(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物を搬送する搬送ラインに沿って配置され前記搬送ライン上の被測定物を順次測定する複数のインライン測定機と、
前記インライン測定機を制御する制御統括装置と、
この制御統括装置と前記各インライン測定機との間で必要な情報を転送する通信手段とを備えたインライン測定システムであって、
前記インライン測定機は、被測定物を撮像する撮像手段を備えると共に、この撮像手段で得られた画像情報を前記通信手段を介して前記制御統括装置に伝送し、
前記制御統括装置は、前記搬送ライン上の被測定物の認識に必要な情報として前記画像情報を前記インライン測定機から前記通信手段を介して導入し、この画像情報に基づいて基本パターンデータベースを参照して前記インライン測定機が測定する被測定物のパターン及び位置を認識し、この認識結果に基づいてパラメトリックパートプログラムの引数として用いられる前記被測定物の前記インライン測定機に固有の個別情報を生成して個別情報データベースに格納し、所定のシーケンスに従って前記個別情報を前記通信手段を介して前記インライン測定機に伝送するものであり、
前記インライン測定機は、被測定物の個別情報を通信手段を介して導入し、この個別情報が引数として入力されるパラメトリックパートプログラムに基づいて測定動作を実行するものであり、
前記制御統括装置は、前記インライン測定機からの測定結果を前記被測定物の個別情報と共に前記個別情報データベースに格納するものである
ことを特徴とするインライン測定システム。
【請求項２】
被測定物を搬送する搬送ラインに沿って配置され前記搬送ライン上の被測定物を順次測定する複数のインライン測定機と、
前記インライン測定機を制御する制御統括装置と、
この制御統括装置と前記各インライン測定機との間で必要な情報を転送する通信手段とを備えたインライン測定システムであって、
前記インライン測定機は、被測定物を撮像する撮像手段を備えると共に、この撮像手段で得られた画像情報を前記通信手段を介して前記制御統括装置に伝送し、
前記制御統括装置は、前記搬送ライン上の被測定物の認識に必要な情報として前記画像情報を前記インライン測定機から前記通信手段を介して導入し、この画像情報に基づいて基本パターンデータベースを参照して前記インライン測定機が測定する被測定物のパターン及び位置を認識し、この認識結果に基づいてパラメトリックパートプログラムの引数として用いられる前記被測定物の前記インライン測定機に固有の個別情報を生成して個別情報データベースに格納し、所定のシーケンスに従って前記個別情報を読み出すと共に、この個別情報が引数として入力されるパラメトリックパートプログラムを選択して個別情報と一緒に前記通信手段を介して前記インライン測定機に伝送するものであり、
前記インライン測定機は、被測定物の個別情報及び選択されたパラメトリックパートプログラムを通信手段を介して導入し、前記個別情報が引数として入力される前記パラメトリックパートプログラムに基づいて測定動作を実行するものであり、
前記制御統括装置は、前記インライン測定機からの測定結果を前記被測定物の個別情報と共に前記個別情報データベースに格納するものである
ことを特徴とするインライン測定システム。
【請求項３】
前記インライン測定機は、
前記パラメトリックパートプログラムを記憶したパートプログラム格納手段と、
前記個別情報に基づいて前記パートプログラム格納手段から１つのパートプログラムを選択するパートプログラム選択手段と、
このパートプログラム選択手段で選択されたパートプログラムに前記個別情報を引数として与えて実行するパートプログラム実行手段と
を備えたものである請求項１記載のインライン測定システム。
【請求項４】
前記制御統括装置は、
前記パラメトリックパートプログラムを記憶したパートプログラム格納手段と、前記個別情報に基づいて前記パートプログラム格納手段から１つのパートプログラムを選択するパートプログラム選択手段と、
このパートプログラム選択手段で選択されたパートプログラムを前記個別情報と共に前記通信手段を介して前記インライン測定機に転送する手段と
を備えたものである請求項２記載のインライン測定システム。
【請求項５】
前記搬送装置の被測定物の搬送に同期して、被測定物の個別情報を制御統括装置から前記通信手段へ送出する請求項１又は２記載のインライン測定システム。
【請求項６】
前記制御統括装置は、前記インライン測定機からの異常イベントを常時監視するものであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載のインライン測定システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送ラインに沿ってインライン測定機が配置されたインライン測定システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
搬送ラインを介して搬送される形状の異なる種々のワークを自動測定するシステムは従来から知られている（例えば特開昭６０−３５２１０号）。この種のシステムでは、ライン上流に配置された撮像装置でワークを撮像し、その撮像結果からワークの形状を判別し、ライン下流に配置されたメジャリングロボットを判別形状に対応したプログラムで動作させるようにしている。
【０００３】
このシステムのように、ワークの寸法測定を三次元測定機で行う場合、三次元測定機の使用プローブやプローブの移動経路等は、三次元測定機を制御するためのパートプログラムによって与えられる。従って、ワークが同種の形状であっても、その置かれている位置や、内径、外径、高さ等の寸法値が異なると、それぞれの位置及び寸法値に対応したパートプログラムをそれぞれ作成し、準備しておかなければならない。
【０００４】
そこで、本出願人は、外部情報取り込み手段として各ワークを撮像してその位置、寸法及び形状を認識する手段を設け、この外部情報取り込み手段からの位置、寸法、形状等の外部情報をパラメトリックなパートプログラムの引数として与えることにより、置かれた位置や各寸法値が異なる種々のワークを１種類のパートプログラムによって測定可能にした測定システムを提案している（特開平８−１４８７６号）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、搬送ラインに沿って複数のインライン測定機が配置された測定システムにおいて、各インライン測定機に上述した外部情報取り込み手段を設けると、各インライン測定機での認識処理の過程で同様のデータベースを参照することになるため、データベースがシステム全体として重複すると共に、データベースの変更に際して、各インライン測定機のデータベースを全て変更しなければならないため、システム更新の手間がかかるという問題がある。また、この種の認識処理は、搬送ラインに設けられた工作機械でも必要となることがあり、この場合、工作機械とインライン測定機とでデータベースが重複することになる。
【０００６】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、システムの無駄を削減し、システム更新の手間も省くことができるインライン測定システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るインライン測定システムは、被測定物を搬送する搬送ラインに沿って配置され前記搬送ライン上の被測定物を順次測定する複数のインライン測定機と、前記インライン測定機を制御する制御統括装置と、この制御統括装置と前記各インライン測定機との間で必要な情報を転送する通信手段とを備えたインライン測定システムであって、前記インライン測定機は、被測定物を撮像する撮像手段を備えると共に、この撮像手段で得られた画像情報を前記通信手段を介して前記制御統括装置に伝送し、前記制御統括装置は、前記搬送ライン上の被測定物の認識に必要な情報として前記画像情報を前記インライン測定機から前記通信手段を介して導入し、この画像情報に基づいて基本パターンデータベースを参照して前記インライン測定機が測定する被測定物のパターン及び位置を認識し、この認識結果に基づいてパラメトリックパートプログラムの引数として用いられる前記被測定物の前記インライン測定機に固有の個別情報を生成して個別情報データベースに格納し、所定のシーケンスに従って前記個別情報を前記通信手段を介して前記インライン測定機に伝送するものであり、前記インライン測定機は、被測定物の個別情報を通信手段を介して導入し、この個別情報が引数として入力されるパラメトリックパートプログラムに基づいて測定動作を実行するものであり、前記制御統括装置は、前記インライン測定機からの測定結果を前記被測定物の個別情報と共に前記個別情報データベースに格納するものであることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る他のインライン測定システムは、被測定物を搬送する搬送ラインに沿って配置され前記搬送ライン上の被測定物を順次測定する複数のインライン測定機と、前記インライン測定機を制御する制御統括装置と、この制御統括装置と前記各インライン測定機との間で必要な情報を転送する通信手段とを備えたインライン測定システムであって、前記インライン測定機は、被測定物を撮像する撮像手段を備えると共に、この撮像手段で得られた画像情報を前記通信手段を介して前記制御統括装置に伝送し、前記制御統括装置は、前記搬送ライン上の被測定物の認識に必要な情報として前記画像情報を前記インライン測定機から前記通信手段を介して導入し、この画像情報に基づいて基本パターンデータベースを参照して前記インライン測定機が測定する被測定物のパターン及び位置を認識し、この認識結果に基づいてパラメトリックパートプログラムの引数として用いられる前記被測定物の前記インライン測定機に固有の個別情報を生成して個別情報データベースに格納し、所定のシーケンスに従って前記個別情報を読み出すと共に、この個別情報が引数として入力されるパラメトリックパートプログラムを選択して個別情報と一緒に前記通信手段を介して前記インライン測定機に伝送するものであり、前記インライン測定機は、被測定物の個別情報及び選択されたパラメトリックパートプログラムを通信手段を介して導入し、前記個別情報が引数として入力される前記パラメトリックパートプログラムに基づいて測定動作を実行するものであり、前記制御統括装置は、前記インライン測定機からの測定結果を前記被測定物の個別情報と共に前記個別情報データベースに格納するものであることを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、各インライン測定機を統括的に制御する制御統括装置が、インライン測定機から被測定物の認識に必要な情報を導入し、この情報に基づいて被測定物の個別情報を生成する。この個別情報を引数として入力されるパラメトリックパートプログラムを選択すると共に、個別情報を引数として使用して各インライン測定機での測定処理を行うようにしている。そして、個別情報生成のために必要な認識処理は、制御統括装置で統括的に実行するようにしているので、認識に必要なデータベースを各インライン測定機や工作機械等で共有することができ、システムの無駄が省けるうえ、データベースの更新等も統一的に行えるので、作業効率が向上する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照してこの発明の実施例に係るインライン測定システムについて説明する。
図１は、このシステムの概略構成を示すブロック図である。
このシステムでは、搬送装置１によって形成される搬送ラインに沿ってマシニングセンター、研削盤、洗浄機等の工作機械２ａ，２ｂ，２ｃと、インライン測定機３ａ，３ｂとが配置されており、搬送ラインに沿って流れる被測定物（ワーク）の加工から検査まで一貫して行えるようになっている。搬送装置１を制御する搬送制御装置１ａ、工作機械２ａ，２ｂ，２ｃ及びインライン測定機３ａ，３ｂは、通信手段としてのＲＳ２３２Ｃ等のシリアルバス４を介して制御統括装置５に接続され、この制御統括装置５によって統括的に制御されるようになっている。
【００１１】
インライン測定機３ａ，３ｂとしては、例えば多次元座標測定機、画像測定機、表面性状測定機等が使用される。インライン測定機３ａが三次元測定機であるとすると、例えば図２のように構成される。図２において、インライン測定機３ａは、タッチシグナルプローブを有する三次元測定機１１、その測定ステージを移動するためのステージ移動機構１２、測定ステージにセットされた被測定物（ワーク）を撮像するためのＣＣＤカメラ等の撮像装置１３及びこれらを制御したり測定値や画像情報を外部に出力するための三次元測定機制御装置１４を備えている。三次元測定機制御装置１４は、制御統括装置からの制御データや三次元測定機１１からの測定データに基づいて三次元測定機１１及びステージ移動機構１２を制御するコントローラ１５と、三次元測定機１１からの測定データを処理する三次元測定機データ処理装置１６と、このデータ処理装置１６で処理された測定結果や撮像装置１３からの画像データをシリアルバス４に出力したり、シリアルバス４からの制御データを取り込む外部制御装置１７とを有する。
【００１２】
また、インライン測定機３ｂが画像測定機であるとすると、例えば図３のように構成される。図３において、インライン測定機３ｂは、撮像装置２１を含む画像測定機２２、その測定ステージを移動するためのステージ移動機構２３及びこれらを制御したり測定値や画像情報を外部に出力するための画像測定機制御装置２４を備えている。画像測定機制御装置２４も、三次元測定機制御装置１４と同様に、コントローラ２５、画像測定機データ処理装置２６及び外部制御装置２７を備えている。
【００１３】
図４は、図２に示したインライン測定機３ａにおける三次元測定機データ処理装置１６及び外部制御装置１７の機能ブロック図である。三次元測定機データ処理装置１６には、三次元測定機１１の測定制御を行うためのパターン別パラメトリックパートプログラム（以下、「ＰＰプログラム」と呼ぶ）データベース３１、ＰＰプログラム選択部３２、ＰＰプログラム実行部３３，測定データ処理部３４及び変数レジスタ３５が備えられている。外部制御装置１７には、データ入出力部３６，測定・制御指令解読部３７及び測定結果解読部３８が設けられている。
【００１４】
撮像装置１３からの画像データは、データ入出力部３６を介して制御統括装置５から指令された撮像指令期間中のみビデオ信号としてシリアルバス４に出力される。この画像データに基づいて後述する処理により制御統括装置５で生成されたワークの個別情報を含む制御統括装置５から与えられる各種の制御データは、データ入出力部３６を介して測定・制御指令解読部３７に与えられ解読される。ここで個別情報に含まれるワーク位置及びワーク主要寸法の情報は変数レジスタ３５に与えられ、個別情報に含まれるワークパターン情報や測定・制御指令は、ＰＰプログラム選択部３２に供給される。ＰＰプログラム選択部３２は、ワークパターン情報に基づいてパターン別ＰＰプログラムデータベース３１から指定されたパターンのＰＰプログラムを選択し、これをＰＰプログラム実行部３４に供給する。ＰＰプログラム実行部３４は、供給されたＰＰプログラムの引数の部分に変数レジスタ３５に格納された個別情報を代入し、且つ三次元測定機１１からの測定データを参照しつつＰＰプログラムを実行する。これにより得られた測定データは、測定データ処理部３４から測定結果解読部３８に送られ、ＰＰプログラム実行部３３からの情報に基づいて解読されてデータ入出力部３６を介してシリアルバス４に出力される。
【００１５】
一方、制御統括装置５は、図５に示すように、内部バス４０を介して相互に接続されたＣＰＵ４１、メモリ４２及び入出力インタフェース４３と、この入出力インタフェース４３を介して内部バス４０に接続された外部制御装置４４、画像処理装置４５、入力装置４６、出力装置４７及び補助記憶装置４８とにより構成されている。外部制御装置４４は、制御データを外部のシリアルバス４に対して入出力すると共に、外部から供給される画像データを画像処理装置４５に供給する。画像処理装置４５は、供給された画像データを処理してワークの個別情報を認識する。入力装置４６は、キーボード、操作パネル等であり、出力装置４７は、ＣＲＴディスプレイ、プリンタ等である。補助記憶装置４８は、ハードディスク、フロッピーディスク、光磁気ディスク（ＭＯ）等である。
【００１６】
図６は、この制御統括装置５の機能ブロック図である。この制御統括装置５は、外部制御装置４４以外の部分で制御・統括処理装置５１を構成する。外部制御装置４４は、図４の外部制御装置１７と同様に、データ入出力部５２、測定・制御指令解読部５３及び測定・制御結果解読部５４を備えている。また、制御・統括処理装置５１は、画像処理部５５，座標系修正部５６，ワークの個別情報データベース５７及びシーケンス制御部５８を備えて構成されている。
【００１７】
外部から与えられる画像データは、データ入出力部５２を介して画像処理部５５に与えられる。画像処理部５５は、画像データからワークパターン、ワーク位置、ワーク主要寸法等を認識する。座標系修正部５６は、認識されたワーク位置に基づいて、画像処理座標系におけるワーク位置を、三次元測定機座標系における位置に修正する。そして、得られたワークパターン、ワーク主要寸法及び修正ワーク位置の情報は、個別情報としてワークの個別情報データベース５７に与えられる。一方、シーケンス制御部５８は、測定・制御結果解読部５４を介して外部から測定結果を入力し、この測定結果が個別情報と対応してデータベース５７に登録される。ワークの個別情報は、インライン測定機３ａ，３ｂでのＰＰプログラムの選択情報及び引数として測定・制御指令解読部５３及びデータ入出力部５２を介してインライン測定機３ａ，３ｂに出力される。
【００１８】
次に、このように構成された本システムの動作について説明する。
図７は、制御統括装置５のタスク実行状態を示すタイムチャートであり横軸は時間である。図７（ａ）に示すように、制御統括装置５は、搬送ラインを流れる複数のワークに対してマルチタスクで測定処理を実行する。例えばインライン測定機３ａによってワークＷＡに対する測定シーケンスＡの実行を開始し、このワークＷＡの測定が完了しないうちに、測定シーケンスＢを起動してワークＷＢの測定を開始するという処理を実行する。また、図７（ｂ）に示すように、同一のワークＷＡに対して測定シーケンスＸと測定シーケンスＹによる測定を行う必要がある場合には、制御統括装置５において、測定シーケンスＺに、測定シーケンスＸと測定シーケンスＹの実行を行う２命令を記述することで、両方の測定を自動的且つ連続的に行うことが可能である。これをマクロ機能と呼ぶ。なお、これらの測定シーケンスと並行して異常監視タスクが常時実行され、各部の異常を常時モニタするようにしている。
【００１９】
図８は、異常監視タスクのフローチャートである。搬送装置１、ステージ移動機構１２，２３及び測定機１１，２２からの異常イベントをそれぞれ検出し（Ｓ１１０，Ｓ１２０，Ｓ１３０）、搬送、ステージ及び測定の停止命令を出力し（Ｓ１１１，１２１，１３１）、異常データを入力して（Ｓ１１２，Ｓ１２２，Ｓ１３２）表示する（Ｓ１１３，Ｓ１２３，Ｓ１３３）。これを繰り返す。測定機１１，２２の異常有無の自己診断を行うには、例えば一定時間間隔で、校正値既知のマスターワークを測定して、その測定値の変化をチェックする等の方法が考えられる。ここでは、各部の異常検出のみを例として上げているが、実際の搬送装置や三次元測定機等が、各種の情報、例えば現在実行しているパートプログラムの進行状況等をリアルタイムに出力できる場合には、これらの情報も常時モニターして、その内容の表示等を行わせることも可能である。
【００２０】
図９は、制御統括装置５での測定シーケンスの実行手順を示すフローチャートである。まず、オペレータにより入力装置（操作パネル）４６から測定シーケンスの名称や番号を指定して、一連の測定を開始する。測定シーケンスには、複数のインライン測定機３ａ，３ｂによる測定手順（ワークの種類や使用する測定機の順番）が決められている。測定シーケンスは、予め補助記憶装置４８から入力したり、キーボード等を使用してワークの個別情報データベース５７へ格納しておく。測定シーケンスが指定されて実行が開始されると（Ｓ１）、測定シーケンスの内容（命令）はシーケンス制御部５８の制御のもとデータベース５７から順次取り出されて測定・制御指令解読部５３で解釈され、その内容によって搬送装置１やインライン測定機３ａ，３ｂに指令が出力される（Ｓ２）。このとき、搬送装置１及び測定機３ａ，３ｂとの指令やデータの実際の送受信は外部制御装置４４によって後述する通信処理に従って行われる。
【００２１】
搬送装置１と該当測定機３ａ又は３ｂが休止中でなければ待機するが、休止中であれば該当測定機３ａ又は３ｂへのワーク搬入を指示し（Ｓ３，Ｓ４）、搬送装置１中のワーク置き場から該当測定機３ａ又は３ｂへワークを搬入する。搬入が完了したら（Ｓ５）、制御統括装置５は、後述する測定タスクを起動し（Ｓ６）、以後、このフローの処理と測定タスクとが同時に実行されるマルチタスク処理となる。測定タスクが完了したら（Ｓ７）、該当測定機３ａ又は３ｂからワーク搬出の指令を出力し（Ｓ８）、測定機３ａ又は３ｂから搬送装置１中のワーク置き場へワークを戻す。搬出が完了したら（Ｓ９）、測定シーケンスが全て完了であるかどうかを確認し（Ｓ１０）、測定シーケンスの命令を全て実行した場合は先頭に戻って次の測定シーケンスの実行指示を待つ（Ｓ１０）。
【００２２】
次に、測定タスクの詳細を説明する。図１０は、測定タスクのフローチャートである。測定開始時に制御統括装置５が撮像指令を測定機３ａ又は３ｂに出力すると、ワークがパレット等に載置されて撮像領域に搬入され、撮像装置１３によってワークが一定期間だけ撮像され、制御統括装置５に画像データが入力される（Ｓ２１）。このとき、ワークに照明光を適当な方向から当てることにより、図１１に示すような、ワークの部分と背景とのコントラストが強調された明確な画像情報を得ることができる。画像データが画像処理部５５に供給されると、画像処理部５５では供給された画像データから予備情報を算出する（Ｓ２２）。即ち、図１２に示すように、画像データは、２値化部６１で２値化されたのち、輪郭抽出部６２で２値画像のエッジ部分が抽出される。続いて、パターンマッチングの処理効率を高めるため、特徴抽出部６３で輪郭情報から特徴部分を抽出し、この特徴部分と基本パターン記憶部６４に格納されているいくつかの基本パターンとが照合部６５で照合される。これにより、求められたワークパターンに基づいて、位置算出部６６及び主要寸法算出部６７が画像の特徴部分からワークの位置及び内径、外形、高さ、幅等の主要寸法を算出する。これによりワークパターン、ワーク位置及びワーク主要寸法からなる予備情報が求められる（Ｓ２２）。
【００２３】
次に、画像処理部５５で求められた画像処理座標系におけるワーク位置を、座標系修正部５６で三次元測定機座標系におけるワーク位置に変換し（Ｓ２３）、変換後のワーク位置と画像処理部５５から与えられるワークパターン及びワーク主要寸法をワークの個別情報データベース５７に格納する（Ｓ２４）。続いて、シーケンス制御部５８の制御のもとで、これらのワークパターン、ワーク位置及びワーク主要寸法のデータがインライン測定機３ａ又は３ｂに伝送され、ＰＰプログラムの選択指令（Ｓ２５）、続いて変数レジスタ３５への格納指令（Ｓ２６）が順次出力される。ステージ搬入指令（Ｓ２７）が出力されると、インライン測定機３ａのコントローラ１５の制御のもとでステージ移動機構１２が動作して、スライドテーブルが撮像領域から測定領域に予め定められた移動量だけ移動され、ワークが測定領域に搬送される。
【００２４】
ワークの搬送が完了すると（Ｓ２８）、測定指令が転送され（Ｓ２９）、ＰＰプログラム実行部３３が起動され、選択されたＰＰプログラムが実行される。
ＰＰプログラムは、プローブの移動量や選択プローブを特定する情報等が変数として与えられており、様々な大きさのワークに柔軟に対応できるようになっている。図１３及び図１４は、ＰＰプログラムの一例を示す図である。ここでＶ１，Ｖ２，Ｖ３，…，Ｕ９，Ｕ１０，Ｌ９等は変数であり、これらに対応する数値は、画像処理部５５から与えられたり、ＰＰプログラム内部の演算によって求められ、変数レジスタ３５に格納される。この例は、円筒の内径及び外径測定の例で、例えばＶ１は円筒の深さ、Ｖ２は測定点数、Ｖ３は径、Ｖ２０は測定すべき断面数、Ｕ９はプローブ種類を示している。
【００２５】
ＰＰプログラム実行部３３は、ＰＰプログラムの実行の過程で、変数レジスタ３５の内容を随時参照し、プローブの移動コマンドと必要な移動量とをコントローラ１５に供給して三次元測定機１１のタッチ・シグナル・プローブをＰＰプログラムに従って移動させる。これにより、自動測定が実行される。また、ＰＰプログラム実行部３３は、この測定の過程で得られた実際の三次元測定値から、ワークの位置を求め、予め与えられたワーク位置を実際の測定値から求めたワーク位置で置き換える。これにより、以後の測定は、新たに求められた正確なワーク位置を基準として実行される。
【００２６】
測定が終了したら（Ｓ３０）、インライン測定機３ａから制御統括装置５に測定データを伝送するように指令を出力し（Ｓ３１）、測定データをシリアルバス４を介して入力し（Ｓ３２）、データ入出力部５２、測定・制御結果解読部５４及びシーケンス制御部５８を介してワークの個別情報データベース５７に測定データを格納する（Ｓ３３）。そして、ステージ移動機構１２の搬出指令を出力して（Ｓ３４）、ワークを測定領域から撮像領域に移動させる。搬出が完了したら測定動作を終了する（Ｓ３５）。
【００２７】
図１５及び図１６は、以上の過程でインライン測定機３ａの外部制御装置１７が実行すべき処理の手順を示したフローチャートである。まず、指令又はイベントは、制御統括装置５からの指令と三次元測定機１１からのイベントとが存在するので、いずれからの指令又はイベントかを確認し（Ｓ４１）、制御統括装置５からの指令の場合には、その指令の内容に応じた処理を実行する。この例では、指令として撮像指令（Ｓ４２）、ＰＰプログラム選択指令（Ｓ４４）、変数レジスタ格納指令（Ｓ４６）、ステージ搬入指令（Ｓ４８）、測定指令（Ｓ５０）、測定データ送出指令（Ｓ５２）及びステージ搬出指令（Ｓ５４）があるが、これらの指令に対して、それぞれ画像データのシリアルバス４への出力（Ｓ４３）、ＰＰプログラムの選択指示（Ｓ４５）、変数レジスタの格納指示（Ｓ４７）、ステージ搬入指示（Ｓ４９）、測定指示（Ｓ５１）、測定データのシリアルバス４への送出（Ｓ５３）、ステージ搬出指示（Ｓ５５）をそれぞれ実行する。
【００２８】
また、三次元測定機１１からのイベントの場合（Ｓ６１）、ステージ搬入完了イベント（Ｓ６２）、測定完了イベント（Ｓ６４）、ステージ搬出完了イベント（Ｓ６６）、ステージ異常イベント（Ｓ６８）、測定異常イベント（Ｓ７０）等が存在し、これらイベントに対して、それぞれステージ搬入完了（Ｓ６３）、測定完了（Ｓ６５）、ステージ搬出完了（Ｓ６７）、ステージ異常（Ｓ７０）、測定異常（Ｓ７２）をそれぞれ知らせる情報をシリアルバス４に出力する。
【００２９】
なお、制御統括装置５の外部制御装置４４も基本的にはこれと同様の処理を行うので、その詳細については割愛する。
このシステムによれば、制御統括装置５で各インライン測定機３ａ，３ｂのワークの情報を統括的に認識し、その認識結果を各インライン測定機３ａ，３ｂに返し、これによりＰＰプログラムの引数として、またＰＰプログラムの選択に利用するようにしているので、ワークの認識処理のための回路や認識処理に使用するデータベース等の重複がなく、システムのコスト低減とデータベースの変更のときの対処が容易であるという効果を奏する。
【００３０】
なお、以上の実施例では、インライン測定機３ａにパターン別ＰＰプログラムデータベース３１及びＰＰプログラム選択部３２を設けたが、これを制御統括装置５側に設け、選択されたＰＰプログラムを通信手段を介して各インライン測定機に伝送するようにしても良い。
【００３１】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、個別情報生成のために必要な認識処理は、制御統括装置で統括的に実行するようにしているので、認識に必要なデータベースを各インライン測定機や工作機械等で共有することができ、システムの無駄が省けるうえ、データベースの更新等も統一的に行えるので、作業効率が向上するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例に係るインライン測定システムの概略ブロック図である。
【図２】  同システムのインライン測定機のブロック図である。
【図３】  同システムの他のインライン測定機のブロック図である。
【図４】  同インライン測定機の三次元測定機制御装置の詳細機能ブロック図である。
【図５】  同システムにおける制御統括装置のブロック図である。
【図６】  同制御統括装置の機能ブロック図である。
る。
【図７】  同システムのタスク実行状態を示すタイムチャートである。
【図８】  同システムの異常監視タスクを示すフローチャートである。
【図９】  同システムの測定シーケンス実行タスクのフローチャートである。
【図１０】  同システムの測定タスクのフローチャートである。
【図１１】  同システムにおける撮像装置による画像データの例を示す図である。
【図１２】  同システムにおける制御統括装置の画像処理部の機能ブロック図である。
【図１３】  同システムで使用されるＰＰプログラムの一例を示す図である。
【図１４】  図１４の続きのプログラムを示す図である。
【図１５】  同システムにおける外部制御装置の処理手順を示すフローチャートである。
【図１６】  図１５の続きのフローチャートである。
【符号の説明】
１…搬送装置、１ａ…搬送制御装置、２ａ〜２ｃ…工作機械、３ａ，３ｂ…インライン測定機、４…シリアルバス、５…制御統括装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図１１】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003668375.tif 000010
【図９】
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【図１０】
0003668375.tif 000012
【図１２】
0003668375.tif 000013
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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