(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
オリフィスの上流側圧力Ｐ1と下流側圧力Ｐ2との比Ｐ2／Ｐ1をガスの臨界圧力比以下に保持した状態下でオリフィス下流側の流体流量ＱをＱ＝ＫＰ1（但し、Ｋは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置用オリフィスに於いて、金属薄板製本体部材（Ｄ）に第１の直径（φ）のドリル錐（６ａ）を用いて穿設した下孔（６）の一方の開口端部を切削してラッパの吹口状に形成した第１の長さ（Ｌ1）の入口テーパ部（１）と、前記第1の直径（φ）のドリル錐（６ａ）より僅かに太径の第２の直径（φ1）のドリル錐（２ａ）により当該入口テーパ部（１）に連続して形成した入口テーパ部（１）の前記第1の長さ（Ｌ1）より短い第２の長さ（Ｌ）の絞り平行部（２）と、前記下孔（６）の他方の開口端部を前記第２の直径（φ1）のドリル錐（２ａ）より太径の第３の直径（φ2）のドリル錐（４ａ）で拡径することにより形成した前記絞り平行部（２）に連続する前記第1の長さ（Ｌ1）と第２の長さ（Ｌ）との合計長さより大きい第３の長さ（Ｌ2）の短いテーパ拡径部（３）及びこれに連続する長い平径拡径部（４）とから構成され、且つ前記絞り平行部（２）の直径を１０μｍ〜０．９ｍｍとしたことを特徴とする、圧力式流量制御装置用オリフィス。
【請求項２】
入口テーパ部（１）を、断面視に於いて内壁面が曲線となる形状の入口テーパ部とした請求項１に記載の圧力式流量制御装置用オリフィス。
【請求項３】
入口テーパ部（１）を、断面視に於いて内壁面が曲線となる形状の入口テーパ部とした請求項１に記載の圧力式流量制御装置用オリフィス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体の圧力式流量制御装置に用いる音速ノズル（オリフィス）とその製造方法の改良に関するものであり、主として半導体製造設備のガス供給系に於いて利用されるものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造設備のガス供給系の流量制御装置としては、従前からマスフローコントローラが多く使用されて来たが、近年これに代わるものとして圧力式流量制御装置が開発されている。
図２０は、本願発明者が先きに公開した圧力式流量制御装置を示すものであり、オリフィス５の上流側圧力Ｐ1 と下流側圧力Ｐ2 との比Ｐ2 ／Ｐ1 をガスの臨界圧力比以下に保持した状態に於いて、オリフィス下流側の流体流量ＱをＱ＝ＫＰ1 （但しＫは定数）として演算することを基本とするものである（特開平８−３３８５４６号）。
尚、図２０に於いて、１は圧力式流量制御装置、２はコントロール弁、３は弁駆動部、４は圧力検出器、５はオリフィス、７は制御装置、７ａは温度補正回路、７ｂは流量演算回路、７ｃは比較回路、７ｄは増幅回路、２１ａ・２１ｂは増幅回路、２２ａ・２２ｂはＡ／Ｄ変換回路、２４は反転増幅器、２５はバルブ、Ｑｙは制御信号、Ｑｃは演算信号、Ｑｓは流量設定信号である。
【０００３】
前記圧力式流量制御装置はコントロール弁２を開・閉制御してオリフィス上流側圧力Ｐ1 を調整することにより、オリフィス下流側流量Ｑを高精度で制御することができ、優れた実用的効用を奏するものである。
しかし、この圧力式流量制御装置にも解決すべき多くの問題が残されており、その中でも特に音速ノズル（オリフィス）に係わる問題が重要な問題点となっている。
【０００４】
先ず、第１の問題はオリフィスの製造コストの点である。オリフィスとしては、口径が１０μｍφ〜０．８ｍｍφ程度のものが要求される場合があり、１０μｍφ〜０．８ｍｍφの微細な口径を有する音速オリフィスは、通常放電加工やエッチング加工により形成されている。しかし、放電加工やエッチング加工によりオリフィスを所定の形状、例えばＩＳＯ９３００に規定されているような形状に加工する場合には、オリフィスの製作費が著しく高くつくと云う難点がある。
【０００５】
第２の問題はオリフィスの流量特性のバラツキの点である。微細な口径を有する音速オリフィスは、加工の困難性とも相俟ってその流量特性が所定の範囲内に揃い難く、個体差が著しく大きくなる傾向にある。その結果、流量測定の精度が悪化したり、測定値の校正に手数がかかり過ぎると云う問題がある。
【０００６】
第３の問題は、流量特性曲線上のリニヤー性の範囲の問題である。
オリフィス上流側の圧力Ｐ1 とオリフィス下流側圧力Ｐ2 との比Ｐ2 ／Ｐ1 がガスの臨界圧力比（空気や窒素の場合約０．５）以下になると、オリフィスを通るガス流速が音速となってオリフィス下流側の圧力変動がオリフィス上流側へ伝播しなくなり、オリフィス上流側の状態に相応した安定した質量流量が得られると言われている。
しかし、現実の流量特性曲線に於いては、所謂リニヤー特性となる圧力比範囲、即ちＱ＝ＫＰ1 として流量演算の出来る圧力比範囲は臨界圧力比の点よりも遙に低い値となり、それだけ流量制御の可能な範囲が狭くなると云う難点がある。また、リニヤー特性そのものにも若干問題が残されており、高度なリニヤー性が得難いために、制御精度の一層の向上を図り難いと云う難点がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従前の圧力式流量制御装置用オリフィスに於ける上述の如き問題、即ち（イ）オリフィスの製造コストの引下げが図り難いこと、（ロ）オリフィスの加工が困難なうえ、加工精度のバラツキがそのまま制御流量の個体差に結びつき、高精度で安定した流量制御ができないこと、（ハ）オリフィスの流量特性上のリニヤー特性の圧力比範囲が狭く、広い圧力比範囲に亘って高精度な圧力流量制御ができないこと、及び（ニ）リニヤー特性が高度なものでないため、制御精度の一層の向上を図り難いこと等の問題を解決せんとするものであり、比較的簡単に加工ができて製造コストの大幅な引下げを図れると共に、流量特性上のバラツキも比較的少なく、且つ広い圧力比範囲に亘って高精度な圧力流量制御を達成出来るようにした圧力式流量制御用オリフィスとその製造方法を提供せんとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、オリフィスの上流側圧力Ｐ1と下流側圧力Ｐ2との比Ｐ2／Ｐ1をガスの臨界圧力比以下に保持した状態下でオリフィス下流側の流体流量ＱをＱ＝ＫＰ1（但し、Ｋは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置用オリフィスに於いて、金属薄板製本体部材（Ｄ）に第１の直径（φ）のドリル錐（６ａ）を用いて穿設した下孔（６）の一方の開口端部を切削してラッパの吹口状に形成した第１の長さ（Ｌ1）の入口テーパ部（１）と、前記第1の直径（φ）のドリル錐（６ａ）より僅かに太径の第２の直径（φ1）のドリル錐（２ａ）により当該入口テーパ部（１）に連続して形成した入口テーパ部（１）の前記第1の長さ（Ｌ1）より短い第２の長さ（Ｌ）の絞り平行部（２）と、前記下孔（６）の他方の開口端部を前記第２の直径（φ1）のドリル錐（２ａ）より太径の第３の直径（φ2）のドリル錐（４ａ）で拡径することにより形成した前記絞り平行部（２）に連続する前記第1の長さ（Ｌ1）と第２の長さ（Ｌ）との合計長さより大きい第３の長さ（Ｌ2）の短いテーパ拡径部（３）及びこれに連続する長い平径拡径部（４）とから構成され、且つ前記絞り平行部（２）の直径を１０μｍ〜０．９ｍｍとしたことを発明の基本構成とするものである。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、入口テーパー部１を、断面視に於いて内壁面が曲線となる形状の入口テーパー部としたものである。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１の発明において、入口テーパー部１を、断面視に於いて内壁面が曲線となる形状の入口テーパー部としたものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明に係る圧力式流量制御装置オリフィスの縦断面図であり、図に於いて、Ａはオリフィス、１は入口テーパー部、２は絞り平行部、３はテーパー拡径部、４は平行拡径部である。
当該オリフィスＡは、ステンレス鋼（ＳＵＳ３１６Ｌ、ＦＳ９等）の丸棒（直径８〜１１ｍｍφ）や薄板（厚さ約８〜１０ｍｍ）を切削加工することに形成されており、その入口側（流体の高圧側）Ｂは平面状に、また出口側（流体の低圧側）Ｃは凹曲面状（部分球殼面）に、更にオリフィスの内径φ1 は０．１１ｍｍφに夫々形成されている。
【００１４】
即ち、前記入口テーパー部１は曲率半径Ｒが０．２２ｍｍのラッパの吹口状の彎曲面に形成されており、この入口テーパー部１に連続して長さＬが０．０５ｍｍの絞り平行部２が形成されている。
当該絞り平行部２の内径φ1 は０．１１ｍｍφに選定されており、この絞り平行部２がオリフィスＡの内径を規制している。
【００１５】
前記、テーパー拡径部３は絞り平行部２に連続して形成されており、本実施例に於いては、後述する外径０．２ｍｍφの穿孔用キリの先端刃の形状（先端角１２０°）により決まる傾斜角αが約６０°の斜面を備えたテーパー拡径部３とされている。
更に、前記平行拡径部４はテーパー拡径部３と連続して形成されており、その内径φ2 は０．２ｍｍφに選定されている。
【００１６】
図２は、本発明に係るオリフィスＡの他の実施態様を示すものであり、当該実施態様に於いては入口テーパー部１が、断面視に於いて内壁面が直線となる形状（即ち円錐面状のテーパー部１）に形成されており、その傾斜角αO は１２０°に選定されている。
また、オリフィス内径φ1 は０．１４ｍｍ、入口テーパー部１の深さＬ1 ＝０．２５ｍｍ、絞り平行部２の長さＬ＝０．０５ｍｍ、平行拡径部４の内径φ2 ＝０．１６ｍｍ、傾斜角α＝６０°、テーパー拡径部３と平行拡径部４との長さＬ2 ＝０．６５ｍｍに夫々選定されている。
【００１７】
尚、上記図１及び図２の実施例ではオリフィス内径φ1 を０．１ｍｍφ及び０．１４ｍｍφとしているが、本発明に係るオリフィスとしては、内径φ1 が１０μｍφ〜０．９ｍｍφ程度のものが最適である。
【００１８】
次に、本発明に係る圧力式流量制御装置用オリフィスの具体的な製造方法について、前記図１のオリフィスＡの製造を例にとって説明する。
図３乃至図９を参照して、先ずステンレス鋼（ＳＵＳ３１６Ｌ、ＦＳ９等）の丸棒（直径８〜１１ｍｍφ）や薄板（厚さ約８〜１０ｍｍ）を切削加工して、図３に示す如き形状の本体部材Ｄを形成する。
尚、本体部材Ｄの入口側外表面Ｂは平面状に、また出口側外表面Ｃは球面状（凹曲面状）に夫々形成されている。
【００１９】
前記本体部材Ｄの形成が終れば、次に、入口側外表面Ｂの中心部に図４に示す如き形状のセンタータッピンを行なう。
即ち、立型タッピッグセンター機を用いて、ＨＳＳ材製の先端を鋭い尖頭状に形成したポンチ５ａにより所謂センターもみを施し、図４の如き断面が三角形のセンター凹部５を形成する。尚、ポンチ５ａの先端角は９０°、凹所５の深さは０．１ｍｍである。
【００２０】
次に、φ＝０．１ｍｍφの超硬ドリル錐６ａにより、図５に示す如く前記センター凹部５から内方へ向けて図５の如く穿孔加工を行ない、下孔６を形成する。
そして、その後に、図６の如き形状を有する曲率半径Ｒ＝０．２２ｍｍのアールバイト１ａを用いて、前記図５の下孔６の入口側をテーパー加工し、図７に示すような断面視において内壁面が曲線となる形状の入口テーパー部１を形成する。
尚、図２のオリフィスＡの製作に於いては、前記アールバイト１ａに代えて、先端角αO が６０°のストレートバイト（図示省略）を使用し、図２の如き断面視に於いて内壁面が直線の入口テーパー部１（即ち円錐状のテーパー部）を形成する。
【００２１】
更に、前記入口テーパー部１の形成後にφ＝０．１１ｍｍφのドリル錐２ａに交換し、流体入口側Ｂより流体出口側Ｃへ向けて０．１１ｍｍφの穿孔を行なう。これにより、前記０．１ｍｍφのドリル錐６ａによる穿孔が０．１１ｍｍφに開孔される。
【００２２】
その後、本体部材Ｄのチャッキング方向を転換し、且つ錐を図８に示す如きセンタードリル（外径０．３ｍｍφ×先端角９０°）７に取り替え、先きに穿孔したφ＝０．１１ｍｍφの孔の出口側端部から内方へその刃先きより０．０５ｍｍだけ入れ、出口側端部に残った所謂バリを取る。
【００２３】
前記センタードリル７によるバリ取りが終れば、外径０．２ｍｍφ、先端角１２０°の拡径用ドリル錐４ａにより、図９に示す如くφ＝０．２ｍｍφの平行拡径部４を形成する。
そして、最後に前記ドリル錐４ａを前記φ＝０．１１ｍｍφのドリル錐２ａに取り替え、絞り平行部２とテーパー拡径部３との境界に残されたバリを除去する。
【００２４】
本発明のオリフィスＡは、上記の如くアールバイト１ａ、０．１ｍｍφのドリル錐６ａ、０．１１ｍｍφのドリル錐２ａ、０．２ｍｍφのドリル錐４ａ及びセンタードリル７による切削、穿孔及びバリ取り加工だけで形成され、特別な研磨工程や放電加工等の穿孔加工を必要とすることが無い。
即ち、本発明に係るオリフィスＡは、極めて簡単な工程により且つ安価に製造される。
【００２５】
図１０は、本発明により形成した図１の４個のオリフィス（平行拡径部の内径φ2 ＝０．２ｍｍ）Ａの流量特性を示すものである。
図１０からも明らかなように、Ｐ2 ／Ｐ1 ＝０．６３３（Ｐ1 ＝３．０ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ、Ｐ2 ＝１．８９ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）の範囲に亘って、流量と１次側圧力Ｐ1 との間のリニアー性がよく確保されていることが判る。
即ち、アールバイト１ａとドリル錐２ａ、４ａ、６ａ及びセンタードリル７によるバリ取りだけの加工によるオリフィスＡの形式にも拘わらず、何れのオリフィスＡにあってもそのリニアー特性がＰ2 ／Ｐ1 ＝０．６３３の点まで保持されており、高い実用的効用を有するものである。
【００２６】
図１１は本発明に係る上記４個の中の３個のオリフィスＡの流量−直線性誤差特性を示すものであり、図１１からも明らかなように直線性誤差は、Ｎｏ１オリフィスでは＋０．６６％〜−０．４１％の間に、Ｎｏ２オリフィスでは＋０．７４％〜−０．４２％の間に、Ｎｏ３オリフィスでは＋０．６９％〜−０．４３％の間に夫々あり、精度的には十分に実用に耐え得るものであることが判る。
また、各個体の間に若干流量差があるものの、Ｐ2 ／Ｐ1 が約０．６３３の範囲に於いて何れも圧力−流量の間に比例関係が成立しており、優れたリニアー特性（即ち、Ｑ＝ＫＰ1 ）を有するものであることが判る。
【００２７】
一方、図１２は、従前のＩＳＯ９３００に規定されている音速ノズル型オリフィスの流量特性を示すものであり、２個の内の１個はＰ2 ／Ｐ1 ＝０．６０（Ｐ1 ＝３．０ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ、Ｐ2 ＝１．９ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）の範囲に亘ってリニアー性が確保されているが、他の一組はＰ2 ／Ｐ1 ＝０．５３３位いまでしかリニアー性が確保できておらず、各オリフィス間に大きな固体差のあることが判る。
即ち、当該音速ノズル型のオリフィスは複雑な形状に研磨工程等を経て仕上げられており、製造コストが著しく高価なものであるにも拘わらず、流量特性の固体差に大きなバラツキがあり、リニアー特性の良いものもある反面リニアー特性の著しく悪いものもあると云う、実用上の致命的な欠陥を有するものであることが判る。
また、図１３は、前記図１２の音速ノズル型オリフィスの圧力−流量直線性誤差特性を示すものであり、直線性誤差は、＋０．７２％〜−０．５８％（Ｎｏ１オリフィス）及び＋０．７２％〜−０．５２％（Ｎｏ２オリフィス）となっている。
【００２８】
図１４は加工工作を著しく簡素化して、φ＝０．１１ｍｍφのドリル錐で入口側から本体部材Ｄに穿孔すると共に、センタードリル７によって出口側の端面のバリ取りを行なったものである。
当該図１３のオリフィスの場合には、加工が簡単で経済性に優れているものの、流量特性に於けるリニアー特性の確保できる領域がＰ2 ／Ｐ1 ＝０．４６６（Ｐ1 ＝３ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ、Ｐ2 ＝１．３９ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）であって、極めて狭い圧力比範囲内しかリニアー性を確保できないと云う難点がある。また、図１５は、前記図１４のオリフィスの圧力−流量直線性誤差特性を示すものであり、直線性誤差は、＋１．６９％〜−１．０２％（Ｎｏ１オリフィス）及び＋１．９２％〜−１．１６％（Ｎｏ２オリフィス）となっている。
【００２９】
図１６は、本発明のオリフィスＡの平行拡径部４を２段に亘って拡径したものであり、平行拡径部４にφ＝０．２ｍｍφの第１平行拡径部４ａとφ＝０．３ｍｍφの第２平行拡径部４ｂを形成したものである。
当該図１６のオリフィスに於いては、加工工程が２工程分（０．２ｍｍφ孔の端部のバリ取り工程と０．３ｍｍφの穿孔工程）増加するにも拘わらず、リニアー性の保持範囲がＰ2 ／Ｐ1 ＝０．５８３（Ｐ1 ＝３ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ、Ｐ2 ＝１．７５ｋｇｆ／ｃｍ2 ａｂｓ）までであって、本発明のオリフィスＡの場合よりもリニアー性の確保範囲が狭いと云う難点がある。
また、図１７は、前記図１６のオリフィスの圧力−流量直線性誤差特性を示すものであり、直線性誤差は、＋０．７０％〜−０．４９％（Ｎｏ１オリフィス）、＋０．５９％〜−０．４１％（Ｎｏ２オリフィス）、＋０．７０％〜−０．４８％（Ｎｏ３オリフィス）と夫々なっている。
【００３０】
図１８は、図２に示した本発明の他の実施態様に係るオリフィスＡの流量特性を示すものであり、また、図１９は、図２に示したオリフィスＡのオリフィス流量の直線性誤差曲線を示すものである。
【００３１】
尚、前記直線性誤差（Ｆ．Ｓ．％）は、設定圧力０〜３．０（ｋｇｆ／ｃｍ2 ・ａｂｓ）の範囲で実測した流量測定曲線を基にして、最小２乗法により最大プラス差及び最大マイナス差を最小且つ等しくする前記流量測定曲線に対する近似直線を求め、この近似直線値と実測値との差を最大流量値に対する％で表わしたものであり、当該オリフィスＡの場合、正方向の流体流れ（図２の矢印イ方向）に対しては最大で＋０．４６％〜−０．４５％の直線性誤差が、また、逆方向の流体流れ（図２の矢印ロ方向）に対しては最大で＋０．２８％〜−０．２８％の直線性誤差が生ずることになり、逆方向の流体流れに対する直線性誤差が著しく小さくなることが判っている。
【００３２】
【発明の効果】
前記図１０に示す本発明のオリフィスＡと図１２、図１３及び図１６の各オリフィスとを対比した場合、本発明のオリフィスＡはオリフィスの加工工程が極めて少ないうえ、その加工も切削と穿孔を中心とするものであり、特別な表面研磨加工等を必要とすることがない。
その結果、本発明のオリフィスＡは、他の形式のオリフィスに比較して極めて安価に製作することができる。
尚、このことは、図２に示した本発明のオリフィスＡの場合にも同様であり、他の形式のオリフィスに比較して極めて安価に製作することができる。
【００３３】
また、本発明のオリフィスＡの流量特性はＰ2 ／Ｐ1 ＝０．６３３位いの範囲に亘って流量と１次側圧力Ｐ1 との間のリニアー性を保持することができ、しかも各固体間の流量特性曲線がほぼ同じ形態となる。即ち、ほぼ全数がＰ2 ／Ｐ1 ＝０．６３３の範囲に亘ってリニアー性を保持することになる。
その結果、各オリフィスＡ個々の流量Ｑの補正は、Ｑ＝ＫＰ1 に於ける定数Ｋの補正だけで十分であり、オリフィスＡの流量特性の調整が極めて簡単となる。
更に、本発明のオリフィスＡの流量圧力特性は優れたリニアー性を有しており、且つ直線性誤差（Ｆ．Ｓ．％）も＋０．７４％〜−０．４１％の範囲内にあって比較的低く、十分に実用に耐え得るものである。
【００３４】
更に、図２に示した円錐面状のテーパー部とした本発明のオリフィスＡは、流量の直線性誤差の少ないより高度なリニアー特性を具備するものであり、その結果高精度な流量制御が可能となる。
【００３５】
本発明は上述の通り、圧力式流量制御装置用オリフィスを簡単且つ安価に製造することができ、しかも比較的広い圧力比Ｐ2 ／Ｐ1 の範囲に亘って１次圧力Ｐ1 と流量との間にリニアー性を保持できると共に、各個体間の流量特性の調整（流量補正）も簡単に行なえると云う優れた実用的効用を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る圧力式流量制御装置用オリフィスの縦断面図である。
【図２】本発明の他の実施態様に係る圧力式流量制御装置用オリフィスの部分縦断面図である。
【図３】オリフィスＡを形成する本体部材の縦断面図である。
【図４】オリフィスＡの加工工程センタータッピング工程の説明図である。
【図５】絞り平行部の形成工程の説明図である。
【図６】入口テーパー部の形成に使用するアールバイトＣの説明図である。
【図７】入口テーパー部と絞り平行部の形成を示す説明図である。
【図８】センタードリルによるバリ取り工程の説明図である。
【図９】テーパー拡径部及び平行拡径部の形成を示す説明図である。
【図１０】本発明によるオリフィスＡ（φ＝０．１１ｍｍφ）の流量特性を示すものである。
【図１１】図１０のオリフィスの流量−直線性誤差特性を示すものである。
【図１２】ＩＳＯ９３００に規されている音速ノズル型オリフィスの流量特性を示すものである。
【図１３】図１２のオリフィスの流量−直線性誤差特性を示すものである。
【図１４】加工を簡素化したφ＝０．１１ｍｍφの穿孔から成るオリフィスの流量特性を示すものである。
【図１５】図１４のオリフィスの流量−直線性誤差特性を示すものである。
【図１６】平行拡径部を２段にしたオリフィスの流量特性を示すものである。
【図１７】図１６のオリフィスの流量−直線性誤差特性を示すものである。
【図１８】円錐状の入口テーパー部を備えたオリフィスＡの流量特性曲線である。
【図１９】円錐状の入口テーパー部を備えたオリフィスＡの流量・直線性誤差曲線である。
【図２０】先願に係る圧力式流量制御装置の構成図である。
【符号の説明】
Ａはオリフィス、φ1 は絞り平行部の内径、φ2 は平行拡径部の内径、Ｄは本体部材、Ｂは流体入口側外表面、Ｃは流体出口側外表面、１は入口テーパー部、１ａはアールバイト、２は絞り平行部、２ａはφ＝０．１１ｍｍφのドリル錐、３はテーパー拡径部、４は平行拡径部、４ａはφ＝０．２ｍｍφの拡径用ドリル錐、５はセンター凹所、５ａはセンタータッピング用ポンチ、６は下孔、６ａはφ＝０．１ｍｍのドリル錐、７はセンタードリル、Ｒは入口テーパー部の曲率半径、Ｌ1 は円錐状入口テーパー部の深さ、Ｌは絞り平行部の長さ、αO は円錐状入口テーパー部の傾斜角、αはテーパー拡径部の傾斜角、Ｌ2 はテーパー拡径部と平行拡径部との長さ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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