(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャビテイ、圧力発生素子、ノズルを有する複数の基板を接合することによりなされるインクジェットヘッド製造方法に於いて、前記複数の基板の接合を少なくとも一方がハロゲン化して形成した表面を有する第一の被接合部材と、この第一の被接合部材と同種あるいは異種の第二の被接合部材とを前記ハロゲン化して形成した表面において接触させ、両者を相互に接合することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記ハロゲン化はフッ化であることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記フッ化は、反応性フッ素系ガスと水蒸気の混合ガスを前記被接合部材に接触させて行うことを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記反応性フッ素系ガスは、大気圧下にある安定なフッ素系ガスと水蒸気の混合ガスを介した放電により生成することを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記フッ化は、少なくともフッ素系ガスを含むガスを介して放電により生成し、この活性なフッ素を前記被接合部材に接触させて行うことを特徴とする請求項２の記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記放電は、真空中で行うことを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記放電は、大気圧下で行うことを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記フッ化は、放電領域中に前記被接合部材を配置して行うことを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記フッ化は、前記被接合部材を放電領域外に配置し、放電領域外で生成された活性なフッ素を前記被接合部材に導いて行うことを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記フッ化は、フッ素系ガスに紫外線を照射して活性なフッ素を生成し、この活性なフッ素ガスを前記被接合部材に接触させて行うことを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記フッ化を、反応性のフッ素系物質からなる蒸気に前記被接合部材を接触させて行うことを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記接合は、前記第１の被接合部材と第二の被接合部材とを重ねるとともに、接合部を両者の融点よりも低い温度に加熱して行うことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記接合部の加熱は、大気中で行うことを特徴とする請求項１２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記接合部の加熱は、不活性ガス中で行うことを特徴とする請求項１２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記接合は、加圧して前記各被接合部材間の接触圧を大きくして行うことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記加圧は、大気中で行うことを特徴とする請求項１５記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１７】
前記加圧は、不活性ガス中で行うことを特徴とする請求項１５記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１８】
請求項１乃至１７のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法により製造されたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１９】
請求項１８の記載のインクジェットヘッドを印刷装置として搭載したことを特徴とするインクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェットヘッドの製造方法に関する。更に詳しくは、複数の基板を接合して製造するインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プリンタはパソコンの普及と歩調を合わせて急激に普及している。ネットワークの発達による電子メール・ホームページに利用者が急増している。また安価なＣＤロムが製造されるようになり、この利用者も急増している。これらの画像情報を印刷するプリンタの需要も急激に増えている。このようなプリンタのなかでもインクジェットプリンタは高速印字、低騒音、高印字品位、カラー印刷の対応が良好であり、かつ安価に市場に提供できる等の利点により、他の印字方式を抑えて、急速に発展している。しかしながらインクジェットプリンタに於いても、カラー印刷に長時間を要するという課題が顕在化してきた。これは取り扱う画像情報量が急激に増えていることによる。パソコンの取り扱う画像情報は従来のテキストからカラーグラッフィクスになり、さらに動画も取り扱い、急速な進化を見せている。さらにグラフィックスの表示も、より高解像度に進化し、画像情報量が飛躍的に増加していることによる。このような進化はパソコン等で扱う画像情報がより高度化すると同時に、より高速で取り扱いたいという流にある。このような傾向のなかでプリンタの印刷時間は長くなってきている。従来のモノクロのキャラクターベースの印刷時間と、フルカラーのグラフィクスの印刷に要する時間を比べると、従来の１００倍以上を要してしまう。
【０００３】
ここでインクジェットプリンタの構造の一例をを図７をもとに説明する。図７はインクジェットプリンタの斜視図である。図７に於いて、７００は本体、７０１はインクジェットヘッド、７０２はトレイ、７０３は用紙、７０４および７０５はロール、７０６は排出口、７０７は操作パネル、７０８は制御回路、７０９はインクジェトヘッドの動作方向を示す。インクジェットプリンタはその本体７００内にインクジェットヘッド７０１を内蔵している。トレイ７０２にセットされた用紙７０３は、二本のロール７０４、７０５により本体７００内部に送りこまれ、所定の位置に配置される。インクジェットヘッド７０１は用紙７０３を横切るように矢印のインクジェットヘッドの動作方向７０９にそって移動し、特定の箇所でインクを吐出し、印刷する。インクジェットヘッド７０１は制御回路７０８が接続され、これらの動作を制御する。また印刷の様々な設定は操作パネル７０７でなされる。印刷が終わった用紙は、ロール７０４、７０５により、排出口７０６に排出される。
【０００４】
また代表的なインクジェットヘッドの構造の例とその動作を説明する。まずインクジェットの構造の一例を、図８を用いて説明する。図８はインクジェットヘッドの部分斜視図である。図８に於いて、８０１はノズル、８０２はノズルプレート、８０３は壁、８０４はキャビテイ、８０５は振動板、８０７は圧電素子、８０８はリザーバ、８０９は供給口、８１０はインクタンク口を示す。複数のキャビテイ８０４が平行に一定間隔をもって配列している。キャビテイ８０４の一面には、それぞれのキャビテイ８０４に対応する圧電素子８０７が配接された振動板８０５が形成されている。圧電素子８０７には図示されていない信号回路より電気信号が送られ、動作する。振動板８０５の反対面はノズルプレート８０２が形成されている。そこにはそれぞれのキャビテイ８０４に対応するノズル８０１が形成されている。個々のキャビテイ８０４の配列方向と垂直の位置にリザーバ８０８が形成されている。リザーバ８０８は、リザーバ８０８上にある図示されていないインクタンクとインクタンク口８１０により接続されている。リザーバ８０８とキャビテイ８０１は細長いスリット状の供給口８０９により接続される。インクタンクのインクはリザーバ８０８に供給され、リザーバ８０８からそれぞれのキャビテイ８０４に供給される。
【０００５】
次にインク滴の吐出動作を図９をもとに説明する。図９は図８の点線部Ａ−Ｂでの断面図である。図９に於いて、９０１はノズル、９０２は壁、９０３はキャビテイ、９０４は振動板、９０５は圧電素子、９０６はリザーバ、９０７は供給口、９１１インク滴、９１２はインクの流れ、９２１は変形後の振動板、９２２は変形後の圧電素子を示す。圧電素子９０５は、図示されていない信号回路より電気信号が送られると、収縮する。それにより圧電素子９０５と振動板９０４は変形する。それぞれ変形後の圧電素子９２２、変形後の振動板９２１の形状に変形する。するとキャビテイ９０３の体積が減少し、圧力が発生する。するとキャビテイ９０３内に満たされたインクは圧力の低いノズル９０１と供給口９０７の側に移動しようとする。供給口９０７側にはリザーバ９０６があり、インクに満たされている。そのためノズル９０１側により移動していく。結果として、インクはノズル９０１から、インク滴９１１となって吐出する。そして電気信号が解除されると圧電素子は収縮をやめる。もとの圧電素子９０５と振動板９０４の位置に戻る。これによりキャビテイは負圧になる。リザーバ９０９に満たされたインクがキャビテイ９０４に移動する。キャビテイ９０３は常圧になる。さらにインクタンクからインクがリザーバ９０６に充たされる。この際のインクの流れは、インクの流れ９９２の矢印に示すようなものとなる。
【０００６】
前述したようにインクジェットプリンタの印刷時間は長くなる傾向にある。そこで印刷速度を早くする方策が検討されている。インクジェットプリンタの印刷時間を短くする、すなわち印刷速度を速くする方法は、以下に述べる二方法がある。
【０００７】
第一の方法はインクジェットプリンタヘッドの駆動周波数を高くすることである。インクジェットヘッドにはインクを充たされキャビテイとそれに圧力を与える圧力発生素子が配列されている。圧力発生素子はパソコンからの電気信号により駆動され、電気信号が送られると動作し、インクを吐出する。この電気信号の駆動周波数を高くすると、印刷速度も高くできる。しかし第一の方法は技術的に限界に近づいており、飛躍的な向上は期待できない。電気信号の周波数を高めることは可能であるが、インクジェットヘッドのインク滴の形成と吐出には、一定の時間が必要であり、電気信号をいくら早くしても、印刷速度はそれに支配されれ、早くでききない。第二の方法はインクジェットプリンタのヘッドのノズル数を増やすことである。ノズル数を倍に増やせば、印刷速度も倍にできる。この場合には単にノズル数を増やせばよいのではなく、ノズル密度もあわせて高くする必要がある。この理由を以下に述べる。
【０００８】
ノズル密度が低いインクジェットヘッドで高解像度の印刷をおこなうには、インクジェトヘッド自体を微細に移動し、この移動とインク滴のの吐出を同期させることにより行われる。この移動の制御には高い精度が必要となる。解像度が高くなればなるほど難しくなる。また高速印字を狙うため、ノズルを増やすとインクジェットヘッド自体が大きくなる。大きくなれば、なるほどまたその制御も困難になる。さらにフルカラー印刷をイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色でおこなうと、それぞれの色に対応するノズルが必要となる。結果としてインクジェットヘッドが大きくなり、ノズル列間の位置合わせに高精度を要求され、高価で大きなインクジェットプリンタになってしまう。例として１８０ＤＰＩ（ドット／インチ）のノズル密度のインクジェットプリンタヘッドで１４４０ＤＰＩのフルカラー印刷を行おうとすると、ノズル列は１色あたり８列必要となり、４色で３２列必要となる。ノズル列の間隔が５ｍｍであれば、ノズル列の総長さは５＊３１＝１５５ｍｍ以上をようする。したがって高解像度の印刷を高速にかつ精度よくおこなおうとすると、ノズル密度を高くしてノズル列を少なくする必要がある。
【０００９】
ノズル密度を高くするには、インクジェットプリンタヘッドのキャビテイとノズルを微小にしなければならない。例をあげると、ノズル密度９０ＤＰＩでは隣接するキャビテイおよびノズルの間隔は２８２μｍである。これの半分がキャビテイの幅とすると１４１μｍとなる。ノズル密度７２０ＤＰＩでは隣接するキャビテイおよびノズルの間隔は３５μｍである。同じくこれの半分がキャビテイの幅とすると１７．５μｍとなる。ノズルの大きさも同程度になる。
【００１０】
前述のインクジェットヘッドの製造はキャビテイ、ノズルあるいは圧力発生素子を形成された複数の基板を接合することにより製造されていた。これらの例としては特開平７−３１４６７１号公報に記載されている。以下、図１０をもとにこれを説明する。図１０は模式化した製造工程の断面図である。図１０に於いて、１００１はノズル板、１００２はノズル、１００３はキャビテイ板、１００４はキャビテイ、１００５は接着剤、１００６ははみ出した接着剤を示す。
【００１１】
（１）ノズル１００２を形成されたノズル板１００１とキャビテイ１００４が形成されたキャビテイ板１００３を準備する。
【００１２】
（２）キャビテイ板１００３のノズル板１００１と対抗する面に接着剤１００５を塗布する。
【００１３】
（３）ノズル板１００１とキャビテイ板１００３を貼り合わせ、接合する。接着剤１００５は押しつぶされ、はみ出した接着剤１００６の形状に広がる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来の方法ははみ出した接着剤がインクの吐出特性を劣化ささる。またはみ出しの程度が大きいと、ノズルをふさぎ、インクが吐出できないという問題点を有していた。これはノズルの解像度が高くなり、キュビテイの間隔が狭くなればなるほど顕著になり、インクジェットヘッドの高密度化を妨げている。接着剤は有機高分子材料からできており、流動性がある。この性質により基板の接着剤を塗布できる。貼り合わせた後に接着剤を硬化し、固形化する。貼り合わせると接着剤は流動性があるため、はみ出す。
【００１５】
そこで、本発明は、インク吐出特性を劣化させないインクジェットヘッドの製造方法を提案することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、キャビテイ、圧力発生素子、ノズルを有する複数の基板を接合することによりなされるインクジェットヘッド製造方法に於いて、前記複数の基板の接合を少なくとも一方がハロゲン化して形成した表面を有する第一の被接合部材と、この第一の被接合部材と同種あるいは異種の第二の被接合部材とを前記ハロゲン化して形成した表面において接触させ、両者を相互に接合することを特徴とする。
【００１７】
上記構成によれば、被接合部材にハロゲンを含む表面を容易に形成でき、インク滴の吐出特性が安定するインクジェットヘッドを製造できるという優れた効果がある。
【００２０】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記ハロゲン化はフッ化であることを特徴とする。
【００２１】
上記構成によれば、特にフッ素は他の元素との結合性が強いため、接合強度の高い接合を容易に形成できるという優れた効果がある。
【００２２】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記フッ化は、反応性フッ素系ガスと水蒸気の混合ガスを前記被接合部材に接触させて行うことを特徴とする。例えば、Ｆ２、ＨＦ、ＣＯＦ２などの反応性フッ素ガスは、水（水蒸気）と反応して活性なフッ素を生ずる。活性なフッ素とは、本発明の場合、フッ素イオン、フッ素系ラジカル、フッ素単原子などをいう。
【００２３】
上記構成によれば、被接合部材の表面を容易にフッ化できるという優れた効果がある。
【００２４】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記反応性フッ素系ガスを、大気圧下にある安定なフッ素系ガスと水蒸気の混合ガスを介した放電により生成することを特徴とする。例えば、ＣＦ４、ＳＦ６、等のフッ素系のガスと水蒸気との混合ガスを大気圧またはその近傍の圧力下で放電すると、反応性フッ素系ガスである Ｆ２、ＨＦ、ＣＯＦ２が生成される。
【００２５】
上記構成によれば、容易に反応性フッ素系ガスを生成できるという優れた効果がある。
【００２６】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記フッ化を、少なくともフッ素系ガスを含むガスを介して放電により生成し、この活性なフッ素を前記被接合部材に接触させて行うことを特徴とする。
【００２７】
上記構成によれば、水（水蒸気）を使わないため、フッ化を安定して行えるとともに、装置の腐食を防ぐことができるという優れた効果がある。
【００２８】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記放電は、真空中で行うことを特徴とする。
【００２９】
上記構成によれば、容易に被接合部材表面をフッ化を精度よくできるという優れた効果がある。
【００３０】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記放電は、大気圧下で行うことを特徴とする。
【００３１】
上記構成によれば、被接合部材表面のフッ化を簡便な装置で行えるという優れた効果がある。
【００３２】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記フッ化は、放電領域中に前記被接合部材を配置して行うことを特徴とする。
【００３３】
上記構成によれば、フッ化の速度を高めることができるという優れた効果がある。
【００３４】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記フッ化は、前記被接合部材を放電領域外に配置し、放電領域外で生成された活性なフッ素を前記被接合部材に導いて行うことを特徴とする。
【００３５】
上記構成によれば、被接合部材が直接プラズマにさらされることがなく、そのダメージを受けないという優れた効果がある。
【００３６】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記フッ化は、フッ素系ガスに紫外線を照射して活性なフッ素を生成し、この活性なフッ素ガスを前記被接合部材に接触させて行うことを特徴とする。
【００３７】
上記構成によれば、フッ化処理装置を比較的簡素にできるという優れた効果がある。
【００３８】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記フッ化を、例えばＨＦ蒸気のような反応性のフッ素系物質からなる蒸気に前記被接合部材を接触させて行うことを特徴とする。
【００３９】
上記構成によれば、フッ化処理装置を比較的簡素にできるという優れた効果がある。
【００４０】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記接合は、前記第１の被接合部材と第二の被接合部材とを重ねるとともに、接合部を両者の融点よりも低い温度に加熱して行うことを特徴とする。
【００４１】
上記構成によれば、被接合部材の熱による変形、劣化を少なくできるという優れた効果がある。
【００４２】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記接合部の加熱は、大気中で行うことを特徴とする。
【００４３】
上記構成によれば、ヒータや赤外線加熱器等の簡便な装置で、接合できるという優れた効果がある。
【００４４】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記接合部の加熱は、不活性ガス中で行うことを特徴とする。
【００４５】
上記構成によれば、酸化しやすい材料を酸化させずに接合できるという優れた効果がある。
【００４６】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記接合は、加圧して前記各被接合部材間の接触圧を大きくして行うことを特徴とする。
【００４７】
上記構成によれば、被接合部材間の接触面積が大きくなり、接合温度をより低くできるという優れた効果がある。
【００４８】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記加圧は、大気中で行うことを特徴とする。
【００４９】
上記構成によれば、簡便な装置で接合できるという優れた効果がある。
【００５０】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、前記加圧は、不活性ガス中で行うことを特徴とする。
【００５１】
上記構成によれば、酸素の影響を受けないため、酸化しやすい材料を酸化させずに接合できるだけでなく、接合時間を短縮できるという優れた効果がある。
【００５２】
本発明のインクジェットヘッドは、本願発明のインクジェットヘッドの製造方法により製造されたことを特徴とする。
【００５３】
上記構成によれば、インク吐出特性に優れる高密度のインクジェットヘッドが提供されるという優れた効果がある。
【００５４】
本発明のインクジェットプリンタは、本発明のインクジェットヘッドを印刷装置として搭載したことを特徴とする。
【００５５】
上記構成によれば、高速で高印字品位のインクジェットプリンタを提供できるという優れた効果がある。
【００５６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００５７】
（実施例１）
図１は、請求項１、２、３、１３、１４、１５、１６、１７、１８記載の本発明に係る一実施例を説明する模式化した製造工程の断面図である。（１）から（４）の順に工製造程が進む。図１に於いて、１０１はノズル板、１０２はノズル、１０３はキャビテイ基板、１０４はキャビテイ、１０５はフッ化した面、１０６は加圧台、１０７は指示台、１０８は加圧方向を示す。
【００５８】
（１）被接合部材としてノズル１０２を設けられたＳＵＳのノズル板１０１とキャビテイ１０４を設けられたＳＵＳのキャビテイ板１０３を準備する。被接合部材はこれに限られるものではなく振動板を設けられた基板等が使用できる。
【００５９】
（２）キャビテイ板１０３のノズル板１０１と接合する面にフッ化処理を施し、フッ化した面１０５を形成する。またフッ化はノズル板１０１に施してもかまわない。
【００６０】
（３）次キャビテイ板１０３とノズル板１０１を所定の位置に接触させ、支持台１０７と加圧台１０６の間にはさむ。そして加圧台１０６に加圧方向の向き１０８に圧力を加える。圧力は被接合部材が変形、破壊されない程度により高い方が好ましい。必要におうじて加熱する。また酸素の影響を受けやすいのであれば、不活性ガス雰囲気にしてもよい
（４）次に所定の時間の加圧後にこれを取り出すと、接合された構造体となる。
【００６１】
（実施例２）
図２は、請求項４記載の本発明に係る一実施例を説明する模式図である。図２に於いて、２０１は反応性フッ素ガス供給手段、２０２は水蒸気供給手段、２０３はバルブ、２０４はバルブ、２０５は反応性フッ素系ガス配管、２０６は水蒸気配管、２０７は混合ガス配管、２０８は反応室、２０９は被接合部材を示す。
【００６２】
反応性フッ素系ガス供給手段２０１は反応フッ素系ガス配管２０５と接続されている。同様に水蒸気供給手段２０２は水蒸気配管２０６と接続されている。それぞれの配管はバルブ２０３、２０４に接続され、バルブ２０３、２０４は混合ガス配管２０７に接続されている。バルブ２０３、２０４によりガスの濃度を制御し、混合できる。混合ガス配管２０７は反応室２０８に接続している。これにより混合ガスは反応室２０８に満たされる。反応室２０８には被接合部材２０９が置かれ、フッ化処理される。
【００６３】
（実施例３）
図３は、請求項５記載の本発明に係る一実施例を説明する模式図である。図３に於いて、３０１は原料ガス供給手段、３０２は原料ガス配管、３０３は水バブリングユニット、３０４は供給配管、３０５は放電チャンバー、３０６は放電電極、３０７は放電電極、３０８は高周波電源、３０９は反応性フッ素系ガス配管を示す。
【００６４】
原料ガス供給手段３０１よりＣＦ４、ＳＦ６等の原料ガスを原料ガス配管３０２をとうして、原料ガスは水バブリングユニット３０３に導入される。水バブリングユニット３０３により水蒸気を含んだガスになる。これを供給配管３０４をとおして放電チャンバー３０５に満たす。放電チャンバー３０５は対向する放電電極を３０６、３０７備えている。放電電極３０６、３０７の間をガスが通過するようになっている。放電電極３０６は高周波電源３０８と接続している。他方の放電電極３０７は接地している。これにより放電電極３０６、３０７に高周波電圧を印加し、気体放電させる。気体放電によりＦ２、ＨＦ、ＣＯＦ２等の反応性フッ素系ガスが生成される、反応性フッ素系ガスは反応性フッ素系ガス配管３０９をとおして図示されていない処理室に送られる。
【００６５】
（実施例４）
図４は、請求項６、７、８、９、１０記載の本発明に係る一実施例を説明する模式図である。図４に於いて、４０１は原料ガス配管、４０２は放電チャンバー、４０３は放電電極、４０４は放電電極、４０５は高周波電源、４０６被接合部材を示す。
【００６６】
図示されない原料ガス供給手段よりＣＦ４、ＳＦ６等の原料ガスを原料ガス配管４０１をとうして、放電チャンバー４０２に供給される。原料ガスは必要に応じて水蒸気等の他のガスも含まれる。放電チャンバー４０２は対向する放電電極４０３、４０４備えている。放電電極４０３は高周波電源４０５と接続している。他方の放電電極４０４は接地している。これにより放電電極４０３、４０４に高周波電圧を印加し、気体放電させる。気体放電によりＦ２、ＨＦ、ＣＯＦ２等の反応性フッ素系ガスが生成される、反応性フッ素系ガスは放電電極４０４上に置かれた被接合部材４０６の表面をフッ化する。放電チャンバー４０２は必要に応じて、真空ポンプ等により減圧され、真空にできる。また被接合部材４０６を放電電極４０４と離れた位置に置いてもフッ化処理はできる。
【００６７】
（実施例５）
図５は、請求項１１記載の本発明に係る一実施例を説明する模式図である。図５に於いて、５０１は原料ガス配管、５０２は処理室、５０３は紫外線ランプ、５０４被接合部材を示す。
【００６８】
図示されない原料ガス供給手段よりＣＦ４、ＳＦ６等の原料ガスを原料ガス配管５０１をとうして、処理室５０２に供給される。原料ガスは必要に応じて水蒸気等の他のガスも含まれる。処理室５０２には紫外線ランプ５０３が接地され、その対向する位置に被接合部材５０４が置かれる。紫外線ランプより照射された紫外線によりによりＦ２、ＨＦ、ＣＯＦ２等の反応性フッ素系ガスが生成される、反応性フッ素系ガスは被接合部材５０４の表面をフッ化する。
【００６９】
（実施例６）
図６は、請求項１２記載の本発明に係る一実施例を説明する模式図である。図６に於いて、６０１は処理槽、６０２は処理液、６０３は搬送装置、６０４は被接合部材を示す。
【００７０】
処理槽６０１にＨＦ水等の処理６０２が満たされている。処理液は反応性フッ素系蒸気が生成できるものであればよく、特に限定されるものではない。処理槽上には搬送装置６０３が位置している。搬送装置には被接合部材６０４が所定の位置に配置されている。搬送装置６０３は被接合部材６０４を移動させ、処理液６０２上に被接合部材６０４を移動させる。被接合部材６０４は処理液６０２から気化した反応性フッ素系物質の蒸気により、フッ化される。搬送装置６０３の移動速度を制御することにより、処理時間がコントロールでき、また複数の被接合部材を所定の間隔で搬送装置にセットすることにより、効率的に処理できるが。
【００７１】
（実施例７）
キャビテイの幅が３５μｍキャビテイ板と穴系２０μｍのノズル板とを実施例１の方法で接合し、さらに振動板、駆動回路等の部品を組み込んだインクジェットヘッドを作成した。電気信号を与え、動作させたところ良好な インク滴が形成でき、吐出できた。
【００７２】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、微細な溝、穴が形成された複数のインクジェットヘッドの部品基板を精度よく接合でき、これにより安定したインク吐出できる微細なインクジェットヘッドを容易に製造できる。さらに高解像度かつ高速の印刷をするインクジェットヘッドおよびインクジェットプリンタを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】請求項１、２、３、１３、１４、１５、１６、１７、１８記載の本発明を説明する図。
【図２】請求項４記載の本発明を説明する図。
【図３】請求項５記載の本発明を説明する断面図。
【図４】請求項６、７、８、９、１０記載の本発明を説明する図。
【図５】請求項１１記載の本発明を説明する図。
【図６】請求項１２記載の本発明を説明する図。
【図７】インクジェットプリンターを説明するための図。
【図８】インクジェットヘッドの構造を説明するための図。
【図９】インクジェットヘッドの動作を説明するための図。
【図１０】従来のインクジェットヘッドの製造方法を説明するための図。
【符号の説明】
１０１．ノズル基板
１０２．ノズル
１０３．キャビテイ基板
１０４．キャビテイ
１０５．フッ化した面
１０６・加圧台
１０７．支持台
１０８．加圧方向
２０１．反応性フッ素ガス供給手段
２０２．水蒸気供給手段
２０３．バルブ
２０４．バルブ
２０５．反応性フッ素系ガス配管
２０６．水蒸気配管
２０７．混合ガス配管
２０８．反応室
２０９．被接合部材
３０１．原料ガス供給手段
３０２．原料ガス配管
３０３．水バブリングユニット
３０４．供給配管
３０５．放電チャンバー
３０６．放電電極
３０７．放電電極
３０８．高周波電源
３０９．反応性フッ素系ガス
４０１．原料ガス配管
４０２．放電チャンバー
４０３．放電電極
４０４．放電電極
４０５．高周波電源
４０６．被接合部材
５０１．は原料ガス配管、
５０２．処理室、
５０３．紫外線ランプ、
５０４．被接合部材
６０１．処理槽、
６０２．処理液、
６０３．搬送装置、
６０４．被接合部材
７０１．本体、
７０２．インクジェットヘッド
７０３．トレイ
７０４．用紙
７０５．ロール
７０６．ロール
７０７．排出口
７０８．操作パネル
７０９．制御回路
７１０．インクジェトヘッドの動作方向
８０１．ノズル
８０２．ノズルプレート
８０３．壁
８０４．キャビテイ
８０５．振動板
８０７．圧電素子
８０８．リザーバ
８０９．供給口
８１０．インクタンク口
９０１．ノズル
９０２．壁
９０３．キャビテイ
９０４．振動板
９０５．圧電素子
９０６．リザーバ
９０７．供給口
９１１．インク滴
９１２．インクの流れ
９２１．変形後の振動板
９２２．変形後の圧電素子
１００１．ノズル板
１００２．ノズル
１００３．キャビテイ板
１００４．キャビテイ
１００５．接着剤
１００６．はみ出した接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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