Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
張り出し側を上流に向けて円弧状に湾曲形成したスクリーンを水路Ｗに配置し、且つその張り出し側に櫛歯状のレーキを配置し、このレーキをスクリーンの両側に設けた揺動アームに揺動可能に取付け、且つ駆動装置により上下運動させるように構成すると共に、前記スクリーンより上流側の水路Ｗの両側壁に、チャンネル材を用いた降下姿勢保持用の円弧状のガイドレールを前記スクリーンと同心円状に設け、且つ該ガイドレールの上部に逆止弁状に進路切換片を、また下部には降下姿勢切換用ガイド部をそれぞれ設けると共に、アームの外側にそれぞれガイドレールと係合する姿勢切換用突起または転子を設け、且つ揺動アームにレーキ上昇時にレーキの下方回転止用のストッパーを設けたことを特徴とする往復式除塵機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、小規模河川に好適な簡易型往復式除塵機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
現在一般に使われている除塵設備には、特開２００２−３１７４２８に開示されるように、平坦なスクリーンを水路に斜に設け、その上面側を移動する櫛歯状のレーキを、ワイヤーロープやチェーンなどを介して駆動装置により上下動させるものが使用されている。
【０００３】
前記特開２００２−３１７４２８に開示されるものは、レーキの昇降機構を簡略化したものであるが、この種の平坦なスクリーンを用いた除塵設備は、巻上装置の位置が高くなり、小規模河川に用いた場合、地上に突出した設備が目障りになるため、地上設備ができるだけ低くなるようなものが望まれていた。
【０００４】
また、レーキの駆動力が小さくて済むものが望まれていた。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−３１７４２８号公報（第３頁  、図１）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明は、市街地などの小規模河川に好適な地上部の設備が低く、しかも駆動力が小さくして済む簡易型往復式除塵機を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、スクリーンを円弧状とし、揺動アームに取付けたレーキをスクリーンの上面に沿って移動するように構成すると共に、レーキ上昇時は前記揺動アームに設けたストッパーにより前記レーキが下方に回転しないようにレーキを掻上げ動作状態にし、レーキ降下時はガイドレールに設けた進路切換片と姿勢切換突起又は転子によりレーキを回動させて、非掻下げ動作状態になるようにしたものである。
【０００８】
すなわち、本発明は張り出し側を上流に向けて円弧状に湾曲形成したスクリーンを水路Ｗに配置し、且つその張り出し側に櫛歯状のレーキを配置し、このレーキをスクリーンの両側に設けた揺動アームに揺動可能に取付け、且つ駆動装置により上下運動させるように構成すると共に、前記スクリーンより上流側の水路Ｗの両側壁に、チャンネル材を用いた降下姿勢保持用の円弧状のガイドレールを前記スクリーンと同心円状に設け、且つ該ガイドレールの上部に逆止弁状に進路切換片を、また下部には降下姿勢切換用ガイド部をそれぞれ設けると共に、アームの外側にそれぞれガイドレールと係合する姿勢切換用突起または転子を設け、且つ揺動アームにレーキ上昇時にレーキの下方回転止用のストッパーを設けたことを特徴とする往復式除塵機である。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図面は本発明の実施例を示すもので、図１は縦断側面図、図２は正面図、図３は平面図である。
【００１０】
図において、１は円弧状に湾曲形成したスクリーンで、その張り出し側を上流側に向けて水路Ｗに設けられる。
【００１１】
２は、水路Ｗの側壁３,３に揺動自在に取付けられた揺動アーム４,４に揺動可能に取付けられたレーキで、取付部２ａに一端を接続したワイヤロープ５を介して手動ウインチ６により、前記スクリーン１の上面に沿って上下動せしめられ、上昇時は揺動アーム４,４に設けたストッパー７,７により下方には回動しないように構成されている。そして前記揺動アーム４，４は、連結部材４ａ，４ｂで鳥居状に構成されており、またレーキ２の両側に設けたアーム８,８の外側にはそれぞれレーキ２の姿勢切換用突起または転子９が設けられている。
【００１２】
１０，１０は、前記水路Ｗの側壁３，３に取付けられたチャンネル材を用いた降下姿勢保持用の弧状のガイドレールで、前記スクリーン１より上流側にスクリーン１と同心円状に設けられている。そしてこのガイドレール１０，１０の上部にはそれぞれ逆止弁状に進路切換片１１が、また下部には降下姿勢切換用ガイド部１０ａがそれぞれ設けられている。
【００１３】
このガイドレール１０,１０は、レーキ２の両側に設けられた姿勢切換用突起または転子９を降下時に案内するもので、降下時に手動ウインチ６による引揚力に抗してレーキ２を逆方向に回動させて非掻上げ動作状態にレーキ２の姿勢を維持する。
【００１４】
そしてレーキ２が降下すると、レーキ２に設けた姿勢切換用突起または転子９がガイドレール１０，１０から外れるので、ワイヤロープ５により引張られて回動し図１に示すように掻上げ動作状態となる。
【００１５】
従って、手動ウインチ６を駆動することによりスクリーン１に引掛っているゴミを掻上げ、最上部に達した時、レーキ２は下向きにほぼ垂直になるので、水路Ｗに架設した渡し台１２上にゴミを落すことが出来る。
【００１６】
本往復式除塵機は、スクリーン１が円弧状であるので、スクリーンが平坦な従来装置に比し、水路上に突出する部分が低くなり、しかも掻上げ時の摩擦抵抗が小さいので、駆動力が小さくて済む。
【００１７】
そして、レーキ２は枠状に構成した揺動アーム４，４に取付けられているので、振れが少なく、したがって細かい目幅のスクリーンに適している。
【００１８】
【発明の効果】
本発明によれば、水路上に突出する部分が低くなるため、従来装置よりも目障りにならず、また巻上機も小型のものあるいは手動のもので済むので、市街地にある小規模河川用として好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例の縦断側面図。
【図２】  本発明の実施例の正面図。
【図３】  本発明の実施例の平面図。
【符号の説明】
１        スクリーン
２        レーキ
３        側壁
４        揺動アーム
５        ワイヤロープ
６        手動ウインチ
７        ストッパー
８        アーム
９        姿勢切換用突起または転子
１０        ガイドレール
１０ａ      姿勢切換用ガイド部
１１        進路切換片
１２        渡し台
【図１】
0003663548.tif 000002
【図２】
0003663548.tif 000003
【図３】
0003663548.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基礎上に積層ゴムを介して上部構造物を支持してなる免震構造物の基礎構造であって、
前記上部構造物の底部に基礎梁を設けるとともに、前記基礎を独立の杭のみから形成してそれら杭の間における基礎梁を省略し、
前記杭を設けている地盤上には底盤を設けるとともに、該底盤には杭の直上位置に凸部を設けて、該凸部上に前記積層ゴムを設置し、
かつ、前記底盤の凸部を杭頭部に対してダボ筋により連結して杭頭部を地盤に対してピン支承の形態で結合することにより、地盤に対する杭頭部の回転を拘束することなく許容する構造としたことを特徴とする免震構造物の基礎構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は積層ゴムを用いた免震構造物の基礎構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、基礎部分に積層ゴムを介装して固有振動周期を長周期化することで免震効果を得る免震建築物が近年実現している。図２（ａ），（ｂ）はそのような免震建築物における基礎部分の最も一般的な例を示すもので、ピット１内の底部に下部構造たる基礎梁２を縦横に設けてその上部に積層ゴム３を設置し、それら積層ゴム３により上部構造物たる建屋４全体を水平変位可能に支持するようにしたものであり、建屋４の底部には積層ゴム３により支持される基礎梁５が縦横に設けられたものとなっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来一般の構造においては、ピット１内と建屋４底部の双方に基礎梁２，５が二重に設けられるために通常の建築物に比して基礎の形態が複雑化しており、特にピット１内に基礎梁２を設けるために根切り底が深くなり、このため、仮設工事も含めて基礎工事の費用が嵩むのみならず工期短縮を図る上でも不利であり、このことが免震建築物の建設コスト削減を阻む一因となっていた。このため、免震建築物の施工に際して基礎工事を簡略化し、以て工費削減と工期短縮を図り得る有効な改善策が必要とされていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記事情に鑑み、本発明は、基礎上に積層ゴムを介して上部構造物を支持してなる免震構造物の基礎構造であって、前記上部構造物の底部に基礎梁を設けるとともに、前記基礎を独立の杭のみから形成してそれら杭の間における基礎梁を省略し、前記杭を設けている地盤上には底盤を設けるとともに、該底盤には杭の直上位置に凸部を設けて、該凸部上に前記積層ゴムを設置し、かつ、前記底盤の凸部を杭頭部に対してダボ筋により連結して杭頭部を地盤に対してピン支承の形態で結合することにより、地盤に対する杭頭部の回転を拘束することなく許容する構造としたことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
図１に本発明の一実施形態を示す。本実施形態では、上部構造物たる建屋４の底部には通常どうり基礎梁５を設けるものの、下部構造たる本来の基礎を独立の杭６のみにより構成し、図２に示したように従来一般にはピット１内にも設けられることが通常である基礎梁２は省略したものとなっている。
【０００６】
すなわち、本実施形態では、建屋４の底部に設けられている基礎梁５の直下に位置して独立の杭６が所定間隔で設けられているとともに、ピット１の底部には底盤７が全面にわたって設けられ、その底盤７には杭６の直上位置に凸部７ａが形成され、そこに積層ゴム３が設置され、それら積層ゴム３を介して建屋４の基礎梁５が杭６によって支持されるようになっている。
【０００７】
また、本実施形態では、上記杭６の杭頭部６ａと底盤７の凸部７ａとはダボ筋８により連結するのみとして杭６の主筋は底盤７に対してはアンカーせず、したがって構造的には杭頭部６ａを地盤に対してピン支承の形態で結合したものとして、杭頭部６ａの地盤に対する回転を拘束することなく許容する構造としている。なお、符号１０は捨てコンである。
【０００８】
上記構造によれば、従来においては設けることが通常であったピット１内の基礎梁２を省略したことにより、その基礎梁２を施工するに要していた鉄筋、型枠、コンクリートを削減できることはもとより、基礎梁２が省略されることで根切り底が浅くなるから山留め工事等の仮設工事を含む掘削工事も軽減され、以上のことから基礎工事に係わる作業とコストを大幅に軽減でき、工費削減と工期短縮に大きく寄与し得る。
【０００９】
また、本実施形態では、杭頭部６ａの地盤に対する回転を許容するようにしているために、杭頭モーメントがなくなるとともに杭６に生じる最大モーメントが杭頭固定の場合に比して２／３程度にまで低減するから、杭６に要求される曲げ性能を軽減し得るという利点もある。勿論、杭頭部６ａの回転を許容するといえども本実施形態において生じる杭頭部６ａの最大回転角は、Ｎ値が５以上の通常の地盤においては１／３００程度に過ぎず、これは通常の積層ゴム３の回転角の許容限度が１／２００程度であることを考慮すれば何等問題とならない。また、本実施形態では、杭頭部６ａを固定した場合に比して水平変位が２倍程度となるが、これも通常は１〜２ｃｍ程度に過ぎず、一般の積層ゴム３の許容水平変形量は３０ｃｍ程度であることからこれも何等支障はない。
【００１０】
なお、上記実施形態において地盤が良好な場合には底盤７を省略して捨てコン１０のみとすることも可能である。
【００１１】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、免震構造物における基礎を独立の杭のみで構成してそれらをつなぐ基礎梁を省略したものであるから、基礎工事を大幅に簡略化し得て工費削減、工期短縮に大きく寄与し得る。特に、杭の直上位置に底盤の凸部を設けてその凸部上に積層ゴムを設置するとともに、杭頭部と凸部とをダボ筋により連結して杭頭部を地盤に対してピン支承の形態で結合することにより地盤に対する杭頭部の回転を拘束することなく許容する構造としたので、杭頭モーメントがなくなりかつ杭に生じる最大モーメントが低減するという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す要部断面図である。
【図２】従来一般の免震構造物における基礎部分を示す図であり、（ａ）は立面図、（ｂ）は平面図である。
【符号の説明】
３  積層ゴム
４  建屋（上部構造物）
５  建屋の基礎梁
６  杭
６ａ  杭頭部
７  底盤
７ａ  凸部
８  ダボ筋
１０  捨てコン
【図１】
0003663557.tif 000002
【図２】
0003663557.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
炉室内にヒーターを配置した構造を有する真空置換式の焼成炉において、雰囲気ガス投入口を下部炉室と上部端子室との２箇所に配置し、さらに炉内壁にセラミックボードを用いることを特徴とする真空置換式雰囲気焼成炉。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、陶磁器、電子部品等のセラミックス部材を載置し、焼成するための真空置換式雰囲気焼成炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に抵抗器の電子部品等はセラミックス部材へと移行しつつある。こうしたセラミックス抵抗器は、原料を混合、成形した後に、脱脂、焼成する。抵抗器の電気導電材には、金属粉末あるいは非酸化物系のセラミックス粉末を使用する場合が多く、抵抗値を安定的に得るために一般的に函型雰囲気炉によって焼成される。
これら函型焼成炉は１サイクルの時間を短くできることが、生産性の向上につながるため、焼成炉の内張りには、昇温冷却の早い炭素質系、アルミナ質系の耐火断熱材が使用されている。また、従来セラミック抵抗体の焼成は温度が高く、しかも金属を導電材として使用するため処理品の良好な電気的特性とバラツキを小さくするためには、この不活性雰囲気中での保持が必要である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の置換構造では、炉室に雰囲気ガス例えば窒素ガスやアルゴンガス等を流すことで置換するため、置換に時間がかかり、バッチごとに雰囲気が異なるため、製品の電気的特性にバラツキが生じ、問題であった。また上記問題点を解決する炉として、管状炉等、外部加熱によるマッフル構造の炉が用いられるが、外部加熱の方式では、急昇温や急冷却ができないことや、炉内寸法が制限されるなどの問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記問題点にかんがみ、なされたもので、炉室内にヒーターを配置した構造を有する真空置換式の焼成炉において、雰囲気ガス投入口を下部炉室と上部端子室との２箇所に配置し、さらに炉内壁にセラミックボードを用いることを特徴とする真空置換式雰囲気焼成炉とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の焼成炉は、雰囲気ガスの置換に真空置換方式を採用し、真空置換の際、復圧による内張り断熱材の吹きあがりによる発熱体の折損を防止する炉である。一般に、発熱体は片端子として天井部から釣り下げることが多く、天井部には、セラミックボードを断熱材として使用する場合が多い。
しかし、セラミックボードを断熱材として使用し、真空置換を行わない場合、断熱材の気孔率が大きい理由から、雰囲気ガスとの置換に多大な時間を要する。また、雰囲気炉は、その雰囲気を維持するために、端子室も気密構造にする場合が多いが、炉室からのガス吹き込みでは、やはり置換に多大な時間を要する。
更に、真空置換式での雰囲気ガスとの置換を行う場合、断熱材の気孔率との関係から、その置換効率は真空度に比例する。
しかし、真空度を高くすることは、復圧時点での炉室と端子室の圧力差を大きくする結果になり、天井部の吹きあがり現象が生じる。
ここで、炉室と端子室の両方にガス投入口を設け、さらにセラミックボードを用いたのは、これらの両方を採用することで、この復圧時の炉室と端子室の差圧をなくし、炉壁、天井部の断熱材の吹きあがりがなく、結果として発熱体の折損を防止できた。
【０００６】
【実施例】
本発明を実施例に基づき更に詳細に説明する。
図１は本発明による一実施例を示す真空置換式函型炉の断面図を示す。
図１において真空置換式函型炉は天井にセラミックボード２〜３を有し、炉室５と端子室６に分けられ、天井のセラミックボード３に多数のＵ字型の発熱体４が釣り下げられ設置されている。炉室および端子室のガス投入口７、８のラインは電磁弁で開閉し、その真空置換動作はシーケンスプログラムによって制御されている。本発明の構造で、炉内壁の吹きあがりや、発熱体の折損がなく、昇温できた。
【０００７】
［比較例１］
実施例と同じ炉構造で、炉室ガス投入口７のみからガスを入れ、ガス置換した。炉内壁が吹きあがり、発熱体が折損して、昇温できなかった。
【０００８】
［比較例２］
実施例と同じ炉構造で、天井のセラミックボード３の部分に緻密な耐火材を用い、ガス投入口７、８のラインを用いてガス置換した。発熱体が折損して、昇温できなかった。
【０００９】
【発明の効果】
以上のように、本発明の真空置換式函型炉は、従来の雰囲気炉では得られなかった。雰囲気の制御が可能で、製品のバラツキを減少すると同時に置換の時間短縮ができ、さらに発熱体の折損も防止できるので大幅なコストダウンが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による真空置換構造を用いた、真空置換式函型炉の断面を示した図である。
【符号の説明】
１．真空置換式函型炉
２．セラミックボード
３．セラミックボード
４．発熱体
５．炉室
６．端子室
７．炉室ガス投入口
８．端子室ガス投入口
９．ガス排気口
１０．電磁弁
１１．気密外穀
【図１】
0003663558.tif 000002
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
木タールを加熱して発泡させ、ポーラス構造としたことを特徴とする木タール変成物。
【請求項２】
所望の形状となるように加熱成形した請求項１記載の木タール変成物。
【請求項３】
前記発泡させた木タールを焼成して成る請求項１又は２記載の木タール変成物。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は有効利用することができる木タール変成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
木質成分を熱分解すると、木炭、木酢液、木タール等が得られる。このうち、木炭、木酢液は現在多様な用途がある。
【０００３】
しかし、木タールはそれを蒸留精製して得られる木クレオソートが医薬品に使われているなどの特殊な用途を除けば、ほとんど利用されることがなく、不要残渣として焼却処分していることが多く、何らかの有効利用ができないかと模索していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そこでこの発明は、有効利用することができる木タール変成物を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するためこの発明では次のような技術的手段を講じている。
（１）この発明の木タール変成物は、木タールを加熱して発泡させ、ポーラス構造としたことを特徴とする。
【０００６】
この木タール変成物では、木タールを加熱して発泡させており、この発泡物の組成は木炭の組成と近似していて殆どが炭素から成るが、その構造はポーラス（多孔）構造であり、吸着性（吸湿性等）や断熱性に優れる。
【０００７】
このようにポーラス（多孔）構造であり高い吸着性（吸湿性等）その他の特性を有し、例えば土壌改良材、水質浄化資材、消臭剤として好適に用いることができ、忌避剤としても好適に用いることができる。また高い炭素含有量を有するので、コークス等の代替として炭素繊維原料として好適に用いることができ、同様に石炭・石油資源等の代替としてバイオマスエネルギー燃料として好適に用いることができる。
（２）所望の形状になるように加熱成形してもよい。
【０００８】
このように構成すると、例えば壁材や調湿材、床下材などの形状に加熱成形して、木炭と同様に有効利用を図ることができる。また軽くて自由に成型可能であり、粉体等に成形して使用することもできる。
（３）前記発泡させた木タールを焼成して成ることとしてもよい。
【０００９】
このように発泡させた木タールを焼成すると、元素の配列が変化してより密度の高い炭素系材料になるので、電磁波遮蔽材などとしても適用できる。
（４）この木タール変成物は、木材という天然由来材料を原料としており環境保全にも非常に好ましくエコ資材として多岐にわたって活用することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１１】
先ず、木タールを次のようにして得た。すなわち図１に示すように、窯内で木材を約１０００℃で乾留して生じた煙を液化冷却し、原料タールを得た。この原料タールを減圧蒸留し、粗木酢液を取り除いて、木タール（沈降タール）を得た。この木タールを釜に入れ、約３００℃で約４時間、板状もしくは適当な形状になるように加熱成形して発泡させてポーラス（多孔）構造の木タール変成物を得た。
【００１２】
この発泡物はウエハース状で、組成は殆どが炭素からなる。即ち前記木タール変成物の元素分析を行った結果、炭素が８０．５７％、水素が４．６４％、窒素が１．４８％であり、高い炭素含有量を有することが明らかとなった。また、この木タール変成物の電子顕微鏡写真（撮影条件は４０倍）を撮った。図２は、前記電子顕微鏡写真を図面化したものである。この顕微鏡写真には幾つもの空洞部１が写っており、ポーラス構造を有することが明確に把握できる。
【００１３】
ところで、木タールを減圧蒸留した際に蒸留されずに釜に残った黒い粘ちょうな物質が木ピッチであるが、これは木タールから木タールオイルを除いたもので、これからも同様の変成物が得られた。
【００１４】
さらに前記発泡物を１５００℃前後以上で焼成して木タール変成物を得た。
【００１５】
次に、この実施形態の木タール変成物の使用状態を説明する。
【００１６】
この木タール変成物では、木タールを加熱して発泡させており、この発泡物の組成は木炭の組成と近似していて殆どが炭素から成るが、その構造はポーラス構造であり、吸着性（吸湿性等）や断熱性に優れ、この特性を生かして有効利用をすることができるという利点がある。
【００１７】
また、発泡ができ、条件により色々な成形が可能であり、所望の形状となるように加熱成形し発泡させると、例えば壁材や調湿材、床下材などの形状に加熱成形して、木炭と同様に有効利用を図ることができるという利点がある。
【００１８】
さらに、前記発泡物を高温（例えば１５００℃前後以上）で焼成すると、元素の配列が変化してより密度の高い炭素系材料になるので、例えばその通電性の高さを利用して電磁波遮蔽材などとしても適用できるという利点がある。
【００１９】
【発明の効果】
この発明は上記のような構成であり、次の効果を有する。
【００２０】
この発泡物は吸着性や断熱性に優れ、この特性を生かして有効利用をすることができる木タール変成物を提供することができる。
【００２１】
また、焼成することにより炭素系材料に変換すると、この特性を生かして更に有効利用を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の木タールの製造方法を説明する図。
【図２】  得られた木タール変成物の電子顕微鏡写真を図面化したもの。
【図１】
0003663581.tif 000002
【図２】
0003663581.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方のユニットパネルに設けたブラケットを、ファスナーを介して躯体に固定し、該ブラケットの上端に縦設した切欠に、前記一方のユニットパネルに隣接する他の一方のユニツトパネルに設けたブラケットを掛止すると共に、前記ファスナーに受支させて前記一方のユニットパネルの高さを調節する高さ調節ボルトを一方のユニットパネルの前記ブラケットに組付け、該高さ調節ボルトの上端に取付けた接合ナットに、他の一方のユニットパネルの前記ブラケットに頭部を係止した接合ボルトを螺合した、カーテンウォールにおけるユニットパネルの連結装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はカーテンウォールにおけるユニットパネルの連結装置に関するものである。すなわち、ユニットパネルに備えたブラケットと躯体との間にファスナー（通常、座金枠と本体枠とから成る）を介在させてユニットパネルを躯体に固定してカーテンウォールを形成する際、互いに隣接する一対のユニットパネルを連結するために用いる装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ユニットパネルの両端に設けたブラケットのそれぞれをファスナーを介して躯体に取付け、隣接するユニットパネル同士は前記ファスナーを介して互いに連結する構成を採用している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来例は、ユニットパネルの両端に設けたブラケットそれぞれをファスナーを介して躯体にボルトによって固定するため、その作業が煩雑であるのみならず、固定作業上ユニットパネルの両側に作業員を要している。
【０００４】
本発明は斯様な従来例の欠点に着目して創案したものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
一方のユニットパネルに設けたブラケットを、ファスナーを介して躯体に固定し、該ブラケットの上端に縦設した切欠に、前記一方のユニットパネルに隣接する他の一方のユニツトパネルに設けたブラケットを掛止すると共に、前記ファスナーに受支させて前記一方のユニットパネルの高さを調節する高さ調節ボルトを一方のユニットパネルの前記ブラケットに組付け、該高さ調節ボルトの上端に取付けた接合ナットに、他の一方のユニットパネルの前記ブラケットに頭部を係止した接合ボルトを螺合した構成とするのである。
【０００６】
【実施例】
図面は本発明に係るカーテンウォールにおけるユニットパネルの連結装置の一実施例を示し、図１は正面図、図２は図１の横断面図である。
【０００７】
１は一方のユニットパネル、２は該一方のユニットパネル１に隣接する他の一方のユニットパネル、３は一方のユニットパネル１の、他の一方のユニットパネル２側の端部にねじ５とこれに螺合したナット６とで取付けたブラケット、４は前記他の一方のユニットパネル２の、一方のユニットパネル１側の端部にねじ５とこれに螺合したナット６とで取付けたブラケットである。
【０００８】
一方のユニットパネル１側のブラケット３は、パネル１から屋内方向に突出した受止部片３ａの屋内端にコ形部片３ｂを連設し、該コ形部片３ｂの両端に組付け部片３ｃ，３ｃを連設して構成したブラケット主体３Ａのコ形部片３ｂの屋内側にＬ字形のブラケット副材３Ｂの垂直部片３Ｂ″をボルト７およびナット８で締付け、前記受止部片３ａの上端には適宜の深さにして切欠９を縦設して構成し、前記一方のユニットパネル１は、このブラケット３においてファスナー１０を介して躯体２７に固定してある。
【０００９】
ファスナー１０は、前面を円曲させた座金部片１１ａの上端に水平方向にして受支部片１１ｂを連設した座金枠１１の座金部片１１ａと受支部片１１ｂとの隅角部に、水平方向に配した取付部片１２ａの先端に緊締受部片１２ｂを立設した本体枠１２の緊締受部片１２ｂの上端を位置させて座金枠１１と本体枠１２を互いに組合わせて構成したもので、固定ボルト１５を緊締受部片１２ｂ、座金部片１１ａおよび組付け部片３ｃに順次貫通させ、組付け部片３ｃより突出する固定ボルト１５の先端に固定ナット１６を螺合締付け、前記の通り、一方のユニットパネル１を躯体２７に固定するものである。
【００１０】
なお、ファスナー本体枠１２の取付部片１２ａは、ボルト１７およびナット１８によって躯体２７に固定してある。
【００１１】
図中、１３は受支部片１１ｂ上に受支させた高さ調節ボルトで、高さ調節ボルト１３は上端に接合ナット１９を備え、前記ブラケット副材３Ｂの水平部片３Ｂ′を通じて前記の通り受支部片１１ｂに受支させ、中間部に螺合した調節ナット１４が前記水平部片３Ｂ′の下面に当接するように配したものである。すなわち、固定ボルト１５および固定ナット１６を用いたファスナー１０ないし躯体２７に対するブラケット３ないし一方のユニットパネル１の固定前に、受支部片１１ｂ上に受支させた高さ調節ボルト１３に螺合した調節ナット１４を縦動させることにより前記ブラケット副材３Ｂの水平部片３Ｂ′を縦動させてブラケット３すなわち一方のユニットパネル１の高さ調節を行うのである。
【００１２】
他の一方のユニットパネル２側の前記ブラケット４は、一方のユニットパネル１側の前記ブラケット３より上方側に配して前記の通り、ねじ５とナット６とで他の一方のユニットパネル２に固定したもので、断面ほぼＬ字形のブラケット本体４Ａの屋内端側の部片４ａを一方のユニットパネル１側のブラケット３の受止部片３ａと直交する位置に配し、該部片４ａの上部側にＬ字形のブラケット副材４Ｂの垂直部片４Ｂ″をボルト２１およびナット２２で固定して構成したもので、部片４ａを前記切欠９に係合掛止させ、副材４Ｂの水平部片４Ｂ′に頭部２３ａを係止した接合ボルト２３を前記接合ナット１９に螺合して締付けて、ブラケット３ないし一方のユニットパネル１によるブラケット４ないし他の一方のユニットパネル２の受止状態が確実に維持するようにしてある。
【００１３】
なお、一方のユニットパネル１の他の一端側には、他の一方のユニットパネル２に備えたブラケット４が、また、他の一方のユニットパネル２の他の一端側には一方のユニットパネル１に備えたブラケット３がそれぞれ設けられ、それぞれが隣接するユニットパネルと本装置と同様の装置によって順次連結されている。
【００１４】
【発明の効果】
本発明は前記の通りの構成であるから、一方のパネルに設けたブラケットに、他の一方のパネルに設けたブラケットを掛止するだけで、ユニットパネルを連結することができ、人員コストの削減を図り、組立て作業を省力化したユニットパネル方式のカーテンウォールを提供できる。
【００１５】
また、一方のユニットパネルの高さ調節ボルトに設けた接合ナットに接合ボルトを螺合するから、一方のユニットパネル側のブラケットに対し、他の一方のユニットパネル側のブラケットの結合関係は確実に維持される。
【図面の簡単な説明】
【図１】正面図。
【図２】図１の横断面図。
【符号の説明】
１              一方のユニットパネル
２              他の一方のユニットパネル
３              ブラケット
４              ブラケット
９              切欠
【図１】
0003663013.tif 000002
【図２】
0003663013.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性を有する固定部材と、前記固定部材を放熱板に固定するための固定手段とを備え、前記固定部材と前記放熱板との間に複数の発熱素子を固定するようにした発熱素子の固定構造において、
前記固定部材は、前記複数の発熱素子を配列した配列方向の長さをもつ基部と、前記基部の長手方向に対して前記基部から直角方向に伸びる複数の板バネ部とからなり、かつ前記板バネ部は前記基部からの長さがそれぞれ異なり、かつ互いに間隔をあけて設けられた短冊状の板バネからなるとともに、それぞれの発熱素子に対して、長さの異なる複数の板バネで押圧したことを特徴とする発熱素子の固定構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の発熱素子を同一放熱板に固定するための固定構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、パワートランジスタやパワーＩＣなどの発熱素子を熱から保護するために、アルミニウム板などを用いて形成した放熱板に密着するように取り付け、発熱素子から発生する熱を放熱板で拡散して、発熱素子を冷却するようにしている。
その場合、例えば図３に示すように、放熱板１に発熱素子２をネジ５により直接固定する方法や、図５に示すように、放熱板１に板バネ６をネジ５で固定し、板バネ６の弾性で発熱素子２の一部を固定する方法などが開示されている（例えば、実開平１−１２３３５５号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来技術では、いずれの場合も、ネジや止め具や板バネが発熱素子１個に対し１個以上必要である。そのため、発熱素子の数量が増えれば増えるほど部品点数や作業工数が増大するという問題があった。
また、いずれの場合も、発熱素子への押圧支持点が１点であるため、それぞれ図４（ａ）の状態から（ｂ）に示す状態に、また図６（ａ）の状態から（ｂ）に示す状態に、放熱板に対する発熱素子の浮き上がりが発生することがあり、発熱素子から放熱板への熱の移動の妨げとなるという問題があった。
本発明は、上記問題を解決し、部品点数、および組立て工数の少ない、伝熱効率のよい発熱素子の固定構造を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、弾性を有する固定部材と、前記固定部材を放熱板に固定するための固定手段とを備え、前記固定部材と前記放熱板との間に複数の発熱素子を固定するようにした発熱素子の固定構造において、前記固定部材は、前記複数の発熱素子を配列した配列方向の長さをもつ基部と、前記基部の長手方向に対して前記基部から直角方向に伸びる複数の板バネ部とからなり、かつ前記板バネ部は前記基部からの長さがそれぞれ異なり、かつ互いに間隔をあけて設けられた短冊状の板バネからなるとともに、それぞれの発熱素子に対して、長さの異なる複数の板バネで押圧したことを特徴とするものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施例について説明する。
図１は本発明の実施例を示す平面図、図２はその側面図である。
図において、１は放熱板、２（２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ，２ｆ）は複数の形状の異なる発熱素子で、各発熱素子２の端子２１はそれぞれ基板３に半田付けされている。
４は発熱素子２を放熱板１に固定するための弾性を有する板材からなる固定部材で、複数の発熱素子２を配列した配列方向の長さをもち、かつ断面がＬ字状の基部４１と、基部４１の長手方向に対して基部４１から直角方向に伸び、かつ、長さの異なる短冊状の板バネ部４２とからなっている。基部４１には取り付け穴が複数個、長手方向に沿って等間隔に設けられ、ネジ５によって基部４１を放熱板１に固定するようにしてある。
板バネ部４２は長さが異なる板バネ４２ａ，４２ｂ，４２ｃを互いに所定の間隔をあけて設けて一組として複数組設け、各組の板バネは所定のピッチで、連続的に基部４１の長手方向に配列してある。
【０００６】
発熱素子２を放熱板１に固定する場合、複数の発熱素子２は各端子２１を予め基板３に半田付けするとによって基板３に固定しておく。
この状態の発熱素子２を、放熱板１の上に重ね合わせる。次に、固定部材４を発熱素子２の配列方向に沿って配置すると共に、板バネ部４２を各発熱素子２の上に重ね合わせ、ネジ５によって放熱板１に固定する。
このとき、板バネ部４２は長さが異なる板バネ４２ａ，４２ｂ，４２ｃを設けてあるので、一つの発熱素子２に対して板バネ４２ａ，４２ｂ，４２ｃのうちの少なくとも２個は、発熱素子２の配列方向および配列方向に直角方向に異なる位置を押えることになる。例えば発熱素子２ｂでは、一つの固定部材４によって同時にＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｈの８点で押えることになる。
したがって、１個の固定部材４を放熱板１に固定することにより、複数の発熱素子２を同時に放熱板１に固定することができる。
また、各発熱素子２を放熱板１に押し付ける支持点は１か所に集中することがなく、異なる位置の複数箇所で押えるので、放熱板１に対する発熱素子２の浮き上がりを防ぐことができ、各発熱素子２から放熱板１への熱伝達が妨げられることはなくなる。
また、板バネ部４２の各板バネ４２ａ，４２ｂ，４２ｃは、隣接する板バネとの間に間隔を設けてあるので、相互に他方の板バネのバネ作用の影響を受けることがなく、ぞれぞれ独立した板バネとして機能する。
なお、上記実施例では、板バネ部４２の板バネを３種類の長さのものについて説明したが、長さの種類は３個以上でもよく、長さの種類が多いほど多種類の発熱素子を固定することができる。
また、発熱素子の数量が変わっても、固定部材の長さを変えることにより簡単に対応できる。
【０００７】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、複数個の発熱素子を同一の放熱板に１個の固定部材で同時に複数個の発熱素子を固定することができるので、固定部材の数および種類を削減でき、かつ作業工数を低減することができる。
また、１個の発熱素子に対して最低２か所を押えることができるので、押し付ける支持点の集中がなく、放熱板に対する発熱素子の浮き上がりを防ぎ、部品点数、および組立て工数の少ない、伝熱効率のよい発熱素子の固定構造を提供できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例を示す平断面図である。
【図２】  本発明の実施例を示す側面図である。
【図３】  従来例を示す平断面図である。
【図４】  従来例を示す側面図である。
【図５】  他の従来例を示す平断面図である。
【図６】  他の従来例を示す側面図である。
【符号の説明】
１：放熱板、２、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ，２ｆ：発熱素子、２１：端子、３：基板、４：固定部材、４１：基部、４２：板バネ部、４２ａ，４２ｂ，４２ｃ：板バネ、５：ネジ  、６：板バネ
【図１】
0003663607.tif 000002
【図２】
0003663607.tif 000003
【図３】
0003663607.tif 000004
【図４】
0003663607.tif 000005
【図５】
0003663607.tif 000006
【図６】
0003663607.tif 000007
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
定周期型ＰＬＣに、前記定周期のサイクル時間より短い周期を有する基準パルスを計数する時間管理カウンタと、前記ＰＬＣのユーザプログラムのＩＮ命令で前記時間管理カウンタの計数値をＰＬＣに読み込むための読み込みゲートとを設け、
１）前記ＰＬＣの定周期処理が開始されると、前記ユーザプログラムのＩＮ命令により前記時間管理カウンタの現在値Ｔを読み込んでＴｉｎに格納し、
２）目標時間ΔＴｎと前記現在値Ｔｉｎを加算し目標時間Ｔｓｎを設定し、
３）外部制御機器用の信号Ａを出力し、
４）前記ユーザプログラムのＩＮ命令により前記時間管理カウンタの現在値Ｔを読み込んでＴｉｎｘに格納し、
５）前記現在値Ｔｉｎｘと前記目標時間Ｔｓｎを比較し、
６）前記現在値Ｔｉｎｘが前記目標時間Ｔｓｎと等しいか大きければ、前記外部制御機器用の信号ＡをＯＦＦし、
７）前記現在値Ｔｉｎｘが前記目標時間Ｔｓｎより小さければ、４）からのステップを繰り返すことを特徴とする定周期型ＰＬＣを利用した時間管理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、定周期ＰＬＣ装置（プログラマブル  ロジック  コントローラ）の定周期制御の間に、ユーザー命令を使用して、ユーザーが自由に管理できる時間を発生させて、外部機器のコントロールに利用することを可能にする方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来技術では、ＰＬＣの制御周期の間に、任意の時間管理を利用する場合、ＰＬＣ装置のシステム側に、Ｉ／Ｏ機器としてプリセット機能付きのカウンタを設け、ＣＰＵのＩＮ／ＯＵＴ命令により時刻値をプリセットし、致達時刻の通知のために割込信号発生、または、前記カウンタの計数値をＩＮ命令により読み込んで監視する方法で任意時間を管理することは可能であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来技術では、前記の割込信号発生方法によるとＣＰＵ側の負担が大きくなるという問題があった。また、割り込みのためのＩ／Ｏを設けられないＰＬＣ装置では任意時間を管理することはできなかった。
そこで、発明は、割込信号発生を用いず、ＰＬＣの定周期制御の間に、任意の時間をユーザーが設定してその設定時間に応じた時限信号を出力し、これを外部機器のコントロールに利用する方法を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明は、定周期型ＰＬＣに、前記定周期のサイクル時間より短い周期を有する基準パルスを計数する時間管理カウンタと、前記ＰＬＣのユーザプログラムのＩＮ命令で前記時間管理カウンタの計数値をＰＬＣに読み込むための読み込みゲートとを設け、
１）前記ＰＬＣの定周期処理が開始されると、前記ユーザプログラムのＩＮ命令により前記時間管理カウンタの現在値Ｔを読み込んでＴｉｎに格納し、
２）目標時間ΔＴｎと前記現在値Ｔｉｎを加算し目標時間Ｔｓｎを設定し、
３）外部制御機器用の信号Ａを出力し、
４）前記ユーザプログラムのＩＮ命令により前記時間管理カウンタの現在値Ｔを読み込んでＴｉｎｘに格納し、
５）前記現在値Ｔｉｎｘと前記目標時間Ｔｓｎを比較し、
６）前記現在値Ｔｉｎｘが前記目標時間Ｔｓｎと等しいか大きければ、前記外部制御機器用の信号ＡをＯＦＦし、
７）前記現在値Ｔｉｎｘが前記目標時間Ｔｓｎより小さければ、４）からのステップを繰り返すことを特徴とする定周期型ＰＬＣを利用した時間管理方法である。
【０００５】
【発明の実施の形態】
上記手段により、定周期型ＰＬＣの制御周期の間に、ユーザプログラムを利用して任意の時間幅の信号を外部に出力することができる。
以下、本発明の具体的実施例を図に基づいて説明する。
図１は本発明の実施例の構成を示す図で、１はＰＬＣすなわちプログラマブル・ロジック・コントローラ、２はＣＰＵ、３は時間管理用のハードカウンタで、ｌＭＨｚのパルスを無条件に計数させる。４は読み込みゲートで、ユーザプログラム側からは、ＩＮ命令により任意に時間管理カウンタ３の計数内容を読み込むことができる。
図２は任意時間管理のためのユーザプログラムをフローチャートで表したものである。また、図３は図２の作用を説明するための図である。以下、図２、図３により、このユーザプログラムの作用を以下に説明する。
ＰＬＣのシステム領域処理の途中から、定周期ＰＬＣの１周期が開始され（Ｋ）、システム領域処理が完了すると定周期処理が開始され（Ａ）、つぎに時間管理カウンタ１の現在値すなわち計数値ＴをＩＮ命令で読み込む（Ｂ）。
つぎに、この計数値ＴをＴinに格納し（Ｃ）、目標時間ΔＴn と現在値Ｔinから目標時間Ｔsnを設定した後（Ｄ）、外部機器制御用の信号Ａを出力する（Ｅ）。
これから後は、前記外部機器制御用の信号Ａの継続時間をカウントするユーザプログラムＦ〜Ｈを実行する。すなわち、時間管理カウンタ１の計数値ＴをＩＮ命令により読み込み（Ｆ）、現在時間値ＴをＴinx に格納し（Ｇ）、続いてこの格納された現在時間値Ｔinx と前記目標時間Ｔsnを比較して、目標時間に到達していなければ前記ステップ（Ｆ）に戻り、目標時間に到達していれば次のステップ（Ｉ）に移る（Ｈ）。
ステップＩでは、信号ＡをＯＦＦし、次のステップＪではその他の仕事として、演算、伝送等を実行する。
従って、目標時間ΔＴn の設定値の選択により、外部へ出力する時間信号を任意に調整できるので、これを用いて外部機器を制御することが可能となる。外部機器の制御例としては、トランジスタのゲート信号制御によりパルス幅変調を制御したり、発生させた定周期パルスでＰＬＣ自身への割り込みをかけ、定周期の処理を実行させる等がある。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、ＰＬＣ装置のシステム側に負担をかけることなく、任意の時間信号を発生させ、この信号をＰＬＣの外部機器を制御する信号として利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の構成図
【図２】本発明の実施例の処理フロー
【図３】本発明の動作説明図
【符号の説明】
１  ＰＬＣ
２  ＣＰＵ
３  時間管理カウンタ
４  読み込みゲート
【図１】
0003663606.tif 000002
【図２】
0003663606.tif 000003
【図３】
0003663606.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する一対の側壁が形成された断面コの字形状のトレーと、該トレーの一方の面に保持された光学特性に温度依存性を有する導波路型光素子と、該導波路型光素子に設けられた温度センサと、上記トレーの他方の面に固定されたヒーターとを有する導波路型光モジュールであって、
上記トレーの両側壁の間に、該両側壁と直交する打ち抜き折り曲げにより形成した突壁部を上記ヒーターの両側に配置して設けたことを特徴とする導波路型光モジュール。
【請求項２】
上記トレーが１枚の金属板からなり、上記側壁が該金属板の両側を折り曲げて形成され、上記突壁部が上記両側壁の間の金属板を断面コの字形状に打ち抜いた後上記側壁とは反対向きに折り曲げて形成されたものである請求項１に記載の導波路型光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導波路型光モジュール、特にアレー導波路型グレーティング光素子等の光学特性に温度依頼性を持つ光導波路素子に好適な光モジュールに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図３は従来の導波路型光モジュールの構造を示す図である。図４は図３に示した導波路型光モジュールに用いられるトレーの外観斜視図である。
【０００３】
図３に示す筐体（以下「パッケージ」という。）１内に台座２が固定され、台座２の上にトレー３が固定されている。トレー３の上には光学特性に温度依存性を有するアレー導波路型グレーティング光素子（以下「光素子」という。）４が熱伝導性接着剤で固定されている。光素子４のクラッド表面には白金抵抗測温体（温度センサ）５が設けられており、トレー３の裏面にはヒータ６が熱伝導性接着剤により固定されている。光素子４には光ファイバ７が接続されている。パッケージ１とトレー３との間の空間には断熱材８が充填されている。
【０００４】
図４に示すトレー３の両側には側壁（以下「あおり部」という。）３ａが曲げ加工により形成されている。３ｂは台座２に捩子（図示せず）で固定するための穴である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、トレーの厚さが薄い場合、トレーは、あおり部３ａに垂直な方向の剛性が低く、外部からの機械的な力や組み立て時の応力によって反りが発生し、光素子４が変形したり、光学特性が変化したりしてしまう。また、剛性を上げるためトレー３の厚さを厚くすると、熱容量が増加するためヒータ６の消費電力が増大してしまうという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、トレーの熱容量を低く保ったまま剛性のみ高くした導波路型光モジュールを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の導波路型光モジュールは、対向する一対の側壁が形成された断面コの字形状のトレーと、トレーの一方の面に保持された光学特性に温度依存性を有する導波路型光素子と、導波路型光素子に設けられた温度センサと、トレーの他方の面に固定されたヒーターとを有する導波路型光モジュールであって、トレーの両側壁の間に、両側壁と直交する打ち抜き折り曲げにより形成した突壁部をヒーターの両側に配置して設けたものである。
【０００８】
上記構成に加え本発明の導波路型光モジュールは、トレーが１枚の金属板からなり、側壁が金属板の両側を折り曲げて形成され、突壁部が両側壁の間の金属板を断面コの字形状に打ち抜いた後側壁とは反対向きに折り曲げて形成されるのが好ましい。
【０００９】
本発明によれば、１枚の金属板の両側を折り曲げてコの字断面形状に加工したトレーの両側壁の間に側壁と直交する方向にコの字形状に打ち抜いた後折曲げて突壁部を設けたことにより、トレーの熱容量を低く保ったまま剛性が増加する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００１１】
図１は本発明の導波路型光モジュールの一実施の形態を示す断面図であり、図２は図１に示した導波路型光モジュールに用いられるトレーの外観斜視図である。なお、図３、４に示した従来例と同様の部材には共通の符号を用いた。
【００１２】
図１に示すパッケージ１内に台座２が固定され、台座２の上にトレー１０が固定されている。トレー１０の上には光学特性に温度依存性を有する光素子４が熱伝導性接着剤で固定されている。光素子４のクラッド表面には温度センサ５が設けられており、トレー１０の裏面にはヒータ６が熱伝導性接着剤により固定されている。光素子４には光ファイバ７が接続されている。パッケージ１とトレー１０との間の空間には断熱材８が充填されている。
【００１３】
図２に示すようにトレー１０の両側にはあおり部１０ａが曲げ加工により形成されており、トレー１０の中央部の両端付近にはあおり部１０ａと直交する突壁部としての他のあおり部１０ｃが設けられている。他のあおり部１０ｃはトレー１０の金属板の両あおり部１０ａの間をコの字形状に打ち抜いた後折り曲げて形成されたものである。
【００１４】
本導波路型光モジュールは、トレー１０の中央部の両端付近にあおり部１０ａと直交する方向に他のあおり部１０ｃが打ち抜き、曲げ加工により形成されているので、トレー１０の厚さが薄いまま、すなわち熱容量を低く保ったまま剛性を増加することができる。
【００１５】
本導波路光モジュールは、波長多重伝送方式（Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  Ｄｉｖｉｓｉｏｎ  Ｍｕｌｔｉ／Ｄｅｍｕｌｔｉｐｌｅｘｅｒ，ＷＤＭ）光ネットワーク内に設置され、伝送されてきた光信号を波長に依存して分波するのに用いることができる。
【００１６】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような優れた効果を発揮する。
【００１７】
トレーの熱容量を低く保ったまま剛性のみ高くした導波路型光モジュールの提供を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の導波路型光モジュールの一実施の形態を示す断面図である。
【図２】図１に示した導波路型光モジュールに用いられるトレーの外観斜視図である。
【図３】従来の導波路型光モジュールの構造を示す図である。
【図４】図３に示した導波路型光モジュールに用いられるトレーの外観斜視図である。
【符号の説明】
１  筐体（パッケージ）
２  台座
４  アレー導波路型グレーティング光素子（光素子）
５  温度センサ（白金抵抗測温体）
６  ヒータ
７  光ファイバ
８  断熱材
１０  トレー
１０ａ  側壁（あおり部）
１０ｃ  突壁部（他のあおり部）
【図１】
0003663992.tif 000002
【図２】
0003663992.tif 000003
【図３】
0003663992.tif 000004
【図４】
0003663992.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハの電気特性試験において、ウェハを複数の半導体チップからなるブロックに区切り、前記ブロック内の歩留りを予め設定されている異常歩留りと比較して、前記ブロック内の歩留りのほうが高いものを良品ブロックとし、前記ブロック内の歩留りのほうが低いものを不良ブロックとし、前記不良ブロックに隣接する良品ブロックおよび前記不良ブロックにあるすべてのチップを不良と判定する工程と、不良と判定されたすべてのチップに不良マーキングする工程と、を有することを特徴とする半導体の選別方法。
【請求項２】
前記不良ブロックに隣接する良品ブロックおよび前記不良ブロックをさらに細かいブロックに分割し、前記細かいブロック内の歩留りを予め設定されている異常歩留りと比較して、前記細かいブロック内の歩留りのほうが高いものを細かい良品ブロックとし、前記細かいブロックの歩留りのほうが低いものを細かい不良ブロックとし、前記細かい不良ブロックに隣接する細かい良品ブロックおよび前記細かい不良ブロックにあるすべてのチップを不良と判定することを複数回繰り返す工程を有することを特徴とする請求項１に記載の半導体の選別方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ウエハ電気的特性試験における不良選別方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ウエハ電気的特性試験後の不良マーキングは、ＩＣテスタが判定する結果をプローバ装置に装着されているマーキング装置において行われている。また、ＩＣテスタの判定結果を貯え、後にマーキング用プローバ装置に判定結果を呼び出し、マーキングする方法が行われている。いずれもＩＣテスタが判定した結果そのままマーキングする方法である。
【０００３】
また、不良チップ周辺のみの良品チップをマーキングすると出荷個数が激減するおそれがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来技術の方法では、良品チップと不良品チップの境界では、製造工程で問題があった場合、信頼性上問題のあるチップが出荷されるおそれがある。
【０００５】
また、不良チップ周辺のみの良品チップをマーキングすると出荷個数が激減するおそれがある。
【０００６】
【問題点を解決するための手段】
前記問題点を解決するために、この発明はＩＣテスタでの試験項目と各試験項目によるウエハ上の不良分布を解析し、不良分布のない部分はそのままとし、不良分布のある部分、もしくは不良チップの密度が高い部分の周辺良品チップを不良チップにすることができるようにした。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明は、この発明はＩＣテスタでの試験項目と各試験項目によるウエハ上の不良分布を解析し、不良分布のない部分、または不良の密度の低い部分はそのままとし、不良分布のある部分だけあるいは不良チップも密度が高い部分の良品チップを不良チップにすることができるようにしたものである。
【０００８】
【実施例】
以下に、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【０００９】
図１は実際のウエハの不良分布にをブロックに区切った。図２はブロックごとの歩留りと判定をあらわす。
【００１０】
本実施例において、図１のウエハをブロックごとに分ける。各ブロック内で図２のように、異常歩留りの判定を行う。本実施例では７０％を異常歩留りとする。異常歩留り以下を不良ブロックとし×で示す。そして不良ブロックに一辺でも接しているブロックを△で示し、次回判定対象ブロックとする。次回判定対象ブロックはブロック内に不良分布がある可能性があるため、再度判定をする。次回判定対象ブロックと不良ブロック以外を良品ブロックとして、良品チップにマーキングする対象ブロックからはずす。
【００１１】
一回目の判定後、さらに不良ブロックと次回判定対象ブロックを細かいブロックに分け、前記判定の手順を繰り返し、次回判定対象ブロック、不良ブロック、良品ブロックの３つに分ける。不良分布の周辺を何チップ不良にしたいかで、ブロック内のチップ数をどこまで少なくするかが決まり、繰り返しの回数も決まる。
【００１２】
ただし、ブロック内で異常歩留りの判定ができる個数までが限度となる。そして不良ブロックと不良ブロックに接しているブロックにあるチップのすべてマーキングを行う。
【００１３】
以上の手順により、不良分布がある、もしくは不良密度が高いブロック以外は排除されていくため、分布の無いブロック、もしくは不良密度の低いブロックは、良品チップにマーキングされる可能性が無い。
【００１４】
【発明の効果】
この発明は、以上説明したようにな方法を用いると、不良分布がある、もしくは不良密度が高いブロックのみ選択されるため、信頼性のあるチップまで余分に不良にすること無く、信頼性の低いチップのみを排除することが可能となり、出荷数の確保と製品品質の向上が同時に効果がある
【図面の簡単な説明】
【図１】実際のウエハの不良分布のあるウエハをブロックに区切った図
【図２】ブロックごとの歩留りと判定結果
【図１】
0003730106.tif 000002
【図２】
0003730106.tif 000003