(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の各工程からなるニオブおよび／またはタンタルの粉末の製造法；
（１）ニオブおよび／またはタンタルの酸化物をアルカリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から選ばれた１種以上で還元して、（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏｘ、但し式中ｘ＝０．０６〜０．３５、で表される低級酸化物粉末を得る第１段階還元工程、
（２）第１段階還元工程で生成したアルカリ金属および／またはアルカリ土類金属の酸化物を除去する工程、
（３）第１段階還元工程で得られた低級酸化物粉末をアルカリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から選ばれた１種以上の融液を用いて４００〜１２００℃の温度範囲で還元して、ニオブおよび／またはタンタルの粉末を得る第２段階還元工程。
【請求項２】
第１段階還元工程で得られた低級酸化物粉末をアルカリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から選ばれた１種以上で還元する際、アルカリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から選ばれた１種以上の混合量を、低級酸化物粉末の中の残留酸素除去に必要な化学量論に対して０．５〜１．５当量に調整して、アルカリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から選ばれた１種以上の残留量を２００ｐｐｍ以下にする請求項１に記載のニオブおよび／またはタンタルの粉末の製造法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の製造法で得られ、１次粒子が０．１〜１．０μｍの粒子径で均一に分布し、ｐｐｍで表した酸素量とｍ２／ｇで表したＢＥＴ比表面積との比が３１００以下であるニオブおよび／またはタンタルの粉末。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電解キャパシタ材料として好適なニオブやタンタルの粉末及びその製造法に関し、特にアルカリ金属やアルカリ土類金属でニオブやタンタルの酸化物を還元する製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ナトリウムやカリウムなどのアルカリ金属やマグネシウムやカルシウムなどのアルカリ土類金属でニオブやタンタルのフッ化物や酸化物を還元して、１．０μｍの粒子径で均一に分布し、ＢＥＴ比表面積が５ｍ２／ｇを超える微細なニオブやタンタル粉末が得られている。
【０００３】
ニオブやタンタルの粉末を電解キャパシタ材料として使用する場合、微細なほど、即ち比表面積が大きいほど、容量が大きくなる。
【０００４】
しかし、ニオブは酸化しやすく、またその酸化物が安定なため、粉末が微細なほど、表面酸化により、酸素量が増大する。
【０００５】
また、アルカリ金属やアルカリ土類金属を還元剤とする反応は発熱反応で、１次粒子が０．１〜１．０μｍの粒子径にある微粉末を得ようとすると、還元プロセス中の熱的不均一のために、０．０１μｍのオーダーの極微粒子が生成される。このような極微粒子が存在すると、電解キャパシタの焼結の均一性が失われるという問題があった。
【０００６】
さらに、還元剤であるアルカリ金属やアルカリ土類金属がニオブやタンタルの中に固溶・残留し、電解キャパシタの容量や電気的特性に悪影響を及ぼすという問題があった。即ち、通常の操業で、還元反応には理論当量より過剰の還元剤を用いるので、還元剤の一部がニオブやタンタルに固溶する。アルカリ金属やアルカリ土類金属に対するニオブ・タンタルの固溶限は小さいが、それでも２００〜４００ｐｐｍ程度は固溶して残留する。従って、従来は、還元剤であるアルカリ金属やアルカリ土類金属を２００ｐｐｍ以下に低減することは困難であった。
【０００７】
一方、アルカリ金属やアルカリ土類金属によるニオブやタンタルの酸化物の還元は、発熱的に進行し、アルカリ金属やアルカリ土類金属をニオブやタンタルの酸化物に直接接触させるので、その制御が困難になるほどであった。
【０００８】
特開２０００−１１９７１０号公報では、発熱量を抑制するために、アルカリ土類金属や希土類金属による還元を２段階で行い、第１段階の反応で、（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏｘ、但し式中ｘ＝０．５〜１．５、で表される低級酸化物粉末を得ている。そして、第１段階の還元生成物から還元剤の酸化物を除去してから、第２段階の還元を行っている。しかしこの場合、第２段階の還元反応が制御困難で、得られる粉末の比表面積が小さくなったり、アルカリ金属やアルカリ土類金属の残留量が多くなるという問題があった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、電解キャパシタ用として好適なニオブおよび／またはタンタル粉末およびその製造法を提供することである。
【００１０】
特に、本発明の目的は、アルカリ金属やアルカリ土類金属によるニオブおよび／またはタンタル酸化物の還元を２段階で行うに際し、得られる粉末の比表面積を大きくし、比表面積あたりの酸素含有量、及びアルカリ金属やアルカリ土類金属の残留量を少なくする製造法を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明のニオブおよび／またはタンタルの粉末の製造法は次の各工程からなる。
【００１２】
（１）ニオブおよび／またはタンタルの酸化物をアルカリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から選ばれた１種以上で還元して、（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏｘ、但し式中ｘ＝０．０６〜０．３５、で表される低級酸化物粉末を得る第１段階還元工程、
（２）第１段階還元工程で生成したアルカリ金属および／またはアルカリ土類金属の酸化物を除去する工程、
（３）第１段階還元工程で得られた低級酸化物粉末をアルカリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から選ばれた１種以上の融液を用いて４００〜１２００℃の温度範囲で還元して、ニオブおよび／またはタンタル粉末を得る第２段階還元工程。
【００１３】
第１段階還元工程で得られた低級酸化物粉末を、第２段階還元工程において、アルカリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から選ばれた１種以上で還元する際、アルカリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から選ばれた１種以上の混合量を、低級酸化物粉末の中の残留酸素除去に必要な化学量論に対して０．５〜１．５当量に調整して、アルカリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から選ばれた１種以上の残留量を２００ｐｐｍ以下にするのが好ましい。第２段階還元工程において、４００〜１２００℃の温度範囲で反応を行うことも、前記残留量の低下に効果がある。
【００１４】
第２段階還元工程において、前記低級酸化物粉末をアルカリ金属およびアルカリ土類金属からなる群から選ばれた１種以上の融液と接触させることにより、一次粒子の調整が脱酸素と同時に行われるので、本発明のニオブおよび／またはタンタル粉末は、一次粒子が０．１〜１．０μｍの粒子径で均一に分布し、ｐｐｍで表した酸素量とｍ２／ｇで表したＢＥＴ比表面積との比が３１００以下である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明においては、ニオブおよび／またはタンタルの酸化物をアルカリ金属やアルカリ土類金属で還元してニオブおよび／またはタンタルの粉末を得るに際し、還元を２段階に分けて行い、第１段階で、（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏｘ、ただし式中ｘ＝０．０６〜０．３５、で表される低級酸化物粉末を得るまで行い、第１段階の還元反応で生成したアルカリ金属やアルカリ土類金属の酸化物を除去し、第１段階還元工程で得られた低級酸化物粉末をアルカリ金属やアルカリ土類金属の融液で第２段階の還元を行い、ニオブおよび／またはタンタルの粉末を得る。この場合、第１段の反応を制御するために、原料の逐次投入や、蒸気を用いることができる。また、これらの方法を用い、さらに多段に分解することを排除しない。前記ｘの値が０．０６未満では、一部では還元が進行し、還元剤であるアルカリ金属やアルカリ土類金属がニオブやタンタルの中に拡散してしまい、不純物として残留してしまう。０．３５を超えると、酸素量過剰で、第２段階工程時に、発熱・粒子の粗大化が生じる。
【００１６】
第２段階還元工程で、還元剤であるアルカリ金属やアルカリ土類金属の融液の存在により、ニオブやタンタルの表面拡散が阻害されるために、粒子の結合に際して比表面積の減少が抑制される。また、還元剤であるアルカリ金属やアルカリ土類金属の融液が、濡れ性良く、毛細管現象により、微細なニオブやタンタルの粉末中に均一に浸透できる。この結果、０．０１μｍのオーダの極めて微細な粒子の発生が抑制され、一次粒子が０．１〜１．０μｍの粒子径で均一に分布した微細粉末が得られる。
【００１７】
第１段階還元工程で得られた低級酸化物粉末をアルカリ金属やアルカリ土類金属で還元する際、アルカリ金属やアルカリ土類金属の混合量を、低級酸化物粉末の中の残留酸素除去に必要な化学量論に対して０．５〜１．５当量に調整することで、アルカリ金属やアルカリ土類金属の残留量を２００ｐｐｍ以下にすることができる。これは、ニオブやタンタルと接触したアルカリ金属やアルカリ土類金属の融液が、ニオブやタンタルに接触したところで、残留酸素と反応して酸化物となるので、ニオブやタンタルの中へ固溶することが困難になるためであると考えられる。０．５当量未満では、還元不十分で、酸素量が多くなり、１．５当量を超えると、還元剤であるアルカリ金属やアルカリ土類金属の残留が多くなってしまう。
【００１８】
また、アルカリ金属やアルカリ土類金属の混合量を、低級酸化物粉末の中の残留酸素除去に必要な化学量論に対して０．５〜１．５当量と不足気味にしているにもかかわらず、酸素量が７０００ｐｐｍ以下で、ｍ２／ｇで表したＢＥＴ比表面積が０．６以上で、且つ酸素量とＢＥＴ比表面積の比が３１００以下になる。これは、還元剤であるアルカリ金属やアルカリ土類金属の融液が、濡れ性良く、毛細管現象により、微細なニオブやタンタルの粉末中に均一に浸透するからであると考えられる。
【００１９】
原料となるニオブおよび／またはタンタルの酸化物は、特に限定されるものではなく、五酸化ニオブ、五酸化タンタル、あるいはその混合物が好ましい。また、還元剤であるアルカリ金属やアルカリ土類金属は、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウムが好ましい。
【００２０】
第１段階還元工程では、アルカリ金属やアルカリ土類金属をニオブやタンタルの酸化物から分離して配置し、アルカリ金属やアルカリ土類金属を蒸気の形でニオブやタンタルの酸化物に接触させる。これにより、還元段階における反応速度を穏やかにし、時間あたりの発熱量を抑制できる。還元速度は、アルカリ金属やアルカリ土類金属の蒸気圧、従って加熱温度によって制御できる。第１段目の加熱温度は６００〜１４００℃で、加熱時間は粒子の大きさによるが、１〜８時間とするのが好ましい。
【００２１】
たとえば、マグネシウムの場合、加熱温度を８００℃以上にするのが好ましい。加熱温度が８００℃未満であると、揮発に伴う吸熱のために、マグネシウムの蒸発が十分に進まない。他のアルカリ金属やアルカリ土類金属についても単位時間あたりの発熱量や還元終了までの時間で、加熱温度を選定すればよい。
【００２２】
還元により得られる低級酸化物粉末は、１４００℃を超える温度では、燒結して粗大化するので、還元温度を１４００℃以下にするのが好ましい。逆に、６００℃未満であると、充分な反応が得られない。還元反応は８時間以内にすでに終了するので、これ以上に長時間保持する必要はない。高温で長時間保持すると、粒子の粗大化が生じる可能性がある。１時間より短いと、還元反応が不十分である可能性がある。
【００２３】
また、還元をアルゴン、窒素のような不活性ガス雰囲気の中で行うことにより、均一で安定した還元反応を進めることができる。
【００２４】
第２段階還元工程は、低級酸化物粉末と所定の還元金属の融液と混合して行う点が第１段の還元と異なる。還元金属の融液の存在により、ニオブおよび／またはタンタルの表面拡散が阻害されて、比表面積の減少を抑制できる。また、第２段の還元は第１段と同じか低い温度で、４００〜１２００℃の範囲で、加熱時間は１〜４時間が望ましい。一般に、温度とともにニオブやタンタル中の不純物元素の固溶限が拡大し、また、拡散も速くなる。蒸気還元のように温度が高い場合、還元が十分に行われ、過剰の還元金属蒸気が存在すると還元金属の溶解度が大きくなり、還元金属の残留量が増加してしまう。そこで、第２段の還元は第１段と同じか低い温度で、具体的には４００〜１２００℃の温度範囲内で、所定量の還元剤で完全な還元を行うために混合法を用いる必要がある。
【００２５】
第１段階で、ニオブ・タンタル酸化物をアルカリ金属やアルカリ土類金属で、（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏｘ、但し式中ｘ＝０．０６〜０．３５、で表される低級酸化物粉末にまで還元するが、その還元終了の判定は還元物の質量変化測定で行う。
【００２６】
第１段階還元工程で生成したアルカリ金属および／またはアルカリ土類金属の酸化物を除去するには，酸による浸出で行う。
【００２７】
第１段階還元工程で得られた低級酸化物粉末をアルカリ金属やアルカリ土類金属で還元して、ニオブやタンタルの粉末を得る第２段階還元工程では、還元剤に融液を使用すること、および低温で所定量の還元剤で完全な還元を行うことに留意する。
【００２８】
平均粒径の測定はマイクロトラックなどのレーザ回折法で行い、含有酸素量の測定は赤外線吸収方式などの酸素分析計、比表面積はＩＳＯ９２７７などに基づく方法で行うことができる。
【００２９】
【実施例】
以下に、実施例および比較例を説明する（表１参照）。
【００３０】
（実施例１）
図１に示す縦型電気炉１内に、円筒形のニオブ製反応容器２を配置し、該反応容器２の底部に還元金属３用にニオブ製バケット４を置き、その上方に該バケット４から十分に隔てて、原料酸化物５用ニオブ製トレイ６を置いた。
【００３１】
原料には五酸化ニオブ粉末（平均粒径３．５μｍ）を５００ｇ挿入し、還元金属３には、マグネシウム（宇部興産（株）製、純度９９．９７％、塊状）を酸化物粉末に対して１．１モル当量使用した。
【００３２】
ニオブ製反応容器２に蓋２ａをして、該蓋２ａに設けたガス供給孔からアルゴンガスを１００ｍｌ／ｍｉｎの割合で供給しつつ、電気炉１の発熱体１ａにより反応容器２内を１０００℃の温度に保持して、６時間反応させた。冷却後、トレイ６内の低級酸化物粉末を取り出して、１規定の塩酸に浸漬してマグネシウム酸化物を溶解除去し、さらに水洗及び乾燥を行った。得られた低級酸化物粉末は、ＮｂＯ０．２の組成で、３６０ｇであった。
【００３３】
低級酸化物粉末をそのまま前記ニオブ製反応容器２のトレイ６に挿入し、マグネシウム（関東化学社製、切削片状、純度９９％以上）を０．９モル当量、トレイ６内の低級酸化物粉末に添加混合し、８００℃、２時間保持して融解反応させた。
【００３４】
すなわち、ニオブ製反応容器２に蓋２ａをして、該蓋２ａに設けたガス供給孔からアルゴンガスを１００ｍｌ／ｍｉｎの割合で供給しつつ、電気炉１の発熱体１ａにより反応容器２内を８００℃の温度に保持して、２時間反応させた。冷却後、トレイ６内の粉末を取り出して、１規定の塩酸に浸漬してマグネシウム酸化物を溶解除去し、さらに水洗及び乾燥を行った。該粉末は、純粋なニオブ粉末で、そのＢＥＴ比表面積を測定するとともに、平均粒径および含有酸素の量を測定したところ、それぞれ、ＢＥＴ１．６ｍ２／ｇ、平均粒径０．６μｍ、酸素量４８００ｐｐｍ、マグネシウム量１５０ｐｐｍであった。
【００３５】
（実施例２）
実施例１において、第１段階還元工程の反応時間（温度）を１１００℃にし、得られた低級酸化物粉末をそのまま前記ニオブ製トレイ６に挿入し、マグネシウム（関東化学社製、切削片状、純度９９％以上）を該低級酸化物粉末に対して０．８モル当量添加混合した。酸化物粉末は、ＮｂＯ０．３の組成で、３６５ｇであった。
【００３６】
第２段階還元工程で、ニオブ製反応容器２に蓋２ａをして、該蓋２ａに設けたガス供給孔からアルゴンガスを１００ｍｌ／ｍｉｎの割合で供給しつつ、電気炉１の発熱体１ａにより反応容器２内を７５０℃の温度に保持して、４時間融液反応させた。冷却後、トレイ６内の粉末を取り出して、１規定の塩酸に浸漬してマグネシウム酸化物を溶解除去し、さらに水洗及び乾燥を行った。該粉末は、純粋なニオブ粉末で、そのＢＥＴ比表面積を測定するとともに、平均粒径および含有酸素の量を測定したところ、それぞれＢＥＴ２．０ｍ２／ｇ、平均粒径０．５μｍ、酸素量５７００ｐｐｍ、マグネシウム量１３０ｐｐｍであった。
【００３７】
（実施例３）
図１に示す縦型電気炉１内に、円筒形のニオブ製反応容器２を配置し、該反応容器２の底部に還元金属３用ニオブ製バケット４を置き、その上方に該バケット４から十分に隔てて、原料酸化物５用ニオブ製トレイ６を置いた。
【００３８】
原料には五酸化タンタル粉末（平均粒径２．４μｍ）を５００ｇ挿入し、還元金属３には、マグネシウム（宇部興産社製、塊状、純度９９．９７％以上）を酸化物粉末に対して１．０モル当量使用した。
【００３９】
ニオブ製反応容器２に蓋２ａをして、該蓋２ａに設けたガス供給孔からアルゴンガスを１００ｍｌ／ｍｉｎの割合で供給しつつ、電気炉１の発熱体１ａにより反応容器２内を１０００℃の温度に保持して、６時間反応させた。冷却後、トレイ６内の低級酸化物粉末を取り出して、１規定の塩酸に浸漬してマグネシウムの酸化物を溶解除去し、さらに水洗及び乾燥を行った。得られた低級酸化物粉末は、ＴａＯ０．２の組成で、３９２ｇであった。
【００４０】
低級酸化物粉末をそのまま前記ニオブ製反応容器２に挿入し、マグネシウム（関東化学社製、切削片状、純度９９％以上）を該低級酸化物粉末に対して０．８モル当量添加混合した。
【００４１】
ニオブ製反応容器２に蓋２ａをして、該蓋２ａに設けたガス供給孔からアルゴンガスを１００ｍｌ／ｍｉｎの割合で供給しつつ、電気炉１の発熱体１ａにより反応容器２内を８００℃の温度に保持して、２時間融液反応させた。冷却後、トレイ６内の粉末を取り出して、１規定の塩酸に浸漬してマグネシウムの酸化物を溶解除去し、さらに水洗及び乾燥を行った。該粉末は、純粋なタンタル粉末で、そのＢＥＴ比表面積を測定するとともに、平均粒径および含有酸素の量を測定したところ、それぞれ  ＢＥＴ３．２ｍ２／ｇ、平均粒径０．４μｍ、酸素量３０００ｐｐｍ、マグネシウム量１１０ｐｐｍであった。
【００４２】
（実施例４）
図１に示す縦型電気炉１内に、円筒形のニオブ製反応容器２を配置し、該反応容器２の底部に還元金属３用にニオブ製バケット４を置き、その上方に該バケット４から十分に隔てて、原料酸化物５用ニオブ製トレイ６を置いた。
【００４３】
原料には五酸化ニオブ粉末（平均粒径３．５μｍ）を５００ｇ挿入し、還元金属３には、マグネシウム（宇部興産社製、塊状、純度９９．９７％以上）を酸化物粉末に対して１．０モル当量使用した。
【００４４】
ニオブ製反応容器２に蓋２ａをして、該蓋２ａに設けたガス供給孔からアルゴンガスを１００ｍｌ／ｍｉｎの割合で供給しつつ、電気炉１の発熱体１ａにより反応容器２内を１０００℃の温度に保持して、４時間反応させた。冷却後、トレイ６内の低級酸化物粉末を取り出して、１規定の塩酸に浸漬してマグネシウムの酸化物を溶解除去し、さらに水洗及び乾燥を行った。得られた低級酸化物粉末は、ＴａＯ０．１５の組成で、３５５ｇであった。
【００４５】
低級酸化物粉末をそのまま前記ニオブ製トレイ６に挿入し、マグネシウム（関東化学社製、切削片状、純度９９％以上）を該低級酸化物粉末に対して０．９モル当量添加混合した。
【００４６】
ニオブ製反応容器２に蓋２ａをして、該蓋２ａに設けたガス供給孔からアルゴンガスを１００ｍｌ／ｍｉｎの割合で供給しつつ、電気炉１の発熱体１ａにより反応容器２内を８００℃の温度に保持して、２時間反応させた。冷却後、トレイ６内の粉末を取り出して、１規定の塩酸に浸漬してマグネシウムの酸化物を溶解除去し、さらに水洗及び乾燥を行った。該粉末は、純粋なニオブ粉末で、そのＢＥＴ比表面積を測定するとともに、平均粒径および含有酸素の量を測定したところ、それぞれ  ＢＥＴ１．９ｍ２／ｇ、平均粒径０．５μｍ、酸素量４３００ｐｐｍ、マグネシウム量１３０ｐｐｍであった。
【００４７】
（実施例５）
図１に示す縦型電気炉１内に、円筒形のニオブ製反応容器２を配置し、該反応容器２の底部に還元金属３用にニオブ製バケット４を置き、その上方に該バケット４から十分に隔てて、原料酸化物５用ニオブ製トレイ６を置いた。
【００４８】
原料には五酸化タンタル粉末（平均粒径２．４μｍ）を５００ｇ挿入し、還元金属３には、ナトリウム（関東化学社製、塊状、純度９９％以上）を酸化物粉末に対して１．０モル当量使用した。
【００４９】
ニオブ製反応容器２に蓋２ａをして、該蓋２ａに設けたガス供給孔からアルゴンガスを１００ｍｌ／ｍｉｎの割合で供給しつつ、電気炉１の発熱体１ａにより反応容器２内を８００℃の温度に保持して、６時間反応させた。冷却後、トレイ６内の低級酸化物粉末を取り出して、１規定の塩酸に浸漬してナトリウムの酸化物を溶解除去し、さらに水洗及び乾燥を行った。得られた低級酸化物粉末は、ＴａＯ０．２の組成で、３９２ｇであった。
【００５０】
低級酸化物粉末をそのまま前記ニオブ製トレイ６に挿入し、ナトリウム（関東化学社製、粒状、純度９８％以上）を該低級酸化物粉末に対して０．８モル当量添加混合した。
【００５１】
ニオブ製反応容器２に蓋２ａをして、該蓋２ａに設けたガス供給孔からアルゴンガスを１００ｍｌ／ｍｉｎの割合で供給しつつ、電気炉１の発熱体１ａにより反応容器２内を４００℃の温度に保持して、２時間融液反応させた。冷却後、トレイ６内の粉末を取り出して、１規定の塩酸に浸漬してナトリウムの酸化物を溶解除去し、さらに水洗及び乾燥を行った。該粉末は、純粋なタンタル粉末で、そのＢＥＴ比表面積を測定するとともに、平均粒径および含有酸素の量を測定したところ、それぞれ  ＢＥＴ１．０ｍ２／ｇ、平均粒径０．６μｍ、酸素量３０００ｐｐｍ、ナトリウム量４８ｐｐｍであった。
【００５２】
（比較例１）
実施例１において、第２段階還元工程におけるマグネシウム当量を１．７とし、１０５０℃で４時間還元を行った。得られた還元物を１規定の塩酸に浸漬して、マグネシウム酸化物を浸出し、さらに水洗および乾燥を行った。該粉末は純粋な金属ニオブであり、３４０ｇであった。そのＢＥＴ２．１ｍ２／ｇ、平均粒径０．８μｍ、酸素量５１００ｐｐｍ、マグネシウム量３７０ｐｐｍであった。
【００５３】
（比較例２）
実施例１において、第１段階還元工程において、マグネシウム当量を０．８５とし、１０５０℃で４時間還元を行った。得られた還元物を１規定の塩酸に浸漬して、マグネシウム酸化物を浸出し、さらに水洗および乾燥を行った。該粉末の組成はＮｂＯ０．４であり、３７０ｇであった。第２段階還元工程において、マグネシウムを０．９当量添加混合し、８００℃で２時間融液反応させた。そのＢＥＴ０．６ｍ２／ｇ、平均粒径２．３μｍ、酸素量７３００ｐｐｍ、マグネシウム量５７０ｐｐｍであった。粉末は第２段階還元時の発熱量が大きく、粒子が粗大化するとともに、局所的な発熱によって、マグネシウムが粉末中に混入したと考えられる。
【００５４】
（比較例３）
実施例１において、第１段階間還元工程におけるマグネシウム当量を０．９５とし、１０５０℃で４時間還元を行った。得られた還元物を１規定の塩酸に浸漬して、マグネシウム酸化物を浸出し、さらに水洗および乾燥を行った。該粉末の組成はＮｂＯ０．２５であり、３５５ｇであった。第２段階還元工程では、前記低級酸化物にマグネシウムを０．３当量添加混合し、８００℃で２時間反応させた。そのＢＥＴ１．８ｍ２／ｇ、平均粒径０．５μｍ、酸素量２９０００ｐｐｍ、マグネシウム量６７ｐｐｍであった。
【００５５】
（比較例４）
実施例１において、第１段階還元工程におけるマグネシウム当量を０．９５とし、１０５０℃で４時間還元を行った。得られた還元物を１規定の塩酸に浸漬して、マグネシウム酸化物を浸出し、さらに水洗および乾燥を行った。該粉末の組成はＮｂＯ０．２５であり、３５５ｇであった。第２段階還元工程において、前記低級酸化物にマグネシウムを２．０当量添加混合し、８００℃で２時間反応させた。そのＢＥＴ１．６ｍ２／ｇ、平均粒径０．６μｍ、酸素量５３００ｐｐｍ、マグネシウム量３７０ｐｐｍであった。
【００５６】
【表１】
0003610942.tif 000002
【００５７】
【発明の効果】
本発明は、アルカリ金属やアルカリ土類金属により、ニオブやタンタルの酸化物を還元する方法において、還元剤の量を制御することによって、酸素および還元金属残留量の少ない電解キャパシタ用として好適なニオブやタンタルの微細粉末を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の製造法を実施するための装置の具体例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１  電気炉
１ａ  発熱体
２  ニオブ製反応容器
３  還元金属
４  ニオブ製バケット
５  酸化物粉末
６  ニオブ製トレイ
【図１】
0003610942.tif 000003