(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のレンズ及びレーザーダイオード（以降ＬＤと略す）を含むパッケージと
光ファイバと
第２のレンズ及びアイソレータを含むアイソレータモジュールと
からなる光素子モジュールを光軸調整して組立て製造する装置であって、
上記ＬＤからのレーザ光は上記パッケージに対して並行であり、上記アイソレータモジュールの下端面を上記パッケージの上端面に押し付けることによって面合わせを行い、
上記光ファイバと第２のレンズとの光軸調整を行う光ファイバの光軸調整部が、上記ＬＤと第２のレンズの光軸上の近傍での上記第２のレンズの出力ビームの画像出力をその画像の位置を換えながら、かつ光軸から離れた位置で得る撮像手段と、上記撮像手段で得た画像から位置データを算出する処理装置と、上記位置データを用い上記光ファイバの位置決めをおこなう位置決め手段と、上記位置決め手段出の調整時に上記光ファイバの出力を測定する光出力測定機器とを備えたことを特徴とする光素子モジュールの組み立て装置。
【請求項２】
請求項１記載の光素子モジュールの組み立て装置において、上記撮像手段が光画像を伝送するファイバ束と、上記ファイバ束の一端を上記第２のレンズの光軸近傍で移動し任意の位置に停止する移動機構と、上記ファイバ束の他端に伝送された像を撮像する画像表示装置をもつことを特徴とする光素子モジュールの組み立て装置。
【請求項３】
請求項１の光素子モジュールの組み立て装置において、上記撮像手段が上記第２のレンズで集光されたレーザ光を可視化する受光板と、上記受光板の映像を撮像する撮像手段と、上記撮像手段と連動し上記受光板の位置を移動させる制御装置とをもつことを特徴とする光素子モジュールの組み立て装置。
【請求項４】
第１のレンズ及びレーザーダイオード（以降ＬＤと略す）を含むパッケージと
光ファイバと
第２のレンズ及びアイソレータを含むアイソレータモジュールと
からなる光素子モジュールを光軸調整して組立て製造する方法において、
上記ＬＤからのレーザ光は上記パッケージに対して並行であり、上記アイソレータモジュールの下端面を上記パッケージの上端面に押し付けることによって面合わせを行い、
上記ＬＤを発光状態とし、上記レンズから出射される光ビームの画像の位置を換えながら画像位置からは離れた位置で上記光ビームの画像を観察し、
上記光ビームが収束する状態の時の位置データを検出し、
上記位置データを用いて上記光学レンズと光ファイバの組み立てのための光ファイバ把持装置の位置を制御する工程を含むことを特徴とする光ファイバ光軸調整方法
【請求項５】
請求項４の光ファイバ光軸調整方法において、上記第２のレンズから出射される光ビームの画像の位置を換えながら画像位置からは離れた位置で上記光ビームの画像を観察する工程が、光ファイバ束の一端を上記光ビームが収束する位置近傍を移動し、上記光ファイバ束の他端で上記光ビームの画像を観察することを特徴とする光ファイバ光軸調整方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体レーザ(以下LDと略称)とレンズと光ファイバとで構成される光通信用の素子モジュールを組立てる工程で使用する光素子モジュールの組み立て装置、特に、その光ファイバの光軸調整部の構成光素子モジュール組立装置及び光軸調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＤからの出射光をレンズで集光して光ファイバに入射する構成の通信用光素子モジュールでは、良好な光結合を得るためにモジュールを構成する部品の位置合わせ、いわゆる光軸調整を行って組み立てる。
【０００３】
光素子モジュールには、ＬＤからの出射光を入射する第１のレンズと第１のレンズの出射光を集光し光ファイバに入射する第２のレンズの２個のレンズを用いる形態のものがある。２個のレンズを用いる光素子モジュールは、レンズの軸ずれ許容度が緩く、製作性が良いという特長がある。また光結合での損失を小さくできるという特性もあるため、レンズ個数が２個と部品点数が多いにもかかわらず、高性能が求められるな光素子モジュールでは、この構成は多用されている。
【０００４】
光素子モジュールの製造において、第二レンズの光軸と光ファイバの位置との高精度な位置合わせ、即ち光軸調整が必要である。従来の光軸調整方法は、光出力測定機器を用いて光ファイバ端からの光出力を観察しながら光軸調整を行い、光出力が最大となる位置を探し出す方法が実施されている。しかし前記従来の方法では調整時間が多大であり、高速で光軸調整を実施する方法が必要となる。
【０００５】
例えば特開平８−２９７２２９号公報ではＣＣＤカメラを用いてＬＤの光束を２点計測し、本来集光されるべき位置と現在集光されている位置とのずれ量を算出し、ＸＹＺステージを駆動させ本来集光されるべき位置にきわめて短時間に光軸調整する方法が提案されているが、光軸上部にＣＣＤカメラを有しており光ファイバの光軸調整は困難であり、且つ第二レンズを用いない光素子モジュールに対する光軸調整装置のため、第二レンズを使用する光素子モジュールの製造に適用は困難である。
【０００６】
また、特開平９−４３４５６号公報では赤外線撮像管カメラを用いて光素子モジュールのレーザスポットの位置を撮像し、ファイバチャックで把持された光ファイバをＸＹステージで移動させ、光ファイバ端をレーザスポットへ位置決めする方法が提案されているが、レーザ溶接等で光ファイバを固定する光素子モジュールでは光軸上部に赤外線撮像管カメラが配置されていると装置全体が大きくなりレーザ溶接の出射光学部が配置しづらく、またＺステージ等で赤外線撮像管カメラを待避させる構造としても多大な待避時間を要するという問題があり、光軸調整の高速化における妨げとなっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記光素子モジュールの製造における光軸調整時間を短縮する光素子モジュールの組立て装置、特に光ファイバ光軸調整部の構造及び光軸調整方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、ＬＤと光ファイバとレンズとを光軸調整して組み立てる光素子モジュールを製造する装置において、上記光ファイバとレンズとの光軸調整を行う光ファイバの光軸調整部が、上記ＬＤとレンズの光軸上の近傍での上記レンズの出力ビームの画像出力をその画像の位置を換えながら、かつ光軸から離れた位置で得る撮像手段と、上記撮像手段で得た画像から位置データを算出する処理装置と、上記位置データを用い上記光ファイバの位置決めをおこなう位置決め手段と、上記位置決め手段出の調整時に上記光ファイバの出力を測定する光出力測定機器とを備える。
【０００９】
本発明の特に好ましい実施形態では、上記撮像手段を光画像を伝送するファイバ束と、上記ファイバ束の一端を上記レンズの光軸近傍で移動し任意の位置に停止する移動機構と、上記ファイバ束の他端に伝送された光画像像を撮像する光学系及びカメラとを設けて構成する。
【００１０】
更に、本発明の光ファイバ光軸調整方法では、上記本発明の光素子モジュールの組立て装置において、上記ＬＤを発光状態とし、上記レンズを規定の位置へセットし、上記レンズから出射される光ビームが収束する状態とし、その収束位置近傍のレーザ光画像を上記収束位置近傍からはなれた位置で撮像光学系のピントを合わせて、ビーム収束位置のデータを測定し、その測定したデータを用いて組みたれられるべき光ファイバの把持装置を所定の位置に移動する。
【００１１】
本発明の装置及び方法によれば、遠隔位置から光素子モジュールの光軸を省スペースで計測可能な機構により、レンズを使用する光素子モジュールの組み立て製造において、レンズと光ファイバの光軸調整を行った後、レンズ部と光ファイバ部を溶接するレーザ溶接固定機器を光ファイバの近傍に配備することが可能となり、レーザ溶接固定機器等の移動時間短縮が可能となり更なる光軸調整及び光素子モジュールの組立てを高速化できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に本発明による光素子モジュールの組み立て装置の一実施例を図面を用いて説明する。
【００１３】
図１は本発明による光素子モジュールの組み立て装置の一実施例の斜視図である。図２は、上記光素子モジュールの組立装置の要部構成を示す側面図である。本発明の実施例を説明する前に、本発明の組み立て装置によって組み立てられる光素子モジュールの構造及び光結合状態を図３を用いて説明する。
【００１４】
光素子モジュールは、図３（ａ）に示すように、レーザダイオード（ＬＤ）１０をもつパッケージ１６と、アイソレータモジュール１７と、光ファイバ１４の入力端を保持するホルダ１９とで組み立てられる。パッケージ１６内にはＬＤ１０を搭載するステム１５と、筒状のレンズホルダ１８に内蔵されＬＤ１０からの発散光を平行光に変換する第一レンズ１１とが設けられている。アイソレータモジュール１７の内部には、アイソレータ１２、平行光を収束する第二レンズ１３が内蔵されている。
【００１５】
レンズホルダ１８は光軸調芯後、ステム１５とレンズホルダ取り付け面で接続固定される。レンズホルダ１８が接続固定されたステム１５はパッケージ１６へ搭載され、パッケージ１６は密閉される。パッケージ１６が密閉された後、第二レンズ１３とアイソレータ１２が一部品となったアイソレータモジュール１７と光ファイバ１４を光軸調整してレーザ溶接固定する構造となっている。
【００１６】
図３（ｂ）は図３（ａ）の光学系のみを抽出して示した図で、ＬＤ１０から出射される発散光は、第一レンズ１１を経て平行光となり、アイソレータ１２を透過し、第二レンズ１３によって収束光となり、光ファイバ１４に入射する。アイソレータ１２は、第二レンズ１３や光ファイバ１４等からの戻り光を除去する機能を有する。
【００１７】
この２レンズ方式の光素子モジュールでの光軸調整は次の二つの内容を含む。
【００１８】
（１）第一レンズ１１から出射するレーザ光が、概平行光であり、その光軸はステム１５の外形に対して平行であること。これはステム１５を格納するパッケージ１６に、アイソレータモジュール１７が固定されるため、パッケージ１６に対してレーザ光の平行度がでているようにする。
（２）アイソレータモジュール１７と光ファイバ１４を組み付けた場合、光ファイバ１４に入射する光量が最大となるようにする。
本発明の光素子モジュールの組み立て装置の光ファイバの光軸調整部及び方法は、上記の（２）の内容を対象とするものである。
【００１９】
図１の光素子モジュールの組み立て装置は、作業者が操作を行う操作パネル１、光ファイバ１４を溶接固定するためのＹＡＧレーザ溶接出射光学部２、光素子モジュールからの光ビームの光学像を光軸から離れた位置で遠隔検出撮像するための赤外線撮像管カメラ３、ＹＡＧレーザ溶接出射光学部２へＹＡＧレーザを出力するＹＡＧレーザ発振器４、光素子モジュールからの光ビームを検出するためのファイバ束を位置決めするためのファイバ束位置決め機構部５、パッケージ１６を、アイソレータモジュール１７及び光ファイバ１４に入射する光量が最大となる位置へ光軸調整するための光軸調整ステージ６、前記光軸調整を実施する際にアイソレータモジュール１７を位置決め調整するアイソレータ調整ステージ７、前記光軸調整を実施する際に光ファイバ１４を位置決め調整する光ファイバ調整ステージ８から構成される。なお、図１には光素子モジュールを構成するパッケージ１６、アイソレータモジュール１７、光ファイバ１４及び光ファイバホルダー１９は示されていない。
【００２０】
上記光素子モジュールの組み立て装置の要部構成は図２のように、アイソレータモジュール１７内の第二レンズより射出される収束光の収束位置を検出するためのファイバ束２０及びパッケージ１６から射出される総光量を検出するための光検出器５０をファイバ束位置決め機構部５で固定し上下及びＸＹ(紙面に垂直な面)方向に移動できるファイバ束上下移動部３５、ファイバ束ＸＹ移動部３４と、ファイバ束２０に入射した光ビームの像をファイバ束２０の他端において撮影し光ビームの収束位置を確認する画像を表示するための赤外線撮像管カメラ３と、光ファイバ１４に入射する光量が最大となる位置へ光軸調整するためにＬＤ１０を内蔵したパッケージ１６を保持固定するパッケージ固定機構３２をＸＹθ方向に移動できる光軸調整ＸＹθ移動部３１を持つ光軸調整ステージ６と、光軸調整を実施する際にアイソレータモジュール１７を位置決め調整するためにアイソレータモジュール１７をアイソレータ把持機構３９で把持しながら上下及びＸＹ方向に移動できるアイソレータ上下移動部３８及びアイソレータＸＹ移動部３７を持つアイソレータ調整ステージ７、光ファイバ１４を位置決め調整するためにファイバホルダ１９と光ファイバ１４を保持するファイバホルダ把持機構４２、光ファイバ把持機構４４で同一中心で把持し各々独立して上下するファイバホルダ上下移動部４１、光ファイバ上下移動部４３を搭載しＸＹに移動できる光ファイバファイバホルダＸＹ移動部４０とから構成される光ファイバ調整ステージ８及び光ファイバ１４の出力を検出するパワーメータ３３をベース３０上で構成している。
【００２１】
また、光軸調整ステージ６の上方にはアイソレータモジュール１７、光ファイバ１４、ファイバホルダ１９、パッケージ１６を各々の位置決め調整後に固定を行うために、上下及び前後で移動するＹＡＧレーザ溶接出射光学部上下移動部４５、ＹＡＧレーザ溶接出射光学部前後移動部４６で最適位置にＹＡＧレーザで溶接固定できるＹＡＧレーザ溶接出射光学部２を複数配置し、これらを最適動作で動作させるカメラ撮像検出調整制御部４８、パワー検出調整制御部４７、全体制御部４９で構成している。
【００２２】
図４は、図１に示した光ファイバ組み立て装置の全体動作及び本発明による光軸調整方法の工程フロー図である。
先ず、パッケージ１６、アイソレータモジュール１７、光ファイバ１４を組み立て装置へ手作業で供給する（Ｓ２００）。次に、操作パネル１上の自動起動スイッチをオン（ＯＮ）すると（Ｓ２０１）、光軸調整ステージ６、アイソレータ調整ステージ７、光ファイバ調整ステージ５にセットされたそれぞれパッケージ１６、アイソレータモジュール１７及び光ファイバ１４が自動で搬送され、予め設定された位置に初期位置決めされる（Ｓ２０２）。
【００２３】
次に、ＹＡＧレーザ溶接高さを補正するためアイソレータモジュール１７の取付高さを測定し（Ｓ２０３）、パッケージ１６とアイソレータモジュール１７の溶接面の面合わせを行う（Ｓ２０４）。前記面合わせ完了後、光軸調整ステージ６をθ回転させパッケージ１６とアイソレータモジュール１７の偏波面合わせを行い（Ｓ２０５）、次に、ファイバ束２０による光ビームの画像検出を行い、ＸＹＺ方向の補正と補正されたときの座標データの読み取りを行う（Ｓ２０６）。
【００２４】
次に、ＹＡＧレーザ溶接高さを補正するため光ファイバ１４の取付高さを測定し（Ｓ２０７）、前記の画像検出により認識したＸＹＺ座標の位置（光軸上）へ、光ファイバを位置決めする（Ｓ２０８）。次に、光ファイバ１４をＸＹＺ方向へ、パッケージ１６をＸＹ方向へ調整し、光出力が最大となる位置まで調整を繰り返す（Ｓ２０９）。
【００２５】
前記光軸調整完了後、アイソレータモジュール１７とパッケージ１６をＹＡＧレーザで溶接固定する（Ｓ２１０）。次に、アイソレータモジュール１７とファイバホルダ１９の溶接面の面合わせを行い（Ｓ２１１）、その後、光ファイバ１４をＸＹＺ方向へ調整し、光出力が最大となる位置まで調整を繰り返す（Ｓ２１２）。前記光軸調整完了後、光ファイバ１４とファイバホルダ１９をＹＡＧレーザで溶接固定する（Ｓ２１３）。次に、再度、アイソレータモジュール１７とファイバホルダ１９の溶接面の面合わせを行い（Ｓ２１４）、その後、ファイバ１４をＸＹ方向へ調整し、光出力が最大となる位置まで調整を繰り返す（Ｓ２１５）。前記光軸調整完了後、ファイバホルダ１９とアイソレータモジュール１７をＹＡＧレーザで溶接固定する（Ｓ２１６）。上記工程を経て完成した光素子モジュール２１は光軸調整ステージ６により取り出し場所まで搬送され（Ｓ２１７）、手作業で完成品を取り外し（Ｓ２１８）、光素子モジュールの一連の組み立て動作を完了する。
【００２６】
以下上記光素子モジュールの一連の組み立てにおける光ファイバ光軸調整方法を具体的に説明する。
図５（ａ）は、アイソレータモジュール１７とパッケージ１６とを溶接固定する部分を完全に密着させるための面合わせ動作を説明する図である。図５（ａ）において、アイソレータ調整ステージ７（図示せず）を駆動することによりアイソレータモジュール１７の下端がパッケージ１６の上端に接触する位置まで下降し、その位置からさらに上記アイソレータ調整ステージ７を駆動することによりアイソレータモジュール１７をＺ方向に下降させ、アイソレータモジュール１７の下端面をパッケージ１６の上端面に押し付けることにより、光軸調整ステージ６の角度が微小に変化し、アイソレータモジュール１７の下端面とパッケージ１６の上端面が完全に平行な状態となり、アイソレータモジュール１７とパッケージ１６の面合わせ動作を完了する。
【００２７】
図５（ｂ）は、パッケージ１６とアイソレータモジュール１７の偏波面合わせ動作を説明する図である。前記面合わせ動作終了後、図５（ｂ）に示すように、ファイバ束位置決め機構部５（図示せず）を駆動し、光検出器５０をアイソレータモジュール１７の直上に移動した状態で、パッケージ１６に通電することにより、パッケージ１６の上端からレーザ光を射出させる。パッケージ１６から射出されたレーザ光はアイソレータモジュール１７内部を通過した後、光検出器５０に入射する。次に光軸調整ステージ６をθ方向に回転させ光検出器５０に入射するレーザ出力が最大となる位置で光軸調整ステージ６を停止させる。
【００２８】
図５（ｃ）は、ファイバ束２０による光ビーム画像検出動作を説明する図である。図５（ｃ）において、ファイバ束位置決め機構部（図示せず）を駆動し、アイソレータモジュール１７の直上にファイバ束２０を位置決めする。次にファイバ束２０の他端を赤外線撮像管カメラ３（図示せず）で撮影しながら、ファイバ束位置決め機構部５（図示せず）をＸＹ方向に駆動し、レーザ光がファイバ束２０の中央に入射する位置でファイバ束２０を停止する。この位置からファイバ束２０をＺ方向に下降させながら、前記赤外線撮像管カメラで撮影したレーザ光の映像の面積が最小となる位置で、ファイバ束２０の移動を停止する。前記レーザ光の映像の面積は、アイソレータモジュール１７から射出されるレーザ光が収束する位置にファイバ束２０の端面が位置する時に最小となるため、前記検出面積が最小となる位置を求めることにより、レーザ光が収束する位置データを求めることができる。
【００２９】
図６（ａ）はパッケージ１６とアイソレータモジュール１７の位置関係を最適なものに調整するための光軸調整動作を説明する図である。図６（ａ）に示すように、光ファイバ調整ステージ８（図示せず）を駆動し、光ファイバ１４及びファイバホルダ１９をアイソレータモジュール１７の直上に移動する。この際、図５（ｃ）で求めたレーザ光が収束する位置のデータを用いて光ファイバ１４の先端が位置するようにする。この状態から、光ファイバ１４をＸＹＺ方向に微動させながら、光ファイバ１４の他端に接続された光出力測定器３３（図示せず）で測定される光出力が最大となる位置を求め、その位置で光ファイバ１４を停止する。次に、光軸調整ステージ６をＸＹ方向に微小移動させ、パッケージ１６とアイソレータモジュール１７の位置関係を変動させることによりレーザ光が光ファイバ１４に入射する際の入射角を微調整しながら、光出力測定器３３で光出力を測定し、光出力が最大となる位置で、パッケージ１６を停止する。
【００３０】
次に図６（ｂ）に示すように、ＹＡＧレーザ溶接出射光学部位置決め機構（図示せず）を駆動し、３個のＹＡＧレーザ溶接出射光学部２を下降させ、パッケージ１６及びアイソレータモジュール１７の接合面を３点で溶接固定する。その後アイソレータ把持機構３９を開放し、光軸調整ステージ６をθ方向に回転させながらパッケージ１６及びアイソレータモジュール１７の接合面の多点溶接を行う。溶接完了後、アイソレータ調整ステージ（図示せず）を駆動し、アイソレータ把持機構39を右方向に退避させる。
【００３１】
次に図６（ｃ）に示すように、ファイバホルダ１９の下端面とアイソレータモジュール１７の上端面とを溶接固定する面を密着させるための面合わせ動作を行う。図６（ｃ）において、光ファイバ調整ステージ（図示せず）を駆動することにより、光ファイバ１４及びファイバホルダ１９をＺ方向に下降させ、ファイバホルダ１９の下端面をアイソレータモジュール１７の上端面に押し付けることにより、光軸調整ステージ６の角度が微小に変化し、ファイバホルダ１９の下端面とアイソレータモジュール１７の上端面が完全に平行な状態となり、ファイバホルダ１９とアイソレータモジュール１７の面合わせ動作が完了する。
【００３２】
上記面合わせ完了後、図７（ａ）に示すように、再度光ファイバ調整ステージ（図示せず）をＸＹＺ方向に移動させ、光ファイバ１４を光出力測定器３３（図示せず）で測定される光出力が最大となる位置に光ファイバ１４を位置決めする。
【００３３】
次に図７（ｂ）に示すように、ＹＡＧレーザ溶接出射光学部位置決め機構４５、４６（図示せず）を駆動し、３個のＹＡＧレーザ溶接出射光学部２を移動し、光ファイバ１４及びファイバホルダ１９を溶接固定する。
その後、ファイバホルダ１９及びアイソレータモジュール１７の面合わせを前記の手順で再度行った後、ファイバホルダ１９をＸＹ方向に微動させ、図８（ａ）に示すように、光出力が最大となる位置にファイバホルダ１９を位置決めする。
【００３４】
次にファイバホルダ１９及びアイソレータモジュール１７の溶接固定を行う。
【００３５】
図８（ｂ）に示すように、ＹＡＧレーザ溶接出射光学部位置決め機構４５、４６（図示せず）を駆動し、３個所のＹＡＧレーザ溶接出射光学部２を移動し、ファイバホルダ１９及びアイソレータモジュール１７の接合面を３点で溶接固定する。次にファイバホルダ把持機構４２及び光ファイバ把持機構４４を開放し、光軸調整ステージ６をθ方向に回転させながら、ファイバホルダ１９及びアイソレータモジュール１７の接合面の多点溶接を行う。
以上の手順で光素子モジュール２１が完成する。
【００３６】
図９は、本発明による光素子モジュールの組み立て装置の更に他の実施例における第二レンズ１３と光ファイバ１４との組み付け位置調整部を示す。本実施例は、図２に示した実施例における遠隔地で光ビームの映像を得る手段であるファイバ束の代わりに、集光されたレーザ光を可視化するための受光板を用いたものである。他の光ファイバ調整ステージ、光軸調整ステージ等にかんしては、図２に示した場合と同じであるので、説明を省く。図１１において、９０はＬＤ１０のと同じ波長を持つ代替光源、９１は第二レンズ１３により集光されたレーザ光を可視化するための受光板、９２は受光板９１で可視化されたレーザ光の集光状態を認識するカメラであり、カメラ９２で認識したレーザ光の集光状態に応じて、受光板９１の位置を移動させるモータ９３とモータ９３を制御する制御装置９４から構成される。
【００３７】
代替光源９０の発散光は、第二レンズ１３を介して受光板９１で可視化され、焦点位置において最小スポット径となることから、受光板９１面のスポット径をカメラ９２で認識し、最小スポット径となる位置（以下、ＷＤと記す）のデータを、モータ９３により受光板９１をレーザ光に対して前後方向に移動させて検出することにより、第二レンズ１３固有の焦点位置ばらつきを事前に把握する。第二レンズ１３と光ファイバ１４との位置調整においては、第二レンズ１３と光ファイバ１４との間隔をＷＤに設定することにより、第二レンズ１３固有の焦点位置ばらつきを吸収させられることから、位置調整時間の短縮が可能となる。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、ＬＤを含むもパッケージと、収束レンズと、光ファイバから構成される光素子モジュールで組み立てにおいて、収束レンズによるレーザ光の収束位置を光素子モジュールの光軸から離れた位置で光学像として、撮像し、その位置データを利用してその後の正確な光軸あわせを行うため、光ファイバの光軸調整を高精度且つ短時間で行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による光素子モジュールの組み立て装置の一実施例の斜視図。
【図２】図１の要構成を示す側面図。
【図３】本発明の実施例へ適用する光素子モジュールの構造を説明する図。
【図４】図１の実施例のによる光素子モジュール組み立てを説明するフロー図。
【図５】本発明による光ファイバ光軸調整方法の一実施例の工程を説明する図。
【図６】本発明による光ファイバ光軸調整方法の一実施例の工程を説明する図。
【図７】本発明による光ファイバ光軸調整方法の一実施例の工程を説明する図。
【図８】本発明による光ファイバ光軸調整方法の一実施例の工程を説明する図。
【図９】本発明による光素子モジュールの組み立て装置の更に他の実施例の用部構成を示す図。
【符号の説明】
１……操作パネル，２……ＹＡＧレーザ溶接出射光学部，
３……赤外線撮像管カメラ，４……ＹＡＧレーザ発振器，
５……ファイバ束位置決め機構部，６……光軸調整ステージ，
７……アイソレータ調整ステージ，８……光ファイバ調整ステージ，
１０……レーザーダイオード（ＬＤ），１１……第一レンズ，
１２……アイソレータ，１３……第二レンズ，１４……光ファイバ，
１５……ステム，１６……パッケージ，１８……レンズホルダ，
１９……ファイバホルダ，２０……ファイバ束，２１……光素子モジュール，
３０……ベース，３１……光軸調整ＸＹθ移動部，３２……パッケージ固定機構，
３３……パワーメータ，３４……ファイバ束ＸＹ移動部，
３５……ファイバ束上下移動部，３６……ファイバ束把持機構，
３７……アイソレータＸＹ移動部，３８……アイソレータ上下移動部，
３９……アイソレータ把持機構，
４０……光ファイバ，ファイバホルダＸＹ移動部
４１……第二レンズ上下移動部，４２……ファイバホルダ把持機構，
４３……光ファイバ上下移動部，４４……光ファイバ把持機構，
４５……ＹＡＧレーザ溶接出射光学部上下移動部，
４６……ＹＡＧレーザ溶接出射光学部前後移動部，
４７……パワー検出調整制御部，４８……カメラ撮像検出調整制御部，
４９……全体制御部，５０……光検出器，９０……代替光源，
９１……受光板，９２……カメラ，９３……モータ，９４……制御装置
【図１】
0003691361.tif 000002
【図２】
0003691361.tif 000003
【図３】
0003691361.tif 000004
【図４】
0003691361.tif 000005
【図５】
0003691361.tif 000006
【図６】
0003691361.tif 000007
【図７】
0003691361.tif 000008
【図８】
0003691361.tif 000009
【図９】
0003691361.tif 000010