(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の（イ）乃至（ハ）の構成を備え，（ニ）及び（ホ）の特徴を備える表示パネル基板の検査装置。
（イ）水平面に対して傾斜した検査部。
（ロ）前記検査部の手前かつ下方にあって表示パネル基板を水平状態で載せることができる基板セット部。
（ハ）前記基板セット部と前記検査部との間で表示パネル基板を搬送する搬送機構。
（ニ）前記搬送機構は、前記基板セット部から前記検査部まで延びる１対の搬送レールと、これらの搬送レールに沿って移動する搬送体と、この搬送体に設けられて表示パネル基板を吸着保持する吸着パッドとを備える。
（ホ）前記搬送レールは、前記基板セット部の付近にあって水平に延びる水平部と、前記検査部の付近にあって検査部のチャックトップの表面に平行に延びる傾斜部と、前記水平部と傾斜部とを滑らかにつなぐ曲線部とからなる。
【請求項２】
前記搬送機構は、前記搬送レールの傾斜部に平行な駆動レールと、この駆動レールに沿って摺動するローディングホルダーと、このローディングホルダーに回転可能に連結されているクランクアームとを備え、このクランクアームが前記搬送体に回転可能に連結されていることを特徴とする請求項１記載の表示パネル基板の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、水平面に対して傾斜した検査部において表示パネル基板の点灯状態を目視で検査するようにした検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６は液晶表示パネルの基板（以下、液晶基板という。）を検査するための従来の検査装置の側面断面図、図７はその正面図である。図６において、チャックトップ１０とプローブ装置１２は、共に、水平面に対して傾斜している。図７において、検査装置の右側の開口部１４には、バックライト１１を備えたチャックトップ１０が待機している。オペレータはこのチャックトップ１０に液晶基板を載せる。チャックトップ１０の外周部にはガイド板１５、１６があって、液晶基板の端部をこのガイド板１５、１６に合わせることによって、液晶基板の位置決めを行う。液晶基板は、バックライト１１の外周部に設けられた吸着溝１８（負圧が供給されている。）に吸着固定される。液晶基板を搭載したチャックトップ１０は、そのＸ軸ステージが左方向に移動することにより、プローブ装置１２の下方に搬送される。次に、プローブ装置１２に設けられたアライメントカメラ２０によりファインアライメントが行われ、プローブ針と液晶基板の電極との位置合わせが完了する。
【０００３】
それから、Ｚ軸ステージが上昇してチャックトップ１０が上昇し、液晶基板の電極にプローブ針がコンタクトする。ＬＣＤパターン発生器からの信号により液晶基板は全面点灯して、テストパターンを映し出す。オペレータは、液晶基板のテストパターンを自分の目で観察して、液晶基板の良品、不良品の判断をする。検査が終了した液晶基板は、右側の開口部１４に搬送されて、オペレータによりチャックトップ１０から外され、次の液晶基板がセットされる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の検査装置は、液晶基板をチャックトップにセットするための基板セット部（装置右側の開口部１４に露出している部分）と、液晶基板を点灯して検査を行う点灯検査部とが左右に並んでいる。したがって、オペレータは基板セット部と検査部とを絶えず行き来しなくてはならず、一連の作業は立ち作業となり疲労が多いなど、作業性に問題がある。また、この検査装置は、基板セット部と検査部とが左右に並んでいるので、プローブ装置の約２倍の左右幅を必要とし、装置の占有面積が大きくなる。さらに、基板セット部においてチャックトップ面が水平面から傾斜しているので、オペレータが液晶基板をセットするときに液晶基板を落として破損させるおそれがあり、液晶基板の取り扱いに不安がある。
【０００５】
この発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、オペレータの作業性が良く、占有面積が小さく、液晶基板のセットも容易でかつ安全な、表示パネル基板の検査装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明の表示パネル基板の検査装置は、（イ）水平面に対して傾斜した検査部と、（ロ）前記検査部の手前かつ下方にあって表示パネル基板を水平状態で載せることができる基板セット部と、（ハ）前記基板セット部と前記検査部との間で基板を搬送する搬送機構とを備えている。
【０００７】
手前の基板セット部において表示パネル基板を水平状態でセットすると、この基板は搬送機構によって、傾斜した検査部まで搬送される。このような装置構成を採用したことにより、基板セット部と検査部を左右に配置した従来装置と比較して、検査装置の占有面積が小さくなる。また、表示パネル基板を水平状態でセットできるので、傾斜したチャックトップ面にセットする従来装置に比べて、基板のセット作業が安定する。さらに、オペレータは、基板のセット作業及び取り外し作業の場所と、点灯検査作業の場所とを往復移動する必要がなく、オペレータの疲労が少ない。
【０００８】
この検査装置の測定対象は、点灯表示状態をオペレータが観察して良否を判定する必要のある表示パネル基板であり、代表的には、液晶表示パネルやプラズマディスプレーパネルなどのフラットディスプレーパネルの基板である。
【０００９】
この検査装置では、検査部の手前かつ下方に基板セット部があるが、「手前」とは、点灯状態を観察するためにオペレータが検査装置に向き合ったときに、検査装置からオペレータに向かう方向を意味する。
【００１０】
この検査装置で使用する搬送機構は、基板セット部から検査部まで延びる１対の搬送レールと、これらの搬送レールに沿って移動する搬送体と、この搬送体に設けられて表示パネル基板を吸着保持する吸着パッドを備えている。そして，搬送レールは、基板セット部の付近にあって水平に延びる水平部と、検査部の付近にあって検査部のチャックトップの表面に平行に延びる傾斜部と、水平部と傾斜部とを滑らかにつなぐ曲線部とからなる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の検査装置の一実施形態の側面断面図、図２はその正面図である。図１において、この検査装置は、大きく分けて、検査部４０と基板セット部４２とその間の搬送機構４４とからなる。基板セット部４２は検査部４０の手前（オペレータの側）かつ下方に位置しており、この基板セット部４２は前面テーブルに配置されている。
【００１２】
検査部４０には、チャックトップ２２とプローブ装置２４があり、両者は共に水平面に対して同じ角度だけ傾斜している。装置フレームに取り付けられた基台の上には、Ｘ軸ステージ２６、Ｙ軸ステージ２８、Ｚ軸ステージ３０、θ回転ステージ３２があり、その上に、バックライト２３（図３参照）を備えたチャックトップ２２がある。チャックトップ２２の外周部には、液晶基板を吸着保持するための吸着溝３４（図３参照）がある。この吸着溝３４には負圧が供給される。チャックトップ２２の上方には、プローブ装置２４がある。
【００１３】
検査部４０の上部には、枠状のベースプレート３６が４本の支柱３８によって基台に固定されている。このベースプレート３６にプローブ装置２４が取り付けられている。
【００１４】
図２に示すように、プローブ装置２４には複数のプローブブロック４６が固定されている。このプローブブロック４６は、液晶基板の全ての電極にプローブ針（またはその他の接触手段）が同時にコンタクトできるように、プローブ針がＴＡＢ単位にブロック化されたものである。各プローブブロック４６のプローブ針は、フレキシブル配線板により、液晶駆動回路を経由して、ＬＣＤパターン発生器につながっている。このプローブ装置２４にはアライメントを行うためのＣＣＤカメラ４８が２台取り付けられている。
【００１５】
図３、図４、図５は基板セット部４２と搬送機構４４とを示す斜視図であり、図３は液晶基板を基板セット部にセットした状態、図４は液晶基板をチャックトップのところまで搬送した状態、図５は搬送体を待機位置に待機させた状態をそれぞれ示す。図４において、基板セット部４２には、液晶基板５０を水平状態でセットできる１対の基板セット台５２、５４と、２個のガイド板５６、５８がある。第１のガイド板５６は液晶基板の左右方向の位置決めをするものであり、左側の基板セット台５２に固定されている。第２のガイド板５８は液晶基板の前後方向の位置決めをするものであり、テーブルに固定されている。１対の基板セット台５２、５４はエアーシリンダ６０、６２によって上下動する。
【００１６】
図３において、基板セット部４２と検査部４０の間には搬送機構４４がある。この搬送機構４４は、１対の互いに平行な搬送レール６４、６６を備えている。この搬送レール６４、６６は、基板セット部４２のところでは水平方向に延びており（水平部）、検査部４０のところではチャックトップ２２の表面に平行になるように水平面に対して傾斜している（傾斜部）。そして、搬送レール６４、６６の水平部と傾斜部の間は曲線部で滑らかにつながっている。搬送レール６４、６６の内面にはローラ溝６８が形成されており、このローラ溝６８の内部を搬送体７０のローラ７２が転がることができる。これにより、搬送体７０は搬送レール６４、６６に沿って摺動する。搬送体７０は、１対の摺動体７４、７６とこれらをつなぐ２本の横棒７８を備えている。各摺動体７４、７６にはそれぞれ２個のローラ７２が回転可能に取り付けられている。各横棒７８の下面には、それぞれ２個の吸着パッド８０が取り付けられている。したがって、搬送体７０には４個の吸着パッド８０があり、この吸着パッド８０で液晶基板５０を吸着保持できる。
【００１７】
右側の搬送レール６６の外側には駆動レール８２があり、この駆動レール８２に沿ってローディングホルダー８４が摺動する。駆動レール８２は搬送レール６６の傾斜部と平行に配置されている。ローディングホルダー８４と、搬送体７０の右側の摺動体７６は、クランクアーム８６を介して連結されている。ローディングホルダー８４とクランクアーム８６の間、及び、クランクアーム８６と摺動体７６の間は、回転可能に連結されている。ローディングホルダー８４が駆動レール８２に沿って斜め上方に摺動すると、クランクアーム８６を介して摺動体７６が引っ張られることにより、搬送体７０が搬送レール６４、６６に沿って移動する。この実施形態では、ローディングホルダー８４は、パルスモータの回転を直線運動に変換することによって駆動レール８２上を移動するが、ボールねじやエアーシリンダなどのその他の駆動機構を用いてローディングホルダー８４を駆動してもよい。
【００１８】
次に、図３〜図５を参照して、この検査装置の動作を説明する。この検査装置は、初期状態では、図５に示すように、搬送体７０が基板セット部と検査部の間の待機位置にある。ローディングホルダー８４は駆動レール８２の途中に位置している。この状態で、オペレータは、下限位置にある１対の基板セット台５２、５４の上に液晶基板を載せる。このとき、２個のガイド板５６、５８に液晶基板の端部を押し当てることによって、液晶基板を位置決めできる。
【００１９】
次に、オペレータが操作パネルのスタートスイッチを押すと、ローディングホルダー８４が図５の状態から下限位置まで下がって来て、搬送体７０は、図３に示すように、基板セット部４２の液晶基板５０の上方に移動する。次に、エアーシリンダ６０、６２の働きにより基板セット台５２、５４が上昇して、搬送体７０の吸着パッド８０で液晶基板５０が吸着保持される。基板セット台５２、５４はその後、下限位置まで下がる。液晶基板５０が搬送体７０に保持されると、ローディングホルダー８４が駆動レール８２に沿って上限位置まで上昇し、搬送体７０は、図４に示すように、チャックトップ２２の上方に来る。チャックトップ２２はこのとき、Ｚ軸ステージにより下限位置まで下がった状態にある。次に、チャックトップ２２がＺステージの駆動により上昇して、搬送体７０に吸着保持されている液晶基板５０をチャックトップ２２の周辺部に設けた吸着溝で吸着保持し、搬送体７０からチャックトップ２２への液晶基板５０の受け渡しが完了する。受け渡しが完了したら、搬送体７０は図５に示す待機位置に戻る。
【００２０】
液晶基板５０を受け取ったチャックトップ２２は、２個のアライメントカメラ４８（図２参照）とＸ軸ステージ、Ｙ軸ステージ、θ回転ステージとを用いて、アライメントを実施する。このアライメントが完了したら、Ｚステージの駆動によりチャックトップ２２が上昇して、液晶基板５０の電極にプローブ装置のプローブ針がコンタクトして、ＬＣＤパターン発生器からの信号により液晶基板５０はテストパターンを表示する。オペレータは、このテストパターンを観察して液晶基板５０の良否の検査を行う。
【００２１】
検査が終了したら、オペレータが終了スイッチを押すことにより、液晶基板５０は上述と逆の順序で、チャックトップ２２から搬送体７０に、さらに搬送体７０から基板セット台５２、５４に受け渡される。基板セット台５２、５４に戻った液晶基板５０はオペレータに取り外されて、次の液晶基板が基板セット台５２、５４にセットされる。このようにして、液晶基板を次々と検査できる。
【００２２】
【発明の効果】
この発明の検査装置は、手前の基板セット部で表示パネル基板を水平状態でセットして、この基板を、水平面に対して傾斜した検査部に搬送するようにしたので、検査装置の占有面積が小さくなる。また、表示パネル基板を水平状態でセットできるので、傾斜したチャックトップ面にセットする従来装置に比べて、基板のセット作業が安定する。さらに、オペレータは、基板のセット作業及び取り外し作業の場所と、点灯検査作業の場所との間を往復移動する必要がなく、作業性が良くなる。オペレータは、椅子に座った状態で一連の作業を実施することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の検査装置の一実施形態の側面断面図である。
【図２】図１の検査装置の正面図である。
【図３】基板セット部に液晶基板をセットした状態の、基板セット部と搬送機構とを示す斜視図である。
【図４】液晶基板をチャックトップのところまで搬送した状態の、基板セット部と搬送機構とを示す斜視図である。
【図５】搬送体を待機位置に待機させた状態の、基板セット部と搬送機構とを示す斜視図である。
【図６】液晶基板を検査するための従来の検査装置の側面断面図である。
【図７】図６の従来の検査装置の正面図である。
【符号の説明】
２２  チャックトップ
２４  プローブ装置
４０  検査部
４２  基板セット部
４４  搬送機構
５０  液晶基板
５２、５４  基板セット台
５６、５８  ガイド板
６０、６２  エアーシリンダ
６４、６６  搬送レール
６８  ローラ溝
７０  搬送体
７２  ローラ
８０  吸着パッド
８２  駆動レール
８４  ローディングホルダー
８６  クランクアーム
【図１】
0003711169.tif 000002
【図２】
0003711169.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003711169.tif 000005
【図５】
0003711169.tif 000006
【図６】
0003711169.tif 000007
【図７】
0003711169.tif 000008