(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定すべき荷重が作用する第１のピエゾ素子と、この第１のピエゾ素子に貼り付けられて該第１のピエゾ素子の変位を計測する第１の歪みゲージと、前記第１のピエゾ素子と同一の特性を持ち、前記荷重を作用させることのない第２のピエゾ素子と、この第２のピエゾ素子に貼り付けられて該第２のピエゾ素子の変位を計測する第２の歪みゲージとを用い、
前記第１の歪みゲージの出力が零となるように前記第１のピエゾ素子の駆動電圧を調整して、該駆動電圧にて前記第２のピエゾ素子を駆動し、前記第２の歪みゲージの出力を計測することを特徴とする荷重測定方法。
【請求項２】
測定すべき荷重が作用する第１のピエゾ素子と、この第１のピエゾ素子に貼り付けられた第１の歪みゲージと、前記第１のピエゾ素子の駆動電圧をフィードバック制御して前記第１の歪みゲージの出力を零に設定するフィードバック制御部と、前記第１のピエゾ素子と同一の特性を持ち、前記荷重を作用させることのない第２のピエゾ素子と、この第２のピエゾ素子に貼り付けられた第２の歪みゲージと、前記第１のピエゾ素子の駆動電圧を前記第２のピエゾ素子に加えて前記２の歪みゲージの変位を計測する手段とを具備したことを特徴とする荷重測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ピエゾ素子等の計測手段の変位や変形を伴うことなく、該計測手段に加わる荷重を測定することのできる荷重測定方法及び荷重測定装置に関する。
【０００２】
【関連する背景技術】
荷重計測は、一般的には測定すべき荷重による弾性体の変形量を計測することにより行われる。最も典型的なものはバネ計りであり、バネに加わる荷重と該バネの伸びとが比例することを利用して、バネの伸び量を計測することで荷重が求められる。ロードセルと称される歪みゲージの場合も同様であり、ピエゾ素子等の弾性体に貼り付けた歪みゲージの伸びによる該歪みゲージの抵抗の変化を利用してその荷重を求めている。この歪みゲージの場合、その伸び量が小さいが、弾性体が伸びる事により荷重を求めていることには変わりはない。ちなみに一般的なロードセルの場合、フルスケールの荷重に対して２０〜５０ミクロンの伸びがある程度である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで荷重を計測するピエゾ素子等の装置の変形が、その荷重に影響を与えない場合には何ら問題はない。例えばバネ計りを用いて物体の重さを計測する場合、物体を吊すことによりバネが伸びて上記物体は下方に降下する。このとき物体と地球の中心との距離が短くなるので、厳密に言うならばその荷重が増加するが、実質的にはその計測に全く影響がない。
【０００４】
しかしながら荷重を計測する装置の変形が、その荷重に影響を与える場合には問題が発生する。例えば両端を固定した物体を熱したときに、物体を固定した壁に掛かる荷重を計測しようとする場合、上記物体の熱による膨張は極めて小さいが、その荷重をロードセルによって計測しようとするとロードセル自体が変形する。すると測定対象物の状態が変化することになるので、その測定値は意味のないものとなってしまう。従ってこのような場合には、荷重により変位・変形が発生しない状態でその荷重を測定するするが望ましい。換言すれば、計測対象の状態を変化させないで荷重を計測することが望ましい。
【０００５】
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、その目的は、ピエゾ素子等の計測手段の変位や変形を伴うことなく、該計測手段に加わる荷重を正確に測定することのできる荷重測定方法及び荷重測定装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するべく本発明に係る荷重測定方法及び荷重測定装置は、実質的に同一の特性を持つ２つのピエゾ素子を用い、これらの各ピエゾ素子にその変位を検出する歪みゲージをそれぞれ貼付して実現され、
特に測定すべき荷重を作用させる第１のピエゾ素子の駆動電圧を、該第１のピエゾ素子に貼り付けられた第１の歪みゲージの出力が零となるようにフィードバック制御し、この第１の歪みゲージの出力を零に保った状態における前記第１のピエゾ素子の駆動電圧を、前記荷重を作用させていない状態の第２のピエゾ素子にその駆動電圧として印加して、このときに第２のピエゾ素子に貼り付けられている第２の歪みゲージの出力を検出することで前記荷重を計測するようにしたことを特徴としている。
【０００７】
つまり特性の同一なピエゾ素子の一方にだけ荷重を加え、この荷重が加えられたピエゾ素子の変形・変位を打ち消すようにその駆動電圧をフィードバック制御することで、その変位をなくす。そしてこのときの駆動電圧にて他方のピエゾ素子を駆動することで、荷重が掛けられていないピエゾ素子に逆向きの変位を生じさせ、その変位を計測することで等価的に前記荷重を計測することを特徴としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態に係る荷重測定方法及び荷重測定装置について説明する。
図１は本発明の一実施形態を示す荷重測定装置の概念を示す図である。この測定装置には、計測しようとする荷重２が加えられる第１のピエゾ素子１と、上記荷重２が加えられることのない第２のピエゾ素子８とが用いられる。これらの第１および第２のピエゾ素子１,８は、実質的に同一の特性を持つものである。しかしてこれらの各ピエゾ素子１,８には、やはり実質的に同一の特性を持つ第１および第２の歪みゲージ４,９がそれぞれ貼付されており、これらの歪みゲージ４,９によって前記第１および第２のピエゾ素子１,８の変位（変形）がそれぞれ計測されるようになっている。尚、歪みゲージ４,９は、ピエゾ素子１,８の変位に応じた抵抗値の変化として、そのブリッジ出力に電圧を発生するものである。
【０００９】
さて前記第１のピエゾ素子１は固定台３上に載置して設けられ、その他端から荷重２が加えられるようになっている。これに対して第２のピエゾ素子８は、例えば中吊りにする等して荷重２の加わることのないように設けられる。しかしこれらの実質的な同一特性を保証するべく、第１および第２のピエゾ素子１,８の動作環境（環境温度等）は両者等しく設定される。
【００１０】
しかして第１のピエゾ素子１に貼付された第１の歪みゲージ４の出力は、増幅器５を介して検出されており、その増幅出力は積分器６に与えられている。この積分器６は、ポテンショメータ１２によって設定される制御目標値１３を基準として前記増幅器５を介して検出された第１の歪みゲージ４の出力との差分（誤差）を積分するものであり、その積分出力は高利得増幅器７を介して前記第１のピエゾ素子１に印加されるようになっている。このようにして第１のピエゾ素子１に加える駆動電圧により、該ピエゾ素子１に逆向きの変位が与えられ、荷重２によって生じた変位が打ち消されるようになっている。
【００１１】
即ち、このように構成された回路は、第１の歪みゲージ４によって検出される第１のピエゾ素子１の変位量を零とし、該第１のピエゾ素子１の荷重による変位を相殺する為のフィードバック制御回路を形成する。そしてこのフィードバック制御回路は、前記増幅器５の出力が目標値１３と等しくなるように（それらの差が零となるように）作動することになる。従って、例えば第１のピエゾ素子１に荷重２を加えない状態でポテンショメータ１２を調整し、該ポテンショメータ１２によって設定される目標値１３が増幅器５の出力（歪みゲージ４によって検出されるピエゾ素子の変位量）と等しくなるようにしておけば、第１のピエゾ素子１に加わる荷重２の大きさに拘わらず、その変位（変形）を実質的に零にすることが可能となる。つまり第１のピエゾ素子１の変位（変形）をなくすことが可能となる。
【００１２】
さてこのようにして第１のピエゾ素子１に加えられる駆動電圧（フィーバック電圧）は、同時に第２のピエゾ素子８にも、その駆動電圧として印加されるようになっている。従って電圧の印加によって第２のピエゾ素子８は、第１のピエゾ素子１と同様な変位（変形）を生じることになる。しかしながらこの第２のピエゾ素子８には荷重２が加えられていないので、荷重２によって変位が相殺されることはなく、その変位が直接的に現れる。するとこの第２のピエゾ素子８の逆向きの変位は、第２の歪みゲージ９によって検出されるので、第２の歪みゲージ９の出力を増幅器１０を介して検出すれば、その増幅出力１１として前記荷重２を検出することが可能となる。
【００１３】
即ち、第２のピエゾ素子８には、第１のピエゾ素子１に加わる荷重２による変位を打ち消して、その変位を零とする為の逆向きの変位が生じる。従って第２のピエゾ素子８に生じた変位を第２の歪みゲージ９を介して検出すれば、前記第１のピエゾ素子１に加えられた荷重２を等価的に検出することが可能となる。但し、荷重２を打ち消すための逆向きの荷重を検出することになるので、その検出値の極性は逆になる。
【００１４】
従って上述した如く構成された荷重測定装置（荷重測定方法）にて第１のピエゾ素子１に加わる荷重２を計測すれば、第１のピエゾ素子１の荷重２による変位（変形）を伴うことなしに、その荷重２を正確に計測することが可能となる。従って簡易にして効果的にピエゾ素子の変位（変形）に起因する誤差要因を排除して、正確な荷重の計測が可能となる等の実用上多大な効果が奏せられる。
【００１５】
以上のように本発明では、同一の特性を持った２つの歪みゲージ付きピエゾ素子を用いている。そして測定すべき荷重２を第１のピエゾ素子１に加えると、当然、第１のピエゾ素子１は弾性変形を引き起こす。この変形量は、ピエゾ素子の弾性係数に応じたもので、一般的なピエゾ素子の場合、１００Ｎの力（荷重）で１μｍ程度の変形である。
【００１６】
このような第１のピエゾ素子１の変形を相殺するべく、この第１のピエゾ素子１に貼られている第１の歪みゲージ５の出力が常に零となるようにフィードバック制御する。つまり荷重２によって第１のピエゾ素子１に生じた変形を、該第１のピエゾ素子１に電圧を加えることにより押し戻し、これによってその変形が実質的に零となるように制御する。そして第１のピエゾ素子１の変位（変形）を零とすることで、測定対象物に対して実質的な影響を与えることがないようにしている。この状態で第２のピエゾ素子８に、第１のピエゾ素子１と同一の電圧を印加することで、第２の歪みゲージ９によって検出される変位として第１のピエゾ素子１に作用する荷重２を計測するものとなっている。
【００１７】
ちなみに上記フィードバック制御の下でピエゾ素子に加えられる電圧は、概ね測定すべき荷重に近い値を示す。この場合、計測精度を問題にしなければ、上記電圧を計測することで、ピエゾ素子の変位を伴わずに荷重２を測定することが可能である。しかしながらこの場合、ピエゾ素子に特有な問題には対処することができない。即ち、ピエゾ素子にはヒステリシスと、ドリフトの問題がある。
【００１８】
ピエゾ素子に印加する電圧を徐々に高めると、そのピエゾ素子は徐々に伸びる。反対にピエゾ素子に印加する電圧を徐々に低くすると、ピエゾ素子は徐々に収縮する。しかしピエゾ素子に加える電圧の変化と、これに伴う伸び（縮み）の量との関係は一定でなく、伸び時と収縮時とで特性経路が異なる（ヒステリシス特性）。従ってもこのヒステリシスに起因して同一の印加電圧であってもピエゾ素子の長さが異なるので、その電圧から正確な計測を行うことはできない。またピエゾ素子に電圧を加えると該ピエゾ素子は変形するが、その変形量が時間と共に変化する（ドリフト現象）。これ故、ピエゾ素子に加える電圧が一定であってもピエゾ素子の長さはー定ではなく、従ってこの点でも上記電圧から正確な計測を行うことはできない。
【００１９】
この点、本発明の構成によれば、第１のピエゾ素子と第２のピエゾ素子とを同一条件で駆動するようにしており、その印加電圧をフィードバック制御しているので、前述したヒステリシスやドリフト等の問題を生じることなしに、その正確な計測が可能である。
尚、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではない。例えばピエゾ素子のフルスケール等は、計測対象とする荷重の大きさ等に応じて定めておけぱ良い。またフィードバック系の回路構成やその制御利得等も、その仕様に応じて定めれば十分である。要するに本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、荷重によってピエゾ素子に発生する変位（変形）を、該ピエゾ素子に加える電圧のフィードバック制御により相殺し、実質的にその変位（変形）を零として荷重の計測を行うので、ピエゾ素子の変位（変形）に伴う誤差を生じることなく、その荷重を正確に計測することができる。しかもピエゾ素子の極微小な変位であっても、これを補正することで測定すべき荷重に影響が及ぶことのない正確な計測が可能となる等の実用上多大な効果が奏せられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す測定装置の回路図。
【符号の説明】
１  第１のピエゾ素子
２  荷重
３  固定台
４  第１の歪みゲージ
５  増幅器
６  積分器
７  目標値
８  第２のピエゾ素子
９  第２の歪みゲージ
１０  増幅器
１１  出力
１２  ポテンショメータ
１３  目標値
【図１】
0003727133.tif 000002