材71と、円筒体60に支持されるとともにラック部材71に係合する公知の直進駆動機構72とを備えており、ラック部材71に噛合する直進駆動機構72の図示しない出力部材によってラック部材71を筒状支持部材61と共に軸方向移動させるようになっている。なお、79は筒状支持部材61のフランジ部61ａと円筒体60の先端部の間に介装されたベローズであり、ベローズ79は筒状支持部材61の軸方向移動に伴って伸縮するとともに、円筒体60の内周部と筒状支持部材61の間を常時シールする機能を有している。
【００２８】
一方、出力側の空間51内には、第１および第２の入力軸13，14と共通の中心軸線Ｃ回りに回動可能な第１および第２の回動アーム81，82が設けられている。ここで第１の回動アーム81は第１の出力軸15の先端に一体的に連結された基端部81ａおよびボス部81ｂが形成された他端部81ｃを有しており、第２の回動アーム82は第１の回動アーム81のボス部81ｂに軸受92で回動自在に保持された基端プーリ部82ａと所定のワークに対応するハンド83を軸受93で回動自在に支持した他端部82ｂとを有している。また、第２の出力軸16の先端のプーリ部16ｃと第２の回動アーム82の基端プーリ部82ａとの径比は１：１で、これら第２の回動アーム82の基端プーリ部82ａと第２の出力軸16の先端のプーリ部との間にはタイミングベルト等の無端ベルト84が介装されている。そして、第１および第２の出力軸15，16のうち少なくとも一方が回転するとき、第２の回動アーム82は第１の回動アーム81に対し相対的に回転するか、若しくは第１の回動アーム81と共に筒状支持部材61の軸線回りに回動することができる。また、第１の回動アーム81のボス部81ｂとハンド83のプーリ部83ａとの間にはタイミングベルト等の無端ベルト91が介装されており、第２の回動アーム82が第１の回動アーム81に対し相対的に回動するとき、ハンド83は、例えば第１の回動アーム81のボス部81ｂとハンド83の回動軸部83ａとの径比又は歯数比（１：２）に応じてその向きを初期の向きに維持しつつ直線運動する。なお、この場合に各プーリ部16ｃ，82ａ，83ａの軸間距離Ｌ1，Ｌ2の比は１：１である。
【００２９】
このように構成された本実施形態の装置においては、第１および第２の入力軸13，14のうち任意の一方又は双方が回転するとき、非円形拡径部13ａ，14ａに当接する可撓性部材12の撓み噛合部21，22が非円形拡径部13ａ，14ａの回転に対応して撓み変形し、その可撓性部材12の撓み形状の変化に伴って、第１および第２の出力軸15，16のうち任意の一方又は双方が回転する。そして、第１および第２の出力軸15，16の同方向回転により、あるいは、逆方向回転又は片方のみの回転に伴う両者の相対回転によって、第１、第２の回動アーム81，82が回動する。また、必要に応じて、移動手段70により一方および他方のモータ41，42と筒状支持部材61とが室壁52に対し軸方向に移動されることで、第１および第２の出力軸15，16（複数の出力軸）が各々回転方向および軸方向に移動することになり、これによって、真空チャンバーである空間51内に設置された半導体製造装置に対し、ハンド83が所定の動作（例えばワークのロード、アンロード動作）をする。
【００３０】
ところで、本実施形態の場合、直線摺動部を用いることなくハンド83による直線的なワーク搬送等が可能になり、発熱等を抑えることができるが、真空チャンバー内で半導体製造装置の運転を継続するので、例えば真空チャンバー内が薄膜材料の堆積によって汚れるというような事が避けられず、定期的に真空チャンバーを開放して清掃やメンテナンスをする必要がある。そのとき、真空チャンバーである空間51が大気に曝されて室壁52の内面側に水蒸気等の気体分子が吸着されることから、そのまま空間51を封止して再度真空引きしようとても、その気体分子が平行状態を形成し、真空度を高めることができない。そこで、通常は、ベーキングにより真空チャンバー内の温度を上げて水蒸気等を極力放出してから、真空チャンバー内を真空引きする。
【００３１】
本実施形態では、大気圧下の空間50と真空チャンバーである空間51とを仕切る可撓性部材12がステンレス等の金属製であるから、前記ベーキングの温度を低くとも２００゜Ｃ、例えば高真空の得られる４００゜Ｃ程度にすることができる。
【００３２】
【実施例】
実施例としてステンレス製の可撓性部材12を作製し、これを、比較例で示す従来の各シール方式のものと比較するための試験を行った。
下表に示すように、実施例と比較例ではベーキング可能な上限温度が大幅に異なるため、実施例では真空チャンバーのベーキング温度を高くして真空度を十分に高めることができる。
【００３３】
また、下表に示すように、本実施形態は、ベーキング温度が高いのみでなく、他の特質項目においても優れている。
（以下余白）
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＜第３の実施形態＞
図６は本発明の第３の実施形態を示す図である。
【００３４】
本実施形態は、上述例の可撓性部材12とは異なる可撓性部材112を設けたもので、この可撓性部材112と第１および第２の入力軸13，14のそれぞれの非円形拡径部13ａ，14ａとの間には、この可撓性部材112と両非円形拡径部13ａ，14ａとの相対回転を許容する内側の可撓性の軸受部材121（転動部材）が介装されている。
【００３５】
可撓性部材112は歯を持たないカップ状のもので、その一端のフランジ部112ａが筒状支持部材11に固定されている。また、この可撓性部材112に放射外方から対向する第１および第２の出力軸115，116には非円形、例えば楕円形の環状伝動部115ａ，116ａが形成されており、可撓性部材112と第１、第２の出力軸115，116の環状伝動部115ａ，116ａとの間には、可撓性部材112と環状伝動部115ａ，116ａとの相対回転を許容するよう外側の可撓性の軸受部材122（転動部材）が介装されている。そして、第１および第２の入力軸13，14のうち任意の一方又は双方が回転するとき、環状伝動部115ａ，116ａに当接する可撓性部材112の特定撓み部位が入力軸13，14の非円形拡径部13ａ，14ａの回転に対応して撓みながらその撓み形状を順次変化させ、その撓み形状の変化（長径部が回転するような撓み形状の変化）に伴って、第１および第２の出力軸115，116のうち任意の一方又は双方が回転する。
【００３６】
本実施形態においても、可撓性部材112は、筒状支持部材11に固定された一端部112ａから他端部112ｂに向かって軸方向に延在するとともに、その他端部112ｂが筒状支持部材11内の入力側の空間と出力側の空間とを気密的に仕切るよう閉塞された有底の略円筒状となっている。また、第１の出力軸115は第１および第２の入力軸13，14と同軸に配置され、その円形伝動部115ａは第１の入力軸13の非円形拡径部13ａに対し可撓性部材112を挟んで放射方向に対向している。第２の出力軸116も同様に第１の出力軸115と同軸に配置され、その円形伝動部116ａは第２の入力軸14の非円形拡径部14ａを取り囲むとともにこれに対し可撓性部材112を挟んで放射方向に対向している。なお、その他の構成は第１の実施形態と同様であるので、第１の実施形態の構成要素と類似の符号を付し、重複説明しない。
【００３７】
上述のような構成によれば、入力回転と同じ回転を出力することのできる伝動装置となり、しかも、上述の実施形態と同様に、シール手段となる可撓性部材112が金属製であり、ある程度の高温まで加熱することができるので、真空減圧のために気体分子を放出させるベーキングを高温で行うことにより高真空を得ることができる。
【００３８】
なお、転動部材121，122は、摺動による発熱を避けるために転動要素を設けるのが好ましいという理由で設けられたものであり、必ずしも必要ではない。
＜第４の実施形態＞
図７は本発明の第４の実施形態を示す図である。
なお、本実施形態は、可撓性部材以外の構成を第１の実施形態とほぼ同様に構成したものであるので、第１の実施形態と同一構成の部材については図１〜３と同一の符号を付して説明する。
【００３９】
この回転運動伝動装置は、図７に示すように、円筒状内周面211ａを有し垂直壁201に取り付けられた筒状支持部材211と、この筒状支持部材211に一体的に固定されたフランジ状の一端部212ａから閉塞した他端部212ｂに向かって筒状支持部材211の軸方向に延在する金属製（例えばステンレス製）の可撓性部材212と、可撓性部材212の内周面212ｃ側に可撓性の軸受部材17を介して嵌装された非円形拡径部13ａ（例えば楕円形）を有する第１の入力軸13と、筒状支持部材211の軸方向で第１の入力軸13とは異なる位置にて可撓性部材212の内周面212ｄ側に可撓性の軸受部材18を介して嵌装された非円形拡径部14ａ（例えば図３に示すような楕円形の拡径部）を有する第２の入力軸14と、を備えている。この装置は、更に、第１および第２の入力軸13，14と同軸に配置された第１および第２の出力軸215，216を有しており、第１の出力軸215は第１の入力軸13の非円形拡径部13ａに対し可撓性部材212を挟んで放射方向に対向する環状伝動部215ａを有している。第２の出力軸216は、第２の入力軸14の非円形拡径部14ａに対し可撓性部材212を挟んで放射方向に対向する環状伝動部216ａを有している。
【００４０】
また、可撓性部材212は、第１および第２の入力軸13，14の非円形拡径部13ａ，14ａの近傍に、内周側で第１の入力軸13の非円形拡径部13ａに当接する外歯付きの第１の撓み噛合部221（第１の特定撓み部位）と、内周側で第２の入力軸14の非円形拡径部14ａに当接する外歯付きの第２の撓み噛合部222（第２の特定撓み部位）と、を有しており、これら第１および第２の撓み噛合部221，222の外歯の歯数はそれぞれに対応する環状伝動部215ａ，216ａの内歯の歯数よりわずかに（例えば１又は２だけ）少なくなっている。そして、第１および第２の入力軸13，14のうち任意の一方又は双方が回転するとき、非円形拡径部13ａ，14ａに当接する第１および第２の撓み噛合部221，222が非円形拡径部13ａ，14ａの回転に対応して撓み、その可撓性部材212の撓み形状の変化に伴って第１および第２の出力軸215，216のうち任意の一方又は双方が回転する。また、出力軸215，216のそれぞれの環状伝動部215ａ，216ａとこれらに対応するそれぞれの撓み噛合部21，22との歯数差に応じた減速比で、各入力軸13，14からの回転を減速した出力が各出力軸215，216から出力されるようになっている。
【００４１】
また、可撓性部材212は、二つのセグメント224，225を気密的に密着接合させて一体的な部品とされており、垂直壁201に形成された貫通穴201ａに対して同軸になるように垂直壁201に密着して取り付けられている。すなわち、可撓性部材212は筒状支持部材211の径方向内方で軸方向一方側の空間と軸方向他方側とを気密的に仕切るようになっている。
【００４２】
このように本実施形態の装置は、軸方向一方側から入力される回転運動を軸方向他方側に出力するとともに、軸方向一方側の空間と軸方向他方側の空間とを可撓性部材212によって気密的に仕切るようになっている。
さらに、可撓性部材212は、第１および第２の撓み噛合部221，222の間に両撓み噛合部221，222より高剛性に形成された剛性部223を有しており、剛性部223は可撓性部材212を構成する２つのセグメント224，225のフランジ部分224ａ，225ａを突き合わせて径方向に突出するように形成されている。この剛性部223は、セグメント224，225のフランジ部分224ａ，225ａによって第１および第２の撓み噛合部221，222よりも厚い厚肉の筒状部分として形成されており、更に径方向にも突出することで第１および第２の撓み噛合部221，222付近より剛性の高い（剛性係数の大きい）形状となっている。この剛性部223により、比較的薄肉の第１および第２の撓み噛合部221，222の間で第１および第２の入力軸13，14の非円形拡径部13ａ，14ａの回転に対応する楕円形状の撓みや変形、ねじれ等が相互に伝播されるのを実質的に阻止するようになっている。
【００４３】
このような構成によれば、第１および第２の撓み噛合部221，222の撓み変形を伴う伝動がそれぞれ他の撓み（他軸側の変形やねじれ等）の影響を受け難くなり、２軸のうち各軸の制御精度を高め、高精度の回転運動伝動装置とすることができる。しかも、可撓性部材212の剛性部223において２つのセグメント224，225のフランジ部分224ａ，225ａを突き合わせることができるので、セグメント224，225をシール部材を介しボルト締結したり接着したりすることにより密着接合させる際、その密着性および作業性に優れたものとなる。
【００４４】
なお、本実施形態においては、この可撓性部材212が気密的に密着接合された２つのセグメント224，225（２部品）から構成されているが、図８に示すように一体部品226から構成し、更にその可撓性部材226を筒状支持部材211と一体にして、より気密性に優れた装置を得ることもできる。
【００４５】
この回転運動伝動装置は、図９に示すように、円筒状内周面311ａを有する筒状支持部材311と、この筒状支持部材311に一体的に固定されたフランジ状の一端部312ａおよび閉塞した他端部312ｂを有する金属製の可撓性部材312と、可撓性部材312の第１内周面部312ｃに可撓性の軸受部材317を介して嵌装された非円形拡径部313ａ（例えば楕円形）を有する第１の入力軸313と、筒状支持部材311の軸方向で第１の入力軸313とは異なる位置にて可撓性部材312の第２内周面部312ｄに可撓性の軸受部材318を介して嵌装された非円形拡径部314ａを有する第２の入力軸314と、を備えている。この装置は、更に、第１および第２の入力軸313，314と同軸に配置された第１および第２の出力軸315，316を有しており、第１の出力軸315は第１の入力軸313の非円形拡径部313ａに対し可撓性部材312を挟んで放射方向に対向する内歯付きの環状伝動部315ａを、第２の出力軸316は第２の入力軸314の非円形拡径部314ａに対し可撓性部材312を挟んで放射方向に対向する内歯付きの環状伝動部316ａを、それぞれ有している。
【００４６】
また、可撓性部材312は、内周側で第１の入力軸13の非円形拡径部13ａに当接し外周側で環状伝動部315ａに部分的に噛合する外歯付きの第１の撓み噛合部321（第１の特定撓み部位）と、内周側で第２の入力軸314の非円形拡径部314ａに当接し外周側で環状伝動部316ａに部分的に噛合する外歯付きの第２の撓み噛合部322（第２の特定撓み部位）と、を有している。これら第１および第２の撓み噛合部321，322の外歯の歯数は、環状伝動部315ａ，316ａの歯数よりわずかに少なくなっている。そして、第１および第２の入力軸313，314のうち任意の一方又は双方が回転するとき、非円形拡径部313ａ，314ａに当接する第１および第２の撓み噛合部321，322が非円形拡径部313ａ，314ａの回転に対応して楕円形状の長軸方向を変化させるように撓み形状を変化させ、その可撓性部材312の撓み形状変化に伴って第１および第２の出力軸315，316のうち任意の一方又は双方が回転する。また、出力軸315，316のそれぞれの環状伝動部315ａ，316ａとこれらに対応するそれぞれの撓み噛合部321，322との歯数差、並びにこれらの歯数に応じた減速比で、各入力軸313，314からの回転を減速した出力が各出力軸315，316から出力されるようになっている。
【００４７】
また、可撓性部材312は、二つのセグメント324，325をそれらのフランジ部324ａ，325ａで気密的に密着接合させて一体的な部品とされ、筒状支持部材311の内方で軸方向一方側の空間と軸方向他方側の空間とを気密的に仕切るようになっている。すなわち、本実施形態の装置は、第１および第２の入力軸313，314うち何れかによって軸方向一方側から入力される回転運動を軸方向他方側の第１および第２の出力軸315，316によって出力するとともに、軸方向一方側の空間と軸方向他方側の空間とを可撓性部材312によって気密的に仕切るようになっている。
【００４８】
さらに、可撓性部材312は、第１および第２の撓み噛合部321，322の間に、両撓み噛合部321，322より厚く形成された剛性部323を有している。この剛性部323は、可撓性部材312の径方向に延在する板状部分323ａと、板状部分323ａに連結されて可撓性部材312の軸方向に延在する筒状部分323ｂ，323ｃと、を有している。そして、第１および第２の撓み噛合部321，322は、剛性部323の径方向の内外に離間するように同軸に配置されている。
【００４９】
この剛性部323は、第１および第２の撓み噛合部321，322より剛性係数が大きくなっており、比較的薄肉の第１および第２の撓み噛合部321，322の間で、第１および第２の入力軸313，314の非円形拡径部313ａ，314ａの回転に対応する楕円形状の撓みや変形、ねじれ等が伝播されるのを実質的に阻止するようになっている。
【００５０】
このような構成によれば、第１および第２の撓み噛合部321，322の撓み変形を伴う伝動がそれぞれ他の撓み（他軸側の変形やねじれ等）の影響を受け難くなるので、各軸で独立した制御精度を高めて高精度の装置を得ることができる。しかも、可撓性部材312の剛性部323において二つのセグメント324，325のフランジ部324ａ，325ａを突き合わせることができるので、両セグメント324，325の密着接合部を剛性部323として密着性および作業性に優れた高精度の装置とすることができる。
【００５１】
なお、本実施形態においては、この可撓性部材312が気密的に密着接合されたセグメント324，325から構成されているが、図１０に示すように一体部品326から構成し、更にその一体部品からなる可撓性部材326を筒状支持部材311と一体化して、より気密性に優れた装置を得ることもできる。
【００５２】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、複数の伝動経路を構成する複数組の入出力軸に容易に接続可能な回転運動伝動装置を提供することができ、しかも、可撓性部材によって入力側の空間と出力側の空間とを確実に仕切ることができ、シール構造を有するきわめて簡素な装置を提供することができる。
請求項２に記載の発明によれば、複数の入力軸の非円形拡径部とこれに対応するそれぞれの撓み噛合部との歯数差に応じた減速比で、各入力軸からの回転を減速した出力を得ることができ、複数の伝動経路において低速、大トルクの出力を容易に得ることのできる回転運動伝動装置を実現できる。
【００５３】
請求項３に記載の発明によれば、複数の入力軸から対応するそれぞれの出力軸に回転運動を等速に伝動するのできる回転運動伝動装置を実現できる。
【００５４】
請求項４に記載の発明によれば、入力軸を可撓性部材の一端側から他端側に向かって挿入するとともに、出力軸を可撓性部材の放射外方に位置させるので、入力軸側と出力軸側をきわめて容易に結合および切離しすることができ、更に、入力軸の駆動手段を分散させずコンパクトに設置することができる。
請求項５に記載の発明によれば、出力側又は入力側の空間を画成する室壁を設置して出力軸側の雰囲気を入力軸側に漏らさないようにすることができ、かつ、入力軸側と出力軸側を容易に結合および切離しできる。
【００５５】
請求項６に記載の発明によれば、第２の入力軸に第１の入力軸を収納する中空部を設けて第１および第２の入力軸を筒状支持部材と同軸に配置し、第２の出力軸が第１の出力軸を収納する中空部を設けて第１および第２の出力軸を筒状支持部材に同軸かつ回転自在に支持させるようにしたので、装置の入出力部の構成をよりコンパクトにすることができる。
【００５６】
請求項７に記載の発明によれば、筒状支持部材に支持されて第２の入力軸を駆動する中空の一方のモータと、該モータに対し筒状支持部材とは軸方向反対側に配置されて筒状支持部材に支持されて第１の入力軸を駆動する他方のモータと、出力側の空間内で第１および第２の出力軸の回転に応じて第１および第２の入力軸と共通の中心軸線回りに回動する第１および第２の回動アームとを更に備えているので、入力軸およびその駆動手段の構成をよりコンパクトにすることができる。
【００５７】
請求項８に記載の発明によれば、筒状支持部材を室壁に対し軸方向移動可能にしているので、複数の出力軸を各々回転方向および軸方向に移動させることのできる回転運動伝動装置を得ることができる。
さらに、請求項９に記載の発明によれば、第１および第２の特定撓み部位が、前記可撓性部材の径方向の内外に離間するよう同軸配置されているので、第１および第２の特定撓み部位を軸方向の同一又は近傍位置に配置した軸長の短いコンパクトな装置を得ることができる。
【００５８】
さらに、請求項１０に記載の発明によれば、可撓性部材の第１および第２の特定撓み部位の間に、該第１および第２の特定撓み部位より高剛性に形成された剛性部を設けて、該剛性部により、第１および第２の特定撓み部位の間で可撓性部材の撓みが伝播されるのを実質的に阻止するようにしているので、第１および第２の特定撓み部位の変形を伴う伝動がそれぞれ正確に行われるようにして、高精度の装置とすることができる。
【００５９】
請求項１１に記載の発明によれば、剛性部が第１および第２の特定撓み部位よりも厚く形成された厚肉筒状部分を有しているので、可撓性部材の肉厚を全体的には小さくしながら第１および第２の特定撓み部位の間に撓みの伝播を抑制する剛性部を容易に配置することができ、第１および第２の特定撓み部位の変形を伴う伝動がそれぞれ正確に行われるようにして高精度の装置を得ることができる。
【００６０】
請求項１２に記載の発明によれば、剛性部が、可撓性部材の径方向に延在する板状部分と、該板状部分に連結されて可撓性部材の軸方向に延在する筒状部分とを有しているので、剛性部を形状的にも高剛性にすることができ、可撓性部材の肉厚を全体的には小さくしながら第１および第２の特定撓み部位の間に撓みの伝播を抑制する剛性部を容易に配置することができる。また、板状部分をフランジ部として可撓性部材を接合の容易なセグメントに２分割することができ、可撓性部材の加工を容易化することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る回転運動電動装置の第１の実施形態を示す正面断面図である。
【図２】図１に示した第１の実施形態の要部を拡大した正面断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図４】本発明に係る回転運動電動装置の第２の実施形態を示す正面断面図である。
【図５】第２の実施形態の動作説明図である。
【図６】本発明に係る回転運動電動装置の第３の実施形態を示す正面断面図である。
【図７】本発明に係る回転運動電動装置の第４の実施形態を示す正面断面図である。
【図８】第３の実施形態の可撓性部材を一体部品とした場合の態様を示す正面断面図である。
【図９】本発明に係る回転運動電動装置の第５の実施形態を示す正面断面図である。
【図１０】第５の実施形態の可撓性部材を一体部品とした場合の態様を示す正面断面図である。
【符号の説明】
11    筒状支持部材
12    可撓性部材
13    第１の入力軸
13ａ，14ａ    非円形拡径部
14    第２の入力軸
14ｂ    中空部
15    第１の出力軸
15ａ    環状伝動部（伝動部）
16    第２の出力軸
16ａ    環状伝動部（伝動部）
16ｂ    中空部
17    可撓性の軸受部材
21    第１の撓み噛合部
21ａ，22ａ    外歯
22    第２の撓み噛合部
30    外部の空間（出力側の空間）
31    入力側の空間
32    室壁
41    中空の一方のモータ
42    他方のモータ
50    入力軸側の空間（大気圧の空間）
51    出力軸側の空間（真空チャンバー）
52    室壁
60    円筒体
61    筒状支持部材
70    移動手段
81    第１の回動アーム
82    第２の回動アーム
83    ハンド
112，212    可撓性部材
115，215    第１の出力軸
115ａ，116ａ，215ａ，216ａ    環状伝動部
116，216    第２の出力軸
121，221    内側の軸受部材（転動部材）
122，222    外側の軸受部材（転動部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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