(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の要件を備えたことを特徴とするホルダ、
（Ａ01）後端部に設けられて搬送部材に連結される搬送部材連結部材、
（Ａ02）前側部分の左右両側に設けられて前側に行くに従って狭まる一対の側面により形成されるとともに、ホルダ装着用ステージＳ上の弾性力により押圧される回転可能なホルダ保持ローラに係合する前側ローラ係合面、
（Ａ03）後側部分の左右両側に設けられて後側に行くに従って狭まる一対の側面により形成されるとともに、ホルダ装着用ステージ上の弾性力により押圧される回転可能なホルダ保持ローラに係合する後側ローラ係合面、
（Ａ04）ホルダ装着用ステージ上のホルダ支持面に支持される被支持面、
（Ａ05）前側部分が円筒面により形成された円筒状被位置決め面を有するとともに、ホルダ装着用ステージの半円筒状位置決め面に当接して位置決めされる被位置決め部材。
【請求項２】
下記の要件を備えたことを特徴とする請求項１記載のホルダ、
（Ａ06）ホルダ装着用ステージの旋回位置決め部材に係合したとき、ホルダ装着用ステージ上のホルダの鉛直軸回りの旋回位置が位置決めされる被旋回位置決め部材。
【請求項３】
下記の要件を備えたことを特徴とするホルダ装着用ステージ、
（Ｂ01）ホルダ装着用ステージへのホルダの搬入搬出が行われる側である後側に向かって開くＵ字状の半円筒状位置決め面であって、搬入されるホルダの円筒状被位置決め面に係合する前記半円筒状位置決め面、
（Ｂ02）前記半円筒状位置決め面の上方または下方に設けられたホルダ支持面であって、搬入されるホルダ下面の被支持面を支持する前記ホルダ支持面、
（Ｂ03）前記ホルダ支持面に支持されるホルダの後側部分の側面に形成された後側に行くに従って狭まる左右一対の後側ローラ係合面に弾性力により押圧接触する回転可能なホルダ保持ローラ。
【請求項４】
下記の要件を備えたことを特徴とする請求項３記載のホルダ装着用ステージ、
（Ｂ04）前記ホルダ支持面に支持されるホルダの前端部に形成された被旋回位置決め部材に係合して前記ホルダの鉛直軸回りの旋回位置を位置決めする旋回位置決め部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビームを整形するためのビーム通過孔が形成されたプレートであるアパーチャまたは試料等を保持するホルダ、および前記ホルダが着脱自在に装着されるホルダ装着用ステージに関し、特に、ホルダをステージに対して着脱する際にカジリが生じないように構成されたホルダおよび前記ホルダを着脱自在に装着するためのホルダ装着用ステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
前記ホルダおよびホルダ装着用ステージとしては、従来、下記（Ｊ01）に示す技術が知られている。
（Ｊ01）図５，図６に示す技術
図５は従来の可変面積露光を行う電子ビーム描画装置で使用されるアパーチャ（成形絞り）を含む電子光学系の説明図である。
図５において、電子銃０１から出射された電子線は、矩形のスリット０２aを有する第１アパーチャ０２を通過する。矩形状になった電子線は、成形偏向器０３で偏向されて第２アパーチャ０４を通過する。第２アパーチャ０４を通過した電子線は、対物レンズ０５により集束される。そして電子線は偏向器０６により偏向されて材料０７の所定の位置を照射する。
このようにして、材料０７の所定の位置に第１アパーチャ０２と第２アパーチャ０４により整形された矩形が描画される。前記アパーチャ０２，０４には常に電子線が照射されるため、汚れ次第、交換する必要がある。
【０００３】
図６は前記アパーチャを保持するホルダおよびホルダ装着用ステージの従来例の説明図で、図６Ａは上面図、図６Ｂは前記図６ＡのＶIＢ−ＶIＢ線断面図である。
図６において、前記アパーチャ０２または０４はそれぞれ、ホルダ０８により保持されている。ホルダ０８は、アパーチャ下面を支持するホルダ本体０９および、アパーチャ上面を押さえてホルダ本体に固定するアパーチャ押さえ用のプレート０１０を有している。前記ホルダ本体０９には下面にアリ溝０９aが形成されている。また、ホルダ本体０９には、図示しないホルダ搬送部材に着脱可能に連結される連結部０１１が固定されている。
前記符号０９〜０１１で示された要素により、前記第１または第２アパーチャ０２，０４を保持するホルダ０８が構成されている。
【０００４】
図６Ｂにおいて、前記ホルダ０８が着脱可能に装着されるステージ０１６は、ベース０１７を有している。ベース０１７には上下に貫通するガイド孔０１７aが形成されている。前記ガイド孔０１７aにはパイプ０１８がスライド可能に装着されている。パイプ０１８の上端にはテーパ部０１９が設けられ、下端にはスプリング受け部０２０が固定されている。前記スプリング受け部０２０上面と前記ベース０１７下面との間には圧縮スプリング０２１が配置されている。前記圧縮スプリング０２１はベース０１７に対してパイプ０１８およびテーパ部０１９を常時押し下げるように作用している。
また、前記ベース０１７上面にはストッパ０２２が設けられている。ストッパ０２２は前記ホルダ０８が搬送されてきたときのホルダ０８の位置決めを行う部材である。
前記符号０１７〜０２２で示された要素により前記ステージ０１６が構成されている。
【０００５】
前記ホルダ０８を図示しないホルダ搬送部材により、前記ステージ０１６上に搬送すると、ホルダ０８のアリ溝０９aが前記テーパ部０１９およびパイプ０１８を持ち上げながら、前記テーパ部０１９に嵌合する。前記ホルダ０８は前記ストッパ０２２に当接する位置で停止して、前記ステージ０１６上に位置決め、固定される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
（前記（Ｊ01）の問題点）
前記従来技術（Ｊ01）では、次のような問題点がある。
（a）ステージ０１６に対してホルダ０８を着脱する際、ホルダ０８下部のアリ溝０９aとパイプ０１８上端のテーパ部０１９はスプリング０２１の力で押し付けられながら擦れるため、ゴミが発生する。
（b）ベース０１７のガイド孔０１７aとパイプ０１８との間にカジリが発生して、ホルダ０８の着脱がスムーズに行えなくなる。
本発明は、前述の事情に鑑み下記（Ｏ01）の記載内容を課題とする。
（Ｏ01）ホルダをホルダ装着用ステージに着脱する際のカジリの発生を少なくすること。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の説明において本発明の構成要素の後に付記したカッコ内の符号は、本発明の構成要素に対応する後述の実施例の構成要素の符号である。なお、本発明を後述の実施例の構成要素の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【０００８】
（第１発明）
前記課題を解決するために、本発明の第１発明のホルダは下記の要件を備えたことを特徴とする、
（Ａ01）後端部に設けられて搬送部材に連結される搬送部材連結部材（３）、
（Ａ02）前側部分の左右両側に設けられて前側に行くに従って狭まる一対の側面により形成されるとともに、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）上の弾性力により押圧される回転可能なホルダ保持ローラ（２３）に係合する前側ローラ係合面（２e）、
（Ａ03）後側部分の左右両側に設けられて後側に行くに従って狭まる一対の側面により形成されるとともに、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）上の弾性力により押圧される回転可能なホルダ保持ローラ（２３）に係合する後側ローラ係合面（２f）、
（Ａ04）ホルダ装着用ステージ（Ｓ）上のホルダ支持面（１９a）に支持される被支持面（２g）。
（Ａ05）前側部分が円筒面により形成された円筒状被位置決め面（９c）を有するとともに、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）の半円筒状位置決め面（１９b）に当接して位置決めされる被位置決め部材（９）、
【０００９】
（第１発明の作用）
前記構成を備えた本発明の第１発明のホルダは、後端部に設けられた搬送部材連結部材（３）が搬送部材に連結されて搬送される。ホルダ（１）の前側部分の左右両側には、前側に行くに従って狭まる一対の側面により形成された前側ローラ係合面（２e）が設けられる。前記前側ローラ係合面（２e）は、ホルダ（１）がホルダ装着用ステージ（Ｓ）に搬送される際、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）上の回転可能なホルダ保持ローラ（２３）に係合する。前記ホルダ（１）は、前記前側ローラ係合面（２e）に弾性力により押圧接触するホルダ保持ローラ（２３）により、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）上の所定の位置にガイドされる。
ホルダ（１）の被位置決め部材（９）は、前側部分が円筒面により形成された円筒状被位置決め面（９c）を有する。前記円筒状被位置決め面（９c）は、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）の半円筒状位置決め面（１９b）に当接して位置決めされる。
ホルダ（１）の被支持面（２g）は、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）上のホルダ支持面（１９a）に支持される。
【００１０】
ホルダ（１）の後側部分の左右両側には後側に行くに従って狭まる一対の側面により形成された後側ローラ係合面（２f）が設けられる。前記後側ローラ係合面（２f）は、ホルダ（１）がホルダ装着用ステージ（Ｓ）に支持された際、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）上の回転可能なホルダ保持ローラ（２３）に係合する。前記ホルダ（１）は、前記後側ローラ係合面（２f）に弾性力により押圧接触するホルダ保持ローラ（２３）により、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）上の所定の位置に保持される。
すなわち、前記ホルダ（１）は、前記ホルダ（１）の後側ローラ係合面（２f）に弾性力により押圧接触する回転可能なホルダ保持ローラ（２３）によりホルダ装着用ステージ（Ｓ）上に保持されるので、カジリが発生しない機構によりホルダ装着用ステージ（Ｓ）上に保持される。
【００１１】
（第２発明）
また、前記課題を解決するために、本発明の第２発明のホルダ装着用ステージ（Ｓ）は下記の要件を備えたことを特徴とする、
（Ｂ01）ホルダ装着用ステージ（Ｓ）へのホルダ（１）の搬入搬出が行われる側である後側に向かって開くＵ字状の半円筒状位置決め面（１９b）であって、搬入されるホルダ（１）の円筒状被位置決め面（９c）に係合する前記半円筒状位置決め面（１９b）、
（Ｂ02）前記半円筒状位置決め面（１９b）の上方または下方に設けられたホルダ支持面（１９a）であって、搬入されるホルダ下面の被支持面（２g）を支持する前記ホルダ支持面（１９a）、
（Ｂ03）前記ホルダ支持面（１９a）に支持されるホルダ（１）の後側部分の側面に形成された後側に行くに従って狭まる左右一対の後側ローラ係合面（２f）に弾性力により押圧接触する回転可能なホルダ保持ローラ（２３）。
【００１２】
（第２発明の作用）
前記構成を備えた本発明の第２発明のホルダ装着用ステージ（Ｓ）は、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）へのホルダ（１）の搬入搬出が行われる側である後側に向かって開くＵ字状の半円筒状位置決め面（１９b）を有する。前記半円筒状位置決め面（１９b）は、搬入されるホルダ（１）の円筒状被位置決め面（９c）に係合して、前記ホルダ（１）のホルダ装着用ステージ（Ｓ）上での位置決めを行う。また、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）のホルダ支持面（１９a）は、搬入されるホルダ下面の被支持面（２g）を支持する。
回転可能なホルダ保持ローラ（２３）は、前記ホルダ支持面（１９a）に支持されるホルダ（１）の後側部分の側面に形成された後側に行くに従って狭まる左右一対の後側ローラ係合面（２f）に弾性力により押圧接触する。
したがって、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）は、前記ホルダ（１）の後側ローラ係合面（２f）に弾性力により押圧接触する回転可能なホルダ保持ローラ（２３）によりホルダ（１）を保持するので、カジリが発生しない機構によりホルダ（１）をホルダ装着用ステージ（Ｓ）上に保持することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
（第１発明の実施の形態１）
本発明の第１発明のホルダの実施の形態１は、前記第１発明のホルダにおいて次の要件を備えたことを特徴とする、
（Ａ06）ホルダ装着用ステージ（Ｓ）の旋回位置決め部材（２１）に係合したとき、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）上のホルダ（１）の鉛直軸回りの旋回位置が位置決めされる被旋回位置決め部材（２c）。
（第１発明の実施の形態１の作用）
前記構成を備えた第１発明のホルダ（１）の実施の形態１では、ホルダ（１）は被旋回位置決め部材（２c）を有している。前記被旋回位置決め部材（２c）は、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）の旋回位置決め部材（２１）に係合したとき、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）上のホルダ（１）の鉛直軸回りの旋回位置が位置決めされる。
したがって、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）上のホルダ（１）は、前記旋回位置が位置決めされた状態で保持される。
【００１４】
（第２発明の実施の形態１）
本発明の第２発明のホルダ装着用ステージ（Ｓ）の実施の形態１は、前記第２発明のホルダ装着用ステージ（Ｓ）において次の要件を備えたことを特徴とする、
（Ｂ04）前記ホルダ支持面（１９a）に支持されるホルダ（１）の前端部に形成された被旋回位置決め部材（２c）に係合して前記ホルダ（１）の鉛直軸回りの旋回位置を位置決めする旋回位置決め部材（２１）。
（第２発明の実施の形態１の作用）
前記構成を備えた本発明の第２発明のホルダ装着用ステージ（Ｓ）の実施の形態１では、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）は旋回位置決め部材（２１）を有している。前記旋回位置決め部材（２１）は、前記ホルダ支持面（１９a）に支持されるホルダ（１）の前端部に形成された被旋回位置決め部材（２c）に係合して前記ホルダ（１）の鉛直軸回りの旋回位置を位置決めする。
したがって、ホルダ装着用ステージ（Ｓ）は、前記ホルダ（１）を、前記旋回位置が位置決めされた状態で保持する。
【００１５】
【実施例】
次に図面を参照しながら、本発明のホルダおよびホルダ装着用ステージの実施の形態の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、右左方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【００１６】
（実施例１）
図１は本発明のホルダの実施例１の説明図で、図１Ａはホルダの上面図、図１Ｂは前記図１のIＢ−IＢ線断面図、図１Ｃは前記図１Ｂの矢印IＣから見た図、図１Ｄは前記図１Ｃの矢印IＤから見た図である。図２は前記図１に示すホルダの分解図である。
【００１７】
図１，図２に示す本発明の実施例1のホルダ１は電子ビーム描画装置で使用されるアパーチャを保持するホルダである。
図１、図２において、ホルダ１は、プレート状のホルダ本体２を有している。ホルダ本体２は、下面にアパーチャ収容凹部２aが形成されており、前記アパーチャ収容凹部２aの中央部を上下に貫通するビーム通過孔２bが形成されている。ホルダ本体２はその前端部（Ｘ端部）に位置決め用凹部２cが形成されており、後端（−Ｘ端）には連結部材結合面２dが形成されている。前記位置決め用凹部２cはホルダ１の鉛直軸回りの回転位置である旋回位置を位置決めするために使用される被旋回位置決め部材（２c）として構成されている。
【００１８】
前記ホルダ本体２には、その前端側部分の左右両端部に、前側（Ｘ側）に行くに従って狭まる一対の側面により形成された前側ローラ係合面２eが形成されている。また、前記ホルダ本体２には、その後端側部分の左右両端部に、後側（−Ｘ側）に行くに従って広がる一対の側面により形成された後側ローラ係合面２fが形成されている。前記ローラ係合面２e，２fは後述のホルダ保持ローラが係合する面である。
また、前記ホルダ本体２の下面の外周側部分は、後述のホルダ装着用ステージＳ上のホルダ支持面に支持される被支持面２g（図２、図１参照）として形成されている。
前記連結部材結合面２dにはホルダ搬送部材（図示せず）に着脱自在に連結される搬送部材連結部材３がネジ４により固定されている。前記搬送部材連結部材３はホルダ本体２と別体に形成してからホルダ本体２に連結する代わりに、ホルダ本体と一体的に構成することが可能である。
【００１９】
前記アパーチャ収容凹部２aには、矩形のスリット（図示せず）を有するアパーチャ６およびそれをホルダ本体２下面に押圧するためのアパーチャ固定部材７が収容され、アパーチャ固定部材７はネジ８，８（図１Ｃ、図２参照）により前記アパーチャ収容凹部２a内に固定されている。アパーチャ固定部材７にはビーム通過孔７aが形成されている。前記アパーチャ固定部材７は図１Ｂに示すように前記ホルダ本体２の下面よりも下方に突出している。
【００２０】
前記ホルダ本体２下面にはリング状プレート９がネジ１０，１０により固定されている。前記リング状プレート９の上面には、前記ホルダ本体２の下面よりも下方に突出するアパーチャ固定部材７（図１Ｂ参照）を収容するための凹部９aが形成されている。前記アパーチャ固定部材７には、前記凹部９aの中央部を上下に貫通するビーム通過孔９bが形成されている。
前記リング状プレート９は円筒状の外側面を有しており、前記円筒状の外側面は、ホルダ装着用ステージＳに装着される際に後述するホルダ装着用ステージＳ上のガイド部材（１８）および円筒状位置決め面（１９b）により所定の装着位置にガイドされ且つ位置決めされる円筒状被位置決め面９cとして形成されている。すなわち、前記リング状プレート９はホルダ装着用ステージＳ上でホルダ１の位置決めを行うための被位置決め部材９として構成されている。
【００２１】
図３はホルダが着脱自在に装着される電子ビーム描画装置のホルダ装着用ステージの説明図で、図３Ａは断面図、図３Ｂは前記図３ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図である。図４は前記図３の要部拡大説明図で、図４Ａは前記図３Ａの要部拡大図、図４Ｂは前記図３Ｂの要部拡大図、図４Ｃは前記図４ＡのIＶＣ−IＶＣ線から見たガイド部材１８の説明図である。
図３、図４において、電子ビーム描画装置の電子ビームＬの通路１３a，１４aを形成するフランジ部材１３と１４との間にはホルダ装着用ステージＳが設けられている。
ホルダ装着用ステージＳは、ハウジング１６を有してる。ハウジング１６はキャップ（帽子）状部分１６aと下端部から放射状に延びる３本の取付片１６bとを有している。前記キャップ状部分１６aの後側の側面は切除されてホルダ出入口１６cが形成されている。
【００２２】
前記ハウジング１６下面には底壁プレート１７（図４Ａ参照）が取り付けられており、前記キャップ状部分１６aの下端を閉塞している。
前記ハウジング１６内部には前記ホルダ出入口１６cから搬入される前記ホルダ１をガイドするガイド部材１８が配置され、ハウジング１６の上壁に固定されている。前記ガイド部材１８は、下端部の左右両側が内側に突出しており、対向する端面１８a，１８aは、前記被位置決め部材９をガイドするガイド面１８a，１８aとして形成されている。
前記ハウジング１６内部にはホルダ１を支持するベース１９が固定されている。ベース１９は図４Ａでは断面Ｌ字型であり、図４Ｂでは９０度回転したＵ字型をしている。図４において、前記ベース１９はＵ字型のホルダ支持面１９aおよび半円筒状位置決め面１９bを有している。前記ホルダ支持面１９aは前記ホルダ本体２の下面を支持する面であり、半円筒状位置決め面１９bは前記ホルダ１のリング状プレート９の円筒状被位置決め面９cに当接する面である。
【００２３】
前記ホルダ支持面１９aの前端部には鉛直な位置決めピン２１が設けられている。前記位置決めピン２１は前記ホルダ１が前記ホルダ支持面１９a上に支持されたときに、ホルダ１（図１参照）の前記位置決め用凹部２cに係合してホルダ１のＺ軸回りの位置決めを行う部材である。すなわち、前記位置決めピン２１は、ホルダ１の鉛直軸回りの位置である旋回位置を決める旋回位置決め部材（２１）である。
前記ハウジング１６内には、前記ベース１９の外側に、右左一対の回動アーム２２が鉛直な回動軸２２a回りに回動可能に支持されている。前記一対の回動アーム２２，２２は、前端部は前記ベース１９の前側（Ｘ側）部分に配置され、後端部はベース１９の後側（−Ｘ側）に配置されている。前記回動アーム２２，２２の後端部（−Ｘ端部）にはそれぞれ鉛直軸回りに回転自在なホルダ保持ローラ２３が支持されている。
【００２４】
前記回動アーム２２，２２はそれらの前端（Ｘ端）どうしが常時圧縮バネ２４により右左に押圧されており、回転モーメントを付与されている。前記回転モーメントにより前記回動アーム２２，２２の各後端部のホルダ保持ローラ２３，２３は、前記ベース１９の後端の後側で互いに接近する方向に付勢されている。ホルダ保持ローラ２３は、ベース１９上にホルダ１が支持されたときに、ホルダ本体２の前記一対の後側ローラ係合面２fに係合して、ホルダ１を挟持し且つ前方（Ｘ方向）に押圧することにより、ベース１９上にホルダ１を保持するためのローラである。
前記ハウジング１６の内部上面には板バネ２６が固定されており、板バネ２６はその先端部に押圧ローラ２７を回転自在に支持している。押圧ローラ２７はベース１９上に保持されたホルダ１を上方から前記ホルダ支持面１９aに押圧して確実に固定する機能を有している。
【００２５】
（実施例１の作用）
前記構成を備えた本発明の実施例１のホルダ１は、後端部に設けられた搬送部材連結部材３が搬送部材（図示せず）に連結されて搬送される。ホルダ１の前側部分の左右両側には、前側に行くに従って狭まる一対の側面により形成された前側ローラ係合面２eが設けられる。前記前側ローラ係合面２eは、ホルダ１がホルダ装着用ステージＳに搬送される際、ホルダ装着用ステージＳ上の回転可能なホルダ保持ローラ２３に係合する。前記ホルダ１は、前記前側ローラ係合面２eに、弾性力により押圧接触するホルダ保持ローラ２３により、ホルダ装着用ステージＳ上の所定の位置にガイドされる。
ホルダ１のリング状プレート（被位置決め部材）９は、下方に突出し且つ前側部分が円筒面により形成された円筒状被位置決め面９cを有する。前記円筒状被位置決め面９cは、ホルダ装着用ステージＳの半円筒状位置決め面１９bに当接して位置決めされる。
【００２６】
ホルダ１の被支持面（ホルダ本体２の下面の外周側部分）２gは、前記円筒状被位置決め面９cの上端から外側に広がる下面により形成される。なお、前記ホルダ１の被支持面２gは、前記円筒状被位置決め面９cの上端に接続して外側に広がる下面により形成する代わりに、上端から上方に離れた位置（上方位置）に設けることが可能であり、また、前記円筒状被位置決め面９cの下端または下方位置に設けることも可能である。
前記被支持面２gは、ホルダ装着用ステージＳ上のホルダ支持面１９aに支持される。
【００２７】
ホルダ１の後側部分の左右両側には後側に行くに従って狭まる一対の側面により形成された後側ローラ係合面２fが設けられる。前記後側ローラ係合面２fは、ホルダ１がホルダ装着用ステージＳに支持された際、ホルダ装着用ステージＳ上の回転可能なホルダ保持ローラ２３に係合する。前記後側ローラ係合面２fに弾性力により押圧接触するホルダ保持ローラ２３により、ホルダ１はホルダ装着用ステージＳ上の所定の位置に保持される。
すなわち、前記ホルダ１は、前記ホルダ１の後側ローラ係合面２fに弾性力により押圧接触する回転可能なホルダ保持ローラ２３によりホルダ装着用ステージＳ上に保持されるので、カジリが発生しない機構によりホルダ装着用ステージＳ上に保持される。
【００２８】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記に例示する。
（Ｈ01）本発明のホルダおよびホルダ装着用ステージは、アパーチャホルダのみではなく、試料ホルダに対しても適用可能である。
【００２９】
【発明の効果】
前述の本発明のホルダおよびホルダ装着用ステージは、下記の効果を奏することができる。
（Ｅ01）ホルダをホルダ装着用ステージに着脱する際のカジリの発生を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は本発明のホルダの実施例１の説明図で、図１Ａはホルダの上面図、図１Ｂは前記図１のIＢ−IＢ線断面図、図１Ｃは前記図１Ｂの矢印IＣから見た図、図１Ｄは前記図１Ｃの矢印IＤから見た図である。
【図２】  図２は前記図１に示すホルダの分解図である。
【図３】  図３はホルダが着脱自在に装着される電子ビーム描画装置のホルダ装着用ステージの説明図で、図３Ａは断面図、図３Ｂは前記図３ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図である。
【図４】  図４は前記図３の要部拡大説明図で、図４Ａは前記図３Ａの要部拡大図、図４Ｂは前記図３Ｂの要部拡大図、図４Ｃは前記図４ＡのIＶＣ−IＶＣ線から見たガイド部材１８の説明図である。
【図５】  図５は従来の可変面積露光を行う電子ビーム描画装置で使用される成形絞り（アパーチャ）を含む電子光学系の説明図である。
【図６】  図６は前記アパーチャを保持するホルダおよびホルダ装着用ステージの従来例の説明図で、図６Ａは上面図、図６Ｂは前記図６ＡのＶIＢ−ＶIＢ線断面図である。
【符号の説明】
Ｓ…ホルダ装着用ステージ、１…ホルダ、２c…被旋回位置決め部材、２e…前側ローラ係合面、２f…後側ローラ係合面、２g…被支持面、３…搬送部材連結部材、９…被位置決め部材、９c…円筒状被位置決め面、１９a…ホルダ支持面、１９b…半円筒状位置決め面、２１…旋回位置決め部材、２３…ホルダ保持ローラ。
【図１】
0003641132.tif 000002
【図２】
0003641132.tif 000003
【図３】
0003641132.tif 000004
【図４】
0003641132.tif 000005
【図５】
0003641132.tif 000006
【図６】
0003641132.tif 000007