(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の第１金型と第２金型とからなる成形金型の酸化防止を行う成形金型酸化防止用シートであって、耐熱性および耐久性を有したシート材によって形成され、前記成形金型の放置時に前記第１金型と前記第２金型とによって型締め時の圧力より遙に低い圧力で挟持されて前記成形金型の表面を含むキャビティの酸化防止を行うことを特徴とする成形金型酸化防止用シート。
【請求項２】
請求項１記載の成形金型酸化防止用シートであって、フッ素樹脂、耐熱樹脂、紙またはコットン紙によって形成されていることを特徴とする成形金型酸化防止用シート。
【請求項３】
請求項１または２記載の成形金型酸化防止用シートであって、前記耐熱性を表す耐熱温度が２００℃以上であることを特徴とする成形金型酸化防止用シート。
【請求項４】
請求項１，２または３記載の成形金型酸化防止用シートを用いた成形金型の酸化防止方法であって、
耐熱性および耐久性を有したシート材によって形成された前記成形金型酸化防止用シートを準備する工程と、
一対の第１金型と第２金型とからなる成形金型の合わせ面およびキャビティに前記成形金型酸化防止用シートを配置する工程と、
前記成形金型酸化防止用シートを前記第１金型と前記第２金型とによって型締め時の圧力より遙に低い圧力で挟持する工程と、
前記第１金型と前記第２金型とによって前記低い圧力で前記成形金型酸化防止用シートを挟持した状態で前記成形金型を放置する工程とを有し、
前記成形金型酸化防止用シートによって前記成形金型の合わせ面およびキャビティの表面の酸化を防止することを特徴とする成形金型の酸化防止方法。
【請求項５】
請求項４記載の成形金型の酸化防止方法であって、前記成形金型酸化防止用シートを前記第１金型と前記第２金型とによって挟持する際に、前記成形金型酸化防止用シートの表裏両面に薄膜耐熱シートを配置し、前記薄膜耐熱シートを介して前記成形金型酸化防止用シートを挟持することを特徴とする成形金型の酸化防止方法。
【請求項６】
請求項４または５記載の成形金型の酸化防止方法であって、ダミーリードフレームを用いて前記成形金型により樹脂成形されたダミー成形品を準備し、前記成形金型酸化防止用シートを前記第１金型と前記第２金型とによって挟持する際に、前記成形金型酸化防止用シートの表裏両面側において前記第１金型および前記第２金型のキャビティに前記第１および第２金型によって形成した前記ダミー成形品を配置し、前記ダミー成形品を介して前記成形金型酸化防止用シートを挟持することを特徴とする成形金型の酸化防止方法。
【請求項７】
請求項４記載の成形金型の酸化防止方法であって、前記成形金型酸化防止用シートとして多孔質シートを準備し、前記成形金型酸化防止用シートである多孔質シートを前記第１金型と前記第２金型とによって前記低い圧力で挟持するとともに、ドライエアーなどの酸化防止用気体を前記多孔質シート内に供給することにより、外方からの成形金型酸化防止用シート内への空気の侵入を阻止して前記成形金型の酸化を防止することを特徴とする成形金型の酸化防止方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、モールドを行う成形金型の酸化防止技術に関し、特に、成形金型放置時にこの成形金型の酸化を防止する成形金型酸化防止用シートおよびそれを用いた成形金型の酸化防止方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
以下に説明する技術は、本発明を研究、完成するに際し、本発明者によって検討されたものであり、その概要は次のとおりである。
【０００３】
例えば、所定の集積回路（Integrated Circuit）が形成された半導体チップは、リードフレームと電気的に接続されたうえで、塵埃や湿度などの外的雰囲気や機械的衝撃からこれを保護するために、成形金型を用いたモールド工程において樹脂により樹脂封止される。
【０００４】
なお、半導体チップの封止形態は、低融点合金やガラスなどにより封着する気密封止と、成形金型を用いて樹脂により成形封止する樹脂封止（非気密封止）とに分けられる。このような半導体装置の封止技術を詳しく記載している例としては、日経ＢＰ社発行、「実践講座  ＶＬＳＩパッケージング技術（下）」（１９９３年５月３１日発行）、３１頁〜４０頁がある。
【０００５】
また、モールド工程において、半導体装置が少量多品種生産の場合、生産状況によっては成形金型の稼動を一時停止させることがある。その際、停止状態で数時間経過すると、成形金型の表面が酸化し、金型放置後、約８時間以内で離型性が低下する。
【０００６】
このような場合には、クリーニング用樹脂を用いて成形金型の表面の汚れを落とすなどしてクリーニングを行い、これにより、離型性を回復させている。
【０００７】
あるいは、半導体チップの搭載されていないリードフレーム（以降、ダミーリードフレームと呼ぶ）を用い、この成形金型により樹脂成形したダミー成形品を前記成形金型でクランプ（型締め）して密封し、成形金型の油圧ポンプを停止させてこの密封状態を維持して離型性の低下を防ぐ方法もある。
【０００８】
なお、前記したクリーニング用樹脂を用いた成形金型のクリーニング方法やダミー成形品を用いた離型性の低下防止方法については、例えば、特開平９−７０８５６号公報や特開平８−１３２４４６号公報に記載されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前記した技術において、クリーニング用樹脂を用いる方法では、クリーニングの際に、クリーニング用樹脂を成形金型内に充填する必要があり、その結果、封止用樹脂からクリーニング用樹脂への交換作業が発生し、この交換作業に手間が掛かることが問題とされる。
【００１０】
したがって、成形金型の放置状態から着工に移ろうとしても、クリーニング用樹脂を用いたクリーニングには時間がかかるため、直ぐには着工に移れないことが問題とされる。
【００１１】
また、成形金型の放置時に、ダミー成形品を用いて型締めを行う方法では、型締めによる（高圧クランプ）大きな負荷が、常時、成形金型の部品（例えば、成形機のパッキンやＯリングなどのシリンダ用弾性部材、もしくは、プレスオイル、あるいは、サポートピンや弾性ピンなどの金型補助部品）に掛かるため、前記部品が消耗したり劣化したりして損傷に至ることが問題とされる。
【００１２】
本発明の目的は、成形金型放置時の合わせ面およびキャビティの酸化を防止し、常に着工を開始することができる成形金型酸化防止用シートおよびそれを用いた成形金型の酸化防止方法を提供することにある。
【００１３】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００１５】
すなわち、本発明の成形金型酸化防止用シートは、一対の第１金型と第２金型とからなる成形金型の酸化防止を行うものであり、耐熱性および耐久性を有したシート材によって形成され、前記成形金型の放置時に前記第１金型と前記第２金型とによって型締め時の圧力より遙に低い圧力で挟持されて前記成形金型の表面を含むキャビティの酸化防止を行うものである。
【００１６】
また、本発明の成形金型の酸化防止方法は、成形金型酸化防止用シートを用いたものであり、耐熱性および耐久性を有したシート材によって形成された前記成形金型酸化防止用シートを準備する工程と、一対の第１金型と第２金型とからなる成形金型の合わせ面およびキャビティに前記成形金型酸化防止用シートを配置する工程と、前記成形金型酸化防止用シートを前記第１金型と前記第２金型とによって型締め時の圧力より遙に低い圧力で挟持する工程と、前記第１金型と前記第２金型とによって前記低い圧力で前記成形金型酸化防止用シートを挟持した状態で前記成形金型を放置する工程とを有し、前記成形金型酸化防止用シートによって前記成形金型の合わせ面およびキャビティの酸化を防止するものである。
【００１７】
これにより、放置時（長時間待機時）の成形金型の合わせ面およびキャビティの酸化を防止することができるとともに、その際、型締め時の圧力より遙に低い圧力で成形金型酸化防止用シートを挟持することにより、成形金型の部品の損傷を防ぐことができる。
【００１８】
その結果、成形金型の合わせ面およびキャビティの離型性の低下を防止することができ、かつ放置状態から着工を開始する際に、成形金型を型開きして成形金型酸化防止用シートを取り出すだけで、直ぐに着工を開始することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２０】
図１は本発明の実施の形態における成形金型酸化防止用シートの構造の一例を示す斜視図、図２は本発明の実施の形態における成形金型の酸化防止方法の一例を示す部分断面図である。
【００２１】
図２に示す本実施の形態における成形金型１は、例えば、リードフレーム上に搭載された半導体チップ（図示せず）を樹脂封止するために用いられるものであり、相対的に接近離反可能とされた上プラテン２ａと下プラテン２ｂの対向面には、上金型（第１金型）１ａと下金型（第２金型）１ｂとがそれぞれ固定されている。なお、本実施の形態の成形金型１では、上側に設けられた上プラテン２ａが固定式のものであり、下側に設けられた下プラテン２ｂが可動式のものであが、これに限定されるものではなく、両プラテンとも可動式のものであってもよく、また、上プラテン２ａが可動式で、下プラテン２ｂが固定式のものであってもよい。
【００２２】
したがって、本実施の形態の成形金型１では、下プラテン２ｂの上昇動作により、上下のプラテン２ａ，２ｂが接近し、かつ、下プラテン２ｂの下降動作により、上下のプラテン２ａ，２ｂが離反する。
【００２３】
これにより、上プラテン２ａと下プラテン２ｂとの相対的な接近離反動作によって、この上金型１ａと下金型１ｂとの密着および分離が行われる。
【００２４】
なお、上プラテン２ａおよび下プラテン２ｂは、支柱５に取り付けられ、さらに、下プラテン２ｂの上昇・下降動作は、下プラテン２ｂの下方でシリンダラムケース７内に配置されたプレスシリンダ６の駆動によって行われる。
【００２５】
ここで、プレスシリンダ６は油圧によって動作させるものであり、オイルタンク１１に貯蔵された作動油１２を油圧ポンプ９によってシリンダラムケース７内に供給し、この際の油圧によってプレスシリンダ６を押し上げ、これにより、下プラテン２ｂを上昇させるとともに、その逆の動作により、下プラテン２ｂを下降させるものである。
【００２６】
なお、プレスシリンダ６の外周には、複数個のリング状のシリンダパッキン１３が設けられ、このシリンダパッキン１３がシリンダラムケース７の内壁と密着していることにより、作動油１２の漏れを防いでいる。
【００２７】
また、上金型１ａおよび下金型１ｂには、それぞれキャビティブロック１ｄ（上側）とキャビティブロック１ｅ（下側）とが設置され、さらに、上金型１ａと下金型１ｂとの合わせ面１ｃ、すなわちキャビティブロック１ｄとキャビティブロック１ｄとの合わせ面１ｃには、前記半導体チップが配置されかつこの半導体チップを封止する樹脂封止部の形状に応じたキャビティ３が複数箇所に形成されている。
【００２８】
さらに、上金型１ａの中央部には、封止用樹脂が注入されるシリンダ状のポット４が貫通して形成され、このポット４内には前記封止用樹脂を押し出すプランジャ１０が配置されている。
【００２９】
なお、このポット４に対応する下金型１ｂの中央部には図示しないカルが刻設され、さらに、前記カルからは、前記した複数のキャビティ３に連通された複数のランナおよび前記カルが分岐して形成されている。
【００３０】
また、キャビティブロック１ｄ，１ｅ内には、キャビティブロック１ｄ，１ｅを補助的に小さな荷重で加圧して樹脂バリの発生を防止する複数本の弾性ピン１ｇが設けられ、さらに、上金型１ａおよび下金型１ｂ内には、型締め時に金型全体に均等に荷重を掛けるための複数個の補助ピンであるサポートピーラ１ｆが設けられている。
【００３１】
次に、図１および図２を用いて、図１に示す本実施の形態の成形金型酸化防止用シート８について説明する。
【００３２】
前記成形金型酸化防止用シート８は、図２に示す成形金型１の酸化防止を行うものであり、耐熱性および耐久性を有したシート材によって形成されるとともに、成形金型１の放置時（未使用時または長期待機時）に、図２に示すように上金型１ａと下金型１ｂとの間に配置され、かつ上金型（第１金型）１ａと下金型（第２金型）１ｂとによって型締め時の圧力より遙に低い圧力で挟持され、これにより、成形金型１の表面と内部（表面および合わせ面１ｃを含むキャビティ３）の酸化防止を行うものである。
【００３３】
なお、成形金型酸化防止用シート８は、例えば、耐熱性のゴム（弾性）部材、耐熱樹脂（２００℃以上の耐熱性を有したもの）、フッ素樹脂（２００℃以上の耐熱性を有し、かつシリコーンゴムと混合したもの）、紙、コットン紙、布または不織布などからなる収縮可能なシート材によって形成されている。
【００３４】
その際の成形金型酸化防止用シート８の耐熱性を表す耐熱温度は、上金型１ａおよび下金型１ｂの温度が１７０〜１８０℃付近まで上昇するため、２００℃以上であることが好ましい。
【００３５】
さらに、成形金型酸化防止用シート８は、成形金型１をモールドとして使用していない間（稼動停止中）、比較的長時間（例えば、１日〜１週間程度）使用するものであるため、その耐久性を表す耐久時間としては、少なくとも２４時間以上であることが好ましい。
【００３６】
また、成形金型酸化防止用シート８の大きさは、その厚さが、型開き時の上金型１ａと下金型１ｂとの間の距離よりも厚いものであり、例えば、１００〜２００ｍｍ程度であるとともに、面積は、上金型１ａおよび下金型１ｂの合わせ面１ｃとキャビティ３とを充分に覆う程度のものである。
【００３７】
したがって、成形金型１の上金型１ａと下金型１ｂとによって成形金型酸化防止用シート８を挟持した際には、成形金型酸化防止用シート８を全てのキャビティ３を含む合わせ面１ｃの全域と接触させることができる。
【００３８】
なお、成形金型酸化防止用シート８の大きさについては、前記した大きさに限定されるものではなく、成形金型１の大きさによって種々変更可能であることは言うまでもない。
【００３９】
さらに、本実施の形態の成形金型酸化防止用シート８は、溶剤や薬品が含浸されていないものであるが、必要に応じて、酸化防止機能を有する溶剤や薬品が含浸されているものであってもよい。
【００４０】
ここで、本実施の形態の成形金型酸化防止用シート８が、上金型１ａと下金型１ｂとによって挟持される際の荷重について説明する。
【００４１】
前記成形金型酸化防止用シート８は、図２に示すように上金型１ａと下金型１ｂとによって型締め時（樹脂封止時の型締め時）の圧力より遙に低い圧力で挟持されて使用する（このような低圧によるクランプを、以降、ソフトクランプと呼ぶ）ものである。
【００４２】
本実施の形態の成形金型１の場合、油圧ポンプ９によって下プラテン２ｂを上昇させて下金型１ｂを移動させるものであるため、成形金型酸化防止用シート８を前記ソフトクランプによって挟持する際には、下プラテン２ｂを僅か（微量）に上昇させる程度の低圧を掛ければ良い。
【００４３】
つまり、下プラテン２ｂを僅かに上昇させる程度の油圧を油圧ポンプ９からプレスシリンダ６に対して掛け、これにより、下プラテン２ｂを僅かに上昇させる。
【００４４】
ただし、下プラテン２ｂの僅かな上昇とは微量であるため、実際には、プレスシリンダ６がストロークエンドの周辺つまりプレスシリンダ６がほとんど上昇しない位置であり、作動油１２がオイルタンク１１に戻っている状態が望ましく、下プラテン２ｂを微量だけ上昇させて上金型１ａと下金型１ｂとによって成形金型酸化防止用シート８を挟んだ後、油圧ポンプ９の動作も停止しておく。
【００４５】
なお、下プラテン２ｂの僅かな上昇によって、図２に示すように、上金型１ａと下金型１ｂとが成形金型酸化防止用シート８の表裏両面に対してそれぞれめり込む状態を形成する必要があり、これにより、上金型１ａおよび下金型１ｂの合わせ面１ｃとキャビティ３とを成形金型酸化防止用シート８によって密封した状態とする。すなわち、成形金型酸化防止用シート８は上金型１ａと下金型１ｂとによって挟持された際に、その表裏両面において僅かに縮み（凹み）、上金型１ａおよび下金型１ｂに対して、それぞれの外周に僅かにオーバーラップした状態を形成し、これにより、合わせ面１ｃとキャビティ３とを成形金型酸化防止用シート８によって密封した状態とするものである。
【００４６】
したがって、上金型１ａと下金型１ｂとが成形金型酸化防止用シート８の表裏両面に対してそれぞれめり込む状態を形成する必要があり、その結果、上金型１ａと下金型１ｂとがそれぞれ僅かに成形金型酸化防止用シート８にめり込む程度に下プラテン２ｂを微量だけ上昇させる荷重（低圧すなわち型締め時の圧力より遙に低い圧力）をプレスシリンダ６に掛けることになる。
【００４７】
次に、本実施の形態による成形金型１の酸化防止方法について説明する。
【００４８】
前記成形金型１の酸化防止方法は、図１に示す成形金型酸化防止用シート８を用いたものである。
【００４９】
まず、耐熱性および耐久性を有したシート材によって形成された図１に示す成形金型酸化防止用シート８を準備する。
【００５０】
その後、一対の上金型１ａと下金型１ｂとからなり、かつ未使用中（稼動停止中）の図２に示す成形金型１の合わせ面１ｃおよびキャビティ３にこれらを覆うようにして成形金型酸化防止用シート８を配置する。
【００５１】
すなわち、稼動停止中の成形金型１の型開きを行い、図２に示すように、上金型１ａと下金型１ｂとの間において、下金型１ｂの合わせ面１ｃおよびキャビティ３上に成形金型酸化防止用シート８を配置（載置）する。
【００５２】
続いて、成形金型酸化防止用シート８を上金型１ａと下金型１ｂとによって型締め時の圧力より遙に低い圧力で挟持する。
【００５３】
つまり、上金型１ａと下金型１ｂとによって成形金型酸化防止用シート８をソフトクランプする。
【００５４】
その際、まず、下プラテン２ｂを僅か（微量）に上昇させる程度の油圧を油圧ポンプ９からプレスシリンダ６に対して掛け、これにより、下プラテン２ｂを微量だけ上昇させ、下金型１ｂ上の成形金型酸化防止用シート８が上金型１ａの表面に接するまで下プラテン２ｂを上昇させる。
【００５５】
その結果、上金型１ａと下金型１ｂとによって挟まれた成形金型酸化防止用シート８がその表裏両面において僅かに縮む（凹む）位置で下プラテン２ｂの上昇を停止させる。
【００５６】
これにより、成形金型酸化防止用シート８は、上金型１ａおよび下金型１ｂに対して、それぞれの外周に僅かにオーバーラップした状態を形成し、その結果、成形金型１の合わせ面１ｃとキャビティ３とを成形金型酸化防止用シート８によって密封した状態とする。
【００５７】
なお、実際には、下プラテン２ｂの上昇は微量であるため、プレスシリンダ６がストロークエンドの周辺つまりプレスシリンダ６がほとんど上昇しない位置であり、この際、作動油１２がオイルタンク１１に戻っている状態が望ましい。
【００５８】
続いて、油圧ポンプ９の動作を停止して、下プラテン２ｂの微量な上昇を停止させる。
【００５９】
その後、上金型１ａと下金型１ｂとによって前記低い圧力で成形金型酸化防止用シート８を挟持した状態（ソフトクランプ状態）、すなわち、上金型１ａと下金型１ｂとによって成形金型酸化防止用シート８を挟んでその合わせ面１ｃおよびキャビティ３を成形金型酸化防止用シート８によって密封した状態で、次着工まで成形金型１を放置する。
【００６０】
これにより、次着工まで、成形金型酸化防止用シート８によって成形金型１の合わせ面１ｃおよびキャビティ３に対して空気が触れるのを防ぐことができ、その結果、合わせ面１ｃおよびキャビティ３の酸化を防止することができる。
【００６１】
本実施の形態の成形金型酸化防止用シートおよび成形金型の酸化防止方法によれば、以下のような作用効果が得られる。
【００６２】
すなわち、成形金型酸化防止用シート８が耐熱性および耐久性を有したシート材によって形成され、かつ成形金型１の放置時に、上金型１ａと下金型１ｂとによって成形金型酸化防止用シート８を挟持することにより、放置時（長時間待機時）の成形金型１の合わせ面１ｃおよびキャビティ３の酸化を防止することができるとともに、その際、型締め時の圧力より遙に低い圧力（ソフトクランプ）で成形金型酸化防止用シート８を挟持することにより、成形金型１の部品（例えば、プレスシリンダ６のシリンダパッキン１３やＯリングなどのシリンダ用弾性部材やプレスオイル、あるいは、サポートピーラ１ｆや弾性ピン１ｇなどの金型補助部品、または油圧機器など）の損傷を防ぐことができる。
【００６３】
その結果、成形金型１の合わせ面１ｃおよびキャビティ３の離型性の低下を防止することができるとともに、成形金型１の放置状態から着工を開始する際に、成形金型１を型開きして成形金型酸化防止用シート８を取り出すだけで、直ぐに着工を開始することができる。
【００６４】
したがって、半導体装置などの着工品が少量多品種生産の場合に、一度中断していた着工を再開する際にも、直ぐに着工を開始することができる。
【００６５】
その結果、製品のターンアラウンドタイムを向上できる。
【００６６】
また、成形金型酸化防止用シート８が耐熱性および耐久性を有したシート材によって形成されていることにより、成形金型酸化防止用シート８の熱による経時変化を防ぐことができる。
【００６７】
これにより、成形金型酸化防止用シート８を繰り返して複数回使用することが可能になる。
【００６８】
また、成形金型酸化防止用シート８を用いることにより、成形金型１の合わせ面１ｃおよびキャビティ３の酸化を防止することができ、これにより、クリーニング用樹脂を用いた成形金型１のクリーニング作業を省くことができる。このクリーニング作業は１回当たり１時間程度要するため、このクリーニング作業を省くことができるのは、非常に有効である。
【００６９】
その結果、モールド工程の作業効率を向上できる。
【００７０】
なお、樹脂封止の際には、上金型１ａおよび下金型１ｂは、１７０〜１８０℃程度まで加熱されるため、シリンダ内のオイルが高温になり、前記クリーニング用樹脂を用いて繰り返してクリーニング作業を行うとプレスシリンダ６のシリンダパッキン１３やＯリングなどのシリンダ用弾性部材が劣化して損傷する。
【００７１】
したがって、この点からも前記クリーニング用樹脂を用いない本実施の形態の酸化防止方法は有効である。
【００７２】
さらに、ダミーリードフレームを用いたダミー成形品１４（図３参照）と成形金型酸化防止用シート８とを使用した場合などには一層気密性があり、その結果、成形金型１の酸化を防止できる。
【００７３】
これにより、クリーニングの作業を省くことができ、したがって、モールド工程における経済性を向上できる。
【００７４】
以上、本発明者によってなされた発明を発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記発明の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００７５】
例えば、前記実施の形態における成形金型１は、半導体チップを樹脂封止するためのものであるが、これに限定されるものではなく、他の種々の射出成形用、トランスファーモールド用の成形金型１に適用することが可能である。
【００７６】
また、前記実施の形態の成形金型１の酸化防止方法では、ダミー成形品１４を用いない方法について説明したが、図３に示す他の実施の形態の酸化防止方法のように、ダミー成形品１４を用いてもよい。
【００７７】
ここで、図３に示す酸化防止方法は、この成形金型１によってダミーリードフレームを樹脂成形して形成したダミー成形品１４を用いるものであり、まず、この成形金型１により樹脂成形されたダミー成形品１４を準備する。
【００７８】
さらに、厚さ１０μｍ程度の耐熱性を有したポリイミドフィルムなどの薄膜耐熱シート１５を準備する。
【００７９】
その後、成形金型酸化防止用シート８の表裏両面側において上金型１ａおよび下金型１ｂのキャビティ３にダミー成形品１４を配置し、さらに、この両側に配置したそれぞれのダミー成形品１４の外側に薄膜耐熱シート１５を配置する。
【００８０】
したがって、上金型１ａと下金型１ｂとによって成形金型酸化防止用シート８を挟持する際に、上金型１ａおよび下金型１ｂのそれぞれの各キャビティ３に薄膜耐熱シート１５を介してダミー成形品１４を配置し、これにより、成形金型酸化防止用シート８の表裏両面側にこのダミー成形品１４を配置させて、ダミー成形品１４を介して成形金型酸化防止用シート８を挟持するものである。
【００８１】
図３に示す酸化防止方法によれば、上金型１ａおよび下金型１ｂのそれぞれのキャビティ３に薄膜耐熱シート１５を介してダミー成形品１４を配置したことにより、薄膜耐熱シート１５がパッキンの役目を成しかつダミー成形品１４によって各キャビティ３の隅々まで密封することができるため、その結果、成形金型１の酸化防止効果をさらに向上させることができる。
【００８２】
また、図４に示す他の実施の形態の酸化防止方法は、成形金型酸化防止用シート８として多数の細孔８ａを有した多孔質シートを用いるものである。
【００８３】
まず、前記多孔質シートである成形金型酸化防止用シート８を準備し、その後、成形金型酸化防止用シート８を上金型１ａと下金型１ｂとによって前記低い圧力（ソフトクランプ）で挟持するとともに、ドライエアーまたはＮ2 ガスなどの酸化防止用気体１８を成形金型酸化防止用シート８内に供給することにより、外方からの成形金型酸化防止用シート８内への空気の侵入を阻止して成形金型１の酸化を防止するものである。
【００８４】
なお、図４に示す酸化防止方法においては、酸化防止用気体１８を成形金型酸化防止用シート８内に供給する際には、調節弁１６により酸化防止用気体１８の流量を微量に調節しながらガス供給手段１７からガス導入口１９を介して成形金型酸化防止用シート８内に酸化防止用気体１８を供給する。
【００８５】
図４に示す酸化防止方法によれば、成形金型１を放置している間、成形金型酸化防止用シート８内に酸化防止用気体１８を微量供給するため、前記同様、成形金型１の酸化防止効果をさらに向上させることができる。
【００８６】
なお、前記実施の形態および前記他の実施の形態における成形金型酸化防止用シート８は、その廃棄処理の容易性を考慮すると、燃焼や溶解が容易な材質で形成されているものが望ましい。
【００８７】
また、前記実施の形態および前記他の実施の形態においては、成形金型１において第１金型が上金型１ａで、かつ第２金型が下金型１ｂの場合を説明したが、第１金型が下金型１ｂで、第２金型が上金型１ａであってもよい。
【００８８】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００８９】
（１）．成形金型の放置時に、第１金型と第２金型とによって耐熱性および耐久性を有した成形金型酸化防止用シートを挟持することにより、放置時の成形金型の合わせ面およびキャビティの酸化を防止することができるとともに、その際、型締め時の圧力より遙に低い圧力で成形金型酸化防止用シートを挟持することにより、成形金型の部品の損傷を防ぐことができる。その結果、成形金型の合わせ面およびキャビティの離型性の低下を防止することができ、かつ放置状態から着工を開始する際に、成形金型を型開きして成形金型酸化防止用シートを取り出すだけで、直ぐに着工を開始することができる。
【００９０】
（２）．前記（１）により、半導体装置などの着工品が少量生産の場合などに、一度中断していた着工を再開する際にも、直ぐに着工することができる。その結果、製品のターンアラウンドタイムを向上できる。
【００９１】
（３）．成形金型酸化防止用シートが耐熱性および耐久性を有したシート材によって形成されていることにより、成形金型酸化防止用シートの熱による経時変化を防ぐことができる。これにより、成形金型酸化防止用シートを繰り返して複数回使用することができる。
【００９２】
（４）．前記（１）により、成形金型の合わせ面およびキャビティの酸化を防止することができ、これにより、クリーニング用樹脂を用いた成形金型のクリーニング作業を省くことができる。その結果、モールド工程の作業効率を向上できる。
【００９３】
（５）．ダミーリードフレームを用いたダミー成形品を使用せずに成形金型の酸化を防止できるため、クリーニング用樹脂やダミーリードフレームを不要にすることができる。これにより、モールド工程における経済性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における成形金型酸化防止用シートの構造の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態における成形金型の酸化防止方法の一例を示す部分断面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態である成形金型の酸化防止方法を示す拡大部分断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態である成形金型の酸化防止方法を示す拡大部分断面図である。
【符号の説明】
１  成形金型
１ａ  上金型（第１金型）
１ｂ  下金型（第２金型）
１ｃ  合わせ面
１ｄ，１ｅ  キャビティブロック
１ｆ  サポートピーラ
１ｇ  弾性ピン
２ａ  上プラテン
２ｂ  下プラテン
３  キャビティ
４  ポット
５  支柱
６  プレスシリンダ
７  シリンダラムケース
８  成形金型酸化防止用シート
８ａ  細孔
９  油圧ポンプ
１０  プランジャ
１１  オイルタンク
１２  作動油
１３  シリンダパッキン
１４  ダミー成形品
１５  薄膜耐熱シート
１６  調節弁
１７  ガス供給手段
１８  酸化防止用気体
１９  ガス導入口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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