(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クイル軸と、
このクイル軸の軸方向に対して所定角度傾斜した状態で該クイル軸に固定される中空軸状のステータと、
このステータの外径に僅かな隙間を介して遊嵌すると共にツールが装着されるロータと、
上記ステータの外周面とロータの内周面が互いに対向して形成され、上記ステータに対して上記ロータの回転を支承するラジアル動圧軸受と、
上記ロータをその軸方向から挟むようにして一対設けられ、かかるロータの軸方向への移動を規制するスラスト動圧軸受と、
上記クイル軸と中空軸状ステータに挿通されると共にその先端が該ステータから突出し、モータによって回転させられる駆動ワイヤと、
前記ステータの先端及び一方のスラスト動圧軸受を覆うようにして上記ロータに螺合し、上記ツールをロータ上に固定する一方、回転中心には上記駆動ワイヤの先端が固定され、上記ロータに駆動ワイヤの回転動力を伝達するツール固定部材とから構成されていることを特徴とするスピンドル装置。
【請求項２】
請求項１記載のスピンドル装置において、上記駆動ワイヤは素線を寄り合わせて形成することによってその表面にスパイラル状の凹凸が形成されており、上記クイル軸内での回転に伴ってその周面に潤滑液を巻き込むことを特徴とするスピンドル装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載のスピンドル装置において、上記駆動ワイヤはクイル軸内に所定間隔で設けられた複数個のガイドリングに挿通された状態で回転自在に支承され、かかるガイドリングの内径は駆動ワイヤの挿通方向に沿って曲面状に形成されていることを特徴とするスピンドル装置。
【請求項４】
請求項１記載のスピンドル装置において、上記クイル軸が多数の腕部材を連結して多関節に形成されていることを特徴とするスピンドル装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機械等において工具もしくは被加工物をスピンドル主軸たるロータに保持して回転するスピンドル装置に係り、詳細には、動圧軸受を用いてロータの回転を支承した小型で且つ高速回転に適したスピンドル装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、研削盤等の工作機械に用いられるスピンドル装置では、工具あるいは被加工物が固定されるロータを転がり軸受で回転自在に支承すると共に、このロータに対してプーリ及びベルトからなる動力伝達系を介してモータの回転動力を伝達するものが一般的であった。
【０００３】
しかしながら、近年では被加工物に対する高精密加工の要請から小型で且つ主軸回転数の高いスピンドル装置が必要とされており、ベルトによってモータとロータを結合する従来のスピンドル装置では、このような小型化及び高速化の要求に十分に応えることかできなかった。また、従来のスピンドル装置ではロータの回転数を高速化した場合に、ロータを支えている転がり軸受に振動あるいは焼きつきが発生し、ロータの回転数を高精密加工に十分な速度にまで高めることができなかった。
【０００４】
そこで、このような小型化及び高速化の要請に応えるものとして、特開平９−８８９５７号公報、特開平１０−９６４２４号公報には、タービンを用いてロータを回転駆動するるスピンドル装置が提案されている。具体的には、固定軸の外径に対して所定の軸受隙間を保って円筒状ロータを遊嵌させると共に、かかるロータの両端にはやはり所定の軸受隙間を保って一対のスラスト板を固定軸に配設し、上記固定軸とロータとの間でラジアル動圧軸受を構成する一方、上記ロータの一方の端面とこれに対向するスラスト板との間でスラスト動圧軸受を構成し、更に、上記ロータの他方の端面には上記固定軸を通して径方向へ加圧流体が吹き込まれるタービンを形成したものである。
【０００５】
そして、このようなタービン駆動のスピンドル装置によれば、ロータの端面に形成されたタービンに対して僅かな流量の加圧流体を吹き込むだけで、かかるロータに対して毎分数万回転の極めて高い回転数を与えることができ、しかもロータの回転に伴って発生する動圧で該ロータの回転を支承していることから、極めてコンパクトに該スピンドル装置を構成することができた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このようなタービン駆動によるスピンドル装置では、例えばロータに保持した砥石で円筒状部材の内周面の研削加工を実施する場合等には、タービンの外径を大きく設計することができず、結果的にタービンの発生する回転トルクが不足してしまうといった不都合があった。特開平１０−９６４２４号公報に記載のスピンドル装置ではタービンから排出される加圧流体を整流カバーで特定の方向へ導き、タービンに吹き込まれる加圧流体の流量の増加等によってかかる問題点の解決を試みたが、より一層小さな径の内周面を研削するためには更なるタービンの小型化が必要であり、タービン駆動によって研削加工に必要とする回転トルクを発生させるのには限界があった。
【０００７】
本発明はこのような問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、スピンドル装置の更なる小型化を図り、内径の小さな円筒状部材の内周面の研削加工等を高速で且つ高精度に行い得るスピンドル装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のスピンドル装置は、クイル軸と、ツールが装着されるロータと、上記クイル軸の軸方向に対して所定角度傾斜した状態で該クイル軸に固定されたステータと、このステータに対して上記ロータの回転を支承するラジアル動圧軸受と、上記ロータの軸方向への移動を規制する一対のスラスト動圧軸受と、上記クイル軸内に挿通されると共に上記ロータにモータの回転動力を伝達する駆動ワイヤとから構成されることを特徴とするものである。
【０００９】
このような技術的手段によれば、クイル軸内に挿通された駆動ワイヤをモータによって回転させると、かかる駆動ワイヤは捩れながらモータの回転をロータに伝達し、これによってロータが回転を開始する。ロータが回転を開始すると、上記ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受ではその軸受隙間に高圧の流体潤滑膜が形成され、ロータはステータに対して非接触の状態で軽く回転する。この場合、モータの回転トルクは駆動ワイヤによってロータに伝達されるから、駆動ワイヤの捩じり剛性が十分に大きい場合はロータに対して十分に大きな回転トルクを伝達することができる。従って、タービンでロータを駆動する場合のように該ロータの径が回転トルクの大きさに影響を及ぼすことはなく、タービン駆動の場合よりもロータの径を小さくすることができる。
【００１０】
このようなスピンドル装置は、上記ロータがステータの外側で回転する所謂アウターロータタイプのものでも、ロータがステータの内側で回転する所謂インナーロータタイプのものでも差し支えない。すなわち、前者のアウターロータタイプにあっては、上記ステータが中空軸状に形成されて上記クイル軸に固定されると共に、上記ロータが中空軸状ステータの外径に僅かな隙間を介して遊嵌し、かかる中空軸状ステータの外周面とロータの内周面とで上記ラジアル動圧軸受が構成される一方、上記駆動ワイヤが中空軸状ステータに挿通されると共に、その先端が中空軸状ステータを覆うようにしてロータに装着されたツール固定部材に固定される。
【００１１】
但し、このようなアウターロータタイプとした場合には、ステータを中空軸状に形成する分だけロータが大型化し、また、ツール固定部材を介して駆動ワイヤをロータに固定する分だけ装置構成が複雑になる。従って、かかる観点からすれば後者のインナーロータタイプ、すなわち上記ステータが円筒状に形成されて上記クイル軸に固定されると共に、上記ロータが円筒状ステータの内径に僅かな軸受隙間を介して遊嵌し、かかる円筒状ステータの内周面とロータの外周面とで上記ラジアル動圧軸受が構成される一方、上記駆動ワイヤの先端が上記ロータの軸方向の一端に固定されているのが好ましい。
【００１２】
また、上記駆動ワイヤはクイル軸内においてロータと同一の回転数で高速回転することとなるが、かかる駆動ワイヤがクイル軸の内壁と擦れ合って焼きつくのを防止するという観点からすれば、上記駆動ワイヤは金属繊維や炭素繊維からなる素線を寄り合わせてその表面にスパイラル状の凹凸が表れるように形成するのが好ましい。このように駆動ワイヤを形成すれば、かかる駆動ワイヤがクイル軸内で回転すると、クイル軸内に潤滑液を注油した際に駆動ワイヤ自らが潤滑液を巻き込む結果となり、駆動ワイヤの表面に対する潤滑液の供給を自ずと行うことが可能となる。
【００１３】
更に、クイル軸内における駆動ワイヤの振れ回りを防止するためには、クイル軸内に所定の間隔で駆動ワイヤのガイドリングを配設し、かかるガイドリング内に駆動ワイヤを挿通させるのが好ましい。この場合、駆動ワイヤがガイドリングに焼きつくのを防止するという観点からすれば、かかるガイドリングの内径は駆動ワイヤの挿通方向に沿って曲面状に形成されているのが好ましい。このように構成すれば、ガイドリングと駆動ワイヤの接触面積を可及的に減じることができ、また、ガイドリングと駆動ワイヤとの間に潤滑液が侵入し易くなるので、前述した焼きつきの問題を回避することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて本発明のスピンドル装置を詳細に説明する。
◎第１実施例
図１は本発明をボールねじナットの研削加工用スピンドル装置に適用した第１実施例を示すものである。同図において、符号１は砥石の送り量に応じて軸方向（紙面左右方向）へ進退するクイル軸、符号２はクイル軸１の先端に突設された中空軸状のステータ、符号３はこのステータの外径に遊嵌すると共にツールである砥石１０を装着したロータ、符号４は上記クイル軸及びステータに挿通されると共に図示外のモータの回転駆動力を上記ロータに伝達する駆動ワイヤである。
【００１５】
先ず、上記ステータ２はセラミクス材から形成され、その一端には上記クイル軸１に固定される取付部２１を備えると共に他端には上記ロータ３が遊嵌するジャーナル部２２を備え、これら取付部２１とジャーナル部２２との間にはロータ３の一方の端面に対向するフランジ状のスラスト板２３が突設されている。また、ステータ２の中心には上記駆動ワイヤ４を挿通させるための貫通孔２４が形成されており、この貫通孔２４には駆動ワイヤ４を極僅かな隙間を介して案内するガイドシャフト５が嵌合している。
【００１６】
このガイドシャフト５は上記ステータ２の貫通孔２４に対して取付部２１側から挿入され、後端のフランジ部５１が上記ステータ２の取付部２１の内径に螺合して固定されるようになっている。また、ステータ２に固定された状態では、ガイドシャフト５の先端がステータ２のジャーナル部２２から突出するように構成されており、この突出したガイドシャフト５の先端に止めねじ６を用いてスラスト板７が固定され、かかるスラスト板７がロータ３の端面と対向するようになっている。
【００１７】
上記ロータ３の内周面はステータ２のジャーナル部２２の外周面と７．５μｍの軸受隙間を介して対向してラジアル動圧軸受を構成しており、上記ジャーナル部２２の外周面にはヘリングボーンパターンの動圧発生溝（図示せず）が形成されている。また、上記スラスト板２３，７の一面は各々ロータ３の端面と７．５μｍの軸受隙間を介して対向してスラスト動圧軸受を構成しており、ロータ３の両端面にはスパイラルパターンの動圧発生溝（図示せず）が形成されている。これらラジアル動圧軸受とスラスト動圧軸受の軸受隙間は連通連結されており、これらの軸受隙間に対してはクイル軸１に形成された流体供給路１１から潤滑流体が流入するようになっている。
【００１８】
ここで、上記ラジアル動圧軸受においては、ロータ３の回転に伴って軸受隙間の潤滑流体がスラスト板２３からスラスト板７の方向へ加圧されるように動圧発生溝が形成される一方、上記スラスト動圧軸受においては、ロータ３の回転に伴って軸受隙間の潤滑流体が各スラスト板２３，７の内径から外径へ向けて加圧されるように動圧発生溝が形成されている。従って、ロータ３が回転すると、潤滑流体は上記流体供給路１１から図１中の白抜き矢印の如く流動し、最終的に各スラスト動圧軸受の外周側から排出される。
【００１９】
一方、上記砥石１０は砥石ホルダ８を介してロータ３の外周に嵌合しており、かかる砥石ホルダ８はロータ３に螺合する砥石固定部材（ツール固定部材）９によって該ロータ３上に固定されている。この砥石固定部材９はステータ２の貫通孔２４から突出したガイドシャフト５の先端を覆うように設けられており、その回転中心にはガイドシャフト５から突出した駆動ワイヤ４の先端が固定されている。すなわち、この砥石固定部材９は駆動ワイヤ４の回転をロータ３に伝達するジョイントの役割を果たしている。
【００２０】
従って、この研削加工用スピンドル装置では、図示外のモータに連結された駆動ワイヤ４を回転させると、上記砥石固定部材９を介して駆動ワイヤ４の回転がロータ３に伝達され、かかるロータ３が回転する。ロータ３が回転を開始すると、上記ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受の各軸受隙間に介在する潤滑流体が加圧されて、かかる軸受隙間には高圧の流体潤滑膜が形成され、ロータ３はステータ２及びスラスト板７，２３に対して非接触の状態で軽快に回転する。
【００２１】
もっとも、このスピンドル装置はボールねじナットの内周面に形成された螺旋状のボール転走溝を研削する目的で使用されることから、ロータ３及びステータ２は上記ボール転走溝のリード角αと同一の角度だけクイル軸１の軸方向に対して傾斜しており、上記駆動ワイヤ４はクイル軸１からステータ２に挿通される手前で角度αだけ屈曲し、ドライブシャフトとしての機能の他、自在継手としての機能をも併せて発揮している。
【００２２】
このように駆動ワイヤ４をクイル軸１からステータ２へ挿通させる手前で屈曲させた場合、かかる位置では駆動ワイヤ４の振れ回りが生じ易いことから、この実施例のスピンドル装置では駆動ワイヤ４をステータ２内のガイドシャフト５に導く位置に振れ回り防止リング１２を設け、当該位置で駆動ワイヤ４に曲げ応力が集中するのを可及的に防止している。この振れ回り防止リング１２にはクイル軸１からガイドシャフト５へ向けて先細りとなったテーパ状のガイド孔１３が形成されており、このガイド孔１３に挿通された駆動ワイヤ４が極端に屈曲するのを防止している。また、このガイド孔１３の内周面にはスパイラル状の溝（図示せず）が形成されており、駆動ワイヤ４に付着した潤滑油が該駆動ワイヤ４の回転に伴ってガイドシャフト５内に流入し易いように構成されている。
【００２３】
そして、以上のように構成された本実施例のスピンドル装置によれば、クイル軸及びステータ内を挿通された駆動ワイヤによってモータの回転駆動力をロータに伝達しているので、タービンによってロータを回転駆動している従来のスピトンドル装置に比べ、かかるロータの径を小型化することができ、しかもロータに対して研削加工に必要十分な回転トルクを与えることができるものである。この実施例のスピンドル装置を実際に製作して使用して見たところ、内径１４ｍｍ、ボール転走溝のリード角１５°のボールねじナットの研削加工を行うことができ、そのときのロータの回転数は２００００ｒｐｍ、ロータの剛性は１２ｋＮ／μｍ、負荷容量は２６ｋＮであった。
【００２４】
◎第２実施例
図２は本発明を適用した研削加工用スピンドル装置の第２実施例を示すものである。前述の第１実施例のスピンドル装置はステータ２の周囲を円筒状のロータ３が回転する所謂アウターロータタイプに構成したが、ロータの更なる小型化及び構成の簡略化を図るため、この第２実施例のスピンドル装置は円筒状のステータ６１の内径でロータ６２が回転する所謂インナーロータタイプに構成されている。
【００２５】
すなわち、図２に示すように、ステータ６１は円筒状に形成されると共に、クイル軸６０に所定の角度で傾斜して形成された貫通孔６３の内径に固定されている。また、砥石６４が装着されたロータ６２は上記ステータ６１の内径に遊嵌している。かかるロータ６２はステータ６１の内径に遊嵌するジャーナル部６５及びこのジャーナル部６５の一端にフランジ状に突設されたスラスト板６６を具備しており、上記ジャーナル部６５は上記スラスト板６６をステータ６１の一方の端面に対向させるようにして該ステータ６１の内径に挿入されている。また、ステータ６１に挿入されたジャーナル部６５の先端はステータ６１の内径から突出しており、かかる突出端には砥石６４を保持した砥石ホルダ６７が止めねじ６８によって固定され、砥石ホルダ６７の側面がステータ６１の端面と対向している。
【００２６】
ステータ６１の内周面とロータ６２のジャーナル部６５の外周面は７．５μｍの軸受隙間を介して対向してラジアル動圧軸受を構成しており、かかるジャーナル部６５の外周面にはヘリングボーンパターンの動圧発生溝（図示せず）が形成されている。また、上記スラスト板６６及び砥石ホルダ６７とこれに対向するステータ６１の各端面とは７．５μｍの軸受隙間を介して対向してスラスト動圧軸受を構成しており、ステータ６１に対向する砥石ホルダ６７の側面には図３に示すようにスパイラルパターンの動圧発生溝６９が形成されている。また、ロータ６２に具備されたスラスト板６６の側面にも同様の動圧発生用溝が形成されている。これらラジアル動圧軸受とスラスト動圧軸受の軸受隙間は連通連結されており、これらの軸受隙間に対してはクイル軸６０に形成された流体供給路７０から潤滑流体が流入するようになっている。このため、上記ステータ６１の軸方向の中央部分には流体供給路７０からラジアル動圧軸受の軸受隙間に連通する供給孔７１が外径から内径へ貫通している。
【００２７】
ここで、上記ラジアル動圧軸受においては、ロータ６２の回転に伴って軸受隙間の潤滑流体がステータ６１に対する供給孔７１の開設位置からスラスト板６６及び砥石ホルダ７７の方向へ加圧されるように動圧発生溝が形成される一方、上記スラスト動圧軸受においては、ロータ６２の回転に伴って軸受隙間の潤滑流体がスラスト板６６及び砥石ホルダ６７の内径から外径へ向けて加圧されるように動圧発生溝が形成されている。従って、ロータ６２が回転すると、潤滑流体は上記流体供給路７０から供給孔７１を介して図２中の白抜き矢印の如く流動し、最終的に各スラスト動圧軸受の外周側から排出される。
【００２８】
前述の第１実施例の如くアウターロータタイプのスピンドル装置では、図１に示すように、ラジアル動圧軸受の半径方向に重ねて砥石６４等のツールを配置することができるが、この第２実施例の如くインナーロータタイプのスピンドル装置では、ラジアル動圧軸受と砥石６４等のツールを軸方向にずらして配置せざるを得ず、ツールに作用したラジアル荷重によってラジアル動圧軸受にはモーメント荷重が作用し易い。従って、前述の如くラジアル動圧軸受の軸受隙間に存在する潤滑流体をスラスト板６６及び砥石ホルダ７７の方向へ加圧するように構成すると、ラジアル動圧軸受の軸方向の両端において流体潤滑膜の圧力が高まるので、かかるラジアル動圧軸受がより大きなモーメント荷重を負荷するのに適した構造、すなわちインナーロータタイプのスピンドル装置に適した構造となる。
【００２９】
一方、クイル軸６０に挿通された駆動ワイヤ７２はその先端がロータ６２の一端に螺合しており、第１実施例とは異なり、図示外のモータの回転駆動力を直接ロータ６２に伝達するようになっている。図４に示すように、クイル軸６０には駆動ワイヤ７２の挿通孔７３が設けられており、この挿通孔７３の内部には駆動ワイヤ７２の回転を支承するためのセラミクス製ガイドリング７４が所定間隔で複数配列されている。このガイドリング７４は駆動ワイヤ７２の回転中における振れ回りやおどり現象を防止する目的で設けられており、かかる目的を達成するためにガイドリング７４の内径と駆動ワイヤ７２との隙間量は１００μｍ以下に抑えられている。また、かかる隙間量が余りに小さいとガイドリング７４の内径と駆動ワイヤ７２との間に潤滑油が入り込み難く、加えて駆動ワイヤ７２をガイドリング７４に挿通する作業も困難になることから、かかる隙間は１０μｍ以上に設定されている。更に、このガイドリング７４は、図５に示すように、その内径が駆動ワイヤ７２の挿通方向に沿って曲面状に形成されており、高速で回転する駆動ワイヤ７２との接触面積を極力少なくし、ガイドリング７４に対する駆動ワイヤ７２の焼き付きを防止するように構成されている。尚、ガイドリング７４の断面形状は図６に示す如く円形状であっても良く、この場合でも同様の効果を得ることができる。
【００３０】
本実施例のスピンドル装置もボールねじナットの研削加工用であるため、クイル軸６０の軸方向とロータ６２の回転軸方向とが所定の角度で交わっており、上記駆動ワイヤ７２は第１実施例と同様に動力の伝達方向を偏向する自在継手の役割を果たしている。従って、ロータ６２に高速回転を与えつつ長期にわたって使用するためには、かかる駆動ワイヤ７２が曲げ応力に強いものでなければならない。そのため、本実施例では金属繊維又は炭素繊維等を寄り合わせて駆動ワイヤ７２を製作した。また、駆動ワイヤ７２に付着した潤滑油がガイドリング７４と駆動ワイヤ７２との隙間に入り込み易くするため、図５に示すように、駆動ワイヤ７２の表面にスパイラル状の凹凸が形成されるようにした。駆動ワイヤ７２の表面にこのようなスパイラル状の凹凸を形成すれば、かかる駆動ワイヤ７２の回転に伴って潤滑油がガイドリング７４の内径に巻き込まれ、ガイドリング７４と駆動ワイヤ７２との隙間を容易に潤滑することが可能となる。
【００３１】
また、このスピンドル装置では、図４に示すように、駆動ワイヤがロータへの連結のために湾曲する位置に多数のガイドリング７４を配列し、駆動ワイヤを緩やかに湾曲させることで該駆動ワイヤの局所に曲げ応力が集中するのを防止している。
【００３２】
そして、以上のように構成された本実施例の研削加工用スピンドル装置では、図示外のモータに連結された駆動ワイヤ４を回転させると、第１実施例と同様に駆動ワイヤ４の回転がロータ３に伝達され、かかるロータ３が砥石と共に回転する。また、ロータ３が回転を開始すると、上記ラジアル動圧軸受及びスラスト動圧軸受の各軸受隙間に介在する潤滑流体が加圧されて、かかる軸受隙間には高圧の流体潤滑膜が形成され、ロータ３はステータ２及びスラスト板７，２３に対して非接触の状態で軽快に回転する。この点も第１実施例の装置と同じである。
【００３３】
但し、本実施例のスピンドル装置はインナーロータタイプに構成していることから、駆動ワイヤ７２をロータ６２の回転中心に対して直接連結することができ、また、ロータ６２に対する止めねじ６８の螺合のみで砥石６４をロータ６２から取り外すことができるようになっている。従って、第１実施例のスピンドル装置に比べて簡易な構成となっており、また、ロータ６２の外径を更に小型化することができるといった利点を備えている。この第２実施例のスピンドル装置を実際に製作して使用して見たところ、第１実施例のスピンドル装置では研削することができなかった内径５ｍｍ、ボール転走溝のリード角３０°のボールねじナットの研削加工を行うことができ、そのときのロータの回転数は５００００ｒｐｍ、ロータの剛性は３０ｋＮ／μｍ、負荷容量は６５ｋＮであった。
【００３４】
◎第３実施例
図７は第２実施例のスピンドル装置を多関節のロボットハンドに応用した例を示すものである。本発明のスピンドル装置では駆動ワイヤでモータの回転駆動力をロータに伝達しており、モータからロータ経動力を伝達する経路においてその伝達方向が偏向しても駆動ワイヤそれ自体が自在継手として機能するので、かかる伝達方向が大きく偏向しない限りは支承なくロータを回転駆動することができる。
【００３５】
従って、図７の如くクイル軸８０を多数の腕部材８１を連結した多関節に構成しても、各腕部材８１に配列されたガイドリング７４によって駆動ワイヤ７２を緩やかに湾曲させて案内すれば、かかるクイル軸８０の先端に装着したロータ６２に対してモータの回転駆動力を伝達することができる。そして、このようにクイル軸８０を自在に屈曲可能な多関節に構成すれば、図７如く小型カメラ８２をクイル軸８０の先端に搭載し、これをロボットハンドに応用することにより、一層複雑な形状の機械加工等にこのスピンドル装置を適用することも可能となる。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明のスピンドル装置によれば、駆動ワイヤによってモータの回転駆動力がツールを装着したロータに伝達され、タービンによってロータを回転駆動する場合と比べ、ロータの径を小型化しても十分な回転トルクをロータに対して与えることができるので、スピンドル装置の一層の小型化を図ることができ、内径の小さな円筒状部材の内面の研削加工等を高速で且つ高精度に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のスピンドル装置の第１実施例を示す断面図である。
【図２】本発明のスピンドル装置の第２実施例を示す断面図である。
【図３】第２実施例に係るスピンドル装置のクイル軸の全体を示す断面図である。
【図４】第２実施例に係るスピンドル装置の砥石ホルダを示す断面図及び側面図ある。
【図５】第２実施例に係るスピンドル装置のガイドリングと駆動ワイヤとの関係を示す図である。
【図６】第２実施例に係るスピンドル装置のガイドリングのその他の例を示す図である。
【図７】本発明のスピンドル装置の第３実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
１…クイル軸、２…ステータ、３…ロータ、４…駆動ワイヤ、１０…砥石（ツール）
【図１】
0003617602.tif 000002
【図２】
0003617602.tif 000003
【図３】
0003617602.tif 000004
【図４】
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【図５】
0003617602.tif 000006
【図６】
0003617602.tif 000007
【図７】
0003617602.tif 000008