(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
昇降可能なエレベータと、このエレベータ上にセットされ複数のウェハを多段に収納するカセットと、このカセット内のウェハを搬送すべく前記カセットに対して出入されるとともに前記エレベータに対する昇降移動によりウェハの授受を行うピックを有するロボットとからなるウェハ搬送装置において、前記カセット内のいずれか１つのウェハが前記エレベータの昇降方向に沿う方向の所定の授受位置にあることを検知するとともに同じく前記ピックが前記授受位置にあることを検知する位置検知センサと、この位置検知センサの前記ピックの検出信号により前記ロボットの昇降方向位置を検出して該ピックの基準取付位置からの位置ずれ量を求め、この位置ずれ量から前記ロボットの昇降方向の位置を制御するための基準位置データに補正を加えて前記ロボットを作動させる制御部とを有することを特徴とするウェハ搬送装置。
【請求項２】
前記ロボットが複数のピックを有し、前記制御部が各ピック毎に基準位置データを補正可能に構成されていることを特徴とする請求項１のウェハ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、エレベータ上にセットされたカセットに対してロボットによりウェハを搬出入する方式のウェハ搬送装置に係わり、特にウェハサイズの変更などによりロボットの先端アームであるピックを交換した際に生じるピックの位置ずれによる動作不良の防止に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種のウェハ搬送装置におけるロボットのピックは、破損や汚れまたはウェハサイズの変更などにより比較的頻繁に交換される。従来は、単にピックを交換するだけであったが、例えば、同一構造、同一寸法のピックに交換しても多少の位置ずれは避けられず、エレベータの昇降方向については、通常０．１〜０．５ｍｍ、場合によってはそれ以上の誤差を生じる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、カセットに収納されているウェハの間隔は比較的狭いため、これらの間に挿入するピックの位置を正確に制御する必要がある。交換に伴う位置ずれを小さく抑えるためには、ピックの加工精度と取付精度を高める必要があるが、限度があり、特にコスト的な面から好ましくない。
【０００４】
本発明は、交換に伴ってピックの位置がずれても、エレベータ上のカセットに対するピックの位置を容易にかつ正確に制御することができるウェハ搬送装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明は、昇降可能なエレベータと、このエレベータ上にセットされ複数のウェハを多段に収納するカセットと、このカセット内のウェハを搬送すべく前記カセットに対して出入されるとともに前記エレベータに対する昇降移動によりウェハの授受を行うピックを有するロボットとからなるウェハ搬送装置において、前記カセット内のいずれか１つのウェハが前記エレベータの昇降方向に沿う方向の所定の授受位置にあることを検知するとともに同じく前記ピックが前記授受位置にあることを検知する位置検知センサと、この位置検知センサの前記ピックの検出信号により前記ロボットの昇降方向位置を検出して該ピックの基準取付位置からの位置ずれ量を求め、この位置ずれ量から前記ロボットの昇降方向の位置を制御するための基準位置データに補正を加えて前記ロボットを作動させる制御部とを有するものである。
【０００７】
なお、前記ロボットが複数のピックを有する場合には、前記制御部は各ピック毎に基準位置データを補正可能に構成することが好ましい。
【０００８】
【作用】
ピックを交換した際、位置検知センサにより、エレベータの昇降方向のピック位置を検知し、この検知信号に基づいてピックの該方向の基準位置とのずれ量を制御部が自動的に算出し、ピックの基準位置データに補正を加える。これはピックが複数ある場合には、各ピック毎に行うことが好ましい。この補正によりピックの交換に伴う位置ずれがあっても、エレベータ上のカセットに対するピックの位置は正確に制御され、動作不良のない的確な搬送が可能になる。
【０００９】
【実施例】
以下本発明の実施例について図１ないし図３を参照して説明する。図１において、１は搬送室、２はロボット、３，４はカセット室、５，６はプロセス室、７〜１２はゲートバルブである。
【００１０】
ロボット２は、旋回中心軸２１を中心に回転される第１アーム２２と、この第１アーム２２の先端の軸２３を中心に回転される第２アーム２４とを有し、第２アーム２４の先端には軸２５を介して対称的に配置されたピック２６、２７が取り付けられている。ピック２６、２７は、第１、第２アーム２２、２４の回転に同期して軸２５を中心に回転され、向きを変えることなく旋回中心軸２１の半径方向へ移動される半径方向移動と、第１，第２アーム２２，２４及びピック２６，２７の相対的な回転を固定してこれらを一体的に旋回中心軸２１の回りに旋回させる旋回移動とを行い得るようになっている。
【００１１】
また、ピック２６，２７は、旋回中心軸２１の上下動により昇降され、かつ軸２５を中心に、図１に示す位置と１８０゜回転（反転）した位置とを取るようになっている。
【００１２】
上記の半径方向移動、旋回移動、昇降及び反転は、図２に示すように、制御部３７によって制御される駆動部２８により与えられる。
【００１３】
カセット室３，４は図１において左右対称であるため、以下図２を参照してカセット室３の構成について説明する。カセット室３内には、制御部３７によって制御されるモータ３１、昇降駆動機構３２により昇降位置を制御可能に作動されるエレベータ３３が設けられ、エレベータ３３上にカセット３４をセットするようになっている。カセット３４内には、水平に置かれた複数のウェハＷが所定の間隔をもって多段に収納されている。
【００１４】
カセット室３内には、後述するようにエレベータ３３の昇降により所定高さの授受位置（ピック２６または２７による授受位置）に来たウェハＷを横切るように投光器３５ａと受光器３５ｂとからなる位置検知センサ３５が設けられている。なお、投光器３５ａと受光器３５ｂは、図１に示すように、カセット３４内のウェハＷに対する授受位置にピック２６または２７が挿入され、この授受位置でピック２６または２７が昇降したとき、これらのピック２６または２７をも横切るように配置されている。
【００１５】
図３は、ピック２６が投光器３５ａと受光器３５ｂからなる位置検知センサ３５によって検知される直前の状態を示しており、位置検知センサ３５はピック２６が光ビーム３６を遮断することにより検知信号を出力するようになっている。図３においては、光ビーム３６をピック２６の下面ないし上面と平行に配置した例を示したが、斜めにしたものなど種々の方式の位置検知センサを用いることができる。
【００１６】
位置検知センサ３５の検知信号は、図２に示すように、制御部３７に取り込まれる。ピック２６、２７の昇降位置を検出するため、制御部３７には旋回中心軸２１の軸方向位置が読み込まれており、制御部３７は位置検知センサ３５の検知信号を受けたときの該軸方向位置を記憶し、この位置と制御部３７に予め記憶されており上記検知信号が出されたときピック２６が本来あるべき位置すなわちピック２６の昇降方向の位置を制御すための基準位置となる基準位置データとの差を算出してピック２６の基準位置データを補正するようになっている。
【００１７】
この基準位置データは、ピック２６とは別にピック２７についても記憶されるようになっている。なお、これらはカセット室３、４内の各エレベータ毎に記憶するようにしてもよく、これらについてもそれぞれ同様の補正を行うようになっている。
【００１８】
次いで本装置の作用について説明する。ゲートバルブ９を閉じ、ゲートバルブ７を開いてカセット３４をエレベータ３３上にセットしてゲートバルブ７を閉じる。次いでゲートバルブ９を開いてカセット３４内のウェハＷをロボット２によりプロセス室５または６へ搬送する。
【００１９】
このウェハＷの搬送は、カセット３４内の搬送対象のウェハＷの位置を位置検知センサ３５によって検知してエレベータ３３を所定高さ位置に停止させ、ロボット２のピック２６を搬送対象のウェハＷの下に挿入し、次いでピック２６を所定量上昇させてウェハＷをピック２６上に載せて行う。
【００２０】
このときウェハＷのピッチは数ｍｍであり、かつウェハＷは常にカセット３４内の正しい位置にあるとは限らず若干の位置ずれを有しているため、ピック２６をウェハＷの下に挿入する際、ピック２６の高さ位置すなわち昇降位置を正確に制御しないと、ピック２６が搬送対象またはその下にあるウェハＷに当たってウェハＷを破損することがある。
【００２１】
しかして、本装置は、ピック２６、２７を交換したとき、エレベータ３３上のカセット３４内のウェハＷを横切るように設けた位置検知センサ３５によってピック２６の昇降方向位置を検知し、この検知信号に基づいてピック２６の昇降方向位置を制御するため制御部３７内に記憶されている基準位置データを上記のように補正する。その上で、ピック２６の昇降位置を制御するようにしたため、ピック２６の交換などによりロボット２上におけるピック２６の昇降方向位置が変化しても、ウェハＷに対してピック２６を正確に位置決めすることができる。
【００２２】
また、上記のような位置検知センサ３５によってピック２６の位置を検知し、この位置を制御するための基準位置データを補正するよにしたため、ピック２６の位置変化に簡単に対応することができ、操作も簡単である。
【００２７】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、位置検知センサの信号に基づいて、ピックの前記昇降方向の位置ずれ量を求め、この位置ずれ量からピックの位置決めを行うための基準位置データに補正を加えてロボットを制御するようにしたため、ピックのエレベータ昇降方向の位置が交換に伴って変化しても、エレベータ上のカセットに対するピックの位置を容易にかつ正確に制御することができる。また、ピックの位置検知センサとしてカセット内のウェハ位置を検知するためのものを用いるため、装置構成を簡素化できるとともにウェハに対するピックの位置決めをより正確に制御することができる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例を示す概要断面平面図。
【図２】  図１のＡ−Ａ線による断面図。
【図３】  ピックと位置検知センサの関係を示す拡大図。
【符号の説明】
１  搬送室
２  ロボット
３，４ カセット室
５，６ プロセス室
２６，２７  ピック
３３  エレベータ
３４  カセット
３５  位置検知センサ
３７  制御部
【図１】
0003674063.tif 000002
【図２】
0003674063.tif 000003
【図３】
0003674063.tif 000004