(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ローラを介してストリップ材を処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーして洗浄処理する第１の洗浄装置と、メッキ液を収容したセル本体のメッキ液中に部分的に浸漬して配設されたガイドローラに密着した状態でストリップ材を移動して、ストリップ材の下面に連続的にメッキ処理をするメッキ装置と、ローラを介してストリップ材を処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液を洗浄処理する第２の洗浄装置と、表面処理後のストリップ材の上下両面にそれぞれ別の塗布ローラを接触させてコーティングするコーティング処理装置と、ローラを介して張架されたストリップ材の表面に熱風を吹き付けることにより乾燥すると共に、前記ローラ表面の温度調整を可能とした乾燥装置とを備えたことを特徴とする箔および条ストリップ材の表面処理システム。
【請求項２】
前記第１の洗浄装置は、スプールに巻かれたコイル状のストリップ材を巻出機まで搬送する入側コイルカーと、コイル状のストリップ材を展開しつつ、一定の張力を付加して送り出す巻出機と、前記巻出機から送り出されたストリップ材を洗浄装置へ皺のできないように通板させる前面装置とによってストリップ材が供給されることを特徴とする請求項１に記載の箔および条ストリップ材の表面処理システム。
【請求項３】
前記乾燥装置から送り出されたストリップ材を巻取装置へ皺のできないように通板させる後面装置と、該後面装置から送り出されてきたストリップ材をスプールにコイル状に巻き取る巻取装置と、スプールに巻かれたコイル状のストリップ材を受台で受け取り合紙装置まで搬送する出側コイルカーと、表面処理後のストリップ材間に極薄紙を挟み込む合紙装置を更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の箔および条ストリップ材の表面処理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属の極薄箔に合成樹脂層との接着性を向上させる為の表面粗化処理および種々の外部環境からの影響を排除する為の保護層を連続的に形成する箔および条ストリップ材の表面処理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ポリイミド樹脂などの基材と銅箔等とを貼り合わせた基板は、プリント配線基板（ソフト基板）として、携帯電話等のＩＴ関連機器で採用され、近年、その需要が増大している。そして、従来、それら基板は、銅箔とポリイミド樹脂基材等を接着剤または熱圧着により貼り合わせた多層構造のものが主流であったが、その超薄肉化・高集積化のために、高接着強度を有する多層構造化の要求が高まっている。
【０００３】
一方、基板を多層構造化するには、銅箔の片面を、ポリイミド樹脂と親和性の高い構造に改質する必要がある。また、その方法としては、スパッタ処理やエッチングによって銅箔表面を改質する方法や、電気メッキ法、無電解メッキ法、ラミネート法、スパッタ処理法等で銅箔表面に薄い特殊金属膜（クロム、ニッケルなど）を形成する方法がある。そして、それらのうちで最適な製造方法として、連続処理が可能な電気メッキ法が注目されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、数ミクロンから数十ミクロンオーダー迄の厚さ域の銅箔に対する電気メッキを同一のシステムで安定的に連続処理する技術は未だ確立されておらず、電気メッキにより安定かつ連続的に銅箔その他の金属箔の表面に特殊金属膜を形成できる表面メッキ装置の早期な実現が望まれている。また、銅箔等のストリップ材を外部環境からの影響を排除する為の保護層を連続的に形成するコーティング処理装置の実現も望まれている。
【０００５】
鋼ストリップ用の連続メッキ設備としては、水平型セル、縦型セル、ラジアル型セル等様々なタイプのメッキ設備が開発されている。数ミクロンから数十ミクロンオーダー迄の厚さ域の銅箔を対象とする場合、しわ・絞りが発生する事から張力の制限や、ストリップがロールにラップしないフリースパン長さの制限、そして給電箇所でロールによる押付けが出来ないといった制限があり、従来の鋼ストリップ用連続メッキ設備をそのまま適応することは出来ない。
本発明は、前記実情に鑑み提案されたもので、電気メッキにより金属箔ストリツプの片面に安定かつ連続的に特殊金属膜を形成できると共に、外部環境からの影響を排除する為の保護層を連続的に形成することのできる箔および条ストリップ材の表面処理システムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ローラを介してストリップ材を処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーして洗浄処理する第１の洗浄装置と、メッキ液を収容したセル本体のメッキ液中に部分的に浸漬して配設されたガイドローラに密着した状態でストリップ材を移動して、ストリップ材の下面に連続的にメッキ処理をするメッキ装置と、ローラを介してストリップ材を処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液を洗浄処理する第２の洗浄装置と、表面処理後のストリップ材の上下両面にそれぞれ別の塗布ローラを接触させてコーティングするコーティング処理装置と、ローラを介して張架されたストリップ材の表面に熱風を吹き付けることにより乾燥すると共に、前記ローラ表面の温度調整を可能とした乾燥装置とを備えたものである。
【０００７】
また、請求項２に記載の発明において、前記第１の洗浄装置は、スプールに巻かれたコイル状のストリップ材を巻出機まで搬送する入側コイルカーと、コイル状のストリップ材を展開しつつ、一定の張力を付加して送り出す巻出機と、前記巻出機から送り出されたストリップ材を洗浄装置へ皺のできないように通板させる前面装置とによってストリップ材が供給されることを特徴とするものである。
【０００８】
また、請求項３に記載の発明において、前記乾燥装置から送り出されたストリップ材を巻取装置へ皺のできないように通板させる後面装置と、該後面装置から送り出されてきたストリップ材をスプールにコイル状に巻き取る巻取装置と、スプールに巻かれたコイル状のストリップ材を受台で受け取り合紙装置まで搬送する出側コイルカーと、表面処理後のストリップ材間に極薄紙を挟み込む合紙装置を更に備えたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、一実施の形態を示す図面に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は、本発明に係る箔および条ストリップ材の表面処理システムの全体を示す説明図である。ここで箔および条ストリップ材の表面処理システム１は、スプール１１に巻かれたコイル状のストリップ材Ｓを巻出機２０まで搬送する入側コイルカー１０と、コイル状のストリップ材Ｓを展開しつつ、一定の張力を付加して送り出す巻出機２０と、この巻出機２０から送り出されたストリップ材Ｓを洗浄装置へ皺のできないように通板させる前面装置３０と、ローラを介してストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材Ｓ表面に処理液をスプレーして洗浄処理する第１の洗浄装置４０、メッキ液を収容したセル本体のメッキ液中に部分的に浸漬して配設されたガイドローラに密着した状態でストリップ材Ｓを移動して、ストリップ材Ｓの下面に連続的にメッキ処理をするメッキ装置５０と、ローラを介してストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液を洗浄処理する第２の洗浄装置４０ａと、メッキ液を収容したセル本体のメッキ液中に部分的に浸漬して配設されたガイドローラに密着した状態でストリップ材Ｓを移動して、ストリップ材Ｓの下面に連続的にメッキ処理をする第２のメッキ装置５０ａと、ローラを介してストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液を洗浄処理する第３の洗浄装置４０ｂと、メッキ液を収容したセル本体のメッキ液中に部分的に浸漬して配設されたガイドローラに密着した状態でストリップ材Ｓを移動して、ストリップ材Ｓの下面に連続的にメッキ処理をする第３のメッキ装置５０ｂと、ローラを介してストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面を数％の硫酸等でスプレー洗浄する洗浄（リンス）装置６０ａと、ローラを介してストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面を温水によりスプレー洗浄する洗浄（リンス）装置６０ｂと、表面処理後のストリップ材Ｓの上下両面にそれぞれ別の塗布ローラを接触させてコーティングするコーティング処理装置７０と、ローラを介して張架されたストリップ材Ｓの表面に熱風を吹き付けることにより乾燥すると共に、前記ローラ表面の温度調整を可能とした乾燥装置８０と、前記乾燥装置から送り出されたストリップ材Ｓを巻取装置へ皺のできないように通板させる後面装置９０と、該後面装置から送り出されてきたストリップ材Ｓをスプールにコイル状に巻き取る巻取装置１００と、スプールに巻かれたコイル状のストリップ材Ｓを受台で受け取り合紙装置まで搬送する出側コイルカー１１０と、表面処理後のストリップ材Ｓ間に極薄紙を挟み込む合紙装置１２０等から構成されている。
【００１０】
図２は、本実施の形態における箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システム１における入側コイルカー１０を示す正面図である。本実施の形態において、入側コイルカー１０は、スプール１１に巻かれたコイル状のストリップ材Ｓを搭載するＶ字型の受け面１２ａを有した受け台１２と、この受け台１２を下端に設けた車輪１３で水平方向に移動可能に支えるレール１４と、前記受け台１２を水平方向に駆動する油圧シリンダ１５等から構成されている。図２に二点鎖線で示す左端に位置する受け台１２のＶ字型の受け面１２ａにクレーン等で吊ったコイル状のストリップ材Ｓを載置する。次に、油圧シリンダ１５を操作して受け台１２をレール１４上を図中右に移動させて、実線で示す位置まで移動する。この実線で示す位置から次の巻出機２０へ受け渡される。
【００１１】
巻出機２０は、図３に示すように駆動モータ２１と減速機２６及びカップリング２２で接続された支持軸２３及びこれと対向配置された支持軸２４等から構成されており、コイル状のストリップ材Ｓの両軸端を前記支持軸２３、２４で保持する。支持軸２３、２４は、回転可能に支持台２５に支承されており、軸受部に非接触シールが採用されている。また、駆動モータ２１の回転は、直結された減速機２６により回転数が減速されると共に、ストリップ材Ｓの厚さ及び幅に応じて一定の張力が付加される。この巻出し張力は、自動的に調整される。
【００１２】
この巻出機２０から送り出されたストリップ材Ｓは、次の前面装置３０によって洗浄装置４０へ皺のできないように通板される。前面装置３０は、パスラインキープ用のデフレクターローラ３１と表面処理部の張力を一定に保つためのブライドルローラ３２及びブライドルローラ３２と接触回転するように配設されたピンチローラ３３等から構成されている。次の洗浄装置４０と巻出機２０とは、異なる張力設定で稼動される為に、ブライドルローラ３２で張力をカットする働きを行う。
【００１３】
洗浄装置４０は、図５及び図１１に示すように、複数のローラを介してストリップ材Ｓを処理槽４００の内部で搬送することにより、当該ストリップ材表面に所望の処理を施すようにした箔および条ストリップ材の表面処理装置であって、処理槽４００の側壁に設けられた開閉扉４１１と、この開閉扉４１１と対向する壁面４１２に垂設された駆動軸４１３と、この駆動軸４１３を回転駆動する回転アクチュエータ４１４と、この駆動軸４１３に挿脱可能に設けられたローラ４１５と、このローラ４１５の自由端側を回転可能に支持する支持軸４１６と、支持軸４１６を軸線方向に前進後退可能に駆動する支持軸駆動機構４１７とを備えている。
【００１４】
ここで、処理槽４００は、横断面が矩形で、上面が開口した容器状を呈するものであり、その上面の開口を蓋体４１８が覆っている。処理槽４００の底壁４２１は、中央に向けて漸次低くなるように傾斜しており、その最低部が処理液排出通路４２２に接続してある。また、この処理槽４００には、その並設方向に沿って上流側に位置する上流側壁４１９と下流側に位置する下流側壁４２０とにそれぞれ通材用開口４２４が設けてある。通材用開口は、それぞれ金属ストリツプ材Ｓを水平方向に沿って通過させるためのものであり、互いに同一の高さ位置となる部位に開口している。
【００１５】
上記のように構成した処理槽４００の処理空問の内部には、本実施の形態において複数のローラ４１５ａ〜４１５ｇが夫々平行に収容されている。ローラ４１５ａ〜４１５ｇは、夫々ほぼ同一の外径で、かつ中空の円柱状を成すもので、それぞれの両端部に支持円筒４２３を有しており、それぞれの軸心が金属ストリップ材Ｓの搬送方向に直交し、かつ互いに平行となる状態で駆動軸４１３と一体回転可能に挿着してある。
【００１６】
本実施の形態において、ローラ４１５ａ、４１５ｂ、４１５ｃは上流側壁４１９に沿ってほぼ垂直に配置されている。また、ローラ４１５ｃ、４１５ｄ、４１５ｅは、ほぼ水平に底壁４２１に沿って配置されている。更に、ローラ４１５ｅ、４１５ｆ、４１５ｇは、下流側壁４２０に沿ってほぼ垂直に配置されている。したがって、各ローラ４１５ａ〜４１５ｇは、処理槽４００内に正面（開閉扉４１１）方向から見て略Ｕ字状に複数個配置されている。なお、ローラ４１５ａは、ローラ４１５ｂと接触配置されており、図外の機構により離間可能な構成とされている。そして、ローラ４１５ａ、４１５ｂの間に通材用開口４２４から導かれたストリップ材Ｓを狭持して搬送する。ローラ４１５ｂ〜ローラ４１５ｆの間に張架されたストリップ材Ｓは、処理槽４００のほぼ中央に配設された流体噴射ノズル４２５によって処理液が噴霧される（図６参照）。流体噴射ノズル４２５は、三方向に吐出口４２５ａ、４２５ｂ、４２５ｃを有しており、吐出口４２５ａはローラ４１５ｂの方向を吐出口４２５ｂはローラ４１５ｄの方向を吐出口４２５ｃはローラ４１５ｆの方向を夫々向いている。
【００１７】
ここで、流体噴射ノズル４２５は、ストリップ材Ｓの上面側に処理液である数％の硫酸を噴霧する。また、ストリップ材Ｓの下面側には、噴射ノズル４２６、４２７が配設されており、ストリップ材Ｓの下端側に同一または別の処理液を噴霧することができる。噴射ノズル４２６は、ローラ４１５ｃに対向して配設されており、噴射ノズル４２７は、ローラ４１５ｅに対向して配設されている。また、各ノズルは、図示せぬ供給通路を通じて処理液の供給源に接続してある。処理液としては、例えば硫酸等の各種酸、純水、温水などを噴霧することができる。
【００１８】
ローラ４１５ｂ、４１５ｄ、４１５ｆは、ストリップ材Ｓの下面と当接し、ローラ４１５ａ、４１５ｃ、４１５ｅ、４１５ｇは、ストリップ材Ｓの上面とのみ当接するように巻回されている。
【００１９】
開閉扉４１１は、処理槽４００の正面側に形成された開口部４２８にヒンジ４２９で開閉可能に取り付けられると共に、油圧ロック４３０で固着されている。したがって、開口部４２８は、開閉扉４１１によって密閉される。油圧ロック４３０は、図７に示すように油圧シリンダ４３０ａとこれに連結された押さえ爪４３０ｂ及び押さえ爪４３０ｂを支持するリンク４３０ｃ等から構成されている。油圧ロック４３０は、処理槽４００の開口部４２８の周囲に適宜配設されており、図外の油圧配管を通じて油圧シリンダ４３０ａを作動させると、リンク４３０ｃで支持された押さえ爪４３０ｂが矢印Ａ方向に回転して開閉扉４１１の端部を押圧する。
【００２０】
また、開閉扉４１１を開成する場合、油圧シリンダ４３０ａを作動させ、押さえ爪４３０ｂを矢印Ｂ方向に回動する。押さえ爪４３０ｂが後退すると、開閉扉４１１をヒンジ４２９を中心にして開閉することができる。
【００２１】
図８、１１に示すように処理槽４００の開閉扉４１１と対向する壁面４１２には、上述したローラ４１５の駆動源として処理槽４００の外部に電動モータ、あるいはエアモータ等の回転アクチユエータ４１４を設けてある。また、回転アクチユエータ４１４ａ〜４１４ｃには、軸受４３１ａ〜４３１ｃにより回転自在に支持された駆動軸４１３ａ〜４１３ｃが直結されている。駆動軸４１３は、テーパー状の基端部４３３を有すると共に、その近傍にキー４３４が植設されており、挿通されるローラ４１５の端部に形成された図外のキー溝と嵌合する。したがって、図１１に示すようにローラ４１５を駆動軸４１３に沿って挿入するのみで、駆動軸４１３と一体回転するように簡易に取り付けることができる。また、基端部４３３は、テーパー状となっているので、ローラ４１５を挿通するのみで、ローラ４１５の支持円筒４２３に形成されたテーパー部４２３ａと接触して自動調芯することができる。更に、引き抜くのみで容易にキー溝からキー４３４が外れて取り出すことができる。ローラ４１５を取り付けたり引き抜く際に、駆動軸４１３に案内されているので、ローラ４１５が他のローラに接触したりすることがなく、安全作業できる。
【００２２】
また、軸受４３１ａは偏心スリーブ４３５を介して壁面４１２に取り付けられており、この偏心スリーブ４３５はエアシリンダ４３６により回動可能に設定されている。したがって、エアシリンダ４３６を駆動することにより軸受４３１ａの位置を変更することができ、結果としてローラ４１５ａとローラ４１５ｂとの間隔を変更することができる。また、偏心スリーブ４３５は、処理槽４００の密閉性を保持したまま、ローラ４１５ａの駆動軸４１３ａの位置を移動することができる。
【００２３】
また、開閉扉４１１には、図８、９に示すように支持軸４１６が軸受４３２により回転自在に支持されている。支持軸４１６の先端（処理槽内側）には、截頭円錐（テーパーコーン）状の支持部４３７を有しており、この支持部４３７を駆動軸４１３に挿着されたローラ４１５の自由端部に当接し、回転可能に支持する。ローラ４１５の自由端部は、支持部４３７と同一のテーパー状に開口している。また、支持軸４１６は、支持軸駆動機構４１７により軸線方向に前進、後退可能に支持されている。支持軸駆動機構４１７は、流体圧により作動するエアシリンダ等を適宜使用することができる。したがって、支持部４３７とローラ４１５のテーパー状の自由端部は、当接させるのみで自動調芯することができる。
【００２４】
また、開閉扉４１１に取り付けられた軸受４３２ａは、偏心スリーブ４３８を介して配設されており、この偏心スリーブ４３８はエアシリンダ４３９により回動可能に設定されている。したがって、エアシリンダ４３９を駆動することにより支持軸４１６の位置を変更することができ、結果としてローラ４１５ａとローラ４１５ｂとの間隔を変更することができる。また、偏心スリーブ４３８は、処理槽４００の密閉性を保持したまま、ローラ４１５ａの駆動軸４１３ａの位置を移動することができる。なお、前記エアシリンダ４３６とエアシリンダ４３９は、協働するように制御される。
【００２５】
なお、軸受４３１及び軸受４３２の周囲にパージガスを噴射して、流体噴射ノズル４２５及び噴射ノズル４２６、４２７から噴霧される処理液の滲入を防止している。これにより、軸受内のベアリング等を保護して耐用寿命を延長することができる。
【００２６】
以上のように構成された、支持軸駆動機構４１７により支持軸４１６を前進させ、支持部４３７をローラ４１５の自由端部の当接させることにより、ローラ４１５を両端支持状態で回転駆動することができる。また、支持軸駆動機構４１７により支持軸４１６をローラ４１５の端部から後退させれば、ローラ４１５の自由端部と支持部４３７とが離間するので開閉扉４１１を自由に開閉することができる。
【００２７】
次に、以上のように構成された表面処理装置４００の動作について図面に従って説明する。先ず、通材用開口４２４からストリップ材Ｓの先端を挿入し、ローラ４１５ａ、４１５ｂの間に挿通する。この際、エアシリンダ４３６，４３９を操作することにより、ローラ４１５ａ、４１５ｂの間隔を拡げておくことで、挿通作業を容易にすることができる。挿通したストリップ材Ｓは、ローラ４１５ｃ、４１５ｄ、４１５ｅの間に掛け回し、ローラ４１５ｆ、４１５ｇの間から通材用開口４２４から排出する。また、処理槽４００内において、流体噴射ノズル４２５から処理液を噴霧してストリップ材Ｓの上面の洗浄処理を行う。噴射ノズル４２６、４２７からも処理液を噴霧して、ストリップ材Ｓの下面の洗浄処理を行う。
【００２８】
また、ローラを交換する場合、支持軸駆動機構４１７を操作して支持軸４１６を後退させてローラの端部から離間させる。すると、ローラ４１５は、駆動軸４１３に片持ち支持状態で挿通されている。その後、油圧ロック４３０を操作して押さえ爪４３０ｂを緩めて開閉扉４１１の固定を解除する（図５参照）。油圧ロック４３０が解除された後に、図１０に示すようにヒンジ４２９を中心に開閉扉４１１を開成する。この際、支持軸４１６の先端に形成された支持部４３７はローラ４１５の端部と離間しているので、開閉扉４１１の開成動作の支障となることはない。開閉扉４１１が開成された後、図１１に示すようにローラ４１５をそれぞれ駆動軸４１３に沿って平行に引き抜く。ローラ４１５を引き抜く際、駆動軸４１３によって案内されているので、隣接するローラや他の部材と接触する虞がない。
【００２９】
古くなったローラ４１５を引き抜いた後、新たなローラ４１５をそれぞれ駆動軸４１３に挿通する。この際にも、新たに挿通されたローラ４１５は、長く伸びた駆動軸４１３により案内されているので、挿通するのみでそのまま保持することができる。また、新たなローラ４１５が隣接するローラや他の部材に接触して傷付く虞もない。したがって、ローラ４１５を簡易迅速に交換できる。なお、ローラ４１５の交換作業時においても、エアシリンダ４３６、４３９を操作して、ローラ４１５ａ、４１５ｂ及びローラ４１５ｆ、４１５ｇの間隔を開けておく。
【００３０】
ローラ４１５を交換後、開閉扉４１１を閉成し、油圧ロック４３０を操作して開閉扉４１１を処理槽４００に固定する。開閉扉４１１を油圧ロック４３０によって固定した後、支持軸駆動機構４１７を操作して支持軸４１６のテーパーコーン状の支持部４３７をローラ４１５の自由端部に当接させる。このようにして、ローラ４１５を両端支持状で保持できる。また、開閉扉４１１の固定及び開放は、油圧ロック４３０によりワンタッチで行うことができるの、その作業が極めて容易である。
【００３１】
図１２、１３は、メッキ装置５０の概略構成を示すものであり、ラジアルセル５００は、メッキ液Ｍを収容するセル本体５１と、セル本体５１のメッキ液Ｍ中に部分的に浸潰して配設されたガイドロール５２と、ガイドロール５２の浸漬部分の周囲に配設された弓形状のアノード５３と、セル本体５１の、図ｌ２において左右両側部分の上方に配設された偏向ロール５４とを備える。上記セル本体５ｌには、メッキ液による耐腐食性、帯電食性を考慮して，金属にゴム又はＦＲＰなどのライニングを施した材料が使用されている。
【００３２】
そして、図示省略の銅箔コイルから送給されてくるストリップ材Ｓ（金属箔ストリップ）を、偏向ロール５４で偏向させてガイドロール５２の外周表面に一定の張力でもって巻き付け、そのストリップ材Ｓの上面をガイドロール５２の外周表面に密着させた状態でセル本体５１内のメッキ液Ｍ中を移動させることで、ストリップ材Ｓの片面（下面）に連続的に電気メッキするように構成されている。また、このラジアルセル５００のガイドロール５２は、ＦＲＰ（繊維強化プラスチック）からなるロール本体部の外周表面部に非電導性セラミックスを溶射積層してなる構成（つまり絶縁構成）の大径ロール（本例では１０００ｍｍの外径）にしている。
【００３３】
また、上記アノード５３は、チタン製からなる基部に酸化イリジウムをコーティングしたチタン製電極をビス止めした不溶性アノードとして構成されている。そして、図１２に示すように、アノード５３は、セル中心を軸として左右対称に配設され、それぞれガイドロール５２との間に１５ｍｍ以下（本例では１０ｍｍ）の均等な間隙を保って配設される。それと共に、セル本体５１の壁を液封に貫通して配設されたブスバー（図示省略）を介して、電力供給装置（図示省略、例えば整流器）に接続されている。また、上記偏向ロール５４は、ロール胴部が優れた耐食性を有する導電性材料で構成されると共に、上記電力供給装置に接続される。これにより、偏向ロール５４は、偏向させるストリップ材Ｓに電流を伝播するコンダクターロールとしての機能を兼ねるように構成されている。
【００３４】
また、上記偏向ロール５４は、ストリップ材Ｓとの接触長を十分に確保するため、外径が３００ｍｍ程度（本例では、３５０ｍｍの外径）のロールに形成されている。そして、偏向ロール５４は、ガイドロール５２に対するストリップ材Ｓの巻付角度（ラップ角度）を十分に確保するために、図１２に示すように、偏向させるストリップ材Ｓの、ガイドロール５２の外周面（円周面）に対する巻付角度が略１８０度となる位置関係に配設されている。また、各偏向ロール５４の直下には、付着液等によるロール面の汚れを除去するためのポリッシヤー５４ａを配設している（図１２参照）。
【００３５】
一方、上記セル本体５１の上部には、図１２に示すように、メッキ液Ｍの液面高さを一定に保つ溢流ノズル５１ａが設けられている。上記セル本体５１の底部に、滞留液を排出するための液排出ポート５１ｂを設けている。また、セル本体５１には、図外のメッキ液循環供給装置から送給されるメッキ液Ｍを、アノード５３とガイドロール５２（円周面）との間の間隙に圧送する圧送ノズル５５が設けられている。そして、圧送ノズル５５は、ガイドロール５２の幅よりも狭幅の扁平ノズルに形成され、その先端部を二つのアノード５３の間に挿入させた形態で配設されている。
【００３６】
また、このセル本体５１においては、図１２に示すように、メッキ液Ｍの液面上に位置する前部側壁の内側に、ガイドロール５２に巻き付けられる前（つまりメッキ前）のストリップ材Ｓの下面（メッキ面）にメッキ液Ｍを噴霧するメッキ液噴霧ノズル５６を配設している。そして上流側に配設された偏向ロール５４とガイドロール５２との間には、ガイドロール５２の円周表面およびガイドロール５２に巻き付けられる前のストリップ材Ｓの上面（非メッキ面）に向けて純水を噴霧する純水噴霧ノズル５７を配設している。この純水噴霧ノズル５７には、図示省略の純水供給装置が接続されている。
【００３７】
第２の洗浄装置４０ａは、前記メッキ装置５０から排出されたストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液の洗浄処理を行う。第２の洗浄装置４０ａの構造は、洗浄装置４０と同様であるために説明を省略する。
【００３８】
第２のメッキ装置５０ａも、ストリップ材Ｓの下面に連続的にメッキ処理をするものであり、メッキ装置５０と同様な構成であるので、説明を省略する。
【００３９】
第３の洗浄装置４０ｂも、前記第２のメッキ装置５０ａから排出されたストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液の洗浄処理を行う。第３の洗浄装置４０ｂの構造は、洗浄装置４０と同様であるために説明を省略する。
【００４０】
第３のメッキ装置５０ｂも、ストリップ材Ｓの下面に連続的にメッキ処理をするものであり、メッキ装置５０と同様な構成であるので、説明を省略する。
【００４１】
洗浄装置６０ａは、ローラを介してストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、ストリップ材表面を数％の硫酸でスプレー洗浄してリンスする。ここに於ける、洗浄装置６０ａも洗浄装置４０と同一構成であるため、説明を省略する。洗浄装置６０ｂは、洗浄装置６０ａと隣接して配設されており、同様にストリップ材Ｓを処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面を温水によりスプレー洗浄してリンスする。洗浄装置６０ａ、６０ｂの構成も洗浄装置４０と同様である。
【００４２】
コーティング処理装置７０は、図１４に示すようにストリップ材Ｓの上面に塗布する薬液を満たした第１薬液パン７１と、この第１薬液パン７１に一部が浸漬されたピックアップローラ７２と、ピックアップローラ７２と接触しつつ回転し薬液を受け取るミータリングローラ７３と、ミータリングローラと接触しつつ回転し薬液をストリップ材Ｓの上面に塗布するアプリケーターローラ７４を備えた第１塗布機構Ａと、ストリップ材Ｓの下面に塗布する薬液を満たした第２薬液パン７５と、この第２薬液パン７５に一部が浸漬されたピックアップローラ７６と、ピックアップローラ７６と接触しつつ回転し薬液を受け取るミータリングローラ７７と、ミータリングローラと接触しつつ回転し薬液をストリップ材Ｓの下面に塗布するアプリケーターローラ７８を備えた第２塗布機構Ｂとから構成されている。
【００４３】
以上のように構成されたコーティング処理装置７０は、表面処理後のストリップ材Ｓの上下両面にそれぞれ別の塗布ローラ（アプリケーターローラ）７４、７８を接触させてコーティングするので、それぞれストリップ材Ｓの上面には第１液を塗布し、下面には第２液を塗布することができる。
【００４４】
また、乾燥装置８０は図１５〜図１７に示すように処理槽８１内に配設されたローラ８２、８３、８４と、各ローラ間に張り渡されたストリップ材Ｓに向けて熱風を吹き付けるノズル８５，８６、８７、８８及びスチームヒータ８９を備えている。また、処理槽８１の正面の各ローラと対向した位置には、エアシリンダ８００で駆動されるスライドゲート８０１が配設されている。更に、ローラ８２、８３、８４の軸心には、図１７に示すように冷却水を循環させる為のパイプ８０２が配設されている。
【００４５】
以上のように構成された乾燥装置８０において、コーティング処理装置７０で塗布された薬液を高温の熱風で瞬時に乾燥させることができる。また、処理槽８１内でブロワからの熱風を常時受けるローラ８２、８３、８４は、時間の経過と共に温度が上昇してコーティング直後のストリップ材Ｓに悪影響を与えないようにパイプ８０２から冷却水を循環させる。この冷却水の循環によって、ローラ表面温度を一定に保持し、ストリップ材Ｓの円滑な通板を可能とすることができる。
【００４６】
後面装置９０は、パスラインキープ用のデフレクターローラ９１と乾燥装置の張力を一定に保つためのブライドルローラ９２及びブライドルローラ９２と接触回転するように配設されたピンチローラ９３ａ、９３ｂから構成されている。乾燥装置８０と次の巻取装置１００とは、異なる張力設定で稼動される為に、ブライドルローラ９２で張力をカットする働きを行う。これにより、乾燥装置８０より送り出されたストリップ材Ｓを皺の無い状態で巻取装置１００へ通板させることができる。また、出側には、巻き取り時の皺とストリップ材間へのエアー巻き込み防止用のアイロニングローラ９４を装着して、油圧一定押付制御により良好な形状の巻き取りを可能としている。
【００４７】
巻取装置１００は、後面装置９０から送り出されてきたストリップ材Ｓをスプールにコイル状に巻き取るものである。巻取装置１００は、前述の巻出機２０と略同様の構成を有しており、図外の駆動モータと減速機及びカップリングで接続された支持軸１０１及びこれと対向配置された支持軸１０２等から構成されており、コイル状のストリップ材Ｓの両軸端を前記支持軸１０１、１０２で保持する。支持軸１０１、１０２は、回転可能に支持台１０３に支承されており、軸受部に非接触シールが採用されている。また、駆動モータの回転は、直結された減速機により回転数が減速されると共に、ストリップ材Ｓの厚さ及び幅に応じて一定の張力が付加される。この張力は、自動的に調整される。
【００４８】
出側コイルカー１１０は、スプール１１１に巻かれたコイル状のストリップ材Ｓを搭載するＶ字型の受け面１１２ａを有した受け台１１２と、この受け台１１２を下端に設けた車輪１１３で水平方向に移動可能に支えるレール１１４と、前記受け台１１２を水平方向に駆動する油圧シリンダ１１５等から構成されている。図１９に実線で示すように、左端に位置する受け台１１２のＶ字型の受け面１１２ａにコイル状のストリップ材Ｓを載置する。次に、油圧シリンダ１５を操作して受け台１２をレール１４上を図中右に移動させて、二点鎖線で示す位置まで移動する。この実線で示す位置から機外へ搬送する。
【００４９】
合紙装置１２０は、表面処理後のストリップ材の表面を保護するために、ストリップ材Ｓ間に極薄紙又はフィルムを挟み込むものであり、図２０に示すように合紙１２１を展開自在に支持する支持軸１２２と、合紙に一定の張力を与えるべく支持軸１２２の回転を制御するエアブレーキ１２３を備えている。また、展開した合紙の皺を取り除くエキスパンダローラ１２４を備えている。
【００５０】
以上のように構成された合紙装置１２０は、合紙１２１に適度な張力を加え、ストリップ材Ｓの間に配設しつつ巻取装置１００で巻き取る。
【００５１】
なお、以上説明した実施の形態において、洗浄装置４０の前に入側コイルカー１０，巻出機２０，前面装置３０を設ける場合について説明したが、本発明の箔および条ストリップ材の表面処理システムにおいて、必須のものではなく任意に選択できる装置である。また、乾燥装置８０の後に後面装置９０、巻取装置１００、出側コイルカー１１０、合紙装置１２０を設ける場合について説明したが、本発明の箔および条ストリップ材の表面処理システムにおいて、これらの装置も必須のものではなく任意に選択できる装置である。
【００５２】
更に、メッキ装置５０、５０ａ、５０ｂ及び洗浄装置４０ａ、４０ｂ及びリンス装置６０ａ、６０ｂの数についてもストリップ材の処理目的応じて適宜選択することができる。
【００５３】
【発明の効果】
この発明は前記した構成からなるので、以下に説明するような効果を奏することができる。
【００５４】
請求項１に記載の発明では、ローラを介してストリップ材を処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーして洗浄処理する第１の洗浄装置と、メッキ液を収容したセル本体のメッキ液中に部分的に浸漬して配設されたガイドローラに密着した状態でストリップ材を移動して、ストリップ材の下面に連続的にメッキ処理をするメッキ装置と、ローラを介してストリップ材を処理槽の内部で搬送すると共に、当該ストリップ材表面に処理液をスプレーしてメッキ液を洗浄処理する第２の洗浄装置と、表面処理後のストリップ材の上下両面にそれぞれ別の塗布ローラを接触させてコーティングするコーティング処理装置と、ローラを介して張架されたストリップ材の表面に熱風を吹き付けることにより乾燥すると共に、前記ローラ表面の温度調整を可能とした乾燥装置とを備えたものである。
【００５５】
このような構成としたことによって、本発明の箔および条ストリップ材の表面処理システムは、プリント配線板製造工程において必要とされる接着性の向上の為の表面粗化処理及び、高熱、薬品からの影響を排除する保護層等の形成を確実に実行することができる。
【００５６】
また、請求項２に記載の発明において、前記第１の洗浄装置は、スプールに巻かれたコイル状のストリップ材を巻出機まで搬送する入側コイルカーと、コイル状のストリップ材を展開しつつ、一定の張力を付加して送り出す巻出機と、前記巻出機から送り出されたストリップ材を洗浄装置へ皺のできないように通板させる前面装置とによってストリップ材が供給されるので、第１の洗浄装置へのストリップ材Ｓの供給を円滑に行うことができる。
【００５７】
また、請求項３に記載の発明において、前記乾燥装置から送り出されたストリップ材を巻取装置へ皺のできないように通板させる後面装置と、該後面装置から送り出されてきたストリップ材をスプールにコイル状に巻き取る巻取装置と、スプールに巻かれたコイル状のストリップ材を受台で受け取り合紙装置まで搬送する出側コイルカーと、表面処理後のストリップ材間に極薄紙を挟み込む合紙装置を更に備えたので、処理後のストリップ材表面を保護することができる。また、表面処理後のストリップ材の搬出を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明に係る箔および条ストリップ材の表面処理システムの全体を示す説明図である。
【図２】図２は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける入側コイルカーを示す正面図である。
【図３】図３は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける巻出装置を示す側面図である。
【図４】図４は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける前面装置を示す正面図である。
【図５】図５は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける洗浄装置を示す要部正面図である。
【図６】図６は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける洗浄装置の開閉扉を取除いた状態を示す要部正面図である。
【図７】図７は、同洗浄装置に使用される油圧ロック機構を示す平面図である。
【図８】図８は、同洗浄装置を示す縦断面図である。
【図９】図９は、同洗浄装置の開閉扉部を示す要部横断面図である。
【図１０】図１０は、同洗浄装置の開閉扉を開いた状態を示す説明図である。
【図１１】図１１は、同洗浄装置のローラの交換する場合を示す説明図である。
【図１２】図１２は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける表面メッキ装置の要部を拡大して示す断面図である。
【図１３】図１３は、図１２のＡ−Ａ線縦断面図である。
【図１４】図１４は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおけるコーティング処理装置を示す概念図である。
【図１５】図１５は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける乾燥機を示す縦断面図である。
【図１６】図１６は、同乾燥機の扉部を示す正面図である。
【図１７】図１７は、同乾燥機のローラ冷却部を示す要部側面図である。
【図１８】図１８は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける後面装置及び巻取装置を示す正面図である。
【図１９】図１９は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける出側コイルカーを示す正面図である。
【図２０】図２０は、同箔および条ストリップ材Ｓの表面処理システムにおける合紙装置を示す正面図である。
【符号の説明】
Ｓ        ストリップ材
１        箔および条ストリップ材の表面処理システム
１０        入側コイルカー
１１        スプール
１２        受け台
１３        車輪
１４        レール
１５        油圧シリンダ
２０        巻出機
２１        駆動モータ
２２        カップリング
２３        支持軸
２４        支持軸
２５        支持台
２６        減速機
３０        前面装置
３１        デフレクターローラ
３２        ブライドルローラ
３３        ピンチローラ
４０        洗浄装置
４０ａ〜ｂ  洗浄装置
５０        メッキ装置
５０ａ〜ｂ  メッキ装置
６０ａ、ｂ  洗浄（リンス）装置
７０        コーティング処理装置
８０        乾燥装置
９０        後面装置
１００      巻取装置
１１０      出側コイルカー
１２０      合紙装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
0003638574.tif 000017
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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