(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円柱状の圧電素子の円柱面に、該圧電素子の軸方向と平行に、駆動用電極、検出用電極、及びアース用電極として、複数個の帯状電極を形成した圧電振動ジャイロ用の圧電振動子において、前記駆動用電極とそれと隣り合う前記アース用電極とで構成されている駆動部と、前記検出用電極とそれと隣り合う前記アース用電極とで構成されている検出部とを、前記検出用電極の本体部分を、長さに関して、前記駆動用電極の本体部分より小さくして、異なる形状にしたことを特徴とする圧電振動ジャイロ用の圧電振動子。
【請求項２】
円柱状の圧電素子の円柱面に、該圧電素子の軸方向と平行に、駆動用電極、検出用電極、及びアース用電極として、複数個の帯状電極を形成した圧電振動ジャイロ用の圧電振動子において、前記駆動用電極とそれと隣り合う前記アース用電極とで構成されている駆動部と、前記検出用電極とそれと隣り合う前記アース用電極とで構成されている検出部とを、前記検出用電極の本体部分を、幅に関して、前記駆動用電極の本体部分より大きくして、異なる形状にしたことを特徴とする圧電振動ジャイロ用の圧電振動子。
【請求項３】
第１の振動方向に振動させている圧電振動子に回転角速度が与えられると、前記第１の振動方向に垂直に生じるコリオリ力によって、前記圧電振動子に、前記第１の振動方向に垂直な第２の振動方向に振動が生じるという力学現象を利用した圧電振動ジャイロにおける前記圧電振動子であって、中心軸とこの中心軸に沿って延在する円柱面とを有する円柱状の圧電素子と、前記円柱面に、前記中心軸に平行に延在して形成され、入力電気信号を供給されて、前記圧電素子を、前記中心軸に垂直である前記第１の振動方向に振動させる駆動用電極と、前記円柱面に、前記中心軸に平行に延在して形成され、前記中心軸に垂直でありかつ前記第１の振動方向に垂直である前記第２の振動方向への前記圧電素子の振動を出力電気信号として検出する第１及び第２の検出用電極と、前記円柱面に、前記中心軸に平行に延在しかつ前記駆動用電極及び前記第１の検出用電極間、前記駆動用電極及び前記第２の検出用電極間、及び前記第１及び前記第２の検出用電極間に挟まれた状態に、それぞれ形成され、アースされる第１、第２、及び第３のアース用電極とを有する前記圧電振動子において、
前記第１の検出用電極とそれと隣り合う前記第１及び前記第３のアース用電極とで構成されている第１の検出部と、前記第２の検出用電極とそれと隣り合う前記第２及び前記第３のアース用電極とで構成されている第２の検出部とが、前記第１の検出部のパターンを前記中心軸のまわりに一定角度だけ回転した時に前記第２の検出部のパターンに一致する位置関係に前記第１及び前記第２の検出部が配置され、かつ、前記駆動用電極とそれと隣り合う前記第１及び前記第３のアース用電極とで構成されている駆動部が、前記駆動部のパターンを前記中心軸のまわりに前記一定角度だけ回転した時に前記第１及び前記第２の検出部の各々のパターンに、前記駆動用電極の本体部分と前記第１及び前記第２の検出用電極の各々の本体部分とが長さ及び幅の少なくとも一方に関して不一致であることを除いて、一致する位置関係に前記駆動部が配置されている前記圧電振動子であって、
前記第１及び前記第２の検出用電極の本体部分は、長さ及び幅に関して、互に等しく、前記第１及び前記第２の検出用電極の各々の本体部分は、幅に関して、前記駆動用電極の本体部分に等しく、かつ、長さに関して、前記駆動用電極の本体部分より小さいことを特徴とする圧電振動ジャイロ用の圧電振動子。
【請求項４】
第１の振動方向に振動させている圧電振動子に回転角速度が与えられると、前記第１の振動方向に垂直に生じるコリオリ力によって、前記圧電振動子に、前記第１の振動方向に垂直な第２の振動方向に振動が生じるという力学現象を利用した圧電振動ジャイロにおける前記圧電振動子であって、中心軸とこの中心軸に沿って延在する円柱面とを有する円柱状の圧電素子と、前記円柱面に、前記中心軸に平行に延在して形成され、入力電気信号を供給されて、前記圧電素子を、前記中心軸に垂直である前記第１の振動方向に振動させる駆動用電極と、前記円柱面に、前記中心軸に平行に延在して形成され、前記中心軸に垂直でありかつ前記第１の振動方向に垂直である前記第２の振動方向への前記圧電素子の振動を出力電気信号として検出する第１及び第２の検出用電極と、前記円柱面に、前記中心軸に平行に延在しかつ前記駆動用電極及び前記第１の検出用電極間、前記駆動用電極及び前記第２の検出用電極間、及び前記第１及び前記第２の検出用電極間に挟まれた状態に、それぞれ形成され、アースされる第１、第２、及び第３のアース用電極とを有する前記圧電振動子において、
前記第１の検出用電極とそれと隣り合う前記第１及び前記第３のアース用電極とで構成されている第１の検出部と、前記第２の検出用電極とそれと隣り合う前記第２及び前記第３のアース用電極とで構成されている第２の検出部とが、前記第１の検出部のパターンを前記中心軸のまわりに一定角度だけ回転した時に前記第２の検出部のパターンに一致する位置関係に前記第１及び前記第２の検出部が配置され、かつ、前記駆動用電極とそれと隣り合う前記第１及び前記第３のアース用電極とで構成されている駆動部が、前記駆動部のパターンを前記中心軸のまわりに前記一定角度だけ回転した時に前記第１及び前記第２の検出部の各々のパターンに、前記駆動用電極の本体部分と前記第１及び前記第２の検出用電極の各々の本体部分とが長さ及び幅の少なくとも一方に関して不一致であることを除いて、一致する位置関係に前記駆動部が配置されている前記圧電振動子であって、
前記第１及び前記第２の検出用電極の本体部分は、長さ及び幅に関して、互に等しく、前記第１及び前記第２の検出用電極の各々の本体部分は、長さに関して、前記駆動用電極の本体部分に等しく、かつ、幅に関して、前記駆動用電極の本体部分より大きいことを特徴とする圧電振動ジャイロ用の圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カメラ一体型ＶＴＲ（ビデオテープレコーダ）の手振れ防止や自動車のナビゲーションシステムなどに用いられるジャイロスコープの内、特に、棒状屈曲振動子を用いた圧電振動ジャイロに関し、特にこの圧電振動ジャイロに用いられる圧電振動ジャイロ用の圧電振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電振動ジャイロは、振動している物体に回転角速度が与えられると、その振動方向と直角な方向にコリオリ力を生ずるという力学現象を利用したジャイロスコープである。互いに直交する二つの方向の励振と検出が可能であるように構成した振動系において、一方の振動を励振した状態で、二つの振動面が交わる線と平行な線を中心軸として振動子自身を回転させると、前述のコリオリ力の作用によりあらかじめ励振させていた振動と直角な方向に力が働き、他方の振動が励振される。この他方（出力側）の振動の大きさは入力側の振動の大きさおよび回転角速度に比例するため、入力電圧が一定の場合、この出力側の振動の大きさに比例した出力電圧の大きさから、回転角速度の大きさを求めることが出来る。
【０００３】
図４（ａ）は従来の圧電振動ジャイロ用の圧電振動子をある方向から見た斜視図及びその断面図を示し、図４（ｂ）はこの従来の圧電振動ジャイロ用の圧電振動子を別の方向から見た斜視図及びその断面図を示している。
【０００４】
図４（ａ）及び（ｂ）を参照して、この圧電振動ジャイロ用の圧電振動子は、第１の振動方向Ｘに振動させている圧電振動子に回転角速度が与えられると、第１の振動方向Ｘに垂直に生じるコリオリ力によって、圧電振動子に、第１の振動方向Ｘに垂直な第２の振動方向Ｙに振動が生じるという力学現象を利用した圧電振動ジャイロに用いられる。
【０００５】
この圧電振動子は、中心軸Ｃとこの中心軸Ｃに沿って延在する円柱面とを有する円柱状の圧電素子（圧電セラミックス）１と、円柱面に、中心軸Ｃに平行に帯状に延在して形成され、入力電気信号を供給されて、圧電素子１を、中心軸Ｃに垂直である第１の振動方向Ｘに振動させる駆動用電極５と、円柱面に、中心軸Ｃに平行に帯状に延在して形成され、中心軸Ｃに垂直でありかつ第１の振動方向Ｘに垂直である第２の振動方向Ｙへの圧電素子１の振動を出力電気信号として検出する第１及び第２の検出用電極３及び７と、円柱面に、中心軸Ｃに平行に帯状に延在しかつ駆動用電極５及び第１の検出用電極３間、駆動用電極５及び第２の検出用電極７間、及び第１及び第２の検出用電極３及び７間に挟まれた状態に、それぞれ形成され、アースされる第１、第２、及び第３のアース用電極４、６、及び２とを有する。第１、第２、及び第３のアース用電極４、６、及び２は図示のように、互に接続されている。
【０００６】
この圧電振動子においては、第１の検出用電極３とそれと隣り合う第１及び第３のアース用電極４及び２とで構成されている第１の検出部と、第２の検出用電極７とそれと隣り合う第２及び第３のアース用電極６及び２とで構成されている第２の検出部とが、互に等しい実効的電気機械結合係数ｋｙを持つように、第１の検出部のパターンを中心軸Ｃのまわりに一定角度（具体的には１２０°）だけ回転した時に第２の検出部のパターンに一致する位置関係に第１及び第２の検出部が配置され、かつ、駆動用電極５とそれと隣り合う第１及び第３のアース用電極４及び６とで構成されている駆動部が、第１及び第２の検出部の各々の実効的電気機械結合係数ｋｙと等しい実効的電気機械結合係数ｋｘを持つように、駆動部のパターンを中心軸Ｃのまわりに前記一定角度（即ち、１２０°）だけ上方及び下方に回転した時に第１及び第２の検出部の各々のパターンに一致する位置関係に駆動部が配置されている。
【０００７】
即ち、駆動部及び第１及び第２の検出部は、中心軸Ｃを対称軸とした回転対象の位置関係にある。
【０００８】
このようにして、６本の帯状電極を用いてあらかじめ矢印方向に分極処理された６箇所の電極間の圧電効果を利用して圧電振動ジャイロを実現している。
【０００９】
この圧電振動子においては、駆動用電極５及び第１及び第２の検出用電極３及び７は、振動子の屈曲振動のノードからノードまで同じピッチかつ同じ幅で形成されており、駆動用電極５とそれと隣り合うアース電極４及び６とで構成されている駆動部と、第１の検出用電極３とそれと隣り合うアース用電極４及び２とで構成されている第１の検出部とで形状は等しく、同様に、駆動部は、第２の検出用電極７とそれと隣り合うアース用電極６及び２とで構成されている第２の検出部とで形状は等しい。よって、駆動部の実効的電気機械結合係数ｋｘと第１及び第２の検出部の各々の実効的電気機械結合係数ｋｙとの関係はｋｘ＝ｋｙである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
このような圧電振動ジャイロの検出感度は、駆動部の実効的電気機械結合係数ｋｘと第１及び第２の検出部の各々の実効的電気機械結合係数ｋｙとの関係によって決まる。上述したように、図４の圧電振動子は、駆動部の実効的電気機械結合係数ｋｘと第１及び第２の検出部の各々の実効的電気機械結合係数ｋｙとの関係がｋｘ＝ｋｙであり、図４の圧電振動子では、圧電振動ジャイロの検出感度を高くするために、ｋｘ＞ｋｙとすることができない。
【００１１】
それ故、本発明の課題は、圧電振動ジャイロの検出感度を高くすることができる圧電振動ジャイロ用の圧電振動子を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、円柱状の圧電素子の円柱面に、該圧電素子の軸方向と平行に、駆動用電極、検出用電極、及びアース用電極として、複数個の帯状電極を形成した圧電振動ジャイロ用の圧電振動子において、前記駆動用電極とそれと隣り合う前記アース用電極とで構成されている駆動部と、前記検出用電極とそれと隣り合う前記アース用電極とで構成されている検出部とを、前記検出用電極の本体部分を、長さに関して、前記駆動用電極の本体部分より小さくして、異なる形状にしたことを特徴とする圧電振動ジャイロ用の圧電振動子が得られる。
また、本発明によれば、円柱状の圧電素子の円柱面に、該圧電素子の軸方向と平行に、駆動用電極、検出用電極、及びアース用電極として、複数個の帯状電極を形成した圧電振動ジャイロ用の圧電振動子において、前記駆動用電極とそれと隣り合う前記アース用電極とで構成されている駆動部と、前記検出用電極とそれと隣り合う前記アース用電極とで構成されている検出部とを、前記検出用電極の本体部分を、幅に関して、前記駆動用電極の本体部分より大きくして、異なる形状にしたことを特徴とする圧電振動ジャイロ用の圧電振動子が得られる。
【００１３】
更に本発明によれば、第１の振動方向に振動させている圧電振動子に回転角速度が与えられると、前記第１の振動方向に垂直に生じるコリオリ力によって、前記圧電振動子に、前記第１の振動方向に垂直な第２の振動方向に振動が生じるという力学現象を利用した圧電振動ジャイロにおける前記圧電振動子であって、中心軸とこの中心軸に沿って延在する円柱面とを有する円柱状の圧電素子と、前記円柱面に、前記中心軸に平行に延在して形成され、入力電気信号を供給されて、前記圧電素子を、前記中心軸に垂直である前記第１の振動方向に振動させる駆動用電極と、前記円柱面に、前記中心軸に平行に延在して形成され、前記中心軸に垂直でありかつ前記第１の振動方向に垂直である前記第２の振動方向への前記圧電素子の振動を出力電気信号として検出する第１及び第２の検出用電極と、前記円柱面に、前記中心軸に平行に延在しかつ前記駆動用電極及び前記第１の検出用電極間、前記駆動用電極及び前記第２の検出用電極間、及び前記第１及び前記第２の検出用電極間に挟まれた状態に、それぞれ形成され、アースされる第１、第２、及び第３のアース用電極とを有する前記圧電振動子において、前記第１の検出用電極とそれと隣り合う前記第１及び前記第３のアース用電極とで構成されている第１の検出部と、前記第２の検出用電極とそれと隣り合う前記第２及び前記第３のアース用電極とで構成されている第２の検出部とが、前記第１の検出部のパターンを前記中心軸のまわりに一定角度だけ回転した時に前記第２の検出部のパターンに一致する位置関係に前記第１及び前記第２の検出部が配置され、かつ、前記駆動用電極とそれと隣り合う前記第１及び前記第３のアース用電極とで構成されている駆動部が、前記駆動部のパターンを前記中心軸のまわりに前記一定角度だけ回転した時に前記第１及び前記第２の検出部の各々のパターンに、前記駆動用電極の本体部分と前記第１及び前記第２の検出用電極の各々の本体部分とが長さ及び幅の少なくとも一方に関して不一致であることを除いて、一致する位置関係に前記駆動部が配置されている前記圧電振動子であって、前記第１及び前記第２の検出用電極の本体部分は、長さ及び幅に関して、互に等しく、前記第１及び前記第２の検出用電極の各々の本体部分は、幅に関して、前記駆動用電極の本体部分に等しく、かつ、長さに関して、前記駆動用電極の本体部分より小さいことを特徴とする圧電振動ジャイロ用の圧電振動子が得られる。
また本発明によれば、第１の振動方向に振動させている圧電振動子に回転角速度が与えられると、前記第１の振動方向に垂直に生じるコリオリ力によって、前記圧電振動子に、前記第１の振動方向に垂直な第２の振動方向に振動が生じるという力学現象を利用した圧電振動ジャイロにおける前記圧電振動子であって、中心軸とこの中心軸に沿って延在する円柱面とを有する円柱状の圧電素子と、前記円柱面に、前記中心軸に平行に延在して形成され、入力電気信号を供給されて、前記圧電素子を、前記中心軸に垂直である前記第１の振動方向に振動させる駆動用電極と、前記円柱面に、前記中心軸に平行に延在して形成され、前記中心軸に垂直でありかつ前記第１の振動方向に垂直である前記第２の振動方向への前記圧電素子の振動を出力電気信号として検出する第１及び第２の検出用電極と、前記円柱面に、前記中心軸に平行に延在しかつ前記駆動用電極及び前記第１の検出用電極間、前記駆動用電極及び前記第２の検出用電極間、及び前記第１及び前記第２の検出用電極間に挟まれた状態に、それぞれ形成され、アースされる第１、第２、及び第３のアース用電極とを有する前記圧電振動子において、前記第１の検出用電極とそれと隣り合う前記第１及び前記第３のアース用電極とで構成されている第１の検出部と、前記第２の検出用電極とそれと隣り合う前記第２及び前記第３のアース用電極とで構成されている第２の検出部とが、前記第１の検出部のパターンを前記中心軸のまわりに一定角度だけ回転した時に前記第２の検出部のパターンに一致する位置関係に前記第１及び前記第２の検出部が配置され、かつ、前記駆動用電極とそれと隣り合う前記第１及び前記第３のアース用電極とで構成されている駆動部が、前記駆動部のパターンを前記中心軸のまわりに前記一定角度だけ回転した時に前記第１及び前記第２の検出部の各々のパターンに、前記駆動用電極の本体部分と前記第１及び前記第２の検出用電極の各々の本体部分とが長さ及び幅の少なくとも一方に関して不一致であることを除いて、一致する位置関係に前記駆動部が配置されている前記圧電振動子であって、前記第１及び前記第２の検出用電極の本体部分は、長さ及び幅に関して、互に等しく、前記第１及び前記第２の検出用電極の各々の本体部分は、長さに関して、前記駆動用電極の本体部分に等しく、かつ、幅に関して、前記駆動用電極の本体部分より大きいことを特徴とする圧電振動ジャイロ用の圧電振動子が得られる。
なお、検出用電極及び駆動用電極の各々の本体部分が接続のための延長部分や切り欠きを含まないことは明らかである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【００１５】
図１（ａ）は本発明の一実施例による圧電振動ジャイロ用の圧電振動子をある方向から見た斜視図及びその断面図を示し、図１（ｂ）はこの圧電振動ジャイロ用の圧電振動子を別の方向から見た斜視図及びその断面図を示している。
【００１６】
図１（ａ）及び（ｂ）を参照して、この圧電振動ジャイロ用の圧電振動子は、第１の振動方向Ｘに振動させている圧電振動子に回転角速度が与えられると、第１の振動方向Ｘに垂直に生じるコリオリ力によって、圧電振動子に、第１の振動方向Ｘに垂直な第２の振動方向Ｙに振動が生じるという力学現象を利用した圧電振動ジャイロに用いられる。
【００１７】
この圧電振動子は、中心軸Ｃとこの中心軸Ｃに沿って延在する円柱面とを有する円柱状の圧電素子（圧電セラミックス）１と、円柱面に、中心軸Ｃに平行に帯状に延在して形成され、入力電気信号を供給されて、圧電素子１を、中心軸Ｃに垂直である第１の振動方向Ｘに振動させる駆動用電極１１と、円柱面に、中心軸Ｃに平行に帯状に延在して形成され、中心軸Ｃに垂直でありかつ第１の振動方向Ｘに垂直である第２の振動方向Ｙへの圧電素子１の振動を出力電気信号として検出する第１及び第２の検出用電極９及び１３と、円柱面に、中心軸Ｃに平行に帯状に延在しかつ駆動用電極１１及び第１の検出用電極９間、駆動用電極１１及び第２の検出用電極１３間、及び第１及び第２の検出用電極９及び１３間に挟まれた状態に、それぞれ形成され、アースされる第１、第２、及び第３のアース用電極１０、１２、及び８とを有する。第１、第２、及び第３のアース用電極１０、１２、及び８は図示のように、互に接続されている。
【００１８】
この圧電振動子においては、第１の検出用電極９とそれと隣り合う第１及び第３のアース用電極１０及び８とで構成されている第１の検出部と、第２の検出用電極１３とそれと隣り合う第２及び第３のアース用電極１２及び８とで構成されている第２の検出部とが、互に等しい実効的電気機械結合係数ｋｙを持つように、第１の検出部のパターンを中心軸Ｃのまわりに一定角度（具体的には１２０°）だけ回転した時に第２の検出部のパターンに一致する位置関係に第１及び第２の検出部が配置され、かつ、駆動用電極１１とそれと隣り合う第１及び第３のアース用電極１０及び１２とで構成されている駆動部が、第１及び第２の検出部の各々の実効的電気機械結合係数ｋｙよりも大きい実効的電気機械結合係数ｋｘを持つように、駆動部のパターンを中心軸Ｃのまわりに前記一定角度（即ち、１２０°）だけ回転した時に第１及び第２の検出部の各々のパターンに、駆動用電極１１と第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々とが長さ及び幅の少なくとも一方に関して不一致である（図１には、駆動用電極１１と第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々とが長さに関して不一致である例が示されている）ことを除いて、一致する位置関係に駆動部が配置されている。
【００１９】
詳細には、図１に図示の例では、第１及び第２の検出用電極９及び１３は、長さ及び幅に関して、互に等しく、第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々は、幅に関して、駆動用電極１１に等しく、かつ、長さに関して、駆動用電極１１より小さい。
【００２０】
代りに、第１及び第２の検出用電極９及び１３は、長さ及び幅に関して、互に等しく、第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々は、長さに関して、駆動用電極１１に等しく、かつ、幅に関して、駆動用電極１１より大きくしても良い。
【００２１】
このようにして、６本の帯状電極を用いてあらかじめ矢印方向に分極処理された６箇所の電極間の圧電効果を利用して圧電振動ジャイロを実現している。
【００２２】
この圧電振動子においては、駆動用電極１１は、振動子の屈曲振動のノードからノードまで形成されているが、第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々は振動子のノードからノードまでの間隔より短く形成されている。駆動用電極１１とそれと隣り合うアース用電極１０及び１２とで構成されている駆動部と、第１の検出用電極９とそれと隣り合うアース用電極１０及び８とで構成されている第１の検出部、及び、第２の検出用電極１３とそれと隣り合うアース用電極１２及び８とで構成されている第２の検出部の各々とが、駆動部の実効的電気機械結合係数ｋｘと第１及び第２の検出部の実効的電気機械結合係数ｋｙの関係がｋｘ＞ｋｙとなるように、異なる形状にされている。
【００２３】
図２は、図１の圧電振動子の第１及び第２の検出部の実効的電気機械結合係数ｋｙとこれら圧電振動子を用いた圧電振動ジャイロの検出感度の関係を説明するための図であり、図中のＢが、図１の圧電振動子の第１及び第２の検出部の実効的電気機械結合係数ｋｙとこれら圧電振動子を用いた圧電振動ジャイロの検出感度の関係を示している。なお、図４の従来の圧電振動子の場合のｋｙ及び検出感度は図中Ａで示される通りであり、図中Ｂまでｋｙを小さくすると検出感度が高くなることがわかる。
【００２４】
図３は、図１の圧電振動子の第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々の長さと実効的電気機械結合係数ｋｙの関係を説明するための図であり、図中のＢが、図１の圧電振動子の第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々の長さと実効的電気機械結合係数ｋｙの関係を示している。なお、図４の従来の圧電振動子の第１及び第２の検出用電極３及び７の各々の長さと実効的電気機械結合係数ｋｙの関係は図中Ａで示される通りである。図３からわかるように、第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々の長さを図中Ｂで示されるように短くすると実効的電気機械結合係数ｋｙが小さくなる。図２及び図３から、第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々の長さを上述したように短くすることで、圧電振動ジャイロの検出感度を高くすることが可能である。
【００２５】
また、第１及び第２の検出用電極９及び１３の幅を広くして、第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々と隣り合うアース用電極との間隔を狭くしたりすることでも同様に、実効的電気機械結合係数ｋｙを理想的なものとし、圧電振動ジャイロの検出感度を高くすることが可能である。
【００２６】
上述したように、第１及び第２の検出用電極９及び１３の長さを短くして、第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々と隣り合うアース用電極に対して向かい合う長さを短くしたり、第１及び第２の検出用電極９及び１３の幅を広くして、第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々と隣り合うアース用電極との間隔を狭くしたりすることで、駆動部の実効的電気機械結合係数ｋｘと第１及び第２の検出部の実効的電気機械結合係数ｋｙの関係をｋｘ＞ｋｙとでき、圧電振動ジャイロの検出感度を高くすることができる。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明による圧電振動ジャイロ用の圧電振動子を用いれば、駆動部の電気機械結合係数ｋｘと検出部の電気機械結合係数ｋｙの関係をｋｘ＞ｋｙとでき、圧電振動ジャイロの検出感度を高くすることができ、高精度の圧電振動ジャイロを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例による圧電振動ジャイロ用の圧電振動子を説明するための図である。
【図２】図１の圧電振動子の第１及び第２の検出部の実効的電気機械結合係数ｋｙとこれら圧電振動子を用いた圧電振動ジャイロの検出感度の関係を説明するための図である。
【図３】図１の圧電振動子の第１及び第２の検出用電極９及び１３の各々の長さと実効的電気機械結合係数ｋｙの関係を説明するための図である。
【図４】従来の圧電振動ジャイロ用の圧電振動子を説明するための図である。
【符号の説明】
１    圧電素子（圧電セラミックス）
２    アース用電極
３    検出用電極
４    アース用電極
５    駆動用電極
６    アース用電極
７    検出用電極
８    アース用電極
９    検出用電極
１０    アース用電極
１１    駆動用電極
１２    アース用電極
１３    検出用電極
Ｃ    中心軸
Ｘ    第１の振動方向
Ｙ    第２の振動方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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