(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動源の回転運動を駆動力伝達手段を介して直線運動に変換し、前記直線運動の作用下に変位するスライダによってワークを移動させるアクチュエータにおいて、
前記回転駆動源および前記駆動力伝達手段が収納される筐体と、
前記筐体の開口部より一部が外方に突出し、前記駆動力伝達手段によって変位するスライダと、
前記開口部を閉塞するように設けられるシール部材と、
を備え、
前記駆動力伝達手段はボールねじを含み、前記ボールねじの端部が前記回転駆動源の駆動軸として設けられ、
前記シール部材は、対向部分にそれぞれ段部が形成された一対の弾性体からなり、前記開口部より突出する前記スライダによって前記開口部の一部が開成され、一方、前記開口部の閉塞時において、前記弾性体の一方の先端部が他方の段部に係合することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
前記弾性体の段部は複数形成され、弾性体の一方の先端部が他方の段部のうちいずれか一つに係合することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
前記スライダの変位方向の端部には楔状部が形成され、前記楔状部の端部によって前記シール部材を撓曲させることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項３記載のアクチュエータにおいて、
前記楔状部は超高分子ポリエチレンで形成されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
前記スライダには一対の固定ブロックが平行に設けられ、該固定ブロックの一部が前記筐体に画成された一対の開口部より外方に突出することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
請求項５記載のアクチュエータにおいて、
前記固定ブロックはＣＦＲＰ（carbon fiber reinforced plastics）で形成されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
前記回転駆動源はモータであることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項８】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
前記駆動力伝達手段は、前記スライダに固着されると共に前記ボールねじに螺着される係合ブロックを含み、前記ボールねじが回転することによって前記係合ブロックが前記スライダと一体的に前記ボールねじの軸線方向に変位することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項９】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
前記筐体はフレームと、
前記フレームの両端部に設けられたエンドカバーと、
前記フレームの側面部に設けられたサイドカバーと、
前記フレームの上面部に設けられたトップカバーと、
からなり、前記トップカバーと前記サイドカバーとの間隙に前記開口部が形成されることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータ本体に設けられた駆動力伝達手段を介して回転駆動源の回転駆動力をスライダに伝達し、前記スライダを変位させることによりワークを搬送するアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、ワークを搬送する手段としてアクチュエータが用いられている。このアクチュエータは、基本的には、アクチュエータの筐体の内部に配設された回転駆動源と、前記回転駆動源の回転駆動力を直線運動に変換して他の部材に伝達するボールねじ等の駆動力伝達手段と、前記駆動力伝達手段を介してアクチュエータの長手方向に沿って変位するスライダとから構成されている。
【０００３】
前記スライダは前記筐体の開口部に沿って変位し、前記筐体の内部の回転駆動源の回転運動を前記筐体の外部に直線運動として伝達する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来のアクチュエータでは、使用環境によっては、筐体の開口部から塵埃、水、水蒸気、クーラント、切削液、研削液等が入り込み、これらが駆動力伝達手段に付着し、さらにアクチュエータの駆動によって前記駆動力伝達手段とスライダとの間隙に前記塵埃等が噛み込み、アクチュエータが停止、あるいは破損する等の懸念がある。また、アクチュエータが医療、食品関連用やクリーンルーム等の塵埃等を嫌う場所において使用される場合には、駆動力伝達手段や回転駆動源を構成するモータ、ボールねじ、ベアリング等に使用されるグリースや、塵埃等がアクチュエータから外部に流出するという問題が指摘されている。
【０００５】
この発明は前記の課題を解決すべくなされたものであって、駆動力伝達手段に塵埃等が付着することを防ぎ、停止あるいは破損する等の懸念を払拭し、また、塵埃等が外部に流出することを防止することが可能なアクチュエータを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、回転駆動源の回転運動を駆動力伝達手段を介して直線運動に変換し、前記直線運動の作用下に変位するスライダによってワークを移動させるアクチュエータにおいて、
前記回転駆動源および前記駆動力伝達手段が収納される筐体と、
前記筐体の開口部より一部が外方に突出し、前記駆動力伝達手段によって変位するスライダと、
前記開口部を閉塞するように設けられるシール部材と、
を備え、
前記駆動力伝達手段はボールねじを含み、前記ボールねじの端部が前記回転駆動源の駆動軸として設けられ、
前記シール部材は、対向部分にそれぞれ段部が形成された一対の弾性体からなり、前記開口部より突出する前記スライダによって前記開口部の一部が開成され、一方、前記開口部の閉塞時において、前記弾性体の一方の先端部が他方の段部に係合することを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、開口部はシール部材によって閉塞されている。回転駆動源が付勢されると、該回転駆動源の回転運動が駆動力伝達手段によって直線運動に変換され、スライダが変位する。シール部材はスライダによって押圧されて開口部の外方に撓曲し、スライダの壁部に当接して開口部から塵埃等が侵入することを防止する。
【０００８】
この場合、前記スライダの変位方向の端部は楔状に形成され、前記楔状の端部によって前記シール部材を撓曲させると、シール部材とスライダの長手方向の端部との間に間隙が生じることを防止することができ、好適である。
【０００９】
また、この場合、前記シール部材は、対向部分に段部が形成された一対の弾性体からなり、前記開口部の閉塞時において、弾性体の一方の先端部が他方の段部に係合すると、互いのシール部材は良好に当接し、好適である。
【００１０】
さらに、この場合、前記段部は複数形成され、弾性体の一方の先端部が他方の段部のうちいずれか１つに係合すると、シール部材が前記開口部より確実に閉塞することができ、好適である。楔状部を超高分子ポリエチレンで形成すると好適である。前記スライダに一対の固定ブロックを平行に設け、該固定ブロックの一部を前記筐体に画成された一対の開口部より外方に突出させると好適である。その際、前記固定ブロックをＣＦＲＰ（carbon fiber reinforced plastics）で形成するとよい。前記回転駆動源をモータによって構成すると好適である。前記駆動力伝達手段は、前記回転駆動源に連結されたボールねじと、前記スライダに固着されると共に前記ボールねじに螺着される係合ブロックとからなり、前記ボールねじが回転することによって前記係合ブロックが前記スライダと一体的に前記ボールねじの軸線方向に変位するように設けると好適である。また、前記筐体はフレームと、前記フレームの両端部に設けられたエンドカバーと、前記フレームの側面部に設けられたサイドカバーと、前記フレームの上面部に設けられたトップカバーとからなり、前記トップカバーと前記サイドカバーとの間隙に前記開口部が形成されると好適である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明に係るアクチュエータについて、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１２】
図１、図２において、参照符号１０は、本実施の形態に係るアクチュエータを示す。このアクチュエータ１０は、長尺状で断面略凹字状に形成されたフレーム１２を含む。前記フレーム１２には、図３に示すように、断面略矩形状の貫通孔１４ａ〜１４ｄが画成され、該貫通孔１４ａ〜１４ｄは配線通路等として用いられる。フレーム１２の底面部には、長手方向に沿って延在し、他の装置等に連結するための断面略Ｔ字状の溝部１６ａ、１６ｂが画成されている。
【００１３】
前記フレーム１２の上部には、ガイドレール１８ａ、１８ｂが略平行に形成される。該ガイドレール１８ａ、１８ｂは斜面部２０ａ、２０ｂを有し、図３に示すように、上方が幅広に形成される。夫々のガイドレール１８ａ、１８ｂには該ガイドレール１８ａ、１８ｂの長手方向に沿って摺動自在なガイドブロック２２ａ〜２２ｄが設けられる。該ガイドブロック２２ａ〜２２ｄは、傾斜部２３ａ、２３ｂが形成され、該傾斜部２３ａ、２３ｂが前記斜面部２０ａ、２０ｂと係合することによってガイドブロック２２ａ〜２２ｄは抜け止めされる。前記ガイドレール１８ａ、１８ｂとガイドブロック２２ａ〜２２ｄとの摺動部位にはボール等の図示しない転動部材が配設され、ガイドブロック２２ａ〜２２ｄをガイドレール１８ａ、１８ｂに沿って円滑に変位させることができる。
【００１４】
前記ガイドブロック２２ａ〜２２ｄにはスライダ２４を構成する一対の固定ブロック２６ａ、２６ｂが所定間隔離間して略平行にねじ止めして固定される（図２、図３参照）。前記固定ブロック２６ａ、２６ｂの間には断面略四角形状を呈する保持ブロック２８が一体的に結合され、該保持ブロック２８には円形の孔部３０が画成されている。前記固定ブロック２６ａ、２６ｂには、図示しないテーブル部材等をねじ孔２９にねじ止めして固着してもよい。なお、図中、参照符号３１は、図示しないテーブル部材等が前記固定ブロック２６ａ、２６ｂに固着される際の位置決め用の溝部である。
【００１５】
前記フレーム１２の両端部には、図２、図４に示すように、段部３２、３４が形成され、該段部３２、３４には駆動ユニット３６が固定される。該駆動ユニット３６はボールねじ３８の両端部に夫々同軸に設けられたモータ部４０およびエンコーダ部４２と、前記ボールねじ３８に螺着されて軸線方向に沿って変位する係合ブロック４４とが一体的にユニット化されて構成されている。前記係合ブロック４４には円柱部４６が設けられ、前記円柱部４６は取付用孔部４８を介して前記保持ブロック２８の孔部３０に装着される。なお、送りねじとして機能するボールねじ３８に代替して、図示しないタイミングベルトを用いてもよい。
【００１６】
モータ部４０は、図５に示すように、ねじ５０を介してフレーム１２の段部３２に固定されると共に、図示しない位置決めピンを挿入してフレーム１２の中心に位置決めされるモータ固定用ブロック５２と、前記モータ固定用ブロック５２と一体的に連結される断面略矩形状のケーシング５４とを含む。前記ケーシング５４の外周部にはステータ５６が設けられ、前記ステータ５６の内壁面にコイルが巻回されたステータコイル部５８が設けられている。前記ケーシング５４の内部には、前記ボールねじ３８の終端部に連続し、軸線方向に沿って延在する軸部３８ａがベアリング部材６０によって支持され、該軸部３８ａにはロータ６２が止めねじ６４を介して保持されている。
【００１７】
エンコーダ部４２は、図６に示すように、前記ボールねじ３８に連続する軸部３８ｂをベアリング部材６６を介して回動自在に支持すると共に、ねじ６８を介してフレーム１２の段部３４に固定されるエンコーダ固定用ブロック７０と、連結部材７２、７４を介して前記エンコーダ固定用ブロック７０に連結され、ボールねじ３８の回転数または回転角度等を検出するエンコーダ本体７６とから構成される。前記エンコーダ本体７６で発生した回転数、回転角度等の検出信号はリード線７７によって図示しないコントローラに導入される。
【００１８】
なお、駆動ユニット３６は、図２に示すように、モータ部４０およびエンコーダ部４２を夫々フレーム１２の両端部に画成された段部３２、３４に位置決めして固定することにより、ボールねじ３８とガイドレール１８ａ、１８ｂとの平行精度を確保することができる。さらに、モータ固定用ブロック５２およびエンコーダ固定用ブロック７０に夫々画成された位置決め用孔部（図示せず）とフレーム１２の段部３２、３４に夫々画成された位置決め用孔部７８とに図示しない位置決めピンを挿通することにより、前記モータ固定用ブロック５２およびエンコーダ固定用ブロック７０を夫々フレーム１２の中心に位置決めすることができる。
【００１９】
また、前記駆動ユニット３６では、モータ部４０、ボールねじ３８およびエンコーダ部４２をユニットとして構成しているが、例えば、図示しないステッピングモータ等のパルスモータを用いることにより、モータ部４０およびボールねじ３８のみをユニットとして構成してもよい。
【００２０】
さらに、エンコーダ本体７６に代替してエンコーダ固定用ブロック７０にリミットスイッチ等のセンサを設ける構成を採用することも可能である。
【００２１】
前記フレーム１２の長手方向に沿った両端部には、図４に示すように、一組のエンドカバー８０ａ、８０ｂが夫々対向して装着され、前記フレーム１２の短手方向に沿った両側面部には、図３に示すように、一対のサイドカバー８２ａ、８２ｂが夫々対向して装着され、前記フレーム１２の上面部にはトップカバー８４が装着される。前記フレーム１２とエンドカバー８０ａ、８０ｂ、サイドカバー８２ａ、８２ｂおよびトップカバー８４とによりアクチュエータ１０の筐体が構成される。
【００２２】
前記トップカバー８４とサイドカバー８２ａ、８２ｂとの間隙には前記フレーム１２の長手方向に沿ってスリット（開口部）８８ａ、８８ｂが画成される。前記トップカバー８４とサイドカバー８２ａ、８２ｂとの間の夫々のスリット８８ａ、８８ｂに面する壁部には、図７に示すように、溝部９０ａ、９０ｂが画成され、該溝部９０ａ、９０ｂの開口部近傍には凸部９２ａ、９２ｂが形成されている。前記溝部９０ａ、９０ｂには長尺な板状に形成された一対のシール部材９４ａ、９４ｂの縁部が挿入される。
【００２３】
この一対のシール部材９４ａ、９４ｂは前記スライダ２４の変位方向に沿って分割されており、天然ゴムや、合成ゴム等の弾性を有する材料で形成される。該シール部材９４ａ、９４ｂの前記縁部には厚く形成された係合部９６ａ、９６ｂが設けられ、該係合部９６ａ、９６ｂに形成された凸部９８ａ、９８ｂが前記溝部９０ａ、９０ｂの凸部９２ａ、９２ｂに係合してシール部材９４ａ、９４ｂは溝部９０ａ、９０ｂに抜け止めされる。前記係合部９６ａ、９６ｂには薄く形成された撓曲部１００ａ、１００ｂが連続する。
【００２４】
前記撓曲部１００ａ、１００ｂには、さらに連続して閉塞部１０２ａ、１０２ｂが形成される。該閉塞部１０２ａ、１０２ｂは前記撓曲部１００ａ、１００ｂから離間するに従って徐々に厚く形成される。前記閉塞部１０２ａ、１０２ｂの、図中、下方の面には複数の段部１０４ａ〜１０４ｄが形成される。一方の閉塞部１０２ｂの先端部は他方の閉塞部１０２ａの段部１０４ａまたは１０４ｂに係合し、シール部材９４ａ、９４ｂを形成する材料の弾性によって互いに密着し、シール部材９４ａとシール部材９４ｂとは屋根状に配置されて前記スリット８８ａ、８８ｂを閉塞する。
【００２５】
前記スライダ２４を構成する固定ブロック２６ａ、２６ｂは前記スリット８８ａ、８８ｂを挿通して、図中、上方に突出しており、アクチュエータ１０の筐体内部における直線運動を該アクチュエータ１０の外部に伝達する。前記シール部材９４ａ、９４ｂの夫々の閉塞部１０２ａ、１０２ｂは前記固定ブロック２６ａ、２６ｂに押圧されて、図７中、２点鎖線で示すように、スリット８８ａ、８８ｂの外方に変位する。このとき、シール部材９４ａ、９４ｂの材料の弾性によって閉塞部１０２ａ、１０２ｂの先端部は固定ブロック２６ａ、２６ｂを構成する壁部に当接し、アクチュエータ１０の内部に通じる間隙の閉塞状態が維持される。
【００２６】
本実施の形態に係るアクチュエータ１０は基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００２７】
図示しない電源を付勢してモータ部４０を駆動させ、モータ軸として機能するボールねじ３８を回動させる。この場合、モータの回転数または回転角度等はボールねじ３８の端部に設けられたエンコーダ本体７６によって検出され、検出された信号は貫通孔１４ａ〜１４ｄのいずれか１つに挿入されたリード線７７を通して図示しないコントローラに導入される。
【００２８】
前記ボールねじ３８の回転運動は該ボールねじ３８に螺着された係合ブロック４４に伝達されて直線運動に変換され、前記係合ブロック４４を保持するスライダ２４がガイドレール１８ａ、１８ｂに沿って円滑に直線状に変位する。
【００２９】
このとき、スライダ２４の進行方向側のシール部材９４ａ、９４ｂは、図７中、実線で示すように、屋根状に密接してスリット８８ａ、８８ｂを閉塞している状態から、固定ブロック２６ａ、２６ｂに押圧されて徐々にスリット８８ａ、８８ｂの外方に変位して互いに離間し、図７中、２点鎖線で示すように、閉塞部１０２ａ、１０２ｂの先端部は固定ブロック２６ａ、２６ｂを構成する壁部に沿って開成するに至る。一方、スライダ２４の進行方向と反対側のシール部材９４ａ、９４ｂは、固定ブロック２６ａ、２６ｂの壁部に摺設している状態からシール部材９４ａ、９４ｂの材料の弾性によって徐々に変位し、一方のシール部材９４ｂの先端部は他方のシール部材９４ａの段部１０４ａに係合して屋根状に密接する。この場合、スリット８８ａ、８８ｂは、固定ブロック２６ａ、２６ｂの有無に関わらず、図８に示すように、閉塞状態が維持され、塵埃等がアクチュエータ１０の内部に侵入することや、塵埃、グリース等がアクチュエータ１０から外部に流出することを防止する。
【００３０】
ここで、一方の閉塞部１０２ｂの先端部が他方の閉塞部１０２ａの先端側の段部１０４ａに係合できないことも考えられる。この場合、他方の段部１０４ｂに係合すればスリット８８ａ、８８ｂを閉塞することができる。このため、複数の段部１０４ａ、１０４ｂをシール部材９４ａ、９４ｂに形成することで、より確実にスリット８８ａ、８８ｂを閉塞し、塵埃等の侵入、流出を防止することができる。また、シール部材９４ａの先端部がシール部材９４ｂの段部１０４ｃまたは１０４ｄに係合してもよいことは勿論である。
【００３１】
なお、フレーム１２に画成された貫通孔１４ａ〜１４ｄ等を介してアクチュエータ１０の内部空間を真空吸引源に連通させ、アクチュエータ１０の内部の空気を塵埃等と共に吸引するように構成すれば、アクチュエータ１０から塵埃等が外部に流出することをさらに好適に防止することができる。
【００３２】
図９に、本実施の形態に係るアクチュエータ１０が適用されるアクチュエータシステム１１０を示す。このアクチュエータシステム１１０は、該システム１１０を構成する複数の柱状部材１１２によってフレームを構成したものであり、前記柱状部材１１２のうちの１つに第１アクチュエータ１０ａが固着され、該第１アクチュエータ１０ａのスライダ２４ａには該スライダ２４ａの変位方向と直交する方向に延在して第２アクチュエータ１０ｂが取り付けられる。該第２アクチュエータ１０ｂのスライダ２４ｂには吸着装置１１６が装着されたシリンダ１１８が取り付けられる。前記第１アクチュエータ１０ａ、第２アクチュエータ１０ｂ、シリンダ１１８および吸着装置１１６はケーブル１２４ａ、１２４ｂを介してコントローラ１２０に電気的に接続され、該コントローラ１２０はコントロールパネル１２２に電気的に接続される。
【００３３】
以上のように構成されたアクチュエータシステム１１０において、作業者がコントロールパネル１２２を操作すると、コントローラ１２０の制御指令に基づいて第１アクチュエータ１０ａ、第２アクチュエータ１０ｂ、シリンダ１１８および吸着装置１１６は所定の動作を行い、フレーム間を搬送される図示しないワーク等に対して吸着、移載等の作業が行われる。
【００３４】
このとき、前記第１アクチュエータ１０ａ、第２アクチュエータ１０ｂのスリット８８ａ、８８ｂはシール部材９４ａ、９４ｂによって閉塞されているため、第１アクチュエータ１０ａ、第２アクチュエータ１０ｂに塵埃等が侵入し、アクチュエータシステム１１０を停止または破損させる懸念がなく、また、第１アクチュエータ１０ａ、第２アクチュエータ１０ｂから塵埃等が流出してアクチュエータシステム１１０が配設されている部屋の内部を汚染するおそれがないため、このアクチュエータシステム１１０を医療、食品関連用やクリーンルーム等の塵埃等を嫌う場所で使用することが可能である。
【００３５】
ところで、本実施の形態では、固定ブロック２６ａ、２６ｂを横断面長方形状に形成したが、図１０Ａ、図１０Ｂに示すように、該固定ブロック２６ａ、２６ｂの変位方向の端部を徐々に薄くして楔状部１３０ａまたは１３０ｂを形成すると、スライダ２４の進行方向の前後においてスライダ２４の変位に伴ってシール部材９４ａ、９４ｂが変位する際、閉塞部１０２ａ、１０２ｂの先端部は固定ブロック２６ａ、２６ｂの楔状の壁部に沿った状態となるため、アクチュエータ１０の内部に通じる間隔がさらに少なくなり、塵埃等の侵入、流出が一層好適に防止される。この場合、図１０Ａに示すように、楔状部１３０ａの周面形状を凸状とし、あるいは、図１０Ｂに示すように、楔状部１３０ｂの周面形状を凹状とすることができる。なお、これらの楔状部１３０ａ、１３０ｂは超高分子ポリエチレン（ＵＨＭＷＰＥ）の如き合成樹脂で形成すると、シール部材９４ａ、９４ｂとの摩擦が少なくなり、好適である。
【００３６】
また、シール部材９４ａ、９４ｂにグリース等を塗布しておくと、夫々のシール部材９４ａ、９４ｂがより好適に密接するとともに、スライダ２４の動作を一層円滑なものとすることができる。
【００３７】
さらに、固定ブロック２６ａ、２６ｂにＣＦＲＰ等の材料を使用すると、該固定ブロック２６ａ、２６ｂの幅を薄く形成してシール部材９４ａ、９４ｂの変位量を少なくすることができ、塵埃等の侵入、流出をさらに好適に防止する。
【００３８】
さらにまた、本実施の形態では、スリット８８ａ、８８ｂは２本であったが、１本、あるいは３本以上でもよく、この場合、各スリットに対して一対のシール部材９４ａ、９４ｂが設けられる。
【００３９】
また、図１１に示すように、フレーム１２の上部に幅広なガイドレール１８ｃを１本形成し、幅広な１つのガイドブロック２２ｅが摺動するように構成してもよく、図１２に示すように、フレーム１２とガイドレール１８ｄ、１８ｅを別部材で形成し、図示しないねじ等で固着してもよい。
【００４０】
本発明は、電磁リニアアクチュエータ、空気圧リニアアクチュエータ、空気圧シリンダや、本出願人が出願した特開平６−１９７４９１号公報、特開平７−１１００５７号公報、特開平６−２２２８１６号公報に記載されたアクチュエータやその構造体にも適応することが可能である。
【００４１】
【発明の効果】
本発明に係るアクチュエータによれば、以下のような効果ならびに利点が得られる。
【００４２】
アクチュエータの開口部がシール部材で閉塞されるため、ボールねじ、係合ブロック、ガイドレール等の駆動力伝達手段に塵埃等が付着することが防止される。従って、塵埃等の噛み込みによってアクチュエータが停止あるいは破損する懸念がなくなり、ワークに対する安定した搬送作用を営なむことが可能となり、また、保守管理も容易になる。さらに、アクチュエータ内部の塵埃、グリース等の流出をシール部材によって阻止することができるため、アクチュエータを医療、食品関連用やクリーンルーム等に使用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るアクチュエータの斜視図である。
【図２】図１に示すアクチュエータの要部分解斜視図である。
【図３】図１に示すアクチュエータのＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】図１に示すアクチュエータのＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】図１に示すアクチュエータの駆動ユニットを構成するモータ部の部分断面図である。
【図６】図１に示すアクチュエータの駆動ユニットを構成するエンコーダ部の部分断面図である。
【図７】図３に示すアクチュエータの一部拡大断面図である。
【図８】図１に示すアクチュエータの一部拡大平面図である。
【図９】本発明の実施の形態に係るアクチュエータを適用したアクチュエータシステムの斜視図である。
【図１０】本発明の別の実施の形態に係るアクチュエータであって、図１０Ａは、スライダの楔状部の周面が凸状に形成されたアクチュエータの一部拡大平面図、図１０Ｂは、スライダの楔状部の周面が凹状に形成されたアクチュエータの一部拡大平面図である。
【図１１】本発明の別の実施の形態に係るアクチュエータの縦断面図である。
【図１２】本発明のさらに別の実施の形態に係るアクチュエータの縦断面図である。
【符号の説明】
１０、１０ａ、１０ｂ…アクチュエータ  １２…フレーム
１８ａ〜１８ｅ…ガイドレール          ２２ａ〜２２ｅ…ガイドブロック
２４、２４ａ、２４ｂ…スライダ        ３６…駆動ユニット
４０…モータ部                        ４２…エンコーダ部
８２ａ、８２ｂ…サイドカバー          ８４…トップカバー
８８ａ、８８ｂ…スリット              ９４ａ、９４ｂ…シール部材
１０４ａ〜１０４ｄ…段部              １３０ａ、１３０ｂ…楔状部
【図１】
0003705641.tif 000002
【図２】
0003705641.tif 000003
【図３】
0003705641.tif 000004
【図４】
0003705641.tif 000005
【図５】
0003705641.tif 000006
【図６】
0003705641.tif 000007
【図７】
0003705641.tif 000008
【図８】
0003705641.tif 000009
【図９】
0003705641.tif 000010
【図１０】
0003705641.tif 000011
【図１１】
0003705641.tif 000012
【図１２】
0003705641.tif 000013