(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャフトに所定間隔をあけて複数枚装着されたディスクがエンクロージャ内に収納されているディスク装置において、
前記ディスクのうちの一枚あるいは複数枚が、他のディスクよりも径大に形成され、
前記径大に形成したディスクを除くディスクの外周面に、前記シャフトと平行な方向に延伸する遮蔽体が形成されていることを特徴とするディスク装置。
【請求項２】
前記遮蔽体と前記エンクロージャの内壁面との間に隙間が形成されていることを特徴とする請求項１記載のディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ディスク等を装着したディスク装置に関し、より詳細には磁気ディスク装置に装着されている磁気ヘッド及び磁気ディスク等が空気流によって振動することを抑えたディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１６は一般的な磁気ディスク装置の内部構成を示す平面図である。１００は磁気ディスク装置のエンクロージャ、１０２は磁気ディスクである。１０４はアクチュエータ１０６により磁気ディスク１０２の平面と平行に揺動されるアームである。１０８はアーム１０４の先端に固定したサスペンションである。サスペンション１０８の先端には磁気ディスク１０２の平面に対向して磁気ヘッド１１０が取り付けられている。
【０００３】
図１７は磁気ディスク装置に設置されている磁気ディスク１０２を側面方向から見た図である。磁気ディスク１０２はシャフト１１２の軸線方向に複数枚設置され、磁気ヘッド１１０は各々の磁気ディスク１０２に対応して一つずつ配置されている。シャフト１１２はスピンドルモータに連結し、磁気ディスク１０２はモータ駆動によって回転される。
磁気ヘッド１１０は磁気ディスク１０２が静止している際には磁気ディスク１０２の表面に接触し、磁気ディスク１０２が回転するとともに磁気ディスク１０２の回転によって生じる空気流により磁気ディスク１０２の表面から浮き上がる。磁気ヘッド１１０によって情報を記録、再生するシーク動作は、アクチュエータ１０６によりアーム１０４が回転軸１０５を中心として回動駆動されることによってなされる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
磁気ディスク１０２は高速回転して情報の記録、再生を行うもので、エンクロージャ１００に侵入した塵埃はシーク動作に悪影響を与える。このため、エンクロージャ１００はフィルタによって外部から塵埃が侵入しないようシールドされ密閉された構造となっている。このようにエンクロージャ１００が密閉された空間になっていることと、シーク動作に際してアーム１０４、磁気ヘッド１１０が高速で揺動することから、磁気ディスク１０２が回転することによって生じる空気流はエンクロージャ１００の内部で散乱し一定の安定した流れにならない。
【０００５】
このような空気流の変動により、磁気ヘッド１１０が振動して磁気ディスク１０２の表面からの浮上量が規格範囲外となって情報の記録、再生に支障をきたしたり、磁気ディスク１０２の表面に衝突して媒体を損傷させてしまったり、サスペンション１０８が曲がってしまったり、磁気ヘッド１１０が損傷して装置がクラッシュしたりするといった問題が生じる。
磁気ディスク装置は、近年、ますます高密度化して記憶容量が増大するとともに、シーク動作が高速となり、また、磁気ディスク１０２の表面からの磁気ヘッド１１０の浮上量を高精度に設定する必要が生じてきていることから、磁気ディスク装置内での空気流の散乱によって磁気ヘッド１１０が振動することを防止する必要が高まってきている。
【０００６】
図１８は、磁気ディスク１０２が回転することによって生じる空気流による影響が磁気ヘッド１１０に及ばないようにするため、磁気ディスク１０２の外周囲に遮蔽体１２０を設けた従来例である。この従来例では、遮蔽体１２０の側面と磁気ディスク１０２の外側面との離間間隔を狭くすることによって、磁気ディスク１０２の相互間で空気が流通することを抑制し、これによって磁気ヘッド１１０の振動を抑えるようにしている。しかしながら、図１８に示すような遮蔽体１２０を設置した場合は、磁気ヘッド１１０の振動を抑制する作用は一定程度発揮されるものの、振動を減衰させる効果は必ずしも十分とは言い難い。
本発明は、上述した、磁気ディスク装置等において磁気ディスクの回転によって生じる空気流の散乱により磁気ヘッドが規格範囲外にまで振動することを防止し、より信頼性の高い磁気ディスク装置として提供するとともに、より高密度化、高速化を図ることができる磁気ディスク装置として提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、シャフトに所定間隔をあけて複数枚装着されたディスクがエンクロージャ内に収納されているディスク装置において、前記ディスクのうちの一枚あるいは複数枚が、他のディスクよりも径大に形成され、前記径大に形成したディスクを除くディスクの外周面に、前記シャフトと平行な方向に延伸する遮蔽体が形成されていることを特徴とする。
【０００８】
また、前記遮蔽体と前記エンクロージャの内壁面との間に隙間が形成されていることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施形態について、添付図面と共に詳細に説明する。
図１及び図２は本発明に係るディスク装置の実施形態としての磁気ディスク装置の本体及びカバーの構成を示す。１００ａはベース、１００ｂはカバーである。ベース１００ａは磁気ディスク１０２等の所要の部材を収納する箱形に形成されている。カバー１００ｂに設けられている嵌入孔１０６ｂは、アクチュエータのケース部を嵌入させるためのものである。カバー１００ｂをベース１００ａに装着することにより、磁気ディスク１０２等の各部材が本体内に密閉される。
【００１０】
本実施形態の磁気ディスク装置で特徴とする構成は、磁気ディスク１０２の外周囲に配置した遮蔽体２０の構成にある。すなわち、遮蔽体２０を磁気ディスク１０２の外側面にできるだけ接近させて配置して磁気ディスク１０２の外側面と遮蔽体２０との間隔を狭くするともに、磁気ディスク１０２の周方向に連通する隙間を設けている。図１に示す実施形態では、遮蔽体２０を断面形状でＵ字形に形成して隙間２０ａを形成している。
【００１１】
遮蔽体２０は磁気ディスク１０２の外周囲に配置するが、シーク動作の際にアーム１０４は磁気ディスク１０２の内周と外周との間を揺動するから、アーム１０４が揺動する範囲については遮蔽体２０を配置することができない。図１で、アーム１０４の揺動範囲については遮蔽体２０が配置されず、磁気ディスク１０２の側面は開放されている。
【００１２】
後述するように、遮蔽体２０は磁気ディスク１０２が高速回転することによって生じる空気流が磁気ディスク装置の内部で散乱することによって磁気ヘッド１１０を振動させる等の問題を抑えることを目的とするものである。遮蔽体２０と磁気ディスク１０２の外側面との間隔を狭くするのは、磁気ディスク１０２の上下方向に空気が流れることを抑制し、隙間２０ａを設けるのは磁気ディスク１０２の回転によって生じる空気流を周方向に導くことによって空気流の散乱を抑える目的がある。
【００１３】
遮蔽体２０によって空気の流れを磁気ディスク１０２の周方向に導く作用は、図３に示す磁気ディスク装置のように、遮蔽体２０が装置内で一周する連続した形態とすることによってさらに有効となる。隙間２０ａを一周する形態とすることにより、磁気ディスク１０２の回転によって周方向に生じる空気流は隙間２０ａ内で循環し、アーム１０４が揺動する範囲で磁気ディスク１０２の外周部分が遮蔽されないことによる空気流の乱れを低減させることができる。
【００１４】
図４、５は、磁気ディスク装置に上述したと同様の遮蔽体を設けた他の実施形態を示す。この磁気ディスク装置は、ベース１００ａを略平板状に形成し、カバー１００ｂを磁気ディスク１０２等の部材を収納する箱形に形成している。磁気ディスク１０２及びアーム１０４等の基本的な構成は上記実施形態と同様である。本実施形態では、遮蔽体２２をカバー１００ｂ側に装着し、カバー１００ｂをベース１００ａに装着した際に、磁気ディスク１０２の外周囲に遮蔽体２２が配置されるように形成している。遮蔽体２２は板体により円弧状に形成し、磁気ディスク１０２の外側面に近接して配置されるようにする。遮蔽体２２とカバー１００ｂの内壁面との間は空気流を流す隙間２２ａとなる。
【００１５】
図４に示す実施形態は、アーム１０４が揺動する範囲については遮蔽体２２を配置せず、遮蔽体２２を中途で欠除した形態としたものである。
これに対し、図６に示す実施形態は、遮蔽体２２をカバー１００ｂの内部で一周させて配置した例である。カバー１００ｂの内側面との間に完全に一周する隙間２２ａを形成することにより、隙間２２ａ内で空気流を循環させることができ、空気流の乱れを効果的に低減させることが可能となる。
【００１６】
上述したように、遮蔽体２０、２２は、磁気ディスク１０２が高速回転して生じた空気流が磁気ディスク装置内で散乱することにより磁気ヘッド１１０を揺動させるといった問題を防止することを目的としている。
本発明者は遮蔽体の効果的な構成を検討するため、磁気ディスク装置内における空気流の影響を検証する実験を行った。磁気ディスクが高速回転することによって生じる空気流は磁気ディスクの回転方向に生じるとされている。しかしながら、磁気ディスク装置は密閉空間に形成されているから、磁気ディスク装置内では空気流が磁気ディスクの回転方向に生じるとは限らない。
【００１７】
本発明者が磁気ディスク装置内における空気の輸送現象を検証する方法として行った方法は、磁気ディスク装置内に検証用のパウダーを入れて密閉した状態で磁気ディスクを回転させ、磁気ディスク装置内におけるパウダーの付着状態を観察する方法である。
まず、図１７に示す遮蔽体を使用していない磁気ディスク装置で検証実験を行った。実験条件は、磁気ディスク装置に装着されている乾燥剤を入れるケースに、乾燥剤にかえてベビーパウダー１ｇを入れ、カバーを装着した後、１０，０００ｒｐｍで６０分間磁気ディスクを回転させるというものである。実験で使用した磁気ディスク装置は図１に示す磁気ディスク装置で、磁気ディスクを５枚装着したものである。
【００１８】
この実験条件でのパウダーの付着状況を観察した結果、もっとも特徴的な点は、磁気ディスク装置の上側（カバー側）でのパウダーの付着量が、磁気ディスク装置の下側（モータ側）の付着量よりも極端に多いということである。
カバーの内面とベースの内面でのパウダーの付着を比較すると、磁気ディスクに対向するカバーの内面にはパウダーが白く付着しているのに対して、ベースの磁気ディスクに対向する内面にはほとんどパウダーの付着が見られなかった。
【００１９】
また、ベースからカバーに向けて一定間隔をあけて配置されている５枚の磁気ディスクについて各面でのパウダーの付着状況を調べると、ベース側の１枚目から４枚目の磁気ディスクについてはパウダーの付着量は僅かであり、１枚目から４枚目の順に全体としてパウダーの付着量が僅かずつ増えていることが観察された。これに対して、最上位の５枚目の磁気ディスクについては、ディスク全体としてのパウダーの付着量がその両面ともに大きく、とくにディスクの上面についてはほぼ全面に均一にパウダーが付着していた。
【００２０】
別の検証試験として、ベースの磁気ディスクを設置する底の位置にベビーパウダー１ｇを置き、磁気ディスクを装着して密閉した後、１０秒間、１０，０００ｒｐｍで磁気ディスクを回転してパウダーの付着状況を調べる実験を行った。
この試験によるパウダーの付着状況を見ると、カバーの内面にはほぼ全面にパウダーが付着し、ベースの内面にはほとんどパウダーが付着しないこと、磁気ディスクの各面を観察すると下側の磁気ディスクから上側の磁気ディスクになるほどパウダーの付着量が多くなること、最も上側の磁気ディスクでは上面の付着量が下面の付着量よりも多く、上面ではディスクの内周側での付着量が外周縁側よりも多くなることが観察された。ディスクの内周でのパウダーの付着量が多くなっているのはディスクの内周側での周速度が外周側での周速度よりも遅いためと考えられる。
【００２１】
これらの検証試験結果は、磁気ディスク装置内ではパウダーを下側から上側に引き上げる空気の輸送現象が生じていることを示すものと考えられる。空気は圧力の高い側から低い方に流れ、温度の高い側から低い側に流れる性質がある。上記の検証試験結果は、磁気ディスクが回転した際における磁気ディスク装置内では、磁気ディスク装置の下側（モータ側）よりも上側（カバー側）が圧力が低くなる圧力差が生じ、下側から上側へ向けて巻き上げるような空気の流れ（図１７に矢印で示す）が生じることを示すものと考えられる。したがって、このようなベース側からカバー側へ向けて巻き上げるような空気の流れを抑えることができれば、各磁気ディスクにおける空気流のばらつきを抑えることができ、磁気ヘッドに対する余分な振動等を抑えることが可能になると考えられる。
【００２２】
前述した磁気ディスク装置の実施形態で示した遮蔽体２０、２２はこのような磁気ディスク装置内における空気の輸送現象を考慮し、磁気ディスク装置の底面側からカバー側に向けて生じる巻き上げ方向の空気流を抑えることを目的とするものである。
図７〜１３は、磁気ディスク装置内における上記の巻き上げ方向の空気流を抑制する例を示す。遮蔽体はエンクロージャ１００と、磁気ディスク１０２との関係において装着する。したがって、これらの図ではエンクロージャ１００と磁気ディスク１０２との相対位置関係で遮蔽体２０を示している。
【００２３】
図７は上述した磁気ディスク装置での実施形態における遮蔽体の構成に対応する。図７に示す遮蔽体２０の構成において特徴とする構成は、遮蔽体２０の側面と磁気ディスク１０２の外側面との間隔を狭くし、磁気ディスク１０２の上下方向への空気の流れを抑制すること、遮蔽体２０の下端縁と磁気ディスクのエンクロージャ１００の底面とを若干離間させ、遮蔽体２０の内側に形成した隙間２０ａに気流が流れ込むようにすることにある。
図８に示す実施形態は、エンクロージャ１０の内壁面にブロック状の遮蔽体２４を設け、遮蔽体２４の側面と磁気ディスク１０２の外側面との間隔を狭く設定するとともに、遮蔽体２４の底面とエンクロージャ１００の底面との間に隙間２４ａを形成し、この隙間２４ａを磁気ディスク１０２の周方向に連通させたものである。遮蔽体の内側面と磁気ディスクの外側面との間隔は１ｍｍ程度である。
【００２４】
図１４は、図１に示す磁気ディスク装置に図７、８に示す遮蔽体２０を設けた場合について磁気ディスクを回転駆動した際の磁気ディスクの振動量（ＮＲＲＯの値）を測定した結果を示すグラフである。同図でグラフＡは図１７に示す従来例について、グラフＢは図１８に示す遮蔽体１２０を設けた従来例、グラフＣは図８に示すブロック状の遮蔽体２０を設けた実施形態、グラフＤは図７に示す遮蔽体２０を設けた実施形態に対応する。各々のＮＲＲＯ６σ値は、グラフＡ：２．９８６μｍ、グラフＢ：２．１２２３μｍ、グラフＣ：２．０６１μｍ、グラフＤ：１．２０７μｍである。これらの測定結果は、図７に示す遮蔽体２０を設けた磁気ディスク装置について磁気ディスクの振動量が大きく低減することを示す。
【００２５】
また、前述したパウダーを用いた空気流の検証試験と同様の試験を図７、図８、図１８に示す磁気ディスク装置について行った。図１８に示す磁気ディスク装置では、最上面の磁気ディスクの内周面にパウダーが付着することが観察され、図８に示す磁気ディスク装置では、最上面の磁気ディスクに僅かにパウダーが付着することが観察された。また、図７に示す磁気ディスク装置では最上面の磁気ディスクにはほとんどパウダーが付着していなかった。この検証試験から、図７に示す磁気ディスク装置では前述したエンクロージャ１００の底面から上面方向に巻き上げる気流が効果的に抑制されているものと考えられる。また、図８、１８に示す構成の場合も一定程度の巻き上げ気流を抑制する効果が作用しているものと考えられる。
【００２６】
図９〜１１は、巻き上げ気流を抑制する作用を奏する他の実施形態を示す。これらの実施形態では、エンクロージャ１００の最も底面に近い最下位位置の磁気ディスク１０２ａの径寸法を他の磁気ディスク１０２の径寸法よりも大きく設定し、磁気ディスク１０２ａの外側面がエンクロージャ１００の内側面に接近するように設定したことを特徴とする。このように１枚目の磁気ディスク１０２ａの外側面がエンクロージャ１００の内側面に近接するように配置することによって、エンクロージャ１００の底面側から上面側に向けて生じる巻き上げ気流を抑えることを目的としている。
【００２７】
図９に示す実施形態は、遮蔽体をとくに設けず、１枚目の磁気ディスク１０２を大径に形成した例である。図１０、１１に示す実施形態は、１枚目の磁気ディスク１０２ａを大径に形成するとともに、遮蔽体２６、２８を設けた例である。磁気ディスク１０２ａの外側面とエンクロージャ１００の内側面との間隔は１ｍｍ程度である。図１０に示す磁気ディスク装置では、ブロック状に形成した遮蔽体２６を使用し、図１１に示す磁気ディスク装置では、エンクロージャ１００の内壁面との間に隙間２８ａを設けた遮蔽体２８を使用している。遮蔽体２６及び遮蔽体２８は、エンクロージャ１００の底面との間に１枚目の磁気ディスク１０２ａの外周縁部を通過可能とすべくエンクロージャ１００の底面から一定間隔離間させて配置する。遮蔽体２６とエンクロージャ１００の底面との間隙部分は空気の流路としての作用も有する。２枚目から５枚目の磁気ディスク１０２の外側面と遮蔽体２６、２８の側面との間隔を狭く設定することは上記実施形態と同様である。
【００２８】
図１５は、図９、１０、１１に示す磁気ディスク装置の実施形態について磁気ディスクを回転駆動した際の磁気ディスクの振動量（ＮＲＲＯの値）を測定した結果を示すグラフである。同図でグラフＢは図１８に示す従来例について、グラフＥ、Ｆ、Ｇは、各々図９、１０、１１に示す実施形態の磁気ディスク装置についての測定結果を示す。各々のＮＲＲＯ６σ値は、グラフＢ：２．１２２３μｍ、グラフＥ：１．６６０μｍ、グラフＦ：１．６９８μｍ、グラフＧ：１．５８１μｍである。これらの測定結果から、図９〜１１に示す実施形態の磁気ディスク装置によれば、磁気ディスクの振動が効果的に抑制できていることがわかる。
【００２９】
また、図９〜１１に示す磁気ディスク装置について、前述したパウダーを用いた空気流の検証試験と同様の試験を行った。その結果、いずれの実施形態の場合も、最上面の磁気ディスクに付着するパウダーの量はわずかであり、とくに、図１１に示す実施形態では、最上面の磁気ディスクにはほとんどパウダーが付着しないことが確かめられた。
このように、大径に形成した磁気ディスク１０２ａを使用するだけでも、エンクロージャ１００の底面からカバー側に向かう巻き上げ気流を効果的に抑制することができる。
【００３０】
図１２、１３は磁気ディスク装置のさらに他の実施形態の構成を示す。これらの実施形態では、エンクロージャ１００の底面に最も近い１枚目の磁気ディスク１０２ａと、カバーに最も近い５枚目の磁気ディスク１０２ｂとを他の磁気ディスク１０２よりも大径に形成し、これら磁気ディスク１０２ａ、１０２ｂの外側面とエンクロージャ１００の内側面とを近接させて配置したことを特徴とする。
【００３１】
図１２の磁気ディスク装置は、１枚目と５枚目の磁気ディスク１０２ａ、１０２ｂの中間にブロック状の遮蔽体３０を設けた例、図１３の磁気ディスク装置は、１枚目と５枚目の磁気ディスク１０２ａ、１０２ｂとの間にエンクロージャ１００の内壁面との間に隙間３２ａを形成した遮蔽体３２を設けた例である。遮蔽体３０とエンクロージャ１００の底面との間の隙間３０ａは空気の流路としても作用する。遮蔽体３２は図１３に示すようにエンクロージャ１００の底面に対向する側が開放する。
もちろん、図１２、１３に示す実施形態において遮蔽体３０、３２を設けずに、１枚目と５枚目の磁気ディスク１００ａ、１００ｂを径大にするのみでも有効である。
【００３２】
【表１】
0003728169.tif 000002
表１は図７〜１１に示す磁気ディスク装置と、図１７、１８に示す従来の磁気ディスク装置について、磁気ディスクの振動量、媒体に与えるキズ、サスペンションの変形、クラッシュ等の問題を評価して表したものである。Ａ〜Ｇは図１４及び図１５に示したＡ〜Ｇの測定対象に対応している。
表１からわかるように、Ａ〜Ｇの態様のうち、態様Ｄすなわち図７に示す磁気ディスク装置の構成がもっとも効果的であり、態様Ｅ、Ｆ、Ｇがこれに次ぐ。態様Ｃも一定程度の効果が認められる。
【００３３】
なお、上記各実施形態では、エンクロージャ１００とは別体に遮蔽体２０、２２等を設けたが、遮蔽体２０、２２等は必ずしもベース１００ａあるいはカバー１００ｂと別体に設けなければならないものではない。すなわち、ベース１００ａ、カバー１００ｂを形成する際に遮蔽体２０、２２等を一体に形成してもよい。本明細書で遮蔽体という場合は、エンクロージャ１００とは別体に形成したものも一体に形成したものも共に含むものである。
また、本発明に係るディスク装置は、シャフト１１２に磁気ディスク１０２を固定したタイプの製品にも、シャフト１１２に磁気ディスク１０２を交換してセットできる製品についても適用することができる。
【００３４】
本発明によれば、上述したように、シャフトに所定間隔をあけて複数枚装着されたディスクがエンクロージャ内に収納されているディスク装置において、前記ディスクのうちの一枚あるいは複数枚が、他のディスクよりも径大に形成され、前記径大に形成したディスクを除くディスクの外周面に、前記シャフトと平行な方向に延伸する遮蔽体が形成されていることによって、磁気ディスクの回転時に磁気ディスクに生じる振動を効果的に抑えることができ、磁気ディスクを高速回転した際における高精度の情報の再生・記録を可能とする。また、磁気ヘッドの振動等を抑えることができることから、磁気ヘッドが磁気ディスクの表面に衝突したり、磁気ディスク装置がクラッシュしたりすることを防止し、信頼性の高いディスク装置として提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】磁気ディスク装置の本体部分の構成を示す斜視図である。
【図２】磁気ディスク装置のカバー部分の構成を示す斜視図である。
【図３】遮蔽体を連通させた磁気ディスク装置の構成を示す斜視図である。
【図４】カバーに遮蔽体を設けた磁気ディスク装置の構成を示す斜視図である。
【図５】磁気ディスク装置の本体部分の構成を示す斜視図である。
【図６】遮蔽体を一周させて設けたカバーの構成を示す斜視図である。
【図７】隙間を有する遮蔽体を設けた磁気ディスク装置の構成を示す説明図である。
【図８】ブロック状の遮蔽体を設けた磁気ディスク装置の構成を示す説明図である。
【図９】大径の磁気ディスクを装着した磁気ディスク装置の構成を示す説明図である。
【図１０】ブロック状の遮蔽体を設けた磁気ディスク装置の構成を示す説明図である。
【図１１】隙間を有する遮蔽体を設けた磁気ディスク装置の構成を示す説明図である。
【図１２】上下の磁気ディスクを大径に形成した磁気ディスク装置の構成を示す説明図である。
【図１３】上下の磁気ディスクを大径に形成した磁気ディスク装置の他の構成を示す説明図である。
【図１４】磁気ディスクの振動量を測定した結果を示すグラフである。
【図１５】磁気ディスクの振動量を測定した結果を示すグラフである。
【図１６】磁気ディスク装置の従来の構成を示す平面図である。
【図１７】従来の磁気ディスク装置における磁気ディスクの配置を示す側面図である。
【図１８】従来の磁気ディスク装置における磁気ディスクの配置を示す側面図である。
【符号の説明】
２０、２２、２４、２６、２８、３０、３２  遮蔽体
２０ａ、２２ａ、２４ａ、２６ａ、２８ａ、３０ａ、３２ａ  隙間
１００  エンクロージャ
１００ａ    ベース
１００ｂ    カバー
１０２、１０２ａ、１０２ｂ  磁気ディスク
１０４  アーム
１０６  アクチュエータ
１０８  サスペンション
１１０  磁気ヘッド
１１２  シャフト
１２０  遮蔽体
【図１】
0003728169.tif 000003
【図２】
0003728169.tif 000004
【図３】
0003728169.tif 000005
【図４】
0003728169.tif 000006
【図５】
0003728169.tif 000007
【図６】
0003728169.tif 000008
【図７】
0003728169.tif 000009
【図８】
0003728169.tif 000010
【図９】
0003728169.tif 000011
【図１０】
0003728169.tif 000012
【図１１】
0003728169.tif 000013
【図１２】
0003728169.tif 000014
【図１３】
0003728169.tif 000015
【図１４】
0003728169.tif 000016
【図１５】
0003728169.tif 000017
【図１６】
0003728169.tif 000018
【図１７】
0003728169.tif 000019
【図１８】
0003728169.tif 000020