(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹部を有するステージ本体に、板状の連続気道を有する構造体をその下面が前記凹部の底面に密着し、且つその上面が前記凹部から突出しないように嵌装せしめると共に、真空手段に連結する吸引管の吸引口が、前記ステージ本体の下方から前記板状の連続気道を有する構造体の下面中央部に直接接してなる薄物帯状ワークの吸着ステージ。
【請求項２】
前記ステージ本体内に冷却機構を配設してなる請求項１に記載の薄物帯状ワークの吸着ステージ。
【請求項３】
前記吸引管の吸引口の断面形状が、前記板状の連続気道を有する構造体の平面図の縮小相似形である請求項１又は２に記載の薄物帯状ワークの吸着ステージ。
【請求項４】
前記板状の連続気道を有する構造体が焼結金属である請求項１乃至３に記載の薄物帯状ワークの吸着ステージ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄物帯状ワークの吸着ステージに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
薄物帯状ワークに樹脂コーティングしたり、露光装置で露光する場合、又は印刷装置で印刷する場合、更に、薄物帯状ワーク製品を検査する場合には、当該ワークをステップ送りし、所定の一領域を所定位置に均一な平面に保持することが必要である。
【０００３】
従来、かかるワークの保持手段として、複数の真空吸着孔を有するステージを用いることが特許第２７７７８３５号公報に開示されている。また、かかるステージの使用が好ましくない場合には、多孔質材を有する基板ステージを用いることが特開２０００−２３２１１３号公報に開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
近時、薄物帯状ワークである合成樹脂フィルムは２５μｍ〜５０μｍといった極めて薄い厚みであり、かかる薄い厚みのワークを特許第２７７７８３５号公報に開示されている複数の真空吸着孔を有するステージで保持する場合、複数の真空吸着孔の部分でへこみが発生し平滑性が損なわれるという問題がある。
【０００５】
また、特開２０００−２３２１１３号公報に記載の焼結金属多孔質材の基板ステージであれば、ワークが薄物帯状であっても上述の問題は回避されるが、ワーク搬送方向の基板ステージの前後には昇降ローラが設けられており、一領域のステップ搬送後、昇降ローラを下降させて薄物帯状ワークを基板ステージの上面に配置させる際、空気を抱き込みながら保持されるので均一な平面に保持されない場合が生じることがある。
【０００６】
そこで、本発明の目的は一領域のステップ搬送を行った薄物帯状ワークを所定位置に均一な平面に保持し得る吸着ステージを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の薄物帯状ワークの吸着ステージは、凹部を有するステージ本体に、板状の連続気道を有する構造体をその下面が前記凹部の底面に密着し、且つその上面が前記凹部から突出しないように嵌装せしめると共に、真空手段に連結する吸引管の吸引口が、前記ステージ本体の下方から前記板状の連続気道を有する構造体の下面中央部に直接接してなるものである。かかる構成により、薄物帯状ワークはその中央部から同心状に順次保持されることになるので、均一な平面に確実に保持される。
【０００８】
吸着ステージを露光装置に用いる場合には、露光光が高エネルギーであるためにワークの温度が上昇し、熱膨張によって転写ずれを発生する恐れがあるが、ステージ本体内に冷却機構を配設すれば、かかる恐れは皆無となる。
【０００９】
なお、吸引管の吸引口の断面形状は、板状の連続気道を有する構造体の平面図の縮小相似形であることが望ましく、また、連続気道を有する構造体としては焼結金属が望ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００１１】
図１は本発明の薄物帯状ワークの吸着ステージを露光機ユニットに適用した正面図で、１は薄物帯状ワークであるフィルムであり、２はステージ本体である。ステージ本体２に形成した凹部には、板状の連続気道を有する構造体３、例えば、焼結金属板が、その下面が前記凹部の底面が密着し、且つ、その上面が前記凹部から極端に突出しない程度に嵌装されている。４は吸引管であり、その吸引口はステージ本体２の下方から焼結金属板の下面に直接接するように設けられている。５は圧空又は大気と、真空ポンプ６とを切替える三方弁である。
【００１２】
ステージ本体２のワーク搬送方向前後には昇降ローラ７、８が配設されており、また、その上方には、露光ユニット９とマスク１０が配設される。
【００１３】
かかる露光機ユニットによれば、所定の領域の露光処理が終了した後、三方弁５を真空ポンプ６側から圧空又は大気側に切替えると共に、昇降ローラ７、８及びマスク１０を上昇せしめ、薄物帯状ワーク１をステップ搬送せしめる。そして、次の領域が所定の位置に至ると昇降ローラ７，８を下降せしめると共に、三方弁５を圧空又は大気側から真空ポンプ６側に切替えて薄物帯状ワーク１を板状の連続気道を有する構造体３上に吸引保持する。次いで、マスク１０を所定の位置に下降せしめると共に、マスク１０と薄物帯状ワーク１の位置合わせを行い、その後、所定の露光処理を行う。
【００１４】
なお、露光機における露光光は高エネルギーであり、露光時ワークの温度が上昇し、熱膨張により転写ずれが発生する恐れがある場合には、図２及び３に示すように、ステージ本体内に冷却機構７０を配設することが望ましい。冷却機構７０としては、例えば、冷却水通路７１を形成した冷却プレートを用いることが出来る。なお、７２はシールのためのＯリングである。
【００１５】
次に、本発明の薄物帯状ワークの吸着ステージをロール・ツウ・ロール方式露光装置に適用した場合を図４に基づいて説明する。
【００１６】
巻出装置２０から巻き出された薄物帯状ワーク１はバッファー部３０を経て吸着ステージに搬送される。バッファー部３０は一対のガイドローラ３１、３２と、上部開放の箱体３３と、該箱体の側部に取付けられた上限レベルセンサ３４及び下限レベルセンサ３５とで構成され、該箱体３３の底部には吸引配管３６を介して吸引ブロア３７が接続されている。
【００１７】
薄物帯状ワーク１の搬送方向に沿って吸着ステージの後方には、グリップフィード部４０と、バッファー部５０と、巻取装置６０が配設されている。グリップフィード部４０は固定グリップ４１と移動グリップ４２とで構成され、移動グリップ４２は駆動モータ４３で回転する送り螺子４４により左右動する。
【００１８】
バッファー部５０は、一対のガイドローラ５２、５３と、上部開放の箱体と、該箱体の側部に取付けられた上限レベルセンサ５４及び下限レベルセンサ５５とで構成され、該箱体の底部には吸引配管５６を介して吸引ブロア５７が接続されている。
【００１９】
かかるロール・ツウ・ロール方式露光装置において、所定の領域の露光処理が終了すれば、グリップフィード部４０の固定グリップ４１を開にすると共に、移動グリップ４２を閉にして薄物帯状ワーク１を所定距離搬送せしめる。吸着ステージ部の作動は先の説明と同一であるから説明は省略する。
【００２０】
薄物帯状ワーク１が所定距離搬送されるとバッファー部３０におけるループの下端が上昇するが、その下端が上限レベルセンサ３４より上に位置すると、巻出装置２０が作動し、下限レベルセンサ３５の位置に至ると巻出装置２０の作動は停止する。一方、後段のバッファー部５０において、薄物帯状ワーク１のループの下端が下限レベルセンサ５５の位置に至ると、巻取装置６０が作動し薄物帯状ワークを巻上げ、ループの下端が上限レベルセンサ５４の位置に至ると巻取装置６０の作動は停止する。
【００２１】
【発明の効果】
本発明の薄物帯状ワークの吸着ステージによれば、凹部を有するステージ本体に、板状の連続気道を有する構造体をその下面が前記凹部の底面に密着し、且つその上面が前記凹部から突出しないように嵌装せしめると共に、真空手段に連結する吸引管の吸引口が、前記ステージ本体の下方から前記板状の連続気道を有する構造体の下面中央部に直接接しているので、薄物帯状ワークを所定位置に均一な平面に保持し得るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の薄物帯状ワークの吸着ステージを露光機ユニットに適用した正面図である。
【図２】本発明の他の実施態様の薄物帯状ワークの吸着ステージを露光機ユニットに適用した正面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ矢視図である。
【図４】本発明の薄物帯状ワークの吸着ステージをロール・ツウ・ロール方式露光装置に適用した正面図である。
【符号の説明】
１  薄物帯状ワーク
２  ステージ本体
３  板状の連続気道を有する構造体
４  吸引管
５  三方弁
６  真空ポンプ
７、８  昇降ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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