(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＤＵＴ（被試験デバイス）を収容したトレイをエレベータ上に多段に載置し、その最上段のトレイが所定の高さになるように常時調整され、その最上段のトレイのＤＵＴをソークステージに供給するローダ部と、
イグジットステージより搬送された試験済のＤＵＴを最上段のトレイに収納し、その最上段のトレイの下に、既に満杯になったトレイをエレベータ上に多段に載置し、最上段のトレイの上面が所定の高さになるように常時調整されるアンローダ部と、
多段の空トレイをエレベータ上にストックし、最上段の空トレイの上面が所定の高さになるように常時調整される空トレイ・バッファステージと、
前記ローダ部の最上段のトレイが空になると、その空トレイを前記空トレイ・バッファステージの最上段のトレイの上に重なるように搬送し、前記アンローダ部の最上段のトレイが試験済のＤＵＴで満杯になると、そのトレイの上に重なるように、前記空トレイ・バッファステージの最上段の空トレイを搬送するトレイキャリアと、
各部の動作を制御する制御部と、
を有するハンドラのトレイ搬送装置において、
１段構成のトレイ位置検出センサが、前記空トレイ・バッファステージの前記所定の高さに調整される最上段のトレイの上面の高さより僅かに低い位置に取付けられ、
前記制御部は、前記ローダ部より空トレイが前記空トレイ・バッファステージの空トレイの上に重ねられると、その空トレイ・バッファステージの前記エレベータをΔＨ＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２（Ｗｄはトレイ２枚重ねの厚さ、Ｗｓはトレイ１枚分の厚さ）だけ下降させ、然る後前記トレイ位置検出センサがトレイを検出したとき、搬送されたトレイは少なくとも２枚重ねであると判断し、検出しないとき、搬送されたトレイは１枚のみで正常であると判断することを特徴とする、
ハンドラのトレイ搬送装置。
【請求項２】
ＤＵＴ（被試験デバイス）を収容したトレイをエレベータ上に多段に載置し、その最上段のトレイが所定の高さになるように常時調整され、その最上段のトレイのＤＵＴをソークステージに供給するローダ部と、
イグジットステージより搬送された試験済のＤＵＴを最上段のトレイに収納し、その最上段のトレイの下に、既に満杯になったトレイをエレベータ上に多段に載置し、最上段のトレイの上面が所定の高さになるように常時調整されるアンローダ部と、
多段の空トレイをエレベータ上にストックし、最上段の空トレイの上面が所定の高さになるように常時調整される空トレイ・バッファステージと、
前記ローダ部の最上段のトレイが空になると、その空トレイを前記空トレイ・バッファステージの最上段のトレイの上に重なるように搬送し、前記アンローダ部の最上段のトレイが試験済のＤＵＴで満杯になると、そのトレイの上に重なるように、前記空トレイ・バッファステージの最上段の空トレイを搬送するトレイキャリアと、
各部の動作を制御する制御部と、
を有するハンドラのトレイ搬送装置において、
１段構成のトレイ位置検出センサが、前記アンローダ部の前記所定の高さに調整される最上段のトレイの上面の高さより僅かに低い位置に取付けられ、
前記制御部は、前記空トレイ・バッファステージより空トレイが前記アンローダ部の前記満杯のトレイの上に重ねられると、そのアンローダ部の前記エレベータをΔＨ＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２だけ下降させ、然る後トレイ位置検出センサが、トレイを検出したとき、搬送されたトレイは少なくとも２枚重ねであると判断し、検出しないとき、搬送されたトレイは１枚のみで正常であると判断することを特徴とする、
ハンドラのトレイ搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２において、前記トレイ位置検出センサが、一対の発光素子及び受光素子より成り、発光素子の光を受光素子が検出したか否かによりそれぞれトレイ無し、トレイ有りを検出することを特徴とするハンドラのトレイ搬送装置。
【請求項４】
請求項１または２において、前記制御部が予め設定されたトレイ１枚分の厚さＷｓ及びトレイ２枚重ねの厚さＷｄより前記エレベータの下降距離ΔＨを計算して、記憶手段に記憶することを特徴とするハンドラのトレイ搬送装置。
【請求項５】
請求項１または２において、予め外部より前記エレベータの下降距離ΔＨを記憶手段に入力することを特徴とするハンドラのトレイ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はＩＣテスタと組合せて使用されるハンドラのトレイ搬送装置に関し、特にトレイの厚さを変更したときの変更処理工数の低減に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図３、図４に示すように、ハンドラ１のチェンバ（恒温槽）２内には、ロータリアーム（コンタクトアームとも言う）３、測定部４、ソークステージ５、イグジット（ＥＸＩＴ）ステージ６の一部が配される。ロータリアーム３はソークステージ５に載置されているＤＵＴ（被試験デバイス）７を吸着して測定部４へ搬送し、測定終了後ＤＵＴ７をイグジットステージ６に搬送する。イグジットステージ６は測定済のＤＵＴ７をアンローダ部８へ搬送する。
【０００３】
アンローダ部８には、イグジットステージ６からＤＵＴをピックアップするチャック８ｄを備え、Ｙ方向（図の縦方向）に移動自在のＹキャリアアーム８ｙとそのＹキャリアアーム８ｙをＸ方向（図の横方向）に搬送するＸキャリアアーム８ｘが設けられており、イグジットステージ６から受け取ったＤＵＴを測定結果に基づいて、例えば良品を収容するアンローダ８ａまたは第１種の不良品を収納するアンローダ８ｂまたは第２種の不良品を収容するアンローダ８ｃに分類して収容する。
【０００４】
ローダ部１０にはＤＵＴを収容したトレイがエレベータ・ベース上に多段に重ねられ、最上段のトレイのＤＵＴがローダキャリアアーム１１のチャック１１ａにピックアップされてソークステージ５に供給される。空になった最上段のトレイはトレイキャリア１２により空トレイ・バッファステージ９の最上段のトレイの上に搬送され数段に重ねられる。また空トレイ・バッファステージ９の空トレイは必要なときにトレイキャリア１２によってアンローダ部８の試験済のＤＵＴで満杯になったトレイの上に重なるように搬送される。
【０００５】
ロータリアーム３は回転軸３ａを持ち、その回転軸３ａより３本のアーム３ｂが１２０°間隔で放射方向に突設される。各アーム３ｂの先端部にデバイスチャックが昇降自在に取付けられる。
ローダ部１０の最上段の空トレイはトレイキャリア１２のトレイ・チャック１２ａで吸着され（図５）、その吸着された空トレイはシリンダ１２ｃにより所定の高さまで持ち上げられて、キャリア・アーム１２ｂに沿って空トレイ・バッファステージ９の上空に搬送される。シリンダ１２ｃによりトレイ・チャック１２ａは下降され、吸着された空トレイは解放され、前からあった最上段の空トレイの上に重ねられる。
【０００６】
また例えばアンローダ部８ａにおいて、最上段のトレイが試験済のＤＵＴで満杯になると、トレイ・チャック１２ａにより空トレイ・バッファステージ９の最上段の空トレイが吸着され、シリンダ１２ｃにより所定の高さ迄持ち上げられた後、キャリア・アーム１２ｂに沿ってアンローダ部８ａの上空に搬送され、シリンダ１２ｃにより所定の位置に下降され、トレイ・チャックの吸着が解放されて、満杯となったトレイの上に重ねられる。
【０００７】
上述において、ローダ部１０より空になったトレイを空トレイ・バッファステージ９に搬送する場合や、空トレイ・バッファステージ９より空トレイをアンローダ部８ａに搬送する場合、トレイ・チャック１２ａが最上段の空トレイを吸着して持ち上げたとき、下のトレイが一緒について来る場合があるので、この状態を検出するために、発光素子２０ａ，２１ａ，受光素子２０ｂ，２１ｂより成る２段の光（ビーム）センサ２０，２１をローダ部１０及び空トレイ・バッファステージ９の上空の筐体にそれぞれ取付けて、２枚重ねがあるか否かをチェックする。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来のハンドラのトレイ搬送装置では、トレイの厚さが変更されると、筐体に取付けた２段の光（ビーム）センサの間隔を調整しなければならず、多くの人手と作業時間を要する問題があった。この発明は、上記従来の問題を解決することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
（１）請求項１の発明は、ローダ部と、アンローダ部と、空トレイ・バッファステージと、トレイキャリアと、制御部とを有するハンドラのトレイ搬送装置に関する。
ローダ部は、ＤＵＴ（被試験デバイス）を収容したトレイをエレベータ上に多段に載置し、その最上段のトレイが所定の高さになるように常時調整され、その最上段のトレイのＤＵＴをソークステージに供給する。アンローダ部は、イグジットステージより搬送された試験済のＤＵＴを最上段のトレイに収納し、その最上段のトレイの下に、既に満杯になったトレイを多段にエレベータ上に載置し、最上段のトレイの上面が所定の高さになるように常時調整される。空トレイ・バッファステージは、多段の空トレイをエレベータ上にストックし、最上段の空トレイの上面が所定の高さになるように常時調整される。トレイキャリアは、ローダ部の最上段のトレイが空になると、その空トレイを空トレイ・バッファステージの最上段のトレイの上に重なるように搬送し、アンローダ部の最上段のトレイが試験済のＤＵＴで満杯になると、そのトレイの上に重なるように、空トレイ・バッファステージの最上段の空トレイを搬送する。制御部は、各部の動作を制御する。
【００１０】
請求項１のトレイ搬送装置では特に、１段構成のトレイ位置検出センサが空トレイ・バッファステージの前記所定の高さに調整される最上段のトレイの上面の高さより僅かに低い位置に取付けられる。制御部は、ローダ部より空トレイが空トレイ・バッファステージの空トレイの上に重なるように搬送されると、その空トレイ・バッファステージの前記エレベータをΔＨ＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２（Ｗｄはトレイ２枚重ねの厚さ、Ｗｓはトレイ１枚分の厚さ）だけ下降させ、然る後トレイ位置検出センサがトレイを検出したとき、搬送されたトレイは少なくとも２枚重ねであると判断し、検出しないとき、搬送されたトレイは１枚のみで正常であると判断する。
【００１１】
（２）請求項２のトレイ搬送装置では特に、１段構成のトレイ位置検出センサがアンローダ部の所定の高さに調整される最上段のトレイの上面の高さより僅かに低い位置に取付けられる。制御部は、空トレイ・バッファステージより空トレイがアンローダ部の満杯のトレイの上に重ねられると、そのアンローダ部の前記エレベータをΔＨ＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２だけ下降させ、然る後、トレイ位置検出センサがトレイを検出したとき、搬送されたトレイは少なくとも２枚重ねであると判断し、検出しないとき、搬送されたトレイは１枚のみで正常であると判断する。
【００１２】
（３）請求項３の発明では、前記（１）または（２）において、トレイ位置検出センサが、一対の発光素子及び受光素子より成り、発光素子の光を受光素子が検出したか否かによりそれぞれトレイ無し、トレイ有りを検出する。
（４）請求項４の発明では、前記（１）または（２）において、制御部が予め設定されたトレイの１枚分の厚さＷｓ及びトレイ２枚重ねの厚さＷｄよりエレベータの下降距離ΔＨを計算して、記憶手段に記憶する。
【００１３】
（５）請求項５の発明では、前記（１）または（２）において、予め外部よりエレベータの下降距離ΔＨを記憶手段に入力する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
この発明においても、従来と同様にローダ部１０、空トレイ・バッファステージ９、アンローダ部８ａ，８ｂにおいて最上段のトレイは所定の位置に常時調整される。
この発明では、空トレイをローダ部１０から空トレイ・バッファステージ９へ搬送する時または空トレイ・バッファステージ９よりアンローダ部８ａ，８ｂへ搬送する時に発生する恐れのあるトレイの２枚重ねを検出するために、１段構成のトレイ位置検出センサ３０が空トレイ・バッファステージ９，アンローダ部８ａ，８ｂの所定の高さに調整される最上段のトレイの上面の高さより僅かに低い位置に取付けられる。図１，図２の実施例では、トレイ位置検出センサ３０は一対の発光素子３０ａ，受光素子３０ｂより成り、発光素子の光を受光素子が検出したか否かにより、それぞれトレイ無し、トレイ有りを検出する（請求項３）。
【００１５】
制御部１８は、空トレイがローダ部１０より搬送されて空トレイ・バッファステージ９の空トレイの上に重ねられると（図２Ａ）、或いは空トレイ・バッファステージ９より搬送されてアンローダ部８ａ，８ｂへ重ねられると、エレベータをΔＨ＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２（Ｗｄはトレイ２枚重ねの厚さ、Ｗｓはトレイ１枚分の厚さ）だけ下降させる（図２Ｂ）。然る後、制御部１８は、トレイ位置検出センサ３０が、トレイを検出したとき、搬送されたトレイは少なくとも２枚重ねであると判断し、例えば可視可聴の警報を発生させ、検出しないとき、搬送されたトレイは１枚のみで正常であると判断する。
【００１６】
上述の２枚重ねが発生したときは、警報により作業員が余分のトレイを取り除く。また正常であるときは、制御部１８は、最上段のトレイの上面が所定の高さＨとなるようにエレベータを上昇させる（図２Ｃ）。図の例では、発光素子３０ａの光が最上段のトレイの上端で遮断され、受光素子３０ｂで光を検出しなくなる迄エレベータを上昇させる。
【００１７】
トレイ位置検出センサ３０を用いてトレイの２枚重ねを検出するトレイ搬送機構を空トレイ・バッファステージ９，アンローダ部８ａ，８ｂにそれぞれ設けるのが望ましいが、この発明はその場合に限らず、少なくともいずれか１つの部分で設けられていればよい。
前記エレベータの下降距離ΔＨと関連して、制御部１８は、予め設定されたトレイ１枚分の厚さＷｓ及びトレイ２枚重ねの厚さＷｄよりエレベータの下降距離ΔＨを計算して記憶手段に記憶する（請求項４）。或いは他の方法として、例えばオペレータがエレベータの下降距離ΔＨを記憶手段に入力するようにしてもよい（請求項５）。
【００１８】
位置検出センサ３０として光（ビーム）センサに限らず、マイクロスイッチやその他のセンサを用いることもできる。
【００１９】
【発明の効果】
この発明では、空トレイ・バッファステージ９またはアンローダ部８ａまたは８ｂにおいて、所定の高さに調整される最上段のトレイの上面の高さより僅かに低い位置に１段構成のトレイ位置検出センサ３０が取付けられると共に、空トレイ・バッファステージ９またはアンローダ部８ａまたは８ｂの最上段のトレイの上に空トレイが重ねられたとき、エレベータを前記の適当距離ΔＨだけ降下させる。この構成によって、トレイ１枚分の厚さＷｓを変更した場合、従来のように２段の光（ビーム）センサ２０，２１の間隔を作業者がいちいち手作業で調整する必要がなく、オペレータがトレイ１枚分の厚さＷｓ及びトレイ２枚重ねの厚さＷｄ，或いはエレベータの下降距離ΔＨを再入力するだけで、搬送されたトレイに２枚重ねが発生したか否かを容易に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例の要部を示す原理的な斜視図。
【図２】最上段のトレイ上に重なるように搬送されたトレイの高さをエレベータにより変化させた場合の図１の空トレイ・バッファステージ９におけるトレイ群の要部を示す原理的な正面図。
【図３】ハンドラの構成の概略を示す平面図。
【図４】従来のハンドラのトレイ搬送装置の要部を示す原理的な斜視図。
【図５】図４のローダ部１０において、最上段の空トレイ１をトレイ・チャックで持ち上げる前後の状態を示す原理的な正面図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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