(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク表面に存する開口や隙間に樹脂を充填するためのものであって、前記ワーク表面に樹脂の印刷を行うための印刷機と、この印刷機を内部に収容して排気装置にて排気される真空印刷室と、この真空印刷室の上面壁部に重ねて形成されその上面壁部に形成された連通開口部を通して前記真空印刷室に連通するワーク供給室と、このワーク供給室を開閉する扉と、前記真空印刷室内に設けられて前記印刷機に前記ワークを供給するためのワークテーブルとを備え、前記ワークテーブルが前記連通開口部を気密に閉塞する閉塞位置と前記印刷機にワークを供給するためのワーク供給位置との間で移動可能に設けられ、前記ワークテーブルが前記閉塞位置にあるときに前記ワーク供給室の扉を開放して前記ワークを前記ワークテーブルから出し入れ可能とされた真空印刷装置において、前記ワークテーブルは前記連通開口部の下方と前記ワーク供給位置との間で横方向に直線的に移動可能となっており、かつ、前記連通開口部の下方において昇降機構により昇降されて上昇時に前記連通開口部を閉塞するようにしたことを特徴とする真空印刷装置。
【請求項２】
前記ワークテーブルは、前記ワークをその上面に載置するための平板状の印刷テーブルとこの印刷テーブルを支持する箱形フレームとからなり、前記箱形フレームの周縁部が前記連通開口部の開口周縁部に密着するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の真空印刷装置。
【請求項３】
前記ワーク供給室には前記扉を閉めた状態で内部の排気を行う排気装置が接続され、前記ワークテーブルが前記連通開口部を閉塞した状態で前記ワーク供給室内を排気可能に構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空印刷装置。
【請求項４】
前記ワーク供給室の扉は前記真空印刷室の上面壁部に接して前記連通開口部を覆うドーム状をなすことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の真空印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばプリント配線基板等の表面において孔や隙間を有するワークに印刷を施すための真空印刷装置に係わり、特にその生産性の向上を図ったものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば表面に孔部を有するプリント配線基板にインクを印刷して穴埋めして表面を平滑化する技術が提供されている。このものでは、例えば特許第３１９８２７３号公報に記載されているように、貫通孔や非貫通孔等の孔部への樹脂の未充填部を残存させないようにする目的で、印刷を真空雰囲気下で行った後、真空度を低下させて、その差圧により樹脂を孔部の奥部まで充填を行うことがある。このようにプリント配線基板に真空雰囲気下で印刷を行う場合には、例えば、印刷機を密閉構造のチャンバー内に設置しておき、プリント配線基板を上面に載置したワークテーブルをチャンバーの開閉扉を開放してチャンバー内に搬入した後、開閉扉を閉じた状態として真空ポンプによりチャンバー内を真空雰囲気として印刷を行い、印刷が終了したら再び開閉扉を開放してチャンバー内よりワークテーブルを搬出して、プリント配線基板を取り出すという作業がなされる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、プリント配線基板の印刷機は、例えば孔版を介して基板上に樹脂を供給するための樹脂供給ユニットや、供給された樹脂を孔版上から擦って基板に孔埋め印刷するためのスキージ走行ユニット等を備ており、大型である。このため、そのような大型の印刷装置を内部に納めるための密閉チャンバーは、その容積を相当に大きくせざるをえない。ところが、チャンバーの容積が大型であると、プリント配線基板をチャンバー内部に搬入した後、真空雰囲気にするための排気に要する時間が長くなり、生産性が悪くなるという問題がある。
【０００４】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、例えばプリント配線基板等の表面に孔や隙間を有するワークに印刷をする場合の生産性に優れ、かつ、装置構造が簡単な真空印刷装置を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための請求項１の真空印刷装置は、ワーク表面に開口している孔に樹脂を充填するためのものであって、前記ワーク表面に樹脂の印刷を行うための印刷機と、この印刷機を内部に収容して排気装置にて排気される真空印刷室と、この真空印刷室の上面壁部に重ねて形成されその上面壁部に形成された連通開口部を通して前記真空印刷室に連通するワーク供給室と、このワーク供給室を開閉する扉と、前記真空印刷室内に設けられて前記印刷機に前記ワークを供給するためのワークテーブルとを備え、前記ワークテーブルが前記連通開口部を気密に閉塞する閉塞位置と前記印刷機にワークを供給するためのワーク供給位置との間で移動可能に設けられ、前記ワークテーブルが前記閉塞位置にあるときに前記ワーク供給室の扉を開放して前記ワークを前記ワークテーブルから出し入れ可能とされたものにおいて、前記ワークテーブルは前記連通開口部の下方と前記ワーク供給位置との間で横方向に直線的に移動可能となっており、かつ、前記連通開口部の下方において昇降機構により昇降されて上昇時に前記連通開口部を閉塞するようにしたところに特徴を有する。
【０００６】
請求項２の発明は、請求項１記載の真空印刷装置において、前記ワークテーブルは、前記ワークをその上面に載置するための平板状の印刷テーブルとこの印刷テーブルを支持する箱形フレームとからなり、前記箱形フレームの周縁部が前記連通開口部の開口周縁部に密着するようにしたところに特徴を有する。
【０００７】
また、請求項３の発明は、請求項１又は２記載の真空印刷装置において、前記ワーク供給室には前記扉を閉めた状態で内部の排気を行う排気装置が接続され、前記ワークテーブルが前記連通開口部を閉塞した状態で前記ワーク供給室内を排気可能に構成されているところに特徴を有する。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の真空印刷装置であって、前記ワーク供給室の扉は前記真空印刷室の上面壁部に接して前記連通開口部を覆うドーム状をなすところに特徴を有する。
【００１０】
【発明の作用および効果】
上記請求項１の発明の真空印刷装置によれば、ワークを真空印刷室に搬入する際には、まず、ワークテーブルを、真空印刷室とワーク供給室との間の連通開口部を閉塞する閉塞位置とさせる。これにより、真空印刷室とワーク供給室とが気密に遮断される。そして、真空印刷室を真空状態に保ったままワーク供給室の扉を開いてワークをワークテーブル上に供給する。そして、ワーク供給室の扉を閉じ、次いでワークテーブルを閉塞位置からワーク供給位置に移動させて印刷機にて印刷を行う。このとき、ワークテーブルを閉塞位置から移動させることによって連通開口部が開放されるが、ワーク供給室の扉が閉じられているから、真空印刷室が大気に開放されてしまうことはない。なお、ここで請求項２の発明のように、ワーク供給室に給排気装置を接続してワークテーブルを閉塞位置から移動させて連通開口部を開放させるに先立ちワーク供給室内を排気しておけば、ワーク供給室内の空気が真空印刷室内に流入することがなくなる。ただし、ワーク供給室の容積が真空印刷室に比べて小さい場合には、ワーク供給室を予め排気しなくても、連通開口部の開放の度に流入する空気量は少量であるから、問題はない。
【００１１】
真空印刷室内では、印刷機によってワークに印刷を施し、ワーク表面に開口している孔に樹脂を埋め込む。印刷後、ワークテーブルを再び連通開口部の閉塞位置に戻す。その上で、ワーク供給室の扉を開放してワークを取り出し、必要なら、次のワークを供給すればよい。このとき、ワークの取り出しのためにワーク供給室の扉を開放しても、連通開口部はワークテーブルによって閉塞されているから、やはり真空印刷室が大気に開放されてしまうことはない。そして、真空印刷室内でワーク表面に開口している孔に樹脂が印刷されているから、ワークが大気中に取り出されると、圧力差によって樹脂は孔の奥まで押し込められ、空隙を残すことなく樹脂が充填されるようになる。
【００１２】
このように請求項１の発明では、内部に印刷機を配した真空印刷室をワークの出し入れに伴って大気に開放させてしまうことがないから、ワークの印刷の都度、真空印刷室の全体を排気する必要がなく、排気に要する時間を短縮できて従来と比較して格段に生産性が向上するという優れた作用効果を奏する。
【００１３】
しかも、本発明の真空印刷装置は、真空印刷室とワーク供給室とを連通させる連通開口部を、本来はワークの搬送を行うワークテーブルを利用して閉塞させる構成である。したがって、従来のように仕切用の扉を別個に設ける必要がなく、装置の構成が簡略化されるとともに設計上の自由度が高まり、装置全体の製造コストを安価にすることができるという優れた作用効果を奏する。
【００１５】
さらに、ワークテーブルが、連通開口部の下方とワーク供給位置との間で横方向に直線的に移動し、かつ、連通開口部の下方において昇降するから、Ｌ型の移動軌跡を描くことになる。このように構成すると、ワーク供給室を真空印刷室の側方に配置することができ、ワークの出し入れ作業が容易になる。
【００１６】
ところで、ワーク供給室の扉を開放しているときには、ワークテーブルが真空印刷室と大気とを遮断している。このため、ワークテーブルに大気圧による応力が加わるため、永久歪みとしてテーブル上面の面精度を狂わせることが懸念される。そこで、上記請求項２の発明では、ワークテーブルを、平板状の印刷テーブルとこの印刷テーブルを支持する箱形のフレームとから構成してある。このような構成とすると、大気圧による応力がかかった場合でも、応力による歪みをフレーム側で受け止めることが可能となるため、平板状の印刷テーブルには歪みが生じ難くなり、印刷テーブル上面の面精度を高く保持することができる。
【００１７】
また、請求項３の発明のように、ワーク供給室を排気可能にしておけば、ワークテーブルが連通開口部を開放したときに真空印刷室に空気が流入しなくなるから、真空印刷室のための排気装置の負担を軽くすることができる。
さらに、請求項４の発明のように、ワーク供給室の扉を真空印刷室の上面壁部に接して連通開口部を覆うドーム状をなす構成とすることにより、ワーク供給室がワークテーブルとドーム状の扉とで形成可能となり、壁面に扉を設ける構成と比較して、装置の構造を簡略化させることが可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施形態について図１ないし図８を参照して説明する。
本実施形態の真空印刷装置１０は、例えばビアホール等の非貫通孔を有するプリント配線基板Ｐの非貫通孔内に例えば絶縁性樹脂を充填するためものであり、印刷を行う真空印刷室１１と、この真空印刷室１１に連通可能でプリント配線基板Ｐを真空印刷室１１内に搬入・搬出するためのワーク供給室１２とを備えている。
【００１９】
真空印刷室１１は、図１に示すように、上面が開放可能な天井部１３によって覆われるとともにその内部に後述する印刷機４０が備えられた空間である印刷機収納室１４と、この印刷機収納室１４の側面の一部と連通した搬送室１５とからなる。搬送室１５の上面壁部１５Ａの一部には矩形の連通開口部１６が設けられており、この連通開口部１６が後述するワークテーブル２０によって下方から閉塞されることにより、真空印刷室１１を密閉可能となっている（図２および図３参照）。また、真空印刷室１１内には、一対のガイドレール１７，１７が、印刷機収納室１４から搬送室１５にわたって水平かつ平行に設置されている。これらのガイドレール１７，１７には、ガイドレール１７に沿って移動可能な一対の連結板１８，１８が設けられている。なおこれらの連結板１８は、それぞれ一対のガイドレール１７，１７の外側に板状に張り出しており（図３参照）、その張り出し部分に後述するガイドピン２４を遊挿させるための遊挿孔が形成されている。
【００２０】
ワークテーブル２０は、図７に示すように、プリント配線基板Ｐをその上面に載置するための矩形で平板状の印刷テーブル２１と、この印刷テーブル２１が内部に収納可能な大きさで上面が開口した扁平な箱形のフレーム２２とから構成されている。印刷テーブル２１の上面には、溝部２１Ａが格子状に形成されている。また、フレーム２２の開口縁には側壁が肉厚になるように外側に張り出したフランジ部２２Ａが形成されており、その上面には全周にわたってガスケット２３が嵌め込まれている。印刷テーブル２１の下方には印刷テーブル２１の高さを微調節可能な昇降装置（図示せず）が設置されており、印刷テーブル２１の上面がフレーム２２の上端面より僅かに上方に突出する高さに設定されている。さらに、フレーム２２の下面の四隅部には計４本のガイドピン２４が設けられており、これらのガイドピン２４が上述したガイドレール１７の連結板１８の遊挿孔内に遊挿されることにより、連結板１８と連結されている（図３参照）。これにより、ワークテーブル２０が図示しない駆動機構によって駆動された場合に、ガイドピン２４がガイドレール１７に案内されて、ワークテーブル２０が搬送室１５と印刷機収納室１４との間を横方向に移動可能となっている。
【００２１】
また、搬送室１５内の上記連通開口部１６の下方には、図１に示すように、ワークテーブル２０の昇降装置３０（本発明の昇降機構に相当）が設置されている。この昇降装置３０は、駆動モータ３１と、駆動モータ３０の駆動により昇降可能でシリンダ用架台３２に設置された昇降シリンダ３３と、この昇降シリンダ３３を下面に当接させることにより昇降可能とされる支持板３４とを備えている。また、シリンダ用架台３１および支持板３４には垂直方向の同位置にそれぞれ４つの遊挿孔が形成されており、これらの遊挿孔に４本の昇降ロッド３５が遊挿されている。また、これらの昇降ロッド３５の支持板３４の上方側に突出している部分は、圧縮ばね３６に嵌挿されているとともに、その上端部はワークテーブル２０を載置するための水平な板状のワークテーブル用用架台３７に固定されている。なお、ワークテーブル用架台３７と支持板３４とは、圧縮ばね３６により、ばねの長さ分の距離を保つ構成となっている。
【００２２】
さらに、この昇降装置３０は、昇降シリンダ３３が最低位置にある場合には、ワークテーブル用架台３７がワークテーブル２０の下面と離れる高さとなるように設定されている（図４および図５参照）。これにより、ワークテーブル２０がガイドレール１７の連結板１８に支持され、ガイドレール１７に沿って横方向に移動可能となる。また、昇降シリンダ３３が最高位置にある場合には、ワークテーブル用架台２７上に載置されたワークテーブル２０のフレーム２２の上端面がガスケット２３を介して上記連通開口部１６の周縁部下面に密接し、連通開口部１６を下方から閉塞する（図２および図３参照）。
【００２３】
一方、印刷機収納室１４内に収納されている印刷機４０は、所要位置に開口が形成された孔版４１を支持する版支持体４２と、これに設けたスキージ駆動機構４３とからなる。また、図示はしないが、孔版４１上へ印刷用の樹脂を適宜供給するための樹脂供給装置が設けられている。この印刷機４０の版支持体４２の角部の下面側には、これらを一括に昇降させる昇降装置の昇降ロッド４４が４本取り付けられており、図示しない駆動機構によるこれら昇降ロッド４４の動作に基づき、版支持体４２およびスキージ駆動機構４３が上下に移動可能となっている。また、この昇降ロッド４４を下降させた状態で、孔版４１の下面が、所定の位置に移動されたプリント配線基板Ｐの表面にほぼ接する高さとなるように設定されている。
【００２４】
一方、スキージ駆動機構４３はスキージ４５を吊り下げ状態に保持した走行体４６を備える。この走行体４６は、前記版支持体４２の上面に設けたガイドレール４７に沿って図１中前後方向に移動可能となっており、図示しない駆動モータによって駆動される。走行体４６が駆動されると、スキージ４５が孔版４１の上面を擦るようになり、この結果、孔版４１の上面に供給された樹脂が、所定位置に形成された孔版４１の開口からプリント配線基板Ｐ上に押し出されて印刷が行われる。
なお、上記印刷機４０は、印刷機収納室１４の天井部１３を開放させることにより、メンテナンス等が可能である（図８参照）。
【００２５】
さらに、上述した搬送室１５の上方には、図１に示すように、連通開口部１６を上方から閉塞させるように蓋１９（本発明の扉に相当）が開放可能に設けられており、この蓋１９と上記ワークテーブル２０とが連通開口部１６を気密に閉塞した状態とすることにより、ワーク供給室１２が形成される構成となっている。この蓋１９は、ワーク供給室１２を密閉している閉塞状態から図示しない駆動機構により上方に開放され、その後、図１中前後方向にスライドされることにより、ワーク供給室１２（ワークテーブル２０の上面）を解放可能としている（図８参照）。
【００２６】
また、上記真空印刷室１１およびワーク供給室１２にはそれぞれ真空ポンプ５１、切換弁５２、排気ホース５３等からなる排気装置５０が接続されており（図１参照）、切換弁５２を切り換えることによって真空印刷室１１又はワーク供給室１２を選択的に排気することができ、さらに、図示しない給気弁を開放することによりワーク供給室１２に空気を導入することができるようになっている。
【００２７】
さて、本実施形態は以上の構成であり、次にその作用について説明する。
図２および図３は、例えばプリント配線基板Ｐを真空印刷装置１０内に搬入開始前の状態を示している。ワークテーブル２０は搬送室１５の上面壁部１５Ａに圧接されて連通開口部１６を閉塞させており（本発明の閉塞位置）、これにより真空印刷室１１は密閉状態とされ、真空に保たれた状態となっている。この時、昇降装置３０は最上位置とされており、支持板３７が昇降シリンダ３３に押し上げられることにより圧縮ばね３６は圧縮状態とされているので、ワークテーブル用架台２７およびワークテーブル２０は圧縮ばね３６の付勢力により上方に付勢されて、搬送室１５の上面壁部１５Ａに強い力で押しつけられた状態となっている。図２および図３に示す状態では、ワーク供給室１２の蓋１９は閉じられており、ワーク供給室１２も密閉された状態となっている。
【００２８】
（i）ワーク搬入
この状態から、プリント配線基板Ｐを搬入するには、まずワーク供給室１２の給気弁を開放し、ワーク供給室１２内を大気圧に等しくして蓋１９を開放する。なお、このように給気弁を開放してから蓋１９を開けば、大気圧が作用しないから蓋１９を容易に開放することができる。また、ここで蓋１９を開放しても、真空印刷室１１に連なる連通開口部１６はワークテーブル２０によって閉塞されているから、真空印刷室１１が大気に開放されることはない。
【００２９】
このようにワーク供給室１２の蓋１９を開放した後、プリント配線基板Ｐをワークテーブル２０上に位置決め設置し、蓋１９を閉じた状態とする（図２および図３参照）。
【００３０】
（ii）ワーク供給
次いで、排気装置５０を作動させてワーク供給室１２内を排気し、ワーク供給室１２内の真空度を真空印刷室１１内の真空度と同程度となるようにする。
ワーク供給室１２内の真空度が充分に高くなったら、次に、昇降装置３０を作動させることによりワークテーブル２０を下降させて搬送室１５の上面壁部１５Ａから離すとともに、ワークテーブル用架台３７をワークテーブル２０から離す（図４および図５参照）。そして、ワークテーブル２０をガイドレール１７に沿って印刷機収納室１４内まで水平に移動させ、印刷に好適な所定位置（ワーク供給位置）で停止させる（図６参照）。
【００３１】
なお、上述のようにワーク供給室１２内を排気してからワークテーブル２０を下降させて連通開口部１６を開放するから、ワーク供給室１２内の空気が真空印刷室１１内に流入することはない。
【００３２】
（iii）印刷
次に、このようにワークテーブル２０が所定位置に配置されたら、印刷装置４０の昇降ロッド４４を所定位置まで下降させるとともに、樹脂供給ノズル（図示せず）から樹脂を孔版４１上に塗布する。そして、走行体４６を走行させてスキージ４５を孔版４１上を擦るように移動させ、プリント配線基板Ｐの孔内に樹脂を印刷する。このような印刷工程を実行しても、プリント配線基板Ｐのビアホールは微細であるから、樹脂はビアホールの最奥までは完全に充填されないことが一般的である。
【００３３】
（iv）ワーク搬出
プリント配線基板Ｐへの樹脂の印刷が終了したら、昇降ロッド４４を上昇させることにより、走行体４６およびスキージ４５をもとの位置に戻す。そして、再びガイドレール４７に沿ってワークテーブル２０を搬送室１５内に移動させ、連通開口部１６の下方の所定位置で停止させて、昇降装置３０を上昇させることにより、ワークテーブル２０を搬送室１５の上面壁部１５Ａの下面に圧接させる。この時、上述したように、ワークテーブル２０は圧縮ばね３６の付勢力により上方に付勢されることとなるので、真空印刷室１１とワーク供給室１２との間はワークテーブル２０によって確実に遮断される。
【００３４】
そこで、蓋１９の給気弁を開放して内部を大気圧と等しくし、蓋１９を開放し、印刷後のプリント配線基板Ｐを取り出す。このように蓋１９を開放しても、真空印刷室１１とワーク供給室１２とを連通させる連通開口部１６はワークテーブル２０によって閉塞されているから、真空印刷室１１が大気に開放されることはない。
【００３５】
プリント配線基板Ｐが大気圧下に晒されると、ビアホール内の途中まで樹脂が充填されていて奥部に未充填部が残されていたとしても、大気圧と未充填部との圧力差により未充填部にも樹脂が押し込まれるようになる。
【００３６】
このように、本実施形態の真空印刷装置１０によれば、ワーク供給室１２を設け、これをワークテーブル２０によって真空印刷室１１と遮断するようにしたから、プリント配線基板Ｐの出し入れの度に真空印刷室１１内を大気圧に開放することがなくなる。また、特に本実施形態では、ワークテーブル２０を移動させて連通開口部１６を開放するに先立ち、ワーク供給室１２内を排気する構成としているから、ワーク供給室１２から真空印刷室１１内に空気が流入することがなく、真空印刷室１１内を高真空状態に維持することができる。この結果、プリント配線基板Ｐの供給の都度、大容量の真空印刷室１１を排気しなくても済み、排気するとしても小容量のワーク供給室１２だけを排気すれば常に高真空状態に維持でき、排気に要する時間が短縮されるので、生産性が従来と比較して格段に向上する。
【００３７】
しかも、本発明では、真空印刷室１１とワーク供給室１２との間の連通開口部１６を、本来はプリント配線基板Ｐを搬送するためのワークテーブル２０にて開閉する構成としているから、従来のようにわざわざ仕切扉や開閉扉を設ける必要がなく、装置の簡略化および設計の自由度が高まって装置の製造コストを安価にすることができる。
【００３８】
さらに、特に本実施形態では、ワークテーブル２０を印刷用テーブル２１とフレーム２２とで構成しているので、万一、フレーム２２が大気による応力によって変形した場合でも、印刷用テーブル２１のテーブル面精度は高く維持することが可能で、印刷のズレが生じにくく、高精度印刷が可能である。
【００３９】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００４０】
（１）上記実施形態では、プリント配線基板Ｐのビアホール内に絶縁性樹脂を充填する例を挙げたが、これに限らず、例えばプリント配線基板に実装した電子部品を樹脂封止するために樹脂を印刷する場合に適用することもできる。この場合でも、表面においてプリント配線基板と電子部品との間、或いは電子部品相互間に存する開口や隙間に樹脂を効果的に充填することができる。また、充填する樹脂としては、電気的、物理的にどのような物性の樹脂であっても良く、例えば導電ペーストを充填する場合に適用することもできる。
【００４１】
（２）さらに、例えばプリント配線基板ＰのスルーホールＴのような貫通孔に樹脂を充填する場合に適用することもできる。この場合には、例えば図９に示すように、プリント配線基板Ｐと印刷テーブル２１との間に、プリント配線基板ＰのスルーホールＴに対応する位置にスルーホールＴからはみ出した樹脂を逃がすための逃げ凹部６１が形成された印刷治具板６０を設置する。また、上記逃げ凹部６１の底面に連通孔６２を設けておき、逃げ凹部６１と印刷テーブル２１の溝部２１Ａとを連通した状態としておく。このようにすると、印刷後のプリント配線基板Ｐを真空印刷装置１０内から搬出する場合に、基板Ｐの上面に大気圧がかかって基板Ｐの表裏に大きい圧力差が生じた場合でも、溝部２１Ａ内の空気が逃げ凹部６１内に引き込まれることにより基板Ｐの表裏の圧力差が概ね解消されるため、貫通孔Ｔ内に充填された樹脂が移動してしまうことが防止される。
【００４２】
（３）上記実施形態では、ワーク供給室１２に排気装置を接続したが、その容積が真空印刷室に比べて十分に小さい場合には排気を省略することもできる。また、ワーク供給室に排気装置を接続する場合でも、上記実施形態のように真空印刷室の排気のための真空ポンプ５１と共用して切換弁５２によって切り換えるようにしてもよく、或いは、真空印刷室とワーク供給室とをそれぞれ専用の真空ポンプによって排気するようにしてもよい。
【００４３】
（４）上記実施形態では、プリント配線基板Ｐを、真空雰囲気下で印刷を行った後にワーク供給室１２から搬出して大気圧下に晒すことにより、大気圧と未充填部との圧力差を利用して、未充填部に樹脂を押し込む構成としたが、これに限らず、真空印刷室内の真空度を変化させることによって圧力差を生じさせ、樹脂を充填させる構成としてもよい。例えば、真空印刷室１１に給排気装置を接続しておき、ワークに印刷を行った後に真空印刷室の給気弁を開放して内部の真空度を一旦低下させて、その圧力差により樹脂の押し込み充填を行う。この場合、再び真空度を高くすれば、押し込み充填により嵩減りした分だけ再び樹脂を印刷することができる。また、一旦低下させる真空度は大気圧にはおよばないため、再び真空度を高くする場合の排気時間もさほど要さない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる真空印刷装置の正面側の縦断面概略図（ワークテーブルが閉塞位置から下降した状態）
【図２】同じく搬送室の正面側の概略断面図（ワークテーブルが閉塞位置にある状態）
【図３】同じく搬送室の横側の概略断面図（ワークテーブルが閉塞位置にある状態）
【図４】同じく搬送室の正面側の概略断面図（ワークテーブルが閉塞位置から下降した状態）
【図５】同じく搬送室の横側の概略断面図（ワークテーブルが閉塞位置から下降した状態）
【図６】同じく真空印刷装置の正面側の概略断面図（ワークテーブルがワーク供給位置にある状態）
【図７】同じくワークテーブルの斜視図
【図８】同じく真空印刷装置の概略平面図
【図９】本発明の他の実施形態の印刷テーブルの拡大縦断面図
【符号の説明】
１０…真空印刷装置
１１…真空印刷室
１２…ワーク供給室
１４…印刷機収納室
１５…搬送室
１５Ａ…上面壁部
１６…連通開口部
１７…ガイドレール
１９…蓋（扉）
２０…ワークテーブル
２１…印刷テーブル
２２…箱形フレーム
２３…ガイドピン
３０…昇降装置（昇降機構）
４０…印刷機
５０…排気装置
Ｐ…プリント配線基板（ワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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