(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
反応層より下側に選択透過膜を有し、該反応層より外側に制限透過膜を有するバイオセンサであって、
上記制限透過膜の下地層上に非有機溶剤を剥離液とする感光性材料により設けられた微小な複数の突起部と、
上記複数の突起部の周囲に設けた不透水性膜とを具備し、
上記複数の突起部を除去して上記不透水性膜を残して微小な複数の小開口を有する上記制限透過膜と成したことを特徴とするバイオセンサ。
【請求項２】
前記バイオセンサが電流検出型のバイオセンサであることを特徴とする請求項１記載のバイオセンサ。
【請求項３】
前記バイオセンサがグルコースセンサであることを特徴とする請求項１記載のバイオセンサ。
【請求項４】
前記バイオセンサが過酸化水素電極とグルコース酸化酵素からなるグルコースセンサであることを特徴とする請求項１記載のバイオセンサ。
【請求項５】
前記バイオセンサがイオン感応性電界効果型トランジスタをトランスデューサとして用いたバイオセンサであることを特徴とする請求項１記載のバイオセンサ。
【請求項６】
反応層より下側に選択透過膜を有し、該反応層より外側に制限透過膜を有するバイオセンサの製造方法であって、
上記制限透過膜の下地層上に非有機溶剤を剥離液とする感光性材料を用いて微小な複数の突起部を形成する工程と、
上記突起部の周囲に不透水性膜を形成する工程と、
上記突起を除去する工程とから成ることを特徴とするバイオセンサの製造方法。
【請求項７】
前記感光性材料の剥離液が水酸化ナトリウム水溶液であることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法。
【請求項８】
前記不透水性膜が８０℃以下で硬化可能な樹脂であることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法。
【請求項９】
前記不透水性膜がシリコーン、ポリウレタン、ポリアクリル酸、フッ素樹脂のいずれかを主成分とすることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法。
【請求項１０】
前記突起部が円柱状または円錐状であることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法。
【請求項１１】
前記感光性材料を露光する工程において、オーバー露光またはアンダー露光にさせて、前記突起部を正規の条件で露光したときよりも細らせることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法。
【請求項１２】
前記突起部の直径が１μｍ以下であることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法。
【請求項１３】
前記制限透過膜の開口率が０．０１〜１０％であることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法。
【請求項１４】
前記バイオセンサを同一基板上に同時に複数個作製することを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は水溶液中の特定成分を定量するバイオセンサ及びバイオセンサの製造方法に係わり、特に反応層より内側に選択透過膜を有し、反応層より外側に制限透過膜を有するバイオセンサの制限透過膜の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、医療や分析の分野においてバイオセンサを用いた計測が盛んに行なわれている。バイオセンサの中では電流検出型のグルコースセンサが良く知られている。このグルコースセンサは血糖値や尿糖値の測定に広く利用されている。
【０００３】
最も一般的なグルコースセンサではグルコース酸化酵素（ＧＯＸ）を用いてグルコースがグルコノラクトンと過酸化水素に変換される反応を利用している。すなわち、下記の（１）式の様に反応する。
グルコース  ＋  Ｏ2   →    グルコノラクトン  ＋  Ｈ2 Ｏ2 ・・・（１）
（Ｃ6 Ｈ12Ｏ6 ）    ＧＯＸ  （Ｃ6 Ｈ10Ｏ6 ）
この（１）式で生成した過酸化水素を作用極で酸化して反応量を電流値として検出する。電極での反応は（２）式の通りである。
Ｈ2 Ｏ2 →Ｏ2 ＋２ｅ- ＋２Ｈ2 + ・・・（２）
【０００４】
（１）及び（２）式から明らかなように、グルコースに比べてＯ2 が過剰に存在する場合には、溶液中のグルコース濃度は電流に比例するのでグルコース濃度を定量できる。しかしながら、反応に関与するＯ2 はサンプル中の溶存酸素であり、前記の反応はグルコース濃度（血糖値）４０ｍｇ／ｄｌ程度で飽和してしまう。実用的な血糖値測定では５０〜５００ｍｇ／ｄｌ、尿糖値は０〜２０００ｍｇ／ｄｌ程度の範囲が要求される。そこで測定範囲を広げるために１）サンプルを希釈する、２）酸素の替わりに反応する電子受容体をセンサに搭載する、３）外層に多孔膜から成る制限透過膜を配してグルコースの透過を制限して相対的なＯ2 濃度を大きくする、などの工夫が為されている。
【０００５】
このうち１）は希釈液および、希釈装置が必要になる、２）は１回だけしか使えないという問題がある。これに対し３）は機構が簡単で繰り返し使用できるという利点を有する。このため、制限透過膜の研究が種々行なわれている。
【０００６】
その一例が特開平９−３０４３３０に開示されている。図８はバイオセンサを用いた尿糖測定器を示し、図９はバイオセンサの図８におけるＢ−Ｂ′断面矢視図である。
【０００７】
図８に示す尿糖測定器１１０は酵素の働きを利用して、尿中の糖を検出するもので、測定器本体１１１にセンサ本体１１３がセンサキャップ１１７を介して着脱自在と成され、測定器本体１１１内には各種の電子回路を内蔵し、電池カバー１１２を介して電池等を挿入可能と成され、測定器本体１１１の表面には尿糖の測定値を表示するＬＣＤ等の表示部１１４が設けられている。
【０００８】
センサ本体１１３はバイオセンサ１００をセンサホルダ１１９の先端に内蔵し、尿をこのバイオセンサ１００に掛ければ自動的に尿中の糖値が表示部１１４に表示されるようになる。
【０００９】
バイオセンサ１００は図９に示す様に、絶縁性基板１０１上に作用極１０２と対極１０３が形成され、その上に選択透過膜１０４、固定化酵素膜１０５、ポリカーボネイト多孔膜１０８が順次積層されている。ここで、ポリカーボネイト多孔膜が制限透過膜１０８として作用し、血糖値等の測定範囲は０〜５００ｍｇ／ｄｌまで拡大されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし引用した従来の方法は下記の課題を有する。第１に制限透過膜１０８として用いるフィルムが高価である。このフィルムはポリカーボネイト膜に中性子線を照射し、中性子線で変質した変質部を化学エッチングして所定の透孔を形成する様に作製されるため通常の樹脂材料ほど安価にはなり得ない。
第２の課題はフィルムを１つ１つのセンサに貼る工程が必要になることである。このような作業は通常のウェハ製膜プロセスに比べ多くの工数を必要とし、特に接着剤の選択が困難であり、やはりコストを上昇させる要因となる。
第３の課題は透孔の孔径、開口率といったフィルムのパラメータを簡単には変更できないことである。フィルムの作製には大規模な設備を必要とし多品種少量生産が困難となる。
【００１１】
本発明は叙上の課題を解決するためになされたものであり、発明が解決しようとする課題は簡単なプロセスによりバイオセンサに用いる制限透過膜の開口率を容易に設定出来てグルコース濃度が０〜５０００ｍｇ／ｄｌ程度まで飽和しないバイオセンサ及びバイオセンサの製造方法を提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係わる発明は反応層（固定化酵素膜）５より下側に選択透過膜４を有し、反応層５より外側に制限透過膜８を有するバイオセンサ１０であって、制限透過膜８の下地層上に非有機溶剤を剥離液とする感光性材料により設けられた微小な複数の突起部６と、この複数の突起部６の周囲に設けた不透水性膜７とを具備し、この複数の突起部６を除去して不透水性膜を残して微小な複数の小開口を有する制限透過膜８と成したことを特徴とするバイオセンサとしたものである。
【００１３】
請求項２に係わる発明はバイオセンサ１０が電流検出型のバイオセンサであることを特徴とする請求項１記載のバイオセンサとしたものである。
【００１４】
請求項３に係わる発明はバイオセンサ１０がグルコースセンサであることを特徴とする請求項１記載のバイオセンサとしたものである。
【００１５】
請求項４に係わる発明はバイオセンサ１０が過酸化水素電極とグルコース酸化酵素からなるグルコースセンサであることを特徴とする請求項１記載のバイオセンサとしたものである。
【００１６】
請求項５に係わる発明はバイオセンサ１０がイオン感応性電界効果型トランジスタをトランスデューサとして用いたバイオセンサであることを特徴とする請求項１記載のバイオセンサとしたものである。
【００１７】
請求項６に係わる発明は反応層より下側に選択透過膜を有し、該反応層より外側に制限透過膜を有するバイオセンサの製造方法であって、制限透過膜の下地層上に非有機溶剤を剥離液とする感光性材料を用いて微小な複数の突起部を形成する工程と、突起部の周囲に不透水性膜を形成する工程と、突起を除去する工程とから成ることを特徴とするバイオセンサの製造方法としたものである。
【００１８】
請求項７に係わる発明は感光性材料の剥離液が水酸化ナトリウム水溶液であることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法としたものである。
【００１９】
請求項８に係わる発明は不透水性膜が８０℃以下で硬化可能な樹脂であることう特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法としたものである。
【００２０】
請求項９に係わる発明は不透水性膜がシリコーン、ポリウレタン、ポリアクリル酸、フッ素樹脂のいずれかを主成分とすることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法としたものである。
【００２１】
請求項１０に係わる発明は突起部６が円柱状または円錐状であることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法としたものである。
【００２２】
請求項１１に係わる発明は感光性材料を露光する工程において、オーバー露光またはアンダー露光にさせて、突起部６を正規の条件で露光したときよりも細らせることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法としたものである。
【００２３】
請求項１２に係わる発明は突起部６の直径が１μｍ以下であることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法としたものである。
【００２４】
請求項１３に係わる発明は制限透過膜８の開口率が０．０１〜１０％であることを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法としたものである。
【００２５】
請求項１４に係わる発明はバイオセンサ１０を同一基板１４上に同時に複数個作製することを特徴とする請求項６記載のバイオセンサの製造方法としたものである。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のバイオセンサ及びバイオセンサの製造方法を図１乃至図７によって詳記する。
【００２７】
図１（Ａ）は本発明の一形態例を示すバイオセンサの平面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＡ−Ａ′断面矢視図である。図１（Ａ），（Ｂ）に於いて、絶縁性基板１の上に略方形状の作用極２、対極３が形成され、略方形状の電極パッド１２Ａ，１２Ｂに連接されている。次に選択透過膜４が積層されている。選択透過膜４は検出対象のＨ2 Ｏ2 のみを通して分子量の大きな分子を排除する目的で設置される。その上方には固定化酵素膜５が形成される。その上には非有機溶剤を剥離液とするフォトレジストからなる突起部６が形成されている。
【００２８】
ここで非有機溶剤を剥離液とするフォトレジストを用いる理由は下記の通りである。選択透過膜４としてはセルロース、イオン交換樹脂などが用いられることが多い。これらの材料は一般に有機溶剤に溶解する。したがって有機溶剤を剥離液とするフォトレジストを用いると、剥離時に選択透過膜４が溶解してしまう。このため非有機溶剤を剥離液とするフォトレジストを用いなければならない。この要件を満たす物としてはプリント配線板に使われるソルダレジストなどがあり、廉価に入手することができる。
【００２９】
選択透過膜４の突起部６の周囲には非透水性膜７が形成されている。非透水性膜７としては常温で硬化できるものが望ましい。なぜならバイオセンサに用いられる酵素の多くは高温で失活し、触媒としての機能を失うからである。比較的熱に強いＧＯＸにおいてもその耐熱温度は８０℃程度である。この非透水性膜７の好適な樹脂としてはシリコーン、ポリウレタン、ポリアクリル酸、フッ素樹脂などが挙げられる。非透水性膜７が硬化した後、突起部６を剥離液にて除去し制限透過膜８を有するバイオセンサ１０が完成する。
【００３０】
図１（Ｂ）では単１の突起部６を除去したバイオセンサ１０の断面図を示しているが、実際には図３（Ａ）の平面及び図３（Ａ）のＢ−Ｂ′断面矢視図の図３（Ｂ）に示す様に大面積のガラス等の絶縁性基板１４上に作用極２及び対極３並びに電極パッド１２Ａ，１２Ｂから成る複数のバイオセンサ素子上に選択透過膜４及び固定化酵素膜５並びに不透水性膜７が順次形成された状態で複数のバイオセンサ素子を一体に形成した後に、単一のバイオセンサ１０を五目盤状に切断し、図１（Ａ），（Ｂ）に示す如き単一のバイオセンサ１０を得る様に成されている。
【００３１】
図２（Ａ）乃至図２（Ｆ）は図１（Ａ），（Ｂ）のバイオセンサ１０の工程を示す断面模式図である。以下、工程の順に従って説明する。図２（Ａ）では絶縁性基板１上に蒸着等により導体膜を製膜し、フォトリソグラフィにより作用極２、対極３を形成する。図２（Ｂ）ではスピンコート等により選択透過膜４を全面に形成する。図２（Ｃ）ではスピンコート等により固定化酵素膜５を全面に形成し、非有機溶剤を剥離液とするフォトレジスト９を固定化酵素膜５上に全面に形成した後、図２（Ｄ）では露光、現像によりフォトレジスト９からなる微小な多数の突起部６を形成する。図２（Ｅ）では不透水性樹脂溶液をスピンコートなどにより塗布、乾燥させて、突起部６の周囲に不透水性膜７を形成する。図２（Ｆ）では剥離液を用いて突起部６を除去する。こうして微小な透孔１１を有し不透水性材料からなる制限透過膜８が形成される。
【００３２】
上述の図１乃至図３の形態例に示した電流検出型のバイオセンサに於ける一実施例を以下に説明する。
【００３３】
〔実施例１〕
図３（Ａ），（Ｂ）に示す絶縁性基板１４としてガラス板を用い、その大きさを５０ｍｍ×６０ｍｍとし、該ガラス板上に白金（Ｐｔ）を蒸着し、リフトオフ法やミリンク等により作用極２、対極３、電極パッド１２Ａ，１２Ｂをパターニングしたバイオセンサ素子を１００組形成する。導電膜としては金（Ａｕ）又は銀（Ａｇ）であってもよい。
【００３４】
次にスピンコートによりイオン交換樹脂｛商標、Ｎａｆｉｏｎ（ナフィオン）｝のアルコール溶液を全面に塗布し室温で乾燥し、選択酸化膜４を得る。
【００３５】
次に牛血清アルブミン、グルコース酸化酵素、グルタールアルデヒドの混合溶液を全面に塗布し、室温にて乾燥させ固定化酵素膜５を形成する。
【００３６】
次に、剥離液が非有機溶剤であるフォトレジスト９を図２（Ｃ）の様に塗布し、このフォトレジスト９を露光、現像して図２（Ｄ）の様に突起部９を形成する。
【００３７】
フォトレジスト９を露光、現像するためのマスクのパターンは１０μｍ四方に直径１μｍの円を１個、即ち、１０8 ／ｃｍ2 の密度で全面に設置した。現像液には１％の炭酸ナトリウム（Ｎａ2 ＣＯ3 ）水溶液を用いた。次にスピンコートによりシリコーン樹脂溶液を１μｍの厚さで全面に塗布した。次に４％の水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）水溶液を用いて突起６を除去した。こうして直径１μｍの透孔６を多数有する制限透過膜８を形成した。紫外線を用いたフォトリソグラフィではパターニングの限界は０．１μｍ程度であり、１μｍのパターンを作ることは比較的容易である。こうして得られた制限透過膜８の開口率は１％弱である。尿糖等の測定範囲は開口率に反比例するので、この場合は測定範囲が元の１００倍程度になるように設計したことになる。次に絶縁性基板１４を分割し１００個のグルコースセンサ１０を得た。
【００３８】
このグルコースセンサ１０をポテンショスタット（定電圧安定化電源）を用いて評価した。グルコースを含むリン酸緩衝液を用いた評価では、グルコース濃度０〜５０００ｍｇ／ｄｌの範囲で直線的な検量線が得られた。次に５００ｍｇ／ｄｌのグルコースを含む血清を１０回繰り返し測定したところ、変動係数（標準偏差／平均値）は０．３％であった。次に２０００ｍｇ／ｄｌのグルコースを含む尿を同様に測定したところ変動係数は１０％であり、出力電流の大きさは１０回の測定で１０％減少した。
【００３９】
なお、実施例１では不透水性膜７としてシリコーン樹脂を用いたが８０℃以下で硬化可能な樹脂であればよく、例えばポリウレタン樹脂、ポリアクリル酸樹脂、フッ素樹脂等を用いることが出来る。
【００４０】
又、制限透過膜８上に形成する透孔１１の開口率について図４（Ａ），（Ｂ）を用いて説明する。図４（Ａ）は後述する他の形態例のバイオセンサ１０に用いる絶縁性基板１に形成した作用極２上の透孔１１を模式的に示しているが、原理的には作用極２上の開口率を制御する様に成せばよい。ここで開口率は作用極の円状面積に対する、全透孔の面積和に対する比率を示す。図４（Ｂ）は縦軸に電流検出型のバイオセンサの作用極２と対極３間に得られる出力電流をとり、横軸７にグルコース濃度をとった場合の飽和特性曲線を示している。図４（Ｂ）の飽和特性曲線２２は制限透過膜８を設けない場合、飽和特性曲線、２３は図９に示したポリカーボネイト多孔膜を制限透過膜１０８として用いた場合の飽和特性曲線であり、本発明の実施例１では開口率を１％に選択した場合を説明したが制限透過膜８の透孔１１の直径、開口率の設計をフォトレジスト９の露光、現像時に用いるマスクのパターンを適当に選択し、直径を１μｍ以下（０を含まず）開口率を０．０１〜１０％に選択した場合にグルコース濃度の飽和点を血糖値測定時の５０〜５００ｍｇ／ｄｌに、又、尿糖値測定時の０〜２０００ｍｇ／ｄｌ（特性飽和曲線２４）や、それ以上のグルコース濃度５０００ｍｇ／ｄｌまで、直線的な検量線を有する特性飽和曲線２５が簡単に且つ自由に得られる。
【００４１】
図５（Ａ），（Ｂ）は本発明の他の形態例を示すものであり、図１（Ａ），（Ｂ）と異なる点はＰｔ，Ａｇ，Ａｕ等で絶縁性基板１上にパターニングされた略円形（２ｍｍφ）の作用極２を左右から囲繞する様に半月状の対極３及び参照極（基準極）１３及び電極パッド１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを設けたもので図１（Ａ），（Ｂ）の対極３では参照極１３を対極３に兼用しているが図５（Ａ），（Ｂ）では測定精度向上の為に独立した参照極１３を設ける様にしたものである。
【００４２】
作用極２、対極３、参照極１３上にコーティングされる選択透過膜４、固定化酵素膜５、不透水性膜７や透孔１１からなる制限透過膜８は図１（Ａ），（Ｂ）と同様に構成されている。
【００４３】
図１（Ａ），（Ｂ）では（１）及び（２）式の反応式にしたがって基質であるグルコースがＧＯＸの酵素と反応することで消費されるＯ2 量を電流変換して測定しているが、後述するイオン感応性トランジスタ（ＩＳＦＥＴ）等を用いることも可能であり酵素としてもグルコース以外のアルコールデヒドロゲナーゼ、ペニシリナーゼ等を用いることが可能である。即ち、本発明のバイオセンサ及びバイオセンサの製造方法はグルコースセンサ以外のバイオセンサにも適用可能である。
【００４４】
更に、本発明のバイオセンサ及びバイオセンサの製造方法の他の形態例を図６（Ａ），（Ｂ）を用いて説明する。
【００４５】
図６（Ａ），（Ｂ）に於いて、突起部６の形成以外は図１及び図２のバイオセンサと同様に構成する。固定酵素膜５を形成した後、非有機溶剤を剥離液とするフォトレジスト９を全面に塗布する。このときレジストの厚さは図１の場合よりも薄くすることが望ましい。図６（Ａ）の様に次に所定のマスク１６を用いて光源１４からレジスト９を露光する。ネガ型のレジストを用いる場合は、このときの露光量を正規の条件より数十％少なくする。次にフォトレジスト９を現像した突起部６を形成する。このようにすることによって、マスク１６のパターン１７より細った径の突起部６が得られる。
【００４６】
図６（Ａ）ではマスク１６上のパターン１７の直径が１μｍであるとすれば１μｍの−Δｌとされた円柱状の突起部６が形成される。
【００４７】
逆に図６（Ｂ）の様にポジ型のレジストを用いる場合には逆にオーバー露光にすることによって、同様の結果が得られる。即ち、マスク１６上の透過部のパターン１７の直径を１μｍとすればオーバー露光することで透過部の直径より小さな直径の突起部６が得られる。図６（Ｂ）の場合は突起部６を円錐状と成したものである。
【００４８】
〔実施例２〕
実施例１と同様にして固定化酵素膜５までを形成した。次にネガ型のフォトレジスト９を厚さ０．５μｍにて塗布した。マスクパターンは実施例１と同じにした。次に露光量を実施例１よりも２０％減らしてフォトレジスト９を露光した。これを現像したところ、直径０．７μｍの突起部６が得られた。次いでシリコーン溶液を不透水性膜７として厚さ０．５μｍにてスピンコートし、室温にて乾燥させた。次に４％ＮａＯＨ水溶液を用いて突起部６を除去した。
【００４９】
このグルコースセンサ１０をポテンショスタットを用いた評価した。グルコースを含むリン酸緩衝液を用いた評価では、グルコース濃度０〜８０００ｍｇ／ｄｌの範囲で直線的な検量線が得られた。次に５００ｍｇ／ｄｌのグルコースを含む血清を１０回繰り返し測定したところ、変動係数は０．３％であった。次に２０００ｍｇ／ｄｌのグルコースを含む尿を同様に測定したところ変動係数は５％であり、系統的な出力電流の減少は見られなかった。繰り返し再現性が実施例１よりも良かったことの原因は、制限透過膜８における透孔１１の孔径が小さくなったことによって、汚染物質（タンパク質等）が固定化酵素膜５に浸入するのが防止されたことにあると思われる。より精度を上げるためにはマスクを変更して、透孔１１の孔径をさらに小さくするとよいことが解る。
【００５０】
図７は本発明の製造方法が適用可能な化学センサとして絶縁性基板１部分をＩＳＦＥＴ（Ion Sensitive FET)としたバイオセンサ１０Ａの模式的な側断面図を示すもので、電界効果型トランジスタ（ＦＥＴ）２１のシリコン等の絶縁性基板２０上にソース１８及びドレイン１９間に設けられるゲートの代わりに選択透過膜４、固定化酵素膜５、不透水性膜７に透孔１１を穿った制限透過膜８を順次形成したものである。
【００５１】
上述のＩＳＦＥＴは電流検出型のバイオセンサ１０と異なり、電気化学的な電位変化をＦＥＴ２１を用いて検出するもので試料（水溶液）をバイオセンサ１０に浸すと固定化酵素膜５等のイオン感応層を介してＦＥＴ２１の表面の電位が変化するのでこの電位の変化量は水溶液中のＰＨ値に比例することを利用し、水素イオン濃度（ＰＨ）を計測する様にしたものである。
【００５２】
この場合の制限透過膜８も、不透水性膜７に穿たれる透孔１１の開口率を廉価な感光性材料を用いてフォトリソグラフィにより容易に制御可能なバイオセンサ及びバイオセンサの製造方法が得られる。
【００５３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、容易かつ安価に測定範囲の広いバイオセンサが得られる。また、制限透過膜の孔径、開口率の設計が自在にできるため、コストの増加を伴うことなく、任意の特性を有するバイオセンサ及びバイオセンサを製造することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の形態を示す平面及び断面模式図である。
【図２】図１の工程の概略を示す断面模式図である。
【図３】本発明のバイオセンサを同時に得る場合の構成を示す平面図及び断面模式図である。
【図４】本発明に用いるバイオセンサの作用極上の開口率の説明図及びバイオセンサのグルコース濃度と検出出力電流との関係を示す飽和特性曲線説明図である。
【図５】本発明の他の形態例を示す正面図及び断面模式図である。
【図６】本発明のバイオセンサの制限透過膜の作製方法を示す要部側断面図である。
【図７】本発明のバイオセンサの他の形態例を示す断面模式図である。
【図８】従来の尿糖測定器の外観図である。
【図９】従来のバイオセンサの一例を示す断面模式図である。
【符号の説明】
１，１４，２０‥‥絶縁性基板、２，１０２‥‥作用極、３，１０３‥‥対極、４，１０４‥‥選択透過膜、５，１０５‥‥固定化酵素膜、６‥‥突起部、７‥‥不透水性膜、８‥‥制限透過膜、９‥‥フォトレジスト、１１‥‥透孔、１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ‥‥電極パッド、１３‥‥参照極、２１‥‥ＦＥＴ、１０８‥‥ポリカーボネイト多孔膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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