(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に開口部を有し、負圧が付与された時に電子部品を吸着する吸着ヘッドと、
孔部を備え、前記吸着ヘッドの開口部を通して給排気される気体を貫通させる導管部及び、先端部に前記吸着ヘッドに挿入される押さえ部を有する押さえ中心棒と、
前記吸着ヘッドと前記押さえ中心棒相互間に反発力を与えるコイルスプリングと、
前記吸着ヘッドと前記押さえ中心棒間に配置されるリンクレバーを有し、
前記押さえ中心棒にコイルスプリングの前記反発力に抗して押し下げる力を与える時、前記リンクレバーにより前記吸着ヘッドを上方に押し上げて、前記押さえ中心棒の押さえ部を前記吸着ヘッドから突き出させる様に構成された
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記押さえ中心棒の押さえ部の少なくとも先端部が絶縁体で構成されていることを特徴とする吸着装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記押さえ中心棒の押さえ部の少なくとも先端部が球面の一部を成す形状であることを特徴とする吸着装置。
【請求項４】
請求項１において、
さらに、前記吸着ヘッドと一体に結合され、一部に切り欠きを有し、前記リンクレバーが収容される切り欠きを有するガイド部と、前記押さえ中心棒と一体に結合され、前記ガイド部の切り欠きに収容される前記リンクレバーを押さえる押さえ部材を有し、
前記リンクレバーは、支点部と二つの腕部を有し、前記二つの腕部の一方が前記ガイド部の切り欠きに接し、他方が前記押さえ部材に接している
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項５】
回転する円盤と、
前記回転する円盤の円周に沿って配置された複数の吸着装置と、
前記複数の吸着装置を前記円盤の円周上の複数の所定位置で位置決めする機構と、
前記吸着装置を前記回転する円盤に取り付けるとともに、前記複数の所定位置で前記複数の吸着装置に対して下方向に向かう力を付与する支持機構を有し、
前記複数の所定位置の少なくとも一の所定位置で、前記下方向に向かう力によって、前記吸着装置に吸着保持された電子部品の端子を測定治具の電極に接触させて前記電子部品の試験を可能とし、さらに前記吸着装置は、
先端に開口部を有し、負圧が付与された時に電子部品を吸着する吸着ヘッドと、
孔部を備え、前記吸着ヘッドの開口部を通して給排気される気体を貫通させる導管部及び、先端部に前記吸着ヘッドに挿入される押さえ部を有する押さえ中心棒と、
前記吸着ヘッドと前記押さえ中心棒相互間に反発力を与えるコイルスプリングと、
前記吸着ヘッドと前記押さえ中心棒間に配置されるリンクレバーを有し、
前記押さえ中心棒にコイルスプリングの前記反発力に抗して押し下げる力を与える時、前記リンクレバーにより前記吸着ヘッドを上方に押し上げて、前記押さえ中心棒の押さえ部を前記吸着ヘッドから突き出させる様に構成されている
ことを特徴とする電子部品の試験装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記吸着装置における押さえ中心棒の押さえ部の少なくとも先端部が絶縁体で構成されていることを特徴とする電子部品の試験装置。
【請求項７】
請求項５において、
前記吸着装置における前記押さえ中心棒の押さえ部の少なくとも先端部が球面の一部を成す形状であることを特徴とする電子部品の試験装置。
【請求項８】
請求項５において、
さらに、前記吸着装置における前記吸着ヘッドと一体に結合され、一部に切り欠きを有し、前記リンクレバーが収容される切り欠きを有するガイド部と、前記押さえ中心棒と一体に結合され、前記ガイド部の切り欠きに収容される前記リンクレバーを押さえる押さえ部材を有し、
前記リンクレバーは、支点部と二つの腕部を有し、前記二つの腕部の一方が前記ガイド部の切り欠きに接し、他方が前記押さえ部材に接している
ことを特徴とする電子部品の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、電子部品の吸着、搬送及び所定治具への供給を行う為の電子部品吸着装置及び、これを用いた電子部品の試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の製造過程における電子部品の試験装置において、電子部品を試験装置の所定位置に移送し、測定治具に位置づけるために電子部品吸着装置が用いられている。
【０００３】
図１は、従来の電子部品吸着装置の一例の概念構成を示す図である。図１Ａにおいて、電子部品吸着装置は先端に気体を吸排気する吸排気孔を有するノズル状の吸着ヘッド１０を形成している。他端側にホース１１が繋がれ、図示しないポンプにより吸着ヘッド１０の先端部における吸引負圧が調整される。
【０００４】
吸着ヘッド１０の材質はセラミック、金属、樹脂等が使用されている。吸着ヘッド１０の先端形状は非吸着物である電子部品の断面形状に対応して丸形、方形等がある。
【０００５】
吸着ヘッド１０の吸排気孔に負圧を作用させることで、吸着ヘッド１０で電子部品を吸着することができる。そして、電子部品を吸着した状態で電子部品吸着装置に対して相対的に測定治具を移動させることにより、電子部品を所定の測定治具に位置づけることが可能である。
【０００６】
さらに、測定治具に位置づけられた電子部品は、所定の圧力で測定治具の電極に接触して所定の測定試験が行われる。測定試験は吸着ヘッド１０に電子部品を吸着したまま、吸着ヘッド１０を測定治具側に押し付けた状態で行う。測定後は吸引負圧を解除し、正圧を作用させることで吸着ヘッド１０から電子部品を離すことができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、上記従来の吸着ヘッド１０においては、位置合わせ精度、吸着ヘッド１０の摩耗、あるいは電子部品の形状バラツキ等により測定時に電子部品端子と測定治具端子の接触不良を起こす場合がある。図１Ｂ及び図１Ｃはかかる状態を説明する図である。
【０００８】
図１Ｂにおいて、吸着ヘッド１０に負圧力を与え被吸着物である電子部品Ｗを吸引している。そして、電子部品吸着装置の位置あわせが正確に垂直に測定治具に向けられる場合は、図示しない測定治具の測定電極と電子部品Ｗの端子電極とが正しく接触し、測定が可能になる。
【０００９】
しかし、図１Ｃに示すように電子部品吸着装置の角度ずれが生じた場合には、電子部品Ｗの端子電極と測定治具の測定電極とが正しく接触することが困難になり、測定不能となる。
【００１０】
したがって、本発明の目的は、上記のような接触不良をなくし、電子部品端子と測定治具電極との接触を確実にして、電子部品の測定の信頼性を高めることを可能とする電子部品の吸着装置及び、これを用いた電子部品の試験装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の本発明の課題を解決する本発明の電子部品の吸着装置は、第１の態様は、先端に開口部を有し、負圧が付与された時に電子部品を吸着する吸着ヘッドと、
孔部を備え、前記吸着ヘッドの開口部を通して給排気される気体を貫通させる導管部及び、先端部に前記吸着ヘッドに挿入される押さえ部を有する押さえ中心棒と、
前記吸着ヘッドと前記押さえ中心棒相互間に反発力を与えるコイルスプリングと、
前記吸着ヘッドと前記押さえ中心棒間に配置されるリンクレバーを有し、前記押さえ中心棒にコイルスプリングの前記反発力に抗して押し下げる力を与える時、前記リンクレバーにより前記吸着ヘッドを上方に押し上げて、前記押さえ中心棒の押さえ部を前記吸着ヘッドから突き出させる様に構成されたことを特徴とする。
【００１２】
さらに、上記の本発明の課題を解決する本発明の電子部品の吸着装置は、第２の態様は、前記第１の態様において、前記押さえ中心棒の押さえ部の少なくとも先端部が絶縁体で構成されていることを特徴とする。
【００１３】
また、上記の本発明の課題を解決する本発明の電子部品の吸着装置は、第３の態様は、前記第１の態様において、前記押さえ中心棒の押さえ部の少なくとも先端部が球面の一部を成す形状であることを特徴とする。
【００１４】
さらにまた、上記の本発明の課題を解決する本発明の電子部品の吸着装置は、第４の態様は、前記第１の態様において、前記吸着ヘッドと一体に結合され、一部に切り欠きを有し、前記リンクレバーが収容される切り欠きを有するガイド部と、前記押さえ中心棒と一体に結合され、前記ガイド部の切り欠きに収容される前記リンクレバーを押さえる押さえ部材を有し、前記リンクレバーは、支点部と二つの腕部を有し、前記二つの腕部の一方が前記ガイド部の切り欠きに接し、他方が前記押さえ部材に接していることを特徴とする。
【００１５】
本発明の特徴は、図面に従い以下に説明される発明の実施の形態例から更に明らかになる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態例を図面を参照して以下に説明するが、図面に示される実施の形態例は本発明の説明のためのものであって本発明の適用は、かかる実施の形態に限定されるものではない。
【００１７】
図２、図３は、本発明に従う電子部品の吸着装置の一実施例構成を説明する図であり、図２はその内部構造を、図３は外観構造を示している。
【００１８】
図２において、図２Ａは内部構造の構成部品を分解して示している。また、図２Ｂはそれらを組み立てた状態を示している。内部構造は、図示しないポンプに接続される吸着ホースの接続部２−１と、気体を吸排気する孔部２−２を通して気体が中心を貫通するように形成され、先端に押さえ部２−３を有する押さえ中心棒２と、押さえ中心棒２が挿入される吸着ヘッド７及び、吸着ヘッド７のガイド部３を有する。
【００１９】
吸着ヘッド７は開口部を有し、吸着ホースを通して吸排気されることにより開口部が負圧となり、あるいは正圧となり電子部品の吸着及び解放が可能である。
【００２０】
なお、図２Ａにおいて、吸着ヘッド７及び、吸着ヘッド７のガイド部３の右側は、断面状態を示している。これらの部材は、吸着ホースの接続部２−１と押さえ中心棒２との間に第１のコイルスプリング５を、ガイド部３内に収容される、押さえ中心棒２と吸着ヘッド７との間に第２のコイルスプリング８を挿入して図２Ｂに示すように組立てられている。
【００２１】
なお、図２Ｂは、図２Ａの部材を組立てた状態の右側面を表している。この組立て状態において、ホルダー部２−４をネジ２−５により押さえ中心棒２に結合し、ガイド部３の切り欠き部３−１において、リンクレバー６をホルダー部２−４の先端Ｌ部により挟む様に構成している。
【００２２】
図３において、更に外観構造を説明する。図３Ａは吸着装置の外観斜視図であり、理解を容易とするべく一部右側部材（破線で示される）を取り除いて示されている。図３Ｂは図３Ａの斜視図の左前方から見た側面図であり、図３Ｂは図３Ａの斜視図の右前方から見た側面図である。
【００２３】
吸着装置は、図２に示した吸着ホースの接続部２−１，押さえ中心棒２，ガイド部３、吸着ヘッド７を、第１のコイルスプリング５及び第２のコイルスプリング８を介して一体にした内部構造を、左右に一対のベース部１で挟み、更に一対のベース部１を、カバー板４−１，４−２、４−３をネジ止めして支持している。
【００２４】
さらに、ホルダー部２−４とガイド部３の切り欠き部３−１により保持されるリンクレバー６は、リンクレバー押さえ板４で支持されている。リンクレバー押さえ板４には、リンクレバー６の突起部を逃がす切り欠き部４−４を有している。
【００２５】
このリンクレバー押さえ板４で支持されるリンクレバー６は、図３Ｃに円で囲った部分に示されるように、ホルダー部２−４の先端Ｌ部と接触する点を支点Ｓとし、リンクレバー６の突起部がリンクレバー押さえ板４の切り欠き部４−４に接する点に力Ｆ１が、ガイド部３の切り欠き部３−１に接する点に力Ｆ２が付与される。
【００２６】
図４及び、図５は、上記の図２及び図３に示す構造を有する吸着装置の動作を説明する図である。
【００２７】
理解を容易とするために、図４は吸着装置の外観における動きを、図５は図２に示した内部構造の動きを示している。さらに、図４Ａ→図４Ｂ→図４Ｃの動きと図５Ａ→図５Ｂ→図５Ｃの動きは同期して示されている。
【００２８】
図４Ａ及び図５Ａは、電子部品Ｗが吸着部７の先端に吸着された状態を示している。この状態では、第２のコイルスプリング８により、ガイド部３が下方に押下げられた状態であり、従って押さえ中心棒２は、ガイド部３の内側に収容されている。
【００２９】
さらに、測定の際は、図４Ｂ、図５Ｂに示すように吸着装置が下がり、吸着された電子部品Ｗの端子が図示しない測定治具の電極に接する状態になる。さらに吸着装置が下がると、リンクレバー押さえ板４の切り欠き部４−４に接する点のＦ１の力で、リンクレバー６の突起部が支点Ｓを中心に押し下げられる状態となる。
この様子が図６に拡大図として示される。図６Ａは、図４Ａ、図５Ａの様態におけるリンクレバー６の状態であり、リンクレバー押さえ板４の切り欠き部４−４に接する点の力Ｆ１とガイド部３の切り欠き部に接する点の力Ｆ２が均衡している状態である。
【００３０】
これに対し、図６Ｂの状態は、図４Ｂ、図５Ｂの状態に対応し、リンクレバー押さえ板４の切り欠き部４−４に接する点の下向きの力Ｆ１でリンクレバー６の突起を押し下げ、リンクレバー６を支点Ｓを中心に回動させる。したがって、ガイド部３の切り欠き部に接する点の上向きの力Ｆ２でガイド部３を押し上げる状態となる。これにより、押さえ中心棒２の先端部２−３が吸着部７から下方に突き出る状態となる。
【００３１】
さらに、図４Ｃ，図５Ｃの状態は、測定を終わり吸着装置が引き上げられる状態である。この時、コイルスプリング８の反発弾性により、押さえ板４の切り欠き部４−４に接する点の下向きの力Ｆ１はなくなり、図４Ａ、図５Ａと同様の状態に戻る。
【００３２】
図７は、図５Ｂの円で囲った部位の拡大図である。吸着部７から押さえ中心棒２の先端部２−３が下方に突き出て、被測定対象である電子部品Ｗを図示しない測定治具に押し付けることが可能である。
【００３３】
さらに、図８Ａ、図８Ｂは、本発明の吸着装置による効果を示す図である。図５Ｂの押さえ中心棒２の先端部２−３が突起状である。したがって、本発明においては図８Ａに示すように正確に吸着装置が測定治具に位置づけられている状態と同様に、吸着装置の測定治具に対してヘッド中心角度ズレが生じても（図８Ｂ参照）、被測定対象である電子部品Ｗを下方に押しつけることが可能である。
【００３４】
これにより、押さえ中心棒２の先端部２−３で、被測定対象である電子部品Ｗの端子と測定治具の電極を正しく接触させ、測定を可能にできる。すなわち、押さえ中心棒２の先端部２−３により電子部品を押圧する圧力を等分にして、電気的接触性の向上により良好な測定精度を得ることができる。
【００３５】
また押さえ中心棒２の先端部２−３は、絶縁材料を使用して形成することにより、高周波電子部品の特性試験において悪影響を与えないで特性試験を行うことができる。
【００３６】
さらに、押さえ中心棒２の先端部２−３の径は、実施例として、吸着ヘッド７の開口部がφ２ｍｍに対し、φ１．５ｍｍであり、小さな電子部品に対しても的確に測定治具に正しく位置決めすることができる。
【００３７】
さらに、本発明の吸着装置の上記機構においては複雑な制御がなく、吸着負圧及び装置の上下運動だけで、電子部品の吸着、搬送及び試験を行うことができる。
【００３８】
図９は、先に説明した本発明の吸着装置を用いた電子部品の試験装置を説明する図である。
【００３９】
図９において、図９Ａは、試験装置の回転機構の主要部を斜め前方上方から観察した図である。基台４０に回転可能に支柱３３が取り付けられ、歯車３２に図示しない動力が与えられる。したがって、支柱３３に繋がる円盤３０が回転する構造であり、円盤３０の周囲に複数の本発明の吸着装置２０1〜２０6が配置される。
【００４０】
図９Ｂは、円盤３０と、その周囲に配置された吸着装置の関係を示す断面図である。吸着装置２０1〜２０6は、縦支持部材２１の下方に取り付けられ、連結部材２３を介して横支持部材２４により円盤３０に取り付けられる。
【００４１】
縦支持部材２１と連結部材２３には、スプリング２２のそれぞれの一端が接続され、スプリング２２により縦支持部材２１が下方に、従って縦支持部材２１に取り付けられた吸着装置２０1〜２０6が常に下方に押し下げられる力が働いている。
【００４２】
一方、吸着装置２０1〜２０6を下部に取り付けた縦支持部材２１の上部には、円盤３０上部に配置される位置決め部材３１（図９Ａで図示省略されている）の上面を滑る部材２５が取り付けられている。
【００４３】
位置決め部材３１は、固定された円盤状の板であり、後に説明する試験装置の所定位置で吸着部材をスプリング２２により下方に押し下げるためのものである。したがって、図９Ｂにおいて、所定位置では、吸着装置２０1〜２０6の上部の部材２５が位置決め部材３１の上面から外れるように位置決め部材３１に切り欠きが設けられている。
【００４４】
図１０は、前記の位置決め部材３１によって決められる吸着装置が押し下げられる所定位置を一例として示している。
【００４５】
図１０において、先ずＳＴＡＲＴ位置に電子部品が供給されると、吸着装置により電子部品が吸着ヘッド７に吸着される。吸着装置は電子部品を吸着したまま回転移動しＡの位置で吸着ヘッド７に電子部品が吸着されているか否かが検知される。電子部品が吸着されていない場合は、吸着失敗と判断される。
【００４６】
ついで、位置Ｂに移動すると、電子部品は吸着ヘッドから非吸着状態とされ、回転台に乗せられ、所定の方向を向くように回転制御される。
【００４７】
所定の方向に位置決めされると、吸着装置により吸着され位置Ｃまで移動される。ここで、図４、図５で説明したように、測定治具の電極に電子部品の端子が接触され、所定の第１の測定試験が行われる。第１の測定試験が終わると、さらに、位置Ｄに移動し、同様に所定の第２の測定が行われる。
【００４８】
位置Ｅでは、測定結果に応じて不良の電子部品が排出される。さらに、位置Ｆで不良の電子部品が排出されているか否かを検知する。
【００４９】
次いで、ＥＮＤ位置まで回転移動され、良品として電子部品が排出される。
【００５０】
【発明の効果】
以上図面に従い、本発明の実施の形態例を詳述した様に、本発明により電子部品を測定する際に所定位置まで電子部品を移動するための吸着装置が提供される。さらに、電子部品端子と測定治具電極との接触を確実にして、電子部品の測定の信頼性を高めることを可能とする電子部品の吸着装置及び、これを用いた電子部品の試験装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の電子部品吸着装置の一例の概念構成を示す図である。
【図２】本発明に従う電子部品の吸着装置の一実施例構成の内部構造を示す図である。
【図３】本発明に従う電子部品の吸着装置の一実施例構成の外観構造を示す図である。
【図４】吸着装置の外観における動きを示す図である。
【図５】吸着装置内部構造の動きを示す図である。
【図６】リンクレバー６の突起部が支点Ｓを中心に押し下げられる状態の拡大図を示す図である。
【図７】図５Ｂの円で囲った部位の拡大図である。
【図８】本発明の吸着装置による効果を示す図である。
【図９】本発明の吸着装置を用いた電子部品の試験装置を説明する図である。
【図１０】位置決め部材３１によって決められる吸着装置が押し下げられる所定位置を一例として示す図である。
【符号の説明】
１  吸着装置のベ−ス部
２  吸着装置押え中心棒
２−１  吸着ホ−スの接続部
２−２  孔部
２−３  押さえ部
２−４  ホルダー部
２−５  ネジ
３  吸着ヘッド７のガイド部
３−１  ガイド部３の切り欠き部
４  リンクレバー押さえ板
４−１〜４−３  カバー板
５  第１のコイルスプリング
６  リンクレバー
７  吸着ヘッド
８  第２のコイルスプリング
【図１】
0003717834.tif 000002
【図２】
0003717834.tif 000003
【図３】
0003717834.tif 000004
【図４】
0003717834.tif 000005
【図５】
0003717834.tif 000006
【図６】
0003717834.tif 000007
【図７】
0003717834.tif 000008
【図８】
0003717834.tif 000009
【図９】
0003717834.tif 000010
【図１０】
0003717834.tif 000011