(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波信号の波長の１／２以下の間隔で配置した平行平板導体間に前記高周波信号が伝送される誘電体線路を介装してなる非放射性誘電体線路において、前記平行平板導体の内面に、厚みをA、前記内面の算術表面粗さをＲａとしたとき、０．１≦Ａ≦３０μｍかつ０．０５≦Ｒａ≦１０μｍとなる水酸基を含有する酸化層を形成するとともに、該酸化層と前記誘電体線路とをエポキシ樹脂からなる接着剤で接着したことを特徴とする非放射性誘電体線路。
【請求項２】
前記誘電体線路の前記平行平板導体の内面の表面に存在するＮａ、ＣｏまたはＢａの含有量がそれぞれ５原子％以下であることを特徴とする請求項１に記載の非放射性誘電体線路。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばミリ波等の高周波帯域で用いられる非放射性誘電体線路であって、ミリ波集積回路，ミリ波レーダーモジュール等のミリ波送受信器等に好適に使用される非放射性誘電体線路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の非放射性誘電体線路（Non Radiative Dielectric Waveguideで、以下、ＮＲＤガイドという）Ｓ１の構成を図１に示す。図１のＮＲＤガイドＳ１は、使用周波数において空気中を伝搬する電磁波（高周波信号）の波長λに対して、間隔ｄがλ／２以下である一対の平行平板導体１，３の間に誘電体線路２を介装することにより、その誘電体線路２に沿って電磁波が伝搬でき、放射波は平行平板導体１，３の遮断効果によって抑制されるという動作原理に基づいている。なお、図１において、上側の平行平板導体３は内部を透視するように一部を切り欠いて描いている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のＮＲＤガイドＳ１には以下に示すような問題があった。従来、誘電体線路２は平行平板導体１，３の内面（対向している側の主面）に接着剤等により固定されるが、接着剤の平行平板導体１，３に対する接着力は、平行平板導体１，３の内面の表面にある程度の凹凸があり、その凹凸に接着剤が入り込むこと（アンカー効果）によって強固になる。しかし、平行平板導体１，３の内面の表面が鏡面状態の場合または凹凸が大きすぎる場合には、アンカー効果が小さくなり、接着強度が低下していた。さらに、平行平板導体１，３の内面の凹凸が大きい場合、平行平板導体１，３の誘電体線路２に対向する面の電流経路が長くなるため表面抵抗が大きくなり、その結果高周波信号の伝送損失が大きくなるという問題があった。
【０００４】
また、接着力を向上させる化学的方法として、例えばエポキシ樹脂から成る接着剤を用いて、平行平板導体１，３内面の表面の水酸基と接着剤の水酸基とを水素結合力によって接着する方法がある。即ち、平行平板導体１，３の内面の酸化層または水酸化物が接着強度を向上させる要因となっており、水酸基の量は平行平板導体１，３内面の表面の酸化層に起因する。しかし、平行平板導体１，３内面の表面の酸化層が厚すぎる場合、ＬＳＭモードの電磁波の一部がＬＳＥモードに変換され伝送損失が大きくなるという問題があった。酸化層が薄すぎる場合、水酸基の量が少なくなるため接着剤との強固な水素結合力が発生しにくくなり、接着強度が低下するという問題があった。
【０００５】
さらに、平行平板導体１，３は一般に金属から成っており、従って金属材料を切削加工等して平行平板導体１，３を作製する際に、タップや穴空け時に使用するペースト，研削油の多くは油脂であり、油脂が平行平板導体１，３表面に若干残存していることが多い。油脂は接着剤の硬化の妨げとなったり、被接着物との接着力を低下させる代表的な物質である。従って、平行平板導体１，３表面に残存している油脂の量を制御しない限り、安定して強固な接着力を得ることは困難である。
【０００６】
また、上記ＮＲＤガイドＳ１は車載用ミリ波レーダー等に組み込まれて使用されるため、高温環境、低温環境、温度サイクルにおける温度差が大きい環境、温度サイクルの変化サイクルが激しい（１サイクルが短い）環境、また振動の大きい環境などで使用されることが多い。そのような過酷な環境では、誘電体線路２に対して非常に強固な接着強度が求められるが、その接着力は平行平板導体１，３の表面状態に大きく左右され、上記の環境下において接着の信頼性に欠けるという問題があった。
【０００７】
従って、本発明は上記事情に鑑みて完成されたものであり、その目的は、高温環境、低温環境、激しい温度サイクル下の環境、高湿度環境、振動や機械的衝撃が加わり易い環境などで使用しても、誘電体線路の平行平板導体に対する接着の信頼性が高く、また誘電体線路の接着強度のばらつきが小さいものとすること、さらに高周波信号の伝送特性が良好なものとすることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
高周波信号の波長の１／２以下の間隔で配置した平行平板導体間に前記高周波信号が伝送される誘電体線路を介装してなる非放射性誘電体線路において、前記平行平板導体の内面に、厚みをA、前記内面の算術表面粗さをＲａとしたとき、０．１≦Ａ≦３０μｍかつ０．０５≦Ｒａ≦１０μｍとなる水酸基を含有する酸化層を形成するとともに、該酸化層と前記誘電体線路とをエポキシ樹脂からなる接着剤で接着したことを特徴とする。
【０００９】
本発明は、上記の構成により、平行平板導体の内面の水酸基の量が十分になり、接着剤と平行平板導体との間の水素結合力が十分に発揮され、強固な接着力が得られる。また、接着剤のアンカー効果が効果的に働き、安定した高強度の接着力を有するものとなる。その結果、接着層の剥離や誘電体線路の脱落のない良好な接着状態を長期にわたり保持でき、また、高温環境、低温環境、激しい温度サイクル下の環境、高湿度環境、振動や機械的衝撃が加わり易い環境などの車載環境等の過酷な環境で使用しても、誘電体線路の平行平板導体に対する接着の信頼性が高く、誘電体線路の接着強度のばらつきが小さいＮＲＤガイドとなる。さらに、伝搬モードであるＬＳＭモードの電磁波の一部がＬＳＥモードに変換されて伝送損失が生じるのを防いで、高周波信号の伝送特性を良好なものすることができる。
【００１０】
本発明において、好ましくは、前記誘電体線路の前記平行平板導体の内面に対向する面から深さ１μmまでの部位に存在するＮａ，ＣｏまたはＢａの含有量がそれぞれ５原子％以下であることを特徴とする。
【００１１】
本発明において、好ましくは、前記誘電体線路の前記平行平板導体の内面の表面に存在するＮａ、ＣｏまたはＢａの含有量がそれぞれ５原子％以下であることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明のＮＲＤガイドについて以下に詳細に説明する。本発明のＮＲＤガイドの基本的な全体構成は図１のものと同様であり、以下図１に基づいて説明する。同図において、１，３は高周波信号の波長λの２分の１以下の間隔ｄで配置した下側，上側の平行平板導体、２は平行平板導体１，３間に介装、挟持された誘電体線路である。平行平板導体１，３は、高い電気伝導度および加工性等の点で、Ｃｕ，Ａｌ，Ｆｅ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｔ，ＳＵＳ（ステンレススチール）等からなり、鍛造法、鋳造法、ダイカスト法、研削法等で加工された金属板、またはセラミックス、樹脂等から成る絶縁板の表面に上記金属や合金から成る導体層を形成したものでもよい。なお、上記波長λは使用周波数における高周波信号の空気中での波長に相当する。
【００１３】
本発明のＮＲＤガイドは、高周波信号の波長の１／２以下の間隔で配置した平行平板導体１，３間に高周波信号が伝送される誘電体線路２を介装して成るものにおいて、誘電体線路２は平行平板導体１，３の内面に接着されており、平行平板導体１，３の内面に存在する酸化層の厚みをＡ、内面の算術平均粗さをＲａとしたとき、０．１μｍ≦Ａ≦３０μmかつ０．０５μｍ≦Ｒａ≦１０μｍである。
【００１４】
平行平板導体１，３内面の表面の算術平均粗さＲａは、日本工業規格であるＪＩＳＢ０６０１−１９９４に規定されているものである。即ち、Ｒａは、粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さLだけを抜き取り、この抜き取り部分の平均線の方向にx軸を、縦倍率の方向にy軸を取り、粗さ曲線をｙ＝ｆ（ｘ）で表したときに、Ｒａ＝（１／Ｌ）∫0L｜ｆ（ｘ）｜ｄｘ（∫：積分記号、０，L：積分範囲）によって求められる値をマイクロメートル（μm）で表したものである。
【００１５】
酸化層について、例えばＣｕ，Ａｌ，Ｆｅ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｔ，ＳＵＳ（ステンレススチール）等から成る平行平板導体１，３の場合、大気中ですでに酸化層がある程度形成されている。その酸化層の厚みＡは、陽極酸化法やアルマイト法によって制御できる。陽極酸化法は、一般的に、平行平板導体１，３を脱脂洗浄（蒸気洗浄や超音波洗浄）し、電解研磨や化学研磨などで表面の研磨を行った後、陽極酸化処理を行うものである。電解研磨用の電解液は、例えば数％程度のしゅう酸、クロム酸、リン酸、または１０数％程度の濃度の硫酸液を用いる。このような陽極酸化法やアルマイト法により、酸化層を５０μm程度の厚みまで制御して被覆することができる。
【００１６】
本発明においては、平行平板導体１，３の内面に存在する酸化層の厚みＡが０．１μｍ≦Ａ≦３０μmであることから、平行平板導体１，３の内面の水酸基の量が十分となり、その結果接着剤と平行平板導体１，３との間の水素結合力が十分になり、強固な接着力を得ることができる。
【００１７】
酸化層の厚みＡが０．１μm未満では、接着剤との化学的結合力として働く水素結合をする水酸基の量が不足し、誘電体線路２と平行平板導体１，３とを長期にわたり強固に接着することが困難になり、誘電体線路２が平行平板導体１，３から剥離しやすくなる。また、酸化層の厚みＡを３０μm以下としたのは、高周波信号により平行平板導体１，３に生じる電流は表皮効果により平行平板導体１，３の表面に集中するが、厚みＡが３０μmより大きくなると、酸化層の電気伝導度が低くなり平行平板導体１，３における高周波信号の伝送損失が大きくなる。好ましくは０．１５μｍ≦Ａ≦５μｍがよく、より好ましくは０．１５μｍ≦Ａ≦２μｍがよい。
【００１８】
また、平行平板導体１，３の内面の算術平均粗さＲａが０．０５μｍ≦Ｒａ≦１０μｍであることから、接着剤のアンカー効果が効果的に働き安定した高強度の接着力が得られる。その結果、接着層の剥離や誘電体線路の脱落のない良好な接着状態を長期にわたり保持できる。また、平行平板導体１，３内面の電流経路を短くして表面抵抗を小さくすることができるため、高周波信号の伝送損失を効果的に抑制することができる。
【００１９】
Ｒａが０．０５μm未満では、誘電体線路２を平行平板導体１，３に接着した際にアンカー効果が小さくなるため、長期にわたり強固に保持することが困難であり耐久性に劣る。Ｒａを１０μm以下としたのは、高周波信号により平行平板導体１，３に生じる電流は表皮効果のため平行平板導体１，３内面の表面に集中するが、Ｒａが１０μmよりも大きくなると、平行平板導体１，３内面の表面の電流経路が長くなって表面抵抗が大きくなり、高周波信号の導体損失が増大して伝送損失が大きくなる。好ましくは０．１μｍ≦Ｒａ≦３μｍがよい。
【００２０】
本発明のＮＲＤガイドにおいて、好ましくは、誘電体線路２の平行平板導体１、３の内面の表面に存在するＮａ、ＣｏまたはＢａの含有量がそれぞれ５原子％以下である。これらの元素は、平行平板導体１、３を切削法等により作製する際に、タップをあけるときのペーストや切削油に含まれる油脂に多く含まれており、平行平板導体１、３表面を研磨することにより油脂を除去して上記元素の量を所定値以下とすることができる。そして、接着剤の硬化の阻害や接着強度の低下を防ぐことができる。そして、上記元素は平行平板導体１、３の内面に存在しないことがよいが、各元素をそれぞれ５原子％以下とすることにより、接着剤の接着強度は大きく低下はせず、安易に剥れ落ちることのないような接着強度を保持できる。好ましくは、１．０原子％以下がよい。
【００２１】
また、平行平板導体１、３の内面の表面に５原子％を超える量のＮａ、ＣｏまたはＢａが存在する場合であっても、表面を研磨するだけで簡単かつ迅速に完全に除去できる。従って、平行平板導体１、３内面に簡便な研磨加工を施すだけで、その表面粗さと洗浄状態を接着に対して最適な状態にすることができ、接着層の剥離や誘電体線路の脱離のない高い信頼性の接着状態を実現し、その接着状態を長期にわたり保持できる。
【００２２】
Ｎａ，Ｃｏ，Ｂａの各元素の含有量の測定は、例えばＸ線光電子分光分析法などによって行なうことができる。例えばＸ線光電子分光分析法で測定する場合、Ｘ線源をモノクロＡｌＫα線（プローブ直径２００μm，３５W，１５ｋV）とし、平行平板導体１，３の測定領域を約２００μmφ（直径）の円形として測定を行う。そして、Ｎａ，Ｃｏ，Ｂａの含有量は、検出される全ての元素の合計を１００原子％としたときの各元素の割合を原子％で表したものである。
【００２３】
また、誘電体線路２は、端面同士を対向させて配置した複数の誘電体線路部分から構成されていてもよい。その場合、誘電体線路部分の端面間の間隔は、誘電体線路部分の端面間で高周波信号が電磁結合する長さであればよく、誘電体線路２全体で高周波信号を伝搬させる一連のものとなるようになっていればよい。
【００２４】
この誘電体線路２は、Ｍｇ，Ａｌ，Ｓｉの複合酸化物を主成分とするセラミックス、例えばコーディエライト（２ＭｇＯ・２Ａｌ2Ｏ3・５ＳｉＯ2）セラミックスから成るとともに、測定周波数６０ＧＨｚでのＱ値が１０００以上であることが好ましい。この場合、従来のアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）セラミックス等よりも低比誘電率のセラミックスからなる誘電体線路２となることから、ＬＳＭモードの電磁波のＬＳＥモードへの変換を少なくでき、高周波信号の損失が抑えられる。
【００２５】
また好ましくは、複合酸化物のモル比組成式がｘＭｇＯ・ｙＡｌ2Ｏ3・ｚＳｉＯ2（但し、ｘ＝１０〜４０モル％，ｙ＝１０〜４０モル％，ｚ＝２０〜８０モル％，ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００モル％を満足する）で表されることにより、さらに伝送損失が少なく、かつ安価で高い形状精度の誘電体線路２を用いたＮＲＤガイドを作製できる。
【００２６】
本発明のＮＲＤガイドは、車載用のミリ波レーダー等のミリ波送受信器、無線ＬＡＮ等に用いられる。ミリ波送受信器の場合、例えば以下のような構成になる。
【００２７】
ミリ波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間に、ガンダイオード等の高周波発生素子が一端部に付設され、高周波発生素子から出力されたミリ波信号を伝搬させる第１の誘電体線路と、バイアス電圧印加方向がミリ波信号の電界方向に合致するように配置され、バイアス電圧を周期的に制御することによってミリ波信号を周波数変調した送信用のミリ波信号として出力するためのバラクタダイオード等の可変容量ダイオードと、第１の誘電体線路に一端側が電磁結合するように近接配置されるかまたは一端が接合されて、ミリ波信号の一部をミキサー側へ伝搬させる第２の誘電体線路と、平行平板導体に平行に配設されたフェライト板の周縁部に所定間隔で配置されかつそれぞれミリ波信号の入出力端とされた第１の接続部，第２の接続部および第３の接続部を有し、一つの接続部から入力されたミリ波信号をフェライト板の面内で時計回りまたは反時計回りに隣接する他の接続部より出力させるサーキュレータであって、第１の誘電体線路のミリ波信号の出力端に第１の接続部が接続されるサーキュレータと、サーキュレータの第２の接続部に接合され、ミリ波信号を伝搬させるとともに先端部に送受信アンテナを有する第３の誘電体線路と、送受信アンテナで受信され第３の誘電体線路を伝搬してサーキュレータの第３の接続部より出力した受信波をミキサー側へ伝搬させる第４の誘電体線路と、第２の誘電体線路の中途と第４の誘電体線路の中途とを近接させて電磁結合させるかまたは接合させて成り、ミリ波信号の一部と受信波とを混合させて中間周波信号を発生させるミキサー部と、を設けた構成である。
【００２８】
このミリ波送受信器は、ガンダイオード等の高周波発生素子を有するミリ波信号発振部から発振したミリ波信号を自動車等の被測定物に照射してその反射波を受信した受信波と、元のミリ波信号とをミキサーで混合して中間周波信号を発生させ、その中間周波信号から被測定物までの距離を検出するものである。
【００２９】
具体的には、ＦＭＣＷ（Frequency  Modulation  Continuous  Waves）方式であり、その動作原理は以下のようなものである。ミリ波信号発振部の変調信号入力用のＭＯＤＩＮ端子に、電圧振幅の時間変化が三角波等となる入力信号を入力し、その出力信号を周波数変調し、ミリ波信号発振部の出力周波数偏移を三角波等になるように偏移させる。そして、送受信アンテナまたは送信アンテナより出力信号（送信波）を放射した場合、送受信アンテナ，送信アンテナの前方にターゲットが存在すると、電波の伝搬速度の往復分の時間差をともなって、反射波（受信波）が戻ってくる。この時、ミキサーの出力側のＩＦＯＵＴ端子には、送信波と受信波の周波数差（中間周波信号）が出力される。このＩＦＯＵＴ端子の出力周波数等の周波数成分を解析することで、Ｆif＝４Ｒ・ｆｍ・Δｆ／ｃ｛Fif：ＩＦ（Intermediate  Frequency）出力周波数，Ｒ：距離，ｆｍ：変調周波数，Δｆ：周波数偏移幅，ｃ：光速｝という関係式からターゲットまでの距離が得られる。
【００３０】
このようなＮＲＤガイド型のミリ波送受信器において、本発明の平行平板導体および誘電体線路の構成を採用することによって、誘電体線路を伝搬するＬＳＭモードの電磁波のＬＳＥモードへの変換を少なくし、その結果誘電体線路に小さい曲率半径で使用周波数範囲が広い急峻な曲線部を作製することができる。従って、ミリ波送受信器を、使用周波数範囲が広く、小型化でき、しかも加工が容易で作製の自由度の高いものとすることができる。そのため、ミリ波信号の伝送特性に優れたものとなり、受信信号のノイズが低減して探知距離が増大するという作用効果が得られる。また、誘電体線路の接着強度が向上するため、ミリ波送受信器の耐久性および信頼性が高くなる。
【００３１】
【実施例】
本発明の実施例を以下に示す。
【００３２】
（実施例１）
図１のＮＲＤガイドＳ１を以下のように構成した。誘電体線路２の材料として、Ｍｇ，Ａｌ，Ｓｉの複合酸化物を主成分としたコーディエライト（２ＭｇＯ・２Ａｌ2Ｏ3・５ＳｉＯ2）セラミックスを使用した。一対の平行平板導体１，３として、アルミニウムを切削加工して作製した縦６０ｍｍ×横６０ｍｍ×厚さ１０ｍｍの金属板を１．８ｍｍの間隔ｄで配置し、平行平板導体１，３の間に誘電体線路２を介装した。この誘電体線路２は、高さ１．８ｍｍ、幅０．８ｍｍ、長さ１０ｍｍの誘電体線路部分を、端面同士が対向するように配置して伝送方向に４本並べて、擬似的に１本となるように構成したものとした。平行平板導体１，３と誘電体線路２とは一液型のエポキシ樹脂接着剤で接着した。平行平板導体１，３の表面の酸化層の厚みは陽極酸化法やアルマイト処理により厚みを変化させた。また、算術平均粗さはサンドペーパーやダイヤモンドペーストにより表面を研磨することで変化させた。
【００３３】
酸化層の厚みＡは、アルゴンスパッタリング法（イオン加速電圧１ｋＶ）や波長分散型Ｘ線マイクロアナライザーで測定した。算術平均粗さＲａは、触針式の表面粗さ測定器で測定した。
【００３４】
評価方法はオートグラフにより接着強度をせん断応力を加えて測定した。また、接着後の誘電体線路２の接着強度の信頼性を確認するために、温度サイクル試験に投入した。温度サイクルの条件は、温度幅が−４０〜１２０℃、１サイクルが６０分、サイクル数が１０００とした。伝送損失は、７６．５ＧＨｚの高周波信号を誘電体線路２に伝搬させ、誘電体線路２から出力された高周波信号をネットワークアナライザーで評価した。
【００３５】
接着強度は、車載条件における最大主応力からシミュレーションにより計算した結果１００ＭＰａ（メガパスカル）以上であれば誘電体線路２がはずれることはないということから、基準を１００ＭＰａ以上とした。また伝送損失は、シミュレーションにより損失が１．００ｄＢ／ｃｍを超えると損失が大きくて製品としての使用が困難になるため、基準を１．００ｄＢ／ｃｍ未満とした。
【００３６】
酸化層の厚みＡ、算術平均粗さＲａを変化させ、初期接着強度、温度サイクル後接着強度、伝送損失を測定した結果を表１に示す。
【００３７】
【表１】
0003652300.tif 000002
【００３８】
サンプル番号２は初期接着強度が３８ＭＰａと低強度であり、温度サイクル試験後に誘電体線路２がはずれていた。サンプル番号２の酸化層の厚みＡは０．０８μｍ、算術平均粗さＲａは０．０５μｍ未満であった。
【００３９】
サンプル番号３は初期接着強度が８５ＭＰａと低強度であり、温度サイクル試験後の接着強度が２０ＭＰａであった。サンプル番号３のＡは０．０８μｍ、Ｒａは３μｍであった。
【００４０】
サンプル番号４は初期接着強度が１３０ＭＰａと高強度であり、温度サイクル試験後の接着強度が１００ＭＰａであったが、伝送損失が１．２２ｄＢ／ｃｍであった。サンプル番号４のＡは０．０８μｍ、Ｒａは１５μｍであった。
【００４１】
サンプル番号５は初期接着強度が５０ＭＰａと高強度であり、温度サイクル試験後に誘電体線路２がはずれていた。サンプル番号５のＡは３３μｍ、Ｒａは０．０５μｍ未満であった。
【００４２】
サンプル番号６は初期接着強度が１７０ＭＰａと高強度であり、温度サイクル試験後の接着強度が１３４ＭＰａであったが、伝送損失が１．８５ｄＢ／ｃｍであった。サンプル番号６のＡは４０μｍ、Ｒａは０．５μｍであった。
【００４３】
サンプル番号７は初期接着強度が１５０ＭＰａと高強度であり、温度サイクル試験後の接着強度が１３０ＭＰａであったが、伝送損失が１．５５ｄＢ／ｃｍであった。サンプル番号７のＡは４０μｍ、Ｒａは１２μｍであった。
【００４４】
サンプル番号８は初期接着強度が１６０ＭＰａと高強度であったが、伝送損失が１．１８ｄＢ／ｃｍであった。サンプル番号８のＡは１．１μｍ、Ｒａは２０μｍであった。
【００４５】
サンプル番号９は初期接着強度が４９ＭＰａと低強度であり、温度サイクル試験後に誘電体線路２がはずれていた。サンプル番号９のＡは１．１μｍ、Ｒａは０．０５μｍ未満であった。
【００４６】
上記の通り、サンプル番号２〜９の誘電体線路２は、接着強度および伝送損失の少なくとも一方が基準値からはずれており、製品としての使用は困難であった。
【００４７】
サンプル番号１は初期接着強度が１８０ＭＰａと高強度であり、温度サイクル試験後の接着強度が１５０ＭＰａ、伝送損失が０．１５ｄＢ／ｃｍであり、製品として使用可能であった。サンプル番号１のＡは１．１μｍ、Ｒａは０．２μｍであった。
【００４８】
サンプル番号１０は初期接着強度が１８０ＭＰａと高強度であり、温度サイクル試験後の接着強度が１６０ＭＰａ、伝送損失が０．３３ｄＢ／ｃｍであり、製品としての使用が可能であった。サンプル番号１０のＡは５μｍ、Ｒａは２μｍであった。
【００４９】
サンプル番号１１，１２も表１に示すように良好な結果となった。
【００５０】
従って、本発明の範囲内であるサンプル番号１，１０，１１，１２は、初期接着強度と温度サイクル試験後の接着強度のいずれも高強度で基準の１００ＭＰａ以上であり、また伝送損失も基準の１．００ｄＢ／ｃｍ未満であり、製品として充分な性能を有していた。
【００５１】
（実施例２）
実施例１と同様の図１のＮＲＤガイドＳ１を構成した。本実施例２では、一対の平行平板導体１，３として、アルミニウムを切削加工して作製したが、洗浄工程を変更することで切削油やタップペーストの残存量を変化させた。平行平板導体１，３の洗浄工程としては、まずトリクロロエチレンやメタクロロエチレンを洗浄液とした３槽式蒸気洗浄や超音波洗浄を行ない、その後アセトンやイソプロパノールで２槽から５槽で仕上げ洗浄（超音波洗浄や揺動洗浄）を行なった。切削油やタップペーストに含まれている元素の中でＮａ，Ｃｏ，Ｂａの含有量の変化を確認することで切削油やタップペーストの残存量の割合を判断した。
【００５２】
平行平板導体１，３と誘電体線路２とは一液型のエポキシ樹脂接着剤で接着した。平行平板導体１，３の内面の表面から深さ１μｍまでの部位におけるＮａ，Ｃｏ，Ｂａの含有量をＸ線光電子分光分析法で測定した。各元素の含有量の測定は、Ｘ線源をモノクロＡｌＫα線（プローブ直径２００μm，３５W，１５ｋV）とし、平行平板導体１，３の測定領域を約２００μmφ（直径）の円形として行った。ここで、サンプルとして実施例１で良好な特性が得られたサンプル番号１と同様のもの（Ａが１．１μm、Ｒａが０．２μm）を使用した。切削油、タップペーストが付着した平行平板導体１，３を、上記洗浄工程の各工程で抜き取りＮａ，Ｃｏ，Ｂａのそれぞれの含有量を測定した。そして、Ｎａ，Ｃｏ，Ｂａの含有量の異なるサンプルを、実施例１と同様にオートグラフにより接着強度によって評価した。
【００５３】
Ｎａ，Ｃｏ，Ｂａの含有量がそれぞれ約７原子％であったものは、接着強度が３５ＭＰａであり、温度サイクル（温度幅：−４０〜１２０℃、１サイクル：６０分、サイクル数：１０００）試験後は、誘電体線路２が平行平板導体１，３から外れていた。
【００５４】
Ｎａ，Ｃｏ，Ｂａの含有量がそれぞれ約５原子％であったものは、接着強度が１８０ＭＰａであり、温度サイクル（温度幅：−４０〜１２０℃、１サイクル：６０分、サイクル数：１０００）試験後は、接着強度が１４０ＭＰａであり、実施例１のサンプル番号１とほぼ同等の強度であった。
【００５５】
Ｎａ，Ｃｏ，Ｂａの含有量がそれぞれ約２．２原子％であったものは、誘電体線路２の初期接着強度が２２０ＭＰａであり、温度サイクル（温度幅：−４０〜１２０℃、１サイクル：６０分、サイクル数：１０００）試験後の接着強度が１８０ＭＰａであり、充分な接着強度であった。これは実施例１のサンプル番号１よりも初期強度がさらに高いものであった。
【００５６】
なお、本発明は上記実施の形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を行うことは何等差し支えない。
【００５７】
【発明の効果】
本発明は、高周波信号の波長の１／２以下の間隔で配置した平行平板導体間に高周波信号が伝送される誘電体線路を介装して成るものにおいて、誘電体線路は平行平板導体の内面に接着されており、平行平板導体の内面に存在する酸化層の厚みをＡ、内面の算術平均粗さをＲａとしたとき、０．１μｍ≦Ａ≦３０μmかつ０．０５μｍ≦Ｒａ≦１０μｍであることにより、平行平板導体の内面の水酸基の量が十分になり、接着剤と平行平板導体との間の水素結合力が十分に発揮され、強固な接着力が得られる。また、接着剤のアンカー効果が効果的に働き、安定した高強度の接着力を有するものとなる。その結果、接着層の剥離や誘電体線路の脱落のない良好な接着状態を長期にわたり保持でき、また、高温環境、低温環境、激しい温度サイクル下の環境、高湿度環境、振動や機械的衝撃が加わり易い環境などの車載環境等の過酷な環境で使用しても、誘電体線路の平行平板導体に対する接着の信頼性が高く、誘電体線路の接着強度のばらつきが小さいＮＲＤガイドとなる。さらに、伝搬モードであるＬＳＭモードの電磁波の一部がＬＳＥモードに変換されて伝送損失が生じるのを防いで、高周波信号の伝送特性を良好にすることができる。
【００５８】
本発明において、好ましくは、誘電体線路の平行平板導体の内面の表面に存在するＮａ、ＣｏまたはＢａの含有量がそれぞれ５原子％以下であることにより、平行平板導体を作製する際の切削油やペーストに多く含まれるＮａ、ＣｏまたはＢａが平行平板導体の内面に残存している量を所定値以下とすることにより、接着剤の硬化の阻害や接着強度の低下を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＮＲＤガイドについて実施の形態の例を示し、ＮＲＤガイドの内部を透視した斜視図である。
【符号の説明】
１：下側の平行平板導体
２：誘電体線路
３：上側の平行平板導体
【図１】
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