(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する一方の表面及び他方の表面を有する基板と、この基板内部における一方の表面側に形成されたインク共通流路と、インク滴を吐出するものであり、前記基板内部のインク共通流路に沿って形成され、当該基板の一方の表面に開口する複数のノズルと、前記基板内部に形成され、前記インク共通流路と前記ノズルとを繋ぐインク通路とを備えたインクジェットヘッドであって、前記インク通路は、前記インク共通流路の幅方向中間位置に連通され、前記基板の厚み方向に形成された流路部分及び当該流路部分に連通され、前記基板の他方の表面側において前記インク共通流路に対して斜めに形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記ノズルは、前記インク共通流路の両側であって、その一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置に形成され、前記インク共通流路に対して斜めに形成された流路部分は、前記インク共通流路の両側に配設され、前記インク共通流路に対してその一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置で連通されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
基板に、インク共通流路と、このインク共通流路の両側に沿ってそれぞれ複数形成されたインク滴が吐出されるノズルと、前記インク共通流路と前記ノズルとを繋ぐ複数のインク通路とを備え、前記ノズルは前記インク共通流路の一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置に形成されると共に、前記インク通路はその一部が前記基板の表面に沿って互いに並行に形成されて構成されたインクジェットヘッドであって、前記インク共通流路は基板の表面に沿う方向に波形に形成され、前記インク通路は前記インク共通流路に対してその波形の頂部位置で連通されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記インク共通流路の波形は二等辺三角形からなるものであることを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記基板は対向する一方の表面及び他方の表面を有するものであり、前記インク共通流路は、前記基板におけるノズルの開口する面と同一の一方の表面側に形成されたものであり、前記インク通路は、前記インク共通流路に連通され、前記基板の厚み方向に形成された流路部分及び当該流路部分に連通され、前記基板におけるノズルの開口する面とは反対の他方の表面側に形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなることを特徴とする請求項３又は４記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記基板は対向する一方の表面及び他方の表面を有するものであり、前記インク共通流路は、前記基板におけるノズルの開口する一方の表面とは反対の他方の表面側に形成されたものであり、前記インク通路は、前記インク共通流路に連通するもので、前記基板におけるノズルの開口する一方の表面とは反対の他方の表面側に形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなることを特徴とする請求項３又は４載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェット記録装置等に用いられるインクジェットヘッドに関し、更に詳しくは、基板の表面に多数のノズルが配列形成され、そのノズルからインク滴が吐出されるようにしたインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のインクジェットヘッドは、その要部断面図である図９（ａ）及びその一方の表面側の要部平面図である図９（ｂ）に示すように、対向する表面１００ａ、１００ｂを有する樹脂からなる矩形状の基板１００を備えている。この基板１００の一方の表面１００ａ側には、その長手方向に沿ってインク共通流路１０１が形成されている。このインク共通流路１０１は、基板１００に溝１０１ａを形成し、この溝１０１ａを覆うように基板１００に被覆体１０１ｂを配設することにより構成されたものである。このように構成されたインク共通流路１０１の長手方向の一端は閉じられているが、他端は基板１００の側面に通じており、この他端側から外部に配設されたインクタンクのインクが供給されるようになっている。
【０００３】
また、基板１００の一方の表面１００ａ側には、インク共通流路１０１に沿って多数のノズル１０２が一定のピッチで一列に並べられて配設されている。この基板１００の一方の表面１００ａには、ノズル１０２のインク吐出口に撥水性を持たせるため、ノズル１０２に沿って金属板からなるノズルプレート１０２ａが配設されている。
【０００４】
また、基板１００の内部には、インク共通流路１０１と基板１００の他方の表面１００ｂとの間に、インク共通流路１０１とノズル１０２を繋ぐインク通路の一部を構成する多数のインク供給路１０３が形成されている。このインク供給路１０３の一端はインク共通流路１０１に連通し、他端は基板１００の他方の表面１００ｂに開口している。
【０００５】
また、基板１００の他方の表面１００ｂ側には、インク共通流路１０１とノズル１０２を繋ぐインク通路の一部を構成する多数の加圧室１０４がインク共通流路１０１と直交する方向に形成されている。この加圧室１０４は、基板１００に溝１０４ａを形成し、この溝１０４ａを覆うように基板１００に振動板１０５を配設することにより構成されたものである。この振動板１０５は、同時にインク供給路１０３の開口部分をも覆っている。この加圧室１０４の一端はインク供給路１０３の他端に連通され、加圧室１０４の他端はノズル１０２側に連通されている。また、振動板１０５の外面側の溝１０４ａと対応する箇所には圧電素子１０６が配設されている。
【０００６】
このように構成されたインクジェットヘッドは、駆動信号が与えられて圧電素子１０６が駆動すると、振動板１０５が振動することによって加圧室１０４が加圧され、それによりインク共通流路１０１からインク供給路１０３を介して供給された加圧室１０４のインクがノズル１０２側に送出され、ノズル１０２からインク滴が吐出されるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように構成されたインクジェットヘッドにおいては、インク共通流路１０１とノズル１０２との間を繋ぐインク通路の内、基板１００の表面に沿う方向に形成された部分が、インク共通流路１０１と直交する方向に形成されており、しかも、このインク通路はノズルからインク滴を良好に吐出させるために一定の長さを必要とし、その結果、インク共通流路１０１とノズル１０２との基板１００の表面に沿う方向の間隔が不可避的に拡がり、ノズル１０２を複数列に配設する場合、隣接するノズル列の間隔が拡がってインクジェットヘッドの小型化が阻害されるという問題があった。
【０００８】
従って、本発明は、隣接するノズル列の間隔を狭くすることにより小型化を可能としたインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、請求項１に係るインクジェットヘッドは、対向する一方の表面及び他方の表面を有する基板と、この基板内部における一方の表面側に形成されたインク共通流路と、インク滴を吐出するものであり、前記基板内部のインク共通流路に沿って形成され、当該基板の一方の表面に開口する複数のノズルと、前記基板内部に形成され、前記インク共通流路と前記ノズルとを繋ぐインク通路とを備えたものであって、前記インク通路は、前記インク共通流路の幅方向中間位置に連通され、前記基板の厚み方向に形成された流路部分及び当該流路部分に連通され、前記基板の他方の表面側において前記インク共通流路に対して斜めに形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなることを特徴としている。
【００１０】
この請求項１に係るインクジェットヘッドにおいては、インク通路を構成するインク供給路のうち、基板の他方の表面側における流路部分がインク共通流路に対して斜めに形成されていることから、その流路部分においてインクの良好な供給に必要な一定の長さを確保できることで加圧室をインク共通流路に近接して配設できるようになる結果、ノズルがインク共通流路に近接して配設でき、隣接するノズル列の間隔が狭められる。
【００１１】
また、請求項２に係るインクジェットヘッドは、請求項１記載のものにおいて、前記ノズルは、前記インク共通流路の両側であって、その一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置に形成され、前記インク共通流路に対して斜めに形成された流路部分は、前記インク共通流路の両側に配設され、前記インク共通流路に対してその一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置で連通されていることを特徴としている。
【００１２】
この請求項２に係るインクジェットヘッドにおいては、ノズルが、インク共通流路の両側であって、その一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置に形成され、インク共通流路に対して斜めに形成された流路部分が、インク共通流路の両側に配設され、インク共通流路に対してその一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置で連通されていることから、インク共通流路から給送されたインクが各ノズルに対して均等に供給される。
【００１３】
また、請求項３に係るインクジェットヘッドは、基板に、インク共通流路と、このインク共通流路の両側に沿ってそれぞれ複数形成されたインク滴が吐出されるノズルと、前記インク共通流路と前記ノズルとを繋ぐ複数のインク通路とを備え、前記ノズルは前記インク共通流路の一方側と他方側とで互いに半ピッチずれた位置に形成されると共に、前記インク通路はその一部が前記基板の表面に沿って互いに並行に形成されて構成されたインクジェットヘッドであって、前記インク共通流路は基板の表面に沿う方向に波形に形成され、前記インク通路は前記インク共通流路に対してその波形の頂部位置で連通されていることを特徴としている。
【００１４】
この請求項３に係るインクジェットヘッドにおいては、インク共通流路が波形に形成され、インク通路がインク共通流路に対してその波形の頂部位置で連通されていることから、インク共通流路の両側のノズル列が互いに近接して配設され、隣接するノズル列の間隔が狭められる。
【００１５】
また、請求項４に係るインクジェットヘッドは、請求項３記載のものにおいて、前記インク共通流路の波形は二等辺三角形からなるものであることを特徴としている。
【００１６】
この請求項４に係るインクジェットヘッドにおいては、波形がインク共通流路の長手方向に沿って均一な形状となることから、インク共通流路内におけるインクの流れが良好となる。
【００１７】
また、請求項５に係るインクジェットヘッドは、請求項３又は４記載のものにおいて、前記基板は対向する一方の表面及び他方の表面を有するものであり、前記インク共通流路は、前記基板におけるノズルの開口する面と同一の一方の表面側に形成されたものであり、前記インク通路は、前記インク共通流路に連通され、前記基板の厚み方向に形成された流路部分及び当該流路部分に連通され、前記基板におけるノズルの開口する面とは反対の他方の表面側に形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなることを特徴としている。
【００１８】
この請求項５に係るインクジェットヘッドにおいては、インク共通流路が、基板におけるノズルの開口する面と同一の一方の表面側に形成されたものであり、インク通路が、インク共通流路に連通され、基板の厚み方向に形成された流路部分及び当該流路部分に連通され、基板におけるノズルの開口する面とは反対の他方の表面側に形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなる一方、インク共通流路が波形に形成され、インク通路がインク共通流路に対してその波形の頂部位置で連通されていることから、インク共通流路の両側のノズル列が互いに近接して配設され、隣接するノズル列の間隔が狭められる。
【００１９】
また、請求項６に係るインクジェットヘッドは、請求項３又は４記載のものにおいて、前記基板は対向する一方の表面及び他方の表面を有するものであり、前記インク共通流路は、前記基板におけるノズルの開口する一方の表面とは反対の他方の表面側に形成されたものであり、前記インク通路は、前記インク共通流路に連通するもので、前記基板におけるノズルの開口する一方の表面とは反対の他方の表面側に形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなることを特徴としている。
【００２０】
この請求項６に係るインクジェットヘッドにおいては、インク共通流路が、基板におけるノズルの開口する一方の表面とは反対の他方の表面側に形成されたものであり、インク通路が、インク共通流路に連通するもので、基板におけるノズルの開口する一方の表面とは反対の他方の表面側に形成された流路部分からなるインク供給路と、このインク供給路に連通する加圧室とからなる一方、インク共通流路が波形に形成され、インク通路がインク共通流路に対してその波形の頂部位置で連通されていることから、インク共通流路の両側のノズル列が互いに近接して配設され、隣接するノズル列の間隔が狭められる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの平面図であり、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図で、上下方向を逆転して示したものである。
【００２２】
これらの図において、インクジェットヘッドは、対向する一方の表面１０ａ及び他方の表面１０ｂを有する樹脂からなる矩形状の基板１０を備えている。この基板１０の内部には、その長手方向に沿い、かつ、一方の表面１０ａ側に複数のインク共通流路１１が一定の間隔をおいて形成されている。このインク共通流路１１は、基板１０に溝１１ａを形成し、この溝１１ａを覆うように基板１０に平板状の被覆体１１ｂを配設することにより構成されている。この被覆体１１ｂは、貼着等の手段で基板１０に取り付けられる。このように構成された各インク共通流路１１の長手方向の一端は閉じられているが、他端は基板１０の側面に通じており、この他端から図略のインクタンクのインクが供給されるようになっている。
【００２３】
また、基板１０の内部には、インク共通流路１１に沿って、インク共通流路１１と後述するノズル１３とを繋ぐインク通路の一部となる多数のインク供給路１２が一定のピッチで形成されている。このインク供給路１２は、インク共通流路１１と基板１０の他方の表面１０ｂとの間に、基板１０の厚み方向（基板１０の対向する表面１０ａ、１０ｂ間方向）に沿って形成されており、一端がインク共通流路１１の幅方向中間位置に連通されると共に、他端が基板１０の他方の表面１０ｂ側に開口している。
【００２４】
また、基板１０の内部には、インク共通流路１１の両側に多数のノズル１３が互いに半ピッチずれた状態でそれぞれ一列に並べられて形成されている。このノズル１３は、一端が基板１０の一方の表面１０ａに開口すると共に、基板１０の厚み方向に沿って形成されている。
【００２５】
また、基板１０の内部には、各インク共通流路１１の両側に、インク共通流路１１とノズル１３とを繋ぐインク通路の一部となる多数の加圧室１４が各ノズル１３に対応して一列に並べられて形成されている。この加圧室１４は、基板１０の他方の表面１０ｂとノズル１３との間に溝１４ａが形成され、この溝１４ａを覆うように基板１０に振動板１５が配設されて構成されている。この振動板１５は、ガラス等の絶縁材料から形成され、貼着等の手段で基板１０の略全域に取り付けられている。上記溝１４ａは、一端が基板１０の他方の表面１０ｂに開口し、他端がノズル１３の他端に連通されており、基板１０の厚み方向と直交する方向である横断面が四角形状に形成されると共に、他端側が先細り形状に形成され、全体として四角錐に近似した形状を有している。
【００２６】
また、基板１０の他方の表面１０ｂには、インク供給路１２と所定の位置の加圧室１４とに連通する溝１６、１７がインク共通流路１１に対して斜めに形成されている。すなわち、溝１６は、インク共通流路１１の一方の側の加圧室１４と、斜め位置において対応する１つおきのインク供給路１２とに連通され、溝１７は、インク共通流路１１の他方の側の加圧室１４と、斜め位置において対応する残る１つおきのインク供給路１２とに連通されている。また、この溝１６、１７は、インク供給路１２に連通される側がインク共通流路１１に供給されるインクの上流側に向くような方向に傾斜するように形成されている。また、この溝１６、１７は、インク供給路１２の開口部と共に上記振動板１５で覆われることにより、インク供給路１２の一部となる接続路１８、１９を構成する。なお、この実施形態においては、接続路１８、１９はそれぞれインクの逆流を阻止する隘路としての機能を有している。
【００２７】
また、上記振動板１５の外面側には、加圧室１４を構成する溝１４ａに対応する位置にチタン酸ジルコン酸鉛等からなる圧電素子２０が配設されている。
【００２８】
上記のように構成されたインクジェットヘッドは、基板１０の一方の表面１０ａに多数のノズル１３が複数列に配設されたものとなり、インクジェット記録装置等に取り付けられて圧電素子２０に駆動信号が与えられると、振動板１５が振動することによって加圧室１４が加圧され、インク共通流路１１からインク供給路１２を介して供給された加圧室１４内部のインクがノズル１３から吐出され、記録用紙等に所定の画像を記録する。
【００２９】
上記のように構成されたインクジェットヘッドは、各接続路１８、１９がインク共通流路１１に対して斜めに形成されているので、接続路１８、１９にインクの良好な供給に必要な一定の長さを確保でき、しかも、加圧室１４をインク共通流路１１に近接して配設できるようになる。その結果、ノズル１３をインク共通流路１１に近接して配設できるのでノズル１３の列間隔が狭められ、インクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【００３０】
また、インク共通流路１１が、基板１０のノズル１３が開口する一方の表面１０ａ側に配設されているので、インク共通流路１１をノズル１３よりも径の大きな加圧室１４の存在する他方の表面１０ｂ側に配設する場合に比べて加圧室１４をインク共通流路１１に近接して配設できるようになり、その結果、ノズル１３をインク共通流路１１に近接して配設できるのでノズル１３の列間隔を狭めることができ、インクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【００３１】
また、加圧室１４が基板１０の他方の表面１０ｂとノズル１３との間に基板の厚み方向に沿って形成されているので、ノズル１３をインク共通流路１１に近接して配設できるようになり、その結果、ノズル１３の列間隔を狭めることができ、インクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【００３２】
また、上記のように構成されたインクジェットヘッドは、インク供給路１２の一部を構成する接続路１８、１９が、基板１０の他方の表面に形成された溝１６、１７と、この溝１６、１７を覆うように配設された振動板１５とで構成されているので、基板１０を樹脂成型する場合、成型金型には接続路１８、１９を形成するための細いピンを必要としない。そのため、金型の取り扱いが容易になって基板１０の製作が容易になると共に、金型費用が低減できてインクジェットヘッドのコストダウンが可能となる。なお、この実施形態では、接続路１８、１９に隘路としての機能を持たせているが、隘路はインク供給路１２とインク共通流路１１との連通部分に形成するようにしてもよい。
【００３３】
なお、上記の実施形態では、インク共通流路１１が基板１０の一方の表面１０ａ側に形成されているが、図３及び図４に示すように、このインク共通流路１１を基板１０の他方の表面１０ｂ側に形成するようにすることもできる。すなわち、図３はインクジェットヘッドの一部を示す平面図であり、図４は図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図で、上下方向を逆転させて示したものである。これらの図に基づき、図１及び図２に示す実施形態との相違点のみ説明すると、インク共通流路１１は、基板１０の他方の表面１０ｂに形成した溝１１ａを振動板１５で覆うことによって構成され、斜めに形成された接続路１８、１９はこのインク共通流路１１に直接連通される。すなわち、図１及び図２における符号１２で示すインク供給路はなくなり、インク共通流路１１から加圧室１４にインクを供給するためのインク供給路は接続路１８、１９のみで構成されることになる。
【００３４】
このように構成されたインクジェットヘッドは、インク供給路を構成する接続路１８、１９がインク共通流路１１に対して斜めに形成されているので、加圧室１４をインク共通流路１１に近接して配設でき、その結果、ノズル１３をインク共通流路１１に近接して配設でき、隣接するノズル１３の列間隔を狭めることができてインクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【００３５】
また、このように構成されたインクジェットヘッドは、インク供給路が基板１０の他方の表面１０ｂに形成した溝１６、１７を振動板１５で覆うことによって構成されるので、図１及び図２において符号１２で示すインク供給路が不要となり、基板１０を樹脂成型する場合に、成型金型に細いピンを設ける必要がなくなる。その結果、金型の取り扱いが容易になって基板１０の製作が容易になると共に、金型費用が低減できてインクジェットヘッドのコストダウンが可能となる。
【００３６】
なお、上記のいずれの実施形態においても、ノズル１３と加圧室１４はインク共通流路１１の両側に配設されているが、インク共通流路１１の片側にのみ配設することもできる。この場合でも、ノズル１３の列間隔を狭めることができる。
【００３７】
また、上記のいずれの実施形態においても、インク供給路１２の一部である接続路１８、１９が基板１０の表面に沿う方向に形成されているが、加圧室が基板１０の表面に沿う方向に形成されている構造のものであっても、その加圧室がインク共通流路１１に対して斜めに形成されていれば上記実施形態と同様の効果を奏する。要するに、インク共通流路１１とノズル１３を繋ぐインク通路の少なくとも一部が基板１０の表面に沿う方向に形成され、その基板１０の表面に沿う方向に形成された部分がインク共通流路１１に対して斜めに形成されておればよい。
【００３８】
また、上記のいずれの実施形態においても、インク共通流路１１が直線状に形成され、そのインク共通流路１１に対してインク供給路を構成している接続路１８、１９が斜めに形成されたものであるが、図５及び図６に示すように、このインク共通流路１１を基板１０の表面１０ａ、１０ｂに沿う方向において波形に形成するようにしても隣接するノズル列の間隔を狭めることができる。
【００３９】
すなわち、図５はインクジェットヘッドの一部を示す平面図であり、図６は図５のＣ−Ｃ線に沿う拡大断面図で、上下方向を逆にして示したものである。これらの図に基づき、図１及び図２に示す実施形態との相違点のみ説明すると、インク共通流路１１は、基板１０の一方の表面１０ａに溝１１ａをその表面１０ａに沿う方向に二等辺三角形からなる波形に形成し、この溝１１ａを波形の被覆体１１ｂで覆うことによって構成されている。また、インク供給路１２は、インク共通流路１１の波形の頂部位置でインク共通流路１１に連通されており、インク共通流路１１の両側に互いに半ピッチずれた状態で形成されたノズル１３と加圧室１４は、インク共通流路１１の波形の頂部と頂部との間の凹部となる位置に配設されている。インク供給路１２の一部となる接続路１８、１９は互いに並行して配設され、一端がインク共通流路１１の上記頂部位置のインク供給路１２に連通され、他端が加圧室１４に連通されている。
【００４０】
このように構成されたインクジェットヘッドは、インク共通流路１１の両側のノズル１３と加圧室１４がそれぞれインク共通流路１１の波形の凹部となる位置に配設されているので、インク共通流路１１の両側の加圧室１４を互いに近接して配設できるようになり、その結果、インク共通流路１１の両側のノズル１３の列間隔を狭めることができ、インクジェットヘッドの小型化が可能となる。しかも、接続路１８、１９がインク共通流路１１の波形の頂部位置でインク供給路１２に連通されているので、ノズルからのインクの良好な吐出に必要な一定の長さを確保することができる。
【００４１】
なお、図５及び図６に示す実施形態では、インク共通流路１１が基板１０の一方の表面１０ａ側に形成されているが、図７及び図８に示すように、このインク共通流路１１を基板１０の他方の表面１０ｂ側に形成するようにすることもできる。すなわち、図７はインクジェットヘッドの一部を示す平面図であり、図８は図７のＤ−Ｄ線に沿う断面図で、上下方向を逆転させて示したものである。これらの図に基づき、図５及び図６に示す実施形態との相違点のみ説明すると、インク共通流路１１は、基板１０の他方の表面１０ｂに形成した溝１１ａを振動板１５で覆うことによって構成され、接続路１８、１９はこのインク共通流路１１の波形の頂部位置で直接連通される。すなわち、図５及び図６における符号１２で示すインク供給路はなくなり、インク共通流路１１から加圧室１４にインクを供給するためのインク供給路は接続路１８、１９のみで構成されることになる。
【００４２】
このように構成されたインクジェットヘッドは、図５及び図６の場合と同様に、インク共通流路１１の両側の加圧室１４を互いに近接して配設でき、インク共通流路１１の両側のノズル１３の列間隔を狭めることができてインクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【００４３】
また、このように構成されたインクジェットヘッドは、インク供給路が基板１０の他方の表面１０ｂに形成した溝１６、１７を振動板１５で覆うことによって構成されるので、図５及び図６において符号１２で示すインク供給路が不要となり、基板１０を樹脂成型する場合に、成型金型に細いピンを設ける必要がなくなる。その結果、金型の取り扱いが容易になって基板１０の製作が容易になると共に、金型費用が低減できてインクジェットヘッドのコストダウンが可能となる。
【００４４】
なお、上記図５及び図６と、図７及び図８に示す実施形態において、インク共通流路１１の波形は、正弦波形のような滑らかな形状としてもよい。また、接続路１８、１９は、上記のようなインク共通流路１１の波形の頂部位置でインク供給路１２又はインク共通流路１１に連通されるのではなく、波形の互いの反対側の頂部位置間で連通されるようにしてもよい。
【００４５】
【発明の効果】
以上のように、請求項１及び２の発明によれば、インク通路を構成するインク供給路のうち、インク共通流路の幅方向中間位置に連通された流路部分に連通された流路部分であって、基板の他方の表面側に形成された流路部分が、インク共通流路に対して斜めに形成されていることから、ノズルをインク共通流路に近接して配設することができ、隣接するノズル列の間隔を狭めることができてインクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【００４６】
また、請求項３乃至６の発明によれば、インク共通流路が波形に形成されていることから、インク共通流路の両側のノズル列を互いに近接して配設することができ、隣接するノズル列の間隔を狭めることができてインクジェットヘッドの小型化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの一部を切り欠いて示す平面図である。
【図２】  図１のインクジェットヘッドのＡ−Ａ線の断面図であり、図１とは上下方向を逆転させて示したものである。
【図３】  本発明のインクジェットヘッドの変形例を示す要部平面図である。
【図４】  図３のインクジェットヘッドのＢ−Ｂ線の断面図であり、図３とは上下方向を逆転させて示したものである。
【図５】  本発明の別の実施形態に係るインクジェットヘッドの要部平面図である。
【図６】  図５のインクジェットヘッドのＣ−Ｃ線の断面図であり、図５とは上下方向を逆転させて示したものである。
【図７】  図５及び図６のインクジェットヘッドの変形例を示す要部平面図である。
【図８】  図７のインクジェットヘッドのＤ−Ｄ線の断面図であり、図７とは上下方向を逆転させて示したものである。
【図９】  従来のインクジェットヘッドを示す図であり、（ａ）はその要部断面図、（ｂ）はその要部平面図である。
【符号の説明】
１０  基板
１１  インク共通流路
１２  インク供給路
１３  ノズル
１４  加圧室
１５  振動板
１６、１７  接続路を構成する溝
１８、１９  接続路
２０  圧電素子
【図１】
0003638689.tif 000002
【図２】
0003638689.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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