(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
周縁部にノッチが形成されかつカセットに収容されている複数の半導体ウェハのノッチの位置を合せる装置であって、
複数の半導体ウェハを収容したカセットを、半導体ウェハが垂直となりかつ前後方向に間隔をおいて並ぶように載置するカセット載置台と、カセット載置台に載置されるカセットの下方に配置され、かつカセットに収容された各半導体ウェハのノッチの位置を変更して全ての半導体ウェハのノッチ位置を合せるとともに、ノッチ位置が合わされた全ての半導体ウェハを同時に回転させてノッチ位置を任意の位置に変更しうるノッチ位置変更手段とを備えており、ノッチ位置変更手段が、カセットに支持された半導体ウェハの重心を通る鉛直線の左右いずれか一方の位置に回転自在に設けられた前後方向に長い半導体ウェハ回転用ドライブローラおよび前記鉛直線の左右いずれか他方の位置に回転自在に設けられた前後方向に長いフリーローラと、ドライブローラを回転駆動する駆動手段と、両ローラ間でかつ前記鉛直線よりフリーローラ側の部分に回転自在に設けられるとともに、半導体ウェハのノッチ内に嵌まりうる直径を有する前後方向に長いノッチ合せローラと、ドライブローラおよびフリーローラの間でかつ前記鉛直線よりドライブローラ側の部分に設けられた前後方向に長い半導体ウェハ支持部材とよりなり、ドライブローラ、フリーローラ、ノッチ合せローラおよび半導体ウェハ支持部材が、それぞれカセット載置台に形成された開口およびカセットの下端開口を通ってカセット内に侵入可能に昇降自在に設けられ、ノッチがノッチ合せローラからずれている半導体ウェハが、上昇位置にある半導体ウェハ回転用ドライブローラおよびノッチ合せローラによりカセットから持ち上げられた状態で支持され、ドライブローラが半導体ウェハの周縁に接触した状態で回転することにより半導体ウェハが回転させられ、ノッチがノッチ合せローラと対応する位置に来るとノッチ合せローラがノッチ内に嵌まり、半導体ウェハが、フリーローラおよび半導体ウェハ支持部材によりカセットから持ち上げられた状態で支持されるとともに、ドライブローラおよびノッチ内に嵌まったノッチ合せローラとは接触しないようになされ、全ての半導体ウェハのノッチにノッチ合せローラが嵌まったさいに、ノッチ合せローラおよび半導体ウェハ支持部材が下降してドライブローラおよびフリーローラにより支持された状態で、ドライブローラが全ての半導体ウェハの周縁に接触しつつ回転することにより全ての半導体ウェハが回転させられるようになされている半導体ウェハのノッチ合せ装置。
【請求項２】
半導体ウェハ回転用ドライブローラおよびフリーローラが、カセット載置台の下方にこれに対して昇降するように設けられたローラ支持台に、同一高さ位置において回転自在に支持され、ノッチ合せローラが、ローラ支持台に対して上下動しうるように設けられた昇降台に回転自在に支持され、半導体ウェハ支持部材が、前記昇降台に固定状に設けられている請求項１記載の半導体ウェハのノッチ合せ装置。
【請求項３】
半導体ウェハ回転用ドライブローラおよびフリーローラの直径が、それぞれ半導体ウェハのノッチに嵌まらないような大きさとなされている請求項１または２記載の半導体ウェハのノッチ合せ装置。
【請求項４】
カセット載置台の上面における開口の左右両側部分にカセット位置決め用ガイドが設けられ、カセット載置台上に、カセットを左右いずれかのガイドに押し付ける押し付け手段が設けられている請求項１、２または３記載の半導体ウェハのノッチ合せ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、周縁部にノッチが形成されかつカセットに収容されている複数の半導体ウェハのノッチの位置を所定方向に合せるノッチ合せ装置に関する。
【０００２】
この明細書において、図１の上下、左右を上下、左右というものとする。また、図２の下側を前、これと反対側を後というものとする。
【０００３】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】
たとえば、半導体ウェハに熱処理を施す場合、カセットに収容された複数の半導体ウェハのノッチ位置を所定の方向に合せる必要がある。
【０００４】
半導体ウェハのノッチ位置を所定方向に合せるノッチ合せ装置として、従来、複数の半導体ウェハを収容するカセットの下端開口を通してカセット内に侵入しうるように昇降自在に設けられた基台と、基台に回転自在に設けられかつ周面に環状溝を形成することによりノッチに嵌入しうる複数の小径部が設けられたドライブシャフトと、ドライブシャフトを回転駆動するモータと、基台に回転自在に設けられたフリーシャフトと、基台に昇降自在にかつ回転自在に設けられるとともに、フリーシャフトと共働してノッチ位置が合された半導体ウェハを、ドライブシャフトから持ち上げた状態で支持して回転させるノッチ移動シャフトとを備えたものが知られている（特開平７−２３５５８７号公報参照）。
【０００５】
従来の装置においては、次のようにして、カセットに収容された半導体ウェハのノッチ合せが行われる。すなわち、ドライブシャフトの小径部とフリーシャフトとにより、半導体ウェハをカセットから持ち上げた状態で支持する。ついで、モータによりドライブシャフトを回転させ、これにより半導体ウェハの周縁に接触している小径部の働きによって、ノッチ内に小径部が嵌まるまで半導体ウェハを回転させる。小径部がノッチ内に嵌まると、その半導体ウェハの回転が停止させられ、ノッチ位置が所定位置に合せられる。そして、このような動作を、ノッチ位置がずれている全ての半導体ウェハに対して繰返し行い、全ての半導体ウェハのノッチ合せが行われる。しかしながら、先にノッチ合せの済んだ半導体ウェハの回転が停止させられた後に、他の半導体ウェハを回転させるためにドライブシャフトが回転すると、停止している半導体ウェハのノッチの周縁がドライブシャフトの小径部により擦られ、その結果半導体ウェハに形成された膜が剥離したり、半導体ウェハ自体が損傷するおそれがある。しかも、膜の剥離や半導体ウェハ自体の損傷の結果生じる塵が半導体ウェハ上に形成された半導体デバイスに付着するおそれがある。
【０００６】
この発明の目的は、上記問題を解決し、ノッチ合せのさいに、膜の剥離や半導体ウェハ自体の損傷を防止しうる半導体ウェハのノッチ合せ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段と発明の効果】
請求項１の発明による半導体ウェハのノッチ合せ装置は、周縁部にノッチが形成されかつカセットに収容されている複数の半導体ウェハのノッチの位置を合せる装置であって、複数の半導体ウェハを収容したカセットを、半導体ウェハが垂直となりかつ前後方向に間隔をおいて並ぶように載置するカセット載置台と、カセット載置台に載置されるカセットの下方に配置され、かつカセットに収容された各半導体ウェハのノッチの位置を変更して全ての半導体ウェハのノッチ位置を合せるとともに、ノッチ位置が合わされた全ての半導体ウェハを同時に回転させてノッチ位置を任意の位置に変更しうるノッチ位置変更手段とを備えており、ノッチ位置変更手段が、カセットに支持された半導体ウェハの重心を通る鉛直線の左右いずれか一方の位置に回転自在に設けられた前後方向に長い半導体ウェハ回転用ドライブローラおよび前記鉛直線の左右いずれか他方の位置に回転自在に設けられた前後方向に長いフリーローラと、ドライブローラを回転駆動する駆動手段と、両ローラ間でかつ前記鉛直線よりフリーローラ側の部分に回転自在に設けられるとともに、半導体ウェハのノッチ内に嵌まりうる直径を有する前後方向に長いノッチ合せローラと、ドライブローラおよびフリーローラの間でかつ前記鉛直線よりドライブローラ側の部分に設けられた前後方向に長い半導体ウェハ支持部材とよりなり、ドライブローラ、フリーローラ、ノッチ合せローラおよび半導体ウェハ支持部材が、それぞれカセット載置台に形成された開口およびカセットの下端開口を通ってカセット内に侵入可能に昇降自在に設けられ、ノッチがノッチ合せローラからずれている半導体ウェハが、上昇位置にある半導体ウェハ回転用ドライブローラおよびノッチ合せローラによりカセットから持ち上げられた状態で支持され、ドライブローラが半導体ウェハの周縁に接触した状態で回転することにより半導体ウェハが回転させられ、ノッチがノッチ合せローラと対応する位置に来るとノッチ合せローラがノッチ内に嵌まり、半導体ウェハが、フリーローラおよび半導体ウェハ支持部材によりカセットから持ち上げられた状態で支持されるとともに、ドライブローラおよびノッチ内に嵌まったノッチ合せローラとは接触しないようになされ、全ての半導体ウェハのノッチにノッチ合せローラが嵌まったさいに、ノッチ合せローラおよび半導体ウェハ支持部材が下降してドライブローラおよびフリーローラにより支持された状態で、ドライブローラが全ての半導体ウェハの周縁に接触しつつ回転することにより全ての半導体ウェハが回転させられるようになされているものである。
【０００８】
請求項１の発明の装置によれば、次のようにして、カセットに収容された複数の半導体ウェハのノッチ合せが行われる。
【０００９】
すなわち、まずドライブローラ、フリーローラ、ノッチ合せローラおよび半導体ウェハ支持部材を上昇させて、ドライブローラとノッチ合せローラとにより、半導体ウェハをカセットから持ち上げた状態で支持する。ついで、駆動手段によりドライブローラを半導体ウェハの周縁に接触させた状態で回転させ、これにより半導体ウェハを回転させる。半導体ウェハのノッチがノッチ合せローラに対応する位置に来ると、ノッチ合せローラがノッチ内に嵌まって半導体ウェハがフリーローラと半導体ウェハ支持部材とにより支持されるとともに、半導体ウェハとドライブローラおよびノッチ内に嵌まったノッチ合せローラとが接触しなくなり、この半導体ウェハは停止させられる。このような動作が、ノッチ位置がずれている全ての半導体ウェハに対して繰返され、全ての半導体ウェハのノッチ内にノッチ合せローラが嵌まることによりノッチ合せが行われる。全ての半導体ウェハのノッチ内にノッチ合せローラが嵌まると、ノッチ合せローラおよび半導体ウェハ支持部材を下降させ、全ての半導体ウェハをドライブローラおよびフリーローラによりカセットから持ち上げた状態で支持する。この状態で、ドライブローラが全ての半導体ウェハの周縁に接触しつつ回転することにより、全ての半導体ウェハが回転させられ、そのノッチが任意の方向に向けられる。
【００１０】
そして、請求項１の発明の装置によれば、先にノッチ合せの済んだ半導体ウェハの回転が停止させられた後は、この半導体ウェハは回転しているドライブローラと接触しないので、他の半導体ウェハが回転させられている場合にも、先に停止させられた半導体ウェハに形成された膜が剥離したり、半導体ウェハ自体が損傷したりすることが確実に防止される。しかも、ドライブローラからの発塵を防止することができる。
【００１１】
請求項２の発明による半導体ウェハのノッチ合せ装置は、請求項１の発明において、半導体ウェハ回転用ドライブローラおよびフリーローラが、カセット載置台の下方にこれに対して昇降するように設けられたローラ支持台に、同一高さ位置において回転自在に支持され、ノッチ合せローラが、ローラ支持台に対して上下動しうるように設けられた昇降台に回転自在に支持され、半導体ウェハ支持部材が、前記昇降台に固定状に設けられているものである。この場合、ドライブローラおよびフリーローラを昇降させる手段、ならびにノッチ合せローラおよび半導体ウェハ支持部材を昇降させる手段をそれぞれ共通にすることができる。
【００１２】
請求項３の発明による半導体ウェハのノッチ合せ装置は、請求項１または２の発明において、半導体ウェハ回転用ドライブローラおよびフリーローラの直径が、それぞれ半導体ウェハのノッチに嵌まらないような大きさとなされているものである。この場合、半導体ウェハのノッチ合せ時、およびノッチ合せが終了した後のノッチ方向を所定の方向に向ける時の半導体ウェハの回転をスムーズに行うことができる。
【００１３】
請求項４の発明による半導体ウェハのノッチ合せ装置は、請求項１、２または３の発明において、カセット載置台の上面における開口の左右両側部分にカセット位置決め用ガイドが設けられ、カセット載置台上に、カセットを左右いずれかのガイドに押し付ける押し付け手段が設けられているものである。複数の半導体ウェハを収容したカセットは、たとえば自動搬送台車によってカセット載置台上に搬入される。したがって、カセット位置決め用ガイドと、搬入されるカセットとの間には、通常１．５ｍｍ程度の隙間が設けられ、カセットの搬入がスムーズに行われるようになされている。ところが、前記隙間が存在すると、カセットの位置がずれて、ノッチ位置変更手段による各半導体ウェハのノッチ合せのためのノッチ位置の変更、およびノッチ位置が合わされた全ての半導体ウェハのノッチ位置の変更を、確実にできないことがある。請求項４の発明の装置によれば、カセット載置台上に搬入されたカセットは、押し付け手段により左右いずれかのガイドに押し付けられるので、カセットの位置決めを確実に行うことができ、その結果ノッチ位置変更手段による各半導体ウェハのノッチ合せのためのノッチ位置の変更、およびノッチ位置が合わされた全ての半導体ウェハのノッチ位置の変更を、確実に行うことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。なお、この図面には、左右２つのカセットに収容された半導体ウェハのノッチ合せを同時に行う左右１対の半導体ウェハのノッチ合せ装置のうち、右側の装置のみを示している。
【００１５】
図１および図２において、半導体ウェハ(W)のノッチ合せ装置は、周縁に１つのノッチ(n)が形成されている複数の半導体ウェハ(W)を収容したカセット(1)を、半導体ウェハ(W)が垂直となりかつ前後方向に間隔をおいて並ぶように載置するカセット載置台(2)と、カセット載置台(2)上に載置されるカセット(1)の下方に配置され、かつカセット(1)に収容された各半導体ウェハ(W)のノッチ(n)の位置を変更して全ての半導体ウェハ(W)のノッチ(n)の位置を合せるとともに、ノッチ(n)の位置が合わされた全ての半導体ウェハ(W)を同時に回転させてノッチ(n)の位置を任意の位置に変更しうるノッチ位置変更手段(3)とを備えている。
【００１６】
カセット載置台(2)には開口(2a)が形成されており、カセット(1)はその下端開口(1a)がカセット載置台(2)の開口(2a)に合致するようにカセット載置台(2)上に載置される。カセット載置台(2)の上面における開口(2a)の左右両側部分に、それぞれ前後方向に間隔をおいて複数、ここでは３つのカセット位置決め用ガイド(4A)(4B)(4C)(5A)(5B)(5C)が設けられている。カセット載置台(2)上における開口(2a)より左側の部分に、カセット(1)を右側のガイド(5A)(5B)(5C)に押し付けるエアシリンダ(6)（押し付け手段）が前後方向に間隔をおいて複数、ここでは２つ設けられている。なお、図示は省略したが、図示されているノッチ合せ装置の左側にも、これと左右対称のノッチ合せ装置があり、カセット載置台(2)は両装置に共通である。
【００１７】
ノッチ位置変更手段(3)は、カセット(1)に支持された半導体ウェハ(W)の重心を通る鉛直線(V)の右方の位置に、前後方向に伸びる軸線の周りに回転自在に設けられた前後方向に長い半導体ウェハ回転用ドライブローラ(7)と、鉛直線(V)の左方の位置に、前後方向に伸びる軸線の周りに回転自在に設けられた前後方向に長いフリーローラ(8)と、ドライブローラ(7)を回転駆動する駆動手段と、両ローラ(7)(8)間でかつ鉛直線(V)より左方の位置に前後方向に伸びる軸線の周りに回転自在に設けられ、かつ半導体ウェハ(W)のノッチ(n)内に嵌まりうる直径を有する前後方向に長いノッチ合せローラ(9)と、ドライブローラ(7)およびフリーローラ(8)の間でかつ鉛直線(V)より右方の位置にドライブローラ(7)側の部分に設けられた前後方向に長い半導体ウェハ支持部材(10)とを備えている。ドライブローラ(7)、フリーローラ(8)、ノッチ合せローラ(9)および半導体ウェハ支持部材(10)は、それぞれカセット載置台(2)に形成された開口(2a)およびカセット(1)の下端開口(1a)を通ってカセット(1)内に侵入可能に昇降自在に設けられている。
【００１８】
カセット(1)がエアシリンダ(6)により右側のガイド(5A)(5B)(5C)に押し付けられた状態において、前記鉛直線(V)とドライブローラ(7)およびフリーローラ(8)との距離は互いに等しくなっている。ドライブローラ(7)およびフリーローラ(8)の長さは、カセット載置台(2)上に載置されたカセット(1)に収容されている全ての半導体ウェハ(W)の周縁に接触しうるような長さとされている。また、ドライブローラ(7)およびフリーローラ(8)の直径は、半導体ウェハ(W)のノッチ(n)内に嵌まらないような大きさとされている。ドライブローラ(7)の少なくとも外周面は、半導体ウェハ(W)の周縁に接触した状態で回転したさいに、両者間ですべりが発生することなく半導体ウェハ(W)が回転させられるとともに、半導体ウェハ(W)の損傷を防止しうる材料、たとえばシリコンゴム、ポリテトラフルオロエチレン系材料等で形成されている。フリーローラ(8)の少なくとも外周面は、半導体ウェハ(W)がフリーローラ(8)の外周面に接触した状態で回転したさいに、両者間ですべりが発生することなくフリーローラ(8)が回転させられるとともに、半導体ウェハ(W)の損傷を防止しうる材料、たとえばシリコンゴム、ポリテトラフルオロエチレン系材料等で形成されている。
【００１９】
ノッチ合せローラ(9)および半導体ウェハ支持部材(10)の長さは、カセット載置台(2)上に載置されたカセット(1)に収容されている全ての半導体ウェハ(W)の周縁に接触しうるような長さとされている。ノッチ合せローラ(9)の少なくとも外周面は、半導体ウェハ(W)がノッチ合せローラ(9)の外周面に接触した状態で回転したさいに、両者間ですべりが発生することなくノッチ合せローラ(9)が回転させられるとともに半導体ウェハ(W)の損傷を防止することができる材料、たとえばシリコンゴム、ポリテトラフルオロエチレン系材料等で形成されている。支持部材(10)の少なくとも上端部は、半導体ウェハ(W)を支持したさいに半導体ウェハ(W)の損傷を防止しうる材料、たとえばシリコンゴム、ポリテトラフルオロエチレン系材料等で形成されている。
【００２０】
ドライブローラ(7)およびフリーローラ(8)は、カセット載置台(2)の下方にこれに対して昇降するように設けられたローラ支持台(11)に、同一高さ位置において回転自在に支持されている。ローラ支持台(11)は、エアシリンダ(12)によりカセット載置台(2)に吊持されており、下降位置にある場合に上端がカセット載置台(2)の開口(2a)の前後両端部内に位置する前後１対の垂直壁(11a)(11b)を備えている。ローラ支持台(11)は、エアシリンダ(12)のピストンロッド(12a)の進退により、垂直ガイド装置(13)に案内されて上下動するようになっている。そして、前後の垂直壁(11a)(11b)の上端部間にドライブローラ(7)およびフリーローラ(8)が回転自在に支持されている。ドライブローラ(7)を回転駆動する駆動手段は、ローラ支持台(11)上に取付けられた駆動モータ(14)と、駆動モータ(14)のモータ軸(14a)に固定された駆動側プーリ(15)およびドライブローラ(7)の後端軸部(7a)に固定された従動側プーリ(16)に掛け渡された伝動ベルト(17)とを備えている。伝動ベルト(17)は複数のガイドプーリ(18)にも掛けられている。なお、図示は省略したが、図示されているノッチ合せ装置の左側にも、これと左右対称のノッチ合せ装置があり、ローラ支持台(11)、駆動モータ(14)および伝動ベルト(17)は両装置に共通である。
【００２１】
ノッチ合せローラ(9)および半導体ウェハ支持部材(10)は、ローラ支持台(11)の上方にこれに対して昇降するように設けられた昇降台(19)に取付けられている。昇降台(19)は、前後方向に長くかつローラ支持台(11)に取付けられたエアシリンダ(20)に支持されており、下降位置にある場合に上端がカセット載置台(2)の開口(2a)の前後両端部内に位置する前後１対の垂直壁(19a)(19b)を備えている。昇降台(19)は、エアシリンダ(20)のピストンロッド(20a)の進退により、垂直ガイド装置(21)に案内されて上下動するようになっている。ノッチ合せローラ(9)は両垂直壁(19a)(19b)の上端部間に回転自在に支持されている。半導体ウェハ支持部材(10)は昇降台(19)上に固定されている。ノッチ合せローラ(9)は、半導体ウェハ支持部材(10)の上端よりも上方の高さ位置に位置している。
【００２２】
ローラ支持台(11)および昇降台(19)がそれぞれ上昇位置にある場合、カセット(1)内の半導体ウェハ(W)のノッチ(n)がノッチ合せローラ(9)と対応する位置になければ、半導体ウェハ(W)はドライブローラ(7)およびノッチ合せローラ(9)によりカセット(1)から持ち上げられた状態で支持されて、半導体ウェハ(W)はフリーローラ(8)および支持部材(10)には接触しないようになっている。また、ローラ支持台(11)および昇降台(19)がそれぞれ上昇位置にある場合、カセット(1)内の半導体ウェハ(W)のノッチ(n)がノッチ合せローラ(9)と対応する位置にあれば、支持部材(10)により半導体ウェハ(W)が突上げられてノッチ合せローラ(9)がノッチ(n)内に嵌まり込み、半導体ウェハ(W)はフリーローラ(8)および支持部材(10)によりカセット(1)から持ち上げられた状態で支持される。このとき、半導体ウェハ(W)の周縁部はドライブローラ(7)に接触せず、しかも半導体ウェハ(W)のノッチ(n)の周縁部はノッチ合せローラ(9)に接触しないようになっている。ローラ支持台(11)が上昇位置にあり、昇降台(19)が下降位置にある場合、半導体ウェハ(W)はドライブローラ(7)およびフリーローラ(8)によりカセット(1)から持ち上げられた状態で支持されて、半導体ウェハ(W)はノッチ合せローラ(9)および支持部材(10)には接触しないようになっている。
【００２３】
上述した構成のノッチ合せ装置を用いての半導体ウェハ(W)のノッチ合せ方法について、図３〜図７を参照して説明する。
【００２４】
まず、複数の半導体ウェハ(W)を収容したカセット(1)が、自動搬送台車（図示略）によってカセット載置台(2)上の左右のガイド(4A)(4B)(4C)(5A)(5B)(5C)間に搬入されると、エアシリンダ(6)により右側のガイド(5A)(5B)(5C)に押し付けられる（図３参照）。ついで、エアシリンダ(12)のピストンロッド(12a)を退入させることによりローラ支持台(11)をカセット載置台(2)に対して上昇させる。また、エアシリンダ(20)のピストンロッド(20a)を進出させることにより昇降台(19)をローラ支持台(11)に対して上昇させる。ローラ支持台(11)および昇降台(19)が上昇すると、カセット(1)内の全ての半導体ウェハ(W)が、ドライブローラ(7)およびノッチ合せローラ(9)によりカセット(1)から持ち上げられた状態で支持される。このとき、半導体ウェハ(W)はフリーローラ(8)および半導体ウェハ支持部材(10)とは接触していない（図４参照）。この状態で駆動手段によりドライブローラ(7)を回転させると、ドライブローラ(7)が半導体ウェハ(W)の周縁に接触していることによって半導体ウェハ(W)が回転させられる。半導体ウェハ(W)が回転すると、これの周縁部に接触しているノッチ合せローラ(9)も回転する。そして、半導体ウェハ(W)のノッチ(n)がノッチ合せローラ(9)に対応する位置に来ると、ノッチ合せローラ(9)がノッチ(n)内に嵌まるとともに半導体ウェハ(W)は支持部材(10)により突上げられ、半導体ウェハ(W)の重心位置が変わるとともに、重心を通る鉛直線(V)の位置も、図５および図６に２点鎖線で示す位置から１点鎖線で示す位置に変わって、半導体ウェハ(W)がフリーローラ(8)と支持部材(10)とにより支持される（図５参照）。このとき、図６に示すように、半導体ウェハ(W)の周縁部はドライブローラ(7)に接触せず、そのノッチ(n)の周縁部はノッチ合せローラ(9)に接触しない。その結果、半導体ウェハ(W)の回転が停止させられる。このような動作が、ノッチ(n)位置がずれている全ての半導体ウェハ(W)に対して繰返され、全ての半導体ウェハ(W)のノッチ(n)にノッチ合せローラ(9)が嵌まった時点で、全ての半導体ウェハ(W)のノッチ位置が合せられる。したがって、先にノッチ合せの済んだ半導体ウェハ(W)の回転が停止させられた後は、この半導体ウェハ(W)は回転しているドライブローラ(7)およびノッチ合せローラ(9)と接触しないので、他の半導体ウェハ(W)が回転させられている場合にも、先に停止させられた半導体ウェハ(W)に形成された膜が剥離したり、半導体ウェハ(W)自体が損傷したりすることが確実に防止される。
【００２５】
その後、昇降台(19)を下降させると、全ての半導体ウェハ(W)はドライブローラ(7)とフリーローラ(8)とにより支持され（図７参照）、ドライブローラ(7)が半導体ウェハ(W)の周縁に接触した状態で回転することにより、ノッチ(n)が任意の所定方向を向くまで半導体ウェハ(W)が回転させられる。こうして、全ての半導体ウェハ(W)のノッチ(n)が予め決められた同じ方向に向けられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明によるノッチ合せ装置の実施形態を示す垂直断面図である。
【図２】  同じく一部を省略した平面図である。
【図３】  この発明の装置を用いてノッチ合せを行う方法を示し、カセットがカセット載置台に搬入された状態の要部を拡大した垂直断面図である。
【図４】  同じく半導体ウェハがドライブローラとノッチ合せローラにより支持された状態を示す図３相当の図である。
【図５】  同じく半導体ウェハがフリーローラと支持部材により支持された状態を示す図３相当の図である。
【図６】  図５の要部拡大図である。
【図７】  同じく半導体ウェハがドライブローラとフリーローラにより支持された状態を示す図３相当の図である。
【符号の説明】
(1)：カセット
(1a)：下端開口
(2)：カセット載置台
(2a)：開口
(3)：ノッチ位置変更手段
(4A)(4B)(4C)(5A)(5B)(5C)：ガイド
(6)：エアシリンダ（押し付け手段）
(7)：半導体ウェハ回転用ドライブローラ
(8)：フリーローラ
(9)：ノッチ合せローラ
(10)：半導体ウェハ支持部材
(11)：ローラ支持台
(19)：昇降台
(W)：半導体ウェハ
(n)：ノッチ
【図１】
0003663480.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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