(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒質中で被検査板を挟んでラインフォーカス型超音波送信子とラインフォーカス型超音波受信子とを対向配置し、該ラインフォーカス型超音波送信子から超音波ビームを被検査板に向けてほぼ垂直に送信し、被検査板に入射した超音波によって生起された内部欠陥からの反射波を前記ラインフォーカス型超音波受信子により受信し、受信された超音波を増幅し、反射波のみを抽出した後に所定の振幅に達した反射波の有無を検出する超音波探傷方法において、前記ラインフォーカス型超音波送信子と前記ラインフォーカス型超音波受信子との間の距離Ｌを、内部欠陥からの反射エコー高さが極大になる下記式のLpでの反射エコー高さの-3dB以内となるよう、
前記ラインフォーカス型超音波送信子の媒質中での焦点距離FTと前記ラインフォーカス型超音波受信子の媒質中での焦点距離FRとの和と、
被検査板中での超音波の速度CSと、
媒質中での超音波の速度CWと、
被検査板の板厚ｔと、
に基づいて決定することを特徴とする超音波探傷方法。
Lp ＝0.75(FT+FR)-｛(CS/CW)-1 ｝t
【請求項２】
媒質中で被検査板を挟んで対向配置された、超音波ビームを被検査板に向けてほぼ垂直に送信するラインフォーカス型超音波送信子と、被検査板に入射した超音波によって生起された内部欠陥からの反射波を受信するラインフォーカス型超音波受信子と、該ラインフォーカス型超音波受信子により受信された超音波を増幅する受信増幅器と、該受信増幅器により増幅された超音波の反射波のみを抽出するゲート手段と、所定の振幅に達した前記反射波の有無を検出するコンパレータとから構成される超音波探傷装置において、前記ラインフォーカス型超音波送信子と前記ラインフォーカス型超音波受信子の対向する距離Ｌが下記式で表される距離Lpでの反射エコー高さの-3dB以内となるようにそれら送信子と受信子を配置したことを特徴とする超音波探傷装置。
Lp ＝0.75(FT+FR)-｛(CS/CW)-1 ｝t
但し、FT：ラインフォーカス型超音波送信子の媒質中での焦点距離
FR：ラインフォーカス型超音波受信子の媒質中での焦点距離
CS：被検査板中での超音波の速度
CW：媒質中での超音波の速度
ｔ：被検査板の板厚
【請求項３】
ラインフォーカス型超音波送信子とラインフォーカス型超音波受信子とがそれぞれリニアアレイプローブであることを特徴とする請求項２記載の超音波探傷装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波探傷方法および装置に係り、特に鋼板をはじめとする圧延金属板の内部の非金属介在物などの内部欠陥の検出に用いるのに好適な、一度に一定幅の線状領域の探傷が可能な超音波探傷方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧延金属板の中の介在物などの内部欠陥は、直径５０μｍ  以上のものからプレス成型あるいは絞り加工などにおいて割れの原因となるといわれており、非常に微細な内部欠陥を検出することが要求されている。
通常、材料内部の内部欠陥などの欠陥の検出には、超音波探傷法を用いることが最も適している。これは、材料内部に超音波を伝播させ、内部欠陥による超音波伝播の乱れを検出するものであるが、この方法を応用したものとして、圧延金属板全体を鋼板の搬送ライン上で、探傷する方法がある。例えば、特開平７−２５３４１４号公報においては、媒質中で被検査材（圧延金属板）を挟んでラインフォーカス型超音波送信プローブと１次元アレイ型超音波プローブとを対向させて配置し、送信プローブから帯状超音波ビームを被検査板に向けてほぼ垂直に送信し、被検査板に入射した超音波によって生起された内部欠陥からの反射波を１次元アレイ型超音波プローブによって受信し、受信された超音波信号を増幅し、反射波のみを抽出した後に所定の振幅に達した反射波の有無を検出することを特徴とする超音波探傷方法および装置が提案されている。
【０００３】
しかしながら、上記の超音波探傷方法および装置では、有効な探傷を行うためには、ラインフォーカス型超音波送信プローブと１次元アレイ型超音波プローブとの間の距離Ｌｓは、ラインフォーカス型超音波送信プローブの水中での焦点距離をＦ、被検査板の板厚をｔとしたとき、
Ｌｓ≦Ｆ−｛（ＣＳ／ＣＷ）−１｝ｔ＋５．５    （ｍｍ）
（ただし、ＣＳ；金属板中での超音波の速度、ＣＷ；媒質での超音波の速度）
の関係式を満足させる必要があった。
【０００４】
このことは、板厚４．５ｍｍ  の鋼板を探傷する場合において、ラインフォーカス型超音波送信プローブの水中での焦点距離をＦ＝３８ｍｍとしたとき、プローブ間距離Ｌｓを３１ｍｍ以下とする必要のあることを示している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、オンラインで通板される鋼板などの被検査板はその耳部や腹部が波打ちとなっている場合があり、そのような被検査板を３１ｍｍ以下のプローブ間距離の間に通そうとすると、プローブケースに波打った被検査板が接触して被検査板に疵をつけることになる。また、プローブも、その接触による衝撃により寿命が短くなることとなり、最悪の場合は、プローブが破損することとなる。
【０００６】
本発明は、以上のような波打った被検査板であっても安定して通板できるプローブ間距離を有し、しかも微細介在物などの内部欠陥を有効に探傷可能な超音波探傷方法および装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、鋭意研究の結果、媒質中で被検査板を挟んでラインフォーカス型超音波送信子とラインフォーカス型超音波受信子とを対向配置し、該ラインフォーカス型超音波送信子から超音波ビームを被検査板に向けてほぼ垂直に送信し、被検査板に入射した超音波によって生起された内部欠陥からの反射波を前記ラインフォーカス型超音波受信子により受信し、受信された超音波を増幅し、反射波のみを抽出した後に所定の振幅に達した反射波の有無を検出する超音波探傷方法において、前記ラインフォーカス型超音波送信子と前記ラインフォーカス型超音波受信子の対向する距離Ｌを、内部欠陥からの反射エコー高さが極大になる下記式のLpでの反射エコー高さの-3dB以内となるよう、前記ラインフォーカス型超音波送信子の媒質中での焦点距離FTと前記ラインフォーカス型超音波受信子の媒質中での焦点距離FRとの和と、被検査板中での超音波の速度CSと、媒質中での超音波の速度CWと、被検査板の板厚ｔと、に基づいて決定することを特徴とする超音波探傷方法により上記課題を解決したのである。
Lp ＝0.75(FT+FR)-｛(CS/CW)-1 ｝t 
【０００８】
また、媒質中で被検査板を挟んで対向配置された、超音波ビームを被検査板に向けてほぼ垂直に送信するラインフォーカス型超音波送信子と、被検査板に入射した超音波によって生起された内部欠陥からの反射波を受信するラインフォーカス型超音波受信子と、該ラインフォーカス型超音波受信子により受信された超音波を増幅する受信増幅器と、該受信増幅器により増幅された超音波の反射波のみを抽出するゲート手段と、所定の振幅に達した前記反射波の有無を検出するコンパレータとから構成される超音波探傷装置において、前記ラインフォーカス型超音波送信子と前記ラインフォーカス型超音波受信子の対向する距離Ｌが下記式で表される距離Lpでの反射エコー高さの-3dB以内となるようにそれら送信子と受信子を配置したことを特徴とする超音波探傷装置を適用することで上記課題を解決したのである。
【０００９】
Ｌｐ  ＝０．７５（ＦＴ＋ＦＲ）−｛（ＣＳ／ＣＷ）−１  ｝ｔ
但し、ＦＴ：ラインフォーカス型超音波送信子の媒質中での焦点距離
ＦＲ：ラインフォーカス型超音波受信子の媒質中での焦点距離
ＣＳ：被検査板中での超音波の速度
ＣＷ：媒質中での超音波の速度
ｔ：被検査板の板厚
ここで、上記ラインフォーカス型超音波送信子とラインフォーカス型超音波受信子とがそれぞれリニアアレイプローブであることが探傷装置として好ましいことを見出したのである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照してこの発明を詳細に説明する。
図１は、本発明の基本構成を示しており、圧延金属板である被検査板１０を挟んでラインフォーカス型超音波送信子２０とラインフォーカス型超音波受信子３０とを対向させて配置し、これらラインフォーカス型超音波送信子２０およびラインフオーカス型超音波受信子３０と被検査板１０との間には、超音波伝播媒質として例えば水が介在される。ラインフォーカス型超音波送信子２０およびラインフォーカス型超音波受信子３０としては、ラインフォーカス型の単素子プローブまたはラインフォーカス型のリニア（１次元）  アレイプローブを用いることができる。このときのラインフォーカス型超音波送信子２０およびラインフォーカス型超音波受信子３０と被検査板１０との間の位置関係を図２に示す。ラインフォーカス超超音波送信子２０から送信されるラインフォーカス超音波ビーム２１の水中での焦点距離をＦＴ、ラインフォーカス型超音波受信子３０によって形成されるラインフォーカス受信ビーム３１の水中での焦点距離をＦＲとしたとき、ラインフォーカス型超音波送信子２０とラインフォーカス型超音波受信子３０との間の距離Ｌとして
０．６８（ＦＴ＋ＦＲ）  ≦Ｌ＋｛（ＣＳ／ＣＷ）  −１｝ｔ≦  ０．８１（ＦＴ＋ＦＲ）        …（１）
（ただし        ＣＳ：  圧延金属板中での超音波の速度、
ＣＷ：  水中での超音波の速度、
ｔ：  圧延金属板の板厚）
を満足するように設定することが本発明の特徴である。
【００１１】
特開平７−２５３４１４号公報では、実験結果に基づき、超音波送信子と超音波受信子との間の距離Ｌｓを、超音波送信子から送信されるラインフォーカスビームの水中での焦点距離をＦ  としたとき、
Ｌｓ  ≦Ｆ−｛（ＣＳ／ＣＷ）  −１｝ｔ＋５．５    （ｍｍ）                  …（２）
となるように設定していた。これは、Ｆ  ＝３８ｍｍのラインフォーカスビームを送信できる超音波送信子を用いて、Ｌｓを約１０ｍｍから３５ｍｍまで変化させ、内部欠陥からの反射エコー高さを測定した実験結果に基づくものである。
【００１２】
ところが、鋼板の接触事故防止のため、超音波送信子と超音波受信子との間の距離を更に拡大することを鋭意検討した結果、本発明のようにすることで、超音波送信子と超音波受信子との間の距離を拡大しても内部欠陥からの反射エコーを良好に受信できることが明らかになったのである。図３は、水中焦点距離ＦＴが３８ｍｍのラインフォーカス型超音波送信子と水中焦点距離ＦＲが３８ｍｍのラインフォーカス型超音波受信子とを用い、板厚４．５ｍｍ  の鋼板に存在する幅５０μｍ、長さ１００  μｍの内部欠陥を用いて、内部欠陥からの反射エコー高さと、ラインフォーカス型超音波送信子とラインフォーカス型超音波受信子との間の距離Ｌとの関係を調べた結果である。距離３５ｍｍまでは、距離Ｌの増大に伴い、内部欠陥からの反射エコー高さは低下する傾向が見られるが、距離３５ｍｍを越えたところで急に増大し距離Ｌが約４３ｍｍで極大となり、その後再び低下することが確かめられた。
【００１３】
内部欠陥からの反射エコー高さが極大となるラインフォーカス型超音波送信子とラインフォーカス型超音波受信子との距離Ｌｐが下式で示されるが、このことを説明する。
Ｌｐ  ＝０．７５（ＦＴ＋ＦＲ）−｛（ＣＳ／ＣＷ）−１  ｝ｔ                              …（３）
ここで、
ＦＴ：ラインフォーカス型超音波送信子が送信するラインフォーカスビームの水中での焦点距離、
ＦＲ：ラインフォーカス型超音波受信子が形成する受信ラインフォーカスビームの水中での焦点距離、
ＣＳ：被検査板中での超音波の速度、
ＣＷ：水中での超音波の速度、
ｔ：被検査板の板厚
上記の実験においてみられた現象は、ラインフォーカス型超音波送信子が送信するラインフォーカスビームの焦点距離ＦＴおよびラインフォーカス型超音波受信子が形成する受信ラインフォーカスビームの水中での焦点距離ＦＲと関係すると考えられる。この関係を確かめるため、水中での焦点距離ＦＴおよびＦＲがそれぞれ３８ｍｍ、５７ｍｍ、７６ｍｍの３種類のラインフォーカス型超音波送信子およびラインフォーカス型超音波受信子を用意して、表１に示すそれぞれに前記した実験と同様の実験を行って、内部欠陥からの反射エコー高さが極大になる距離Ｌｐを求めた。この結果を図４に示す。横軸はラインフォーカス型超音波送信子の焦点距離ＦＴとラインフォーカス型超音波受信子の焦点距離ＦＲの和（ＦＴ＋ＦＲ）  であり、これと内部欠陥からの反射エコー高さが極大になる距離Ｌｐには直線的な相関関係があり、その傾きは０．７５となっている。従って、内部欠陥からの反射エコー高さが極大になる距離Ｌｐは下記式で表される。
【００１４】
【表１】
0003629913.tif 000002
【００１５】
Ｌｐ＝０．７５（ＦＴ＋ＦＲ）＋α    （  但し、αは定数）                  …（４）
次に、定数αの値について検討する。
図４からαの値を求めると約−１３．４（ｍｍ）  となる。αが負となるのは、送信ラインフォーカスビームおよび受信ラインフォーカスビームのなかに被検査板が位置すると、ビームの屈折によって焦点距離ＦＴおよびＦＲが短縮することが原因であり、αの値は下記の通りとなることが予想される。
【００１６】
α＝−｛（ＣＳ／ＣＷ）−１  ｝ｔ                            …（５）
鋼板ではＣＳ＝５９５０ｍ／ｓｅｃ、常温の水中ではＣＷ＝１５００ｍ／ｓｅｃであり、今回の実験に用いた鋼板の板厚は４．５ｍｍ  であるので、上記の式の右辺を計算すると、−１３．３５（ｍｍ）となって、実験の結果と良く一致する。
従って、内部欠陥からの反射エコー高さが極大になる距離Ｌｐは（３）式に書き改めることができる。
【００１７】
また、実用上、前記の距離Ｌｐで受信したピークの反射波エコー高さから−３ｄＢ以内の範囲であればほぼ同等の欠陥検出が可能であるので、これをもとに距離Ｌ  の許容値を求める。内部欠陥からの反射エコー高さが距離Ｌｐのとき比べ、−３ｄＢ以内となる距離Ｌ  の範囲は、図３  から３８〜４８ｍｍとなる。
上記の通り、内部欠陥からの反射エコー高さが距離Ｌによって変化する現象は、ラインフォーカス型超音波送信子が送信するラインフォーカスビームの焦点距離ＦＴおよびラインフォーカス型超音波受信子が形成する受信ラインフォーカスビームの水中での焦点距離ＦＲと関係するため、距離Ｌ  の許容範囲も、ラインフォーカス型超音波送信子の焦点距離ＦＴとラインフォーカス型超音波受信子の焦点距離ＦＲの和（ＦＴ＋ＦＲ）  に係数をかけて、記述することができる。
【００１８】
Ｌ  が３８ｍｍのときは、次のように書くことができる。
Ｌｐ＝０．６８（ＦＴ＋ＦＲ）−｛（ＣＳ／ＣＷ）−１  ｝ｔ
また、Ｌ  が４８ｍｍのときは、次のように書くことができる。
Ｌｐ＝０．８１（ＦＴ＋ＦＲ）−｛（ＣＳ／ＣＷ）−１  ｝ｔ
したがって、距離Ｌ  の許容値は、
０．６８（ＦＴ＋ＦＲ）  ≦Ｌ＋｛（ＣＳ／ＣＷ）−１  ｝ｔ≦  ０．８１（ＦＴ＋ＦＲ）
とあらわすことができる。
【００１９】
以下に、本発明の実施の形態について、図５を用いて詳細に説明する。被検査板である鋼板（被検査板１０、以下鋼板１０と呼ぶ。）を挟んでラインフォーカス型超音波送信子２０とラインフォーカス型超音波受信子３０とを対向させて配置し、これらラインフォーカス型超音波送信子２０およびラインフォーカス型超音波受信子３０と鋼板１０との間の超音波伝播媒質としては水を用いている。ラインフォーカス型超音波送信子２０とラインフォーカス型超音波受信子３０との間の距離Ｌ  は、
０．６８（ＦＴ＋ＦＲ）  ≦Ｌ＋｛（ＣＳ／ＣＷ）−１  ｝ｔ≦  ０．８１（ＦＴ＋ＦＲ）
を満足する距離に設定した。ラインフォーカス型超音波送信子２０およびラインフォーカス型超音波受信子３０はともにラインフォーカス型リニア（１次元）  アレイプローブであり、以下、ラインフォーカス型超音波送信子２０およびラインフォーカス型超音波受信子３０とをあわせてプローブ対４０と称する。なお、ラインフォーカス型リニア（１次元）  アレイプローブであるラインフォーカス型超音波送信子２０の素子数をＮＴ（ここでは１０）  、ラインフォーカス型リニア（１次元）  アレイプローブであるラインフォーカス型超音波受信子３０の素子数をＮＲ（ここでは１０）  とする。プローブ対４０は、鋼板１０の全面連続探傷のため、必要数鋼板１０の幅方向に隙間なくならべて配置した。ラインフォーカス型超音波送信子２０には素子数ＮＴと同数の電気パルス送信器５１１  〜５１ＮＴが素子ごとに接続されている。電気パルス送信器５１１  〜５１ＮＴには１  個ないし複数個（図５では１  個）  の同期信号発生器５０が接続され、電気パルス送信器５１１  〜５１ＮＴが電気パルスを全台同時あるいは複数台同時に（図５では全台同時に）  送信するためのクロックパルスを出力する。同期信号発生器５Ｏからのクロックパルスを受け、電気パルス送信器５１１  〜５１ＮＴから電気パルスが全台同時あるいは複数台同時に（図５では全台同時に）  送信され、ラインフォーカス型超音波送信子２０の各素子に印加されることにより、ラインフォーカス型超音波送信子２０の各素子からラインフォーカス送信ビーム２１１  〜２１ＮＴが送信される（  図５では全素子同時に送信される）  。送信されたラインフォーカス送信ビーム２１１  〜２１ＮＴは、水中を伝播して鋼板１０の表面に達すると、鋼板１０の部に入射し、略板厚方向に伝播する。このとき、ラインフォーカス送信ビーム２１１  〜２１ＮＴはその伝播路程に内部欠陥が存在すると、これによって反射される。その反射波はほかに鋼板１０の表面または裏面で１  回反射されて、鋼板１０を通り抜けて水中を伝播し、ラインフォーカス受信ビーム３１１  〜３１ＮＲを形成している。ラインフォーカス型超音波受信子３０に受信される。該反射波がラインフォーカス型超音波受信子３０のどの素子に受信されるかは、内部欠陥の鋼板１０の幅方向での位置による。ラインフォーカス型超音波受信子３０に受信された反射波は、電気信号に変換されて、受信増幅器５２１  〜５２ＮＲによって増幅され、ゲート手段５３１  〜５３ＮＲによって内部欠陥からの反射波のみが抽出され、コンパレータ５４１  〜５４ＮＲに送られる。コンパレータ５４１  〜５４ＮＲは振幅が所定レベル以上の反射波が入射されると、電気パルスを出力し、これが内部欠陥の検出信号になる。
【００２０】
本発明に適用する距離設定手段は従来公知の技術を用いて構成することができるが、この一例を図６に示す。図６は、ラインフォーカス超音波受信子３０の位置を固定とし、ラインフォーカス超音波送信子２０の位置を変更することにより、距離Ｌ  を上記の範囲に調整する例を示しており、モータ８７からの動力をギヤボックス８６のなかのギヤ（  図示を略す）  で変速してボールネジ８４を回転させることにより、ラインフォーカス超音波送信子２０を取り付けた上アーム８１を上下に駆動させる構成である。図が煩雑化するのを避けるため、ラインフォーカス超音波送信子２０およびラインフォーカス超音波受信子３０を各１個のみ図示しているが、必要数だけ、鋼板１０の幅方向に隙間なくならべて配置される。下アーム８２、シャフト８３、ベース板８５は固着されており、上アームはシャフト８３に対しスライド可能となっている。この例の他にも、下アームの位置を変更する構成、上下アームの両方の位置を調整する構成などが考えられるが、いずれも従来公知の手段を用いて構成することができる。また、上アーム８１および下アーム８２のもう一方の側面（  シャフト８３の反対側）  にもシャフトのような案内手段を設けても良い。
【００２１】
図７は、ラインフォーカス型リニア（１次元）  アレイプローブであるラインフォーカス型超音波送信子２０の構成を示している。幅方向にＮＴ個の超音波振動素子９０１  〜９ＯＮＴを密接に並べて構成され、個々の素子の表面を円筒状の凹面とすることにより、線状に集束するラインフォーカス送信ビームを送信することができる。個々の素子よりラインフォーカス送信ビーム２１１  〜２１ＮＴが送信される  （図示を略す）  が、全体としてラインフォーカス送信ビーム２１が形成される。なお、超音波振動素子９０１  〜９ＯＮＴの幅  （素子配列方向）  は、特開平７−２５３４１４号公報において開示されているように２．０  〜１５ｍｍとするのが好ましい。このようにして、公知の技術を用いて、ラインフォーカス型リニア（１次元）  アレイプローブであるラインフォーカス型超音波送信子２０を構成することが可能である。
【００２２】
図８はラインフォーカス型リニア（１次元）  アレイプローブであるラインフォーカス型超音波受信子３０の構成を示しているが、前記のラインフォーカス型超音波送信子２０と同様の構成であるので詳細な説明を略す。なお、超音波振動素子９１１  〜９１ＮＲの幅（素子配列方向）  は、特開平７−２５３４１４号公報において開示されているように１．０ｍｍ  以上とするのが好ましい。このようにして公知の技術を用いて、ラインフォーカス型リニア（１次元）  アレイプローブであるラインフォーカス型超音波受信子３０を構成することが可能である。
【００２３】
【実施例】
このように構成された超音波探傷装置を用いて、板厚２．０ｍｍ  、板幅１０００ｍｍの鋼板の探傷を行った。ラインフォーカス型リニア（１次元）  アレイプローブであるラインフォーカス型超音波送信子２０の素子数を１０、個々の素子から送信されるラインフォーカス送信ビームの幅を６ｍｍ、ラインフォーカス型リニア（１次元）  アレイプローブであるラインフォーカス型超音波受信子３０の素子数を１０、個々の素子により形成されるラインフォーカス受信ビームの幅Ｗを６ｍｍとし、１つのプローブ対４０により６０ｍｍ長さの線状領域の探傷ができる。板幅１０００ｍｍの鋼板をわずか１７個のプローブ対４０でその全面連続探傷することができる。
【００２４】
そして、特開平７−２５３４１４号公報による設定距離３７．５ｍｍよりも１３．５ｍｍ大きくできた。本発明をオンラインに適用して１ヵ月間連続的にモニタして、波打った鋼板のプローブ対４０への接触は見られなかった。参考のため、特開平７−２５３４１４号公報による設定距離３７．５ｍｍとしてモニタしたところ、１ヵ月に数回の接触が確認された。
【００２５】
【発明の効果】
オンライン操業において、被検査板への疵付きが皆無となり、また、プローブ寿命も長くできるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における被検査板の圧延方向とビームのライン方向との関係を示す基本的な概念図である。
【図２】ラインフォーカス型超音波送信子とラインフォーカス型超音波受信子とを被検査板を挟んで対向配置させた様子を示す模式図である。
【図３】対向するプローブ間の距離と内部欠陥の反射エコー高さの関係を示す実験結果の図である。
【図４】対向するプローブの媒質中での焦点距離の和と欠陥エコー高さの極大値との関係を示す実験結果の図である。
【図５】本発明の超音波探傷装置の構成を示す概念図である。
【図６】プローブ対の距離設定手段の例を示す模式図である。
【図７】ラインフォーカス型超音波送信子の構成を示す模式図である。
【図８】ラインフォーカス型超音波受信子の構成を示す模式図である。
【符号の説明】
１０        被検査板
１５        内部欠陥
２０        ラインフォーカス型超音波送信子
２１        ラインフォーカス超音波ビーム
３０        ラインフォーカス型超音波受信子
３１        ラインフォーカス受信ビーム
４０        プローブ対
【図１】
0003629913.tif 000003
【図２】
0003629913.tif 000004
【図３】
0003629913.tif 000005
【図４】
0003629913.tif 000006
【図５】
0003629913.tif 000007
【図６】
0003629913.tif 000008
【図７】
0003629913.tif 000009
【図８】
0003629913.tif 000010