(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空引きしたウェハカセット室内に設置されたウェハカセットエレベータのテーブルに載置したウェハカセットのウェハを、真空引きしたウェハ搬送室内に設置されたウェハ搬送ロボットのアームに取付けたウェハ搬送フォークに載置して搬出入するウェハ搬送装置において、
前記ウェハ搬送ロボットのアームに着脱しうるように取付けたウェハ搬送フォークと、交換用のウェハ搬送フォークを収納し前記ウェハカセットエレベータのテーブルに載置した、複数のフォークを収納するフォークストッカーとを設け、
かつ、前記ウェハ搬送ロボットのアーム先端に垂直に突出させたピンおよび傾斜させて設けたフックピンと、
先端を二股に構成し基端部に前記アームに設けた前記ピンに係合するピン穴、および前記フックピンに係合するフックピン穴を有する交換用のウェハ搬送フォークとを設けたことを特徴とするウェハ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハカセットからウェハを搬出入するウェハ搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のウェハ搬送装置は、図５に示すように構成されている。１は真空引きしたウェハ搬送室で、このウェハ搬送室の底板２にウェハ搬送ロボット５が取付けてある。前記ウェハ搬送ロボット５は、モータ軸（図示せず）に一端を取付けた第１のアーム６の先端に第２のアーム７を旋回可能に取付けるとともに、この第２のアーム７の先端に第３のアーム８を旋回可能に取付け、かつ、この第３のアーム８の先端にウェハ搬送フォーク１１を固定して構成している。
前記ウェハ搬送室１には、隣接してウェハカセットエレベータ１４ａを収納した真空引きしたウェハカセット室１４が設けられ、ウェハカセットエレベータ１６ａのテーブル１５にはウェハ１７を収納したウェハカセット１６が載置してある。
ウェハの搬送は、前記ウェハ搬送ロボットを始動して第１のアーム６、第２のアーム７および第３のアーム８を屈伸し、第３のアームに取付けた搬送フォーク１１を前進、後退させてウェハカセット１６内のウェハ１７をウェハ搬送フォーク１１の上に載置してウェハカセット１６からウェハ１７を搬出入することにより行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のウェハ搬送装置は、ウェハ搬送フォーク１１にウェハ１７を載置して搬送しており、ウェハを多数回搬送すると、ウェハ搬送フォーク１１がウェハ１７により汚損され、ウェハ搬送フォーク上に載置するウェハが滑ってウェハ搬送フォーク上のウェハの位置がずれて、ウェハカセットに収納するときウェハカセツトに当たって破損する問題があった。このため、ウェハ搬送フォーク１１を頻繁に取替える必要があり、真空引きしてあるウェハ搬送室１のドアを開け、大気に開放してウェハ搬送ロボット５の第３のアーム８からウェハ搬送フォーク１１を取り外して新しいウェハ搬送フォークを取付け、このウェハ搬送フォーク１１を取付けた後再度ウェハ搬送室１を真空引きしなければならず、作業が煩雑となり、稼働率が低いという問題があった。
そこで、本発明は、真空引きしたウェハカセット室内に、交換用のウェハ搬送フォークを収納したフォークストッカを設け、ウェハ搬送ロボットの第３のアーム先端に交換用のウェハ搬送フォークを簡単に着脱できるようにすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、真空引きしたウェハカセット室内に設置されたウェハカセットエレベータのテーブルに載置したウェハカセットのウェハを、真空引きしたウェハ搬送室内に設置されたウェハ搬送ロボットのアームに取付けたウェハ搬送フォークに載置して搬出入するウェハ搬送装置において、前記ウェハ搬送ロボットのアームに着脱しうるように取付けたウェハ搬送フォークと、交換用のウェハ搬送フォークを収納し前記ウェハカセットエレベータのテーブルに載置した、複数のフォークを収納するフォークストッカーとを設け、かつ、前記ウェハ搬送ロボットのアーム先端に垂直に突出させたピンおよび傾斜させて設けたフックピンと、
先端を二股に構成し基端部に前記アームに設けた前記ピンに係合するピン穴、および前記フックピンに係合するフックピン穴を有する交換用のウェハ搬送フォークとを設けるようにしている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図を用いて詳細に説明する。
図１はウェハ搬送装置の要部側断面図、図２は図１のウェハ搬送フォークの要部を示す平面図、図３は図２のウェハ搬送フォークの側断面図である。図５と同一のものには同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図において、１は真空引きしたウェハ搬送室で、このウェハ搬送室の底板２に後記ウェハ搬送ロボット５が取付けられ、側壁３にはゲート開口部４が設けられている。前記ウェハ搬送ロボット５は、ロボット内のモータの軸（図示せず）に一端を取付けた第１のアーム６を有し、この第１のアーム６の先端に第２のアーム７を旋回可能に取付け、この第２のアーム７の先端に第３のアーム８を旋回可能に取付けて構成してある。９は第３のアーム先端に垂直に突出させたピン、１０は第３のアーム先端に傾斜させて突出させたフックピンである。１１は先端を二股に形成したウェハ搬送フォークで、基端部に前記ピン９に係合する長穴１２およびフックピン１０に係合する傾斜したフックピン穴１３が設けられている。１４は真空引きしたウェハ搬送室に隣接して設けた、真空引きしたウェハカセット室で、このウェハカセット室内にエレベータ１４ａのテーブル１５が昇降しうるように設けられている。１６はウェハ１７を収納するウェハカセットで、前記テーブル１５上に載置しうるようにしてある。１８はウェハカセット室１４に設けたゲート開口部で、前記ウェハ搬送室１の側壁３に設けたゲート開口部４に合致するように設け、前記ウェハ搬送フォークが出入りしうるようにしてある。１９はゲートバルブで、ウェハ搬送室１とウェハカセット室１４とを仕切るようにしてある。２０は複数のフォークを収納するフォークストッカーで、前記ウェハ搬送ロボットの第３のアームに取付ける交換用のウェハ搬送フォーク１１ａが収納され、前記エレベータ１４ａのテーブル１５に載置されている。
つぎに、真空引きしたウェハ搬送室内に設置されたウェハ搬送ロボットのアームに取付けたウェハ搬送フォークの交換作業について説明する。まず、ウェハ搬送フォークをウェハ搬送ロボットの第３アームから取り外すときは、ウェハ搬送ロボット５を駆動してアームを屈伸し第３のアーム８の先端に取付けたウェハ搬送フォーク１１をフォークストッカ２０に挿入する。ウェハカセットエレベータ１４ａを下降させると、フォークストッカに設けた棚（図示せず）にウェハ搬送フォークの側部が係止する。さらにウェハカセットエレベータを下降させるとともに、ウェハ搬送ロボットの第３のアームを図３に示す矢印と逆方向に移動させると、ウェハ搬送フォーク１１の長穴１２およびフックピン穴１３からウェハ搬送ロボツトの第３アームに設けたピン９およびフックピン１０がはずれ、ウェハ搬送フォークはフォークストッカ２０の棚に載置されてフォークストッカ２０に収納されて、ウェハ搬送ロボットのアームからウェハ搬送フォークの取り外し作業が完了する。
つぎに、ウェハ搬送ロボットの第３アームにウェハ搬送フォークを装着するときは、ウェハ搬送ロボットの第３アーム８をフォークストッカー２０に挿入し、交換用のウェハ搬送フォーク１１ａの長穴１２の真下に第３のアーム８の先端のピン９が達すると、エレベータを下降させながらウェハ搬送ロボット５の第３のアーム８を図３に示す矢印方向に移動させると、第３のアーム８に設けたピン９およびフックピン１０がウェハ搬送フォークの長穴１２およびフックピン穴１３に入り、第３のアーム８の先端に交換用のウェハ搬送フォーク１１ａが取付けられて、ウェハ搬送ロボットの第３アームにウェハ搬送フォークの装着作業が完了する。
図４は本発明の第２の実施例を示すウェハ搬送フォークの側断面図で、第３のアーム８の端部に突出片２１を設け、この突出片２１にウエハ搬送フォークを嵌め込む溝２２を形成し、この溝２２にウェハ搬送フォークの側部を嵌め込むようにしている。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、真空引きしたウェハ搬送室内に設置されたウェハ搬送ロボットのアームにウェハ搬送フォークを簡単に着脱することができ、そのため真空引きしたウェハカセット室の中でウェハ搬送フォークを交換することができるので、交換のたびにウェハ搬送室のドアを開閉する必要がなく、稼働率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施例を示すウェハ搬送装置の要部側断面図である。
【図２】  図１の要部を示す平面図である。
【図３】  図２の要部を断面した側断面図である。
【図４】  本発明の第２の実施例を示すウェハ搬送フォークの要部を断面した側断面図である。
【図５】  従来のウェハ搬送装置の要部側断面図である。
【符号の説明】
１  ウェハ搬送室、  ２  床板、  ３  側壁、  ４  ゲート開口部、
５  ウェハ搬送ロボット、  ６  第１のアーム、  ７  第２のアーム、
８  第３のアーム、  ９  ピン、  １０  フックピン、
１１  ウェハ搬送フォーク、  １１ａ  交換用のウェハ搬送フォーク、
１２  長穴、  １３  フックピン穴、  １４  ウェハカセット室、
１４ａ  ウェハカセットエレベータ、  １５  テーブル、
１６  ウェハカセット、  １７  ウェハ、  １８  ゲート開口部、
１９  ゲートバルブ、  ２０  フォークストッカ、  ２１  突出片、
２２  溝
【図１】
0003687013.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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