(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
核燃料集合体の支持格子を収容するチャンバーと、このチャンバー内の支持格子の溶接部にレーザ光を照射して溶接する溶接装置とが設けられ、
前記レーザ光の焦点を前記溶接部の端部に一致させた後、レーザー光の焦点を前記溶接部の端部に対してレーザー光の進行方向の前方または後方にずらしてデフォーカスさせ、レーザー光の焦点を前記溶接部の端部に対してレーザ光の光軸方向に−３ｍｍ〜−４ｍｍの範囲または＋１ｍｍ〜＋２ｍｍの範囲ずれた位置に設定して溶接することで、前記溶接部のヒュームの発生が少なく且つ溶接強度の高い溶接ナゲットが得られるようにしたレーザー光による溶接方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被溶接物の溶接部をチャンバー内でレーザー光によって溶接する溶接方法であって、例えば原子炉に使用される核燃料集合体の支持格子を製造する際に、各ストラップの交差部に設けた溶接部を溶接するための溶接方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば軽水炉の原子炉に使用される核燃料集合体は、上部ノズルと下部ノズルの間に複数の支持格子が所定間隔で配設され、計装用管及び複数の制御棒案内管が各支持格子と上部ノズル及び下部ノズルにそれぞれ固定され、更に各支持格子の格子空間に燃料棒が挿入されて保持されている。各支持格子は、薄板帯状のストラップを格子状に交差させて構成されている。
例えば図７に示す支持格子１では各ストラップ２が格子状に組み立てられて多数の格子空間３を形成した状態で各ストラップ２の溶接部Ｐがそれぞれレーザー溶接装置などでスポット溶接されている。この溶接部Ｐは互いに交差するストラップ２、２の略十字に交差する溶接タブで製作されている。更に一部の格子空間３には、制御棒案内管挿入用のスリーブ４が嵌挿されてストラップ２に形成された切り欠け部５との当接部が溶接されている。また内ストラップと外ストラップの交差部分では、内ストラップの両端に形成された溶接タブが外ストラップの溝にそれぞれ嵌合した交差部を溶接部として溶接している。
そのため支持格子１は組み立てられた状態で、上下面や側面等の多数の溶接部を溶接する必要がある。
支持格子１の溶接は、ガラス窓等を有する気密に封止されたチャンバー内で行われ、しかも溶接部の酸化を防ぐためにチャンバー内をＡｒやＨｅなどの不活性ガスに置換する必要があった。そしてレーザー溶接装置をチャンバーの外部に配設して、ガラス窓を通してレーザ光の焦点を溶接部の最もレーザー溶接装置に近い頂部に合わせて照射している。
【０００３】
この場合、溶接部の頂部に対する溶接初期のレーザー光のパワーが最も大きく、そのために、これら溶接部からヒュームが多量に発生してチャンバー内に滞留することになる。ヒュームがチャンバーのガラス窓に付着するとガラス窓が汚れてこれを透過するレーザー光のエネルギー効率が悪くなり、ガラス窓がヒューム等で汚れると溶接部へ到達するレーザー光が減衰し、溶接不良を引き起こすおそれがある。特に支持格子の場合、１回の溶接作業で溶接する箇所が多く、ガラス窓の汚れによるレーザー光の減衰は影響が大きかった。しかも、汚れたガラス窓を清掃したりチャンバー内に浮遊するヒュームを外部へ逃がすために１回の溶接毎に待ち時間を入れるとタクトタイムが長くなり、生産性が低下する欠点もあった。
このような問題を改善するために、下記特許文献１に記載の支持格子溶接装置では、チャンバーの角部から各ガラス窓に沿って不活性ガスを吹き出す供給ノズルが複数配設されている。そのため、溶接時にヒュームやプラズマ等が飛散してチャンバーのガラス窓に衝突・付着する直前に、供給ノズルから各ガラス窓に沿って吹き出される不活性ガスによって押し出されて排出される。
【特許文献１】特開２０００−２１４２８６公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のレーザー溶接装置では、チャンバー内に多数の不活性ガス供給ノズルを配設する必要があり、不活性ガスもチャンバー外部からチューブを介して各供給ノズルへ供給する必要があるため、不活性ガス供給ノズルの配設構成が複雑でコスト高になるという問題があった。
本発明は、このような実情に鑑みて、簡単な構成且つ低コストで、ヒュームやプラズマなどの溶接時の飛散物の発生を抑制できるようにしたレーザー光による溶接方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るレーザー光による溶接方法は、核燃料集合体の支持格子を収容するチャンバーと、このチャンバー内の支持格子の溶接部にレーザ光を照射して溶接する溶接装置とが設けられ、レーザ光の焦点を溶接部の端部に一致させた後、レーザー光の焦点を溶接部の端部に対してレーザー光の進行方向の前方または後方にずらしてデフォーカスさせ、レーザー光の焦点を溶接部の端部に対してレーザ光の光軸方向に−３ｍｍ〜−４ｍｍの範囲または＋１ｍｍ〜＋２ｍｍの範囲ずれた位置に設定して溶接することで、溶接部のヒュームの発生が少なく且つ溶接強度の高い溶接ナゲットが得られるようにしたことを特徴とする。
本発明によれば、支持格子の溶接部の端部に合焦させた後、溶接部の端部に対してレーザ光の光軸方向に−３ｍｍ〜−４ｍｍの範囲または＋１ｍｍ〜＋２ｍｍの範囲ずれた位置までデフォーカスさせて溶接することで、溶接部に照射されるレーザー光は合焦位置からずれているために或る焦点径が形成された状態で溶接部の端部に照射され、溶接部の領域でエネルギー密度が焦点位置よりも小さく且つ平坦化されており、そのために端部を含む溶接部は局所的に金属材料が蒸発するほど高温になることを防止できてプラズマやヒュームの発生を抑えられ、しかも焦点位置よりも溶接時間は長いが、徐々に溶融した液状の金属材料が周囲に張り出して所望の形状の溶接ナゲットを形成できる。即ち、ヒューム発生防止と溶接強度をバランスさせることができる。
尚、溶接部の端部とは、溶接装置に最も近い溶接部の頂部を含んでいる。溶接強度が高い溶接ナゲットとは、溶接部の端部に焦点を合わせて溶接して得られる程度の溶接ナゲットを含んでいる。
【０００６】
また、被溶接物は核燃料集合体の支持格子であり、支持格子の溶接部は局所的に金属材料が蒸発するほど高温になることを防止できてヒューム等の発生を抑えられ、溶融した液状の金属材料が各ストラップに張り出して略四角形状の溶接ナゲットを形成できる。
また、デフォーカスしたレーザ光の焦点は溶接部に対してレーザ光の光軸方向に−３ｍｍ〜−４ｍｍの範囲または＋１ｍｍ〜＋２ｍｍの範囲ずれた位置に設定したから、この範囲内であれば、溶接時にヒュームの発生を抑制して所要の強度を備えた溶接ナゲットを形成できる。
また、溶接部はインコネル合金からなっていてもよく、インコネル合金は熱伝導率が小さく融点も低いので、デフォーカスによってエネルギー密度の低いレーザー光のビームを比較的大きな範囲で溶接部に照射して、ヒューム等の発生を抑制しつつ時間をかけて溶融して溶接できる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明による溶接方法によれば、十分な強度の溶接ナゲットを形成できると共に、溶接部から金属材料が蒸発したりせずヒュームやプラズマの発生を抑制でき、チャンバーのガラス面の汚れを抑制できてレーザー光による溶接効率を良好にして生産性を向上でき、しかも低コストである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態を図１乃至図６により説明するが、上述の従来技術と同一または同様の部材、部品には同一の符号を用いて説明する。
図１及び図２に示す支持格子溶接装置１０において、基台１１ａと起立部１１ｂとを備えた断面視略Ｌ字状をなす基部１１が設けられ、基台１１ａ上には例えば平行な二条の線状のガイド１２が設けられ、このガイド１２上にチャンバー１３を支持する支持台１４がガイド１２に沿って摺動可能に取り付けられている。支持台１４は基台１１ａ上のガイド１２と略平行に配設された棒状のガイド軸１５の一端と螺合されており、ガイド軸１５は雄ねじが切られていて他端は起立部１１ｂに装着された正逆回転可能な駆動モータ１６の主軸と連結されている。そのため、駆動モータ１６を正逆回転させることで回転するガイド軸１５を介して支持台１４が起立部１１ｂに対して接近及び離間するように進退させられることになる。駆動モータ１６，ガイド軸１５及びガイド１２は駆動手段１７を構成する。
【０００９】
チャンバー１３は例えば略箱体形状をなす六面体とされていて、内部に支持格子１が収納されている。チャンバー１３の各面はレーザー光を透過する透明な材質、例えば石英ガラス等のガラス面で形成されており、支持格子１の対向する上面１ａ，下面１ｂに対向する一対のガラス面１８ａ，１８ｂと４枚のガラス側面１８ｃ，…とが金属などの枠部で保持されて構成され、内部を気密に封止している。支持格子１を構成する複数の内ストラップ及び外ストラップからなる各ストラップ２は例えばインコネル合金で製作されている。
チャンバー１３は例えば支持台１４に一の角部が下端に位置するように正面視略ひし形状に保持されている。チャンバー１３内の支持格子１も同様の姿勢で支持され、その各角部と辺部は四角枠形状の溶接治具２０によって保持されている。溶接治具２０は支持格子１の三つの角部で支柱２２ａ、２２ｂ、２２ｃに連結され、各支柱２２ａ、２２ｂ、２２ｃは背面側のガラス面１８ｂを貫通して起立部１１ｂに連結されている。尚、支柱２２ａ，２２ｂ，２２ｃはガイド軸１５と平行であり、チャンバー１３のガラス面１８ｂとの嵌挿部にはガスケットがそれぞれ装着されて気密にされている。
【００１０】
従って、チャンバー１３内の支持格子１は３本の支柱２２ａ、２２ｂ、２２ｃでチャンバー１３とは連結されることなく支持されている。支持格子１に対してチャンバー１３がガイド１２に沿って前後方向に摺動することで、チャンバー１３のガラス面１８ａ、１８ｂに対する支持格子１の位置を調整可能にしている。支持格子１の上面１ａは対向するチャンバー１３のガラス面１８ａと略平行に配置されている。
チャンバー１３の外側にはレーザー溶接装置２４として図示しないレーザー発振器に光ファイバー２５で接続されたレーザー発射ヘッド２６が配設され、チャンバー１３を通して支持格子１の溶接部２８などにレーザー光を照射して溶接するようになっている。レーザー発射ヘッド２６は支持格子１の上面１ａに対して平行な方向と直交する方向とに移動可能とされ、直交する方向に移動することで溶接部２８に対するレーザー光の焦点位置を調整可能としている。チャンバー１３内では、図示しない供給管路を通してＡｒやＨｅなどの不活性ガスが供給されることになる。
【００１１】
次に、レーザー発射ヘッド２６と支持格子１の溶接部２８との関係について図３及び図４により説明する。
図３、図４中、支持格子１の各ストラップ２，２の溶接タブ２ａ、２ａはそれぞれ切り込みを有する略長方形形状をなして突出していて、切り込みで平面視略十字形状をなすように相互に嵌合している。レーザー発射ヘッド２６はレーザー光Ｌの光軸Ｌｏが支持格子１の上面１ａに略直交するように対向して配設され、光軸Ｌｏは溶接タブ２ａ，２ａ及びストラップ２，２の交差線ｍに重なって延びている。
各溶接タブ２ａ、２ａの交差部の頂部Ｔ（端部）を通過して支持格子１の上面１ａに略平行な仮想線を基準線Ｓとすると、レーザー光Ｌの光軸Ｌｏは基準線Ｓに直交する直線になる。また、レーザー光Ｌの焦点ｆｏでの溶接初期のエネルギー密度が最も高いため、溶接タブ２ａ，２ａの頂部Ｔに焦点ｆｏを一致させて溶接すると、頂部Ｔで局部的に熱が上がり融点を超えて蒸発点となり金属蒸気がプラズマ化してヒュームが発生する。
これに対し、レーザー光Ｌを頂部Ｔに対して光軸Ｌｏに沿って前後方向に所定距離だけずれたデフォーカス位置に焦点ｆｏを設定すると、頂部Ｔを含む溶接部２８に照射されるビームの焦点径が或る範囲に設定され、この焦点径の範囲でエネルギー密度が平坦になり、局部的に熱が上昇して溶接部の材料が蒸発することが抑制される。
【００１２】
本実施の形態による支持格子溶接装置１０は上述のように構成されており、次にその溶接方法について説明する。
支持格子溶接装置１０のチャンバー１３内に不活性ガスを予め充填しておく。そして支持格子１の上面１ａのストラップ２，２同士の溶接部２８を溶接する場合、レーザー発射ヘッド２６を支持格子１の上面１ａに略直交させ、光軸Ｌｏを溶接部２８の交差線ｍに概略一致させて配設する。また、図２に示すように支持格子１の上面１ａからチャンバー１３のガラス面１８ａを所定距離だけ離間させておく。
溶接に際し、最初にレーザー発射ヘッド２６によるレーザー光Ｌの焦点ｆｏを溶接部２８の頂部Ｔに一致させる（図４（ａ）参照）。なお、この位置で溶接する場合には、図６（ａ）に示すように溶接部２８から各ストラップ２、２に溶融部が張り出す溶接強度の高い溶接ナゲット３０が形成されるが、同時に頂部Ｔで局部的に熱が上がり融点を超えて金属蒸気がプラズマ化してヒュームが発生する。
そして、図３及び図４（ｂ）に示すようにレーザー発射ヘッド２６を支持格子１方向へ微少距離づつ移動させて焦点ｆｏを溶接部２８の頂部Ｔから溶接タブ２ａ，２ａの交差線ｍに沿ってストラップ２、２の幅方向内側に順次移動していくと、溶接部２８の頂部Ｔに照射されるレーザー光Ｌの焦点径が大きくなる。すると、溶接部２８でのレーザー光のエネルギー密度が小さくなり加熱温度が次第に低くなるために、融点を越えて蒸発点に達して金属蒸気がプラズマ化することは抑制されるが、同時に形成される溶接ナゲット３０もデフォーカス距離に従って図６（ｂ）、（ｃ）に示すように次第に小さくなり、溶接強度が低下する。
そのため、溶接部２８の頂部Ｔから交差部ｍに重なる方向に焦点ｆｏを順次移動させてデフォーカスしながら図６（ａ）に示す十分な溶接強度の溶接ナゲット３０とプラズマ発生を抑制できる融点とをバランスさせる領域を追いこんで行くと、図３に示す範囲ａ３〜ａ４が得られる。この範囲ａ３〜ａ４内に焦点ｆｏが位置する場合に、プラズマが発生することなく、頂部Ｔに焦点ｆｏを位置させる(デフォーカス０)ことで得られる溶接ナゲット３０と同等の強度の大きい溶接ナゲット３０が形成されることになる。
尚、図４（ｂ）に示す溶接タブ２ａ，２ａの交差部ｍに重なる方向に焦点ｆｏを移動させることを−（マイナス）側のデフォーカスという。
【００１３】
また、上述の調整方向とは逆に、焦点ｆｏを溶接部２８の頂部Ｔから溶接タブ２ａ，２ａを離れてレーザー発射ヘッド２６に近づく方向に順次移動していくと、図４（ｃ）に示すようにレーザー光は合焦した後で拡径して溶接部２８に照射される焦点径が大きくなる。これを＋（プラス）側のデフォーカスという。この場合でも、マイナス側のデフォーカスと同様に、溶接部２８の加熱温度は次第に低くなり金属蒸気が発生してプラズマ化することは抑制されるが、同時に形成される溶接ナゲット３０も次第に小さくなり、溶接強度が低下する。そして、所定の範囲ａ１〜ａ２内に焦点ｆｏが位置する場合に、プラズマが発生することなく上述した強度の大きい溶接ナゲット３０が形成されることになる。
【００１４】
上記範囲ａ１〜ａ２またはａ３〜ａ４でデフォーカスすることで、焦点に集束した後または焦点に集束する前のレーザー光Ｌが溶接部２８に照射されてビームの焦点径がぼけて或る範囲に広がり、その焦点径の範囲内でエネルギー密度が比較的低く且つ平坦になる。そのため、合焦位置から外れた溶接部２８は局部的に熱が上昇して溶接部２８の金属が蒸発することが抑制され、且つ上記焦点径の範囲内における溶接部２８が熱で溶融し、液状の金属となって表面張力で十字状に交差しているストラップ２、２の各両側にそれぞれ引張られて平面視略四角形状のナゲット状に張り出すことになる（図６（ａ）参照）。
そのため、溶接タブ２ａ，２ａの金属がヒュームを発生させる程度に高熱になることなく溶接部２８を溶融させて、所定領域の溶接ナゲット３０を形成できる。
特に本実施の形態では、各ストラップ２がインコネル合金からなっており、インコネルは例えばジルカロイ合金等の他の金属と比較して熱伝導率が小さく融点も低いため、デフォーカスしたエネルギー密度の低いレーザー光を溶接部２８に照射して、ヒュームを発生させることなく比較的時間をかけて溶融させることができる。
従って、溶接部２８の溶接によってチャンバー１３のガラス面１８ａ、１８ｂ等が汚れたりチャンバー１３内にヒュームが浮遊することを抑制でき、外部からチャンバー１３内に照射するレーザー光の減衰を抑制できる。そのため、汚れたガラス面１８ａ等を清掃したりチャンバー１３内のヒュームを逃がすために１溶接毎に待ち時間を設定する必要がなく、複数箇所の溶接部２８を連続して溶接できるため、溶接効率を向上できる。
尚、支持格子１の下面における溶接タブ２ａ，２ａの溶接部２８は裏面のガラス面１８ｂ側からレーザー光を照射し、内ストラップと外ストラップの交差部はガラス側面１８ｃからレーザー光を照射してそれぞれ溶接することができる。
【００１５】
次に、実施の形態による支持格子溶接装置１０を用いた他の溶接方法を図５により説明する。図５（ａ）に示す溶接部２８は支持格子１の格子空間内にスリーブ４が装着された部分を示している。そして、スリーブ４の両側のストラップ２、２の交差部からなる溶接部２８を溶接する場合、−側にデフォーカスすると、図５（ｂ）に示すように溶接部２８に向かって集束するレーザー光Ｌの一部がスリーブ４に干渉して反射し、溶接部２８へ届かないという不具合が生じる。
このような場合には、＋側にデフォーカスするレーザー光を用いて溶接を行う。これによって図５（ｂ）に示すようにスリーブ４の近傍では、レーザー光の光束の外径が小さく形成され、スリーブ４との干渉を避けて良好な溶接部３０が得られることになる。
【００１６】
次に実施の形態で示す支持格子溶接装置１０を用いた行った支持格子１の溶接部２８の溶接試験について説明する。
溶接部２８の頂部Ｔに合焦したジャストフォーカスの状態をデフォーカス値０として、+（プラス）側と-（マイナス）側に１ｍｍづつ焦点ｆｏを光軸Ｌｏに沿って移動させてデフォーカス距離を変化させ、順次溶接部２８の溶接を行った。各溶接毎にヒュームの発生の有無、溶接ナゲット３０の形状と合否を目視で判定し、ショット数（タクトタイム）を計測した。
尚、溶接ナゲット３０の合否判定は、デフォーカス値０における溶接ナゲット３０の形状状態を合格基準として、同様な溶接ナゲットが得られたか否かによって判定した。図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各試験で製作した溶接ナゲット３０の平面形状と側面形状を示すものであり、それぞれＡ、Ｂ、Ｃとし、Ａは合格（デフォーカス値０での溶接ナゲット３０に相当する）、Ｂ，Ｃはナゲットの成長が不十分であり、不合格である。
【００１７】
レーザー溶接装置２４におけるパルス幅、パルス周波数、平均出力、ショット数等の溶接パラメータは、溶接部２８の頂部Ｔに合焦させた状態で溶接状態が良好になるように設定する。+側と-側へ１ｍｍ単位で順次デフォーカス値を変化させて溶接を行い、プラズマの発生しない溶接位置を追い込んでゆく。溶接部２８の溶け込み状態により、エネルギーが足りない状態であればショット数を増大させて入熱量を上げてゆく。また、ショット数だけで良好な溶接状態が得られない場合にはレーザー溶接装置２４の平均出力を少し上げる。
このようにして得られたヒュームの発生量と溶接ナゲット３０に関する試験結果は下記表１のとおりであった。
【００１８】
【表１】
0003660346.tif 000002
【００１９】
表１に示す結果から、＋側のデフォーカスでは+３ｍｍ〜+８ｍｍの範囲、−側のデフォーカスでは-５ｍｍ〜-８ｍｍの範囲でそれぞれヒュームの発生は防止できるものの、溶接ナゲット３０の形状が平面視で狭く側面視で浅いため、強度が小さく不合格であった。これらの場合、レーザー光のショット数を増やしても十分な溶接ナゲット３０は得られない。-１ｍｍ〜-２ｍｍの範囲では、溶接ナゲット３０は合格であったが、ヒュームの発生が多かった。
これに対し、+１ｍｍ〜+２ｍｍの範囲と−３ｍｍ〜−４ｍｍの範囲では、溶接ナゲット３０が合格で、しかもヒュームの発生が無いか極少であった。これらの場合、ショット数がジャストフォーカス時より多いが、ガラス面に付着したヒュームの清掃やチャンバー１３内のヒューム排出の時間が不要または少なくできるために、生産効率は高かった。
【００２０】
上述のように本実施の形態によれば、支持格子１の溶接部２８をレーザー溶接する際に、ヒュームの発生を防止できるためにチャンバー１３のガラス面１８ａ、１８ｂ、１８ｃの汚れを防止してガラス面の清掃やチャンバー１３内のヒューム逃がし等のための待ち時間を１溶接毎に設ける必要がなく、溶接強度の高い溶接ナゲット３０を形成できて溶接効率と生産性を向上できる。
【００２１】
尚、上述の実施の形態では、溶接される支持格子１のストラップ２をインコネル合金で製作したが、本発明はこれに限定されることなく、ジルカロイ合金等の他の金属材料であってもよい。例えば、ジルカロイ合金であってもデフォーカス状態でエネルギー照射して、レーザー光の広い照射範囲に亘ってプラズマが発生しない程度に高エネルギーが得られれば、同様にヒュームの発生が無いか極少の溶接方法が得られる。
また、焦点ｆｏのデフォーカス位置の調整は、レーザー発射ヘッド２６の移動に代えて、支持格子１の移動やレーザー光の焦点距離の調整によって行なってもよい。
また、本発明は支持格子１だけでなく、他の燃料集合体の部品や他の被溶接物の溶接にも適用できる。レーザー光によるデフォーカスの方向は必ずしも被溶接物に直交する方向でなくてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態による支持格子溶接装置の要部構成を説明するための正面図である。
【図２】図１に示す支持格子溶接装置で支持格子の溶接部を溶接する状態を示す側面図である。
【図３】支持格子の溶接部とレーザー光との位置関係を説明する斜視図である。
【図４】支持格子の溶接部とレーザー光の焦点との位置関係を示す図で、（ａ）はジャストフォーカス状態、（ｂ）は−側のデフォーカス状態、（ｃ）は＋側のデフォーカス状態を示す図である。
【図５】（ａ）は支持格子の格子空間にスリーブを有する部分の部分平面図、（ｂ）は同図（ａ）におけるＡ−Ａ線側面図である。
【図６】溶接ナゲットの平面図と側面図を示す図であって、（ａ）は合格Ａの溶接ナゲット、（ｂ）は不合格Ｂの溶接ナゲット、（ｃ）は不合格Ｃの溶接ナゲットである。
【図７】ストラップの交差部に設けた溶接部を溶接した状態を示す支持格子の部分斜視図である。
【符号の説明】
【００２３】
１  支持格子
２  ストラップ
２ａ  溶接タブ
１３  チャンバー
１８ａ，１８ｂ  ガラス面
１８ｃ  ガラス側面
２４  レーザー溶接装置（溶接装置）
２６  レーザー発射ヘッド（溶接器）
２８  溶接部
３０  溶接ナゲット
Ｔ  頂部（端部）
【図１】
0003660346.tif 000003
【図２】
0003660346.tif 000004
【図３】
0003660346.tif 000005
【図４】
0003660346.tif 000006
【図５】
0003660346.tif 000007
【図６】
0003660346.tif 000008
【図７】
0003660346.tif 000009