(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファイバ穴が形成された光コネクタを搭載させる載置台と、
前記光コネクタの後方から前記ファイバ穴に光を導入する光源と、
前記載置台に搭載された前記光コネクタの端面に対向する撮像手段と、
前記撮像手段の撮像軸線の延在方向に沿う方向（Ｘ方向）に、前記ファイバ穴が延在するように前記光コネクタを搭載させた前記載置台と前記撮像手段とを相対的に移動させる移動手段とを備えた光コネクタ測定装置であって、
前記撮像手段は、前記移動手段によって相対的に移動されることにより、前記撮像軸線上の少なくとも２つの異なる位置において、前記ファイバ穴の端部から前記撮像手段に向けて出射されるファイバ穴出射光を撮像し、
前記ファイバ穴出射光の輝度を、前記撮像軸線に対して直交する方向（Ｙ方向）と前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向に直交する方向（Ｚ方向）とにおいて測定することを特徴とする光コネクタ測定方法。
【請求項２】
前記撮像軸線上の少なくとも２つの異なる位置で撮像された前記ファイバ穴出射光の光像の変化量から、前記ファイバ穴出射光の出射方向を検出することを特徴とする請求項１記載の光コネクタ測定方法。
【請求項３】
前記光コネクタは、ガイド穴を有するＭＴコネクタであり、前記光源は、前記光コネクタの後方から前記ガイド穴に光を導光し、前記撮像手段は、さらに前記ガイド穴の端部から前記撮像手段に向けて出射されるガイド穴出射光を撮像し、
前記ガイド穴出射光の輝度を、前記撮像軸線に対して直交する方向（Ｙ方向）と前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向に直交する方向（Ｚ方向）とにおいて測定することを特徴とする請求項１又は２記載の光コネクタ測定方法。
【請求項４】
前記撮像軸線上の少なくとも２つの異なる位置で撮像された前記ガイド穴出射光の光像の変化量から、前記ガイド穴出射光の出射方向を検出することを特徴とする請求項３記載の光コネクタ測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光コネクタを測定するための技術に関わり、特に、光コネクタにおいて光ファイバが挿入される穴の角度ずれを測定するための光コネクタ測定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、このような分野の技術として、特許第３０９６８７０号公報がある。この公報に記載された光コネクタ測定装置は、プラグゲージを多心フェルール（光コネクタ）のファイバ穴に挿入した後、プラグゲージ先端の位置を測定することによってファイバ穴の角度ずれを測定するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述した従来の光コネクタ測定装置には、次のような課題が存在している。すなわち、プラグゲージを用いるため、プラグゲージの精度が角度ずれの測定値に影響を与えてしまうという問題があった。特に、ファイバ穴が複数列の光コネクタ、いわゆる多次元コネクタの測定が困難であった。また、光コネクタの端面を削り込むことにより、ファイバ穴の中心位置の変化から角度ずれを検出することも可能であるが、精度よく角度ずれを検出するためには、製品として使用できない程度まで削り込む必要があり、製品検査としては不適切であった。
【０００４】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、特に、光コネクタに形成された穴の角度ずれを高精度で非破壊的に測定できるようにした光コネクタ測定方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光コネクタ測定方法は、ファイバ穴が形成された光コネクタを搭載させる載置台と、光コネクタの後方からファイバ穴に光を導入する光源と、載置台に搭載された光コネクタの端面に対向する撮像手段と、撮像手段の撮像軸線の延在方向に沿う方向（Ｘ方向）に、ファイバ穴が延在するように光コネクタを搭載させた載置台と撮像手段とを相対的に移動させる移動手段とを備えた光コネクタ測定装置であって、撮像手段は、移動手段によって相対的に移動されることにより、撮像軸線上の少なくとも２つの異なる位置において、ファイバ穴の端部から撮像手段に向けて出射されるファイバ穴出射光を撮像し、ファイバ穴出射光の輝度を、撮像軸線に対して直交する方向（Ｙ方向）とＸ方向及びＹ方向に直交する方向（Ｚ方向）とにおいて測定することを特徴とする。
【０００６】
この光コネクタ測定方法においては、ファイバ穴の端部から撮像手段に向けてファイバ穴出射光が出射される。また、載置台と撮像手段とは、移動手段によって相対的に移動され、移動の方向は、撮像手段の撮像軸線の延在方向に沿う方向である。そして、撮像手段は、撮像軸線上のある位置でファイバ穴出射光を撮像した後、移動手段によって相対的に移動されて、撮像軸上の別の位置でファイバ穴出射光を撮像する。このように、撮像軸線上の少なくとも２つの異なる位置においてファイバ穴出射光を撮像することにより、撮像されるファイバ穴出射光の撮像位置が変化し、その結果、出射方向の延在方向に形成されているファイバ穴の角度の測定を可能にしている。よって、プラグゲージを用いたり光コネクタの端面を削り込んだりする必要がなく、ファイバ穴の直接的な撮像によって、高精度で非破壊的にファイバ穴の角度ずれを測定することが可能になる。
【０００７】
また、撮像軸線上の少なくとも２つの異なる位置で撮像されたファイバ穴出射光の光像の変化量から、ファイバ穴出射光の出射方向を検出することが好ましい。この場合、撮像軸線上における撮像手段の位置の移動量と、ファイバ穴出射光の光像の変化量とにより、ファイバ穴出射光の出射方向を幾何学的に算出し、出射方向の延在方向に形成されているファイバ穴の角度を求める。
【０００８】
また、光コネクタは、ガイド穴を有するＭＴコネクタであり、光源は、光コネクタの後方からガイド穴に光を導光し、撮像手段は、さらにガイド穴の端部から撮像手段に向けて出射されるガイド穴出射光を撮像し、ガイド穴出射光の輝度を、撮像軸線に対して直交する方向（Ｙ方向）とＸ方向及びＹ方向に直交する方向（Ｚ方向）とにおいて測定することが好ましい。この場合、ファイバ穴出射光と同様に、撮像軸線上の少なくとも２つの異なる位置においてガイド穴出射光を撮像することによって、撮像されたガイド穴出射光の変化から出射方向が求められる。これは、出射方向の延在方向に形成されているガイド穴の角度の測定を可能にするものである。よって、プラグゲージを用いたり光コネクタの端面を削り込んだりする必要がなく、ガイド穴の直接的な撮像によって、高精度で非破壊的に光コネクタに形成されたガイド穴の角度ずれを測定することが可能になる。
【０００９】
また、撮像軸線上の少なくとも２つの異なる位置で撮像されたガイド穴出射光の光像の変化量から、ガイド穴出射光の出射方向を検出することが好ましい。この場合、撮像軸線上における撮像手段の位置の移動量と、ガイド穴出射光の光像の変化量とにより、ガイド穴出射光の出射方向を幾何学的に算出し、出射方向の延在方向に形成されているガイド穴の角度を求める。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明に係る光コネクタ測定方法の好適な実施の形態について詳細に説明する。
【００１１】
図１の平面図、図２の正面図及び図３の左側面図に示すように、光コネクタ測定装置１は、床面２上に置かれた除振台３を介した石定盤４を有している。除振台３によって床面２からの振動が吸収されるため、石定盤４の上面は振動せず、常に水平面に保たれる。石定盤４上には、図中に示した方向をＸ−Ｙ軸としたＸ−Ｙテーブル５が設置されている。Ｘテーブル５ａ、Ｙテーブル５ｂは、各々のテーブル５ａ，５ｂに対応したＸ軸モータ６ａ，Ｙ軸モータ６ｂによって駆動され、各々のテーブル５ａ，５ｂの移動量は、レーザホロスケール等のスケール（図示せず）によって検出される。Ｘ−Ｙテーブル５上には傾斜調整機構７としての傾斜テーブルが搭載され、固定されている。
【００１２】
傾斜テーブル７は、半円柱状のステージ７ａと、支持面がステージ７ａの曲面とほぼ合致する形状であるステージ支持部７ｂと、ステージ７ａをＹ軸方向に駆動させる傾斜調整モータ７ｃとにより構成されている。そして、傾斜テーブル７は、半円形であるステージ７ａの端面がＸ軸方向を向くように、Ｘ−Ｙテーブル５上に搭載されている。また、ステージ７ａに設けられたラックと、傾斜調整モータ７ｃの回転軸に設けられたピニオンとの協働によって、ステージ７ａをステージ支持部７ｂの支持面に沿って揺動させ、その結果として、ステージ７ａの上面が傾動する（図３の二点鎖線参照）。なお、Ｘ軸モータ６ａ、Ｙ軸モータ６ｂ及び傾斜調整モータ７ｃは、テーブル制御装置（図示せず）によって制御される。さらに、傾斜テーブル７のステージ７ａの上面には、直方体形状の載置台８が固定されている。そして、その載置台８上には、後述するＭＴコネクタ９が搭載される。
【００１３】
また、石定盤４上においてＸ−Ｙテーブル５の隣には、カメラ支持部１０が固定されており、カメラ支持部１０上には、撮像手段である低倍カメラ１１（１７０〜２００倍）及び高倍カメラ１２（２５００〜３０００倍）が並列して搭載されている。なお、低倍カメラ１１及び高倍カメラ１２はともにＣＣＤカメラである。カメラ支持部１０は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及び上下方向（Ｚ軸方向）に低倍カメラ１１及び高倍カメラ１２を移動可能な機構を有する。低倍カメラ１１の撮像軸線１１ａ及び高倍カメラ１２の撮像軸線１２ａは、ともに水平なＸ軸に対して平行である。ここで、Ｘ軸方向は、低倍カメラ１１の撮像軸線１１ａの延在方向に沿った方向であり、Ｙ軸方向は、低倍カメラ１１の撮像軸線１１ａと高倍カメラ１２の撮像軸線１２ａの並設方向に沿った方向である。また、低倍カメラ１１及び高倍カメラ１２は、同じ高さ位置に配置されると共に、載置台８に対向している。
【００１４】
上述の通り、載置台８は、移動手段の一つであるＸ−Ｙテーブル５によってＸ方向及びＹ方向の二方向に移動可能であり、さらに、低倍カメラ１１及び高倍カメラ１２は、載置台８に対し独立して、移動手段の一つであるカメラ支持部１０によりＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の三方向に移動可能である。また、低倍カメラ１１及び高倍カメラ１２によって取得される画像は、別に設けられたモニタ２５に表示され、出力画像は適宜切り替えられる。モニタ２５上には、低倍カメラ１１と高倍カメラ１２の並設方向（Ｙ軸方向）を示す水平基準線が表示される。また、低倍カメラ１１と高倍カメラ１２とは、近接させると共に、セラミック製の板で構成されたカメラ固定部１３を介して連結される。これによって、温度変化による低倍カメラ１１及び高倍カメラ１２の位置関係を変化し難くし、ＭＴコネクタ９の測定精度の維持を図っている。
【００１５】
続いて、図４を参照しつつ、測定対象物である光コネクタ９を簡単に説明する。光コネクタ９は、ファイバ穴２１及びガイド穴２２が形成されたフェルールであり、ＭＴコネクタの一部である。以下、光ファイバ挿入前のこのフェルールについては光コネクタと称する。光コネクタ９の内部には、光ファイバ（直径約１２５ミクロン）を配列させるファイバ穴２１が８本貫通して形成されている。また、ファイバ穴２１の配列の両端には、一対のガイド穴２２（直径約７００ミクロン）が貫通して形成されており、このガイド穴２２には、光コネクタ９同士を突き合わせ接続する際にガイドピン２３が挿入される。したがって、図５に示すように、光コネクタ９の端面９ａには、円形である８つのファイバ穴２１の端部が整列状態でほぼ一直線に並んでおり、並列するファイバ穴２１の端部の両端には、円形である一対のガイド穴２２の端部が位置している。以下、便宜上、光コネクタ端面９ａに向かって、ファイバ穴２１より右側のガイド穴２２を右側Ｇ穴２２Ａ、ファイバ穴２１より左側のガイド穴２２を左側Ｇ穴２２Ｂと称する。
【００１６】
図１，図２及び図３に示した光コネクタ測定装置１においては、以上に説明した光コネクタ９が、光コネクタ端面９ａをＸ軸方向に向けるようにして載置台８上に搭載され、固定されている。光コネクタ９の高さ位置は、低倍カメラ１１の撮像軸線１１ａ及び高倍カメラ１２の撮像軸線１２ａの高さとほぼ同じになるように設定されている。また、光コネクタ９を介して低倍カメラ１１及び高倍カメラ１２と対向する位置には、ハロゲン若しくはメタルハライド光源である照射用光源２４が配置されており、照射用光源２４は光コネクタ９に向けて白色光を出射し、ファイバ穴２１及びガイド穴２２を通過させた光を前方に作り出す。
【００１７】
次に、図６に示したフローチャートに従って、光コネクタ測定装置１を用いて光コネクタ９に形成されたファイバ穴２１及びガイド穴２２の角度ずれを測定する方法を説明する。
【００１８】
まず、低倍カメラ１１及び高倍カメラ１２に光コネクタ端面９ａが対向するように、光コネクタ９を載置台８上にセットする。そして、光コネクタ９の後方にある照射用光源２４が光を点灯させる。それにより、光コネクタ端面９ａのファイバ穴２１の端部からは低倍カメラ１１及び高倍カメラ１２に向けて光（ファイバ穴出射光）が出射される。また、光コネクタ端面９ａのガイド穴２２の端部からも低倍カメラ１１及び高倍カメラ１２に向けて光（ガイド穴出射光）が出射される（Ｓ１０）。
【００１９】
次に、カメラ支持部１０を駆動させ、低倍カメラ１１で撮像した右側Ｇ穴２２Ａのガイド穴出射光の光像をモニタ２５（図２参照）に表示させる。照射用光源２４によって、右側Ｇ穴２２Ａ内には後方から光を導入しているため、モニタ２５上では、右側Ｇ穴２２Ａを透過したガイド穴出射光は円形の光像として取得される。なお、低倍カメラ１１は、ガイド穴２２を撮像可能な程度の倍率に設定している。そして、そのガイド穴出射光の円形の光像から中心点を求め、右側Ｇ穴２２Ａから出射されるガイド穴出射光の中心位置を求める。ここで、ガイド穴２２のエッジ検出によって、ガイド穴２２の中心位置を測定する方法について説明する。図７に示すように、ガイド穴２２のモニタ２５における輝度変化を、Ｙ軸方向及びＺ軸方向で調べ、その変化点をエッジとして推定する。そして、複数得られたエッジ位置の組み合わせにより円を特定し、円の方程式によって光像の中心位置を算出する。
【００２０】
その後、カメラ支持部１０を駆動させて、左側Ｇ穴２２Ｂのガイド穴出射光の光像をモニタ２５に表示させる。そして、右側Ｇ穴２２Ａと同様に、左側Ｇ穴２２Ｂの円形の光像から中心点を求めて、左側Ｇ穴２２Ｂから出射されるガイド穴出射光の光像の中心位置を求める。そして、右側Ｇ穴２２Ａと左側Ｇ穴２２Ｂのガイド穴出射光の光像の中心位置がモニタ２５の水平基準線上に位置するように、傾斜テーブル７を駆動させると共に、カメラ支持部１０をＺ軸方向に駆動させる（Ｓ１２）。その後、測定精度を向上させるため、カメラ支持部１０を固定し、低倍カメラ１１及び高倍カメラ１２の位置を固定する。
【００２１】
次に、Ｙテーブル５ｂを駆動させ、高倍カメラ１２で撮像したファイバ穴２１の右端部をモニタ２５に表示させる。そして、図５に示すように、Ｘテーブル５ａを駆動させ、ファイバ穴２１近傍の右側の特定位置（右側基準位置）で高倍カメラ１２の焦点合わせを行う。同様に、ファイバ穴２１の左端部をモニタ２５に表示させ、ファイバ穴２１近傍の左側の特定位置（左側基準位置）で、高倍カメラ１２の焦点合わせを行う。そして、右側基準位置と左側基準位置との焦点合わせから、焦点距離の差を算出し、これに基づいてＸ軸方向のずれを求める。そして、右側基準位置と左側基準位置とを結ぶ直線のＹ軸方向に対する傾き、つまり、光コネクタ端面９ａがＹ軸方向に対してどの程度前後に傾いているかを算出する（Ｓ１４）。そして、この傾きの値が、許容範囲以上である場合は、光コネクタ９を再度セットし直し、許容範囲内に収まるまで前述と同様の動作を繰り返す（Ｓ１６）。
【００２２】
再び、低倍カメラ１１によって、右側Ｇ穴２２Ａをモニタ２５に表示させて、前述の方法によって右側Ｇ穴２２Ａのガイド穴出射光の光像の中心位置を求める。同様に、載置台８をＹ軸方向に移動させて、左側Ｇ穴２２Ｂのガイド穴出射光の光像の中心位置を求める（Ｓ１８）。中心位置を求める際は、予め算出された光コネクタ端面９ａのＸ軸方法に対する傾きに基づいてＸテーブル５ａを駆動させることによって、低倍カメラ１１の焦点合わせが行われる。
【００２３】
その後、高倍カメラ１２に切り替え、８つのファイバ穴２１のファイバ穴出射光の光像の中心位置を一つずつ求める（Ｓ２０）。中心位置を求める際は、Ｙテーブル５ｂを駆動させるだけで、それぞれのファイバ穴出射光の光像はモニタ２５内に収められ、また、予め算出された光コネクタ端面９ａのＸ軸方向に対する傾きに基づいてＸテーブル５ａを駆動させることで、高倍カメラ１２の焦点合わせが行われる。なお、ファイバ穴出射光の光像の中心位置は、ガイド穴出射光の光像の中心位置検出と同様、エッジ検出により光像の円の方程式を算出することによって求める。
【００２４】
次に、モニタ２５を低倍カメラ１１に切り替え、右側Ｇ穴２２Ａのガイド穴出射光の光像をモニタ２５に表示させる。そして、低倍カメラ１１の焦点合わせを行った後、Ｘテーブル５ａを駆動させて、光コネクタ端面９ａを低倍カメラ１１から５０ミクロン離間させる。この状態で、右側Ｇ穴２２Ａのガイド穴出射光の光像の中心位置を求める。また、予め算出された光コネクタ端面９ａのＸ軸方向に対する傾きに基づいて、光コネクタ端面９ａと低倍カメラ１１とが同一距離に保たれるようにＸ−Ｙテーブル５を駆動させ、右側Ｇ穴２２Ｂのガイド穴出射光の光像の中心位置を求める（Ｓ１８）。
【００２５】
続いて、モニタ２５を高倍カメラ１２に切り替え、光コネクタ端面９ａとカメラ１１，１２との距離を保ったまま、右端のファイバ穴出射光の光像をモニタ２５に表示させる。そして、右端のファイバ穴２１のファイバ穴出射光の光像の中心位置を求める。また、光コネクタ端面９ａのＸ軸方向に対する傾きに基づいて、光コネクタ端面９ａと高倍カメラ１２とが同一距離に保たれるようにＸ−Ｙテーブル５を駆動させ、８つのファイバ穴出射光の光像のそれぞれの中心位置を求める（Ｓ２０）。
【００２６】
以上のように、カメラ１１，１２と光コネクタ端面９ａとの距離を、焦点距離から５０ミクロンずつ増加させて、ガイド穴出射光及びファイバ穴出射光の光像の中心位置を指定回数（例えば、４回）だけ測定する（Ｓ２２）。それにより、焦点距離において求められた光像の中心位置のＹ軸位置を基準としたＹ軸方向の変化量を、各ガイド穴出射光及び各ファイバ穴出射光について求める。同様に、焦点距離において求められた光像の中心位置のＺ軸位置を基準としたＺ軸方向の変化量についても求める。
【００２７】
ここで、例えば、右側Ｇ穴２２Ａのガイド穴出射光の光像における、中心位置のＹ軸方向の変化量及びＺ軸方向の変化量を図８に示す。図８（ａ）のグラフの横軸は、光コネクタ端面９ａと低倍カメラ１１との間の距離であり、縦軸は、光像の中心位置のＹ軸位置を基準とした中心位置のＹ軸方向の変化量である。ガイド穴２２に角度ずれが生じている場合、図のように、それぞれの距離における中心位置のＹ軸位置を示す測定点Ｐｙは、ほぼ比例的に増加（又は減少）する。従って、最小二乗法により、測定点Ｐｙの近似直線を求めて、その近似直線の傾き（θｙ）を求める。
【００２８】
同様に、縦軸が、光像の中心位置のＺ軸位置を基準とした中心位置のＺ軸方向の変化量であるグラフ（図８（ｂ）参照）においても、最小二乗法により、測定点Ｐｚの近似直線を求めて、その近似直線の傾き（θｚ）を求める。求められた傾きθｙは、Ｘ−Ｙ平面内におけるガイド穴出射光の傾きであり、傾きθｚは、Ｘ−Ｚ平面内におけるガイド穴出射光の傾きである（Ｓ２４）。
【００２９】
そして、以上のようにして求められたガイド穴出射光の傾き（出射方向）は、右側Ｇ穴２２Ａが形成されている方向（形成方向）と同一であると推定されるため、傾きθｙ及びθｚを右側Ｇ穴２２Ａの形成方向として特定する。また、同様にして、左側Ｇ穴２２Ｂ及び８本のファイバ穴２１の形成方向を特定する。そして、設計時に設定されたガイド穴２２及びファイバ穴２１の形成方向と、上述のようにして特定された形成方向とを比較することによって、それぞれの角度ずれを測定する（Ｓ２６）。
【００３０】
以上に示したように、カメラ１１，１２の焦点距離において、ガイド穴出射光及びファイバ穴出射光を撮像し、その後、光コネクタ端面９ａを５０ミクロンずつ離間させて４回の撮像を行うことにより、ガイド穴２２及びファイバ穴２１の角度ずれが測定される。
【００３１】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、光コネクタは、８心のＭＴコネクタに限定されず、４心や１６心のＭＴコネクタの他、単心フェルールでもよい。また、出射光の中心位置測定の繰り返し回数は４回に限らず、２回や１０回でもよい。さらに、カメラ１１，１２と載置台８との相対的な移動には、Ｘ−Ｙテーブル５のみによって移動される場合や、カメラ支持部１０のみによって移動される場合や、Ｘ−Ｙテーブル５とカメラ支持部１０を同時に移動させる場合がある。また、光ファイバを平面的に配列させた多心コネクタの場合、低倍カメラと高倍カメラの両方を具備しなくとも、高倍カメラだけで、ファイバ穴とガイド穴の両方の測定を行うことができる。また、ファイバ穴が一列の場合に限られず、ファイバ穴が複数列の光コネクタ、いわゆる多次元コネクタの測定も可能である。
【００３２】
【発明の効果】
本発明に係る光コネクタ測定方法は、ファイバ穴が形成された光コネクタを搭載させる載置台と、光コネクタの後方からファイバ穴に光を導入する光源と、載置台に搭載された光コネクタの端面に対向する撮像手段と、撮像手段の撮像軸線の延在方向に沿う方向（Ｘ方向）に、ファイバ穴が延在するように光コネクタを搭載させた載置台と撮像手段とを相対的に移動させる移動手段とを備えた光コネクタ測定装置であって、撮像手段は、移動手段によって相対的に移動されることにより、撮像軸線上の少なくとも２つの異なる位置において、ファイバ穴の端部から撮像手段に向けて出射されるファイバ穴出射光を撮像し、ファイバ穴出射光の輝度を、撮像軸線に対して直交する方向（Ｙ方向）とＸ方向及びＹ方向に直交する方向（Ｚ方向）とにおいて測定することにより、光コネクタに形成された穴の角度ずれを高精度で非破壊的に測定できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光コネクタ測定方法に適用する光コネクタ測定装置の一実施形態を示す平面図である。
【図２】光コネクタ測定装置を示す正面図である。
【図３】光コネクタ測定装置を示す左側面図である。
【図４】光コネクタ（フェルール）を示す斜視図である。
【図５】図４の光コネクタを端面側から見た正面図である。
【図６】光コネクタのファイバ穴及びガイド穴の角度ずれを測定する方法を示すフローチャートである。
【図７】フェルールのガイドピン穴の中心検出方法を示した図である。
【図８】ガイド穴出射光の光像の中心位置のＹ軸方向及びＺ軸方向の位置変化を示したグラフである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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