(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚のディスクを上下に貼り合わせて光学式貼り合わせディスクを作る貼り合わせ装置において、
接着剤が塗布された下側の前記ディスクの表面に形成されている集積用リング状凸部の内側のディスク保持部に当接して吸着保持する第１の吸着穴を有する第１の平面状部材と、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間に当接して該間の少なくとも一部分を吸着保持する第２の吸着穴を有する第２の平面状部材とを備えた第１の保持手段と、
上側の前記ディスクの表面に形成されている集積用リング状凸部の内側のディスク保持部に当接して吸着保持する第３の吸着穴を有する第３の平面状部材と、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間に当接して該間の少なくとも一部分を吸着保持する第４の吸着穴を有する第４の平面状部材とを備えた第２の保持手段とを備え、
下側の前記ディスクを前記第１の保持手段の前記第１及び第２の平面状部材により、上側の前記ディスクを前記第２の保持手段の前記第３及び第４の平面状部材により、前記集積用リング状凸部の内側のディスク保持部及び前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部分をそれぞれ吸着した状態で、上下２枚の前記ディスクを重ね合わせることを特徴とする光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置。
【請求項２】
請求項１記載の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置において、
前記重ね合わせた２枚のディスクのうち、下側の前記ディスクの前記集積用リング状凸部の内側のディスク保持部と、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部とを平面状部材にそれぞれ吸着保持した状態で、前記重ね合わせた２枚のディスクの間の前記接着剤を高速回転にて所要の範囲まで広げる手段を備えていることを特徴とする光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置。
【請求項３】
請求項１記載の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置において、
前記重ね合わせた２枚のディスクのうち、下側の前記ディスクの集積用リング状凸部の内側のディスク保持部と、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部とを平面状部材にそれぞれ吸着保持した状態で、前記重ね合わせた２枚のディスク間の所要の範囲に広げられた接着剤の硬化処理を施す手段を備えていることを特徴とする光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置において、
前記第１及び第２の平面状部材の平面部、並びに、前記第３及び第４の平面状部材の平面部がそれぞれ同一平面であることを特徴とする光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置。
【請求項５】
２枚のディスクを上下に貼り合わせて光学式貼り合わせディスクを作る貼り合わせ方法において、
前記２枚のディスクのうち、下側のディスク上に接着剤を吐出し、前記上下のディスクの表面にそれぞれ形成されている集積用リング状凸部の内側のディスク保持部を第１及び第３の平面状部材にそれぞれ吸着保持するとともに、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部を第２及び第４の平面状部材にそれぞれ吸着保持した状態で、前記上下ディスクを近接させて前記上下ディスク間に前記接着剤を挟んで重ね合わせることを特徴とする光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法。
【請求項６】
請求項５に記載の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法におい
、
前記重ね合わせた２枚のディスクのうち、前記下側のディスクの表面に形成されている集積用リング状凸部の内側のディスク保持部と、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部とを吸着保持した状態で、前記上下ディスク間の前記接着剤を高速回転にて所要の範囲まで広げることを特徴とする光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法。
【請求項７】
請求項５に記載の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法におい、
前記重ね合わせた２枚のディスクのうち、前記下側ディスクの表面に形成されている集積用リング状凸部内側のディスク保持部と、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部とを吸着保持した状態で、前記上下ディスクの間の所要の範囲に広げられた接着剤の硬化処理を行うことを特徴とする光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法。
【請求項８】
請求項５乃至７のいずれかに記載の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法において、
前記第１及び第２の平面状部材の平面部、並びに、前記第３及び第４の平面状部材の平面部がそれぞれ同一平面であることを特徴とする光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、オーディオ情報、ビデオ情報、或いは通常データの記録又は再生を光学式に行う貼り合わせディスクの製造方法及び製造装置に関し、特に、液体状の接着剤を使用した光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光学式ディスクの貼り合わせ装置としては、例えば図１１に示すようなものがあった。
図１１は、液体状の接着剤を使用してディスクを貼り合わす、貼り合わせ装置の内、ディスクを重ね合わせる部分を示すものである。
【０００３】
図１１において、下側ディスク２上には、図示しない接着剤吐出装置によりドーナッツ状に接着剤７が吐出されており、回転ヘッド１１３上に吸着保持される。この下側ディスク２上に、上側ディスク３を吸着保持した搬送ヘッド１１４が下降してきて、上側ディスク３表面を接着剤７に接触させた後、上側ディスク３の吸着を解放して再び上昇、待避する。その後、回転ヘッド１１３が高速回転を開始し、上側及び下側ディスク３、２を、その間に接着剤７を挟んだ状態で高速回転させて接着剤７を所要の範囲に広げる。
【０００４】
前記回転ヘッド１１３及び搬送ヘッド１１４は、ディスクの記録領域に接触することで記録領域に傷をつけることを避けるため、集積用リング状凸部の内側、即ちディスク保持部のみを吸着するように構成されている。
図１２において、上側ディスク３と下側ディスク２とは、所要の範囲に広げられた未硬化の接着剤７によって密着した状態にてトレー５０上に載せられている。この状態で、上側ディスク３と下側ディスク２とは、硬化手段である紫外線照射器９によって紫外線が照射されている領域を通過して移動することで、接着剤が硬化される。上側ディスク３上には、ディスクの反りの矯正のためガラスのような透明な材質で作られたおもり５１が載せられることもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、集積用リング状凸部の内側を吸着保持した場合には、ディスクの内部歪や自重などによるディスクの反りを矯正できない。この状態を示したのが図１３である。
【０００６】
図１３は図１１の断面図である。ここで吸着保持されているディスクは上側、下側ともに反りが大きい。この反りは上記の理由で発生するのであるが、特に集積用リング状凸部１５を屈曲点として発生するものが大きい。この反りは大きさが不均一な場合が多く、ここで上側ディスク３と下側ディスク２を平行に保つのは困難である。このように上側ディスク３と下側ディスク２が平行でない状態で、上側ディスク３を、下側ディスク２上の接着剤７に接触させると、接触の仕方が不均一となり、気泡を巻き込みやすい。
【０００７】
また、上側ディスク３を接着剤７を挟んで下側ディスク２上に載せ、高速回転させる場合でも、下側ディスク２を曲がりなく水平な状態で高速回転させることができないので、接着剤７を均一に広げるのが難しい。
【０００８】
上記のような問題点を解消するためには、ディスク全面を平面状部材に吸着保持させることも考えられるが、これではディスクの記録領域に前記吸着部材が接触することになり、ディスクの記録領域を傷つける危険性が有る。
【０００９】
更に、図１２に示す接着剤硬化部にあっては、接着剤７を挟んで上側ディスク３と下側ディスク２が密着した状態であっても、各単板ディスクの反りを合成したような反りが発生する。これを矯正するためにおもり５１を載せると、おもり５１と反りの有るディスク表面との接触具合が均一にならず、接着剤７の膜厚分布に乱れを生じさせる原因となる。またおもりによって押し出された接着剤７が、その近傍の部材を汚すという悪影響も有る。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、光学式貼り合わせディスクの記録領域を傷つけることなく上側ディスクを下側ディスク上の接着剤に均一に接触させることができる光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法及び貼り合わせ装置を提供することにある。
【００１１】
また、本発明の他の目的は、光学式貼り合わせディスクの記録領域を傷つけることなく接着剤を所要の範囲まで均一に広げることができる光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法及び貼り合わせ装置を提供することにある。
【００１２】
また、本発明の他の目的は、光学式貼り合わせディスクを反りなく平らな状態に保って接着剤の硬化を行うことができる光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法及び貼り合わせ装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置は、２枚のディスクを上下に貼り合わせて光学式貼り合わせディスクを作る貼り合わせ装置において、接着剤が塗布された下側の前記ディスクの表面に形成されている集積用リング状凸部の内側のディスク保持部に当接して吸着保持する第１の吸着穴を有する第１の平面状部材と、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間に当接して該間の少なくとも一部分を吸着保持する第２の吸着穴を有する第２の平面状部材とを備えた第１の保持手段と、上側の前記ディスクの表面に形成されている集積用リング状凸部の内側のディスク保持部に当接して吸着保持する第３の吸着穴を有する第３の平面状部材と、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間に当接して該間の少なくとも一部分を吸着保持する第４の吸着穴を有する第４の平面状部材とを備えた第２の保持手段とを備え、下側の前記ディスクを前記第１の保持手段の前記第１及び第２の平面状部材により、上側の前記ディスクを前記第２の保持手段の前記第３及び第４の平面状部材により、前記集積用リング状凸部の内側のディスク保持部及び前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部分をそれぞれ吸着した状態で、上下２枚の前記ディスクを重ね合わせることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項２の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置は、請求項１記載の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置において、前記重ね合わせた２枚のディスクのうち、下側の前記ディスクの前記集積用リング状凸部の内側のディスク保持部と、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部とを吸着保持した状態で、前記重ね合わせた２枚のディスクの間の前記接着剤を高速回転にて所要の範囲まで広げる手段を備えていることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項３の光学式貼り合わせディスク貼り合わせ装置は、請求項１記載の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置において、前記重ね合わせた２枚のディスクのうち、下側の前記ディスクの集積用リング状凸部の内側のディスク保持部と、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部とを吸着保持した状態で、前記重ね合わせた２枚のディスク間の所要の範囲に広げられた接着剤の硬化処理を施す手段を備えていることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項４の光学式貼り合わせディスク貼り合わせ装置は、請求項１乃至３のいずれかに記載の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置において、前記第１及び第２の平面状部材の平面部、並びに、前記第３及び第４の平面状部材の平面部がそれぞれ同一平面であることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項５の光学式貼り合わせディスク貼り合わせ方法は、２枚のディスクを上下に貼り合わせて光学式貼り合わせディスクを作る貼り合わせ方法において、
前記２枚のディスクのうち、下側のディスク上に接着剤を吐出し、前記上下のディスクの表面にそれぞれ形成されている集積用リング状凸部の内側のディスク保持部を第１及び第３の平面状部材にそれぞれ吸着保持するとともに、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部を第２及び第４の平面状部材にそれぞれ吸着保持した状態で、前記上下ディスクを近接させて前記上下ディスク間に前記接着剤を挟んで重ね合わせることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項６の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法は、請求項５に記載の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法において、前記重ね合わせた２枚のディスクのうち、前記下側のディスクの表面に形成されている集積用リング状凸部の内側のディスク保持部と、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部とを吸着保持した状態で、前記上下ディスク間の前記接着剤を高速回転にて所要の範囲まで広げることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項７の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法は、請求項６に記載の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法において、前記重ね合わせた２枚のディスクのうち、前記下側ディスクの表面に形成されている集積用リング状凸部内側のディスク保持部と、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部とを吸着保持した状態で、前記上下ディスクの間の所要の範囲に広げられた接着剤の硬化処理を行うことを特徴とする。
【００２０】
また、請求項８の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法は、請求項５乃至７のいずれかに記載の光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ方法において、前記第１及び第２の平面状部材の平面部、並びに、前記第３及び第４の平面状部材の平面部がそれぞれ同一平面であることを特徴とする。
【００２１】
請求項１又は請求項５の発明では、下側ディスク上に吐出された接着剤に上側ディスクを接触させる際に、上下ディスクの表面に形成されている集積用リング状凸部内側のディスク保持部を、平面状の部材に接着保持するとともに、前記リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部を平面状の部材に吸着保持した状態で、前記上下ディスクを近接させて上下ディスク間に接着剤を挟んで重ね合わせることで、光学式貼り合わせディスクの記録領域を傷つけることなく上側ディスクを下側ディスク上の接着剤に均一に接触させることができる。
【００２２】
また、請求項２又は６の発明では、上下ディスクの間に供給された接着剤を高速回転にて所要の範囲まで広げる際に、下側ディスク表面に形成されている集積用リング状凸部内側のディスク保持部と、リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部とを平面状の部材にそれぞれ吸着保持させることにより、光学式貼り合わせディスクの記録領域を傷つけることなく接着剤を所要の範囲まで均一に広げることができる。
【００２３】
また、請求項３又は７の発明では、上下ディスク間の所要の範囲に広げられた接着剤の硬化処理を施す際に、下側ディスク表面に形成されている集積用リング状凸部内側のディスク保持部とリング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部とを平面状の部材にそれぞれ吸着保持しながら行うことにより、光学式貼り合わせディスクを反りなく平らな状態に保って接着剤の硬化を行うことができる。
【００２４】
また、請求項４又は８の発明では、集積用リング状凸部の内側を吸着保持する平面状部材と、外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部を吸着保持する平面状部材とを同一平面としたので、集積用リング状凸部の内側と外側とを同一平面とすることができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、以下において、共通する部分には共通の符号を付してその説明を省略する。
図１は本発明を使用した、光学式ディスク貼り合わせ装置の一例である。
【００２６】
この光学式ディスク貼り合わせ装置は、図示しないディスク供給装置により、上側ディスク３及び下側ディスク２が供給される供給ステージ１と、回転軸回りに高速回転可能なスピンナー５と、供給ステージ１からスピンナー５にディスクを搬送する、水平方向及び垂直方向に可動の直交型２軸ロボットである搬送ロボット４と、スピンナー５上のディスクに接着剤を吐出する旋回式の吐出ノズル６と、接着剤が吐出されたディスクがスピンナー５から搬送ロボット４により搬送される紫外線照射トレー８と、紫外線照射されている領域を形成する紫外線照射器９と、紫外線照射トレー８上のディスクを紫外線照射トレー８とともに紫外線照射されている領域を通過させる移動機構１０と、紫外線照射されたディスクを紫外線照射トレー８から排出ステージ１２へ取り出す取り出しアーム１１とを備えている。
【００２７】
次に、この光学式ディスク貼り合わせ装置の動作を説明する。
先ず、図示しないディスク供給装置により、供給ステージ１上に下側ディスク２が接着面を上に向けて供給される。次に、供給ステージ１上に上側ディスク３が接着面を下に向けて供給される。以下、繰り返される。
【００２８】
最初に供給ステージ１上に載せられた下側ディスク２は、搬送ロボット４によりスピンナー５上に送られ、次いで、供給ステージ１上に載せられた上側ディスク３も、搬送ロボット４によりスピンナー５上に送られる。このように下側ディスク２と上側ディスク３とが交互にスピンナー５上に送られる。
【００２９】
供給ステージ１上に最初の下側ディスク２が載せられた後、旋回式の吐出ノズル６が起動して、スピンナー５の低速回転とともに接着剤７を吐出し、下側ディスク２表面上にてドーナッツ状の形にする。
【００３０】
次に、吐出ノズル６が待避し、スピンナー５の低速回転が停止した後、搬送ロボット４は上側ディスク３をスピンナー５上の下側ディスク２の上に重ねる。その後、スピンナー５が高速回転して、接着剤を所要の範囲まで広げる。
【００３１】
スピンナー５の高速回転処理が完了し、未硬化の接着剤を介して密着した上側ディスク３及び下側ディスク２は、搬送ロボット４により紫外線照射トレー８上に移される。
【００３２】
次に、紫外線照射トレー８は、移動機構１０を介して、紫外線照射器９により紫外線照射されている領域を通して上記密着した上側ディスク３及び下側ディスク２を載せて運び、接着剤７を硬化させる。
【００３３】
接着剤７が硬化して貼り合わせ完了したディスクは、取り出しアーム１１により、紫外線照射トレー８上から排出ステージ１２上に移される。
排出ステージ１２上のディスクは、図示しないディスク排出装置により取り出される。
【００３４】
図２は本発明の第１の実施例であり、図１のスピンナー５上において、下側ディスク２上に吐出された接着剤７に、上側ディスク３を接触させる状態を示している。
【００３５】
図２において、下側ディスク２を載置しているのはスピンナー５の回転ヘッド１３であり、上側ディスク３を保持しているのは搬送ロボット４の搬送ヘッド１４である。
【００３６】
回転ヘッド１３及び搬送ヘッド１４は共に円筒形をしている。回転ヘッド１３及び搬送ヘッド１４の外径は、ディスクの記録領域Ｒの内径よりも小さく、且つディスクの集積用リング状凸部１５の外径よりも大きい。また、集積用リング状凸部１５との干渉を避けるため、逃げ溝１６が形成されている。更に、ディスクと接触する平面（内側吸着保持部１３ａ，１４ａ、リング状吸着保持部１３ｂ，１４ｂ）に吸着穴１７（第１乃至第４の吸着穴）が配置され、この吸着穴１７は集積用リング状凸部１５の内側（第１及び第２の吸着穴）と外側（第３及び第４の吸着穴）の両方に配置される。
【００３７】
ディスクに生じる反りは、実際上、集積用リング状凸部１５を屈曲点とするものが主要なものであるから、上記のように集積用リング状凸部１５の内側と外側を同時に吸着保持すれば、ディスクの反りの大部分が矯正でき、上側ディスク３と下側ディスク２をほぼ平行に保持できる。又、ディスクの記録領域Ｒに傷が付くことも無い。
【００３８】
このようにして上側ディスク３を下側ディスク２上の接着剤７に接触させれば、均一に接触させることができ、気泡の巻き込みを抑制することができる。
更に、上側ディスク３を接着剤７を挟んで下側ディスク２上に載せ、回転ヘッド１３により高速回転させる場合、回転ヘッド１３によって下側ディスク２を曲がり無く水平に吸着保持しながら高速回転させることができるので、接着剤７の表面張力の作用により上側ディスク３も平らに矯正され、接着剤７を所要の範囲に渡って均一に広げることができる。このときにも、ディスクの記録領域Ｒに傷が付くことはない。
【００３９】
図３は本発明の第２の実施例を示す図、図４は本発明の第２の実施例の動作を説明するための図である。
この第２の実施例では、上側ディスク３と下側ディスク２とを接着剤７を介して重ねる工程をスピンナー５より以前の段階で行い、かつ高速回転と同時並行にディスク重ね動作を行うことで、装置の処理能力を向上させる場合に使用される。
【００４０】
図３は、図４において第２の昇降ステージ２０が搬送ヘッド１８に下側ディスク２を渡す場面を表している。
搬送ヘッド１８は、ディスク上面の吸着機能と、ツメ２１による下側ディスク２中心穴の垂直端面の機械的保持機能とをともに備えている。
【００４１】
搬送ヘッド１８は吸着穴１７とともにツメ２１及びツメ２１を駆動するエアーシリンダ２２を備える。また第２の昇降ステージ２０にも吸着穴１７が備えられる。
【００４２】
ここで搬送ヘッド１８及び第２の昇降ステージ２０は、ディスク表面の集積用リング状凸部１５の内側と外側の両方に吸着穴１７を備え、かつディスクに接触する平面（内側吸着保持部１８ａ，２０ａ、リング状吸着保持部１８ｂ，２０ｂ）は、ディスクの記録領域Ｒより内側に限られる。
【００４３】
次に、この第２の実施例の動作を図４により説明する。
まず、上側ディスク３が接着面を下向きにした状態で載置されている第１の昇降ステージ１９の上方に搬送ヘッド１８が到達する。その後、第１の昇降ステージ１９が上昇して上側ディスク３を搬送ヘッド１８に吸着保持させ、下降退避する。
【００４４】
次に、下側ディスク２が接着面を上向きにし、接着剤７をその上に吐出された状態で載置されている第２の昇降ステージ２０の上方に搬送ヘッド１８が移動し、その後、第２の昇降ステージ２０が上昇し、搬送ヘッド１８のツメ２１にて下側ディスク２の中心穴の垂直端面を保持させ、下降退避する。
【００４５】
以上のようにして上側ディスク３と下側ディスク２を接着剤７を挟んで保持した搬送ヘッド１８は、これらをスピンナー５の回転ヘッド１３上に移載する。
この第２実施例によれば、上側ディスク３を下側ディスク２と平行に保って、下側ディスク２上の接着剤７と接触させられるので、気泡の巻き込みを抑制できる。
【００４６】
図５は、本発明の第３の実施例を示す図であり、図１における紫外線照射トレー８及び移動機構１０を示す。ここでは、ディスクを載置する紫外線照射トレーがボールネジ２３およびガイド軸２４により直線方向に送られる。
これにより、紫外線照射領域を通してディスクを移動させることで接着剤に紫外線を当て、硬化させる。
【００４７】
図６には紫外線照射トレー８の構造を示す。
紫外線照射トレー８は支持具２５に埋め込まれ、図示しないが移動機構１０に支持される。また、その周囲には、ディスク端部の接着剤７の硬化を助けるための反射板２６が設置される。
【００４８】
紫外線照射トレー８表平面の内側吸着保持部８ａ及び外側吸着保持部８ｂには吸着穴１７が形成される。この吸着穴１７はディスクの集積用リング状凸部１５の内側および外側に配される。これは図５に記載の真空流路２７に接続される。
【００４９】
なお、接着剤硬化部において貼り合わせディスクの最終的な反りの状態が決まってしまうため、他の処理部と異なり、ディスク全面を平面に密着させて硬化させることが好ましい。この部分は急激な運動を伴わないのでディスク傷つきの危険性が低い上に、ディスクを反り無く貼り合わせる目的からしてもディスクに接触する平面は非常に平滑に仕上げられているため、ディスクの記録領域Ｒに接触させても傷つけることは無い。
【００５０】
また、図６では吸着穴１７がディスクの中心部に接触する位置のみに配置されているが、ディスク全面に渡って接触する位置に配置してもよい。これら吸着穴１７の配置および数は、貼り合わせ前の単板ディスクの反りの状態に応じて適宜決められる。
【００５１】
上記のような機構にて、下側ディスク２を平滑な平面に吸着保持させるため、接着剤７の表面張力により上側ディスク３も矯正されるので、上下のディスクが平らな状態で接着剤硬化ができ、反りの無い貼り合わせディスクを作ることができる。
【００５２】
図７は、本発明の第４の実施例を示す図で、図５における移動機構１０の代わりにターンテーブル２８を使用するもので、６個の紫外線照射トレー８が装備されている。
【００５３】
この実施例では、図示の紫外線照射トレー８の位置をトレー停止位置とする。即ち、６箇所のトレー停止位置を持つ。そして矢印の向きに、紫外線照射トレー８を一定角度にて次の停止位置まで回転させた後、停止させるという動作を繰り返す。この駆動源としてはカム式割り出しユニット２９が使用されることが多い。また上記トレー停止位置の間に紫外線照射領域が設けられている。
このような装置により、ディスクが図示の位置に投入されると、間欠的な回転運動で送られ、紫外線照射を受けた後、図示の位置から取り出される。
【００５４】
これによれば、複数の紫外線照射トレー８が循環しながら硬化処理を行うため、移動機構がいちいち戻る必要が無く、装置の動作サイクル時間を短縮できる。
但しこのような機構には、下記のような問題点が有る。すなわち、第１にディスクを紫外線照射時だけ吸着し、あとは吸着しないように制御しないとディスクの受け渡しがうまくいかないことである。第２にはディスクの移動が円弧運動になるため、ターンテーブル２８の回転中心に近い部分と遠い部分で移動速度に差が有り、受け取る紫外線エネルギーがディスク面内で均一にならないことである。
【００５５】
図７に示す実施例では、上記問題点を解消するための対策が施してある。それを、図７の実施例の断面図である図８によって説明する。
【００５６】
図８において、紫外線照射トレー８およびその近傍の構造は図６に示すものと同様である。但し、紫外線照射トレー８には回転軸３０が一体的に結合され、回転軸３０は、シール付き軸受３１を介して軸受ケース３２に装着される。軸受ケース３２はターンテーブル２８に設置される。
【００５７】
前記回転軸３０には吸着穴１７につながる真空流路２７が形成され、軸受ケース３２の内部空間から、メカニカルバルブ３３、真空配管３４、回転式の配管継手３４ａを介して真空源に接続される。
【００５８】
また、回転軸３０は第１の遊星歯車３５に結合される。この第１の遊星歯車３５は第２の遊星歯車３６と噛み合っており、第２の遊星歯車３６は固定歯車３７と噛み合っている。
【００５９】
第２の遊星歯車３６は、軸受３８および支柱３９を介して回転自在にターンテーブル２８に設置される。
固定歯車３７はターンテーブル２８と同心の位置に設置される。このため、ターンテーブル２８とカム式割り出しユニット２９の出力軸４０を結合する回転ボス４１、４２に、軸受４３を介して設置され、回り止めピン４４にて固定台４５に結合される。
以上の各歯車の個数は、第１の遊星歯車３５および第２の遊星歯車が各６個、固定歯車が１個である。
【００６０】
以上のような装置における、上記問題点の対策について説明する。
まず第１の問題点、すなわちディスクを紫外線照射時だけ吸着し、あとは吸着しないように制御することについて説明する。
【００６１】
これは紫外線照射トレー８の１個に対し１個ずつ装備されたメカニカルバルブ３３により制御することで対処する。これを図９により説明する。
メカニカルバルブ３３は３方向弁であり、自然状態では、図９（ａ）のように吸着穴１７が大気圧になるように接続されている。ここで、ばね３３ｂの付勢力に抗してローラー４６及びプランジャ３３ａが押し込まれると、図９（ｂ）のように吸着穴１７が真空源とつながるように切り替わる。
【００６２】
このようなメカニカルバルブ３３をターンテーブル２８とともに回転させ、一方、紫外線照射トレー８が紫外線照射領域を通過する位置に、図９（ｂ）に示すような固定ドグ４７を配置して、ローラー４６を押し込ませるようにしておく。
以上のような対策で、紫外線照射時のみ吸着させることが可能となる。
【００６３】
次に、第２の問題点、すなわちディスクの移動が円弧運動になるため、ターンテーブル２８の回転中心に近い部分と遠い部分で移動速度に差が有り、受け取る紫外線エネルギーがディスク面内で均一にならないことの対策について説明する。
【００６４】
これは遊星歯車を使用して、ターンテーブル２８の回転中に紫外線照射トレー８を逆方向に自転させることで対処する。これを図１０により説明する。
図１０は、各遊星歯車及び固定歯車のみを描き出した図である。なお、図１０において、一点鎖線は歯車のピッチ円を示す。
【００６５】
図１０に示すように、ターンテーブル２８（図８参照）は時計回り、すなわち位置Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄのように回転するものとし、位置Ａはディスク投入位置、位置Ｄはディスク取り出し位置、位置ＢＣ間に紫外線照射領域が有るものとする。
【００６６】
ここで、固定歯車３７と第１の遊星歯車３５の歯数は同じとし、第２の遊星歯車３６の歯数は噛み合いに適する値に選定するものとする。
ターンテーブル２８が回転し、紫外線照射トレー８が位置Ａから位置Ｂへ移動する時、第２の遊星歯車３６が固定歯車３７と噛み合って時計回りに回転し、同時に第１の遊星歯車３５が第２の遊星歯車３６と噛み合って反時計回りに回転する。これら３つの歯車列の減速比は１だから、ターンテーブル２８の回転角度の分だけ、第１の遊星歯車３５と結合されている紫外線照射トレー８は逆方向に回転することになる。
【００６７】
ここで、位置Ａにおいて紫外線照射トレー８に目印のための矢印８を付けたとすれば、位置Ｂに来た時も矢印８の示す方向は変わらない。これはターンテーブル２８のいかなる位置でも同じである。このことは、ターンテーブル２８の回転開始から停止までの間の任意の時点を取ってみると、紫外線照射トレー８上の全ての点が、同一の方向及び速度で運動していることを示している。つまり、紫外線照射トレー８上の全ての点が、紫外線照射領域を同じ速度履歴で通過していることを意味している。従って、ディスク面上の全ての位置において、受け取る紫外線エネルギーの量が一定になることがわかる。
以上のような対策でディスクの移動速度差を解消できる。
【００６８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかな如く請求項１又は５の発明によれば、吸着保持されている上下側のディスクは、ともに反りが小さい。特に集積用リング状凸部を屈曲点として発生する反りを小さくすることができる。したがって、上側ディスクと下側ディスクとを平行に保つことができる。このように上側ディスクと下側ディスクが平行な状態で、上側ディスクを、下側ディスク上の接着剤に接触させると、接触の仕方が均一となり、気泡を巻き込むのを防止することができる。さらに、ディスクの記録領域に吸着部材が接触することがないので、ディスクの記録領域を傷つける危険性がない。
【００６９】
また、請求項２又は６の発明によれば、上側ディスクを接着剤を挟んで下側ディスク上に載せ、高速回転させる場合でも、下側ディスクを曲がりなく水平な状態で高速回転させることができるので、接着剤を均一に広げることが容易である。さらに、ディスクの記録領域に吸着部材が接触することがないので、ディスクの記録領域を傷つける危険性がない。
【００７０】
また、請求項３又は７の発明によれば、接着剤硬化部において、接着剤を挟んで上側ディスクと下側ディスクが密着した状態であっても、各単板ディスクの反りを小さくできるので、合成した反りが小さい。したがって、接着剤の膜厚分布に乱れを生じさせることがない。
【００７１】
また、請求項４又は８の発明によれば、集積用リング状凸部の内側を吸着保持する平面状部材と、外側を吸着保持する平面状部材とを同一平面としたので、集積用リング状凸部の内側と外側とを同一平面とすることができ、容易にディスクの反りを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を使用した、光学式貼り合わせディスクの貼り合わせ装置の概略を示す図である。
【図２】本発明の第１実施例を示し、上下のディスクの吸着保持状態を示す図である。
【図３】本発明の第２実施例を示し、上下のディスクの吸着保持状態を示す図である。
【図４】本発明の第２実施例の動作を示す図である。
【図５】本発明の第３実施例を示す図である。
【図６】紫外線照射トレーの構造を示す図である。
【図７】本発明の第４の実施例を示す図である。
【図８】図７の実施例の縦断面図である。
【図９】メカニカルバルブによる制御を説明するための図である。
【図１０】各遊星歯車及び固定歯車の関係を示す図である。
【図１１】従来の光学式ディスクの貼り合わせ装置の説明図である。
【図１２】接着剤を硬化させる部分を示す図である。
【図１３】図１１の従来例の断面図である。
【符号の説明】
２    下側ディスク
３    上側ディスク
５    スピンナー（高速回転にて所要の範囲まで接着剤を広げる手段）
８    紫外線照射トレー
８ａ  内側吸着保持部（集積用リング状凸部の内側のディスク保持部を吸着保持する平面状部材）
８ｂ  外側吸着保持部（集積用リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間の少なくとも一部とを吸着保持する平面状部材）
１０    紫外線照射器（接着剤の硬化処理を施す手段）
１３    回転ヘッド（第１の保持手段）
１３ａ  内側吸着保持部（集積用リング状凸部の内側のディスク保持部に当接して吸着保持する第１の吸着穴を有する第１の平面状部材）
１３ｂ  リング状吸着保持部（集積用リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間に当接して該間の少なくとも一部分を吸着保持する第２の吸着穴を有する第２の平面状部材）
１４    搬送ヘッド（第２の保持手段）
１４ａ  内側吸着保持部（集積用リング状凸部の内側のディスク保持部を平面状部材に当接して吸着保持する第３の吸着穴を有する第３の平面状部材）
１４ｂ  リング状吸着保持部（集積用リング状凸部の外側から記録領域の内側までの間に当接して該間の少なくとも一部分を吸着保持する第４の吸着穴を有する第４の平面状部材）
１５    集積用リング状凸部
１７    吸着穴（第１乃至第４の吸着穴）
Ｒ    記録領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0003694716.tif 000007
【図７】
0003694716.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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