(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向するプリント基板（６２）に対し所定の走査幅で走査するセンサ（Ｓ）と、該センサを前記プリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる移動手段と、を備えるプリント基板検査装置において、
予め前記センサで走査されるゲージ（Ｇ）の表面に形成されており、前記Ｘ軸方向の基準となる第１の方向（Ｗ１）及び前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向（Ｗ２）に配列されている基準点（Ｔ）に関する基準データが、予め記憶されている基準データ記憶手段（２）と、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ順次前記Ｘ軸方向に移動させてから前記Ｙ軸方向に移動させて検出される基準点に関する第１の実測データと、該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｘ軸方向の移動量の誤差を示す第１の補正関数（ｗx ）を算出するとともに、前記第１の実測データが該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第１の正規関数（ｗ1 ）と、前記第１の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第１の補正データを算出する第１の補正データ演算手段（３）と、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点に関する第２の実測データと、該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｙ軸方向の移動量の誤差を示す第２の補正関数（ｗy ）を算出するとともに、前記第２の実測データが該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第２の正規関数（ｗ2 ）と、前記第２の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第２の補正データを算出する第２の補正データ演算手段（４）と、
を具備することを特徴とするプリント基板検査装置。
【請求項２】
対向するプリント基板に対し所定の走査幅で走査するセンサと、該センサを前記プリント基板に対してＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる移動手段と、を備えるプリント基板検査装置において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記センサの走査方向及び前記Ｘ軸方向の基準となる第１の方向並びに前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶されている基準データ記憶手段と、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記第１の方向に並んだ前記基準点（Ｔ0 ，Ｔ1 ）に関する第３の実測データと、該第３の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記第１の方向に対する前記センサの走査方向の偏角量（α）を示す第３の補正データを算出する第３の補正データ演算手段（５）と、
を具備することを特徴とするプリント基板検査装置。
【請求項３】
対向するプリント基板に対し所定の走査幅で走査するセンサと、該センサを前記プリント基板に対してＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる移動手段と、を備えるプリント基板検査装置において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記Ｘ軸方向の基準となる第１の方向及び前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶されている基準データ記憶手段と、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ、前記第Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点（Ｔ0 ，Ｔ2 ）と、前記Ｘ軸方向に移動させて検出される前記基準点（Ｔ3 ）と、に関する第４の実測データと、該第４の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づき、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向がなす実測角度と、前記第１の方向と前記第２の方向とがなす基準角度と、の差分（θ）を示す第４の補正データを算出する第４の補正データ演算手段（６）と、
を具備することを特徴とするプリント基板検査装置。
【請求項４】
対向するプリント基板に対し所定の同一走査幅で走査するとともに等間隔で配列されている複数のセンサ（Ｓ１，Ｓ２）と、該複数のセンサを前記プリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに同時移動させる移動手段と、を備えるプリント基板検査装置において、
予め前記複数のセンサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記複数のセンサの配列方向の基準となる第１の方向並びに前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶されている基準データ記憶手段と、
前記ゲージに対し前記複数のセンサで走査して検出される前記各センサの基準点（Ｔ0 ，Ｔ4 ）及び前記Ｙ軸方向に移動させて一のセンサで検出される基準点に関する第５の実測データと、該第５の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記一のセンサを通る前記第１の方向を基準とした他のセンサの配列誤差（Δｐ，ｄ）を示す第５の補正データを算出する補正データ演算手段（７）と、
を具備することを特徴とするプリント基板検査装置。
【請求項５】
対向するプリント基板に対し所定の走査幅で走査するセンサと、該センサを前記プリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる移動手段と、を備えるプリント基板検査装置において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記センサの走査方向及び前記Ｘ軸方向の基準となる第１の方向と、前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向と、に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶されている基準データ記憶手段と、
該基準データ記憶手段から前記基準データを読み出して演算処理する補正データ演算手段（８）と、を具備し、
該補正データ演算手段は、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｘ軸方向に移動させてから前記Ｙ軸方向に移動させて検出される基準点に関する第１の実測データと、該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｘ軸方向の移動量の誤差を示す第１の補正関数を算出するとともに、前記第１の実測データが該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第１の正規関数と、前記第１の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第１の補正データを算出する第１の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点に関する第２の実測データと、該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｙ軸方向の移動量の誤差を示す第２の補正関数を算出するとともに、前記第２の実測データが該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第２の正規関数と、前記第２の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第２の補正データを算出する第２の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記第１の方向に並んだ前記基準点に関する第３の実測データと、該第３の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１及び第２の補正データと、に基づいて、前記第１の方向に対する前記センサの走査方向の偏角量を示す第３の補正データを算出する第３の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記センサを走査しつつ、前記第Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、前記Ｘ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、に関する第４の実測データと、該第４の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１〜３の補正データと、に基づき、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向がなす実測角度と、前記第１の方向と前記第２の方向とがなす基準角度と、の差分を示す第４の補正データを算出する第４の補正データ演算手段と、
を具備することを特徴とするプリント基板検査装置。
【請求項６】
対向するプリント基板に対し所定の同一走査幅で走査するとともに等間隔で配列されている複数のセンサと、該複数のセンサを前記プリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに同時移動させる移動手段と、を備えるプリント基板検査装置において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記走査方向，前記Ｘ軸方向及び前記複数のセンサの配列方向の基準となる第１の方向と、前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向と、に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶されている基準データ記憶手段と、
該基準データ記憶手段から前記基準データを読み出して演算処理する補正データ演算手段（１０）と、を具備し、
該補正データ演算手段は、
前記ゲージに対し一のセンサで走査しつつ順次前記Ｘ軸方向に移動させてから前記Ｙ軸方向に移動させて検出される基準点に関する第１の実測データと、該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記一のセンサの前記Ｘ軸方向の移動量の誤差を示す第１の補正関数を算出するとともに、前記第１の実測データが該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第１の正規関数と、前記第１の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第１の補正データを算出する第１の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記一のセンサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点に関する第２の実測データと、該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｙ軸方向の移動量の誤差を示す第２の補正関数を算出するとともに、前記第２の実測データが該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第２の正規関数と、前記第２の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第２の補正データを算出する第２の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記一のセンサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記第１の方向に並んだ前記基準点に関する第３の実測データと、該第３の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１及び第２の補正データと、に基づいて、前記第１の方向に対する前記一のセンサの走査方向の偏角量を示す第３の補正データを算出する第３の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記複数のセンサで走査して検出される前記各センサの基準点及び前記Ｙ軸方向に移動させて前記一のセンサで検出される基準点に関する第５の実測データと、該第５の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１〜３の補正データと、に基づいて、前記一のセンサを通る前記第１の方向を基準とした他のセンサの配列誤差を示す第５の補正データを算出する補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記一のセンサで走査しつつ、前記第Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、前記Ｘ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、に関する第４の実測データと、該第４の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第５の補正データと、に基づき、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向がなす実測角度と、前記第１の方向と前記第２の方向とがなす基準角度と、の差分を示す第４の補正データを算出する第４の補正データ演算手段と、
を具備することを特徴とするプリント基板検査装置。
【請求項７】
対向するプリント基板に対し所定の走査幅で走査するセンサを前記プリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させ、前記プリント基板を検査するプリント基板検査方法において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記センサの走査方向及び前記Ｘ軸方向の基準となる第１の方向と、前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向と、に配列されている基準点に関する基準データを、予め記憶しておき、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ順次前記Ｘ軸方向に移動させてから前記Ｙ軸方向に移動させて検出される基準点に関する第１の実測データと、該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｘ軸方向の移動量の誤差を示す第１の補正関数を算出し、
前記第１の実測データが該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第１の正規関数と、前記第１の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第１の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点に関する第２の実測データと、該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｙ軸方向の移動量の誤差を示す第２の補正関数を算出し、
前記第２の実測データが該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第２の正規関数と、前記第２の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第２の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記第１の方向に並んだ前記基準点に関する第３の実測データと、該第３の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１及び第２の補正データと、に基づいて、前記第１の方向に対する前記センサの走査方向の偏角量を示す第３の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ、前記第Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、前記Ｘ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、に関する第４の実測データと、該第４の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１〜３の補正データと、に基づき、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向がなす実測角度と、前記第１の方向と前記第２の方向とがなす基準角度と、の差分を示す第４の補正データを算出する
ことを特徴とするプリント基板検査方法。
【請求項８】
対向するプリント基板に対し所定の同一走査幅で走査するとともに同一走査方向に等間隔で配列されている複数のセンサを、前記プリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに同時移動させ、前記プリント基板を検査するプリント基板検査方法において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記走査方向，前記Ｘ軸方向及び前記複数のセンサの配列方向の基準となる第１の方向と、前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向と、に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶しておき、
前記ゲージに対し一のセンサで走査しつつ順次前記Ｘ軸方向に移動させてから前記Ｙ軸方向に移動させて検出される基準点に関する第１の実測データと、該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記一のセンサの前記Ｘ軸方向の移動量の誤差を示す第１の補正関数を算出し、
前記第１の実測データが該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第１の正規関数と、前記第１の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第１の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記一のセンサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点に関する第２の実測データと、該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｙ軸方向の移動量の誤差を示す第２の補正関数を算出し、
前記第２の実測データが該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第２の正規関数と、前記第２の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第２の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記一のセンサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記第１の方向に並んだ前記基準点に関する第３の実測データと、該第３の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１及び第２の補正データと、に基づいて、前記第１の方向に対する前記一のセンサの走査方向の偏角量を示す第３の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記複数のセンサで走査して検出される前記各センサの基準点及び前記Ｙ軸方向に移動させて前記一のセンサで検出される基準点に関する第５の実測データと、該第５の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１〜３の補正データと、に基づいて、前記一のセンサを通る前記第１の方向を基準とした他のセンサの配列誤差を示す第５の補正データを算出し、  前記ゲージに対し前記一のセンサで走査しつつ、前記第Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、前記Ｘ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、に関する第４の実測データと、該第４の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１〜３の補正データと、に基づき、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向がなす実測角度と、前記第１の方向と前記第２の方向とがなす基準角度と、の差分を示す第４の補正データを算出することを特徴とするプリント基板検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、対向するプリント基板に対し所定の走査幅で走査するセンサを、移動手段によりプリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させて、プリント基板を検査するプリント基板検査装置及び方法に係り、特にセンサと移動手段の機械的誤差を補正するプリント基板検査装置及び方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１７及び図１８に、従来のプリント基板検査装置を示す。プリント基板検査装置５０は、所定の走査幅で走査するセンサＳを、移動手段によりプリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させて、プリント基板を検査する装置である。
【０００３】
移動手段は、Ｘステージ５０とＹステージ５３で構成されている。Ｘステージ５０は、ＸＹ平面に垂直なＺ方向に垂設されているアーム５１と、アーム５１が固定され、Ｘ方向にアーム５１を直動させるＸ方向直動機構５２と、で構成されている。アーム５１の先端には、センサＳが取り付けられており、Ｘ方向とセンサＳの走査方向とが一致している。Ｘ方向直動機構５２は、Ｘ軸となるボールネジ５２ａと、ボールネジ５２ａに動力を伝達するパルスモータ５２ｂと、パルスモータ５２ｂに駆動指令を伝達する不図示のモータドライバと、で構成されている。モータドライバからの駆動指令により、所定のタイミングでパルスモータ５２ｂを回転させてボールネジ５２ａに動力を伝達し、センサＳをその走査幅からオーバーラップを考慮した幅（以下「ピッチ幅」）づつＸ方向にピッチ移動させる。
【０００４】
Ｙステージ５３は、プリント基板を搬送する搬送機構５４と、搬送機構５４をＹ方向に直動させるＹ方向直動機構６１と、で構成されている。搬送機構５４は、所定の間隔で並列されている２本の搬送ベルト５５を、一対の円筒状のプーリ５６で巻回させて、搬送モータ５７で動力を伝達している。２本の搬送ベルト５５間の所定の位置には、高さ方向（Ｚ方向）に上下動自在なストッパ５８が設けられており、搬送されてくるプリント基板が突き当たることにより、プリント基板を停止させる。また、ストッパ５８近傍には、Ｚ方向に上下動自在なクランパが設けられており、搬送ベルト５５に代わって、プリント基板６２を載置するとともに、Ｙ軸方向に移動自在な突き当て板６０により、プリント基板６２を挟持するようになっている。
【０００５】
Ｙ方向直動機構６１は、Ｙ軸となるボールネジ６１ｃと、ボールネジ６１ｃに動力を伝達するＹ軸モータ６１ｂと、Ｙ軸モータ６１ｂに駆動指令を伝達する不図示のモータドライバと、で構成されている。モータドライバからの駆動指令により、一定の回転量でＹ軸モータ６１ｂを回転させてボールネジ６１ｃに動力を伝達し、搬送機構５４をＹ方向に等速移動させる。
【０００６】
センサＳとしては、プリント基板６２の高さ変位を検出する変位測定装置が用いられる。変位測定装置は、プリント基板６２の表面を走査した光を受光素子で受光して形成された結像点の位置に基づく電流信号により、プリント基板６２の高さ変位を検出する。センサＳは、その走査方向がＸ軸方向と一致するように取り付けられている。
【０００７】
Ｙステージ５３の搬送機構５４により搬送されてきたプリント基板は、所定の位置で位置決めされ、Ｘステージ５０に取り付けられたセンサＳと対向する。そして、Ｙ搬送機構５４を所定間隔で往復移動させるとともに、Ｘステージ５０をピッチ幅づつピッチ移動させることにより、プリント基板６２の表面を検査している。
【０００８】
しかし、Ｘステージ５０においては、ボールネジ５２ａが膨張又は収縮することにより、センサＳが所定のピッチ幅づつピッチ移動されないことが有り、検査結果に誤差が生じることとなる。また、Ｙステージ５３においては、ボールネジ６１ｃの膨張又は収縮に加えて、モータの速度による誤差が生じる。すなわち、モータが搬送機構５４を等速度で移動させるようにボールネジ６１ｃに動力を伝達しないと、更に検査結果に誤差が生じることとなる。
【０００９】
また、センサＳは、Ｘステージ５０による移動方向（Ｘ方向）に対し、走査方向が一致するように取り付けられるが、取り付け位置にずれが生じていると、検査結果に誤差が生じることとなる。特に、センサＳを複数台取り付けて、同時に移動させる場合、各センサＳの配列誤差に誤差があると、検査結果に誤差が生じることとなる。
【００１０】
更に、Ｘ軸をなすボールネジ５２ａとＹ軸をなすボールネジ６１ｃは、直交するように設計されている。しかし、寸法・組立誤差により直交度が保たれず、検査結果に誤差が生じることとなる。
【００１１】
これらの誤差を機械的に所定の精度内に抑えることは困難であり、組立工数の増大や部品のコストアップを招くこととなる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記欠点を除くためになされたものであって、その目的とするところは、Ｘ軸とＹ軸とのなす角度，Ｘ軸及びＹ軸の直線性，並びにセンサＳの取付位置等の機械的誤差をソフトウェアで処理することにより、これらの精度の向上を図ることにある。
【００１３】
また他の目的は、Ｘ軸及びＹ軸の方向の基準となる第１及び第２の方向に複数の基準点が配列されているとプリント基板検査用ゲージを用いることにより、基準点に関する基準データと実測データとの比較をして、補正データを算出し、短時間で簡単に機械的誤差の検出を図ることにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
要するに、本発明の請求項１記載のプリント基板検査装置は、対向するプリント基板に対し所定の走査幅で走査するセンサと、該センサを前記プリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる移動手段と、を備えるプリント基板検査装置において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記Ｘ軸方向の基準となる第１の方向及び前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶されている基準データ記憶手段と、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ順次前記Ｘ軸方向に移動させてから前記Ｙ軸方向に移動させて検出される基準点に関する第１の実測データと、該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｘ軸方向の移動量の誤差を示す第１の補正関数を算出するとともに、前記第１の実測データが該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第１の正規関数と、前記第１の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第１の補正データを算出する第１の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点に関する第２の実測データと、該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｙ軸方向の移動量の誤差を示す第２の補正関数を算出するとともに、前記第２の実測データが該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第２の正規関数と、前記第２の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第２の補正データを算出する第２の補正データ演算手段と、
を具備することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の請求項２記載のプリント基板検査装置は、対向するプリント基板に対し所定の走査幅で走査するセンサと、該センサを前記プリント基板に対してＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる移動手段と、を備えるプリント基板検査装置において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記センサの走査方向及び前記Ｘ軸方向の基準となる第１の方向並びに前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶されている基準データ記憶手段と、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記第１の方向に並んだ前記基準点に関する第３の実測データと、該第３の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記第１の方向に対する前記センサの走査方向の偏角量を示す第３の補正データを算出する第３の補正データ演算手段と、
を具備することを特徴とする。
【００１６】
更に、本発明の請求項３記載のプリント基板検査装置は、対向するプリント基板に対し所定の走査幅で走査するセンサと、該センサを前記プリント基板に対してＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる移動手段と、を備えるプリント基板検査装置において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記Ｘ軸方向の基準となる第１の方向及び前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶されている基準データ記憶手段と、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ、前記第Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、前記Ｘ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、に関する第４の実測データと、該第４の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づき、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向がなす実測角度と、前記第１の方向と前記第２の方向とがなす基準角度と、の差分を示す第４の補正データを算出する第４の補正データ演算手段と、
を具備することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の請求項４記載のプリント基板検査装置は、対向するプリント基板に対し所定の同一走査幅で走査するとともに等間隔で配列されている複数のセンサと、該複数のセンサを前記プリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに同時移動させる移動手段と、を備えるプリント基板検査装置において、
予め前記複数のセンサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記複数のセンサの配列方向の基準となる第１の方向並びに前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶されている基準データ記憶手段と、
前記ゲージに対し前記複数のセンサで走査して検出される前記各センサの基準点及び前記Ｙ軸方向に移動させて一のセンサで検出される基準点に関する第５の実測データと、該第５の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記一のセンサを通る前記第１の方向を基準とした他のセンサの配列誤差を示す第５の補正データを算出する補正データ演算手段と、
を具備することを特徴とする。
【００１８】
更に、本発明の請求項５記載のプリント基板検査装置は、対向するプリント基板に対し所定の走査幅で走査するセンサと、該センサを前記プリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる移動手段と、を備えるプリント基板検査装置において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記センサの走査方向及び前記Ｘ軸方向の基準となる第１の方向と、前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向と、に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶されている基準データ記憶手段と、
該基準データ記憶手段から前記基準データを読み出して演算処理する補正データ演算手段と、を具備し、
該補正データ演算手段は、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｘ軸方向に移動させてから前記Ｙ軸方向に移動させて検出される基準点に関する第１の実測データと、該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｘ軸方向の移動量の誤差を示す第１の補正関数を算出するとともに、前記第１の実測データが該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第１の正規関数と、前記第１の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第１の補正データを算出する第１の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点に関する第２の実測データと、該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｙ軸方向の移動量の誤差を示す第２の補正関数を算出するとともに、前記第２の実測データが該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第２の正規関数と、前記第２の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第２の補正データを算出する第２の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記第１の方向に並んだ前記基準点に関する第３の実測データと、該第３の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１及び第２の補正データと、に基づいて、前記第１の方向に対する前記センサの走査方向の偏角量を示す第３の補正データを算出する第３の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記センサを走査しつつ、前記第Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、前記Ｘ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、に関する第４の実測データと、該第４の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１〜３の補正データと、に基づき、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向がなす実測角度と、前記第１の方向と前記第２の方向とがなす基準角度と、の差分を示す第４の補正データを算出する第４の補正データ演算手段と、
を具備することを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の請求項６記載のプリント基板検査装置は、対向するプリント基板に対し所定の同一走査幅で走査するとともに等間隔で配列されている複数のセンサと、該複数のセンサを前記プリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに同時移動させる移動手段と、を備えるプリント基板検査装置において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記走査方向，前記Ｘ軸方向及び前記複数のセンサの配列方向の基準となる第１の方向と、前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向と、に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶されている基準データ記憶手段と、
該基準データ記憶手段から前記基準データを読み出して演算処理する補正データ演算手段と、を具備し、
該補正データ演算手段は、
前記ゲージに対し一のセンサで走査しつつ順次前記Ｘ軸方向に移動させてから前記Ｙ軸方向に移動させて検出される基準点に関する第１の実測データと、該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記一のセンサの前記Ｘ軸方向の移動量の誤差を示す第１の補正関数を算出するとともに、前記第１の実測データが該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第１の正規関数と、前記第１の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第１の補正データを算出する第１の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記一のセンサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点に関する第２の実測データと、該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｙ軸方向の移動量の誤差を示す第２の補正関数を算出するとともに、前記第２の実測データが該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第２の正規関数と、前記第２の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第２の補正データを算出する第２の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記一のセンサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記第１の方向に並んだ前記基準点に関する第３の実測データと、該第３の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１及び第２の補正データと、に基づいて、前記第１の方向に対する前記一のセンサの走査方向の偏角量を示す第３の補正データを算出する第３の補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記複数のセンサで走査して検出される前記各センサの基準点及び前記Ｙ軸方向に移動させて前記一のセンサで検出される基準点に関する第５の実測データと、該第５の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１〜３の補正データと、に基づいて、前記一のセンサを通る前記第１の方向を基準とした他のセンサの配列誤差を示す第５の補正データを算出する補正データ演算手段と、
前記ゲージに対し前記一のセンサで走査しつつ、前記第Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、前記Ｘ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、に関する第４の実測データと、該第４の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第５の補正データと、に基づき、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向がなす実測角度と、前記第１の方向と前記第２の方向とがなす基準角度と、の差分を示す第４の補正データを算出する第４の補正データ演算手段と、
を具備することを特徴とする。
【００２０】
更に、本発明の請求項７記載のプリント基板検査方法は、対向するプリント基板に対し所定の走査幅で走査するセンサを前記プリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させ、前記プリント基板を検査するプリント基板検査方法において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記センサの走査方向及び前記Ｘ軸方向の基準となる第１の方向と、前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向と、に配列されている基準点に関する基準データを、予め記憶しておき、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ順次前記Ｘ軸方向に移動させてから前記Ｙ軸方向に移動させて検出される基準点に関する第１の実測データと、該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｘ軸方向の移動量の誤差を示す第１の補正関数を算出し、
前記第１の実測データが該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第１の正規関数と、前記第１の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第１の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点に関する第２の実測データと、該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｙ軸方向の移動量の誤差を示す第２の補正関数を算出し、
前記第２の実測データが該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第２の正規関数と、前記第２の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第２の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記第１の方向に並んだ前記基準点に関する第３の実測データと、該第３の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１及び第２の補正データと、に基づいて、前記第１の方向に対する前記センサの走査方向の偏角量を示す第３の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記センサで走査しつつ、前記第Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、前記Ｘ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、に関する第４の実測データと、該第４の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１〜３の補正データと、に基づき、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向がなす実測角度と、前記第１の方向と前記第２の方向とがなす基準角度と、の差分を示す第４の補正データを算出することを特徴とする。
【００２１】
また、本発明の請求項８記載のプリント基板検査方法は、対向するプリント基板に対し所定の同一走査幅で走査するとともに同一走査方向に等間隔で配列されている複数のセンサを、前記プリント基板に対して相対的にＸ軸方向とＹ軸方向とに同時移動させ、前記プリント基板を検査するプリント基板検査方法において、
予め前記センサで走査されるゲージの表面に形成されており、前記走査方向，前記Ｘ軸方向及び前記複数のセンサの配列方向の基準となる第１の方向と、前記Ｙ軸方向の基準となる第２の方向と、に配列されている基準点に関する基準データが、予め記憶しておき、
前記ゲージに対し一のセンサで走査しつつ順次前記Ｘ軸方向に移動させてから前記Ｙ軸方向に移動させて検出される基準点に関する第１の実測データと、該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記一のセンサの前記Ｘ軸方向の移動量の誤差を示す第１の補正関数を算出し、
前記第１の実測データが該第１の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第１の正規関数と、前記第１の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第１の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記一のセンサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点に関する第２の実測データと、該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、に基づいて、前記ゲージに対する前記センサの前記Ｙ軸方向の移動量の誤差を示す第２の補正関数を算出し、
前記第２の実測データが該第２の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと同一であるときに得られる第２の正規関数と、前記第２の補正関数と、を比較して、前記補正関数を前記正規関数に一致させるための第２の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記一のセンサで走査しつつ前記Ｙ軸方向に移動させて検出される前記第１の方向に並んだ前記基準点に関する第３の実測データと、該第３の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１及び第２の補正データと、に基づいて、前記第１の方向に対する前記一のセンサの走査方向の偏角量を示す第３の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記複数のセンサで走査して検出される前記各センサの基準点及び前記Ｙ軸方向に移動させて前記一のセンサで検出される基準点に関する第５の実測データと、該第５の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１〜３の補正データと、に基づいて、前記一のセンサを通る前記第１の方向を基準とした他のセンサの配列誤差を示す第５の補正データを算出し、
前記ゲージに対し前記一のセンサで走査しつつ、前記第Ｙ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、前記Ｘ軸方向に移動させて検出される前記基準点と、に関する第４の実測データと、該第４の実測データに対応する前記基準点に関する基準データと、前記第１〜３の補正データと、に基づき、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向がなす実測角度と、前記第１の方向と前記第２の方向とがなす基準角度と、の差分を示す第４の補正データを算出することを特徴とする。
【００２４】
【発明の実施の形態】
まず、予め検査されるプリント基板検査用ゲージＧについて説明する。このゲージＧは、図１（ａ）に示すように、水平基準面を有する矩形状の基板である。図１（ｂ）に示すように、水平基準面上には、基準点Ｔとなる突起Ｔａが複数形成されている。この突起Ｔａは、水平基準面上において、第１の方向Ｗ１及び第２の方向Ｗ２に、それぞれ所定の等間隔( 例えば、１０ｍｍ) で配列されている。第１の方向Ｗ１は、図１７で示したプリント基板検査装置のＸ軸方向の基準となる方向であり、第２の方向Ｗ２は、Ｙ軸方向の基準となる方向である。また、第１の方向Ｗ１及び第２の方向Ｗ２は、互いに直交している。
【００２５】
基準点Ｔは、突起Ｔａの他、図１（ｃ）に示すような、水平基準面に対し凹部となる孔Ｔｂであってもよい。凹部は、図１（ｄ）に示すような、貫通孔Ｔｃであってもよい。なお、基準点は、高さ変位のある突起Ｔａや孔Ｔｂ，Ｔｃに限らず、基板からの反射光の光量信号と差が生じるように、金属薄膜を形成してもよい。
【００２６】
次に、本発明のプリント基板検査装置の第１実施の形態について説明する。図２は、プリント基板検査装置１の機能ブロック図である。基準データ記憶手段２には、上述したゲージＧの基準点Ｔに関する基準データが予め記憶されている。基準データは、基準点Ｔの重心位置を示す座標データであり、第１の方向Ｗ１と第２の方向Ｗ２を座標軸とする。
【００２７】
第１の補正データ演算手段３は、第１の補正関数ｗx と第１の正規関数ｗ1 を算出して、第１の補正データを算出する。第１の補正関数ｗx は、第１の実測データと基準データとに基づいて算出される。第１の実測データは、ゲージＧに形成されている基準点Ｔに対しセンサＳで走査しつつＸ軸方向に移動させることにより検出される。センサＳは、モータ５１ｃのパルス信号により、１０ｍｍ間隔でピッチ移動するようになっている。第１の実測データは、検出された基準点Ｔの重心位置の座標データである。
【００２８】
第１の補正関数ｗx は、図３に示すように、第１の実測データと、第１の実測データとして検出された基準点Ｔに関する基準データと、に基づいて算出される。第１の補正関数ｗx は、第１の方向Ｗ１に配列されている基準点Ｔの基準データに対する、同一基準点Ｔを走査して検出された第１の実測データの特性を示す関数である。
【００２９】
図３に示すように、第１の正規関数ｗ１は、第１の方向Ｗ１に配列されている基準点Ｔの基準データに対し、同一基準点Ｔの第１の実測データが基準データと一致したときの関数である。第１の正規関数ｗ１は、傾き（直線性係数）が１の正比例関数である。
【００３０】
第２の補正データ演算手段４は、第２の補正関数ｗy と第２の正規関数ｗ２を算出して、第２の補正データを算出する。第２の補正関数ｗy は、第２の実測データと基準データとに基づいて算出される。第２の実測データは、ゲージＧに形成されている基準点Ｔに対しセンサＳで走査しつつ、Ｙステージ５３の搬送機構５４をＹ軸方向に等速移動させることにより検出される。第２の実測データは、検出された基準点Ｔの重心位置の座標データである。
【００３１】
図４に示すように、第２の正規関数ｗ２は、第２の方向Ｗ２に配列されている基準点Ｔの基準データに対し、同一基準点Ｔの第２の実測データが基準データと一致したときの関数である。第２の正規関数ｗ２は、傾き（直線性係数）が１の正比例関数である。
【００３２】
次に、本実施の形態の作用について図４を用いて説明する。まずＸステージ５０における第１の補正データの算出について説明する。上述したゲージＧの基準点Ｔに関する座標を示す基準データを記憶させる（ＳＴ１）。搬送ベルト５５にゲージＧを載せ、搬送する。センサＳと対向する位置で位置決めする。１０ｍｍピッチ幅でＸ軸方向へセンサＳを移動するようにパルス信号を供給し、センサＳで走査しつつゲージＧを軸方向に移動させて基準点Ｔを検出し、第１の実測データを検出する（ＳＴ２）。検出した第１の実測データに対応する基準点の基準データを読み出す（ＳＴ３）。ボールネジ５２ａが膨張又は収縮していると、第１の実測データと基準データの移動ピッチ幅が一致しない。
【００３３】
第１の実測データと基準データとに基づいて第１の補正関数ｗx を算出する（ＳＴ４）。図３は、第１又は第２の基準データを縦軸に、第１又は第２の実測データを横軸に、センサＳの初期位置を原点にとり、各基準データに対応する各実測データをプロットしたグラフである。各補正関数ｗx ，ｗy は、プロットした各点を最小二乗法等により近似した比例直線である。
【００３４】
また、第１の実測データが基準データと同一であるときに得られる第１の正規関数ｗ１が算出される。第１の正規関数ｗ１は、傾き（直線性係数）ａ＝１の関数である。即ち、ボールネジ５２ａが膨張・収縮しておらず、理想的な状態である。第１の補正関数ｗx の直線性係数ａｘが１より大きいと，Ｘステージ５０のボールネジ５１ａが収縮しており、１より小さいと膨張していることがわかる。そして、直線性係数ａｘに基づいて直線性係数ａ＝１にする第１の補正データ（１／ａｘ）を算出する（ＳＴ５）。
【００３５】
Ｙステージ５３における第２の補正データの算出についても同様である。なお、Ｙステージ５３の搬送機構５４は等速移動であるため、第２の実測データは、連続的に検出される。そして、直線性係数ａｙに基づいて直線性係数ａ＝１にする第２の補正データ（１／ａｙ）を算出する。
【００３６】
次に、本発明のプリント基板検査装置の第２実施の形態について説明する。図５（ａ）に示すように、センサＳは、Ｙ軸方向と直交方向に対して、その走査方向が角度αだけ傾いて取り付けられている。
【００３７】
図２に、本実施の形態の機能ブロック図を示す。なお、第１実施の形態と同一箇所には、同一符号を付し、その説明を省略する。第３の補正データ演算手段５は、第３の実測データと基準データに基づいて、第３の補正データを算出する。第３の実測データは、ゲージＧに対しセンサＳで走査しつつＹ軸方向に搬送機構５４を１回移動させることにより検出される。
【００３８】
基準データ記憶手段２から読み出される基準データは、ゲージＧに対するセンサＳの移動領域内の３つの基準点の基準データである。この３点は、図５（ａ）に示すように、任意の起点Ｔ0 （１，１）と、起点Ｔ0 （１，１）から第１及び第２の方向Ｗ１，Ｗ２に位置する２つの端点Ｔ1 （ｍ，１），Ｔ2 （１，ｎ）である。センサＳは、Ｙ軸方向へ移動することにより、起点Ｔ0 （１，１），第１の端点Ｔ1 （ｍ，１）及び第２の端点Ｔ2 （１，ｎ）を検出する。第１の端点Ｔ1 は、センサＳの走査内にある起点Ｔ0 以外の任意の基準点Ｔを表す。なお、ｎは任意の整数である。
【００３９】
第３の実測データは、この３点のそれぞれの重心位置を示す座標データである。図５（ｂ）は、センサＳで検出されたときの、起点Ｔ0 ，第１及び第２の端点Ｔ1 ，Ｔ2 の位置関係であり、第３の実測データを便宜上、座標展開した図である。また、図５（ｃ）に、第３の実測データに対応する基準データを便宜上、座標展開した図を示す。
【００４０】
次に、本実施の形態の作用について説明する。上述したゲージＧの基準点座標を示す基準データを記憶させる（ＳＴ６）。搬送ベルト５５にゲージＧを載せて搬送し、センサＳと対向する位置で位置決めする。そして、ゲージＧに対しセンサＳで走査しつつＹ軸方向へ移動させて、起点Ｔ0 ，第１の端点Ｔ1 及び第２の端点Ｔ2 を検出する（ＳＴ７）。そして、第３の実測データを算出する（ＳＴ８）。
【００４１】
そして、センサＳで検出された基準点と同一基準点（起点Ｔ0 ，第１及び第２の端点Ｔ2 ）に関する基準データを読み出す（ＳＴ９）。第３の実測データと基準データを比較して、第３の補正データ（偏角量α）を算出する。偏角量αは、図５（ｃ）に示す基準データの３点のなす角α１と、図５（ｂ）に示す第３の実測データの３点からなる角α２と、を用いて、幾何学的な演算処理により算出される（ＳＴ１０）。
【００４２】
次に、本発明のプリント基板検査装置の第３実施の形態について説明する。本実施の形態は、Ｘ軸とＹ軸との直交度補正に関する。なお、第１実施の形態と同一箇所には、同一符号を付し、その説明を省略する。図７（ａ）に示すように、第１の方向Ｗ１と第２の方向Ｗ２は、直交している。Ｘ軸方向直動機構５２の寸法・組立誤差により、Ｘ軸方向は、Ｙ軸方向と直交する方向に対し、角度θ傾いている。
【００４３】
図２に、本実施の形態の機能ブロック図を示す。本実施の形態では、基準データ記憶手段２から読み出される基準データは、センサＳの移動領域内の３つの基準点の基準データである。この３点は、図７（ａ）に示すように、任意の起点Ｔ0 （１，１）と、起点Ｔ0 （１，１）から第１及び第２の方向Ｗ１，Ｗ２に位置する第３の端点Ｔ3 （ｋ＋１，１），第２の端点Ｔ2 （１，ｎ）である。ここで、ｋは、センサＳのＸ軸方向へのピッチ回数である。第３の端点Ｔ3 は、起点Ｔ0 及び第２の端点Ｔ2 の検出後に、センサＳがＸ軸方向に移動させられた後に検出される基準点である。
【００４４】
第４の実測データは、実際に検出した起点Ｔ0 ，第２及び第３の端点Ｔ2 ，Ｔ3 の座標データである。第４の補正データ演算手段６は、第４の実測データと、対応する基準データを比較して、第４の補正データを幾何学的な演算処理により算出する。
【００４５】
次に、本実施の形態の作用について図８を用いて説明する。ゲージＧの基準点Ｔの基準データを記憶させる（ＳＴ１１）。搬送ベルト５５にゲージＧを載せて搬送し、センサＳと対向する位置で位置決めする。センサＳで走査して起点Ｔ0 を検出する（ＳＴ１２）。センサＳをゲージＧに対してＹ軸方向へ移動させて第２の端点Ｔ2 を検出する（ＳＴ１３）。センサＳを起点Ｔ0 と対向する位置に戻して、Ｘ軸方向に１０ｍｍピッチでｋ回ピッチ移動させ、第３の端点Ｔ3 を検出する（ＳＴ１４）。そして、検出された起点Ｔ0 と第２及び第３の端点Ｔ2 ，Ｔ3 に関する第３の実測データを算出する（ＳＴ１５）。図７（ｂ）に、第４の実測データを便宜上、座標展開した図を示す。
【００４６】
検出された起点Ｔ0 と第２及び第３の端点Ｔ2 ，Ｔ3 に関する基準データを読み出し（ＳＴ１６）、第４の実測データと比較する。図７（ｃ）に、読み出された基準データを便宜上、座標展開した図を示す。
【００４７】
第４の実測データと基準データを比較して、第４の補正データ（偏角量θ）を算出する。偏角量θは、図７（ｃ）に示す基準データの３点のなす角θ１と、図７（ｂ）に示す第４の実測データの３点のなす角θ２と、を用いて、幾何学的な演算処理により算出される（ＳＴ１７）。
【００４８】
次に、本発明のプリント基板検査装置の第４実施の形態について説明する。なお、第１実施の形態と同一箇所には、同一符号を付し、その説明を省略する。本実施の形態では、プリント基板検査装置のＸステージ５０に取り付けられた複数（例えば２つ）のセンサＳの配置による誤差を検出する。
【００４９】
図９に示すように、基準となる一方のセンサＳ１の走査方向には、所定の配列ピッチ間隔ｐ離れた位置に他方のセンサＳ２が配置されている。２つのセンサＳ１，Ｓ２は、それぞれＸステージ５０のアーム５１，５１' に取り付けられて、２つのセンサＳ１，Ｓ２をＸ軸方向及びＹ軸方向に同時移動するようになっている。
【００５０】
図１０（ａ）に、２つのセンサＳ１，Ｓ２の配置誤差を示す。２つのセンサＳ１，Ｓ２は、配列ピッチ間隔の設計値ｐに対し、Δｐ分ずれている。また、一方のセンサＳ１を通る第１の方向を基準とした場合、他方のセンナＳ２は、第２の方向へｄだけずれて設置されている。
【００５１】
図２に本実施の形態の機能ブロック図を示す。本実施の形態では、基準データ記憶手段２から読み出される基準データは、２つのセンサＳ１，Ｓ２の移動領域に跨がる３つの基準点の基準データである。この３点は、一方のセンサＳに対向する起点Ｔ0 （１，１）と、起点Ｔ0 から第１の方向Ｗ１に位置する第４の端点Ｔ4 （ｐ，１）と、起点Ｔ0 から第２の方向Ｗ２に位置する第２の端点Ｔ2 （１，ｎ）である。第４の端点Ｔ4 は、センサＳ２の走査内にある任意の基準点Ｔを表す。
【００５２】
第５の補正データ演算手段７は、２つのセンサＳ１，Ｓ２で検出された起点Ｔ0 ，第２の端点Ｔ2 ，第４の端点Ｔ4 に関する第５の実測データと基準データと、を比較して、第５の補正データを算出する。
【００５３】
次に、本実施の形態の作用について図１１を用いて説明する。ゲージＧの基準点Ｔの基準データを記憶させる（ＳＴ１８）。搬送ベルト５５にゲージＧを載せて搬送し、センサＳと対向する位置で位置決めする。２つのセンサＳ１，Ｓ２で走査しつつ、ゲージＧに対してＹ軸方向へ移動させ、センサＳ１で起点Ｔ0 及び第２の端点Ｔ2 を検出し、センサＳ２で第４の端点Ｔ4 を検出する（ＳＴ１９）。
【００５４】
検出された起点Ｔ0 ，第２の端点Ｔ2 ，第４の端点Ｔ4 から第５の実測データを算出する（ＳＴ２０）。第５の実測データは、この３点のそれぞれの重心位置を示す座標データである。図１０（ｂ）は、第５の実測データを便宜上、座標展開した図である。
【００５５】
そして、センサＳで検出された基準点と同一基準点（起点Ｔ0 ，第２及び第４の端点Ｔ4 ）に関する基準データを読み出す（ＳＴ２１）。図１０（ｃ）は、第５の実測データに対応する基準データを便宜上、座標展開した図である。
【００５６】
第５の実測データと基準データを比較して、第５の補正データである配列ピッチ誤差（Δｐ）と一方のセンサＳを通る第１の方向Ｗ１からの位置ずれ誤差（ｄ）を算出する（ＳＴ２２）。
【００５７】
次に、本発明の第５実施の形態について説明する。本実施の形態は、第１乃至第３実施の形態のプリント基板検査装置を組み合わせたものである。本実施の形態のプリント基板検査装置では、図１２（ａ）に示すように、センサＳの走査方向が、Ｙ軸方向と直交する方向に対し角度αずれているとともに、Ｘ軸方向がＹ軸方向と直交する方向に対して角度θずれている。
【００５８】
図１３に本実施の形態の機能ブロック図を示す。プリント基板検査装置は、センサＳと、基準データ記憶手段２と、第１乃至第４の補正データ演算手段からなる補正データ演算手段８と、第１乃至第４の補正データを格納保持する補正データ記憶手段９と、で構成されている。
【００５９】
次に本実施の形態の作用について図１４を用いて説明する。まず、ゲージＧの基準点Ｔの基準データを記憶させる（ＳＴ２３）。第１実施の形態で示したように、予め設定された第１及び第２の補正データを算出する（ＳＴ２４）。この第１及び第２の補正データを補正データ記憶手段９に格納保持する。
【００６０】
次に、第２実施の形態で説明したように、第３の実測データを算出し、対応する基準データを読み出す。そして、第１及び第２の補正データを読み出し、第３の実測データと、対応する基準データと、第１及び第２の補正データと、に基づいて、第３の補正データを算出する（ＳＴ２５）。
【００６１】
次に、第３実施の形態で説明したように、第４の実測データを算出し、対応する基準データを読み出す。そして、第１〜３の補正データを読み出し、第４の実測データと、対応する基準データと、第１〜３の補正データと、に基づいて、第４の補正データを算出する（ＳＴ２６）。
【００６２】
本実施の形態によるプリント基板検査装置によれば、第３の補正データは、第１実施の形態において説明したボールネジの直線性誤差を含まずに算出することができ、高精度の補正データとなる。また、第４の補正データは、更に、第２実施の形態で説明したセンサＳの取付誤差αを含まずに算出でき、高精度の補正データとなる。
【００６３】
次に、本発明の第６実施の形態について説明する。本実施の形態は、第１乃至第４実施の形態のプリント基板検査装置を組み合わせたものである。本実施の形態のプリント基板検査装置では、図１２（ｂ）に示すように、一方のセンサＳ１の走査方向が、Ｙ軸方向と直交する方向に対し角度αずれているとともに、他方のセンサＳ２の走査方向も、Ｙ軸方向と直交する方向に対して角度βずれている。また、Ｘ軸方向がＹ軸方向と直交する方向に対して角度θずれている。更に、２つのセンサＳ１，Ｓ２の配列ピッチ間隔もΔｐずれており、他方のセンサＳ２は、一方のセンサを通る配列方向からｄだけずれている。
【００６４】
図１５に本実施の形態の機能ブロック図を示す。プリント基板検査装置は、２つのセンサＳ１，Ｓ２と、基準データ記憶手段２と、第１乃至第５の補正データ演算手段からなる補正データ演算手段１０と、第１乃至第５の補正データを格納保持する補正データ記憶手段１１と、で構成されている。
【００６５】
次に本実施の形態の作用について図１６を用いて説明する。まず、ゲージＧの基準点Ｔの基準データを記憶させる（ＳＴ２７）。第１実施の形態で示したように、予め設定された第１及び第２の補正データを算出する（ＳＴ２８）。この第１及び第２の補正データを補正データ記憶手段に格納保持する。
【００６６】
次に、第２実施の形態で説明したように、第３の実測データを算出し、対応する基準データを読み出す。そして、第１及び第２の補正データを読み出し、第３の実測データと、対応する基準データと、第１及び第２の補正データと、に基づいて、第３の補正データを算出する（ＳＴ２９）。
【００６７】
次に、第５実施の形態で説明したように、第５の実測データを算出し、対応する基準データを読み出す。そして、第１〜３の補正データを読み出し、第５の実測データと、対応する基準データと、第１〜３の補正データと、に基づいて、第５の補正データを算出する（ＳＴ３０）。
【００６８】
次に、第３実施の形態で説明したように、第４の実測データを算出し、対応する基準データを読み出す。そして、第１〜３の補正データを読み出し、第４の実測データと、対応する基準データと、第１〜３の補正データと、に基づいて、第４の補正データを算出する（ＳＴ３１）。
【００６９】
本実施の形態によるプリント基板検査装置によれば、第３の補正データは、第１実施の形態において説明したボールネジの直線性誤差を含まずに算出することができ、高精度の補正データとなる。また、第５の補正データは、更に第４実施の形態で説明した２つのセンサＳ１，Ｓ２の配列誤差（Δｐ，ｄ）を含まずに算出でき、高精度の補正データとなる。また、第４の補正データは、更に第２実施の形態で説明したセンサＳの取付誤差αを含まずに算出でき、高精度の補正データとなる。
【００７０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によるプリント基板検査装置では、Ｘ軸とＹ軸とのなす角度，Ｘ軸及びＹ軸の直線性，並びにセンサの取付位置等の機械的誤差をソフトウェアで処理することにより、これらの精度の向上を図ることができる。
【００７１】
また、Ｘ軸及びＹ軸の方向の基準となる第１及び第２の方向に複数の基準点が配列されているとプリント基板検査用ゲージを用いることにより、基準点に関する基準データと実測データとの比較をして、補正データを算出し、短時間で簡単に機械的誤差の検出を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるプリント基板検査用ゲージを示す図である。
【図２】本発明による第１〜第４実施の形態プリント基板検査装置の機能ブロック図である。
【図３】本発明による第１実施の形態のプリント基板検査装置における補正関数と正規関数を示すグラフである。
【図４】本発明による第１実施の形態のフローチャートである。
【図５】本発明による第２実施の形態のプリント基板検査装置におけるセンサの取付誤差を示す図である。
【図６】本発明による第２実施の形態のフローチャートである。
【図７】本発明による第３実施の形態のプリント基板検査装置におけるＸ軸及びＹ軸の直交度の誤差を示す図である。
【図８】本発明による第３実施の形態のフローチャートである。
【図９】本発明による第４実施の形態のプリント基板検査装置の複数のセンサを示した図である。
【図１０】本発明による第４実施の形態のプリント基板検査装置における複数のセンサの配列誤差を示す図である。
【図１１】本発明による第４実施の形態のフローチャートである。
【図１２】本発明による第５及び第６実施の形態のプリント基板検査装置において各種誤差が複合した状態を示す図である。
【図１３】本発明による第５実施の形態プリント基板検査装置の機能ブロック図である。
【図１４】本発明による第５実施の形態のフローチャートである。
【図１５】本発明による第６実施の形態プリント基板検査装置の機能ブロック図である。
【図１６】本発明による第６実施の形態のフローチャートである。
【図１７】従来のプリント基板検査装置を示す概略側面図である。
【図１８】従来のプリント基板検査装置を示す概略上面図である。
【符号の説明】
１…プリント基板検査装置，２…基準データ記憶手段，３…第１の補正データ演算手段，４…第２の補正データ演算手段，５…第３の補正データ演算手段，６…第４の補正データ演算手段，７…第５の補正データ演算手段，８…補正データ演算手段，１０…補正データ演算手段，６２…プリント基板，Ｓ，Ｓ１，Ｓ２…センサ，Ｇ…ゲージ，Ｗ１…第１の方向，Ｗ２…第２の方向，ｗx …第１の補正関数，ｗy …第２の補正関数，ｗ1 …第１の正規関数，ｗ2 …第２の正規関数，α…偏角量，θ…差分，Δｐ，ｄ…配列誤差，Ｔ…基準点，Ｔ0 …起点，Ｔ1 …第１の端点，Ｔ2 …第２の端点，Ｔ3 …第３の端点基準点，Ｔ4 …第４の端点，Ｔａ…凹部，Ｔｂ，Ｔｃ…凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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