(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
差圧測定装置本体に封入液が封入された導圧管を介してダイアフラムシールユニットが設けられたダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記導圧管に設けられ前記封入液が前記導圧管に封止されたまま前記導圧管の途中を脱着出来る封止脱着手段と、
この封止脱着手段より前記差圧測定装置本体側の前記導圧管あるいは前記差圧測定装置本体に設けられ前記封入液に連通され前記封入液の膨張収縮を吸収する封入液膨張収縮手段と、
この封入液膨張収縮手段と前記封入液との連通を連通あるいは遮断する連通遮断手段と
を具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項２】
前記封止脱着手段が前記導圧管の前記ダイアフラムシールユニット側近くに設けられたこと
を特徴とする請求項１記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項３】
前記封止脱着手段が前記導圧管の前記差圧測定装置本体側近くに設けられたこと
を特徴とする請求項１記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項４】
前記封止脱着手段を覆って設けられた防塵カバー
を具備した事を特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項５】
前記封止脱着手段近くの前記導圧管に設けられ前記封入液が貯溜される貯溜タンク
を具備した事を特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項６】
前記封止脱着手段に設けられ前記封入液の種別を識別する封入液種別識別手段を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項７】
前記封止脱着手段に設けられ前記封止脱着手段の脱或いは着の状態を識別して信号を出力する脱着状態識別手段
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項８】
前記封止脱着手段としてカップラーが使用されたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項７の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項９】
前記封入液膨張収縮手段としてベローズが使用されたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項８の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項１０】
前記連通遮断手段として電磁バルブが使用されたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項９の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項１１】
前記ダイアフラムシールユニットの接液ダイアフラムの直径と材質に基づく複数の特性テーブルをメモリーするメモリー手段と、
使用された接液ダイアフラムの直径と材質データを入力する入力手段と、
この入力手段からの入力信号に基づき前記メモリー手段から使用された接液ダイアフラムの直径と材質に合致する特性テーブルを選択し測定流体の測定誤差を最小にする演算手段と
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項１０の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項１２】
前記封止脱着手段が切り離された後接続された場合に選択された前記特性テーブルの選択がリセットされ新たな特性テーブルが選択されないと装置が動作しないプロテクト手段
を具備したことを特徴とする請求項１１記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【請求項１３】
前記封止脱着手段が切り離された後接続された場合に選択された前記特性テーブルの選択がリセットされ新たな特性テーブルが選択されないと警告が発せられる警告手段
を具備したことを特徴とする請求項１１又は請求項１２記載のダイアフラムシール型差圧測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイアフラムシールユニット部分の交換が容易で、メンテナンス性が向上され、多種多様なプロセスに対応出来るダイアフラムシール型差圧測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図９は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図で、図１０は図９の要部詳細説明図である。
図において、導圧管２は、ダイアフラムシールユニット３に一端が接続され、他端が差圧測定装置本体１に接続され封入液１０１が封入されている。
【０００３】
この場合は、導圧管2としてキヤピラリーチユーブ２が便用されている。
ダイアフラムシールユニット３は、取付けフランジ３１と、受圧ブロック３２と、受圧ブロック３２の一面に設けられ、受圧ブロック３２と受圧室３４を構成する接液ダイアフラム３３とにより構成されている。
受圧室３４は、導圧管２と連通され、封入液１０１が満たされている。
なお、差圧測定装置本体１は、本体カプセル１１と変換器部１２とよりなる。
【０００４】
以上の構成において、接液ダイアフラム３３により受けた圧力は、封入液１０１で満たされたキャピラリチューブ２により差圧測定装置本体１に伝達される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような装置においては、使用される場所は、通常、プロセス流体の温度が高い、プロセス流体が極めて腐食性が強い、タンクなどのプロセス流体に直接接触する等、厳しい条件で使用されることが多い。
【０００６】
このように厳しい環境で便用するため、ダイアフラムシール受圧部の接液ダイアフラム３３は腐食や機械的な破損等が頻繁に発生する。
このため、ユーザーでは、予備品（保用品）としてダイアフラムシール付き差圧測定装置を用意しておき、破損時にはダイアフラムシール付き差圧測定装置を丸ごと交換しなければならなく、保守・保管費用・保管場所の増大に繋がっている。
【０００７】
加え、交換作業時にダイアフラムシール部分３だけではなく、差圧測定装置本体１の設置、配線等も、し直す必要が生じ、保守費用、交換時間の増大にもなる。
【０００８】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、ダイアフラムシールユニット部分の交換が容易で、メンテナンス性が向上され、多種多様なプロセスに対応出来るダイアフラムシール型差圧測定装置に関するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明では、請求項１記載のダイアフラムシール型差圧測定装置においては、
差圧測定装置本体に封入液が封入された導圧管を介してダイアフラムシールユニットが設けられたダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記導圧管に設けられ前記封入液が前記導圧管に封止されたまま前記導圧管の途中を脱着出来る封止脱着手段と、この封止脱着手段より前記差圧測定装置本体側の前記導圧管あるいは前記差圧測定装置本体に設けられ前記封入液に連通され前記封入液の膨張収縮を吸収する封入液膨張収縮手段と、この封入液膨張収縮手段と前記封入液との連通を連通あるいは遮断する連通遮断手段とを具備したことを特徴とするダイアフラムシール型差圧測定装置を具備したことを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項２においては、請求項１記載のダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記封止脱着手段が前記導圧管の前記ダイアフラムシールユニット側近くに設けられたことを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項３においては、請求項１記載のダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記封止脱着手段が前記導圧管の前記差圧測定装置本体側近くに設けられたことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項４おいては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記封止脱着手段を覆って設けられた防塵カバーを具備したことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項５おいては、請求項１乃至請求項４の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記封止脱着手段近くの前記導圧管に設けられ前記封入液が貯溜される貯溜タンクを具備したことを特徴とする。
ことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項６おいては、請求項１乃至請求項５の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記封止脱着手段に設けられ前記封入液の種別を識別する封入液種別識別手段を具備したことを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項７おいては、請求項１乃至請求項６の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記封止脱着手段に設けられ前記封止脱着手段の脱或いは着の状態を識別して信号を出力する脱着状態識別手段を具備したことを特徴とする。
【００１６】
本発明の請求項８おいては、請求項１乃至請求項７の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記封止脱着手段としてカップラーが使用されたことを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項９おいては、請求項１乃至請求項８の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記封入液膨張収縮手段としてベローズが使用されたことを特徴とする。
【００１８】
本発明の請求項１０おいては、請求項１乃至請求項９の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記連通遮断手段として電磁バルブが使用されたことを特徴とする。
【００１９】
本発明の請求項１１おいては、請求項１乃至請求項１０の何れかに記載のダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記ダイアフラムシールユニットの接液ダイアフラムの直径と材質に基づく複数の特性テーブルをメモリーするメモリー手段と、使用された接液ダイアフラムの直径と材質データを入力する入力手段と、この入力手段からの入力信号に基づき前記メモリー手段から使用された接液ダイアフラムの直径と材質に合致する特性テーブルを選択し測定流体の測定誤差を最小にする演算手段とを具備したことを特徴とする。
【００２０】
本発明の請求項１２おいては、請求項１１記載のダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記封止脱着手段が切り離された後接続された場合に選択された前記特性テーブルの選択がリセットされ新たな特性テーブルが選択されないと装置が動作しないプロテクト手段を具備したことことを特徴とする。
【００２１】
本発明の請求項１３おいては、請求項１１又は請求項１２記載のダイアフラムシール型差圧測定装置において、
前記封止脱着手段が切り離された後接続された場合に選択された前記特性テーブルの選択がリセットされ新たな特性テーブルが選択されないと警告が発せられる警告手段を具備したことことを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2は図１の動作説明図である。
図において、図８と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図８と相違部分のみ説明する。
以下図面を用いて本発明を説明する。
【００２３】
図において、４１は、導圧管２に設けられ、封入液１０１が導圧管２に封止されたまま、導圧管２の途中を脱着出来る封止脱着手段である。
この場合は、封止脱着手段４１としてカップラーが使用されている。
【００２４】
４２は、封止脱着手段４１より、差圧測定装置本体１側の、導圧管２あるいは記差圧測定装置本体１に設けられ、封入液１０１に連通され、封入液１０１の膨張収縮を吸収する封入液膨張収縮手段である。
この場合は、封入液膨張収縮手段４２として、ベローズが使用されている。
【００２５】
４３は、封入液膨張収縮手段４２と封入液１０１との連通を、連通あるいは遮断する連通遮断手段である。
この場合は、連通遮断手段４３として、電磁バルブが使用されている。
【００２６】
以上の構成において、このような装置の動作を以下で説明する。
図２は封止脱着手段４１を切り離した状態を示す。
封止脱着手段４１は、封止脱着手段４１１と封止脱着手段４１2とに切り離される。
【００２７】
封止脱着手段４１は、切り離し時にも、それぞれの封止脱着手段４１内にバルブが内蔵されており、封入液１０１が漏れることは無い。
従って、封止脱着手段４１とダイアフラムシールユニット３とキャピラリチューブ２の内部に封入されている封入液１０１は漏れることは無い。
【００２８】
また、切り離された差圧測定装置本体１とキャピラリチューブ２と封止脱着手段４１の内部に封入されている封入液１０１も漏れることは無い。
再度、封止脱着手段４１を接続すれば、図１に示す状態となり、安定した差圧/圧力の計測が可能となる。
【００２９】
封止脱着手段４１を接続し、プラントを使用状態にしたならば、連通遮断手段４３、具体的には、バルブ４３を閉じれば、封入液膨張収縮手段４２にはプロセス圧力は伝達されないため正確に圧力は測定できる。
なお、封入液膨張収縮手段４２は、ベローズに限らず、ダイアフラム等でも良いことは勿論である。
【００３０】
この結果、
（１）ダイアフラムシールユニット３が破損しても、破損した個所のみを交換できる。
ユーザー予備品として、本発明装置を準備しておけば、多種多様な種類を持つ必要が無くなり、大幅な経費の削減となるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００３１】
（２）また、封入液膨張収縮手段４２が設けられたことで、予備として持つ状態での、周囲温度変化による、差圧測定装置本体１内の封入液１０１の膨張収縮による差圧測定装置本体１内の内圧変化を吸収でき、差圧測定装置本体１内に内蔵される圧力センサ素子の破損を防止でき、この結果、初めて、封止脱着手段４１を設ける事が出来るダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００３２】
（３）封止脱着手段４１としてカップラーが使用されれば、市販のカプラ−がありそれらを利用すれば、市場性があり安価に入手出来るので安価なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００３３】
（４）封入液膨張収縮手段４２としてベローズが使用されれば、ベローズは容積変化を吸収できることが知られており、市中に多く多種類が出回っておりそれらの中から仕様にあった最適な選択が可能であり、安価、最適なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００３４】
（５）連通遮断手段４３として電磁バルブが使用されれば、人的なエラーが無くなり信頼性が高くなるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００３５】
図３は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、封止脱着手段４１が、導圧管２のダイアフラムシールユニット３側近くに設けられている。
【００３６】
キャピラリチューブ２の長さは、ユーザー仕様によってまちまちだが、長い場合は１０ｍを越える仕様が多々ある。
この場合、封止脱着手段４１を、ダイアフラムシールユニット３近傍に設けることにより、交換する際、長いキャピラリチューブ２が接合されたダイアフラムシールユニット３を購入する必要がなく、部品代が安価に済む。
【００３７】
この結果、差圧測定装置本体１を移動しない、即ち、測定ポイントが固定であれば、交換コストを最小にできるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００３８】
図４は、本発明の他の実施例の要部構成説明である。
本実施例においては、封止脱着手段４１が、導圧管２の差圧測定装置本体１側近くに設けられている。
保守部品として本品を購入することを考慮すると、封止脱着手段４１を差圧測定装置本体１近傍に設けることによるメリットがある。
【００３９】
この結果、
（１）それぞれの仕様に合わせたキャピラリチューブ２が接合されたダイアフラムシールユニット３を購入することにより、キャピラリチューブ２が必要以上に長くなることがなく、時定数が遅くなったり、周囲温度変化等による、温度影響による誤差要因の発生を防止することが出来るダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００４０】
（２）また、測定個所が変更される場合を考慮すると、キャピラリチューブ２の長さが変更されることも多々あると考えられる。
このようなケースでは、差圧測定装置本体１側に付属しているキャピラリチューブ２を短く一定とし、キャピラリチューブ２の長さの変更は、ダイアフラムシールユニット３に付属したキャピラリチューブ２で対応する。
【００４１】
これにより、キャピラリチューブ２が無駄に長くなることが無くなり最適となる。
キャピラリチューブ２が無駄に長くなるということは特性上、時定数が遅くなる、温度特性が悪くなる等のデメリットが避けられるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００４２】
図５は、本発明の他の実施例の要部構成説明である。
本実施例において、４４は、封止脱着手段４１を覆って設けられた防塵カバーである。
【００４３】
封止脱着手段４１は、精密な部品であるために、粉塵等に弱い。
一方で、差圧測定装置が設置される環境は、屋外が多く、粉塵や時にはプロセス流体が差圧測定装置に降りかかる場合がある。
【００４４】
そのような場所で使用されることを考慮し、精密構造の封止脱着手段４１を保護するために、防塵カバー４４が設けられる。
これにより、粉塵等から封止脱着手段４１は守られ、長い期間使用することが可能となる。
【００４５】
差圧測定装置が設置される環境は、屋外のため粉塵がまっている環境が多い。
一方、封止脱着手段４１は、精密な構造であり、粉塵等に弱い。
実際に、交換する際に、粉塵で交換できなくなることを防止するために、防塵カバー４４が設けられ、粉塵に強いダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００４６】
図６は、本発明の他の実施例の要部構成説明である。
本実施例において、４５は、封止脱着手段４１近くの導圧管２に設けられ、封入液１０１が貯溜される貯溜タンクである。
【００４７】
封止脱着手段４１を取りつける際には、空気の混入が僅かある。本来、圧力伝達媒体の封入液１０１内に空気等のガスが混入すると、正確にプロセス圧力を伝達できなくなる。
【００４８】
そこで、差圧測定装置の封入液１０１のガス吸収作用を利用し、封止脱着手段４１の近傍に封入液の貯溜タンク４５が設けられる。
【００４９】
この結果、封止脱着手段４１を脱着した際に混入する僅かの空気等のガスを、貯溜タンク４５内の封入液１０１に吸収させ、封入液１０１内のガスを無くす事が出来る。
特に、差圧測定装置に封入される封入液１０１は、予め、例えば、真空脱気されており、吸収作用は封入液１０１本来の特性を示す。
【００５０】
本機能が無くても封入液１０１はガスを吸収するが、キャピラリチューブ２の内径は小さいため、吸収まで時間が掛かる。
このため、さらに吸収能力を大きくするために封入液１０１の貯溜タンク４５が設けられる。
【００５１】
この結果、封止脱着を実施する際には、若干であるが空気が混入する恐れがある。
空気がキャピラリチューブ２内に残ると圧力指示誤差が発生する。
それらを防止するために、ある程度の気泡は封入液１０１に溶け込むという特徴を利用する。
【００５２】
この特長は封入液１０１が差圧測定装置に封入される際に脱気（脱ガス）を行っていることによるものである。
この特長を生かすためにも、空気の溶け込み量とそれらを溶け込ませる封入液１０１の量の関係は、封入液量がおおくなれば空気の溶け込み量も多くなる関係である。
【００５３】
よって、空気が混入する個所近傍に液だまり４５を設けることにより、脱着の際に混入する空気が封入液１０１に溶け込み易くなり、圧力指示誤差の発生の恐れが少ないダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００５４】
次に、４６は、封止脱着手段４１に設けられ、封入液１０１の種別を識別する封入液種別識別手段である。
差圧測定装置内に封入される封入液１０１は、高温用、低温用等仕様によって数種類ある。
【００５５】
これらの封入液１０１が混入すると、本来の封入液１０１特性を得ることが出来なくなる恐れがある。
本発明装置においては、その恐れが高い。
【００５６】
それらを予防するために、封入されている封入液１０１を識別出きるよう、封止脱着手段４１に、この場合は、識別用彩色を施す。
これにより、接続の際は、同じ色の封止脱着手段４１を接続すれば同じ種類の封入液１０１が封入されていることが確認できる。
【００５７】
なお、封入液１０１別に封止脱着手段４１の種類を変え、封入液１０１が同一でないと、封止脱着手段４１が接続できない構造でも良い。
【００５８】
本発明装置は、差圧測定装置本体１とダイアフラムシールユニット３とを、容易に組み合わせることが出来ることが特長である。
また、差圧測定装置にはプロセスに応じて、高温用、低温用、酸素用等、封入液１０１を使い分けている。
【００５９】
よって、上述の特長が、逆に本来目的とした封入液１０１でない封入液１０１同士の組合せも可能となってしまう。
各々に封入されている液の識別を、外部から識別させることにより、それらの混入を未然に防止することができるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００６０】
次に、４７は、封止脱着手段４１に設けられ、封止脱着手段４１の脱或いは着の状態を識別して信号を出力する脱着状態識別手段である。
この場合は、フォトインタラプタ等が使用されている。
プロセス運転中（通電中）に、封止脱着手段４１部が切り離された場合、切り離しをされたことの異常信号を、上位の機種（DCS,シーケンサー等）に伝送する。
【００６１】
本発明装置は、差圧測定装置本体１とダイアフラムシールユニット３とを容易に組み合わせることが出来ることが特長である。
その結果、プロセスで使用状態でも脱着が可能となってしまう。プロセスで使用状態でも脱着しても通常状態と変わらずに、差圧測定装置の信号は上位の機種に伝送され続けられる。
【００６２】
よって、誤って脱着したことによる信号を上位の機種におくれば、プロセスの異常か、脱着による信号変化か明らかになりトラブルシューティングの時間が削減できるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００６３】
図７は、本発明の他の実施例の要部構成説明である。
本実施例において、５１は、ダイアフラムシールユニット３の接液ダイアフラム３３の直径と材質に基づく複数の特性テーブルを、メモリーするメモリー手段である。
【００６４】
５２は、使用された接液ダイアフラム３３の直径と材質データを入力する入力手段である。
５３は、入力手段５２からの入力信号に基づき、メモリー手段５１から使用された接液ダイアフラム３３の直径と材質に合致する特性テーブルを選択し、測定流体ＦＬの測定誤差を最小にする演算手段である。
【００６５】
即ち、変換器部１２に設けられたＣＰＵ６１は、プロセスからの情報として、本体カプセル１１内に設けられた差圧センサー６２と温度センサー６３等からの信号を受け、誤差が最小となる演算を実施し、変圧計（Ｄ／Ａ）６４を介し，上位の機種に電気信号を出力する。
【００６６】
予めダイアフラムシールユニット３に接合された接液ダイアフラム３３の特性テーブルを数種類（取り付けられることが想定されるデータ全て）をEEPROM等の内部メモリー５１にメモリーして置く。
【００６７】
その後、接液ダイアフラム３３の径と材質に合った特性を、ディップスイッチ５２等で選択することにより、演算処理５３には、選択されたダイアフラム特性データを使用するので、誤差を最小とすることが可能である。
【００６８】
なお、ＣＰＵ６１を搭載している差圧測定装置は、通常、デジタル通信機能も有しているので、接液ダイアフラム３３の特性選択は、パソコン又はターミナルを用いてソフト上での選択も出来る。
【００６９】
本発明装置は、多種類のダイアフラムシールユニット３が取り付け可能である。
一方、それらのことが、差圧測定装置の特性からみると、ダイアフラムシールユニット３各々に接合されている接液ダイアフラム３３が変わると、特性も変化して、本来の特性が出なくなってしまう。
【００７０】
それらを防止するために、ダイアフラムシールユニット３の各々に接合されている接液ダイアフラム３３の特性を、予め差圧測定装置本体１内のEEPROM等の記憶素子５１にテーブルとして記憶させておく。
【００７１】
そして、ダイアフラムシールユニット３の交換後に、ダイアフラムシールユニット３各々に接合されている接液ダイアフラム３３に適したEPROM等の記憶素子５１内のテーブルのデータを選択することにより、最適な補正を実施し、測定誤差を最小にすることができるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００７２】
次に、７１は、封止脱着手段４１が切り離された後、接続された場合に、選択された特性テーブルの選択がリセットされ、新たな特性テーブルが選択されないと装置が動作しないプロテクト手段である。
【００７３】
即ち、ダイアフラムシールユニット３の切り離し、接続作業後の、電源再投入の際には、ダイアフラム特性データがリセットされ出力が一定（マイナス又はプラス側振り切れ）とする。
【００７４】
必ず内部にメモリー５１されている何らかのダイアフラム特性データを選択しないと出力しないようソフト上でプロテクトをかける。
これにより、ダイアフラムシールユニット３の交換後のダイアフラム特性選択忘れが無くなり、誤差が最小となり安定して圧力を測定することが出来る。
【００７５】
図８に、プロテクト手段７１に関するフローチャートの一例を示す。
ステップ１にて、電源を投入する。
ステップ２にて、フラグチェックを行う。
【００７６】
フラグが１の場合は、ステップ３にて、フラグ０を１に変更し、出力は測定状態とする。
ステップ２にて、フラグ０の場合は、ステップ４に移行する。
この場合に、工場出荷時には、予め、フラグを“１”に設定して置く。
【００７７】
ステップ４にて、ＣＰＵ６１の特性テーブルをリセットする。
ステップ５にて、メモリ手段５１のテーブルデ一夕を選択する。テーブルデ一夕を選択した場合には、出力は測定状態とする。
テーブルデ一夕を選択していない場合には、出力は振切れとする。即ち、エラーの表示を示す。
【００７８】
この結果、ヒューマンエラーにより、ダイアフラムシールユニット３を交換後に、本来EPROM等の記憶素子５１のテーブル内のデータを選択しなければいけないにもかかわらず、選択しないでプロセスに設置し、運転開始後、誤差大で問題となるケースを未然に防ぐことが出来るダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００７９】
８１は、封止脱着手段４１が切り離された後、接続された場合に、前に選択された特性テーブルの選択がリセットされ、新たな特性テーブルが選択されないと警告が発せられる警告手段である。
【００８０】
即ち、ダイアフラムシールユニット３を交換後に、最初に電源を投入すると、差圧測定装置の表示器（LCD等）にERROR表示をする。
これにより、作業者は何らかのERRORが発生していることを認識し、少なくともそのままプロセスに設置することは無くなる。
【００８１】
また、電源投入し通信を実施する際には最初にテーブルデータを選択要求する画面が最初に表示されることも出来る。
【００８２】
この結果、ヒューマンエラーにより、ダイアフラムシールユニット３を交換後に、本来EPROM等の記憶素子５１のテーブル内のデータを選択しなければいけないにもかかわらず、選択しないでプロセスに設置し、運転開始後、誤差大で問題となるケースを未然に防ぐことが出来るダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００８３】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【００８４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
（１）ダイアフラムシールユニットが破損しても、破損した個所のみを交換できる。
ユーザー予備品として、本発明装置を準備しておけば、多種多様な種類を持つ必要が無くなり、大幅な経費の削減となるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００８５】
（２）また、封入液膨張収縮手段が設けられたことで、予備として持つ状態での、周囲温度変化による、差圧測定装置本体内の封入液の膨張収縮による差圧測定装置本体内の内圧変化を吸収でき、差圧測定装置本体内に内蔵される圧力センサ素子の破損を防止でき、この結果、初めて、封止脱着手段を設ける事が出来るダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００８６】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
封止脱着手段が、導圧管のダイアフラムシールユニット側近くに設けられている。
【００８７】
従って、キャピラリチューブの長さは、ユーザー仕様によってまちまちだが、長い場合は１０ｍを越える仕様が多々ある。
この場合、封止脱着手段を、ダイアフラムシールユニット近傍に設けることにより、交換する際、長いキャピラリチューブが接合されたダイアフラムシールユニットを購入する必要がなく、部品代が安価に済む。
【００８８】
この結果、差圧測定装置本体を移動しない、即ち、測定ポイントが固定であれば、交換コストを最小にできるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００８９】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
（１）それぞれの仕様に合わせたキャピラリチューブが接合されたダイアフラムシールユニットを購入することにより、キャピラリチューブが必要以上に長くなることがなく、時定数が遅くなったり、周囲温度変化等による、温度影響による誤差要因の発生を防止することが出来るダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００９０】
（２）また、測定個所が変更される場合を考慮すると、キャピラリチューブの長さが変更されることも多々あると考えられる。
このようなケースでは、差圧測定装置本体側に付属しているキャピラリチューブを短く一定とし、キャピラリチューブの長さの変更は、ダイアフラムシールユニットに付属したキャピラリチューブで対応する。
【００９１】
これにより、キャピラリチューブが無駄に長くなることが無くなり最適となる。
キャピラリチューブが無駄に長くなるということは、特性上、時定数が遅くなる、温度特性が悪くなる等のデメリットが避けられるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００９２】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
差圧測定装置が設置される環境は、屋外のため粉塵がまっている環境が多い。
一方、封止脱着手段は、精密な構造であり、粉塵等に弱い。
実際に、交換する際に、粉塵で交換できなくなることを防止するために、防塵カバーが設けられ、粉塵に強いダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００９３】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
封止脱着を実施する際には、若干であるが空気が混入する恐れがある。
空気がキャピラリチューブ内に残ると圧力指示誤差が発生する。
それらを防止するために、ある程度の気泡は封入液に溶け込むという特徴を利用する。
【００９４】
この特長は封入液が差圧測定装置に封入される際に脱気（脱ガス）を行っていることによるものである。
この特長を生かすためにも、空気の溶け込み量とそれらを溶け込ませる封入液の量の関係は、封入液量がおおくなれば空気の溶け込み量も多くなる関係である。
【００９５】
よって、空気が混入する個所近傍に液だまりを設けることにより、脱着の際に混入する空気が封入液に溶け込み易くなり、圧力指示誤差の発生の恐れが少ないダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００９６】
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
本発明装置は、差圧測定装置本体とダイアフラムシールユニットとを、容易に組み合わせることが出来ることが特長である。
【００９７】
また、差圧測定装置にはプロセスに応じて、高温用、低温用、酸素用等、封入液を使い分けている。
よって、上述の特長が、逆に本来目的とした封入液でない封入液同士の組合せも可能となってしまう。
【００９８】
各々に封入されている封入液の識別を、外部から識別させることにより、それらの混入を未然に防止することができるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【００９９】
本発明の請求項７によれば、次のような効果がある。
本発明装置は、差圧測定装置本体とダイアフラムシールユニットとを容易に組み合わせることが出来ることが特長である。
【０１００】
その結果、プロセスで使用状態でも脱着が可能となってしまう。プロセスで使用状態でも脱着しても通常状態と変わらずに、差圧測定装置の信号は上位の機種に伝送され続けられる。
【０１０１】
よって、誤って脱着したことによる信号を上位の機種におくれば、プロセスの異常か、脱着による信号変化か明らかになりトラブルシューティングの時間が削減できるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【０１０２】
本発明の請求項８によれば、次のような効果がある。
封止脱着手段としてカップラーが使用されれば、市販のカプラ−がありそれらを利用すれば、市場性があり安価に入手出来るので安価なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【０１０３】
本発明の請求項９によれば、次のような効果がある。
封入液膨張収縮手段としてベローズが使用されれば、ベローズは容積変化を吸収できることが知られており、市中に多く多種類が出回っておりそれらの中から仕様にあった最適な選択が可能であり、安価、最適なダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【０１０４】
本発明の請求項１０によれば、次のような効果がある。
連通遮断手段として電磁バルブが使用されれば、人的なエラーが無くなり信頼性が高くなるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【０１０５】
本発明の請求項１１によれば、次のような効果がある。
本発明装置は、多種類のダイアフラムシールユニットが取り付け可能である。
一方、それらのことが、差圧測定装置の特性からみると、ダイアフラムシールユニット各々に接合されている接液ダイアフラムが変わると、特性も変化して、本来の特性が出なくなってしまう。
【０１０６】
それらを防止するために、ダイアフラムシールユニットの各々に接合されている接液ダイアフラムの特性を、予め差圧測定装置本体内のEEPROM等の記憶素子にテーブルとして記憶させておく。
【０１０７】
そして、ダイアフラムシールユニットの交換後に、ダイアフラムシールユニット各々に接合されている接液ダイアフラムに適したEPROM等の記憶素子内のテーブルのデータを選択することにより、最適な補正を実施し、測定誤差を最小にすることができるダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【０１０８】
本発明の請求項１２によれば、次のような効果がある。
ヒューマンエラーにより、ダイアフラムシールユニットを交換後に、本来EPROM等の記憶素子のテーブル内のデータを選択しなければいけないにもかかわらず、選択しないでプロセスに設置し、運転開始後、誤差大で問題となるケースを未然に防ぐことが出来るダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【０１０９】
本発明の請求項１３によれば、次のような効果がある。
ヒューマンエラーにより、ダイアフラムシールユニットを交換後に、本来EPROM等の記憶素子テーブル内のデータを選択しなければいけないにもかかわらず、選択しないでプロセスに設置し、運転開始後、誤差大で問題となるケースを未然に防ぐことが出来るダイアフラムシール型差圧測定装置が得られる。
【０１１０】
従って、本発明によれば、ダイアフラムシールユニット部分の交換が容易で、メンテナンス性が向上され、多種多様なプロセスに対応出来るダイアフラムシール型差圧測定装置を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の動作説明図である。
【図３】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図４】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図５】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図６】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図７】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図８】プロテクト手段７１に関するフローチャートである。
【図９】従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【図１０】図９の要部構成説明図である。
【符号の説明】
１      差圧測定装置本体
１１    本体カプセル
１２    変換器部
２      導圧管
１      差圧測定装置本体
２      導圧管
３      ダイアフラムシールユニット
３１    取付けフランジ
３２    受圧ブロック
３３    接液ダイアフラム
３４    受圧室
４１    封止脱着手段
４１１  封止脱着手段
４１２  封止脱着手段
４２    封入液膨張収縮手段
４３    連通遮断手段
４４    防塵カバー
４５    貯溜タンク
４６    封入液種別識別手段
４７    脱着状態識別手段
１０１  封入液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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