(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隔で割り出し回転および昇降可能なテーブルと、所要の配列ではんだボールを吸着し得るように複数の吸着用の穴が形成され、前記テーブルに同一円周上を通過するように、テーブルの回転方向に所定の間隔で配置された吸着マスクと、底面から圧縮空気を吹き出すように複数の小径の穴が形成され、内部に供給されたはんだボールを圧縮空気で浮遊させるように構成されたはんだボール供給装置と、回転可能な円盤と、この円盤の表面と所定の間隔で対向するように配置されたへらとを備え、円盤上に供給されたフラックスを液膜状に形成するフラックス供給装置と、はんだボールを搭載するパッケージを位置決めする位置決め装置とを設け、前記はんだボール供給装置とフラックス供給装置および位置決め装置を前記テーブルの回転方向に沿って、吸着マスクの割り出し位置で各吸着マスクと順次対向するように配置したことを特徴とするはんだボール搭載装置。
【請求項２】
所定の間隔で割り出し回転および昇降可能なテーブルと、所要の配列ではんだボールを吸着し得るように複数の吸着用の穴が形成され、前記テーブルに同一円周上を通過するように、テーブルの回転方向に所定の間隔で配置された吸着マスクと、底面から圧縮空気を吹き出すように複数の小径の穴が形成され、内部に供給されたはんだボールを圧縮空気で浮遊させるように構成されたはんだボール供給装置と、回転可能な円盤と、この円盤の表面と所定の間隔で対向するように配置されたへらとを備え、円盤上に供給されたフラックスを液膜状に形成するフラックス供給装置と、はんだボールを搭載するパッケージを位置決めする位置決め装置と、複数のＣＣＤカメラと、ＣＣＤカメラの画像情報を処理する画像情報処理装置とを設け、前記はんだボール供給装置とフラックス供給装置および位置決め装置を前記テーブルの回転方向に沿って、吸着マスクの割り出し位置で各吸着マスクと順次対向するように配置するとともに、ＣＣＤカメラを前記各装置間の中間位置に、前記吸着マスクと対向するように配置したことを特徴とするはんだボール搭載装置。
【請求項３】
所定の間隔で割り出し回転および昇降可能なテーブルと、所要の配列ではんだボールを吸着し得るように複数の吸着用の穴が形成され、前記テーブルに同一円周上を通過するように、テーブルの回転方向に所定の間隔で配置された吸着マスクと、底面から圧縮空気を吹き出すように複数の小径の穴が形成され、内部に供給されたはんだボールを圧縮空気で浮遊させるように構成されたはんだボール供給装置と、回転可能な円盤と、この円盤の表面と所定の間隔で対向するように配置されたへらとを備え、円盤上に供給されたフラックスを液膜状に形成するフラックス供給装置と、はんだボールを搭載するパッケージを位置決めする位置決め装置と、複数のＣＣＤカメラと、ＣＣＤカメラの画像情報を処理する画像情報処理装置と、前記画像処理装置の出力に基づいて、パッケージの位置補正を行う制御装置とを設け、前記はんだボール供給装置とフラックス供給装置および位置決め装置を前記テーブルの回転方向に沿って、吸着マスクの割り出し位置で各吸着マスクと順次対向するように配置するとともに、ＣＣＤカメラを前記各装置間の中間位置に、前記吸着マスクと対向するように配置し、かつ、１台のＣＣＤカメラを位置決め装置の上方に、前記パッケージのはんだボール搭載面と対向するように配置したことを特徴とするはんだボール搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）パッケージ（以下、単にパッケージと言う）にはんだボールを搭載するためのはんだボール搭載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１２ないし図１４は、従来のはんだボール搭載装置の一例を示すもので、同図において、１はベース。２はブロックでベース１上に平行に固定されている。３は直線案内装置で、ブロック２上に平行に固定されている。４はビームで、直線案内装置３に移動可能に支持されている。５は送りねじで、ブロック２上に回転可能に支持され、ビーム４に固定されたナット（図示せず）に螺合している。６はモータで、ベース１に支持され、送りねじ５に結合されている。したがって、モータ６が作動すると、ビーム４がＹ方向（図１２では上下方向）に移動する。
【０００３】
７は直線案内装置で、ビーム４に平行に固定されている。８はスライダで、直線案内装置７に移動可能に支持されている。９は送りねじで、ビーム４に回転可能に支持され、スライダ８に固定されたナット（図示ぜず）に螺合している。１０はモータで、ビーム４に支持され、送りねじ９に結合されている。したがって、モータ１０が作動すると、スライダ８がＸ方向（図１２では左右方向）に移動する。
【０００４】
１１は直線案内装置で、スライダ８に平行に固定されている。１２はサドルで、直線案内装置１１に移動可能に支持されている。１３は送りねじで、スライダ８に回転可能に支持され、サドル１２に固定されたナット（図示せず）に螺合している。１４はモータで、スライダ８に固定され、送りねじ１３に結合されている。したがって、モータ１４が作動すると、サドル１２がＸ方向（図１３では上下方向）に移動する。
【０００５】
１５は吸着マスクで、サドル１２に固定されている。この吸着マスク１５は、箱状に形成され、図１４に示すように、下面には、パッケージに搭載するはんだボールの配列と同じ配列ではんだボール１６を吸着保持するための複数の穴１７が形成されている。
【０００６】
１９ははんだボール供給装置で、ベース１上に固定され、はんだボール１６を収容している。このはんだボール供給装置１９は、上面が開口する箱形に形成され、底面には、はんだボール１６の直径より小さな複数の穴が形成されている。
【０００７】
２０はフラックス供給装置で、ベース１上に固定され、所定量のフラックス２１が供給されている。
【０００８】
２２は搬送用のベルトで、ベース１に支持されている。２３はストッパで、ベース１に固定されている。２４ははんだボール１６を搭載するパッケージで、ベルト２２で搬送され、ストッパ２３に当接して位置決めされる。
【０００９】
このような構成で、モータ６とモータ１０を作動させ、吸着マスク１５をはんだボール供給装置１９の上方に位置決めする。そして、モータ１４を作動させ、吸着マスク１５を、その下端がはんだボール供給装置１９の開口部を覆う位置まで移動させる。すると、はんだボール供給装置１９の底面から圧縮空気が噴出して、吸着マスク１５とはんだボール供給装置１９の底面との間ではんだボール１６を浮遊させる。同時に、吸着マスク１５に真空圧が供給され、穴１７を通して吸引することにより、吸着マスク１５の穴１７にはんだボール１６を吸着する。
【００１０】
予め設定された時間が経過すると、はんだボール供給装置１９の底面から噴出していた圧縮空気が遮断され、モータ１４が作動して、はんだボール１６を吸着した吸着マスク１５を上昇させる。
【００１１】
すると、モータ６とモータ１０が作動して、はんだボール１６を吸着した吸着マスク１５を、フラックス供給装置２０の上方へ移動させる。そして、モータ１４を作動させ、吸着マスク１５を、下面に吸着したはんだボール１６の下端（はんだボールの直径の１／４〜１／３程度）がフラックスに浸漬される位置まで下降させ、はんだボール１６にフラックス２１を供給する。はんだボール１６にフラックス２１が供給されると、モータ１４が作動して、吸着マスク１５を上昇させる。
【００１２】
モータ６とモータ１０が作動して、下端にフラックスが供給されたはんだボール１６を吸着した吸着マスク１５を、パッケージ２４への搭載位置の上方に移動させる。この時、予めベルト２２上に載置され、ベルト２２で搬送されて、ストッパ２３に当接して位置決めされたパッケージ２４が待機している。そして、吸着マスク１５がパッケージ２４の上方の所定の位置に位置決めされると、モータ１４が作動して、吸着マスク１５を下降させ、はんだボール１６をパッケージ２４に押しつける。
【００１３】
この時、配管１８を通して吸着マスク１５に圧縮空気が供給される。この空気を穴１７から噴出させることにより、吸着していたはんだボール１６を開放し、パッケージ２４上に搭載する。パッケージ２４に搭載されたはんだボール１６は、その下端に供給されたフラックスの粘性によってパッケージ２４に保持される。すると、モータ１４の作動により、吸着マスク１５が上昇し次のはんだボール１６の吸着に向かう。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなはんだボール搭載装置においては、各動作が順次に行われるため、１サイクルに要する時間が長く（約１５秒程度）なり、はんだボール搭載装置の稼働効率が低いものになっている。
【００１５】
本発明の目的は、上記の事情に鑑み、稼働効率の高いはんだボール搭載装置を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、第１の発明においては、所定の間隔で割り出し回転および昇降可能なテーブルと、所要の配列ではんだボールを吸着し得るように複数の吸着穴が形成され、前記テーブルに同一円周上を通過するように、テーブルの回転方向に所定の間隔で配置された吸着マスクと、底面から圧縮空気を吹き出すように複数の小径の穴が形成され、内部に供給されたはんだボールを圧縮空気で浮遊させるように構成されたはんだボール供給装置と、回転可能な円盤と、この円盤の表面と所定の間隔で対向するように配置されたへらとを備え、円盤上に供給されたフラックスを膜状に形成するフラックス供給装置と、はんだボールを搭載するパッケージを位置決めする位置決め装置とを設け、前記はんだボール供給装置とフラックス供給装置および位置決め装置を前記テーブルの回転方向に沿って、吸着マスクの割り出し位置で各吸着マスクと順次対向するように配置し、はんだボールの吸着と、フラックスの塗布およびパッケージへの搭載を３ヵ所で同時に行うようにしたことを特徴とする。
【００１７】
また、第２の発明においては、所定の間隔で割り出し回転および昇降可能なテーブルと、所要の配列ではんだボールを吸着し得るように複数の吸着穴が形成され、前記テーブルに同一円周上を通過するように、テーブルの回転方向に所定の間隔で配置された吸着マスクと、底面から圧縮空気を吹き出すように複数の小径の穴が形成され、内部に供給されたはんだボールを圧縮空気で浮遊させるように構成されたはんだボール供給装置と、回転可能な円盤と、この円盤の表面と所定の間隔で対向するように配置されたへらとを備え、円盤上に供給されたフラックスを液膜状に形成するフラックス供給装置と、はんだボールを搭載するパッケージを位置決めする位置決め装置と、複数のＣＣＤカメラと、ＣＣＤカメラの画像情報を処理する画像情報処理装置とを設け、前記はんだボール供給装置とフラックス供給装置および位置決め装置を前記テーブルの回転方向に沿って、吸着マスクの割り出し位置で各吸着マスクと順次対向するように配置するとともに、ＣＣＤカメラを前記各装置間の中間位置に、前記吸着マスクと対向するように配置し、はんだボールの吸着と、フラックスの塗布およびパッケージへの搭載を３ヵ所で同時に行うとともに、各動作の結果を確認するようにしたことを特徴とする。
【００１８】
さらに、第３の発明においては、所定の間隔で割り出し回転および昇降可能なテーブルと、所要の配列ではんだボールを吸着し得るように複数の吸着穴が形成され、前記テーブルに同一円周上を通過するように、テーブルの回転方向に所定の間隔で配置された吸着マスクと、底面から圧縮空気を吹き出すように複数の小径の穴が形成され、内部に供給されたはんだボールを圧縮空気で浮遊させるように構成されたはんだボール供給装置と、回転可能な円盤と、この円盤の表面と所定の間隔で対向するように配置されたへらとを備え、円盤上に供給されたフラックスを液膜状に形成するフラックス供給装置と、はんだボールを搭載するパッケージを位置決めする位置決め装置と、複数のＣＣＤカメラと、ＣＣＤカメラの画像情報を処理する画像情報処理装置と、前記画像処理装置の出力に基づいて、パッケージの位置補正を行う制御装置とを設け、前記はんだボール供給装置とフラックス供給装置および位置決め装置を前記テーブルの回転方向に沿って、吸着マスクの割り出し位置で各吸着マスクと順次対向するように配置するとともに、ＣＣＤカメラを前記各装置間の中間位置に、前記吸着マスクと対向するように配置し、かつ、１台のＣＣＤカメラを位置決め装置の上方に、前記パッケージのはんだボール搭載面と対向するように配置し、はんだボールの吸着と、フラックスの塗布およびパッケージへの搭載を３ヵ所で同時に行い、各動作の結果を確認するとともに、はんだボールの搭載前に、位置決め装置によって位置決めされたパッケージの被搭載端子パターンの位置を補正するようにしたことを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面にしたがって説明する。
図１ないし図６は本発明の第１の実施の形態を示すもので、図１は、はんだボール搭載装置の平面図、図２は、図１におけるはんだボール搭載装置の正面断面図、図３は、図１における搭載部の側面断面図、図４は、図１における搭載部の正面断面図、図５は、図１における吸着マスクの断面図である。
【００２０】
同図において、１はベース。２５はハウジングで、ベース１に固定されている。２６はベアリングで、ハウジング２５の上部と下部に所定の間隔で支持されている。２７はシャフトで、ベアリング２６を介してハウジング２５に回転可能に支持されている。２８はプレートで、ハウジング２５の下端に固定されている。２９はサーボモータで、プレート２８に支持されている。３０はタイミングプーリで、サーボモータ２９の回転軸に固定されている。３１はタイミングプーリで、シャフト２７に固定されている。３２はタイミングベルトで、タイミングプーリ３０、３１に掛け渡されている。したがって、サーボモータ２９を作動させることによりシャフト２７を回転させることができる。そして、サーボモータ２９を任意の角度回転させることにより、シャフト２７を任意の角度で割り出し回転させることができる。
【００２１】
３３は給、排気路で、シャフト２７に形成されている。３４は回転継手で、プレート２８にブラケット３５を介して固定され、シャフト２７の外周面に形成された給、排気路３３の開口部と対向するように、シャフト２７に回転可能に嵌合している。３６はスリップリングで、回転継手３４にブラケット３７を介して固定され、シャフト２７の下端に対向している。３８はディスクで、シャフト２７と一体に形成されている。
【００２２】
３９はエアシリンダで、ディスク３８の中心に固定されている。４０はリニアガイドで、ディスク３８の外周部に所定の間隔で複数個配置されている。４１はテーブルで、シリンダ３９に支持されている。４２はガイドバで、リニアガイド４０と摺動可能に嵌合するようにテーブル４１に固定されている。４３はナットで、ディスク３８の外周部に所定の間隔で複数個形成されている。４５はストッパねじで、テーブル４１と対向するようにナット４３に螺合している。したがって、エアシリンダ３９が作動すると、テーブル４１が上下に移動する。そして、テーブル４１の下降端は、ストッパねじ４５の高さによって規制することができる。このストッパねじ４５の高さは、ストッパねじ４５を回すことにより任意に変更することができる。
【００２３】
４６は位置決め用の穴で、テーブル４１に形成されている。４７はガイドで、ベース１に固定されている。４８はシリンダで、ガイド４７の下端に固定されている。４９はロケートピンで、シリンダ４８に穴４６と対向するように固定されている。
【００２４】
５０は吸着マスクで、プレート５１を介してテーブル４１に所定の間隔（この実施形態では、１２０度間隔）で固定されている。この吸着マスク５０は、図３に示すように構成されている。吸着マスク５０は箱状に形成され、その下面には、はんだボールを吸着するための穴５２が、所要の配列パターンにしたがって形成されている。５３は配管で、シャフト２７に形成された給、排気路３３と吸着マスク５０を接続し、吸着マスク５０に真空圧を供給する。
【００２５】
５４はガイドバで、吸着マスク５０内に固定されている。５５はシリンダで、そのピストンロッドが吸着マスク５０の内部に突出するようにプレート５１に固定されている。５６はプレートで、吸着マスク５０の内面と所要の間隔が形成され、かつ、ガイドバ５４と摺動可能に嵌合するように配置され、シリンダ５５のピストンロッドに結合されている。５７はピンで、吸着マスク５０の下面に形成された穴５２の直径より細く形成され、穴５２を貫通し得るように、穴５２と同じ配列でプレート５６に配列されている。５８は配管で、シャフト２７に形成された給、排気路３３とシリンダ５５を接続している。
【００２６】
したがって、はんだボールを吸着する際には、シリンダ５５を作動させてプレート５６を上昇させ、ピン５７を穴５２の上方に移動させる。また、吸着したはんだボールをパッケージに搭載する際には、シリンダ５５を作動させ、プレート５６を下降させることにより、穴５２を貫通させてピン５７ではんだボールをパッケージ側へ押しつけることにより、吸着マスク５０からパッケージにはんだボールを、より確実に搭載することができる。
【００２７】
５９ははんだボール供給装置で、上面に開口部が形成され、底面にはんだボールより小径の複数の穴が形成され、ベース１上に固定されている。６０は圧縮空気の供給管で、圧縮空気の供給源とはんだボール供給装置５９の底面の穴を接続している。６１ははんだボールで、はんだボール供給装置５９内に収容されている。したがって、上部の開口部を吸着マスク５０で覆い、底面の穴から圧縮空気を供給することにより、吸着マスク５０と底面の間にはんだボール６１を浮遊させることができる。この時、吸着マスク５０に真空吸引力が作用していると、吸着マスク５０の穴５２にはんだボール６１を吸着することができる。
【００２８】
フラックス供給装置は、図１および図２に示すような構成になっている。６２はハウジングで、下部の外周面にねじ１０４が形成され、ベース１に固定されたガイドピン１０１に移動可能に嵌合する軸受１０２を介して、ベース１に上下方向に移動可能に支持されている。６３はシャフトで、ハウジング６２にベアリング６４を介して回転可能に支持されている。
【００２９】
６５は減速機付きのモータで、ハウジング６２の下端に支持されたハウジング１０３に支持され、その出力軸がカップリング６６を介してシャフト６３に結合されている。
【００３０】
１０７はハウジングで、スタッドボルト１１３を介してハウジング６２と同心円上に位置するようにベース１の下面に支持されている。１０５はナットで、ハウジング６２のねじ１０４に螺合し、軸受１０６を介して、ハウジング１０７に回転可能に支持されている。１０８はステッピングモータで、ハウジング１０７に支持されている。１０９はタイミングプーリで、ステッピングモータ１０８の回転軸に固定されている。１１１はタイミングプーリで、ナット１０５に固定されている。１１０はタイミングベルトで、タイミングプーリ１０９、１１１の間に掛け渡されている。したがって、ステッピングモータ１０８が作動すると、タイミングプーリ１０９、タイミングベルト１１０、タイミングプーリ１１１を介してナット１０５が回転する。すると、ねじ１０４を介してハウジング６２と、このハウジング６２に支持されたシャフト６３がその軸方向に移動する。また、モータ６５が作動すると、シャフト６３が回転する。
【００３１】
６７は液槽で、シャフト６３の上端に固定されている。この液槽６７の底面には、ゴムあるいは弾性プラスチック等弾性材で形成されたシートが配置されている。６８はスタンドで、ベース１に固定されている。６９はスキージで、液槽６７の底面に配置されたシートと所要の間隔（はんだボールの直径の１／３〜１／４の間隔）で対向するように、スタンド６８に高さ方向の位置を調整可能に支持されている。
【００３２】
７０はフラックスで、液槽６７のシート上に供給されている。したがって、モータ６５を作動させ、液槽６７を回転させることにより、スキージ６９でフラックス７０をシート上に延ばすことができ、フラックス７０を所要の厚さ（液槽６７の底面に配置されたシートとスキージ６９の間隔に相当する厚さ）の液膜状にすることができる。このフラックス７０の厚さを制御することにより、はんだボール６１に対するフラックス７０の供給量を調整することができる。
【００３３】
位置決め装置は、図１、図４および図５に示すような構成になっている。７１はローラで、ベース１に回転可能に支持されている。７２はモータで、ベース１に支持され、その出力軸がローラ７１に結合されている。７３はベルトで、ローラ７１の間に掛け渡されている。７４はキャリアで、パッケージ７５の載置位置に貫通穴が形成され、ベルト７３上に載置されている。
【００３４】
７６はシリンダで、パッケージ７５に対するはんだボールの搭載位置の下方に位置するように、ベース１に固定されている。７７はリフトノズルで、シリンダ７６に支持されている。７８は配管で、リフトノズル７７を真空圧の供給源に接続している。
【００３５】
したがって、パッケージ７５を載置したキャリア７４がベルト７３上に載置されると、モータ７２が作動してキャリア７４を所定の位置まで搬送する。そして、キャリア７４は、図示しないストッパなどの位置決め手段で所定の位置に停止させられる。すると、シリンダ７６が作動して、リフトノズル７７が上昇し、パッケージ７５をキャリア７４から載置位置へ移動させる。この時、リフトノズル７７に真空圧が供給されていると、リフトノズル７７がキャリア７４上に載置されたパッケージ７５と接触した瞬間に、パッケージ７５を吸着保持する。したがって、キャリア７４から搭載位置へ移動したパッケージ７５の位置づれは防止される。
【００３６】
なお、前記はんだボール供給装置、フラックス供給装置、位置決め装置は、図１に示すように、テーブル４１の回転方向に沿って、吸着マスクの割り出し位置で各吸着マスク５０と順次対向するようにそれぞれＡ、Ｂ、Ｃの位置に配置されている。
【００３７】
このような構成であるから、パッケージ７５に搭載するはんだボール６１の大きさに合わせて、フラックス供給装置のステッピングモータ１０８を作動させ、シャフト６３を移動させて、液槽６７の高さを調整するとともに、スキージ６９の位置を調整し、ステッピングモータ６５を作動させて、液槽６７を回転させ、所要の厚さのフラックスの液膜を形成する。
【００３８】
サーボモータ２９の作動により、テーブル４１の割り出し回転を行う。この割り出し回転により、吸着マスク５０が位置決めされると、Ａの位置に位置決めされた吸着マスク５０は、はんだボール供給装置５９と対向し、Ｂの位置に位置決めされた吸着マスク５０は、フラックス供給装置の液槽７１に液膜状に形成されたフラックスと対向し、Ｃの位置に位置決めされた吸着マスク５０は、位置決め装置によって位置決めされたパッケージ７５と対向する。すると、シリンダ４８が作動して、ロケートピン４９を上昇させ、このロケートピン４９をテーブル４１の穴４６に嵌合させ、テーブル４１の回転方向の位置決めを行う。ついで、シリンダ３９が作動して、テーブル４１をストッパねじ４５に当接するまで下降させ、吸着マスク５０を所要の位置へ下降させる。
【００３９】
Ａの位置にある吸着マスク５０は、はんだボール供給装置５９の上端の開口部を覆う。すると、はんだボール供給装置５９の底面から圧縮空気が供給され、同時に、吸着マスク５０に真空圧が供給される。圧縮空気によって吹き上げられたはんだボール６１が吸着マスク５０に吸着保持される。
【００４０】
また、Ｂの位置にある吸着マスク５０は、吸着マスク５０に保持されたはんだボール６１が液槽６７のシートに接触するまで下降する。すると、はんだボール６１の下端が、液膜状に形成されたフラックス７０に浸漬され、はんだボール６１にフラックス７０が付着し供給される。この時、はんだボール６１の直径のバラツキにより、吸着マスク５０の下面から突出するはんだボール６１の突出量にバラツキがあっても、液槽６７の底面に配置されたシートによってバラツキが吸収され、各はんだボール６１にほぼ均一にフラックス７０を供給することができる。
【００４１】
また、Ｃの位置にある吸着マスク５０は、吸着保持したはんだボール６１を、パッケージ７５に接触するまで下降する。すると、吸着マスク５０内に供給されていた真空圧が大気圧に開放され、はんだボール６１の吸着を開放する。同時に、シリンダ５５が作動してプレート５６を下降させ、ピン５７を吸着マスク５０の穴５２からパッケージ７５側へ突出させて、強制的にはんだボール６１を吸着マスク５０からパッケージ７５へ搭載する。パッケージ７５に搭載されたはんだボール６１は、その下端に供給されたフラックスの粘性によりパッケージ７５に粘着保持される。
【００４２】
上記のように、吸着マスク５０の割り出し位置Ａ、Ｂ、Ｃで、はんだボール６１の吸着、はんだボール６１へのフラックス７０の供給、およびパッケージ７５へのはんだボール６１の搭載を同時に行う。そして、シリンダ３９が作動して、テーブル４１を上昇させ、シリンダ４８が作動して、ロケートピン４９をテーブル４１から離脱させると、サーボモータ２９が作動して、テーブル４１を割り出し回転させ、Ａの位置にあった吸着マスク５０をＢの位置へ、Ｂの位置にあった吸着マスク５０をＣの位置へ、Ｃの位置にあった吸着マスク５０をＡの位置へそれぞれ移動させる。
【００４３】
この間に、位置決め装置は、リフトノズル７７に供給されていた真空圧を大気圧に開放するとともに、シリンダ７６を作動させて、リフトノズル７７を下降させ、はんだボール６１が搭載されたパッケージ７５をキャリア７４上に載置させる。そして、キャリア７４を移動させ、次のパッケージ７５を搭載位置の下方に位置決めする。シリンダ７６を作動させ、真空圧が供給されたリフトノズル７７を上昇させ、リフトノズル７７でパッケージ７５を吸着保持し、パッケージ７５を所定の搭載位置へ上昇させて待機する。また、フラックス供給装置は、ステッピングモータ６５を作動させ、液槽６７を所要の角度回転させ、液膜状に形成したフラックス７０をＢの位置へ移動させて待機する。
【００４４】
上記の実施に形態によれば、はんだボールの吸着と、フラックスの供給およびパッケージに対する搭載を同時に行うことができるので、１サイクルに要する時間を短く（約６秒程度）することができ、はんだボール搭載装置の稼働効率を向上させることができる。
【００４５】
図６ないし図１１は、本発明の第２の実施の形態を示すもので、図６は、はんだボール搭載装置の平面図、図７は、図６の正面断面図、図８は、図６における位置決め装置の正面断面図、図９は、図６における位置決め装置の側面断面図、図１０、図１１は、動作説明図である。
【００４６】
同図において、図１ないし図５と同じものは、同じ符号を付けて示してある。８０、８１、８２はそれぞれＣＣＤカメラで、はんだボール供給装置とフラックス供給装置の間、フラックス供給装置と位置決め装置の間、および位置決め装置とはんだボール供給装置の間に、吸着マスク５０の下面と対向するように所定の間隔で配置されている。８３はＣＣＤカメラで、搭載位置の上方に、パッケージ７５と対向するように配置されている。８４は画像処理装置で、各ＣＣＤカメラ８０、８１、８２、８３に接続されている。８５は制御装置で、画像処理装置８４に接続されている。
【００４７】
８６はＹステージで、ベース１に支持されている。８７はＸステージで、Ｙステージ８６に移動可能に支持されている。８８はθステージで、Ｘステージ８７に回転可能に支持されている。これらＹステージ８６、Ｘステージ８７、およびθステージ８８は制御装置８５に接続され、制御装置８５からの指令により移動するようになっている。θステージ８８上にシリンダ７５が支持されている。
【００４８】
このような構成で、図１０に示すように、吸着マスク５０の割り出し位置Ａ、Ｂ、Ｃで、はんだボールの吸着、フラックス供給、パッケージ７５へのはんだボールの搭載を同時に行う。そして、テーブル４１を割り出し回転させ、図１１に示すように、ＣＣＤカメラと対向する位置で、テーブル４１を一旦停止させ、はんだボールの吸着後、フラックス供給後、パッケージ７５へのはんだボールの搭載後の吸着マスク５０の下面を、それぞれＣＣＤカメラ８０、８１、８２で撮像する。この撮像結果は、画像処理装置８４に送られ、撮像データを処理することにより、はんだボールの吸着漏れ、脱落、搭載漏れ等を検出することができる。この時、不具合が発生していたらアラームを発生させるようにしておいてもよい。このようにして、確認を行なった後、再びテーブル４１を割り出し回転させ、図１０に示すように、各吸着マスク５０を割り出し位置Ａ、Ｂ、Ｃへ移動させる。
【００４９】
また、ＣＣＤカメラ８３で、パッケージ７５の被搭載端子の位置を撮像し、画像処理装置８４で撮像データを処理した後、制御装置８５で予め設定されている基準位置と比較して、その差に基づいてＹステージ８１、Ｘステージ８２、およびθステージ８３を駆動することにより、はんだボールをより正確にパッケージ７５の被搭載端子に搭載することができる。また、はんだボールを搭載した後でパッケージ７５上のはんだボールの配列を見ることにより、搭載時におけるはんだボールの位置ずれを確認することもできる。
【００５０】
なお、図６、図９に示すように、廃棄ボックス９０を適宜配置し、はんだボールの吸着ミス、フラックス供給時におけるはんだボールの脱落などが発生したとき、吸着マスク５０に吸着されていたはんだボールを廃棄ボックス９０に廃棄し、再度やりなおすようにしてもよい。
【００５１】
また、サンプルなど、数の少ないものに適用する場合には、吸着マスク５０を１個だけ使用するようにしても良い。
【００５２】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、吸着マスクによるはんだボールの吸着と、ハンダボールに対するフラックスの供給、およびパッケージに対するはんだボールの搭載を同時に行うようにしたので、パッケージに対するはんだボールの搭載サイクルを短縮し、稼働効率の高いはんだボール搭載装置を提供することができる。
【００５３】
また、ＣＣＤカメラを配置し、吸着マスクの下面を監視することにより、不具合の発生個所を特定することができ対応が容易になる。さらに、パッケージの被搭載端子の位置を確認し補正することにより、より正確にはんだボールを搭載することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるはんだボール搭載装置の平面図。
【図２】図１の正面断面図。
【図３】図１における吸着マスクの断面図。
【図４】図１における位置決め装置の正面図。
【図５】図４の側面断面図。
【図６】本発明における他の実施の形態を示すはんだボール搭載装置の平面図。
【図７】図６の正面断面図。
【図８】図６における位置決め装置の正面図。
【図９】図８の側面断面図。
【図１０】図６のはんだボール搭載装置における吸着マスクの作業位置を示す動作説明図。
【図１１】図６のはんだボール搭載装置における吸着マスクの確認位置を示す動作説明図。
【図１２】従来のはんだボール搭載装置の平面図。
【図１３】図１２の正面図。
【図１４】従来のはんだボール搭載装置における吸着マスクの断面図。
【符号の説明】
４１          テーブル
５０          吸着マスク
５２          穴
５４          ガイドバ
５５          シリンダ
５６          プレート、
５７          ピン
５９          ボール供給装置
６７          液槽
６９          スキージ
７０          フラックス
７５          パッケージ
８０、８１、８２、８３          ＣＣＤカメラ
８４          画像情報処理装置
８５          制御装置
【図１】
0003613644.tif 000002
【図２】
0003613644.tif 000003
【図３】
0003613644.tif 000004
【図４】
0003613644.tif 000005
【図５】
0003613644.tif 000006
【図６】
0003613644.tif 000007
【図７】
0003613644.tif 000008
【図８】
0003613644.tif 000009
【図９】
0003613644.tif 000010
【図１０】
0003613644.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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