(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体に重ね合わされるマスクと、
重ね合わされた前記マスクを介して前記磁気記録媒体にエネルギー線を照射するエネルギー線照射装置と、
重ね合わされた前記マスクを介して前記磁気記録媒体に磁界発生装置にて磁界を印加して磁化パターンを形成する磁化パターン形成装置において、
前記磁気記録媒体を搬送するために一時的に載置する移送台と、前記移送台から前記磁気記録媒体を受け取り前記マスクに重ね合わせるか、あるいは前記マスクに重ね合わせた前記磁気記録媒体を引き離し前記移送台に受け渡すために、前記磁気記録媒体を載置して上昇および下降するディスク受け台と、当該ディスク受け台を上昇および下降させる制御機構とを備え、
前記移送台は、前記磁気記録媒体の外周縁を支持するテーパー形状の複数の支持ピンを設け、当該複数の支持ピンで前記磁気記録媒体を支えて前記磁気記録媒体を前記ディスク受け台の所定位置まで前記磁気記録媒体を移送し、前記ディスク受け台は、下方から上方へ移動して前記移送台を通過する際、前記磁気記録媒体を載置することを特徴とする磁化パターン形成装置。
【請求項２】
前記移送台は、前記ディスク受け台が通過可能な切り欠き部を有し、前記支持ピンの一部は切り欠き部の端面より突出した構成であり、前記ディスク受け台は、上昇および下降に際して前記支持ピンと干渉しない切り欠き部を有する請求項１に記載の磁化パターン形成装置。
【請求項３】
前記制御機構は、前記ディスク受け台の平均上昇速度に比べて平均下降速度を遅くして当該ディスク受け台を上下動させる請求項１または２記載の磁化パターン形成装置。
【請求項４】
前記制御機構は、重ね合わされた前記マスクと前記磁気記録媒体とを引き離す際に、当該マスクと磁気記録媒体との距離が１ｍｍ以内において、ダストの巻き込みを軽減できる６．５ｍｍ/秒以下の下降速度にて前記ディスク受け台を下降させる請求項１または２項記載の磁化パターン形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録装置に用いられる磁気記録媒体の磁化パターン形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、磁気ディスク装置（ハードディスクドライブ）に代表される磁気記録装置は、コンピュータなどの情報処理装置の外部記憶装置として広く用いられている。このような磁気ディスク装置に搭載される磁気記録媒体（磁気ディスク）の高密度化は年々その速度を増しており、これを実現する種々の技術が報告されている。一般に、磁気記録媒体の各トラックには、磁気ヘッドを制御するための制御用磁化パターンが形成されている。この情報記録トラックの間隔を狭めてトラック数を増加させるためには、データ記録／再生用ヘッドの位置制御に用いる信号（以下、「サーボ信号」と言うことがある。）もそれに合わせてディスクの半径方向に対して密に設け、磁気ヘッドを精密に制御する必要がある。
【０００３】
このような磁気記録媒体の各トラックに磁化パターンを形成する方法として、本願出願人は、局所加熱と外部磁界印加を組み合わせて磁気記録媒体に磁化パターンを形成する加熱磁気転写法について報告した（例えば、特願２００１−１５９２２０号）。この方法は、例えば、媒体を予め一方向に一様磁化しておき、パターニングされたマスクを介してエネルギー線等を照射し局所的に加熱し、該加熱領域の保磁力を下げつつ、予め一様磁化されている方向とは逆方向の外部磁界を印加し、加熱領域に外部磁界による記録を行い、磁化パターンを形成するものである。以下、このような磁化パターン形成技術をＳＩＭＰＬ法と称する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
図１０は、このようなＳＩＭＰＬ法による磁気記録媒体の磁化パターン形成装置の磁化パターン形成方法を説明するための図である。ここで示されている磁化パターン形成装置は、中心孔を有するディスク状の磁気記録媒体１０１と、この磁気記録媒体１０１を載荷するためのディスク受け台１０２と、ディスク受け台１０２を回転駆動するための回転駆動軸１０３と、磁気記録媒体１０１に重なるマスク１０４と、このマスク１０４を固定するマスク保持部材１０５と、磁気記録媒体１０１に磁界を印加させる磁界印加装置としての一対のマグネット１０６ａ，１０６ｂと、磁気記録媒体１０１にエネルギー線を照射する照射装置（図示略）とを備える。
【０００５】
図１０に示されているように、ディスク受け台１０２上に、予め外部磁界によって周方向に一様に磁化された磁気記録媒体１０１を固定した後、この磁気記録媒体１０１にマスク１０４を重ね合わせる。つぎに、ディスク受け台１０２を所定角度ずつ間欠的に回転させつつ、マグネット１０６ａ，１０６ｂによって外部磁界とは逆方向の磁界を磁気記録媒体１０１に印加すると共にエネルギー線照射領域Ｅにエネルギー線を照射し、磁気記録媒体１０１に、一度に広範囲にわたり磁化パターンを形成する。
【０００６】
図1１は、この磁気記録媒体１０１にマスク１０４を重ね合わせる動作を説明するための図である。図１１に示されるように、磁気記録媒体１０１は、ロボットアーム１１０によりディスク受け台１０２上に搬送され、続いて、回転駆動軸１０３が上昇するとともにディスク受け台１０２が上昇して磁気記録媒体１０１とマスク１０４とを近接させ、両者を真空吸着により重ね合わせる。
【０００７】
ところが、このように、磁気記録媒体１０１に磁化パターンを形成する操作が終了した後、マスク１０４から磁気記録媒体１０１を急激に引き離すと、マスク１０４の外周部についているダストを巻き込んでしまい、このため磁気記録媒体１０１上に発生したパーティクル（ダスト）が製品の品質を低下させる原因となることが判明した。すなわち、磁気記録媒体１０１とマスク１０４とは真空吸着により固定されており、両者の間は負圧となるため、マスク１０４から磁気記録媒体１０１を引き剥がす際に周りの空気を巻き込むためである。とくに、マスク１０４の外周部には、通常、突起状のスペーサ（図示せず）が付いており、このスペーサと磁気記録媒体１０１とが常に接触するため、マスク１０４の外周部にはダストが多量に付着しているおそれがある。もっとも、このような空気の巻き込みは、マスク１０４から磁気記録媒体１０１を引き離す際に、十分に時間をかけてゆっくりと行うことにより防ぐことができるが、そのために、生産効率が極端に低下するという問題が生じる。
【０００８】
また、磁気記録媒体１０１をロボットアーム１１０によりディスク受け台１０２上に搬送するためには、マスク１０４とディスク受け台１０２との間に、ロボットアーム１１０が入り込める程度の相当な間隔（例えば、６０ｍｍ）を設ける必要がある。このために、この磁気記録媒体１０１にマスク１０４を重ね合わせる迄にかなりの時間を要し、生産効率を上昇させるためには改善の余地があった。
【０００９】
さらに、上述したように、ＳＩＭＰＬ法により、磁気記録媒体１０１に磁化パターンを形成する方法では、この磁気記録媒体１０１にマスク１０４を重ね合わせた後に、ディスク受け台１０２を所定角度ずつ間欠的に回転させつつ、マグネット１０６によって予め行っている一様磁化の磁界方向とは逆方向の外部磁界を磁気記録媒体１０１に印加すると共にエネルギー線照射領域Ｅにエネルギー線を照射するという操作が行われる。ところが、このような操作は、一操作につき一枚ずつの磁気記録媒体１０１に対して行われるために、磁気記録媒体１０１に磁化パターンを形成するのにかなりの時間を要することとなり、全体としての生産効率を上昇させるためには改善策が必要とされた。
【００１０】
本発明は、このような磁気記録媒体の磁化パターン形成装置を使用して磁気記録媒体を製造する場合に浮上してきた技術的課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、磁気記録媒体の磁化パターン形成機構を改良し、処理時間を短縮し、不良品の発生を減少させ、全体の生産効率を向上させることにある。
【００１１】
本発明の磁化パターン形成装置は、磁気記録媒体に重ね合わされるマスクと、重ね合わされた前記マスクを介して前記磁気記録媒体にエネルギー線を照射するエネルギー線照射装置と、  重ね合わされた前記マスクを介して前記磁気記録媒体に磁界発生装置にて磁界を印加して磁化パターンを形成する磁化パターン形成装置において、前記磁気記録媒体を搬送するために一時的に載置する移送台と、前記移送台から前記磁気記録媒体を受け取り前記マスクに重ね合わせるか、あるいは前記マスクに重ね合わせた前記磁気記録媒体を引き離し前記移送台に受け渡すために、前記磁気記録媒体を載置して上昇および下降するディスク受け台と、当該ディスク受け台を上昇および下降させる制御機構とを備え、前記移送台は、前記磁気記録媒体の外周縁を支持するテーパー形状の複数の支持ピンを設け、当該複数の支持ピンで前記磁気記録媒体を支えて前記磁気記録媒体を前記ディスク受け台の所定位置まで前記磁気記録媒体を移送し、前記ディスク受け台は、下方から上方へ移動して前記移送台を通過する際、前記磁気記録媒体を載置することを特徴とする。
【００１２】
この制御機構は、ディスク受け台の上下動の速度が制御された状態にて当該ディスク受け台を上下動させることを特徴とする。また、ディスク受け台の平均上昇速度に比べて平均下降速度を遅くして当該ディスク受け台を上下動させることを特徴としている。さらに、この制御機構は、重ね合わされた前記マスクと前記磁気記録媒体とを引き離す際に、マスクと磁気記録媒体との距離が１ｍｍ以内におけるディスク受け台の下降速度を、マスクと磁気記録媒体との距離が１ｍｍ以上におけるディスク受け台の下降速度に比べて遅くして、ディスク受け台を下降させることを特徴とするものである。なお、ディスク受け台の下降速度は、マスクと磁気記録媒体との距離が１ｍｍ以内の場合の下降速度と、１ｍｍ以上のいずれかの距離での下降速度とが相違していればよい。ただし、マスクと磁気記録媒体とを効率よく引き離すには、マスクと磁気記録媒体との距離が１ｍｍの位置で下降速度を変えるのが好ましい。そして、この制御機構は、ディスク受け台の上昇速度に対するディスク受け台の下降速度が１／１０〜１／５０の範囲になるようにディスク受け台を上下動させることが好ましい。なお、本発明においては、制御機構として、ディスク受け台を上昇および下降させる速度を制御する制御機構について述べているが、マスクから磁気記録媒体を引き剥がす際の周りの空気の巻き込みを防止するという本発明の趣旨からも、ディスク受け台を上昇および下降させる速度を制御する制御機構に限らず、ディスク受け台を水平方向に移動させる速度を制御する制御機構など、マスクと磁気記録媒体とを引き剥がすことを目的とするディスク受け台の移動速度を制御する制御機構についても同様に適用できる。
【００１３】
次に、本発明は、ロボットアームを使用せずに、磁気記録媒体を複数の支持ピンにより支える移送手段を用い、ディスク受け台を下方から上方に移動させることにより、移送装置からディスク受け台に直接磁気記録媒体を載置し、マスクと磁気記録媒体とを近接させる手段を採用している。すなわち、本発明が適用される磁化パターン形成装置は、磁気記録媒体を一時的に載置する移送台と、この磁気記録媒体を載置して上昇および下降するディスク受け台と、上昇したディスク受け台に載置された磁気記録媒体に重ね合わされるマスクと、重ね合わされた前記マスクを介して磁気記録媒体にエネルギー線を照射するエネルギー線照射装置と、重ね合わされた前記マスクを介して磁気記録媒体に磁化パターン形成用の磁界を印加するための磁界発生装置とを備え、このディスク受け台は、下方から上方へ移動して移送台を通過する際、磁気記録媒体を載置することを特徴としている。
【００１４】
この移送台は、磁気記録媒体を一時的に載置した後、ディスク受け台の位置まで磁気記録媒体を移送するものである。また、移送台は、磁気記録媒体を支持する複数の支持ピンを設け、複数の支持ピンで磁気記録媒体を支えてディスク受け台の位置まで磁気記録媒体を水平移送することを特徴とする。また、このディスク受け台は、上昇および下降に際して支持ピンと干渉しない切り欠き部を有することを特徴としている。なお、本発明の磁化パターン形成装置には、ディスク受け台を上昇および下降させる制御機構を更に備えることが好ましい。
【００１５】
さらに他の観点から把握すると、本発明は、１台のエネルギー発生装置により発生するエネルギー線を、プリズムを水平移動させてその光路を切り替えることにより、２個の磁気記録媒体に磁化パターンの形成することが可能となる光路切替手段を備えている。すなわち、本発明が適用される磁化パターン形成装置は、複数の磁気記録媒体を同時に移送する移送装置と、この移送装置により移送される磁気記録媒体を載置して上昇および下降する複数のディスク受け台と、ディスク受け台に載置された磁気記録媒体に重ね合わされるマスクと、重ね合わされたマスクを介して磁気記録媒体にエネルギー線を照射するエネルギー線照射装置と、移動することによってエネルギー線照射装置から照射されるエネルギー線の光路を切り替える光路切替手段と、重ね合わされたマスクを介して磁気記録媒体に磁化パターン形成用の磁界を印加するための磁界発生装置とを備えることを特徴とする。
【００１６】
この光路切替手段は、エネルギー線照射装置から照射されるエネルギー線の光路上に置かれた反射ミラーにより、エネルギー線の光路を切り替えることを特徴とするものである。また、本発明が適用される磁化パターン形成装置は、ディスク受け台を上昇および下降させる制御機構を更に備えることが好ましい。
【００１７】
さらに本発明は、磁気記録媒体の製造方法として把握することができる。すなわち、本発明が適用される磁気記録媒体の製造方法は、磁気記録媒体を、この磁気記録媒体を支持する複数の支持ピンを設けた移送台に載置し、次に、磁気記録媒体をディスク受け台の位置に移送し、続いて、ディスク受け台が上昇して磁気記録媒体をすくい上げ、磁気記録媒体とマスクとを重ね、重ねられたマスクを介して磁気記録媒体にエネルギー線を照射し、さらに、重ねられたマスクを介して磁気記録媒体に外部磁界を印加し、そして、ディスク受け台が上昇速度よりも遅い速度で下降して磁気記録媒体とマスクとを剥がすことを特徴としている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて本実施の形態が適用される磁気記録媒体の磁化パターン形成装置について説明する。
図１は、本実施の形態が適用される磁気記録媒体の磁化パターン形成装置の全体構成を示した図である。ここで示される磁化パターン形成装置は、搬入系１０、及び移送系３０、加工系５０および搬出系７０から構成される。磁気記録媒体は、搬入系１０において搬入装置１１により、磁気パターン形成装置に搬入され、一様磁化処理を経て、移送系３０における移送装置（インデックステーブル）３１の移送台３３に載置されて加工系５０に移送される。次に、この加工系５０において加工装置により磁化パターンを形成された後、再び移送装置３１により搬出系７０に移送される。続いて、搬出系７０において、磁気記録媒体の検査を行い、搬出装置７１により、合格品は製品カセット７２へ、不合格品はＮＧカセット７３へ振り分けられる。
【００１９】
搬入系１０は、搬入装置１１、コンベアベルト１２、カセット１３およびスピンドル１４を備える。この搬入系１０においては、磁気記録媒体は、コンベアベルト１２により運ばれるカセット１３から取り出され、ロボットアーム（図示せず）により１枚ずつスピンドル１４上に置かれる。
【００２０】
次に、磁気記録媒体は一様磁化処理が行われる。この一様磁化処理は、スピンドル１４上の磁気記録媒体を回転させつつ、外部磁界印加手段１５により磁気記録媒体に一様な磁界をかけ、後述する磁気記録媒体の磁化パターン形成工程において必要な磁気媒体の磁性の方向を一定方向に揃えるものである。なお、このとき、磁気記録媒体を回転させつつ、永久磁石の先端部に取り付けたノズルからエアーを吹きかけ、ディスク上のダストを除去する。
【００２１】
移送系３０は、インデックスモーター（図示せず）と、このインデックスモーターに水平に取り付けられた略四角形の平板状のインデックステーブル３２と有する移送装置３１を備える。このインデックステーブル３２の４つの各片には、磁気記録媒体を一枚ずつ載置するための移送台３３が各２個、外側に突出するように合計８個設けられている。この平板状のインデックステーブル３２は、インデックスモーターが回転することにより、例えば０．２秒で９０度ずつ回転し、インデックステーブル３２の移送台３３に載置した磁気記録媒体を、２枚同時に次工程に水平搬送する。
【００２２】
図２は、インデックステーブル３２の各片に設けられた移送台３３を説明するための図である。ここに示される２個の移送台３３は、それぞれその中心部分に形成された、磁化パターンを形成する時期記録媒体の大きさに応じた略円形状の切り欠き部３７（例えば、３．５インチの磁気記録媒体の場合は約１００ｍｍ）と、その切り欠き部３７を両側から挟む一対の支持翼３４ａ，３４ｂとを有する。また、この一対の支持翼３４ａ，３４ｂには、磁気記録媒体を直接支えるための支持ピン３５，３６が、中心部に形成された切り欠き部３７を取り囲むように等間隔に六角ネジ等の取り付け部材により取り付けられ、支持ピンの一部は切り欠き部３７の端面より突出している。これらの支持ピンの数量は、とくに限定されないが、磁気記録媒体を安定して支持するために、通常３個、好ましくは４個設ける。また、支持ピン３５，３６の本体を形成する材料は、磁気記録媒体との接触を繰り返すため、潤滑性に優れた材料を用いるのが好ましい。なかでも、Polyether-ether-keton（ＰＥＥＫ）が好ましく、耐熱性および耐磨耗性に優れ、磁気記録媒体と接触しても摩耗によるダスト（粉塵）の発生が抑制される。
【００２３】
図３(a),(b)は、インデックステーブル３２の各移送台３３に設けられた支持ピン３５，３６を説明する図である。(a)は外側の支持ピン３５、(b)は内側の支持ピン３６である。(a)に示される外側の支持ピン３５は、取り付け材４０とピン本体４１とから構成され、取り付け材４０によって、ピン本体４１は移送台３３に固定されている。取り付け材４０は、例えば六角ネジ等が用いられる。ピン本体４１は、下方ほど拡径するテーパ面を有する形状とするのが好ましく、本実施の形態においては、その側面に第１テーパ部４２と垂直部４３と第２テ−パ部４４とが形成されている。このようなテーパ面を有することにより、磁気記録媒体との接触面積を減らし、磁気記録媒体を傷つけるおそれを減少させ、また、磁気記録媒体の位置が多少ずれても安定して載荷することができる。さらに、垂直部４３を形成することにより、磁気記録媒体を載荷したインデックステーブル３２が高速で回転して磁気記録媒体に遠心力がはたらく場合でも、磁気記録媒体を安定的に固定することができる。
【００２４】
なお、ピン本体４１の側面に形成された第１テーパ部４２の垂直方向に対する角度は通常１５〜６０度であり、本実施の形態では２５度である。第２テーパ部４４の垂直方向に対する角度は通常３０〜６０度であり、本実施の形態では４５度である。ピン本体の高さは、通常１〜１０ｍｍであり、本実施の形態では４．８ｍｍである。また、上面の直径は通常２〜２０ｍｍであり、本実施の形態では１０ｍｍであり、下面の直径は通常５〜２５ｍｍであり、本実施の形態では１４ｍｍである。
【００２５】
図３(ｂ)に示される内側の支持ピン３６は、前述した外側の支持ピン３５と同様に、取り付け材４５とピン本体４６とから構成され、取り付け材４５によって、ピン本体４６は移送台３３に固定されている。本実施の形態において、ピン本体４６は、その側面に第１テーパ部４７と第２テ−パ部４８とが形成されている。なお、第１テーパ部４７の垂直方向に対する角度は通常１５〜６０度であり、本実施の形態では１５度である。第２テーパ部４８の垂直方向に対する角度は通常３０〜６０度であり、本実施の形態では４５度である。ピン本体の高さは、通常１〜１０ｍｍであり、本実施の形態では４．８ｍｍである。また、上面の直径は通常２〜２０ｍｍであり、本実施の形態では１０ｍｍであり、下面の直径は通常５〜２５ｍｍであり、本実施の形態では１４ｍｍである。
【００２６】
次に、図４は、加工系５０の全体構成を説明する図である。ここに示される加工系５０は、磁気記録媒体保持機構６５とマスク６２と磁界発生装置６１とをそれぞれ有する２個の磁気記録媒体加工装置を備え、さらに、一組の光路切替手段５２と一台のエネルギー線照射装置５１とを備える。この光路切替手段５２は、エネルギー線の光路を水平方向に切り替える水平反射ミラー５２１，５２２と、その光路を垂直方向に切り替える垂直反射ミラー５４１，５４２とが、２個の磁気記録媒体加工装置のそれぞれの加工点にエネルギー線５３を照射するように、エネルギー線５３の光路上に設けられている。この水平反射ミラー５２１，５２２は、２枚のプリズムが背中合わせになるように組み合わされ、２個の磁気記録媒体加工装置間を水平移動する移動台５５上に取り付けられている。また垂直反射ミラー５４１，５４２は、それぞれの磁気記録媒体加工装置の上方に1個ずつ配置されている。
【００２７】
まず、磁気記録媒体加工装置を説明する。図５(a)〜図５(ｄ)は、磁気記録媒体加工装置を説明するための図である。ここに示される磁気記録媒体加工装置は、磁気記録媒体保持機構とマスクと磁気記録媒体を水平移送する移送台３３と磁界発生装置とを有する。この磁気記録媒体保持機構は、磁気記録媒体１００を載置するためのディスク受け台６５２と、このディスク受け台６５２を回転および上下動するための回転駆動軸６５１とを有する。マスクはマスク本体６２１と、このマスク本体６２１の中心部を保持するマスク保持材６２２とを有し、ディスク受け台６５２の上方に配置され、クランプ装置によって支持されている。また、移送台３３は、前述した移送系３０におけるインデックステーブル３２に設けられた移送台と同一のものであり、ここでは説明を省略する。また、磁界発生装置は、一対のマグネット６１ａ，６１ｂがマスク本体６２１と磁気記録媒体１００とディスク受け台６５１とを上下から挟むように設けられている。
【００２８】
図５(a)〜(ｂ)に示されるように、マスク本体６２１とディスク受け台６５２との間に、４個の支持ピンにより磁気記録媒体を載荷した移送台３３が水平に移動し、ロボットアームを使用することなく磁気記録媒体１００が搬送される。次に、図５(c)に示すように、回転駆動軸６５１が上昇することにより磁気記録媒体１００が移送台３３からディスク受け台６５２上にすくい上げられ、真空吸引によりマスク本体６２１と重ねられる。続いて、図５(ｄ)に示すように、このマスク本体６２１と磁気記録媒体１００とディスク受け台６５２とを上下から挟むようにマグネット６１ａ，６１ｂが設置され、同時に、磁気記録媒体１００とマスク本体６２１とを一体に回転させながら磁気記録媒体１００にエネルギー線を照射し、さらに、このマグネット６１ａ，６１ｂにより、予め外部磁界によって形成された方向とは逆方向の磁界を印加して、磁気記録媒体１００に磁化パターンを形成する処理が行われる。そして、磁気記録媒体１００に磁化パターンを形成する処理が終了すると、回転駆動軸６５１が下降することにより、再び磁気記録媒体１００が移送台３３上に載荷された後、この磁気記録媒体１００を載荷した移送台３３が水平に移動し、ロボットアームを使用することなく磁気記録媒体１００が次工程に搬送される。
【００２９】
図６は、このディスク受け台６５２を説明する図である。ここに示されるディスク受け台６５２は、その上面に、吸着溝６５３，６５４と凹部６５５と貫通孔６５６と、円弧状の切り欠き部６５７とを有する。吸着溝６５３は、ディスク受け台６５２の内周側に形成されている。吸着溝６５４は、ディスク受け台６５２の外周側に等間隔に合計４箇所形成されている。凹部６５５は、これらの吸着溝６５３，６５４間に設けられている。なお、磁気記録媒体１００はこの吸着溝６５３の内周土手及び吸着溝６５４の外周土手に接触し、吸着溝６５３の外周土手、吸着溝６５４の内周土手及び凹部６５５には接触しない。また、磁気記録媒体１００の吸引時の過度の変形を防止するための貫通孔６５６は、凹部６５５に８個等間隔で形成されている。そして、円弧状の切り欠き部６５７は、ディスク受け台６５２の最外周部に等間隔で４箇所設けられている。
【００３０】
この切り欠き部６５７の数量は、磁気記録媒体１００を載荷した移送台３３に設けられた支持ピンの数量と同一である。ディスク受け台６５２の最外周部に、移送台３３に設けられた支持ピンの数量と同一の数量の切り欠き部６５７を設けることにより、図５に示すように、回転駆動軸６５１が上昇する場合に、ディスク受け台６５２が移送台３３に設けた支持ピンと衝突することなく磁気記録媒体１００を移送台３３からすくい上げることができ、また、回転駆動軸６５１が下降する場合に、ディスク受け台６５２が移送台３３に設けた支持ピンと衝突することなく、つまり、ディスク受け台６５２と支持ピンとが干渉しないで、磁気記録媒体１００を移送台３３上に載荷することができる。なお、磁気記録媒体１００とディスク受け台６５２との接触面積が大きいほど、磁気記録媒体１００が安定してディスク受け台６５２上に載荷されることから、このディスク受け台６５２に設けた切り欠き部６５７の大きさは、できるだけ小さいことが好ましい。
【００３１】
このように、本実施の形態における磁気記録媒体加工装置は、磁気記録媒体を水平に移送する移送装置を用いることにより、マスクとディスク受け台とを近接させた状態で、移送装置に載荷した磁気記録媒体を容易にディスク受け台上に受け渡すことが可能となる。具体的には、従来、ロボットアームを用いて磁気記録媒体をディスク受け台上に移送していた場合には、マスク本体とディスク受け台との間隔は、通常６０ｍｍ程度必要であるが、本実施の形態における磁気記録媒体加工装置では、３０ｍｍ程度に短縮することができ、このことにより、設備全体の簡素化を図り、タクトも短くでき生産効率を上げられる。なお、ディスク受け台は、磁化パターン形成工程に影響を与えることのないように、例えば、非磁性体のＡｌ等でつくることが好ましい。また、ディスク受け台は、その平面性などが磁化パターン形成に大きく影響を与えるため、加工精度を重視するという点からも樹脂コーティングせずにＡｌだけでつくるのが好ましい。
【００３２】
次に、図７は、磁気記録媒体保持機構の上下動作を説明する図である。ここに示される磁気記録媒体保持機構は、磁気記録媒体１００を載荷するためのディスク受け台６５２と、このディスク受け台６５２を回転および上下動するための回転駆動軸６５１とを備える。また、回転駆動軸６５１の上下動の速度及び回転数を制御するための制御機構（図示せず）を備えている。この制御機構は、回転駆動軸６５１の上下動の速度及び回転数を変えることができるならば、どのような機構でもとくに限定されない。通常は、容易に速度及び位置制御が可能なサーボモータを用いて上下させるのが好ましい。例えば、ラックとピニオンを用いて回転運動を上下運動に変換する手段が挙げられる。本実施の形態においては、位置アドレスを決め回転数のエンコーダをつけて制御を行う一軸のサーボロボットにより、回転駆動軸６５１の上下動の速度及び回転数が制御されている。
【００３３】
本実施の形態において、磁気記録媒体保持機構のディスク受け台６５２は、ホームポジション６００と、磁気記録媒体をすくい上げる位置（第１ポジション６０１）と、磁気記録媒体１００をマスク本体６２１に接触させる位置（第２ポジション６０２）と、マスク本体６２１から一定の間隔を有する位置（第３ポジション６０３）とを位置アドレスとして決められている。そして、ディスク受け台６５２は、ホームポジション６００→第１ポジション６０１→第２ポジション６０２の順番に上昇し、第２ポジション６０２において、一定時間、磁気記録媒体１００とマスク本体６２１とを接触させたまま回転駆動軸６５１の回転により、磁気記録媒体１００を回転させる。次に、第２ポジション６０２→第３ポジション６０３→第１ポジション６０１→ホームポジション６００の順番に下降する。
【００３４】
本実施の形態においては、ディスク受け台６５２が、ホームポジション６００→第１ポジション６０１→第２ポジション６０２の順番に上昇する際の上昇速度に対して、ディスク受け台６５２が、第２ポジション６０２→第３ポジション６０３迄下降する際の下降速度が小さくなるように制御されている。すなわち、ディスク受け台６５２が第３ポジション６０３迄下降する際の下降速度は、ディスク受け台６５２の上昇速度の１／１０〜１／５０、好ましくは、１／１５〜１／２５程度になるように制御されている。また、第２ポジション６０２と第３ポジション６０３との間隔は、０．１〜２０ｍｍ、好ましくは、０．５〜１５ｍｍの範囲内に位置アドレスが決められる。
【００３５】
本実施の形態においては、ディスク受け台６５２が、ホームポジション６００→第１ポジション６０１→第２ポジション６０２の順番に上昇する際の上昇速度は１３０ｍｍ／秒であり、また、ディスク受け台６５２が、第２ポジション６０２→第３ポジション６０３迄下降する際の下降速度は６．５ｍｍ／秒であり、さらに、ディスク受け台６５２が、第３ポジション６０３→第１ポジション６０１→ホームポジション６００迄下降する際の下降速度は１３０ｍｍ／秒である。また、第２ポジション６０２と第３ポジション６０３との間隔は、１０ｍｍ、好ましくは、１ｍｍの位置アドレスが決められている。第２ポジション６０２と第３ポジション６０３の間隔をこの範囲とすることにより、生産効率の極端な低下を防止しつつ、製品の品質を向上させることができる。
【００３６】
本実施の形態においては、このように、ホームポジション６００から磁気記録媒体１００とマスク本体６２１とを重ねる位置（第２ポジション６０２）に達する迄に要する時間に対して、第２ポジション６０２に達した後マスク本体６２１との一定の間隔を有する位置（第３ポジション６０３）を経て、ホームポジション６００迄下降させるのに要する時間が長くなるように磁気記録媒体保持機構の上下動作を制御している。このことにより、従来、磁気記録媒体とマスクとを重ねた後、磁気記録媒体をマスクから引き剥がす際に、内側に引き込まれるダストにより発生するパーティクルの発生量を大幅に減少させることができる。また、第２ポジション６０２から第３ポジション６０３に下降する速度に対して、第３ポジション６０３からホームポジション６００迄下降する速度を大きくすることにより、磁気記録媒体１００をマスク本体６２１から引き剥がす際の空気の巻き込みを抑えつつタクトを短縮できるので好ましい。
【００３７】
具体的には、ディスク受け台６５２が、ホームポジション６００から第２ポジション６０２に達するための上昇速度を１３０ｍｍ／秒、第２ポジション６０２から第３ポジション６０３に下降する下降速度を６．５ｍｍ／秒、第２ポジション６０２と第３ポジション６０３との距離１ｍｍ、第３ポジション６０３からホームポジション６００に下降する下降速度を１３０ｍｍ／秒として制御した場合は、パーティクルの発生量は、８〜１９（単位：パーティクルカウント）であり、パーティクルの発生が極めて少量であることが分かる。これに対して、ディスク受け台６５２がホームポジション６００から第２ポジション６０２に達するための上昇速度と、第２ポジション６０２からホームポジション６００に下降する下降速度とが、いずれも１３０ｍｍ／秒の場合は、パーティクルの発生量は、２７〜６５（単位：パーティクルカウント）であり、多量のパーティクルが発生した。
【００３８】
次に、光路切替手段５２について詳述する。図４に示されるように、ここで示される光路切替手段５２は、エネルギー線の光路を水平方向に切り替える水平反射ミラー５２１，５２２と、その光路を垂直方向に切り替える垂直反射ミラー５４１，５４２とが、２個の磁気記録媒体加工装置のそれぞれの加工点にエネルギー線を照射するように、エネルギー線の光路上に設けられている。この水平反射ミラー５２１，５２２は、それぞれのプリズムが背中合わせになるように組み合わされ、２個の磁気記録媒体加工装置６２１，６２２の間をを水平移動する移動台５５上に取り付けられている。また垂直反射ミラー５４１，５４２は、それぞれの磁気記録媒体加工装置６２１，６２２の上方に１個ずつ配置されている。
【００３９】
図８は、この光路切替手段５２における移動台５５と２個の磁気記録媒体加工装置６２１，６２２の関係を説明する図である。ここに示される移動台５５は２枚の水平反射ミラー５２１，５２２をボルト等により固定している。なお、２個の磁気記録媒体加工装置６２１，６２２は、それぞれマスク上部のみを図示している。また、１台のエネルギー線照射装置５１は、２個の磁気記録媒体加工装置６２１，６２２の中間にエネルギー線５３を照射するように配置されている。２枚の水平反射ミラー５２１，５２２の中、第１の水平反射ミラー５２１は、第１の磁気記録媒体加工装置６２１に対して、反射面がエネルギー線５３の入射方向に対して４５度になるように移動台５５上に取り付けられている。また、第２の水平反射ミラー５２２は、第２の磁気記録媒体加工装置６２２に対して、第１の磁気記録媒体加工装置６２１とは反対方向に、反射面がエネルギー線５３の入射方向に対して４５度になるように移動台５５上に固定されている。
【００４０】
エネルギー線照射装置５１から照射されたエネルギー線５３は、第１の水平反射ミラー５２１によって第１の磁気記録媒体加工装置６２１の方向に水平に直角に曲げられ、さらに垂直反射ミラー５４１により垂直に下方に曲げられて第１の磁気記録媒体加工装置６２１の加工点を照射する。続いて、第１の磁気記録媒体加工装置６２１による磁気記録媒体の磁化パターン形成処理が終了した時点で、移動台５５が水平に移動し、第１の水平反射ミラー５２１の場合とは反対方向に、エネルギー線照射装置５１から照射されたエネルギー線５３は、第２の水平反射ミラー５２２によって第２の磁気記録媒体加工装置６２２の方向に水平に直角に曲げられ、第２の磁気記録媒体加工装置６２２の磁化パターン形成処理が行われる。
【００４１】
この移動台５５を水平に移動させる方法は特に限定されないが、設備が簡易であること及び粉塵等の発生が少ないという点から、通常、クリーン仕様のエアシリンダが使用される。また、本実施の形態においては、移動台５５の水平移動のストロークは５５ｍｍであり、第１磁気記録媒体加工装置と第２磁気記録媒体加工装置間の移動時間は０．５秒である。
【００４２】
本実施の形態においては、上述したように、レーザ光照射装置等の１台のエネルギー線照射装置５１から発生する共通のエネルギー線５３を、２台の磁気記録媒体加工装置６２１，６２２の加工点に振り分けて使用するので、エネルギー線照射装置５１の光源から発したエネルギー線５３が加工点に到達するまでの光学部品の数及び材質を同一にすることが好ましい。エネルギー線５３が光学部品１つを通過するごとにパワーに５％のロスが生じ、２台の磁気記録媒体加工装置６２１，６２２の加工点に到達するそれぞれのエネルギー線５３のパワーに差が生じると、磁化パターン形成後の磁気記録媒体の品質に差が生じるからである。
【００４３】
また、エネルギー線照射装置５１の光源から発したエネルギー線５３が加工点に到達するまでの長さ・距離も同一にすることが好ましい。エネルギー線５３（例えば、ビーム長３.２ｃｍ×０．５ｃｍの四角型）はわずかではあるが拡がりながら進むため、エネルギー線５３の光路長に差が生じると、磁気記録媒体に照射する照射スポット面積に差が生じてしまうからである。そこで、光路切替手段５２は、それぞれの磁気記録媒体に対して、通常、光路長が同一になる位置に設置する。すなわち、通常、２個の磁気記録媒体加工装置６２１，６２２の中間に設ける。光路切替手段５２における水平反射ミラー５２１，５２２および垂直反射ミラー５４１，５４２は、使用するエネルギー線５３の波長に応じて選別する。また、水平反射ミラー５２１，５２２および垂直反射ミラー５４１，５４２は、エネルギー線５３を直接受けることから耐熱性に優れる材料を用いることが好ましい。本実施の形態においては、例えば、ＣＶＩ社製の型式ＫＲＦ−２０３７−４５−ＵＮＰを用いる。なお、水平反射ミラー５２１，５２２は、水平移動を繰り返すので、ズレを防止のために完全に固定しておくことが好ましい。
【００４４】
なお、本実施の形態において使用されるエネルギー線照射装置５１は、予め外部磁界によって一様磁化された磁気記録媒体を局所的に過熱してその部分の保磁力を低下させるエネルギー線を発生する光源を有する装置であれば特に限定されない。このようなエネルギー線としては、通常、エキシマレーザ（２４８ｎｍ）、ＹＡＧのＱスイッチレーザ（１０６４ｎｍ）の２倍波（５３２ｎｍ）、３倍波（３５５ｎｍ）、或いは４倍波（２６６ｎｍ）、Ａｒレーザ（４８８ｎｍ、５１４ｎｍ）、ルビーレーザ（６９４ｎｍ）などが挙げられる。また、エネルギー線は連続照射よりもパルス状にして加熱部位の制御や加熱温度の制御を行うのが好ましい。特に、パルスレーザ光源の使用が好適である。パルスレーザ光源はレーザをパルス状に断続的に発振するものであり、連続レーザを音響光学素子（ＡＯ）や電気光学素子（ＥＯ）などの光学部品で断続させパルス化したものに比べて、パワー尖頭値の高いレーザをごく短時間に照射することができ、熱の蓄積が起こりにくく非常に好ましい。
【００４５】
また、レーザなどのエネルギー線は、一般にビームスポット内で強度分布（エネルギー密度分布）を有しており、エネルギー線を照射して磁気記録媒体を局部加熱した場合もエネルギー密度による温度上昇の違いが生じ、このため加熱ムラにより局部的に転写の強度の違いが起こる場合がある。そこで、例えば、強度分布の小さいエネルギー線源を使用するか、エネルギー線の強度分布の均一化処理を施して、エネルギー線のビームスポット内での強度分布を１５％以内に抑えるようにするのが好ましい。このような、エネルギー線の強度分布の均一化処理としては、例えばホモジナイザやコンデンサレンズを用いて均一化したり、遮光板やスリットなどでエネルギー線の強度分布の小さい部分だけを透過し必要に応じて拡大するなどの方法が挙げられる。好ましくは、エネルギー線を、一旦光学分割した後重ね合わせることによって均一化処理すると、エネルギー線を無駄なく使用でき効率が良い。
【００４６】
このように、本実施の形態における加工系５０は、光路切替手段５２の水平反射ミラー５２１，５２２を水平に移動させてエネルギー線５３の光路を切り替えることにより、１つのエネルギー線５３の光源から２つの加工点を得ることができる。すなわち、搬入系１０からインデックステーブル３２によって同時に水平移送された２枚の磁気記録媒体に対して、まず一方の磁気記録媒体にエネルギー線５３が照射され、その磁気記録媒体の磁化パターン形成処理が終了した時点で、光路切替手段５２の水平反射ミラー５２１，５２２を取り付けた移動台５５が水平に移動し、エネルギー線５３の光路を切り替えることにより、他方の磁気記録媒体にエネルギー線５３が照射されて、その磁気記録媒体の磁化パターン形成処理が行われる。これにより、磁気記録媒体交換の工程を減らし、磁化パターン形成工程全体のタクトを短縮でき、生産効率を上げることができる。本実施の形態においては、通常、１枚の磁気記録媒体の磁化パターン形成処理を６秒間必要であるところを、光路切替手段５２を設けることにより、２枚の磁気記録媒体の磁化パターン形成処理を８．２５秒間で行うことができる。
【００４７】
次に、搬出系７０は、磁気記録媒体の搬出装置７１を備える。この搬出系７０においては、磁気記録媒体は製品ディスクと規格外ディスクとに振り分けられて搬出される。
【００４８】
なお、本実施の形態においては、エネルギー線による加工処理を除き、カセットから取り出された磁気記録媒体は、常に２枚同時に処理される。すなわち、一様磁化処理、インデックステーブル３２への移送、加工系５０への移送、搬出系７０への移送は、常に２枚の磁気記録媒体が同時に処理される。このことにより、製造工程を短縮し、生産効率を上げることができる。
【００４９】
次に、本実施の形態が適用される磁気記録媒体の磁化パターン形成方法について説明する。まず、搬入系１０において、コンベアベルト１２で運ばれてくるカセット１３から磁気記録媒体を取り出し、それをロボットアームにより２つのスピンドル（回転軸）に一枚ずつ載せて一様磁化処理を行う。図９は、搬入系１０において、カセット１３から磁気記録媒体を取り出す操作を説明するための図である。まず、図９(a)に示されるように、２５枚の磁気記録媒体が収納されているカセット１３がコンベアベルト１２で運ばれ、図９(b)に示されるように、ディスク受け１７が上昇し、そのカセット１３から２５枚の磁気記録媒体が同時に突き上げられて取り出される。続いて、図９(c)に示されるように、取り出された磁気記録媒体はサイドディスク受け１６により両側から挟まれて仮置き台の位置に保持される。次に、図９(d)に示されるように、ディスク受け１７のみが下降する。そして、図９(e)に示されるように、空のカセット１３がコンベアベルト１２によって移動し、その次の磁気記録媒体を収容したカセット１３１が送られて待機している。この間に、仮置き台に置かれた磁気記録媒体はロボットアーム（図示せず）により、枚葉に切り出され、２つのスピンドル（図示せず）に一枚ずつ載せられる。
【００５０】
次に、スピンドル上の磁気記録媒体を回転させつつ、外部磁界印加手段により磁気記録媒体に一様な磁界をかけ、磁気記録媒体の磁化パターン形成工程において必要な磁気媒体の磁性の方向を一定方向に揃える一様磁化処理を行う。なお、このとき、磁気記録媒体を回転させつつ、永久磁石の先端部に取り付けたノズルからエアーを吹きかけ、ディスク上のダストを除去する。
【００５１】
続いて、磁気記録媒体を載せたスピンドルがインデックステーブル３２の移送台３３の位置まで移動し、スピンドルがそのまま下がり、２枚の磁気記録媒体が移送台３３に取り付けた４個の支持ピン３５，３６上にそれぞれ置き去りにされる。次に、２枚の磁気記録媒体を載せたインデックステーブル３２が水平に９０度回転し、２枚の磁気記録媒体が加工系５０に移送される。
【００５２】
加工系５０において、移送台３３の４個の支持ピン３５，３６で支えられていた２枚の磁気記録媒体は、磁気記録媒体加工装置６２１，６２２の磁気記録媒体保持機構が上昇することにより、４箇所に切り欠き部を有するディスク受け台上にそれぞれ載荷される。次に、ディスク受け台を上昇させ、磁気記録媒体とマスクとを近接させ、真空吸引によりマスクと磁気記録媒体とを固定する。続いて、エネルギー線照射装置５１を用いて、磁気記録媒体にエネルギー線を照射すると同時に、磁界発生装置６１を用いて、第１磁気記録媒体加工装置６２１にパターン形成用磁界を印加する。
【００５３】
第１磁気記録媒体加工装置６２１において磁気記録媒体に磁化パターン形成処理が終了すると、光路切替手段５２を水平に移動させ、エネルギー線の光路を変え，第２磁気記録媒体加工装置６２２において磁化パターン形成処理を行う。
【００５４】
この加工系５０において、第２磁気記録媒体加工装置６２２による磁化パターン形成処理が終了すると、磁気記録媒体保持機構がゆっくり下降し、磁気記録媒体をマスクから外し、再び移送系３０のインデックステーブル３２の移送台３３上に載置されて、搬出系７０に移送される。そして、搬出系７０において検査を行い、ロボットアームにより合格品は製品カセットへ不合格品はＮＧカセットへ振り分けられる。
【００５５】
なお、本実施の形態においては、磁気記録媒体に磁化パターンを形成する前に、磁気記録媒体上のダストを除去するクリーニング工程を加えるのが好ましい。磁化パターンを形成する工程においては、マスクと磁気記録媒体とを近接させるため、その間に存在するダストを予め除去しておくことにより、ダストを挟み込んでディスクにデント（凹み）が生じることを防止することができる。このようなクリーニング工程としては、０．０１μｍ程度のメッシュのフィルタをつけたエアーノズルよりエアーを吹き出し、磁気記録媒体上のダストを吹き飛ばす方法が簡便である。エアの圧力は０．３５ＭＰａ程度であれば、効果的にダストを除去できる。
【００５６】
また、このクリーニング工程は、他の工程と併用すると、磁気記録媒体の製造工程全体のタクトを低下させずに磁気記録媒体上のダストを除去することができるので好ましい。例えば、永久磁石を磁気記録媒体の外周部から内周部の直径方向に移動させるのと同時に磁気記録媒体を回転させて磁気記録媒体を均一に磁化する一様磁化工程において、均一磁化処理の後、磁気記録媒体の内周部から外周部へ永久磁石を移動させる際に、永久磁石先端部のノズルからエアを吹き出し、ダストを磁気記録媒体の外に吹き出せる方法が挙げられる。なお、デントとは、マスクと磁気記録媒体との間に、磁気記録媒体上に存在するダストを挟むことによって、磁気記録媒体表面に生じる凹みである。一般にデントの径は１０〜１００μｍであり、磁気記録が不能な領域のことをいう。
【００５７】
本実施の形態においては、磁気記録媒体の加工系５０において、磁気記録媒体受け台にあるスピンドル（回転軸）にエンコーダを取り付け、その回転状況を計測して信号をフィードバックさせ、その信号を用いてエネルギー線の照射と磁気記録媒体の回転を制御するのが好ましい。すなわち、従来は、エネルギー線の照射制御と磁気記録媒体の回転制御とを、それぞれ別々にフィードバックをかけないオープンループで制御していたところ、これらを別々に制御すると、どちらかに不具合が発生した場合でも、一方はそのまま制御し続けてしまう事態が生じる。例えば、磁気記録媒体回転制御系の駆動ベルトが切れ、磁気記録媒体が回転しないような場合でも、エネルギー照射線制御系は、そのままエネルギー線の照射を続けてしまうことになる。そこで、磁気記録媒体受け台の回転軸にエンコーダを取り付け、その回転状況を計測してその信号をフィードバックさせ、その信号を用いてエネルギー線の照射と磁気記録媒体の回転を制御するのが好ましい。
【００５８】
なお、本実施の形態が適用される磁気記録媒体の磁気パターン形成方法においては、加工系５０において使用されるマスクを定期的にはずして洗浄するのが好ましい。すなわち、加工系５０においては、磁化パターンを形成するためにマスクを繰り返し使用することにより磁気記録媒体表面についているダストがマスクに付着して磁気記録媒体を傷つける場合がある。また、レーザ光等のエネルギー線を照射することにより、僅かであるが磁気記録媒体表面に塗られている潤滑剤が蒸発し、この潤滑剤がマスク表面に多量に付着する場合がある。このような潤滑剤がマスクの表面に付着するとエネルギー線の照射に影響を与えることになる。さらに、このような潤滑剤は、一般にフツ化系化合物であるため、マスク上のクロム等からなるマスクパターンとフツ化系化合物のフツ素成分とが反応して、その結果マスクパターンが剥がれる等の悪影響を受けるおそれがある。
【００５９】
このような悪影響を避けるために、マスクの洗浄の頻度は、通常、エネルギー線照射を１０００〜３０００回程度行う毎に行うことが好ましい。洗浄に際しては、アルカリ性の洗剤を用いると付着物を除去しやすく、また、ＰＶＡ製スポンジ等の柔らかい素材を用いて、マスクパターンに傷をつけないように行う。なお、マスクは容易に取り外し可能な構造であることが好ましい。
【００６０】
【発明の効果】
かくして本発明によれば、タクト（処理時間）の短縮、不良品の減少および生産効率が向上した磁気記録媒体の磁化パターン形成装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本実施の形態が適用される磁気記録媒体の磁化パターン形成装置の全体構成を示した図である。
【図２】  インデックステーブルの各片に設けられた移送台を説明するための図である。
【図３】  インデックステーブルの各移送台に設けられた支持ピンを説明する図である。
【図４】  加工系の全体構成を説明する図である。
【図５】  磁気記録媒体加工装置を説明するための図である。
【図６】  ディスク受け台を説明する図である。
【図７】  磁気記録媒体保持機構の上下動作を説明する図である。
【図８】  光路切替手段における移動台と２個の磁気記録媒体加工装置の関係を説明する図である。
【図９】  搬入系においてカセットから磁気記録媒体の取り出す操作を説明するための図である。
【図１０】  ＳＩＭＰＬ法による磁化パターン形成方法を説明するための図である。
【図１１】  磁気記録媒体にマスクを重ね合わせる動作を説明するための図である。
【符号の説明】
１０…搬入系、１１…搬入装置、１２…コンベアベルト、３０…移送系、３１…移送装置、３２…インデックステーブル、３３…移送台、３５，３６…支持ピン、５０…加工系、５１…エネルギー線照射装置、５２…光路切替手段、６１…磁界発生装置、７０…搬出系、７１…搬出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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