(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ波帯高周波数信号を発振することができる高周波数部品における該高周波数信号の発振周波数を調整するマイクロ波周波数調整システムであって、調整台に備えられている作業テーブルに載置させた前記高周波数部品に対して、パルス信号を印加させるパルス信号印加手段と、印加された該パルス信号に応じて前記高周波数部品が発振する発振周波数を測定する周波数測定手段と、前記高周波数部品に備えられている周波数調整用の調整ネジと噛み合わせて、指定された回転数だけ、該調整ネジを回動させることが可能な周波数調整用の調整ユニットとを有し、測定された前記発振周波数と予め定められた規定周波数との差分周波数から、該差分周波数に相当する前記調整ネジの調整回転数を自動的に算出し、該調整回転数に応じた駆動信号に基づいて、前記調整ユニットを駆動させることにより、前記高周波数部品の前記調整ネジを、前記調整回転数だけ、回動させて、前記高周波数部品の発振周波数を自動的に調整させることができるマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記調整ユニットが、前記調整回転数に応じた回転数だけ回転させることができるステッピングモータと、前記高周波数部品の前記調整ネジと噛み合わされて回転動作を行なうことができる調整ドライバビットと、該調整ドライバビットと前記ステッピングモータとを連結させるカップリングとを有し、更に、前記調整ドライバビットの先端部を、上側に向かって開いた傾斜面を持つ漏斗形状の貫通孔の前記傾斜面に沿って移動させて、前記漏斗形状の貫通孔の下部を形成している円筒状の貫通孔に緩挿させて貫通させることにより、前記調整ドライバビットの先端部を前記調整ネジの頭部に確実に案内させる調整ドライバビットガイド手段を、前記高周波数部品に装着させることができることを特徴とするマイクロ波周波数調整システム。
【請求項２】
請求項１に記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記調整ドライバビットガイド手段として、前記高周波数部品の前記調整ネジの頭部を囲むように前記漏斗形状の貫通孔を有する嵌め込みガイドを前記調整ネジに嵌め込ませて固着させることにより、前記調整ドライバビットが位置決めされることを特徴とするマイクロ波周波数調整システム。
【請求項３】
請求項１に記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記調整ドライバビットガイド手段として、前記高周波数部品の前記調整ネジの中心位置を垂直に上側方向に延長させた延長線上に前記漏斗形状の貫通孔の中心が位置する腕木を、前記高周波数部品の上部に延在させて配設させることができる逆Ｌ字状の腕木からなる位置決めガイドを前記高周波数部品の外側側面部に固着させることにより、前記調整ドライバビットが位置決めされることを特徴とするマイクロ波周波数調整システム。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記調整ユニットと前記高周波数部品の前記調整ネジとの噛み合わせ状態を感知できるセンサを備え、該センサの出力信号により、前記高周波数部品の周波数調整開始の可否を判定することを特徴とするマイクロ波周波数調整システム。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、予め定められた回転数に応じた駆動信号に基づいて、前記調整ユニットを駆動させた際に、前記高周波数部品が発振する発振周波数が変化しているか否かに基づいて、前記調整ユニットと前記高周波数部品の前記調整ネジとの噛み合わせ状態を確認し、前記高周波数部品の周波数調整開始の可否を判定することを特徴とするマイクロ波周波数調整システム。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸いずれの方向にも前記調整ユニットを移動させることを可能とするアクチュエータ手段を備え、複数の周波数調整個所を有する前記高周波数部品の周波数調整の際、前記調整ユニットを、順次、該周波数調整個所の位置に移動させて、自動的に周波数調整を行なわしめることを可能とすることを特徴とするマイクロ波周波数調整システム。
【請求項７】
請求項６に記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記アクチュエータ手段が、水平方向であるＸ軸，Ｙ軸方向へのアクチュエータ手段は、それぞれ単軸ロボットからなるアクチュエータ手段であり、垂直方向であるＺ軸方向へのアクチュエータ手段が、エアシリンダからなるアクチュエータ手段であることを特徴とするマイクロ波周波数調整システム。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記高周波数部品の周波数調整が終了した際、前記高周波数部品の前記調整ネジが回動することがない回転遊び幅に相当する微小回転量だけ、前記周波数調整の際の回転方向とは逆回転方向に回転させる駆動信号を、自動的に前記調整ユニットに出力させることができることを特徴とするマイクロ波周波数調整システム。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記高周波数部品の周波数調整が終了した際、前記高周波数部品の前記調整ネジに噛み合わされている状態にある前記調整ユニットを前記調整ネジから離脱させた時、前記高周波数部品が発振する発振周波数が、前記周波数調整が終了した際の周波数と同一の周波数であることを、前記周波数測定手段の測定結果により、自動的に確認がなされることを特徴とするマイクロ波周波数調整システム。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記作業テーブルが、回転駆動手段により水平方向に回転可能な回転テーブルからなり、かつ、前記高周波数部品を載置させる複数の載置台を備え、前記各載置台が、前記高周波数部品の周波数調整作業を実施する位置となる調整作業載置台と前記高周波数部品の載置・脱着作業を行なう位置となる作業準備載置台とのいずれの位置にも回転移動させることができることを特徴とするマイクロ波周波数調整システム。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記周波数測定手段が、前記高周波数部品の発振周波数を分周させることができる分周器と、該分周器により分周された周波数を計数する周波数カウンタとから構成されていることを特徴とするマイクロ波周波数調整システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロ波高周波数帯で用いられるマイクロ波共振器やマイクロ波導波管フィルタなどの高周波数部品の周波数を調整するマイクロ波周波数自動調整システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、衛星放送や衛星通信などのマイクロ波高周波数帯で用いられるマイクロ波発振器やマイクロ波導波管フィルタなどの高周波数部品においては、該高周波数部品の周波数を調整するために、一般的に、調整用ネジが設けられている。たとえば、マイクロ波発振器を構成する誘電体共振器においては、図１０に示すごとき構造を有しており、金属キャップ４５の天井部に調整ネジ４４が設けられていて、該調整ネジ４４を回転させて上下方向に移動させることにより、誘電体共振器４７の周波数を調整することができる構造になっている。
【０００３】
図１０において、誘電体共振器４７は、誘電体材料からなるサポート４２を介して接着剤４８により、回路基板４３に接着されている。回路基板４３には、マイクロストリップラインが形成されていて、その表面上に各種の能動素子４１や受動素子が実装されている。
【０００４】
これら誘電体共振器４７及び発振能動素子４１その他の受動素子などマイクロ波発振器を構成する各種部品が、他の外部回路部と空中結合することを防止すべく、これら各種部品を被蓋するように、金属キャップ４５が回路基板４３上に固着されており、誘電体共振器４７は、金属キャップ４５内部に封入された形になっている。
また、金属キャップ４５の誘電体共振器４７の上方に当たる天井部にはネジ孔が螺設されていて、該ネジ孔に、下面の位置を上下方向に移動可能とする調整ネジ４４が螺入されている。該調整ネジを回動させて、調整ネジ４４の下面と誘電体共振器４７との間隙Ｌを変化させることにより、誘電体共振器４７のインピーダンスを変化させて、誘電体共振器４７の共振周波数（即ち、ローカル発振周波数）の変更調整が行なわれる。
【０００５】
ここで、かかる誘電体共振器の共振周波数のような高周波数部品のマイクロ波周波数を調整する場合、従来、手作業によって行なわれているのがほとんどである。
たとえば、図１１及び図１２に示すように、高周波数部品７（たとえば、図１０における誘電体共振器４７などからなるマイクロ波発振器）を調整台３０´に載置した状態において、該高周波数部品７の金属キャップ上に設けられている調整ネジ４（図１０における調整ネジ４４に相当する）に対して、調整ドライバ８を手動で位置合わせを行なって、該調整ネジ４と調整ドライバ８とを噛み合わせた後、いずれかの回転方向９に、調整ドライバ８を手動で回転させることにより、調整ネジ４を上下方向に回動させて、該高周波数部品の内部のインピーダンスを変化させる。
【０００６】
一方、図１２に示す周波数測定システムを用いて、パルス電源１９から、バイアスネットワーク１７を介して、該高周波数部品７に対してパルス信号を印加し、その結果として出力される該高周波数部品７からのローカル発振周波数を、角型導波管１４を介して、スペクトラムアナライザ２４等からなる周波数測定器に導き、調整者が、目視にて該ローカル発振周波数を観測している。
而して、調整者は、前記周波数測定器により観測されるローカル発振周波数の発振状態を見ながら、調整ドライバ８を手動回転させて、所望の発振周波数が得られるように、手動調整する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の周波数調整方法においては、手作業により、マイクロ波帯高周波数を調整するため、調整者にとって、熟練を要し、調整精度を確保するための作業負担が大きくなるばかりでなく、調整作業時間も一定時間に収めることが困難であるという問題がある。
また、周波数を測定する際に、高周波数部品が発振するローカル周波数信号を、そのまま、スペクトラムアナライザに引き込んで測定する場合、スペクトラムアナライザ自身の掃引時間と周波数測定スパンに制約されて、測定時間に１００ｍｓ程度必要とし、かかる測定時間を短縮化することができず、かつ、目視による確認しかできない。
【０００８】
周波数の測定をより迅速に、かつ、正確に行なうために、周波数測定器として、前記スペクトラムアナライザの代わりに、周波数カウンタを利用して、高周波数部品からのローカル発振周波数を測定せんとする試みもあるが、既存の周波数カウンタのピックアップ感度（通常、−３３ｄｂｍ程度以上の信号レベルに感応する）に対して、高周波数部品のローカル発振周波数の信号レベルが低すぎる（通常、該信号レベルは−５５ｄｂｍ乃至−７０ｄｂｍ程度の範囲である）ため、かかるローカル発振周波数信号を、直接、周波数カウンタによって、計数することは困難であった。
【０００９】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、周波数カウンタを用いて、高周波数部品からのローカル発振周波数を正確に測定することを可能とすると共に、測定したローカル発振周波数に基づいて、該高周波数部品のローカル発振周波数を所望の周波数に、自動的に、調整することを可能にし、調整者の作業負担を軽減させ、作業時間の短縮化を実現せんとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るマイクロ波周波数自動調整システムは、高周波数部品のローカル発信周波数信号であるマイクロ波帯周波数の調整を自動的に行なわしめることを可能とするものであり、周波数精度を確保した確実な周波数調整作業を実施可能とすると同時に、調整者の作業負担を軽減し、調整作業時間の短縮化を図ることが可能となる。
本発明に係るマイクロ波周波数自動調整システムの具体的な技術手段について、以下に説明する。
【００１１】
第１の技術手段は、マイクロ波帯高周波数信号を発振することができる高周波数部品における該高周波数信号の発振周波数を調整するマイクロ波周波数調整システムであって、調整台に備えられている作業テーブルに載置させた前記高周波数部品に対して、パルス信号を印加させるパルス信号印加手段と、印加された該パルス信号に応じて前記高周波数部品が発振する発振周波数を測定する周波数測定手段と、前記高周波数部品に備えられている周波数調整用の調整ネジと噛み合わせて、指定された回転数だけ、該調整ネジを回動させることが可能な周波数調整用の調整ユニットとを有し、測定された前記発振周波数と予め定められた規定周波数との差分周波数から、該差分周波数に相当する前記調整ネジの調整回転数を自動的に算出し、該調整回転数に応じた駆動信号に基づいて、前記調整ユニットを駆動させることにより、前記高周波数部品の前記調整ネジを、前記調整回転数だけ、回動させて、前記高周波数部品の発振周波数を自動的に調整させることができるマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記調整ユニットが、前記調整回転数に応じた回転数だけ回転させることができるステッピングモータと、前記高周波数部品の前記調整ネジと噛み合わされて回転動作を行なうことができる調整ドライバビットと、該調整ドライバビットと前記ステッピングモータとを連結させるカップリングとを有し、更に、前記調整ドライバビットの先端部を、上側に向かって開いた傾斜面を持つ漏斗形状の貫通孔の前記傾斜面に沿って移動させて、前記漏斗形状の貫通孔の下部を形成している円筒状の貫通孔に緩挿させて貫通させることにより、前記調整ドライバビットの先端部を前記調整ネジの頭部に確実に案内させる調整ドライバビットガイド手段を、前記高周波数部品に装着させることができることを特徴とするマイクロ波周波数調整システムである。
【００１４】
第２の技術手段は、第１の技術手段に記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記調整ドライバビットガイド手段として、前記高周波数部品の前記調整ネジの頭部を囲むように前記漏斗形状の貫通孔を有する嵌め込みガイドを前記調整ネジに嵌め込ませて固着させることにより、前記調整ドライバビットが位置決めされることを特徴とするマイクロ波周波数調整システムである。
【００１５】
第３の技術手段は、第１の技術手段に記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記調整ドライバビットガイド手段として、前記高周波数部品の前記調整ネジの中心位置を垂直に上側方向に延長させた延長線上に前記漏斗形状の貫通孔の中心が位置する腕木を、前記高周波数部品の上部に延在させて配設させることができる逆Ｌ字状の腕木からなる位置決めガイドを前記高周波数部品の外側側面部に固着させることにより、前記調整ドライバビットが位置決めされることを特徴とするマイクロ波周波数調整システムである。
【００１７】
第４の技術手段は、第１乃至第３の技術手段のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記調整ユニットと前記高周波数部品の前記調整ネジとの噛み合わせ状態を感知できるセンサを備え、該センサの出力信号により、前記高周波数部品の周波数調整開始の可否を判定することを特徴とするマイクロ波周波数調整システムである。
【００１８】
第５の技術手段は、第１乃至第４の技術手段のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、予め定められた回転数に応じた駆動信号に基づいて、前記調整ユニットを駆動させた際に、前記高周波数部品が発振する発振周波数が変化しているか否かに基づいて、前記調整ユニットと前記高周波数部品の前記調整ネジとの噛み合わせ状態を確認し、前記高周波数部品の周波数調整開始の可否を判定することを特徴とするマイクロ波周波数調整システムである。
【００１９】
第６の技術手段は、第１乃至第５の技術手段のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸いずれの方向にも前記調整ユニットを移動させることを可能とするアクチュエータ手段を備え、複数の周波数調整個所を有する前記高周波数部品の周波数調整の際、前記調整ユニットを、順次、該周波数調整個所の位置に移動させて、自動的に周波数調整を行なわしめることを可能とすることを特徴とするマイクロ波周波数調整システムである。
【００２０】
第７の技術手段は、第６の技術手段に記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記アクチュエータ手段が、水平方向であるＸ軸，Ｙ軸方向はのアクチュエータ手段は、それぞれ単軸ロボットからなるアクチュエータ手段であり、垂直方向であるＺ軸方向へのアクチュエータ手段が、エアシリンダからなるアクチュエータ手段であることを特徴とするマイクロ波周波数調整システムである。
【００２１】
第８の技術手段は、第１乃至第７の技術手段のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記高周波数部品の周波数調整が終了した際、前記高周波数部品の前記調整ネジが回動することがない回転遊び幅に相当する微小回転量だけ、前記周波数調整の際の回転方向とは逆回転方向に回転させる駆動信号を、自動的に前記調整ユニットに出力させることができることを特徴とするマイクロ波周波数調整システムである。
【００２２】
第９の技術手段は、第１乃至第８のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記高周波数部品の周波数調整が終了した際、前記高周波数部品の前記調整ネジに噛み合わされている状態にある前記調整ユニットを前記調整ネジから離脱させた時、前記高周波数部品が発振する発振周波数が、前記周波数調整が終了した際の周波数と同一の周波数であることを、前記周波数測定手段の測定結果により、自動的に確認がなされることを特徴とするマイクロ波周波数調整システムである。
【００２３】
第１０の技術手段は、第１乃至第９の技術手段のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記作業テーブルが、回転駆動手段により水平方向に回転可能な回転テーブルからなり、かつ、前記高周波数部品を載置させる複数の載置台を備え、前記各載置台が、前記高周波数部品の周波数調整作業を実施する位置となる調整作業載置台と前記高周波数部品の載置・脱着作業を行なう位置となる作業準備載置台とのいずれの位置にも回転移動させることができることを特徴とするマイクロ波周波数調整システムである。
【００２４】
第１１の技術手段は、第１乃至第１０の技術手段のいずれかに記載のマイクロ波周波数調整システムにおいて、前記周波数測定手段が、前記高周波数部品の発振周波数を分周させることができる分周器と、該分周器により分周された周波数を計数する周波数カウンタとから構成されていることを特徴とするマイクロ波周波数調整システムである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係るマイクロ波周波数自動調整システムの実施形態について、図面を参照しながら説明する。
まず、図１に、本発明に係るマイクロ波周波数自動調整システム１００（以下、自動調整システム１００と略称する）の構成の一例を示す。
図１において、３０は、マイクロ波周波数の調整対象となる高周波数部品７を載置する調整台であり、該調整台３０に載置された高周波数部品７の周波数を自動的に調整するために、ローカル周波数信号線１４ａとパルス信号供給・電流検出線１７ａとドライブ線２３ａとコントロール線２６ａとが、該調整台３０および該高周波数部品７とに、電気的に接続されている。
【００２６】
ここに、パルス信号供給・電流検出線１７ａは、高周波数部品７に対してＦ接栓を行なうことによって、高周波数部品７に接続されて、高周波数部品７へバイアスネットワーク１７を介してパルス電源１９からのパルス信号を直流電圧に重畳させて印加すると共に、高周波数部品７における消費電流量を、バイアスネットワーク１７を介して電流計１８により検出するための信号線である。
ローカル周波数信号線１４ａは、高周波数部品７に対してＦ接栓を行なうことによって、高周波数部品７に接続されていて、前記パルス信号供給・電流検出線１７ａを介して印加されたパルス信号に応じて、該高周波数部品７が発振するローカル周波数信号を取り出して、角型導波管１４まで導く信号線である。
【００２７】
また、ドライブ線２３ａは、調整台３０と接続されていて、調整ドライバ部の先端部を構成する調整ドライバビットを回転させるためのモータ駆動パルス信号を、モータドライバ２３から伝達するための信号線であり、該調整ドライバビットは、高周波数部品７に設けられている周波数調整用の調整ネジに噛み合わせられて、指定された回転数（回転方向も含む）だけ、調整ネジを回動させることにより、高周波数部品７のインピーダンスを変化させる。
【００２８】
なお、前記モータ駆動パルス信号は、前記角型導波管１４を介して入力された前記ローカル周波数信号の発振周波数を分周器付き増幅器１５及び周波数カウンタ１６によって計数した結果に基づいて、コントロール本体２１にて生成されたモータ駆動信号を受信することにより、モータドライバ２３が発生させるものである。
また、コントロール線２６ａは、調整台３０と接続されていて、前記ローカル周波数信号の発振周波数を、分周器付き増幅器１５及び周波数カウンタ１６によって計数した結果に基づいて、調整台３０に設けられている各種電気系統部及び電源を制御するための信号線である。
【００２９】
また、角型導波管１４は、前述のごとく、ローカル周波数信号線１４ａを介して受信した高周波数部品７の前記ローカル周波数信号を、分周器付き増幅器１５まで伝送するための導波管である。
分周器付き増幅器１５は、角型導波管１４から受信したローカル周波数信号（たとえば、９．５ＧＨｚ乃至１１．５ＧＨｚ程度のマイクロ波周波数帯の信号であり、信号レベルが、−５５ｄｂｍ乃至−７０ｄｂｍ程度の範囲内であるマイクロ波帯信号）を、周波数カウンタ１６にて計数可能な信号レベルまで増幅（たとえば、８０ｄｂ程度増幅）させた後、周波数調整を容易化できるように、増幅後のローカル周波数信号を１／８に分割させた低い周波数成分に分周させて、周波数カウンタ１６に出力するものである。
【００３０】
また、周波数カウンタ１６は、分周器付き増幅器１５から入力されてくる１／８に分周されたローカル周波数信号のそれぞれの周波数を計数するカウンタであり、計数したローカル周波数信号の発振周波数の数値は、全体を制御しているコントロール本体部２１に送信される。
かかる分周器付き増幅器１５と周波数カウンタ１６とを用いて、ローカル周波数信号の発振周波数を測定することにより、従来のスペクトラムアナライザを用いて、高い周波数帯のまま、ローカル周波数信号の発振周波数を測定する場合に比して、測定精度を向上させることができると共に、測定時間も大幅に短縮させることが可能であり（スペクトラムアナライザの場合の１００ｍｓ程度から約１／１０の１０ｍｓ程度までに短縮可能であり）、大幅に周波数の調整時間を短縮させることが可能となる。
【００３１】
バイアスネットワーク１７は、パルス信号供給・電流検出線１７ａを介して、高周波数部品７に対してパルス電源１９からの直流電圧を重畳させたパルス信号の送出を中継したり、あるいは、高周波数部品７にて消費されている電流値を電流計１８へ中継したりするネットワークである。
電流計１８は、前述のごとく、パルス電源１９からのパルス信号が高周波数部品７に正常な状態で印加されていることを確認するために、パルス信号供給・電流検出線１７ａを介して、高周波数部品７において消費されている電流値を測定して、測定した消費電流値をコントロール本体２１に送出するためのものである。
【００３２】
コントロール本体部２１は、調整者からの指示や、電流計１８から送出されてくる消費電流値や周波数カウンタ１６から送出されてくるローカル周波数信号の発振周波数に関する情報等に基づいて、本自動調整システム１００全体を制御するための制御装置である。また、コントロール本体２１は、ディスプレイ２２に表示させて調整者に調整結果を通知するためのＤＩＳＰＬＡＹ部２１ａや、モータドライバ２３に対して、コントロールボックス２５を介して、調整ドライバ８を回転させるモータ駆動信号を送出したりするためのＭＯＴＯＲ部２１ｂや、Ｉ／Ｏ  ＢＯＸ２６を介して、本自動調整システム１００内の調整台３０も含む各電気系統部の回路部や電源に対する制御信号（たとえば、パルス電源１９に対するパルス信号の電源制御信号や出力指示信号）を送出するためのＰＩＯ部（Ｐｒｏｇｒａｍｍｂｌｅ  Ｉｎｐｕｔ／Ｏｕｔｐｕｔ）２１ｃや、周波数カウンタ１６や電流計１８からのデータを受信したりするためのＧＰＩＢ部（Ｇｅｎｅｒａｌ  Ｐｕｒｐｏｓｅ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  Ｂｕｓ）２１ｄなどを有している。
【００３３】
また、ディスプレイ２２は、調整結果の情報を表示するのみではなく、本自動調整システム１００の動作状態に関する各種の情報や、調整者からの指示入力を案内するための情報なども、調整者に対して表示している。
コントロールボックス２５は、コントロール本体２１のＭＯＴＯＲ部２１ｂからの駆動信号を解読して、モータドライバ２３に対して、調整ドライバビットの回転用モータ駆動信号を送信したり、逆に、ドライブ線２３ａを介して、調整ドライバビットの駆動回転用モータ（ステッピングモータ）の状態及び調整ドライバビットと調整ネジとの噛み合わせ状態を、ステータスとして、読み取って、コントロール本体２１のＭＯＴＯＲ部２１ｂへ送出する制御を行なうものである。
モータドライバ２３は、コントロールボックス２５からのモータ駆動信号に基づいて、調整ドライバビットの駆動回転用モータ（ステッピングモータ）に対して、必要な回転数に相当する駆動パルス信号を、ドライブ線２３ａを介して、出力するものである。
【００３４】
また、Ｉ／Ｏ  ＢＯＸ２６は、コントロール本体２１のＰＩＯ部２１ｃから受信した各種の制御信号を解読して、コントール線２６ａを介して、調整台３０や高周波数部品７に制御信号を送信したり、本自動調整システム１００の各電気系統部へ電源制御信号を含む各種の制御信号を送信したり、あるいは、リレーボックス２０を介して、パルス電源１９への電源制御信号を含む各種制御信号を送信する。
ここに、リレーボックス２０は、Ｉ／Ｏ  ＢＯＸ２６からの制御信号を解読して、パルス電源１９を制御するための制御信号を生成するものである。
【００３５】
次に、調整台３０の構成について、図２乃至図４を用いて説明する。
ここに、図２乃至図４は、周波数を調整する高周波数部品（高周波数製品）を載置した状態における調整台の構成を示しており、図２は、調整台３０を正面から見た場合の正面図であり、図３は、調整台３０を側面から見た場合の側面図であり、図４は、調整台３０を真上から見た場合の平面図である。
なお、図２乃至図４において、同じ部位については、同じ符号を付している。
【００３６】
まず、図３に示す調整台の側面図を用いて、各部位について説明する。
１３は、高周波数部品７の周波数調整を行なうための調整ユニットであり、ステッピングモータ１，カップリング２，調整ドライバビット３を有している。
ここに、ステッピングモータ１は、調整ドライバビット３を回転駆動させるためのステッピングモータであり、図１に示すモータドライバ２３からドライブ線２３ａを介して供給されたモータ駆動パルス信号に基づいて、指定された回転方向に、指定された回転数だけ、調整ドライバビット３を回転させるものである。
カップリング２は、ステッピングモータ１に対して、調整ドライバビット３の上部を連結させるためのカップリングであり、調整ドライバビット３は、高周波数部品７に設けられている調整ネジ４（図２には、図示していない）に噛み合わせるための調整ドライバの先端部を示す調整ドライバビットである。
【００３７】
また、調整ユニット１３は、互いに直交するＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸方向に任意の位置まで移動可能なアクチュエータ機構を有している。３軸方向に移動可能とするアクチュエータ機構として、水平方向であるＸ軸とＹ軸の２つの方向それぞれに調整ユニット１３を移動させる２つの単軸ロボット２９と、垂直方向であるＺ軸方向に調整ユニット１３を上下動させるエアシリンダ２８とが備えられている。
【００３８】
また、１０は、周波数調整作業を行なうために高周波数部品（高周波数製品）を載置する作業台となる作業テーブル（回転テーブル）であり、作業テーブル１０は、２台の高周波数部品を同時に載置させることが可能な２台の載置台５，６が備えられている。一方の載置台５は、周波数調整作業を実施する位置（即ち、高周波数部品の調整場所）の状態となる調整作業載置台であり、他方の載置台６は、次に周波数調整作業を行なう準備段階の場所（即ち、高周波数部品の装脱着場所）の状態となる作業準備載置台である。
また、該作業テーブル１０は、支持台３０ａ上に搭載されており、該支持台３０ａ上において、駆動モータ（図示していない）、あるいは、エアシリンダ２７により、水平方向に中心軸２７ａを中心にして、回転可能な状態で取り付けられており、かつ、調整作業載置台５の回転停止位置が、調整ドライバビット３の直下に、高周波数部品７の調整ネジ４の位置が回転移動して停止可能なように調整されている。
【００３９】
なお、他方の作業準備載置台６の固設位置は、調整作業載置台５と、中心軸２７ａを中心に回転対称となる位置に配置されており、前記エアシリンダ２７により、作業テーブル１０が回転駆動された場合、作業準備載置台６が、１８０°回転して、調整作業を行なう調整作業載置台５の位置まで回転することとなる。
なお、かかる載置台の台数としては、必ずしも、２台の場合に限るものではなく、調整作業用の載置台以外に、作業準備段階として、少なくとも、１台の載置台を備えさせているものであるが、本実施例においては、説明を簡素化するために、２台の場合を示している。
【００４０】
従って、調整者は、まず、作業準備載置台６に、調整を行なうべき高周波数部品７を載置させた状態にして、エアシリンダ２７により、調整作業載置台５の位置まで１８０°回転させて、周波数の調整を行なうと共に、次に調整すべき高周波数部品７を作業準備載置台６に載置させることが可能である。更に、高周波数部品７の周波数調整が終了した際に、エアシリンダ２７により、１８０°回転させて、次に調整すべき高周波数部品７が、調整作業載置台５の位置まで回転して停止し、一方、調整済みの高周波数部品７が、作業準備載置台６の位置まで回転して停止するので、調整済みの高周波数部品７を取り外して、更に次に調整すべき高周波数部品７を載置させる、という高周波数部品７の脱着作業を、周波数調整作業中に行なうことが可能となり、周波数調整作業を高速化させることができる。
【００４１】
なお、１１，１１´は、本自動調整システム１００を起動させるための起動スイッチであり、２個の起動スイッチが用意されている。即ち、一方の起動スイッチ１１は、本自動調整システム１００全体を初期状態に設定させるための初期起動スイッチであり、他方の起動スイッチ１１´は、前記作業テーブル１０を回転させるための回転起動スイッチである。
【００４２】
次に、図２に示す調整台の正面図を用いて、前述した図３の側面図において説明していない部位について、説明する。
前述したように、図２において、図３と同じ部位については、同じ符号が付されている。但し、図３に示した場合よりも、調整ドライバビット３の位置が降下していて、まさに、調整ドライバビット３が高周波数部品７の調整ネジ４（図示していない）に噛み合わせられる直前にある状態を示している。
図２において、起動スイッチ１１，１１´は、それぞれ、支持台３０ａの右，左側の位置に固設されている。
【００４３】
また、１２は、Ｆ接栓接続ユニットを示すものであり、高周波数部品７に対して、パルス信号供給・電流検出線１７ａとローカル周波数信号線１４ａとを接続させるためのコネクタであり、作業準備載置台６に載置されていた高周波数部品７が、調整作業載置台５の位置まで回転移動した際に、該Ｆ接栓ユニット１２が高周波数部品７に自動的に接続されることにより、高周波数部品７が、パルス信号供給・電流検出線１７ａとローカル周波数信号線１４ａとに、電気的に接続された状態となる。
【００４４】
また、図４の調整台３０の平面図に示すごとく、作業テーブル１０は、円盤状の形状を有しており、時計周り・反時計周りのいずれの方向にも、エアシリンダ２７により回転可能であるが、作業テーブル１０の回転停止位置は、前述したごとく、調整作業載置台５の位置が、正しく調整ドライバビット３の位置まで回転して停止するように調整がなされている。
【００４５】
次に、調整ドライバビット３を正しく高周波数部品７の調整ネジ４までガイドさせるための調整ドライバビットガイド機構について、図５乃至図７を用いて説明する。
ここに、図５は、高周波数部品７の調整ネジ４側に、調整ドライバビット３のガイド機構を備えさせる場合を示す概念図であり、図６は、高周波数部品７の外側側面部に、調整ドライバビット３のガイド機構を付設させる場合を示す概念図であり、また、図７は、調整ドライバビット３側に、調整ドライバビット３のガイド機構を備えさせる場合を示す概念図である。また、図５乃至図７は、それぞれ、図３に示した調整台３０の側面図を用いて、調整ドライバビット３のガイド機構の装着状態を示している。
【００４６】
まず、図５を用いて、高周波数部品（即ち、高周波数製品）７の調整ネジ４側に、調整ドライバビットガイド機構として、嵌め込みガイド３１を装着させている場合について、説明する。
ここに、嵌め込みガイド３１は、前述の通り、調整ドライバビット３を、高周波数部品７の調整ネジ４の位置まで正確に誘導させるための機構を備えているものである。
該嵌め込みガイド３１は、図５に示すように、中が空洞になっている円筒状の外形形状を有し、高周波数部品７の金属キャップ３５の天井面に螺設されているネジ孔に螺合させて、該金属キャップ３５の上部に飛び出している調整ネジ４の頭部に嵌め込ませて固着される構造を有している。
【００４７】
また、該嵌め込みガイド３１の上方部は、調整ドライバビット３を、該嵌め込みガイド３１をガイドとして調整ネジ４まで導き易くすべく、予め定められた傾斜角度を有する逆円錐状（たとえば、６０°乃至９０°の範囲内にある頂角を有する逆円錐状）に刳り抜かれた空洞３１ａを形成しており、その下部側となる頂角側は、調整ネジ４の頭部に嵌め込ませて装着することができるように円筒状の空洞３１ｂを形成していて、漏斗状（即ち、断面Ｙ字状）の空洞形状を有している。
【００４８】
而して、調整ドライバビット３が降下してきて、調整作業載置台５に載置されている高周波数部品７の調整ネジ４に近接する状態になると、たとえ、調整ドライバビット３の直下に該調整ネジ４が位置せず、調整ドライバビット３が、調整ネジ４と正確に噛み合わせることができないような位置関係にあったとしても、該嵌め込みガイド３１の傾斜面に沿って、調整ドライバビット３が、調整ネジ４方向に導かれて、正確に調整ネジ４と噛み合わせることが可能となり、調整ドライバビット３の回転に応じて、調整ネジ４を回動させることが可能な状態になる。
【００４９】
次に、図６に示すように、高周波数部品７の外側側面部に、調整ドライバビット３のガイド機構を付設させる場合について説明する。
図６に示す例は、図５に示す例のように、調整ドライバビット３のガイド機構を、調整対象の製品である高周波数部品７の調整ネジ４側に装着させることができない場合に用いられるものである。
【００５０】
図６に示すごとく、高周波数部品７の外側側面部に、２本の腕木を有する逆Ｌ字状の形状からなる位置決めガイド３２を付設させるものであり、高周波数部品７に付設させた状態においては、該位置決めガイド３２の高周波数部品７に付設させて固着させている腕木側ではない、もう一方の腕木３２´（即ち、水平な状態にある側の腕木）は、高周波数部品７上に延在している状態にある。
【００５１】
更に、高周波数部品７上に延在されている該腕木３２´には、高周波数部品７の調整ネジ４の中心位置を垂直に真上に延長させた垂直線と交差する位置に、調整ドライバヒット３をガイドするためのガイド孔の中心が位置するような貫通孔が穿設されている。該貫通孔の形状は、前記図５に示したと同様の漏斗状（即ち、断面Ｙ字状）の空洞形状を形成させている逆円錐状の空洞３２ａと円筒状の空洞３２ｂとが合成されたものである。かかる逆円錐状の空洞３２ａの傾斜角度も、図５の場合と同様に、予め定められた角度（たとえば、６０°乃至９０°の範囲内にある頂角を有する角度）に設定されている。
【００５２】
而して、調整ドライバビット３が降下してきて、調整作業載置台５に載置されている高周波数部品７の調整ネジ４に近接する状態になると、まず、該位置決めガイド３２の腕木３２ａ上に穿孔されているガイド孔に調整ドライバビット３が緩挿された状態になり、たとえ、調整ドライバビット３の直下に、正確に、該調整ネジ４が位置していない状態にあっても、該ガイド孔に設けられている傾斜面に沿って、調整ドライバビット３が、調整ネジ４方向に導かれて、正確に調整ネジ４と噛み合わせることが可能となり、調整ドライバビット３の回転に応じて、調整ネジ４を回動させることが可能な状態になる。
【００５３】
次に、図７に示すように、調整ドライバ８側に、調整ドライバビット３のガイド機構を備えさせる場合について説明する。
図７に示す例は、前記図５や図６に示す例のようないずれの形式であっても、調整ドライバビット３のガイド機構を、調整対象の製品である高周波数部品７側に装着させることができない場合に用いられるものである。
【００５４】
図７に示すごとく、調整ドライバビット３のガイド機構として、円筒状の空洞３３ｃを有する円筒形状のドライバ装着位置決めガイド３３を、調整ドライバビット３を包み込むように装着させるものである。
また、該ドライバ装着位置決めガイド３３の下側先端部における空洞の形状は、図５，図６の場合とは逆に、下側に広がった傾斜面を形成した円錐状の形状の空洞３３ａを有し、更に、該円錐状の空洞３３ａ上側は、調整ネジ４の頭部の外径寸法よりも若干大きい直径寸法（たとえば、調整ネジ４の頭部の外径よりも０．３乃至１ｍｍの範囲で大きな直径寸法）からなる円筒形状の空洞３３ｂと接している逆漏斗状（即ち、断面逆Ｙ字状）の空洞形状を有している。更に、該円筒形状の空洞３３ｂは、その上側にあり、直径寸法が該円筒形状の空洞３３ｂの寸法よりも小さく調整ドライバビット３を包み込んで嵌め込められている円筒状の空洞３３ｃに接している。
また、前記円錐状の空洞３３ａの傾斜面の傾斜角度は、図５及び図６の場合と同様に、予め定められた角度（たとえば、６０゜乃至９０゜の範囲内にある頂角を有する角度）に設定されている。
【００５５】
而して、調整ドライバビット３が降下してきて、調整作業載置台５に載置されている高周波数部品７の調整ネジ４に近接する状態になると、調整ドライバビット３の直下に該調整ネジ４が位置せず、調整ドライバビット３が、調整ネジ４と正確に噛み合わせることができないような位置関係にあったとしても、調整ドライバビット３を包み込むように装着させているドライバ装着位置決めガイド３３先端部の円錐状の空洞３３ａの傾斜面に沿って、調整ドライバビット３が、調整ネジ４方向に導かれて、更に、調整ネジ４の頭部が、円筒状の空洞３３ｂに緩挿された状態にされることにより、調整ドライバビット３が、正確に調整ネジ４と噛み合わせることが可能となり、調整ドライバビット３の回転に応じて、調整ネジ４を回動させることが可能な状態になる。
【００５６】
また、図５乃至図７に示す各種のガイド機構には、調整ドライバビット３と調整ネジ４との噛み合わせ状態を、より確実に確認するために、調整ドライバビット３の調整ネジ４との接触状態を感知可能なセンサが備えられており、該センサが感知した信号は、ステータスとして、駆動回転用モータ（ステッピングモータ）１の動作状態を示す情報と共に、ドライブ線２３ａを介して、コントロールボックス２５に送出されている。
なお、かかるセンサは、必ずしも、前記ガイド機構上に備えていなくても、調整台３０上において、調整ドライバビット３と調整ネジ４との噛み合わせ状態を感知可能な適切な場所に配設することとしてもよい。
【００５７】
最後に、図８及び図９に基づいて、本発明に係るマイクロ波周波数自動調整システム１００（即ち、自動調整システム１００）の動作の概要を説明する。ここに、図８及び図９は、本自動調整システム１００の動作の一例を示すフローチャートであり、図９は、図８に続く残りの部分の動作を示すフローチャートである。
【００５８】
まず、図８において、本自動調整システム１００の初期化が行なわれる（ステップＳ１）。即ち、本自動調整システム１００に内蔵されているセンサを用いて各部の状態を監視しながら、本自動調整システム１００の機構部及び電気系統部の各部を調整開始前の一定条件に初期設定する。この時、調整対象となる高周波部品７からの周波数を測定するための分周器付き増幅器１５及び周波数カウンタ１６も初期状態に設定されると共に、電源の供給モードも、高周波部品７の周波数調整を行なうための電源供給モードに設定される。更に、調整対象の高周波数部品７を作業準備載置台６に載置させる。
【００５９】
次いで、調整台３０の２箇所に設けられている２つの起動スイッチ（スタートＳＷ）１１，１１´を同時に押下することにより（ステップＳ２）、調整台３０上で回転可能に備えられている作業テーブル（回転テーブル）１０を１８０°回転させて（ステップＳ３）、調整対象の高周波数部品７を載置した載置台が作業準備載置台６の状態から調整作業載置台５の状態に移動されて調整作業の開始状態に設定される。
この時、調整作業載置台５に載置された調整対象の高周波数部品７の調整端子は、調整台３０上に設置されているＦ接栓接続ユニット１２により、パルス信号供給・電流検出線１７ａと電気的に接続される（ステップＳ４）。
而して、高周波数部品７に対して、バイアスネットワーク１７を介して、直流電圧が重畳されたパルス信号が印加された状態となる。
【００６０】
更には、調整対象の該高周波数部品７の出力端子もＦ接栓ユニット１２により、ローカル周波数信号線１４ａに電気的に接続された状態になっており、印加された前記パルス信号に応じて、発振している高周波数部品７からのローカル周波数信号ＬＯ．ｆ（Ｌｏｃａｌ    Ｏｓｃｉｌｌａｔｉｏｎ  ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）が、角型導波管１４を介して、分周器付き増幅器１５に出力されている状態になっている。
【００６１】
まず、分周器付き増幅器１５において、該高周波数部品７の周波数調整前の状態における出力端子からのローカル周波数信号ＬＯ．ｆが読み取られ（ステップＳ５）、ローカル周波数信号ＬＯ．ｆが出力されている状態にあるかがチェックされる（ステップＳ６）。ローカル周波数信号ＬＯ．ｆが出力されている状態にはない場合（ステップＳ６のＮＧ）、その旨の情報が、周波数カウンタ１６から、コントロール本体２１に送出されてくるので、該高周波数部品７の不良と判定されて、不良表示が出力される（ステップＳ７）。
【００６２】
一方、ローカル周波数信号ＬＯ．ｆが出力されている状態である場合（ステップＳ６のＯＫ）、ローカル周波数信号ＬＯ．ｆは、分周器付き増幅器１５により、８０ｄｂ程度増幅された後、１／８に分周されて、周波数カウンタ１６に入力される。更に、周波数カウンタ１６において、計数されたローカル周波数信号の発振周波数を受信したコントロール本体２１は、予め定められた所望の規定周波数（即ち、９．５ＧＨｚ乃至１１．５ＧＨｚの範囲内のいずれかの発振周波数）との差異を算出して、該高周波数部品７の周波数調整が必要かチェックする。
所望の規定周波数との差異があり、周波数調整が必要であると判断した場合、ＭＯＴＯＲ部２１ｂから、コントロールボックス２５を介して、モータドライバ２３に対して、調整対象の高周波数部品７まで、ステッピングモータ１，カップリング２，調整ドライバビット３からなる調整ユニット１３を降下させるための降下信号を出力する。
【００６３】
かかる降下信号を受信したモータドライバ２３は、ドライブ線２３ａを介して、エアシリンダ２８を駆動して、調整ユニット１３を降下させる動作を行なわしめ、調整ユニット１３内の調整ドライバビット３と高周波数部品７の調整ネジ４の頭部とが噛み合わされ、調整ネジ４を回動可能な状態に設定される（ステップＳ９）。この時、図５乃至図７のいずれかに示す調整ドライバビット３のガイド機構（即ち、嵌め込みガイド３１、位置決めガイド３２、ドライバ装着位置決めガイド３３のいずれかのガイド機構）により、調整ドライバビット３は、調整ネジ４と正しく噛み合う位置に案内される。
【００６４】
また、調整ドライバビット３と調整ネジ４との噛み合わせ状態を、より確実に確認するために、調整ドライバビット３の調整ネジ４との接触状態を感知可能なセンサが、調整台３０の適切な位置に（たとえば、前記各種ガイド機構）に備えられており、該センサが感知した信号が、ステータスとして、駆動回転用モータ（ステッピングモータ）１の動作状態と共に、ドライブ線２３ａを介して、コントロールボックス２５に送出されており、コントロールボックス２５は、コントロール本体２１に、該ステータスを返送させている。
【００６５】
一方、高周波数部品７の消費電流は、パルス信号供給・電流検出線１７ａからバイアスネットワーク１７を介して、電流計１８において測定されており、該消費電流値は、コントール本体２１に出力されている（ステップＳ１０）。
前記ステータスの正常性と共に、該消費電流値が正常な範囲になっているかをチェックして、正常な状態ではないと判断された場合（ステップＳ１１のＮＧ）、該高周波数部品７の不良と判定されて、不良表示が出力される（ステップＳ１２）。
【００６６】
一方、前記ステータスと共に、該消費電流値が正常な範囲に収まっていて、正常な状態にあると判断された場合（ステップＳ１１のＯＫ）、コントロール本体２１は、ローカル周波数信号の発振周波数と所望の規定周波数との差分に基づいて、該差分周波数に相当する周波数調整用の調整ネジ４の調整回転数（即ち、回転方向を含む調整回転角度）を演算して求め（ステップＳ１３）、該調整回転数に対応するモータ駆動信号を、ＭＯＴＯＲ部２１ｂから、コントロールボックス２５に送出する。
また、コントールボックス２５は、ドライブ線２３ａを介して、調整ドライバビット３駆動用のステッピングモータ１の状態（ステータス）を読み取り、該ステッピングモータ１が駆動可能な状態にあることを確認して（ステップＳ１４）、前記モータ駆動信号をモータドライバ２３に出力する。
かかるモータ駆動信号を受信したモータドライバ２３は、ドライブ線２３ａを介して、調整ドライバビット３の前記調整回転数（即ち、回転方向も含む調整回転角度）に対応する駆動パルス数（回転方向も含む）を有する駆動パルス信号を出力する（ステップＳ１５）。
【００６７】
該駆動パルス信号を受信した調整ドライバビット３駆動用ステッピングモータ１は、指定された回転方向に、指定された駆動パルス数だけ回転し、調整ドライバビット３を回転駆動させる（ステップＳ１６）。
調整ドライバビット３の該回転動作に伴い、調整ドライバビット３に噛み合わされている高周波数部品７の調整ネジ４も回動動作されて、高周波数部品の内部インピーダンスが変化し、それに応じて、ローカル発振周波数ＬＯ．ｆが変化する。
【００６８】
周波数変化されたローカル発振周波数ＬＯ．ｆは、前述した場合と同様に、分周器付き増幅器１５経由周波数カウンタ１６で計測されて、コントロール本体２１に出力される（ステップＳ１７）。
コントロール本体２１においては、該ローカル発振周波数ＬＯ．ｆと所望の規定周波数との差異が求められて、所望のローカル発振周波数となっているか確認される（ステップＳ１８）。
所望のローカル発振周波数になっていない場合（ステップＳ１８のＮＧ）、調整作業の所定時間がタイムアウトしているかチェックされ（ステップＳ１９）、まだ、タイムアウトしていない場合（ステップＳ１９のＮＯ）、ステップＳ１３に戻り、更に、周波数調整作業が継続される。
一方、タイムアウトしている場合（ステップＳ１９のＹＥＳ）、該高周波数部品７の不良と判定されて、不良表示が出力される（ステップＳ２０）。
【００６９】
また、所望のローカル発振周波数に調整された場合には（ステップＳ１８のＯＫ）、コントロール本体２１は、周波数調整作業を終了させるに当たり、調整ドライバビット３が調整ネジ４から外れ易いように、調整ネジ４が回動することがない回転遊び幅に相当する微小回転量だけ、周波数調整の際の回転方向とは逆方向に微小回転させるべく、分周器付き増幅器１５経由周波数カウンタ１６で計測されているローカル発振周波数ＬＯ．ｆに基づいて（ステップＳ２１）、該微小回転量に相当する必要回転数（回転方向も含む回転角度）を算出する（ステップＳ２２）。該必要回転数に対応するモータ駆動信号は、ＭＯＴＯＲ部２１ｂから、コントロールボックス２５に送出される。
また、コントールボックス２５は、ドライブ線２３ａを介して、調整ドライバビット３駆動用のステッピングモータ１の状態（ステータス）を読み取り、該ステッピングモータ１が駆動可能な状態にあることを確認して（ステップＳ２３）、前記モータ駆動信号をモータドライバ２３に出力する。
【００７０】
かかるモータ駆動信号を受信したモータドライバ２３は、ドライブ線２３ａを介して、調整ドライバビット３の前記必要回転数（即ち、回転方向も含む回転角度）に対応する（回転方向も含む）駆動パルス数の駆動パルス信号を出力する（ステップＳ２４）。
該駆動パルス信号を受信した調整ドライバビット３駆動用のステッピングモータ１は、指定された回転方向に、指定された駆動パルス数だけ回転し、調整ドライバビット３を回転駆動させる（ステップＳ２５）。この結果、調整ドライバビット３は逆方向に微小角度だけ回転し、調整ネジ４から離脱され易い状態になる。
【００７１】
一方、かかる微小回転動作に伴い、調整済みのローカル発振周波数ＬＯ．ｆが変動を来しているかが、分周器付き増幅器１５経由周波数カウンタ１６で計測されて、コントロール本体２１に出力されている（ステップＳ２６）。
コントロール本体２１は、調整済みのローカル発振周波数ＬＯ．ｆが変動していないことを確認して、ＭＯＴＯＲ部２１ｂから、コントロールボックス２５を介して、モータドライバ２３に対して、調整対象の高周波数部品７から、調整ユニット１３を上昇させるための上昇信号を出力する。
【００７２】
かかる上昇信号を受信したモータドライバ２３は、ドライブ線２３ａを介して、エアシリンダ２８を駆動して、調整ユニット１３を上昇させる動作を行なわしめ、調整ユニット１３内の調整ドライバビット３が高周波数部品７の調整ネジ４の頭部から離脱させる（ステップＳ２７）。
かかる上昇動作中も、調整済みのローカル発振周波数ＬＯ．ｆが変動を来しているかが、分周器付き増幅器１５経由周波数カウンタ１６で計測されて、コントロール本体２１に出力されていて、コントロール本体２１では、調整済みのローカル発振周波数ＬＯ．ｆが変動していないことを確認する（ステップＳ２８）。
ローカル発振周波数ＬＯ．ｆに変動があった場合（ステップＳ２８のＮＧ）、調整作業時間が、タイムアウトに至っているかが確認される（ステップＳ２９）。既にタイムアウトしている場合は（ステップＳ２９のＹＥＳ）、該高周波数部品７の不良と判定されて、不良表示が出力される（ステップＳ３０）。
一方、まだ、タイムアウトしていない場合（ステップＳ２９のＮＯ）、ステップＳ８に戻り、再度、周波数調整動作を繰り返させる。
【００７３】
また、ローカル発振周波数ＬＯ．ｆに変動がなく、正しく調整作業が終了した場合（ステップＳ２８のＯＫ）、該高周波数部品７は良品と判定されて、良品表示が出力される（ステップＳ３１）。
更に、該周波数調整作業が終了した高周波数部品７を調整作業載置台５から取り外すべく、高周波数部品７の調整端子と出力端子とが接続されているＦ接栓接続ユニット１２との接続線を外して、Ｆ接栓を開放させ、該高周波数部品７との電気的な接続状態を開放させる（ステップＳ３２）。
また、調整ユニット１３を完全に上部まで上昇させて、調整済み高周波数部品７を載置している作業テーブル１０を回転可能な状態にし（ステップＳ３３）、回転起動スイッチ１１´の押下により、作業テーブル１０を１８０°回転させて、調整済み高周波数部品を載置している調整作業載置台５の位置を作業準備載置台６の位置まで回転させて、作業テーブル１０から、調整済みの高周波数部品７を取り外す。
【００７４】
なお、次に周波数調整すべき高周波数部品７がまだ存在していた場合には、最後に作業テーブル１０を回転させたステップＳ３３に至る前の前記周波数調整作業中において、作業準備載置台６に、次に周波数調整すべき高周波数部品７が載置されている状態にあるので、前記ステップＳ３３において、作業テーブル１０を１８０°回転させた時、次に周波数調整すべき高周波数部品７が載置されている作業準備載置台６が、新たに調整作業載置台５の位置まで回転するので、直ちに、次の高周波数部品７の調整作業に移ることができる。而して、周波数調整作業中において、次に調整すべき高周波数部品を載置する作業を終了させること（即ち、高周波数部品の調整作業と装脱着作業との並行作業）が可能であり、調整中の高周波数部品の調整が終了した際に、作業テーブルを回転させて、直ちに、次に調整すべき高周波数部品の調整作業に移行することができ、無駄な作業時間の消費がなく、作業効率を向上させることができる。
【００７５】
なお、本発明に係る自動調整システムにおいては、図２乃至４に示すように、周波数調整用の調整ドライバビット３などからなる調整ユニット１３を、Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸の３軸いずれの方向であっても、任意の位置まで、移動させることができるアクチュエータ機構を有しているので、高周波数部品に２箇所以上の複数の周波数調整個所が存在している場合であっても、自動的に、各調整個所の位置まで、順次、調整ユニット１３を移動させて、調整作業を行なわしめることが可能である。また、かかるアクチュエータ機構を実現させるための手段として、市販されている単軸ロボット２９やエアシリンダ２８を適宜組み合わせて適用することが可能であり、既存の技術を用いて確実に実現できる。
【００７６】
更に、前記した実施例においては、調整ドライバビット３と調整ネジ４との噛み合わせ状態を、より確実に確認するために、調整ドライバビット３の調整ネジ４との接触状態を感知可能なセンサを、たとえば、前記各種ガイド機構（即ち、図５乃至図７に示す、嵌め込みガイド３１、位置決めガイド３２、ドライバ装着位置決めガイド３３）等に備えさせている例を示しているが、かかるセンサを用いる場合に限るものではなく、調整ドライバビット３を予め定められた回転数だけ回転させた結果として、ローカル発振周波数ＬＯ．ｆが変動しているか否かを分周器付き増幅器１５及び周波数カウンタ１６によって測定することにより、該ローカル発振周波数ＬＯ．ｆの変動があれば、調整ドライバビット３が調整ネジ４に確実に噛み合わされていると判定することとしても良い。
【００７７】
【発明の効果】
以上に説明したごとく、本発明に係るマイクロ波周波数自動調整システムにおいては、精密な調整作業を必要とする周波数調整作業を全自動化することが可能であり、調整者の作業負担を大幅に軽減することが可能となると共に、調整精度も大幅に向上させることが可能である。
また、調整作業に要する作業時間も、人手による従来の調整作業の場合に比し、約１／１０に短縮させることも可能であり、製品コストの低減に役立つ。
【００７８】
また、高周波数部品の周波数調整用の調整ネジへ調整ドライバビットをガイドさせる機構を備え、かつ、調整ネジと調整ドライバビットとの噛み合わせ状態を確実に確認できる手段を有しているので、たとえ、調整ドライバビットの位置が、調整ネジの垂直線上の位置と少しずれた状態にあったとしても、自動的に、調整ネジ位置まで、調整ドライバビットを導くことが可能であり、周波数調整作業を確実に行なわしめることが可能である。
【００７９】
また、高周波数部品のローカル発振周波数を計数する周波数測定器への入力信号として、ローカル周波数信号を増幅させた後分周させた信号とすることにより、周波数カウンタを用いることが可能となり、従来のごとく、高い周波数のままスペクトラムアナライザなどの周波数測定器を用いて測定する場合に比し、ローカル発振周波数を正確、かつ、迅速に測定する事が可能となり、周波数の調整精度を向上させることができると共に、周波数測定時間を１／１０程度（１００ｍｓから１０ｍｓ程度まで）に短縮することができ、周波数調整作業時間の短縮化を図ることが可能である。
【００８０】
また、高周波数部品の周波数調整が終了した際、高周波数部品の調整ネジが回動することがない回転遊びに相当する微小回転量だけ、周波数調整の際の回転方向とは逆回転方向に、調整ドライバビットを回転させているので、調整ネジと噛み合わされていた調整ドライバビットが、調整ネジから離脱し易い位置にまで回転移動していて、調整ドライバビットを調整ネジから離脱させる際に、調整ネジを誤って回動させてしまうことがなく、調整済みの発振周波数が誤ってずらされてしまうことを防止できる。
【００８１】
また、周波数調整対象となる高周波数部品を載置する作業テーブルを、回転可能な回転テーブルとし、調整作業中の状態とする調整作業載置台と、次に調整する待機状態とする作業準備載置台との複数の載置台を備えさせているので、周波数調整作業中において、次に調整すべき高周波数部品を載置する作業を終了させること（即ち、高周波数部品の調整作業と装脱着作業との並行作業）が可能であり、調整中の高周波数部品の調整が終了した際に、作業テーブルを回転させて、直ちに、次に調整すべき高周波数部品の調整作業に移行することができ、無駄な作業時間の消費がなく、作業効率を向上させることができる。
【００８２】
更には、複数の周波数調整ポイントを必要とするごとき高周波数部品の場合においても、周波数調整に用いる調整ユニットを３軸の任意の位置に移動可能なアクチュエータを、市販のエアシリンダや単軸ロボットを組み合わせて構成させているので、一つの調整ユニットにより、順次、複数箇所の周波数調整作業を行なわしめることにより、安価な自動調整システムを構築させることができ、製品コストの低減に寄与させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るマイクロ波周波数自動調整システムの構成の一例を示す構成図である。
【図２】本発明に係るマイクロ波周波数自動調整システムの調整台を正面から見た場合の正面図である。
【図３】本発明に係るマイクロ波周波数自動調整システムの調整台を側面から見た場合の側面図である。
【図４】本発明に係るマイクロ波周波数自動調整システムの調整台を真上から見た場合の平面図である。
【図５】高周波数部品の調整ネジ側に、調整ドライバビットのガイド機構を備えさせる場合を示す概念図である。
【図６】高周波数部品の外側側面部に、調整ドライバビットのガイド機構を付設させる場合を示す概念図である。
【図７】調整ドライバビット側に、調整ドライバビットのガイド機構を備えさせる場合を示す概念図である。
【図８】本発明に係るマイクロ波周波数自動調整システムの動作の一例を示すフローチャートである。
【図９】本発明に係るマイクロ波周波数自動調整システムの図８に続く残りの部分の動作を示すフローチャートである。
【図１０】従来の高周波数部品の一例として誘電体共振器の構造を示す構造図である。
【図１１】従来の高周波数部品の調整方法を説明するための図である。
【図１２】従来の高周波数部品の周波数測定システムを説明するための構成図である。
【符号の説明】
１…ステッピングモータ、２…カップリング部材、３…調整ドライバビット、４…調整ネジ、５…調整作業載置台、６…作業準備載置台、７…高周波数部品（高周波数製品）、８…調整ドライバ、９…回転方向、１０…作業テーブル（回転テーブル）、１１…初期起動スイッチ、１１´…回転起動スイッチ、１２…Ｆ接栓ユニット、１３…調整ユニット、１４…角型導波管、１４ａ…ローカル周波数信号線、１５…分周器付き増幅器、１６…周波数カウンタ、１７…バイアスネットワーク、１７ａ…パルス信号供給・電流検出線、１８…電流計、１９…パルス電源、２０…リレーボックス、２１…コントロール本体部、２１ａ…ＤＩＳＰＬＡＹ部、２１ｂ…ＭＯＴＯＲ部、２１ｃ…ＰＩＯ部、２１ｄ…ＧＰＩＢ部、２２…ディスプレイ、２３…モータドライバ、２３ａ…ドライブ線、２４…スペクトラムアナライザ、２５…コントロールボックス、２６…Ｉ／Ｏ  ＢＯＸ、２６ａ…コントロール線、２７…エアシリンダ、２７ａ…中心軸、２８…エアシリンダ、２９…単軸ロボット、３０，３０´…調整台、３０ａ…支持台、３１…嵌め込みガイド、３１ａ，３１ｂ…空洞、３２…位置決めガイド、３２´…腕木、３３…ドライバ装着位置決めガイド、３３ａ，３３ｂ，３３ｃ…空洞、３５…金属キャップ、４１…能動素子、４２…サポート、４３…回路基板、４４…調整ネジ、４５…金属キャップ、４６…筐体、４７…誘電体共振器、４８…接着剤、１００…マイクロ波周波数自動調整システム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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