(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ブレードと第２ブレードとを備え、第１ブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削した溝内を第２ブレードで切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断するダイシング方法において、
前記第１ブレードのカーフチェックを実施する場合は、未切削のストリートに沿ってウェーハを前記第１ブレードで所定深さ切削し、その切削された溝を検査することにより、前記第１ブレードのカーフチェックを実施し、前記第２ブレードのカーフチェックを実施する場合は、未切削のストリートに沿ってウェーハを前記第２ブレードで第１ブレードが切削する溝の深さよりも浅く切削し、その切削された溝を検査することにより、前記第２ブレードのカーフチェックを実施するものとし、各ブレードのカーフチェックを実施するにあたり、各ブレードのカーフチェックの実行タイミングとカーフチェックを実施するストリートとを各ブレードごとに個別に管理し、カーフチェック終了後は、前記第２ブレードで切削した溝の上からストリートに沿ってウェーハを第１ブレードで所定深さ切削し、その第１ブレードで切削した溝内を第２ブレードで再び切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断することを特徴とするダイシング方法。
【請求項２】
第１ブレードと第２ブレードとを備え、第１ブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削した溝内を第２ブレードで切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断するダイシング装置のカーフチェック方法において、
未切削のストリートに沿ってウェーハを第２ブレードで第１ブレードが切削する溝の深さよりも浅く切削し、その切削された溝を検査して第２ブレードのカーフチェックを実施し、そのカーフチェックの結果、カーフ位置に異常が生じている場合は、前記ストリートの中心に対する溝の中心のズレ量を算出し、そのズレ量を相殺すべく前記第２ブレードの位置を補正し、カーフチェック終了後は、前記第２ブレードで切削した溝の上からストリートに沿ってウェーハを第１ブレードで所定深さ切削し、その第１ブレードで切削した溝内を第２ブレードで再び切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断することを特徴とするダイシング装置のカーフチェック方法。
【請求項３】
第１ブレードと第２ブレードとを備え、第１ブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削した溝内を第２ブレードで切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断するダイシング装置のカーフチェック方法において、
未切削のストリートに沿ってウェーハを第１ブレードで所定深さ切削するとともに、未切削のストリートに沿ってウェーハを第２ブレードで第１ブレードが切削する溝の深さよりも浅く切削し、その切削された２本の溝を検査して、第１ブレードと第２ブレードとのカーフチェックを実施し、そのカーフチェックの結果、カーフ位置に異常が生じている場合は、前記ストリートの中心に対する溝の中心のズレ量を算出し、そのズレ量を相殺すべく各ブレードの位置を補正し、カーフチェック終了後は、前記第２ブレードで切削した溝の上からストリートに沿ってウェーハを第１ブレードで所定深さ切削し、その第１ブレードで切削した溝内を第２ブレードで再び切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断することを特徴とするダイシング装置のカーフチェック方法。
【請求項４】
第１ブレード、第２ブレード及び制御手段を備え、第１ブレードと第２ブレードとを制御手段で制御することにより、第１ブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削した溝内を第２ブレードで切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断するダイシング装置のカーフチェックシステムにおいて、
前記制御手段は、第２ブレードによって所定本数のストリートが切断されると、又は、外部入力手段から第２ブレードのカーフチェック指令信号が入力されると、未切削のストリートに沿ってウェーハを第２ブレードで第１ブレードが切削する溝の深さよりも浅く切削させ、その切削された溝を検査することにより、第２ブレードのカーフチェックを実施させ、カーフチェック終了後、制御手段は、第１ブレードと第２ブレードとを制御することにより、前記第２ブレードで切削した溝の上からストリートに沿ってウェーハを第１ブレードで所定深さ切削し、その第１ブレードで切削した溝内を第２ブレードで再び切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断することを特徴とするダイシング装置のカーフチェックシステム。
【請求項５】
前記ダイシング装置は、ウェーハを撮像する撮像手段と、前記撮像手段の画像データを画像処理してカーフチェックを実施する画像処理手段と、を備え、
前記制御手段は、前記第２ブレードが未切削のストリートに沿ってウェーハを第１ブレードが切削する溝の深さよりも浅く切削したのち、その第２ブレードで切削された溝を前記撮像手段で撮像させ、その画像データを画像処理手段で画像処理させて第２ブレードのカーフチェックを実施させ、そのカーフチェックの結果、カーフ位置に異常が生じている場合は、前記ストリートの中心に対する溝の中心のズレ量を算出し、そのズレ量を相殺すべく前記第２ブレードの位置を補正することを特徴とする請求項４記載のダイシング装置のカーフチェックシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイシング方法及びダイシング装置のカーフチェック方法並びにカーフチェックシステムに係り、特にブレードが装着される主軸スピンドルを２本備えたダイシング方法及びダイシング装置のカーフチェック方法並びにカーフチェックシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ダイシング装置は、外周部に砥粒が固着された極薄外周刃（以下、「ブレード」という。）によってウェーハを賽の目状に切断する装置であるが、このダイシング装置のブレードは使用により磨耗し、切断面にチッピングが生じたり、熱変形の影響を受けて切削溝の位置がストリート（パターン描画されたウェーハのチップとチップの間にある直線状の境界線をいう。ウェーハは、このストリートに沿って切断される。）の中心からズレたりする。このためダイシング装置では、あらかじめ設定されたタイミングでブレードのカーフチェックを実施するようにしている。すなわち、ブレードで切削された溝（カーフ）をカメラで撮像し、その画像データを画像処理することによって、あるいは目視によってカーフ位置やカーフ幅、チッピングの有無等を計測している。
【０００３】
ところで、上記のダイシング装置には、主軸スピンドル（ブレードが装着されるスピンドル）が１本だけで構成されているものと、２本で構成されているもの（以下、「ツインスピンドルダイサ」という。）とがある。そして、さらにツインスピンドルダイサには、２つのブレードで一度に２本のストリートを切断する方式のものと、ステップカット方式、すなわち第１のブレードでストリートに沿って所定深さの溝を切削し、その後、第２のブレードでその溝内を切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断する方式のものとがある。
【０００４】
そして、従来、ステップカット方式を採用するツインスピンドルダイサでは、次のようにして２つのブレードのカーフチェックを行っていた。すなわち、まず、第１のブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削された溝を検査して第１のブレードのカーフチェックを実施する。次いで、その第１のブレードで切削した溝内を第２のブレードで切削し、その第２のブレードで切削した溝を検査して第２のブレードのカーフチェックを実施する。
【０００５】
このように従来は通常の切削時と同じ手順でカーフチェック用の溝を切削し、その切削された溝を検査することによって、各ブレードのカーフチェックを実施していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の方法でカーフチェックを実施すると、図８（ａ）で示すように、第２のブレードで加工した溝ｇが第１のブレードで加工した溝Ｇに重なってしまうため、画像処理を用いたカーフチェックが極めて困難であるという欠点がある。特に、第１ブレードと第２ブレードとが同じ幅で形成されている場合には、同図（ｂ）に示すように、第１ブレードで加工した溝Ｇ1 と第２ブレードで加工した溝Ｇ2 との識別ができず、正確な補正量、評価値が得られないという欠点がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、正確にカーフチェックすることができるダイシング方法及びダイシング装置のカーフチェック方法並びにカーフチェックシステムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、前記目的を達成するために、第１ブレードと第２ブレードとを備え、第１ブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削した溝内を第２ブレードで切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断するダイシング方法において、前記第１ブレードのカーフチェックを実施する場合は、未切削のストリートに沿ってウェーハを前記第１ブレードで所定深さ切削し、その切削された溝を検査することにより、前記第１ブレードのカーフチェックを実施し、前記第２ブレードのカーフチェックを実施する場合は、未切削のストリートに沿ってウェーハを前記第２ブレードで第１ブレードが切削する溝の深さよりも浅く切削し、その切削された溝を検査することにより、前記第２ブレードのカーフチェックを実施するものとし、各ブレードのカーフチェックを実施するにあたり、各ブレードのカーフチェックの実行タイミングとカーフチェックを実施するストリートとを各ブレードごとに個別に管理し、カーフチェック終了後は、前記第２ブレードで切削した溝の上からストリートに沿ってウェーハを第１ブレードで所定深さ切削し、その第１ブレードで切削した溝内を第２ブレードで再び切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断することを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、カーフチェックの実行タイミングと実行位置とを各ブレードごとに各々独立して設定できるため、各ブレードごとに最適のタイミング、最適の位置でカーフチェックを実行できる。
【００１０】
請求項２に係る発明は、前記目的を達成するために、第１ブレードと第２ブレードとを備え、第１ブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削した溝内を第２ブレードで切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断するダイシング装置のカーフチェック方法において、未切削のストリートに沿ってウェーハを第２ブレードで第１ブレードが切削する溝の深さよりも浅く切削し、その切削された溝を検査して第２ブレードのカーフチェックを実施し、そのカーフチェックの結果、カーフ位置に異常が生じている場合は、前記ストリートの中心に対する溝の中心のズレ量を算出し、そのズレ量を相殺すべく前記第２ブレードの位置を補正し、カーフチェック終了後は、前記第２ブレードで切削した溝の上からストリートに沿ってウェーハを第１ブレードで所定深さ切削し、その第１ブレードで切削した溝内を第２ブレードで再び切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断することを特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、第２ブレードのカーフチェックを実施する場合は、第２ブレードで未切削のストリートを第１ブレードが切削する溝の深さよりも浅く切削し、その切削された溝に対してカーフチェックを実施する。したがって、第２ブレードで切削した溝が第１ブレードで切削した溝に重なることはなく、正確に第２ブレードのカーフチェックを実施することができる。
【００１２】
請求項３に係る発明は、前記目的を達成するために、第１ブレードと第２ブレードとを備え、第１ブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削した溝内を第２ブレードで切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断するダイシング装置のカーフチェック方法において、未切削のストリートに沿ってウェーハを第１ブレードで所定深さ切削するとともに、未切削のストリートに沿ってウェーハを第２ブレードで第１ブレードが切削する溝の深さよりも浅く切削し、その切削された２本の溝を検査して、第１ブレードと第２ブレードとのカーフチェックを実施し、そのカーフチェックの結果、カーフ位置に異常が生じている場合は、前記ストリートの中心に対する溝の中心のズレ量を算出し、そのズレ量を相殺すべく各ブレードの位置を補正し、カーフチェック終了後は、前記第２ブレードで切削した溝の上からストリートに沿ってウェーハを第１ブレードで所定深さ切削し、その第１ブレードで切削した溝内を第２ブレードで再び切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断することを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、第１ブレードと第２ブレードとで異なるストリートを切削してカーフチェックを実施するので、第２ブレードで形成した溝が第１ブレードで形成した溝に重なることがない。したがって、正確に両ブレードのカーフチェックを実施することができる。
【００１４】
請求項４に係る発明は、前記目的を達成するために、第１ブレード、第２ブレード及び制御手段を備え、第１ブレードと第２ブレードとを制御手段で制御することにより、第１ブレードでストリートに沿ってウェーハを所定深さ切削し、その切削した溝内を第２ブレードで切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断するダイシング装置のカーフチェックシステムにおいて、前記制御手段は、第２ブレードによって所定本数のストリートが切断されると、又は、外部入力手段から第２ブレードのカーフチェック指令信号が入力されると、未切削のストリートに沿ってウェーハを第２ブレードで第１ブレードが切削する溝の深さよりも浅く切削させ、その切削された溝を検査することにより、第２ブレードのカーフチェックを実施させ、カーフチェック終了後、制御手段は、第１ブレードと第２ブレードとを制御することにより、前記第２ブレードで切削した溝の上からストリートに沿ってウェーハを第１ブレードで所定深さ切削し、その第１ブレードで切削した溝内を第２ブレードで再び切削することにより、ウェーハをストリートに沿って切断することを特徴とする。また、請求項５に係る発明は、前記目的を達成するために請求項４に記載のダイシング装置のカーフチェックシステムにおいて、前記ダイシング装置は、ウェーハを撮像する撮像手段と、前記撮像手段の画像データを画像処理してカーフチェックを実施する画像処理手段と、を備え、前記制御手段は、前記第２ブレードが未切削のストリートに沿ってウェーハを第１ブレードが切削する溝の深さよりも浅く切削したのち、その第２ブレードで切削された溝を前記撮像手段で撮像させ、その画像データを画像処理手段で画像処理させて第２ブレードのカーフチェックを実施させ、そのカーフチェックの結果、カーフ位置に異常が生じている場合は、前記ストリートの中心に対する溝の中心のズレ量を算出し、そのズレ量を相殺すべく前記第２ブレードの位置を補正することを特徴とする。
【００１５】
本発明によれば、カーフチェックを指定したタイミングで自動的に実施する、またはオペレーターが目視でカーフチェックを実施することが可能となり、カーフチェック時に第２ブレードで未切削のストリートを切削する溝の深さは、第１ブレードで切削する溝の深さよりも浅くするので、カーフチェック後、第２ブレードで切削した溝の上から第１ブレードで切削しても、第２ブレードで形成した溝は残らず、通常どおりの切削作業を行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係るダイシング方法及びダイシング装置のカーフチェック方法並びにカーフチェックシステムについて説明する。
【００１７】
図１は、本発明が適用されるツインスピンドルダイサの構成を示す平面図である。
【００１８】
同図に示すようにツインスピンドルダイサ１０は、ウェーハＷを保持するウェーハテーブル１２と、そのウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷを切削する一対の切削ユニット１４Ａ、１４Ｂと、ウェーハＷを撮像する一対の撮像ユニット１６Ａ、１６Ｂと、制御装置（不図示）とから構成されている。
【００１９】
ウェーハテーブル１２は、円盤状に形成されており、ウェーハＷの裏面を真空吸着して保持する。このウェーハテーブル１２は、図示しない送り機構に駆動されることにより図中Ｘ軸方向に沿って往復移動する。また、このウェーハテーブル１２は、図示しない回転駆動機構に駆動されることにより中心軸（θ軸）回りに回転する。
【００２０】
なお、ウェーハＷはウェーハフレーム（不図示）にマウントされた状態でウェーハテーブル１２に保持される。すなわち、ウェーハＷは、ウェーハフレームに貼られたウェーハシートに貼り付けられた状態でウェーハテーブル１２に保持される。
【００２１】
切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、それぞれウェーハＷを切削するブレード２０Ａ、２０Ｂを備えており、各ブレード２０Ａ、２０Ｂは、それぞれ主軸モータ２２Ａ、２２Ｂの主軸スピンドル２２ａ、２２ｂに連結されている。この切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、スピンドル移動機構に駆動されることにより、図中Ｙ軸方向及びＺ軸方向に個別に移動する。
【００２２】
スピンドル移動機構は、図２に示すように一対のＹキャリッジ２４Ａ、２４Ｂを備えている。この一対のＹキャリッジ２４Ａ、２４Ｂは、共にＹ軸方向に沿って配設されたガイドレール２６、２６にスライド自在に設けられている。そして、図示しないスライド駆動手段（たとえばリニアモータなど）に駆動されることにより、図中Ｙ軸方向に沿って個別にスライドする。
【００２３】
各Ｙキャリッジ２４Ａ、２４Ｂには、それぞれ図示しないリニアガイドと駆動手段とからなるＺ軸方向移動機構２８Ａ、２８Ｂが設置されており、各Ｚ軸方向移動機構２８Ａ、２８Ｂは、Ｚキャリッジ３０Ａ、３０Ｂを図中Ｚ軸方向に沿って駆動する。このＺキャリッジ３０Ａ、３０Ｂの先端部にはモータブラケット３２Ａ、３２Ｂが取り付けられており、このモータブラケット３２Ａ、３２Ｂに前記主軸モータ２２Ａ、２２Ｂが取り付けられている。
【００２４】
スピンドル移動機構は、以上のように構成され、このスピンドル移動機構に駆動されることにより、各切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、図中Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動する。すなわち、各切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、キャリッジ２４Ａ、２４Ｂをガイドレール２６、２６に沿ってスライドさせることによりＹ軸方向に沿って移動し、Ｚ軸方向移動機構２８Ａ、２８ＢのＺキャリッジ３０Ａ、３０Ｂの移動によりＺ軸方向に沿って移動する（上下動する）。そして、このように移動する切削ユニット１４Ａ、１４Ｂは、Ｙ軸方向に沿って移動することにより切削ピッチが可変し、Ｚ軸方向に沿って移動することにより切削切込み量が可変する。
【００２５】
撮像ユニット１６Ａ、１６Ｂは、ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂを備えている。ＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂは、図１に示すように、カメラホルダ３６Ａ、３６Ｂに保持されており、カメラホルダ３６Ａ、３６Ｂはモータブラケット３２Ａ、３２Ｂに固定されている。このＩＴＶカメラ３４Ａ、３４Ｂは、ウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷの上面を撮像し、その画像データを画像処理装置３８に出力する。画像処理装置３８は、得られた画像データを画像処理してブレード２０Ａ、２０Ｂで切削された切削溝（カーフ）のカーフチェックを実施する。すなわち、ブレード２０Ａ、２０Ｂで切削されたカーフのカーフ位置、カーフ幅、チッピングの有無等を計測する。
【００２６】
制御装置は、ウェーハテーブル１２と切削ユニット１４Ａ、１４Ｂの駆動を制御する。この制御装置は、あらかじめ設定された切削パターンに従ってウェーハテーブル１２と切削ユニット１４Ａ、１４Ｂとを制御し、ウェーハテーブル１２に保持されたウェーハＷをストリートに沿って切削する。また、あらかじめ設定されたタイミング若しくはオペレータからの指示に応じてカーフチェックを実施する。
【００２７】
次に、前記のごとく構成されたツインスピンドルダイサによるウェーハＷの切断方法について説明する。
【００２８】
本実施の形態のツインスピンドルダイサでは、ウェーハＷをステップカット方式により切断する。すなわち、まず、第１のブレード２０Ａ（以下、「第１ブレード２０Ａ」という。）でストリートに沿ってウェーハＷを所定深さ切削し、次いで、その第１ブレード２０Ａで切削された溝内を第２のブレード２０Ｂ（以下、「第２ブレード２０Ｂ」という。）で切削することにより、ウェーハＷをストリートに沿って切断する。具体的には以下のとおりである。
【００２９】
なお、本実施の形態のツインスピンドルダイサにおいては、先行して溝を切削する第１ブレード２０Ａの刃幅が、第２ブレード２０Ｂの刃幅よりも大きく形成されているものとする。
【００３０】
まず、制御装置は主軸モータ２２Ａ、２２Ｂを駆動して第１ブレード２０Ａ、第２ブレード２０Ｂを回転させる。次いで、スピンドル移動機構のスライド駆動手段を駆動して、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとの間隔をあらかじめ設定された間隔にセットする。なお、ここでは第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとの間隔がストリートの３ピッチ分に設定されているものとする。
【００３１】
次に、Ｚ軸方向移動機構２８Ａ、２８Ｂを駆動して、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとをそれぞれ所定量下降させる。これにより、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとの切込み量が、あらかじめ設定された値にそれぞれセットされる。
【００３２】
なお、ここでの第２ブレード２０Ｂの切込み量は、第１ブレード２０Ａによって切削された溝Ｇ内を切削してウェーハＷを完全に切断するため、第１ブレード２０Ａの切り込み量よりも多く設定されている。
【００３３】
第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂの切込み量があらかじめ設定された値にセットされると、制御装置は、主軸モータ２２Ａと共に主軸モータ２２Ｂを駆動して、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとを回転させる。次に、ウェーハテーブル１２の切削送り機構を駆動して、ウェーハテーブル１２をＸ軸方向に沿って移動させる。これにより、ウェーハＷがストリートＳX1に沿っての所定深さ切削され、所定深さの溝ＧX1がストリートＳX1に沿って形成される（図３（ａ）参照）。
【００３４】
次に、制御装置はスピンドル移動機構のスライド駆動手段を駆動して、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとをストリートのピッチ分だけＹ軸方向に移動させる。そして、ウェーハテーブル１２をＸ軸方向に再び移動させて、次のストリートＳX2を第１ブレード２０Ａによって切削する。
【００３５】
以上の切削動作を繰り返し行い、Ｘ軸方向のストリートＳX1、ＳX2、…を第１ブレード２０Ａで順次切削してゆく。
【００３６】
ところで、上記のようにＸ軸方向のストリートＳX1、ＳX2、…を第１ブレード２０Ａで順次切削し、４本目のストリートＳX1に到達すると、図３（ｂ）に示すように、第１ブレード２０Ａによって切削された第１本目の溝ＧX1の位置に第２ブレード２０Ｂが位置する。この状態でウェーハテーブル１２の切削送り機構を引き続き駆動して、ウェーハテーブル１２をＸ軸方向に移動させると、第１ブレード２０ＡによってストリートＳX4が所定深さ切削されるとともに、第２ブレード２０Ｂによって溝ＧX1内が切削され、ウェーハＷがストリートＳX1に沿って分断される。
【００３７】
制御装置は、第１ブレード２０Ａによる４本目のストリートＳX4の切削と、第２ブレード２０Ｂによる１本目の溝ＧX1の切削が終了すると、スピンドル移動機構のスライド駆動手段を駆動して、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとをストリートのピッチ分だけＹ軸方向に移動させる。そして、ウェーハテーブル１２をＸ軸方向に再び移動させて、次のストリートＳX5を第１ブレード２０Ａによって切削するとともに、第２ブレード２０Ｂによって２本目の溝ＧX2内を切削する。この切削動作を繰り返し行い、図３（ｃ）に示すように、Ｘ軸方向のストリートＳX1、ＳX2、…を第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとで順次切削し、ウェーハＷをストリートＳX1、ＳX2、…に沿って分断してゆく。
【００３８】
そして、Ｘ軸方向のストリートＳX1、ＳX2、…の切断が全て終了すると、制御装置は、ウェーハテーブル１２を９０°回転させて、Ｘ軸方向と直交するＹ方向のストリートＳY1、ＳY2、…を上述した手順と同じ手順を繰り返して切断する。これにより、ウェーハＷは最終的に碁盤目状に切断される。
【００３９】
次に、本発明に係るカーフチェック方法を上述したツインスピンドルダイサに適用した例で説明する。
【００４０】
カーフチェックの実施方法には、▲１▼あらかじめ設定されたタイミングで自動的に実施する方法と、▲２▼オペレータによる任意のタイミングで実施する方法とがある。
【００４１】
まず、初めにあらかじめ設定されたタイミングで自動的にカーフチェックを実施する方法について説明する。
【００４２】
図４は、あらかじめ設定されたタイミングで自動的にカーフチェックを実施する場合のフローチャートである。
【００４３】
カーフチェックの自動実施モードが選択されると、制御装置は、第１ブレード２０Ａによる切削ライン数（第１ブレード２０Ａで切削したストリートの本数）と第２ブレード２０Ｂによる切削ライン数（第２ブレード２０Ｂで切削したストリートの本数）とをカウントする。そして、いずれか一方のブレードの切削ライン数があらかじめ設定されたライン数に達すると、カーフチェックを自動的に実施する（ステップＳ１）。
【００４４】
まず、制御装置は、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂの何れのブレードのカーフチェックを実施するかを判定する（ステップＳ２）。ここでは、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとが、共に規定のライン数に達している場合について説明する。
【００４５】
図５（ａ）に示すように、第１ブレード２０Ａは、第２ブレード２０Ｂに先行して所定深さの溝Ｇ5 をストリートＳ5 に沿って切削しており、第２ブレード２０Ｂは、その第１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ1 内を切削している。制御装置は、第１ブレード２０Ａによる切削ライン数と第２ブレード２０Ｂによる切削ライン数とが、あらかじめ設定されたライン数に達した段階で切断作業を一時中断する。
【００４６】
次に、制御装置は、図５（ｂ）に示すように、第２ブレード２０Ｂを第１ブレード２０Ａによる切削がまだ行われていないストリートＳ6 まで移動させる（ステップＳ３）。そして、第２ブレード２０Ｂによってその未切削のストリートＳ6 をあらかじめ設定された深さで切削する（ステップＳ４）。
【００４７】
次に、制御装置は、第１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ5 をＩＴＶカメラ３４Ａで撮像する。そして、その画像データを画像処理装置３８で画像処理して、第１ブレード２０Ａのカーフチェックを実施する（ステップＳ５）。すなわち、第１ブレード２０Ａで切削した溝（カーフ）Ｇ5 のカーフ位置、カーフ幅、チッピングの有無等を計測する。
【００４８】
次に、制御装置は、第２ブレード２０Ｂで切削した溝ｇ6 をＩＴＶカメラ３４Ｂで撮像する。そして、その画像データを画像処理装置３８で画像処理して、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施する（ステップＳ６）。すなわち、第２ブレード２０Ｂで切削した溝（カーフ）ｇ6 のカーフ位置、カーフ幅、チッピングの有無等を計測する。
【００４９】
カーフチェックが終了すると、制御装置は、そのカーフチェックの結果に基づいて判定を行う（ステップＳ７）。そして、その判定の結果、異常が認められれば警報を発生し、運転を停止する（ステップＳ８）。一方、正常であれば自動切断を再開する（ステップＳ９）。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブレード２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所定深さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3 内を切削する。
【００５０】
なお、第１ブレード２０Ａで切削するストリートＳ6 は、前記のごとく第２ブレードのカーフチェックのために、すでに第２ブレード２０Ｂで切削されているので、この場合、第１ブレード２０Ａは、第２ブレード２０Ｂで切削された溝ｇ6 に沿ってこの溝ｇ6 の上から更に切削を実施して、所定深さの溝Ｇ6 を形成する。
【００５１】
以上のカーフチェック方法によれば、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施するに際して、未切削のストリートを第２ブレード２０Ｂで切削してカーフチェックを実施するので、従来のように第１ブレード２０Ａで切削した溝（カーフ）と第２ブレード２０Ｂで切削した溝（カーフ）とが重なることがなく、正確なカーフチェックを行うことができる。
【００５２】
なお、カーフチェック時に第２ブレード２０Ｂで切削する溝の深さは、その後に第１ブレード２０Ａで再び同じストリート上を切削することから、第１ブレード２０Ａで切削する溝の深さよりも浅く切削する。
【００５３】
以上は第１ブレード２０Ａのカーフチェックのタイミングと第２ブレード２０Ｂのカーフチェックのタイミングとが同じであった場合であり、第１ブレード２０Ａの切削ライン数のみが、あらかじめ設定されているライン数に達している場合は、第１ブレード２０Ａのみをカーフチェックする。この場合、カーフチェックは次のように実施される。
【００５４】
図５（ａ）に示すように、第１ブレード２０Ａは、第２ブレード２０Ｂに先行して溝Ｇ5 を切削しているので、第１ブレード２０Ａで切削した溝と第２ブレード２０Ｂで切削した溝とが重なり合うことはない。したがって、該当のストリートの通常の切削を終了した段階でカーフチェックを実施することができる。
【００５５】
制御装置は、第１ブレード２０Ａの切削ライン数が、あらかじめ設定されたライン数に達した段階で切削作業を一時中断する。そして、図５（ｃ）に示すように、第１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ5 をＩＴＶカメラ３４Ａで撮像する。そして、その画像データを画像処理装置３８で画像処理して、第１ブレード２０Ａのカーフチェックを実施する（ステップＳ１０）。
【００５６】
カーフチェックが終了すると、制御装置は、そのカーフチェックの結果に基づいて判定を行う（ステップＳ７）。そして、その判定の結果、異常が認められれば警報を発生し、運転を停止する（ステップＳ８）。一方、正常であれば自動切断を再開する（ステップＳ９）。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブレード２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所定深さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3 内を切削する。
【００５７】
また、第２ブレード２０Ｂの切削ライン数のみが、あらかじめ設定されているライン数に達している場合は、第２ブレード２０Ｂのみをカーフチェックする。この場合、カーフチェックは次のように実施される。
【００５８】
図５（ａ）に示すように、第２ブレード２０Ｂは、すでに第１ブレード２０Ａで切削された溝Ｇ2 内を切削しているので、この状態でカーフチェックを実施しても、第２ブレード２０Ｂで切削した溝ｇ2 は、第１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ2 に重なってしまうので、正確にカーフチェックすることはできない。
【００５９】
そこで、第２ブレード２０Ｂの切削ライン数が、あらかじめ設定されているライン数に達した場合、制御装置は、図５（ｂ）に示すように、まず第２ブレード２０Ｂを第１ブレード２０Ａによる切削がまだ行われていないストリートＳ6 まで移動させる（ステップＳ１１）。そして、第２ブレード２０Ｂによってその未切削のストリートＳ6 をあらかじめ設定された深さで切削する（ステップＳ１２）。次に、制御装置は、第２ブレード２０Ｂで切削した溝ｇ6 をＩＴＶカメラ３４Ｂで撮像する。そして、その画像データを画像処理装置３８で画像処理して、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施する（ステップＳ１３）。
【００６０】
カーフチェックが終了すると、制御装置は、そのカーフチェックの結果に基づいて判定を行う（ステップＳ７）。そして、その判定の結果、異常が認められれば警報を発生し、運転を停止する（ステップＳ８）。一方、正常であれば、自動切断を再開する（ステップＳ９）。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブレード２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所定深さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3 内を切削する。
【００６１】
なお、第１ブレード２０Ａで切削するストリートＳ6 は、すでに第２ブレード２０Ｂで切削されているので、この場合、第１ブレード２０Ａは、第２ブレード２０Ｂで切削された溝ｇ6 に沿ってこの溝ｇ6 の上から更に切削を実施して、所定深さの溝Ｇ6 を形成する。
【００６２】
以上説明したカーフチェック方法によれば、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施するに際して、未切削のストリートを切削してカーフチェックを実施するので、従来のように第１ブレード２０Ａで切削した溝と第２ブレード２０Ｂで切削した溝とが重なることがなく、正確なカーフチェックを行うことができる。
【００６３】
次に、オペレータによる任意のタイミングでカーフチェックを実施する場合について説明する。
【００６４】
図６は、オペレータによる任意のタイミングでカーフチェックを実施する場合のフローチャートである。
【００６５】
カーフチェックの自動実施モードが選択されているか否かにかかわらず、オペレータが外部の入力装置（不図示）からカーフチェック実施の指令を与えると（ステップＳ２０）、制御装置は、現在切削しているストリートを切削し終えた段階で切削作業を一時中断する。
【００６６】
オペレータは、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂのいずれのブレードをカーフチェックするのかを選択し、入力装置から制御装置に指令を与える（ステップＳ２１）。ここでは、まず第１ブレード２０Ａのカーフチェックが選択された場合について説明する。
【００６７】
図５（ａ）に示すように、第１ブレード２０Ａは、第２ブレード２０Ｂに先行して溝Ｇ5 を切削しているので、第１ブレード２０Ａで切削した溝と第２ブレード２０Ｂで切削した溝とが重なり合うことはない。したがって、この場合、最新の切削ラインをカーフチェックすればよいこととなる。
【００６８】
制御装置は、第１ブレード２０Ａのカーフチェックが選択されると、第１ブレード２０Ａで切削した最新の溝Ｇ5 をＩＴＶカメラ３４Ａで撮像する。そして、その画像データを画像処理装置３８で画像処理して、第１ブレード２０Ａのカーフチェックを実施する（ステップＳ２２）。
【００６９】
カーフチェックが終了すると（ステップＳ２３）、制御装置又はオペレータは、そのカーフチェックの結果に基づいて判定を行う。そして、その判定の結果、異常が認められれば、そのまま運転を停止し、正常であれば切断を再開する。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブレード２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所定深さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3 内を切削する。
【００７０】
次に、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックが選択された場合について説明する。
【００７１】
図５（ａ）に示すように、第２ブレード２０Ｂは、すでに第１ブレード２０Ａで切削された溝Ｇ2 内を切削しているので、この状態でカーフチェックを実施しても、第２ブレード２０Ｂで切削した溝ｇ2 は、第１ブレード２０Ａで切削した溝Ｇ2 に重なってしまうので、正確にカーフチェックすることはできない。
【００７２】
そこで、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックが選択された場合、制御装置は、図５（ｂ）に示すように、第２ブレード２０Ｂを第１ブレード２０Ａによる切削がまだ行われていないストリートＳ6 まで移動させる（ステップＳ２４）。そして、第２ブレード２０Ｂによってその未切削のストリートＳ6 をあらかじめ設定された深さで切削する（ステップＳ２５）。
【００７３】
次に、制御装置は、第２ブレード２０Ｂで切削した溝ｇ6 をＩＴＶカメラ３４Ｂで撮像する。そして、その画像データを画像処理装置３８で画像処理して、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施する（ステップＳ２６）。
【００７４】
カーフチェックが終了すると（ステップＳ２３）、制御装置又はオペレータは、そのカーフチェックの結果に基づいて判定を行う。そして、異常が認められれば、運転を停止し、正常であれば、自動切断を再開する。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブレード２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所定深さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3 内を切削する。
【００７５】
このように、第２ブレード２０Ｂのカーフチェックを実施するに際して、未切削のストリートを切削してカーフチェックを実施するので、従来のように第１ブレード２０Ａで切削した溝と第２ブレード２０Ｂで切削した溝とが重なることがなく、正確なカーフチェックを行うことができる。
【００７６】
ところで、上述した一連の実施の形態は、画像処理装置３８を用いてカーフチェックを自動で行う方法である。これに対してオペレータが目視でカーフチェックを実施する場合は次のとおりである。
【００７７】
図７は、オペレータが目視でカーフチェックを実施する場合のフローチャートである。
【００７８】
カーフチェックの自動実施モードが選択されているか否かにかかわらず、オペレータが外部の入力装置（不図示）から目視によるカーフチェックの実施指令を与えると（ステップＳ３０）、制御装置は、オペレータが指定したストリートを切削し終えた段階で切削作業を一時中断する（ステップＳ３１）。
【００７９】
そして、制御装置は、図５（ｂ）に示すように、まず第２ブレード２０Ｂを第１ブレード２０Ａによる切削がまだ行われていないストリートＳ6 まで移動させる（ステップＳ３２）。次に、第２ブレード２０Ｂによってその未切削のストリートＳ6 をあらかじめ設定された深さで切削する（ステップＳ３３）。そして、第２ブレード２０Ｂによる切削が終了した段階でツインスピンドルダイサ１０の運転を停止する（ステップＳ３４）。
【００８０】
オペレータは、モニタ画面又は顕微鏡により目視でカーフチェックを行う。すなわち、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとで切削した溝のカーフ位置、カーフ幅、チッピングの有無等を目視して計測する。カーフチェックの結果、異常が認められれば、そのまま運転を停止し、正常であれば、切断を再開する。すなわち、図５（ｅ）に示すように、第１ブレード２０ＡでウェーハＷをストリートＳ6 に沿って所定深さ切削するとともに、第２ブレード２０Ｂで溝Ｇ3 内を切削する。
【００８１】
このように目視でカーフチェックを行う場合も、第２ブレード２０Ｂは未切削のストリートを切削するので、従来のように第１ブレード２０Ａで切削した溝と第２ブレード２０Ｂで切削した溝とが重なることがなく、正確なカーフチェックを行うことができる。
【００８２】
なお、上述した一連の実施の形態では、第１ブレード２０Ａの刃幅と第２ブレード２０Ｂの刃幅が異なる場合について説明したが、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂは、同じ刃幅のものを使用してもよい。なお、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂの刃幅が同じ場合に、従来の方法でカーフチェックを実施すると、第２ブレード２０Ｂの切削溝が第１ブレード２０Ａの切削溝に重なるので、第１ブレード２０Ａ、第２ブレード２０Ｂ共に正確なカーフ位置、カーフ幅を計測できないという欠点があるが、本発明に係るカーフチェック方法によれば、第１ブレード２０Ａと第２ブレード２０Ｂとで個別に溝を切削してカーフチェックを実施するので、いずれのブレードも正確なカーフ位置、カーフ幅を計測することができる。
【００８３】
また、上述した一連の実施の形態では、カーフチェックの結果、異常が認められた場合は装置の運転を停止するようにしているが、カーフ位置に異常が生じている場合は、カーフ位置を自動補正して、運転を再開するようにしてもよい。すなわち、カーフチェックの結果から、ストリートの中心に対する切削溝の中心のズレ量δを算出し（正確に切削されていれば、ストリートの中心と切削溝の中心は一致する。）、そのズレ量δを相殺すべくブレード位置を補正する。そして補正後、自動切削を再開する。これにより、装置の運転を止めずに常に正確な切断作業を実施することができる。
【００８４】
また、上述した一連の実施の形態では、ウェーハを撮像する撮像ユニット１６Ａ、１６Ｂが一対で構成されているが、撮像ユニットは単一の構成であってもよい。
【００８５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、第１ブレードと第２ブレードとで異なるストリートを切削してカーフチェックを実施するので、第２ブレードで形成した溝が第１ブレードで形成した溝に重なることがない。したがって、正確に両ブレードのカーフチェックを実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ツインスピンドルダイサの構成を示す平面図
【図２】ツインスピンドルダイサの構成を示す正面図
【図３】ステップカット方式でウェーハを切断する場合の説明図
【図４】あらかじめ設定されたタイミングで自動的にカーフチェックを実施する場合のフローチャート
【図５】カーフチェックの実施手順の説明図
【図６】オペレータによる任意のタイミングでカーフチェックを実施する場合のフローチャート
【図７】オペレータによる目視でカーフチェックを実施する場合のフローチャート
【図８】従来のカーフチェック方法の説明図
【符号の説明】
１０…ツインスピンドルダイサ、１２…ウェーハテーブル、１４Ａ、１４Ｂ…切削ユニット、１６Ａ、１６Ｂ…撮像ユニット、２０Ａ…第１ブレード、２０Ｂ…第２ブレード、２２Ａ、２２Ｂ…主軸モータ、２２ａ、２２ｂ…主軸スピンドル、２４Ａ、２４Ｂ…キャリッジ、２６…ガイドレール、２８Ａ、２８Ｂ…Ｚ軸方向移動機構、３０Ａ、３０Ｂ…Ｚキャリッジ、３２Ａ、３２Ｂ…モータブラケット、３４Ａ、３４Ｂ…ＩＴＶカメラ、３６Ａ、３６Ｂ…カメラホルダ、３８…画像処理装置、Ｗ…ウェーハ、Ｓ…ストリート、Ｇ…第１ブレードによる切削溝（カーフ）、ｇ…第２ブレードによる切削溝（カーフ）
【図１】
0003646781.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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