(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送方向と直交する方向の両端部にパーフォレーションが設けられ搬送方向に張架された帯状のテープと、このテープが搬送される搬送面より下方でかつテープの両端部に対応して設けられた一対のレールと、前記テープの搬送方向に間隔をおいて設けられテープを自重によって前記レールに押し付ける一対の押えローラとを備えたテープ平面出し装置において、前記テープの両端部のそれぞれのパーフォレーションに係入する少なくとも一対のスプロケットを前記一対のレールのそれぞれに回転自在に支持し、前記一対のレールを互いに接離自在となるように支持したことを特徴とするテープ平面出し装置。
【請求項２】
請求項１記載のテープ平面出し装置において、前記押えローラと前記スプロケットを上下動自在に支持し、これら押えローラとスプロケットを持ち上げる昇降手段を設けたことを特徴とするテープ平面出し装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）法に用いられるテープキャリア（ＴＡＢテープ）のパターン検査装置に用いられるテープ平面出し装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種のテープ平面出し装置が用いられる最も典型的な装置として、ＴＡＢテープの表面に形成されたパターンを検査するパターン検査装置がある。このパターン検査装置は、搬送されたテープのパターンの画像をラインセンサカメラによって取り込み、マスターパターンと比較して、パターンの断線、ショート、ピンホール等のパターンの外観の欠陥を検査している。この場合、きわめて微細に形成されたパターンの画像を精度よく取り込むために、テープ平面出し装置によって、搬送されたテープのうちラインセンサカメラによって画像が取り込まれる検査領域部を平坦な状態にしている。
【０００３】
図４および図５は従来のテープ平面出し装置を説明する図で、図４は全体の概略構成を示す側面図、図５（ａ）は要部の平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）におけるＶ（ｂ）−Ｖ（ｂ）  線断面図である。
図４において、全体を符号１で示すテープ平面出し装置には、帯状に形成されたＴＡＢテープ（以下、単にテープと略称する。）２を矢印方向に搬送する一対のテープ搬送用のスプロケット３，４と、テープ２の表面に形成された図示を省略したパターンの外観の欠陥を検査する一対のラインセンサカメラ５，５とが備えられている。図５に示すように、テープ２の搬送方向と直交する両端部、すなわちテープ２の幅方向の両端部には、テープ２の搬送方向に沿って一定間隔で穿孔された多数の小孔、すなわちパーフォレーション２ａが穿孔され、これらパーフォレーション２ａにスプロケット３，４の歯が係入し、スプロケット４の図４中時計方向の回転駆動によってテープ２が矢印Ａ方向に搬送される。
【０００４】
６はレールであって、テープ２を支承する支承部６ａと、この支承部６ａに立設されたガイド壁６ｂとによって正面視Ｌ字状に形成されている。図５（ａ）に示すように、このレール６は、テープ２の幅方向の両端部に対応して一対設けられ、これら一対のレール６，６のガイド壁６ｂ，６ｂ間の間隔がテープ２の幅よりもわずかに長くなるように設定されている。図４に示すように、これら一対のレール６，６は、支承部６ａの上面が、一対のテープ搬送用のスプロケット３，４間にテープ２が張架されとき、このテープ２の図中二点鎖線で示した搬送面２Ａよりも高さδだけ下方に位置付けられるようにして、装置本体に固定されている。
【０００５】
７，７は押えローラであって、一対のラインセンサカメラ５，５に対応して、テープ２の搬送方向に間隔をおいて二対設けられ、全長が一対のレール６，６のガイド壁６ｂ，６ｂ間の間隔よりも長く形成されている。これら押えローラ７，７は、ガイド壁６ｂ，６ｂに設けた切欠き６ｃ，６ｃに両端部が臨むことにより、テープ搬送方向に直交し、互いにテープ搬送方向に間隔をおいて上下動自在に支持されている。
【０００６】
したがって、一対のレール６，６の支承部６ａ，６ａ上と押えローラ７，７との間にテープ２を通し、一対のテープ搬送用のスプロケット３，４間に張架すると、図４に示すように、一対の押えローラ７，７の自重によって、テープ２のこれら押えローラ７，７間に挟まれた検査領域部８（図中、便宜上ハッチングを付した部分）が下方に引っ張られ支承部６ａ，６ａに添接する。
【０００７】
このように、テープ２の検査領域部８が一対の押えローラ７，７によって下方に引っ張られることにより、この検査領域部８が緊張するので、弛みが除去されて平坦状態に保持され、いわゆる平面出しがなされる。したがって、この検査領域部８上のパターンの外観の欠陥をラインセンサカメラ５によって検査するとき、この検査領域部８全面において焦点が一致するので検査の精度が向上する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のテープ平面出し装置１においては、テープ２の搬送方向に対しては一対の押えローラ７，７によって弛みが除去され平坦状態に保持されるが、テープ２の幅方向の弛みについては、何ら対策を施していなかった。このため、テープ２の種類によっては、図５（ｂ）に示すように、テープ２の幅方向において弛みが発生することがあり、この場合ラインセンサカメラ５の焦点が検査領域部８全面で一致しなくなり、検査の精度が低下するという問題があった。
【０００９】
本発明は上記した従来の問題に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、テープの平坦度を向上させたテープ平面出し装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、請求項１に係る本発明は、搬送方向と直交する方向の両端部にパーフォレーションが設けられ搬送方向に張架された帯状のテープと、このテープが搬送される搬送面より下方でかつテープの両端部に対応して設けられた一対のレールと、前記テープの搬送方向に間隔をおいて設けられテープを自重によって前記レールに押し付ける一対の押えローラとを備えたテープ平面出し装置において、前記テープの両端部のそれぞれのパーフォレーションに係入する少なくとも一対のスプロケットを前記一対のレールのそれぞれに回転自在に支持し、前記一対のレールを互いに接離自在となるように支持したものである。
したがって、レールを互いに離間させる方向に移動させることにより、スプロケットを介してテープが幅方向に引っ張られるので、テープの幅方向の弛みが除去される。
【００１１】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明において、前記押えローラと前記スプロケットを上下動自在に支持し、これら押えローラとスプロケットを同時に持ち上げる昇降手段を設けたものである。
したがって、テープをレールの上方を通すときに、昇降手段によって押えローラとスプロケットが同時に持ち上げられ、レールから離間する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図を用いて説明する。図１は本発明に係るテープ平面出し装置の要部を説明するための図で、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は正面図である。図２は同じく側面図で、同図（ａ）はテープを搬送している状態を示し、同図（ｂ）はテープを搬送するための準備として押えローラとスプロケットを持ち上げた状態を示す。図３は図１（ａ）におけるＩＩＩ−ＩＩＩ  線断面図で、同図（ａ）はテープの幅方向の弛みを除去する前の状態を示し、同図（ｂ）はテープの幅方向の弛みを除去した状態を示す。
【００１３】
これらの図において、上述した図４および図５に示す従来技術において説明した同一または同等の部材については、同一の符号を付し詳細な説明は適宜説明を省略する。
図２において、１１，１１は一対のリンク部材であって、これら一対のリンク部材１１，１１は、図１に示すように、ガイド壁６ｂ，６ｂの内側に二対設けられ、これら二対のリンク部材１１，１１は、それぞれレール６の上端部においてガイド壁６ｂに植設したピン１０によって交差するように枢着されている。
【００１４】
図２に示すように、これらリンク部材１１，１１の下端部には、レール６の支承部６ａに沿うように、それぞれ互いに反対方向に突出した係合部１１ａ，１１ａが設けられている。この係合部１１ａ，１１ａの根本部には、テープ２のパーフォレーション２ａに係入する小径のスプロケット１２，１２が回転自在に支持されている。したがって、これら小径のスプロケット１２，１２は、リンク部材１１，１１およびピン１０を介してレール６に一体化されている。この小径のスプロケット１２は、図１（ａ）に示すように、一対の押えローラ７，７のテープ２の搬送方向の上流側と下流側およびテープ２の搬送方向と直交する方向の両端側に二対設けられている。この小径のスプロケット１２がテープ２のパーフォレーション２ａに係入することにより、図２に示すように、一対のリンク部材１１，１１が自重によって、逆Ｖ字状に開脚した状態になり、係合部１１ａ，１１ａが略水平状態に保持されている。
【００１５】
図３に示すように、レール６の支承部６ａの上端には、テープ２のパーフォレーション２ａに係入する小径のスプロケット１２の歯１２ａが係入する凹嵌部１３が設けられている。一対のレール６，６間には、図示を省略したボールねじが横架されるようにして、レール６，６に設けられ互いにねじ山の巻き方向を反対に形成したそれぞれのねじ孔に螺合している。したがって、このボールねじをモータによって駆動することにより、一対のレール６，６は互いに接離自在に移動するように構成されている。
【００１６】
図２（ａ）に示すように、リンク１１，１１の係合部１１ａ，１１ａに対応して、レール６のガイド壁６ｂには、上下方向に延在する長孔１４，１４が設けられ、一対のレール６，６のガイド壁６ｂ，６ｂの互いに対向する長孔１４，１４間には、一対のバー１５，１５が掛け渡されている。これらバー１５，１５は長孔１４，１４に、両端部１５ａ，１５ａがこれら長孔１４，１４から外側に突出するようにして上下動自在に支持されている。これらバー１５，１５は、リンク１１，１１の係合部１１ａ，１１ａの下方に位置付けられ、自重によって長孔１４，１４の下端に位置付けられているときには、係合部１１ａ，１１ａに接触していないように構成されている。
【００１７】
１６は押えローラ７と小径のスプロケット１２を持ち上げる昇降手段であって、レール６のガイド壁６ｂの外側で支承部６ａと平行に設けられた昇降バー１７と、この昇降バー１７を持ち上げるエアーシリンダ１８とによって構成されている。昇降バー１７の中央部上端には、吊り下げ部１７ａが上方に突出形成され、この吊り下げ部１７ａがエアーシリンダ１８のロッド１８ａの下端に固定されることにより、昇降バー１７は、一対の押えローラ７，７の両端部７ａ，７ａと一対のバー１５，１５の両端部１５ａ，１５ａの直下に位置付けられている。
【００１８】
次に、このような構成のテープ平面出し装置におけるテープの平面出し方法について説明する。
先ず、図２（ａ）において、エアーシリンダ１８を作動させ、ロッド１８ａを後退させると、昇降バー１７が上昇するので、この昇降バー１７がバー１５，１５の突出部１５ａ，１５ａと、押えローラ７，７の突出部７ａ，７ａに係合し、これらバー１５，１５と押えローラ７，７を上昇させる。バー１５，１５が上昇することにより、同図（ｂ）に示すように、バー１５，１５がリンク１１，１１の係合部１１ａ，１１ａに係合するので、リンク１１，１１はピン１０を回動中心として小径のスプロケット１２，１２がレール６の支承部６ａから離間するように回動する。
【００１９】
このように、小径のスプロケット１２がレール６の支承部６ａから離間し、押えローラ７，７が上昇することにより、押えローラ７，７がレール６の支承部６ａから離間する。したがって、レール６の支承部６ａと、小径のスプロケット１２，１２および押えローラ７，７間に隙間が形成されるので、この隙間にテープ２を通して、テープ２をテープ搬送用のスプロケット３，４（図４参照）間に張架する。このように、エアーシリンダ１８を作動させることにより、小径のスプロケット１２と押えローラ７，７を、同時にレール６の支承部６ａから離間させることができることにより、テープ２をスプロケット３，４間に張架する際の作業性が向上する。
【００２０】
次に、図２（ａ）に示すように、エアーシリンダ１８のロッド１８ａを前進させ、昇降バー１７を下降させることにより、一対の押えローラ７，７が自重によって下降するので、一対の押えローラ７，７がテープ２をレール６の支承部６ａに押し付ける。したがって、これら一対の押えローラ７，７間に挟まれたテープ２の検査領域部８は、テープ２の搬送方向Ａに対して緊張するので、搬送方向Ａの弛みが除去される。
【００２１】
また、昇降バー１７を下降させることにより、小径のスプロケット１２，１２も下降し、図３（ａ）に示すように、この小径のスプロケット１２，１２の歯１２ａがテープ２のパーフォレーション２ａに係入する。このとき、図に示すように、テープ２が搬送方向と直交する幅方向において弛みが発生している場合は、図示を省略したボールねじをモータによって回転させることにより、同図（ｂ）に示すように、一対のレール６，６を互いに離間する方向、すなわち図中矢印Ｂ，Ｃ方向にそれぞれ移動させる。
【００２２】
レール６，６の移動に追従して、これらレール６，６に一体的に設けられた一対の小径のスプロケット１２，１２も図中矢印Ｂ，Ｃ方向にそれぞれ移動する。したがって、これら小径のスプロケット１２，１２の歯１２ａ，１２ａがパーフォレーション２ａ，２ａに係入されているテープ２は、幅方向に緊張するので弛みが除去される。この場合、小径のスプロケット１２は、リンク部材１１に回転自在に支持されていることにより、テープ２が搬送される際に、テープ２に追従して回転するので、テープ２の搬送に支障をきたすことがない。
【００２３】
また、これら一対の小径のスプロケット１２，１２が矢印Ｂ，Ｃ方向に移動することにより、スプロケット１２，１２の歯１２ａ，１２ａと、テープ２のパーフォレーション２ａとの間の遊びが除去される。したがって、テープ２の幅方向の位置決めがなされることにより、テープ２の搬送中における幅方向の位置ずれが除去されるので、ラインセンサカメラ５，５による検査の精度を向上させることができる。
【００２４】
ラインセンサカメラ５，５に対応して押えローラ７を二対設けたが、ラインセンサカメラ５が１個の場合には一対設ければよい。また、小径のスプロケット１２を一対の押えローラ７，７の紙搬送方向の上、下流に二対設けたが、押えローラ７，７間に一対設けてもよく、種々の設計変更が可能である。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に係る本発明によれば、テープが搬送方向だけでなく搬送方向と直交する方向においても平坦状態が保持され弛みが除去され、かつテープの幅方向の位置決めがなされるので、テープの表面検査等を行うときに精度が向上する。
【００２６】
また、請求項２に係る発明によれば、テープをスプロケット間に張架する際のの作業性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るテープ平面出し装置の要部を説明するための図で、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は正面図である。
【図２】本発明に係るテープ平面出し装置の要部を説明するための側面図で、同図（ａ）はテープを搬送している状態を示し、同図（ｂ）はテープを搬送するための準備として押えローラとスプロケットを持ち上げた状態を示す。
【図３】図１（ａ）におけるＩＩＩ−ＩＩＩ  線断面図で、同図（ａ）はテープの幅の弛みを除去する前の状態を示し、同図（ｂ）はテープの幅方向の弛みを除去した状態を示す。
【図４】従来のテープ平面出し装置の全体の概略構成を示す側面図である。
【図５】従来のテープ平面出し装置を説明する図で、同図（ａ）は要部の平面図、同図（ｂ）は同じく正面図である。
【符号の説明】
１…テープ平面出し装置、２…ＴＡＢテープ、５…ラインセンサカメラ、６…レール、６ａ…支承部、７…押えローラ、８…検査領域部、１１…リンク部材、１２…小径のスプロケット、１２ａ…歯、１５…バー、１６…昇降手段、１７…昇降バー、１８…エアーシリンダ。
【図１】
0003626412.tif 000002
【図２】
0003626412.tif 000003
【図３】
0003626412.tif 000004
【図４】
0003626412.tif 000005
【図５】
0003626412.tif 000006