(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）可変要素を変化することによって作動油の吐出流量を変化することができる可変容量形ポンプからの作動油の圧力を、電磁リリーフ弁によって制御する可変容量形ポンプの制御装置において、
（ｂ）第１の負帰還回路であって、
ポンプからの作動油の圧力を検出する圧力検出手段と、
目標圧力を設定する目標圧力設定手段と、
圧力検出手段からの検出圧力の信号と、目標圧力設定手段によって設定された目標圧力の信号との第１偏差ε１を求める第１減算回路と、
第１減算回路の出力に応答し、第１偏差ε１が零になるように圧力補正信号を求めて電磁リリーフ弁を制御する第１補償回路とを有する第１の負帰還回路と、
（ｃ）第２の負帰還回路であって、
ポンプからの作動油の流量を検出する流量検出手段と、
流量検出手段からの検出流量の信号と、入力信号との第２偏差ε２を求める第２減算回路と、
第２減算回路の出力に応答し、第２偏差ε２が零となるように可変要素を変化する第２補償回路とを有する第２の負帰還回路と、
（ｄ）目標流量を設定する目標流量設定手段と、
（ｅ）検出圧力が目標圧力を超えるとき、圧力補正信号と流量検出手段からの検出流量の信号とを演算して、圧力補正信号に対応する電磁リリーフ弁の圧力オーバライド特性による作動油のリリーフ流量が小さくなるように前記入力信号を求めて、第２減算回路に与え、検出圧力が目標圧力以下であるとき、目標流量設定手段からの目標流量の信号を前記入力信号として第２減算回路に与える切換え制御手段とを含むことを特徴とする可変容量形ポンプの制御装置。
【請求項２】
流量検出手段は、ポンプの可変要素の変位位置を検出する手段であることを特徴とする請求項１記載の可変容量形ポンプの制御装置。
【請求項３】
切換え制御手段は、
圧力補正信号に応答し、検出圧力が目標圧力を超えるとき、その圧力補正信号に対応する電磁リリーフ弁の圧力オーバライド特性による作動油のリリーフ流量Ｑ１が、目標圧力に対応したリリーフ流量Ｑ０になるように、リリーフ流量の差ΔＱ（＝Ｑ１−Ｑ０）を演算する第１演算回路と、
流量検出手段からの検出流量の信号と、第１演算回路の出力とを演算して、検出流量から前記リリーフ流量の差ΔＱを減算した流量を表す信号を導出する第２演算回路と、
検出圧力が目標圧力を超えるとき、第２演算回路の出力を導出し、検出圧力が目標圧力以下であるとき、目標流量設定手段からの目標流量の信号を導出して、前記入力信号として第２減算回路に与える切換えスイッチ手段とを含むことを特徴とする請求項１記載の可変容量形ポンプの制御装置。
【請求項４】
（ａ）可変要素を変化することによって作動油の吐出流量を変化することができる可変容量形ポンプからの作動油の圧力を、電磁リリーフ弁によって制御する可変容量形ポンプの制御装置において、
（ｂ）第１の負帰還回路であって、
ポンプからの作動油の圧力を検出する圧力検出手段と、
目標圧力を設定する目標圧力設定手段と、
圧力検出手段からの検出圧力の信号と、目標圧力設定手段によって設定された目標圧力の信号との第１偏差ε１を求める第１減算回路と、
第１減算回路の出力に応答し、第１偏差ε１が零になるように圧力補正信号を求めて電磁リリーフ弁を制御する第１補償回路とを有する第１の負帰還回路と、
（ｃ）第２の負帰還回路であって、
ポンプからの作動油の流量を検出する流量検出手段と、
流量検出手段からの検出流量の信号と、入力信号との第２偏差ε２を求める第２減算回路と、
第２減算回路の出力に応答し、第２偏差ε２が零となるように可変要素を変化する第２補償回路とを有する第２の負帰還回路と、
（ｄ）目標流量を設定する目標流量設定手段と、
（ｅ）電磁リリーフ弁のリリーフ流量を検出するリリーフ流量検出手段と、
（ｆ）目標流量設定手段からの目標流量から、リリーフ流量検出手段からの検出リリーフ流量を減算して、電磁リリーフ弁の圧力オーバライド特性による作動油のリリーフ流量を小さくする信号を、前記入力信号として第２減算回路に与える演算回路とを含むことを特徴とする可変容量形ポンプの制御装置。
【請求項５】
第１または第２の負帰還回路は、第１または第２補償回路の出力を制限するリミタをさらに含むことを特徴とする請求項１または４記載の可変容量形ポンプの制御装置。
【請求項６】
第１または第２の負帰還回路は、
第１または第２補償回路の出力を積分する積分回路と、
積分回路の出力を制限するリミタとをさらに含むことを特徴とする請求項１または４記載の可変容量形ポンプの制御装置。
【請求項７】
第１または第２の負帰還回路に備えられる第１または第２補償回路は、
第１または第２減算回路からの出力が与えられる補償回路と、
補償回路の出力を制限する第１リミタと、
第１または第２減算回路からの出力が与えられる積分補償回路と、
積分補償回路の出力を制限する第２リミタと、
第１および第２リミタの出力を加算して電磁リリーフ弁を制御し、またはポンプの可変要素を変化する補償演算回路とを含むことを特徴とする請求項１または４記載の可変容量形ポンプの制御装置。
【請求項８】
圧力検出手段または流量検出手段の出力の位相進み補償を行う位相進み補償回路をさらに備え、
前記補償演算回路は、位相進み補償回路の出力を減算することを特徴とする請求項７記載の可変容量形ポンプの制御装置。
【請求項９】
第１または第２減算回路からの第１または第２偏差ε１，ε２の絶対値が、予め定める値を超えることを弁別するレベル弁別手段と、
レベル弁別手段の出力に応答し、前記絶対値が前記予め定める値を超えるとき、積分補償回路および第２リミタの働きを休止させる手段とを含むことを特徴とする請求項７または８記載の可変容量形ポンプの制御装置。
【請求項１０】
圧力検出手段または流量検出手段の出力の変化速度の絶対値が、予め定める値を超えることを弁別するレベル弁別手段と、
レベル弁別手段の出力に応答し、前記絶対値が前記予め定める値を超えるとき積分補償回路および第２リミタの働きを休止させる手段とを含むことを特徴とする請求項７または８記載の可変容量形ポンプの制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、可変容量形斜板式アキシアルピストンポンプなどの可変容量形ポンプからの作動油の圧力と流量とを制御するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
可変容量形ポンプの制御装置は、たとえば射出成形機において、または金属板などを塑性変形加工する油圧プレスなどにおいて、使用される。たとえば射出成形機では、油圧ピストンによって、溶融された合成樹脂をたとえば０．２秒間の短時間に予め定める圧力を保ちつつ、合成樹脂の流量に応じて、その油圧ピストンを駆動する作動油の流量を制御させるような高精度・高応答の制御特性が要求される。
【０００３】
典型的な先行技術は、実開平１−６６４８３に開示されており、この先行技術では、可変容量形斜板式アキシアルピストンポンプにおける可変要素である斜板を、油圧シリンダによって駆動して、その傾斜角度を制御し、これによって傾斜角度に対応した作動油の吐出流量を制御し、かつ作動油の吐出圧力を制御する。射出成形機における射出工程では、金型の形状および合成樹脂材料にもよるが、上述のように、射出圧力を一定に保ったままで、合成樹脂の流れに応じて射出流量を追従させる必要があり、先行技術では、そのような射出成形機の要求を満たして、充分な速度で斜板の傾斜角度を安定に制御することは、非常に難しく、応答性に限界がある。
【０００４】
この問題を解決するために、ポンプからの作動油の吐出流量を一定に保ち、圧力制御のために、電磁リリーフ弁を用いて作動油の圧力を一定に制御する構成が考えられる。これによって高速度の応答性を確保することができる。このような構成では、電磁リリーフ弁からブリードオフされる作動油のリリーフ流量が大きく、したがって動力が無駄になるという問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、吐出される作動油の圧力を高い応答速度で制御することができるようにし、しかもその吐出される作動油の無駄をできるだけ小さくすることができるようにした可変容量形ポンプの制御装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、（ａ）可変要素を変化することによって作動油の吐出流量を変化することができる可変容量形ポンプからの作動油の圧力を、電磁リリーフ弁によって制御する可変容量形ポンプの制御装置において、
（ｂ）第１の負帰還回路であって、
ポンプからの作動油の圧力を検出する圧力検出手段と、
目標圧力を設定する目標圧力設定手段と、
圧力検出手段からの検出圧力の信号と、目標圧力設定手段によって設定された目標圧力の信号との第１偏差ε１を求める第１減算回路と、
第１減算回路の出力に応答し、第１偏差ε１が零になるように圧力補正信号を求めて電磁リリーフ弁を制御する第１補償回路とを有する第１の負帰還回路と、
（ｃ）第２の負帰還回路であって、
ポンプからの作動油の流量を検出する流量検出手段と、
流量検出手段からの検出流量の信号と、入力信号との第２偏差ε２を求める第２減算回路と、
第２減算回路の出力に応答し、第２偏差ε２が零となるように可変要素を変化する第２補償回路とを有する第２の負帰還回路と、
（ｄ）目標流量を設定する目標流量設定手段と、
（ｅ）検出圧力が目標圧力を超えるとき、圧力補正信号と流量検出手段からの検出流量の信号とを演算して、圧力補正信号に対応する電磁リリーフ弁の圧力オーバライド特性による作動油のリリーフ流量が小さくなるように前記入力信号を求めて、第２減算回路に与え、検出圧力が目標圧力以下であるとき、目標流量設定手段からの目標流量の信号を前記入力信号として第２減算回路に与える切換え制御手段とを含むことを特徴とする可変容量形ポンプの制御装置である。
また本発明は、流量検出手段は、ポンプの可変要素の変位位置を検出する手段であることを特徴とする。
また本発明は、切換え制御手段は、
圧力補正信号に応答し、検出圧力が目標圧力を超えるとき、その圧力補正信号に対応する電磁リリーフ弁の圧力オーバライド特性による作動油のリリーフ流量Ｑ１が、目標圧力に対応したリリーフ流量Ｑ０になるように、リリーフ流量の差ΔＱ（＝Ｑ１−Ｑ０）を演算する第１演算回路と、
流量検出手段からの検出流量の信号と、第１演算回路の出力とを演算して、検出流量から前記リリーフ流量の差ΔＱを減算した流量を表す信号を導出する第２演算回路と、
検出圧力が目標圧力を超えるとき、第２演算回路の出力を導出し、検出圧力が目標圧力以下であるとき、目標流量設定手段からの目標流量の信号を導出して、前記入力信号として第２減算回路に与える切換えスイッチ手段とを含むことを特徴とする。
また本発明は、（ａ）可変要素を変化することによって作動油の吐出流量を変化することができる可変容量形ポンプからの作動油の圧力を、電磁リリーフ弁によって制御する可変容量形ポンプの制御装置において、
（ｂ）第１の負帰還回路であって、
ポンプからの作動油の圧力を検出する圧力検出手段と、
目標圧力を設定する目標圧力設定手段と、
圧力検出手段からの検出圧力の信号と、目標圧力設定手段によって設定された目標圧力の信号との第１偏差ε１を求める第１減算回路と、
第１減算回路の出力に応答し、第１偏差ε１が零になるように圧力補正信号を求めて電磁リリーフ弁を制御する第１補償回路とを有する第１の負帰還回路と、
（ｃ）第２の負帰還回路であって、
ポンプからの作動油の流量を検出する流量検出手段と、
流量検出手段からの検出流量の信号と、入力信号との第２偏差ε２を求める第２減算回路と、
第２減算回路の出力に応答し、第２偏差ε２が零となるように可変要素を変化する第２補償回路とを有する第２の負帰還回路と、
（ｄ）目標流量を設定する目標流量設定手段と、
（ｅ）電磁リリーフ弁のリリーフ流量を検出するリリーフ流量検出手段と、
（ｆ）目標流量設定手段からの目標流量から、リリーフ流量検出手段からの検出リリーフ流量を減算して、電磁リリーフ弁の圧力オーバライド特性による作動油のリリーフ流量を小さくする信号を、前記入力信号として第２減算回路に与える演算回路とを含むことを特徴とする可変容量形ポンプの制御装置である。
さらに本発明は、第１または第２の負帰還回路は、第１または第２補償回路の出力を制限するリミタをさらに含むことを特徴とする。
また本発明は、第１または第２の負帰還回路は、
第１または第２補償回路の出力を積分する積分回路と、
積分回路の出力を制限するリミタとをさらに含むことを特徴とする。
また本発明は、第１または第２の負帰還回路に備えられる第１または第２補償回路は、
第１または第２減算回路からの出力が与えられる補償回路と、
補償回路の出力を制限する第１リミタと、
第１または第２減算回路からの出力が与えられる積分補償回路と、
積分補償回路の出力を制限する第２リミタと、
第１および第２リミタの出力を加算して電磁リリーフ弁を制御し、またはポンプの可変要素を変化する補償演算回路とを含むことを特徴とする。
また本発明は、圧力検出手段または流量検出手段の出力の位相進み補償を行う位相進み補償回路をさらに備え、
前記補償演算回路は、位相進み補償回路の出力を減算することを特徴とする。
また本発明は、第１または第２減算回路からの第１または第２偏差ε１，ε２の絶対値が、予め定める値を超えることを弁別するレベル弁別手段と、
レベル弁別手段の出力に応答し、前記絶対値が前記予め定める値を超えるとき、積分補償回路および第２リミタの働きを休止させる手段とを含むことを特徴とする。
また本発明は、圧力検出手段または流量検出手段の出力の変化速度の絶対値が、予め定める値を超えることを弁別するレベル弁別手段と、
レベル弁別手段の出力に応答し、前記絶対値が前記予め定める値を超えるとき積分補償回路および第２リミタの働きを休止させる手段とを含むことを特徴とする。
【０００７】
【作用】
本発明に従えば、可変容量形ポンプからの作動油の圧力は、電磁リリーフ弁によって制御され、この電磁リリーフ弁は、第１の負帰還回路によって制御される。この電磁リリーフ弁の弁体は小形であり、高い応答速度を有し、したがってポンプの吐出圧力を流量に拘わらず安定に一定に保つことができ、あるいは希望する値に高い応答速度で変化させることができる。
【０００８】
本発明に従えば、ポンプからの作動油の圧力検出手段によって検出される検出圧力が、目標圧力設定手段によって設定されている目標圧力を超えており、圧力制御状態であるときには、このポンプからの作動油の一部が電磁リリーフ弁を介してタンクなどに流出されている。電磁リリーフ弁の圧力オーバライド特性による作動油のリリーフ流量が小さくなって電磁リリーフ弁のクラッキング圧付近の目標圧力値付近となるようにするために、ポンプからの作動油の検出流量の信号から前記第１の負帰還回路における圧力補正信号を差し引いて減算などして演算し、この演算結果を入力信号としてポンプの斜板などの可変要素を変化させて流量制御を行うための第２の負帰還回路に入力信号として与えて、新たな目標流量値として用いる。これによってポンプの圧力制御動作中において、電磁リリーフ弁からのリリーフ流量が大きな値になることを防ぎ、無駄流量をできるだけ小さくして動力の無駄を省くことができるようになる。
【０００９】
なおポンプの作動油の検出圧力が目標圧力以下であれば、流量制御状態とするために、目標流量設定手段からの目標流量の信号を、前記入力信号としてその目標流量になるように第２の負帰還回路を働かせる。
【００１０】
流量検出手段は、ポンプの可変要素の変位位置を検出する手段、たとえばポテンショメータなどであってもよいけれども、ポンプから吐出される作動油の流量を実際に測定して検出する構成によって実現されてもよい。
【００１１】
可変容量形ポンプは、斜板式アキシアルピストンポンプであってもよいけれども、その他、（ａ）斜軸式アキシアルピストンポンプのピストンが収納されるシリンダブロックの軸線の傾斜角度を調整して流量を制御する構成であっもよく、あるいは（ｂ）可変容量形ラジアルピストンポンプであって、（ｂ１）固定ピンクルとシリンダのピストンを変位するスラストリングとの相互の位置を変位させるようにしてもよく、または（ｂ２）ピストンを案内する固定シリンダとそのピストンを駆動する偏心カムとの相互の変位位置を変化させるようにしてもよく、さらにまた（ｃ）可変容量形ベームポンプのベーンが接触するカムリングを変位するようにしてもよく、（ｄ）さらにその他の構成によって可変容量形ポンプが実現されてもよい。
【００１２】
さらに本発明に従えば、検出圧力が目標圧力を超えるとき、圧力オーバライド特性による作動油のリリーフ流量Ｑ１から、クラッキング圧の近傍の目標圧力Ｐ０に対応したリリーフ流量Ｑ０を減算した差ΔＱだけを、流量検出手段によって検出された作動油の検出流量から減算して、第２の負帰還回路の目標流量値となる入力信号として与えるようにしてもよい。
【００１３】
上述のように圧力補正信号に基づいて作動油の流量制御のための第２負帰還回路における入力信号を求める代りに、本発明の他の考え方に従えば、電磁リリーフ弁のリリーフ流量をリリーフ流量検出手段によって検出し、こうして検出された検出リリーフ流量またはそれに対応した値を、目標流量から減算して、電磁リリーフ弁のリリーフ流量がクラッキング圧付近の設定圧力に対応した小さい値になるように、その減算した値の信号を入力信号として第２の負帰還回路に与えるようにしてもよい。
【００１４】
さらに本発明に従えば、第１の負帰還回路における第１補償回路の出力を、リミタによって制限し、これによって第１補償回路の出力である補償量の行き過ぎを抑えることができ、したがって作動油の吐出圧力である制御量を速やかに静定させることができ、オーバシュートおよびハンチングなどの不安定な現象が生じにくくなる。このように第１補償回路の出力をリミタで制限しても、目標圧力をオープンループ要素を介して電磁リリーフ弁を制御するようにすれば、これによって電磁リリーフ弁の動的応答性が損なわれることがなく、上述のように静的な安定性を改善することができるのである。このことは第２の負帰還回路において第２の補償回路の出力を制限するリミタを設けた構成においてもまた同様である。
【００１５】
また本発明に従えば、第１補償回路の出力を積分回路によって積分し、その積分出力をリミタによって制限するようにし、これによって作動油の吐出圧力である制御量のオーバシュートを小さく抑えることができる。このことは第２の負帰還回路において第２補償回路の出力を積分回路に与えて、その積分出力をリミタによって制限するようにした構成においてもまた同様である。
【００１６】
さらに本発明に従えば、第１補償回路は、補償回路と第１リミタとがこの順序で接続された縦続回路と、積分補償回路と第２のリミタとがこの順序で接続されたもう１つの縦続回路とが設けられ、第１および第２リミタの出力を補償演算回路において加算して電磁リリーフ弁または可変要素の変位を制御するようにし、これによって静的な安定性をさらに改善することができる。
【００１７】
さらに本発明に従えば、圧力検出手段または流量検出手段の出力の位相進み補償を行ってその位相進み補償分を演算回路の出力から減算し、これによってオーバシュートを抑えて、その後の減衰を速めることができる。
【００１８】
さらに本発明に従えば、上述の積分補償を行う積分補償回路は、静的には偏差を零にすることができる非常に優れた補償要素であるけれども、その位相遅れのために、動的には悪影響を及ぼすので、この問題を解決するために、第１負帰還回路における第１減算回路からの第１偏差ε１の絶対値が予め定める値を超える大きいときには、積分補償回路の働きを休止して積分動作を禁止し、積分動作の動的な悪影響を排除する。
【００１９】
さらに本発明に従えば、圧力検出手段によって検出されるポンプからの作動油の検出圧力の変化速度の絶対値、すなわち時間変化率の絶対値が予め定める値を超えるとき、積分補償回路の働きを休止させ、これによってもまた圧力が目標値に向かって急速に応答している動的な状態のとき、積分動作を禁止して積分動作の動的な悪影響を排除する。
【００２０】
上述の説明は、主として第１の負帰還回路に関連して述べたけれども、第２の負帰還回路、第２補償回路および流量検出手段に関してもまた同様である。
【００２１】
【実施例】
図１は、本発明の一実施例の電気的構成を示すブロック図である。この電気回路によって、図２に示される可変容量形斜板式アキシアルピストンポンプ１から吐出される作動油の圧力および流量が制御される。ポンプ１からの作動油によって、射出成形機における溶融された合成樹脂が金型に一定の圧力に保たれたままで、その金型内への合成樹脂の流れに応じて射出の流量、したがって作動油の流量を追随させることができる。ポンプ本体２と補助ポンプ３とはそれらの回転軸が連結され、駆動源によって一定速度で回転駆動される。ポンプ本体２からの作動油は管路４からシリンダなどのアクチュエータに供給される。管路４には、管路５を介して電磁リリーフ弁６が接続され、管路７を介して作動油の一部がタンクに戻される。図２に示されるポンプ１の構成では、流量制御のために油圧比例制御弁１５および電磁比例制御弁１９が用いられ、構成が比較的簡単であるという利点がある。
【００２２】
図３は、電磁リリーフ弁６の一例を示す簡略化された断面図である。弁箱８には弁座９が形成され、弁体１０がばね１１のばね力によって着座する方向にばね力が与えられる。弁体１０には、プランジャ２１１が連結され、電磁コイル１２が励磁されることによって、弁体１０に作用する管路５の圧力が、電磁力とばね１１のばね力に打ち勝つと、弁体１０は弁座９から離間し、作動油の一部が管路７に流れ出る。この管路５の圧力は、電磁コイル１２の励磁電流に依存する。管路５、したがって管路４の作動油の吐出圧力は圧力検出手段１３によって検出される。
【００２３】
ポンプ１の斜板である可変要素の傾斜角度を変化させるために、補助ポンプ３からの作動油が管路１４を経て、油圧比例制御弁１５からその斜板を駆動するピストン１６のシリンダ室１７に供給される。斜板、したがってピストン１６の変位位置は、ポテンショメータなどによって実現される位置検出手段１８によって検出され、これによって斜板の傾斜角度、したがって管路４から吐出される作動油の流量が検出されることになる。したがって、この位置検出手段１８は、以下の説明では、流量検出手段と呼ぶことにする。管路１４からの作動油は、電磁比例制御弁１９から管路２０を経て、油圧比例制御弁１５のシリンダ室２１に与えられ、油圧比例制御弁１５から管路２２を経て前記シリンダ室１７への作動油の状況が連続的に変化させることができる。
【００２４】
前述の図３に示される一例の構成を有する電磁リリーフ弁６は、図１において伝達関数がＧｐ２を有する制御回路３２として等価的に置き換えられる。また前述の図２に示されるポンプ１は、図１において参照符３２ａで示されるように伝達関数Ｇｑ２を有する制御回路３２ａとして等価的に置き換えられる。この伝達関数Ｇｑ２制御回路３２ａは、ポンプ本体２、補助ポンプ３、油圧比例制御弁１５、斜板、その斜板を駆動するピストン１６および電磁比例制御弁１９などを等価的に含む。図１のライン２３に導出される制御量は、圧力検出手段１３による作動油の検出圧力の信号が導出されるラインである。また制御回路３２ａからライン２３ａを介して導出される信号は、斜板の変位位置を検出する流量検出手段１８が表す管路４からの作動油の検出流量の信号が導出されるラインである。圧力制御を行う第１の負帰還回路２４と作動油の流量を制御する第２の負帰還回路２４ａとは類似の構成を有し、対応する部分には同一の数字に添え字ａを付して示す。
【００２５】
ポンプ本体２から管路４に供給される作動油の圧力のための目標圧力は、目標圧力設定手段２５において設定される。この目標圧力の信号はライン２６からフィードフォワード制御を行うための伝達関数Ｇｐ１を有するオープン制御回路３１に与えられるとともに、第１減算回路３４の一方の入力に与えられる。圧力検出手段１３からの出力はライン２７を介して第１減算回路３４の他方の入力に与えられる。この第１減算回路３４は、目標圧力の信号から検出圧力の信号を減算した第１偏差ε１を表す信号をライン２８に導出して第１補償回路２９に与える。オープン制御回路３１の出力と第１補償回路２９からライン７７に導出される圧力補正信号とは、第１演算回路７５において加算され、ライン７８から電磁リリーフ弁６の電磁コイル１２に与えられる。さらにまた位相進み補償回路７９が備えられる。第１補償回路２９は、第１減算回路３４の出力に応答して、第１偏差ε１が零となるようにするための圧力補正信号を求めてライン７７に導出する。
【００２６】
ポンプ１の管路４から吐出される作動油の補償流量は、目標流量設定手段２５ａにおいて設定される。その出力はライン２６ａを経て切換えスイッチ手段８０の切換えスイッチ８１における一方の個別接点８２に与えられる。切換えスイッチ８１はもう１つの個別接点８３を有する。共通接点８４は、個別接点８２または８３に切換わって導通することができる。共通接点８４からの出力はライン８５から伝達関数Ｇｑ１を有するオープン制御回路３１ａに与えられる。このオープン制御回路３１ａの出力は、第２演算回路７５ａに与えられ、第２補償回路２９ａからライン７７ａに導出される流量補正信号に加算されて演算される。第２演算回路７５ａの出力は、ライン７８ａを経て、ポンプ１の電磁比例制御弁１９に与えられ、これによってピストン１６、したがって斜板が角変位駆動され、吐出流量が変化される。
【００２７】
流量検出手段１８によって検出されるポンプ本体２からライン４に吐出される作動油の検出流量の信号はライン２７ａから第２減算回路３４ａの一方の入力に与えられ、この第２減算回路３４ａにはライン８５からの入力信号が他方の入力に与えられる。第２減算回路３４ａは、ライン８５からの入力信号からライン２７ａの検出流量の信号を減算し、その第２偏差ε２を表す信号をライン２８ａに導出して第２補償回路２９ａに与える。第２補償回路２９ａは、第２減算回路３４ａの出力に応答し、第２偏差ε２が零となるように斜板、したがってピストン１６を変化するための流量補正信号を前述のようにライン７７ａに導出する。流量検出手段１８の出力はまた、位相進み補償回路７９ａに与えられ、その位相進み補償回路７９ａの出力は、演算回路７５ａに与えられて減算され、この演算回路７５ａからライン７８ａに導出される信号によって、前述のように電磁比例制御弁１９が制御される。
【００２８】
図４は、電磁リリーフ弁６の圧力オーバライド特性を示すグラフである。目標圧力設定手段２５の目標圧力Ｐ０となるようにするための管路４における作動油の圧力制御動作状態において、電磁リリーフ弁６はクラッキング圧よりもわずかに高い前記目標圧力Ｐ０において、わずかなリリーフ流量Ｑ０でライン７から作動油の一部が流れ出されるものとする。目標圧力Ｐ０以上、したがってリリーフ流量Ｑ０以上では、図４のラインＬ１で示されるようにそのリリーフ流量と作動油の圧力とは、一次関数で増大する特性を有する。リリーフ流量が多くなると、その圧力オーバライド特性によって、圧力が目標圧力Ｐ０よりも高くなる傾向がある。したがって第１補償回路２９からライン７７に導出される圧力補正信号は、圧力検出手段１３によって検出される検出圧力を下げる偏差信号であり、この圧力補正信号のレベルは、リリーフ流量Ｑ０を超える不必要なリリーフ流量と一次関数の関係、たとえば比例関係にある。
【００２９】
本発明に従えば、流量検出手段１８によって検出される作動油の検出流量の信号に、前述の圧力を下げるための負の偏差信号である負の圧力補正信号を加算し、この値を圧力制御動作中において第２負帰還回路２４ａの目標流量となる入力信号として与える。すなわち図４において管路４の作動油の検出圧力が目標圧力Ｐ０から増大して参照符８７で示される圧力Ｐ１になったとき、第１補償回路２９からライン７７に導出される圧力補正信号は、圧力偏差量ΔＰ（＝Ｐ１−Ｐ０）だけ圧力を減少させる偏差信号であって、このときのリリーフ流量Ｑ１が零に近いわずかなリリーフ流量Ｑ０となるように、第２補償回路２９ａの目標流量となる入力信号として、次に述べるように、ライン８５に与えられる。こうして無駄となる大きなリリーフ流量Ｑ１が生じることを防ぎ、無駄流量をできるだけ小さくすることが可能になる。
【００３０】
本発明では、切換え制御手段８８が設けられる。この切換え制御手段８８における第１演算回路８９は、ライン７７の圧力補正信号が負であるときにのみその負の圧力補正信号をライン９０に導出する比較回路９１と、ライン９０を介する負の圧力補正信号に応答し伝達関数Ｈｐ４を有する制御回路９２とを有する。圧力補正信号が負であるということは、圧力検出手段１３によって検出される検出圧力が、目標圧力設定手段２５で設定される目標圧力を超えるときであり、そのときの圧力補正信号が上述のようにライン９０を介して制御回路９２に与えられる。制御回路９２は、図４に示される圧力偏差量ΔＰを零とするための圧力補正信号に対応する電磁リリーフ弁６の圧力オーバライド特性による作動油のリリーフ流量Ｑ１が、目標圧力Ｐ０に対応したリリーフ流量Ｑ０になるように、そのリリーフ流量の差ΔＱ（＝Ｑ１−Ｑ０）を減算して演算して求める働きをする。
【００３１】
切換え制御手段８８はまたさらに、第２演算回路９３を備える。この第２演算回路９３は、流量検出手段１８のライン２７ａを介する検出流量の信号と、第１演算回路８９における制御回路９２からの出力とを加算して、検出流量Ｑ１から前記差ΔＱを減算した流量Ｑ０を表す信号を、ライン９４に導出して、切換えスイッチ８１の個別接点８３に与える。
【００３２】
切換えスイッチ８１とともに切換えスイッチ手段８０を構成する切換えスイッチ制御手段９５は、圧力補正信号が負であるとき、すなわち検出圧力Ｐ１が目標圧力Ｐ０を超えるとき（Ｐ１＞Ｐ０）、切換えスイッチ８１の共通接点８４を個別接点８３に導通し、これによって第２演算回路９３の出力をライン８５を介して第２補償回路２９ａの目標圧力となる入力信号として与える。切換えスイッチ制御手段９５はまた、圧力補正信号に応答し、検出圧力Ｐ１が目標圧力Ｐ０以下であるとき（Ｐ１≦Ｐ０）、切換えスイッチ８１の共通接点８４を個別接点８２に導通し、これによって目標流量設定手段２５ａからの目標流量の信号を、ライン２６ａからライン８５に与えて第２補償回路２９ａの入力信号とし、作動油の圧力を目標圧力に上昇して到達させることを可能にする。
【００３３】
第１補償回路２９の具体的な構成について、再び図１を参照して説明する。第１減算回路３４からライン２８に導出される第１偏差ε１の信号は、伝達関数Ｈｐ１を有する補償回路５１に与えられ、その出力はリミタ５０に与えられる。リミタ５０は図５に示されるように、入力される補償回路５１からの信号がＭ１〜Ｍ２を超えるとき、出力をＭ１，Ｍ２に制限する。第１リミタ５０の出力は、演算回路６５において加算される。ライン２８を介する第１減算回路３４の出力はまた、スイッチ７６を介して伝達関数Ｈｐ２を有する補償回路６２に与えられる。この補償回路６２の出力は、積分補償回路６１に与えられて積分動作が行われる。積分補償回路６１の出力は第２リミタ６０に与えられ、前述の図５と同様なリミタ動作が行われる。演算回路６５は、リミタ６０の出力を、前述のリミタ５０の出力とともに加算し、ライン７７に圧力補正信号として露出する。
【００３４】
第１補償回路２９におけるレベル弁別手段９６は、第１減算回路３４からライン２８に導出される第１偏差ε１の絶対値が、予め定める値を超えるとき、スイッチ７６を遮断し、これによって補償回路６２、積分補償回路６１および第２リミタ６０の働きを休止させる。またこのレベル弁別手段９６は、第１偏差ε１の絶対値が前記予め定める値以下であることを弁別したときには、スイッチ７６を導通して積分補償回路６１による積分動作を許容する。
【００３５】
図６は、第１補償回路６の動作を説明するための波形図である。目標圧力設定手段２５からライン２６に導出される信号は図６（１）に示される階段波形を有するものとする。このとき第１減算回路３４からライン２８に導出される第１偏差ε１の波形は図６（２）に示されるとおりである。図６（２）に示される弁別レベルＨε１，Ｌε１の各絶対値は等しく選ばれても良い。補償回路５１は、図６（３）の参照符９７で示される波形を有する信号を導出し、第１リミタ５０は、図６（３）の実線で示されるように、補償回路５１の出力を参照符９８で示されるように制限して加算回路６５に与える。
【００３６】
レベル弁別手段９６は、第１減算回路３４からライン２８に導出される第１偏差ε１を、上下の弁別レベルＨε１，Ｌε１でレベル弁別し、その範囲Ｈε１〜Ｌε１の範囲外であるときスイッチ７６は遮断される。時刻ｔ１以降において偏差ε１が前述の上下の弁別レベルＨε１〜Ｌε１以内にあるとき、スイッチ７６が導通され、したがって積分補償回路６１からは図６（４）の参照符９９で示される波形を有する積分信号が得られる。第２リミタ６０は、この積分補償回路６１の出力を参照符１００で示されるように制限し、この図６（４）の実線で示される波形を有する信号を加算回路６５に与える。こうして第１補償回路２９およびオープン制御回路３１および位相進み補償回路７９の働きによって、ライン７８には、図６（５）で示される電磁リリーフ弁６による圧力制御のための信号が得られる。
【００３７】
ポンプ１の作動油の流量に関する第２補償回路２９ａは、前述の第１補償回路２９と同様な構成を有し、同一の数字に添え字ａを付して対応する部分を示す。この第２補償回路２９では、前述の第１補償回路２９の説明に関する圧力を流量と読み代え、また電磁リリーフ弁６を制御する代りに、ピストン１６、したがって斜板を変位するための電磁比例制御弁１９を動作させるものと読み換えればよい。
【００３８】
位相進み補償回路７９において、ライン２３から得られる圧力検出手段１３の出力は、伝達関数Ｈｐ３を有する補償回路７３に与えられ、その補償回路７３の出力は、位相進み回路７４に与えられ、その位相進み回路７４の出力は、演算回路７５において減算される。これによってライン７８から導出される信号は、電磁リリーフ弁６による作動油の圧力のオーバシュートを抑えて、その後の減衰を速めることができるようになる。このことはもう１つの作動油の流量のための位相進み補償回路７９ａに関しても同様であり、ピストン１６および斜板の変位による流量のオーバシュートを抑えて、その後の減衰を早めめることを可能にしている。
【００３９】
図７は、本発明の他の実施例の電気的構成を示すブロック図である。この実施例は前述の図１に示される実施例に類似し、対応する部分には同一の参照符を付す。注目すべきはこの実施例では、微分機能を有する位相進み回路７４からライン２１３に得られる出力がレベル弁別手段１０２に与えられ、これによってその圧力検出手段１３による検出圧力の変化速度の絶対値、すなわち時間変化率の絶対値が予め定める値を超えるとき、スイッチ７６を遮断し、その変化速度の絶対値が前記予め定める値以下であるとき、スイッチ７６が導通される。
【００４０】
図８は、図７に示される実施例の動作を説明するための波形図である。目標圧力設定手段２５からライン２６に図８（１）の階段波形が与えられたとき、減算回路３８からライン２８には第１偏差ε１を表す図８（２）の信号が導出される。第１補償回路２９の第１リミタ５０からは、図８（３）の実線で示される波形が得られ、このことは前述の実線と同様である。
【００４１】
ライン２１３に導出される検出圧力勾配または変化速度を表す信号は図８（６）に示される波形を有する。レベル弁別手段１０２は、予め定める上下の弁別レベルＨｐ１，Ｌｐ１の範囲の外に検出圧力勾配があるとき、スイッチ７６を遮断しており、したがって時刻ｔ０〜ｔ１の範囲では、第２リミタ６０の出力は図８（４）に示されるように零のままである。検出圧力勾配が上下の弁別レベルＨｐ１〜Ｌｐ１の範囲内にあるとき、スイッチ７６が導通され、積分補償回路６１からは図８（４）の破線１０３で示される波形が得られる。リミタ６０は、この波形１０３を参照符１０４で示されるように制限してその実線の波形を導出して加算回路６５に与える。オープン制御回路３１および位相進み補償回路７９の働きによって演算回路７５からライン７８に導出される信号波形は図８（５）に示されるとおりとなる。図８（６）に示される弁別レベルレベルＨｐ１，Ｌｐ１の絶対値は、等しく選ばれてもよい。
【００４２】
このような構成と動作は、ポンプ１の作動油の流量に関しても同様であり、第２補償回路２９ａにおけるレベル弁別回路１０２ａは、上述の動作と同様な動作を達成する。
【００４３】
検出圧力が目標圧力に向かって急速に応答している動的な状態では、スイッチ７６が遮断され、積分補償回路６１による位相遅れ要素による動的な動作への悪影響を排除することができるようになる。このことは第２補償回路２９ａに関してもまた同様である。第２補償回路２９ａにおいてレベル弁別手段１０２ａは、位相進み回路７４ａのライン２１３ａを介する信号に応答してその検出流量の変化速度の絶対値、したがって時間変化率の絶対値が予め定める値を超えるとき、スイッチ７６ａを遮断して積分補償回路６１ａによる動的な悪影響を排除する。
【００４４】
図９は、本発明の他の実施例の全体の構成を示すブロック図である。この実施例は前述の実施例に類似し、対応する部分には同一の参照符を付す。この実施例では特に第１および第２補償回路２９，２９ａおよび位相進み補償回路７９，７９ａは、単一のブロックで簡略化して示されている。注目すべきはこの実施例では、前述の図２に関連して示されるように電磁リリーフ弁６のタンクに戻される作動油の管路７の途中に、リリーフ流量を検出するリリーフ流量検出手段１０６が設けられる。リリーフ流量検出手段１０６の出力は、ライン１０７を介して積分動作を含む制御回路１０８に与えられる。制御回路１０８の出力は、減算回路１０９に与えられる。この減算回路１０９には、目標流量設定手段２５ａからの目標流量を表す信号が与えられる。減算回路１０９は、目標流量から検出リリーフ流量を減算してライン２８ａに導出し、オープン制御回路３１ａと第２補償回路２９ａとともに第２負帰還回路２４ａを構成する第２減算回路３４ａに、目標値として入力される。こうしてライン２８ａには、電磁リリーフ弁６の圧力オーバライド特性による作動油のリリーフ流量を小さくする信号が与えられ、この信号が前述のように減算回路３４ａに入力信号として与えられる。これによって電磁リリーフ弁６のリリーフ流量が、目標圧力Ｐ０に対応するクラッキング圧近傍におけるわずかなリリーフ流量Ｑ０に保たれることになる。
【００４５】
図１０は、本発明の他の実施例の一部の電気回路図を示すブロック図である。前述の実施例に対応する部分には同一の参照符を付す。オープン制御回路３１は、伝達関数Ｇｐ１を有し、加算回路３５にその出力が与えられる。第１補償回路２９を構成する伝達関数Ｈｐ１を有する補償回路３３の出力は、リミタ３０に与えられ、リミタ３０は補償回路３３の出力を、予め定める一定の上下のレベルで制限し、その出力ｘを加算回路３５に与える。その他の構成は前述の実施例に類似する。
【００４６】
ライン２６に目標圧力を表す図１１（１）で示される階段波形が入力されるとき、補償回路３３は、図１１（２）の破線１１０で示される波形を導出し、リミタ３０は図１１（２）の実線１１１で示される波形ｘを導出する。これによって制御回路３２として示されるポンプ１による作動油の圧力検出手段１３によって検出される検出圧力は、図１１（３）で示されるように、過渡特性の良好な応答が得られる。
【００４７】
オープン制御回路３１は、目標圧力の信号を、加算回路３５を経て制御回路３２に与えているので、補償回路３３の出力をリミタ３０によって制限しても、動的応答性を充分に確保することができる。リミタ３０の動作レベルは、制御回路３２、したがって電磁リリーフ弁６の静特性および定常偏差に影響を与えない値に設定する。
【００４８】
図１２は、本発明のさらに他の実施例の一部の電気的構成を示すブロック図である。この実施例は前述の実施例に類似し、対応する部分には同一の参照符を付す。この実施例では、補償回路３３の出力が積分回路４６に与えられ、その積分回路４６の出力がリミタ３０で制限される。したがってライン２６から目標圧力の信号が図１３（１）で示されるようにステップ状に与えられたとき、減算回路３４からライン２８に導出される偏差ε１の信号は図１３（２）のとおりとなり、したがって積分回路４６の出力は、図１３（３）の参照符１１２で示される波形となる。リミタ３０の働きによって、ライン１１３に導出される信号φの波形は、図１３（３）の実線１１４で示されるとおりに制限される。これによって制御回路３２のライン２３に導出される出力、すなわち圧力検出手段１３の検出圧力の信号波形は図１３（４）で示されるように、ステップ入力が与えられる時刻ｔ０から短い時間を経過した時刻１でほぼ安定する良好な応答特性が得られる。
【００４９】
図１４は、本発明のさらに他の実施例の一部の電気回路を示すブロック図である。減算回路３４からの偏差ε１の信号は、伝達関数Ｈｐ１を有する補償回路５１とその出力を制限する第１リミタ５０とによって構成される補償回路１１６に与えられる。また減算回路３４の出力は、伝達関数Ｈｐ２を有する補償回路６２と、積分回路６１と、第２リミタ６０とから成る積分補償回路１１７に与えられる。積分補償回路１１６と積分補償回路１１７との各出力は、補償演算回路としての加算回路６５で加算され、さらに加算回路３５ではオープン制御回路３１の出力とともに加算されて、制御回路３２の電磁制御リリーフ弁６を制御するための信号として与えられる。この実施例によれば、積分回路６１を含む積分補償回路１１７によって、圧力の静的な精度を向上することができる。その他の構成は前述の実施例と同様である。
【００５０】
図１５は、本発明のさらに他の実施例の一部の電気回路を示すブロック図である。この実施例では、前述の図１４に関連して述べた実施例にさらに、位相進み補償回路７９を加えた構成を有する。この位相進み補償回路７９の出力は、演算回路７５において、オープン制御回路３１の出力と加算回路６５の出力とを加算した値から、減算するように、演算回路７５に与えられる。この位相進み補償回路７９の働きによって、電磁リリーフ弁６による作動油の圧力のオーバシュートを抑えて、その後の減衰を速めることが可能になる。前述の図１および図７に示される第１補償回路２９は、この図１４および図１５に示される実施例において、積分回路６１による位相遅れ要素による動的悪影響を排除している。その他の構成は前述の実施例と同様である。
【００５１】
図１０〜図１５の各実施例は、電磁リリーフ弁６の制御のための構成に関連して主として述べたけれども、これらの各構成は、ポンプ１におけるピストン１６、したがって斜板の変位による作動油の流量制御のためにもまた全く同様ににして実施されることができ、このとき図１０〜図１５におけるライン２６は、ライン８５と読み換え、制御回路３２は、制御回路３２ａなどとして読み換えればよい。
【００５２】
【発明の効果】
本発明によれば、可変容量形ポンプからの作動油の圧力を制御する電磁リリーフ弁を、第１の負帰還回路の圧力補正信号によって補正するようにし、この電磁リリーフ弁の弁体は小形であり、その質量は小さいので、吐出圧力を高い応答速度で制御することが容易に可能になる。すなわち本発明によれば、作動油の圧力制御を、電磁リリーフ弁によって行うようにしたので、応答速度を向上することができ、その応答遅れが極めて少ないので、第１および第２補償回路２９，２９ａの利得を高くすることができ、これによって制御精度および応答速度を向上することができる。
【００５３】
また本発明によれば、圧力補正信号を、ポンプからの作動油の検出圧力が目標圧力を超えて圧力制御動作が行われているとき、第２の負帰還回路によって制御されている可変容量ポンプの斜板などの可変要素に対応した検出流量の信号から減算などして演算し、これによって圧力補正信号に対応する電磁リリーフ弁の圧力オーバライド特性による作動油のリリーフ流量を、たとえばクラッキング圧力近傍の目標圧力に対応したわずかなリリーフ流量の値にすることができ、これによって電磁リリーフ弁から大流量で作動油がリリーフされることが防がれ、動力の無駄が防がれる。
【００５４】
さらに本発明によれば、流量検出手段は、ポンプの可変要素の変位位置を検出する構成によって実現され、これによって作動油の流量を直接に測定する流量計を用いる必要がなく、構成の簡略化を図ることができる。
【００５５】
また本発明によれば、切換え制御手段は、電磁リリーフ弁のオーバライド特性による作動油のリリーフ流量Ｑ１と、目標圧力に対応したリリーフ流量Ｑ０との差ΔＱ（＝Ｑ１−Ｑ０）を、検出流量から減算して演算し、検出圧力が目標圧力を超えるとき、その値を入力信号として第２負帰還回路の目標流量として与え、これによって電磁リリーフ弁による無駄流量を自動的に減少させることができる。
【００５６】
さらに本発明によれば、電磁リリーフ弁のリリーフ流量を検出し、その検出されたリリーフ流量またはそれに近似した流量を、目標流量から減算して電磁リリーフ弁の圧力オーバライド特性による作動油のリリーフ流量を小さくするように、第２負帰還回路の入力信号として目標値として与え、これによってもまた、電磁リリーフ弁のリリーフ流量を小さくすることができる。
【００５７】
さらに本発明によれば、第１または第２の負帰還回路において、第１または第２補償回路の出力を制限するリミタを設け、これによって圧力補正信号の行き過ぎを防止し、制御系を安定にし、迅速に静定状態に到達させることができる。第１または第２の負帰還回路のゲインを高くしても、リミタによって過渡特性が悪化することが防がれるので、ヒステリシスおよび定常偏差を小さくして静的な特性を向上させることができる。
【００５８】
また本発明によれば、第１または第２補償回路の出力を積分回路によって積分し、その積分出力をリミタによって制限するようにしたので、オーバシュートを非常に小さく抑えることができ、定常偏差を零に抑えてヒステリシスを減少し、また圧力および流量の精度の向上を図ることができる。
【００５９】
また本発明によれば、第１または第２補償回路は、補償回路と第１リミタとから成る縦続回路と、積分補償回路と第２のリミタとを含むもう１つの縦続回路とを含み、第１および第２リミタの出力を補償演算回路において加算するようにし、こうして静的特性の向上を図ることができる。
【００６０】
さらに本発明によれば、検出圧力または検出流量の信号を位相進み補償回路に与えて、その位相進み補償回路の出力を、減算して電磁リリーフ弁またはポンプの可変要素の変位を行うようにしたので、オーバシュートを抑えて、その後の減衰を速めることができるようになる。
【００６１】
さらに本発明によれば、積分補償回路による位相遅れに起因した動的特性の悪化を防ぐために、第１または第２減算回路からの第１または第２偏差ε１，ε２の絶対値が予め定める値を超えるとき、および検出圧力または検出流量の変化速度の絶対値、すなわち時間変化率の絶対値が予め定める値を超えるときには、積分補償回路の働きを休止させて、積分動作の動的な悪影響を排除し、圧力または流量が目標値に迅速に到達することができるようにする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の全体の構成を示すブロック図である。
【図２】図１における制御回路３２，３２ａで示される油圧回路の具体的な構成を示す図である。
【図３】電磁リリーフ弁６の一例の具体的な構成を示す断面図である。
【図４】電磁リリーフ弁６の圧力オーバライド特性を説明するための図である。
【図５】リミタ５０の入出力特性を示す図である。
【図６】図１の動作を説明するための図である。
【図７】本発明の他の実施例の全体の電気的構成を示すブロック図である。
【図８】図７に示される実施例の動作を説明するための図である。
【図９】本発明のさらに他の実施例の全体の電気的構成を示すブロック図である。
【図１０】本発明の他の実施例の一部の電気的構成を示すブロック図である。
【図１１】図１０に示される実施例の動作を説明するための図である。
【図１２】本発明の他の実施例の一部の電気的構成を示すブロック図である。
【図１３】図１２に示される実施例の動作を説明するための図である。
【図１４】本発明のさらに他の実施例の一部の電気的構成を示すブロック図である。
【図１５】本発明のさらに手の実施例の一部の電気的構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１  可変容量形斜板式アキシアルピストンポンプ
６  電磁リリーフ弁
１３  圧力検出手段
１６  ピストン
１８  流量検出手段
２４  第１負帰還回路
２４ａ  第２負帰還回路
２５  目標圧力設定手段
２５ａ  目標流量設定手段
２９  第１補償回路
２９ａ  第２補償回路
３１，３１ａ  オープン制御回路
３４  第１減算回路
３４ａ  第２減算回路
５０  第１リミタ
５１，６２  補償回路
６０  第２リミタ
６１  積分補償回路
６５  演算回路
７５，８９  第１演算回路
７５ａ  第２演算回路
７６  スイッチ
７９，７９ａ  位相進み補償回路
８０，９５  切換えスイッチ手段
８１  切換えスイッチ
８８  切換え制御手段
９６  レベル弁別手段
Ｐ０  目標圧力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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