(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転型磁気ヘッド装置を構成する回転ドラムの外周部に設けられ磁気ヘッドが配設されるヘッド窓孔を研磨するバフと、上記バフを回転駆動するバフ駆動手段とを有するバフ部と、
上記回転ドラムを保持するチャッキング部材と、上記チャッキング部材に保持された回転ドラムのヘッド窓孔の位置を上記バフ部に臨む位置に回転移動するドラム移動手段とを有するチャッキング部と、
上記チャッキング部に保持された回転ドラムに対して上記バフ部を接離動作させるバフ移動手段と、
上記バフ部に対して上記回転ドラムを保持したチャッキング部を接離動作させるチャッキング移動手段と、
上記バフと上記回転ドラムのヘッド窓孔との相対的な位置を検出する位置検出部と、
環状の基台と、上記基台の中央部に配設されて検出対象体に負荷される力に応じて変位する中間基台と、上記基台の内周部と上記中間基台の外周部とに両端が一体に連結された弾性変位可能な線状の連結片部と、上記基台の内周部と上記中間基台の外周部との間に位置して間隙を構成する対向する一対の検出片を有する検出部と、上記検出部に配設されて検出部に生じる変位量を検出する第１の差動トランスとから構成されて上記回転ドラムのヘッド窓孔に対して圧接された上記バフの圧接力を検出する力検出ユニットと、
上記位置検出部が検出する位置検出信号及び上記力検出ユニットが検出する圧接力検出信号に基づいて上記ドラム移動手段、上記バフ移動手段及び上記チャッキング移動手段をそれぞれ駆動して上記バフ及び上記回転ドラムのヘッド窓孔に対して位置制御及び圧接力制御を行う制御部とを備えることを特徴とする自動バフ研磨装置。
【請求項２】
上記検出部は、上記中間基台の中心線上に位置して対称に設けられた一組の検出部から構成されることを特徴とする請求項１記載の自動バフ研磨装置。
【請求項３】
上記力検出ユニットの中間基台には、環状の中間基台部と、
上記中間基台部の中央部に配設されて検出対象体に負荷される力に応じて変位する支持台と、
上記連結片部と直交する方向に設けられ上記中間基台部の内周部と上記支持台の外周部とに両端が一体に連結された弾性変位可能な線状の第２の連結片部と、
上記中間基台部の内周部と上記支持台の外周部との間に位置して間隙を構成する対向する一対の第２の検出片を有するとともに上記検出部と直交して設けられた第２の検出部と、
上記第２の検出部に配設されて上記第２の検出部に生じる変位量を検出する第２の差動トランスとを備え、
上記第１の差動トランス及び上記第２の差動トランスは、直交する２方向の力をそれぞれ検出することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の自動バフ研磨装置。
【請求項４】
上記第２の検出部は、上記支持台の中心線上に位置して対称に設けられた一組の検出部から構成されることを特徴とする請求項３記載の自動バフ研磨装置。
【請求項５】
上記回転ドラムは、複数個のヘッド窓孔を有し、
上記ドラム移動手段は、上記複数個のヘッド窓孔を順次上記バフ部に臨ませるように上記回転ドラムを保持したチャッキング部材を回転駆動することを特徴とする請求項１乃至請求項４の内いずれか１に記載の自動バフ研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
また、本発明は、検出対象体として、例えば、ビデオテープレコーダ等の磁気記録再生装置に搭載される回転型磁気ヘッド装置を構成する回転ドラムをバフが圧接することによって生じる圧接力を検出する力検出ユニットを備え、バフ研磨加工するのに好適な自動バフ研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、バフ研磨装置は、概略、被研磨物を研磨するバフと、このバフが支持された支軸と、この支軸を回転駆動する駆動モータとを備えて構成されている。バフは、円板状に形成されており、中央部が支軸に支持されて固定されている。支軸は、先端部にバフを支持しており、基端部が駆動モータの回転軸に連結されている。駆動モータは、回転軸を回転駆動することによって、支軸を介してバフを回転させる。そして、バフ研磨装置は、バフの外周部に研磨材が塗布されて、被研磨物の被研磨部に回転されたバフの外周部を突き当てることによってバフ研磨加工を行う。
【０００３】
ところで、磁気記録再生装置に搭載される回転型磁気ヘッド装置を構成する回転ドラムは、バフ研磨装置によって磁気ヘッドが配設されるヘッド窓孔がバフ研磨加工されている。
【０００４】
ビデオテープレコーダ等の磁気記録再生装置は、磁気記録再生するために回転型磁気ヘッド装置が搭載されている。この回転型磁気ヘッド装置３は、図３０に示すように、磁気ヘッド３Ａと、この磁気ヘッド３Ａが設けられる回転ドラム３Ｂと、この回転ドラム３Ｂに重ね合わされる固定ドラム３Ｃと、これら回転ドラム３Ｂ及び固定ドラム３Ｃを支持する支軸３Ｄとから構成されている。
【０００５】
磁気ヘッド３Ａは、閉磁路を構成する一対の磁気コア半体が組み合わされて構成された図示しない磁気コアと、この磁気コアに凹設された図示しない巻き線ガイド溝に巻回された図示しないコイルとから構成されている。また、磁気コアには、微小間隙である図示しない磁気ギャップが形成されている。
【０００６】
回転ドラム３Ｂは、金属材料によって有底筒状に形成されており、底面部の中央部に図示しない軸穴が設けられている。回転ドラム３Ｂには、開口縁部の複数箇所に、外周部に開口された略矩形状のヘッド窓孔３Ｅがそれぞれ凹設されている。回転ドラム３Ｂには、ヘッド窓孔３Ｅ内に、磁気ヘッド３Ａの磁気ギャップが外周部から僅かに突出した状態で接合固定されている。
【０００７】
固定ドラム３Ｃは、有底筒状に形成されており、底面部の中央部に図示しない軸穴が設けられている。支軸３Ｄは、回転ドラム３Ｂ及び固定ドラム３Ｃとの各軸穴にそれぞれ挿通されている。支軸３Ｄは、一端部が固定ドラム３Ｃに支持されて、中途部に回転ドラム３Ｂを回転自在に支持している。
【０００８】
そして、回転型磁気ヘッド装置３は、磁気テープＴの情報信号を記録再生する際、回転ドラム３Ｂの外周部に沿って磁気テープＴが略螺旋状に巻き付けられ、この磁気テープＴに回転ドラム３Ｂの外周部から僅かに突出した磁気ヘッド３Ａの磁気ギャップが当接される。回転型磁気ヘッド装置３は、回転ドラム３Ｂを回転させることによって、磁気テープＴの信号記録領域に、この磁気テープＴ上を摺動する磁気ヘッド３Ａが情報信号の記録再生を行っている。
【０００９】
上述した回転型磁気ヘッド装置３は、磁気テープＴを記録再生する際、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの外周部側のエッジ部に磁気テープＴが当接するため、このエッジ部に曲面を形成する必要がある。したがって、回転ドラム３Ｂは、バフ研磨装置によって、ヘッド窓孔３Ｅの外周部側のエッジ部がバフ研磨加工されて曲面が形成されている。
【００１０】
この回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅは、図３１に示すように、フライス加工によって研削されて形成される。つぎに、回転ドラム３Ｂは、図３２に示すように、ヘッド窓孔３Ｅに回転させたバフを圧接させることによってバフ研磨加工が施されて、ヘッド窓孔３Ｅの周囲に滑らかな研磨部分３Ｆが形成されている。
【００１１】
回転ドラム３Ｂについて、ヘッド窓孔３Ｅの研磨部分３Ｆに要求される形状を図３３を参照して説明する。回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの研磨部分３Ｆは、上面３Ｇ側の開口端部に位置して形成される上端側曲面３Ｈと、磁気テープＴの走行方向に直交する方向に形成される側面側曲面３Ｉと、磁気テープＴの走行方向と平行な方向に形成される底面側曲面３Ｊと、側面側曲面３Ｉと底面側曲面３Ｊとが連続する位置に形成される下端側曲面３Ｋとを有している。そして、これら上端側曲面３Ｈ、側面側曲面３Ｉ、底面側曲面３Ｊ及び下端側曲面３Ｋとは、各曲面の曲率がそれぞれ管理される必要がある。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、回転ドラム３Ｂは、ヘッド窓孔３Ｅの各曲面が、バフ研磨装置を用いて複雑な３次元研磨を行うことによって形成されている。また、回転ドラム３Ｂには、径寸法やヘッド窓孔３Ｅの個数、位置及び幅寸法等の異なる多品種があるため、手作業でバフ研磨加工が行われている。
【００１３】
そして、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅは、手作業によってバフ研磨されているため、作業者の熟練を要する作業であった。また、この手作業は、バフ研磨する際、作業者に研磨材等が飛散するため、良好な作業環境を確保することが困難であった。したがって、バフ研磨装置は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの各曲面に、十分な加工精度を達成することが困難であった。
【００１４】
上述した問題点の対策として、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅのバフ研磨工程を自動化するために、バフと回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅとの間に作用する圧接力を測定するとともにバフと回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅとの間の相対的な位置を測定し、これら測定値に基づいてバフと回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅとの間の相対位置及び圧接力とをそれぞれ管理する方法が考慮される。
【００１５】
そして、圧接状態におけるバフと回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅとの間に作用する圧接力を測定するために、圧接力検出ユニットが採用されている。一般に、圧接力検出ユニットとしては、歪みゲージを備えるものが市販されており、広く用いられている。
【００１６】
ところで、歪ゲージ等を備える市販の圧接力検出ユニットは、回転ドラム３Ｂの中心方向と回転ドラム３Ｂの円周方向との２方向の圧接力を測定できる小型軽量で安価なものがない。また、市販の圧接力検出ユニットは、広いレンジで微弱な圧接力の検出が可能な高分解能でかつ高剛性のものがない。
【００１７】
さらに、この圧接力検出ユニットが備える歪みゲージは、弾性変形する構造体に貼り付ける際、貼り付け位置よって検出力の変化が大きい、剥がれ易い、破損し易い等の問題がある。したがって、圧接力検出ユニットが備える歪みゲージの貼り付け作業は、熟練を要するという問題点があった。
【００１８】
上述したように、圧接力検出ユニットとしては、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅのバフ研磨工程に必要とされる機能、性能を有するものが得られていない。したがって、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅをバフ研磨する研磨工程は、未だ自動化が実現されていないという問題があった。
【００１９】
そこで、本発明は、検出対象体に負荷される直交する２方向の力の検出を可能とするとともに、全体の小型軽量化、組立容易化が図られた力検出ユニットを備えた自動バフ研磨装置を提供することを目的とする。
【００２０】
また、本発明は、回転ドラムのヘッド窓孔に対してバフを所定の圧接力で圧接させることを可能として、高精度なバフ研磨加工の自動化を可能にする自動バフ研磨装置を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を達成するための手段】
上述した目的を達成するため、本発明に係る自動バフ研磨装置は、回転型磁気ヘッド装置を構成する回転ドラムの外周部に設けられ磁気ヘッドが配設されるヘッド窓孔を研磨するバフと、上記バフを回転駆動するバフ駆動手段とを有するバフ部と、上記回転ドラムを保持するチャッキング部材と、上記チャッキング部材に保持された回転ドラムのヘッド窓孔の位置を上記バフ部に臨む位置に回転移動するドラム移動手段とを有するチャッキング部と、上記チャッキング部に保持された回転ドラムに対して上記バフ部を接離動作させるバフ移動手段と、上記バフ部に対して上記回転ドラムを保持したチャッキング部を接離動作させるチャッキング移動手段と、上記バフと上記回転ドラムのヘッド窓孔との相対的な位置を検出する位置検出部と、環状の基台と、上記基台の中央部に配設されて検出対象体に負荷される力に応じて変位する中間基台と、上記基台の内周部と上記中間基台の外周部とに両端が一体に連結された弾性変位可能な線状の連結片部と、上記基台の内周部と上記中間基台の外周部との間に位置して間隙を構成する対向する一対の検出片を有する検出部と、上記検出部に配設されて検出部に生じる変位量を検出する第１の差動トランスとから構成されて上記回転ドラムのヘッド窓孔に対して圧接された上記バフの圧接力を検出する力検出ユニットと、上記位置検出部が検出する位置検出信号及び上記力検出ユニットが検出する圧接力検出信号に基づいて上記ドラム移動手段、上記バフ移動手段及び上記チャッキング移動手段をそれぞれ駆動して上記バフ及び上記回転ドラムのヘッド窓孔に対して位置制御及び圧接力制御を行う制御部とを備えることを特徴とする。
【００２２】
また、この自動バフ研磨装置は、上記力検出ユニットの中間基台に、環状の中間基台部と、上記中間基台部の中央部に配設されて検出対象体に負荷される力に応じて変位する支持台と、上記連結片部と直交する方向に設けられ上記中間基台部の内周部と上記支持台の外周部とに両端が一体に連結された弾性変位可能な線状の第２の連結片部と、上記中間基台部の内周部と上記支持台の外周部との間に位置して間隙を構成する対向する一対の第２の検出片を有するとともに上記検出部と直交して設けられた第２の検出部と、上記第２の検出部に配設されて上記第２の検出部に生じる変位量を検出する第２の差動トランスとを備え、上記第１の差動トランス及び上記第２の差動トランスが、直交する２方向の力をそれぞれ検出することを特徴とする。
【００２４】
【作用】
以上のように構成した本発明に係る自動バフ研磨装置の力検出ユニットは、中間基台が、検出対象体に負荷される力に応じて、連結片部が弾性変形することによって変位する。力検出ユニットは、中間基台が変位することに伴って、検出部が有する対向する一対の検出片がそれぞれ変位される。そして、この力検出ユニットは、検出部に配設された差動トランスが、一対の検出片がそれぞれ変位することによって間隙に生じる変位量を検出する。
【００２５】
また、自動バフ研磨装置の力検出ユニットは、支持台が、検出対象体に負荷される力に応じて、第２の連結片部が弾性変形することによって変位する。この力検出ユニットは、支持台が変位することに伴って、第２の検出部が有する対向する一対の第２の検出片がそれぞれ変位される。そして、この力検出ユニットは、第２の検出部に配設された第２の差動トランスが、一対の第２の検出片がそれぞれ変位することによって間隙に生じる変位量を検出する。したがって、力検出ユニットは、検出部及び第２の検出部に設けられた第２の差動トランスが、直交する２方向の圧接力をそれぞれ検出することができる。
【００２６】
また、本発明に係る自動バフ研磨装置は、制御部が、位置検出部が検出する位置検出信号及び圧接力検出部が検出する圧接力検出信号とに基づいて、ドラム移動手段、バフ移動手段及びチャッキング移動手段とを制御する。
【００２７】
【実施例】
以下、本発明の具体的な実施例について、実施例自動バフ研磨装置１を図１乃至図２９を参照して説明する。この自動バフ研磨装置１は、検出対象体として回転型磁気ヘッド装置３を構成する回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３に、バフ２１を圧接させることによって生じた圧接力を検出する力検出ユニットを備える自動バフ研磨装置として適用された例である。
【００２８】
以下、
［１］  回転型磁気ヘッド装置及び回転ドラムの構成
［２］  装置全体の構成
［３］  バフ部の構成
［４］  バフ位置決め機構及びドラム搬送機構の構成
［５］  チャッキング部及びテーブル移動機構の構成
［６］  ドレッシング部の構成
［７］  研磨材塗布部の構成
［８］  圧接力センサ部の構成
［９］  位置センサ部の構成
［１０］  制御部の構成
の順序で説明する。
【００２９】
［１］  回転型磁気ヘッド装置及び回転ドラムの構成
詳細な説明を省略するが、従来より回転型磁気ヘッド装置３は、図３０に示すように、磁気ヘッド３Ａと、この磁気ヘッド３Ａが設けられる回転ドラム３Ｂと、この回転ドラム３Ｂに重ね合わされる固定ドラム３Ｃと、これら回転ドラム３Ｂ及び固定ドラム３Ｃをそれぞれ支持する支軸３Ｄとから構成されている。
【００３０】
磁気ヘッド３Ａには、先端部に、微小間隙である図示しない磁気ギャップが形成されている。回転ドラム３Ｂは、金属材料によって有底筒状に形成されており、底面部の中央部に図示しない軸穴が設けられている。回転ドラム３Ｂには、開口縁部の複数箇所に、外周部に開口された略矩形状のヘッド窓孔３Ｅがそれぞれ凹設されている。そして、回転ドラム３Ｂには、ヘッド窓孔３Ｅ内に、磁気ヘッド３Ａの磁気ギャップが外周部から僅かに突出した状態で接合固定されている。固定ドラム３Ｃは、有底筒状に形成されており、底面部の中央部に図示しない軸穴が設けられている。支軸３Ｄは、回転ドラム３Ｂ及び固定ドラム３Ｃとの各軸穴にそれぞれ挿通されている。支軸３Ｄは、一端部が固定ドラム３Ｃに支持されて、中途部に回転ドラム３Ｂを回転自在に支持している。
【００３１】
また、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅには、図３２に示すように、周囲に研磨部分３Ｆが形成されている。ヘッド窓孔３Ｅの研磨部分３Ｆの形状は、図３３に示すように、上面３Ｇ側の開口端部に位置して形成される上端側曲面３Ｈと、磁気テープＴの走行方向に直交する方向に形成される側面側曲面３Ｉと、磁気テープＴの走行方向と平行な方向に形成される底面側曲面３Ｊと、側面側曲面３Ｉと底面側曲面３Ｊとが連続する位置に形成される下端側曲面３Ｋとを備えている。
【００３２】
上述した回転型磁気ヘッド装置３は、磁気テープＴの情報信号を記録再生する際、回転ドラム３Ｂの外周部に沿って磁気テープＴが螺旋状に巻き付けられ、この磁気テープＴに回転ドラム３Ｂの外周部から僅かに突出した磁気ヘッド３Ａの磁気ギャップが当接される。回転型磁気ヘッド装置３は、回転ドラム３Ｂを回転させることによって、磁気テープＴの信号記録領域に、この磁気テープＴ上を摺動する磁気ヘッド３Ａが情報信号の記録再生を行っている。
【００３３】
［２］  装置全体の構成
実施例自動バフ研磨装置１は、図１に示すように、回転ドラム３Ｂを研磨するバフ２１を有するバフ部５と、回転ドラム３Ｂを保持するチャッキング部６と、チャッキング部６に対してバフ部５を移動動作させるバフ位置決め機構７と、バフ部５に対してチャッキング部６を移動動作させるテーブル移動機構８と、チャッキング部６に回転ドラム３Ｂを搬送するドラム搬送機構９とを備えている。
【００３４】
また、この自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂに対して圧接されたバフ２１の圧接力を検出する圧接力センサ部１５と、バフ２１と回転ドラム３Ｂとの相対的な位置を検出する位置センサ部１６と、摩耗したバフ２１を整形するドレッシング部１２と、バフ２１に研磨材を塗布する研磨材塗布部１４と、圧接力センサ部１５及び位置センサ部１６とが出力する各検出信号に基づいてバフ位置決め機構７及びテーブル移動機構８とをそれぞれ制御する制御部１８とを備えている。
【００３５】
なお、本発明に係る自動バフ研磨装置が備える力検出ユニットは、実施例自動バフ研磨装置１において圧接力センサ部１５として構成されている。
【００３６】
［３］  バフ部の構成
バフ部５は、図２に示すように、回転ドラム３Ｂを研磨するバフ２１と、このバフ２１を支持する回転軸２２と、バフ２１を回転駆動するバフ駆動用モータ２３と、このバフ駆動用モータ２３が取り付けられた取付け部材２４とから構成されている。
【００３７】
バフ２１は、フェルトを材料として円板状に形成されており、研磨材塗布部１４によって供給される研磨材が含浸されている。このバフ２１は、中央部がホルダ部材２６を介して回転軸２２に取り付けられている。回転軸２２は、先端部にバフ２１を支持しており、バフ駆動用モータ２３によって回転駆動される。
【００３８】
バフ駆動用モータ２３は、直流（ＤＣ）モータであり、取付け部材２４に支持されている。取付け部材２４は、バフ位置決め機構７を構成する後述する支軸３０に、一側面部が支持されている。また、支軸３０は、基端部がバフ位置決め機構７に回転自在に支持されている。すなわち、上述したバフ部５は、バフ位置決め機構７に、支軸３０を介して回転自在に支持されている。
【００３９】
以上のように構成されたバフ部５は、バフ駆動用モータ２３が回転駆動することによって、回転軸２２を介してバフ２１が回転駆動される。なお、上述したバフ駆動用モータ２３には、ＤＣモータが採用されているが、例えば、回転数１５００〜３０００ｒｐｍの範囲で回転駆動させて、摩耗によるバフ２１の径寸法の変化量に応じて回転数が変更可能であれば他のモータでも良い。
【００４０】
また、上述したバフ部５には、図１及び図２に示すように、取付け部材２４に、ヘッド窓孔検出用センサ２７が設けられている。このヘッド窓孔検出用センサ２７は、反射光型のフォトセンサであり、回転ドラム３Ｂに対して検出光を出射する発光部２７Ａと、発光部から出射された検出光の反射光を受光する受光部２７Ｂとから構成されている。
【００４１】
このヘッド窓孔検出用センサ２７は、チャッキング部６に保持されて回転駆動される回転ドラム３Ｂの外周部に対応する位置に配設されている。ヘッド窓孔検出用センサ２７は、回転ドラム３Ｂが回転駆動された状態で、回転ドラム３Ｂの外周部に検出光を照射することによって、ヘッド窓孔３Ｅの位置とヘッド窓孔３Ｅの幅寸法を検出する。
【００４２】
上述したヘッド窓孔検出用センサ２７について、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの位置及び幅寸法を検出する動作を図３を参照して説明する。まず、ヘッド窓孔検出用センサ２７は、発光部２７Ａが回転ドラム３Ｂの外周部に向けて検出光を出射する。
【００４３】
ヘッド窓孔検出用センサ２７は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅのない外周部に検出光が照射された際、回転ドラム３Ｂの外周部に検出光が反射され、反射された反射光を受光部２７Ｂが受光する。すなわち、ヘッド窓孔検出用センサ２７は、検出光が照射された回転ドラム３Ｂの検出領域にヘッド窓孔３Ｅが無いことを検出する。
【００４４】
また、ヘッド窓孔検出用センサ２７は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅに検出光が照射された際、ヘッド窓孔３Ｅに検出光が反射されないため、反射光を受光部２７Ｂが受光しない。すなわち、ヘッド窓孔検出用センサ２７は、検出光が照射された回転ドラム３Ｂの検出領域にヘッド窓孔３Ｅが有ることを検出する。そして、ヘッド窓孔検出用センサ２７は、回転ドラム３Ｂが図３に示すＺ軸に対して回転されることによって、ヘッド窓孔３Ｅの位置とヘッド窓孔３Ｅの幅寸法とをそれぞれ検出する。
【００４５】
さらに、上述したバフ部５には、図１に示すように、集塵装置３１が隣接して設けられている。この集塵装置３１は、集塵パイプ３１Ａを備えており、この集塵パイプ３１Ａの一端部側の開口部が、バフ２１及びドレッシング部１２に臨む位置に配設されている。
【００４６】
この集塵装置３１は、回転ドラム３Ｂのバフ研磨やバフ２１のドレッシング加工を行う際に飛散する回転ドラム３Ｂ及びバフ２１の削りかすや研磨材を吸引する。また、この集塵装置３１は、ヘッド窓孔検出用センサ２７に削りかすや研磨材を付着させないように、削りかすや研磨材を十分に吸引する位置に、集塵パイプ３１Ａの開口部が配設されている。
【００４７】
［４］  バフ位置決め機構及びドラム搬送機構の構成
バフ位置決め機構７は、図１に示すように、概略、支持ベース２８と、この支持ベース２８にスライド移動自在に支持された支持部材２９と、基端部が支持部材２９に回転自在に支持されて先端部にバフ部５を支持する支軸３０とを備えて構成される。
【００４８】
支持ベース２８には、図示しないスライドガイド溝が設けられており、このスライドガイド溝に支持部材２９が図１中に示すＭ１方向にスライド移動自在に支持されている。支持部材２９は、図示しないスライド部材を介して、図１中に示すＭ２方向にスライド移動自在に支持されている。支軸３０は、支持部材２９の一側面部に基端部が支持されており、先端部にバフ部５を構成する取付け部材２４が支持されている。
【００４９】
以上のように構成されたバフ位置決め機構７は、Ｍ１方向及びＭ２方向に、支持ベース２８及び支持部材２９をそれぞれ移動動作させる。したがって、バフ位置決め機構７は、Ｍ１方向及びＭ２方向との任意の位置に、バフ部５を移動させる。また、バフ位置決め機構７は、支軸３０を回転させることによって、この支軸３０の先端部に支持されたバフ部５を回転移動させる。
【００５０】
また、バフ位置決め機構７には、バフ部５によってバフ研磨された回転ドラム３Ｂを仕上げ研磨する仕上げ研磨部１０が設けられている。この仕上げ研磨部１０は、図４に示すように、バフ位置決め機構７を構成する支持部材２９にスライド移動可能に支持された支持基体３２と、この支持基体３２に支持された支軸３３と、この支軸３３の先端部に支持されたホイール駆動用モータ３４と、このホイール駆動用モータ３４の回転軸に支持された研磨ホイール３６とから構成されている。
【００５１】
支持部材２９には、一側面部に互いに平行なガイド部２９Ａ、２９Ｂがそれぞれ設けられており、これらガイド部２９Ａ、２９Ｂに支持基体３２がスライド移動可能に支持されている。支持基体３２の一側面部には、ガイド部２９Ａ、２９Ｂと平行に支軸３３が支持されている。支軸３３は、基端部が支持基体３２に支持されており、先端部にホイール駆動用モータ３４を支持している。
【００５２】
ホイール駆動用モータ３４には、支軸３３と直交する方向に回転軸３４Ａを有しており、この回転軸３４Ａの先端部に研磨ホイール３６が支持されている。研磨ホイール３６は、例えば、フェルトを材料として円板状に形成されており、中央部がホイール駆動用モータ３４の回転軸３４Ａの先端部に支持されている。
【００５３】
以上のように構成された仕上げ研磨部１９は、バフ部５によって回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅがバフ研磨された後、研磨ホイール３６が回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅを仕上げ研磨する。したがって、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅは、研磨ホイール３６によって仕上げ研磨されることによって、研磨屑や研磨材の残り等が確実に除去される。
【００５４】
詳細な説明を省略するが、ドラム搬送機構９は、図１に示すように、バフ研磨を施す回転ドラム３Ｂがそれぞれ載置されたパレット９Ａと、このパレット９Ａ上の回転ドラム３Ｂを保持する保持部材９Ｂと、この保持部材９Ｂを支持する支持アーム９Ｃと、この支持アーム９Ｃを揺動自在に支持する支持ベース９Ｄとから構成されている。
【００５５】
ドラム搬送機構９は、パレット９Ａに載置された回転ドラム３Ｂを保持部材９Ｂによって保持してチャッキング部６に搬送するとともに、チャッキング部６に保持された回転ドラム３Ｂを保持部材９Ｂによって保持してパレット９Ａに搬送する。また、ドラム搬送機構９には、保持部材９Ｂに、図示しないフォトセンサが設けられており、このフォトセンサによって回転ドラム３Ｂが保持されたかを検出する。
【００５６】
［５］  チャッキング部及びテーブル移動機構の構成
チャッキング部６は、図５及び図６に示すように、回転ドラム３Ｂを保持するチャッキング部材３８と、回転ドラム３Ｂを回転駆動するドラム駆動用モータ４０と、これらチャッキング部材３８及びドラム駆動用モータ４０が設けられたテーブル４３を移動するテーブル移動機構８とから構成されている。
【００５７】
チャッキング部材３８は、図５に示すように、円板状に形成されており、保持爪３８Ａを備えている。チャッキング部材３８には、図示しないエア供給装置の供給管が連結されており、エア供給管から供給されるエア圧によって保持爪３８Ａが開閉動作されて回転ドラム３Ｂの内周部を保持する。
【００５８】
また、チャッキング部材３８には、図示しないフォトセンサが設けられており、このフォトセンサによって回転ドラム３Ｂが保持されたかを検出する。そして、チャッキング部材３８は、基端部が圧接力センサ部１５に支持されている。
【００５９】
ドラム駆動用モータ４０は、圧接力センサ部１５に重ね合わされて配設されている。ドラム駆動用モータ４０は、圧接力制御に適するダイレクト駆動方式が採用されており、駆動精度の向上が図られている。また、ドラム駆動用モータ４０には、位置センサ部１６を構成する後述する第１のエンコーダ４１が接続されており、この第１のエンコーダ４１によって回転角度が計測される。
【００６０】
テーブル移動機構８は、チャッキング部６を支持するテーブル４３と、このテーブル４３を移動自在に支持するベースプレート４４と、このベースプレート４４上に配設されてテーブル４３を移動させるテーブル駆動用モータ４５と、このテーブル駆動用モータ４５に連結された駆動軸４６とから構成されている。
【００６１】
テーブル４３は、略矩形板状に形成されており、主面上の中央部にチャッキング部６が載置されている。このテーブル４３には、背面側のコーナ部に、略矩形ブロック状の第１のガイド部４３Ａ乃至第４のガイド部４３Ｄがそれぞれ設けられている。これら第１のガイド部４３Ａ乃至第４のガイド部４３Ｄには、ベースプレート４４に臨む側に、ガイド溝４３Ｅが互いに平行にそれぞれ凹設されている。
【００６２】
ベースプレート４４には、主面上に、互いに平行な第１のガイドレール４４Ａ及び第２のガイドレール４４Ｂがそれぞれ設けられている。これら第１のガイドレール４４Ａ及び第２のガイドレール４４Ｂには、テーブル４３に設けられれた第１のガイド部４３Ａ乃至第４のガイド部４３Ｄのガイド溝４３Ｅが載置されている。したがって、テーブル４３は、ベースプレート４４の第１のガイドレール４４Ａ及び第２のガイドレール４４Ｂに、第１のガイド部４３Ａ乃至第４のガイド部４３Ｄがスライド移動自在に支持されている。
【００６３】
テーブル駆動用モータ４５は、例えば、ＡＣサーボモータであり、ベースプレート４４の第１のガイドレール４４Ａ及び第２のガイドレール４４Ｂとの間に臨んで、ベースプレート４４上に配設されている。このテーブル駆動用モータ４５は、第１のガイドレール４４Ａ及び第２のガイドレール４４Ｂとに軸線が平行な回転軸４５Ａを有しており、この回転軸４５Ａの先端部に駆動軸４６の一端部が連結されている。
【００６４】
駆動軸４６は、テーブル駆動用モータ４５の回転軸４５Ａの先端部に、一端部が連結部材４６Ａを介して連結されており、ベースプレート４４上に立設された図示しない軸支持部材に他端部が支持されている。この駆動軸４６には、外周部にネジ部４６Ｂが設けられている。また、テーブル４３には、ベースプレート４４に臨む背面上の略中央部に、図示しないナットが配設されており、駆動軸４６のネジ部４６Ｂにナットがねじ込まれている。
【００６５】
また、テーブル駆動用モータ４５には、位置センサ部１６を構成する後述する第２のエンコーダ４７が接続されており、この第２のエンコーダ４７によって回転角度が計測される。なお、テーブル移動機構８は、リニアモータを備えるリニア機構によって駆動する構成としても良い。
【００６６】
以上のように構成されたチャッキング部６について、ドラム駆動用モータ４０が回転ドラム３Ｂを回転させる動作、及びテーブル移動機構８がテーブル４３を移動させる動作を説明する。まず、チャッキング部材３８に保持された回転ドラム３Ｂは、ドラム駆動用モータ４０が回転駆動することによって回転される。また、回転ドラム３Ｂは、ドラム駆動用モータ４０が正転方向及び逆転方向に回転駆動することによって、図５に示すＺ軸に対するＲ１方向及びＲ２方向に回転される。
【００６７】
つぎに、チャッキング部材３８が支持されたテーブル４３は、テーブル駆動用モータ４５の回転軸４５Ａが回転駆動することによって、連結部材４６Ａを介して駆動軸４６を回転駆動させる。駆動軸４６は、回転駆動されることによって、テーブル４３に設けられたナットを介して、ベースプレート４４の第１のガイドレール４４Ａ及び第２のガイドレール４４Ｂに沿ってテーブル４３をスライド移動させる。
【００６８】
また、テーブル４３は、テーブル駆動用モータ４５が正転方向或いは逆転方向に回転駆動することによって、第１のガイドレール４４Ａ及び第２のガイドレール４４Ｂに沿って図５に示すＦ１方向及びＦ２方向にスライド移動する。
【００６９】
［６］  ドレッシング部の構成
ドレッシング部１２は、バフ２１を研削して整形するヤスリ状のドレッサ１２Ａを有しており、テーブル移動機構８を構成するベースプレート４４上に配設されている。
【００７０】
上述したドレッシング部１２は、バフ位置決め機構７によってバフ部５を移動させて、ドレッサ１２Ａにバフ２１が圧接される。そして、ドレッシング部１２は、ドレッサ１２Ａに回転されたバフ２１の外周部を圧接させることによって、摩耗したバフ２１を研削して整形する。
【００７１】
［７］  研磨材塗布部の構成
研磨材塗布部１４は、図７に示すように、テーブル４３上に設けられた支持基体４９と、この支持基体４９に揺動自在に支持された支持部材５０と、この支持部材５０に回動自在に支持された塗布ドラム５１とから構成されている。支持基体４９は、基端部がテーブル４３に固定されており、先端部に支持突部４９Ａ、４９Ｂがそれぞれ一体に突出して設けられている。
【００７２】
支持部材５０は、例えば、酸化クロムを材料として主面が略Ｈ字状に形成されている。この支持部材５０は、支持基体４９の支持突部４９Ａ、４９Ｂに、基端部が支軸５０Ａを介して揺動自在に支持されている。塗布用ドラム５１は、例えば、酸化クロムを材料として円筒状に形成されており、外周部に研磨材が塗布されている。この塗布用ドラム５１には、略中央部に軸穴が設けられており、支持部材５０の先端部に、軸穴に挿通された支軸５０Ｂを介して回動自在に支持されている。
【００７３】
以上のように構成された研磨材塗布部１４は、バフ位置決め機構７によってバフ部５を移動させて、塗布用ドラム５１にバフ２１の外周部が圧接される。そして、研磨材塗布部１４は、塗布用ドラム５１に回転されたバフ２１の外周部を圧接させることによって、バフ２１に研磨材が塗布される。また、研磨材塗布部１４は、支持部材５０が支持基体４９に揺動自在に支持されていることによって、バフ２１に対する研磨材の塗布量の均一化が図られている。
【００７４】
［８］  圧接力センサ部の構成
圧接力センサ部１５は、図８乃至図１５に示すように、圧接力に応じて変位される圧接力センサ基板５３と、この圧接力センサ基板５３上に配設され圧接センサ基板５３に生じた機械的変位量に比例した電気信号を発生する第１のＬＶＤＴ（Ｌｉｎｅａｒ  Ｖａｒｉａｂｌｅ  Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍｅｒ、いわゆる差動トランス）５４及び第２のＬＶＤＴ５５とから構成されている。
【００７５】
圧接力センサ基板５３は、図８に示すように、アルミ合金を材料として、例えば、ワイヤ放電加工等によって円板状に加工された一体構造である。圧接力センサ基板５３は、環状の基台部５３Ａと、この基台部５３Ａの内周側に位置する略矩形環状の中間基台部５３Ｂと、この中間基台部５３Ｂの内周側に位置する軸支持台部５３Ｃとから構成されている。
【００７６】
基台部５３Ａは、環状に形成されており、ドラム駆動用モータ４０の一端部に固定されている。中間基台部５３Ｂは、略矩形環状に形成されており、互いに平行な一対の第１の連結部５３Ｄ及び第２の連結部５３Ｅが形成されている。
【００７７】
中間基台部５３Ｂは、基台部５３Ａの内周部に、第１の連結部５３Ｄの外周部が互いに平行な略線状の第１の中間基台支持片５３Ｆ及び第２の中間基台支持片５３Ｇとによって支持されている。また、この中間基台部５３Ｂは、基台部５３Ａの内周部に、第２の連結部５３Ｅの外周部が互いに平行な略線状の第３の中間基台支持片５３Ｈ及び第４の中間基台支持片５３Ｉとによって支持されている。
【００７８】
これら第１の中間基台支持片５３Ｆ乃至第４の中間基台支持片５３Ｉは、図８に示すＸ軸方向と平行な方向に対して弾性変位可能な撓みやすい幅寸法に形成されており、また図８に示すＹ軸方向と平行な方向に対して剛性が大きくほとんど撓まない構造とされている。
【００７９】
軸支持台部５３Ｃは、略矩形状に形成されており、中央部にチャッキング部材３８の一端部が固定されている。この軸支持台部５３Ｃは、中間基台部５３Ｂの内周部に、各コーナ部が、第１の中間基台支持片５３Ｆ乃至第４の中間基台支持片５３Ｉと直交するとともに互いに平行な略線状の第１の軸支持台支持片５３Ｊ及び第２の軸支持台支持片５３Ｋと第３の軸支持台支持片５３Ｌ及び第４の軸支持台支持片５３Ｍとによって支持されている。
【００８０】
これら第１の軸支持台支持片５３Ｊ乃至第４の軸支持台支持片５３Ｍは、図８に示すＹ軸方向と平行な方向に対して弾性変位可能な撓みやすい幅寸法に形成されており、また図８に示すＸ軸方向と平行な方向に対して剛性が大きくほとんど撓まない構造とされている。
【００８１】
また、圧接力センサ基板５３には、基台部５３Ａの内周部と中間基台部５３Ｂの外周部との間に第１の検出部５３Ｐが形成されており、また中間基台部５３Ｂの内周部と軸支持台部５３Ｃの外周部との間に第２の検出部５３Ｑが形成されている。
【００８２】
第１の検出部５３Ｐは、第１の中間基台支持片５３Ｆ及び第２の中間基台支持片５３Ｇとの間に位置して、基台部５３Ａの内周部に一体に突出形成された略矩形状の第１の検出片５３Ｒと、中間基台部５３Ｂの外周部に一体に突出形成された略矩形状の第２の検出片５３Ｓとから構成されている。
【００８３】
そして、第１の検出部５３Ｐは、図８に示すように、第１の検出片５３Ｒと第２の検出片５３Ｓとの相対する間に微小間隙が形成されており、これら第１の検出片５３Ｒと第２の検出片５３Ｓとに跨って第１のＬＶＤＴ５４が配設されている。
【００８４】
第２の検出部５３Ｑは、第１の軸支持台支持片５３Ｊ及び第２の軸支持台支持片５３Ｋとの間に位置して、中間基台部５３Ｂの内周部に一体に突出形成された略矩形状の第１の検出片５３Ｔと、軸支持台部５３Ｃの外周部に一体に突出形成された略矩形状の第２の検出片５３Ｕとから構成されている。
【００８５】
そして、第２の検出部５３Ｑは、これら第１の検出片５３Ｔと第２の検出片５３Ｕとの相対する間に微小間隙が形成されており、これら第１の検出片５３Ｔと第２の検出片５３Ｕとに跨って第２のＬＶＤＴ５５が配設されている。
【００８６】
第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５は、図９及び図１０に示すように、コア５４Ａ、５５Ａと、コア５４Ａ、５５Ａを支持するコア支持部材５４Ｂ、５５Ｂと、このコア支持部材５４Ｂ、５５Ｂを支持する支持基体５４Ｃ、５５Ｃと、内周部にコア５４Ａ、５５Ａが挿通されたコイル５４Ｄ、５５Ｄと、コイル５４Ｄ、５５Ｄを支持するコイル保持部材５４Ｇ、５５Ｇとから構成されている。
【００８７】
コア５４Ａ、５５Ａは、磁性材料によって略円筒状に形成されており、コア支持部材５４Ｂ、５５Ｂに支持されている。コア支持部材５４Ｂ、５５Ｂは、非磁性材料によって棒状に形成されており、コア５４Ａ、５５Ａの内周部に貫通されて中央部にコア５４Ａ、５５Ａを支持している。このコア支持部材５４Ｂ、５５Ｂは、両端部が支持基体５４Ｃ、５５Ｃにそれぞれ支持されている。
【００８８】
支持基体５４Ｃ、５５Ｃは、主面部が略コ字状に形成されており、基端部が圧接力センサ基板５３にそれぞれネジ止め固定されている。また、支持基体５４Ｃ、５５Ｃは、両端部に、コア支持部材５４Ｂ、５５Ｂを支持している。
【００８９】
コイル５４Ｄ、５５Ｄは、図１０に示すように、コア支持部材５４Ｂ、５５Ｂの両端部に位置してそれぞれ巻回された１次側コイル５４Ｅ、５５Ｅと、コア５４Ａ、５５Ａに巻回された２次側コイル５４Ｆ、５５Ｆとから構成されている。
【００９０】
コイル保持部材５４Ｇ、５５Ｇは、略矩形ブロック状に形成されており、基端部が圧接力センサ基板５３にネジ止め固定されている。また、コイル保持部材５４Ｇ、５５Ｇには、断面略半円状のコイル保持溝５４Ｈ、５５Ｈが凹設されており、このコイル保持溝５４Ｈ、５５Ｈにコイル５４Ｄ、５５Ｄが保持されている。
【００９１】
そして、第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５には、１次側コイル５４Ｅ、５５Ｅ及び２次側コイル５４Ｆ、５５Ｆと、コア支持部材５４Ｂ、５５Ｂに支持されたコア５４Ａ、５５Ａとからなる磁路が形成されている。第１のＬＶＤＴ５４は、圧接力センサ基板５３の第１の検出部５３Ｐの第１の検出片５３Ｒに、支持基体５４Ｃの基端部がネジ止め固定されており、第１の検出部５３Ｒの第２の検出片５３Ｓに、コイル保持部材５４Ｇの基端部がネジ止め固定されている。
【００９２】
第２のＬＶＤＴ５５は、圧接力センサ基板５３の第２の検出部５３Ｑの第１の検出片５３Ｔに、支持基体５５Ｃの基端部がネジ止め固定されており、第２の検出部５３Ｑの第２の検出片５３Ｕに、コイル保持部材５５Ｇの基端部がネジ止め固定されている。
【００９３】
以上のように構成された圧接力センサ部１５について、バフ部５のバフ２１を回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅに圧接する際、圧接力を検出する検出原理を図１１乃至図１５を参照して説明する。なお、圧接センサ基板５３の軸支持台部５３Ｃは、チャッキング部６及び回転ドラム３Ｂと一体構造として見なし、圧接されたバフ２１によって回転ドラム３Ｂに加わえられる圧接力が軸支持台部５３Ｃの中心に作用するものとする。
【００９４】
まず、圧接力センサ基板５３は、図１１に示すように、軸支持台部５３Ｃの中心を中心点Ｏ２とし、この中心点Ｏ２にＸ軸方向と平行な方向の圧接力が加わると、軸支持台部５３ＣがＸ軸方向と平行な方向に移動される。圧接力センサ基板５３は、軸支持台部５３Ｃが移動されることに伴って、中間基台部５３ＢがＸ軸方向と平行な方向に移動される。
【００９５】
圧接力センサ基板５３は、中間基台部５３Ｂが移動されることによって、第１の中間基台支持片５３Ｆ乃至第４の中間基台支持片５３Ｉがそれぞれ撓むとともに、第１の検出部５３Ｐの第１の検出片５３Ｒと第２の検出片５３Ｓとに相対的な位置ズレが生じる。
【００９６】
すなわち、圧接力センサ基板５３は、軸支持台部５３Ｃの中心点Ｏ２にＸ軸方向と平行な方向に加えられる圧接力に比例して、第１の検出部５３Ｐの第１の検出片５３Ｒの点Ａと第２の検出片５３Ｓの点Ｂとに相対変位量Ｎが発生する。そして、第１の検出部５３Ｐに配設された第１のＬＶＤＴ５４は、第１の検出片５３Ｒと第２の検出片５３Ｓとに発生した相対変位量Ｎを検出する。
【００９７】
また、圧接力センサ基板５３は、図１２に示すように、軸支持台部５３Ｃの中心点Ｏ２にＹ軸方向と平行な方向の圧接力が加わると、軸支持台部５３ＣがＹ軸方向と平行な方向に移動される。圧接力センサ基板５３は、軸支持台部５３Ｃが移動されることに伴って、中間基台部５３ＢがＹ軸方向と平行な方向に移動される。
【００９８】
圧接力センサ基板５３は、中間基台部５３Ｂが移動されることによって、第１の軸支持台支持片５３Ｊ乃至第４の軸支持台支持片５３Ｍがそれぞれ撓むとともに、第２の検出部５３Ｑの第１の検出片５３Ｔと第２の検出片５３Ｕとに相対的な位置ズレが生じる。
【００９９】
すなわち、圧接力センサ基板５３は、軸支持台部５３Ｃの中心点Ｏ２にＹ軸方向と平行な方向に加えられる圧接力に比例して、第２の検出部５３Ｑの第１の検出片５３Ｔの点Ｃと第２の検出片５３Ｕの点Ｄとに相対変位量Ｎが発生する。そして、第２の検出部５３Ｑに配設された第２のＬＶＤＴ５５は、第１の検出片５３Ｔと第２の検出片５３Ｕとに発生した相対変位量Ｎを検出する。
【０１００】
つぎに、第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５は、１次側コイル５４Ｅ、５５Ｅに交流電圧が印加されることによって、２次側コイル５４Ｆ、５５Ｆに電圧が誘起される。第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５は、コア５４Ａ、５５Ａが基準位置である中心点Ｏ１に位置する場合、出力電圧がゼロである。
【０１０１】
そして、第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５は、コア５４Ａ、５５Ａが図１０に示す矢印（＋）方向に移動することによって、コア５４Ａ、５５Ａの移動量に比例して出力電圧が（＋）方向に増加し、またコア５４Ａ、５５Ａが図１０に示す矢印（−）方向に移動することによって、コア５４Ａ、５５Ａの移動量に比例して出力電圧が（−）方向に増加する。
【０１０２】
したがって、第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５は、２次側コイル５４Ｆ、５５Ｆに誘起された出力電圧によって、図１０に示す矢印方向の相対変位を検出する。すなわち、圧接力センサ部１５は、圧接力センサ基板５３の第１の検出部５３Ｐの点Ａと点Ｂとに発生する相対変位量Ｎを第１のＬＶＤＴ５４が検出し、また圧接力センサ基板５３の第２の検出部５３Ｑの点Ｃと点Ｄとに発生する相対変位量Ｎを第２のＬＶＤＴ５５が検出する。
【０１０３】
以下、第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５について、バフ２１によって回転ドラム３Ｂに加えられた圧接力を検出する原理を図１３乃至図１５を参照して説明する。実際に研磨加工を行う際、圧接力センサ基板５３には、軸支持台部５３Ｃの中心点Ｏ２に、上述したように単純なＸ軸方向に平行な方向の圧接力のみ、或いは単純なＹ軸方向に平行な方向の圧接力のみが加わるわけではない。
【０１０４】
回転ドラム３Ｂには、図１３に示すように、ヘッド窓孔３Ｅの底面側曲面３Ｊに働く回転ドラム３Ｂの中心方向の圧接力と、ヘッド窓孔３Ｅの側面側曲面３Ｉに働く回転ドラム３Ｂの円周方向の圧接力とである。
【０１０５】
また、回転ドラム３Ｂの外周部に凹設された所定数のヘッド窓孔３Ｅを全てバフ研磨加工するため、回転ドラム３Ｂの円周上の任意の点Ｐ（中心角度θ）における回転ドラム３Ｂの中心方向の圧接力と、回転ドラム３Ｂの円周方向の圧接力とをそれぞれ検出する必要がある。
【０１０６】
図１４に示すように、回転ドラム３Ｂの円周上の任意の点Ｐ（中心角度θ）に、回転ドラム３Ｂの中心方向の圧接力ＦＣ  を加えることを、全ての中心角度θについて行うと、第１のＬＶＤＴ５４の出力電圧ＯＵＴ１Ｃと第２のＬＶＤＴ５５の出力電圧ＯＵＴ２Ｃは、ａ、ｂを係数として、
ＯＵＴ１Ｃ＝ａｃｏｓθＦＣ      ・・・式１
ＯＵＴ２Ｃ＝ｂｓｉｎθＦＣ            ・・・式２
で表される。
【０１０７】
また、図１５に示すように、回転ドラム３Ｂの円周上の任意の位置Ｐ（中心角度θ）に、回転ドラム３Ｂの円周方向の圧接力Ｆｔ  を加えることを全ての角度θについて行うと、第１のＬＶＤＴ５４の出力電圧ＯＵＴ１ｔと第２のＬＶＤＴ５５の出力電圧ＯＵＴ２ｔは、ｃ、ｅを定数、ｄ、ｆを係数として、
ＯＵＴ１ｔ＝−（ｃ＋ｄｃｏｓθ）Ｆｔ      ・・・式３
ＯＵＴ２ｔ＝−（ｅ＋ｆｃｏｓθ）Ｆｔ      ・・・式４
で表される。
【０１０８】
したがって、図１４に示す回転ドラム３Ｂの中心方向の圧接力ＦＣと、図１５に示す回転ドラム３Ｂの円周方向の圧接力Ｆｔとを同時に加えた場合、第１のＬＶＤＴ５４の出力電圧ＯＵＴ１と第２のＬＶＤＴ５５の出力電圧ＯＵＴ２は、
ＯＵＴ１＝ＯＵＴ１Ｃ＋ＯＵＴ１ｔ＝ａｃｏｓθＦＣ−（ｃ＋ｄｓｉｎθ）Ｆｔ      ・・・式５
ＯＵＴ２＝ＯＵＴ２Ｃ＋ＯＵＴ２ｔ＝−ｂｓｉｎθＦＣ−（ｅ＋ｆｃｏｓθ）Ｆｔ      ・・・式６
となる。
【０１０９】
そして、式５及び式６から回転ドラム３Ｂの中心方向の圧接力ＦＣ、回転ドラム３Ｂの円周方向の圧接力Ｆｔは、
ＦＣ＝｛（ｅ＋ｆｃｏｓθ）ＯＵＴ１−（ｃ＋ｄｓｉｎθ）ＯＵＴ２｝／（ｂｃｓｉｎθ−ａｅｃｏｓθ＋ｂｄｓｉｎ２θ＋ａｆｃｏｓ２θ）・・・式７
ＦＣ＝（ｂｓｉｎθＯＵＴ１＋ａｃｏｓθＯＵＴ２）／（ｂｃｓｉｎθ＋ａｅｃｏｓθ＋ｂｄｓｉｎ２θ＋ａｆｃｏｓ２θ）・・・式８
となる。
【０１１０】
したがって、圧接力センサ部１５は、式７及び式８に示すように、第１のＬＶＤＴ５４の出力電圧ＯＵＴ１Ｃと第２のＬＶＤＴ５５の出力電圧ＯＵＴ２Ｃとから、回転ドラム３Ｂの円周上の任意の点Ｐ（中心角度θ）における回転ドラム３Ｂの中心方向の圧接力ＦＣと回転ドラム３Ｂの円周方向の圧接力Ｆｔとをそれぞれ検出することが可能とされる。
【０１１１】
なお、上述した圧接力センサ部１５は、圧接力センサ基板５３に設けられた第１の検出部５３Ｐ及び第２の検出部５３Ｑに、第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５がそれぞれ配設される構成されたが、必要に応じて検出部及びこの検出部に配設されるＬＶＤＴの個数とを変更した構成にされた圧接力センサ基板７３、７４、７５、７６を図１６乃至図１９を参照してそれぞれ説明する。
【０１１２】
圧接力センサ基板７３は、図１６に示すように、環状の基台部７３Ａと、この基台部７３Ａの内周側に位置する略矩形状の軸支持台部７３Ｂとから構成されている。軸支持台部７３Ｂは、基台部７３Ａの内周部に、外周部が互いに平行な略線状の第１の軸支持台支持片７３Ｆ及び第２の軸支持台支持片７３Ｇと、第３の軸支持台支持片７３Ｈ及び第４の軸支持台支持片７３Ｉとによって支持されている。
【０１１３】
また、圧接力センサ基板７３には、基台部７３Ａの内周部と軸支持台部７３Ｂの外周部との間に検出部７３Ｐが形成されている。この検出部７３Ｐは、基体部７３Ａの内周部に一体に突出形成された第１の検出片７３Ｒと、軸支持台部７３Ｂの外周部に一体に突出形成された略矩形状の第２の検出片７３Ｓとから構成されている。そして、第１の検出部７３Ｐには、図示しない第１のＬＶＤＴが配設されている。
【０１１４】
この圧接力センサ基板７３によれば、１作用点に作用するＸ軸方向の圧接力及びＹ軸方向の圧接力と、任意の作用点に作用するＺ軸回りのモーメントとを検出できる。
【０１１５】
また、圧接力センサ基板７４は、図１７に示すように、環状の基台部７４Ａと、この基台部７４Ａの内周側に位置する略矩形状の軸支持台部７４Ｂとから構成されている。軸支持台部７４Ｂは、基台部７４Ａの内周部に、外周部が互いに平行な略線状の第１の軸支持台支持片７４Ｆ及び第２の軸支持台支持片７４Ｇと、第３の軸支持台支持片７４Ｈ及び第４の軸支持台支持片７４Ｉとによって支持されている。
【０１１６】
また、圧接力センサ基板７４には、基台部７４Ａの内周部と軸支持台部７４Ｂの外周部との間に、第１の検出部７４Ｐ及び第２の検出部７４Ｑが中心線を一致させてそれぞれ形成されている。第１の検出部７４Ｐは、基体部７４Ａの内周部に一体に突出形成された第１の検出片７４Ｒと、軸支持台部７４Ｂの外周部に一体に突出形成された略矩形状の第２の検出片７４Ｓとから構成されている。第２の検出部７４Ｑは、基体部７４Ａの内周部に一体に突出形成された第１の検出片７４Ｔと、軸支持台部７４Ｂの外周部に一体に突出形成された略矩形状の第２の検出片７４Ｕとから構成されている。そして、これら第１の検出部７４Ｐ及び第２の検出部７４Ｑには、図示しない第１のＬＶＤＴ及び第２のＬＶＤＴがそれぞれ配設されている。
【０１１７】
この圧接力センサ基板７４によれば、１作用点に作用するＸ軸方向の圧接力及びＹ軸方向の圧接力と、任意の作用点に作用するＺ軸回りのモーメントとを検出できる。この圧接力センサ基板７４は、第１のＬＶＤＴ及び第２のＬＶＤＴが出力電圧  ＯＵＴ１、ＯＵＴ２をそれぞれ出力するとすれば、Ｘ軸方向の圧接力が、
（ＯＵＴ１−ＯＵＴ２）／２
となる。また、Ｙ軸方向の圧接力は、
（ＯＵＴ１＋ＯＵＴ２）／２
となる。さらに、Ｚ軸回りのモーメントは、
（ＯＵＴ１＋ＯＵＴ２）／２
となる。このため、圧接力センサ基板７４は、圧接力センサ基板７３と比較して圧接力検出信号のノイズを低減させて、検出精度が向上される。
【０１１８】
さらに、圧接力センサ基板７５は、図１８に示すように、環状の基台部７５Ａと、この基台部７５Ａの内周側に位置する略矩形環状の中間基台部７５Ｂと、この中間基台部７５Ｂの内周側に位置する略矩形状の軸支持台部７５Ｃとから構成されている。中間基台部７５Ｂは、基台部７５Ａの内周部に、互いに平行な略線状の第１の中間基台支持片７５Ｆ及び第２の中間基台支持片７５Ｇと第３の中間基台支持片７５Ｈ及び第４の中間基台支持片７５Ｉとによって支持されている。軸支持台部７５Ｃは、中間基台部７５Ｂの内周部に、各コーナ部が、第１の中間基台部支持片７５Ｆ乃至第４の中間基台支持片７５Ｉと直交するとともに互いに平行な略線状の第１の軸支持台支持片７５Ｊ及び第２の軸支持台支持片７５Ｋと第３の軸支持台支持片７５Ｌ及び第４の軸支持台支持片７５Ｍとによって支持されている。
【０１１９】
また、圧接力センサ基板７５には、基台部７５Ａの内周部と中間基台部７５Ｂの外周部との間に第１の検出部７５Ｐ及び第２の検出部７５Ｑとがそれぞれ形成されており、また中間基台部７５Ｂの内周部と軸支持台部７５Ｃの外周部との間に第３の検出部７５Ｒが形成されている。第１の検出部７５Ｐ及び第２の検出部７５Ｑは、基端部７５Ａの内周部に一体に突出形成された略矩形状の第１の検出片７５Ｒ、７５Ｔと、中間基台部７５Ｂの外周部に一体に突出形成された略矩形状の第２の検出片７５Ｓ、７５Ｕとから構成されている。第３の検出部７５Ｎは、中間基台部７５Ｂの内周部に一体に突出形成された略矩形状の第１の検出片７５Ｖと、軸支持台部７５Ｃの外周部に一体に突出形成された略矩形状の第２の検出片７５Ｗとから構成されている。そして、これら第１の検出部７５Ｐ乃至第３の検出部７５Ｎには、図示しない第１のＬＶＤＴ乃至第３のＬＶＤＴがそれぞれ配設されている。
【０１２０】
この圧接力センサ基板７５によれば、任意の作用点に作用するＸ軸方向の圧接力とＹ軸方向の圧接力及びＺ軸回りのモーメントとを検出できる。この圧接力センサ基板７５は、Ｘ軸方向の圧接力とＹ軸方向の圧接力との検出方法が、第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５とが互いに中心線が直交する位置に配設された圧接力センサ基板５３とほぼ同様であるが、互いに中心線が直交する位置に配設されたＬＶＤＴの組合わせが２通りある。また、Ｚ軸回りのモーメントは、第１のＬＶＤＴ乃至第３のＬＶＤＴが出力電圧  ＯＵＴ１、ＯＵＴ２、ＯＵＴ３をそれぞれ出力するとすれば、
（ＯＵＴ１＋ＯＵＴ２＋ＯＵＴ３）／３
となる。このため、圧接力センサ基板７５は、圧接力検出信号のノイズを低減させて、更に検出精度を向上することができる。
【０１２１】
さらにまた、圧接力センサ基板７６は、図１９に示すように、環状の基台部７６Ａと、この基台部７６Ａの内周側に位置する略矩形環状の中間基台部７６Ｂと、この中間基台部７６Ｂの内周側に位置する略矩形状の軸支持台部７６Ｃとから構成されている。中間基台部７６Ｂは、基台部７６Ａの内周部に、互いに平行な略線状の第１の中間基台支持片７６Ｄ及び第２の中間基台支持片７６Ｅと第３の中間基台支持片７６Ｆ及び第４の中間基台支持片７６Ｇとによって支持されている。軸支持台部７６Ｃは、中間基台部７６Ｂの内周部に、各コーナ部が、第１の中間基台部支持片７６Ｄ乃至第４の中間基台支持片７６Ｇと直交するとともに互いに平行な略線状の第１の軸支持台支持片７６Ｈ及び第２の軸支持台支持片７６Ｉと第３の軸支持台支持片７６Ｊ及び第４の軸支持台支持片７６Ｋとによって支持されている。
【０１２２】
また、圧接力センサ基板７６には、基台部７６Ａの内周部と中間基台部７６Ｂの外周部との間に第１の検出部７６Ｌ及び第２の検出部７６Ｍとがそれぞれ形成されており、また中間基台部７６Ｂの内周部と軸支持台部７６Ｃの外周部との間に第３の検出部７６Ｎ及び第４の検出部７６Ｏがそれぞれ形成されている。第１の検出部７６Ｌ及び第２の検出部７６Ｍは、基端部７６Ａの内周部に一体に突出形成された略矩形状の第１の検出片７６Ｐ、７６Ｒと、中間基台部７６Ｂの外周部に一体に突出形成された略矩形状の第２の検出片７６Ｑ、７６Ｓとから構成されている。第３の検出部７６Ｎ及び第４の検出部７６Ｏは、中間基台部７６Ｂの内周部に一体に突出形成された略矩形状の第１の検出片７６Ｔ、７６Ｖと、軸支持台部７６Ｃの外周部に一体に突出形成された略矩形状の第２の検出片７６Ｕ、７６Ｗとから構成されている。そして、これら第１の検出部７６Ｌ乃至第４の検出部７６Ｏには、図示しない第１のＬＶＤＴ乃至第４のＬＶＤＴがそれぞれ配設されている。
【０１２３】
この圧接力センサ基板７６によれば、任意の作用点に作用するＸ軸方向の圧接力とＹ軸方向の圧接力及びＺ軸回りのモーメントとを検出できる。この圧接力センサ基板７６は、Ｘ軸方向の圧接力とＹ軸方向の圧接力との検出方法が、第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５とが互いに中心線が直交する位置に配設された圧接力センサ基板５３とほぼ同様であるが、互いに中心線が直交する位置に配設されたＬＶＤＴの組合わせが４通りある。また、Ｚ軸回りのモーメントは、第１のＬＶＤＴ乃至第４のＬＶＤＴが出力電圧  ＯＵＴ１、ＯＵＴ２、ＯＵＴ３、ＯＵＴ４をそれぞれ出力するとすれば、
（ＯＵＴ１＋ＯＵＴ２＋ＯＵＴ３＋ＯＵＴ４）／４
となる。このため、圧接力センサ基板７６は、圧接力検出信号のノイズを低減させて、更に検出精度を向上することができる。
【０１２４】
［９］  位置センサ部
位置センサ部１６は、ドラム駆動用モータ４０に接続配線された第１のエンコーダ４１と、テーブル駆動用モータ４５に接続配線された第２のエンコーダ４７と、バフ駆動用モータ２３に接続配線された第３のエンコーダ４８とを備えて構成されている。
【０１２５】
そして、位置センサ部１６は、第１のエンコーダ４１及び第２のエンコーダ４７が、ドラム駆動用モータ４０及びテーブル駆動用モータ４５の回転角度をそれぞれ計測して、制御部１８に位置検出信号としてそれぞれ出力する。また、第３のエンコーダ４８は、バフ駆動用モータ２３の回転数（ｒｐｍ）を制御部１８に回転数検出信号として出力する。
【０１２６】
［１０］  制御部の構成
制御部１８は、図２０に示すように、概略、制御装置５７と、ドラム駆動用モータ４０を駆動させるドラム駆動用モータドライバ５８と、テーブル駆動用モータ４５を駆動させるテーブル駆動用モータドライバ５９と、圧接力センサ部１５からの信号を増幅させる圧接力センサアンプ６０と、バフ位置決め機構７を制御するバフ位置決め機構コントローラ６１と、ドラム搬送機構９を制御するドラム搬送機構コントローラ６２とを備えて構成されている。
【０１２７】
制御装置５７は、例えば、パーソナルコンピュータ等の各種コンピュータであり、圧接力センサ部１５及び位置センサ部１６とそれぞれ接続配線されている。また、制御装置５７には、バフ研磨加工を施す複数種類の回転ドラム３Ｂの外形寸法データが予め記録されている。
【０１２８】
ドラム駆動用モータドライバ５８は、制御装置５７及びドラム駆動用モータ４０とそれぞれ接続配線されている。テーブル駆動用モータドライバ５９は、制御装置５７及びテーブル駆動用モータ４５とそれぞれ接続配線されている。そして、これらドラム駆動用モータドライバ５８及びテーブル駆動用モータドライバ５９は、制御装置５７から出力される指令電圧Ｖ１、Ｖ２がそれぞれ入力される。
【０１２９】
そして、これらドラム駆動用モータドライバ５８及びテーブル駆動用モータドライバ５９は、ドラム駆動用モータ４０及びテーブル駆動用モータ４５が指令電圧Ｖ１、Ｖ２に応じたトルクをそれぞれ発生するように、これらのモータ４５、４０に電力Ｅ１、Ｅ２をそれぞれ供給する。
【０１３０】
圧接力センサアンプ６０は、制御装置５７及び圧接力センサ部１５とそれぞれ接続配線されている。この圧接力センサアンプ６０は、圧接力センサ部１５から出力された圧接力検出信号Ｆを増幅させて、制御装置５７に圧接力情報信号Ｈ１として出力する。
【０１３１】
位置決め機構コントローラ６１は、制御装置５７及びバフ位置決め機構７とにそれぞれ接続配線されている。この位置決め機構コントローラ６１は、制御装置５７から入力された指令信号Ｈ２に基づいて、電力Ｅ３及び指令信号Ｈ４を出力してバフ位置決め機構７を動作させる。
【０１３２】
搬送機構コントローラ６２は、制御装置５７及びドラム搬送機構９とにそれぞれ接続配線されている。この搬送機構コントローラ６２は、制御装置５７から入力された指令信号Ｈ３に基づいて、電力Ｅ４及び指令信号Ｈ５を出力してドラム搬送機構９を動作させる。
【０１３３】
したがって、制御部１８は、制御装置５７がバフ位置決め機構７、テーブル移動機構８及びドラム搬送機構９とそれぞれ接続配線されており、これらバフ位置決め機構７、テーブル移動機構８及びドラム搬送機構９をそれぞれ制御する。
【０１３４】
以上のように構成された制御部１８について、チャッキング部６のドラム駆動用モータ４０及びテーブル移動機構８のテーブル駆動用モータ４５に対する具体的な制御方法を図２１乃至図２４を参照して説明する。
【０１３５】
この制御方法は、図２１に示すように、ドラム駆動用モータ４０とテーブル駆動用モータ４５に対する制御であり、これらドラム駆動用モータ４０及びテーブル駆動用モータ４５に対して目標圧接力を付与する圧接力制御と目標位置を位置決めする位置制御とを適宜切り替えて行われている。
【０１３６】
圧接力センサ部１５は、圧接力センサ基板５３の変位量に応じて、圧接力制御演算回路６４に圧接力検出信号Ｆを出力する。圧接力制御演算回路６４は、図２２に示すように、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅに対して目標圧接力Ｆｃｍｄ  を付与するために、圧接力センサ部１５から出力された圧接力検出信号Ｆをフィードバックして制御演算を行う。
【０１３７】
すなわち、圧接力制御演算回路６４は、圧接力センサ部１５から出力された圧接力検出信号Ｆと目標圧接力Ｆｃｍｄ  との偏差に比例ゲインＫＦＰを積算した値と、ドラム駆動用モータ４０及びテーブル駆動用モータ４５に接続配線された第１及び第２のエンコーダ４１、４７のエンコーダ信号から得られる速度ｑ′に、ダンピング係数ＫＦｄを積算した値によって目標加速度ｑ″ｃｍｄを演算する。
【０１３８】
また、位置センサ部１６が備える第１及び第２のエンコーダ４１、４７は、回転ドラム３Ｂとバフ２１との相対位置を検出して、位置制御演算回路６５に位置検出信号ｑを出力する。位置制御演算回路６５は、図２３に示すように、回転ドラム３Ｂを目標位置ｑｃｍｄ  に位置決めするために、第１及び第２のエンコーダ４１、４７からの位置検出信号ｑをフィードバックして制御演算を行う。
【０１３９】
すなわち、位置制御演算回路６５は、ドラム駆動用モータ４０及びテーブル駆動用モータ４５に接続配線された第１及び第２のエンコーダ４１、４７のエンコーダ信号から得られた位置検出信号ｑと目標位置ｑｃｍｄ  との偏差に、比例ゲインＫＰｄと微分ゲインＫＰｐとを積算した値と目標値の加速度によって目標加速度ｑ″ｃｍｄを演算する。そして、圧接力制御演算回路６４及び位置制御演算回路６５は、制御モード切替え回路６６に演算した目標加速度ｑ″ｃｍｄをそれぞれ出力する。
【０１４０】
制御モード切替え回路６６は、動作目的に従って決定された制御方法に応じて、圧接力制御演算回路６４或いは位置制御演算回路６５により得られた目標加速度ｑ″ｃｍｄ  のいずれか一方を選択する事によってドラム駆動用モータ４０及びテーブル駆動用モータ４５の目標加速度とする。
【０１４１】
トルク補償演算回路６７は、いわゆる外乱推定器であり、外乱の影響やモデル化誤差による影響を取り除いている。すなわち、トルク補償演算回路６７は、図２４に示すように、ドラム駆動用モータ４０及びテーブル駆動用モータ４５に接続配線された第１及び第２のエンコーダ４１、４７から出力されたエンコーダ信号から得られる加速度ｑ″と指令加速度ｑ″ｒｅｆ  、２次フィルタ７０を用いて外乱加速度ｑ″ｄｉｓを見積もり、目標加速度ｑ″ｃｍｄに付加し、モータ出力の飽和を防ぐためにリミッタ７１を通して指令加速度ｑ″ｒｅｆ  を求める。なお、２次フィルタ７０が有する伝達関数は、減衰係数ζ、固有周波数ｇとすれば、
ｇ２／（Ｓ２＋２ζｇＳ＋ｇ２）
で表される。
【０１４２】
さらに、トルク補償演算回路６７は、トルク定数のノミナル値Ｋｔｎとドラム駆動用モータ４０及びテーブル駆動用モータ４５の負荷イナーシャのノミナル値Ｊｎとから、電流指令値Ｉｒｅｆを演算する。
【０１４３】
また、上述したドラム駆動用モータドライバ５８及びテーブル駆動用モータドライバ５９は、トルク発生回路６８を備えている。このトルク発生回路６８は、トルク補償演算回路６７から出力された指令電圧Ｖ１、Ｖ２に基づいて、ドラム駆動用モータ４０及びテーブル駆動用モータ４５に電力Ｅ１、Ｅ２を供給する。
【０１４４】
したがって、チャッキング部６は、トルク発生回路６８より供給された電力Ｅ１によりドラム駆動用モータ４０が回転駆動することによって、回転ドラム３Ｂを回転させる。また、テーブル移動機構８は、トルク発生回路６８より供給された電力Ｅ２によりテーブル駆動用モータ４５が回転駆動することによってテーブル４３を移動させる。
【０１４５】
以上のように構成された自動バフ研磨装置１について、バフ２１が回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅをバフ研磨加工する研磨手順、及び研磨動作を図２５乃至図２９を参照して説明する。
【０１４６】
まず、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ１に示すように、制御部１８の制御装置５７にバフ研磨加工を施す回転ドラム３Ｂの種類を指定することによって、ヘッド窓孔３Ｅのバフ研磨加工を施す回転ドラム３Ｂが選択決定される。すなわち、自動バフ研磨装置１は、制御装置５７に予め記録された回転ドラム３Ｂの形状データに基づいてバフ研磨加工を行うことが可能となる。
【０１４７】
自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ２に示すように、バフ研磨加工が施される回転ドラム３Ｂが、ドラム搬送機構９によってパレット９Ａからチャッキング部６に搬送される。自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ３に示すように、テーブル移動機構８によりチャッキング部６のテーブル４３を移動させることによって、回転ドラム３Ｂをヘッド窓孔検出用センサ２７に臨む位置に移動させる。
【０１４８】
また、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ４に示すように、制御装置５７に記録された回転ドラム３Ｂの形状データに基づいて、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅを検出する位置にヘッド窓孔検出用センサ２７を移動させる。したがって、ヘッド窓孔検出用センサ２７は、図３に示すように、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅに臨む位置に移動される。
【０１４９】
そして、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ５に示すように、回転ドラム３Ｂを外周部に沿って１回転させることによって、回転ドラム３Ｂの回転位置に応じたヘッド窓孔検出用センサ２７の検出光の検出結果から、ヘッド窓孔３Ｅの個数、位置及び幅寸法を検出する。
【０１５０】
自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ６に示すように、バフ位置決め機構７を移動動作させることによって、バフ部５を研磨位置に向かって移動させる。したがって、バフ部５は、図２６に示すように、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅに臨む位置に移動される。
【０１５１】
そして、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ７に示すように、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの位置を研磨する際、チャッキング部６のテーブル４３を移動させる。自動バフ研磨装置１は、テーブル４３を移動させることによって、回転ドラム３Ｂを図２６に示すＴ方向にスライド移動させてバフ部５のバフ２１に圧接させる。また、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３ＢをＴ方向に移動させた際、バフ部５にヘッド窓孔３Ｅが当接するように、回転ドラム３Ｂを回転移動させる。
【０１５２】
つぎに、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ８に示すように、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅに圧接されたバフ２１によってバフ研磨加工を行う。また、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅのバフ研磨加工後、ステップＳＴ９に示すように、同一回転ドラム３Ｂの他のヘッド窓孔３Ｅをバフ研磨するかを判断する。
【０１５３】
自動バフ研磨装置１は、他のヘッド窓孔３Ｅをバフ研磨する場合、ステップＳＴ７に戻る。また、自動バフ研磨装置１は、他のヘッド窓孔３Ｅをバフ研磨しない場合やバフ研磨加工を終了する場合、ステップＳＴ１０に移行する。自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ１０に示すように、ドラム搬送機構９によって、チャッキング部６からパレット９Ａに、バフ研磨加工された回転ドラム３Ｂを搬送する。
【０１５４】
自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅのバフ研磨加工に伴って、バフ２１の外周部が徐々に摩耗して形状が崩れる。このため、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ１１に示すように、例えば、回転ドラム３Ｂのバフ研磨１個につき１回というように、必要に応じてバフ２１の形状を整えるドレッシング加工を行う。
【０１５５】
すなわち、自動バフ研磨装置１は、バフ駆動用モータ２３によってバフ２１を回転させた状態で、ドレッシング部１２にバフ位置決め機構７がバフ部５を移動させる。そして、自動バフ研磨装置１は、バフ２１をドレッシング部１２のドレッサ１２Ａに圧接させることによって、バフ２１の外周部を研削して整形する。
【０１５６】
なお、自動バフ研磨装置１は、ドレッシング加工を施すためにバフ２１の半径寸法を検出する必要があるが、後述する回転ドラム３Ｂとバフ２１との当接位置から算出される。また、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ１１に示すように、研磨材塗布部１４が有する研磨材にバフ２１を押し付けることによって、バフ２１に研磨材を塗布する。
【０１５７】
そして、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ１２に示すように、次の回転ドラム３Ｂを続けてバフ研磨するかを判断する。自動バフ研磨装置１は、次の回転ドラム３Ｂを続けてバフ研磨する場合、ステップＳＴ２に戻る。また、自動バフ研磨装置１は、次の回転ドラム３Ｂを続けてバフ研磨しない場合、回転ドラム３Ｂのバフ研磨が終了される。
【０１５８】
ところで、自動バフ研磨装置１は、バフ研磨を行うに伴ってバフ２１が摩耗することによって、バフ２１の径寸法が次第に小さくなり、回転ドラム３Ｂとバフ２１との当接角度が変化してしまう。そして、バフ２１は、最終的に、径寸法が小さくなることによって、回転ドラム３Ｂに圧接されることなく通過してしまうという不都合がある。
【０１５９】
このため、自動バフ研磨装置１は、バフ研磨加工を施す回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの位置を検出した後、図２７乃至図２９に示すように、上述したステップＳＴ７以降で、例えば、１つの回転ドラム３Ｂに対してバフ研磨を行う前に１回というように必要に応じてバフ２１の位置の補正を行っている。
【０１６０】
自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ２１に示すように、バフ２１の位置の補正を行うか判断をする。自動バフ研磨装置１は、バフ２１の位置を補正する必要がない場合、後述するステップＳＴ２７に移行してバフ研磨を行う。
【０１６１】
なお、自動バフ研磨装置１は、ドラム駆動用モータ４０によって回転方向を位置制御して回転ドラム３Ｂを研磨位置に固定させる。また、自動バフ研磨装置１は、テーブル駆動用モータ４５によってバフ２１に対して接離する方向（以下、並進方向と称する。）に圧接力制御して、例えば、１００ｇ程度の目標圧接力Ｆｃｍｄ  を設定して回転ドラム３Ｂを圧接する。
【０１６２】
まず、回転ドラム３Ｂは、バフ２１と当接されておらず、ステップＳＴ２２に示すように、設定された目標圧接力Ｆｃｍｄ  を得るために、バフ２１に向かって移動される。自動バフ研磨装置１は、バフ２１に回転ドラム３Ｂを圧接させる際、回転ドラム３Ｂの移動速度が速いことによって、回転ドラム３Ｂとバフ２１とが衝突することを防止するため、圧接力制御のダンピング係数ＫＦｄを適当な値に設定されている。
【０１６３】
自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ２３に示すように、圧接力センサ部１５が検出する圧接力検出信号Ｆの変化量によって、回転ドラム３Ｂとバフ２１との圧接状態を判断する。
【０１６４】
そして、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂとバフ２１とが当接した際、制御部１８の制御装置５７に、回転ドラム３Ｂとバフ２１との当接位置を記録する。自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂとバフ２１との当接位置を記録した後、圧接力を逆方向に付与させることによって、ダンピング係数ＫＦｄを小さくする。したがって、自動バフ研磨装置１は、圧接力を逆方向に設定することによって、ステップＳＴ２４に示すように、回転ドラム３Ｂをバフ２１に対して離れる方向に後退移動させて、回転ドラム３Ｂをバフ２１からすばやく引き離す。
【０１６５】
また、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ２４において、図２８に示すように、回転ドラム３Ｂをバフ２１から引き離し動作させている。まず、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ２４Ａに示すように、回転ドラム３Ｂをバフ２１から引き離し動作させる指令があるかを判断する。
【０１６６】
自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂをバフ２１から引き離し動作させる指令がある場合、ステップＳＴ２４Ｂに示すように、ダンピング係数ＫＦｄを、
ＫＦｄ＝０
とする。そして、自動バフ研磨装置１は、圧接力制御のための目標圧接力Ｆｃｍｄ  の値を逆方向に再設定する。すなわち、目標圧接力Ｆｃｍｄ  は、
Ｆｃｍｄ  ＜０
とされる。
【０１６７】
自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ２４Ｃに示すように、回転ドラム３Ｂが所定の位置に移動されたかを判断する。自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂが所定の位置に移動された場合、ステップＳＴ２４Ｄに示すように、ダンピング係数ＫＦｄを大きくする。そして、自動バフ研磨装置１は、圧接力制御のための目標圧接力Ｆｃｍｄ  の値を再度逆方向に設定する。すなわち、目標圧接力Ｆｃｍｄ  は、
Ｆｃｍｄ  ≧０
自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ２４Ｅに示すように、回転ドラム３Ｂの移動速度が所定値にされたかを判断する。そして、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂが所定の移動速度となった場合、ステップＳＴ２４Ｆに示すように、位置制御によって回転ドラム３Ｂが停止されたことを確認する。
【０１６８】
すなわち、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂをバフ２１から比較的速い速度で後退移動させて、回転ドラム３Ｂがバフ２１から所定距離だけ離れた後、バフ２１に対して回転ドラム３Ｂを圧接させる方向に圧接力を付与させてダンピング係数ＫＦｄを大きくする。そして、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂの移動速度が十分に小さくなった時点で、圧接力制御から位置制御に切り替えて回転ドラム３Ｂの位置を固定する。
【０１６９】
一方、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ２５に示すように、制御部１８の制御装置５７に記録された回転ドラム３Ｂとバフ２１との当接位置に基づいて、バフ２１の径寸法を算出する。
【０１７０】
さらに、自動バフ研磨装置１は、バフ２１の径寸法の変化量に応じて、バフ駆動用モータ２３の回転数を制御することによって、バフ２１の径寸法の変化に伴って変化するバフ２１の外周部の周速度を一定に保つことが可能とされている。
【０１７１】
そして、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂとバフ２１とが制御装置５７に予め記録された当接角度で当接させるために、ステップＳＴ２５で求めたバフ２１の径寸法に基づいて、バフ位置決め機構７を移動動作させる。すなわち、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ２６に示すように、バフ位置決め機構７を移動させることによってバフ部５が移動されて、バフ２１の位置の補正を行う。
【０１７２】
つぎに、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅのバフ研磨加工を行う。なお、自動バフ研磨装置１は、バフ２１の位置を補正しない場合、ステップＳＴ７において回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの位置決めが終了した後、ヘッド窓孔３Ｅのバフ研磨を行う。
【０１７３】
自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ２７及びステップＳＴ２８に示すように、上述したステップＳＴ２２及びステップＳＴ２３と同様に回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅとバフ２１とを当接させる。
【０１７４】
制御部１８の制御装置５７は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅにバフ２１が当接した位置Ｐ１を記録する。自動バフ研磨装置１は、ヘッド窓孔３Ｅにバフ２１が当接した後、ステップＳＴ２９に示すように、位置制御によって角度に対する位置が固定された回転方向に対して、例えば、３０〜５０ｇｆ程度の所定の圧接力を付与する圧接力制御を行う。
【０１７５】
このため、回転ドラム３Ｂは、ヘッド窓孔３Ｅの底面部にバフ２１が圧接された状態で回転される。自動バフ研磨装置１は、ダンピング係数ＫＦｄを所定の値に設定することによって、回転ドラム３Ｂの回転速度を調整する。さらに、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂの外周部に作用する円周方向の圧接力検出信号Ｆを検出して、この圧接力検出信号Ｆの変化量によって、ステップＳＴ３０に示すように、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの側面とバフ２１との当接状態を判断する。
【０１７６】
自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの側面にバフ２１が当接した後、ステップＳＴ３１に示すように、回転方向の圧接力を逆方向に設定して回転ドラム３Ｂを逆方向に回転させる。そして、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ３２に示すように、上述したステップＳＴ２８と同様に回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの側面とバフ２１との当接状態を判断する。
【０１７７】
さらに、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ３３に示すように、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの底面部をバフ研磨加工し続ける場合、回転ドラム３Ｂとヘッド窓孔３Ｅの側面に当接した後に、ステップＳＴ３１に戻る。また、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの底面部に対するバフ研磨加工を終了する場合、ステップＳＴ３４に移行する。すなわち、回転ドラム３Ｂは、上述したステップＳＴ２９乃至ステップＳＴ３３によって、図３３に示す回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの底面側曲面３Ｊが形成される。
【０１７８】
そして、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ３４に示すように、位置Ｐ１に対して並進方向に僅かに０．５ｍｍ程度後退移動した位置を位置Ｐ２として、並進方向、回転方向ともに位置制御を行って、回転ドラム３Ｂを位置Ｐ２に移動させる。
【０１７９】
自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ３５に示すように、上述したステップＳＴ２９と同様に、回転ドラム３Ｂの並進方向を位置制御によって固定した状態で、回転方向のみ圧接力制御によって回転ドラム３Ｂを回転させる。すなわち、回転ドラム３Ｂは、圧接力制御によって回転される際、並進方向の制御が位置制御のままであり、バフ２１とヘッド窓孔３Ｅの底面側曲面３Ｊとがほとんど当接しないため、ステップＳＴ３５以降でヘッド窓孔３Ｅの底面側曲面３Ｊを研磨することがない。
【０１８０】
そして、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ３６に示すように、バフ２１と回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの側面との当接状態を圧接力検出信号Ｆから判断する。自動バフ研磨装置１は、バフ２１と回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの側面とが当接した後、ステップＳＴ３７に示すように、数秒間、バフ２１をヘッド窓孔３Ｅの側面に当接した状態を保つ。このため、回転ドラム３Ｂには、図３３に示すように、ヘッド窓孔３Ｅの上端側曲面３Ｈ、下端側曲面３Ｋ及び側面側曲面３Ｉがそれぞれ形成される。
【０１８１】
つぎに、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ３８に示すように、上述したステップＳＴ３１と同様に、回転方向の圧接力を逆方向に設定して回転ドラム３Ｂを逆方向に回転させる。このため、回転ドラム３Ｂは、逆方向に回転されて、バフ２１がヘッド窓孔３Ｅの側面に当接する。
【０１８２】
自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ３９に示すように、バフ２１と回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの側面との当接状態を圧接力検出信号Ｆから判断する。自動バフ研磨装置１は、バフ２１と回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの側面とが当接した後、ステップＳＴ４０に示すように、数秒間、バフ２１をヘッド窓孔３Ｅの側面に当接した状態を保つ。このため、回転ドラム３Ｂには、上述したステップＳＴ３７でバフ研磨した側面と相対する側面がバフ研磨される。
【０１８３】
自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ４０でバフ研磨を一旦終了して、ステップＳＴ４１に示すように、回転方向の位置を固定してステップＳＴ２４と同様に回転ドラム３Ｂを後退させる。そして、自動バフ研磨装置１は、ステップＳＴ９に移行する。すなわち、自動バフ研磨装置１は、ドラム駆動用モータ４０及びテーブル駆動用モータ４５に対して、圧接力制御と位置制御とを適宜切り替えながら制御する。
【０１８４】
上述したように、実施例自動バフ研磨装置１は、圧接力センサ基板５３と第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５とから構成される圧接力センサ部１５を備えることによって、バフ２１が圧接された回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅに負荷される微弱な圧接力を広いレンジで検出することができるとともに、第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５が直交する２方向の圧接力をそれぞれ検出することが可能とされる。
【０１８５】
したがって、この自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅをバフ研磨する際、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅに対してバフ２１を所定の圧接力で圧接させることができるため、加工品質の安定化が図られるとともに高精度なバフ研磨の自動化が可能とされる。また、自動バフ研磨装置１は、圧接力センサ基板５３と第１のＬＶＤＴ５４及び第２のＬＶＤＴ５５とが、チャッキング部６のチャッキング部材３８とドラム駆動用モータ４０との間に挟み込んで配設されるため、装置全体の薄型軽量化が図られている。
【０１８６】
また、実施例自動バフ研磨装置１は、制御部１８が、圧接力センサ部１５が検出する圧接力検出信号Ｆの変化量に基づいて、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅとバフ２１とが当接した位置からバフ２１の径寸法を算出する。そして、自動バフ研磨装置１は、バフ位置決め機構７がバフ２１を移動させることによって、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅとバフ２１とが予め設定された角度で当接するようにバフ位置の補正を行う。
【０１８７】
したがって、この自動バフ研磨装置１は、バフ研磨に伴ってバフ２１が摩耗して径寸法が小さくなっても、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅに対してバフ２１を一定の角度で圧接させることができる。すなわち、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅに対してバフ２１が一定の角度で圧接されることによって、加工品質の安定化が図られるとともに高精度なバフ研磨の自動化が可能とされる。
【０１８８】
また、実施例自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅをバフ研磨する際、研磨材塗布部１４がバフ２１に研磨材を自動供給することが可能とされる。したがって、自動バフ研磨装置１は、バフ２１に塗布された研磨材の量を自動的に管理することによって、加工品質の安定化が図られるとともに高精度なバフ研磨の自動化が可能とされる。
【０１８９】
また、実施例自動バフ研磨装置１は、制御部１８が、ドラム駆動用モータ４０及びテーブル駆動用モータ４５に対して、圧接力制御及び位置制御とを適宜切り替えて制御する。このため、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅをバフ研磨する際、ヘッド窓孔３Ｅとバフ２１との相対的な位置及び圧接力とを常に一定に保つことができる。
【０１９０】
また、自動バフ研磨装置１は、制御部１８の制御モード切替え回路６６が、ドラム駆動用モータ４０及びテーブル駆動用モータ４５とに対して、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの上端側曲面３Ｈ、側面側曲面３Ｉ、底面側曲面３Ｊ及び下端側曲面３Ｋに応じて位置制御と圧接力制御とを適宜切替えて制御する。したがって、自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅに対して、高精度なバフ研磨が可能とされ、加工品質の安定化が図られる。
【０１９１】
また、自動バフ研磨装置１は、ヘッド窓孔検出用センサ２７を備えることによって、回転ドラム３Ｂの径寸法や高さ寸法等の形状データのみを必要とし、制御装置１８にヘッド窓孔３Ｅの個数、位置及び幅寸法等の窓孔データを予め記録することが不要となる。さらに、自動バフ研磨装置１は、ヘッド窓孔検出用センサ２７が、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅの位置を検出するため、回転ドラム３Ｂを高精度に位置決めすることが不要となり容易に位置決めすることができる。
【０１９２】
なお、本実施例に係る自動バフ研磨装置１は、バフ２１の径寸法を算出するために、バフ駆動用モータ２３の回転数を計測する第３のエンコーダ４８を備える構成とされたが、例えば、バフ２１に臨む位置に変位サンサを配設することによって、バフ２１の径寸法を直接に求める構成としても良い。この変位センサには、例えば、レーザ光や超音波等による非接触型の変位センサを採用して好適である。
【０１９３】
また、実施例自動バフ研磨装置１は、回転ドラム３Ｂのヘッド窓孔３Ｅが、楕円状等の他の窓孔形状に形成されても、バフ２１の形状及び動作プログラム等の条件を変更することによって、容易に対応することができる。
【０１９４】
さらに、実施例自動バフ研磨装置１は、被研磨物として回転ドラムが用いられたが、回転ドラムに限定されるものでなく、例えば、円筒状の金型等のバフ研磨に用いて好適である。
【０１９５】
【発明の効果】
上述したように本発明に係る自動バフ研磨装置によれば、環状の基台と、この基台の中央部に配設されて検出対象体に負荷される力に応じて変位する中間基台と、基台の内周部と中間基台の外周部とに両端が一体に連結された弾性変位可能な線状の連結片部と、基台の内周部と中間基台の外周部との間に位置して間隙を構成する対向する一対の検出片を有する検出部と、この検出部に配設されて検出部に生じる変位量を検出する差動トランスとから構成されて回転ドラムのヘッド窓孔に対して圧接されたバフの圧接力を検出する力検出ユニットを備えることによって、バフが圧接された回転ドラムのヘッド窓孔に作用する微弱な圧接力を広いレンジで検出することができる。
【０１９６】
また、自動バフ研磨装置によれば、力検出ユニットの中間基台に、環状の中間基台部と、この中間基台部の中央部に配設されて検出対象体に負荷される力に応じて変位する支持台と、連結片部と直交する方向に設けられ中間基台部の内周部と支持台の外周部とに両端が一体に連結された弾性変位可能な線状の第２の連結片部と、中間基台部の内周部と支持台の外周部との間に位置して間隙を構成する対向する一対の第２の検出片を有するとともに検出部と直交して設けられた第２の検出部と、この第２の検出部に配設されて第２の検出部に生じる変位量を検出する第２の差動トランスとを備えることによって、バフが圧接された回転ドラムのヘッド窓孔に負荷される微弱な圧接力を広いレンジで検出することができるとともに、直交する２方向の圧接力をそれぞれ検出することが可能とされる。
【０１９７】
したがって、自動バフ研磨装置は、回転ドラムのヘッド窓孔をバフ研磨する際、回転ドラムのヘッド窓孔に対してバフを所定の圧接力で圧接させることができるため、加工品質の安定化が図られるとともに高精度なバフ研磨の自動化が可能とされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る実施例自動バフ研磨装置を示す平面模式図である。
【図２】同自動バフ研磨装置が備えるバフ部を示す斜視図である。
【図３】同自動バフ研磨装置が備えるヘッド窓孔検出用センサを説明するために示す斜視図である。
【図４】同自動バフ研磨装置が備える仕上げ研磨部を示す斜視図である。
【図５】同自動バフ研磨装置が備えるチャッキング部を示す斜視図である。
【図６】同自動バフ研磨装置が備えるチャッキング部を示す側面図である。
【図７】同自動バフ研磨装置が備える研磨材塗布部を示す斜視図である。
【図８】同自動バフ研磨装置が備える圧接力センサ部を構成する圧接力センサ基板を示す平面図である。
【図９】同自動バフ研磨装置が備える圧接力センサ部を構成するＬＶＤＴを示す要部斜視図である。
【図１０】同自動バフ研磨装置が備える圧接力センサ部を構成するＬＶＤＴを示す要部模式図である。
【図１１】同自動バフ研磨装置が備える圧接力センサ部を構成する圧接力センサ基板を示す平面図である。
【図１２】同自動バフ研磨装置が備える圧接力センサ部を構成する圧接力センサ基板を示す平面図である。
【図１３】同自動バフ研磨装置が備える圧接力センサ部が圧接力を検出する原理を説明するために示す斜視図である。
【図１４】同自動バフ研磨装置が備える圧接力センサ部が圧接力を検出する原理を説明するために示す斜視図である。
【図１５】同自動バフ研磨装置が備える圧接力センサ部が圧接力を検出する原理を説明するために示す斜視図である。
【図１６】同自動バフ研磨装置が備える圧接力センサ部を構成する圧接力センサ基板の一例を示す平面図である。
【図１７】同自動バフ研磨装置が備える圧接力センサ部を構成する圧接力センサ基板の一例を示す平面図である。
【図１８】同自動バフ研磨装置が備える圧接力センサ部を構成する圧接力センサ基板の一例を示す平面図である。
【図１９】同自動バフ研磨装置が備える圧接力センサ部を構成する圧接力センサ基板の一例を示す平面図である。
【図２０】同自動バフ研磨装置が備える制御部の信号処理を説明するために示すブロック線図である。
【図２１】同自動バフ研磨装置が備える制御部の信号処理を説明するために示すブロック線図である。
【図２２】同自動バフ研磨装置が備える制御部の信号処理を説明するために示すブロック線図である。
【図２３】同自動バフ研磨装置が備える制御部の信号処理を説明するために示すブロック線図である。
【図２４】同自動バフ研磨装置が備える制御部の信号処理を説明するために示すブロック線図である。
【図２５】同自動バフ研磨装置が回転ドラムを研磨する動作を説明するために示すフローチャート図である。
【図２６】同自動バフ研磨装置が回転ドラムを研磨する動作を説明するために示す斜視図である。
【図２７】同自動バフ研磨装置が回転ドラムを研磨する動作を説明するために示すフローチャート図である。
【図２８】同自動バフ研磨装置が回転ドラムを研磨する動作を説明するために示すフローチャート図である。
【図２９】同自動バフ研磨装置が回転ドラムを研磨する動作を説明するために示すフローチャート図である。
【図３０】従来の回転型磁気ヘッド装置を示す正面模式図である。
【図３１】従来の回転型磁気ヘッド装置を構成する回転ドラムのヘッド窓孔を示す要部斜視図である。
【図３２】従来の回転型磁気ヘッド装置を構成する回転ドラムのヘッド窓孔を示す要部斜視図である。
【図３３】従来の回転型磁気ヘッド装置を構成する回転ドラムのヘッド窓孔を示す要部斜視図である。
【符号の説明】
１  自動バフ研磨装置
３Ｂ  回転ドラム
３Ｅ  ヘッド窓孔（検出対象物）
１５  圧接力センサ部（力検出ユニット）
５３  圧接力センサ基板
５３Ａ  基台部（基台）
５３Ｂ  中間基台部（中間基台）
５３Ｃ  軸支持台部（支持台）
５３Ｆ乃至５３Ｉ  中間基台支持片（連結片部）
５３Ｊ乃至５３Ｍ  軸支持台支持片（第２の連結片部）
５３Ｐ  第１の検出部（検出部）
５３Ｒ、５３Ｓ  検出片
５３Ｑ  第２の検出部
５３Ｔ、５３Ｕ  検出片
５４  第１のＬＶＤＴ（差動トランス）
５５  第２のＬＶＤＴ（差動トランス）
【図１】
0003629751.tif 000002
【図２】
0003629751.tif 000003
【図３】
0003629751.tif 000004
【図４】
0003629751.tif 000005
【図５】
0003629751.tif 000006
【図６】
0003629751.tif 000007
【図７】
0003629751.tif 000008
【図８】
0003629751.tif 000009
【図９】
0003629751.tif 000010
【図１０】
0003629751.tif 000011
【図１１】
0003629751.tif 000012
【図１２】
0003629751.tif 000013
【図１３】
0003629751.tif 000014
【図１４】
0003629751.tif 000015
【図１５】
0003629751.tif 000016
【図１６】
0003629751.tif 000017
【図１７】
0003629751.tif 000018
【図１８】
0003629751.tif 000019
【図１９】
0003629751.tif 000020
【図２０】
0003629751.tif 000021
【図２１】
0003629751.tif 000022
【図２２】
0003629751.tif 000023
【図２３】
0003629751.tif 000024
【図２４】
0003629751.tif 000025
【図２５】
0003629751.tif 000026
【図２６】
0003629751.tif 000027
【図２７】
0003629751.tif 000028
【図２８】
0003629751.tif 000029
【図２９】
0003629751.tif 000030
【図３０】
0003629751.tif 000031
【図３１】
0003629751.tif 000032
【図３２】
0003629751.tif 000033
【図３３】
0003629751.tif 000034