(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体材料を貯液する液体タンクと、
この液体材料を吐出する液吐出口と、
前記液体タンクと液吐出口とを連通する液体流路と、
この液体流路に配設され、前記液体材料を蓄液する多数の微細孔を有する多孔質金属製の液体蓄液部材と、
前記液体流路にて前記液体蓄液部材より下流側に配置され、帯電した前記液体材料を吐出する針状電極と、
前記液吐出口近傍に配設されたゲート電極とを備え、
前記液体蓄液部材には前記液吐出口に向かって突出するよう前記針状電極が連結されたインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記液吐出口から離間した液吐出方向の所定位置に、前記針状電極との間で電圧が印加される対向電極が設けられた請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記液体蓄液部材の表面と針状電極の表面とは、それぞれ親水化処理されている請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記針状電極の表面は、絶縁膜により被覆されている請求項１〜請求項３のうちのいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はインクジェットヘッド、詳しくは安定した液滴の大きさおよび単位時間当たりの吐出量で液体材料を吐出可能なインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット方式のパターン形成装置では、安定したインク（液体材料）の吐出を図るため、インクジェットヘッドの液滴ノズルの液吐出口において、湾曲した液体面（以下、メニスカス）の形成の最適化が課題となっている。この最適化には、インクのインク面と液滴ノズルのインク面の圧力度の差（以下、水頭差）の管理が重要となる。
【０００３】
上記課題を解決する従来技術として、例えば特許文献１の静電式インクジェットヘッド記録装置が知られている。特許文献１は、インク貯蔵部（液体タンク）と、ヘッド部（インクジェットヘッド）と、インク貯蔵部とヘッド部とを連通し、インク貯蔵部内のインクをヘッド部に流入する流入管路（液体流路）と、流入管路の途中に設けられたインク供給用のポンプと、ヘッド部とインク貯蔵部とを連通し、ヘッド部内に過剰に供給されたインクをインク貯蔵部に戻す流出管路と、流出管路の途中に設けられたインク排出用のポンプと、インク貯蔵部とヘッド部とを連通し、ヘッド部内の圧力を調整する圧力調整管路と、圧力調整管路の途中に設けられ、圧力調整管路を通してインク室内の圧力を検出する検出手段とを備えている。
【０００４】
特許文献１は、このように構成したので、インク室内の圧力は圧力調整管路により常時一定に保たれ、外乱などの不測の圧力変動時にも、インク室内の圧力変化を最小限に止めることができる。また、インク循環系の圧力の異常は、圧力調整管路の検出手段により速やかに検出することができる。
【特許文献１】特開平１０−６７１１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１によれば、このように流入管路、インク供給用のポンプ、流出管路、インク排出用のポンプ、圧力調整管路および検出手段が必要となるため、微細パターン形成装置が大型化し、コスト高を招いていた。
そこで、発明者は、鋭意研究の結果、インクジェットヘッドを改良することで、上記問題を解決できることを知見した。すなわち、液体タンクと液吐出口とを連通する液体流路に、多数の微細孔を有する多孔質の液体蓄液部材を設ければ、毛細管現象により液体流路を流れる液体材料をいったん蓄液し、水頭差の影響を抑えて、安定した単位時間当たりの吐出量で、液体材料をインクジェットヘッドの液吐出口から吐出することができることを知見し、この発明を完成させた。
【０００６】
この発明は、安定した液滴の大きさおよび単位時間当たりの吐出量で液体材料を吐出することができるインクジェットヘッドを提供することを目的としている。
この発明は、液体材料による液体流路の詰まりを抑えて、液体材料を吐出させることができるインクジェットヘッドを提供することを目的としている。
この発明は、装置の回路形成が容易になるインクジェットヘッドを提供することを目的としている。
この発明は、液体材料は針状電極の先端に供給され易くなるインクジェットヘッドを提供することを目的としている。
この発明は、針状電極とゲート電極との短絡、隣接する針状電極間の短絡をそれぞれ防止することができ、しかも針状電極の表面のダメージを軽減し、インクジェットヘッドを長寿命化することができるインクジェットヘッドを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、液体材料を貯液する液体タンクと、この液体材料を吐出する液吐出口と、前記液体タンクと液吐出口とを連通する液体流路と、この液体流路に配設され、前記液体材料を蓄液する多数の微細孔を有する多孔質金属製の液体蓄液部材と、前記液体流路にて前記液体蓄液部材より下流側に配置され、帯電した前記液体材料を吐出する針状電極と、前記液吐出口近傍に配設されたゲート電極とを備え、前記液体蓄液部材には前記液吐出口に向かって突出するよう前記針状電極が連結されたインクジェットヘッドである。
【０００８】
請求項１に記載の発明によれば、液体タンクの液体材料は、液体流路を通して液吐出口から吐出される。その途中、液体材料は、毛細管現象によって液体蓄液部材にいったん蓄液される。その後、液体材料は液体蓄液部材の下流側の各微細孔から、液体流路の液体蓄液部材より上流部を通過する流速より低い流速で均等に流れ出る。その結果、液体タンクの液体材料と液吐出口での液体材料との水頭差は小さくなる。これにより、液体タンクからの液体材料の圧力は、直接、液吐出口の液体材料に伝わらない。よって、その後、仮に液体タンク内の液量に増減があったとしても、液吐出口から吐出される液体材料の液滴の大きさおよび単位時間当たりの吐出量の変動は小さくなり、安定する。
【０００９】
インクジェットヘッドが搭載される印刷装置（プリンタ類）は限定されない。例えば、微細パターンを形成する微細パターン形成装置などを採用することができる。ここでいう微細パターンとは、例えば基板上に形成される液晶表示装置のディスプレイ、または、半導体集積回路の導体回路パターンなどである。
インクジェットヘッドの方式は限定されない。例えば、(1) 連続噴射方式（荷電変調方式、拡散方式など）、(2) ドロップ・オン・デマンド（ＤＯＤ）方式（ピエゾ方式、サーマル方式、静電誘引方式、放電方式など）を採用することができる。
液滴ノズルおよび液体流路の形成数は限定されない。１つずつでもよいし、２つ以上ずつでもよい。
【００１０】
液体材料としては、所定の溶媒中に所定量の微粒子を添加したものである。溶媒としては、例えばオイル、水、有機溶媒などを採用することができる。微粒子の素材としては、例えば各種の有機ＥＬ材、各種の顔料、各種の導電性素材などを採用することができる。
インクジェットヘッドの電源部は、インクジェットヘッドの方式に応じて、直流電源または交流電源が任意に選定される。
液体蓄液部材の素材は限定されない。例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、フェノール樹脂、フッ素樹脂、ポリエステル、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、塩化ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリエチレンテレフタレート、シリコン樹脂などの各種の合成樹脂を採用することができる。また、例えば鉄、鋼（炭素鋼、合金鋼など）、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ダイキャスト合金、チタン、チタン合金、ニッケル、ニッケル合金などの各種の金属を採用することができる。さらに、アルミナ、フォルステライト、ステアタイト、ジルコニア、コージエライト、スピネル、ムライト、炭化珪素、窒化珪素、リチア、アルミナアルミニウムシリケート、ペリリア、マシナブルセラミックスなど、各種のセラミックスを採用してもよい。
【００１１】
多孔質の液体蓄液部材とは、液体蓄液部材の露出面のうち、液体流路の上流側の面と、液体流路の下流側の面とが、多数の微細孔により直接連通されるか、複数の微細孔の途中部同士が互いに連通された構造を有する部材である。液体材料は、これらの微細孔に蓄液されることになる。
微細孔の直径は１〜１０００μｍである。１μｍ未満では微細孔が詰まりやすくなる。また、１０００μｍを超えると、毛細管現象による蓄液能力が低下する。微細孔の好ましい大きさは２０〜２００μｍである。この範囲であれば、金属多孔質部材の作製が容易になる。
液体蓄液部材の大きさ、形状は限定されない。
液体蓄液部材を多孔質金属製としたので、電圧供給用の配線を設けることなく、多孔質金属を介して針状電極に直接電圧を印加することができる。その結果、インクジェットヘッドの回路形成が容易になる。仮に、液体蓄液部材用の多孔質材料に導電性がない場合には、針状電極に電圧を供給する配線が必要となり、その作製プロセスが煩雑化する。そのため、液体蓄液部材に使用される材料としては多孔質金属が好適である。
液体蓄液部材の金属素材としては、例えば鉄、鋼（炭素鋼、合金鋼など）、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ダイキャスト合金、チタン、チタン合金、ニッケル、ニッケル合金などを採用することができる。
液体蓄液部材を多孔質化する方法は限定されない。例えば、液体蓄液部材が合成樹脂の場合には、気体混入法、発泡剤分離法、化学反応法等を採用することができる。また、液体蓄液部材がセラミックスの場合には、相分離法、焼結法などを採用することができる。さらに、液体蓄液部材が金属の場合には、発泡法、焼結法、めっき法などを採用することができる。
液体蓄液部材と針状電極とは、直接、連結してもよい。また、導電性部材を介して、間接的に連結してもよい。液体蓄液部材に針状電極を連結する方法としては、例えば接着、凹部と凸部とを嵌め合わせる嵌着、螺着を採用することができる。その他、加熱しながらの圧着接合、通電しながらの圧着接合などを採用することができる。
多孔質金属は、例えば水素ガスの溶解度差を利用して溶融金属におけるガス原子の溶解度を大きく、固体金属中での固溶度を小さくすることで、溶融金属の凝固時に金属内部に気泡を生成させることで製造することができる。
【００１２】
液滴ノズルの素材としては、例えば単結晶シリコン、多結晶シリコン、ガラスなどを採用することができる。
液滴ノズルの形状および大きさは限定されない。
液吐出口の口径は、例えば０．１〜２０μｍである。０．１μｍ未満では、液体材料の目詰まりが生じやすい。また、２０μｍを超えると液滴の精密制御が困難になる。液吐出口の好ましい口径は０．２〜５μｍである。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、前記液吐出口から離間した液吐出方向の所定位置に、前記針状電極との間で電圧が印加される対向電極が設けられた請求項１に記載のインクジェットヘッドである。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、インクジェットヘッドを静電誘引方式としたので、針状電極への電圧の印加に伴って生じた静電気力により、例えば圧電方式、サーマル方式などの他のインクジェットヘッドに比べて、液体材料による液体流路の詰まりを抑えて、液体材料を液吐出口から吐出させることができる。
【００１５】
インクジェットヘッドは静電誘引方式であるので、一般的に、液吐出口から離間した液吐出方向の所定位置には、対向電極が配置される。
針状電極およびゲート電極の素材としては、例えばＰｏｌｙＳｉ、ＭｏＳｉ２、ＷＳｉ、ＴｉＳｉ２ 、Ｗなどを採用することができる。これらの電極の形成方法としては、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法などを採用することができる。
【００１６】
ゲート電極に形成される開口部の大きさは、対応する液吐出口より大きければよい。開口部の形状としては、例えば円形、楕円形、三角形以上の多角形などを採用することができる。
静電誘引方式のインクジェットヘッドの電源部としては、一般に針状電極用として直流電源が採用され、ゲート電極用として交流電源が採用される。
静電誘引式のインクジェットヘッドは、針状電極に所定のバイアス電圧を印加し、ゲート電極に所定のパルス電圧を印加してこのパルス電圧をバイアス電圧に重畳することで、吐出液（液体材料）の液滴（微粒子）を、液吐出方向の所定位置に配置された例えば基板の表面に吐出することができる。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、前記液体蓄液部材の表面と針状電極の表面とは、それぞれ親水化処理されている請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッドである。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、液体蓄液部材の表面と針状電極の表面とを、それぞれ親水化処理したので、液体蓄液部材から流れ出した液体材料は、液体蓄液部材から突電極の表面を伝う。そのため、液体材料は針状電極の先端に供給され易い。
親水化処理の方法は限定されない。例えば、プラズマエッチング方法を採用することができる。すなわち、液体蓄液部材の表面と針状電極の表面とをプラズマエッチングすれば、その適度なエッチングにより両表面に微細な凹凸が形成される。その凹凸により、両表面がそれぞれ親水面となる。
液体蓄液部材の表面と針状電極の表面とは、同時に親水化処理してもよいし、それぞれ別々に処理してもよい。
【００１９】
請求項４に記載の発明は、前記針状電極の表面は、絶縁膜により被覆されている請求項１〜請求項３のうちのいずれか１項に記載のインクジェットヘッドである。
【００２０】
請求項４に記載の発明によれば、針状電極の表面を絶縁膜により被覆したので、針状電極は、直接、帯電した液体材料に接することがない。これにより、針状電極とゲート電極との短絡、および、隣接する針状電極間の短絡をそれぞれ防止することができる。しかも、針状電極の表面のダメージを軽減し、インクジェットヘッドを長寿命化することができる。
【００２１】
絶縁膜の素材としては、例えば酸化シリコン、窒化シリコン、ポリイミドなどを採用することができる。絶縁膜の形成方法としては、例えばＣＶＤ法、スパッタリング法などを採用することができる。また、針状電極がシリコン製で、絶縁膜がシリコン酸化膜の場合、熱酸化炉を用いた製法を採用することができる。
絶縁膜の厚さは０．１〜２μｍである。０．１μｍ未満では、各短絡を十分に防止することができない。また、２μｍを超えると、針状電極の直径が大きくなり過ぎて、液吐出口の詰まりが発生しやすい。絶縁膜の好ましい厚さは、１μｍ前後である。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１に記載の発明によれば、液体タンク内の液体材料は、液体流路から液吐出口に供給される途中、毛細管現象により液体蓄液部材にいったん蓄液される。そのため、液体タンクの液体材料と液吐出口の液体材料との水頭差は小さくなる。その結果、その後、液体タンク内の液体材料の液量が増減しても、液吐出口に形成される液体材料の湾曲した液面の大きさ（液滴の大きさ）および単位時間当たりの吐出量はそれほど変動せず、液吐出口から液体材料を良好に吐出することができる。
【００２３】
特に、インクジェットヘッドを静電誘引方式としたので、例えば圧電方式、サーマル方式などの他のインクジェットヘッドに比べて、液体材料による液体流路の詰まりを抑え、液体材料を吐出させることができる。
【００２４】
また、液体蓄液部材を多孔質金属製とし、針状電極を液体蓄液部材の下流端に連結したので、電圧供給用の配線を別に設けることなく、液体蓄液部材を介して針状電極に、直接、電圧を印加することができる。これにより、インクジェットヘッドの回路形成が容易になる。
【００２５】
請求項３に記載の発明によれば、液体蓄液部材の表面と針状電極の表面とを、それぞれ親水化処理したので、液体蓄液部材から流れ出した液体材料は、液体蓄液部材から突電極の表面にスムーズに移行される。そのため、液体材料は針状電極の先端に供給され易くなる。
【００２６】
請求項４に記載の発明によれば、針状電極の表面を絶縁膜により被覆したので、針状電極は、直接、帯電した液体材料に接することがない。その結果、針状電極とゲート電極との短絡、および、隣接する針状電極間の短絡をそれぞれ防げる。しかも、針状電極の表面のダメージを軽減し、インクジェットヘッドを長寿命化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、この発明の実施例を具体的に説明する。
【実施例１】
【００２８】
図１〜図３において、１０は、この発明の実施例１に係るインクジェットヘッドで、シリコン基板１１の表面に半導体集積回路の微小パターンを形成する微細パターン形成装置Ａに搭載されている。この微細パターン形成装置Ａは、微細パターン形成用のインク（液体材料）ａを吐出するインクジェットヘッド１０の他に、インクジェットヘッド１０の電源部１３を備えている。その他、インクジェットヘッド１０またはシリコン基板１１をそれぞれ水平面内で移動させる図示しない１対の移動テーブルを有している。
【００２９】
インクａには、例えば銀が担持されたシリカを水に溶かしてコロイド状にしたものが採用されている。
インクジェットヘッド１０は、静電誘引方式のヘッドである。具体的な構成は、横長な直方体のヘッド本体１４と、ヘッド本体１４の一端部に上面を開口して形成され、インクａを貯液するインクタンク（液体タンク）１５と、ヘッド本体１４の他端部から中央部にかけて上面および下面を開口して形成され、下側の小径な開口部がインクａの液吐出口１６ａとなった液滴ノズル１６と、ヘッド本体１４に形成され、インクタンク１５と液滴ノズル１６の液吐出口１６ａとを連通する液体流路１７と、液体流路１７の途中部に設けられ、インクａをいったん蓄液する多孔質の液体蓄液部材１８と、液体蓄液部材１８の下流側（下端側）の中央部に突設され、電圧の印加に伴って発生した静電気力によりインクａを吐出する針状電極１９と、ヘッド本体１４の液吐出口１６ａの形成部に設けられ、液吐出口１６ａと連通した開口部２０ａを有するゲート電極２０とを備えている。
【００３０】
また、インクジェットヘッド１０の液吐出口１６ａから所定の距離離間した液吐出方向の所定位置には、シリコン基板１１と略同じ大きさの平坦な対向電極２１が配置されている。
さらに、前記電源部１３は、対向電極２１に直流電圧を印加する第１の直流電源部１３Ａと、針状電極１９に直流電圧を印加する第２の直流電源部１３Ｂと、ゲート電極２０にパルス電圧を印加するパルス電源部１３Ｃとを有している。第１，第２の直流電源部１３Ａ，１３Ｂおよびパルス電源部１３Ｃから適切な電圧を印加することで、インクジェットヘッド１０からインクａが吐出される。その際、シリコン基板１１用の移動ステージおよびインクジェットヘッド１０用の移動テーブルにより、シリコン基板１１とインクジェットヘッド１０とを相対的に移動させることで、シリコン基板１１の表面に任意の微細パターンが形成される。
【００３１】
液体蓄液部材１８は、多孔質金属（鉄）製である。その製造方法は、水素ガスの溶解度差を利用して、溶融金属におけるガス原子の溶解度を大きく、固体金属中での固溶度を小さくすることにより、溶融金属の凝固時に金属内部に気泡を生成させ、金属内部を多孔質化させることで得られる。液体蓄液部材１８の内部には、液体蓄液部材１８のうち、液体流路１７の上流側の面と、液体流路１７の下流側の面とを直接または間接的に連通する多数の微細孔が形成されている。微細孔の孔径は１〜１０００μｍである。液体流路１７は、インクタンク１５と液滴ノズル１６とを連通する横方向（ヘッド本体１４の両側方向）に延びた細い連通路１７ａと、液滴ノズル１６内に形成された縦方向（ヘッド本体１４の上下方向）に延びた内部流路１７ｂとから構成されている。内部流路１７ｂは、その上部が大径の液溜め部１７ｃを構成し、その下部が小径の液吐出路１７ｄにより構成されている。液溜め部１７ｃの下部には、厚肉な円盤形状の前記液体蓄液部材１８が、隙間なく嵌入されている。
【００３２】
液体蓄液部材１８の下端側に針状電極１９を突設する方法としては、ＣＶＤ法を採用している。また、スパッタリング法でもよい。
液体蓄液部材１８の表面および針状電極１９の表面は、それぞれプラズマエッチング装置によりプラズマエッチングされている。これにより、液体蓄液部材１８の表面と針状電極１９の表面とに微細な凹凸が形成され、それぞれの面が親水化される。その結果、液体蓄液部材１８から流れ出したインクａは、液体蓄液部材１８から突電極の表面にスムーズに移行される。よって、インクａは針状電極１９の先端に供給され易くなる。
【００３３】
また、針状電極１９の表面は、厚さ１μｍの絶縁膜（シリコン酸化膜）１９ａにより被覆されている。針状電極１９の表面に絶縁膜１９ａを形成する方法としては、例えば針状電極１９がシリコンの場合、熱酸化炉を用いた製法がある。絶縁膜１９ａの形成条件は、オゾン雰囲気中で、炉内温度６００度、加熱時間１０分である。
このように、針状電極１９の表面に絶縁膜１９ａを形成することで、直接帯電したインクａは、針状電極１９と接することなく吐出される。また、帯電したインクａを介して発生する針状電極１９、ゲート電極２０および対向電極２１間との短絡を防止することができる。これにより、インクジェットヘッド１０の超寿命化を図ることができる。
【００３４】
ここで、図２に基づき、実施例１の微細パターン形成装置Ａのインクジェットヘッド１０によるインクａの吐出原理を説明する。
第２の直流電源部１３Ｂにより針状電極１９に＋Ｖ１を印加する。この状態でゲート電極２０の電位がグランドレベルの場合、針状電極１９とゲート電極２０の間には、Ｖ１の電位差が生じる。Ｖ１を吐出開始電圧より若干小さい値に設定する。この状態で、パルス電源により上限０、下限−Ｖ２のパルス電圧をゲート電極２０に印加すると、針状電極１９とゲート電極２０との間には、Ｖ１と（Ｖ１＋Ｖ２）との電位差が交互に生じる。ここで、Ｖ１を吐出開始電圧以下、（Ｖ１＋Ｖ２）を吐出開始電圧以上に設定することで、ゲート電極２０に与えられるパルス電圧に応じて帯電したインクａが、針状電極１９の先端より吐出される。吐出後の液滴は、第１の直流電源部１３Ａにより、対向電極２１に与えられた電圧−Ｖ３（ただし、Ｖ３＞Ｖ２）によって生じる電界の影響により加速され、目標地点まで飛翔する。
【００３５】
次に、液体蓄液部材１８の機能について、図２および図３を参照して説明する。
図３に示すように、インクタンク１５にインクａが貯液された状態では、一般に、液滴ノズル１６に対してΔＰの圧力（内圧）が作用する。この圧力は、インクタンク１５の液面高さにより変動し、この変動が、液滴ノズル１６の液吐出口１６ａに形成されるインクａの液面形状に影響をおよぼす。そのため、インクａの吐出によりインクタンク１５の液面が徐々に下降すれば、インクａを安定して吐出できなくなるおそれがある。
【００３６】
そこで、図２に示すように、実施例１では液滴ノズル１６とインクタンク１５との間に液体蓄液部材１８を介在させている。液体蓄液部材１８には、多数の微小孔が形成されている。そのため、インクタンク１５内のインクａは、毛細管現象により液体蓄液部材１８内に徐々に吸収される。その吸収量は、液体蓄液部材１８の微細孔の総容積により決定される。
このように、液体蓄液部材１８内に多数の微細孔が形成されているため、インクタンク１５の液面高さの影響をほとんど受けることなく、略一定量のインクａをその内部に保持することができる。その結果、インクタンク１５内のインク量の増減による液滴ノズル１６の内圧の変動を抑えることができる。
【００３７】
このように、インクタンク１５のインクａは、液体流路１７から液滴ノズル１６に供給される途中、毛細管現象により、略一定量のインクａが液体蓄液部材１８内に蓄液される。そのため、インクタンク１５のインクａと液滴ノズル１６のインクａとの水頭差は小さくなる。その結果、その後にインクタンク１５のインクａの液量が増減しても、インクａの単位時間当たりの吐出量はそれほど変動せず、インクａが略完全に無くなるまで、所定の液滴サイズを維持してインクａを吐出することができる。
また、液体蓄液部材１８を多孔質金属製としたので、電圧供給用の配線を設けることなく、多孔質金属を介して針状電極１９に直接電圧を印加することができる。その結果、微細パターン形成装置Ａの回路形成が容易になる。
また、インクジェットヘッド１０を静電誘引方式としたので、例えば圧電方式、サーマル方式などの他のインクジェットヘッド１０に比べて、インクａによる液体流路１７の詰まりを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】この発明の実施例１に係るインクジェットヘッドの使用状態の側面図である。
【図２】この発明の実施例１に係るインクジェットヘッドの使用状態の断面図である。
【図３】インクジェットヘッドの液体タンクの液面と、液滴ノズルの液面との水頭差を説明する模式図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０  インクジェットヘッド、
１３  電源部、
１５  インクタンク（液体タンク）、
１６  液滴ノズル、
１６ａ  液液吐出口、
１７  液体流路、
１８  液体蓄液部材、
１９  針状電極、
１９ａ  絶縁膜、
２０  ゲート電極、
２０ａ  開口部、
２１  対向電極、
ａ  インク（液体材料）。
【要約】
【課題】
安定した液滴の大きさおよび単位時間当たりの吐出量で液体材料を吐出するインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】
インクタン１５内のインクａは、液体流路１７を介して液滴ノズル１６に供給される途中、毛細管現象により液体蓄液部材１８にいったん蓄液される。そのため、インクタンク１５のインクａと液滴ノズル１６のインクａとの水頭差は小さくなる。その結果、その後、インクタンク１５内のインクａの液量が増減しても、液吐出口１６ａに形成されるインクａの湾曲した液面の大きさや単位時間当たりの吐出量はそれほど変動せず、液滴ノズル１６からインクａを良好に吐出できる。
【選択図】図１
【図１】
0003687074.tif 000002
【図２】
0003687074.tif 000003
【図３】
0003687074.tif 000004