(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体及び支持体間に介在する支持弾性体と、この支持弾性体に連設された収納体と、前記支持弾性体内に画成され且つ内部に流体が封入された流体室と、前記振動体から支持弾性体を通じて流体室に入力される振動を減衰するために当該流体室に設けられたオリフィス及びダイアフラムと、前記流体室の隔壁の一部を形成し且つその流体室の容積を変化させる方向に変位可能で且つ磁性可能な可動板と、前記収納体内に配設されて前記可動板に変位力を付与する電磁アクチュエータと、前記振動体から支持体に伝達される振動が低減するように前記電磁アクチュエータに制御信号を供給する制御手段と、前記可動板を前記電磁アクチュエータに対して所定位置に維持するために当該可動板と前記収納体又は電磁アクチュエータとの間に介装された弾性部材と、前記電磁アクチュエータを前記流体室から隔離するために前記可動板と収納体又は電磁アクチュエータとの間に配設されたシール部材とを備え、前記電磁アクチュエータは、前記磁性可能な可動板を常時吸引するための永久磁石と、当該永久磁石の周りに配設される励磁コイルと、前記永久磁石及び励磁コイルを固定して、それらと前記可動板との間に磁路を形成するヨークとを備えた防止支持装置において、少なくとも前記永久磁石の可動板側が磁性部材で且つ励磁コイルの可動板側が非磁性部材からなる固定手段により、当該永久磁石及び励磁コイルを前記ヨークに固定したことを特徴とする防振支持装置。
【請求項２】
振動体に連結される振動体側連結部材と、支持体に連結される支持体側連結部材と、前記振動体側連結部材又は支持体側連結部材の何れか一方に連結される支持弾性体と、前記振動体側連結部材又は支持体側連結部材の何れか他方と前記支持弾性体との間に連結される収納体と、前記支持弾性体内に画成され且つ内部に流体が封入された流体室と、前記振動体から支持弾性体を通じて流体室に入力される振動を減衰するために当該流体室に設けられたオリフィス及びダイアフラムと、前記流体室の隔壁の一部を形成し且つその流体室の容積を変化させる方向に変位可能な磁化可能な可動板と、前記収納体内に配設され且つ磁力を発生して前記可動板に変位力を付与する電磁アクチュエータと、前記振動体から支持体に伝達される振動が低減するように前記電磁アクチュエータに制御信号を供給する制御手段と、前記電磁アクチュエータを前記流体室から隔離するために前記可動板と収納体又は電磁アクチュエータとの間に配設されたシール部材と、前記可動板に形成された可動板側受容部と、前記収納体に形成された収納体側受容部と、前記可動板を前記アクチュエータに対して所定位置に維持するために可動板側端部が前記可動板側受容部に支持され且つ収納体側端部が前記収納体側受容部に支持された弾性部材とを備え、前記電磁アクチュエータは、前記磁性可能な可動板を常時吸引するための永久磁石と、当該永久磁石の周りに配設される励磁コイルと、前記永久磁石及び励磁コイルを固定して、それらと前記可動板との間に磁路を形成するヨークと、前記永久磁石及び励磁コイルを前記ヨークに固定し且つ少なくとも前記永久磁石の可動板側が磁性部材で且つ励磁コイルの可動板側が非磁性部材からなる固定手段とを備えたことを特徴とする防振支持装置。
【請求項３】
前記固定手段の磁性部材及び非磁性部材が、共に薄板材で構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の防振支持装置。
【請求項４】
前記非磁性部材を構成する薄板材の周囲に、薄板材からなる磁性部材を配設したことを特徴とする請求項３に記載の防振支持装置。
【請求項５】
前記薄板材からなる磁性部材及び非磁性部材が、夫々個別の板材であることを特徴とする請求項３又は４に記載の防振支持装置。
【請求項６】
前記薄板材からなる磁性部材及び非磁性部材が一体に形成されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の防振支持装置。
【請求項７】
前記固定手段は、励磁コイルが巻回されたボビンをヨークにネジ止め固定するネジ部材を備えたことを特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の防振支持装置。
【請求項８】
前記固定手段は、少なくとも前記励磁コイルの可動板側に相当する非磁性部材が、当該励磁コイルをヨークに固定するための樹脂モールド部材で構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の防振支持装置。
【請求項９】
前記固定手段は、前記励磁コイルの可動板側に相当する非磁性部材及び永久磁石の可動板側に相当する磁性部材が、当該励磁コイル及び永久磁石をヨークに固定するための樹脂モールド部材で構成され、且つそのうちの磁性部材が前記樹脂モールド部材に磁性粉を含有させて構成されることを特徴とする請求項１又は２の何れかに記載の防振支持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば車両のエンジン等の振動体を車体等の支持体に防振しつつ支持する装置に関し、特に振動体及び支持体間に介在する支持弾性体によって流体室を画成し、その流体室の容積を能動的に変化させることにより振動伝達率の低減を図る防振支持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
このような防振支持装置としては、例えば特開平３−２４３３８号公報に記載されるものがある。この防振支持装置は、例えば車両のエンジンを車体に支持する装置に関するものであって、支持弾性体（膨張バネ）と収納体（外殻）との間に形成された流体室（作用室）と、この流体室にオリフィス（緩衝孔）を介して通じ且つダイヤフラム（ベロー）によって画成された容積可変の副流体室と、前記流体室内に配設され且つ当該流体室の容積を変化させる方向に能動的に変位する磁性可能な可動板（振動板）と、この可動板を前記流体室の容積変化方向に変位させる電磁アクチュエータ（磁石系）と、前記可動板を前記電磁アクチュエータに対して所定位置に維持するために当該可動板と前記収納体との間に介装され且つ当該可動板を前記収納体に弾性支持するリング状の板バネとを備えている。勿論、当該公報には開示されていないが、前記電磁アクチュエータを駆動して可動板を変位させ、結果的に前記流体室の容積を変化させることにより前記振動体から支持体に伝達される振動が低減するように、当該電磁アクチュエータに制御信号を供給する制御手段は必須である。ちなみに、この防振支持装置では、前記電磁アクチュエータが前記板バネを含む可動板によって流体室から分離されるように、可動板と収納体との間にはゴム製のシール部材が配設されている。但し、このシール部材は可動板とアクチュエータとの間に配設してもよい。また、前記電磁アクチュエータは、前記可動板を常時吸引して，前記板バネの弾性力との均衡により当該可動板を電磁アクチュエータから所定の位置に維持するための永久磁石と、この永久磁石の周囲に配設され且つ前記制御手段から供給される制御信号により当該可動板を吸引して変位させる磁力が発生又は解除される励磁コイル（電磁石コイル）と、この永久磁石及び励磁コイルを固定保持するためのヨーク（支承）とを備える。ちなみに、前記電磁アクチュエータの永久磁石及び励磁コイルは、共に接着剤によりヨークに固定されている。
【０００３】
そして、この防振支持装置によれば、前記オリフィスを通じての流体室及び副流体室間の流体の移動が可能な比較的低周波数の振動入力、例えばエンジンシェイクに対しては、当該オリフィス内の流体共振により、高動バネ定数及び高減衰力の防振支持装置となる一方、前記オリフィスを通じての流体の移動が不可能になる比較的高周波数の振動が入力されている場合には、その振動入力による流体の圧力変動が相殺されるような制御信号を電磁アクチュエータに供給して前記可動板を変位させることにより、流体室内の容積が変化して低動バネ定数の防振支持装置となる。つまり、上記従来の防振支持装置によれば、高動バネ定数，高減衰が要求される低周波数振動入力と、低動バネ定数が要求される高周波数振動入力時との両方に対して防振効果が得られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の防振支持装置においては、前記電磁アクチュエータを構成する永久磁石や励磁コイルが、ヨークに接着剤で固定されているため、この防振支持装置の使用環境が高温環境であったり、或いは励磁コイルが発熱し易いものであったりした場合には、接着剤が経時劣化し易く、車両走行中の加速度入力に対して剥離する恐れがあり、そのようになると永久磁石や励磁コイルが外れて、防振支持装置としての機能が損なわれたり、異音が発生したりするなどの原因になることが考えられる。
【０００５】
本発明はこれらの諸問題に鑑みて開発されたものであり、接着剤を使用することなく、電磁アクチュエータを構成する永久磁石や励磁コイルをヨークに固定して、耐久性能を向上可能な防振支持装置を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のうち請求項１に係る防振支持装置は、振動体及び支持体間に介在する支持弾性体と、この支持弾性体に連設された収納体と、前記支持弾性体内に画成され且つ内部に流体が封入された流体室と、前記振動体から支持弾性体を通じて流体室に入力される振動を減衰するために当該流体室に設けられたオリフィス及びダイアフラムと、前記流体室の隔壁の一部を形成し且つその流体室の容積を変化させる方向に変位可能で且つ磁性可能な可動板と、前記収納体内に配設されて前記可動板に変位力を付与する電磁アクチュエータと、前記振動体から支持体に伝達される振動が低減するように前記電磁アクチュエータに制御信号を供給する制御手段と、前記可動板を前記電磁アクチュエータに対して所定位置に維持するために当該可動板と前記収納体又は電磁アクチュエータとの間に介装された弾性部材と、前記電磁アクチュエータを前記流体室から隔離するために前記可動板と収納体又は電磁アクチュエータとの間に配設されたシール部材とを備え、前記電磁アクチュエータは、前記磁性可能な可動板を常時吸引するための永久磁石と、当該永久磁石の周りに配設される励磁コイルと、前記永久磁石及び励磁コイルを固定して、それらと前記可動板との間に磁路を形成するヨークとを備えた防止支持装置において、少なくとも前記永久磁石の可動板側が磁性部材で且つ励磁コイルの可動板側が非磁性部材からなる固定手段により、当該永久磁石及び励磁コイルを前記ヨークに固定したことを特徴とするものである。
【０００７】
また、本発明のうち請求項２に係る防振支持装置は、振動体に連結される振動体側連結部材と、支持体に連結される支持体側連結部材と、前記振動体側連結部材又は支持体側連結部材の何れか一方に連結される支持弾性体と、前記振動体側連結部材又は支持体側連結部材の何れか他方と前記支持弾性体との間に連結される収納体と、前記支持弾性体内に画成され且つ内部に流体が封入された流体室と、前記振動体から支持弾性体を通じて流体室に入力される振動を減衰するために当該流体室に設けられたオリフィス及びダイアフラムと、前記流体室の隔壁の一部を形成し且つその流体室の容積を変化させる方向に変位可能な磁化可能な可動板と、前記収納体内に配設され且つ磁力を発生して前記可動板に変位力を付与する電磁アクチュエータと、前記振動体から支持体に伝達される振動が低減するように前記電磁アクチュエータに制御信号を供給する制御手段と、前記電磁アクチュエータを前記流体室から隔離するために前記可動板と収納体又は電磁アクチュエータとの間に配設されたシール部材と、前記可動板に形成された可動板側受容部と、前記収納体に形成された収納体側受容部と、前記可動板を前記アクチュエータに対して所定位置に維持するために可動板側端部が前記可動板側受容部に支持され且つ収納体側端部が前記収納体側受容部に支持された弾性部材とを備え、前記電磁アクチュエータは、前記磁性可能な可動板を常時吸引するための永久磁石と、当該永久磁石の周りに配設される励磁コイルと、前記永久磁石及び励磁コイルを固定して、それらと前記可動板との間に磁路を形成するヨークと、前記永久磁石及び励磁コイルを前記ヨークに固定し且つ少なくとも前記永久磁石の可動板側が磁性部材で且つ励磁コイルの可動板側が非磁性部材からなる固定手段とを備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
これらの発明では、何れの防振支持装置でも接着剤を用いない機械的な固定手段により永久磁石及び励磁コイルをヨークに固定することを前提としている。従って、使用環境が高温環境であったり、励磁コイルが発熱し易いものであった場合にも、当該固定手段による永久磁石及び励磁コイルのヨークへの固定効果が経時劣化することがなく、それらが外れてしまうこともないから、防振支持装置としての耐久性能が向上する。また、前記固定手段のうち、永久磁石の可動板側が磁性部材で構成され且つ当該永久磁石の周りに配設される励磁コイルの可動板側が非磁性部材で構成されている。このうち、永久磁石の周りに配設される励磁コイルの可動板側が非磁性部材で構成されているのは、永久磁石による可動板吸引磁力、即ち永久磁石から可動板，ヨークを通じて再び永久磁石に戻る又はその逆の磁力の磁路を確保するためであり、このようにすることによって永久磁石の磁力で効果的に可動板を吸引することができる。ちなみに、若し励磁コイルの可動板側が磁性部材で構成されていると、永久磁石の磁力は当該磁性部材からヨークを通じて再び永久磁石に戻る又はその逆の磁路を通ってしまう或いは通り易くなってしまうため、当該永久磁石の磁力で効果的に可動板を吸引することができなくなってしまう。また、前記永久磁石の可動板側が磁性部材で構成されているのは、当該永久磁石の実質的な可動板方向への厚さ（長さ）を厚く（長く）することと等価であり、この永久磁石によって磁化された磁性部材から可動板までの距離（隙間）を、同じく永久磁石の可動板側の固定手段が非磁性部材で構成されている場合に比して、短くすることができる。即ち、永久磁石の磁力も励磁コイルの磁力も、可動板を吸引する力としては、夫々と可動板との距離（隙間）の２乗に反比例することから、少なくとも永久磁石と可動板との実質的な距離（隙間）を短く（小さく）できる本発明の防振支持装置によれば、当該永久磁石によって効果的に可動板を吸引することができ、殊更に大きな永久磁石や強磁力の永久磁石を使用する必要もない。
【０００９】
また、本発明のうち請求項３に係る防振支持装置は、前記固定手段の磁性部材及び非磁性部材が、共に薄板材で構成されていることを特徴とするものである。また、本発明のうち請求項４に係る防振支持装置は、前記非磁性部材を構成する薄板材の周囲に、薄板材からなる磁性部材を配設したことを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明のうち請求項５に係る防振支持装置は、前記薄板材からなる磁性部材及び非磁性部材が、夫々個別の板材であることを特徴とするものである。
また、本発明のうち請求項６に係る防振支持装置は、前記薄板材からなる磁性部材及び非磁性部材が一体に形成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明のうち請求項７に係る防振支持装置は、前記固定手段が、励磁コイルが巻回されたボビンをヨークにネジ止め固定するネジ部材を備えたことを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明のうち請求項８に係る防振支持装置は、前記固定手段が、少なくとも前記励磁コイルの可動板側に相当する非磁性部材が、当該励磁コイルをヨークに固定するための樹脂モールド部材で構成されることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明のうち請求項９に係る防振支持装置は、前記固定手段が、前記励磁コイルの可動板側に相当する非磁性部材及び永久磁石の可動板側に相当する磁性部材が、当該励磁コイル及び永久磁石をヨークに固定するための樹脂モールド部材で構成され、且つそのうちの磁性部材が前記樹脂モールド部材に磁性粉を含有させて構成されることを特徴とするものである。
【００１４】
これらの発明は、何れも前記請求項１又は請求項２に係る防振支持装置の実施態様である。このうち、特に請求項３に係る防振支持装置では、前記固定手段の非磁性部材及び磁性部材を、夫々薄板材で構成することにより、それら薄板材からなる非磁性部材及び磁性部材を、前記請求項１又は２に係る防振支持装置の該当する励磁コイル及び永久磁石に被せるように配設することにより、それらをヨークに固定することを可能とする。また、請求項４に係る防振支持装置では、前記励磁コイルの可動板側非磁性部材の外側に、薄板材からなる磁性部材を配設することにより、前記可動板とヨークとの実質的な距離（隙間）を短く（小さく）して、前記永久磁石又は励磁コイルによる可動板吸引磁力を効果的に作用させることを可能とする。また、請求項５に係る防振支持装置では、前記薄板材からなる磁性部材及び非磁性部材を個別の板材で構成することにより、例えば各板材の厚さを変えることなどにより、永久磁石や励磁コイルの可動板吸引磁力を微調整することができるから、車両の仕様に応じた防振支持性能を細かくチューニングすることができる。なお、この場合には、前記請求項４に係る防振支持装置のように、励磁コイルの可動板側の非磁性部材の外側に配設される薄板材の磁性部材を用いて、それらの薄板材からなる磁性部材及び非磁性部材が互いに押さえ込まれるように重ね合わせの部分を設け、最も外側の磁性部材をヨークと収納体との間に挟み込むことによって、それらの薄板材と共に永久磁石や励磁コイルをヨークに固定することができる。また、請求項６に係る防振支持装置では、前記薄板材からなる磁性部材及び非磁性部材が一体に形成されているから、これを前記永久磁石及び励磁コイルに被せ、その外周端部を、例えば励磁コイルが巻回されるボビンにかしめたり、ヨークと収納体との間に挟み込むことによって、それらの薄板材と共に永久磁石や励磁コイルをヨークに固定することができる。また、請求項７に係る防振支持装置では、励磁コイルの巻回されたボビンをネジ部材によってヨークにネジ止め固定するために、前記薄板材からなる磁性部材及び非磁性部材を永久磁石及び励磁コイルに被せて当該ボビンにかしめるなどにより固定すれば、永久磁石もヨークに固定することができる。また、請求項８に係る防振支持装置では、前記励磁コイルをヨークに固定するための樹脂モールド部材を当該励磁コイルの可動板側にもモールドすることによって、当該励磁コイルの可動板側に配設される非磁性部材を同時に構成することができる。また、この発明によれば、例えば前記永久磁石の可動板側に配設される磁性部材が薄板材で構成されるとき、当該永久磁石に被せた薄板材からなる磁性部材の励磁コイル側端部が前記樹脂モールド部材内に埋没するようにすれば、励磁コイルと共に永久磁石もヨークに固定される。また、請求項９に係る防振支持装置では、励磁コイル及び永久磁石をヨークに固定するための樹脂モールド部材を、励磁コイル及び永久磁石の可動板側にもモールドさせるようにし、且つそのうちの永久磁石の可動板側部位に磁性粉を含有させることにより、永久磁石及び励磁コイルをヨークに固定すると共に、励磁コイルの可動板側には当該樹脂モールド部材からなる非磁性部材を、永久磁石の可動板側には当該樹脂モールド部材に磁性粉を混入してなる磁性部材を形成することができる。
【００１５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のうち請求項１又は２に係る防振支持装置によれば、接着剤を用いない固定手段により永久磁石及び励磁コイルをヨークに固定することにより、使用環境が高温環境であったり、励磁コイルが発熱し易いものであった場合にも、当該固定手段による永久磁石及び励磁コイルのヨークへの固定効果が経時劣化することがなく、それらが外れてしまうこともないから、防振支持装置としての耐久性能が向上する。また、永久磁石の周りに配設される励磁コイルの可動板側が非磁性部材で構成することにより、永久磁石による可動板吸引磁力の磁路を確保することができ、このようにすることによって永久磁石の磁力で効果的に可動板を吸引することができる。また、前記永久磁石の可動板側を磁性部材で構成することにより、当該永久磁石の実質的な可動板方向への厚さ（長さ）を厚く（長く）して、この永久磁石によって磁化された磁性部材から可動板までの距離（隙間）を、同じく永久磁石の可動板側の固定手段が非磁性部材で構成されている場合に比して短くし、当該永久磁石によって効果的に可動板を吸引することを可能として、殊更に大きな永久磁石や強磁力の永久磁石を使用する必要をなくし、装置の小型化を可能とする。また、前記固定手段のコイルの可動板側が非磁性部材で構成されているため、この部分が磁性部材である場合に、磁束がそこで回り込んでしまってアクチュエータとしてのパワーが低減してしまうという恐れも回避できる。
【００１６】
また、本発明のうち請求項３に係る防振支持装置によれば、薄板材からなる非磁性部材及び磁性部材を、前記請求項１又は２に係る防振支持装置の該当する励磁コイル及び永久磁石に被せるように配設することにより、それらをヨークに固定することを可能とする。
【００１７】
また、本発明のうち請求項４に係る防振支持装置によれば、前記励磁コイルの可動板側非磁性部材の外側に、薄板材からなる磁性部材を配設することにより、前記可動板とヨークとの実質的な距離（隙間）を短く（小さく）して、前記永久磁石又は励磁コイルによる可動板吸引磁力を効果的に作用させることを可能とする。
【００１８】
また、本発明のうち請求項５に係る防振支持装置によれば、前記薄板材からなる磁性部材及び非磁性部材を個別の板材で構成することにより、例えば各板材の厚さを変えることなどにより、永久磁石や励磁コイルの可動板吸引磁力の微調整を可能として、車両の仕様に応じた防振支持性能を細かくチューニングすることができる。また、この場合には、前記励磁コイルの可動板側非磁性部材の外側に薄板材の磁性部材を配設して、それらの薄板材からなる磁性部材及び非磁性部材が互いに押さえ込まれるように重ね合わせの部分を設け、最も外側の磁性部材をヨークと収納体との間に挟み込むことによって、それらの薄板材と共に永久磁石や励磁コイルをヨークに固定することができる。
【００１９】
また、本発明のうち請求項６に係る防振支持装置によれば、前記薄板材からなる磁性部材及び非磁性部材が一体に形成されているから、これを前記永久磁石及び励磁コイルに被せ、その外周端部を、例えば励磁コイルが巻回されるボビンにかしめたり、ヨークと収納体との間に挟み込むことによって、それらの薄板材と共に永久磁石や励磁コイルをヨークに固定することができる。
【００２０】
また、本発明のうち請求項７に係る防振支持装置によれば、励磁コイルの巻回されたボビンをネジ部材によってヨークにネジ止め固定するために、前記薄板材からなる磁性部材及び非磁性部材を永久磁石及び励磁コイルに被せて、その外周端部を当該ボビンにかしめるなどにより固定すれば、永久磁石もヨークに固定することができる。
【００２１】
また、本発明のうち請求項８に係る防振支持装置によれば、前記励磁コイルをヨークに固定するための樹脂モールド部材を当該励磁コイルの可動板側にもモールドすることによって、当該励磁コイルの可動板側に配設される非磁性部材を同時に構成することができる。また、例えば前記永久磁石の可動板側に配設される磁性部材が薄板材で構成されるとき、当該永久磁石に被せた薄板材からなる磁性部材の励磁コイル側端部が前記樹脂モールド部材内に埋没するようにすれば、励磁コイルと共に永久磁石もヨークに固定される。
【００２２】
また、本発明のうち請求項９に係る防振支持装置によれば、励磁コイル及び永久磁石をヨークに固定するための樹脂モールド部材を、励磁コイル及び永久磁石の可動板側にもモールドさせるようにし、且つそのうちの永久磁石の可動板側部位に磁性粉を含有させることにより、永久磁石及び励磁コイルをヨークに固定すると共に、励磁コイルの可動板側には当該樹脂モールド部材からなる非磁性部材を、永久磁石の可動板側には当該樹脂モールド部材に磁性粉を混入してなる磁性部材を形成することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明に係る防振支持装置を、振動体としてのエンジン側から車体側部材に伝達される振動を能動的に低減する所謂アクティブエンジンマウント（以下、単にエンジンマウントと称する）に適用したものである。
【００２４】
図１の符号２０で示すエンジンマウントは、横置に搭載したエンジン２２の車体後方側に配設され、その上部がエンジン側ブラケット２４に、下部が車体２６に固定された支持体としてのメンバ２８に取り付けられている。
【００２５】
図２から図６は、本発明のうち請求項１乃至３及び６及び７に係る防振支持装置を実施化したエンジンマウント２０の具体的構造を示すものであり、このエンジンマウント２０は、互いに平行に離間した２本のエンジン側取付ボルト３０ａを上方に向けて固定した連結部材（振動体側連結部材）３０を備えており、この連結部材３０の下部には、断面逆台形状の中空筒部３０ｂが固定されている。この連結部材３０の下面側には、連結部材３０及び中空筒部３０ｂの周囲を覆うように、支持弾性体３２が加硫接着により固定されている。
【００２６】
この支持弾性体３２は、中央部から外周部に向けて緩やかに下方に傾斜する肉厚の略円錐筒状の弾性体であって、その外周面は、軸心が前記中空筒部３０ｂと同軸に振動体支持方向（この場合は、上下方向）を向く内筒（第１筒状部材）３４の内周面に加硫接着により結合されている。
【００２７】
前記内筒３４は、図２に示すように、上端筒部３４ａから下方に向かうに従い徐々に縮径されて傾斜部３４ｂが形成され、傾斜面３４ｂの下端部から下方に向けて上端筒部３４ａより小径の小径筒部３４ｃが形成されている。そして、この小径筒部３４ｃの下端部から径方向外方に向けて環状部３４ｄが形成され、この環状部３４ｄの外周端部から下方に向けて前記上端筒部３４ａと同一外周径の下端筒部３４ｅが形成されている。。そして、前記小径筒部３４ｃには、軸心に対して互いに対称となる位置に第１開口孔３４ｆ及び第２開口孔３４ｇが形成されている。
【００２８】
そして、内筒３４の傾斜部３４ｂ、小径筒部３４ｃの内周面には、前記支持弾性体３２の下部側から連続する薄膜弾性体３２ａが結合しており、この薄膜弾性体３２ａは、さらに内筒３４の環状部３４ｄ側及び下端筒部３４ｅ側まで延びて、当該環状部３４ｄ及び下端筒部３４ｅの内周面に結合している。ここで、薄膜弾性体３２ａの下端部は、肉厚を厚くした形状とされている。
【００２９】
そして、薄膜弾性体３２ａは第１開口孔３４ｆを閉塞して第１ダイアフラム３２ｃを形成している。また、第２開口孔３４ｇは、薄膜弾性体３２ａに閉塞されずに開口している。
【００３０】
また、支持弾性体３２の内部には、流体室をなす断面山形状の空洞部３２ｂが形成されているが、この空洞部３２ｂの下部に位置するように、第１オリフィス構成部材３６が前記内筒３４（厳密には前記薄膜弾性体３２ａの内側）に内嵌されている。
【００３１】
この第１オリフィス構成部材３６は、内筒３４の小径筒部３４ｃより小径に形成された最小径筒部３６ａを備え、その最小径筒部３６ａの上下端部に径方向外方に向けて環状部３６ｂ、３６ｃが形成された筒状部材である。上部側の環状部３６ｂは、外周径が内筒３４の小径筒部３４ｃより僅かに小径となるように形成されている。また、下部側の環状部３６ｃは、内筒３４の下端筒部３４ｅより小径に形成されているとともに、その外周端部から下方に向けて筒状端部３６ｃ1 が形成されている。さらに、最小径筒部３６ａには、内筒３４に形成した第２開口孔３４ｇと対向する位置に、第３開口孔３６ｄが形成されている。
【００３２】
ここで、前述したように肉厚を厚くした薄膜弾性体３２ａの下端部は、内筒３４の下端筒部３４ｅ及び第１オリフィス構成部材３６の筒状端部３６ｃ1 との間で挟み込まれることにより、径方向に圧縮されながら挟み込まれた部分から下側に僅かに突出する。
【００３３】
一方、前記内筒３４には、第２筒状部材としての外筒３８が外嵌されており、これら内筒３４及び外筒３８の間には、前記内筒３４の傾斜部３４ｂ、小径筒部３４ｃ及び環状部３４ｄの外側面で形成した凹部を外筒３８の内周面で囲むことにより周方向に環状空間が画成されている。そして、この環状空間に、第２オリフィス構成部材４０及び第２ダイアフラム４３が配設されている。
【００３４】
すなわち、前記外筒３８は、その内周径を内筒３４の外周径と同一寸法又はそれよりやや大きい寸法とし、また軸方向の長さを内筒３４と同一寸法とした円筒部材であり、その内周面には、弾性体からなる薄肉の液密シール材３８ａが接合されている。そして、この外筒３８の高さ方向の略中央部には、周方向に長手の略長方形の開口部３８ｂが、前記凹部の略１／３の部分に臨んで開口されていて、この開口部３８ｂ内に第２ダイアフラム４３が取付けられている。この第２ダイアフラム４３はゴム状の薄膜弾性体であり、例えば図５に明示するように、前記開口部３８ｂの開口縁部の全周に結合して当該開口部３８ｂを閉塞すると共に、この開口部３８ｂから前記凹部の略１／３の部分に向けて膨出した状態で配設されている。
【００３５】
また、前記第２オリフィス構成部材４０は、第２ダイアフラム４３の配設により小空間となった残りの環状空間（前記凹部の略２／３の部分に対応する環状空間）に配設されており、図５及び図６に明示するように、硬質弾性体からなる隔壁部材４０ａ及び通路形成部材４０ｂとで構成されている。
【００３６】
このうち、前記隔壁部材４０ａは、前記開口部３８ｂの形状に合わせて円周方向に長手の第２ダイアフラム４３の長手方向の一端部４３ａに近接する環状空間において、当該環状空間を閉塞するように前記内筒３４及び外筒３８間に嵌入されており、この隔壁部材４０ａによって当該環状空間側から第２ダイヤフラム４３側への流体の流れが遮断されている。
【００３７】
また、前記通路形成部材４０ｂは、前記隔壁部材４０ａから所定距離だけ離れた位置（以下、この位置に相当する端部を隔壁部材側端部と称する）から前記第２ダイアフラムの長手方向の他端部４３ｃに近接する位置（以下、この位置に相当する端部をダイアフラム側端部と称する）までの前記環状空間内に連続して形成されている。そして、この通路形成部材４０ｂには、その上方において周方向に沿い、前記隔壁部材側端部からダイアフラム側端部まで連通する第２通路４０ｂ2 と、その下方において同じく周方向に沿い、前記隔壁部材側端部から前記内筒３４の第２開口孔３４ｇまで連通する第１通路４０ｂ1 とが形成されている。なお、前記第２通路４０ｂ2 の長さは、第１通路４０ｂ1 の長さの約２倍に設定されている。
【００３８】
そして、これらの構成部材を内装した外筒３８に、アクチュエータケース４２の上部側が外嵌されている。このアクチュエータケース４２は、その上端部に内筒３４の外周径より小径の円形開口部を有する上端かしめ部４２ａが形成されているとともに、この上端かしめ部４２ａと連続するケース本体の形状を、内周径が外筒３８の外周径と同一寸法で下端開口部まで連続する円筒形状（下端開口部を図２の破線で示した形状）とした部材である。そして、前記支持弾性体３２及び内筒３４と一体化された外筒３８を、当該支持弾性体３２が上方になるようにしてアクチュエータケース４２の下端開口部から内部に嵌め込んでいき、上端かしめ部４２ａの下面に外筒３８及び内筒３４の上端部が当接することにより、それらはアクチュエータケース４２内の上部に配設される。ここで、図２及び図５に示すように、アクチュエータケース４２の内周面と第２ダイヤフラム４３とで囲まれた部分に空気室４３ｂが画成されるが、当該アクチュエータケース４２には、この空気室４３ｂを臨む位置に空気孔４２ｃが形成され、この空気孔４２ｃを介して空気室４３ｂと大気とが連通している。
【００３９】
一方、前述のようにして形成された前記アクチュエータケース４２の下部空間には、その内側にアクチュエータサブケース４１が嵌入されている。このアクチュエータサブケース４１は本発明で収納体の一部を形成するものであり、その外観は、前記アクチュエータケース４２の下部空間に緊密に嵌入する外径の有底円筒形状であり、その最上端部が内側に折り返されて係止部４１ａが形成されている。この係止部４１ａは、後述する板状のバネ部材の上面を収納体の一部として支持すると共に、本実施形態では前記薄膜弾性体３２ａの下端部を支持する役目も担う。
【００４０】
そして、このアクチュエータサブケース４１の下部に電磁アクチュエータ５２が配設されている。この電磁アクチュエータ５２は、既存の電磁アクチュエータと同様の構成を有し、全体として前記アクチュエータサブケース４１に緊密に嵌入する円柱形状のヨーク５２ａと、当該ヨーク５２ａの上面からリング状に形成された溝内に収納された励磁コイル５２ｂと、当該励磁コイル５２ｂが収納されている溝の内部に形成されている凹部内に収納された永久磁石５２ｃとを備えてなるが、それらの固定手段については後段に詳述する。ちなみに、前記ヨーク５２ａの側面の一部（図２の左方端部）には、当該ヨーク５２ａの上面から連続する溝形状の連通路５２ｄが形成されており、当該連通路５２ｄに対向するアクチュエータサブケース４１の側面の開口部には第３ダイアフラム５１が取付けられ、更にその第３ダイアフラム５１に対向するアクチュエータケース４２の側面には、外部に連通する開口孔４２ｄが開設されている。この第３ダイアフラム５１の作用等については後段に説明する。
【００４１】
そして、前記電磁アクチュエータ５２のヨーク５２ａの上面外周部に、収納体の一部を構成する所定高さのギャップ保持リング５０が載置され、このギャップ保持リング５０の内側に、ゴムシール部材４９を介して、円板状の磁性体からなる可動板４６の外周面が可動に支持されている。このうち、前記ギャップ保持リング５０は、可動板４６の下面と電磁アクチュエータ５２の上面との間に所定の隙間が設けられるように、その軸方向の長さを、後述するバネ部材４８の下面から可動板４６の下面までの軸方向長さに隙間の寸法を加えた値に設定した環状部材である。また、前記ゴムシール部材４９により、可動板４６と電磁アクチュエータ５２とは液密状態に維持されると共に、当該可動板４６は、少なくとも電磁アクチュエータ５２の吸着力作用方向，即ち図２の上下方向に移動可能にギャップ保持リング５０に支持される。
【００４２】
そして更に、前記ギャップ保持リング５０の上面に、収納体の一部を構成する所定厚さのスペーサ４７を載置し、その上に、リング板状のバネ部材４８を複数枚（図では３枚）載置してから、前記アクチュエータサブケース４１の最上端部を内側に折り返して係止部４１ａを形成する。このバネ部材４８は、凡そ内孔を有する円板状，つまりリング状の薄板のものであるとすると、その内周端部は、可動体４６の上方突出部４６ａと前記円板状部上面との間に形成された溝部４６ｂからなる可動板側受容部５５に遊嵌されており、同じくその外周端部も、前記スペーサ４７とバネ部材支持部４１ａとの間に形成されている収納体側受容部４４に遊嵌されている。つまり、例えば前記アクチュエータケース４２及びアクチュエータサブケース４１を始め、ギャップ保持リング５０やスペーサ４７や係止部４１ａが収納体の一部を構成すると考えると、前記スペーサ４７の上面と係止部４１ａの下面との間に形成された収納体の収納体側受容部４４に前記リング状のバネ部材４８の外周端部が自由端支持され、前記可動板４６の溝部４６ｂからなる可動板側受容部４４にその内周端部が自由端支持されていることになる。
【００４３】
このように前記バネ部材４８や可動板４６，電磁アクチュエータ５２等を前記アクチュエータサブケース４１内に内装した後、当該アクチュエータサブケース４１を、前記外筒３８より下方のアクチュエータケース４２の下部空間に差し込み、当該アクチュエータサブケース４１の下方に荷重センサ５４を配設し、その下方に、互いに離間する２本の車体側取付ボルト５６ａを下方に向けて固定した略円板形状の車体側連結部材（支持体側連結部材）５６を配設してから、アクチュエータケース４２の下端部を径方向内方に向けて変形し、図２の実線で示すように下端かしめ部４２ｄを形成する。
【００４４】
このようにしてアクチュエータケース４２の下端部に下端かしめ部４２ｄを形成すると、車体側連結部材５６の周縁部が外側から覆われた状態で固定される。この際、アクチュエータサブケース４１が外筒３８側に押し込まれるので、前記内筒３４の下端筒部３４ｅ及び第１オリフィス構成部材３６の筒状端部３６ｃ1 との間で挟みこまれている前記支持弾性体３２から延設された薄膜弾性体３２ａの下端部が、前記アクチュエータサブケース４１の係止部４１ａの上面によって上方向に押圧されて圧縮状態となって密着するため、前記支持弾性体３２の空洞部３２ｂ及び可動板４６で構成される主流体室６６内の流体が、内筒３４の外部及びアクチュエータサブケース４１の外部に漏洩するのをシールすることができる。また、後段に詳述するように前記主流体室６６内から第３開口孔３６ｄ及び第２開口孔３４ｇを通って前記第２オリフィス構成部材４０の第１通路４０ｂ1 及び第２通路４０ｂ2 に及んだ流体が、外筒３８の外部に漏洩するのは、前記外筒３８と内筒３４とに挟み込まれている液密シール材３８ａによってシールされる。ちなみに、本実施形態で電磁アクチュエータ５２や可動板４６等をアクチュエータサブケース４１内に収納したのは、所謂サブアッセンブリ工程による組立作業の効率化と共に、液濡れを嫌う各構成要素のシール性をより向上するためでもある。そのために、アクチュエータサブケース４１の内周面には、薄膜状のシール部材４１ｂがコーティング等によって貼付けられており、特に前記ギャップ保持リング５０の外周面から電磁アクチュエータ５２側への流体の漏洩をシールしている。
【００４５】
さらに、アクチュエータケース４２の上部には、リバウンドストッパ６０が固定されている。このバウンドストッパ６０は、図２に示すように、連結部材３０から上方に向けて延びる２本のエンジン側取付ボルト３０ａの間を、これらボルト間を結ぶ線に対して直交する方向に延在するストッパ本体６０ａと、ストッパ部６０ａの両端部から徐々に下がってアクチュエータケース４２の外周に結合された一対のストッパ脚部６０ｂを備えた部材である。そして、エンジンマウント２０のリバウンド動作に支持弾性体３２が上方に向けて過度に弾性変形しようとすると、ストッパ部６０ａの下面に連結部材３０が当接することで、支持弾性体３２の過度の変形が防止されるようになっている。
【００４６】
次に、本実施形態のエンジンマウント２０の振動入力減衰作用について簡潔に説明する。
本実施形態のエンジンマウント２０では、前記支持弾性体３２の空洞部３２ｂと第１オリフィス構成部材３６の内周面と前記可動板４６の上面とで構成される主流体室６６に対して、第１オリフィス構成部材３６の外周側が当該第１オリフィス構成部材３６の第３開口孔３６ｄを介して当該主流体室６６に連通し、第２オリフィス構成部材４０の第１通路４０ｂ1 は、前記第１オリフィス構成部材３６の第３開口孔３６及び内筒３４の第２開口孔３４ｇを介して連通し、当該第１通路４０ｂ1 から前記第２ダイヤフラム４３が膨出している空間までは、前記隔壁部材４０ａ及び当該第２オリフィス構成部材４０の隙間と当該第２オリフィス構成部材４０の第２通路４０ｂ2 とを介して連通している。
【００４７】
そして、前記主流体室６６から前述した第２ダイヤフラム４３が膨出している空間までの連通路内に、水等の流体が封入され、前述した第１及び第２オリフィス構成部材３６、４０及び第１及び第２ダイアフラム３２ｃ、４３によって、主流体室６６の容積が変動する際に流体共振を発生する３箇所の第１〜第３オリフィス６８Ａ、７０Ａ、７２Ａ及び第１〜第３副流体室６８Ｂ、７０Ｂ、７２Ｂが形成されている。
【００４８】
すなわち、第１オリフィス６８Ａは、図２に示すように、第１オリフィス構成部材３６の最小径筒部３６ａに囲まれた空間であり、この第１オリフィス６８Ａから下方の可動板４６により画成された空間が第１副流体室６８Ｂとなる。また、図５に示すように、第２オリフィス７０Ａは内筒３４の内部空間であり、第１ダイアフラム３２ｃ近傍の内筒３４の内部空間が第２副流体室７０Ｂとなる。さらに、第３オリフィス７２Ａは、図５及び図６に示すように、前記第２オリフィス構成部材４０の第１通路４０ｂ1 から第２通路４０ｂ2 を通過して第２ダイヤフラム４３が内部に膨出している位置までの空間であり、第３副流体室７２Ｂは、第２ダイヤフラム４３が内部に膨出している空間となる。
【００４９】
そして、前記第１オリフィス６８Ａ及び第１副流体室６８Ｂで構成される流体共振系の特性は、その減衰ピーク周波数（減衰が最大となる周波数）が、車室内のこもり音振動・加速時騒音振動（８０〜８００Hz以上）の周波数に一致するように調整されている。また、前記第２オリフィス７０Ａ及び第２副流体室７０Ｂで構成される流体共振系の特性は、その減衰ピーク周波数が車両停車中に発生するアイドル振動（２０〜３０Hz程度）の周波数に一致するように調整されている。さらに、前記第３オリフィス７２Ａ及び第３副流体室７２Ｂで構成される流体共振系の特性は、その減衰ピーク周波数が、ブレーキング時等に発生するエンジンシェイク振動（２０Hz以下）の周波数に一致するように調整されている。
【００５０】
一方、電磁アクチュエータ５２の励磁コイル５２ｂは、コントローラ７４にハーネスを介して接続されており、図１のブロック図で示すように、コントローラ（制御手段）７４から供給される駆動電流としての駆動信号ｙに応じて所定の電磁力を発生するようになっている。
【００５１】
このコントローラ７４は、図示されないマイクロコンピュータ，必要なインタフェース回路，Ａ／Ｄ変換器，Ｄ／Ａ変換器，アンプ等を含んで構成されており、アイドル振動周波数及びそれ以上の高周波の振動（例えば、こもり音振動）が入力されている場合には、その振動と同じ周期で且つ位相が逆相の制御振動がエンジンマウント２０に発生して、メンバ２８への振動の伝達力が“０”となるように（より具体的には、エンジン２２側の振動によってエンジンマウント２０に入力される加振力が、電磁アクチュエータ５２の電磁力によって得られる制御力で相殺されるように）、駆動信号ｙを生成し励磁コイル５２ｂに供給するようになっている。
【００５２】
ここで、アイドル振動やこもり音振動は、例えばレシプロ４気筒エンジンの場合、エンジン回転２次成分のエンジン振動がエンジンマウント２０を介してメンバ２８に伝達されることが主な原因であるから、そのエンジン回転２次成分に同期して駆動信号ｙを生成し出力すれば、振動伝達率の低減が可能となる。そこで、本実施形態では、エンジン２２のクランク軸の回転に同期した（例えば、レシプロ４気筒エンジンの場合には、クランク軸が１８０度回転する度に一つの）インパルス信号を生成し基準信号ｘとして出力するパルス信号生成器７６を設けていて、その基準信号ｘが、エンジン２２における振動の発生状態を表す信号としてコントローラ７４に供給されている。
【００５３】
一方、前述したようにエンジンマウント２０には荷重センサ５４が内蔵されており、メンバ２８の振動状況を荷重の形で検出し残留振動信号ｅとして出力し、その残留振動信号ｅが干渉後における振動を表す信号としてコントローラ７４に供給されている。
【００５４】
そして、コントローラ７４は、それら基準信号ｘ及び残留振動信号ｅに基づき、逐次更新形の適応アルゴリズムの一つであるＦｉｌｔｅｒｅｄ−Ｘ  ＬＭＳアルゴリズムに従って駆動信号ｙを生成し出力する。
【００５５】
即ち、コントローラ７４からエンジンマウント２２の電磁アクチュエータ５２に対しては、基準信号ｘが入力された時点から所定のサンプリング・クロックの間隔で、適応ディジタルフィルタＷのフィルタ係数が順番に駆動信号ｙとして供給される。この結果、励磁コイル５２ｂに駆動信号ｙに応じた磁力が発生するが、可動板４６には既に永久磁石５２ｃによる一定の磁力を付与されているから、その励磁コイル５２ｂによる磁力は、永久磁石５２ｃの磁力を強める又は弱めるように作用すると考えることができる。つまり、励磁コイル５２ｂに駆動信号ｙが供給されていない状態では、可動板４６は、バネ部材４８による弾性支持力と、永久磁石５２ｃの磁力との釣り合った中立の位置に変位して、当該可動板４６を所定位置に維持することになる。そして、この中立の状態で励磁コイル５２ｂに駆動信号ｙが供給されると、その駆動信号ｙによって励磁コイル５２ｂに発生する磁力が永久磁石５２ｃの磁力と逆方向であれば、可動板４６は電磁アクチュエータ５２とのクリアランスが増大する方向に変位する。逆に、励磁コイル５２ｂに発生する磁力が永久磁石５２ｃの磁力と同じ方向であれば、可動板４６は電磁アクチュエータ５２とのクリアランスが減少する方向に変位する。
【００５６】
このように、可動板４６は電磁アクチュエータ５２が発生する磁力によって上下両方向に変位可能であり、可動板４６が上下に変位すれば、主流体室６６の容積が変化し、その容積変化によって支持弾性体３２の拡張方向ばねが変形するから、このエンジンマウント２０に正逆両方向の能動的な支持力が発生するのである。そして、駆動信号ｙとなる適応ディジタルフィルタＷの各フィルタ係数Ｗi は同期式Ｆｉｌｔｅｒｅｄ−Ｘ  ＬＭＳアルゴリズムに従って逐次更新されるため、ある程度の時間が経過して適応ディジタルフィルタＷの各フィルタ係数Ｗi が最適値に収束した後は、駆動信号ｙがエンジンマウント２０に供給されることによって、エンジン２２からエンジンマウント２０を介してメンバ２８側に伝達されるアイドル振動やこもり音振動が低減されるようになる。
【００５７】
ここで、エンジン２２側からエンジンマウント２０に入力される振動の周波数が、ブレーキング時等のエンジンシェイク振動周波数の近傍である場合には、本実施形態では前記主流体室６６を第３オリフィス７２Ａを介して第３副流体室７２Ｂに連通させており、しかもその流体共振系の減衰ピーク周波数をシェイク振動周波数に一致させているため、主流体室６６の容積が変動すると第３オリフィス７２Ａを通じて主流体室６６及び第３副流体室７２Ｂ間で流体共振が発生する。その結果、シェイク振動に対して高減衰力を与えることができ、良好な防振効果を得ることができる。
【００５８】
また、エンジン２２側からエンジンマウント２０に入力される振動の周波数が、車両停車中のアイドル振動周波数の近傍である場合には、本実施形態では前記主流体室６６を第２オリフィス７０Ａを介して第２副流体室７０Ｂにも連通させており、しかもその流体共振系の減衰ピーク周波数をアイドル振動周波数に一致させているため、主流体室６６の容積が変動すると第２オリフィス７０Ａを通じて主流体室６６及び第２副流体室７０Ｂ間で流体共振が発生し、これに合わせて前述のように電磁アクチュエータ５２を駆動することによって、より大きな制御力を発生することができる。従って、特にエンジン２２側で発生する振動の振幅が大きいアイドル振動に対して大きな振幅の制御振動を重畳させることができ、良好な防振効果を得ることができるのである。
【００５９】
さらに、エンジン２２側からエンジンマウント２０に入力される振動の周波数が、こもり音振動や加速時騒音振動の周波数の近傍である場合には、本実施形態では前記主流体室６６を第１オリフィス６８Ａを介して第１副流体室６８Ｂに連通させており、しかもその流体共振系の減衰ピーク周波数をこもり音振動・加速時騒音振動の周波数に一致させているため、主流体室６６の容積が変動すると第１オリフィス６８Ａを通じて主流体室６６及び第１副流体室６８Ｂ間で流体共振が発生し、これに合わせて前述のように電磁アクチュエータ５２を駆動することによって、より大きな制御力を発生することができる。
【００６０】
ちなみに、本実施形態では可動板４６とギャップ保持リング５０との間にゴムシール部材４７が介装されているために、当該可動板４６と電磁アクチュエータ５２との間には密閉された空気室が形成される。そして、前述のように電磁アクチュエータ５２の励磁コイル５２ｂに駆動信号ｙを供給して可動板４６を変位させると、この密閉された空気室内の空気が空気バネとして作用する。ところが、この空気室内の空気バネは、内部の空気温度（実質的には環境温度にも影響される）に応じた体積変動によりバネ定数が変化するため、同じ駆動信号ｙに対する可動板４６の変位量が、その時の空気温度によって変化してしまう恐れがある。そのため、本実施形態では、当該空気室となるヨーク５２ａの上面と大気との間に第３ダイアフラム５１を介装して、当該空気室内の空気バネ定数が常時一定になるようにしてある。
【００６１】
次に、前記電磁アクチュエータ５２を構成する永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂを前記ヨーク５２ａに固定する構造の詳細について説明する。
図７は、前記図２に示す本実施形態の電磁アクチュエータ５２の構造詳細図であり、電磁アクチュエータ５２が励磁されていない状態を示すが、本実施形態では、前記電磁アクチュエータ５２のヨーク５２ａが、円柱状で下端部に大径のフランジ部が形成された内側部材５２ａ2 と、その外側に被嵌されて当該フランジ部に当接する円筒状の外側部材５２ａ1 とに分割されており、前記励磁コイル５２ｂを収納する溝部は、前記内側部材５２ａ2 と外側部材５２ａ1 とを図示のように組み合わせたとき、内側部材５２ａ2 の円柱の外側及びフランジ部の上側及び外側部材５２ａ1 の円筒の内側に形成される。また、前記励磁コイル５２ｂは、外側に開口するコ字状断面の回転体からなるボビン５２ｂ1 の外周凹部に巻回されており、このボビン５２ｂ1 は、前記ヨーク５２ａの内側部材５２ａ2 のフランジ部下方から差し込まれたネジ部材５７によって、当該ヨーク５２ａの内側部材５２ａ2 にネジ止め固定されている。なお、前記ボビン５２ｂ1 は非磁性部材である必要がある。
【００６２】
一方、前記永久磁石５２ｃの上側，即ち前記可動板４６側には、それと同形状の円形金属薄板からなる非磁性部材２が載置されるようにして配設される。また、同じく、前記励磁コイル５２ｂが巻回されているボビン５２ｂ1 の上側，即ち前記可動板側４６にも、それと同形状のリング状金属薄板からなる磁性部材１が載置されるように配設される。このうち、前記円形金属薄板からなる非磁性部材２の外周端部が下方に折り曲げられ、同じくリング状金属薄板からなる磁性部材１の内周端部及び外周端部も下方に折り曲げられている。そして、前記円形金属薄板からなる非磁性部材２の外周端部と、リング状金属薄板からなる磁性部材１の内周端部とが突き合わされた状態で両者を溶接固着して一体にしてあり、更に当該リング状金属薄板からなる磁性部材１の外周端部が、前記ボビン５２ｂ1 の上側フランジ部の外側から下方内側に折り返されて、両者がかしめにより固定されている。従って、前記励磁コイル５２ｂが巻回されたボビン５２ｂ1 を、ヨーク５２ａの内側部材５２ａ2 にネジ止め固定すると、永久磁石５２ｃは、前記ボビン５２ｂ1 及び金属薄板からなる非磁性部材２を介して，同じく金属薄板からなる磁性部材１によって下方に押付けられ、これにより永久磁石５２ｃ及び励磁コイル５２ｂがヨーク５２ａの内側部材５２ａ2 に固定される。
【００６３】
この状態で、前記ヨーク５２ａの外側部材５２ａ1 を前記内側部材５２ａ2 の外側に被せ、然る後、前述のように当該ヨーク５２ａの外側部材５２ａ1 の上側に前記ギャップ保持リング５０を載置するなどして、最終的にアクチュエータサブケース４１の最上端部を折り返して係止部４１ａを形成すると、当該係止部４１ａの下方への押圧力によって、ヨーク５２ａの外側部材５２ａ1 が内側部材５２ａ2 のフランジ部を下方に押付け、前述のように当該内側部材５２ａ2 には永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂが固定されているから、当該アクチュエータサブケース４１内にヨーク５２ａ，励磁コイル５２ｂ及び永久磁石５２ｃが固定される。このように、永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂを、金属薄板からなる磁性部材１や非磁性部材２を介して、溶接固着やかしめやネジ止め固定などの機械的固定手段により、ヨーク５２ａに固定することにより、前記従来のように接着剤を用いた固定方法と異なり、固定効果に経時劣化が生じることもなく、永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂがヨーク５２ａから外れることはない。
【００６４】
ちなみに、前記永久磁石５２ｃの周りに配設される励磁コイル５２ｂの可動板４６側に非磁性部材２を配設するのは、当該永久磁石５２ｃによる前記可動板吸引磁力、即ち永久磁石５２ｃから可動板４６，ヨーク５２ａを通じて再び永久磁石５２ｃに戻る又はその逆の磁力の磁路を確保するためであり、このようにすることによって永久磁石５２ｃの磁力で効果的に可動板４６を吸引することができる。若し、励磁コイルの可動板側が磁性部材で構成されていると、永久磁石の磁力は当該磁性部材からヨークを通じて再び永久磁石に戻る又はその逆の磁路を通ってしまう或いは通り易くなってしまうため、当該永久磁石の磁力で効果的に可動板を吸引することができなくなってしまう。また、前記永久磁石５２ｃの可動板４６側に磁性部材１を配設するのは、当該永久磁石５２ｃの実質的な可動板方向への厚さ（長さ）を厚く（長く）することと等価であり、この永久磁石５２ｃによって磁化された磁性部材１から可動板４６までの距離（隙間）を、同じく永久磁石の可動板側に非磁性部材を配設した場合の当該永久磁石５２ｃから可動板４６までのそれに比して、短くすることができる。即ち、永久磁石５２ｃの磁力のうち、可動板４６を吸引する力は、それと可動板４６との距離（隙間）の２乗に反比例することから、このように永久磁石５２ｃと可動板４６との実質的な距離（隙間）を短く（小さく）することにより、当該永久磁石５２ｃによって効果的に可動板４６を吸引することができ、殊更に大きな永久磁石や強磁力の永久磁石を使用する必要もない。また、励磁コイル５２ｂの可動板４６側に非磁性部材２を配設することにより、この部分が磁性部材であった場合に、磁束がそこで回り込んでしまってアクチュエータとしてのパワーが低減してしまうという恐れを回避することができる。
【００６５】
次に、前記電磁アクチュエータ５２を構成する永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂを前記ヨーク５２ａに固定する構造の第２実施形態について説明する。この実施形態は、本発明のうち請求項１乃至５に係る防振支持装置を実施化したものである。
【００６６】
図８は、前記第１実施形態である図２に対して本実施形態の電磁アクチュエータ５２の構造詳細図であり、当該第１実施形態と同等の部材には同等の符号を附して、その詳細な説明を省略する。本実施形態と第１実施形態との最も大きな差異は、同様に励磁コイル５２ｂを巻回したボビン５２ｂ1 をヨーク５２ａにネジ止め固定しない点にある。それに合わせて、第１実施形態のように、ヨーク５２ａが分割されていない。また、本実施形態では、前記永久磁石５２ｃの可動板４６側に配設される磁性部材１や励磁コイル５２ｂの可動板４６側に配設される非磁性部材２を溶接固定しない。その代わりに、前記励磁コイル５２ｂの可動板４６側に配設される非磁性部材２の外側、つまりヨーク５２ａの外周端部の上面に、金属薄板からなる磁性部材１１を配設する。
【００６７】
このうち、前記励磁コイル５２ｂの可動板４６側，即ち前記ボビン５２ｂ1 の上面に載置される非磁性部材２は、リング状の単なる金属製薄平板である。一方、永久磁石５２ｃの可動板４６側，即ちその上面に直接載置される磁性部材１は、円板状の金属製薄板であるが、その外周端部が下方に折り曲げられ、更にその下方端部が外側に向けて折り曲げられている。そして、前記永久磁石５２ｃの上面に当該円板状の金属薄板からなる磁性部材１を載置すると、その外周から折り曲げられた下端側方折り曲げ部が、前記ボビン５２ｂに載置されたリング状の金属薄板からなる非磁性部材２の内周端部側下面に当接するようにしてある。これに合わせて、前記円板状の金属薄板からなる磁性部材１の外周下端側方折り曲げ部が、ボビン５２ｂ1 に当接しないように、それに対向するボビン５２ｂ1 には凹部が形成されている。また、前記ヨーク５２ａの外周端部の上面に載置される磁性部材１１も、リング状の金属製薄板であるが、その内周端部が僅かに下方に折り曲げられ、その下方端部は内側に折り曲げられている。そして、このリング状の磁性部材１１をヨーク５２ａの外周端部の上面に載置すると、その内周端部から折り曲げられた下端側方折り曲げ部が、前記ボビン５２ｂに載置されたリング状の金属薄板からなる非磁性部材２の外周端部側上面に当接するようにしてある。
【００６８】
このように、前記永久磁石５２ｃの上面に前記円形状の金属薄板からなる磁性部材１を載置し、次いで励磁コイル５２ｂのボビン５２ｂ1 の上面に前記リング状の金属薄板からなる非磁性部材２を載置し、次にヨーク５２ａの外周端部上面に前記リング状の金属薄板からなる磁性部材１１を載置すると、それらは互いに上方から押え込む重合部が形成される。そして、この状態で、前述と同様に、前記ヨーク５２ａの外周端部に載置された磁性部材１１の上に前記ギャップ保持リング５０を載置するなどして、最終的にアクチュエータサブケース４１の最上端部を折り返して係止部４１ａを形成すると、当該係止部４１ａの下方への押圧力によって、ギャップ保持リング５０が、前記金属薄板からなる磁性部材１１をヨーク５２ａ側に押圧し、その内周端部の下端折り曲げ部が、前記金属薄板からなる非磁性部材２を励磁コイル５２ｂのボビン５２ｂ1 側に押圧し、更にその内周端部が、前記金属薄板からなる磁性部材１を永久磁石５２ｃ側に押圧して、それらが一体に固定される。
【００６９】
このように、本実施例でも、永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂを、金属薄板からなる磁性部材１や非磁性部材２或いは磁性部材１１を介して、押圧力などの機械的固定手段により、ヨーク５２ａに固定することにより、前記従来のように接着剤を用いた固定方法と異なり、固定効果に経時劣化が生じることもなく、永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂがヨーク５２ａから外れることはない。また、永久磁石５２ｃの可動板４６側に磁性部材１を、励磁コイル５２ｂの可動板４６側に非磁性部材２を配設する効果は、前記第１実施形態のそれと同様又はほぼ同様である。
【００７０】
また、本実施形態では、前記ヨーク５２ａの上面に金属薄板からなる磁性部材１１を配設することにより、可動板４６とヨーク５２ａとの実質的な距離（隙間）を短く（小さく）して、前記永久磁石５２ｃ又は励磁コイル５２ｂによる可動板吸引磁力を効果的に作用させることを可能とする。
【００７１】
更に、本実施形態では、前記金属薄板からなる磁性部材１，非磁性部材２及び磁性部材１１同士を直接固定することなく、個別なものとしているために、例えば夫々の厚さを変えるなどすれば、前述のように同等の永久磁石５２ｃ又は励磁コイル５２ｂであっても、それらによる可動板４６の吸引磁力を微調整することができるから、各部材の特性を変更して選択することにより、可動板４６の変位特性，即ち防振支持装置としての減衰特性を微調整することを可能とし、これにより車両の仕様に応じた防振支持装置の減衰特性を細かくチューニングすることができる。
【００７２】
次に、前記電磁アクチュエータ５２を構成する永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂを前記ヨーク５２ａに固定する構造の第３実施形態について説明する。この実施形態は、本発明のうち請求項１乃至４及び６に係る防振支持装置を実施化したものである。
【００７３】
図９は、前記第２実施形態である図８に対して本実施形態の電磁アクチュエータ５２の構造詳細図であり、当該第２実施形態と同等の部材には同等の符号を附して、その詳細な説明を省略する。本実施形態と前記第２実施形態とは、例えば前記第１実施形態と比べて、ボビン５２ｂ1 をヨーク５２ａにネジ止め固定しない点や、ヨーク５２ａの外周端部の上面に金属薄板からなるリング状の磁性部材１１を配設する点で類似している。一方、本実施形態と第２実施形態との最も大きな差異は、前記永久磁石５２ｃの可動板４６側に配設される金属薄板からなる磁性部材１及び励磁コイル５２ｂの可動板４６側に配設される金属薄板からなる非磁性部材２及び前記ヨーク５２ａの可動板４６側に配設される金属薄板からなる磁性部材１１を、全て溶接固定により一体化した点にある。それに合わせて、前記励磁コイル５２ｂの可動板４６側，即ち前記ボビン５２ｂ1 の上面に配設される非磁性部材２がリング状の単なる金属薄板である点や、ヨーク５２ａの外周端部の上面に配設される磁性部材１１が、リング状の金属薄板の内周端部を僅かに下方に折り曲げられ、その下方端部を内側に折り曲げられている点については、前記第２実施形態と同様であるが、永久磁石５２ｃの可動板４６側，即ちその上面に直接配設される磁性部材１が、円板状の金属製薄板の外周端部を僅かに下方に折り曲げられ、更にその下方端部が外側に向けて折り曲げられている点が異なる。即ち、前記円板状の金属薄板からなる磁性部材１を永久磁石５２ｃ上に当接するように配設すると、その外周下端側方折り曲げ部が、励磁コイル５２ｂのボビン５２ｂ1 上に当接するように配設されたリング状の金属薄板からなる非磁性部材２の内周端部上面に当接するようになっている。そこで、この非磁性部材２の内周端部上面と前記磁性部材１の外周下端側方折り曲げ部とを溶接固定すると共に、前記非磁性部材２の外周端部上面と前記磁性部材１１の内周端部下端側方折り曲げ部とを溶接固定して、これら金属薄板からなる磁性部材１，非磁性部材２及び磁性部材１１を予め一体化する。
【００７４】
そして、前記永久磁石５２ｃの上面に前記円板状の金属薄板からなる磁性部材１が当接し且つ励磁コイル５２ｂのボビン５２ｂ1 の上面に前記リング状の金属薄板からなる非磁性部材２が当接し且つヨーク５２ａの外周端部の上面に前記リング状の金属薄板からなる磁性部材１１が当接するように、前記一体化されたこれらの部材を載置し、前述と同様に、前記ヨーク５２ａの外周端部に載置された磁性部材１１の上に前記ギャップ保持リング５０を載置するなどして、最終的にアクチュエータサブケース４１の最上端部を折り返して係止部４１ａを形成すると、当該係止部４１ａの下方への押圧力によって、ギャップ保持リング５０が、前記金属薄板からなる磁性部材１１をヨーク５２ａ側に押圧し、その内周端部の下端折り曲げ部が、前記金属薄板からなる非磁性部材２を励磁コイル５２ｂのボビン５２ｂ1 側に押圧し、更にその内周端部が、前記金属薄板からなる磁性部材１を永久磁石５２ｃ側に押圧して、それらが一体に固定される。
【００７５】
このように、本実施例でも、永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂを、金属薄板からなる磁性部材１や非磁性部材２或いは磁性部材１１を介して、溶接固定や押圧力などの機械的固定手段により、ヨーク５２ａに固定することにより、前記従来のように接着剤を用いた固定方法と異なり、固定効果に経時劣化が生じることもなく、永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂがヨーク５２ａから外れることはない。また、前記永久磁石５２ｃの可動板４６側に磁性部材１を、励磁コイル５２ｂの可動板４６側に非磁性部材２を配設する効果は、前記第１実施形態又は第２実施形態のそれと同様又はほぼ同様である。また、前記ヨーク５２ａの上面に金属薄板からなる磁性部材１１を配設することによる永久磁石５２ｃ又は励磁コイル５２ｂの可動板吸引効果は、前記第２実施形態のそれと同様又はほぼ同様である。また、溶接固定される以前の金属薄板からなる磁性部材１，非磁性部材２及び磁性部材１１の特性を変更選択することによる防振支持装置の減衰特性のチューニング効果についても前記第２実施形態のそれと同様又はほぼ同様である。
【００７６】
また、本実施形態の防振支持装置では、前記金属薄板からなる磁性部材１，非磁性部材２及び磁性部材１１を、その組立前に予め溶接固定により一体化しているため、実際の組立工程では、面倒な位置合わせや仮組立などがなく、組立作業性が向上するという利点もある。
【００７７】
次に、前記電磁アクチュエータ５２を構成する永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂを前記ヨーク５２ａに固定する構造の第４実施形態について説明する。この実施形態は、本発明のうち請求項１又は２及び７に係る防振支持装置を実施化したものである。
【００７８】
図１０は、前記第２実施形態である図８に対して本実施形態の電磁アクチュエータ５２の構造詳細図であり、当該第２実施形態と同等の部材には同等の符号を附して、その詳細な説明を省略する。本実施形態と前記第２実施形態とは、例えば永久磁石５２ｃの可動板４６側，即ちその上面に直接載置される磁性部材１が、円板状の金属製薄板の外周端部を下方に折り曲げられ、更にその下方端部を外側に向けて折り曲げられている点について類似している。一方、本実施形態と第２実施形態との最も大きな差異は、前記励磁コイル５２ｂの可動板４６側に配設される非磁性部材２が、当該励磁コイル５２ｂをヨーク５２ａに固定するための樹脂モールド部材１６で一体に形成されている点にある。これに合わせて、励磁コイル５２ｂはボビンに巻回されず、直接樹脂モールド部材１６内に埋設されており、また、ヨーク５２ａに形成されている前記励磁コイル５２ｂ収納用の溝の底部には、硬化した樹脂モールド部材１６が抜けないように係止用大径部５２ａ3 が形成されている。勿論、前記樹脂モールド部材１６は、非磁性部材である必要がある。
【００７９】
そして、この実施形態では、前記永久磁石５２ｃの上面に前記円板状の金属薄板からなる磁性部材１を載置した後、前記ヨーク５２ａの溝の所定位置に励磁コイル５２ｂを保持して、その周囲に、溶融している樹脂を、前記円板状の金属薄板からなる磁性部材１の外周下端側方折り曲げ部が浸漬するまで流し込み、そのまま樹脂を硬化させてモールドする。硬化して完成した樹脂モールド部材１６は励磁コイル５２ｂを内部に保持したまま前記係止用大径部５２ａ3 に係止してヨーク５２ｂから抜けなくなると共に、前記円板状の金属薄板からなる磁性部材１の外周下端側方折り曲げ部が当該樹脂モールド部材１６内に埋没固定され、これにより当該磁性部材１が永久磁石５２ｃを下方に押さえ付けてヨーク５２ｂに固定する。また、励磁コイル５２ｂの可動板４６側までモールドされた樹脂モールド部材１６は、同時に、励磁コイル５２ｂの可動板４６側に非磁性部材として介在される。
【００８０】
このように、本実施例でも、永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂを、金属薄板からなる磁性部材１や樹脂モールド部材からなる非磁性部材２を介して、樹脂モールドという機械的固定手段で、ヨーク５２ａに固定することにより、前記従来のように接着剤を用いた固定方法と異なり、固定効果に経時劣化が生じることもなく、永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂがヨーク５２ａから外れることはない。また、前記永久磁石５２ｃの可動板４６側に磁性部材１を、励磁コイル５２ｂの可動板４６側に非磁性部材２を配設する効果は、前記第１実施形態乃至第３実施形態のそれと同様又はほぼ同様である。
【００８１】
また、本実施形態の防振支持装置では、前記金属薄板からなる磁性部材１を永久磁石５２ｃ上に載置した後、モールドされた樹脂モールド部材１６により励磁コイル５２ｂや永久磁石５２ｃをヨーク５２ａに固定してしまうことができるので、前記可動板４６等をアクチュエータサブケース４１内に組付ける以前に、電磁アクチュエータ５２がアッセンブリの形で完成しており、実際の組立工程では、その後の組立作業性が向上するという利点もある。
【００８２】
次に、前記電磁アクチュエータ５２を構成する永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂを前記ヨーク５２ａに固定する構造の第５実施形態について説明する。この実施形態は、本発明のうち請求項１又は２及び８に係る防振支持装置を実施化したものである。
【００８３】
図１１は、前記第４実施形態である図１０に対して本実施形態の電磁アクチュエータ５２の構造詳細図であり、当該第４実施形態と同等の部材には同等の符号を附して、その詳細な説明を省略する。本実施形態と前記第２実施形態とは、例えば励磁コイル５２ｂがボビンに巻回されずに，樹脂モールド部材１６で直接ヨーク５２ａに固定されている点や、当該樹脂モールド部材１６がヨーク５２ａから抜けないように、励磁コイル５２ｂを収納する溝には係止用大径部５２ａ3 が形成されている点について類似している。一方、本実施形態と第４実施形態との最も大きな差異は、永久磁石５２ｃの可動板４６側に配設される磁性部材１も、樹脂モールド部材で構成されている点にある。実際には、前記ヨーク５２ａの所定位置に励磁コイル５２ｂを保持すると共に永久磁石５２ｃを載置した後、当該励磁コイル５２ｂの周囲から永久磁石５２ｃの上面，即ち可動板４６側面までに樹脂を流し込み、そのまま硬化させてモールドするのであるが、前述のようにこの樹脂モールド部材１６そのものは非磁性部材であるから、前記永久磁石５２ｃの上面，即ち可動板４６側面のみに金属粉等の磁性粉を混入させ、硬化して完成した樹脂モールド部材１６のうちの永久磁石５２ｃの可動板４６側面だけに磁性粉入りの樹脂モールド部材からなる磁性部材１が配設されるようにした。勿論、この硬化した樹脂モールド部材１６は、永久磁石５２ｃ及び励磁コイル５２ｂを内部に固定保持したまま前記係止用大径部５２ａ3 に係止してヨーク５２ｂから抜けなくなるから、これにより永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂは樹脂モールドという機械的固定手段でヨーク５２ａに固定保持される。
【００８４】
このように、本実施例でも、永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂを、樹脂モールド部材からなる非磁性部材２や磁性粉が含有された樹脂モールド部材からなる磁性部材１を介して、樹脂モールドという機械的固定手段で、ヨーク５２ａに固定することにより、前記従来のように接着剤を用いた固定方法と異なり、固定効果に経時劣化が生じることもなく、永久磁石５２ｃや励磁コイル５２ｂがヨーク５２ａから外れることはない。また、前記永久磁石５２ｃの可動板４６側に磁性部材１を、励磁コイル５２ｂの可動板４６側に非磁性部材２を配設する効果は、前記第１実施形態乃至第４実施形態のそれと同様又はほぼ同様である。
【００８５】
また、本実施形態の防振支持装置では、モールドされた樹脂モールド部材１６により励磁コイル５２ｂや永久磁石５２ｃをヨーク５２ａに固定してしまうことができるので、前記可動板４６等をアクチュエータサブケース４１内に組付ける以前に、電磁アクチュエータ５２がアッセンブリの形で完成しており、実際の組立工程では、その後の組立作業性が向上するという利点もある。
【００８６】
なお、上記各実施例では可動板と収納体との間にアクチュエータを隔離するシール部材を配設した場合についてのみ説明したが、このシール部材は、液濡れを嫌う部位のみが隔離されるように可動板とアクチュエータとの間に配設してもよい。
【００８７】
また、上記各実施例で振動入力を減衰するためのオリフィスや副流体室の形状或いはその数は前記に限定されるものではなく、減衰仕様特性に応じて適宜に設定すればよい。
【００８８】
また、上記各実施例では、車両のエンジンと車体との間に介装される防振支持装置についてのみ説明したが、本発明の防振支持装置は、その他の振動源とそれを支持する支持体との間に如何様にも展開できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の防振支持装置を車両のエンジンと車体との間に介装した一例を示す概略構成図である。
【図２】図１に採用された防振支持装置の一例を示す正面縦断面図である。
【図３】図２の防振支持装置の側面一部断面図である。
【図４】図２の防振支持装置の平面図である。
【図５】図２に示す防振支持装置による減衰効果の作用説明図である。
【図６】図２に示す防振支持装置に形成されたエンジンシェイク振動の流体共振系の説明図である。
【図７】本発明の防振支持装置の第１実施形態を示す電磁アクチュエータの詳細説明図である。
【図８】本発明の防振支持装置の第２実施形態を示す電磁アクチュエータの詳細説明図である。
【図９】本発明の防振支持装置の第３実施形態を示す電磁アクチュエータの詳細説明図である。
【図１０】本発明の防振支持装置の第４実施形態を示す電磁アクチュエータの詳細説明図である。
【図１１】本発明の防振支持装置の第５実施形態を示す電磁アクチュエータの詳細説明図である。
【符号の説明】
１は磁性部材
２は非磁性部材
１１は磁性部材
１６は樹脂モールド部材
２０はエンジンマウント（防振支持装置）
２２はエンジン（振動体）
２６は車体（支持体
３０は連結部材（振動体側連結部材）
３２は支持弾性体
３２ｃは第１ダイアフラム
３４は内筒
３６は第１オリフィス構成部材
３８は外筒
４０は第２オリフィス構成部材
４０ｂ1 は第１連通孔
４０ｂ2 は第２連通孔
４１はアクチュエータサブケース（収納体）
４１ａは係止部（収納体）
４２はアクチュエータケース（収納体）
４３は第２ダイアフラム
４４は収納体側受容部
４６は可動板
４７はスペーサ（収納体）
４８は弾性部材
４９はゴムシール部材
５０はギャップ保持リング（収納体）
５１は第３ダイアフラム
５２は電磁アクチュエータ（アクチュエータ）
５２ａはヨーク
５２ｂは励磁コイル
５２ｂ1 はボビン
５２ｃは永久磁石
５５は可動板側受容部
５６は車体側連結部材（支持体側連結部材）
５７はネジ部材
６６は主流体室（流体室）
６８Ａは第１オリフィス
６８Ｂは第１副流体室
７０Ａは第２オリフィス
７０Ｂは第２副流体室
７２Ａは第３オリフィス
７２Ｂは第３副流体室
７４はコントローラ（制御手段）
【図１】
0003684666.tif 000002
【図２】
0003684666.tif 000003
【図３】
0003684666.tif 000004
【図４】
0003684666.tif 000005
【図５】
0003684666.tif 000006
【図６】
0003684666.tif 000007
【図７】
0003684666.tif 000008
【図８】
0003684666.tif 000009
【図９】
0003684666.tif 000010
【図１０】
0003684666.tif 000011
【図１１】
0003684666.tif 000012