(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に形成された感光性樹脂層の現像方法において、現像液循環方式の本現像の前に現像液がカーテン状に吐出され上記感光性樹脂層上に流下され、本現像の後に、現像液を前記感光性樹脂層に噴射する現像を行ない、かつ、本現像の前後の現像にあっては現像液を使い捨てる補助現像工程であることを特徴とする現像方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタ等、感光性樹脂を現像した後その感光性樹脂をそのまま用いる製品の現像方法に係わる。
【０００２】
【従来の技術】
着色顔料を分散した感光性樹脂液を用いて、これを透明基板上に均一に塗布し、パターン露光、現像する工程を必要な色数（例えば赤、緑、青）だけ繰り返すことにより、液晶表示装置用のカラーフィルタを得る。このとき、現像工程では主にスプレー（シャワー）方式で現像液を被加工体（ガラス基板等）に吹き付けて現像する。
【０００３】
ところでこの現像液は、アルカリ性で界面活性剤などを多く含んでおり、経済的な理由その他から循環ポンプで還流させて現像を行い、劣化するまで繰り返し使用する。現状のこの方法においては、
▲１▼現像ムラが起こりやすい
▲２▼溶出した顔料や樹脂が被加工体に再付着して、現像残渣が生じる
といったことが問題点として挙げられる。
【０００４】
▲１▼の問題に対しては、現像液の噴霧初期の濡れ状態を均一にすること、▲２▼の問題に対しては、現像工程の一部または全部について現像液の使用を一回限りの使い捨てとすることが考えられるが、全部を使い捨てにすることは経済的に無理である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明では、経済性を考慮しつつ上記の問題を解決することを目的とし、現像液の一部のみを使い捨てにすることを旨とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基材上に形成された感光性樹脂層の現像方法において、現像液循環方式の本現像の前に現像液がカーテン状に吐出され上記感光性樹脂層上に流下され、本現像の後に、現像液を前記感光性樹脂層に噴射する現像を行ない、かつ、本現像の前後の現像にあっては現像液を使い捨てる補助現像工程であることを特徴とする現像方法である。ここで現像液を使い捨てる現像工程とは、従来のように使用済みの現像液を還流させて再び現像液として用い、劣化するまで繰り返し使用するのではなく、現像には真新しい現像液を用い、一度使用した現像液は全て廃棄することとする現像工程をいう。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下の本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。
図１に示すように、現像液循環方式の本現像を行う現像チャンバーＡでは、供給される現像液１が、例えばスプレーノズル２から噴射され、搬送コロ３により一定速度で連続移動される被現像体４上に吹き付けられる。言うまでもなく、被現像体４は、現像工程の前工程において、所望のパターン露光が施され、所望の潜像パターンが形成されているものである。吹き付けを経て現像チャンバーＡ下部から回収された現像液１は、ポンプ５により再び供給口のスプレーノズル２から噴射される。ここでスプレーノズルとは、その噴射口が液流量に比べかなり小さいことにより１〜３ｋｇ／ｃｍ2程度の圧力の液噴射が得られるノズルである。
【０００８】
本発明では、上記の本現像を行う現像チャンバーＡの前もしくは後のいずれか一方、あるいは両方に、現像液を使い捨てる補助現像工程を設ける。
現像チャンバーＡの前に設ける現像チャンバーＢには、例えば現像液１がカーテン状に均一に吐出されるカーテンフローノズル２ａが設けられ、被現像体４上に流下された後、下部へ落下した廃液は使い捨てられ、廃液処理に回される。
【０００９】
ここで現像液１を被現像体４上に接触させる方法としては、上記のカーテンフローノズル２ａの他に、スプレーノズル２に比べ噴射口が大きく、ほとんど吐出される液の圧力が高くならないシャワーノズル２ｂも用いられる。カーテンフローノズル２ａおよびシャワーノズル２ｂは、いずれも、被現像体４上に吹き付けられる時の余計な圧力がほとんどなく、重力による垂下と同等である。このため、吹き付けた現像液１は、（スプレーノズルによる場合のように）現像液１自身の圧力ですぐに被現像体４表面から飛び散ってしまうことがなく、表面張力により現像液１は被現像体４表面に液膜を張るように静かに留まる。これにより、現像品質に大きく関わる、現像液１が被現像体４表面に最初に触れる時点での触れ方がなめらかに均一になるため、このときに起こりやすい現像ムラを低減することができる。
【００１０】
現像チャンバーＡの後に設ける現像チャンバーＣでは、例えば現像チャンバーＡと同様のスプレーノズル２、現像チャンバーＢと同様のシャワーノズル２ｂ、もしくはハイプレッシャーミスト（高圧の霧状物）を発生可能な特殊なハイプレッシャーミスト用ノズル２ｃから現像液１が噴射される。ただし下部からの廃液は再利用されず使い捨てされ、廃液処理に回される。
【００１１】
ここで、現像液１を循環再生利用する本現像である現像チャンバーＡにおいては、被現像体４から溶出した様々なレジスト内の成分（バインダー、顔料など）を含んだ現像液１を何度も現像に使用することにより、これらの有害な不純物が残渣として被現像体４上に多量に付着してしまう。
現像チャンバーＣでは、清浄な新規の現像液１を前記のような高圧で噴出可能なノズルから噴射することにより、これらの残渣を効果的に除去することができる。
上記のチャンバーＢ、チャンバーＣは、そのいずれか一方、または両方が設置されるものである。
【００１２】
【実施例】
米国コーニング社製の板ガラス（製品名「７０５９」、厚さ１．１ｍｍ）上に、下記組成の青色のアクリル系顔料分散感光性樹脂をスピンコート法で塗布し、プレベーク後酸素遮断膜としてポリビニルアルコールを塗布し、活性光でパターン露光した。
顔料分散感光性樹脂は、以下の組成よりなる。
0003728798.tif 000002
【００１３】
こののち、上記の工程を経た被現像体４を、以下に示す成分のアルカリ性現像液で後述の現像方法により現像し、水洗後１５０℃で５分間乾燥した。
0003728798.tif 000003
【００１４】
本実施例における現像方法は、以下の如くである。すなわち、被現像体４を、まず図２に示すように、現像液１が霧状に均一に噴霧されるカーテンフローノズル２ａが設けられた現像チャンバーＢを通し、水平に搬送される被現像体４の上面に現像液の水膜を張るように操作した。なお、ここで使用した現像液は使い捨てされ、廃液処理部へ送られる。次いで本現像を行う現像チャンバーＡを通し、続いて現像チャンバーＡと同様のスプレーノズル２から現像液１が噴射される現像チャンバーＣを通す。但しここで使用した現像液も使い捨てされ、廃液処理部へ送られる。
この結果得られた現像処理後の被現像体４のパターンに現像ムラ及び現像残渣は見られなかった。
【００１５】
【発明の効果】
本発明は、現像液循環方式の本現像の前に現像液がカーテン状に吐出され上記感光性樹脂層上に流下され、本現像の後に、現像液を前記感光性樹脂層に噴射する現像を行ない、かつ、本現像の前後の現像にあっては現像液を使い捨てる補助現像工程であることから、現像チャンバーを前置した場合、均一な現像液の液膜を張ることができ、均一な現像が可能となるため、現像ムラの低減の効果がある。
また、現像チャンバーを後置した場合、こごでは使用済みの現像液の再利用でなく、清浄な新しい現像液を使用するため、本現像で再付着し残存した残渣を効果的に除去することができる。
【００１６】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す説明図である。
【符号の説明】
１      現像液
２      スプレーノズル
２ａ    カーテンフローノズル
２ｂ    シャワーノズル
２ｃ    ハイプレッシャーミスト用ノズル
３      搬送コロ
４      被現像体
５      ポンプ
【図１】
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