(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に薄板基板を載せた状態で上下動する作業テーブルの左右両側に、受取り移送体を、当該両受取り移送体が前記作業テーブルとその側方における搬送台等との間を往復動するように配設して成る移送装置において、前記両受取り移送体のうちいずれか一方の受取り移送体に、前記薄板基板に対する少なくとも二つのフィンガーを、他方の受取り移送体に、前記薄板基板に対する一つのフィンガーを各々設け、更に、前記両受取り移送体のうち他方の受取り移送体には、光を前記作業テーブルの上面と略平行に一方の受取り移送体に向かって発射するようにした発光素子を、一方の受取り移送体には、前記発光素子からの光に対する受光素子を各々設ける一方、前記作業テーブルの上方には、下面に多孔板を張設して成る真空吸引ボックスを、当該真空吸引ボックスが前記作業テーブルとその側方との間を往復動するように配設したことを特徴とする薄板基板の移送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、セラミック製の基板又はガラスマスク等のような薄板基板を、当該薄板基板に対する一つの作業テーブルから次の作業テーブル又は搬送台等に移送する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、セラミック製の基板等の薄板基板は、これを作業テーブルの上面に載せた状態で、当該薄板基板の表面に対して回路パターン等のマスク印刷等を行ったのち、前記作業テーブルから、次の作業テーブル又は搬送台等に移替え移送される。
【０００３】
この場合における従来の移送装置は、図５〜図７に示すように、薄板基板１を、上下動する作業テーブル２の上面に載せ、この状態で、当該薄板基板１の表面に対して回路パターンのマスク印刷等を行う一方、前記作業テーブル２における左右両側のうち一方側には、一対の真空吸着式フィンガー３ａを備えた受取り移送体３を、他方側には、同じく一対の真空吸着式フィンガー４ａを備えた受取り移送体４を各々配設し、前記作業テーブル２を、その上面における薄板基板１に対するマスク印刷等が完了したのち、図７及び図８に示すように、両受取り移送体３，４よりも低い部位まで下降動することにより、当該作業テーブル２の上面における薄板基板１を、作業テーブル２から前記両受取り移送体３，４の上面に移し替え、次いで、前記両受取り移送体３，４が、前記作業テーブル２の側方の部位に配設した搬送台５の上部まで水平移動したのち、当該両受取り移送体３，４を下降動するか、或いは、搬送台５を上昇動することにより、前記両受取り移送体３，４の上面における薄板基板１を、両受取り移送体３，４から搬送台５に移し替えるように構成している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記作業テーブル２の上面において薄板基板１に対するマスク印刷等を行うに際して、当該薄板基板１に割れが発生することがあり、このように薄板基板１が割れた場合、前記作業テーブル２を下降動しても、割れた薄板基板１は、図８に二点鎖線で示すように、両受取り移送体３，４のうちいずれか一方又は両方と作業テーブル２とに跨がって載ったままの状態になることにより、両受取り移送体３，４の上面側に移し替えることができないから、割れた薄板基板を作業テーブル２の上面から除去することができない事態を招来する。
【０００５】
そこで、前記従来の移送装置では、前記のように、薄板基板１が作業テーブル２の上面において割れた場合には、前記両受取り移送体３，４の移動を停止して、割れた薄板基板の全てを、作業テーブル２の上面から作業者の手で取り除くようにしなければならないと言う問題があった。
本発明は、作業テーブルの上面における薄板基板が割れた場合、その割れが多方向であっても確実に検出して、この割れた薄板基板の全てを、前記作業テーブルの上面から自動的に取り除くことができるようにした装置を提供することを技術的課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため本発明は、
「上面に薄板基板を載せた状態で上下動する作業テーブルの左右両側に、受取り移送体を、当該両受取り移送体が前記作業テーブルとその側方における搬送台等との間を往復動するように配設して成る移送装置において、前記両受取り移送体のうちいずれか一方の受取り移送体に、前記薄板基板に対する少なくとも二つのフィンガーを、他方の受取り移送体に、前記薄板基板に対する一つのフィンガーを各々設け、更に、前記両受取り移送体のうち他方の受取り移送体には、光を前記作業テーブルの上面と略平行に一方の受取り移送体に向かって発射するようにした発光素子を、一方の受取り移送体には、前記発光素子からの光に対する受光素子を各々設ける一方、前記作業テーブルの上方には、下面に多孔板を張設して成る真空吸引ボックスを、当該真空吸引ボックスが前記作業テーブルとその側方との間を往復動するように配設する。」
と言う構成にした。
【０００７】
【作    用】
この構成において、作業テーブルの上面に載せた薄板基板に対するマスク印刷等の作業が完了すると、前記作業テーブルが、その両側に配設した両受取り移送体の上面よりも低い部位まで下降動することにより、その上面における薄板基板を、前記両受取り移送体における各フィンガーの上面に載るように移し替える。すると、前記両受取り移送体が、搬送台の方向に移動したのち下降動することにより、その上面における薄板基板を、当該両受取り移送体の上面から搬送台の上面に移し替えるのである。
【０００８】
そして、前記薄板基板が、前記作業テーブルの上面でのマスク印刷等の作業において割れた場合、前記作業テーブルを両受取り移送体の上面よりも低い部位まで下降動したとき、割れた薄板基板が、両受取り移送体のうちいずれか一方又は両方と作業テーブルとに跨がるように載った状態になって、両受取り移送体のうち他方の受取り移送体に設けられている発光素子から一方の受取り移送体に設けられている受光素子への光を遮ることになるから、これによって、薄板基板が割れていることが検出できる。
【０００９】
すると、この割れ検出に基づいて、前記作業テーブルが、両受取り移送体の上面よりも高い部位まで上降動することに次いで、真空吸引ボックスが、前記作業テーブルの上部まで移動して、この状態で真空吸引することにより、割れた薄板基板の全てを、当該真空吸引ボックスの下面における多孔板に密着・吸引したのち、作業テーブルの上方が側方の移動するから、前記作業テーブルの上面における割れた薄板基板の全てを、作業テーブルの上面から取り除くことができるのである。
【００１０】
【発明の効果】
従って、本発明によると、作業テーブルの上面における薄板基板を、当該薄板基板のうち割れたものの全てを作業テーブルの上面から除去しながら、搬送台等に移送することを、自動的に行うことができるから、その作業能率を大幅に向上できる効果を有する。
【００１１】
しかも、本発明は、作業テーブルの左右両側に配設した両受取り移送体のうち一方の受取り移送体に、薄板基板に対する少なくとも二つのフィンガーを、他方の受取り移送体に、薄板基板に対する一つのフィンガーを各々設けて、薄板基板を、前記三つのフィンガーにて３点支持に構成したことにより、従来のように、両受取り移送体の各々にフィンガー２個ずつ設けて薄板基板を４点支持に構成した場合よりも、多方向の割れを検出することができるから、薄板基板の割れを検出することの精度が高くて、搬送台等に割れた薄板基板が送り出されることを確実に低減できる効果をも有する。
【００１２】
【実施例】
以下、本発明の実施例を、図１〜図４の図面について説明する。
この図において符号１２は、上下動機構１２ａにて上下動するように構成した作業テーブルを示し、この作業テーブル１２は、上昇動した状態で、その上面における薄板基板１に対してマスク印刷等の作業を行うと、下降動するように構成されている。
【００１３】
符号１３，１４は、前記作業テーブル１２の左右両側に配設した受取り移送体を示し、この両受取り移送体１３，１４は、図示しない機構により、前記作業テーブル１２とその側方の部位に配設した搬送台１５との間を水平方向に往復動すると共に、搬送台１５の箇所において、搬送台１５に向かって下降動するように構成されている。
【００１４】
そして、前記両受取り移送体１３，１４のうち一方の受取り移送体１３には、その内側面に、前記作業テーブル１２に設けた二つの切欠部１２ｂ，１２ｃ内を上下方向に通過するようにした二つの真空吸着式のフィンガー１３ａ，１３ｂが設けられる一方、他方の受取り移送体１４には、その内側面に、前記作業テーブル１２に設けた一つの切欠部１２ｄ内を上下方向に通過するようにした一つの真空吸着式のフィンガー１４ａが設けられている。
【００１５】
更に、前記他方の受取り移送体１４には、光を前記作業テーブルの上面と略平行に一方の両受取り移送体１３に向かって発射するようにした発光素子１６を、一方の受取り移送体１３には、前記発光素子１６からの光に対する受光素子１７を各々設ける。
また、符号１８は、下面に金網１９等の多孔板を張設した真空吸引ボックスを示し、この真空吸引ボックス１８は、前記作業テーブル１２と、その側方に配設した回収ボックス２０との間に往復動するように構成され、且つ、この真空吸引ボックス１８には、図示しない真空ブロワーへの真空吸引ダクト２１が接続されている。
【００１６】
この構成において、作業テーブル１２の上面に載せた薄板基板１に対するマスク印刷等の作業が完了すると、前記作業テーブル１２が、その両側に配設した両受取り移送体１３，１４の上面よりも低い部位まで下降動することにより、その上面における薄板基板１を、前記両受取り移送体１３，１４における各フィンガー１３ａ，１３ｂ，１４ａの上面に載るように移し替える。すると、前記両受取り移送体１３，１４が、搬送台１５の方向に移動したのち下降動することにより、その上面における薄板基板１を、当該両受取り移送体１３，１４の上面から搬送台１５の上面に移し替えるのである。
【００１７】
そして、前記薄板基板１が、前記作業テーブル１２の上面でのマスク印刷等の作業において割れた場合、前記作業テーブル１２を両受取り移送体１３，１４の上面よりも低い部位まで下降動したとき、割れた薄板基板１が、図４に二点鎖線で示すように、両受取り移送体１３，１４のうちいずれか一方又は両方と作業テーブル１２とに跨がるように載った状態になって、両受取り移送体１３，１４に設けられている発光素子１６から受光素子１７への光が遮断されるから、これによって、薄板基板１が割れていることが検出できる。
【００１８】
すると、この割れ検出に基づいて、前記作業テーブル１２が、両受取り移送体１３，１４の上面よりも高い部位まで上降動し、真空吸引ボックス１８が、前記作業テーブル１２の上部まで移動して、この状態で真空吸引することにより、割れた薄板基板１の全てを、当該真空吸引ボックス１８の下面における金網１９等の多孔板に密着するように吸引し、次いで、前記真空吸引ボックス１８が、作業テーブル１２の上方からその側方に配設した回収ボックス２０の上方まで移動したのち、真空吸引を解除することにより、前記作業テーブル１２の上面において割れた薄板基板１の全てを、作業テーブル１２の上面から回収ボックス２０に入れるように取り除くことができるのである。
【００１９】
なお、本発明によって取り扱う薄板基板は、セラミック製の薄板基板に限らず、ガラス製の薄板基板であっても良く、また、本発明は、前記実施例のように、薄板基板１を、作業テーブル１２から搬送台１５に移送する場合に限らず、薄板基板１を、作業テーブル１２から次の工程における作業テーブルに移送する場合にも適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１及び図２のIII −III 視断面図である。
【図４】本発明における実施例の作用状態を示す図である。
【図５】従来の装置を示す斜視図である。
【図６】図５のVI−VI視断面図である。
【図７】従来の装置における作用状態を示す図である。
【図８】図７のVIII−VIII視断面図である。
【符号の説明】
１                      薄板基板
１２                    作業テーブル
１３                    一方の受取り移送体
１３ａ，１３ｂ          一方の受取り移送体におけるフィンガー
１４                    他方の受取り移送体
１４ａ                  他方の受取り移送体におけるフインガー
１５                    搬送台
１６                    発光素子
１７                    受光素子
１８                    真空吸引ボックス
１９                    金網
２０                    回収ボックス
２１                    真空吸引ダクト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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