(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体に支持され弾性を有するプローブとこれに対向する媒体との物理現象から生じる信号を検出して、該検出信号により算出されたプローブと媒体間の距離情報に基づく位置制御信号によってプローブと媒体間の位置制御を行いながら情報処理を行う情報処理装置において、
前記プローブと媒体間の位置制御が、プローブの位置決めを行う静電アクチュエータの電荷量を一定とする静電力制御によって行われることを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記電荷量を一定とする静電力制御を、プローブの位置決めを行う静電アクチュエータの駆動電極間に形成される等価コンデンサの電荷量を検出し、これを所定値に制御する電圧−電荷変換手段によって行うようにしたことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記電荷量の検出を、静電アクチュエータの駆動電極間に形成される等価コンデンサと直列に接続した検出用コンデンサによって行うようにしたことを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記電荷量の制御を、静電アクチュエータの駆動電極間に形成される等価コンデンサに流れ込む電流を検出する電流検出手段と、前記電流を所定値に制御する電流制御手段とで行うようにしたことを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記電流制御手段が、静電アクチュエータの駆動電極間に形成される等価コンデンサと演算増幅器とからなる積分回路であることを特徴とする請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記電流制御手段は、交流駆動信号の振幅変調乃至は周波数変調回路による制御信号によって電流を調整することを特徴とする請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記プローブは、先端にティップを有する少なくとも１本以上の弾性体プローブであることを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記プローブは、カンチレバー構造であることを特徴とする請求項７に記載の情報処理装置。
【請求項９】
前記プローブは、カンチレバー上の駆動電極とカンチレバー支持体上の支持電極間で構成されるコンデンサへの信号印加で駆動されるように構成されていることを特徴とする請求項８に記載の情報処理装置。
【請求項１０】
前記プローブは、両もち梁のねじれ弾性を利用したトーション構造であることを特徴とする請求項７に記載の情報処理装置。
【請求項１１】
前記プローブは、トーション構造のプローブ上の駆動電極とプローブ支持体の支持電極間で構成されるコンデンサへの信号印加で駆動されるように構成されていることを特徴とする請求項１０に記載の情報処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はプローブと記録媒体との物理的相互作用により情報処理を行う情報処理装置、例えば記録再生装置、あるいは走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）等の情報処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、導体の表面原子の電子構造を直接観察できる走査型トンネル顕微鏡（以後、ＳＴＭと略す）が開発され［Ｇ．Ｂｉｎｎｉｇ  ｅｔ  ａｌ．Ｐｈｙｓ．Ｒｅｖ．Ｌｅｔｔ，４９，５７（１９８２）］、単結晶、非晶質を問わず実空間像の高い分解能の測定ができるようになった。
ＳＴＭは金属の探針（ティップ）を有するプローブと導電性物質間に電圧を加え１ｎｍ程度の距離まで近づけるとトンネル電流が流れることを利用している。
この電流は両者の距離変化に非常に敏感である。トンネル電流を一定に保つように探針を走査することにより実空間の全電子雲に関する種々の情報をも読み取ることができる。このとき内面方向の分解能は、０．１ｎｍ程度である。
したがって、ＳＴＭの原理を応用すれば十分に原子オーダー（サブ・ナノメートル）での高密度記録再生を行うことが可能である。
例えば、特開昭６１−８０５３６号公報に開示されている記録再生装置では、電子ビーム等によって媒体表面に吸着した原子粒子を取り除き書き込みを行い、ＳＴＭによりこのデータを再生している。
【０００３】
また記録層として電圧電流のスイッチング特性に対してメモリ効果を持つ材料、例えばπ電子系有機化合物やカルコゲン化合物類の薄膜層を用いて、記録・再生をＳＴＭで行う方法が提案されている。（特開昭６３−１６１５５２号公報、特開昭６３−１６１５５３号公報）
この方法によれば、記録ビットサイズを１０ｎｍとして、１０12ｂｉｔ／ｃｍ2もの大容量記録再生が可能である。
さらに、小型化を目的とし複数のプローブを半導体基板上に形成しこれと対向する記録媒体を変位させ記録する装置が提案されている（特開平１−１９６７５１号公報）。
例えば、１ｃｍ2角のシリコンチップ上に２５００本のプローブを５０×５０のマトリック配置したマルチプローブヘッドと上述したメモリ効果を持つ材料を組み合わせることにより、１プローブ当たり４００Ｍｂｉｔ、総記録容量１Ｔｂｉｔのディジタルデータの記録再生が行える。
この際、このプローブを長さ数１００μｍ程度のカンチレバー（片もち梁）状に構成しプローブを静電力アクチュエータで駆動することにより、媒体に対して間隔制御を行う集積化プローブヘッドを用いた記憶装置が提案されている。（特開昭６２−２８１１３８号公報）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、実際にプローブとこれに対向する媒体を組み合わせて記録再生等の情報処理を行うためにはつぎのような問題があった。
記録再生等の情報処理時にプローブと対向する媒体間の距離を精度よく制御する必要がある。
例えばプローブの位置制御を行うアクチュエータとして静電アクチュエータを用いる場合、静電力を発生する電極への印加電圧を制御して定電圧駆動により変位制御を行う方法があった。
この場合、静電力を発生する電極間の距離が変わると印加電圧に変化がなくても生じる発生力が変化する。
即ちプローブと媒体間の距離制御のため静電力を発生する電極間の制御電圧を決定し定電圧駆動を行うと、静電力を発生するアクチュエータの電極間距離が変化し、静電引力が増大する可能性があった。
【０００５】
このように定電圧駆動下で大きな静電力発生状態が発現すると、静電力増加と電極間距離変化という制御ループが正帰還するようになって、アクチュエータは制御不能状態となってしまう。
そこで静電力を用いたアクチュエータでは、正帰還状態が発現しないように例えば電極間距離を制御距離に対して大きくして用い、電極間距離の変化を相対的に小さくしていた。
この方法で、アクチュエータのストロークを大きくしようとすると、駆動電圧値を大きくしたり、アクチュエータの弾性定数や回転モーメントを小さくする必要があった。しかしこれでは投入電力が大きくなったり、アクチュエータ設計の自由度がないなどあまり良い方法とは言えなかった。
【０００６】
そこで、本発明は、上記問題を解決し、静電力制御によるプローブの位置制御において、正帰還状の静電力が発生しないようにした記録再生装置、あるいは走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）等の情報処理装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため、つぎのような特徴を有する情報処理装置を提供するものである。
すなわち、本発明の情報処理装置は、
第１は、支持体に支持され弾性を有するプローブとこれに対向する媒体との物理現象から生じる信号を検出して、該検出信号により算出されたプローブと媒体間の距離情報に基づく位置制御信号によってプローブと媒体間の位置制御を行いながら情報処理を行う情報処理装置において、前記プローブと媒体間の位置制御が、プローブの位置決めを行う静電アクチュエータの電荷量を一定とする静電力制御によって行われることを特徴とする。
第２は、前記電荷量を一定とする静電力制御を、プローブの位置決めを行う静電アクチュエータの駆動電極間に形成される等価コンデンサの電荷量を検出し、これを所定値に制御する電圧−電荷変換手段によって行うようにしたことを特徴とする。
第３は、前記電荷量の検出を、静電アクチュエータの駆動電極間に形成される等価コンデンサと直列に接続した検出用コンデンサによって行うようにしたことを特徴とする。
第４は、前記電荷量の制御を、静電アクチュエータの駆動電極間に形成される等価コンデンサに流れ込む電流を検出する電流検出手段と、前記電流を所定値に制御する電流制御手段とで行うようにしたことを特徴とする。
第５は、前記電流制御手段が、静電アクチュエータの駆動電極間に形成される等価コンデンサと演算増幅器とからなる積分回路であることを特徴とする。
第６は、前記電流制御手段は、交流駆動信号の振幅変調乃至は周波数変調回路による制御信号によって電流を調整することを特徴とする。
第７は、前記プローブは、先端にティップを有する少なくとも１本以上の弾性体プローブであることを特徴とする。
第８は、前記プローブは、カンチレバー構造であることを特徴とする。
第９は、前記プローブは、カンチレバー上の駆動電極とカンチレバー支持体上の支持電極間で構成されるコンデンサへの信号印加で駆動されるように構成されていることを特徴とする。
第１０は、前記プローブは、両もち梁のねじれ弾性を利用したトーション構造であることを特徴とする。
第１１は、前記プローブは、トーション構造のプローブ上の駆動電極とプローブ支持体の支持電極間で構成されるコンデンサへの信号印加で駆動されるように構成されていることを特徴とする。
【０００８】
【作用】
本発明によれば、このように、プローブとこれに対向する媒体との物理現象から生じる信号を検出して、該検出信号に基づく位置制御信号によってプローブの位置制御を行いながら情報処理を行う情報処理装置において、前記プローブの位置制御が電荷量を一定とする静電力制御によって、正帰還状の静電力の発生を防止するようにされており、一定電圧制御という通常の静電力駆動型アクチュエータの制御方法に対して制御性が大きく改善される。特に静電引力の大きな変化を防いで、安定制御が可能になる。
【０００９】
つぎに、この原理を簡単に説明する。
例えば、簡単のために面積Ｓを持ち、ギャップｄで隔てられた２つの導体に電圧Ｖを与えたときに働く力：Ｆを考える。
先ず、この平板コンデンサーを印加電圧Ｖを一定とするように駆動したとき、働く力（Ｆ）を考えてみる。
一定の変位（Δｚ）で、平板コンデンサーのエネルギーがΔＷ変化し、この時のコンデンサ容量変化ΔＣ、コンデンサに入る電荷量変化ΔＱとすると
ΔＷ＝−Ｆ・Δｚ＋Ｖ・ΔＱ
ここで、ΔＷ＝１／２・ΔＣ・Ｖ2、ΔＱ＝Ｖ・ΔＣより
Ｆ＝１／２・Ｖ2・ｄＣ／ｄｚ                  …（１）
（１）より、Ｆ＝−１／２・ε０・Ｓ・（Ｖ／ｄ）2      …（２）
（但しε０は、真空の誘電率）
（２）式より明らかなように、発生する力は印加電圧の２乗に変化し、同時にギャップｄの変化に対しても大きく静電力が変化する。従ってｚ方向に働く静電力で駆動を行うアクチュエータは、駆動により電極間の距離が変化し近づいた場合、一層の引力が働き、正帰還状に増大する引力が発生する場合がある。
一方、平板コンデンサーにたまる電荷が一定となるように駆動したときに働く力を考えてみる。電極がΔｚだけ変化し、ＣがΔＣ変化すると
ΔＷ＝−Ｆ・Δｚ
Ｆ＝１／２・（Ｑ／Ｃ）2・ｄＣ／ｄｚ        …（３）
（３）より、Ｆ＝−１／（２・ε０・Ｓ）・Ｑ2        …（４）
（４）によれば、発生する静電力は、ギャップｚの変化によらず一定となる。従って電荷量を一定となる制御を行っていれば、正帰還状の静電力が発生することはない。
【００１０】
以下に、本発明の実施例を図面に基づき説明する。
【００１１】
【実施例１】
図１に本発明の実施例１として、プローブ制御方法を用いたＳＴＭの構成図を示す。
本実施例に示すＳＴＭは観察試料とこれに対向するプローブの間にバイアス電圧を印加した際、流れるトンネル電流を検出するものである。
１は観察試料であり、これに接近してプローブ２が対向している。
プローブ２は図示せぬ積層型圧電素子等のＺ微動機構に取り付けられている。
プローブ２は静電力によりＺ方向に駆動可能なカンチレバー型アクチュエータであり、電圧印加でＺ方向に変位する。
またカンチレバーの一端には先鋭な導電性のＴｉｐ（ティップ）３が形成され、対向する観察試料間を流れるトンネル電流を検出する。
【００１２】
この時用いたプローブの構成について説明する。
プローブ２は静電力駆動型のカンチレバーである。カンチレバー型プローブは支持体９上に絶縁層１０を介して作製されている。そしてプローブ２は支持体９及びプローブ２側に構成した駆動電極１１間にアクチュエータ駆動信号を印加することによりＺ方向に変位する。
表面観察時、プローブ２と試料１の間にバイアス回路４によりバイアス電圧を印加した状態でＺ微動機構を動かし、トンネル電流が流れる程度までプローブを試料に近づけ両者間の距離を一定とするようにプローブ２を制御しサーボをかけておく。
この状態でＸＹ微動駆動回路５を介してＸＹ微動駆動機構６を２次元走査し、表面観察を行う。
この時試料表面の微小な凹凸により変化したトンネル電流（Ｊｔ）が検出される。これを制御回路７に取り込みＸＹ走査信号に同期して処理することでＳＴＭ像を得る。
ＳＴＭ像はトンネル電流像とトポ像（距離制御信号像）に対し二次元ＦＦＴなどの画像処理を行った後、トンネル電流像とトポ像をディスプレイ８に出力する。また観察場所を変えるときには、図示せぬＸＹ粗動機構により試料をＸＹ方向に移動させ、所望の領域にプローブ２を移動して観察を行う。
【００１３】
制御回路は試料観察時にプローブと試料間の距離が一定となるようにサーボをかけている。
図１においてプローブ２から検出したトンネル電流Ｊｔは、電流電圧変換回路１２で電圧に変換される。
この電流電圧変換回路１２出力（Ｖｔ）を対数変換回路１３に入力し、対数変換回路出力Ｌｏｇ（Ｖｔ）はＺサーボ回路１４に入る。
Ｚサーボ回路１４では、対数回路出力Ｌｏｇ（Ｖｔ）からプローブと試料間の距離が一定になるように距離制御信号１５を出力する。
Ｖ−Ｑ変換回路１６は距離制御信号１５をアクチュエータ駆動信号１７と変換し、プローブをＺ方向に駆動する静電駆動用電極に印加する。
この制御信号でアクチュエータを静電力駆動することによりプローブと試料間の距離は一定に保たれる。
【００１４】
続いて本発明の特徴であるＺサーボ回路１４、Ｖ−Ｑ変換回路１６について図２を用いて説明する。図２において対数変換回路１３出力ｌｏｇ（Ｖｔ）はＺサーボ回路１４に入る。プローブ−媒体間を流れる電流がトンネル電流の場合、ｌｏｇ（Ｖｔ）出力はプローブ媒体間の距離信号に比例している。これを一定とするようにＺサーボ回路１４は距離制御信号１５を出力する。先ずｌｏｇ（Ｖｔ）出力は減算器２０１に入り、距離設定値Ｚ０との減算を行ってエラー信号（ｅｒｒ）となる。続いてエラー信号ｅｒｒはＰＩ制御回路２０２に入り、比例積分制御されて距離制御信号１５（：Ｖ）となる。ＰＩ制御回路２０２は入力ｅｒｒに対して以下の制御信号を発生する。
【００１５】
Ｖ＝Ｋｐ・ｅｒｒ＋Ｋｉ・∫ｅｒｒ    …（５）
ただしＫｐ，Ｋｉは制御パラメータ。
この距離制御信号１５は、Ｖ−Ｑ変換回路（図１の１６）により電荷制御信号であるアクチュエータ制御信号１７となって、静電力を発生する駆動電極間に印加される。
【００１６】
前述したように静電力制御のため、本発明では静電駆動電極間の電荷量を一定とするように駆動している。この定電荷量駆動のための電圧−電荷変換回路（Ｖ−Ｑ変換回路）１６について以下説明する。Ｖ−Ｑ変換回路は、入力電圧信号を静電駆動電極間に形成されるコンデンサにたまる電荷量を制御する電荷信号に変換し、これにより静電アクチュエータを駆動している。
図２において、Ｖ−Ｑ変換回路には、静電駆動電極間のコンデンサと直列に漏れ電流の小さな検出用コンデンサ２０４が入っている。この検出用コンデンサの容量をＣｘとすると、
Ｑ＝Ｖ・Ｃｘ    （Ｖは演算増幅器の入力電圧）
の電荷量がプローブ駆動電極間のコンデンサにたまる様に、演算増幅器２０３は機能する。従って演算増幅器２０３の入力電圧Ｖを与えることで電圧−電荷変換が行われ、プローブ駆動電極間に形成されるコンデンサの電荷量制御が可能になる。
【００１７】
実施例ではプローブをＺ方向に駆動するアクチュエータとして静電力でＺ方向に駆動可能なカンチレバー型アクチュエータを用いた。静電力駆動のカンチレバーのＺ変位は、カンチレバーのサイズが幅Ｗ、長さＬ、厚さｔで、駆動電極間の電荷量Ｑとする時、以下の式で表される。
プローブ先端のＺ方向の変位量（δ：ギャップ変化量）は、
0003610108.tif 000002
（ただしＥはヤング率。ε０は真空の誘電率）
（６）式により、変位量を見積もり、Ｖ−Ｑ変換回路１６で電荷量を制御しながらプローブのＺ方向の位置制御を行った。
【００１８】
なお、本実施例においては、平行電極間のギャップは一定であるとした。しかし駆動電極の一方が傾いている場合においても同じように検討できる。
即ち、ギャップの一方がｄ＋ａ、他方がｄ−ａと傾いていた場合を考える。
この場合の静電容量Ｃは、
0003610108.tif 000003
と、平行電極間隔が一定の場合（ａ＝０の場合）の静電容量とほとんど変わらない。
即ち駆動電極の一方が傾いている場合にも、電極間にかかる静電力は印加電極間の電荷量を一定とする制御により、正帰還状に増大する現象を発現しないで制御できる。
【００１９】
このように静電駆動電極間の電荷量を一定とする制御方法により、アクチュエータを制御不能とする変位応答させることなく、常にプローブ−媒体間のフィードバック制御を実現し、安定したＳＴＭ像を取得が可能になった。
なお、本実施例ではアクチュエータの駆動電極間の電荷量を駆動電極間に形成される等価コンデンサと直列に並べたコンデンサ電位でモニタ、制御したが、この方法以外にも例えば積分回路により、駆動電極間に形成される等価コンデンサの電荷量を算出しこの電荷量を一定とする制御を行っても良い。
また、アクチュエータの駆動電極間の等価コンデンサ容量を測定し、印加電圧を決定することで電荷量を制御しても良い。
【００２０】
【実施例２】
図３に本発明による第二の実施例としてマルチプローブを有する記録再生装置の構成図を示す。
本実施例に示す記録再生装置は記録媒体と、これに対向したプローブの間にバイアス電圧を印加した際に流れるトンネル電流を検出する複数本のプローブを用いて情報のやりとりを行うものである。
図３に従い、記録再生装置の構成について説明する。
３０２は記録媒体であり、これに接近してマルチプローブヘッド３０１が対向している。マルチプローブヘッド３０１には１６本のプローブ３００が形成されている。マルチプローブヘッド３０１はＸＹ方向の駆動機構であるＸＹアクチュエータ３０３、さらに構造体３０４に取り付けられている。一方、記録媒体３０２には、トラッキングパターン３０５（凹状の溝もしくは表面電子状態の異なるパターン）が刻まれ、基台３０６に載っている。基台３０６は、これを上下方向とα、β回転方向に移動させるＺアクチュエータ３０７を介して構造体３０４に取り付けられている。３０１のマルチプローブヘッドは４×４のマトリックス状に１６本のプローブを並べたＳｉ製マルチプローブヘッドである。
各プローブは両もち梁上に形成した平板部を、両もち梁のねじれ弾性を利用して静電力により駆動するトーション型アクチュエータである。このアクチュエータは実施例１のカンチレバー型と異なり、レバーのたわみ弾性と梁のねじれ弾性を独立に設定でき、剛性と共振周波数に自由度のあるアクチュエータの設計ができる。また駆動電極３２０間に電圧印加することでＺ方向に変位する。（トーション型アクチュエータの詳細と作成法は後述する。）またカンチレバーの一端には先鋭な導電性のティップが形成され、対向する記録媒体間のトンネル電流を検出する。
【００２１】
次に記録再生の概略について説明する。
記録再生の際マルチプローブヘッド３０１の各プローブ３００は対向する記録媒体３０２とトンネル電流が流れる程度まで近づいている。
この時各プローブからのトンネル電流信号はプローブヘッド制御回路３１１を介してＺサーボ回路３０８に入り、Ｚサーボ回路３０８は各プローブと対向する記録媒体間の距離を一定とする距離制御信号３０９を出力する。
各プローブをＺ方向に独立に駆動する距離制御信号３０９はＶ−Ｑ変換回路３１０を経て、各アクチュエータの電極に印加される。
さらにこの距離制御信号３０９を元に、傾き補正回路３１２はマルチプローブヘッド３０１と記録媒体３０２間の傾きを補正する。
また記録再生時には走査回路３１５はＸＹ走査信号３１６によりプローブヘッド３０１を記録媒体３０２に対しＸＹ方向に走査する。
この時トラッキング制御回路３１７は各プローブ３００のトンネル電流変化からトラッキングパターン３０５のエッジ位置を検出し、トラッキングパターン３０５とマルチプローブヘッド３０１の位置ずれをＸＹアクチュエータ３０３で補正する。この状態で電圧印加回路３１４は各プローブと記録媒体間のトンネル電流を変調し記録媒体上に記録ビットを形成する。
【００２２】
図４は、本実施例で用いたトーション型アクチュエータの構造を説明する斜視図である。
絶縁層４０２上に固定電極４０３を形成した基板４０１に空隙４０４をもって機械可動部が形成してある。
機械可動部は回転支持を行う両持ちの梁４０９とプローブ４０８よりなり、支持部４１０により支持してある。レバー４０８上には駆動用の上電極４０７、情報入出力用ティップ４１２、情報入出力用配線４１３が形成してある。
本実施例によるプローブの駆動方法は以下の通りである。
固定電極４０３への電圧印加によってレバー後端部が固定電極４０３に引き寄せられ、梁４０９がねじれることにより、プローブ４０８全体が両持ち梁４０９の軸回りに回転し、プローブ４０８先端に設けられたティップ４１２が対向する記録媒体側に接近する。
【００２３】
図５の作製工程図により、本実施例による静電アクチュエータの作製工程を説明する。
まず、Ｓｉからなる基板４０１上にシリコン窒化膜を減圧ＣＶＤ（ＬＰＣＶＤ）により３０００オングストローム成膜し絶縁層４０２を形成した。
次に、レジストを塗布・パターニングした後スパッタリング法によりＴｉを５０オングストローム、Ｐｔを２０００オングストローム堆積し、レジストを除去することにより固定電極４０３を形成した。
次に酸化亜鉛をスパッタリング法により２００００オングストローム堆積させた後、フォトレジストを塗布・パターニングし、過酸化水素とアンモニアの混合水溶液により酸化亜鉛をエッチングし、犠牲層４０５を形成した（図５（ａ））。次に酸化シリコンをスパッタリング法により１００００オングストローム堆積させた。
次に、レジストを塗布・パターニングした後、スパッタリング法によりＴｉを５０オングストローム、Ａｕを２０００オングストローム堆積し、レジストを除去することにより上電極４０７及びトンネル電流配線４１３を形成した（図５（ｂ））。
次に、酸化シリコンをレジストを用いてパターニングした後、反応性イオンエッチング法にてＣＦ4ガスを用いてエッチングし、機械可動部形状を持つプローブ４０８とした（図５（ｃ））。
並行して行われる情報入出力用ティップ４１２の作製工程を説明する。まず、方位面（１００）のＳｉ第二基板５０１を用意する。
次に、第二基板５０１表面にシリコン窒化膜５０２を減圧ＣＶＤ（ＬＰＣＶＤ）により１０００オングストローム堆積する（図５（ｄ））。
次に、シリコン窒化膜を図５に示すパターン形状にフォトエッチングにより除去し第二基板表面を露出させる。
次に、第二基板５０１を１００℃に加熱した水酸化カリウム水溶液を用いて結晶異方性エッチングにより加工し、プローブ部分の型となる逆ピラミッド状の凹部５０３を形成する（図５（ｅ））。
次に、残りの窒化シリコンを、反応性イオンエッチング法により除去する。次に、レジストをパターニングし、真空蒸着法にてＡｕを１００００オングストローム成膜し、その後レジストをアセトンで溶解することにより、探針４１２となるＡｕのパターンを形成した（図５（ｆ））。
次にステップとして探針４１２を基板４０１上に圧力をかけ、第二基板５０１の界面から引きはがすことにより情報入出力用ティップ４１２を作製した（図５（ｇ））。
なお、第二基板５０１のエッチング方法としては、単結晶シリコン、ＧａＡｓ半導体等の結晶異方性エッチングはもちろん、転写可能な形状にエッチングできるものであれば等方性エッチングを用いることもできる。また、保護層５０２は第二基板５０１をエッチングするときの保護膜であるから、この時のエッチング液に耐えられるものならば良い。
また、ティップ４１２と第二基板５０１との界面の密着性を低下させるために、第二基板５０１上に剥離層を成膜しても良い。また、第一基板４０１上に形成したプローブ４０８と第二基板５０１上に形成したティップ４１２との接合方法は、金属−金属間接合、陽極接合等を用いることができる。
最後に、酸化亜鉛の犠牲層４０５を、酢酸水溶液にてエッチング除去し、プローブ４０８と固定電極４０３間の空隙４０４を形成した。
以上の作製工程により図５に示すトーションレバー型プローブを得ることができた（図５（ｈ））。
【００２４】
このトーション型プローブを４×４ケ、計１６個マトリックス状に作製し、さらにＳｉウェハ上の各トーション型プローブ近傍にＩＣプロセスを用いてトンネル電流検出アンプを構成しマルチプローブヘッド３０１とした。
次にマルチプローブヘッド３０１に対向した記録媒体３０２の構成について説明する。記録媒体３０２に半導体プロセス等の微細加工により短冊状のトラッキングパターンが刻まれている。記録媒体３０２の基板電極上にはＸ方向に２μｍピッチで幅２００ｎｍ、深さ３０ｎｍの凹溝がＹ方向に長さ５０μｍに渡り刻まれている。記録媒体３０２としては、電圧電流のスイッチング特性に対し、メモリ効果をもつ材料を用いた。基板電極としてガラスや雲母などの平坦な基板上の金のエピタキシャル成長面を使用した。この上にトラッキング用凹溝を形成し、この上に記録媒体としてスクアリウム−ビス−６−オクチルアズレン（以下ＳＯＡＺと略す）を用い、ラングミュア・ブロジェット法により、単分子膜２層の累積膜をこの基板電極上に形成し記録媒体３０２とした。
本実施例に示す制御回路はトンネル電流を検出する複数本のプローブと対向する媒体間の距離制御回路に関するものである。本実施例では各プローブからのトンネル電流信号をデジタル信号に変換し、この信号からプローブヘッド制御回路３１１のタイミングにより各プローブを順次Ｚ制御する制御信号を発生するデジタルサーボ系を構成した。
【００２５】
図６を用いてマルチプローブのＺ制御についての詳細を説明する。
プローブ番号１〜ｎで示されるマルチプローブ６０１からのトンネル電流信号は、選択回路６０２につながっている。
選択回路６０２は制御タイミングに従いマルチプローブ６０１から一本、例えばｎ番目のプローブを選択する（図中：Ｉｎ）。選択されたｎ番目のプローブから検出されるトンネル電流信号は電圧変換された後、Ａ／Ｄ変換器６０３でＡ／Ｄ変換される。（Ｉｎ（ｔ），ｔは、あるサンプリング時刻）さらにデジタル化されたトンネル電流信号は対数変換回路６０４により、プローブ−媒体間の距離に対して線形化される（図中：ｌｏｇＩｎ（ｔ））。
そして対数変換回路６０４の出力は、サーボ回路の設定値Ｚ０との比較減算器６０５に入り、誤差信号（：Ｅｎ（ｔ））となる。
さらに誤差信号をゼロにするようにＰＩ制御回路６０６は距離制御信号Ｕｎ（ｔ）を生成する。
この時ＰＩ制御回路６０６は、メモリ６０７、６０８にストアされたサンプリング時刻（ｔ−１）における距離制御信号及び補正誤差信号データ及び、サンプリング時刻（ｔ）における補正誤差信号Ｅｎ（ｔ）から時刻（ｔ）における新たな距離制御信号Ｕｎ（ｔ）を生成する。同時にメモリ６０７、６０８の値を更新する。
距離制御信号Ｕｎ（ｔ）は、Ｄ／Ａ変換器６０９で再びアナログの距離制御信号３０９（Ｕｎ）に変換された後、Ｖ−Ｑ変換回路３１０により電荷制御信号となって、静電アクチュエータの駆動電極間（３２０）に印加される。制御回路３１１は順次選択するプローブを選択回路６０２、６１３で切り替えて、全てのプローブのＺ制御をする。
本実施例でも、実施例１と同様に静電駆動アクチュエータの駆動制御を行う際、駆動電極間の電荷制御を行っている。
本実施例では駆動信号に交流信号を用いて、この交流駆動信号によって流れる電流量を検出し、その時間積分量である電荷量を一定とするようにしてプローブ位置制御を行った。
即ち、交流電圧信号発生器６１１と周波数一定で振幅制御可能な振幅変調回路６１２と及び積分回路６１４でＶ−Ｑ変換回路を形成する。
振幅制御回路６１２は、交流信号発生器出力の交流信号（角振動数ω）を搬送波として、アナログ制御入力Ｕｎ（ｎはプローブ番号ｎに対応）によって振幅変調し、交流駆動信号：出力Ｖｎを発生する。
即ち、  Ｖｎ＝Ｕｎ・ｓｉｎωｔである。
６１４は、演算増幅器、抵抗Ｒ、駆動電極間に形成される等価コンデンサｃで形成される積分回路であり、等価コンデンサに流れ込む電流量を制御している。
なお、コンデンサ６１０は、発振回路の振幅値を決定するための制御信号Ｕｎ信号をストアし、Ｚサーボ回路からの距離制御信号Ｕｎを信号切り替え時には信号値をホールドしているＳ／Ｈ（サンプル＆ホールド）用コンデンサである。
【００２６】
次に、Ｖ−Ｑ変換回路を用いた電荷制御法について説明する。
交流駆動信号Ｖｎを印加時に、等価コンデンサにたまる電荷量は
Ｑ＝∫ｉ・ｄｔ
＝∫（Ｖ／Ｒ）・ｄｔ
（但しＶは、積分回路６１４の入力電圧で、Ｒは積分回路の抵抗値）
振幅変調回路６１２が信号  Ｖｎ＝Ｕｎ・ｓｉｎωｔを出力したとすると
Ｑ＝−（Ｕｎ／ω・Ｒ）・ｃｏｓωｔ
この時、時間平均で考えると電荷量はゼロで、駆動電極間のコンデンサに電圧は発生しないため、積分回路のコンデンサを周期的にクリアする必要がない。
一方、（４）式より、静電力を決定するＱ２は
Ｑ２＝（Ｕｎ／ω・Ｒ）２・（１＋ｃｏｓ２ωｔ）／２  …（８）この時Ｑ２の平均値は
Ｑ２｜Ａｖｅ．＝（Ｕｎ／ω・Ｒ）２・／２              …（９）従って、駆動周波数をプローブの機械共振周波数より速くすれば、制御入力Ｕｎにより電荷量を設定し、プローブに働く静電力を制御できる。即ち、交流駆動信号を用いることで時間平均として駆動電極間に電位発生することなく、静電アクチュエータの制御が可能となる。
実際に作製したプローブのサイズは図４で
Ｌ＝１００μｍ、Ｗ＝１００μｍ、ｔ＝１μｍ、
ａ＝１０μｍ、ｂ＝５０μｍ、
であった。
【００２７】
この時、トーション型レバーの機械パラメータを見積もると以下のようになった。両もち梁のねじれ部の特性は
回転弾性定数Ｋ＝２・Ｇ・ｔ3・ａ・ｍ／ｂ（Ｎ・ｍ）  …（１０）
ただしＧはヤング率、ｍはａ、ｔで決まる定数
ティップ部分でのレバーのＺ方向弾性定数は
ｋ＝Ｋ／Ｌ2                  （Ｎ／ｍ）  …（１１）
（１１）式に従って、計算するとｋ＝０．８７（Ｎ／ｍ）となる。
一方、固定電極４０３と上電極４０７間に電圧印加で発生する静電力は、
Ｆ＝１／（２・ω０・Ｗ・Ｌ）・Ｑ2  （Ｎ）  …（１２）
本実施例においては、プローブのＺ方向の機械的共振周波数３６ｋＨｚだったので、駆動周波数５０ｋＨｚに選び、（９）、（１１）、（１２）に従いＺ方向の駆動を行った。
【００２８】
記録再生は次のように行った。
各プローブ３００と記録媒体３０２の間に電圧印加回路４１４によりバイアス電圧０．１Ｖ印加し、一定のトンネル電流（１ｎＡ）が流れる程度まで近づけた。各プローブをＺサーボ回路３０８によってＺ方向に独立に駆動し、１ｎＡの電流が流れるようにフィードバック制御を行った。
さらに各プローブの距離制御信号３０９を元に、傾き補正回路３１２はマルチプローブヘッド３０１と記録媒体間の傾きを補正するα回転信号、β回転信号を発生し、これをＺアクチュエータ３０７に印加した。
この状態で記録媒体３０２の所望の位置までプローブを移動後、バイアス電圧を変調し、６Ｖのパルス電圧をプローブ３００と記録媒体３０２の間に印加すると、約０．１μＡの電流が流れる大きさ１０ｎｍφのビットが形成（記録）され、パルス電圧の印加後、走査を行ったところ、その状態を保持した。（再生）そこでこの低抵抗状態にあるビットを”１”に対応づけ、高抵抗状態の”０”と区別する。そして記録データに符号器３１８で”０”、”１”の２値データへのコード化を行い、復号器３１９で２値化データの情報再生を行って、２値化記録再生を行った。
なお、本実施例では、静電アクチュエータ駆動を交流電圧により行い、その振幅で電荷量を制御した。しかしながら振幅制御だけでなく、（９）式に従って駆動周波数、または電流制限抵抗を変えて電荷量を制御するようにしても良い。
【００２９】
【発明の効果】
本発明によれば、以上のように、プローブとこれに対向する媒体との物理現象から生じる信号を検出して、該検出信号に基づく位置制御信号によってプローブの位置制御を行いながら情報処理を行う情報処理装置において、前記プローブの位置制御が電荷量を一定とする静電力制御によって、正帰還状の静電力の発生を抑えており、これによって静電力制御によるプローブの位置制御に際しての正帰還状の静電力の発生を簡単に防止することができる。
また、一定電圧制御という通常の静電力駆動型アクチュエータの制御方法に対して制御性が大きく改善され、特に静電引力の大きな変化を防いで、プローブの安定な位置制御が可能な情報処理装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における実施例１の走査型トンネル顕微鏡の構成図。
【図２】図１で用いたＺ制御回路の構成図。
【図３】本発明における実施例２のマルチプローブヘッドを用いた記録再生装置の構成図。
【図４】実施例２で用いたトーション型アクチュエータの構造を説明する斜視図。
【図５】図４で用いたプローブの作製工程図。
【図６】マルチプローブのＺ制御系の構成図 。
【符号の説明】
１          観察試料
２          プローブ
３          導電性ティップ
４          バイアス回路
７          制御回路
８          ディスプレイ
１１            駆動電極
１４           Ｚサーボ回路
１６           Ｖ−Ｑ変換回路
３０１          マルチプローブヘッド
３０２          記録媒体
３０８           Ｚサーボ回路
３１０           Ｖ−Ｑ変換回路
３１１          プローブヘッド制御回路
３１４          電圧印加回路
３１５          走査回路
３１８          符号器
３１９          復号器
６０２          選択回路
６１３          選択回路
６０５          減算器
６０６           ＰＩ制御回路
６１１          交流信号発生器
６１２          振幅変調回路
６１４          積分回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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