(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧着ローラ、圧着ローラに基板を送り込む搬送ローラ、そして搬送ローラにより搬送されて圧着ローラへの入口近傍の位置で停止する基板の前端部に長尺フィルムシートの先端部を付着させる昇降可能なフィルムシート供給装置を含む基板表面へのフィルムシートのラミネータにおいて、前端部にフィルムシートの先端部が付けられた基板が圧着ローラに送り込まれ、圧着ローラを通過する過程においてフィルムシートの圧着ローラへの密着を助ける機能を有する、圧着ローラの表面の曲面と同じ曲面形状の気体吹出面を持ち、かつ圧着ローラに対して前進と後退が可能なフィルムシート後端部保持装置を備えていることを特徴とする基板表面へのフィルムシートのラミネータ。
【請求項２】
圧着ローラが加熱圧着ローラである請求項１に記載の基板表面へのフィルムシートのラミネータ。
【請求項３】
圧着ローラが、一体となって前後に移動することのできる一対のローラから構成されており、前端部にフィルムシートの先端部が付けられた基板の前端部に対して、その前端部をローラ間に挟み込む位置に自らが回転しながら移動し、その後、挟み込んだ基板を自らの回転により前進させるように構成されている請求項１に記載の基板表面へのフィルムシートのラミネータ。
【請求項４】
基板の前端部にフィルムシートの先端部を付着させたのち上昇したフィルムシート供給装置と、基板の前端部との間に延びる長尺フィルムシートを幅方向に切断する切断装置が備えられている請求項１に記載の基板表面へのフィルムシートのラミネータ。
【請求項５】
基板の前端部にフィルムシートの先端部を付着させたのち上昇したフィルムシート供給装置と、基板の前端部との間に延びる長尺フィルムシートを幅方向に切断するカッターを備え、さらにその切断により発生する、先端部が基板の前端部に付着したフィルムシート片の後端部を予め吸着を利用して圧着ロールに近接した状態で保持するフィルム後端吸着保持具を備えてなる請求項１に記載の基板表面へのフィルムシートのラミネータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板表面へフィルムシートを積層するラミネータに関する。本発明は特に、連続的に供給される基板の表面に、その基板の形状と実質的に同じ形状の着色感光性樹脂フィルムなどの可撓性で薄膜のフィルムシートを、高い均一性をもって貼り付けることを可能にする基板表面へのフィルムシートのラミネータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
最近、パーソナルコンピュータやナビゲータなどの画像表示装置の液晶パネルの部品としてカラーフィルタが用いられている。このカラーフィルタは、ガラス板や透明樹脂板などのような透明な基板の上にＲ（レッド）、Ｇ（グリーン）及びＢ（ブルー）の色の微小な画素が整然と多数形成されたものである。この微小な画素の製造法としてはいくつかの方法が知られているが、最近では着色感光性樹脂フィルムを基板表面にラミネータ（積層装置）により圧着して積層した後、その着色感光性樹脂フィルムをパターン状に露光硬化させ、現像することによって微小な画素を製造する方法が注目を浴びている。
【０００３】
上記の着色感光性樹脂フィルムを用いるカラーフィルタの製法は、画素欠陥部（色ぬけ）の発生を抑制しながら均質な画素群を形成するために有効な方法であるが、そのためには基板の表面に着色感光性樹脂フィルムを均質に、特にその樹脂フィルム積層面に「しわ」などの不均一面が発生しないように積層させる必要がある。しかしながら、着色感光性樹脂フィルムは、顔料と、それを分散支持する少量の樹脂バインダからなる自己支持性が低い、極めて薄膜のフィルムであるため、そのような薄膜状のフィルムを基板の表面に、その全面にわたって均質に積層させることは容易ではない。
【０００４】
これまでに、上記のような薄膜状の感光性フィルムシートを基板の表面に均質に積層させるための装置（ラミネータ）が種々開発されている。
たとえば、特開平２−１９６６５６号公報には、図１に示すような一対の加熱圧着ローラ１１ａ、１１ｂ、加熱圧着ローラ１１ａ、１１ｂに基板１２を送り込むための複数組の搬送ローラ１３、そして搬送ローラ１３により搬送されて加熱圧着ローラの送り込む直前の位置（イ）で停止した基板１２の前端部に感光性フィルムシート１４の先端部を付着させるフィルムシート供給装置１５を含む、基板表面へのフィルムシートのラミネータが開示されている。
図１のフィルムシート供給装置１５は、その内部に真空系が形成できるように構成されており、また昇降可能なように設置されている。図１の装置では、基板１２（通常は、予め４０〜１２０℃に加熱されている）が搬送ローラ１３により加熱圧着ローラ１１ａ，１１ｂに接近するように搬送され、その前端部がフィルムシート先端部付着位置（イ）で停止し、その停止した基板１２の上方からフィルムシート供給装置１５が、その真空系を作動させてフィルムシート１４を吸着固定した状態にて下降し、その先端部を基板１２の前端部に接触させ、フィルムシート１４の先端部を基板１２の前端部に付着させている。そののち、フィルムシート供給装置１５の内部の真空系は解除され、該供給装置は上昇する。一方、基板１２は、その前端部にフィルムシート１４の先端部を付けた状態で前進する（加熱圧着ローラが基板前端部に接触するように移動してもよい）。基板１２はすぐに、加熱圧着ローラ１１ａ、１１ｂの間に到達し、通過する。そして、その基板の加熱圧着ローラ通過時にフィルムシート１４は基板表面にラミネートされる。
【０００５】
なお、フィルムシート供給装置１５の真空系が解除され、その装置が上昇すると、切り離されたフィルムシート１４の後端部は重力により垂れ下がるようになる。従って、このフィルムシート後端部の垂れ下がりを防止し、かつフィルムシートを圧着ロールに密着させた状態で保持する手段が必要となり、特開平２−１９６６５６号公報に記載のラミネータでは、図２に示すような、流体吹き付け手段（ノズルプレート）１６を設置し、垂れ下がろうとするフィルムシート１４の表面に、その流体吹き付け手段１６から気体を吹き付けることによって、そのフィルムシートの垂れ下がりを防いでいる。なお、この特開平２−１９６６５６号公報に記載の流体吹き付け手段は、その他に基板表面の水滴排除などの機能をも持つものであるが、その点は本発明に関係しないので、特には触れない。
【０００６】
フィルムシート後端部の垂れ下がりを防止、かつフィルムシートを圧着ロールに密着させて保持する手段については、特開平３−２９０２３２号公報にも記載がある。この公報に記載の防止手段は、図３の１７に示すように、フィルムシート後端部を吸着した状態で加熱圧着ローラ１１ａと一緒に回転する装置である。
図３のフィルムシート後端部垂れ下がり防止手段１７では、フィルムシート１４の後端部に接触する部分に微小の開口があり、その内部の真空系に連続して吸引面を形成している。従って、フィルムシート１４の後端部は、垂れ下がり防止手段１７に保持された状態で、加熱圧着ローラ１１ａと一緒に回転移動する。そして、そのフィルムシート後端部が基板の表面に近接した位置にまで移動した時点で、垂れ下がり防止手段１７は、その真空系の解除により、フィルムシート後端部の保持を中止し、元の位置に戻り、次回のフィルムシート後端部を保持するように準備する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記の特開平２−１９６６５６号公報記載の方法で用いるフィルムシート垂れ下がりの防止と、フィルムシートの圧着ロールへの密着保持を行なう手段（図２の１６）は、その機構が簡単であるという利点を持つが、フィルムシートを圧着ロールの加熱表面に均一に接触させ続けることがむずかしく、このためフィルムシート表面に微妙な温度分布が発生しやすいという問題がある。そのような温度分布が発生したフィルムシートは、特にカラーフィルタ製造用の着色感光性樹脂フィルムシートでは、基板表面にラミネートした場合に微小のしわなどの不均一表面が発生しやすくなる。
【０００８】
一方、特開平３−２９０２３２号公報に記載の方法におけるフィルムシート垂れ下がり防止とフィルムシートを圧着ロールに密着保持する手段（図３の１７）は、フィルムシートの後端部を確実に保持し、フィルムシートを加熱圧着ローラ表面に均一に密着させることができるという利点を持つ。しかしながら、その垂れ下がり防止手段とフィルムシート後端部との接触面付近では、フィルムシートが加熱圧着ローラ表面に接触しないため、その部分の加熱がフィルムシートの他の部分の加熱と不均一となり、従って、基板上にラミネートされたフィルムシートの後端部付近でしわなどが発生しやすいという問題がある。あるいは、フィルムシート垂れ下がり防止手段は、基板の後端部に近づいた時点で、一旦フィルムシート後端部を解き離すため、その時点でフィルムシート後端部が加熱圧着ロールから離脱し、その結果、そのフィルムシートの後端部付近での温度低下が発生しやすいという問題もある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、圧着ローラ、圧着ローラに基板を送り込む搬送ローラ、そして搬送ローラにより搬送されて圧着ローラへの入口近傍の位置で停止する基板の前端部に長尺フィルムシートの先端部を付着させる昇降可能なフィルムシート供給装置を含む基板表面へのフィルムシートのラミネータにおいて、前端部にフィルムシートの先端部が付けられた基板が圧着ローラに送り込まれ、圧着ローラを通過する過程においてフィルムシートの圧着ローラへの密着を助ける機能を有する、圧着ローラの表面の曲面と同じ曲面形状の気体吹出面を持ち、かつ圧着ローラに対して前進と後退が可能なフィルムシート後端部保持装置を備えていることを特徴とする基板表面へのフィルムシートのラミネータにある。
なお、圧着ローラを、一体となって前後に移動することのできる一対のローラから構成して、前端部にフィルムシートの先端部が付けられた基板の前端部に対して、その前端部をローラ間に挟み込む位置に自らが回転しながら移動し、その後、挟み込んだ基板を自らの回転により前進させるように構成してもよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の基板表面への感光性フィルムシートのラミネータの一例について、まず、添付図面の図４と図５とを参照して具体的に説明する。次に、別の例について、添付図面の図６と図７とを参照して説明する。
図４は、基板表面へ感光性フィルムシートをラミネート（積層）する過程における、先に説明した図１に相当する状態を示している。即ち、基板表面へのフィルムシートのラミネータは、一対の圧着ローラ１１ａ、１１ｂ（加熱ローラであることが望ましい。ただし、その際には、一方の圧着ローラ１１ａを加熱ローラとし、１１ｂは加熱しなくてもよい）、圧着ローラ１１ａ、１１ｂに基板１２を送り込むための複数組の搬送ローラ１３、そして搬送ローラ１３により搬送されて圧着ローラの送り込む位置の直前の位置（イ）で停止した基板（通常は、予め４０〜１２０℃に加熱された状態で供給される）１２の前端部に、フィルムシート１４の先端部を付着させる昇降可能なフィルムシート供給装置１５を含むものである。なお、図４のラミネータは、図１と同様に、ラミネータの主要部分（即ち、ラミネート作業部分）のみを示している。圧着ローラ、搬送ローラ、そしてフィルムシート供給装置には、それぞれを駆動させる機構、フィルム切断機構、フィルム仮保持機構などの付属機構がある。これらの付属機構については、先に触れた特開平２−１９６６５６号公報や、特開平３−２９０２３２号公報に詳しく記載されており、本発明のラミネータでも当然、そのような付属機構を利用することができる。また、ラミネータについては、他にも多くの関連技術が知られており、本発明のフィルムシート垂れ下がり防止装置以外の機構については、それらを参考にして適宜決定することができる。
【００１１】
図４のフィルムシート供給装置１５もまた、その内部に真空系が形成できるように構成されており、また昇降可能なように設置されている。図４のラミネータにおいても、基板１２が搬送ローラ１３により圧着ローラに接近するように搬送され、その前端部がフィルムシート先端部付着位置（イ）で停止し、その停止した基板１２の上方からフィルムシート供給装置１５が、その真空系を作動させて長尺状フィルムシート１４を吸着固定した状態で下降し、その先端部（フィルムシートの先端部を狭い幅で加熱して、基板の前端部に付着させるヒータが備えられていてもよい）を基板１２の前端部に接触させて、感光性フィルムシート１４の先端部を基板１２の前端部に付着させる。
【００１２】
図４には、本発明の特徴的なフィルムシート後端部保持装置（フィルムシート垂れ下がり防止装置）１８が示されている。このフィルムシート後端部保持装置１８は、圧着ローラの表面の曲面と実質的に同じ曲面形状の気体吹出面を有する気体吹き出しヘッド１９と、そのヘッド１９を、圧着ローラに対する前進と後退が可能なように移動させるロッド１８からなるものである。このロッド１８は空圧作動装置（図示なし）に接続されており、ラミネート作業の進行状況に合わせて前進と後退を繰り返す。
フィルムシート後端部保持装置１８の気体吹き出しヘッド１９からフィルムシート保持用に吹き出される気体は、フィルムシートとの間で化学反応を起こすようなものでない限り特に限定はないが、通常は空気が用いられる。また、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性気体や二酸化炭素も好ましく用いられる。圧着ローラとして加熱圧着ローラを用いる場合には、その加熱ローラ表面（吹き出される気体が直接当たる表面部分）の温度（通常は、１００〜１５０℃に維持されている）の低下を防ぐためには、吹き出される気体は加熱されていることが好ましい。加熱温度としては、およそ１００〜１５０℃の範囲内で、加熱ローラの表面温度とほぼ同じ温度、あるいは若干低い温度にすることが望ましい。
【００１３】
フィルムシート後端部保持装置１８のヘッド１９の気体吹き出し面２１は、圧着ローラ１１ａの表面の曲面と実質的に同じ曲面形状を持つように設計される。
ただし、その吹き出される気体の流れなどを考慮して、圧着ローラ１１ａの表面の曲面の形状に基づきながらも、若干変形した曲面であってもよい。気体の吹き出し面２１の気体吹き出し用開口２２の大きさ、数、位置などは適宜決定することができる。ヘッド１９の内部には気体供給用の空間２３が設けられており、その空間２３は外部より気体を加圧下に供給する気体供給口２４に通じている。
【００１４】
フィルムシート先端部の基板前端部への付着が完了すると、フィルムシート供給装置１５の内部の真空系は解除され、該供給装置は上昇する。そして、そのフィルムシート供給装置１５の上昇に連動させて、フィルムシート後端部保持装置１８が前進し、そのヘッド１９の気体吹き出し面２１が、圧着ローラ１１ａの表面と近接する位置で停止する。フィルムシート後端部保持装置１８の前進直前あるいは前進運動中に、気体吹き出し用開口２２からの気体吹き出しが開始され、フィルムシート供給装置１５から離脱して垂れ下がろうとしているフィルムシート１４の前端部以降を、気体流により圧着ローラ１１ａの表面に軽く、かつ均一に押し付ける。
【００１５】
そして、図５に示されているように、上記したフィルムシート後端部保持装置１８の前進によるフィルムシート１４の圧着ローラ１１ａへの押し付けが行なわれる時点の付近で、基板１２は、その前端部にフィルムシート１４を付けた状態で前進して、圧着ローラ１１ａと１１ｂとの間に到達し、通過する。そして、その基板の圧着ローラ通過時に、フィルムシート１４は基板表面に均一にラミネート（積層）される。
【００１６】
基板１２の前進の間、フィルムシート後端部保持装置１８のヘッド１９の気体吹き出し面２１からは、気体の吹き出しが継続され、これによってフィルムシート１４の先端部以降後端部までが圧着ローラ１１ａの表面に均一に軽く押し付けられた状態で圧着ローラ１１ａと一緒に回転移動する。そして、基板１２の後端部が圧着ローラ１１ａ、１１ｂとの近接領域（圧着領域）に到達する直前でも、フィルムシート１４の後端部は圧着ローラ１１ａの表面からは殆ど離れることなく、そのまま基板１２の後端部にラミネートされる。
【００１７】
最後に、フィルムシート後端部保持装置１８は、フィルムシート１４の後端部の基板への圧着が行なわれる付近の時点で気体の吹き出しを停止し、後退して、図４に示す待機位置に戻る。
【００１８】
なお、図４、５では、基板の片面のみへのフィルムシートの積層用装置を示したが、同様の装置をもう一つ設けることによって、基板の両面へのフィルムシートの積層を行なうことができる。
【００１９】
次に、本発明の基板表面へのフィルムシートのラミネータの別の構成の例を、添付図面の図６と図７とを参照して説明する。
図６は、基板表面へ感光性フィルムシートをラミネート（積層）する過程における、上記の図４に相当する状態を示しており、図の各部分を示す番号は、図４と同じ意味を示す。ただし、図６には長尺フィルムシートを切断するロータリーカッタ装置と、その付属装置とが図示されている。ロータリーカッタ装置は、中心軸線の周りで回転自在な円柱状外周の一部にらせん状に巻き付けられた切刃を備えた回転刃部２５と、その回転刃に近接して設けられた直線刃を備えた固定刃部２６とからなり、回転刃が回転状態で直線刃と略接触することによって、その間に置かれた長尺状フィルムシート１４を幅方向に切断するようにされている。
そして、そのロータリーカッタ装置の少し上側には、切断された長尺状フィルムシートの供給側の下端部を吸着して仮保持する長尺状フィルムシート下端吸着保持装置２７が備えられている。
なお、フィルムラミネータに、このような構成のロータリーカッタ装置とフィルムシート下端吸着保持装置を備えることは、前記の公報にも記載があり、既に公知である。勿論、ディスクカッタなどの他の切断装置を用いてもよい。
【００２０】
ロータリーカッタ装置の回転刃部２５は、ラミネータ本体のフレームに前後動可能に設置され、かつフィルムシート供給装置１５の上下動の通路域の近くに設置されている。一方、固定刃部２６は、ラミネータ本体のフレームに前後動と上下動が可能なように設置され、フィルムシート供給装置１５の上下動の通路域を介して、前記回転刃部２５の設置位置とは反対側の位置に設置されている。そして、フィルムシート下端吸着保持装置２７は、ラミネータ本体のフレームに前後動可能なように固定刃部２６の近くに設置され、固定刃部２６の前後動にリンクしてフィルムシート１４に接近し、また離反する。フィルムシート供給装置１５が、フィルムシート１４の先端部を基板の前端部に付着させ、その後上昇するにつれてフィルムシート下端吸着保持装置２７と固定刃部２６とはフィルムシートの表面に近づき、フィルムシート供給装置１５がフィルムシート１４から離れた位置にて、フィルムシート１４を回転刃部２５と固定刃部２６とで挟み、フィルムシート１４を切断する（図７参照）。ロータリーカッタ装置で切断されたフィルムシートの上側の下端部は、長尺状フィルムシート下端吸着保持装置２７に一旦吸着され、仮保持される。なお、この長尺状フィルムシート下端吸着保持装置２７による仮保持は、次の回のフィルム貼り付けのためにフィルムシート供給装置１５が再度下降する際に、その仮保持中のフィルムシート下端部をフィルムシート供給装置１５の先端部に付着させた時点で解除される。
【００２１】
ロータリーカッタ装置で切断されたフィルムシートの下側の部分の後端部（後端部近傍を意味する。以下同じ）は、圧着ローラ１１ａに備えられたフィルムシート後端部吸着保持具２８で保持される。このフィルムシート後端部吸着保持具２８は、圧着ローラ１１ａと同軸に配置されており、圧着ローラが移動（前後および／または上下）する場合には、一体として移動するが、それ自体は回転しない。そして、圧着ローラ１１ａが回転しても、その空間的な位置は変化しない。
このフィルムシート後端部吸着保持具２８は、その表面がフッ素樹脂などのような摩耗係数が小さい材料で被覆されており、かつその吸着面に多数の微小の孔が設けられており、その孔を通して保持具内部の真空系と接続されていて、この構成を利用して、その吸着面に接触したフィルムシートを仮保持するようにされている。このフィルムシート後端部吸着保持具２８の吸着面には、必要により、フィルムシートを加熱したり、冷却したりする温度調節装置が備えられていてもよい。なお、フィルムシート後端部吸着保持具２８によるフィルムシートの吸着保持は、ロータリーカッタによるフィルムシートの切断以前から始まっていてもよく、あるいは切断と同時もしくは切断直後に開始されてもよい。また、この吸着保持の開始は、圧着ローラが基板表面へのフィルムシートの積層の開始時と連動させてもよく、あるいはその前後の時点（例えば、直前）でもよい。
【００２２】
なお、フィルムシートのフィルムシート後端部吸着保持具２８への仮保持を更に容易、かつ確実にするために、その吸着面に対向する位置に、気体吹き出しを利用するフィルムシート仮保持補助装置２９を設けることもできる。ここで吹き出される気体は通常は空気であり、加熱（例えば約４０℃以下、ただし所望により更に高温であってもよい）あるいは冷却されていてもよい。このフィルムシート仮保持補助装置２９から吹き出される気体の温度や流量、流速を調整することにより、フィルムシートの基板貼り付け側面の表面特性（例、粘着性）を制御することも可能であり、フィルムシートの基板表面への均一積層に寄与させることもできる。フィルムシート仮保持補助装置２９の気体吹き出し口（噴射口）は、フィルムシートの幅方向に沿って並ぶ微小開口の集合体あるいはスリット状であることが好ましい。
【００２３】
図６のラミネータには、本発明の特徴的なフィルムシート後端部保持装置（フィルムシート垂れ下がり防止装置）１８が示されており、同様に切断後のフィルムシートを圧着ロールの表面に密着させることを助ける役目をする。ただし、この図６のラミネータでは、別にフィルムシート後端部吸着保持具２８が備えられているため、フィルムシート後端部保持装置１８による圧着ロールへのフィルムシート密着補助機能は、フィルムシートの後端部がフィルムシート後端部吸着保持具２８から離脱した後のみに働かせてもよい。
【００２４】
フィルムシート先端部の基板前端部への付着が完了すると、フィルムシート供給装置１５の内部の真空系は解除され、該フィルムシート供給装置は上昇する。
そして、そのフィルムシート供給装置１５の上昇に連動させて、常時回転している圧着ローラ１１ａ，１１ｂ、そしてフィルムシート後端部吸着保持具２８は一体となって、基板に接近するように前進し、またフィルムシート後端部保持装置１８も圧着ローラに近付くように前進する。そして、そのフィルムシート後端部保持装置１８のヘッド１９の気体吹き出し面２１が、加熱圧着ローラ１１ａの表面と近接する位置で停止する。
【００２５】
圧着ローラ１１ａ，１１ｂには、相互の間の間隙を調節するクランプ（図示なし）が備えられており、図７に示されているように、基板に近接した時点で、そのクランプを利用して、両者の間隙に基板の前端部を挟み込む。この際、クランプの中点は、通常、基板の厚さの中点と同じ高さ位置にあるように設定される。
圧着ローラ１１ａ，１１ｂは、図７の矢印の方向に回転しているので、それに応じて基板はフィルムシートと共に前進し、圧着ローラ１１ａ，１１ｂの間を通過する。この工程で、感光性フィルムシートは基板の表面に均一に接合されて積層される。
【００２６】
感光性フィルムシートの後端部は、基板が前進に応じて下側に移動するが、フィルムシートの末端がフィルムシート後端部吸着保持具２８を通過するまでは、そのフィルムシート後端部吸着保持具２８により弱く吸着された状態で、その表面を滑りながら下降する。フィルムシートの末端がフィルムシート後端部吸着保持具２８を通過して、その保持具２８の表面から離脱する直前に、フィルムシート後端部保持装置１８の気体吹き出し用開口２２からの気体吹き出しが開始されて、フィルムシート後端部吸着保持具２８から離脱して垂れ下がろうとするフィルムシート１４の後端部を、気体流により圧着ローラ１１ａの表面に軽く、かつ均一に押し付ける。フィルムシート後端部吸着保持具２８は、通常は、この時点の前後で吸着機能が停止する。
【００２７】
最後に、フィルムシート後端部保持装置１８は、フィルムシート１４の後端部の基板表面への圧着が行なわれる付近の時点で気体の吹き出しを停止し、後退して、図６に示す待機位置に戻る。
【００２８】
なお、図６、７でも、基板の片面のみへのフィルムシートの積層用装置を示したが、同様の装置をもう一つ設けることによって、基板の両面へのフィルムシートの積層を行なうことができる。
【００２９】
また、本発明のフィルムシートの基板へのラミネータは、これまでに説明したような着色感光性樹脂フィルムシートの基板への積層のみではなく、同様に自己支持性の低い各種の樹脂フィルムシートを基板の片面あるいは両面に積層するために利用できることは勿論である。
【００３０】
【発明の効果】
本発明の基板表面へのフィルムシートのラミネータのフィルムシート後端部保持装置（フィルムシート後端部垂れ下がり防止装置）は、フィルムシート供給装置からの離脱により、後端部において垂れ下がるフィルムシートを、圧着ローラの表面の曲面と略同一の形状の曲面から吹き出される気体流の作用を利用して、圧着ローラ表面に軽く、かつ均一に押し付けることができるため、フィルムシートの局部的な収縮や伸長が発生しない。
しかも、本発明のシート後端部保持装置において、加熱圧着ローラを用いた場合には、フィルムシートの後端部まで連続的に加熱圧着ローラに押し付け続けることができるため、そのフィルムシートの均一な加熱（均一な温度分布）は、その後端部まで実現する。従って、基板表面へのフィルムシートのラミネータにおいて、本発明のフィルムシート後端部保持装置（フィルムシート後端部垂れ下がり防止装置）を用いることによって、「しわ」の発生などに代表されるラミネートフィルムの表面の不均一の発生を高度に抑制することができる。
さらに、本発明のラミネータでは、圧着ローラにフィルムシート後端部吸着保持具を付設することによって、フィルムシートの圧着ローラへの密着を、初期工程では、フィルムシート後端部吸着保持具により行ない、後期工程では、気体流の加圧を利用するシート後端部保持装置により行なうようにすることができ、更にフィルムシートの基板への均一積層について有利となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】公知の基板表面へのフィルムシートのラミネータの標準構成を示す模式図である。
【図２】公知のフィルムシート後端部保持装置を備えた基板表面へのフィルムシートのラミネータの構成例を示す模式図である。
【図３】公知のフィルムシート後端部保持装置を備えた基板表面へのフィルムシートのラミネータの他の構成例を示す模式図である。
【図４】本発明のフィルムシート後端部保持装置を備えた基板表面へのフィルムシートのラミネータの構成例を示す模式図である。
【図５】図４のラミネータの動作を示す模式図である。
【図６】本発明のフィルムシート後端部保持装置を備えた基板表面へのフィルムシートのラミネータの別の構成例を示す模式図である。
【図７】図６のラミネータの動作を示す模式図である。
【符号の説明】
１１ａ  （加熱）圧着ローラ
１１ｂ  （加熱）圧着ローラ
１２  基板
１３  搬送ローラ
１４  フィルムシート
１５  フィルムシート供給装置
１６  公知のフィルムシート後端部保持装置
１７  公知のフィルムシート後端部保持装置
１８  本発明のフィルムシート後端部保持装置
１９  ヘッド
２０  ロッド
２１  気体吹き出し面
２２  気体吹き出し開口
２３  ヘッド内部の空間
２４  気体供給口
２５  回転刃部
２６  固定刃部
２７  長尺状フィルムシート下端吸着保持装置
２８  フィルムシート後端部吸着保持具
２９  フィルムシート仮保持補助装置
【図１】
0003694119.tif 000002
【図２】
0003694119.tif 000003
【図３】
0003694119.tif 000004
【図４】
0003694119.tif 000005
【図５】
0003694119.tif 000006
【図６】
0003694119.tif 000007
【図７】
0003694119.tif 000008