(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
３枚以上の板材を重ね合わせた端部を、レーザビームを照射することにより溶接するレーザ溶接方法であって、
保持機構を介して前記板材を位置決め保持した状態で、前記板材同士の接触面からなる２以上の界面に、該界面と同数のレーザビームを略同時に照射して該板材同士を溶接することを特徴とするレーザ溶接方法。
【請求項２】
請求項１記載のレーザ溶接方法において、２以上の前記レーザビームの入熱量を、前記板材の材質および／または板厚によって変更することを特徴とするレーザ溶接方法。
【請求項３】
請求項１記載のレーザ溶接方法において、２以上の前記レーザビームの照射位置を、前記板材の材質および／または板厚によって変更することを特徴とするレーザ溶接方法。
【請求項４】
３枚以上の板材を重ね合わせた端部を、レーザビームを照射することにより溶接するレーザ溶接装置であって、
前記板材の重合端部を位置決め保持する保持機構と、
前記板材同士の接触面からなる２以上の界面に、該界面と同数のレーザビームを略同時に照射可能なレーザ照射機構と、
２以上の前記レーザビームの入熱量を、前記板材の材質および／または板厚によって制御する入熱量制御機構と、
を備えることを特徴とするレーザ溶接装置。
【請求項５】
３枚以上の板材を重ね合わせた端部を、レーザビームを照射することにより溶接するレーザ溶接装置であって、
前記板材の重合端部を位置決め保持する保持機構と、
前記板材同士の接触面からなる２以上の界面に、該界面と同数のレーザビームを略同時に照射可能なレーザ照射機構と、
２以上の前記レーザビームの照射位置を、前記板材の材質および／または板厚によって制御する照射位置制御機構と、
を備えることを特徴とするレーザ溶接装置。
【請求項６】
３枚以上の板材を重ね合わせた端部を、レーザビームを照射することにより溶接するレーザ溶接装置であって、
前記板材の重合端部を位置決め保持する保持機構と、
前記板材同士の接触面からなる２以上の界面に、該界面と同数のレーザビームを略同時に照射可能なレーザ照射機構と、
２以上の前記レーザビームの入熱量を、前記板材の材質および／または板厚によって制御する入熱量制御機構と、
２以上の前記レーザビームの照射位置を、前記板材の材質および／または板厚によって制御する照射位置制御機構と、
を備えることを特徴とするレーザ溶接装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、３枚以上の板材を重ね合わせた端部を、レーザビームを照射することにより溶接するレーザ溶接方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、３枚以上の板材を重ね合わせた端部を、レーザビームの照射によって接合する際には、重ね合わせ方向からレーザビームを照射して前記重合端部を溶接する作業が行われている。ところが、特に厚板状の板材を溶接する場合に、前記板材を溶融するために多大な入熱量が必要となるとともに、熱歪みも大きくなってしまい、所望のレーザ溶接作業が遂行されないという問題が指摘されている。
【０００３】
そこで、例えば、特開平７−１６７７５号公報（以下、従来技術１という）や特開平９−２０６９６９号公報（以下、従来技術２という）に開示された溶接方法が知られている。
【０００４】
上記の従来技術１では、図７に示すように、重ね合わせた状態で溶接されるフランジ部１、２および３のうち、これらの重ね合わせ方向における一方側端部に位置すべきフランジ部１とその他方側に隣接するフランジ部２とに対して、その重ね合わせ方向から高密度エネルギビームの照射が行われる。これにより、フランジ部１、２が溶接されるとともに、重ね合わせ方向に延在してビード４が形成される。
【０００５】
次いで、フランジ部２、３同士が、これら両者端面（界面）との対向方向（重ね合わせ方向に直交する方向）から両者の重ね合わせ部にビーム照射されることによって溶接される。このため、フランジ部２、３には、重ね合わせ方向に直交する面方向にビード５が形成されることになる。
【０００６】
また、上記の従来技術２では、図８に示すように、アウタパネル６ａ、インナパネル６ｂおよびレインホースメント６ｃ等からなる３枚以上の板材が重ね合わされるとともに、端面がレーザ溶接機７によって溶接される溶接継手８を有している。レーザ溶接機７は、溶接継手８の端面をジグザグ方向に移動しながらレーザビームを照射することにより、前記溶接継手８の端面を加熱してジグザグ形状の溶接部９が形成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来技術１では、３枚の板材であるフランジ部１、２および３を溶接する際に、重ね合わせ方向にレーザビームを照射して前記フランジ部１、２を溶接する一方、この重ね合わせ方向に直交する面方向にレーザビームを照射して、前記フランジ部２、３を溶接している。このため、３枚の板材に対してレーザビームを２回、それぞれ異なる方向から照射しなければならず、工程数が多くなって生産性が低下するという問題が指摘されている。
【０００８】
また、上記の従来技術２では、レーザ溶接機７をジグザグ状に移動させなければならず、システム全体が複雑化するとともに、例えば、板厚や材質の異なる種々の板材の界面に対して適切な溶接処理を遂行することができないおそれがある。
【０００９】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程および構成で、３枚以上の板材を重ね合わせた端部に、迅速かつ確実な溶接処理を施すことが可能なレーザ溶接方法および装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るレーザ溶接方法および装置では、保持機構を介して板材が位置決め保持された状態で、前記板材同士の接触面からなる２以上の界面に、該界面と同数のレーザビームが略同時に照射されることにより、該板材同士が溶接される。このため、レーザビームの照射を１回行うだけで、強度に寄与する各板材同士の２以上の界面部分を一度に溶融することができ、簡単な工程および構成で、前記板材の溶接作業が効率的かつ迅速に遂行されるとともに、熱歪みの発生を可及的に削減することが可能になる。
【００１１】
また、２以上のレーザビームの入熱量が、板材の材質および／または板厚によって変更されることにより、板厚等に応じた所望の溶け込みバランスを得ることができ、前記板材同士を確実に溶接することが可能になる。
【００１２】
さらにまた、２以上のレーザビームの照射位置が、板材の材質および／または板厚によって変更されることにより、板厚等の変更にも容易に対応し、種々の異なる板材同士を確実に溶接することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の第１の実施形態に係るレーザ溶接方法を実施するためのレーザ溶接装置１０の一部を破断させた状態を示す側面説明図である。
【００１４】
レーザ溶接装置１０は、金属板等のワークＷ１、Ｗ２およびＷ３の溶接部位を位置決め保持する保持機構１２と、前記ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３同士の接触面からなる２つの界面１４、１６に、該界面１４、１６と同数の第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２を略同時に照射可能なレーザ照射機構１８と、前記第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２の入熱量を、前記ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３の材質および／または板厚によって制御する入熱量制御機構２０と、前記第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２の照射位置を、前記ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３の材質および／または板厚によって制御する照射位置制御機構２２とを備える。
【００１５】
レーザ溶接装置１０は、ロボットアーム２４に装着されており、このロボットアーム２４には、イコライズ機構２６を構成する支持ブラケット２８が固着されている。支持ブラケット２８は、略Ｌ字状に構成されており、この支持ブラケット２８の上面部には、第１基台３０が設けられるとともに、この第１基台３０の両端にガイドロッド３２が固着される。ガイドロッド３２には、可動フレーム３４を構成する筒体部３６が支持されており、この筒体部３６の両端には、前記ガイドロッド３２に外装されたスプリング３８ａ、３８ｂが当接して前記筒体部３６を所定の位置に保持している。
【００１６】
保持機構１２は、可動フレーム３４に支持される固定ローラ４０と、前記可動フレーム３４に対して矢印Ａ方向に進退可能な可動ローラ４２とを備える。固定ローラ４０は、可動フレーム３４の先端に下方に屈曲して形成される取り付け部材４４に対して回転可能に設けられ、例えば、車体のアウタパネルを構成するワークＷ１に係合する。
【００１７】
可動ローラ４２は、シリンダ等の第１アクチュエータ４６から矢印Ａ方向に延在するロッド４８に取り付け部材５０を介して固着されており、この第１アクチュエータ４６は、可動フレーム３４に装着されている。可動ローラ４２は、取り付け部材５０に対して回転可能に設けられるとともに、固定ローラ４０に対向してワークＷ３に係合する。
【００１８】
可動フレーム３４には、第２基台５２が固着されており、この第２基台５２の一端部には、照射位置制御機構２２を構成するモータ等の第２アクチュエータ５４が設けられる。第２アクチュエータ５４の駆動軸にボールねじ５６が軸着されており、このボールねじ５６が移動部材５８に螺合する。移動部材５８には、レーザ照射機構１８を構成するケーシング６０が固定される。
【００１９】
ケーシング６０の端部には、レーザ発振器６２から前記ケーシング６０内にレーザビームＬを導入するための光ファイバ６４が接続されている。光ファイバ６４から導出されるレーザビームＬの光軸Ｏ上には、コリメータレンズ６６、ベンドミラー６８および集光レンズ７０が配置されるとともに、前記コリメータレンズ６６と前記ベンドミラー６８との間には、プリズム７２が入熱量制御機構２０および照射位置制御機構２２を介して進退および旋回可能に配置される。
【００２０】
図１および図２に示すように、入熱量制御機構２０は回転部材７４に固定される第３アクチュエータ７６を備え、この第３アクチュエータ７６から光軸Ｏ側に突出するロッド７８の先端には、プリズム７２が固定されている。回転部材７４は、ケーシング６０に対してベアリング７９を介し回転可能に支持されている。プリズム７２は、レーザビームＬを第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２に分割するとともに、入熱量制御機構２０は、前記第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２の出力比を調整する機能を有している。
【００２１】
照射位置制御機構２２は、モータ等の第４アクチュエータ８０を備えており、この第４アクチュエータ８０の回転軸８２に駆動歯車８４が軸着される。回転部材７４には、駆動歯車８４に噛合するリング状の従動歯車８６が設けられている。照射位置制御機構２２は、第４アクチュエータ８０を介して第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２の相対位置（回転位置）を調整する機能と、第２アクチュエータ５４を介してワークＷ１の板厚の変更に対応する機能とを有している。
【００２２】
レーザ溶接装置１０は、図１に示すように、制御機構９０を介して駆動制御されており、この制御機構９０は、アクチュエータ制御部９２とロボット制御部９４とを備えている。アクチュエータ制御部９２は、第１乃至第４アクチュエータ４６、５４、７６および８０を駆動制御するとともに、ロボット制御部９４は、ロボットアーム２４を備える図示しないロボットの駆動制御を行う。この制御機構９０は、レーザ発振器６２を駆動制御する。
【００２３】
このように構成されるレーザ溶接装置１０の動作について、以下に説明する。
【００２４】
まず、図１に示すように、ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３は、互いに一部分を重ね合わせた状態で、保持機構１２により保持されて位置決めされる。具体的には、制御機構９０を構成するロボット制御部９４を介してロボットアーム２４が移動し、保持機構１２を構成する固定ローラ４０がワークＷ１に当接する。
【００２５】
この状態で、第１アクチュエータ４６が駆動され、ロッド４８が矢印Ａ１方向に移動すると、このロッド４８に固定されている取り付け部材５０と一体的に可動ローラ４２が矢印Ａ１方向に移動して、ワークＷ３に係合する。これにより、固定ローラ４０と可動ローラ４２とを介して、ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３の重合端部が位置決め保持される。
【００２６】
ここで、制御機構９０を介してレーザ発振器６２が駆動され、このレーザ発振器６２から導出されるレーザビームＬが、光ファイバ６４を介してレーザ照射機構１８に送られる。このレーザ照射機構１８内では、レーザビームＬがコリメータレンズ６６を介してベンドミラー６８に至る際、プリズム７２によって第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２に分割される。
【００２７】
第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２は、ベンドミラー６８で反射されて略９０°だけ下方向に屈曲された後、集光レンズ７０を介してワークＷ１、Ｗ２およびＷ３の重合部位に照射される。その際、第１のレーザビームＬ１は軸芯ビームを構成しており、ワークＷ１、Ｗ２の界面１４に照射されてこの界面１４を溶接する一方、第２のレーザビームＬ２は回転ビームを構成しており、ワークＷ２、Ｗ３の界面１６に照射されてこの界面１６を溶接する。
【００２８】
次いで、ロボットアーム２４が、ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３の溶接方向に沿って移動されることにより、固定ローラ４０と可動ローラ４２とが前記ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３の重合端部を位置決め保持しながら、レーザ照射機構１８を介して界面１４、１６に第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２が照射され、この界面１４、１６の溶接作業が行われる。
【００２９】
この場合、第１の実施形態では、３枚のワークＷ１、Ｗ２およびＷ３が重ね合わされた重合端部には、２つの界面１４、１６が存在しており、この界面１４、１６と同数の第１および第２レーザビームＬ１、Ｌ２が、略同時に前記界面１４、１６に照射されて前記ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３同士が溶接される。
【００３０】
このため、レーザ発振器６２からレーザビームＬの照射を１回行うだけで、このレーザビームＬが第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２に分割され、強度に寄与する各ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３の界面１４、１６を一度に溶融することができる。従って、各界面１４、１６に対して第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２を個別に照射する従来の溶接方法に比べ、簡単な工程および構成で、ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３の溶接作業が効率的かつ迅速に遂行されるという効果が得られる。
【００３１】
しかも、ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３の重ね合わせ方向からレーザビームを照射することがなく、界面１４、１６に向かって第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２を照射している。これにより、特に、板厚の大きな板材を溶接する際のような多大な入熱量を必要とすることがなく、熱歪みの発生を可及的に阻止することが可能になる。
【００３２】
さらに、レーザ照射機構１８は、イコライズ機構２６を介してロボットアーム２４に支持されており、固定ローラ４０は前記イコライズ機構２６の作用下にワークＷ１の位置に追随して溶接方向に移動している。このため、固定ローラ４０と界面１４との位置は、一定に保持されており、軸芯ビームである第１のレーザビームＬ１が、前記界面１４に対し、常時、正確に照射されて溶接作業が確実に遂行される。
【００３３】
ところで、第１の実施形態では、ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３の板厚や材質が変更される際には、入熱量制御機構２０および／または照射位置制御機構２２を駆動することにより、容易に対応することができる。以下に板厚が変更される場合について詳細に説明する。なお、材質が変更される場合については、第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２の出力比を調整することによって対応することができるため、その詳細な説明は省略する。
【００３４】
例えば、図３に示すように、ワークＷ１の板厚に比して、ワークＷ２、Ｗ３の板厚が大きい場合には、厚板側の第２のレーザビームＬ２のビーム比を、薄板側の第１のレーザビームＬ１に比べて高める必要がある。
【００３５】
そこで、入熱量制御機構２０を構成する第３アクチュエータ７６が駆動され、プリズム７２が、図１中、矢印Ｂ方向に位置調整される。これにより、レーザビームＬから分割される第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２の出力比が変更され、ワークＷ１、Ｗ２およびＷ３に対して、要求強度に適した接合が容易かつ確実に行われるという効果が得られる。
【００３６】
一方、図４に示すように、中間のワークＷ２の板厚が相当に薄い場合には、第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２間の距離を縮めて対応することも考えられるが、溶融部が繋がってしまい、界面１４、１６で所望の溶け込みが得られないおそれがある。
【００３７】
そこで、照射位置制御機構２２を構成する第４アクチュエータ８０の駆動作用下に、駆動歯車８４が回転される。この駆動歯車８４には従動歯車８６が噛合しており、前記従動歯車８６が設けられている回転部材７４を介してプリズム７２の角度位置が調整される（図２参照）。
【００３８】
このため、図４に示すように、第２のレーザビームＬ２は第１のレーザビームＬ１を軸にして矢印方向に回転し、界面１６上に確実に照射される。従って、第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２間の距離を一定に維持した状態で、第２のレーザビームＬ２が回転するため、溶融池は独立して界面１４、１６で所望の深さまで溶け込みが得られる。これにより、界面１４、１６を強固に溶接することが可能になるという効果が得られる。
【００３９】
さらに、アウタ側のワークＷ１の板厚が変更される際には、照射位置制御機構２２を構成する第２アクチュエータ５４が駆動され、ボールねじ５６の回転作用下に、移動部材５８が矢印Ａ方向に移動する。このため、固定ローラ４０と光軸Ｏとの間隔が調整され、第１のレーザビームＬ１は、ワークＷ１、Ｗ２間の界面１４に対して正確かつ確実に照射されることになる。
【００４０】
また、レーザ照射機構１８では、プリズム７２を光軸Ｏから離間させることにより、単一のレーザビームＬを２枚のワークの界面（図示せず）に照射することができる。従って、２枚のワークを溶接する際に、該ワークの界面にシングルビームであるレーザビームＬを照射することにより、溶接作業を円滑に行うことが可能になる。
【００４１】
なお、第１の実施形態では、第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２を矢印Ａ方向に位置調整するために、第２アクチュエータ５４を用いているが、この第２アクチュエータ５４を用いることなく、ベンドミラー６８自体を角度調整可能に構成してもよい。
【００４２】
図５は、本発明の第２の実施形態に係るレーザ溶接装置１００の一部側面説明図である。なお、第１の実施形態に係るレーザ溶接装置１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００４３】
このレーザ溶接装置１００は、４枚のワークＷ１、Ｗ２、Ｗ３およびＷ４同士の接触面からなる３つの界面１０２、１０４および１０６に、該界面１０２、１０４、１０６と同数の第１乃至第３のレーザビームＬ１、Ｌ２およびＬ３を略同時に照射可能なレーザ照射機構１０８を備える。
【００４４】
レーザ照射機構１０８を構成するケーシング１１０内には、コリメータレンズ６６と集光レンズ７０との間に位置して、プリズム７２ａ、７２ｂが入熱量制御機構２０ａ、２０ｂを介して進退可能に配置されるとともに、前記プリズム７２ａ、７２ｂは、照射位置制御機構２２を介して旋回可能である。
【００４５】
入熱量制御機構２０ａ、２０ｂは、第３アクチュエータ７６ａ、７６ｂを備えており、前記第３アクチュエータ７６ａ、７６ｂのロッド７８ａ、７８ｂにプリズム７２ａ、７２ｂが固定されている。ケーシング１１０内にはベンドミラー６８が設けられておらず、レーザ照射機構１０８はストレートヘッド型に構成されている。
【００４６】
このように構成されるレーザ照射機構１０８では、レーザビームＬがコリメータレンズ６６を介して集光レンズ７０に至る際、プリズム７２ａ、７２ｂによって第１乃至第３のレーザビームＬ１、Ｌ２およびＬ３に分割される。そして、軸芯ビームである第１のレーザビームＬ１が、ワークＷ２、Ｗ３の界面１０４に照射されるとともに、回転ビームである第２および第３のレーザビームＬ２、Ｌ３が、ワークＷ１、Ｗ２の界面１０２とワークＷ３、Ｗ４の界面１０６とに照射される。
【００４７】
これにより、３つの界面１０２、１０４および１０６に、３つのレーザビームである第１乃至第３のレーザビームＬ１、Ｌ２およびＬ３を略同時に照射することができ、ワークＷ１乃至Ｗ４の溶接作業が、簡単な工程および構成で、効率的かつ迅速に遂行される等、第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００４８】
なお、第２の実施形態では、ストレートヘッド型のレーザ照射機構１０８を用いているが、第１の実施形態に係るレーザ照射機構１８と同様に、ベンドミラー６８を備えたベンドヘッド型に構成することができる。一方、この第１の実施形態に係るレーザ照射機構１８を、ベンドミラー６８を用いないストレートヘッド型に構成してもよい。
【００４９】
図６は、本発明の第３の実施形態に係るレーザ溶接装置１２０の一部を破断させた状態を示す側面説明図である。なお、第１の実施形態に係るレーザ溶接装置１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００５０】
このレーザ溶接装置１２０は、第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２をそれぞれ個別に照射するための第１および第２のレーザビームヘッド（レーザ照射機構）１２２、１２４を備え、前記第１および第２のレーザビームヘッド１２２、１２４が移動部材５８に一体的に固着されている。
【００５１】
第１および第２のレーザビームヘッド１２２、１２４は、図示しないが、内部にそれぞれコリメータレンズおよび集光レンズが保持されており、光ファイバ１２６、１２８を介して送られる第１および第２のレーザビームＬ１、Ｌ２を、所定の焦点距離で集光させてワークＷ１、Ｗ２およびＷ３の界面１４、１６に照射するように構成されている。
【００５２】
このように構成される第３の実施形態では、レーザ溶接作業を簡単かつ迅速に遂行することができ、生産性を有効に向上させることが可能になる等、第１および第２のの実施形態と同様の効果が得られる。
【００５３】
【発明の効果】
本発明に係るレーザ溶接方法および装置では、板材同士の接触面からなる２以上の界面に、該界面と同数のレーザビームが略同時に照射されるため、前記レーザビームの照射を１回行うだけで、強度に寄与する各板材同士の２以上の界面部分を一度に溶融することができる。このため、簡単な工程および構成で、板材の溶接作業が効率的かつ迅速に遂行されるとともに、熱歪みを可及的に削減することが可能になる。
【００５４】
また、２以上のレーザビームの入熱量が、板材の材質および／または板厚によって変更されることにより、板厚等に応じた所望の溶け込みバランスを得ることができ、前記板材同士を確実に溶接することが可能になる。
【００５５】
さらにまた、２以上のレーザビームの照射位置が、板材の材質および／または板厚によって変更されることにより、板厚等の変更にも容易に対応し、種々の異なる板材同士を確実に溶接することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るレーザ溶接方法を実施するためのレーザ溶接装置の一部を破断させた状態を示す側面説明図である。
【図２】前記レーザ溶接装置を構成する進退手段および回転手段の斜視説明図である。
【図３】前記レーザ溶接装置によりビーム比率を変更する際の説明図である。
【図４】前記レーザ溶接装置によりレーザビームを回転させる際の説明図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係るレーザ溶接装置の一部側面説明図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係るレーザ溶接装置の一部を破断させた状態を示す側面説明図である。
【図７】従来技術１に係る溶接方法の説明図である。
【図８】従来技術２に係る溶接方法の説明図である。
【符号の説明】
１０、１００、１２０…レーザ溶接装置    １２…保持機構
１４、１６、１０２、１０４、１０６…界面
１８、１０８…レーザ照射機構    ２０、２０ａ、２０ｂ…入熱量制御機構
２２…照射位置制御機構          ２４…ロボットアーム
２６…イコライズ機構            ３４…可動フレーム
４０…固定ローラ                ４２…可動ローラ
４６、５４、７６、７６ａ、７６ｂ、８０…アクチュエータ
５６…ボールねじ                ５８…移動部材
６０…ケーシング                ６２…レーザ発振器
６４…光ファイバ                ６６…コリメータレンズ
６８…ベンドミラー              ７０…集光レンズ
７２、７２ａ、７２ｂ…プリズム  ９０…制御機構
９２…アクチュエータ制御部      ９４…ロボット制御部
１１０…ケーシング              １２２、１２４…レーザビームヘッド
１２６、１２８…光ファイバ      Ｌ、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３…レーザビーム
Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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