(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フリップチップが実装される基板を保持する可動テーブルと、可動テーブルの上方にあってノズル部とこのノズル部に着脱自在に装着される吸着子を備え、この吸着子の吸着孔の吸引力によりフリップチップを保持するピックアップヘッドと、回転軸を中心に水平回転して前記ピックアップヘッドの直下に移動する複数のアームを有するターンテーブルを備え、前記複数のアームが、フリップチップを保持して前記ピックアップヘッドへ搬送するフリップチップ搬送用のアームと、前記吸着子を前記ピックアップヘッドのノズル部へ搬送する吸着子搬送用の複数のアームを備えたことを特徴とするフリップチップの実装装置。
【請求項２】
前記吸着子搬送用のアームが、前記ノズル部に保持されている吸着子を回収するための空のアームと交換用の吸着子を載せたアームを含むことを特徴とする請求項１記載のフリップチップの実装装置。
【請求項３】
前記ノズル部が、前記吸着子の吸着孔に連通する第１の吸引路と前記吸着子を真空吸着してこのノズル部に装着する第２の吸引路を備えたことを特徴とする請求項１記載のフリップチップの実装装置。
【請求項４】
前記ノズル部にヒーターが装着されていることを特徴とする請求項１記載のフリップチップの実装装置。
【請求項５】
前記ターンテーブルの下方に設けられ前記ピックアップヘッドに保持されたフリップチップ及び前記可動テーブル上の基板を観察するための鏡筒を有する認識ユニットと、前記認識ユニットを水平移動させて前記鏡筒を前記ピックアップヘッドに保持されたフリップチップの直下へ移動させる駆動部を備えたことを特徴とする請求項１記載のフリップチップの実装装置。
【請求項６】
フリップチップが実装される基板を保持する可動テーブルと、ノズル部に着脱自在に装着された吸着子の吸着孔の吸引力によりフリップチップを保持するピックアップヘッドと、回転軸を中心に水平回転してフリップチップを前記ピックアップヘッドへ搬送するフリップチップ搬送用のアーム並びに前記回転軸を中心に水平回転して前記吸着子を前記ピックアップヘッドのノズル部へ搬送する吸着子搬送用の複数のアームを有するターンテーブルと、前記ピックアップヘッドに保持されたフリップチップ及び前記可動テーブル上の基板を観察するための鏡筒とカメラを有する認識ユニットを備えたフリップチップの実装装置におけるフリップチップの実装方法であって、前記ターンテーブルを水平回転させることによりフリップチップを保持したフリップチップ搬送用のアームを前記ピ
ックアップヘッドの直下へ移動させる工程と、前記ピックアップヘッドでフリップチップ搬送用のアームからフリップチップをピックアップする工程と、前記認識ユニットを水平移動させて前記鏡筒を前記ピックアップヘッドに保持されたフリップチップの直下に移動させ、フリップチップと基板の特徴部を観察してフリップチップと基板の位置認識を行う工程と、前記位置認識の結果に基づいて前記可動テーブルを駆動して基板の搭載位置を前記ピックアップヘッドの吸着子に吸着されているフリップチップの直下に移動させる工程と、前記ピックアップヘッドを下降させてフリップチップのバンプを基板の電極に押し付けてボンディングする工程を備え、フリップチップの寸法が変わる場合は、前記ターンテーブルを水平回転させることにより空の吸着子搬送用のアームを前記ピックアップヘッドの直下へ移動させる工程と、前記ピックアップヘッドに保持されている吸着子を空の吸着子搬送用のアーム上に載せて回収する工程と、前記ターンテーブルを水平回転させることにより所望の吸着子が載せられている吸着子搬送用のアームを前記ピックアップヘッドの直下へ移動させる工程と、前記ピックアップヘッドのノズル部に前記所望の吸着子を装着する工程を行うことを特徴とするフリップチップの実装方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フリップチップを高速度・高位置精度で基板に実装するフリップチップの実装装置およびフリップチップの実装方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
バンプを有するフリップチップは、基板の高集積化に有利なことから、近年、各種の基板に実装される素子として次第に広く用いられるようになってきている。このため、フリップチップの実装装置も様々なものが提案されている（例えば特開平２−３６５９７号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
フリップチップのバンプは、近年、益々小形化しており、フリップチップはその微小なバンプを基板の電極に正確に位置合わせして高位置精度で実装することが要求される。また生産性をあげるために、作業性よく高速度で実装することが併せて要求される。しかしながら、フリップチップを高速度・高位置精度で基板に実装する技術は未だ確立されていない実情にある。
【０００４】
したがって本発明は、フリップチップを高速度でしかも高い位置精度で基板に実装できるフリップチップの実装装置およびフリップチップの実装方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のフリップチップの実装装置は、フリップチップが実装される基板を保持する可動テーブルと、可動テーブルの上方にあってノズル部とこのノズル部に着脱自在に装着される吸着子を備え、この吸着子の吸着孔の吸引力によりフリップチップを保持するピックアップヘッドと、回転軸を中心に水平回転して前記ピックアップヘッドの直下に移動する複数のアームを有するターンテーブルを備え、前記複数のアームが、フリップチップを保持して前記ピックアップヘッドへ搬送するフリップチップ搬送用のアームと、前記吸着子を前記ピックアップヘッドのノズル部へ搬送する吸着子搬送用の複数のアームを備えた。
【０００６】
請求項２記載のフリップチップの実装装置は、請求項１記載のフリップチップの実装装置であって、前記吸着子搬送用のアームが、前記ノズル部に保持されている吸着子を回収するための空のアームと交換用の吸着子を載せたアームを含む。
【０００７】
請求項３記載のフリップチップの実装装置は、請求項１記載のフリップチップの実装装置であって、前記ノズル部が、前記吸着子の吸着孔に連通する第１の吸引路と前記吸着子を真空吸着してこのノズル部に装着する第２の吸引路を備えた。
【０００８】
請求項４記載のフリップチップの実装装置は、請求項１記載のフリップチップの実装装置であって、前記ノズル部にヒーターが装着されている。
【０００９】
請求項５記載のフリップチップの実装装置は、請求項１記載のフリップチップの実装装置であって、前記ターンテーブルの下方に設けられ前記ピックアップヘッドに保持されたフリップチップ及び前記可動テーブル上の基板を観察するための鏡筒を有する認識ユニットと、前記認識ユニットを水平移動させて前記鏡筒を前記ピックアップヘッドに保持されたフリップチップの直下へ移動させる駆動部を備えた。
【００１０】
請求項６記載のフリップチップの実装方法は、フリップチップが実装される基板を保持する可動テーブルと、ノズル部に着脱自在に装着された吸着子の吸着孔の吸引力によりフリップチップを保持するピックアップヘッドと、回転軸を中心に水平回転してフリップチップを前記ピックアップヘッドへ搬送するフリップチップ搬送用のアーム並びに前記回転軸を中心に水平回転して前記吸着子を前記ピックアップヘッドのノズル部へ搬送する吸着子搬送用の複数のアームを有するターンテーブルと、前記ピックアップヘッドに保持されたフリップチップ及び前記可動テーブル上の基板を観察するための鏡筒とカメラを有する認識ユニットを備えたフリップチップの実装装置におけるフリップチップの実装方法であって、前記ターンテーブルを水平回転させることによりフリップチップを保持したフリップチップ搬送用のアームを前記ピックアップヘッドの直下へ移動させる工程と、前記ピックアップヘッドでフリップチップ搬送用のアームからフリップチップをピックアップする工程と、前記認識ユニットを水平移動させて前記鏡筒を前記ピックアップヘッドに保持されたフリップチップの直下に移動させ、フリップチップと基板の特徴部を観察してフリップチップと基板の位置認識を行う工程と、前記位置認識の結果に基づいて前記可動テーブルを駆動して基板の搭載位置を前記ピックアップヘッドの吸着子に吸着されているフリップチップの直下に移動させる工程と、前記ピックアップヘッドを下降させてフリップチップのバンプを基板の電極に押し付けてボンディングする工程を備え、フリップチップの寸法が変わる場合は、前記ターンテーブルを水平回転させることにより空の吸着子搬送用のアームを前記ピックアップヘッドの直下へ移動させる工程と、前記ピックアップヘッドに保持されている吸着子を空の吸着子搬送用のアーム上に載せて回収する工程と、前記ターンテーブルを水平回転させることにより所望の吸着子が載せられている吸着子搬送用のアームを前記ピックアップヘッドの直下へ移動させる工程と、前記ピックアップヘッドのノズル部に前記所望の吸着子を装着する工程を行う。
【００１１】
【発明の実施の形態】
上記構成の本発明によれば、第１のピックアップヘッド、第２のピックアップヘッド、第３のピックアップヘッド、第１の移送手段、第２の移送手段などの作業部がそれぞれ役割分担をして互いに連係しながら、フリップチップの供給部に備えられたフリップチップを可動テーブル上の基板に作業性よく且つ高い位置精度で実装することができる。
【００１２】
以下、本発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態のフリップチップの実装装置の側面図、図２は同フリップチップの実装装置の平面図、図３は同フリップチップの実装装置の第３のピックアップヘッドの部分断面図、図４は同フリップチップの実装装置におけるフリップチップの移送工程の説明図である。
【００１３】
まず、図１および図２を参照して、フリップチップの実装装置の全体構造を説明する。フリップチップ１は、バンプ２を上向きにしてトレイ３に収納されている。トレイ３は保持テーブル４上に載せられており、保持テーブル４は第１の可動テーブル５上に載せられている。以上の要素はフリップチップの供給部６を構成している。第１の可動テーブル５が駆動することにより、トレイ３内のフリップチップ１はピックアップ位置Ｐへ移動する。トレイ３の上方には、フリップチップ１を認識するためのカメラから成る第１の認識ユニット７が設けられている。
【００１４】
図２において、１０は第１の移送手段としての第１のターンテーブルであり、放射状に延出する３本のアーム１１を有している。各アーム１１の内部には水平な回転軸１６（図１）が設けられており、その先端部には第１のピックアップヘッド１２が装着されている。第１のピックアップヘッド１２は、フリップチップ１を真空吸着するノズル１３を有している。
【００１５】
図１において、各回転軸１６の基端部には各々かさ歯車１４が設けられている。１５ａは垂直な固定軸１５の下端部に回転不能に結合された固定かさ歯車である。各々のかさ歯車１４は固定かさ歯車１５ａに１：１のギヤ比で歯合している。アーム１１の上部にはアーム１１と一体のプーリ１７が固定軸１５にベアリングを介して固定軸１５を中心に回転自在に設けられている。１８はモータであり、その回転軸にはプーリ１９が装着されている。プーリ１７とプーリ１９にはタイミングベルト２０が調帯されている。２１は、適所に設けられたベアリングである。
【００１６】
したがってモータ１８が駆動すると、アーム１１は固定軸１５を中心に矢印Ａ方向（図２）に水平回転する。アーム１１が回転すると、回転軸１６に装着されているかさ歯車１４も固定かさ歯車１５ａに歯合しながら回転し、回転軸１６はその軸心を中心に回転する（矢印Ｂ）。したがって、アーム１１が固定軸１５を中心に１８０°回転するとトレイ３のフリップチップ１を真空吸着したノズル１３は回転軸１６を中心に１８０°回転し、これによりフリップチップ１は上下反転されてバンプ２を下向きにする。これと同時に第１のピックアップヘッド１２は、フリップチップを第１の受け渡し位置へ移送する。すなわちアーム１１、かさ歯車１４、固定軸１５、固定かさ歯車１５ａ、回転軸１６、プーリ１７、モータ１８、プーリ１９、タイミングベルト２０等より構成される第１のターンテーブル１０は、第１のピックアップヘッド１２を上下反転させてノズル１３に真空吸着されたフリップチップ１を上下反転させる上下反転手段と、第１のピックアップヘッド１２に保持したフリップッチップ１を第１の受け渡し位置Ｓ１へ移送する第１の移送手段とを兼ねている。
【００１７】
第１のターンテーブル１０の側方には、第２の移送手段である第２のターンテーブル３０が設けられている。第２のターンテーブル３０のセンターの垂直な回転軸３１からは、１本のフリップチップ搬送用のアーム３２と、多数本の吸着子搬送用のアーム３３が放射状に延出している。回転軸３１は、モータ３４に駆動されて回転し、これによりアーム３２，３３は水平回転する。アーム３２の先端部には、フリップチップ１を保持するための保持部３２ａが形成されている。
【００１８】
図１において、第１のターンテーブル１０と第２のターンテーブル３０の境界部の上方には、第２のピックアップヘッド４０が設けられている。第２のピックアップヘッド４０はノズル４１を有している。第２のピックアップヘッド４０はブロック４２の前面に設けられた垂直なガイドレール４３に上下動自在に装着されており、モータ４４が駆動してブロック４２に内蔵された上下動機構（図示せず）が作動するとガイドレール４３に沿って上下動する。
【００１９】
また第２のピックアップヘッド４０には、ノズル４１をその軸心を中心に回転させるモータ４５が備えられており、ノズル４１をその軸心を中心に回転させることにより、ノズル４１の下端部に真空吸着されたフリップチップ１を水平回転させ、フリップチップ１の回転方向の向きを補正する。ブロック４２は移動テーブル４６に保持されており、モータ４７が駆動すると、ブロック４２や第２のピックアップヘッド４０はＹ方向に水平移動する。
【００２０】
図１において、第２のターンテーブル３０の回転軸３１の下部にはブロック５０が装着されている。ブロック５０の下面にはガイドレール５１が設けられている。５２はカメラを内蔵した第２の認識ユニットであり、鏡筒５３が前方へ延出している。第２の認識ユニット５２はスライダ５４を介してガイドレール５１に装着されており、ブロック５０に内蔵された駆動部（図示せず）が駆動すると、第２の認識ユニット５２および鏡筒５３はガイドレール５１に沿ってＹ方向へ水平移動する。
【００２１】
図１において、第１のターンテーブル１０と反対側の第２のターンテーブル３０の下方には、第２の可動テーブル６０が配設されている。第２の可動テーブル６０は、これに載せられた基板６１をＸ方向やＹ方向へ水平移動させ、基板６１の位置調整を行う。すなわち第２の可動テーブル６０は基板の位置決め部となっている。
【００２２】
図１において、第２の可動テーブル６０の上方には、第３のピックアップヘッド６９が設けられている。第３のピックアップヘッド６９から下方へ突出するノズル部７０にはヒータ７１が装着されており、またノズル部７０の下端部には吸着子７２が着脱自在に装着されている。図３において、ノズル部７０の内部の中央には第１の吸引路７３が形成されている。この第１の吸引路７３は吸着子７２に形成された吸着孔７４に連通している。したがってこの吸着孔７４の吸引力により、フリップチップ１は吸着子７２の下面に真空吸着される。
【００２３】
またノズル部７０の内部には第２の吸引路７５が形成されており、第２の吸引路７５の吸引力により、吸着子７２はノズル部７０の下面に着脱自在に真空吸着される。第１の吸引路７３と第２の吸引路７５は、空気圧装置（図外）に接続されている。
【００２４】
図１において、第３のピックアップヘッド６９の側面にはスライダ７８が装着されている。スライダ７８はブロック７７の前面に設けられた垂直なガイドレール７６に嵌合している。ブロック７７に備えられた上下動手段（図示せず）が駆動すると、第３のピックアップヘッド６９はガイドレール７６に沿って上下動する。第３のピックアップヘッド６９は、このように上下動作のみを行い、水平方向の動作は行わない。その理由は次のとおりである。
【００２５】
すなわち、第３のピックアップヘッド６９は、下降動作を行って吸着子７２の下面に真空吸着されたフリップチップ１のバンプ２を基板６１の電極に押し付けてボンディングするが、この場合、フリップチップ１のすべてのバンプ２を均等な押圧力で基板６１に押し付けねばならないので、吸着子７２の下面には完全な水平面性が要求される。したがって第３のピックアップヘッド６９は厳密な剛性と直立性が要求されるので、第３のピックアップヘッド６９の支持手段（本実施の形態ではブロック７７）は強固なものでなければならない。そこで第３のピックアップヘッド６９は、固設された（すなわち可動テーブルではない）強固なブロック７７にしっかり固設したものである。
【００２６】
このフリップチップの実装装置は上記のような構成より成り、次に全体の動作を説明する。図１において、第１の認識ユニット７でトレイ３内の所定のフリップチップ１の位置認識を行い、この認識結果にしたがって、可動テーブル５を駆動して所定のフリップチップ１を第１のピックアップヘッド１２によるピックアップ位置Ｐに移動させる。なお第１の認識ユニット７は、フリップチップ１の外形からそのセンターを検出する。そして可動テーブル５は、このフリップチップ１のセンターＭが第１のピックアップヘッド１２のノズル１３の直下に位置するようにフリップチップ１をＸ方向やＹ方向へ移動させる（図４（ａ））。図４（ａ）においてΔθは、フリップチップ１の回転方向のずれ量である。
【００２７】
次に第１のターンテーブル１０が回転することにより、第１のピックアップヘッド１２をフリップチップ１の上方へ移動させ、そこでノズル１３が上下動作を行うことにより、ノズル１３の下端部にフリップチップ１を真空吸着してピックアップする。この場合、上述のように可動テーブル５を駆動してフリップチップ１の位置を調整したので、ノズル１３はフリップチップ１のセンターを正しく真空吸着する。なおノズル１３の上下動手段は第１のピックアップヘッド１２に内蔵されている。
【００２８】
次にモータ１８が駆動することによりターンテーブル１０は矢印Ａ方向（図２）へピッチ回転し、ピックアップしたフリップチップ１を第２のピックアップヘッド４０の下方へ搬送するが、このとき回転軸１６はかさ歯車１４と固定かさ歯車１５ａの作用によりその軸心を中心に矢印Ｂ方向へ回転し、ノズル１３を上向きにしてフリップチップ１を上下反転させ、バンプ２を下向きにする。図４（ｂ）はこのときのフリップチップ１の平面図であるが、Δθはこの時点では残っている。
【００２９】
次に図１において、第２のピックアップヘッド４０のノズル４１は上下動作を行い、ノズル１３の上端部のフリップチップ１をピックアップする。次に、第２のピックアップヘッド４０がフリップチップ１をピックアップしたならば、第１の認識ユニット７の認識結果にしたがって、モータ４５を駆動してノズル４１を回転させることにより、フリップチップ１の回転方向のずれ量Δθの位置補正を行う。また第２のターンテーブル３０が回転し、アーム３２の先端部が第２のピックアップヘッド４０の直下へ移動してくる（図４（ｃ））。そこで第２のピックアップヘッド４０は上下動作を行い、フリップチップ１をアーム３２上に受け渡す。すなわち第２のピックアップヘッド４０のノズル４１の配設位置は、フリップチップ１を第１のピックアップヘッド１２から第２のピックアップヘッド４０へ受け渡し、また第２のピックアップヘッド４０からアーム３２へ受け渡す第１の受渡し位置Ｓ１になっている。
【００３０】
次に第２のターンテーブル３０は１８０°水平回転し、フリップチップ１を第３のピックアップヘッド６９の直下まで搬送する。図１において鎖線で示すアーム３２はこのときの状態を示している（図４（ｃ）も参照）。次に第３のピックアップヘッド６９は上下動作を行い、このフリップチップ１を吸着子７２の下面に真空吸着してピックアップする。すなわち、第３のピックアップヘッド６９の直下は、アーム３２から吸着子７２にフリップチップ１を受け渡す第２の受渡し位置Ｓ２となっている。
【００３１】
次にアーム３２は第３のピックアップヘッド６９の直下から退去し、第２の認識ユニット５２は吸着子７２に真空吸着されたフリップチップ１側へ前進して鏡筒５３の先端部をフリップチップ１の直下へ移動させ、フリップチップ１の位置認識を行う。この位置認識は、バンプ２などのフリップチップ１の特徴部を観察することにより行う。また第２の認識ユニット５２は、基板６１の特徴部を観察することにより、基板６１の位置認識も行う。
【００３２】
次にこの位置認識の結果にしたがって、第２の可動テーブル６０を駆動して基板６１をＸ方向やＹ方向へ水平移動させ、フリップチップ１の搭載位置を吸着子７２に真空吸着されたフリップチップ１の直下へ移動させる。次に第１のピックアップヘッド６９を下降させてフリップチップ１のバンプ２を基板６１の電極上に着地させ、その状態でヒータ７１の伝熱によりバンプ２を加熱しながら電極に押し付けて電極にボンディングする。この場合、上述したように第３のピックアップヘッド６９は強固なブロック７７にしっかり装着されているので、吸着子７２の下面の水平面性を維持し、すべてのバンプ２を均等な押圧力で基板６１の電極に押し付けてボンディングできる。次いで第３のピックアップヘッド６９は上昇し、一連の動作は終了する。
【００３３】
なお、アーム３２上のフリップチップ１を第３のピックアップヘッド６９でピックアップする場合、フリップチップ１は吸着子７２の直下に正しく位置させる必要がある。何故ならば、フリップチップ１のセンターが吸着子７２のセンターから位置ずれしてフリップチップ１が吸着子７２にピックアップされると、フリップチップ１のすべてのバンプ２を基板６１の電極に均等な押圧力で押し付けてボンディングできないからである。そこで次に、フリップチップ１を吸着子７２に位置ずれなく正しくピックアップさせる方法について説明する。
【００３４】
吸着子７２に真空吸着されて第２の認識ユニット５２で認識されたフリップチップ１の位置よりフリップチップ１の中心Ｍと吸着子７２の中心（予め検出されている）の位置ずれを求める。この位置ずれには一定の傾向があるので現在吸着子７２に吸着されているフリップチップ１の位置ずれを、次のフリップチップ１が第２のピックアップヘッド４０でアーム３２へ受け渡されるときのフィードバックデータとして使用することができる。すなわち上述した位置ずれは、モータ３４とモータ４７の制御部（図示せず）にフィードバックされる。そしてＸ方向の位置ずれは、モータ３４の駆動によるターンテーブル３０の回転角度を調整することにより補正し、またＹ方向の位置ずれはモータ４７を駆動して第２のピックアップヘッド４０をＹ方向へ移動させることにより補正する。この補正によってアーム３２の保持部３２ａに対するフリップチップ１の保持位置を、このアーム３２が第３のピックアップヘッド６９の下方へ移動したときにこのアーム３２に保持されているフリップチップ１の中心が吸着子７２の中心に合致するように変更する。勿論、Ｙ方向の移動テーブル４６にＸ方向の移動テーブルを結合するなどして、このＸ方向の移動テーブルでＸ方向の位置ずれを補正するようにしてもよい。
【００３５】
以上のようにして第２の認識ユニット５２に入手されたデータにしたがってモータ３４，４７を制御すれば、第３のピックアップヘッド６９に受け渡されるフリップチップ１の位置補正を行って、フリップチップ１を吸着孔７２に正しくピックアップさせて、すべてのバンプ２を均等な押圧力で基板６１にボンディングすることができる。
【００３６】
ところで、基板に実装されるフリップチップの寸法は大小様々であり、吸着子７２はフリップチップの品種（寸法）によって交換することが望ましい。そこで次に、吸着子７２の交換方法について説明する。
【００３７】
図２において、多数個のアーム３３の先端部には様々な品種の吸着子７２が載せられており、アーム３３が水平回転することにより、所望のアーム３３の先端部を第３のピックアップヘッド６９の直下に移動させることができる。そこで吸着子７２の交換を行う場合には、まず空のアーム３３を第３のピックアップヘッド６９の直下へ移動させ、そこで第３のピックアップヘッド６９に上下動作を行わせることにより、ノズル部７０の下面に真空吸着されていた吸着子７２をこのアーム３３上に載せて回収する。次に所望の吸着子７２が載せられたアーム３３を第３のピックアップヘッド６９の直下に移動させ、そこで再度第３のピックアップヘッド６９に上下動作を行わせて、この吸着子７２をノズル部７０の下面に真空吸着する。以上のようにして吸着子７２の交換を手際よく行うことができる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明によれば、第１のピックアップヘッド、第２のピックアップヘッド、第３のピックアップヘッド、第１のターンテーブル、第２のターンテーブルなどの作業部がそれぞれ役割分担をして互いに連係しながら、フリップチップの供給部に備えられたフリップチップを可動テーブル上の基板に作業性よく且つ高い位置精度で実装することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のフリップチップの実装装置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態のフリップチップの実装装置の平面図
【図３】本発明の一実施の形態のフリップチップの実装装置の第３のピックアップヘッドの部分断面図
【図４】本発明の一実施の形態のフリップチップの実装装置におけるフリップチップの移送工程の説明図
【符号の説明】
１  フリップチップ
２  バンプ
５  第１の可動テーブル
６  フリップチップの供給部
７  第１の認識ユニット
１０  第１のターンテーブル
１２  第１のピックアップヘッド
１３  ノズル
３０  第２のターンテーブル
３２，３３  アーム
４０  第２のピックアップヘッド
４６  移動テーブル
５２  第２の認識ユニット
６０  第２の可動テーブル
６１  基板
６９  第３のピックアップヘッド
７２  吸着子
Ｓ１  第１の受渡し位置
Ｓ２  第２の受渡し位置
【図１】
0003646687.tif 000002
【図２】
0003646687.tif 000003
【図３】
0003646687.tif 000004
【図４】
0003646687.tif 000005