(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面を有するセラミック製の第一部材と、挿通孔を有したセラミック製の第二部材とを有し、前記第二部材の前記挿通孔に前記第一部材が上下方向を向いた軸線周りに相対回転可能に挿通されるとともに、その回転軸線方向における前記第二部材の少なくとも下側の端面に対向する形で配置されるスラスト板を有し、前記第二部材の端面と、これに対向する前記スラスト板の対向面とをそれぞれスラスト動圧隙間形成面として、それらスラスト動圧隙間形成面の間にスラスト動圧隙間が形成されてなり、さらに、
前記第二部材側のスラスト動圧隙間形成面に第二部材側浮上用電極が、前記スラスト板側のスラスト動圧隙間形成面にスラスト板側浮上用電極が、それぞれ形成され、それら第二部材側浮上用電極とスラスト板側浮上用電極との間に静電気反発力を作用させることにより、前記第二部材を前記スラスト板の上方に浮上させるようにしたことを特徴とするセラミック動圧軸受。
【請求項２】
前記スラスト板側浮上用電極及び前記第二部材側浮上用電極をそれぞれ、前記回転軸線周りに配列する互いに絶縁された複数個の電極部セグメントとして形成し、前記スラスト板側については、それら複数個の電極部セグメントを外部電源により交互に極性が反転する形で電圧印加し、他方、前記第二部材側の電極部セグメントには外部電源による電圧印加を行なわないようにした請求項１記載のセラミック動圧軸受。
【請求項３】
外周面を有するセラミック製の第一部材と、挿通孔を有したセラミック製の第二部材とを有し、前記第二部材の前記挿通孔に前記第一部材が軸線周りに相対回転可能に挿通されるとともに、前記第二部材の挿通孔内面と、これに挿通される前記第一部材の外周面とをそれぞれラジアル動圧隙間形成面として、それらラジアル動圧隙間形成面の間にラジアル動圧隙間が形成されてなり、
前記第二部材側のラジアル動圧隙間形成面に第二部材側ラジアル反発用電極が、前記第一部材側のラジアル動圧隙間形成面に第一部材側ラジアル反発用電極が、それぞれ形成され、それら第二部材側ラジアル反発用電極と第一部材側ラジアル反発用電極との間に静電気反発力を作用させることにより、前記第二部材と前記第一部材とをラジアル方向に反発させるようにしたことを特徴とするセラミック動圧軸受。
【請求項４】
前記第二部材側ラジアル反発用電極及び前記第一部材側ラジアル反発用電極をそれぞれ、前記回転軸線周りに配列する互いに絶縁された複数個の電極部セグメントとして形成し、前記第一部材と前記第二部材との一方を回転側、他方を固定側として、固定側となるものについては、それら複数個の電極部セグメントを外部電源により交互に極性が反転する形で電圧印加し、他方、回転側となるものの電極部セグメントには外部電源による電圧印加を行なわないようにした請求項３記載のセラミック動圧軸受。
【請求項５】
ハードディスク装置のハードディスク回転主軸部分の軸受として使用される請求項１ないし４のいずれか１項に記載のセラミック動圧軸受。
【請求項６】
ポリゴンスキャナのポリゴンミラー回転主軸部分の軸受として使用される請求項１ないし４のいずれか１項に記載のセラミック動圧軸受。
【請求項７】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載のセラミック動圧軸受をモータ回転出力部の軸受として用いたことを特徴とする軸受付きモータ。
【請求項８】
ハードディスク装置のハードディスク回転駆動部に使用される請求項７記載の軸受付きモータ。
【請求項９】
ポリゴンスキャナのポリゴンミラー駆動部に使用される請求項７記載の軸受付きモータ。
【請求項１０】
最大回転数が８０００ｒｐｍ以上の高速回転用モータである請求項７ないし９のいずれか１項に記載の軸受付きモータ。
【請求項１１】
請求項８又は１０に記載の軸受付きモータと、その軸受付きモータにより回転駆動されるハードディスクとを備えたことを特徴とするハードディスク装置。
【請求項１２】
請求項９又は１０に記載の軸受付きモータと、その軸受付きモータにより回転駆動されるポリゴンミラーとを備えたことを特徴とするポリゴンスキャナ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック動圧軸受、軸受付きモータ、ハードディスク装置及びポリゴンスキャナに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電気機器の駆動源となるモータ軸の軸受としてはボールベアリングが用いられることが多かったが、コンピュータ周辺機器などの精密機器においては、モータの高速回転化が急速に進んでおり、低回転ムラや異音・振動の少ない優れた軸受性能を得るため、あるいは軸受の長寿命化のために、空気等の流体を媒介とした動圧軸受が用いられている。動圧軸受は、例えば主軸とこれを取り囲むように配置される軸受部とが軸線周りに回転する場合には、主軸外周面と軸受部内周面との隙間に発生する流体動圧により回転軸を支持する。また、主軸又は軸受部のスラスト面を動圧支持するようにした軸受もある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、動圧軸受においては、発生動圧レベルの十分に高い高速回転状態では、動圧隙間を挟んで対向する部材同士の接触は生じないが、回転数の小さい起動時および停止時には十分な動圧が発生しないために、部材同士の接触が生ずる。そして、上記のような動圧軸受の部品構成材料には、ステンレス等の金属もしくはこれらに樹脂等のコーティングを施したものが一般的に用いられてきたが、金属製のものは上記起動時あるいは停止時の部材接触により、摩耗や焼き付きが問題になることがある。これを防止するために、動圧隙間を挟んで対向する部材をアルミナ等のセラミックにより構成することが行われているが、接触摩耗等は多かれ少なかれ発生してしまう問題がある。
【０００４】
本発明の課題は、始動・停止時等において接触摩耗等が本質的に生じにくいセラミック動圧軸受を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決する手段及び作用・効果】
上記課題を解決するために本発明のセラミック動圧軸受の第一の構成は、
外周面を有するセラミック製の第一部材と、挿通孔を有したセラミック製の第二部材とを有し、第二部材の挿通孔に第一部材が上下方向を向いた軸線周りに相対回転可能に挿通されるとともに、その回転軸線方向における第二部材の少なくとも下側の端面に対向する形で配置されるスラスト板を有し、第二部材の端面と、これに対向するスラスト板の対向面とをそれぞれスラスト動圧隙間形成面として、それらスラスト動圧隙間形成面の間にスラスト動圧隙間が形成されてなり、さらに、
第二部材側のスラスト動圧隙間形成面に第二部材側浮上用電極が、スラスト板側のスラスト動圧隙間形成面にスラスト板側浮上用電極が、それぞれ形成され、それら第二部材側浮上用電極とスラスト板側浮上用電極との間に静電気反発力を作用させることにより、第二部材をスラスト板の上方に浮上させるようにしたことを特徴とする。
【０００６】
スラスト方向に動圧発生させるようにした動圧軸受を、回転軸線を上下に立てた状態で使用する場合、第二部材は下側のスラスト動圧隙間に発生する動圧を受けて、自身に働く重力に打ち勝って浮上しつつ回転する形となる。しかし、起動・停止時の低速回転状態では、重力に打ち勝つだけの十分なスラスト動圧が発生しないから、第二部材がスラスト板と接触し、摩耗や凝着等の原因となる。しかし、上記本発明の第一の構成によると、第二部材側浮上用電極とスラスト板側浮上用電極との間に静電気反発力を作用させることにより、第二部材をスラスト板の上方に補助的に浮上させるようにしたから、動圧が十分に発生しない低速回転状態においても、第二部材とスラスト板との接触を回避することができる。
【０００７】
また、本発明のセラミック動圧軸受の第二の構成は、
外周面を有するセラミック製の第一部材と、挿通孔を有したセラミック製の第二部材とを有し、第二部材の挿通孔に第一部材が軸線周りに相対回転可能に挿通されるとともに、第二部材の挿通孔内面と、これに挿通される第一部材の外周面とをそれぞれラジアル動圧隙間形成面として、それらラジアル動圧隙間形成面の間にラジアル動圧隙間が形成されてなり、
第二部材側のラジアル動圧隙間形成面に第二部材側ラジアル反発用電極が、第一部材側のラジアル動圧隙間形成面に第一部材側ラジアル反発用電極が、それぞれ形成され、それら第二部材側ラジアル反発用電極と第一部材側ラジアル反発用電極との間に静電気反発力を作用させることにより、第二部材と第一部材とをラジアル方向に反発させるようにしたことを特徴とする。
【０００８】
上記のように、ラジアル方向に動圧発生させるようにした動圧軸受においては、起動・停止時の低速回転状態ではラジアル動圧の発生量が不十分となり、かつ、回転軸線の復元力も小さくなるから、低速回転時に回転ぶれが発生すれば、第二部材と第一部材とが接触し、摩耗や凝着等の原因となる。しかし、上記本発明の第二の構成によると、第二部材側ラジアル反発用電極と第一部材側ラジアル反発用電極との間に静電気反発力を作用させることにより、動圧が十分に発生しない低速回転状態においても、第二部材と第一部材との接触を本質的に生じにくくすることができる。
【０００９】
なお、ラジアル動圧とスラスト動圧の双方を発生させる動圧軸受においては、上記第一の構成と第二の構成とを、互いに組み合わせた形で実施することも可能である。
【００１０】
本発明の動圧軸受は、例えばハードディスク装置のハードディスク回転主軸部分、あるいはＣＤ−ＲＯＭドライブ、ＭＯドライブあるいはＤＶＤドライブなどのコンピュータ用周辺機器のディスク回転主軸部分、さらにはレーザープリンタやコピー機等に使用されるポリゴンスキャナのポリゴンミラー回転主軸部分の軸受として有効に使用することができる。これらの精密機器における回転駆動部の軸受には、例えば８０００ｒｐｍ以上（さらに高速性の要求される場合には、１００００ｒｐｍ以上ないし３００００ｒｐｍ以上）の高速回転が要求されるため、本発明の適用により、発生する流体動圧レベルを高く安定なものとでき、ひいては振動等を低減する効果を特に有効に引き出すことができる。また、本発明は、上記セラミック動圧軸受をモータ回転出力部の軸受として用いた軸受付きモータを提供する。さらに、上記の軸受付きモータと、その軸受付きモータにより回転駆動されるハードディスクとを備えたハードディスク装置、あるいは、上記の軸受付きモータと、その軸受付きモータにより回転駆動されるポリゴンミラーとを備えたポリゴンスキャナも提供する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面に示す実施例により説明する。
（実施例１）
図３に示すセラミック動圧軸受３は、（以下単に動圧軸受とも記す）は、例えばポリゴンスキャナ１において、ポリゴンミラー８を回転駆動するための動圧軸受付きモータに使用されるものであり、空気を動圧発生用流体として使用するものである。この動圧軸受付きモータ２では、円筒状の軸受部１５（回転体）を回転させるために、軸受部１５の外周面に一体化された支持体７に永久磁石９が取り付けられ、基台１１にはこの永久磁石９と対向するコイル１３が取り付けられている。なお、永久磁石９とコイル１３との配置関係はこれを入れ替えてもよい。
【００１２】
セラミック動圧軸受３は、筒状の軸受部１５（例えば、内径１５ｍｍ、外径２５ｍｍ、軸方向長さ８ｍｍ）の挿通孔１５ａに、筒状の主軸（例えば、内径５ｍｍ、外径１５ｍｍ、軸方向長さ８ｍｍ）１４が回転可能に挿通されている。図４に示すように、挿通孔１５ａの内周面Ｍ２と、主軸１４の外周面Ｍ１とはいずれも円筒状のラジアル動圧隙間形成面であり、それらの間には、回転軸線Оに関するラジアル方向の動圧を発生させるために、空気にて満たされたラジアル動圧隙間１７が形成されている。ラジアル動圧隙間１７の大きさは例えば約５μｍである。なお、主軸１４が請求項でいう第一部材であり、軸受部１５が同じく第二部材である。
【００１３】
一方、主軸１４の両端面には、円板状のスラスト板（例えば、内径５ｍｍ、外径２５ｍｍ、厚さ２ｍｍ）２１，２３が同軸的に一体化されており、それらスラスト板２１，２３の内側の板面Ｍ４，Ｍ６が、回転体である軸受部１５の両端面Ｍ３，Ｍ５と対向している。本実施例では、スラスト板２１，２３は、図３に示すように、各内孔２１ｂ，２３ｂの内縁部にて主軸１４の端面に重ねられ、主軸１４の中心孔１４ｂに挿通されたボルト２５を基台１１にねじ込むことにより押圧固定されているが、固定形態はこれに限られるものではない。
【００１４】
そして、図４に示すように、スラスト板２１，２３の板面Ｍ４，Ｍ６と、軸受部１５の両端面Ｍ３，Ｍ５とが各々スラスト動圧隙間形成面となり、それらの間には、回転軸線Оに関するスラスト方向の動圧を発生させるために、空気にて満たされたスラスト動圧隙間１８，１８が形成されている。スラスト動圧隙間１８，１８の各大きさは例えば約６μｍ程度である。
【００１５】
主軸１４、軸受部１５及びスラスト板２１，２３は、それぞれ全体がアルミナ質セラミックにて構成されており、そのアルミナ含有率は９０〜９９．５質量％、望ましくは９２〜９８質量％であり、残部が酸化物系焼結助剤成分と不可避不純物である。ただし、アルミナ以外のセラミック、例えば窒化珪素、ジルコニア、あるいはアルミナ−ジルコニア複合セラミック等を使用することも可能である。
【００１６】
次に、図５に示すように、軸受部１５（第二部材）側のスラスト動圧隙間形成面Ｍ５には第二部材側浮上用電極３０が、また、スラスト板２３側のスラスト動圧隙間形成面Ｍ６にスラスト板側浮上用電極４０がそれぞれ形成されている。これら第二部材側浮上用電極３０とスラスト板側浮上用電極４０との間には、外部電源による電圧印加により、静電気反発力を作用させることができ、軸受部１５をスラスト板２３の上方に浮上させることができる。これにより、起動・停止時等の低速回転時においてスラスト動圧隙間１８に生ずるスラスト動圧が不足しても、上記の静電気反発力により軸受部１５を浮上状態に保つことができ、ひいてはスラスト動圧隙間形成面Ｍ５，Ｍ６における凝着や接触摩耗を効果的に防止することができる。
【００１７】
第二部材側浮上用電極３０とスラスト板側浮上用電極４０とは、例えば同極性電圧印加により反発させることもできるが、この場合、回転側となる軸受部１５の浮上用電極３０への電圧印加を考慮しなければならず、給電部等における接触の問題が避けがたくなる。そこで、以下のように構成すれば、回転側となる軸受部１５（第二部材）側への電圧印加を考慮する必要がなくなり、上記の問題を解消できる。
【００１８】
すなわち、図６（ｂ）及び（ａ）に示すように、スラスト板側浮上用電極４０及び第二部材側浮上用電極３０をそれぞれ、回転軸線Ｏの周りに配列する互いに絶縁された（ここでは、半径方向の隙間Ｇにより、スラスト板２３あるいは軸受部１５上にて孤立した）複数個の電極部セグメントとして形成する。そして、図７に示すように、スラスト板２３側については、それら複数個の電極部セグメント４０ａ，４０ｂを外部電源４３により交互に極性が反転する形で電圧印加する（図では、電極部セグメント４０ａが正、電極部セグメント４０ｂが負の極性となっている）。このようにすると、第二部材（軸受部１５）側の電極部セグメント３０に、外部電源４３による電圧印加を行なわなくても、軸受部１５の浮上に十分な反発力をそれら電極部セグメント３０，４０間に発生させることができる。
【００１９】
外部から電圧印加されない電極部セグメント４０は、帯電した第二部材側の電極部セグメント３０による分極作用により、これとは逆極性に帯電しようとするが、第二部材（軸受部１５）とスラスト板２３とがある程度の速度で相対回転していることから、第二部材側の電極部セグメント３０の帯電極性はその回転に合わせて周方向に変化しようとする。周方向の帯電極性の変化を生ずるには、該周方向の電荷移動が必要となるが、隣接する電極部セグメント３０は孤立しているのでセグメント間での電荷移動は妨げられ、各電極部セグメント３０は、電極部セグメント４０ａによる帯電状態を引きずったまま、隣の逆極性の電極部セグメント４０ｂ上に移動し、反発力を生ずるようになる。なお、電極部セグメント３０と電極部セグメント４０との回転周期には、反発力が生ずる反発位相と、吸引力が生ずる吸引位相とが交互に到来するが、吸引位相の到来により軸受部１５がスラスト板２３上に落下・接触する前に、次の反発位相が到来するように、各セグメント３０，４０の数や形成間隔を調整しておけば、動圧発生が不十分となる回転数よりさらに小さいある回転数に至るまで、軸受部１５の浮上状態を維持することができる。この観点において、セグメント３０，４０の形成数はなるべく多いほうが望ましいといえる。
【００２０】
なお、図５に仮想線で示すように、第二部材（軸受部１５）側のラジアル動圧隙間形成面Ｍ２に第二部材側ラジアル反発用電極３５を、第一部材（主軸１４）側のラジアル動圧隙間形成面Ｍ１に第一部材側ラジアル反発用電極４５をそれぞれ形成しておくこともできる。これら第二部材側ラジアル反発用電極３５と第一部材側ラジアル反発用電極４５との間に静電気反発力を作用させれば、第二部材（軸受部１５）と第一部材（主軸１４）とをラジアル方向に反発させることができるようになり、ラジアル動圧隙間形成面Ｍ１，Ｍ２の接触による摩耗や凝着も効果的に回避できる。
【００２１】
この場合、図８に示すように、第二部材側ラジアル反発用電極３５及び第一部材側ラジアル反発用電極４５をそれぞれ、回転軸線Ｏ周りに配列する互いに絶縁された複数個の電極部セグメントとして形成することができる。そして、第一部材（主軸１４）と第二部材（軸受部１５）との一方（ここでは軸受部１５）を回転側、他方（ここでは主軸１４）を固定側として、その固定側となるものについて、図７を援用して示すように、それら複数個の電極部セグメント４５ａ，４５ｂを外部電源４３により交互に極性が反転する形で電圧印加することができる。このようにすると、回転側となるものの電極部セグメント３５に外部電源４３による電圧印加を行なわなくとも、ラジアル動圧隙間形成面Ｍ１，Ｍ２の接触を回避するのに十分な反発力を、それら電極部セグメント３５，４５間に発生させることができる。
【００２２】
なお、ラジアル動圧隙間形成面Ｍ１，Ｍ２の少なくとも一方（例えば主軸１４側のＭ１）には、発生動圧レベルを高めるために、図２（ａ）に示すような周知の動圧溝を形成することができる。また、スラスト動圧隙間形成面Ｍ３〜Ｍ６の少なくともいずれか（例えばスラスト板２１，２３側のＭ４，Ｍ６）にも、図２（ｂ）に示すような周知の動圧溝を形成することができる。例えば、ラジアル動圧隙間形成面となる回転軸外周面に、周知の動圧溝が形成されていることにより、より一層スムーズな回転が実現できる。この動圧溝としては、図２（ａ）に例示するように、例えば軸受部に挿入される軸外周面（ラジアル動圧隙間形成面）に周方向に所定間隔で複数の動圧溝を形成できる。この実施形態では軸外周面の母線と一定角度をなす形で傾斜した直線状の溝列とされているが、山型（あるいはブーメラン型の溝パターンを、軸周方向の基準線上に、溝パターンの先端が位置するように、所定の間隔で全周にわたって形成した、いわゆるヘリングボーン形態など、他の公知の形態を採用することもできる。また、図２（ｂ）に例示するように、例えばスラスト板の表面（スラスト動圧隙間形成面）に動圧溝を形成することもできる。この例では、板面周方向において、スラスト板中心位置からの距離が漸減する曲線状の溝部を周方向に所定の間隔で複数形成している。このような動圧溝を形成する場合、前記の浮上用あるいは反発用に形成する電極は、動圧溝をふさがない形態で形成する必要があり、例えば、溝間の凸部の頂面を電極形成領域として活用することができる。
【００２３】
ポリゴンスキャナ１は以下のように動作する。すなわち、動圧軸受付きモータ２は交流誘導モータとして構成され、コイル１３への通電によりにポリゴンミラー８が主軸１４を固定軸として、軸受部１５及び支持体７とともに一体的に回転駆動される。その最大回転数は８０００ｒｐｍ以上の高速回転であり、より大きなスキャン速度が要求される場合には、最大回転数にて１００００ｒｐｍ以上、さらには３００００ｒｐｍ以上（例えば５００００ｒｐｍ程度）にも達する場合がある。従って、コイル１３のターン数や励磁用の永久磁石９が発生する外部磁界の値、さらには定格駆動電圧等が、ポリゴンミラー８の回転負荷を考慮して上記最大回転数が実現されるように適宜設定される。ここで、主軸１４と軸受部１５との間のラジアル動圧隙間１７には回転軸線Оに関するラジアル動圧が、スラスト板２１，２３と軸受部１５との間のスラスト動圧隙間１８には同じくスラスト動圧が発生し、ラジアル方向及びスラスト方向の双方において、相対回転する部材間の非接触状態が維持された状態でポリゴンミラー８の回転軸線が支持される。
【００２４】
図９は、本発明をハードディスク装置に適用した例を示すものである。このハードディスク装置２００は、ハブ２１１の外周に磁気ディスク２０９ａ、２０９ｂが固定され、中央にはモータ回転軸２１２が固設されている。ハブ２１１は、これに固定されたディスク２０９ａ，２０９ｂと共に回転する。モータ回転軸２１２は、アルミナ質セラミックからなる固定軸受部２２１によってラジアル方向に支承され、またアルミナ質セラミックからなるスラスト板２２２でスラスト方向に支承されている。
【００２５】
上記モータ回転軸２１２、固定軸受部２２１及びスラスト板２２２はセラミック材料からなるため、そのモータ回転軸２１２及び固定軸受部２２１は高速で回転するディスク２０９ａ，２０９ｂの負荷及び高速回転に耐えるだけの機械剛性を持つ。
【００２６】
次に、上記モータ回転軸２１２と固定軸受部２２１との間、モータ回転軸２１２とスラスト板２２２との間には空気が充填され、モータ回転軸２１２と固定軸受部２２１との間には周方向にラジアル動圧隙間２４０が形成されており、固定軸受部２２１の内周面２１７には図示しない動圧溝が形成されている。モータ回転軸２１２は、その回転に伴い、ラジアル動圧隙間２４０にラジアル動圧が発生して固定軸受部２２１に対し非接触で回転する。ラジアル動圧隙間形成面をなすモータ回転軸２１２の外周面及び固定軸受部２２１の内周面は、図３のセラミック動圧軸受３と同様に構成されている（すなわち、本発明のセラミック動圧軸受の構成を有している）。なお、モータ回転軸２１２の軸端２１２ａは球面ピボット形状になっており、スラスト方向の力をスラスト板２２２で支えている。
【００２７】
ハードディスク装置２００においては、ステータコア２２４はブラケット２２３に固定されている。そのステータコア２２４にはステータコイル２２５が巻回されている。モータの回転駆動力は、そのステータコイル２２５に電流を流すことにより励磁されたステータコア２２４がつくる回転磁界と、そのステータコア２２４の周囲を取り巻く多極着磁された駆動マグネット２１４とにより発生する。そのマグネット２１４はハブ２１１の内周に固着され、ハブ２１１とともにロータ２１０を構成する。なお、ハードディスク装置２００においては外側の軸受部２２１側が固定、内側の主軸（回転軸）２１２側が回転となっていたが、図３を援用して説明すれば、ポリゴンミラー８を磁気ディスク４０８にて置き換えることにより、軸受部１５側が回転となり、主軸１４側が固定となるハードディスク装置構成も当然に可能である。
【００２８】
この実施形態では、ラジアル動圧のみを発生させる態様なので、図５あるいは図８に示す電極３５及び４５に相当する電極を、ラジアル動圧隙間２４０を形成するモータ回転軸２１２の外周面及び固定軸受部２２１の内周面にそれぞれ形成すればよい。この場合、固定側となるのは固定軸受部２２１であるから、該側の電極に図７の外部電源４３により電圧印加すればよい。
【００２９】
なお、本発明は上記の実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることは言うまでもない。例えば、動圧発生用流体としては、空気以外の気体を用いてもよいし、気体に代えて油や水等の液体を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のセラミック動圧軸受の一構成例を示す断面模式図。
【図２】ラジアル動圧隙間形成面に形成される動圧溝及びスラスト動圧隙間形成面に形成される動圧溝の一例をそれぞれ示す説明図。
【図３】本発明のセラミック動圧軸受が使用されたポリゴンスキャナ用モータユニットの一例を示す正面断面図。
【図４】図３の要部をなすセラミック動圧軸受の正面断面図及び分解斜視図。
【図５】第二部材側浮上用電極、スラスト板側浮上用電極、第二部材側ラジアル反発用電極及び第一部材側ラジアル反発用電極の形成形態の一例を示す模式図。
【図６】第二部材側浮上用電極及びスラスト板側浮上用電極を電極セグメントとして形成する実施形態を示す模式図。
【図７】図６の電極セグメントへの電圧印加回路の一例を示す図。
【図８】第二部材側ラジアル反発用電極及び第一部材側ラジアル反発用電極を電極セグメントとして形成する実施形態を示す模式図。
【図９】本発明のセラミック動圧軸受を用いたハードディスク装置の一例を示す正面断面図。
【符号の説明】
１  ポリゴンスキャナ
３，２５１  セラミック動圧軸受
１４，２１２  主軸
１５，２２１  軸受部
１５ａ  挿通孔
１７，２４０  ラジアル動圧隙間
１８  スラスト動圧隙間
２１，２３  スラスト板
Ｍ  動圧隙間形成面
Ｍ１，Ｍ２  ラジアル動圧隙間形成面
Ｍ３〜Ｍ６  スラスト動圧隙間形成面
３０  第二部材側浮上用電極
４０  スラスト板側浮上用電極
４３  外部電源
３５  第二部材側ラジアル反発用電極
４５  第一部材側ラジアル反発用電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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