(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
出力端を相互に接続し対にして基板上に作成した製品内に当該出力端から取り込んだ対の他の製品の出力端からのデータを検査する検査回路を予め組み込んで基板上に作成し、対の製品の入力端からテストパターンを入力して出力端からのデータを対の他の製品の出力端に接続されている検査回路で検査を行ない、検査後に対の製品を切り離すことを特徴とする製品検査方法。
【請求項２】
出力端を相互に接続し対にして基板上に作成した製品内に当該出力端から取り込んだ対の他の製品の出力端からのパラレルデータをシリアルデータに変換する変換回路を予め組み込んで基板上に作成し、対の製品の入力端からテストパターンを入力して出力端からのデータを対の他の製品の出力端に接続されている変換回路でパラレルデータをシリアルデータに変換して外部端子から外部に出力し、外部で検査を行ない、検査後に対の製品を切り離すことを特徴とする製品検査方法。
【請求項３】
基板上に出力端を相互に接続した製品の対を複数作成し、対のうちの一方の入力端同士を並列接続しさらに他方の入力端同士を並列接続して基板上にそれぞれ作成し、テストパターンを一方の製品の入力端子に並列に入力して並列に検査を行い、次にテストパターンを他方の製品の入力端子に並列に入力して並列に検査を行うことを特徴とする請求項１あるいは請求項２記載の製品検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、基板上の複数の製品の試験を行なう製品検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板上に作成したＩＣなどの製品の特性を測定し、合格したもののみを切り出す場合、各製品毎に予めプロービング領域を確保して当該プロービング領域に配線を施して当該配線に外部プローブを接触させて試験を行い、試験後に切断して製品のみを取り出すようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来は上述したように製品毎にプロービング領域を確保して当該プロービング領域に配線を施して当該配線に外部プローブを接触させて試験を行い、合格した製品のみを切り出して製品に仕上げていたため、このプロービング領域が無駄となってしまうという問題があった。また、プロービング領域内の配線に接触して試験を行なう高価なプロービング装置が必要となってしまうと共に検査装置も複雑になってしまうという問題があった。
【０００４】
本発明は、これらの問題を解決するため、基板上に複数の製品を対にして出力端子を相互に接続し内部に検査回路あるいはパラレル・シリアル変換回路を設け相手の検査を行い、従来のプロービング装置を不要とし簡単、並列かつ効率的に検査することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
図１を参照して課題を解決するための手段を説明する。
図１において、製品１は、基板上に作成された検査対象の製品であって、２つが相互に出力端を接続して内部に検査回路５あるいは図示外のパラレル・シリアル変換回路を持つものである。
【０００６】
検査回路５は、基板上に対に作成し出力端を相互に接続し相手の製品１の検査を行なう回路である。
【０００７】
【作用】
本発明は、図１に示すように、製品１の出力端を相互に接続し対にして基板上に作成し、ある製品１の入力端からテストパターンを入力した状態で、他の製品１の内部に設けた検査回路５によってある製品１の出力端から出力されたデータを取り込んで検査を行い、次にある製品１と他の製品１とを逆にして同様にして検査を行い、検査後に対の製品１を切り離すようにしている。
【０００８】
また、製品１の出力端を相互に接続し対にして基板上に作成し、ある製品１の入力端からテストパターンを入力した状態で、他の製品１の内部に設けたパラレル・シリアル変換回路によってある製品１の出力端から出力されたデータを取り込んでパラレルデータをシリアルデータに変換して外部に出力して検査を行い、次にある製品１と他の製品１とを逆にして同様にして検査を行い、検査後に対の製品を切り離すようにしている。
【０００９】
また、対の製品１のうちのある製品１の入力端子を並列接続および他の製品１の入力端子を並列接続して基板上にそれぞれ作成し、テストパターンをある製品１の入力端子に並列に入力して並列に検査を行い、次にテストパターンを他の製品１の入力端子に並列に入力して並列に検査を行い、検査後に各製品１毎に切り離すようにしている。
【００１０】
従って、基板上に複数の製品１を対にして出力端子を相互に接続し内部に検査回路５あるいはパラレル・シリアル変換回路を設け相手の検査を行うことにより、従来のプロービング装置を不要とし簡単、並列かつ効率的に検査することが可能となる。
【００１１】
【実施例】
次に、図１から図４を用いて本発明の実施例の構成および動作を順次詳細に説明する。
【００１２】
図１は、本発明の１実施例構成図を示す。
図１において、製品１は、基板上に作成された検査対象の製品であって、例えばＬＣＤ（液晶パネル）を駆動する素子である。この製品１は、基板上に２つが相互に出力端を接続して内部に検査回路５や図示外のパラレル・シリアル変換回路を持つようにしている。図１に示すように対にして基板上に作成した２つの製品は、検査後に切り離ししてそれぞれ個別の２つの製品１にする。
【００１３】
ＬＣＤドライバ回路２は、ＬＣＤを駆動して文字や画像などを表示させるものである。
バッファ３は、ＬＣＤドライバ回路２からのデータを出力端子から外部に出力するバッファである。
【００１４】
バッファ４は、出力端から入力された他の製品１からのデータを取り込み、検査回路５あるいは図示外のパラレス・シリアル回路に入力するものである。
検査回路５は、バッファ４から入力されたデータ（他の製品１の入力端にテストパターンを入力してそのときに出力端から出力されて入力端から入力されたデータ）が正しいか否かを検査する回路である。この検査回路５は、内部にＲＯＭを持ち、当該ＲＯＭに予め格納した正しいデータと、バッファ４から入力されたデータとを照合し、一致するときに正しいと検査し、不一致のときにエラーと検査し、その検査結果を図示の検査結果出力として出力するものである。尚、図示しないが、検査回路５の代わりにパラレル・シリアル回路を設け、バッファ４から入力されたデータ（パラレルデータ）をシリアルデータに変換し、この変換したシリアルデータを図示の検査結果出力の端子から外部に出力し、外部でパラレルデータに変換して正しいデータと比較し、一致するときに正しいと検査し、不一致のときにエラーと検査するようにしてもよい。
【００１５】
次に、図２のフローチャートに示す順序に従い、図１の構成の動作を詳細に説明する。
図２において、Ｓ１は、テストパターン信号を入力する。これは、図１のように、基板上に２つの製品１の出力端を相互に接続して作成した状態で、いずれか一方の製品１、例えば製品（Ａ）１の入力端からテストパターン信号を入力する。
【００１６】
Ｓ２は、ドライバＩＣ出力と、内部ＲＯＭデータとを比較する。これは、例えばＳ１でテストパターン信号を入力端から入力した製品（Ａ）１のドライバＩＣであるバッファ３から出力端子を介して出力されたデータについて、対の製品（Ｂ）１の出力端からバッファ４を介して検査回路５に取り込んだデータと、当該検査回路５が内部に持つ内部ＲＯＭから読み出した正しい内部ＲＯＭデータとを比較する。
【００１７】
Ｓ３は、一致か判別する。これは、Ｓ２の比較によって、例えばテストパターン信号を製品（Ａ）１の入力端から入力しその出力データと、製品（Ｂ）１の検査回路５が内蔵するＲＯＭからの正しい内部ＲＯＭデータとが一致して製品（Ａ）１のワイヤボンディングや配線などが正しく行われて出力端から正しいデータが出力されているか判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ４に進む。ＮＯの場合には、一致しなくてエラーと判明したので、Ｓ６でエラーピン番号を出力、即ち、テストパターン信号によって特定されたエラーとされたエラーピン番号（例えば製品（Ａ）１の出力端子のピン番号）を出力し、当該製品１が不良として検査を終了する。
【００１８】
Ｓ４は、Ｓ３のＹＥＳで当該ピン番号の配線や機能などが正常と判明したので、全てのピン番号について検査を終了したか判別する。ＹＥＳの場合には、全てのテストパターン信号を製品１に入力してそのときの出力データが正しいデータと一致したので、Ｓ５で対の製品１を切断する。尚、実際には図１では製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１とが対に基板上に作成されているので、Ｓ１からＳ４のＹＥＳによって例えば製品（Ａ）１の試験を終了したら、次に製品（Ｂ）１についても同様に試験を行なう。そして、正常と判定された製品（Ａ）１、製品（Ｂ）１のみを切断して最終的な製品１とする。
【００１９】
以上によって、図１のように基板上に製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１とを対にして出力端を相互に接続した状態で作成し、テストパターン信号を例えば製品（Ａ）１の入力端から入力して当該製品（Ａ）の出力端からのデータを製品（Ｂ）１の出力端から入力して検査回路５によって検査することを全てのテストパターン信号について繰り返して製品（Ａ）１の正常／異常の検査を行なう。次に、同様にしてテストパターン信号を製品（Ｂ）１に入力してそのときの出力端からのデータを製品（Ａ）１の検査回路５で検査することを全てのテストパターン信号について繰り返して製品（Ｂ）１の正常／異常の検査を行なう。これら製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１について相互に検査を行った後、正常な製品１のみを切断して最終的に製品とする。これらにより、製品１の出力端を相互に接続し、各製品１の内部にバッファ４および検査回路５を設けることにより、図１の製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１とを相互に検査することが可能となる。
【００２０】
次に、図３のフローチャートに示す順序に従い、図１の構成で検査回路５の代わりにパラレル・シリアル変換回路を設け、バッファ４から入力されたパラレルデータをシリアル変換して検査結果出力端子からシリアルデータとして外部に取り出し、この取り出したシリアルデータをパラレルデータに戻して正常なデータと比較し、一致したときに正常と検査し、不一致のときに異常と検査するときの動作を詳細に説明する。
【００２１】
図３において、Ｓ１１は、テストパターン信号を入力する。これは、図１で検査回路５をパラレル・シリアル変換回路で置き換えた構成において、基板上に２つの製品１の出力端を相互に接続して作成した状態で、いずれか一方の製品１、例えば製品（Ａ）１の入力端からテストパターン信号を入力する。
【００２２】
Ｓ１２は、ドライバＩＣ出力をパラレル・シリアル変換して出力する。これは、例えばＳ１１でテストパターン信号を入力端から入力した製品（Ａ）１のドライバＩＣであるバッファ３から出力端子を介して出力されたデータについて、対の製品（Ｂ）１の出力端からバッファ４を介して検査回路５に代えたパラレル・シリアル変換回路に入力してパラレルデータをシリアルデータに変換し、この変換したシリアルデータを検査結果出力端子から外部に出力する。
【００２３】
Ｓ１３は、外部で比較する。これは、Ｓ１２で外部に出力したシリアルデータをパラレルデータに変換して戻し、このパラレルデータと、正しいデータとを比較する。
【００２４】
Ｓ１４は、一致か判別する。これは、Ｓ１３の比較によって、例えばテストパターン信号を製品（Ａ）１の入力端から入力しその出力データを製品（Ｂ）１の検査回路５に代わりに設けたパラレル・シリアル変換回路によってシリアルデータに変換して外部に出力し、変換して戻したパラレルデータと、正しいデータとが一致して製品（Ａ）１のワイヤボンディングや配線などが正しく行われて出力端から正しいデータが出力されているか判別する。ＹＥＳの場合には、Ｓ１５に進む。ＮＯの場合には、一致しなくてエラーと判明したので、Ｓ１７でエラーピン番号を出力、即ち、テストパターン信号によって特定されたエラーとされたエラーピン番号（例えば製品（Ａ）１の出力端子のピン番号）を出力し、当該製品（Ａ）１が不良として検査を終了する。
【００２５】
Ｓ１５は、Ｓ１４のＹＥＳで当該ピン番号の配線や機能などが正常と判明したので、全てのピン番号について検査を終了したか判別する。ＹＥＳの場合には、全てのテストパターン信号を製品１に入力してそのときの出力データが正しいデータと一致したので、Ｓ１６で対の製品１を切断する。尚、実際には図１では製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１とが対に基板上に作成されているので、Ｓ１１からＳ１５のＹＥＳによって例えば製品（Ａ）１の試験を終了したら、次に製品（Ｂ）１についても同様に試験を行なう。そして、正常と判定された製品（Ａ）１、製品（Ｂ）１のみを切断して最終的な製品１とする。
【００２６】
以上によって、図１の検査回路５をパラレル・シリアル変換回路で置き換えた構成のもとで、基板上に製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１とを対にして出力端を相互に接続した状態で作成し、テストパターン信号を例えば製品（Ａ）１の入力端から入力して当該製品（Ａ）の出力端からのデータを製品（Ｂ）１の出力端から入力して検査回路５に代えたパラレル・シリアル変換回路によってシリアルデータに変換して外部に出力し、外部で検査することを全てのテストパターン信号について繰り返して製品（Ａ）１の正常／異常の検査を行なう。次に、同様にしてテストパターン信号を製品（Ｂ）１に入力してそのときの出力端からのデータを製品（Ａ）１の検査回路５に代えたパラレル・シリアル変換回路によってシリアルデータに変換して外部に出力し、外部で検査することを全てのテストパターン信号について繰り返して製品（Ｂ）１の正常／異常の検査を行なう。これら製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１について相互に検査を行った後、正常な製品１のみを切断して最終的な製品とする。これらにより、製品１の出力端を相互に接続し、各製品１の内部にバッファ４およびパラレル・シリアル変換回路を設けて外部でシリアルデータをパラレルデータに戻して検査を行なうことにより、図１の製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１とを相互に検査することが可能となる。
【００２７】
図４は、本発明の具体例を示す。これは、基板上に出力端を相互に接続した製品１の対を複数作成し、対のうちの１つの入力端を並列接続および他の入力端を並列接続し、テストデータを並列に接続した例えば全ての製品（Ａ）１に同時に入力し、対の製品（Ｂ）１の検査回路５でそれぞれ並列に検査して検査結果を外部にそれぞれ個別に出力し、次に全ての製品（Ｂ）１に同時に入力し、対の製品（Ａ）１の検査回路５でそれぞれ並列に検査して検査結果を外部にそれぞれ個別に出力し、検査を並列に行なうようにしたものである。尚、既述したように、検査回路５の代わりにパラレル・シリアル変換回路を設け、パラレルデータをシリアルデータに変換して外部にそれぞれ出力して外部でパラレルデータに戻して検査するようにしてもよい。
【００２８】
図４において、複数の製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１の対は、図１の製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１の対を複数、同一基板上に作成したものである。
信号入力／出力は、製品（Ａ）の全ての入力端を検査用のために並列接続、および出力結果出力を個別に設けたものである。これにより、図２のＳ１および図３のＳ１１でテストパターン信号を全ての製品（Ａ）１あるいは製品（Ｂ）１の入力端に並列に同時に入力し、その出力端からのデータを対の製品（Ｂ）１あるいは製品（Ａ）１の検査回路５で並列に同時に検査あるいはパラレル・シリアル変換回路によってシリアルデータに変換して外部に出力し並列に同時に検査することが可能となる。
【００２９】
基板切断面は、製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１の検査を終了した後、切断して製品１に切り離す面である。
以上のように、製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１とを対にして出力端を相互に接続し、内部に検査回路５あるいはパラレル・シリアル変換回路を設け、製品（Ａ）１および製品（Ｂ）１の全ての入力端をそれぞれ並列にして接続してテストパターン信号を同時に並列に入力して検査を行なうことにより、２回の検査により基板上に設けた全ての対の製品（Ａ）１および製品（Ｂ）１の検査を行なうことができ、極めて高速に試験を行なうことが可能となった。
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、基板上に製品１を対にして出力端を相互に接続して内部に検査回路５あるいはパラレル・シリアル変換回路を設け、テストパターン信号を１つの製品１の入力端に入力してその出力端からのデータを他の製品１の出力端から入力して検査回路５で検査あるいはパラレル・シリアル変換回路でシリアルデータに変換して外部に出力して検査する構成を採用しているため、従来の検査で必要であった高価なプロービング装置を不要とし、基板上に作成した多数の製品１の検査を簡単、並列、かつ高速に行なうことができるようになった。このように本願発明では、基板上に出力端を相互に接続して対に作成した製品（Ａ）１と製品（Ｂ）１を複数設けて対の相手の検査を互いに行う、あるいは相手のパラレルデータをシリアルデータに変換して少ないピンから外部に出力して外部で検査を互いに行なうことにより、基板上に検査回路５あるいはパラレル・シリアル変換回路を付加するのみで極めて効率的に検査を行なうことが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例構成図である。
【図２】本発明の検査フローチャートである。
【図３】本発明の他の検査フローチャートである。
【図４】本発明の具体例である。
【符号の説明】
１：製品
２：ＬＣＤドライバ回路
３、４：バッファ
５：検査回路
【図１】
0003647935.tif 000002
【図２】
0003647935.tif 000003
【図３】
0003647935.tif 000004
【図４】
0003647935.tif 000005