(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板に形成した微細な凹凸パターン上に導体化膜を形成後に上記導体化膜を陰極として電鋳を行いガラス基板を剥離して作成される、微細な凹凸パターンからなる信号面を施してなる光ディスク複製用スタンパのマスターから、マザー、サンをこの順に作成する光ディスク複製用スタンパの作成方法であって、
プレートに戴置された光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面の外周部分を押圧することで、上記マスターの信号面を上記サンで要求される平面度より大きい平面度の凸面形状にし、上記マスターの信号面を電鋳することで上記マスターの信号面の凸面形状が凹面形状として転写された信号面を有する上記光ディスク複製用スタンパのマザーを作成し、
上記マザーを座グリプレートに載置してから信号面の外周部分を押圧することで上記マザーの信号面を上記サンで要求される平面度の凹面形状にし、上記マザーの信号面を電鋳することで上記マザーの信号面の凹面形状が凸面形状として転写された信号面を有する上記光ディスク複製用スタンパのサンを作成する
ことを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成方法。
【請求項２】
請求項１記載の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、マスターの信号面を、１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状にしたことを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、マザーの信号面を０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状にしたことを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成方法。
【請求項４】
ガラス基板に形成した微細な凹凸パターン上に導体化膜を形成後に上記導体化膜を陰極として電鋳を行いガラス基板を剥離して作成される、微細な凹凸パターンからなる信号面を施してなる光ディスク複製用スタンパのマスターから、マザーを作成する光ディスク複製用スタンパの作成装置であって、
マスターを載置するプレートと、
上記プレートに載置された上記マスターの信号面の外周部分を押圧して上記信号面を上記マザーから作成されるサンで要求される平面度よりも大きな平面度の凸面形状にするマスター用ワークホルダ
とからなることを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成装置。
【請求項５】
請求項４記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マスター用ワークホルダはＯリングからなることを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成装置。
【請求項６】
請求項４又は５記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マスターを戴置するプレートは、平面度が０．０５ｍｍ以下であることを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成装置。
【請求項７】
請求項４乃至６のいずれか一項に記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、プレートはオーテスナイト系ステンレス鋼からなることを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成装置。
【請求項８】
ガラス基板に形成した微細な凹凸パターン上に導体化膜を形成後に上記導体化膜を陰極として電鋳を行いガラス基板を剥離して作成される、微細な凹凸パターンからなる信号面を施してなる光ディスク複製用スタンパのマスターから電鋳により作成されるマザーから、サンを作成する光ディスク複製用スタンパの作成装置であって、
マザーを載置する座グリプレートと、
上記座グリプレートに載置された上記マザーの信号面の外周部分を押圧して信号面をサンで要求される平面度の凹面形状にするマザー用ワークホルダ
とからなることを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成装置。
【請求項９】
請求項８記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マザー用ワークホルダはＯリングからなることを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成装置。
【請求項１０】
請求項８又は９記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マザーを、座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基準面との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グリプレートに載置することを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成装置。
【請求項１１】
請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、座グリプレートはオーテスナイト系ステンレス鋼からなることを特徴とする光ディスク複製用スタンパの作成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク複製用スタンパの作成装置及び光ディスク複製用スタンパの作成方法に関し、特に、微細な凹凸パターンからなる信号面を施してなる光ディスク複製用スタンパの作成装置及び光ディスク複製用スタンパの作成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスク複製用スタンパの作成方法は、ガラス基板からフォトリソグラフィー方法により、微細な凹凸パターンを形成し、導電性皮膜を施してなるガラス原盤にＮｉを電鋳して、マスターが作成される。
このマスターを、剥離皮膜処理後、Ｎｉを電鋳することによりマスターと微細パターンの凹凸が逆型であるマザーが作成される。
次に、マザーをマスターと同様に剥離皮膜処理後、Ｎｉを電鋳することによりマスターと微細パターンの凹凸が同型であるサンが作成される。
得られたサンを裏面研磨、内外径加工、信号・欠陥検査により、スタンパ規格を満足したサンから、射出成形、記録材料形成、保護層形成等により光ディスクメデアが完成する。
【０００３】
マザーを電鋳で複製する場合、マスターを電鋳治具にセットする際に、マスター表面の外周部分を、電鋳治具の一部であるワークホルダに具備されたＯリングで押圧することにより、マスターの裏面や、複製中のマスターとマザー間への電鋳液の染み込み、及びそれによる欠陥の発生、あるいはマスターとマザー同士が接触することによる微細パターンの損傷を防止するようにしている。
【０００４】
然し、マスター表面の外周部をＯリングで押圧すると、マスターの平面度が変化していた。
複製して作成されるマザーの平面度は、Ｏリングで押圧した際のマスターの平面度と、マザー自身が有する電鋳時の内部応力とのバランスで決定されるから、従来のマザー及びサンは凹凸の微細パターンの存在する側の信号面が、数（ｍｍ）の凹面形状が発生して、サンの信号面の平面度が平坦か、やや凸面形状の高品質の光ディスク形成用スタンパを作成することは困難であった。
【０００５】
図８において、特に、このような、凹凸の微細パターンの存在する側の信号面１０１ｃ１に数（ｍｍ）の凹面形状が発生したサン１０１ｃの裏面研磨では、研磨残りが発生していた。中心部分の白地部分は研磨しない領域であるが、図示の矢印Ｘで図示する中央部分の白地部分が研磨残りの部分であって、ニッケル金属色を呈している。図示の矢印Ｙで図示する黒地部分は、充分に研磨されて鏡面になって、銀色を呈している。
【０００６】
図９において、凹凸の微細パターンの存在する側の信号面１０１ｃ１に数（ｍｍ）の凹面形状が発生した、即ち、研磨面が数（ｍｍ）の凸面形状が発生したサン１０１ｃは、研磨台１０７に貼り付けて固定すると、外周部分と中央部分がしっかり張り付くために、外周部分と中央部分に対して半径位置の５０ｍｍ付近が最も高くなり、その結果、半径位置の３０ｍｍ付近が図示しない研磨部材に強く接触できず、研磨残りの部分となる（図８を参照）。
【０００７】
内外径加工では、治具のテーブルにチャッキングする際に、反っているために、正確な内外径の加工が出来なかった。
又、射出成形時にも同様で、外周部でのスタンパの固定が不十分となり、スタンパが振動したりすることにより、成形基板の反り、機械特性、微細パターンの転写性などが不良となってしまうと言う不具合が生じていた。
【０００８】
ガラス基板の両面について各種処理を行ってスタンパを作成して、１枚のガラス基板２枚のスタンパを同時に得るようにして、コストダウンを図り、両面処理によりバランスがとれたガラス基板に反り等の変形を生じにくくすることも公知である（特開平１−１６５０５３号の公報を参照）。
【０００９】
光ディスク形成用スタンパ及びその製造方法において、スタンパの平面度を浴温度で調整することも公知である（特開平９−１２８８２１号の公報を参照）。然し、この方法でも、１ｍｍ以上の反りが発生する場合が多くて、サンの信号面の平面度が平坦か、やや凸面形状の高品質の光ディスク形成用スタンパを作成することは困難であった。
【００１０】
更に、Ｎｉ電鋳層を信号ピット付ガラス原板に直接張り付けた状態で裏面研磨することも公知である（特開平９−２３１６２４号の公報を参照）。
然し、電鋳応力による反りは抑制出来ない。仮に、ガラスの厚みで反りを押さえ込んでも、応力が溜まった状態で、機械特性に影響を及ぼす歪み、シャドーむらの発生の原因となり、サンの信号面の平面度が平坦か、やや凸面形状の高品質の光ディスク形成用スタンパを作成することは困難であった。
【００１１】
従って、従来の光ディスク複製用スタンパとその作成装置及びその作成方法では、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパを作成することは困難であると言う不具合が生じていた。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来のかかる光ディスク複製用スタンパとその作成装置及びその作成方法は、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパを作成することは困難であると言う問題があった。
【００１３】
そこで本発明の課題は、このような問題点を解決するものである。即ち、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成装置及びその作成方法を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１の本発明は、ガラス基板に形成した微細な凹凸パターン上に導体化膜を形成後に上記導体化膜を陰極として電鋳を行いガラス基板を剥離して作成される、微細な凹凸パターンからなる信号面を施してなる光ディスク複製用スタンパのマスターから、マザー、サンをこの順に作成する光ディスク複製用スタンパの作成方法であって、プレートに戴置された光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面の外周部分を押圧することで、上記マスターの信号面を上記サンで要求される平面度より大きい平面度の凸面形状にし、上記マスターの信号面を電鋳することで上記マスターの信号面の凸面形状が凹面形状として転写された信号面を有する上記光ディスク複製用スタンパのマザーを作成し、上記マザーを座グリプレートに載置してから信号面の外周部分を押圧することで上記マザーの信号面を上記サンで要求される平面度の凹面形状にし、上記マザーの信号面を電鋳することで上記マザーの信号面の凹面形状が凸面形状として転写された信号面を有する上記光ディスク複製用スタンパのサンを作成する、光ディスク複製用スタンパの作成方法であることを最も主要な特徴とする。
【００１５】
請求項２の本発明は、請求項１記載の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、マスターの信号面を、１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状にした光ディスク複製用スタンパの作成方法であることを主要な特徴とする。
【００１７】
請求項３の本発明は、請求項１又は２記載の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、マザーの信号面を０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状にした光ディスク複製用スタンパの作成方法であることを主要な特徴とする。
【００１８】
本発明の光ディスク複製用スタンパの作成方法においては、マスターをプレートに載置してから、上記マスターによりマザーを作成する光ディスク複製用スタンパの作成方法であることが好ましい。
【００１９】
本発明の光ディスク複製用スタンパの作成方法においては、マザーを座グリプレートに載置してから、上記マザーによりサンを作成する光ディスク複製用スタンパの作成方法であることが好ましい。
【００２０】
本発明の光ディスク複製用スタンパの作成方法においては、マスターを、平面度が０．０５ｍｍ以下であるプレートに載置してから、上記マスターによりマザーを作成する光ディスク複製用スタンパの作成方法であることが好ましい。
【００２１】
本発明の光ディスク複製用スタンパの作成方法においては、マザーを、座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基準面との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グリプレートに載置する光ディスク複製用スタンパの作成方法であることが好ましい。
【００２２】
本発明の光ディスク複製用スタンパの作成方法においては、マスターを、材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなるプレートに載置する光ディスク複製用スタンパの作成方法であることが好ましい。
【００２３】
請求項１０の本発明は、請求項６又は８記載の光ディスク複製用スタンパの作成方法において、マザーを、材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなる座グリプレートに載置する光ディスク複製用スタンパの作成方法であることを主要な特徴とする。
【００２４】
請求項４の本発明は、ガラス基板に形成した微細な凹凸パターン上に導体化膜を形成後に上記導体化膜を陰極として電鋳を行いガラス基板を剥離して作成される、微細な凹凸パターンからなる信号面を施してなる光ディスク複製用スタンパのマスターから、マザーを作成する光ディスク複製用スタンパの作成装置であって、マスターを載置するプレートと、上記プレートに載置された上記マスターの信号面の外周部分を押圧して上記信号面を上記マザーから作成されるサンで要求される平面度よりも大きな平面度の凸面形状にするマスター用ワークホルダとからなる光ディスク複製用スタンパの作成装置であることを最も主要な特徴とする。
【００２５】
請求項５の本発明は、請求項４記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マスター用ワークホルダはＯリングからなる光ディスク複製用スタンパの作成装置であることを主要な特徴とする。
請求項６の本発明は、請求項４又は５記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マスターを戴置するプレートは、平面度が０．０５ｍｍ以下である光ディスク複製用スタンパの作成装置であることを主要な特徴とする。
請求項７の本発明は、請求項４乃至６のいずれか一項に記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、プレートはオーテスナイト系ステンレス鋼からなる光ディスク複製用スタンパの作成装置であることを主要な特徴とする。
【００２６】
請求項８の本発明は、ガラス基板に形成した微細な凹凸パターン上に導体化膜を形成後に上記導体化膜を陰極として電鋳を行いガラス基板を剥離して作成される、微細な凹凸パターンからなる信号面を施してなる光ディスク複製用スタンパのマスターから電鋳により作成されるマザーから、サンを作成する光ディスク複製用スタンパの作成装置であって、マザーを載置する座グリプレートと、上記座グリプレートに載置された上記マザーの信号面の外周部分を押圧して信号面をサンで要求される平面度の凹面形状にするマザー用ワークホルダとからなる光ディスク複製用スタンパの作成装置であることを主要な特徴とする。
【００２７】
請求項９の本発明は、請求項８記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マザー用ワークホルダはＯリングからなる光ディスク複製用スタンパの作成装置であることを主要な特徴とする。
請求項１０の本発明は、請求項８又は９記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マザーを、座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基準面との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グリプレートに載置する光ディスク複製用スタンパの作成装置であることを主要な特徴とする。
請求項１１の本発明は、請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、座グリプレートはオーテスナイト系ステンレス鋼からなる光ディスク複製用スタンパの作成装置であることを主要な特徴とする。
【００２８】
本発明の作成方法で作成された光ディスク複製用スタンパは、マスターの信号面が凸面形状である。
【００２９】
本発明の作成方法で作成された光ディスク複製用スタンパは、マスターの信号面が１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状であることが好ましい。
【００３０】
本発明の作成方法で作成された光ディスク複製用スタンパは、マザーの信号面が凹面形状であることが好ましい。
【００３１】
本発明の作成方法で作成された光ディスク複製用スタンパは、マザーの信号面が０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状であることが好ましい。
【００３２】
本発明の作成方法で作成された光ディスク複製用スタンパは、サンの信号面が平坦か、やや凸面形状であることが好ましい。
【００３３】
また、本発明の作成方法で作成された光ディスク複製用スタンパは、サンの信号面が０．５ｍｍ以下の凸面形状であることが好ましい。
【００３４】
【作用】
上記のように構成された光ディスク複製用スタンパの作成装置及びその作成方法は、請求項１においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面の凹面形状を矯正するようにして、マスターによりマザーを作成し、更に、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マザーによりサンを作成するようにして、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようにする。
【００３５】
請求項２においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状にしてから、マスターの信号面の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにして、信号面が適切な平面度の凸面形状のマスターが作成され、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようにする。
【００３７】
請求項３においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面を０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状に矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにして、信号面が適切な平面度の凹面形状のマザーが作成され、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようにする。
【００３８】
上記の光ディスク形成用スタンパの作成方法においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターをプレートに載置してから、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにして、簡単な作成作業によって、マザーの信号面のラジアル方向の平面度及びタンジェンシャル方向の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが好ましい。
【００３９】
上記の光ディスク形成用スタンパの作成方法においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザーを座グリプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにして、簡単な作成作業によってサンの信号面のラジアル方向の平面度及びタンジェンシャル方向の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが好ましい。
【００４０】
上記の光ディスク形成用スタンパの作成方法においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターを平面度が０．０５ｍｍ以下であるプレートに載置してから、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにして、簡単な作成作業によってマザーの信号面のラジアル方向の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の面ぶれに調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが好ましい。
【００４１】
上記の光ディスク形成用スタンパの作成方法においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザーを座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基準面との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グリプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにして、簡単な作成作業によってサンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍの以下の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが好ましい。
【００４２】
上記の光ディスク形成用スタンパの作成方法においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターを材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなるプレートに載置してから、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにして、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管理が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが好ましい。
【００４３】
上記の光ディスク形成用スタンパの作成方法においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザーを材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなる座グリプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにして、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管理が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが好ましい。
【００４４】
請求項４においては、マスター用ワークホルダによって、プレート上に載置されたマスターを押圧して、信号面を凸面形状にするようにして、マスターの信号面の平面度を矯正して、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るようにする。
【００４５】
請求項５においては、マスター用ワークホルダのＯリングによって、プレート上に載置されたマスターの信号面の外側を押圧して、信号面を凸面形状にするようにして、簡単な作業でマスターの信号面の平面度を正確に矯正して、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るようにする。
請求項６においては、請求項４又は５記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、マスターを戴置するプレートは平面度が０．０５ｍｍ以下である、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るようにする。即ち、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターを平面度が０．０５ｍｍ以下であるプレートに載置してから、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにして、簡単な作成作業によってマザーの信号面のラジアル方向の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の面ぶれに調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパが作成出来るようになる。
請求項７においては、請求項４乃至６のいずれか一項に記載の光ディスク複製用スタンパの作成装置において、プレートはオーテスナイト系ステンレス鋼からなる、高品質の光ディスク形成用スタンパが作成出来るようになる。即ち、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターを材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなるプレートに載置してから、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにして、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管理が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成が出来るようになる。
【００４６】
請求項８においては、マザー用ワークホルダによって、座グリプレート上に載置されたマザーを押圧して、信号面を凹面形状にするようにして、マザーの信号面の平面度を矯正して、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るようにする。
【００４７】
請求項９においては、マザー用ワークホルダのＯリングによって、座グリプレート上に載置されたマザーの信号面の外側を押圧して、信号面を凹面形状にするようにして、簡単な作業でマザーの信号面の平面度を正確に矯正して、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るようにする。
請求項１０においては、マザーを、座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基準面との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グリプレートに載置する、光ディスク複製用スタンパの作成装置を提供することが出来るようにする。
請求項１１においては、マザーを材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなる座グリプレートに載置してから、マザーによりサンを作成するようにして、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管理が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るようにする。
【００４８】
上記のスタンパ作成装置においては、マスターの信号面を凸面形状になるようにして、サンの信号面の平面度が平坦か、やや凸面形状となる高品質の光ディスク形成用スタンパを提供することが出来るようにする。
【００４９】
上記のスタンパ作成装置においては、マスターの信号面を１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状になるようにして、サンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の面ぶれとなる、高品質の光ディスク形成用スタンパを提供することが好ましい。
【００５０】
上記のスタンパ作成装置においては、マザーの信号面を凹面形状になるようにして、サンの信号面の平面度が平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパを提供することが好ましい。
【００５１】
上記のスタンパ作成装置においては、マザーの信号面を０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状になるようにして、サンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の面ぶれとなる、高品質の光ディスク形成用スタンパを提供することが好ましい。
【００５２】
上記のスタンパ作成装置においては、サンの信号面を平坦かやや凸面形状になるようにして、裏面研磨時に研磨残りの発生を防止し、内外径の加工時にも確実にチャキングされ、成形基板のラジアル方向及びタンジェンシャル方向の面ぶれを低減する、高品質の光ディスク形成用スタンパを提供することが好ましい。
【００５３】
上記のスタンパ作成装置においては、サンの信号面を０．５ｍｍ以下の凸面形状になるようにして、裏面研磨時に研磨残りの発生を防止し、内外径の加工時にも確実にチャキングされ、成形基板のラジアル方向及びタンジェンシャル方向の面ぶれを極めて低減する、高品質の光ディスク形成用スタンパを提供することが好ましい。
【００５４】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１において、光ディスク複製用スタンパ１は、マスター１ａ、マザー１ｂ、サン１ｃからなる。
上記マスター１ａは、図示しないガラス基板に形成したプリグルーブパターン上に導体化膜を形成後に、上記導体化膜を陰極としてＮｉ電鋳を行い、ガラス基板を剥離して作成される。
【００５５】
上記マスター１ａは、剥離皮膜処理後、光ディスク複製用スタンパの作成装置０の一部であるバックプレート６にセットする。この際、上記バックプレート６上にプレート２をセットして、上記プレート２上に上記マスター１ａがセットされる（図１ａを参照）。
上記プレート２は、オーテスナイト系ステンレス鋼であるＳＵＳ３０４の丸板で、平面度は０．０５ｍｍ以下である。
【００５６】
上記プレート２上にセットされた上記マスター１ａは、図示しない駆動手段で図示の矢印Ａ方向に移動する、上記光ディスク複製用スタンパの作成装置０に保持されているマスター用ワークホルダ４のＯリング４ａによって押圧されて、信号面１ａ１  が１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状になるようにクランプすると同時に、大径Ｏリング４ｂも同様に図示の矢印Ａ方向に移動して、上記バックプレート６の突起リング６ａに当接して電鋳液の漏洩等を防止するようになっている（図１ｂを参照）。
【００５７】
上記プレート２上でクランプされて、Ｎｉ電鋳で複製され、上記マザー１ｂの信号面１ｂ１が矯正されて作成される（図１ｃを参照）。Ｎｉ電鋳複製後、上記マスター１ａから剥離して上記マザー１ｂが得られる（図１ｄを参照）。
【００５８】
次に、上記マザー１ｂは、上記光ディスク複製用スタンパの作成装置０の一部である上記バックプレート６にセットする。この際、上記バックプレート６上に座グリプレート３をセットして、上記座グリプレート３上に上記マザー１ｂがセットされる。
上記座グリプレート３上にセットされた上記マザー１ｂは、図示しない駆動手段で図示の矢印Ｂ方向に移動する、上記光ディスク複製用スタンパの作成装置０に保持されているマザー用ワークホルダ５のＯリング５ａによって押圧されて、信号面１ｂ１  が０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状になるようにクランプすると同時に、大径Ｏリング５ｂも同様に図示の矢印Ｂ方向に移動して、上記バックプレート６の上記突起リング６ａに当接して電鋳液の漏洩等を防止するようになっている（図１ｅを参照）。
【００５９】
高品質の上記光ディスク形成用スタンパ１の上記サン１ｃは、裏面研磨、内外径加工、基板成形のために、信号面１ｃ１の平面度が平坦か、やや凸面形状となる。
従って、上記マザー１ｂのラジアル方向の平面度が１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凹面形状となるように、上記座グリプレート３の座グリ丸板の平面度、平行度を調整して、上記マザー用ワークホルダ５の上記Ｏリング５ａで押圧される。
【００６０】
加えて、図示しない成形基板の１００μｍ以下の面振れは、上記光ディスク形成用スタンパ１のタンジェンシャル方向の面振れを転写することとなるため、上記座グリプレート３の座グリ丸板の平面度、基準面に対する平行度をを０．０５ｍｍ以下となるように調整される。
逆に、上記座グリプレート３の座グリ丸板にセットされる上記マザー１ｂのラジアル方向の平面度は、上記座グリプレート３の座グリ丸板の座グリ量以上に反るようになっている。
従って、上記マザー１ｂのラジアル方向の平面が凹面形状となるように、及び、上記マスター１ｃのラジアル方向の平面度が凸面形状となるように、上記マスター用ワークホルダ４の上記Ｏリング４ａ、及び、上記マザー用ワークホルダ５の上記Ｏリング５ａで押圧される。
【００６１】
上記座グリプレート３は、外径（Ｌ）は２４０ｍｍ、内径（ｌ）は２００ｍｍ、オーテスナイト系ステンレス鋼であるＳＵＳ３０４の座グリ丸板で、座グリ量（ｃ）が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度（ｄ）及び基準面（Ｆ）との平行度（ｅ）がそれぞれ０．０５ｍｍ以下である（図２を参照）。
【００６２】
上記座グリプレート３上でクランプされて、Ｎｉ電鋳で複製され、上記サン１ｃの信号面１ｃ１が矯正されて作成される（図１ｆを参照）。Ｎｉ電鋳複製後、上記マザー１ｂから剥離して上記サン１ｃが得られる（図１ｇを参照）。
【００６３】
図３において、上記光ディスク複製用スタンパの作成装置０は、上記バックプレート６側に上記マスタ１ａ（上記マザー１ｂ）と上記プレート２（上記座グリプレート３）の通電ＳＵＳ板を積載した直上から、上記マスター用ワークホルダ４（上記マザー用ワークホルダ５）に具備された上記Ｏリング４ａ（上記Ｏリング５ａ）で押圧されてクランプされるようになっている。
【００６４】
上記バックプレート６の縁に、材質がポリプロピレンからなる上記突起リング６ａが配置されており、上記マスター用ワークホルダ４（上記マザー用ワークホルダ５）に具備された、上記Ｏリング４ａ（上記Ｏリング５ａ）と同心円状で、上記マスター１ａ（上記マザー１ｂ）の外形より大径である上記大径Ｏリング４ｂ（凶器大径Ｏリング５ｂ）で押圧されるようになっている。
【００６５】
[比較例１]
図４において、複製して作成されたマザー１０１ｂのタンジェンシャル方向の平面度は、プレート１０２の丸板の平面度をそのまま転写する。平面度０．５ｍｍと１．０ｍｍの上記プレート１０２の丸板で、上記マザー１０１ｂを複製して作成した結果、上記プレート１０２の丸板と同様のタンジェンシャル方向の平面度となった。このようなことは、サン１０１ｃを複製して作成する場合でも同様で、射出成形された図示しない基板のタンジェンシャル方向の平面度は同等か、それ以上となり、基板の品質規格を満足しなくなった。
【００６６】
[比較例２]
図５において、上記実施例と同様の方法で、図示しないマスター１０１ａから上記マザー１０１ｂ、上記マザー１０１ｂから図示しない上記サン１０１ｃを電鋳の複製をして作成した。
但し、図示しない上記サン１０１ｃを電鋳の複製をして、作成時の座グリプレート１０３の座グリ量（ｃ）を可変させたところ、座グリ量（ｃ）が０．５ｍｍ以下では問題ない品質規格を満足したが、１ｍｍ以上になると、図示しない成形基板のラジアル方向の平面度の反り量が、品質規格を満足しなくなった。
【００６７】
[比較例３]
図６において、上記実施例と同様の方法で、上記マスター１０１ａから上記マザー１０１ｂ、上記マザー１０１ｂから図示しない上記サン１０１ｃを電鋳の複製をして作成した。
但し、上記マザー１０１ｂ及び図示しない上記サン１０１ｃを電鋳の複製する作成時に、スペーサとして上記プレート１０２を用いた。
その結果は、上記マザー１０１ｂの信号面１０１ｂ１の平面度は凹面形状になったが、図示しない上記サン１０１ｃ１の平面度も上記マザー１０１ｂと同様の凹面形状になって、裏面研磨時に研磨残りが発生した（図３を参照）。
【００６８】
[比較例４]
図７において、上記実施例と同様の方法で、光ディスク複製用スタンパ１０１を、上記マスター１０１ａから上記マザー１０１ｂ、上記マザー１０１ｂから上記サン１０１ｃを電鋳の複製をして作成した。
但し、上記プレート１０２及び上記座グリプレート１０３のスペーサの材質をマルテンサイト系ステンレス鋼であるＳＵＳ４２０Ｊ２を使用した。
その結果、使用初期段階は、平面度の平坦な上記光ディスク複製用スタンパ１０１の上記サン１０１ｃの複製をして作成することが可能であったが、上記プレート１０２及び上記座グリプレート１０３のスペーサの材質が耐食性が低いため、強酸である電鋳液に冒されステンレス鋼の構成元素であるＭｎ、Ｐ、Ｃｒ等が電鋳浴中に溶解し、これらが複製する上記光ディスク複製用スタンパ１０１中に取り込まれ、応力増加、欠陥の発生などが現れ、平面度が不安定になった。
【００６９】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、請求項１の発明によれば、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面の凹凸面形状（凹面形状）、及び、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状（凸面形状）を矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにしたので、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようになった。
【００７０】
請求項２の発明によれば、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状にしてから、マスターの信号面の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにしたので、信号面が適切な平面度の凸面形状のマスターが作成され、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようになった。
【００７２】
請求項３の発明によれば、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面を０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状に矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにしたので、信号面が適切な平面度の凹面形状のマザーが作成され、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようになった。
【００７３】
上記光ディスク複製用スタンパの製造方法の発明においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターをプレートに載置してから、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成することで、簡単な作成作業によってマザーの信号面のラジアル方向の平面度及びタンジェンシャル方向の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようになる。
【００７４】
上記光ディスク複製用スタンパの製造方法の発明においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザーを座グリプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞれ作成することで、簡単な作成作業によってサンの信号面のラジアル方向の平面度及びタンジェンシャル方向の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようになる。
【００７５】
上記光ディスク複製用スタンパの製造方法の発明においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターを平面度が０．０５ｍｍ以下であるプレートに載置してから、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成することで、簡単な作成作業によってマザーの信号面のラジアル方向の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の面ぶれに調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようになる。
【００７６】
上記光ディスク複製用スタンパの製造方法の発明においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、、マスターによりマザーを、マザーを座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基準面との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グリプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞれ作成することで、簡単な作成作業によってサンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍの以下の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようになる。
【００７７】
上記光ディスク複製用スタンパの製造方法の発明においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターを材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなるプレートに載置してから、マスターによりマザーを、マザーによりサンをそれぞれ作成することで、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管理が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようになる。
【００７８】
上記光ディスク複製用スタンパの製造方法の発明においては、光ディスク複製用スタンパのマスターに施してなる微細な凹凸パターンからなる信号面を凸面形状にしてから、マスターの信号面の凸面形状による、光ディスク複製用スタンパのマザーの微細な凹凸パターンが逆型である信号面、又は、光ディスク複製用スタンパのサンの信号面の凹凸面形状を矯正するようにして、マスターによりマザーを、マザーを材質がオーテスナイト系ステンレス鋼からなる座グリプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞれ作成することで、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管理が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようになる。
【００７９】
請求項４の発明によれば、マスター用ワークホルダによって、プレート上に載置されたマスターを押圧して、信号面を凸面形状にするようにしたので、マスターの信号面の平面度を矯正して、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るようになった。
【００８０】
請求項５の発明によれば、マスター用ワークホルダのＯリングによって、プレート上に載置されたマスターの信号面の外側を押圧して、信号面を凸面形状にするようにしたので、簡単な作業でマスターの信号面の平面度を正確に矯正して、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るようになった。
請求項６の発明によれば、マスターを平面度が０．０５ｍｍ以下であるプレートに載置してから、マスターによりマザーを作成するようにして、簡単な作成作業によってマザーの信号面のラジアル方向の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の面ぶれに調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成方法を提供することが出来るようになった。
請求項６の発明によれば、マスターを平面度が０．０５ｍｍ以下であるプレートに載置してから、マスターによりマザーを作成するようにしたので、簡単な作成作業によってマザーの信号面のラジアル方向の１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の面ぶれに調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパが作成出来るようになった。
請求項７の発明によれば、プレートの材質をオーテスナイト系ステンレス鋼にしたことで、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管理が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパが作成出来るようになった。
【００８１】
請求項８の発明によれば、マザー用ワークホルダによって、座グリプレート上に載置されたマザーを押圧して、信号面を凹面形状にするようにしたので、マザーの信号面の平面度を矯正して、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るようになった。
【００８２】
請求項９の発明によれば、マザー用ワークホルダのＯリングによって、座グリプレート上に載置されたマザーの信号面の外側を押圧して、信号面を凹面形状にするようにしたので、簡単な作業でマザーの信号面の平面度を正確に矯正して、サンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる高品質の光ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るようになった。
請求項１０の発明によれば、マザーを座グリ量が０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ、平面度及び基準面との平行度がそれぞれ０．０５ｍｍ以下とする座グリプレートに載置してから、マザーによりサンをそれぞれ作成するようにしたので、簡単な作成作業によってサンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍの以下の面ぶれの調整が可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、確実に、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパを作成出来るようになった。
請求項１１の発明によれば、座グリプレートの材質をオーテスナイト系ステンレス鋼にしたことから、通電性が劣化せず、電鋳厚みの管理が容易で、耐食性に優れて電鋳浴内での連続使用可能となり、作成されるサンの信号面の平面度が、平坦か、やや凸面形状となる、高品質の光ディスク形成用スタンパの作成装置を提供することが出来るようになった。
【００８３】
上記のスタンパ作成装置においては、マスターの信号面を凸面形状になるようにすることで、サンの信号面の平面度が平坦か、やや凸面形状となる高品質の光ディスク形成用スタンパを提供することができるようになる。
【００８４】
上記のスタンパ作成装置においては、マスターの信号面を１．０ｍｍ〜２．０ｍｍの凸面形状になるようにすることで、サンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の面ぶれとなる、高品質の光ディスク形成用スタンパを提供することができるようになる。
【００８５】
上記のスタンパ作成装置においては、マザーの信号面を凹面形状になるようにすることで、サンの信号面の平面度が平坦か、やや凸面形状となる高品質の光ディスク形成用スタンパを提供することが出来るようになる。
【００８６】
上記のスタンパ作成装置においては、マザーの信号面を０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの凹面形状になるようにすることで、サンの信号面のラジアル方向の０．０ｍｍ〜０．５ｍｍの平面度及びタンジェンシャル方向の１００μｍ以下の面ぶれとなる、高品質の光ディスク形成用スタンパを提供することが出来るようになる。
【００８７】
上記のスタンパ作成装置においては、サンの信号面を平坦かやや凸面形状になるようにしたので、裏面研磨時に研磨残りの発生を防止し、内外径の加工時にも確実にチャキングされ、成形基板のラジアル方向及びタンジェンシャル方向の面ぶれを低減する高品質の光ディスク形成用スタンパを提供することが出来るようになった。
【００８８】
上記のスタンパ作成装置においては、サンの信号面を０．５ｍｍ以下の凸面形状になるようにしたので、裏面研磨時に研磨残りの発生を防止し、内外径の加工時にも確実にチャキングされ、成形基板のラジアル方向及びタンジェンシャル方向の面ぶれを極めて低減する高品質の光ディスク形成用スタンパを提供することが出来るようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態例を示す光ディスク複製用スタンパとその作成装置及びその作成方法を説明する作成工程図である。
【図２】本発明の実施の形態例を示す光ディスク複製用スタンパの作成装置の主要部を説明する説明図である。
【図３】本発明の実施の形態例を示す光ディスク複製用スタンパの作成装置の他の主要部を説明する説明図である。
【図４】本発明との比較例１を説明する説明図である。
【図５】本発明との比較例２を説明する説明図である。
【図６】本発明との比較例３を説明する説明図である。
【図７】本発明との比較例４を説明する説明図である。
【図８】従来の光ディスク複製用スタンパの主要部の加工状態を説明する斜視図である。
【図９】従来の光ディスク複製用スタンパの加工時における主要部の平面度（ｍｍ）と半径位置（ｍｍ）との特性を説明するグラフである。
【符号の説明】
０  光ディスク複製用スタンパの作成装置
１  光ディスク複製用スタンパ、１ａ  マスター、１ａ１  信号面、
１ｂ  マザー、１ｂ１  信号面、
１ｃ  サン、１ｃ１  信号面
２  プレート
３  座グリプレート
４  マスター用ワークホルダ、４ａ  Ｏリング、４ｂ  大径Ｏリング
５  マザー用ワークホルダ、５ａ  Ｏリング、５ｂ  大径Ｏリング
６  バックプレート、６ａ  突起リング
１０１  光ディスク複製用スタンパ、１０１ａ  マスター、１０１ａ１  信号面
１０１ｂ  マザー、１０１ｂ１  信号面
１０１ｃ  サン、１０１ｃ１  信号面
１０２  プレート
１０３  座グリプレート
１０７  研磨台
【図１】
0003666631.tif 000002
【図２】
0003666631.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003666631.tif 000005
【図５】
0003666631.tif 000006
【図６】
0003666631.tif 000007
【図７】
0003666631.tif 000008
【図８】
0003666631.tif 000009
【図９】
0003666631.tif 000010