(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波送信手段(1) を設置手段(11)を介し、且つ超音波受信手段(2) を設置手段(21)を介してそれぞれ被検査物の表面に設置し、超音波送信手段(1) と超音波受信手段(2) との設置間隔がＬ1 とＬ2 とであるとき、超音波送信手段(1) から送信された超音波が被検査物中を伝搬して超音波受信手段(2)にて受信される迄に要する伝搬時間ｔ1 とｔ2 とをそれぞれ測定して行う超音波伝搬特性の測定方法であって、
前記被検査物は、絶縁電線の被覆層であり、かつ、
前記設置手段(11)および設置手段(21)が、ポリ四フッ化エチレンまたはシリコーンゴムからなることを特徴とする超音波伝搬特性の測定方法。
【請求項２】
下式から被検査物の超音波伝搬速度Ｖを算出する請求項１記載の超音波伝搬特性の測定方法。
Ｖ＝（Ｌ2 −Ｌ1 ）／（ｔ2 −ｔ1 ）
【請求項３】
被検査物の劣化度の診断のために、被検査物の超音波伝搬速度Ｖの経時的変化を、または設置間隔Ｌ1 とＬ2 との差（Ｌ2 −Ｌ1 ）を常に一定として測定した際に得られる被検査物の（ｔ2 −ｔ1 ）または１／（ｔ2 −ｔ1 ）の経時的変化を測定する請求項１または２記載の超音波伝搬特性の測定方法。
【請求項４】
上記設置手段(11)と絶縁電線の被覆層との間、および上記設置手段(21)と絶縁電線の被覆層との間に、それぞれ、グリスまたは油剤を介在させる請求項１〜３のいずれかに記載の超音波伝搬特性の測定方法。
【請求項５】
上記絶縁電線の被覆層の厚みが、当該測定方法を実施する時点において既知でないことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の超音波伝搬特性の測定方法。
【請求項６】
超音波送信手段(1) とその設置手段(11)、超音波受信手段(2) とその設置手段(21)、および伝搬時間測定手段(3) を有する、超音波伝搬特性の測定装置であって、
超音波送信手段(1) の設置手段(11)は、該送信手段(1)を被検査物の表面に設置するに際して、該送信手段(1) から送信された超音波が該設置手段(11)を通過して被検査物に入射するように、該送信手段(1)と被検査物の表面との間に介在するものであり、
超音波受信手段(2) の設置手段(21)は、該受信手段(2)を被検査物の表面に設置するに際して、被検査物内を伝搬する超音波が該設置手段(21)を通過して該受信手段(2)で受信されるように、該受信手段(2)と被検査物の表面との間に介在するものであり、
前記伝搬時間測定手段(3) は、被検査物の表面に設置された超音波送信手段(1)と超音波受信手段(2) との設置間隔がＬ1 とＬ2 とであるときに超音波送信手段(1) から送信された超音波が被検査物中を伝搬して超音波受信手段(2) にて受信される迄に要する伝搬時間ｔ1 とｔ2 とをそれぞれ測定する手段であり、
前記被検査物は、絶縁電線の被覆層であり、かつ、
前記設置手段(11)および設置手段(21)が、ポリ四フッ化エチレンまたはシリコーンゴムからなることを特徴とする超音波伝搬特性の測定装置。
【請求項７】
伝搬時間ｔ1 とｔ2 とから（ｔ2 −ｔ1 ）または１／（ｔ2 −ｔ1 ）を、あるいは設置間隔Ｌ1 とＬ2 および伝搬時間ｔ1 とｔ2 とから下式により被検査物の超音波伝搬速度Ｖを算出する演算手段(4) をさらに有する請求項６記載の超音波伝搬特性の測定装置。
Ｖ＝（Ｌ2 −Ｌ1 ）／（ｔ2 −ｔ1 ）
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検査物の超音波伝搬速度などの超音波の伝搬特性を非破壊的に測定し得る方法およびそのための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
多くの有機高分子は、熱、日光、放射線あるいはその他の原因により劣化し、劣化の進行と共にその超音波伝搬速度が変化することが知られている。例えば、劣化の進行と共に有機高分子の破断伸び率が低下し、劣化した有機高分子中での超音波の伝搬速度が変化する。この現象を利用して、有機高分子の劣化度を超音波の伝搬速度の変化から診断する方法が周知である。一方、電力ケーブル、通信ケーブル、屋内配電線などの各種絶縁電線は、その電気絶縁層やシースなどの被覆層の劣化により停電や火災事故が生じる可能性があるので、稼働中におけるその被覆層の劣化度は定期的な測定により監視する必要がある。しかもその監視は、電線が稼働中である故にその被覆層を破壊することなく行う必要があるために上記の超音波診断法を絶縁電線の非破壊劣化診断に適用することが提案されている。
【０００３】
例えば、特開平７−３５７３３号公報では、診断対象の電力ケーブルの被覆層の外表面上から超音波をケーブルの半径方向、即ち垂直方向に入射し、被覆層中での超音波伝搬速度Ｖを下式（１）にて求める方法が提案されている。
Ｖ＝２ａ／ｔ                                                    （１）
式（１）において、ａは被覆層の厚みであり、ｔは超音波の入射から該被覆層の下層（例えば、導体）の表面で反射して再び入射位置まで帰還するに要した時間である。
【０００４】
ところで上記の方法は、被覆層の厚みａの正しい値が既知である場合には有用であるが、実際上多くの場合においてその値は既知でない。そこで被覆層の厚みａとして絶縁電線の設計基準寸法を採用することが考えられるが、絶縁電線の製造の際には設計基準寸法に対して±１５％もの製造公差が許容されているために、該寸法を用いて算出された伝搬速度は正確さに劣る問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記に鑑みて本発明が解決しようとする課題は、被検査物の超音波伝搬速度や該速度の相対値などの超音波伝搬特性を非破壊的に、且つより正確に測定する方法、およびそのための測定装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題は、以下に示す測定方法あるいは測定装置にて解決される。
１、超音波送信手段(1) を設置手段(11)を介し、且つ超音波受信手段(2) を設置手段(21)を介してそれぞれ被検査物の表面に設置し、超音波送信手段(1) と超音波受信手段(2) との設置間隔がＬ1 とＬ2 とであるとき、超音波送信手段(1) から送信された超音波が被検査物中を伝搬して超音波受信手段(2)にて受信される迄に要する伝搬時間ｔ1 とｔ2 とをそれぞれ測定して行う超音波伝搬特性の測定方法であって、
前記被検査物は、絶縁電線の被覆層であり、かつ、
前記設置手段(11)および設置手段(21)が、ポリ四フッ化エチレンまたはシリコーンゴムからなることを特徴とする超音波伝搬特性の測定方法。
２、下式（２）から被検査物の超音波伝搬速度Ｖを算出する上記１記載の超音波伝搬特性の測定方法。
Ｖ＝（Ｌ2 −Ｌ1 ）／（ｔ2 −ｔ1 ）                                      （２）
３、被検査物の劣化度の診断のために、被検査物の超音波伝搬速度Ｖの経時的変化を、または設置間隔Ｌ1 とＬ2 との差（Ｌ2 −Ｌ1 ）を常に一定として測定した際に得られる被検査物の（ｔ2 −ｔ1 ）または１／（ｔ2 −ｔ1 ）の経時的変化を測定する上記１または２記載の超音波伝搬特性の測定方法。
４、上記設置手段(11)と絶縁電線の被覆層との間、および上記設置手段(21)と絶縁電線の被覆層との間に、それぞれ、グリスまたは油剤を介在させる上記１〜３のいずれかに記載の超音波伝搬特性の測定方法。
５、上記絶縁電線の被覆層の厚みが、当該測定方法を実施する時点において既知でないことを特徴とする、上記１〜４のいずれかに記載の超音波伝搬特性の測定方法。
６、超音波送信手段(1) とその設置手段(11)、超音波受信手段(2) とその設置手段(21)、および伝搬時間測定手段(3) を有する、超音波伝搬特性の測定装置であって、
超音波送信手段(1) の設置手段(11)は、該送信手段(1)を被検査物の表面に設置するに際して、該送信手段(1) から送信された超音波が該設置手段(11)を通過して被検査物に入射するように、該送信手段(1)と被検査物の表面との間に介在するものであり、
超音波受信手段(2) の設置手段(21)は、該受信手段(2)を被検査物の表面に設置するに際して、被検査物内を伝搬する超音波が該設置手段(21)を通過して該受信手段(2)で受信されるように、該受信手段(2)と被検査物の表面との間に介在するものであり、
前記伝搬時間測定手段(3) は、被検査物の表面に設置された超音波送信手段(1)と超音波受信手段(2) との設置間隔がＬ1 とＬ2 とであるときに超音波送信手段(1) から送信された超音波が被検査物中を伝搬して超音波受信手段(2) にて受信される迄に要する伝搬時間ｔ1 とｔ2 とをそれぞれ測定する手段であり、
前記被検査物は、絶縁電線の被覆層であり、かつ、
前記設置手段(11)および設置手段(21)が、ポリ四フッ化エチレンまたはシリコーンゴムからなることを特徴とする超音波伝搬特性の測定装置。
７、伝搬時間ｔ1 とｔ2 とから（ｔ2 −ｔ1 ）または１／（ｔ2 −ｔ1 ）を、あるいは設置間隔Ｌ1 とＬ2 および伝搬時間ｔ1 とｔ2 とから下式（２）により被検査物の超音波伝搬速度Ｖを算出する演算手段(4) をさらに有する上記６記載の超音波伝搬特性の測定装置。
Ｖ＝（Ｌ2 −Ｌ1 ）／（ｔ2 −ｔ1 ）                                      （２）
【０００７】
【作用】
超音波送信手段(1) と超音波受信手段(2) とを被検査物の表面に設置し、該両手段間の設置間隔をＬ1 とＬ2 の二ケースとして、各ケース毎に超音波送信手段(1) から送信された超音波が被検査物中を伝搬して超音波受信手段(2) にて受信される迄の伝搬時間ｔ1 とｔ2 とをそれぞれ測定することにより、後記する説明の通り、上記の式（２）により被検査物の厚みとは無関係に超音波伝搬特性を正確に求めることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面により詳細に説明する。図１は本発明の測定方法および測定装置についての説明図であり、図２は図１と共に本発明の超音波伝搬特性の測定方法を説明する説明図であり、図３は設置手段(11)と被検査物との界面における超音波の屈折の様子を説明する説明図である。
【０００９】
図１は、本発明の測定装置の実施例であって、電力ケーブルなどの絶縁電線の被覆層の劣化診断装置として応用したものであり、また該実施例の装置による超音波伝搬特性の測定方法をも説明する。
図１の劣化診断装置は、超音波送信手段(1) 、超音波送信制御手段(12)、超音波受信手段(2) 、超音波受信制御手段(22)、伝搬時間測定手段(3) 、演算手段(4) 、距離入力手段(5) 、判定手段(6) 、および表示手段(7) とからなる。
【００１０】
超音波送信手段(1) は、内蔵せる振動子（図示せず）にて超音波を発生し送信し得る機能をなし、また設置手段(11)を有していて設置手段(11)により被検査物の一例たる絶縁電線Ｃの被覆層Ｃ１の表面上に設置されている。超音波送信手段(1) から送信された超音波は、設置手段(11)中を通過して被覆層Ｃ１に入射される。超音波送信制御手段(12)は、超音波送信手段(1) からの超音波の送信時刻などを電気信号にて後記の伝搬時間測定手段(3) に入力する機能をなす。超音波受信手段(2) は、設置手段(21)を有していて設置手段(21)により被覆層Ｃ１の表面上で超音波送信手段(1) から距離Ｌ1 だけ離れた位置に設置されており、被覆層Ｃ１内を伝搬する超音波を設置手段(21)を介して受信する機能をなす。図１では設置手段(11)や設置手段(21)として、有機高分子、例えば、ポリ四フッ化エチレンからなる斜角型ディレーチップを使用することができる。
【００１１】
超音波受信制御手段(22)は、超音波受信手段(2) からの超音波の受信時刻などを電気信号にて伝搬時間測定手段(3) に入力する機能をなす。伝搬時間測定手段(3) は、超音波送信制御手段(12)と超音波受信制御手段(22)とからの各入力を基に、超音波送信手段(1) から送信された超音波が被検査物中を伝搬して超音波受信手段(2) にて受信される迄に要する伝搬時間ｔ1 やｔ2 を測定する機能をなす。残る演算手段(4) 、距離入力手段(5) 、判定手段(6) 、および表示手段(7) の各機能については後記する。
【００１２】
超音波送信手段(1) と超音波受信手段(2) とは、距離Ｌ1 なる間隔をおいて被覆層Ｃ１の表面に設置されている。この状態で超音波送信手段(1) から超音波を送信すると、送信された超音波は設置手段(11)を通過して被覆層Ｃ１内に入射される。入射された超音波は、被覆層Ｃ１内を種々の経路で伝搬するが、超音波送信手段(1) と超音波受信手段(2) との間を最短経路で伝搬する超音波部分も存在するので該超音波部分が超音波受信手段(2) により受信される。
【００１３】
超音波送信手段(1) からの超音波の送信時刻並びに超音波受信手段(2) による超音波の受信時刻が、それぞれ超音波送信制御手段(12)と超音波受信制御手段(22)とから伝搬時間測定手段(3) に入力され、伝搬時間測定手段(3) により上記の設置間隔Ｌ1 に対する超音波の伝搬時間ｔ1 が測定される。
【００１４】
上記の説明から明らかな通り、超音波送信手段(1) から送信された超音波は、図１中に点線で示す経路、即ち設置手段(11)、被覆層Ｃ１、設置手段(21)を順次経由して超音波受信手段(2) に到るのであるが、いま設置手段(11)内での超音波伝搬速度をＶ1 、伝搬距離をＬ11、伝搬時間をｔ11とし、被覆層Ｃ１内での超音波伝搬速度をＶ、伝搬距離をＬ1 、伝搬時間をｔｘとし、また設置手段(21)内での超音波伝搬速度をＶ2 、伝搬距離をＬ2 、伝搬時間をｔ12とすると、下式（３）が成立する。
0003678564.tif 000002
【００１５】
つぎに超音波送信手段(1) と超音波受信手段(2) との設置間隔を図２に示すようにＬ2 に変更して、上記と同様の方法で設置間隔Ｌ2 に対する超音波の伝搬時間ｔ2 を測定する。その場合、式（３）に対応して下式（４）が成立する。さらに、式（４）と式（３）の差から前記の式（２）が得られる。
ｔ2 ＝（Ｌ11／Ｖ1 ）＋（Ｌ2 ／Ｖ）＋（Ｌ12／Ｖ2 ）              （４）
【００１６】
式（２）〜（４）から、Ｌ1 に対するｔ1 を測定する際に使用した設置手段(11)と設置手段(21)とをＬ2 に対するｔ2 を測定する際にも使用するならば、超音波伝搬特性の測定は、原理的にそれら設置手段の形状、寸法、さらには形成材料などに左右されないことが判る。
【００１７】
なお図１および図２においては、上記の式（３）および式（４）の成立を理解し易いように、設置手段(11)と設置手段(21)が被覆層Ｃ１と接する各底面内で超音波の伝搬密度が最高となる辺りをそれぞれ黒丸で示し、各黒丸の位置をもって仮に超音波送信手段(1) と超音波受信手段(2) の設置位置としている。しかし本発明においては超音波送信手段(1) と超音波受信手段(2) の各設置位置は、該黒丸の位置に限る必要はなく、例えば超音波送信手段(1) であれば設置手段(11)の底面の最先端、最後端、あるいはその中間点など任意の位置に決定すればよい。同様のことが超音波受信手段(2) についても該当する。その理由は、上記式（３）と（４）から式（２）を誘導する過程から容易に理解されよう。
【００１８】
上記式（２）から明らかな通り、超音波伝搬速度Ｖは（ｔ2 −ｔ1 ）に逆比例し、１／（ｔ2 −ｔ1 ）に比例する。換言すると、それらの値は超音波伝搬速度Ｖと相対関係にある。よって被検査物の多くの劣化度診断時のように、劣化度の経時的な相対変化だけで十分である場合には、本発明において超音波伝搬特性の測定を常に（Ｌ2 −Ｌ1 ）を一定として行って（ｔ2 −ｔ1 ）や１／（ｔ2 −ｔ1 ）を算出し、それらの数値にて劣化度診断を行うことができる。
【００１９】
上記の測定における設置間隔Ｌ1 とＬ2 とは、距離入力手段(5) にて記憶され、また伝搬時間測定手段(3) にて伝搬時間ｔ1 とｔ2 とが測定される。その後、距離入力手段(5) から設置間隔Ｌ1 とＬ2 とが、一方、伝搬時間測定手段(3) から伝搬時間ｔ1 とｔ2 とがそれぞれ演算手段(4) に入力され、演算手段(4) により伝搬時間差( ｔ2 −ｔ1)や１／( ｔ2 −ｔ1)、あるいは上記式（２）により超音波伝搬速度Ｖが算出される。判定手段(6) は、被覆層Ｃ１を形成する有機高分子についての種々の劣化度における物性、例えば、破断伸び率、引張強度、１００％モジュラスなどと超音波伝搬速度Ｖあるいは該Ｖとの上記相対関係値との相関関係データを保持しており、演算手段(4) から入力されるそれらの値を基に劣化度を判定し、その結果を表示手段(7) に送って劣化度を種々の表示方法、例えば絶縁電線の稼働日数−劣化度の関係グラフなどにて表示せしめる。
【００２０】
超音波送信手段(1) と超音波受信手段(2) との設置間隔を大きくすれば、換言すると、上記の式（３）、式（４）においてＬ1 やＬ2 の値を大きくすれば、理論的にＬ11やＬ12の影響が小さくなって、式（３）あるいは式（４）のみで超音波伝搬特性を測定できることになる。しかし、固体中、特に有機高分子中を伝搬する超音波は、一般的に極めて減衰し易いのでＬ1 やＬ2 の値は数百μｍ〜数十ｍｍ程度とすることが好ましい。その大きさは、実用的な設置手段(11)や設置手段(21)、例えば前記したポリ四フッ化エチレン製斜角型ディレーチップが有するＬ11やＬ12のせいぜい０．５〜５倍程度に過ぎず、このために式（３）あるいは式（４）のみで超音波伝搬特性を測定することは困難である。これらのことから本発明の超音波伝搬特性の測定方法が、実用上からすこぶる有用なることが明らかであろう。
【００２１】
本発明においては、前記したように、設置手段(11)や設置手段(21)を原理的に種々の材料、例えば金属、有機高分子、木材などにて形成してよい。しかしそれら設置手段は、可及的に超音波伝搬速度の遅い材料、就中、被検査物の超音波伝搬速度Ｖ値の１．１倍以下、特に該Ｖ値以下、さらには該Ｖ値の０．９７倍以下のものにて形成することが好ましい。その理由を図３により以下に説明する。
【００２２】
いま設置手段(11)、設置手段(21)が、被検査物の超音波伝搬速度Ｖ値より小さい超音波伝搬速度を有する材料にて形成されている場合を考える。この場合、図３に示す通り被覆層Ｃ１の表面の法線Ａに対して角度θで送信された超音波は、屈折に関するスネルの法則により設置手段(11)と被覆層Ｃ１との界面で大きい角度φにて被覆層Ｃ１内に屈折して入射し、かく入射した超音波の多くの部分が被覆層Ｃ１の外表面に近い層中を進む。また設置手段(21)（図示せず）も被覆層Ｃ１のＶ値より小さい超音波伝搬速度を有する材料にて形成されているので、被覆層Ｃ１の外表面に近い層中を進む高密度の超音波部分は、スネルの法則により設置手段(21)に入り易く、かくして超音波受信手段(2) は、高密度の超音波部分を受信することができる。したがってかかる場合には、超音波送信手段(1) として超音波送信出力が低い安価品を用いることができ、あるいは超音波受信手段(2) としては超音波受信感度の低いやはり安価品を用い得る利点がある。
なお本発明において、超音波送信手段(1) から送信された超音波の被覆層Ｃ１の表面の法線Ａに対する上記の角度θは、２０〜８５°程度が好ましい。
【００２３】
超音波伝搬速度Ｖの値を若干の未劣化状態における有機高分子について紹介すると、ポリエチレン：約１８００ｍ／ｓ、ポリ塩化ビニル：約１８００ｍ／ｓ、エチレン・プロピレン共重合ゴム（ＥＰＭ）：約１３５０ｍ／ｓ、ポリ四フッ化エチレン：約１３００ｍ／ｓ、シリコーンゴム：約１０００ｍ／ｓなどである。したがって、被検査物がポリエチレン、ポリ塩化ビニル、エチレン・プロピレン共重合ゴム（ＥＰＭ）からなる場合、設置手段(11)や設置手段(21)としては、ポリ四フッ化エチレンやシリコーンゴム製のものがスネルの法則上から好適である。
【００２４】
本発明では、被検査物の表面は、曲面や平面などであってよいが、設置手段(11)や設置手段(21)の底面と被検査物の表面との間の接触性が悪くて空気層が存在すると、接触面間で超音波の反射が生じて被検査物内への入射率が低下することがある。かかる場合には、グリスや油剤など、就中低極性の、したがって超音波伝搬速度の遅い材料からなるものを使用して両接触面間に空気層が存在しないようにすることが好ましい。
【００２５】
本発明で使用する超音波の周波数については、一般的には制限はない。なおポリエチレン、ポリ塩化ビニル、エチレン・プロピレン共重合ゴム（ＥＰＭ）などの絶縁電線の被覆層の構成材として多用される有機高分子は、概して超音波の減衰が大きいので、減衰が比較的少ない０．１〜５ＭＨｚ程度、特に０．５〜２ＭＨｚ程度の超音波の使用が好ましい。
【００２６】
【実施例】
外径２１ｍｍ、公称厚さ２．５ｍｍの軟質ポリ塩化ビニルシースを有する製造直後の電力ケーブルを被検査物とし、超音波送信手段(1) と超音波受信手段(2) とをいずれもポリ四フッ化エチレン製斜角型ディレーチップ（傾斜角度：４０°）を使用して両者間の設置間隔Ｌ1 およびＬ2 をそれぞれ１ｍｍと１０ｍｍとして上記の軟質ポリ塩化ビニルシースの表面上に設置し、周波数１．０ＭＨｚの超音波を使用して該シース中の伝搬時間差（ｔ2 −ｔ1 ）を測定した。その結果、（ｔ2 −ｔ1 ）の平均値（ｎ：１０）は４．８６μ秒であり、式（２）から超音波伝搬速度１８５０ｍ／秒を得た。
【００２７】
上記の電力ケーブルを空気が循環するオーブン中で１３０℃で１０日間にわたり加熱劣化し、その後、上記と同じ方法並びに条件にて劣化した軟質ポリ塩化ビニルシース中の伝搬時間差（ｔ2 −ｔ1 ）を測定した。その結果、（ｔ2 −ｔ1 ）の平均値（ｎ：１０）は３．９５μ秒であり、式（２）から超音波伝搬速度２２８０ｍ／秒を得た。
【００２８】
一方、製造直後の上記電力ケーブルの数カ所を解体してシース厚みを測定し、正しいシース厚みは２．４８ｍｍであることを確認した。ついで超音波を電力ケーブルの半径方向に入射する方法並びに前記の式（１）にて該軟質ポリ塩化ビニルシース中の超音波伝搬速度を測定したところ、１０個の測定データの平均値は１８５２ｍ／秒であって、本発明での上記未劣化時の測定データと良好に一致することが確認された。
【００２９】
【発明の効果】
超音波を被検査物の厚み方向に入射する従来方法では該厚みの正しい値の把握が必須であった。これに対して本発明ではその必要がなく、しかも種々の被検査物につきそれらの超音波伝搬特性を非破壊的に正しく測定することができる。よって本発明は、非破壊診断が要求される稼働中にある絶縁電線の被覆層の劣化度診断にすこぶる好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の測定方法および測定装置についての実施例の説明図である。
【図２】図１と共に本発明の超音波伝搬特性の測定方法を説明する説明図である。
【図３】設置手段と被検査物との界面における超音波の屈折の様子を説明する説明図である。
【符号の説明】
１          超音波送信手段
１１        設置手段
１２        超音波送信制御手段
２          超音波受信手段
２１        設置手段
２２        超音波受信制御手段
３          伝搬時間測定手段
４          演算手段
Ｃ          絶縁電線
Ｃ１        被覆層
【図１】
0003678564.tif 000003
【図２】
0003678564.tif 000004
【図３】
0003678564.tif 000005