(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納されるペリクルのペリクル枠の下端面が接するようにペリクル枠が載置される載置台を有する容器本体と、前記載置台に載置されたペリクル枠の上端面に接することにより前記載置台との間でペリクル枠を挟持する固定部を有する蓋体とからなるペリクル収納容器において、前記載置台に載置されたペリクル枠の外側にペリクルの位置決め部を設けず、前記ペリクル枠の内側からペリクルを固定するように前記載置台のペリクル枠の内周に沿った部分に、もしくはペリクル枠にライナーが設けられている場合は前記載置台のライナーの内側に沿った部分に凸部を有することを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
前記凸部が載置台より最大０．５〜５ｍｍ高く形成されていることを特徴とする請求項１記載のペリクル収納容器。
【請求項３】
前記凸部が載置台の高さから５度〜９０度の角度で立ち上がるように形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載のペリクル収納容器。
【請求項４】
前記凸部がペリクル枠の内側全周にわたって形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のペリクル収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体用デバイスまたは液晶表示用デバイスの製造においてリソグラフィーを行う際に、パターンが描かれた露光原版等のゴミよけとして使用されるリソグラフィー用のペリクルを収納するための容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体用デバイスまたは液晶表示用デバイスの製造においては、シリコンウエーハなどの半導体ウエーハまたは液晶用原版上に露光原版（本明細書中ではフォトマスク、レチクル等を総称した意味で用いる）を配置し、この露光原版に光を照射してこれを透過した光によりパターンを転写すること、すなわちリソグラフィーが行われている。
【０００３】
しかしながら、このような工程において露光原版に異物（ゴミ）が付着していると、この異物が光を吸収したり光を曲げてしまうため、半導体ウエーハや液晶用原版上に転写されるパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれ、その結果、半導体用デバイスや液晶表示用デバイスの性能や製造歩留りの低下をもたらすといった問題が生じる。
【０００４】
このような問題を回避するため、通常、リソグラフィーは、クリーンルーム内で行われる。しかしながら、クリーンルーム内でも露光原版を完全に清浄に保つことは困難である。そこで、露光原版の表面に異物等が付着しないように、露光用の光を良く透過させるペリクルを装着する方法が採られている。
このようにペリクルを装着した場合、異物（ゴミ）は露光原版の表面には直接付着せずにペリクル膜上に付着する。したがって、リソグラフィー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、このような異物（ゴミ）の存在は転写とは無関係となり、上述した問題が生じることはない。
【０００５】
このようなペリクルは、その目的上それ自身に異物が付着してはならない。したがって、通常、ペリクルの輸送や保管に際しては、ペリクルにゴミ等の異物が付着しないようにペリクル収納容器に収納される。
このようなペリクル収納容器としては、図５に示されるように、容器本体１と蓋体２とこの容器本体１と蓋体２とを固定するクリップ３とから概略構成されてなるものが提案されている（実公平６−４５９６５号公報）。
なお、ここでこのペリクル収納容器に収納されるペリクルについて簡単に説明すると、図５および図６に示すようにペリクル２１は、ペリクル枠２２と、このペリクル枠２２の上端面に張設されたペリクル膜２３と、ペリクル枠２２の下端面に設けられ、ペリクル枠２２を露光原版に接着するための粘着層２４と、この粘着層２４を保護するライナー２５とから構成されるものである。
【０００６】
上記容器本体１は、図７および図８に示すように、略正方形の板状のものであり、その外周には蓋体２と嵌着しクリップ３により固定される嵌着凸部４が形成された嵌着部５が設けられている。この嵌着部５の内側には、このペリクル収納容器に収納されるペリクル２１のペリクル枠２２が載置される長方形の載置台６が嵌着部５より一段高い位置に形成されている。なお、ペリクル枠２２は、載置台６上にその下端面、すなわち露光原版に接着される側が接触するように載置される。
このように載置台６を高い位置に設け、ペリクル２１を高い位置に保持することにより、異物等は載置台６周囲の嵌着部５に集まることから、ペリクル２１に異物等が付着する機会が少なくなる。
【０００７】
上記載置台６の外周には、その四隅近傍にそれぞれ２カ所、計８カ所位置決め部７が設けられている。この８個の位置決め部７により、載置台６に載置されたペリクル枠２２は位置決めされ、水平方向の動きが固定される。すなわち、位置決め部７がペリクル枠２２の外側もしくはライナー２５の外側から接触することにより、ペリクル２１の水平方向の移動を不可能としているのである。
図５および図６は、このような容器本体１に蓋体２が嵌着された状態を示すものである。
【０００８】
上記蓋体２は、その外周に蓋体嵌着部８が設けられており、この蓋体嵌着部８の最外周には前記容器本体１の嵌着凸部４と嵌着しクリップ３により固定される嵌着凹部９が設けられている。この蓋体嵌着部８の内側には、収納されるペリクル２１のペリクル枠２２上端面と接触し、前記載置台６との間にペリクル枠２２を挟持することにより、ペリクル枠２２を固定し、鉛直方向移動不能とする固定部１０が一段高い位置に形成されている。
ここで、ペリクル枠２２上端面とは、ペリクル膜２３が張設される側のペリクル枠２２の端面をいう。
この固定部１０が載置台６との間にペリクル枠２２を挟持する点については、図６にさらに詳しく示されている。
上記固定部１０のさらに内側の部分は、収納されたペリクル２１のペリクル膜２３と接触しないようにさらに一段高く形成されている。
【０００９】
このようなペリクル収納容器へのペリクル２１の収納については、まず容器本体１の載置台６上の位置決め部７により位置決めされる位置にペリクル２１を載置する。これにより位置決め部７がライナー２５の外側から接触することによりペリクル２１の水平方向の動きを固定する。次いで、容器本体１の嵌着凸部４に蓋体２の嵌着凹部９を嵌着させ、クリップ３により固定することにより、載置台６と固定部１０との間にペリクル枠２２を挟持することができ、ペリクル２１の鉛直方向の移動も固定することができる。これにより、ペリクル収納容器内にペリクル２１を固定して収納できることから、例えば輸送に際してもペリクル２１とペリクル収納容器の各部とが擦れ合って異物等を発生することがほとんどない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
一方、このようなペリクル収納容器からペリクル２１を取り出す方法としては、位置決め部７の間からペリクル２１に直接手をかけて取り出す方法等がなされていたが、これでは手等に付着した異物がペリクル膜２３に付着したり、過大な力が加わりペリクル２１が歪んだりする可能性があり好ましくない。したがって、これに代わる方法として治具を用いて取り出す方法等が考えられる。この治具（以下、ペリクル取り出し用治具とする。）を用いてペリクル収納容器からペリクル２１を取り出す場合でも、ペリクル膜２３に異物が付着しないように細心の注意を払う必要がある。このような観点から、ペリクル取り出し用治具を用いてペリクル２１を取り出す際に、この治具がペリクル２１を把持する最も良い場所は、ペリクル枠２２の外周であるとされている。
【００１１】
しかしながら、従来のペリクル収納容器においては、ペリクル２１が載置される載置台６の周囲にはペリクル２１の水平方向の動きを固定する位置決め部７が設けられており、この結果、図５および図６に示すように、ペリクル枠２２の外周には位置決め部７が存在することになる。したがって、ペリクル取り出し治具によりペリクル枠２２外周を把持しようとしても、位置決め部７がペリクル枠２２外周に点在することから、位置決め部７が邪魔して治具がペリクル枠２２外周を把持することができない。
このような位置決め部７に当たらないような治具を考えることは可能であるが、構造が複雑となる点、ペリクル収納容器の位置決め部７の位置が異なればそれに応じた治具が必要となる点、外周を把持する場合でも位置決め部７に接触しない様に把持しなければならず、また接触した場合には破損による異物が発生する点等の種々の問題があった。
【００１２】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、位置決め部７の位置等を考慮せずにペリクル取り出し用治具を設計・製造でき、かつその治具を用いてペリクル２１を取り出す場合でも、位置決め部７との接触に対して注意する必要のないペリクル収納容器を提供することを主目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は請求項１において、収納されるペリクルのペリクル枠の下端面が接するようにペリクル枠が載置される載置台を有する容器本体と、前記載置台に載置されたペリクル枠の上端面に接することにより載置台との間でペリクル枠を挟持する固定部を有する蓋体とからなるペリクル収納容器において、載置台に載置されたペリクル枠の外側にペリクルの位置決め部を設けず、前記ペリクル枠の内側からペリクルを固定するように前記載置台のペリクル枠の内周に沿った部分に、もしくはペリクル枠にライナーが設けられている場合は前記載置台のライナーの内側に沿った部分に凸部を設けるようにした。
【００１４】
このように、ペリクル枠の内側からペリクルを固定するように前記載置台の内側に凸部を設けることにより、ペリクル枠の内側からペリクルの位置決めを行い、ペリクルを固定しその水平方向の移動を不能としている。したがって、ペリクル枠の外側に位置決め部を設けなくてもペリクルの水平方向の移動を固定することができることから、位置決め部の位置等を考慮せずにペリクル取り出し治具を設計・製造でき、またこの治具を用いてペリクルを取り出す場合でも、位置決め部との接触に対して注意する必要がない。さらに、このペリクル取り出し治具と位置決め部が接触することにより生ずる異物の発生等のおそれもない。
【００１５】
この場合、請求項２に記載するように、凸部が載置台より最大０．５〜５ｍｍ高く形成されていることが好ましい。
０．５ｍｍ以上であれば、ペリクルの位置決めが容易に行うことができ、また水平方向の移動を固定するという効果を十分奏し得るからであり、５ｍｍ以下であれば、凸部がペリクル膜に接触する可能性がほとんどないからである。
【００１６】
さらに、請求項３に記載するように、凸部が載置台の高さから５度〜９０度の角度で立ち上がるように形成されていることが好ましい。
５度より小さい場合は、ペリクルの位置決めが困難となる可能性があり、また水平移動を固定する効果を奏し難い場合もあるからである。一方、９０度を越える角度とした場合は、ペリクル枠内側と凸部とが接触した場合に、凸部の頂部のみがペリクル枠内側と接触することになり、凸部もしくはペリクル枠の摩耗・損傷等により異物が生じる可能性があるからである。
【００１７】
さらにまた、請求項４に記載するように、凸部がペリクル枠の内側全周にわたって形成されていることが好ましい。
凸部をペリクル枠内側全周にわたって形成することにより、ペリクルの位置決めが容易となり、またペリクル枠もしくはライナーと凸部とが全周にわたって接触するため、接触圧が小さくなり、摩耗・損傷等により異物が発生する可能性が極めて低くなるからである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面を用いて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
図１〜図４は本発明のペリクル収納容器の一例を示すものであり、図１はその断面図、図２はその要部を拡大した拡大断面図、図３はこのペリクル収納容器の容器本体を示す平面図、図４はその断面図を示す。
【００１９】
本発明の一例であるこのペリクル収納容器は、従来技術の欄で説明した図５〜図８に示す従来のペリクル収納容器の位置決め部７の代わりに凸部１１を設けたところに大きな特徴を有するものである。よって、他の部材で同一の部材がある場合には、同一の番号を付して説明する。
本発明に係るペリクル収納容器は、図１に示すように、容器本体１に蓋体２が嵌着してなるものであり、これら容器本体１と蓋体２とはクリップ３により固定されている。
【００２０】
上記容器本体１は、図３及び図４に示すように、嵌着凸部４を有する嵌着部５、載置台６および凸部１１より構成されるものである。ここで嵌着部５および載置台６に関しては、載置台６の内側に凸部１１が設けられた点以外は、上述した従来のペリクル収納容器と同様であるので説明を省略する。
上記凸部１１は載置台６外周から所定の幅をおいてその内側に設けられたものである。ここで、この所定の幅とは載置台６の幅に相当し、これはペリクル枠２２の幅（ペリクル枠２２の内周面から外周面までの距離）もしくはライナー２５の幅と同等かもしくはそれより大きいことが好ましい。
【００２１】
この凸部１１は、載置台６の高さから６０°の角度で立ち上がり、１ｍｍ上昇したところで載置台６と平行になるように形成されている。また、凸部１１の外周は、載置台６上に載置されるペリクル２１のペリクル枠２２の内周もしくはライナー２５の内周の位置に相当する部分に設けられている。この凸部１１の外周により、ペリクル２１の水平方向の位置決めをし、固定するためである。
なお、ペリクル枠２２に粘着層２４およびライナー２５が設けられており、このライナー２５がペリクル枠２２の内側面より内側にはみ出している場合は、ライナー２５により位置決めを行う必要がある。したがって、凸部１１もこのライナー２５の内周を基準として形成される。
【００２２】
ここで、凸部１１の載置台６の高さからの立ち上がりの角度、すなわち載置台６の内周からその内側に向けて凸部１１が徐々に高くなっていく角度に関しては、ペリクル枠２２の水平方向の位置決めおよび固定が可能であれば特に制限されるものではないが、好ましい範囲として挙げるのであれば、５度から９０度の範囲内である。
立ち上がり角度が５度より小さい場合は、ペリクル２１の位置決めが困難となる可能性があり、また水平移動を不能とし、固定する効果を奏し難い場合もあるからである。一方、９０度を越える角度とした場合は、ペリクル枠２２内側と凸部１１とが接触した場合に、凸部１１の頂部のみがペリクル枠２２内側と接触することになり、凸部１１もしくはペリクル枠２２の摩耗・損傷等により異物が生じる可能性があるからである。
特に好ましい立ち上がりの角度としては、４５度〜７５度の範囲内の角度である。
【００２３】
また、凸部１１の載置台６からの最大高さであるが、これもペリクル枠２２の水平方向の位置決めおよび固定が可能であれば特に制限されるものではない。しかしながら好ましい高さとして挙げるのであれば、凸部１１が載置台６より０．５〜５ｍｍの範囲内で高く形成されていることである。
０．５ｍｍ以上であれば、ペリクル２１の位置決めが容易に行うことができ、また水平方向の移動を固定するという効果を十分奏し得るからであり、５ｍｍ以下であれば、凸部１１がペリクル膜２３に接触する可能性がほとんどないからである。特に好ましい高さとしては、０．５ｍｍ〜１．０ｍｍの範囲内の高さである。
【００２４】
この凸部１１は、図３および図４に示されるように、ペリクル２１が載置台６に載置された際に、ペリクル枠２２の内周もしくはライナー２５の内側に沿った部分に相当する部分の全周にわたって形成されていてもよいが、これに限定されるものではなく、ペリクル２１が位置決めされ水平方向に対して固定されるのであれば、その一部に形成されたものであってもよい。
また、図３および図４に示されるように、ペリクル枠２２の内周もしくはライナー２５の内側に沿った部分に相当する部分の内側全面にわたって凸部１１が形成されてもよいが、これに限定されるものではなく、ペリクル枠２２の内周もしくはライナー２５の内側に沿った部分に相当する部分に凸部１１が形成されていればその内側に関しては、ペリクル膜２３に接するものでない限り、いかなる形状であってもよい。上記部分、すなわちペリクル枠２２の内周もしくはライナー２５の内側に沿った部分に相当する部分に凸部１１が形成されていれば、ペリクル２１の水平方向の位置決め・固定が可能だからである。
このような凸部１１の他の例としては、例えば、図５〜図８に示す従来のペリクル収納容器の位置決め部７のような突起が、載置台６に載置されたペリクル枠２２の内周もしくはライナー２５の内側に沿った部分に相当する部分に複数個形成されたもの等を挙げることができる。
【００２５】
次に、上記容器本体１に嵌着する蓋体２について説明する。
この蓋体２は、容器本体１の嵌着凸部４と嵌合する嵌着凹部９を有する蓋体嵌着部８と、その内側に固定部１０を有するものである。
この固定部１０は、図２に示すように載置台６との間にペリクル枠２２を挟持することによりペリクル２１の鉛直方向の動きを固定するものである。したがって、固定部１０は、蓋体２が容器本体１と嵌合した状態で、載置台６上方に位置し、少なくとも固定部１０の内周が挟持するペリクル枠２２の外周より内側となるように配置される必要がある。
【００２６】
そして、この固定部１０と載置台６との間にペリクル枠２２を挟持した際に、固定部１０がペリクル膜２３にかかるとペリクル膜２３に不要な歪みや傷等を加えるおそれがあることから、固定部１０の内周側は、ペリクル枠２２内周の外側に位置するように配置されることが好ましい。
さらに、ペリクル枠２２を安定に挟持するために、固定部１０は載置台６と平行に形成されることが好ましい。
【００２７】
本発明のペリクル収納容器に用いられる材質としては、特に限定されるものではなく、一般に用いられている樹脂材料、金属等を用いることができる。
具体的には、ポリプロピレン、ポリエチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ）、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂（ＰＦＡ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）等の樹脂材料、アルミ、アルミ合金、ステンレススチール等の金属等を挙げることができる。
【００２８】
次に、このような本発明に係るペリクル収納容器にペリクル２１を収納する方法について説明する。
まず、容器本体１の載置台６上に収納するペリクル２１を載置する。次いで、このペリクル２１のペリクル枠２２の内周、もしくは粘着層２４およびライナー２５が設けられている場合はこのライナー２５の内側を凸部１１に沿うようにすることによりペリクル２１を位置決めして水平方向について固定する。
【００２９】
そして、蓋体２を嵌着凸部４と嵌着凹部９とが嵌合するように容器本体１上にかぶせる。これにより、蓋体２の固定部１０は、図２に示すようにペリクル枠２２の上端面に接することになる。
最後にクリップ３で容器本体１と蓋体２を固定することにより、固体部１０および載置台６は、両者の間にペリクル枠２２を挟持することになり、ペリクル２１の鉛直方向の移動を不能とし、固定する。
このようにして、ペリクル２１はペリクル収納容器内に水平方向および鉛直方向のいずれに対しても固定されて収納される。
【００３０】
【実施例】
以下、本発明を実施例と比較例とを挙げて説明する。
（実施例）
図１〜図４に示すペリクル収納容器を、容器本体１についてはＡＢＳ、蓋体２についてはＰＭＭＡ、そしてクリップ３についてはポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）を材質として用いて作成した。
このペリクル収納容器にペリクルを収納した後、治具Ａおよび治具Ｂの２種類のペリクル取り出し治具を用い、実施例のペリクル収納容器からペリクルを取り出す実験を行った。
【００３１】
（実験例１）
まず、ペリクル取り出し治具Ａを用いた実験について説明する。
ペリクル取り出し治具Ａは、図９および図１０に示すように、治具本体３１と把持アーム３２とから概略構成されてなるもので、図９が把持アーム３２が開いた状態を示し、図１０が把持アーム３２が閉じた状態、すなわち把持アーム３２がペリクル枠２１を把持した状態を示すものである。
上記治具本体３１内部には左右にスライド可能な不図示のスライド機構が内蔵されており、これに把持アーム３２が取り付けられている。上記スライド機構を作動させることにより、把持アーム３２が左右に動きペリクル２１のペリクル枠２２外側を把持するようになっている。
【００３２】
このようなペリクル取り出し治具Ａを用いて、上記実施例のペリクル収納容器に収納されたペリクルの取り出しを試みた。
図１１に示すように、実施例のペリクル収納容器の容器本体１においては、収納されたペリクル２１のペリクル枠２２の外側に位置決め部等が存在しないことから、取り出し治具Ａを用いて容易にペリクル２１を取り出すことができた。
【００３３】
（実験例２）
次に、ペリクル取り出し治具Ｂを用いた実験について説明する。
ペリクル取り出し治具Ｂは、図１２および図１３に示すようにペリクル膜２３とこの治具とが接触しないように設けられた開口部３３を有する把持板３４と、この把持板３４のペリクル枠２２の外周部に接触する部分に一カ所設けられたクランパー３５とから概略構成されてなるものである。このクランパー３５は、把持板３４から突出する球形の突出部と、この突出部を外側に向けて押し出すバネ部とから構成されている。上記把持板３４には取扱を容易にするための取手３６が設けられている。
このペリクル取り出し治具Ｂは、図１３に示すように把持板３４をペリクル枠２２にかぶせることにより、クランパー３５が機能してクランパー３５が取り付けられた把持板３４の部分に対向する方向にペリクル枠２２を押しつけてペリクル２１を把持する機構となっている。
【００３４】
このようなペリクル取り出し治具Ｂを用いて、上記実施例のペリクル収納容器に収納されたペリクル２１の取り出しを試みた。
図１４に示すように、実施例のペリクル収納容器の容器本体１においては、収納されたペリクル２１のペリクル枠２２の外側に位置決め部等が存在しないことから、取り出し治具Ｂをペリクル２１上方から嵌め込むことができ、これにより容易にペリクル２１を取り出すことができた。
【００３５】
（比較例）
図５〜図８に示すペリクル収納容器を、実施例と同様の材質を用いて作成した。
この比較例のペリクル収納容器にペリクルを収納した後、治具Ａおよび治具Ｂの２種類のペリクル取り出し治具を用いて比較例のペリクル収納容器からペリクルを取り出す実験を行った。
【００３６】
（実験例３）
図９および図１０に示すペリクル取り出し治具Ａを用いて比較例のペリクル収納容器からペリクル２１を取り出す実験を行った。
図１５に示すように、ペリクル取り出し治具Ａの把持アーム３２が位置決め部７に当たることから、ペリクル枠２２を挟むことができない。したがって、このペリクル取り出し治具Ａでは比較例のペリクル収納容器からペリクル２１を取り出すことはできなかった。
【００３７】
（実験例４）
図１２および図１３に示すペリクル取り出し治具Ｂを用いて比較例の収納容器からペリクル２１を取り出す実験を行った。
図１６に示すように、ペリクル取り出し治具Ｂの把持板３４は、位置決め部７が当たることから、ペリクル枠２２に完全にかぶせることができない。このため、クランパー３５が機能せずペリクル２１を把持することができない。
したがって、このペリクル取り出し治具Ｂでも比較例のペリクル収納容器からペリクル２１を取り出すことはできなかった。
【００３８】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００３９】
例えば、上記実施形態においては、容器本体の載置台の周囲に嵌着部が設けられ、蓋体の固定部の周囲には蓋体嵌着部が設けられ、この嵌着部と蓋体嵌着部とを嵌着させ、クリップで固定しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば上記載置台と固定部とを直接クリップで固定するような構造であってもよい。
【００４０】
【発明の効果】
本発明は、収納されるペリクルのペリクル枠の下端面が接するようにペリクル枠が載置される載置台を有する容器本体と、前記載置台に載置されたペリクル枠の上端面に接することにより前記載置台との間でペリクル枠を挟持する固定部を有する蓋体とからなるペリクル収納容器において、前記載置台に載置されたペリクル枠の内側からペリクルを固定するように前記載置台の内側に凸部を有することを特徴とするペリクル収納容器である。
【００４１】
このため、ペリクル枠の内側からペリクルの位置決め、およびペリクルの固定を行うことができる。したがって、ペリクル枠の外側に位置決め部を設けなくてもペリクルの水平方向の移動を固定することができることから、位置決め部の位置等を考慮せずにペリクル取り出し治具を設計・製造でき、またこの治具を用いてペリクルを取り出す場合でも、位置決め部に当たらないように注意する必要がなく、さらにこのペリクル取り出し治具と位置決め部が接触することにより生ずる異物の発生等のおそれもないという効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に用いられるペリクル収納容器の一例を示す断面図である。
【図２】図１に示すペリクル収納容器の固定部と載置台の部分を拡大した拡大断面図である。
【図３】図１に示すペリクル収納容器の容器本体を示す平面図である。
【図４】図１に示すペリクル収納容器の容器本体を示す断面図である。
【図５】従来のペリクル収納容器を示す断面図である。
【図６】図５に示すペリクル収納容器の固定部と載置台の部分を拡大した拡大断面図である。
【図７】図５に示すペリクル収納容器の容器本体を示す平面図である。
【図８】図５に示すペリクル収納容器の容器本体を示す断面図である。
【図９】ペリクル収納容器からペリクルを取り出すペリクル取り出し治具Ａを示すもので、（ａ）はその平面図を示し、（ｂ）はＡ−Ａ線断面図を示す。
【図１０】図９に示す取り出し治具Ａがペリクルを把持した状態を示すもので、（ａ）はその平面図を示し、（ｂ）はＡ−Ａ線断面図を示す。
【図１１】本発明の実施例であるペリクル収納容器から図９に示すペリクル取り出し治具Ａを用いてペリクルを取り出す状態を示す断面図で、（ａ）はペリクル取り出し治具Ａがペリクルを把持する前の状態を示し、（ｂ）はペリクルを把持した状態を示す。
【図１２】ペリクル収納容器からペリクルを取り出すペリクル取り出し治具Ｂを示すもので、（ａ）はその平面図を示し、（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図を示すものである。
【図１３】図１２に示す取り出し治具Ｂがペリクルを把持した状態を示すもので、（ａ）はその平面図を示し、（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図を示す。
【図１４】本発明の実施例であるペリクル収納容器から図１２に示すペリクル取り出し治具Ｂを用いてペリクルを取り出す状態を示す断面図で、（ａ）はペリクル取り出し治具Ａがペリクルを把持する前の状態を示し、（ｂ）はペリクルを把持した状態を示す。
【図１５】従来のペリクル収納容器から図９に示すペリクル取り出し治具Ａを用いてペリクルを取り出す状態を示す断面図で、（ａ）はペリクル取り出し治具Ａがペリクルを把持する前の状態を示し、（ｂ）は位置決め部があるためペリクル取り出し治具Ａがペリクルを把持できない状態を示す。
【図１６】従来のペリクル収納容器から図１２に示すペリクル取り出し治具Ｂを用いてペリクルを取り出す状態を示す断面図で、（ａ）はペリクル取り出し治具Ｂがペリクルを把持する前の状態を示し、（ｂ）は位置決め部があるためペリクル取り出し治具Ｂがペリクルを把持できない状態を示す。
【符号の説明】
１  …  容器本体、  ２  …  蓋体、  ３  …  クリップ、
４  …  嵌着凸部、  ５  …  嵌着部、  ６  …  載置台、
７  …  位置決め部、  ８  …  蓋体嵌着部、  ９  …  嵌着凹部、
１０  …  固定部、  １１  …  凸部、
２１  …  ペリクル、  ２２  …  ペリクル枠、  ２３  …  ペリクル膜、
２４  …  粘着層、  ２５  …  ライナー、
３１  …  治具本体、  ３２  …  把持アーム、  ３３  …  開口部、
３４  …  把持板、  ３５  …  クランパー、  ３６  …  取手。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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