(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭化タングステン基超硬合金基体または炭窒化チタン系サーメット基体の表面に、アークイオンプレーティング装置にて、カソード電極として、Ｔｉ、Ａｌ、および窒化けい素からなる焼結体を用いて、組成式：（Ｔｉ1-X ＡｌX ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４５〜０．７５を示す）を有するＴｉとＡｌの複合窒化物からなる素地に、窒化けい素相が、オージェ分光分析装置による面分析で０．３〜１０面積％の割合で分散分布した組織を有する硬質被覆層を０．８〜１５μｍの平均層厚で物理蒸着してなる高速切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、特に切刃部に機械的および熱的衝撃が速いピッチで繰り返し付加されるスローアウエイチップによる高速断続旋削加工や、エンドミルおよびドリルなどによる高速切削加工において、切刃部がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具（以下、被覆超硬工具という）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、切削工具には、各種の鋼や鋳鉄などの被削材の旋削加工や平削り加工にバイトの先端部に着脱自在に取り付けて用いられるスローアウエイチップ、前記被削材の穴あけ切削加工などに用いられるドリルやミニチュアドリル、さらに前記被削材の面削加工や溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプのエンドミルなどがあり、また前記スローアウエイチップを着脱自在に取り付けて前記ソリッドタイプのエンドミルと同様に切削加工を行うスローアウエイエンドミル工具などが知られている。
【０００３】
また、一般に、例えば図１に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング装置を用い、基本的に、ヒータで装置内を、例えば雰囲気を１．３×１０−３Ｐａの真空として、５００℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を有するＴｉ−Ａｌ合金がセットされたカソード電極（蒸発源）との間に、例えば電圧：３５Ｖ、電流：１００Ａの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入し、一方炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン（以下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットからなる基体（以下、これらを総称して超硬基体と云う）には、例えば−１００Ｖのバイアス電圧を印加した条件で、前記超硬基体の表面に、例えば特開昭６２−５６５６５号公報に記載されるように、ＴｉとＡｌの複合窒化物［以下、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎで示す］で構成された硬質被覆層を０．８〜１５μｍの平均層厚で蒸着することにより被覆超硬工具を製造することが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
近年の切削加工装置の高性能化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求も強く、これに伴い、切削加工は高速化の傾向にあるが、上記の従来被覆超硬工具においては、これを鋼や鋳鉄などの通常の条件での切削加工に用いた場合には問題はないが、これを特に切刃部に機械的および熱的衝撃が速いピッチで繰り返し付加されるスローアウエイチップによる高速断続旋削加工や、エンドミルおよびドリルなどによる高速切削加工に用いた場合には、切刃部にチッピング（微小欠け）が発生し易く、これが原因で比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、特に鋼や鋳鉄などの高速切削加工に用いた場合にも、すぐれた耐チッピング性を発揮する被覆超硬工具を開発すべく研究を行った結果、
（ａ）例えば原料粉末として、Ｔｉ粉末およびＡｌ粉末、さらに窒化けい素（以下、Ｓｉ３Ｎ４で示す）粉末を用い、これら原料粉末を所定の配合割合に配合し、混合した後、圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を、通常の条件、例えば真空雰囲気中、５００〜６００℃の範囲内の所定の温度に所定時間保持の条件で焼結して、所定の組成をもった焼結体を形成し、この焼結体をカソード電極（蒸発源）として用いて、例えばアークイオンプレーティング装置にて、反応ガスとして窒素ガスを導入して、上記超硬基体表面に硬質被覆層を形成すると、形成された硬質被覆層は、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの素地にＳｉ３Ｎ４相が分散分布した組織をもつものとなること。
【０００６】
（ｂ）上記（ａ）で得られた被覆超硬工具の硬質被覆層の素地を、組成式：（Ｔｉ１−ＸＡｌＸ）Ｎで表わした場合、原子比で、Ｘ：０．４５〜０．７５を満足する組成に特定した上で、かつ前記素地に分散分布するＳｉ３Ｎ４相の割合をオージェ分光分析装置による面分析で０．３〜１０面積％とすると、前記素地がビッカース硬さで３５００〜４０００の高硬度とすぐれた耐熱性を具備し、かつ前記Ｓｉ３Ｎ４相が硬さは同ビッカース硬さで１８００〜２０００と相対的に低いが、特に繰り返しの機械的および熱的衝撃を吸収して、これを著しく緩和する作用を発揮することから、この結果の被覆超硬工具は、これを特に高速切削加工に用いても切刃部にチッピングの発生なく、すぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮するようになること。
以上（ａ）および（ｂ）に示される研究結果を得たのである。
【０００７】
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、超硬基体の表面に、アークイオンプレーティング装置にて、カソード電極として、Ｔｉ、Ａｌ、およびＳｉ3Ｎ4からなる焼結体を用いて、組成式：（Ｔｉ1-X ＡｌX ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４５〜０．７５）を有する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎからなる素地に、Ｓｉ3Ｎ4相が、オージェ分光分析装置による面分析で０．３〜１０面積％の割合で分散分布した組織を有する硬質被覆層を０．８〜１５μｍの平均層厚で物理蒸着してなる、高速切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する被覆超硬工具に特徴を有するものである。
【０００８】
なお、この発明の被覆超硬工具において、硬質被覆層の素地を構成する（Ｔｉ，Ａｌ）ＮにおけるＡｌはＴｉＮに対して高温硬さを向上させるために固溶するものであり、したがって組成式：（Ｔｉ１−ＸＡｌＸ）ＮのＸ値が原子比で０．４５未満では所望の高温硬さを確保することができず、一方その値が同０．７５を越えると、ＴｉＮによってもたらされるすぐれた靭性が急激に低下するようになり、切刃部にチッピングが発生し易くなるという理由で、Ｘ値を原子比で０．４５〜０．７５、望ましくは０．５〜０．７と定めた。
【０００９】
また、硬質被覆層の素地に分散分布するＳｉ３Ｎ４相は、上記の通り特に切刃部に機械的および熱的衝撃が速いピッチで繰り返し付加されるスローアウエイチップによる高速断続旋削加工や、エンドミルおよびドリルなどによる高速切削加工時に、前記機械的および熱的衝撃をよく吸収して、硬質被覆層にチッピングが発生するのを抑制する作用をもつが、硬質被覆層におけるＳｉ３Ｎ４相の割合が、オージェ分光分析装置による面分析で０．３面積％未満では前記作用に所望の効果が得られず、一方同割合が１０面積％を超えると素地によってもたらされる高温硬さが急激に低下し、摩耗進行が促進するようになることから、Ｓｉ３Ｎ４相の硬質被覆層における割合を０．３〜１０面積％、望ましくは１〜８面積％と定めた。
【００１０】
さらに、硬質被覆層の平均層厚を０．８〜１５μｍとしたのは、その層厚が０．８μｍでは所望のすぐれた耐摩耗性を長期に亘って確保することができず、一方その層厚が１５μｍを越えると、切刃部にチッピングが発生し易くなるという理由によるものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
つぎに、この発明の被覆超硬工具を実施例により具体的に説明する。
（実施例１）
原料粉末として、いずれも１〜３μｍの範囲内の所定の平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ３  Ｃ２  粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ  の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０５のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８の形状をもったＷＣ基超硬合金製のチップ超硬基体Ａ１〜Ａ１０を形成した。
【００１２】
また、原料粉末として、いずれも０．５〜２μｍの範囲内の所定の平均粒径を有する平均粒径を有するＴｉＣＮ（重量比でＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ２  Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボールミルで２４時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を２ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：１５００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０３のホーニング加工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８の形状をもったＴｉＣＮ系サーメット製のチップ超硬基体Ｂ１〜Ｂ６を形成した。
【００１３】
さらに、原料粉末として、いずれも０．５〜２μｍの範囲内の所定の平均粒径を有するＴｉ粉末およびＡｌ粉末、さらにＳｉ３Ｎ４粉末を用い、これら原料粉末を所定の配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ  の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、５００〜６００℃の範囲内の所定の温度に１時間保持の条件で焼結して、Ｔｉ、Ａｌ、およびＳｉ３Ｎ４の含有割合を所定の含有割合とした種々のカソード電極用焼結体（本発明硬質被覆層形成用）を製造した。
また、比較の目的で、Ｓｉ３Ｎ４粉末の配合を行わない以外は同一の条件でＴｉとＡｌの含有割合を所定の含有割合とした種々のカソード電極用焼結体（従来硬質被覆層形成用）を製造した。
【００１４】
ついで、これらチップ超硬基体Ａ１〜Ａ１０およびＢ１〜Ｂ６を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、それぞれ図１に例示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、一方カソード電極（蒸発源）として上記の本発明硬質被覆層形成用焼結体または従来硬質被覆層形成用焼結体を装着し、装置内を排気して１．３×１０−３Ｐａの真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、Ａｒガスを装置内に導入して２．５ＰａのＡｒ雰囲気とし、この状態で超硬基体に−８００Ｖのバイアス電圧を印加して超硬基体表面をＡｒガスボンバート洗浄し、ついで装置内を２．５Ｐａの窒素ガス（反応ガス）の雰囲気とすると共に、前記超硬基体に印加するバイアス電圧を−１００Ｖに下げて、前記カソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生させ、もって前記超硬基体Ａ１〜Ａ１０およびＢ１〜Ｂ６のそれぞれの表面に、表３、４に示される目標組成および目標層厚の硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆超硬工具としての本発明表面被覆超硬合金製スローアウエイチップ（以下、本発明被覆超硬チップと云う）１〜２０、および従来被覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製スローアウエイチップ（以下、従来被覆超硬チップと云う）１〜１９をそれぞれ製造した。
【００１５】
なお、この結果得られた本発明被覆超硬チップ１〜２０および従来被覆超硬チップ１〜１９の硬質被覆層について、その厚さ断面中央部をオージェ分光分析装置を用いて、素地のＸ値およびＳｉ３Ｎ４相の分布割合を測定したところ、それぞれ表３、４に示される素地の目標Ｘ値およびＳｉ３Ｎ４相の目標割合と実質的に同じ値を示し、また、その厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも同じく表３、４に示される目標層厚と実質的に同じ平均値（５点測定の平均値）を示した。
【００１６】
つぎに、上記本発明被覆超硬チップ１〜２０および従来被覆超硬チップ１〜１９について、これを工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、本発明被覆超硬チップ１〜１２および従来被覆超硬チップ１〜１２ついては、
被削材：ＪＩＳ・ＦＣ３００の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度：３５０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：２ｍｍ、
送り：０．４ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：５分、
の条件での鋳鉄の乾式高速断続旋削加工試験、
被削材：ＪＩＳ・ＳＮＣＭ４３９の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：１．５ｍｍ、
送り：０．２５ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：５分、
の条件での合金鋼の乾式高速断続旋削加工試験を行い、また本発明被覆超硬チップ１３〜２０および従来被覆超硬チップ１３〜１９ついては、
被削材：ＪＩＳ・ＦＣＤ４５０の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度：３５０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：１．５ｍｍ、
送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：５分、
の条件での鋳鉄の乾式高速断続旋削加工試験、
被削材：ＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度：２５０ｍ／ｍｉｎ．、
切り込み：１．５ｍｍ、
送り：０．２２ｍｍ／ｒｅｖ．、
切削時間：５分、
の条件での合金鋼の乾式高速断続旋削加工試験を行い、いずれの旋削加工試験でも切刃部の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表３、４に示した。
【００１７】
【表１】
0003632625.tif 000002
【００１８】
【表２】
0003632625.tif 000003
【００１９】
【表３】
0003632625.tif 000004
【００２０】
【表４】
0003632625.tif 000005
【００２１】
（実施例２）
原料粉末として、平均粒径：５．５μｍを有する中粗粒ＷＣ粉末、同０．８μｍの微粒ＷＣ粉末、同１．３μｍのＴａＣ粉末、同１．２μｍのＮｂＣ粉末、同１．２μｍのＺｒＣ粉末、同２．３μｍのＣｒ３Ｃ２粉末、同１．５μｍのＶＣ粉末、同１．０μｍの（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ粉末、および同１．８μｍのＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ表５に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で２４時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で所定形状の各種の圧粉体にプレス成形し、これらの圧粉体を、６Ｐａの真空雰囲気中、７℃／分の昇温速度で１３７０〜１４７０℃の範囲内の所定の温度に昇温し、この温度に１時間保持後、炉冷の条件で焼結して、直径が８ｍｍ、１３ｍｍ、および２６ｍｍの３種の超硬基体形成用丸棒焼結体を形成し、この３種の丸棒焼結体から、研削加工にて、表５に示される組み合わせで、切刃部の直径×長さが、それぞれ６ｍｍ×１３ｍｍ、１０ｍｍ×２２ｍｍ、および２０ｍｍ×４５ｍｍの寸法をもった６枚刃スクエア形状のエンドミル超硬基体ａ〜ｈをそれぞれ製造した。
【００２２】
ついで、これらのエンドミル超硬基体ａ〜ｈのそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に例示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表６、７に示される目標組成および目標層厚をもった硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆超硬工具としての本発明表面被覆超硬合金製エンドミル（以下、本発明被覆超硬エンドミルと云う）１〜１６および従来被覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製エンドミル（以下、従来被覆超硬エンドミルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。
【００２３】
また、この結果得られた本発明被覆超硬エンドミル１〜１６および従来被覆超硬エンドミル１〜８の硬質被覆層について、その厚さ断面中央部をオージェ分光分析装置を用いて、素地のＸ値およびＳｉ３Ｎ４相の分布割合を測定したところ、それぞれ表６、７に示される素地の目標Ｘ値およびＳｉ３Ｎ４相の目標割合と実質的に同じ値を示し、また、その厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも同じく表６、７に示される目標層厚と実質的に同じ平均値（５点測定の平均値）を示した。
【００２４】
つぎに、上記本発明被覆超硬エンドミル１〜１６および従来被覆超硬エンドミル１〜８のうち、本発明被覆超硬エンドミル１〜６および従来被覆超硬エンドミル１〜３ついては、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の板材、
切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ．、
半径方向切込み：０．３ｍｍ、
軸方向切込み：８ｍｍ、
テーブル送り：５ｍ／分、
形態：乾式（エアーブロー）、
の条件での合金鋼の高速側面切削加工試験、本発明被覆超硬エンドミル７〜１２および従来被覆超硬エンドミル４〜６については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＫＤ６１（ＨＲＣ５２）の板材、
切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ．、
半径方向切込み：０．５ｍｍ、
軸方向切込み：１５ｍｍ、
テーブル送り：６ｍ／分、
形態：乾式（エアーブロー）、
の条件での焼入れ鋼の高速側面切削加工試験、本発明被覆超硬エンドミル１３〜１６、および従来被覆超硬エンドミル７〜８については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＫＤ１１（ＨＲＣ６０）の板材、
切削速度：６０ｍ／ｍｉｎ．、
軸方向切込み：０．３ｍｍ×１０回での溝加工、
テーブル送り：０．２ｍ／分、
形態：乾式（エアーブロー）、
の条件での焼入れ鋼の高速溝切削加工試験、
をそれぞれ行い、いずれの切削加工試験でも外周刃の逃げ面摩耗幅が使用寿命の目安とされる０．１ｍｍに至るまでの切削長を測定した。この測定結果を表６、７にそれぞれ示した。
【００２５】
【表５】
0003632625.tif 000006
【００２６】
【表６】
0003632625.tif 000007
【００２７】
【表７】
0003632625.tif 000008
【００２８】
（実施例３）
上記の実施例２で製造した直径が８ｍｍ（超硬基体ａ〜ｃ形成用）、１３ｍｍ（超硬基体ｄ〜ｆ形成用）、および２６ｍｍ（超硬基体ｇ、ｈ形成用）の３種の丸棒焼結体を用い、この３種の丸棒焼結体から、研削加工にて、溝形成部の直径×長さがそれぞれ４ｍｍ×１３ｍｍ（超硬基体ａ’〜ｃ’）、８ｍｍ×２２ｍｍ（超硬基体ｄ’〜ｆ’）、および１６ｍｍ×４５ｍｍ（超硬基体ｇ’、ｈ’）の寸法をもったドリル超硬基体ａ’〜ｈ’をそれぞれ製造した。
【００２９】
ついで、これらのドリル超硬基体ａ’〜ｈ’のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に例示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表８、９に示される目標組成および目標層厚をもった硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆超硬工具としての本発明表面被覆超硬合金製ドリル（以下、本発明被覆超硬ドリルと云う）１〜１６、および従来被覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製ドリル（以下、従来被覆超硬ドリルと云う）１〜８をそれぞれ製造した。
【００３０】
さらに、この結果得られた本発明被覆超硬ドリル１〜１６および従来被覆超硬ドリル１〜８の硬質被覆層についても、その厚さ断面中央部をオージェ分光分析装置を用いて、素地のＸ値およびＳｉ３Ｎ４相の分布割合を測定したところ、それぞれ表８、９に示される素地の目標Ｘ値およびＳｉ３Ｎ４相の目標割合と実質的に同じ値を示し、また、その厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも同じく表８、９に示される目標割合および目標層厚と実質的に同じ平均値（５点測定の平均値）を示した。
【００３１】
つぎに、上記本発明被覆超硬ドリル１〜１６および従来被覆超硬ドリル１〜８のうち、本発明被覆超硬ドリル１〜６および従来被覆超硬ドリル１〜３については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０厚さ：８ｍｍのＪＩＳ・ＳＳ４００の板材、
切削速度：１２０ｍ／ｍｉｎ．、
送り：０．１８ｍｍ／ｒｅｖ、
の条件での構造用鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験（水溶性切削油使用）、本発明被覆超硬ドリル７〜１２よび従来被覆超硬ドリル４〜６については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：１６ｍｍのＪＩＳ・Ｓ５０Ｃの板材、
切削速度：１２０ｍ／ｍｉｎ．、
送り：０．２２ｍｍ／ｒｅｖ、
の条件での炭素鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験（水溶性切削油使用）、本発明被覆超硬ドリル１３〜１６および従来被覆超硬ドリル７、８については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：３２ｍｍのＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の板材、
切削速度：６０ｍ／ｍｉｎ．、
送り：０．２１ｍｍ／ｒｅｖ、
の条件での合金鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験（水溶性切削油使用）、
をそれぞれ行い、いずれの湿式高速穴あけ切削加工試験でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が０．３ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表８、９にそれぞれ示した。
【００３２】
【表８】
0003632625.tif 000009
【００３３】
【表９】
0003632625.tif 000010
【００３４】
【発明の効果】
表３〜９に示される結果から、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの素地にＳｉ3Ｎ4相が分散分布した組織を有する硬質被覆層を形成してなる本発明被覆超硬工具は、いずれも前記硬質被覆層が前記素地に分散分布するＳｉ3Ｎ4相の作用ですぐれた耐熱衝撃性を具備するようになることから、切刃部に機械的および熱的衝撃が速いピッチで繰り返し加わる各種鋼の高速切削加工でも、切刃部にチッピングの発生なく、すぐれた耐摩耗性を示すのに対して、硬質被覆層が（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎだけで構成された従来被覆超硬工具においては、前記高速切削加工で熱衝撃によるチッピングが切刃部に発生するのが避けられず、この結果比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
上述のように、この発明の被覆超硬工具は、各種の鋼や鋳鉄などの通常の条件での切削加工は勿論のこと、特に切刃部に機械的および熱的衝撃が速いピッチで繰り返し付加されるスローアウエイチップによる高速断続旋削加工や、エンドミルおよびドリルなどによる高速切削加工に用いた場合にも、すぐれた切削性能を長期に亘って発揮するものであるから、切削加工装置の高性能化、並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】アークイオンプレーティング装置の概略説明図である。
【図１】
0003632625.tif 000011