(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための吐出口を有する液流路と、一つの前記液流路ごとに対応して複数設けられ、それぞれ、材質及び膜厚が実質的に等しく、前記吐出口から発熱領域の重心までの距離がほぼ等しい位置に配された電気熱変換素子とを、有し、
前記複数の電気熱変換素子の内、２つの電気熱変換素子の発熱領域の面積をそれぞれＳｈ１、Ｓｈ２（Ｓｈ１＞Ｓｈ２）とし、前記２つの電気熱変換素子を実質的に等しい駆動条件で駆動したときのこれらの電気熱変換素子による液体の吐出量を夫々Ｖｄ１、Ｖｄ２としたとき、前記２つの電気熱変換素子がＶｄ１／Ｖｄ２＞Ｓｈ１／Ｓｈ２の関係を満たす形状を有していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記２つの電気熱変換素子の発熱領域の長さがほぼ等しく、夫々の発熱領域の幅をＷ１、Ｗ２とし、非発泡領域の幅ｄとしたとき、
Ｖｄ１／Ｖｄ２は（Ｗ１−２ｄ）／（Ｗ２−２ｄ）と実質的に等しい関係にある請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記２つの電気熱変換素子の夫々の発熱領域の幅をＷ１、Ｗ２とし、発熱領域の長さをＬ１、Ｌ２とし、非発泡領域の幅ｄとしたとき、Ｖｄ１／Ｖｄ２は（（Ｗ１−２ｄ）×（Ｌ１−２ｄ））／（（Ｗ２−２ｄ）×（Ｌ２−２ｄ））と実質的に等しい関係にある請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記吐出口が配された位置と前記一つの液流路に対応して設けられた複数の電気熱変換素子の前記吐出口から発熱領域の重心までの距離の差は３μｍ以内である請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記１つの液流路に対応して設けられる電気熱変換素子の数は２つである請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記液体は、インクである請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、
該液体吐出ヘッドに供給するための液体を保持する液体容器とを有することを特徴とするヘッドカートリッジ。
【請求項８】
前記液体吐出ヘッドと前記液体容器とは着脱可能である請求項７記載のヘッドカートリッジ。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、被記録媒体を搬送するための搬送手段と、を有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１０】
請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドを駆動するための駆動信号供給手段と、を有することを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複写機、ファクシミリ、ワープロ、ホストコンピュータの出力用端末としてのプリンタ、ビデオプリンタ等に用いられるインクジェット記録ヘッドおよび装置に関し、特に記録のためのエネルギーとして利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換素子を形成した素子基体を有する液体吐出ヘッド（以下、「インクジェット記録ヘッド」あるいは「インクジェットヘッド」ともいう）、該ヘッドを有する液体吐出装置（以下、「インクジェット記録装置」あるいは「インクジェット装置」ともいう）およびヘッドカートリッジに関する。なお、ここで、記録とは、布、糸、紙、シート材等のインク付与を受けるインク支持体全てへのインク付与等（プリント）を含むもので、インクジェット記録装置は、各種情報処理装置全てあるいはその出力器としてのプリンタを含むものであり、本発明はこれらへの用途が可能なものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、インクジェット記録装置は小型化、低価格化のみならずカラー記録、高画質記録の要求が高まってきている。これに対し、従来、高画質を実現するためには記録ヘッドの精密かつ複雑な構成と制御を必要としていたため、きわめて高価で、装置自体も大きいものであった。
【０００３】
一方、特開昭５５−１３２２５９号公報には、１ノズル内に２つの電気熱変換素子（大小も含む）を設けることで非常にシンプルな構成でドットサイズを変調し、高階調、高画質を実現するものが提案されている。この発明は、多値記録を行う上で重要な発明である。
【０００４】
１ノズル内に１つの電気熱変換素子が配されるタイプのヘッドで、所望の吐出量を得るために行われる設計は、特に電気熱変換素子の発熱領域の面積とノズル形状（特に吐出口面積、ノズル長さや断面積）に着目して通常成されている。
【０００５】
そして、インクの吐出量と電気熱変換素子の発熱領域の面積は、ほぼ比例関係にあることが知られており、電気熱変換素子は、他の配線と同様に素子基板に作り込まれており、ノズルの作成に比べ改良を加えることが困難であることが知られている。このため、１ノズル内に１つの電気熱変換素子が配されたタイプのヘッドの設計においては、まず、電気熱変換素子の発熱領域の面積で大体の吐出量の狙いをつけ、より正確に吐出量を調整する場合に、加工調整し易い吐出口面積を微妙に変えて調整を行うという設計を行っていた。
【０００６】
【背景技術】
１ノズル内に配された複数の電気熱変換素子を用いて吐出量変調を行うヘッドにおいては、夫々の電気熱変換素子の発熱領域の重心から吐出口が設けられた位置までの距離（吐出口面までの距離）がほぼ同じならば、この距離の違いに伴う、夫々の電気熱変換素子ごとの吐出量の差は考慮しなくてよい。
【０００７】
このため、１ノズル内に複数の電気熱変換素子を持つ形態のヘッドの設計においても、その吐出量を決定する場合１ノズルに１つの電気熱変換素子を持つヘッドの、吐出量と電気熱変換素子の発熱領域面積の比例関係を利用して、複数の電気熱変換素子における所望の吐出量の比を電気熱変換素子の発熱領域の面積比と同じとし、大体の吐出量の狙いをつけて、電気熱変換体の発熱領域の面積比を決定し、次にオリフィス面積を微妙に変えた試作によって、より正確に吐出量を調整する設計を発明者らは行ってみた。ところが、この設計方針に基づいて記録ヘッドを設計した際、ある程度所望の吐出量が得られるが、最近の高画質化、高階調性、高精細、小吐出量化、高エネルギー効率の要求に対応するため、夫々の電気熱変換体に対応する吐出量をより正確に調整しようとした場合、要求どおりの階調性を持つインクの吐出量を得ることが難しいことがわかった。これは、１ノズル内に設けた複数の電気熱変換素子の発熱領域の面積比が必ずしも吐出量の比と一致せず、他の要素が複合的にからむためと考えられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、１ノズル内に複数の電気熱変換体を有するヘッドでは、高精度、階調性を得るための吐出量の比を得るまでに段階をおった試作を何度も繰り返すことになり、時間的作業的にロスが多くなる虞れがある。このため、良好な階調性を達成できる記録ヘッドの提供を行うことを本発明の課題とする。
【０００９】
又、さらに本発明者達は、それぞれ吐出量を異ならせるために設けられた複数の電気熱変換素子に要求される吐出安定条件を追求したところ、上述のようなヘッド設計を行う上で要求される吐出量の比を、電気熱変換素子の発熱領域の面積比（好ましくは電気熱変換素子のサイズと形状）とある関係に置くことで高い階調性や高エネルギー効率を達成することができることがわかった。従ってこの関係を規定することによって良好な階調性を高いエネルギー効率で得ることをも本発明の課題である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は前述の夫々の電気熱変換素子で所望の階調性を持った吐出量を安定的に得るものである。
【００１１】
電気熱変換素子には、実際の吐出エネルギーに寄与する（液体の発砲に寄与する）発熱領域と直接的には吐出エネルギーとして利用されない（液体の発砲に寄与しない）発熱領域が存在することがわかった。これは、加熱時に電気熱変換素子の発熱領域に温度分布が生ずるためで、発熱領域周囲部は中心部より温度が低いためインクを加熱発泡する温度には達しない非発泡領域となり吐出エネルギーとして直接には寄与しない。逆に、発熱領域のインクを発泡する領域を発泡領域ということにする。従って、この考え方に基づいて次なる方法により複数の電気熱変換素子の設計をすることで安定的に所望の吐出量を得ることができた。
【００１２】
第一に、夫々の電気熱変換素子による吐出量の比をある値に設定しようとした際、電気熱変換素子の発熱領域の面積をその比よりやや小さい比に設計することが有効である。
【００１３】
第二に、より好ましくは、設定しようとする夫々の電気熱変換素子による吐出量の比に対し、夫々の電気熱変換素子の発熱領域の幅の比を、夫々０．１〜１０μｍの長さを引いたものと同じになるよう設計する。
【００１４】
第三に、更に好ましくは、夫々の電気熱変換素子による吐出量の比と夫々の電気熱変換素子の有効発泡面積の比がほぼ一致することである。
【００１５】
第四に、第三における有効発泡面積は電気熱変換素子の面積の周囲から１〜１０μｍの面積を除いたものである。
【００１６】
以上述べた点は、吐出口が配された位置と電気熱変換素子の発熱領域の重心位置との距離が１ノズル内の複数の電気熱変換素子間でほぼ同じ（製造ばらつき程度３μｍ以内）であり、電気熱変換素子の材質、膜厚、印加パルス等の駆動条件が実質的に一致している場合において、特に望ましい条件である。逆に、この方法によりノズル、電気熱変換素子の設計をすることで、駆動条件等で夫々の電気熱変換素子の吐出量を微妙に制御する必要がなく、所望の吐出量を得られる。
【００１７】
また、吐出量の比を上述のように簡単な方法で規定できるということは、画像を階調表現する際、より高い階調特性を得ることができるため、極めて重要である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明のインクジェットヘッドの説明を行う。
【００１９】
なお、以下の実施例で取り扱う液体とは、記録に用いるインク等の記録液体に限らず、本発明のヘッドを適用可能な液体であれば、どのような液体でもよい。
【００２０】
《実施例１》
図１は、本発明の液体噴射ヘッドの液流路および電気熱変換素子の構成を示すための模式図であり、液流路を電気熱変換素子の対向する側から見た断面図である。
【００２１】
液流路１は液室２と連通しており、液流路（ノズル）内には毛管力によってオリフィス（吐出口）付近にメニスカス３を形成する。ノズル内には２つ以上の電気熱変換素子を配せばよいが、本図では２つの電気熱変換素子の場合について説明する。
【００２２】
２つの電気熱変換素子４，６はそれぞれ発熱抵抗層上に選択電極としての配線電極８，９と共通電極１０の層とを形成しており、これらの配線電極間が発熱領域となる。選択電極８，９に選択的に電気信号（駆動信号）を印加することによって、それぞれの電気熱変換素子の発熱領域を独立又は同時に発熱させることができる。
【００２３】
本発明においては、吐出口からそれぞれの電気熱変換素子の発熱領域の重心（ＣA，ＣB）までの距離をほぼ等しくしている。
【００２４】
本発明が成り立つ２つの電気熱変換素子の発熱領域の重心と吐出口の距離のずれは３μｍ以下である。これ以上のずれになると、両者の発熱領域と吐出口との距離の違いによる吐出量の違いを考慮する必要が生じる。又、本実施例においては、発熱面積が異なる２つの電気熱変換体を１つの流路（ノズル）内に配している。この２つの電気熱変換素子の内、面積の小さい方の電気熱変換素子４はＳｈＡの面積の発熱領域を有し、大きい方の電気熱変換素子６はＳｈＢの面積の発熱領域を有する。いま夫々の電気熱変換素子４、６には夫々選択配線電極８と９が接続されており反対側の端子には共通配線電極１０が接続されている。配線電極８、９の先にはトランジスタ等のスイッチング手段が接続され、電気熱変換素子４、６を選択的に駆動しノズル内のインクを吐出することができる。
【００２５】
本実施例においては、夫々の電気熱変換素子４、６の面積ＳｈＡ、ＳｈＢを夫々１４４５μｍ、２２１０μｍとし、電気熱変換素子４、６による吐出量を夫々ＶｄＡ＝１５ｎｇ、ＶｄＢ＝３０ｎｇとした。そして夫々の比率はＶｄＢ／ＶｄＡ＝２．０、ＳｈＢ／ＳｈＡ＝１．５３でありＶｄＢ／ＶｄＡ＞ＳｈＢ／ＳｈＡを満足するよう作成した。
【００２６】
【表１】
0003715696.tif 000002
【００２７】
これは前述したように電気熱変換素子の発熱領域にはインクを発泡する発泡領域（点線内）５、７と、熱分布の関係でインクを発泡させる温度に達しない非発泡領域が存在することを考慮した設計を行ったためである。このような比率にすることで、必要とする異なる液量の吐出を安定的に行わせることができる。
【００２８】
電気熱変換素子に存在する発泡領域について、図２を用いて簡単に説明する。本発明で用いた電気熱変換素子の膜の構成は、厚さ約５００〜６００μｍのシリコン基板１０６上にＳｉＯ2等の絶縁体の蓄熱層１０５を成膜し、その上に抵抗層１０１を成膜パターニングする。その上に、ＳｉＯ2やＳｉＮ等の絶縁体を用いた保護層１０３と発泡／消泡の衝撃波を吸収する耐キャビテーション層１２０を成膜する。抵抗層１０１には配線電極１０２Ａ、１０２Ｂにより電圧を印加し電流を流し加熱する。抵抗層で発生した熱は、電気熱変換素子中央部では膜の重なり方向へ逃げるが、端部では膜の拡がり方向にも逃げる。このために、電気熱変換素子の表面のインクに接する面においては、電気熱変換素子中央部より端部の方が比較的温度が低い。この時、前記電気熱変換素子の表面温度分布をＡ−Ａライン上で見ると図３の温度分布ＴｅｍｐＡの様な状態になり、電気熱変換素子中央部では主に熱が膜の重なり方向に逃げるために均一な温度分布となり、端部に近づくにつれて膜の拡がり方向に逃げるため温度が低くなって行くことがわかる。ここで、ΔＴ１は電気熱変換素子上のインクが発泡する下限温度であり、ΔＴ２は電気熱変換素子が高温になりすぎて熱ストレス等でダメージを受けて寿命が極端に短くなる温度である。従って、電気熱変換素子の温度を寿命を損なわずに安定的にインク発泡温度に制御しようとすると、図３のように必ず電気熱変換素子端部にインクを発泡させる温度に到達しない非発泡領域が存在することになる。
【００２９】
特に、本発明のように、１つの液路内に複数の電気熱変換体を配す場合のように、電気熱変換体の面積に対して、周の長さが大きくなる場合には、上述のような非発泡領域を考慮した設計を成すことが必要であり、本発明はこのような非発泡領域を考慮して成したものである。
【００３０】
《実施例２》
先の実施例１の場合のヘッドの構成とほぼ同様の構成とし、本実施例は、電気熱変換素子４、６の発熱領域の面積を夫々ＳｈＡ＝２５２０μｍ2、ＳｈＢ＝５８８０μｍ2とし、夫々の電気熱変換素子４、６による吐出量を夫々ＶｄＡ＝４０ｎｇ、ＶｄＢ＝１２０ｎｇとした。
【００３１】
本実施例による電気熱変換素子ごとの吐出量の比および面積の比との関係は、ＶｄＢ／ＶｄＡ＝３．０、ＳｈＢ／ＳｈＡ＝２．３であり、本発明のＶｄＢ／ＶｄＡ＞ＳｈＢ／ＳｈＡの関係を満たすようなされている。本実施例のヘッドによっても所望の量の液体の吐出を安定的に得ることができる。
【００３２】
《比較例》
先の実施例１の場合のヘッドの構成とほぼ同様の構成とし、本実施例では、電気熱変換素子４、６の発熱領域面積を、夫々ＳｈＡ＝４０×６０＝２４００μｍ2、ＳｈＢ＝２０×２００＝４０００μｍ2とし、夫々の吐出量をＶｄＡ＝４２ｎｇ、ＶｄＢ＝５８ｎｇとした。
【００３３】
本比較例による電気熱変換素子ごとの吐出量の比および面積の比との関係は、ＶｄＢ／ＶｄＡ＝１．３８、ＳｈＢ／ＳｈＡ＝１．６６、つまりＶｄＢ／ＶｄＡ＜ＳｈＢ／ＳｈＡとなり、本発明の条件は満たさない。
【００３４】
このような場合、駆動電圧は駆動パルス幅を一定とすると約１０Ｖ、約３３Ｖが適正電圧であり、駆動上エネルギー効率上不利であると共に、夫々の電気熱変換体による所望の吐出量を安定的に得ることが困難である。
【００３５】
図４は、上述の各実施例（実施例１；Ａ１、実施例２；Ａ２）および比較例Ｂを、夫々の電気熱変換体の発熱領域の面積の比（横軸）に対する、吐出量の比（縦軸）のグラフに示したものである。
【００３６】
点線は、面積の比と吐出量の比とが同じ場合であり、本発明の領域は斜線で示される部分である。先の実施例１（Ａ１）および実施例２（Ａ２）は、本発明の領域に入っており、夫々の電気熱変換素子で所望の液量の吐出を安定的に行うことができ、又駆動上、エネルギー効率上有利である。
【００３７】
一方、比較例である（Ｂ）は、本発明の領域から除れており、前述のように、所望の液量の吐出を安定的に得ることが困難であり、又、駆動上、エネルギー効率上不利である。
【００３８】
なお、以上の本発明の条件は、ノズルに対する夫々の電気熱変換素子の重心位置すなわち図１の電気熱変換素子４、５の重心ＣＡ、ＣＢのオリフィス面からの距離ＯＣＡ、ＯＣＢがほぼ同じ場合（誤差は製造ばらつき程度３μｍ以内）、特に効果がある。又、電気熱変換素子の材質、膜厚、駆動条件が実質的に一致している場合がより望ましい。
【００３９】
前述した電気熱変換体の非発泡領域の幅ＷＡ（ｄ）は本発明の場合、３〜５μｍ程度であったが、これは膜の構成や材料、駆動条件によって異なり、条件に応じて０．１μｍ〜１０μｍ程度を考慮する必要がある。これらの条件を考慮し、ＶｄＢ／ＶｄＡ＞ＳｈＢ／ＳｈＡの最適条件を求めると次の関係となる。夫々の電気熱変換素子の幅と長さをＷｈＡ、ＬｈＡ、ＷｈＢ、ＬｈＢとすると、ＶｄＢ／ＶｄＡ＝（（ＷｈＢ−２ＷＡ）×（ＬｈＢ−２ＷＡ））／（（ＷｈＡ−２ＷＡ）×（ＬｈＡ−２ＷＡ））が理論上成り立つ。また、電気熱変換素子の幅と長さが明確でない場合は、電気熱変換素子４、５の外周よりＷＡ／２内側の周長（図１点線の長さ）を夫々ＬＡ、ＬＢとすればＶｄＢ／ＶｄＡ＝（ＳｈＢ−ＬＢ×ＷＡ）／（ＳｈＡ−ＬＡ×ＷＡ）が理論上成り立つ。この設計条件で夫々の電気熱変換素子を設計すれば、容易に所望の吐出量の比を設定することができる。実際には、夫々の電気熱変換素子の長さは駆動条件を同じにできるという理由から夫々ほぼ同じ長さに設計されることが多いため、関係式から削除して簡単な関係式ＶｄＢ／ＶｄＡ＝（ＷｈＢ−２ＷＡ）／（ＷｈＡ−２ＷＡ）を用いることが可能である。また、たとえ異なった値でも、ＷＡに対し十分大きい値であり、誤差は小さい。
【００４０】
以上説明した様な手法で夫々の電気熱変換素子の吐出量の比さえ設定すれば、全体の吐出量の調整などは前述したようにオリフィス面積やノズルに対する電気熱変換素子の位置などの後の行程で行えば良く、設計上、製造上容易である。
【００４１】
次に、このヘッドを用いた階調制御の説明を簡単に行う。
【００４２】
図５（ａ）に示すように、ノズル壁１０９で挟まれた吐出ノズル１０４にはインクが満たされており、電気熱変換素子４および６に駆動信号を加えインクを加熱発泡させると発泡圧力によりオリフィス４０よりインクが吐出される。（ｂ）は小サイズ電気熱変換素子４が加熱発泡され、小発泡１１９により小ドロップ１１４が吐出された状態を示す。この時の吐出量を約３０ｎｇとする。次に、（ｃ）は大サイズ電気熱変換素子６が加熱発泡され、大発泡１１２により大ドロップ１１５が吐出された状態を示す。大サイズ電気熱変換素子６は小サイズ電気熱変換素子４の有効発泡面積の２倍で設計すれば、吐出量は有効発泡面積に比例するため、約６０ｎｇの吐出量になる。（ｄ）は両方の電気熱変換素子を共に加熱発泡した状態を示す。この場合、吐出量は夫々の電気熱変換素子での吐出量の合計の９０ｎｇとなる。このような吐出量で画像を形成した場合を、反射濃度で示したものが図６である。濃度はインクの吐出量に比例するため、３種の濃度を得ることになる。すなわち、大小２つの電気熱変換素子で４値の階調制御を実現している。前述した吐出量の比率の重要性もこのことから明らかであり、このバランスが崩れると階調制御のリニアリティが損なわれる。
【００４３】
次に、以上説明したヘッドの構成を具体的に説明する。ノズルまわりの構成は図７および図８で示す。両者は、夫々エッジシュータタイプとサイドシュータタイプと呼ばれる構成であり、吐出ノズル１０４内のインクを電気熱変換素子３および６で加熱発泡して、側方あるいは上方に解放されたオリフィス４０から吐出させるものである。素子基板２３はベースプレート４１に接着されており、ノズル壁１０９は天板４２に設けられている。
【００４４】
図９は本発明のインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）と、このインクジェットヘッドに供給するためのインクを保持したインク容器とを分離可能に接続したインクジェットヘッドカートリッジである。
【００４５】
尚、このインクジェットヘッドカートリッジを構成するインク容器へのインクの注入は、次のように行えばよい。
【００４６】
インク容器にインク供給パイプ等を接続することでインクを導入するインク導入路を形成し、このインク導入路を介してインク容器にインクを注入すればよい。インク容器側のインク供給口としては、インクジェットヘッド側への供給口、大気連通口や、インク容器の壁面にあけた穴等を用いればよい。
【００４７】
図１０は、以上のように構成されるインクジェット記録ヘッドが搭載されるインクジェット記録装置の一例の外観図を示す。このインクジェット記録装置ＩＪＲＡは、駆動モータの２０１０の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア２０２０、２０３０を介して回転するリードスクリュウ２０４０を有する。インクジェット記録ヘッドとインクタンクとが一体化されたインクジェットカートリッジＩＪＣが載置されるキャリッジＨＣは、キャリッジ軸２０５０およびリードスクリュウ２０４０に支持され、リードスクリュウ２０４０の羅線溝２０４１に対して係合するピン（不図示）を有しており、リードスクリュウ２０４０の回転にともなって、矢印ａ、ｂ方向に往復移動される。２０６０は紙押え板であり、キャリッジ移動方向にわたって紙Ｐを被記録媒体を搬送する搬送手段を構成するプラテンローラ２０７０に対し押圧する。２０８０および２０９０はフォトカプラで、これらは、キャリッジＨＣに設けられたレバー２１００のこの域での存在を確認してモータ２０１０の回転方向切り換え等を行うためのホームポジション検知手段として動作する。２１１０は記録ヘッドの全面をキャップする部材であり、支持部材２１２０により支持されている。２１３０はこのキャップ内を吸収する吸収手段であり、キャップ内開口を介して記録ヘッドの吸引回復を行う。記録ヘッドの端面をクリーニングするクリーニングブレード２１４０は、前後方向に移動可能に部材２１５０に設けられており、これらは本体支持板２１６０に支持されている。ブレード２１４０はこの形態に限定されず、周知のクリーニングブレードが本例に適用できることはいうまでもない。また、２１７０は吸引回復の吸引を回復するためのレバーであり、キャリッジＨＣと係合するカム２１８０の移動にともなって移動するようになっており、これにより駆動モータ２０１０からの駆動力がクラッチ切り換え等の周知の伝達手段で移動制御される。
【００４８】
これらのキャッピング、クリーニング、吸引回復はキャリッジＨＣがホームポジション側領域にきたときにリードスクリュウ２０４０の作用によってそれらの対応位置で所望の処理が行えるように構成されているが、周知のタイミングで所望の動作を行うようにすれば、本例には何れも適応できる。
【００４９】
又、本発明のインクジェット装置は、本発明のインクジェットヘッドの発熱抵抗体を駆動するための信号を、ヘッドに与える駆動信号供給手段を有している。
【００５０】
以上、本実施例では２つの電気熱変換素子の場合で説明を行ったが、１ノズル内に３つ以上の電気熱変換素子がある場合においても、それらの何れかの電気熱変換素子による吐出量比と面積比との関係が、前述した関係式が成り立つことはいうまでもない。
【００５１】
又、本記録装置には、ヘッドの各電気熱変換体を駆動するための駆動信号供給手段が設けられている。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、複数の電気熱変換素子による吐出量の比と面積の比の関係を適正に設定することで、所望の吐出量を得られ、よりリニアリティの高い階調制御が可能になった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェットヘッドの液流路および電気熱変換素子の構成を示すための模式図。
【図２】電気熱変換素子の発泡領域を説明するための図。
【図３】電気熱変換素子の表面温度分布を説明するための図。
【図４】電気熱変換素子の比に対する吐出体積の比を示すための図。
【図５】本発明のインクジェットヘッドによるヘッドの駆動状態を説明するための図。
【図６】吐出量と反射濃度との関係を示すための図。
【図７】本発明のヘッドの構造を示す模式図。
【図８】本発明のヘッドの構造を示す模式図。
【図９】本発明のインクジェットヘッドを用いたインクジェットヘッドカートリッジの模式図。
【図１０】本発明のインクジェット装置を説明するための図。
【符号の説明】
１  液流路
２  液室
４、６  電気熱変換素子
８、９  配線電極
１０  共通配線電極
【図１】
0003715696.tif 000003
【図２】
0003715696.tif 000004
【図３】
0003715696.tif 000005
【図４】
0003715696.tif 000006
【図５】
0003715696.tif 000007
【図６】
0003715696.tif 000008
【図７】
0003715696.tif 000009
【図８】
0003715696.tif 000010
【図９】
0003715696.tif 000011
【図１０】
0003715696.tif 000012