(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
メタルマスク基板（１）の印刷パターン孔領域（４）より外周に固定領域（７）が設けられており、
印刷パターン孔領域（４）と固定領域（７）との間に被挟持領域（９）が設けられており、
固定領域（７）および被挟持領域（９）が版枠（２）に固定されており、
形成された被挟持領域（９）全体が隠れてしまう程、版枠（２）の溝（１０）とこれに嵌め込まれた押え具（３）との間で挟持固定されているスクリーン印刷用メタルマスク版において、
前記被挟持領域（９）が、前記印刷パターン孔領域（４）よりも伸長性に富む状態に形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク版。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえばＩＣやＬＳＩ用プリント配線などのスクリーン印刷に好適に使用される電鋳製のメタルマスク版に係り、より詳しくは該メタルマスク版の枠張り手段の改善に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の印刷用メタルマスク版の枠張りは、一般に打ち込み法と接着法がある。接着法は接着剤の乾燥に時間がかかり、メタルマスクの張替えも面倒であり、またテープ張りによる接着法もあるが、テープの張りつけに熟練を要する。その点、打ち込み法はメタルマスクの四方を版枠の溝に押え具（嵌め桟）を打ち込んで固定することで足りるため、接着法に比べて枠張り作業が能率よく行え、またメタルマスクの張替えも簡易に行える。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、打ち込み法では版枠の溝に押え具を打ち込むことによりメタルマスクにテンションをかけるため、打ち込み具合によりメタルマスクが伸びたり、弛んだりしやすく、とくに過剰張りによってメタルマスクの印刷パターン孔（版図柄部分）の孔ピッチがずれたり、孔形状が歪むなどの問題が生じやすかった。
【０００４】
本発明の目的は、こうした問題を解消するためになされたもので、枠張りに際しメタルマスクの印刷パターン孔の孔ピッチずれや歪みを防止できるスクリーン印刷用メタルマスク版を提供するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、図１に例示するように、メタルマスク基板１の印刷パターン孔領域４より外周に形成された被挟持領域９が、版枠２の溝１０とこれに嵌め込まれた押え具３との間で挟持固定されているスクリーン印刷用メタルマスク版において、前記被挟持領域９が、前記印刷パターン孔領域４よりも伸長性に富む状態に形成されていることを特徴とする。
【０００６】
【作用】
押え具３の嵌め込みによりメタルマスク基板１が過剰張りされる場合も、被挟持領域９部分で伸びが吸収緩和されるため、それだけ印刷パターン孔領域４での伸びを低減できる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
（第１実施例）
本発明に係るスクリーン印刷用メタルマスク版の第１実施例を図１ないし図３に基づき説明する。図１はメタルマスク基板を版枠に張りつけてなるメタルマスク版の断面図、図２はメタルマスク基板の斜視図、図３は版枠および押え具の分解斜視図である。１はメタルマスク基板、２は版枠、３は版枠２に併用される押え具である。
【０００８】
図２において、メタルマスク基板１はＮｉあるいはＮｉ−Ｃｏ合金の電鋳製品（例えば、８０μｍ厚）で、その中央部に所望の印刷パターン孔領域４を設け、その印刷パターン孔領域４の四方の最外周に、版枠２上に位置決め固定するための位置決め孔５と取付孔６とを交互に列設する固定領域７を設ける。そしてメタルマスク基板１の印刷パターン孔領域４と固定領域７との間に、版枠２と押え具３との間で挟持するための被挟持領域９を固定領域７に隣接して設けている。被挟持領域９はクロスメッシュ状に形成することにより印刷パターン孔領域４よりも伸長性に富む張力調整機能を有する状態に構成する。これら印刷パターン孔領域４、被挟持領域９、位置決め孔５および取付孔６はメタルマスク基板１をＮｉあるいはＮｉ−Ｃｏ合金で電鋳すると同時に形成される。
【０００９】
図１および図３において、版枠２は断面角形の縦枠２ａと横枠２ｂを四角形枠状に組み合わせたアルミニウムあるいは亜鉛ダイキャスト製品で、縦枠２ａおよび横枠２ｂの各表面にはメタルマスク基板１の被挟持領域９を固定するための溝１０が設けられるとともに、その溝１０の外側に位置決めピン１１およびねじ孔１２が交互に設けられ、裏面は全体の軽量化を図るための肉盗み部１３が設けられている。
押え具３は版枠２と同様にアルミニウムあるいは亜鉛ダイキャスト製品で、４本用意され、縦枠２ａおよび横枠２ｂの上に重ねられる帯形の平板部３ａと、これの裏面側に設けられて版枠２の溝１０に嵌め込まれる突条部３ｂとを有する。平板部３ａの突条部３ｂより外側には、版枠２の位置決めピン１１およびねじ孔１２に対応するピン孔１４およびねじ通し孔１５を設けている。前記ねじ通し孔１５にはねじ１６の頭が沈むように座ぐり１５ａを設けている。版枠２の表面と内面の交わるコーナ２ｃ、および押え具３の平板部３ａの裏面と内面の交わるコーナ３ｃによってメタルマスク基板１が損傷を加えられることのないようにそれらコーナ２ｃ・３ｃにアールを付けている。
【００１０】
メタルマスク基板１を枠張りするには、メタルマスク基板１を四方へ緊張させてその四方の固定領域７および被挟持領域９を版枠２の表面上に置き、メタルマスク基板１の位置決め孔５を版枠２の位置決めピン１１に嵌合させると、取付孔６がねじ孔１２に、また被挟持領域９が溝１０の上にそれぞれ合致する状態が得られる。かくして押え具３を版枠２の表面上のメタルマスク基板１の固定領域７および被挟持領域９の上に置き、押え具３のピン孔１４を位置決めピン１１の先端に嵌合させるとともに、その突条部３ｂで被挟持領域９を溝１０内に押し込み、ねじ１６をねじ通し孔１５から取付孔６に通してねじ孔１２にねじ込むことによって、版枠２にメタルマスク基板１が所望のテンションで緊張状態に固定される。その際、押え具３によってメタルマスク基板１が過剰張りされると、メタルマスク基板１はクロスメッシュ状の被挟持領域９部分で伸びるため、印刷パターン孔領域４にまで伸びが波及するのを極力抑えることができる。
【００１１】
版枠２の溝１０の断面形状は図１に示す角度αと角度βが、等しくなるように二等辺三角形状に形成すること、または図４のように角形に形成するもよいが、図１のように角度αを角度βよりも大きくする三角形状に形成することが印刷パターン孔領域４側の引張応力をより効果的に吸収緩和できる点で好ましい。尤も、溝１０がいずれの断面形状に形成される場合も、押え具３の突条部３ｂがそれら溝１０の断面形状に合わせて断面三角形、断面角形あるいは断面円弧形に形成されることは言うまでもない。
【００１２】
（その他の実施例）
被挟持領域９としては、上記クロスメッシュ状に形成するに代えて、図５ないし図１５にそれぞれ示す第２実施例ないし第１１実施例のように実施するもよい。但し、それぞれの実施例において被挟持領域９以外は第１実施例のものと同様である。
図５および図６に示す第２実施例では、印刷パターン孔領域４の外周部と、固定領域７との間を稲妻形の細線１７でつなぐとともに、相隣る細線１７・１７間に細孔１９を設けている。ひとつの稲妻形の細線１７は、枠張り時の引張方向Ｃとは異なる方向の屈曲線Ａ、Ｂ1 、Ｂ2 でつながれ、屈曲線Ａと屈曲線Ｂ1 およびＢ2 とが交差する２つの屈曲部で伸びやすくなっている。メタルマスク基板１の四隅コーナ１ｃはそれぞれ斜めに切り落とされ、各コーナにおいて縦方向の被挟持領域９と横方向の被挟持領域９とが交わるコーナには前記細孔１９よりも大きいコーナ孔２０が設けられる。また、各コーナにおいて固定領域７の端にはハーフノッチ２１が入れられる。ハーフノッチ２１は、枠張りするまでは当該箇所で変形することのないようにつながり状態にあり、枠張り後に切り離される。
【００１３】
上記細線１７は稲妻形に代えて、図７ないし図１０に示す第３実施例ないし第６実施例のようなものであってもよい。図７に示す第３実施例ではくの字形の細線２２ａと逆くの字形の細線２２ｂとを細孔２３を介して交互に並べて設けてある。枠張り時には、くの字形の細線２２ａの屈曲部の角度および逆くの字形の細線２２ｂの屈曲部の角度が拡がることにより伸張量を得ることができ、また隣接するくの字形の細線２２ａの印刷パターン孔領域４側との接続点Ｐと逆くの字形の細線２２ｂの印刷パターン孔領域４側との接続点Ｐ′とは互いに逆方向に伸張力が加わるようにし、その合力で印刷パターン孔領域４が所定の引張方向に一致するようにしている。上記細線２２ａ（２２ｂ）として、全ての細線２２ａ（２２ｂ）を同一向きに連続して配置した状態の下で伸張力を加えると、印刷パターン孔領域４が一方向に回転するような捩じり歪みを生じる傾向にあるが、上記のようにくの字形の細線２２ａと逆くの字形の細線２２ｂとを交互に配置することにより、かかる不具合な傾向を抑制できる。またくの字形の細線２２ａおよび逆くの字形の細線２２ｂのそれぞれの屈曲部が、押え具３の突条部３ｂと対応する位置に設けると、枠張り完了時に拡開変形したそれら屈曲部の拡開角度を挟持して維持することができるため、印刷使用時に加わる外力、例えばスキージの印圧に対しても版のたるみにつながるような不必要な角度変化を軽減できる。
【００１４】
図８に示す第４実施例ではＳ形の細線２４を細孔２５を介して列設してある。図９に示す第５実施例ではＣ形の細線２９ａと逆Ｃ形の細線２９ｂとを細孔３０を介して交互に並べて設けてある。これら第４、５実施例では細線２４、２９ａ、２９ｂが彎曲した形に形成されているため、伸張変形可能な長さを充分に確保でき、このことは逆に細線幅を狭めなくて済むことになるため、伸張時の細線切断事故を回避できて有利である。
図１０に示す第６実施例では横倒Ｓ形の細線２６ａと横倒逆Ｓ形の細線２６ｂとを細孔２７を介して交互に並べて設けてある。このものでは細線２６ｂがＵターン状に戻ることによって上記各実施例のものよりも更に細線長を長くすることができる。
なお、第３実施例ないし第５実施例では各細線２２ａ（２２ｂ・２４・２９ａ・２９ｂ）の印刷パターン孔領域４側との接続点Ｐと固定領域７側との接続点Ｑとを結ぶ線が、枠張り時の引張方向と平行になるように設定している。第６実施例では細線２６ａ（２６ｂ）の印刷パターン孔領域４側との接続点Ｐと固定領域７側との接続点Ｑとを結ぶ線が、枠張り時の引張方向と交差するように設定している。
【００１５】
図１１に示す第７実施例では枠張り時の引張方向Ｃに長い長孔３１を列設している。図１２に示す第８実施例では微細孔３２を多数形成している。この場合、微細孔３２は単位面積当たりの開孔量を中央Ｓで少なく、中央Ｓから内外方向に多くすることにより、押え具３の断面Ｖ形の突状部３ｂの頂部３ｅ（図３参照）が当たる部分を斜辺部３ｆ（図３参照）が当たる部分よりも伸びにくくして挟持強度を保持している。図１３に示す第９実施例では印刷パターン孔領域４の板厚よりも薄肉にして伸び易く形成し、この薄肉部３３を被挟持領域９としている。図１４の第１０実施例では固定領域７および被挟持領域９を、印刷パターン孔領域４の板材よりも軟らかい材料で別体に形成し、これを印刷パターン孔領域４の外周部の片面に重合一体化する。例えば、印刷パターン孔領域４の板材にＮｉを、固定領域７および被挟持領域９の板材にＣｕを用い、クラッド法などで両者を重合一体化する。そのほかに、重合一体化させる方法として、図１５に示す第１１実施例のように、固定領域７および被挟持領域９を銅板などでプレス加工し、このプレス材に印刷パターン孔領域４をＮｉなどで一体に電鋳するもよい。
なお、いずれの実施例においても、被挟持領域９は枠張り途中では伸張するが、枠張り完了後は押え具３と版枠２との間で該被挟持領域９全体が隠れてしまう程挟持されるのが好ましく、このようにすることによって印刷時の繰り返しスキージ力で被挟持領域９が伸張することがないようにするのがよい。
【００１６】
【発明の効果】
本発明によれば、メタルマスク基板１は押え具３の嵌め込みにより枠張りされるとき、被挟持領域９部分で伸びが吸収緩和されるため、印刷パターン孔領域４での伸びを低減できて印刷パターン孔の孔ピッチずれや歪みを防止でき、高精度の枠張りメタルマスク版を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例のメタルマスク版の断面図である。
【図２】第１実施例のメタルマスク基板の斜視図である。
【図３】第１実施例の版枠および押え具の分解斜視図である。
【図４】第１実施例の版枠および押え具の変形例を示す断面図である。
【図５】第２実施例のメタルマスク基板の一部の拡大斜視図である。
【図６】第２実施例のメタルマスク基板の一部の拡大平面図である。
【図７】第３実施例のメタルマスクの一部の拡大平面図である。
【図８】第４実施例のメタルマスク基板の一部の拡大平面図である。
【図９】第５実施例のメタルマスク基板の一部の拡大平面図である。
【図１０】第６実施例のメタルマスク基板の一部の拡大平面図である。
【図１１】第７実施例のメタルマスク基板の一部の拡大斜視図である。
【図１２】第８実施例のメタルマスク基板の一部の拡大斜視図である。
【図１３】第９実施例のメタルマスク基板の一部の拡大断面図である。
【図１４】第１０実施例のメタルマスク基板の一部の拡大断面図である。
【図１５】第１１実施例のメタルマスク基板の一部の拡大断面図である。
【符号の説明】
１  メタルマスク基板
２  版枠
３  押え具
４  印刷孔パターン領域
７  固定領域
９  被挟持領域
１０  溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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