(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の要件を備えたことを特徴とするＸＹステージ、
（Ａ01）直交する水平なＸ軸およびＹ軸を含むＸＹ平面内で移動可能に支持された試料ステージ、
（Ａ02）前記試料ステージにＹ軸方向の相対移動は不可能且つＸ軸方向の相対移動は可能に連結されたＹ軸移動アーム、
（Ａ03）前記Ｙ軸移動アームをＹ軸方向に移動可能に支持するＹ軸方向ガイド部材、
（Ａ04）前記Ｙ軸移動アームをＹ軸方向に移動させるＹ軸方向駆動装置、
（Ａ05）前記試料ステージにＸ軸方向の相対移動は不可能且つＹ軸方向の相対移動は可能に連結されたＸ軸移動アーム、
（Ａ06）前記Ｘ軸移動アームをＸ軸方向に移動可能に支持するＸ軸方向ガイド部材、
（Ａ07）前記Ｘ軸移動アームをＸ軸方向に移動させるＸ軸方向駆動装置、
（Ａ08）前記Ｙ軸移動アームおよびＸ軸移動アームのうちの一方の移動アームは前記試料ステージにＸＹ平面内で旋回可能に連結され他方の移動アームは旋回不可能に連結された前記Ｙ軸移動アームおよびＸ軸移動アーム、
（Ａ09）前記試料ステージに旋回不可能に連結された前記他方の移動アームを移動させる力の作用線が前記他方の移動アームの重心を通るように構成された前記ＸまたはＹ軸方向駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子顕微鏡や電子ビーム描画装置で使用される試料ホルダを支持する試料ステージおよびこの試料ステージをＸＹ平面内で移動させるＸＹ駆動装置とを備えたＸＹステージに関し、前記試料ステージのヨーイング誤差（前記ＸＹ平面に垂直なＺ軸回りの旋回位置の誤差）を減少させたＸＹステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
前記ＸＹステージとしては、従来、下記（Ｊ01）に示す技術が知られている。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、左方、右方、上方、下方、または、前側、後側、左側、右側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【０００３】
（Ｊ01）図６に示す技術
図６は従来のＸＹステージの説明図で、斜視図である。図７は前記図６のＸＹステージの要部の平面図である。図８は前記図７に示す従来のＸＹステージの試料ステージと移動アームとの関連の説明図で、図８Ａは前記図７のＶIIIＡ−ＶIIIＡ線断面図、図８Ｂは前記図７のＶIIIＢ−ＶIIIＢ線断面図である。
図６、図７において、ベース０１上にはリテーナ０２を介して試料ステージ０３がＸＹ平面内で移動可能に支持されている。
図８において、前記試料ステージ０３はステージ上部０４、ステージ中間部０５、ステージ下部０６を有している。前記ステージ中間部０５には上面にＹ軸移動アーム貫通溝０５a（図８Ａ参照）およびＹ軸移動アームセンターガイド０５bが形成されており、下面にはＸ軸移動アーム貫通溝０５c（図８Ｂ参照）およびＸ軸移動アームセンターガイド０５dが形成されている。
【０００４】
図８Ａにおいて、前記Ｙ軸移動アーム貫通溝０５aを貫通するＹ軸移動アーム０７は、ガイド溝０７a（図６、図７参照）を有しており、前記ガイド溝０７aには前記Ｙ軸移動アームセンターガイド０５bが挿入されている。
図８Ｂにおいて、前記Ｘ軸移動アーム貫通溝０５cを貫通するＸ軸移動アーム０８は、ガイド溝０８a（図６、図７参照）を有しており、前記ガイド溝０８aには前記Ｘ軸移動アームセンターガイド０５dが挿入されている。
そして、前記試料ステージ０３およびＹ軸移動アーム０７は、Ｙ軸方向には相対移動不可能で一体的に移動し、且つＸ軸方向には相対移動可能に連結されている。また、前記試料ステージ０３およびＸ軸移動アーム０８は、Ｘ軸方向には相対移動不可能で一体的に移動し、且つＹ軸方向には相対移動可能に連結されている。
前記Ｙ軸移動アームセンターガイド０５bおよびＸ軸移動アームセンターガイド０５dの両側にはそれぞれリテーナ０９，０９（図８Ａ参照）および０１０，０１０（図８Ｂ参照）が配置されて、前記試料ステージ０３に対するＹ軸移動アーム０７およびＸ軸移動アーム０８の相対移動時の摩擦抵抗を低下させている。
【０００５】
図７において、前記Ｙ軸移動アーム０７の後端部にはローラ０１１が回転可能に支持されており、前記ローラ０１１はローラガイド部材０１２上面をＹ軸方向に回転移動可能に支持されている。
Ｙ軸移動アーム０７の前端部はＹ軸方向に移動可能なローラガイド０１３に連結されている。ローラガイド０１３にはＹ軸移動ナット０１４が連結され、Ｙ軸移動ナット０１４はボールネジ０１５が回転するとＹ軸方向に移動するように構成されている。前記ボールネジ０１５はＹ軸駆動モータ０１６により回転駆動されるように構成されている。
そして、前記Ｙ軸駆動モータ０１６によりボールネジ０１５が回転すると、前記Ｙ軸移動ナット０１４、ローラガイド０１３、およびＹ軸移動アーム０７がＹ軸方向に移動し、この移動に連れて前記試料ステージ０３がＹ軸方向に移動するように構成されている。
【０００６】
前記Ｘ軸移動アーム０８の右端部にはローラ０２１が回転可能に支持されており、前記ローラ０２１はローラガイド部材０２２上面をＸ軸方向に回転移動可能に支持されている。
Ｘ軸移動アーム０８の左端部はＸ軸方向に移動可能なローラガイド０２３に連結されている。ローラガイド０２３にはＸ軸移動ナット０２４が連結され、Ｘ軸移動ナット０２４はボールネジ０２５が回転するとＸ軸方向に移動するように構成されている。前記ボールネジ０２５はＸ軸駆動モータ０２６により回転駆動されるように構成されている。
そして、前記Ｘ軸駆動モータ０２６によりボールネジ０２５が回転すると、前記Ｘ軸移動ナット０２４、ローラガイド０２３、およびＸ軸移動アーム０８がＸ軸方向に移動し、この移動に連れて前記試料ステージ０３がＸ軸方向に移動するように構成されている。
【０００７】
前記符号０１〜０２６で示された要素により、ＸＹステージ（０１〜０２６）が構成されている。すなわち、ＸＹステージ（０１〜０２６）は、前記試料ステージ０３および前記試料ステージ０３をＸＹ平面内で移動させるＸＹ駆動装置により構成されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
（前記（Ｊ01）の問題点）
前記従来技術（Ｊ01）では、次のような問題点がある。
前記ＸＹステージは、例えば電子ビーム描画装置で使用される場合には、試料ステージ０３が所定の位置に移動し、停止した状態で描画し、さらに、移動−停止−描画を随時繰り返すステップアンドリピート方式で作動する。前記ステップアンドリピート方式において、高精度な描画を行うためには、ヨーイング誤差（前記試料ステージ０３のＸＹ平面に垂直なＺ軸回りの旋回位置の誤差）が発生しないように、試料ステージ０３に作用する旋回モーメントを小さくする必要がある。
【０００９】
試料が大型化すると、試料ステージ０３の必要なストロークが増加し、これに伴いＹ軸移動アーム０７およびＸ軸移動アーム０８が長くなり、剛性が低くなってしまう。また、試料ステージ０３の移動方向により試料ステージ０３に作用する走行抵抗のモーメントが変化するため、試料ステージ０３にヨーイング誤差が発生してしまう。その場合、描画位置に誤差が生じて高精度な描画ができなくなるという問題点が生じる。
また、一般的に使用されるボールネジは磁性体で構成されているが、そのようなボールネジを使用した場合、描画位置近傍に配置すると電子ビームに悪影響を与えるという問題点も生じる。
さらに、長時間使用によりボールネジの回転により移動するナットの温度上昇が、Ｘ軸移動アームおよびＹ軸移動アームやセンターガイドに与える精度変化も、高精度なパターンを描画する妨げになるという問題点も有った。
【００１０】
本発明は、前述の事情に鑑み下記（Ｏ01）の記載内容を課題とする。
（Ｏ01）試料ステージおよび前記試料ステージをＸＹ平面内で移動させるＸ軸駆動装置およびＹ軸駆動装置を有するＸＹステージにおいて、前記試料ステージのヨーイング誤差（試料ステージのＸＹ平面に垂直なＺ軸回りの旋回位置の誤差）を低下させること。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の説明において本発明の構成要素の後に付記したカッコ内の符号は、本発明の構成要素に対応する後述の実施例の構成要素の符号である。なお、本発明を後述の実施例の構成要素の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【００１２】
（本発明）
前記課題を解決するために、本発明のＸＹステージは下記の要件を備えたことを特徴とする、
（Ａ01）直交する水平なＸ軸およびＹ軸を含むＸＹ平面内で移動可能に支持された試料ステージ（３）、
（Ａ02）前記試料ステージ（３）にＹ軸方向の相対移動は不可能且つＸ軸方向の相対移動は可能に連結されたＹ軸移動アーム（７）、
（Ａ03）前記Ｙ軸移動アーム（７）をＹ軸方向に移動可能に支持するＹ軸方向ガイド部材（１２，１３）、
（Ａ04）前記Ｙ軸移動アーム（７）をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向駆動装置（１４〜１６）、
（Ａ05）前記試料ステージ（３）にＸ軸方向の相対移動は不可能且つＹ軸方向の相対移動は可能に連結されたＸ軸移動アーム（８）、
（Ａ06）前記Ｘ軸移動アーム（８）をＸ軸方向に移動可能に支持するＸ軸方向ガイド部材（２１，２１）、
（Ａ07）前記Ｘ軸移動アーム（８）をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向駆動装置（２２〜２６）、
（Ａ08）前記Ｙ軸移動アーム（７）およびＸ軸移動アーム（８）のうちの一方の移動アーム（７）は前記試料ステージ（３）にＸＹ平面内で旋回可能に連結され、他方の移動アーム（８）は旋回不可能に連結された前記Ｙ軸移動アーム（７）およびＸ軸移動アーム（８）、
（Ａ09）前記試料ステージ（３）に旋回不可能に連結された前記他方の移動アーム（８）を移動させる力の作用線が前記他方の移動アーム（８）の重心を通るように構成された前記ＸまたはＹ軸方向駆動装置（２２〜２６）。
【００１３】
（本発明の作用）
前記構成を備えた本発明のＸＹステージでは、試料ステージ（３）は、直交する水平なＸ軸およびＹ軸を含むＸＹ平面内で移動可能に支持される。
Ｙ軸移動アーム（７）は、前記試料ステージ（３）にＹ軸方向の相対移動は不可能且つＸ軸方向の相対移動は可能に連結される。は、前記Ｙ軸移動アーム（７）をＹ軸方向に移動可能に支持する。
Ｙ軸方向駆動装置（１４〜１６）により前記Ｙ軸移動アーム（７）をＹ軸方向に移動させると、Ｙ軸方向ガイド部材（１２，１３）に支持されたＹ軸移動アーム（７）は試料ステージ（３）とともにＹ軸方向に移動し、このとき試料ステージ（３）はＸ軸移動アーム（８）に対して相対的に移動する。また、Ｘ軸方向駆動装置（２２〜２６）により前記Ｘ軸移動アーム（８）をＸ軸方向に移動させると、Ｘ軸方向ガイド部材（２１，２１）に支持された前記Ｘ軸移動アーム（８）は試料ステージ（３）とともにＸ軸方向に移動し、このとき、前記試料ステージ（３）は、Ｙ軸移動アーム（７）に対して相対的に移動する。
【００１４】
前記Ｙ軸移動アーム（７）およびＸ軸移動アーム（８）のうちの一方の移動アーム（７）は前記試料ステージ（３）にＸＹ平面内で旋回可能に連結され、他方の移動アーム（８）は旋回不可能に連結される。
前記試料ステージ（３）は、前記他方の移動アーム（８）に旋回不可能に連結されているので、前記他方の移動アーム（８）が旋回しないかぎり旋回しない。この場合、試料ステージ（３）にヨーイング誤差は発生しない。
前記旋回不可能に連結された他方の移動アーム（８）を移動させる力の作用線が前記他方の移動アーム（８）の重心を通るように構成されているので、駆動装置（２２〜２６）により前記他方の移動アーム（８）に作用する力により前記他方の移動アーム（８）に作用する旋回モーメントは小さい。このため、試料ステージ（３）のヨーイング誤差も小さい。
なお、前記一方の移動アーム（７）を移動させる駆動装置（１４〜１６）により、前記一方の移動アームに旋回モーメントが作用しても、前記一方の移動アーム（７）は前記試料ステージ（３）にＸＹ平面内で旋回可能であるため、前記試料ステージ（３）には旋回モーメントが作用しない。このため、試料ステージ（３）は旋回しない。
【００１５】
【発明の実施の形態】
（発明の実施の形態１）
本発明のＸＹステージの実施の形態１は、前記本発明において次の要件を備えたことを特徴とする、
（Ａ010）前記試料ステージ（３）に旋回不可能に連結された前記他方の移動アーム（８）に、両端部が連結され、中間部が前記試料ステージ（３）の外側に配置された連結アーム（８′）、
（Ａ011）前記他方の移動アーム（８）を移動させる力が前記連結アーム（８′）に作用するように構成された前記ＸまたはＹ軸方向駆動装置（２２〜２６）。
【００１６】
（発明の実施の形態１の作用）
前記構成を備えた本発明の実施の形態１のＸＹステージでは、前記試料ステージ（３）に旋回不可能に連結された前記他方の移動アーム（８）には、連結アームの両端部が連結される。前記連結アーム（８′）の中間部は、前記試料ステージ（３）の外側に配置される。前記他方の移動アーム（８）を移動させる前記ＸまたはＹ軸方向駆動装置（２２〜２６）は、前記移動させる力を前記連結アーム（８′）に作用させる。
前記連結アーム（８′）の中間部は試料ステージ（３）の外側に配置されるので、前記他方の移動アーム（８）を移動させる前記ＸまたはＹ軸方向駆動装置（２２〜２６）との連結が容易である。
【００１７】
【実施例】
次に図面を参照しながら、本発明のＸＹステージの実施の形態の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
（実施例１）
図１は電子ビーム描画装置に本発明のＸＹステージの実施例１を組み込んだ状態の斜視図である。図２は前記図１のＸＹステージの説明図で、図２Ａは平面図、図２Ｂは前記図２ＡのIIＢ−IIＢ線断面図である。図３は同実施例１のＸＹステージのＹ軸移動アームセンターガイドの周辺部の説明図で、図３Ａは前記図２ＡのIIIＡ−IIIＡ線断面図、図３Ｂは前記図３ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図である。図４は同実施例１のＸＹステージのＸ軸移動アームセンターガイドの周辺部の説明図で、図４Ａは前記図２ＡのIＶＡ−IＶＡ線断面図、図４Ｂは前記図４ＡのIＶＢ−IＶＢ線断面図である。
【００１８】
図１〜図４において、電子ビーム描画装置Ｕは、内部に真空試料室Ａを形成する外壁Ｐの上部に装着されている。
前記真空試料室Ａ内にはＸＹステージＳが配置されている。ＸＹステージＳは、ベース１を有している。ベース１上にはリテーナ２を介して試料ステージ３がＸＹ平面内で移動可能に支持されている。
図３、図４において、前記試料ステージ３はステージ上部４、ステージ中間部５、ステージ下部６を有している。前記ステージ中間部５には上面にＹ軸移動アーム貫通溝５aおよびＹ軸移動アームセンターガイド５bが形成されており、下面にはＸ軸移動アーム貫通溝５cおよびＸ軸移動アームセンターガイド５dが形成されている。
【００１９】
図３Ａ、図４Ｂにおいて、前記Ｙ軸移動アーム貫通溝５aを貫通するＹ軸移動アーム７は、ガイド溝７a（図１、図２参照）を有しており、前記ガイド溝７aには前記Ｙ軸移動アームセンターガイド５b（図３Ａ、図４Ｂ参照）が挿入されている。
図４Ａ、図３Ｂにおいて、前記Ｘ軸移動アーム貫通溝５cを貫通するＸ軸移動アーム８は、ガイド溝８a（図１、図２参照）を有しており、前記ガイド溝８aには前記Ｘ軸移動アームセンターガイド５dが挿入されている。
そして、前記試料ステージ３およびＹ軸移動アーム７は、Ｙ軸方向には相対移動不可能且つＸ軸方向には相対移動可能に連結されている。また、前記試料ステージ３およびＸ軸移動アーム８は、Ｘ軸方向には相対移動不可能且つＹ軸方向には相対移動可能に連結されている。なお、Ｘ軸移動アーム８の後側部には連結アーム８′（図１、図２参照）の両端が連結され、前記連結アーム８′の中間部は試料ステージ３の後側（−Ｘ側）に配置されている。
【００２０】
図３において前記Ｙ軸移動アームセンターガイド５bの左右両側には、前後方向（Ｘ軸方向）の中央部のみにそれぞれリテーナ９が配置されており、前記試料ステージ３がＹ軸移動アーム７に対してＸ軸方向に相対移動する際の摩擦抵抗を低下させている。なお、前記リテーナ９は前後方向（Ｘ軸方向）の中央部のみに配置されているため、試料ステージ３とＹ軸移動アーム７とのＺ軸回りのわずかな旋回は可能な構成となっている。
図４において前記Ｘ軸移動アームセンターガイド５dの前後両側にはそれぞれ、左右方向（Ｙ軸方向）に沿ったリテーナ１０が配置されており、前記試料ステージ３がＸ軸移動アーム８に対してＹ軸方向に相対移動する際の摩擦抵抗を低下させている。なお、前記リテーナ１０は左右方向に沿って配置されているため、試料ステージ３とＸ軸移動アーム８とのＺ軸回りの旋回は不可能な構成となっている。
【００２１】
図１、図２において、前記Ｙ軸移動アーム７の後端部にはローラ１１（図１、図２参照）が回転可能に支持されており、前記ローラ１１はガイド部材１２上面をＹ軸方向に回転移動可能に支持されている。
Ｙ軸移動アーム７の前端部はＹ軸方向に移動可能なローラガイド１３に連結されている。前記ガイド部材１２およびローラガイド１３によりＹ軸方向ガイド部材（１２，１３）が構成されている。
ローラガイド１３にはＹ軸移動ナット１４が連結され、Ｙ軸移動ナット１４はボールネジ１５が回転するとＹ軸方向に移動するように構成されている。前記ボールネジ１５はＹ軸駆動モータ１６により回転駆動されるように構成されている。そして、前記Ｙ軸駆動モータ１６によりボールネジ１５が回転すると、前記Ｙ軸移動ナット１４、ローラガイド１３、およびＹ軸移動アーム７がＹ軸方向に移動し、この移動に連れて前記試料ステージ３がＹ軸方向に移動するように構成されている。
前記符号１４〜１６で示された要素によりＹ軸方向駆動装置（１４〜１６）が構成されている。
【００２２】
前記Ｘ軸移動アーム８の左右両端部はそれぞれ、前後方向（Ｘ軸方向）に移動可能なローラガイド２１，２１に連結されている。前記左右のローラガイド２１，２１によりＸ軸方向ガイド部材（２１，２１）が構成されている。
Ｘ軸移動アーム８に連結された前記連結アーム８′の後側部（Ｘ側部）の左右方向中央部にはＸ軸移動ロッド２２（図１、図２）の前端部が連結されている。前記Ｘ軸移動ロッド２２の後端はＸ軸移動ナット２４に連結されている。
図１、図２において、Ｘ軸移動ナット２４はボールネジ２５が回転するとＸ軸方向に移動するように構成されている。前記ボールネジ２５はＸ軸駆動モータ２６により回転駆動されるように構成されている。
そして、前記Ｘ軸駆動モータ２６によりボールネジ２５が回転すると、前記Ｘ軸移動ナット２４、Ｘ軸移動ロッド２２、連結アーム８′およびＸ軸移動アーム８がＸ軸方向に移動し、この移動に連れて前記試料ステージ３がＸ軸方向に移動するように構成されている。
前記符号２２〜２６で示された要素によりＸ軸方向駆動装置（２２〜２６）が構成されている。
【００２３】
前記符号１〜２６で示された要素により、ＸＹステージ（１〜２６）が構成されている。すなわち、ＸＹステージ（１〜２６）は、前記試料ステージ３および前記試料ステージ３をＸＹ平面内で移動させるＸＹ駆動装置により構成されている。
【００２４】
（実施例１の作用）
前記構成を備えた本発明の実施例１のＸＹステージでは、前記Ｙ軸方向駆動装置（１４〜１６）によりＹ軸移動アーム７をＹ軸方向ガイド部材（１２，１３）に沿ってＹ軸方向に移動させると、試料ステージ３はＹ軸移動アーム７とともにＹ軸方向に移動する。このとき、試料ステージ３は、前記Ｘ軸移動アーム８に対して相対的に移動する。
また、Ｘ軸方向駆動装置（２２〜２６）によりＸ軸移動アーム８をＸ軸方向ガイド部材２１，２１に沿ってＸ軸方向に移動させると、試料ステージ３はＸ軸移動アーム８とともにＸ軸方向に移動する。このとき、試料ステージ３は、前記Ｙ軸移動アーム７に対して相対的に移動する。
【００２５】
前記Ｙ軸移動アーム７は前記試料ステージ３のＹ軸移動アームセンターガイド５b（図３参照）の左右両側に１個ずつ配置されたリテーナ９に接触しているので、試料ステージ３に対してＸＹ平面内で旋回可能であるが、Ｘ軸移動アーム８はＸ軸移動アームセンターガイド５d（図４参照）の前後両側において左右に離れて２個ずつ配置されたリテーナ１０に接触しているので、試料ステージ３に対して旋回不可能である。
前記試料ステージ３は、前記Ｘ軸移動アーム８に旋回不可能に連結されているので、前記Ｘ軸移動アーム８が旋回しないかぎり旋回しない。この場合、試料ステージ３にヨーイング誤差は発生しない。
前記試料ステージ３に旋回不可能に連結されたＸ軸移動アーム８を移動させる力の作用線が前記Ｘ軸移動アーム８の重心を通るように構成されているので、駆動装置（２２〜２６）の前記Ｘ軸移動アーム８に作用する力により前記Ｘ軸移動アーム８に作用する旋回モーメントは小さい。このため、試料ステージ３のヨーイング誤差も小さい。
【００２６】
なお、前記Ｙ軸移動アーム７を移動させる駆動装置（１４〜１６）により、前記Ｙ軸移動アームに旋回モーメントが作用しても、前記Ｙ軸移動アーム７は前記試料ステージ３に旋回可能であるため、前記試料ステージ３には旋回モーメントが作用しない。このため、試料ステージ３は旋回しない。
したがって、試料ステージ３はヨーイング誤差の少ない状態で走行が可能となる。
【００２７】
また、前記実施例１では前記Ｘ軸駆動モータ２６により回転駆動されるボールネジ２５および前記Ｘ軸移動ナット２４等の磁性部材が描画位置から遠い位置（すなわち、試料ステージ３から遠い位置）に配置されるので、磁場変動による電子ビームへの悪影響が無く、また、長時間使用による、Ｘ移動ナットの温度上昇が与える精度変化も低減させることができる。特に、前記Ｘ移動ロッド２２に熱伝導の低い材料を使用することによって、前記温度上昇が与える精度変化をさらに低減させることができる。
したがって、高精度の描画を安定した状態で行うことが可能となる。
【００２８】
（実施例２）
図５は本発明のＸＹステージの実施例２の説明図で、前記実施例１の図２Ａに対応する図である。
なお、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
図５において、本実施例２では、Ｙ軸移動アーム７の前端部がローラガイド１３に連結され、且つＹ軸移動ロッド３２に連結されている。前記Ｙ軸移動ロッド３２の左端はＹ軸移動ナット３４に連結されている。Ｙ軸移動ナット３４はボールネジ３５が回転するとＹ軸方向に移動するように構成されている。前記ボールネジ３５はＹ軸駆動モータ３６により回転駆動されるように構成されている。
【００２９】
（実施例２の作用）
本実施例２では前記Ｘ軸駆動モータ２６により回転駆動されるボールネジ２５および前記Ｘ軸移動ナット２４等の磁性部材だけでなく、Ｙ軸駆動モータ３６により回転駆動されるボールネジ３５および前記Ｙ軸移動ナット３４等の磁性部材も描画位置から遠い位置に配置されるので、磁場変動による電子ビームへの悪影響が無く、また、長時間使用による、Ｘ移動ナット２４およびＹ移動ナット３４の温度上昇が与える精度変化も低減させることができる。
【００３０】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記に例示する。
（Ｈ01）前記実施例１、２においてＸ移動ロッド２２の前端が連結された連結アーム８′を省略して、前記Ｘ移動ロッド２２の前端を直接Ｘ軸移動アーム８に連結することが可能である。その場合、前記ステージ中間部５には、その後部に左右方向（Ｙ軸方向）に延びるロッド貫通溝を形成し、前記ロッド貫通溝を貫通するＸ軸移動ロッド２２を直接前記Ｘ軸移動アームに連結する構成とすればよい。
（Ｈ02）前記実施例１、２において、リテーナ９，１０の代わりにローラを使用することが可能である。
【００３１】
【発明の効果】
前述の本発明のＸＹステージは、下記の効果を奏することができる。
（Ｅ01）試料ステージおよび前記試料ステージをＸＹ平面内で移動させるＸ軸駆動装置およびＹ軸駆動装置を有する有するＸＹステージにおいて、前記試料ステージのヨーイング誤差（試料ステージのＸＹ平面に垂直なＺ軸回りの旋回位置の誤差）を低下させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は電子ビーム描画装置に本発明のＸＹステージの実施例１の組み込んだ状態の斜視図である。
【図２】  図２は前記図１のＸＹステージの説明図で、図２Ａは平面図、図２Ｂは前記図２ＡのIIＢ−IIＢ線断面図である。
【図３】  図３は同実施例１のＸＹステージのＹ軸移動アームセンターガイドの周辺部の説明図で、図３Ａは前記図２ＡのIIIＡ−IIIＡ線断面図、図３Ｂは前記図３ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図である。
【図４】  図４は同実施例１のＸＹステージのＸ軸移動アームセンターガイドの周辺部の説明図で、図４Ａは前記図２ＡのIＶＡ−IＶＡ線断面図、図４Ｂは前記図４ＡのIＶＢ−IＶＢ線断面図である。
【図５】  図５は本発明のＸＹステージの実施例２の説明図で、前記実施例１の図２Ａに対応する図である。
【図６】  図６は従来のＸＹステージの説明図で、斜視図である。
【図７】  図７は前記図６のＸＹステージの要部の平面図である。
【図８】  図８は前記図７に示す従来のＸＹステージの試料ステージと移動アームとの関連の説明図で、図８Ａは前記図７のＶIIIＡ−ＶIIIＡ線断面図、図８Ｂは前記図７のＶIIIＢ−ＶIIIＢ線断面図である。
【符号の説明】
３…試料ステージ、７…Ｙ軸移動アーム、８…Ｘ軸移動アーム、８′…連結アーム、１２，１３…Ｙ軸方向ガイド部材、１４〜１６…Ｙ軸方向駆動装置、２１，２１…Ｘ軸方向ガイド部材、２２〜２６…Ｘ軸方向駆動装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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