(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
等価入力回路に供給される制御電流が等価出力回路内を流れる出力回路側電流の電流値を制御する能動素子について検査可能な部品検査装置において、
前記等価入力回路および等価出力回路に対し前記制御電流および前記出力回路側電流としての出力電流を供給可能な電流源と、当該電流源の出力電圧を測定する電圧測定部と、所定電流値の前記出力電流が前記電流源から前記等価入力回路および前記等価出力回路に供給された際に、前記電圧測定部によって測定された前記出力電圧が所定の基準電圧範囲内のときに前記能動素子を良品と判別する良否判別部と、良品の前記能動素子を作動させ、その作動時における前記電流源の前記出力電流に対する前記出力電圧に基づいて、前記基準電圧範囲を定めるための基準データを生成するデータ生成部とを備え、前記データ生成部は、前記出力電流の電流値を制御すると共に、その出力電流に対する前記出力電圧を前記電圧測定部から入力することにより、前記出力回路側電流が前記制御電流に対して線形に変化する領域内における、前記出力電流に対する前記出力電圧を前記基準データとして生成することを特徴とする部品検査装置。
【請求項２】
前記電流源は、定電流源であることを特徴とする請求項１記載の部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板やハイブリット用基板およびＭＣＡ（Multi Chip Module ）等の回路基板に搭載されている回路部品などの良否を検査可能な部品検査装置に関し、詳しくは、回路基板などに搭載されている能動素子を検査するのに適した部品検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、この種の能動素子の良否を検査可能に構成された部品検査装置として、図５に示す検査装置７１が従来から知られている。この検査装置７１は、回路部品の各々に電気的に予めそれぞれ接触させられているｎ本のピンプローブ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ・・（以下、区別しないときは、「ピンプローブ３」という）と、複数のピンプローブ３，３，・・から選択された１組のピンプローブ３，３を介して定電流を出力する定電流源２１と、選択された他の１組のピンプローブ３，３を介して定電圧を出力する定電圧源７２と、定電圧が印加されているピンプローブ３，３間の電圧を測定する電圧計７３と、定電圧源７２から出力される定電圧に基づく電流を電流制限するための抵抗７４と、定電圧源７２の接続を制御するためのリレー７５とを備えている。
【０００３】
この検査装置７１では、例えばホトカップラ２３を検査する場合には、まず、同図に示すように、リレー７５を作動させることにより、抵抗７４および定電圧源７２の直列回路を電圧計７３に並列接続する。次いで、ホトカップラ２３におけるホトダイオード２４のアノード−カソード間にそれぞれ接触させられているピンプローブ３ａ，３ｂを選択して定電流源２１に接続すると共に、ホトトランジスタ２５のコレクタ−エミッタ間にそれぞれ接触させられているピンプローブ３ｃ，３ｄを選択して電圧計７３に接続する。次に、定電圧源７２の定電圧を抵抗７４を介してホトトランジスタ２５のコレクタ−エミッタ間に印加する。
【０００４】
次いで、定電流源２１の電流値を所定の電流値Ｉ１１に設定し、この時の電圧計７３の指示値Ｖ１１を読み取る。この際、指示値Ｖ１１が、予め定めた所定の許容範囲内のときは、ホトダイオード２４が導通することによってホトトランジスタ２５が正常に作動し、これにより、抵抗７４による電圧降下が生じているため、良品と判定する。一方、許容範囲内でないときには、ホトダイオード２４またはホトトランジスタ２５のいずれかが正常に作動していないため、不良品と判定する。
【０００５】
また、受動素子である抵抗などを検査する場合には、まず、リレー７５を作動停止させることにより、定電圧源７２を電圧計７３から切り離す。次いで、検査対象抵抗の両端にそれぞれ接触させられているピンプローブ３，３を選択して定電流源２１に接続すると共に、装置内において定電流源２１と電圧計７３とを並列接続する。次に、定電流源２１から検査対象抵抗に所定値の定電流Ｉ１２を供給し、この時の電圧計７３の指示値Ｖ１２を読み取る。この際、指示値Ｖ１２が、予め定めた所定の許容範囲内のときは、正規な抵抗値を有しているため、良品と判定する。一方、許容範囲内でないときには、正規な抵抗値を有していないため、不良品と判定する。このように、従来の検査装置７１は、リレー７５を制御することによって、能動素子を検査する際には、定電流源２１、定電圧源７２および電圧計７３の３つを同時に使用し、受動素子を検査する際には、定電圧源７２を電圧計７３から切り離すことによって、定電流源２１および電圧計７３の２つを使用し、これにより、能動素子および受動素子の両者を１つの装置で検査することができるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この従来の検査装置７１には以下の問題点がある。
第１に、今日においては、装置の小型・低価格競争が激化しており、小型・低価格化を達成することが早急な課題となっている。その一方、従来の検査装置７１では、能動素子の検査を行うために、受動素子の検査の際には不要である定電圧源７２、並びに定電圧源７２の切替えを制御するためのリレー７５および抵抗７４を必要とするため、その分、装置の大型化および高価格化を招いているという問題点がある。
第２に、例えば、受動素子と能動素子とが混在している回路基板上のすべての回路部品を検査する場合、回路部品の種類に応じてリレー７５の切替え制御を行う必要があるため、その切替制御時間の積み重ねによって検査時間が長時間化しているという問題がある。
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、装置の小型化および低価格化並びに検査時間の短縮を図り得る部品検査装置を提供することを主目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載の部品検査装置は、等価入力回路に供給される制御電流が等価出力回路内を流れる出力回路側電流の電流値を制御する能動素子について検査可能な部品検査装置において、等価入力回路および等価出力回路に対し制御電流および出力回路側電流としての出力電流を供給可能な電流源と、電流源の出力電圧を測定する電圧測定部と、所定電流値の出力電流が電流源から等価入力回路および等価出力回路に供給された際に、電圧測定部によって測定された出力電圧が所定の基準電圧範囲内のときに能動素子を良品と判別する良否判別部と、良品の能動素子を作動させ、その作動時における電流源の出力電流に対する出力電圧に基づいて、基準電圧範囲を定めるための基準データを生成するデータ生成部とを備え、データ生成部は、出力電流の電流値を制御すると共に、その出力電流に対する出力電圧を電圧測定部から入力することにより、出力回路側電流が制御電流に対して線形に変化する領域内における、出力電流に対する出力電圧を基準データとして生成することを特徴とする。
【０００９】
一般的に、電流源に接続されている負荷インピーダンスが低下すると、電流源の出力端における出力電圧は低下する。一方、電流源から出力させる所定電流値の出力電流として、例えば、能動素子が線形な動作領域内において作動するために最低限必要とされる制御電流よりも多目の電流にすることにより、良品の能動素子では、等価出力回路において出力回路側電流が流れようとするため、等価出力回路のインピーダンスが低下する。したがって、この場合における電流源の出力電圧は、所定電圧まで低下する。逆に、能動素子が不良品の場合には、同じ値の出力電流を供給したとしても、等価出力回路のインピーダンスが低下しないため、出力電圧は低下しない。このように、所定電流値の出力電流を電流源から出力させた際に、能動素子が作動することによって低下するであろう電流源の出力電圧範囲を基準電圧範囲として規定しておくことにより、その出力電圧に基づいて能動素子の良否を検査することが可能となる。
【００１０】
また、基準電圧範囲を定める基準データは、検査対象能動素子のカタログなどに記載されているデータに基づいて演算により求めたり、部品検査装置とは別の装置を用いて実験値に基づいて生成したりしてもよい。一方、この部品検査装置では、検査時において実際に使用する電流源および電圧測定部を使用することにより、基準データ生成時における測定値と検査時における測定値との誤差を打ち消し合わせることが可能のため、別の装置を用いて基準データを生成したような場合と比較し、正確な検査を行うことができる。
【００１１】
さらに、この部品検査装置では、データ生成部が、装置内に設けられている電流源の電流を制御して、同じく装置内に設けられている電圧測定部によって測定された電流源の出力電圧に基づいて基準データを自動的に生成する。このため、簡易かつ正確な基準データを生成することが可能となる。
【００１２】
また、能動素子が作動している動作領域内における任意の出力電流に対する出力電圧を基準データとしてもよい。一方、この部品検査装置においては、出力回路側電流が制御電流に対して線形に変化する領域における、出力電流に対する出力電圧が基準データとして生成される。この結果、能動素子が作動を開始し始めた初期動作領域、および出力回路側電流が飽和した状態の飽和領域での出力電圧を基準データとすることを避けることができ、これにより、能動素子の正確な良否検査を行うことが可能となる。
【００１３】
請求項２記載の部品検査装置は、請求項１記載の部品検査装置において、電流源は、定電流源であることを特徴とする。
【００１４】
電流源は、定電圧源と電流制限用抵抗とを直列接続して構成してもよいが、出力電流を正確な値に設定するためには、電流値測定手段が必要になることがある。この部品検査装置では、定電流源の出力電流を設定することにより、基準データ生成の際および検査の際における出力電流の設定を、迅速かつ容易に、しかも正確に行うことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、回路基板検査装置を例に挙げて、添付図面を参照しつつ、本発明に係る部品検査装置の好適な実施の形態について説明する。なお、従来の検査装置７１と同一の構成要素については、同一の符号を付して詳細説明を省略する。
【００１６】
図１に示す回路基板検査装置１は、回路基板２の一方の面に形成され互いに分離独立しているｎ本の回路パターンＰ，Ｐ・・にそれぞれ接触させるためのｎ本のピンプローブ３，３，・・を備えている。各ピンプローブ３は、その先端部が上方に向くように、その基部が図外の基板支持台に固着されることにより、回路基板２を支持可能に構成されている。また、各ピンプローブ３の基部には、ケーブル４が接続されており、これらのケーブル４は、後述する切替部１７に接続されている。
【００１７】
次に、回路基板検査装置１の電気的な構成およびその機能について、同図を参照して説明する。
【００１８】
回路基板検査装置１は、本発明における良否判別部およびデータ生成部に相当するＣＰＵ１１、メモリ１２、キーボード１３およびＣＲＴ１４を備えている。なお、これらは、実際には、パーソナルコンピュータで構成されており、同図では、機能的な構成を示している。ＣＰＵ１１は、後述するＡ／Ｄ変換部１６によって生成されるディジタルデータＤＤに基づいて受動素子の抵抗値、静電容量およびインダクタンスの測定や、能動素子の特性の検査を行うことにより、回路基板２の良否を判定する。メモリ１２は、各ピンプローブ３に接触する回路パターンＰのパターン番号、その回路パターンＰに接続される受動素子や能動素子などの回路部品Ｂについての検査用の基準データ（本発明における基準電圧範囲などに相当する）や部品番号、各回路パターンＰ，Ｐ相互間の抵抗値、および各回路パターンＰや回路部品Ｂのそれぞれの位置、平面形状などを記憶する。この場合、これらの情報は、回路基板２の検査に先立って予めキーボード１３や図外のマウスから入力される。ＣＲＴ１４は、メモリ１２に記憶されている各回路パターンＰや回路部品Ｂの配置図、および検査結果などを、ＣＰＵ１１の制御下で映し出す。
【００１９】
また、回路基板検査装置１は、計測ボード１５、Ａ／Ｄ変換部１６および切替部１７を備えている。計測ボード１５は、図４（ａ）の測定系概略図に示すように、本発明における電流源と定電流源に相当する定電流源２１、および本発明における電圧測定部に相当する電圧測定回路２２を内蔵している。計測ボード１５では、ＣＰＵ１１から出力される測定制御信号Ｓ１１に従い、切替部１７を介してピンプローブ３に定電流源２１の定電流Ｉｏ（本発明における出力電流に相当する）を出力する。一方、電圧測定回路２２は、ピンプローブ３および切替部１７を介して入力される定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値を測定する。Ａ／Ｄ変換部１６は、計測ボード１５の電圧測定回路２２によって測定された測定値をディジタルデータＤＤに変換する。この場合、Ａ／Ｄ変換部１６は、順次入力される個々の測定値について変換を完了した都度、ＣＰＵ１１に対して変換終了信号Ｓ１２を出力する。一方、ＣＰＵ１１は、変換終了信号Ｓ１２が出力される毎に、Ａ／Ｄ変換部１６にラッチされているディジタルデータＤＤを読み取りに行く。切替部１７は、ＣＰＵ１１から出力される切替制御信号Ｓ１３に従って選択したピンプローブ３，３・・と、定電流源２１の出力端子、電圧測定回路２２の入力端子、並びに定電流源２１および電圧測定回路２２のグランドＧとを互いに接続する。
【００２０】
次に、回路基板検装置１における回路基板２の検査、特に、能動素子の検査について、図２〜４を参照して説明する。
【００２１】
最初に、回路基板２の検査に先立ち、回路基板２から基準データを生成するためのデータ吸収処理が行われる。この処理では、図２に示すように、まず、良品の回路基板２をピンプローブ３，３・・上にセットする（ステップ３１）。次いで、回路基板２の回路パターンＰ，Ｐ・・にピンプローブ３，３・・をそれぞれ接触させた状態で、ＣＰＵ１１が、切替制御信号Ｓ１３を出力することにより、切替部１７が、２対のピンプローブ３，３，３，３を選択する。この場合、切替部１７は、例えば、ホトカップラ２３から基準データを吸収するときには、図４（ａ）に示すように、ホトカップラ２３の等価入力回路であるホトダイオード２４のアノードおよびカソードにそれぞれ接触させられている１対のピンプローブ３ａ，３ｂと、ホトトランジスタ２５の等価出力回路であるコレクタおよびエミッタにそれぞれ接触させられている１対のピンプローブ３ｃ，３ｄを選択する。次いで、切替部１７は、ピンプローブ３ａ，３ｃを定電流源２１の出力端子および電圧測定回路２２の入力端子に共通接続し、ピンプローブ３ｂ，３ｄを定電流源２１および電圧測定回路２２のグランドＧに共通接続する。次に、定電流源２１の開放電圧をセットする（ステップ３２）。この場合、開放電圧は、ホトダイオード２４のアノード−カソード間定格電圧およびホトトランジスタ２５のコレクタ−エミッタ間定格電圧以下の電圧（例えば、２Ｖ）に設定される。
【００２２】
次に、オペレータによってデータの吸収回数と増加電流値（例えば、０．１ｍＡ）とがセットされると（ステップ３３）、ＣＰＵ１１は、吸収回数をカウント値ｎとして内部のカウンタにセットすると共に、増加電流値をメモリ１２に記憶させる。この場合、吸収回数は、ＣＰＵ１１によって行われる定電流源２１の出力電圧Ｖｏの測定回数を意味し、増加電流値は、１回の測定が実行された後に次の測定の際において定電流源２１の定電流Ｉｏを段階的に増加させる電流値を意味する。次に、初期電流（例えば、１ｍＡ）を定電流源２１から出力させ（ステップ３４）、その際の定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値（つまりホトトランジスタ２５のコレクタ−エミッタ間電圧）を電圧測定回路２２に測定させる。次いで、Ａ／Ｄ変換部１６が、電圧測定回路２２によって測定された出力電圧Ｖｏの電圧値をディジタルデータＤＤに変換し、ＣＰＵ１１が、変換したディジタルデータを入力することによって出力電圧Ｖｏの電圧値を読み取る（ステップ３５）。次に、ＣＰＵ１１は、読取値が開放電圧よりも低下したか否かを判別する（ステップ３６）。低下したと判別したときには、その時における定電流Ｉｏの電流値Ｉ１と、出力電圧Ｖｏの電圧値Ｖ１とをデータとして吸収する（ステップ３７）。一方、低下していないと判別したとき、およびデータを吸収したときには、カウンタのカウント値が値ｎに達しているか否かを判別し（ステップ３８）、達していないと判別したときには、カウンタをカウントアップすると共に定電流源２１の定電流Ｉｏを増加電流値分だけ増加させる（ステップ３９）。
【００２３】
次いで、定電流Ｉｏを増加させたときの電流値における定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値を読み取り（ステップ３５）、上記したステップ３６〜３８を繰り返す。ステップ３８においてカウント値が値ｎに達したと判別したときには、検査用データの作成処理を実行する（ステップ４０）。この検査用データの作成処理では、ＣＰＵ１１は、まず、読取値が開放電圧よりも低下したとき（つまりホトトランジスタ２５が作動したとき）の定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値から、ホトトランジスタ２５に流れる電流（本発明における出力回路側電流に相当する）が飽和した状態における出力電圧Ｖｏの電圧値までの電圧範囲を求める。次いで、その電圧範囲のうち、ホトトランジスタ２５に流れる電流がホトダイオード２４に流れる制御電流に対してほぼ線形に変化する領域内における、定電流Ｉｏの電流値Ｉmと、そのときの定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値Ｖｍとを基準データとしてメモリ１２に記憶させる。なお、ホトトランジスタ２５を流れる電流が線形に変化している領域にあるか否かは、定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値を監視することにより判定することができる。具体的には、定電流Ｉｏを増加したときに出力電圧Ｖｏの電圧値が低下しているときには、ホトトランジスタ２５を流れる電流が線形に変化していると判別し、定電流Ｉｏを増加しても出力電圧Ｖｏの電圧値が低下しなくなったときには、ホトトランジスタ２５が飽和状態で動作していると判別する。
【００２４】
なお、データ吸収処理においては、ホトカップラ２３についてのデータ吸収以外にも、回路パターンＰ，Ｐ間の抵抗値なども測定されてメモリ１２に記憶される。また、このデータ吸収処理は複数の良品回路基板２について行い、吸収したデータの平均値を基準データとしてもよい。このようにすることによって、回路基板２に搭載されている回路部品Ｂのばらつきに対処することができる。さらに、上記したデータ吸収処理のステップ３５において、定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値が低下しないときには、開放電圧を変化させて、再度データ吸収処理を行うようにしてもよい。
【００２５】
次に、検査対象の回路基板２を実際に検査する検査処理について、図３を参照して説明する。
【００２６】
最初に、オペレータによって、許容できる出力電圧Ｖｏの電圧範囲がセットされる（ステップ５１）。具体的には、このステップ５１では、オペレータによって、基準データとしてメモリ１２に記憶されている出力電圧Ｖｏの電圧値Ｖｍに対して、許容できる範囲（例えば、±２０％）が指定される。これにより、ＣＰＵ１１は、０．８×Ｖｍ〜１．２×Ｖｍまでの基準電圧範囲を演算し、演算した基準電圧範囲をメモり１２に記憶させる。次いで、定電流源２１の開放電圧を、データ吸収処理においてセットされた開放電圧と等しい電圧値にセットする（ステップ５２）。次に、検査対象である同種の回路基板２がピンプローブ３，３・・上にセットされると（ステップ５３）、ＣＰＵ１１は、定電流源２１の定電流Ｉｏを、基準データとしての電流値Ｉｍにセットする（ステップ５４）。そして、ＣＰＵ１１は、この時に電圧測定回路２２によって測定された出力電圧Ｖｏの電圧値ＶＣＥｍを読み取る（ステップ５５）。
【００２７】
次いで、ＣＰＵ１１は、電圧値ＶＣＥｍが基準電圧範囲内であるか否かを判別する（ステップ５６）。基準電圧範囲内であると判別したときは、良品コードをセットし（ステップ５７）、許容電圧範囲内でないと判別したときには、不良品コードをセットする（ステップ５８）。この後、他の回路部品Ｂについても検査し（ステップ５９）、すべての回路部品Ｂについて検査を終了したときに検査結果をＣＲＴ１４に表示する（ステップ６０）。この場合、１つでも不良品コードがセットされているときには、不良基板の旨を表示し、不良品コードがセットされていないときには良品基板である旨を表示する。なお、ＣＲＴ１４に不良基板表示を行う場合に、ＣＰＵ１１は、その回路パターンＰや回路部品Ｂの位置を併せて表示させることもできる。かかる場合には、作業者は、不良個所を容易に特定することができる。この後、ＣＰＵ１１は、検査すべき所定枚数の回路基板２を検査したか否かを判別し（ステップ６１）、所定枚数の回路基板２の検査を終了していない判別したときは、次の検査対象の回路基板２がセットされると（ステップ５３）、上記したステップ５４〜６０を繰り返す。一方、所定枚数の回路基板２を検査していると判別したときは、検査処理を終了する。
【００２８】
なお、この回路基板検査装置１において検査できる能動素子はホトカップラ２３に限らず、例えば、トランジスタやＦＥＴなどを検査することができる。この場合、図４（ｂ）に示すように、トランジスタ２６のベース、コレクタおよびエミッタにそれぞれ接触しているピンプローブ３ａ，３ｃ，３ｄを選択した後、上記したデータ吸収処理および検査処理と同じようにして、データの吸収および検査を行うことができる。
【００２９】
以上のように、本実施形態に係る回路基板検査装置１によれば、定電流源２１から所定電流値の出力電流Ｉｍを能動素子の等価入力回路（例えばホトダイオード２４）および等価出力回路（例えばホトトランジスタ２５）に供給し、その際に電圧測定回路２２によって測定された定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値が所定の基準電圧範囲内のときに能動素子を良品と判別することにより、従来の検査装置７１における定電圧源７２、抵抗７４およびリレー７４を不要にすることができ、これにより、装置の小型・低価格化を図ることができる。また、リレー７５の切替制御を不要にすることができる結果、検査時間を短縮することができる。
【００３０】
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されない。例えば、本発明に係る部品検査装置は、回路基板２上に搭載された回路部品Ｂの検査に限らず、回路部品単体で検査する検査装置にも適用可能である。この場合、ピンプローブ３に代えて、クリップ型の接触子を用いることによって、定電流源２１や電圧測定回路２２を回路部品Ｂに接続することができる。
【００３１】
また、本実施形態において説明したデータ吸収処理を行わずに、能動素子のデータシートなどから、定電流源２１から出力される定電流が所定電流値のときにおける定電流源２１の出力電圧Ｖｏの電圧値を計算によって求めた後に、作業者がキーボード１３を用いてメモリ１２に記憶させてもよい。ただし、本実施形態のようにＣＰＵ１１が自動的に基準データを生成することにより、省力化を図ることができる。また、データ吸収処理において、検査処理時に実際に使用する定電流源２１および電圧測定回路２２を使用することにより、基準データとしての電流値Ｉｍおよび出力電圧の電圧値Ｖｍと、検査処理時における設定値である電流値Ｉｍおよび測定値である電圧値ＶＣＥｍとの誤差を打ち消し合わせることが可能のため、正確な検査を行うことができる。
【００３２】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載の部品検査装置によれば、例えば、所定電流値の出力電流を電流源から出力させた際に、能動素子が作動することによって低下するであろう電流源の電圧範囲を基準電圧範囲として規定しておくことにより、電流源の出力電圧に基づいて能動素子の良否を検査することができる。これにより、従来の検査装置７１における定電圧源７２などを不要にすることができる結果、装置の小型・低価格化を図ることができる。また、従来の検査装置７１におけるリレー７５の切替制御を不要にすることができるため、検査時間を短縮することができる。
【００３３】
また、この部品検査装置によれば、検査時において実際に使用する電流源および電圧測定部を使用することにより、基準データ生成時における測定値と検査時における測定値との誤差を打ち消し合わせることができ、これにより、別の装置を用いて基準データを生成したような場合と比較し、正確な検査を行うことができる。
【００３４】
さらに、この部品検査装置によれば、データ生成部が、装置内に設けられている電流源の電流を制御して、同じく装置内に設けられている電圧測定部によって測定された電流源の出力電圧に基づいて基準データを自動的に生成することにより、簡易かつ正確な基準データを生成することができる。
【００３５】
また、この部品検査装置によれば、出力回路側電流が制御電流に対して線形に変化する領域における、出力電流に対する出力電圧を基準データとして生成することによって、能動素子の正確な良否検査を行うことができる。
【００３６】
また、請求項２記載の部品検査装置によれば、定電流源の出力電流を設定することにより、基準データ生成の際におよび検査の際における出力電流の設定を、迅速かつ容易に、しかも正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置のブロック図である。
【図２】  本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置におけるデータ吸収処理のフローチャートである。
【図３】  本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置における検査処理のフローチャートである。
【図４】  （ａ）はホトカップラについてデータ吸収処理および検査処理を行う際の測定系の概略を示す測定系概略図であり、（ｂ）はトランジスタについてデータ吸収処理および検査処理を行う際の測定系の概略を示す測定系概略図である。
【図５】  従来の検査装置における測定系の概略を示す測定系概略図である。
【符号の説明】
１  回路基板検査装置
１１  ＣＰＵ
１５  計測ボード
２１  定電流源
２２  電圧測定回路
２３  ホトカップラ
２４  ホトダイオード
２５  ホトトランジスタ
【図１】
0003647586.tif 000002
【図２】
0003647586.tif 000003
【図３】
0003647586.tif 000004
【図４】
0003647586.tif 000005
【図５】
0003647586.tif 000006