(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクの粒子を噴射させるノズルを有するノズル板、及びノズル板に接合し、各ノズルに対応して圧力室を形成すると共に、各圧力室にインクを供給するインク供給口を有する壁部材で構成されるヘッド板と、
各ノズルに対応して設けられ、壁部材の一端を変位させ、圧力室の体積の変化でインクをノズルから噴射させる駆動体とで構成されるプリントヘッドにより、記録媒体上に印字を行うインクジェットプリンタであって、
前記ノズルの数が異なるプリントヘッドの複数を、組み合わせ或いは同時搭載或いは交換搭載を可能とし、複数のプリントヘッドのヘッド板は、等厚で前記駆動体の変位方向に対して異なる曲げ弾性率を有し、ノズル数が多いプリントヘッドに曲げ弾性率が高いヘッド板を配置し、ノズル数が少ない方のプリントヘッドに曲げ弾性率が低いヘッド板を配置することを特徴とするインクジェットプリンタ。
【請求項２】
前記駆動体は、前記ヘッド板に対して垂直に配置されたことを特徴とする請求項１のインクジェットプリンタ。
【請求項３】
前記壁部材は、
前記インク供給口を有する流路板と前記ノズル板に平行に設けられた加圧板と、
流路板及び加圧板の間に設けられた弾性部材とで構成され、
前記駆動体の変位が加圧板を介して弾性部材を伸縮させることを特徴とする請求項１のインクジェットプリンタ。
【請求項４】
前記複数のプリントヘッドに搭載した前記複数のヘッド板は、
前記ノズル板及び前記壁部材が夫々少なくとも１つの層を積層して構成され、該積層の各層の厚さが等しく、ノズル板及び壁部材の少なくとも一方が、曲げ弾性率の異なる材料で形成されることを特徴とする請求項１のインクジェットプリンタ。
【請求項５】
前記複数のプリントヘッドに搭載した前記複数のヘッド板は、
同一の材料で厚さが異なるノズル板と、
該ノズル板の厚さの差を相殺すべく厚さを設定した前記壁部材との組み合わせによって、厚さを等しくしたことを特徴とする請求項１のインクジェットプリンタ。
【請求項６】
前記複数のプリントヘッドに搭載した前記複数のヘッド板は、
等厚、且つ曲げ弾性率の等しい壁部材と、
等厚、且つ曲げ弾性率の異なる複数の層を積層して形成したノズル板とを組み合わせたことを特徴とする請求項１のインクジェットプリンタ。
【請求項７】
前記複数のヘッド板は、
曲げ弾性率の高いノズル板が金属層を積層して形成されることを特徴とする請求項６のインクジェットプリンタ。
【請求項８】
前記曲げ弾性率の高いノズル板は、
ステンレス鋼とニッケルの電鋳層を積層して形成されることを特徴とする請求鋼７のインクジェットプリンタ。
【請求項９】
前記複数のヘッド板は、
前記曲げ弾性率の低いノズル板が金属層と樹脂層の積層により形成されることを特徴とする請求項６のインクジェットプリンタ。
【請求項１０】
前記複数のノズル板は、
厚さが異なる金属層と、
該金属層の厚さの差を相殺すべく厚さを設定した樹脂層とを積層して形成されることを特徴とする請求項６のインクジェットプリンタ。
【請求項１１】
前記複数のヘッド板は、前記ノズル板及び前記壁部材が夫々少なくとも１つの層を積層して構成され、
該曲げ弾性率が異なる複数のヘッド板を、ノズル板或いは壁部材の少なくとも１つの層を共通の基板として形成することを特徴とする請求項６のインクジェットプリンタ。
【請求項１２】
前記基板は、前記ノズル板であることを特徴とする請求項１１のインクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタに係り、特に圧電素子の変位方向に対する曲げ弾性率が異なるヘッド板を備えたヘッドの複数の組み合わせ或いは交換可能に搭載したインクジェットプリンタに関するものである。
【０００２】
近来、印字媒体にインクの微粒子を直接吹きつけて記録するインクジェットプリンタが、印字媒体に対する制限がなく、且つ高速印字ができて、低騒音であり、カラー化が容易であることから急速に普及しつつある。
【０００３】
このインクジェットプリンタのヘッドは、例えば、ノズルを有するノズル板、流路板、弾性部材及び加圧板で形成した圧力室を複数備え、夫々の加圧板に圧電素子を配置して、圧電素子に選択的に電圧を印加してその電歪による変位で、加圧板を介してインクを満たした各圧力室に圧力を与えて、ノズルからインクを噴射して用紙にドット印字を形成するものである。
【０００４】
このインクジェットプリンタの印刷速度を高速化するためにはノズル数を増やす必要がある。しかしながら、複数色のインクを搭載した場合、色の数に比例してノズル数が増加し、その結果、ヘッドは大型化する。また、メモリ容量も必要となり、高価なプリンタとなる。
【０００５】
そこで、小型で安価なプリンタが得られる方法が望まれている。
【０００６】
【従来の技術】
図９にインクジェットプリンタの概要を示す。図に示すように、インクジェットヘッド（以下印字ヘッドという）１を搭載したキャリア２にガイドシャフト３が嵌合し、また、プーリＰ１，Ｐ２  に掛けられたタイミングベルト（以下ベルトという）４にキャリア２が固定され、プーリＰ１はモータＭ１に連結されている。
【０００７】
キャリア２は板状のプラテン５の上方に配置され、モータＭ１の正逆方向回転によりベルト４によってプラテン５に平行に矢印Ａ、Ｂ方向に移動する。プラテン５の前段にモータＭ２に連結された送りローラＲが配置されている。印字ヘッド１は、ヘッド部１０ａ及びインクタンク１１から成り、ヘッド部１０ａは、先端に後述する複数のノズルを有し、プラテン５に所定の間隙を介して対向している。
【０００８】
インクタンク１１は、複数のノズルに共通し、ヘッド部１０ａに供給するインクが収容されている。カラープリンタの場合には、ノズルを複数のグループに分けて、夫々異なる色のインクが供給される。この場合にはインク共通流路及びインクタンク１１も色毎に分けられる。
【０００９】
従って、キャリア２が移動しながら、印字ヘッド１はノズルからインクを噴射して用紙７ａにマトリックスドットによって印字を形成する。用紙７ａは送りローラＲの回転によって矢印Ｃ方向に行送りされる。
【００１０】
次にヘッド部１０ａについては、本出願人による特願平３−５１１６８５号において、流路板の一部を弾性部材で構成し、圧電素子の電歪による加圧板の弾性的変位で圧力室のインクの圧力を変化させてインクを噴射するインクジェットヘッドが提案されているが、以下に概要を説明する。
【００１１】
図１０のヘッド部の斜視図、図１１（ａ）  のヘッド部の透視平面図及び（ｂ）  のヘッド部の一部の側断面図に示すように、ヘッド板１２ａは、ノズル９１，９２，…（例えば、孔径３０〜５０μｍ）  が設けられたノズル板１３ａ、圧力室１４１，１４２，…、インク供給口１７１，１７２，…を有する流路板１５ａ、シリコーンゴムで形成された弾性部材１６１，１６２，…及び加圧板１８ａで構成されている。これに対して、圧電素子８１，８２，…が接合されて１列に複数配置され、これが多数列設けられて、ヘッド板１２ａが構成されている。
【００１２】
圧電素子８１，８２，…は、一端面が加圧板１８ａの外側に接着され、図示していないが、両面に電極が設けられている。
また、ヘッド板１２ａは、ノズル板１３ａに流路板１５ａが接合され、流路板１５ａの他面は弾性部材１６１，１６２，…を介して加圧板１８ａに接合し、これらに囲まれた空間部により圧力室１４１，１４２，…が形成されている。インク供給口１７１，１７２，…は、共通インク流路１９ａを介して前記のインクタンク１１に接続されている。
【００１３】
ノズル板１３ａと流路板１５ａは静電接合  （或いは拡散接合）  或いは接着剤等によって接合されている。
また、弾性部材１６１，１６２，…は、加圧板１８ａ上にスクリーン印刷等の方法によって液状の弾性部材が塗布され、上記のノズル板１３ａを結合した流路板１５ａの他面とで液状の弾性部材を挟んで、加熱硬化させて形成される。
【００１４】
弾性部材１６１，１６２，…を形成する理由は、圧電素子８１，８２，…の電歪によって圧力室１４１，１４２，…を変形させてインク６ａに圧力を与えた時に、流路板１５ａが外側に膨れるように変形して、圧力がインク６ａに効率良く加えられないので、これを改善するために、弾性部材１６１，１６２，…の弾力を利用したものである。
【００１５】
従って、圧電素子８１，８２，…の電極に選択的に電圧を印加して、圧電素子８１，８２，…の電気歪みの変位量により対応する加圧板１８ａを移動させることによって、圧力室１４１，１４２，…に圧力を加えて、インク供給口１７１，１７２，…から供給されたインク６ａが上記のようにノズル９１，９２，…から噴射する。
【００１６】
なお、加圧板１８ａと流路板１５ａ、或いはノズル板１３ａと流路板１５ａを一体として、例えば電鋳法で形成したヘッド部もある。また、ステンレス鋼材或いは感光ガラスをエッチングして形成したノズル板、流路板及び加圧板を使用したヘッド部もある。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来方法によれば、記録速度を高速化するために多数のノズルを備えているが、複数色のインクを搭載した場合、色の数に比例してノズル数が増加し、その結果ヘッドは大型化する。また、制御部に備えるメモリ容量も必要になり、高価なプリンタになる。
【００１８】
これを回避し、或る程度の記録速度を有し、安価なプリンタを得るには、特定の色に対するノズル数だけを増やすことが有利である。例えば、モノクロ印字用の印字ヘッドの場合は、その印字頻度が高いので、２行同時印字等により印字速度を高速化するためにノズル数を増やし、カラーのグラフィック印字用に、複数色のインクを搭載した印字ヘッドの場合は、各色に対してノズル数の少なくする方法が考えられる。
【００１９】
しかし、ノズル数が多い印字ヘッドでは、図１２（ａ）  に示すように、ヘッド板１２ａが、圧電素子８１，８２，…の駆動で圧力室１４１，１４２，…内に発生した圧力によって、（ｂ）  に示すように列方向に撓み易く、圧力損失をきたしてインクの噴射特性（粒量、飛翔速度及び飛翔角度）を低下させて印字品質を損なうため、ノズル数を増やすことが困難である。
という問題点がある。
【００２０】
本発明は、印字品質を確保して印字の高速化ができ、且つ安価なインクジェットプリンタを提供することを目的としている。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
図１は本発明の原理説明図である。図１において、６はインク、７は記録媒体、１４は圧力室、１９は共通インク流路、
９はノズル板１３に設けられ、インク６の粒子を噴射させるノズル、
１３はヘッド板１２に設けられ、ノズル９を有するノズル板、
１５はヘッド板１２に設けられ、ノズル板１３及び該ノズル板１３に接合して圧力室１４を形成すると共に、インク供給口１７を有する壁部材、
１７は壁部材１５に設けられ、共通インク流路１９から圧力室１４にインク６を供給するインク供給口、
１２はノズル板１３及び壁部材１５で構成されるヘッド板、
８は駆動により壁部材１５の一端を変位させ、圧力室１４の体積を変化させる駆動体、
１０はヘッド板１２と駆動体８を備え、駆動体８の駆動で圧力室１４のインク６をノズル９から噴射するプリントヘッドである。
【００２２】
プリントヘッド１０により、記録媒体７上に印字を行うインクジェットプリンタであって、ノズル９の数が異なるプリントヘッド１０の複数を、組み合わせ或いは同時搭載或いは交換搭載を可能とし、複数のプリントヘッド１０のヘッド板１２は、等厚で前記駆動体の変位方向に対して異なる曲げ弾性率を有し、ノズル数が多いプリントヘッド１０に曲げ弾性率が高いヘッド板１２を配置し、ノズル数が少ない方のプリントヘッド１０に曲げ弾性率が低いヘッド板１２を配置した構成とする。
【００２３】
従って、１列に形成したノズル９の数が異なるプリントヘッド１０の複数を組み合わせ或いは同時搭載、或いは交換搭載する場合、ノズル数が多い方のプリントヘッド１０に曲げ弾性率の高いヘッド板１２を配置し、且つ等厚で駆動体の変位方向に対して異なる曲げ弾性率を有するようにすることにより、印字頻度の高い黒色印字をノズル数の多い方のプリントヘッド１０で高速に行い、カラー印字をノズル数の少ない方のプリントヘッド１０で比較的低速に行うことができ、駆動時のプリントヘッド１０の撓みが減少すると共に、安価に、印字速度の高いプリンタを得ることができる。
また、高い曲げ弾性率の必要なヘッド板１２だけ、硬い材料を用いて弾性率を高くすることができ、安価に製造可能となり、また、曲げ弾性率を変えても等厚とすることで、同一形状のワイプ等でノズル面を清掃することができ、プリントヘッド１０毎にワイプ等を交換する必要が無くなる。
【００２４】
請求項２：駆動体８は、ヘッド板１２に対して垂直に配置された構成とする。
請求項３：壁部材１５は、インク供給口１７を有する流路板と、ノズル板１３に平行に設けられた加圧板と、流路板及び加圧板の間に設けられた弾性部材とで構成され、駆動体８の変位が弾性部材を伸縮させるように構成されている。
【００２５】
請求項４：複数のヘッド板１２は、ノズル板１３及び壁部材１５が夫々少なくとも１つの層を積層して構成され、積層の各層の厚さが等しく、ノズル板１３及び壁部材１５の少なくとも一方が、曲げ弾性率の異なる材料で形成されるように構成されている。
【００２６】
請求項５：複数のヘッド板１２は、同一の材料で厚さが異なるノズル板１３と、ノズル板１３の厚さの差を相殺すべく厚さを設定した壁部材１５との組み合わせによって、厚さを等しくした構成である。
【００２７】
請求項６：複数のヘッド板１２は、等厚、且つ曲げ弾性率の等しい壁部材１５と、等厚、且つ曲げ弾性率の異なる複数の層を積層して形成したノズル板１３とを組み合わせた構成である。
【００２８】
請求項７：複数のヘッド板１２は、曲げ弾性率の高いノズル板１３が金属層を積層して形成されるように構成されている。
請求項８：曲げ弾性率の高いノズル板１３は、ステンレス鋼とニッケルの電鋳層を積層して形成されるように構成されている。
【００２９】
請求項９：複数のヘッド板１２は、曲げ弾性率の低いノズル板１３が金属層と樹脂層の積層により形成されるように構成されている。
請求項１０：複数のノズル板１３は、厚さが異なる金属層と、金属層の厚さの差を相殺すべく厚さを設定した樹脂層とを積層して形成されるように構成されている。
【００３０】
請求項１１：複数のヘッド板１２は、ノズル板１３及び壁部材１５が夫々少なくとも１つの層を積層して構成され、曲げ弾性率が異なる複数のヘッド板１２を、ノズル板１３或いは壁部材１５の少なくとも１つの層を共通の基板として形成するように構成されている。
【００３１】
従って、曲げ弾性率の異なるヘッド板１２を共通の基板上に形成することで、曲げ弾性率の異なるヘッド板１２を分離形成してから両者を位置合わせするよりも、位置精度を高めることができ、また、製造を容易にすることができる。
【００３２】
請求項１２：基板は、ノズル板１３であるように構成されている。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、図２〜図８により本発明の実施例１〜実施例７を説明する。全図を通じて同一符号は同一対象物を示す。
【００３５】
１）実施例１
図２は本発明の実施例１を示す斜視図である。図に示すように、複数のヘッド部１０Ａ，１０Ｂ  において、ヘッド板１２ａ，１２ｂ  の加圧板１８ａ，１８ｂ  に対して圧電素子８ａ１，８ａ２，…、８ｂ１，８ｂ２，…の長手方向の端面が垂直に接合（サイドシュート型ヘッド）され、ヘッド板１２ａ，１２ｂ  は、ノズル板１３ａ，１３ｂ  に夫々３層（ａ〜ｃ層）構成の流路板１５ａ，１５ｂ  及び１層構成の加圧板１８ａ，１８ｂ  が接合されている。インク供給口１７ａ１，１７ａ２，…、１７ｂ１，１７ｂ２，…は流路板１５ａ，１５ｂ  の３層の真ん中の層ｂに形成されている。
【００３６】
ここで、ヘッド部１０Ａ  のノズル９ａ１，９ａ２，…の数は、ヘッド部１０Ｂ  のノズル９ｂ１，９ｂ２，…の数より多く設けられており、ヘッド部１０Ａ  の圧電素子８ａ１，８ａ２，…の駆動によるヘッド板１２ａの加圧板１８ａの変位方向に対する曲げ弾性率が、ヘッド部１０Ｂ  のヘッド板１２ｂの加圧板１８ｂの変位方向に対する曲げ弾性率より高く設定されている。即ち、ノズル板１３ａはノズル板１３ｂより硬い材料、例えば、ノズル板１３ａは金属材（例えば、ステンレス鋼材：以下ステンレスという）、ノズル板１３ｂは樹脂材（例えば、アクリル系樹脂材）で形成されている。
【００３７】
ここで、ヘッド部１０Ａ，１０Ｂ  の積層の形成方法を説明すると、まず、ノズル板１３ａ，１３ｂ  に、ドライフィルムレジスト等で、圧力室１４ａ１，１４ａ２  …、１４ｂ１，１４ｂ２  …、共通インク流路１９ａ，１９ｂ  、インク供給口１７ａ１，１７ａ２，…、１７ｂ１，１７ｂ２，…を層毎にパターン形成する。これに加圧板１８ａ，１８ｂ  を接合し、加圧板１８ａ，１８ｂ  に圧電素子８ａ１，８ａ２，…、８ｂ１，８ｂ２，…を接合することによって形成することができる。
【００３８】
このような構成を有するので、ノズル数多い方のヘッド部１０Ａ  の曲げ弾性率が高く、一度に多数のノズルからインク６ａを噴射しても、ヘッド部１０Ａ  の撓みを防止することができる。
【００３９】
従って、黒色印字はヘッド部１０Ａ  で高速に印字し、他の色（イエロー、シアン、マゼンタ）はヘッド部１０Ｂ  で比較的低速で行うことにより、印字頻度の高い黒印字を高速化することができ、高い曲げ弾性率の必要なヘッド部１０Ａ  だけ、硬い材料を用いて弾性率を高くすることができ、駆動時の撓みが防止できて印字品質が確保されると共に、安価に製造可能となり、また、曲げ弾性率を変えても等厚とすることで、段差が無くなり、同じ形状のワイプ（ノズル清掃用具）等が使用でき、ヘッド部１０Ａ，１０Ｂ  毎にワイプ等を交換する必要が無い。
【００４０】
２）実施例２
図３は実施例２を示す側断面図である。実施例２が上記実施例１と異なるのは、異なる曲げ弾性率とするために、ヘッド板の厚さを等厚として、ノズル板の厚さを変えたことである。
【００４１】
即ち、図に示すように、ヘッド板１２ａの曲げ弾性率をヘッド板１２ｂの曲げ弾性率より高めるために、ノズル板１３ａの厚さをノズル板１３ｂより厚く設定している。例えば、ノズル板１３ａ，１３ｂ  は、ステンレスにマイクロプレスによってノズル９ａ１，９ａ２，…、９ｂ１，９ｂ２，…を開けることができる。この際、ノズル板１３ａのステンレスの板厚をノズル板１３ｂより厚くして曲げ弾性率を高めることができる。
【００４２】
これによって生じるノズル板１３ａ，１３ｂ  の厚さの差だけ、流路板１５ａ，１５ｂ  の層厚ａ〜ｃを調整することによって、ヘッド板１２ａ，１２ｂ  の夫々の全体の厚さを同じにしている。例えば、流路板１５ａをドライフィルムで作成する場合には、ドライフィルムの厚さを調整する。
【００４３】
この場合に、圧力室１４ａ１，１４ａ２，…と圧力室１４ｂ１，１４ｂ２，…の高さに差を生じるが、インク供給口１７ｂ１，１７ｂ２，…の形状、圧力室１４ａ１，１４ａ２，…と圧力室１４ｂ１，１４ｂ２，…の幅寸法等、或いはノズル９ｂ１，９ｂ２，…の形状、圧電素子８ａ１，８ａ２，…，８ｂ１，８ｂ２，  …の変位量及び変位速度等を加減して、所望の噴射特性を得ることができる。
【００４４】
３）実施例３
図４は実施例３を示す側断面図である。実施例３が上記実施例１及び２と異なるのは、異なる曲げ弾性率を得るために、層構造とした流路板の一層の材料を変えたことである。
【００４５】
即ち、図に示すように、ヘッド部１０Ａ，１０Ｂ  は、流路板１５ａの３層ａ〜ｃの一部或いは全てを金属板（図では、ａ，ｂを樹脂板、ｃを金属板）とし、流路板１５ｂの各層を樹脂板で形成されている。
【００４６】
例えば、流路板１５ｂをドライフィルムで構成し、これに対して流路板１５ａは３層のうちの１層をドライフィルム等の樹脂材から、エッチング等でパターン形成したステンレス（或いはニッケルの電鋳でパターン形成した層）  で構成されている。従って、ヘッド部１０Ａ  の曲げ弾性率をヘッド部１０Ｂ  より高めることができる。
【００４７】
４）実施例４
図５は実施例４を示す側断面図である。図に示すように、ヘッド部１０Ａ，１０Ｂ  は、流路板１５ａと加圧板１８ａの間に弾性部材１６ａ１，１６ａ２，…（以下１６ａとする。）、流路板１５ｂと加圧板１８ｂの間に弾性部材１６ｂ１，１６ｂ２，…（以下１６ｂとする。）が設けられている。
【００４８】
弾性部材１６ａ，１６ｂ  はヤング率の低いシリコーンゴムで形成（従来例で説明した形成方法と同様）され、形成時に弾性部材１６ａ，１６ｂ  の厚さを均一にするために弾性部材１６ａ，１６ｂ  の各々の周囲にスペーサＳａ１，Ｓａ２，…、Ｓｂ１，Ｓｂ２，…が配置されている。
【００４９】
また、ノズル板１３ａの厚さを厚さｔだけ増して、ヘッド板１２ａの曲げ弾性率を高めている。ノズル板１３ｂには同じ厚さｔのドライフィルム２０が積層されて（幾分曲げ弾性率が高められる。）、ヘッド板１２ａ，１２ｂ  の厚さを等しくしている。
【００５０】
従って、弾性部材１６ａ，１６ｂ  によって圧電素子８ａ１，８ａ２，…、８ｂ１，８ｂ２，…の変位は効率良く圧力室１４ａ１，１４ａ２，…、１４ｂ１，１４ｂ２，…に伝わるが、弾性部材１６ａ，１６ｂ  が柔らかいため、圧力室１４ａ１，１４ａ２，…、１４ｂ１，１４ｂ２，…内の発生圧力によりヘッド部１０Ａ，１０Ｂ  が撓み易くなるのを、ヘッド板１２ａはノズル板１３ａの厚さを増し、ヘッド板１２ｂはノズル板１３ｂにドライフィルム２０を積層して、曲げ弾性率を高めることにより対応することができる。しかも、ヘッド板１２ａはヘッド板１２ｂより曲げ弾性率を高くすることができる。
【００５１】
５）実施例５
図６は実施例５を示す側断面図である。実施例５が上記実施例１〜４と異なるのは、異なる曲げ弾性率を得るために、ノズル板を２層構造とし、そのうちの１層の材料を変えたことである。
【００５２】
即ち、図に示すように、ヘッド部１０Ａ，１０Ｂ  のノズル板１３ａ，１３ｂ  が夫々２層の積層構造に形成されている。
ノズル板１３ａは、２層とも金属材で形成されている。例えば、ステンレスにマイクロプレス加工で孔加工を施した第１層１３０ａ上にニッケル電鋳により第２層１３０Ａを形成する。
【００５３】
ノズル板１３ｂは、第１層１３０ｂは金属材、第２層１３０Ｂは樹脂材で形成されている。例えば、ステンレスにマイクロプレス加工で孔加工を施した第１層１３０ｂ上に、ドライフィルムで第２層１３０Ｂを形成する。
【００５４】
従って、ノズル板１３ａを有するヘッド板１２ａは、ノズル板１３ｂを有するヘッド板１２ｂより高い曲げ弾性率が得られる。
６）実施例６
図７は実施例６を示す側断面図である。上記実施例５と同様に、ヘッド板１２ａのノズル板１３ａを２層構造にする場合、層間に第３の層を形成する方法である。
【００５５】
図に示すように、個別に形成した第１層１３０ａと第２層１３０Ａの間に、異なる材料の第３層１３１  が形成されている。ヘッド板１２ｂのノズル板１３ｂは、樹脂材の第１層１３０ｂ及び第２層１３０Ｂから成る２層構造である。
【００５６】
即ち、ノズル板１３ａは、第１層１３０ａをステンレス鋼材のマイクロプレスで孔加工し、第２層１３０Ａをニッケル電鋳（或いはステンレスのエッチング）でパターン形成し、ドライフィルムでパターン形成した第３層１３１  を接着層として熱接合したものである。
【００５７】
従って、容易に積層構造とすることができ、ヘッド板１２ａの曲げ弾性率を高めることができる。
７）実施例７
図８は実施例７を示す側面図である。実施例７が上記実施例１〜６と異なるのは、複数のヘッド板を共通の基板上に形成したことである。
【００５８】
即ち、図に示すように、曲げ弾性率の異なる２つのヘッド板１２ａ，１２ｂ  が共通の基板２１上に形成されている。
基板２１は、マイクロプレスでノズル板１３ａ，１３ｂ  に対応する孔加工をしてノズル板１３ａ，１３ｂ  を連結した状態に形成され、ヘッド板１２ａ，１２ｂ  を連結している。
【００５９】
曲げ弾性力を高める部分は、基板２１のノズル板１３ａに対応する位置にニッケル電鋳２２により厚みを増加させている。また、曲げ弾性力を高める必要がない部分は、基板２１のノズル板１３ｂに対応する位置にドライフィルム２３により、ニッケル電鋳２２と同じ厚さだけ増加させている。その他のヘッド板１２ａ，１２ｂ  の流路板１５ａ，１５ｂ  等の部分は同一の材料で構成されている。
【００６０】
従って、曲げ弾性率の異なるヘッド板１２ａ，１２ｂ  を共通の基板２１上に形成することにより、位置合わせの必要がなく、別々に製造したヘッド板１２ａ，１２ｂ  を位置合わせしてプリンタに搭載する方法に比べて、製造が容易で、しかも製造精度を高めることができる。
【００６１】
上記実施例５では、第１層１３０ａをステンレスで形成し、第２層１３０Ａをニッケル電鋳で形成した場合を説明したが、両層共ニッケル電鋳で形成する方法としても良い。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、
▲１▼高い曲げ弾性率の必要なヘッド板だけ、硬い材料を用いて弾性率を高くすることができ、安価に製造可能となり、また、曲げ弾性率を変えても等厚とすることで、同一形状のワイプ等でノズル面を清掃することができ、プリントヘッド毎にワイプ等を交換する必要が無い。
【００６３】
▲２▼曲げ弾性率の異なるヘッド板をノズル等の共通基板上に形成することで、曲げ弾性率の異なるヘッド板を分離形成してから両者を位置合わせするよりも、位置精度を高めることができ、また、製造を容易にすることができる。
【００６４】
▲３▼１列に形成したノズルの数が異なるプリントヘッドを同時搭載、或いは交換搭載する場合、ノズル数の多い方のプリントヘッドに高い弾性率のヘッド板を配置し、且つ等厚にすることにより、頻度の高い黒色印字をノズル数の多い方のプリントヘッドで高速に行い、頻度の少ないカラー印字をノズル数の少ない方のプリントヘッドで比較的低速に行うことができ、駆動時の撓みが防止されて印字品質が確保されると共に、安価に、印字速度の高いプリンタを得ることができる。という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理説明図
【図２】本発明の実施例１を示す斜視図
【図３】本発明の実施例２を示す側断面図
【図４】本発明の実施例３を示す側断面図
【図５】本発明の実施例４を示す側断面図
【図６】本発明の実施例５を示す側断面図
【図７】本発明の実施例６を示す側断面図
【図８】本発明の実施例７を示す側面図
【図９】インクジェットプリンタの概要を示す斜視図
【図１０】ヘッド部の一部を破断して示す斜視図
【図１１】ヘッド部を示す構成図
【図１２】従来方法の問題点を示す説明図
【符号の説明】
６，６ａ  はインク、              ７は記録媒体、                    ７ａは用紙、
８，８１，８２，８ａ１，８ａ２，８ｂ１，８ｂ２は圧電素子、
９，９１，９２，９ａ１，９ａ２，９ｂ１，９ｂ２，  はノズル、
１２，１２１，１２２，１２ａ，１２ｂはヘッド板、
１３，１３１，１３２，１３ａ，１３ｂはノズル板、
１４，１４１，１４２，１４ａ１，１４ａ２，１４ｂ１，１４ｂ２は圧力室、              １５は壁部材、
１５１，１５ａ，１５ｂ  は流路板、
１６１，１６２，１６ａ，１６ｂ，１６ａ１，１６ａ２，１６ｂ１，１６ｂ２  は弾性部材、
１７，１７１，１７２，１７ａ１，１７ａ２，１７ｂ１，１７ｂ２はインク供給口、
１８，１８１，１８２，１８ａ，１８ｂは加圧板、                                        ２１は基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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