(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面にワークが固定され機枠に支持されたワーク固定台と、該ワーク固定台上のワークの切断を行うべく前記ワークに複数列のワイヤソーを押しつけるべく並列に配置された上方の供給側のピッチローラと並列に配置された下方の巻取り側のピッチローラとを有する切断塔と、該切断塔の各供給側のピッチローラのそれぞれに前記ワイヤソーを供給する複数個の供給ボビンと、前記切断塔の各巻取り側のピッチローラからそれぞれ個別に前記ワイヤソーを回収する複数個の巻き取りボビンとを備え、前記切断塔が、前記ワーク固定台の左右両側にそれぞれ１基ずつ対称的に配置されるとともに、前記左右の切断塔の切断ピッチに差（座標値の差）をつけるように構成されているワイヤソー装置において、上方の供給側のピッチローラと下方の巻取り側のピッチローラ対が複数設けられたことを特徴とするワイヤソー装置。
【請求項２】
請求項１に記載のワイヤソー装置において、前記ワイヤソーを供給する複数個の供給ボビンと、前記切断塔の各巻取り側のピッチローラからそれぞれ個別に前記ワイヤソーを回収する複数個の巻き取りボビンが３軸にそれぞれ２個設けられたことを特徴とするワイヤソー装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のワイヤソー装置において、前記切断ピッチ送りの制御および切り込み送りの制御が、サーボモータによる数値制御によって行われることを特徴とするワイヤソー装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３に記載のワイヤソー装置において、前記左右の切断塔が、前記切断ピッチ送りの制御により座標値に差を付けらて所定の厚さ制御が行われることを特徴とするワイヤソー装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のワイヤソー装置において、前記各供給側のピッチローラと前記各供給ボビンとの間にそれぞれ測長ローラが設けられ、該各測長ローラの測定値により、前記巻き取りボビンの巻き取り量が制御されることを特徴とするワイヤソー装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のワイヤソー装置において、前記ワーク固定台が前記機枠に対して回転可能に支持されたロータリ式ワーク固定台であることを特徴とするワイヤソー装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のワイヤソー装置において、前記ワーク固定台が前記機枠に対して固定されたフラットテーブル式ワーク固定台であることを特徴とするワイヤソー装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、精密電子部品材料等に複数の細幅の溝を同時に入れる溝入れ加工、あるいは切断代の少ない切断を行う切断加工などを施工するのに好適な、細線ワイヤソー装置に関し、特にワイヤソー切断機の切断塔をワーク支持部の左右に２基配設し、両切断塔の座標値に差を付けることで所定厚さにワークを切断できるようにしたワイヤソー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、シリコン等の硬脆性材料のインゴットからウェハーを切り出す装置の一つとして、細線ワイヤを使用したワイヤソー装置が知られている。
【０００３】
このワイヤソー装置の原理を図９により概説すると、符号０５は回転テーブル式のワーク固定台を示しており、ワーク固定台０５の周面に複数個のワーク（インゴット）０１が治具（図示せず）で固定されている。ワーク固定台０５の中心軸０５ａにはワーク固定台用モータ（図示せず；以下単に「モータ」と呼ぶときは、このモータのことである。）が取り付けられていて、正逆方向に高速回転できるようになっている。
【０００４】
符号０４は細い鋼製のワイヤソーを示している。このワイヤソー０４は供給ボビン０６に巻き取られていて、供給ボビン０６から繰り出されたワイヤソー０４は、張力調整装置０７を経てから、ガイドローラ０８，０９，０１０，０１１の順に案内され巻取りボビン０１２に到る。運転時、巻き取りボビン０１２に取り付けられているステッピングモータあるいは低速モータ（図示せず、以下「ワイヤソー移送モータ」と呼ぶ）により、ワイヤソー０４は矢印Ｂ方向へ移動する。
【０００５】
ワイヤソー０４は、加工作業中、矢印Ｂ方向に少しずつ低速移動するものである。一方、ワーク固定台０５は高速度で回転するので、ワーク固定台０５上のワーク０１にワイヤソー０４が高速度で当接し、これによりワーク０１の切断が行われる。
【０００６】
加工のための押圧力は、張力調整装置０７によってワイヤソー０４に加えられる引張り力と供給ボビン０６を制動回転するトルクモータと、ガイドローラ０９，０１０にそれぞれ設けられている送りロッド０１３の矢印Ｃ方向へのガイドローラ０９，０１０の移動とにより調節される。図８は図４の装置により切断されたワーク０１の切断部の断面図を示している。ガイドローラ０９，０１０のワーク０１に対する押圧力を調節することにより、一方端Ｘおよび他方端Ｙよりも中央部Ｚの突出した円弧曲線状となるように設定することができる。ワイヤソー２を切断部においてこのような円弧曲線状に設定することにより、ワイヤソー２が蛇行するのを減少でき、その結果、ワイヤソー２の切断事故を抑制することが可能となる。
【０００７】
マルチワイヤソー装置は、前記のワイヤソー０４を、ワーク固定台０５の中心軸（回転軸）０５ａにワークに対して、平行に、所定のピッチのもとに複数列配設したもので、その一例として、特開平１１−２０７５８７号公報がある。図７は当該公報に記載の装置の概要を示している。図７に示すマルチワイヤソー装置は、ガイドローラ０９Ａ，０１０Ａに複数のワイヤソー０４の案内用の溝が形成されており、ワイヤソー０４は、供給ボビン０６側から右側のガイドローラ０９Ａに入り、右側のガイドローラ０９Ａと左側のガイドローラ０１０Ａとの間の下側でワーク０１に当接しワーク切断加工を行い、左側のガイドローラ０１０Ａを出たところで上側に移動し上側で右側のガイドローラ０９Ａの次の溝に移行して下側に回り、下側で前回の加工の隣の箇所を加工する。この切断加工を順次繰返えして、１本のワイヤソーでワークに同時に複数の加工を施工できるようになっている。このガイドローラ０９Ａ，０１０Ａに形成された複数のワイヤソー０４の案内用の溝は、所定のピッチものもとに形成されていて、細線ワイヤソー０４の位置（ピッチ）を決めるものである。つまりガイドローラ０９Ａ，０１０Ａは、この後に述べる「ピッチ決めローラ」に相当する。
【０００８】
なお図７において、図９のものと同じ部材には同一符号を付して説明を省略し、また、図７において、符号０１４はワーク固定台０５を高速度で矢印Ａ方向に回転するモータを、０２１はテーブルを、０５１は支持部材を、０５２はワーク固定テーブルを示している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
従来のワイヤソー装置では、上記の通り、細線のワイヤソーをワークに押し当てる切断機構（以下「切断塔」という）は１基である。したがって、ワークの切断間隔〔切断ピッチ（以下「ピッチ」という〕は、切断塔を構成するピッチローラ上の複数の溝（ワイヤソー案内用の溝）の間隔、すなわち溝のピッチにより決定されることになる。
【００１０】
ところで、ピッチローラ上に形成される上記の複数の溝については、溝加工技術上の理由、あるいは、ワイヤソーによる切断作動時に隣接するワイヤソー同志が互いに干渉するのを抑制するなどの理由により、ピッチをあまり小さくできないという課題がある。
【００１１】
本発明は、このような課題を解決しようとするもので、２基の切断塔をワークの左右に配置するとともに、左右の切断塔の座標値に差をつけることにより、つまり、左側の切断塔のワークに対する位置と右側の切断塔のワークに対する位置との間に、各ピッチローラに形成した案内溝のピッチの例えば１／２に相当する差（座標値の差）をつけることにより、左側の切断塔による切断位置と右側の切断塔による切断位置とをピッチローラに形成した案内溝のピッチの１／２に相当する寸法だけずらした切断加工が行えるようにして、従来のものと同じピッチのピッチローラを使用しながらピッチローラの案内溝のピッチの１／２に相当する寸法の厚さの切断加工が行えるようにした点を特徴とする。なお上記の「ピッチの１／２」は、説明の都合上の１例であって、本発明における「左右の切断塔の座標値に差」は、「ピッチの１／２」に限定されるものではない。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、外周面にワークが固定され機枠に支持されたワーク固定台と、該ワーク固定台上のワークの切断を行うべく前記ワークに複数列のワイヤソーを押しつけるべく並列に配置された上方の供給側のピッチローラと並列に配置された下方の巻取り側のピッチローラとを有する切断塔と、該切断塔の各供給側のピッチローラのそれぞれに前記ワイヤソーを供給する複数個の供給ボビンと、前記切断塔の各巻取り側のピッチローラからそれぞれ個別に前記ワイヤソーを回収する複数個の巻き取りボビンとを備え、前記切断塔が、前記ワーク固定台の左右両側にそれぞれ１基ずつ対称的に配置されるとともに、前記左右の切断塔の切断ピッチに差（座標値の差）をつけるように構成されているワイヤソー装置において、上方の供給側のピッチローラと下方の巻取り側のピッチローラ対が複数設けられたことを特徴とする。
【００１４】
さらに、前記ワイヤソー装置において、前記ワイヤソーを供給する複数個の供給ボビンと、前記切断塔の各巻取り側のピッチローラからそれぞれ個別に前記ワイヤソーを回収する複数個の巻き取りボビンが３軸にそれぞれ２個設けられたことを特徴とする。
【００１５】
また、さらに、前記切断ピッチ送りの制御および切り込み送りの制御が、サーボモータによる数値制御によって行われることを特徴とする。
【００１６】
さらに、前記ワイヤソー装置において、前記左右の切断塔が、上記切断ピッチ送りの制御により座標値に差を付けらて所定の厚さ制御が行われることを特徴とする。
【００１７】
また、上記のワイヤソー装置において、前記各供給側のピッチローラと前記各供給ボビンとの間にそれぞれ測長ローラが設けられ、該各測長ローラの測定値により、前記巻き取りボビンの巻き取り量が制御されることを特徴とする。
【００１８】
さらにまた、前記ワイヤソー装置において、前記ワーク固定台が前記機枠に対して回転可能に支持されたロータリ式ワーク固定台であることを特徴とする。
【００１９】
また、前記ワイヤソー装置において、前記ワーク固定台が前記機枠に対して固定されたフラットテーブル式ワーク固定台であることを特徴とする。
【００２０】
本発明では、左側の切断塔のワークに対する位置と右側の切断塔のワークに対する位置との間に、例えば、各ピッチローラに形成した案内溝のピッチの１／２に相当する差（座標値の差）をつけることにより、左側の切断塔によるワークの切断位置と右側の切断塔によるワークの切断位置とを、各ピッチローラに形成した案内溝のピッチの１／２に相当する寸法だけずらした切断加工が行えることになる。このように、左右の切断塔の各前後送りの座標値に差異を付けることにより、切断ピッチの設定自由度を広くできる。
【００２１】
また、本発明では、上方の供給側のピッチローラと下方の巻取り側のピッチローラ対が複数設けたり、前記ワイヤソーを供給する複数個の供給ボビンと、前記切断塔の各巻取り側のピッチローラからそれぞれ個別に前記ワイヤソーを回収する複数個の巻き取りボビンが３軸にそれぞれ２個設けることにより、複数箇所の切断加工を１回の切断で行うことができる。
【００２２】
また、各切断塔は、前後送り（ピッチ送り）および左右送り（切断送り）を、サーボモータによる数値制御で行われ、しかもこの数値制御（座標値制御）は、例えば１μ単位で入力できるので、極めて精度の高い制御が可能となる。
【００２３】
さらに、巻取り量の数値制御は、測長ローラによる測長値により行われる。したがって、巻取り側の測長の測長値と供給側の測長ローラの測長値との差がワイヤソーの消耗巻き取り差となる。そしてこの数値（時間当たりの巻き取り速度）は、加工条件、加工状況に応じて任意に設定することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図面により本発明の実施の形態について説明する。
図１、図２はワイヤソー装置の概略を示す第１実施態様である。
【００２５】
この実施形態のワイヤソー装置は、図９で説明した原理に基づいており、細線のワイヤソーをワークに押し当ててワークを切断するように構成されている。そいて、ワイヤソーをワークに押し当ててワークを切断する切断機構（以下「切断塔」という）は、図９に示した装置とほぼ同じ構成となっている。
即ち、この実施形態のワイヤソー装置も、ワーク固定台３０を備えるととに、ワーク固定台３０の周面に、治具（図示せず）により、複数個のワーク（インゴット）１が固定されている。ワーク固定台３０の中心軸（回転軸）３０ａにはワーク固定台用モータ（図示せず；以下単に「モータ」と呼ぶときは、このモータのことである。）が取り付けられていて、ワーク固定台３０を正逆方向に高速回転できるようになっている。
【００２６】
符号１０はワイヤソーをワークに押し当ててワークを切断する切断機構、すなわち切断塔を示している。この切断塔１０は、上下一対の供給側のピッチローラ２５、巻取り側のピッチローラ２６と、両ピッチローラ２５、２６をその前側に回転可能に取り付けた枠体２９とにより形成されている。枠体２９は充分に剛性に配慮した鋳物製で、その下面の案内部２８により、ワイヤソー装置の機枠４０上を、前後送り（ピッチ送り）および切断送り可能に取り付けられている。上記の前後送り（ピッチ送り）および切断送りの制御は、サーボモータによる数値制御で行われるようになっている。
【００２７】
符号２１ａ，２１ｂ，２１ｃは細い鋼製のワイヤソーを示している。この実施形態のものでは、３本のワイヤソー２１ａ，２１ｂ，２１ｃが並列に配設されており、３本のワイヤソー２１ａ，ｂ，ｃは、それぞれ供給ボビン２２ａ，２２ｂ，２２ｃ（以下これらをまとめて「供給ボビン２２」とうこともある）に巻き取られていて、各供給ボビン２２ａ，２２ｂ，２２ｃから繰り出された各ワイヤソー２１ａ，ｂ，ｃは、それぞれ張力調整ローラ３１ａ，３１ｂ，３１ｃをおよび供給側の測長ローラ２３をこの順に経て、供給側のピッチローラ２５から巻取り側のピッチローラ２６の送られ、巻取り側の測長ローラ２４、張力調整ローラ３２ａ，３２ｂ，３２ｃをこの順に経て、巻取りボビン２７ａ，２７ｂ，２７ｃ（以下これらをまとめて「巻取りボビン２７」ということもある）に回収されるようになっている。測長ローラ２３，２４は機枠４０の垂直部分４０ａに回転可能に支持されている。図１には測長ローラ２３，２４、供給側のピッチローラ２５、巻取り側のピッチローラ２６については、１基のみが図示されているが、これらの各部材は、図１の紙面に直交する方向にそれぞれ３基ずつ設けられていて、３本のワイヤソー２１ａ，２１ｂ，２１ｃを別々に案内する構成となっている。
【００２８】
上記の構成からなる切断塔１０および３本のワイヤソー２１ａ，２１ｂ，２１ｃの供給ボビン２２や巻取りボビン２７、あるいは測長ローラ２３，２４などと全く同一構成の切断装置が、図１に示すように、ワーク固定台３０の水平方向右側に対称位置に配置されている。ここでは、ワーク固定台３０の右側に対称位置に配置されている切断装置の構成部材には、上記の切断装置の部材に付した符号に「１００」をプラスした符号を付して両者間の関係を明らかにするとともに、右側の切断装置の構成についての説明を省略する。また、説明の都合上、切断塔１０を「第１切断塔」とよび、切断塔１００を「第２切断塔」とよぶことがある。
【００２９】
切断塔１００も、切断塔１０と同様に、ワイヤソー装置の機枠４０の水平面上を、前後送り（ピッチ送り）および切断送り可能に取り付けられている。上記の前後送り（ピッチ送り）および切断送りは、サーボモータにより数値制御できるようになっており、かつ、切断塔１００と切断塔１０とは、それぞれ独自に制御できる構成となっている。
【００３０】
さらに、各供給側の３基のピッチローラ２５および巻取り側のピッチローラ２６（以下に説明は、第２切断塔１００側のものも含む）は、それぞれ個別に回転可能であり、それぞれ張力調整ローラ３１ａ，３１ｂ，３１ｃにより維持された最適な張力のもとで、ワーク１に押しつけられて、切断作用が行われるようになっている。
【００３１】
また、個々のピッチローラ２５，２６には、ワイヤソー２１ａ，２１ｂ，２１ｃを入れる溝が形成されている。個々の測長ローラ２３，２４も個別に回転可能になっており、さらに、供給ボビン２２と巻取りボビン２７とは同じ形状に形成されていて、供給時にはトルク制御、巻取り時には数値制御を繰返し行い、巻取り量の数値制御は測長ローラ２３，２４による測長値により行われる。したがって、巻取り側の測長ローラ２４の測長値と供給側の測長ローラ２３の測長値と差がワイヤ２１の消耗巻き取り差となる。この数値（時間当たりの巻き取り速度）は、加工条件、加工状況に応じて任意に設定できる。
【００３２】
上記の構成において、切断塔１０および／または切断塔１００をサーボモータ駆動で前後送り（ピッチ送り）したり、左右送り（切断送り）しながら、ワーク固定台３０を回転することにより、ワーク１を所定のピッチに切断することができる。たとえば、図２に示すように、左側の切断塔１０のワーク１に対する位置と右側の切断塔１００のワーク１に対する位置との間に、各ピッチローラ２５，１２５に形成した案内溝のピッチの１／２に相当する差（座標値の差）をつけることにより、左側の切断塔１０によるワーク１の切断位置と右側の切断塔１００によるワーク１の切断位置とを、ピッチローラ２５，１２５に形成した案内溝のピッチの１／２に相当する寸法だけずらして、ワイヤソー２１ａ，２１ｂ，２１ｃの間隔の１／２だけワイヤソー１２１ａ，１２１ｂ，１２１ｃをずらせた切断加工が行えることになる。このように、左右の切断塔１０，１００の前後送りの座標値に差異を付けることにより、切断ピッチの設定自由度を広くすることができる。
【００３３】
さらに、切断塔をワーク固定台３０の左右に配置するとともに、切断塔１０，１００を前後送り（ピッチ送り）可能としたことにより、ワーク固定台３０の中心軸３０ａを両端支持形式とすることが可能となり、ワーク固定台３０の支持剛性を向上することが可能となる。
【００３４】
この実施形態の装置では、上記の前後送り（ピッチ送り）および左右送り（切断送り）は、上述の通り数値制御により行われ、この数値制御は１μ単位で入力できる。また、ワーク固定台３０はインバータによる無段変速で最大７５０ｒ．ｐ．ｍ．で回転できるように形成されている。
【００３５】
上述の実施形態では、ワーク固定台３０は回転式となっているが、切断塔１０および切断塔１００が切断方向（図１の矢印Ｘ方向）、すなわち図１においてワーク固定台３０に近ずいたり、遠のいたりする方向に移動可能である（図１の点線は切断塔１０および切断塔１００が最も内側に位置した状態を示している）ので、ワーク固定台３０が回転式の場合、切断加工が難しい形状のワークに対して、ワーク固定台３０を回転させないフラットテーブルを採用することができる。この場合には、ワイヤソー２１はワーク１に対して往復運動させる構成とすることが望ましい。
【００３６】
図３、図４はワイヤソー装置の概略を示す第２実施態様である。
この実施形態のワイヤソー装置も、図９で説明した原理に基づいており、細線のワイヤソーをワークに押し当ててワークを切断するように構成されている。そいて、ワイヤソーをワークに押し当ててワークを切断する切断機構（以下「切断塔」という）は、図１に示した装置とほぼ同じ構成となっている。
【００３７】
図１に示した第１実施態様と異なるところは、上方の供給側のピッチローラと下方の巻取り側のピッチローラ対が、左右の切断塔１０，１００とも２対２５ａ，２６ａと２５ｂ，２６ｂと１２５ａ，１２６ａ，１２５ｂ，１２６ｂ設けられたことである。そして、上方の供給側のピッチローラと下方の巻取り側のピッチローラ対２５ａ，２６ａと２５ｂ，２６ｂと１２５ａ，１２６ａと１２５ｂ，１２６ｂとが図４に示すように、段差を設けて１本のワイヤソーで２か所の切断をするようにして２倍の切断を行うことができるようにしたものである。
【００３８】
図５、図６はワイヤソー装置の概略を示す第３実施態様である。
この実施形態のワイヤソー装置も、図１に示した装置とほぼ同じ構成となっている。
【００３９】
図１に示した第１実施態様と異なるところは、ワイヤソーを供給する複数個の供給ボビンと、前記切断塔の各巻取り側のピッチローラからそれぞれ個別に前記ワイヤソーを回収する複数個の巻き取りボビンが３軸５１，５２，５３，１５１，１５２，１５３にそれぞれ２個づつ設けられた供給ボビン２２ａ１，２２ｂ１，２２ｃ１，１２２ａ１，１２２ｂ１，１２２ｃ１，２２ａ２，２２ｂ２，２２ｃ２，１２２ａ２，１２２ｂ２，１２２ｃ２と巻き取りボビン２７ａ１，２７ｂ１，２７ｃ１，１２７ａ１，１２７ｂ１，１２７ｃ１，２７ａ２，２７ｂ２，２７ｃ２，１２７ａ２，１２７ｂ２，１２７ｃ２を備えた点である。
【００４０】
そして、上方の供給側のピッチローラと下方の巻取り側のピッチローラ対２５ａ，２６ａと２５ｂ，２６ｂと１２５ａ，１２６ａと１２５ｂ，１２６ｂとが図４に示すものと同様に、段差を設けて１本のワイヤソーで２か所の切断をするようにして２倍の切断を行うことができるようにしたものである。これにより、左右の各々の６個の供給ボビン（１２個）で２４か所の切断加工を１回の切断で行うことができる。
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、以下のような効果が得られる。
（１）左側の切断塔のワークに対する位置と右側の切断塔のワークに対する位置との間に、例えば、各ピッチローラに形成した案内溝のピッチの１／２に相当する差（座標値の差）をつけることにより、左側の切断塔によるワークの切断位置と右側の切断塔によるワークの切断位置とを、各ピッチローラに形成した案内溝のピッチの１／２に相当する寸法だけずらした切断加工が行えることになる。このように、左右の切断塔の各前後送りの座標値に差異を付けることにより、切断ピッチの設定自由度を広くできる。
（２）また、本発明では、上方の供給側のピッチローラと下方の巻取り側のピッチローラ対が複数設けたり、前記ワイヤソーを供給する複数個の供給ボビンと、前記切断塔の各巻取り側のピッチローラからそれぞれ個別に前記ワイヤソーを回収する複数個の巻き取りボビンが３軸にそれぞれ２個設けることにより、複数箇所の切断加工を同じに１回の切断で行うことができる。
（３）各切断塔は、前後送り（ピッチ送り）および左右送り（切断送り）を、サーボモータによる数値制御で行われ、しかもこの数値制御は、例えば１μ単位で入力できるので、極めて精度の高い制御が可能となる。
（４）巻取り量の数値制御は、測長ローラによる測長値により行われる。したがって、巻取り側の測長の測長値と供給側の測長ローラの測長値との差がワイヤの消耗巻き取り差となる。そしてこの数値は、切断条件により任意に設定することができる。
（５）切断塔をワーク固定台の左右に配置するとともに、両切断塔を前後送り（ピッチ送り）可能としたことにより、ワーク固定台の中心軸を両端支持形式とすることが可能となり、ワーク固定台の支持剛性を向上することが可能となる。
（６）切断塔および切断塔が切断方向に移動可能であるので、ワーク固定台が回転しないフラットテーブルを採用することができ、ワーク固定台が回転式の場合に切断加工が難しい形状のワークの加工が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施形態に係るワイヤソー装置の概略を示す側面図である。
【図２】図１のワイヤソー装置による切断を示す概略図である。
【図３】本発明の２実施形態に係るワイヤソー装置の概略を示す側面図である。
【図４】図３のワイヤソー装置による切断を示す概略図である。
【図５】本発明の３実施形態に係るワイヤソー装置の概略を示す平面図である。
【図６】図５のワイヤソー装置による切断を示す概略図である。
【図７】従来の（マルチ細線）ワイヤソー装置の斜視図である。
【図８】同ワイヤソー装置によるワーク切断部の断面図である。
【図９】細線ワイヤソー装置の原理を示す概略図である。
【符号の説明】
１：ワーク
１０：第１切断塔
２１：ワイヤソー
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃ：供給ボビン
２３，２４，１２３，１２４：測長ローラ
２５，２６，１２５，１２６：ピッチローラ
２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，１２７ａ，１２７ｂ，１２７ｃ：巻き取りボビン
２９，１２９：枠体
３０：ワーク固定台
３０ａ：中心軸（回転軸）
４０：機枠
１００：第２切断塔
【図１】
0003704586.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0003704586.tif 000010