(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭化水素系溶剤でワークを洗浄する洗浄装置であって、
上記炭化水素系溶剤と、この炭化水素系溶剤の沸点よりも低沸点のフッ素系不活性溶剤とを混合貯溜した第１槽と、
上記第１槽の次段に位置してフッ素系不活性溶剤を貯溜した第２槽とを設け、
上記第１槽にはフッ素系不活性溶剤をその沸点に加熱する加熱ヒータを設け、
上記第１槽の液面上部にフッ素系不活性溶剤の蒸気で第２槽への持込み防止部を形成した洗浄装置。
【請求項２】
上記第２槽の液面部位に槽璧内部に付着しようとする炭化水素系溶剤を受け止める樋部材が上記第２槽の槽璧内面に沿って配設された
請求項１記載の
洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばＨＣ（ハイドロカーボン）等の炭化水素系溶剤でワークを洗浄するような洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、上述例の洗浄装置としては、例えば図２に示す如き構成の装置がある。
すなわち上部を広く開口してワーク出入口５１に設定した装置本体５２に、第１槽５３（洗浄槽）、第２槽５４（すすぎ槽）および第３槽５５（ＰＦＣ置換洗浄槽）を形成し、上述の第１槽５３には炭化水素系溶剤としてのＨＣ（ハイドロカーボン）Ａを貯溜すると共に、槽底部に超音波振動子５６および加熱ヒータ５７を取付け、また第２槽５４にはフッ素系不活性溶剤としてのＰＦＣ（パーフロオロカーボン）Ｂを貯溜すると共に、槽底部に超音波振動子５８および加熱ヒータ５９を取付け、さらに第３槽５５にはフッ素系不活性溶剤としてのＰＦＣ（パーフロオロカーボン）Ｂを貯溜し、かつ槽底部に超音波振動子６０および加熱ヒータ６１を取付けると共に、このＰＦＣ（Ｂ）の液面と第３槽５５の上部外周に配置した冷却ジャケット６２との間にＰＦＣ蒸気層Ｃを形成し、さらに上述のＰＦＣ（Ｂ）の液面相当位置に液面シャワー装置６３を取付けた洗浄装置である。
【０００３】
この従来装置によれば、被洗浄物体としてのワーク（図示せず）は、まず第１槽５３のＨＣ（Ａ）内に浸漬されて洗浄され、次に第２槽５４のＰＦＣ（Ｂ）内に浸漬されてすすぎ処理され、さらに第３槽５５のＰＦＣ（Ｂ）内に浸漬されて置換洗浄される。
【０００４】
ワークを第１槽５３から第２槽５４に移動させる時、ワークに付着したＨＣ（Ａ）の液切りを行なうが、ワーク表面に残存するＨＣ（Ａ）が第２槽５４および第３槽（５５）に持込まれることがあり、このようにＨＣ（Ａ）がＰＦＣ（Ｂ）の液中に持込まれると、ＰＦＣ（Ｂ）によるすすぎ能力および置換洗浄能力が低下すると共に、ＰＦＣ蒸気層Ｃの洗浄度が低下して、充分なワークの洗浄品質が確保できなくなる問題点があった。
【０００５】
また第３槽５５において比重差（ＰＦＣの比重＝１．６８、ＨＣの比重＝０．８１５）によりＰＦＣ（Ｂ）の液面上に浮遊したＨＣ（Ａ）を上述の液面シャワー装置６３で槽外に排出除去することもできるが、この液面シャワー装置６３からのシャワー流ｄの噴出時に、ＨＣ（Ａ）とＰＦＣ（Ｂ）とが混入される所謂巻き込み現象が発生するので好ましくない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の請求項１記載の発明は、沸点が異なる炭化水素系溶剤とフッ素系不活性溶剤とを混合貯溜した第１槽と、フッ素系不活性溶剤を貯溜した第２槽とを備え、第１槽にはフッ素系不活性溶剤をその沸点に加熱する加熱ヒータを設け、
上記第１槽の液面上部にフッ素系不活性溶剤の蒸気で第２槽への持込み防止部を形成することで、ワークを第１槽から第２槽へ移動させる時、ワーク表面に付着している炭化水素系溶剤をフッ素系不活性溶剤の蒸気でその略全量を除去して、炭化水素系溶剤が第２槽に持ち込まれるのを防止して、ワークの充分な洗浄品質を確保することができる洗浄装置の提供を目的とする。
【０００７】
この発明の請求項２記載の発明は、上記請求項１記載の発明の目的と併せて、上述の第２槽の所定部に槽壁内面に付着しようとする炭化水素系溶剤を受け止める樋部材を配設することで、この第２槽に万一炭化水素系溶剤が持ち込まれた時、これを上述の樋部材で受け止めて槽外に排出することで、炭化水素系溶剤が第２槽のフッ素系不活性溶剤の液中に含まれる以前に排出除去して、炭化水素系溶剤の再付着を防止すると共に、ワークのより一層良好な洗浄品質の確保を達成することができる洗浄装置の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項１記載の発明は、炭化水素系溶剤でワークを洗浄する洗浄装置であって、上記炭化水素系溶剤と、この炭化水素系溶剤の沸点よりも低沸点の
フッ素系不活性溶剤とを混合貯溜した第１槽と、上記第１槽の次段に位置してフッ素系不活性溶剤を貯溜した第２槽とを設け、上記第１槽にはフッ素系不活性溶剤をその沸点に加熱する加熱ヒータを設け、上記第１槽の液面上部にフッ素系不活性溶剤の蒸気で第２槽への持込み防止部を形成した洗浄装置であることを特徴とする。
【０００９】
この発明の請求項２記載の発明は、上記請求項１記載の発明の構成と併せて、上記第２槽の液面部位に槽璧内部に付着しようとする炭化水素系溶剤を受け止める樋部材が上記第２槽の槽璧内面に沿って配設された洗浄装置であることを特徴とする。
【００１０】
【発明の作用及び効果】
この発明の請求項１記載の発明によれば、上述の第１槽には沸点が異なる炭化水素系溶剤とフッ素系不活性溶剤とを混合貯溜したので、この混合液を加熱ヒータにて低沸点のフッ素系不活性溶剤の沸点に加熱すると、該混合液の液面上部にはフッ素系不活性溶剤の蒸気による第２槽への持込み防止部が形成される。
【００１１】
而して、ワークを第１槽から第２槽へ移動させる時、第１槽の液中から引き上げられたワークは必然的に上述の持込み防止部を通過することになり、この時点においてワーク表面に付着している炭化水素系溶剤はフッ素系不活性溶剤の蒸気によりその略全量が完全に除去される。
この結果、炭化水素系溶剤が第２槽（およびそれ以降）に持ち込まれるのを確実に防止して、ワークの充分な洗浄品質を確保することができる効果がある。
【００１２】
この発明の請求項２記載の発明によれば、上記請求項１記載の発明の効果と併せて、上述の第２槽の液面部位に炭化水素系溶剤を受け止める樋部材が該第２槽の槽壁内面に沿って配設されているので、この第２槽に対して万一炭化水素系溶剤が持ち込まれた時、これを上述の樋部材で受け止めて槽外に排出することができる。
【００１３】
この結果、炭化水素系溶剤が第２槽のフッ素系不活性溶剤の液中に含まれる以前に排出除去して、炭化水素系溶剤のワークへの再付着を防止することができると共に、ワークのより一層良好な洗浄品質の確保を達成することができる効果がある。
【００１４】
【実施例】
この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述する。
図面は洗浄装置を示し、図１において、この洗浄装置は上部を広く開口してワーク出入口１に設定した装置本体２を設け、この装置本体２に第１槽３、第２槽４および第３槽５を形成している。なお、上述のワーク出入口１を開閉可能に覆う蓋部材を設けてもよい。
【００１５】
上述の第１槽３には炭化水素系溶剤としてのＨＣ（ハイドロカーボン）とフッ素系不活性溶剤としてのＰＦＣ（パーフロオロカーボン）とを混合した混合液Ｄを貯溜すると共に、槽低部には超音波振動子６と、混合液Ｄのうちの低沸点のフッ素系不活性溶剤をその沸点に加熱する加熱ヒータ７とを取付けて、この第１槽３を煮沸超音波槽に設定している。
【００１６】
しかも、上述の第１槽３の混合液Ｄの液面と該第１槽３の上部外周に配置した冷却ジャケット８との間に第２槽への持込み防止部としてのＰＦＣ蒸気層Ｃを形成している。上述の冷却ジャケット８および後述する冷却ジャケット１４は例えば空冷式冷凍機に接続され、蒸気を槽外に逃さないように冷却作用する。
【００１７】
ここで、上述のＨＣおよびＰＦＣの物性を列記すると次の通りである。
ＨＣの物性
比重……０．８１５
引火点…８６℃
沸点……１００℃以上
ＰＦＣの物性
比重……１．６８
沸点……５６℃
表面張力…１２dynes/cm
オゾン破壊係数…０．０００（但しＣＦＣ11＝１．０００とした時の値）  上述の第１槽３の次段に離間状に位置する第２槽４にはフッ素系不活性溶剤としてのＰＦＣ（パーフロオロカーボン）Ｂを貯溜すると共に、槽底部に超音波振動子９および加熱ヒータ１０を取付けて、この第２槽４をＰＦＣ煮沸槽もしくはＰＦＣ超音波槽に設定している。
【００１８】
上述の第２槽４の次段に隣設状に位置する第３槽５にはフッ素系不活性溶剤としてのＰＦＣ（Ｂ）を貯溜すると共に、槽底部に超音波振動子１１および加熱ヒータ１２を取付けて、この第３槽５をＰＦＣ超音波槽もしくはＰＦＣ煮沸槽に設定している。ここで、上述の第２槽４をＰＦＣ煮沸槽に設定した場合には、第３槽５はＰＦＣ超音波槽に設定し、上述の第２槽４をＰＦＣ超音波槽に設定した場合には、第３槽５はＰＦＣ煮沸槽に設定すればよい。
【００１９】
また上述の第２槽４の液面に対してその液面が若干高い第３槽５の前位（図１の左側）と第２槽４の後位（図１の右側）との隣設部は、オーバフロー用の流下板１３で接続する一方、これら第２および第３の各槽４，５のＰＦＣ（Ｂ）の各液面と第２および第３の各槽４，５の上部における装置本体２外周に一体的に配置した冷却ジャケット１４との間には各槽４，５共通のＰＦＣ蒸気層Ｃを形成している。
【００２０】
さらに上述の第２槽４および第３槽５の液面部位には槽壁内面に付着しようとするＨＣ（Ａ）を受け止める断面Ｌ字状の樋部材１５がこれら各槽４，５の槽壁内面の４辺に沿ってそれぞれ水平状に配設されている。
【００２１】
なお、第３槽５側の樋部材１５で受け止められたＨＣ（Ａ）は流下板１３を介して第２槽４側の樋部材１５にオーバフローし、この第２槽４側の樋部材１５で受け止められたＨＣ（Ａ）は槽外部に排出された後に、図示しない蒸溜槽へ送液されるように構成している。
【００２２】
図示実施例は上記の如く構成するものにして、以下作用を説明する。
第１槽３における混合液Ｄをフッ素系不活性溶剤としてのＰＦＣの沸点（５６℃）に加熱すると、この混合液Ｄの液面上部にはＰＦＣ蒸気層Ｃが形成される。
【００２３】
而して、ワーク（図示せず）を第１槽３から第２槽４へ移動させる時、第１槽３の混合Ｄの液中から引き上げられたワークは必然的に上述のＰＦＣ蒸気層Ｃを通過することになり、このＰＦＣ蒸気層Ｃにおいてワーク表面に付着しているＨＣ（Ａ）はＰＦＣ蒸気層ＣのＰＦＣ蒸気によりその略全量が完全に除去されるので、ＨＣ（Ａ）が第２槽４および第３槽５に持ち込まれるのを確実に防止して、ワークの充分な洗浄品質を確保することができる。
【００２４】
また上述の第１槽３におけるＰＦＣ蒸気層ＣがＰＦＣの沸点であるため、被洗浄物体としてのワークの表面温度が上昇し、ワーク表面からＰＦＣを気化させて、ＰＦＣのロス低減を図ることもできる。
【００２５】
なお、万が一上述の第２槽４および第３槽５に対してＨＣ（Ａ）が持ち込まれた場合、ＨＣの比重は０．８１５、ＰＦＣの比重は１．６８であるので、ＨＣ（Ａ）は第２槽４および第３槽５におけるＰＦＣ（Ｂ）の液上に浮遊し、このようにしてＰＦＣ液上に浮遊したＨＣ（Ａ）はオーバフローすることで内部四方の樋部材１５に受け止められる。
【００２６】
而して、第３槽５の槽壁内面四方に位置する樋部材１５で受け止められたＨＣ（Ａ）は流下板１３を介して第２槽４側の槽璧内面四方に位置する樋部材１５にオーバフローし、この第２槽４側の樋部材１５で受け止められたＨＣ（Ａ）は一旦槽外部に排出された後に、図示しないポンプ等の送液手段および送液ラインを介して蒸溜槽へ送液される。
【００２７】
この結果、ＨＣ（Ａ）が第２および第３の各槽４，５のＰＦＣ（Ｂ）の液中に含まれる以前に排出除去して、ＨＣ（Ａ）のワークへの再付着を防止することができ、かつ第２および第３の各槽４，５に共通のＰＦＣ蒸気層Ｃにおける充分な清浄度を確保することができて、ワークのより一層良好な洗浄・すすぎ品質の確保を達成することができる効果がある。
【００２８】
この発明の構成と、上述の実施例との対応において、
この発明の炭化水素系溶剤（洗浄溶剤）は、実施例のＨＣ（Ａ）に対応し、
以下同様に、
フッ素系不活性溶剤（すすぎ溶剤）は、ＰＦＣ（Ｂ）に対応し、
持込み防止部は、ＰＦＣ蒸気層Ｃに対応するも、
この発明は、上述の実施例の構成のみに限定されるものではない。
【００２９】
例えば上記ＰＦＣ（Ｂ）に代えてＨＦＣ（沸点５４℃、比重１．５８）やその他の完全なフッ素系不活性溶剤（今後開発されて出てくるフッ素系不活性溶剤も含む）を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の洗浄装置を示す縦断面図。
【図２】  従来の洗浄装置を示す縦断面図。
【符号の説明】
３…第１槽
４…第２槽
１５…樋部材
Ａ…ＨＣ
Ｂ…ＰＦＣ
Ｃ…ＰＦＣ蒸気層
Ｄ…混合液
【図１】
0003679837.tif 000002
【図２】
0003679837.tif 000003