(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口が列設されることによりノズル列が形成されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成板と、上記圧力発生室の開口を塞ぐ封止板とを含む積層体から形成された流路ユニットを含んで液体噴射ユニットが構成され、上記液体噴射ユニットが液体供給源からの液体を導くヘッドホルダに取付けられている液体噴射ヘッドであって、少なくとも２つの第１液体噴射ユニットをノズル列方向に配列し、２つの第１液体噴射ユニットの間に存在するノズル列の不連続箇所に、上記第１液体噴射ユニットよりもノズル列方向の長さが短い第２液体噴射ユニットを、上記第１液体噴射ユニットの配列から主走査方向にずらした状態で配置して、上記第１液体噴射ユニットと上記第２液体噴射ユニットにより、各ノズル列が同種の液体を噴射するノズル群となるよう単位ユニットを形成し、
また、２つの上記単位ユニットをノズル列方向にずらした状態で互いの第２液体噴射ユニットがノズル列に平行な同一線上に位置するように配置されている液体噴射ヘッド。
【請求項２】
上記対向ユニットが複数配置されている請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
上記単位ユニットのノズル群の全長を所定長さに延長する第３液体噴射ユニットが上記単位ユニットに包含され、上記第１、第２、第３液体噴射ユニットの各ノズル列によって上記ノズル群が構成されている請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
上記第３液体噴射ユニットは、第２液体噴射ユニットと実質的に同列に配置されたものを含む請求項３記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
上記第３液体噴射ユニットとして、第２液体噴射ユニットと実質的に同列に配置されたものを有し、さらに第１液体噴射ユニットと実質的に同列に配置されたものを有している請求項４記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
全ての第３液体噴射ユニットが、第２液体噴射ユニットとノズル列方向の長さが略同じである請求項３乃至５のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
上記第３液体噴射ユニットの存在により、複数の単位ユニット間におけるノズル群の端部が、主走査方向において略一直線上に揃えて配列されている請求項３乃至６のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
主走査方向で見て隣合う単位ユニットのノズル列は、一方の単位ユニットのノズル列の開口ピッチに対して他方の単位ユニットのノズル列の開口ピッチがずれるように配置してあり、上記ずれ量は、上記開口ピッチの半分の量である請求項１乃至７のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
上記ヘッドホルダに液体噴射ユニットの位置決め用凸部が設けられている請求項１乃至８のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
上記ヘッドホルダに液体噴射ユニットの位置決め用外周壁部材が設けられている請求項１乃至８のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
上記液体噴射ユニットを構成する上記流路ユニットがヘッドケースに接合され、また上記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子が縦振動モードの圧電振動子により構成され、上記圧電振動子が固定基板に固定され、上記ヘッドケースに設けた収容室に圧力発生室に対応させた状態で圧電振動子と固定基板が挿入され、固定基板を収容室内で固定状態にした請求項１乃至１０のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射するノズル列の実質的長さを可及的に長く設定した液体噴射ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
印刷速度の向上すなわち単位時間当たりの印刷面積を増大するためには、装置本体の主走査方向に直交しているノズル列の長さを長くすることが有力な方法ではあるが、１つのノズル開口にでも製造過程で不都合が生じると、ヘッドとして使用ができないため、複数のヘッドをノズル列方向に並べて使用することが行われている。
しかし、図１８(Ａ)に示したように複数のインク噴射ユニットＡをノズルの列設方向に配列しただけでは、隣接するヘッドのノズル列Ｂの間にドット非形成領域Ｃが生じる。
このような問題を解消するため、特許文献１にも見られるようにインク噴射ユニットＡを千鳥状に配列して上述のドット非形成領域Ｃを排除した長尺化が可能な記録ヘッドが提案されている(図１８(Ｂ))。
これによれば、副走査方向で見て切れ目のない長いノズル列を形成できるものの、インク噴射ユニットＵの幅が単純に加算した大きさとなり、液体噴射ヘッドの装置本体の主走査方向の寸法が著しく大きなものとなり、インク噴射ヘッドを有効にしようするには、記録媒体の巾よりも大幅に走査する必要があり、装置が大型化するという問題がある。
【特許文献１】特許第２７５２８４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものでその目的とするところは、液体噴射ヘッドの主走査方向の寸法の増大を抑制しつつ、ノズル列の長尺化を実現できる液体噴射ヘッドの提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、ノズル開口が列設されることによりノズル列が形成されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成板と、上記圧力発生室の開口を塞ぐ封止板とを含む積層体から形成された流路ユニットを含んで液体噴射ユニットが構成され、上記液体噴射ユニットが液体供給源からの液体を導くヘッドホルダに取付けられている液体噴射ヘッドであって、少なくとも２つの第１液体噴射ユニットをノズル列方向に配列し、２つの第１液体噴射ユニットの間に存在するノズル列の不連続箇所に、上記第１液体噴射ユニットよりもノズル列方向の長さが短い第２液体噴射ユニットを、上記第１液体噴射ユニットの配列から主走査方向にずらした状態で配置して、上記第１液体噴射ユニットと上記第２液体噴射ユニットにより、各ノズル列が同種の液体を噴射するノズル群となるよう単位ユニットを形成し、
また、２つの上記単位ユニットをノズル列方向にずらした状態で互いの第２液体噴射ユニットがノズル列に平行な同一線上に位置するように配置されている。
【０００８】
請求項２の発明は、上記対向ユニットが複数配置されている。
【０００９】
請求項３の発明は、上記単位ユニットのノズル群の全長を所定長さに延長する第３液体噴射ユニットが上記単位ユニットに包含され、上記第１、第２、第３液体噴射ユニットの各ノズル列によって上記ノズル群が構成されている。
【００１０】
請求項４の発明は、上記第３液体噴射ユニットは、第２液体噴射ユニットと実質的に同列に配置されたものを含むように構成されている。
【００１１】
請求項５の発明は、上記第３液体噴射ユニットとして、第２液体噴射ユニットと実質的に同列に配置されたものを有し、さらに第１液体噴射ユニットと実質的に同列に配置されたものを有するように構成されている。
【００１２】
請求項６の発明は、全ての第３液体噴射ユニットが、第２液体噴射ユニットとノズル列方向の長さが略同じとなるように構成されている。
【００１３】
請求項７の発明によれば、上記第３液体噴射ユニットの存在により、複数の単位ユニット間におけるノズル群の端部が、主走査方向において略一直線上に揃えて配列されている。
【００１４】
請求項８の発明は、主走査方向で見て隣合う単位ユニットのノズル列は、一方の単位ユニットのノズル列の開口ピッチに対して他方の単位ユニットのノズル列の開口ピッチがずれるように配置してあり、上記ずれ量が、上記開口ピッチの半分の量となるように構成されている。
【００１５】
請求項９の発明は、上記ヘッドホルダに第１液体噴射ユニット、第２液体噴射ユニット、第３液体噴射ユニット等の位置決め用凸部が設けられている。
【００１６】
請求項１０の発明は、上記ヘッドホルダに第１液体噴射ユニット、第２液体噴射ユニット、第３液体噴射ユニット等の位置決め用外周壁部材が設けられている。
【００１７】
請求項１１の発明は、上記流路ユニットがヘッドケースに接合されて第１液体噴射ユニット、第２液体噴射ユニット、第３液体噴射ユニット等が構成され、上記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子が縦振動モードの圧電振動子とされ、この圧電振動子が固定基板に固定され、上記ヘッドケースに設けた収容室に圧力発生室に対応させた状態で圧電振動子と固定基板が挿入され、固定基板を収容室内で固定状態に構成されている。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１の発明によれば、第１液体噴射ユニットと第２液体噴射ユニットの各ノズル列が同種の液体を噴射するノズル群を形成し、有効なノズル列の長さが見かけ上長尺化され、定められた領域への液体噴射が短時間で実行される。また、第１液体噴射ユニットは本来の噴射機能を果たす液体噴射ユニットであり、第２液体噴射ユニットは両第１液体噴射ユニットのノズル列を機能上連続させるものである。したがって、第１液体噴射ユニットには、液体噴射性能が最も安定した長さのいわゆる標準品を充当し、それに対して第２液体噴射ユニットは、第１液体噴射ユニットよりも短い長さであるから、それ自体液体噴射性能を低下させるような要因がなく、第１および第２液体噴射ユニットは全体として、安定した液体噴射性能の長尺なノズル群がえられる。そして、各ノズル群ごとに異なった種類の液体が噴射されるので、ノズル群を所定の数とすることにより、多種多様な液体噴射が可能となる。上記のような単位ユニットをインクジェット式記録装置に適用した場合等には、印刷の高速化と多彩な印刷品質を得ることができる。
また、一方の単位ユニットの第１液体噴射ユニットのノズル列に対して、他方の単位ユニットの第２液体噴射ユニットのノズル列を接近させることができる。したがって、両単位ユニットにおける各第１液体噴射ユニットの列を接近させることができ、複数の液体噴射ユニットを装着した液体噴射ヘッドの主走査方向の寸法を短くすることが実現する。具体的には、両単位ユニットを上記のようにずらさなければ、４列分のユニットスペースが必要になるのであるが、上記の配列により略３列分のユニットスペースで済むことになる。
【００２１】
請求項２の発明によれば、主走査方向のスペースを小さくしつつ多数の単位ユニットが配置できるので、コンパクトな液体噴射ヘッドで十分な種類の液体を長尺化されたノズル群から噴射することができる。
【００２２】
請求項３の発明によれば、第３液体噴射ユニットで適宜ノズル群の長さを補って、所定の長さに設定することができる。また、第３液体噴射ユニットのノズル列方向の長さを第１液体噴射ユニットのそれよりも短くしておくことにより、第３液体噴射ユニットに液体噴射性能を低下させるようなことがなく、良好な性能を維持してノズル群の長尺化することができる。
【００２３】
請求項４の発明によれば、第３液体噴射ユニットを上述の第２液体噴射ユニットの「ずらし配置」と同様にして配置することができるので、第３液体噴射ユニットを用いた場合であっても、主走査方向のスペースを少なくした液体噴射ヘッドを構成することができる。
【００２４】
請求項５の発明によれば、第２液体噴射ユニットと実質的に同列に配置された第３液体噴射ユニットは、第１液体噴射ユニットから主走査方向にずれた状態でノズル群の延長機能を果たしている。そして、第１液体噴射ユニットと実質的に同列に配置された第３液体噴射ユニットは、上記のずれた状態の第３液体噴射ユニットを媒介して第１液体噴射ユニットと実質的に同列の状態で延長機能を果たしている。したがって、第３液体噴射ユニットは、主走査方向にずれた状態と第１液体噴射ユニットと実質的に同列の状態の２種類の形態でノズル群の延長を行ない、前者のずれた状態と後者の同列の状態を適宜選択することにより、高い自由度でノズル群を延長することができる。
【００２５】
請求項６の発明によれば、第２および第３液体噴射ユニットを合わせて、全てがユニット部品として共通化できるので、部品の種類の低減やコストダウンすることができる。
【００２６】
請求項７の発明によれば、第１、第２液体噴射ユニットにより形成される単位ユニットがずれて配置されてノズル群の端部にたとえずれが生じても、第３液体噴射ユニットの配置で上記ずれを略一直線上に揃えることができる。したがって、複数の単位ユニット間においてずれのない液体噴射を行うことができる。
【００２７】
請求項８の発明によれば、ずらされた関係にある両ノズル列を主走査方向に複合すると、開口ピッチが実質的に小さな開口ピッチとなる。ここで、開口ピッチが小さくされたノズル列において、上記のようにいわゆるハーフピッチにすれば、液体噴射を受ける部材に対する単位面積当たりの液体噴射が、きわめて緻密な状態になる。他方、開口ピッチが比較的大きくされたノズル列において、上記のようにハーフピッチにすれば、このハーフピッチを解像度の整数倍にしておくことにより、液体噴射ヘッドの主走査方向のストローク回数を低減させることができる。これらの利点は、インクジェット式記録装置において、前者は精緻な噴射品質の確保に有効であり、後者はドラフト印刷などに利用して印刷時間の短縮を図ることができる。
【００２８】
請求項９の発明によれば、各液体噴射ユニットを上記位置決め用凸部に接触させてヘッドホルダに取付けることにより、単位ユニット乃至はノズル群が高い精度のもとに形成でき、長尺化されたノズル群から良好な液体噴射を行うことができる。また、単位ユニットを対向させた対向ユニット全体としても安定した液体噴射がえられる。さらに、上記のように、隣合う単位ユニットのノズル列をずらしてノズル開口をハーフピッチにするような場合においても、精度の高い開口ピッチが確保できる。
【００２９】
請求項１０の発明によれば、各液体噴射ユニットを上記位置決め用外周壁部材に接触させてヘッドホルダに取付けることにより、単位ユニット乃至はノズル群が高い精度の下に形成でき、長尺化されたノズル群から良好な液体噴射がえられる。また、単位ユニットを対向させた対向ユニット全体としても安定した液体噴射を行うことができる。さらに、隣合う単位ユニットのノズル列をずらしてノズル開口をハーフピッチにするような場合においても、精度の高いノズル開口のピッチを確保できる。
【００３０】
請求項１１の発明によれば、縦振動モードの圧電振動子自体が、印加された駆動信号に対する動作応答性が良好であり、また、縦方向の駆動変位出力がえられるから、圧力発生室の液体が駆動信号に対応するように加圧され、ノズル列からの液体噴射が高い信頼性の下で確実になされる。このような特質を有する圧電振動子で第１、第２、第３の各液体噴射ユニットを機能させるので、連ねられたノズル群からの液体噴射はいずれのノズル列においても、良好に達成される。したがって、長尺化されたノズル群の長さ全域にわたって液滴の量や、液滴の着弾の位置精度を実用上問題がないないレベルに収めることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
つぎに、本発明の液体噴射ヘッドの一適用分野であるインクジェット式記録装置について説明する。
図１において、インクジェット式記録装置５０は、インクカートリッジ１が搭載されるとともに、本発明の液体噴射ヘッドが記録ヘッド２として取付けられたキャリッジ３を備えている。
上記キャリッジ３は、タイミングベルト４を介してステッピングモータ５に接続され、ガイドバー６に案内されて記録紙である記録媒体７の紙幅方向（以下、主走査方向ともいう）に往復移動するようになっている。キャリッジ３は、上部が開放された箱型に形成され、インクカートリッジを収容するホルダとしても機能し、記録媒体７と対向する面（この例では下面）に、記録ヘッド２のノズル形成面が露出するよう取付けられている。
【００３２】
記録ヘッド２は、インクカートリッジ１からインクの供給を受け、キャリッジ３の主走査方向への往復移動により記録媒体７の上面にインク滴を吐出させて記録媒体７に画像や文字をドットマトリックスにより印刷する。
【００３３】
記録媒体７の移動を案内するために、記録ヘッド２の主走査方向に延びている長尺な案内部材８が配置されている。案内部材８の一端側に隣接して記録ヘッド２のノズルプレート１７（後述する）を清浄にするワイパー装置９と、ノズル開口部の乾燥を防止したり、また目詰まりを解消するために負圧を供給するキャッピング装置１０が配置されている。また、案内部材８の他端側に隣接して記録ヘッド２はら吐出されたインク滴を受容するフラッシング開口部１２を有するフラッシングボックス１１が配置されている。
【００３４】
図２、図３は、それぞれ本発明の液体噴射ヘッドを構成する第１インク噴射ユニットＵ１の一実施例を示すものであって、第１インク噴射ユニットＵ１は、ヘッドケース１４と、このヘッドケース１４のユニット固着面１５に接着剤等で固着される流路ユニット１６とから構成されている。流路ユニット１６は、ノズルプレート１７と流路形成板１８と、振動板の形態で例示されている封止板１９とが積層、固定されて構成されている。
【００３５】
ノズルプレート１７は、ステンレス板からなり、多数のノズル開口２０が、液滴受容体上での液滴密度、この実施例では被記録材に形成すべきドット密度に略一致する密度で略列状に配置されてノズル列２１を形成している。流路形成板１８は、素材板であるシリコン単結晶板からなり、ノズル開口２０に連通する圧力発生室２２と、大気に連通（図示していない）しているダンパ用凹部２７が異方性エッチングにより形成されている。インク供給管２６に連通しているとともに圧力発生室２２よりも大きな容積で形成されたインク貯留室２３は、封止板１９にあけたインク導入口２５を通じて圧力発生室２２のそれぞれに連通されている。
【００３６】
振動板１９は、樹脂フィルムとステンレス板がラミネートされており、各圧力発生室２２に対応する部分の裏面に、周囲を樹脂フィルムのみとするステンレス板の島部１９Ａが形成されている。なお、符号１９Ｂは、インク貯留室２３と略同形状の樹脂フィルムのみとしたコンプライアンス部を示す。
【００３７】
ヘッドケース１４は、熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂の射出成形品であり、インク貯留室２３にインクを導入するインク供給管２６が開口されている。また、流路形成板１８のインク貯留室２３に対応する部分に、インク貯留室２３の形状と略一致する形状のダンパ用凹部２７が形成されている。
【００３８】
２９は圧電振動子３０が固定される固定基板、３１は上記固定基板２９に圧電振動子３０が固定されてなる圧電振動子ユニット３５を収容する収容室である。圧電振動子３０は、固定基板２９に固定され、上記ヘッドケース１４に設けた収容室３１に圧力発生室２２に対応させた状態で圧電振動子３０と固定基板２９が挿入され、固定基板２９を収容室３１内で固定状態にしてある。
【００３９】
上記構成により、縦振動モードの圧電振動子３０自体が、印加された駆動信号に対する動作応答性が良好であり、また、縦方向の駆動変位出力がえられるから、圧力発生室２２のインクは駆動信号に対応するように加圧され、ノズル列２１からのインク滴吐出が高い信頼性の下で確実になされる。このような特質を有する圧電振動子３０で第１、第２、第３の各インク噴射ユニットを機能させるので、連ねられたノズル群３８からのインク滴吐出はいずれのノズル群３８においても、良好に達成される。したがって、長尺化されたノズル群３８の長さ全域にわたって吐出ムラが発生しても、実質的に実害のないレベルに収めることが可能となる。
【００４０】
上記構成の第１インク噴射ユニットＵ１は、例えば、つぎのようにして組立てられる。すなわち、まず、ヘッドケース１４のユニット固着面１５に、インク供給管２６や収容室３１に流れ込まないよう接着剤を塗布したり、あるいは所定形状に打ち抜き形成等された接着シートを貼着し、その上に、あらかじめ接着剤等で接合されて組み立てられた流路ユニット１６を載置する。ついで、４０〜１００℃程度の温度に加熱し、必要に応じて押圧等することにより、流路ユニット１６とヘッドケース１４とを固着する。
【００４１】
一方、圧電振動子３０が固定基板２９に固定された圧電振動子ユニット３５を準備し、上記圧電振動子３０の先端に接着剤を塗布しておく。つぎに、流路ユニット１６が下側になるよう上記ヘッドケース１４を反転させ、上記圧電振動子ユニット３５を収容室３１に収容して接着固定する。この状態で、圧電振動子３０の先端を流路ユニット１６の振動板１９に接着固定し、最後に固定基板２９をヘッドケース１４に固定することにより、第１インク噴射ユニットＵ１が完成する。
【００４２】
第１インク噴射ユニットＵ１では、駆動回路（図示せず）で発生させた駆動信号をフレキシブルケーブル３２を介して圧電振動子３０に入力することにより、圧電振動子３０を長手方向に伸縮させる。この圧電振動子３０の伸縮により、振動板１９の島部１９Ａを振動させて圧力発生室２２内の圧力を変化させ、圧力発生室２２内のインクをノズル開口２０からインク滴として吐出させるようになっている。
【００４３】
なお、上述の実施例では、第１インク噴射ユニットＵ１は、１本のノズル列２１で所定のピッチで液滴を吐出するように構成されているが、図５に示したようにそれぞれのノズル開口のピッチを２倍とするとともに、これらノズル開口の間に位置するように第２のノズル列２１’を配置して２列のノズル列２１、２１とし、これに随伴させて流路ユニット１６の流路形成基板１８に形成する圧力発生室２２のピッチを２倍として２列、また各列の圧力発生室２２、２２に対応して２つのインク貯留室２３、２３を形成し、さらには、２つの圧電振動子ユニット３５、３５を配置するなどの変更により２列のノズル列２１，２１で、結果として同一ピッチのノズル開口を有するインク噴射ユニットを形成しても同様の作用を奏する。
このように２列のノズル列のそれぞれのノズル開口が相互の間隔を補完するように配置して構成されたインク噴射ユニットにあっては、ノズル列間の距離を走向する時間だけ、各ノズル列の液滴噴射のタイミングをずらせれば、１列で構成したノズル列と同様にドットを形成できることは明らかである。
【００４４】
第１インク噴射ユニットＵ１は、ヘッドホルダ３３に接手部材３４等を介して取付けられている。ヘッドホルダ３３の形状は各種の機能を付与するために、多数の凹凸形状等が成形されているが、基本的には各図に示すように、板状の形態である。このヘッドホルダ３３にパイプ状のインク接続部３６が取付けられている。インク接続部３６は、インク供給源(インクカートリッジ)からインクを導く機能を果たし、ヘッドホルダ３３にインクカートリッジ１が装着されるときには、インク供給針（図示していない）となり、インクカートリッジ１の内部に突き刺される状態になる。
【００４５】
インク接続部３６の下流側にフィルタ３７が配置され、インク中の不純物等を捕捉して、インク供給管２６へ流下させないようになっている。
【００４６】
第１インク噴射ユニットＵ１の組立て順序は上述のとおりであるが、その組立てに際して活用されるのが基準穴である。１７Ｈはノズルプレート１７の基準穴、１８Ｈは流路形成板１８の基準穴、１９Ｈは封止板１９の基準穴、１４Ｈはヘッドケース１４の基準穴である。基準穴１７Ｈ、１８Ｈ、１９Ｈはノズルプレート１７、流路形成板１８、封止板１９を順番に積層、固定して流路ユニット１６を完成させるときに、位置決めピン（図示していない）を挿入して位置決め用として使用される。
【００４７】
また、流路ユニット１６をヘッドケース１４のユニット固着面１５に接合するときにも、流路ユニット１６に連通した状態になっている基準穴１７Ｈ、１８Ｈ、１９Ｈとヘッドケース１４側の基準穴１４Ｈを合致させて、位置決めピン（図示していない）を用いて両者の一体化が図られる。さらに、第１インク噴射ユニットＵ１をヘッドホルダ３３に固定するときにも基準穴１４Ｈを利用することができる。このとき、ヘッドホルダ３３側の基準穴または基準ピン（図示していない）にヘッドケース１４の基準穴１４Ｈを合致させて、複数の第１インク噴射ユニットＵ１や後述の第２及び第３インク噴射ユニットＵ２、Ｕ３相互間の位置関係を正常に設定するときにも活用できる。
【００４８】
図４は、第１インク噴射ユニットＵ１と共同して本発明の液体噴射ヘッドを構成するための第２インク噴射ユニットＵ２で、その基本構造はノズル列２１方向の長さが第１インク噴射ユニットＵ１よりも短くされている点以外の構造は、第１インク噴射ユニットＵ１と同じ内部構造とされている。また、第３インク噴射ユニットＵ３も、第２インク噴射ユニットＵ２と同様に構成されている。
【００４９】
図６(Ａ)は、第１インク噴射ユニットＵ１、第２インク噴射ユニットＵ２、第３インク噴射ユニットＵ３を用いて構成した本発明の液体噴射ヘッドの一実施例を示す平面図であって、少なくとも２つの第１インク噴射ユニットＵ１はそれぞれのノズル列２１が同一線上に位置するように配置され、また第２インク噴射ユニットＵ２が２つのユニットＵ１の間に生じるノズル開口の不連続箇所Ｌで、かつ主走査方向にずれた位置に配置されている。
すなわち、第２インク噴射ユニットＵ２は、第１噴射ユニットＵ１のノズルのピッチと同一となるように配置され、うに第２インク噴射ユニットＵ２が配置されている。
【００５０】
これにより、２つの第１インク噴射ユニットＵ１のノズル列２１と第２インク噴射ユニットＵ２のノズル列２１とは、主走査方向には第２インク噴射ヘッドＵ２の位置が規定量ずれているものの全体としてノズル列の方向に連続するため、第１インク噴射ヘッドＵ１と第２インク噴射ヘッドＵ２とのインク滴の噴射のタイミングをずらせることにより、同一線上に連続して同じ色のインクを吐出できる「ノズル群３８」を形成できることになる。なお、このようなノズル群を構成する第１インク噴射ユニットＵ１と第２インク噴射ユニットＵ２とを「単位ユニット３９」という。
【００５１】
ノズル群３８の全長を所定長さに延長するために、第３インク噴射ユニットＵ３が上記単位ユニット３９に包含された状態で配列されている。
すなわち、図６(Ａ)に示した第３インク噴射ユニットＵ３は、同図の上側に配置された第１インク噴射ユニットＵ１の上端のノズルと連続するもので、第１インク噴射ユニットＵ１とは、第２インク噴射ユニットＵ２と同様に主走査方向に規定量ずれて配置されている。つまり、第２インク噴射ユニットＵ２と第３インク噴射ユニットＵ３とのノズル列がそれぞれ同一線上に位置するように配置とされている。
【００５２】
また、第３インク噴射ユニットＵ３のノズル列２１は、第１インク噴射ユニットＵ１のノズル列２１に連続して同じ色のインクを吐出するもので、このようにすることにより、第１、第２、第３インク噴射ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３の各ノズル列２１が一連となってノズル群３８を形成する。
【００５３】
機能上連続するノズル列２１同士の端部の状態を拡大してみると、図６（Ｂ）に示すような場合がある。すなわち、ノズル列２１の端部近傍のノズル開口２０は、ノズル開口２０やそれに対応する圧力発生室２２は存在していても、端部に位置するため吐出特性を安定させるために、図中に黒丸で示した１〜２個のノズル開口２０をインク滴の吐出のためには使用しない、つまり駆動信号を供給しない使用形態が考えられる。
したがって、第１インク噴射ユニットＵ１側のノズル列２１と第２インク噴射ユニットＵ２側のノズル列２１とは、ノズル開口２０のピッチＰ分の間隔をとるのであるが、黒丸図示のノズル開口２０を排除した、インク滴の吐出に有効なノズル開口２０だけで構成されるノズル列により、各インク噴射ユニットの端部のノズル開口２０のインク噴射の不安定さを回避したノズル群３８を構成することができる。
このような配慮は、他の応用例として、例えば、２つの第１インク噴射ユニットＵ１のノズル列の１／４を不使用とし、その代わり第２インク噴射ユニットＵ２を長くして所要の長さのノズル群を形成する場合にも適用できる。こうすることにより、第１インク噴射ユニットＵ１を最も噴射性能が安定したものを使用し、第２インク噴射ユニットＵ２の長さを若干延ばすだけの対応で、しかも３つだけのユニットＵ１、Ｕ２で必要な長い長さのノズル群を形成することができる。
【００５４】
したがって、第１インク噴射ユニットＵ１と第２インク噴射ユニットＵ２の各ノズル列２１が、一連となったて同色インクを吐出する一群のノズル群３８を形成し、見かけ上ノズル列の長さが長尺化され、定められた領域へのインク滴の吐出を短時間で実行できる。また、第１インク噴射ユニットＵ１は本来のインク滴吐出を果たすインク噴射ユニットであり、第２インク噴射ユニットＵ２は両第１インク噴射ユニットＵ１のノズル列２１を機能上連続させるものである。したがって、第１インク噴射ユニットＵ１には、インク滴吐出性能が最も安定した長さのいわゆる標準品を充当し、それに対して第２インク噴射ユニットＵ２は、第１インク噴射ユニットＵ１よりも短い長さであるから、それ自体インク滴吐出性能を低下させるような要因がなく、第１及び第２インク噴射ユニットＵ１、Ｕ２は全体として、安定したインク滴吐出性能の長尺なノズル群３８がえられ、印刷時間の短縮が実現する。
【００５５】
図７は、図６（Ａ）に示した単位ユニット３９を向い合わせて、いずれか一方の単位ユニット３９をノズル列２１方向にずらして「対向ユニット４０」を形成したものである。このような対向ユニット４０の状態で２つの対向ユニット４０がヘッドホルダ３３に取付けられている。各インク噴射ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３には、図７において理解しやすくするために、向き合う単位ユニット３９の一方にはハッチングを他方には梨子地が施してある。
【００５６】
一方の単位ユニット３９の第１インク噴射ユニットＵ１のノズル列２１に対して、他方の単位ユニット３９の第２インク噴射ユニットＵ２のノズル列２１が接近した状態とされている。両単位ユニット３９の第２インク噴射ユニットＵ２同士が装置本体５０の主走査方向に重複した状態になるので、一方の単位ユニット３９の第１インク噴射ユニットＵ１のノズル列２１に対して、他方の単位ユニット３９の第２インク噴射ユニットＵ２のノズル列２１を接近させることができる。
したがって、両単位ユニット３９における各第１インク噴射ユニットＵ１の列を接近させることができ、複数のインク噴射ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３を装着したインク噴射ヘッド２の主走査方向の寸法(巾寸法)を短くできる。具体的には、両単位ユニット３９を上記のようにずらさなければ、４列分のユニットスペースが必要になるのであるが、上記の配列により略３列分のユニットスペースで、長尺のノズル群を２列分配置することができる。
【００５７】
上記単位ユニット３９が複数配置されているので、主走査方向のスペースを小さくしつつ多数の単位ユニット３９が配置できるので、コンパクトなインク噴射ヘッド２がえられ、長尺化されたノズル群３８により複数種類のインクを噴射することができ、印刷の高速化だけでなく、カラー化などの印刷の多様化を実現できる。
【００５８】
さらに、単位ユニット３９に第３インク噴射ユニットＵ３を包含させて、第１インク噴射ユニットＵ１と第２インク噴射ユニットＵ２に付加した状態でノズル群３８が形成されているので、第３インク噴射ユニットＵ３で適宜ノズル群３８の長さを補って、所定の長さに設定することができる。
【００５９】
図７（Ａ）に示すように、第３インク噴射ユニットＵ３は、第２インク噴射ユニットＵ２と実質的に同列に配置されたものを含んでいるので、第３インク噴射ユニットＵ３を含めて単位ユニット３９として対向させたとき、第３インク噴射ユニットＵ３を、第１インク噴射ユニットＵ１に第２インク噴射ユニットＵ２を主走査方向、及びノズル列方向にずらせて配置した「ずらし配置」を適用して配置することができるので、第３インク噴射ユニットＵ３を付加した場合であっても、主走査方向の巾を小さく、またデッドスペースを少なくした、ノズル列が高密度で配列されたインク噴射ヘッド２を構成できる。
【００６０】
また、図７(Ｂ)に示したように、装置本体の主走査方向で隣合う単位ユニット３９のノズル列２１は、副走査方向(ノズル列の延長方向)で見て一方の単位ユニット３９のノズル列２１の開口ピッチＰに対して他方の単位ユニット３９のノズル列２１の開口ピッチＰを、開口ピッチＰの１／２ずれるように配置されている。これにより、２つのノズル列２１を共同に使用して同一種類のインク滴を吐出させると、各インク噴射ユニットのノズル開口の配列ピッチＰの１／２、つまり２倍の密度でドットを形成することができる。
【００６１】
ここで、開口ピッチＰが小さくされたノズル列２１において、上記のようにいわゆるハーフピッチにすれば、記録媒体７に対する単位面積当たりのインク滴吐出が、きわめて緻密な状態になる。
他方、開口ピッチＰが比較的大きくされたノズル列２１において、上記のようにハーフピッチにすれば、このハーフピッチを解像度の整数倍にしておくことにより、インク噴射ヘッド２の主走査方向の往復動の回数を低減させることができる。これらの利点は、前者は精緻な印刷品質の確保に有効であり、後者は印刷速度を２倍にできドラフト印刷に有効である。
【００６２】
図８、及び図９は、本発明の液体噴射ヘッドの第２の実施の形態を示す。
この実施の形態は、第１インク噴射ユニットＵ１と第２インク噴射ユニットＵ２とからなる単位ユニット３９に、さらに２つの第３インク噴射ユニットＵ３を接続してノズル群３８の長さを延長したものである。
すなわち、一方の第３インク噴射ユニットＵ３は、第２インク噴射ユニットＵ２と実質的に同列の位置に配列され、他方の第３インク噴射ユニットＵ３は、第１インク噴射ユニットＵ１と実質的に同列の位置に配列されている。したがって、主走査方向にずれている第３インク噴射ユニットＵ３は、第１インク噴射ユニットＵ１と同列の第３インク噴射ユニットＵ３の各ノズル列２１を副走査方向に連続させる機能を果たしている。
なお、２つの第３インク噴射ユニットＵ３は、第２インク噴射ユニットＵ２とノズル列方向の長さが略同じに構成されている。
【００６３】
さらに、図９に示す実施例は、図８に示した単位ユニット３９を、点対称、つまり垂直方向と水平方向で対象となるように向い合わせて対向ユニット４０を形成し、この対向ユニット４０を主走査方向に平行に２つ配置して噴射ヘッドを構成したものである。
一方の単位ユニット３９の端部に配置された第３インク噴射ユニットＵ３のノズル列２１と、他方の単位ユニット３９の端部に配置された第１インク噴射ユニットＵ１のノズル列２１とは、各ノズル列２１の端部が装置本体の主走査方向において略一直線上に揃った配置となっている。すなわち、第３インク噴射ユニットＵ３の存在により、複数の単位ユニット３９間におけるノズル群３８の端部が、装置本体の主走査方向において略一直線上に揃えて配列されているのである。
【００６４】
上記のようなノズル列２１の端部を揃えるに当たっては、図６（Ｂ）に示したように、有効ノズル開口２０を基準とするように第３インク噴射ユニットＵ３のノズル開口の位置が揃えられている。それ以外は、上記実施の形態と同様であり、同一の部材には同じ符号を付している。
【００６５】
この構成により、第３インク噴射ユニットＵ３は、主走査方向にずれた状態と第１インク噴射ユニットＵ１と実質的に同列の状態の２種類の形態でノズル群３８の副走査方向の長さを延長し、前者のずれた状態と後者の同列の状態を適宜選択することにより、ノズル群を高い自由度で延長することができる。
また、この実施例では、第２及び第３インク噴射ユニットＵ２、Ｕ３を共通使用できるため、部品の種類の低減やコストダウンをできる。
【００６６】
第１、第２インク噴射ユニットＵ１、Ｕ２により形成される単位ユニット３９がたとえずれて配置されてノズル群３８の端部にずれが発生しても、第３インク噴射ユニットＵ３の配置形態を調整することにより、このずれを簡単に修正することができる。
【００６７】
図１０に示す実施例は、第３インク噴射ユニットＵ３を図９の実施例よりも若干長尺化したもので、この実施例によれば、第２インク噴射ユニットＵ１が存在しないデッドスペースを有効に利用して、ノズル列の長尺化を図ることができる。
【００６８】
図１１は、本発明の液体噴射ヘッドの第３の実施の形態のノズル列の基本形態を示すものであって、各インク噴射ユニットの配列の形態は、基本的には前述の図８及び図９に示したものと同様であるが、第２インク噴射ユニットＵ２のノズル列２１の方向(副走査方向)の長さが、最も長い第１インク噴射ユニットＵ１と最も短い第３インク噴射ユニットＵ３との中間的な長さに選択され、それ以外の構成は上記各実施の形態と同様であり、同一部分には同じ符号を付している。
【００６９】
上記構成により、中間的な長さとされた第２インク噴射ユニットＵ２及び最短の第３インク噴射ユニットＵ３の配置により、図１２に示したように対向配置の形態を採用した場合にでも、第２インク噴射ユニットＵ２を副走査方向に同一線上に配置できて、主走査方向の巾を可及的に小さくしつつノズル群３８の全長を大幅に長くすることが可能となり、印刷の高速化に一層有効である。それ以外は、上記各実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００７０】
図１３及び図１４は、本発明の液体噴射ヘッドの各噴射ユニットの取り付け体となるヘッドホルダの一実施例を示すものであって、長方形のヘッドホルダ３３の周囲には位置決め用外周壁部材４２が形成され、外周壁部材４２の内面を基準面とするように複数の第１インク噴射ユニットＵ１を接触させて固定され、第１インク噴射ユニットＵ１相互の各ノズル列２１の相対位置を高い精度で位置決めして構成されている。
【００７１】
また、位置決め用外周壁部材４２の内面だけを位置決め基準とするのではなく、ヘッドホルダ３３の各インク噴射ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３を収容する領域には、位置決め用凸部４３がヘッドホルダ３３に好ましくは一体的に設けられている。凸部４３はブロック形状として形成されていて、主走査方向に直交する向き（図中では上下方向、副走査方向）の各ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３の移動を拘束して副走査方向の基準位置を規定する基準面４４と、主走査方向の各ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３の移動を拘束して主走査方向の基準位置を規定する基準面４５が形成されている。それ以外は、上記各実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００７２】
上記構成により、インク噴射ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３を外周壁部材４２の内面、凸部４３の基準面４４、４５を位置決め基準としてヘッドホルダ３３に収容、固定することにより単位ユニット３９乃至ノズル群３８を高い精度で形成でき、長尺化されたノズル群３８から高い精度位置でインク滴を吐出させることができる。
また、単位ユニット３９を対向させた対向ユニット４０全体としても安定したインク滴吐出がえられる。さらに、上記のように、隣合う単位ユニット３９のノズル列２１をずらしてノズル開口２０をハーフピッチにするような場合においても、精度の高いピッチＰ／２が確保できる。
【００７３】
また、各インク噴射ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３は、位置決め用外周壁部材４２と各位置決め用凸部４３によって規定された領域に各インク噴射ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３を装填するという簡単な作業により、各ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３相互間及びヘッドホルダ３３に高い精度で取り付けてヘッドを組み上げることができる。
【００７４】
図１５は、インク噴射ヘッドを記録ヘッドに応用した実施例をノズル開口の配列状態で示す図であって、この実施例では基本的には、２種類のインク噴射ユニットＵ１、Ｕ２を組み合わせてブラック、シアン、マゼンタ、及びイエローのインクを吐出するカラーインクジェット記録ヘッドとして構成されている。
【００７５】
各インク噴射ユニットＵ１、Ｕ２は、図１６(Ａ)、及び図１６(Ｂ)に示したように幅Ｗ、ノズル開口列間の距離Ｌ、及びノズル開口のピッチＰが実質的に同一であるものの、ノズル開口数ｎ１、ｎ２がそれぞれ異なり、したがって副走査方向の印刷巾Ｈ１、Ｈ２が相違するように構成されている。
【００７６】
ブラックインクを吐出するノズル開口列は、２つのノズル開口数が多いインク噴射ユニットＵ１を、副走査方向に平行な同一線上に位置するように一定の間隔、つまりノズル開口数の少ないインク噴射ユニットＵ２のノズル開口で補間するできる間隔をあけて配置され、この間隔を埋めるように主走査方向に一定距離ずらしてインク噴射ユニットＵ２を配置して構成されている(なお、以後、ブラックインクのノズル開口列を形成するユニットを、インク噴射ユニットＢ１〜Ｂ３という）。
【００７７】
シアンインクを吐出するノズル開口列は、インク噴射ユニットＢ２と同一線上に位置するように、その副走査方向に、インク噴射ユニットＵ１により補間が可能な距離を開けて配置され、この間隔を埋めるように主走査方向にずらして、つまり隣接するインク噴射ユニットのノズル開口と、規定の間隔を明けてユニットＵ１を配置して構成されている(なお、以後、シアンインクのノズル開口列を形成するインク噴射ユニットを、インク噴射ユニットＣ１〜Ｃ３という）。
【００７８】
マゼンタインクを吐出するノズル開口列は、前述のブラックインクを吐出するノズル開口列と同様に２つのノズル開口数が多いインク噴射ユニットＵ１を、副走査方向に平行な同一線上に位置するように一定の間隔、つまりノズル開口数の少ないインク噴射ユニットＵ２のノズル開口が補間するできる間隔をあけて配置され、この間隔を埋めるように主走査方向にずらしてインク噴射ユニットＵ２を配置して構成されている(なお、以後、マゼンタインクのノズル開口列を形成するインク噴射ユニットを、インク噴射ユニットＭ１〜Ｍ３という）。
【００７９】
イエローインクを吐出するノズル開口列は、前述のシアンインクを吐出するノズル開口列と同様に、インク噴射ユニットＭ２と同一線上に位置するように、その上下方向にインク噴射ユニットＵ１により補間が可能な距離を開けて配置され、この間隔を埋めるように主走査方向にずらしてインク噴射ユニットＵ１を配置して構成されている(なお、以後、イエローインクのノズル開口列を形成するインク噴射ユニットを、インク噴射ユニットＹ１〜Ｙ３という）。
【００８０】
なお、上下に配置されたインク噴射ユニットＵ１のノズル開口のうち、上端の２つ、及び下端の２つは、インク滴を吐出させないように駆動され、それぞれの列での印刷領域の高さが同一となるように駆動される。
【００８１】
この実施例によれば、前述した実施例と同様にデッドスペースを、同一サイズのインク噴射ユニットを単純に複数、千鳥状に配置する場合に比較してデッドスペースを少なくできる。
印刷に際しては、ブラックインクのノズル開口列に例を採って説明すると、インク噴射ユニットＢ１、Ｂ３に、これらが担当する印刷データを出力してドットを形成させ、インク噴射ユニットＢ１、Ｂ３とインク噴射ユニットＢ２との距離を移動するに要する時間が経過した時点でインク噴射ユニットＢ２が担当する印字データを出力することにより、これらインク噴射ユニットＢ１〜Ｂ３のドットを紙送り方向に延びる同一線上に形成することができる。
【００８２】
他のインクを吐出するノズル開口列についても同様に駆動することにより、それぞれのインクによるドットを副走査方向に延びる同一線上に形成することができる。
【００８３】
図１７は、本発明の液体噴射ヘッドの他の実施例を示すものであって、ブラックインク、及びシアンインクを吐出するノズル開口列は、前述の実施例と同様に形成されているものの、マゼンタインク、及びイエローインクのノズル開口列の形成形態が若干相違する。
すなわち、この実施例では、ブラックインク及びシアンインクを吐出するノズル開口列を形成するインク噴射ユニットＢ１〜Ｂ３、及びインク噴射ユニットＣ１〜Ｃ３を、記録ヘッドの中心線Ｃ−Ｃに対して対称となるように配置して構成されている。
【００８４】
この実施例によれば、マゼンタインク、及びイエローインクのノズル開口列の駆動タイミングが、前述の実施例とは若干異なるものの、主走査方向の偏移量に対応してインク滴吐出のタイミングを調整すれば、マゼンタインク、及びイエローインクのドットを紙送り方向に伸びる同一線上に形成でき、またデッドスペースは、同一サイズのインク噴射ユニットを単純に複数、千鳥状に配置する場合に比較してデッドスペースを少なくできる。
【００８５】
なお、上述の実施例においては、４種類の異なるインクを吐出可能なノズル開口列を形成する場合について説明したが、ブラックインクのノズル開口列に代表されるインク噴射ユニットの組み合わせ形態、つまり２つのノズル開口数が多いユニットＵ１を、ノズル開口数の少ないインク噴射ユニットＵ２で補間させるように配置し、この間隔を埋めるように紙幅方向にずれてインク噴射ユニットＵ２を配置する形態と、シアンインクのノズル開口列に代表される組み合わせ形態、つまりつまり２つのノズル開口数の少ないインク噴射ユニットＵ２を、ノズル開口数の多いインク噴射ユニットＵ１で補間させるように配置し、この間隔を埋めるように紙幅方向(噴射ヘッドの移動方向)にずれてインク噴射ユニットＵ１を配置する形態の数を増減することにより適宜数の種類が異なるインクを吐出できる液体噴射ヘッドを構成することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明の活用例としてグルー、マニキュア、導電性液体（液体金属）等を噴射することができる。たとえば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色剤噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極形成剤噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等の液体を吐出する液体噴射ヘッドなど、液剤を微少量の液滴として塗布、噴射する用途全般に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明のインク噴射ヘッドをインクジェット記録ヘッドとして適用したインクジェット式記録装置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施の形態の液体噴射ヘッドを示す分解斜視図である。
【図３】同上液体噴射ヘッドの断面構造を示す断面図である。
【図４】ノズル列方向の長さが短くされた第２インク噴射ユニット、第３インク噴射ユニットを示す分解斜視図である。
【図５】ノズル列を複数として構成した液体噴射ヘッドの断面構造を示す断面図である。
【図６】図（Ａ）は各インク噴射ユニットの配列を示す平面図、また図（Ｂ）は有効ノズル開口の配置状態を示す平面図である。
【図７】図（Ａ）は、単位ユニットをヘッドホルダに取付けた状態を示す平面図であり、また図（Ｂ）は隣合うノズル群のノズル開口のピッチ関係を示す平面図である。
【図８】本発明の液体噴射ヘッドの第２の実施の形態を示すもので、各インク噴射ユニットの配列を示す平面図である。
【図９】図８に示した各インク噴射ユニットをヘッドホルダに取付けて構成した液体噴射ヘッドの一実施例を、ノズル列の配列形態として示す平面図である。
【図１０】図８に示した各インク噴射ユニットをヘッドホルダに取付けて構成した液体噴射ヘッドの一実施例を、ノズル列の配列形態として示す平面図である。
【図１１】インク噴射ユニットにより構成した単位ユニットの一実施例を、ノズル列の配列形態として示す平面図である。
【図１２】図１１の単位ユニットを、複数ヘッドホルダに取付けて構成した液体噴射ヘッドの一実施例を示す平面図である。
【図１３】本発明の液体噴射ヘッドの第４の実施の形態を示すもので、各インク噴射ユニットをヘッドホルダに取付けた状態を示す平面図である。
【図１４】図（Ａ）は、図１３における線１３Ａ−１３Ａでの断面図、図（Ｂ）は図１３の線１３Ｂ−１３Ｂでの断面図である。
【図１５】本発明の液体噴射ヘッドの一実施例を、ノズル開口の配列形態で示す図である。
【図１６】図(Ａ)、(Ｂ)は、それぞれ本発明の液体噴射ヘッドを構成するユニットの一実施例を、ノズル開口の配列形態で示す図である。
【図１７】本発明の液体噴射ヘッドの他の実施例を、ノズル開口の配列形態で示す図である。
【図１８】図(Ａ)、(Ｂ)は、それぞれ複数のインク噴射ユニットにより構成した従来の液体噴射ヘッドの一例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００８８】
２  記録ヘッド（液体噴射ヘッド）    ２０  ノズル開口    ２１  ノズル列    ３５  圧電振動子ユニット    ３９  単位ユニット    ４０  対向ユニット    ４２  位置決め用外周壁部材    ４３  位置決め用凸部    ４４  基準面    ４５  基準面    ５０  インクジェット式記録装置    Ｕ  インク噴射ユニット    Ｕ１〜Ｕ３  第１インク噴射ユニット〜第３インク噴射ユニット    Ｐ  ノズル開口のピッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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