(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに固定された多数のセルアレーからなるメモリ領域を有するメモリ部材と、
前記各セルアレーのそれぞれに１つづつ対応して互いに固定されて設けられた多数のプローブと、
前記各セルアレーのそれぞれに対して、対応する各プローブの位置を一斉に変化させるように動作する位置決め装置と、
からなる走査型メモリ装置であって、
前記各セルアレーは、該セルアレーの"正常"または"故障"情報をそれぞれ記憶するセルアレー状態記憶領域を有し、かつ
前記多数のプローブは、行単位または列単位で群分けされて構成され、かつ群分けされたプローブ群のそれぞれに、データ転送線が１本づつ帰属し、各プローブに対応して、前記セルアレー状態記憶領域に記憶された"正常"または"故障"情報を記憶する記憶部を持つプローブ制御回路がそれぞれ備えられ、前記各プローブ制御回路は、プローブの配列順に従う１つ前のプローブ制御回路から動作終了信号を受け、前記記憶部に"正常"情報が記憶されているときには、データの転送を終えた後に動作終了信号をプローブの配列順に従う次のプローブ制御回路に送出し、前記記憶部に"故障"情報が記憶されているときには、データの転送を行うことなく、動作終了信号をプローブの配列順に従う次のプローブ制御回路に送出する、ことによりセルアレーの論理的な置き換えを行う
ことを特徴とする走査型メモリ装置。
【請求項２】
前記各セルアレーにおける故障セルを検出し、あるセルアレー中の故障セル数が所定数を超えるときは、そのセルアレーを"故障"とすることを特徴とする請求項１に記載の走査型メモリ装置。
【請求項３】
請求項１〜２に記載の走査型メモリ装置に適用される誤り訂正方法であって、読出しデータに、２組の誤り訂正符号を設定し、一方の誤り訂正符号を通常の読出しに使用し、他方の誤り訂正符号を、該メモリ装置の誤動作の発生に対するデータの保全に用いることを特徴とする前記誤り訂正方法。
【請求項４】
通常の読出し時に行われる誤り検出の結果により、前記データの保全を行うことを特徴とする請求項３に記載の誤り訂正方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、多数の微小プローブにより情報の書込み／読出しを行う走査型メモリ装置およびこれに適用される誤り訂正方法に関し、特に、記録メディアの欠陥や書込み／読出し動作における誤りに対して頑強な超高密度メモリ装置に関する。
【０００２】
【技術背景】
大量の情報を比較的高速に記録再生するための装置として、現在、固定磁気ディスク装置（ＨＤＤ）や光ディスク装置（ＯＤＤ）のような回転体記録装置が広く用いられている。しかし、これらの装置においては、近い将来、記録密度の向上が極めて困難になると予想される。
ＨＤＤでは、磁気記録密度の物理的限界は１００Ｇビット／ｃｍ２程度とされるものの、これを実現するための精密機械技術の開発や、書込み／読出し技術の開発は実際には極めて困難であり、実用的限界は１０Ｇビット／ｃｍ２と考えられる。
ＯＤＤでは通常、記録密度の限界は光の波長によって与えられ、せいぜい１Ｇビット／ｃｍ２である。光の波長の限界を超えるための新規な技術として、いわゆる「光のトンネル効果」を利用する方法も提案されているが、この方法による場合にも精密機械技術が障害となり、ＨＤＤを超える記録密度の実用化は極めて困難と考えられる。
【０００３】
また、ＨＤＤやＯＤＤの限界を超える記録密度とデータ転送速度を実現し得る装置として提案されたものに、スリワによる装置（特開平４−２８９５８０号、米国特許５，２１６，６３１）や斉藤等による走査型のメモリ装置に関する出願（特願平６−２７０２９７号）がある。これは、書込み／読出しの原理として走査プローブ顕微鏡の原理を利用したもので、多数のプローブを具備し、記録メディアは回転させずいわゆる走査型の移動をする。これらの機構により磁性体よりも高密度の記録メディアの使用と多数のプローブの並列動作が可能となる。
【０００４】
しかし、上記スリワや斉藤等の走査型のメモリ装置のような新規メカニズム（以下、「走査型メモリ」と称する）に対して、これをシステムとしてまとめて実用的な装置を構成するための技術は未だ殆ど知られていない。
また、ディスクアレー等の、回転体記録装置で培われたシステム化技術は走査型メモリに対して必ずしも有効ではない。
さらに、記録密度が高くなり記憶容量が増大するに伴い、欠陥のない記録メディアを使うことは事実上不可能になり、書込み／読出しの誤動作が無視できなくなるが、これらの問題に対しても、走査型メモリの技術分野において、未だ殆ど解決策が知られていない。
【０００５】
【発明の目的】
本発明は、上記のような問題を解決するために提案されたもので、走査型メモリに対して実用的なシステム化技術を提供すること、具体的にはメディアの欠陥や書込み／読出し動作における誤りに対して頑強で、かつ高速アクセスが可能な走査型メモリ装置を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【発明の概要】
すなわち、本発明のメモリ装置は、互いに固定された多数のセルアレーからなるメモリ領域を有するメモリ部材と、
前記各セルアレーのそれぞれに１つづつ対応して互いに固定されて設けられた多数のプローブと、
前記各セルアレーのそれぞれに対して、対応する各プローブの位置を一斉に変化させるように動作する位置決め装置と、
からなる走査型メモリ装置であって、
前記各セルアレーは、該セルアレーの“正常”または“故障”情報をそれぞれ記憶するセルアレー状態記憶領域を有してなることを特徴とする。
【０００７】
本発明においては、プローブは、静電アクチュエータ型、バイモルフ型、圧電型等、種々動作機構のものが使用される。また、複数のプローブとメモリ部材とのｘ−ｙ方向への相対的な移動は、通常、メモリ部材側をプローブに対して動作させることにより行われる。これらの動作原理等については、前述のスリワや斉藤等による文献に詳しく記載されている。
【０００８】
走査型メモリにおいては、一般に、プローブはＮ行Ｍ列の二次元配列をなしており、メモリ領域はプローブと同様の配列をなすＮ行Ｍ列のセルアレーから形成される。通常、Ｎ，Ｍの値は数十〜数百とされる。
【０００９】
ここで、セルアレーとは、メモリ領域のうち１本のプローブがアクセスできる範囲である。また、セルアレーには、プローブの解像度等に応じたｎ行×ｍ列の二次元配列をなす記録セルが形成される。通常、ｎ，ｍの値は数百〜数千とされる。
本発明のメモリ装置では、セルアレー自体に（すなわち、各セルアレーのセルアレー状態記憶領域に）、該セルアレーが“正常”であるか“故障”であるかの情報が書き込まれるので、“故障”とされたセルアレーに対する処理（該セルアレーについては、書込み／読出しを行わないと言った処理や、該セルアレーを“正常”なセルアレーに置き換える等処理）の単純化が図られる。
【００１０】
セルアレーが、“正常”であるか“故障”であるかは、通常は、該セルアレー中の故障セルの数（セルアレー中の全セルの個数に対する相対数、あるいはセルアレー中の絶対数）により判断する。
具体的には、前記各セルアレーにおける故障セルを検出し、あるセルアレー中の故障セル数が所定数を超えるときは、そのセルアレーを“故障”とすることができる。“故障”とされたセルアレーには、上述したように“故障”である旨の情報が書き込まれ、該セルアレーへの通常のデータの書込み／読出しはなされない。
【００１１】
“故障”とされたセルアレーは、“故障”とされない（すなわち、“正常”とされる）セルアレーに論理的に置き換えることができる。通常は、製造時（あるいは、工場出荷時）において、不使用のセルアレー（例えば、一定数のセルアレー、あるいは全セルアレー数の何分の１か）をスペアとしてストックしておく。ユーザによるメモリ装置の使用等により正常なセルアレーが故障したときは、該故障したセルアレー（故障セルアレー）を、上記スペアとしてストックしてある正常なセルアレー（正常セルアレー）と論理的な置き換えを行う。
セルアレーの置き換えは次のようにして行うことができる。すなわち、いま置き換えたい故障セルアレー（新たに故障となったセルアレー）を含むセルアレー行（Ｎ行Ｍ列をなすセルアレー配列における同一行のセルアレーの集まり）のデータ全てを、一旦、スペアのセルアレー行に移動する。この移動は、セルアレー行ごとに、通常の動作の合間を利用して行うことができる。全てのデータが該スペアのセルアレー行に移されたら、前記の新たに故障となったセルアレーに“故障”のラベルを貼り、前記スペアのセルアレー行からもとのセルアレー行にデータを戻す。
【００１２】
また、本発明では、前記多数のプローブを、行単位または列単位で群分けして構成し、これらの群分けされたプローブ群のそれぞれに、データ転送線が１本づつ帰属するように構成することができる。したがって、データ転送の線数を少なくできるので、集積化が容易となる。
各プローブに対応して、それぞれプローブ制御回路が備えられる。これらのプローブ制御回路には、メモリ領域全体についてのセル行またはセル列が“正常”であるか“故障”であるかの情報を記憶する記憶部（通常、１ビット）が設けられている。
ここで、セル行とは同一行のセルアレーにおける同一行のセルの全体を、同一列のセルアレーにおける同一列のセルの全体をそれぞれ意味する。
【００１３】
前記各プローブ制御回路は、１つ前のプローブ制御回路から動作終了信号を受けたときには次のように動作する。すなわち、前記記憶部に“正常”情報が記憶されている場合には、データの転送を終えた後に、動作終了信号をプローブの配列順に従う次のプローブ制御回路に送出する。また、前記各プローブ制御回路は、前記記憶部に“故障”情報が記憶されている場合には、データの転送を行うことなく、動作終了信号をプローブの配列順に従う次のプローブ制御回路に送出する。
書込み／読出しに関して、セルアレーの物理的な配置を、論理的な配置に変換することができる。このような構成とすることにより、メモリ装置の外部回路等は、セルアレーの“正常”または“故障”を意識することなく、メモリ領域にアクセスすることができる。
【００１４】
また、本発明の走査型メモリ装置は、互いに固定された多数のセルアレーからなるメモリ領域を有するメモリ部材と、
前記各セルアレーのそれぞれに１つづつ対応して互いに固定されて設けられ、行単位または列単位で群分けされたプローブと、
前記各セルアレーのそれぞれに対して、対応するプローブの位置を一斉に変化させるように動作する位置決め装置と、
からなるもので、
前記各プローブ群にはデータ転送線が１本づつ帰属し、かつ、メモリ領域のセル行またはセル列は、該セル列またはセル行が“正常”または“故障”情報をそれぞれ記憶する行状態記憶領域または列状態記憶領域を有してなる
ことを特徴とする。
【００１５】
このメモリ装置では、前述したメモリ装置がセルアレーに該セルアレーの“正常”または“故障”情報を記憶していたのに対し、メモリ領域のセル行またはセル列に、該セル行またはセル列の“正常”または“故障”情報を記憶している。
【００１６】
この場合、たとえばメモリ領域全体についての、ひとつのセル行またはセル列の何分の一かが故障セルである場合に、該セル行またはセル列を“故障”とすることができるが、通常は、前記行単位または列単位の前記プローブ群による一度の故障セルの検出動作により検出された故障セルの個数に基づいて、前記メモリ領域のセル行またはセル列が“正常”であるか“故障”であるかを判断する。
【００１７】
このようにして、あるセル行またはセル列が“故障”であると判断された場合には、該“故障”とされたセル行またはセル列を、該セル行またはセル列単位で、“故障”とされない（すなわち、“正常”な）セル行またはセル列に論理的に置き換えることができる。この場合にも、通常はスペアのセル行またはセル列を予めメモリ領域内にストックしておく。
【００１８】
セル行またはセル列が“正常”であるかまたは“故障”であるか、さらに“故障”であるときに、どのセル列に置き換えるかの情報は、特定の１つのセルアレーにまとめて書き込んでおくこともできる。しかし、短時間でのプローブによる書込み／読出しを行う等のためには、前記行単位または列単位の前記プローブ群による一度の書込み／読出し動作に対応するセルブロックのうち、特に、最初のセルブロック（プローブが最初にアクセスするセルブロック）に、該セルブロックが“正常”であるか“故障”であるかの情報を記録しておくことが好ましい。
【００１９】
また、本発明の誤り訂正方法は、上記したメモリ装置に適用される誤り訂正方法であって、読出しデータに２組の誤り訂正符号を設定し、一方の誤り訂正符号を通常の読出しに使用し、他方の誤り訂正符号を、該メモリ装置の誤動作の発生に対するデータの保全に用いることを特徴とする。
この場合において、通常の読出し時に行われる誤り検出の結果により、前記データの保全を行うことができる。
さらに、通常の動作の合間を利用して、該動作中に生じた故障セルの発生を検出し、該検出結果に基づき、故障部分の置き換えを行うこともできよう。
【００２０】
なお、上述したセルアレーの置き換えは、必ずしもセルアレー単位でなくてもよく、例えばセルアレーの１／２，１／４，・・・、あるいはセルアレーの２倍，４倍，・・・を単位として行うこともできるが、システム管理の上からは、１つのセルアレー単位として行うことが好ましい。
【００２１】
【実施例】
図１における走査型メモリ装置は、プローブ基材１上に互いに固定された多数のプローブ１１と、これらプローブ１１にそれぞれ対応し、メモリ部材２上に互いに固定されたセルアレー２１（全体でメモリ領域を構成する）とが、相対的に移動できる構成としてある。図１において、プローブ１１は静電駆動型のものである。
【００２２】
本実施例の静電動作型の走査型メモリ装置においては、セルアレー２１の記録セルに対するプローブ１１の位置決めは、通常は、メモリ部材２を移動させることにより行われる。
【００２３】
本実施例では、プローブ１１は、Ｎ行×Ｍ列の二次元に配列され、またセルアレー２１もプローブ１１に対応してＮ行×Ｍ列の二次元に配列されている。
また、各セルアレー２１にはセルがｎ行×ｍ列の二次元配列により構成されている（後述する図２参照）。
本実施例では、Ｎ＝Ｍ＝１００、ｎ＝ｍ＝１０２４としてあり、１つのセルアレー２１あたりの記憶容量は１Ｍビット、メモリ装置全体では１０Ｇビットである。
【００２４】
一般に、走査型メモリ装置においては、メモリ部材２に対するプローブ１１の相対移動速度は、ＨＤＤのような回転体記録装置の場合とは異なり、例えば３ｍｍ／ｓと遅い。セルサイズを３０ｎｍとすると、１本のプローブ１１のデータ転送速度は１００ｋｂｐｓ（ビット／ｓ）程度である。
このデータ転送速度の値はプローブ１１が１本だと遅すぎるが、本実施例のメモリ装置では、同一行の各プローブ１１（これらプローブの集合を「プローブ群」と言う）には共通のデータ線が接続されており、該データ線からは、転送速度が１００×１００ｋｂｐｓ程度のシリアル信号を得ることができるので、データの転送速度が実用上遅すぎることはない。
【００２５】
もちろん、共通のデータ線が接続されたプローブ群を複数並列接続して、さらに転送速度を整数倍に大きくすることもできる。また、例えば、上記プローブ群の半分を単位としてデータ転送することもできる。
システム管理の観点からは、プローブ１１の一度の動作で転送できるセル数（すなわち、並列度）は１つのプローブ群に含まれるプローブ数Ｍの整数倍であることが好ましい。
【００２６】
図２は、メモリ部材２のメモリ領域を拡大して示す参考図であり、同図では各セルアレー２１の位置を行要素と列要素により示し、同一行のセルアレー２１の集合（セルアレー行２０）を太線で例示してある。また、図２では、各セルアレー２１内のセルの位置を行要素と列要素により示してある。ここでは、各セルアレー２１のセル位置（４，５）に配置されたプローブ１１を黒点で例示してある。さらに、図２では、各セルアレー行２０における同一行（図２ではｉ行を示す）のセルの集合をセル行２２で示してある。図２では、さらに、（１，１）、（１，２）、・・・で示されるセルアレー２１の、ｉ行，５列目のセルからなるセルブロックを符合２３で示してある。ここで、セルブロックとは、プローブ群による一度の書込み／読出し動作における、各プローブに対応するセルの集まりである。
【００２７】
以下、本実施例におけるメモリ装置の動作を順を追って説明する。
（１）メモリ装置の初期化
この初期化は、通常は、メモリ装置の製造後に行う。図３は、セルアレー２１を更に拡大して示す図である。初期化の過程において、まず、全セルアレー２１について、全セルの書込み／読出し動作の検査を行うことで、セルアレー２１ごとに、“正常”または“故障”の判定を行う。
この判定の基準は適宜定めることができ、例えば、１つのセルアレー２１について、全セル数の１／１００００以上（この場合には約１００個以上）が故障セルである場合に、当該セルアレー２１を“故障”とすることができる。
セルアレー２１の“正常”または“故障”の判定結果は、それぞれのセルアレー２１のセルアレー状態記憶領域２４に記録される。
【００２８】
セルアレー２１の“正常”または“故障”の判定結果は、１ビットの情報に相当するが、セルアレー状態記憶領域２４にも故障セルが存在する可能性はある。このため、該判定結果は適宜に長いビット（例えば、図３では３０ビット）を使って記録する。
これにより、セルアレー２１の“正常”または“故障”の判定結果が誤って認識される確率を十分に低くすることができる。
なお、通常このセルアレー状態記憶領域２４は、各セルアレー２１中に分散して配置することもできるが、判定結果の書込み／読出しの効率のうえからは、図３に示すように（同図では、ａ１，ａ２，・・・，ａｘ）、局在配置することが好ましい。
【００２９】
セルアレー状態記憶領域２４中に故障セルが、例えば該領域２４のセル数の１／１０程度（ここでは、領域２４は３０ビットなので、３個）以上ある場合には、そのセルアレー２１を“故障”とすることができる。また、この場合、後述するように、故障したセルアレー２１を正常のセルアレーに論理的に置き換えることができる。
【００３０】
次に、セル行２２の“正常”または“故障”の判定を行う。
この判定は、例えばセル行２２中に含まれる故障セルの個数を基準に行ってもよい。しかし、セル行２２のデータはシリアルに転送されることを考慮すると、セルブロック２３（図２参照）ごとの検査結果を基準に行うことが好ましい。
すなわち、プローブ群による一度の故障セルの検出動作により、何個の故障セルが検出されたかを基に、セル行２２が正常か故障かを判断するのである。
【００３１】
本実施例では、故障セルが所定数以上（例えば、３個以上）含まれているセルブロック２３（図２参照）が所定数（例えば、１個）以上存在する場合を、セル行２２の“故障”と判断するようにしている。
この判定結果を、そのセル行２２の最初のセルブロックに記録する。このセルブロックを、図３ではｂ１，ｂ２，ｂ３，・・・で示す。
セル行２２が“故障”であると判断された場合には、図４に示すように、故障セル行は正常セル行に置き換えられる。なお、図４では、３行目のセル行２２０を１０２３行目のスペアとしてストックしてあるセル行２２０′に論理的に置き換えた場合を示す。
この置き換え先のセル行２２の新たな行の値（本実施例では、１０ビットで表現されるｉ（１〜１０２４）の値）も、前記最初のセルブロック２３０に（図３参照）記録される。
【００３２】
これらの、判定結果および置き換え先の新たな行の値ｉは、各セルアレー２１に分散して記録されることになるが、１つのセルブロック２３（図２参照）は並列度数分のビット長（本実施例では１００ビット）を有するので、前記最初のセルブロック２３０に１つまたはそれ以上の故障セルが存在していたとしても、ｉの値を十分低い誤り率で記録することができる。
【００３３】
（２）初期化後の動作
本実施例では、初期化後には、図５に示す回路が用いられる。同図においては、バッファ３２からデータ転送線３４が引き出されている。すなわち、データ転送線３４は、１つのセルアレー行２０について１本設けられている。このデータ転送線３４には、１行分のプローブに対応するバッファ（ここでは、１ビットバッファ）３１が接続されている。
例えば、ユーザにより本メモリ装置が使用されている場合、電源投入時には、まず図３に示したセルアレー状態記憶領域２４に記録された、全てのセルアレー２１についての“正常”または“故障”情報が読み出される。この情報は、図５に示すように、１ビットのバッファ３１内（より具体的には、これに付随する図示しないセルアレー制御回路内）に保持される。故障セルアレーは正常セルアレーと論理的に置き換えられなければならないが、この論理的な置き換えは、故障セルアレーを迂回したデータの書込み／読出しにより行われる。
【００３４】
いま、あるセル行２２のあるセルブロック２３にプローブが位置しているものとする（図２参照）。また、図５においてバッファ３１に付随するセルアレー制御回路は各プローブごとに設けられているので、セルバッファ３１はＮ行×Ｍ列の行列により表現することができる（図５では、１行のみを示す）。
あるセルアレー行２０（第２図参照）に着目してみると、バッファ３１に付随する図示しないセルアレー制御回路は、該制御回路の列番号（プローブ１１またはセルアレー２１の列番号に等しい）より小さい列番号の（図５では左側の）制御回路から「動作終了信号」が出ており、かつ自分が動作未終了の場合にのみ、データ転送線３４上の１ビットのデータを自分のバッファに取り込むように作られている。
【００３５】
データを取り込んだバッファ３１は、動作終了信号３５を送出する。外部回路から転送されてくる各セルアレー２１に対するデータは、バッファ３２を介して、例えば位相偏移変調（ＰＳＫ）を用いて、時系列的に送出される。
この場合、最初のバッファ３１に付随するセルアレー制御回路には、該制御回路より列番号が小さい制御回路が存在しないので、セルアレー動作制御回路３３から１番目のセルアレー制御回路に動作終了信号に相当する信号を送出しておく。
これにより、正常セルアレーには、該セルアレーに対応するバッファ３２およびプローブを介してデータの書込みが行われる。
【００３６】
また、故障セルアレー（図５では符合３１１で示す）は動作終了信号を受けたら何もせずに、直ちに動作終了信号を出す。これにより、各セルアレーに対するデータの書込み／読出しが故障セルアレー３１１を迂回して行われることになり、故障セルアレーに送られたビットデータは、正常セルアレーに転送されたことになる。
【００３７】
上記の動作は、セル行やセルブロックに関係なく、換言するとプローブがセルアレーのどこに位置していても、常に行われるので、故障セルアレーは正常セルアレーと論理的に置き換えられる。
図６は、セルアレーの置き換え後の様子を示す図であり、斜線のハッチングは、故障セルアレーを表している。丸括弧は、セルアレーを行列要素で表しており、角括弧は故障セルアレーを正常セルアレーに換えた後のセルアレーの論理的な配置を示している。
【００３８】
（３）故障セル行の置き換え
図２〜図４を参照しつつ、あるセルアレー行２０のあるセル行２２にデータを書き込む場合を例にとり説明する。まず、プローブ群（同一行のプローブ１１）初期位置、すなわちそのセル行２２の最初のセルブロック２３０に配置される（特に、図３のｂ１，ｂ２，・・・参照）。前述したように、このセルブロック２３０には、そのセル行２２の“正常”または“故障”の判定結果と、“故障”の場合には置き換え先のセル行２２の行番号（ｉの値）が記録されている。この判定結果と行番号とが各プローブ群のプローブ１１により読み取られ、“故障”であれば、各プローブ１１は置き換え先として記録された行番号のセル行に移動され、図４において述べたように、データの書込み／読出しが行われる。
以上のように、本発明のメモリ装置では、セルアレーの置き換えあるいは、セル行の置き換えが行われる。
前述したように、メモリ装置は記憶密度が高くなればなるほど、記録セルの故障が多くなる。このため、通常、上記の操作に加えて、誤り訂正の操作が行われる。
【００３９】
（４）誤り訂正符号（ＥＣＣ）化
前述したように、本実施例では、データは約１００ｋビット単位での転送される。この転送データは、ＥＣＣ化処理を受けた後のデータである。
図７はメモリ領域から読み出されたデータが一時的に格納されるｎ′行×ｍ′列（ここでは、簡単化のためにｎ′＝１００、ｍ′＝１０００とする）の行列の記憶容量を持つバッファ３２を示している。同図では記憶領域のうち、１５行、１００列分が検査ビットとして使用され、実際の転送データは８５行×９００列分の７６５００ビットである。
【００４０】
いま、簡単のために、７６５００ビットの入力データＤｉｎが時系列的に外部回路から送られてくるものとする。この入力データＤｉｎは、図７に示されているように、１００ｋビットの記憶容量を持つバッファ３２の８５行×９００列の領域に格納される。次いで、列方向（すなわち、１５行×９００ビット分の領域）にはＥＣＣ化された第１の検査ビットが追加され、行方向（すなわち、８５行×１００ビット分の領域）には同じくＥＣＣ化された第２の検査ビットが追加される。
さらに、必要に応じて、後述する積符号が構成される。
このように検査ビットを生成した後、バッファ３２から第７図に示すような順序で、セルアレーに順次書き込まれる。
逆に、データの読出しは、セルブロック（本実施例では、１００ビット）単位で行われる。通常の動作においては、１つのセルブロック２３のデータをバッファ３２に読出し、第２の検査ビットによる誤り訂正を行った後に出力する。
【００４１】
メモリ部材（記録メディア）に破壊読出しの記録材料を使用する場合、一般に読出し動作時のノイズ等による誤りが累積される。したがって、このような場合には、誤り訂正が可能なうちにデータを復元しておく必要がある。
このデータ復元のために、本実施例ではセル行単位でメモリ領域からバッファにデータを読み出し、第１の検査ビットによる訂正を行った後に再びメモリ領域に書き込む。このバッファ３２へのデータ読出しおよびメモリ領域への再書込み（すなわち、「エラークリアリング」）は、通常の動作の合間に行われる。
【００４２】
エラークリアリングが必要か否かの判断は、第２の検査ビットによる誤り訂正の際の誤りの発生状況を見て行うこともできる。例えば、第２の検査ビットによる誤り訂正の際に１つのセルブロックに所定数（ここでは、３つとする）以上の誤りが検出され場合には、エラークリアリングを行うと言った方法を採用することができる。
なお、前述したように、初期化の段階で故障セルが３個以上のセルブロックは存在しないようにしてあるので、エラーが発生していないのにエラークリアリングが行われる、と言った事態は生じない。
【００４３】
図８は、メモリ装置全体の構成図である。
同図では、セルアレーの１行あたりの数に等しいバッファ３１（セルアレー制御回路が付随する）が連結されて構成された回路が、セルアレーの行数に等しい段数だけ、交換回路とセルアレー動作制御回路とからなる回路３６に接続されている。各バッファ３１には、書込み／読出しタイミング発生回路３７から書込み／読出し信号が与えられる。
プローブとセルアレーとのｘ−ｙ制御は、ｘ−ｙ位置決め装置４１により行われる。
【００４４】
データ入力に際しては、入力データはバッファ３２に一時的に格納され、回路３９により第１，第２の検査ビットの符号化がなされ、この後上記回路３６、各バッファ３１を介してセルアレーに書き込まれる。
また、データ出力に際しては、セルアレーに書き込まれているデータはバッファ３１、上記回路３６を介して回路４０および、第２の検査ビットの復号化を行う回路４０を介して、外部回路に転送されされる。
第２の検査ビットの復号化を行う回路４０としては、例えば、５ビットの誤り訂正能力のものが用いられ、第１，第２の検査ビットの符号化を行う回路３９としては、例えば１０〜１５ビットの誤り訂正能力のものが用いられる。しかし、言うまでもなく、誤り訂正能力は記録メディアの完全性、必要とされる誤り率（当然小さい程好ましい）、誤り訂正に使うことができる時間等によって決められるものであり、上記の誤り訂正能力の例はあくまでも一例にすぎない。
本発明のメモリ装置では、先に述べたように、必要に応じて、第１と第２の検査ビットの積符号を構成し、高い誤り訂正能力を内蔵することができる。
【００４５】
ところで、図８において、記録メディアとプローブの少なくとも一方が消耗する場合、消耗した部分を新しい部分と置き換えることにより、装置の寿命を延ばすことができる。この延命のために、セルアレー行の置き換えが行われる。具体的には、エラークリアリングの際の誤り発生状況をコントローラ３８により監視し、寿命が近いと判断した場合にはセルアレー行を置き換える。書換えができない記録メディアの場合にはエラークリアリングは行われないので、第１の検査ビットの符号化の際の誤り発生率等、適宜の情報に基づいて寿命を判断する。
この置き換え動作は、通常の動作の合間を使って行うことができる。なお、以上の例では、セルアレーの置き換えとセルアレー行の置き換えは初期段階で決めてしまい、以後変更しないこととしているが、原理的には動作中のセルアレーやセルアレー行の置き換えは可能であり、応用によってはこれらが有効に利用される。
【００４６】
【発明の効果】
本発明は、上記のように構成したので、以下の効果を奏する事ができる。
（１）各セルアレーの“正常”または“故障”情報を、それぞれのセルアレーに記録しておくので、予め定められた特定の物理アドレスに集中して“正常”または“故障”情報を記録しておくメモリ装置に較べて、不完全な（書込み／読出しエラーが生じやすい）記録メディアに対してより頑強である。
すなわち、上記の集中して“正常”，“故障”情報を記憶するメモリ装置では、予め定められた特定の物理アドレスに致命的欠陥があると、メモリ装置全体が機能しなくなる。これに対し、本発明のメモリ装置では、そのような不都合は生じない。
また、本発明は、走査型メモリ装置の特徴である全セルアレーの一斉動作との相乗効果により、極めて短時間の間に故障セルアレー置き換えの準備をすることを可能にする。このことはさらに、やはり走査型メモリ装置の特徴である電源投入後のメディア移動機構の立ち上がりの速さと結合されて、電源投入後極めて短時間に動作可能状態になる走査型メモリ装置を提供することを可能にする。換言すると、頻繁に電源のｏｎ／ｏｆｆが出来る走査型メモリ装置の提供が可能になる。
【００４７】
（２）セルアレーを単位として故障部分の置き換えを行うので、一列のセルアレーあるいは一行のセルアレーを単位とする方式と較べて、極めて多数の故障セルアレーを許容することができる。すなわち、不完全な記録メディアに対してより頑強である。
【００４８】
（３）電源投入時に全てのセルアレーからその正常／故障の情報を読み出し、それを対応するそれぞれのプローブに付随する制御回路に蓄え、それを利用して、外部回路の機能を使わずに故障セルアレーの置き換えを行うので、外部回路に故障セルアレー置き換えの為の機能を必要とせず、従って、動作が高速になりかつコストが下がる。
【００４９】
（４）前記行単位または列単位の前記プローブ群による一度の故障セルの検出動作により検出された故障セルの個数に基づいて、前記メモリ領域のセル行またはセル列が“正常”であるか“故障”であるかを判断するので、該複数のセルアレーを１本のデータ転送線に帰属させることにより、構成が簡単になり、製造コストを下げることができる。
【００５０】
（５）セル行やセル列の“正常”または“故障”情報等をそのセルブロックの先頭部分に記録する。このことは走査型メモリーの特徴であるメディア移動の柔軟性（例えば、ある位置にプローブを停止させておき、そこからｘ方向にもｙ方向にも移動することができる）との相乗効果により、短い時間での再アドレッシングを、補助半導体メモリなしに可能にする。
【００５１】
（６）セルアレー行、セルアレー列を単位とする故障部分の置き換えも行うことができるので、不完全な記録メディアに対してより頑強である。
【００５２】
（７）２組の誤り訂正符号を用い、一方を通常の読み出しに、他方を誤動作により発生した誤りが蓄積した時のデータの保全に用いる事により、破壊読み出し型記録メディアを使用する場合においても、高いデータ保全性を保ちつつ、高速のデータ送出が可能になる。
【００５３】
（８）上記データ保全作業の必要性を通常の読出し時に行われる誤り検出の結果により判断するので、データ保全作業の必要性を調べるための特別の作業時間を必要とせず、稼動率を高める事ができる。
【００５４】
（９）動作中に生じた故障部分を誤り発生率により検出し、該故障部分と正常部分とを、通常の動作の合間を利用して置き換えるので、高いデータ保全性と高い稼動率を同時に実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のメモリ装置の概略を示す図である。
【図２】図１のメモリ装置におけるメモリ領域を拡大して示す図である。
【図３】本発明において、各セルアレーのセルの位置を行要素と列要素により示す図である。
【図４】本発明において、“故障”と判断されたセル行を“正常”なセル行に置き換えるときの様子を示す図である。
【図５】本発明において、“故障”と判断されたセルアレーを、“正常”なセルアレーに論理的に変換する場合の説明図である。
【図６】本発明において、セルアレーの置き換え後の様子を示す図である。
【図７】本発明の誤り訂正方法の一実施例を示す図である。
【図８】さらに詳しく説明した本発明の誤り訂正方法を示す図である。
【符号の説明】
１      プローブ部材
１１    プローブ
２      メモリ部材
２０    セルアレー行
２１    セルアレー
２２，２２０，２２０′    セル行
２３，２３０    セルブロック
２４    セルアレー状態記憶領域
３１，３１１  バッファ
３２    バッファ
３３    セルアレー動作制御回路
３４    データ転送線
３５    動作終了信号
３６    交換回路とセルアレー動作制御回路
３７    タイミング発生回路
３８    コントローラ
３９    第１，第２の検査ビットの符号化を行う回路
４０    第２の検査ビットの復号化を行う回路
４１    位置決め装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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