(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（イ）セルの導入ポートに接続されるコネクタと、
（ロ）上記コネクタに液晶供給通路を介して接続された液晶加圧手段と、
（ハ）上記セル内の液晶の層厚を検出する検出手段と、
（ニ）上記検出手段で検出された液晶層厚に基づき、上記液晶加圧手段を制御して液晶の供給圧力を調節する制御手段と、
を備えたことを特徴とする液晶充填システム。
【請求項２】
上記検出手段は、セルの導入ポートの近傍位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液晶充填システム。
【請求項３】
液晶の層厚を検出する検出手段が、セルの導入ポートの近傍位置と、この導入ポートから離れた位置に配置されており、これら複数の検出手段からの液晶層厚情報に基づいて、上記制御手段が液晶の供給圧力を調節することを特徴とする請求項１に記載の液晶充填システム。
【請求項４】
上記検出手段は、セルの一方の面に対峙して配置された光源と、セルの他方の面に対峙して配置された受光器と、光源とセルとの間に配置された第一偏光フィルタと、受光器とセルとの間に配置された第二偏光フィルタとを備え、上記受光器は、受ける光の波長に関する検出情報を上記液晶層厚の検出情報として出力することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液晶充填システム。
【請求項５】
上記液晶加圧手段は、一対の型とこれら型間に形成される内部空間を第一室と第二室とに仕切るダイヤフラムと、この第二室に連なるガス圧調節手段とを備え、上記第一室が上記液晶供給通路を介して上記コネクタに連なり、上記制御手段が、上記ガス圧調節手段を制御して上記第二室のガス圧を調節することにより、第一室内の液晶の供給圧力を調節することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液晶充填システム。
【請求項６】
さらに、液晶貯留手段を備え、この液晶貯留手段は、液晶を収容するベローズと、このベローズを伸縮させるための駆動手段と、ベローズ内の液晶を撹拌する撹拌手段とを備えており、ベローズの上部空間が、液晶補充通路を介して液晶加圧手段の第一室に連なるとともに、吸引通路を介して吸引手段に連なっていることを特徴とする請求項５に記載の液晶充填システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶をコネクタを介してセルに充填するシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
セルに液晶を充填するために、セルには、導入ポートと吸引ポートが形成されている。特開平１−３７５２９号公報に開示されている液晶充填システムは、導入ポートと吸引ポートにそれぞれ接続される供給コネクタと吸引コネクタを有している。吸引コネクタは吸引通路を介して真空ポンプに接続される。供給コネクタは、液晶供給通路を介して液晶加圧手段に接続されている。上記吸引コネクタと吸引通路を介してセルの内部空間が真空吸引され、供給コネクタと液晶供給通路を介して加圧状態の液晶がセルの内部空間に導入される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記の液晶充填システムでは、液晶の供給圧力をどのように設定するかが課題であった。すなわち、液晶の圧力が低いと、セルへの液晶充填を完了するまでに時間がかかり生産効率が低下する。これとは逆に、液晶の圧力が高いと、セルを構成する２枚の基板が膨らんでそのギャップが過度に広がるため、セル内に収容されているスペーサビーズが液晶によって流されてセル内に不均一に散らばる状態になってしまう。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、液晶充填システムにおいて、（イ）セルの導入ポートに接続されるコネクタと、（ロ）上記コネクタに液晶供給通路を介して接続された液晶加圧手段と、（ハ）上記セル内の液晶の層厚を検出する検出手段と、（ニ）上記検出手段で検出された液晶層厚に基づき、上記液晶加圧手段を制御して液晶の供給圧力を調節する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００５】
請求項２の発明は、請求項１に記載の液晶充填システムにおいて、上記検出手段は、セルの導入ポートの近傍位置に配置されていることを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１に記載の液晶充填システムにおいて、液晶の層厚を検出する検出手段が、セルの導入ポートの近傍位置と、この導入ポートから離れた位置に配置されており、これら複数の検出手段からの液晶層厚情報に基づいて、上記制御手段が液晶の供給圧力を調節することを特徴とする。
【０００６】
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の液晶充填システムにおいて、上記検出手段は、セルの一方の面に対峙して配置された光源と、セルの他方の面に対峙して配置された受光器と、光源とセルとの間に配置された第一偏光フィルタと、受光器とセルとの間に配置された第二偏光フィルタとを備え、上記受光器は、受ける光の波長に関する検出情報を上記液晶層厚の検出情報として出力することを特徴とする。
【０００７】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の液晶充填システムにおいて、上記液晶加圧手段は、一対の型とこれら型間に形成される内部空間を第一室と第二室とに仕切るダイヤフラムと、この第二室に連なるガス圧調節手段とを備え、上記第一室が上記液晶供給通路を介して上記コネクタに連なり、上記制御手段が、上記ガス圧調節手段を制御して上記第二室のガス圧を調節することにより、第一室内の液晶の供給圧力を調節することを特徴とする。
【０００８】
請求項６の発明は、請求項５に記載の液晶充填システムにおいて、さらに、液晶貯留手段を備え、この液晶貯留手段は、液晶を収容するベローズと、このベローズを伸縮させるための駆動手段と、ベローズ内の液晶を撹拌する撹拌手段とを備えており、ベローズの上部空間が、液晶補充通路を介して液晶加圧手段の第一室に連なるとともに、吸引通路を介して吸引手段に連なっていることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態をなす液晶充填システムを図面に基づき説明する。このシステムを説明する前に、セルについて説明しておく。図１に示すように、このセル１は、透明材料例えばガラスからなる矩形の基板２，３を有している。これら基板２，３の周縁部が接着層４により貼り付けられている。これら基板２，３と接着層４によって、微小厚さ（５μｍ程度）の内部空間５が形成されている。セル１の一方の縁部１ａでは接着層４が途切れており、この部位が導入ポート６となっている。セル１の反対側の縁部１ｂでも例えば２ケ所で接着剤層３が途切れており、この部位が吸引ポート７となっている。
【００１０】
液晶充填システムは、図１に示すように、吸引コネクタ１０と、供給コネクタ２０とを備えている。これらコネクタ１０，２０は、エアシリンダ１１，２１の駆動でセル１の導入ポート６，吸引ポート７に接続されたり外されたりする。
【００１１】
上記吸引コネクタ１０には、吸引通路１２の一端が接続されている。吸引通路１２の中途部には液晶トラップ（図示せず）が設けられており、その他端には真空度調節タンク１３が接続されている。この真空度調節タンク１３には他の吸引通路１４の一端が接続されている。この吸引通路１４の中途部には電磁開閉弁Ｖ１，フィルタ１５が設けられ、その他端には真空ポンプ１６（吸引手段）が接続されている。さらに上記真空度調節タンク１３には、大気解放通路１６が接続されており、この大気解放通路１６には２つの電磁開閉弁Ｖ２，Ｖ３が設けられている。
【００１２】
上記システムは、さらに、液晶貯留装置３０（液晶貯留手段）と液晶加圧装置４０（液晶加圧手段）を備えている。この液晶貯留装置３０は、容器３１と、この容器３１の上端開口を塞ぐ蓋３２と、蓋３２に取り付けられ液晶ＬＣを貯留するベローズ３３と、このベローズ３３を伸縮させるための駆動手段３４と、このベローズ３３内の液晶を撹拌する撹拌手段３５とを備えている。
【００１３】
上記蓋３２は、容器３１に螺合される取付リング３６により、気密をなして着脱可能に容器３１に取り付けられている。蓋３２の中央には継手３７が気密をなして着脱可能に螺合されている。
上記撹拌手段３５は、ベローズ３３に収容された撹拌子３５ａと、容器３１の下方に配置された回転子３５ｂと、この回転子３５ｂを回転させるモータ３５ｃとを備えている。撹拌子３５ａと回転子３５ｂは、それぞれ永久磁石を含む。
上記ベローズ３３のための駆動手段３４は、一端が上記容器３１とベローズ３３との間の空間に接続され他端がエアコンプレッサ等の加圧エア源５０（加圧ガス源）に連なるエア供給通路５１と、一端が上記容器３１とベローズ３３との間の空間に接続され他端が真空ポンプ１６に接続される吸引通路５２とを備えている。エア供給通路５１および吸引通路５２には、それぞれ電磁開閉弁Ｖ４，Ｖ５が設けられている。
【００１４】
上記ベローズ３３の上部空間は、継手３７，吸引通路５３を介して真空ポンプ１６に接続されている。この吸引通路５３には、上流側から順に液晶トラップ，（図示せず），電磁開閉弁Ｖ６が設けられている。
【００１５】
上記液晶加圧装置４０は、互いに連結される一対の型４１，４２と、これら型４１，４２に挟まれたダイヤフラム４３とを備えている。型４１，４２間に形成された内部空間４０ａは、ダイヤフラム４３により第一室４４と第二室４５に仕切られている。
【００１６】
上記液晶加圧装置４０の第二室４５は、第一大気解放通路５４を介して大気に連なり、第一エア供給通路５５を介してエア圧調節タンク５６に接続されている。これら第一大気解放通路５４，第一エア供給通路５５には、それぞれ電磁開閉弁Ｖ７，Ｖ８が設けられている。エア圧調節タンク５６は、第二大気解放通路５７を介して大気に連なるとともに、第二エア供給通路５８を介して上記加圧エア源５０に接続されている。第二大気解放通路５７，第二エア供給通路５８には、それぞれ電磁開閉弁Ｖ９，Ｖ１０が設けられている。なお、これらエア圧調節タンク５６，電磁開閉弁Ｖ９，Ｖ１０により、エア圧調節手段５９（ガス圧調節手段）が構成されている。
【００１７】
上記液晶加圧装置４０の第一室４４は、液晶供給通路６１を介して上記供給コネクタ２０に連なっている。この液晶供給通路６１には、電磁開閉弁Ｖ１１が設けられている。この電磁開閉弁Ｖ１１は、供給コネクタ２０の近傍に配置されている。さらに、この第一室４４は、液晶補充通路６２および上記継手３７を介して上記ベローズ３３の上部空間に連なっている。この液晶補充通路６２には、電磁開閉弁Ｖ１２が設けられている。この電磁開閉弁Ｖ１２は液晶貯留装置３０の近傍に配置されている。
【００１８】
さらに、上記システムは、セット状態のセル１の導入ポート６近傍位置（後述するように液晶層厚が最大になる位置）に配置される光学検出装置７０（液晶層厚検出手段）と、吸引ポート７の近傍に配置された光学検出装置８０（液晶検出手段）とを備えている。
上記光学検出装置７０は、セル１の基板２に対峙して配置された光源７１と、基板３に対峙して配置された受光器７２と、光源７１とセル１との間に配置された第一偏光フィルタ７３と、受光器７２とセル１との間に配置された第二偏光フィルタ７４とを備えている。なお、この受光器７２は、赤，緑，青の３つのフィルタと、これらフィルタを通過する光の光量を検出する３つの光センサとを有している。
上記第二偏光フィルタ７４の偏光軸（偏光方位）は、第一偏光フィルタ７３の偏光軸に対して所定の関係を有している。例えば、液晶が正常に充填されたマスターセルをセットした状態で、後述の液晶による複屈折により受光器７２で受ける光の波長が４６０ｎｍになるように、両偏光フィルタ７３，７４の偏光軸の交差角度を決定する。本実施例では、交差角度がゼロに近いが、液晶の種類によっては交差角度がより大きくなる。
光学検出装置８０も基本構成は上記光学検出装置７０と同じであるが、その受光器は、赤，緑，青のフィルタを備えておらず、両偏光フィルタの偏光軸は互いに直交している。
【００１９】
さらに、上記システムは、マイクロコンピュータを含む制御装置を備えている。この制御装置のうち、排気側の弁Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３を制御するバルブコントローラ９１（制御手段）と、液晶供給側の弁Ｖ４〜Ｖ１２を制御するバルブコントローラ９２（制御手段）が図示されている。この制御装置は、操作ボタンやタイマ等に応答して、コネクタ１０，２０のためのエアシリンダ１１，２１，真空ポンプ１６，モータ３５ｃやその他の構成要素を制御する手段も含む。
【００２０】
上記構成のシステムにおいて、まず、液晶貯留装置３０の作用について説明する。液晶貯留装置３０では、液晶ＬＣの撹拌，脱泡と液晶加圧装置４０への液晶の補充が交互に行われる。まず、撹拌，脱泡作用について説明する。電磁開閉弁Ｖ４を閉じ、電磁開閉弁Ｖ５を開くことにより、容器３１とベローズ３３との間の空間を真空吸引し、ベローズ３３を伸ばし状態にする。この状態で、電磁開閉弁Ｖ６を開いてベローズ３３の内部空間を真空吸引しながら、モータ３５ｃを駆動する。モータ３５ｃの駆動により、回転子３５ｂが回転し、これに追随して撹拌子３５ａが回転する。この撹拌子３５ａの回転により、液晶が撹拌され、液晶内の空気が抜ける。この抜けた空気が吸引通路５３から吸引される。
【００２１】
液晶貯留装置３０から液晶加圧装置４０への液晶補充は次のようにして行われる。電磁開閉弁Ｖ６，Ｖ１１を閉じるとともに、電磁開閉弁Ｖ１２を開くことにより、液晶補充通路６２を流通可能な状態にし、他の通路５３，６１を流通遮断状態にする。この状態で、電磁開閉弁Ｖ５を閉じ、電磁開閉弁Ｖ４を開く。すると、容器３１とベローズ３３との間の空間に、加圧エア源５０からの加圧エアがエア供給通路５１を介して供給され、これにより、ベローズ３３が縮み、ベローズ３３内の液晶ＬＣが液晶加圧装置４０の第一室４４に供給される。
【００２２】
上記液晶加圧装置４０では、上記液晶貯留装置３０からの液晶の補充と、供給コネクタ２０を介してのセル１への加圧液晶供給とが交互に行われる。上記液晶貯留装置３０からの液晶補充の際には、電磁開閉弁Ｖ８が閉じ電磁開閉弁Ｖ７が開いていて、第二室４５が大気に解放された状態にあり、第一室４４への液晶供給は、ダイヤフラム４３が下側の型４２の内面に接し、第二室４５が容積ゼロ，第一室４４が最大限の容積になるまで行われる。
液晶加圧装置４０によるセル１への加圧液晶供給については、後述する。
【００２３】
上記制御装置は、上記の撹拌脱泡，液晶補充制御の外に以下の制御を実行する。セル１をセットした後、エアシリンダ１１，２１を駆動させてコネクタ１０，２０をセル１に接続する。
次に、真空ポンプ１６を駆動させ、電磁開閉弁Ｖ１を開き，電磁開閉弁Ｖ２，Ｖ３を閉じることにより、セル１の内部空間５を真空吸引する。
上記セル１の内部空間５が所定の真空度（例えば１Ｔｏｒｒ）に達するに十分な設定時間が経過した時点、または、吸引通路１２に設けた圧力計によりセル１の内部空間５が所定の真空度に達したことを検出した時点で、セル１の真空吸引を続けながら、セル１への加圧液晶の供給を開始する。
【００２４】
上記セル１への加圧液晶供給の際には、電磁開閉弁Ｖ１２を閉じ、電磁開閉弁Ｖ１１を開くことにより、液晶補充通路６２を流通遮断状態にし液晶供給通路６１を流通可能な状態にする。この状態で、電磁開閉弁Ｖ７を閉じ、電磁開閉弁Ｖ８を開くことにより、エア圧調節タンク６３からの加圧エアを第二室４５に導入し、ダイヤフラム４３を介して液晶を加圧する。その結果、加圧液晶を、供給コネクタ２０，セル１の導入ポート６を介して、セル１の内部空間５へ供給することができる。
【００２５】
上記液晶供給に際して、液晶加圧装置４０の第二室４５に供給される加圧エアの圧力調節を、バルブコントローラ９２で実行する。すなわち、電磁開閉弁Ｖ９を短時間開くことにより、エア圧調節タンク５６の圧力を若干下げ、電磁開閉弁Ｖ１０を短時間開くことにより、エア圧調節タンク５６の圧力を若干上げ、これにより、第二室４５でのエア圧（液晶の供給圧力）を調節することができる。
【００２６】
液晶供給の初期においては、導入ポート６からの液晶は、光学検出装置７０の設置位置に至らず、光学検出装置７０からの液晶検出情報は得られない。すなわち、光源７１からの白色光が一対の偏光フィルタ７３，７４を通って、受光器７２に達するため、受光された光は、特定の波長に偏っていない。そのため、この液晶供給の初期には、図４に示すように、エア圧調節タンク５６に接続された圧力センサからの検出圧力をフィードバックして、第二室４５のエア圧を所定レベル例えば０.５Ｋｇ／ｃｍ2に維持する。
【００２７】
液晶ＬＣが光学検出装置７０の位置に達すると、光源７１からの光は一方の偏光フィルタ７３を通過した後に液晶ＬＣを通過する過程で複屈折され、その一部の特定波長の光が他方の偏光フィルタ７４を通って受光器７２に達する。これにより、液晶が検出される。この液晶検出時点で、バルブコントローラ９２は、液晶層厚のフィードバック情報に基づき第二室４５のエア圧制御を開始する。
【００２８】
ここで、液晶層厚の検出の原理について説明しておく。図３に示すように、上記受光器７２で受光される光の波長は、液晶の層厚によって変化し、層厚が小さいと、波長が短く、層厚が大きくなるにしたがって波長が長くなる。受光器７２の３つの光センサは、赤，青，緑のフィルタを通過した光の光量に関する情報を出力する。バルブコントローラ９２では、これら３つの光センサからの検出光量の比に基づいて、受光された光の波長を演算し、液晶層厚の情報を得る。
【００２９】
そして、バルブコントローラ９２は、この検出された液晶層厚が、設定層厚になるように、上記電磁開閉弁Ｖ９，Ｖ１０の開閉制御を行う。この設定層厚は、セル１の内部空間に収容されているスペーサビーズが流されることがない層厚範囲における最大値または最大値に近い値に設定される。この設定層厚は、前述したマスターセル内の液晶層厚より厚く、例えば５７０ｎｍ程度の受光波長に対応する。なお、ハンチングを避けるために、この設定層厚は、上限値と下限値の比較的狭い範囲を有しており、上限値を越えた時に電磁開閉弁Ｖ９を短時間だけ間欠的に開いてエア圧を下げ、下限値を下回った時に電磁開閉弁Ｖ１０を短時間だけ間欠的に開いてエア圧を上げる。この上限値，下限値に基づいてヒステリシス制御を行ってもよい。
【００３０】
図４から明らかなように、初期の設定エア圧は、液晶が光学検出装置７０に達した時に上記設定層厚を得るのに必要とするエア圧（液晶の供給圧力）より十分に低く設定されている。これは、液晶の導入初期に、勢いよく浸透する液晶でスペーサビーズが流されるのを防ぐためである。
【００３１】
なお、上記液晶検出時点でも液晶の浸透に勢いがあるため、通常のフィードバック制御のように、設定層厚と検出層厚の偏差に基づいて比例制御や比例，微分制御を行うと、第二室４５のエア圧すなわち液晶の供給圧力が急激に上昇し、スペーサビーズが流される可能性がある。そこで、バルブコントローラ９２は、液晶検出時点から過渡的制御を行う。すなわち、検出時点から検出層厚が設定層厚に達する時点までは、図３に示すように、時間の経過に比例して徐々にエア圧を上げるようにしている。なお、この時期、通常よりも定数を小さくして鈍い応答のフィードバック制御を実行することにより、エア圧の急激な上昇を抑えるようにしてもよい。
【００３２】
上記過渡的制御の後、本格的フィードバック制御を行う。すなわち、設定層厚と検出層厚の偏差に基づいて比例制御や比例，微分制御を行って、第二室４５のエア圧を制御する。これにより、光学検出装置７０の位置での液晶層厚、換言すれば基板２，３間のギャップが設定値に維持されるので、スペーサビーズが流されることなく、しかも最大限またはそれに近い圧力で液晶を供給できるので液晶の充填時間を短くすることができる。
【００３３】
なお、上記液晶供給の際に、液晶の圧力は導入ポート６で最も高い。接着剤４で接着された縁部１ａでは、液晶の圧力によるギャップの拡大は生じないが、この縁部１ａから短い距離離れた導入ポート６の近傍位置で、最もギャップが大きくなる。そこで、この位置に光学検出装置７０を配置してギャップを上記フィードバック制御することにより、スペーサビーズが流れるのをセル１の全域で防止できるのである。
【００３４】
図５の（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、液晶ＬＣの先端縁が導入ポート６から遠ざかるにしたがって、液晶ＬＣの広がり角度が小さくなるとともに、セル内の液晶ＬＣの抵抗が増大し、その結果、液晶の導入抵抗が徐々に増大する。そのため、第二室４５でのエア圧が一定であると仮定すると、セル１において導入ポート６の近傍での液晶圧力が徐々に上昇し、液晶層厚を増大させる傾向にある。しかし、本願発明では、上記液晶層厚の検出情報に基づくフィードバック制御により、図４に示すように第二室４５でのエア圧を徐々に低下させ、液晶層厚を設定値に維持することができる。
【００３５】
やがて、液晶がセル１の吸引ポート７近傍に達すると、光学検出装置８０でこの液晶を検出する。この液晶検出から所定時間経過した時点で、電磁開閉弁Ｖ１を閉じ、電磁開閉弁Ｖ１１を閉じることにより、真空吸引，加圧液晶供給を停止する。
【００３６】
上記液晶供給の後に真空度調節を実行する。すなわち、吸引コネクタ１０の圧力を時間をかけて（例えば１０数分かけて）大気圧に戻す。詳述すると、液晶供給終了直後に、吸引通路１２の負圧の程度を１Ｔｏｒｒからー７５０ｍｍＨｇまで緩和する。以後、−７５０ｍｍＨｇから徐々に大気圧まで戻す。この真空度調節は、バルブコントローラ９１により、電磁開閉弁Ｖ２，Ｖ３を交互に開くことによって行う。
【００３７】
吸引コネクタ１０が大気圧に戻った後、コネクタ１０，２０をセル１から後退させて導入ポート６，吸引ポート７から取り外し、それからセル１を所定位置から取り外す。セル１の取り外し前または取り外し後に、セル１の導入ポート６と吸引ポート７を速やかに接着剤で封止し、紫外線で硬化させる。
【００３８】
本発明は、上記実施形態に制約されず、種々の態様が可能である。例えば、図１において、想像線で示すように、上記光学検出装置７０と同一構成の光学検出装置７０’を、セル１の中央に配置してもよい。そして、２つの光学検出装置７０，７０’からの検出層厚が両方とも設定層厚の上限以下となり、少なくとも１つが設定層厚の範囲に入るように、バルブコントローラ９２が電磁開閉弁Ｖ９，Ｖ１０を制御することにより、より一層確実にスペーサビーズが流れるのを防止できる。
【００３９】
液晶貯留装置３０は、加圧液晶供給手段を兼ねてもよい。この場合、ベローズ３３の上部空間は、液晶供給通路を介して供給コネクタ２０の受けポート２４ａに直接接続される。そして、ベローズ３３の縮み動作により加圧液晶をセル１に供給する。この場合、容器３１とベローズ３３の間の空間に供給されるエア圧が液晶層厚情報によってフィードバック制御される。
セル１は真空槽内にセットしてもよい。この場合、吸引コネクタは不要となる。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、液晶層厚の検出情報に基づき液晶の供給圧力をフィードバック制御することにより、セル内のスペーサビーズを流すことなく、短時間で液晶充填を行うことができる。
請求項２の発明によれば、液晶層厚検出手段がセルの導入ポート近傍すなわち、セルのうち液晶層厚が最も大きくなる位置に配置されているので、ここでの液晶層厚に基づくフィードバック制御により、確実にスペーサビーズが流れるのを防止できる。
請求項３の発明によれば、異なる位置での複数の液晶層厚検出情報に基づいてフィードバック制御を行うことにより、より一層確実にスペーサビーズが流れるのを防止できる。
請求項４の発明によれば、液晶の複屈折を利用して、液晶の層厚と相関関係にある透過光の波長を検出することにより、液晶の層厚を正確に検出することができる。
請求項５の発明によれば、液晶加圧手段がダイヤフラムで第一室と第二室に仕切ることにより構成され、第二室に導入されるガス圧により、ダイヤフラムを介して第一室の液晶を加圧するため、ガス圧制御に基づいて液晶の供給圧力を正確に制御することができる。
請求項６の発明によれば、ベローズを用いたことにより液晶加圧手段への液晶の補充を容易に行うことができ、しかも、撹拌により空気を抜いた液晶を補充することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態をなす液晶充填システムを示す概略図である。
【図２】同装置に用いられる光学検出装置の概略斜視図である
【図３】液晶の層厚と受光器で受光される光の波長との関係を示す図である。
【図４】液晶供給の際の経過時間とエア圧すなわち液晶の供給圧力との関係を示す図である。
【図５】液晶供給の際の液晶の先端縁の位置と液晶の広がり角度との関係を、（Ａ）〜（Ｄ）の順序で示すセルの平面図である。
【符号の説明】
１  セル
５  内部空間
６  導入ポート
１７  真空ポンプ（吸引手段）
２０  供給コネクタ
３０  液晶貯留装置（液晶貯留手段）
３３  ベローズ
３４  駆動手段
３５  撹拌手段
４０  液晶加圧装置（液晶加圧手段）
４１，４２  型
４３  ダイヤフラム
４４  第１室
４５  第２室
５３  吸引通路
５９  エア圧調節手段（ガス圧調節手段）
６１  液晶供給通路
６２  液晶補充通路
７０  光学検出装置（液晶層厚検出手段）
７１  光源
７２  受光器
７３，７４  偏光フィルタ
９２  バルブコントローラ（制御手段）
【図１】
0003679501.tif 000002
【図２】
0003679501.tif 000003
【図３】
0003679501.tif 000004
【図４】
0003679501.tif 000005
【図５】
0003679501.tif 000006