(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部信号により発振周波数が変化する被制御光源と、
光周波数の基準となる光を発生する光周波数基準光源と、
前記被制御光源の出力光と前記光周波数基準光源の出力光との位相差または周波数差に相当する比較信号を出力する比較手段と、
この比較信号に応じて前記被制御光源に外部信号を出力する帰還制御手段と
を備えた周波数安定化光源において、
前記被制御光源および前記光周波数基準光源の少なくとも一方は常にｐ偏波成分とｓ偏波成分とを出力する光源であり、
前記被制御光源と前記光周波数基準光源とのそれぞれの出力光をｐ偏波成分とｓ偏波成分とに分離する二つの偏波分離手段を備え、
前記比較手段は、前記二つの偏波分離手段により分離された二つのｐ偏波成分の位相差または周波数差に相当するｐ偏波比較信号を出力する第一の比較器と、前記二つの偏波分離手段により分離された二つのｓ偏波成分の位相差または周波数差に相当するｓ偏波比較信号を出力する第二の比較器と、前記帰還制御手段で常に比較信号が検出できるように前記第ｐ偏波比較信号と前記第ｓ偏波比較信号との一方を選択出力する手段とを含む
ことを特徴とする周波数安定化光源。
【請求項２】
前記選択出力する手段は、前記第ｐ偏波比較信号と前記第ｓ偏波比較信号との一方の信号レベルがあらかじめ設定されたレベルより高い場合にはその一方の比較信号を選択し、低い場合には他方の比較信号を選択する手段を含む請求項1記載の周波数安定化光源。
【請求項３】
外部信号により発振周波数が変化する被制御光源と、
光周波数の基準となる光を発生する光周波数基準光源と、
前記被制御光源の出力光と前記光周波数基準光源の出力光との位相差または周波数差に相当する比較信号を出力する比較手段と、
この比較信号に応じて前記被制御光源に外部信号を出力する帰還制御手段と
を備えた周波数安定化光源において、
前記被制御光源および前記光周波数基準光源の少なくとも一方は常にｐ偏波成分とｓ偏波成分とを出力する光源であり、
前記被制御光源と前記光周波数基準光源とのそれぞれの出力光をｐ偏波成分とｓ偏波成分とに分離する二つの偏波分離手段を備え、
前記比較手段は、前記二つの偏波分離手段により分離された二つのｐ偏波成分の位相差または周波数差に相当するｐ偏波比較信号を出力する第一の比較器と、前記二つの偏波分離手段により分離された二つのｓ偏波成分の位相差または周波数差に相当するｓ偏波比較信号を出力する第二の比較器と、ｐ偏波比較信号とｓ偏波比較信号から前記帰還制御手段に出力する比較信号を生成する手段とを含み、
前記光周波数基準光源は前記被制御光源の設定周波数と同値の第一の光周波数をもつ光と、前記設定光周波数とは異なる第二の光周波数の光とを出力する光源であり、
前記第一の比較器および前記第二の比較器はそれぞれ光ヘテロダイン受信器により構成され、
前記比較信号を生成する手段は、前記第一の比較器および前記第二の比較器のそれぞれの出力に対して、その出力信号を二つに分岐する分配器と、この分配器により分岐された一方の信号から前記被制御光源の出力光周波数と前記第一の光周波数との差周波数に相当する成分を測定する第一の周波数測定手段と、分岐された他方の信号から前記被制御光源の出力光周波数と前記第二の光周波数との差周波数に相当する成分を測定する第二の周波数測定手段とを含み、
前記比較信号を生成する手段はさらに、前記第一の比較器の出力と前記第二の比較器の出力との双方について、前記第一および第二の周波数測定手段の出力から、前記被制御光源の発振周波数を示す周波数情報を抽出する判別手段を含む
ことを特徴とする周波数安定化光源。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか記載の周波数安定化光源を光周波数基準光源を共通にして複数備えた波長分割多重光通信光源。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光信号の送信に利用する。特に、光源の光周波数安定化に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７は従来例の周波数安定化光源を示すブロック構成図である。この従来例は被制御光源１、光周波数基準光源２、帰還回路１１、光源駆動回路１２および光位相比較器３３により構成される。被制御光源１は、光源駆動回路１２により駆動され、周波数安定化された光信号を送出する。光周波数基準光源２は、被制御光源１を周波数安定化するための基準となる周波数の光を発生する。光位相比較器３３は、被制御光源１の出力光と光周波数基準光源２の出力光との位相差に相当する電気信号を光位相比較信号として出力する。帰還回路１１は、この光位相比較信号を周波数制御信号として、光源駆動回路１２に帰還する。周波数制御信号を光源駆動回路１２に帰還することにより、被制御光源１の周波数が安定化される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来の周波数安定化光源では、被制御光源の出力光と光周波数基準光源の出力光との位相差に相当する光位相比較信号を参照して、被制御光源に帰還をかけている。ところが実際には、被制御光源もしくは光周波数基準光源のどちらかの偏波状態に変動があると、光位相比較信号もまた変動する。そして、最悪の偏波状態のときには、帰還回路において信号の検出が不可能になり、一時的に光源の周波数の安定化ができなくなってしまう。例えば、被制御光源が安定した直線偏波であるとすると、光周波数基準光源の偏波状態が変動して被制御光源の偏波状態と直交する直線偏波となった場合、光の干渉が失われるため光位相比較信号は検出不可能になり、光源の周波数安定化は不可能になる。
【０００４】
本発明は、このような課題を解決し、常に周波数安定化を行うことが可能な周波数安定化光源を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の周波数安定化光源は、外部信号により発振周波数が変化する被制御光源と、光周波数の基準となる光を発生する光周波数基準光源と、被制御光源の出力光と光周波数基準光源の出力光との位相差または周波数差に相当する比較信号を出力する比較手段と、この比較信号に応じて前記被制御光源に外部信号を出力する帰還制御手段とを備えた周波数安定化光源において、被制御光源および光周波数基準光源の少なくとも一方は常にｐ偏波成分とｓ偏波成分とを出力する光源であり、被制御光源と光周波数基準光源とのそれぞれの出力光をｐ偏波成分とｓ偏波成分とに分離する二つの偏波分離手段を備え、比較手段は、二つの偏波分離手段により分離された二つのｐ偏波成分の位相差または周波数差に相当するｐ偏波比較信号を出力する第一の比較器と、二つの偏波分離手段により分離された二つのｓ偏波成分の位相差または周波数差に相当するｓ偏波比較信号を出力する第二の比較器と、ｐ偏波比較信号とｓ偏波比較信号から前記帰還制御手段に出力する比較信号を生成する手段とを含むことを特徴とする。
【０００６】
すなわち本発明では、被制御光源と光周波数基準光源とのそれぞれの出力光をともにｐ偏波とｓ偏波とに分離し、それぞれの偏波において位相または周波数の比較を行い、常に帰還回路において検出可能な比較信号を生成して、これを周波数制御信号として帰還することにより被制御光源の光周波数安定化を行う。これにより、被制御光源または光周波数基準光源のいずれか一方の偏波状態が変動しても、周波数制御信号が常に観測されるため、定常的な光周波数安定化制御が可能になる。
【０００７】
比較信号を生成する手段は、ｐ偏波比較信号とｓ偏波比較信号との信号レベルを比較してその一方を選択出力する手段を含むことができる。例えば被制御光源の出力光が常にｐ偏波とｓ偏波とを共に含む偏波状態であれば、光周波数基準光源出力光の偏波状態が変化してもｐまたはｓ偏波の比較信号のいずれかは必ず検出可能であるため、常に光周波数安定化制御を行うことができる。
【０００８】
また、光周波数基準光源が被制御光源の設定周波数と同値の第一の光周波数をもつ光とその光周波数とは異なる第二の光周波数の光とを出力することが可能な光源である場合には、第一の比較器および第二の比較器をそれぞれ光ヘテロダイン受信器により構成し、比較信号を生成する手段に、第一の比較器および第二の比較器のそれぞれの出力に対して、その出力信号を二つに分岐する分配器と、この分配器により分岐された一方の信号から被制御光源の出力光周波数と第一の光周波数との差周波数に相当する成分を測定する第一の周波数測定手段と、分岐された他方の信号から被制御光源の出力光周波数と第二の光周波数との差周波数に相当する成分を測定する第二の周波数測定手段とを備える。さらに、各比較器より出力された周波数情報の中から、被制御光源の発振周波数を示す周波数情報のみを抽出する判別手段を備える。ここでは、十分なＳＮ比を有する周波数比較信号を選択出力する手段は用いず、ｐ偏波信号およびｓ偏波信号がもつ周波数成分をそれぞれすべて測定し、その測定結果により被制御光源の光周波数を見積もる。この構成によれば、周波数比較信号を選択出力する手段として用いられる機械的に信号を切り換えるような部品が含まれないため、光周波数基準光源において急激な偏波状態の変化が生じても周波数比較信号が必ず検出され、被制御光源の周波数安定性をさらに高めることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の第一の実施形態を示すブロック構成図である。この実施形態の周波数安定化光源は、外部信号により発振周波数が変化する被制御光源１と、光周波数の基準となる光を発生する光周波数基準光源２とを備え、これらの光源の少なくとも一方は常にｐ偏波成分とｓ偏波成分とを出力する。この周波数安定化光源はまた、被制御光源１および光周波数基準光源２のそれぞれの出力光をｐ偏波成分とｓ偏波成分とに分離する偏波ビーム分離器（ＰＢＳ）３、４と、この偏波ビーム分離器３、４により分離された二つのｐ偏波成分の位相差に相当するｐ偏波光位相比較信号を出力する光位相比較器５と、同じく二つのｓ偏波成分の位相差に相当するｓ偏波光位相比較信号を出力する光位相比較器６と、ｐ偏波光位相比較信号とｓ偏波光位相比較信号との信号レベルを比較してその一方を選択出力するための分配器７、８、判定回路９およびスイッチ１０と、スイッチ１０により選択された光位相比較信号に応じて被制御光源１に外部信号を出力する帰還回路１１および光源駆動回路１２とを備える。ここで、偏波ビーム分離器３、４および光位相比較器５、６は光信号を電気信号に変換する部分であり、これらをまとめて受光部１３とする。また、分配器７、８、判定回路９、スイッチ１０、帰還回路１１および光源駆動回路１２は電気信号により処理を行う部分であり、これらをまとめて周波数制御部１４とする。
【００１０】
被制御光源１の出力する光信号は、その一部がこの周波数安定化光源の出力として外部に出力される（図示せず）とともに、その一部が周波数安定化のために偏波ビーム分離器３に入力され、ｐ偏波の光信号とｓ偏波の光信号とに分離される。一方、光周波数基準光源２の出力する光周波数基準光は、偏波ビーム分離器４に入力され、ｐ偏波の光信号とｓ偏波の光信号とに分離される。二つの光源のｐ偏波成分とｓ偏波成分とは、それぞれｐ偏波用およびｓ偏波用の光位相比較器５、６に入力される。光位相比較器５は、二つのｐ偏波成分の位相差に相当する電気信号をｐ偏波光位相比較信号として出力し、光位相比較器６は、二つのｓ偏波成分の位相差に相当する電気信号をｓ偏波光位相比較信号として出力する。
【００１１】
光位相比較器５、６の出力したｐ偏波光位相比較信号およびｓ偏波光位相比較信号は、それぞれ分配器７、８により二分岐され、それぞれの一方が判定回路９の二つの入力端に、他方がスイッチ１０の二つの入力端に入力される。判定回路９は、ｐ偏波光位相比較信号がこの判定回路９にあらかじめ設定されたレベルの閾値より高い場合はｐ偏波光位相比較信号を、低い場合はｓ偏波光位相比較信号を選択する切換制御信号をスイッチ１０に出力する。スイッチ１０は、判定回路９から出力された切換制御信号により、帰還回路１１で常に光位相比較信号が検出できるように、ｐ偏波光位相比較信号とｓ偏波光位相比較信号とのどちらか一方を選択して出力する。帰還回路１１はスイッチ１０で選択された光位相比較信号を周波数制御信号として光源駆動回路１２に帰還し、光源駆動回路１２により駆動される被制御光源１の周波数を安定化する。
【００１２】
以上の説明では被制御光源１の出力光と光周波数基準光源２の出力光との「位相差」を比較するものとしたが、実用的には、二つの出力光の「周波数差」を測定する。その場合には、光位相比較器５、６として光ヘテロダイン受信器を用いることができる。
【００１３】
帰還回路１１は光源駆動回路１２に、光位相のずれに応じて周波数の補償量を与えている。したがって、設定周波数について光周波数基準光源２の出力光と被制御光源１の出力光とを比較するだけでなく、設定周波数とは異なる光周波数についても、光周波数基準光源２の出力光と被制御光源１の出力光とを比較する必要がある。すなわち、光周波数基準光源２からは、異なる光周波数で光周波数基準光を発生する必要がある。このような光源としては、例えば、特願平８−３０５３６６（本願出願時未公開）に開示された基準周波数発生回路を用いることができる。
【００１４】
特願平８−３０５３６６に開示された基準周波数発生回路は、光周波数がステップ状に掃引された光パルス列を光周波数基準光として発生する。このような基準周波数発生回路を光周波数基準光源２として用いる場合には、その出力光パルス列から、設定周波数をもつ光パルスとその光パルスに隣接する光パルスとを用いて、それぞれ被制御光源１の出力光との位相差または周波数差を測定する。
【００１５】
しかし、パルス幅がμｓオーダと非常に狭いパルス幅を有する光パルスの偏波状態は、隣り合うパルス間で大きく異なる場合が存在する。加えて、光源や光学部品がもつ偏波特性の時間的変化により、ある光周波数をもつ光パルスが有する偏波状態が常に一定とは限らないことも考慮に入れると、スイッチ１０の応答速度によっては、スイッチ１０の切換を開始してから終了するまでの間に偏波状態が変化し、充分なＳＮ比を有する光位相比較信号または光周波数比較信号が帰還回路１１において得られない場合が生じる可能性がある。この点を改善し、急激な偏波状態の変化にも対応可能とした実施形態を以下に説明する。
【００１６】
図２は本発明の第二の実施形態を示すブロック構成図である。この実施形態の周波数安定化光源は、光周波数基準光源２として特願平８−３０５３６６に開示された基準周波数発生回路を用いる。したがってこの光周波数基準光源２からは、光周波数がステップ状に掃引された光パルス列が出力される。この光パルス列のうち設定周波数ｆk をもつ光パルスと、その光パルスに隣接する周波数ｆk+1 の光パルスとを用いるものとする。また、この実施形態の周波数安定化光源は、第一の実施形態に示した光位相比較器５、６として光ヘテロダイン受信器１５、１６を用い、分配器１７により分岐された一方の信号から被制御光源１の出力光周波数と設定周波数ｆk との差周波数に相当する成分を測定する低域ろ波器（ＬＰＦ）２１および周波数測定回路２２と、分配器１８により分岐された一方の信号から被制御光源１の出力光周波数と設定周波数ｆk との差周波数に相当する成分を測定する低域ろ波器２３および周波数測定回路２４と、分配器１７により分岐された他方の信号から被制御光源１の出力光周波数と周波数ｆk+1 との差周波数に相当する成分を測定する帯域通過ろ波器（ＢＰＦ）２５および周波数測定回路２６と、分配器１８により分岐された他方の信号から被制御光源１の出力光周波数と周波数ｆk+1 との差周波数に相当する成分を測定する帯域通過ろ波器２７および周波数測定回路２８と、周波数測定回路２２、２４、２６および２８の出力から被制御光源１の発振周波数を示す周波数情報のみを抽出する周波数判別回路２９とを備え、周波数判別回路２９の出力が帰還回路１１に出力される。
【００１７】
上述したように光周波数基準光源２は特願平８−３０５３６６に開示されたデポラライズ技術を採用しているため、その出力光は常にｐおよびｓの双方の偏波成分を含んでいるわけではない。そこで、被制御光源１からの出力光が常に双方の偏波成分を含むように制御することにより、光ヘテロダイン受信器１５、１６において常に、被制御光源１の発振周波数を示す有用な周波数比較信号が検出される。しかし、光周波数基準光源２の出力光には多数の周波数成分が含まれるため、光ヘテロダイン受信器１５、１６からは、被制御光源１の周波数測定に不要な信号も出力される。したがって、被制御光源１の発振周波数を見積もるためには、光ヘテロダイン受信器１５、１６で得られる周波数比較信号に含まれる周波数の中から、有用な周波数情報を抽出することが必要である。
【００１８】
図３は被制御光源１および光周波数基準光源２の出力光周波数と低域ろ波器２１、２３および帯域通過ろ波器２５、２７の出力との関係を示す。光周波数基準光源２から出力される光パルス列は、図３（ａ）に示すように、ｆstep毎に掃引される。そこで、低域ろ波器２１、２３の通過帯域幅をＢに、帯域通過ろ波器２５、２７の通過帯域をｆstep−Ｂからｆstep＋Ｂに設定する。これにより、低域ろ波器２１、２３および帯域通過ろ波器２５、２７の出力にそれぞれ、図３（ｂ）、（ｃ）に示すような信号が得られる。これらの信号を解析することにより、被制御光源１の光周波数を見積もることができる。
【００１９】
図４は被制御光源１の光周波数を見積もる手順の一例を示すフローチャートである。光周波数基準光源２から出力される光パルスの周波数が時間的に図３に示したようなマイナスシフト特性をもつ場合、以下の手順にしたがって未知の被制御光源１の光周波数を見積もる。
（１）光周波数基準光源２からの光パルス列のうち設定周波数ｆk の光パルスと周波数周波数ｆk+1 ＝ｆk −ｆstepの光パルスとについて、光ヘテロダイン受信器１５、１６により被制御光源１からの出力光とのヘテロダイン検波を行い、低域ろ波器２１、２３および帯域通過ろ波器２５、２７を通過した周波数比較信号がもつ周波数を周波数測定回路２２、２４、２６、２８により測定する。
（２）周波数判別回路２９では、測定された周波数をそれぞれΔｆLPF (i) 、ΔｆBPF (j) （ｉ、ｊ＝ｐ偏波またはｓ偏波）とするとき、それらの中から、各ろ波器がもつ通過周波数特性と合致した周波数情報を選択する。
（３）さらに周波数判別回路２９は、
｜ΔｆBPF (j) −ΔｆLPF (i) −ｆstep｜≦ε    …（ａ）
｜ΔｆBPF (j) ＋ΔｆLPF (i) −ｆstep｜≦ε    …（ｂ）
のいずれか一方の式を満足する｛ΔｆLPF (i) 、ΔｆBPF (j) ｝の組み合わせが１つ以上存在することを利用し、すべての周波数情報の組み合わせから前記条件式を満足する｛ΔｆLPF (i) 、ΔｆBPF (j) ｝を抽出する。
（４）ここで、前記条件式の双方を同時に満足する周波数組み合わせが存在する場合には、前記条件式の閾値εをΔε（＞０）だけ小さくし、再度、手順（３）を行う。
（５）次に、前記条件式を満足する組み合わせが２組以上存在する場合には、前記条件式の閾値εをΔε（＞０）だけ小さくし、その条件式を満足する｛ΔｆLPF (i) 、ΔｆBPF (j) ｝を抽出する。
（６）手順（５）を繰り返し、最終的に、条件式を満足する１組の周波数組み合わせを選び出す。
（７）抽出された周波数情報の組み合わせを｛ΔｆLPF 、ΔｆBPF ｝としたとき、｛ΔｆLPF 、ΔｆBPF ｝が前記条件式（ａ）を満足する場合、被制御光源１の発振周波数ｆslave はｆk ＋ΔｆLPF であると見積もられる。
（８）一方、｛ΔｆLPF 、ΔｆBPF ｝が前記条件式（ａ）ではなく（ｂ）を満足する場合、被制御光源１の発振周波数ｆslave はｆk −ΔｆLPF であると見積もられる。
【００２０】
以上のように簡単な判別方法を用いて、被制御光源１の発振周波数を測定することが可能となる。
【００２１】
図５は被制御光源１の光周波数を見積もる手順の別の例を示すフローチャートである。図４に示した手順においてεおよびΔεの設定が困難となる場合には、光ヘテロダイン受信器１５、１６における雑音が存在しないなどの理想的な状態において、
ΔｆBPF (j) −ΔｆLPF (i) −ｆstep＝０    …（ａ′）
ΔｆBPF (j) ＋ΔｆLPF (i) −ｆstep＝０    …（ｂ′）
を満足する周波数の組み合わせが必ず１組存在することを利用した判別方法を用いる。すなわち、｜ΔｆBPF (j) −ΔｆLPF (i) −ｆstep｜、｜ΔｆBPF (j) ＋ΔｆLPF (i) −ｆstep｜のうち最も小さい値のものを選択し、それを満足するΔｆLPF (i) を選択してΔｆLPF を見積もり、最終的に被制御光源１の発振周波数を測定する。
【００２２】
図４または図５に示した方法により被制御光源１の発振周波数を測定することで、第一の実施形態におけるスイッチ１０を用いる必要がなく、光ヘテロダイン受信器１５、１６から光源駆動回路１２までをすべて電気的に信号処理できる。したがって、第一の実施形態に比べて安定性を高めることができる。
【００２３】
【実施例】
本発明の周波数安定化光源は、周波数の安定した光信号が得られることから、波長分割多重（ＷＤＭ）光通信のように常に光源の波長安定性が求められる分野での利用に適している。ＷＤＭ光通信においては、多数の被制御光源の周波数を安定に制御する必要がある。これは、ひとつの光周波数基準光源からの出力光を光分岐素子により分岐し、分岐されたこの出力光を基準として複数の被制御光源をそれぞれ周波数安定化することにより実現できる。
【００２４】
図６は本発明の周波数安定化光源をＷＤＭ光通信の光源として用いた実施例を示すブロック構成図である。この実施例は、図１または図２に示した周波数安定化光源を光周波数基準光源２を共通にして複数備える。すなわち、複数の被制御光源１の各々の出力光を光分岐素子３１により二分岐し、一方は光通信線路に、他方は受光部１３に入力する。また、光周波数基準光源２からの出力光を光分岐素子３２を介して受光部１３に入力する。そして、受光部１３からのｐおよびｓ偏波光位相比較信号の一方を周波数制御部１４により選択し、周波数制御信号として被制御光源１に帰還する。このようにして、ひとつの光周波数基準光源２に対して、複数の被制御光源１の周波数制御が可能となる。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被制御光源および光周波数基準光源の一方の光源の偏波状態がｐ偏波成分とｓ偏波成分とを常に含んでいる場合には、他方の光源の偏波状態が変動しても、光位相比較信号出力が検出不能となることがなく、常に安定した周波数の出力光が得られる効果がある。
【００２６】
また、ｐ偏波信号およびｓ偏波信号がもつ周波数成分をそれぞれすべて測定し、その測定結果により被制御光源の光周波数を見積もる場合には、光源の偏波状態の急激な変動に対しても被制御光源の光周波数測定が可能となり、さらに安定した周波数の出力光が得られる。
【００２７】
本発明の周波数安定化光源は、常に周波数の安定化された光信号が得られるので、例えばＷＤＭ光通信の光源として利用することにより、よりいっそうの通信の高品質化が実現できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施形態を示すブロック構成図。
【図２】本発明の第二の実施形態を示すブロック構成図。
【図３】被制御光源および光周波数基準光源の出力光周波数と低域ろ波器および帯域通過ろ波器の出力との関係を示す図。
【図４】被制御光源の光周波数を見積もる手順の一例を示すフローチャート。
【図５】被制御光源の光周波数を見積もる手順の別の例を示すフローチャート。
【図６】本発明の周波数安定化光源をＷＤＭ光通信の光源として用いた実施例を示すブロック構成図。
【図７】従来例の周波数安定化光源を示すブロック構成図。
【符号の説明】
１  被制御光源
２  光周波数基準光源
３、４  偏波ビーム分離器
５、６、３３  光位相比較器
７、８、１７、１８  分配器
９  判定回路
１０  スイッチ
１１  帰還回路
１２  光源駆動回路
１３  受光部
１４  周波数制御部
１５、１６  光ヘテロダイン受信器
２１、２３  低域ろ波器
２５、２７  帯域通過ろ波器
２２、２４、２６、２８  周波数測定回路
２９  周波数判別回路
３１、３２  光分岐素子
【図１】
0003727453.tif 000002
【図２】
0003727453.tif 000003
【図３】
0003727453.tif 000004
【図４】
0003727453.tif 000005
【図５】
0003727453.tif 000006
【図６】
0003727453.tif 000007
【図７】
0003727453.tif 000008