(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドを搭載したスライダと、中央舌部の下面側に前記スライダが固定されたジンバルスプリングと、弾性を有する帯板から成り前記ジンバルスプリングを保持するロードビームとを含む磁気ヘッド支持機構であって、
前記ロードビームの先端部には、ロードビーム本体とほぼ同一方向に延在しロードビーム本体より幅が狭く可撓性を有して磁気ヘッドロード時に弾性変形する荷重舌部が形成され、
ロードビーム本体は、前記磁気ヘッドロード時に撓まない程度の剛性を有し、
前記ジンバルスプリングは前記ロードビーム先端部の下面側に取り付けられ、磁気ヘッドのアンロード時は前記ジンバルスプリングの前記中央舌部が前記ロードビームの前記荷重舌部により下方へ押下され、磁気ヘッドのロード時は前記中央舌部を介して前記荷重舌部を押し返すと同時に該荷重舌部の上方への弾性変形に見合う押圧荷重で前記中央舌部を下方に付勢する、
ことを特徴とする磁気ヘッド支持機構。
【請求項２】
前記ロードビームは先端部に開口を有し、前記ロードビームの前記荷重舌部は前記開口の縁部より前記開口の内側に突出して形成されていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項３】
前記ロードビームの前記荷重舌部は、前記開口の、前記ロードビーム基部側の縁部より突出していることを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項４】
前記ロードビームの前記荷重舌部は、前記開口の、前記ロードビーム先端部側の縁部より突出していることを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項５】
前記開口は前記ロードビームとほぼ同じ方向に延在していることを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項６】
前記ジンバルスプリングに形成された前記中央舌部は、前記ジンバルスプリングに形成された開口の、前記ロードビームの基部と反対側の縁部より前記ロードビームの基部方向に突出して形成されていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項７】
前記ロードビームの前記荷重舌部は、前記開口の、前記ロードビーム基部側の縁部より突出する第１の荷重舌部と、前記開口の、前記ロードビーム先端部側の縁部より突出する第２の荷重舌部とから成り、
前記ジンバルスプリングに形成された前記中央舌部は、前記ジンバルスプリングに形成された前記開口の、前記ロードビームの基部と反対側の縁部より前記ロードビームの基部方向に突出して形成され、
前記ジンバルスプリングは、前記ジンバルスプリングの前記開口の外側に前記中央舌部に対立して延在する外部舌部を有し、
前記中央舌部は前記第１の荷重舌部により下方に付勢され、前記外部舌部は前記第２の荷重舌部により下方に付勢されていることを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項８】
前記ロードビームの前記荷重舌部の先端部は、前記荷重舌部の基部より幅広に形成されていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項９】
前記ジンバルスプリングの前記中央舌部の先端部は、前記中央舌部の基部より幅広に形成されていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項１０】
前記ロードビームの前記荷重舌部は、先端部の下面側に突起を有し、前記ロードビームの前記荷重舌部は前記突起を介して前記ジンバルスプリングの前記中央舌部を付勢していることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項１１】
前記ジンバルスプリングの前記中央舌部は、先端部の上面側に突起を有し、前記ジンバルスプリングの前記中央舌部は前記突起を介して前記ロードビームにより付勢されていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項１２】
前記ロードビームの前記荷重舌部は、前記突起の高さに対応する量だけ上方に撓むことで前記ジンバルスプリングの前記中央舌部に対する付勢力を生成することを特徴とする請求項１０または１１に記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項１３】
前記ロードビームの両側部は、側部に沿って延在するレール状に折り曲げられていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド支持機構。
【請求項１４】
前記ジンバルスプリングは、前記ロードビームの基部側の端部において前記ロードビームに接合されていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド支持機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク装置を構成する磁気ヘッド支持機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置において磁気ヘッドを搭載した浮上型のスライダは、磁気記録媒体（ここでは単に記録媒体ともいう）の高速回転によって生じる空気粘性流を記録媒体に対向する側のＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）面で受け、その空気膜潤滑作用により記録媒体表面上を数十ｎｍの微小隙間で浮揚する。このときスライダは、記録媒体のうねりやベアリング振動といった外乱に対して十分な追従性を維持し安定した浮上隙間を保つ必要がある。そのためスライダを保持する磁気ヘッド支持機構は、スライダの浮上姿勢を柔軟に変化できるようにロールピッチ方向の支持剛性を低く抑えた構造でなければならない。
【０００３】
またその一方で、データアクセスの高速化を実現するため、磁気ヘッド支持機構は、トラック位置決め方向（シーク方向）においては高いスライダ支持剛性を備えている必要がある。
図１１の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は、従来の磁気ヘッド支持機構の一例を示す斜視図、部分拡大図、平面図、ならびに分解平面図である。この磁気ヘッド支持機構２０２は、ロードビーム２０４、ジンバルスプリング２０６、スライダ２０８、スペーサ２１０、サイドレール２１２、ピボット２１４、支持ステージ２１６、磁気ヘッド２１８、信号線チューブ２２０などを含んで構成されている。
【０００４】
ジンバルスプリング２０６の支持ステージ２１６にはスライダ２０８が接着されており、ジンバルスプリング２０６をロードビーム２０４と接合したとき、支持ステージ２１６中央（スライダ押圧位置相当）のピボット２１４がロードビーム先端部と接触しスライダ２０８を点支持する。
他方、ロードビーム２０４の左右端にはプレス加工等によりサイドレール２１２が設けられ、スライダ２０８に搭載した磁気ヘッド２１８の信号線チューブ２２０を保持するとともにロードビーム２０４の剛性を確保している。
またロードビーム２０４の基部にはスライダ２０８に押圧力を付与するための荷重曲げ部２３６（図１１の（Ｃ）参照）が設けられている。
この磁気ヘッド支持機構２０２は、スペーサ２１０装着箇所において図示せぬポジショナ機構に接続され記録媒体上の指定トラックへ位置決めされる。
【０００５】
このような磁気ヘッド支持機構２０２は、ロードビーム部、ジンバルスプリング部、ならびにスペーサ部の３つの部品から構成されるため３ピース型と呼ばれる。これに対して、ロードビーム部とジンバルスプリング部を一枚の鋼板で一体形成する磁気ヘッド支持機構は２ピース型と呼ばれている。
【０００６】
図１２に２ピース型の磁気ヘッド支持機構の一例を示す。図１２の（Ａ）は２ピース型の磁気ヘッド支持機構の一例を示す斜視図、（Ｂ）は断面側面図である。図中、図１１と同一の要素には同一の符号が付されている。
２ピース型の磁気ヘッド支持機構２２４では、ロードビーム部とジンバルスプリング部が連続面となる特徴を生かして磁気ヘッドの信号線をロードビーム２２６表面に薄膜成形し、ヘッド信号線端子と信号線パターン２２８をボンディング接続する配線一体方式を採用して組立加工性の向上を図っている。
【０００７】
３ピース型の磁気ヘッド支持機構は、一般にジンバルスプリングあるいはロードビームに設けたピボットによってスライダを重心位置もしくはそれに近い任意の設計位置で点支持することにより、押圧荷重をスライダにピンポイントで付与し、かつフレキシブルなスライダの浮上運動（ロールピッチ運動）を可能にすることができる。
一方、２ピース型の磁気ヘッド支持機構は、組立加工性や小形軽量化の点では優位にあるが、構成上ピボットレス構造を余儀なくされるためスライダ姿勢の安定性や磁気ヘッドロード時の荷重逃げなどの点で課題を抱えている。
【０００８】
図１３は、磁気ヘッド支持機構の位置決め動作の例を示す説明図である。この例はロータリーアクチュエータ方式と呼ばれ、ポジショナ機構２３０に連結された不図示のＶＣＭ（Ｖｏｉｃｅ  Ｃｏｉｌ  Ｍｏｔｏｒ）により磁気ヘッド支持機構２０３を円弧状に駆動させ磁気ヘッドを記録媒体２０５上の任意のトラック上へ移動させるものである。ロードビーム２３２の先端部に装着されたスライダ２３４は図に示したシーク方向Ａへ高速で移動されるため、シーク方向支持剛性を十分確保して高周波数帯域までオフトラック共振が生じないような磁気ヘッド支持機構の設計が要求される。
【０００９】
この磁気ヘッド支持機構の振動特性を悪化させる要因として、シーク方向支持剛性の他に荷重曲げ部の変形が挙げられる。３ピース型あるいは２ピース型の磁気ヘッド支持機構は、図１１、図１２に示したように、ポジショナ接続側のロードビーム基部に荷重曲げ部２３６を設けている。従来の磁気ヘッド支持機構２０２、２２４は、この荷重曲げ部２３６においてロードビーム２３２を記録媒体側に向けて塑性変形させており、磁気ヘッド支持機構２０２、２２４を記録媒体上に組み込んだとき（ロードしたとき）の荷重曲げ部２３６の弾性力によりスライダ２０８に所定の押圧力を負荷する構造になっている。
【００１０】
図１４の（Ａ）はアンロード時の磁気ヘッド支持機構を示す側面図、（Ｂ）はロード時の磁気ヘッド支持機構を示す側面図、（Ｃ）は荷重曲げ部を詳しく示す部分拡大側面図である。図中、図１１と同一の要素には同一の符号が付されている。
図１４に示したように、荷重曲げ部２３６には磁気ヘッドを記録媒体２０５上にロードした時に、わずかながらバンプ２３８が形成され、バンプ量ＢＨ／バンプ位置ＢＰで定義されるバンプ２３８の形状によって磁気ヘッド支持機構２０２の振動特性、とりわけ捻れ振動によるオフトラックゲインが大きく変動する。
【００１１】
図１５の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、同一構造の磁気ヘッド支持機構の荷重曲げ部に、それぞれ異なるバンプ形状を設定してシーク方向振動特性を実際に測定した結果を示すグラフである。なお、測定に当っては押圧荷重は一定とした。図１５の（Ａ）はバンプ量が０．０８６、バンプ位置が２．０７５の場合の測定結果を示し、（Ｂ）はバンプ量が０．０７８、バンプ位置が１．８２５の場合、（Ｃ）はバンプ量が０．０７４、バンプ位置が１．５９０の場合の測定結果をそれぞれ示している。グラフの横軸は周波数、縦軸は相対ゲインを表している。
この図より、荷重曲げ部２３６のバンプ量やバンプ位置が変化すると捻れ振動やラテラル振動といった振動モードのオフトラックゲインが増減しているのが確認できる。図中、各ピークＰ１、Ｐ２、Ｐ３はそれぞれ２次捻れ振動、ジンバルスプリング捻れ振動、ラテラル振動に対応している。
【００１２】
こういった荷重曲げ部のバンプ形状は、組立誤差によるＺ−Ｈｅｉｇｈｔ（記録媒体上の磁気ヘッド支持機構の高さ）変動やロードビームの板厚・形状変動などによって個々に変化する結果、その最適設計や形状コントロールが容易でない。そのため、このような荷重曲げ部変形の影響を受けにくい磁気ヘッド支持機構の設計が望まれている。
【００１３】
磁気ヘッド支持機構を設計する上でのもう一つの重要な課題として耐衝撃性能の確保が挙げられる。コンピュータ機器の小型・パーソナル化、モバイル化により磁気ディスク装置の運搬の機会が増え、また不安定な設置場所での使用頻度が増えるにつれて装置の耐衝撃性能が要求されるようになってきた。磁気ディスク装置の耐衝撃性は、板バネを主要構成要素としてメカニカルな動作を行う磁気ヘッド支持機構の性能に負うところが大きく、そのため耐衝撃性に優れた磁気ヘッド支持機構の開発が求められている。
【００１４】
磁気ヘッド支持機構の耐衝撃性能は、主にスライダの媒体離脱加速度と衝突エネルギとで評価できる。スライダの媒体離脱加速度は、［数１］に示すようにスライダの押圧荷重に比例する。
【００１５】
【数１】
Ａｃｃ＝Ｆ／（Ｍ＋ｍ）
ただし、Ａｃｃは媒体離脱加速度、Ｆはスライダ押圧荷重、Ｍは磁気ヘッド支持機構の等価質量、ｍはスライダ質量を表している。
したがって外部からの衝撃に対してスライダの跳躍を抑制するためには（すなわち媒体離脱加速度を上げるためには）磁気ヘッド支持機構の押圧荷重が大きくなるように設計すればよい。しかしながら、高記録密度への要求によりヘッドは低浮上化を余儀なくされており、そのためスライダは小型・軽荷重化の方向で開発されている。
【００１６】
例えば記録密度が３０Ｍｂ／ｉｎ2の装置においては２ｍｍ×１．６ｍｍ×０．４３ｍｍ寸法のスライダを荷重３．５〜５．０ｇｆで押圧し１００ｎｍ程度で磁気ヘッドを浮上させていたが、近年の３Ｇｂ／ｉｎ2クラスの高記録密度装置においては１．２ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍ寸法の小形スライダに０．５ｇｆ〜１．０ｇｆ程度の軽荷重を付与し２０〜３０ｎｍ程度のヘッド浮上を実現している。スライダの小形化は媒体への衝突エネルギを軽減する点で耐衝撃設計に寄与するが、磁気ヘッド支持機構の軽荷重設計は装置の耐衝撃性能を大きく制限する。
【００１７】
他方、磁気ディスク装置のさらなる高記録密度化を目指してニアコンタクトスライダやコンタクトスライダの開発も進められている。ニアコンタクトスライダはスライダ浮上量をグライドハイトレベル（１０ｎｍ以下）まで下げて再生出力の向上を図っているが、この場合スライダの浮上は非定常的なものであり、トラック位置やＹａｗ角によってはスライダが記録媒体に接触する。
そのため、記録媒体との衝突による磁気ヘッドの損壊や摺動摩擦による記録データの熱的不安定を抑えるべく、ニアコンタクトスライダでは押圧荷重を従来の浮上型磁気ヘッドスライダより遥かに軽荷重で設計しなければならない。また磁気ヘッドを記録媒体と常時接触摺動させながらデータの記録・再生をおこなうコンタクトスライダでも、磁気ヘッドの安定した接触追従を損なわない範囲で磨耗損失や摩擦力を低減する超軽荷重（数十ｍｇｆ以下）の磁気ヘッド支持機構の開発が急務となっている。
【００１８】
図１６の（Ａ）から（Ｉ）は、記録媒体上にロードされた２ピース型の磁気ヘッド支持機構（押圧荷重０．５ｇｆ）に外部衝撃荷重が加わったときの磁気ヘッド支持機構の跳躍挙動を数値シミュレーションし、結果を時刻歴応答で示した説明図である。図中、図１２と同一の要素には同一の符号が付され、また、（Ａ）から（Ｉ）の方向に時間が経過している。
磁気ヘッド支持機構２２４は磁気記録媒体２４０と装置カバー２４２との間に配置され、図１６の（Ａ）に示したように、スライダ２３４は最初、磁気記録媒体２４０の表面上に正しく配置されている。その状態で、磁気ヘッド支持機構２２４に対し、上から衝撃が加わり、その後、ロードビーム２２６およびスライダ２０８は図１６の（Ｂ）から（Ｉ）のように跳躍する。
【００１９】
媒体離脱加速度の小さい軽荷重設計の磁気ヘッド支持機構に外部衝撃が加わった場合、スライダが磁気記録媒体と装置カバーの内面（あるいはベース面）との間で跳躍−衝突を繰り返し、磁気記録媒体とジンバルスプリング（あるいは磁気ヘッド）の双方に深刻なダメージを与える。したがって磁気ヘッド支持機構に対しては、軽荷重でありながら外部衝撃が加わってもスライダの跳躍を抑えられるような、あるいは仮にスライダが跳躍した場合でも衝突ダメージを小さくできるような構造が求められている。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はこのような要求を満たすべくなされたもので、その目的は、十分に柔なスライダ支持剛性と十分に剛なシーク剛性とを両立させると共に、耐衝撃性に優れ、しかも従来の荷重曲げ部の変形に伴うオフトラック振動を解消した磁気ヘッド支持機構を提供することにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため、磁気ヘッドを搭載したスライダと、中央舌部の下面側に前記スライダが固定されたジンバルスプリングと、弾性を有する帯板から成り前記ジンバルスプリングを保持するロードビームとを含む磁気ヘッド支持機構であって、前記ロードビームの先端部には、ロードビーム本体とほぼ同一方向に延在しロードビーム本体より幅が狭く可撓性を有して磁気ヘッドロード時に弾性変形する荷重舌部が形成され、ロードビーム本体は、前記磁気ヘッドロード時に撓まない程度の剛性を有し、前記ジンバルスプリングは前記ロードビーム先端部の下面側に取り付けられ、磁気ヘッドのアンロード時は前記ジンバルスプリングの前記中央舌部が前記ロードビームの前記荷重舌部により下方へ押下され、磁気ヘッドのロード時は前記中央舌部を介して前記荷重舌部を押し返すと同時に該荷重舌部の上方への弾性変形に見合う押圧荷重で前記中央舌部を下方に付勢することを特徴とする。
【００２２】
すなわち、従来の磁気ヘッド支持機構のロードビームは上述のように、ロードビーム基部のポジショナ接続部近傍に荷重曲げ部を設け、この荷重曲げ部の弾性力によりスライダに押圧荷重を付与する構造であったの対し、本発明の磁気ヘッド支持機構では、ロードビームの先端部に設けた弾性帯板から成り可撓性を有する荷重舌部によりスライダに付勢する構造となっている。そして、荷重舌部は小型に形成することができ、その結果、軽荷重でかつ耐衝撃性に優れた磁気ヘッド支持機構を実現できる。また、荷重曲げ部の変形に伴う捻れ振動の問題も解消するため、良好な振動特性が得られ、広いサーボ帯域を確保してデータアクセスのいっそうの高速化を図ることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態例について図面を参照して説明する。
図１の（Ａ）は本発明による磁気ヘッド支持機構の一例を示す斜視図、（Ｂ）は分解斜視図、（Ｃ）は平面図である。また、図２の（Ａ）はアンロード時の磁気ヘッド支持機構を示す断面側面図、（Ｂ）はアンロード時の磁気ヘッド支持機構の先端部を詳しく示す部分断面側面図、（Ｃ）はロード時の磁気ヘッド支持機構を示す断面側面図、（Ｄ）はロード時の磁気ヘッド支持機構の先端部を詳しく示す部分断面側面図である。
【００２４】
図１に示したように、本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構２は、磁気ヘッド４を搭載したスライダ６と、スライダ６が中央舌部８の下面側に固定されたジンバルスプリング１０と、弾性を有する薄い１枚の帯板から成りジンバルスプリング１０を保持するロードビーム１２とを含んでいる。
ロードビーム１２の先端部には、ロードビーム本体１４とほぼ同一方向に延在しロードビーム本体１４より幅が狭く可撓性を有して磁気ヘッドロード時（すなわち磁気ヘッドを磁気記録媒体に対してロードした時）に変形する荷重舌部１６が形成され、ロードビーム本体１４は磁気ヘッドロード時に撓まない程度の剛性を有している。
【００２５】
ロードビーム１２の基部側の端部にはスペーサ１８が配設され、ロードビーム１２はこのスペーサ１８を介し、取り付け穴２０によって不図示のポジショナ機構に連結される。
ロードビーム１２は先端部に、ロードビーム１２とほぼ同じ方向に延在する開口２２を有し、ロードビーム１２の荷重舌部１６は、開口２２の、ロードビーム１２基部側の縁部より開口の内側に突出して形成されている。荷重舌部１６は、本実施の形態例では、ロードビーム１２の中心線Ｃ（図１の（Ｃ））上に延在し、この中心線Ｃに関して対称となっている。荷重舌部１６は詳しくは基部側の荷重ビーム２４と、先端部に形成され荷重ビーム２４より幅広の荷重ステージ２６とにより構成されている。
【００２６】
ジンバルスプリング１０は、典型的なＴタイプフレクシャ構造を有し、ロードビーム１２の先端部の下面側に取り付けられ、ジンバルスプリング１０の中央舌部８を成す支持ステージ２８はロードビーム１２の荷重ビーム２４により下方、すなわち磁気記録媒体（単に記録媒体とも記す）の方向（矢印Ａ）に付勢されている。
ジンバルスプリング１０に形成された中央舌部８は、ジンバルスプリング１０に形成された開口３２（図１の（Ｂ））の、ロードビーム１２の基部と反対側の縁部よりロードビーム１２の基部方向に突出して形成されている。そして、中央舌部８の先端部は、中央舌部８の基部より幅広に形成されて支持ステージ２８を成している。
【００２７】
ロードビーム１２の荷重ステージ２６は、下面側に突出する半球状のピボット３４（本発明に係わる突起）を有し、ロードビーム１２の荷重舌部１６はピボット３４を介してジンバルスプリング１０の支持ステージ２８に付勢している。
また、スライダ６は、記録媒体側にＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）面を向けた状態で、上記支持ステージ２８の下面に接着固定されている。
【００２８】
ロードビーム１２の開口２２よりやや基部側の箇所には開口３６が形成され、一方、ジンバルスプリング１０の、ロードビーム１２の基部側の箇所には開口３８が形成されている。そして、ジンバルスプリング１０は、その開口３８がロードビーム１２の開口３６に一致するようにロードビーム１２に対して位置合わせされ、図１の（Ｃ）に示した３箇所の溶接点４０で例えばレーザスポット溶接を行ってロードビーム１２に接合されている。
【００２９】
また、ロードビーム１２の両側部は、折り曲げられてサイドレール４２を形成している。サイドレール４２は、本実施の形態例では、スペーサ１８の辺部近傍から荷重ステージ２６近傍までの範囲に形成されている。ロードビーム１２は、本実施の形態例では、その材質や板厚を適切に選定すると共にこのサイドレール４２を形成することで必要な剛性が確保されている。
【００３０】
このように構成された磁気ヘッド支持機構２は、図２の（Ａ）および（Ｂ）に示したように、磁気ヘッド４、したがってスライダ６が記録媒体１１から大きく離れているアンロード状態では、ロードビーム１２の荷重ステージ２６に形成されたピボット３４によってジンバルスプリング１０の支持ステージ２８が押下され、主に中央舌部８が記録媒体１１の側に撓んでいる。
【００３１】
一方、図２の（Ｃ）および（Ｄ）に示したように、磁気ヘッド４、したがってスライダ６が記録媒体１１上にわずかな隙間を形成して浮上しているロード状態では、スライダ６は記録媒体１１に対して平行となり、今度は逆にジンバルスプリング１０の支持ステージ２８が荷重ステージ２６を押し返す。また、荷重舌部１６を除いたロードビーム本体１４は、磁気ヘッドロード時にも、その剛性により、図２の（Ｃ）に示したように撓まない。
【００３２】
その結果、ロードビーム１２の荷重舌部１６、特に荷重ビーム２４は、ピボットの高さに対応する量だけ上方（記録媒体１１から離れる方向）に撓み、荷重舌部１６は、この撓みに見合った押圧荷重でジンバルスプリング１０の中央舌部８を下方に付勢する。
そして、ロードビーム１２の荷重舌部１６、特に荷重ビーム２４を本実施例のように微細形状に形成することで、上記押圧荷重を小さくすることができ、ロードビーム本体１４の剛性を維持したままでスライダ６に作用する押圧荷重を軽荷重に設定することができる。
【００３３】
従来の磁気ヘッド支持機構の場合は、図１１などに示したようにロードビーム２０４の基部に荷重曲げ部２３６を設け、荷重曲げ部２３６の弾性変形によりスライダ２０８に対する付勢力を発生させていた。そして、この荷重曲げ部２３６を塑性加工により形成するためには、ロードビーム２０４の荷重曲げ部２３６の剛性はある程度低くしておく必要がある。しかし、その結果、ロードビーム２０４全体の剛性が不足して振動特性の悪化や耐衝撃性の低下を招いていた。
また磁気ヘッドロード時に荷重曲げ部２３６にバンプが発生した場合、荷重曲げ部２３６から先の捻れ中心軸がずれてしまい低周波数領域からオフトラック振幅が大きくなりサーボ帯域を広くできなくなるといった問題を生じていた。
【００３４】
しかし、本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構２では、ロードビーム１２には従来のように荷重曲げ部は形成されておらず、そしてロードビーム本体１４は十分な剛性を有している。したがって、本実施の形態例では次の（１）から（４）の効果が得られる。
（１）スライダ押圧荷重は、ロードビーム１２の先端部に形成した荷重ビーム２４の寸法（長さ・幅・厚みなど）や、荷重ステージ２６に設けたピボット３４の高さなどにより設定できるため、高記録密度化を図るべくスライダ押圧荷重を軽荷重に設定した場合でも、ロードビーム本体１４の剛性を確保することができ、高速シークによるデータアクセスの高速化を実現できる。
【００３５】
図３は、本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構２の伝達特性を従来の磁気ヘッド支持機構（２ピース型軽荷重タイプおよび３ピース型高荷重タイプ）と比較して示すグラフである。図３に示した伝達特性はいずれも数値シミュレーションにより求めたものであり、シミュレーションモデルでは荷重曲げ部のバンプ形状の影響は考慮していない。図中、横軸が周波数を表し、縦軸は相対ゲインを表している。
【００３６】
図３のグラフから分るように、本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構２では、スライダ６に対する押圧荷重を極めて軽荷重（０．１ｇｆ〜）に設定できるにも関わらず、従来の高荷重型磁気ヘッド支持機構と同等以上の十分なシーク剛性を確保できるため、高周波数帯域までオフトラック共振は現れず、良好な周波数特性が得られている。したがって、磁気ヘッド支持機構２ではスライダ６をシーク方向へいっそう高速に移動させることができ、データアクセスの高速化を実現できる。
なお、図４は磁気ヘッド支持機構２のオフトラック共振時（１１．６ＫＨｚ）のＳｗａｙモードを示している。磁気ヘッド支持機構２ではこのようなオフトラック共振は１１．６ＫＨｚまで発生しない。
【００３７】
（２）本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構２では、衝撃加速度が加わった場合、従来の磁気ヘッド支持機構のように荷重曲げ部を軸としてロードビーム全体が跳躍するのではなく、剛なるロードビーム１２に内包された小形の荷重負荷部（荷重舌部１６）、すなわち荷重ビーム２４および荷重ステージ２６がその付け根を軸として跳躍する。したがって、前述した媒体離脱加速度の式（［数１］）において磁気ヘッド支持機構の等価質量（跳躍部分のみ）を小さくでき、軽荷重に設定した場合でも媒体離脱加速度が大きくなるように設計できる。そのため、耐衝撃性に優れた磁気ヘッド支持機構を実現できる。
【００３８】
（３）また仮に過度の衝撃が加わりスライダ６が記録媒体から跳躍した場合でも、従来の磁気ヘッド支持機構のように荷重曲げ部から先が跳躍し媒体に衝突する場合と異なり、ロードビーム先端部の小形の荷重負荷部（荷重舌部１６）のみが跳躍し、衝突することになるので、衝突エネルギは小さく、記録媒体やスライダ６が受けるダメージは軽微となる。
【００３９】
図５の（Ａ）ないし（Ｊ）は、本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構に衝撃が加わった場合の応答を数値シミュレーションで求めた結果を示す時刻歴応答図である。図中、図１、図２と同一の要素には同一の符号が付されている。この数値シミュレーションでは、磁気ヘッドロード時に、磁気ヘッド支持機構２（押圧荷重：０ｇｆ）に衝撃加速度（５００Ｇ／０．２ｍｓ：矩形波）が作用したとした。なお、図６のグラフはこの衝撃加速度を示すグラフであり、縦軸が衝撃加速度を表し、横軸が時間を表している。
【００４０】
衝撃が加わる前は、磁気ヘッド支持機構２は図５の（Ａ）に示した状態（図２の（Ｃ）と同じ状態）となっており、図５の（Ｂ）は図６の衝撃が加わって０．２ｍｓが経過した時点での状態を示し、（Ｃ）以降は、０．１ｍｓ間隔の応答を示している。
衝撃が加えられた直後、スライダ６は、図５の（Ｂ）、（Ｃ）に示したように、媒体から離脱し跳躍しようとするが、図５の（Ｄ）、（Ｅ）に示したように、ロードビーム１２の先端部の荷重ビーム２４および荷重ステージ２６によって跳躍を抑制され、ダメージを受けることが抑えられている。
またジンバルスプリング１０についても、図５の（Ｇ）ないし（Ｊ）に示したように、ロードビーム先端部の荷重舌部１６を囲む枠部１５によって跳躍を抑制されている。
【００４１】
（４）本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構２では、荷重ビーム２４は非常に小形であるため、荷重ビーム２４にバンプは形成されにくく、また、仮に荷重ビーム２４にバンプが形成されたとしても、ロードビーム本体１４やジンバルスプリング１０はその影響をほとんど受けない。
したがって、従来の磁気ヘッド支持機構のように、ロードビームの荷重曲げ部が変形してバンプが形成され、これが荷重曲げ部から先のロードビームおよびジンバルスプリングの捻れ中心軸をずらせてしまい、スライダのオフトラック振動が大きくなるといった問題は発生しない。
そのため本実施の形態例の磁気ヘッド支持機構２では、良好な振動特性を維持することができ、スライダを高速に移動させて、データアクセスのいっそうの高速化を図ることができる。
【００４２】
【実施例】
次に本発明の実施例について説明する。
図７の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は、それぞれ本発明の第１の実施例を示す分解平面図、平面図、断面側面図、部分拡大断面側面図である。図中、図１、図２などと同一の要素には同一の符号が付されている。
図７に示した第１の実施例の磁気ヘッド支持機構４４は、磁気ヘッド４を搭載したスライダ６と、スライダ６を支持するジンバルスプリング４６と、ジンバルスプリング４６を保持してスライダ６に押圧力を付与するロードビーム４８とを含んで構成されている。
【００４３】
ロードビーム４８は、本実施例ではＳＵＳ３０４などの薄い鋼板で形成され、その板厚は、要求される剛性や重量、ならびに組み込みスペースなどの兼ね合いにより、通常、２５〜１００μｍの範囲に設定される。ロードビーム４８は磁気ヘッド支持機構２の場合と同様、先端部においてジンバルスプリング４６を保持し、基部側の端部においてスペーサ１８とともに図示せぬポジショナ機構に接続される。
【００４４】
ロードビーム４８の両側部にはＵ字形断面もしくはＬ字形断面のサイドレール４２が形成されている。このサイドレール４２はロードビーム４８と一体でプレス加工されるが、折り曲げ方向については装置の組み込みスペースに応じて決められる。すなわち磁気ヘッド支持機構４４を不図示の記録媒体上に組み込んだときに、記録媒体に対向する不図示の上部カバー（もしくは下部ベース部、あるいは２枚目以降の記録媒体）との間に十分なスペースが確保できる場合には媒体面とは反対側に向かって折り曲げられ、一方、十分なスペースが確保できない場合には記録媒体面側に折り曲げられる。
【００４５】
また、サイドレール４２は、本実施例では、図７の（Ｂ）に示したように、スペーサ１８の辺部近傍から直ちに先端側へと延在している。本発明の磁気ヘッド支持機構４４ではスライダ６への荷重負荷機構部をロードビーム４８の先端部に配置しており、したがって従来の磁気ヘッド支持機構のようにロードビームの基部に荷重曲げ部（スペーサの辺部から２ｍｍ程度の範囲）を設ける必要がない。そのため、サイドレール４２の形成にあたっては、荷重曲げ部を避ける必要がない。
このようにスペーサ接合位置から直ぐにサイドレール４２を形成することでロードビーム４８の剛性を格段に強化することができる。
【００４６】
ただし、磁気ヘッド支持機構４４を記録媒体上に組み込むときの作業性を考慮した場合、スペーサ１８の、ロードビーム４８の先端側辺部から０．５〜１ｍｍ程度の間隔をあけてサイドレール４２を形成することも有効である。これは組み込み治具によって磁気ヘッド支持機構４４を記録媒体とは反対方向にリフトさせて記録媒体上にロードすることを可能にするためであり、したがってロードビーム４８の剛性を損なわない程度にかつ組み込み治具による挿入作業が可能な程度にロードビームリフト剛性を調整すればよい。
【００４７】
サイドレール４２は、図７の（Ｂ）に示したように、本実施例ではロードビーム４８の先端側へ向かって延在しスライダ位置近傍に終端を形成しているが、記録媒体の間隔が十分広い場合には、サイドレール４２をロードビーム４８の最先端部まで形成する構造とすることも可能である。要はロードビーム４８の剛性が十分確保できるようにサイドレール４２をロードビーム４８の両側部に配設することが肝要なのであり、そのためには少なくともジンバルスプリング４６の接合位置近傍まではサイドレール４２を形成することが望ましい。
【００４８】
荷重舌部５０は荷重ビーム５２と荷重ステージ５４とから成り、荷重ステージ５４の寸法は、スライダ６が例えばナノスライダである場合は２ｍｍ×１．６ｍｍ程度、ピコスライダである場合は１．２ｍｍ×１．０ｍｍ程度とすることができる。
一方、荷重ビーム５２の寸法（幅および長さ）は例えば、ロードスプリング４８の板厚、すなわち荷重ビーム５２の板厚を２５μｍとした場合、荷重ビーム５２の幅は０．４ｍｍ、長さは２．４３ｍｍとすることができる。スライダ６に対する押圧荷重は、この荷重ビーム５２の寸法により決り、上記寸法とした場合には、荷重ビーム５２を含むロードビーム４８のスプリングレートは７．８６Ｎ／ｍとなって、ピボット３４の高さを例えば１２５μｍに設定すると、スライダ６に対する押圧荷重は０．１ｇｆとなる。
【００４９】
また、ジンバルスプリング４６は、本実施例ではスライダ支持剛性のフレキシビリティを重視して板厚が２０〜３０μｍ程度の薄い鋼板（ＳＵＳ３０４）で形成されている。そして、本実施例では、中央舌部５６の支持ステージ５８に、上方に凸のピボット３４が形成されている。
ロードビーム４８の板厚が２５μｍ程度の場合は、ロードビーム４８にピボット３４をプレス加工により容易に形成することができる。しかし、ロードビーム４８を高剛性とするために、板厚を７６μｍ程度（従来の高荷重用磁気ヘッド支持機構で用いられるロードビームの板厚に相当）とした場合には、ジンバルスプリング４６の支持ステージ５８にピボット３４を形成したほうが加工が容易であり、ピボット３４を精度良く形成することができる。
【００５０】
ピボット３４をプレス加工で成形する場合、ピボット３４の直径は加工上の制約により２００μｍ以上に設定する必要があるが、ピボット３４の高さについては主に装置のＺ−Ｈｅｉｇｈｔにより決定される。
また、開口２２を、ロードビーム４８の先端部で囲む枠部６０は、磁気ヘッド支持機構４４に衝撃が作用したとき、ジンバルスプリング４６の跳躍を抑制する役割を担う。したがって、ジンバルスプリング４６は、図７の（Ｂ）に示したように、その外周部６２がロードビーム４８の枠部６０に重なるように配置することが望ましい。
【００５１】
ジンバルスプリング４６は本実施例でもＴフレクシャタイプを用いており、開口３８をロードビーム４８の開口３６に一致させることでロードビーム４８と位置合わせされ溶接点４０においてレーザスポット溶接されている。
そして、ジンバルスプリング４６の支持ステージ５８に形成された、スライダ６を点支持するための半球状のピボット３４は、ロードビーム４８の荷重ステージ５４のほぼ中央に点接触している。また、スライダ６は記録媒体にＡＢＳ面を向けた状態でジンバルスプリング４６の支持ステージ５８に接着されている。
【００５２】
このように構成された磁気ヘッド支持機構４４は、図７の（Ｃ）、（Ｄ）に示したように、磁気ヘッドアンロード状態ではスライダ６は、ジンバルスプリング４６の支持ステージ５８に形成されたピボット３４を介してロードスプリング１０の荷重ステージ５４によって押下され、記録媒体側に傾いている。
一方、磁気ヘッドロード時にはスライダ６が記録媒体の表面上にわずかな隙間を形成して浮上した状態となり、スライダ６は記録媒体の表面とほぼ平行になる。このとき、支持ステージ５８のピボット３４が荷重ステージ５４を上方に押し返してピボット３４の高さに相当する量だけ荷重ビーム５２を上方に撓ませ、その結果、荷重ビーム５２の弾性力による押圧荷重がスライダ６に作用する。
【００５３】
また、この磁気ヘッドロード状態でも、本実施例では、ロードビーム４８は、その材質や寸法、さらにはサイドレール４２によって十分な剛性が得られるため、記録媒体の表面に対してほぼ平行な状態を維持する。そして、ジンバルスプリング４６の中央舌部５６も、図２の（Ｄ）に示した磁気ヘッド支持機構２のロード時の場合と同様、記録媒体に対してほぼ平行な状態となる。
【００５４】
次に、本発明の第２の本実施例について説明する。
図８の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は、本発明の第２の実施例を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。図中、図７などと同一の要素には同一の符号が付されている。
図８に示した磁気ヘッド支持機構４５が、図７の磁気ヘッド支持機構４４と基本的に異なるのは、磁気ヘッド支持機構４４におけるロードビーム４８の枠部６０が排除されている点であり、磁気ヘッド支持機構４５では、ロードビーム６４の先端に、荷重ビーム６６おおび荷重ステージ６８から成る荷重舌部７０が突設されている。また、ジンバルスプリング７２は、ジンバルスプリング４６などに比べ幅の狭い形状に形成されている。
【００５５】
したがって、磁気ヘッド支持機構４５では、その先端部の幅はジンバルスプリング７２の幅で決るため、非常に狭くすることができ、その結果、磁気ヘッドを円盤状の記録媒体の中心に近い箇所にまでシークさせることが可能となり、記録媒体上の有効なデータ領域の拡大を図る場合に有利である。
なお、磁気ヘッド支持機構４５では、荷重舌部７０を囲む枠部が存在しないため、外部から衝撃などが加わった場合、ジンバルスプリング７２の跳躍は、荷重舌部７０によってのみ抑制されることになる。したがって、荷重舌部７０、特に荷重ビーム６６の寸法はやや短くするか、幅をやや広く設定してスプリングレートを上げ、ジンバルスプリング７２の跳躍を抑える作用を高めておくことが望ましい。
【００５６】
次に、本発明の第３の実施例について説明する。
図９の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、ならびに（Ｄ）は、それぞれ本発明の第３の実施例を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。図中、図７などと同一の要素には同一の符号が付されている。
第３の実施例の磁気ヘッド支持機構７４は、特にコンタクトスライダを搭載する場合に有効であり、磁気ヘッド支持機構７４が、上記磁気ヘッド支持機構４４などと異なるのは、ロードビーム７６が第１および第２の荷重舌部７８、８０を備え、ジンバルスプリング８２が中央舌部９４とともに外部舌部８４を備えている点である。
【００５７】
この実施例の磁気ヘッド支持機構７４では、ロードビーム７６の荷重舌部は、ロードビーム７６の基部側における開口２２の縁部より突出する第１の荷重舌部７８と、ロードビーム７６の先端部側における開口２２の縁部より突出する第２の荷重舌部８０とから成り、第１の荷重舌部７８は第１の荷重ビーム８６と幅広の第１の荷重ステージ８８とにより構成され、第２の荷重舌部８０は第２の荷重ビーム９０と幅広の第２の荷重ステージ９２とにより構成されている。
【００５８】
一方、ジンバルスプリング８２は、本実施例では、上記実施例のようにＴタイプフレクシャ構造ではなく、十字タイプのフレクシャ構造を有している。すなわち、ジンバルスプリング８２に形成された中央舌部９４である支持ステージ９６は、ジンバルスプリング８２に形成された開口９８の、ロードビーム７６の基部と反対側の縁部よりロードビーム７６の基部方向に突出して形成されている。そして、この中央舌部９４とは別に、ジンバルスプリング８２の開口９８の外側に中央舌部９４に対立して延在する外部舌部８４、すなわち支持ステージ１００が形成されている。
【００５９】
ロードビーム７６の開口２２よりやや基部側の箇所には開口３６が形成され、一方、ジンバルスプリング８２の、ロードビーム１２の基部側の箇所には開口３８が形成されている。そして、ジンバルスプリング８２は、その開口３８がロードビーム７６の開口３６に一致するようにロードビーム７６に対して位置合わせされ、図９の（Ａ）および（Ｂ）に示した３箇所の溶接点４０で例えばレーザスポット溶接を行ってロードビーム７６に接合されている。
この状態で、支持ステージ９６は第１の荷重ステージ８８のほぼ真下に位置し、支持ステージ１００は第２の荷重ステージ９２のほぼ真下に位置している。
第１および第２の荷重ステージ８８、９２のほぼ中央には下方に突出するピボット３４がそれぞれ形成され、支持ステージ９６、１００はピボット３４を介して第１および第２の荷重ステージ８８、９２により下方に付勢されている。
【００６０】
この磁気ヘッド支持機構７４には、コンタクトスライダ１０２が搭載され、コンタクトスライダ１０２は、ジンバルスプリング８２の支持ステージ９６、１００の下面に、両ステージにまたがって接着固定されている。コンタクトスライダ１０２の下面には、ロードビーム７６の基部側の端部にリードディングパッド１０４が取り付けられ、一方、反対側の端部にはトレーリングパッド１０６が取り付けられている。磁気ヘッドロード時には、これらリードディングパッド１０４およびトレーリングパッド１０６は記録媒体の表面上を摺動する。
【００６１】
図９の（Ｃ）に示したように、第１および第２の荷重舌部７８、８０やジンバルスプリング８２などの寸法を適切に設定することで、２つのピボット３４はそれぞれリードディングパッド１０４およびトレーリングパッド１０６のほぼ真上の位置に配置されている。したがって、本実施例の磁気ヘッド支持機構７４では、コンタクトスライダ１０２は第１および第２の荷重舌部７８、８０により安定に付勢され、記録媒体表面に対する良好な摺動動作を実現できる。
【００６２】
なお、本実施例の磁気ヘッド支持機構７４では、第１および第２の荷重舌部７８、８０の寸法を相互に異なるものとすることで、リードディングパッド１０４およびトレーリングパッド１０６にそれぞれ加わる荷重を調整することができ、リードディングパッド１０４およびトレーリングパッド１０６の記録媒体表面に対する接触荷重を個別に適切な大きさとなるように設定することができる。
【００６３】
次に、第４の実施例について説明する。
図１０の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、ならびに（Ｄ）は、それぞれ本発明の第４の実施例を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。図中、図７などと同一の要素には同一の符号が付されている。
図１０に示した磁気ヘッド支持機構１０８が、図７に示した磁気ヘッド支持機構４４と異なるのは、ロードビーム１１０の荷重舌部５０が開口２２内の反対側の縁部より突出形成されている点である。
すなわち、磁気ヘッド支持機構１０８では、ロードビーム１１０の荷重舌部５０は、ロードビーム１１０の先端側における開口２２の縁部より開口２２の内側に突出して形成されている。荷重舌部５０は、荷重ビーム５２と荷重ステージ５４とから成り、ロードビーム１２の中心線Ｃ（図１０の（Ｂ））上に延在し、この中心線Ｃに関して対称となっている。
【００６４】
このように、荷重舌部５０が、開口２２内においてロードビーム１１０の先端側の縁部から突出しているため、開口２２を囲む枠部６０の側部１１２は、サイドレール４２より先端側ではスプリングとして作用し、荷重ビーム５２と同様の機能を果す。したがって、図１０の（Ｄ）などに示したように、荷重舌部５０だけでなく、枠部６０の上記側部１１２も撓み、ジンバルスプリング４６に搭載されたスライダ６は、荷重舌部５０および枠部６０の側部１１２の弾性により下方に付勢される。
【００６５】
その結果、磁気ヘッド支持機構１０８では、ロードビーム１１０によるスライダ６に対する付勢力は、磁気ヘッド支持機構４４に比べて小さくなり、スプリングレートをきわめて小さく設定できるため、スライダ６が、ニアコンタクトスライダやコンタクトスライダ１０２であって、数十ｍｇｆの超軽荷重が要求されるような場合に有利となる。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、磁気ヘッドを搭載したスライダと、中央舌部の下面側に前記スライダが固定されたジンバルスプリングと、弾性を有する帯板から成り前記ジンバルスプリングを保持するロードビームとを含む磁気ヘッド支持機構であって、前記ロードビームの先端部には、ロードビーム本体とほぼ同一方向に延在しロードビーム本体より幅が狭く可撓性を有して磁気ヘッドロード時に弾性変形する荷重舌部が形成され、ロードビーム本体は、前記磁気ヘッドロード時に撓まない程度の剛性を有し、前記ジンバルスプリングは前記ロードビーム先端部の下面側に取り付けられ、磁気ヘッドのアンロード時は前記ジンバルスプリングの前記中央舌部が前記ロードビームの前記荷重舌部により下方へ押下され、磁気ヘッドのロード時は前記中央舌部を介して前記荷重舌部を押し返すと同時に該荷重舌部の上方への弾性変形に見合う押圧荷重で前記中央舌部を下方に付勢する構成とした。
【００６７】
したがって、本発明の磁気ヘッド支持機構では、スライダ押圧荷重は、ロードビームの先端部に形成した荷重舌部の寸法などにより設定できるため、高記録密度化を図るべくスライダ押圧荷重を軽荷重に設定した場合でも、ロードビーム本体の剛性を確保することができ、高速シークによるデータアクセスの高速化を実現できる。
【００６８】
また、本発明の磁気ヘッド支持機構では、衝撃加速度が加わった場合、従来の磁気ヘッド支持機構のように荷重曲げ部を軸としてロードビーム全体が跳躍するのではなく、剛なるロードビームの先端部に形成された荷重舌部がその付け根を軸として跳躍する。したがって、スライダ押圧荷重を軽荷重に設定した場合でも媒体離脱加速度が大きくなるように設計でき、耐衝撃性に優れた磁気ヘッド支持機構を実現できる。
さらに、仮に過度の衝撃が加わりスライダが記録媒体から跳躍した場合でも、従来の磁気ヘッド支持機構のように荷重曲げ部から先が跳躍し記録媒体に衝突する場合と異なり、ロードビーム先端部の荷重舌部のみが跳躍し、衝突することになるので、衝突エネルギは小さく、記録媒体やスライダが受けるダメージは軽微となる。
【００６９】
そして、本発明の磁気ヘッド支持機構では、荷重舌部は小型に形成できるため、荷重舌部にバンプは形成されにくく、また、仮に荷重舌部にバンプが形成されたとしても、ロードビーム本体やジンバルスプリングはその影響をほとんど受けない。したがって、ロードビームの荷重曲げ部が変形して捻れ振動を起しやすい従来の磁気ヘッド支持機構のように、スライダのオフトラック振動が大きくなるといった問題は発生せず、良好な振動特性が得られるため、広いサーボ帯域を確保してデータアクセスのいっそうの高速化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は本発明による磁気ヘッド支持機構の一例を示す斜視図、（Ｂ）は分解斜視図、（Ｃ）は平面図である。
【図２】（Ａ）はアンロード時の図１の磁気ヘッド支持機構を示す断面側面図、（Ｂ）はアンロード時の磁気ヘッド支持機構の先端部を詳しく示す部分断面側面図、（Ｃ）はロード時の磁気ヘッド支持機構を示す断面側面図、（Ｄ）はロード時の磁気ヘッド支持機構の先端部を詳しく示す部分断面側面図である。
【図３】実施の形態例の磁気ヘッド支持機構の伝達特性を従来の磁気ヘッド支持機構と比較して示すグラフである。
【図４】実施の形態例の磁気ヘッド支持機構のＳｗａｙモードを示す振動モード図である。
【図５】（Ａ）ないし（Ｊ）は、本発明の実施の形態例の磁気ヘッド支持機構に衝撃が加わった場合の応答を数値シミュレーションで求めた結果を示す時刻歴応答図である。
【図６】数値シミュレーションで用いた衝撃加速度を示すグラフである。
【図７】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、ならびに（Ｄ）は、それぞれ本発明の第１の実施例の磁気ヘッド支持機構を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。
【図８】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、ならびに（Ｄ）は、それぞれ本発明の第２の実施例の磁気ヘッド支持機構を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。
【図９】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、ならびに（Ｄ）は、それぞれ本発明の第３の実施例の磁気ヘッド支持機構を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。
【図１０】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、ならびに（Ｄ）は、それぞれ本発明の第４の実施例の磁気ヘッド支持機構を示す分解平面図、平面図、断面側面図、ならびに部分拡大断面側面図である。
【図１１】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、ならびに（Ｄ）は、従来の磁気ヘッド支持機構の一例を示す斜視図、部分拡大図、平面図、ならびに分解平面図である。
【図１２】（Ａ）は２ピース型の磁気ヘッド支持機構の一例を示す斜視図、（Ｂ）は断面側面図である。
【図１３】磁気ヘッド支持機構の位置決め動作の例を示す説明図である。
【図１４】（Ａ）はアンロード時の従来の磁気ヘッド支持機構を示す側面図、（Ｂ）はロード時の磁気ヘッド支持機構を示す側面図、（Ｃ）は荷重曲げ部を詳しく示す部分拡大側面図である。
【図１５】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、同一構造の従来の磁気ヘッド支持機構の荷重曲げ部に、それぞれ異なるバンプ形状を設定してシーク方向振動特性を実際に測定した結果を示すグラフである。
【図１６】（Ａ）から（Ｉ）は、記録媒体上にロードされた２ピース型の磁気ヘッド支持機構に外部衝撃荷重が加わったときの磁気ヘッド支持機構の跳躍挙動を数値シミュレーションし、結果を時刻歴応答で示した説明図である。
【符号の説明】
２……磁気ヘッド支持機構、４……磁気ヘッド、６……スライダ、８……中央舌部、１０……ジンバルスプリング、１２……ロードビーム、１４……ロードビーム本体、１６……荷重舌部、１８……スペーサ、２０……取り付け穴、２２……開口、２４……荷重ビーム、２６……荷重ステージ、２８……支持ステージ、３２……開口、３４……ピボット、３６……開口、３８……開口、４０……溶接点、４２……サイドレール、４４……磁気ヘッド支持機構、４５……磁気ヘッド支持機構、４６……ジンバルスプリング、４８……ロードビーム、５０……荷重舌部、５２……荷重ビーム、５４……荷重ステージ、５６……中央舌部、５８……支持ステージ、６０……枠部、６２……外周部、６４……ロードビーム、６６……荷重ビーム、６８……荷重ステージ、７０……荷重舌部、７２……ジンバルスプリング、７４……磁気ヘッド支持機構、７６……ロードビーム、７８……第１の荷重舌部、８０……第２の荷重舌部、８２……ジンバルスプリング、８４……外部舌部、８６……第１の荷重ビーム、８８……第１の荷重ステージ、９０……第２の荷重ビーム、９２……第２の荷重ステージ、９４……中央舌部、９６……支持ステージ、９８……開口、１００……支持ステージ、１０２……コンタクトスライダ、１０４……リードディングパッド、１０６……トレーリングパッド、１０８……磁気ヘッド支持機構、１１０……ロードビーム、１１２……側部、２０２……磁気ヘッド支持機構、２０４……ロードビーム、２０６……ジンバルスプリング、２０８……スライダ、２１０……スペーサ、２１２……サイドレール、２１４……ピボット、２１６……支持ステージ、２１８……磁気ヘッド、２２０……信号線チューブ、２２２……部、２２４……磁気ヘッド支持機構、２２６……ロードビーム、２２８……信号線パターン、２３０……ポジショナ機構、２３２……ロードビーム、２３４……スライダ、２３６……荷重曲げ部、２３８……バンプ、２４０……磁気記録媒体、２４２……装置カバー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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