(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルが位置決めして載置される載置面を有するペリクル収納用ケース本体と、該ペリクル収納用ケース本体に被せて装着されペリクルを内部に固定収納出来る様に形成されたペリクル収容部を有する上蓋と、よりなるペリクル収納用ケースに於いて、該上蓋の下面側にペリクル収納用ケースを開封する際の減圧を開放するための切込みが少なくとも１ヶ所設けられ、且つ該切込みの一方の端部が該ペリクル収容部の立ち上がり部に接して位置し、もう一方の端部が、該上蓋の外周縁から１ｍｍ以上８０ｍｍ未満内側であり、且つ前記ペリクル収容部の内部領域を除く領域に位置していることを特徴とする、ペリクル収納用ケースを開封する際の減圧を開放するための切込み付きペリクル収納用ケース。
【請求項２】
前記上蓋の外周縁が少なくとも４個の隅部を有し、前記ペリクル収容部の立ち上がり部の輪郭の形状が４角形又は隅部が丸められた４角形であり、且つ前記切込みの一方の端部が該ペリクル収容部の立ち上がり部の隅部又はその近傍の立ち上がり部に接して位置し、もう一方の端部が上蓋の外周縁から１ｍｍ以上内側で、且つ、該一方の端部から最も近い上蓋の外周縁の隅部で交わる２辺に平行に、各辺からそれぞれ１ｍｍ内側に２つの直線を引いたとき、該2つの直線の交点からの距離が７９ｍｍ未満であり、且つ該ペリクル収容部の内部領域を除く領域に位置する、請求項１記載のペリクル収納用ケース。
【請求項３】
前記ペリクル収納用ケースの外周縁が長方形又は隅部が丸められた長方形である、請求項２記載のペリクル収納用ケース。
【請求項４】
前記切込みが、前記切込みの両端部を対辺とする長方形又は隅部が丸められた長方形の形状である、請求項２又は３記載のペリクル収納用ケース。
【請求項５】
前記切込みの両端部の間隔が、５ｍｍ以上１００ｍｍ未満である、請求項４記載のペリクル収納用ケース。
【請求項６】
前記切込みの一方の端部が前記ペリクル収容部の立ち上がり部の隅部に接し、もう一方の端部が、該一方の端部から最も近い上蓋の外周縁で交わる２辺に平行に、各辺からそれぞれ１ｍｍ内側に２つの直線を引いたとき、該２つの直線の交点近傍に位置するように形成されている、請求項３乃至５記載のペリクル収納用ケース。
【請求項７】
前記切込みの面積が１００ｍｍ２以上２５００ｍｍ２未満である、請求項１乃至６のいずれかに記載のペリクル収納用ケース。
【請求項８】
前記上蓋の外周縁が円又は楕円形状であり、切込みの一方の端部が前記ペリクル収容部の立ち上がり部に接して位置し、もう一方の端部が、該一方の端部から最短距離にある上蓋の外周縁から１ｍｍ以上８０ｍｍ未満内側であり、且つペリクル収容部の内部領域を除く領域に設けられていることを特徴とする、請求項１記載のペリクル収納用ケース。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はペリクル収納用ケースに関し、より詳細には、ペリクル収納用ケースからのペリクルの取り出し操作、特に自動開封装置による取り出し操作に於いて、ペリクルに損傷等何等の影響を与えることなく容易、確実、且つ迅速に操作できる開封性に優れたペリクル収納用ケースに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体集積回路の製造に於けるフォトリソグラフィ工程では、マスク上に塵埃等が付着しこれが半導体ウェハに投影され不良品となるのを防ぐため、マスクパターンを囲う大きさの枠体に透明な薄膜を張設したペリクルを使用する。
【０００３】
ペリクルは、通常、使用に供されるまで、塵埃等が付着したり損傷したりする事のないようにペリクル収納用ケースに入れられて保管、運搬される。このペリクル収納用ケースとしては例えば図９に示すように、中央部にペリクルが位置決めして載置される載置面を有するペリクル収納用ケース本体と、該ペリクル収納用ケース本体上に被せて装着されペリクル枠の周縁を押える押え部を形成したペリクル収容部を有する上蓋とよりなるもの、が一般に使用されている。
【０００４】
ペリクルの使用に際しては、このペリクル収納用ケースを開封し中に収容されているペリクルを取り出し、マスク上に装着するが、近年、省力化と、迅速化を目的として、このケース開封操作は自動化される傾向にあり、自動開封装置による開封が一般的となってきている。
【０００５】
この装置による自動開封の場合にはペリクル収納用ケースの上蓋を把持するためにペリクル収納用ケースを該装置に備えられた治具等により押さえつけることになる。このため、ペリクル収納用ケースの内容積は縮小され、その分だけ内部に封入されていた気体が外部に放出される。
【０００６】
ペリクル収納用ケースは、塵埃混入を防止するために気密性が良好に作られており、ペリクル収納用ケースの上蓋を治具により持ち上げて開封しようとすると、縮小されたペリクル収納用ケースの内容積が元の状態に戻ろうとして、ペリクル収納用ケースの内部が若干減圧状態となるため、該上蓋と共にペリクル収納用ケース本体もそのまま持ち上げられてしまい、ペリクル収納用ケースの蓋取り工程が完了しなかったり、持ち上げられた後に減圧が開放されたりしてペリクル及びペリクル収納用ケースが落下し、内部に収納されたペリクルの位置がずれたり、場合によってはペリクル膜が損傷したりすることもあった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明は保管、運搬中等に於ける気密性能を維持しながらペリクル収納用ケースの開封操作、特に自動開封装置を用いた自動開封操作に際して、ペリクル収納用ケース本体の上蓋への付着が回避され、上蓋の取り外しがスムーズに遂行され、ペリクルの位置ずれやペリクル膜の損傷がない、ケース開封性の良好なペリクル収納用ケースを提供することを目的とするものである。
【０００８】
【問題点を解決するための手段】
本発明によれば、枠体にペリクル膜を張設したペリクルが位置決めして載置される載置面を有するペリクル収納用ケース本体と、該ペリクル収納用ケース本体に被せて装着されペリクルを内部に固定収納出来る様に形成されたペリクル収容部を有する上蓋と、よりなるペリクル収納用ケースに於いて、該上蓋の下面側にペリクル収納用ケースを開封する際の減圧を開放するための切込みが少なくとも１ヶ所設けられ、且つ該切込みの一方の端部が該ペリクル収容部の立ち上がり部に接して位置し、もう一方の端部が、該上蓋の外周縁から１ｍｍ以上８０ｍｍ未満内側であり、且つペリクル収容部の内部領域を除く領域に位置していることを特徴とする、ペリクル収納用ケースを開封する際の減圧を開放するための切込みを有するペリクル収納用ケースが提供される。
【０００９】
ここでペリクル収容部とは、上蓋全体からペリクル収納用ケース本体に接する外周側を除いた部分を言い、ペリクルを固定収容するペリクル収容部の内部領域と、外周縁に連続する部分から急激に立ち上がる立ち上がり部とを含む。ペリクル収容部の内部領域とはペリクル収容部からペリクル収容部の立ち上がり部を除いた領域を指し、ペリクル収容部の立ち上がり部とはペリクル収容部からペリクル収容部の内部領域を除いた部位を指す。
切込みの一方の端部がペリクル収容部の立ち上がり部に接するとは、ペリクル収納用ケース本体に上蓋を被せた状態で、ペリクル収納用ケース本体と切込みとが形成する空隙がペリクル収容部の内部領域の空間と連通していることを意味する。
【００１０】
ペリクル収納用ケースを自動開封装置により開封して自動操作で内部に収容されているペリクルを取り出す場合、一般には、まず自動開封装置の治具によりペリクル収納用ケースの上蓋のペリクル収容部を押圧して該ペリクル収容部を把持し、その後上蓋を持ち上げペリクルが載置されたペリクル収納用ケース本体から上蓋を取り除き、ペリクルを取り出す。
【００１１】
この自動開封操作に於ける、治具により上蓋を把持する際に生じる減圧状態を解消するには、ペリクル収納用ケースに減圧を開放する開孔を設けることが考えられるが、ペリクル収容部に開孔を設けたのでは該開孔から保管時や運搬の際等に塵埃が内部に侵入するためペリクル収納用ケース本来の機能が達成出来ない。又、減圧の開放は治具が上蓋を持ち上げる時にタイミング良く機能しなければならない。
【００１２】
本発明では、これを、その一方の端部が上蓋のペリクル収容部の立ち上がり部に接し、もう一方の端部が上蓋の外周縁から１ｍｍ以上８０ｍｍ未満内側に位置する切込みを設けることにより達成したものである。
【００１３】
特に、ペリクル収納用ケースの外周縁が多角形又はほぼ多角形の形状を有し、ペリクル収容部が長方形の場合には、ペリクル収納用ケースを開封する際の減圧開放用の切込みを上蓋のペリクル収容部の立ち上がり部の隅部又はその近傍の立ち上がり部に接する位置から、該隅部から最短距離にある外周縁の隅部近傍に達する特定範囲の位置、即ち、上蓋の外周縁から１ｍｍ以上内側で、且つ、該外周縁の隅部で交わる２辺に平行に各辺からそれぞれ１ｍｍ内側に２つの直線を引いたとき、該２つの直線の交点からの距離が７９ｍｍ未満の位置、に設けることが望ましく、この様な位置、形状に切込みを設けることによりペリクル収納用ケースを自動開封装置により開封して自動操作で内部に収容されているペリクルを取り出す場合、治具の押圧により生じるペリクル収容部内部の減圧状態をタイミング良く解除することが出来る。
【００１４】
ペリクル収容部の立ち上がり部の隅部と、該隅部から最短距離にある外周縁の隅部とを結ぶ直線を中心とした近傍領域に切込みを設けるのが最も望ましい。
【００１５】
ペリクル収容部の立ち上がり部の辺の中点近傍と、該中点近傍から最短距離にある外周縁の辺の中点近傍との間に切込みを設けた場合は、自動開封装置による開封操作に於いて減圧開放のタイミングがやや遅れ、減圧開放効果がやや劣る。
【００１６】
又、ペリクル収納用ケースの一部にはその外周縁の形状が円形又は楕円形のものもあるが、この場合には減圧開放用の切込みは、その一方の端部がペリクル収容部の立ち上がり部に接して位置し、もう一方の端部が、該一方の端部から最短距離にある上蓋の外周縁から１ｍｍ以上８０ｍｍ未満内側でありかつペリクル収容部の内部領域を除く領域に設けられる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下本発明を添付図面に基づき詳細に説明する。図１は上蓋上に形成される本発明の切込みの位置関係を説明するための模式平面図であって、この図の場合は、上蓋の外周縁（１）の形状は長方形であり、４個の隅部を有している。
【００１８】
本発明では、減圧開放用の切込みは、図１の場合、符号３で示される上蓋のペリクル収容部の立ち上がり部を一方の端部とし、符号５と６とで示される２つの破線で囲まれた領域（A）内にもう一方の端部が位置するように形成される。
【００１９】
図２は上蓋の外周縁（１）の形状が隅部が丸められた長方形の場合の、切込みのもう一方の端部の設置領域（A）を示した図である。
【００２０】
本発明に於いて、上蓋の外周縁（１）の形状が４個以上の隅部を有する多角形であり、且つペリクル収容部の立ち上がり部の形状が４角形の場合は、図３、図４に示すように切込みの一方の端部は該ペリクル収容部の立ち上がり部の隅部又はその近傍の立ち上がり部に接して位置させ、もう一方の端部は、上蓋の外周縁から１ｍｍ以上、より好ましくは２ｍｍ以上内側で、且つ該一方の端部から最も近い上蓋の外周縁の隅部において交わる２辺に平行に、各辺からそれぞれ１ｍｍ内側に引いた２直線（９、９’）とその交点（１０）を中心点とする半径７９ｍｍ、より好ましくは半径６０ｍｍ、の円弧とで囲まれた領域（A’）内に位置させるのが、減圧を開放する機能の上からより好ましい。ここで図３は上蓋の外周縁の形状が８角形で切込みの形状がほぼ長方形の場合、図４は上蓋の外周縁の形状が長方形で切込みの形状も長方形の場合を示している。
【００２１】
上記の形状の上蓋の場合、特に好ましい切込みは、図５に示したように切込みの一方の端部がペリクル収容部の立ち上がり部の隅部に接し、もう一方の端部が前記２直線（９、９’）の交点（１０）の近傍に位置するように形成されたものである。
【００２２】
上記に於いて、外周縁の隅部が丸められた形状の上蓋で、前記交点（１０）が上蓋の外に位置する場合は、切込みのもう一方の端部は該交点（１０）から最短距離にある外周縁から１ｍｍ以上内側に位置させる。一例を図６に例示する。
【００２３】
図７は、上蓋の外周縁、及びペリクル収容部の立ち上がり部が共にほぼ正方形の場合を例示した図である。
【００２４】
又、ペリクル収納用ケースには、外周縁の形状が円又は楕円形のものがあるが、この様なペリクル収納用ケースの場合は、切込みは、例えば図８に示すように、一方の端部がペリクル収容部の立ち上がり部に接し、もう一方の端部が該一方の端部から最短距離にある上蓋の外周縁から１ｍｍ以上８０ｍｍ未満内側であり且つペリクル収容部の内部領域を除く領域に位置する様に形成される。
【００２５】
本発明に於いて、減圧開放用の切込みの面積は、特に限定的ではないが、その減圧開放機能とペリクル収納用ケースの上蓋の強度特性、密封性能等とのバランスから、通常１００ｍｍ２乃至２５００ｍｍ２、好ましくは２２５ｍｍ２乃至１０００ｍｍ２の範囲である。
【００２６】
切込みの平面形上は、正方形若しくは長方形等の4角形、隅部が丸められた4角形、又は円若しくは楕円等の任意の形状で良く特に限定されるものではないが、正方形若しくは長方形、又は隅部が丸められた正方形若しくは隅が丸められた長方形の形状に形成されることが好ましい。
【００２７】
特に、切込みが正方形又は長方形の場合、該切込みの両端部の間隔が、５ｍｍ以上１００ｍｍ未満、より好ましくは１０ｍｍ以上５０ｍｍ未満、更に好ましくは１５ｍｍ以上２０ｍｍ未満、であることが減圧開放機能の観点からより好ましい。
【００２８】
本発明に於ける切込みの、上蓋の厚さ方向への断面の形状、角度は特に限定されるものではないが、ペリクル収納用ケースの内部への異物混入防止やペリクル収納用ケースの成型性等の観点から、一般に６０乃至８０度、好ましくは６５乃至７５度の角度に形成されることが好ましい。
【００２９】
【実施例】
ほぼ正方形の外周縁と、立ち上がり部が１１０ｍｍ×１１０ｍｍのペリクル収容部を有する図７に示した上蓋形状を有するペリクル収納用ケースを用い、この上蓋に、辺の長さ１５ｍｍの一方の端部の中点がペリクル収容部の立ち上がり部の隅部に接し、辺の長さ１５ｍｍのもう一方の端部の中点が、図７に示した交点（１０）からの距離が４０ｍｍ、且つ図７の２直線（９、９’）から各々等距離離れた上蓋上に位置する様に、深さ３ｍｍの長方形の切込みを設け、これをペリクル収納用ケース本体に被せた（実施例１）。
【００３０】
このペリクル収納用ケースの上蓋のペリクル収容部の中心付近に上から２０ｍｍΦの治具により、６ｋｇ／ｃｍ２の押圧力で、３秒間押さえつけ、押圧解除１秒後、上蓋を持ち上げた。この時、ペリクル収納用ケース本体は全く持ち上がらず、良好な開封操作が可能であった。
【００３１】
切込みの両端部の辺の長さを１５ｍｍから１０ｍｍに替えた以外は前記実施例１と同様の位置に切込みを設け、実施例１と同様に処理した（実施例２）。結果を表１に示す。
【００３２】
更に、実施例１と同じペリクル収納用ケースの上蓋に、両端部の辺の長さを１５ｍｍとし、その一方の端部をペリクル収容部の立ち上がり部の辺の中点から外側に１０ｍｍ離れて位置させ、そこから上蓋の外周縁の方向に延び、且つ前記交点（１０）から外周縁に平行に引いた直線からの距離が１０ｍｍの位置にもう一方の端部を位置させた長方形状の切込みを上蓋の下面側に設けたペリクル収納用ケース（比較例１）を前記実施例１と同様に処理し、上蓋開封時の状態を観察した。結果を表１に示す。
【００３３】
又更に、切込みの両端部の辺の長さを１５ｍｍから１０ｍｍに替えた以外は比較例１と同様の位置に切込みを設け、実施例１と同様に処理し、上蓋開封時の状態を観察した（比較例２）。結果を表１に示す。
表１
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【００３４】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、ペリクル収納用ケースの上蓋の特定位置に、開封する際の減圧開放用の切込みが設けられていることにより、ペリクル収納用ケースを自動開封装置により自動開封する際、タイミング良く減圧が開放され、内部に収容されているペリクルに損傷を与えることなく、且つ自動開封操作をスムーズに遂行することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のペリクル収納用ケースの、切込みの設けられる上蓋上の領域を模式的に示した図。
【図２】  本発明の他の形状のペリクル収納用ケースの、切込みの設けられる上蓋上の領域を模式的に示した図。
【図３】  ペリクル収納用ケースが多角形である場合の、切込みの好適な位置を示した図。
【図４】  ペリクル収納用ケースが４角形である場合の、切込みの好適な位置を示した図。
【図５】  本発明のペリクル収納用ケースの、１態様を示した図。
【図６】  本発明のペリクル収納用ケースの、他の態様を示した図。
【図７】  本発明のペリクル収納用ケースの、別の態様を示した図。
【図８】  楕円形の外周縁形状を有するペリクル収納用ケースの場合の、本発明の切込みの設けられる位置を例示した図。
【図９】  従来のペリクル収納用ケースの形状の１例を示した図。
【符号の説明】
１  外周縁
２  ペリクル収容部
３  ペリクル収容部の立ち上がり部
４ 切込み
５ 外周縁から１ｍｍ内側を示す破線
６ 外周縁から８０ｍｍ内側を示す破線
７ 切込みのもう一方の端部が位置する領域（A）
８ 切込みのもう一方の端部が位置する、より好適な領域（A’）
９、９’  外周縁に平行に、外周縁からそれぞれ１ｍｍ内側に引いた２つの直線
１０  ２つの直線（９、９’）の交点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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