(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板と第２の基板が所定の間隙を隔てて貼り合わされたパネルを用いた液晶表示装置の製造方法において、
前記パネルに対する洗浄工程では、
当該パネルを浸漬洗浄室内の洗浄液に浸漬した状態で当該浸漬洗浄室内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返す浸漬洗浄を行い、
前記浸漬洗浄を行った後、前記浸漬洗浄室に隣接する処理室内に前記パネルを移動させて、前記パネルに対して蒸気洗浄を行ない、
前記蒸気洗浄は、前記浸漬洗浄室内及び前記処理室内を減圧することで、前記浸漬洗浄室内に貯留されている洗浄液から蒸気を発生させて行う
ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、前記浸漬洗浄では、前記パネルを複数枚、重ねた状態で前記洗浄液に浸漬することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２において、前記浸漬洗浄では、前記洗浄液に超音波振動を印加する超音波洗浄を行うことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
請求項３において、前記超音波洗浄は、前記洗浄液を冷却した状態で行うことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１または２において、前記浸漬洗浄では、前記パネルを前記洗浄液中で上下に揺動させることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかにおいて、前記パネルに蒸気洗浄を行なった後、前記浸漬洗浄室にシャッターを介して隣接する処理室内で前記パネルに減圧乾燥を施すことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかにおいて、前記洗浄液は、炭化水素系洗浄液であることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、第１の基板と第２の基板とが所定の間隙を隔てて貼り合わされたパネルを用いた液晶表示装置の製造方法に関するものである。さらに詳しくは、液晶表示装置に用いるパネルに対する洗浄技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置に用いる液晶パネルは、図１に示すように、透明な薄いガラスなどによって形成された第１の透明基板１０と、同じく透明な薄いガラスによって形成された第２の透明基板２０とを有している。これらの透明基板の一方にはシール剤３０が形成され、このシール剤３０を挟んで第１の透明基板１０と第２の透明基板２０とが接着固定されている。第１の透明基板１０と第２の透明基板２０との間隙３１のうち、シール剤３０で区画形成された液晶封入領域３００内には液晶が封入されている。セルギャップは第１の透明基板１０と第２の透明基板２０との間に挟まれたスペーサ３２によって規定されている。第１の透明基板１０および第２の透明基板２０の各内側表面には、ＩＴＯ膜（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）によって、横方向および縦方向に延びる複数のストライプ状電極１０５、２０５が形成され、これらのストライプ状電極１０５、２０５同士の各交差部分に画素が構成される。第２の透明基板２０は第１の透明基板１０よりも大きいので、第２の透明基板２０はその一部が第１の透明基板１０の下端縁から張り出しており、この張り出し部分の端部には端子２０６が配列して形成されている。ここで、端子２０６は、たとえば、第２の透明基板２０に形成されているストライプ状電極２０５がそのまま張り出し部分においても配線として延設されたものと、第１の透明基板１０に形成されているストライプ状電極１０５が導通剤（図示せず）によって第１の透明基板１０と第２の透明基板１０の両基板間での電気的接続が図られて張り出し部分において配線形成されたものとが配列されて接続に利用されている。すなわち、第１の透明基板１０のストライプ状電極１０５と第２の透明基板２０のストライプ状電極２０５は、配列されている端子２０６とそれぞれ電気的接続がなされている。端子２０６には外部回路との信号の授受を目的としてフレキシブル配線基板２などが異方性導電膜３などを介して電気的接続される。
【０００３】
このような構成の液晶パネル１を製造するにあたっては、まず、ストライプ状電極１０５、２０５などを形成し終えた第１および第２の透明基板１０、２０のうちの一方の基板上にスペーサ３２を散布するとともに、シール剤３０をシール印刷によって形成した後、このシール剤３０によって第１および第２の透明基板１０、２０を貼り合わせる。この状態で、シール剤３０は液晶注入口として部分的に途切れているので、シール剤３０で区画された領域内を減圧した後、シール剤３０の途切れ部分（液晶注入口）を液晶に浸漬すると、この領域内に液晶が注入される。液晶の注入が完了後、液晶注入口を封止剤で封止される。しかる後には、液晶パネル１を低沸点のフッ素系洗浄液を用いて洗浄し、第２の透明基板２０のストライプ状電極２０５の端部２０６に付着した液晶やパネル切断時に付着したガラス粉などの異物を除去した後、異方性導電膜などを用いてフレキシブル配線基板２などを電気的に接続する。
【０００４】
ここで、従来から広く用いられているフッ素系洗浄液は、沸点が低くて、かつ、洗浄能力が高いので、液晶パネル１などの洗浄に適している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、フッ素系洗浄液についてはオゾン層を破壊する原因となるため、その使用が制限、禁止される傾向にある。このため、従来から広く用いられているフッ素系洗浄液やその代替え洗浄液に代わって、炭化水素系の新たな洗浄液が提供されつつある。
【０００６】
しかしながら、炭化水素系洗浄液は、フッ素系洗浄液に比較して洗浄能力や浸透性が劣るため、パネルが重なっていると、重なり部分を十分に洗浄できないという問題点がある。また、炭化水素系洗浄液は、フッ素系洗浄液と違って引火性を有しているので、危険である。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、パネル同士の重なり部分についても十分に洗浄を行うことができる液晶表示装置の製造方法を提供することにある。
【０００８】
また、本発明の課題は、炭化水素系洗浄液のように引火性を有する洗浄液であっても安全に洗浄工程を行うことのできる液晶表示装置の製造方法を提供することにある。
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明では、第１の基板と第２の基板が所定の間隙を隔てて貼り合わされたパネルを用いた液晶表示装置の製造方法において、前記パネルに対する洗浄工程では、当該パネルを浸漬洗浄室内の洗浄液に浸漬した状態で当該浸漬洗浄室内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返す浸漬洗浄を行い、前記浸漬洗浄を行った後、前記浸漬洗浄室に隣接する処理室内に前記パネルを移動させて、前記パネルに対して蒸気洗浄を行ない、前記蒸気洗浄は、前記浸漬洗浄室内及び前記処理室内を減圧することで、前記浸漬洗浄室内に貯留されている洗浄液から蒸気を発生させて行うことを特徴とする。
【００１０】
本発明では、パネルを浸漬洗浄室内の洗浄液に浸漬した状態で浸漬洗浄室内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返すので、減圧時に気泡が成長して結合し大きな気泡となってパネル同士の重なり部分から出ていく。このため、パネル同士が重なっている場合でも、その隙間に洗浄液がスムーズに浸透していく。従って、フッ素系洗浄液と比較して洗浄能力や浸透性が劣る炭化水素系洗浄液であっても、パネルを効率よく、かつ、確実に洗浄することができる。それ故、浸漬洗浄においてパネルを複数枚、重ねた状態で洗浄することも可能である。よって、洗浄工程を効率よく行うことができるので、液晶表示装置を製造する際の生産性が向上する。
【００１１】
本発明において、前記浸漬洗浄では、前記洗浄液に超音波振動を印加する超音波洗浄を行うことが好ましい。
【００１２】
このような超音波洗浄を行う際には、前記洗浄液を冷却した状態で行うことが好ましい。このように構成すると、超音波の印加によって洗浄液が高温になりすぎて基板（パネル）が変形してしまうのを防止することができる。
【００１３】
本発明において、前記浸漬洗浄では、前記パネルを前記洗浄液中で上下に揺動させてもよい。
【００１４】
本発明において、前記パネルに蒸気洗浄を行なった後、前記浸漬洗浄室にシャッターを介して隣接する処理室内で前記パネルに減圧乾燥処理を施すことが好ましい。このように構成すると、洗浄液が外部に漏れないので、引火性のある炭化水素系洗浄液を用いたときでも安全である。また、処理室を減圧するための装置をシャッターが開いた状態で作動させることにより、この装置をそのまま用いて、浸漬処理室内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返すことができるとともに、浸漬処理室内の洗浄液から蒸気を効率よく発生させて蒸気洗浄を行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
添付図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
【００１７】
［全体構成］
図１および図２はそれぞれ、液晶表示装置に用いる液晶パネルの構成を示す縦断面図、および平面図である。
【００１８】
図１において、本形態の液晶表示装置用の液晶パネル１は、ガラス板からなる透明な薄い第１の透明基板１０と、同じくガラス板からなる透明な薄い第２の透明基板２０とを有している。これらの透明基板の一方にはシール剤３０が印刷等によって形成され、このシール剤３０を挟んで第１の透明基板１０と第２の透明基板２０とは、所定の間隙３１（セルギャップ）を隔てて接着固定されている。ここで、第１の透明基板１０と第２の透明基板２０とのセルギャップは、第１の透明基板１０と第２の透明基板２０との間に挟まれた多数のスペーサ３２によって規定されている。
【００１９】
図２に示すように、シール剤３０には、液晶を注入する際の液晶注入口３０１としての途切れ部分が形成され、この液晶注入口３０１は紫外線硬化樹脂からなる封止剤３０５で封止されている。
【００２０】
再び図１において、第１の透明基板１０と第２の透明基板２０との間隙３１のうち、シール剤３０で区画形成された液晶封入領域３００内には液晶４０が封入されている。第１の透明基板１０および第２の透明基板２０の各々の対向面に形成されたストライプ状電極１０５、２０５の双方には表面上に配向膜１０１、２０１が形成され、液晶４０をＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ  Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）方式で用いるようになっている。
【００２１】
第１の透明基板１０および第２の透明基板２０の各外側表面には偏光板１０２、２０２がそれぞれ貼られている。なお、液晶パネル１を反射型の液晶パネル１として構成する際には、第２の透明基板２０に貼られている偏光板２０２に対しては反射板２０３が貼られる。
【００２２】
第１の透明基板１０の内側表面には、たとえば、ＩＴＯ膜によって、横方向に延びる複数のストライプ状電極１０５が形成され、第２の透明基板２０の内側表面には、ＩＴＯ膜によって、縦方向に延びる複数のストライプ状電極２０５が形成されている。これらのストライプ状電極１０５、２０５同士の各交差部分に画素が構成される。第２の透明基板２０は第１の透明基板１０よりも大きいので、第２の透明基板２０はその一部が第１の透明基板１０の下端縁から張り出しており、この張り出し部分の端部に構成されている端子２０６には、異方性導電膜３などを介してフレキシブル配線基板２が接続される。ここで、端子２０６は、たとえば、第２の透明基板２０に形成されているストライプ状電極２０５がそのまま張り出し部分においても配線（延在）形成されたものと、第１の透明基板１０に形成されているストライプ状電極１０５が導通剤（図示せず）によって第１の透明基板１０と第２の透明基板１０の両基板間での電気的接続が図られて張り出し部分において配線形成されたものとが配列されて接続に利用されている。従って、フレキシブル配線基板２を介して外部回路から各種制御信号や電源等の駆動信号を入力すると、この駆動信号に基づいて希望する適宜のストライプ状電極１０５、２０５に電圧を印加することができる。それ故、各画素における液晶４０の配向状態を制御し、液晶パネル１に希望の画像を表示することができる。
【００２３】
このような液晶パネル１の製造方法（液晶表示装置の製造方法）を、図３を参照して説明する。
【００２４】
［液晶パネル１の製造方法］
図３は、液晶パネル１の製造方法を示す工程断面図である。
【００２５】
まず、ＩＴＯスパッタ工程ＳＴ１において、第１および第２の透明基板１０、２０を多数取りできるような大型基板に対してＩＴＯ膜５０１を連続的にスパッタ形成する。このＩＴＯスパッタ工程ＳＴ１以降、後述する切断工程までは、第１の透明基板１０および第２の透明基板２０は同一の工程を経て製造される。従って、図３に示すシール印刷工程までは、第１の透明基板１０を製造する工程のみを図示して説明し、第２の透明基板２０については図示および説明を省略する。
【００２６】
次に、大型基板に対して、フォトリソグラフィ工程ＳＴ２を行う。このフォトリソグラフィ工程ＳＴ２では、まず、大型基板に形成したＩＴＯ膜５０１の表面全体にレジスト５０２を塗布した後、フォトマスク５０３を用いての露光、現像を行って、レジストマスク５０４を形成する。次に、レジストマスク５０４をマスクとしてＩＴＯ膜５０１にエッチングを行って、ストライプ状電極１０５をそれぞれパターニング形成した後、レジストマスク５０４を剥離、除去する。
【００２７】
次に、配向膜印刷・焼成工程ＳＴ３において、大型基板の表面に配向膜１０１を形成する。
【００２８】
次に、ラビング工程ＳＴ４において、第１の透明基板１０に対してラビング処理を行う。
【００２９】
次に、シール印刷工程ＳＴ５において、第２の透明基板２０を形成する方の大型基板、あるいは第１の透明基板１０を形成する大型基板に対してシール剤３０を印刷する。このシール印刷工程ＳＴ５では、図２を参照して説明したように、シール剤３０の一部に途切れ部分を液晶注入口３０１として形成しておく。
【００３０】
次に、組立工程ＳＴ６では、第１の透明基板１０を形成するための大型基板の側、あるいは第２の透明基板２０を形成するための大型基板の側にスペーサ３２を散布した後、第１の透明基板１０を形成するための大型基板と、第２の透明基板２０を形成するための大型基板とをシール剤３０を介して貼り合わせる。
【００３１】
このようにして貼り合わせた大型のパネル１００を、短冊切断工程ＳＴ７において、短冊状に切断する。
【００３２】
この短冊切断工程ＳＴ７では、図４に示すように、後で分割されたときに液晶パネル１となる部分が短冊状に一列、繋がった状態になるので、その切断部分では、液晶パネル１となるいずれの部分も液晶注入口３０１がそれぞれ開口する状態となる。
【００３３】
次に、注入・封止工程ＳＴ８（液晶注入工程）において、短冊状のパネル１００の隙間（第１の透明基板１０と第２の透明基板２０との間の間隙３１）内に液晶を注入する。この注入・封止工程ＳＴ８では、パネル１００を液晶注入装置の処理室内の所定位置に入れる。次に、処理室内を真空引きし、第１の透明基板１０と第２の透明基板２０とによって挟まれた間隙３１内を真空にする。次に、液晶４０の貯留されている容器４１を上昇させ、液晶注入口３０１が容器４１内の液晶４０に浸かった状態とする。この状態で、処理室内を大気開放して真空状態を解除すると、第１の透明基板１０と第２の透明基板２０とによって挟まれた間隙３１内は真空状態のままなので、液晶４０は、液晶注入口３０１から間隙３１内に吸引されていく。
【００３４】
このようにして液晶４０の注入が終了した後は、図２を参照して説明したように、液晶注入口３０１を紫外線硬化樹脂からなる封止剤３０５で封止する。
【００３５】
再び、図３において、液晶の注入・封止工程ＳＴ８を終えた後は、短冊状のパネル１００に付着している液晶を洗浄する（洗浄工程ＳＴ９）。ここで行う洗浄については、図５ないし図７を参照して後述する。
【００３６】
次に、単品切断工程ＳＴ１０において、短冊状のパネル１００を単品の液晶パネル１として切断する。
【００３７】
次に、単品の液晶パネル１に付着しているガラス粉などを除去するために単品の液晶パネル１を洗浄する（洗浄工程ＳＴ１１）。ここで行う洗浄についても、図５ないし図７を参照して後述する。
【００３８】
次に、圧着工程ＳＴ１２において、第２の透明基板２０が第１の透明基板１０の下端縁から張り出している部分の端子に対して、異方性導電膜３などを介してフレキシブル配線基板２を電気的に接続する。
【００３９】
次に、偏光板貼付工程ＳＴ１３において、第１の透明基板１０および第２の透明基板２０の外側表面に偏光板１０２、２０２、および反射板２０３などの光学フィルムをそれぞれ貼り付ける。
【００４０】
しかる後には、最終検査工程ＳＴ１４において、フレキシブル配線基板２を介して所定の検査信号を供給し、各画素の全点灯、あるいは部分点灯などの検査を行う。
【００４１】
［洗浄工程ＳＴ９、ＳＴ１１の詳細説明］
図３を参照して説明した洗浄工程ＳＴ９、ＳＴ１１を、図５ないし図７を参照して説明する。図５は、この洗浄工程ＳＴ９、ＳＴ１１で液晶パネル１を取り扱う方法を示す説明図である。図６および図７はそれぞれ、これらの洗浄工程ＳＴ９、ＳＴ１１で用いた洗浄装置において浸漬洗浄を行っている様子を示す説明図、およびこの洗浄装置において減圧乾燥を行っている様子を示す説明図である。なお、本形態では、洗浄工程ＳＴ９、ＳＴ１１において短冊状のパネル１００を洗浄するのも、単品の液晶パネル１を洗浄するもの、基本的には同一の条件で行うので、以下の説明では、洗浄工程ＳＴ１１において単品の液晶パネル１を洗浄する例を説明し、洗浄工程ＳＴ９において短冊状のパネル１００を洗浄する例については、図示および説明を省略する。
【００４２】
図５において、本形態では、洗浄工程ＳＴ１１を行うにあたって、複数枚の液晶パネル１をホルダー６８０内でたとえば３列に横方向に重ねた状態で、ホルダー６８０を多段積みにし、洗浄籠６８５に入れる。このため、１つの洗浄籠６８５に２０００枚から５０００枚の液晶パネル１を入れることができ、一括して洗浄工程を行うことができる。但し、液晶パネル１同士の間には隙間がほとんどない。
【００４３】
このような状態にした液晶パネル１を一括して洗浄するには、図６に示す洗浄装置６００の下半部に形成されている浸漬洗浄室６１０のワーク台６２０上に浄籠６８５を置く。ここで、浸漬洗浄室６１０には、ノルマルデカンを主成分とする洗浄液（炭化水素系洗浄液）が貯留されているので、洗浄籠６８５を浸漬洗浄室６１０のワーク台６２０上に置いた状態で、洗浄籠６８５内の液晶パネル１は洗浄液に漬かる。
【００４４】
本形態の洗浄装置６００では、ワーク台６２０の下面側には、ワーク台６２０と一体の超音波発振器６２５が配置されている。また、ワーク台６２０は昇降機構（矢印Ａで示す。）に連結されており、昇降機構は、ワーク台６２０を超音波発振器６２５とともに上下に移動させることが可能である。さらに、浸漬洗浄室６１０に対しては、ここに貯留されている洗浄液の循環経路６１５が形成され、この循環経路６１５の途中位置には冷却器６１６が介挿されている。
【００４５】
本形態では、洗浄装置６００の上半部は、浸漬洗浄室６１０よりもひと回り小さな処理室６３０になっている。この処理室６３０内には、下方に向けて濯ぎ用の洗浄液を噴射するシャワーノズル６３１が配置されている。また、処理室６３０の壁面には、真空引き装置（矢印Ｂで示す。）に接続された排気口６３５が開口しており、この排気口６３５から処理室６３０内を真空引きすることが可能である。従って、図６に示す状態で排気口６３５から真空引きすると、浸漬洗浄室６１０の内部を減圧状態にすることが可能であり、かつ、排気口６３５から浸漬洗浄室６１０の内部に空気を導入すると、浸漬洗浄室６１０の内部を通常の大気圧の状態に戻すことも可能である。
【００４６】
このように構成した洗浄装置６００において、昇降機構がワーク台６２０を図６に示す位置から図７に示すように持ち上げたとき、ワーク台６２０はシャッターとして、下半部の浸漬処理室６１０と上半部の処理室６３０とを完全に仕切る。従って、この状態では、浸漬洗浄室６１０から洗浄液の蒸気が処理室６３０内に侵入することがなく、かつ、排気口６３５から真空引きすると、処理室６３０内を真空状態にすることが可能である。
【００４７】
このように構成した洗浄装置６００を用いて洗浄工程ＳＴ１１を行うには、まず、図５に示すように洗浄籠６８５に液晶パネル１を詰めた後、図６に示すように、この洗浄籠６８５を浸漬洗浄室６１０のワーク台６２０上に置き、液晶パネル１を洗浄液に浸漬する。
【００４８】
次に、排気口６３５からの真空引きと、空気の導入とを繰り返し、浸漬洗浄室６１０内を、１００Ｔｏｒｒ〜５０Ｔｏｒｒ(Torr/圧力単位)にまで減圧した状態と、ほぼ通常の大気圧に戻した状態とを繰り返す。
【００４９】
次に、浸漬洗浄室６１０内を略大気圧に戻した状態で、超音波発振器６２５を作動させて、洗浄液を介して液晶パネル１に超音波振動を与えながら、浸漬洗浄（超音波洗浄）を行なう。
【００５０】
そして、所定の時間が経過した後、超音波発振器６２５を停止させて、再度、排気口６３５からの真空引きと、空気の導入とを繰り返し、浸漬洗浄室６１０内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返す。
【００５１】
次に、再度、浸漬洗浄室６１０内を大気圧に戻した状態で、超音波発振器６２５を作動させて、洗浄液を介して液晶パネル１に超音波振動を与えながら、浸漬洗浄（超音波洗浄）を行なう。
【００５２】
このようなサイクルを必要に応じて所定の回数、繰り返して浸漬洗浄（超音波洗浄）を終える。
【００５３】
このようにして超音波洗浄を行う際に、本形態では、洗浄対象への影響や蒸発による洗浄液のロスが問題にならない範囲内で洗浄液をたとえば５０℃〜８０℃にまで加熱して汚れなどの粘度を低下させるとともに、洗浄液の浸透性を高めることにより洗浄能力を高める一方、冷却器６１６によって洗浄液を冷却して温度制御を行い、超音波によって洗浄液が過熱されるのを防止する。このような温度制御により、引火性を有する洗浄液であっても、引火点より１０℃位、低めの温度を保つことができる。
【００５４】
なお、超音波発振器６２５を作動させて液晶パネル１に超音波振動を与えながら、排気口６３５からの真空引きと、空気の導入とを繰り返し、浸漬洗浄室６１０内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返してもよい。
【００５５】
次に、昇降機構を作動させて、ワーク台６２０を図６に示す位置から図７に示す位置近くにまで持ち上げ、下半部の浸漬処理室６１０と上半部の処理室６３０とを完全には仕切らない状態で、まず、スプレーノズル６３１から洗浄液を液晶パネル１に噴射して第１回目の濯ぎ洗浄を行なう。
【００５６】
続いて、排気口６３５から真空引きを行なって浸漬洗浄室６１０および処理室６３０内を１００Ｔｏｒｒ〜５０Ｔｏｒｒの減圧状態にして、浸漬洗浄室６１０に貯留されている洗浄液から蒸気を発生させて液晶パネル１に蒸気洗浄（第２回目の濯ぎ洗浄）を行なう。この際に、浸漬洗浄室６１０内は減圧状態にあるので、洗浄液の沸点が高くても、洗浄液から蒸気を発生させやすい。
【００５７】
このようにして濯ぎ洗浄を終えた後は、ワーク台６２０を図７に示す位置にまで持ち上げ、ワーク台６２０をシャッターにして、下半部の浸漬処理室６１０と上半部の処理室６３０とを完全に仕切る。次に、排気口６３５から処理室６３０に対して真空引きを行なって処理室６３０内を２０Ｔｏｒｒ以下の減圧状態（真空状態）にして、液晶パネル１を真空乾燥させる。
【００５８】
そして、乾燥を終えた液晶パネル１を洗浄籠６８５とともに洗浄装置６００から取り出した後、別の液晶パネル１に対する洗浄を行なう。
【００５９】
このように、本形態に係る液晶パネル１の製造方法では、液晶パネル１を浸漬洗浄室６１０内の洗浄液に浸漬した状態で浸漬洗浄室６１０内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返すので、減圧時に気泡が成長して結合し、大きな気泡となって液晶パネル１同士の重なり部分から出ていく。このため、液晶パネル１同士が重なっている場合でも、その隙間に洗浄液がスムーズに浸透していく。従って、フッ素系洗浄液と比較して洗浄能力や浸透性が劣る炭化水素系洗浄液であっても、液晶パネル１を効率よく、かつ、確実に洗浄することができる。それ故、浸漬洗浄では、液晶パネル１を複数枚、隙間なく重ねた状態で洗浄液中で浸漬洗浄することができるので、洗浄工程を効率よく行うことができ、液晶パネル１を製造する際の生産性が向上する。
【００６０】
また、本形態では、洗浄液に浸漬した液晶パネル１に対して超音波振動を加えながらの浸漬洗浄（超音波洗浄）を行なう際には、冷却器６１６によって洗浄液を冷却し、超音波の印加によって洗浄液が高温になりすぎるのを防止する。従って、薄いガラス板からなる第１および第２の基板１０、２０（液晶パネル１）が変形してしまうのを防止することができる。それ故、液晶パネル１の基板間でスペーサ３２が移動して集中してしまうことに起因する表示品位の低下などが発生しない。
【００６１】
また、本形態では、浸漬洗浄を行った液晶パネル１に対して、浸漬洗浄室６１０にワーク台６２０（シャッター）を介して隣接する処理室６３０で液晶パネル１に濯ぎ洗浄および減圧乾燥処理を連続的に施すので、洗浄液が外部に漏れない。それ故、引火性のある炭化水素系洗浄液を用いたときでも安全である。また、処理室６３０を減圧するための真空引き装置をシャッターが開いた状態で作動させることにより、この真空引き装置をそのまま用いて、浸漬処理室６１０内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返すことができ、かつ、浸漬処理室６１０内の洗浄液から蒸気を発生させて蒸気洗浄を行うことができる。それ故、洗浄装置６００には、真空引き装置が１台で済むという利点がある。
【００６２】
また、減圧状態にした状態で浸漬処理室６１０内の洗浄液から蒸気を発生させるので、フッ素系洗浄液と比較して沸点が高い炭化水素系洗浄液であっても、蒸気洗浄を行いやすいという利点がある。
【００６３】
［その他の実施の形態］
なお、上記形態では液晶４０を封入した後の液晶パネル１を洗浄する例を説明したが、液晶４０を封入する前のパネルの洗浄に本発明に係る洗浄方法を適用してもよい。
【００６４】
また、浸漬洗浄室６１０で行なう洗浄方法として超音波洗浄の例を説明したが、昇降機構によって、液晶パネル１を乗せたワーク台６２０を上下に揺することにより、液晶パネル１を揺動しながら浸漬洗浄を行なってもよい。さらに、この揺動中も超音波発振器６２５を作動させて、揺動浸漬と超音波洗浄とを組み合わせてもよい。
【００６５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る液晶表示装置の製造方法では、パネルを浸漬洗浄室内の洗浄液に浸漬した状態で浸漬洗浄室内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返すので、気泡はパネル同士の重なり部分からスムーズに出ていく。このため、パネル同士が重なっている場合でも、その隙間に洗浄液がスムーズに浸透していくので、フッ素系洗浄液と比較して洗浄能力や浸透性が劣る炭化水素系洗浄液などであっても、パネルを効率よく、かつ、確実に洗浄することができる。それ故、浸漬洗浄においては、パネルを複数枚、重ねた状態で一括して洗浄することができるので、洗浄工程を効率よく行うことができ、液晶表示装置を製造する際の生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】液晶パネルの構成を示す縦断面図である。
【図２】図１に示す液晶パネルの平面図である。
【図３】本発明に係る液晶パネルの製造方法を示す工程断面図である。
【図４】図３に示す各工程のうち、液晶注入工程において基板間に液晶を注入する方法を示す説明図である。
【図５】図３に示す洗浄工程において液晶パネルを取り扱う方法を示す説明図である。
【図６】図３に示す洗浄工程で用いる洗浄装置において浸漬洗浄を行っている様子を示す説明図である。
【図７】図３に示す洗浄工程で用いる洗浄装置において減圧乾燥を行っている様子を示す説明図である。
【符号の説明】
１    液晶パネル（液晶表示装置）
２    フレキシブル配線基板
１０  第１の透明基板
２０  第２の透明基板
３０  シール剤
３１  間隙
３２  スペーサ
４０    液晶
１００  パネル
１０１、２０１  配向膜
１０２、２０２  偏光板
１０５、１０６  ストライプ状電極
３００  液晶封入領域
３０１  液晶注入口
３０５  封止剤
３０９  吸引口
６００    洗浄装置
６１０  浸漬洗浄室
６１５  循環経路
６１６  冷却器
６２０  ワーク台（シャッター）
６２５  超音波発振器
６３０  処理室
６３１  シャワーノズル
６３５  排気口
６８０  ホルダー
６８５  洗浄籠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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