(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の所定位置に設けられた孔にスキージング法を用いてペーストを充填する方法であって、間欠搬送自在な多孔質材が少なくとも１つ以上近接して配置された複数の真空吸着用の孔を設けたベッド上で、真空吸着状態として前記基材の所定位置の孔にペーストを充填し、多孔質材で基材をベッドの端部に搬送した後、多孔質材を固定した状態で前記基材のみを水平方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させて多孔質材から剥離して分離した後、真空吸着を解除して基材を取出すペースト充填方法。
【請求項２】
基材の所定位置に設けられた孔にスキージング法を用いてペーストを充填する方法であって、間欠搬送自在な多孔質材が少なくとも１つ以上近接して配置された複数の真空吸着用の孔を設けたベッド上で、真空吸着状態として前記基材の所定位置の孔にペーストを充填した後、真空吸着を解除して多孔質材を固定した状態で前記基材のみを水平方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させて多孔質材から剥離して分離した後、多孔質材で搬送して基材を取出すペースト充填方法。
【請求項３】
基材の所定位置に設けられた孔にスキージング法を用いてペーストを充填する方法であって、間欠搬送自在な多孔質材が少なくとも１つ以上近接して配置された複数の真空吸着用の孔を設けたベッド上で、真空吸着状態として前記基材の所定位置の孔にペーストを充填し、多孔質材を固定した状態で前記基材のみを水平方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させて多孔質材から剥離して分離した後、真空吸着を解除して多孔質材で搬送して基材を取出すペースト充填方法。
【請求項４】
基材搬送時の真空吸着力をペースト充填時より小さくした請求項１に記載のペースト充填方法。
【請求項５】
多孔質材を固定した状態で基材のみを水平方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させて多孔質材から剥離して分離する時の真空吸着力を、ペースト充填時より小さくした請求項３に記載のペースト充填方法。
【請求項６】
表裏にフィルム材を貼付あるいは積層したペースト充填用の孔加工がなされた基材を順次供給する供給部、複数の真空吸着用の孔を設けた金属材でなるベッドの上に、第１の多孔質材を介して積層配置されて間欠搬送されるフープ状の第２の多孔質材と、その第２の多孔質材の上面に載置される前記基材のペースト充填部を除く外周部に当接する版枠と、基材のペースト充填用の孔にペーストを充填するスキージからなる充填部、ペースト充填後の基材を第２の多孔質材上に載置して水平方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させることにより、第２の多孔質材との位置をずらせるせん断部、せん断された基材の非ペースト充填部を保持して前記第２の多孔質材から剥離し分離して搬送する搬送部、基材からフィルム材を剥離して分離する剥離部、およびフィルム材が剥離し分離された状態の基材を取出す取出し部からなるペースト充填装置。
【請求項７】
せん断部が、所定位置にピンを配置したせん断部材と、前記せん断部材のピンと当接するベッド上に配置したピンの逃し溝からなり、ペースト充填後の基材と、第１の多孔質材および第２の多孔質材をせん断部材のピンで貫通して第１の多孔質材と第２の多孔質材を固定した状態で、基材のみをピンの逃し溝内で平行移動して剥離して分離する構成の請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項８】
せん断部が、基材の一端を挟持するチャックからなるせん断部材と、ベッド上に載置される基材の非充填部と当接する部分のベッドの所定位置に設けた逃し部からなり、逃し部にはまり込んでせん断部材で基材を挟持し、第１の多孔質材と第２の多孔質材を固定した状態で、基材のみを逃し部内で平行移動して剥離して分離する構成の請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項９】
充填部のスキージを、スキージ上に残留したペーストのかき落し部材を設ける構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項１０】
充填部の版枠上にスキージがある時に、版枠上面とスキージ下端面にスキージ回避位置よりも小さい寸法のギャップを形成するスキージストッパー手段を設ける構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項１１】
充填部の版枠の内周下面に、スキージの一部が摺動当接する薄板を設ける構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項１２】
搬送部の基材と第２の多孔質材との分離部を、基材の搬送方向に対して１３５度以上逆方向下面側に第２の多孔質材を分離する構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項１３】
剥離部で基材からフィルム材を剥離する剥離部を、基材の搬送方向に対して１３５度以上逆方向にフィルム材を剥離する構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項１４】
取出し部でフィルム材が剥離し分離された基材の取出し時に、搬送方向始端部側を保持するチャックと、これと交差する両サイドをそれぞれ保持するとともに、拡張方向にテンションを印加するサイドチャックを設ける構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項１５】
せん断部で基材を水平移動して第２の多孔質材との位置をずらす際に、第２の多孔質材の移動を機械的に阻止するブレーキ部を設ける構成とした請求項６〜８のいずれか一つに記載のペースト充填装置。
【請求項１６】
充填部のスキージに代えて、内部にペースト収納部を設けた弾性材料よりなる充填ヘッドを設置し、この充填ヘッド一端を基材上に密着してペーストに圧力を加えながらペースト充填を行う構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項１７】
ペースト充填を開始する際、もしくは一時停止して再度ペースト充填を開始する際に、ベッド上の第２の多孔質材を少なくとも基材の長さ分を移送した後、前記第２の多孔質材の上面に基材を載置する構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項１８】
ベッド上の第２の多孔質材を、少なくとも基材の長さ分を移動する時にベッドは真空吸引状態を保持する構成とした請求項１７に記載のペースト充填装置。
【請求項１９】
ペースト充填後の基材を第２の多孔質材上で水平移動させることにより第２の多孔質材との位置をずらした後、せん断された基材の非ペースト充填部を保持し、前記第２の多孔質材から剥離し分離して搬送する搬送部へ基材を搬送する際に、基材の一部が搬送部に保持されると同時にベッドとの真空吸引状態として搬送する構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項２０】
せん断部でペースト充填後の基材を、第２の多孔質材上で水平移動させる際に、ベッドを真空吸引状態で第２の多孔質材との位置をずらす構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項２１】
せん断部でペースト充填後の基材を、ベッドが真空吸引状態のままで第２の多孔質材上で水平移動させる際に、ペースト充填時の真空吸引力より小さくする構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
【請求項２２】
基材の周辺部と、当接する部位もしくは少なくとも４つのコーナの真空吸着力を大きくした複数の真空吸着用の孔を設けたベッドとする構成とした請求項６、２０、２１のいずれか一つに記載のペースト充填装置。
【請求項２３】
基材の周辺部に当接する孔径を、他の孔径より大きくした複数の真空吸着用の孔を設けたベッドとする構成とした請求項６、２０、２１、２２のいずれか一つに記載のペースト充填装置。
【請求項２４】
真空吸着源を基材のペースト充填部と周辺部の２系統とする複数の真空吸着用の孔を設けたベッドとする構成とした請求項６、２０、２１、２２、２３のいずれか一つに記載のペースト充填装置。
【請求項２５】
真空吸着源を１系統とし、ペースト充填部と基材の周辺部とに２分岐して、真空吸着力を個別制御とした複数の真空吸着用の孔を設けたベッドとする構成の請求項６、２０、２１、２２、２３のいずれか一つに記載のペースト充填装置。
【請求項２６】
多孔質材および第１および第２の多孔質材が、通気性と液体の吸収性を備えた紙などの不織布あるいは多孔質樹脂フィルムとしてなる請求項６〜８、１２、１５、１７〜２１のいずれか一つに記載のペースト充填装置。
【請求項２７】
基材が表裏にフィルム材を有した不織布と熱硬化性樹脂、あるいは織布と熱硬化性樹脂からなるプリプレグシートおよびセラミックグリーンシートとしてなる請求項６〜８、１２〜２５のいずれか一つに記載のペースト充填装置。
【請求項２８】
ペーストが銅、銀およびこれらの合金の粉末を主成分とする構成とした請求項６、９、１６、１７、１９〜２１のいずれか一つに記載のペースト充填装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種電子機器に使用される両面あるいは多層配線基板などを製造する際に用いられるペースト充填方法及びペースト充填装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種におけるペースト充填方法及びペースト充填装置について、図１１〜図１３を用いて説明する。
【０００３】
図１１は両面あるいは多層配線基板の製造工程の一例を示す製造工程図、図１２はプリプレグとフィルム材でなる基材の構成を示す要部斜視図、そして図１３は従来のペースト充填装置の構成を示す要部断面図である。
【０００４】
図１１において、３３はガラスエポキシ、アラミドエポキシ、紙エポキシなどのプリプレグであり、このプリプレグ３３の両面に、ポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと称する）、紙、ポリイミド、あるいはそれらの複合体のフィルム材３２を貼付け工程において熱圧着などにより接着して貼付けることにより、図１２に示すような積層体である基材１８を形成する。
【０００５】
次に、図１１に示す孔加工工程において前記プリプレグ３３とフィルム材３２でなる基材１８にドリルやレーザ加工などにより、所定箇所に所定数の孔３６を形成する。
【０００６】
次に、基材１８の孔３６に充填工程にてスキージなどの手段により導体材や混合材および溶剤などからなる導電性のペースト１９を充填し、さらに、剥離工程によりこの基材１８からフィルム材３２を剥離することにより、プリプレグ３３と孔３６内に充填されたペースト１９でなる形成層体３７を形成する。
【０００７】
この工程に続いて積層工程、樹脂硬化工程、パターン形成工程により両面基板を形成するものであり、積層工程において形成層体３７の両面に銅箔などの導電箔３５を積層し、樹脂硬化工程にて加熱プレスなどにより加熱、加圧することにより、形成層体３７のプリプレグ３３と孔３６内のペースト１９を樹脂硬化させて導電箔３５と強固に電気的かつ機械的に接合し、続いて、この導電箔３５に配線や接続などの所定の導電パターン３８をパターン形成工程においてエッチングなどにより形成して所定の両面基板３９を形成する。
【０００８】
また、前記に続いて多層積層工程、樹脂硬化工程、外層パターン形成工程により多層基板４２を形成するものであり、多層積層工程において両面基板３９の両面に前記で形成した形成層体３７を介して銅箔などの導電箔４０を積層し貼合わせ、樹脂硬化工程において加熱プレスなどにより加熱、加圧することにより、形成層体３７のプリプレグ３３とペースト１９を樹脂硬化させて導電パターン３８や導電箔４０と強固に電気的かつ機械的に接合し、外層パターン形成工程においてこの導電箔４０に配線や接続などの所定の導電パターン４１をエッチングなどにより形成し、所定の多層基板４２を形成するものである。
【０００９】
次に、従来のペースト充填装置について説明する。図１３において、１３ｂは金属材などでなるステージであり、多孔質の焼結金属３４を上面に設置し複数の吸引孔１３ｆを設けたベッド１３を内蔵して構成されており、このベッド１３の下面にはそれぞれの吸引孔１３ｆの終端が集結し一本化された集結部に真空ポンプ（図示せず）に接続された吸引管の吸引口１３ａが結合されている。
【００１０】
１３ｃはスライドシャフトであり、ブッシュ１３ｄを挿通して上下に摺動自在に設置されており（駆動機構は図示せず）、その先端はステージ１３ｂの下面に結合され、ステージ１３ｂ、すなわちベッド１３の上下位置を設定保持あるいは調整するのである。
【００１１】
１５は多孔質材として用いる通気性の良い連続した帯状の紙であり、供給リール１５ａから供給され、ガイドローラ１５ｂでガイドされてステージ１３ｂの上面、焼結金属３４の上面、およびガイドローラ１５ｄを経由して巻取リール１５ｃに巻取られる。
【００１２】
１２は軽硬質のジュラルミンなどの金属材あるいは硬質樹脂などでなる四角形状の版枠であり、下面にペースト１９の充填のための抜き孔（図示せず）を設けた金属材あるいは合成樹脂材などでなる版１２ａが張力を掛けて貼付されていると共に、焼結金属３４の上面に紙１５を介して載置された基材１８と版１２ａとが所定のギャップで維持されるように設置されている。
【００１３】
３ａ、３ｂはスキージであり、一体として左右移動自在なスキージヘッド３ｄ、３ｃに個々に上下移動自在に、かつ、所定の傾斜角度をもってそれぞれ装着されたスキージホルダ２７に上端がそれぞれ挟持され保持されている。
【００１４】
１９はペーストであり、版枠１２内の版１２ａの上面に供給されており、スキージホルダ２７の駆動すなわちスキージ３ａ、３ｂの先端の移動動作により基材１８の孔３６内に充填される。
【００１５】
次に動作について説明する。まず、版枠１２およびスキージヘッド３ｃ、３ｄを上昇させて待機位置にする。
【００１６】
次に、図１２に示す所定形状およびサイズの基材１８を治具あるいは手動によりステージ１３ｂ上の紙１５の上面に載置し、供給リール１５ａおよび巻取リール１５ｃの回転駆動により、紙１５を移動させて基材１８を焼結金属３４上の所定位置にセットすると同時に、吸引管の吸引口１３ａより真空吸引して基材１８を保持した後、版枠１２およびスキージヘッド３ｃ、３ｄを所定位置に降下させ、続いてスキージヘッド３ｃ、３ｄを右方向に移動させることにより、版１２ａ上のペースト１９を基材１８の孔３６内に充填する。
【００１７】
次に、版枠１２およびスキージヘッド３ｃ、３ｄを上昇させて待機位置にするとともに、吸引口１３ａの真空吸引を停止し、続いて紙１５を移動させて孔３６内にペースト１９が充填された基材１８を紙１５とともに焼結金属３４の位置から離脱させて、作業者が前記基材１８を取出し、ペースト１９が充填された部分に接触せずに収納部にスペーサなどを介して断積みした後、別途設けられた剥離装置に供給してプリプレグ３３からフィルム材３２を剥離して形成層体３７を形成していた。
【００１８】
なお、次に供給されて引き続き製造される基材１８の孔３６内へのペースト１９の充填は、前記動作の後スキージ３ａを上昇させ、代りにスキージ３ｂを降下させて、スキージヘッド３ｃ、３ｄを左方向に移動させることにより行うものであり、往復ともにペースト１９の充填を行うことができるように構成されたものであった。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら前記従来の構成のペースト充填方法及びペースト充填装置では、ペースト充填とフィルム材剥離の工程を別個の装置で行っていたために、供給や取出しに作業者が操作する必要があり、生産性の向上が困難であった。
【００２０】
また、作業者がペースト１９の充填された基材１８を取出す際に、基材１８が紙１５と垂直方向に剥離されて、充填したペースト１９が紙１５に付着し抜け落ちたり、基材１８が屈曲することがあり品質が安定しなかった。
【００２１】
また、吸引の真空力を均一にするために用いた焼結金属３４に、目詰まりなどが発生するとその効果が減少するものであり、焼結金属３４自体が高価なものであった。
【００２２】
さらにまた、充填工程においてスキージ３ａ、３ｂに付着したペースト１９を除去する手段がなく、スキージ３ａ、３ｂからのペースト１９の自然落下に依存した方式であることから、充填枚数の増加に伴いペースト１９の落下性が低下して生産性が悪くなるという課題を有していた。
【００２３】
本発明は前記従来の課題を解決しようとするものであり、安価で安定した品質で、生産性の優れたペースト充填装置を提供することを目的とするものである。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明のペースト充填方法は、間欠搬送可能な多孔質材を少なくとも１つ以上配置した複数の真空吸着用の孔を備えたベッド上で真空吸着状態の積層体でなる基材の所定位置の孔にペーストを充填し、多孔質材で基材をベッド端部に搬送した後、前記多孔質材を固定した状態で前記基材のみを水平方向に少なくとも基材の孔径以上移動させて多孔質材から剥離した後、真空吸着を解除して基材を取出す、多孔質材で搬送して基材を取出すあるいは、真空吸着を解除して多孔質材で基材を搬送して基材を取出すものである。
【００２５】
また、上記ペースト充填方法におけるペースト充填装置は、表裏にフィルム材を有し、ペースト充填用の孔加工がなされた基材を順次供給する供給部と、複数の真空吸着用の孔を備えた金属製のベッド上に多孔質樹脂フィルムを介して積層配置されて間欠搬送されるフープ状の第２の多孔質材、その第２の多孔質材の上面に載置される前記基材のペースト充填部を除く外周部に当接する版枠、および基材のペースト充填用の孔にペーストを充填するスキージからなる充填部と、充填後の基材を第２の多孔質材の上面を水平方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させることにより第２の多孔質材との位置をずらせるせん断部と、せん断された基材の非ペースト充填部を保持して前記第２の多孔質材から分離して搬送する搬送部と、基材からフィルム材を剥離して分離する剥離部と、フィルム材が剥離された状態の形成層体である基材を取出す取出し部からなる構成としたものである。
【００２６】
本発明によれば、基材に加工された孔に確実にペーストを充填することができ、さらに一度充填したペーストが孔から抜け落ちることなく、さらにたわみを発生させることなく搬送し、基材からフィルム材を剥離し分離することが可能となる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、基材の所定位置に設けられた孔にスキージング法を用いてペーストを充填する方法であって、間欠搬送自在な多孔質材が少なくとも１つ以上近接して配置された複数の真空吸着用の孔を設けたベッド上で、真空吸着状態として前記基材の所定位置の孔にペーストを充填し、多孔質材で基材をベッドの端部に搬送した後、多孔質材を固定した状態で前記基材のみを水平方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させて多孔質材から剥離して分離した後、真空吸着を解除して基材を取出すペースト充填方法としたものであり、ペースト充填後に多孔質材で基材を搬送せずにその場で前記多孔質材を固定した状態で前記基材のみを、水平方向に少なくとも基材の孔径以上移動させて多孔質材から剥離し分離した後基材を搬送するため、基材搬送時に発生する多孔質材のうねりやしわの影響がなくなり、基材の孔に充填したペーストが多孔質材に付着して抜け落ちることがなくなるという作用を有する。
【００２８】
請求項２に記載の発明は、基材の所定位置に設けられた孔にスキージング法を用いてペーストを充填する方法であって、間欠搬送自在な多孔質材が少なくとも１つ以上近接して配置された複数の真空吸着用の孔を設けたベッド上で、真空吸着状態として前記基材の所定位置の孔にペーストを充填した後、真空吸着を解除して多孔質材を固定した状態で前記基材のみを水平方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させて多孔質材から剥離して分離した後、多孔質材で搬送して基材を取出すペースト充填方法としたものであり、基材のそりによる浮きや搬送時に多孔質材がテーブルに密着するため多孔質材のうねりやしわがなくなり、基材の孔に充填したペーストが多孔質材に付着して抜け落ちることがなくなるという作用を有する。
【００２９】
請求項３に記載の発明は、基材の所定位置に設けられた孔にスキージング法を用いてペーストを充填する方法であって、間欠搬送自在な多孔質材が少なくとも１つ以上近接して配置された複数の真空吸着用の孔を設けたベッド上で、真空吸着状態として前記基材の所定位置の孔にペーストを充填し、多孔質材を固定した状態で前記基材のみを水平方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させて多孔質材から剥離して分離した後、真空吸着を解除して多孔質材で搬送して基材を取出すペースト充填方法としたものであり、基材のそりによる浮きや搬送時の多孔質材のうねりやしわの影響がない状態で水平移動して多孔質材から剥離できるため、基材の孔に充填したペーストが垂直剥離によって多孔質材に付着して抜け落ちることがなくなるという作用を有する。
【００３０】
請求項４に記載の発明は、基材搬送時の真空吸着力をペースト充填時より小さくした請求項１に記載のペースト充填方法としたものであり、真空吸引力を基材搬送時に基材自身のそり部が浮かず、かつ多孔質材にうねりやしわが発生しない吸引力にすればよく、基材の搬送時にペースト充填時の真空吸引力より小さくすることで、多孔質材を低張力で搬送することができて多孔質材の破断を防止できるという作用を有する。
【００３１】
請求項５に記載の発明は、多孔質材を固定した状態で基材のみを水平方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させて多孔質材から剥離して分離する時の真空吸着力を、ペースト充填時より小さくした請求項３に記載のペースト充填方法としたものであり、多孔質材を固定した状態で基材のみ水平方向に少なくとも基材の孔径以上移動させて多孔質材からの剥離時の真空吸引力をペースト充填時より小さくすることにより、多孔質材を低張力で剥離でき、基材の破断を防止できるという作用を有する。
【００３２】
請求項６に記載の発明は、表裏にフィルム材を貼付あるいは積層したペースト充填用の孔加工がなされた基材を順次供給する供給部、複数の真空吸着用の孔を設けた金属材でなるベッドの上に、第１の多孔質材を介して積層配置されて間欠搬送されるフープ状の第２の多孔質材と、その第２の多孔質材の上面に載置される前記基材のペースト充填部を除く外周部に当接する版枠と、基材のペースト充填用の孔にペーストを充填するスキージからなる充填部、ペースト充填後の基材を第２の多孔質材上に載置して水平方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させることにより、第２の多孔質材との位置をずらせるせん断部、せん断された基材の非ペースト充填部を保持して前記第２の多孔質材から剥離し分離して搬送する搬送部、基材からフィルム材を剥離して分離する剥離部、およびフィルム材が剥離し分離された状態の基材を取出す取出し部からなるペースト充填装置としたものであり、基材に加工された孔に確実にペーストを充填することができ、さらに一度充填したペーストが孔から抜け落ちることなく搬送し、基材からフィルム材を剥離し分離することができるという作用を有する。
【００３３】
請求項７に記載の発明は、せん断部が、所定位置にピンを配置したせん断部材と、前記せん断部材のピンと当接するベッド上に配置したピンの逃し溝からなり、ペースト充填後の基材と、第１の多孔質材および第２の多孔質材をせん断部材のピンで貫通して第１の多孔質材と第２の多孔質材を固定した状態で、基材のみをピンの逃し溝内で平行移動して剥離して分離する構成の請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、剥離時に充填したペーストが第２の多孔質材に付着し抜け落ちることを防止できるという作用を有する。
【００３４】
請求項８に記載の発明は、せん断部が、基材の一端を挟持するチャックからなるせん断部材と、ベッド上に載置される基材の非充填部と当接する部分のベッドの所定位置に設けた逃し部からなり、逃し部にはまり込んでせん断部材で基材を挟持し、第１の多孔質材と第２の多孔質材を固定した状態で、基材のみを逃し部内で平行移動して剥離して分離する構成の請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、充填したペーストが第２の多孔質材に付着し抜け落ちることを防止できるという作用を有する。
【００３５】
請求項９に記載の発明は、充填部のスキージを、スキージ上に残留したペーストのかき落し部材を設ける構成とした請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、ペーストがスキージから自然落下するまでの時間を短縮できるという作用を有する。
【００３６】
請求項１０に記載の発明は、充填部の版枠上にスキージがある時に、版枠上面とスキージ下端面にスキージ回避位置よりも小さい寸法のギャップを形成するスキージストッパー手段を設ける構成とした請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、スキージ版枠上にギャップが形成されることで版枠上にペーストが残りやすくなりスキージから自然落下するまでの時間を短縮できるという作用を有する。
【００３７】
請求項１１に記載の発明は、充填部の版枠の内周下面に、スキージの一部が摺動当接する薄板を設ける構成とした請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、ペーストが版枠の下に回り込むのを防止できるという作用を有する。
【００３８】
請求項１２に記載の発明は、搬送部の基材と第２の多孔質材との分離部を、基材の搬送方向に対して１３５度以上逆方向下面側に第２の多孔質材を分離する構成とした請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、第２の多孔質材による搬送中に充填したペーストが第２の多孔質材に付着し抜け落ちることを防止できるという作用を有する。
【００３９】
請求項１３に記載の発明は、剥離部で基材からフィルム材を剥離する剥離部を、基材の搬送方向に対して１３５度以上逆方向にフィルム材を剥離する構成とした請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、基材がプリプレグの場合フィルム材を破損することなく、基材表面に発生する毛羽立ちを最小限にして剥離することができるという作用を有する。
【００４０】
請求項１４に記載の発明は、取出し部でフィルム材が剥離し分離された基材の取出し時に、搬送方向始端部側を保持するチャックと、これと交差する両サイドをそれぞれ保持するとともに、拡張方向にテンションを印加するサイドチャックを設ける構成とした請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、基材を水平移動してせん断する際に第２の多孔質材の移動を防止できるという作用を有する。
【００４１】
請求項１５に記載の発明は、せん断部で基材を水平移動して第２の多孔質材との位置をずらす際に、第２の多孔質材の移動を機械的に阻止するブレーキ部を設ける構成とした請求項６〜８のいずれか一つに記載のペースト充填装置としたものであり、基材にたわみを発生させずに搬送することができるという作用を有する。
【００４２】
請求項１６に記載の発明は、充填部のスキージに代えて、内部にペースト収納部を設けた弾性材料よりなる充填ヘッドを設置し、この充填ヘッド一端を基材上に密着してペーストに圧力を加えながらペースト充填を行う構成とした請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、微小な孔にペーストを充填することができるという作用を有する。
【００４３】
請求項１７に記載の発明は、ペースト充填を開始する際、もしくは一時停止して再度ペースト充填を開始する際に、ベッド上の第２の多孔質材を少なくとも基材の長さ分を移送した後、前記第２の多孔質材の上面に基材を載置する構成とした請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、ペースト交換時や待機中に飛散したゴミなど多孔質材上にあっても多孔質材が移送されて新たな面となるため、基材の孔にゴミが詰まりペーストが未充填となるのを防ぐという作用を有する。
【００４４】
請求項１８に記載の発明は、ベッド上の第２の多孔質材を、少なくとも基材の長さ分を移動する時にベッドは真空吸引状態を保持する構成とした請求項１７に記載のペースト充填装置としたものであり、第２の多孔質材をベッド全面で吸引して送るため、第２の多孔質材にしわやうねりが発生しなくなり、ペーストが第２の多孔質材に付着して抜け落ちるのを防止するという作用を有する。
【００４５】
請求項１９に記載の発明は、ペースト充填後の基材を第２の多孔質材上で水平移動させることにより第２の多孔質材との位置をずらした後、せん断された基材の非ペースト充填部を保持し、前記第２の多孔質材から剥離し分離して搬送する搬送部へ基材を搬送する際に、基材の一部が搬送部に保持されると同時にベッドとの真空吸引状態として搬送する構成とした請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、第２の多孔質材にしわやうねりが発生しなくなり、ペーストが第２の多孔質材に付着して抜け落ちるのを防止するという作用を有する。
【００４６】
請求項２０に記載の発明は、せん断部でペースト充填後の基材を、第２の多孔質材上で水平移動させる際に、ベッドを真空吸引状態で第２の多孔質材との位置をずらす構成とした請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、第２の多孔質材のしわやうねりの影響がなくなるとともに、基材自身の浮きの影響もなくなり、ペーストが第２の多孔質材に付着して抜け落ちるのを防止するという作用を有する。
【００４７】
請求項２１に記載の発明は、せん断部でペースト充填後の基材を、ベッドが真空吸引状態のままで第２の多孔質材上で水平移動させる際に、ペースト充填時の真空吸引力より小さくする構成とした請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、せん断部材のピンへの負担の軽減と基材の破断を防止するという作用を有する。
【００４８】
請求項２２に記載の発明は、基材の周辺部と、当接する部位もしくは少なくとも４つのコーナの真空吸着力を大きくした複数の真空吸着用の孔を設けたベッドとする構成とした請求項６、２０、２１のいずれか一つに記載のペースト充填装置としたものであり、基材のそりが発生しやすい基材周辺部を第２の多孔質材と密着した状態で水平移動してせん断剥離することができるため、ペーストが第２の多孔質材に付着して抜け落ちるのを防止するという作用を有する。
【００４９】
請求項２３に記載の発明は、基材の周辺部に当接する孔径を、他の孔径より大きくした複数の真空吸着用の孔を設けたベッドとする構成とした請求項６、２０、２１、２２のいずれか一つに記載のペースト充填装置としたものであり、基材のそりが発生しやすい基材周辺部を第２の多孔質材と密着した状態で水平移動してせん断剥離することができるため、ペーストが第２の多孔質材に付着して抜け落ちるのを防止するという作用を有する。
【００５０】
請求項２４に記載の発明は、真空吸着源を基材のペースト充填部と周辺部の２系統とする複数の真空吸着用の孔を設けたベッドとする構成とした請求項６、２０、２１、２２、２３のいずれか一つに記載のペースト充填装置としたものであり、基材周辺部の真空吸引力を大きくすることが可能となり、基材のそりが発生しやすい基材周辺部を第２の多孔質材と密着した状態で水平移動してせん断剥離することができるため、ペーストが第２の多孔質材に付着して抜け落ちるのを防止するという作用を有する。
【００５１】
請求項２５に記載の発明は、真空吸着源を１系統とし、ペースト充填部と基材の周辺部とに２分岐して、真空吸着力を個別制御とした複数の真空吸着用の孔を設けたベッドとする構成の請求項６、２０、２１、２２、２３のいずれか一つに記載のペースト充填装置としたものであり、基材のそりが発生しやすい基材周辺部を第２の多孔質材と密着した状態で水平移動してせん断剥離することができるため、ペーストが第２の多孔質材に付着して抜け落ちるのを防止するという作用を有する。
【００５２】
請求項２６に記載の発明は、多孔質材および第１および第２の多孔質材が、通気性と液体の吸収性を備えた紙などの不織布あるいは多孔質樹脂フィルムとしてなる請求項６〜８、１２、１５、１７〜２１のいずれか一つに記載のペースト充填装置としたものであり、通気性はベッドの真空吸着力を基材に伝達ができ、液体の吸収性がよければペースト中の樹脂成分などを吸収して多孔質材との界面のペースト粘度を上昇させ、多孔質材へのペースト付着量を少なく安定なものにすることができるという作用を有する。
【００５３】
請求項２７に記載の発明は、基材が表裏にフィルム材を有した不織布と熱硬化性樹脂、あるいは織布と熱硬化性樹脂からなるプリプレグシートおよびセラミックグリーンシートとしてなる請求項６〜８、１２〜２５のいずれか一つに記載のペースト充填装置としたものであり、ペーストの充填が確実にできるという作用を有する。
【００５４】
請求項２８に記載の発明は、ペーストが銅、銀およびこれらの合金の粉末を主成分とする構成とした請求項６、９、１６、１７、１９〜２１のいずれか一つに記載のペースト充填装置としたものであり、ペーストの充填が容易で、かつ導体抵抗が小さくなるという作用を有する。
【００５５】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
図１は本発明の第１の実施の形態におけるペースト充填装置の構成を示す要部断面図、図２は同全体構成を示す斜視図、図３はロータリー式ペースト充填装置の構成を示す要部斜視図、図４はダイコート方式によるペースト充填装置の構成を示す要部断面図である。なお、従来の技術で説明した部分と同一構成の部品には同一の番号を付与しその詳細な説明は簡略化する。
【００５６】
まず、図２に示すようにペースト充填装置の全体は、供給部１、充填部２、スキージ機構３、搬送部４、剥離部５、取出し部６、そしてストッカー７により構成されている。
【００５７】
図１において、８は垂直および水平方向に移動自在なリフターであり、下面にチャックあるいは吸着口などでなる保持体８ｂを１個あるいは複数個設置しており、供給部１の金属材あるいは樹脂材などでなる供給板８ａに載置された積層体でなる基材１８を真空吸着あるいはチャッキングなどを行い、リフター８の移動により充填部２に搬送する。
【００５８】
３ｃ、３ｄはスキージヘッド、２７はスキージホルダ、３ａ、３ｂはスキージでありスキージ機構３を構成している。
【００５９】
１２は基材１８の孔３６内にペースト１９が充填される部分を除く外周部に当接する形状に構成された版枠、１２ａは版、１３ａは吸引口、１３ｃはスライドシャフト、１３ｄはブッシュ、１３ｂは一端を４５度以下の鋭角すなわち基材１８の搬送方向に対して１３５度以上の形状とした金属材でなるステージであり、複数の吸引孔１３ｆを設けたベッド１３を内蔵している。
【００６０】
１４は均一な多孔質で耐溶剤性などに優れた樹脂材でなる第１の多孔質材として用いるフープ状の多孔質樹脂フィルムであり、供給リール１４ａから供給され、ステージ１３ｂの一端および上面の一部、そしてベッド１３の上面を近接あるいは当接しながら経由して巻取リール１４ｂに巻取られる。
【００６１】
１５ｅは通気性と液体の吸収性の優れたフープ状の第２の多孔質材として用いる和紙などでなる搬送用の紙であり、供給リール１５ａから供給され、ガイドローラ１５ｂでガイドされてベッド１３の上面に前記の構成配置により移動自在な多孔質樹脂フィルム１４の上面、およびステージ１３ｂの鋭角に形成された一端側を近接あるいは当接しながら経由して巻取リール１５ｃに巻取られることにより間欠搬送される。
【００６２】
９は供給リール１５ａとガイドローラ１５ｂの経路の間に設置されたブレーキ部であり、先端に紙１５ｅの片面に当接するゴム材などでなる弾性体１１を移動自在に取付けたアクチュエータ９ａと、対向した位置に紙１５ｅを隔てて設置した金属材あるいは樹脂材などでなるブロック１０で構成されており、アクチュエータ９ａの駆動による弾性体１１の移動とブロック１０により紙１５ｅを挟持して制動するものであり、以上により充填部２が構成されている。
【００６３】
１６はせん断チャックであり、チャッキング動作および水平に移動自在であり、ペースト１９が孔３６内に充填された基材１８の一端を挟持して搬送部４のベルトコンベアなどでなる搬送体４ａに移載し、この搬送体４ａに隣接して配設された搬送体４ｂにより、搬送体４ａから搬送された基材１８を剥離部５に搬送する。
【００６４】
５ａ、５ｂは剥離部５を構成する一対の剥離板であり、搬送体４ｂの終端を挟み込むように一端が４５度以下の鋭角、すなわち形成層体３７におけるプリプレグ３３の搬送方向に対して１３５度以上で配設されており、基材１８からフィルム材３２を剥離してフィルム材３２を剥離板５ａ、５ｂの下面、上面を近接あるいは当接しながら経由してフィルム材保管部（図示せず）に移動され、基材１８からフィルム材３２が剥離された形成層体３７におけるプリプレグ３３は、取出し部６の駆動ローラ６ａにより左右に移動自在な取出し板６ｂに載置されるように構成されたものである。
【００６５】
次に動作について説明する。まず、供給部１の供給板８ａに載置されているガラスエポキシ、アラミドエポキシ、紙エポキシなどのプリプレグ３３とフィルム材３２からなる積層体の基材１８を１枚毎に位置決めを行い、リフター８の保持体８ｂにより把持して充填部２における紙１５ｅの上面所定箇所へリフター８の移動により搬送する。
【００６６】
次に、ブレーキ部９におけるアクチュエータ９ａの駆動による弾性体１１とブロック１０による紙１５ｅの制動を開放し、紙１５ｅを供給リール１５ａと巻取リール１５ｃの駆動により図中の右方向へ一定時間毎に移動させ、目詰まりを防止しているフープ状の多孔質樹脂フィルム１４が配置されたベッド１３の上面に搬送して設定する。
【００６７】
なお、ペースト１９の充填の開始時はペースト１９の交換時の清掃作業で発生したゴミや、飛散したゴミが紙１５ｅ上に付着する場合があるため、運転開始時および一時停止後再度運転する場合は、少なくとも基材１８のサイズ分の紙１５ｅを自動送りした後に基材１８が搬送される。
【００６８】
所定位置に設定後、アクチュエータ９ａによる弾性体１１とブロック１０により、紙１５ｅを制動して基材１８をその位置で保持する。
【００６９】
そして、吸引管の吸引口１３ａより真空吸引することにより、ベッド１３の吸引孔１３ｆにより真空吸着して基材１８を保持する。この際、多孔質樹脂フィルム１４により局部的な真空吸引力を全面均一の真空吸引力に変換し、さらに通気性の良い紙１５ｅを介して、基材１８を均一に固定し保持するのである。続いて、ベッド１３を含むステージ１３ｂを上昇あるいは、版枠１２とスキージ機構３を降下させることにより、版枠１２の版１２ａの下面と基材１８の上面間が所定の間隔に設定される。
【００７０】
次に、従来の技術において説明したものと同じスキージ機構３すなわちスキージ３ａ、３ｂの駆動動作により、基材１８の孔３６内に版１２ａ上のペースト１９が充填される。ペースト１９は、平均２μｍの銅、銀およびこれらの合金の粉末を導電性のフィラーとして用い、樹脂としては熱硬化型エポキシ樹脂（無溶剤型）、硬化剤として酸無水物系の硬化剤をそれぞれ８５重量％、１２．５重量％、２．５重量％となるように３本ロールにて十分に混練したものである。
【００７１】
その後、吸引管の吸引口１３ａの真空吸引を停止し、ステージ１３ｂあるいは版枠１２とスキージ機構３を元の位置に復帰させ、弾性体１１とブロック１０による制動保持を開放し、紙１５ｅを移動させて基材１８をステージ１３ｂの鋭角でなる一端部に搬送させて停止する。また、吸引管の吸引口１３ａの真空吸引状態でステージ１３ｂあるいは版枠１２とスキージ機構３を元の位置に復帰させ、弾性体１１とブロック１０による制動保持を開放し、紙１５ｅを移動させて基材１８をステージ１３ｂの鋭角でなる一端部に搬送させて停止すれば、紙１５ｅにしわやうねりを発生することなく搬送できるため、搬送中の紙１５ｅと基材１８の密着状態が安定してペースト１９が孔３６から抜け落ちにくくなる。
【００７２】
さらに、搬送中の吸引力をペースト充填時より小さくすれば、低張力で紙１５ｅを移動できるため、紙１５ｅの破断を防止できる。搬送中の吸引力は基材１８が紙１５ｅから離脱あるいは摺動などして浮かない程度であればよい。
【００７３】
そして、紙１５ｅの移動を弾性体１１とブロック１０による制動保持により阻止した後、基材１８の非ペースト充填部である先端をせん断チャック１６で挟持し、紙１５ｅに対して水平に基材１８を少し移動させて、紙１５ｅの上面と基材１８の孔３６の下部におけるペースト１９との当接を開放する。また、紙１５ｅの移動を弾性体１１とブロック１０による制動保持により阻止した後、基材１８の非ペースト充填部である先端をせん断チャック１６で挟持して保持し、紙１５ｅに対して水平に基材１８を少し移動させて、紙１５ｅの上面と基材１８の孔３６の下部におけるペースト１９との当接を開放する時も、吸引管の吸引口１３ａの真空吸引状態で行えば、紙１５ｅのうねりやしわがなく、紙１５ｅと基材１８が密着した状態で基材１８を平行移動できるため、紙１５ｅからの剥離が安定する。
【００７４】
その後、前記紙１５ｅの制動保持を開放し、せん断チャック１６による基材１８の移動と同期して、紙１５ｅは基材１８の搬送方向に対し１３５度以上の逆方向下面に移動して、巻取リール１５ｃに巻取られる。
【００７５】
以上のようにして、ペースト１９が紙１５ｅに付着することを最小限にしながらプリプレグ３３とフィルム材３２からなる基材１８は、非ペースト充填部を順次挟持し保持され搬送部４に移載される。また、基材１８の一部が搬送部４に保持されると同時にベッド１３を真空吸着状態にすれば、紙１５ｅがベッド１３に全面吸着された状態で巻き取られるため、紙１５ｅにしわやうねりのない状態で次の基材１８の孔３６へのペースト１９が充填できて充填品質が安定する。この時の真空吸着力も紙１５ｅの破断などを防止するため、ペースト充填時より小さくすればさらによい。
【００７６】
搬送部４の搬送体４ａ、４ｂにより基材１８を剥離部５まで搬送した後、上下面ともに搬送方向に対して１３５度以上の逆方向に基材１８のフィルム材３２を剥離板５ｂ、５ａを介して剥離する。
【００７７】
なお、上面もしくは下面のみフィルム材３２を剥離する場合には、片側のみの構成とすればよい。
【００７８】
基材１８のフィルム材３２が剥離された形成層体３７は、取出し部６の取出し板６ｂにおいて位置決めを行い、駆動ローラ６ａなどの駆動により、図２に示すストッカー７へ搬送されるのである。なおまた、多孔質樹脂フィルム１４は所定の充填回数すなわち基材１８の孔３６へのペースト１９の充填が行われると、供給リール１４ａ、巻取リール１４ｂの回転駆動により、新規の多孔質樹脂フィルム１４がベッド１３の上に設定され所定の通気性を確保するのである。
【００７９】
次に主に充填部２の構成が異なる他の例として、ロータリー式ペースト充填装置を図３の要部斜視図を用いて説明する。
【００８０】
図３において、１７は金属材などでなり円筒状の回動自在なドラムであり、ペースト１９の供給や充填などのための開口部１７ａを円周面に設けている。１８は基材、３ａはスキージ、４５は一端がドラム１７の両端を挿通した固定軸４６に取付けられ、他端にスキージ３ａの上端を結合したスキージチャック、４７はドラム１７の片側端に固着され、かつ固定軸４６の一端に回転自在に取付けられたプーリである。
【００８１】
５０は駆動モータであり、回転軸の先端にプーリ４９を結合しており、プーリ４７との間に張架したベルト４８によりドラム１７を回転駆動させる。
【００８２】
５２は固定軸４６の他の先端が結合されたスライダであり、アクチュエータ５３の駆動によりガイドレール５１に沿って上下に移動して固定軸４６すなわちスキージ３ａを上下させ、スキージ３ａの先端と基材１８との当接状態などを調整する。
【００８３】
５４は一端に固定軸４６の各先端が挿通し、かつドラム１７を回転自在に取付けた一対のアームであり、アクチュエータ５５の駆動により、ドラム１７の外円周と基材１８との当接の調整や押圧などの設定を行う。
【００８４】
次に動作について説明する。まず、開口部１７ａからペースト１９を供給し、アクチュエータ５３、５５の駆動動作により、スキージ３ａの先端およびドラム１７の両端外円周と基材１８を当接させ、続いて駆動モータ５０の回転駆動により、スキージ３ａを固定したままドラム１７を回動させて、基材１８を移送しながら基材１８の所定の孔３６内にペースト１９の充填を行うものである。
【００８５】
また、基材１８の微小な孔３６内にペースト１９を充填するために、図４に示すような、下部周囲をゴム材などでなる弾性体シール２０で、上部を金属材あるいは樹脂材などでなる側板５６により形成されたペースト収納部５９を内部に備えた充填ヘッド６０にペースト１９を供給し、上部よりペースト１９に圧力を印加（印加機構は図示せず）しながら、充填ヘッド６０を左方向に移動することにより基材１８の微小な孔３６内にペースト１９を充填してもよい。
【００８６】
図５は、本発明における他の実施の形態における充填部でのせん断部の構成を示す要部斜視図である。図５において、２１はせん断部材であるところの一対のレバーであり、金属材でなり先端が鋭角の保持ピン２１ａを一端に取付けており、上下および左右に移動自在（駆動機構は図示せず）である。ベッド１３には保持ピン２１ａが貫通し、かつ移動動作においても内面に当接しない形状およびサイズの真空吸着用孔（図示せず）が設けられている。
【００８７】
また、ベッド１３には基材１８の非ペースト充填部である周辺部４つのコーナと当接する部位の吸引孔を、他の吸引孔の２倍の孔径（図示せず）として基材１８の周辺部の真空吸着力を大きくしている。なお、真空吸着源を２系統（図示せず）、あるいは真空吸着源が１系統として２分岐して個別制御（図示せず）で基材１８の周辺部の真空吸着力を大きくしてもよい。
【００８８】
次に動作について説明する。充填部２においてペースト１９を充填し、スキージ機構３と版枠１２の上昇あるいは、ベッド１３を降下させて版枠１２と基材１８の間に十分なクリアランスを設定した後、ベッド１３の側部に待機している対のレバー２１が、基材１８の非ペースト充填部の上面に揺動もしくはスライド動作により移動する。
【００８９】
そして、保持ピン２１ａを基材１８に対して垂直に降下させることにより、保持ピン２１ａの先端を基材１８、紙１５ｅおよび多孔質樹脂フィルム１４を挿通して真空吸着孔に貫通させる。次に、ブレーキ部９において紙１５ｅを、弾性体１１とブロック１０により制動保持して移動を阻止した後、対のレバー２１を矢印方向に移動させることにより、紙１５ｅを固定したまま（保持ピン２１ａの移動部分は紙１５ｅと多孔質樹脂フィルム１４をカットしている）基材１８を紙１５ｅに対して少し水平に移動させて、基材１８の孔３６の下部のペースト１９と紙１５ｅの当接を開放する。
【００９０】
この動作中を真空吸着状態で行えば、紙１５ｅと基材１８が密着した状態で紙１５ｅから基材１８を剥離し分離することができる。また、真空吸着力はペースト充填時より小さくした方が基材１８の破断を防止することができる。また、この時の真空吸着力は基材１８が紙１５ｅと摺動可能な当接状態で分離して浮かない程度のものでよく、さらに基材１８のそりが発生しやすい周辺部、特に４つのコーナの部分の真空吸着力をわずかに高くすれば、全体としてはさらに低い真空吸着力で動作が可能となりさらによい。
【００９１】
その後、前記紙１５ｅの移動阻止を開放し、かつ保持ピン２１ａによる基材１８の保持も開放した後、紙１５ｅの移動により基材１８の所定の搬送を行うのである。
【００９２】
図６はせん断部の他の構成を示す要部斜視図である。図６において、１３ｇはベッド１３の両側帯に設けた切欠き形状の逃がし部、２２は逃がし部１３ｇ内に設置した一対のチャックであり、先端に開閉自在な挟持爪２２ａを取付けており、垂直方向への設定および水平方向に移動自在（駆動機構は図示せず）となっており、せん断部を構成している。
【００９３】
次に動作について説明する。充填部２においてペースト１９を充填し、スキージ機構３と版枠１２の上昇あるいはベッド１３を降下させて版枠１２と基材１８の間に十分なクリアランスを設定した後、逃がし部１３ｇに待機しているチャック２２を基材１８の非ペースト充填部である両側部に移動させ、続いて基材１８の非ペースト充填部である両側部をチャック２２の挟持爪２２ａの開閉により挟持する。
【００９４】
次に、紙１５ｅをブレーキ部９における弾性体１１とブロック１０により制動保持して移動を阻止した後、基材１８を紙１５ｅに対して少し水平に移動させ、基材１８の孔３６の下部のペースト１９と紙１５ｅの当接を開放する。その後、前記紙１５ｅの移動阻止を開放し、かつ、挟持爪２２ａによる基材１８の挟持も開放して、紙１５ｅの移動により基材１８の所定の搬送を行うものである。
【００９５】
図７（ａ）〜（ｅ）は、本発明の実施の形態におけるスキージ機構のスキージに付着したペーストかき落とし機構およびその動作工程を説明する要部断面図である。図７において、２３は版１２ａ上における開口部のペースト充填部、２４は非開口部の非ペースト充填部、２５はかき落とし部材である金属材などでなるプレートであり、曲げ加工された先端部がスキージ３ｂの内側の側面に当接し、スキージ３ｂの縦方向すなわち長手方向に移動自在に配設されている。
【００９６】
次に動作について説明する。基材１８の孔３６にペースト１９を充填するために、まず図７（ａ）に示すように、スキージ３ａを上昇させ、スキージ３ｂが版枠１２内に設けられた版１２ａのペースト充填部２３周辺のペースト１９を、版１２ａ上の非ペースト充填部２４の所定箇所までペースト１９をかいて移動させる。
【００９７】
次に図７（ｂ）に示すようにスキージ３ａを降下させ、続いて図７（ｃ）、（ｄ）に示すように、スキージ３ａ、３ｂを左方向に移動させるとともに、スキージ３ａが版１２ａのペースト充填部２３に到達するまでの間にプレート２５を降下させて、スキージ３ｂの内側の側面に付着したペースト１９を強制的にかき落とし、図７（ｅ）に示すように、スキージ３ａの先端近傍に基材１８の孔３６に充填に必要なペースト１９を供給して、ペースト１９を可能な限り充填用に有効活用するのである。
【００９８】
なお、復路から往路に変わる場合、すなわち図中の右方向の動作においても、スキージ３ａにおけるかき落とし部材であるプレート（図示せず）の同じ動作により行うことができる。
【００９９】
図８（ａ）〜（ｅ）は、前記スキージ機構の他のスキージに付着したペーストかき落としの動作工程を説明する要部断面図である。動作について説明すると、まず図８（ａ）に示すようにスキージ３ｂを上昇させ、スキージ３ａが版枠１２内に設けられた版１２ａのペースト充填部２３周辺などの残りのペースト１９を、版１２ａ上の非ペースト充填部２４の所定箇所までペースト１９をかいて移動させる。
【０１００】
次に図８（ｂ）に示すように、スキージ３ａはスキージストッパー（図示せず）の手段により上昇を規制し、スキージ３ａの回避位置に対して版１２ａとは小さなギャップのみ上昇させると同時にスキージ３ｂを降下させる。
【０１０１】
そして、図８（ｃ）に示すように、それまでの進行方向に対して逆方向すなわち左方向にスキージ３ａ、３ｂを移動させる。この動作によりスキージ３ａに付着したペースト１９をその粘度および表面張力などにより引っ張り、かつペースト１９を非ペースト充填部２４に移動落下させ、スキージ３ｂの先端近傍に充填に必要なペースト１９を供給して有効活用できるようにする。
【０１０２】
そして、図８（ｄ）に示すように、スキージ３ａがペースト充填部２３に到達寸前にスキージストッパーを解除させてスキージ３ａを上昇させ、続いて図８（ｅ）に示すように、さらにスキージ３ａ、３ｂを左方向に移動させて、基材１８の孔３６にペースト１９を充填するものである。
【０１０３】
なお、復路から往路に代わる場合、すなわち右方向への動作においても、スキージ３ｂのスキージストッパー（図示せず）による同じ動作により、前記と同じ動作を行うことができるのである。
【０１０４】
図９は、本発明の実施の形態における充填部の版枠の構成を示す要部断面図である。図９において、２６は剛性の弱い金属製あるいは樹脂製などでなりテープ状などの薄板であり、スキージ３ａ、３ｂの両端に摺動当接する箇所で、版枠１２に張付けられた版１２ａのペースト充填部２３の両端と版枠１２に貼付けてある。
【０１０５】
そして、薄板２６の厚みはスキージ３ａ、３ｂの押圧力により追従する程度の剛性の厚みであり、ベッド１３と版枠１２のクリアランスをシールして、スキージ３ａ、３ｂの動作によるペースト１９が、版枠１２の下面に回り込むことを防いでいる。
【０１０６】
図１０は、本発明の実施の形態における取出し部の構成を示す要部平面図である。図１０において、２８は２組の対の固定カムであり、形成層体３７の搬送方向先端に傾斜部を設けている。５７は対の固定された搬送レール、５８は搬送レール５７に跨って移動自在な摺動体、そして３０は形成層体３７におけるプリプレグ３３の先端部を開閉により挟持する複数の取出し用のチャックである。
【０１０７】
３１は開閉により形成層体３７におけるプリプレグ３３の両側帯を挟持する揺動式のサイドチャックであり、一端を支点ピン３１ａにより揺動自在に保持され、他端には円周が前記固定カム２８の内面側に当接する回転自在なカムフォロア３１ｂが設けられており、サイドチャック３１を支点ピン３１ａを支点に揺動する。
【０１０８】
そして、２９は引張りタイプのバネであり、摺動体５８とサイドチャック３１のカムフォロア３１ｂ近傍に張架されており、カムフォロア３１ｂを固定カム２８の内面側に付勢している。
【０１０９】
次に動作について説明する。まず、基材１８からフィルム材３２を剥離する時に、形成層体３７におけるプリプレグ３３は進行方向先端部を取出し用のチャック３０により挟持されて、矢印の搬送方向に搬送される。
【０１１０】
この際、形成層体３７におけるプリプレグ３３の両側帯部を揺動式のサイド
チャック３１で挟持し、固定カム２８の傾斜部によりバネ２９の張力で外側にテンションをかけることとなり、形成層体３７におけるプリプレグ３３のたわみなどの発生を防いでいる。
【０１１１】
搬送後、ペースト１９を充填した所定の孔３６の部分に接触しないように、図１に示す取出し板６ｂの四辺で形成層体３７を受けて位置決めを行った後、図２に示すストッカー７へ搬送するように構成されたものである。
【０１１２】
以上説明した実施の形態では、基材に表裏にフィルム材を有した不織布と熱硬化性樹脂からなるアラミドエポキシや紙フェノールと織布と熱硬化性樹脂からなるガラスエポキシのプリプレグシートを用いたが、表裏にフィルム材を有したセラミックグリーンシートであってもよく、また、せん断部でピンで基材を貫通できない場合には、あらかじめピンと当接する位置に孔加工してピンを挿入すれば同じくペースト充填が可能である。
【０１１３】
【発明の効果】
以上のように本発明によるペースト充填方法およびペースト充填装置は、ペースト充填、フィルム材剥離の２工程を連続して行うため、作業者による操作が必要でなく、スキージに付着したペーストを強制的にかき落とすために有効活用ができ、かつ工程時間が短縮され生産性が向上する。
【０１１４】
また、ペースト充填すなわち充填時に多孔質樹脂フィルムが目詰まりを起こさず均一に基材を吸引することができ、またせん断送りをすることにより、充填したペーストが紙に付着し抜け落ちることを防止でき、さらに基材をたわませることなく搬送し取出しすることができるため品質が安定するという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態におけるペースト充填装置の構成を示す要部断面図
【図２】同ペースト充填装置の全体構成を示す斜視図
【図３】ロータリー式ペースト充填装置の構成を示す要部斜視図
【図４】ダイコート方式によるペースト充填装置の構成を示す要部断面図
【図５】同充填部におけるせん断部の構成を示す要部斜視図
【図６】同他のせん断部の構成を示す要部斜視図
【図７】同スキージ機構のかき落し機構およびその動作工程を説明する要部断面図
【図８】同スキージ機構の他のかき落し動作工程を説明する要部断面図
【図９】同充填部の版枠の構成を示す要部断面図
【図１０】同取出し部の構成を示す要部平面図
【図１１】両面あるいは多層基板の製造工程の一例を示す製造工程図
【図１２】プリプレグとフィルム材でなる基材の構成を示す要部斜視図
【図１３】従来のペースト充填装置の構成を示す要部断面図
【符号の説明】
１  供給部
２  充填部
３  スキージ機構
３ａ、３ｂ  スキージ
３ｃ、３ｄ  スキージヘッド
４  搬送部
４ａ、４ｂ  搬送体
５  剥離部
５ａ、５ｂ  剥離板
６  取出し部
６ａ  駆動ローラ
６ｂ  取出し板
７  ストッカー
８  リフター
８ａ  供給板
８ｂ  保持体
９  ブレーキ部
９ａ  アクチュエータ
１０  ブロック
１１  弾性体
１２  版枠
１２ａ  版
１３  ベッド
１３ａ  吸引口
１３ｂ  ステージ
１３ｃ  スライドシャフト
１３ｄ  ブッシュ
１３ｆ  吸引孔
１３ｇ  逃がし部
１４  多孔質樹脂フィルム
１４ａ  供給リール
１４ｂ  巻取リール
１５、１５ｅ  紙
１５ａ  供給リール
１５ｂ、１５ｄ  ガイドローラ
１５ｃ  巻取リール
１６  せん断チャック
１７  ドラム
１７ａ  開口部
１８  基材
１９  ペースト
２０  弾性体シール
２１  レバー
２１ａ  保持ピン
２２  チャック
２２ａ  挟持爪
２３  ペースト充填部
２４  非ペースト充填部
２５  プレート
２６  薄板
２７  スキージホルダ
２８  固定カム
２９  バネ
３０  チャック
３１  サイドチャック
３１ａ  支点ピン
３１ｂ  カムフォロア
３２  フィルム材
３３  プリプレグ
３４  焼結金属
３５、４０  導電箔
３６  孔
３７  形成層体
３８、４１  導電パターン
３９  両面基板
４２  多層基板
４５  スキージチャック
４６  固定軸
４７  プーリ
４８  ベルト
４９  プーリ
５０  駆動モータ
５１  ガイドレール
５２  スライダー
５３  アクチュエータ
５４  アーム
５５  アクチュエータ
５６  側板
５７  搬送レール
５８  摺動体
５９  ペースト収納部
６０  充填ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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