(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の製造ラインで所定の処理工程を経た電子部品を抜き取り検査することを複数の処理工程に対して行いながら電子部品を製造する方法であって、前記抜き取り検査を行う複数の処理工程に対してそれぞれの処理工程毎に欠陥検出感度とスループットとが異なる複数の種類の検査装置で検査したときの該複数の種類の検査装置間の欠陥検出の相関度の情報と前記それぞれの処理工程ごとの不良発生頻度の情報とに基いて検査装置を割り当て、該それぞれの処理工程毎に前記割り当てた検査装置に応じて抜き取り頻度を決めて抜き取り検査を行うことを特徴とする電子部品の製造方法。
【請求項２】
前記それぞれの検査装置間の欠陥検出の相関度の情報として、或る検査装置の検出不良数を基準としたときの他の検査装置の不良検出率と、各検査装置で検出した不良検出数の総数に対する各検査装置ごとに検出した不良数の割合(捕捉率)と、前記或る検査装置で検出した不良数に対する前記他の検査装置で前記或る検査装置と共通に検出した不良の検出率の情報を含むことを特徴とする請求項１記載の電子部品の製造方法。
【請求項３】
電子部品の製造ラインで所定の処理工程を経た電子部品を抜き取り検査することを複数の処理工程に対して行いながら電子部品を製造する方法であって、前記抜き取り検査を行う複数の処理工程のそれぞれの処理工程において欠陥検出の原理が異なり欠陥検出性能の異なる複数の種類の検査装置の中から該複数の種類の検査装置で検出される不良モードと致命度の関係から重要性の高い不良モードを検出できる検査装置を選択して割り当て、前記それぞれの処理工程毎の不良発生頻度に応じて抜き取り頻度を決めて抜き取り検査を行うことを特徴とする電子部品の製造方法。
【請求項４】
前記欠陥検出の原理が異なり欠陥検出性能の異なる複数の種類の検査装置は、欠陥の捕捉率が高くスループットが低い検査装置と欠陥の捕捉率が低くスループットが高い検査装置とを含むことを特徴とする請求項３記載の電子部品の製造方法。
【請求項５】
前記性能の異なる検査装置が、異物検査装置と外観検査装置であることを特徴とする請求項１又は３に記載の電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ、プリント基板、ＴＦＴ液晶表示装置、プラズマディスプレイ形表示装置、あるいは磁気ディスク基板等の電子部品を高い歩留まりで製造する方法と製造管理システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
年々微細化あるいは複雑化する半導体ウエハ、プリント基板、ＴＦＴ液晶表示装置、プラズマディスプレイ形表示装置、あるいは磁気ディスク基板等電子部品の製造において、高い歩留まりをいかに確保するかということが大きな課題となってきている。
【０００３】
歩留まりを阻害する要因としては、（１）異物や外観欠陥（結晶の異常成長や断線、ショート、欠落等を含む）、（２）アライメントずれ、焦点ずれ、膜厚異常あるいはエッチング異常等に起因するパターン形成不良（パターン幅不良等）等が存在する。そして、電子部品の量産時に、これらの不良が離散的（たとえば、半導体ウエハ製造において何枚かに１枚、単発的に不良が発生する）あるいは連続的（たとえば、半導体ウエハ製造において何枚か毎に１回、連続して不良が発生する）に発生する。
【０００４】
従来、これら離散的不良あるいは連続的不良を回避するためには、製造中の主要工程において検査を行い、不良を発見し、対策をとるという方法がとられている。
【０００５】
異物検査を例にとると、特開昭55-149829号公報、特開昭59-65428号公報等に、半導体ウエハ等のパターンが形成された電子部品上に存在する微小異物の検出方法が数多く開示されている。そして、これらの検出方法を採用した様々な検査装置が開発され製造ラインで用いられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、ウエハ上の異物や外観欠陥の検査を例にとり、本発明が解決しようとする課題を説明する。
【０００７】
同一のウエハを検出方式の異なる検査装置Ａ、Ｂで検査し、検出された異物や外観欠陥等の不良の座標を元に不良分布マップを作成すると、各々図２の101a、図３の101bのようになる。２つの不良分布マップの突き合わせ（重ね合わせ）チェックを行うと、検査装置Ａ、Ｂの両方で検出した異物や外観欠陥等の不良102a、102b、その装置でのみ検出できた異物や外観欠陥等の不良103a、103b、その装置で検出できなかった異物や外観欠陥等の不良104a、104bを知ることができる。
【０００８】
そこで、検出方式の異なる検査装置Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ各々の検出結果の不良分布マップの突き合わせチェック後のデータをもとに、ベン図を作成すると、図４ようになる。ここで、検査装置Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ各々の検出結果が10、11、12、13の円で、また、検出方式によらずに検出できる異物や外観欠陥等の不良が、円の重なり部分で表現される。
【０００９】
検出方法が異なると、図４に示すように、特に検出感度ぎりぎりの微小な異物や外観欠陥等の不良の検出率に違いが生じる。その結果、せっかく検査装置を導入して検査を行っていても、場合によっては、致命的な不良の発生を見逃し、大量不良発生を許すこともある。従って、いかにして最適な検査装置を選ぶかということが、高い歩留まりを実現する上で重要な課題となっている。
【００１０】
また、使用する検査装置が決まったとしても、検査頻度の設定は、製造ラインのエンジニアによりほとんど勘と経験に頼って決定されているため、検査工程の管理を自動化する上で、これを阻害する大きな要因となっていた。
【００１１】
本発明の目的は、半導体ウエハ、プリント基板、ＴＦＴ液晶表示装置、プラズマディスプレイ形表示装置、あるいは磁気ディスク基板等電子部品の製造において、検査すべき工程に対し、最適な検査装置と、これを用いた検査の頻度を設定する手段を供給することにより、高い歩留まりを確保できる製造方法と，この機能を有する製造管理システムを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、複数の検査装置の機種間の性能上の相関を求める手段、統計的に不良発生の間隔を求める手段、機種間の性能上の相関と不良発生頻度をもとに最適な検査装置とこれを用いた検査の頻度を設定する手段と、これに基づき検査装置群への物の流し方等を管理するシステムを有する製造方法を提供することにより解決することができる。
【００１３】
具体的には、複数の処理工程から成る電子部品の製造ラインにおいて、所定の処理工程を経た該電子部品を性能の異なる複数の検査装置を用いてそれぞれが所定の頻度で抜き取り検査することで、その製造状況を管理する。
【００１４】
より好ましくは、前記処理工程に投入された複数の電子部品に対して、前記複数の検査装置ではそれぞれが所定数毎に該電子部品を抜き取り検査しており、該検査結果に基づいて、該電子部品を所定数毎に検査する検査頻度をそれぞれの検査装置に設定する。
【００１５】
この場合、前記検査結果から、前記複数の検査装置の検査頻度と該検査頻度で検査した場合の総合損失期待値との関数を導き、該総合損失期待値が最小となるように前記複数の検査装置の検査頻度をそれぞれに設定しても良い。
【００１６】
従来のように、検査装置を固定して製造ラインを管理した場合、その検査装置の性能では検出できる欠陥はある程度限定されてしまう。一般に製造ラインの不良モードは時間とともに変化するので、その検査装置の検査結果からは正常である（管理基準を満たす）と判断していても、実際にはその検査装置では検出できなかった欠陥が原因で不良を作り込む場合が多い。
【００１７】
検査装置としては、例えば外観検査装置や異物検査装置があるが、それぞれは欠陥の検出方式が異なるので、外観検査装置と異物検査装置とが共通に欠陥として検出する部分もあるが、一方でそれぞれにしか検出できない欠陥もある。また、それぞれに費やされる検査時間も問題であり、検査頻度が増せば当然、製造ライン全体でのスループットは低下してしまう。
【００１８】
本発明は、このような実状を考慮したものであり、性能の異なる複数の検査装置を用いることで、不良モードの変化等に迅速に対応するものである。また、検査装置の検査頻度と該検査頻度で検査した場合の総合損失期待値との関数を導き、該総合損失期待値が最小となるように前記複数の検査装置の検査頻度をそれぞれに設定することで、電子部品を効率的に製造させている。
【００１９】
つまり、例えば異物検査装置により１０枚に１枚の頻度で検査しながら、外観検査装置により１００枚に１枚の頻度で検査すれば、異物検査装置により検出できる欠陥と、外観検査装置により検出できる欠陥とが把握できるので、新規な不良モードに対しても迅速に対策することができし、その設定頻度もトータルな製造損失を考慮すれば、電子部品を効率的に製造できる。
図１は、本発明の概念を図示したものである。
【００２０】
半導体ウエハ上の異物や外観欠陥等の不良の検査を例にとり説明する。なお、最近の異物検査装置は、画像処理技術の進歩により外観欠陥検査も可能となってきており、「散乱光検出形の外観検査装置」と位置付けることができるため、以下、両者をまとめて検査装置と呼ぶ。
【００２１】
半導体製造ラインに、様々な検出方式を有する（従って、機種の異なる）検査装置Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ等からなる検査装置群１が存在するとする。各検査装置は、ネットワーク８に接続され、検査終了後に結果をデータ収集系２に転送する。データ収集系２は大規模なデータベース３を有し、同一ウエハの検査結果の工程履歴や、同一工程の不良発生推移等を解析する際に用いることができる。
【００２２】
ある特定の不良モードが確認された場合、特定工程から選択した同一のウエハを検査装置群１の機種の異なる検査装置により検査したデータを収集し解析することにより、機種間の相関度を計算をすることができる（機種間相関度計算処理４）。一方、同一工程の不良発生経過を分析することにより、平均的な不良発生頻度を求めることができる（不良発生頻度計算処理５）。そして、機種間相関度計算処理４と不良発生頻度計算処理５の結果をもとに、最適な検査装置と検査頻度を逐次求め（最適機種・検査頻度計算処理６）、検査装置群管理システム７を介して、検査装置群１へのウエハの投入方法等を指示し制御すればよい。
【００２３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について、以下詳細に説明する。
【００２４】
まず、図５から図１２を用いて、機種間相関度計算処理４の実施の形態について、機種の異なる２つの検査装置をモデルに説明する。
【００２５】
既に述べたように、同一のウエハを検出方式の異なる検査装置Ａ、Ｂで検査し、検出された異物や外観欠陥等の不良の座標を元に不良分布マップを作成し、２つの不良分布マップの突き合わせ（重ね合わせ）チェックを行うと、検査装置Ａ、Ｂの両方で検出した異物や外観欠陥等の不良、その装置でのみ検出できた異物や外観欠陥等の不良、その装置で検出できなかった異物や外観欠陥等の不良に分けて知ることができる。
【００２６】
不良分布マップの作成にあたっては、検出されたすべての不良を対象にする場合と、レビュー（観察）結果に基づき特定の不良モードに対象を限定する場合とがある。
【００２７】
突き合わせ（重ね合わせ）チェックの結果をベン図に表示すると、図５から図８に示すような４つの場合に大きく分類できる。ここで、円として表示される10aから10d、11aから11dの大きさは、それぞれ検査装置Ａ、Ｂにより検出された不良の数を表わす。そして、ふたつの円の重なり部分である12aから12dの面積は、検査装置Ａ、Ｂの双方で共通に検出された不良の数を表わす。
【００２８】
いま、検査装置Ａ、Ｂにより検出された不良の数を、それぞれNa、Nb、双方で共通に検出された不良の数をNabと定義する。検査装置Ａ、Ｂの少なくともいずれかで検出された不良の数Nallは数１により定義される。
【００２９】
【数１】
0003699776.tif 000002
【００３０】
そして、２機種間の相関度の有無は、数２、数３、数４等により計算される。
R1は、検査装置Ａの検出不良数を基準とした検査装置Ｂの検出率を表わす（数２）。R2は、総不良数対する検査装置Ａの捕捉率を表わす（数３）。R3は、検査装置Ａの検出不良数を基準とした共通不良の検出率を表わす（数４）。そして、R1からR3に対して、各々T1からT3の閾値（例えば、各々0.9等）を設定する。
【００３１】
【数２】
0003699776.tif 000003
【００３２】
【数３】
0003699776.tif 000004
【００３３】
【数４】
0003699776.tif 000005
【００３４】
図５は、R1からR3の何れもが、各々T1からT3の閾値を越えた場合を示す。即ち、検査装置Ａ、Ｂの両方が、ほぼ検出率の面からは同じ特性を有していることを表わし、検査装置の選定は、経済性を考慮して行われるべき場合である。
【００３５】
図６は、R2あるいはR3が、各々T2あるいはT3の閾値以下の場合を示す。即ち、検査装置Ａ、Ｂの双方が、検出方法等の違いでそれぞれ別個の不良を見つけている場合である。この場合、検出されている不良のモードが機種により異なる場合には、不良モードと致命度の関係を勘案して、両方の検査装置、もしくは重要性の高い不良モードを検出できる検査装置を用いる必要がある。検出されている不良のモードが同一の場合には、検査装置の選定は、R2の捕捉率と経済性を考慮して行われる。
【００３６】
図７は、R1が閾値T1以下となり、従ってR3も閾値T3以下となる場合を示す。即ち、検査装置Ａの性能が検査装置Ｂの性能を包含する場合であり、検査装置の選定は、R2の捕捉率と経済性を考慮して行われる。
【００３７】
図８は、R1からR3の何れもが、各々T1からT3の閾値以下の場合を示す。検出されている不良のモードが機種により異なる場合には、検査装置Ｂで検出された不良モードと致命度の関係を勘案し、この不良モードの重要性が高い場合には検査装置Ｂを用いる検査も併用する必要がある。検出されている不良のモードが同一の場合には、検査装置の選定は、R2の捕捉率と経済性を考慮して行われる。
【００３８】
図５から図８のベン図を用いた機種間相関度計算では、検出個数のみを考慮したが、検出レベルにまで踏み込んだ詳細な相関度計算を行う手法の例を、図９から図１２に示す。
【００３９】
図５または図７で示したようにベン図上での解析で２つの検査装置に相関がとれている場合に、横軸15に検査装置Ａにおける不良検出レベル（散乱光強度や欠陥サイズ）を、縦軸16に検査装置Ｂにおける不良検出レベル（散乱光強度や欠陥サイズ）をとり、その共通検出不良をプロットすると18のような分布を得ることができる（図９、図１０）。ここで、17が検査装置Ａにおける検出限界となる。
【００４０】
数５により求められる傾き係数mが検査装置Ａを基準とした検査装置Ｂの検出レベル換算値となる。
【００４１】
【数５】
0003699776.tif 000006
【００４２】
そして、数６により求められる分散係数ｄが一定の閾値以下に収まるとき、検査装置Ａ、Ｂは感度上の相関が大きいとして、取り扱うことができる。
【００４３】
【数６】
0003699776.tif 000007
【００４４】
図５または図７で示したようにベン図上での解析で２つの検査装置に相関がとれている場合に、横軸15に検査装置Ａにおける不良検出レベル（散乱光強度や欠陥サイズ）を、縦軸19に検出した不良の個数をとり、検査装置Ａでの検出結果20と、その内で検査装置Ｂとの共通検出不良21をプロットする（図１１、図１２）。ここで、不良検出レベルをもとに、23a〜23eの様にグループ化を行い、各々のグループにおいて、検査装置Ａの平均検出不良数D1、その内で検査装置Ｂとの共通検出不良数E1を求め、数７により係数R4を計算する。
【００４５】
【数７】
0003699776.tif 000008
【００４６】
図１１のように、全てのグループで係数R4が一定の閾値以上の値をとる場合、検査装置Ａと検査装置Ｂとの差は、捕捉率の差であると言うことができる。しかし、特定のグループでR4が一定の閾値以下の値をとる場合、検査装置Ｂが不感帯を有することを表わす。例えば図１２では、検査装置Ｂがレベル22以下の微小な不良を捕えることができないことを意味し、特に微小な不良での致命性が重要視される場合には、検査装置Ｂの選定は不可能となる。
【００４７】
図１の発生頻度計算処理５については、設備の不良解析などで用いられるMTBF（Mean Time Between Failure）計算等の手法を用いることができる。
【００４８】
次に、図１の機種間相関度計算処理４と不良発生頻度計算処理５の結果をもとに、最適な検査装置と検査頻度を求める最適機種・検査頻度計算処理６の実施の形態について以下に説明する。
【００４９】
一般的に、高捕捉率の検査装置は高価でスループットも低く、高頻度検査に適さないこともあり、また、低捕捉率の検査装置は安価でスループットも高いが微小な不良を見逃すという傾向がある。そこで、最適な検査装置と検査頻度を求めるために、検査に要する費用Ciと不良作り込みによる損失期待値Cfの和で表わされる総合損失期待値Ct（数８）を指標にする方法を考案した。
【００５０】
【数８】
0003699776.tif 000009
【００５１】
図１３、図１４は検査による不良見逃しの概念を示したものである。
【００５２】
図１３は低い捕捉率の検査装置を用いる場合を示している。横軸30に製造ラインを流れるウエハの投入順序w1〜wnをとり縦棒32がウエハ１枚の投入を表わす。
縦軸31に良品率をとると、微小サイズの不良による歩留まり低下がwsの時点で発生すると、良品率の推移が折れ線34の様になる。33a〜33nは製造ラインを流れるウエハの内、検査のために抜き取られる物を表わす。図１３の場合、低い捕捉率の検査装置を高頻度に用いた例を示しているが、不良が発生していても、捕捉率が低いために36の時点まで期間37の間は不良であることを認識できず不良ウエハを作り込んでしまう。良品率予想ライン35との間で挟まれた領域39が不良ウエハ作り込みのうち、検査装置起因の部分である。なお、ここで38は不良が検知されてから対策が完了するまでの期間を表わす。
【００５３】
図１４は低い検査頻度で検査装置を用いる場合を示している。図１３同様、横軸30に製造ラインを流れるウエハの投入順序w1〜wnをとり縦棒32がウエハ１枚の投入を表わす。縦軸31に良品率をとると、不良による歩留まり低下がwsの時点で発生すると、良品率の推移が折れ線34の様になる。低い検査頻度で検査装置を用いるために、検出しやすい大きな不良が発生していても、検査装置にかけられる36の時点まで期間37の間は不良であることを認識できず不良ウエハを作り込んでしまう。良品率予想ライン35との間で挟まれた領域39が不良ウエハ作り込みのうち、検査装置起因の部分である。
【００５４】
検査に要する費用Ciは、まず、検査１回あたりに要する費用Csを求めることから始める。検査１回あたりに要する費用Csは、検査装置価格、検査装置維持費、検査装置稼働時間、全面検査時（検査エリア率100％）のスループット、検査エリア率等のデータをもとに計算される（数９）。
【００５５】
【数９】
0003699776.tif 000010
【００５６】
ここで、f1、f2は関数である。
【００５７】
次に、統計的に求められた不良発生頻度（間隔）Mfと検査頻度Fr（検査抜き取り間隔）をもとに、不良ウエハを検査するまでの検査回数N1を求め（数１０）、さらに、不良ウエハを抜き取ってからこれを不良と認識するまでの平均検査回数N2を求め（数１１）、これらをまとめて最終的な検査費用を求める（数１２）。
【００５８】
【数１０】
0003699776.tif 000011
【００５９】
【数１１】
0003699776.tif 000012
【００６０】
【数１２】
0003699776.tif 000013
【００６１】
ここで、f3は関数である。
【００６２】
なお、検出確率（不良ウエハを検査して不良と認識するための確率）は、検査エリア率（総チップ数に対する検査チップの割合）、管理基準（例えば不良チップ率）、捕捉率等から求められる（数１３）。
【００６３】
【数１３】
0003699776.tif 000014
【００６４】
ここで、f4は関数である。
【００６５】
一方、不良作り込み損失期待値Cfは、ウエハ価格、検査頻度Fr（検査抜き取り間隔）、不良ウエハを抜き取ってからこれを不良と認識するまでの平均検査回数N2、不良が検知されてから対策が完了するまでの期間等をもとに計算される（数１４）。
【００６６】
【数１４】
0003699776.tif 000015
【００６７】
ここで、f5は関数である。
【００６８】
図１５は、検査頻度Fr（検査抜き取り間隔）を横軸40に、検査費用Ci、不良作り込み損失期待値Cf、総合損失期待値Ctを縦軸41にとり、両対数グラフを作成したものである。検査費用Ciは、42の様に検査頻度が少なくなる（検査抜き取り間隔が長くなる）につれて減少する。一方、不良作り込み損失期待値Cfは、43の様に検査頻度が少なくなる（検査抜き取り間隔が長くなる）につれて増加する。従って、これらを足し合わせた総合損失期待値Ctは、44のようになる。そして、総合損失期待値Ctが最小値46をとる際の検査頻度Fr（検査抜き取り間隔）が最適検査頻度45となる。
【００６９】
図１６は、検査頻度Fr（検査抜き取り間隔）を横軸40に、総合損失期待値Ctを縦軸41にとり、捕捉率を変化させてプロットしたものである。44aから44cまで検査装置の捕捉率が低下するに従い、総合損失期待値の最小値は46aから46cまで増加し、一方、最適検査頻度も45aから45cまで高頻度化が要求されることがわかる。
【００７０】
図１７は、検査頻度Fr（検査抜き取り間隔）を横軸40に、総合損失期待値Ctを縦軸41にとり、機種の異なる２つの検査装置について、捕捉率等も勘案してプロットした例である。この場合、低価格でスループットの高い装置を用いて（44d）検査頻度を45dに設定した場合44dの方が、高価格でスループットの低い装置を用いる場合（44e）よりも、総合損失期待値Ctを下げることができる。
【００７１】
従って、変動する不良モードの捕捉率を、図１の機種間相関度計算処理４より求め、一方、不良の不良発生頻度を図１の不良発生頻度計算処理５より求め、総合損失期待値Ctを計算することにより、実時間で最適な検査装置と検査頻度を設定することが可能となる。
【００７２】
図１８は、不良モードが未知である場合の対応の仕方の例を示したものである。図１３、図１４に示したように、低捕捉率・高頻度の検査だけ、あるいは高捕捉率・低頻度の検査だけでは、未知の見逃しに対して無力な場合がある。そこで、両者の欠点を補う検査手法が重要である。
【００７３】
低捕捉率・高頻度の検査装置44dでは、本来検査頻度を45dに設定したときに総合損失期待値46dを得る。しかし、微小不良に対する見逃しは存在する。微小不良を検出するためには、高捕捉率の検査装置が必要であるが、場合によっては、44eに示すように、本来検査頻度を45eに設定したときに総合損失期待値46eが、低捕捉率・高頻度の検査装置を用いた場合の総合損失期待値46dを上回ってしまう。そこで、高捕捉率の検査装置の検査頻度を45e'と下げて使用し、これを低捕捉率・高頻度の検査装置と併用することにより（44f）、低捕捉率の検査装置の最適な検査頻度45fと、この時の総合損失期待値46fを得ることができる。
【００７４】
このようにして、最適な検査装置と検査頻度を逐次求め（最適機種・検査頻度計算処理６）、検査装置群管理システム７を介して、検査装置群１へのウエハの投入方法等を指示し制御する。
【００７５】
図１９は、本発明による検査の流れに関する概念をまとめたものである。先ず、検査頻度等検査装置へのウエハの流し方を過去の経験等に基づき初期設定する（50）。ウエハを投入し（51）、低捕捉率（低感度）検査装置による高頻度検査を実施する（52）。管理基準との比較を行い（53a）、基準を越えていた場合、アラームを発信し（58a）、新しい不良モードの場合（60）、高捕捉率（高感度）検査装置による詳細検査を行った後（59b）、突き合わせ解析等により、機種間の捕捉率等を計算し（61）、さらに、検査頻度等の再設定（56ｂ）を行い次のウエハに移る（57）。
【００７６】
旧来の不良モードの場合には、検査頻度等の再設定（56ｂ）を行い次のウエハに移る（57）。
【００７７】
管理基準との比較を行い（53a）、基準を越えなかった場合、一定間隔でウエハを抜き取り（54）、高捕捉率（高感度）検査装置による検査を行う（59a）。
【００７８】
管理基準との比較を行い（53b）、基準を越えていた場合、アラームを発信した後（58b）、突き合わせ解析等により、機種間の捕捉率等を計算し（61）、さらに、検査頻度等の再設定（56ｂ）を行い次のウエハに移る（57）。
【００７９】
管理基準との比較を行い（53b）、基準を越えなかった場合、不良発生頻度の低下の有無をチェックし（55）、頻度低下が見られるとき、検査頻度等の再設定（56ｂ）を行い次のウエハに移る（57）。
【００８０】
本発明の実施例は、半導体ウエハ上の異物や外観欠陥の検査を例にとり、説明を行ったが、検査の対象としては、線幅、膜厚、色等の物理データであっても同様に考えられ、例えば、実施例の低捕捉率検査装置を相対変化測定用モニタに、高捕捉率検査装置を高感度絶対値測定装置に置き換えれば、同様の手法が成り立つ。
【００８１】
また、製品の対象も半導体ウエハに留まらず、プリント基板、ＴＦＴ液晶表示装置、プラズマディスプレイ形表示装置、あるいは磁気ディスク基板等、広範囲の電子部品の製造に適用できる。
【００８２】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、半導体ウエハ、プリント基板、ＴＦＴ液晶表示装置、プラズマディスプレイ形表示装置、あるいは磁気ディスク基板等電子部品の製造において、適用検査装置、検査頻度等、複雑な検査条件を容易に設定することができると共に、総合損失期待値最小という操作を行うことにより、検査の経済効率の向上に大きく寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す処理機能ブロック図。
【図２】異なる検査装置Ａ、Ｂで検査した際の不良分布マップ。
【図３】異なる検査装置Ａ、Ｂで検査した際の不良分布マップ。
【図４】検出方式の異なる検査装置による検出不良のベン図表示。
【図５】実施例に基づき、検出不良数により機種間の相関度を求めるベン図表示。
【図６】実施例に基づき、検出不良数により機種間の相関度を求めるベン図表示。
【図７】実施例に基づき、検出不良数により機種間の相関度を求めるベン図表示。
【図８】実施例に基づき、検出不良数により機種間の相関度を求めるベン図表示。
【図９】実施例に基づき、検出レベルにより機種間の相関度を求めるためのグラフ。
【図１０】実施例に基づき、検出レベルにより機種間の相関度を求めるためのグラフ。
【図１１】実施例に基づき、検出レベル別の検出不良数により機種間の相関度を求めるためのグラフ。
【図１２】実施例に基づき、検出レベル別の検出不良数により機種間の相関度を求めるためのグラフ。
【図１３】検査による不良見逃しの概念を示す図。
【図１４】検査による不良見逃しの概念を示す図。
【図１５】総合損失期待値計算の概念を示す図。
【図１６】状況により、検査条件を最適化する方法を説明する図。
【図１７】状況により、検査条件を最適化する方法を説明する図。
【図１８】状況により、検査条件を最適化する方法を説明する図。
【図１９】本発明による検査の流れに関する概念を示す図である。
【符号の説明】
１…検査装置群、２…データ収集系、４…機種間相関度計算、５…不良発生頻度計算、６…最適機種・検査頻度計算、７…検査装置群管理システム、１０…検査装置Ａによる検出不良数、１１…検査装置Ｂによる検出不良数、４２…検査費用、４３…不良作り込み損失期待値、４４…総合損失期待値、４５…最適検査頻度、４６…総合損失期待値最小値。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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