(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに防振連結される部材に取り付けられる第一の取付部材と第二の取付部材を離間配置せしめて本体ゴム弾性体で連結する一方、内部の圧力変化によってそれら第一の取付部材と第二の取付部材の間に加振力を及ぼす作用空気室を設けた空気圧式能動型防振装置において、
前記作用空気室の容積を変更するための容積調節手段を設け、防振すべき振動の周波数に対応した空気圧変動を該作用空気室に及ぼして加振力を生ぜしめるのに際して、該容積調節手段で該作用空気室の容積を変更することによって発生加振力を調節し、該作用空気室の容積を大きくすることによって空気圧変動が該作用空気室に及ぼされた際の該作用空気室の空気圧変動幅を実質的に小さくする一方、該作用空気室の容積を小さくすることによって空気圧変動が該作用空気室に及ぼされた際の該作用空気室内の空気圧変動幅を実質的に大きくするようにすると共に、
前記作用空気室を、空気圧変化によって前記第一の取付部材と前記第二の取付部材の間に加振力を及ぼす加振用空気室と、該加振用空気室に対して空気連通路によって接続された容積可変の調節用空気室とによって構成したことを、特徴とする空気圧式能動型防振装置。
【請求項２】
前記容積調節手段が、外部から入力される制御信号に基づいて前記作用空気室の容積を変更するアクチュエータを有する請求項１に記載の空気圧式能動型防振装置。
【請求項３】
前記アクチュエータが、前記作用空気室に及ぼされる空気圧の大きさを前記制御信号として、該空気圧の大きさに応じて該作用空気室の容積を変更する空気圧作動機構である請求項２に記載の空気圧式能動型防振装置。
【請求項４】
前記容積調節手段が、前記作用空気室の容積を、防振すべき振動と相関性を有する信号に同期して変更する請求項１乃至３の何れかに記載の空気圧式能動型防振装置。
【請求項５】
前記調節用空気室が、前記加振用空気室に空気圧変動を及ぼすための空気圧通路上に接続されて設けられている請求項１乃至４の何れかに記載の空気圧式能動型防振装置。
【請求項６】
前記調節用空気室が、空気圧波動に対する共鳴減衰作用を有する共鳴管体によって構成されている請求項５に記載の空気圧式能動型防振装置。
【請求項７】
前記第一の取付部材と前記第二の取付部材の間に、前記本体ゴム弾性体で壁部の一部が構成されて非圧縮性流体が封入された流体室を形成すると共に、該流体室の壁部の別の一部を加振部材で構成し、該加振部材を挟んで該流体室と反対側に前記作用空気室を設けることにより、該作用空気室の圧力変化によって、該流体室の圧力変化を介して、前記第一の取付部材と前記第二の取付部材の間に加振力を及ぼすようにした請求項１乃至６の何れかに記載の空気圧式能動型防振装置。
【請求項８】
壁部の一部が可撓性膜で構成されて内部に非圧縮性流体が封入された容積可変の平衡室を形成すると共に、該平衡室を前記流体室に連通するオリフィス通路を形成した請求項７に記載の空気圧式能動型防振装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は、防振連結される部材間に介装されて、それら両部材間における振動の伝達を能動的に低減し得る能動型防振装置に係り、特に、空気圧変動を利用して、防振連結される部材間に加振力を生ぜしめるようにした空気圧加振式の能動型防振装置に関するものである。
【０００２】
【背景技術】
振動伝達系を構成する部材間に介装される防振連結体や防振支持体等としての防振装置の一種として、互いに防振連結される部材に取り付けられる第一の取付部材と第二の取付部材を離間配置せしめて、本体ゴム弾性体で連結する一方、それら第一の取付部材と第二の取付部材の間に加振力を及ぼす加振力発生手段を設けて防振特性を調節するようにした能動型防振装置が、知られている。例えば、特開昭６０−８５４０号公報や特開昭６１−２９３９号公報、実開昭６１−１９１５４３号公報等に記載の防振装置が、それである。このような能動型防振装置は、例えば、防振連結される部材に対して、防振すべき振動に対応した加振力を及ぼすことにより、振動を相殺的に抑制したり、或いは防振装置のばね特性を入力振動に応じて積極的に変更して防振性能の向上を図ること等が出来るのであり、例えば、自動車用エンジンマウントやボデーマウント等への適用が考えられている。
【０００３】
また、内部の圧力変化によって第一の取付部材と第二の取付部材の間に加振力を及ぼす作用空気室を設け、かかる作用空気室を、駆動用切換弁を介して、負圧源と大気に交互に切換接続することにより、第一の取付部材と第二の取付部材の間に対して、駆動用切換弁の切換周期に対応した周波数の加振力を生ぜしめるようにした空気圧式の能動型防振装置も、考えられている。このような空気圧式の加振機構を採用すれば、電磁駆動機構等の重くて構造が複雑な部材を防振装置の内部に組み込む必要がなく、部品点数が減少され得て、防振装置の小型，軽量化が可能となると共に、消費電力の如き必要エネルギの減少も図られ得るのである。
【０００４】
ところで、かくの如き空気圧式の加振機構を用いた能動型防振装置では、防振すべき振動に対して有効な防振効果を得るために、防振すべき振動の周波数等に対応することは勿論、防振すべき振動の大きさにも対応した加振力を発生させることが必要となる。
【０００５】
そこで、例えば、防振対象における防振すべき振動の周波数や大きさ等を、それぞれ、加速度センサ等で検出し、或いは予め設定されたマップデータ等に基づいて推定することによって求め、目的とする周波数等の加振力が得られるように駆動用切換弁等を制御すると共に、目的とする大きさの加振力が得られるように、作用空気室に及ぼされる負圧の大きさを制御することが考えられる。ところが、自動車用の防振装置の如く、内燃機関における吸気系等を負圧源として利用する場合には、負圧源自体における負圧の大きさを制御することが難しいために、防振すべき振動に対応した大きさの加振力を得ることが困難であるという問題があり、防振すべき振動の大きさと加振力の大きさの対応が十分でないと、有効な防振効果が得られないばかりか、防振対象における振動が悪化してしまうおそれもあったのである。
【０００６】
【解決課題】
ここにおいて、本発明は、上述の如き事情を背景として為されたものであって、その解決課題とするところは、発生加振力を、簡単な構造で容易に調節することが出来、例えば、作用空気室に接続された空気圧源における空気圧の変化や、防振すべき振動の大きさの変化などに対応して、安定した防振効果を発揮することを可能とする、新規な構造の空気圧式能動型防振装置を提供することにある。
【０００７】
【解決手段】
以下、このような課題を解決するために為された本発明の態様を記載する。なお、以下に記載の各態様は、任意の組み合わせで採用可能である。また、本発明の態様乃至は技術的特徴は、以下に記載のものに限定されることなく、明細書全体および図面に記載され、或いはそれらの記載から当業者が把握することの出来る発明思想に基づいて認識されるものであることが理解されるべきである。
【０００８】
本発明の第一の態様は、互いに防振連結される部材に取り付けられる第一の取付部材と第二の取付部材を離間配置せしめて本体ゴム弾性体で連結する一方、内部の圧力変化によってそれら第一の取付部材と第二の取付部材の間に加振力を及ぼす作用空気室を設けた空気圧式能動型防振装置において、前記作用空気室の容積を変更するための容積調節手段を設け、防振すべき振動の周波数に対応した空気圧変動を該作用空気室に及ぼして加振力を生ぜしめるのに際して、該容積調節手段で該作用空気室の容積を変更することによって発生加振力を調節し、該作用空気室の容積を大きくすることによって空気圧変動が該作用空気室に及ぼされた際の該作用空気室の空気圧変動幅を実質的に小さくする一方、該作用空気室の容積を小さくすることによって空気圧変動が該作用空気室に及ぼされた際の該作用空気室内の空気圧変動幅を実質的に大きくするようにすると共に、前記作用空気室を、空気圧変化によって前記第一の取付部材と前記第二の取付部材の間に加振力を及ぼす加振用空気室と、該加振用空気室に対して空気連通路によって接続された容積可変の調節用空気室とによって構成したことを、特徴とする。
【０００９】
このような第一の態様に従う構造とされた能動型防振装置においては、作用空気室の容積を変更することによって、発生加振力を調節することが出来る。即ち、作用空気室の容積を大きくすると、所定周期の空気圧変動が作用空気室に及ぼされた際の該作用空気室内の空気圧変動幅を実質的に小さくすることが出来るのであり、それによって、第一の取付部材と第二の取付部材の間に及ぼされる加振力を低減することが出来る。一方、作用空気室の容積を小さくすると、所定周期の空気圧変動が作用空気室に及ぼされた際の該作用空気室内の空気圧変動幅を実質的に大きくすることが出来るのであり、それによって、第一の取付部材と第二の取付部材の間に及ぼされる加振力を増大することが出来る。要するに、空気圧源における空気圧が同じであっても、作用空気室の容積を変更することによって、発生加振力を調節することが出来るのであり、或いは、空気圧源における空気圧が変動した場合であっても、作用空気室の容積を変更することによって、発生加振力を維持乃至は調節することが出来るのである。
さらに、このような本態様においては、加振用空気室によるマス部材に対する加振力作用の機能と、調節用空気室による容積可変の機能とを、分けて設定することが出来る。また、調節用空気室を、加振用空気室から実質的に独立して形成することが可能となることから、防振装置の装着スペース等に対応し易い。
【００１０】
なお、作用空気室の容積は、用いられる空気圧源の特性や、要求される防振特性乃至は発生加振力等に応じて、その大きさや変更態様等が適宜に決定されるものであって、限定されるものでない。例えば、２つ以上に分割形成された作用空気室をバルブ等を用いて必要に応じて連通させることにより、作用空気室の容積を、連通される分割作用空気室の数に応じて、段階的にまたは２値的に切換変更したり、或いは、作用空気室の壁部の一部を変位可能な可動壁とし、該可動壁を変位させて作用空気室の容積を、段階的乃至は２値的に、または連続的無段階に変更したりすること等が可能である。また、作用空気室に及ぼす圧力変化としては、大気圧に対して負圧側と正圧側の何れか一方の側だけでの圧力変化を採用する他、大気圧を挟んで負圧側と正圧側の両側での圧力変化を採用することも可能であり、特に好適には、作用空気室を、切換バルブ等を用いて負圧源と大気中とに交互に接続させることにより、作用空気室に負圧と大気圧を交互に及ぼすようにされる。
【００１１】
また、本発明の第二の態様は、前記第一の態様に従う構造とされた空気圧式能動型防振装置において、前記容積調節手段が、外部から入力される制御信号に基づいて前記作用空気室の容積を変更するアクチュエータを有することを、特徴とする。このような第二の態様においては、適当な制御信号を採用することによって、作用空気室の容積を自動的に調節することが可能となり、特に、かかる制御信号として、防振すべき振動の大きさや作用空気室に及ぼされる空気圧の大きさ、或いはそれらの両方に対応した信号を採用することにより、有効な防振効果が安定して発揮されるように、発生加振力を自動的に調節することも可能となる。
【００１２】
なお、外部から入力される制御信号としては、上述のように、防振すべき振動の大きさや作用空気室に及ぼされる空気圧の大きさ、或いはそれらの両方に対応した信号等が好適に採用され得、電気的信号の他、空気圧や油圧等の圧力信号等も採用可能である。また、アクチュエータとしては、容積調節手段の具体的構造等に応じて各種のものが採用され得、例えば、モータやソレノイド等の電動式や電磁式の他、シリンダ機構等の空気圧式や油圧式の如き公知の各種のアクチュエータが採用可能である。そして、具体的には、そのようなアクチュエータを用いて、例えば、前述の如く、２つ以上の分割作用空気室を採用する場合には、それら分割作用空気室を連通／遮断するバルブ手段を切換作動させたり、或いは、前述の如く、作用空気室の壁部の一部を構成する可動壁を変位駆動させたりすることによって、作用空気室の容積を調節することが出来る。
【００１３】
また、本発明の第三の態様は、前記第二の態様に従う構造とされた空気圧式能動型防振装置において、前記アクチュエータが、前記作用空気室に及ぼされる空気圧の大きさを前記制御信号として、該空気圧の大きさに応じて該作用空気室の容積を変更する空気圧作動機構であることを、特徴とする。このような本態様においては、作用空気室に及ぼされる空気圧を制御信号として採用することにより、特別な制御信号の検出および伝達手段を用いる必要がなくなって、制御系の簡略化が有利に達成され得るのであり、例えば、防振すべき振動の大きさが、空気圧源から作用空気室に及ぼされる空気圧の大きさに略対応して変化する場合等に、特に有効である。
【００１４】
なお、かかる第三の態様における空気圧作動機構としては、例えば、作用空気室に負圧力変化を及ぼしてマス部材を加振するに際して、作用空気室の壁部の一部を変位可能な可動壁とすると共に、該可動壁を作用空気室側に向かって付勢する付勢手段を設ける一方、該可動壁を挟んで該作用空気室と反対側に、作用空気室に及ぼされる負圧力が作用せしめられる駆動用空気室を形成した構成が、好適に採用され得る。このような構成の空気圧作動機構においては、可動壁の位置、換言すれば作用空気室の容積が、可動壁に及ぼされる付勢手段による付勢力と駆動用空気室の負圧力との釣り合いによって決定されることから、作用空気室に及ぼされる負圧力の大きさに応じて、可動壁の位置が変化し、作用空気室の容積が変更されることとなる。即ち、作用空気室に及ぼされる負圧が大きくなる程、可動壁が吸引側（作用空気室と反対側）に移動せしめられて、作用空気室の容積が増大せしめられるのである。また、その際、作用空気室に及ぼされる負圧力が大きくなった場合に、マス部材を加振するための負圧力の変化範囲内では、作用空気室の容積が略一定に保たれるように、負圧力の大きさに対する付勢手段の付勢力の大きさを調節し、可動壁が吸引位置に吸引保持され得るようにすることが望ましい。
【００１５】
また、本発明の第四の態様は、前記第一乃至第三の何れかの態様に従う構造とされた空気圧式能動型防振装置において、前記容積調節手段が、前記作用空気室の容積を、防振すべき振動と相関性を有する信号に同期して変更することを、特徴とする。このような本態様においては、防振すべき振動の大きさに対応して作用空気室の容積が変更されることにより、防振すべき振動が小さい場合には作用空気室の容積を大きくすると共に、防振すべき振動が大きい場合には作用空気室の容積を小さくして、有効な防振効果を得ることが出来る。なお、防振すべき振動と相関性を有する信号としては、例えば、自動車用のエンジンマウントの如き防振装置においては、エンジンの回転数信号や加速信号，車速の速度信号や加速信号，アクセル開度信号，ブレーキ信号，シフトポジション信号等が挙げられるが、限定されるものでない。また、より具体的には、例えば、自動車の内燃機関において、混合した燃料と空気を燃焼室に供給して燃焼させるストイキ運転と、燃焼室で圧縮された空気中に燃料を直噴する直噴運転を切り換えて採用するような場合には、負圧源としてのエンジンのインテーク側の負圧が小さくなる（大気圧に近くなる）直噴運転状態ほど防振すべき振動が大きくなるが、ストイキ運転状態と直噴運転状態の切換信号を、防振すべき振動と相関性のある信号として採用し、ストイキ運転時に作用空気室の容積を大きくすると共に、直噴運転時に作用空気室の容積を小さくするように、作用空気室の容積を変更することによって、目的とする防振効果を有効に得ることが可能となる。
【００１７】
また、本発明の第五の態様は、前記第一乃至第四の何れかの態様に従う構造とされた空気圧式能動型防振装置において、前記調節用空気室が、前記加振用空気室に空気圧変動を及ぼす空気圧通路上に接続されて設けられていることを、特徴とする。このような本態様においては、調節用空気室を、取付部材やマス部材を有する防振装置本体とは別体で形成することが可能となり、該調節用空気室を、防振装置本体から離れた場所に設置することが出来ることから、設置スペースの効率化の点で一層有利となるのである。
【００１８】
また、本発明の第六の態様は、前記第五の態様に従う構造とされた空気圧式能動型防振装置において、前記調節用空気室が、空気圧波動に対する共鳴減衰作用を有する共鳴管体によって構成されていることを、特徴とする。このような本態様においては、調節用空気室を利用して、加振用の変動空気圧に含まれる不要な高周波成分や高調波成分などを、共鳴減衰作用によって低減することが出来るのであり、防振装置の加振制御精度の向上と、それによる防振効果の向上が実現可能となる。
【００１９】
また、本発明の第七の態様は、前記第一乃至第六の何れかの態様に従う構造とされた防振装置において、前記第一の取付部材と前記第二の取付部材の間に、前記本体ゴム弾性体で壁部の一部が構成されて非圧縮性流体が封入された流体室を形成すると共に、該流体室の壁部の別の一部を加振部材で構成し、該加振部材を挟んで該流体室と反対側に前記作用空気室を設けることにより、該作用空気室の圧力変化によって、該流体室の圧力変化を介して、前記第一の取付部材と前記第二の取付部材の間に加振力を及ぼすようにしたことを、特徴とする。このような本態様においては、作用空気室における圧力変化が、流体室の圧力変化を介して、第一の取付部材と第二の取付部材の間に加振力として及ぼされる際、流体室に生ぜしめられる流体の共振作用などの流動作用を利用して、より優れた防振効果を得ることも可能である。
【００２０】
また、本発明の第八の態様は、前記第七の態様に従う構造とされた防振装置において、壁部の一部が可撓性膜で構成されて内部に非圧縮性流体が封入された容積可変の平衡室を形成すると共に、該平衡室を前記流体室に連通するオリフィス通路を形成したことを、特徴とする。このような本態様においては、自動車のパワーユニット荷重等の初期荷重が装着状態下で及ぼされる場合に、流体室の圧力変化が、流体室と平衡室の間での流体移動に基づいて軽減乃至は解消され得ることから、目的とする防振効果を安定して得ることが可能となる。また、オリフィス通路を適当にチューニングすることにより、オリフィス通路を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づいて、受動的な防振効果を得ることも可能となる。
【００２１】
【発明の詳細な説明】
以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２２】
先ず、図１には、本発明の第一の実施形態としての能動型防振装置としての自動車用エンジンマウント１１と、その駆動系が概略的に示されている。このエンジンマウント１１は、第一の取付部材としての第一の取付金具１３と第二の取付部材としての第二の取付金具１５が、本体ゴム弾性体１７によって互いに弾性的に連結されており、負圧源１９から及ぼされる負圧と、大気中から及ぼされる大気圧とによって、それら第一の取付金具１３と第二の取付金具１５に対して加振力が及ぼされるようになっている。そして、パワーユニットとボデーの間に装着された状態下、第一の取付金具１３と第二の取付金具１５の間に及ぼされる加振力に基づいて、防振すべき振動に対して相殺的な防振効果を発揮し、或いは低動ばね効果を発揮することによって、ボデーにおける防振すべき振動に対して能動的な防振効果を得ることが出来るようになっている。なお、装着状態下では、第一の取付金具１３と第二の取付金具１５の間にパワーユニット荷重による静的な初期荷重が及ぼされることにより、本体ゴム弾性体１７が弾性変形して、それら第一の取付金具１３と第二の取付金具１５が互いに接近方向に所定量だけ変位せしめられると共に、略同じ方向に、防振すべき主たる振動が入力されることとなる。なお、以下の説明中、上下方向とは、原則として、図１中の上下方向をいう。
【００２３】
より詳細には、第一の取付金具１３は、それぞれ略有底円筒形状を有する上金具２１と下金具２３が、各開口側で互いに軸方向に重ね合わされることにより、中空構造をもって形成されている。なお、上下金具２１，２３の各開口部には、径方向外方に広がるフランジ状部が一体形成されており、それらのフランジ状部が互いに重ね合わされてボルト連結されることにより、上下金具２１，２３が相互に固着されている。なお、上金具２１の底壁部には、上方に突出する取付ボルト２５が突設されており、この取付ボルト２５によって、第一の取付金具１３が、図示しないパワーユニットに取り付けられるようになっている。
【００２４】
また、第一の取付金具１３の内部空間には、可撓性膜としてのゴム弾性膜２７が収容配置されており、外周縁部を上下金具２１，２２間で流体密に挟持されることによって、第一の取付金具１３の中空内部が、ゴム弾性膜２７を挟んで、上金具２１側と下金具２３側に流体密に仕切られている。このゴム弾性膜２７は、変形容易な可撓性膜の略円板形状乃至は浅底の有底円筒形状を有しており、該ゴム弾性膜２７と下金具２３の間には、非圧縮性流体が封入されてゴム弾性膜２７の変形に基づいて容積変化が容易に許容される平衡室２９が形成されていると共に、ゴム弾性膜２７と上金具２１の間には、外部空間に連通されてゴム弾性膜２７の変形を許容する空気室３１が形成されている。なお、封入流体としては、水やアルキレングリコール，ポリアルキレングリコール，シリコーン油等がいずれも採用可能であるが、流体の共振作用に基づく防振効果を有効に得るためには、０．１Ｐａ・ｓ以下の粘度を有する低粘性流体が望ましい。
【００２５】
さらに、第一の取付金具１３を構成する下金具２３の底壁部には、円板形状の通路形成金具３３が重ね合わされてボルト固定されている。そして、これら下金具２３と通路形成金具３３の重ね合わせ面間において、周方向に一周弱の長さで延びるオリフィス通路３５が形成されており、このオリフィス通路３５の一方の端部が、平衡室２９に連通されていると共に、他方の端部が、下金具２３の底壁下面に開口せしめられている。
【００２６】
また一方、第二の取付金具１５は、底金具３７と、支持金具３９と、連結金具４１が、互いに軸方向に同一軸上で重ね合わされて相互にボルト固定されることによって形成されている。底金具３７は、厚肉の有底円筒形状を有しており、中央部分において上方に向かって開口する凹所を備えている。また、かかる底金具３７の凹所の開口部には、厚肉の円板形状を有する蓋金具４５が圧入固定されており、この蓋金具４５によって凹所の開口部が覆蓋されて、底金具３７内に密閉された内部空所４３が形成されている。
【００２７】
また、この内部空所４３には、所定厚さの円板形状を有する仕切ゴム板４７が収容配置されており、該仕切ゴム板４７の外周縁部に一体形成された厚肉環状の固定リング部４９が、底金具３７と蓋金具４５の間で挟圧保持されることによって、かかる仕切ゴム板４７が、内部空所４３内において、軸直角方向に広がって配設されている。そして、この仕切ゴム板４７によって、内部空所４３が、底金具３７側と蓋金具４５側とに流体密に二分されていると共に、仕切ゴム板４７が、弾性変形に基づいて、それら底金具３７側と蓋金具４５側とに変位可能とされている。
【００２８】
さらに、内部空所４３には、仕切ゴム板４７で仕切られることにより、仕切ゴム板４７を挟んで、底金具３７側には、仕切ゴム板４７に変位力を及ぼすアクチュエータを構成する切換用空気室５１が形成されている一方、蓋金具４５側には、仕切ゴム板４７の位置に応じて所定の容積が設定される調節用空気室５３が形成されている。なお、切換用空気室５１には、底金具３７の底壁部と仕切ゴム板４７の対向面間に、コイルスプリング５５が配設されており、このコイルスプリング５５の付勢力によって、常時、仕切ゴム板４７が、底金具３７の底壁部から離間する方向に付勢されて、蓋金具４５の下面に押し付けられている。また、仕切ゴム板４７は、コイルスプリング５５の付勢力が、局部的でなく全体的に及ぼされて、局部的乃至は不規則な変形が防止され得る程度の全体ばね剛性を有するように、材質や肉厚寸法等が設定されている。
【００２９】
また、前記支持金具３９は、厚肉の円環板形状を有しており、中心軸上に貫設された中央孔５７の内部中央には、円板形状の加振部材としての加振板５９が、軸直角方向に広がって配設されている。また、この加振板５９の外径寸法が、中央孔５７の内径寸法よりも小さくされており、それら加振板５９の外周縁部と中央孔５７の内周縁部とが、円環形状の連結ゴム弾性体６１によって弾性的に連結されている。これにより、加振板５９は、連結ゴム弾性体６１の弾性変形に基づいて、上下方向に変位可能に且つ所定位置に復元し得る状態で、第二の取付金具１５によって支持されている。
【００３０】
更にまた、これら加振板５９と連結ゴム弾性体６１によって、支持金具３９の中央孔５７が流体密に覆蓋されており、以て、蓋金具４５と加振板５９の対向面間には、密閉された加振用空気室６３が形成されている。そして、この加振用空気室６３は、蓋金具４５の中央部分に貫通形成された空気連通路としての接続孔６５によって、調節用空気室５３に接続されて相互に連通されている。これにより、これら加振用空気室６３と調節用空気室５３によって、協働して、一つの作用空気室が構成されている。
【００３１】
さらに、蓋金具４５には、接続孔６５から軸直角方向外方に延びる加振用エア給排路６７が形成されており、この加振用エア給排路６７が、支持金具３９の周壁部を貫通して、該周壁部の外周面に突設されたポート６９において開口せしめられている。即ち、かかる加振用エア給排路６７を通じて、加振用空気室６３と調節用空気室５３で協働形成された作用空気室に対して、空気圧変動を及ぼすことが出来るようになっているのである。
【００３２】
また一方、底金具３７には、切換用空気室５１から軸直角方向外方に延びる切換用エア給排路７１が形成されており、この切換用エア給排路７１が、底金具３７の外周面に突設されたポート７３において開口せしめられている。即ち、かかる切換用エア給排路７１を通じて、切換用空気室５１に対して、空気圧を及ぼすことが出来るようになっているのである。
【００３３】
また、前記連結金具４１は、厚肉の円環形状を有しており、連結金具４１の上面外周縁部に重ね合わされて固定されている。そして、第一の取付金具１３に対して、第二の取付金具１５が軸方向に離間して対向位置せしめられて、第一の取付金具１３を構成する下金具２３の外周面と、第二の取付金具１５を構成する連結金具４１の内周面とが、互いに斜め軸方向で離間して対向位置するテーパ面とされており、これらの対向面間に、本体ゴム弾性体１７が介装されている。
【００３４】
すなわち、本体ゴム弾性体１７は、軸方向下方に向かって次第に拡開する厚肉のテーパ円筒形状を有しており、その小径側端面に対して下金具２３のテーパ状外周面が加硫接着されていると共に、その大径側端面に対して連結金具４１のテーパ状内周面が加硫接着されている。要するに、本体ゴム弾性体１７は、下金具２３と連結金具４１を備えた一体加硫成形品として形成されている。なお、本体ゴム弾性体１７の軸方向中央部分には、不規則な変形を抑制するための環状の拘束金具７５が加硫接着されている。
【００３５】
そして、このようにして第一の取付金具１３と第二の取付金具１５が本体ゴム弾性体１７で弾性連結されることにより、本体ゴム弾性体１７の軸方向上側の開口部が第一の取付金具１３で流体密に覆蓋されていると共に、本体ゴム弾性体１７の軸方向下側の開口部が第二の取付金具１５で流体密に覆蓋されており、以て、それら第一の取付金具１３と第二の取付金具１５の対向面間に、壁部の一部が本体ゴム弾性体１７と加振板５９で構成されて、振動が入力される流体室としての受圧室７７が形成されている。そして、この受圧室７７には、前記平衡室２９と同様な非圧縮性流体が封入されていると共に、該受圧室７７が、オリフィス通路３５を通じて、平衡室２９に連通されている。これにより、第一の取付金具１３と第二の取付金具１５の間に振動が入力された際には、受圧室７７と平衡室２９の間に惹起される圧力差に基づいてオリフィス通路３５を通じての流体流動が生ぜしめられるようになっており、この流体の共振作用に基づいて、例えばシェイク等の所定の振動に対して有効な防振効果が発揮されるようになっている。また、マウント装着状態下でパワーユニット荷重が及ぼされることにより、本体ゴム弾性体１７が弾性変形せしめられた際にも、受圧室７７から平衡室２９へのオリフィス通路３５を通じての流体流動に基づいて、受圧室７７の圧力変化が解消されてマウントばね特性の著しい変化が防止されるようになっている。
【００３６】
また、このような構造とされたエンジンマウント１１には、その装着状態下において、図示されているように、各ポート６９，７３に空気圧管路７９が接続せしめられ、この空気圧管路７９を通じて、加振用空気室６３および調節用空気室５３に対して、それぞれ、所定の空気圧源が接続される。特に、本実施形態では、空気圧源として、内燃機関の吸気系によって得られる負圧を利用した負圧源１９と、大気との、圧力値が異なる二つが採用されている。ここにおいて、内燃機関は、特に、混合気によるストイキ運転と燃料直噴による直噴運転とを選択的に採用するものが採用されており、ストイキ運転状態と直噴運転状態では、負圧源１９における負圧の大きさや防振すべき振動の大きさ等が変化することとなる。
【００３７】
さらに、切換用空気室５１は、空気圧管路７９を通じて、直接に、負圧源１９に接続されている。また一方、加振用空気室６３は、空気圧管路７９を通じて負圧源１９に接続されている共に、加振用空気室６３を負圧源１９に接続する空気圧管路７９上に切換バルブ８１が配設されており、この切換バルブ８１の切換操作によって、加振用空気室６３が、負圧源１９と大気中とに、択一的に切換接続されるようになっている。また、本実施形態では、切換バルブ８１の切換駆動用の電磁アクチュエータ８３が、リード線８５を通じて入力される、防振すべき振動に対応した制御信号によって作動せしめられるようになっている。なお、防振すべき振動に対応した制御信号としては、防振すべき振動の周波数や位相等に対応したものであって、例えば、内燃機関の点火信号や、防振すべき振動のセンサ等による検出信号などが、好適に採用され得る。
【００３８】
そして、かかるエンジンマウント１１は、内燃機関がストイキ運転状態にある場合には、負圧源１９の負圧力が大きく（負圧側に絶対値が大きく）なることから、この負圧源１９の負圧力がそのまま及ぼされる切換用空気室５１においては、図２に示されているように、仕切ゴム板４７が、コイルスプリング５５の付勢力に抗して底金具３７の底壁部側に負圧吸引されて変位せしめられ、加振用空気室６３に連通された調節用空気室５３が、最も大きな容積で形成されることとなり、その結果、作用空気室の容積が実質的に最大化されることとなる。
【００３９】
また一方、内燃機関が直噴運転状態にある場合には、負圧源１９の負圧力が小さく（絶対値が小さくなって、大気圧に近く）なることから、仕切ゴム板４７に及ぼされる吸引力がコイルスプリング５５の付勢力に打ち勝つことが出来ず、仕切ゴム板４７がコイルスプリング５５の付勢力に基づいて蓋金具４５側に押し付けられた状態に維持される。その結果、調節用空気室５３が実質的に消失されると共に、接続孔６５が閉塞されることにより、作用空気室が、実質的に加振用空気室６３のみで構成されて、最も小さな容積で形成されることとなる。
【００４０】
要するに、本実施形態では、切換用エア給排路７１を通じて切換用空気室５１に及ぼされる負圧力、換言すれば負圧源１９の負圧力が、内燃機関の運転状態に伴って変化することにより、内燃機関の運転状態に応じて、作用空気室の容積が、調節用空気室５３の分だけ、自動的に、増減されて切り換えられることとなる。
【００４１】
そして、いずれの状態下においても、切換バルブ８１の切換作動に基づいて作用空気室（加振用空気室６３、または加振用空気室６３および調節用空気室５３）に空気圧変動が及ぼされることにより、受圧室７７の壁部の一部を構成する加振板５９に軸方向の加振力が及ぼされて、該加振板５９が受圧室７７の内外方に往復変位せしめられることにより、受圧室７７に対して、加振板５９の変位に対応した分だけの圧力変化が及ぼされることとなる。そして、この受圧室７７の圧力変化が、受圧室７７に封入された非圧縮性流体によって、第一の取付金具１３と第二の取付金具１５の間に相対的な加振力として伝達されるようになっているのであり、それ故、かかる加振力をボデーに及ぼすことによって振動に対する相殺的な防振効果を得ることが出来、或いは、受圧室７７の圧力変化を積極的に低減せしめて動的ばね特性を低下させることによって積極的な振動絶縁効果を得ることが出来るのである。なお、そのような相殺的乃至は積極的な能動的防振効果によって防振すべき振動周波数は、オリフィス通路３５のチューニング周波数よりも十分に高周波数域となるように設定することが望ましく、それによって、能動的防振効果を、オリフィス通路３５を通じての流体流動による影響を受けることなく、より有効に発揮させることが出来る。
【００４２】
ここにおいて、コイルスプリング５５によって仕切ゴム板４７に及ぼされる付勢力は、ストイキ運転状態下で仕切ゴム板４７に及ぼされる負圧源１９の負圧吸引力より小さく、且つ直噴運転状態下で仕切ゴム板４７に及ぼされる負圧源１９の負圧吸引力より大きくなるように設定されている。しかも、切換バルブ８１の切換操作によって加振用空気室６３に対して、負圧源１９の負圧と大気圧との間での圧力変動が生ぜしめられた場合でも、直噴運転状態下で仕切ゴム板４７が蓋金具４５側に保持されると共に、ストイキ運転状態下で仕切ゴム板４７が底金具３７の底壁部側に保持されるように、コイルスプリング５５の付勢力と負圧源１９の負圧が、仕切ゴム板４７の弾性特性などを考慮して設定されている。
【００４３】
従って、このような構造とされた本実施形態のエンジンマウント１１においては、自動車の内燃期間の運転状態に応じて切換用空気室５１に及ぼされる負圧が自動的に変化せしめられて、加振用空気室６３と調節用空気室５３からなる作用空気室の容積が自動的に切り換えられるのであり、それに伴って、かかる作用空気室に及ぼされる空気圧変動の大きさ（振幅）、ひいては受圧室７７の内圧変動を介して第一の取付金具１３と第二の取付金具１５の間に及ぼされる加振力の大きさが変化せしめられるのである。より具体的には、図１に示された直噴運転状態では、作用空気室の容積が実質的に加振用空気室６３だけとなり、その結果、切換バルブ８１の切換操作によって作用空気室を負圧源１９と大気中とに交互に接続した場合に、それら負圧源１９と大気の各圧力が効率的に伝達されて、作用空気室に対して、負圧源１９の負圧と大気圧との間で大きな振幅の空気圧変動が生ぜしめられ、加振板５９に対して、負圧源１８の負圧と大気圧との圧力差に基づく加振力が効率的に及ぼされ得る。一方、図２に示されたストイキ運転状態では、作用空気室の容積が加振用空気室６３に調節用空気室５３を加えた容積となり、その結果、切換バルブ８１の切換操作によって作用空気室を負圧源１９と大気中とに交互に接続した場合に、それら負圧源１９と大気の各圧力の作用空気室への伝達効率が低くなり、作用空気室に生ぜしめられる空気圧変動の幅が、負圧源１９の負圧と大気圧との圧力差に対して小さくなって、加振板５９に対して及ぼされる、負圧源１９の負圧と大気圧との圧力差に基づく加振力の伝達効率が低下せしめられる。
【００４４】
それ故、防振すべき自動車の発生振動が小さくなるストイキ運転状態下では、負圧源１９における発生負圧力が大きく（負圧力の絶対値が大きく）なるが、  作用空気室の容積が大きくされることにより、発生加振力が小さくされて、必要以上の加振力の発生が回避され、振動に対して有効な能動的防振効果が発揮されるのである。また一方、防振すべき自動車の発生振動が大きくなる直噴運転状態下では、負圧源１９における発生負圧力が小さく（大気圧に近く）なるが、作用空気室の容積が小さくされることにより、発生加振力が効率的に大きくされて、振動に対して有効な能動的防振効果が発揮されるのである。そして、その結果、自動車の運転状況に応じて、防振すべき振動に対して有効な能動的防振効果が、安定して発揮されることとなるのである。
【００４５】
因みに、本実施形態に従う構造とされたエンジンマウント１１において、実際に発生加振力を測定したデータを、図３にグラフで示す。図３中、負圧力大が、ストイキ運転状態を示し、負圧力小が、直噴運転状態を示す。この測定データを示すグラフからも、負圧力が大きくなるストイキ運転状態下で、必要以上の加振力の発生が抑えられていることが、明らかに認められる。なお、同じエンジンマウント１１を用い、切換用エア給排路７１を遮断して、調節用空気室５３を、常時、消失させることによって、作用空気室の容積が常に一定とされた従来構造の能動型エンジンマウントを再現し、このエンジンマウントについて同様な測定を行った結果を、比較例として、図３に併せ示す。かかる比較例の測定データからも、本実施形態のエンジンマウント１１が、従来構造のエンジンマウントに比して、車両の走行状態に対応して能動的防振効果を有効に且つ安定して発揮し得ることが、明らかである。
【００４６】
また、本実施形態のエンジンマウント１１においては、調節用空気室５３が、マウント本体の内部に形成されていることから、エンジンマウント１１の取扱いが容易であると共に、加振用空気室６３と調節用空気室５３を接続する接続孔６５を十分に短くして、構造上も単一の作用空気室を形成することが出来るという利点がある。
【００４７】
更にまた、本実施形態のエンジンマウント１１においては、仕切ゴム板４７が、底金具３７の底壁部と蓋金具４５によって位置決めされることから、発生加振力の安定化が図られ得る。加えて、作用空気室の容積を小さくした場合には、接続孔６５を仕切ゴム板４７で閉塞させるようになっていることから、調節用空気室５３を有利に且つ安定して消失させることが出来、作用空気室の容積を極めて有利に且つ安定して最小状態に保持することが出来る。
【００４８】
なお、本実施形態のエンジンマウント１１においても、加振用空気室６３と調節用空気室５３を、単一の作用空気室構造をもって形成することも可能である。なお、その場合には、作用空気室の容積を小さくした場合の仕切ゴム板４７の位置決め精度を有利に得るために、例えば、蓋金具４５に多数の接続孔を十分に大きな通路断面積をもって形成することにより、仕切ゴム板４７を、該蓋金具４５に当接させて位置決めすること等が有効である。
【００４９】
また、前記第一の実施形態のエンジンマウント１１においては、その本体の内部に調節用空気室５３が形成されていたが、この調節用空気室５３を、マウント本体から独立して形成することも可能である。その一つの具体例が、第二の実施形態として、図４に示されている。なお、本実施形態では、理解を容易するために、前記第一の実施形態におけるエンジンマウント１１と同様な構造とされた部材および部位に対して、それぞれ、図中に、第一の実施形態と同一の符号を付しておく。
【００５０】
すなわち、本実施形態のエンジンマウント８７においては、第一の取付金具１３と第二の取付金具１５を本体ゴム弾性体１７で弾性連結すると共に、該第二の取付金具１５の内部に加振用空気室６３を形成したマウント本体とは独立した別体構造をもって、調節用空気室５３が、形成されている。詳細には、浅底の有底筒形状のハウジング金具８９の開口部に蓋金具９１が重ね合わされることによって、内部空所９３を有するマウント別体９５が形成されており、このマウント別体９５の内部空所９３が、弾性変形可能に収容配置された仕切ゴム板４７によって、ハウジング金具８９の底壁部側と蓋金具９１側とに流体密に二分されて、調節用空気室５３と切換用空気室５１が画成されている。そして、調節用空気室５３が、空気圧管路７９に対して、切換バルブ８１と加振用空気室６３の間から分岐した分岐管路９７によって接続されており、これによって、調節用空気室５３には、加振用空気室６３と同じ空気圧が及ぼされるようになっている。また、切換用空気室５１は、蓋金具９１に設けられたポート９９を通じて、負圧源１９に対して、切換バルブ８１を介することなく、直接に接続されている。なお、本実施形態では、仕切ゴム板４７に対して、切換用空気室５１側に拘束プレート１０１が重ね合わされている。この拘束プレート１０１は、金属等の硬質材で形成された薄肉板形状を有しており、仕切ゴム板４７の形状の安定化が図られて、作動の安定化や耐久性の向上が実現されるようになっている。
【００５１】
このような構造とされた本実施形態のエンジンマウント８７においても、第一の実施形態と同様な効果が有効に発揮される。しかも、かかるエンジンマウント８７においては、調節用空気室５３を、マウント本体とは別体形成したことにより、マウント本体をコンパクト化することが出来ると共に、空気圧管路７９を調節することによってマウント別体９５の配設場所を自由に選択することが出来ることから、スペースの有効利用が可能となり、エンジンマウントの設置場所の選定自由度が大きくなるといった利点がある。
【００５２】
さらに，前記第一及び第二の実施形態においては、いずれも、振動状態等に応じて、作用空気室を構成する調節用空気室５３の容積を変更調節するために、負圧源１９で及ぼされる負圧力にて作動せしめられる空気圧式アクチュエータとしての切換用空気室５１を備えていたが、作用空気室の容積調節を、別の構成によって実現することも可能である。その一つの具体例が、図５において、第三の実施形態として示されている。なお、本実施形態では、図４に示された第二の実施形態と同様な構造とされた部材および部位に対して、図中に、第二の実施形態と同一の符号を付しておく。
【００５３】
すなわち、本実施形態では、加振用空気室６３に負圧源１９の負圧力を及ぼす空気圧管路７９における切換バルブ８１と加振用空気室６３の間から分岐して形成された分岐管路９７に対して、開閉バルブ１０３を介して、所定長さの中空管体１０５が接続されている。なお、中空管体１０５は、開閉バルブ１０３と反対側の先端開口部が蓋体１０７で流体密に封止されており、以て、開閉バルブ１０３を開いた状態では、分岐管路９７と中空管体１０５の中空内部が一体となり、空気圧管路７９から分岐した、長さ：Ｌの消音器構造をもって、調節用空気室５１が形成されるようになっている。
【００５４】
そして、このような調節用空気室５１にあっては、空気圧管路７９に接続されることによって、その容積分だけ、作用空気室の容積が増大せしめられることから、開閉バルブ１０３を、内燃機関における運転状態信号等の制御信号によって連通／遮断制御することにより、前記第二の実施形態における調節用空気室５３と同様な効果を有効に発揮し得る。
【００５５】
しかも、かかる調節用空気室５３は、その長さ：Ｌを適当に調節することによって、その長さ：Ｌに対応した周波数（波長）域の空気振動（空気圧変動）に対して、波動の共鳴減衰作用に基づく有効な低減効果を発揮し得る。それ故、かかる調節用空気室５３の長さ：Ｌが、防振すべき振動、換言すれば加振板５９を加振すべき振動の高調波成分等に対応するように、中空管体１０５の長さを設定することによって、防振すべき振動に対してより高精度で有効な防振効果を得ることが可能となるのである。なお、その際、調節用空気室５３の容積、換言すれば作用空気室における容積の変化幅は、例えば、中空管体１０５の断面積によって調節することが出来る。
【００５６】
さらに、前記実施形態では、いずれも、調節用空気室５３の容積、ひいては作用空気室の容積が、最大容積と最小容積とに２段階に切り換えられるようになっていたが、その容積を、３段階以上、或いは無段階に調節することも可能である。
【００５７】
具体的には、例えば、図５に示された前記第三の実施形態において、開閉バルブ１０３および中空管体１０５に変えて、図６または図７に示されているように、容積可変のシリンダ型の調節用空気室機構１０９，１１１を装着することが出来る。即ち、図６に示された調節用空気室機構１０９は、電動モータや電磁アクチュエータ等の駆動手段１１３を備えていると共に、該駆動手段１１３の出力軸に円盤形状のピストン板１１５が固設されて、軸方向に移動可能とされている。そして、このピストン板１１５が、有底円筒形状のハウジング金具１１７の内部に挿入された状態で配設されており、ハウジング金具１１７の内周面とピストン板１１５の外周縁部が、円環板形状の連結ゴム板１１９で弾性的に連結されることにいる。これにより、ハウジング金具１１７の開口部が、ピストン板１１５で流体密に覆蓋されて、分岐管路９７に連通された調節用空気室５３が形成されていると共に、ピストン板１１５が駆動手段１１３で軸方向（図中、上下方向）に変位せしめられることにより、調節用空気室５３の容積を、連続的に変化させることが出来るようになっているのである。
【００５８】
また、図７に示された調節用空気室機構１１１においては、駆動手段１１３で軸方向に往復移動せしめられるピストン１２１が、有底筒形状のハウジング金具１２３の内周面に対して流体密に滑動可能とされている。これにより、図６に示された調節用空気機構１０９よりも、調節用空気室５３の容積を、一層安定して、且つ広い範囲で調節可能とされている。
【００５９】
このような図６および図７に示された調節用空気室機構１０９，１１１を採用した場合でも、振動状態等に応じた制御信号で駆動手段１１３を作動制御して調節用空気室５３の容積を変更，調節することが出来るのであり、それによって、前記第二の実施形態と同様な効果が有効に発揮されるのである。
【００６０】
以上、本発明の実施形態について詳述してきたが、これらはあくまでも例示であって、本発明は、かかる実施形態における具体的な記載によって、何等、限定的に解釈されるものでない。
【００６１】
例えば、マウント本体の内部に単一の作用空気室を形成すると共に、この作用空気室内に、図６や図７に示されている如きピストン機構を配設することにより、単一の作用空気室の容積を、直接に、複数段階でまたは連続的に可変とすることも可能である。
【００６２】
また、前記実施形態では、加振力を得る空気圧として、内燃機関で得られる負圧と大気圧を利用したが、利用する空気室は何等限定されるものでなく、少なくとも二つ以上の互いに異なる空気圧であれば良く、例えば大気圧よりも高い正圧を採用することも可能である。
【００６３】
更にまた、前記図４〜７に示された実施形態では、いずれも、調節用空気室５１が、切換バルブ８１と加振用空気室６３の間の空気圧管路７９に接続されており、それによって、調節用空気室５１による空気圧調節作用が十分有効に発揮されるようになっていたが、例えば、図６〜７に示された実施形態のような容積調節手段を採用すれば、かかる調節用空気室５１を、切換バルブ８１よりも負圧源１９側において、空気圧管路７９に接続させることも可能である。
【００６４】
また、前記実施形態におけるエンジンマウントでは、いずれも、受圧室７７の壁部の一部が本体ゴム弾性体１７と加振板５９によって構成されていたが、例えば、第二の取付金具１５で支持された仕切部材によって、加振板５９によって壁部の一部が構成された副液室を、本体ゴム弾性体１７で壁部の一部が構成されて振動が入力される受圧室から独立して形成すると共に、それら副液室と受圧室を相互に連通する流体流路を設けることにより、加振板５９の加振によって副液室に生ぜしめられる圧力変化を、流体流路を通じての流体流動によって受圧室に伝達するようにしたマウント構造を採用することも可能である。このようなマウント構造を採用すれば、流体流路を通じて流動せしめられる流体の共振作用を利用して、加振板５９の加振によって副液室に生ぜしめられる圧力変化を増幅させて受圧室に伝達し、以て、より大きな加振力や内圧制御効果を効率的に得ることが可能となる。
【００６５】
更にまた、本発明において、非圧縮性流体が封入された流体室は、必須でなく、作用空気室の圧力変化を、直接、第一の取付金具１３と第二の取付金具１５に及ぼしめて加振力を得る構造のマウント本体も採用可能である。
【００６６】
また、例示の如き、第一の取付金具１３と第二の取付金具１５が、一方向だけで離間して対向配置されてなる構造のマウント本体の他、例えばＦＦ型自動車用エンジンマウント等に好適に採用される、互いに径方向に離間配置された軸部材と外筒部材が、それらの間に配設された本体ゴム弾性体によって弾性的に連結された筒型構造のマウント本体等も、本発明において有利に採用され得る。
【００６７】
加えて、本発明は、例示の如き、自動車用のエンジンマウントの他、自動車用ボデーマウントやデフマウント、或いは自動車以外の各種装置に用いられる能動型防振装置に対して、いずれも、同様に適用され得るものであることは、勿論である。
【００６８】
その他、一々列挙はしないが、本発明は、当業者の知識に基づいて、種々なる変更，修正，改良等を加えた態様において実施され得るものであり、また、そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限り、いずれも、本発明の範囲内に含まれるものであることは、言うまでもない。
【００６９】
【発明の効果】
上述の説明から明らかなように、本発明に従う構造とされた空気圧式能動型防振装置においては、作用空気室の容積を変更することによって、発生加振力を調節することが出来るのであり、それ故、採用する空気圧の変化や防振すべき振動の変化等に応じて作用空気室の容積を変更することによって、発生加振力を調節し、以て、有効な防振効果を安定して実現することが可能となるのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施形態としての自動車用エンジンマウントを示す概略図である。
【図２】図１に示された自動車用エンジンマウントの別の作動状態を示す概略図である。
【図３】図１に示された自動車用エンジンマウントの特性の実測データを、比較例と併せて示すグラフである。
【図４】本発明の第二の実施形態としての自動車用エンジンマウントを示す概略図である。
【図５】本発明の第三の実施形態としての自動車用エンジンマウントを示す概略図である。
【図６】本発明の更に別の実施形態の一部を示す概略図である。
【図７】本発明の更に別の実施形態の一部を示す概略図である。
【符号の説明】
１１  エンジンマウント
１３  第一の取付金具
１５  第二の取付金具
１７  本体ゴム弾性体
１９  負圧源
４７  仕切ゴム板
５１  切換用空気室
５３  調節用空気室
６３  加振用空気室
６５  接続孔
７９  空気圧管路
８１  切換バルブ
８３  アクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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