(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１絶縁性基板上に薄膜トランジスタ、ソース配線と多数のソース端子（２０）、ゲート配線と多数のゲート端子（２１）が形成されたアクティブマトリクス基板（１０）と、
第２絶縁性基板上に対向電極（５）が形成された対向基板（３）とを対向配置させ、
前記アクティブマトリクス基板（１０）と前記対向基板（３）との間に液晶層が挟持され、
前記アクティブマトリクス基板（１０）上に、前記アクティブマトリクス基板（１０）と前記対向基板（３）との間に介在された導電性ペースト（１７）を介して、前記対向電極（５）と電気的に接続されるコモン転移電極部（１２）が設けられ、
前記アクティブマトリクス基板（１０）上に、前記コモン転移電極部（１２）につながるとともに、表示領域以外であって当該アクティブマトリクス基板（１０）の端部まで延設された接触用電極（１１）が設けられる液晶表示装置の製造方法であって、
各工程の最初に、前記アクティブマトリクス基板（１０）上に設けられた前記コモン転移電極部（１２）につながる接触用電極（１１）と、多数のソース端子（２０）と、多数のゲート端子（２１）とに、同時に、表面抵抗１０５〜１０１０Ωの導電性ゴム（３０）を接触させて、静電気を除去し、
その後、各工程の製造を行い、
各工程の最後に、前記コモン転移電極部につながる接触用電極（１１）と、多数のソース端子（２０）と、多数のゲート端子（２１）とに、同時に、前記導電性ゴム（３０）を接触させて、静電気を除去してから、次の工程へ進むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置の生産工程において、液晶表示装置に発生する静電気を除去する液晶表示装置の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置の静電気破壊は主に２つの原因がある。▲１▼図１０に示すように、帯電した作業者２から液晶表示装置１の電極、端子部に静電気が放出され、液晶表示装置１が不良となる。▲２▼例えば、図１１に示すように、対向基板３側のガラス表面に貼られた保護フィルム４を剥離するとき、または、ガラス表面を布切れで清掃するときなどに、液晶表示装置１のガラス表面に摩擦帯電などを通じて表面に静電気が帯電する。この静電気が対向基板３から静電誘導により液晶表示装置１の対向電極５、液晶材料７、画素電極８に蓄積される。そして、帯電した電荷が近傍のアース１５に放電する際、一度に多量の放電電流が流れるため、液晶表示装置１のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）が破壊される。
【０００３】
上記の▲１▼は作業者２にアースバンド、導電靴を付けて作業する指示を徹底させることにより、解決されつつある。最近はむしろ上記の▲２▼の原因による静電破壊が多い。これは、近年の生産工程の自動化が進んだ結果、工程のあらゆる段階（搬送、貼り付け、清掃、検査など）に静電気発生の要素が潜んでいるからである。
【０００４】
この静電気除去方法として、イオナイズドエアーブロアによる静電気除去方法が一般的に行われている。しかし、この除去方法でも静電気を完全に除去することは困難であり、上記の▲２▼の問題の発生の要因となっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このイオナイズドエアーブロア除去方法は、次のような問題点がある。
▲１▼液晶表示装置のガラス表面に帯電した静電気を除去するため、短時間に液晶表示装置の内部のＴＦＴまで静電気を除去できない。
▲２▼エアーブロアの構造として、長期間使用すると、イオンバランスがくずれ安定性が低下する。常にメンテナンスが必要である。
▲３▼イオンをエアーで送る構造であるため、距離が離れると極端に静電気の除去効果が低下する。また、生産工程上、どうしても近くに設置できない場合もある。
▲４▼生産工程では、大型もしくは多量のイオナイズドエアーブロアの設備が必要となり、多額の設備投資が必要である。
【０００６】
本発明は、上記に示すような課題を解決するためになされたものであり、液晶表示装置に帯電した静電気を短時間で確実に除去できる液晶表示装置の製造方法を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第１絶縁性基板上に薄膜トランジスタ、ソース配線と多数のソース端子（２０）、ゲート配線と多数のゲート端子（２１）が形成されたアクティブマトリクス基板（１０）と、
第２絶縁性基板上に対向電極（５）が形成された対向基板（３）とを対向配置させ、
前記アクティブマトリクス基板（１０）と前記対向基板（３）との間に液晶層が挟持され、
前記アクティブマトリクス基板（１０）上に、前記アクティブマトリクス基板（１０）と前記対向基板（３）との間に介在された導電性ペースト（１７）を介して、前記対向電極（５）と電気的に接続されるコモン転移電極部（１２）が設けられ、
前記アクティブマトリクス基板（１０）上に、前記コモン転移電極部（１２）につながるとともに、表示領域以外であって当該アクティブマトリクス基板（１０）の端部まで延設された接触用電極（１１）が設けられる液晶表示装置の製造方法であって、
各工程の最初に、前記アクティブマトリクス基板（１０）上に設けられた前記コモン転移電極部（１２）につながる接触用電極（１１）と、多数のソース端子（２０）と、多数のゲート端子（２１）とに、同時に、表面抵抗１０５〜１０１０Ωの導電性ゴム（３０）を接触させて、静電気を除去し、
その後、各工程の製造を行い、
各工程の最後に、前記コモン転移電極部につながる接触用電極（１１）と、多数のソース端子（２０）と、多数のゲート端子（２１）とに、同時に、前記導電性ゴム（３０）を接触させて、静電気を除去してから、次の工程へ進むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法である。
【００１２】
上記構成による作用を説明する。静電気除去のための導電性ゴム（３０）を接触用電極（１１）と、多数のソース端子（２０）と、多数のゲート端子（２１）とに、同時に接触させることによって、アクティブマトリクス基板の薄膜トランジスタと対向基板の対向電極との双方から、液晶表示装置内部に帯電した静電気を除去することができる。
また、接触用電極は、アクティブマトリクス基板の端部まで延設されているので、導電性ゴム（３０）を容易に前述のように同時に接触させることができ、静電気除去作業を容易に行うことができる。
前記導電性ゴム（３０）は、表面抵抗１０５〜１０１０Ωを有するので、急激な放電電流を抑制することができる。そのため後述のように、静電気の放電電流によって、液晶表示装置の内部、ＴＦＴなどが静電破壊されることがない。
【００１３】
各工程の製造を始める前に、接触用電極（１１）と、多数のソース端子（２０）と、多数のゲート端子（２１）とに、導電性ゴム（３０）を同時に接触させて液晶表示装置の静電気を除去することができるので、特性不良を起こすことなく液晶表示装置の製造工程を進めることができる。さらに、各工程の最後にも、同様にして液晶表示装置の静電気を除去するので、静電気が帯電しない状態の液晶表示装置を次の工程へ搬送することができる。このように、接触用電極（１１）と、多数のソース端子（２０）と、多数のゲート端子（２１）とに、同時に、導電性ゴム（３０）を接触させるという簡単な方法で静電気を除去することができるので、液晶表示装置の良品率を向上させることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
実施形態の液晶表示装置について、図１から図３を用いて説明する。図１は液晶表示装置１のコモン転移電極部１２と接触用電極１１の平面図であり、図２はそのＡ−Ａ断面図であり、図３はそのＡ−Ａ断面の製造方法である。
【００１７】
図１に示すように、液晶表示装置１のコーナーには、コモン転移電極部１２と呼ばれる電極が設けられている。このコモン転移電極部１２は、対向基板３上の対向電極５とアクティブマトリクス基板１０上の配線とを電気的に接続するためのものである。このコモン転移電極部１２と電気的に接続された接触用電極１１を、アクティブマトリクス基板１０上のコモン転移電極部１２につながるように設ける。実施形態１では、接触用電極１１はアクティブマトリクス基板１０上の表示領域以外に設けられている。その個数および配置も基板の構成により任意に設定できる。２０はソース端子、２１はゲート端子である。
【００１８】
次に、図２により、コモン転移電極部１２と接触用電極１１の構造について説明する。アクティブマトリクス基板１０の上にゲート配線またはソース配線として機能するＴａ膜と同様なＴａ膜１３が形成されている。そのＴａ膜１３の端部の周辺部とアクティブマトリクス基板１０を覆って絶縁膜１４が形成されており、絶縁膜１４に設けた開口部に、つまり平坦なＴａ膜１３の上に、ＩＴＯ膜１８が形成されてコモン転移電極部１６となる構成となっている。そのＩＴＯ膜１８がアクティブマトリクス基板１０の端部までに延長させたのが、接触用電極１１である。その接触用電極１１の形状は、検査用治具または検査用工具が接触しやすい形状であれば良い。具体的には、接触用電極１１は直径０．５ｍｍまたは０．５ｍｍ角以上の大きさである。
【００１９】
そして、対向基板３側に設けられた対向電極５と、ＩＴＯ膜１８が設けられたアクティブマトリクス基板１０を対向させ、その間に導電性ペースト１７を配置する。基板３上の対向電極５と、アクティブマトリクス基板１０上のＩＴＯ膜１８とを電気的に接続する。このようにして、コモン転移電極部１２が構成される。さらに、接触用電極１１はコモン転移電極部１２および導電性ペースト１７を介して、対向電極５と電気的に接続される。
【００２０】
次に、コモン転移電極部１２と接触用電極１１の形成方法について説明する。まず、図３（ａ）に示すように、ガラスなどからなる絶縁性の基板からなるアクティブマトリクス基板１０の上に、ゲート配線の材料であるＴａ膜１３をスパッタリング法により膜厚５００ｎｍで形成し、フォトリソグラフィを用いて、パターニングする。これにより、ゲート配線としてのＴａ膜とともに、それと同様なＴａ膜１３が形成される。
【００２１】
次に、図３（ｂ）に示すように、窒化シリコンなどからなる絶縁膜１４をプラズマＣＶＤ法を用いて薄膜形成し、パターニングする。
【００２２】
次に、図示しないが、ＴＦＴの半導体層、コンタクト層、画素電極を薄膜形成し、パターニングする際、コモン転移電極部１２と接触用電極１１に相当する部分に、ＩＴＯ膜１８を形成し、接触用電極１１を構成する。その後、図２に示すように、ＩＴＯ膜１８の上に導電性ペースト１７を形成する。
【００２３】
一方、対向基板３に、コモン転移電極部１２に相当する部分にＩＴＯなどの導電性膜からなる対向電極５を形成する。
この対向基板３とアクティブマトリクス基板１０を対向させて、コモン転移電極部１２と接触用電極１１を形成する。
【００２４】
（参考例）
次に、接触用電極を用いた静電気除去方法について説明する。液晶表示装置のパネル検査用プローブは、一般にピン接触タイプが用いられている。パネル検査用プローブをパネルのソース、ゲートの各端子に接触させて、各種の検査を行っている。パネル検査用プローブを端子に接続するとき、液晶表示装置に電荷が残っていると、ＴＦＴなどに静電破壊の可能性がある。従って、パネル検査用プローブを接触させる前に、液晶表示装置の静電気を除去する必要がある。
【００２５】
また、パネル検査終了後、液晶表示装置の各端子に電荷が残らないように、ソースまたはゲートの各端子からパネル検査用プローブを引き上げた後、接触用電極から、静電気を逃がす必要がある。
【００２６】
その静電気除去方法を図４に示すような等価回路を用いて説明する。静電誘導により電荷が蓄積した液晶に、対向電極５からアース１５におとすことにより、放電電流が流れ、液晶表示装置内部の静電気を除去することができる。
【００２７】
具体的な例として、パネル検査工程での静電気除去方法を図５に示す。図５の▲１▼に示すように、対向電極プローブ２２を接触用電極１１に接触させ、液晶表示装置１に帯電した静電気を逃がす。対向電極プローブ２２の他端は、アースにつながっている。したがって、静電気は、対向電極プローブ２２の先端からアースに流れて放電される。対向電極プローブ２２の先端には導電性ゴム２３が取り付けてあり、接触用電極１１との接触性を良くしている。その導電性ゴム２３として、カーボン系の導電性フィラーを混入したゴムを用い、その表面抵抗は１０５〜１０１０Ω程度の特性である。この抵抗値は急激な放電電流を抑制するために必要な抵抗値である。
【００２８】
次に、図５の▲２▼に示すように、対向電極プローブ２２を接触用電極１１から引き上げる。その後、図５の▲３▼に示すように、ソース端子２０（またはゲート端子２１）にパネル検査用プローブ２５を当てて、パネルの検査を行う。この例では、パネル検査用プローブ２５はピン方式のものを用いた。パネルの検査が終われば、図５の▲４▼に示すように、パネル検査用プローブ２５をソース端子２０（またはゲート端子２１）から引き上げる。
【００２９】
次に、図５の▲５▼に示すように、対向電極プローブ２２を接触用電極１１に１〜１０秒ほど接触させて、パネル検査中に帯電した静電気を逃がす。その後、対向電極プローブ２２を接触用電極１１から引き上げて、パネル検査工程が完了する。
【００３０】
この静電気除去方法による実験結果を表１に示す。まず、図６により実験方法を説明する。ガラス表面の保護フィルム４を剥離して、剥離帯電させる。その後、接触用電極１１に図６のような電荷量測定器２４を接続して、電荷量を測定する。電荷量測定器２４はアース１５にもつながっているので、液晶表示装置１の内部の電荷をアース１５に落とすことができる。次に、ソース端子２０、ゲート端子２１に測定器２４を接触させ、ソース端子２０、ゲート端子２１の残留電荷を確認した。
【００３１】
【表１】
0003634620.tif 000002
【００３２】
その結果、最初、接触用電極では４４０ｎＣ（ナノクーロン）の電荷があったが、接触用電極から静電気をアースに逃がすと、ソース端子とゲート端子では８ｎＣ以下の電荷となった。したがって、接触用電極から静電気が放電されたことが確認できた。
【００３３】
接触用電極からコモン転移電極部を通じて対向電極からも、液晶表示装置に帯電した静電気を除去することができる。
【００３４】
また、対向電極プローブの先端には導電性ゴムが取り付けてあるので、その抵抗により、急激な放電電流を抑制することができる。そのため、静電気の放電電流によって、液晶表示装置の内部、ＴＦＴなどが静電破壊されることがない。
【００３５】
対向電極プローブの機構として、エアシリンダー方式、カムまたはサーボモーターを利用したプッシュローダー方式などを用いることができる。
【００３６】
または、図７に示すように、対向電極プローブ２２の本体に接触用バネ２８を取り付ける。その接触用バネ２８はアース１５につながっており、対向電極プローブ２２の先端から、その接触用バネ２８を介して、静電気を逃がす。接触用バネ２８の抵抗は１０５〜１０１０Ω程度の特性である。
【００３７】
または、図８に示すように、対向電極プローブ２２の本体に取り付けた接触用バネ２８に、一定の内部抵抗を有する測定器（数ｋΩ以上）２６を接続しても良い。その測定器２６としては電圧計、電荷量測定器、オシロスコープなどである。その測定器２６はアース１５につながっている。
【００３８】
次に、本発明に従う実施形態の静電気除去方法について説明する。図９に示すように、図１〜図３に示される液晶表示装置１の接触用電極１１、ソース端子２０、ゲート端子２１に同時に導電性ゴム３０を当てて、アースに静電気を落とす。この導電性ゴム３０は、前述の導電性ゴム２３と同様であり、表面抵抗１ＭΩの特性をもっている。この方法は参考例と同様に、検査を始める前と検査終了後に、この静電気除去方法を行う。参考例では対向電極プローブ２２を用いたが、この実施形態では導電性ゴム３０を用いる点が異なる。
【００３９】
この静電気除去方法による実験結果を表２に示す。実験方法を説明する。▲１▼ガラス表面の保護フィルム４を剥離して、剥離帯電させる。▲２▼その後、接触用電極１１、８００個のソース端子２０、４００個のゲート端子２１に同時に導電性ゴム３０を当てる。▲３▼その後、導電性ゴム３０をアースさせて、静電気をアースに逃がす。▲４▼接触用電極１１には電荷量測定器２４が接続されており、パネルの内部電荷量を測定する。▲５▼パネルの点灯検査で、液晶表示装置の特性不良を確認した。
【００４０】
【表２】
0003634620.tif 000003
【００４１】
表２に示すように、接触用電極１１、８００個のソース端子２０、４００個のゲート端子２１に同時にアースすることにより、パネル内の静電気が抜け、液晶表示装置の特性不良も発生しないことが確認できた。
【００４２】
次に、比較実験を行い、その実験結果を表３に示す。まず、▲１▼ガラス表面の保護フィルム４を剥離して、剥離帯電させる。▲２▼その後、接触用電極１１、１個のソース端子または１個のゲート端子に同時に導電性ゴム３０を当てる。▲３▼〜▲５▼は上記と同様である。接触するソース端子とゲート端子の数が異なる。
【００４３】
【表３】
0003634620.tif 000004
【００４４】
表３に示すように、接触用電極、１個のソース端子または１個のゲート端子に同時にアースすることにより、液晶表示装置内の静電気が抜けるが、点灯検査ではソース側またはゲート側で静電破壊が発生し、特性不良が生じたことが確認できた。
【００４５】
このように、接触用電極、多数のソース端子、多数のゲート端子を同時にアースすることにより、パネル内の静電気が抜け、液晶表示装置の特性不良も発生しない。
【００４６】
また、導電性ゴムの抵抗により、急激な放電電流を抑制することができる。そのため、静電気の放電電流によって、液晶表示装置の内部、ＴＦＴなどが静電破壊されることがない。
【００４８】
【発明の効果】
コモン転移電極部につながる接触用電極を設けることにより、表面抵抗１０５〜１０１０Ωの導電性ゴムをその接触用電極１１と、多数のソース端子２０と、多数のゲート端子２１とに、同時に接触させて、アクティブマトリクス基板の薄膜トランジスタと対向基板の対向電極との双方から、液晶表示装置内部に帯電した静電気を除去することができる。また、接触用電極は、アクティブマトリクス基板の端部まで延設されているので、導電性ゴム３０を容易に接触用電極１１と、多数のソース端子２０と、多数のゲート端子２１とに、同時に接触させることができ、静電気除去作業を容易に行うことができる。
【００４９】
本発明の製造方法により、各工程の製造を始める前に、液晶表示装置の静電気を除去することができるので、特性不良を起こすことなく液晶表示装置の製造工程を進めることができる。さらに、各工程の最後にも、液晶表示装置の静電気を除去するので、静電気が帯電しない状態の液晶表示装置を次の工程へ搬送することができる。このような簡単な方法で静電気を除去することができるので、液晶表示装置の良品率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の液晶表示装置１のコモン転移電極部１２と接触用電極１１の平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ断面の製造方法である。
【図４】参考例の静電気除去方法を示す等価回路である。
【図５】参考例の静電気除去方法を示す図である。
【図６】参考例の静電気除去方法による実験方法を示す図である。
【図７】対向電極プローブ２２の別の構成を示す図である。
【図８】対向電極プローブ２２の別の構成を示す図である。
【図９】実施形態の静電気除去方法を示す図である。
【図１０】従来の静電破壊の原因の１つを示す図である。
【図１１】従来の静電破壊の原因の１つを示す図である。
【符号の説明】
１  液晶表示装置
３  対向基板
４  保護フィルム
５  対向電極
１０  アクティブマトリクス基板
１１  接触用電極
１２  コモン転移電極部
１３  Ｔａ膜
１４  絶縁膜
１５  アース
１７  導電性ペースト
１８  ＩＴＯ膜
２０  ソース端子
２１  ゲート端子
２２  対向電極プローブ
２３，３０  導電性ゴム
２４  電荷量測定器
２５  パネル検査用プローブ
２６  測定器
２８  接触用バネ
【図１】
0003634620.tif 000005
【図２】
0003634620.tif 000006
【図３】
0003634620.tif 000007
【図４】
0003634620.tif 000008
【図５】
0003634620.tif 000009
【図６】
0003634620.tif 000010
【図７】
0003634620.tif 000011
【図８】
0003634620.tif 000012
【図９】
0003634620.tif 000013
【図１０】
0003634620.tif 000014
【図１１】
0003634620.tif 000015