(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットと該ロボットに支持された３次元視覚センサを備えたロボット−センサシステムにおける座標系結合方法において、
一直線上に並ばない少なくとも３つの位置から、センサ座標系上での同一対象物に関する位置を表わすセンサ出力を得る段階と、
前記少なくとも３つの位置をロボット座標系上で表現するデータと前記センサ出力を表わすデータに基づくソフトウェア処理によって、ロボット座標系とセンサ座標系の相対的な位置関係を求める段階を含む前記方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本願発明は、対象物の位置あるいは位置と姿勢（以下、特に区別しない限り、両者併せて単に「位置」と言う。）を３次元的に計測する３次元視覚センサを用いたロボット−センサシステムにおいて、ロボットが動作する座標系とセンサ側で得られる位置データの表現に使用される座標系とを結合する為の方法に関する。本願発明の適用分野としては、例えば、工場の製造ラインにおける組み立て作業、加工作業等に利用されるロボットシステムがある。
【０００２】
【従来の技術】
工場の製造ラインにおける組み立て作業、加工作業等においては、作業の自動化・省力化を図る為に、ロボット等の自動機械と視覚センサとを組み合わせたシステムが利用されている。近年では特に作業対象物であるワークの３次元位置計測が必要とされるケースが増加しており、物体の３次元位置が計測出来る３次元視覚センサがロボットシステムに導入されている。
【０００３】
３次元視覚センサの代表的なものは、スリット状の光を被計測対象物（以下、単に「対象物」と言う。）に投射し、対象物上に周辺よりも高輝度の光帯を形成し、これをＣＣＤカメラ等のカメラ手段によって観測し、三角測量の原理によって対象物の３次元計測を行なうものである。
【０００４】
このような３次元視覚センサを用いてワークの位置を計測し、それに基づいてロボットの動作を補正する場合、センサの出力するワークの位置データをロボットが動作する座標系上のデータに変換することが必要となる。従って、センサ側の計測データの表現に使用される座標系（（以下、「センサ座標系」と言う。）と、ロボットが動作する座標系（以下、「ロボット座標系」と言う。）の間の関係を予め求めておかなければならない。
【０００５】
従来より、センサ座標系とロボット座標系の関係を求める方法として次の２つの方法があった。
（１）ロボットの手先（フェイスプレート）に対して既知の位置にセンサを取り付ける方法。
（２）座標系結合用に専用のジグを使用する。
【０００６】
（１）の方法は、ロボット手先に対するセンサ取り付け位置（正確に言えば、センサ座標系の原点位置）が既知となるようにセンサを取り付ける方法で、センサ座標系とロボット座標系の関係は、取り付け位置に関する幾何学的なデータで表わされる。このデータとして通常使われるのは、設計データ（設計図面上のデータ）である。その為、当初は設計データが正確にセンサの取り付け位置を表わしていたとしても、ロボットとワーク等の衝突等の原因でセンサの取り付け位置に狂いが生じた場合に適切な対処法が無い。一旦狂ったセンサの取り付け位置を元の状態に復元することや、元の状態からのずれ量を知ることは極めて困難である。
【０００７】
また、実際のセンサ座標系はカメラの光学系を基準とした座標系であり、その座標系の原点はカメラの内部（レンズ系の焦点位置）に存在するから、レンズ系の焦点調整を行なうだけでセンサ座標系の位置が変化する。従って、設計データで表わされたロボット手先に対するセンサ取り付け位置からロボット座標系とセンサ座標系の位置関係を正確に知ることは実際には困難である。
【０００８】
（２）の方法では座標系結合の為に専用のジグが使用される。このジグには、センサで計測が可能な穴などのマークと、ロボットがタッチアップする為の点が両者の位置関係が既知となるように設けられている。
【０００９】
実際の操作にあたっては、先ずセンサを用いてマークの位置を計測することにより、ジグとセンサ座標系の位置関係を求める。次に、ロボットでジグ上のタッチアップ点をタッチアップすることにより、ロボット座標系とジグとの位置関係を知る。そして、これら２つの位置関係から、ジグを媒介にしてロボット座標系とセンサ座標系の位置関係が求められる。
【００１０】
この方法は、常に専用のジグを要するという問題点がある。また、座標系結合後に設置されたロボットシステムにおいて、ロボットをワークなどにぶつけるなどの理由でセンサ座標系の位置に狂いが生じた場合には、座標系結合をやり直す必要があるが、工場の生産現場等の設置環境によっては、専用のジグを設置して上記操作を支障なく実行する為のスペース（ジグ設置の為のスペースとロボットにタッチアップ動作を安全に行なわせる為のスペース）を確保することが難しい場合も少なくない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本願発明の一つの目的は、正確な設計データや特別のジグを用意する必要のないロボット座標系とセンサ座標系の結合方法を提供することにある。  また、本願発明のもう一つ目的は、ロボットの干渉時等に必要となる座標系結合の再実行が容易なロボット座標系とセンサ座標系の結合方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本願発明は上記従来技術における種々の問題点を解決する為の基本構成として、「ロボットと該ロボットに支持された３次元視覚センサを含むロボット−センサシステムにおける座標系結合方法において、一直線上に並ばない少なくとも３つの位置から、センサ座標系上での同一対象物に関する位置を表わすセンサ出力を得る段階と、
前記少なくとも３つの位置をロボット座標系上で表現するデータと前記センサ出力を表わすデータに基づくソフトウェア処理によって、ロボット座標系とセンサ座標系の相対的な位置関係を求める段階を含む前記方法」を提案したものである。
【００１５】
【作用】
本願発明は、ロボットとロボットに支持された３次元視覚センサを含むロボット−センサシステムにおいてセンサ座標系とロボット座標系とを結合する方法を提供する。計測位置としては、一直線上に並ばない少なくとも３つの位置が選ばれる。計測位置間の移動はロボットの動作によって行なわれる。
【００１６】
少なくとも３つの計測位置として好ましいのは、それらの位置間の移動が、ロボット座標系の座標軸の正あるいは負方向に沿った移動によって実行され得る関係にあることである。例えば、第１の計測位置から第２の計測位置に向かうベクトルがロボット座標系のＸ軸の＋方向に選ばれ、第２の計測位置から第３の計測位置に向かうベクトルがロボット座標系のＹ軸の＋方向に選ばれる。これら計測位置間の移動は、予めロボットに教示した位置間を再生運転によって移動させることで実行されても良い。
【００１７】
各計測位置においては、同一対象物に関する３次元位置計測が行なわれ、その結果をセンサ座標系上で表現するセンサ出力データが獲得される。これらのセンサ出力データと各計測位置をロボット座標系上で表現するデータ（各計測位置におけるロボットの位置データが使用出来る。）の間には、同一の線形変換関係が存在する。この線形変換を表わす行列が座標変換行列である。
【００１８】
異なる計測位置について成立する座標変換の関係を行列要素を未知数とする連立方程式と考えてこれを解けば、センサ座標系とロボット座標系の関係を求めることが出来る。３つの計測位置として、それらの位置間の移動が、ロボット座標系の座標軸の正あるいは負方向に沿った移動によって実行され得る関係にある場合には、行列要素を個別に求めることも可能になる（実施例を参照。この場合も、数学的には上記連立方程式を解くことと等価である）。
【００１９】
３次元視覚センサとして代表的なものは、スリット光投光器と１台のカメラとを組み合わせた型のものであるが、他の型の３次元視覚センサ（例えば、２台の視線方向の異なるカメラを使用したもの）が使用されても構わない。
【００２０】
本願発明の方法は、座標系結合が行なわれる対象とされるロボットと３次元視覚センサそのものの機能を利用して座標系結合が達成される点に基本的な特徴がある。本願発明の方法は、正確な設計データや特別のジグを必要としない。従って、一旦座標系結合を行なったロボットの稼働中に干渉等によってセンサ座標系の位置に狂いが生じても、簡単にセンサ座標系とロボット座標系の再結合を実行することが出来る。
【００２１】
【実施例】
図１は、本願発明の方法が実施されるロボット−センサシステムの構成の概要を例示した要部ブロック図である。システム全体は、ロボットコントローラ１、画像処理装２、センサ部コントローラ３、センサ部１０、ロボット２０から構成されている。ロボットコントローラ１にはロボット２０と画像処理装２が接続されている。画像処理装置２には、センサ部コントローラ３が接続されている。センサ部コントローラ３はセンサ部１０に接続されており、センサ部１０のレーザスリット光１３を出射する投光器１１に出射指令を出力する。以下、各部分について説明する。
【００２２】
［視覚センサ部］
センサ部１０は、投光器１１とカメラ（例えば、ＣＣＤカメラ）を備えている。投光器１１は、スリット状のレーザ光を対象物４上に投影する機能を備えている。カメラ１２は、投光器１１を点灯しスリット光を投影した状態における撮影と投光器１１を消灯し通常照明下における撮影とを行なうことが出来る。前者の撮影時には、三角測量の原理に基づいて３次元位置の計測が行なわれる。また、後者の撮影時には、通常の明暗画像が取得される。
【００２３】
投光器１１は、センサ部コントローラ３からの出射指令に応じてレーザ光を発生し、スリット状のレーザスリット光１３に変換して対象物４上に投影する。これにより、対象物４上にはスリット光像１４が形成され、反射光１５がカメラ１２で撮像される。
【００２４】
投光器１１によるレーザスリット光１３のオン／オフ状態の切換及び投光方向の制御は、投光器１１に内蔵された偏向ミラー（図示省略）の角度位置を制御することによって行なわれる。偏向ミラーの角度位置を定める指令は、画像処理装置２からセンサ部コントローラ３を介して投光器１１に与えられる。偏向ミラーの角度位置を順次変えることにより、対象物４上の異なる位置にレーザスリット光像１４が形成される。
【００２５】
対象物４の所定の面上にスリット光像１４が形成された状態で、画像処理装置２からセンサ部コントローラ３を介してカメラ１２に撮影指令が送られると、カメラ１２はレーザスリット光像１４の反射光１５を撮像する。取得された画像信号は、センサ部コントローラ３を介して画像処理装置２へ送られる。
【００２６】
画像処理装置２では、カメラインターフェイスを介して取り込まれた画像信号を、濃淡グレイスケールによる明暗信号に変換した上でフレームメモリに格納する。
【００２７】
画像処理装置２は、画像処理プロセッサを利用してレーザスリット像を解析し、三角測量の原理に基づいて、その屈曲点、端点等の３次元位置が求められる。このような３次元位置計測方法自体は既に知られているものであるから、詳しい説明は省略する。前記屈曲点、端点等の３次元位置から、対象物４の位置及び姿勢が認識され、その情報がロボットコントローラ１に送られる。
【００２８】
センサ部１０は、画像処理装置２からのレーザ光出射指令をオフにし、通常照明光あるいは自然光の下で対象物４の撮影を行ないうことも出来る。このような通常撮影によって得られた画像は、レーザスリット像と同様、濃淡グレースケールによる明暗信号に変換されてフレームメモリに格納される。この画像には、対象物４の表面に明暗として現われている細部の情報が含まれている。
【００２９】
［ロボットコントローラ及びロボット］
ロボットコントローラ１は通常使用されている型のもので、マイクロプロセッサからなる中央演算処理装置（以下、「ＣＰＵ」と言う。）と、ＣＰＵにバス結合されたＲＯＭメモリ、ＲＡＭメモリ、教示操作盤、ロボットの軸制御器、汎用信号インターフェイス等を備えている。
【００３０】
ＲＯＭメモリには、システム全体を制御するプログラムが格納される。ＲＯＭメモリには、ロボット動作や画像処理装置への指令送信、画像処理装置からの画像解析結果の受信等を制御するプログラム、関連設定値等が格納され、また、ＣＰＵによる演算実行時の一時記憶用のメモリや必要に応じて設定されるレジスタ領域としても使用される。軸制御器は、ロボット２０の各軸をサーボ回路を介して制御する。汎用信号インターフェイスは、画像処理装置２やオフラインプログラミング装置、製造ラインの制御部等に対する入出力装置の役割を果たす。これら個別要素の図示及び詳しい説明は省略する。
【００３１】
ロボット２０の動作は、ロボットコントローラ１のメモリに格納された動作プログラムによって制御される。ロボット２０は、アーム２１，２２，２３を備え、アーム２３の先端にセンサ部１０が装着されている。ロボット２０を動作させることにより、センサ部１０をロボット２０の動作範囲内の任意の位置に任意の姿勢で位置決めすることが出来る。なお、アーム２３の先端には、センサ部１０と並んで作業用のハンドが装着されているが、図示を省略した。
【００３２】
図２は、以上説明した構成と機能を有するロボット−センサシステムを小型ロボットの組み立て作業に利用するケースを例にとり、本願発明の方法を適用してセンサ座標系とロボット座標系の関係を求めるプロセスを説明する為の全体配置である。
【００３３】
同図において、図１と共通の符号をもって指示した要素、即ち、ロボットコントローラ１、画像処理装２、センサ部コントローラ３、センサ部１０及びロボット２０の構成、機能及び接続関係については、既に説明した通りである。
【００３４】
先ず、ここで作業例として取り上げられた小型ロボットの組み立て作業の概要について簡単に説明する。
図１における対象物４は、作業空間内に次々と供給される組み立て工程中の小型ロボットの機構部の一部分５（以下、「機構部５」と略称する。）として示されている。機構部５は、ベース５０とその回転軸５１の周りに回転するアーム５２を含んでいる。その為、ロボットハンドＨに把持された減速機、モータ等の部品６（以下、「取り付け部品」と言う。）が取り付けられる取り付け面５３の位置・姿勢が供給される機構部５毎にばらつく。同時に、取り付け部品の凸部が差し込まれる穴５４の位置・姿勢にも同様のばらつきによる位置ずれが発生する。
【００３５】
そこで、図２中、位置ずれを補正して部品６の組み付け作業を実行する為に、スリット光を投光した下で行なわれる３次元計測と通常撮影による画像の解析を組み合わせて、機構部５の穴５４の位置・姿勢が求められ、それに基づいてロボットの動作が補正される。
【００３６】
機構部５０の取り付け面５３上にレーザスリット光像６１，５２が順次形成され、カメラ１２による撮影が実行される。レーザスリット光像６１，５２を含む画像は、画像処理装置内で解析され、取り付け面５３の外縁上の諸点に対応した屈曲点Ｐ1 ，Ｐ2 及び端点Ｑ1 ，Ｑ2 の３次元位置が計算される。その結果に基づいて取り付け面５３の位置・方向が計算され、更に、基準位置・方向からのずれが計算される。
【００３７】
次いで、ロボット２０を取り付け面５３に正対する位置に移動させ、通常撮影を行なう。画像処理装置２に取り込まれた通常画像は画像処理プロセッサを用いて解析され、穴５４の中心位置を求める。その結果と取り付け面５３の位置・姿勢に基づき、穴５４の３次元的な位置・姿勢と基準位置・姿勢からのずれが算出され、ロボットの位置・姿勢（即ち、ツール先端点Ｔの位置・姿）を補正した動作が実行される。
【００３８】
上記プロセスの中で、視覚センサ側（画像処理装置内）で得られる取り付け面５３や穴５４の位置・姿勢あるいはそのずれ量を表わすデータ（センサ座標系上で表現されたデータ）をロボット座標系上で表現されたデータに変換する処理が実行される。
【００３９】
以下、その為に必要なセンサ座標系とロボット座標系の結合を本願発明に従って実行するプロセスの概要を図３のフローチャートを参照図に加えて説明する。
【００４０】
なお、準備として、１つの機構部５（例えば、最初に供給される機構部５）が適当な位置（組立作業時と同じ位置が好ましい。）に位置決めされているものとする。位置決め後に面５３の向きが変わることは無いものとする。また、各ステップにおいて必要となる計算処理等は、ロボットコントローラ１あるいは画像処理装置２のメモリに格納されたプログラムを利用したソフトウェア処理によって遂行される。
【００４１】
先ず、ロボット２０を移動させ、穴５４の計測に適した位置にセンサ部１０を位置決めする（ステップＳ１）。この時のロボット２０の位置（ツール先端点Ｔの位置、以下同じ。）をＲ0 （Ｘ0 ，Ｙ0 ，Ｚ0 ）とする。
【００４２】
位置Ｒ0 で穴５４の３次元位置計測を行ない、得られた結果を位置Ｒ0 のデータ（Ｘ0 ，Ｙ0 ，Ｚ0 ）と共に画像処理装置２内のメモリに記憶する（ステップＳ２）。位置計測の手順は既に述べた通りであるから、説明を省略する。この時センサで計測された位置（センサ座標系上で表わされた位置）をｐ0 （ｘ0 ，ｙ0 ，ｚ0 ）とする。
【００４３】
次に、ロボット２０をロボット座標系の１つの座標軸の方向（＋方向または−方向）に適当な距離だけ移動させる。ここでは、位置Ｒ0 からＸ軸方向にｄＸだけ変位させた位置Ｒ1 へ移動させる（ステップＳ３）。位置Ｒ1 のロボット座標系上の座標値は（Ｘ0 ＋ｄＸ，Ｙ0 ，Ｙ0 ）となる。位置Ｒ1 で再度穴５４の３次元位置計測を行ない、位置Ｒ1 のデータ（Ｘ0 ＋ｄＸ，Ｙ0 ，Ｚ0 ）と共に得られた結果を画像処理装置２内のメモリに記憶する（ステップＳ４）。この時、センサで計測された位置（センサ座標系上で表わされた位置）をｐ1 （ｘ1 ，ｙ1 ，ｚ1 ）とする。
【００４４】
更に、ロボット２０をロボット座標系のもう１つの座標軸の方向（＋方向または−方向）に適当な距離だけ移動させる。ここでは、位置Ｒ1 からＹ軸方向にｄＹだけ変位させた位置Ｒ2 へ移動させる（ステップＳ５）。位置Ｒ2 のロボット座標系上の座標値は（Ｘ0 ＋ｄＸ，Ｙ0 ＋ｄＹ，Ｚ0 ）となる。Ｒ2 で穴５４の３次元位置計測を更に再び実行し、得られた結果を位置Ｒ2 のデータ（Ｘ0 ＋ｄＸ，Ｙ0 ＋ｄＹ，Ｚ0 ）と共に画像処理装置２内のメモリに記憶する（ステップＳ６）。この時、センサで計測された位置（センサ座標系上で表わされた位置）をｐ1 （ｘ2 ，ｙ2 ，ｚ2 ）とする。
【００４５】
一般には、以上のような位置計測は、少なくとも３回実行される。また、原理的に言えば、位置Ｒ0 からＲ1 、Ｒ1 からＲ2 の変位は、必ずしもロボット座標系の座標軸に沿っていなくとも良い。但し、Ｒ0 ，Ｒ1 ，Ｒ1 の３点が一直線上に並ばないように選ばれる。本実施例では、ロボット移動や後述する座標変換行列の計算が簡単となる移動方法の１つを選んだ。
【００４６】
以上のような位置計測によって、穴５４の３次元位置に関し、（少なくとも）３組のセンサデータ（センサ座標系上で表現されている。）と、各センサデータを得た時のロボット位置（ロボット座標系上で表現されている。）が用意されたことになる。
【００４７】
そこで、続くステップＳ７で、これらのデータに基づいて、センサ座標系とロボット座標系の間の関係を表わす座標変換行列を求め、画像処理装置２内のメモリに記憶し、処理を終了する。座標系の結合が終了したロボット−センサシステムを用いて、前記説明した組立作業を実行すれば、供給される機構部５毎に３次元位置計測が行なわれ、機構部５の位置ずれを補正したロボット動作が実現される。
【００４８】
次に、ステップＳ７において、座標変換行列を求める為に実行される計算について説明する。
ロボット２０を位置Ｒ0 （Ｘ0 ，Ｙ0 ，Ｚ0 ）からＲ1 （Ｘ0 ＋ｄＸ，Ｙ0 ，Ｚ0 ）に移動させることは、センサから見れば、穴５４がロボット座標系のＸ軸方法に−ｄＸ変位することと等価である。
【００４９】
従って、位置Ｒ1 においてセンサが出力した位置ｐ1 （ｘ1 ，ｙ1 ，ｚ1 ）から位置Ｒ0 においてセンサが出力した位置ｐ0 （ｘ0 ，ｙ0 ，ｚ0 ）へ向かうベクトルの方向が、ロボット座標系のＸ軸の方向を表わしている。従って、ロボット座標系のＸ軸の方向は、センサ座標系上で（ｘ0 −ｘ1 ，ｙ0 −ｙ1 ，ｚ0 −ｚ1 ）で表わされるベクトルの方向と一致する。同様に、ロボット座標系のＹ軸の方向は、センサ座標系上で（ｘ1 −ｘ2 ，ｙ1 −ｙ2 ，ｚ1 −ｚ2 ）で表わされるベクトルの方向と一致する。
【００５０】
これらのベクトルを各々のノルムで除した単位ベクトルをｎ1 （ｎ1x，ｎ1y，ｎ1z），ｎ2 （ｎ2x，ｎ2y，ｎ2z）とすれば、ロボット座標系のＺ軸の方向を表わす単位ベクトルは、ｎ1 とｎ2 の外積ｎ1 ×ｎ2 で与えられる。これをベクトルｎ3 （ｎ3x，ｎ3y，ｎ3z）とする。また、センサ座標系上で表わしたロボット座標系の原点位置は、ベクトルｎ1 ，ｎ2 で表わされる２本の直線の交点位置として求められる。これをｎ0 （ｎ0x，ｎ0y，ｎ0z）で表わす。
【００５１】
すると、センサ座標系から見たロボット座標系を表わす座標変換行列［Ａ］は、次式（１）で与えられる。
【００５２】
【数１】
0003644991.tif 000002
従って、センサ座標系上で表現された位置を表わすセンサの出力データをロボット座標系上で表現された位置を表わすデータに変換する座標変換行列は、行列［Ａ］の逆行列［Ａ］-1で与えられる。従って、上記（１）式で求められた行列［Ａ］の逆行列［Ａ］-1を計算し、その結果表わすデータが画像処理装置２（場合によっては、ロボットコントローラ１）内のメモリに格納されることが好ましい。この逆行列［Ａ］-1を用いれば、センサによって出力される任意の位置データ（ｘ，ｙ，ｚ）は次式（２）によって直ちにベース座標系上の位置データに変換される。
【００５３】
【数２】
0003644991.tif 000003
なお、計測位置Ｒ0 からＲ1 、Ｒ1 からＲ2 への変位をロボット座標系の座標軸方向に選ばない場合には、次のような連立方程式（３）〜（５）を解いて、座標変換行列の各行列要素を求めることになる。
【００５４】
【数３】
0003644991.tif 000004
また、以上の説明において、ロボット２０の移動はジョグ送り操作で行なっても良いし、予め計測位置Ｒ0 ，Ｒ1 ，Ｒ2 教示しておく方法によっても良い。
【００５５】
更に、本実施例における３次元視覚センサは、スリット光投光器と１台のカメラとを組み合わせたものを使用したが、これに代えて、他の型の３次元視覚センサ（例えば、２台の視線方向の異なるカメラを使用したもの）を用いても構わない。
【００５６】
【発明の効果】
本願発明によって、正確な設計データや特別のジグを用いずにロボット座標系とセンサ座標系を結合することが出来るようになった。また、一旦座標系結合を行なったロボットの稼働中に干渉等によってセンサ座標系の位置に狂いが生じても、簡単にセンサ座標系とロボット座標系の再結合を実行することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の方法が実施されるロボット−センサシステムの構成の概要を例示した要部ブロック図である。
【図２】図１に示した構成と機能を有するロボット−センサシステムを小型ロボットの組み立て作業に利用するケースを例にとり、本願発明の方法を適用してセンサ座標系とロボット座標系の関係を求めるプロセスを説明する為の全体配置である。小型ロボットの組み立て作業における位置ずれ補正に本願発明の方法を適用する場合の全体配置を表わした模式図である。
【図３】本実施例におけるセンサ座標系とロボット座標系の結合のプロセスの概要を説明する為のフローチャートである。
【符号の説明】
１  ロボットコントローラ
２  画像処理装置
３  センサ部コントローラ
４  被計測対象物
５  機構部
６  組み付け部品
１０  センサ部
１１  投光器
１２  ＣＣＤカメラ
２０  ロボット
２１〜２３  ロボットアーム
５０  ベース
５１  回転軸
５２  アーム
５３  取り付け面
５４  穴
Ｈ  ハンド
Ｒ0 ，Ｒ1 ，Ｒ2   計測位置
Ｔ  ツール先端点
【図１】
0003644991.tif 000005
【図２】
0003644991.tif 000006
【図３】
0003644991.tif 000007