(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
強磁性体金属被検体の表面に対して磁気センサを対向配置させて、前記強磁性体金属被検体に対して異なる２種の直流磁化の強さでの漏洩磁束の測定を行い、前記強磁性体金属被検体上の同位置に対応する前記異なる２種の直流磁化の強さにおける測定結果同士の比を求めることにより、欠陥の表面からの深さ位置を測定することを特徴とする漏洩磁束探傷方法。
【請求項２】
強磁性体金属被検体の表面に対して磁気センサを対向配置させて、前記強磁性体金属被検体に対して異なる２種の磁化条件での漏洩磁束の測定を行い、前記強磁性体金属被検体上の同位置に対応する前記異なる２種の磁化条件における測定結果同士の比を求めることにより欠陥の表面からの深さ位置を測定し、前記強磁性体金属被検体上の同位置に対応する前記異なる２種の磁化条件における測定結果同士の、重み付けされた差を求めることにより欠陥の大きさを判別することを特徴とする漏洩磁束探傷方法。
【請求項３】
強磁性体金属被検体の表面に対して磁気センサを対向配置させて、前記強磁性体金属被検体に対して異なる２種の磁化条件での漏洩磁束の測定を行い、前記強磁性体金属被検体上の同位置に対応する前記強磁性体金属被検体上の同位置に対応する前記異なる２種の磁化条件における測定結果同士の比を求めることにより欠陥の表面からの深さ位置を測定し、前記強磁性体金属被検体上の同位置に対応する前記異なる２種の磁化条件における測定結果同士の、重み付けされた差を求めることにより欠陥の大きさを仮に求め、仮に求められた欠陥の大きさを、前記測定された欠陥の表面からの深さ位置で補正するすることにより欠陥の大きさを判別することを特徴とする漏洩磁束探傷方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のうちいずれか１項に記載の漏洩磁束探傷方法であって、検出された欠陥の深さを基に、表面欠陥と内部欠陥を弁別することを特徴とする漏洩磁束探傷方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、強磁性体金属被検体に磁界を印加した状態で、強磁性体金属被検体の表面近傍に磁気センサを配置し、異なる２種の探傷条件での漏洩磁束の測定を行い、強磁性体金属被検体上の同位置に対応する測定結果同士を比較し、欠陥の深さを測定する漏洩磁束探傷法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
鉄のような強磁性体の内部に存在する欠陥を検出する方法として、漏洩磁束探傷法が広く用いられている。その一例として、製鉄プラントにおける製鉄検査ラインに組み込まれている磁気センサを利用した磁気探傷装置の構成を図７に示す。
【０００３】
製品検査ラインを搬送ローラ２１、２２により、ほぼ一定速度Ｖで搬送される薄鋼帯２３の搬送路に沿って磁気探傷装置２４が配設されている。この磁気探傷装置２４は、走行状態の薄鋼帯２３に磁界を印加する磁化器２５と、薄鋼帯２３を挟んで磁化器２５の対向位置に配設された磁気センサ２６と、この磁気センサ２６からの検出信号に基づいて薄鋼帯２３の内部または表面の欠陥２７を検出する信号処理装置２８とで構成されている。
【０００４】
薄鋼帯２３に欠陥２７が存在すると、この欠陥２７に起因して薄鋼帯２３内の磁力線が乱され、薄鋼帯２３の外部に漏洩して漏洩磁束となる。磁気センサ２６はこの漏洩磁束を検出する。漏洩磁束の強度は欠陥２７の大きさに対応するので、磁気センサ２６の検出信号の信号レベルで欠陥２７の大きさが評価できる。
【０００５】
以上のように、従来の、強磁性体金属被検体の欠陥を、漏洩磁束を測定することによって検出する方法においては、磁気センサの検出信号の信号レベルによって欠陥の大きさを検出していた。しかしながら、磁気センサによって検出される磁気的な信号には、上記の欠陥に起因する漏洩磁束信号以外にも、強磁性体金属被検体における局部的な磁気的特性変化、むらなどに起因する強磁性体金属被検体外部の磁束分布の乱れや、表面粗さにより生じる磁束分布の乱れが含まれる場合がある。この磁束分布の乱れは、欠陥検出という観点からすれば、不要な磁束（雑音磁束）である。
【０００６】
このような雑音磁束による影響を避けるため、欠陥漏洩磁束に起因する信号と雑音磁束に起因する信号とで周波数が異なることを利用して、欠陥を判断する方法が用いられることがある。図８は欠陥信号と雑音磁束の周波数特性の測定結果の一例を示す図である。すなわち、図８は、薄鋼板を一定速度で走行させた状態において、欠陥に起因する漏洩磁束を磁気センサで検出した場合の欠陥信号の周波数特性と、雑音磁束を磁気センサにより検出した場合の周波数特性を示している。
【０００７】
図８に示されるように、一般に欠陥信号の方が雑音磁束よりも高い周波数分布を持っている。そこで、信号処理装置に遮断周波数ｆを有するハイパスフィルタを組み込むことにより、磁気センサから当該信号処理装置に出力された検出信号の内、欠陥信号を雑音磁束に比べて相対的に強調して抽出することが可能である。このように漏洩磁束探傷法において、欠陥検出能を上げるため、適当な定数を持つフィルタを使用する方式は実開昭６１−１１９７６０号公報にも開示されている。
【０００８】
しかしながら、図８に示すように、欠陥信号の周波数特性と雑音磁束の周波数特性は重なり合う部分もあるため、検出すべき欠陥が小さくて欠陥信号のレベルが小さい場合や、雑音磁束が大きい場合には、たとえ前記のようなハイパスフィルタを設けて欠陥信号を周波数弁別したとしても、欠陥を検出できるレベルまで、雑音磁束を除去することは困難であるという問題点がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
これら、従来の技術の問題点を解決するために、発明者らは、強磁性体被検体を２つの異なるレベルに磁化し、各々の磁化条件での漏洩磁束を測定し、測定された漏洩磁束を演算して内部欠陥を精度良く検出する方法を発明し、平成１１年特許願第２９７８２号として特許出願した（以下、「先願発明」という）。この先願発明の概要を、図９を用いて説明する。
【００１０】
製品検査ラインでは、鋼板３１が搬送ロール３２、３３によって、一定速度Ｖで搬送されている。鋼板３１の搬送路に沿って磁気探傷装置３４が設置されている。この磁気探傷装置３４は主に磁化器３５ａ、３５ｂ、磁気センサ３６ａ、３６ｂ、信号処理装置３７によって構成されている。磁気センサ３６ａ、３６ｂは、鋼板３１を挟んでそれぞれ磁化器３５ａ、３５ｂの対向位置に配置されている。
【００１１】
磁化器３５ａによる磁化は、磁化器３５ｂによる磁化よりも強く設定され、鋼板３１を磁気飽和に近い程度まで磁化するようになっている。磁気センサ３６ａは、磁化器３５ａで磁化された状態での鋼板３１よりの漏洩磁束を測定する。磁気センサ３６ｂは、磁化器３５ｂで磁化された状態での鋼板３１よりの漏洩磁束を測定する。信号処理装置３７は、磁気センサ３６ａ、３６ｂで検出された鋼板３１の同一位置の磁気信号同士を演算し、雑音磁束を低減する。これにより、相対的に欠陥信号が強調され、Ｓ／Ｎ比が向上する。
【００１２】
たとえば、磁気センサ３６ａで検出された出力をＶａ、鋼板３１の同じ位置において磁気センサ３６ｂで検出された信号をＶｂとすると、信号処理装置の出力として、
Ａ＝ｋ１・（Ｖａーｋ２・Ｖｂ）    …（１）
が得られるようにする。ここで、ｋ１、ｋ２は定数であり、ｋ２の値は、欠陥８のない場所でＡの値が０に近くなるように設定する。
【００１３】
図１０に信号処理の様子を示す。（ａ）は磁気センサ３６ａの出力で、印加する磁界が強い方の信号とする。（ｂ）は磁気センサ３６ｂの出力で磁界が弱い方の出力とする。それぞれ欠陥部と雑音部があるが、欠陥部と雑音部の出力比が異なっており、雑音部を除去するように係数を決定することにより、欠陥部がより強調される（ｃ）の結果となり、Ｓ／Ｎ比が向上する。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
このように、先願発明においては表面粗さ等に起因するノイズの影響を低減し、Ｓ／Ｎ良く欠陥を検出することができる。しかしながら、このような方法によっても、欠陥の存在する深さ位置を測定することはできなかった。
【００１５】
欠陥が存在しても、それが表面欠陥であるならば、後工程で手入れにより取り除くことができる場合がある。しかし、内部欠陥ではこのようなことができず、重大な影響を与えるので、小さなものであっても、それを含む鋼板部を除去して出荷することが必要となる場合がある。このように、同じ程度の欠陥でも、表面欠陥と内部欠陥ではその影響が大きく異なるため、両者を区別したり、欠陥の深さ方向位置を求めることは極めて重要である。
【００１６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、欠陥の深さ位置を検出することができる漏洩磁束探傷方法、表面欠陥と内部欠陥を区別して検出することができる漏洩磁束探傷方法を提供することを課題とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための第１の手段は、強磁性体金属被検体の表面に対して磁気センサを対向配置させて、前記強磁性体金属被検体に対して異なる２種の直流磁化の強さでの漏洩磁束の測定を行い、前記強磁性体金属被検体上の同位置に対応する前記異なる２種の直流磁化の強さにおける測定結果同士の比を求めることにより、欠陥の表面からの深さ位置を測定することを特徴とする漏洩磁束探傷方法（請求項１）である。
【００１８】
直流磁化の強さを変える方法は、磁化電流を変えるだけで探傷条件を変えることができるので、最も手軽な方法である。また、直流磁化の強さを変えることにより、欠陥の深さ方向位置に対応して漏洩磁束の変化の大きさが顕著に異なってくるので、これを利用して、演算操作により欠陥の深さ方向の位置を正確に判別することができる。すなわち、異なる直流磁化の強さで得られた漏洩磁束信号の比を求めることにより、欠陥の存在する深さ方向位置を測定することができる。
【００１９】
前記課題を解決するための第２の手段は、強磁性体金属被検体の表面に対して磁気センサを対向配置させて、前記強磁性体金属被検体に対して異なる２種の磁化条件での漏洩磁束の測定を行い、前記強磁性体金属被検体上の同位置に対応する前記異なる２種の磁化条件における測定結果同士の比を求めることにより欠陥の表面からの深さ位置を測定し、前記強磁性体金属被検体上の同位置に対応する前記異なる２種の磁化条件における測定結果同士の、重み付けされた差を求めることにより欠陥の大きさを判別することを特徴とする漏洩磁束探傷方法（請求項２）である。
【００２０】
本手段においては、前記第１の手段に対応する第１の比較方法により、欠陥の表面からの深さ位置を測定する。そして、強磁性体金属被検体上の同位置に対応する異なる２種の磁化条件における測定結果同士の差を求めることにより欠陥の大きさを判別する。磁化条件を変えることにより、欠陥とノイズとの比も顕著に異なってくるので、これを利用して、異なる２種の磁化条件における測定結果同士の、重み付けされた差を求めることにより欠陥の大きさを正確に決定することもできる。
よって、欠陥の深さ方向位置とその大きさの両方を決定することができる。本手段においては、例えば内部欠陥のみを検出したい場合は、まず、前記第１の手段に対応する第１の比較方法により、欠陥の表面からの深さ位置を測定し、所定の深さ以上の位置にある欠陥のみについて、欠陥の大きさの判別を行ってもよい。
【００２１】
前記課題を解決するための第３の手段は、強磁性体金属被検体の表面に対して磁気センサを対向配置させて、前記強磁性体金属被検体に対して異なる２種の磁化条件での漏洩磁束の測定を行い、前記強磁性体金属被検体上の同位置に対応する前記強磁性体金属被検体上の同位置に対応する前記異なる２種の磁化条件における測定結果同士の比を求めることにより欠陥の表面からの深さ位置を測定し、前記強磁性体金属被検体上の同位置に対応する前記異なる２種の磁化条件における測定結果同士の、重み付けされた差を求めることにより欠陥の大きさを仮に求め、仮に求められた欠陥の大きさを、前記測定された欠陥の表面からの深さ位置で補正するすることにより欠陥の大きさを判別することを特徴とする漏洩磁束探傷方法（請求項３）である。
【００２２】
本手段は、前記第２の手段とほとんど同じであるが、欠陥の大きさを判別するに当たり、第２の比較方法で得られた結果を、測定された欠陥の表面からの深さ位置で補正して欠陥の大きさを判別するようにしている。一般に、欠陥の大きさが同じ場合、欠陥の深さ方向の位置が深くなるにしたがって、漏洩磁束信号が小さくなる。本手段においては、このことに着目して補正を行っているので、欠陥の深さ方向位置が変わっても、正確にその大きさを検出することができる。本手段においても、例えば内部欠陥のみを検出したい場合は、まず、前記第１の手段に対応する第１の比較方法により、欠陥の表面からの深さ位置を測定し、所定の深さ以上の位置にある欠陥のみについて、欠陥の大きさの判別を行ってもよい。
【００２７】
前記課題を解決するための第４の手段は、前記第１の手段から第３の手段のいずれかであって、検出された欠陥の深さを基に、表面欠陥と内部欠陥を弁別することを特徴とするもの（請求項４）である。
【００２８】
前記第１の手段から第３の手段によれば、欠陥の深さ方向位置が決定できるので、これを基に、表面欠陥であるか内部欠陥であるかの判別が可能である。表面欠陥であるか内部欠陥であるかは、深さ方向位置に閾値を設けて、それより浅い位置にあるものを表面欠陥、深い位置にあるものを内部欠陥とすればよい。前述のように、表面欠陥であるか内部欠陥であるかによって、その欠陥部位の取り扱いの方法が異なってくる場合があるので、これらを識別することは極めて重要である。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の例を図を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態の１例である漏洩磁束探傷法を実施する装置の概要を示す図である。図１において、１は薄鋼板、２ａ、２ｂは搬送ローラ、３は磁化器、４は磁気センサ、５は信号処理装置、６は漏洩磁束探傷装置、７は内部欠陥、８は磁化器電源、９は前処理装置、１０は記憶装置、１１は比較装置、１２は演算装置である。信号処理装置５は、磁気センサ出力信号の前処理（増幅やバンドフィルタ処理）を行う前処理装置９と、一方の探傷条件での磁気センサ４の出力を記憶する記憶装置１０と、比較装置１１と、比較結果から深さ位置を求める演算装置１２を中心として構成される。
【００３０】
この製品検査ラインでは、鋼板１の搬送路に沿って漏洩磁束探傷装置６が設置されている。この漏洩磁束探傷装置６は、主に磁気センサ４、磁化器３、信号処理装置５、磁化器電源８から構成されている。磁化器３は磁化器電源８により電力を供給され、鋼板１を磁化する。磁気センサ４と鋼板１との距離であるリフトオフはＬ１とされている。
【００３１】
鋼板１は、磁化器３、磁気センサ４によりある探傷条件にて探傷される。磁気センサ４の出力は前処理装置９を通り記憶装置１０に格納される。次に鋼板１の同じ場所を別の探傷条件にて行う。この時磁気センサ４の出力は信号処理装置５にて処理が施されるが、前処理装置９を通った後、比較装置１１へ入力される。比較装置１１は、前処理装置９から入力される磁気センサ４の信号と、記憶装置１０に格納されている信号とを、鋼板１上のほぼ同一位置の信号同士で比較を行う。そして、比較した値を基に、演算装置１２により欠陥の深さを求める。
【００３２】
探傷条件には磁化器の電流、磁化器の形状、強磁性体金属被検体と磁化器の距離、強磁性体金属被検体とセンサの距離、センサの向き、センサの角度、強磁性体金属被検体の移動方向などがあるが、前述のように、磁化の強さを変えることにより探傷条件を変えるのが好ましい。
【００３３】
図２は、本発明の実施の形態の他の例である漏洩磁束探傷法を実施する装置の概要を示す図であり、内部介在物を検出することを主たる目的とするものである。以下の図において、発明の実施の形態の欄以後における前出の図に示された前出の図に示された構成要素と同じ構成要素には、同じ符号を付してその説明を省略することがある。
【００３４】
この実施の形態においては、磁化条件（強磁性体金属被検体内の磁界の強さ・向きの条件）を変えることにより異なる２つの探傷条件で探傷を行っている。すなわち、磁化電流を変えることにより磁化条件を変えている。
【００３５】
図２において、３ａ、３ｂは磁化器、４ａ、４ｂは磁気センサ、８ａ、８ｂは磁化器電源、１３は比演算器である。信号処理装置５は、各磁気センサ出力信号の前処理を行う前処理装置９、各出力値の比を求める比演算器１３、磁気センサ４ａの出力と４ｂの出力の演算を行う比較装置１１、演算後の欠陥判定を行い欠陥を出力する演算装置１２を中心として構成される。
【００３６】
この製品検査ラインでは、鋼板１の搬送路に沿って漏洩磁束探傷装置６が設置されている。この漏洩磁束探傷装置６は、主に磁化器３ａ、３ｂ、磁気センサ４ａ、４ｂ、信号処理装置５、磁化器電源８ａ、８ｂから構成されている。磁化器３ａ、３ｂは磁化器電源８ａ、８ｂにより電力を供給され、鋼板１を磁化する。磁気センサ４ａ、４ｂと鋼板１との距離であるリフトオフは、それぞれＬ１、Ｌ２とされている。
【００３７】
鋼板１は、磁化器３ａ、磁気センサ４ａによりある磁化状態にて探傷される。磁化器３ｂ、磁気センサ４ｂは、磁化器３ａ、磁気センサ４ａとは異なる磁化レベルにて探傷を行う。磁気センサ４ａ、４ｂの出力は信号処理装置５に入力されて処理が施される。信号処理装置５内では、磁気センサ４ａからの信号出力と磁気センサ４ｂからの信号出力を前処理装置９に通して増幅、フィルタリング等の処理を行い、その後、比演算器１３にて両出力値の比を得る。
【００３８】
一方、前処理装置６からの磁気センサ４ａ、４ｂの処理後の信号出力を、比較装置１１に入力して、鋼板１上のほぼ同一位置からの信号同士で（１）式に示したような演算を行い、欠陥を強調した出力を得る。
【００３９】
比演算器１３の出力と、比較装置１１の出力は演算装置１２入力される。演算装置１２は、比演算器１３の出力より欠陥の深さ方向位置を判断し、この値と比較装置１１の出力から、欠陥の大きさを判断して出力する。なお、欠陥の深さ方向位置と比演算器１３の出力との関係は、２種の磁化状態によって異なり、（１）式の係数も２種の磁化状態によって異なるので、予め２種の磁化状態におけるこれらの関係式や係数を、実験等によって定めておく必要がある。
【００４０】
【実施例】
以下に本発明を、薄鋼板中の微小な内部介在物をオンラインにて検出する装置に適用した例について、図３を参照しながら説明する。図３は、本発明の実施例を実施した装置の構成を示す概要図であるが、この装置の構成は、図２に示したものとほとんど同じであるが、信号処理装置５の中に遅延回路１４及びＡ／Ｄ変換器１５、計算機１６が設置されているのが異なる点である。
【００４１】
製品検査ラインを搬送される薄鋼板の厚さは１ｍｍである。また、この鋼板１は搬送ローラ２ａ、２ｂによりほぼ一定速度Ｖ＝３０ｍ／ｍｉｎで搬送される。各磁気センサ４ａ、４ｂはそれぞれリフトオフＬ１＝Ｌ２＝１．０ｍｍに設定されている。図示していないが、複数個の磁気センサ４ａ、４ｂが板幅方向に直線的に５ｍｍピッチで配列されており、２００組４００個の磁気センサにて１ｍ幅を探傷する。磁気センサ４ａの列と４ｂの列との距離は１ｍとした。磁化器３ａ、３ｂと鋼板との距離はそれぞれ５ｍｍとし、磁化器３ａの磁化力は４０００ＡＴ、磁化器３ｂの磁化力は１０００ＡＴとした。
【００４２】
磁気センサ４ａの出力は、遅延回路１４にて薄鋼板が磁気センサ４ａと４ｂの間を走行する時間である２秒遅延される。その後前処理装置９にて１００倍増幅され、２００−８００Ｈｚの周波数成分のみが取り出される。一方磁気センサ４ｂの出力は遅延回路を経ずに前処理装置９に入力されて処理される。処理された４ａ、４ｂのそれぞれの信号はＡ／Ｄ変換器１５にてディジタル化され、計算機１６のメモリーに格納される。
【００４３】
格納後の信号処理の様子を図４に示す。磁気センサ４ａの探傷データをＶａ（ｔ）、４ｂの探傷データをＶｂ（ｔ）（いずれも前処理９の出力）とし、メモリーに格納し、以下の計算を行う。
Ｖ（ｔ）＝Ｖａ（ｔ）−Ｖｂ（ｔ）＊２  …（２）
これは、前記（１）式に対応するもので、係数の２は磁化状態によって変わるが、本実施例の場合２が最適値であった。得られたＶ（ｔ）は、常に欠陥を強調する信号となっている。ここで敷値Ｚ（Ｓ／Ｎ＝３となる値）を定め、Ｚ以上の出力を示す位置についてＶａ（ｔ）／Ｖｂ（ｔ）の比を求める。この比が予め求めていた比の敷値Ｚｒ（本実施例では４）より大きい場合を内部欠陥と判定し、計算機に欠陥の詳細データを表示する。ここで詳細データとは欠陥出力値、Ｖａ／Ｖｂ比、鋼板上の位置などである。
【００４４】
図５に探傷信号例を示す。（ａ）はある磁化条件（強い磁化条件）のおける磁気センサ４ａの出力信号であり、（ｂ）は（ａ）とは異なる磁化条件（弱い磁化条件）における磁気センサ４ｂの出力信号である。
【００４５】
波形（ａ）中の探傷結果ａ−１は内部欠陥、探傷結果ａ−２では表面欠陥を検出している。探傷結果ｂ−１は探傷結果ａ−１と全く同じ場所を探傷した場合であり、探傷結果ｂ−２は探傷結果ａ−２と全く同じ場所を探傷した結果である。探傷結果ａ−１と探傷結果ｂ−１の差分と探傷結果ａ−２と探傷結果ｂ−２の差分を（２）式によりそのまま計算すると、探傷結果ｃ−１のＳ／Ｎ比も探傷結果ｃ−２のＳ／Ｎも４である。これでは表面欠陥と内部欠陥の区別をつけることができない。
【００４６】
そこで、４ａ、４ｂの出力比の計算を行うと探傷範囲ｃ−１では２、探傷範囲ｃ−２では５となる。表６は、これらの磁化状態における欠陥の板厚方向の位置と磁気センサ４ａと４ｂの信号の比を求めたグラフである。深さ０．２ｍｍより深い欠陥を求めたい場合、図６より比の敷値を５として判別すると、探傷範囲ｃ−１における欠陥は表面欠陥、探傷範囲ｃ−２における欠陥は求めるべき内部欠陥であると判別される。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のうち請求項１に係る発明においては、欠陥の存在する深さ方向位置を測定することができる。
請求項２に係る発明においては、欠陥の深さ方向位置とその大きさの両方を決定することができる。
【００４８】
請求項３に係る発明においては、欠陥の深さ方向位置が変わっても、正確にその大きさを検出することができる。
請求項４に係る発明においては、表面欠陥であるか内部欠陥であるかの判別が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の１例である漏洩磁束探傷法を実施する装置の概要を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態の他の例である漏洩磁束探傷法を実施する装置の概要を示す図である。
【図３】本発明の実施例を実施した装置の構成を示す概要図である。
【図４】本発明の実施例における信号処理方式をブロック図で示した図である。
【図５】本発明の実施例における探傷信号の例を示す図である。
【図６】欠陥の板厚方向の位置と磁気センサの信号の比を求めたグラフである。
【図７】従来の漏洩磁束探傷装置の構成の概要を示す図である。
【図８】欠陥信号と雑音磁束の周波数特性の測定結果の一例を示す図である。
【図９】先願発明の漏洩磁束探傷装置の構成の概要を示す図である。
【図１０】先願発明における信号処理の様子を示す図である。
【符号の説明】
１…薄鋼板、２ａ、２ｂ…搬送ローラ、３、３ａ、３ｂ…磁化器、４、４ａ、４ｂ…磁気センサ、５…信号処理装置、６…漏洩磁束探傷装置、７…内部欠陥、８、８ａ、８ｂ…磁化器電源、９…前処理装置、１０…記憶装置、１１…比較装置、１２…演算装置、１３…比演算器、１４…遅延回路、１５…Ａ／Ｄ変換器、１６…計算機
【図１】
0003606439.tif 000002
【図２】
0003606439.tif 000003
【図３】
0003606439.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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