(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する電極間に、電子放出部を含む導電性膜を有する電子放出素子の製造方法において、亀裂の形成された導電性膜に、有機物質の存在する雰囲気で電圧を印加し、前記導電性膜上に炭素または炭素化合物を堆積させる活性化工程と、前記活性化工程の後、前記炭素または炭素化合物が堆積された導電性膜を、前記活性化工程における雰囲気の真空度よりも高い真空度の雰囲気に配置する工程とを有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
【請求項２】
前記電圧は、パルス状で印加される請求項１に記載の電子放出素子の製造方法。
【請求項３】
導電性膜への前記亀裂の形成は、前記導電性膜に電圧を印加するフォーミング工程により行われる請求項１に記載の電子放出素子の製造方法。
【請求項４】
前記活性化工程において導電性膜に印加される電圧は、前記フォーミング工程において導電性膜に印加される電圧よりも大きい請求項３に記載の電子放出素子の製造方法。
【請求項５】
複数の電子放出素子を有する電子源の製造方法であって、前記電子放出素子が請求項１乃至４のいずれかの製造方法により製造されることを特徴とする電子源の製造方法。
【請求項６】
電子源と画像形成部材とを有する画像形成装置の製造方法であって、前記電子源が請求項５の製造方法により製造されることを特徴とする画像形成装置の製造方法。
【請求項７】
電子源と、画像形成部材と、テレビジョン信号受信回路と、受信した画像信号に基づいて画像表示を行なう駆動回路とを有する画像形成装置の製造方法であって、前記電子源が請求項５の製造方法により製造されることを特徴とする画像形成装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子源およびその応用である表示装置等の画像形成装置にかかわり、特に、新規な構成の表面伝導型電子放出素子、それを用いた電子源および、その応用である表示装置等の画像形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子放出素子として熱電子源と冷陰極電子源の２種類が知られている。冷陰極電子には電界放出型（以下ＦＥ型と略す）、金属／絶縁層／金属型（以下ＭＩＭ型と略す）や表面伝導型電子放出素子等がある。
【０００３】
ＦＥ型の例としてはＷ．Ｐ．Ｄｙｋｅ＆Ｗ．Ｗ．Ｄｏｌａｎ、“Ｆｉｅｌｄ  ｅｍｉｓｓｉｏｎ”、Ａｄｖａｎｃｅ  ｉｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｐｈｙｓｉｃｓ、８、８９（１９５６）あるいはＣ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔ，“ＰＨＹＳＩＣＡＬＰｒｏｐｅｒｔｉｅｓ  ｏｆ  ｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ  ｆｉｅｌｄ  ｅｍｉｓｓｉｏｎ  ｃａｔｈｏｄｅｓ  ｗｉｔｈ  ｍｏｌｙｂｄｅｎｉｕｍ  ｃｏｎｅｓ”，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，４７，５２４８（１９７６）等が知られている。
【０００４】
ＭＩＭ型の例としてはＣ．Ａ．Ｍｅａｄ、“Ｔｈｅｔｕｎｎｅｌ−ｅｍｉｓｓｉｏｎ  ａｍｐｌｉｆｉｅｒ、Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，３２，６４６（１９６１）等が知られている。
【０００５】
表面伝導型電子放出素子の例としては、Ｍ．Ｉ．Ｅｌｉｎｓｏｎ、ＲａｄｉｏＥｎｇ．Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｐｙｓ．、１０、（１９６５）等がある。
【０００６】
表面伝導型電子放出素子は基板上に形成された小面積の薄膜に、膜面に並行に電流を流すことにより、電子放出が生ずる現象を利用するものである。この表面伝導型電子放出素子としては、前記エリンソン等によるＳｎＯ2 薄膜を用いたもの、Ａｕ薄膜によるもの［Ｇ．Ｄｉｔｔｍｅｒ：“Ｔｈｉｎ  Ｓｏｌｉｄ  Ｆｉｌｍｓ”、９、３１７（１９７２）］、Ｉｎ2 ０3 ／ＳｎＯ2 薄膜によるもの［Ｍ．Ｈａｒｔｗｅ１１  ａｎｄ  Ｃ．Ｇ．Ｆｏｎｓｔａｄ：“ＩＥＥＥ  Ｔｒａｎｓ．ＥＤ  Ｃｏｎｆ．”、５１９（１９７５）］、カーボン薄膜によるもの［荒木久他：真空、第２６巻、第１号、２２頁（１９８３）］等が報告されている。
【０００７】
これらの表面伝導型電子放出素子の典型的な素子構成として前述のＭ．ハートウェルの素子構成を図１８に示す。同図において１は絶縁性基板である。２は電子放出部形成用薄膜で、Ｈ型形状のパターンに、スパッタで形成された金属酸化物薄膜等からなり、後述のフォーミングと呼ばれる通電処理により電子放出部３が形成される。４は電子放出部を含む薄膜と呼ぶことにする。尚、図中のＬ１は、０．５〜１ｍｍ、Ｗは、０．１ｍｍで設定されている。
【０００８】
従来、これらの表面伝導型電子放出素子においては、電子放出を行う前に電子放出部形成用薄膜２を予めフォーミングと呼ばれる通電処理によって電子放出部３を形成するのが一般的であった。即ち、フォーミングとは前記電子放出部形成用薄膜２の両端に直流電圧あるいは非常にゆっくりとした昇電圧例えば１Ｖ／分程度を印加通過し、電子放出形成用薄膜を局所的に破壊、変形もしくは変質せしめ、電気的に高抵抗な状態にした電子放出部３を形成することである。尚、電子放出部３は電子放出部形成用薄膜２の一部に亀裂が発生しその亀裂付近から電子放出が行われる。以下フォーミングにより形成した電子放出部を含む電子放出部形成用薄膜２を電子放出部を含む薄膜４と呼ぶ。前記フォーミング処理をした表面伝導型電子放出素子は、上述電子放出部を含む薄膜４に電圧を印加し、素子に電流を流すことにより、上述電子放出部３より電子を放出せしめるものである。
【０００９】
しかしながら、これら従来の表面伝導型電子放出素子においては、実用化にあたっては、様々の問題があったが、本出願人等は、後述する様な様々な改善を鋭意検討し、実用化上の様々な問題点を解決してきた。
【００１０】
上述の表面伝導型電子放出素子は、構造が単純で製造も容易であることから、大面積にわたり多数素子を配列形成できる利点がある。そこで、この特徴を生かせるようないろいろな応用が研究されている。例えば、荷電ビーム源、表示装置等があげられる。
【００１１】
多数の表面伝導型電子放出素子を配列形成した例としては、並列に表面伝導型電子放出素子を配列し、個々の素子の両端を配線にてそれぞれ結線した行を多数行配列した電子源があげられる。（例えば、特開昭６４−３１３３２号公報，特開平１−２８３７４９号公報，特開平１−２５７５５２号公報）また、特に表示装置等の画像形成装置においては、近年、液晶を用いた平板型表示装置が、ＣＲＴに替わって、普及してきたが、自発光型でないため、バックライト等を持たなければならない等の問題点があり、自発光型の表示装置の開発が、望まれてきた。表面伝導型電子放出素子を多数配置した電子源と電子源より放出された電子によって、可視光を発光せしめる蛍光体とを組み合わせた表示装置である画像形成装置は、大画面の装置でも比較的容易に製造でき、かつ表示品位の優れた自発光型表示装置である（例えば、ＵＳＰ５０６６８８３号）。
【００１２】
尚、従来、多数の表面伝導型電子放出素子より構成された電子源より、電子放出をし、蛍光体の発光をさせる素子の選択は、上述の多数の表面伝導型電子放出素子を並列に配置し結線した配線（行方向配線と呼ぶ）、行配線と直交する方向に（列方向と呼ぶ）、該電子源と蛍光対間の空間に設置された制御電極（グリッドと呼ぶ）と列方向配線への適当な駆動信号によるものである（例えば、特開平１−２８３７４９号公報等）。
【００１３】
【発明が解決しようとしている課題】
しかしながら、前記電子源、画像形成装置等に用いられる表面伝導型電子放出素子の真空中の挙動は、殆ど判っておらず、安定で制御された電子放出特性、及びその効率の向上が、望まれてきた。
【００１４】
ここで効率とは、表面伝導型電子放出素子の一対の対向する素子電極に電圧を印加したとき、流れる電流（以下、素子電流Ｉｆと呼ぶ）に対する真空中に放出される電流（以下、放出電流Ｉｅと呼ぶ）との電流比をさす。
【００１５】
つまり、素子電流はできるだけ小さく、放出電流はできるだけ大きいことが望ましい。
【００１６】
安定で制御された電子放出特性と効率の向上がなされれば、例えば蛍光体を画像形成部材とする画像形成装置においては、低電流で明るい高品位な画像形成装置、例えば、フラットテレビが実現される。また、低電流化にともない、画像形成装置を構成する駆動回路等も安価になることも期待できる。本発明は、上記問題を鑑み、安定で制御され、素子電流はでき得るだけ小さく且つ放出電流はでき得るだけ大きい、効率の高い電子放出素子の新規な構成とその製造方法及びそれを用いた電子源及び画像形成装置を提供するものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する、本発明の電子放出素子の製造方法は、対向する電極間に、電子放出部を含む導電性膜を有する電子放出素子の製造方法において、亀裂の形成された導電性膜に、有機物質の存在する雰囲気で電圧を印加し、前記導電性膜上に炭素または炭素化合物を堆積させる活性化工程と、前記活性化工程の後、前記炭素または炭素化合物が堆積された導電性膜を、前記活性化工程における雰囲気の真空度よりも高い真空度の雰囲気に配置する工程とを有することを特徴とする。
【００１９】
また、本発明は、複数の電子放出素子を有する電子源の製造方法であって、前記電子放出素子が上述の製造方法により製造されることを特徴とする電子源の製造方法である。
【００２０】
また、本発明は、電子源と画像形成部材とを有する画像形成装置の製造方法であって、前記電子源が上述の製造方法により製造されることを特徴とする画像形成装置の製造方法である。
【００２１】
また、本発明は、電子源と、画像形成部材と、テレビジョン信号受信回路と、受信した画像信号に基づいて画像表示を行なう駆動回路とを有する画像形成装置の製造方法であって、前記電子源が上述の製造方法により製造されることを特徴とする画像形成装置の製造方法である。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好ましい実施態様について述べる。
【００２３】
まず、本発明に係わる表面伝導型電子放出素子の基本的な構成について説明する。
【００２４】
図１の（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、本発明にかかわる基本的な平面型の表面伝導型電子放出素子の構成を示す平面図及び断面図である。図１を用いて、本発明に係わる素子の基本的な構成を説明する。
【００２５】
図１において１は基板、５と６は素子電極、４は電子放出部を含む薄膜（導電性膜）、３は電子放出部である。
【００２６】
基板１としては、石英ガラス、Ｎａ等の不純物含有量を減少したガラス、青板ガラス、青板ガラスにスパッタ法等により形成したＳｉＯ2 を積層したガラス基板等及びアルミナ等のセラミックス等が挙げられる。
【００２７】
対向する素子電極５、６の材料としては導電性を有するものであればどのようなものであっても構わないが、例えばＮｉ、Ｃｒ、Ａｕ、Ｍｏ、Ｗ、Ｐｔ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｄ等の金属或は合金及びＰｄ、Ａｇ、Ａｕ、ＲｕＯ2 、Ｐｄ−Ａｇ等の金属或は金属酸化物とガラス等から構成される印刷導体、Ｉｎ2 Ｏ3 −ＳｎＯ2 等の透明導電体及びポリシリコン等の半導体材料等が挙げられる。
【００２８】
素子電極間隔Ｌ１，素子電極長さＷ１，導電性膜４の形状等は、この素子の応用形態等によって適宜設計され、例えば、後述する表示装置で、テレビジョン等では、画面サイズに対応した画素サイズが設計され、とりわけ、高品位ＴＶでは、画素サイズが小さく、高精細さが要求される。そのため、電子放出素子のサイズが、限定されたなかで、十分な輝度を得るためには、十分な放出電流が得られるように設計される。
【００２９】
素子電極間隔Ｌ１は、数百オングストロームより数百マイクロメートルあり、素子電極の製法の基本となるフォトリソグラフィー技術、即ち、露光機の性能とエッチング方法等、及び、素子電極間に印加する電圧と電子放出し得る電界強度等により設定されるが、好ましくは、数マイクロメートルより数十マイクロメートルである。
【００３０】
素子電極の長さＷ１、及び、素子電極５、６の膜厚ｄは、電極の抵抗値、前述したＸ、Ｙ配線との結線、多数配置された電子源の配置上の問題より適宜設計され、通常は、素子電極の長さＷ１は、数マイクロメートルより数百マイクロメートルであり、素子電極５、６の膜厚ｄは、数百オングストロームより数マイクロメートルである。
【００３１】
基板１上に設けられた対向する素子電極５と素子電極６間及び素子電極５、６上設置された電子放出部を含む薄膜４は、電子放出部３を含むが、図１の（ｂ）に示された場合だけでなく、素子電極５、６上には、設置されない場合もある。即ち、絶縁性基板１上に、電子放出部形成用薄膜２、対向する素子電極５、６の順に積層構成した場合である。また、対向する素子電極５と素子電極６間全てが、製法によっては、電子放出部として機能する場合もある。この電子放出部を含む薄膜４の膜厚は、好ましくは、数オングストロームより数千オングストロームで特に、好ましくは１０オングストロームより５００オングストロームあり、素子電極５、６へのステップカバレージ、電子放出部３と素子電極５、６間の抵抗値及び電子放出部３の導電性微粒子の粒径、後述する通電処理条件等によって、適宜設定される。その抵抗値は、１０の３乗より１０の７乗オーム／□のシート抵抗値を示す。
【００３２】
電子放出部を含む薄膜（導電性膜）４を構成する材料の具体例を挙げるならばＰｄ、Ｒｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｉｎ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｂ等の金属、ＰｄＯ、ＳｎＯ2 、Ｉｎ2 Ｏ3 、ＰｂＯ、Ｓｂ2 Ｏ3 等の酸化物、ＨｆＢ2 、ＺｒＢ2 、ＬａＢ6 、ＣｅＢ6 、ＹＢ4 、ＧｄＢ4 等の硼化物、ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＨｆＣ、ＴａＣ、ＳｉＣ、ＷＣ等の炭化物、ＴｉＮ、ＺｒＮ、ＨｆＮ等の窒化物、Ｓｉ、Ｇｅ等の半導体、カーボン、ＡｇＭｇ、ＮｉＣｕ、Ｐｂ、Ｓｎ等であり、微粒子からなる。
【００３３】
尚、ここで述べる微粒子膜とは、複数の微粒子が集合した膜であり、その微細構造として、微粒子が個々に分散配置した状態のみならず、微粒子が互いに隣接、あるいは重なり合った状態（島状も含む）の膜をさす。
【００３４】
微粒子の粒径は、数オングストロームより数千オングストローム、このましくは、１０オングストロームより２００オングストロームである。
【００３５】
電子放出部３は、導電性膜４の一部に形成された、例えば、亀裂等の高抵抗部であり、更には、好ましくは、数オングストロームより数百オングストローム、特に好ましくは、１０オングストロームより５００オングストロームの粒径の導電性微粒子多数個を有する場合もあり、電子放出部を含む薄膜（導電性膜）４の膜厚及び後述する通電処理条件等の製法に依存しており、適宜設定される。
【００３６】
又、前記導電性微粒子は、電子放出部を含む薄膜（導電性膜）４を構成する材料の元素の一部あるいは全てと同様の物である。
【００３７】
又、電子放出部３の一部、更には、電子放出部３の近傍の導電性膜４には、炭素あるいは炭素化合物が堆積されている。
【００３８】
次に本発明に係る別な構成の表面伝導型電子放出素子である垂直型表面導電型電子放出素子について説明する。
【００３９】
図１２は基本的な垂直型表面伝導型電子放出素子の構成を示す模式的図面である。
【００４０】
図１２において、図１と同一の符号のものは、同一である。２１は段さ形成部である。
【００４１】
基板１、素子電極５と６、電子放出部を含む薄膜４、電子放出部３は、前述した平面型表面伝導型電子放出素子と同様の材料で構成されたものであり、段さ形成部２１は、真空蒸着法、印刷法、スパッタ法等で形成されたＳｉＯ2等の絶縁性材料で構成され、段さ形成部２１の膜厚が、先に述べた平面型表面伝導型電子放出素子の素子電極間隔Ｌに対応し、数十ナノメートルより数十マイクロメートルであり、段さ形成部の製法、及び、素子電極間に印加する電圧と電子放出し得る電界強度により設定されるが、好ましくは、数十ナノメートルより数マイクロメートルである。
【００４２】
電子放出部を含む薄膜４は、素子電極５、６と段さ形成部２１作成後に、形成するため、素子電極５、６の上に積層される。なお、電子放出部３は、図１２において、段差形成部２１に直線状に示されているが、作成条件、通電フォーミング条件等に依存し、形状、位置ともこれに限るものでない。
【００４３】
電子放出部３を有する電子放出素子の製造方法としては様々な方法が考えられるが、その一例を図２に示す。尚、図２中、２は電子放出部形成用薄膜（導電性膜）で例えば微粒子膜が挙げられる。
【００４４】
以下、順をおって製造方法の説明を図１及び図２に基づいて説明する。
１）基板１を洗剤、純水および有機溶剤により十分に洗浄後、真空蒸着法、スパッタ法等により素子電極材料を堆積後、フォトリソグラフィー技術により該絶縁性基板１の面上に素子電極５、６を形成する（図２の（ａ））。
２）絶縁性基板１上に設けられた素子電極５と素子電極６との間に、素子電極５と６を形成した絶縁性基板上に有機金属溶液を塗布して放置することにより、有機金属薄膜を形成する。なお、有機金属溶液とは、前記Ｐｄ、Ｒｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｉｎ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｂ等の金属を主元素とする有機化合物の溶液である。この後、有機金属薄膜を加熱焼成処理し、リフトオフ、エッチング等によりパターニングし、電子放出部形成用薄膜２を形成する（図２の（ｂ））。尚、ここでは、有機金属溶液の塗布法により説明したが、これに限る物でなく、真空蒸着法、スパッタ法、化学的気相堆積法、分散塗布法、ディッピング法、スピンナー法等によって形成される場合もある。
３）つづいて、フォーミングと呼ばれる通電処理を素子電極５、６間に電圧を不図示の電源によりパルス状あるいは、昇電圧による通電処理がおこなわれると、電子放出部形成用薄膜（導電性膜）２の部位に構造の変化した電子放出部３が形成される（図２の（ｃ））。この通電処理により電子放出部形成用薄膜（導電性膜）２を局所的に破壊、変形もしくは変質せしめ、構造の変化した部位（高抵抗部位）を電子放出部３と呼ぶ。
【００４５】
フォーミング処理以降の電気的処理は、図３に示す測定評価装置内で行う。以下に測定評価装置を説明する。
【００４６】
図３は、図１で示した構成を有する素子の電子放出特性を測定するための測定評価装置の概略構成図である。図３において、１は基体、５及び６は素子電極、４は電子放出部を含む薄膜、３は電子放出部を示す。また、３１は素子に素子電圧Ｖｆを印加するための電源、３０は素子電極５、６間の電子放出部を含む薄膜４を流れる素子電流Ｉｆを測定するための電流計、３４は素子の電子放出部より放出される放出電流Ｉｅを捕捉するためのアノード電極、３３はアノード電極３４に電圧を印加するための高圧電源、３２は素子の電子放出部３より放出される放出電流Ｉｅを測定するための電流計である。
【００４７】
電子放出素子の上記素子電流Ｉｆ、放出電流Ｉｅの測定にあたっては、素子電極５、６に電源３１と電流計３０とを接続し、該電子放出素子の上方に電源３３と電流計３２とを接続したアノード電極３４を配置している。また、電子放出素子及びアノード電極３４は真空装置内に設置され、その真空装置には不図示の排気ポンプ及び真空計等の真空装置に必要な機器が具備されており、所望の真空下で素子の測定評価を行えるようになっている。尚、排気ポンプは、ターボポンプ、ロータリーポンプからなる通常の高真空装置系あるいは、オイルを使用しない、磁気浮上ターボポンプ、ドライポンプ等の高真空装置系と更に、イオンポンプからなる超高真空装置系からなる。また、真空装置全体、及び電子源基板は、不図示のヒーターにより２００℃まで加熱できる。
【００４８】
なお、アノード電極の電圧は１ｋＶ〜１０ｋＶ、アノード電極と電子放出素子との距離Ｈは２ｍｍ〜８ｍｍの範囲で測定した。
【００４９】
フォーミング処理は、パルス波高値が定電圧のパルスを印加する場合とパルス波高値を増加させながら、電圧パルスを印加する場合とがある。まず、パルス波高値が定電圧のパルスを印加の場合の電圧波形を図４の（ａ）に示す。
【００５０】
図４の（ａ）中、Ｔ１及びＴ２は電圧波形のパルス幅とパルス間隔であり、Ｔ１を１マイクロ秒〜１０ミリ秒、Ｔ２を１０マイクロ秒〜１００ミリ秒とし、三角波の波高値（フォーミング時のピーク電圧）は適宜選択し、真空雰囲気下で印加する。
【００５１】
次に、パルス波高値を増加させながら、電圧パルスを印加する場合の電圧波形を、図４の（ｂ）に示す。
【００５２】
図４の（ｂ）中、Ｔ１及びＴ２は電圧波形のパルス幅とパルス間隔であり、Ｔ１を１マイクロ秒〜１０ミリ秒、Ｔ２を１０マイクロ秒〜１００ミリ秒とし、三角波の波高値（フォーミング時のピーク電圧）は、例えば０．１Ｖステップ程度づつ、増加させ、真空雰囲気下で印加する。
【００５３】
尚、フォーミング処理の終了は、パルス間隔Ｔ２中に、電子放出部形成用薄膜２を局所的に破壊、変形しない程度の電圧例えば０．１Ｖ程度の電圧で、素子電流を測定し、抵抗値を求め、例えば、１Ｍオーム以上の抵抗を示した時、フォーミングを終了とした。この時の電圧を、フォーミング電圧Ｖｆｏｒｍと呼ぶことにする。
【００５４】
以上説明した電子放出部を形成する際に、素子の電極間に三角波パルスを印加してフォーミング処理を行っているが、素子の電極間に印加する波形は三角波に限定することはなく、矩形波など所望の波形を用いても良く、その波高値及びパルス幅、パルス間隔等についても上述の値に限ることなく、電子放出部が良好に形成される様に、電子放出素子の抵抗値等にあわせて、所望の値を選択する。
【００５５】
また、このフォーミング電圧は、素子の材料，構成等により一義的に決まるので、上記図４の（ｂ）に示すようなパルス波高値を増加させながら、電圧パルスを印加する場合の方が、個々の素子に適正なフォーミングのエネルギーが容易に得られ、良好な電子放出特性が得られるので好ましい。
４）次に、フォーミングが終了した素子に活性化処理と呼ぶ処理を施す。活性化処理とは、１０のマイナス４乗〜１０のマイナス５乗ｔｏｒｒ程度の真空度で、フォーミング同様、パルス波高値が定電圧のパルスの印加を繰りかえす処理のことを言い、真空中に存在する有機物質から、炭素あるいは炭素化合物を堆積することで、素子電流Ｉｆ、放出電流Ｉｅが、著しく変化する処理である。素子電流Ｉｆと放出電流Ｉｅを測定しながら、例えば、放出電流Ｉｅが飽和した時点で、活性化処理を終了する。素子電流Ｉｆ、放出電流Ｉｅの活性化処理時間依存例を図５に示す。
【００５６】
活性化処理は、真空度、素子に印加するパルス電圧等に依存して、この素子電流Ｉｆ、放出電流Ｉｅの時間依存が変化し、またフォーミング処理によって、変形、変質した薄膜への被膜（堆積物）の形成状態が変化する。
【００５７】
活性化処理電圧が、フォーミング電圧Ｖformに比べて、十分に高いパルスを印加し活性化処理する場合を高抵抗活性化処理と呼ぶこととする。一方、活性化処理電圧が、フォーミング電圧Ｖformに比べて、十分に低いパルスを印加し活性化処理する場合を低抵抗活性化処理と呼ぶこととする。尚、後述する電圧制御型負性抵抗を示す開始電圧ＶＰをただしくは、ほぼ、境界として活性化処理が分類される。
【００５８】
高抵抗活性化処理、低抵抗活性化処理の場合の素子の形態変化を観察したものの模式図が図６の（ａ）、（ｂ）である。尚、上記観察は、ＦＥＳＥＭ、ＴＥＭ等によって行った。
【００５９】
図６の（ａ）、（ｂ）は、それぞれ高抵抗活性化処理、低抵抗活性化処理した場合の素子の断面である。尚、５を高電位側電極、６を低電位側電極として、電圧の印加が行われた。高抵抗活性化処理の場合を示す図６の（ａ）では、フォーミングによって、導電性膜４に、亀裂などの変形、変質をせしめた部分（高抵抗部分）３の一部より主として高電位電極５側の導電性膜４上に炭素あるいは炭素化合物６１が堆積している。更に高倍率で観察すると微粒子の周囲及び周辺にも堆積している。また、対向する素子電極間距離にもよるが、素子電極にも炭素あるいは炭素化合物６１が堆積する場合もある。その膜厚は、好ましくは、５００オングストローム以下、より好ましくは、３００オングストローム以下である。
【００６０】
尚ここで、炭素あるいは炭素化合物とは、ＴＥＭ、ラマン等の結果、グラファイト（単、多結晶双方を指す）、非晶質カーボン（非晶質カーボン及び多結晶グラファイトとの混合物を指す）である。
【００６１】
一方、低抵抗活性化処理の場合を示す図６の（ｂ）では、フォーミングによって変形、変質せしめた部分３の一部に炭素あるいは炭素化合物６１が堆積している。更に高倍率で観察すると微粒子の周囲及び周辺にも堆積している。
【００６２】
尚、ここで、炭素あるいは炭素化合物とは、先と同様、ＴＥＭ、ラマン等の結果、グラファイト（単、多結晶双方を指す）、非晶質カーボン（非晶質カーボン及び多結晶グラファイトとの混合物を指す）である。
５）こうして作成した電子放出素子を、好ましくは、フォーミング処理及び活性化処理した真空度より高い真空度の真空雰囲気にて駆動する。また、フォーミング処理及び活性化処理した真空度より高い真空度の真空雰囲気とは、好ましくは、約１０のマイナス６乗ｔｏｒｒ以上の真空度を有する真空度であり、より好ましくは、超高真空系で、炭素、及び炭素化合物の新たに、ほぼ、堆積しない真空度である。
【００６３】
従って、これによって、これ以上の炭素及び炭素化合物の堆積を抑制する事が可能となり、素子電流Ｉｆ、放出電流Ｉｅが、一定に安定する。
【００６４】
尚、高抵抗活性化処理、低抵抗活性化処理の場合の素子では、駆動初期における安定性が異なり、より好ましくは、高抵抗活性化処理が活性化処理として選択される。
【００６５】
上述のような素子構成と製造方法によって作成された本発明にかかわる電子放出素子の基本特性について図３、図７を用いて説明する。
【００６６】
図３に示した測定評価装置により測定された放出電流Ｉｅ及び素子電流Ｉｆと素子電圧Ｖｆの関係の典型的な例を図７に示す。尚、図７は放出電流Ｉｅは素子電流Ｉｆに比べて著しく小さいので、任意単位で示されている。図７からも明らかなように、本電子放出素子は放出電流Ｉｅに対する３つの特性を有する。
【００６７】
まず第１に、本素子はある電圧（しきい値電圧と呼ぶ、図７中のＶｔｈ）以上の素子電圧を印加すると急激に放出電流Ｉｅが増加し、一方しきい値電圧Ｖｔｈ以下では放出電流Ｉｅがほとんど検出されない。すなわち、放出電流Ｉｅに対する明確なしきい値電圧Ｖｔｈを持った非線形素子である。
【００６８】
第２に、放出電流Ｉｅが素子電圧Ｖｆに依存するため、放出電流Ｉｅは素子電圧Ｖｆで制御できる。
【００６９】
第３にアノード電極３４に捕捉される放出電荷は、素子電圧Ｖｆを印加する時間に依存する。すなわち、アノード電極３４に捕捉される電荷量は、素子電圧Ｖｆを印加する時間により制御できる。
【００７０】
一方、素子電流Ｉｆは素子電圧Ｖｆに対して単調増加する（ＭＩ特性と呼ぶ）特性（図７の実線）及び電圧制御型負性抵抗（ＶＣＮＲ特性と呼ぶ）特性（図７の破線）を示す場合があるが、これら素子電流の特性は、その製法に依存する。又、ＶＣＮＲ特性を示す境界電圧をＶｐという。
【００７１】
即ち、素子電流ＩｆのＶＣＮＲ特性は、通常の真空装置系で、フォーミングを行ったとき発生し、その特性は、フォーミング時の電気的条件、真空装置系の真空雰囲気条件等、あるいは、フォーミングを既に行った電子放出素子の測定時の真空装置系の真空雰囲気条件、測定時の電気的測定条件（例えば、電子放出素子の電流−電圧特性を得るために、素子に印加する電圧を低電圧から高電圧まで掃引した時の掃引速度等）測定時までの電子放出素子の真空装置内の放置時間等に依存して、大きく変わることが判明した。またこの時、放出電流Ｉｅは、ＭＩ特性を示す。
【００７２】
以上のような表面伝導型電子放出素子の特性、即ち、素子電流Ｉｆ、放出電流Ｉｅの素子印加電圧に対する単調増加特性を有するため、本発明にかかわる電子放出素子は、多方面への応用が期待できる。
【００７３】
尚、あらかじめ導電性微粒子を分散して構成した表面伝導型電子放出素子においては、前記本発明の基本的な素子構成の基本的な製造方法のうちの一部を変更してもよい。
【００７４】
以上表面伝導型電子放出素子の基本的な構成、製法について述べたが、本発明の思想によれば、表面伝導形電子放出素子の特性で上述の３つの特徴を有すれば、上述の構成等に限定されず、後述の電子源、表示装置等の画像形成装置に於いても適用できる。
【００７５】
次に、本発明の電子源及び画像形成装置について述べる。
【００７６】
本発明の電子放出素子を複数個、基板上に配列して、電子源あるいは、画像形成装置が構成できる。
【００７７】
基板上の配列の方式には、例えば、従来例で述べた、多数の表面伝導型電子放出素子を並列に配置し、個々の素子の両端を配線にて結線した、電子放出素子の行を多数配列し（行方向と呼ぶ）、この配線と直交する方向に（列方向と呼ぶ）、該電子源の上方の空間に設置された制御電極（グリッドと呼ぶ）により電子を制御駆動する配列形態（以後、はしご型という）、及び次に述べるｍ本のＸ方向配線の上にｎ本のＹ方向配線を、層間絶縁層を介して設置し、表面伝導形電子放出素子の一対の素子電極にそれぞれ、Ｘ方向配線、Ｙ方向配線を接続した配列形態が挙げられる。これを単純マトリクス配置と以降呼ぶ。
【００７８】
次に、この単純マトリクスについて詳述する。
【００７９】
本発明にかかわる表面伝導型電子放出素子の前述した３つの基本的特性の特徴によれば、表面伝導型電子放出素子からの放出電子は、しきい値電圧以上では、対向する素子電極間に印加するパルス状電圧の波高値と巾で制御される。一方、しきい値電圧以下では、殆ど放出されない。この特性によれば、多数の電子放出素子を配置した場合においても、個々の素子に、上記パルス状電圧を適宜印加すれば、入力信号に応じて、表面伝導型電子放出素子を選択し、その電子放出量が制御できる事となる。
【００８０】
以下、この原理に基づき構成した電子源基板の構成について、図８を用いて説明する。
【００８１】
ｍ本のＸ方向配線８２は、ＤＸ１、ＤＸ２、・・・ＤＸｍからなり、絶縁性基板１上に、真空蒸着法、印刷法、スパッタ法等で形成し、所望のパーターンとした導電性金属等からなり、多数の表面伝導型電子放出素子にほぼ均等な電圧が供給される様に、材料、膜厚、配線巾が設定される。Ｙ方向配線８３は、ＤＹ１、ＤＹ２、・・・ＤＹｎのｎ本の配線よりなり、Ｘ方向配線８２と同様に、真空蒸着法、印刷法、スパッタ法等で形成し、所望のパーターンとした導電性金属等からなり、多数の表面伝導型電子放出素子にほぼ均等な電圧が供給される様に、材料、膜厚、配線巾等が設定される。これらｍ本のＸ方向配線８２とｎ本のＹ方向配線８３間には、不図示の層間絶縁層が設置され、電気的に分離されて、マトリックス配線を構成する（このｍ、ｎは、共に正の整数）。
【００８２】
不図示の層間絶縁層は、真空蒸着法、印刷法、スパッタ法等で形成されたＳｉＯ2 等であり、Ｘ方向配線８２を形成した絶縁性基板１の全面あるいは一部に所望の形状で形成され、特に、Ｘ方向配線８２とＹ方向配線８３の交差部の電位差に耐え得る様に、膜厚、材料、製法が適宜設定される。Ｘ方向配線８２とＹ方向配線８３は、それぞれ外部端子として引き出されている。
【００８３】
更に、前述と同様にして、表面伝導型電子放出素子８４の対向する電極（不図示）が、ｍ本のＸ方向配線８２（ＤＸ１、ＤＸ２、・・・ＤＸｍ）とｎ本のＹ方向配線８３（ＤＹ１、ＤＹ２、・・・ＤＹｎ）と、真空蒸着法、印刷法、スパッタ法等で形成された導電性金属等からなる結線８５によって電気的に接続されているものである。
【００８４】
ここで、ｍ本のＸ方向配線８２とｎ本のＹ方向配線８３と結線８５と対向する素子電極の導電性金属は、その構成元素の一部あるいは全部が同一であっても、またそれぞれ異なってもよく、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｕ、Ｍｏ、Ｗ、Ｐｔ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｄ等の金属あるいは合金及びＰｄ、Ａｇ、Ａｕ、ＲｕＯ２、Ｐｄ−Ａｇ等の金属あるいは金属酸化物とガラス等から構成される印刷導体、Ｉｎ２Ｏ３−ＳｎＯ２等の透明導体及びポリシリコン等の半導体材料等より適宜選択される。また表面伝導型電子放出素子は、絶縁性基板１、あるいは、不図示の層間絶縁層上どちらに形成してもよい。
【００８５】
又、詳しくは、後述するが、前記Ｘ方向配線８２には、Ｘ方向に配列する表面伝導型電子放出素子８４の行を、入力信号に応じて、走査するための走査信号を印加するための不図示の走査信号印加手段と電気的に接続され、
一方、Ｙ方向配線８３には、Ｙ方向に配列する表面伝導型電子放出素子８４の列の各列を入力信号に応じて、変調するための変調信号を印加するための不図示の変調信号発生手段と電気的に接続される。
【００８６】
更に、表面伝導型電子放出素子の各素子に印加される駆動電圧は、当該素子に印加される走査信号と変調信号の差電圧として供給されるものである。
【００８７】
次に、以上のようにして作成した電子源基板を用いた電子源、及び、表示等に用いる画像形成装置について図９と図１０を用いて説明する。図９は画像形成装置の基本構成図であり、図１０は蛍光膜である。
【００８８】
図９において、１は基板、９１は基板１を固定したリアプレート、９６は、ガラス基板９３の内面に蛍光膜９４とメタルバック９５等が形成されたフェースプレート、９２は、支持枠であり、リアプレート９１、支持枠９２及びフェースプレート９６をフリットガラス等を塗布し、大気中あるいは、窒素中で、４００〜５００℃で１０分以上焼成することで、封着して、外囲器９８を構成する。
【００８９】
図９において、８４は、図１あるいは図１２に示された表面伝導型電子放出素子に相当する。８２、８３は、表面伝導形電子放出素子の一対の素子電極と接続されたＸ方向配線及びＹ方向配線である。また、これら素子電極への配線は、素子電極と配線材料が同一である場合は、素子電極と呼ぶ場合もある。
【００９０】
外囲器９８は、上述の如く、フェースプレート９６、支持枠９２、リアプレート９１で外囲器９８を構成したが、リアプレート９１は主に基板１の強度を補強する目的で設けられてるため、基板１自体で十分な強度を持つ場合は別体のリアプレート９１は不要であり、基板１に直接支持枠９２を封着し、フェースプレート９６、支持枠９２、基板１にて外囲器９８を構成しても良い。
【００９１】
図１０は、蛍光膜である。蛍光膜９４は、モノクロームの場合は蛍光体のみから成るが、カラーの蛍光膜の場合は、蛍光体の配列によりブラックストライプあるいはブラックマトリクスなどと呼ばれる黒色導伝材１０１と蛍光体１０２とで構成される。ブラックストライプ、ブラックマトリクスが設けられる目的は、カラー表示の場合必要となる３原色蛍光体の、各蛍光体１０２間の塗り分け部を黒くすることで混色等を目立たなくすることと、蛍光膜９４における外光反射によるコントラストの低下を抑制することである。ブラックストライプの材料としては、通常良く用いられている黒鉛を主成分とする材料だけでなく、導電性があり、光の透過及び反射が少ない材料であればこれに限るものではない。
【００９２】
ガラス基板９３に蛍光体を塗布する方法はモノクローム、カラーによらず、沈殿法や印刷法が用いられる。
【００９３】
また、蛍光膜９４の内面側には通常メタルバック９５が設けられる。メタルバックの目的は、蛍光体の発生のうち内面側への光をフェースプレート９６側へ鏡面反射することにより輝度を向上すること、電子ビーム加速電圧を印加するための電極として作用すること、外囲器内で発生した負イオンの衝突によるダメージからの蛍光体の保護等である。メタルバックは、蛍光膜作製後、蛍光膜の内面側表面の平滑化処理（通常フィルミングと呼ばれる）を行い、その後Ａ１を真空蒸着等で堆積することで作製できる。
【００９４】
フェースプレート９６には、更に蛍光膜９４の導伝性を高めるため、蛍光膜９４の外面側に透明電極（不図示）が設けてもよい。
【００９５】
前述の封着を行う際、カラーの場合は各色蛍光体と電子放出素子とを対応させなくてはいけないため、十分な位置合わせを行なう必要がある。
【００９６】
外囲器９８は、不図示の排気管を通じ、１０のマイナス６乗トール程度の真空度にされ、外囲器９８の封止がおこなわれる。
【００９７】
尚、電子源基板は、前述した通りに電子放出部を形成した図１あるいは図１２の素子が、基板上に上記の如く配置、配線されたものでも良いが、好ましくは電子放出部形成前の素子、例えば図２の（ｂ）にしされた状態の素子を、基板上に上記の如く配置、配線し、これを図９に示す外囲器９８内に配置した後、不図示の排気管を通じ、例えば、ロータリーポンプ、ターボポンプをポンプ系とする様な通常の真空装置系で該外囲器内を、１０のマイナス６乗トール程度の真空度とし、容器外端子Ｄｏｘ１ないしＤｏｘｍとＤｏｙ１ないしＤｏｙｎを通じ素子電極５、６（図２の（ｂ））間に電圧を印加し、上述のフォーミングを行い、次に、前記活性化処理を、該外囲器内を１０のマイナス６乗トール程度の真空度として行うことにより電子放出部３を形成して、電子源基板を作製する。
【００９８】
以上の様に作製の後、特には、その後、８０度〜１５０度でベーキングを３〜１５時間行いながら、例えば、イオンポンプ等のポンプ系とする超高真空装置系にきりかえる。超高真空系の切り替え、及びベーキングは、前述の表面伝導型電子放出素子の素子電流Ｉｆ、放出電流Ｉｅの単調増加特性（ＭＩ特性）を満足するためであり、その方法、条件はこれに限るものでない。また、外囲器９８の封止後の真空度を維持するために、ゲッター処理を行う場合もある。これは、外囲器９８の封止を行う直前あるいは封止後に、抵抗加熱あるいは高周波加熱等の加熱法により、外囲器９８内の所定の位置（不図示）に配置されたゲッターを加熱し、蒸着膜を形成する処理である。ゲッターは通常Ｂａ等が主成分であり、該蒸着膜の吸着作用により、たとえば１×１０マイナス５乗ないしは１×１０マイナス７乗［Ｔｏｒｒ］の真空度を維持するものである。
【００９９】
以上により完成した本発明の画像表示装置において、各電子放出素子には、容器外端子Ｄｏｘ１ないしＤｏｘｍ、Ｄｏｙ１ないしＤｏｙｎを通じ、電圧を印加することにより、電子放出させ、高圧端子Ｈｖを通じ、メタルバック９５あるいは透明電極（不図示）に数ｋＶ以上の高圧を印加し、電子ビームを加速し、蛍光膜９４に衝突させ、励起・発光させることで画像を表示するものである。
【０１００】
以上述べた構成は、表示等に用いられる好適な画像形成装置を作製する上で必要な概略構成であり、例えば各部材の材料等、詳細な部分は上述内容に限られるものではなく、画像装置の用途に適するよう適宜選択する。
【０１０１】
【実施例】
以下に、実施例をあげて、本発明をさらに詳述する。
【０１０２】
（実施例１）
本発明にかかわる基本的な表面伝導型電子放出素子の構成は、図１の（ａ）、（ｂ）の平面図及び断面図と同様である。
【０１０３】
尚、基板１上には、同一形状の素子が図１１に示すように４個形成されている。尚、図１１において、図１と同一の番号のものは、同一のものを示す。
【０１０４】
本発明に係わる表面伝導形電子放出素子の製造法は、基本的には図２と同様である。以下、図１、図２を用いて、本発明に係わる素子の基本的な構成及び製造法を説明する。
【０１０５】
図１において、１は基板、５と６は素子電極、４は電子放出部を含む薄膜、３は電子放出部である。
【０１０６】
以下、順をおって製造方法の説明を図１及び図２に基づいて説明する。
【０１０７】
工程−ａ：
清浄化した青板ガラス上に厚さ０．５ミクロンのシリコン酸化膜をスパッタ法で形成した基板１上に、素子電極５と素子電極間ギャップＧとなるべきパターンをホトレジスト（ＲＤ−２０００Ｎ−４１日立化成社製）で形成し、真空蒸着法により、厚さ５０ÅのＴｉ、厚さ１０００ÅＮｉを順次堆積した。ホトレジストパターンを有機溶剤で溶解し、Ｎｉ／Ｔｉ堆積膜をリフトオフし、素子電極間隔Ｇは３ミクロンとし、素子電極の幅Ｗ１を３００ミクロンを有する素子電極５、６を形成した（図２の（ａ））。
【０１０８】
工程−ｂ：
素子間電極ギャップＧおよびこの近傍に開口を有するマスクにより膜厚１０００ÅのＣｒ膜１２１を真空蒸着により堆積・パターニングし、そのうえに有機Ｐｄ（ｃｃｐ４２３０奥野製薬（株）社製）をスピンナーにより回転塗布、３００℃で１０分間の加熱焼成処理をした。また、こうして形成された主元素としてＰｂよりなる微粒子からなる電子放出部形成用薄膜２の膜厚は１００オングストローム、シート抵抗値は２×１０の４乗Ω／□であった。なおここで述べる微粒子膜とは、上述したように、複数の微粒子が集合した膜であり、その微細構造として、微粒子が個々に分散配置した状態のみならず、微粒子が互いに隣接、あるいは、重なり合った状態（島状も含む）の膜をさし、その粒径とは、前記状態で粒子形状が認識可能な微粒子についての径をいう。
【０１０９】
工程−ｃ：
Ｃｒ膜および焼成後の電子放出部形成用薄膜２を酸エッチャントによりエッチングして所望のパターンを形成した。
【０１１０】
以上の工程により基板１上に、素子電極５、６、電子放出部形成用薄膜２等を形成した（図２の（ｂ））。
【０１１１】
工程−ｄ：
次に、図３の測定評価装置に設置し、真空ポンプにて排気し、２×１０のマイナス５乗ｔｏｒｒの真空度に達した後、素子に素子電圧Ｖｆを印加するための電源３１より、４素子各々の素子電極５、６間にそれぞれ、電圧を印加し、通電処理（フォーミング処理）した。フォーミング処理の電圧波形を図４の（ｂ）に示す。
【０１１２】
図４の（ｂ）中、Ｔ１及びＴ２は電圧波形のパルス幅とパルス間隔であり、本実施例ではＴ１を１ミリ秒、Ｔ２を１０ミリ秒とし、矩形波の波高値（フォーミング時のピーク電圧）は０．１Ｖステップで昇圧し、フォーミング処理を行なった。また、フォーミング処理中は、同時に、０．１Ｖの電圧で、Ｔ２間に抵抗測定パルスを挿入し、抵抗を測定した。尚フォーミング処理の終了は、抵抗測定パルスでの測定値が、約１Ｍオーム以上になった時とし、同時に、素子への電圧の印加を終了した。それぞれの素子のフォーミング電圧Ｖformは、５．１Ｖ、５．０Ｖ、５．０Ｖ、５．１５Ｖであった。
【０１１３】
工程−ｅ：
続いて、フォーミング処理した４素子に対しそれぞれ、図４の（ｂ）の波形で矩形波の波高値をそれぞれ４Ｖと１４Ｖで、各２個づつ活性化処理をした。低抵抗活性化処理つまり、４Ｖで活性化処理した素子サンプルを素子Ａ、高抵抗活性化処理、つまり１４Ｖで活性化処理をした素子サンプルを素子Ｂと呼ぶことにする。
【０１１４】
活性化処理とは前述した様に、図３の測定評価装置内で、素子電極間にパルス電圧を、素子電流Ｉｆ及び放出電流Ｉｅを測定しながら、印加した。尚、この時、図３の測定評価装置内の真空度は、１．５×１０のマイナス５乗ｔｏｒｒであった。約３０分で活性化処理を終了した。
【０１１５】
こうして、電子放出部３を形成し電子放出素子を作製した。
【０１１６】
上述の工程で作製した表面伝導形電子放出素子の特性及び形態を把握するために、上記素子Ａ、Ｂを各１個づつ、その電子放出特性の測定を上述の図３の測定評価装置を用いて行った。また残りの１個づつを電子顕微鏡で観察した。
【０１１７】
なお、アノード電極と電子放出素子間の距離を４ｍｍ、アノード電極の電位を１ｋＶ、電子放出特性測定時の真空装置内の真空度を１×１０のマイナス６乗ｔｏｒｒとした。素子Ａ、Ｂとも、電極５及び６の間に素子電圧を１４Ｖ印加し、その時に流れる素子電流Ｉｆ及び放出電流Ｉｅを測定した。素子Ａでは、測定開始直後に１０ｍＡ程度の素子電流Ｉｆが流れ、次第に減少し、それにともない、放出電流Ｉｅが観察された。一方、素子Ｂでは、測定初期より、安定した素子電流Ｉｆ、放出電流Ｉｅが観察され、素子電圧１４Ｖでは素子電流Ｉｆが２．０ｍＡ、放出電流Ｉｅが１．０μＡとなり、電子放出効率η＝Ｉｅ／Ｉｆ×１００（％）は０．０５％であった。以上より、素子Ａは、素子電流Ｉｆが、測定初期において、著しく大きく、不安定であるが、一方、素子Ｂでは測定初期より、安定でかつ効率ηのよい電子放出素子であることがわかる。
【０１１８】
また、素子Ｂについて、活性化処理の真空度１．５×１０のマイナス５乗に戻し、素子に０．００５Ｈｚ程度の三角波で電圧を掃印しながら、素子電流Ｉｆ、放出電流Ｉｅを測定すると、図７に示される破線の特性を示した。図７に示される様に、約５Ｖ前後まで、素子電流Ｉｆは、単調増加したのち、５Ｖ以上で電圧制御型負性抵抗を示す。この時、素子電流Ｉｆが最大を示す電圧（ＶＰと呼ぶ）は、５Ｖである。また１０Ｖ以上では、素子電流Ｉｆは、最大の素子電流の数分の１の１ｍＡ程度であった。
【０１１９】
電子顕微鏡で観察した素子Ａ、Ｂの形態は、図６の（ａ）、（ｂ）に示したものと同様である。図６の（Ｂ）より素子Ａでは、素子電極間の薄膜（導電性膜）４の変質部分３の一部に多くの被膜（堆積物）６１が形成されているのがわかる。一方、素子Ｂでは、図６の（ａ）より、活性化処理時の素子への電圧の印加方向に依存して、特に、変質部分３の一部より高電位電極５側の導電性膜４上を主として、被膜（堆積物）６１が形成されていた。更に、高倍率のＦＥＳＥＭ（２次電子顕微鏡の略）で観察すると、この被膜は、金属微粒子の周囲及び微粒子間にも形成されているようであった。
【０１２０】
尚、ＴＥＭ（透過電子顕微鏡）ラマン等で観察すると、グラファイト、アモルファスカーボンからなる炭素被膜が観察された。
【０１２１】
又、これらの観察により、素子Ａでは、先に述べた電圧制御型負性抵抗を示す電圧Ｖｐ以下で活性化されたため、フォーミング処理によって発生した薄膜の変質部の一部に、素子Ｂより多くの炭素が形成され、著しく大きな素子電流が流れ、測定電圧で、薄膜変質部の高電位側と低電位側間に形成された炭素被膜が電流パスとなり、素子Ｂの数倍の素子電流が流れ、駆動初期から素子電流が変動したと考えられる。
【０１２２】
一方、高抵抗活性化処理をおこなった素子Ｂでは、先に述べた電圧制御型負性抵抗を示す電圧Ｖｐ以上で活性化されたため、素子Ａ同様に、変質部の一部に炭素被膜が形成されながらも、素子Ａよりは炭素被膜の部分的に電気的に切断された部位が多いと考えられる。このため、駆動初期より安定した電流になったと考えられる。
【０１２３】
以上より高抵抗活性化処理により、素子電流Ｉｆ、放出電流Ｉｅが安定し、かつ、効率のよい電子放出が作成された。
【０１２４】
（実施例２）
本実施例は、多数の表面伝導形電子放出素子を単純マトリクス配置した画像形成装置の例である。
【０１２５】
電子源の一部の平面図を図１３に示す。また、図中のＡ−Ａ′断面図を図１４に示す。但し、図１３、図１４、図１５、図１６で、同じ記号を示したものは、同じものを示す。ここで１は基板、８２は図８のＤｘｍに対応するＸ方向配線（下配線とも呼ぶ）、８３は図８のＤｙｎに対応するＹ方向配線（上配線とも呼ぶ）、４は電子放出部を含む薄膜、５、６は素子電極、１４１は層間絶縁層、１４２は素子電極５と下配線８２と電気的接続のためのコンタクトホールである。
【０１２６】
次に、製造方法を図１５、図１６により工程順に従って具体的に説明する。
【０１２７】
工程−ａ：
清浄化した青板ガラス上に厚さ０．５ミクロンのシリコン酸化膜をスパッタ法で形成した基板１上に、真空蒸着により厚さ５０オングストロ−ムのＣｒ、厚さ６０００オングストロ−ムのＡｕを順次積層した後、ホトレジスト（ＡＺ１３７０ヘキスト社製）をスピンナーにより回転塗布、ベークした後、ホトマスク像を露光、現像して、下配線８２のレジストパターンを形成し、Ａｕ／Ｃｒ堆積膜をウエットエッチングして、所望の形状の下配線８２を形成する（図１５の（ａ））。
【０１２８】
工程−ｂ：
次に、厚さ１．０ミクロンのシリコン酸化膜からなる層間絶縁層１４１をＲＦスパッタ法により堆積する（図１５の（ｂ））。
【０１２９】
工程−ｃ：
前記工程ｂで堆積したシリコン酸化膜にコンタクトホール１４２を形成するためのホトレジストパターンを作り、これをマスクとして層間絶縁層１４１をエッチングしてコンタクトホール１４２を形成する。エッチングはＣＦ４とＨ２ガスを用いたＲＩＥ（Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｉｏｎ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）法によった（図１５の（ｃ））。
【０１３０】
工程−ｄ：
その後、素子電極５と素子電極間ギャップＧとなるべきパターンをホトレジスト（ＲＤ−２０００Ｎ−４１日立化成社製）で形成し、真空蒸着法により、厚さ５０オングストロ−ムのＴｉ、厚さ１０００オングストロ−ムのＮｉを順次堆積した。ホトレジストパターンを有機溶剤で溶解し、Ｎｉ／Ｔｉ堆積膜をリフトオフし、素子電極間隔Ｇは３ミクロン、素子電極の幅Ｗ１は３００ミクロンとし、素子電極５、６を形成した（図１５の（ｄ））。
【０１３１】
工程−ｅ：
素子電極５、６の上に上配線８３のホトレジストパターンを形成した後、厚さ５０オングストロ−ムのＴｉ、厚さ５０００オングストロ−ムのＡｕを順次、真空蒸着により堆積し、リフトオフにより不要の部分を除去して、所望の形状の上配線８４を形成した（図１６の（ｅ））。
【０１３２】
工程−ｆ：
膜厚１０００オングストロ−ムのＣｒ膜１５１を真空蒸着により堆積・パターニングし、その上に有機Ｐｄ（ｃｃｐ４２３０奥野製薬（株）社製）をスピンナーにより回転塗布、３００℃で１０分間の加熱焼成処理をした。また、こうして形成された主元素としてＰｄよりなる微粒子からなる電子放出部形成用薄膜２の膜厚は８５オングストローム、シート抵抗値は３．９×１０の４乗Ω／□であった。なおここで述べる微粒子膜とは、上述したように、複数の微粒子が集合した膜であり、その微細構造として、微粒子が個々に分散配置した状態のみならず、微粒子が互いに隣接、あるいは、重なり合った状態（島状も含む）の膜をさし、その粒径とは、前記状態で粒子形状が認識可能な微粒子についての径をいう（図１６の（ｆ））。
【０１３３】
工程−ｇ：
Ｃｒ膜１５１及び焼成後の電子放出部形成用薄膜２を酸エッチャントによりエッチングして所望のパターンを形成した（図１６の（ｇ））。
【０１３４】
工程−ｈ：
コンタクトホール１４２部分以外にレジストを塗布するようなパターンを形成し、真空蒸着により厚さ５０オングストロ−ムのＴｉ、厚さ５０００オングストロ−ムのＡｕを順次堆積した。リフトオフにより不要の部分を除去することにより、コンタクトホール１４２を埋め込んだ（図１６の（ｈ））。
【０１３５】
以上の工程により絶縁性基板１上に下配線８２、層間絶縁層１４１、上配線８３、素子配線５、６、電子放出部形成用薄膜２等を形成した。
【０１３６】
次に、以上のようにして作成した電子源基板を用いて、電子源及び表示装置を構成した例を、図９と図１０を用いて説明する。
【０１３７】
以上のようにして素子を作製した基板１を、リアプレート９１上に固定した後、基板１の５ｍｍ上方に、フェースプレート９６（ガラス基板９３の内面に蛍光膜９４とメタルバック９５が形成されて構成される）を支持枠９２を介し配置し、フェースプレート９６、支持枠９２、リアプレート９１の接合部にフリットガラスを塗布し、大気中あるいは窒素雰囲気中で４００℃ないし５００℃で１０分以上焼成することで封着した。またリアプレート９１への基板１の固定もフリットガラスで行った。
【０１３８】
本実施例において図９の８４は、電子放出部形成前の電子放出素子（例えば、図２の（ｂ）に相当する）であり、８２、８３はそれぞれＸ方向及びＹ方向の素子配線である。
【０１３９】
蛍光膜９４は、モノクロームの場合は蛍光体のみから成るが、本実施例では蛍光体はストライプ形状を採用し（図１０の（ａ））、先にブラックストライプを形成し、その間隙部に各色蛍光体を塗布し、蛍光膜９４を作製した。ブラックストライプの材料として通常良く用いられている黒鉛を主成分とする材料を用いた。ガラス基板９３に蛍光体を塗布する方法はスラリー法を用いた。
【０１４０】
また、蛍光膜９４の内面側には通常メタルバック９５が設けられる。メタルバックは、蛍光膜作製後、蛍光膜の内面側表面の平滑化処理（通常フィルミングと呼ばれる）を行い、その後、Ａ１を真空蒸着することで作製した。
【０１４１】
フェースプレート９６には、更に蛍光膜９４の導伝性を高めるため、蛍光膜９４の外面側に透明電極（不図示）が設けられる場合もあるが、本実施例では、メタルバックのみで十分な導伝性が得られたので省略した。
【０１４２】
前述の封着を行う際、カラーの場合は各色蛍光体と電子放出素子とを対応させなくてはいけないため、十分な位置合わせを行った。
【０１４３】
以上のようにして完成したガラス容器内の雰囲気を排気管（図示せず）を通じ真空ポンプにて排気し、十分な真空度に達した後、容器外端子Ｄｘｏ１ないしＤｏｘｍとＤｏｙ１ないしＤｏｙｎを通じ電子放出素子７４の電極５、６間に電圧を印加し、電子放出部形成用薄膜２をフォーミング処理した。フォーミング処理の電圧波形は、図４の（ｂ）と同様である。
【０１４４】
本実施例ではＴ１を１ミリ秒、Ｔ２を１０ミリ秒とし、約１×１０のマイナス５乗ｔｏｒｒの真空雰囲気下で行った。
【０１４５】
このように作成された電子放出部３は、パラジウム元素を主成分とする微粒子が分散配置された状態となり、その微粒子の平均粒径は３０オングストロームであった。
【０１４６】
次にフォーミングと同一の矩形波で、波高１４Ｖで、真空度２×１０のマイナス５乗ｔｏｒｒの真空度で、素子電流Ｉｆ、放出電流Ｉｅを測定しながら、高抵抗活性化処理を行った。
【０１４７】
フォーミング、活性化処理を行い、電子放出部３を形成し電子放出素子８４を作製した。
【０１４８】
次に１０のマイナス６乗トール程度の真空度まで排気し、不図示の排気管をガスバーナーで熱することで溶着し外囲器の封止を行った。
【０１４９】
最後に封止後の真空度を維持するために、高周波加熱法でゲッター処理を行った。
【０１５０】
以上のように完成した本発明の画像表示装置において、各電子放出素子には、容器外端子Ｄｘ１ないしＤｘｍ、Ｄｙ１ないしＤｙｎを通じ、走査信号及び変調信号を不図示の信号発生手段より、それぞれ印加することにより、電子放出させ、高圧端子Ｈｖを通じ、メタルバック９５に５ｋＶ以上の高圧を印加し、電子ビームを加速し、蛍光膜９９に衝突させ、励起・発光させることで画像を表示した。又、素子電流Ｉｆ、放出電流Ｉｅは双方とも図７の実線を示し、駆動初期から安定であった。又、この時、テレビジョンに要求される輝度１００ｆＬ〜１５０ｆＬにも対応できる放出電流であった。
【０１５１】
（実施例３）
図１７は、前記説明の表面伝導形電子放出素子を電子源として用いたディスプレイパネルに、たとえばテレビジョン放送をはじめとする種々の画像情報源より提供される画像情報を表示できるように構成した表示装置の一例を示すための図である。図１７中、１７１００はディスプレイパネル、１７１０１はディスプレイパネルの駆動回路、１７１０２はディスプレイコントローラ、１７１０３はマチプレクサ、１７１０４はデコーダ、１７１０５は入出力インターフェース回路、１７１０６はＣＰＵ、１７１０７は画像生成回路、１７１０８及び１７１０９及び１７１１０は画像メモリーインターフェース回路、１７１１１は画像入力インターフェース回路、１７１１２及び１７１１３はＴＶ信号受信回路、１７１１４は入力部である（なお、本表示装置は、例えばテレビジョン信号のように映像情報と音声情報の両方を含む信号を受信する場合には、当然映像の表示と同時に音声を再生するものであるが、本発明の特徴と直接関係しない音声情報の受信、分離、再生、記憶などに関する回路やスピーカーなどについては説明を省略する。）。
【０１５２】
以下、画像信号の流れに沿って各部の機能を説明してゆく。
【０１５３】
まず、ＴＶ信号受信回路１７１１３は、例えば電波や空間光通信などのような無線伝送系を用いて伝送されるＴＶ画像信号を受信する為の回路である。受信するＴＶ信号の方式は特に限られものではなく、例えば、ＮＴＳＣ方式、ＰＡＬ方式、ＳＥＣＡＭ方式などの諸方式でもよい。また、これらより更に多数の走査線よりなるＴＶ信号（例えばＭＵＳＥ方式をはじめとするいわゆる高品位ＴＶ）は、大面積化や大画素数化に適した前記ディスプレイパネルの利点を生かすのに好適な信号源である。ＴＶ信号受信回路１７１１３で受信されたＴＶ信号は、デコーダ１７１０４に出力される。
【０１５４】
また、ＴＶ信号受信回路１７１１２は、例えば同軸ケーブルや光ファイバー等のような有線伝送系を用いて伝送されるＴＶ画像信号を受信する為の回路である。前記ＴＶ信号受信回路１７１１３と同様に、受信するＴＶ信号の方式は特に限られるものではなく、また本回路で受信されたＴＶ信号もデコーダ１７１０４に出力される。
【０１５５】
また、画像入力インターフェース回路１７１１１は、例えばＴＶカメラや画像読み取りスキャナー等の画像入力装置から供給される画像信号を取り込むための回路で、取り込まれた画像信号はデコーダ１７１０４に出力される。
【０１５６】
また、画像メモリーインターフェース回路１７１１０は、ビデオテープレコーダー（以下ＶＴＲと略す）に記憶されている画像信号を取り込むための回路で、取り込まれた画像信号はデコーダ１７１０４に出力される。
【０１５７】
また、画像メモリーインターフェース回路１７１０９は、ビデオディスクに記憶されている画像信号を取り込むための回路で、取り込まれた画像信号はデコーダ１７１０４に出力される。
【０１５８】
また、画像メモリーインターフェース回路１７１０８は、いわゆる静止画ディスクのように、静止画像データを記憶している装置から画像信号を取り込むための回路で、取り込まれた静止画像データはデコーダ１７１０４に入力される。
【０１５９】
また、入出力インターフェース回路１７１０５は、本表示装置と、外部のコンピュータもしくはコンピュータネットワークもしくはプリンターなどの出力装置とを接続するための回路である。画像データや文字・図形情報の入出力を行うのはもちろんのこと、場合によっては本表示装置の備えるＣＰＵ１７１０６と外部との間で制御信号や数値データの入出力などを行うことも可能である。
【０１６０】
また、画像生成回路１７１０７は、前記入出力インターフェース回路１７１０５を介して外部から入力される画像データや文字・図形情報や、あるいはＣＰＵ１７１０６より出力される画像データや文字・図形情報に基づき表示用画像データを生成するための回路である。本回路の内部には、例えば画像データや文字・図形情報を蓄積するための書き換え可能メモリーや、文字コードに対応する画像パターンが記憶されている読み出し専用メモリーや、画像処理を行うためのプロセッサー等をはじめとして画像の生成に必要な回路が組み込まれている。
【０１６１】
本回路により生成された表示用画像データは、デコーダ１７１０４に出力されるが、場合によっては前記入出力インターフェース回路１７１０５を介して外部のコンピュータネットワークやプリンターに出力することも可能である。
【０１６２】
また、ＣＰＵ１７１０６は、主として本表示装置の動作制御や、表示画像の生成や選択や編集に関わる作業を行う。
【０１６３】
例えば、マルチプレクサ１７１０３に制御信号を出力し、ディスプレイパネルに表示する画像信号を適宜選択したり組み合わせたりする。また、その際には表示する画像信号に応じてディスプレイパネルコントローラ１７１０２に対して制御信号を発生し、画面表示周波数や走査方法（例えばインターレースかノンインターレースか）や一画面の走査線の数など表示装置の動作を適宜制御する。
【０１６４】
また、前記画像生成回路１７１０７に対して画像データや文字・図形情報を直接出力したり、あるいは前記入出力インターフェース回路１７１０５を介して外部のコンピュータやメモリーをアクセスして画像データや文字・図形情報を入力する。なお、ＣＰＵ１７１０６は、むろんこれ以外の目的の作業にも関わるものであって良い。例えば、パーソナルコンピュータやワードプロセッサなどのように、情報を生成したり処理する機能に直接関わっても良い。あるいは、前述したように入出力インターフェース回路１７１０５を介して外部のコンピュータネットワークと接続し、例えば数値計算などの作業を外部機器と協同して行っても良い。
【０１６５】
また、入力部１７１１４は、前記ＣＰＵ１７１０６に使用者が命令やプログラム、あるいはデータ等を入力するためのものであり、例えばキーボードやマウスのほか、ジョイスティック、バーコードリーダー、音声認識装置など多様な入力機器を用いる事が可能である。
【０１６６】
また、デコーダ１７１０４は、前記１７１０７ないし１７１１３より入力される種々の画像信号を３原色信号、または輝度信号とＩ信号、Ｑ信号に逆変換するための回路である。なお、同図中に点線で示すように、デコーダ１７１０４は内部に画像メモリーを備えるのが望ましい。これは、例えばＭＵＳＥ方式をはじめとして、逆変換するに際して画像メモリーを必要とするようなテレビ信号を扱うためである。
【０１６７】
また、画像メモリーを備える事により、静止画の表示が容易になる、あるいは前記画像生成回路１７１０７及びＣＰＵ１７１０６と協同して画像の間引き、補間、拡大、縮小、合成をはじめとする画像処理や編集が容易に行えるようになるという利点が生まれるからである。
【０１６８】
また、マルチプレクサ１７１０３は、前記ＣＰＵ１７１０６より入力される制御信号に基づき表示画像を適宜選択するものである。すなわち、マルチプレクサ１７１０３はデコーダ１７１０４から入力される逆変換された画像信号のうちから所望の画像信号を選択して駆動回路１７１０１に出力する。その場合には、一画面表示時間内で画像信号を切り替えて選択することにより、いわゆる多画面テレビのように、一画面を複数の領域に分けて領域によって異なる画像を表示することも可能である。
【０１６９】
また、ディスプレイパネルコントローラ１７１０２は、前記ＣＰＵ１７１０６より入力される制御信号に基づき駆動回路１７１０１の動作を制御するための回路である。
【０１７０】
まず、ディスプレイパネルの基本的な動作に関わるものとしては、たとえばディスプレイパネルの駆動用電源（図示せず）の動作シーケンスを制御するための信号を駆動回路１７１０１に対して出力する。また、ディスプレイパネルの駆動方法に関わるものとして、たとえば画面表示周波数や走査方法（たとえばインターレースかノンインターレースか）を制御するための信号を駆動回路１７１０１に対して出力する。
【０１７１】
また、場合によっては表示画像の輝度やコントラストや色調やシャープネスといった画質の調整に関わる制御信号を駆動回路１７１０１に対して出力する場合もある。
【０１７２】
また、駆動回路１７１０１はディスプレイパネル１７１００に印加する駆動信号を発生するための回路であり、前記マルチプレクサ１７１０３から入力される画像信号と、前記ディスプレイパネルコントローラ１７１０２より入力される制御信号にもとづいて動作するものである。
【０１７３】
以上、各部の機能を説明したが、図１７に例示した構成により、本表示装置においては多様な画像情報源より入力される画像情報をディスプレイパネル１７１００に表示する事が可能である。すなわち、テレビジョン放送をはじめとする各種の画像信号はデコーダ１７１０４において逆変換された後、マルチプレクサ１７１０３において適宜選択され、駆動回路１７１０１に入力される。一方、ディスプレイコントローラ１７１０２は、表示する画像信号に応じて駆動回路１７１０１の動作を制御するための制御信号を発生する。駆動回路１７１０１は、上記画像信号と制御信号にもとづいてディスプレイパネル１７１００に駆動信号を印加する。これにより、ディスプレイパネル１７１００において画像が表示される。これらの一連の動作は、ＣＰＵ１７１０６により統括的に制御される。
【０１７４】
また、本表示装置においては、前記デコーダ１７１０４に内蔵する画像メモリや、画像生成回路１７１０７および情報の中から選択したものを表示するだけでなく、表示する画像情報に対して、たとえば拡大、縮小、回転、移動、エッジ強調、間引き、補間、色変換、画像の縦横比変換などをはじめとする画像処理や、合成、消去、接続、入れ換え、はめ込みなどをはじめとする画像編集を行う事も可能である。また、本実施例の説明では特に触れなかったが、上記画像処理や画像編集と同様に、音声情報に関しても処理や編集を行なうための専用回路を設けても良い。
【０１７５】
したがって、本表示装置はテレビジョン放送の表示機器、テレビ会議の端末機器、静止画像および動画像を扱う画像編集機器、コンピュータの端末機器、ワードプロセッサをはじめとする事務用端末機器、ゲーム機などの機能を一台で兼ね備えることが可能で、産業用あるいは民生用として極めて応用範囲が広い。
【０１７６】
なお、上記図１７は表示伝導形放出素子を電子ビーム源とするディスプレイパネルを用いた表示装置の構成の一例を示したにすぎず、これのみに限定されるものでない事は言うまでもない。たとえば、図１７の構成要素のうち使用目的上必要のない機能に関わる回路は省いても差し支えない。またこれとは逆に、使用目的によってはさらに構成要素を追加しても良い。たとえば、本表示装置をテレビ電話機として応用する場合には、テレビカメラ、音声マイク、照明機、モデムを含む送受信回路などを構成要素に追加するのが好適である。
【０１７７】
本表示装置においては、とりわけ表面伝導形電子放出素子を電子ビーム源とするディスプレイパネルの薄形化が容易なため、表示装置の奥行きを小さくすることができる。それに加えて、表面伝導形電子放出素子を電子ビーム源とするディスプレイパネルは大画面化が容易で輝度が高く視野角特性にも優れるため、本表示装置は臨場感にあふれ迫力に富んだ画像を視認性良く表示する事が可能である。
【０１７８】
（実施例４）
本実施例は多数の表面伝導型電子放出素子と、制御電極（グリッド）を有する画像形成装置の例である。
【０１７９】
本実施例の画像形成装置の製造方法は実施例２とほぼ同等な方法で作製したので説明を詳細する。
【０１８０】
まず、表面伝導形電子放出素子を基板上に多数個設けた電子源と、これを応用した表示装置の実施例を説明する。
【０１８１】
図１９および図２０は、基板上に表面伝導形電子放出素子の多数個を配列形成した電子源の２つの例を説明するための模式図である。
【０１８２】
まず、図１９においてＳはたとえばガラスを材料とする絶縁性基板、点線で囲んだＥＳは前記基板Ｓの上に設けられた表面伝導形電子放出素子、Ｅ１〜Ｅ１０は前記表面伝導形電子放出素子を配線するための配線電極をあらわしている。表面伝導形電子放出素子は基板上にＸ方向に沿って列をなして形成されている（以下、これを素子列と呼ぶ）。各素子列を構成する表面伝導形電子放出素子は、これを挟む両側の配線電極によって電気的に並列に共通配線されている（たとえば、第１列は両側の配線電極Ｅ１とＥ２によって配線されている）。
【０１８３】
本実施例の電子源は、配線電極間に適宜の駆動電圧を印加することにより、各素子列を独立に駆動することが可能である。すなわち、電子ビームを放出させたい素子列には電子放出閾値を上回る適当な電圧を、また電子ビームを放出しない素子列には電子放出閾値を越えない適当な電圧（たとえば０［Ｖ］）を印加すればよい（なお、以下の説明では、電子放出閾値を上回る適当な駆動電圧をＶＥ［Ｖ］と記す。）。
【０１８４】
次に、図２０に示すのは電子源の他の一例であり、Ｓはたとえばガラスを材料とする絶縁性基板、点線で囲んだＥＳは前記基板Ｓの上に設けられた表面伝導形電子放出素子、Ｅ′１〜Ｅ′６は前記表面伝導形電子放出素子を共通配線するための配線電極をあらわしている。前記図１９の例と同様、本実施例においても表面伝導形電子放出素子はＸ方向に沿って列をなして形成され、各素子列の表面伝導形電子放出素子は配線電極によって電気的に並列に共通配線されている。さらに、たとえば素子列の第１列と第２列の片側の共通配線を配線電極Ｅ′２が兼ねているように、本実施例においては隣接する素子列の隣接する側の共通配線を１本の配線電極で行っている。本実施例の電子源は、前記図１９の列と比較して同一形状の表面伝導形電子放出素子と配線電極を用いた場合に、Ｙ方向に配列する配列間隔を小さくできるという利点がある。
【０１８５】
本実施例の電子源は、配線電極間に適宜の駆動電圧を印加することにより、各素子列を独立に駆動することが可能である。すなわち、電子放出させたい電子放出素子列はＶＥ［Ｖ］を、電子放出させない素子列にはたとえば０［Ｖ］の電圧を印加すればよい。たとえば、第３列だけを駆動したい場合には、Ｅ′１〜Ｅ′３の各配線電極には０［Ｖ］の電位を、またＥ′４〜Ｅ′６の各配線電極にはＶＥ［Ｖ］の電位を印加する。その結果、第３列の素子列には、ＶＥ−０＝ＶＥ［Ｖ］の電圧が印加されるが、他の素子列に対しては、０−０＝０［Ｖ］かまたはＶＥ−ＶＥ＝０［Ｖ］というように０［Ｖ］の電圧が印加されることになるわけである。また、たとえば第２列と第５列を同時に駆動させる場合には、配線電極Ｅ′１とＥ′２とＥ′６には０［Ｖ］の電位を、配線電極Ｅ′３とＥ′４とＥ′５にはＶＥ［Ｖ］の電位を印加すればよい。このように、本実施例においても任意の素子列を選択的に駆動することが可能である。
【０１８６】
なお、上記図１９と図２０の電子源においては、図示の便宜上から、表面伝導形電子放出素子をＸ方向には１列あたり１２素子をならべたが、素子数はこれに限るものではなく、より多数を配列してもよい。また、Ｙ方向には５列の素子列を並べたが、素子列の数はこれに限るものではなく、より多数を配列してもよい。
【０１８７】
次に、上記の電子源を用いた平板型ＣＲＴについて例を挙げて説明する。
【０１８８】
図２１は前記図１９の電子源を備えた平板型ＣＲＴのパネル構造を示すための図であり、図中ＶＣはガラス製の真空容器で、その一部であるＦＰは表示面側のフェースプレートを示している。フェースプレートＦＰの内面には、たとえばＩＴＯを材料とする透明電極が形成され、さらに該透明電極上には赤、緑、青の蛍光体がモザイクもしくはストライプ状に塗り分けられている。図面の複雑化を避けるため、図中では透明電極と蛍光体を合わせてＰＨとして示している。なお、各色の蛍光体の間にはＣＲＴの分野では公知のブラックマトリクスもしくはブラックストライプを設けてもよく、また蛍光体の上に同じく公知のメタルバック層を形成することも可能である。前記透明電極は、電子ビームの加速電圧を印加できるように端子ＥＶを通じて真空容器外と電気的に接続されている。
【０１８９】
また、Ｓは真空容器ＶＣの底面に固定された電子源の基板で、前記図１９で説明したように表面伝導形電子放出素子が配列形成されている。なお、本実施例においては１列あたり２００素子が並列に配線された素子列が２００列設けられている。各素子列の２本の配線電極は、両側のパネル側面に設けられた電極端子Ｄｐ１〜Ｄｐ２００およびＤｍ１〜Ｄｍ２００と交互に接続しており、真空容器外から駆動電気信号が印加できるようになっている。
【０１９０】
また、基板ＳとフェースプレートＦＰの中間には、ストライプ状のグリッド電極ＧＲが設けられている。グリッド電極ＧＲは、前記素子列と直交して（すなわちＹ方向に沿って）２００本が独立して設けられており、各グリッド電極には電子ビームを通過させるための開口Ｇｈが設けられている。開口Ｇｈは各表面伝導形電子放出素子に対応して１個ずつ円形のものが設けられているが、場合によってはメッシュ状に多数の通過口をもうけることもある。各グリッド電極は、電子端子Ｇ１〜Ｇ２００により真空容器外と電気的に接続されている。なお、グリッド電極は表面伝導形電子放出素子から放出された電子ビームを変調することができるものであればその形状や設置位置は必ずしも図２１のようなものでなくともよく、たとえば表面伝導形電子放出素子の周囲や近傍に設けてもよい。
【０１９１】
本表示パネルでは、表面伝導形電子放出素子の素子列とグリッド電極で２００×２００のＸＹマトリクスを構成している。したがって、素子列を１列ずつ順次駆動（走査）していくのと同期してグリッド電極列に画像１ライン分の変調信号を同時に印加することにより、各電子ビームの蛍光体への照射を制御し、画像を１ラインずつ表示していくものである。
【０１９２】
つぎに、図２２は前記図２１の表示パネルを駆動するための電気回路をブロック図として示したもので、図２２中１０００は前記図２１の表示パネル、１００１は外部から入力する複合画像信号をデコードするためのデコード回路、１００２はシリ／パラ変換回路、１００３はラインメモリ、１００４は変調信号発生回路、１００５はタイミング制御回路、１００６は走査信号発生回路である。表示パネル１０００の電極端子は各々電気回路と接続されており、端子ＥＶは１０［ｋＶ］の加速電圧を発生する電圧源ＨＶと、端子Ｇ１〜Ｇ２００は変調信号発生回路１００４と、端子Ｄｐ１〜Ｄｐ２００は走査信号発生回路１００６と、端子Ｄｍ１〜Ｄｍ２００はグランドと接続されている。
【０１９３】
以下、各部の機能を説明する。まず、デコード回路１００１は外部から入力するたとえばＮＴＳＣテレビ信号などの複合画像信号をデコードするための回路で、複合画像信号から輝度信号成分と同期信号成分を分離して、前者をＤａｔａ信号としてシリ／パラ変換回路１００２に、後者をＴｓｙｎｃ信号としてタイミング制御回路１００５に出力する。すなわち、デコード回路１００１は、ＲＧＢの各色成分ごとの輝度を表示パネル１０００のカラー画素配列に合わせて配列しシリ／パラ変換回路１００２に順次出力する。また、垂直同期信号と水平同期信号を抽出してタイミング制御回路１００５に出力する。タイミング制御回路１００５は前記同期信号Ｔｓｙｎｃを基準にして、各部の動作タイミングを整合させるための各種タイミング制御信号を発生する。つまり、シリ／パラ変換回路１００２に対してはＴｓｐを、ラインメモリ１００３に対してはＴｍｒｙを変調信号発生回路１００４に対してはＴｍｏｄを走査信号発生回路１００６に対してはＴｓｃａｎを出力する。
【０１９４】
シリ／パラ変換回路１００２は、デコード回路１００１から入力する輝度信号Ｄａｔａをタイミング制御回路１００５より入力されるタイミング信号Ｔｓｐにもとづいて順次サンプリングし、２００個の並列信号Ｉ１〜Ｉ２００としてラインメモリ１００３に出力する。タイミング制御回路１００５は画像の１ライン分のデータがシリ／パラ変換された時点でラインメモリ１００３に対して書き込みタイミング制御信号Ｔｍｒｙを出力する。ラインメモリ１００３はＴｍｒｙを受けるとＩ１〜Ｉ２００の内容を記憶して、それをＩ′１〜Ｉ′２００として変調信号発生回路１００４に出力するが、これはラインメモリに次の書き込みタイミング制御信号Ｔｍｒｙが入力されるまで保持される。
【０１９５】
変調信号発生回路１００４はラインメモリ１００３より入力される画像１ライン分の輝度データにもとづいて、表示パネル１０００のグリッド電極に印加する変調信号を発生させるための回路であり、タイミング制御回路１００５の発生するタイミング制御信号Ｔｍｏｄに合わせて変調信号端子Ｇ１〜Ｇ２００に同時に印加する。変調信号は画像の輝度データに応じて電圧の大きさを変える電圧変調方式を用いるが、輝度データに応じて電圧パルスの長さを変えるパルス幅変調方式を用いることも可能である。
【０１９６】
また、走査信号発生回路１００６は表示パネル１０００の表面伝導形電子放出素子の素子列を適宜駆動するための電圧パルスを発生するための回路である。タイミング制御回路１００５の発生するタイミング制御信号Ｔｓｃａｎに合わせて適宜内部のスイッチング回路を切り替え、定電圧源ＤＶの発生する表面伝導形電子放出素子の閾値を上回る適当な駆動電圧ＶＥ［Ｖ］か、またはグランドレベル（すなわち０［Ｖ］）かを選択して端子Ｄｐ１〜Ｄｐ２００に印加するものである。
【０１９７】
以上の回路により、表示パネル１０００には図２３のタイムチャートに示すタイミングで駆動信号が印加される。図２３中の（ａ）〜（ｄ）は、走査信号発生回路１００６から表示パネルの端子Ｄｐ１〜Ｄｐ２００に印加される信号の一部を示すが、図から分かるよう振幅ＶＥ［Ｖ］の電圧パルスが画像の１ライン表示時間ごとに順次Ｄｐ１、Ｄｐ２、Ｄｐ３・・・の順に印加されてゆく。一方、端子Ｄｍ１〜Ｄｍ２００は常にグランドレベル（０［Ｖ］）と接続されているため、上記電圧パルスにより素子列は第１列目から順次駆動され電子ビームが出力されていく。
【０１９８】
また、これと同期して変調信号発生回路１００４から同図（ｆ）に点線で示すタイミングで画像の１ライン分の変調信号が同時に端子Ｇ１〜Ｇ２００に印加される。走査信号が切り替えられるのと同期して順次変調信号も切り替えられ、１画面分の画像が表示されてゆく。これを連続して繰り返し行うことにより、テレビジョン動画の表示が可能なわけである。
【０１９９】
以上、図１９の電子源を備えた平板型ＣＲＴについて説明したが、次に前記図２０の電子源を備えた平板型ＣＲＴについて図２４を用いて説明する。
【０２００】
図２４の平板型ＣＲＴは、基本的には前記図２１の平板型ＣＲＴの電子源部を、図２０のタイプで置き換えたものであり、電子放出素子列とグリッド電極で２００×２００のＸＹマトリクスを構成している。ただし、２００列の表面伝導形電子放出素子の配線がＥ１〜Ｅ２０１の２０１本の配線電極でなされているため、真空容器にはＥｘ１〜Ｅｘ２０１の２０１本の電極端子が設けられている。
【０２０１】
図２５に本表示パネル１００８を駆動する駆動回路を示すが、走査信号発生回路１００７を除けば、前記図２２の回路と基本的に同様である。走査信号発生回路１００７は、定電圧源ＤＶの発生する表面伝導形電子放出素子の電子放出閾値を上回る適当な駆動電圧ＶＥ［Ｖ］か、またはグランドレベル（０［Ｖ］）を適宜選択して表示パネルの端子に出力するが、そのタイミングを図２６のタイムチャートに示す。表示パネルは（ａ）に示すタイミングで表示動作を行うが、そのために電極端子Ｅｘ１〜Ｅｘ４には走査信号発生回路１００７より（ｂ）〜（ｅ）に示すような駆動信号が印加される。そのため、表面伝導形電子放出素子列には（ｆ）〜（ｈ）のような電圧が印加され、１列ずつ順次駆動される。これと同期して、変調信号発生回路１００４からは（ｉ）のようなタイミングで変調信号が出力され、順次画像が表示されるものである。
【０２０２】
本実施例の画像形成装置も、実施例２と同様な効果を奏するものであった。
【０２０３】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明によれば、電子放出素子の活性化処理工程により、電子放出部の一部にグラファイト、あるいはアモルファスカーボン、あるいはそれらの混合物からなる炭素を主成分とする被膜を制御して被覆したため、従来、真空中で不明であった電子放出特性の制御が、可能となった。
【０２０４】
より好ましくは、該活性化工程は該薄膜に炭素を主成分とする被膜を被覆する工程、真空中で該電子放出素子の一対の電極に電圧制御型負性抵抗特性領域以上の電圧を印加する工程とすることで、該電子放出部の一部より高電位側に炭素を主成分とする被膜で被覆することで電子放出素子の駆動初期より特性が安定で、かつ素子電流が小さく、効率の高い電子放出素子の作成が可能となった。
【０２０５】
さらには、入力信号に応じて電子を放出する電子源においては、安定で、かつ、歩どまりよく作成できるようになった。また、効率の向上により、消費電力が少なく周辺回路等の負担も軽減され安価な装置が提供できた。
【０２０６】
また、画像形成装置においては、安定で制御された電子放出特性と効率の向上がなされ、例えば蛍光体を画像形成部材とする画像形成装置においては、低電流で明るい高品位な画像形成装置、例えばカラーフラットテレビが実現された。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基本的な表面伝導型電子放出素子の構成を示す図。
【図２】本発明に係る表面伝導型電子放出素子の基本的な製造方法を説明するための図。
【図３】本発明に係る表面伝導型電子放出素子の特性評価に用いる測定評価装置の図。
【図４】本発明に係るフォ−ミング処理における電圧波形の一例を示す図。
【図５】本発明に係る表面伝導型電子放出素子の素子電流及び放出電流の活性化処理時間に対する依存性を示す図。
【図６】本発明に係る表面伝導型電子放出素子の活性化処理による形態変化を示す図。
【図７】本発明に係る表面伝導型電子放出素子の放出電流、素子電流、及び素子電圧の関係の典型例を示す図。
【図８】本発明に係る電子源基板の構成を示す図。
【図９】本発明に係る画像形成装置の基本構成を示す図。
【図１０】図１０の画像形成装置に用いられる蛍光膜を示す図。
【図１１】本発明の実施例１の表面伝導型電子放出素子を示す図。
【図１２】本発明に係る基本的な表面伝導型電子放出素子の別の態様の構成を示す図。
【図１３】本発明の実施例２の電子源の構成の一部を示す図。
【図１４】図１３のＡ−Ａ'断面図。
【図１５】本発明の実施例２の電子源の製造工程を説明するための断面図。
【図１６】本発明の実施例２の電子源の製造工程を説明するための断面図。
【図１７】本発明の実施例３の表示装置を説明するための図。
【図１８】
従来の表面伝導型電子放出素子の構成を示す図。
【図１９】本発明の実施例４の画像形成装置の電子源基板の概略構成図。
【図２０】本発明の実施例４の画像形成装置の電子源基板の概略構成図。
【図２１】本発明の実施例４の画像形成装置におけるパネル構成図。
【図２２】本発明の実施例４の画像形成装置を駆動するための電気回路を説明するためのブロック図。
【図２３】本発明の実施例４の画像形成装置の駆動を説明するためのタイムチャ−ト図。
【図２４】本発明の実施例４の画像形成装置におけるパネル構成図。
【図２５】本発明の実施例４の画像形成装置を駆動するための電気回路を説明するためのブロック図。
【図２６】本発明の実施例４の画像形成装置の駆動を説明するためのタイムチャ−ト図。
【符号の説明】
１  基板
２  電子放出部形成用薄膜
３  電子放出部
４  電子放出部を含む薄膜
５，６  素子電極
８４，７４  電子放出素子
８２，８３  配線
８５  結線
９１  リヤプレ−ト
９２  支持枠
９３  透明基板
９４  蛍光膜
９５  メタルバック
９６  フェースプレート
９８  外囲器
１４１  層間絶縁層
１４２  コンタクトホール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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