(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥表面（２）に付着した粒子（１５）を拭い部材（５）により除去する方法であって、表面（２）と拭い部材（５）との間で相対運動が行なわれ、かつ拭い部材（５）が表面（２）に摩擦接触し、この際に拭い部材（５）が加湿される方法において、
拭い部材（５）を加湿する程度、及び加湿した拭い部材（５）と乾燥表面（２）との相対運動速度が、拭い部材（５）の繊維及び又は剛毛（１３）にフィルム（１４）として付着している液体が、拭い部材（５）から離れることがない程度に選定されており、それによって、拭い部材（５）の接触により清掃される表面（２）自体は濡れることのないようになっていることを特徴とする、乾燥表面に付着した粒子を拭い部材により除去する方法。
【請求項２】
加湿された拭い部材（５）と被清掃乾燥表面（２）との間の押圧力は、液体フィルム（１４）の付着した拭い部材の繊維又は剛毛（１３）が、除去される粒子（１５）と接触して粒子（１５）を液体フィルムに比較的しっかりと吸着して連行し、しかもそのさい液体が、被清掃表面（２）に移されることがない程度に僅かに選定されることを特徴とする、請求項１記載の方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載した、乾燥表面に付着した粒子を拭い部材による除去する方法を実施する装置（１）において、この装置（１）が、変向ローラ（６）の周囲を案内され、エンドレス回転する拭い部材（５）と、少なくとも１つの加湿装置（７）とを有しており、また、拭い部材の清掃側（８）が被清掃表面と接触するように設けられ、この清掃側（８）と対応する側（９）のところには加湿装置（７）と、湿分フィーラ又は湿分センサ（１０）とが配置されており、このフィーラ又はセンサが加湿装置（７）を起動制御して、加湿度を僅かにすることにより被清掃表面が濡れることのないようにされることを特徴とする、乾燥表面に付着した粒子を拭い部材による除去する方法を実施する装置。
【請求項４】
拭い部材（５）が、エンドレスベルトとして２個の変向ローラ（６）の周囲に巻掛け案内され、その弛み側が清掃側（８）として、またその張り側が対応被加湿側（９）として構成されていることを特徴とする、請求項３記載の装置。
【請求項５】
拭い部材（５）の清掃側（８）が、被清掃表面（２）の幅から、少なくとも一端が、有利には両端が突出していることを特徴とする、請求項３又は４記載の装置。
【請求項６】
互いに平行に配置されたエンドレス回転する２つの拭い部材（５）が備えられ、これら拭い部材の清掃側（８）が互いに向い合い、特に等しい運動方向で駆動され、これら拭い部材間に被清掃プレート（３）又はエンドレスの帯状品の通過に役立つ間隙が設けられていることを特徴とする、請求項３から５までのいずれか１項記載の装置。
【請求項７】
特に清掃区域外に、拭い部材（５）の清掃用に吹きとばし装置、及び又は吸引装置、及び又は掻取り装置（１８）が配置されていることを特徴とする、請求項４から６までのいずれか１項記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、乾燥表面に付着した粒子を拭い部材により除去する方法、それも表面と拭い部材との間に相対運動が行なわれ、拭い部材とを表面とが摩擦接触せしめられる形式のものに関する。本発明は、更に、この方法を実施する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
実際には、数多くの清掃方法が公知である。乾式清掃方法は、吸引、又は吹きとばし、又はブラシや不織布での拭い取りなどであり、ＤＥ４２１３  ３４２．４により公知の方法である。
【０００３】
これと並んで、液体を用いた浄化方法も知られている。たとえば、被清掃表面に液体を噴射する高圧洗浄法、被清掃対象を液体中に浸漬する超音波洗浄法、加湿した布片や類似の拭い部材で相応の表面を液体を用いて拭取る拭取り法などである。
【０００４】
とりわけ湿式清掃法には次の欠点がある。すなわち、浄化された表面が浄化後に濡れた状態にあるため、乾燥工程を清掃方法に組込まねばならず、濡れた表面に、また粒子が付着する危険が生じる点である。更に、水分が特定材料の特性を望ましくない形式で変化させることが往々にして生じる。たとえばふやけさせる。
【０００５】
また、乾式清掃方法にも欠点がある。すなわち、とりわけ表面が粗さを有している場合、粒子、特に小粒子や微粒子が付着したままになる欠点である。少なくとも、乾式清掃方法の場合、相応に長く、出費の多い作業時間が必要とされる。その場合、被清掃表面が導電材料製でない場合には、拭い部材の摩擦によって静電荷を帯電し、それにより粒子が吸着され、新たな汚れが生じる危険も存在する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の課題は、冒頭に述べた種類の方法と装置において、出来るだけ僅かの出費で粒子を表面から除去することができ、しかも除去後に乾燥工程を必要としない形式のものを得ることにある。その場合、また、粒子は、表面が一定の粗さを有していても、相応の高い確実性で拭い部材により表面から粒子が除去され得なければならない。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この課題は、本発明によれば、拭い部材の湿分を僅かな程度に調量することにより、拭い部材が接触しても、被清掃表面自体は濡れることがないようにすることによって解決された。
【０００８】
湿された繊維又は拭い部材が、ちりや微細粒子をよりよく吸着することは周知のことである。これは、湿分により拭い部材の吸着性が高められるためである。
【０００９】
また、本発明によれば、加湿された拭い部材の利点と、被清掃表面が濡らされることがなく、事後の乾燥工程を不要にする措置とが組合せられる。このため、きわめて効果的な清掃方法が得られる。この方法の場合には、粒子は、機械式にだけでなく、加湿された拭い部材の吸着能力によって被清掃表面から、きれいに除去され、しかも表面が濡れることがないので、新たなちりが付着することもない。また、たとえ僅かの湿分が表面に移るようなことがあっても、直ちに蒸発する程度の量であるから、表面が濡れたままになることはない。
【００１０】
拭い部材の加湿の程度と、加湿された拭い部材と乾燥表面との相対運動速度とは、拭い部材の繊維及び又は剛毛のところにフィルムとして付着している液体が、拭い部材から被清掃表面に移らない程度に選定される。液体が表面張力により一定の付着力を有することは周知であり、本発明によれば、この付着力が境界層では相応に大であり、液体のフィルムの厚さがこの境界層にほぼ相応する点が利用される。
【００１１】
加湿された拭い部材と被清掃表面との間の押圧力を小さく選定することによって、液体フィルムの付着した繊維又は剛毛が、吸着される粒子と接触して、比較的強く吸着することにより、被清掃表面には全く液体が移らないようにされる。その場合、極めて短時間、表面上に液体が残っても、事実上直ちに、だいたいは未だ清掃工程の間に乾いてしまうので、この措置の意味では、液体が移らなかったと見なされる。
【００１２】
特に好ましい措置は、拭い部材を被清掃表面に対し連続的に移動させ、拭い部材の少なくとも１区域を交互に乾燥させたり湿らせたりし、更にその時々の乾燥区域が、清掃区域外で付着粒子を除去され、清掃されるようにすることである。このようにすることにより、また、始めに加湿された拭い部材に付着した粒子を容易に除去できる。なぜなら、この除去は、拭い部材が一定時間乾燥されたときに行なわれるからである。要するに、当初、液体フィルムにより高められた拭い部材の吸着力が、清掃工程の間に液体フィルムが失われることによって低下したときに、除去が行なわれるのである。本発明のこの構成は、したがって、きわめて重要な意味をもっている。
【００１３】
特に良好かつ迅速な清掃は、２つの拭い部材を被清掃表面の送り方向に前後に配置し、双方の拭い部材を交互に湿らせたり乾燥させたりし、乾燥したほうの拭い部材から付着粒子を除去するようにした場合に可能になる。要するに、事実上連続的に、拭い部材に対し移動せしめられる対象物の表面を“湿式清掃”できる一方で、同時に事実上連続的に拭い部材が乾燥状態で付着粒子を除去され得るのである。
【００１４】
本発明による方法の別の有利な構成では、たとえばベルト状の１つの拭い部材に隣接区域を設け、これらの区域を交互に加湿、乾燥させて、清掃区域外で乾燥区域から付着粒子を除去するようにされる。このようにしても、一方では連続的な清掃が可能になり、他方では拭い部材の浄化が可能になる。なぜなら、拭い部材は、周期的に一方の区域が加湿され、表面清掃を行なう一方、隣接区域が乾燥されて、付着粒子を除去され得るからである。そのさい、このような交互に加湿、乾燥される区域を有する拭い部材は、被清掃表面の送り方向で前後に配置された２つの拭い部材を一体に構成したものと見ることもできよう。
【００１５】
拭い部材に吸着された粒子は、拭い部材の乾燥後に吹払い、及び又は吸引、及び又は掻取りにより除去される。
【００１６】
拭い部材の表面の湿分は測定され、加湿のための液体の補給は測定成績によって制御される。この措置は、要するに次の点を考慮に入れることにより可能となる。すなわち、拭い部材にフィルムとして、つまり境界層として付着している液体が、清掃工程において、ある意味では消費されるか、もしくは蒸発するかするため、再三、補給される必要があるが、そのさい、液体補給により拭い部材に液体が付着しすぎて、被清掃表面を濡らすようなことがあってはならないという点である。このことは、前記の湿分測定と、加湿過程の相応の制御とにより達成される。
【００１７】
測定により湿分が過少であることが検知されると、拭い部材の加湿のため、液体が、加湿を要する拭い部材区域に噴霧される。これにより、液体は精密に分配され、その表面張力と、それにより生じる付着力とによって、拭い部材の相応の区域に十分に一様に供給される。
【００１８】
拭い部材は、既述のように、被清掃表面の送り方向に対し横方向に運動し、特に清掃区域外で変向せしめられるので、連続的に反復して被清掃表面を横切って運動することができる。したがって、清掃工程は中断されない。その場合、清掃の集中度には、被清掃表面及び又は拭い部材を相応の送り速度にすることによって影響を与えることができる。
【００１９】
拭い部材の表面湿分の測定により、少なくとも２つの選択的に操作可能の噴霧装置を起動制御でき、その時々に、拭い部材の加湿を要する区域に、又は全体が加湿を要する拭い部材に加湿する噴霧装置だけが起動できる。その時々に起動されないほうの噴霧装置は、その場合、その時に乾燥されて付着粒子を除去できるようにされる拭い部材区域に向けられている。
【００２０】
既述のように、被清掃表面は、この表面上に濡れた跡が生じても、事実上直ちに蒸発し、乾燥するので、乾燥状態のままであったと見なす。拭い工程後、表面が出来るだけ速く、ないしは直ちに乾燥するように、拭い部材を濡らす液体は、残渣なしに蒸発する液体、たとえば蒸溜水、又はアルコール、又はこれら２つの混合液を用いる。
【００２１】
この液体には、液体の伝電性を改善し、帯電防止効果を得るために、ＣＯ２及び又はアンモニアを添加することができる。とりわけ帯電防止は次の場合に必要である。すなわち、不良導性の表面をもつ、たとえばエンドレスベルトが、プラスチック被覆された物体又はプレートを清掃する場合である。この場合には、乾式清掃時には拭い部材によって極めて急速に電荷が帯電されるからである。この帯電は、清掃作業員に不快であるだけでなく、新たに汚染粒子を吸着することがある。この効果は、帯電防止に有効な液体によって事実上防止できる。この防止措置の別の利点は、導電性の改善により湿分測定も容易になる点である。すなわち、湿された拭い部材を介して測定センサのところに電流が流され、この電流は湿分が過少になると相応に乏しくなるか、中断されるからである。
【００２２】
拭い部材が湿らされているにも拘らず、被清掃表面が漏れないようにすることによって、良好な清掃効果を得るための、本発明の構成の眼目は、拭い部材の送り速度を適宜に選定して、被清掃表面に液体が付着しない速度にする、たとえば秒速約３〜６ｍにすることにある。湿された拭い部材から被清掃表面への液体の移行は、拭い部材と被清掃表面との相対速度が高ければ、それだけ少なくなる。被清掃表面への液体の移行を防止するには、どんな液体が、どの位量だけ必要であり、また、どの位の送り速度が必要かは、実験により確定できる。
【００２３】
前述の方法を実施する本発明による装置は次の点が特徴である。すなわち、変向ローラに巻掛け案内され、エンドレス回転する拭い部材と加湿装置とを有しており、拭い部材の清掃側が被清掃表面と接触するようにされ、更に、拭い部材の清掃側と向い合って回転する対応側には、加湿装置と湿分フィーラ又は湿分センサとが配置されており、このセンサが加湿装置を起動制御することによって、加湿を僅かに抑えて、被清掃表面が濡らされることがないようにするのである。このようにすることによって、被清掃対象物、特にプレート又はエンドレスの帯状品の表面の連続的清掃が可能になる。この場合、被清掃対象物は拭い部材に対し横方向に送られる。
【００２４】
この装置の構成及び拭い部材自体の構成、更には湿分センサ及び加湿装置の相互配置は、従属請求項に記載されている。
【００２５】
本発明の実施態様によれば、拭い部材が不織布及び又は剛毛を有するブラシ付ベルトであることができ、この結果、これらの剛毛又は不織布の繊維に液体のフィルムが形成でき、この液体のフィルムが加湿装置により拭い部材に付与されることが記載されている。
【００２６】
また、本発明の別の実施態様によれば、２つのエンドレス回転する拭い部材の清掃側が、事実上同じ個所に向い合って位置し、これら清掃側間に送入されるプレート状部材の両面が同時に清掃し得る措置が示されている。
【００２７】
全体として得られる清掃方法及び清掃装置は次のようなものである。すなわち、清掃部材又は拭い部材の吸着力が、拭い部材が不織布であれ、ブラシであれ、繊維の表面を有するラップであれ、高められる結果、被清掃表面から除去される粒子は、拭い部材に十分に吸着され保持され、したがって、極めて微細な粒子と被清掃対象物表面との間に既に働いている分子力が克服されるというものである。こうしたことは、乾式清掃の場合には、必しも確実に達成されるとは限らないものなのである。本発明の場合、被清掃表面へ液体が移ることができないので、粒子と被清掃表面との間の結合力は高まることがない。しかし、こうした結合力の高まりは、被清掃表面が濡らされる清掃方法の場合には、必らず生じることである。
【００２８】
拭い部材とそれに付着した粒子との間のそれ自体高い付着力又は接着力は、拭い部材の浄化時に簡単に次のようにして除去できる。すなわち、清掃工程の間に拭い部材を、たとえば圧縮空気ノズルにより短時間乾燥させるのである。
【００２９】
要するに本発明が提供する清掃方法及び方法を実施する装置は、乾式又は湿式のいずれの清掃方法にも所属させることのできないものであり、これまで対立的であったこれらの方法のそれぞれの利点を利用し、しかも欠点を除去したものである。
【００３０】
【実施例】
以下で本発明の複数実施例を図面につき詳説する。
【００３１】
いずれの実施例の場合も、装置全体が符号１で示されている。装置１は、たとえばプレート３の乾燥表面２に付着している粒子１５（図５参照）を拭い部材５により除去するのに役立っている。この場合、表面２と拭い部材５とは、詳しくは後述するが、相対運動を行なう。拭い部材５は、被清掃表面２に摩擦接触し、表面２に付着している粒子を吸着除去する。
【００３２】
図示のどの実施例の場合も、装置１は、変向ローラ６の周囲を案内され、エンドレス回転する拭い部材５と、少なくとも１つの加湿装置７とを有している。この場合、拭い部材５は、表面２と接触する清掃側８を有し、加湿装置７は、清掃側８と向い合った位置を回転する対応側９に加湿する。この対応側９には、図１及び図４に見られるように湿分センサ１０が配置されている。このセンサ１０により加湿装置７は、制御装置１１と導管１２とを介して起動制御され、表面２へは拭い部材５の液体が移らない程度に僅かだけ、拭い部材５に加湿する。粒子１５だけが液体を吸収できる。
【００３３】
図５に示されているように、拭い部材５の繊維又は剛毛１３は、液体のフィルム１４に覆われている。この液体フィルム１４は薄いので、液体フィルム１４と繊維又は剛毛１３との間の境界面に作用する吸着力又は付着力の大きさは、液体が被清掃表面２に移らず乾燥表面２から粒子１５のみが吸着される程度の大きさである。その場合、この粒子１５を受容し除去する機械式拭い運動が行なわれるだけではなく、液体フィルム１４により粒子１５を表面２よりも繊維又は剛毛１３により良く付着させる作用が働くのである。拭い部材５は、要するに、表面２が濡れることがない程度に僅かだけ加湿されるのである。こうすることにより、装置１及び装置１により実施される方法は、粒子が湿った繊維又は剛毛には、乾いた表面より良く付着するという事実を利用するわけである。表面２が濡らされれば、粒子に対する付着力がより強くなり、その結果、相応に除去しにくくなるであろう。
【００３４】
図１に示したように、湿分センサ１０は、他の実施例の場合にも当てはまり、かつ有利なことだけが、拭い部材５の運動方向で加湿装置７の前方かつ清掃側８の後部に配置されている。要するに、拭い部材５の、清掃を実施する区域と、この拭い部材５の湿分が場合により修正されねばならない区域との間の個所に配置されている。その場合に考慮せねばならない点は、吸着されれた粒子１５は湿分を吸収するので、前記の配置の湿分センサが、拭い部材５の湿分の不足を出来るだけ適時に検出するようにする点である。拭い部材５が更に進むさい、拭い部材５は付加的に加湿される。図１から更に分かる点は、この湿分センサ１０が制御装置１１と接続されている点である。この制御装置１１は、既述のように導管１２を介して加湿装置７を起動制御する。制御装置１１は、その場合、拭い部材５の加湿の程度と、湿された拭い部材５、乾燥している表面２双方の相対運動速度とを調節することによって、拭い部材５の繊維及び又は剛毛１３にフィルムとして付着している液体が、付着したままで、表面２には移らないか、移ったとしても眼に見えない直ちに蒸発する跡の形で移るようにする。
【００３５】
拭い部材５は、エンドレスベルトとして構成され、２つの変向ローラ６のところを案内され下側が清掃側８として、上側が被加湿対応側９として構成されている。変向ローラ６を２個以上使用するのも有意義であり合目的的である。その場合には、たとえば対応側が張りローラ又は案内ローラを介して走行するようにする。これらのローラにより加湿装置は、より好都合なものになるが、２個の変向ローラ６を有する図示の実施例で選ばれている解決策のほうが廉価ではある。
【００３６】
拭い部材５と被清掃表面との間の押圧力は、次の程度に小さく選ばれている。すなわち、拭い部材５の液体フィルム１４が付着した繊維又は剛毛１３が、除去される粒子１５と接触して、粒子を吸着し、連行はするが、被清掃表面２には液体が移らない程度に小さくするのである。
【００３７】
拭い部材５の清掃側８は、被清掃表面２の幅を超えて、少なくとも一端が、図示の実施例では両端が突出している。言いかえると、変向ローラ６、すなわち駆動ローラと張りローラとが、プレート３の表面２の区域の縁部又は外部に位置している。拭い部材５は、どの実施例の場合も変向ローラを介して固定支承され、表面２、つまりプレート３は、清掃側８の運動方向に対し横方向に、すなわちどの実施例の場合も直角方向に、矢印ＰＦ１方向へ清掃側８に対して送ることができる。図示の実施例では、要するに、清掃側８は、矢印ＰＦ１により示された表面２の送り方向に対し直角に配置されている。これに対し、斜めに配置することも考えられるが、その場合には清掃側８は、相応に長くせねばならない。
【００３８】
拭い部材５の走行速度は、この場合、被清掃表面２への液体の移行が不可能な程度の速度に選ばれている。剛毛付きの拭い部材、要するにブラシ状の拭い部材５を用いる場合は、この速度は、秒速３ｍ又は幾分それよりも遅い速度か、又はそれ以上の速度にすることができる。不織布状の拭い部材の場合には、秒速約６ｍにするのが有利である。更に被清掃対象物の送り速度も加わるので、表面２への液体の移行が防止される相応の相対速度が得られる。被清掃表面と液体量とに応じて、そのつど必要な速度を実験により求めることができる。逆に、速度が予め与えられている場合には、拭い部材５の加湿度も、実験により簡単に求めることができる。その場合、常に留意すべき点は、清掃工程の間に、表面２自体が濡れるほど液体が表面２に移行することのないようにすることである。
【００３９】
既述のように、拭い部材５は、不織布付ベルト（図１及び図２）及び又は剛毛１３を有するブラシ付ベルトとすることができる。いずれを用いるかは、被清掃表面２の状態に応じて決められる。不織布とブラシ付きベルトとを組合せることもできる。
【００４０】
図２及び図３に示した実施例では、互いに平行に配置され、エンドレス回転する２つの拭い部材５が用いられている。拭い部材の清掃側８は互いに向い合っており、特に等方向に駆動される。この等方向の駆動は、駆動ローラ６が逆方向に回転することにより行なわれる。この場合、清掃側８の間には、被清掃プレート３が通過するための隙間が設けられている。プレート３は、この場合、両面を同時に清掃されることができる。
【００４１】
図４からは次のことが分かる。すなわち、剛毛１３を有する清掃ベルトとして拭い部材５が構成され、この清掃ベルトに対し、各剛毛列ごとに、ないしは各１列の剛毛列を有する平行に並列された清掃ベルトごとに、それぞれ１つの湿分センサ１０と、特に加湿装置７とが備えられている。但し、これは、複数の剛毛列に１つの加湿装置７では加湿できない場合のことである。したがって、図１及び図２の実施例のさいに既に述べたように、これらの場合にも、拭い部材５の表面の湿分を測定し、測定値にもとづいて加湿量を制御することにより、失われた湿分を常に適時に補給することができる。
【００４２】
加湿装置７としては、少なくとも１つの噴霧装置を備えておくことができる。噴霧装置７の開口１７は拭い部材５の、好ましくは対応側９に向けておく。このことは図示のすべての実施例に見ることができる。拭い部材５に加湿するための液体は、湿分センサ１０により液体が過少であることが検出されると、拭い部材の被加湿区域へ噴霧される。この噴霧には、相応に薄い液体フィルム１４が発生させるという別の利点がある。
【００４３】
図２には特殊な構成の実施例が示されている。この実施例の場合、拭い部材５には、横並びに少なくとも２つの加湿装置７を配置しておくことができる。これらの装置７は交互に操作可能なので、その時々で部分５ａが乾燥され、他の部分５ｂが加湿されるようにする。清掃区域外には、拭い部材５の浄化用吸込装置１８が配置されている。これにより、その時々に乾燥部分５ｂから、付着している粒子を吸引して浄化できる。粒子は、拭い部材５のこの乾燥部分には、この部分が湿された状態のときのように固く付着してはいない。
【００４４】
図１の実施例の場合にも、同じように、拭い部材浄化用の吸引装置１８が認められる。この吸引装置１８は、他のすべての実施例同様、拭い部材５の変向区域に配置されている。この場合は、時々、清掃工程を中断し、拭い部材５を乾燥し、次いで、たとえば吸引により浄化せねばならない。その点では、図２の構成が有利である。この場合はプレート３又はエンドレスの帯状品の清掃と、時々必要な拭い部材５の浄化とが同時に行ない得るからである。図２の構成では、拭い部材５の表面の湿分測定により、選択的に操作可能の噴霧装置が加湿装置７として起動制御され、その時々で拭い部材５の加湿されるべき区域に加湿する噴霧装置のみが起動される。この２つの区域を有する拭い部材５の代りに、被清掃対象物の送り方向で前後に配置される２つの拭い部材５が、それぞれ１つの加湿装置７と１つの湿分センサ１０を備えるようにし、これら２つの拭い部材が、交互に乾燥ないし加湿され、図２の構成の場合のように作業するようにする。この結果、この場合も同時にプレート３の表面２又はプレート３の両面が清掃され、拭い部材５は、時々、乾燥され、粒子１５を除去される。この第２の解決策は、図２に認められる湿された区域と乾燥区域との分離線が、同時に２つの平行な拭い部材の場合の分割線を意味している。
【００４５】
図１からは、更に、加湿装置７が、液体ポンプ２０、及び噴霧装置本体への導管２２への入口のところのフィルム２１を有する貯蔵タンク１９と、圧力空気源２３と、弁２４とを有していることが分かる。これにより、インジェクタ内では噴霧装置とその開口１７に供給される液体が連行され、噴霧される。そのさい、少なくとも１つの、圧力ガス又は圧力空気用の弁２４が、場合によっては液体ポンプ２０も、湿分センサ１０と接続された制御装置１１により起動制御される。要するに、図１の略示図からは、一方では、拭い部材５の湿分測定が、どのように行なわれるかが分かり、他方では、湿分測定が拭い部材５への液体補給の制御に変換されるかが分かる。ここで更に言及しておかねばならない点は、場合によっては、エンドレス回転する拭い部材５の運動方向を逆転可能にするか、ないしは拭い部材の駆動装置を切換え可能にすることができる点である。このことは、この逆転ないし切換えは、拭い部材５自体の浄化目的のために有利であるが、プレート３の清掃のためにも、事情により有利である。たとえば不織布又は剛毛１３の片側だけの摩耗を防止できるからである。
【００４６】
図示の実施例では、拭い部材に吸着された粒子は、拭い部材の部分又は全体を乾燥させたのち、吸引除去される。粒子は、しかし、吹きとばしたり、掻き落したりすることもでき、これら双方を組合わせてもよい。
【００４７】
拭い部材のこうした浄化は、図示の実施例の場合、清掃区域外で行なわれる。すなわち、拭い部材５は、被清掃表面２の送り方向に対し横方向に移動し、そのさいその時々で表面２により規定される清掃区域外で変向され、有利にはこの変向区域で浄化される。したがって、拭い部材５は連続的に作業できる。
【００４８】
拭い部材５の加湿のため、貯蔵タンク１９内に液体が貯えられている。この液体は残渣なしに蒸発する液体であり、たとえば蒸溜水及び又はアルコールから成っている。このことの利点は、拭い部材５及び被清掃表面２のいずれもが、粒子の吸着に役立つ液体により汚されることがない点にある。
【００４９】
この液体には、ＣＯ２及び又はアンモニアを、液体の導電性を高め、かつ帯電防止効果を得るために添加することができる。こうすることにより、プレート３又はその他の対象物が金属製ではなく、たとえばプラスチック製であっても、表面２の摩擦により静電荷を帯電することはない。加えて、そうすることにより、液体の導電性が改善されて、湿分センサ１０による湿分測定が有利な形式で容易になるか、もしくは補助されることになる。
【００５０】
拭い部材５の不織布又は細い剛毛１６の加湿により、不織布の毛又は剛毛の表面には、液体がフィルム１４の形で付着する。これにより粒子１５と不織布の毛又は剛毛との間の接着力が明らかに高められる。特に細かな、顕微鏡的微粒子は、微粒子とプレート３その他の被覆清掃表面２との間に分子力が作用する特性を有する結果、乾式の純機械的な清掃作業、たとえば拭い取り又は吹きとばしによっては、確実かく効果的に除去できない。だが、薄いフィルム１４により加湿によって、プレート３その他の表面２は濡らされることなしに、ないしは液体量が表面２に移行するなしに、粒子１５とプレート３との間の結合力が再び高められる。  拭い部材５の浄化の場合、有利には、湿分を一定時間の間除去し、要するに拭い部材５を乾燥させ、それによって粒子を容易に吸引、吹きとばし、急速走行する拭い部材の遠心力その他のいずれかにより、たとえば変向ローラ６の区域で除去することができる。この場合、エンドレス回転の拭い部材の曲げと、拭い部材５に付着している粒子１５に対する付加的な機械的作用（掻取り器）により除去される。
【００５１】
著しく汚れた対象物に対する清掃をより良く行なうには、本発明による湿式清掃を乾式清掃とを組合わせて、被清掃表面を先ず乾燥状態で清掃し、次いで湿式に清掃するのである。要するに、きわめて確実に粒子を吸着できる本発明の清掃に、乾式清掃を先行させ、場合によっては付加的に吹きとばし工程も先行させ、それによって大部分の汚れを除去し、そのあとで湿された拭い部材による最終清掃を行なうのである。
【００５２】
被清掃対象物の乾燥表面２に付着した粒子１５を除去する方法は、拭い部材５により次のように行なう。すなわち、この拭い部材５と被清掃表面２とから互いに相対運動を行ない、そのさい拭い部材５が表面２に摩擦接触するようにするのである。表面２に付着している粒子１５が拭い部材５に十分に吸着されるようにするために、拭い部材５は僅かだけ加湿され、乾燥した拭い部材よりも粒子１５が吸着し易くされる。その場合、この加湿の程度は、被清掃表面２自体は濡らされることがない程度であり、したがって、表面への粒子の付着力が高められるようなことはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】２つの変向ローラを有し回転するエンドレスベルトとして構成された拭い部材の斜視図。拭い部材は清掃側で拭い部材の運動方向と直角方向に送られるプレート表面を清掃する。図には更に、加湿装置と、加湿装置を起動制御する湿分センサと、拭い部材の浄化用の吸引装置とが、拡大図で示されている。
【図２】回転する拭い部材の半部が交互に加湿されたり乾燥されたりする形式の装置の一部を示した斜視図。図には同時に、前記拭い部材と平行に第２の拭い部材を配置して、その間にプレートを通過され、両面を同時に清掃可能であることが示されている。
【図３】拭い部材が個々の剛毛を有するベルト又はストリップから構成された変化形を示した斜視図。この場合も、２つの拭い部材が互いに平行に配置され、その間でプレートの両面が同時清掃される。吸引装置が双方の拭い部材の変向区域で働いている。
【図４】図３の拭い部材の一部の拡大図。剛毛の間に測定電極（容量測定）が配置されている。
【図５】図の下方に示したプレートの表面の粗さを著しく拡大して、表面に付着している粒子と、液体フィルムの付着した繊維又は剛毛により表面から吸着された粒子とを示した図。
【符号の説明】
１    粒子を除去する装置
２    被清掃表面
３    被清掃対象物
５    拭い部材
６    変向ローラ
７    加湿装置
８    清掃側
９    対応側
１０    湿分センサ
１１    制御装置
１３    繊維又は剛毛
１４    液体フィルム
１５    粒子
１７    開口
１８    吸引装置
１９    貯蔵タンク
２０    液体ポンプ
２１    フィルタ
２２    供給管
２３    圧力空気源
２４    弁
ＰＦ１    プレートの送り方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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