(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＯＶＤ法により、ガラス微粒子を光ファイバ用のコアロッドを含む出発ガラスロッドの外周に順次堆積させてスート層を形成し、この後透明ガラス化するガラス母材の製造方法であって、前記ガラス微粒子の堆積に先立って、予め前記コアロッドの長手方向の外径変動分布を測定し、測定された前記外径変動分布に基づいてＪ倍率（ガラス母材外径／出発ガラスロッド外径）が長手方向で目標Ｊ倍率となるように、前記ガラス微粒子の堆積量を長手方向で調整することを特徴とするガラス母材の製造方法。
【請求項２】
前記ガラス微粒子の堆積量を、ガラス原料ガスの供給量を長手方向で変えることにより調整することを特徴とする請求項１に記載のガラス母材の製造方法。
【請求項３】
前記ガラス原料ガスの供給量を変えることに合わせて、酸水素ガスの供給量を変えることを特徴とする請求項２に記載のガラス母材の製造方法。
【請求項４】
前記ガラス微粒子の堆積量を、ガラス微粒子生成用バーナと前記出発ガラスロッドの長手方向における相対移動速度を変えることにより調整することを特徴とする請求項１に記載のガラス母材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、出発ガラスロッド上にガラス微粒子を堆積させてスート層を形成し、このスート層を透明ガラス化したガラス母材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
円柱状ガラス母材の製造で、出発ガラスロッドを回転させながらその外周にガラス微粒子を堆積させて、スートプリフォームを形成する方法（外付け気相蒸着法：ＯＶＤ法）が知られている。この方法は、例えば、出発ガラスロッド上に、反応容器内でＳｉＣｌ４などのガラス原料ガスを、Ｈ２およびＯ２などの燃料ガスとともにバーナから吹き付ける。ガラス原料ガスは、燃料ガスの火炎中で加水分解反応によりガラス微粒子を生成する。生成されたガラス微粒子は、出発ガラスロッド上に堆積して、多孔質ガラスのスート層を形成する。以上のようにして製造されたスートプリフォームは、この後、脱水、焼結されて所定の外径を有するガラス母材とされる。
【０００３】
通常、所定量のガラス微粒子を堆積させたスートプリフォームを得る方法として、出発ガラスロッドを反応容器内で回転させながら、バーナに対して長手方向に相対的に多数回トラバースさせて、ガラス微粒子の堆積を繰り返す方法が知られている。そして、ガラス微粒子の堆積重量の検出、制御は、堆積されたスート層の外径または重量をモニタすることにより行なわれている。
【０００４】
光ファイバ用のガラス母材の製造では、出発ガラスロッドとしてコアガラスまたはコア／クラッドガラス（以下、コアロッドという）が用いられ、Ｊ倍率（＝透明化後のガラス母材外径／出発ガラスロッド外径）が所定値になるように製造管理される。ガラス母材の製造管理をＪ倍率で行なう場合、出発ガラスロッドの外径および長さからガラス微粒子の堆積重量を算定する。しかし、用いられる出発ガラスロッドは、常に同一外径、同一長さのものであるとは限らず、出発ガラスロッドの製造上の外径誤差や長手方向での不均一等がある。
【０００５】
また、コアロッドがコア／クラッドガラスである場合、長手方向でコア／クラッド比が一定になっているとは限らず、変動している場合がある。この場合、コアロッドにガラス微粒子を均一に堆積し透明ガラス化しても、長手方向でコア／クラッド比が一定なガラス母材を得ることはできない。この問題を解決する方法として、例えば、特開平４−２９２４３４号公報が知られている。
【０００６】
上記公報に開示されている方法は、光ファイバ用ガラス母材の製造方法で、ガラス微粒子の堆積に先立って、予め出発ガラスロッド（コアロッド）の長手方向のコア／クラッド比を測定しておく。そして、コア／クラッド比の長手方向の変動に対応させて、出発ガラスロッドのトラバース速度、または、バーナからのガラス原料ガス供給量を制御し、ガラス微粒子の堆積重量を長手方向で調整する。これにより、最終的に得られるガラス母材のコア／クラッド比を長手方向で一定にすることができるとされている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
光ファイバ用のガラス母材を作製する場合、出発ガラスロッドは、コアガラスまたはコア／クラッドガラスから成るコアロッドの両端にダミーロッドを溶着したものが用いられる。コアロッドにダミーロッドを加熱溶着する場合、コアロッドの溶着部およびその近傍は外径が変動しやすい。これによる外径変動は、溶着条件や作業者の熟練度により異なり、過去に作製したガラス母材のＪ倍率データを参考にすることができない。
【０００８】
コアロッドの両端部において外径変動が生じると、外径の違いによりガラス微粒子の堆積量が長手方向で変化し、最終的に得られるガラス母材のＪ倍率が長手方向で変わる。また、当然ながらコア／クラッド比も長手方向で一定とはならない。
【０００９】
本発明は、上述した実情に鑑みてなされたもので、光ファイバ用のガラス母材を作製する場合に、出発ガラスロッドの外径が長手方向で変動していても、ガラス母材のＪ倍率を長手方向に高精度で一定とすることができるガラス母材の製造方法を提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明によるガラス母材の製造方法は、ＯＶＤ法により、ガラス微粒子を光ファイバ用のコアロッドを含む出発ガラスロッドの外周に順次堆積させてスート層を形成し、この後透明ガラス化するガラス母材の製造方法であって、ガラス微粒子の堆積に先立って、予めコアロッドの長手方向の外径変動分布を測定し、測定された前記外径変動分布に基づいてＪ倍率（ガラス母材外径／出発ガラスロッド外径）が長手方向で目標Ｊ倍率となるようにガラス微粒子の堆積量を長手方向で調整することを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施に際しては、ＯＶＤ法により、ガラス微粒子を出発ガラスロッドの外周に堆積させてスート層を形成した後、このスート層を脱水・燒結して透明ガラス化してガラス母材とする製造方法で、ガラス母材のＪ倍率を所定値に合わせる。ガラス母材のＪ倍率とは、透明ガラス化されたガラス母材外径／出発ガラスロッド外径で定義される。このＪ倍率を高精度に管理することにより、ガラス母材の品質を均一にする。
【００１２】
出発ガラスロッドには、コアガラスまたはコアガラスの外側にクラッドガラスを有する円柱状ガラス（以下、コアロッドという）の両端に、ダミーロッドを溶着したものが用いられる。コアロッドのコアガラスは、屈折率を高めるためのドーパント剤が添加され、また、コア部の屈折率形状（コア部径方向における屈折率分布）が所定の形状になるようにされている。
【００１３】
コアロッドにダミーロッドを加熱溶着する場合、溶着条件や作業者の熟練度により、コアロッドの溶着部およびその近傍は外径が変動することがある。また、これ以外に、コアロッドの製造上のバラツキ等による外径変動が生じている場合もある。このような場合、新たに作製するガラス母材の出発ガラスロッドの長手方向の外径変動分布を直接測定して、この外径変動分布に伴うＪ倍率を予想して、ガラス微粒子の堆積を行なう必要がある。
【００１４】
したがって、本発明では、ガラス微粒子の堆積に先立って、先ず、出発ガラスロッドのコアロッドの複数点で外径を測定する。この測定により、コアロッドの長手方向の外径変動分布を得ることができる。測定された複数点での外径変動分布に基づいて、ガラス母材の長手方向のＪ倍率が一定で、目標Ｊ倍率となるようにガラス微粒子の堆積量を調整する。
【００１５】
図１は、本発明の実施に用いる堆積装置の概略図を示す。図中、１は出発ガラスロッド、１ａはコアロッド、１ｂはダミーロッド、２は支持棒、２ａはピン連結部、３はスート層、４は反応容器、５は駆動装置、６はバーナ、７は縦長観測窓、８は温度測定器、９は観測小窓、１０は距離測定器、１１はスート位置計測装置、１２はガス供給装置を示す。
【００１６】
出発ガラスロッド１は、一方の端部をピン連結部２ａで支持棒２に連結して駆動装置５に支持され、反応容器４内に吊下げられる。出発ガラスロッド１は、コアロッド１ａの両端にダミーロッド１ｂを溶着により取付けた形態のものが用いられる。
【００１７】
反応容器４は、縦型構造で構成され、上方部に駆動装置５が配される。駆動装置５は、出発ガラスロッド１を吊下げ支持し、回転させながら上下方向に往復移動させる。また、駆動装置５内にはロードセルも組み込まれ、ガラス微粒子の堆積重量を逐次計測できるようになっている。反応容器４内には、１つ以上のバーナ６が配される。このバーナ６から供給される火炎ガスとガラス原料ガスにより、出発ガラスロッド１の外周にガラス微粒子を堆積させてスート層３を生成させる。バーナ６には、ガス供給装置１２により、所定の火炎ガスおよびガラス原料ガスが調整可能に供給される。
【００１８】
反応容器４の器壁には、縦長の観測窓７を設け、ガラス微粒子が堆積されたスート層表面を観察できるようにされている。また、この観測窓を通して温度測定器８によりガラス微粒子の堆積面温度、距離測定器１０等によりスート層外面までの距離を測定できるように構成する。なお、距離測定器１０用には、縦長観測窓７に代えてバーナ６の下方および上方位置に円形または矩形の観測小窓９を設けるようにしてもよい。出発ガラスロッド１を回転させながら移動させる駆動装置５の情報を、スート位置計測装置１１に入力して、スート層３の長手方向の位置を計測することができる。
【００１９】
ガラス微粒子の堆積重量の調整は、ガラス原料ガスの供給量を長手方向で変えることにより行なうことができる。ガラス原料ガスの調整は、基準量に対して原料ガス供給を補正する形態で行なう。基準量には、例えば、長手方向で調整しない場合のガラス原料ガス流量を用いることができる。長手方向の特定の位置でコアロッド外径が小さくなっていて、基準量のガラス原料ガスの供給量では、目標Ｊ倍率より大きくなると予想される場合は、その位置でのガラス原料ガスの供給を基準量より少なくする。反対に長手方向の特定の位置でコアロッド外径が大きくなっていて、基準量のガラス原料ガスの供給量では、目標Ｊ倍率より小さくなると予想される場合は、その位置でのガラス原料ガスの供給を基準量より多くする。
【００２０】
また、ガラス原料ガスの増減に合わせて、燃焼用の酸水素ガスの供給も調整するのが望ましい。これによりガラス微粒子の生成堆積を適正に維持し、堆積されたスート層の嵩密度の変動が生じないようにする。なお、ガスの供給量制御は、ガス供給装置１２と制御装置（図示せず）により行なわれる。
【００２１】
ガラス微粒子の堆積重量の調整は、ガラス微粒子生成用バーナに対して、出発ガラスロッドを相対移動させる速度を、長手方向で変えることによっても行なうことができる。移動速度の調整は、基準速度に対して速くするか遅くする形態で行なう。基準速度には、例えば、長手方向で調整しない場合の移動速度を用いることができる。長手方向の特定の位置でコアロッド外径が小さくなっていて、基準速度の移動速度では、目標Ｊ倍率より大きくなると予想される場合は、その位置での移動速度を基準速度より速くする。反対に長手方向の特定の位置でコアロッド外径が大きくなっていて、基準速度の移動速度では、目標Ｊ倍率より小さくなると予想される場合は、その位置で移動速度を基準速度より遅くする。
【００２２】
（実施例）
図２，図３は、本発明の実施例を説明する図で、横軸にコアロッドの長手方向位置（コアロッドの下端をゼロとする）、縦軸にガラス原料ガス補正量（図２）、測定したＪ倍率（図３）をとったものである。ガラス母材の作製に際して、ガラス微粒子の堆積を図１に示す構成の装置を用いて行った。出発ガラスロッド１として、光ファイバ用のコア部／クラッド部を有する直径３０ｍｍ、長さ４００ｍｍのコアロッド１ａの両端に、純石英ガラス製のダミーロッド１ｂを溶着したものを準備した。コアロッドは、長手方向に４０ｍｍ間隔で全９箇所を、非接触の外径測定器を用いて測定した。
【００２３】
外径測定の結果、コアロッド下端から４０ｍｍでφ３０.６ｍｍ、８０ｍｍでφ３０.３ｍｍ、１２０ｍｍでφ３０.０ｍｍ、１６０ｍｍでφ３０.０ｍｍ、２００ｍｍでφ３０.０ｍｍ、２４０ｍｍでφ３０.０ｍｍ、２８０ｍｍでφ３０.０ｍｍ、３２０ｍｍでφ２９.７ｍｍ、３６０ｍｍでφ２９.４ｍｍであった。測定されたコアロッドの外径変動分布に対して、作製されるガラス母材の全長のＪ倍率が均一で、目標Ｊ倍率３.０が得られるように長手方向のガラス微粒子の堆積量を調整した。ガラス微粒子の堆積量の調整には、ガラス原料ガス流量を調整して行ない、このための目標ガラス原料ガス流量を設定した。
【００２４】
目標ガラス原料ガス流量は、基準量（長手方向で調整しないときのガラス原料ガス流量）を、図３に示す補正量で補正（基準量×補正量）した値を用いた。補正量は、コアロッドの平均外径を「１」としたときの外径をＥとし、｛（Ｅ−１）／３＋１｝で表したものである。
【００２５】
上述した方法で、ガラス微粒子の堆積を行ない、作製されたガラス母材のＪ倍率を測定したところ、図３に示す結果が得られた。Ｊ倍率は、目標Ｊ倍率３.０に対して、コアロッドの上下端の近傍で±０.３３％のバラツキが生じただけであった。
【００２６】
（比較例）
図４は比較例を説明する図で、横軸にコアロッドの長手方向位置（コアロッドの下端をゼロとする）、縦軸に測定したＪ倍率をとったものである。比較例として、実施例と同様な外径を長手方向に有するコアロッドから成る出発ガラスロッドを用いてガラス微粒子の堆積を行なった。しかし、ガラス微粒子の堆積量の調整は行なわず、長手方向で均一に堆積させた。これによって作製されたガラス母材のＪ倍率を長手方向で測定した結果、図４に示すようにＪ倍率のバラツキは、コアロッドの上下端の近傍で±０.６７％となった。
【００２７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、コアロッドの長手方向で外径変動があっても、ガラス微粒子の堆積を長手方向で調整することにより、ガラス母材のＪ倍率をほぼ一定とすることができる。また、ガラス微粒子の堆積の調整は、ガラス原料ガスの供給量、または、出発ガラスロッドの相対移動速度を変えることにより高精度で容易に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガラス微粒子の堆積に用いる堆積装置の一例を示す図である。
【図２】本発明の実施例における補正量と長手方向位置を示す図である。
【図３】本発明の実施例における測定Ｊ倍率と長手方向位置を示す図である。
【図４】比較例における測定Ｊ倍率と長手方向位置を示す図である。
【符号の説明】
１…出発ガラスロッド、１ａ…コアロッド、１ｂ…ダミーロッド、２…支持棒、２ａ…ピン連結部、３…スート層、４…反応容器、５…駆動装置、６…バーナ、７…縦長観測窓、８…温度測定器、９…観測小窓、１０…距離測定器、１１…スート位置計測装置、１２…ガス供給装置。
【図１】
0003687625.tif 000002
【図２】
0003687625.tif 000003
【図３】
0003687625.tif 000004
【図４】
0003687625.tif 000005