(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部処理槽に設けられたテープ搬入用およびテープ搬出用の縦長のスリットおよび内部処理槽に設けられたテープ搬入用およびテープ搬出用の縦長のスリットを挿通するテープの表面層を、前記内部処理槽内に噴出される化学液により化学処理を行う化学処理装置において、前記内部処理槽と前記外部処理槽との間に設けられ、内部上部に前記内部処理槽からオーバーフローする化学液が流入され、この流入された化学液を下部開口部から前記外部処理槽に流出するオーバーフロー案内部と、前記オーバーフロー案内部に設けられ、前記テープの表面層の化学処理中、前記オーバーフロー案内部の内部が化学液により充満されるように、前記オーバーフロー案内部の下部開口部から前記外部処理槽に流出する化学液の流量を調整する流量調整手段と、前記外部処理槽の底部に設けられた外部ドレイン孔とを備えていることを特徴とする化学処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の発明において、前記内部処理槽の内側と外側とのうち少なくとも一方に、テープ挿通用の縦長のスリットを有する中間槽が前記内部処理槽のスリットに連通して設けられ、前記中間槽内に流量規制手段が設けられ、前記中間槽の底部に中間ドレイン孔が設けられていることを特徴とする化学処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の発明において、前記流量規制手段はテープ搬送路の両側に設けられた一対の流量規制ローラを備えていることを特徴とする化学処理装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、前記化学液はメッキ液であることを特徴とする化学処理装置。
【請求項５】
請求項４に記載の発明において、前記メッキ液は非シアン系メッキ液であることを特徴とする化学処理装置。
【請求項６】
外部処理槽に設けられたテープ搬入用およびテープ搬出用の縦長のスリットおよび内部処理槽に設けられたテープ搬入用およびテープ搬出用の縦長のスリットにテープを挿通して、該テープの表面層を、前記内部処理槽内に噴出される化学液により化学処理を行う化学処理方法において、前記内部処理槽からオーバーフローする化学液を、前記内部処理槽と前記外部処理槽との間に設けられたオーバーフロー案内部の内部上部に流入させ、前記オーバーフロー案内部に設けられた流量調整手段により、前記テープの表面層の化学処理中、前記オーバーフロー案内部の内部が化学液により充満されるように、前記オーバーフロー案内部の下部開口部から前記外部処理槽に流出する化学液の流量を調整し、前記外部処理槽の底部に設けられた外部ドレイン孔から化学液を回収することを特徴とする化学処理方法。
【請求項７】
請求項６に記載の発明において、前記内部処理槽の内側と外側とのうち少なくとも一方に、テープ挿通用の縦長のスリットを有する中間槽を前記内部処理槽のスリットに連通させて設け、前記中間槽の底部に中間ドレイン孔を設け、前記中間槽内から前記外部処理槽に流出する化学液の流量を低減することを特徴とする化学処理方法。
【請求項８】
請求項７に記載の発明において、前記中間槽内に設けられた流量規制手段により、前記中間槽内から前記外部処理槽に流出する化学液の流出量を規制することを特徴とする化学処理方法。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれかに記載の発明において、前記化学処理は電解メッキ処理であることを特徴とする化学処理方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の発明において、前記電解メッキ処理のメッキ液は非シアン系メッキ液であることを特徴とする化学処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、メッキ処理やエッチング処理等を行う化学処理装置およびそれを用いた化学処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
化学処理装置の１つであるメッキ処理装置には、ＢＧＡ、ＣＳＰ、ＣＯＦ等の半導体技術において、表面に銅やアルミニウム等からなるリード配線等の表面層を有する長尺なテープを縦にしてつまりテープ幅方向を垂直にして搬送しながら、テープの表面層に対して金や銅、ニッケル等の電解メッキ処理を行うようにしたものがある。
【０００３】
図１１は従来のこのようなメッキ処理装置の一例の概略構成図を示したものである。このメッキ装置では、複数のメッキ処理部１が直列に配置されている。メッキ処理部１は、図１２および図１３に示すように、外部処理槽２を備えている。外部処理槽２内の中央部には内部処理槽３が設けられ、外部処理槽２の上部には蓋４が設けられている。この場合、外部処理槽２の底部は内部処理槽３の底部を兼ねている。外部処理槽２の図１２および図１３における左側壁および右側壁の各所定の箇所には縦長の矩形孔からなるスリット５、６が設けられている。内部処理槽３の図１２および図１３における左側壁および右側壁の各所定の箇所には縦長の溝からなるスリット７、８が設けられている。内部処理槽３の図１３における上側壁および下側壁は左側壁および右側壁よりもやや低くなっており（図１２参照）、これらの低くなった部分はオーバーフロー部９となっている。内部処理槽３内の所定の箇所にはアノード電極１０が設けられている。
【０００４】
各外部処理槽２間および図１１における最も左側の外部処理槽２の左側に設けられたローラ室（図示せず）内には搬送ローラ１１および電極ローラ（カソード電極）１２が互いに対向して設けられている。図１１における最も左側のローラ室の左側には供給リール（図示せず）が設けられている。供給リールには、銅やアルミニウム等の金属箔からなり、回路パターンおよび回路パターンを接続するメッキ用パターンが表面層として形成されたテープ１３が巻回されている。
【０００５】
供給リールから繰り出されたテープ１３は、複数のメッキ処理部１を順次通過した後、図１１における最も右側のメッキ処理部１の右側に設けられた巻取リール（図示せず）に巻き取られるようになっている。この場合、テープ１３は、各メッキ処理部１において、ローラ室内の搬送ローラ１１と電極ローラ１２との間、外部処理槽２のスリット５、内部処理槽３のスリット７、８および外部処理槽２のスリット６を順次通過するようになっている。また、図示していないが、電極ローラ１２によるテープ１３の表面層に対する接触不良を防止してスパークが発生しないようにするために、純水タンク内の純水をポンプで汲み上げてシャワーで電極ローラ１２とテープ１３との接触部に吹き付け、ローラ室内の吹き付け後の純水をドレイン管を介して純水タンク内に回収するようになっている。
【０００６】
内部処理槽３の底部中央部には供給管２１の一端部が接続されている。各供給管２１の途中には流量センサ２２およびポンプ２３が介在されている。ポンプ２３は、流量センサ２２の流量信号に基づく制御部２４の制御により駆動されるようになっている。各供給管２１の他端部は、共通供給管２５を介して共通メッキ液タンク２６に接続されている。共通メッキ液タンク２６内にはメッキ液２７が収容されている。外部処理槽２のスリット５、６と内部処理槽３のスリット７、８との間における外部処理槽２の底部にはドレイン管２８、２９の一端部が接続されている。各ドレイン管２８、２９の他端部は、共通ドレイン管３０を介して共通メッキ液タンク２６に接続されている。
【０００７】
次に、このメッキ処理装置の動作について説明する。供給リールから繰り出されたテープ１３は、複数の搬送ローラ１１が所定の方向に回転されると、複数の内部処理槽３内を順次通過して巻取リールに巻き取られる。このとき、各ポンプ２３が駆動すると、共通メッキ液タンク２６内のメッキ液２７は共通供給管２５および各供給管２１を介して各内部処理槽３内に噴出され、各内部処理槽３内を通過中のテープ１３の表面層に当てられる。そして、アノード電極１０と電極ローラ１２との間にメッキ電流が流れると、各内部処理槽３内を通過中のテープ１３の表面層にメッキが施される。各内部処理槽３内に噴出されたメッキ液２７は、各内部処理槽３のオーバーフロー部９からオーバーフローして各外部処理槽２内に流出し、各ドレイン管２８、２９および共通ドレイン管３０を介して共通メッキ液タンク２６内に回収される。
【０００８】
ここで、外部処理槽２のスリット５、６および内部処理槽３のスリット７、８の幅は、テープ１３の厚さよりもかなり大きく、例えば１０ｍｍ程度となっている。このようにスリット５〜８の幅を大きくしているのは、テープ１３が内部処理槽３内に噴出されたメッキ液２７中で踊っても、テープ１３の表面層がスリット５〜８の各内壁面に接触しないようにするためである。この結果、各内部処理槽３内に噴出されたメッキ液２７は、各内部処理槽３のオーバーフロー部９からオーバーフローして外部処理槽２内に流出するばかりでなく、各内部処理槽３のスリット７、８からも各外部処理槽２内に流出する。
【０００９】
一方、テープ１３としては、一般的に、幅３５ｍｍ、４８ｍｍ、７０ｍｍのものを用いている。このようなテープ１３の場合には、幅が比較的小さいので、内部処理槽３の高さ（深さ）は比較的低く（浅く）てよく、スリット７、８の上下方向の長さも比較的短くてよい。このため、内部処理槽３のスリット７、８から外部処理槽２内に流出するメッキ液２７の量が比較的少なくて流出の勢いも比較的弱く、外部処理槽２のスリット５、６からローラ室内に流出することはほとんどない。
【００１０】
ところで、最近では、テープとして、例えば幅１５８ｍｍと比較的幅広のものを用いることが試みられている。しかしながら、このようなテープの場合には、幅が比較的大きいので、内部処理槽３の高さ（深さ）が比較的高く（深く）なり、スリット７、８の上下方向の長さも比較的長くなる。この結果、内部処理槽３のスリット７、８から外部処理槽２内に流出するメッキ液２７の量が比較的大きくて流出の勢いも比較的強くなり、外部処理槽２のスリット５、６からローラ室内に流出してしまう。ローラ室内にメッキ液２７が流入すると、メッキ液２７が無駄となり、コスト高となるばかりでなく、純水タンク内の純水にメッキ液２７が混入し、この混入液の吹き付けにより電極ローラ１２の表面がメッキされ、電気的接触に不具合が生じてしまう。
【００１１】
また、テープ１３の幅が比較的大きく、内部処理槽３の高さ（深さ）が比較的高く（深く）、スリット７、８の上下方向の長さも比較的長い場合には、内部処理槽３のスリット７、８から外部処理槽２内に流出するメッキ液２７の量が比較的大きくて流出の勢いも比較的強くなるばかりでなく、内部処理槽３のオーバーフロー部９から外部処理槽２内にオーバーフローするときの高低差が比較的大きくなり、いずれにしても、酸素等を含む気泡を巻き込みやすくなる。一方、例えば表面層のメッキが金メッキの場合、メッキ液としては、シアン系メッキ液と非シアン系メッキ液とがあるが、非シアン系メッキ液の場合には、酸素等を含有する気泡を巻き込むと、寿命が著しく短くなってしまう。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の課題は、メッキ液等の化学液が外部処理槽のスリットから流出しないようにし、また内部処理槽の高さ（深さ）が比較的高く（深く）ても、メッキ液等の化学液に酸素等を含む気泡が巻き込まれにくいようにすることである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明に係る化学処理装置は、外部処理槽に設けられたテープ搬入用およびテープ搬出用の縦長のスリットおよび内部処理槽に設けられたテープ搬入用およびテープ搬出用の縦長のスリットを挿通するテープの表面層を、前記内部処理槽内に噴出される化学液により化学処理を行う化学処理装置において、前記内部処理槽と前記外部処理槽との間に設けられ、内部上部に前記内部処理槽からオーバーフローする化学液が流入され、この流入された化学液を下部開口部から前記外部処理槽に流出するオーバーフロー案内部と、前記オーバーフロー案内部に設けられ、前記テープの表面層の化学処理中、前記オーバーフロー案内部の内部が化学液により充満されるように、前記オーバーフロー案内部の下部開口部から前記外部処理槽に流出する化学液の流量を調整する流量調整手段と、前記外部処理槽の底部に設けられた外部ドレイン孔とを備えたものである。
請求項６に記載の発明に係る化学処理装置は、外部処理槽に設けられたテープ搬入用およびテープ搬出用の縦長のスリットおよび内部処理槽に設けられたテープ搬入用およびテープ搬出用の縦長のスリットにテープを挿通して、該テープの表面層を、前記内部処理槽内に噴出される化学液により化学処理を行う化学処理方法において、前記内部処理槽からオーバーフローする化学液を、前記内部処理槽と前記外部処理槽との間に設けられたオーバーフロー案内部の内部上部に流入させ、前記オーバーフロー案内部に設けられた流量調整手段により、前記テープの表面層の化学処理中、前記オーバーフロー案内部の内部が化学液により充満されるように、前記オーバーフロー案内部の下部開口部から前記外部処理槽に流出する化学液の流量を調整し、前記外部処理槽の底部に設けられた外部ドレイン孔から化学液を回収するようにしたものである。
そして、請求項１または６に記載の発明によれば、内部処理槽からオーバーフローする化学液をオーバーフロー案内部の内部上部に流入させ、流量調整手段により、テープの表面層の化学処理中、オーバーフロー案内部の内部が化学液により充満されるように、オーバーフロー案内部の下部開口部から外部処理槽に流出する化学液の流量を調整することにより、内部処理槽のスリットから外部処理槽内に流入する化学液の流量を低減することができ、したがって外部処理槽のスリットからの化学液の流出を防止することができ、また内部処理槽の高さ（深さ）が比較的高く（深く）ても、回収されるメッキ液等の化学液に酸素等を含む気泡が巻き込まれにくいようにすることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１はこの発明の第１実施形態におけるメッキ処理装置の概略構成図を示したものである。このメッキ処理装置では、複数のメッキ処理部４１が直列に配置されている。メッキ処理部４１は、図２および図３に示すように、外部処理槽４２を備えている。外部処理槽４２内の中央部には内部処理槽４３が設けられ、外部処理槽４２の上部には蓋４４が設けられている。この場合、外部処理槽４２の底部、図３における上側壁および下側壁は内部処理槽４３の底部、上側壁および下側壁を兼ねている。外部処理槽４２の図２および図３における左側壁および右側壁の各所定の箇所には縦長の矩形孔からなるスリット４５、４６が設けられている。内部処理槽４３の図２および図３における左側壁および右側壁の各所定の箇所には縦長の溝からなるスリット４７、４８が設けられている。内部処理槽４３内の所定の箇所にはアノード電極４９が設けられている。
【００１５】
各外部処理槽４２間および図１における最も左側の外部処理槽４２の左側に設けられたローラ室（図示せず）内には搬送ローラ５１および電極ローラ（カソード電極）５２が互いに対向して設けられている。図１における最も左側のローラ室の左側には供給リール（図示せず）が設けられている。供給リールには、銅、アルミニウム等の金属箔からなり、回路パターンおよび回路パターンを接続するメッキ用パターンが表面層として形成されたテープ５３が巻回されて射る。
【００１６】
供給リールから繰り出されたテープ５３は、複数のメッキ処理部４１を順次通過した後、図１における最も右側のメッキ処理部４１の右側に設けられた巻取リール（図示せず）に巻き取られるようになっている。この場合、テープ５３は、各メッキ処理部４１において、ローラ室内の搬送ローラ５１と電極ローラ５２との間、外部処理槽４２のスリット４５、内部処理槽４３のスリット４７、４８および外部処理槽４２のスリット４６を順次通過するようになっている。また、図示していないが、電極ローラ５２によるテープ５３の表面層に対する接触不良を防止してスパークが発生しないようにするために、純水タンク内の純水をポンプで汲み上げてシャワーで電極ローラ５２とテープ５３との接触部に吹き付け、ローラ室内の吹き付け後の純水をドレイン管を介して純水タンク内に回収するようになっている。
【００１７】
各外部処理槽４２の下側にはメッキ液タンク６１が設けられている。メッキ液タンク６１内にはメッキ液６２が収容されている。内部処理槽４３の底部の中央部には供給孔６３が設けられ、この供給孔６３には供給管６４の一端部が接続されている。各供給管６４は対応するメッキ液タンク６１の底部（または側壁）を液密に貫通してメッキ液タンク６１の外部に延出され、この延出部の途中には流量センサ６５およびポンプ６６が介在されている。ポンプ６６は、流量センサ６５の流量信号に基づく制御部６７の制御により駆動されるようになっている。各供給管６４の他端部は、対応するメッキ液タンク６１に接続されている。
【００１８】
外部処理槽４２のスリット４５、４６と内部処理槽４３のスリット４７、４８との間における外部処理槽４２の底部には外部ドレイン孔７１、７２が設けられ、これらの外部ドレイン孔７１、７２には外部ドレイン管７３、７４の上端部が接続されている。内部処理槽４３のスリット４７、４８の内側における内部処理槽４２の底部には内部ドレイン孔７５、７６が設けられ、これらの内部ドレイン孔７５、７６には内部ドレイン管７７、７８の上端部が接続されている。外部ドレイン管７３、７４および内部ドレイン管７７、７８の下端部は、対応するメッキ液タンク６１内のメッキ液６２中に浸されるようになっている。
【００１９】
ここで、テープ５３の幅は例えば１５８ｍｍと比較的大きくなっている。このため、内部処理槽４３の高さ（深さ）は比較的高く（深く）、スリット４７、４８の上下方向の長さも比較的長くなっている。また、この場合も、外部処理槽４２のスリット４５、４６および内部処理槽４３のスリット４７、４８の幅は、テープ５３の厚さよりもかなり大きく、例えば１０ｍｍ程度となっている。
【００２０】
次に、このメッキ処理装置の動作について説明する。供給リールから繰り出されたテープ５３は、複数の搬送ローラ５１が所定の方向に回転されると、複数の内部処理槽４３内を順次通過して巻取リールに巻き取られる。このとき、各ポンプ６６が駆動すると、各メッキ液タンク６１内のメッキ液６２は各供給管６４を介して各内部処理槽４３内に噴出され、各内部処理槽４３内を通過中のテープ５３の表面に当てられる。そして、アノード電極４９と電極ローラ５２との間にメッキ電流が流れると、各内部処理槽４３内を通過中のテープ５３の表面にメッキが施される。
【００２１】
ここで、メッキ処理部４１が複数に分離されている理由は、テープ５３を所定のスピードで搬送してメッキするには形成するメッキ厚に対応したメッキ時間が必要であり、テープ５３のメッキ処理長さはこのメッキ時間に対応する長さとなる。しかして、テープ５３に形成されたパターンへの電圧の印加は電極ローラ（カソード電極）５２により行うのでテープ５３のメッキ処理長さが長くなると、パターンの抵抗値により電極ローラ５２近傍と電極ローラ５２間の中央部側との電圧の差が大きくなり、メッキ厚のばらつきが大きくなるので、メッキ処理部４１を複数に分離し、電極ローラ５２間を短くするのである。
【００２２】
各内部処理槽４３内に噴出されたメッキ液６２の大部分は、各内部処理槽４３の内部ドレイン管７７、７８を介して各メッキ液タンク６１内に回収される。この場合、内部処理槽４３の高さが比較的高くても、内部処理槽４３内に噴出されたメッキ液６２の大部分は内部処理槽４３の外側にオーバーフローすることなくメッキ液タンク６１内に回収されるので、酸素等を含む気泡を巻き込むことはほとんどない。また、内部ドレイン管７７、７８の下端部はメッキ液タンク６１内のメッキ液６２中に浸されているので、ここにおいても気泡を巻き込むことはほとんどない。
【００２３】
一方、各内部処理槽４３内に噴出されたメッキ液６２の一部は、各内部処理槽４３のスリット４７、４８から各外部処理槽４２内に流出し、各外部処理槽４２の外部ドレイン管７３、７４を介して各メッキ液タンク６１内に回収される。ところで、内部処理槽４３のスリット４７、４８の上下方向の長さが比較的長いので、内部ドレイン管７７、７８が無い場合には、これらのスリット４７、４８から流出するメッキ液６２の量が比較的多い上、比較的勢いよく流出するので、気泡を巻き込みやすく、また外部処理槽４２のスリット４５、４６からローラ室内に流出しやすい。
【００２４】
これに対し、内部処理槽４３のスリット４７、４８の直ぐ内側に内部ドレイン管７７、７８があると、スリット４７、４８の直ぐ内側における液圧が低くなり、ひいてはスリット４７、４８から流出するメッキ液６２の量が少なくなり、流出の勢いも弱くなる。この結果、内部処理槽４３のスリット４７、４８から流出するメッキ液６２中に巻き込まれる気泡が低減する。また、内部処理槽４３内に噴出されたメッキ液６２の大部分は内部ドレイン管７７、７８を介して回収される上、内部処理槽４３のスリット４７、４８から外部処理槽４２内に流出するメッキ液６２の量を低減することができるので、外部処理槽４２のスリット４５、４５からローラ室内へのメッキ液６２の流出が防止される。さらに、外部ドレイン管７３、７４の下端部はメッキ液タンク６１内のメッキ液６２中に浸されているので、ここにおいて気泡を巻き込むことはほとんどない。
【００２５】
以上のように、このメッキ処理装置では、外部処理槽４２のスリット４５、４６からローラ室内へのメッキ液６２の流出を防止することができるので、メッキ液６２が無駄とならないようにすることができ、ひいてはコストを低減することができる。また、ローラ室内にメッキ液６２が流入しないようにすることができるので、ローラ室にドレイン管を介して接続された純水タンク内の純水にメッキ液６２が混入することがなく、ひいては電極ローラ５２の表面がメッキされることがなく、テープ搬送機能が損なわれないようにすることができる。また、このメッキ処理装置では、回収されるメッキ液６２中に気泡が巻き込まれにくいようにすることができるので、メッキ液６２が非シアン系メッキ液であっても、メッキ液全体としての寿命を長くすることができる。
【００２６】
さらに、このメッキ処理装置では、各外部処理槽４２の下側にメッキ液タンク６１を設けているので、供給管６４、外部ドレイン管７３、７４および内部ドレイン管７７、７８の長さを可及的に短くすることができる。この結果、メッキ液６２が非シアン系メッキ液である場合、これらの配管内に自然に析出される金の量を可及的に少なくすることができ、ひいては極めて高価な金の無駄な使用を可及的に少なくすることができ、コストを低減することができる。
【００２７】
次に、図４はこの発明の第２実施形態におけるメッキ処理部の要部の断面図を示し、図５はその蓋を省略した状態の平面図を示し、図６は図５のＸ−Ｘ線に沿う断面図を示したものである。これらの図において、図２および図３と同一部分には同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。
【００２８】
このメッキ処理部４１は、内部ドレイン管７７、７８を設けずに、その代わりに、内部処理槽４３に、図４および図５における左側壁および右側壁を利用してオーバーフロー案内部８０を形成したものである。オーバーフロー案内部８０は、内部処理槽４３の左側壁または右側壁の上面両端部に形成された切欠部８１と、各側壁の外側に設けられた、高さが内部処理槽４３の高さと同じである平面ほぼＬ字状の案内壁８２とを有し、オーバーフローしたメッキ液６２を切欠部８１から流入して、左側壁と案内壁８２または右側壁と案内壁８２との間に導くものである。オーバーフロー案内部８０の案内壁８２の下部の所定の箇所には方形状の開口部８３が設けられ、その外側にはシャッタ８４が上下動可能に設けられている。
【００２９】
つまり、このメッキ処理部４１では、内部処理槽４３内に噴出されたメッキ液６２の一部を切欠部８１からオーバーフロー案内部８０内に導き、このオーバーフロー案内部８０の開口部８３から外部処理槽４２内に流出し、外部ドレイン管７３、７４を介してメッキ液タンク６１内に回収される。この場合、シャッタ８４で開口部８３の開口量を調整することにより、オーバーフロー案内部８０内におけるメッキ液６２の液面が切欠部８１の底面よりも下がらないようにする。つまり、オーバーフロー案内部８０（側壁と案内壁８２との間に囲まれた空間）内が常にメッキ液６２により充満されている状態を維持するよう調整することが可能となるので、このオーバーフロー案内部８０に流出するメッキ液６２中に気泡が巻き込まれないようにすることができる。
【００３０】
また、内部処理槽４３内に噴出されたメッキ液６２の大部分をオーバーフロー案内部８０から流出させることにより、内部処理槽４３内のメッキ液圧を低減するので、スリット４７、４８から流出するメッキ液６２の量をその分少なくすることができ、また流出の勢いも弱くすることができる。この結果、スリット４７、４８から流出するメッキ液６２中に気泡が巻き込まれにくいようにすることができる。また、外部処理槽４２のスリット４５、４６からローラ室内へのメッキ液６２の流出が防止される。
【００３１】
次に、図７はこの発明の第３実施形態におけるメッキ処理部の要部の平面図を示し、図８はそのＸ−Ｘ線に沿う部分に相当する断面図を示したものである。これらの図において、図４〜図６と同一部分には同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。
【００３２】
このメッキ処理部４１では、スリット４７およびスリット４８から流出するメッキ液６２の量を第２実施形態の場合よりも少なくしてメッキ液６２中に巻き込まれる気泡をさらに低減するものである。この目的のため、第３実施形態におけるメッキ処理部４１は、内部処理槽４３のスリット４７、４８の近傍に中間槽９０を有する。中間槽９０はいずれも同じ構造を有し、図７ではスリット４７側に設けた一方のみを示す（図４〜図６におけるスリット４８の場合も同じであるが、図示せず）。中間槽９０は、高さが内部処理槽４３の高さと同じである平面ほぼコ字状の仕切壁９１を有する。この場合、外部処理槽４２の底部は中間槽９０の底部を兼ねている。仕切壁９１の所定の箇所には、スリット４７と同様のスリット９２が設けられている。中間槽９０の底部の中央部には中間ドレイン孔９３が設けられ、この中間ドレイン孔９３には中間ドレイン管９４の上端部が接続されている。中間ドレイン管９４の下端部はメッキ液タンク６１内のメッキ液（図示せず）中に浸されるようになっている。
【００３３】
中間槽９０内においてテープ搬送路の両側には一対の流量規制ローラ９５が配置されている。一対の流量規制ローラ９５のテープ５３に対応する部分は小径部９５ａとなっている。中間槽９０の上部には上部支持板９６が設けられ、中間槽９０内の下部の所定の箇所には下部支持板９７が設けられている。一方の流量規制ローラ９５の上軸９５ｂおよび下軸９５ｃは、本体部が中間槽９０の壁面４３ａにほぼ接触するように近接した位置で、上部支持板９６および下部支持板９７に回転可能に支持されている。他方の流量規制ローラ９５の上軸９５ｂおよび下軸９５ｃは、本体部が中間槽９０の壁面４３ａにほぼ接触するように近接した位置で、上部支持板９６および下部支持板９７に設けられた長円孔９６ａ、９７ａに回転可能に且つ図８において左右方向に移動可能に支持されている。つまり、一対の流量規制ローラ９５の一方は、テープ５３に対して相対的に固定された位置で回転可能に設けられ、他方は、テープ５３に対して近接および離間可能に且つ回転可能に設けられている。一対の流量規制ローラ９５の本体部下面と下部支持板９７との間には流路用の隙間が設けられている。また、下部支持板９７の所定の複数箇所には流路用の貫通孔９７ｂ（図７においては図示せず）が設けられている。
【００３４】
上記構成により、他方の流量規制ローラ９５を、一方の流量規制ローラ９５から離間させた位置に保持して、テープ５３を一対の流量規制ローラ９５間に挿通することができる。そして、その状態で、内部処理槽４３内にメッキ液を噴出すると、メッキ液の一部がスリット９２を介して中間槽９０内に流入する。中間槽９０内に流入されたメッキ液は、一対の流量規制ローラ９５によってスリット４７に向かう流量を規制される。このため、中間槽９０内に流入されたメッキ液の一部は、下部支持板９７の貫通孔９７ｂおよび中間ドレイン管９４を介してメッキ液タンク６１内に回収される。残りのメッキ液の一部は、各流量規制ローラ９５の小径部９５ａと中間槽９０の壁面９１ａとの間を流れ、このメッキ液の流圧により、一対の流量規制ローラ９５の他方は、一方の流量規制ローラ９５側に移動され、一方の流量規制ローラ９５に圧接される。ここで、この圧接状態において、一対の流量規制ローラ９５の小径部９５ａ間の間隔は、テープ５３の厚さよりも１ｍｍ程度大きくなっている。そして、残りのメッキ液は、一対の流量規制ローラ９５の小径部９５ａ間の隙間および各流量規制ローラ９５と中間槽９０の壁面４３ａとの間の隙間を通った後、スリット４７から外部処理槽４２内に流出し、外部ドレイン管７３を介してメッキ液タンク６１内に回収される。
【００３５】
ところで、他方の流量規制ローラ９５が、一方の流量規制ローラ９５に圧接された状態では、メッキ液は、このメッキ液の流れに沿って、各流量規制ローラ９５を、それぞれ、図７において矢印で示す方向に回転させながら一対の流量規制ローラ９５の小径部９５ａ間の隙間を流れるが、一対の流量規制ローラ９５の小径部９５ａ間の隙間が小さくなっている分、ここを流れるメッキ液の流量は少なくなる。また、各流量規制ローラ９５は壁面４３ａにほぼ接触する位置とされているので、各流量規制ローラ９５と壁面４３ａとの間を流れるメッキ液の流量も少なくなる。したがって、スリット９２から中間槽９０に流入されたメッキ液のうち大部分は中間ドレイン管９４等を介してメッキ液タンク６１内に回収され、スリット４７から流出する流量は大変少なくなる。この結果、スリット４７から外部処理槽４２内に流出するメッキ液の液面の高さが低くなり、流出の勢いも弱くなり、これに伴って、スリット４７から流出するメッキ液中に巻き込まれる気泡が低減する。また、スリット４７から流出する流量が大変少なくなるので、外部処理槽４２のスリット４５からローラ室内へのメッキ液６２の流出がより一層防止される。
【００３６】
なお、上記第３実施形態では、スリット４７の部分における内部処理槽４３の内側に中間槽９０および一対の流量規制ローラ９５を設けた場合について説明したが、これに限らず、例えば図９に示すこの発明の第４実施形態のように、スリット４７の部分における内部処理槽４３の外側に中間槽９０および一対の流量規制ローラ９５を設けるようにしてもよい。また、このような流量規制手段は、流量規制ローラ９５に限らず、例えば図１０に示すこの発明の第５実施形態のように、丸みをおびた平面長方形状の流量規制部材９８としてもよい。ただし、この場合、一対の流量規制部材９８の相対向する面においてテープ５３に対応する部分に凹部９８ａを設ける。また、流量規制部材９８の軸９８ｂは２本とし、一方の流量規制部材９８は固定し、他方の流量規制部材９８は一方の流量規制部材９８に対して接離可能とする。さらに、第３〜５実施形態において、一対の流量規制ローラ９５または流量規制部材９８は、小径部９５ａまたは凹部９８ａを有するものとしたが、テープ５３のパターンが形成されていない面側に配置される流量規制ローラ９５または流量規制部材９８は、小径部９５ａまたは凹部９８ａを設けなくてもよい。
【００３７】
また、この発明は、メッキ処理に限らず、脱脂処理、酸化膜除去処理、メッキ前処理等の他の化学処理にも適用することができる。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、内部処理槽からオーバーフローする化学液をオーバーフロー案内部の内部上部に流入させ、流量調整手段により、テープの表面層の化学処理中、オーバーフロー案内部の内部が化学液により充満されるように、オーバーフロー案内部の下部開口部から外部処理槽に流出する化学液の流量を調整することにより、内部処理槽のスリットから外部処理槽内に流入する化学液の流量を低減することができ、したがって外部処理槽のスリットからの化学液の流出を防止することができ、また内部処理槽の高さ（深さ）が比較的高く（深く）ても、回収されるメッキ液等の化学液に酸素等を含む気泡が巻き込まれにくいようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施形態におけるメッキ処理装置の概略構成図。
【図２】図１に示すメッキ処理部の要部の断面図。
【図３】図２に示すメッキ処理部のうち蓋を省略した状態の平面図。
【図４】この発明の第２実施形態におけるメッキ処理部の要部の断面図。
【図５】図４に示すメッキ処理部のうち蓋を省略した状態の平面図。
【図６】図５のＸ−Ｘ線に沿う断面図。
【図７】この発明の第３実施形態におけるメッキ処理部の要部の平面図。
【図８】図７のＸ−Ｘ線にほぼ沿う部分に相当する断面図。
【図９】この発明の第４実施形態におけるメッキ処理部の要部の平面図。
【図１０】この発明の第５実施形態におけるメッキ処理部の要部の平面図。
【図１１】従来のメッキ処理装置の一例の概略構成図。
【図１２】図１１に示すメッキ処理部の一部の断面図。
【図１３】図１２に示すメッキ処理部のうち蓋を省略した状態の平面図。
【符号の説明】
４１  メッキ処理部
４２  外部処理槽
４３  内部処理槽
４５〜４８  スリット
５３  テープ
６１  メッキ液タンク
６２  メッキ液
６４  供給管
６６  ポンプ
７３、７４  外部ドレイン管
７７、７８  内部ドレイン管
８０  オーバーフロー案内部
８１  切欠部
８２  案内壁
８３  開口部
８４  シャッタ
９０  中間槽
９４  中間ドレイン管
９５  流量規制ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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