(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転中心を同一とする２つの円弧状に曲げたＸ軸リニアモータとＹ軸リニアモータと前記Ｙ軸リニアモータの内側の円弧可動子の中心位置に配置した回転型モータとから成る３自由度モータで、その出力軸に固定した基板載置用パレットを駆動し、前記パレット上に載置された基板の回転と球面動作が可能である基板検査装置において、
前記３自由度モータが、ベースと、
前記ベースに取り付けられたＸ軸円弧状固定子と、前記Ｘ軸円弧状固定子の円弧の中心点と同一の中心点を中心にし前記Ｘ軸円弧状固定子と磁気的空隙を設けて対向しかつ移動可能なＸ軸円弧状移動子と、からなるＸ軸駆動リニアモータと、
前記Ｘ軸円弧状移動子の内周部に取り付けられ前記Ｘ軸円弧状固定子の円弧の中心点と同一の中心点を中心にしたＹ軸円弧状固定子と、同じく前記Ｘ軸円弧状固定子の円弧の中心点と同一の中心点を中心にし前記Ｙ軸円弧状固定子と磁気的空隙を設けて対向しかつ移動可能なＹ軸円弧状移動子と、からなるＹ軸駆動リニアモータと、
前記ベースから前記Ｙ軸方向に互いに所定の間隔をあけてそれぞれ延設する上支柱と下支柱と、
前記上支柱と下支柱の間の前記所定間隔内に間挿され前記上支柱と下支柱にそれぞれ回転自在に取り付けられる環状フレームと、を設けてなり、
かつ、 前記環状フレームの中心を通るＸ軸方向の両端部に前記Ｘ軸円弧状移動子の両端を固定し、
前記Ｘ軸円弧状移動子に前記Ｙ軸円弧状移動子を回転自在に取り付け、
前記内側のＹ軸円弧状移動子の中心に回転型モータを取り付け、前記Ｘ軸駆動リニアモータおよび前記Ｙ軸駆動リニアモータのそれぞれの駆動で前記回転型モータが前記環状フレームの内部空間内で旋回自在となる３自由度モータであることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記パレットの外径は、前記パレットの上に載置される基板の外径より大きく、かつその外周に縁を設けていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
製品出荷前の目視の基板検査システムが、請求項１又は２記載の基板検査装置を備え、前記工場基板カセットから基板を前記クリーンロボットで取り出し、３自由度モータ上の水平にした前記基板パレットの上に置く取出し・載置工程と、前記３自由度モータを動作させ、観察者の見やすい角度に前記基板を傾けて回転させながら検査する検査工程と、検査終了後、前記基板パレットを水平にもどすパレットリセット工程と、合格品は前記製品カセットに、不良品は前記不良基板カセットに前記クリーンロボットで収納する収納工程と、を含むことを特徴とする基板検査システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハや液晶などの基板を検査する検査装置に関し、特に、基板に光を当てて目視によりパーティクル、傷などの検査を行う基板検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ウェハ表面検査装置の従来装置として、特開平６−１３２３７０号公報記載のウェハ表面検査装置がある。これは、一度に複数枚のウェハについて、その表面に付着したパーティクルを検査するためもので、占有床面積を低減でき、スループットの向上を目指すために、複数ポジションに当該枚数のウェハをセット可能なウェハ・ステージをモータにより第１方向に線速度一定で高速回転させた状態で、レーザ光源からの光を走査ミラーでシフトさせながらウェハ面を走査し、異物に起因する散乱光を光電子増倍管に集光して検出するようにしている。
ところが、この従来装置では、一度に複数枚のウェハを検査するものの、その検査方法は１方向のみに回転させながらの光反射によるパーティクル検査であって、１方向のみの光走査では捉えきれないパーティクルの場合、検査漏れの部分が生じた。また小さな汚れ、ヒビ等は光で検出することは困難で、目視に勝るものは今のところなかった。
また、ウェハ基板を置く治具を電動式のＸＹテーブル上に設けた球状軸受を支点として前後左右に振る動作をさせて観察する観察装置もあったが、これも球状軸受を支点として前後左右に振るだけであるので、この単純動作だけでは捉えきれないパーティクルの場合、検査漏れが生じた。
そこで検査漏れを回避するには、スポットライトをウェハ基板に当てた状態で、ウエハ基板を前後左右に動かしたりひねりながら多方向から目視で観察する必要があった。
【０００３】
図６はこの種のために用いられる従来のウェハ目視検査装置を示す鳥瞰図である。図において、１は工場ウェハカセット、２はクリーンロボット、３はウェハ、４はウェハバッフア、５は検査人、６はウェハグリッパ、８は検査用スポットライト、１２は製品ウェハカセット、１４は不良ウェハカセットである。なお、矢印７、１０、１１、１３、１５は手動動作を表している。
このウェハ目視検査装置の使用法はつぎのようになる。
ウェハの出荷検査工程では、工場から送られてきた工場ウェハカセット１より、クリーンロボット２でウェハ３を取り出して、ウェハバッフア４に置く。
検査人５はウェハグリッパ６でウェハ３の端部を挟んで持ち上げ（矢印方向７）、検査用スポットライト８で照らして、ウェハ３にひねり動作（矢印方向１０’）を入れながら、前後動作（矢印方向１０）、左右動作（矢印方向１１）を行い、その際の光の反射によってパーティクル付着や傷の有無を検査する。
検査によって合格すれば製品ウェハカセット１２にウェハ３を納める動作（矢印方向１３）を行い、不合格ならば、不良ウェハカセット１４に納める動作（矢印方向１５）を行う。これらの作業を連続的に行ってウェハの出荷検査を行っている。この一連の作業では、ウェハ３の持ち上げから後の作業は検査人が全て片腕で行っている。
【０００４】
図７はウェハを載置するためのバッファを示す図で、（ａ）はその平面図、図７（ｂ）は断面図である。
図において、３はウェハ、４はバッファ、１６はラバーズピン、１７はバッファフレーム、１８はウェハ有無センサ、１９は基台である。
（ａ）および（ｂ）に示すように、ウェハ３に傷が付かないように、また、ウェハとの接触面積を減らす目的で、先端が円弧状に加工された３つのラバーズピン１６がバッファフレーム１７に固定されており、そしてバッファフレーム１７の外周には枠が設けてある。これはウェハが割れた場合に枠より下に飛び散らないようにするのが目的で、ウェハ径より少し大きい径が望ましいが、手動でウェハグリップ６によりウェハを取りにくる関係で、枠の外径はウェハより小さくなっているため、ウェハが割れた場合の欠片を全て収納することは難しかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
また、上記従来技術の基板検査装置では、固定治具に基板を置いて検査人が手動で観察するとき、腕や体をひねるようにして観察しなければならなくなり、したがって疲労することとなった。
そして、図６のように検査人がピンセットで基板の一か所を挟んでひねりながら観察するのは、ピンセットで挟み込んだ部分の汚染、基板の一端のみを支えることによる基板のひずみ等の不都合が生ずるという問題があった。
一方、ＸＹテーブル上に球面支点を設けてＸ・Ｙ方向へ協調させて得られる動作は、装置の傾き角度が小さく、且つ、基板の受け渡しが水平でその姿勢から動作するので、観察は上から下を覗き込む姿勢となり、やはり首や肩が疲労するという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、今後益々大型化する基板を検査人の疲労を解消すると同時に、基板に接触する面積を極力減らして検査時に生ずるる基板への悪影響を無くし、検査を効率化できる基板検査装置を提供することを目的としている。
また、ウェハが割れても欠片を全て収納することの可能な基板検査装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１記載の基板検査装置の発明は、回転中心を同一とする２つの円弧状に曲げたＸ軸リニアモータとＹ軸リニアモータと前記Ｙ軸リニアモータの内側の円弧可動子の中心位置に配置した回転型モータとから成る３自由度モータで、その出力軸に固定した基板載置用パレットを駆動し、前記パレット上に載置された基板の回転と球面動作が可能である基板検査装置において、
前記３自由度モータが、ベースと、
前記ベースに取り付けられたＸ軸円弧状固定子と、前記Ｘ軸円弧状固定子の円弧の中心点と同一の中心点を中心にし前記Ｘ軸円弧状固定子と磁気的空隙を設けて対向しかつ移動可能なＸ軸円弧状移動子と、からなるＸ軸駆動リニアモータと、
前記Ｘ軸円弧状移動子の内周部に取り付けられ前記Ｘ軸円弧状固定子の円弧の中心点と同一の中心点を中心にしたＹ軸円弧状固定子と、同じく前記Ｘ軸円弧状固定子の円弧の中心点と同一の中心点を中心にし前記Ｙ軸円弧状固定子と磁気的空隙を設けて対向しかつ移動可能なＹ軸円弧状移動子と、からなるＹ軸駆動リニアモータと、
前記ベースから前記Ｙ軸方向に互いに所定の間隔をあけてそれぞれ延設する上支柱と下支柱と、
前記上支柱と下支柱の間の前記所定間隔内に間挿され前記上支柱と下支柱にそれぞれ回転自在に取り付けられる環状フレームと、を設けてなり、
かつ、 前記環状フレームの中心を通るＸ軸方向の両端部に前記Ｘ軸円弧状移動子の両端を固定し、
前記Ｘ軸円弧状移動子に前記Ｙ軸円弧状移動子を回転自在に取り付け、
前記内側のＹ軸円弧状移動子の中心に回転型モータを取り付け、前記Ｘ軸駆動リニアモータおよび前記Ｙ軸駆動リニアモータのそれぞれの駆動で前記回転型モータが前記環状フレームの内部空間内で旋回自在となる３自由度モータであることを特徴とする。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の基板検査装置において、前記パレットの外径が、前記パレットの上に載置される基板の外径より大きく、かつその外周に縁を設けていることを特徴とする。
請求項３記載の基板検査システムの発明は、製品出荷前の目視の基板検査システムが、請求項１又は２記載の基板検査装置を備え、前記工場基板カセットから基板を前記クリーンロボットで取り出し、３自由度モータ上の水平にした前記基板パレットの上に置く取出し・載置工程と、前記３自由度モータを動作させ、観察者の見やすい角度に前記基板を傾けて回転させながら検査する検査工程と、検査終了後、前記基板パレットを水平にもどすパレットリセット工程と、合格品は前記製品カセットに、不良品は前記不良基板カセットに前記クリーンロボットで収納する収納工程と、を含むことを特徴とする。
【０００８】
この基板検査装置によれば、基板検査装置の検査用ウェハを載置するウェハパレットの駆動を、Ｘ軸（水平軸）駆動リニアモータとＹ軸（垂直軸）駆動リニアモータを組み合わせて、水平方向に移動回転する軸と、縦方向へ移動回転する軸とが同一円の中心点上で合致し、且つ直交配列となり出力軸端は球面運動が可能な２軸一体形モータのＹ軸可動子の中心線上に、更に、回転モータを配置して出力軸に回転駆動も加わえられる３自由度モータを構成してウェハパレットを駆動するようにしたので、基板を傾けたまま全周回転検査が可能になり、検査能率が向上する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施の形態について図を参照して説明する。
図１は本発明の第１の実施の形態に係る基板検査装置の鳥瞰図である。
図１において、２１はウェハパレットで、ウェハ３を載置して３自由度モータにより自動的に回転、球面状の合成運動を行って姿勢を変えるものである。２２はウェハパレット２１を構成するウェハベースである。３３は操作盤である。
なお、その他の図６と同一構成には、同一符号を付して重複する説明は省略する。
【００１０】
図２は図１に示すウェハパレットを示す図である。
図２において、図２（ａ）はウェハパレット２１の平面図、図２（ｂ）は同じく断面図、図２（ｃ）はラバーピンの先端断面図である。
図中、２２はウェハパレットを構成するパレットベースで、２３はパレットベース２２上に設けられウェハ３を載置・保持するラバーズピンであり、先端部にテーパ２４、平坦部２５を有している。
２７はパレットベース２２の外周に設けられた枠である。２９はパレットベース２２を回転させる回転出力軸で３自由度モータに接続される。
【００１１】
図３は図２に示すウェハパレットの姿勢を変えるための駆動アクチェータの説明図である。図３に駆動源としての３自由度モータ２８を示す。２９は回転出力軸で、３０はリニアモータのＸ軸、３１はその内側のＹ軸、３０’はＸ軸可動子軸受、３１’はＹ軸可動子軸受、３２はＹ軸可動子の中心線上の位置に配置した回転モータである。
【００１２】
つぎに、第１の実施の形態に係る基板検査装置の動作について説明する。
図１を参照すると、先ず、工場から送られてきた工場ウェハカセット１より、クリーンロボット２でウェハ３を取り出し、水平姿勢のウェハパレット２１に置く、図１で実線の矢印は手動動作を点線の矢印は自動動作を表している。図２に示すように、ウェハパレット２１にはパレットベース２２の上に、３つのラバーピン２３が設けられている。それぞれのラバーピン２３には、テーパ２４と平坦部２５と縁２６があり、円の中心点に向かって配置されている。円の中心を向いている３つの縁２６が描く円は、ウェハ３の外径より僅かに大きく、３つのラバーズピン２３の平坦部２５でウェハ３を支え、縁２６で滑りを防止している。また、３つのラバーズピン２３に設けたテーパ２４により、クリーンロボット２により運ばれてきたウェハ３はパレットベース２２のほぼ中央に位置することができる。パレットベース２２の外周には枠２７を設け、その外径はウェハ３より大きくしている。これにより、ウェハ３が割れた場合には、欠片の大半をパレットベース２２内に収納することができる。
ウェハパレットは、パレットベース２２の中心位置で図３に示す３自由度モータ２８の回転出力軸２９に固定されている。
【００１３】
図３において、３自由度モータ２８は円弧状で、且つ、直交する２つのリニアモータの可動子の円弧中心が合致するように配列した外側のＸ軸３０と内側のＹ軸３１、および円弧状のＹ軸可動子の中心線上に位置するように配置した回転モータ３２からなる。即ち、円弧状の直交する２つのリニアモータで球面状の動作を可能にした特願２００１−２７６０９４号公報記載の２軸一体型モータに、回転モータ３２を追加した構成のモータとなっている。
また、回転出力軸２９は回転自由で、且つ、Ｘ軸３０、Ｙ軸３１の円弧動作範囲（±４５度とすれば）で、出力軸２９とパレットベース２２は固定されているので、パレットベース２２上のウェハは回転と、円弧Ｘ・Ｙの球面状の合成運動をすることができる。
【００１４】
次に、上記２軸一体型モータの構成について図４に基づいて簡単に説明する。
図において、５０は２軸一体形モータであり、Ａはその支持部、Ｂは水平軸駆動部、Ｃは垂直軸駆動部、Ｄは出力部である。そして、５１は水平軸ベース、５２は上支柱、５３は下支柱、５４は軸受、５５軸受、５６はフレーム、５７は支持補助体、５８は水平軸駆動リニアモータ、５９は固定子、６０は移動子、６１は固定子ヨーク、６２はマグネット、６３はマグネット、６４は固定子巻線、６５はＡ相固定子鉄心、６６は固定子巻線、６７はＢ相固定子鉄心、６８は垂直軸駆動リニアモータ、６９は固定子、７０は移動子、７１は固定子ヨーク、７１ａは凹部、７２、７３はマグネット、７４は固定子巻線、７５はＡ相固定子鉄心、７６は固定子巻線、７７はＢ相固定子鉄心、７８は軸受、７９は軸受、８０は出力軸である。
この２軸一体形モータ５０は、モータを支持する支持部Ａと、水平軸駆動部Ｂと、垂直軸駆動部Ｃと、出力部Ｄから構成されている。
まず、前記支持部Ａは、水平軸駆動リニアモータ５８を支持する水平軸ベース５１と、前記水平軸ベースの上下方向両端部に取り付けられる上支柱５２および下支柱５３と、前記上支柱５２および下支柱５３に軸受５４，５５を介して回転自在に取り付けられる環状のフレーム５６とから構成されている。前記軸受５４，５６はフレーム５６の上部および下部の直線部に取り付けられている。なお、水平軸ベース５１は、直接的には水平軸駆動リニアモータ５８を支持しているが、前記上支柱５２および下支柱５３をも支持しているので、間接的には、垂直軸駆動リニアモータを支持していることになり、結果として、２軸一体形モータ５０全体を支持していることになる。２軸一体形モータMを図示しない外部機器に取り付けるときには、前記水平軸ベース５１を直接外部機器に取り付けるか、あるいは支持補助体５７等を介して取り付ける。
【００１５】
前記水平軸駆動部Ｂは、ステッピングモータで構成した水平軸駆動リニアモータ５８の固定子５９と移動子６０とからなっており、前記固定子５９は水平軸ベース５１に取り付けられ、前記移動子６０は前記フレーム５６に取り付けられている。
前記固定子５９は水平方向に長くほぼ円弧状に形成した固定子ヨークを前記水平軸ベース５１に取り付け、前記固定子ヨーク６１に、マグネット６２、６３を介して、固定子巻線６４を装着したＡ相固定子鉄心６５と、固定子巻線６６を装着したＢ相固定子鉄心６７とを所定の間隔をあけて取り付けている。前記Ａ相固定子鉄心６５とＢ相固定子鉄心６７の先端部は、中心点Ｏを中心にした円弧状をしており、前記Ａ相固定子鉄心６５とＢ相固定子鉄心６７の先端部に空隙を介して対向するようにして、移動子６０が配置される。
前記移動子６０は、前記中心点Ｏを中心にした半リング状に形成されるとともに、前記フレーム５６の内側の直線部に固定され、フレーム５６と一緒に前記軸受５４、５５周りに回転する。
【００１６】
前記垂直軸駆動部Ｃは、ステッピングモータで構成した垂直軸駆動リニアモータ６８の固定子６９と移動子７０とからなっており、前記固定子６９は水平軸駆動リニアモータ５８の移動子６０の内周部に取り付けられ、前記移動子７０は同じく水平軸駆動リニアモータ５８の移動子６０に取り付けられている。
前記固定子６９は、垂直方向に長くほぼ円弧状に形成した固定子ヨーク７１を水平軸駆動リニアモータ５８の移動子６０の内側に取り付け、前記固定子ヨーク７１に、マグネット７２、７３を介して、固定子巻線７４を装着したＡ相固定子鉄心７５と、固定子巻線７６を装着したＢ相固定子鉄心７７とを所定の間隔をあけて取り付けている。前記固定子ヨーク７１を水平軸駆動リニアモータ５８の移動子６０の内側に取り付ける際には、固定子ヨーク７１の外側に凹部７１ａを形成して、この凹部７１ａに移動子６０を装入するようにしている(逆に移動子６０の内側に凹部を形成するようにしてもよい）。この構成では、移動子６０の固定子ヨーク７１との結合部は、２つのリニアモータ５８、６８の磁路が共通化でき、固定子ヨークの結合部は凹部７１ａによって薄くすることができる。したがって、２軸一体形モータを小形化することができる。
前記Ａ相固定子鉄心７５とＢ相固定子鉄心７７の先端部は、前記水平軸駆動リニアモータ５８の中心点Ｏを中心にした円弧状をしており、前記Ａ相固定子鉄心７５とＢ相固定子鉄心７７の先端部に空隙を介して対向するようにして、移動子７０が配置される。
前記移動子７０は、前記中心点Ｏを中心にした半円盤状に形成されるとともに、水平軸駆動リニアモータ５８の移動子６０の内周部に、軸受７８、７９を介して回転自在に取り付けられている。
水平軸駆動リニアモータ５８と垂直軸駆動リニアモータ６８は、同じ中心点Ｏを中心にして円弧状に構成される。
【００１７】
前記出力部Ｄは、前記垂直軸駆動リニアモータ６９の移動子７０に取り付けられた出力軸８０からなっている。２軸一体形駆動モータＭを構成する２つのリニアモータ５８、６８はほぼ半円に構成され、前方がオープンになっているので、前記出力軸８０は、中心点Ｏの傍らにおいて、前記垂直軸駆動リニアモータ６８の移動子７０の反固定子側端面に、軸方向の中心が前記中心点Ｏを通るようにして、取り付けられる。
【００１８】
このような構成において、２軸一体形モータＭの駆動は次のようにして行う。
まず、出力軸８０を水平方向に動かす場合は、水平軸駆動リニアモータ５８のみを駆動する。
前記固定子巻線６４、６６に通電して水平軸駆動リニアモータ５８を駆動すると、前記上下の支柱５２、５３に軸受５４、５５を介して支持されたフレーム５６に支持された移動子６０は、中心点Ｏを中心にして、水平方向に所定量だけフレーム５６とともに回転する。移動子６０が水平方向に回転すると、移動子６０の内周部に軸受７８、７９を介して支持された垂直軸駆動リニアモータ６８の移動子７０も水平方向に連れ回りを起こす。これにより、垂直軸駆動リニアモータ６８の移動子７０に取り付けられた出力軸８０が水平方向に回転をする。
次に、出力軸８０を垂直方向に動かす場合は、垂直軸駆動リニアモータ６８のみを駆動する。
前記固定子巻線７４、７６に通電して垂直軸駆動リニアモータ６８を駆動すると、前記水平軸駆動リニアモータ５８の移動子６０に軸受７８、７９を介して支持された移動子７０は、中心点Ｏを中心にして、垂直方向に所定量だけ回転する。移動子７０が垂直方向に回転すると、移動子７０に取り付けられた出力軸８０が垂直方向に回転をする。
前記水平軸駆動リニアモータ５８と垂直軸駆動リニアモータ６８を同時に駆動させると、出力軸８０は中心点Ｏを中心にして水平方向に回転しつつ、同じく中心点Ｏを中心にして垂直方向に回転することになり、いわゆる球面動作を行う。
このように、出力軸３０は同じ中心点Ｏを中心にして回転や球面動作をするので、２軸一体形モータＭの駆動にあたっては、ソフトウェアの補間など演算の負担が小さくなる。
【００１９】
以上の構成では、ウェハパレット２１上のウェハ３を検査する検査人５は、その動作範囲内で複数のプログラムの中から自分の姿勢に合わせたウェハ傾き角度を選択し、検査用スポットライト８をウェハ３に当て、一定回転させながら均等に全周を観察することができる。
この場合に、球面動作のような軌跡でウェハ３を動かしても、ウェハ３を支えるラバーズピン２３に設けた縁２６により、ウェハ３が滑り落ちることは防止できる。また、最初の検査で不良箇所が見つかれば、手元の操作盤３３を操作して再度見直すこともソフトウェア的には可能である。
検査後、ウェハベース２２を水平に戻し、ウェハ３はクリーンロボット２でピックアップしやすい姿勢として、合格品は製品ウェハカセット１２に運ばれる。一方、不合格品は手動あるいはクリーンロボット２で不良ウェハカセット１４に運ばれる。
【００２０】
次に、本発明の第２の実施の形態について図を参照して説明する。
図５は本発明の第２の実施の形態に係る基板検査装置の駆動アクチェータの説明図である。
図５は、図３に示した３自由度モータ２８を簡易化した２自由度モータ３４を用いた例である。
図５のモータ３４は円弧状のＹ軸３１の可動子（移動子）中心線上に回転モータ３２を設けている。回転出力軸２９には前実施の形態と同様にウェハパレット２１が取り付けられ、Ｙ軸３１により水平から設定角度までウェハ３を傾け、回転モータ３２によりウェハ３を回転させながら検査する。（なお、ウェハ検査装置は図１と同様な構成である）。
但し、傾ける方向はＹ軸３１の一軸しかないので、検査する人５と検査ライト８の位置関係が検査しやすいという面では限定されるが、この駆動方式でも限定された位置・姿勢での検査は十分行うことができる。
【００２１】
なお、本発明では、ここまで、図１のウェハ目視検査装置でクリーンロボット２は単腕として説明したが、検査装置のスループットを向上するために双腕として、例えば、右腕でウェハパレット２１にウェハ３を運び、あるいはウェハパレット２１上にウェハ３が載っている場合はウェハ３を持って待機させ、左腕で検査が終わった合格品をウェハパレット２１に取りに行き、製品カセット１２に入れる。また、不合格品はウェハグリッパ６で挟み、手動にて不良ウェハカセット１４に持って行くなどの方式も可能である。
また、検査対象はウェハ３以外に、小型液晶、ＣＤなどの記録媒体なども同様な方法で検査することができる。
【００２２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、基板検査装置の自動化によって、基板のロボットからの受渡しは、自動化しやすい水平姿勢で行われ、検査する時は基板を手で扱うことなく、観察する人の目線に合わせて姿勢を取ることができるので、観察者にとって体の疲労が少ないという効果がある。
また、基板を傾けたまま全周回転できる軸を有しているので、観察者は目線を大きく動かす必要はなく、検査洩れの部分が無くなるという効果がある。
また、ウェハパレットの外径をウェハより大きくできるので、ウェハが割れた場合は欠片の大半をパレット上に収納できるという効果がある。
また、手動の場合のような基板端をピンで挟む工程が無くなるので、ピンとの接触部の汚染、板厚の薄い基板端を掴んで持ち上げた時に生ずるひずみも無くなるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る基板検査装置の鳥瞰図である。
【図２】図１に示すウェハパレットを示す図である。
【図３】図２に示すウェハパレットの姿勢を変えるための駆動アクチェータの説明図である。
【図４】図３に用いている２軸一体型モータの縦断面図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る基板検査装置の駆動アクチェータの説明図である。
【図６】従来のウェハ目視検査装置の鳥瞰図である。
【図７】図６に示すウェハバッファを示す図である。
【符号の説明】
１  ウェハカセット
２  クリーンロボット
３  ウェハ
５  検査人
６  ウェハグリップ
８  検査用ライト
１２  製品ウェハカセット
１４  不良ウェハカセット
２１  ウェハパレット
２２  ウェハベース
２３  ラバーズピン
２４  テーパ
２５  平坦部
２６  縁
２７  枠
２８  ３自由度モータ
２９  出力軸
３０  Ｘ軸
３１  Ｙ軸
３２  回転モータ
３３  操作盤
３４  ２自由度モータ
５０    ２軸一体形モータ、
Ａ  支持部、
５１    水平軸ベース、
５２    上支柱、
５３    下支柱、
５４    軸受、
５５    軸受、
５６    フレーム、
５７    支持補助体、
Ｂ  水平軸駆動部、
５８    水平軸駆動リニアモータ、
５９    固定子、
６０    移動子、
６１    固定子ヨーク、
６２    マグネット、
６３    マグネット、
６４    固定子巻線、
６５    Ａ相固定子鉄心、
６６    固定子巻線、
６７    Ｂ相固定子鉄心、
Ｃ  垂直軸駆動部、
６８    垂直軸駆動リニアモータ、
６９    固定子、
７０    移動子、
７１    固定子ヨーク、
７１ａ  凹部、
７２    マグネット、
７３    マグネット、
７４    固定子巻線、
７５    Ａ相固定子鉄心、
７６    固定子巻線、
７７    Ｂ相固定子鉄心、
７８    軸受、
７９    軸受、
Ｄ  出力部、
８０    出力軸
【図１】
0003641688.tif 000002
【図２】
0003641688.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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