(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
幅方向において光の透過率または反射率が異なる複数の検査領域を有する検査対象物の幅方向にラインごとの画像データを得るラインイメージセンサと、
前記ラインイメージセンサの検査対象物上における検査範囲が検査対象物の走行方向に移動するように、検査対象物とラインイメージセンサの相対的位置関係を変更する移動装置と、
前記ラインイメージセンサの出力信号をディジタル化した画像データから、非検査領域と前記複数の検査領域の一つとの境界を示す第１のエッジ座標と、前記複数の検査領域のうち隣接する領域の境界を示す第２のエッジ座標を検出するエッジ検出手段と、
前記第１のエッジ座標を前記非検査領域に隣接する検査領域の側に少なくとも前記検査対象物の蛇行量の最大値よりも大きい所定量だけシフトさせた位置に閾値境界座標を設定し、前記第２のエッジ座標を、明欠陥検出用閾値については前記ラインイメージセンサの出力のうち低い値を出力する領域の側に前記所定量だけシフトさせた位置に、暗欠陥検出用閾値については、前記ラインイメージセンサの出力のうち高い値を出力する領域の側に前記所定量だけシフトさせた位置に閾値境界座標を設定する閾値境界座標設定手段と、
閾値境界座標を境にして各領域に対応する値を有する明欠陥検出用閾値及び暗欠陥検出用閾値の少なくとも一方を各ライン毎に格納する閾値メモリとを備えた、欠陥検査装置用蛇行追従装置。
【請求項２】
前記閾値メモリとして、欠陥の濃淡を判別する濃淡検出用閾値を更に格納する閾値メモリを備えた請求項１記載の欠陥検査装置用蛇行追従装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の蛇行追従装置と、ラインイメージセンサから得た各ラインの画像データをそれぞれ対応するラインの閾値によって二値化する二値化処理手段とを備えた欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ラインイメージセンサを使用して、透過率又は反射率が異なる複数領域を有する検査対象物の欠陥検査装置用蛇行追従装置に関する。検査対象物としては、金属の連続シート、フィルム、不織布、蒸着フィルム等がある。
【０００２】
【従来の技術】
従来の欠陥検査装置における蛇行追従方式として特開平第８−１４５９０８号公報に開示されたものが知られている。この従来技術においては、検査対象物が蛇行した場合、検査対象物のエッジ位置を検出し、予め蛇行のない状態で検出された基準エッジ位置とのずれを求め、求められたずれ量に基づいて検査ウインドウの位置を補正することが開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術では、幅方向において光の透過率または反射率が異なる複数領域を有する検査対象物の場合、例えば、ストライプ状に蒸着された蒸着フィルムの場合を考慮していない。したがって、検査領域間の境界をエッジとして認識することができないため、その境界部における反射率乃至透過率の変化を欠陥と誤認しやすいという問題があった。
【０００４】
本発明の目的は、幅方向において光の透過率または反射率が異なる複数領域を有する検査対象物の場合でも、その複数領域での欠陥検査を高精度で行うことが可能な欠陥検査装置用蛇行追従装置及び欠陥検査装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、複数領域の境界エッジを検出後、そのエッジ近傍の画像処理の態様により検査領域の閾値境界座標の補正を行うようにしている。
即ち、本発明により提供されるものは、ラインイメージセンサの出力信号をディジタル化した画像データから、非検査領域と複数の検査領域の一つとの境界を示す第１のエッジ座標と、複数の検査領域のうち隣接する領域の境界を示す第２のエッジ座標を検出するエッジ検出手段と、第１のエッジ座標を非検査領域に隣接する検査領域の側に少なくとも検査対象物の蛇行量の最大値よりも大きい所定量だけシフトさせた位置に閾値境界座標を設定し、第２のエッジ座標を、明欠陥検出用閾値についてはラインイメージセンサの出力のうち低い値を出力する領域の側に前記所定量だけシフトさせた位置に、暗欠陥検出用閾値については、ラインイメージセンサの出力のうち高い値を出力する領域の側に前記所定量だけシフトさせた位置に閾値境界座標を設定する閾値境界座標設定手段と、閾値境界座標を境にして各領域に対応する値を有する明欠陥検出用閾値及び暗欠陥検出用閾値の少なくとも一方を各ライン毎に格納する閾値メモリとを備えた、欠陥検査装置用蛇行追従装置である。
【０００６】
閾値メモリとして、欠陥の濃淡を判別する濃淡検出用閾値を更に格納する閾値メモリを備えてもよい。
本発明により更に、上記蛇行追従装置と、ラインイメージセンサから得た各ラインの画像データをそれぞれ対応するラインの閾値によって二値化する二値化処理手段とを備えた欠陥検査装置が提供される。
【０００７】
複数領域の各々に適した閾値を設定するので各領域において高精度な欠陥検出が実現できる。さらに、検査位置毎に閾値境界座標を蛇行量を考慮した所定量だけエッジ座標からシフトさせているので、検査対象物の検査領域が蛇行した場合でもその蛇行に追従して欠陥検査が可能になる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態による欠陥検査装置用蛇行追従装置を詳述する。
図１は本発明の実施の形態による欠陥検査装置用蛇行追従装置を示すブロック図である。同図において、１はラインイメージセンサとして用いられるラインＣＣＤカメラ、２は画像処理装置、１２はホストコンピュータである。画像処理装置２はＡ／Ｄコンバータ３と、コンパレータ４と、ランレングス符号化回路５と、基準値メモリ６と、明欠陥検出用閾値および暗欠陥検出用閾値の書き込みと読み出しに交互に使用される第１閾値メモリ７Ａおよび第２閾値メモリ７Ｂと、例えば６４ＫＢの容量の第１ランレングスバッファ８Ａおよび第２ランレングスバッファ８Ｂと、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）９と、中央処理装置（ＣＰＵ）１０と、汎用インターフェース（ＧＰ−ＩＢ）等のＩ／Ｏインターフェース１１とを備えている。なお、以下説明する本発明の実施形態においては、閾値メモリが明欠陥検出用閾値及び暗欠陥検出用閾値の両者を格納しているので、これらの両者の各々を用いて二値化処理を行うことにより明欠陥、及び暗欠陥をそれぞれ検出することができる。しかし明欠陥、及び暗欠陥の両者を検出する必要がないときは、欠陥の特徴に応じて明欠陥検出用閾値又は暗欠陥検出用閾値のいずれか一方を用いればよい。
【０００９】
ラインＣＣＤカメラ１としては、例えば、三菱レイヨン（株）製のＳＣＤ型のラインＣＣＤカメラがある。このラインＣＣＤカメラの素子数は１０２４〜５０００であり、駆動周波数は２０ＭＨｚ、走査周期が最高で０．１ｍｓのものがある。ラインＣＣＤカメラは検査対象により適正な機種を選択する。画素配列も特に限定されず、検査の態様や対象物等により適宜決定される。ＲＡＭ９、ＣＰＵ１０、第１閾値メモリ７Ａおよび第２閾値メモリ７Ｂは、エッジ検出手段および閾値境界座標設定手段を構成している。本実施形態においては第１閾値メモリ７Ａと第２閾値メモリ７Ｂとの２つの閾値メモリを用いているので、一方の閾値メモリに閾値を書き込んでいる間に、他方の閾値メモリにすでに書き込まれた閾値を検査対象物の検査に使用する、というようにして交互に書き込みと読み出しを行うことができる。第１閾値メモリ７Ａおよび第２閾値メモリ７Ｂには、明欠陥検出用閾値、暗欠陥検出検出用閾値以外に、それぞれ欠陥の濃淡の検出のための閾値を格納してもよい。
【００１０】
次に図２および図３を参照して図１の装置の動作を説明する。
図２は図１の装置における処理手順を示すフローチャートである。図２に示すように本実施態様は、ステップＳ１〜ステップＳ４までの４つの工程を有する。以下ステップＳ１からステップＳ４までの一連の工程を纏めて適宜「１サイクル」という。図３は、図１に示した装置における本発明の第一の実施形態を説明するための図である。
【００１１】
図３の（ａ）に示すように、ラインＣＣＤカメラ１の視野は、検査対象の蛇行を考慮して、（検査領域Ａおよび検査領域Ｂの幅＋最大蛇行量）よりも広い範囲に設定してある。
図３の（ｂ）は、検査対象物の一例として、幅方向に光の透過率または反射率が異なるシート３０に対するラインＣＣＤカメラ１の読み取り位置を示している。なお、図中の上下方向の矢印が走行方向である。このシート３０の斜線で示される周辺部が背景であり反射率または透過率は低い。以下背景は「非検査領域」という。本発明の実施形態においては図示しない光源からの反射光をラインＣＣＤカメラで受光する構成をとっているので以下の説明では、適宜反射率についてのみ記載するが、光源からの透過光を受光する構成をとった場合の透過率についても同様に適用できる。
【００１２】
斜線部に挟まれた部分が蒸着部分である検査領域である。検査領域は幅方向に反射率の低い検査領域Ａおよび反射率の高い検査領域Ｂに分かれている。また、ラインＣＣＤカメラ１の読み取り位置に、明欠陥ア、暗欠陥イがあるとし、本発明の装置によりこれらの欠陥を検出する。各検査領域の境界部分では反射率または透過率の変化が大きいので、検査対象物の走行方向に検査領域が図示のように蛇行していると、正常部分が欠陥と誤認されやすい。そこで、本発明の実施の形態では、後に詳細に記載するように検査領域と検査領域もしくは非検査領域との各境界部分の閾値境界座標を適宜シフトさせて、蛇行に対する耐性を向上させている。
【００１３】
図２において、まずステップＳ１では基準データを設定する。ラインＣＣＤカメラ１は検査対象物のラインＣＣＤカメラ１の１つの読み取り位置（図３の（ｂ）参照）の画像を読みとる。なお、検査対象物は、その走行方向に検査位置が移動するように図示しない移動装置により移動している。なお、検査対象物を移動させるかわりにラインＣＣＤカメラを移動させることも可能である。撮像によって得られたアナログ信号を、Ａ／Ｄコンバータ３により、例えば１画素当たり８ビットのディジタルデータに変換して、多値画像データを得る。多値画像データは基準メモリ６に１ライン分のデータとして記録され、基準データとして用いられる。基準データを得るために使用される検査対象物にも欠陥部分が含まれている可能性があるので、上記読み取り位置で複数ラインの走査をして得られた画像データについて、各画素毎に得られる複数の値を平均化処理することにより欠陥の影響を低減させるようにしてもよい。
【００１４】
こうして決定された基準データはステップＳ４において閾値を決定するために使用される。
次にステップＳ２では、ステップＳ１で設定された基準データに基づいて検査対象物の画像の複数の領域間の境界であるエッジの座標を検出する。これは、Ａ／Ｄコンバータ３の出力値の変化点を検出することにより行われ、図３の（ｃ）に示すように、非検査領域と検査領域Ａとの境界のエッジ座標はＥ１  、検査領域Ａと検査領域Ｂとの境界のエッジ座標はＥ２  、検査領域Ｂと非検査領域との境界のエッジ座標はＥ３  である。この境界のエッジ座標はＣＰＵ１０により検出されて、ＲＡＭ９に格納される。
【００１５】
検査対象物の各領域のエッジ座標は、ＲＡＭ９およびＣＰＵ１０により基準値メモリ６に格納されたディジタル化した画像データに基づいて検出される。このエッジ検出手段は２種類ある。
即ち、その１つは画像データが予め設定した値の上から下へ、あるいは値の下から上へ変化した位置をエッジとする場合であり、他方は、予め指定した距離にある画素の画像データどうしの差で検出する場合である。いずれを採用するかは、検査対象のエッジ部分の状態で選択する。
【００１６】
前者は、背景および検査対象の出力レベルが安定していれば、多少ボケがあってもエッジ位置を正確に検出できるという長所がある。後者はエッジ部分の出力レベルの変化がある程度大きければ、検査対象の出力レベルが複数種類あっても適正位置を検出できるという長所がある。
エッジを検出する際には昇順（左から右の方向）と降順（右から左の方向）のいずれかの順となるように、ラインＣＣＤカメラの画素に対応する基準データをチェックする。検査対象物の背景と検査領域との境界であるエッジの検出の場合は、背景の出力の方が検査領域の出力より安定していることが多いので、通常は背景から検査対象領域の方向に向かって行う。従って、検査対象物の左端の非検査領域とその右側にある検査領域との境界であるエッジの検出は昇順で行い、検査対象物の右端の非検査領域とその左側にある検査領域との境界であるエッジの検出は降順で行う。
【００１７】
ステップＳ３では、閾値境界座標を設定し、閾値境界座標間の領域が検査領域であるか非検査領域であるかを判別する。本実施形態においては非検査領域は図３の（ｂ）に示す背景に相当する部分であり、反射率または透過率が最も低い部分である。ステップＳ２で算出したエッジ座標を基準とした場合、図３の（ｃ）の例では、０〜Ｅ１  の範囲とＥ３  〜視野右端の座標の範囲とが、非検査領域であり、Ｅ１  〜Ｅ２  が検査領域Ａ、Ｅ２  〜Ｅ３  が検査領域Ｂである。これらの領域間のエッジ座標も、ＲＡＭ９に格納される。
【００１８】
非検査領域と検査領域との間では所定量だけ検査領域側に閾値境界座標をシフトする。検査領域間については、明欠陥検出の場合は反射率又は透過率の低い検査領域側に所定量だけエッジ座標からシフトした位置に閾値境界座標を設定し、暗欠陥検出の場合は反射率又は透過率の高い検査領域側に所定量だけエッジ座標からシフトした位置に閾値境界座標を設定する。
【００１９】
なお、この所定量は、検査対象物が蛇行する量に応じて決定する。１サイクルの間の検査対象物の蛇行量の最大値よりも大きくなるように所定量を設定することが好ましく、蛇行量の最大値よりも数画素程度大きい値に設定することが更に好ましい。換言すれば検査領域間のエッジ座標を、明欠陥検出用閾値についてはラインイメージセンサの出力のうち高い値を出力する領域の側に所定量だけシフトさせ、暗欠陥検出用閾値についてはラインイメージセンサの出力のうち低い値を出力する領域の側に所定量だけシフトさせる。これにより、検査対象物の検査領域が蛇行しても、エッジ近傍の誤検出は防止される。
【００２０】
この境界座標のシフトを具体的に図によって説明する。
明欠陥検出用閾値境界座標については、非検査領域と検査領域の間の閾値境界座標Ｅ’1 及びＥ’3 はそれぞれ、ラインＣＣＤカメラ１の出力波形のエッジ座標Ｅ1 及びＥ3 よりｃ画素分内側にシフトさせた位置、即ちＥ’1 ＝Ｅ1 ＋ｃ及びＥ’3 ＝Ｅ3 −ｃにしている。これは暗欠陥検出用の閾値境界座標Ｅ''1 及びＥ''3 についても同様である即ち、Ｅ''1 ＝Ｅ1 ＋ｃ及びＥ''3 ＝Ｅ3 −ｃである。また、検査領域Ａと検査領域Ｂとの間の境界部分については、境界部を欠陥と誤認しないように、Ｅ’2 ＝Ｅ2 −ｃとしている。ここで、ｃは検査領域の蛇行の程度を考慮して決定される数値である。
【００２１】
暗欠陥検出用閾値境界座標を用いる場合、検査領域Ａと検査領域Ｂとの間の境界部分については、境界部を欠陥と誤認しないように、Ｅ’’２  ＝Ｅ２  ＋ｃとしている。
次にこのようにして定めた閾値境界座標間がどのような領域であるかを判別する。例えばＲＡＭ９に各領域が並ぶ順序を記憶させておき、例えば左から順に各領域が検査領域であるか非検査領域であるかを判定する。
【００２２】
ステップＳ４では例えば閾値メモリ７Ａに格納する閾値を設定する。明欠陥検出用閾値は、明欠陥検出の場合に、閾値より大きい出力レベルを有する領域についてのコンパレータ４の出力が“１”となるような閾値が設定される。暗欠陥検出用閾値は、暗欠陥検出の場合に、閾値未満の出力レベルを有する領域についてのコンパレータ４からの出力が“１”となるような閾値が設定される。ステップＳ１で設定された基準データに基づき、各画素毎の基準データと、各検査領域毎に予め設定された比率、例えば、明欠陥検査領域Ａでは１５０％、暗欠陥検査領域Ｂでは５０％、との積を計算して、この積を新たな閾値として記憶する。この計算は、各画素の基準データに基づき、ＲＡＭ９に記録されている閾値決定プログラムによって行われ、新たな閾値が決定されると、例えば第１の閾値メモリ７Ａに記録される。閾値は、各検査領域毎に所定の固定値を採用してもよい。また、閾値は、非検査領域と検査領域Ａと検査領域Ｂとで異なる。
【００２３】
非検査領域の閾値は、どのような画像データであっても検出しないための閾値であり、明欠陥検出の場合は２５５、暗欠陥検出の場合は０に設定される。
こうして第１の閾値メモリ７Ａに暗欠陥検出用閾値および明欠陥検出用閾値が格納された後に、再びステップＳ１に戻り、次の閾値設定の対象となるラインについて同様に閾値を設定し、第２の閾値メモリ７Ｂに格納する。この間に第１の閾値メモリ７Ａの閾値とＡ／Ｄコンバータ３の出力をコンパレータ４で比較して、欠陥の有無を検出する。
【００２４】
次のサイクルで、再びステップＳ１に戻り、ステップＳ４までの工程を経て閾値を設定して、第１の閾値メモリ７Ａに上書きし、その間に第２の閾値メモリ７Ｂに格納されている閾値を用いて欠陥の有無を検出する。
閾値メモリ７Ａおよび７Ｂはそれぞれ、８ビット／画素のメモリである。閾値メモリが一つだけの場合、１サイクルの中で、取り込んだ多値画像データを閾値の設定及び欠陥検査の対象となるデータとして用いなければならない。ところがこの場合、１ラインの検査を行う度に閾値の設定が終わるのを待たなければならず、迅速な検査を行うことができない。本実施形態においては上記のように一方のメモリに閾値を書き込んでいる間に他方のメモリでは２値化処理を行うという動作を交互に行うことにより、連続的かつ迅速な検査を行うことができる。なお、閾値メモリを二つ用いる場合、各ラインの画像データに対応する閾値は読み込みが行われたサイクルで閾値メモリに書き込まれ、次のサイクルで読み出される。従って、各ラインの画像データを二値化処理する際には、次のサイクルで読み出される閾値を用いる。また、必ずしもラインＣＣＤカメラのスキャンごとに１サイクルの工程を行うわけではなく、数回のスキャンにつき１サイクルの工程を行えばよい。
【００２５】
図３の（ｄ）は次のサイクルで読み出される閾値メモリ７Ａの明欠陥検出用閾値とＡ／Ｄコンバータ３の出力とをコンパレータ４により比較して得られたデータを示している。明欠陥アに対応するＡ／Ｄコンバータ３の出力値は閾値メモリ７Ａに格納されている閾値よりも大きいので、コンパレータ４の出力は“１”レベルとなり、明欠陥ア以外の検査領域ではコンパレータ４の出力は“０”レベルとなる。なお次のサイクルでは、閾値メモリ７Ｂに新たな明欠陥検出用閾値が格納される。
【００２６】
図３の（ｅ）は同じく次のサイクルで読み出される閾値メモリ７Ａの暗欠陥検出用閾値とＡ／Ｄコンバータ３の出力とをコンパレータ４により比較して得られたデータを示している。暗欠陥イに対応するＡ／Ｄコンバータ３の出力値は閾値メモリ７Ａに格納されている閾値よりも小さいので、コンパレータ４の出力は“１”レベルとなり、暗欠陥イ以外の検査領域ではコンパレータ４の出力は“０”レベルとなる。なお次のサイクルでは、閾値メモリ７Ｂに新たな暗欠陥検出用閾値が格納される。
【００２７】
Ａ／Ｄコンバータ３から出力されるディジタルデータは、ラインＣＣＤカメラ１の素子毎に、コンパレータ４において、第１閾値メモリ７Ａ又は第２閾値メモリ７Ｂに格納されている閾値と比較されて、２値化データとしてコンパレータ４から出力される。画素単位で閾値を決定しているので、コンパレータ４は、ラインＣＣＤカメラ１の素子間のバラツキや照明ムラやレンズの歪みを吸収した、各素子毎の出力信号を２値化することができる。
【００２８】
コンパレータ４から出力された２値化データは、“０”から“１”あるいは“１”から“０”への変化点アドレスを得るためのランレングス符号化回路５によりランレングス符号化され、第１および第２のランレングスバッファ８Ａおよび８Ｂに記憶される。各ランレングスバッファ８Ａおよび８Ｂに記憶されたランレングス符号は、交互にＣＰＵ１０により連結性処理を実行する。ここで、連結性処理とは、複数の連続する走査ラインにおけるデータをライン間で比較しつつ処理することをいう。この連結性処理を行うことによって、検査対象物の欠陥を認識し、形態的特徴を測定できる。
【００２９】
検査条件や検査結果などのデータは入出力インターフェース（Ｉ／Ｏ）１１を経由してホストコンピュータ１２に転送される。ホストコンピュータ１２では、検査条件が設定されたり、検査結果が表示される。
閾値メモリ７Ａおよび７Ｂには、上記明欠陥検出用閾値および暗欠陥検出用閾値に加えて、図３の（ｃ）に示すように、明欠陥検出における濃淡を判別する明欠陥濃淡検出用閾値および暗欠陥検出における濃淡を判別する暗欠陥濃淡検出用閾値を格納してもよい。
【００３０】
なお、濃淡検出用閾値は、欠陥検出用閾値よりも大きい値又は小さい値に設定する。例えば明欠陥であって、濃い欠陥（明るい欠陥）を検出する場合には、濃淡検出用閾値として明欠陥検出用閾値よりも大きい値を用いる。
図４は本発明の第二の実施の形態を説明するための図である。
図４（ａ）は検査対象物とラインＣＣＤカメラの読み取り位置を示す。検査対象物としては、検査領域である蒸着部分が幅方向に交互に複数存在しており、反射率が低い領域Ａ１  及びＡ２  と反射率が高い領域Ｂ１  及びＢ２  とが交互にそれぞれ複数存在する蒸着フィルムの例が示されている。ラインＣＣＤカメラ１の視野は、図３と同様に検査対象物の蛇行を考慮して、（検査対象領域Ａ１  、Ｂ１  、Ａ２  及びＢ２  の幅の合計＋最大蛇行量）よりも広い範囲に設定している。また、ラインＣＣＤカメラ１の読み取り位置は図示のように検査対象物の幅方向に平行な位置ＲＡ  およびＲＢ  である。
【００３１】
図４の（ｂ）は図４の（ａ）における読み取り位置ＲＡ  で読み取ったときの１行分のラインＣＣＤカメラ１の出力をＡ／Ｄコンバータ４により変換したディジタル信号波形と、閾値メモリ７Ａ又は７Ｂに格納されている閾値とを示している。
図示のように、ラインＣＣＤカメラ１の出力は、検査領域Ａ１  （又はＡ２  ）からの出力＜非検査領域からの出力＜検査領域Ｂ１  （又はＢ２  ）からの出力、となっている。
【００３２】
第１の実施形態と同様に、第１の閾値メモリ７Ａと第２の閾値メモリ７Ｂが交互に閾値格納と閾値読み出し用に使用される。
非検査領域と検査領域Ａ１  との境界のエッジ座標はＥ１  であり、検査領域Ａ１  とＢ１  との境界のエッジ座標はＥ２  であり、検査領域Ｂ１  とＡ２  の境界のエッジ座標はＥ３  であり、検査領域Ａ２  とＢ２  の境界のエッジ座標はＥ４  であり、検査領域Ｂ２  と非検査領域の境界のエッジ座標はＥ５  である。
【００３３】
閾値境界座標は図示のようにＥ’１  〜Ｅ’４  となっていてエッジ座標Ｅ１  〜Ｅ４  からシフトされており、第２の閾値メモリ７Ｂに格納される閾値境界座標も図示のようにＥ’’１  〜Ｅ’’４  となっていてエッジ座標Ｅ１  〜Ｅ４  からシフトされている。なおエッジ座標から閾値境界座標を算出する方法は第一の実施形態において説明した方法と同様である。
【００３４】
図４の（ｃ）は、図４の（ａ）のラインＣＣＤカメラ１の読み取り位置ＲＢ  で読み取ったときの１行分のラインＣＣＤカメラ１の波形と、閾値メモリ７Ａ又は７Ｂに格納される閾値を示している。
図４の（ａ）のラインＣＣＤカメラ１の読み取り位置がＲＡ  からＲＢ  に蛇行した分、あるいは、検査領域の幅が変動した分、閾値メモリ７Ａおよび７Ｂのエッジ座標を変化させている。
【００３５】
図４の場合においても、図３と同様に明欠陥濃淡検出用閾値および暗欠陥濃淡検出用閾値を採用してもよい。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の欠陥検査装置用蛇行追従装置は、検査対象物が幅方向に複数の検査領域に分割され、かつ複数の検査領域が異なる反射率あるいは透過率を有していても、検査対象物の蛇行に自動追従して検査範囲を調整することが可能である。さらに、複数の検査領域の幅が変動しても、自動追従して検査範囲を調整することが可能である。本発明の欠陥検査装置は上記のような検査対象であっても高精度な欠陥検査が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による欠陥検査装置用蛇行追従装置を示すブロック図である。
【図２】図１に示した装置における処理手順を示すフローチャートである。
【図３】図１に示した装置における本発明の第一の実施形態を説明するための図である。
【図４】図１に示した装置における本発明の第二の実施形態を説明するための図である。
【符号の説明】
１…ラインＣＣＤカメラ
２…画像処理装置
３…Ａ／Ｄコンバータ
４…コンパレータ
５…ランレングス符号化回路
６…基準値メモリ
７Ａ…第１閾値メモリ
７Ｂ…第２閾値メモリ
８Ａ…第１ランレングスバッファ
８Ｂ…第２ランレングスバッファ
９…ＲＡＭ
１０…ＣＰＵ
１１…Ｉ／Ｏインターフェース
１２…ホストコンピュータ
【図１】
0003608923.tif 000002
【図２】
0003608923.tif 000003
【図３】
0003608923.tif 000004
【図４】
0003608923.tif 000005