(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔質基材の細孔内を液体で置換した後、当該多孔質基材のうち分離膜を形成すべき面と分離膜を形成しない面とを気密的に隔離した状態において、前記分離膜を形成すべき面に対し、セラミックからなる骨材粒子を含む成膜用のスラリーを連続的に送液して接触させ、次いで、前記分離膜を形成すべき面側と前記分離膜を形成しない面側との間に濾過差圧を付与することにより、多孔質基材表面にスラリーを成膜する工程、を備えたセラミック多孔質膜を分離膜とするフィルタの製造方法であって、
形成された成膜層に濾過抵抗を付与するための有機高分子（濾過抵抗剤）を前記スラリーに添加するとともに、前記骨材粒子の前記濾過抵抗剤に対する質量比（骨材／濾過抵抗剤比）、及び前記濾過差圧の前記スラリーの送液速度に対する比（濾過差圧／送液速度比）の値を適宜設定して限界膜厚を制御し、その限界膜厚の５０％以上成膜する、セラミック多孔質膜を分離膜とするフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記骨材／濾過抵抗剤比の値を２０〜２００の範囲内とするとともに、前記濾過差圧／送液速度比の値を３．７６〜１５．４（（ｋｇｆ／ｃｍ2）／（ｍ／秒））の範囲内とする請求項１に記載のフィルタの製造方法。
【請求項３】
多孔質基材が、長手方向に単一若しくは複数の貫通孔が形成された円筒体であって、当該多孔質基材の貫通孔内部側と外周面側とを気密的に隔離した状態で、成膜用のスラリーを前記貫通孔内に連続的に送液して貫通孔内壁に接触させ、次いで、前記多孔質基材の貫通孔内部側と外周面側との間に濾過差圧を付与することにより、多孔質基材の貫通孔内壁にスラリーを成膜する請求項１又は２に記載のフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記濾過抵抗剤として、ウエランガム、寒天、アクリル系樹脂、ゼラチン、及びキトサンの群から選択される少なくとも一種を用いる請求項１〜３のいずれか一項に記載のフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記濾過抵抗剤として、ウエランガムを用いる請求項１〜３のいずれか一項に記載のフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック多孔質膜（以下、「多孔質膜」という。）を分離膜とするフィルタの製造方法に関し、詳しくは、膜厚が均一で、膜面が平滑であり、かつ、細孔径分布がシャープな多孔質膜を形成することができるフィルタの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
セラミック多孔質膜を分離膜とするフィルタは、高分子膜を分離膜とするフィルタ等と比較して、物理的強度、耐久性に優れるため信頼性が高いこと、耐食性が高いため酸アルカリ等による洗浄を行っても劣化が少ないこと、更には、濾過能力を決定する細孔径の精密な制御が可能である点において、固液分離用のフィルタ等として有用である。
【０００３】
通常、前記のフィルタは、透水量を確保しつつ濾過性能を向上させる観点から、多孔質基材の表面に、当該多孔質基材の細孔に比して更に細孔径が小さいセラミック多孔質膜を形成し、分離膜とした構造のものが汎用される。
【０００４】
前記のフィルタは、多孔質基材の表面に、従来公知のスラリー成膜方法、例えばディッピング法等によりセラミックからなる骨材粒子を含むスラリーを成膜した後、当該成膜体を焼成することにより製造することができるが、本出願人はピンホール等の膜欠陥を防止することができる優れたスラリー成膜方法である濾過成膜法を既に開示している（特公昭６３−６６５６６号公報）。
【０００５】
濾過成膜法とは、多孔質基材の細孔内を液体で置換した後、当該多孔質基材のうち分離膜を形成すべき面と分離膜を形成しない面とを気密的に隔離した状態において、前記分離膜を形成すべき面に対し、セラミックからなる骨材粒子を含む成膜用のスラリーを連続的に送液して接触させ、次いで、前記分離膜を形成すべき面側と前記分離膜を形成しない面との間に濾過差圧を付与することにより、多孔質基材表面にスラリーを成膜する方法である。
【０００６】
円筒体の長手方向に単一の貫通孔が形成された多孔質基材（以下、「チューブ状基材」という。）の貫通孔内壁にスラリーを成膜する例により説明すると、例えば図４に示すような、真空チャンバ６、貯蔵槽８、ポンプ７、フランジ２，３、配管１０等からなる装置に対し、細孔内を液体で置換した多孔質基材１の貫通孔内部側と外周面側とをフランジ２，３，ボルト５で気密的に隔離した状態で固定する。
【０００７】
次いで、貯蔵槽８内のスラリー９をポンプ７により多孔質基材１の貫通孔内に連続的に送液して貫通孔内壁１２に接触させながら、真空チャンバ６内を真空ポンプ１３により真空排気し、多孔質基材１の外周面側を減圧状態とする。このような操作により、多孔質基材１の外周面側と貫通孔内壁１２側との間に濾過差圧が付与されるため、多孔質基材１の貫通孔内壁１２にはスラリーが成膜され、スラリー中の水分は濾液として多孔質基材１外周面側から排出される。
【０００８】
上述の濾過成膜法では、多孔質基材１の細孔内に残存する空気を液体で置換せしめる前処理を行っているため、当該細孔内の空気に起因するピンホール等の膜欠陥を防止することができ、また、スラリーを貫通孔内に連続的に供給するため、スラリー中の骨材粒子が沈降し難く、厚さが均一で、均質な成膜を行うことができる。従って、ディッピング法等の成膜方法と比較して更に良質なフィルタを得ることができるのである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年、フィルタの処理能力を向上すべく、フィルタの濾過面積、或いはフィルタ自体の大型化が図られていること等に起因して、厚さが均一で、均質な成膜ができるという濾過成膜法のメリットが減殺される場合が生じていた。
【００１０】
第１には、円筒体の長手方向に貫通孔が形成されたチューブ状等の多孔質基材を長さ５０ｃｍ以上に長尺化した場合の問題点がある。
即ち、多孔質基材が長尺になった場合、図５に示すように多孔質基材の貫通孔のうち、スラリー供給側末端ほど成膜が進行し易く、逆にスラリー排出側末端ほど成膜が進行し難いという現象が生じ、貫通孔内において均一な膜厚でスラリーを成膜することが困難であるという問題点があった。
【００１１】
第２には、単位体積当たりの濾過面積を大きくし、濾過処理能力を高めるため、円筒体の長手方向に多数の平行な貫通孔が形成され、当該貫通孔の内壁に分離膜を形成したフィルタを製造する際の問題点がある。
【００１２】
即ち、円筒体の長手方向に多数の平行な貫通孔が形成された多孔質基材（以下、「レンコン状基材」という。）に対して濾過成膜法を適用しようとすると、図６に示すように多孔質基材の多数の貫通孔のうち外周面側の貫通孔ほど成膜が進行し易く、逆に多孔質基材中心部近傍の貫通孔ほど成膜が進行し難いため、全ての貫通孔に均一な膜厚でスラリーを成膜することが困難であることに加え、１の貫通孔内においても多孔質基材の外周側に偏肉してスラリーが成膜されるという問題点があった。
【００１３】
第２の問題点については、スラリーの成膜厚さを厚くすることにより若干は解消されるものの、膜厚を完全に均一化できるわけではなく、また、このような方法では焼成により形成される多孔質膜も厚膜化し、フィルタの透水量（即ち、濾過処理能力）を低下させる点において好ましくない。
【００１４】
更に、第３の問題点として、基材の形状を問わず、図７に示すように、形成される多孔質膜の表面が凸凹となったり、或いは多孔質膜の細孔径分布がブロードになったりする場合があるという問題点もあった。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、膜厚が均一で、膜面が平滑であり、かつ、細孔径分布がシャープな多孔質膜を形成することができるフィルタの製造方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明者らが鋭意検討した結果、上記従来技術の問題点は濾過成膜の際に基材の部位により付与される濾過差圧が異なることに起因するものであり、形成された成膜層に濾過抵抗を付与するための有機高分子を成膜用スラリー中に添加するとともに、骨材粒子の濾過抵抗剤に対する質量比（骨材／濾過抵抗剤比）、及び濾過差圧のスラリーの送液速度に対する比（濾過差圧／送液速度比）の値を適宜設定して限界膜厚を制御し、その限界膜厚の５０％以上成膜することにより解決できることを見出して本発明を完成した。
【００１６】
即ち、本発明によれば、多孔質基材の細孔内を液体で置換した後、当該多孔質基材のうち分離膜を形成すべき面と分離膜を形成しない面とを気密的に隔離した状態において、前記分離膜を形成すべき面に対し、セラミックからなる骨材粒子を含む成膜用のスラリーを連続的に送液して接触させ、次いで、前記分離膜を形成すべき面側と前記分離膜を形成しない面側との間に濾過差圧を付与することにより、多孔質基材表面にスラリーを成膜する工程、を備えたセラミック多孔質膜を分離膜とするフィルタの製造方法であって、形成された成膜層に濾過抵抗を付与するための有機高分子を、前記スラリーに添加するとともに、前記骨材粒子の前記濾過抵抗剤に対する質量比（骨材／濾過抵抗剤比）、及び前記濾過差圧の前記スラリーの送液速度に対する比（濾過差圧／送液速度比）の値を適宜設定して限界膜厚を制御し、その限界膜厚の５０％以上成膜する、セラミック多孔質膜を分離膜とするフィルタの製造方法が提供される。
【００１７】
本発明の製造方法においては、前記骨材／濾過抵抗剤比の値を２０〜２００の範囲内とするとともに、前記濾過差圧／送液速度比の値を３．７６〜１５．４（（ｋｇｆ／ｃｍ2）／（ｍ／秒））の範囲内とすることが好ましく、多孔質基材が、長手方向に単一若しくは複数の貫通孔が形成された円筒体であって、当該多孔質基材の貫通孔内部側と外周面側とを気密的に隔離した状態で、成膜用のスラリーを前記貫通孔内に連続的に送液して貫通孔内壁に接触させ、次いで、前記多孔質基材の貫通孔内部側と外周面側との間に濾過差圧を付与することにより、多孔質基材の貫通孔内壁にスラリーを成膜することが好ましく、前記濾過抵抗剤として、ウエランガム、寒天、アクリル系樹脂、ゼラチン、及びキトサンの群から選択される少なくとも一種を用いることが好ましく、前記濾過抵抗剤として、ウエランガムを用いることが特に好ましい。
【００１８】
本発明のフィルタの製造方法は、濾過成膜法で多孔質基材にスラリーを成膜する工程において、形成された成膜層に濾過抵抗を付与するための有機高分子を、前記スラリーに添加するとともに、骨材粒子の濾過抵抗剤に対する質量比（骨材／濾過抵抗剤比）、及び濾過差圧のスラリーの送液速度に対する比（濾過差圧／送液速度比）の値を適宜設定して限界膜厚を制御し、その限界膜厚の５０％以上成膜することを特徴とする。本発明によれば、膜厚が均一で、膜面が平滑であり、かつ、細孔径分布がシャープな多孔質膜を形成することが可能となる。
【００１９】
以下、本発明のフィルタの製造方法について詳細に説明する。
なお、以下の説明においては「細孔径」、「粒径」は各々「平均細孔径」、「平均粒径」を意味するものとする。
【００２０】
本発明における多孔質基材（以下、「基材」という。）とは、細孔径が０．０５〜５０μｍの、比較的細孔径が大きい多数の細孔を有する多孔質体をいい、多孔質体の表面に更に細孔径が小さい多孔質膜が形成されているものであっても良い。
【００２１】
基材の材質は、多孔質材料である限りにおいて特に限定されず、例えばセラミック、或いは金属のいずれもが使用できる。但し、耐久性を考慮するとセラミックであることが好ましく、具体的にはアルミナ、チタニア、ムライト、ジルコニア、或いはこれらの混合物等を好適に用いることができる。
【００２２】
本発明の製造方法においては、基材の形状は特に限定されず、板状等であってもよいが、後述するように長さが５０ｃｍ以上である比較的長尺のチューブ状基材、或いはレンコン状基材の貫通孔内壁にスラリーを成膜する場合に特に好適に用いることができる。
【００２３】
本発明における成膜用スラリーとは、焼成により基材表面に分離膜たるセラミック多孔質膜を形成するためのスラリーであって、セラミックからなる骨材粒子を含むものである。
本発明における骨材粒子とは、多孔質膜の骨格を形成する粒子をいい、当該骨材粒子の粒径により多孔質膜の細孔径、ひいてはフィルタ機能が決定される。
【００２４】
即ち、骨材粒子の粒径を適宣選択することにより、所望の細孔径を有する多孔質膜を得ることが可能である。本発明においては、細孔径が０．０５〜１μｍ程度の多孔質膜を形成することを目的とするため、０．１〜１０μｍ程度の比較的粒径が小さい骨材粒子を使用する。
【００２５】
骨材粒子の種類はセラミックである限りにおいて特に限定されず、例えばアルミナ、チタニア、ムライト、ジルコニア、シリカ、スピネル或いはこれらの混合物等を用いることができる。
【００２６】
スラリー中の骨材粒子の濃度は、成膜する膜厚にもよるが通常は０．５〜４０重量％に調整することが好ましい。０．５重量％未満では成膜に時間がかかり、４０重量％を超えると骨材粒子の凝集が起こり、多孔質膜とした際に欠陥を生じ易くなるからである。スラリー中には、分散性向上のための分散剤、成膜体乾燥時のクラックを防止するためのクラック防止剤等、目的に応じた添加剤を添加しても良い。
【００２７】
また、本発明における成膜用のスラリーには、セラミック微粒子又は熱処理によりセラミックに変換される化合物等の結合材を含んでいても良い（以下、このようなスラリーを「低温焼成用スラリー」という。）。
このような結合材は焼成時に微粒子−微粒子間、微粒子−骨材粒子間で強固に結合するため、骨材粒子同士がネックを形成しない３００〜７００℃の条件で焼成した場合でも高強度の多孔質膜を形成することができる。
【００２８】
本発明においてセラミック微粒子というときは、粒径が５〜１００ｎｍの範囲内のセラミック粒子を意味し、具体的にはセラミックゾル粒子、セラミック微粉末粒子（以下、「ゾル粒子」、「微粉末粒子」という。）等が挙げられる。なお、粒径５ｎｍ未満では微粒子同士が凝集して良質の多孔質膜を形成し難く、粒径１００ｎｍ超では結合力が弱く、骨材粒子を強固に結合することが困難となる。
【００２９】
熱処理によりセラミックに変換される化合物（以下、「プレカーサ」という。）としては、例えばオキシ塩化ジルコニウム、四塩化チタン等が挙げられる。プレカーサは大気雰囲気下、３００〜７００℃の条件で焼成することにより酸化され、セラミックに変換されるため、上述のセラミック微粒子と同様の効果を得ることができる。
【００３０】
結合材のセラミック種は特に限定されないが、骨材粒子と比較して腐食され易い結合部の耐食性を向上させることができる点において、チタニア又はジルコニアを主成分とし、その含有量が５０重量％以上のものを用いることが好ましい。含有量８０重量％以上のものを用いれば、更に高い耐アルカリ性を確保できる。
【００３１】
ゾル粒子、微粉末粒子は自ら調製しても良いが、ゾル粒子としては固形分濃度が５〜４０％のゾル液、例えばチタンイソプロポキシドの加水分解物ゾル「ＴＲ−２０Ａ」（商品名：日産化学工業（株）製）等が、微粉末粒子としては「ＮａｎｏＴｅｋ（ＴｉＯ２）」（商品名：シーアイ化成（株）製）等が市販されているため、これらを用いても良い。
【００３２】
本発明の製造方法においては、上述の成膜用スラリーを既述の濾過成膜法により基材表面に成膜する。
濾過成膜法による成膜では、まず多孔質基材の細孔内の空気を液体で置換せしめる前処理を行う。細孔内に空気が残存していると成膜時にピンホール等の欠陥を生ずる原因となるからである。
【００３３】
具体的には、基材を液体中に浸漬して振動させる方法もあるが、基材を液体中に浸漬して加熱（煮沸）し、或いは減圧状態におくことにより一層確実に細孔内の空気を除去することができる。空気と置換せしめる液体としては、スラリー溶媒であり、かつ、取扱いが容易な水を用いることが好ましい。
【００３４】
上述の前処理を施した基材は、分離膜を形成すべき面と分離膜を形成しない面とを気密的に隔離した後、分離膜を形成すべき面に対して成膜用のスラリーを連続的に送液して接触させる。
スラリーを連続的に送液することによりスラリー中の骨材粒子が沈降せず均質で均一な厚さの成膜を行うことができるからである。
【００３５】
なお、「分離膜を形成すべき面」、「分離膜を形成しない面」とは、基材形状によっても異なるが、平板状の基材であれば表面と裏面、チューブ状基材，レンコン状基材であれば貫通孔内壁と基材外周面との関係を意味する。
【００３６】
更に、本発明においては、上述のように分離膜を形成すべき面に対して成膜用のスラリーを連続的に送液して接触させた状態で、分離膜を形成すべき面側と分離膜を形成しない面側との間に濾過差圧を付与する。
具体的には、分離膜を形成しない面側を減圧状態とし、及び／又は分離膜を形成すべき面側を加圧状態とする。
【００３７】
濾過差圧が付与されることにより、基材細孔内を置換していた液体が基材の分離膜を形成しない面側から排出される一方、基材の分離膜を形成すべき面にはスラリーが成膜される。最終的には、スラリーの送液を停止し、残余のスラリーを排出した後、減圧状態を保ちつつ脱水すればよい。この脱水時間はスラリーの性状等により異なるが、通常、１分から１時間程度である。
【００３８】
ところで、従前の濾過成膜法においては、▲１▼長尺の基材の貫通孔内壁に成膜すると、スラリー供給側末端ほど成膜が進行し易く、逆にスラリー排出側末端ほど成膜が進行し難い（図５）、▲２▼レンコン状基材の貫通孔内壁に成膜すると、基材外周面側の貫通孔ほど成膜が進行し易く、逆に基材中心部近傍の貫通孔ほど成膜が進行し難い（図６）、▲３▼形成される多孔質膜の表面が凸凹となったり（図７）、多孔質膜の細孔径分布がブロードになる等の現象が生じ、良質な多孔質膜を得られない場合が生じていた。
【００３９】
本発明者らが前記現象につき詳細に検討したところ、濾過成膜の際に基材の部位によって付与される濾過差圧が異なり、成膜の程度に差が生じているためであることを見出した。
【００４０】
例えば、レンコン状基材の例で説明すれば、減圧状態となっている基材外周側近傍の貫通孔ほど基材内における圧力損失が小さく濾過差圧が大きいため成膜が進行し易く、逆に基材中心近傍の貫通孔ほど基材内における圧力損失が大きく濾過差圧が小さくなるため成膜が進行し難いのである。上述した他の現象も同様の理由によるものと考えられる。
【００４１】
そこで、本発明の製造方法においては、形成された成膜層に濾過抵抗を付与するための有機高分子（以下、「濾過抵抗剤」という。）を、成膜用のスラリーに添加することとした。形成された成膜層に濾過抵抗を付与することにより、成膜層内を溶媒が透過する抵抗が基材内の抵抗と比較して著しく大きくなる。従って、基材内における圧力損失の差に拘わらず、基材の分離膜を形成すべき面全体に対し、より均一に濾過差圧がかかるようになる。
【００４２】
濾過抵抗剤は、スラリー成膜時においては成膜層に濾過抵抗を付与することができ、焼成して多孔質膜とした後は多孔質膜や基材の細孔部分を閉塞しない材料、即ち、有機質の高分子であることが必要である。
有機高分子のような長鎖状分子は、基材や成膜層内部に留まり易く、濾過抵抗をさらに大きくすることができる点においても好ましい。
【００４３】
濾過抵抗剤としては、合成高分子の他、ゼラチン、デンプン、キトサン等の天然高分子も使用できるが、中でもウエランガム、寒天或いはこれらを含む混合物、又はアクリル系樹脂を好適に用いることができる。ウエランガム、寒天は分子同士が絡みあって更に大きな分子のように挙動するため、極少量の添加により濾過抵抗を大きくできる点において特に好ましい。
【００４４】
ウエランガムとは多糖類の１種であって、▲１▼２分子のグルコース、２分子のラムノース、及び１分子のグルクロン酸、若しくは▲２▼２分子のグルコース、１分子のラムノース、１分子のマンノース、及び１分子のグルクロン酸、のいずれかを繰り返し単位とする天然の多糖である。
【００４５】
また、本発明において「混合物」というときは、ウエランガム又は寒天が１重量％以上含まれる混合物を意味する。なお、ウエランガムや寒天と混合する物質は特に限定されないが、単糖（例えばグルコース）やオリゴ糖のような糖類の他、ポリビニルアルコール、アクリル系樹脂、ポリエチレングリコール等も用いることができる。
【００４６】
なお、成膜用スラリーが低温焼成用スラリーの場合には、濾過抵抗剤は上述の条件を満たす他、酸性条件下で化学的に安定であることが必要である。低温焼成用スラリーはｐＨ＝２以下の強酸性となるからである。
【００４７】
例えば結合材がセラミックゾル粒子の場合にはゾル粒子を安定に分散させるために酸性溶液としておく必要があり、また、プレカーサであるオキシ塩化ジルコニウムや四塩化チタンからは下記の反応式（１），（２）に示すように塩酸が生ずるため、酸性の溶液となるからである。
ＺｒＯＣｌ２＋Ｈ２Ｏ  →  ＺｒＯ２＋２ＨＣｌ  …  （１）
ＴｉＣｌ４＋２Ｈ２Ｏ    →    ＴｉＯ２＋４ＨＣｌ    …    （２）
【００４８】
更に、濾過抵抗剤が結合材の機能を阻害するものであってはならない。即ち、濾過抵抗剤の種類によってはスラリーに添加することにより形成される多孔質膜の強度が低下する場合があるからである。
【００４９】
このような条件を満たす濾過抵抗剤としては、ウエランガム、寒天或いはこれらを含む混合物が挙げられる。これらの濾過抵抗剤は使用できるスラリー組成の範囲が広い点においても好ましい。中でもウエランガムは耐酸性が高くスラリー中で長時間安定に存在するため特に好ましい。
【００５０】
結合材がチタニアゾル粒子である場合においては、濾過抵抗剤はアクリル系樹脂であってもよいが、この場合においてはスラリーの調製方法が問題となる。例えば、骨材粒子と、チタニアゾル粒子とを含むスラリーを調製した後、アクリル系樹脂等の全量を一度に添加すると、チタニアゾル粒子とアクリル系樹脂とが絡み合って不可逆的に凝集粒子を形成する場合があるからである。
【００５１】
この場合においてはチタニアゾル粒子の水溶液に、アクリル系樹脂を滴下・混合し、次いで当該混合液に対して骨材粒子を含むスラリーを滴下・混合することにより、成膜用のスラリーを調製する。このような方法によれば、チタニアゾル粒子とアクリル系樹脂とが絡み合って不可逆的に凝集粒子を形成することなく成膜用スラリーを調製することが可能となる。
【００５２】
なお、従前は低温焼成用スラリーを濾過成膜しようとすると、多量の結合材を添加しなければ膜と基材とが充分な密着強度を得ることができないという問題点があった。これは成膜時の減圧吸引操作により濾液とともに結合材も排水されてしまい、密着強度を発現するに必要な量の結合材が成膜層内部に残らないためである。しかし、本発明のように濾過抵抗剤を添加することにより、結合材が成膜層内部にとどまり易くなるため、スラリーに添加する結合材量を低減することも可能となる。
【００５３】
また、本発明の製造方法においては、骨材粒子と濾過抵抗剤との重量比或いはスラリーの送液速度と濾過差圧との比率によってスラリーの成膜厚さを制御することが可能である。これは濾過抵抗剤を添加したスラリーを濾過成膜法により成膜する際に、濾過成膜の操作を継続しても、それ以上膜厚が増加しなくなる膜厚（以下、このような膜厚を「限界膜厚」という。）が存在し、更には限界膜厚が前記の因子によって制御可能だからである。
【００５４】
限界膜厚が存在するのは以下の理由によるものと推定される。
スラリーの成膜がある程度進行し、成膜厚さが厚くなってくると、成膜層内における圧力損失が大きくなり、貫通孔内に送液されているスラリー中の骨材粒子を成膜面側に引きつける力が徐々に弱くなってくる。
【００５５】
一方、成膜面においては、連続的に送液されているスラリーのせん断力によって成膜層表面を掻き取る力が一定に作用している。従って、スラリー中の骨材粒子を成膜面側に引きつける力と成膜層表面を掻き取る力とが均衡すると、膜厚は一定となり、それ以上成長しなくなるのである。
【００５６】
このような機構の下では、スラリー中の骨材粒子を成膜面側に引きつける力を決定する濾過差圧と、成膜層表面を掻き取る力を決定するスラリー送液速度とによって限界膜厚を制御することが可能である。
即ち、スラリーの組成が同じであれば、濾過差圧とスラリー送液速度との比が大きいほど限界膜厚が大きくなり、小さいほど限界膜厚も小さくなる。
【００５７】
なお、本発明の製造方法において「スラリー送液速度」というときは、実際にスラリーが成膜面を移動する速度を意味し（このような速度を「膜面線速」という。）、送液ポンプからの吐出速度等を指すものではない。
成膜層表面を掻き取る力は実際にスラリーが成膜面を移動する速度により決定されるものであり、たとえ送液ポンプからの吐出速度等が同じであっても基材の貫通孔径が小さければ成膜層表面を掻き取る力は大きくなるからである。
【００５８】
また、限界膜厚は成膜層における濾過抵抗の大きさの影響も受けると推定される。濾過抵抗が大きいとスラリー中の骨材粒子を成膜面側に引きつける力が弱くなるからである。従って、濾過抵抗を決定するスラリー中における骨材粒子と濾過抵抗剤との重量比によって限界膜厚を制御することも可能である。即ち、既述した濾過差圧、スラリー送液速度等の成膜条件が同じであれば、骨材粒子と濾過抵抗剤との重量比が大きいほど限界膜厚が大きくなり、一方、骨材粒子と濾過抵抗剤との重量比が小さいほど限界膜厚が小さくなる。
【００５９】
本発明の製造方法においては、膜厚を均一化できることに加えて、スラリーの成膜条件やスラリー組成を適宜設定することにより所望の厚さの多孔質膜を有するフィルタを製造することができる。
このような製造方法は、膜厚の均一性を保持しつつ、多孔質膜を薄膜化できるため、濾過性能を確保しつつ、透水量の大きい（即ち、処理能力の高い）フィルタを簡便に製造できる点において非常に有用な製造方法である。
【００６０】
なお、長尺の基材やレンコン状基材においては、比較的濾過抵抗のかかり難い、長尺基材のスラリー排出側末端やレンコン状基材の基材中心部近傍の貫通孔についても、より確実に膜厚を均一化できる点において限界膜厚まで成膜を行うことが好ましい。但し、限界膜厚の５０％以上成膜されていれば、膜厚均一化の効果を得ることができ、必ずしも限界膜厚まで成膜する必要はない。
【００６１】
上述のような方法により、表面に骨材粒子を含むスラリーが成膜された基材（以下、「成膜体」という。）を得ることができ、当該成膜体を１４００℃程度の高温で焼成する方法等で焼成することにより、基材表面に厚さ１〜３００μｍ程度、細孔径が０．０５〜１μｍ程度の薄膜状の多孔質膜からなる分離膜が形成されたフィルタが製造される（以下、「高温焼成法」という。）。
【００６２】
また、結合材を含む低温焼成用スラリーを成膜した成膜体については、大気雰囲気下、３００〜７００℃の条件で焼成すればよい（以下、「低温焼成法」という。）。３００℃より低温では骨材粒子間に強固な結合部が形成できず、７００℃より高温では骨材粒子間の結合はより強固になるものの、耐火設備が必要となることに加え、大量のエネルギーが必要となりコストアップにつながるためである。
【００６３】
いずれの焼成方法を採る場合でも、温度以外の熱処理条件については、特に限定されないが、大量生産に好適なトンネル式の炉を使用して熱処理することが好ましい。
【００６４】
【実施例】
以下、本発明の製造方法を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
まず、本実施例で使用した多孔質基材、成膜用スラリー及び、成膜方法、焼成方法について説明する。
【００６５】
（１）多孔質基材
多孔質基材（以下、「基材」という。）としては、以下に掲げる３種類のものを適宜選択して使用した。いずれの基材も０．１ａｔｍ以下の真空条件下、３時間以上水中に浸漬して、基材細孔内の空気を水で置換せしめる前処理を行った。
【００６６】
▲１▼基材Ａ〜材質：アルミナ、形状：円筒チューブ状（外径１０ｍｍ、内径７ｍｍ、長さ１０００ｍｍ）、平均細孔径：１０μｍ（水銀圧入法）。
▲２▼基材Ｂ〜基材Ａの貫通孔内壁面にアルミナ多孔質膜を形成したもの。多孔質膜膜厚：１５０μｍ、多孔質膜平均細孔径：０．８μｍ（エアーフロー法）。
▲３▼基材Ｃ〜円筒レンコン状基材の貫通孔内壁面にアルミナ多孔質膜を形成したもの。基材材質：アルミナ、基材形状：円筒レンコン状（外径３０ｍｍ、長さ１１００ｍｍ、直径２．５ｍｍの貫通孔を６１穴形成）、基材平均細孔径：１０μｍ（水銀圧入法）、多孔質膜膜厚：１５０μｍ、多孔質膜平均細孔径：０．５μｍ（水銀圧入法）。
【００６７】
（２）成膜用スラリー
成膜用スラリー（以下、「スラリー」という。）は、スラリー中の気泡を除去するための真空脱気処理を行った後、基材に成膜した。
【００６８】
（３）成膜方法
成膜方法としては、濾過成膜法を採用し、図４に示すような真空チャンバ６、貯蔵槽８、スラリーポンプ７、フランジ２，３、配管１０等からなる装置により実施した。
【００６９】
基材１は、基材１外周面側と貫通孔１７内部とが気密的に隔離されるように貫通孔１７の両開口端をＯ−リング４，フランジ２，３、ボルト５により固定した後、貯蔵槽８内のスラリー９をスラリーポンプ７により２Ｋｇ／ｃｍ２の吐出圧で貫通孔１７内に３０秒間連続的に送液した。
なお、基材１に成膜されず貫通孔１７内を通過したスラリー９は、配管１０を通過して貯蔵槽８に循環される。
【００７０】
その後、スラリー９の送液を継続しながら真空チャンバ６内を０．１ａｔｍ以下の真空条件とし、基材１外周面側と貫通孔１７内部との間に濾過差圧を付与することにより、貫通孔１７内のスラリーを基材１外周面側から減圧吸引し成膜を行った。この場合における濾過差圧は、圧力計１５で示される貫通孔１７内のスラリー９の圧力と圧力計１６で示される真空チャンバ６内の雰囲気圧力との差圧となる。
【００７１】
成膜終了後、貫通孔１７内の遊離のスラリーを排出し、０．１ａｔｍ以下の真空条件で減圧吸引を継続することにより、成膜層及び基材細孔内に含まれる水分を減圧脱水した。更に、１１０℃雰囲気で乾燥することにより成膜体とした。
【００７２】
（４）焼成方法
焼成はいずれも大気処理用の電気炉を使用して行った。
【００７３】
表中の「アクリル系樹脂」としては東亜合成（株）製のアロンＡＳ−７５０３（商品名）を使用した。
なお、アロンＡＳ−７５０３（商品名）はアクアゾル型のアクリル系樹脂であって、ポリエチレングリコール等の水溶性高分子を溶解した水中で、水溶性のアクリル酸系モノマーをグラフト重合させてなるＷ／Ｗ型エマルションである。
【００７４】
また、「寒天製剤」とは寒天６０重量％、残部がグルコースからなる混合物を、「ウエランガム／ＰＶＡ」とはウエランガム１０重量％、ポリビニルアルコール９０重量％からなる混合物を、「寒天／アクリル」とは寒天３７重量％、アロンＡＳ−７５０３（商品名）６３重量％からなる混合物を意味する。
【００７５】
（実施例１）
実施例１では、濾過抵抗剤による膜厚均一化の効果を検証した。
スラリーは濾過抵抗剤を溶解した水溶液に対し、骨材粒子を添加して混合し、表１に記載の成膜用スラリーを調製した。スラリー中の骨材濃度は１７重量％とした。基材としては基材Ａを用いた。成膜条件は膜面線速０．１３ｍｌ／秒、濾過差圧は１ｋｇｆ／ｃｍ２とした。焼成条件は１４００℃、１時間とした。
【００７６】
膜厚均一性については、走査型電子顕微鏡を用いてフィルタの長手方向の両端部近傍及び、中央部近傍の多孔質膜断面を写真撮影し、膜厚を各々１０箇所づつ測定し、その平均値と標準偏差により評価した。
膜厚の標準偏差が２０％以内の場合は均一に成膜されたものとして○、２０％を超える場合は均一に成膜されなかったものとして×と表記した。
【００７７】
【表１】
0003625682.tif 000002
【００７８】
（結果）
表１に示すように、濾過抵抗剤を添加しない場合には膜厚の標準偏差が７５％であり、膜厚が均一な多孔質膜を形成することができなかった（比較例１−１）。また、グリセリンやエチレングリコールは骨材粒子との比を１０としスラリー中に多量に添加した場合でも膜厚が均一な多孔質膜を形成することができず、濾過抵抗剤として機能しなかった（比較例１−２，１−３）。
【００７９】
一方、実施例１−１〜１−７に示すように、ウエランガム，寒天，寒天製剤，アクリル系樹脂，ゼラチン，馬鈴薯デンプン，ウエランガム／ＰＶＡ，寒天／アクリルをスラリーに添加すると、膜厚が均一な多孔質膜を形成することができ、濾過抵抗剤として良好な特性を示した。特にウエランガム，寒天，寒天製剤，ウエランガム／ＰＶＡは膜厚のバラツキなく成膜できる点において良好な結果を得た。
【００８０】
（実施例２）
実施例２では、成膜用スラリーの組成及び成膜条件による膜厚制御の効果を検証した。成膜用スラリーは濾過抵抗剤を溶解した水溶液に骨材粒子を添加して混合し調製した。当該スラリーは表２に記載の成膜条件により基材Ａに成膜し、１４００℃で１時間焼成してフィルタとした。膜厚均一性は実施例１と同様に評価した。その結果を表２に示す。
【００８１】
【表２】
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【００８２】
実施例２−１，２−３〜２−６では成膜条件を一定にし、成膜用スラリーの組成による膜厚制御の効果を検証した。その結果、骨材粒子と濾過抵抗剤との重量比（以下、「骨材／抵抗剤比」という。）に従って限界膜厚が変化し、膜厚を制御することができた。
また、骨材／抵抗剤比が２０〜２００の範囲においては形成される多孔質膜の膜厚の標準偏差が２０％以内となり、膜厚も均一化された。
【００８３】
更には、骨材／抵抗剤比が２０〜２００の範囲であっても、骨材／抵抗剤比が小さい（即ち、濾過抵抗剤の添加量が多い）方がより膜厚を均一化する効果が大きかった。一方、比較例２−２のように濾過抵抗剤を添加していても骨材／抵抗剤比が大きい（即ち、濾過抵抗剤の添加量が少ない）場合には、膜厚を均一化する効果が得られなかった。
【００８４】
実施例２−１，２−３〜２−６は、濾過抵抗剤としてウエランガムを用いたが、寒天製剤を用いた場合でも骨材／抵抗剤比により膜厚を制御することが可能であり、膜厚も均一化された（実施例２−１４〜２−１６）。
【００８５】
実施例２−７〜２−１０では、スラリーの組成を一定にし、成膜条件による膜厚制御の効果を検証した。その結果、濾過差圧と膜面線速との比率（以下、「濾過差圧／膜面線速比」という。）に従って限界膜厚が変化し、膜厚を制御することができた。
また、濾過差圧／膜面線速比が３．７６〜１５．４の範囲においては形成される多孔質膜の膜厚の標準偏差が２０％以内となり、膜厚も均一化された。
【００８６】
濾過差圧／膜面線速比は、実施例２−７，２−８のように濾過差圧のみ、実施例２−９，２−１０のように膜面線速のみを変化させることにより、或いは濾過差圧と膜面線速の双方を変化させることにより制御することができる。
【００８７】
実施例２−１，２−３〜２−１０に示したように限界膜厚は、骨材／抵抗剤比，濾過差圧／膜面線速比の一方若しくは双方を変化させることによってのみ制御できる。従って、骨材／抵抗剤比，濾過差圧／膜面線速比が一定である限り、限界膜厚はスラリー中の骨材濃度（実施例２−１１，２−１２）、骨材粒径（実施例２−１３）によっては制御できなかった。
【００８８】
なお、膜厚を均一化する効果については、実施例２−２に示すように必ずしも限界膜厚まで成膜しなくとも得ることができた。
具体的には、実施例２−２のように限界膜厚の５０％以上成膜されていれば、膜厚は均一化された。一方、比較例２−１に示すように成膜厚さが限界膜厚の５０％未満の場合には膜厚を均一化できなかった。
【００８９】
（実施例３）
実施例３では、結合材を含む低温焼成用スラリーに使用可能な濾過抵抗剤のスクリーニングを行った。濾過抵抗剤を水で溶解した水溶液に対し、結合材のオキシ塩化ジルコニウム、次いで骨材粒子を添加して混合し表３に記載の成膜用スラリーを調製した。スラリー中の骨材濃度は１７重量％とし、基材としては既述の基材Ａを用いた。焼成条件は５５０℃、４時間とした。
【００９０】
スラリー安定性については骨材粒子が凝集することなくスラリーが調製でき、未成膜部分がなく成膜ができた場合には○、スラリーが調製できないか、未成膜部分が生じた場合には×として評価した。
【００９１】
膜厚均一性については実施例１と同様の方法で、膜強度については膜間差圧５Ｋｇ／ｃｍ２で逆洗操作を１００回行い、その前後において透水量及び多孔質膜の最大細孔径に変化がなかった場合は○、変化した場合は×として評価した。その結果を表３に示す。
【００９２】
【表３】
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【００９３】
（結果）
表３に示すように、キトサン、寒天、寒天混合物、ウエランガム等の多糖類については、スラリー安定性、耐酸性、膜厚の均一性、膜強度とも良好な結果を得た（実施例３−１〜３−４）。
【００９４】
一方、ポリビニルピリジンはスラリー安定性は良好であるものの、膜厚均一性、膜強度の点で問題があり（比較例３−１）、アクリル系樹脂はたとえ滴下混合してもそれ自身が凝集沈殿してしまい、スラリー安定性の面で問題があった（比較例３−２）。
【００９５】
（実施例４）
実施例４では、結合材としてオキシ塩化ジルコニウムを含む低温焼成用スラリーを種々の骨材粒径、骨材濃度の条件の下で成膜、焼成し、膜厚均一化の効果について検証した。濾過抵抗剤を水で溶解した水溶液に対し、結合材のオキシ塩化ジルコニウム、次いで骨材粒子を添加して混合し表４に記載の成膜用スラリーを調製した。焼成条件は５５０℃、４時間とした。
【００９６】
膜厚均一性は実施例１と同様に評価した。なお、調製したスラリーについては経時的に同様の成膜を行い、膜厚均一化の効果が得られなくなる時間をスラリーの安定時間として表記した。その結果を表４に示す。
【００９７】
【表４】
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【００９８】
実施例４−１〜４−６に示すように、骨材粒子の粒径、骨材粒子の濃度、骨材粒子と濾過抵抗剤との重量比、濾過抵抗剤の濃度に拘わらず、安定な成膜用スラリーを調製でき、形成された多孔質膜の膜厚も均一化された。
【００９９】
但し、寒天製剤が６時間、寒天が４時間で膜厚均一化の効果を得られなくなったのに対し、耐酸性が高いウエランガムは３日以上スラリーが安定であり均一な膜厚で成膜することが可能であった。即ち、ウエランガムは、低温焼成用スラリーに添加する濾過抵抗剤として良好な特性を示した。
【０１００】
（実施例５）
実施例５では、結合材としてチタニアゾル粒子、濾過抵抗剤としてアクリル系樹脂を含む低温焼成用スラリーによる膜面平滑化、結合材量の削減、細孔径分布のシャープ化の効果について検証した。
【０１０１】
結合材としては、粒径３０ｎｍのチタニアゾル粒子を使用した。チタニアゾル粒子は、チタンイソプロポキシドを加水分解し、チタニア濃度を１５重量％、ｐＨを約１とした水溶液の状態で使用した。
ゾル粒子の粒径は、透過型電子顕微鏡により、各ゾル粒子の最大、最小直径の平均値を当該粒子の粒径とし、さらに１００個のゾル粒子について当該粒径の平均値を採り、ゾル粒子の粒径とした。
【０１０２】
骨材粒子はアルミナ或いはムライトの粉末、濾過抵抗剤のアクリル系樹脂としてはアロンＡＳ−７５０３（商品名：東亜合成（株）製）を使用した。但し、スラリーは以下の手順に従って調製した。
【０１０３】
まず、１５重量％チタニアゾル水溶液に対し、０．１〜１重量％アクリル系樹脂水溶液を滴下した混合液と、アルミナ粉末の固形分濃度を５０重量％として水に懸濁したアルミナスラリーを６０重量％硝酸でｐＨを２に調整したものを別途作製した。前記混合液に対し、前記アルミナスラリーを滴下混合し、スターラーで１時間混合して、表５に記載の成膜用スラリーを調整した。当該スラリーの骨材濃度は３重量％とした。
【０１０４】
上述のように調製された成膜用スラリーを既述の濾過成膜法により成膜して成膜体とし、６００℃で４時間焼成することによりフィルタを得た。
膜厚及び膜面平滑度は、走査型電子顕微鏡を用いて多孔質膜の断面を膜長５０μｍ分を１視野となるように写真撮影することにより評価した。即ち、膜厚は１００視野について測定した平均値とし、膜面平滑度については１視野中で膜の凸部と凹部との最大差が５μｍ以上あるものを×として評価した。
【０１０５】
膜密着強度は、フィルタの多孔質膜部分に透明粘着テープを貼着した後に剥ぎ取り、多孔質膜が全く剥離しなかった場合を○、一部でも剥離した場合を×として評価した。この他、細孔径分布はＡＳＴＭ  Ｆ３０６記載のエアーフロー法に基づいて測定し、透水量は膜間差圧１Ｋｇ／ｃｍ２、温度２５℃における、ろ過面積当たりの時間当たり透水量で評価した。その結果を表５に示す。
【０１０６】
【表５】
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【０１０７】
（結果）
表１に示すように、濾過抵抗剤を添加しない場合は、膜面に凹凸があり、剥離試験に耐え得る密着強度は得られなかった（比較例５−１）。また、結合材（チタニア）濃度を７重量％以上に高めれば密着強度は得られるものの、膜面には依然として凹凸があり平滑な膜面を得ることができなかった（比較例５−２，５−３）。更に、比較例５−２はフィルタの透水量も８ｍ３／ｍ２／日と低かった。
【０１０８】
一方、濾過抵抗剤を添加した場合はフィルタは全般的に良好な特性を示した。実施例５−１〜５−５では結合材（チタニア）濃度の影響を評価した。全般的に良好な結果を示しているが、結合材濃度が高いほどフィルタの透水量が低下する傾向が認められた。また、結合材濃度が低すぎると膜の密着強度が得られず（実施例５−１）、高すぎればフィルタにクラックを生じてしまう（実施例５−５）。
【０１０９】
実施例５−６〜５−７は骨材粒子種の影響について評価した。骨材粒子としてムライトを使用した場合でも、良好な結果を示した。
【０１１０】
図１は、本発明の実施例５−６及び比較例５−３のフィルタの多孔質膜近傍を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により撮影した微構造写真である。
この写真から明らかなように実施例５−６のフィルタ（図１（ａ））においては、基材表面の多孔質膜の膜厚が均一で、膜表面の平滑度が比較例５−３のフィルタ（図１（ｂ））と比較して格段に向上した。
【０１１１】
また、図２，図３に示す細孔径分布グラフから明らかなように、比較例５−３のフィルタ（図３）と比較して実施例５−６のフィルタ（図２）は、細孔径が均一化され、細孔径分布がシャープになった。
【０１１２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、膜厚が均一で、膜面が平滑であり、かつ、細孔径分布がシャープな多孔質膜を形成することが可能となる。特に、長尺の基材やレンコン状基材においても貫通孔に均一な膜厚でスラリーを成膜できる点において優れた製造方法である。
【０１１３】
また、本発明によれば、スラリーを所望の膜厚に制御して成膜することが可能となり、低温焼成法においては、結合材の使用量を低減することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】セラミックフィルタの表面近傍の粒子構造を示す写真であり、（ａ）は実施例５−６のフィルタ、（ｂ）は比較例５−３のフィルタを示す。
【図２】実施例５−６のセラミックフィルタに形成された多孔質膜の細孔径分布を示すグラフである。
【図３】比較例５−３のセラミックフィルタに形成された多孔質膜の細孔径分布を示すグラフである。
【図４】濾過成膜法に使用する装置の例を示す概略図である。
【図５】従前の濾過成膜法による一の成膜状態を示す概略説明図である。
【図６】従前の濾過成膜法による別の成膜状態を示す概略説明図である。
【図７】従前の濾過成膜法による更に別の成膜状態を示す概略説明図である。
【符号の説明】
１…多孔質基材、２，３…フランジ、４…Ｏ−リング、５…ボルト、６…真空チャンバ、７…スラリーポンプ、８…貯蔵槽、９…成膜用スラリー、１０…配管、１１，１４…バルブ、１２…多孔質基材の貫通孔内壁、１３…真空ポンプ、１５，１６…圧力計、１７…貫通孔、Ａ…供給口、Ｂ…排出口。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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