(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
調整装置であって、
−定置のベースプレート（３）と、可動な支持プレート（２）とが設けられている形式のものにおいて、
−定置のベースプレート（３）が、可動な支持プレート（２）に直線的な棒状の所定数の作動部材（Ａｔ）によって結合されており、該作動部材（Ａｔ）が、放射エネルギの局所的な供給によって所定の形に可変であり、
−作動部材（Ａｔ）が、それぞれ一方の端部でベースプレート（３）の角隅点（Ａ〜Ｄ）に結合されていて、他方の端部で支持プレート（２）の点（Ｅ〜Ｈ）に結合されていることを特徴とする、調整装置。
【請求項２】
少なくとも１つの作動部材（Ａｔ）が、直線的な特に棒状の作動部材として構成されており、該作動部材の長さが所定の方向に沿って可変であるように構成されている、請求項１記載の調整装置。
【請求項３】
少なくとも１つの作動部材が２つまたはそれ以上の数の作動部材構成部分を有しており、該作動部材構成部分が、垂直方向でベースプレート（３）と支持プレート（２）との間で互いに対して間隔をおいて配置されていてかつ少なくとも１つのウェブ（Ｓ）によって互いに結合されている、請求項１または２記載の調整装置。
【請求項４】
少なくとも１つの作動部材が３つまたはそれ以上の数の作動部材構成部分を有しており、該作動部材構成部分がベースプレート（３）と支持プレート（２）との間に配置されており、
少なくとも２つの作動部材構成部分が互いに対して相対的に配置されており、その結果、該作動部材構成部分が、垂直方向でベースプレート（３）と支持プレート（２）との間で互いに対して所定の間隔をおいて配置されていてかつ少なくとも１つのウェブ（Ｓ）によって互いに結合されており、
少なくとも２つの作動部材構成部分が互いに対して相対的に配置されており、その結果、該作動部材構成部分が、横方向で互いに対して間隔をおいて配置されていてかつ少なくとも１つのウェブ（Ｓ）によって互いに結合されている、請求項３記載の調整装置。
【請求項５】
少なくとも１つの作動部材がアングル状の作動部材であって、該作動部材が、互いに対して所定の角度を成して配置されてジョイント（Ｇ）によって結合された２つの平坦な区分を有している、請求項１記載の調整装置。
【請求項６】
少なくとも２つのアングル状の作動部材が、支持プレート（２）の、互いに向かい合って位置する２つの側に配置されている、請求項５記載の調整装置。
【請求項７】
ジョイントが、減じられた材料厚さおよび／または切欠によって形成されている、請求項５または６記載の調整装置。
【請求項８】
少なくとも１つの作動部材がベースプレート（３）と支持プレート（２）とに直接結合されている、請求項１から７までのいずれか１項記載の調整装置。
【請求項９】
前記結合箇所の少なくとも１つが、ジョイント（Ｇ）を有している、請求項８記載の調整装置。
【請求項１０】
少なくとも１つの作動部材がアングル部材に結合されており、該アングル部材が、互いに対して所定の角度を成して配置されてジョイントによって結合された２つの平坦な区分を有しており、
該平坦な区分を有するアングル部材が、ベースプレート（３）と支持プレート（２）とに結合されていて、該結合箇所の少なくとも１つがジョイント（Ｇ）を有している、請求項１から９までのいずれか１項記載の調整装置。
【請求項１１】
ジョイント（Ｇ）の少なくとも１つが、減じられた材料厚さおよび／または切欠によって形成されている、請求項９または１０記載の調整装置。
【請求項１２】
支持プレート（２）にレンズ（１）が配置されている、請求項１から１１までのいずれか１項記載の調整装置。
【請求項１３】
オプトエレクトロニクス的な送信／受信装置であって、
送信／受信装置構成部材と、
光ファイバのための接続開口と、
該接続開口と前記送信／受信装置構成部材との間に配置されたレンズ（１）とが設けられている形式のものにおいて、
請求項１２記載の調整装置が設けられていることを特徴とする、オプトエレクトロニクス的な送信／受信装置。
【請求項１４】
送信／受信装置構成部材が調整装置に組み付けられている、請求項１３記載のオプトエレクトロニクス的な送信／受信装置。
【請求項１５】
請求項１から１２までのいずれか１項記載の調整装置を調整するための方法において、
調整部材の予め規定された箇所（Ｓ）に、予め規定された量の放射エネルギを供給することを特徴とする、調整装置を調整するための方法。
【請求項１６】
少なくとも１つの作動部材が所定数の作動部材構成部分を有しており、該作動部材構成部分が、垂直方向でベースプレート（３）と支持プレート（２）との間で互いに対して間隔をおいて配置されていてかつ１つのウェブ（Ｓ）によって互いに結合されており、
この場合、放射エネルギをウェブ（Ｓ）に供給する、請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
少なくとも１つの作動部材がアングル状の作動部材であって、該作動部材が、互いに対して所定の角度を成して配置されてジョイント（Ｇ）によって結合された２つの平坦な区分を有しており、
この場合、放射エネルギを平坦な区分に供給する、請求項１５記載の方法。
【請求項１８】
ベースプレート（３）から支持プレート（２）までの間隔を拡大するために、放射エネルギを、作動部材の、ベースプレート（３）に面する側の平坦な区分に供給し、
ベースプレート（３）から支持プレート（２）までの間隔を縮小するために、放射エネルギを、作動部材の、支持プレート（２）に面する側の平坦な区分に供給する、請求項１７記載の方法。
【請求項１９】
放射エネルギをレーザ光線（ＬＢ）によって供給する、請求項１５から１７までのいずれか１項記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、調整装置であって、定置のベースプレートと、可動な支持プレートとが設けられている形式のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
グラスファイバ網を介するコミュニケーションのためのオプトエレクトロニクス的な送信／受信装置では主要な問題の１つとして、接続開口内で連結される光ファイバと送信／受信装置構成部材との間の光学的な結合を提供することが挙げられる。送信装置のために使用されるレーザモジュールではレーザダイオードの分散するレーザ光は、光ファイバへのレーザ出力のできるだけ高い入力結合効率が得られるように、単数または複数のレンズを用いて光ファイバの端面に形成される。このことはシングルモード光ファイバの連結において、単一のレンズまたはレンズ対によってレーザのいわゆるスポットサイズがグラスファイバの光進入開口上に形成されることによって達成される。２つのレンズを使用すると、汎用の形式ではレーザ光線の大きな開口角度のために第１のレンズとして有利には非球面レンズが使用される。さらに２レンズ装置では、両レンズの間に平行化された光線（Kollimierter Strahl）が要求される。なぜならばそうすることで両レンズの間の間隔が危険ではなくなるからである。しかし２レンズ装置では同様に第１のレンズが、著しく拡大された中間像を形成し、この中間像を第２のレンズによって再び光ファイバの光進入開口で縮小させることも可能である。光学的な長距離伝達システムのための半導体レーザは１．３μｍまたは１．５５μｍの波長で放射され、１μｍオーダのスポット半径を有している。相応したシングルモード光ファイバは５μｍオーダのスポット半径を有している。高い連結効率を得るためには、第１のレンズを典型的な形式においてＸ軸方向およびＹ軸方向で±０．５μｍ、Ｚ軸方向で±２〜５μｍのレーザチップの精度で調整しかつ固定しなければならない。長期安定性の理由から汎用の形式ではＡｕＳｎはんだ付けまたはレーザ溶接によって固定されている。十分な公差を有するレンズ支持体を製造することができるように、もしくはレンズ支持体の固定時に溶接変形を修正することができるように、レンズ支持体の、ひいてはレンズ位置の所期の後調整はレーザインパルスを用いて実施することができると有利である。レンズ連結の代わりにガラスファイバを直接レーザに連結することもできる。このためファイバ端面を溶融するかまたはエッチングし、その結果、最適なレンズプロフィルがグラスファイバにおいて自動で生ぜしめられる。この場合、（局所的に金属化された）グラスファイバを、例えばろう接によってレーザ調整可能な支持体上に取り付けられる。
【０００３】
すでにレーザ調整可能な作動部材またはアクチュエータを使用した、レンズのための調整装置およびこの調整装置を調整するための方法は公知である。これらの公知の装置は温度勾配機構（ＴＧＭ：Temparatur-Gradienten-Mechanismus ）に基づいている。この温度勾配機構では、金属薄板部分の表面にあたるレーザ光線は、この表面での金属の溶融によって材料に、金属薄板厚さによって不均等に分配される収縮応力を与える。これにより金属薄板部分は冷却時に、投射されたレーザ光線の方向で曲げられる。レーザ光線の一方側からアクセスされる調整過程は、１方向でだけ確実に規定されて調整することができ、つまり距離が曲げによって伸張または縮小のいずれかだけ行うことができることを意味している。いずれにしろ、一方側だけからアクセスされるレーザ光線でもいわゆるアクチュエータの使用下では別の運動方向も実現可能である。アクチュエータとはここでは三次元的な金属薄板構造体を意味している。収縮応力の作用による所定の箇所に規定された、アクチュエータの動きを種々異なる方向でリリースすることができる。
【０００４】
欧州特許出願公開第０３７３２２５号明細書には、オプトエレクトロニクス的な半導体装置が記載されている。この半導体装置ではオプトエレクトロニクス的な半導体部材が支持ブロックによって保持され、この支持ブロックでは同時にレンズ保持体が取り付けられている。レンズ保持体内には、オプトエレクトロニクス的な部材に対向して位置決めされたレンズが組み付けられている。このレンズ保持体は、このレンズ保持体をレーザ光線の局所的な供給によって所望の形式で変形させ、ひいてはオプトエレクトロニクス的な構成部材に関連したレンズの位置を変えることができるように予め成形されている。
【０００５】
さらに米国特許第５５７２８９５号明細書には、単数または複数のアクチュエータの、ブリッジを介して接続された２つの部材を交互に調整するための方法が記載されている。この方法においても所望の調整を生ぜしめるために、これらのアクチュエータの最適な箇所に放射エネルギが供給される。
【０００６】
最後に米国特許第６０３０１１４号明細書にはレーザ調整可能なヒューズ付スイッチが開示されている。このスイッチでは上記したものと同様の原理に基づき、バイメタルストリップの、予め曲げられた接触接続部をカリブレーションするためにレーザ光線の供給により調整することができる。
【０００７】
しかしこれらの公知の方法はレーザ光線の供給による調整時に大抵１つの経験的な処置しか許容されないという欠点を有している。さらにこれらの調整装置は大抵粗調整または精密調整の一方しかできないように構成されている。多くの場合、調整もレーザ加工時に構成される応力のため長期的には安定しない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、特に粗調整と精密調整とによって所期の調整を実施できるような、オプトエレクトロニクス的な送信／受信装置のレンズのための調整装置およびこの調整装置を調整するための方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明による構成では、定置のベースプレートが、可動な支持プレートに直線的な棒状の所定数の作動部材によって結合されており、該作動部材が、放射エネルギの局所的な供給によって所定の形に可変であり、作動部材が、それぞれ一方の端部でベースプレートの角隅点に結合されていて、他方の端部で支持プレートの点に結合されているようにした。
【００１０】
さらに前記課題を解決するために本発明による方法では、調整部材の予め規定された箇所に、予め規定された量の放射エネルギを供給するようにした。
【００１１】
【発明の効果】
本発明による調整装置では有利にはレーザ光線の形の放射エネルギの局所的な供給によって形が可変である所定数の作動部材が、その一方の端部で、定置のベースプレートに結合されていて、かつ他方の端部で、可動な支持プレートに結合されている。この支持プレート上に調整したいレンズのような光学的な構成部材を組み付けることができる。この際、調整装置がオプトエレクトロニクス的な送信／受信装置の一部であってよい。このオプトエレクトロニクス的な送信／受信装置はレーザダイオードまたは半導体光検知機のようなオプトエレクトロニクス的な構成部材と、光ファイバのための接続開口とを有していて、このオプトエレクトロニクス的な構成部材を保持する支持体は調整装置の定置の部分に組み付けられている。この場合、組み付られて調整された状態でオプトエレクトロニクス的な構成部材はレンズと光ファイバの光進入開口とに正確に方向付けられている。
【００１２】
本発明では、ベースプレートと支持プレートとの間に支持プレートの運動と調整との種々異なる自由度を、互いに依存せず調整可能であるような種々異なる構造形式の複数の作動部材を配置する可能性が提供されている。特に本発明では、複数の作動部材を異なる変換率で作用させ、これにより粗調整のための作動部材と、精密調整のための作動部材とを使用することができるように、互いに相対的に配置する可能性が提供されている。
【００１３】
個々の調整部材が、部分的に従来技術において公知であるような種々異なる構造形式を有していてよい。作動部材を例えば特に簡単な構造形式で、直線的な特に棒状の作動部材として構成することができ、この作動部材の長さは、レーザ光線の供給によってまたはこれに類する形式で、所定の方向に沿って可変である。この際、作動部材はその長さ全体にわたって、長さを変えるために各箇所に放射エネルギを供給可能な薄いロッドによって形成されていてもよい。これは一般的に特別に安定的なわけではないので、大抵の場合、大きな直径を有する安定的な区分（調整部材構成部分）の間に僅かな直径を有する弱体化箇所（ウェブ）が形成された実施形態が選択される。この実施形態においてウェブに放射エネルギを入力結合し、かつ本来の長さ変化をこのウェブにおいて生じるようにしたい。したがって単に一方向にだけ働く作動部材が、２つまたはそれ以上の調整部材構成部分を有していてよい。これらの調整部材構成部分は垂直方向でベースプレートと支持プレートとの間に互いに所定の間隔をおいて配置されていて、垂直方向に延在する少なくとも１つのウェブによってそれぞれ互いに結合されている。この際、複数のウェブを平行に相並べて配置することもできる。これらのウェブを、個々のウェブにだけ供給することによって垂直方向の長さ変化だけが生ぜしめられるように、密に隣接させることもできる。しかしこれらのウェブをさらに互いに対して間隔をおいて配置することもできる。個々のウェブの光線供給によって生ぜしめられた長さ変化は、垂直方向の要素と、垂直方向に対して直交する方向の要素とを有する支持プレートの運動を生ぜしめる。
【００１４】
前記した実施例においてウェブが互いに比較的離れた間隔をおいている場合には、１つの調整過程によって２つの自由度での調整を行うことができる。これに対して、２つの自由度の調整が互いに依存しない調整過程によって調整が実施可能であると有利である。このことは、以下のような調整装置によって得られる。すなわち、この調整装置において、作動部材が３つまたはそれ以上の作動部材構成部分を有しており、この作動部材構成部分がベースプレートと支持プレートとの間に配置されており、少なくとも２つの作動部材構成部分が互いに対して相対的に配置されており、その結果、これら作動部材構成部分が、垂直方向でベースプレートと支持プレートとの間で互いに対して所定の間隔をおいて配置されていてかつ少なくとも１つのウェブによって互いに結合されており、少なくとも２つの別の作動部材構成部分が互いに対して相対的に配置されており、その結果、該作動部材構成部分が、横方向で互いに対して所定の間隔をおいて配置されていてかつ少なくとも１つのウェブによって互いに結合されている。上記した本発明の重要な観点は、１つの自由度のためにまず粗調整が、次いで同じ自由度のために精密調整が実施可能である調整装置を構成する可能性が開示されている点にある。この目的のために、第１の作動部材が、支持プレートの外側縁部から所定の間隔ａをおいて支持プレートに結合されており、かつこの箇所から所定の間隔ｂをおいて第２の作動部材が、支持プレートに結合されており、その結果、第１の作動部材によって粗調整が、かつ第２の作動部材によって精密調整が、ａ／（ａ＋ｂ）の変換率で実施可能である。
【００１５】
同様に簡単な別の作動部材が、二次元的な特にプレート状の作動部材であって、この作動部材は相応したエネルギ供給によって２つの方向で形を変えることができる。
【００１６】
ベースプレートと支持プレートとの間に組み付けることができる作動部材の別の複雑な構造形式を提供可能である。例えばすでに前記した刊行物ＥＰ０３７３２２５に基づき著しく公知である作動部材を使用することができる。この作動部材は互いに対して所定の角度を成して配置されてジョイントによって結合された２つの平坦な区分を有している。このような作動装置を別に記載した作動装置と同様に薄板から成形することができる。２つの平坦な区分の間における折れ曲がり箇所のジョイントを、簡単な形式で、減じられた薄板厚さおよび／または切欠によって薄板部分に形成することができる。完全な調整装置を２つのもしくはそれ以上のアングル状の作動部材から形成することができる。これらのアングル状の作動部材は支持プレートの、互いに向かい合って位置する２つの側に配置されていて、しかも有利な形式ではアングル状の作動部材の折れ曲がり箇所が互いに面している。このような形式の調整装置は、作動部材の、放射エネルギが供給される位置に応じて調整過程を、互いに反対側の種々異なる方向に実施することができるという利点を有している。特に、ベースプレートと支持プレートとの間隔を拡大するために、放射エネルギを、作動部材の、ベースプレートに面する側の平坦な区分に供給することができ、かつベースプレートと支持プレートとの間隔を縮小するために、放射エネルギを、作動部材の、支持プレートに面する側の平坦な区分に供給することができる。
【００１７】
この具体的な実施例に示したように、このようなアングル状の作動部材を直接ベースプレートおよび支持プレートに結合することができ、しかもこの結合箇所に、簡単な形式で減じられた薄板厚さおよび／または切欠によって薄板に形成されたジョイントを設けることができる。
【００１８】
しかしまた、作動部材がアングル部材に結合されており、このアングル部材が、互いに対して所定の角度を成して配置されてジョイントによって結合された２つの平坦なかつ曲げ耐性を有する区分を有しており、しかもこの平坦な区分を有するアングル部材が、ベースプレートと支持プレートとに結合されていて、結合箇所の少なくとも１つがジョイントを有していてもよい。このジョイントは有利には同様に前記したような成形されている。このような構造では、まずアングル部材の平坦な区分が互いに向かって近づくようにまたは互いから離れるように運動するように、アングル状の作動部材が調整過程時に間接的に支持プレートに作用する。
【００１９】
本発明による調整装置の重要な使用例は、支持プレートに組付けられたレンズを、半導体レーザのようなオプトエレクトロニクス的な構成部材と、光ファイバの光進入面または光放出面とに相対的に調整することに関連している。したがって調整装置は、オプトエレクトロニクス的な送信／受信装置の一部であって、このオプトエレクトロニクス的な送信／受信装置は、送信／受信装置構成部材と、光ファイバのための接続開口と、この接続開口と前記送信／受信装置構成部材との間に配置されたレンズとからなっていてよい。しかもレンズは本発明による調整装置の支持プレート上に組み付けられている。この送信／受信装置構成部材および／または光ファイバ接続開口をベースプレートのような調整装置の定置の部分に取り付けることができる。
【００２０】
調整装置の種々異なる構成は、規定された再成可能な調整を可能にし、したがって高い部材数においても、調整過程の自動化も可能である。必要な支持体（レンズ支持体）をコスト安に、例えば汎用の押し抜き・曲げ成形によって製造することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施形態を図面に示した実施例に基づき詳説する。
【００２２】
図１には本発明による調整装置の１実施例が概略的に示されている。この調整装置では支持プレート２上に組み付けられたレンズ１の調整を可能にしたい。
【００２３】
このレンズ１は高い曲げ剛性およびねじれ剛性を有する支持プレート２上に組み付けられており、この支持プレート２は２つの平面Ｅ１，Ｅ２で、同様に高い曲げ剛性およびねじれ剛性を有するベースプレート３に結合されている。図１において平面Ｅ１は、点Ａ、Ｂ、Ｆ、Ｅによって、平面Ｅ２は点Ｃ、Ｇ、Ｈ、Ｄによって規定されている。レーザチップ（図示せず）は同様にベースプレート３に堅固に結合されている。平面Ｅ１、Ｅ２における結合部材はレンズ１もしくはベースプレート３をＸ軸方向およびＹ軸方向で調整可能であるように構成したい。Ｘ軸方向およびＹ軸方向で調整するために、有利な形式では平面Ｅ１または平面Ｅ２または両平面上に作動部材またはアクチュエータが配置されている。簡素化のためにここではさしあたり直線的な作動部材が描かれている。この作動部材は支持プレート２を少なくとも３点でベースプレートに結合する。両平面Ｅ１，Ｅ２上にアクチュエータが設けられていると、図１の寸法ａ，ｂの相応した選択によって平面Ｅ１においてレンズ位置の粗調整を行うことができ、次いで平面Ｅ２においてａ／（ａ+ｂ）の変換率に相応してレンズ位置の精密調整を行うことができる。アクチュエータが長さの短縮（例えばレーザ照射時のアクチュエータの収縮）しか可能でないと、これにより例えばレンズ１はアクチュエータの短縮によって平面Ｅ１において降下させ、次いで平面Ｅ２のアクチュエータによって（比較的小さな段階で）上昇させることができる。レンズ位置の三次元的な調整（Ｘ軸・Ｙ軸・Ｚ軸方向）が所望される場合、平面Ｅ１，Ｅ２の傾倒を生ぜしめる別のアクチュエータを設ける必要がある。図１には、アクチュエータＡｔのできるだけ原理的な装置が示されており、この装置によってＸ軸方向およびＹ軸方向でのレンズ位置の粗調整および精密調整と、Ｚ軸での調整とが可能である。引用した使用例では例えば粗調整は１〜５０μｍの調整範囲をカバーすることができ、精密調整は０．１〜５μｍの範囲をカバーすることができる。Ｚ方向での調整公差は選択された使用例では典型的なオーダの形式で、Ｘ軸およびＹ軸方向における調整公差よりも大きいので、Ｚ方向での粗調整で十分である。
【００２４】
図２のａ〜ｆには、部分的にすでに実現された可能なアクチュエータの装置が原理的に示されている。これらの装置は１つまたは２つの配位装置における調整が可能である。図２のａ，ｂには、アクチュエータの作動距離が（ａ+ｂ）／ａの割合で拡大することができるような実施例が示されている。
【００２５】
図１および図２の概略図には、枠組み構造に似た構造体が略示されている。この構造体の個々のまたは全てのステーは、直線的な、例えば棒状のアクチュエータによって置き換えられている。これらのアクチュエータはジョイントＧを介して別のステーに結合されている。高い位置安定性を得るためには、ジョイントを遊びなく構成し、かつ構造全体の高い曲げ剛性、ねじれ剛性および屈曲剛性を提供することが必要である。第１の要求は曲げ軟性の固体ジョイントＧの使用によって最も簡単に実現される。このためにステー間のジョイント結合部が、小さな横断面（減じられた幅、場合によっては減じられた厚さ）を有する結合ウェブとして形成される。必要な剛性はアクチュエータ自体の最適な形状によってまたは最適な付加的な部材によって得られる。
【００２６】
ステーを用いたフレーム形式の構造の代わりに、２次元的なフレキシブルな結合部材（以下にはフレックス部材と呼ぶ）が使用されると、非常に安定した構造が得られる。図３ａにはこのような形式の構造が例示されている。この場合、まずレンズ１をＸ軸とＹ軸方向にだけ調整したい。この構造体はＸ軸方向平面およびＹ軸方向平面で高い剛性を有する２つのフレックス部材Ｆｌ１，Ｆｌ２と、これらのフレックス部材Ｆｌ１，Ｆｌ２に対して直角な１つまたは２つのフレックス部材Ｆｌ３（Ｙ−Ｚ面で対称的に配置されたフレックス部材Ｆｌ４）とを有している。図面を分かり易くするためにフレックス部材ＦＬ４は図示されていない。このフレックス部材Ｆｌ４はＹ軸方向平面およびＺ軸方向平面で高い剛性を有している。図３ｂには、フレックス部材Ｆｌ１，Ｆｌ２が平面でレーザ照射によってどのように変形させられるか、ひいてはどのようにＸ軸方向もしくはＹ軸方向でのレンズ１の所望の運動を行うことができるかが示されている。このような形式のフレックス部材の最適な構成は後で図示する。フレックス部材Ｆｌ３，Ｆｌ４（図３のｃ参照）の曲げ軟性のジョイントＧによって、Ｚ位置の安定した状態において前記運動が可能である。このジョイントＧは小さな横断面（減じられた幅、場合によっては付加的に減じられた厚さ）を有する固体ジョイントとして形成されている。
【００２７】
図４のａ，ｂには直線的なアクチュエータＡｔを有する、図２のａに類似した１実施例が示されている。この場合、Ｙ軸方向平面およびＺ軸方向平面での必要な剛性はアングル状の結合部材（フレックス部材）Ｆｌによって得られる。フレックス部材の曲げ剛性およびねじれ剛性を高めるために、フレックス部材を相応して形状付与（プレス加工されたまたは曲げられた最適なプロフィル成形）することによって強化することができる。Ｘ軸方向およびＹ軸方向での剛性を、図示したアクチュエータによって得ることできるように、Ｘ軸方向／Ｙ軸方向での運動性は、曲げ軟性の固定ジョイントによって達成される。これらのアクチュエータは本発明では、同様にレーザ照射によって所期に変形することができる固体部材として構成されている。レーザ照射によって固体部材の湾曲または収縮が得られ、これらの変形がアクチュエータの所望の運動を生ぜしめる。
【００２８】
図５のａ，ｂおよび図６には、レーザ放射による湾曲が利用されるアクチュエータの実施例が示されている。レーザ照射位置に応じてアクチュエータの屈曲角度を拡大または縮小することができる。このような形式のアクチュエータは例えば刊行物ＥＰ−０３７３２２５に記載されている。図５のａ，ｂには、平坦な区分の両端部でアングル状の結合部材（フレックス部材）Ｆｌに結合されているアクチュエータが示されている。このアングル状の結合部材Ｆｌは支持プレート２とベースプレート３とに結合されている。これに対して図６には、曲げ軟性の固体ジョイントによって支持プレート２とベースプレート３とに直接結合されているアングル状のアクチュエータＡｔが示されている。このジョイントは図示したように、切欠が薄板に成形されていて、これにより中央に１つの薄いウェブだけが残存していることによって形成されている。
【００２９】
一方側から到達するレーザ光線による三次元的な調整のために、図７のａ，ｂに図示した調整装置が構成されている。この調整装置はレンズ２もしくはレンズフレームのための１つの支持プレート２と、静力学的な確実性の理由から３つのアクチュエータ脚部Ａｔとから、アングル状の作動部材の形で構成されている。しかしまた２つ、４つまたはそれ以上のアクチュエータ脚部も考えられる。これらの脚部の中央および上方端部にはスリットが設けられており、これらのスリットはこれらの箇所で材料の曲げ剛性を弱める。これによりアクチュエータのこれらの領域はレーザ照射曲げ加工中、ジョイントのように作用する。上昇運動のためにこれらの脚部の下方端部に、同時にレーザ光線ＬＢが供給される（図７のｃ参照）。アクチュエータ脚部とレーザ光線との相互作用領域における温度勾配に基づき、収縮応力は不均等に薄板厚さにわたってアクチュエータ脚部に加えられる。これによりアクチュエータ脚部の一方の端部が、照射したレーザ光線ＬＢに向かって曲げられる。スリットによって剛性の弱められた領域のジョイント作用に基づき、支持プレート２はレンズと一緒に上方に向かって移動する。比較可能な過程によって、つまりレーザ光線ＬＢによって脚部の上方端部において同時のレーザ光線ＬＢでの加工によって、下降運動が生ぜしめられる（図７の右側下方のｄ参照）。このアクチュエータを図３において部材番号Ｆｌ３を付与したような付設部材によって横方向平面で強化することができる。
【００３０】
曲げに基づくアクチュエータの欠点は、レーザ照射後にアクチュエータに、特に長い期間にわたる温度変化において形状変化を生ぜしめる機械的な応力が構成される。温度処理による構成された応力の回復は可能ではない。なぜならば所望の変形は再び部分的に損なわれてしまうからである。特に長期にわたる安定的な構造体にとって、レーザ照射による収縮プロセスに基づいたアクチュエータは利点である。ここではレーザ調整後に、元の状態に戻すことなく構成された応力を局所的な熱処理によって分解することも可能である。
【００３１】
図８ａ，図８ｂには、直線的なアクチュエータのための実施例が示されている。レーザ放射のための最適な箇所は部材番号Ｓで示している。これらの箇所は比較的薄いウェブであり、これらのウェブによって個々の作動部材構成部分が結合される。これらの作動部材構成部分は支持プレート２とベースプレート３との間で最適な形式で配置されている。図８ｃ，図８ｄには、２つの自由度で調整できるアクチュエータが図示されている。例えば箇所Ｓ１，Ｓ２が対を成す形式で照射されると、Ｙ軸方向の短縮が行われる。これに対して箇所Ｓ１またはＳ２の一方だけが照射されると、Ｙ軸方向の僅かな運動と同時にＸ軸方向での運動が生ぜしめられる。箇所Ｓ１／Ｓ２の高さに応じて、てこ作用によってＸ軸方向の運動値を変化させることができる。図８ｂ，図８ｄに相応したアクチュエータでは、所望の収縮を得るために、交互に箇所Ｓ１ａ，Ｓ１ｂまたはＳ２ａ，Ｓ２ｂが照射される。所望の曲げ剛性、ねじれ剛性、および屈曲剛性は横断面を相応して形状付与することによって得ることができる（例えば図８ａ参照）。図８ａ，図８ｂ，図８ｃ，図８ｄにはそれぞれ複数列の弱体箇所Ｓが示されている。この弱体箇所Ｓでレーザ照射により短縮が得られる。しかし多くの場合、単一の列で十分であり、しかも所望の短縮を、繰り返されるレーザ照射によってほぼ照射数に比例して拡大することができる。
【００３２】
図８ｅおよび図８ｆにはＸ軸方向／ｙ軸方向の調整のためのアクチュエータが示されている。このアクチュエータは図８ｂに相応した２つの直線的なアクチュエータと、曲げ軟性の固体部材によって実現されるパラレログラム式ガイド（Parallelogrammfuehrung ）との組合せに基づいている。図８ｃおよび図８ｄと比べて図８ｅおよび図８ｆに基づいた実施例の利点は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との調整を互いに依存することなく実施することができることにある。図８ｅにはまず基本原理が示されている。図８ｅの第１のアクチュエータＡｔ１は、箇所Ｓ１ａ，Ｓ１ｂが交互にレーザ光線によって照射されると、部分ＩＩをＸ軸方向で、ベースプレートに結合した部分Ｉとは反対側に向かって移動させる。固体ジョイントＧ１ａ，Ｇ１ｂによってこの平行移動が可能になる。第２のアクチュエータは、箇所Ｓ２ａ，Ｓ２ｂが交互に照射されると、部分ＩＩＩをＹ軸方向に移動させる。Ｙ軸方向での平行移動は固体部材Ｇ２ａ，Ｇ２ｂおよびＧ３ａ，Ｇ３ｂによって可能である。図８ｆには図８ｅに示した原理を実現したものが示されている。しかも付加的な固体ジョイントＧによってΘ方向での運動性が提供されている。Ｙ軸方向平面／Ｚ軸方向平面における１つのアクチュエータによって付加的なレンズ支持体２のＺ軸方向での調整が可能になっている。
【００３３】
最終的に図９には、３つの自由度（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向）での調整可能性を有する相応した構成が示されている。この構成はＸ軸方向およびＹ軸方向の調整のために、とりわけ二次元的な調整（例えば図８ｃ，図８ｄまたは図８ｅ，図８ｆに相応）のための２つのフレックス部材と、Ｚ軸方向の調整のために一次元的な調整のための別のフレックス部材とを使用する。この別のフレックス部材はＺ軸方向の移動を曲げ軟性の固体ジョイントＧｚを介して支持プレート２に伝達する。この固体ジョイントＧｚはＹ軸方向の移動に対して曲げ軟性であり、Ｚ軸方向での引張り応力に対して剛性である。図面には例えば複数のフレックス部材Ｆｌ３（上方および下方）の強化部Ｖを示した。全アクチュエータの剛性もしくは曲げ軟性は横断面の相応した選択もしくは相応した部分の最適な形状によって影響を与えることができる。
【００３４】
これらのアクチュエータの製造は有利な形式では金属薄板の打ち抜き成形または切削加工（レーザ切削、水流切削）またはエッチング、場合によっては電気めっき方法並びに（引き続き行われる）曲げ成形またはプレス成形によって行われる。アクチュエータの、ベースプレート３もしくは支持プレート２との結合は、もっとも簡単な形式ではレーザ溶接（点溶接）によって行われる。レーザ調整の際の規定された特性を得るために、本来の調整の前にアクチュエータに存在する応力を最適な熱処理によって分解することが重要である。
【図面の簡単な説明】
【図１】直線的な、棒状の位置調節部材を有する本発明による調整装置の１実施例を示した図である。
【図２】調整装置の本発明による配置図である。
【図３】２次元的な調整部材を有する本発明による調整装置の１実施例を示した図である。
【図４】直線的な調整部材と扁平な結合部材とを有する本発明による調整装置の１実施例を示した図である。
【図５】ａは扁平な結合部材に結合したアングル状の調整部材の正面図であり、ｂはその側面図である。
【図６】ベースプレートと支持プレートとに直接結合しているアングル状の調整部材の図である。
【図７】ａ，ｂは３つのアングル状の調整部材を有する本発明による調整装置の１実施例を示した斜視図であり、ｃ，ｄは調整過程におけるこの装置を示した側面図である。
【図８ａ】１つの自由度で調整するための調整部材の図である。
【図８ｂ】１つの自由度で調整するための調整部材の図である。
【図８ｃ】２つの自由度で調整するための調整部材の図である。
【図８ｄ】２つの自由度で調整するための調整部材の図である。
【図８ｅ】２つの自由度で依存せず調整するための調整部材の図である。
【図８ｆ】２つの自由度で依存せず調整するための調整部材の図である。
【図９】３つの自由度で調整するための調整部材の図である。
【符号の説明】
１  レンズ、  ２  支持プレート、  ３  ベースプレート、  Ａｔ，Ａｔ１，Ａｔ２，Ａｔ３，Ａｔ４，Ａｔ５  アクチュエータもしくは作動部材、  Ｅ１，Ｅ２  平面、  Ｆｌ，Ｆｌ１，Ｆｌ２，Ｆｌ３，Ｆｌ４  結合部材もしくはフレックス部材、  Ｇ１ａ，Ｇ１ｂ，Ｇ２ａ，Ｇ２ｂ  ジョイント、  Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ１ａ，Ｓ１ｂ，Ｓ２ａ，Ｓ２ｂ  （エネルギを供給する）箇所
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８ａ】
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【図８ｂ】
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【図８ｃ】
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【図８ｄ】
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【図８ｅ】
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【図８ｆ】
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【図９】
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