(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ねじ軸と、それに螺合されるナットと、ねじ軸とナットとの螺合部位に介装される複数の転動体とを備え、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、流動可能な含ふっ素重合体が分散添加されている含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形成されている、ことを特徴とする送りねじ。
【請求項２】
ねじ軸と、それに螺合されるナットと、ねじ軸とナットとの螺合部位に介装される複数の転動体とを備え、これらが金属材で形成され、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、流動可能な含ふっ素重合体が分散添加されている含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形成されている、ことを特徴とする送りねじ。
【請求項３】
ねじ軸と、それに螺合されるナットとを備え、これらの少なくともいずれかの摺動部位に、流動可能な含ふっ素重合体が分散添加されている含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形成されている、ことを特徴とする送りねじ。
【請求項４】
ねじ軸と、それに螺合されるナットと、ねじ軸とナットとの螺合部位に介装される複数の転動体とを備え、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、流動可能な含ふっ素重合体が分散添加されている末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜が形成されている、ことを特徴とする送りねじ。
【請求項５】
ねじ軸と、それに螺合されるナットと、ねじ軸とナットとの螺合部位に介装される複数の転動体とを備え、これらが金属材で形成され、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、流動可能な含ふっ素重合体が分散添加されている末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜が形成されている、ことを特徴とする送りねじ。
【請求項６】
ねじ軸と、それに螺合されるナットとを備え、これらの少なくともいずれかの摺動部位に、流動可能な含ふっ素重合体が分散添加されている末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜が形成されている、ことを特徴とする送りねじ。
【請求項７】
前記固体膜は、３次元の網状構造を有している、請求項４ないし６のいずれかに記載の送りねじ。
【請求項８】
前記流動可能な含ふっ素重合体が官能基を有していない、請求項１ないし７に記載の送りねじ。
【請求項９】
官能基としてイソシアネート基を有する含ふっ素重合体を単独または水酸基、アミノ基、カルボキシル基の少なくとも一種類の基を含む含フッ素重合体との混合物を溶媒中に希釈してなる溶液に、官能基を有しない含ふっ素重合体を加えた溶液を用いて、送りねじの構成要素の少なくとも一つに液状膜を付着させる工程と、
前記付着した液状膜を部分的に硬化させることにより、官能基を有しない含ふっ素重合体を流動性を有したまま分散させた網状構造の含ふっ素高分子化合物の固体膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする送りねじの潤滑膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、送りねじおよび送りねじの潤滑膜形成方法に係り、特に通常のグリースやオイルの使用ができない真空環境、清浄環境および腐食環境等で用いるのに好適な送りねじに関する。
【０００２】
【従来の技術】
前述の環境として、例えば半導体製造装置内部に配設される搬送系などが挙げられるが、このような環境では、送りねじの潤滑剤としてグリースを用いていると、グリースの油分が蒸発することにより、潤滑機能の劣化や使用環境の汚染といった不具合が発生する。
【０００３】
このような場合、従来では、ねじ軸およびナットの軌道面やボールの表面の少なくともいずれかに、金、銀、鉛、銅などの軟質金属、カーボンや二硫化モリブデンなどの固体潤滑剤を膜状にコーティングすることが行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述の固体潤滑剤からなるコーティング膜では、このコーティング膜がボールの転動、摺動動作に伴い僅かずつ剥がれるなど、発塵状況がグリース使用時に比べると低レベルになるものの、特に清浄環境では不適合となるレベルである。特に、高荷重条件においては発塵量が増大する。
【０００５】
また、本願出願人は、バインダーにふっ素系樹脂を混合した固体潤滑剤を、ねじ軸およびナットの軌道面やボールの表面の少なくともいずれかにコーティングすることを行っており、この場合には、先の従来例よりも発塵を桁違いに減らせるようになる。
【０００６】
しかしながら、このコーティング膜でも、比較的大きなアキシャル荷重がかかる状況において、剥離や欠落の他、摩耗による発塵が著しく増加し、発塵寿命が短くなる。しかも、前述のようなコーティング膜の剥離、欠落が発生すると、転動、摺動部位での潤滑作用が低下して、金属どうしの接触となるなど凝着しやすくなる他、各構成要素の摩耗が促進されるなど、寿命という点において問題がある。また、腐食性ガスがある環境では、前述のようにコーティング膜の剥離、欠落箇所の各構成要素が腐食されることになる。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、送りねじにおいて、発塵の抑制および潤滑性の向上を図り、長寿命を達成できるようにすることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の送りねじは、ねじ軸と、それに螺合されるナットと、ねじ軸とナットとの螺合部位に介装される複数の転動体とを備え、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、流動可能な含ふっ素重合体が分散添加されている含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形成されている。
【０００９】
本発明の第２の送りねじは、ねじ軸と、それに螺合されるナットと、ねじ軸とナットとの螺合部位に介装される複数の転動体とを備え、これらが金属材で形成され、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、流動可能な含ふっ素重合体が分散添加されている含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形成されている。
【００１０】
本発明の第３の送りねじは、ねじ軸と、それに螺合されるナットとを備え、これらの少なくともいずれかの摺動部位に、流動可能な含ふっ素重合体が分散添加されている含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が形成されている。
【００１１】
本発明の第４の送りねじは、ねじ軸と、それに螺合されるナットと、ねじ軸とナットとの螺合部位に介装される複数の転動体とを備え、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、流動可能な含ふっ素重合体が分散添加されている末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜が形成されている。
【００１２】
本発明の第５の送りねじは、ねじ軸と、それに螺合されるナットと、ねじ軸とナットとの螺合部位に介装される複数の転動体とを備え、これらが金属材で形成され、これらの少なくともいずれかの転動、摺動部位に、流動可能な含ふっ素重合体が分散添加されている末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜が形成されている。
【００１３】
本発明の第６の送りねじは、ねじ軸と、それに螺合されるナットとを備え、これらの少なくともいずれかの摺動部位に、流動可能な含ふっ素重合体が分散添加されている末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜が形成されている。
【００１４】
なお、前述の固体膜は、３次元の網状構造を有するものとするのが好ましい。また、流動可能な含ふっ素重合体としては官能基を有していないものとするのが好ましい。
【００１５】
本発明の第１の送りねじの潤滑膜形成方法は、官能基としてイソシアネート基を有する含ふっ素重合体を単独または水酸基、アミノ基、カルボキシル基の少なくとも一種類の基を含む含フッ素重合体との混合物を溶媒中に希釈してなる溶液に、官能基を有しない含ふっ素重合体を加えた溶液を用いて、送りねじの構成要素の少なくとも一つに液状膜を付着させる工程と、前記付着した液状膜を部分的に硬化させることにより、官能基を有しない含ふっ素重合体を流動性を有したまま分散させた網状構造の含ふっ素高分子化合物の固体膜を形成する工程とを含む。
【００１６】
上記本発明の末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物は、分子間が密に詰まって結合した固体膜である。そのため、送りねじの各構成要素間での摺接時において、剥離や摩耗が発生しにくくなるとともに、摺動抵抗が軽減されることになる。
【００１７】
また、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜に含ふっ素重合体を流動可能な状態で分散添加しており、この流動可能な含ふっ素重合体が末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜から滲み出て潤滑作用に寄与する。
【００１８】
前述の含ふっ素重合体としては、例えば官能基なしのパーフルオロポリエーテルなどの含ふっ素重合体とすることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の詳細を図１ないし図８に示す実施例に基づいて説明する。図１ないし図７は本発明の一実施例にかかり、図１は、送りねじの概略構成を示す縦断面図、図２は、図１のＢ部拡大図、図３は、ボール転動溝の他の例を示す部分断面図、図４は、図１の送りねじに被覆形成した末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜の構造を模式的に表した構造図、図５は、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜の硬化前の状態での性状分析結果を示すグラフ、図６は、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜の硬化後の状態での性状分析結果を示すグラフ、図７は、試験装置の概略構成を示す縦断面図である。
【００２０】
図中、Ａは送りねじ、１はねじ軸、２はナット、３はボール、４はサーキュレータチューブ、５は末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜である。
【００２１】
ねじ軸１は、その外周面に螺旋溝１１が形成されている。ナット２は、ねじ軸１に外嵌されており、その内周面にねじ軸１の螺旋溝１１に対応する螺旋溝２１が形成されている。複数のボール３は、ねじ軸１の螺旋溝１１と、ナット２の螺旋溝２１との間に介装されている。サーキュレータチューブ４は、ねじ軸１またはナット２のいずれか一方の回転により両螺旋溝１１，２１間に介装されるボール３を転動循環させるためのもので、ナット２に取り付けられている。
【００２２】
ねじ軸１の螺旋溝１１およびナット２の螺旋溝２１の断面形状は、ゴチックアーチ状、すなわち二つの曲率中心の異なる円弧の組み合わせによりほぼＶ字形に形成されている。なお、両螺旋溝１１，２１の断面形状は、図３に示すような円弧とすることもできる。
【００２３】
これらねじ軸１、ナット２、ボール３およびサーキュレータチューブ４は、耐食性材料により形成されている。具体的に、ねじ軸１およびナット２の素材としては、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃなどのマルテンサイト系ステンレス鋼に適当な硬化熱処理を施したものや、ＪＩＳ規格ＳＫＨ４、ＡＩＳＩ規格Ｍ−５０材などの耐熱鋼とすることができる。また、ボール３は、前述と同様の鋼材の他、セラミックス材とすることができる。さらに、サーキュレータチューブ４は、例えばＳＵＳ３０４などのステンレス鋼で形成される。なお、前述のセラミックス材としては、焼結助剤として、イットリア（Ｙ2Ｏ3）およびアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、その他、適宜、窒化アルミ（ＡｌＮ）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、スピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）を用いた窒化けい素（Ｓｉ3Ｎ4）を主体とするものの他、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や炭化けい素（ＳｉＣ）、ジルコニア（ＺｒＯ2）、窒化アルミ（ＡｌＮ）などが好ましい。
【００２４】
このような材料で送りねじＡの各構成要素を形成すれば、例えば半導体製造装置などにおいて用いられるハロゲン系腐食性ガスに対しても、腐食せずに済むようになる。
【００２５】
そして、ねじ軸１、ナット２、ボール３およびサーキュレータチューブ４の転動、摺動部位には、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５が形成されている。但し、図には、固体膜５をねじ軸１の螺旋溝１１、ナット２の螺旋溝２１、ボール３の表面、サーキュレータチューブ４の内面だけに形成したように例示しているが、これらの外表面にも形成される。
【００２６】
末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜５は、−ＣXＦ2X−Ｏ−という一般式（Ｘは１〜４の整数）で示される単位を主要構造単位とし、いずれも平均分子量が数百万以上で硬化反応により分子間が結合された３次元の網状構造を有している。３次元の網状構造とは、化学構造上の表現であって、膜の断面が網状になっているのではなく、分子間が網状のように連続してつながって密に詰まった均質な構造になっていることを意味している。このような重合体としては、下記化学式１に示すような末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体を用いて、化学構造を変化させたものとすることができる。前述の末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体としては、パーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）の誘導体、具体的に例えばモンテカチーニ社の商品名フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOCなど）が好適に用いられる。
【００２７】
【化１】
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次に、前述の末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜５の形成方法の一例を説明する。
（ａ）  末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜５を得るための溶液を用意し、この溶液中にねじ軸１、ナット２、ボール３およびサーキュレータチューブ４をそれぞれ個別に浸漬するか、あるいはそれらを組み立てた完成状態の送りねじＡを潤滑油中に浸漬して数回回転させることにより、ねじ軸１、ナット２、ボール３およびサーキュレータチューブ４の表面全面に液状膜を付着させる（付着処理）。ここで用意する溶液は、末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）〕を希釈溶媒（ふっ素系溶剤ＳＶ９０Ｄ）で含ふっ素重合体の濃度を１ｍａｓｓ％にまで希釈したものとする。
（ｂ）  前記液状膜を付着した送りねじＡの全体を４０〜５０℃で約１分間加熱し、液状膜に含む溶媒を除去する（乾燥処理）。この時点では、液状膜のままであり、流動性を有している。
（ｃ）  この後、例えば１００〜２００℃で２０時間、加熱する（硬化処理）。これにより、液状膜の化学構造が変化することにより硬化反応して末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜５が得られる。ちなみに、この硬化処理では、液状膜に存在している官能基付き含ふっ素重合体の個々について、下記化学式２〜５に示すような４種の硬化反応でもって末端のイソシアネート（ＮＣＯ）が消失し、各官能基付き含ふっ素重合体が互いに結合することにより３次元の網状構造となる。結合は、化学式２，３に示すような硬化反応でもって、図４（ａ）に模式的に示すように直線的に架橋するとともに、化学式４，５に示すような硬化反応でもって、図４（ｂ）に模式的に示すように３次元方向で架橋する。
【００２８】
【化２】
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【００２９】
【化３】
0003698830.tif 000004
【００３０】
【化４】
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【００３１】
【化５】
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このようにすれば、送りねじＡの構成要素において少なくとも互いに接触する部位に末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜５を好適な膜厚で形成することができる。なお、（ａ）、（ｂ）は必要に応じて数回繰り返すようにしてもよく、最終的には、用途に応じて、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜５の膜厚を例えば０．１〜３μｍの範囲で適宜に設定することができる。
【００３２】
ここで、（ａ）で用意した溶液を濃縮乾燥しただけの状態（流動性がある状態）と、（ａ）で用意した溶液をステンレス鋼板などの試料に付着して硬化した状態とについて、その性状を分析したので説明する。
【００３３】
前者は、ＦＴ−ＩＲ法（フーリエ変換−赤外分光、液膜法）で分析している。その結果は、図５のグラフに示すように、ふっ素系のピーク以外にＮＨ（３３００ｃｍ-1）、Ｎ＝Ｃ＝Ｏ（２２７９ｃｍ-1）、ＮＨＣ＝Ｏ（１７１２ｃｍ-1，１５４６ｃｍ-1）、ベンゼン（１６００ｃｍ-1）などのピークが見られ、ベンゼン環、ＮＨＣ＝Ｏ結合、イソシアネートが官能基として存在していることが確認できる。ここでは、薄膜と厚膜との場合についてそれぞれ調べているが、膜厚に関係なく分析が行えた。後者は、ＦＴ−ＩＲ法（フーリエ変換−赤外分光、高感度反射法）で分析している。その結果は、図６のグラフに示すように、ベンゼン環やＮＨＣ＝Ｏ結合のピークが見られるが、イソシアネートのピークが見られない。つまり、これらの結果に基づき、上記化学式２〜５に示す硬化反応による官能基の化学構造変化が確認される。
【００３４】
以上説明した末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜５は、それ自体３次元の網状構造をもって、被覆対象上に緻密に被覆されるとともに自己潤滑性を有するため、送りねじＡの構成要素間の転動、摺動動作に伴う摩耗、剥離といった発塵を抑制できるようになり、送りねじＡの構成要素どうしの直接的な接触を回避できるようになる。
【００３５】
ところで、本発明の他の実施例として、上記実施例で説明した末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜５について、分子間が結合した３次元の網状構造中に、フルオロポリエーテルなどの含ふっ素重合体を流動可能に分散添加した構造とすることもできる。この場合、具体的に、上記実施例での形成方法の（ａ）の付着処理において、用意する溶液を、末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体〔例えば商品名フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOCなど）〕と、含ふっ素化合物として官能基なし含ふっ素重合体〔例えば商品名フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-60など）〕とを所定の割合で混合したものとすればよい。この場合では、（ｃ）の硬化処理において、官能基なし含ふっ素重合体が、官能基付き含ふっ素重合体と結合しないので、これが、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜５の内部において流動可能となり、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜５から滲み出るなどして潤滑作用を発揮することになる。なお、化学式６，７，８に示すような官能基付き含ふっ素重合体を混合することができる。
【００３６】
【化６】
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【００３７】
【化７】
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【００３８】
【化８】
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そして、上述した末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５についての発塵寿命、トルク寿命を調べているので、説明する。ここでは、実施例１，２、参考例１，２、比較例の計５つを挙げている。
【００３９】
実施例１，２、参考例１，２では、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５を、ねじ軸、ナット、ボールおよびサーキュレータチューブの全表面に形成しており、膜厚は、１μｍに設定している。
【００４０】
参考例１の末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）〕のみを用いて得ている。
【００４１】
参考例２の含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）〕に対して、末端が水酸基（−ＯＨ）の官能基付き含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DOL）〕を添加して得ている。
【００４２】
実施例１の末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）〕に対して、官能基なし含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-60）〕を添加して得ている。
【００４３】
実施例２の含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜は、末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）〕に対して、末端が水酸基の官能基付き含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DOL）〕と、官能基なし含ふっ素重合体〔フォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-60）〕とを添加して得ている。
【００４４】
比較例は、ねじ軸、ナット、ボールおよびサーキュレータチューブの全表面にコーティング膜を形成したものとする。このコーティング膜は、熱硬化性合成樹脂（ポリイミド）からなるバインダー中にポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を分散混合したものであり、膜厚は１μｍとしている。このコーティング膜は、比較的硬質で緻密な熱硬化性合成樹脂が海状となり、不均質なポリテトラフルオロエチレンが島状に点在する構造となっており、両者の結合が弱い状態になっている。
【００４５】
試験は、図７に示す装置を用いている。図中、６０は送りねじＡのねじ軸、６１は送りねじＡのサポート軸受、６２は負荷用ばね、６３はパーティクルカウンター、６４は送りねじＡのナット、６５は支持板、６６はナット６４のハウジング、６７はハウジングの回転止め、６８はモータ、６９はモータ６８とねじ軸６０とのカップリングである。
【００４６】
試験条件は、下記のとおり。
【００４７】
・回転速度  ：１２０ｒｐｍ
・荷重      ：アキシャル荷重（２５Ｎ，５０Ｎ，７５Ｎ）
・ストローク：５０ｍｍ
・雰囲気    ：大気でクリーンベンチ内（クラス１０）、
真空（２．６×１０-4Ｐａ以下）
・環境温度  ：室温
・計測条件  ：粒子径０．１μｍ以上の発塵粒子数
試験に用いた送りねじＡは、呼び番号１４０４、７ＴＳ３、５Ｃ７で、ねじ軸１の軸径を１４ｍｍ、ボール３の径を２ｍｍ（３．５巻、１列）、リードを３／１６″（４．７６３ｍｍ）としている。
【００４８】
発塵寿命試験では、雰囲気を大気、環境温度を室温、アキシャル荷重を７５Ｎとしている。発塵寿命試験では、総発塵量が１０００個／０．１ｃｆ以上となる状況を、連続１０回測定した時点までの時間を計測している。なお、測定は１０分間隔とする。参考例１のフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度を１ｍａｓｓ％とし、参考例２は、ベースとなるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度を１ｍａｓｓ％、添加するフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DOL）の濃度を０．２５ｍａｓｓ％、実施例１は、ベースとなるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度を１ｍａｓｓ％、添加するフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-60）の濃度を０．２５ｍａｓｓ％、実施例２は、ベースとなるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度を１ｍａｓｓ％、添加するフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DOL）およびフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-60）の濃度を合わせて０．２５ｍａｓｓ％とする。
【００４９】
結果としては、比較例で２００時間、参考例１で３００時間、参考例２で５００時間、実施例１で１４００時間、実施例２で１３５０時間となり、寿命が長い順に実施例１、実施例２、参考例２、参考例１、比較例となる。つまり、参考例１のようにフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）のみを用いて得た末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜でも比較例に比べて優れるが、実施例１，２のようにベースとなるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）に対して側鎖に官能基を持たないフォンブリンＺ誘導体を添加して得た含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５の方が参考例１よりもさらに優れるのである。
【００５０】
つまり、実施例１，２の末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５は、３次元の網状構造で密に詰まった均質膜になって、官能基なし含ふっ素重合体を添加しているから、送りねじＡの各構成要素間での転動、摺動時において、剥離や摩耗が発生しにくくなるのである。
【００５１】
ちなみに、実施例１，２において、アキシャル荷重を５０Ｎにした場合だと発塵寿命は各々５６００時間、５５００時間、また、２０Ｎにした場合だと発塵寿命は各々１４０００時間、１３９００時間にと大幅に向上する。参考例２や１についても実施例１，２の場合と同様の比率で向上する。一方、比較例において、アキシャル荷重を５０Ｎにした場合だと発塵寿命は２６０時間にと向上するものの、実施例１，２に比べると、かなり低いレベルとなる。したがって、使用対象での条件に応じて実施例１，２のいずれかを選択すればよいのである。
【００５２】
以上の結果より、末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５としては、末端がイソシアネートの官能基付き含ふっ素重合体のみを用いて形成するよりも、流動性を有する含ふっ素重合体を添加するのが好ましいことが分かった。
【００５３】
そこで、添加量について検討する。ベースとなるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度を１ｍａｓｓ％として、添加するフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-60）の濃度を０．２５ｍａｓｓ％、０．５ｍａｓｓ％として、発塵寿命（アキシャル荷重１００Ｎ）を調べた。結果的には、０．２５ｍａｓｓ％で１４００時間、０．５ｍａｓｓ％で９９０時間となり、０．２５ｍａｓｓ％が適当であると考えられる。但し、添加量については、上限、下限に余裕を持たせて、ベースとなるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度１ｍａｓｓ％に対して、添加するフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-60）の濃度０．１〜０．７５ｍａｓｓ％の範囲とすることができる。また、ベースとなるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度は、１〜１０ｍａｓｓ％の範囲とすることができる。この場合、ベースとなるフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z DISOC）の濃度を例えば上限の５ｍａｓｓ％とする場合には、添加するフォンブリンＺ誘導体（FONBLIN Z-60）の濃度も０．５〜２．５ｍａｓｓ％の範囲として、両方の比率を常に一定に設定するのがよい。但し、ベースの濃度は濃くするにつれて発塵寿命が低下する傾向となる。
【００５４】
なお、本発明は上記実施例のみに限定されるものでなく、種々な応用や変形が考えられる。
（１）  ナット２の軸方向一端または軸方向両端には、必要に応じねじ軸１の螺旋溝１１に対して近接する非接触タイプのシールを設けてもよく、この場合には低発塵性に、より貢献できる。このシールとしては、合成ゴムなどの弾性体により円筒形に形成されており、内周面の所要角度範囲にねじ軸１の螺旋溝１１に近似する断面形状の凸部を有するものが考えられる。
（２）  上記実施例では、送りねじとしてボールを備えるタイプを引用しているが、図８に示すように、ボールを備えないタイプの送りねじにも本発明を適用できる。この場合、固体膜５は、ねじ軸１の螺旋溝１１とナット２の螺旋溝２１の少なくともいずれか一方に形成すればよい。
（３）  上記実施例において（ｃ）の硬化処理については、加熱に代えて、紫外線、赤外線、γ線、電子線などの電磁波（光）のエネルギーを利用することができる。
（４）  上記実施例において（ｂ）の乾燥処理は、省略してもよい。
（５）  上記実施例では、送りねじＡの構成要素のすべてに流動性を有する含ふっ素重合体を添加した末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５を形成しているが、送りねじＡの少なくとも、ねじ軸１およびナット２だけ、あるいはボール３だけに形成することができる。
（６）  上記実施例では、流動性を有する含ふっ素重合体を添加した末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜５を被覆対象の外表面にも形成しているが、ねじ軸１、ナット２に対してはその螺旋溝１１，２１だけに、また、サーキュレータチューブ４に対してはその内面だけに形成することができる。この場合、不要箇所をマスキングしておいて、送りねじとして組み立てる前に各単体を上記（ａ）で用意する溶液中に浸漬して、適宜硬化させるようにすればよい。但し、外表面にも固体膜５を形成していれば、耐食性環境での使用においても腐食防止効果が強くなり、別途、腐食防止処理を施さなくて済む。
【００５５】
【発明の効果】
本発明の送りねじでは、従来のコーティング膜に比べて剥離、欠落、摩耗が抑制できるとともに、転動、摺動抵抗を軽減できる流動性を有する含ふっ素重合体を添加した末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜を用いているから、発塵寿命と潤滑性を向上できるようになり、動作安定性および寿命の向上に貢献できる。
【００５６】
したがって、例えば半導体製造過程のように高精度な加工が要求されるところに本発明の転がり軸受を用いると、清浄雰囲気を阻害しにくくなるので、半導体製造品の歩留まり向上に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の送りねじの概略構成を示す縦断面図
【図２】  図１のＢ部を拡大した断面図
【図３】  ボール転動溝の他の例を示す部分断面図
【図４】  図１の送りねじに被覆形成した末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜の構造を模式的に表した構造図
【図５】  末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜の硬化前の状態での性状分析結果を示すグラフ
【図６】  末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物の固体膜の硬化後の状態での性状分析結果を示すグラフ
【図７】  試験装置の概略構成を示す縦断面図
【図８】  本発明の他の送りねじを示す縦断面図
【符号の説明】
Ａ    送りねじ
１    ねじ軸
２    ナット
３    ボール
４    サーキュレータチューブ
５    末端がイソシアネート官能基付き含ふっ素重合体を硬化処理したことで形成された含ふっ素高分子化合物または含ふっ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜
１１    ねじ軸の螺旋溝
２１    ナットの螺旋溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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