(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒部の一端側に固定側端板を有し、他端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内にあって同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極取付導体に取り付けて形成した固定電極と、この固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるように径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導体に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極を前記真空容器の可動側端板の外部から円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、該可動リードの外周側で前記可動側端板の内側に設けられ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能とするベローズと、前記固定電極取付導体と可動電極取付導体の相対向する面の中心部に夫々設けられたガイドピン及びこのガイドピンを電気的に絶縁して摺動自在に挿入するガイド部と、前記可動リードの先端部に軸線方向に取付けられた可動リードボルトと、前記可動側端板の内側でベローズ内に突出したねじ受部、及び該ねじ受部と軸受を介して支持され、前記可動リードボルトに螺合する調整ナットとを備え、該調整ナットの回転操作によりコンデンサの静電容量を調整するようにした真空コンデンサにおいて、
前記調整ナットと前記ねじ受部との間に、ニードルベアリングを配設したことを特徴とする真空コンデンサ。
【請求項２】
円筒部の一端側に固定側端板を有し、他端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内にあって同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極取付導体に取り付けて形成した固定電極と、この固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるように径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導体に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極を前記真空容器の可動側端板の外部から円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、該可動リードの外周側で前記可動側端板の内側に設けられ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能とするベローズと、前記固定電極取付導体と可動電極取付導体の相対向する面の中心部に夫々設けられたガイドピン及びこのガイドピンを電気的に絶縁して摺動自在に挿入するガイド部と、前記可動リードの先端部に軸線方向に取付けられた可動リードボルトと、前記可動側端板の内側でベローズ内に突出したねじ受部、及び該ねじ受部と軸受を介して支持され、前記可動リードボルトに螺合する調整ナットとを備え、該調整ナットの回転操作によりコンデンサの静電容量を調整するようにした真空コンデンサにおいて、
前記可動側端板の下面に、内周側フランジ部を有するニードルベアリング取付ブラケットを固着し、このニードルベアリング取付ブラケットの内周側フランジ部と前記調整ナットとの間にニードルベアリングを配設したことを特徴とする真空コンデンサ。
【請求項３】
円筒部の一端側に固定側端板を有し、他端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内にあって同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極取付導体に取り付けて形成した固定電極と、この固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるように径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導体に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極を前記真空容器の可動側端板の外部から円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、該可動リードの外周側で前記可動側端板の内側に設けられ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能とするベローズと、前記固定電極取付導体と可動電極取付導体の相対向する面の中心部に夫々設けられたガイドピン及びこのガイドピンを電気的に絶縁して摺動自在に挿入するガイド部と、前記可動リードの先端部に軸線方向に取付けられた可動リードボルトと、前記可動側端板の内側でベローズ内に突出したねじ受部、及び該ねじ受部と軸受を介して支持され、前記可動リードボルトに螺合する調整ナットとを備え、該調整ナットの回転操作によりコンデンサの静電容量を調整するようにした真空コンデンサにおいて、
前記可動側端板の下面に、内周側フランジ部を有する外部導体を固着し、この外部導体の内周側フランジ部と前記調整ナットとの間にニードルベアリングを配設したことを特徴とする真空コンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は大電力送信機の発振回路とか半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘導加熱装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記真空コンデンサの一例として、本出願人は先に特願平６−２３３９１２号により図４に示す可変形真空コンデンサを提案した。この真空コンデンサの基本構成を説明すると、セラミック等の絶縁円筒１２の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂを接合して円筒部を形成し、この円筒部を固定側端板兼固定電極取付導体１３（以下、固定電極取付導体と略称）と可動側端板１４により閉塞してコンデンサ部を収容する真空容器１０を形成する。
【０００３】
この固定電極取付導体１３の内側には、径（半径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2・・・・Ｆnを同心円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極１５を形成しており、この固定電極１５の各電極板間の間隙内に、非接触状態で挿出入できるように内径の異なる複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2・・・・Ｍnを可動電極取付導体１８に設けて可動電極１６を形成している。
【０００４】
上記固定電極１５と可動電極１６とを電気的に絶縁するために、真空容器１０の円筒部はセラミック等による絶縁円筒で形成されている。又、固定側電極取付導体１３の内側で円筒状電極板Ｆ1〜Ｆnの同心部に、円筒状電極板の軸線に沿ってガイドピン１を設けるとともに、可動電極取付導体１８側にこのガイドピン１を挿入するガイドピン挿入孔を有するガイド部５を可動リード２と一体に設けて案内部を形成し、このガイド部５内にガイドピン１を摺動自在に挿入して可動電極１６をガイドピン１で案内して移動可能とし、固定側の円筒状電極板と一定間隔を保ちながら可動側の円筒状電極板を移動させて可動リード２の傾きに起因する耐電圧、静電容量の不安定さをなくしている。
【０００５】
上記ガイド部５は可動リード２と一体に形成するか、可動電極取付導体１８と一体又は別個に設けてもよい。又、ガイドピン１を可動電極取付導体１８側に設け、ガイド部５を固定側端板１３側に設けてもよい。
【０００６】
上記固定電極１５と可動電極１６とは電気的に絶縁する必要があるため、ガイドピン１とガイド部５とは電気的に絶縁されなければならないが、この絶縁手段としてはガイドピン１およびガイド部５のいずれか一方を絶縁材料で構成すればよい。又、摺動性の円滑を保つためにガイドピン１をセラミック、特にアルミナによるセラミックで形成し、ガイド部５をリン青銅で形成すると好適であり、更にガイドピン１を金属性にし、その表面に滑性の優れたナイロン樹脂をコーティングする手段も有効である。
【０００７】
３１はねじ受部であり、該ねじ受部３１は可動側端板１４の内側に立設され、内端部に鍔部３１ａが設けてある。３２は外周にねじが螺設された可動リードボルトであって、一端側は可動リード２を短くしたその先端部の接続部３７に取付けられ、他端側は軸線に沿って前記鍔部３１ａ内の空隙を遊貫してねじ受部３１内に突き出されている。３３は調整ナットであり、その一端側はねじ受部３１内に突出した可動リードボルト３２の端部に螺合し、ベアリング等の軸受３４を介して鍔部３１ａの内底に回転自在に取付けられている。
【０００８】
１９はベローズであり、一端が可動側端板１４にロー付けされ、他端側は可動リード２又は可動導体１８にロー付けされている。このベローズ１９は可動リード２の摺動部と可動側端板１４の貫通部を覆っており、真空漏れを防止しながら可動リード２の上下動ができるようにしている。
【０００９】
３５は最大静電容量調節部であって、該最大静電容量調節部３５は調整ナット３３の内側にあって前記可動リードボルト３２の先端に設けたねじ穴に螺入する調節ねじ３６と、調節ねじ３６が挿入されるように調整ナット３３の内側に形成された大径部３３ａ及び段部３３ｂとから形成されている。
【００１０】
４０は駆動モータであり、上記調整ナット３３と駆動モータ４０の出力シャフト４０ａに固定されたスプロケット４１との間に回転力を伝達するベルト４２が取付けられている。
【００１１】
このような真空コンデンサによれば、最大静電容量値を調節する場合には先ず調節ねじ３６を可動リードボルト３２の先端に螺入して固定する前に調整ナット３３を若干右に回し（右ねじの場合）、ガイドピン１の先端１ａと可動リードボルト３２の接続部３７の終端面とが突き当たる最大静電容量の位置より若干可動リード２を下方に移動させ、定義した最大静電容量値に調節する。この若干の調節量は真空コンデンサの静電容量のばらつきの程度で決まる。
【００１２】
この状態で調節ねじ３６をその頭部の当接面が段部３３ｂに当接するまで螺入し、当接したところで調節ねじ３６を可動リードボルト３２に接着剤等で固定し、可動リードボルト３２の上昇位置を規制する（調整ナット３３とは接着しない）。このように可動リードボルト３２の上昇位置を規制することにより、製作された真空コンデンサの最大静電容量値にばらつきがあっても、各真空コンデンサごとに最大静電容量値が調節でき、定義された最大静電容量値に合致した品質の真空コンデンサが得られる。
【００１３】
真空コンデンサの静電容量値の調整は、駆動モータ４０の作用によって調整ナット３３を左右に回転することにより、例えば右回転では可動リードボルト３２が下方に移動し、左回転では上方に移動して可動電極１６が上下動を行い、固定電極１５との対向総面積を可変して静電容量を任意に調整することができる。この最大静電容量値の位置よりも調整ナット３３を左に回そうとしても調節ねじ３６が段部３３ｂに当たってそれ以上左に回らないので、調節ねじ３６は調整ナット３３が可動リードボルトから抜けるのを防止するストッパの機能をも合わせ持っている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
前記したように真空コンデンサの静電容量値を調整する場合には、駆動モータ４０の回転力を出力シャフト４０ａに固定されたスプロケット４１とベルト４２を介して調整ナット３３に伝達することにより、可動電極１６が上下動を行って固定電極１５との対向総面積が可変され、任意に調整することができるが、このような操作時に調整ナット３３には図示上で横方向、即ち、該調整ナット３３の回転軸に対して垂直な方向の力が加えられることになるため、この外力によって調整ナット３３が横方向に動く「ぶれ」現象が生じるという難点がある。
【００１５】
即ち、調整ナット３３と可動リードボルト３２とのねじ部には多少のガタがあるため、調整ナット３３が横方向に動くと該調整ナット３３の回転軸と可動リードボルト３２の軸がずれることがあり、このような状態で調整ナット３３を更に回転させると、ねじ部の摩擦が増加して調整ナット３３の回転に要するトルクが上昇したり、ねじ部の「かじり」等が発生して部品の寿命が低下してしまうことになりやすい。
【００１６】
又、このような横方向力が比較的大きな場合には、調整ナット３３を動かすだけでなく該調整ナット３３から可動リードボルト３２を経て可動リード２にも横方向力が加わるが、するとガイド部５とガイドピン１間の摩擦が増加し、これによっても調整ナット３３の回転に要するトルクが上昇することがある。更にガイド部５とガイドピン１には多少の公差があるため、ガイド部５は力を受けた方向に公差の距離だけ移動するが、それに伴って可動側の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2，・・・・Ｍｎも同じ方向に移動して固定側の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2・・・・Ｆnとの距離が短くなり、耐電圧が低下するという問題も生じる。
【００１７】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、真空コンデンサの静電容量値を調整する際に調整ナットを回転しても該調整ナットに横方向の力が加えられることがなく、これにより調整ナットの回転軸と可動リードボルトの軸の「ずれ」を防止するとともに、ねじ部の摩擦増加に起因する調整ナットの回転トルクの上昇を防止し、合わせてねじ部の「かじり」による部品の寿命低下がない真空コンデンサを提供することを目的とするものである。
【００１８】
本発明は上記の目的を達成するために、円筒部の一端側に固定側端板を有し、他端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内にあって同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極取付導体に取り付けて形成した固定電極と、この固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるように径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導体に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極を前記真空容器の可動側端板の外部から円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、該可動リードの外周側で前記可動側端板の内側に設けられ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能とするベローズと、前記固定電極取付導体と可動電極取付導体の相対向する面の中心部に夫々設けられたガイドピン及びこのガイドピンを電気的に絶縁して摺動自在に挿入するガイド部と、前記可動リードの先端部に軸線方向に取付けられた可動リードボルトと、前記可動側端板の内側でベローズ内に突出したねじ受部、及び該ねじ受部と軸受を介して支持され、前記可動リードボルトに螺合する調整ナットとを備え、該調整ナットの回転操作によりコンデンサの静電容量を調整するようにした真空コンデンサにおいて、
前記調整ナットと前記ねじ受部との間に、ニードルベアリングを配設したことを特徴とするものである。
【００１９】
更に請求項２により、  円筒部の一端側に固定側端板を有し、他端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内にあって同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極取付導体に取り付けて形成した固定電極と、この固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるように径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導体に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極を前記真空容器の可動側端板の外部から円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、該可動リードの外周側で前記可動側端板の内側に設けられ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能とするベローズと、前記固定電極取付導体と可動電極取付導体の相対向する面の中心部に夫々設けられたガイドピン及びこのガイドピンを電気的に絶縁して摺動自在に挿入するガイド部と、前記可動リードの先端部に軸線方向に取付けられた可動リードボルトと、前記可動側端板の内側でベローズ内に突出したねじ受部、及び該ねじ受部と軸受を介して支持され、前記可動リードボルトに螺合する調整ナットとを備え、該調整ナットの回転操作によりコンデンサの静電容量を調整するようにした真空コンデンサにおいて、
前記可動側端板の下面に、内周側フランジ部を有するニードルベアリング取付ブラケットを固着し、このニードルベアリング取付ブラケットの内周側フランジ部と前記調整ナットとの間にニードルベアリングを配設したことを特徴とするものである。
また、請求項３は、円筒部の一端側に固定側端板を有し、他端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内にあって同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極取付導体に取り付けて形成した固定電極と、この固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるように径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導体に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極を前記真空容器の可動側端板の外部から円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードと、該可動リードの外周側で前記可動側端板の内側に設けられ、真空状態を保持した状態で可動リードの移動を可能とするベローズと、前記固定電極取付導体と可動電極取付導体の相対向する面の中心部に夫々設けられたガイドピン及びこのガイドピンを電気的に絶縁して摺動自在に挿入するガイド部と、前記可動リードの先端部に軸線方向に取付けられた可動リードボルトと、前記可動側端板の内側でベローズ内に突出したねじ受部、及び該ねじ受部と軸受を介して支持され、前記可動リードボルトに螺合する調整ナットとを備え、該調整ナットの回転操作によりコンデンサの静電容量を調整するようにした真空コンデンサにおいて、
前記可動側端板の下面に、内周側フランジ部を有する外部導体を固着し、この外部導体の内周側フランジ部と前記調整ナットとの間にニードルベアリングを配設したことを特徴とするものである。
【００２０】
かかる真空コンデンサによれば、調整ナットとねじ受け部との間に嵌合した状態に配備したニードルベアリングが調整ナットに加えられる横方向の力を受け止め、外力に起因する調整ナットの「ぶれ」現象を防止し、且つ調整ナットの回転軸と可動リードボルトの軸は一致したまま保持されるので、ねじ部の摩擦増加に伴う調整ナットの回転トルクの上昇はなく、ねじ部の「かじり」に伴う部品の寿命低下とか、ガイド部とガイドピン間に存在する公差に起因する耐電圧の低下現象は防止される。
【００２１】
請求項２記載の構成によれば、可動側端板の下面にニードルベアリング取付ブラケットを固着したことにより、設計上の自由度が広げられ、請求項３記載の構成によれば可動側端板の下面に直接外部導体を固着したことにより、構成が簡易化される作用が得られる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下本発明の各種実施例を図面に基づいて説明する。図１は本発明の第１実施例を示す構成図であって、図示例では縦断正面図として示している。尚、前記図４と同一構成部分には同一の符号を付して表示してある。
【００２３】
１２はセラミック等の絶縁円筒であり、この絶縁円筒１２の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂを接合して円筒部を形成し、この円筒部を固定電極取付導体１３と可動側端板１４により閉塞してコンデンサ部を収容する真空容器１０を形成する。固定電極取付導体１３の内側には、径（半径）の異なる同心円状の複数の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2・・・・Ｆnを一定間隔をもって取り付けてあり、固定電極１５を形成する。この固定電極１５の各電極板間の間隙内に、非接触状態で挿出入できるように内径の異なる複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2・・・・Ｍnを可動電極取付導体１８に設けて可動電極１６を形成している。
【００２４】
上記固定側電極取付導体１３の内側で円筒状電極板Ｆ1〜Ｆnの同心部に、円筒状電極板の軸線に沿ってガイドピン１を設け、可動電極取付導体１８側にこのガイドピン１を挿入するガイドピン挿入孔を有するガイド部５を可動リード２と一体に設けて案内部を形成し、このガイド部５内にガイドピン１を摺動自在に挿入して可動電極１６をガイドピン１で案内して移動可能とし、固定側の円筒状電極板と一定間隔を保ちながら可動側の円筒状電極板を移動させて可動リード２の傾きに起因する耐電圧、静電容量の不安定さをなくしている。上記ガイドピン１を可動電極取付導体１８側に設け、且つガイド部５を固定側端板１３側に設けてもよい。
【００２５】
３１はねじ受部であり、該ねじ受部３１は可動側端板１４の内側に立設され、内端部に鍔部３１ａが設けてある。３２は外周にねじが螺設された可動リードボルトであって、一端側は可動リード２を短くしたその先端部の接続部３７に取付けられ、他端側は軸線に沿って前記鍔部３１ａ内の空隙を遊貫してねじ受部３１内に突き出されている。３３は調整ナットであり、その一端側はねじ受部３１内に突出した可動リードボルト３２の端部に螺合し、ベアリング等の軸受３４を介して鍔部３１ａの内底に回転自在に取付けられている。
【００２６】
１９はベローズであり、一端が可動側端板１４にロー付けされ、他端側は可動リード２又は可動導体１８にロー付けされている。このベローズ１９は可動リード２の摺動部と可動側端板１４の貫通部を覆っており、真空漏れを防止しながら可動リード２の上下動ができるようにしている。
【００２７】
調整ナット３３の内側には、前記可動リードボルト３２の先端に設けたねじ穴に螺入する調節ねじ３６と、調節ねじ３６が挿入されるように調整ナット３３の内側に形成された大径部３３ａ及び段部３３ｂが形成されている。
【００２８】
そして本実施例では、上記調整ナット３３とねじ受け部３１との間にニードルベアリング４５を嵌合した状態に配備してある。
【００２９】
４０は駆動モータであり、この駆動モータ４０の出力シャフト４０ａに固定されたスプロケット４１と前記調整ナット３３との間に回転力を伝達するベルト４２が取付けられている。
【００３０】
このような真空コンデンサによれば、最大静電容量値を調節する場合には調節ねじ３６を可動リードボルト３２の先端に螺入して固定する前に調整ナット３３を若干右に回し（右ねじの場合）、ガイドピン１の先端１ａと可動リードボルト３２の接続部３７の終端面とが突き当たる最大静電容量の位置より若干可動リード２を下方に移動させ、定義した最大静電容量値に調節する。この若干の調節量は真空コンデンサの静電容量のばらつきの程度で決まる。
【００３１】
この状態で調節ねじ３６をその頭部の当接面が段部３３ｂに当接するまで螺入し、当接したところで調節ねじ３６を可動リードボルト３２に接着剤等で固定し、可動リードボルト３２の上昇位置を規制する。
【００３２】
真空コンデンサの静電容量値の調整は、駆動モータ４０の回転力を出力シャフト４０ａからベルト４２を介して調整ナット３３に伝達し、この調整ナット３３を左右に回転することによって可動リードボルト３２が上下に移動して可動電極１６が上下動を行い、固定電極１５との対向総面積が変化して静電容量を任意に調整することができる。
【００３３】
この時に調整ナット３３とねじ受け部３１との間に嵌合した状態に配備したニードルベアリング４５が調整ナット３３に加えられる横方向の力を受け止めて、外力に起因する調整ナット３３の「ぶれ」現象を防止し、調整ナット３３の回転軸と可動リードボルト３２の軸を一致したままの状態に保持することができる。従ってねじ部の摩擦増加に伴う調整ナット３３の回転トルクの上昇はなく、ねじ部の「かじり」に伴う部品の寿命低下とか、ガイド部５とガイドピン１間に存在する公差に起因する耐電圧の低下現象を防止することができる。
【００３４】
図２は本発明の第２実施例を示す要部拡大図であり、この例では可動側端板１４の下面にニードルベアリング取付ブラケット４６を固着して、このニードルベアリング取付ブラケット４６の内周側フランジ部４６ａと調整ナット３３との間にニードルベアリング４５を嵌合した状態に配備してある。４７はニードルベアリング取付ブラケット４６に固着された外部導体である。この外部導体４７は図示したようにニードルベアリング取付ブラケット４６に直接固着するか、もしくは可動側端板１４とニードルベアリング取付ブラケット４６との間に嵌挿して固着してもよい。
【００３５】
かかる第２実施例の基本的作用は第１実施例と同一であるが、第１実施例に比較して可動側端板１４の下面にニードルベアリング取付ブラケット４６を固着したことにより、設計上の自由度が広がるという利点がある。
【００３６】
図３は本発明の第３実施例を示す要部拡大図であり、この例では可動側端板１４の下面に直接外部導体４７を固着して、この外部導体４７の内周側フランジ部４７ａと調整ナット３３との間にニードルベアリング４５を嵌合した状態に配備してある。
【００３７】
かかる第３実施例の基本的作用は第１実施例と同一であるが、可動側端板１４の下面に直接外部導体４７を固着したことにより、構成が簡易化される利点がある。
【００３８】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明にかかる真空コンデンサは、静電容量値の調整時に駆動モータ等の回転力を利用して調整ナットを回転する際に、調整ナットとねじ受け部との間に嵌合した状態に配備したニードルベアリングが調整ナットに加えられる横方向の力を受け止めて「ぶれ」現象が防止されるので、調整ナットの回転軸と可動リードボルトの軸は一致したまま保持されてねじ部の摩擦増加に伴う調整ナットの回転トルクの上昇現象はなくなり、且つねじ部の「かじり」に伴う部品の寿命低下とか、ガイド部とガイドピン間に存在する公差に起因する耐電圧の低下現象を防止することができる。
【００３９】
特に上記横方向力が比較的大きな場合には、調整ナットから可動リードボルトを経て可動リードにも横方向力が加わり、ガイド部とガイドピン間の摩擦が増加して調整ナットの回転に要するトルクが上昇したり耐電圧が低下するという懸念があるが、本発明によれば上記の難点を確実に解消する効果が得られる。
【００４０】
更に請求項２記載の構成によれば、可動側端板の下面にニードルベアリング取付ブラケットを固着したことによって設計上の自由度が広げられ、請求項３記載の構成によれば可動側端板の下面に直接外部導体を固着したことにより、構成が簡易化されるという効果が得られる。
【００４１】
又、製作された真空コンデンサの最大静電容量値は簡単に調節可能であって、定義する最大静電容量値に合致することが可能であり、最大静電容量値のばらつきを無くして均一な最大静電容量値の真空コンデンサを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す構成図。
【図２】本発明の第２実施例の要部拡大図。
【図３】本発明の第３実施例の要部拡大図。
【図４】本発明が適用した真空コンデンサの基本構成図。
【符号の説明】
１…ガイドピン
２…可動リード
５…ガイド部
１０…真空容器
１３…固定電極取付導体
１１ａ，１１ｂ…円筒管
１２…絶縁内筒
１４…可動側端板
１５…固定電極
１６…可動電極
１８…可動電極取付導体
１９…ベローズ
３１…ねじ受部
３２…可動リードボルト
３３…調整ナット
３４…軸受
３６…調節ねじ
３７…接続部
４０…駆動モータ
４５…ニードルベアリング
４６…ニードルベアリング取付ブラケット
４７…外部導体
４６ａ，４７ａ…フランジ部
【図１】
0003713787.tif 000002
【図２】
0003713787.tif 000003
【図３】
0003713787.tif 000004
【図４】
0003713787.tif 000005