(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属粉末あるいは金属の化合物の粉末、あるいは、セラミックスの粉末を圧縮形成した圧粉体電極、もしくは、金属電極を電極として電極とワークの間にパルス状の放電を発生させ、そのエネルギにより、ワーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギにより反応した物質からなる硬質皮膜を形成する放電表面処理方法において、
前記ワーク表面に鱗状の被膜を形成する工程と、
この鱗状の被膜の重なった部分の窪みを残すように研磨する工程と、
を備えたことを特徴とする放電表面処理方法。
【請求項２】
請求項１の方法により形成される機械摺動面に使用される被処理体であって、ワーク表面を放電痕による被膜を形成した後に研磨して形成される、表面に穴を有する被処理体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属粉末あるいは金属の化合物の粉末、あるいは、セラミックスの粉末を圧縮成形した圧粉体電極を電極として、電極とワークの間にパルス状の放電を発生させ、そのエネルギにより、ワーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギにより反応した物質からなる硬質被膜を形成する放電表面処理方法およびこの方法を実施することによりワーク表面を放電痕による被膜を形成した後に研磨して形成される、表面に穴を有する被処理体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液中放電によって金属材料の表面をコーティングして、耐食性、耐磨耗性を与える技術は既に特許出願され公知となっている。その技術の骨子は次のとおりである。ＷＣとＣｏの粉末を混合して圧縮成形した電極で液中放電を行うことにより電極材料をワークに堆積させる。この後、別の電極（例えば、銅電極、グラファイト電極）によって、再溶融放電加工を行って、より高い硬度と高い密着力を得る方法である。
【０００３】
以下、従来技術について説明する。ＷＣ−Ｃｏ（タングステンカーバイド−コバルト）の混合圧粉体電極を用いて、被処理材料（母材Ｓ５０Ｃ）に液中で放電加工を行いＷＣ−Ｃｏを堆積させる（１次加工）。次いで銅電極のようなそれほど消耗しない電極によって再溶融加工（２次加工）を行う。１次加工の堆積のままでは、組織は硬度もＨｖ＝１４１０程度であり、また空洞も多かったが、２次加工の再溶融加工によって被覆層の空洞が無くなり、硬度もＨｖ＝１７５０と向上している。
【０００４】
この方法は鋼材に対しては硬くしかも密着度のよい被覆層が得られる。しかしながら、超硬合金のような焼結材料の表面には強固な密着力を持った被覆層を形成することは困難である。
【０００５】
しかし、我々の研究によると、Ｔｉ等の硬質炭化物を形成する材料を電極として、被処理材料である金属材料との間に放電を発生させると、再溶融の過程なしに強固な硬質膜を被処理材料である金属表面に形成できることがわかった。これは、放電により消耗した電極材料と加工液中の成分であるＣ炭素が反応してＴｉＣが生成することによる。また、さらに、ＴｉＨ２（水素化チタン）など、金属の水素化物の圧粉体電極により、被処理材料である金属材料との間に放電を発生させると、Ｔｉ等の材料を使用する場合よりも、速く、密着性よく、硬質膜を形成することができることがわかった。さらに、ＴｉＨ２（水素化チタン）等の水素化物に他の金属やセラミックスを混合した圧粉体電極により、被処理材料である金属材料との間に放電を発生させると硬度、耐磨耗性等様々な性質をもった硬質皮膜を素早く形成することができることがわっている。この方法については、図５に要部を示す特開平９−１９２９３７公報に開示されている。
【０００６】
一方、従来の機械摺動面の強度を上げる方法として、図６に示すように超硬を埋め込むなどの方法が取られていた。これは例えば、工作機械の駆動部分、機械部品などが上げられる。しかし、この方法は加工が困難である上、値段も高く用途が限定されているのが実状である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の表面処理では、機械部品などの摺動面に対して潤滑まで考慮した被膜を形成するのは困難であった。そこで、本発明は、機械摺動面に潤滑の行いやすさを考慮した硬質の被膜を形成することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１にかかる放電表面処理方法は、金属粉末あるいは金属の化合物の粉末、あるいは、セラミックスの粉末を圧縮成形した圧粉体電極、もしくは、金属電極を電極として、電極とワークの間にパルス状の放電を発生させ、そのエネルギにより、ワーク表面に電極材料あるいは電極材料が放電エネルギにより反応した物質からなる硬質被膜を形成する放電表面処理方法において、
前記ワーク表面を放電痕による被膜を形成した後に研磨し、表面に穴を持った被膜を形成することを特徴とするものである。
【０００９】
請求項２にかかる被処理体は、請求項１の方法により形成される被処理体であって、ワーク表面を放電痕による被膜を形成した後に研磨して形成される、表面に穴を有するものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を用いて説明する。
【００１１】
実施の形態１．
図１、図２、図３は本発明の第一の実施の形態の放電表面処理方法の概念を説明する図である。図において、２１は被膜、２２は母材である。また、３１は被膜、３２は潤滑油である。
【００１２】
図１は放電表面処理により形成した被膜の電子顕微鏡写真である。倍率は３００倍である。放電表面処理により形成した被膜であり、鱗状に形成された被膜であることがわかる。ＴｉＣ（チタンカーバイド）系の被膜が形成されており、硬さはマイクロビッカース硬さで２５００から３０００程度の極めて硬い被膜である。被膜材質によっては、これより軟らかい被膜とすることも可能である。例えば、ＷＣ（タングステンカーバイド）系の被膜であれば、マイクロビッカース硬さで１５００程度の硬さになる。この面は面粗さで約５μｍＲｙ程度であり、切削工具や金型などの用途にはこのまま使用できるが、機械部品などの摺動部分には使用できない。一方この面を観察すると無数の細かい穴が空いていることがわかる。この原因は２つあり、１つは、放電表面処理の際の熱により材料中の気体が排出されるためであり、他の１つは、放電表面処理被膜が放電痕により形成される鱗状の被膜であるため、放電痕の重なった部分に窪みができるためである。この穴、特に後者の穴を積極的に利用して機械摺動面に利用するのが本実施例のねらいである。
【００１３】
図２は本実施例により形成された表面処理被膜の断面を示している。（ａ）は放電表面処理により被膜を形成した直後の様子である。図では母材と被膜に境界があるが、実際には被膜は母材から傾斜的に遷移している。（ａ）放電表面処理面の表面の穴を残すように研磨した様子がの表面を（ｂ）に示す。
【００１４】
図３に本処理面を機械摺動面に使用する場合の様子を示す。放電表面処理によりできた表面の穴が潤滑油溜の役割を果たし、潤滑性能が向上する。
【００１５】
図４に潤滑性能が向上した例を示す。従来の機械摺動面と本発明による機械摺動面で焼付きを防止するために必要な潤滑油の使用量を比較した結果である。この結果から、従来の約半分の潤滑油量で潤滑効果を維持できることがわかる。
【００１６】
【発明の効果】
第１の発明に係わる放電表面処理方法によれば、機械部品の摺動面に潤滑性能のよい硬質被膜が形成できる。
【００１７】
また、第２の発明に係わる被処理体は、機械摺動面に摘要することにより強度があり、潤滑性能を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明により形成した皮膜の電子顕微鏡写真図である。
【図２】本発明の一実施例を示す説明図である。
【図３】本発明の一実施例を示す説明図である。
【図４】本発明の一実施例を示す説明図である。
【図５】従来例を示す説明図である。
【図６】従来例を示す説明図である。
【符号の説明】
２１  被膜、２２  母材、３１  被膜、３２  潤滑油。
【図１】
0003627088.tif 000002
【図２】
0003627088.tif 000003
【図３】
0003627088.tif 000004
【図４】
0003627088.tif 000005
【図５】
0003627088.tif 000006
【図６】
0003627088.tif 000007