(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を放射するレーザ発振器と、前記レーザ光を被加工物に導く光学系を備え、前記光学系として音響光学変換素子を有し、前記レーザ発振器を駆動する駆動パルスのパルスｄｕｔｙに応じて前記音響光学変換素子を駆動するＲＦ信号をＦＭ変調することにより前記音響光学変換素子の回折角度を制御する制御部を設けたレーザ加工装置。
【請求項２】
レーザ発振器から被加工物へレーザ光を導く光学系の音響光学変換素子へ、ＲＦ信号を入力して回折レーザ光を出力する際、レーザ発振器を駆動する駆動パルスのパルスｄｕｔｙに応じて前記音響光学変換素子を駆動するＲＦ信号をＦＭ変調することにより前記音響光学変換素子の回折角度を制御するレーザ加工方法。
【請求項３】
レーザ光を放射するレーザ発振器と、前記レーザ光を被加工物に導く光学系を備え、前記光学系は複数のレンズからなるテレスコープと前記複数のレンズの間における焦点位置に配置した音響光学変換素子で構成し、かつ前記レーザ発振器を駆動する駆動パルスのパルスｄｕｔｙに応じて前記音響光学変換素子を駆動するＲＦ信号をＦＭ変調することにより前記音響光学変換素子の回折角度を制御する制御部を設けたレーザ加工装置。
【請求項４】
レーザ光を放射するレーザ発振器と、前記レーザ光を被加工物に導く光学系を備え、前記光学系として音響光学変換素子を有し、前記音響光学変換素子の動作信号として入力するＲＦ信号をアナログ変調する制御部および前記レーザ発振器を駆動する駆動パルスのパルスｄｕｔｙに応じて前記音響光学変換素子を駆動するＲＦ信号をＦＭ変調する制御部とを設けたレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被加工物にレーザ光を照射して加工するレーザ加工装置とその加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のレーザ加工装置は、外部光学系の構成を示す図７のように、１はレーザ発振器、２はレーザ光１０５の光路上に配置し、レーザ光１０５が入射する音響光学変換素子、３は音響光学変換素子２がレーザ光１０５を回折およびそのまま透過させるため、音響光学変換素子２に高周波出力（以下ＲＦ信号という）１０４を印可してＯＮ・ＯＦＦ制御する高周波電源（以下ＲＦ電源という）、４はｆθレンズ、５は被加工物、６はレーザ発振器１とＲＦ電源をＯＮ／ＯＦＦ駆動する駆動タイミング信号（駆動パルス）１０１、１０２を出力するレーザ制御回路、９は反射ミラーである。
【０００３】
上記構成において、レーザ発振器１から出力されるレーザ光１０５は、断続的に出力されて音響光学変換素子２に入力される。この音響光学変換素子２にはＲＦ電源３がＯＦＦの時、ＲＦ信号１０４が出力されないのでレーザ光１０５をそのまま透過して透過レーザ光１０６となり、またＲＦ電源３がＯＮの時、ＲＦ信号１０４が出力されるのでレーザ光１０５をそのまま透過させずに回折して回折レーザ光１０７となる。この回折レーザ光１０７は反射ミラー９で反射されｆθレンズ４で補正されて被加工物５の所定位置に照射され孔あけ等の加工を行うのである。
【０００４】
前記音響光学変換素子２で回折した回折レーザ光１０７は、その透過回折角θが、θ＝λ×ｆｃ／ｖで表される。ここで、λは音響光学変換素子２を透過するレーザ光１０５の波長、ｆｃはＲＦ電源３の周波数、ｖは音響光学変換素子２内の音速である。
【０００５】
一方、このような動作を音響光学変換素子２にさせるＲＦ電源３は、レーザ発振器１と同期してレーザ制御手段６に制御されており、１μｓｅｃ以下の高速でデジタル的にＯＮ／ＯＦＦ出力した場合、ＲＦ信号の立上がり時間ｔｒ、立下り時間ｔｆは入射するレーザ光の径ｄと音響光学変換素子２内の音速ｖが与えられ、ｔｒ＝ｔｆ＝ｄ／ｖとなる。また、音響光学変換素子２に入射するレーザ光１０５の光径は、約６ｍｍであることから、ｔｒ＝ｔｆ＝約１μｓｅｃである。
【０００６】
以上のことから回折レーザ光１０７は、１μｓｅｃ程度の立上がり、立下りの時間で高速に得られるので、この性質を利用して音響光学変換素子２でレーザ光の波尾をカットした短いパルスのレーザ光を用いてレーザ加工を行っていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成ではレーザ光のパルス周波数を大きくすると、音響光学変換素子２に吸収される熱量も増大して音響光学変換素子２が発熱、膨張し屈折率が増大することにより、凸レンズの作用（熱レンズ効果）となって加工点でのレーザビームの品質が変わり、結果として被加工物の加工形状が変化してしまう問題点を有していた。一方、この問題を解決するため、パルスが一定であれば音響光学変換素子２の熱レンズ効果を考慮に入れた光学系を構成すればよいのであるが、前記パルスはランダムであるため熱レンズ効果の量が変化するため光学系において、被加工物の加工形状の変化を補正するのは非常に困難を伴うものである。
【０００８】
また、発熱によるレーザ発振器自体のレーザ光出射方向の変動で被加工物の加工点の位置ずれが生じる問題も有していた。
【０００９】
さらに、ＲＦ電源３により音響光学変換素子２をＯＮ／ＯＦＦ制御して積層基板等の被加工物に加工した孔は、積層基板の上下面を貫通し略直角にあけられるが、後処理で行うメッキがのりにくい、例えば積層基板の上下面の導電膜を電気的に接続するため、メッキを積層基板の上面側から孔に施しても略直角なため、孔の下側ではメッキがのりにくく積層基板の下面の導電膜との接続が不完全になる等の問題点を有していた。
【００１０】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、レーザ光のビームの品質が安定した加工信頼の高いレーザ加工装置およびその加工方法を提供するものである。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項１に記載の発明は、レーザ光を放射するレーザ発振器と、前記レーザ光を被加工物に導く光学系を備え、前記光学系として音響光学変換素子を有し、前記レーザ発振器を駆動する駆動パルスのパルスｄｕｔｙに応じて前記音響光学変換素子を駆動するＲＦ信号をＦＭ変調することにより前記音響光学変換素子の回折角度を制御する制御部を設けたレーザ加工装置である。
【００２７】
上記手段において、レーザ発振器を駆動する駆動パルスのパルスｄｕｔｙに応じて音響光学変換素子を駆動するＲＦ信号を制御部がＦＭ変調し、回折レーザ光の回折角度を制御するので、レーザ発振器におけるレーザ光の出射角度の不安定性を抑制する作用を有する。
【００２８】
請求項２に記載の発明は、レーザ発振器から被加工物へレーザ光を導く光学系の音響光学変換素子へ、ＲＦ信号を入力して回折レーザ光を出力する際、レーザ発振器を駆動する駆動パルスのパルスｄｕｔｙに応じて前記音響光学変換素子を駆動するＲＦ信号をＦＭ変調することにより前記音響光学変換素子の回折角度を制御するレーザ加工方法である。
【００２９】
上記方法において、音響光学変換素子へ動作信号としてＲＦ信号を入力して回折レーザ光を出力するのに、レーザ発振器を駆動する駆動パルスのパルスｄｕｔｙに応じて前記音響光学変換素子を駆動するＲＦ信号をＦＭ変調するので、レーザ発振器におけるレーザ光の出射角度の不安定性を抑制する作用を有する。
【００３０】
請求項３に記載の発明は、レーザ光を放射するレーザ発振器と、前記レーザ光を被加工物に導く光学系を備え、前記光学系は複数のレンズからなるテレスコープと前記複数のレンズの間における焦点位置に配置した音響光学変換素子で構成し、かつ前記レーザ発振器を駆動する駆動パルスのパルスｄｕｔｙに応じて前記音響光学変換素子を駆動するＲＦ信号をＦＭ変調することにより前記音響光学変換素子の回折角度を制御する制御部を設けたレーザ加工装置である。
【００３１】
上記手段において、光学系またはテレスコープの焦点位置での回折レーザ光は、その径が非常に小さいため、前記焦点位置での音響光学変換素子に熱レンズ効果が生じても、その影響が僅かになり、レーザ光のビームの変化を抑制し被加工物の加工形状の変化を防止する作用を有するとともに、レーザ発振器を駆動する駆動パルスのパルスｄｕｔｙに応じて音響光学変換素子を駆動するＲＦ信号を制御部がＦＭ変調し、回折レーザ光の回折角度を制御するので、レーザ発振器におけるレーザ光の出射角度の不安定性を抑制する作用を有する。
【００３２】
請求項４に記載の発明は、レーザ光を放射するレーザ発振器と、前記レーザ光を被加工物に導く光学系を備え、前記光学系として音響光学変換素子を有し、前記音響光学変換素子の動作信号として入力するＲＦ信号をアナログ変調する制御部および前記レーザ発振器を駆動する駆動パルスのパルスｄｕｔｙに応じて前記音響光学変換素子を駆動するＲＦ信号をＦＭ変調する制御部とを設けたレーザ加工装置である。
【００３３】
上記手段において、音響光学変換素子の動作信号として入力するＲＦ信号を制御部が変調するので、前記ＲＦ信号に応じて回折レーザ光の波形も制御され、例えば加工孔の形状も制御できる作用を有し、また上記した請求項１に記載の発明の手段と同じ作用を有する。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下本発明のレーザ加工装置およびその加工方法につき、図１〜図６を用いて説明する。
【００４０】
（参考例１）
図１は、本発明の参考例におけるレーザ加工装置のブロック図である。なお、従来の技術と同じ作用効果を奏する構成要素には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、異なる処を中心に説明する。
【００４１】
７はレーザ発振器１からのレーザ光１０５を被加工物５に導く光学系を構成するテレスコープの２枚の凸レンズで、この凸レンズ間の焦点位置に音響光学変換素子２を配置している。
【００４２】
上記構成において、レーザ発振器１から出力されるレーザ光１０５は、レーザ制御回路６の駆動タイミング信号１０１により断続的に出力されて一方の凸レンズ７を通り音響光学変換素子２に入力される。この音響光学変換素子２は、レーザ制御回路６によりＲＦ電源３がＯＦＦの時、ＲＦ信号１０４が入力されないのでレーザ光１０５をそのまま透過して透過レーザ光１０６とし、またレーザ制御回路６によりＲＦ電源３がＯＮの時、ＲＦ信号１０４が入力されるのでレーザ光１０５をそのまま透過させずに回折した回折レーザ光１０７とする。この回折した回折レーザ光１０７は、テレスコープの他方の凸レンズ７を通り反射ミラー９で反射されｆθレンズ４で補正されて被加工物５の所定位置に照射され目的の加工を行うのである。
【００４３】
そして、音響光学変換素子２は従来技術で説明したように熱レンズ効果が発生し、凸レンズの作用をすることになるが、回折レーザ光１０７のテレスコープの焦点位置での光径は非常に小さいため、斯かる回折レーザ光に対する熱レンズ効果は僅かなものとなる。
【００４４】
すなわち、音響光学変換素子２に熱レンズ効果が発生することは、凸レンズをテレスコープの焦点位置に配置したことと同じことになる。仮に、テレスコープの焦点位置に凸レンズを配置した場合と、配置しない場合とを考えると、凸レンズを配置した場合は音響光学変換素子に熱レンズ効果が発生している場合に相当し、凸レンズを配置しない場合は音響光学変換素子に熱レンズ効果が発生していない場合に相当することになる。
【００４５】
そして、回折レーザ光１０７のテレスコープの焦点位置での光径は非常に小さいため、前記焦点位置に凸レンズを配置した場合と配置しない場合とでテレスコープを通過したレーザ光を比較すると変化は非常に小さくなる。従って、本参考例では音響光学変換素子２を、光学系のテレスコープの焦点位置に配置しているので、レーザ光に対する音響光学変換素子２の熱レンズ効果は僅かなものとなり、レーザ光のビーム品質の変化も極力低減することができ、また、レーザ発振器１の運転状態に関係なく被加工物の加工品質も良好にできる。
【００４６】
なお、本参考例では２枚の凸レンズで構成した光学系のテレスコープの焦点位置に音響光学変換素子を配置したが、レーザ光を被加工物に導く光学系の焦点位置に音響光学変換素子を配置すればよいものである。
【００４７】
（参考例２）
図２は、本発明の参考例におけるレーザ加工装置のブロック図で、図３は前記ブロック図における各信号のタイミングチャートである。本参考例は、音響光学変換素子にＲＦ信号を入力するＲＦ電源をアナログ制御する制御部を設けた点が参考例１と異なり、同じ作用効果を奏する構成要素には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、異なる処を中心に説明する。
【００４８】
８は音響光学変換素子２にＲＦ信号１０４を入力するＲＦ電源３をアナログ制御する制御部としての変調回路で、レーザ制御回路６とＲＦ電源３との間に接続している。なお、図２のブロック図に示した各信号１０１〜１０７は、図３に示すタイミングの関係にあるもので、１０１はレーザ発振器１をＯＮ／ＯＦＦ駆動する駆動タイミング信号（駆動パルス）で、１０２はＲＦ電源３をＯＮ／ＯＦＦ駆動する駆動タイミング信号で、１０３はＲＦ電源３をアナログ制御するアナログ信号で、１０４はＲＦ電源３から出力されるＲＦ信号で、１０５はレーザ発振器１から出力されるレーザ光である。また、１０６はレーザ光１０５が音響光学変換素子２をそのまま透過した透過レーザ光で、１０７は音響光学変換素子２で回折した回折レーザ光である。
【００４９】
上記構成において、動作を図３に示すタイミングチャートを用いて説明する。レーザ発振器１は、レーザ光の出力するタイミング指令である駆動タイミング信号１０１をレーザ制御回路６より入力されてレーザ光１０５を出射する。そして、このレーザ光１０５は、駆動タイミング信号１０１に対して立上がり時に遅れが発生し、また立下り時には直ぐに零にならず徐々に低下して零になり波尾が発生する。
【００５０】
この波尾の時間は、レーザ発振器１の特性に大きく左右され、数１０μｓｅｃ〜数１００μｓｅｃである。ただ、同一のレーザ発振器であれば、遅れ時間ｔｄおよび波尾の時間（レーザ光の立下りにおける出力波形部分）ｔｗはパルス毎で略同一であるので、音響光学変換素子２の駆動タイミング信号１０２をレーザ発振器１の駆動タイミング信号１０１と同期させて立上がりの遅れ時間だけ確保してやればよい。
【００５１】
このようにした音響光学変換素子２の駆動タイミング信号１０２は、変調回路８に入力され、そして立下りの部分だけスロープをつけたアナログ信号１０３に変調されてＲＦ電源３に入力される。前記ＲＦ電源３はアナログ信号１０３の波高値に応じてＲＦ信号１０４を出力して音響光学変換素子２に入力する。一方、テレスコープの焦点位置に配置した音響光学変換素子２に入射したレーザ光１０５は、音響光学変換素子２に入力されたＲＦ信号１０４の波高値に応じた回折レーザ光１０７となって音響光学変換素子２から出力され、テレスコープの他方の凸レンズ７を通り反射ミラー９で反射されｆθレンズ４で補正されて被加工物５の所定位置に照射され目的の加工を行うのである。
【００５２】
以上のような構成および制御方法を用いることにより、レーザ光の立下りの波尾を、略０〜レーザ発振器１の出力するレーザ光１０５がもつ波尾まで調整が可能になる。また、レーザ光の立下りの波尾と被加工物５に加工した孔の傾斜角度との相関は一義的に決まるものであることが既に明らかになっており、従って前記波尾を上記したようにアナログ制御してレーザ光の立下りのパワーを調整してやることにより、必要な加工孔の傾斜角度を得ることができる。
【００５３】
例えば、積層基板の上下面の導電膜を電気的に接続するため、積層基板の上下面を貫通する孔を加工し、後処理でメッキを前記加工孔に施して上下面の導電膜を電気的に接続する場合、前記加工孔の傾斜角度を、下面へ近くなるほど加工孔の中心側へ徐々による傾斜にして略逆台形状の加工孔にし、施したメッキが加工孔の傾斜面によって上から下まで均一にのり、上下面の導電膜を電気的に確実に接続できる。つまり、加工後のメッキ処理が容易になる。
【００５４】
以上のように本参考例は、変調回路である制御部によりＲＦ電源を介して音響光学変換素子をアナログ制御することにより、レーザ光の波形を制御できて目的に応じた加工形状にできる。
【００５５】
（実施の形態）
図４は、本発明における一実施例のレーザ加工装置のブロック図である。本実施の形態は、参考例２に周波数可変ＲＦ電源およびこのＲＦ電源の周波数を設定する変換回路を付加したものであり、参考例２と同じ作用効果を奏する構成要素には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、異なる処を中心に説明する。
【００５６】
３０は周波数可変ＲＦ電源、１１１は周波数可変ＲＦ電源３０とレーザ制御回路６の間に接続したＦＭ変調する制御部としての変換回路で、ＲＦ電源周波数設定信号１１０を周波数可変ＲＦ電源３０に出力する。
【００５７】
上記構成において、一般にレーザ発振器１は駆動条件によりレーザ発振器内部の発熱量が変化し、光共振器のゆがみ等が発生し、レーザ光１０５の出射方向が変化してしまい、結果的に加工孔の位置精度が悪化してしまうのである。このようにレーザ光の出射方向の変化は、レーザ発振器内部の発熱量に依存することから、パルスｄｕｔｙを監視することでレーザ光の出射角度の変化量を推定することができる。
【００５８】
このレーザ光の出射角度の変化は、レーザ発振器内部の発熱による光共振器のゆがみによることから応答速度は秒単位であるため、パルスｄｕｔｙも秒単位で平均化したものとする。従って、このレーザ光の出射角度の応答速度とパルスｄｕｔｙの検出速度を一致させなければ、レーザ光の出射角度の補正が正しく行なわれず、逆に加工孔の位置精度を悪化させる場合もあるので、レーザ光の出射角度の応答速度とパルスｄｕｔｙの検出速度を一致させることは非常に重要になる。
【００５９】
そこで本実施の形態では、ＦＭ変調する制御部としての変換回路１１１により、レーザ制御回路６よりレーザ発振器１と同じ駆動タイミング信号１０１を受信し、前記のようにレーザ光の出射角度の応答速度と略同一の検出速度で電源周波数設定信号１１０を得て周波数可変ＲＦ電源３０に出力する。この周波数可変ＲＦ電源３０には、音響光学変換素子２の駆動タイミング信号１０２に変調回路８で変調をかけたアナログ信号１０３も入力される。アナログ信号１０３は周波数可変ＲＦ電源３０におけるＲＦ信号１０４の出力を決定するものであり、そして電源周波数設定信号１１０は周波数可変ＲＦ電源３０におけるＲＦ信号１０４の周波数を決定するものである。
【００６０】
音響光学変換素子２を回折した回折レーザ光の透過回折角θは、θ＝λ×ｆｃ／ｖで表される。ここで、λは音響光学変換素子２を透過するレーザ光の波長、ｆｃは周波数可変ＲＦ電源３の周波数、ｖは音響光学変換素子２内の音速である。つまり、ＲＦ信号１０４の周波数ｆｃを制御することにより、回折レーザ光の透過回折角を制御することができて、レーザ発振器１からのレーザ光の出射角度の変化を補正することができるのである。また、変調回路８により、上記した参考例２における作用効果も当然、期待できるものである。
【００６１】
このようにレーザ発振器の駆動パルス信号のパルスｄｕｔｙにより音響光学変換素子２のＲＦ入力をＦＭ変調し回折レーザ光の回折角を制御することにより、レーザ発振器におけるレーザ光の出射角度の不安定性を抑制し、加工孔の位置精度を向上できる。
【００６２】
なお、本実施の形態では、周波数可変ＲＦ電源３０に変調回路８のアナログ信号１０３と変換回路１１１の電源周波数設定信号１１０の両方を入力した装置を示したが、変換回路１１１の電源周波数設定信号１１０のみを周波数可変ＲＦ電源３０に入力する装置であってもよい。
【００６３】
（参考例３）
図５は、本発明の参考例におけるレーザ加工装置のブロック図である。
【００６４】
１０は一定の出力で連続してレーザ光を出射する（ＣＷ出力）レーザ発振器で、２０１〜２０３はレーザ発振器１０から出射されたレーザ光の通る光路上に直列に間隔を有して配置した複数個、例えば３個の音響光学変換素子である。３０１〜３０３は音響光学変換素子２０１、２０２、２０３のそれぞれに対応して設けた複数個、例えば３個のＲＦ電源で、それぞれが駆動タイミング信号によりＯＮした時、ＲＦ信号を各音響光学変換素子に出力してレーザ光を回折させ、また駆動タイミング信号によりＯＦＦした時はレーザ光を透過させる。
【００６５】
また、このＲＦ電源３０１〜３０３は、ＲＦ電源３０１が動作している時、ＲＦ電源３０２、３０３は停止、次にＲＦ電源３０２が動作している時、ＲＦ電源３０１、３０３は停止、次にＲＦ電源３０３が動作している時、ＲＦ電源３０１、３０２は停止するという具合に、順番は別としてそれぞれがＲＦ信号を出力するタイミングが重ならないように駆動タイミング信号を受けるように設定している。仮に、二つの音響光学変換素子の駆動タイミングが重なっていると、後段の被加工物の加工点での必要なレーザ光のパワーが得られなくなるので、音響光学変換素子の駆動タイミングは全て重ならないようにしたものである。
【００６６】
８１は音響光学変換素子２０１、２０２、２０３の駆動タイミング信号として入力するＲＦ電源３０１、３０２、３０３のＲＦ信号をアナログ変調する制御部としての変調回路で、アナログ信号４０１、４０２、４０３をそれぞれＲＦ電源３０１、３０２、３０３に出力し音響光学変換素子２０１、２０２、２０３のそれぞれにおける回折レーザ光のパワーを調整して各被加工物５０１、５０２、５０３の加工点でのレーザ光のパワーを一定にする。なお、４１、４２、４３はｆθレンズで、９０１、９０２、９０３は反射ミラーで、９９はビームダンパである。
【００６７】
上記構成において、レーザ発振器１からは１番目の音響光学変換素子２０１に向かってレーザ光が連続して出射されている。そして、１番目のＲＦ電源３０１がＯＮしてＲＦ信号が音響光学変換素子２０１に入力されると、レーザ光は回折し反射ミラー９０１で反射されてｆθレンズ４１を通り被加工物５０１に目的の加工を行うのである。一方この間、２番目、３番目のＲＦ電源３０２、３０３は動作がＯＦＦしているので、ＲＦ信号が２番目、３番目の音響光学変換素子２０２、２０３には入力されない。
【００６８】
続いて、１番目のＲＦ電源３０１、３番目のＲＦ電源３０３がＯＦＦしてＲＦ信号が音響光学変換素子２０１、２０３に入力されないと、音響光学変換素子２０１を透過したレーザ光は、２番目の音響光学変換素子２０２に入力され、この時２番目のＲＦ電源３０２がＯＮしてＲＦ信号を音響光学変換素子２０２に入力すると回折し反射ミラー９０２で反射されてｆθレンズ４２を通り被加工物５０２に目的の加工を行うのである。
【００６９】
続いて、１番目のＲＦ電源３０１、２番目のＲＦ電源３０２がＯＦＦしてＲＦ信号が音響光学変換素子２０１、２０２に入力されないと、音響光学変換素子２０１、２０２を透過したレーザ光は、３番目の音響光学変換素子２０３に入力され、この時３番目のＲＦ電源３０３がＯＮしてＲＦ信号を音響光学変換素子２０３に入力すると回折し反射ミラー９０３で反射されてｆθレンズ４０３を通り被加工物５０３に目的の加工を行うのである。
【００７０】
このようにレーザ発振器１０より連続してレーザ光が光学系に出射されても、光学系をなす直列に配置した複数の音響光学変換素子２０１〜２０３は、ＲＦ電源３０１〜３０３により駆動されるタイミングが重ならないように制御されるので、それぞれの被加工物５０１〜５０３を確実に加工できる。そして、各音響光学変換素子２０１〜２０３の回折レーザ光は、各音響光学変換素子２０１〜２０３で数％の透過損失が発生しても変調回路８１の各アナログ信号４０１〜４０３でパワーを調整することにより、各被加工物５０１、５０２、５０３の加工点でのレーザ光のパワーを一定にすることができる。
【００７１】
また、安定したＣＷ出力のレーザ発振器のレーザ光は、その出力を音響光学変換素子の制御でピーク値を制御できることから、パルスレーザを用いた加工の場合より加工点で安定したレーザ出力が得られ、結果として安定した品質の加工を得ることができる。
【００７２】
なお、上記参考例では、３個の音響光学変換素子２０１〜２０３、３個のＲＦ電源３０１〜３０３を備えたレーザ加工装置について説明したが、３個に限定されるものでないことは上記の説明から明らかである。また、複数の音響光学変換素子の駆動タイミングは全て重ならないようにするため、各音響光学変換素子に対応して複数のＲＦ電源を設けたが、一つのＲＦ電源が各音響光学変換素子を駆動するタイミングが重ならないように識別した制御フローを予め有し、この制御フローを一つのＲＦ電源で実行するようにしてもよいものである。
【００７３】
さらに、図６のようにレーザ光の通る光路上に複数の凸レンズ７からなるテレスコープの焦点位置に、一つの音響光学変換素子２０２のみを配置するようにしてもよい。従って、参考例１で説明したように音響光学変換素子２０２では熱レンズ効果を低減できるので、被加工物５０２には加工形状の精度が求められる物を配置するようにすればよい。
【００７４】
【発明の効果】
以上のように本発明は、加工性能および加工位置精度の優れたレーザ加工装置および加工方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の参考例１におけるレーザ加工装置および加工方法のブロック図
【図２】本発明の参考例２におけるレーザ加工装置および加工方法のブロック図
【図３】同参考例２におけるレーザ加工装置の各制御信号のタイミングチャート
【図４】本発明の実施の形態におけるレーザ加工装置および加工方法のブロック図
【図５】本発明の参考例３におけるレーザ加工装置および加工方法のブロック図
【図６】同参考例３におけるレーザ加工装置および加工方法の他例のブロック図
【図７】従来のレーザ加工装置のブロック図
【符号の説明】
１、１０  レーザ発振器
２、２０１〜２０３  音響光学変換素子
３、３０１〜３０３  ＲＦ電源
７  凸レンズ（テレスコープ）
８  変調回路（制御部）
３０  周波数可変ＲＦ電源
１１１  変換回路（制御部）
【図１】
0003617479.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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