(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上に貼りつけられたホトレジストを保護するフィルムを剥離する剥離手段と該剥離手段で該基板から剥離したフィルムをフィルム収納箱上まで搬送して該フィルム収納箱に落下させるフィルム搬送手段を有するフィルム剥離装置において、
フィルムが該フィルム搬送手段から該フィルム収納箱に落下する箇所の両側にクランプ板とガイドローラの駆動手段を設け、該フィルム搬送手段から落下するフィルムの先端部が該ガイドローラの高さに達したことを検出する先端検出手段を設けてあり、該駆動手段は該先端検出手段が該フィルム搬送手段から落下するフィルムの先端部を検出すると該ガイドローラを該クランプ板に向けて前進させて該フィルム搬送手段から落下するフィルムを該クランプ板と該ガイドローラとで挟持させてから該ガイドローラを該クランプ板から後退させるようになされており、それによって該フィルム搬送手段から落下するフィルムは該クランプ板と該ガイドローラとで挟持された後側が該フィルム搬送手段から落下を続けることにより該ガイドローラに懸架された形となり、該ガイドローラが該クランプ板から後退するときに該フィルムはその後端側から該フィルム収納箱に落下することを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
上記請求項１のフィルム剥離装置において、フィルム収納箱の上方部に該フィルム収納箱の内部に蓄積されたフィルムまでの高さを検出する高さ検出センサーを設け、該駆動手段は該高さ検出センサーが検出する該フィルム収納箱のフィルム高さに従って該ガイドローラがクランプ板側への前進する速度を調整し、該ガイドローラに懸架されるフィルムの両側の長さを調整するようになされていることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３】
基板の上に貼りつけられたホトレジストを保護するフィルムを剥離する剥離手段と該剥離手段で該基板から剥離したフィルムをフィルム収納箱上まで搬送して該フィルム収納箱に落下させるフィルム搬送手段を有するフィルム剥離装置において、
フィルムが該フィルム搬送手段から該フィルム収納箱に落下する箇所の両側にシャフトとガイドローラの駆動手段を設け、該フィルム搬送手段から落下するフィルムの先端部が該ガイドローラの高さに達したことを検出する先端検出手段を設けてあり、該駆動手段は該先端検出手段が該フィルム搬送手段から落下するフィルムの先端部を検出すると該ガイドローラを該シャフト側に向けて前進させて該ガイドローラが該フィルム搬送手段から落下するフィルムをその長さの略半分の位置で懸架すると該ガイドローラを該シャフト側から後退させるようになされており、該ガイドローラが回転されることで該ガイドローラに懸架されたフィルムが該フィルム収納箱に落下するようになされていることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項４】
上記請求項３のフィルム剥離装置において、該駆動手段は該ガイドローラが該フィルム搬送手段から落下するフィルムをその長さの略半分の位置で懸架することをフィルムを懸架したまま繰り返して行なうようになされたものであることを特徴とするフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント配線回路基板や、液晶表示装置用カラーフィルタ、プラズマディスプレイ用の前面板、後面板などの基板の製造工程での回路配線や隔壁等の形成のために基板（銅張積層板、ガラス板、エポキシ樹脂などからなるフィルム状の板などを言い、以下これらを基板と記す）に貼り付けられた感光性樹脂（以下レジストと記す）を保護するための透光性樹脂フィルム（以下フィルムと記す）を、多くは露光後（または時に露光前）に剥離する事に使用されるフィルム剥離装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の一般的なフィルム剥離装置では、剥離されたフィルムは、特公平7−17308号公報の図面に示してある排出容器（本明細書では、以下、収納箱と記す）に排出収納される様になっている。この収納箱に出来るだけ多数枚のフィルムを収納出来るならば、フィルム剥離装置を停止してフィルムを廃棄する回数を減らすことが出来てフィルム剥離装置の運転効率の向上を図ることが可能となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前述の収納箱に導かれるフィルムは、ほぼ自由落下に近い状態で落下して収納箱に入って行く為、落下の途中でフィルムが折り曲がったりすると、時によっては僅か十数枚で満杯となり、続いてのフィルムの収納が阻止される状況になるとも多い。この状況では、フィルム剥離装置の運転を停止して収納箱の内部のフィルムを取り除かねばならないので安定した装置の運転を保証出来なくなる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する為、本発明では、基板の上に貼りつけられたホトレジストを保護するフィルムを剥離する剥離手段と該剥離手段で該基板から剥離したフィルムをフィルム収納箱上まで搬送して該フィルム収納箱に落下させるフィルム搬送手段を有するフィルム剥離装置において、フィルムが該フィルム搬送手段から該フィルム収納箱に落下する箇所の両側にクランプ板とガイドローラの駆動手段を設け、該フィルム搬送手段から落下するフィルムの先端部が該ガイドローラの高さに達したことを検出する先端検出手段を設けてあり、該駆動手段は該先端検出手段が該フィルム搬送手段から落下するフィルムの先端部を検出すると該ガイドローラを該クランプ板に向けて前進させて該フィルム搬送手段から落下するフィルムを該クランプ板と該ガイドローラとで挟持させてから該ガイドローラを該クランプ板から後退させるようになされており、それによって該フィルム搬送手段から落下するフィルムは該クランプ板と該ガイドローラとで挟持された後側が該フィルム搬送手段から落下を続けることにより該ガイドローラに懸架された形となり、該ガイドローラが該クランプ板から後退するときに該フィルムはその後端側から該フィルム収納箱に落下するようにした。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下本発明を適用した実施例を図面（図１〜図４）を用いて説明する。尚全図において、同一機能を有するものは同一符号をつけ、その繰り返しの説明は省略する。
図１はフィルム剥離装置の概略模写側面図である。
基板1は搬送手段2に依り剥離手段3a,3bの位置まで搬送され、3a,3bによって基板1に貼り付けられたレジストを保護するフィルム5a,5bを剥離して、フィルム搬送手段4a,4bに依って収納箱6a,6b の上部まで搬送され、更に収納箱へと落下排出される。ここで、剥離手段3a,3bフィルム搬送手段4a,4bの構造、構成、機能、作用などについては、本発明においては特に拘わるものでは無い。
【０００６】
図２は、本発明による装置を具備しない場合、即ち発明が解決しようとする課題の項で説明した不具合な現象を模式的に表したものである。
【０００７】
図３（図３Ａ〜図３Ｄ）は本発明の実施の一例を説明するものである。図中図１の上側の一部を表しているが添符号aは省略してある。
図３において、センサー10は収納箱の内部に蓄積されたフィルムの高さＨを検出する高さ検出センサーである。
図３Ａに示す様に、フィルム搬送手段4により収納箱の上に達したフィルム5の先端は、さらに下方へ排出を続け、ガイドローラ（またはシャフト、以下ガイドローラと記す）7の高さに達すると、図示を省略した検出器及びタイマー（先端検出手段）などの働きによって検出され、それに引き続いてガイドローラ7が駆動手段9（例えばエアシリンダー）により、フィルム5の落下方向に対して直角右方向に移動し、クランプ板8との間にフィルム5を挟持する（図３Ｂ）。説明の為、この挟持部から下に懸架されたフィルム5の部分に5‘の符号を付ける。
フィルム5は更に落下を続けるので、フィルムの後端はフィルム収納箱6の中の底に着くか、その直上に達する（図３Ｃ）。次に再びタイマーや検出器によって、ガイドローラ7は駆動手段により左方に後退する。
この後退動作の間にフィルムの部分5’はフィルムの後端側の重さで引っ張られ、フィルム5はその後端側からガイドローラ7の円周に沿って緩やかにフィルム収納箱6の中へと落下する。
このようにフィルム5は一連の動作の間に自由落下がガイドローラ７により規制されるので、図２のように折り曲がることはなく、剥離を繰り返しても収納箱内に整然と多数枚収納される（図３Ｄ）。
フィルム5は、基板1からの剥離動作やフィルム搬送手段を通過する間に静電気を帯びてフィルム剥離装置の色々な部分に粘り着き剥離装置の機能を阻害する事が多いものであるが、この静電気による弊害は図示していない除電装置などにより取り除かれているものとしてある。
【０００８】
図４（図４Ａ〜図４Ｅ）は本発明の他の実施例の幾つかを説明する模式図である。符号に付いては、シャフト（またはローラ）11を除いては図３と同じである。
シャフト11はフィルム5を図４Ｂまたは図４Ｃに示す様にガイドローラ7に跨るように懸架するのを助けるためのもので、特にクランプ板8を使わない場合には極めて有効に作用する。即ち、ガイドローラ7の図の右方向への移動開始を調整して遅らせた時とか駆動手段9の速度を遅く調整した場合に、図４Ｂのフィルム5の懸架された先端の部分5‘が長くなり、シャフト11が無いとフィルム５がそのまま先端側から落下して行く恐れがあるが、シャフト11があればフィルム５はシャフト11に接触していることによりフィルム５の移動は規制され、図４Ｃに示すようにフィルム５の後側がガイドローラ７から垂れ下がるようになって、フィルム5の懸架された先端の部分5‘が図３Ｂでの先端の部分5’に比べて長い（略、フィルム5の全長の半分）状態になる。
このことを利用して、ガイドーラ7をゆっくりと図の左右方向に移動させる（図４Ａ〜４Ｄ）動作を基板の剥離毎に繰り返せば、図４Ｅの様になる。
ここでガイドローラ7を他の手段（図示省略）により回転させれば、蓄積されていたフィルム5は纏まった状態で収納箱の中に収納され、図３Ｄに近い状態となり多数枚の収納が可能になる。
ここに述べたガイドローラ7を回転させなくて、積み重なったフィルムの重量のアンバランスによりフィルム収納箱の中に落下するようにしたり、ガイドローラ7の上に懸架させたまま蓄積して置いて、これを纏めて取り除くようにすることもできる。
尚ガイドローラ7を移動させる駆動手段9は、図３、図４とは逆に図面上右側に設置しても本発明による効果は変わらない。
【０００９】
【発明の効果】
以上説明した様に、比較的簡単で安価な手段をもって、限られた容積の収納箱の中に、効率良く多数枚（本発明の装置に依らない場合に比べ、この本発明の装置を採用すれば数倍乃至十数倍以上）の剥離されたフィルムを収納出来るため、フィルムの取出し廃棄の回数を大幅に少なくすることが可能となり、フィルム剥離装置の運転効率を飛躍的に高める事が出来る。
【００１０】
【図面の簡単な説明】
【図１】    フィルム剥離装置の構成を示した側面図。
【図２】    本発明に依らない従来のフィルム処理の場合の欠点を模式的に示した図。
【図３】    本発明による実施例を示した説明図。
【図４】    本発明による実施例を示した説明図。
【符号の説明】
1…基板、2…基板搬送手段、3ａ，3ｂ…剥離手段、4ａ，4ｂ…フィルム搬送手  段、5ａ，5ｂ…基板1から剥離されたフィルム、6ａ，6ｂ…フィルム収納箱、7…  ガイドローラ、8…クランプ板、9…駆動手段、10…センサー、11…シャフト。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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