(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状の被検物を回転自在にセットし、回転自在に設けたローラの表面を所定圧力で被検物の表面に接触させ、該被検物表面の形状に対応する前記ローラの変位量を測定する検査ユニットを備えた円筒状被検物の表面検査装置において、前記検査ユニットを前記ローラの軸直角断面において該ローラの変位方向と交差する方向に移動させる移動機構を設け、前記被検物を前記ローラの中心軸が変位する直線の延長線上からずらして設置してあることを特徴とする円筒状被検物の表面検査装置。
【請求項２】
請求項１において、前記検査ユニットを前記ローラの中心軸線に平行な方向に移動させる移動機構をさらに設けたことを特徴とする円筒状被検物の表面検査装置。
【請求項３】
請求項１または２において、前記検査ユニットは前記ローラを着脱自在に備えていることを特徴とする円筒状被検物の表面検査装置。
【請求項４】
請求項２において、前記ローラの幅を検査規格が最大の被検物に対応させたことを特徴とする円筒状被検物の表面検査装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一つの項において、被検物の外観検査を行う光学的検査機構を設けたことを特徴とする円筒状被検物の表面検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、円筒状被検物の表面検査装置に関し、特に、電子写真方式の画像形成装置を構成する感光体ドラム表面の凸欠陥の検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来汎用されている電子写真方式の複写機の構造および、これによる複写プロセスについて図８を基に説明する。この複写機の基本構成は良く知られており、２０１は感光体ドラム、２０２は露光器、２０３はトナーボックス、２０４はトナー供給ローラ、２０５は現像ローラ、２０６は現像剤攪拌ローラ、２０７はトナーセンサ、２０８は固定ガイド、２０９は現像器、２１０はコロナ帯電器、２１１は除電器、２１２はクリーナ、２１３は転写器、２１４は分離器、２１５は定着器である。さらに、２１６はトナー、２１７はキャリア、２１８は記録紙である。
【０００３】
上記複写機では、まず、暗所においてコロナ帯電器２１０で感光体ドラム２０１表面（外周面）を均一に帯電させる。
次に、露光器２０２により画像部以外のところに光を当て、光の当たった帯電電荷を除去し、画像部に電荷を残した静電潜像を形成する。現像部では、静電潜像と逆極性に帯電した着色微粒子であるトナーを潜像に付着させて可視画像とする。
続いて記録紙２１８をこのトナー像に付着させて、記録紙２１８の裏側からコロナ帯電器２１０でトナーの帯電極性とは逆極性の電荷を記録紙２１８に与え、静電力によりトナー像を記録紙２１８に転写する。転写されたトナー像に熱あるいは圧力を与え、記録紙２１８に融着させて永久像とする。
一方、転写されずに感光体ドラム２０１に残った残留トナーはクリーナ２１２で除去される。また、感光体ドラム２０１上の潜像電荷は光により除去される。この帯電から除電に至る一連のプロセスを繰り返すことにより連続的に印写が行われる。
【０００４】
ところで、感光体ドラム２０１にトナーが正しく付着されるためには、現像ローラ２０５と感光体ドラム２０１とのギャップを一定に保つ必要がある。
そのため、例えば図８に示すように、現像ローラ２０５に上記固定ガイド２０８を設け、このガイド２０８に感光体ドラム２０１を両端を突き当てて回転させるような機構が用いられる。この際、感光体ドラム２０１の両端１０ｍｍ程度が固定ガイド２０８に当接するガイド部になっていれば充分である。
【０００５】
そのため、このような複写機に用いられている感光体ドラム２０１は、図９（ａ）（ｂ）に示すように、両端部表面のうち１０ｍｍ程度の部分が金属面２０１ａになっており、この面には感光体が塗布されていない。もしも、この部分に凸欠陥（突起状欠陥）があるとギャップ量が変化して良好な転写ができなくなるため、このような感光体ドラムは使用するべきでない。
【０００６】
また図９（ｂ）に示すように、上記両端の金属面２０１ａを含む長さ１７．５ｍｍの範囲は実際には非画像領域であるため、機能上は濃淡欠陥（色ムラ、白ポチ、白斑点、黒ポチ等）があってもかまわない。実際に、金属面２０１ａと感光体塗布面２０１ｂとの境界部から数ｍｍ程度の部分には、良品であっても図９（ｂ）のように色ムラがある。
しかし、前述のように、残留トナーを除去するクリーナ２１２の先端部を傷つける可能性のある凸欠陥があってはならない。つまり、感光体ドラム両端部の非画像領域では凸欠陥の有無を検出し、その凸欠陥の高さによって良否判定する必要がある。なお工程上、凸欠陥は金属面２０１ａと感光体塗布面２０１ｂとの境界部に最も発生しやすい。
【０００７】
感光体ドラム等の円筒状部材の欠陥検査装置として、特開平２−２０１１４２号公報（発明の名称：感光層表面の異常検出方法）や、特開平４−１６９８４０号公報（発明の名称：円周表面傷検査方法および装置）に開示されているものがある。
特開平２−２０１１４２号公報の装置では、図１０に示すように光源３１１からのレーザ光を回転多面鏡３１３を介して感光体ドラム３３０の長手方向に順次走査する。この走査光は感光体ドラム３３０の感光層表面においてその長手方向に対して所定角度で反射し、受光器３２０に進入し、光電子倍増管３２２によって光強度が検出され、所定の演算処理装置に入力される。
このような動作が順次繰り返されることにより、感光体ドラム３３０の全面にレーザ光が走査されて、その表面の異状が検出される。
なお、図１０において３１８，３１９は反射鏡、３１５はステッピングモータ、３１６はステージである。
【０００８】
特開平４−１６９８４０号公報に記載の装置では、図１１に示すように、ハロゲン光源等を備えた投光器４０１から感光体ドラム４０３へ向けてスリット光４０２が投射される。感光体ドラム４０３の表面欠陥によって散乱した散乱光はレンズ４０４によって集光され、ラインセンサ４０５で受光される。４０５ａはラインセンサ４０５の画素列、４０６はラインセンサ４０５の受光範囲である。
【０００９】
このように、上記公報に記載された装置のいずれにおいても、受光量の変化によって表面欠陥を検出するものであるため、欠陥の大きさ（面積）は計算できるが、欠陥の高さに関する情報を得ることはできないという問題がある。また、これらの装置は、欠陥のない正常部は均一であることが前提である。
したがって、図９の感光体ドラムの両端のように表面形状が異なるものや、良品であっても不均一な領域が存在する被検物に対しては、検出そのものが不可能であったり、検出できたとしても良品との区別ができなかったりする問題もある。
【００１０】
また、特開昭５６−５５８０５号公報（発明の名称：被測定体の凹凸測定法）に開示された装置（図略）では変位計を直接、円筒状被検物に接触させて、その真円度や凹凸量を測定するように構成され、変位計の幅で測定領域が限定されている。しかしながら、上記感光体ドラム端部の凸欠陥検査にこの装置を応用する場合、変位計を感光体ドラムの長手方向に移動させながら何周分も測定しなければならず、検査時間が非常に長くなってしまう。
そこで渦電流式、静電容量式のようにある程度の幅を測定できる変位計を用いることが考えられるが、この場合にも、凸欠陥のような直径数十μｍ程度の測定対象に対しては正しい変位量が測定できない。この装置はあくまで、円筒状被検物の真円度や回転振れを測定するためのものにすぎず、欠陥を検出するために適したものとは言えない。
【００１１】
そこで本発明者は、円筒状被検物の凸欠陥、特に感光体ドラムの両端部表面の凸欠陥を確実に検出することができる装置として、図１２（ａ）（ｂ）に示すものを検討中である。この凸欠陥検出装置５００では、底板５０１の一端部に固定板５０２が固着され、底板５０１上にはリニアガイド（スライドガイド）５０３が固定され、このガイド５０３上に変位測定板５０４が前後動可能に設けられ、この変位測定板５０４の片側に接触ローラ５０５が自由回転可能に設けられている。５０４ａは変位測定板５０４の下端部に固着したスライダである。
【００１２】
さらに、圧縮ばね５０６の一端部が固定板５０２に固定され、他端部が変位測定板５０４に固定されている。
また、固定板５０２には距離変位計５０７が固定されている。この距離変位計５０７は、変位測定板５０４・固定板５０２間の距離を測定するためのものである。
一方、感光体ドラム５１０の両端部は図１３のようにチャック５１１，５１２で固定され、チャック５１１にはカップリング５１３を介して回転モータ５１４が連結されている。
【００１３】
凸欠陥検出に際しては、接触ローラ５０５の表面と感光体ドラム５１０の端部表面とを適当な圧力で接触させ、圧縮ばね５０６がある程度縮んだ状態に維持する。ここで回転モータ５１４によって感光体ドラム５１０を回転させると、接触ローラ５０５が連れ回る。この状態で感光体ドラム５１０を１回転させ、固定板５０２と変位測定板５０４との距離を距離変位計５０７で測定する。
【００１４】
この場合において、もしも感光体ドラム５１０の表面に凸欠陥があれば、接触ローラ５０５がその凸欠陥により図１２（ａ）（ｂ）中、左向きに微小距離だけ押されるため、結果的に固定板５０２と変位測定板５０４との距離が近くなる。また、凸欠陥がなくなれば、圧縮ばね５０６の弾性力で変位測定板５０４が元の位置に戻るので、変位測定板５０４のこれら微小変位量を距離変位計５０７で測定し、記録する。
【００１５】
図１４は上記凸欠陥検出装置５００による検出結果の一例を示すグラフであり、縦軸（変位）の「近い」は、凸欠陥があるため変位測定板５０４が固定板５０２に対して、凸欠陥のない正常な場合に比べて、より近い位置にあることを示ている。
また、図１４の「変位」量に適当な閾値を設定することで凸欠陥を検出することが可能であり、上記グラフ中の「谷」の部分は凸欠陥信号を示している。換言すると、感光体ドラムとしては、図１４のグラフが横軸に平行な直線になるものが望ましい。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、感光体ドラムの生産ラインでは、電子写真方式の画像形成装置（例えば複写機）の様々な仕様に対応して、長さ・直径や、端部凸欠陥の検査幅（「幅」とは、感光体ドラムの軸方向の寸法を意味する）が種々に異なる感光体ドラムが数日単位で生産される場合がしばしば生じる。
しかしながら、上記図１２の凸欠陥検出装置では、このような多品種の感光体ドラムに対応することができない。
【００１７】
本発明は、図１０乃至図１２に示す各種検査装置の問題点に鑑みなされたもので、その目的は円筒状被検物表面の凹凸、特に感光体ドラム表面の凸欠陥、あるいは円筒状被検物の真円度を簡単な構成、簡便な操作で検出することができ、特に複数品種の感光体ドラムに的確に対応することができる、円筒状被検物の表面検査装置を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
【００１９】
請求項１に係る円筒状被検物の表面検査装置は、円筒状の被検物を回転自在にセットし、回転自在に設けたローラの表面を所定圧力で被検物の表面に接触させ、該被検物表面の形状に対応する上記ローラの変位量を測定する検査ユニットを備えた円筒状被検物の表面検査装置において、上記検査ユニットを上記ローラの軸直角断面において該ローラの変位方向と交差する方向に移動させる移動機構を設け、前記被検物を前記ローラの中心軸が変位する直線の延長線上からずらして設置してあることを特徴とする円筒状被検物の表面検査装置。
【００２０】
請求項２に係る円筒状被検物の表面検査装置は、請求項１において、上記検査ユニットを上記ローラの中心軸線に平行な方向（被検物の長手方向）に移動させる移動機構をさらに設けたことを特徴とする。
【００２１】
請求項３に係る円筒状被検物の表面検査装置は、請求項１または２において上記検査ユニットが上記ローラを着脱自在に備えていることを特徴とする。
【００２２】
請求項４に係る円筒状被検物の表面検査装置は、請求項２において、上記ローラの幅を検査規格が最大の被検物に対応させたことを特徴とする。
【００２４】
請求項５に係る円筒状被検物の表面検査装置は、請求項１〜４のいずれか一つの項において、被検物の外観検査を行う光学的検査機構を設けたことを特徴とする。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
実施の形態１
図１は円筒状被検物の表面検査装置の構成を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。この装置は感光体ドラムの両端部表面の凸欠陥を検出するためのものである。この装置では、図１２に示す凸欠陥検出装置５００と実質的に同一構造の装置を検査ユニット（凸欠陥検出ユニット）１０とする。すなわち図１において、検査ユニット１０を底板１１、固定板１２、スライドガイド１３、変位測定板１４、スライダ１４ａ、接触ローラ１５、圧縮ばね１６および距離変位計１７を設けて構成する。
【００２６】
この検査ユニット１０を、接触ローラ１５の変位方向（感光体ドラム１または２の軸直角断面の中心点と、接触ローラ１５の軸直角断面の中心点とを結ぶ線分の方向Ａｃ）に平行な方向に移動させる移動機構としてスライド機構２０を設けたものである。このような構成の表面検査装置を感光体ドラムの両端に対応して２つ並列に配備する。なお、以下説明の便宜上、感光体ドラムの両端部のうち図面上側の端部を「上端」と呼び、下側の端部を「下端」ということがある。
【００２７】
スライド機構２０では、出力軸にボールネジ２３を連結した正逆転可能なモータ２２をベースプレート２１上に固定する。ボールネジ２３にリニアガイド２４を螺合させ、このリニアガイド２４上に検査ユニット１０を取り付ける。ボールネジ２３は、その中心軸線が上記方向Ａｃに平行になるように設ける。
【００２８】
この表面検査装置により感光体ドラム１（直径が大）、２（直径が小）の端部凸欠陥を検出する場合には、回転モータ２２でボールネジ２３を回転させることにより、検査ユニット１０をリニアガイド２４と一体で感光体ドラム側に前進させ、接触ローラ１５を所定の圧力で感光体ドラムに接触させる。このとき、リニアガイド２４の前進方向Ａａと、接触ローラ１５の前進方向Ａｂと、方向Ａｃとは互いに平行（同一方向）である。
【００２９】
このように、この表面検査装置では、直径が小さい感光体ドラム２の場合の接触ローラ１５の前進距離を、直径が大きい感光体ドラム１の場合よりも適宜に長くすることで、上記接触圧を同一に設定することができるため、検出感度を同一に保つことが可能となり、また接触ローラ１５の変位量から直接、凸欠陥の高さを判定することができる。したがって、直径が種々に異なる感光体ドラムに対応することができる。
【００３０】
実施の形態２
図２（ａ）（ｂ）は円筒状被検物の表面検査装置の構成を示す平面図である。この表面検査装置は、図１の装置を改変したものである。図１の装置ではこの図の左右方向に大きなスペースが必要となり、結果的に検査装置の大型化につながる不具合がある。そこで、図２の検査装置ではスライド機構２０として、接触ローラ１５の軸直角断面において該ローラの変位方向Ａｂと交差するＡｄ方向に検査ユニット１０を移動させるものを設けた点に特徴がある。その他の構成は図１と同様で、直径が種々に異なる感光体ドラムに対応することができる。
【００３１】
この表面検査装置により直径が大きい感光体ドラム１について凸欠陥を検出する場合には、図２（ａ）のように方向Ａｂが方向Ａｃに平行になる。直径が小さい感光体ドラム２の場合には、スライド機構２０により検査ユニット１０をＡｄ方向に前進させて、接触ローラ１５を感光体ドラム２に接触させるため、図２（ｂ）のように方向Ａｂが方向Ａｃと交差する。
図２（ａ）の場合には、方向Ａｂが方向Ａｃに平行であるため、接触ローラ１５の変位そのものを凸欠陥の高さと判断でき、また凸欠陥による接触ローラ１５の動きが最も滑らかになる。
これに対し図２（ｂ）の場合には、接触ローラ１５の変位を適正に換算して凸欠陥の高さとする必要があるが、充分な検出感度を容易に得ることができる。
【００３２】
実施の形態３
図３は、円筒状被検物の表面検査装置の構成を示す正面図である。この装置では、感光体ドラム３下端の凸欠陥を検出するための下端用検査ユニット１０ａを直接ベースプレート３１上に設ける（検査ユニット１０ａは上下に移動しない）。また、感光体ドラム３上端の凸欠陥を検出するための上端用検査ユニット１０ｂは、ベースプレート３１上に垂設した支柱３２に設けるとともに、検査ユニット１０ｂを支柱３２の長手方向に平行に昇降自在に設けることにより、検査ユニット１０ｂを接触ローラ１５の中心軸線に平行方向に移動自在とする。すなわち、支柱３２にリニアガイド（スライドガイド）３３と、その上に図略の昇降機構により昇降自在のスライダ３４と、その上に断面Ｌ字型の支持板３５とを設け、この支持板３５上に上端用検査ユニット１０ｂを設ける。検査ユニット１０ａ，１０ｂの構成は図１の検査ユニット１０と同一とする。
【００３３】
長さが種々に異なる感光体ドラム３の凸欠陥検出に際しては、図３に示すように感光体ドラム３を、下端用検査ユニット１０ａの接触ローラ１５ａに対する感光体ドラム３下端位置の接触高さを同一にしてセットする。
また、上端用検査ユニット１０ｂは、上記昇降機構で適宜位置に昇降させることにより、接触ローラ１５ｂを感光体ドラム３の上端に接触させる。
このように、この表面検査装置では、上端用検査ユニット１０ｂを昇降させて高さ位置を適正に設定することで、長さが種々に異なる感光体ドラムに対応することができる。
【００３４】
実施の形態４
図４（ａ）（ｂ）は、円筒状被検物の表面検査装置の構成を示す正面図である。この装置は、端部凸欠陥検査幅が種々に異なる感光体ドラムに対応できるように構成したもので、検査ユニットが、接触ローラとその支持部材とからなる接触ローラユニットを着脱自在に備えている点に特徴がある。図４（ａ）に示す検査ユニット４１ａは、感光体ドラム４の検査幅Ｗａに対応して幅の大きい接触ローラ１５ｃを設けた接触ローラユニット４２ａを備え、図４（ｂ）の検査ユニット４１ｂは感光体ドラム４の検査幅Ｗｂ（ただし、Ｗａ＞Ｗｂ）に対応して、幅の小さい接触ローラ１５ｄを設けた接触ローラユニット４２ｂを備えている。ただし、これらの検査ユニットの全体構成は、図１の検査ユニット１０と同一である。この表面検査装置では、検査幅がＷａの場合には接触ローラユニット４２ａを取り付けて検査ユニット４１ａを構成し、検査幅がＷｂの場合には接触ローラユニット４２ｂを取り付けて検査ユニット４１ｂとする。
【００３５】
実施の形態５
図５（ａ）（ｂ）は、感光体ドラムの表面検査装置を構成する上端用検査ユニット５１ｂを示す正面図である。この表面検査装置は図３の装置を改変し、端部凸欠陥検査幅が種々に異なる感光体ドラムに対応できるように構成したものである。すなわち接触ローラ１５の幅を、端部凸欠陥検査幅の最大値Ｗｍに設定するとともに、上端用検査ユニット５１ｂを適宜高さに移動させるための昇降機構を設けたものである。なお、図示されていない下端用検査ユニットの接触ローラも同じように構成され、かつこの下端用検査ユニットも昇降自在である。
【００３６】
端部凸欠陥検査幅が最大値Ｗｍの感光体ドラムについて上記装置により検査を行う場合には、図５（ａ）に示すように、上端用検査ユニット５１ｂの接触ローラ１５の上端位置を感光体ドラム４の上端位置に合わせる。
また、感光体ドラムの端部凸欠陥検査幅が最大値Ｗｍより小さいＷｎの場合には、図５（ｂ）のように、接触ローラ１５をＷｍとＷｎの差だけ上昇させる。
これに対し下端用検査ユニットでは、検査幅が最大値Ｗｍの感光体ドラムについて検査を行う場合には、上記と逆に接触ローラの下端位置を感光体ドラムの下端位置に合わせ、検査幅がＷｎの場合には接触ローラをＷｍとＷｎの差だけ下降させる。
【００３７】
実施の形態６
図６は、感光体ドラムの表面検査装置の構成を示す正面図である。この装置は、直径・長さ・端部凸欠陥検査幅が種々に異なる感光体ドラムに対応できるようにしたもので、図１、図３、図４にそれぞれ示す表面検査装置の構成要素を組み合わせて構成されている。
【００３８】
すなわち、リニアガイド２４上に支柱３２を設け、これらをスライド機構２０により一体的に前後動自在とする。接触ローラ１５ａを着脱自在に設けた下端用検査ユニット１０ａをリニアガイド２４上に固着する。
また、接触ローラ１５ｂを着脱自在に設けた上端用検査ユニット１０ｂを支柱３２に、図示されない昇降機構により昇降自在に設ける。スライド機構２０が上記第１の移動機構に相当し、支柱３２に設けた上記昇降機構が上記第２の移動機構に相当する。
図６に示す検査装置の作用効果については、図１，３，４に示す装置についての説明から明らかであろう。
【００３９】
本発明では、図１〜図５に示す装置の構成要素を適宜に組み合わせることで、例えば下記のように種々の形態の表面検査装置を構成することができる。
（１）図１、図３の各装置の構成要素を組み合わせたもの、
（２）図１、図３、図５の各装置の構成要素を組み合わせたもの、
（３）図２、図３の各装置の構成要素を組み合わせたもの、
（４）図２、図４の各装置の構成要素を組み合わせたもの、
（５）図２、図５の各装置の構成要素を組み合わせたもの。
そして、（１）の装置によれば、直径・長さが種々に異なる感光体ドラムに対応することができ、（２）の装置は直径・長さ・検査幅が異なる感光体ドラムに対応でき、（３）の装置は、直径・長さが異なる感光体ドラムに対応できるうえ、装置を小型化することが可能となり、（４）（５）の装置では、直径・検査幅が異なる感光体ドラムに対応できうえ、装置の小型化が可能となる。
【００４０】
実施の形態７
図７は、感光体ドラムの表面検査装置の構成を示す概略平面図である。この装置は、図１〜６の装置に感光体ドラムの外観検査を行う光学的検査機構を設けたものである。図７において６１は感光体ドラム５の長手方向に伸びるライン光源、６２はレンズ、６３はラインセンサカメラである。感光体ドラム５は、図１３に示すような回転駆動機構（図示せず）により回転自在である。この表面検査装置では、感光体ドラム５を上記回転駆動機構で回転させながらライン光源６１から感光体ドラム５の塗布面に光を照射し、反射光をレンズ６２を介してラインセンサカメラ６３で受光する。これにより、感光体ドラム５の端部凸欠陥検査と、ドラム全面にわたる塗布面の外観検査とを同時に行うことができる。
【００４１】
上記各実施の形態は、感光体ドラムの端部凸欠陥検査用の装置に係るものであるが、本発明に係る円筒状被検物の表面検査装置はこれに限らず、各種円筒体外周面の凹凸状態や傷の検出、またはその真円度の測定するための装置として構成することもできる。
【００４２】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば以下の効果が得られる。
この円筒状被検物の表面検査装置では、接触ローラと円筒状被検物との接触による該接触ローラの変位方向に平行な方向に検査ユニットを移動させる移動機構を設けたため、直径が種々に異なる被検物について凸欠陥検査、凹凸状態や傷の検出、またはその真円度の測定を行うことができ、種々の直径の被検物に的確に対応することが可能である。
【００４３】
本発明の表面検査装置では、検査ユニットを接触ローラの軸直角断面においてこの接触ローラの変位方向と交差する方向に移動させる移動機構を設けたため、請求項１の表面検査装置による上記効果に加えて、この請求項１に比べて装置全体を小型化することができる効果がある。
【００４４】
本発明の表面検査装置では、検査ユニットを接触ローラの中心軸線に平行な方向に移動させる移動機構を設けたため、長さが種々に異なる被検物に対応することができる。
【００４５】
本発明の表面検査装置では、検査ユニットが接触ローラを着脱自在に備えているため、幅が大、小に異なる接触ローラを交換取付けすることで、検査幅が種々に異なる被検物に対応することができる。
【００４６】
本発明の表面検査装置では、接触ローラの幅を検査規格が最大の被検物（検査幅が最大）に対応させるとともに、検査ユニットを接触ローラの中心軸線に平行な方向に移動させる移動機構を設けたため、検査幅が種々に異なる被検物に対応することができる。
【００４７】
本発明の表面検査装置では、検査ユニットを接触ローラの変位方向に平行な方向に移動させる第１の移動機構と、検査ユニットを接触ローラの中心軸線に平行な方向に移動させる第２の移動機構とを設け、さらに接触ローラを検査ユニットに着脱自在としたため、直径・長さ・検査幅が種々に異なる被検物に対応することができる。
【００４８】
本発明の表面検査装置では、請求項１〜４のいずれかの装置に、被検物の外観検査を行う光学的検査機構を併設したため、被検物表面の凸欠陥検査などと、表面の外観検査とを同時に行うことができる。
【００４９】
このように、本発明によれば、円筒状被検物表面の凸欠陥などを簡単な構成、簡便な操作で的確に検査することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１の構成を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図２】本発明の実施の形態２の構成を示す平面図である。
【図３】本発明の実施の形態３の構成を示す正面図である。
【図４】本発明の実施の形態４の構成を示す正面図である。
【図５】本発明の実施の形態５の構成を示す正面図である。
【図６】本発明の実施の形態６の構成を示す正面図である。
【図７】本発明の実施の形態７の構成を示す概略平面図である。
【図８】電子写真方式の複写機の要部構成を示す断面図である。
【図９】図８の複写機に設けられる感光体ドラムの一例を示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）の一部拡大図である。
【図１０】感光体ドラム表面の異状検出装置の従来例を示す概略構成図である。
【図１１】感光体ドラム表面の欠陥検出装置の従来例を示す概略構成図である。
【図１２】本発明者が検討中の、感光体ドラム端部表面の凸欠陥検出装置の構成を示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図１３】図１２の検出装置と組み合わせて用いられる感光体ドラム支持回転装置の構成を示す概略説明図である。
【図１４】図１２の検出装置による検出結果の一例を示すグラフである。
【符号の説明】
１〜５    感光体ドラム
１０      検査ユニット
１０ａ    下端用検査ユニット
１０ｂ    上端用検査ユニット
１１      底板
１２      固定板
１３      スライドガイド
１４      変位測定板
１４ａ    スライダ
１５      接触ローラ
１５ａ    接触ローラ
１５ｂ    接触ローラ
１５ｃ    接触ローラ
１５ｄ    接触ローラ
１６      圧縮ばね
１７      距離変位計
２０      スライド機構
２１      ベースプレート
２２      回転モータ
２３      ボールネジ
２４      リニアガイド
３１      ベースプレート
３２      支柱
３３      リニアガイド（スライドガイド）
３４      スライダ
３５      支持板
４１ａ    検査ユニット
４１ｂ    検査ユニット
４２ａ    接触ローラユニット
４２ｂ    接触ローラユニット
５１ｂ    上端用検査ユニット
６１      ライン光源
６２      レンズ
６３      ラインセンサカメラ
５００    凸欠陥検出装置
５０１    底板
５０２    固定板
５０３    リニアガイド（スライドガイド）
５０４    変位測定板
５０４ａ  スライダ
５０５    接触ローラ
５０６    圧縮ばね
５０７    距離変位計
５１０    感光体ドラム
５１１    チャック
５１２    チャック
５１３    カップリング
５１４    回転モータ
【図１】
0003701477.tif 000002
【図２】
0003701477.tif 000003
【図３】
0003701477.tif 000004
【図４】
0003701477.tif 000005
【図５】
0003701477.tif 000006
【図６】
0003701477.tif 000007
【図７】
0003701477.tif 000008
【図８】
0003701477.tif 000009
【図９】
0003701477.tif 000010
【図１０】
0003701477.tif 000011
【図１１】
0003701477.tif 000012
【図１２】
0003701477.tif 000013
【図１３】
0003701477.tif 000014
【図１４】
0003701477.tif 000015