(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴デポジット装置に使用される第一と第二部分を有するモノリシック圧電アクチュエーター要素の一部を分極させる方法において、
前記要素の第一部分を部分的に包囲するように第一導電層を配置する第１工程と、
前記第一部分ともう一つの導電層との間の第二部分にわたり分極電界を発生させると共に、前記第一部分を等電位にする第２工程とからなることを特徴とする前記方法。
【請求項２】
前記要素の第一部分が、分極されていることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記第２工程では、前記要素の第一部分の分極方向と反対の方向に第二部分を分極する方向に、前記第二部分に分極電界を発生させることを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記液滴デポジット装置から液滴を射出させるために、前記第一部分が変位できる方向と垂直な方向に、前記要素の第一部分が分極していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
前記モノリシック圧電アクチュエーター要素は、圧電材の均質シートに形成される二つのチャネル間に形成され、各チャンネルは、対向する側壁面と、前記対向する側壁面間の底面とで形成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の方法。
【請求項６】
前記二つのチャネルの少なくとも一つは液滴流体を含むように構成されることを特徴とする請求項５記載の方法。
【請求項７】
前記第２の工程では、前記対向する側壁面に平行で前記チャネルの縦軸に垂直な方向に分極電界を発生させることを特徴とする請求項５記載の方法。
【請求項８】
前記第一部分は、それぞれのチャネル底面から離れて設けられ、前記第二部分は、それぞれのチャネル底面に隣接して設けられていることを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
前記第一部分は、それぞれのチャネル底面に隣接して設けられ、前記第二部分は、それぞれのチャネル底面から離れて設けられていることを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
前記二つのチャネルの少なくとも一つは前記シートの第一面に形成され、前記シートのもう一つの部分は、前記二つのチャネルの少なくとも一つの底面と前記第一面に対し前記シートの反対面との間にあることを特徴とする請求項５〜９のいずれか１項記載の方法。
【請求項１１】
前記もう一つの部分は、前記第一部分の分極方向に平行な方向に分極されることを特徴とする請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
前記第１、第２工程は、前記第一および第二部分を部分的に包囲するように第二導電層を位置決めする工程と、第二導電層と前記もう一つの導電層との間のもう一つの部分にわたり分極電界を発生する工程とを備えることを特徴とする請求項１０記載の方法。
【請求項１３】
さらに、前記第一および第二部分が同時に変位するように作動電極を前記第一および第二部分に位置決めする工程を備えることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項記載の方法。
【請求項１４】
さらに、前記第二部分の分極方向に垂直な方向に電界を印加するように前記作動電極を位置決めする工程を備えることを特徴とする請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
さらに、それぞれのチャネルで対向する側壁面に前記作動電極を位置決めする工程を備えることを特徴とする請求項１４記載の方法。
【請求項１６】
チャネルの長手に垂直な配列方向に相互に間隔をおき、且つ、各々のチャネルが、対向する側壁と側壁間に延びる底面とで形成され、平行で且つ頂部が開口した複数のチャネルを形成した圧電材の均質シート；および
前記側壁の少なくとも一つは、それぞれ底面から離間した第一部分と前記底面に隣接する第二部分とを備え、第一導電層が部分的に前記第一部分を包囲し、前記第二部分は、前記チャネルの長手と前記配列方向の双方に垂直な第一の方向に分極され、前記第一部分は前記第一方向以外の方向に分極されるか又は分極されていないことを特徴とする液滴デポジット装置に使用される構成部品。
【請求項１７】
前記第一および第二部分は、反対方向に分極され、チャネルの長手と配列方向の双方に垂直である方向に分極されることを特徴とする請求項１６記載の構成部品。
【請求項１８】
前記二つのチャネルの少なくとも一つは前記シートの第一面に形成され、シートのもう一つの部分は前記二つのチャネルの少なくとも一つの底面と前記第一面に対して前記シートの反対面との間にあることを特徴とする請求項１６または１７記載の構成部品。
【請求項１９】
前記もう一つの部分は、前記第一部分の分極方向に平行な方向に分極されることを特徴とする請求項１８記載の構成部品。
【請求項２０】
前記もう一つの部分は、前記第一部分の分極方向に反対な方向に分極されることを特徴とする請求項１８記載の構成部品。
【請求項２１】
作動電極は、前記第一と第二部分を同時に変位できるように位置決めされていることを特徴とする請求項１６〜２０のいずれか１項記載の構成部品。
【請求項２２】
作動電極は、前記第二部分の分極方向に垂直な方向に電界を印加するように位置決めされていることを特徴とする請求項２１記載の構成部品。
【請求項２３】
作動電極は、それぞれのチャネルの対向する側壁に位置決めされていることを特徴とする請求項２１または２２記載の構成部品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴を取り出すために、共に同時に偏向できる第一と第二部分を有する圧電アクチュエーター要素を組み入れた、液滴デポジット装置、特にインクジェット・プリントヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
このようなプリントヘッドは、たとえば、（文献としてここに組み入れる）ＥＰ−Ａ―０２７７７０３から周知である：インキ室は、共通面で一体に結合されかつそれぞれ対向してアクチュエーターの平面で分極される圧電材の上下面から構成されるアクチュエーターにより少なくとも一側に画成される。アクチュエーター壁の両側に位置する電極により分極方向に垂直に電界が印加されると、上下両部分はインキ室に向かって剪断変形することにより、ノズルを介しインク室から液滴を取り出す。このようなアクチュエーター壁構造は、作動電界が印加されたとき全体としてアクチュエーター壁により得られる形状から"シェブロン"の名を取得した。
【０００３】
今日まで、シェブロン・プリントヘッドを製造する技術は複雑であり、全深インキ・チャネルが形成される特殊の圧電ラミネート（たとえば、ＷＯ９２／０９４３６）または、各、半深インキ・チャネルが形成される二つの圧電シートの入り組んだ整列（たとえば、前述のＥＰ−Ａ―０２７７７０３）を伴う。このような周知のシェブロン・プリントヘッドのアクチュエーター壁は接着結合および／または負温度係数層をなす不連続性を含む。
【０００４】
本発明の目的は周知のシェブロン構造の製造および構成の不連続性の複雑性を回避することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
従って、本発明は、液滴デポジット装置に使用される一体アクチュエーター要素の一部を分極する方法において、要素は第一と第二部分を有し、
方法は、要素の第一部分を等電位にする工程と、
前記第一部分ともう一つの導電層との間の第二部分にわたり分極電界を発生させる工程とからなる、方法よりなる。
【０００６】
このような方法は、一体アクチュエーター要素の一部に分極電界を印加させる一方、その部分を等電位に保持することにより、有利には、少なくとも部分的ファラディ・ケージの仕方で電界から解放してその部分を効果的に保持する導電層による部分的包囲により、分極から解放して同じ要素の他の部分を維持し、一方向に最初全体が分極されるアクチュエーター要素の特別な場合には、その要素の部分を反対方向に分極させ、生じたアクチュエーターはシェブロン・ポーリング・パターンを有する。このようなアクチュエーターの一体、すなわち、一片、一体、均質、一様の構造は上記周知構造の欠点を回避する。
【０００７】
液滴デポジット装置に使用される対応構成部品は、本発明の他の局面に含まれ、チャネルの長手に垂直な配列方向に相互間隔をおきかつ、各、側壁と側壁間で延びる底面に対面することにより定まる多くの平行開口チャネルを形成した圧電材の均質シート；および
それぞれ底面から遠隔する第一部分と前記それぞれ底面に隣接する第二部分とを有する前記側壁の少なくとも一つを備え、前記第二部分はチャネルの長手と配列方向の双方に垂直な方向に分極され、前記第一部分は前記第一方向以外の方向に非分極または分極される。
【０００８】
このような構成部品は、二つの異なる形態により分極される側壁を有し、さらに関連強さとこれに伴う製造の容易さとを有する均質構造を保持する。
【０００９】
本発明の他の有利な実施例は説明および従属請求項に記載される。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下発明の実施の形態を実施例にもとずき図面を参照して説明する。
図１は、本発明による方法の出発点の横断面図で、矢印１２で示すように厚さ方向にポールされ一面１６にマスキング材料の薄層１４を支持する圧電材料（たとえば、ジルコニウム・チタン、ＰＺＴ）の一体、均質、一様シート１０を示す。
【００１１】
図２の横断面を参照すると、多くの開口チャネル２０が、シート１０の表面１６に形成されることにより、圧電材、対面側壁面２５の均質チャネル壁２４と、側壁面間で延びる底面２６とを定める。生じた平行チャネル配列はチャネルの縦軸に垂直な方向に延長する。
【００１２】
各壁２４は、図３にしめすように、その上部４６に典型的にアルミニュム、ニッケルまたは金の電極３０を形成し、ほぼ下側壁２５半分にマスキング層１６にわたり電気的に連続状に延びることによって、各壁の上部４６を包囲する。電極３０はまた、チャネルが形成されていない区域で圧電シート１０の表面１６にマスキング材料１４にわたりにわたり溶着される。上記構成のすべての局面は、たとえば、すべてここに文献として組み入れる、ＥＰ−Ａ―０３６４１３６、ＥＰ−Ａ―０３０９１４８、およびＥＰ−Ａ―０３９７４４１から周知である。
【００１３】
次に図４を参照すると、電位差Ｖが各電極３０と表面１６にたいするシート１０の反対側の表面との間に印加されることによって、側壁面２５に平行で（図４から延出する）チャネルの縦軸に垂直に、初期シート分極方向にたいし反対サインである電界を発生する。図示の実施例において、これは、電極３０にわたり設置される上方導電部材４２と下面４０にたいし押圧される下方導電部材４４とによって達成される。部材４４それ自身は、チャネルの形成前または電極３０の溶着中にシートに塗布される導電被覆である。または、両部材４２と４４は、導電かつ弾性材料、たとえば、銀負荷ゴムよりなり、圧電材料が、上方導電材料４２を使用しないでポーリング電界を印加されると、ポーリング電位差Ｖが、チャンネルが形成されない（かつチャンネル壁の上部に形成される電極３０と電気接触する）、シート面の前記区域の電極面３０に印加されることになると知られている変形を調整できるようにする。
【００１４】
電界の強さは、区域中で変化する：チャネル底面から遠隔しかつ電極３０により部分的に密閉される上壁部４６において、壁を被覆する電極３０全体により有意な電界は発生せず、その結果、上壁部４６自身は等電位である。電極３０はまた、部分的ファラデイ・ケージと考えられ、電界から包囲する上壁部４６を保護する。その結果、上壁部の分極状態は（矢印１２で示す）元のシートの状態から変化しない。電極３０は図示では各チャネル壁２４の頂部に位置するマスキング層にわたり延びているが、上壁部４６がチャネル壁側２５にのみに位置する電極により密閉され、圧電材料を効果的に挟めば、同様な効果が得られる。
【００１５】
次に、チャネル底面２６に隣接している下壁部４８について、電極３０の最下端とシート１０の下面４０との間に電界が誘起される。下壁部４８と、チャネル底面２６とシート下面４０との間ある基部５０との間に幾何的有意な差がある一方、基部の電界Ｅｂと比較して下壁部４８に有意に大きな電界Ｅｗを生ずる。
【００１６】
電位差Ｖの値を適当に選ぶことにより、電界Ｅｗの値が、下壁部４８における圧電材料の分極方向を、上壁部４６が分極される方向１２と反対の図４の矢印５２で示す方向に変えることにより、"シェブロン"構成でさらに分極される均質一様なピエゾ材料の一体壁構造を達成する、下壁部４８に設定できる。
【００１７】
基部５０に発生される電界Ｅｂは、しかし、基部の圧電材料の分極２方向を逆にしないほど（チャネルとチャネル壁が同じ幅である場合、約０．５Ｅ）である。これは、前述のＥＰ―Ａ―０３６４１３６で説明したようにそれ自身有利であり、基部と隣接壁とが同方向で分極されるアクチュエーターにおいて、フリンジ電界により、壁の運動に対抗する基部の歪みを生じることにより、インキ室に発生する圧力とインキ液滴の速度を減少する。対照的に、図４の下壁部にたいし反対方向に分極される基部は、壁の移動により発生する圧力を補強するように作動しやすい。
【００１８】
それにもかかわらず、ＥｗだけでなくかつＥｏが、それぞれ壁と基部の分極方向を逆転させるだけ強い大きさとなるように電位差Ｖを選ぶことにより基部５０の分極方向を逆にできる。
【００１９】
別に、シートの基部は、電極３０が、たとえば、初期デポジットで使用される同じ'シェード・プレーテング"処理を使用して、チャネルの底面２６下方に延長されて上下両壁部４６，４８を密閉するようにした図５の構成を使用して再分極できる。このような電極は図５の３０'で示されている。壁の下方だけでなくかつチャネルの底面２６を横断して延びる導電層を付与するのに使用する非電着またはスパッターリング等を用いることができる。ついで、上下壁部４６，４８の分極方向に平行する所望方向に基部を分極させる強さの電位差が各延長電極３０'とシート１０の下面４０との間に印加されて、基部を所定方向５４にポールさせる電界を発生させるようにする。延長電極３０'は再び、図４について上記したように密閉する、上下壁部４６，４８に再分極を行わないことを確実にする。なお、後者の技術はまた、初期の処理工程中に分極を逸した基部の部分を最初の方向１２に再分極するため、適切な方向の電界に使用できる。
【００２０】
なお、上下両壁部の側壁面にわたり延びる電極は、同じ電極も再分極工程に使用されるかどうかに関係なく、アクチュエーター壁の作動に必要である。しかし、こうするには、隣接チャネルの電極はまず、互いに電気的に隔離しなければならない。図４と図５の両図の両実施例に共通な最終工程において、これは、たとえば、従来周知の溶剤により、マスキング層１５をチャネル壁の上部から除去することによって達成され、マスキング層は電極材料が溶着されて図６（ａ）に示すように壁の上部を自由にし、隣接チャネルの電極を互いに電気的に隔離している。ポーリング目的で導電被覆がシート１０の下面４０に塗布されていれば、これもまた必要により除去でいる。
【００２１】
たとえば、（ここに文献として組み入れる）ＷＯ９５／０７８２０から周知のように、各チャネルの電極はそれぞれ駆動回路に接続できる。図６（ｂ）は、（略示され、事実図７を参照して説明される各チャネルの端部で接続部を介し印加される）それぞれ正かつ負電圧が壁のいずれかの側のチャネル２０の電極２０'に印加されるときのチャネル壁の変位を誇張して示す。上下壁部４６，４８の分極方向に垂直に配向され、生じた電界により、両部分を同時に反対に剪断させ、壁は全体として分極方向に垂直に分極して前記のシェブロン形状になる。これら原理による液滴の取り出しは、ここに文献として組み入れる、たとえば、ＥＰ―Ａ―０２７８５９０から周知のように、平行な多数のアクチュエーター壁であって、それら間にチャネルの長手に垂直な配列方向に延びる平行インキ・チャネル配列を定めるようにしたものは周知である。インキ取り出しはチャネルの両側の壁の作動により達成され、各アクチュエーターは、このアクチュエーターのいずれかの側に位置するチャネルから液滴取り出しを行うように（所謂"共有壁"作動）反対方向に変位できる。
【００２２】
図７は、本発明によりポールされるチャネル化圧電構成部品１０を組み入れたプリントヘッドの（ダッシュ線で示す）縦チャネル軸で破断した断面図である。周知のように、インキ供給開口６２を有するカバー部材６０が壁２４の上部に固定されることにより、Ｌで示す所謂"能動"長さにわたり縦チャネル軸に平行なすべての側のチャネルを閉じる。ノズル板６６に形成されるノズル６４はチャネルの一端に固定される一方、Ｃで示す他端では、接続部が（たとえば、ワイヤ結合６８により）チャネル電極３０から（図示せざる）駆動回路に作られる。
【００２３】
インク供給開口６２と連通する少なくとも一側に開口するチャネル（ＲおよびＮ）の"非能動"区域において、プリントヘッド全体の容量を減少するようにメッキ前に低誘電被覆をチャネル壁に塗布する。このような構成は、ここに文献として組み入れるＷＯ９７／３９８９７から周知である。その結果、本発明によりその後溶着した導電層は、これらチャネル区域では再分極または作動のいずれも行うことはできない。
【００２４】
チャネルの非能動区域での使用に適する別の容量減少手段は、米国特許第５６１９２３５号に記載されている、チャネル壁を形成するための低誘電材料の使用および、前記ＷＯ９７／３９８９７に記載されている、プリントヘッドの後ろ（領域Ｃ）の駆動回路接続部６８からチャネルの能動長さＬにおける全深チャネル電極まで電気信号の伝導に必要な最小限にチャネル電極区域の減少を含む。
【００２５】
図８は、図７に示す種類のチャネル化圧電構成部品を再分極する構成を例示する。再分極はチャネルの能動部分でのみ必要であるにも拘わらず、最良な再分極結果がプリントヘッドの長手（および数個のチャネル化構成部品が、単シートに形成されるＷＯ９５／１８７１７に記載されている、場合のシートの長手）を延びる上下導電部材４２，４４を使用して得られている。
【００２６】
典型的なプリントヘッドにおいて、液滴流体チャネルは、約１ｍｍの能動長さ（Ｌ）、８．５ｍｍの合計チャネル長さ（Ｌ＋Ｎ＋Ｒ）、６５μｍのチャネル壁幅および３００μｍのチャネル壁高さを有する。モトローラ（Ｍｏｔｏｒｏｌａ）のＨＤ３２０３等の予め分極された圧電材料からなるときのプリントヘッドの下壁部４８における分極方向を逆にするには、約１０００Ｖの電位差Ｖが必要とされている。このような材料において、予め分極された分極の方向が変わり始める前に少なくとも１．２Ｖ／μｍの電界強さ（所謂保磁界強さ）が必要で、予め分極された分極の初期レベルの約９０％のレベルで永久再分極を達成するには約１．７／μｍの電界が必要であると認められている。（約６００μｍで、チャネル高さの二倍に等しい厚みを有する）基部５０における対応電界強さは約０．７５Ｖ／μｍで、その結果、永久再分極を行うのに十分である。
【００２７】
なお、比較的小さい厚みのチャネル化圧電シート１０に印加された大きい値のポーリング電圧Ｖには、アークを避けるため非導電雰囲気の使用が必要である。フルオリナート（Ｆｌｕｏｒｉｎｅｒｔ）（デュポン（ＤｕＰｏｎｔ）の商標）はこれに関し特に効果的とされており、なお、真空下の分極は、前のまたは後の電極デポジット工程と同じ室で都合よく行われて製造時間を減少する。
【００２８】
図９と図１０は、それぞれチャネル軸に平行および垂直に破断した断面図で、圧電作動壁の部分を分極する別の構成を例示する。図４の構成とは対照的に、電極７０は、両側で、チャネル底面２６に隣接している下壁部４８を部分的に密閉するように位置決めされる。これは、上記の従来の'シェード・プレーテング'では製造が困難であり、なお、このような方法により上下両壁部４６，４８の壁面に沿って電極材を溶着し、その後、レーザー、サンドブラストまたは同様な方法で上壁部４６の表面の被覆を除去できる。
【００２９】
本発明による好ましい方法は、導電材料の初期、薄い"種"層をすべてのチャネル面に付与し、その後、たとえば、レーザーまたはサンドブラストにより種層を、電極が必要でないチャネル壁区域から除去し、最後にエレクトロレス・メッキ技術を用いて電極材厚層を、種層が残存する区域に溶着する。種層用材料は圧電材料に良好な付着を与えるように選ばれ、各チャネルの表面全体に塗布させる、たとえばスパッターリングにより溶着される。本例において、選択される種材は電極自身に使用される材料、すなわち、アルミニュムと同じである。
【００３０】
図１１に例示されるように、分極電圧Ｖはその後、電極７０と、それぞれチャネル壁の最上面７２および基部５０の下面４０に位置する導電部材７４，７６との間に印加される。分極方向の逆転は７８と８０でなされる一方、電極７０により密閉される壁４８の下部は影響されない。なお、図４の電極３０の場合のように上面よりはむしろシートの途中に電極７０を位置させた、図１１の構成は、チャネル底面から遠隔の上壁部４６と基部５０との双方で再分極密度を大きくする。一方、これは、所要電圧供給のサイズ、必要な反アーク手段等から見て、付随利益とともに減少分極電圧が採用される。
【００３１】
各チャネル壁の深さ全体にわたり電極を溶着する最終工程は、アクチュエーター壁をシェブロン・モードで作動させることである。
【００３２】
本発明は、たとえば、ここに文献として組み入れる、ＥＰ―Ａ―０６００７４８から一般に知られる、成形により形成されるチャネル化圧電シートへの使用に特に適している。しかし、上記の市販予め分極されたシート材料とは違い、このような構成部品は、厚みじゅうにわたる単方向の分極および、上記技術の適用前の壁の上部へのマスキング層の適用が必要である。
【００３３】
なお、本発明は例示のみにより説明され、また広範の変形が発明の範囲から逸脱しないで可能である。たとえば、チャネルはピエゾ材のシートの一側以上に形成され、能動液滴取り出しチャネルは非能動（所謂"ダミー"）チャネルを有するシートで変更され、チャネルの端部に位置決めされるよりはむしろ、液滴取り出し用ノズルは、チャネルの端部の中間に配置される（所謂"サイドーシューター"構成）。
【００３４】
図１２は、ノズル板９３に形成される二列のノズル９０と９２を組み入れたこのような"サイドーシューター"プリントヘッドのチャネル軸に平行に破断した断面図である。（ここに文献として組み入れる）同時継続ＰＣＴ出願ＧＢ９８／０３０５０から知られる、このような構成は、二列のノズルに、単チャネル２０の基部に形成されるそれぞれ開口９４，９６列を介しインクが供給される点が顕著である。図示例において、平行チャネル配列が、のこ引きによって圧電シート１０に形成され、プリントヘッド（矢印９８で示す）にたいする基体の運動方向にたいする縦チャネル軸の角度は、第一ノズル列９０から取り出される液滴が基体上で第二ノズル列９２から取り出される液滴と交互に重ねられることにより、周知のようにプリント分解能を二倍にする。一定のチャネルの二つのノズルも、"共有壁"プリントヘッドに普通使用される３サイクル燃焼ルートによりもたらされる液滴取り出しの時間遅延を補償するように、一定のチャネル側にあるチャネルにおける二つのノズルにたいする基体方向９８に片寄らせる。このようなルートおよび関連ノズル片寄りは、たとえば、ＥＰ―Ａ―０３７６５３２から周知であり、その結果、さらに詳述しない。
【００３５】
供給ノズル９２の半分１０４からのチャネル供給ノズル９０の半分１０２により、二つのチャネル半分を独立作動させる、電極を分離する破断１００を除き、図１２のチャネルの構造は前述の構造と同じである。各チャネル半分の電極は、典型的に集積回路（ＩＣ）形式の駆動回路１１４，１１５に接続する場合、シート縁１１０，１１２にたいするそれぞれチャネル振れ１０６，１０８を急造する。このようなＩＣは通常、多数（たとえば、６５）の隣接チャネル用ドライバーを組み入れて、プリントヘッドの他のチャネル群を駆動するＩＣに接続され（５００チャネルを有するプリントヘッドでは８つのＩＣが必要である）、周知のようにデータをカスケードさせる。
【００３６】
上記した種類のプリントヘッドの特別の利益は、"多パルス・グレイスケール"モードで作動する能力である。たとえば、ＥＰ―Ａ―０４２２８７０に記載されているように、これには、フライトでおよび／または基体上で合流して対応して可変サイズ・プリント・ドットを形成するように短時間内で単一チャネルからの可変数のインキ液滴（"パケット"という）の燃焼を伴う。なお、可変サイズ・プリント・ドットの使用により、一定ドット・サイズのプリント（所謂"二元"プリント）にわたる画像品質を有意に増大させる。
【００３７】
このような提案の欠点は、各チャネルの駆動回路に送られるデータ量の同時増加である。たとえば、インチあたり３６０ドットのノズルピッチのプリントヘッドで写真品質画像を印刷するのに必要なパケットあたり１５液滴までの取り出しの指示には、４ビットで表す１６データ・レベル（１５ドットサイズとゼロ）を必要とする。特に、多数のノズル（１２インチ・プリント幅の３６０ｄｐｉプリントヘッドでは４６００以上）がある場合、または液滴パッケットが取り出される速度が高い（典型的に１０ｋＨｚ）場合には、そのための手段を十分なデータ流れをかくじつにするため実行しなければならない。周知のこのような手段は、一体にカスケードされるＩＣの数量の減少および、各カスケードＩＣ群を駆動するのに必要なデータ入力数の関連増加を含む。
【００３８】
多パルス"パケット"での各液滴は、"二元"プリントヘッドにより取り出される対応単一液滴の容積の端数のみを要することは理解できる。これは、周知のように、減少能動チャネル長さと小径ノズルとの結合により達成され、小ノズルの閉塞の増大危険は、入口マニホルド１１８と、それ自身周知の、ノズルを通るインクの定流を確実にする支持体１２４に形成される出口マニホルド１２０，１２２との配置により、図１２のプリントヘッドで相殺される。
【００３９】
本発明は、"シェブロン"分極構成に限定されず、またポールされていない、または厚み方向以外の方向にポールされる、ピエゾ材のシートから出発することが望ましい例があり、この場合、本発明の適用により、同様に分極されない、または厚み方向以外の方向にポールされる上壁部となる。
【図面の簡単な説明】
【図１―３】  本発明の第一実施例を実現するのに伴う従来の製造工程を例示する、インキ・チャネルに垂直に破断した横断面図である。
【図４―５】  本発明による分極電界の印加を例示する横断面図である。
【図６（ａ）】  作動電極を有する仕上げアクチュエーターを例示する。
【図６（ｂ）】  作動チャネル壁の変位を例示する。
【図７―８】  本発明の第二実施例による分極されるプリントヘッドのインキ・チャネル軸で破断した断面図である。
【図９―１１】  本発明の第三実施例によるプリントヘッドの分極を例示する断面図である。
【図１２】  本発明を組み入れた他のプリントヘッド構造の断面図である。
【符号の説明】
１０  シート
１４  薄層
２０  チャネル
２４  チャネル壁
２５  壁面
２６  底面
３０，３０'  電極
４２  上部導電部材
４４  下部導電部材
４６，４８  第一、第二壁部
５０  基部
６０  カバー部材
６２  開口
６６  ノズル板
７０  電極
７４，７６  導電部材
９０，９２  ノズル
９３  ノズル板
９４  開口
１０６，１０８  振れ
１１４，１１５  駆動回路
１１８  入口マニホルド
１２０，１２２  出口マニホルド
【図１】
0003694652.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６（ａ）】
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【図６（ｂ）】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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