(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状のタンクと、多数の円弧状の第１の単位電極の周方向の両端を同じ方向に向け、かつそれぞれの円弧の中心軸線を前記タンクの中心軸線と一致させた状態で前記タンク内に整列配置してなる第１の単位電極列と周方向の両端を前記第１の単位電極と反対の方向に向けた多数の円弧状の第２の単位電極をそれぞれの円弧の中心軸線を前記タンクの中心軸線と一致させた状態で前記タンク内に整列配置してなる第２の単位電極列とからなるシェンケル電極列と、軸線を前記タンクの中心軸線と一致させた状態で前記タンクの内側に配置されて、前記第１の単位電極列及び第２の単位電極列にそれぞれ対向させられたほぼ半円筒状の第１及び第２の交流高周波電圧供給用電極と、前記シェンケル電極列の高電位側の端部に前記タンクと軸線を共有した状態で隣接配置された円筒状の高電圧ターミナルとを備えたシェンケル形直流高圧電源の前記高電圧ターミナルに対向するコンデンサピックアップ電極を備えて、前記コンデンサピックアップ電極と前記高電圧ターミナルとの間の静電容量を通して前記直流高圧電源の出力電圧を測定するシェンケル形直流高圧電源の電圧測定装置において、
前記コンデンサピックアップ電極は、前記第１及び第２の交流高周波電圧供給用電極と同一の径寸法を有して前記高電圧ターミナルと同心的に配置された円筒状の電極からなっていて、接地電位部に対して絶縁された状態で設けられていることを特徴とするシェンケル形直流高圧電源の電圧測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、イオンビームを加速する加速装置の電源として用いるのに好適なシェンケル形直流高圧電源の出力電圧を測定する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
イオン注入装置などのイオンビーム応用機器においては、イオンを加速するためにタンデム加速器やシングルエンド形加速器が用いられており、これらの加速器に加速電圧を与える直流高圧電源装置として、周知のシェンケル回路を用いた直流高圧電源装置が多く用いられている。
【０００３】
図４及び図５はシェンケル形直流高圧電源の要部の構成例を示し、図６はシェンケル回路の電気的な構成を示している。これらの図において、１は円筒状に形成されたタンク本体１Ａと該タンク本体の軸線方向の一端側に設けられた開口部を閉じるタンクベース（蓋）１Ｂとを備えたタンク、２はタンク１内に収納されたシェンケル回路である。
【０００４】
シェンケル回路２は、長手方向をタンク本体１Ａの軸線方向に向けた状態で該タンク本体内に平行に配置されてタンクベース１Ｂに片持ちで支持された対の絶縁板２００，２００と、絶縁板２００，２００に支持金具２１０を介して支持されたシェンケル電極列２０２と、シェンケル電極列２０２を間にして対向するように設けられた第１及び第２の交流高周波電圧供給用電極（以下ＲＦ電極ともいう。）２０３Ａ及び２０３Ｂと、絶縁板２００に支持されてシェンケル電極列２０２及びＲＦ電極２０３Ａ及び２０３Ｂとともにｎ倍電圧整流回路を構成する整流器２０４，２０４，…及び２０４´，２０４´，…（図６参照）と、図示しない高周波電源の出力を昇圧して得た電圧を第１のＲＦ電極２０３Ａと接地電位部との間及び第２のＲＦ電極２０３Ｂと接地電位部との間にそれぞれ印加する高周波コイル（図４には図示せず。）とを備えている。
【０００５】
シェンケル電極列２０２は、図５に示すように、周方向の両端を下方に向けたほぼ円弧状の多数の第１の単位電極２０１ａをそれぞれの軸線をタンク１の中心軸線と一致させた状態で整列配置してなる第１の単位電極列２０１Ａと、第１の単位電極と反対方向に向けた（周方向の両端を上方に向けた）円弧状の多数の第２の単位電極２０１ｂをそれぞれの軸線をタンク１の中心軸線と一致させた状態で多数個整列配置してなる第２の単位電極列２０１Ｂとからなっている。図示の例では、第１の単位電極２０１ａ及び第２の単位電極２０１ｂが軸線方向に位置をずらした状態で配置されている。
【０００６】
第１のＲＦ電極２０３Ａ及び第２のＲＦ電極２０３Ｂは、軸線をタンク１の中心軸線と一致させた状態で配置されてタンク本体１Ａの内周部に絶縁支持物３を介して支持されたほぼ円筒状の電極からなっていて、第１の単位電極列２０１Ａ及び第２の単位電極列２０１Ｂに対向させられている。
【０００７】
図６に示したように、整流器２０４は、第１の単位電極列２０１Ａの低電位側の一端からｎ番目（ｎ＝１，２，…）の単位電極２０１ａを第２の単位電極列２０１Ｂの低電位側の一端からｎ＋１番目の単位電極２０１ｂに接続するように設けられ、整流器２０４´は第２の単位電極列２０１Ｂの一端からｎ番目の単位電極を第１の単位電極列２０１Ａの一端からｎ＋１番目の単位電極に接続するように設けられている。
【０００８】
シェンケル電極列２０２の低電位側の最端部に位置する単位電極２０１ａ及び２０１ｂはリアクトル７（図６参照）を通して接地されている。
【０００９】
なおリアクトル７に代えて抵抗を用いる場合もあり、シェンケル電極列２０２の低電位側の最端部に位置する単位電極２０１ａ及び２０１ｂを直接接地する場合もある。
【００１０】
絶縁板２００の自由端付近には、高電位側の端子とシールドとを兼ねる円筒状の高電圧ターミナル２０５がタンクと軸線を共有した状態で配置され、この高電圧ターミナル２０５はシェンケル電極列２０２の高電位側の最端部の単位電極２０１ａ及び２０１ｂにリアクトル８を介して接続されている。
【００１１】
なおリアクトル８に代えて抵抗を用いる場合もあり、高電圧ターミナル２０５を、シェンケル電極列２０２の高電位側の最端部の単位電極２０１ａ及び２０１ｂに直接接続する場合もある。
【００１２】
図４において２０６は、高電位側の最端部の昇圧回路電極２０１と高電圧ターミナル２０５との間に形成される隙間の電位を、高電圧ターミナル２０５の電位と同じ電位に固定するために設けられたシールド板である。
【００１３】
タンク本体１Ａの側面には、該タンク本体の軸線方向に対して直角な方向に突出した分岐管部（図示せず。）が設けられていて、該分岐管部にタンデム加速器を収容した容器が接続されている。タンデム加速器はタンク本体１Ａの軸線方向に対して直角な方向に長く伸びるように設けられていて、該加速器５の中間部に設けられた高電位側の端子に高電圧ターミナル２０５が接続されている。
【００１４】
またタンク本体１Ａの側面に設けられた図示しない分岐管部に昇圧コイル容器が接続されて、該昇圧コイル容器内に昇圧コイル２０７（図６参照）が収納され、高周波電源６から昇圧コイル２０７を通して第１のＲＦ電極２０３Ａと接地電位部（タンク１）との間及び第２のＲＦ電極２０３Ｂと接地電位部との間にそれぞれ逆位相の電圧が印加されている。タンク１内にはＳＦ6 ガスが所定の圧力で封入されている。
【００１５】
シェンケル回路２は、高周波電源６の出力電圧を昇圧コイル２０７により昇圧して得た電圧でＲＦ電極２０３Ａ，２０３Ｂとシェンケル電極列２０２を構成する一連の単位電極２０１ａ，２０１ｂとの間にそれぞれ形成された浮遊静電容量を充電して高電圧を発生させる周知のものである。なおシェンケル回路の具体的構成は図６に示されたものに限られるものではなく、図６はその一例を示したものである。
【００１６】
図６において、Ｃ1 は第１のＲＦ電極２０３Ａ及び第２のＲＦ電極２０３Ｂのそれぞれと対地間の浮遊静電容量、Ｃ2 は第１のＲＦ電極２０３Ａと第１の単位電極２０１ａとの間、及び第２のＲＦ電極２０３Ｂと第２の単位電極２０１ｂとの間のそれぞれの浮遊静電容量、Ｃ3 は整流器２０４，２０４´が有する静電容量、Ｌは昇圧コイル２０７のインダクタンスである。
【００１７】
この例では、第１の単位電極列２０１Ａの低電位側の一端からｎ番目（ｎ＝１，２，…）の単位電極２０１ａを整流器２０４を通して第２の単位電極列２０１Ｂの低電位側の一端からｎ＋１番目の単位電極２０１ｂに接続し、第２の単位電極列２０１Ｂの一端からｎ番目の単位電極を第１の単位電極列２０１Ａの一端からｎ＋１番目の単位電極に整流器２０４´を通して接続することにより、シェンケル電極列２０２の低電位側の端部からｎ番目（ｎ＝１，２，…）に配置された単位電極２０１ａ，２０１ｂとＲＦ電極２０３Ａ，２０３Ｂとの間の浮遊静電容量Ｃ2 を高周波電圧のピーク値Ｅのｎ倍の電圧ｎＥまで充電するｎ倍電圧整流回路を構成している。
【００１８】
図６に示したシェンケル回路において、高周波電源６が投入されると、昇圧コイル２０７のインダクタンスＬと、第１及び第２のＲＦ電極２０３Ａ及び２０３Ｂのそれぞれと対地間の静電容量Ｃ1 とにより構成される共振回路の共振周波数に等しい周波数（好ましくは５０ＫＨｚ〜１００ＫＨｚ）の高周波電圧が発生し、この高周波電圧が第１のＲＦ電極２０３Ａと対地間及び第２のＲＦ電極２０３Ｂと対地間に印加される。この高周波電圧の正負の半サイクルの交番に伴って、電極列の低電位側の端部から高電位側の端部に向けて順次配置された第１及び第２の単位電極２０１ａ及び２０１ｂと第１及び第２のＲＦ電極２０３Ａ及び２０３Ｂとの間の静電容量Ｃ2 がそれぞれＥ，２Ｅ，３Ｅ，…の電圧まで充電されて、最終的に電極列の高電位側の端部のｎ番目の第１の単位電極２０１ａと第１のＲＦ電極２０３Ａとの間の静電容量Ｃ2 の両端及び第２の単位電極２０１ｂと第２のＲＦ電極２０３Ｂとの間の静電容量Ｃ2 の両端にｎＥの直流高電圧が得られる。この高電圧は高電圧ターミナル２０５を通して図示しない加速管等に加速電圧等として印加される。
【００１９】
上記のように、シェンケル形直流高圧電源の構成部品を絶縁ガスが封入されたタンク１内に収容する場合、通常は該電源により駆動される加速器などの構成部品も該タンク内に配置される。
【００２０】
図７はタンク１内にシェンケル形直流高圧電源とともに加速管１１を収容して構成したシングルエンド形加速装置の構成例を概略的に示したもので、この例では、加速管１１がシェンケル電極列２０２と軸線を一致させた状態で配置されて、その高電圧側の端部が高電圧ターミナル２０５に接続されている。図７において１２はイオン源を示しており、このイオン源は、シェンケル電極列２０２の中心軸線の延長上に位置させた状態で高電圧ターミナル２０５内に配置されて、加速管１１に接続されている。また１３は加速管１０から出たイオンビームをターゲットチャンバに導くためのビームダクトである。
【００２１】
上記シェンケル形直流高圧電源の出力電圧には、整流器２０４，２０４´による整流に伴って生じるリップル電圧や、ＲＦ電極の非対称性により生じるリップル電圧が含まれている。このリップル電圧はできるだけ少なくすることが望ましいため、リップル電圧を検出して、そのレベルを最小にするようにＲＦ電極への印加電圧の微調整等を行う必要がある。また加速器を的確に制御するためには、その加速電圧に含まれるリップル分を知っておく必要がある。
【００２２】
そのため、従来は、図４及び図７に示されているように、タンク１の周壁部の一部に形成した凹部１ａ内にタンク１に対して絶縁された円盤状のコンデンサピックアップ電極（以下ＣＰＵ電極ともいう。）１５を配置して、該ＣＰＵ電極１５を高電圧ターミナル２０５に対向させ、ＣＰＵ電極１５につながる端子１６をタンク１外に導出するようにしていた。このようなＣＰＵ電極を設ければ、ＣＰＵ電極１５と高電圧ターミナル２０５との間の浮遊静電容量を通して高電圧ターミナル２０５と接地間に得られるシェンケル形直流高圧電源の出力電圧を測定することができ、またＣＰＵ電極と接地間に得られる検出電圧をフィルタ回路に入力してリップル分を取り出すことにより、シェンケル形直流高圧電源の出力電圧に含まれるリップル電圧を検出することができる。
【００２３】
また図８に示したように、複数の分圧抵抗Ｒの直列回路と各分圧抵抗Ｒに並列接続された分圧コンデンサＣとからなっていて、タンク１内で一端が高電圧ターミナル２０５に接続されたＣＲ回路１６と、タンク１外に導出されたＣＲ回路１６の他端と接地間に接続された分圧抵抗Ｒ´及び分圧コンデンサＣ´の並列回路とからなるＣＲ分圧器を設けて、分圧抵抗Ｒ´の両端に得られる分圧出力電圧Ｅo からシェンケル形直流高圧電源の出力電圧を検出することも行われていた。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
図４または図７に示したように、円盤状のＣＰＵ電極１５を用いた場合には、該ＣＰＵ電極１５と高電圧ターミナル２０５との間の静電容量を十分に大きくすることができないため、電源の出力電圧に含まれるリップル電圧の検出感度を高くすることができないという問題があった。
【００２５】
また円盤状のＣＰＵ電極を用いた場合には、交互にドライブされる第１及び第２のＲＦ電極による高周波電場（高周波ノイズ）の影響を受けて、検出電圧の波形が大きく歪むため、電圧の検出感度を高くすることができないことと相俟って、シェンケル形直流高圧電源の出力電圧に含まれるリップル電圧を正確に検出することが難しいという問題があった。
【００２６】
図８に示すように、高電圧ターミナル２０５と接地間にＣＲ分圧器を接続すれば、電源の出力電圧を高感度で歪みなく検出することができるが、高電位部と接地間にＣＲ分圧器を接続すると、該ＣＲ分圧器を構成する分圧コンデンサには常に高電圧が印加されるため、絶縁破壊が生じるおそれがあり、万一分圧コンデンサが破壊すると、電源の出力電圧を正確に検出することができなくなるため、信頼性が乏しいという問題があった。
【００２７】
本発明の目的は、高電圧ターミナルと接地電位部との間にＣＲ分圧器を設けることなく、またＲＦ電極より与えられるＲＦノイズの影響を受けることなく、ＣＰＵ電極を用いて電源の出力電圧に含まれるリップル電圧を正確に検出することができるようにしたシェンケル形直流高圧電源の電圧測定装置を提供することにある。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、円筒状のタンクと、多数の円弧状の第１の単位電極の周方向の両端を同じ方向に向け、かつそれぞれの円弧の中心軸線をタンクの中心軸線と一致させた状態でタンク内に整列配置してなる第１の単位電極列と周方向の両端を第１の単位電極と反対の方向に向けた多数の円弧状の第２の単位電極をそれぞれの円弧の中心軸線をタンクの中心軸線と一致させた状態でタンク内に整列配置してなる第２の単位電極列とからなるシェンケル電極列と、軸線をタンクの中心軸線と一致させた状態でタンクの内側に配置されて、第１の単位電極列及び第２の単位電極列にそれぞれ対向させられたほぼ半円筒状の第１及び第２の交流高周波電圧供給用電極（ＲＦ電極）と、シェンケル電極列の高電位側の端部にタンクと軸線を共有した状態で隣接配置された円筒状の高電圧ターミナルとを備えたシェンケル形直流高圧電源の出力電圧を測定する電圧測定装置に係わるものである。
【００２９】
本発明では、高電圧ターミナルに対向するコンデンサピックアップ電極を備えて、コンデンサピックアップ電極と高電圧ターミナルとの間の静電容量を通して直流高圧電源の出力電圧を測定する電圧測定装置を対象とする。
【００３０】
本発明においては、コンデンサピックアップ電極を、第１及び第２の交流高周波電圧供給用電極と同一の径寸法を有して高電圧ターミナルと同心的に配置された円筒状の電極により構成し、該コンデンサピックアップ電極を接地電位部に対して絶縁された状態で設けた。
【００３１】
上記のように円筒状のＣＰＵ電極を高電圧ターミナルと同心的に配置すると、高電圧ターミナルとＣＰＵ電極との間の静電容量及びＣＰＵ電極とタンクとの間の静電容量により構成されるコンデンサ分圧回路を通して高電圧ターミナルと接地電位部との間に得られるシェンケル形直流高圧電源の出力電圧を検出することができる。また検出した電圧をフィルタ回路を備えた検出回路に入力することにより、リップル電圧を測定することができる。
【００３２】
上記のように、高電圧ターミナルに対向するＣＰＵ電極として円筒状の電極を用いると、ＣＰＵ電極と高電圧ターミナルとの間の静電容量及びＣＰＵ電極とタンクとの間の静電容量を大きくすることができるため、出力電圧の検出感度を高めることができる。
【００３３】
上記のようにＣＰＵ電極の径をＲＦ電極の径に等しくしておくと、ＣＰＵ電極を設けたことによって高電圧ターミナル周辺の電界分布が乱されることにより生じる電位傾度の増大を抑制して、絶縁の弱点が生じるおそれを少くすることができる。
【００３４】
また上記のように円筒状のＣＰＵ電極を用いると、中心軸に対して対称に配置されているＲＦ電極に逆位相で印加される高周波電圧によりＣＰＵ電極に与えられる高周波ノイズがキャンセルされるため、高周波ノイズの影響を無くして、電源の出力電圧に含まれる真のリップル電圧のみを測定することができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
図１はシェンケル形直流高圧電源を用いたシングルエンド形加速器に本発明に係わる電圧測定装置を構成するＣＰＵ電極を組み込んだ例を示したもので、同図において図７の各部と同等の部分にはそれぞれ同一の符号を付してある。また図１の要部の構成を図２に示してある。
【００３６】
なお図１及び図２に示した例において、シェンケル形直流高圧電源の構成は図４に示したものと同様である。
【００３７】
図１及び図２において３０はＣＰＵ電極で、このＣＰＵ電極は、ＲＦ電極２０３Ａ及び２０３Ｂの径寸法と同一の径寸法を有する円筒状の電極からなっていて、高電圧ターミナル２０５を同心的に囲むように配置されて、絶縁支持物３によりタンク１に対して支持されている。ＣＰＵ電極につながる導体３１が１つの絶縁支持物３内を通してタンク１に対して絶縁された状態で外部に導出され、外部に導出された導体３１と接地間に得られる電圧が検出回路３２に入力される。ＣＰＵ電極３０と検出回路３２とにより電圧測定装置が構成される。
【００３８】
上記のように円筒状のＣＰＵ電極３０を設けると、高電圧ターミナル２０５とＣＰＵ電極３０との間の静電容量Ｃａと、ＣＰＵ電極３０とタンク１（接地電位部）との間の静電容量Ｃｂとにより高電圧ターミナル２０５と接地間の電圧を分圧するコンデンサ分圧回路を構成することができ、この分圧回路を通してシェンケル形直流高圧電源の出力電圧に含まれるリップル電圧を検出することができる。
【００３９】
即ち、図３（Ａ）に示すように、ＣＰＵ電極３０とタンク１との間の静電容量Ｃｂの両端に得られる電圧をフィルタ回路を備えた検出回路３２に入力することにより、シェンケル形直流高圧電源の出力電圧に含まれるリップル電圧を測定することができる。
【００４０】
シェンケル形直流高圧電源の出力電圧に含まれるリップル電圧を検出する検出回路３２の構成例を図３（Ｂ）に示した。
【００４１】
図３（Ｂ）に示した検出回路３２は、ＣＰＵ電極３０から導出した導体３１と接地間に接続されたツェナーダイオード３３と、該ツェナーダイオード３３の両端に並列に接続された抵抗３４及びコンデンサ３５と、コンデンサ３５の非接地側の端子に一端が接続されたコンデンサ３６と、コンデンサ３５の接地側の端子に抵抗３７を通して一端が接続されたコンデンサ３８と、コンデンサ３６及び３８の他端に一方の入力端子及び他方の入力端子が接続された差動増幅器３９とからなっており、抵抗３４とコンデンサ３５〜３８とによりフィルタ回路が構成されている。
【００４２】
なおリップル電圧の波形を観測する場合には、差動増幅器３９をオッシロスコープで置き換える。
【００４３】
図３（Ｂ）に示した回路において、静電容量Ｃｂ（分圧コンデンサ）に対して並列に接続された抵抗３４は、リップル分のみを検出するべく、入力端子（Ａ点）の直流電位を固定するための抵抗であり、コンデンサ３５はノイズを除去するためのものである。差動増幅器３９の一方の入力端子にはコンデンサ３６を通してリップル分が入力され、差動増幅器３９の他方の入力端子はコンデンサ３８と抵抗３７とを通してアース電圧が入力されている。差動増幅器３９はリップル電圧とアース電圧との差を増幅してリップル電圧検出信号Ｖｒを出力する。このように検出信号を増幅する増幅器として差動増幅器３９を用いると、信号ライン及びアースを通して侵入する同位相のノイズをキャンセルしてノイズを低減することができるため、リップル電圧の測定を正確に行うことができる。
【００４４】
出力電圧が５［ＭＶ］のシェンケル形直流高圧電源を例にとり、図３（Ｂ）の検出回路を用いて、出力電圧に含まれるリップル電圧（周波数１［ＭＨｚ］）を測定した場合の検証結果を以下に示す。
【００４５】
図３（Ｂ）においてＲｓはシェンケル回路２の出力端子側から見た等価内部抵抗であり、出力電圧が５［ＭＶ］の電源の場合、この抵抗Ｒｓは７００［ＭΩ］程度の値をとる。また５［ＭＶ］の電源の場合、ＣＰＵ電極と高電圧ターミナル３０との間の静電容量Ｃａは例えば４０［ｐＦ］、ＣＰＵ電極３０とタンク３０との間の静電容量Ｃｂは２４０［ｐＦ］程度である。
【００４６】
図３（Ｂ）において、抵抗３４及び３７のそれぞれの抵抗値は１０［ＫΩ］とし、コンデンサ３５としては静電容量が０．０１５［μＦ］のものを２個並列に接続したものを用いた。またコンデンサ３６及び３８のそれぞれの静電容量は０．１［μＦ］とした。このように回路定数を設定した検出回路を用いて、変化幅（ピークトゥピーク）が２０［ＫＶ］のリップル電圧（１［ＭＨｚ］）を検出した場合、増幅器３９に入力されるリップル電圧の検出信号の変化幅は５．０［Ｖ］であり、十分な感度が得られることが確認された。またリップル電圧検出の応答時間は１［μｓｅｃ］以下であることが望ましいが、図３（Ｂ）に示した検出回路を用いた場合の応答時間は４００［ｐｓｅｃ］であり、何等問題がないことが確認された。
【００４７】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、ＣＰＵ電極としてＲＦ電極と径寸法が等しい円筒状の電極を用いて、該ＣＰＵ電極を高電圧ターミナルと同心的に配置したので、高電圧ターミナルとＣＰＵ電極との間の静電容量を大きくして電圧の検出感度を高めることができる利点がある。
【００４８】
また本発明によれば、円筒状のＣＰＵ電極を用いたことにより、中心軸に対して対称に配置されているＲＦ電極に逆位相で印加される高周波電圧によりＣＰＵ電極に与えられる高周波ノイズをキャンセルして高周波ノイズの影響を無くし、電源の出力電圧に含まれる真のリップル電圧のみを測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が対象とするシェンケル形直流高圧電源を用いた加速器と本発明に係わる電圧検出装置とを示した構成図である。
【図２】図１の要部の構成を概略的に示した斜視図である。
【図３】（Ａ）は本発明に係わる電圧測定装置の原理を説明するための説明図、（Ｂ）はＣＰＵ電に接続される検出回路の構成の一例を示した回路図である。
【図４】シェンケル形直流高圧電源の要部の構成例を、従来の電圧測定装置とともに示した断面図である。
【図５】図４の電源で用いられているシェンケル電極列の構成を示した側面図である。
【図６】図４の直流高圧電源で用いているシェンケル回路の構成を示した構成図である。
【図７】シェンケル形直流電源を用いて構成したシングルエンド加速器の一例を従来の電圧測定装置とともに示した構成図である。
【図８】シェンケル形直流電源を用いて構成したシングルエンド加速器の一例を従来の他の電圧測定装置とともに示した構成図である。
【符号の説明】
１  容器
１Ａ  タンク本体
１Ｂ  タンクベース
２  シェンケル回路
２００  絶縁板
２０１ａ  第１の単位電極
２０１Ａ  第１の単位電極列
２０１ｂ  第２の単位電極
２０１Ｂ  第２の単位電極列
２０２  シェンケル電極列
２０３Ａ  第１のＲＦ電極
２０３Ｂ  第２のＲＦ電極
２０４，２０４´  整流器
２０７  昇圧コイル
３  絶縁支持物
６  ＲＦ電源
【図１】
0003687420.tif 000002
【図２】
0003687420.tif 000003
【図３】
0003687420.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003687420.tif 000009