(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム用防塵服を着用させうる人体模型器と、
前記人体模型器に付着され、前記人体模型器の特定部位からエアを放出させうるエア供給手段と、
前記人体模型器に付着され、パーティクル発生を測定しようとする前記人体模型器の特定測定部位からパーティクルを放出させうるパーティクル供給手段と、
を備えることを特徴とするクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項２】
前記エア供給手段は、特定圧力でエアを放出させうるエア発生器と、前記エア発生器とエア供給ラインにより連結され前記人体模型器の複数の所定領域にそれぞれ設けられる複数のエアノズルとを有することを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項３】
前記エア供給ラインは、前記人体模型器の上体及び下体に分岐形成されていることを特徴とする請求項２記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項４】
前記エアノズルの前端に前記エアノズルを選択的に開閉できる第１遮断バルブが設けられていることを特徴とする請求項３記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項５】
前記パーティクル供給手段は、特定サイズの標準パーティクルを所定個数発生させうるパーティク発生器と、前記パーティクル発生器とパーティクル供給ラインにより連結され、前記人体模型器の複数の所定領域にそれぞれ設けられる複数のパーティクル放出口とを有することを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項６】
前記パーティクル供給ラインは、前記人体模型器の末端部に多段分岐形成されていることを特徴とする請求項５記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項７】
前記パーティクル放出口は、前記人体模型器の頭部、両側目部、鼻部、両側耳部、口部、首部、胸部、両側手首部、腰部、両側ひざ部、両側足首部、両側手部及び前記人体模型器に着用される防塵服のファスナが位置される部位にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項６記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項８】
前記パーティクル放出口の前端に前記パーティクル放出口を選択的に開閉できる第２遮断バルブが設けられていることを特徴とする請求項７記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項９】
前記エア発生器は、コントロールボックスと連結されていることを特徴とする請求項２記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項１０】
前記パーティクル発生器は、コントロールボックスと連結されていることを特徴とする請求項５記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項１１】
前記エアとして窒素ガスまたはアルゴンガスを使用することを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項１２】
前記エアの放出圧力を１ないし５ｋｇ／ｃｍ2 に保てることを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項１３】
前記標準パーティクルの直径は、０．２ないし５．０μｍであることを特徴とする請求項５記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置。
【請求項１４】
クリーンルーム用防塵服を着用させうる人体模型器と、
前記人体模型器に付着され、前記人体模型器の特定部位からエアを放出させうるエア供給手段と、
前記人体模型器に付着され、パーティクル発生を測定しようとする前記人体模型器の特定測定部位からパーティクルを放出させうるパーティクル供給手段とを備えてなるクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置を用いたパーティクル分析方法であって、
（ａ）前記分析用防塵服を洗浄する段階と、
（ｂ）前記洗浄された分析用防塵服を加圧することにより前記分析用防塵服自体から発生される特定サイズ以上のパーティクルの個数を測定する段階と、
（ｃ）前記人体模型器に前記分析用防塵服を着用させる段階と、
（ｄ）前記エア供給手段により前記分析用防塵服の内部に特定圧力でエアを放出し、前記パーティクル供給手段により前記分析用防塵服の内部に特定サイズのパーティクルを所定個数放出する段階と、
（ｅ）前記分析用防塵服の外部から前記分析用防塵服の外部に放出される前記パーティクルの個数を測定する段階と、
を含むことを特徴とするクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置を用いたパーティクル分析方法。
【請求項１５】
前記（ｂ）段階は、タンブラーテスタまたはヘルムカドラムテスタを用いてなることを特徴とする請求項１４記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置を用いたパーティクル分析方法。
【請求項１６】
前記パーティクル供給手段は、特定サイズの標準パーティクルを所定個数発生させ得るパーティクル発生器と、前記パーティクル発生器とパーティクル供給ラインにより連結され前記人体模型器の複数の所定領域にそれぞれ設けられ、前端に第２遮断バルブが設けられた複数のパーティクル放出口とを有し、前記第２遮断バルブを選択的に開閉して前記人体模型器の特定所定領域から発生されるパーティクルの個数を測定することを特徴とする請求項１４記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置を用いたパーティクル分析方法。
【請求項１７】
前記人体模型器の頭部、両側目部、鼻部、両側耳部及び口部の前端に設けられた前記第２遮断バルブを開放し、前記人体模型器の他の所定領域に設けられた前記第２遮断バルブを閉鎖した後、前記人体模型器から発生されるパーティクルの個数を測定することを特徴とする請求項１６記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置を用いたパーティクル分析方法。
【請求項１８】
前記人体模型器の首部、胸部、両側手首部、腰部、両側手部及び前記人体模型器に着用される防塵服のファスナが位置される部位の前端に設けられた前記第２遮断バルブを開放し、前記人体模型器の他の所定領域に設けられた前記第２遮断バルブを閉鎖した後、前記人体模型器から発生されるパーティクルの個数を測定することを特徴とする請求項１６記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル分析装置を用いたパーティクル分析方法。
【請求項１９】
前記人体模型器の両側ひざ部及び両側足首に設けられた前記第２遮断バルブを開放させ、前記人体模型器の他の所定領域に設けられた他の第２遮断バルブを閉鎖した後、前記人体模型器から発生されるパーティクルの個数を測定することを特徴とする請求項１６記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置を用いたパーティクル分析方法。
【請求項２０】
前記（ｅ）段階のパーティクルの個数を測定した後、前記（ｅ）段階の分析用防塵服の外部からパーティクルを測定した結果と、前記（ｂ）段階の洗浄された分析用防塵服自体から発生されたパーティクルの個数を測定した結果とを互いに分析する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１６記載のクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置を用いたパーティクル分析方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置及びをこれを用いたパーティクル分析方法に係り、さらに詳しくは半導体装置の製造工程に使われるクリーンルーム用防塵服からパーティクルが放出される程度を容易に分析できるクリーンル−ム用防塵服のパーティクル発生分析装置及びこれを用いたパーティクル分析方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、半導体装置の製造工程は、微細なパーティクルによっても工程不良が発生するので前記半導体装置の製造工程はパーティクルの個数が極端に制限されるクリーンルームの内部で行われている。
【０００３】
そして、前記クリーンルームの内部で半導体装置の製造工程を行う作業者はヘッドギア、マスク、グローブ、防塵靴などを含む防塵服(smock) を着用することにより、前記作業者から発生されたパテーィクルが半導体装置の製造工程の不良原因として作用することを防止している。
【０００４】
また、作業者から発生されたパーティクルが半導体装置の製造工程の不良原因として作用することを防止するために前記防塵服の裁縫線は最小に制限され、最小限の前記防塵服の裁縫線は防塵服の背面に位置するよう制作されている。
そして、防塵服自体からパーティクルが発生されることを防止するため、前記防塵服はパーティクルの発生が最小に制限される材質で制作されている。
【０００５】
しかし、多様な原因により防塵服を着用した作業者からパーティクルが発生されクリーンルームの内部に放出され、防塵服自体からもパーティクルが発生されクリーンルームの内部に放出され半導体装置の製造工程の不良原因として作用している。
【０００６】
したがって、防塵服を着用した作業者から防塵服の外部へ放出されるパーティクルの個数を測定する分析工程を施しており、前記分析工程の分析結果に応じて防塵服を改善することにより、防塵服を着用した作業者からパーティクルがクリーンルームの内部に放出されることを最小に減らす努力を注いでいる。
【０００７】
従来の半導体装置の製造用防塵服の分析装置は、ボディボックステスタ(Body Box tester) 、防塵服チャンバ、タンブラーテスタ(Tumber tester) 及びヘルムカドラムテスタ（Helmkedram tester）がある。
【０００８】
前記ボディボックステスタにおいては、分析用防塵服を着用した作業者は気体が一定流速でダウンフローされる六面体状のチャンバの内部で各種の作業動作を所定時間行う。以後、分析用防塵服を着用した作業者からチャンバの内部に放出されたパーティクルのうち、特定サイズ以上のパーティクルの個数を測定する工程が施される。
【０００９】
そして、前記防塵服チャンバでは、分析用防塵服を着用した作業者が気体が一定流速でダウンフローされる円球状のチャンバーの内部で半導体装置の製造過程に行われ得る各種の作業動作を、作業者の上部動作及び作業者の下部動作に区分して所定時間行う。それから、防塵服を着用した作業者からチャンバの内部に放出されたパーティクルのうち、特定サイズ以上のパーティクルの個数を測定する工程が施される。
【００１０】
また、前記タンブラーテスタ及びヘルムカドラムテスタにおいては、チャンバの内部に分析用防塵服を投げこんだ後、前記分析用防塵服を所定時間回転させ加圧することにより前記分析用防塵服からチャンバの内部にパーティクルを放出させ、チャンバの内部に放出されたパーティクルのうち特定サイズ以上のパーティクルの個数を測定する工程が施される。前記ボディボックステスタ、防塵服チャンバ、タンブラーテスタ及びヘルムカドラムテスタにはレーザを用いて特定サイズ以上のパーティクルの個数を測定できるパーティクルカウンタが設けられている。
【００１１】
しかし、前記ボディボックステスタ及び防塵服チャンバを用いた分析工程は防塵服を着用した作業者の清潔状態、チャンバの内部における作業者の動作の均一性有無、作業者の防塵服内に着用した衣類の種類、分析時間などの要因により分析結果が相異なる問題点があった。
【００１２】
また、呼吸器が置かれる作業者の顔部などのような特定部位では他の部位と比較してさらに多くのパーティクルが発生しているが、前記ボディボックステスタ及び防塵服チャンバは防塵服を着用した作業者の特定部位からパーティクルが発生する程度を分析できない問題点があった。
【００１３】
そして、前記タンブラーテスタ及びヘルムカドラムテスタでは作業者から放出されるパーティクルを排除した状態で防塵服自体から発生されるパーティクルの個数を測定する分析工程が施されることにより分析結果の信頼性が低く、防塵服自体の清潔状態により分析結果が違ってくる問題点があった。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明は前述した問題点を解決するために案出されたもので、その目的は、分析用防塵服を着用した作業者に起因する分析結果の可変要素を排除し、防塵服から放出されるパーティクル個数を容易に測定できるクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置及びこれを用いたパーティクル分析方法を提供することにある。
【００１５】
本発明の他の目的は、防塵服の清潔状態、防塵服の材質などの分析用防塵服自体の条件により分析結果が相異なることを防止できるクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置及びこれを用いたパーティクル分析方法を提供することにある。
【００１６】
本発明のさらに他の目的は、分析用防塵服の特定部位からパーティクルが放出される個数を測定できるクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置及びこれを用いたパーティクル分析方法を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために本発明によるクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置は、クリーンルーム用防塵服を着用させうる人体模型器と、前記人体模型器に付着され、前記人体模型器の特定部位からエアを放出させうるエア供給手段と、前記人体模型器に付着され、パーティクル発生を測定しようとする前記人体模型器の特定測定部位からパーティクルを放出させうるパーティクル供給手段とを備えてなる。
【００１８】
前記エア供給手段は、特定圧力でエアを放出させうるエア発生器と、前記エア発生器とエア供給ラインにより連結され前記人体模型器の複数の所定領域にそれぞれ設けられる複数のエアノズルとを有する。
そして、前記エア供給ラインは前記人体模型器の上体及び下体に分岐形成されうる。
【００１９】
また、前記エアノズルの前端に前記各エアノズルを選択的に開閉できる第１遮断バルブが設けられる。
そして、前記パーティクル供給手段は、特定サイズの標準パーティクルを所定個数発生させうるパーティク発生器と、前記パーティクル発生器とパーティクル供給ラインにより連結され、前記人体模型器の複数の所定領域にそれぞれ設けられる複数のパーティクル放出口とを有する。
【００２０】
また、前記パーティクル供給ラインは前記人体模型器の末端部に多段分岐形成されうる。
そして、前記パーティクル放出口は、前記人体模型器の頭部、両側目部、鼻部、両側耳部、口部、首部、胸部、両側手首部、腰部、両側ひざ部、両側足首部、両側手部及び前記人体模型器に着用される防塵服のファスナが位置される部位にそれぞれ設けられる。
【００２１】
また、前記パーティクル放出口の前端に各パーティクル放出口を選択的に開閉できる第２遮断バルブが設けられる。
そして、前記エア発生器及びパーティクル発生器はコントロールボックスとそれぞれ連結されている。
【００２２】
また、前記エアとして窒素ガスまたはアルゴンガスを使用する。
そして、前記エアの放出圧力を１ないし５kｇ／ｃｍ2 に保てる。
また、前記標準パーティクルの直径は０．２ないし５．０μｍである。
【００２３】
そして、本発明によるクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置を用いたパーティクル分析方法は、クリーンルーム用防塵服を着用させうる人体模型器と、前記人体模型器に付着され、前記人体模型器の特定部位からエアを放出させうるエア供給手段と、前記人体模型器に付着され、パーティクル発生を測定しようとする前記人体模型器の特定測定部位からパーティクルを放出させうるパーティクル供給手段を備えてなるクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置を用いたパーティクル分析方法であって、（ａ）前記分析用防塵服を洗浄する段階と、（ｂ）前記洗浄された分析用防塵服を加圧することにより前記分析用防塵服自体から発生される特定サイズ以上のパーティクルの個数を測定する段階と、（ｃ）前記人体模型器に前記分析用防塵服を着用させる段階と、（ｄ）前記エア供給手段により前記分析用防塵服の内部に特定圧力でエアを放出し、前記パーティクル供給手段により前記分析用防塵服の内部に特定サイズのパーティクルを所定個数放出する段階と、（ｅ）前記分析用防塵服の外部から前記分析用防塵服の外部に放出される前記パーティクルの個数を測定する段階とを含むことを特徴とする。
前記（ｂ）段階はタンブラーテスタまたはヘルムカドラムテスタを用いてなる。
【００２４】
そして、前記パーティクル供給手段は、特定サイズの標準パーティクルを所定個数発生させ得るパーティクル発生器と、前記パーティクル発生器とパーティクル供給ラインにより連結され前記人体模型器の複数の所定領域にそれぞれ設けられ、前端に第２遮断バルブが設けられた複数のパーティクル放出口とを有し、前記第２遮断バルブを選択的に開閉して前記人体模型器の特定所定領域から発生されるパーティクルの個数を測定する。
【００２５】
また、前記パーティクル放出口は前記人体模型器の頭部、両側目部、鼻部、両側耳部及び口部に設けられることにより前記頭部、両側目部、鼻部、両側耳部、口部の前端に設けられた前記第２遮断バルブを開放し、前記人体模型器の他の所定領域に設けられた前記第２遮断バルブを閉鎖した後、前記人体模型器から発生されるパーティクルの個数を測定できる。
【００２６】
そして、前記パーティクル放出口は、前記人体模型器の首部、胸部、両側手首部、腰部、両側手部及び前記人体模型器に着用される防塵服のファスナが位置される部位に設けられることにより前記人体模型器の首部、胸部、両側手首部、腰部、両側手部及び前記人体模型器に着用される防塵服のファスナが位置される部位の前端に設けられた前記第２遮断バルブを開放し、前記人体模型器の他の所定領域に設けられた前記第２遮断バルブを閉鎖した後、前記人体模型器から発生されるパーティクルの個数を測定できる。
【００２７】
そして、前記パーティクル放出口は、前記人体模型器の両側ひざ部及び両側足首部に設けられることにより、前記人体模型器の両側ひざ部及び両側足首に設けられた前記合い２遮断バルブを開放させ、前記人体模型器の他の所定領域に設けられた他の第２遮断バルブを閉鎖した後、前記人体模型器から発生されるパーティクルの個数を測定できる。
そして、前記（ｅ）段階のパーティクルの個数はパーティクルカウンタを用いて測定できる。
【００２８】
また、前記（ｅ）段階のパーティクルの個数を測定した後、前記（ｅ）段階の分析用防塵服の外部からパーティクルを測定した結果と、前記（ｂ）段階の洗浄された分析用防塵服自体から発生されたパーティクルの個数を測定した結果とを互いに分析する段階をさらに含む。
そして、前記分析は高度で清浄なクリーンルームの内部で行われるのが望ましい。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面に基づき本発明の望ましい実施例を詳述する。
図１を参照すれば、本発明の一実施例によるクリーンルーム用防塵服のパーティクル分析装置には、ヘッドギア、マスク、グローブ、防塵靴などを含む防塵服が着用でき、洗浄液により洗浄された図示しない人体模型器が高度に清浄な図示しないクリーンルームの内部に備えられている。
【００３０】
そして、コントロールボックス１０と窒素（Ｎ2 ）ガスまたはアルゴン（Ａｒ）ガスを１ないし５kｇ／ｃｍ2 の圧力で放出させうるエア発生器１２が連結されている。
また、コントロールボックス１０と０．１ないし５μｍの直径を有する標準パーティクルを所定個数放出させうるパーティクル発生器１４が連結されている。
【００３１】
そして、前記エア発生器１２と人体模型器の上体の所定領域及び下体の所定領域に付着された二つのエアノズル２０が、分岐ラインが備えられるエア供給ライン１６により互いに連結されている。前記エアノズル２０の表面には図示しない多数の放出口が形成されており、前記エアノズル２０の前端には第１遮断バルブ２６、２８が設けられている。
【００３２】
また、前記人体模型器の頭部、両側目部、鼻部、両側耳部、口部、首部、胸部、両側手首部、腰部、両側ひざ部、両側足首部、両側手部及び前記人体模型器に着用される分析用防塵服のファスナーが置かれる人体模型器の特定部位には放出口が形成された複数のパーティクル放出口２２が付着されている。前記パーティクル放出口２２は人体模型器の末端部に多段分岐されたパーティクル供給ライン１８によりパーティクル発生器１４と連なっている。前記パーティクル放出口２２の前端には第２遮断バルブ３０がそれぞれ設けられている。
【００３３】
以下、前述したように構成された本実施例によるクリーンルーム用防塵服のパーティクル発生分析装置の作用及びをこれを用いたパーティクル分析方法を説明する。
図２を参照すれば、まず分析用防塵服に存するパーティクルを取り除く洗浄工程を行う。
【００３４】
次いで、前記洗浄工程が行われた後も分析用防塵服に存するパーティクルをタンブラーテスタまたはヘルムカドラムテスタを用いて測定する第１次パーティクル測定工程を行う。
図１に示したような本実施例による半導体装置の製造用防塵服の分析装置の人体模型器に前記分析用防塵服を着用させる。
【００３５】
次いで、前記分析用防塵服の内部にエア及びパーティクルを供給する工程を行う。前記工程は前記人体模型器の上体及び下体に設けられたエアノズル２０の前端に設けられた第１遮断バルブ２６、２８を選択的に開閉したり全て開放することにより始まる。そして、前記人体模型器の頭部、両側目部、鼻部、両側耳部、口部、首部、胸部、両側手首部、腰部、両側ひざ部、両側足首部、両側手部及び前記人体模型器に着用される防塵服のファスナーが置かれる部位に付着された複数のパーティクル放出口２２の前端に設けられた第２遮断バルブ３０を選択的に開閉したり全て開放する。いい換えれば、前記人体模型器の頭部、両側目部、鼻部、両側耳部及び口部に設けられたパーティクル放出口２２の前端に設けられた第２遮断バルブ３０は開放し、前記人体模型器の他の所定領域に設けられたパーティクル放出口２２の前端に設けられた第２遮断バルブ３０は閉鎖できる。そして、前記人体模型器の首部、胸部、両側手首部、腰部、両側手部及び前記人体模型器に着用される防塵服のファスナが置かれる部位に設けられたパーティクル放出口２２の前端に設けられた第２遮断バルブ３０は開放し、前記人体模型器の他の所定領域に設けられたパーティクル放出口２２の前端に設けられた第２遮断バルブ３０は閉鎖できる。
【００３６】
また、前記人体模型器の両側ひざ部及び両側足首部に設けられたパーティクル放出口２２の前端に設けられた第２遮断バルブ３０は開放し、前記人体模型器の他の所定領域に設けられたパーティクル放出口２２の前端に設けられた第２遮断バルブ３０は閉鎖できる。それから、コントロールボックス１０の制御によりエア発生器１２では１ないし５kｇ／ｃｍ2 の圧力で窒素ガスまたはアルゴンガスをエア供給ライン１６の内部に放出し、パーティクル発生器１４では０．１ないし５μｍの直径を有する標準パーティクルを発生させパーティクル供給ライン１８に所定個数放出する。これにより、前記パーティクルは人体模型器の複数の所定領域に付着された複数のパーティクル放出口２２を通して分析用防塵服の内部に放出される。そして、前記エアは人体模型器の上体及び下体に設けられたエアノズル２０を介して分析用防塵服の内部に放出され分析用防塵服に所定圧力を加える。これにより、分析用防塵服自体のパーティクルは前記エアの圧力により分析用の防塵服の外部に放出され、複数のパーティクル放出口２２を介して分析用防塵服の脆弱部位に放出されたパーティクルも前記エアの圧力により外部へ放出される。
【００３７】
次に、前記分析用防塵服の外部でパーティクルカウンタを用いて特定サイズ以上のパーティクルの個数を測定する第２次パーティクル測定工程を施す。
最後に、第２次パーティクル測定工程の遂行により測定されたパーティクルの個数から第１パーティクル測定工程の遂行により測定されたパーティクルの個数を減ずることにより、防塵服自体から発生されたパーティクルの個数と複数のパーティクル放出口２２を介して放出された後、分析用防塵服の脆弱部位から防塵服の外部に放出されたパーティクルの個数を求める分析工程を施す。
【００３８】
そして、複数のパーティクル放出口２２の前端に設けられた第２遮断バルブ３０を選択的に開閉して分析用防塵服の所定領域に所定個数のパーティクルを供給すれば、前記分析工程により分析用防塵服の所定領域から放出されるパーティクルの個数を求められる。
【００３９】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、作業者の代わりに洗浄された人体模型器に分析用防塵服を着用させることにより作業者の清潔状態、作業者が防塵服内に着用する衣類の種類などの作業者に起因する分析結果の可変要素を排除し、防塵服から放出されるパーティクルの個数を容易に測定できる効果がある。
【００４０】
そして、従来のボディボックスタスタ及び防塵服チャンバーを用いた分析は作業者がチャンバの内部で特定動作を行って防塵服からパーティクルを放出させパーティクルの個数を測定したので、作業者により動作が不均一なので分析結果が作業者により相異なったが、本発明は分析用防塵服の内部に特定圧力を加えて防塵服からパーティクルを放出させるので再現性に優れた防塵服のパーティクル分析工程を進める効果がある。
【００４１】
また、複数の第２遮断バルブを選択的に開閉して防塵服の所定領域から放出されるパーティクルの個数を測定することにより防塵服の所定領域から放出されるパーティクルに対する分析を進める効果がある。
【００４２】
以上で、本発明は記載された具体例についてのみ詳述されたが、本発明の思想と範囲内で多様な変形や修正がありうることは当業者にとって明らかであり、この変形や修正が特許請求の範囲に属することはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例によるクリーンルーム用防塵服のパーティクル分析装置を示す図である。
【図２】図１の分析装置を用いたパーティクル分析方法の一実施例を説明するための工程順序図である。
【符号の説明】
１０  コントロールボックス
１２  エア発生器
１４  パーティクル発生器
１６  エア供給ライン
１８  パーティクル供給ライン
２０  エアノズル
２２  パーティクル放出口
２６、２８  第１遮断バルブ
３０  第２遮断バルブ
【図１】
0003701474.tif 000002
【図２】
0003701474.tif 000003