(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端に開口部を有するガラス管の内部に、前記開口部の少なくとも一方から、比重の異なる複数種類の蛍光材を含有した蛍光膜形成溶剤を導入する工程と、
前記ガラス管の管長方向に沿った中心軸を回転軸として、前記ガラス管を１００ｒｐｍ以上１０００ｒｐｍ以下の、前記比重の異なる複数種類の蛍光材に対する遠心分離能力の小さい、第一の回転速度で回転させ、前記ガラス管の内壁に前記複数種類の蛍光材を均一に分散させる工程と、
前記ガラス管の内壁に前記複数種類の蛍光材を均一に分散させた後、前記回転軸を用いて、前記ガラス管を前記第一の回転速度よりも高速の第二の回転速度で回転させることにより、均一に分散させた前記複数種類の蛍光材を前記ガラス管の内壁に押圧する工程
とを備え、前記蛍光膜形成溶剤から前記ガラス管の内壁に前記複数種類の蛍光材からなる蛍光膜を形成することを特徴とする冷陰極蛍光放電管の製造方法。
【請求項２】
前記複数種類の蛍光材は、青色系蛍光体と、該青色系蛍光体よりも比重が大きく粒子の径も大きい赤色系蛍光体及び緑色系蛍光体とを含むことを特徴とする請求項１記載の冷陰極蛍光放電管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷陰極蛍光放電管の製造方法に関し、特にガラス細管の内壁に蛍光膜を形成する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータに接続された液晶モニタ、液晶テレビ等においてはバックライト方式が広く採用されており、このバックライト方式の光源には冷陰極蛍光放電管が一般的に使われている。このような用途の冷陰極蛍光放電管では、均一な発光強度並びに均一な発光色を得ることが要求されるとともに、冷陰極蛍光放電管の細管化の要求も高まりつつある。即ち、情報通信時代の進展やモバイルユースの増大からＯＡ機器、ＡＶ機器の小型化・薄型化が進んでおり、それに対応して液晶モニタ等の光源としての冷陰極蛍光放電管の小型化・細管化が要求されている。また、冷陰極蛍光放電管から放出された光がバックライトを通過するときの光使用効率の向上を図る上でも、放電管の細管化は重要な課題である。
【０００３】
冷陰極蛍光放電管は、周知のとおりガラス管の内壁に薄い蛍光膜を形成し、ガラス管内部に封入された水銀蒸気からの紫外線放射をこの蛍光膜によって可視光に変換している。このガラス管の内壁に蛍光膜を形成する方法としては、ガラス管を直立させた状態で、ガラス管の一方の開口部から蛍光材を吸い上げてガラス管の内壁に付着させる方法が一般的である。
【０００４】
即ち、まず、両端が開口されたガラス管を用意し、このガラス管をその下端の開口部が蛍光膜形成溶剤に浸された状態で直立に配置する。次に、ガラス管の上端の開口部より吸引を行い、ガラス管の内部圧力を陰圧化することにより、蛍光膜形成溶剤をガラス管の内部に吸い上げてガラス管の内壁に蛍光膜形成溶剤を付着させる。続いて、陰圧を解除して余分な蛍光膜形成溶剤をガラス管の下端の開口部より排出した後、ガラス管内部に乾燥用ガスを流し込み、ガラス管の内壁に付着した蛍光膜形成溶剤に含まれる溶剤を揮発させる。最後に、ガラス管に熱処理を施すことにより、蛍光材をガラス管の内壁に焼き付けて蛍光膜を形成することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前述の冷陰極蛍光放電管の製造方法によれば、ガラス管の直径が２．０〜６．０ｍｍφ、ガラス管の長さが３５０ｍｍ程度のものであれば、ガラス管の内部に薄い蛍光膜を良好にかつ生産性良く形成することができる。しかし、ガラス管の直径がこれよりも小さくなった場合や、ガラス管の長さが３５０ｍｍを越えるような場合には蛍光膜を良好に形成することができない。特に、ガラス管に微妙な曲がりが生じた場合には、蛍光膜を良好に形成することが困難となる。
【０００６】
このため、ガラス管の内部に吸い上げた蛍光膜形成溶剤をガラス管の開口部より排出した後、ガラス管を管長方向に沿った中心軸を回転軸として回転させることが考えられる。この方法によれば、ガラス管の曲がりによって蛍光膜が良好に形成できない等の問題を改善できることが期待される。しかしこの製造方法においても、以下の点については配慮がなされていなかった。
【０００７】
即ち、蛍光膜形成溶剤としては、溶剤、結着材及び赤色系蛍光体、緑色系蛍光体及び青色系蛍光体とから構成される蛍光材成分を混合したものを一般的に使用する。具体的に、溶剤にはニトロセルロース又はエチルセルロース等の有機溶剤を、結着材には低融点ガラスの粉末を使用する。ここで、蛍光材成分における青色系蛍光体は、赤色系蛍光体及び緑色系蛍光体に比較して、比重が小さく粒子の径も小さい。このため、ガラス管を管長方向に沿った中心軸を回転軸として回転させたときに、遠心分離されるため、蛍光膜形成溶剤中に含まれる赤色系蛍光体及び緑色系蛍光体はガラス管の内壁近傍に集まるが、青色系蛍光体はガラス管の内壁近傍に集まらずに、蛍光膜形成溶剤層の表面、即ちガラス管の内壁から離間した領域に集まりやすい。このように、青色系蛍光体が蛍光膜形成溶剤層の表面側に集中すると、形成された蛍光膜中における赤色系蛍光体、緑色系蛍光体及び青色系蛍光体の分布が不均一となる。また、ガラス管内部に乾燥用ガスを流し込んだときに、青色系蛍光体が選択的に流れ出てしまい、形成された蛍光膜中の赤色系蛍光体、緑色系蛍光体及び青色系蛍光体の含有量にバラツキが生じる。青色系蛍光体は、赤色系蛍光体及び緑色系蛍光体に比べて、特に輝度への影響が大きく、また紫外線による劣化も生じやすい。したがって、前述のように蛍光膜中における蛍光材組成の分布の不均一化や含有量のバランスが崩れると、色度や輝度のバラツキが生じやすく、また長期間にわたって輝度を良好に維持できないと言う問題が発生する。
【０００８】
本発明は上記課題を解決するためになされたものである。したがって、本発明の目的は、組成及び膜厚の均一性に優れ膜の厚い蛍光膜を容易に形成可能な冷陰極蛍光放電管の製造方法を提供することである。特に、ガラス管の内径が１．５ｍｍφ以下の場合、ガラス管の長さが３５０ｍｍを越えるような場合、ガラス管が微妙な曲がりを有する場合、そして蛍光材成分中の蛍光材間に比重差が存在する場合等においても、組成及び膜厚の均一性に優れ且つ蛍光膜の厚い冷陰極蛍光放電管の製造方法を提供することである。
【０００９】
また本発明の目的は、色度や輝度のバラツキが少なく、また長期間にわたって輝度を良好に維持できる信頼性の高い冷陰極蛍光放電管の製造方法を提供することである。
【００１０】
更に本発明の目的は、生産性を向上することができる冷陰極蛍光放電管の製造方法を提供することである。
【００１１】
更に本発明の目的は、液晶モニタ、液晶テレビ等の装置の小型化を実現することができる冷陰極蛍光放電管の製造方法を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明の特徴は、（イ）両端に開口部を有するガラス管の内部に、開口部の少なくとも一方から蛍光膜形成溶剤を導入する工程、（ロ）ガラス管の管長方向に沿った中心軸を回転軸として、ガラス管を第一の回転速度で回転させ、ガラス管の内壁に蛍光膜形成溶剤を付着させる工程、（ハ）回転軸を用いて、ガラス管を第一の回転速度よりも高速の第二の回転速度で回転させることにより、付着した蛍光膜形成溶剤をガラス管の内壁に押圧する工程とを備え、蛍光膜形成溶剤からガラス管の内壁に蛍光膜を形成する冷陰極蛍光放電管の製造方法であることを要旨とする。例えば、「第一の回転速度」を１００ｒｐｍ以上１０００ｒｐｍ未満とすれば、「第二の回転速度」は５０００ｒｐｍ以上１５０００ｒｐｍ未満程度にすればよい。好ましくは、第一の回転速度を２００ｒｐｍ以上５００ｒｐｍ未満とし、第二の回転速度を１００００ｒｐｍ以上１５０００ｒｐｍ未満程度に選定すれば良い。
【００１３】
特に、本発明の冷陰極蛍光放電管の製造方法は、ガラス管の内径が１．５ｍｍφ以下の場合、ガラス管の長さが３５０ｍｍを越えるような場合、ガラス管が微妙な曲がりを有する場合、そして蛍光材成分中の蛍光材間に比重差が存在する場合において、このガラス管の内壁に良質の蛍光膜を形成する場合には好適な方法である。
【００１４】
比較的低速度の第一の回転速度で回転させる工程では、遠心力が小さく、蛍光膜形成溶剤中の蛍光材が均一に分散して、ガラス管の内壁に付着する。つまり、蛍光膜形成溶剤には少なくとも溶剤、結着材及び比重の異なる複数種類の蛍光材が含まれる場合においては、遠心分離能力の低い、第一の回転速度での回転により、比重の異なる複数種類の蛍光材が均一に分散される。このように、ガラス管を第一の回転速度で回転させて、蛍光膜形成溶剤中の複数種類の蛍光材を、その厚み方向において均一に分散した状態で付着させ、次にガラス管を第二の回転速度で回転させて、遠心力を強くし、均一に分散した状態を保った蛍光膜形成溶剤を、ガラス管の内壁に強く押圧・付着させる。そして、その後に溶剤を取り除くことにより、ガラス管の内壁に、均一な組成の蛍光膜が形成される。更に、蛍光膜形成溶剤を導入する工程は、ガラス管の一方の開口部を蛍光膜形成溶剤に浸漬させ、ガラス管の他方の開口部から蛍光膜形成溶剤を吸引する工程で行えば良い。
【００１５】
この結果、ガラス管の内径が小さな場合においても、組成及び膜厚の均一性に優れ、且つ膜の厚い蛍光膜を、ガラス管の内壁に容易に形成することができる。したがって、色度や輝度のバラツキが少なく、紫外線照射やスパッタに対する強度が高い蛍光膜を形成することができ、長期間にわたって高輝度が安定して得られる。このため、信頼性の高い冷陰極蛍光放電管を製造することができる。
【００１６】
更に、蛍光膜形成溶剤の粘度を低くし、ガラス管の内部に蛍光膜形成溶剤を容易に導入することもできる。特に、蛍光膜形成溶剤の粘度を低くすれば、１．５ｍｍφ以下の内径を有するガラス細管においても、このガラス細管の内部に蛍光膜形成溶剤を容易に吸い上げることができる。したがって、蛍光膜の形成工程の自動化を行い、冷陰極蛍光放電管を量産することができるので、この冷陰極蛍光放電管の生産コスト並びに製品コストを減少させることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図２に示すように、本発明の実施の形態に係る冷陰極蛍光放電管１は、両端部が封じられて内部に気密空間を有するガラス管２と、このガラス管２の内壁に形成された蛍光膜３と、ガラス管２の左側端部の放電用電極４Ａ及び電極端子５Ａと、ガラス管２の右側端部の放電用電極４Ｂ及び電極端子５Ｂと、ガラス管２の気密空間内に封入された放電用ガス６とを備えている。
【００１８】
ガラス管２は、例えば外径１．９ｍｍφ、内径１．５ｍｍφ、管長５００ｍｍの細長い筒状の細管で形成されている。ガラス管２の内壁の蛍光膜３は、放電により発生する紫外線の照射を受けて可視光線を放出するようになっている。放電用ガス６は冷陰極蛍光放電管１の点灯を助けるために封入されている。この放電用ガス６には例えばアルゴン(Ａｒ)ガス、キセノン(Ｘｅ)ガス等の希ガスを使用することができ、ガラス管２の内部の圧力は５．３ｋＰａ〜１３ｋＰａ程度に設定されている。なお、ガラス管２の内部には、放電用ガス６とともに、水銀放電を発生させるための必要一定量の水銀（水銀粒）が封入されている。
【００１９】
ガラス管２の内部において両端部に一対で配設された放電用電極４Ａ、４Ｂは、いずれも円筒形状で形成され、例えばニッケル（Ｎｉ）等の電極材料で形成されている。一対の放電用電極４Ａ、４Ｂのそれぞれの電極形状は、特に限定されないが、皿形状、棒形状、ワイヤ形状等、様々な形状を採用することができる。
【００２０】
電極端子５Ａの一端側は放電用電極４Ａに電気的に接続され、他端側はガラス管２の外部に導出されている。同様に、電極端子５Ｂの一端側は放電用電極４Ｂに電気的に接続され、他端側はガラス管２の外部に導出されている。電極端子５Ａ、５Ｂはいずれも例えばニッケル等の電気伝導性が良好な金属材料で形成されており、電極端子５Ａと放電用電極４Ａとの間、電極端子５Ｂと放電用電極４Ｂとの間はいずれも例えば溶融結合にて接合されている。
【００２１】
次に、図２に示す冷陰極蛍光放電管１の製造方法を、図１、図３〜図８の工程断面図を用いて説明する。
【００２２】
（１）まず最初に、図３に示すように、左側の一端に第１の開口部２１を有し、右側の他端に第２の開口部２２を有する細長い筒状のガラス管２０を用意する。このガラス管２０は、上記外径寸法並びに内径寸法を有する長尺状のガラス細管を、周知のガラス切断技術により適正な管長において切断したものである。この段階においては、ガラス管２０の内壁に蛍光膜３は形成されていない。
【００２３】
（２）次に、ガラス管２０の第１の開口部２１を下側にし、図４に示すように、第２の開口部２２を上側にしてガラス管２０を直立状態で保持する。そして、このガラス管２０の第１の開口部２１を容器３０内に満たされた蛍光膜形成溶剤３１に浸漬させる。蛍光膜形成溶剤３１は、溶剤、結着材及び蛍光材の３種類の成分を混合したものを使用することができる。溶剤には例えばニトロセルロース又はエチルセルロース等の有機溶剤を使用することができる。結着材には例えば低融点ガラスの粉末等を使用することができる。蛍光材にはそれぞれ比重の異なる赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色をブレンドした市販の蛍光材等を使用することができる。蛍光膜形成溶剤３１は、溶液中に占める溶剤の含有率を、例えば１１重量％程度に設定している。
【００２４】
（３）次に、ガラス管２０の第２の開口部２２を吸引装置３５に連接し、吸引装置３５を稼働させてガラス管２０の内部圧力を陰圧にする。この結果、図４に示すように、ガラス管２０の第１の開口部２１から容器３０内の蛍光膜形成溶剤３１が吸い上げられ、ガラス管２０の内部に蛍光膜形成溶剤３１が充填される。蛍光膜形成溶剤３１の粘度を低く設定しておけば、ガラス管２０の内径が１．５ｍｍφの細管であっても、更に内径が１．５ｍｍφ以下の細管であっても、ガラス管２０の内部に蛍光膜形成溶剤３１を容易にかつ良好な状態で吸い上げることができる。そして、蛍光膜形成溶剤３１は、ガラス管２０の長さ方向の全体にわたって満遍なく付着する。なお、吸引装置３５には、水流アスピレータ、水封ポンプ、スチームエゼクターポンプ、油回転ポンプ、乾式回転ポンプ、メカニカルブースタポンプ等の真空排気装置を使用することができる。
【００２５】
（４）次に、ガラス管２０の第２の開口部２２からの吸引を解除して、第１の開口部２１からの蛍光膜形成溶剤３１の吸い上げを停止する。吸引装置３５による吸引を解除し、ガラス管２０の内部の余分な蛍光膜形成溶剤３１を自重によって第１の開口部２１から容器３０に排出させる。余分な蛍光膜形成溶剤３１を排出した後においては、ガラス管２０の内壁には蛍光膜形成溶剤３１がある一定の厚みで付着して残存している。
【００２６】
（５）次に、図１に示すように、ガラス管２０を直立状態に保持したまま高速スピナー７に取り付け、管長方向に沿った中心軸を回転軸として、ガラス管２０を比較的低速の第一の回転速度で回転させる。第一の回転速度は、１００ｒｐｍ以上１０００ｒｐｍ未満、好ましくは２００ｒｐｍ以上５００ｒｐｍ未満の回転速度に設定される。この回転を与えることによって蛍光膜形成溶剤はガラス管２０の内壁に押圧されて付着するが、回転速度が比較的遅いため、蛍光材の比重差に起因する組成の分布のバラツキは発生しない。即ち、蛍光膜形成溶剤中の赤色系蛍光体、緑色系蛍光体及び青色系蛍光体が遠心力によって均一に分散し、蛍光膜形成溶剤の厚み方向においてこれらが混在した状態で付着している。また、蛍光膜形成溶剤のガラス管への付着強度もそれほど強くない。これに対して、ガラス管２０を５０００ｒｐｍを超える回転速度で回転させると、比重の小さい青色系蛍光体のみが蛍光膜形成溶剤の表面に集中して分布するようになる。
【００２７】
（６）次に、図１に示すように、ガラス管２０を直立状態に保持したまま、ガラス管２０を管長方向に沿った中心軸を回転軸として、比較的高速の第二の回転速度で回転させる。第二の回転速度は５０００ｒｐｍ以上１５０００ｒｐｍ、好ましくは１００００ｒｐｍ以上１５０００ｒｐｍ未満に設定させる。この回転を与えることにより、ガラス管の内壁に付着した蛍光膜形成溶剤３１には強い遠心力が加わり、蛍光膜形成溶剤３１はガラス管２０の内壁に強く押圧され、ガラス管２０の内壁に強く付着された蛍光膜形成溶剤３２を形成することができる。このとき、前述のように第一の回転速度に基づく相対的に小さい遠心力を加えることによって、蛍光膜形成溶剤３１中の赤色系蛍光体、緑色系蛍光体及び青色系蛍光体は均一に分散し、蛍光膜形成溶剤３１の厚み方向においてこれらが混在した状態で付着しているので、この蛍光膜形成溶剤３１に第二の回転速度に基づく相対的に大きい遠心力が加わることによってガラス管２０の内壁に強く付着された蛍光膜形成溶剤３２中においても赤色系蛍光体、緑色蛍光体及び青色系蛍光体は均一に分散している。したがって、蛍光膜形成溶剤３２の厚み方向においてこれらが混在して分布した状態で付着する。
【００２８】
このように、蛍光膜形成溶剤３２の赤色系蛍光体、緑色系蛍光体及び青色系蛍光体が均一に分散した状態で付着していること、第二の回転速度に基づく相対的に大きい遠心力によりガラス管２０の内壁に蛍光膜形成溶剤３２が強く付着させられていることによって、蛍光膜の膜厚や組成の均一性が向上し、色度や輝度のバラツキは実用上問題の無いレベルにまで減少させることができる。
【００２９】
（７）次に、図５に示すように、ガラス管２０の第２の開口部２２を乾燥用ガス発生装置８に接続する。そして、この乾燥用ガス発生装置８から、ガラス管２０の内部に乾燥用ガスを送り込むことにより、ガラス管２０の内壁に付着された蛍光膜形成溶剤３２中に含まれる溶剤を揮発させる。乾燥用ガス８０には、例えば乾燥窒素（Ｎ２）ガス、ヘリウム（Ｈｅ）、アルゴン（Ａｒ）等の不活性ガスや乾燥空気等を使用することができる。溶剤の揮発により、ガラス管２０の内壁に付着された蛍光膜形成溶剤３２から膜厚がほぼ均一化された蛍光膜形成溶剤３３を形成することができる。
【００３０】
なお、蛍光膜形成溶剤３３の溶剤は後述の焼成工程を行う前に完全に揮発させておく必要があり、焼成工程時に溶剤が残存していると、溶剤の揮発に伴いボイドが発生する場合がある。また、焼成工程時に溶剤が残存していると、溶剤が酸化して蛍光膜中にカーボンが生成される場合があり、この点からも蛍光膜形成溶剤３３中の溶剤は焼成工程前に充分に揮発させておくことが重要である。
【００３１】
（８）次に、図６に示すように、焼成炉（熱処理炉）９内にガラス管２０を移送する。そして、この焼成炉９内において、ガラス管２０に約７００℃程度の熱処理を施し、蛍光膜形成溶剤３３中の結着材とともに蛍光材をガラス管２０の内壁に焼き付ける。この焼き付けにより、ガラス管２０の内壁に均一な膜厚で、緻密な膜質で、且つ厚い膜厚で蛍光膜３を形成する。蛍光膜３は例えば１０μｍ〜２０μｍの膜厚で形成されることが好ましい。
【００３２】
（９）次に、蛍光膜３が形成されたガラス管２０の一方の第１の開口部２１に放電用電極４Ａ及びそれに結合された電極端子５Ａを配設し、図７に示すように、ガラス管２０の一方の第１の開口部２１を溶融結合させる。
【００３３】
（１０）次に、ガラス管２０の他方の第２の開口部２２からガラス管２０の内部をターボ分子ポンプ、クライオポンプ、油拡散ポンプ等の真空排気装置により排気した後、ガラス管２０の内部に放電用ガス６を上記圧力で充填する。引き続き、図８に示すように、ガラス管２０の第２の開口部２２に放電用電極４Ｂ及びそれに結合された電極端子５Ｂを配設する。そして、ガラス管２０の第２の開口部２２を溶融結合させ、放電用ガス６をガラス管２０の内部に封じ込めるとともに、余分なガラス管２０を切り落とすことにより、図２に示す冷陰極蛍光放電管１が完成する。
【００３４】
このような冷陰極蛍光放電管１の製造方法においては、ガラス管２０に蛍光膜形成溶剤３１を導入した後、まずガラス管２０をその管長方向に沿った中心軸を回転軸として比較的低速な第一の回転速度で回転させるので、蛍光膜形成溶剤３１中の比重の異なる蛍光材を遠心力によって均一に分散させることができ、蛍光膜形成溶剤３１をその厚み方向において、複数種類の蛍光材が混在した状態で、ガラス管２０に付着させることができる。次に、ガラス管２０をその管長方向に沿った中心軸を回転軸として比較的高速な第二の回転速度で回転させるので、蛍光材が均一に分散した状態を維持しつつ、蛍光膜形成溶剤３１をガラス管の内壁に強く付着させることができる。この結果、ガラス管の内径が小さな場合においても、組成及び膜厚の均一性に優れ膜の厚い蛍光膜を容易に形成することができる。したがって、冷陰極蛍光放電管１の点灯時において、色度や輝度のバラツキが少なく、紫外線照射やスパッタに対する強度が高い蛍光膜を形成することができるので、長期間にわたって高輝度が安定して得られ、信頼性の高い冷陰極蛍光放電管１を製造することができる。
【００３５】
更に、蛍光膜形成溶剤３１の粘度を低くすることにより、ガラス管２０の内部に蛍光膜形成溶剤３１を容易に導入することができる。特に、１．５ｍｍφ以下の内径を有するガラス管（ガラス細管）２０においても、このガラス管２０の内部に蛍光膜形成溶剤３１を容易に吸い上げることができる。したがって、蛍光膜３の形成工程の自動化を行い、冷陰極蛍光放電管１を量産することができるので、この冷陰極蛍光放電管１の生産コスト並びに製品コストを減少することができる。
【００３６】
更に、このような冷陰極蛍光放電管１の製造方法においては、１．５ｍｍφ以下の内径を有するガラス管２の内壁に良質の蛍光膜３を形成することができるので、コンピュータの液晶モニタ、液晶テレビ等の装置の小型化を実現することができる。
【００３７】
（その他の実施の形態）
本発明は上記実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００３８】
例えば、図４においては、ガラス管２０を直立状態に保持して蛍光膜形成溶剤３１を吸い上げ、ガラス管２０の内壁に蛍光膜形成溶剤３１を導入する方法を採用した。しかし、本発明は、ガラス管２０を水平状態、即ち横方向に寝かせた状態に配置し、ガラス管２０の内部圧力を陰圧にし、ガラス管２０の内部に横方向から蛍光膜形成溶剤３１を導入してもよい。その後、ガラス管２０の第２の開口部２２からの吸引を解除して、ガラス管２０を直立状態にし、ガラス管２０の内部の余分な蛍光膜形成溶剤３１を自重によって第１の開口部２１から容器３０に排出させればよい。この後は、図１と同様に、ガラス管２０を直立状態に保持したまま高速スピナー７に取り付け、管長方向に沿った中心軸を回転軸として、ガラス管２０を比較的低速の第一の回転速度で回転させればよい。
【００３９】
また、図１においては、ガラス管２０に蛍光膜形成溶剤３１を塗布した後、ガラス管２０を直立に保持した状態で回転させる方法を採用したが、本発明は、目的や用途により、直立状態や水平状態を含むどのような角度に回転軸を保持した状態で回転させても構わない。また、第一の回転速度での回転工程及び第二の回転速度での回転工程の途中で、回転軸を一定角度移動しても構わない。
【００４０】
更に、上記本発明の実施の形態に係る冷陰極蛍光放電管１の製造方法においては、ガラス管２０に蛍光膜形成溶剤３１を塗布した後、ガラス管２０を第一の回転速度と第二の回転速度において２度回転させる方法を採用したが、本発明は、目的や用途により、第三の回転速度、第四の回転速度、・・・・・を用いて、３度以上回転させる工程を有してもよいし、各々の回転速度を変化させてもよい。
【００４１】
更に、上記本発明の実施の形態に係る冷陰極蛍光放電管１の製造方法においては、ガラス管２０の内部に蛍光膜形成溶剤３１を導入した後に、このガラス管２０に第一の回転速度における回転を与えているが、本発明は、ガラス管２０の内部に蛍光膜形成溶剤３１を導入する工程と同時にこのガラス管２０に第一の回転速度における回転を与えてもよい。
【００４２】
更に、上記本発明の実施の形態に係る冷陰極蛍光放電管１の製造方法においては、ガラス管２０の内部に蛍光膜形成溶剤３１を導入し、このガラス管２０に第二の回転速度における回転を与えてから、このガラス管２０の内部に乾燥用ガス８０を送り込み膜厚を均一化した蛍光膜形成溶剤３３を形成しているが、本発明は、ガラス管２０の内部に蛍光膜形成溶剤３１を導入し、このガラス管２０の内部に乾燥用ガス８０を送り込み膜厚を均一化した蛍光膜形成溶剤３３を形成してから、ガラス管２０に第二の回転速度における回転を与えてもよい。あるいは、このガラス管２０に乾燥用ガス８０を流し込みながら、第二の回転速度における回転を与えてもよい。
【００４３】
更に、上記本発明の実施の形態に係る冷陰極蛍光放電管１の製造方法においては、工程（１）から工程(１０)までの１０工程にて冷陰極蛍光放電管１を完成させる方法を採用したが、本発明は、目的や用途により、工程（２）から工程(６)まで、あるいは工程（２）から工程(８)までの工程を複数回繰り返して、冷陰極蛍光放電管１を完成させもよい。
【００４４】
また、例えば、上記冷陰極蛍光放電管１の外周囲に更にガラス管を備えた二重管式放電管に応用することができる。
【００４５】
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【００４６】
【発明の効果】
本発明によれば、組成及び膜厚の均一性に優れ膜の厚い蛍光膜を容易に形成可能な冷陰極蛍光放電管の製造方法を提供することができる。特に、ガラス管の内径が１．５ｍｍφ以下の場合、ガラス管の長さが３５０ｍｍを越えるような場合、ガラス管が微妙な曲がりを有する場合、そして蛍光材成分中の蛍光材間に比重差が存在する場合等においても、厚く且つ組成及び膜厚の均一性に優れた蛍光膜を有した冷陰極蛍光放電管を提供することができる。
【００４７】
また本発明によれば、色度や輝度のバラツキが少なく、また長期間にわたって輝度を良好に維持できる信頼性の高い冷陰極蛍光放電管の製造方法を提供することができる。
【００４８】
更に本発明によれば、生産性を向上することができる冷陰極蛍光放電管の製造方法を提供することができる。
【００４９】
更に本発明によれば、液晶モニタ、液晶テレビ等の装置の小型化を実現することができる冷陰極蛍光放電管の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る冷陰極蛍光放電管の工程断面図であり、図４に続く工程断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る冷陰極蛍光放電管の断面構造図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る冷陰極蛍光放電管の最初の工程断面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る図３に続く冷陰極蛍光放電管の工程断面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る図１に続く冷陰極蛍光放電管の工程断面図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る図５に続く冷陰極蛍光放電管の工程断面図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る図６に続く冷陰極蛍光放電管の工程断面図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る図７に続く冷陰極蛍光放電管の工程断面図である。
【符号の説明】
１  冷陰極蛍光放電管
２，２０  ガラス管
３  蛍光膜
４Ａ，４Ｂ  放電用電極
５Ａ，５Ｂ  電極端子
６  放電用ガス
７  高速スピナー
８  乾燥用ガス発生装置
９  焼成炉
２１  第１の開口部
２２  第２の開口部
３０  容器
３１，３２，３３  蛍光膜形成溶剤
３５  吸引装置
８０  乾燥用ガス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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