(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル軸線上のノズルと、前記ノズル軸線を中心として半径方向に延びるインク室と、前記インク室と連通するインク供給手段と、前記ノズル軸線のノズル半径方向のインク室内の音波走行により、前記ノズルを介してインク液滴を射出すると共に前記インク室へのインクの補充を行うために前記ノズル軸線方向に移動可能なアクチュエータとを備えたドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置において、
前記インク室は円形構造であり、前記アクチュエータのノズル軸線方向の動きにより生成され、前記ノズル軸線の半径方向にインク室内を走行する音波は、当該インク室内の音響インピーダンスの変化により、前記音波を反射させ、前記音波をノズル軸線上に収束させることにより、前記アクチュエータがインク液滴を射出することを特徴とするドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置。
【請求項２】
前記インク室は、前記ノズル軸線から半径距離Ｒの室であり、前記アクチュエータは、時間Ｒ／ｃ（ここで、ｃはインク室内のインクを通過する音速である）の少なくとも半分の時間で、ノズル方向に移動することを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記アクチュエータは、インク室と結合し、ドーム状になり又はドーム状から復帰してインク液滴射出を行う圧電作動ディスクを備え、装置はさらに、作動電界を前記圧電作動ディスクに印加する電極を備えることを特徴とする請求項１または２記載の装置。
【請求項４】
前記圧電作動ディスクは、均質であり、剪段モードで移動するように前記作動電界にたいし極を有することを特徴とする請求項３記載の装置。
【請求項５】
前記電界はノズル軸線方向に印加され、前記圧電作動ディスクは前記半径方向に極を有することを特徴とする請求項４記載の装置。
【請求項６】
前記圧電作動ディスクは、すべて前記ノズル軸線に向けて収束する方向に極を有することを特徴とする請求項５記載の装置。
【請求項７】
前記電極は、前記インク室に接する前記圧電作動ディスク上の接地電極と、前記圧電作動ディスクの反対面上の他の電極とからなることを特徴とする請求項５または６記載の装置。
【請求項８】
前記圧電作動ディスクは、前記ノズル軸線に沿って突出する突出部材を備えることを特徴とする請求項３記載の装置。
【請求項９】
前記圧電作動ディスクは、前記ノズルと同心する凹部を備えることを特徴とする請求項３記載の装置。
【請求項１０】
前記インク供給手段は、インクを、前記インク室の円周方向に設けた複数個の位置で前記インク室に供給することを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項１１】
前記インク供給手段は、インクを、前記インク室を取り巻くように供給することを特徴とする請求項１０記載の装置。
【請求項１２】
複数個のノズルであって、それぞれのノズルがノズル軸線を備え、前記ノズルが平行に設けられ且つ二次元に平面配列された複数個のノズルと、
複数個のインク室であって、それぞれのインク室がそれぞれのノズル軸線のまわりに延びる複数個のインク室と、
均質な圧電シートであって、前記アクチュエータを二次元に配列した圧電シートとからなり、
前記それぞれのアクチュエータは、それぞれのインク室と結合していることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項１３】
前記アクチュエータは、前記インク室に結合した圧電作動ディスクであって、当該圧電作動ディスクは、ドーム状になり又はドーム状から復帰してインク液滴を射出する圧電作動ディスクであり、
当該装置は、さらに、作動電界を前記圧電ディスクに印加する電極を備え、前記電極は、前記インク室に接し、前記圧電作動ディスク上の一つの共通接地電極と、前記圧電作動ディスクの反対面上に設けられ、それぞれのインク室に結合した個別電極とからなることを特徴とする請求項１２記載の装置。
【請求項１４】
前記個別電極は、ノズル板と圧電シートとにより積層される相互接続板上に設けられたそれぞれの電気接続部を介し電気パルス印加手段に接続されることを特徴とする請求項１３記載の装置。
【請求項１５】
前記ノズルは前記ノズル板に形成され、前記ノズル板は前記圧電シートと積層されて、前記複数個のインク室を形成することを特徴とする請求項１４記載の装置。
【請求項１６】
前記インク供給手段は、前記圧電シートに形成されるインク流路の配列と、インクを前記インク流路から前記インク室に移送するインク移送手段とからなることを特徴とする請求項１５記載の装置。
【請求項１７】
前記インク移送手段は、前記ノズル板と圧電シートとが積層される介在板に形成される凹部の配列を含むことを特徴とする請求項１６記載の装置。
【請求項１８】
前記ノズル板、前記相互接続板および前記介在板は、それぞれ圧電シートで構成したことを特徴とする請求項１７記載の装置。
【請求項１９】
前記ノズル板、前記相互接続板および前記介在板は、それぞれ圧電シートと熱的に同等なシート材で構成したことを特徴とする請求項１７記載の装置。
【請求項２０】
ノズル軸線を有するノズルと連通する平坦なインク室を形成し、該インク室が前記ノズル軸線の半径方向に延びているインクジェット印刷方法であって、
前記インク室の前記ノズル軸線の周囲にインピーダンス境界を形成する工程と、
アクチュエータを前記ノズル軸線の方向に選択的に動かし、前記インク室内で前記ノズル軸線の半径方向に走行する音響波を生成する工程と、
前記音響波が、インピーダンス境界で反射し、前記ノズル軸線で収束する工程とからなり、
これにより、前記ノズルからインク液滴を射出せしめることを特徴とするインクジェット印刷方法。
【請求項２１】
インク液滴射出に続き、前記インク室内にインクを前記ノズル軸線の半径方向に供給することによりインクを補給する工程を更に備えることを特徴とする請求項２０記載のインクジェット印刷方法。
【発明の詳細な説明】
技術分野
この発明は、ドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置、一例において、２次元配列のインク室を有するドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置に関する。
背景技術
ドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置、特に、インクジェット印刷ヘッドは、典型的に、液滴流体が供給され、そこから液滴の射出するノズルと連通する室と、電気信号により作動して室の体積を変化する手段とからなり、この体積変化は液滴射出を行うのに十分とする。
しかし、このような装置では、高周波数でかつ低製造費で作動する高密度２次元配列のインク室を得るについて問題が残る。
本発明は、これらおよび他の問題を解決するものである。
従って、本発明の少なくとも実施例の目的は、２次元配列に製造できる簡単な製造方法および低費用とあいまって高い性能と効率を共に有するインクジェット印刷装置を提供することである。
他の目的は、剪断モードドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置内でより簡単な電気的相互接続方法および電気的相互接続方法のより広い選択を可能にすることである。
他の目的は、近隣アクチュエータ間の妨害音の抑制を受けないルーフ・モード剪断ディス・クアクチュエータの構成を可能にすることである。
他の目的は、多数の小さいマトリックスから製造される大マトリックス剪断モード配列の性能を可能にすることである。
発明の開示
第一の態様において、本発明は、ノズル軸線上のノズルと；ノズル軸線まわりを半径方向に延びるインク室と；インク室と連通するインク供給手段と；ノズル軸線の半径方向のインク室内の音波走行を介し、ノズルを介するインク滴の射出とインク室へのインクの補充を行うためノズル軸線方向に移動可能なアクチュエータとを備える、ドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置を提供する。
好ましい一実施例において、インク室はノズル軸線から半径距離Ｒまで延び、アクチュエータは、少なくとも時間Ｒ／ｃ（ここで、ｃはインク室のインクを介する音速である）の半分の時間で第一と第二構成間のノズル方向に移動できる。たとえば、インク室が半径距離０．５ｍｍ延びてインク室内のインクの音速が５００ｍ／ｓでは、ノズルはせいぜい５００ｎｓの時間で構成間を移動できる。好ましくは、ノズルは時間Ｒ／ｃ以下の大きさで、より好ましくはナノセカンドの時間で構成間を移動できる。
好ましい実施例において、アクチュエータは、インク室と結合しドーム構成に近接してインク滴射出を行う圧電作動ディスクを備え、装置はさらに、作動電界を圧電ディスクに印加する電極を備える。
圧電ディスクは、均質であり、剪断モードで移動するように作動電界にたいし極を有する。このようにすれば、電界はノズル軸線方向に印加され、圧電ディスクは半径方向に極を有する。
圧電ディスクは、すべてノズル軸線に向けて収束する方向に極を有する。
電極は、インク室に接する圧電ディスクの面上の接地電極と、圧電ディスクの反対面上の他の電極とからなる。
ディスクは、ノズル軸線に沿って突出する突出部材または、ノズルとほぼ同心する凹部を備える。
インク供給手段は、インクを、ノズル軸線の半径方向にインク室に供給する。
インク供給手段は、インクを、インク室の円周方向に設けた複数個の位置でインク室に供給し、好ましくは、インクを、ほぼインク室の全周まわりのインク室に供給する。
インク室は、一般に円形構造により結合されて音インピーダンスを変化させノズル軸線の半径方向にインク室内を走行する音波を反射する。この音インピーダンスの変化は、ノズル軸線方向のインク深さの変化により生ずる。この構造は、ノズル軸線方向でインク室の深さと異なる深さである、インク室まわりのインク環部分を形成する。この環部分はインク供給手段の部分を形成する。
好ましくは、装置は、それぞれノズル軸線を有する前記複数個のノズルと、これらノズルは平行かつ２次元平面配列で設けられており；それぞれノズル軸線を中心に延びる前記複数個のインク室と；２次元配列の前記アクチュエータを有する均質圧電シートとを備え、各アクチュエータは、それぞれインク室に結合される。
このような構成において、装置は、前記複数個の電極であって、インク室に接する圧電シートの面上の一つの共通接地電極と、対向面上の、それぞれインク室と結合する各個電極とを備える。各個電極は、ノズル板と圧電シートとにより積層される相互接続板上に設けられるそれぞれ電気接続を介し電気パルス印加手段に接続される。
ノズルはノズル板に形成され、前記ノズル板は圧電シートにより積層されて前記複数個のインク室を設ける。
インク供給手段は、前記圧電シートに形成されるインク流路の配列と、インクをインク流路からインク室に移送するインク移送手段とを備える。インク移送手段は、ノズル板と圧電シートとにより積層された中間板に形成される凹部の配列を備える。
ノズル板、相互接続板および中間板は各圧電シートを備える。別に、ノズル板、相互接続板および中間板は各、圧電シートと熱両立するシート材からなる。
第二の態様において、本発明は、ノズルと；ノズルと連通するインク室と；インク室と結合され、一般にドーム状構造部材に接離してノズルを介し液滴射出を行う圧電作動ディスクと；作動電界を圧電ディスクに印加する電極とを備え、圧電ディスクは均質で、剪断モードで移動するように作動電界にたいし極をゆうする、ドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置を提供する。
本装置はさらに、インク室と連通してインク室に液滴射出後のインクを補給するインク供給手段を備える。
好ましくは、インク室はノズル軸線を中心に半径方向に延び、ディスクは、移動して、ノズル軸線の半径方向インク室内の音速走行を介し、ノズルを介する液滴付着を行うことができる。
第三の態様において、本発明は、各ノズル軸線を有する２次元平面配列の平行ノズルと；各ノズル軸線を中心に延び、それぞれノズルと連通する複数個のディスク形状インク室と；インク室とそれぞれ結合する２次元配列の円形対称作動域と；各域の選択作動を可能にすることにより結合ノズルから液滴を射出する電極とを備える、ドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置を提供する。
第四の態様において、本発明は、ノズル軸線を有するノズルと連通する平坦なインク室を確立する工程と、このインク室はノズル軸線の半径方向に延びており；インク室にノズル軸線の円周に延びるインピーダンス境界を設ける工程と；およびインク室内のノズル軸線の半径方向に走行しインピーダンス境界により反射される音波を確立することによりノズル介しインク液滴の射出を行うようにノズル軸線の方向にアクチュエータを選択的に移動する工程とからなる、インクジェット印刷方法を提供する。
本方法はさらに、インク液滴射出に続くインク室内にインクをノズル軸線の半径方向に供給することによりインクを補給する工程を備える。
第五の態様において、本発明は、各軸線を有する２次元平面配列の平行ノズルを有するノズル板を形成する工程と；それぞれノズルと結合する２次元配列の円形対称作動域を有する均質圧電シートを形成する工程と；電極を圧電シートに付与して各域の選択作動を可能にする工程と；製造された装置において、圧電シートの選択域の作動により関連するノズルから射出を行うように、ノズル板と圧電シートとを積層する工程とからなり、積層構造は、各それぞれノズル軸線を中心に延びそれぞれノズルと連通する複数個のディスク形状インク室を備える、ドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置を製造する方法を提供する。
複数個のインク室は、前記圧電シートに形成される２次元配列の円形対称凹部により得られ、各作動域はそれぞれ円形対称凹部の底壁の少なくとも一部からなる。
円形対称凹部は圧電シートからの材料の除去により、または圧電シートの成形中に形成される。
分極作動域は、レジスト層を前記圧電シートの各側に形成する工程と、各円形対称凹部の外側壁、および内底壁の中央部を露出する工程と、前記レジスト層を現像する工程と、各円形対称凹部を被覆するため圧電シートの各側に金属層を形成する工程と、電界を前記金属層に印加する工程とにより、形成される。
電極は、その後に前記現像レジスト層と前記金属層とを除去する工程と、各分極作動域のそれぞれ面にレジスト層を形成する工程と、前記レジスト層を現像する工程と、圧電シートの両側に電気絶縁層を形成する工程と、各分極作動域の正面を露出するため前記レジスト層を除去する工程と、電極により印加された電界の方向に剪断モードで作動域の偏向を行うため各分極作動域の両面に前記電極を付着する工程とにより、形成される。
各個電極への電気的接続は、前記圧電シートに取り付けた相互接続板に形成される。相互接続板に穴が形成され、電気的接続はそれぞれ各個電極への接続のため穴を通過する。
インク流路の配列が圧電シートに形成されインクをインク室に供給する。インク流路の配列は、円形対称凹部の配列として圧電シートの同じ側に形成され、インク移送手段がインクをインク流路からインク室に移送するため設けられる。
つぎに、本発明の特徴を、例示として、添付図面を参照して説明する。
図１は、複数個の円形剪断ディスクアクチュエータを有するドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置の実施例の簡単化分解斜視平面図；
図２は、図１に示した装置の簡単化分解斜視底面図；
図３と４は、図１に示した単一アクチュエータのさらに詳細な分解斜視図；
図５と６は、それぞれ１４４ｘ１４４ｄｐｉ配置と２８８ｘ７２ｄｐｉ配置とを示す、マトリックス配置の平面図；
図７は、図３に示した単一アクチュエータの側面図；
図８は、作動状態の図３に示したアクチュエータの側面図；
図９（ａ）から９（ｃ）は、作動状態の単一アクチュエータの製造工程を例示する；および
図１０と１１は圧電ディスクの別の極配置の平面図である。
実施例
図１から８は、ドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置の一実施例を示す。本装置は、複数個の層からなる積層構造体からなり、インク室２２の配列を含む。各インク室の液滴射出力は、半径方向に極のある作動域１０を有する圧電シート１４により得られ、作動時、実質的にそれぞれノズル１９に向く方向に偏向する。
図１は、２ｘ２マトリックスで配置した多数の別個インク室２２の簡単化分解斜視平面図である。本装置は、同じ材料または熱的に両立する材料からなる、４層から形成される。
相互接続層２１には、駆動回路への電気接続軌道１３が貫通する穴１２を有する。
圧電シート１４は、インク室２２を画成する複数個の凹部を形成するように加工または成形され、作動域１０は、インク室２２の底壁に形成される。作動域１０は隣接作動域間にクロストークを生じせずに圧電シート１４をノズル板１８を偏向させるように構成される。インクを（図示しない）溜めからインク室２２に流すインク流路１５が、凹部として圧電シート１４の同じ側に形成される。
介在板１７の破断セグメント１６は、図２の矢印で示すように、インクを流路からインク室内に流す。矢印は、インクが一つの流路１５から、室２２を介し隣接流路内に循環されることを示す。これは、沈滞を防止し、装置内の空気の推積を減少する。また、インクは、同時に作動域の両側から同時に送られる。
ノズル板１８は介在板１７に固定され、ノズル１９は、介在板１７のオリフィス２０の直径内に位置するように設けられる。
配置の分解斜視底面図が図２に示される。この図は、インク室１５と圧電シート１４に形成されるインク室２２とをより明確に示す。
各インク室２２に、インク室内に位置する中央突起または窪みが形成される。この突起は、円筒形で示されているが、半球形、三角形またはその他任意形状でもよい。図示の突起は介在板１７のオリフィス２０より小さいが、オリフィス２０と同じまたはそれより大きい突起も、それがオリフィスの下または内部に移動できれば、適していることはもちろん可能である。インク室２２内の突起または窪み２３は、アクチュエータの効率を向上させ、液サイズおよび速度の制御を改善するのに役立つ。さらに、突起または窪みは、組立または製造中圧電シート１４の作動域の半径方向ポーリング中電界を印加する位置となる。
電極は、インク室２２の上面と圧電シート１４の底部の両部分にたいするスパッタ−その他任意の方法で形成される。対向電極間に電界が印加されると、半径方向に極を有する圧電シートの結合作動域はオリフィス２０の方へ偏向し、ノズル１９からインクを射出する。
図３と４は、単一作動域とインク室をより詳細に示す（相互接続層２１の詳細は省略されている）。別個４層の単一配置により、従来の加工とともに近代の成形方法を使用して製造を容易にする。成形による製造の利点は、反対面にそれぞれ中空または突起を有する一つ以上の板とシートに隆起または溝が形成されることである。これにより、それぞれ層を簡単かつ正確に整列させる。また、縁面２６に突起を位置させて各個または群の変換器のモジュラー推積をより大きなマトリックス配列にすることができる。
接地電極２５だけがインクに接しているということは、水性インクの印刷時必要な不動態化が減少され、場合により、電流が電極からインク内に流れないと全く不要になることを意味し、圧電シート１４は絶縁バリヤーとして作用する。圧電シートは、導電接着または他の便宜な方法によって介在板１７と相互接続板２１とに接合できる。さらに、ノズルは、好ましい製造方法により、その位置のみならずもとの位置に形成される。
図１と２は２ｘ２マトリックスを示しているが、完全な配列組立体は典型的に約１８ｘ１８ｍｍ測定長さの１６ｘ１６ノズル配列よりなる。これにより、オーダー３６０ｄｐｉのドット密度を生ずる。印刷密度は、異なる印刷密度を特定するだけでマトリックス配置において容易に変えることができる。たとえば、図５は１２ｘ１２マトリックスのアクチュエータ位置を示す。このマトリックスの全寸は１インチｘ１インチで、各ノズルは１／１２インチだけ隣接ノズルから分離される。両寸法において１４４ｄｐｉのドット密度は、水直両列において１／１４４インチだけノズルを指示することにより形成される。図６は、水平方向で２８８ｄｐｉ、垂直方向で７２ｄｐｉのドロップ密度を生ずる２４ｘ１２マトリックスのアクチュエータ位置を描いている。この配列は隣接する二つの２４ｘ６モジュールから形成される。もちろん、多数の別個モジュールを一緒に接して、ページ幅までさえ必要なだけ大きい配列を形成できる。なお、相互接続密度はマトリックス形状により大きく変化しない。もちろん、マトリックスを形成する同じ効果が、四角または長方形の配列を形成しヘッド全体を曲げることにより得ることができる。
図７と８は、図３の示す単一インク室の分解断面図である。インクは、その一方または両側からインク室に送られる。作動域は、矢印２７方向に極を有する圧電シートのディスク状である。図８は、電位差が電極２４，２５に印加されたときの圧電ディスクの偏向を示す。中央突起２３が、ノズル１９の方へ移動すると、液滴が射出される。電界が一度除去されると、圧電ディスクは図７に示すもとの位置に戻る。
アクチュエータは、電極２４，２５への差電圧パルスの印加に応答してインク液を放出できる。こうような各パルスは分極２７方向に垂直な方向に電界を形成する。これにより、図８に示すように、圧電ディスク１４に剪断ひずみを発生させ、ディスクを電界方向に偏向させる。この変位によりインク室に圧力を生ずる。典型的には、３０−３００ｋＰａの圧力が加えられてインク室を作動して、これは、板１４に垂直な室寸法が短いのでわずかな偏向のみで得られる。
このようにインクに生じた圧力の消散により、この圧力が最小値を超えていれば、インク液をノズル１９から放出させる。この状態は、室内で半径方向に走行し、室の側壁から反射されてインクとアクチュエータに蓄えられるエネルギーを消散し、再び室の中央に収束して室からインクを放出する、音響圧力波により生ずる。圧力波がノズルから後退するときの体積歪みまたは縮合により、Ｒ／ｃ期間ノズル出口開口からのインク流れを生ずる（ここで、ｃは室内インクの有効音速で、Ｒは室壁への半径距離である）。インク滴はこの期間中放出される。時間Ｒ／ｃ後、圧力は負になり、インク放出は停止し、印加電圧は除去される。その後、圧力波が減哀されると、室から射出されたインクはインク流路から補給され、液滴放出サイクルが繰り返される。多数のパルスを早く連続して印加することにより、射出液滴のサイズを大きくし、したがって多数のグレーレベルを集結できる。
種々の方法を用いてインク室からの液滴射出特性を変えることができる。このような方法の一つは、たとえば、インク室の半径を大きくしまたはオリフィス２０のプロフィールを変えることにより、インク室の形状と構造を変えることである。オリフィス２０，ノズル２９の形状とノズル板１８の剛性とは室から射出されるインクの慣性に影響する。さらに、圧電ディスクの厚みによりディスクの剪断偏向を変化され、液滴射出特性を変える。
図９は、圧電シートに半径方向に極を有する圧電ディスクを形成し、その後そこに電極を付着する方法の実施例をしめす。
この実施例にいて、レジスト層１００は、たとえば、スパッターにより、圧電シートの各側に形成される。外側壁１０２に形成されたレジスト層の部分と各凹部の内底壁１０６の中央部分１０４とは、研削、アブレーションまたはエッチング技術により除去され、レジスト層１００の残余部分は展開される。金属層１０８は圧電シートの各側に付着され各凹部の露出域を被覆する。図９（ａ）に示すように、電界が金属層に印加されて凹部の作動域を半径方向に極決めして、極圧電ディスクに、ディスクの中央に向けて収束する分極方向を形成する。
展開レジスト層１００と金属層１０８は除去され、第二レジスト層１１０は、たとえば、第二レジスト層１１０の付着とその後の選択的除去により、極圧電ディスクのそれぞれ面に形成される。
第二レジスト層１１０の残余部分は展開され、電気絶縁層１１２はその後、図９（ｂ）に示すように、圧電シートの両側に形成される。
レジスト層はその後、除去されて極圧電ディスクの両面を露出し、電極２４，２５は、図９（ｃ）に示すように、圧電シートのそれぞれの側に付着される。電極２５は、すべての極圧電ディスクのため共通接地電極を形成し、電圧が電極層２４の各個部分に選択的に印加され所望により極圧電ディスクを活性化する。
前記実施例において、圧電ディスクは半径方向に極を有し、すなわち、すべてがノズル軸線に向けて収束する方向に極を有するが、圧電ディスクの別のポーリング配置でも、半径方向圧力波を、作動によるディスクの剪断モード偏向によりインク室に発生させることができる。
図１０と１１は、２つのこのような別のポーリング配置を示す。図１０は、各半分がディスク１４の直径に向けて極を有する、２つの同一半分１４ａ，１４ｂから形成される圧電ディスク１４の平面図を示す。図１１に示すポーリング配置において、圧電ディスクは４つの同一四半分１４ｃ... １４ｆから形成される。
前述の実施例において、作動域は極圧電ディスクにより形成される。しかし、作動域の別の形状も容易に予想される。たとえば、作動域は任意の多角形状、たとえば、三角形、長方形または六角形としてもよく、作動域のセグメントは、陰気室内での半径方向音波走行を展開するため作動により剪断モードでの偏向のため任意に極を有する。
すべての前述実施例は、剪断モードで偏向するように配置された圧電アクチュエータを利用するドロップ・オン・デマンド・インクジェット印刷装置を提供する。要約すると、本装置は、インク室２２を画成するように配置された複数個の積層板により形成される。アクチュエータは、室の一側を形成し、室の対向側をなすノズル板１８に形成されるノズル１９の方に偏向する。相互接続層２１は、基体として作用し、ドライバーチップへの軌道１３を通過させるオリフィス１２を有する。相互接続層の反対側に圧電シート１４がある。電極２４，２５は相互接続層と圧電シート間に設けられる。圧電シートは、刻まれ、穴あけ、または成形されて、平行インク流路１５と、突出中央溜め２３を有する円形窪みとを設けるようにする。圧電シートは、ノズル板に結合される、介在板または接地電極に結合される。２つの電極間に電圧が印加されると、圧電シート１４の選択アクチュエータ１０はノズル板に向けて剪断モードで偏向する。この移動により、液滴をノズルから射出するエネルギーが得られる。射出される液滴のサイズを大きくするように多数の短パルスを印加してもよい。平行インク流路のみで接続される多数の別個圧力室２２は、直線配列で必要とされるよりも少なく密パックされた電気接続をさせて、アクチュエータ１０間の距離を増大させる、二次元マトリックスで配置されている。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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