(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
防振構造の躯体床３上に、各格子目を単位フロアーパネルに適合させた平面格子状の床下地1aを設け、該床下地の各格子目にそれぞれフロアーパネル1bを取り外し可能に布設して二重床を構築し、一方、支柱21の下端に水平な脚版22を、また、上端に水平な台版23を一体に連設するとともに、その高さを上記二重床１の床高さに適合させ、かつ、その平面形状を上記単位フロアーパネルに適合させて適数のプレキャストコンクリート防振機械基礎２を設け、これらのプレキャストコンクリート防振機械基礎２を、布設した上記フロアーパネル1bの任意のものに代えて上記格子目中に配して、上記躯体床３上に取り外し可能に設置した防振二重床において、上記平面格子状の床下地1aにつき、上記躯体床３から立設した支持脚11で大引12を支え、かつ、該大引に根太13を組んで格子状の枠体に形成し、上記プレキャストコンクリート防振機械基礎２につき、脚版22の一隅に上記支持脚11を逃げる切欠221 を設けるとともに、台版23に上記大引12及び根太13を逃げる下向き段部231 を形成して、その脚版22を上記躯体床３上に高さ調整用のナットを配したアンカー７により締結し、その脚版22の下に生じた間隔を充填モルタル６その他の充填材で埋めたことを特徴とする防振二重床。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、精密環境施設の防振二重床とそのプレキャストコンクリート防振機械基礎に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造用クリーンルーム等の精密環境施設では、その床構造は、外部からの振動を遮断した防振構造の躯体床の上に、所定床高でフリーアクセスフロアーを設けて二重床に形成し、このフリーアクセスフロアーと切り放した状態で嫌振精密機器・装置を設置するための機械基礎を設けている。
通常のこの機械基礎は、現場施工による箱型の鉄筋コンクリート基礎であり、嫌振精密機器・装置の平面形状を考慮して、その形状に適した大きさに形成されるが、この場合、レイアウトの変更や機種の変更の都度、解体撤去を伴う大掛かりな改修工事が必要である。
また、半導体製造用クリーンルームでは、近年、嫌振精密機器・装置の大型化が予想されることからその機械基礎を予め大きく設置する傾向があるが、その一方で床面に設置されている排気口を多分に塞ぐ結果となり、清浄度への影響が懸念されるため、大きくするにも限界がある。
【０００３】
本出願人は、これらのことを解決する手段として、先に、フリーアクセスフロアーの防振架構を提案した（特開平3‐151458号公報）。このフリーアクセスフロアーの防振架構は、床下地を鉄骨架構とし、その要所に筋違を装備させることで架構の剛性を高めて、嫌振精密機器・装置をフリーアクセスフロアー上に設置できるようにしたものである。つまり、嫌振精密機器・装置を設置するフリーアクセスフロアー架構の水平剛性を筋違で補強することによって防振性能（一体性）を確保し、もって、鉄筋コンクリート製の防振基礎を排して、移設や増設を容易にし、床面の排気口を多分に塞ぐことがないようしたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このフリーアクセスフロアーの防振架構でも、未だ次のような問題点が残っている。
(1) 筋違は主に水平剛性の補強であり、鉛直方向振動に対する防振性能は十分に向上していない。
(2) 防振架構が周辺の架構と縁が切れていないため、近傍のフリーアクセスフロアーが振動している場合は直接防振架構に伝わってしまう。
(3) フロアーパネルの耐荷重を越えることはできない。
そこで、本発明は、これらの問題点をも合わせて解決しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的達成のため、請求項１の発明は、防振構造の躯体床３上に、各格子目を単位フロアーパネルに適合させた平面格子状の床下地1aを設け、該床下地の各格子目にそれぞれフロアーパネル1bを取り外し可能に布設して二重床を構築し、一方、支柱21の下端に水平な脚版22を、また、上端に水平な台版23を一体に連設するとともに、その高さを上記二重床１の床高さに適合させ、かつ、その平面形状を上記単位フロアーパネルに適合させて適数のプレキャストコンクリート防振機械基礎２を設け、これらのプレキャストコンクリート防振機械基礎２を、布設した上記フロアーパネル1bの任意のものに代えて上記格子目中に配して、上記躯体床３上に取り外し可能に設置した防振二重床において、上記平面格子状の床下地1aにつき、上記躯体床３から立設した支持脚11で大引12を支え、かつ、該大引に根太13を組んで格子状の枠体に形成し、上記プレキャストコンクリート防振機械基礎２につき、脚版22の一隅に上記支持脚11を逃げる切欠221 を設けるとともに、台版23に上記大引12及び根太13を逃げる下向き段部231 を形成して、その脚版22を上記躯体床３上に高さ調整用のナットを配したアンカー７により締結し、その脚版22の下に生じた間隔を充填モルタル６その他の充填材で埋めて成る。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図面は、精密環境施設、特に半導体製造用クリーンルームに係る実施の形態を示している。
図において、１は、防振構造の躯体床３上に構築した二重床、２は、その躯体床３上に設置したプレキャストコンクリート（以下、ＰＣａという。）防振機械基礎である。
【０００９】
二重床１は、防振構造の躯体床３上に、多数の鋼製の支持脚11を立設して、これらの支持脚で鋼製の大引12を支え、該大引に鋼製の根太13を組んで、各格子目が単位フロアーパネル（例えば６００mm×６００mm）に適合する平面格子状の鋼製床下地1aを設け、該鋼製床下地の各格子目にそれぞれ一つの通風性のフロアーパネル1bを取り外し可能に布設して、床高１０００mm内外の通風床に形成しており、その床下空間をレタンチャンバー４としている。
この場合の支持脚11は、正方形のベースプレート111 の中央からパイプ112 を立設し、該パイプの上端にボルト113 を立て、該ボルトに複数のナット114 を螺合させて、該ボルト等により大引12を受ける大引受金物115 を高さ調整自在に連設しており、そして、このように形成した多数の支持脚11を防振構造の躯体床３上に大引12と根太13との交差部の要所に対応させて配置し、各ベースプレート111 をそれぞれアンカーボルト51、ナット52等から成る適数のアンカー５により緊結し、各アンカー５にシリコンコーキングを施している。なお、壁際の支持脚11において、壁の存在でベースプレート111 が適正な位置に載置できないようであれば、ベースプレート111 の一部をカットすればよい。
大引12は、各支持脚11の大引受金物115 に載せてボルト接合116 し、その大引12と根太13とは、接続金物14を用いてボルト接合141,142 している。なお、図示のものでは、各支持脚11の大引受金物115 が根太13の接続金物をも兼ねており、隣接する根太13をもボルト接合117 している。
通風性のフロアーパネル1bには、グレーチングを用いている。パンチングメタル等でもよい。
【００１０】
ＰＣａ防振機械基礎２は、発泡性合成樹脂の中子211 を内装させることで中空に形成した支柱21の下端に水平な脚版22を、また、上端に水平な台版23を一体に連設するとともに、その高さを二重床１の床高さに適合させ、かつ、その平面形状をその二重床１の単位フロアーパネルに適合させて形成して成る脚版の一隅に上記支持脚11のパイプ112 を逃げる切欠221 を設けるとともに、台版23に上記大引12及び根太13を逃げる下向き段部231 を形成して、その脚版22を上記躯体床３上に高さ調整用のナット73を配したアンカー７により締結し、その後、脚版22の下に生じた間隔を充填材たる無収縮モルタル等の充填モルタル６で埋めており、台版23の上面に帯電防止ビニールタイル８を貼っている。
アンカー７は、躯体床３に合成樹脂で固定したホールインアンカーに係るアンカーボルト71、ナット72等から成る樹脂アンカー（ケミカルアンカー）であり、シリコンコーキングを施している。なお、各樹脂アンカーは、充填モルタル６の養生後に当初の脚版22のレベルが変わらない程度に再締め付けする。
かかるＰＣａ防振機械基礎２は、布設した通風性フロアーパネル1bの任意のものに代えて上記格子目中に配して、上述のようにして躯体床３上に取り外し可能に配設するが、嫌振精密機器・装置の設置場所及び形態に合わせて、幾つかを間隔を隔てて或いは隣接させて配備させればよい。
【００１１】
なお、上述の実施の形態は、半導体製造用クリーンルームに係るものであるが、その他の精密環境施設でもよい。したがって、フロアーパネル1bは通風性のものでなくてもよい。また、床高１０００mm内外としているが、これに限るものではなく、これよりも低くても高くてもよい。
【００１２】
【発明の効果】
本発明によれば、既述構成としたから、次の効果を奏する。
(1) フリーアクセスフロアーの架構を截断や溶接することなしに当該防振機械基礎を設置することができるため、新築時に増設計画を含めた機械基礎の現場施工が不必要である。
(2) 当該防振機械基礎を嫌振精密機器・装置の支持位置にのみ設置することにより、基礎面積を減少させることができる。したがって、クリーンルームの場合には気流への影響を最小限にすることができる。
(3) 当該防振機械基礎は、標準ユニット化できて、任意のフロアーパネルに代えて任意の場所に容易に配置できる。
(4) 当該防振機械基礎は、小さい標準ユニットにでき、しかも、中空に形成することができるから、軽量化が可能であり、取り扱いが容易である。
(5) 当該防振機械基礎は、標準ユニットとして任意の場所に配置できるため、大量生産及びストック、転用が可能であり、迅速な対応ができる。
(6) 湿式施工部分を最小限にでき、したがって、クリーン化施工が比較的容易である。
(7) 当該防振機械基礎は、鉛直・水平剛性を確保でき、全方向振動に対する防振性能を向上させることができる。
(8) 設置した当該防振機械基礎が周辺のフリーアクセスフロアー架構と縁が切れているため、近傍のフリーアクセスフロアーが振動している場合にも影響を受け難い。
(9) 必要に応じて耐荷重を設定できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】請求項１の発明に係る防振二重床とそのプレキャストコンクリート防振機械基礎の実施の形態を示す説明平面図である。
【図２】  同実施の形態における要部の縦断側面図である。
【図３】  図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】  図２のＢ−Ｂ線断面図である。
【符号の説明】
１…二重床
1a…鋼製床下地                  1b…フロアーパネル
11…支持脚                      111 …ベースプレート
112 …パイプ                    113 …ボルト
114 …ナット                    115 …大引受金物
116 …ボルト接合                117 …ボルト接合
12…大引                        13…根太
14…接続金物                    141 …ボルト接合
142 …ボルト接合
２…ＰＣａ防振機械基礎
21…支柱                        211 …中子
22…脚版                        221 …切欠
23…台版                        231 …下向き段部
３…躯体床                      ４…レタンチャンバー
５…アンカー
51…アンカーボルト              52…ナット
６…充填モルタル
７…アンカー
71…アンカーボルト              72…ナット
73…高さ調整用のナット
８…帯電防止ビニールタイル
【図１】
0003700807.tif 000002
【図２】
0003700807.tif 000003
【図３】
0003700807.tif 000004
【図４】
0003700807.tif 000005