(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス搬送経路の途中に設けられ、該ガスを一つ或いは複数個のサイクロンに導入して該ガスに含まれる固体成分を遠心力によって分離するようにしたサイクロンシステムにおいて、
前記固体成分が分離排出されるサイクロン脚部の出口圧を固体成分が除去されたガスが排出されるサイクロン内筒の出口圧よりも高くする手段を設け、これにより前記サイクロン脚部から固体成分とともに流出したガスを前記サイクロン内筒からでたガスの流れに合流させることができるようにし、
一つ或いは複数個の前記サイクロンを収納する圧力容器を備え、該圧力容器をサイクロン内筒の出口を有する上室とサイクロン脚部の出口を有するホッパ部とに仕切り、該ホッパ部に流出したガスを前記サイクロンを出たガスが流れるガス搬送経路に戻すホッパ内ガス戻り管を設け、
前記ホッパ内ガス戻り管の途中にガス中の固体成分を分離する小サイクロンを設け、
前記ホッパ内ガス戻り管の途中に設けた小サイクロンにおける脚部出口圧と内筒出口圧との関係を、前記圧力容器内に収納されたサイクロンの脚部出口圧と内筒出口圧との関係を同じくしたことを特徴とするガス中の固体成分を分離するサイクロンシステム。
【請求項２】
ガス搬送経路の途中に設けられ、該ガスを一つ或いは複数個のサイクロンに導入して該ガスに含まれる固体成分を遠心力によって分離するようにしたサイクロンシステムにおいて、
前記固体成分が分離排出されるサイクロン脚部の出口圧を固体成分が除去されたガスが排出されるサイクロン内筒の出口圧よりも高くする手段を設け、これにより前記サイクロン脚部から固体成分とともに流出したガスを前記サイクロン内筒からでたガスの流れに合流させることができるようにし、
前段の第１段目のサイクロンシステムにおいてホッパ部から引き出されたガスを後段の第２段目のサイクロンシステムにガスが導入される前のガス搬送経路に戻すようにし、
第１段目のサイクロンの脚部出口圧／内筒出口圧の比率よりも第２段目のサイクロンの脚部出口圧／内筒出口圧の比率を高くしたことを特徴とするガス中の固体成分を分離するサイクロンシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体中のダスト等の固体成分を遠心力で分離除去するサイクロンシステムに係り、特に、ホッパから抽気したガスのリサイクルを図るに好適なガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
サイクロンのホッパから抽気したガスのリサイクルを図る方法としては、例えば、特開昭５５−４４３６８号公報や特公平６−９８２５５号公報に記載された方法が知られている。
【０００３】
特開昭５５−４４３６８号公報に記載された方法は、メインの集塵器でダストを分離し、分離したダストを高濃度に含むガスを系外のサイクロンで再度分離すると共に、ガスは排風機でメインの集塵器の上流に戻すシステムである。
【０００４】
かかる方法は、集塵効率を向上するに最適な技術であるが、高温ガスの脱塵においては、排風機が高温にさらされ、強度上に問題がある。
【０００５】
また、特公平６−９８２５５号公報に記載された方法は、転炉から出た排ガスを冷却器で冷却した後、排ガスダクトにルーバ型集塵器を設け、その下流に二次集塵器を設け、さらにその下流に主排風機を設けた排ガス処理装置において、ルーバ型集塵器のダストぬき管の下流にダストホッパを設け、途中にブローダウン管を接続して、ブローダウン管の途中にはブローダウン系集塵器を設けて、その出口は主排風機の手前に接続したものである。これは、冷却後の脱塵であり、排風機の使用が可能なるため、ブローダウンするに十分な圧力差、すなわち、二次集塵器での圧損をブローダウン系の圧損より大きくすることにより、ブローダウンを可能にしている。したがって、ブローダウンのガスはルーバ集塵器の後ではなく、二次集塵器の後流（主排風機の入口）に戻すものである。このシステムは転炉でのガス量変動に対してルーバ集塵器の効率を高く保て高効率な集塵を可能にするものである。
【０００６】
しかしながら、ガスタービンに送るガスから除塵するために用いるサイクロンのように、高温，高圧下での集塵においては、排風機は使用できず、自己の脱塵システム内でブローダウンを達成することができないものである。
【０００７】
そこで、例えば、特開平４−１９３３６４号公報に記載されているように、排風機を使用しない方法を用いれば、高温，高圧下での除塵を行い、ガスを回収することも可能である。かかる方法では、サイクロンのダストホッパ側のブローダウン管に別のサイクロンを接続して、後段のサイクロンで分離したガスをガスタービンによって回収可能としている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平４−１９３３６４号公報に記載されている方法では、その第３頁右上欄第６−１３行に記載されているように、回収したガスは、ガスタービンの初段に供給することはできず、初段よりも低い段落にしか供給できないという問題がある。これは、後段側のサイクロンで回収したガスの圧力が低いため、ガスタービンの初段に供給することができないためである。ガスの回収に当たっては、ガスタービンのできるだけ初段側で回収するようにした方が、ガスの回収効率が高いため、かかる方法では、ガスの回収効率が低いという問題があった。
【０００９】
本発明の目的は、ガスの回収効率の高いガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムを提供するにある。
【００１０】
【解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、ガス搬送経路の途中に設けられ、該ガスを一つ或いは複数個のサイクロンに導入して該ガスに含まれる固体成分を遠心力によって分離するようにしたサイクロンシステムにおいて、前記固体成分が分離排出されるサイクロン脚部の出口圧を固体成分が除去されたガスが排出されるサイクロン内筒の出口圧よりも高くする手段を設け、これにより前記サイクロン脚部から固体成分とともに流出したガスを前記サイクロン内筒からでたガスの流れに合流させることができるようにし、 一つ或いは複数個の前記サイクロンを収納する圧力容器を備え、該圧力容器をサイクロン内筒の出口を有する上室とサイクロン脚部の出口を有するホッパ部とに仕切り、該ホッパ部に流出したガスを前記サイクロンを出たガスが流れるガス搬送経路に戻すホッパ内ガス戻り管を設け、前記ホッパ内ガス戻り管の途中にガス中の固体成分を分離する小サイクロンを設け、前記ホッパ内ガス戻り管の途中に設けた小サイクロンにおける脚部出口圧と内筒出口圧との関係を、前記圧力容器内に収納されたサイクロンの脚部出口圧と内筒出口圧との関係を同じくしたものである。
【００１１】
かかる構成とすることにより、ガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムにおけるガスの回収効率を向上し得るものとなる。
【００１２】
また、上記目的を達成するために、本発明は、ガス搬送経路の途中に設けられ、該ガスを一つ或いは複数個のサイクロンに導入して該ガスに含まれる固体成分を遠心力によって分離するようにしたサイクロンシステムにおいて、前記固体成分が分離排出されるサイクロン脚部の出口圧を固体成分が除去されたガスが排出されるサイクロン内筒の出口圧よりも高くする手段を設け、これにより前記サイクロン脚部から固体成分とともに流出したガスを前記サイクロン内筒からでたガスの流れに合流させることができるようにし、前段の第１段目のサイクロンシステムにおいてホッパ部から引き出されたガスを後段の第２段目のサイクロンシステムにガスが導入される前のガス搬送経路に戻すようにし、第１段目のサイクロンの脚部出口圧／内筒出口圧の比率よりも第２段目のサイクロンの脚部出口圧／内筒出口圧の比率を高くしたものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムについて、図１乃至図４を用いて説明する。
図１は、本発明の一実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムの全体構成図である。
【００１４】
本実施の形態では、加圧流動層燃焼装置によって発生した高温，高圧ガスからサイクロンシステムによってダストを除去し、ダストの除去されたガスをガスタービンに供給して、動力を回収するようにしている。
【００１５】
加圧流動層燃焼装置１０によって発生した燃焼排ガスは、ダクト１２を通過して、第１段目の圧力容器２０に供給される。加圧流動層燃焼装置１０は、内部に数ｍｍの石灰石からなる流動層を形成し、外部から石炭、空気及び少量の石灰石を供給して石炭を流動燃焼すると共に、層内に設置の伝熱管で燃焼熱を回収し、層温度を８６０℃、圧力１０気圧程度で運転する。
【００１６】
第１段目の圧力容器２０の内部には、ｎ本のサイクロン３０−１，…，３０−ｎが収納されている。サイクロン３０−１は、ダストの含まれたガスが流入する入口３２−１と、ダストの分離されたガスが流出する出口を構成する内筒３４−１と、分離されたダストを回収する脚３６−１から構成されている。他のサイクロン３０−２，…，３０−ｎも、サイクロン３０ー１と同一サイズの同一の構成となっている。なお、サイクロンの詳細構造については、図２及び図３を用いて後述する。
【００１７】
各サイクロン３０−１，…，３０−ｎの入口３２−１，…，３２−ｎは、入口分配管２２に共通接続されている。第１段目の圧力容器２０の内部には、プレナム２４によって、上下２室に仕切られている。上室２６には、各サイクロン３０−１，…，３０−ｎの内筒３４−１，…３４−ｎが開口している。また、下室側のホッパ部２７には、各サイクロン３０−１，…，３０−ｎの脚３６−１，…３６−ｎが開口している。
【００１８】
入口分配管２２は、ダクト１２に接続されており、加圧流動層燃焼装置１０によって発生した燃焼排ガスは、ダクト１２を通過して、入口分配管２２により分配され、入口３２−１，…，３２−ｎを通って、各サイクロン３０−１，…，３０−ｎに供給される。供給された燃焼排ガスは、サイクロン３０−１，…，３０−ｎによって、ガスとダストに分離される。分離されたガスは、内筒３４−１，…３４−ｎから上室２６に流出し、連絡管２８から第２段目の圧力容器５０に供給される。
【００１９】
分離されたダストは、脚３６−１，…３６−ｎからホッパ部２７に噴出する。ホッパ部２７内のダストは、ダスト排出管２９から定量排出型の冷却器４０，仕切りバルブ４２，ダスト貯蔵タンク４４，弁４６，灰輸送ライン４８を介して系外に取り出される。
【００２０】
圧力容器２０に流入したダスト含有ガスは、複数の第１段目サイクロン３０−１，…，３０−ｎに分配供給され、各サイクロン内でダストの約９０％が分離される。
【００２１】
ここで、ガスタービンの出力を、例えば、８００００ｋＷとすると、加圧流動層燃焼装置１０によって発生する燃焼排ガスの流量は、例えば、１．２５×１０６Ｎｍ３／ｈｒである。一方、サイクロンで捕集するダストの粒径を１０μｍ以上とするとサイクロン３０−１，…，３０−ｎの外径は、１ｍφである。１．２５×１０６Ｎｍ３／ｈｒの燃焼排ガスのダスト分離を、１ｍφのサイクロンで行う場合、必要とされるサイクロンの本数ｎは、２４本である。従って、圧力容器２０の中には、２４本のサイクロン３０−１，…，３０−２４が収納されているが、この本数は、処理するガスの流量や捕集ダストの粒径によって異なるものであり、小型の動力回収の場合には、１本のサイクロンでよい場合もある。
【００２２】
サイクロン３０−１，…，３０−ｎによって、分離されたガスは、連絡管２８から第２段目の圧力容器５０に供給される。第２段目の圧力容器５０の内部には、ｎ本のサイクロン６０−１，…，６０−ｎが収納されている。サイクロン６０−１は、ダストの含まれたガスが流入する入口６２−１と、ダストの分離されたガスが流出する出口を構成する内筒６４−１と、分離されたダストを回収する脚６６−１から構成されている。
【００２３】
各サイクロン６０−１，…，６０−ｎの入口６２−１，…，６２−ｎは、入口分配管５２に共通接続されている。第２段目の圧力容器５０の内部は、プレナム５４によって、上下２室に仕切られている。上室５６には、各サイクロン６０−１，…，６０−ｎの内筒６４−１，…６４−ｎが開口している。また、下室側のホッパ部５７には、各サイクロン６０−１，…，６０−ｎの脚６６−１，…６６−ｎが開口している。
【００２４】
入口分配管５２は、連絡管２８に接続されており、第１段目のサイクロン３０−１，…，３０−ｎによって分離されたガスは、入口分配管５２により分配され、各サイクロン６０−１，…，６０−ｎに供給される。供給されたガスは、まだ、ダストを含んでおり、サイクロン６０−１，…，６０−ｎによって、さらに、ガスとダストに分離される。分離されたガスは、内筒６４−１，…６４−ｎから上室５６に流出し、連絡管５８からガスタービン８０に供給される。
【００２５】
分離されたダストは、脚６６−１，…６６−ｎからホッパ部５７に噴出する。ホッパ部５７内のダストは、ダスト排出管５９から定量排出型の冷却器７０，仕切りバルブ７２，ダスト貯蔵タンク７４，弁７６，灰輸送ライン７８を介して系外に取り出される。
【００２６】
さらに、第１段目のサイクロン３０の脚部側である第１段目の圧力容器２０のホッパ部２７は、ブローダウン管２５を経由して、第１段目の小サイクロン１００の入口１０２に接続されている。ホッパ部２７からは、サイクロン３０−１，…，３０−ｎによって分離されたダストが噴出するが、このダストの噴出とともに、ガスも流出してくる。このホッパ部２７に流出したガスからダストを分離するために、小サイクロン１００が使用される。
【００２７】
小サイクロン１００によって分離された浄化ガスは、小サイクロン１００の内筒１０４から流出し、戻り管１０６を経由して第１段目のサイクロン３０−１，…，３０−ｎの出口側である内筒３４−１，…，３４−ｎに接続された連絡管２８に流され、第２段目の圧力容器５０に流入する。また、小サイクロン１００によって分離されたダストは、小サイクロン１００の脚１０８から噴出する。ダストは、図示しない冷却器によって冷却された後、弁１１０，放出管１１２を経由して、ガスタービン８０の後流管８２に戻される。なお、後流管８２の後流には、脱硝装置，排熱回収器，集塵器等が接続される。
【００２８】
また、第２段目のサイクロン６０の脚部側である第２段目の圧力容器５０のホッパ部５７は、ブローダウン管５５を経由して、小サイクロン１２０に接続されている。ホッパ部５７からは、サイクロン６０−１，…，６０−ｎによって分離されたダストが噴出するが、このダストの噴出とともに、ガスも流出してくる。このホッパ部５７に流出したガスからダストを分離するために、小サイクロン１２０が使用される。
【００２９】
小サイクロン１２０によって分離された浄化ガスは、小サイクロン１２０の内筒１２４から流出し、戻り管１２６を経由して第２段目のサイクロン６０−１，…，６０−ｎの出口側である内筒６４−１，…，６４−ｎに接続された連絡管５８に流され、ガスタービン８０の初段に流入する。また、小サイクロン１２０によって分離されたダストは、小サイクロン１２０の脚１２８から噴出し、ダストは、図示しない冷却器によって冷却された後、弁１３０，放出管１３２を経由して、ガスタービン８０の後流管８２に戻される。
【００３０】
ここで、第１段目の小サイクロン１００によって分離した浄化ガスが流入すべき連絡管２８を流れるガスの圧力について検討してみる。
【００３１】
加圧流動層燃焼装置１０によって発生した燃焼排ガスが流れるダクト１２内の圧力を、例えば、１０気圧（ａｔｍ）とし、第１段目の圧力容器２０内に収納されたサイクロン３０−１，…，３０−ｎの全圧損を、例えば、約２０００ｍｍＡｑとすると、連絡管２８内の圧力は、（１０ａｔｍ−２０００ｍｍＡｑ）である。小サイクロン１００は、その外径を２０ｃｍφとすると、その圧損は、４００〜５００ｍｍＡｑである。ブローダウン管２５及び戻り管１０６の圧損は、約１００ｍｍＡｑ程度であるので、圧力容器２０のホッパ部２７の圧力は、連絡管２８内の圧力に比べて、５００〜６００ｍｍＡｑ程度高くないと、ホッパ部２７内のガスが、小サイクロン１００を経て、連絡管２８に流れないことになる。従来の特開平４−１９３３６４号公報に記載された方式では、ホッパ部２７側の圧力をそれほど高くできないため、ガスタービンの初段側にガスを戻すことができないものであったが、本実施の形態では、サイクロン３０の内筒３４の内径と脚３６の内径との関係に着目して、ホッパ部２７側の圧力を連絡管２８側の圧力に対し正圧となるように改善している。本実施の形態の原理について、図２乃至図４を用いて説明する。
【００３２】
図２は、本発明の一実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムに用いるサイクロンの断面図であり、図３は、図２の平面図である。
【００３３】
サイクロン３０は、その上部は２重の円筒形であり、外筒３３の内側に同心的に、内筒３４が固定されている。サイクロン３０の入口３２は、図３に示すように、サイクロン３０の上部の接線方向に接続されている。従って、入口３２より流入したガスとダストの混合物である燃焼排ガスは、旋回流となって、サイクロン３０の下部の脚３６方向に導かれる。サイクロン３０の上部と下部の間は、テーパ管状のコーン部３５によって接続されているため、旋回流の中のダストは、サイクロンのコーン部壁に付着し、ガスと分離される。一方、この旋回流の影響によって、内筒３４の内部の圧力は、図中に１点鎖線Ａで示すような圧力分布を生じることになる。即ち、内筒３４の中央部は、圧力が低く、強い負圧を発生し、内筒３４の管壁部で圧力が高くなる。この内筒３４の中心部の圧力の低下により、旋回流の中のガスは、内筒３４内に吸い上げられ、内筒３４の上端からガスが分離取り出されることになる。
【００３４】
サイクロン３０の形状，寸法は、従来より、ほぼ一義的に決まっており、図２中において、一部破線で示す形状が従来の形状であり、実線で示す形状が、本実施の形態による形状である。サイクロン３０の上部の内径をＤ１、内筒３４の内径をＤ２、サイクロン３０の上部の円筒形部の長さをＬ１、コーン部の長さをＬ２、従来の脚の内径をＤ３、本実施の形態による脚の内径をＤ４とする。従来は、それぞれ、内径Ｄ１を基準として、次のような関係にあった。
【００３５】
内筒の内径Ｄ２    ＝（０．５）・Ｄ１
円筒の長さＬ１    ＝                      Ｄ１
コーン部の長さＬ２＝          ３  ・Ｄ１
脚の内径Ｄ３            ＝（０．３）・Ｄ１＝（０．６）・Ｄ２
即ち、脚３６の内径Ｄ３は、内筒３４の内径Ｄ２よりも、小さくなっていた。サイクロン３０の大きさは、捕集するダストの粒径に応じて決まるものであり、捕集するダストの粒径を１０μｍ以上とする場合には、円筒部の内径Ｄ１を１ｍφとし、１μｍで切る場合には、円筒部の内径Ｄ１を２０ｃｍφとし、それ以外の寸法は、上述の比例関係に基づいて、定めるようにしていた。これらは、ガスとダストを効率良く分離し、内筒からガスを流出させ、脚からダストを流出させるようにして定められていた。
【００３６】
しかしながら、上述したような寸法関係においては、内筒３４の出口側（図中の上部側）の圧力は、脚３６の出口側（図中の下部側）の圧力よりも高くなっていた。即ち、脚部の吐出圧は、内筒の吐出圧に比べて、負圧となっていた。これを、図１の関係でみると、ホッパ部２７の圧力が、連絡管２８の圧力に対して、負圧になることに相当し、このような圧力関係では、小サイクロン１００で分離したガスを連絡管２８側に流出できないことになる。これは、図２において、１点鎖線Ａで示す圧力分布の影響があるためであり、内筒３４の内径Ｄ２に比べて、脚３６の内径Ｄ３が小さいことにより、内筒３４内の圧力の低い部分，即ち、負圧領域が脚３６の部分まで伸びることにより、脚３６の内部圧力が低下するためである。
【００３７】
そこで、本実施の形態では、サイクロンの形状を図２に実線で示すような形状としている。即ち、脚３６の内径Ｄ４を内筒３４の内径Ｄ２に比べて大きくしてある。それ以外の寸法，Ｄ１，Ｄ２，Ｌ１，Ｌ２については、上述したものと同一としてある。従って、サイクロン３０の上部の円筒形部の外径Ｄ１に対して、
脚の内径Ｄ４＝（０．６）・Ｄ１＝（１．２）・Ｄ２
としてある。このような脚の形状・寸法とすることにより、脚３６の内径Ｄ４は、内筒３４の内径Ｄ２に比べて大きくしてあるため、内筒３４内の圧力分布Ａの圧力の低い部分の影響を受けることなく、内筒３４の出口側（図中の上部側）の圧力は、脚３６の出口側（図中の下部側）の圧力よりも低くなる。即ち、脚部の吐出圧は、内筒の吐出圧に比べて、正圧となる。サイクロン３０の外筒部で発生した旋回流が脚３６内の外周部からホッパ２７に流入し、内筒３４の中心部で発生する負圧域に打ち勝ち、ホッパ２７内が正圧となる。これを、図１の関係でみると、ホッパ部２７の圧力が、連絡管２８の圧力に対して、正圧になることに相当し、このような圧力関係となることにより、小サイクロン１００で分離したガスを連絡管２８側に流出できるようになる。即ち、サイクロンの正圧発生手段として、本実施の形態では、サイクロンの脚径を内筒径に比べて大きくする構成を採用している。
【００３８】
次に、図４を用いて、サイクロンの内筒の内径に対する脚径の内径の比（脚径／内筒径）と、サイクロンの脚部の圧力と内筒出口の圧力の関係について説明する。
図４は、本発明の一実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムに用いるサイクロンにおける脚径／内筒径と、サイクロンの脚部の圧力と内筒出口の圧力の関係を示すグラフである。
【００３９】
図４において、縦軸は、サイクロン３０の脚部３６の底部の圧力から内筒３４の出口の圧力を減算したものを、サイクロン３０の全圧損で割った数値を示している。
【００４０】
従来は、脚径／内筒径は、０．６であり、脚径は、内筒径に比べて小さくしていたため、縦軸の値は、負の値となっていた。これは、脚部の吐出圧が、内筒の吐出圧に比べて、負圧となっていることを示している。それに対して、脚径／内筒径を１以上とすることにより、縦軸の値は、正の値を取り得るものとなった。即ち、脚部の吐出圧が、内筒の吐出圧に対して、正圧となる。
【００４１】
次に、再度、図１を用いて、本発明の一実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムの動作について説明する。
【００４２】
加圧流動層燃焼装置１０は、層温度を８６０℃、圧力１０気圧程度で運転する。ガスタービン８０の出力を８００００ｋＷとすると、加圧流動層燃焼装置１０によって発生する燃焼排ガスの流量は、例えば、１．２５×１０６Ｎｍ３／ｈｒである。一方、サイクロン３０で捕集するダストの粒径を１０μｍ以上にするとサイクロン３０の径（図２における円筒形部の内径Ｌ１）は、１ｍφである。１．２５×１０６Ｎｍ３／ｈｒの燃焼排ガスのダスト分離を、１ｍφのサイクロンで行う場合、必要とされるサイクロンの本数ｎは、２４本である。
【００４３】
サイクロン３０の各部の寸法は、外筒３３の内径Ｄ１＝１ｍφ，内筒３４の内径Ｄ２＝５０ｃｍφ，円筒の長さＬ１＝１ｍ，コーン部の長さＬ２＝３ｍであり、脚の内径Ｄ３＝６０ｃｍφとしてある。即ち、脚径／内筒径（Ｄ３／Ｄ２）＝１．２としてある。これは、第１段目のサイクロン３０に接続される第１段目の小サイクロン１００（入口流速が３０ｍ／ｓ）の圧損（４００ｍｍＡｑ）とブローダウン管２５及び戻り管１０６の圧損を加えた圧損（１００ｍｍＡｑ）の全圧損（５００ｍｍＡｑ）に対して、サイクロン３０の脚底部と内筒出口の間の圧力差を大きくするようにするためである。
【００４４】
以上のように構成することにより、ダクト１２から第１段目のサイクロン３０に供給するガスを１００％とすると、連絡管２８を流れるガス量は、９８．５％であり、第１段目の小サイクロン１００には、１．５％のガスが流れる。
【００４５】
小サイクロン１００は、２０ｃｍφのサイクロンである。小サイクロン１００の入口１０２から流入したガスの内、９７％は、内筒１０４から流出し、戻り管１０６を経由して、連絡管２８に戻り、３％は、脚部１０６から放出管１１２に流出する。即ち、ダクト１２を流れるガス量の内、０．０４５％が放出管１１２から放出される。
【００４６】
また、小サイクロン１００の脚径／内筒径比も、１．２としてある。これは、小サイクロン１００の脚底部１０８の圧力が、小サイクロン１００の内筒１０２の出口圧より高い状態となるので、小サイクロン１００の脚底部１０８からブローダウンした場合、小サイクロンの上流にある第１段目サイクロン２０のホッパ２７からのみガスを導入できる。換言すれば、小サイクロン１００の内筒１０２側の出口から脚１０８へのガス逆流の防止を図ることができる。
【００４７】
さらに、小サイクロン１００の内筒１０４に接続された戻り管１０６には、圧力差を測定する差圧計１１４を設けてある。弁１１０を開くことで、放出管１１２に流出するガス量は変化できる。弁１１０を全開とすれば、戻り管１０６からガスが逆流（サイクロン内筒の出口から本体方向にガスが流れる）する。そこで、差圧計１１４の計測値，制御回路１１６により、弁１１０の開度を調節し、戻り管１０６でのガスの逆流を防止する。
【００４８】
次に、２段目のサイクロン６０について説明する。サイクロン６０で捕集するダストの粒径を１０μｍ以上とするために、サイクロン６０の径Ｄ１は、サイクロン３０と同じく、１ｍφである。サイクロンの本数ｎは、同じく、２４本である。
【００４９】
サイクロン６０の各部の寸法は、内筒６４の内径Ｄ２＝５０ｃｍφ，円筒の長さＬ１＝１ｍ，コーン部の長さＬ２＝３ｍであり、サイクロン３０と同じである。但し、脚の内径Ｄ３＝６５ｃｍφとしてある。即ち、脚径／内筒径（Ｄ３／Ｄ２）＝１．３としてある。これは、第２段目のサイクロン６０に接続される第２段目の小サイクロン１２０の圧損（４００ｍｍＡｑ）とブローダウン管５５及び戻り管１２６の圧損を加えた圧損（１００ｍｍＡｑ）の全圧損（５００ｍｍＡｑ）に対して、サイクロン６０の脚底部と内筒出口の間の圧力差を大きくするようにするためである。また、２段目のサイクロン６０の方が、流入するガスの圧力が低下していること及び、２段目のサイクロン６０の方が、圧損が大きいことを考慮して、脚径／内筒径＝１．３としてある。
【００５０】
以上のように構成することにより、連絡管２８から第２段目のサイクロン６０に供給するガスを１００％とすると、連絡管５８を流れるガス量は、９８．５％であり、第２段目の小サイクロン１２０には、１．５％のガスが流れる。
【００５１】
小サイクロン１２０は、２０ｃｍφのサイクロンである。小サイクロン１２０の入口１２２から流入したガスの内、９７％は、内筒１２４から流出し、戻り管１２６を経由して、連絡管５８に戻り、３％は、脚部１２６から放出管１３２に流出する。即ち、連絡管２８を流れるガス量の内、０．０４５％が放出管１３２から放出される。
【００５２】
なお、連絡管２８を流れるガス量は、ダクト１２を流れるガス量を１００％とすると、９９．９５５％となっている。即ち、放出管１３２から放出されるガス量は、ダクトを流れるガス量の０．０４４９８％である。放出管１１２から放出されるガス量０．０４５％と合わせると、放出全ガス量は、０．８９９８％となる。これは、脚径／内筒径＝０．６とした場合の放出全ガス量の２．７８％に比べて、１．９％も向上することになる。
【００５３】
また、小サイクロン１２０の脚径／内筒径比も、１．３としてある。これは、小サイクロン１２０の脚底部１２８の圧力が、小サイクロン１２０の内筒１２２の出口圧より高い状態となるので、小サイクロン１２０の脚底部１２８からブローダウンした場合、小サイクロンの上流にある第２段目サイクロン６０のホッパ５７からのみガスを導入できる。換言すれば、小サイクロン１２０の内筒１２４側の出口から脚１２８へのガス逆流の防止を図ることができる。
【００５４】
さらに、小サイクロン１２０の内筒１２４に接続された戻り管１２６には、圧力差を測定する差圧計１３４を設けてある。弁１３０を開くことで、放出管１３２に流出するガス量は変化できる。弁１３０を全開とすれば、戻り管１３６からガスが逆流（サイクロン内筒の出口から本体方向にガスが流れる）する。そこで、この差圧計１３４の計測値，制御回路１３６により、弁１３０の開度を調節して、戻り管１０６でのガスの逆流を防止する。
【００５５】
なお、本実施の形態では、小サイクロンの入口流速が３０ｍ／ｓの時の全圧損、ブローダウン管、戻り管の各圧損を加算して、これに見合う圧力差を得るため第１段目、第２段目のサイクロンの脚径／内筒径の比を決定したが、ブローダウン系の圧損がこれより大きい場合、小さい場合には脚径／内筒径の比を変え圧力のバランスをとればよい。
【００５６】
なお、本発明は、高温，高圧ガスからの除塵システムであれば、ガスタービンによる動力回収以外の分野に適用できるものである。ガスタービンの場合には、１０気圧，８６０℃程度の高温，高圧ガスであるが、それよりも、圧力の低い，例えば、流動層触媒分解装置（ＦＣＣ）で発生したガスを、膨張タービンによって動力回収するシステムにも適用できる。この場合には、３〜５気圧，８６０℃程度の高温，高圧ガスである。
【００５７】
遠心力を利用したサイクロンでは、１本当たりの処理量に限界があるため、大型化時にはマルチ化してマルチサイクロンとしている。この場合、各サイクロンに同量のガス、ダストが流入すれば、各々の集塵効率は単一のサイクロンと同じになる。しかし、現実には、入口配管の曲がり等による影響を受けて、各サイクロンには同量のガス、ダストは流入しない。その結果、各サイクロン間の脚底部にはガスの迂回が起こり、全体の集塵効率は低下する。小サイクロンを用いるブローダウンは、各サイクロンの脚からガスを引き抜くものであり、マルチサイクロンにおいては、効率低下を防止し得るものとなる。また、シングルサイクロンにおいても、小サイクロンを用いるブローダウンは、効率向上に寄与するものである。
【００５８】
本実施の形態によれば、ガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムにおけるガスの回収効率を向上できる。
【００５９】
第１段および第２段のサイクロンに、１ｍφのサイクロンを２４本づつ用い、第１段目のサイクロンの脚径／内筒径比を１．２とし、第２段目のサイクロンの脚径／内筒径比を１．３とし、第１段目のサイクロンの脚から２０ｃｍφの第１段目の小サイクロンの入口に接続し、分離したガスを内筒から第１段目のサイクロンの出口側に戻し、また、第２段目のサイクロンの脚から２０ｃｍφの第２段目の小サイクロンの入口に接続し、分離したガスを内筒から第２段目のサイクロンの出口側に戻す構成とすることにより、ガスの回収率を１．９％向上できる。
【００６０】
また、第１段および第２段の小サイクロンの脚径を内筒径よりも大きくすることにより、小サイクロンの出口側から脚へのガスの逆流を防止できる。即ち、各小サイクロンの脚底部の圧力が、小サイクロンの出口圧より高い状態となるので、小サイクロンの脚底部からブローダウンした場合、各小サイクロンの上流にある第１段目、第２段目のサイクロンのホッパからのみガスを導入できる。
【００６１】
また、小サイクロンの戻り管の差圧を測定し、内筒側の圧が高い間は、ガスの逆流は起こっていないと判断でき、ブローダウン量はこの圧力を基準にして監視可能となる。
【００６２】
次に、図５及び図６を用いて、本発明の他の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムに用いるサイクロンについて説明する。
図５は、本発明の他の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムに用いるサイクロンの断面図であり、図６は、図５の平面図である。
【００６３】
なお、本発明の他の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムの全体構成については、図１に示した構成と同様である。
【００６４】
サイクロン３０は、その上部は２重の円筒形であり、外筒３３の内側に同心的に、内筒３４が固定されている。サイクロン３０の入口３２は、図６に示すように、サイクロン３０の上部の接線方向に接続されている。従って、入口３２より流入したガスとダストの混合物である燃焼排ガスは、旋回流となって、サイクロン３０の下部の脚３６方向に導かれる。サイクロン３０の上部と下部の間は、コーン部によって接続されているため、旋回流の中のダストは、サイクロンのコーン部壁に付着し、ガスと分離される。一方、この旋回流の影響によって、内筒３４の内部の圧力は、中央部が圧力が低く、強い負圧を発生し、内筒３４の管壁部で高くなる。この内筒３４の中心部の圧力の低下により、旋回流の中のガスは、内筒３４内に吸い上げられ、内筒３４の上端からガスが分離取り出されることになる。
【００６５】
サイクロン３０の上部の内径をＤ１、内筒３４の内径Ｄ２、サイクロン３０の上部の円筒形部の長さをＬ１、コーン部部の長さをＬ２、脚の内径をＤ５とする。各部のサイズは、それぞれ、内径Ｄ１を基準として、次のような関係としている。
【００６６】
内筒の内径Ｄ２    ＝（０．５）・Ｄ１
円筒の長さＬ１    ＝                      Ｄ１
コーン部の長さＬ２＝          ３  ・Ｄ１
脚の内径Ｄ５            ＝（０．３）・Ｄ１
即ち、脚３６の内径Ｄ５は、内筒３４の内径Ｄ２よりも、小さくなっており、このままでは、内筒３４の出口側（図中の上部側）の圧力は、脚３６の出口側（図中の下部側）の圧力よりも高くなり、脚部の吐出圧は、内筒の吐出圧に比べて、負圧となる。
【００６７】
そこで、本実施の形態による正圧発生手段としては、内筒３４の内部に隔壁３８Ａ，３８Ｂを設けている。隔壁３８Ａ，３８Ｂは、互いに直交する長方形の板であり、内筒３４の軸方向に延在している。かかる構成とすることにより、内筒３４内に流入する旋回流の旋回を停止させることができ、内筒３４の出口側（図中の上部側）の圧力は、脚３６の出口側（図中の下部側）の圧力よりも低くなる。即ち、脚部の吐出圧は、内筒の吐出圧に比べて、正圧となる。これを、図１の関係でみると、ホッパ部２７の圧力が、連絡管２８の圧力に対して、正圧になることに相当し、このような圧力関係となることにより、小サイクロン１００で分離したガスを連絡管２８側に流出できるようになる。
【００６８】
なお、以上の例では、２枚の隔壁を十字型にクロスさせて内筒に取り付けているが、サイクロンの外径に応じては、１枚の隔壁にすることもできる。特に、内筒内に設けた隔壁は、圧力の損失やダストの付着による流路の縮小の問題があるので、サイクロンの外径が小さい場合には、１枚の隔壁とする必要がある。または、隔壁は、２枚のままとして、その内筒の軸方向の全長を短くしてもよい。
【００６９】
また、隔壁に代えて、ダストトラップの中心軸（同心軸）に円錐物を挿入する方法も採用できる。
【００７０】
本実施の形態によれば、ガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムにおけるガスの回収効率を向上できる。
【００７１】
ここで、正圧発生手段としては、サイクロンの内筒内に隔壁を設けることにより、サイクロンの脚部側のホッパから小サイクロンにガスを流入し、分離したガスをサイクロンの出口側に回収することができる。
【００７２】
次に、図７を用いて、本発明の第３の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムについて説明する。
図７は、本発明の第３の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムの全体構成図である。
【００７３】
ガス流れに直列に、第１段目及び第２段目のサイクロンを配置したサイクロンシステムでは、後流側サイクロンほど流入するダスト粒子径が小さく、サイクロン入口と内部、出口及び脚内でのダストの付着、閉塞が問題となる。特に、サイクロンを高温、高圧で運転していると、ガス流れの乱れた部分（淀み部、渦流部）には、微細なダストが付着あるいは固着し、サイクロン圧損が増加する。
【００７４】
そこで、本実施の形態では、サイクロンの入口と内部、出口での付着、閉塞を検知するため、第２段目のサイクロンの入口，出口間の差圧を測定する。差圧が上昇した場合は第２段目のサイクロンの入口配管に、サイクロンの分離限界径以上の粒子径、好ましくは５倍以上の粒子径を持つ固体（石灰石、ケイ砂、第１段目サイクロンで捕集したダスト等）を供給し、入口と内部の付着物を剥離するようにしている。なお、分離限界径以上の粒子径とは、換言すると、サイクロンによって捕集可能な粒子径ということである。
【００７５】
以下に、図７に示すサイクロンシステムの構成・動作について説明するが、図１と同一符号は、同一部分を示している。また、図１で説明したのと重複する説明は省略する。
【００７６】
本実施の形態においては、第２段目のサイクロン６０の入口の連絡管２８の内部の圧力を取り出す圧力取出管１５０Ａが接続されている。また、第２段目のサイクロン６０の出口の連絡管５８の内部の圧力を取り出す圧力取出管１５０Ｂが接続されている。圧力取出管１５０Ａ及び圧力取出管１５０Ｂは、それぞれ、差圧発信器１５２に接続されており、差圧発信器１５２によって、第２段目のサイクロン６０の入口と出口の間の圧力差を検出し、サイクロン内の付着状況を監視するようにしている。
【００７７】
さらに、第２段目のサイクロン６０の入口には、固体供給管１５４が開孔接続されている。固体供給管１５４には、バルブ１５６を介して、固体を一定量で供給する定量供給器１５８が接続されている。定量供給器１５８の上流には、固体１６２を入れておく固体貯蔵容器１６０が接続されている。固体貯蔵容器１６０の上流には、固体の入れ口を閉止するバルブ１６４が設けられている。以上によって、固体供給系を構成している。
【００７８】
制御回路１６６は、差圧発信器１５２の差圧検出信号を監視しながら、圧損上昇時には、バルブ１５４を開いて、固体１６２を一立方米当たり２ｇ供給するようにしている。
【００７９】
これにより、付着物は剥離でき、上昇していた圧力は低下させることができる。
【００８０】
なお、図７の固体貯蔵容器には、固体を充填した後、加圧するライン、あるいは充填時に減圧するライン等は省略してある。
【００８１】
固体としては、平均粒子径で０．５ｍｍの砂を用いたが、これに限定されるものではなく、使用粒子の径はサイクロンで捕集可能なものならよい。即ち、サイクロンの分離限界径以上の粒子径、好ましくは５倍以上の粒子径を持つ固体を用いることができる。固体としては、プラントで使用する石灰石、砂、第１段目のサイクロンで捕集した物等が利用できる。
【００８２】
なお、第２段目のサイクロンの上流にある第１段目のサイクロンの脚部から、何れか１本のサイクロンに系外よりガスを導入して捕集ダストを飛散させ、第２段目サイクロンに流入する方法も付着物の剥離に有効である。この方法は微細なダストも飛散するため、剥離効果は多少劣るが、付着量が少ない場合には有用である。また、脚部からのダスト飛散によって、出口の付着物は剥離される。
【００８３】
本実施の形態によれば、ガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムにおけるガスの回収効率を向上できる。
【００８４】
また、サイクロン内に付着したダストを剥離し、閉塞を防止することができる。
【００８５】
次に、図８を用いて、本発明の第４の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムについて説明する。
図８は、本発明の第４の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムの全体構成図である。
【００８６】
サイクロンの脚内のダスト付着が進行し、脚内が閉塞すると、サイクロンに流入したダストはすべて後流に排出される。そこで、本実施の形態では、サイクロンの出口のダスト濃度を計測して検知し、小サイクロンのブローダウン量を最大まで増加し、脚内の下降流れを強化し、閉塞物を除去するようにしている。また、閉塞除去ができない場合は、運転を停止する。
【００８７】
以下に、図８に示すサイクロンシステムの構成・動作について説明するが、図１と同一符号は、同一部分を示している。また、図１で説明したのと重複する説明は省略する。
【００８８】
本実施の形態では、ガスタービン入口には、抽気管１７０が接続され、ダストの一部を抽出するようにしている。抽気管１７０の途中には、ストップバルブ１７２を設け、ダスト濃度の計測時のみ、ストップバルブ１７２を開くようにしている。さらに、抽気管１７０には、絞り１７４を設けている。ガスタービン８０の入口部におけるガスの圧力は、１０気圧程度と高いため、この圧力を絞り１７４によりほぼ大気圧まで低下させるようにする。絞り１７４は、高温下でのダスト摩耗を考慮して、セラミック製としている。さらに、流量調節弁１７６を設け、流量を調節する。
【００８９】
一方、抽気したガスを希釈するため、浄化空気１７８が導入され、流量計１８０によって、浄化空気１７８の流量を調整する。浄化空気はその量を計測して、抽気ガス量の１００倍になるように調節してある。また、浄化空気は、抽気ガスを冷却するにも利用する。
【００９０】
流量調節弁１７６によって、流量を調節されたガスは、浄化空気１７８によって希釈され、ダスト計測器１８２に導入され、ダスト濃度が計測される。計測されたダストは、ガス排出管１８４から放出される。
【００９１】
また、計測されたダスト濃度は、信号変換器１８５によって電気信号に変換された後、制御回路１８６に送られる。制御回路１８６は、計測したダスト濃度が、規定値以上になると、第２段目の小サイクロン１２０の脚１２８からのガス抜き出し量を弁１３０によって増加し、ブローダウン量の増加により第２段目のサイクロン６０の効率向上、及び脚部の閉塞除去を図っている。
【００９２】
本実施の形態によれば、サイクロンシステムにおけるガスの回収効率を向上できる。
【００９３】
また、ガスタービンの入口のダスト濃度を計測し、ダスト濃度が高くなると、第２段目の小サイクロンの脚からのガス抜き出し量を増加し、ブローダウン量の増加により第２段目のサイクロンの効率向上、及び脚部の閉塞除去を行える。
【００９４】
次に、図９を用いて、本発明の第５の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムについて説明する。
図９は、本発明の第５の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムの全体構成図である。
【００９５】
図１，図７，図８と同一符号は、同一部分を示し、その構成・動作については、図１，図７，図８にて説明したものと同じであり、その詳細な説明は省略するが、第１段目のサイクロン３０の出口側に、第２段目のサイクロン６０が縦列接続されている。サイクロン３０，６０は、入口３２，６２より流入したガスを旋回させ、このガス中に含まれる固体成分を遠心力により分離して脚部３６，６６側から噴出し、固体成分の除去されたガスを内筒３４，６４側から取り出す。
【００９６】
第１段目の小サイクロン１００は、第１段目のサイクロン３０の脚部３６側から噴出するガスをその入口１０２より導入し、導入したガスを旋回させて、このガス中に含まれる固体成分を遠心力により分離して脚部１０８から噴出させ、固体成分の除去されたガスを内筒１０４側から取り出して第１段目のサイクロン３０の内筒３４側から取り出されたガスに合流回収する。第２段目の小サイクロン１２０も、第２段目のサイクロン６０に並列接続されている。サイクロン３０，６０の脚径をサイクロン３０，６０の内筒径よりも大きくして、サイクロンの内筒の出口圧に対して脚の出口圧を正圧とするようにしている。
【００９７】
複数本（ｎ本）のサイクロン３０−１，…，３０−ｎを圧力容器２０内に収納したマルチサイクロンでは、各サイクロンで捕集したダストをホッパ部２７に集めてダスト排出管２９から抜き出している。一定運転時の排出は安定であっても、負荷変化時，すなわち，１００％の負荷で運転している時の圧力に対し、負荷を５０％に低下する時には系全体が減圧され、ダストを排出する排出管２９の下に接続される機器（冷却器、ダスト貯蔵タンク等）からガスとダストの逆流が発生し、ホッパ部２７の底部の側壁部でダストがブリッジングする。放置するとダスト排出管２９が詰まるので、負荷変化時には、第１段目のパージ供給管１９０から圧縮ガスをホッパ部２７の底部の側壁部に噴出して、負荷変化時での排出管の閉塞を防止できる。
【００９８】
また、同様にして、負荷変化時には、第２段目のパージ供給管１９２から圧縮ガスをホッパ部５７の底部の側壁部に噴出して、負荷変化時での排出管の閉塞を防止できる。
【００９９】
さらに、ダストによるサイクロン３０，６０内のダスト付着，閉塞トラブルは、特に、高温，高圧で運転するプラントの起動，停止時に起こりやすい。その理由は、起動時にはサイクロン等の壁は冷えており、燃焼排ガス中の水分が壁に凝縮して、ここにダストが付着するためである。これを防止するため、第１段目のサイクロン３０の上流側のダクト１２の途中からドライガス２００を供給して、水分の分圧を下げる。
【０１００】
また、同様にして、運転停止時にも、水分等の凝縮を防止するために、第１段目のサイクロン３０の上流側のダクト１２の途中からドライガス２００を供給して、水分の分圧を下げる。
【０１０１】
なお、ドライガスとしては、例えば、コンプレッサで圧縮された空気を使用する。
【０１０２】
本実施の形態によれば、ガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムにおけるガスの回収効率を向上できる。
【０１０３】
また、負荷変化時には、パージ供給管から圧縮ガスをホッパ部の底部の側壁部に噴出して、負荷変化時での排出管の閉塞を防止できる。
【０１０４】
また、運転起動時や停止時には、サイクロンの上流側からドライガスを供給して、水分の分圧を下げ、水分等の凝縮防止を防止できる。
【０１０５】
【発明の効果】
本発明によれば、ガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムにおけるガスの回収効率を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムの全体構成図である。
【図２】本発明の一実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムに用いるサイクロンの断面図である。
【図３】図２の平面図である。
【図４】本発明の一実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムに用いるサイクロンにおける脚径／内筒径と、サイクロンの脚部の圧力と内筒出口の圧力の関係を示すグラフである。
【図５】本発明の他の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムに用いるサイクロンの断面図である。
【図６】図５の平面図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムに用いるサイクロンの断面図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムに用いるサイクロンの断面図である。
【図９】本発明の第５の実施の形態によるガス中の固体成分を分離するサイクロンシステムに用いるサイクロンの断面図である。
【符号の説明】
１０…加圧流動層燃焼装置
１２…ダクト
２０…第１段目の圧力容器
２２，５２…入口分配管
２４，５４…プレナム
２６，５６…上室
２７，５７…ホッパ部
２８，５８…連絡管
２９，５９…ダスト排出管
３０−１，…，３０−ｎ…第１段目のサイクロン
３２−１，…，３２−ｎ，６２−１，…，６２−ｎ…入口
３４−１，…３４−ｎ，６４−１，…６４−ｎ…内筒
３６−１，…３６−ｎ，６６−１，…，６６−ｎ…脚
４０，７０…冷却器
４２，７２…仕切りバルブ
４４，７４…ダスト貯蔵タンク
４６，７６…弁
４８，７８…灰輸送ライン
５０…第２段目の圧力容器
６０−１，…，６０−ｎ…第２段目のサイクロン
８０…ガスタービン
８２…後流管
１００，１２０…小サイクロン
１０２，１２２…入口
１０４，１２４…内筒
１０６，１２６…戻り管
１０８，１２８…脚
１１０，１３０…弁
１１２，１３２…放出管
１１４，１３４…差圧計
１１６，１３６…制御回路
１５０Ａ，１５０Ｂ…圧力取出管
１５２…差圧発信器
１５４…固体供給管
１５６，１６４…バルブ
１５８…定量供給器
１６０…固体貯蔵容器
１６２…固体
１６６…制御回路
１７０…抽気管
１７２…ストップバルブ
１７４…絞り
１７６…流量調節弁
１８０…流量計
１８２…ダスト計測器
１８４…ガス排出管
１８６…制御回路
１９０，１９２…パージ供給管
２００…ドライガス
【図１】
0003625980.tif 000002
【図２】
0003625980.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0003625980.tif 000007
【図７】
0003625980.tif 000008
【図８】
0003625980.tif 000009
【図９】
0003625980.tif 000010