(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱処理室に設けられた支持装置で平板状の被処理物を多段に支持して前記熱処理室の開口部から前記被処理物を１枚ずつ出し入れして熱処理するようにした熱処理装置において、
前記支持装置は一定位置を維持するように設けられていて、前記多段は複数段からなる複数組で構成されていて、前記開口部を塞ぐように設けられたスリット部材であって前記複数組に対応する複数個からなり前記被処理物を出し入れ可能にするスリットを備えていて昇降可能にされたスリット部材と、該スリット部材に対して前記開口の外側に前記スリット部材と対向するように設けられていて前記複数組に対応した複数枚からなる小扉であってそれぞれが対応するスリットを開閉可能にされていて閉鎖時に前記開口部を前記外側から囲うように形成された小扉と、前記複数個のスリットが前記複数段のそれぞれの段の位置で停止可能なように前記スリット部材を昇降可能にする昇降機構と、前記複数枚からなる小扉のそれぞれを開閉可能にする開閉機構とを有することを特徴とする熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱処理室に設けられた支持装置で平板状の被処理物を多段に支持して前記熱処理室の開口部から前記被処理物を１枚ずつ出し入れして熱処理するようにした熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
熱処理室内でＬＣＤガラス基板等の平板状のワークを多段に支持して１枚づつ出し入れしつつ熱処理する通常クリーンオーブンと称される熱処理装置としては、一定位置にワーク出し入れ用のスリット状の開口を設け、昇降可能にされたゴンドラと称される積載装置に間隔をおいて多段にワークを積載し、ゴンドラを昇降させて熱処理の完了したワークの位置を開口の位置に合わせて、ロボットハンドでワークを出し入れし、順次この動作を繰り返えすように構成したものが従来から一般的に使用されてきた。（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、このような熱処理装置では、ワークを多段に支持したゴンドラをその段数分だけ昇降させるため、熱処理装置の高さが高くなり、これが設置されるクリーンルーム等の高さ制限から、ワークの積載枚数が制限され、ワークの積載率が低いため装置コストが割高になったり、設置場所の占有率が大きくなるという問題があった。
【０００４】
そのため、ワーク出し入れ用の開口を上下二カ所の位置に設けて、ゴンドラをその高さの半分だけ昇降させ、二カ所の開口から同時的にワークを出し入れするようにして高集積化及び高能率化を図った熱処理装置が提案されている。（特許文献２参照）。
【０００５】
この装置によれば、高さの問題はある程度改善されるが、二カ所に開口を設ける分だけ熱処理室内のシール性が低下すると共に、高さが高くなるという問題も残る。更に、近年、熱処理されるワークとなるガラス基板のサイズが巨大化し、例えば1800mm×1500mmという従来の基板の面積の数倍になるような大型のものも出現している。そのため、ゴンドラの寸法及びワーク搭載時のゴンドラの重量が多大になり、その昇降及び姿勢保持のための三次元の位置精度の確保が難しくなったり、昇降駆動力が大きくなったり、慣性力が大きくなるため昇降速度を遅くする必要があること等により、昇降機構の設計や動作の確実性、迅速性を得ることが難しいという問題がある。
【０００６】
一方、ワーク積載装置を一定位置に保持して昇降させない形式の熱処理装置として、基板からなる被処理物（Ｐ）を多段に支持した支持台（３）を炉（１）内に固定設置し、被処理物出し入れ用の開口（４）に５枚の扉からなる閉鎖部材（５）の構成部材（５ａ）を、フック部材（２７）等でシール（１４）から離すと共に、上下方向に積み重ねられた５台のエアーシリンダ（１２）で昇降させ、それぞれの間隔部分が構成部材１枚分だけ開閉させ、この１枚分の構成部材に対して複数枚の被処理物を対応させ、その何れかの被処理物を出し入れするときには構成部材１枚分だけ開口を開くようにしたものが提案されている。（特許文献３参照）。
【０００７】
しかしながら、このような装置では、被処理物の出し入れ時に構成部材１枚分だけ大きく開口が開くと共に、そのときに間隔を開く位置から上の全ての構成部材をシールしている状態から離すため、炉内の熱気漏れが多くなって温度分布が悪くなるという問題がある。
【０００８】
又、炉体（２）の中に多段の棚枠（３）を設け、炉体の開放面に矩形状のスリット（５）を開設したシャッター扉（４）を昇降自在に取り付け、このシャッターを棚枠の最下段から最上段まで昇降させてワークを出し入れするようにした焼成炉が提案されている（特許文献４参照）。
【０００９】
この装置では、シャッター扉の一か所にスリットを設けているだけであるため上記特許文献３の装置と較べると内部の熱気漏れが少ないと共に、シャッター扉を昇降させるだけであるため小さい駆動力で容易且つ迅速に動かすことができる。しかし、シャッター扉を棚枠の全段の高さ分だけ昇降させるため、ゴンドラ昇降式装置と同様に熱処理装置の高さが高くなるという問題がある。又、開いているスリットが常時外部と導通していて常時熱気漏れがあると共に、シャッター扉が昇降するときに特許文献３の装置と同様の熱気漏れが発生するという問題がある。
【００１０】
【特許文献１】
特開平６−６６７１５号公報
【特許文献２】
特開平９−２５０８８３号公報
【特許文献３】
特開２０００−１６９１６９公報（特に図３〜図６及び関連説明）
【特許文献４】
特開平９−７２６６７号公報（特に図４、５等及び関連説明）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明は、従来技術における上記問題を解決し、装置の高さを高くすることなく熱処理室の熱気漏れを防止し、室内の温度分布を良好に維持すると共に、被処理物を出し入れする開口部の開閉機構の駆動力が小さく迅速確実に作動するようにされた熱処理装置を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、熱処理室に設けられた支持装置で平板状の被処理物を多段に支持して前記熱処理室の開口部から前記被処理物を１枚ずつ出し入れして熱処理するようにした熱処理装置において、
前記支持装置は一定位置を維持するように設けられていて、前記多段は複数段からなる複数組で構成されていて、前記開口部を塞ぐように設けられたスリット部材であって前記複数組に対応する複数個からなり前記被処理物を出し入れ可能にするスリットを備えていて昇降可能にされたスリット部材と、該スリット部材に対して前記開口の外側に前記スリット部材と対向するように設けられていて前記複数組に対応した複数枚からなる小扉であってそれぞれが対応するスリットを開閉可能にされていて閉鎖時に前記開口部を前記外側から囲うように形成された小扉と、前記複数個のスリットが前記複数段のそれぞれの段の位置で停止可能なように前記スリット部材を昇降可能にする昇降機構と、前記複数枚からなる小扉のそれぞれを開閉可能にする開閉機構とを有することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１乃至図３は本発明を適用した熱処理装置としてクリーンオーブンと通称される熱処理装置の全体構成の一例を示す。
熱処理装置１は、熱処理室２に設けられた支持装置である支持体３で平板状の被処理物としてＬＣＤ基板やＰＤＰの製造プロセスで取り扱われるガラス基板等のワークＷを多段として本例では３１段に支持して熱処理室２の開口部として本例では熱処理室２の一面をなす開口面１ａから１枚ずつ出し入れして熱処理するようにした装置であり、スリット部材としての遮蔽板４、小扉５、昇降機構６及び開閉機構７を有する。
【００１４】
熱処理室２の幅Ｘ方向の両側及び上下Ｚ方向の下部には空調部分があり、矢印で示す熱風の流れ方向の順に、本例では下部に配設された４台の送風機８及びそのモータ８１、風量のバランスをとるように必要に応じてガイドダクト等が設けられる入口ダクト部９、本例では９台に分離されている高性能フィルタ１０、ワークＷに平行に流れた熱風を下方に下ろすように形成され必要に応じてガイドダクト等が設けられる出口ダクト部１１、下部空間１２に配置され循環空気を例えば２５０℃程度に加熱して熱風にする加熱器１３、等が通常のものと同様に設けられている。符号１４及び１５はそれぞれ断熱壁及び扉である。
【００１５】
支持体３は、ゴンドラのように昇降することなく一定位置を維持するように設けられていて、Ｘ方向の両側に立設された支柱３１に取り付けられた３１枚の端ワーク受け３２、熱処理室の前後Ｙ方向の奥側に立設された支柱３３に取り付けられた３１枚×３列の中間ワーク受け３４、等で構成されている。
【００１６】
ワーク受け３２、３４の本例では３１段からなる多段Ｎは、図４にも示す如く、複数段ｎとして第１複数段ｎ1 ＝５段及び最下組になるｎ2 ＝ｎ1 ＋１＝６段からなる複数組ｍとしてｍ1 ＝５組とｍ2 ＝１組の合計６組で構成されている。その結果、Ｎ＝ｎｍ＝ｎ1 ｍ1 ＋ｎ2 ｍ2 ＝２５＋６＝３１段にされている。
【００１７】
本例でこのようなｎ、ｍの値を採用したのは、１つの実際の製品仕様で決まった多段数Ｎ＝３１に合わせたためである。例えばＮ＝３０であれば、ｎは全てｎ1 で５、ｍはｍ1 だけで６にされ、Ｎ＝３２であれば、ｎ1 ＝５、ｎ2 ＝６、ｍ1 ＝４、ｍ2 ＝２で、Ｎ＝ｎ1 ×ｍ1 ＋ｎ2 ×ｍ2 ＝２０＋１２＝３２段ということになる。
【００１８】
上記の如く、多段は、第１複数段からなる第１複数組で構成されるか（ケース１）、又は、前例の如く、第１複数段からなる第１複数組と第２複数段（第１複数段＋１）からなる第２複数組との合計の複数組で構成される（ケース２）ことになる。このようなケース１又はケース２、及びケース２のときの第２複数組の数は、実際の製品として要求されるＮに対応して定められる。
【００１９】
図５は遮蔽板４及びその昇降機構６の概略構成を示し、図６は遮蔽板４及び小扉５部分の概略構造を示す。
遮蔽板４は、図１、２に示す如く開口面１ａを塞ぐように設けられていて、ワークＷを出し入れ可能にするスリット４１を備えている。スリット４１は、本例ではロボットハンドによってワークＷの出し入れを可能にするように、図示しないロボットの移動体１００に取り付けられたハンド１０１が余裕を持って通過可能な４個所の深溝部４１ａとハンド１０１に支持されたワークＷが余裕を持って通過可能な上隙間４１ｂとで形成されている。深溝部４１ａ及び上隙間４１ｂの高さ間隔ｈ1 及びｈ2 はそれぞれ例えば６０mm及び３０mm程度の十分小さい寸法にされる。
【００２０】
このようなスリット４１は、複数組ｍに対応する複数個ｍからなる。即ち、本例では、図４にも示す如く、ワークＷがワーク受け３２、３４で支持される多段Ｎ＝３１がｎ1 ＝５として複数組ｍ1 ＝５にされる最上組から５組までの段位置に対応する４１1 〜４１5 からなる５個と、ｎ2 ＝ｎ1 ＋１＝６からなる最下組ｍ2 ＝１組の段位置に対応する４１6 とで構成されている。
【００２１】
このようなスリット４１持つ遮蔽板４は、枠板４２及びこれに取り付けられた面板４３で構成され昇降可能にされている。なお、図５では図示を省略しているが、スリット４１は図６に示す如く角形のスリット部材４１Ａとして形成され面板４３に嵌め込まれている。枠板４２は、昇降可能にされるために、結合板４４を介して後述する昇降機構６に取り付けられていると共に、図７にも示す如く、昇降方向に確実に動くように移動体４５を介して上下Ｚ方向に向いた補助的なリニアガイドの溝４６に結合されて昇降案内されている。
【００２２】
図８乃至図１１は小扉５及びその開閉機構７の構成例を示す。
小扉５は、図１〜図３及び図１０に示す如く、遮蔽板４に対して熱処理室２の外側に遮蔽板４と対向するように設けられていて、複数組ｍに対応した複数枚として本例ではｍ＝６枚になっている。この小扉５は、図４にも示す如く、上から順に５1 〜５6 のそれぞれが対応するスリット４１1 〜４１6 を開閉可能なように形成されている。そのため本例では、小扉５の周囲の段落ちの部分にパッキン５１（図９では一点鎖線Ｃでその中心位置だけを示している）が取り付けられていて、それらがクリーンオーブンの本体構造部１ｂ及び両端がこれに取り付けられた当て部材１ｃに接触するように設けられている。
【００２３】
このような小扉５は、その取付板５２が２箇所でボルト５３によって後述する開閉機構７のアーム７８に取り付けられ、アーム７８の一端側が回転軸７７に取り付けられることにより、回転軸７７が回転するとこの軸を中心として回転して対応するスリット４１を開閉するように形成されている。
【００２４】
昇降機構６は、複数個のスリット４１1 〜４１6 が複数段として本例ではｎ1 ＝５段及びｎ2 ＝６段のそれぞれの段の位置で停止可能なように遮蔽板４を昇降可能にする。このように昇降機構６としては、エアーシリンダ装置、ラックとピニオン機構、ネジ機構、ワイヤー吊り機構等の公知の種々の直線移動装置を用いることができるが、本例ではボールネジ機構を用いている。
【００２５】
本例の昇降機構６は、図５に示す如く、減速機付きサーボモータ６１、このモータで回転される幅Ｘ方向の両側の回転伝達軸６２、この軸の回転が伝達されるボールネジシリンダ装置６３、詳細図示を省略しているがこの装置の中で上下Ｚ方向位置を規制され回転電動軸６２によって回転されるボールナットと螺合しシリンダ６３ａで回転を規制されつつＺ方向に案内されて昇降するボールネジ軸６３ｂ、この軸と係合しその昇降動作が伝達される昇降軸６４、この軸を上下Ｚ方向に昇降可能なように支持する軸受６５、昇降軸６４と遮蔽板４の枠板４２とに取り付けられこれらを結合している前記結合板４４、等で構成されている。
【００２６】
開閉機構７は、複数枚として本例では６1 乃至６6 の６枚からなる小扉５のそれぞれを開閉可能にするように、図３に示す如くそれぞれの小扉５1 乃至５6 に対して７1 乃至７6 として設けられている。これらの開閉機構７1 〜７6 は全て同じものであり、図８乃至図１１に開閉機構７として示されている。
【００２７】
本例の開閉機構７は、エアーシリンダ７１、そのロッド７１ａにフローティングジョイント７２を介して矢印の如く往復移動可能なように設けられたＬ形部材７３、これに固定され上下Ｚ方向に長く表面側に形成されたリニアガイドの一方側部材になる本例では凸条７４、同様に裏面側に形成されたラック７５、凸条７４が嵌め込まれて案内されるリニアガイドの溝部材７６、ラック７５と噛み合っているピニオン７７ａを備えた前記回転軸７７、この軸に一端側が固定され小扉５が取り付けられている前記アーム７８、等で構成されている。
【００２８】
なお、スリット４１を開閉する小扉の開閉機構としては、上記のようにエアーシリンダとラック・ピニオンを用いた機構に代えて、回転軸７７を減速機付きモータで直接回転させるようにした機構や、小扉５をスリット面から離間させると共にＺ方向にスライドさせるように一次元動作を二つ組み合わせた移動機構等、適当な構造のもの用いることができる。又、回転方式の場合の開閉方向としては、上向き開きもしくは下向き開きの何れの方式を選択してもよい。
【００２９】
以上のような熱処理装置１は次のように運転されその作用効果を発揮する。
熱処理室２内には、これまで説明した状態でワーク受け３２、３４上にワークＷが３１段に支持され、図３、図４に示す如く５1 〜５6 からなる全ての小扉５が閉鎖されている。そして、送風機８及び加熱器１３が運転され、循環気体として通常空気が矢印で示す如く高性能フィルタ１０を経由して熱処理室２を通過するように循環され、ワークＷが熱処理されている。このとき、遮蔽板４は、図２及び図４に示す如く、それぞれＷ1 〜Ｗ5 及びＷ1 〜Ｗ6 の５段及び６段からなる複数段の上から▲１▼〜▲６▼で示す６組のワークＷのそれぞれの最下段のワークＷ5 及びＷ6 の位置に６個のスリット４１1 〜４１6 が対応するような位置にされている。
【００３０】
この状態で、仮に３１段のワークＷのうち下から順番に所定の熱処理時間が経過して行くとすれば、これらの順番に熱処理済みの旧ワークと次に熱処理すべき新ワークとを入れ換えることになる。
【００３１】
まず▲６▼組のワークＷ6 を入れ換えるときには、小扉５6 を開く。そのため、開閉機構７のエアーシリンダ７１を駆動し、Ｌ形部材７３を上昇させてラック７５をその方向に動かし、これと噛み合っているピニオン７７ａを回転させて回転軸７７を回転させ、アーム７８を回転させて小扉５6 を回転させ、スリット４１6 を開く。図２では実線でこの状態を示している。
【００３２】
このときには、スリット４１6 を介して熱処理室２とその外部２００とが導通し、室内の熱気が外部に漏出することになる。しかしながら、熱処理室２の全体としては、小扉５1 〜５5 が閉鎖された状態を維持していて、従ってスリット４１1 〜４１5 が閉鎖されていてこの部分からの熱気漏れがないと共に、スリット４１がワークＷとロボットハンド１０１とを通過可能にするだけの上隙間４１ｂとＸ方向の一部分の４箇所だけに設けられている深溝部４１ａとで形成される開口面積の小さいものにされるため、熱気漏れはごく僅かに止まる。その結果、熱処理室２内の雰囲気が乱されることはなく、その温度分布を良好に維持することができる。又、遮蔽板４と小扉５とが二重断熱シールを形成するので、断熱効果が良くなる。
【００３３】
そしてこの場合、本発明を適用した本例の装置では、スリット４１を開くために対応する小扉５を開くだけであるから、その操作を簡単に且つ迅速に行なうことができる。従って、ワークの熱処理能率を良くすることができる。又、開閉のための駆動力を小さくすることができる。これに対して、従来の小扉を設けた扉開閉式の熱処理装置では、複数の小扉の間隔部分を開いていたため、多数の小扉の開口面からの離間と上下移動とを組み合わせた動作になるため、動作が複雑で時間がかかると共に、駆動力も大きくなっていた。本例の装置ではこれらの点も大幅に改善されている。
【００３４】
小扉５6 が開くと、図２に示すようにロボットの移動体１００がスリット４１6 から４本のロボットハンド１０１（図１にも示す）をワークＷ6 の下に挿入し、少し上昇してワークＷ6 を取り上げて熱処理室２の外に搬出し、図示しない熱処理済みワークラインに移載し、未熱処理ワークラインから新ワークを取り上げ、同じスリット４１6 からこれをワーク受け３２、３４上に載せる。これで▲６▼組のワークＷ6 の交換が完了する。なお、本例では熱処理室２の一面だけでワークを出し入れするようにしているが、小扉５等を前後Ｙ方向の両側に設けて、ワークを両側から出し入れするような装置にしてもよい。
【００３５】
▲６▼組のワークＷ6 に続いてその組のワークＷ5 の熱処理時間が経過してこの部分のワークを出し入れするときには、小扉５6 を開いた状態で、遮蔽板４をワーク１段分即ち１ピッチ上昇させ、スリット４１6 が▲６▼組のワークＷ5 の位置になるようにする。このときには、モータ６１を所定数回転させ、その回転を両側の回転伝達軸６２を介してボールネジ装置６３に伝達し、ボールネジ機構によってボールネジ６３ｂを１ピッチ上昇させ、その動きを昇降軸６４から結合板４４を介して遮蔽板４の枠板４２に伝達し、リニアガイド４６で上下Ｚ方向に案内しつつ遮蔽板４を１ピッチ上昇させる。
【００３６】
この上昇動作は、モータ６１を少し回転させるだけであるから、簡単で迅速且つ確実に行われる。又、スリットが形成されただけで十分軽量化の可能な遮蔽板４を上昇させるだけであり、従来の装置のように大型のワークＷが搭載されていて重量の大きい積載装置を上昇させる必要がないので、上昇のためのモータ６１は例えば４００ワット程度の十分小出力のものにされる。
【００３７】
これにより、ワークＷ6 と同様にワークＷ5 が出し入れされ交換される。このときにも、小扉５1 〜５5 は閉まっているので、熱気漏れの問題は生じない。なお、このときには、▲１▼〜▲５▼の組のスリット４１1 〜４１5 はそれぞれの組のワークＷ4 の位置なっている。
【００３８】
このようにして遮蔽板４を１ピッチづつ上昇させてワークを交換して行き、▲６▼組の最上段のワークＷ1 を交換するときには、遮蔽板４の上端４ａが６ピッチ上がって図４の二点鎖線で示す４ａ´の位置になる。従って、クリーンオーブン１の高さとしてこの４ａ´の位置を考慮する必要がある。しかし、この６ピッチ分の高さは、ワークの積載高さの全体に較べると１／５程度であるため、実質上全く問題にされることはない。
【００３９】
これに対して、従来のゴンドラ昇降式の装置や１個のスリットを昇降させる装置では、全ワークの積載高さ分だけ上方に余分の高さが必要になり、結局ワークの積載率を低下させていた。なお、上端４ａが上昇する分だけ下端４ｂが下がった位置になるが、この部分は熱処理装置において通常空調スペースや機械スペースになるので、この部分が余分な空間を占めて熱処理装置の高さが高くなるということはない。
【００４０】
▲６▼組の６枚のワークＷの熱処理が完了すると、▲５▼組のワークＷをＷ1 からＷ5 までの順に又はこの反対の順に入れ換える。このときには、小扉５6 を閉めて小扉５5 を開くと共に遮蔽板４を１ピッチ又は５ピッチ下降させる。これにより、▲５▼組のスリット４１5 がその組のワークＷ1 又はＷ5 の位置に対応する位置になると共に小扉５5 が開き、スリット４１5 が開かれ、ワークＷ1 又はＷ5 が出し入れされる。
【００４１】
このようにして全段のワークＷが熱処理されて順次出し入れされ、更にこのような工程が繰り返され、ワークＷが連続して能率良く熱処理されていく。なお、通常熱処理装置１の各機器やロボットの動作は自動化されていて、ワークＷは自動的に熱処理されるようになっている。
【００４２】
【発明の効果】
以上の如く本発明によれば、請求項１の発明においては、平板状の被処理物を多段に支持する支持装置は一定位置を維持するように設けられている。従って、被処理物を多段に支持した重量の重い支持装置は昇降しない。その結果、従来のゴンドラ昇降式熱処理装置に設けられていた大きな駆動力を必要とし複雑で大掛かりな構造になる支持装置昇降機構が不要になる。従って、特に大型のガラス基板のような被処理物であっても容易に確実に支持することができる。
【００４３】
又、支持装置が一定位置を維持しているため、支持装置が精度良く製作されたときにその精度をそのまま維持することができる。その結果、平板状の被処理物を熱処理室から出し入れするときの通過部分であるスリットを狭い間隔のものにすることが可能になる。
【００４４】
そして、支持装置の多段を複数段からなる複数組で構成していて、これに関連してスリット部材と小扉とスリット部材の昇降機構と小扉の開閉機構とを設けているので、極めて良好な状態で被処理物を熱処理室に出し入れして熱処理することができる。
【００４５】
即ち、スリット部材は熱処理室の開口部を塞ぐように設けられていて、複数組に対応する複数個からなり被処理物を出し入れ可能にするスリットを備えていて昇降可能にされているので、例えば、スリット部材の位置が、複数組においてそれぞれの複数段の最下段にスリットが位置するような位置になっていれば、何れかの複数組の最下段のスリットからこれに対応する被処理物を出し入れし、次にスリット部材を１段上昇させ、そのときのスリットに対応する被処理物を出し入れし、このようにして１段づつスリットを上昇させて１段づつ被処理物を出し入れすることが可能になる。この場合、スリット部材の昇降機構は、複数個のスリットが複数段のそれぞれの段の位置で停止可能なようにスリット部材を昇降可能にするので、上記のようにして被処理物を出し入れすることができる。
【００４６】
ここで、スリット部材にはスリットが複数組に対応して複数個設けられているので、この複数個のスリットを使用して被処理物を出し入れできる。従って、スリット部材は、それぞれの複数組を構成する複数段分だけ昇降すればよく、多段の全段数分昇降する必要はない。その結果、スリット部材を昇降させるが、その昇降高さを全段高さ分の複数分の一にして、熱処理装置の高さを従来のゴンドラ又はスリット昇降式のものに較べて大幅に低くすることができる。
【００４７】
複数個のスリットを設けるとこれらの部分で熱処理室とその外部とが導通することになるが、スリット部材に対して開口の外側にこれと対向するように複数組に対応した複数枚の小扉を設け、それぞれの小扉が対応するスリットを開閉可能で閉鎖時に開口部を外側から囲うようにしているので、熱処理室内の雰囲気が外に漏れるのを十分低減させることができる。又、熱処理室の雰囲気を二重にシールし断熱効果を良くすることができる。そして、熱処理室内の雰囲気の温度分布を良好に維持することができる。
【００４８】
即ち、複数個のスリットのうち被処理物を出し入れするスリットに対応した小扉だけを開き、他のスリットに対応する小扉を閉鎖した状態に維持することにより、他のスリットについては、これらが熱処理室と導通していても、小扉が外部と通じる開口部を囲って閉鎖するので、他のスリットを介する内外間の導通を防止することができる。この場合、開閉機構が複数枚の小扉のそれぞれを開閉可能にするので、上記のように開閉する必要のあるスリットだけを開閉することができる。
【００４９】
以上において、スリット部材は、スリットが形成されているだけで十分軽量に製作可能なものであるので、これを昇降させる昇降機構の駆動力を小さくし、動作速度を速くすることができる。又、開閉機構は複数に分割された小扉を開閉可能にするものであるため、同様に開閉のための駆動力を小さくし開閉速度を速くすることができる。その結果、少ない動力消費の下に、被処理物の熱処理室への出し入れ時間を短縮し熱処理能率を良くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した熱処理装置の一例であるクリーンオーブンの横断面状態を示す説明図である。
【図２】上記装置の側断面状態を示す説明図である。
【図３】上記クリーンオーブンの正面及び正面断面状態を示す説明図である。
【図４】上記クリーンオーブンの複数段の組み合わせ状態を示す説明図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ上記クリーンオーブンの遮蔽板と昇降機構の正面状態及びスリットの一部分を示す説明図である。
【図６】上記クリーンオーブンの遮蔽板と小扉部分の概略構造を示す斜視図である。
【図７】上記遮蔽板と小扉部分の一部分を示す横断面図である。
【図８】上記小扉の開閉機構の概略構造を示す斜視図である。
【図９】上記開閉機構及び小扉の一部分を示す正面図である。
【図１０】上記開閉機構と小扉及び遮蔽板の一部分の横断面状態を示す説明図である。
【図１１】上記小扉の開閉状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１                熱処理装置
１ａ              開口面（開口部）
２                熱処理室
３                支持体（支持装置）
４                遮蔽板（スリット部材）
５，５1 〜５6     小扉
６                昇降機構
７，７1 〜７6     開閉機構
41，411 〜416     スリット
Ｎ                多段
ｎ，ｎ1 ，ｎ2     複数段
ｍ，ｍ1 ，ｍ2     複数組、複数個、複数枚
Ｗ                ワーク（被処理物）
【図１】
0003718806.tif 000002
【図２】
0003718806.tif 000003
【図３】
0003718806.tif 000004
【図４】
0003718806.tif 000005
【図５】
0003718806.tif 000006
【図６】
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【図７】
0003718806.tif 000008
【図８】
0003718806.tif 000009
【図９】
0003718806.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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