(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素イオン伝導性セラミックス体を電気的に制御することによって、被測定ガスが該セラミックス体に備えられた流路を通じて移動する際に被測定ガス中のＮＯｘ濃度を変化させるＮＯｘガス濃度検出器であって、
ＮＯｘ濃度を変化させるために前記流路外へ導出される成分に応じた検出出力を生じる第１電極と、
前記流路外に設けられ前記第１電極に対して基準となる電位を自己生成する自己生成基準電極と、
前記第１電極の検出出力に基づいて、前記流路内のＮＯｘ濃度を変化させるように前記セラミックス体を電気的に制御して前記成分を該流路外へ導出する第２電極と、
電圧が印加されて前記流路内に残留したＮＯｘ残留ガス中のＮＯｘを酸素と窒素に解離する第３電極と、を有し、
前記第３電極によって生成された酸素が前記セラミックス体を移動することによって流れる電流を測定する手段と、
前記電流に基づき被測定ガス中のＮＯｘガス濃度を決定する手段と、が付設され、
前記第１、第２及び第３電極が、拡散抵抗が存在しない空所をなす一つの前記流路に面して前記セラミックス体上に形成され、
さらに、前記第１電極と前記第３電極との間には、移動するＮＯｘ残留ガスに対する拡散抵抗が存在しないように、該第１電極と該第３電極とが互いに近接して配置されてなることを特徴とするＮＯｘガス濃度検出器。
【請求項２】
ＮＯｘを解離し、生成した酸素により酸素イオン伝導性のセラミックス体に流れる電流に基づいて被測定ガス中のＮＯｘガス濃度を測定するＮＯｘガス濃度検出器であって、
前記セラミックス体は被測定ガスが導入され移動する一つの流路に面し、
いずれも前記セラミックス体上に形成された、前記流路内の被測定ガス中の酸素濃度を測定するための酸素濃度検知電極と、前記酸素濃度検知電極の電位に基づき、前記流路内のＮＯｘ濃度を変化させるために、全てのＮＯが解離しない程度に該流路内の酸素を前記セラミックス体の外部へ導出するための電極と、電圧が印加されてＮＯｘを分解し生成した酸素を導出するための電極と、が共に拡散抵抗が存在しない空所をなす前記一つの流路内に配置され、
前記流路外に設けられ前記酸素濃度検知電極に対して基準となる電位を自己生成する酸素濃度基準電極と、
さらに、前記酸素濃度検知電極と前記ＮＯｘを分解するための電極の間には拡散抵抗が存在しないように、該両電極が近接して配置されたことを特徴とするＮＯｘガス濃度検出器。
【請求項３】
前記ＮＯｘを分解するための電極と一対の電極をなし該一対の電極間に解離した酸素に基づく電流が流れる電極と、前記酸素濃度基準電極と、が前記セラミックス体中に封止された状態で設けられたことを特徴とする請求項２記載のＮＯｘガス濃度検出器。
【請求項４】
前記セラミックス体は、酸素イオン伝導性のセラミックス層が積層されてなり、
前記酸素濃度検知電極と前記ＮＯｘを分解するための電極とが、同層の前記セラミックス層上に形成されたことを特徴とする請求項２又は３記載のＮＯｘガス濃度検出器。
【請求項５】
前記酸素濃度基準電極と、前記ＮＯｘを分解するための電極と一対の電極をなし該一対の電極間に解離した酸素に基づく電流が流れる電極とが共通であることを特徴とする請求項２〜４のいずれか一に記載のＮＯｘガス濃度検出器。
【請求項６】
前記酸素濃度検知電極と前記ＮＯｘを分解するための電極とが櫛状に形成され、該両電極の櫛部が互いに組み合わされてなることを特徴とする請求項２〜５のいずれか一に記載のＮＯｘガス濃度検出器。
【請求項７】
前記酸素濃度基準電極が前記酸素濃度検知電極に対して基準となる電位を自己生成するために流す微少電流として、前記ＮＯｘを分解するための電極と該電極と一対をなす電極間に流れるＮＯｘガス濃度に応じた電流を用いることを特徴とする請求項２〜６のいずれか一に記載のＮＯｘガス濃度検出器。
【請求項８】
ＮＯｘを解離し、生成した酸素により酸素イオン伝導性のセラミックス体に流れる電流に基づいて被測定ガス中のＮＯｘガス濃度を測定するＮＯｘガス濃度検出器であって、
前記セラミックス体は被測定ガスが導入され移動する一つの流路に面し、
いずれも前記セラミックス体上に形成された、前記流路内の被測定ガス中の酸素濃度を測定するための酸素濃度検知電極と、前記酸素濃度検知電極の電位に基づき、前記流路内のＮＯｘ濃度を変化させるために、全てのＮＯが解離しない程度に該流路内の酸素を前記セラミックス体の外部へ導出するための電極と、電圧が印加されてＮＯｘを分解し生成した酸素を導出するための電極と、が共に拡散抵抗が存在しない空所をなす前記一つの流路内に配置され、
前記流路外に設けられ前記酸素濃度検知電極に対して基準となる電位を自己生成する酸素濃度基準電極を有し、
さらに、前記酸素濃度検知電極と前記ＮＯｘを分解するための電極とが共通であることを特徴とするＮＯｘガス濃度検出器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車、船舶、飛行機等の移動用、産業用の内燃機関の排ガス中、あるいはボイラ等の燃焼ガス中のＮＯｘガス濃度を測定するＮＯｘガス濃度検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、排ガス規制の強化に伴い、エンジン等の排ガス中のＮＯｘを直接測定し、エンジン制御や触媒のコントロールを行う研究が行われている。例えば、特開平８−２７１４７６号公報には、第一の拡散律速通路を通じて被測定ガスが導かれる第一の内部空所と、その雰囲気が第二の拡散律速通路を通じて導かれる第二の内部空所と、第一の内部空所内の酸素分圧を制御せしめる第一の酸素ポンプ手段と、該第二の酸素ポンプ手段の作動により流れるポンプ電流を検出する電流検出手段とを設け、電流検出手段により検出されたポンプ電流の値から被測定ガス成分が求められる測定装置が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特開平８−２７１４７６号公報に提案された検出器は、被測定ガスを第一の内部空所に導くための第一の拡散律速通路と、被測定ガスを第一の内部空所から第二の内部空所に導くための第二の拡散律速通路という、２つの拡散律速通路を有するため、構造が複雑であるという問題点を有する。また、、製造上、検出器（ロット）間の出力値のバラツキが大きくなるという問題点を有する。加えて、２つの拡散律速通路を有するために応答性が劣るという問題点を有する。
【０００４】
以上の事情に鑑み、本発明の課題は、簡素な構造のＮＯｘガス濃度検出器を提供することである。別の課題は応答性が良いＮＯｘガス濃度検出器を提供することである。また別の課題は正確に被測定ガス中のＮＯｘ濃度が測定できるＮＯｘガス濃度検出器を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の各視点は下記の要素を備える。第１の視点には下記の要素がある。ＮＯｘ濃度を変化させるために流路外へ導出される所定成分に応じた検出出力を生じる第１電極。前記流路外に設けられ前記第１電極に対して基準となる電位を自己生成する自己生成基準電極。第１電極の検出出力に基づいて、流路内のＮＯｘ濃度を変化させるようにセラミックス体を電気的に制御して所定成分を該流路外へ導出する第２電極。電圧が印加されて流路内に残留したＮＯｘを酸素と窒素に解離する第３電極。第３電極によって生成された酸素がセラミックス体を移動することによって流れる電流を測定する手段。電流に基づき被測定ガス中のＮＯｘガス濃度を決定する手段。第１、第２及び第３電極が、拡散抵抗が存在しない空所をなす一つの流路に面してセラミックス体上に形成されていること。前記第１電極と前記第３電極との間には、移動するＮＯｘ残留ガスに対する拡散抵抗が存在しないように、該第１電極と該第３電極とが互いに近接して配置されてなること。
【０００６】
第２の視点には下記の要素がある。セラミックス体は被測定ガスが導入され移動する一つの流路に面するないし備える。セラミックス体上に形成された流路内の被測定ガス中の酸素濃度を測定するための酸素濃度検知電極を備える。前記流路外に設けられ前記酸素濃度検知電極に対して基準となる電位を自己生成する酸素濃度基準電極。セラミックス体上に形成されたものであって、酸素濃度検知電極の電位に基づき、流路内のＮＯｘ濃度を変化させるために、全てのＮＯｘが実質的に解離（例えば、２ＮＯ→Ｎ2＋Ｏ2）しないような電圧が印加されて流路内の酸素をセラミックス体の外部へ導出するための電極を備える。セラミックス体上に形成されたものであって、電圧が印加されてＮＯｘを分解し生成した酸素を導出するための電極を備える。これらの電極が拡散抵抗が存在しない空所をなす一つの流路内に配置されている。酸素濃度検知電極とＮＯｘを分解するための電極の間には実質的に拡散抵抗が存在しない。両電極が近接して配置されてなること。第３の視点には下記の要素がある。ＮＯｘを分解するための電極と一対の電極をなし該一対の電極間に解離した酸素に基づく電流が流れる電極と、前記酸素濃度基準電極とがセラミックス体中に封止ないし被覆された状態で設けられたこと。第４の視点には下記の要素がある。セラミックス体は、酸素イオン伝導性のセラミックス層が積層されてなる。酸素濃度検知電極とＮＯｘを分解するための電極とが、同層のセラミックス層上に形成されたこと。第５の視点には下記の要素がある。流路外に設けられ酸素濃度検知電極に対して基準となる電位を生じる酸素濃度基準電極とＮＯｘを分解するための電極と一対の電極をなし該一対の電極間に解離した酸素に基づく電流が流れる電極とが共通であること。第６の視点には下記の要素がある。酸素濃度検知電極と前記ＮＯｘを分解するための電極とが櫛状に形成される。これら両電極の櫛部が互いに組み合わされてなる。第７の視点には下記の要素がある。酸素濃度基準電極が自己生成基準極を形成するために流す（前記酸素濃度検知電極に対して基準となる電位を自己生成するために流す）微少電流として、ＮＯｘを分解するための電極と該電極と一対をなす電極間に流れるＮＯｘガス濃度に応じた電流を用いる。第８の視点に係るＮＯｘガス濃度検出器は、ＮＯｘを解離し、生成した酸素により酸素イオン伝導性のセラミックス体に流れる電流に基づいて被測定ガス中のＮＯｘガス濃度を測定するＮＯｘガス濃度検出器であって、前記セラミックス体は被測定ガスが導入され移動する一つの流路に面し、いずれも前記セラミックス体上に形成された、前記流路内の被測定ガス中の酸素濃度を測定するための酸素濃度検知電極と、前記酸素濃度検知電極の電位に基づき、前記流路内のＮＯｘ濃度を変化させるために、全てのＮＯが実質的に解離しない程度に該流路内の酸素を前記セラミックス体の外部へ導出するための電極と、電圧が印加されてＮＯｘを分解し生成した酸素を導出するための電極と、が共に拡散抵抗が存在しない空所をなす前記一つの流路内に配置され、前記流路外に設けられ前記酸素濃度検知電極に対して基準となる電位を自己生成する酸素濃度基準電極を有し、前記酸素濃度検知電極と前記ＮＯｘを���解するための電極とが共通であることを特徴とする。これらの各視点は、酸素イオン伝導性セラミックス体を電気的に制御することによって、被測定ガスが該セラミックス体に面するないし備えられた流路を通じて移動する際に、被測定ガス中のＮＯｘ濃度を変化させるＮＯｘガス濃度検出器、ないし、ＮＯｘを解離し、生成した酸素により酸素イオン伝導性のセラミックス体に流れる電流に基づいて被測定ガス中のＮＯｘガス濃度を測定するＮＯｘガス濃度検出器に適用される。
【０００７】
上述の本発明の種々の視点においては、被測定ガス中のＮＯｘは第１酸素イオンポンプセルによっては分解されずに、第２酸素イオンポンプセルによって分解されるように各酸素イオンポンプセルを作動させることが望ましいが、必ずしもその必要はなく、第１酸素イオンポンプセルによってＮＯｘの一部が分解しても構わない。すなわち、第１酸素イオンポンプセルによって分解されずに残った少なくとも一部のＮＯｘが第２酸素イオンポンプセルに供給されればよい。この場合、第１酸素イオンポンプセルによって分解されたＮＯｘ量によって第２酸素イオンポンプセルの一対の電極間に流れる電流値に影響があるため、被測定ガス中の酸素濃度、第１酸素イオンポンプセル及び第２酸素イオンポンプセルの各々の一対の電極間に流れる各電流値から目的とするＮＯｘガス濃度を補正して算出することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下本発明の好ましい実施の形態を説明する。好ましくは、それぞれ一対をなす酸素濃度検知電極及び酸素濃度基準電極、電圧が印加されてＮＯｘを分解し生成した酸素を導出するための電極及び該電極と一対をなす電極の内、流路内ないし流路外に設けられる電極を共通化（酸素濃度検知電極と第２酸素イオンポンプセルの内側電極の共通化、又は酸素濃度基準電極と第２酸素イオンポンプセルの外側電極の共通化）することにより、センサの構造が簡素化され、製造工程及び酸素濃度基準電極の形成も簡略化される。
【０００９】
酸素濃度検知電極と電圧が印加されてＮＯｘを分解し生成した酸素を導出するための電極とを拡散抵抗を介さない近接した位置に配置することにより、ＮＯｘが分解される電極近傍の雰囲気をより正確に検知することができる。また、酸素濃度検知電極の電位に基づき流路内の全てのＮＯｘが分解しない程度に流路内の酸素を導出する電極を制御することにより、被測定ガス中の酸素濃度がセンサ出力に与える影響を低減できる。また、ＮＯｘの解離は、ＮＯｘを解離するように電圧が印加される電極上の酸素濃度に影響されるところ、該電極上の酸素濃度を正確に把握することにより、酸素濃度が検出器出力のゲインないしオフセットに与える影響を正確に見積もることができるため、酸素濃度依存性の小さい正確なＮＯｘガス濃度測定が可能となる。ところで、リーン領域ないしストイキ点近傍で運転される内燃機関、すなわち、リーンとリッチの切り替えが行われる内燃機関から排出されるガス中の酸素濃度は大きく変動する。従って、本発明に基づくＮＯｘガス濃度検出器は、このような排気ガス中の酸素濃度が大きく変動するような内燃機関の排出系に装着されるＮＯｘガスセンサとして、すぐれた利点を有することが明らかである。
【００１０】
以下図面を参照して、本発明ＮＯｘガス濃度検出器の種々の形態を説明する。図１及び図２（Ａ）に示す本発明の第１の実施形態に係る検出器は、セラミックス体を構成する３つの酸素イオン伝導性固体電解質層から概略構成され、第１酸素イオンポンプセル１、第２酸素イオンポンプセル６、酸素濃度検知セル５を備えている。そして、第１と第２の固体電解質層の間に、長手方向に法線をもつ端面が絶縁層、短手方向に法線をもつ側面が絶縁層と拡散抵抗部２で囲まれた流路３が形成されている。前記第１の固体電解質層の外側には第１酸素イオンポンプセル１の外側電極１ａ、その内側には流路３に面しては流路３の長手方向全長とほぼ同じ長さに（流路３のほぼ全平面に対向して）内側電極（第２電極、ＮＯｘ濃度を変化させるための電極）１ｂがそれぞれ形成されている。第２の固体電解質層の上には、流路３に面して、酸素濃度検知電極（第１電極）５ａ及び第２酸素イオンポンプセル６の内側電極（第３電極、ＮＯｘを分解し解離するための電極）６ａ、流路３に面さず第２と第３の固体電解質層間に封止されて酸素基準電極５ｂ及び第２酸素イオンポンプセル６の外側電極６ｂが形成されている（電極５ｂ、電極６ｂは所定の拡散抵抗を有するリードを介して大気に連通している）。ここで、酸素濃度検知電極５ａと第２酸素イオンポンプセル６の内側電極６ａは、流路３内の入口（一端部側面）に設けられた拡散抵抗部（例えば多孔質アルミナ層）２から最も遠い位置に、両電極５ａ，６ａが実質的に同一雰囲気にあり、ないし、両電極５ａ，６ａ間に実質的に拡散抵抗が存在しないように、互いに近接して配置されている（図２（Ａ）参照）。電極１ａ、１ｂ、５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂは図２に示すようなリード線と電気的に接続され、これらの電極の出力を取り出すこと、ないし制御することができる。固体電解質層間にはそれぞれ絶縁層（不図示）が形成され、層間のリーク電流を防止している。好ましくは、酸素濃度基準電極５ｂにはリード線を介して微少電流を供給し、これを自己生成基準電極とする。この場合、多孔質とされた酸素濃度基準電極５ｂ近傍の酸素濃度が高くなるように、電極５ａ側から電極５ｂ側に酸素が輸送される方向に電圧を印加することが好ましい。なお、酸素濃度基準電極５ｂ近傍の雰囲気（参照用気体導入空間の雰囲気）を大気とし、酸素濃度基準電極に電流を供給しないように構成することもできる。
【００１１】
このＮＯｘガス濃度検出器によるＮＯｘガス濃度測定方法を説明する。まず、第１酸素イオンポンプセル１の外側電極１ａ、内側電極１ｂ間と、第２酸素イオンポンプセル６の内側電極６ａ、外側電極６ｂ間とに電源をそれぞれ接続し、酸素濃度検知セル５の酸素濃度検知電極５ａ、酸素濃度基準電極５ｂ間の電位差が所定の一定値となるように電極１ａ、１ｂ間に接続された電源の電圧を制御し（全てのＮＯが実質的に解離しないように制御される）、電極６ａ、６ｂ間に定電圧（全てのＮＯｘが選択的に解離されるような電圧）を印加して、電極６ａ，６ｂ間に接続された電流計（電流を測定する手段）により流れる電流を測定する。斯くして、（１）  被測定ガス中のＮＯｘは第１酸素イオンポンプセル１の内側電極１ａ近傍ではその全てが実質的に分解されずに、酸素が電極１ａ及び第１の固体電解質層を介して流路３外へ導出され、流路３内のＮＯｘガス濃度が変化する。（２）  流路内のＮＯｘ残留ガスが、第２酸素イオンポンプセル６の内側電極６ａ、外側電極６ｂ間に印加された電圧により、多孔質な貴金属電極とされた内側電極６ａ上で酸素と窒素に分解される。（３）  分解の結果発生した酸素は、第２酸素イオンポンプセル６の内側電極６ａで酸素イオンとなり、酸素イオン伝導性を有する第２の固体電解質層を通り、外側電極６ｂで再び酸素となる。（４）  よって、第２酸素イオンポンプセル６の一対の電極６ａ、６ｂ間に流れる電流は、被測定ガス中のＮＯｘガス濃度に比例したものとなり、この電流に基づいてＮＯｘガス濃度を測定できる。なお、予め、ＮＯｘガス濃度が既知のモデルガスを用いて、ＮＯｘガス濃度と電流との関係を定めておくことにより（ＮＯｘガス濃度決定手段）、被測定ガス中のＮＯｘガス濃度が決定される。例えば、ＮＯｘガス濃度決定手段として、ＮＯｘガス濃度と電流との関係を記憶した記憶部を備えたマイクロコンピュータを用いてもよい。
【００１２】
なお、前記実施形態においては、第１酸素イオンポンプセル１の電極１ａ，１ｂ間に流れる電流より、被測定ガス中の酸素濃度を測定することができる。また、流路３内は、拡散抵抗が存在しない空所である。流路３は２層の固体電解質層の間に延在しているが、絶縁層と固体電解質層に挟まれて延在してもよい。電極１ａ，１ｂの長さと流路３の全長がほぼ等しいが、等しくなくてもよく、電極１ａ，１ｂと流路３の互いの長さを所定比率にしてもよい。
【００１３】
図２（Ｂ）に示す本発明の第２の実施形態に係るＮＯｘガス濃度検出器は、前記第１の実施形態の変形例であって、酸素濃度検知電極５ａと第２酸素イオンポンプセル６の内側電極６ａを同一セルの同一面に設けると共に、両電極形状が櫛形であり、両電極の櫛部が互いに組み合わされてなることを特徴とする。これによって、第２酸素イオンポンプセル６の内側電極６ａ上の酸素分圧をより正確に測定し、制御することができる。なお、本実施形態においては電極が櫛状に組合わさっているが、他の組み合わせ形状、例えば曲線的に組み合わされていてもよい。
【００１４】
図３に示す本発明の第３の実施形態に係るＮＯｘガス濃度検出器は、酸素濃度基準電極と第２酸素イオンポンプセルの外側電極を共通化（外側共通電極５−６ｂ）したことを特徴とする。これによって、電極に接続されるリード線の数を削減することができ、更に、酸素濃度基準電極５ｂを自己生成基準電極とする場合、基準電極を形成するために流す微少電流として、第２酸素イオンポンプセルの内側電極と外側電極間に流れるＮＯｘガス濃度に基本的に比例する電流を用いることができるため、センサ構成及び外部回路構成を簡略化することができる。また、酸素濃度基準電極５ｂを自己生成基準電極とすることにより、基準電位近傍の酸素濃度が安定するので、正確な酸素濃度検知が行われることとなり、ひいては高精度のＮＯｘガス濃度検出が可能となる。
【００１５】
図４に示す発明の第４の実施形態に係るＮＯｘガス濃度検出器は、酸素濃度検知電極と第２酸素イオンポンプセルの内側電極を共通化（内側共通電極５−６ａ）したことを特徴とする。これによって、電極に接続されるリード線の数を削減することができるため、センサ構成及び外部回路構成を簡略化することができる。
【００１６】
以下本発明の実施形態に係るＮＯｘガス濃度検出器の好ましい製造例を説明する。検出器はＺｒＯ2グリーンシート及び電極用のペーストなどが積層され焼成されることにより作製される。絶縁コート、電極用のペースト材料は、所定のＺｒＯ2グリーンシート（第１、第２酸素イオンポンプセルの固体電解質層となる）にスクリーン印刷されることにより、絶縁層、電極が所定位置に積層形成される。次に、ＺｒＯ2グリーンシートなどの製造例を説明する。
【００１７】
［ＺｒＯ2グリーンシート成形］
ＺｒＯ2粉末を大気炉にて仮焼する。仮焼したＺｒＯ2粉末、分散剤、有機溶剤を球石とともにトロンメルに入れ、混合し、分散させ、これに有機バインダーを有機溶剤に溶解させたものを添加し、混合してスラリーを得た。このスラリーからドクターブレード法により、厚さ0.4ｍｍ程度のＺｒＯ2グリーンシートを作製し、乾燥する。
【００１８】
［印刷用ペースト］
(１)第１酸素イオンポンプセルの外側電極、酸素濃度基準電極、第２酸素イオンポンプ内側及び外側電極用：  白金粉末、ＺｒＯ2粉末、適量の有機溶剤を混合し、分散させ、これに有機バインダーを有機溶剤に溶解させたものを添加し、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【００１９】
(２)第１酸素イオンポンプセルの内側電極、酸素濃度検知電極（測定電極）用：  白金粉末、ＺｒＯ2粉末、金粉末、適量の有機溶剤を混合し、分散させ、これに有機バインダーを有機溶剤に溶解させたものを添加し、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【００２０】
(３)絶縁コート、保護コート用：  アルミナ粉末と適量の有機溶剤を混合し、溶解させ、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【００２１】
(４)Pt入り多孔質用（リード線用）：  アルミナ粉末、白金粉末、有機バインダ、有機溶剤を、混合し、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【００２２】
(５)拡散抵抗部用：  アルミナ粉末、有機バインダー、有機溶剤を混合し、分散させ、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。
【００２３】
(６)カーボンコート用：  カーボン粉末、有機バインダ、有機溶剤を混合し、分散させ、さらに粘度調整剤を添加し、混合してペーストを作製する。なお、カーボンコートを印刷形成することにより、一例を挙げれば、電極間の電気的接触が防止される。また、カーボンコートは流路を形成するために用いられる。カーボンは焼成途中で焼失するので、カーボンコート層は焼成体には存在しない。
【００２４】
［ＺｒＯ2グリーンシート積層、脱バインダー及び焼成］  所定のペーストが印刷されたＺｒＯ2グリーンシートらを圧着する。圧着した成形体を、脱バインダーし、焼成する。
【００２５】
第１、第２酸素イオンポンプセル及び酸素濃度測定セルをそれぞれ構成する酸素イオン伝導性を有する固体電解質層としては、Ｙ2Ｏ3ないしＣａＯを固溶させたＺｒＯ2が代表的なものであるが、それ以外のアルカリ土類金属元素ないし希土類金属元素の酸化物とＺｒＯ2との固溶体を使用してもよい。また、ベースとなるＺｒＯ2にはＨｆＯ2が含有されていてもよい。また、ＺｒＯ2は部分安定化または安定化ジルコニアのどちらでもよく、さらにＺｒＯ2に代えて、ＣｅＯ2、ＨｆＯ2、ＴｈＯ2を用いることができる。安定化剤として、例えばＣａＯ，ＭｇＯ，又はＹ2Ｏ3等の希土類酸化物（例えばＬａ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3）の一種以上を用いる。好ましくは、イットリア部分安定化ジルコニア粉末（ＹＳＺ）を用いる。他の安定化剤或いは他の固体電解質も用いることができる。
【００２６】
【実施例】
［試験例］
図１に示す構造を有し、図２（Ｂ）に示したように流路３内の酸素濃度検知電極５ａと第２酸素イオンポンプセル６の内側電極６ａの形状を櫛形形状とし、且つ、図３に示すように流路３外側の酸素濃度基準電極と第２酸素イオンポンプセルの外側電極を共通外側電極５−６ｂとした本発明の実施例に係るＮＯｘガス濃度検出器を用いて種々の試験を行った。また、比較例として、本発明者らが先に提案した構造のＮＯｘガス濃度検出器を用いて同様の試験を行った。図５に示す比較例の検出器は、４層の固体電解質層が積層されてなり、２つの拡散抵抗部２、７と２つの流路３、８（第２流路８は絶縁層９で側面の一部が囲まれる）を有し、且つ、酸素濃度検知電極５ａとＮＯｘガス濃度に応じた電流が流れる第２酸素イオンポンプセル６の内側電極６ａが異なる空間（離れた位置）に設けられ、第２の流路８内の酸素濃度を検知する代わりに第１の流路３内の酸素濃度を酸素濃度検知電極５ａが検知する。比較例の検出器においては、第１拡散抵抗部２を通じて第１流路３に拡散した被測定ガス中の酸素が酸素濃度検知電極５ａの電位に基づき第１酸素イオンポンプセル１の外側電極１ａ及び内側電極１ｂによって導出され、酸素濃度が所定以下に制御されたガスが第２拡散抵抗部７を介して第２流路８内に拡散する。第２酸素イオンポンプセル６の内側電極６ａ、外側電極６ｂには一定の電圧が印加されて、両電極６ａ、６ｂ間にはＮＯｘ濃度に比例する電流が流れる。
【００２７】
［試験例１］
実施例に係るＮＯｘガス濃度検出器に実施の形態の欄で説明したような外部回路を取り付け、所定濃度のＮＯガスを含む被測定ガスを投入した。試験条件は下記の通りである。被測定ガス組成「ＮＯ：０〜１５００ｐｐｍ、Ｏ2：１％、ＣＯ2：１０％、Ｎ2：ｂａｌ．」、被測定ガス温度３００℃、検知部温度８００℃（検出器外層に取り付けたヒータ層により加温）。図６に、投入したＮＯ濃度と第２酸素イオンポンプセルの内側電極と外側電極間に流れるＮＯガス濃度に比例した電流Ｉｐ２（検出器出力）の関係を示す。図６において、ＮＯ濃度の変化に対してＩｐ２は直線的に変化している。従って、Ｉｐ２を測定することにより、ＮＯガス濃度を求めることができることが分かる。
【００２８】
［試験例２］
実施例に係るＮＯｘガス濃度検出器に実施の形態の欄で説明したような外部回路を取り付け、ＮＯガスを含まない被測定ガスを酸素濃度を変えて投入した。試験条件は下記の通りである。被測定ガス組成「ＮＯ：０ｐｐｍ、Ｏ2：０〜１５％、ＣＯ2：１０％、Ｎ2：ｂａｌ．」、被測定ガス温度３００℃、検知部温度８００℃。また、比較のため、図５に示した比較例の検出器を用いて同様に試験を行った。図７に、実施例と比較例の検出器における被測定ガス中の酸素濃度とＩｐ２の関係をそれぞれ示す。実線が実施例の試験データを示し、破線が比較例の試験データを示す。図７より、酸素濃度０〜１５％の変化に対して実施例のＩｐ２の変化量が３μＡ程度であり、比較例のそれに比べて小さくなっている。従って、実施例の検出器では、第２酸素イオンポンプセルの内側電極上の酸素分圧がより正確に検知され、制御されていることが分かる。
【００２９】
［試験例３］
実施例に係るＮＯｘ濃度ガス検出器に実施の形態の欄で説明したような外部回路を取り付け、被測定ガス中のＮＯガス濃度を０から１５００ｐｐｍに変えて検出器出力の立ち上がり特性を調べた。また、図５に示した比較例の検出器を用いて同様の試験を行った。試験条件は下記の通りである。被測定ガス組成「ＮＯ:０→１５００ｐｐｍ、Ｏ2：１０％、ＣＯ2：１０％、Ｎ2：ｂａｌ．」、被測定ガス温度３００℃、検知部温度８００℃。図８に、実施例と比較例の検出器におけるＮＯガス濃度を０ｐｐｍから１５００ｐｐｍに変えて投入した際の検出器出力の応答性を示す。実線が実施例の試験データを示し、破線が比較例の試験データを示す。図８によれば、実施例の応答時間は比較例と比べて約半分であり、実施例のセンサによれば応答性良くＮＯ濃度を測定できることが分かる。
【００３０】
【発明の効果】
本発明に基づけば、簡素な構造のＮＯｘガス濃度検出器が提供される。また、本発明に基づけば、被測定ガスが流れるにつれてＮＯｘガス濃度が変化する流路内において、流路内の全てのＮＯｘが分解しないように流路外へ導出される成分に応じた検出出力を生じる検出電極と、ＮＯｘを解離するための解離電極との間に実質的に拡散抵抗が存在しないこと、ないし、両電極を実質的同一の雰囲気に曝すことによって、応答性良く、且つ、被測定ガス中のＮＯｘ濃度を正確に測定できることとなる（ＮＯｘ解離電極上の雰囲気を的確に把握できるため）。さらに、本発明に基づけば、上記両電極間に拡散抵抗部を設ける必要がないため、製造が容易となって、ロット間の検出器出力のバラツキも低減される。また、工数も削減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るＮＯｘガス濃度検出器を説明するための図であって、検出器を長手方向に切断した面を示す図である。
【図２】（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ図１中の矢視Ａ、Ｂ線で示す方向に沿った平面図であって、（Ａ）は本発明の第１の実施形態に係るＮＯｘガス濃度検出器を説明するための図であり、（Ｂ）本発明の第２の実施形態（第１の実施形態の変形例）に係るＮＯｘガス濃度検出器を説明するための図である。
【図３】本発明の第３の実施形態に係るＮＯｘガス濃度検出器を説明するための図であって、検出器を長手方向に切断した面を示す図である。
【図４】本発明の第４の実施形態に係るＮＯｘガス濃度検出器を説明するための図であって、検出器を長手方向に切断した面を示す図である。
【図５】比較例に係るＮＯｘガス濃度検出器を説明するための図であって、検出器を長手方向に切断した面を示す図である。
【図６】本発明の実施例に係るＮＯｘガス濃度検出器の出力と投入したＮＯ濃度の関係を説明するための図である。
【図７】本発明の実施例に係るＮＯｘガス濃度検出器出力と比較例に係る検出器出力の酸素濃度依存性を説明するための図である。
【図８】本発明の実施例に係るＮＯｘガス濃度検出器出力と比較例に係る検出器出力の応答性を説明するための図である。
【符号の説明】
１ａ  外側電極（第２電極と一対をなす電極）
１ｂ  内側電極（第２電極、ＮＯｘ濃度を変化させる電極）
２  拡散抵抗部
３  流路
４  絶縁層
５ａ  酸素濃度検知電極（第１電極）
５ｂ  酸素濃度基準電極
６ｂ  外側電極
６ａ  内側電極（第３電極、ＮＯｘを分解し解離するための電極）
５−６ａ  内側共通電極
５−６ｂ  外側共通電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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