(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、２個以上の容量が異なる貯留部であり該貯留部は、少量の薬液の秤量を行う少量薬液貯留部と、多量の薬液の秤量を行う多量薬液貯留部とを有する秤量タンクと、
前記秤量タンクの薬液の液面の高さを計測する液面レベル計と、
前記秤量タンクに薬液の供給を行う薬液供給バルブと、
前記秤量タンクからの薬液を処理槽に供給するための薬液排出バルブと、
前記液面レベル計からの測定値より秤量値の演算及び前記薬液供給バルブ及び前記薬液排出バルブの開閉制御を行う制御部とを有する半導体処理装置の薬液秤量装置であって、
前記制御部は、前記処理槽に供給する薬液の秤量値Ｖが秤量時間境界容量未満の場合には前記少量薬液貯留部による秤量を行い、前記薬液の秤量値Ｖが前記秤量時間境界容量Ｖｔ以上の場合には、秤量精度境界容量Ｖｓ以下であるかを判定し、前記秤量精度境界容量Ｖｓを越える場合には前記多量薬液貯留部による秤量を行い、前記秤量時間境界容量Ｖｔ以上であり、かつ秤量精度境界容量Ｖｓ以下である場合には、秤量精度優先である前記少量薬液貯留部または秤量時間優先である前記多量薬液貯留部のいずれかを選択して秤量を行うことが可能な構成としたことを特徴とする半導体処理装置の薬液秤量装置。
【請求項２】
前記薬液供給バルブは、前記少量薬液貯留部によって薬液を秤量する場合に少量薬液貯留部に供給される薬液の液面上昇速度と、前記多量薬液貯留部によって薬液を秤量する場合に多量薬液貯留部に供給される薬液の液面上昇速度とがほぼ同一となる流量とする設定としたことを特徴とする請求項１に記載の半導体処理装置の薬液秤量装置。
【請求項３】
少なくとも，２個以上の容量が異なる貯留部であり該貯留部は、少量の薬液の秤量を行う少量薬液貯留部と、多量の薬液の秤量を行う多量薬液貯留部とを有する秤量タンクから処理槽に薬液を供給する半導体処理装置の薬液秤量方法であって、
前記処理槽に供給する薬液の秤量値Ｖが秤量時間境界容量未満の場合には前記少量薬液貯留部による秤量を行う工程と、前記薬液の秤量値Ｖが前記秤量時間境界容量Ｖｔ以上の場合には、秤量精度境界容量Ｖｓ以下であるかを判定する工程と、前記秤量精度境界容量Ｖｓを越える場合には前記多量薬液貯留部による秤量を行う工程と、前記秤量時間境界容量Ｖｔ以上であり、かつ秤量精度境界容量Ｖｓ以下である場合には、秤量精度優先である前記少量薬液貯留部または秤量時間優先である前記多量薬液貯留部のいずれかを選択して秤量を行う工程と
からなることを特徴とする半導体処理装置の薬液秤量方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハの洗浄等の処理を行う半導体処理装置に供給する薬液を秤量する半導体処理装置の薬液秤量装置及び薬液秤量方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハを処理する半導体処理装置には様々な薬液が使用されている。一般に半導体処理装置は薬液を混合して使用するが、近年の半導体プロセスの微細化により、薬液の混合比率の正確さが処理工程の重要な要素となっている。このため、混合する各薬液を正確に秤量し、半導体ウェハを処理する処理槽に供給する必要がある。
【０００３】
従来の半導体処理装置に供給する薬液を秤量する薬液秤量装置としては、図４及び図５に示すようなものが知られている。
【０００４】
図４に示すように、従来の薬液秤量装置は、処理槽８に薬液を供給する配管経路２１上に流量計２０及び排出バルブ２４を設けて、制御装置３０により流量計２０の積算値から処理槽８へ供給した総薬液量を算出して、排出バルブ２４の開閉により薬液の秤量を行うものである。なお、従来の薬液秤量装置は、秤量する薬液毎に、薬液秤量装置が設けられている。
【０００５】
図４に示すように、従来の薬液秤量装置は、秤量の精度を保つために、配管経路２１の薬液の流量を少なくして排出バルブ２４の切替精度や流量計２０の測定精度を保つようにしている。
【０００６】
図５に示すように、従来の薬液秤量装置は、薬液毎に定量タンク２６を設け、定量タンク２６の側面に液量を検出する液面センサ２７を取り付け、供給バルブ２３を開き液面センサ２７の設置位置まで薬液を供給して、定量タンク２６より排出バルブ２４またはポンプ２９により処理槽８に薬液を供給するものである。なお、従来の薬液秤量装置は、図５に示すように秤量値に応じて液面センサ２７の設置位置を変更するようにする。
【０００７】
【特許文献１】
特開平０６−１８１１９７号公報
【特許文献２】
特開平０９−２５０６９８号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図４に示す従来の薬液秤量装置では、排出バルブ２４の切替精度や流量計２０の測定精度を保つために、配管経路２１の流量を少なくして、薬液の秤量精度を向上する必要がある。このため、薬液の秤量測定に時間が掛かってしまう。
【０００９】
また、薬液に耐えうる流量計は高価であり、流量粘度、気泡などの影響により流量計の測定結果が安定しないことがある。このため、適用できる薬液が限定されてしまう。
【００１０】
また、図５に示すように、従来の薬液秤量装置では、秤量値に応じて液面センサ２７の設置位置を変更する必要があるため、半導体処理装置の処理能力が低下してしまう。更に、少量の薬液の秤量を行う場合は、液面が定量タンク２６の底面近くになるため、定量タンクの形状による液面の測定誤差が大きくなる。このため、秤量に合った小型の定量タンクを使用するか、排出量の誤差が小さいポンプにより薬液を処理槽に供給する必要がある。
【００１１】
そこで本発明は、液量を測定する流量計または液面センサを使用することなく、少量の秤量であっても、所定の薬液量を処理槽への供給することが可能な半導体処理装置の薬液秤量装置及び薬液秤量方法を提供することを目的とする。
【００１２】
また、秤量タンク以上の容量でも、短時間で薬液の秤量を行うことが可能な半導体処理装置の薬液秤量装置及び薬液秤量方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明による半導体処理装置の薬液秤量装置は、少なくとも，２個以上の容量が異なる貯留部であり該貯留部は、少量の薬液の秤量を行う少量薬液貯留部と、多量の薬液の秤量を行う多量薬液貯留部とを有する秤量タンクと、前記秤量タンクの薬液の液面の高さを計測する液面レベル計と、前記秤量タンクに薬液の供給を行う薬液供給バルブと、前記秤量タンクからの薬液を処理槽に供給するための薬液排出バルブと、前記液面レベル計からの測定値より秤量値の演算及び前記薬液供給バルブ及び前記薬液排出バルブの開閉制を行う制御部とを有する半導体処理装置の薬液秤量装置であって、前記制御部は、前記処理槽に供給する薬液の秤量値Ｖが秤量時間境界容量未満の場合には前記少量薬液貯留部による秤量を行い、前記薬液の秤量値Ｖが前記秤量時間境界容量Ｖｔ以上の場合には、秤量精度境界容量Ｖｓ以下であるかを判定し、前記秤量精度境界容量Ｖｓを越える場合には前記多量薬液貯留部による秤量を行い、前記秤量時間境界容量Ｖｔ以上であり、かつ秤量精度境界容量Ｖｓ以下である場合には、秤量精度優先である前記少量薬液貯留部または秤量時間優先である前記多量薬液貯留部のいずれかを選択して秤量を行うことが可能な構成としたことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明による半導体処理装置の薬液秤量装置は、前記薬液供給バルブは、前記少量薬液貯留部によって薬液を秤量する場合に少量薬液貯留部に供給される薬液の液面上昇速度と、前記多量薬液貯留部によって薬液を秤量する場合に多量薬液貯留部に供給される薬液の液面上昇速度とがほぼ同一となる流量とする設定としたことを特徴とする。
【００１５】
また、本発明による半導体処理装置の薬液秤量方法は、少なくとも，２個以上の容量が異なる貯留部であり該貯留部は、少量の薬液の秤量を行う少量薬液貯留部と、多量の薬液の秤量を行う多量薬液貯留部とを有する秤量タンクから処理槽に薬液を供給する半導体処理装置の薬液秤量方法であって、前記処理槽に供給する薬液の秤量値Ｖが秤量時間境界容量未満の場合には前記少量薬液貯留部による秤量を行う工程と、前記薬液の秤量値Ｖが前記秤量時間境界容量Ｖｔ以上の場合には、秤量精度境界容量Ｖｓ以下であるかを判定する工程と、前記秤量精度境界容量Ｖｓを越える場合には前記多量薬液貯留部による秤量を行う工程と、前記秤量時間境界容量Ｖｔ以上であり、かつ秤量精度境界容量Ｖｓ以下である場合には、秤量精度優先である前記少量薬液貯留部または秤量時間優先である前記多量薬液貯留部のいずれかを選択して秤量を行う工程とからなるものである。
【００２０】
図１に示すように、半導体処理装置の薬液秤量装置は、薬液の秤量を行う秤量タンク１と、秤量タンク１の液面高を計測する液面レベル計３と、秤量タンク１に薬液を供給する薬液供給バルブ６と、処理槽８へ薬液を供給する薬液排出バルブ７と、薬液供給バルブ６及び薬液排出バルブ７の開閉の制御及び液面レベル計３からの測定値より秤量値の演算を行う制御部１０とから構成されている。
【００２１】
なお、図１に示す薬液秤量装置は、１種類の薬液を秤量するものであり、薬液の種類が複数の場合には、薬液毎に薬液秤量装置を備えるようにする。
【００２２】
以下に薬液秤量装置の各部について詳述する。図１に示すように、秤量タンク１は第１貯留部１ａ、第２貯留部１ｂ、第３貯留部１ｃとから構成されている。なお、各貯留部は、秤量タンク１内部の底面からの高さにより区分されており、タンク内に仕切等は設けられていない。空の秤量タンク１に薬液を供給したときには、第１貯留部１ａ、第２貯留部１ｂ、第３貯留部１ｃの順に薬液が貯留されるようになっている。
【００２３】
図２に示すように、秤量タンク１の第１貯留部１ａは、底面積がＳ１で、高さが秤量タンク１の底面からＨ１であり、容量はＳ１×Ｈ１である。第３貯留部１ｃは、秤量タンク１の底面からＨ２の高さに位置しており、底面積がＳ２で、高さがＨ３からなる。また、第３貯留部１ｃの容量はＳ２×Ｈ３である。
【００２４】
第２貯留部１ｂは第１貯留部１ａと第３貯留部１ｃとの中間に位置しており、第１貯留部１ａの上面の外周から第３貯留部１ｃの下面の外周にかけて傾斜を成すように形成されている。
【００２５】
図１及び図２に示すように、第１貯留部１ａの底面積Ｓ１は第３貯留部１ｃの底面積Ｓ２よりも小さく、Ｓ１＜Ｓ２となっている。なお、第１貯留部１ａの底面積Ｓ１は、液面レベル計３の液面高の測定精度から、所定の液量精度が得られる面積となっている。また、第１貯留部１ａの容量は第３貯留部１ｃの容量よりも小さく、Ｓ１×Ｈ１＜Ｓ２×Ｈ３となっている。秤量タンク１の第１貯留部１ａ（少量薬液貯留部ともいう。）は、少量の薬液の秤量を行うためのものであり、第３貯留部１ｃ（多量薬液貯留部ともいう。）は、多量の薬液の秤量を行うためのものである。
【００２６】
なお、図２に示すように、秤量タンク１は、第１貯留部１ａ、第２貯留部１ｂ及び第３貯留部１ｃという夫々の容量が異なる３個の貯留部で構成されているが、秤量タンク１の貯留部は２個以上備えていればよく、秤量する薬液の容量により貯留部の数を増やすようにしてもよい。
【００２７】
図１に示すように、液面レベル計３は、秤量タンク１の内部に設置された検出ノズルに加わる水頭圧を検出して液面高を測定する気泡式である。液面レベル計３は、秤量タンク１内の液面高を、薬液の種類に影響されずに計測することができる。なお、液面レベル計３は気泡式だけでなく、他の方式を使用してもよい。例えば、光の反射により液面高を検出する光学式や、静電容量の変化により液面高を検出する静電容量式を用いてもよい。
【００２８】
図１に示すように、薬液供給バルブ６は、薬液を秤量タンク１へ供給するための開閉用バルブであり、開放時に予め設定した流量を配管経路に流すようになっている。
【００２９】
図１に示すように、薬液供給バルブ６は、第１の薬液供給バルブ６ａ及び第２の薬液供給バルブ６ｂから構成されている。第２の薬液供給バルブ６ｂは、第１の薬液供給バルブ６ａと比較して短時間で大容量の薬液を供給することができるようになっている。これにより、第１貯留部１ａ（少量薬液貯留部）での秤量時には流量の少ない第１の薬液供給バルブ６ａを有する配管経路により薬液を供給し、また、第３貯留部１ｃ（多量薬液貯留部）での秤量時には流量の多い第２の薬液供給バルブ６ｂを有する配管経路により薬液を供給するようにする。
【００３０】
また、薬液供給時の第１貯留部１ａの液面上昇速度と第３貯留部１ｃとの液面上昇速度とがほぼ同一になるように、第１の薬液供給バルブ６ａ及び第２の薬液供給バルブ６ｂから供給する薬液の流量が設定されている。薬液供給時の第１貯留部１ａ及び第３貯留部１ｃの各液面上昇速度がほぼ同一であるため、液面レベル計３による第１貯留部１ａでの液面高の測定精度と第３貯留部１ｃでの液面高の測定精度とを同一にすることができる。
【００３１】
秤量タンク１で秤量された薬液は、図１に示すように、薬液排出バルブ７により処理槽８に供給される。薬液排出バルブ７は処理槽８へ薬液を供給するための開閉用バルブであり、第１の薬液排出バルブ７ａ及び第２の薬液排出バルブ７ｂから構成されている。第１の薬液排出バルブ７ａは、大容量の薬液を短時間で処理槽８へ供給することができるため、主に処理槽８の総ての薬液を交換する際に使用する。第２の薬液排出バルブ７ｂは、少量の薬液を処理槽８へ供給することができるようになっており、図１に示すように、処理槽８のオーバーフロー槽８ａへの少量の薬液を補充するときなどに使用する。
【００３２】
図１に示す制御部１０は、第１の薬液供給バルブ６ａ、第２の薬液供給バルブ６ｂ、第１の薬液排出バルブ７ａ、第２の薬液排出バルブ７ｂを制御して秤量タンク１又は処理槽８への薬液の供給、液面レベル計３の液面高のデータより秤量タンク１の薬液容量の算出、設定秤量との比較等の演算、制御を行う。
【００３３】
次に、秤量する薬液の量（秤量値Ｖ）から秤量タンク１の第１貯留部１ａ又は第３貯留部１ｃを選択して、薬液の秤量を行う工程について説明する。最初に秤量精度境界容量Ｖｓについて説明する。
【００３４】
液面レベル計３の液面高の測定誤差を（ｈｅ）とする。なお、第１貯留部１ａでの液面レベル計３による液面高の測定誤差と第３貯留部１ｃの液面レベル計３による液面高の測定誤差は同じ値である。また、秤量タンク１の第１貯留部１ａと第３貯留部１ｃの容量誤差をそれぞれｖｅ１、ｖｅ２とすると、第１貯留部１ａ及び第３貯留部１ｃの容量誤差ｖｅ１、ｖｅ２は、ｖｅ１＝ｈｅ×Ｓ１、ｖｅ２＝ｈｅ×Ｓ２であり、Ｓ１＜Ｓ２より、ｖｅ１＜ｖｅ２となる。
【００３５】
第１貯留部１ａの容量誤差ｖｅ１に対する第３貯留部１ｃの容量誤差ｖｅ２との比率（ｎ）は（１）式で表される。
【００３６】
ｎ＝ｖｅ２÷ｖｅ１    ・・・（１）
（１）式で算出されたｎの小数点以下を切り捨てた整数をＮとする。これにより、第１貯留部１ａでの秤量をＮ回行ったときの容量誤差と、第３貯留部１ｃでの秤量を１回行ったときの容量誤差とが、ほぼ同じ値となる。したがって、第１貯留部１ａの容量をＶｌ（Ｓ１×Ｈ１）とすると、第１貯留部１ａの秤量が第３貯留部１ｃの容量誤差以下となる秤量精度境界容量Ｖｓは、
秤量精度境界容量Ｖｓ＝Ｎ×Ｖｌ    ・・・（２）
となる。よって、秤量値Ｖが式（２）の秤量精度境界容量Ｖｓ以下のときには、秤量タンク１の第１貯留部１ａ（少量薬液貯留部）で秤量を行い、秤量値Ｖが式（２）の秤量精度境界容量Ｖｓを超えるときには、秤量タンク１の第３貯留部１ｃ（多量薬液貯留部）で秤量を行うことにより、薬液の秤量精度を良くすることができる。
【００３７】
次に、秤量時間境界容量Ｖｔについて説明する。第１貯留部１ａ、第２貯留部１ｂ、第３貯留部１ｃの容量をそれぞれＶｌ（Ｓ１×Ｈ１）、Ｖ２、Ｖ３（Ｓ２×Ｈ３）とすると、秤量値Ｖが（Ｖｌ＋Ｖ２）以下のときには第１貯留部１ａで秤量を繰り返し行い、秤量時間は第１貯留部１ａでの総秤量時間となる。一方、秤量値Ｖが（Ｖｌ＋Ｖ２）を超えるときには第３貯留部１ｃで秤量を行うようにする。第３貯留部１ｃは、第２の薬液供給バルブ６ｂにより大量の薬液が供給されるため秤量を短時間で行うことができる。したがって、第１貯留部１ａと第３貯留部１ｃでの秤量方法で秤量時間が変わる秤量時間境界容量Ｖｔは、
秤量時間境界容量Ｖｔ＝Ｖｌ＋Ｖ２    ・・・（３）
となる。
【００３８】
このように、式（２）及び式（３）から、秤量値Ｖが秤量時間境界容量Ｖｔ未満の容量では第１貯留部１ａ（少量薬液貯留部）により秤量を行い、秤量値Ｖが秤量時間境界容量Ｖｔ以上であり、かつ、秤量精度境界容量Ｖｓ以下では、秤量時間を優先する場合は第３貯留部１ｃで秤量を行い、秤量精度を優先する場合は第１貯留部１ａ（少量薬液貯留部）で秤量を行うようにする。また、秤量精度境界容量Ｖｓを超える場合には第３貯留部１ｃ（多量薬液貯留部）で秤量を行うことにより、薬液の秤量値に応じた最適な秤量が行うことができる。
【００３９】
次に、制御部１０の秤量シーケンスを図３を参照して説明する。図３は、制御部による薬液秤量装置の秤量動作のフローチャートを示す図である。初めに制御部１０へ入力装置等により薬液の秤量に必要なパラメータを入力する（ステップＳ１）。制御部１０は薬液排出バルブ７の第１の薬液排出バルブ７ａ、第２の薬液排出バルブ７ｂを閉じて、処理槽８へ薬液が流れないように遮断する（ステップＳ２）。次に、処理槽８に供給する薬液の秤量値Ｖが、秤量時間境界容量Ｖｔ未満であるかをチェックする（ステップＳ３）。秤量値Ｖが秤量時間境界容量Ｖｔ未満の場合には、第１貯留部１ａ（少量薬液貯留部）で秤量を行うように判断して（ステップＳ６）、ステップＳ８へ移行する。秤量値Ｖが秤量時間境界容量Ｖｔ以上の場合には、秤量値Ｖが秤量精度境界容量Ｖｓ以下であるかをチェックする（ステップＳ４）。秤量値Ｖが秤量精度境界容量Ｖｓを越える場合には、ステップＳ７へ移行する。秤量値Ｖが秤量時間境界容量Ｖｔ以上であり、かつ秤量精度境界容量Ｖｓ以下である場合には、秤量精度優先または秤量時間を優先するかを判断する（ステップＳ５）。秤量精度優先の場合には、ステップＳ６に移行して第１貯留部１ａ（少量薬液貯留部）で秤量を行うようにする（ステップＳ６）。秤量時間を優先する場合には、第３貯留部１ｃ（多量薬液貯留部）で秤量するようにする（ステップＳ７）。
【００４０】
次に、液面レベル計３の液面高のデータの読み込みを行い（ステップＳ８）、秤量タンク１に供給する容量を算出する（ステップＳ９）。次に、第１貯留部１ａで秤量する場合には、薬液供給バルブ６の第１の薬液供給バルブ６ａを開き、第３貯留部１ｃで秤量する場合には、薬液供給バルブ６の第２の薬液供給バルブ６ｂを開くようにする（ステップＳ１０）。第１の薬液供給バルブ６ａ又は第２の薬液供給バルブ６ｂを開くことにより、秤量タンク１の薬液の液面上昇速度が所定の速度となるように薬液が供給される。次に、液面レベル計３の液面高のデータを読み出し（ステップＳ１１）、読み出した液面高のデータから秤量タンク１に供給された容量を算出して、秤量値Ｖ未満のときには、ステップＳ１１に移行して薬液を供給する（ステップＳ１２）。
【００４１】
秤量タンク１の容量が秤量値Ｖに達したときに、第１の薬液供給バルブ６ａまたは第２の薬液供給バルブ６ｂを閉じる（ステップＳ１３）。処理槽８内の薬液を総て交換するような場合は第２の薬液排出バルブ７ｂを開き、処理槽８内に薬液を補充する場合は第１の薬液排出バルブ７ａを開く（ステップＳ１４）。所定量の薬液を処理槽８に排出後、第１の薬液排出バルブ７ａまたは第２の薬液排出バルブ７ｂを閉じる。
【００４２】
なお、秤量タンク１の容量以上の秤量を行うときには、上記一連の動作を複数回繰り返して行うようにする。
【００４３】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の半導体処理装置の薬液秤量装置及び薬液秤量方法によれば、液面レベル計により薬液量を測定するため、流量計を必要としないので、使用できる薬液の種類が限定されない。また、液面センサを必要としないため、秤量値に応じて液面センサの設置位置を変更する作業が不要となる。
【００４４】
また、本発明の半導体処理装置の薬液秤量装置及び薬液秤量方法によれば、少量の薬液の秤量であっても、第１の薬液供給バルブによって第１貯留部に薬液を供給して秤量することにより高精度の秤量が可能であるため、少量の排出量が保証されたポンプなどを使用する必要がない。また、薬液の供給量が異なる第１の薬液供給バルブと第２の薬液供給バルブを使い分け、秤量タンクの第１貯留部と第３貯留部に供給される薬液の液面上昇速度を一定とすることによって、薬液の秤量精度の向上を図ることができる。
【００４５】
また、本発明の半導体処理装置の薬液秤量装置及び薬液秤量方法によれば、秤量タンクの容量以上の薬液を秤量する場合であっても、一連の秤量の動作を繰り返し行うことにより秤量が可能であるため、秤量タンク容量を統一することができる。
【００４６】
また、本発明の半導体処理装置の薬液秤量装置及び薬液秤量方法によれば、秤量動作のシーケンスにおいて、秤量精度又は秤量時間のいずれを優先するかによって、その目的に応じた最適な秤量手段を選択することが可能となる。このように少量の薬液から大容量の薬液に至るまで簡易な構成で秤量することが可能であるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】半導体処理装置の薬液秤量装置の構成を示す図である。
【図２】薬液秤量装置の秤量タンクの構成を示す図である。
【図３】制御部による半導体処理装置の秤量動作のフローチャートを示す図である。
【図４】半導体処理装置における薬液の秤量に流量計を用いた従来の薬液秤量装置の構成を示す図である。
【図５】半導体処理装置における薬液の秤量に液面センサを用いた従来の薬液秤量装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
１      秤量タンク
１ａ    第１貯留部
１ｂ    第２貯留部
１ｃ    第３貯留部
３      液面レベル計
６      薬液供給バルブ
６ａ    第１の薬液供給バルブ
６ｂ    第２の薬液供給バルブ
７      薬液排出バルブ
７ａ    第１の薬液排出バルブ
７ｂ    第２の薬液排出バルブ
８      処理槽
８ａ    オーバーフロー槽
１０    制御部
２０    流量計
２１    配管経路
２３    供給バルブ
２４    排出バルブ
２６    定量タンク
２７    液面センサ
２９    ポンプ
３０    制御装置
【図１】
0003684361.tif 000002
【図２】
0003684361.tif 000003
【図３】
0003684361.tif 000004
【図４】
0003684361.tif 000005
【図５】
0003684361.tif 000006