(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に記録された磁気信号を検出する再生素子及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記録素子が設けられたスライダと、前記スライダを支持する弾性支持部材と、前記弾性支持部材上に搭載され、該弾性支持部材に歪みを与えて前記スライダの位置を変化させて前記再生素子あるいは記録素子の位置を変化させる圧電素子とが備えられ、前記圧電素子は圧電体を有する磁気ヘッド装置において、
前記圧電素子は少なくとも圧電体の露出面がエラストマーからなる被膜により被覆されたことを特徴とする磁気ヘッド装置。
【請求項２】
前記再生素子には、記録媒体に記録された磁気信号を磁気抵抗効果により検出する磁気抵抗効果素子が備えられたことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド装置。
【請求項３】
前記圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛を主体とするものであることを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド装置。
【請求項４】
前記エラストマーからなる被膜のヤング率が１００ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項５】
前記エラストマーからなる被膜の厚みは、前記圧電素子の厚みと同じ厚み以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の磁気ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＭＲヘッド（再生用ヘッド）を有する再生素子を搭載し、前記ＭＲヘッドを支持する支持部材にチタン酸ジルコン酸鉛等を主体とする圧電体を有する圧電素子が搭載された磁気ヘッド装置に係り、特に前記圧電体からの発塵や脱粒を防止できるようにした磁気ヘッド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５は、ハードディスク装置の例を示す平面図である。このハードディスク装置は、円盤状の磁気ディスク１と、スピンドルモータ２と、キャリッジ３と、ロードビーム４と、スライダ５と、ボイスコイルモータ６が備えられている。磁気ヘッド装置は、ロードビーム４とスライダ５から概略構成されている。
円盤状の磁気ディスク１は、スピンドルモータ２によって回転駆動されるようになっている。
また、剛性を有するキャリッジ３の先端部３ａに支持部材であるロードビーム４が連結されており、ロードビーム４の先端４ａにて、フレキシャ（図示せず）を介して取付けられたスライダ５を有している。
ロードビーム４は、板ばね材料により形成されている。ロードビーム４は、その基端部４ｂがキャリッジ３上に固定される固定部であり、ロードビーム４の先端部４ａが、スライダ５を支持している。
【０００３】
スライダ５には、磁気ディスク１に記録された磁気信号を磁気抵抗効果により検出する再生素子及び磁気ディスク１に磁気信号を記録する記録素子が設けられている。磁気ディスク１が回転したときに生じる空気流を受けて、スライダ５が磁気ディスク１上で浮上し、浮上状態で記録及び再生を行う。
キャリッジ３の基端部３ｂにはボイスコイルモータ６が取りつけられている。
ボイスコイルモータ６によって、キャリッジ３及びロードビーム４が、磁気ディスク１の半径方向に駆動され、スライダ５に搭載された再生素子及び記録素子を任意の記録トラック上に移動させるシーク動作、並びに前記再生素子及び記録素子を記録トラックの中心線上に保たせるトラッキング動作を行う。
【０００４】
磁気ディスク１の記録密度が向上していくにつれて、トラッキング動作の精度も向上させる必要がある。従来は、ボイスコイルモータ６によってキャリッジ３を駆動させることのみで、前記シーク動作及びトラッキング動作を行っていた。
【０００５】
トラッキング動作の精度を向上させるためには、ボイスコイルモータ６を含むサーボ系のサーボ帯域を高くする必要がある。しかし、前記サーボ帯域は、キャリッジ３とキャリッジ３を回転自在に支持するベアリング（図示せず）の機械的共振点によって制限される。キャリッジ３の機械的共振点は、キャリッジ３のサイズによって決まるが、キャリッジ３のサイズは、規格によって決められた磁気ディスク１の直径によって決められる。例えば、磁気ディスク１の直径が３．５インチのときキャリッジ３と前記ベアリングの共振点は、約３．５ｋＨｚとなる。
キャリッジ３と前記ベアリングの共振点が約３．５ｋＨｚであるとき、ボイスコイルモータ６によってキャリッジ３を駆動させることのみでトラッキング動作を行わせるサーボ系のサーボ帯域は、７００Ｈｚ程度がほぼ上限である。
【０００６】
そこで、近年ロードビーム上に微動アクチュエータを搭載して、ロードビームの先端部のみを動かして、トラッキング動作を行わせる方法が提案されている。
【０００７】
図６は微動アクチュエータである圧電素子を搭載したロードビームの斜視図である。このロードビーム１１は、ステンレスの板ばね材によって形成されており、キャリッジによって保持される固定基端部１１ａと固定基端部１１ａに対して水平方向に揺動可能な揺動部１１ｂとを有している。固定基端部１１ａの前端部両脇には、固定基端部１１ａの長手方向に延びる腕部１１ｃ，１１ｃが形成されている。また、揺動部１１ｂは弾性支持部１１ｄ，１１ｄを介して、腕部１１ｃ，１１ｃに連結されている。
さらに、揺動部１１ｂと固定基端部１１ａ上に、圧電素子１２及び１３が空隙部１１ｅ上に架け渡されて設置されている。圧電素子１２及び１３は、圧電材料からなるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電層（圧電体）１２ｂ及び１３ｂと、これら圧電層１２ｂと１３ｂの上下層にそれぞれ成膜された電極層１２ａ１及び１２ａ２並びに１３ａ１及び１３ａ２とからなるものである。
圧電素子１２及び１３は、電極層１２ａ１及び１２ａ２並びに１３ａ１及び１３ａ２に電圧が加えられると、歪みを発生させる素子である。また、逆に圧電素子１２及び１３に応力が加えられて、圧電素子１２及び１３が歪むと電極層１２ａ１及び１２ａ２間、並びに１３ａ１及び１３ａ２間に電圧が発生する。
なお、図６中、符号２１は、揺動部１１ｂの先端に、フレキシャ（図示せず）を介して取付けられたスライダ２１である。
【０００８】
図６のロードビーム１１はアースに接続されている。圧電素子１２及び１３の電極層１２ａ１及び１３ａ１は、ロードビーム１１に電気的に接続されることによりアースと接続される。圧電素子１２及び１３の圧電層１２ｂ及び１３ｂは、謨厚方向に分極するが、その分極方向は圧電素子１２及び１３とで逆方向となっている。従って、電極層１２ａ２及び１３ａ２に同じ電位をかけたときに、一方の圧電素子は長手方向に伸長し、他方の圧電素子は長手方向に収縮するという性能がある。
【０００９】
その結果、弾性支持部１１ｄ，１１ｄが歪み、揺動部１１ｂの先端部に取りつけられたスライダ２１の位置が変化する。すなわち、揺動部１１ｂの先端部に取りつけられるスライダをトラック幅方向に動かして、トラッキング動作を行わせることが可能となる。従って圧電素子を搭載したロードビームを用いてサーボ系を構成すると、サーボ帯域を２ｋＨｚ以上にすることができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで上記のような従来の磁気ヘッド装置においては、圧電素子１２及び１３に備えられた圧電層１２ｂ及び１３ｂがＰＺＴから構成されているために、圧電素子１２及び１３が伸縮を繰り返すと、圧電層１２ｂ及び１３ｂから構成材料のＰＺＴの脱粒や発塵が生じることがあり、磁気ヘッド（スライダ）と磁気ディスクとの間隔は数十から数百ｎｍであり、この隙間に上記のような脱粒等の塵が入り込むと、磁気ヘッド装置の特性が低下したり、磁気ヘッドのクラッシュ等の問題を引き起こしてしまう。
【００１１】
そこで、このような問題を解決する手段として、圧電素子１２及び１３の表面のほぼ全面にエポキシ樹脂塗料のような一般的に用いられるコーティング剤をコーティングする方法が考えられるが、従来の一般的なコーティング剤は弾力性が乏しいために、圧電素子１２及び１３の表面全面に塗布すると、電極層１２ａ１及び１２ａ２並びに１３ａ１及び１３ａ２に印加した電圧量に応じた歪みが圧電素子１２及び１３に生じなくなったり、あるいは圧電素子１２及び１３に加えられた応力に応じた歪が圧電素子１２及び１３に生じなくなり、電極層１２ａ１及び１２ａ２間、並びに１３ａ１及び１３ａ２間に上記応力に応じた電圧が生じなくなり、圧電素子の動きが制約されてしまい、圧電素子の駆動効率が低下してしまう。
また、圧電素子の駆動効率を低下させないようにするためには、１μｍ以下の薄膜になるようにエポキシ樹脂塗料をコーティングしなければならず、このように薄膜にすると圧電層１２ｂ及び１３ｂから構成材料の脱粒や発塵の防止効果が不十分になってしまう。
【００１２】
本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであり、再生素子及び記録素子が備えられたスライダを支持する支持部材に圧電体を有する圧電素子が搭載された磁気ヘッド装置において、微動アクチュエータである圧電素子の駆動効率を低下させることなく、上記圧電体からの発塵や脱粒を防止できる磁気ヘッド装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、記録媒体に記録された磁気信号を検出する再生素子及び上記記録媒体に磁気信号を記録する記録素子が設けられたスライダと、上記スライダを支持する弾性支持部材と、上記弾性支持部材上に搭載され、該弾性支持部材に歪みを与えて上記スライダの位置を変化させて上記再生素子あるいは記録素子の位置を変化させる圧電素子とが備えられ、上記圧電素子は圧電体を有する磁気ヘッド装置において、
上記圧電素子は少なくとも圧電体の露出面がエラストマーからなる被膜により被覆されたことを特徴とするものである。
【００１４】
かかる構成の磁気ヘッド装置によれば、圧電体を有する圧電素子の少なくとも圧電体の露出面がエラストマーからなる被膜により被覆されているので、上記圧電素子が伸縮を繰り返しても、上記圧電体の構成材料のＰＺＴの脱粒や発塵を防止できる。
また、上記被膜はエポキシ樹脂塗料のような従来の一般的なコーティング剤を用いた塗膜に比べて弾力性が大きいために、圧電素子の表面の略全面（電極取り出し用リードとの接続部は除く）に形成されていても、圧電素子の動きが制約されることがなく、圧電素子の駆動効率を良好に保つことができる。また、上記エラストマーからなる被膜は、上記圧電素子の厚みと同じ程度の厚みであっても弾力性を有しているので、圧電素子の動きが制約されることがなく、圧電素子の駆動効率が低下することがない。上記のような本発明の効果は、上記圧電体がチタン酸ジルコン酸鉛（ジルコン酸チタン酸鉛）等のセラミック系材料を主体とするものであるときに特に効果的である。
【００１５】
上記構成の本発明の磁気ヘッド装置においては、上記再生素子には、記録媒体に記録された磁気信号を磁気抵抗効果により検出する磁気抵抗効果素子が備えられていることが好ましい。
磁気記録媒体（磁気ディスク）においては、磁気記録密度の向上が望まれており、磁気記録密度をあげるために、磁気記録トラクック幅を小さくしており、このようにすると記録媒体の半径方向にかけるトラックの数が単位面積あたり増加するので、磁気記録密度を増大できる。磁気記録密度が増大すると、磁気ヘッド装置の感度を向上させる必要があるため、上記再生素子に上記磁気抵抗効果素子が備えられている磁気ヘッド装置の感度を向上できる。
また、上記のいずれかの構成の本発明の磁気ヘッド装置においては、上記圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛（ジルコン酸チタン酸鉛）等のセラミック系材料を主体とするものであってもよい。
上記のように磁気記録密度の増大に伴ってトラック幅が小さくなっても、磁気ヘッド（再生素子と記録素子が備えられたスライダ）の動き（トラッキング動作）の制御が精度良くできないと、狭くしたトラック幅に対応できなくなり、磁気ヘッドがサイドリーディングを起こす場合があるため、チタン酸ジルコン酸鉛（ジルコン酸チタン酸鉛）を主体とする圧電体を有する圧電素子を用いることにより、この圧電素子によりスライダを支持する弾性支持部材に歪みを与えてスライダの位置を微調整でき、従って磁気ヘッドの動作の精度を向上できる。
【００１６】
本発明で用いられるエラストマーとしては、ポリエステル系、ポリフルオロカーボン系（フッ素系）、ポリアミド系等の熱可塑性エラストマーや、アクリル系、ニトリル系等のゴムなどが挙げられる。
【００１７】
本発明で用いられるエラストマーからなる被膜は、ヤング率が１００ＭＰａ以下が好ましく、より好ましくは５０ＭＰａである。
上記エラストマーからなる被膜のヤング率が１００ＭＰａを越えると、弾力性が低下し、圧電素子の動きを制約してしまう。
【００１８】
本発明で用いられるエラストマーからなる被膜の厚みは、上記圧電素子の厚みと同じ厚み以下であることが好ましく、より好ましくは１μｍ以上で圧電素子と同じ厚み以下とされる。上記エラストマーからなる被膜の厚みが上記圧電素子の厚みより厚いと、圧電素子の動きを制約してしまう。
本発明での圧電素子の厚みとは、エラストマーからなる被膜の厚みを含まない厚みである。例えば、ＰＺＴからなる圧電体とこの圧電体の両面に形成した電極からなる積層体の表面に（電極取り出し用リードとの接続部を除いて）エラストマーからなる被膜を形成した場合、エラストマーからなる被膜の厚みは上記圧電体とこの圧電体の両面に形成した電極からなる積層体の厚みと同じ厚み以下が好ましい。また、ＰＺＴからなる圧電体とこの圧電体の両面に形成した電極からなる積層体の圧電体の側面にエラストマーからなる被膜を形成した場合、エラストマーからなる被膜の厚みは上記圧電体とこの圧電体の両面に形成した電極からなる積層体の厚みと同じ厚み以下が好ましい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の磁気ヘッド装置の一実施形態を図面に基づき詳しく説明する。
図１は、本発明の実施形態の磁気ヘッド装置が備えられたハードディスク装置の例を示す平面図である。図２は、本実施の形態の磁気ヘッド装置を記録媒体との対向面側と反対側から見た示す平面図である。図３（ａ）は、図２の圧電素子の平面図、（ｂ）は図２の圧電素子のIII−III線断面図である。図４は、本実施形態の磁気ヘッド装置を記録媒体との対向面側から見た平面図である。
【００２０】
図１のハードディスク装置は、円盤状の磁気ディスク１０１と、スピンドルモータ１０２と、キャリッジ１０３と、ロードビーム１１１と、スライダ１２１と、ボイスコイルモータ１０６が備えられている。
円盤状の磁気ディスク１０１は、スピンドルモータ１０２によって回転駆動されるようになっている。
本実施形態の磁気ヘッド装置１１０は、ロードビーム１１１とスライダ１２１と後述の配線部材１３１から概略構成されている。なお、図２では、配線部材１３１の図示を省略している。
【００２１】
この磁気ヘッド装置１１０は、図４に示すように、ロードビーム１１１の記録媒体との対向面側に、再生用導電パターンＲ１，Ｒ２及び記録用導電パターンＷ１，Ｗ２を有する配線部材１３１が設けられたものである。配線部材１３１は、ステンレスなどの薄い板ばね上にポリイミドなどの絶縁性材料からなる絶縁層を介して、Ｃｕ等の導電性材料からなる再生用導電パターンＲ１，Ｒ２及び記録用導電パターンＷ１，Ｗ２が形成されたものである。配線部材１３１の先端部１３１Ａには、記録媒体に記録された磁気信号を磁気抵抗効果により検出する再生素子及び上記記録媒体に磁気信号を記録する記録素子が設けられたスライダ１２１が設けられている。また、配線部材１３１の先端部１３１Ａは、フレキシャとしての機能も有している。
【００２２】
スライダ１２１及び配線部材１３１を支持する弾性支持部材であるロードビーム１１１は、図２に示すように圧電素子１１２、１１３を搭載したものである。
このロードビーム１１１は、ステンレスの板ばね材によって形成されており、キャリッジ１０３によって保持される固定基端部１１１ａと該固定基端部１１１ａに対して水平方向に揺動可能な揺動部１１１ｂとを有している。固定基端部１１１ａの前端部両脇には、固定基端部１１１ａの長手方向に延びる腕部１１１ｃ，１１１ｃが形成されている。また、揺動部１１１ｂは弾性支持部１１１ｄ，１１１ｄを介して、腕部１１１ｃ，１１１ｃに連結されている。
【００２３】
さらに、揺動部１１１ｂと固定基端部１１１ａ上に、圧電素子１１２及び１１３が空隙部１１１ｅ上に架け渡されて設置されている。圧電素子１１２及び１１３は、図２及び図３に示すように、チタン酸ジルコン酸鉛（ジルコン酸チタン酸鉛）等の圧電材料を主体とする圧電層（圧電体）１１２ｂ及び１１３ｂの上下層にそれぞれ成膜された電極層１１２ａ１及び１１２ａ２並びに１１３ａ１及び１１３ａ２とからなるものである。このような圧電素子１１２及び１１３は、後述の導電性ペーストあるいは金属ワイヤ（電極取り出し用リード）との接続部を除く表面が、エラストマーからなる被膜１１５により被覆されている。
【００２４】
被膜１１５を構成するエラストマーとしては、ポリエステル系、ポリフルオロカーボン系（フッ素系）、ポリアミド系等の熱可塑性エラストマーや、アクリル系、ニトリル系等のゴムなどが挙げられる。
【００２５】
上記エラストマーからなる被膜１１５は、ヤング率が１００ＭＰａ以下が好ましく、より好ましくは５０ＭＰａである。
上記被膜１１５のヤング率が１００ＭＰａを越えると、弾力性が低下し、圧電素子の動きを制約してしまう。
【００２６】
上記被膜１１５の厚みｔ２は、圧電素子１１２あるいは１１３の厚みｔ１と同じ厚み以下であることが好ましく、より好ましくは１μｍ以上で圧電素子と同じ厚み以下とされる。上記エラストマーからなる被膜１１５の厚みｔ２が上記圧電素子１１２あるいは１１３の厚みより厚いと、圧電素子の動きを制約してしまう。
本実施形態での圧電素子の厚みｔ１とは、エラストマーからなる被膜１１５の厚みｔ２を含まない厚みであり、本実施形態のように圧電層１１２ｂ（１１３ｂ）とこの圧電層１１２ｂ（１１３ｂ）の両面に形成した電極層１１２ａ１，１１２ａ２（１１３ａ１，１１３ａ２）からなる積層体の表面にエラストマーからなる被膜１１５を形成したものである場合、被膜１１５の厚みは上記圧電層１１２ｂ（１１３ｂ）とこの圧電層１１２ｂ（１１３ｂ）の両面に形成した電極層１１２ａ１，１１２ａ２（１１３ａ１，１１３ａ２）からなる積層体の厚みと同じ厚み以下が好ましい。
【００２７】
図２のロードビーム１１１はアースに接続されている。圧電素子１１２及び１１３の電極層１１２ａ１及び１１３ａ１は、ロードビーム１１１に電気的に接続されることによりアースと接続される。また、電極層１１２ａ２及び１１３ａ２には、金線ワイヤ１１４が接続されており、金線ワイヤ（電極取り出し用リード）１１４は端子１１４ａにおいて図４に示される配線部材１３１に設けられている制御用導電パターンＰに接続されている。また、電極層１１２ａ１及び１１３ａ１には、図示しないＡｇ等の導電性ペーストあるいは金属ワイヤ（電極取り出し用リード）が接続されている。
【００２８】
上記のようなエラストマーからなる被膜１１５が略全面に被覆された圧電素子１１２，１１３の作製方法としては、例えば、ＰＺＴからなる圧電層の両面に電極層を成膜した積層体を作製し、ついでこの積層体を所望幅にダイシングした後、電極取り出し用リードとの接続部をマスクしたのち、圧電素子の表面にディップ式、スプレー式、スピンコート式等の湿式法、あるいはＣＶＤ等による乾式法により上記被膜１１５を成膜することにより得られる。
【００２９】
圧電素子１１２及び１１３は、電極層１１２ａ１及び１１２ａ２並びに１１３ａ１及び１１３ａ２に電圧が加えられると、歪みを発生させる素子である。また、逆に圧電素子１１２及び１１３に応力が加えられて、圧電素子１１２及び１１３が歪むと電極層１１２ａ１及び１１２ａ２間、並びに１１３ａ１及び１１３ａ２間に電圧が発生する。
圧電素子１１２及び１１３の圧電層１１２ｂ及び１１３ｂは、膜厚方向に分極するが、その分極方向は圧電素子１１２及び１１３とで逆方向となっている。従って、電極層１１２ａ２及び１１３ａ２に、金線ワイヤ１１４を介して同じ電位をかけたときに、一方の圧電素子は長手方向に伸長し、他方の圧電素子は長手方向に収縮する。
【００３０】
その結果、弾性支持部１１１ｄ，１１１ｄが歪み、揺動部１１１ｂの先端部に取りつけられたスライダ１２１の位置が変化する。すなわち、揺動部１１１ｂの先端部に取りつけられたスライダ１２１をトラック幅方向に動かして、トラッキング動作を行わせることが可能となる。上記のような圧電素子１１２，１１３を搭載したロードビーム１１１を用いてサーボ系を構成すると、サーボ帯域を２ｋＨｚ以上にすることができる。
【００３１】
なお、このロードビーム１１１は、例えば図１に示されるようなハードディスク装置において、剛性支持部材であるキャリッジ１０３の先端部１０３ａに連結されて、支持されている。キャリッジ１０３の基端部１０３ｂにはボイスコイルモータ１０６が取りつけられている。
【００３２】
スライダ１２１は、セラミック材料により形成されており、スライダ１２１のトレーリング側Ｔ端面には、図２に示されるごとく薄膜素子１２１ａが設けられている。また、スライダ１２１の記録媒体との対向面側には、ＡＢＳ面（浮上面）が形成されている。
【００３３】
また、薄膜素子１２１ａは、記録媒体に記録された磁気記録信号を再生する再生素子（ＭＲヘッド）と、記録媒体に磁気信号を記録する記録素子（インダクティブヘッド）との双方を含む、いわゆる複合型薄膜素子である。上記再生素子は、例えばスピンバルブ膜に代表される磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果素子と、磁性材料のシールド層とを有して構成され、また記録素子は、磁性材料のコアと、コイルとがパターン形成された構成となっている。
【００３４】
また、配線部材１３１に設けられている再生用導電パターンＲ１，Ｒ２及び記録用導電パターンＷ１，Ｗ２は、先端部１３１Ａ側でそれぞれ上記再生素子及び上記記録素子に接続され、基端部１３１Ｂ側でパッドＴR1，ＴR2及びＴW1，ＴW2に接続されている。また、圧電素子１１２，１１３に制御用信号を供給する制御用導電パターンＰは、端子１１４ａにおいて圧電素子１１２，１１３に接続され、基端部１３１Ｂ側でパッドＴPに接続されている。
【００３５】
本実施の形態では、圧電素子１１２，１１３に接続されて制御用信号を供給する制御用導電パターンＰと再生用導電パダーンＲ１，Ｒ２とが、記録用導電パターンＷ１，Ｗ２を間に挟んで、配線部材１３１上で反対側に位置するように配線されている。また、配線部材１３１の基端部１３１Ｂ側では、制御用導電パターンＰと再生用導電パターンＲ1，Ｒ2とが、パッドＴR1、ＴR2、ＴW1，ＴW2、及びＴPを間に挟んで、配線部材１３１上で反対側に位置するように配線されている。
【００３６】
このように制御用導電パターンＰと再生用導電パターンＲ１，Ｒ２との間に、記録用導電パターンＷ１，Ｗ２が形成されていると、制御用導電パターンＰと再生用導電がターンＲ１，Ｒ２間の結合容量を低下させることができる。従って、サージ電流が流れた制御用導電パターンＰと再生用導電パターンＲ１，Ｒ２との容量性の結合度が低下し、再生用導電パターンＲ１，Ｒ２に電流が流れることを抑えることができ、電流耐性の低い再生素子の損傷を低減することができる。
【００３７】
本実施形態の磁気ヘッド装置によれば、チタン酸ジルコン酸鉛（ジルコン酸チタン酸鉛）等のセラミック系圧電材料を主体とする圧電体を有する圧電素子１１２，１１３の電極取り出し用リードとの接続部を除く表面が、エラストマーからなる被膜１１５により被覆されているので、チタン酸ジルコン酸鉛（ジルコン酸チタン酸鉛）等を主体とする圧電体が露出しておらず、圧電素子１１２，１１３が伸縮を繰り返しても、上記圧電体の構成材料の脱粒や発塵を防止できる。
また、上記被膜１１５はエポキシ樹脂塗料のような従来の一般的なコーティング剤を用いた塗膜に比べて弾力性が大きいために、圧電素子１１２，１１３の表面の略全面（電極取り出し用リードとの接続部は除く）に形成されていても、圧電素子１１２，１１３の動きが制約されることがなく、圧電素子１１２，１１３の駆動効率を良好に保つことができる。また、上記エラストマーからなる被膜１１５の厚みｔ２は、上記圧電素子１１２，１１３の厚みｔ１と同じ程度の厚みであっても弾力性を有しているので、圧電素子１１２，１１３の動きが制約されることがなく、圧電素子１１２，１１３の駆動効率が低下することがない。
【００３８】
なお、上記実施形態においては、圧電素子１１２，１１３の略全面がエラストマーからなる被膜１１５で覆われている場合について説明したが、圧電素子は少なくとも圧電体の露出面が上記エラストマーからなる被膜により被覆されていればよく（圧電素子の圧電体が露出していなければよく）、例えば、圧電層１１２ｂ，１１３ｂの側面あるいは圧電素子１１２，１１３の側面が上記エラストマーからなる被膜１１５により被覆されていればよい。
このように圧電素子１１２，１１３の側面が上記エラストマーからなる被膜１１５により被覆された圧電素子の作製方法としては、例えば、ＰＺＴからなる圧電層の両面に電極層を成膜した積層体を作製し、ついでこの積層体の両面にシート状のマスクを接着、積層した後、この積層物を所望幅にダイシングした後、マスクされていない積層物の側面や溝内にディップ式、スプレー式、スピンコート式等の湿式法、あるいはＣＶＤ等による乾式法により上記エラストマーからなる被膜を成膜することにより得ることができる。
【００３９】
【実施例】
以下、本発明を実施例、比較例を挙げて具体的に説明する。
（実験例）
圧電素子を被覆する被膜の材料およびヤング率を下記表１に示す範囲で変更したときの圧電素子（圧電素子単体）の駆動効率について調べた。その結果を表１にあわせて示す。ここでの駆動効率は、厚さ０．１５ｍｍのＰＺＴ圧電層の両面にそれぞれ厚さ１μｍのＡｕ電極層を形成した圧電素子単体（サンプルＮｏ.１）の変位量（ＵＹ）を基準とし、この圧電素子の表面に電気取り出し用リードとの接続部を除いて種々の被膜を形成した被膜付圧電素子（サンプルＮｏ.２〜１１）の変位量（ＵＹ）の劣化率を測定した。ここでの変位量（ＵＹ）は、−３０Ｖ〜＋３０Ｖの電圧を印加えたときの圧電素子の長さＬ’から電圧をかける前の圧電素子の長さＬを引いた長さである（ＵＹ＝Ｌ’−Ｌ）。圧電素子の変位量（ＵＹ）の劣化率の絶対値が小さいものほど圧電素子の動きが制約されにくく、圧電素子の駆動効率がよい。磁気ヘッドとして、ハードディスク装置に備えた場合は、圧電素子単体の変位量の劣化がそのまま磁気ヘッドの変位量としてあらわれてしまう。
なお、上記圧電素子単体の幅Ｗは１．０ｍｍ、長さＬは２．８ｍｍ、厚みｔ１は０．１５ｍｍとした。また、圧電素子単体に被覆する被膜のコーティング厚ｔ２は、０．１ｍｍとした。
【００４０】
【表１】
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【００４１】
表１中、被膜の材質の欄のＥＰＯＸＹはエポキシ樹脂塗料であり、ゴムはポリエステル系あるいはフッ素系エラストマーである。
【００４２】
表１に示した結果から圧電素子の表面に形成する被膜の材質として、弾力性が小さいエポキシ樹脂塗料を用い、かつ、被膜のヤング率が１０００ＭＰａ以上のサンプルＮｏ.２〜６の被膜付圧電素子が備えられた磁気ヘッド装置（比較例１〜５）のものは、圧電素子の変位量（ＵＹ）の劣化率が２．４％以上であり圧電素子の動きが制約され易く、圧電素子の駆動効率が悪いことがわかる。
これに対して圧電素子の表面に形成する被膜の材質として、弾力性を有するポリエステル系あるいはフッ素系エラストマーを用い、かつ、被膜のヤング率が２０ＭＰａ以下のサンプルＮｏ.７〜１１の被膜付圧電素子が備えられた磁気ヘッド装置（実施例１〜５）のものは、圧電素子の変位量（ＵＹ）の劣化率が０％であり圧電素子の動きが制約されにくく、圧電素子の駆動効率がよいことがわかる。
【００４３】
【発明の効果】
以上詳細に説明した本発明の磁気ヘッド装置によれば、圧電体を有する圧電素子の少なくとも圧電体の露出面がエラストマーからなる被膜により被覆されているので、上記圧電素子が伸縮を繰り返しても、上記圧電体の構成材料の脱粒や発塵を防止できる。従って、本発明の磁気ヘッド装置では、磁気ヘッド（スライダ）と記録媒体との隙間に圧電体の構成材料が塵となって入ることがなく、上記隙間に上記塵が入ることに起因する磁気ヘッド装置の特性の低下や磁気ヘッドのクラッシュが起こることを改善できる。
また、上記被膜はエポキシ樹脂塗料のような従来の一般的なコーティング剤を用いた塗膜に比べて弾力性が大きいために、圧電素子の表面の略全面（電極取り出し用リードとの接続部は除く）に形成されていても、圧電素子の動きが制約されることがなく、圧電素子の駆動効率を良好に保つことができる。また、上記エラストマーからなる被膜は、上記圧電素子の厚みと同じ程度の厚みであっても弾力性を有しているので、圧電素子の動きが制約されることがなく、圧電素子の駆動効率が低下することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施形態の磁気ヘッド装置が備えられたハードディスク装置の例を示す平面図。
【図２】  本実施の形態の磁気ヘッド装置を記録媒体との対向面側と反対側から見た示す平面図。
【図３】  図２の磁気ヘッド装置に備えられた圧電素子の説明図であり、（ａ）は、この圧電素子の平面図、（ｂ）は図２の圧電素子のIII−III線断面図。
【図４】  本実施形態の磁気ヘッド装置を記録媒体との対向面側から見た平面図。
【図５】  従来の磁気ヘッド装置が備えられたハードディスク装置を示す平面図。
【図６】  従来の磁気ヘッド装置を示す斜視図。
【符号の説明】
１１１  ロードビーム（弾性支持部材）
１１１ａ  固定基端部
１１１ｂ  揺動部
１１１ｃ  腕部
１１１ｄ  弾性支持部
１１１ｅ  空隙部
１１２，１１３  圧電素子
１１２ａ１，１１２ａ２，１１３ａ１，１１３ａ２  電極層
１１２ｂ，１１３ｂ  圧電層（圧電体）
１１５  エラストマーからなる被膜
１２１  スライダ
ｔ１  圧電素子の厚み
ｔ２  被膜の厚み
Ｌ  圧電素子長さ
【図１】
0003663122.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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