(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理すべき基板を収納し、常時は蓋体によって閉じられている密閉型のカセットを装置内へ搬入するために一旦載置される搬入ステ−ジと、この搬入ステ−ジを通って搬入されたカセットが載置され、カセットの蓋体が開かれる基板受け渡し用の保持台と、
この保持台に載置されたカセット内から基板を取り出す基板移載機と、
この基板移載機によりカセット内から取り出された基板を処理するための処理部と、
前記カセットが前記搬入ステ−ジに搬入されてから前記保持台にてカセットの蓋体が開かれる前までに、カセット内の基板の収納枚数を検出するための基板検出手段と、を備え、
前記基板検出手段は、カセット内に光を照射する発光部及びこの光を受光する受光部を含み、前記光の透過または反射によりカセット内の基板の枚数を検出するための光センサを備え、
前記カセットにおける光センサの光軸が通る部分は、光透過性の材料で作られかつ外面が平坦面に形成されていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
処理すべき基板の周縁部を保持するように複数段の棚を備え、常時は蓋体によって閉じられている密閉型のカセットを装置内へ搬入するために一旦載置される搬入ステ−ジと、
この搬入ステ−ジを通って搬入されたカセットが載置され、カセットの蓋体が開かれる基板受け渡し用の保持台と、
この保持台に載置されたカセット内から基板を取り出す基板移載機と、
この基板移載機によりカセット内から取り出された基板を処理するための処理部と、
前記カセットが前記搬入ステ−ジに搬入されてから前記保持台にてカセットの蓋体が開かれる前までに、カセット内の基板の収納枚数を検出するための基板検出手段と、を備え、
前記基板検出手段は、カセット内に光を照射する発光部及びこの光を受光する受光部を含み、前記光の透過または反射によりカセット内の基板の枚数を検出するための光センサを備え、
前記カセットにおける光センサの光軸が通る部分は、光透過性の材料で作られかつ前記棚が存在しないことを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
前記搬入ステ−ジを通って搬入されたカセットが一時的に収納されるカセット収納部と、前記搬入ステ−ジ、カセット収納部及び基板受け渡し用の保持台の間でカセットを移載するカセット移載機と、を更に備えたことを特徴とする請求項１または２記載の基板処理装置。
【請求項４】
基板検出手段は、搬入ステ−ジに設けられたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の基板処理装置。
【請求項５】
処理すべき基板を収納し、常時は蓋体によって閉じられている密閉型のカセット内の基板の枚数を検出する装置において、
前記カセットが載置される載置台と、
この載置台に載置されたカセット内に光を照射する発光部及びこの光を受光する受光部を含み、前記光の透過または反射によりカセット内の基板の枚数を検出するための光センサと、を備え、
前記カセットにおける光センサの光軸が通る部分は、光透過性の材料で作られかつ外面が平坦面に形成されていることを特徴とするカセット内の基板検出装置。
【請求項６】
処理すべき基板の周縁部を保持するように複数段の棚を備え、常時は蓋体によって閉じられている密閉型のカセット内の基板の枚数を検出する装置において、
前記カセットが載置される載置台と、
この載置台に載置されたカセット内に光を照射する発光部及びこの光を受光する受光部を含み、前記光の透過または反射によりカセット内の基板の枚数を検出するための光センサと、を備え、
前記カセットにおける光センサの光軸が通る部分は、光透過性の材料で作られかつ前記棚が存在しないことを特徴とするカセット内の基板検出装置。
【請求項７】
光センサの光軸を前記載置台に対して相対的に昇降させる昇降部を備えたことを特徴とする請求項５または６に記載のカセット内の基板検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体ウエハなどの基板を蓋体付きの密閉型カセットに収納した場合の基板処理装置及びカセット内の基板検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ（以下ウエハという）に対して行われる熱処理としては例えば酸化処理、ドーパントの拡散、アニールあるいはＣＶＤなどが挙げられ、このような熱処理をバッチ式で行う装置として縦型熱処理装置が知られている。
【０００３】
従来の縦型熱処理装置の一例を図９を参照しながら説明する。この装置は、装置本体１０の前面側に外部との間の入出力ポートをなす搬入出ステージ１が配置されている。先ずウエハを２５枚縦置きに収納したカセットＣを搬入出ステージ１に載置し、図示しない横倒し機構によりカセットＣを横に倒す。次いでこのカセットＣをカセット移載機１１により通常ストッカと呼ばれているカセット収納棚１２に一旦移載し、このカセット収納棚１２からカセットＣをカセット移載機１１によりウエハ受け渡し部１３に移載する。その後ウエハ移載機１４が当該カセットＣ内のウエハをウエハボート１５に順次移載し、ウエハボート１５には多数枚のウエハが棚状に配列される。しかる後ウエハボート１５がボートエレベータ１６により上昇して縦型の熱処理炉１７内にロードされる。１８は熱処理炉１７の下方側を閉じる蓋体である。
【０００４】
ところでこのような縦型熱処理装置では、熱処理炉１７の下方側を含むウエハの移載領域（以下「ローディングエリア」という）を囲ってロードロック室とし、このローディングエリアを例えば窒素ガスでパージすることによりウエハにおける自然酸化膜の発生や熱処理炉１７内への大気の巻き込みを防止することも検討されている。
【０００５】
一方、ウエハのパーティクル汚染を抑えるために従来のオープン型カセットに対して、密閉型のカセット（以下「クローズ型カセット」という）が検討されている（月刊Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｗｏｒｌｄ  １９９７年１月号等参照）。このクローズ型カセットはウエハを例えば１３枚収納するカセット本体と、このカセット本体のウエハ取り出し口を気密に塞ぐための蓋体とを備えており、カセット内部は例えば窒素ガスによりパージされている。
【０００６】
クローズ型カセットを用いる場合には、カセット収納棚から運ばれたカセットは、ローディングエリアの壁の外側に設けられたウエハ受け渡し用の保持台に載置される。この壁には常時は扉で閉じられている開口部が形成されており、カセットが開口部に装着されると扉と共に蓋体が開かれ、カセットの内部がローディングエリア内に開放され、このカセット内のウエハが取り出されることになる。このような装置は、ウエハへのパーティクル汚染及び自然酸化膜の生成を抑えることができ、パターンの微細化、高集積化に対応することができる装置として有効なものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
カセット収納棚からカセットを保持台に移載するにあたっては、ウエハボートにおけるウエハの最大搭載枚数が決まっているので、カセット内のウエハの収納枚数に応じてカセットの組み合わせを決めるという作業がコントローラにより行われる。各カセットに何枚のウエハが収納され、カセット内のどのスロット（段）にウエハが保持されているかということは熱処理装置に送られる前に分かっており、その情報はカセットに設けられたタグに書き込まれる場合もある。この場合熱処理装置において各カセットのタグの情報を読み取ることによりウエハの収納枚数などの情報を知ることができるが、カセット内のウエハをウエハ移載機で取り出す前に確認のためにカセット内のウエハの枚数、収納位置を調べる必要がある。またタグがない場合にはウエハの枚数、収納位置は必ず調べなければならない。
【０００８】
クローズ型カセットは外から内部が見えないかあるいは見えにくいので、ローディングエリア内に反射型光センサを設け、蓋体を開いたカセットの開口部に対して光センサを上下にスキャンすることによりいわゆるマッピング情報つまりウエハの収納位置、収納枚数を調べるようにしたシステムの検討が進められている。
【０００９】
しかしながらカセットに設けられたタグの情報と実際のマッピング情報とが常に必ず一致するとは限らず、例えばウエハ枚数が異なったり、ウエハが無いといったことが起こることを経験的に把握している。また、タグのない場合はマッピング情報を得なければ移載が始められない。このようにカセットの蓋体を開いたところ、ウエハの枚数が予定枚数に対して過不足があることが分かると、１回のバッチ処理に対応するカセットの組み合わせを変えなければならない場合もあり、その場合には、マッピングを行ったカセットの蓋体を閉じて当該カセットをカセット収納棚に戻し、別のカセットを載置台に移載するといった作業が必要
になる。
【００１０】
またカセット内のウエハが予定枚数より少なく、特にウエハが入っていない場合などにおいては、ストッカに貯えられているウエハの合計枚数が予定していたバッチ処理回数に見合う枚数を下回り、このためオペレータが外部からカセットを補充しなければならない。このときオペレータが装置から既に離れてしまっているとオペレータが戻って補充作業を行うまでの間装置が止まってしまいスループットが低下するという問題がある。
【００１１】
本発明は、このような事情の下になされたものであり、その目的はクローズ型カセットを用いて基板を装置内に搬入し、このカセットから基板を取り出して所定の処理を行うにあたり、効率よく、円滑に運転することのできる基板処理装置を提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的はクローズ型カセット内の基板の収納枚数を蓋体を開くことなく確実に検出することのできるクローズ型カセット内の基板検出装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、処理すべき基板を収納し、常時は蓋体によって閉じられている密閉型のカセットを装置内へ搬入するために一旦載置される搬入ステ−ジと、この搬入ステ−ジを通って搬入されたカセットが載置され、カセットの蓋体が開かれる基板受け渡し用の保持台と、
この保持台に載置されたカセット内から基板を取り出す基板移載機と、
この基板移載機によりカセット内から取り出された基板を処理するための処理部と、
前記カセットが前記搬入ステ−ジに搬入されてから前記保持台にてカセットの蓋体が開かれる前までに、カセット内の基板の収納枚数を検出するための基板検出手段と、を備え、
前記基板検出手段は、カセット内に光を照射する発光部及びこの光を受光する受光部を含み、前記光の透過または反射によりカセット内の基板の枚数を検出するための光センサを備え、
前記カセットにおける光センサの光軸が通る部分は、光透過性の材料で作られかつ外面が平坦面に形成されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項２の発明は、処理すべき基板の周縁部を保持するように複数段の棚を備え、常時は蓋体によって閉じられている密閉型のカセットを装置内へ搬入するために一旦載置される搬入ステ−ジと、
この搬入ステ−ジを通って搬入されたカセットが載置され、カセットの蓋体が開かれる基板受け渡し用の保持台と、
この保持台に載置されたカセット内から基板を取り出す基板移載機と、
この基板移載機によりカセット内から取り出された基板を処理するための処理部と、
前記カセットが前記搬入ステ−ジに搬入されてから前記保持台にてカセットの蓋体が開かれる前までに、カセット内の基板の収納枚数を検出するための基板検出手段と、を備え、
前記基板検出手段は、カセット内に光を照射する発光部及びこの光を受光する受光部を含み、前記光の透過または反射によりカセット内の基板の枚数を検出するための光センサを備え、
前記カセットにおける光センサの光軸が通る部分は、光透過性の材料で作られかつ前記棚が存在しないことを特徴とする。
【００１５】
請求項１または２の発明においては、前記搬入ステ−ジを通って搬入されたカセットが一時的に収納されるカセット収納部と、前記搬入ステ−ジ、カセット収納部及び基板受け渡し用の保持台の間でカセットを移載するカセット移載機と、を更に備えた構成としてもよい。前記基板検出手段は、例えば搬入ステ−ジに設けられる。
【００１６】
他の発明は、処理すべき基板を収納し、常時は蓋体によって閉じられている密閉型のカセット内の基板の枚数を検出する装置において、
前記カセットが載置される載置台と、
この載置台に載置されたカセット内に光を照射する発光部及びこの光を受光する受光部を含み、前記光の透過または反射によりカセット内の基板の枚数を検出するための光センサと、を備え、
前記カセットにおける光センサの光軸が通る部分は、光透過性の材料で作られかつ外面が平坦面に形成されていることを特徴とする。
【００１７】
更に他の発明は、処理すべき基板の周縁部を保持するように複数段の棚を備え、常時は蓋体によって閉じられている密閉型のカセット内の基板の枚数を検出する装置において、
前記カセットが載置される載置台と、
この載置台に載置されたカセット内に光を照射する発光部及びこの光を受光する受光部を含み、前記光の透過または反射によりカセット内の基板の枚数を検出するための光センサと、を備え、
前記カセットにおける光センサの光軸が通る部分は、光透過性の材料で作られかつ前記棚が存在しないことを特徴とする。請求項４または５の発明では、光センサの光軸を前記載置台に対して相対的に昇降させる昇降部を設けるようにしてもよい。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の基板処理装置を縦型熱処理装置に適用した実施の形態について説明する。図１及び図２は夫々本実施の形態に係る縦型熱処理装置を示す斜視図及び縦断側面図であり、図１では図示の便宜上装置の外装部や内部の壁部などは省略してある。
【００１９】
この熱処理装置は、基板例えばウエハの搬送容器であるカセット２０の入出ポートをなす搬入出ステージ２と、カセット２０を一時的に収納しておくカセット収納部であるカセット収納棚（ストッカ）３と、カセット２０内のウエハをウエハボート４１に移載し、ウエハボート４１を処理部である熱処理炉４０内にローディングするローディングエリア４とを備えている。
【００２０】
前記搬入出ステージ２は、カセット２０を載置するための載置台２１と、この載置台２１を昇降するための昇降部２１ａと、前記カセット２０内を光軸が横切るように設けられた光センサ５とを備えている。この光センサ５は、後で詳述するが、カセット２０の構造と関連してカセット２０内のウエハの収納枚数及び収納位置（何段目にウエハが保持されているかという情報）を光学的に求める、基板検出装置であるウエハ検出装置の一部を構成するものであり、ここで検出されたカセット内の情報は、制御部５０に送られる。
【００２１】
前記カセット収納棚３は、搬入出ステージ２の奥側領域の上方に位置しており、カセット移載機３１により、搬入出ステージ２とカセット収納棚３との間でカセット２０が移載される。
【００２２】
前記カセット移載機３１は、昇降ガイド３２に沿って昇降可能な昇降基体３３と、この昇降基体３３に設けられ、搬入出ステージ２から見て前後に動作可能な水平多関節アームよりなる移載アーム３４とを備え、カセット２０を吊り下げて、搬入出ステージ２、カセット収納棚３及び後述のウエハ受け渡し用の保持台４３の間でカセット２を移載する役割をもつ。
【００２３】
前記ローディングエリア４は壁部４２により囲まれて外部に対しては密閉されており、図示しないガス供給源及び排気系により例えば窒素ガス雰囲気とされている。ローディングエリア４を囲む、搬入出ステージ２に対向する壁部４２の外側には、例えば２個のカセット２０を上下に２個載置できるようにウエハ受け渡し用の保持台４３が設けられている。
【００２４】
一方図３に示すように前記壁部４２には、カセット２０が装着されてカセット２０内からウエハＷを取り出すための開口部４４が形成されており保持台４３に置かれたカセット２０はローディングエリア４側に設けられて開口部４４を塞いでいる扉４５に当接するまで、図示しないガイドに沿ってカセット移載機３１により押し出される。この例では１個の開口部４４に対して２段の保持台４３が設けられており、これら保持台４３は図示しない昇降部により昇降可能で、図４に示すように各保持台４３のカセット２０が、交互に順次開口部４４に対応するレベルに位置するように構成されている。
【００２５】
ここでクローズ型カセット２０の構造及びカセット２０の蓋体の開閉について述べておく、このカセット２０は、図５に示すようにウエハの周縁の一部を保持するように、両側部に棚２２が多段に設けられたカセット本体２３と、このカセット本体２３のウエハの取り出し口である開口部２４を気密に塞ぐための蓋体２５とを備えており、例えば１３枚のウエハＷを各々ほぼ水平に上下に間隔をおいて保持するように構成されている。前記蓋体２５には例えば２か所に鍵穴２６が形成されており、この鍵穴２６にキー２７を挿入して回すことにより蓋体２５の上端及び下端から図示しないロックピンが突出して、カセット本体２３に蓋体２５が固定されるようになっている。
【００２６】
前記キー２７は、図示しないキー操作機構と共に前記扉４５に組み合わせて設けられており、カセット２０が壁部４２の開口部４４に装着されると、キー２７が鍵穴２６に差し込まれ、キー２７を操作してキー２７を介して扉４５と共に蓋体２５が開かれる。この動作は、扉４５が図２に示す扉開閉機構４６によって例えばカセット２０に対して後退し、その後下降あるいは水平な軸のまわりに回動することによって行われる。
【００２７】
前記ローディングエリア４内には、カセット２０とウエハボート４１との間でウエハの移載を行うための基板移載機であるウエハ移載機６が設けられており、このウエハ移載機６は、例えばウエハＷを複数枚一括して移載することができ、また１枚づつの移載もできるような複数のアーム６１を備えていて、進退自在、昇降自在、回転自在に構成されている。前記ウエハボート４１は例えば多段にウエハ保持溝が形成された複数本の支柱を備え、多数枚のウエハＷを棚状に保持するように構成されている。このウエハボート４１はボートエレベータ６２の上昇により熱処理炉４０内に搬入される。
【００２８】
ここで前記光センサ５を用いたウエハ検出装置に関して図６及び図７を参照しながら説明する。この例で用いられるクローズ型カセット２０のカセット本体２３について、蓋体２５により開閉される開口部を前面側とすると、左右両側壁の中央部分例えば十数ミリ幅の帯状部分７（斜線部分）が光透過性の材料例えば透明プラスチックで構成されると共に、当該中央部分（帯状部分）７の外面が平坦な面として形成されている。更に両側壁の中央部分７、７を結ぶ領域には、ウエハ保持用の棚２２が存在しないように構成する。つまり前記棚２２は中央部が切り欠かれた状態になっている。
【００２９】
そしてカセット２０が載置台２１に置かれたときにカセット本体２３の左右の中央部分７、７を結ぶラインの延長線上となる位置にカセット２０を挟んで互いに対向する、光センサ５を構成する発光部５１及び受光部５２が設けられている。一方前記載置台２１は、図２に示す昇降部２１ａにより昇降し、これにより光センサ５の光軸Ｌがカセット２０の上端から下端まで走査され、受光部５２の受光信号に基づいて各段のウエハＷの有無を検出することができる。
【００３０】
このようにカセット２０を構成すれば、光軸Ｌ上の移動路におけるカセット２０の外面が平坦面であるから発光部５１からカセット２０の壁部内への光が入射するとき及び壁部から外側へ光が出るときの光の屈折が少なく、しかも光軸Ｌの移動路上には棚２２が存在しないので、光の通りが良く、この結果発光部５１からの光がウエハＷにより遮られるときの受光部５２の受光信号とウエハにより遮られないときの受光信号とを区別するスレッシュホールドレベルの設定が容易である。この結果光軸Ｌをカセット２０に対して相対的に上下に移動させたときに受光部５２の受光信号に基づいてカセット２０のどの棚２２の上にウエハＷが置かれていて、どの棚２２には置かれていないかということを確実に検出することができ、ウエハＷのマッピング情報つまりウエハＷの収納枚数及び収納位置を検出することができる。
【００３１】
また光センサとしては、反射型のセンサを用い、ウエハＷの周端部での反射光を検出するようにしてもよい。更にカセット２０については、前記中央部分７以外も、光透過性の材料で作るようにしてもよい。更にまた中央部分７の外面は必ずしも平坦面でなくともよいし、光軸Ｌ上に棚２２が設けられていてもよい。
【００３２】
次に上述の熱処理装置の全体の動作について説明する。先ず外部から例えば２個のカセット２０を図示しない自動搬送ロボットあるいはオペレータにより搬入出ステージ２の載置台２１の上に置く。続いてこの載置台２１が昇降し、光センサ５の信号に基づいて各カセット２０内のウエハの収納枚数及び収納位置が検出され、検出信号が制御部５０に送られる。
【００３３】
次いでカセット移載機３１により搬入出ステージ２上のカセット２０を一旦カセット収納棚３に収納する。制御部５０はカセット収納棚３に収納されている各カセット２０内のウエハＷの枚数を既に把握しているので、ウエハＷの枚数情報とウエハボート４１における被処理ウエハＷの最大搭載数とに基づいて、１バッチ処理のカセット２０の組み合わせを決定し、その組み合わせに従ってカセット移載機３１がウエハ受け渡し用の保持台４３にカセット２０を移載する。なお場合によっては搬入出ステージ２上のカセット２０は直接保持台４３に移載される。
【００３４】
壁部４２の開口部４４に対応する位置にある保持台４３に載せられたカセット２０は、前記扉４５に当接する位置まで押し出され、扉４５側のキー２７とカセット２０の蓋体２５側の鍵穴２６とが係合し、既述の如く蓋体２５が開かれる。その後ウエハ移載機６によりカセット２０内のウエハＷが取り出され、ウエハボート４１に移載される。このウエハＷの移載は、２段の各保持台４３上のカセット２０について順次行われる。こうしてウエハボート４１上に所定枚数のウエハＷが搭載されると、ボートエレベータ６２により熱処理炉４０内にローディングされ、所定の熱処理が行われる。熱処理終了後は上述の動作とは逆の動作によりウエハＷがカセット２０に戻され、カセット２０は搬入出ステージ２を介して外部に搬出される。
【００３５】
このような実施の形態によれば、ローディングエリア４にてクローズ型カセット２０の蓋体２５を開ける前に、既に搬入出ステージ２にカセット２０が置かれたときに各カセット２０内のウエハの枚数及び収納位置を求め、その情報を制御部５０側で把握しているため、例えばカセット２０のタグを通じて、前の工程から制御部５０に伝えられたウエハ枚数の情報が誤っていたとしても、カセット２０内の実際のウエハ枚数に応じたシーケンスを組んでカセット２０をウエハ受け渡し用の保持台４３に移載することができる。このため蓋体２５を開いたときに予定していたウエハ枚数に対して過不足が生じ、シーケンスの組み直しや、面倒な蓋体２５の開閉作業を無駄に行うといったことを回避することができる。
【００３６】
特にカセット収納棚３にカセット２０を貯えておいてオペレータが装置から離れる場合、カセット２０をカセット収納棚３に搬入する前に、予定外の空のカセット２０の存在やウエハの不足を知ることができるので、その時点で対応をとることができ、従ってオペレータが装置から離れた後に、ウエハ枚数の不足により装置が止まってしまうといった不具合を避けることができる。
【００３７】
以上において図８は、基板検出装置の参考例を示す図であり、この例は、カセット２０が載置台２１に置かれたときに重量計測部８でカセット２０の重量を計測し、その重量計測値に基づいてカセット２０内のウエハ枚数を求める例である。この手法では、カセット２０自体の重量及びウエハ１枚の重量が予め分かっているため、カセット２０の総重量を計ることによりカセット２０内にウエハが何枚収納されているかを知ることができる。
なお本発明は、基板検出装置を搬入出ステージに設けることに限定されるものではなく、クローズ型カセットの蓋を開ける前であれば、どのタイミングでウエハ枚数を検出するようにしてもよい。また本発明は縦型熱処理装置に限られずスパッタリング装置や洗浄装置など、他のウエハ処理装置に対しても適用することができる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明の基板処理装置によれば、クローズ型カセットを用いて基板を装置内に搬入し、このカセットから基板を取り出して所定の処理を行うにあたり、効率よく円滑に運転することができる。
【００３９】
また本発明の基板検出装置によれば、クローズ型カセット内の基板の枚数を確実にしかも簡単に検出することができ、例えば本発明の基板処理装置に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板処理装置の実施の形態を示す概略斜視図である。
【図２】上記の実施の形態を示す縦断側面図である。
【図３】上記の実施の形態において、カセットが壁部に装着される様子を示す斜視図である。
【図４】ウエハ受け渡し台の昇降動作の様子を示す説明図である。
【図５】クローズ型カセットを開閉するための機構を示す斜視図である。
【図６】クローズ型カセットの基板枚数を検出する装置の一例を一部切り欠いて示す斜視図である。
【図７】図５の装置を示す横断平面図である。
【図８】クローズ型カセットの基板枚数を検出する装置の参考例を示す斜視図である。
【図９】従来の縦型熱処理装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
２        搬入出ステージ
２０      クローズ型カセット
２１      載置台
２２      棚
２３      カセット本体
２５      蓋体
３        カセット収納棚
３１      カセット移載機
４        ローディングエリア
４１      ウエハボート
４２      壁部
４３      ウエハ受け渡し用の保持台
４４      開口部
５        光センサ
５０      制御部
６        ウエハ移載機
７        カセット本体の中央部
８        重量計測部
【図１】
0003625617.tif 000002
【図２】
0003625617.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003625617.tif 000008
【図８】
0003625617.tif 000009
【図９】
0003625617.tif 000010