(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔質支持体にセラミック層を被着形成した複合部材を有機溶剤の蒸気分離フィルタとする有機蒸気分離装置であって、前記セラミック層が一般式として
【化１】
0003652137.tif 000008
で表されるフッ素系シリコンアルコキシドを用いて形成したフッ素とシリコンとの複合膜であることを特徴とする有機蒸気分離装置。
【請求項２】
前記多孔質支持体とセラミック層との間に、該多孔質支持体の平均細孔径より小さく、かつ前記セラミック層の平均細孔径より大きい平均細孔径を有する中間層を介在させたことを特徴とする請求項１に記載の有機蒸気分離装置。
【請求項３】
前記中間層が、γ―アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）より成ることを特徴とする請求項２に記載の有機蒸気分離装置。
【請求項４】
前記多孔質支持体が、管状体であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の有機蒸気分離装置。
【請求項５】
多孔質支持体に、一般式が
【化１】
0003652137.tif 000009
で表されるフッ素系シリコンアルコキシドを用いて形成したフッ素とシリコンとの複合膜から成るセラミック層を被着形成した複合部材を、有機溶剤の蒸気分離フィルタとする有機蒸気分離装置に、有機溶剤の蒸気を含む混合気体を供給し、前記蒸気分離フィルタが混合気体と接触する側の面と他方の面との間に差圧を設け、前記混合気体中から有機溶剤の蒸気を選択的に分離することを特徴とする有機蒸気分離方法。
【請求項６】
前記多孔質支持体とセラミック層との間に、該多孔質支持体の平均細孔径より小さく、かつ前記セラミック層の平均細孔径より大きい平均細孔径を有する中間層を介在させたことを特徴とする請求項５に記載の有機蒸気分離方法。
【請求項７】
前記中間層が、γ―アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）より成ることを特徴とする請求項６に記載の有機蒸気分離方法。
【請求項８】
前記多孔質支持体が、管状体であることを特徴とする請求項５乃至請求項７のいずれかに記載の有機蒸気分離方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機溶剤、より詳細には、飽和又は不飽和の脂肪族炭化水素類や芳香族炭化水素類、ハロゲン化炭化水素類、ケトン類、アルコール類、カルボン酸エステル類等の揮発性有機化合物の蒸気を含有する混合気体から有機化合物の蒸気のみを効率良く分離して除去、又は回収するのに有用な有機蒸気分離装置並びにそれを用いた有機蒸気分離方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子部品や金属部品等の洗浄分野や印刷分野、塗装分野、あるいは油槽所やタンカー等の石油精製プラント関連分野では、取り扱われる各種有機溶剤の使用量が大幅に増加してきており、それに伴って大気中に放出される有機溶剤の蒸気量も年々増加の一途を辿っている。
【０００３】
しかし、かかる有機溶剤の蒸気、例えば、洗浄用に広範に使用されてきたトリクロロエタン等はオゾン層破壊や地球温暖化、光化学スモッグ等の原因物質であり、これらが有機蒸気として大気中に排出されることは地球規模での環境破壊につながっており、前記有機溶剤の蒸気を含有する混合気体中からかかる有機蒸気を回収して大気中に放出しないことが環境保全の見地から要求されている。
【０００４】
従来より、このような各種分野における有機蒸気を含有する混合気体中から該有機蒸気を回収する方法としては、吸着法や吸収法、あるいは膜分離法等が既に知られている。
【０００５】
しかしながら前記吸着法は、一般的には１００〜２００００ｐｐｍ程度の濃度の有機蒸気を含有する混合気体を活性炭等の吸着剤に接触させて吸着させた後、スチームにて有機蒸気を回収することから、大型の設備を必要とすると共に、前記吸着剤に有機蒸気を吸着させた後、該有機蒸気を吸着剤から脱着させる操作を繰り返し行う必要がある上、該吸着剤からの有機蒸気の脱着に大量のエネルギーを要するため、経済的に極めて不利であるという問題があった。
【０００６】
更に、このように活性炭への吸脱着を利用する方法では、高濃度の有機蒸気を含有する混合気体中から該有機蒸気を回収するには、該有機蒸気の濃度が高いことから十分に分離除去することができず不適当である。
【０００７】
又、他の方法として前記吸収法は、有機蒸気を液状の有機溶剤に接触させて該有機溶剤に吸収させて回収するもので、この方法は、比較的高濃度の有機蒸気を含む混合気体から該有機蒸気を濃縮分離するために利用されてはいるが、この方法も設備及び運転の経費が高く、経済的には決して有利な方法ではない。
【０００８】
従って、前記吸着法や吸収法に比べて有機蒸気の分離操作が簡便で装置が小型であると共に、省エネルギープロセスと成り得る等の優れた特徴を有する膜分離法が有望視されており、該膜分離法としてシリコーン樹脂が架橋されて形成された架橋シリコーン膜を、前記有機蒸気を含有する混合気体から該有機蒸気を分離するための気体分離膜として用いること等が知られている（特開平５−６８８６０号公報、特開平７−１５５５７１号公報参照）。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記架橋シリコーン膜を気体分離膜とした膜分離法では、該架橋シリコーン膜における前記混合気体中の有機蒸気の透過は溶解拡散機構によるものであり、該有機蒸気は膜に溶け込む必要があることから、有機蒸気の膜透過速度が非常に小さく、その結果、有機蒸気の分離回収効率が低く、とりわけフルオロ炭化水素蒸気に対しては分離性が極めて低く、有機蒸気を十分に除去回収できないという課題があった。
【００１０】
しかも、前記洗浄用に使用された混合気体中には、分離すべき有機蒸気の他に酸性あるいは塩基性の腐食性ガスが含有される場合があり、該腐食性ガスの存在及び混合気体の温度が高い場合の熱膨張差等により多孔質支持体に形成された膜が剥離してしまい、長時間の連続使用に耐えないという課題があった。
【００１１】
【発明の目的】
本発明は前記課題に鑑み成されたもので、その目的は、有機溶剤、より詳細には、飽和又は不飽和の脂肪族炭化水素類や芳香族炭化水素類、ハロゲン化炭化水素類、ケトン類、アルコール類、カルボン酸エステル類等の各種揮発性有機化合物の蒸気を含有する混合気体から有機化合物の蒸気のみを経済的に、選択的かつ効率的に分離して除去、又は回収するのに好適な有機蒸気分離機能を有する有機蒸気分離装置並びにそれを用いた有機蒸気分離方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、前記課題に対して鋭意研究を重ねた結果、有機溶剤の蒸気と分離フィルタとの強い親和性が、かかる有機蒸気の透過に大きく関与することを見出し、高い有機蒸気透過特性を有する有機溶剤の蒸気分離フィルタを具備した有機蒸気分離装置を実現すべく、前記有機溶剤の蒸気分離フィルタと有機蒸気の透過性能、および分離性能との関係について種々検討し、本発明に至った。
【００１３】
即ち、本発明の有機蒸気分離装置は、多孔質支持体に一般式が
【００１４】
【化１】
0003652137.tif 000002
【００１５】
で表されるフッ素系シリコンアルコキシドを用いて形成したフッ素とシリコンとの複合膜から成るセラミック層を被着形成した複合部材を、有機溶剤の蒸気分離フィルタとしたことを特徴とするものである。
【００１６】
又、本発明の有機蒸気分離装置は、前記多孔質支持体とセラミック層との間に、該多孔質支持体の平均細孔径より小さく、かつ前記セラミック層の平均細孔径より大きい平均細孔径を有する中間層を介在させたものであること、前記中間層は、γ―アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）より成るものであること、更に、多孔質支持体は、管状体であることが、有機蒸気分離特性上、より望ましいものである。
【００１７】
一方、本発明の有機蒸気分離方法は、多孔質支持体に一般式が
【００１８】
【化１】
0003652137.tif 000003
【００１９】
で表されるフッ素系シリコンアルコキシドを用いて形成したフッ素とシリコンとの複合膜から成るセラミック層を被着形成した複合部材から成る有機溶剤の蒸気分離フィルタを具備した有機蒸気分離装置に有機溶剤の蒸気を含む混合気体を供給し、該蒸気分離フィルタに混合気体を接触させると共に、該混合気体を接触させた側の有機溶剤の蒸気分離フィルタの面と反対側の面との間に減圧する等により差圧を生ぜしめて前記混合気体中から有機溶剤の蒸気のみを選択的に前記蒸気分離フィルタを透過させて該有機溶剤の蒸気を分離することを特徴とするものである。
【００２０】
特に、本発明の有機蒸気分離方法に用いる有機蒸気分離装置を構成する有機溶剤の蒸気分離フィルタは、該蒸気分離フィルタを形成する多孔質支持体とセラミック層との間に、該多孔質支持体の平均細孔径より小さく、かつ前記セラミック層の平均細孔径より大きい平均細孔径を有する中間層を介在させたものが望ましく、前記中間層は、γ―アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）より成るものであること、更に、前記多孔質支持体は、管状体であることがより望ましいものである。
【００２１】
【作用】
本発明の有機蒸気分離装置並びにそれを用いた有機蒸気分離方法は、有機蒸気分離装置を構成する有機溶剤の蒸気分離フィルタが、多孔質支持体に一般式として
【００２２】
【化１】
0003652137.tif 000004
【００２３】
で表されるフッ素系シリコンアルコキシドを用いて形成した前記有機蒸気と強い親和性を示すフッ素とシリコンとの複合膜から成るセラミック層を被着形成したことから、該複合膜を透過する有機蒸気の表面拡散を促進し、高い有機蒸気分離特性が発現して、混合気体に含有された有機溶剤の蒸気のみが選択的に透過することになる。
【００２４】
従って、有機溶剤の蒸気を含む混合気体を有機蒸気分離装置に供給し、該有機蒸気分離装置を構成する有機溶剤の蒸気分離フィルタを隔てて反対側を減圧する等により差圧を設けると、前記混合気体中の有機溶剤の蒸気のみが透過するため、高濃度の有機蒸気を含有する混合気体であっても選択的かつ効率的に有機蒸気を分離することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の有機蒸気分離装置並びにそれを用いた有機蒸気分離方法について詳述する。
【００２６】
本発明の有機蒸気分離装置は、該有機蒸気分離装置を構成する有機溶剤の蒸気分離フィルタが多孔質支持体に被着形成した、一般式が
【００２７】
【化１】
0003652137.tif 000005
【００２８】
で表されるフッ素系シリコンアルコキシドを用いて形成した前記有機蒸気と強い親和性を示すフッ素とシリコンとの複合膜から成るセラミック層とで構成されるものである。
【００２９】
本発明における有機蒸気とは、一般には炭化水素類、アルコール類、ケトン類、ハロゲン化炭化水素類、カルボン酸エステル類等の蒸気を指し、具体的には、例えば、メタン、エタン、プロパン、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、イソブタン、イソペンタン、イソオクタン等に代表される飽和脂肪族炭化水素類や、アセトン、メチルエチルケトン類に代表されるケトン類、ベンゼン、トルエン、キシレン等に代表される芳香族炭化水素類、メタノール、エタノール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール等に代表されるアルコール類、四塩化炭素、クロロホルム、塩化メチレン、トリクロロエチレン、トリクロロエタン、フロン１１、フロン１１３、フロン１２３、フロン２２５等に代表されるハロゲン化炭化水素、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、アクリル酸ブチル等に代表されるカルボン酸エステル類等の揮発に伴う蒸気を言う。
【００３０】
とりわけ本発明の有機蒸気分離装置並びにそれを用いた有機蒸気分離方法においては、芳香族炭化水素類、あるいはハロゲン化炭化水素類の蒸気を分離して除去、又は回収するのに有効である。
【００３１】
又、本発明における有機溶剤の蒸気を含有する混合気体とは、前記有機溶剤が揮発した有機蒸気と共に、その他の任意の蒸気又は気体、即ち、常温常圧下で液体又は気体であり、前記混合気体中に気体として含有される、例えば、水や窒素、酸素、塩酸、アンモニア等の蒸気又は気体を１種あるいは２種以上、含有する混合物を指し、特に、一般的に約２〜５０容量％の有機蒸気を含有する混合気体から該有機蒸気を分離除去又は回収するのに有効である。
【００３２】
次に、本発明の多孔質支持体は、素材としてはα−アルミナや安定化ジルコニア、分相ガラス等が適用可能であり、かかる多孔質支持体は、気体透過の圧力損失を可能な限り低くするためには２０％以上の気孔率を、又、有機溶剤の蒸気分離フィルタを組み立てる際に破損したり、操作中に多孔質支持体構成粒子の脱粒が起こらないよう支持体の強度を確保するためには、４０％以下の気孔率を有するものであることが望ましい。
【００３３】
又、本発明の多孔質支持体の形状形態は、特に限定されるものではなく、平板状や中空状の構造体、管状体等のいずれでも良いが、有機蒸気分離効率や前記蒸気分離フィルターとしての取り扱い易さからは管状体が望ましく、その上、かかる管状体は押し出し成形法等により、比較的、簡単に作製できるというメリットもある。
【００３４】
更に、前記多孔質支持体を管状体で構成する場合には、管状体を数十本から数百本束ねて集合体に組み立てた時に膜面積が十分大きくなるようにするため、該管状体の外径は可能な限り小さい方が良いが、強度との兼ね合いからは２〜５ｍｍが好適である。
【００３５】
又、本発明におけるフッ素系シリコンアルコキシドとして適用可能なものは、一般式が
【００３６】
【化１】
0003652137.tif 000006
【００３７】
で表されるものであり、例えば、ＣＦ3 Ｃ2 Ｈ4 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 やＣ6 Ｆ13Ｃ2 Ｈ4 Ｓｉ（ＯＣ2 Ｈ5 ）3 、Ｃ8 Ｆ17Ｃ2 Ｈ4 Ｓｉ（ＯＣ2 Ｈ5 ）3 等が挙げられ、特に、有機溶剤の蒸気との親和性という点からはＣ6 Ｆ13Ｃ2 Ｈ4 Ｓｉ（ＯＣ2 Ｈ5 ）3 が好適である。
【００３８】
一方、本発明のフッ素とシリコンとの複合膜から成るセラミック層とは、その平均細孔径が前記多孔質支持体よりも小さいもので、該多孔質支持体と反応せず、多孔質支持体の表面を層状に被覆することができ、平滑な表面を形成するものであれば良い。
【００３９】
他方、前記多孔質支持体とセラミック層との間に介在させる中間層は、その平均細孔径が前記多孔質支持体よりも小さく、かつセラミック層の平均細孔径より大きい平均細孔径を有するもので、前記多孔質支持体及びセラミック層と反応せず、多孔質支持体の表面を層状に覆い平滑な表面を形成するものであれば、その材質は問わない。
【００４０】
即ち、前記中間層を介在させずに直接、多孔質支持体に前記セラミック層を形成した場合に比べて、かかる中間層を介在させた場合には細孔がより緻密になり、細孔径の分布が小さくなることから、有機蒸気分離特性上、より好ましくなる。
【００４１】
かかる中間層としては、例えば、多孔質支持体としてα−アルミナを選んだ場合、中間層としてはγ−アルミナが好適であり、かかるγ−アルミナから成る中間層はベーマイトゾルをコーティングした後、４００〜９００℃の温度で熱処理することにより容易に形成できるものである。
【００４２】
かくして得られた有機溶剤の蒸気分離フィルタは、例えば、５０本束ねてケース内に熱硬化性樹脂で固定し、特に、前記蒸気分離フィルタのセラミック層側に有機溶剤の蒸気を含有した混合気体を流しながら、該蒸気分離フィルタの反対側の面を減圧することにより、前記混合気体から有機蒸気の分離を効果的に行うことができるものである。
【００４３】
次に、本発明の有機蒸気分離方法は、多孔質支持体に一般式が
【００４４】
【化１】
0003652137.tif 000007
【００４５】
で表されるフッ素系シリコンアルコキシドを用いて形成したフッ素とシリコンとの複合膜から成るセラミック層を被着形成した複合部材から成る有機溶剤の蒸気分離フィルタを具備した有機蒸気分離装置に有機溶剤の蒸気を含む混合気体を供給し、該蒸気分離フィルタに混合気体を接触させると共に、該混合気体を接触させた側の前記蒸気分離フィルタの面と反対側の面との間に減圧する等により差圧を生ぜしめて前記混合気体中から有機溶剤の蒸気のみを選択的に前記蒸気分離フィルタを透過させて該有機溶剤の蒸気を分離することを特徴とするものである。
【００４６】
従って、本発明の有機蒸気分離方法では、前記蒸気分離フィルタの一方の面に有機溶剤の蒸気を含有した混合気体を接触させ、他方の面を減圧したり、又は有機蒸気以外の気体を流したり、更には有機蒸気を含有していない混合気体を流したり、あるいは有機蒸気の吸着剤を充填したりする各種方法を併用することができる。
【００４７】
又、本発明の有機蒸気分離方法に用いる前記有機溶剤の蒸気分離フィルタは、平板状や中空状の構造体、管状体等を成す形状で、セラミック層がそれらの表面に形成されておれば、それが内側や外側、あるいは多層構造であっても何ら問題なく有機蒸気の分離を行うことができる。
【００４８】
更に、前記管状の有機溶剤の蒸気分離フィルタの内側を減圧するだけでなく、該蒸気分離フィルタの外側から加圧し、内側と外側に差圧を付与することができれば何ら問題なく有機蒸気の分離が可能である。
【００４９】
本発明において、前記差圧とは有機溶剤の蒸気を含有する混合気体供給側の圧力を透過側の圧力より高くすることであり、この時の前記混合気体供給側の圧力をＰ1 とし、透過側の圧力をＰ2 としてＰ1 ／Ｐ2 を圧力比とすると、透過側で得られる濃縮された有機蒸気の濃度は、この圧力比が高いほど濃縮されることになり、要求される濃縮濃度によって圧力比を設定することが好ましく、通常、該圧力比は５〜２００の範囲で適当に設定することが望ましい。
【００５０】
かかる圧力差を設ける方法としては、前記混合気体供給側を加圧し、透過側を常圧にする方法や、前記混合気体供給側を常圧にし、透過側を減圧にする方法等があるが、その圧力比に応じてエネルギーの最も小さくなる条件を選ぶのが好ましい。
【００５１】
又、本発明における有機溶剤の蒸気分離フィルタは、従来の架橋シリコーン膜に比べて高い強度を有し、耐熱性や耐腐食性に優れているが故に、種々の条件下での有機蒸気の除去が可能となり、例えば、高温排気ガスからの有機蒸気除去は勿論のこと、高圧のガスにも適用することが可能であるので、各種条件下で十分なガス透過率を得ることができる。
【００５２】
又、高濃度の酸や塩基性気体、あるいは種々の有機溶剤の蒸気を含有する混合気体からの有機蒸気の分離に対しても、特性劣化することなく安定して用いることができ、選択的かつ効率的に有機蒸気の分離ができる。
【００５３】
【実施例】
以下、本発明の有機蒸気分離装置並びにそれを用いた有機蒸気分離方法を以下のようにして評価した。
【００５４】
（実施例１）
先ず、（トリデカフルオロ−１、１、２、２−テトラヒドロオクチル）トリエトキシシラン（Ｃ6 Ｆ13Ｃ2 Ｈ4 Ｓｉ（ＯＣ2 Ｈ5 ）3 ）５．１ｇ（０．０１モル）に、塩化水素（ＨＣｌ）０．００７モルを含む水０．１４ｇ（０．０１モル）とエタノール（Ｃ2 Ｈ5 ＯＨ）３６．９ｇ（０．１モル）の混合物を滴下して加水分解し、ゾルを作製した。
【００５５】
次に、得られたゾルを外径が３ｍｍ、厚さが０．４ｍｍ、長さが２５０ｍｍで気孔率が３９％であるα−アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）多孔質管の内側に充填して３０秒間保持した後、５ｍｍ／秒の速度で排出し、室温で１時間乾燥した後、２００℃で焼成する一連の作業工程を１５回繰り返し、フッ素とシリコンとの複合膜から成るセラミック層に被覆した有機溶剤の蒸気分離フィルタを作製した。
【００５６】
かくして得られた有機溶剤の蒸気分離フィルタを５０本用意し、その両端をポリウレタン樹脂で束ねて図１に示すような評価用の有機蒸気分離装置１のケース２内に装着すると共に、有機溶剤の蒸気分離フィルタ３を樹脂封止部４、５でポリウレタン樹脂を用いて封止し、評価試験装置を作製した。
【００５７】
尚、前記有機溶剤の蒸気分離フィルタ３の有効長さは２２０ｍｍで、その集合体の有効膜面積は０．１０ｍ2 であった。
【００５８】
評価は、前記有機蒸気分離装置１の混合気体導入口６よりキシレン濃度が１０％、塩酸蒸気が０．５％、残部が空気から成る混合気体を１リットル／ｍｉｎの流速で流し、有機溶剤の蒸気分離フィルタ３の外側に通じる吸引口７を真空ポンプで１００ｔｏｒｒに減圧した。
【００５９】
この時、混合気体排出口８より排出された混合気体のキシレン量を測定したところ、キシレンの濃度は０．５％であり、１００時間連続運転しても特性及び有機蒸気分離フィルタの外観に変化は認められなかった。
【００６０】
（実施例２）
実施例１のα−アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）多孔質管の内側に、ベーマイトゾルを被覆した後、制御する細孔径により適宜、４００〜９００℃の温度範囲で熱処理して厚さが２μｍのγ−アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）から成る中間層を被覆した多孔質支持体を作製した。
【００６１】
次いで、実施例１と同一のゾルを用いて、同様な方法で２回繰り返して前記中間層に被覆する以外は、実施例１と同一条件で有機溶剤の蒸気分離フィルタを作製した。
【００６２】
その後、実施例１と同様にして評価試験装置を組立て、実施例１と同一条件にて評価したところ、混合気体排出口８より排出された混合気体のキシレンの濃度は０．２％であり、１００時間連続運転しても特性及び有機蒸気分離フィルタの外観に変化は認められないことを確認した。
【００６３】
（比較例）
一方、直径２インチ、長さ１ｍの架橋シリコーン膜をスパイラル状に配設した分離フィルタを用いて、実施例１と同様の評価試験装置を作製した。
【００６４】
尚、前記架橋シリコーン膜をスパイラル状に配設した分離フィルタの膜面積は３．５ｍ2 であった。
【００６５】
実施例１と同様にしてキシレン濃度が１０％、塩酸ガスが０．５％、残部が空気から成る混合気体を１リットル／ｍｉｎの流速で流し、分離フィルタの外側に通じる吸引口を真空ポンプで１００ｔｏｒｒに減圧した。
【００６６】
この時、混合気体排出口より排出された混合気体のキシレン量を測定したところ１１％であり、５０時間連続運転したところ、膜の剥離が認められた。
【００６７】
【発明の効果】
叙述の如く、本発明の有機蒸気分離装置並びにそれを用いた有機蒸気分離方法は、有機蒸気分離装置を構成する有機溶剤の蒸気分離フィルタとして、多孔質支持体に有機蒸気と親和性の高いフッ素系シリコンアルコキシドを用いて被着形成したフッ素とシリコンの複合膜から成るセラッミク層を被覆して構成し、有機溶剤の蒸気を含有した混合気体を前記蒸気分離フィルタの一方の面に接触させ、他方の面と差圧を設けて有機蒸気のみを選択的に前記蒸気分離フィルタを透過させ、混合気体中から有機蒸気を分離することから、各種有機溶剤の蒸気を含有した混合気体から、有機蒸気のみを高いガス透過率を維持したまま選択的に、かつ効率的に分離して除去、あるいは回収することができる有機蒸気分離装置並びにそれを用いた有機蒸気分離方法を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の有機溶剤の蒸気分離フィルタを組み込んだ評価用の有機蒸気分離装置の概要を示す断面図である。
【符号の説明】
１      有機蒸気分離装置
２      ケース
３      有機溶剤の蒸気分離フィルタ
４、５  樹脂封止部
６      混合気体導入口
７      吸引口
８      混合気体排出口
【図１】
0003652137.tif 000010