(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）アクリル酸又はメタクリル酸とこれらと共重合しうるビニルモノマーとの共重合体（但し、不飽和モノカルボン酸の重合体もしくは他のエチレン不飽和化合物との共重合体のカルボン酸に部分的に１個のエポキシ基と１個以上のエチレン不飽和基とを有する化合物を付加させた生成物を除く。）、
（Ｂ）分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、
（Ｃ）光重合開始剤及び
（Ｄ）下記一般式（１）で表されるイミダゾール化合物と一般式（２）で表される３−グリシドキシプロピルシランを８０〜２００℃で反応させ生成するイミダゾールシラン化合物
を含む感光性樹脂組成物。
【化１】
0003692197.tif 000005
（但し、一般式（１）、（２）において、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ3及びＲ4は炭素数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３の整数である。）
【請求項２】
（Ａ）成分がアルカリ水溶液に可溶又は膨潤可能であり、酸価が１００〜５００であり、重量平均分子量が２０，０００〜３００，０００である請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分及び（Ｄ）成分の使用割合が、
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し、（Ａ）成分が４０〜８０重量部、
（Ｂ）成分が２０〜６０重量部、（Ｃ）成分が０．１〜２０重量部及び（Ｄ）成分が０．００５〜２０重量部である請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
請求項１、２又は３記載の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布及び乾燥してなる感光性エレメント。
【請求項５】
請求項１、２又は３記載の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布及び乾燥した後、保護フィルムを積層してなる感光性エレメント。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントに関し、さらに詳しくは下地金属への密着性、耐めっき性及び耐薬品性に優れ、特に耐金めっき性に優れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、印刷配線板の製造、金属の精密加工等の分野において、エッチング、めっき等に用いられるレジスト材料としては、感光性樹脂組成物及びこれを用いて得られる感光性フィルムが広く用いられている。この感光性フィルムには、塩素系有機溶剤を用いて現像する溶剤現像型感光性フィルムと、アルカリ水溶液を用いて現像するアルカリ現像型感光性フィルムとがあるが、コスト、作業環境等の面からアルカリ現像型感光性フィルムが多く使用されている。また印刷配線板の製造方法としては、近年印刷配線板が高密度化し、パターンが細線化しているため、めっき法が主流となりつつある。このめっき法は、チップ搭載のためのスルーホール及び電気回路を除いてレジストを被履し、電気めっきによりスルーホール及び電気回路を作製し、その後レジスト剥離、エッチングによって電気回路の作製を行う方法である。めっき法におけるめっき液としては、ピロリン酸銅、硫酸銅、はんだ、ニッケル、パラジウム、金等が用いられるが、これらの耐摩耗性、耐腐食性等の点から端子部、スルーホール部に金めっきが行われることが多い。該めっき法においては、主に銅が用いられている下地金属と感光性フィルムとの密着性を増大させるため、感光性樹脂組成物に添加剤が配合されている。この添加剤には、複素環状化合物（特開昭５３−７０２号公報）、インダール又はその誘導体（特開昭５５−６５２０３号公報）、フタラゾン又はその誘導体（特開昭５５−６５２０２号公報）、テトラゾール又はその誘導体（特開昭５９−１２５７２６号公報）、ロフィン（特開昭５９−１２５７２７号公報）が知られている。しかし、これらの添加剤を用いても、現像後の銅面の変色又はピロリン酸銅めっき、金めっき等のめっきのように非常に強い処理を行う場合にレジスト膜のはがれ、持ち上がり、めっきのもぐり（レジストの下にめっきが析出する現象）などが発生する問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、レジスト材料として用いた場合の上記レジスト膜のはがれ、持ち上がり、めっきのもぐり、現像後の金属面の変色などの問題がない、下地金属への密着性、耐めっき性及び耐薬品性に優れ、特に耐金めっき性に優れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、（Ａ）アクリル酸又はメタクリル酸とこれらと共重合しうるビニルモノマーとの共重合体（但し、不飽和モノカルボン酸の重合体もしくは他のエチレン不飽和化合物との共重合体のカルボン酸に部分的に１個のエポキシ基と１個以上のエチレン不飽和基とを有する化合物を付加させた生成物を除く。）、
（Ｂ）分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、
（Ｃ）光重合開始剤及び
（Ｄ）下記一般式（１）で表されるイミダゾール化合物と一般式（２）で表される３−グリシドキシプロピルシランを８０〜２００℃で反応させ生成するイミダゾールシラン化合物
を含む感光性樹脂組成物を提供するものである。
【０００５】
【化２】
0003692197.tif 000002
（但し、一般式（１）、（２）において、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数が１〜５のアルキル基、Ｒ3及びＲ4は炭素数が１〜３のアルキル基、ｎは１〜３の整数である。）
また、本発明は、前記感光性樹脂組成物を支持体上に塗布及び乾燥してなる感光性エレメント、及び、前記感光性樹脂組成物を支持体上に塗布及び乾燥した後、保護フィルムを積層してなる感光性エレメントを提供するものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明における、（Ａ）カルボキシル基を有するバインダーポリマーとしては、例えば、アクリル酸又はメタクリル酸とこれらと共重合しうるビニルモノマーとの共重合体等のフィルム性付与ポリマーが挙げられ、これらの共重合体は、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。前記ビニルモノマーとしては、特に制限はなく、例えば、アクリル酸メチルエステル、メタクリル酸メチルエステル、アクリル酸エチルエステル、メタクリル酸エチルエステル、アクリル酸ブチルエステル、メタクリル酸ブチルエステル、アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、メタクリル酸２−エチルヘキシルエステル、アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、メタクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、メタクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレ−ト、２，２，２−トリフルオロエチルメタクリレ−ト、２，２，３，３−テトラフルオロプロピルアクリレート、２，３，３−テトラフルオロプロピルメタクリレート、アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。
【０００７】
（Ａ）カルボキシル基を有するバインダーポリマーは、アルカリ水溶液（例えば１〜３重量％の炭酸ナトリウム又は炭酸カリウム水溶液等）に可溶又は膨潤可能であることが、現像性、環境保全等の点で好ましい。
【０００８】
また、酸価は、１００〜５００であることが好ましい。酸価が１００未満では、現像時間が遅くなる傾向があり、５００を超えると、光硬化したレジストの耐現像液性が低下する傾向がある。
【０００９】
また、重量平均分子量（ＧＰＣ測定で、ポリスチレン換算したもの）は、２０，０００〜３００，０００であることが好ましい。重量平均分子量が、２０，０００未満では、耐現像液性が低下する傾向があり、３００，０００を超えると、現像時間が長くなる傾向がある。
【００１０】
本発明における（Ｂ）分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物（ポリエチレングリコール（メタ）アクリレート（エチレン基の数が２〜１４のもの）、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレー卜等）、グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物（ビスフェノールＡジオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡトリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡデカオキシエチレンジ（メタ）アクリレート等のビスフェノールＡポリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアクリレート等）、（メタ）アクリル酸のアルキルエステル（（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル等）などが挙げられる。これらは単独又は２種類以上を組み合わせて使用する。
【００１１】
本発明における（Ｃ）光重合開始剤としては、例えば、芳香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等）、ベンゾイン（ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等）、ベンジル誘導体（ベンジルジメチルケタール等）、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体（２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダソール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二重体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等）、アクリジン誘導体（９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等）が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００１２】
本発明における（Ｄ）イミダゾールシラン化合物において、一般式（１）で表わされるイミダゾール化合物として好ましいのは、イミダゾール、２−アルキルイミダゾール、２，４−ジアルキルイミダゾール、４−ビニルイミダゾール等である。これらのうち特に好ましいのは、イミダゾール、２−アルキルイミダゾールとしては、２−メチルイミダゾール、２−エチルイミダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール、また、２，４−ジアルキルイミダゾールとしては、２−エチル−４−メチルイミダゾール等を挙げることができる。
【００１３】
また、一般式（２）で表わされる３−グリシドキシプロピルシラン化合物として好ましいのは、３−グリシドキシプロピルトリアルコキシシラン、３−グリシドキシプロピルジアルコキシアルキルシラン、３−グリシドキシプロピルアルコキシジアルキルシランであり、これらのうち特に好ましいものを挙げれば、３−グリシドキシプロピルトリアルコキシシランとしては、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルジアルコキシアルキルシランとしては、３−グリシドキシプロピルジメトキシメチルシラン、３−グリシドキシプロピルアルコキシジアルキルシランとしては、３−グリシドキシプロピルエトキシジメチルシラン等である。
【００１４】
上記イミダゾール化合物と３−グリシドキシプロピルシラン化合物との反応は、８０〜２００℃の温度に加熱したイミダゾール化合物に０．１〜１０モル倍量の３−グリシドキシプロピルシラン化合物を滴下させながら行うと良く、反応時間は５分〜２時間程度で十分である。この反応は特には溶媒を必要としないが、クロロホルム、ジオキサン、メタノール、エタノール等の有機溶媒を反応溶媒として使用しても良い。尚、この反応は、水分を嫌うので、水分が混入しないように、乾燥した窒素、アルゴン等の水分を含まない気体の雰囲気下で行うことが好ましい。詳細は、特公平７−６８２５６号公報に記載されている。
【００１５】
この反応において、下記一般式（３）、（４）、（５）で表されるイミダゾールシラン化合物が混合物の状態で得られる。
【００１６】
【化３】
0003692197.tif 000003
（上記式中、Ｒ1は水素又は炭素数が１〜２０のアルキル基、Ｒ2は水素、ビニル基又は炭素数１〜５のアルキル基、Ｒ3及びＲ4は炭素数１〜３のアルキル基、ｎは１〜３の整数である。）
これらの化合物は、溶解度の差を利用する方法、カラムクロマトグラフィー等の既知の手段により精製され、単離されうるので、単離されたものを使用することも可能である。一般的には、必ずしも単離する必要はなく、混合物のまま用いることが好ましい。なお、生成物中の各成分組成は、一般に一般式（３）：同（４）：同（５）＝（４０〜８０）：（１０〜３０）：（５〜４０）（液体クロマトグラフィーで分析したときの面積比）である。
【００１７】
本発明における（Ａ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、４０〜８０重量部とすることが好ましい。この配合量が、４０重量部未満では、光硬化物が脆くなり易く、感光性エレメントとして用いた場合に、塗膜性が劣る傾向があり、８０重量部を超えると、感度が不十分となる傾向がある。
【００１８】
本発明における（Ｂ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、２０〜６０重量部とすることが好ましい。この配合量が２０重量部未満では、感度が不十分となる傾向があり、６０重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。
【００１９】
本発明における（Ｃ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．１〜２０重量部とすることが好ましい。この配合量が０．１重量部未満では、感度が不十分となる傾向があり、２０重量部を超えると、露光の際に組成物の表面での吸収が増大して内部の光硬化が不充分となる傾向がある。
【００２０】
本発明における（Ｄ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．００５〜２０重量部とすることが好ましい。さらに好ましくは０．０１〜５重量部とする。この配合量が０．００５重量部未満では、耐金めっき性が不充分となる傾向があり、２０重量部を超えると現像後の銅面の変色が発生する傾向がある。
【００２１】
本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、染料、発色剤、可塑剤、顔料、難燃剤、安定剤、密着性付与剤等を添加することができる。
【００２２】
本発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分を、これらを溶解する溶剤、例えば、トルエン、アセトン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチルケトン、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、クロロホルム、塩化メチレン、メチルアルコール、エチルアルコール等に溶解、混合させることにより、均一な溶液とすることができる。
【００２３】
本発明の感光性エレメントは、前記本発明の感光性樹脂組成物を、支持体上に塗布、乾燥することにより作製できる。
【００２４】
支持体としては、重合体フィルム、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン等からなるフィルムが挙げられ、中でも、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。これらの重合体フィルムは、後に感光層から除去する必要があるため、除去が不可能となるような表面処理が施されたものであったり、材質であってはならない。
【００２５】
これらの重合体フィルムの厚さは、５〜１０μｍとすることが好ましく、１０〜３０μｍであることがさらに好ましい。また、これらの重合体フィルムは、ｌつは感光層の支持フィルムとして、他の１つは感光層の保護フィルムとして感光層の両面に積層することができる。
【００２６】
本発明の感光性エレメントを用いてフォトレジスト画像を製造する方法としては、前記の保護フィルムが存在している場合には、保護フィルムを除去後、感光層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層する方法が挙げられる。積層される表面は、通常金属面であるが、特に制限はない。
【００２７】
感光層の加熱温度は、特に制限はなく、９０〜１３０℃とすることが好ましい。また、感光層の圧着圧力は、特に制限はなく、１〜６ｋｇｆ／ｃｍ2とすることが好ましい。
【００２８】
尚、感光層を前記のように加熱すれば、予め基板を予熱処理することは必要ではないが、積層性をさらに向上させるために、基板の予熱処理を行うこともできる。
【００２９】
このようにして積層が完了した感光層は、次いで、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて、活性光に画像的に露光される。この際、感光層上に存在する重合体フィルムが透明の場合には、そのまま露光してもよく、また不透明の場合には、当然除去する必要がある。
【００３０】
感光層の保護という点からは、重合体フィルムは透明で、この重合体フィルムを残存させたまま、それを通して露光することが好ましい。
【００３１】
活性光は、公知の活性光源、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク等から発生する光が用いられる。
【００３２】
感光層に含まれる光重合開始剤の感受性は、通常、紫外領域において最大であるので、その場合は活性光源は紫外線を有効に放射するものが好ましい。また、光重合開始剤が可視光線に感受するもの、例えば、９，１０−フェナンスレンキノン等である場合には、活性光としては可視光が用いられ、その光源としては前記のもの以外に、写真用フラッド電球、太陽ランプ等も用いられる。
【００３３】
次いで、露光後、感光層上に重合体フィルムが存在している場合には、これを除去した後、アルカリ水溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッビング等の公知方法により未露光部を除去して現像する。アルカリ水溶液の塩基としては、水酸化アルカリ（リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等）、炭酸アルカリ（リチウム、ナトリウム若しくはカリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等）、アルカリ金属リン酸塩（リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等）、アルカリ金属ピロリン酸塩（ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等）などが挙げられ、炭酸ナトリウムの水溶液が好ましい。
【００３４】
現像に用いるアルカリ水溶液のｐＨは、９〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させることもできる。
【００３５】
さらに、印刷配線板を製造する方法としては、現像されたフォトレジスト画像をマスクとして露光している基板の表面を、エッチング、めっき等の公知方法で処理する方法等が挙げられる。
【００３６】
次いで、フォトレジスト画像は、通常現像に用いたアルカリ水溶液よりさらに強アルカリ性の水溶液で剥離することができる。この強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜５重量％の水酸化ナトリウム水溶液等が用いられる。
【００３７】
【実施例】
以下、本発明を実施例及び比較例に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３８】
実施例１〜４及び比較例１〜３
カルボキシル基含有フィルム性付与バインダーポリマーとしてのメタクリル酸／メタクリル酸メチル／メタクリル酸ブチル／アクリル酸２−エチルへキシル共重合体（重量比２５／５０／５／２０、重量平均分子量８万）の４０重量％メチルセロソルブ／トルエン（重量比６／４）溶液１５０ｇ（ポリマー成分６０ｇ）、イルガキュア６５１（チバガイギー社製商品名、ベンジルジメチルケタール）６ｇ、トリブロモフェニルスルホン０．８ｇ、ロイコクリスタルバイオレット１ｇ、マラカイトグリーン０．０８ｇ、メチルエチルケトン２５ｇ、メタノール３ｇ、ＴΑ−４０１（三洋化成工業社製商品名、トリメチロールプロパントリアクリレート）２０ｇ及びＢＰＥ−１０（新中村化学工業社製商品名、ビスフェノールＡポリオキシエチレンジメタクリレート）１０ｇを配合して溶液を得た。
【００３９】
この溶液に、（Ｄ）成分として、表１に示すイミダゾールシラン化合物０．３ｇを溶解させて感光性樹脂組成物溶液を得た。比較例は（Ｄ）成分として、別の密着性付与剤０．３ｇを溶解させた。
【００４０】
次いでこの感光性樹脂組成物溶液を２５μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で約１０分間乾燥して感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は５０μｍであった。
【００４１】
一方、銅箔（厚さ３５μｍ）を両面に積層したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工業社製、ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を＃８００のサンドペーパーで研磨し、水洗して空気流で乾燥し、得られる銅張り積層板を６０℃で加温し、その銅面上に前記感光性樹脂組成物層を、１２０℃に加熱しながらラミネートした。
【００４２】
次いでこのようにして得られた基板に、ネガフィルムを使用し、３ｋＷ高圧水銀灯（オーク製作所社製、ＨＭＷ−２０１Ｂ）で１２０ｍＪ／ｃｍ2の露光を行った。この際感度を評価できるように、光透過量が段階的に少なくなるように作られたネガフィルム（光学密度０．０５を１段目とし、１段ごとに光学密度が０．１５ずつ増加するステップタブレット）を用いた。
【００４３】
次いでポリエチレンテレフタレートフィルムを除去し、３０℃で２ｗｔ％炭酸ナトリウム水溶液を５０〜１５０秒間スプレーすることにより、未露光部分を除去した。さらに銅張り積層板上に形成された光硬化膜のステップタブレットの段数を測定することにより、感光性樹脂組成物の光感度を測定した。その結果を表１に示す。光感度はステップタブレットの段数で示され、このステップタブレットの段数が高い程光感度が高いことを示している。
【００４４】
次いで現像処理したものを、脱脂後、流水水洗を１分間行い、次いで２５０ｇ／ｌ過硫酸アンモニウム水溶液中に２分間浸漬した。さらに流水水洗を１分間行った後、１０％硫酸水溶液中に１分間浸漬し、再び流水水洗を行った。次いで、ニッケルめっき浴［硫酸ニッケル３５０ｇ／ｌ、塩化ニッケル４５ｇ／ｌ、ホウ酸４５ｇ／ｌ、ナイカルＰＣ−３（メルテックス社製商品名、ニッケルメッキ液用添加剤）３０ｍｌ／ｌ及びニッケルグリームＮΑＷ−４（メルテックス社製商品名、ニッケルメッキ液用添加剤）０．１ｍｌ／ｌ］に入れ、ニッケルめっきを５０℃、３Ａ／ｄｍ2で１０分間行った。ニッケルめっき終了後直ちに水洗し、続いて金ストライクめっき［めっき浴：オーロボンドＴＮ（日本エレクトロプレーティングエンジニャース社製商品名］を４０℃、５Ａ／ｄｍ2で２０秒間行った。金ストライクめっき終了後直ちに水洗し、引き続き金めっき［めっき浴：オートロネクスＣＩ（日本エレクトロプレーティングエンジニャース社製商品名）］を３０℃、１Ａ／ｄｍ2で６分間行った。金めっき終了後水洗を行い、乾燥した。耐めっき性を調べるため乾燥後直ちにセロテープを貼り、これを垂直方向に引き剥がして（９０°ピールオフ試験）、レジストの剥がれの有無を調べた。その後、上方から光学顕微鏡で金めっきもぐりの有無を観察した。金めっきのもぐりを生じた場合は透明なレジストを介してその下部に金めっきのもぐりが観察される。その結果を表１に示す。
【００４５】
表１の結果から本発明の感光性樹脂組成物は光感度が良好であり、下地金属への密着性、耐金めっき性に優れ、耐薬品性に優れていることが示される。
【００４６】
【表１】
0003692197.tif 000004
※イミダゾール化合物とＧＰＳを等モル（０．０５ｍｏｌ）使用し、ＧＰＳを３０分かけてイミダゾール化合物に滴下後、９５℃で１時間反応させて得られた反応生成物。実施例１の反応生成物は［化３］の（３）：（４）：（５）の液体クロマトグラフィーで分析したときの面積比は４５：２２：３３であった。
【００４７】
表１の結果から本発明の感光性樹脂組成物は光感度が良好であり、下地金属への密着性、耐金めっき性に優れ、耐薬品性に優れていることが示される。
【００４８】
【発明の効果】
本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、レジスト材料として用いた場合の上記レジスト膜のはがれ、持ち上がり、めっきのもぐり、現像後の金属面の変色などの問題がなく、下地金属への密着性、耐めっき性及び耐薬品性に優れている。特に金属積層板、特に印刷配線板に用いられる銅張り積層板に対し、下地金属への優れた密着性を有し、また耐金めっき性及び耐薬品性に優れ、特に耐金めっき性に優れており、金めっき工法に使用可能である。