(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の可動子を１つの固定子で往復駆動するようにした振動型リニアアクチュエータにおいて、可動子の往復動方向に変位するばね性を有して可動子同士を連結している連結体として、可動子に連結された一端と他の可動子に連結された他端との間が２次元平面内において複数個の屈曲部を順次介してつながっている形状であり且つ上記両端間が可動子以外の他の部材に連結されていない板ばねを用いていることを特徴とする振動型リニアアクチュエータ。
【請求項２】
上記２次元平面は、可動子の振動方向と直交する面であることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項３】
連結体は対称形状であることを特徴とする請求項２記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項４】
連結体は線対称形状であることを特徴とする請求項３記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項５】
連結体は点対称形状であることを特徴とする請求項３記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項６】
連結体は連続する曲線で形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかの項に記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項７】
連結体は複数の可動子の振動方向端部に接続していることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項８】
連結体は複数の可動子の振動方向両端部に夫々接続していることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項９】
連結体は、複数の可動子の整列面上で複数の可動子の中間点を中心とする点対称に接続していることを特徴とする請求項８記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項１０】
各々の可動子に対する連結体の取付位置は、可動子の重心の振動方向上に位置させていることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項１１】
各々の可動子に対する連結体の取付位置は、可動子の整列面上で且つ可動子の重心位置からの距離が一定であるところに位置させていることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項１２】
各々の可動子に対する連結体の取付位置は、可動子の整列面と垂直で可動子の重心位置を含み振動方向と平行な面上で且つ可動子の重心位置からの距離が一定のところに位置させていることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項１３】
同一箇所に複数枚の連結体を可動子に接続しているとともに反転させた形状のものと反転させていない形状のものとを接続していることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項１４】
同一箇所に複数枚の連結体を可動子に接続しているとともに複数枚の連結体は同じ形状のもののを同じ向きで接続していることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項１５】
上記２次元平面は連結体は複数の可動子の整列面と平行な面であることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
【請求項１６】
上記２次元平面は複数の可動子の整列面と垂直且つ振動方向と平行な面であることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は往復式電気かみそり等の駆動源として利用することができる振動型リニアアクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
振動型リニアアクチュエータを駆動源としている往復式電気かみそりが特開平７−３１３７４６号公報に示されている。これは固定子とこの固定子に対して往復動する可動子とを備えた振動型リニアアクチュエータ（往復動型電動機）Ａにおいて、複数の刃ヘッドの各可動刃に対応した複数の可動子を有して、これらの複数の可動子を１つの固定子で駆動するようにしたもので、複数の可動子間にはコイルばねからなる連結体を介在させている。この連結体は、一つの可動子のみに大きな負荷がかかって振幅が急激に減少しようとした時、他の可動子によってこの減少を抑えるものであり、片方の可動子のみの振幅減少を防ぎ、バランスの取れた均一な振幅量を得るように機能している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしコイルばねからなる連結体を可動子間に配設するには相応のスペースが必要で振動型リニアアクチュエータの小型化に関する大きな制限となっている。
【０００４】
特開平１１−１３６９２１号公報に示されているように、可動子同士を可動子の往復動方向に変位する板ばねで構成した連結体で連結すれば、コイルばねで構成した連結体を用いる場合よりも連結体の配置スペースを小さくすることができるが、ここで示されている板ばねからなる連結体は、３枚のほぼ平行に並ぶ板ばね片の一端側を可動子に連結するとともに他端側を一体化したＥ字形のものであり、複数の板ばね片を一体化している部分のばね性は各板ばね片と比べてばね性が劣っており、連結体全体としてみた場合、その長さ（大きさ）に比して有効なばね性を発揮する部分が短く、所要のばね性を持たせるためには全体としてどうしても大きな板ばねを用いなくてはならず、コンパクト化という点で未だ問題を有している。
【０００５】
本発明はこのような点に鑑みて発明したものであって、その目的とするところは、可動子同士を連結するばね性を有した連結体の配置スペースが少なくて済むためにコンパクト化の点で有利な振動型リニアアクチュエータを提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
しかして本発明は、複数の可動子を１つの固定子で往復駆動するようにした振動型リニアアクチュエータにおいて、可動子の往復動方向に変位するばね性を有して可動子同士を連結している連結体として、可動子に連結された一端と他の可動子に連結された他端との間が２次元平面内において複数個の屈曲部を順次介してつながっている形状であり且つ上記両端間が可動子以外の他の部材に連結されていない板ばねを用いていることに特徴を有している。連結体が板ばねであるためにコイルばねで形成した物に比して配置スペースを必要としない上に、連結体全てが有効なばね性を発揮するために、必要なばね性を得るのに必要最低限の大きさですむものである。
【０００７】
上記２次元平面は、可動子の振動方向と直交する面であることが好ましい。このような構成とすることで、振動方向と直交する面における大きさを小さくすることができる。
【０００８】
また、連結体は対称形状であることが好ましい。このような構成とすることで、可動子の振動バランスが取れて、動きにばらつきが少なくなる。
【０００９】
また、連結体は線対称形状であると、連結体に形状方向性がなくなるために組立性が向上する。
【００１０】
また、連結体は点対称形状であると、可動子から伸びる連結体の方向が可動子毎に逆になるために、可動子が往復動方向に変位する時、連結体の変形に応じて可動子が連結体の伸びる方向に動き、可動子と固定子との距離が変化しても、可動子毎に距離が増加する方向と減少する方向とに分かれ、全体として可動子と固定子との距離の変化による性能変化がなくなる。
【００１１】
また、連結体は連続する曲線で形成されていることが好ましい。このような構成とすることで角部への応力集中を避けることができて連結体の信頼性を向上させることができる。
【００１２】
また、連結体は複数の可動子の振動方向端部に接続することで、組立性を向上させることができる。
【００１３】
さらには連結体は複数の可動子の振動方向両端部に夫々接続しておくことが好ましい。このような構成とすることで、片側のみに接続されている場合と並べて、連結体に発生する応力を小さくでき、可動子の動きのばらつきが少なくなる。
【００１４】
また、連結体は、複数の可動子の整列面上で複数の可動子の中間点を中心とする点対称に接続しておくことで、可動子の振動バランスを取ることができて、動きのばらつきを少なくすることができる。
【００１５】
また、各々の可動子に対する連結体の取付位置は、可動子の重心の振動方向上に位置させておくことが好ましい。このような構成とすることで、可動子の振動バランスが取れて動きのばらつきが少なくなる上に、可動子が往復動方向に変位する時に連結体に回転モーメントが発生せず、それに伴う応力発生がなくて連結体の信頼性が向上する。
【００１６】
また、各々の可動子に対する連結体の取付位置は、可動子の整列面上で且つ可動子の重心位置からの距離が一定であったり、あるいは各々の可動子に対する連結体の取付位置は、可動子の整列面と垂直で可動子の重心位置を含み振動方向と平行な面上で且つ可動子の重心位置からの距離が一定であることが好ましい。このような構成とすることで、連結体の形状によって取付位置が可動子の重心の振動方向上に位置できない場合であっても、可動子の振動バランスを取って動きのばらつきを少なくすることができる。
【００１７】
また、同一箇所に複数枚の連結体を可動子に接続する場合は、反転させた形状のものと反転させていない形状のものとを接続することが好ましい。このような構成とすることで、可動子の振動バランスが取れて動きのばらつきを少なくすることができる。
【００１８】
また、同一箇所に複数枚の連結体を可動子に接続する場合、複数枚の連結体は同じ形状のもののを同じ向きで接続してもよい。可動子が往復動方向に変位する時に、隣り合う連結体同士が干渉することがなく、このために連結体同士の間隔を小さくすることができる。
【００１９】
また、上記２次元平面は連結体は複数の可動子の整列面と平行な面であってもよい。この場合、複数の可動子の整列面と平行な面におけるの大きさを小さくすることができる。
【００２０】
さらに上記２次元平面は複数の可動子の整列面と垂直且つ振動方向と平行な面としてもよく、この場合、複数の可動子の整列面と垂直且つ振動方向と平行な面における電動機Ａの大きさを小さくすることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下本発明を実施の形態の一例に基づいて詳述すると、図１乃至図４は本発明に係る振動型リニアアクチュエータＡの往復式電気かみそり用の駆動源用としての実施形態の一例を示すもので、固定子１と可動子２、シャーシ４，そして２つの可動子２，２同士を連結している連結体３で構成されている。
【００２２】
上記可動子２は永久磁石５とヨーク６（バックヨーク）とこれらを一体化する骨組み部材７とからなるもので、磁性材料からなるヨーク６には永久磁石５が接着してある。また、電気かみそりにおける可動刃が連結される連結部１０を備えている。
【００２３】
固定子１は磁性材料の焼結体や磁性材料の鉄板を積層したものに巻線８を施して電磁石としたもので、ねじ具等によりシャーシ４に固定されている。
【００２４】
そして上記可動子２は、シャーシ４に板ばねからなる連結板９で吊り下げられてその永久磁石５と固定子１とが面対向しているとともに両者の間にギャップが確保されている。連結板９はその上端部をシャーシ４にねじ具等により固着すると共に下端部を可動子２にねじ具等により固着したものである。
【００２５】
ここにおいて、図示例のものにおいては、２つの同形状の可動子２，２を逆向きに且つ平行並列に配設してある。固定子１である電磁石の電流方向を交番にすれば、ばね性を有している連結板９，９で吊り下げられた可動子２は、電磁石である固定子１との間の吸引・反発力によって移動する永久磁石５を備えているために連結板９を撓ませつつ往復動を行う。なお、固定子１を構成する電磁石の巻線８が１本である場合は、往復運動の右方向運動と左方向運動で巻線８に与える電流の向きを反転させる。つまり移動方向に推進力が働く方向に電流を流すことで可動子２を往復動させる。
【００２６】
また、複数の可動子２の振動位相を１８０°ずらせると、振動方向の振動を低減することができるために、ここでは２つの可動子２の永久磁石５の極性を異ならせて、両可動子２，２が逆位相で往復動を行うようにしてある。
【００２７】
そして、上記両可動子２，２間は、可動子２の往復動方向にばね性を有する連結体３で連結しているのであるが、この連結体３として、ここでは可動子の振動方向と直交する２次元平面上で複数個の屈曲部を順次つないだ形状（図示例ではＳ字形状）であり且つ一端が一方の可動子２の端部との連結部、他端が他方の可動子２の端部との連結部となっている板ばねを用いている。また、ここでの連結体３は、可動子２，２の一端側において２枚、他端側において２枚の総計４枚を用いている。そして連結体３は、一方の可動子２の負荷が大きく振幅が急激に減少しようとした時、他方の可動子２の動きでこの減少を抑えるものであり、このために片方のみの振幅減少を防ぎ、常にバランスの取れた均一な振幅量を発生させる。なお、この連結体３は、各可動子２の固有振動数を一定にするための固有振動数設定ばねともなるようにしてある。
【００２８】
このようなＳ字形状の板ばねで連結体３を構成したものでは、コイルばねを用いたものに比して、その配設用に大きなスペースを必要とせず、振動型リニアアクチュエータＡをコンパクト化できるものであり、また連結体３はその全長がすべて有効なばね部として機能しているために、所要のばね長を小さな板ばねで確保することができるものであり、この点においてもコンパクト化に有利なものである。
【００２９】
また、図１〜図４に示したものでは、連結体３が上述のように複数の可動子２の振動方向と直交する２次元平面上で複数個の屈曲部を順次つないだ形状であるために、複数の可動子２の振動方向と直交する面におけるリニアアクチュエータＡの大きさのコンパクト化を図ることができるものであり、しかも点対称であるＳ字形状になっていることから、可動子２の振動バランスが取れ、動きのばらつきが少なくなっているものである。また、点対称形状であることから、可動子２から伸びる連結体３の方向が可動子２毎に逆になるので、可動子２が往復動方向に変位する時、連結体３の変形に応じて可動子２が連結体３の伸びる方向に動き、可動子２と固定子１との距離が変化しでも、可動子２毎に距離が増加する方向と減少する方向に分かれ、全体として可動子２と固定子１との距離の変化による性能変化がないものである。
【００３０】
更に、連結体３は可動子２，２の振動方向両端部に接続しているととともに２個の可動子２の整列面上で２個の可動子２の中間点Ｏを中心とする点対称に接続していることから、連結体３の組立性が良いものであり、また可動子２の一端側だけを連結体３で連結している場合に比して、連結体３に発生する応力を小さくすることができ、従って可動子２の振動バランスを取りやすく、動きのばらつきが少なくないものである。
【００３１】
また、可動子２に対する連結体３の取付位置３０は、可動子２の重心Ｇの振動方向上に位置させている。このために可動子２が往復動方向に変位する時、連結体３に回転モーメント及びこれに伴う応力発生がないものであり、連結体３の信頼性が高いものである。
【００３２】
さらに連結体３は片側に同一形状の複数枚（本例では上述のように２枚）を同じ向きで連結している。このために可動子２，２が逆位相で往復動する時、隣り合う連結体３，３が干渉してしまうことがなく、従って連結体３の間隔を小さくすることができてコンパクト化に有利なものである。
【００３３】
図５及び図６に板ばねからなる連結体３の他例を示す。ここでの連結体３は、逆Ｕ字形である板ばねの両端部をさらに内側に向けて延長して、この延長した両端部を夫々可動子２，２に連結している。また、この連結体３も可動子２の振動方向と直交する面上で複数個の屈曲部を順次つないだ形状としてある。ただし、この場合、上記のＳ字形状のものと異なり、点対称ではなく線対称であるために、連結体３に形状方向性がなく、組立性が向上している。また、各々の可動子２に対する連結体３の取付位置３０は、可動子２の整列面と垂直で可動子２の重心位置Ｇを含む面上で且つ可動子２の重心位置Ｇからの距離が一定のところに位置させている。連結体３の取付位置３０を可動子２の重心Ｇの振動方向上に位置させてはいないが、上記のところに位置させることによって、可動子２の振動バランスが取れるようにして動きのばらつきを少なくしている。
【００３４】
図７及び図８に板ばねからなる連結体３の更に他例を示す。ここではＳ字形状となっている連結体３の両端から円弧状部分を周方向に延長して、この延長した両端部を夫々可動子２，２に連結している。また、この連結体３も可動子２の振動方向と直交する面上で複数個の屈曲部を順次つないだ形状としてある。もっとも各々の可動子２に対する連結体３の取付位置３０は、可動子２の整列面上にあり且つ両可動子２の重心位置Ｇを含み振動方向と平行な面上で重心Ｇからの距離が一定のところに位置させている。連結体３の取付位置３０を可動子２の重心Ｇの振動方向上に位置させてはいないが、上記のところに位置させることによって、可動子２の振動バランスが取れるようにして動きのばらつきを少なくしている。また、ここで示した連結体３は、全体が連続する曲線で形成されているために、角部への応力集中が無く、連結体３の信頼性が高いものである。
【００３５】
図９に示すものは、図１に示したものとほぼ同じであるが、可動子２の両端に夫々２枚ずつ配した連結体３，３のうち、１枚を裏表逆にして可動子２，２に連結してある。つまり、反転させた形状のものと反転させていない形状のものとを接続しているものであり、この結果、可動子２の振動バランスが取りやすく、動きのばらつきが少なくなっているものである。もっとも、図１に示した同じ形状のもののを同じ向きで接続している場合に比して、可動子２が往復動を行う時に隣り合う２枚の連結体３，３同士の干渉を防ぐために、両連結体３，３の間隔を広くしなくてはならない。
【００３６】
図１０及び図１１に連結体３の別の例を示す。ここでは連結体３として、２個の可動子２の整列面と平行な面上において複数個の屈曲部を順次つないだ形状となる板ばねを用いている。この場合、可動子２の往復動方向の寸法が大きなくなるが、２個の可動子２，２の整列面と平行な面における大きさを小さくすることができる。
【００３７】
また、ここでの連結体３は２個の可動子２の整列面上で２個の可動子２の中間点Ｏを中心とする点対称で可動子２，２に接続していることから、非対称形状の連結体３ではあるが、可動子２の振動バランスが取れて動きのばらつきが少なくなっている。
【００３８】
また、各々の可動子２に対する連結体３の取付位置３０は、可動子２の整列面上で且つ可動子２の重心位置Ｇからの距離が一定のところに位置させている。このために取付位置３０が可動子２の重心Ｇの振動方向上にないにもかかわらず、可動子２の振動バランスが取れて動きのばらつきが少なくなっている。
【００３９】
次に、図１３及び図１４に連結体３のさらに別の例を示す。ここでの連結体３は、２個の可動子２の整列面と垂直且つ振動方向と平行な面上で複数個の屈曲部を順次つないだＳ字形に形成して、その両端を各可動子２，２に連結している。この場合、２個の可動子２の整列面と垂直且つ振動方向と平行な面における大きさをコンパクトにすることができる。
【００４０】
また、各々の可動子２に対する連結体３の取付位置３０を可動子２の整列面上で且つ可動子２の重心位置Ｇからの距離が一定のところに位置させているために、取付位置３０が可動子２の重心Ｇの振動方向上に位置していないにもかかわらず、可動子２の振動バランスが取れて動きのばらつきが少なくなっている。
【００４１】
以上の各例では、可動子２が２個であったが、３個以上であってもよい。この場合、３個目以降の可動子２の連結体３への取付位置は、連結体３の屈曲部を展開した時の長手方向上で、取付位置３０が等間隔に並ぶようにすればよい。
【００４２】
また、往復式電気かみそりの駆動源に適した形態のものを示したが、本発明に係る振動型利にアクチュエータは往復式電気かみそりの駆動源にのみ限定されるものではなく、他の種々の機器の駆動源として使用することができる。
【００４３】
【発明の効果】
以上のように本発明においては、複数の可動子を１つの固定子で往復駆動するようにした振動型リニアアクチュエータにおいて、可動子の往復動方向に変位するばね性を有して可動子同士を連結している連結体として、２次元平面上で複数個の屈曲部を順次つないだ形状であり且つ上記両端間が可動子以外の他の部材に連結されていない板ばねを用いているために、従来のコイルばねで連結体を構成した場合のような大きなスペースを必要とせず、しかも連結体はその全長が有効にばね性を発揮するために、必要なばね性を得るのに必要最低限の大きさですむものであり、この結果、振動型リニアアクチュエータのコンパクト化を図ることができる。
【００４４】
また、請求墳２記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、上記２次元平面は、可動子の振動方向と直交する面としているために、特に振動方向と直交する面における大きさを小さくすることができる。
【００４５】
また、請求項３記載の発明にあっては、上記請求項２記載の発明の効果に加えて、連結体を対称形状としているために、可動子の振動バランスが取りやすくて動きにばらつきが少なくなるものである。
【００４６】
また、請求項４記載の発明にあっては、上記請求項３記載の発明の効果に加えて、連結体を線対称形状としているために、連結体に形状方向性がなくなり、組立性が向上するものである。
【００４７】
また、請求項５記載の発明にあっては、上記請求項３記載の発明の効果に加えて、連結体を点対称形状としているために、可動子から伸びる連結体の方向が可動子毎に逆になり、可動子が往復動方向に変位する時、連結体の変形に応じて可動子が連結体の伸びる方向に動き、可動子と固定子との距離が変化しても、可動子毎に距離が増加する方向と減少する方向に分かれ、全体として可動子と固定子との距離の変化による性能変化がないものである。
【００４８】
また、請求項６記載の発明にあっては、上記請求項１〜５記載の発明の効果に加えて、連結体を連続する曲線で形成しているので、角部への応力集中が無く、連結体の信頼性が向上するものである。
【００４９】
また、請求項７記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、連結体は複数の可動子の振動方向端部に接続しているので、組立性が向上するものである。
【００５０】
また、請求項８記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、連結体は複数の可動子の振動方向両端部に夫々接続しているので、片側のみに接続している場合と比べて、連結体に発生する応力を小さくでき、可動子の動きのばらつきが少なくなるものである。
【００５１】
また、請求項９記載の発明にあっては、上記請求項８記載の発明の効果に加えて、連結体は、複数の可動子の整列面上で複数の可動子の中間点を中心とする点対称に接続しているので、可動子の振動バランスが取れ、動きのばらつきが少なくなるものである。
【００５２】
また、請求項１０記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、各々の可動子に対する連結体の取付位置は、可動子の重心の振動方向上に位置させているので、可動子の振動バランスが取れ、動きのばらつきが少なくなり、且つ可動子が往復動方向に変位する時に連結体に回転モーメントが発生せず、それに伴う応力発生がなく連結体の信頼性が向上するものである。
【００５３】
また、請求項１１記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、各々の可動子に対する連結体の取付位置は、可動子の整列面上で且つ可動子の重心位置からの距離が一定であるところに位置させているために、連結体の形状によって取付位置が可動子の重心の振動方向上に位置させることができない場合であっても、可動子の振動バランスが取れ、動きのばらつきが少なくなるものである。
【００５４】
また、請求項１２記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、各々の可動子に対する連結体の取付位置は、可動子の整列面と垂直で可動子の重心位置を含み振動方向と平行な面上で且つ可動子の重心位置からの距離が一定のところに位置させているために、連結体の形状によって取付位置が可動子の重心の振動方向上に位置させることができない場合であっても、可動子の振動バランスが取れ、動きのばらつきが少なくなるものである。
【００５５】
また、請求項１３記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、同一箇所に複数枚の連結体を可動子に接続しているとともに反転させた形状のものと反転させていない形状のものとを接続しているために、可動子の振動バランスが取れて動きのばらつきが少なくなるものである。
【００５６】
また、請求項１４記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、同一箇所に複数枚の連結体を可動子に接続しているとともに複数枚の連結体は同じ形状のもののを同じ向きで接続しているために、可動子が往復動方向に変位した時の連結体同士の干渉の恐れが殆どなく、連結体の間隔を小さくでき、更にコンパクト化を図ることができる。
【００５７】
また、請求項１５記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、上記２次元平面は連結体は複数の可動子の整列面と平行な面であるために、特に複数の可動子の整列面と平行な面における大きさを小さくすることができる。
【００５８】
また、請求項１６記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、上記２次元平面は複数の可動子の整列面と垂直且つ振動方向と平行な面であるために、特に複数の可動子の整列面と垂直且つ振動方向と平行な面における電動機の大きさを小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例の斜視図である。
【図２】同上の分解斜視図である。
【図３】同上の平面図である。
【図４】同上の側面図である。
【図５】他例の斜視図である。
【図６】同上の側面図である。
【図７】更に他例の斜視図である。
【図８】同上の側面図である。
【図９】別の例の斜視図である。
【図１０】さらに別の例の斜視図である。
【図１１】同上の平面図である。
【図１２】同上の側面図である。
【図１３】異なる例の斜視図である。
【図１４】同上の側面図である。
【符号の説明】
１  固定子
２  可動子
３  連結体
【図１】
0003707421.tif 000002
【図２】
0003707421.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003707421.tif 000009
【図９】
0003707421.tif 000010
【図１０】
0003707421.tif 000011
【図１１】
0003707421.tif 000012
【図１２】
0003707421.tif 000013
【図１３】
0003707421.tif 000014
【図１４】
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