(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路に沿って敷設される長尺状の搬送チューブと、
前記搬送チューブ内に搬送チューブに沿って形成され、被搬送物を搬送するための移動体が収容される搬送室と、
前記搬送室の天井に配置されるフィルタ部と、
前記搬送室の下方に仕切部材を介して形成され、前記移動体を移動するためのリニアモータが収容される駆動室と、
前記仕切部材に形成され前記移動体とリニアモータとの連結部が挿通されるスリット部と、
前記駆動室の下方に床部材を介して形成される温度調整空気室と、
前記床部材に前記搬送路の方向に間隔を置いて形成される温度調整空気流入口と、
前記駆動室と前記フィルタ部とを連通する連通室と、
前記搬送路の方向に間隔を置いて配置され前記駆動室の空気を吸引し吸引された空気を前記連通室を介して前記フィルタ部に供給する空気供給装置と、
前記搬送路の方向に前記温度調整空気流入口の間隔より長い間隔を置いて配置され前記搬送室，駆動室または連通室から一部の空気を吸引して冷却または加熱し冷却または加熱された空気を前記温度調整空気室に流出させる温度調整装置と、
を有し、
前記温度調整装置から前記温度調整空気室に流出された冷却または加熱された空気を前記床部材に形成される前記温度調整空気流入口から前記駆動室内に流入させ、前記駆動室内において前記スリット部から前記駆動室内に流入した前記搬送室からの空気と混合するようにしたことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記温度調整装置には、搬送チューブ外の外部空気を導入するための外部空気取入口が形成されていることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記温度調整装置には、湿度を調整するための湿度調節機構が設けられていることを特徴とする請求項２記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、搬送装置に係わり、特に、塵埃の殆ど無い環境下において被搬送物を搬送するための搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、塵埃の殆ど無い環境下において、例えば、半導体ウエハー等の被搬送物を搬送する搬送装置としては、例えば、特公昭６２−２２８３０号公報に開示されるものが知られている。
【０００３】
図６は、この公報に開示される搬送装置を示すもので、この搬送装置では、搬送チューブ１１内に搬送室１３が形成されており、搬送室１３内に半導体ウエハー等の被搬送物１５を搬送するための台車１７が配置されている。
【０００４】
搬送室１３の床部１９には、排出口２１が形成されており、この排出口２１には、モータ２３に電気を供給するための導体２５が配置されている。
また、搬送室１３の上部には、フィルタ２７が配置され、搬送室１３の側方には、排出口２１からの空気を、フィルタ２７に循環するためのブロワ２９が配置されている。
【０００５】
上述した搬送装置では、台車１７が移動すると、モータ２３の図示しない集電子と、導体２５との摩擦により、塵埃が生じるが、この塵埃は、排出口２１からブロワ２９により吸引され、フィルタ２７により除去される。
【０００６】
従って、搬送室１３内への塵埃の侵入を極力排除することが可能になり、塵埃の殆ど無い環境下において被搬送物１５を搬送することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の搬送装置では、モータ２３の集電子と、導体２５との摩擦により生じた塵埃をブロワ２９により吸引しているとはいえ、モータ２３の集電子と、導体２５との摩擦により確実に塵埃が発生しているため、搬送室１３内への塵埃の侵入を完全に防止することは困難であり、搬送室１３内に塵埃が侵入する虞れがあるという問題があった。
【０００８】
また、従来の搬送装置では、モータ２３の駆動による発熱のために、搬送室１３内の温度が上昇するため、被搬送物１５の種類によっては、温度的な理由から搬送が不可になる虞れがあるという問題があった。
【０００９】
そこで、搬送チューブ１１内の空気を単に冷房することが考えられるが、この場合には、搬送チューブ１１内の全ての空気を所定の温度に冷房する必要があるため、冷房装置が大型化し、運転コストが増大するという問題があった。
【００１０】
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、モータに起因する塵埃の発生を無くすことができるとともに、必要最小限の冷房あるいは暖房により搬送室内の温度を所定の温度に維持することができる搬送装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１の搬送装置は、搬送路に沿って敷設される長尺状の搬送チューブと、前記搬送チューブ内に搬送チューブに沿って形成され、被搬送物を搬送するための移動体が収容される搬送室と、前記搬送室の天井に配置されるフィルタ部と、前記搬送室の下方に仕切部材を介して形成され、前記移動体を移動するためのリニアモータが収容される駆動室と、前記仕切部材に形成され前記移動体とリニアモータとの連結部が挿通されるスリット部と、前記駆動室の下方に床部材を介して形成される温度調整空気室と、前記床部材に前記搬送路の方向に間隔を置いて形成される温度調整空気流入口と、前記駆動室と前記フィルタ部とを連通する連通室と、前記搬送路の方向に間隔を置いて配置され前記駆動室の空気を吸引し吸引された空気を前記連通室を介して前記フィルタ部に供給する空気供給装置と、前記搬送路の方向に前記温度調整空気流入口の間隔より長い間隔を置いて配置され前記搬送室，駆動室または連通室から一部の空気を吸引して冷却または加熱し冷却または加熱された空気を前記温度調整空気室に流出させる温度調整装置とを有し、前記温度調整装置から前記温度調整空気室に流出された冷却または加熱された空気を前記床部材に形成される前記温度調整空気流入口から前記駆動室内に流入させ、前記駆動室内において前記スリット部から前記駆動室内に流入した前記搬送室からの空気と混合するようにしたものである。
【００１２】
請求項２の搬送装置は、請求項１において、前記温度調整装置には、搬送チューブ外の外部空気を導入するための外部空気取入口が形成されているものである。
【００１３】
請求項３の搬送装置は、請求項２において、前記温度調整装置には、湿度を調整するための湿度調節機構が設けられているものである。
【００１４】
【作用】
請求項１の搬送装置では、駆動室内に、仕切部材のスリット部を通過してきた搬送室内からの空気と、床部材の温度調整空気流入口を通過してきた温度調整空気室内からの空気とが流入され、これ等の空気が、空気供給装置により吸引混合された後、連通室を介してフィルタ部に供給され、フィルタ部を通過して搬送室内に循環される。
【００１５】
そして、請求項１の搬送装置では、移動体を移動するためのモータにリニアモータを使用したので、モータの集電子と導体との摩擦による塵埃の発生を無くすことができる。
【００１６】
また、請求項１の搬送装置では、搬送室内をクリーンな状態に維持するために必要な風量が、空気供給装置により確保され、一方、搬送室内を所定の温度に維持するために必要な冷房または暖房用の風量が、温度調整装置により確保されるため、必要最小限の冷房あるいは暖房により搬送室内の温度を所定の温度に維持することができる。
【００１７】
請求項２の搬送装置では、温度調整装置の外部空気取入口から、搬送チューブ外の空気が供給されるため、搬送チューブ内を常に陽圧に維持することが容易に可能になる。
【００１８】
請求項３の搬送装置では、例えば、搬送チューブ外の外部空気が、温湿度調整され、外部空気と搬送チューブ内の温湿度が同じ場合には、例えば、搬送チューブ内の発熱を除去するために、湿度変化を伴わない冷却が行われる。
【００１９】
また、例えば、搬送チューブ外の外部空気が、温湿度調整されているが、外部空気と搬送チューブ内の温湿度が異なる場合には、例えば、湿度変化を伴わない冷却あるいは湿度を低下させるための冷却、湿度変化を伴わない冷却を伴った暖房、湿度を上昇させるための加湿が、周辺空気の温湿度条件および搬送チューブ内の発熱との兼ね合いで実行される。
【００２０】
さらに、例えば、搬送チューブ外の外部空気が、温湿度調整されていない場合には、例えば、湿度変化を伴わない冷却あるいは湿度を低下させるための冷却、湿度変化を伴わない冷却を伴った暖房、湿度を上昇させるための加湿が、周辺空気の温湿度条件および搬送チューブ内の発熱との兼ね合いで実行される。
【００２１】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図１ないし図３は、本発明の搬送装置の一実施例を示しており、図において符号３１は、搬送路に沿って敷設される長尺筒状の搬送チューブを示している。
【００２２】
この搬送チューブ３１内には、搬送チューブ３１に沿って搬送室３３が形成されている。
搬送室３３内には、例えば、半導体ウエハー等の被搬送物３５を搬送するための移動体３７が収容されている。
【００２３】
搬送室３３の天井には、空気中の塵埃を除去するためのフィルタ部３９が配置されている。
このフィルタ部３９は、例えば、ＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタにより構成されている。
【００２４】
搬送室３３の下方には、仕切部材４１を介して駆動室４３が形成されている。この駆動室４３内には、移動体３７を移動するためのリニアモータ４５が収容されている。
【００２５】
仕切部材４１には、移動体３７とリニアモータ４５との連結部４７が挿通されるスリット部４９が形成されている。
連結部４７の下端には、図２に示すように、磁石５１が配置され、この磁石５１が、リニアモータ４５のコイル５３に対して所定間隔を置いて配置されている。
【００２６】
駆動室４３の下方には、床部材５５を介して温度調整空気室５７が形成されている。
床部材５５の駆動室４３の下方となる位置には、搬送路の方向に所定間隔を置いて温度調整空気流入口５９が形成されている。
【００２７】
搬送室３３と駆動室４３の側方、および、フィルタ部３９の上方には、駆動室４３とフィルタ部３９とを連通する連通室６１が形成されている。
連通室６１内の駆動室４３の側方となる位置には、駆動室４３の空気を吸引し吸引された空気を連通室４３を介してフィルタ部３９に供給する空気供給装置６３が配置されている。
【００２８】
この空気供給装置６３は、例えば、ファンを有する送風機により構成されている。
また、搬送チューブ３１の外側の連通室６１および温度調整空気室５７の側方となる位置には、搬送室３３からの空気を冷却または加熱し、冷却または加熱された空気を、温度調整空気室５７に流出させる温度調整装置６５が配置されている。
【００２９】
この温度調整装置６５は、床部材５５に形成される温度調整空気流入口５９の間隔に対して充分に長い間隔を置いて配置されており、例えば、温度調整空気流入口５９の間隔の１０倍程度の間隔で配置されている。
【００３０】
温度調整装置６５内には、図３に示すように、冷却コイル６７，加熱コイル６９，送風機７１等が配置されている。
そして、温度調整装置６５の吸込口６５ａが搬送室３３に開口され、吹出口６５ｂが温度調整空気室５７に開口されている。
【００３１】
また、温度調整装置６５には、搬送チューブ３１外の空気を取り込むための外部空気取入口７３が形成されており、さらに、この実施例では、温度調整装置６５には、湿度を調整するための図示しない湿度調節機構が設けられている。
【００３２】
上述した搬送装置では、図２に示したように、仕切部材４１のスリット部４９を通過してきた搬送室３３内からの例えば２３℃の空気と、床部材５５の温度調整空気流入口５９を通過してきた温度調整空気室５７内からの例えば１１℃の空気とが、駆動室４３内に流入され、これ等の空気が、空気供給装置６３により吸引混合され例えば２０℃にされた後、連通室６１を介してフィルタ部３９に供給され、フィルタ部３９を通過して２０℃の空気として搬送室３３内に循環される。
【００３３】
そして、上述した搬送装置では、温度調整装置６５の外部空気取入口７３から温度調整装置６５内に取り込まれる搬送チューブ３１外の外部空気が、例えば、温湿度調整され、外部空気と搬送チューブ３１内の温湿度が同じ場合には、例えば、搬送チューブ３１内の発熱を除去するために、湿度変化を伴わない冷却が行われる。
【００３４】
また、例えば、搬送チューブ３１外の外部空気が、温湿度調整されているが、外部空気と搬送チューブ３１内の温湿度が異なる場合には、例えば、湿度変化を伴わない冷却あるいは湿度を低下させるための冷却、湿度変化を伴わない冷却を伴った暖房、湿度を上昇させるための加湿が、周辺空気の温湿度条件および搬送チューブ３１内の発熱との兼ね合いで実行される。
【００３５】
さらに、例えば、搬送チューブ３１外の外部空気が、温湿度調整されていない場合には、例えば、湿度変化を伴わない冷却あるいは湿度を低下させるための冷却、湿度変化を伴わない冷却を伴った暖房、湿度を上昇させるための加湿が、周辺空気の温湿度条件および搬送チューブ３１内の発熱との兼ね合いで実行される。
【００３６】
しかして、上述した搬送装置では、移動体３７を移動するためのモータにリニアモータ４５を使用したので、連結部４７の磁石５１と、リニアモータ４５のコイル５３とを非接触の状態で移動体３７を移動することが可能になり、モータに起因する塵埃の発生を無くすことができる。
【００３７】
また、上述した搬送装置では、搬送室３３内をクリーンな状態に維持するために必要な風量が、空気供給装置６３により確保され、一方、搬送室３３内を所定の温度に維持するために必要な冷房または暖房用の風量が、温度調整装置６５により確保されるため、必要最小限の冷房あるいは暖房により搬送室３３内の温度を所定の温度に維持することができる。
【００３８】
すなわち、一般に、搬送室３３内をクリーンな状態に維持するために必要な風量は、冷房あるいは暖房に必要な風量に比較して非常に大きくなるが、上述した搬送装置では、空気供給装置６３により、搬送室３３内をクリーンな状態に維持するための風量を確実に確保することが容易に可能になる。
【００３９】
一方、搬送チューブ３１内の全ての空気を、空調装置により所定の温湿度、例えば２３℃，４５％に冷房あるいは暖房するためには、非常に大型の冷暖房装置が必要になり、運転コストが増大するが、上述した搬送装置では、温度調整装置６５により、一部の空気を、充分に冷却あるいは暖房した後、この空気を、床部材５５の温度調整空気流入口５９から駆動室４３内に流入させ、搬送室３３側からの空気と混合するようにしたので、必要最小限の冷房あるいは暖房により搬送室３３内の温度を所定の温度に維持することが可能になる。
【００４０】
さらに、上述した搬送装置では、搬送チューブ３１内の圧力が、空気供給装置６３の吸込口６３ａ、駆動室４３、搬送室３３の順に大きくなるため、搬送室３３の圧力を充分に高くすることができ、この結果、搬送室３３内から塵埃を迅速に排出することが可能になり、また、搬送室３３内への塵埃の侵入を確実に阻止することが可能になる。
【００４１】
また、上述した搬送装置では、温度調整装置６５の外部空気取入口７３から、搬送チューブ３１外の空気が供給されるため、搬送チューブ３１内を常に陽圧に維持することが容易に可能になり、搬送チューブ３１内への塵埃の侵入をより確実に阻止することができる。
【００４２】
さらに、上述した搬送装置では、温度調整装置６５に、湿度を調整するための湿度調節機構を設けたので、外部空気の湿度状態に応じた最適な運転を行うことが容易に可能になる。
【００４３】
図４は、本発明の搬送装置の他の実施例を示しており、この実施例では、温度調整装置６５の吸込口６５ｄが、配管６５ｅを介して駆動室４３内に開口されており、駆動室４３内の空気が温度調整装置６５により吸い込まれ冷却または加熱される。
【００４４】
この実施例においても、前述した実施例とほぼ同様の効果を得ることができる。
図５は、本発明の搬送装置のさらに他の実施例を示しており、この実施例では、温度調整装置６５の吸込口６５ｆが、連通室６１内に開口されており、連通室６１内の一部の空気が温度調整装置６５により吸い込まれ冷却または加熱される。
【００４５】
この実施例においても、前述した実施例とほぼ同様の効果を得ることができる。
【００４６】
【発明の効果】
以上述べたように、請求項１の搬送装置では、移動体を移動するためのモータにリニアモータを使用したので、モータに起因する塵埃の発生を無くすことができる。
【００４７】
また、請求項１の搬送装置では、搬送室内をクリーンな状態に維持するために必要な風量が、空気供給装置により確保され、一方、搬送室内を所定の温度に維持するために必要な冷房または暖房用の風量が、温度調整装置により確保されるため、必要最小限の冷房あるいは暖房により搬送室内の温度を所定の温度に維持することができる。
【００４８】
請求項２の搬送装置では、温度調整装置の外部空気取入口から、搬送チューブ外の空気が供給されるため、搬送チューブ内を常に陽圧に維持することが容易に可能になり、搬送チューブ内への塵埃の侵入をより確実に阻止することができる。
【００４９】
請求項３の搬送装置では、温度調整装置に、湿度を調整するための湿度調節機構を設けたので、外部空気の湿度状態に応じた最適な運転を行うことができるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の搬送装置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】本発明の搬送装置の他の実施例を示す断面図である。
【図５】本発明の搬送装置のさらに他の実施例を示す断面図である。
【図６】従来の搬送装置を示す断面図である。
【符号の説明】
３１  搬送チューブ
３３  搬送室
３５  被搬送物
３７  移動体
３９  フィルタ部
４１  仕切部材
４３  駆動室
４５  リニアモータ
４７  連結部
４９  スリット部
５５  床部材
５７  温度調整空気室
５９  温度調整空気流入口
６１  連通室
６３  空気供給装置
６５  温度調整装置
【図１】
0003620874.tif 000002
【図２】
0003620874.tif 000003
【図３】
0003620874.tif 000004
【図４】
0003620874.tif 000005
【図５】
0003620874.tif 000006
【図６】
0003620874.tif 000007