(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板上に遮光層とＲ，Ｇ，Ｂの各着色画素とを有するカラーフィルタの製造方法であって、ガラス基板上にＲ，Ｇ，Ｂの各着色画素をそれぞれ転写装置によりパターン状に形成し、さらに隣り合う着色画素の境界部を覆い且つ隣り合う各着色画素の端部の上に重なるようにして前記遮光層を転写装置により形成するようにし、各転写装置として、支持フィルム上に着色材を形成してなる転写フィルムを使用し、その転写フィルムとガラス基板とを所定パターンの凸部を有する転写ローラとそれに対向する押圧ローラとの間で押圧して転写工程を行う型押し式の転写装置を使用することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
ガラス基板上にＲ，Ｇ，Ｂの着色画素のうちの１つを形成する第１の製造ユニットと、第１の製造ユニットで形成された着色画素以外の１つの着色画素をガラス基板上に形成する第２の製造ユニットと、第１及び第２の製造ユニットで形成されていない着色画素をガラス基板上に形成する第３の製造ユニットと、隣り合う着色画素の境界部を覆い且つ隣り合う各着色画素の端部の上に重なるように遮光層を形成する第４の製造ユニットと備え、第１〜第４の各製造ユニットは、それぞれ支持フィルム上に着色材を形成してなる転写フィルムを使用し、その転写フィルムとガラス基板とを所定パターンの凸部を有する転写ローラとそれに対向する押圧ローラとの間で押圧して転写工程を行う型押し式の転写装置で構成されていることを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
【請求項３】
ガラス基板上のアライメントマークを検出する検出カメラを備えた検出部と、検出カメラからの信号に基づいて着色画素又は遮光層を形成すべき位置を演算する演算制御部と、演算制御部での演算結果に基づいて基板の位置を調整する位置調整部とを、各製造ユニットの前に配設したことを特徴とする請求項２記載のカラーフィルタの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、ガラス基板上に遮光層及び異なる分光特性を有する複数色の着色画素を備えたカラーフィルタの製造方法及びその方法に用いる製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般にカラーフィルタの断面構造は図１２に示すようであり、図示のカラーフィルタは、ガラス基板ＧＢ上に遮光層としてブラックマトリクス１を形成した後、各ブラックマトリクス１の間にＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の各着色画素２をブラックマトリクス１と重なるようにパターン状に形成し、別の工程で着色画素２上に透明の保護膜３を必要に応じて形成し、さらに透明導電膜４を形成することで作製されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術で述べた構造のカラーフィルタを型押し式の転写装置で作製しようとする場合、図１３（ａ）に示すように、ブラックマトリクス１と着色画素２とが重なるところに空気が混入し、着色画素２がうまく転写できなかったり、透過光に悪影響がでたりする問題点があった。すなわち、図示のように空気層５があると白スジや色ムラが目で見えてしまうという欠陥が発生する。また、着色画素２を転写した後で、図１３（ｂ）に示すように、着色画素２の端がめくれ上がったりしてカラーフィルタがうまく形成できないという問題点もあった。これについては転写方式に限らず、着色画素をフォトリソグラフィ法で形成したカラーフィルタについても同じことが言える。
【０００４】
本発明は、上記の如き問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、品質の良いカラーフィルタを得るための製造方法を提供し、合わせてその製造方法に用いる製造装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明のカラーフィルタの製造方法は、ガラス基板上に遮光層とＲ，Ｇ，Ｂの各着色画素とを有するカラーフィルタの製造方法であって、ガラス基板上にＲ，Ｇ，Ｂの各着色画素をそれぞれ転写装置によりパターン状に形成し、さらに隣り合う着色画素の境界部を覆い且つ隣り合う各着色画素の端部の上に重なるようにして前記遮光層を転写装置により形成するようにし、各転写装置として、支持フィルム上に着色材を形成してなる転写フィルムを使用し、その転写フィルムとガラス基板とを所定パターンの凸部を有する転写ローラとそれに対向する押圧ローラとの間で押圧して転写工程を行う型押し式の転写装置を使用することを特徴とするものである。ここで、隣り合う着色画素の「境界部」とは、隣り合う着色画素同士が接している場合にはその境界線の部分を言い、隣り合う着色画素の間に間隙がある場合にはその間隙を言う。また、着色画素同士の境界が不明瞭で、フィルタとして用いられる領域以外の所で徐々に色が変わるような混在領域がある場合にはその混在領域を言う。
【０００６】
また、本発明のカラーフィルタの製造装置は、ガラス基板上にＲ，Ｇ，Ｂの着色画素のうちの１つを形成する第１の製造ユニットと、第１の製造ユニットで形成された着色画素以外の１つの着色画素をガラス基板上に形成する第２の製造ユニットと、第１及び第２の製造ユニットで形成されていない着色画素をガラス基板上に形成する第３の製造ユニットと、隣り合う着色画素の境界部を覆い且つ隣り合う各着色画素の端部の上に重なるように遮光層を形成する第４の製造ユニットと備え、第１〜第４の各製造ユニットは、それぞれ支持フィルム上に着色材を形成してなる転写フィルムを使用し、その転写フィルムとガラス基板とを所定パターンの凸部を有する転写ローラとそれに対向する押圧ローラとの間で押圧して転写工程を行う型押し式の転写装置で構成されていることを特徴とする。
【０００７】
そして、ガラス基板上の正確な位置に着色画素と遮光層とを形成するため、ガラス基板上のアライメントマークを検出する検出カメラを備えた検出部と、検出カメラからの信号に基づいて着色画素又は遮光層を形成すべき位置を演算する演算制御部と、演算制御部での演算結果に基づいて基板の位置を調整する位置調整部とを、各製造ユニットの前に配設するとよい。
【０００８】
【作用】
上述の構成からなる本発明のカラーフィルタの製造方法では、ガラス基板上にＲ，Ｇ，Ｂの各着色画素をそれぞれ型押し式の転写装置によりパターン状に形成し、隣り合うそれらの着色画素の境界部を覆い且つ隣り合う各着色画素の端部の上に重なるようにして遮光層を型押し式の転写装置により形成するようにしたので、遮光層と着色画素との間に空気が入ったり着色画素がめくれ上がったりするようなことがない。
【０００９】
また、上記構成の製造装置では、型押し式の転写装置で構成した第１〜第３の製造ユニットにより３色の着色画素を形成し、その後で同じく型押し式の転写装置で構成した第４の製造ユニットにより遮光層を形成するので、遮光層が着色画素の端部を押さえることとなり、着色画素のめくれ上がり等の問題を回避することができる。そして、位置調整部により基板の位置合わせを行ってから着色画素や遮光層を形成することで、基板上にこれらを位置精度よく形成することができる。
【００１０】
【実施例】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。
【００１１】
図１は本発明に係る製造方法で得られたカラーフィルタの断面構造図である。同図に示されるようにこのカラーフィルタでは、ガラス基板ＧＢ上にＲ，Ｇ，Ｂの各着色画素２がそれぞれ後述の転写装置によりパターン状に形成され、さらに隣り合う着色画素の境界部を覆い且つ隣り合う各着色画素の端部の上に重なるようにして遮光層であるブラックマトリクス１が同様な転写装置により形成されている。そして、別工程にて着色画素２上に透明の保護膜３を形成し、さらに透明導電膜４を形成することでカラーフィルタが作製されている。このようにＲ，Ｇ，Ｂの着色画素２の間に、重なるようにブラックマトリクス１を形成することで、従来のカラーフィルタのようにブラックマトリクス１と着色画素２とが重なる部分に空気が混入するようなことがない。
【００１２】
ここで、別工程にて形成される保護膜３には、▲１▼透明導電膜４の表面が平滑化する、▲２▼ブラックマトリクス１及び着色画素２の耐薬品性が向上する、等の機能がある。したがって、着色画素２とブラックマトリクス１の凹凸が少なく、またこれらの耐薬品性及び耐熱性が良好で、しかも透明導電膜４を形成する時の熱が問題ない程度であれば、保護膜３を除いて透明導電膜４をブラックマトリクス１と着色画素２上に形成してもよい。これについては後述の転写方式に限らず、着色画素２をフォトリソグラフィ法で形成したカラーフィルタでも同じである。
【００１３】
図２は上記のカラーフィルタを作製する製造装置の一例を示すブロック図であり、以下これにより製造工程を説明する。
【００１４】
（１）同図の左からガラス基板ＧＢが搬入され、まず第１の位置調整部Ｄ1 で基板ＧＢの概ねの位置合わせが行われる。次に、第１色目の着色画素を形成する製造ユニットＵ1 で基板ＧＢに青（Ｂ）の着色画素のパターンを形成するとともに、パターン部以外の領域にアライメントマークを形成する。ここで、第１の位置調整部Ｄ1 は固定式とし、基板ＧＢの一定範囲内に着色画素が形成できるようにしている。すなわち、搬送ローラやストッパーのみで基板ＧＢの位置合わせをする。ただし、後述の位置調整部により基板ＧＢを１枚毎に位置合わせする方が精度は上がる。
（２）Ｂの着色画素とアライメントマークを形成された基板ＧＢは第２の位置調整部Ｄ2 に搬送され、ここで前記アライメントマークを利用して位置合わせが行われる。具体的には、検出カメラ４０からの信号に基づき、第２色目の着色画素を形成すべき位置を演算制御部４３にて演算し、当該演算結果に基づいて第２の位置調整部Ｄ2 にて基板ＧＢの位置を調整する。次に、第２色目の着色画素を形成する第２の製造ユニットＵ2 で基板ＧＢに赤（Ｒ）の着色画素のパターンを形成する。
（３）続いて、第３の位置調整部Ｄ3 にて前記と同様にして基板ＧＢの位置合わせを行った後、第３色目の着色画素を形成する第３の製造ユニットＵ3 で基板ＧＢに緑（Ｇ）の着色画素のパターンを形成する。
（４）次いで、第４の位置調整部Ｄ4 にて前記と同様にして基板ＧＢの位置合わせを行った後、遮光層を形成する第４の製造ユニットＵ4 により、既に形成された３色の着色画素の隣り合うものの境界部を覆い且つ隣り合う着色画素の端部の上に重なるようにして遮光層としてのブラックマトリクス（ＢＭ）のパターンを形成する。
（５）基板ＧＢ上にＲ，Ｇ，Ｂの各着色画素と遮光層とを形成した後、これらが正確に形成されたかどうかを確認する。具体的には、検査台４４に基板ＧＢを搬送し、上方に設置した検査カメラ４５で外観検査を行い、不良品はリジェクト装置４６にて排出する。なお、第３の製造ユニットＵ3 の後にこれと同様の検査装置を配置して３色の着色画素の形成状態を検査するようにしてもよい。ここで、３色の着色画素が形成された状態を検査する場合、ＣＣＤカメラにより得られる画像データは、異なる色相の着色画素や遮光層がパターン状に形成されていることに起因して凹凸のある複雑な信号波形を示すことになるので、後述する転写フィルムを検査する場合とは異なる画像処理方法を採ることになる。
【００１５】
このように各製造ユニットＵ1 〜Ｕ4 の前に基板ＧＢの位置を調整する位置調整部を設けてあるために、隣り合う着色画素同士がほぼ接するようにそれぞれの着色画素を正確な位置に形成することができる。また、仮に着色画素の間に隙間が生じても、その上に遮光層を形成するので隙間がカラーフィルタの性能に悪影響を及ぼすことがない。
【００１６】
図３は上記製造ユニットを構成する型押し転写装置を位置調整部とともに示す概略構成図である。
【００１７】
転写フィルム１０としてはＰＥＴフィルム等の支持フィルム上に着色材を形成したものが使用される。支持フィルムは２色目以降の着色材が転写しやすいように３〜１０μｍと薄いものを使用するとよい。また、支持フィルムにクッション材層、剥離層等を積層した場合には１００〜３００μｍの厚いものでもよいが、ここでは後述の転写ローラで吸引するために３〜１０μｍ程度の厚みのものが適している。そして、この支持フィルムの上に着色材が３μｍ程度の厚みで形成される。着色材の厚みは形成するカラーフィルタの着色画素の膜厚に応じて変えてよいが一般には１〜５μｍ程度である。この転写フィルム１０は、長尺状のものを巻き取った巻取１１として供給部Ａにセットされる。したがって、本実施例では、支持フィルムの片面に加熱時のみ着色材を剥離できる剥離層を形成してその上に着色材を形成するとともに、反対面には着色材が付着しない剥離層を形成した層構成の転写フィルム１０を使用することが好ましい。すなわち、この転写フィルム１０をロール状に巻き取っても着色材が付着しないで済むからである。なお、図示の供給部Ａでは巻取１１が１本であるが、さらに生産能率を向上させるのであれば、巻取１１を複数セットしてもよく、さらに転写フィルム１０を自動的に接続できるオートペースターを使用してもよい。
【００１８】
転写フィルム１０は後述の排出部Ｅで巻き取られることで供給部Ａの巻取１１から繰り出される。供給部Ａからの転写フィルム１０は、テンションコントロール用の第１のダンサーローラ１２を経由して検査部Ｂに至る。ダンサーローラ１２には１０〜３０ｋｇの重りが設定されており、ダンサーローラ１２の位置が変化することで転写フィルム１０のテンションが一定に保たれる。つまり、転写フィルム１０が強く引っ張られるとダンサーローラ１２はテンションを小さくして設定値になるように上に移動する。逆に転写フィルム１０が緩むとダンサーローラ１２はテンションを大きくして設定値になるように下に移動する。
【００１９】
検査部Ｂでは転写フィルム１０の画像を入力するＣＣＤカメラ２１がセットされており、着色材の色ムラや筋、またはゴミ付きを検査することができるようになっている。この検査部Ｂにおける光学系の構造としては、転写フィルム１０を境にしてＣＣＤカメラ２１の反対側に拡散板２２をセットし、その両脇からカラーフィルタのＲ，Ｇ，Ｂの各色にピークを持つ３波長の光源２３（白色蛍光灯でもハロゲンランプでもよい）を用いて拡散板２２に照射する手段が採られている。この場合、３波長の光源２３を用いた方がＲ，Ｇ，Ｂの各色に対して発色性がよく検査性能が良好になる。光は拡散板２２で拡散され転写フィルム１０を均一に照らすので、この画像をＣＣＤカメラ２１から入力し図示していない判定部にて良品、不良品を判定する。
【００２０】
この時の判定画像の一例を図４及び図５に示している。横軸は転写フィルム１０の巾方向であり縦軸は転写フィルム１０の色の濃度である。良品と不良品の判定は、カラーフィルタのＲ，Ｇ，Ｂの各色毎に用意してある許容値±ａと基準色濃度レベルｍとＣＣＤカメラ２１からの入力データとを比較して行う。この場合、デジタルスイッチを用いてＲ，Ｇ，Ｂの各色毎に許容値±ａは±ａ（ｒ），±ａ（ｇ），±ａ（ｂ）として、基準色濃度レベルｍはｍ（ｒ），ｍ（ｇ），ｍ（ｂ）としてそれぞれセットしておく。ここで、オペレータが良品と判断したところで基準値入力スイッチを押すことにより、画像入力データを平均することで基準色濃度レベルｍが各色に合わせて記憶されるようにしてもよい。
【００２１】
図４は良品の場合を示す例であり、画像入力したデータは設定してある基準色濃度レベルｍを中心に許容値±ａ以内に入っている。図５は不良品を示す例であり、画像入力したデータは設定してある基準色濃度レベルｍを中心に許容値±ａより外れている。左側の急峻な突起ｘはゴミ付きによる不良であり、右側のなだらかな凸部ｙは着色材の濃度ムラである。
【００２２】
検査部Ｂで転写フィルム１０が良品と判定されると、転写フィルム１０はカラーフィルタ用のガラス基板ＧＢに転写すべく、第２のダンサーローラ１３を経由して転写部Ｃへと移動する。ここで、一般に転写フィルム１０は加熱すると伸びてテンションの調整がしにくくなるので加熱はしないで常温とする。しかし、支持フィルムが厚い場合など転写フィルム１０の伸びに問題なければ、転写をしやすくするためフィルム加熱部を設けて予備加熱してもよい。予備加熱する場合、転写フィルム１０の加熱温度は２０〜５０℃程度がよい。あまり加熱するとフィルムが伸びてしまうためテンション制御がしにくくなる。この転写フィルム１０の移動に併せてガラス基板ＧＢは位置調整部Ｄを経て転写部Ｃに供給される。なお、ガラス基板ＧＢも予備加熱をして転写部Ｃへ移動させてもよい。検査部Ｂで転写フィルム１０が不良品と判定されると、後方のいずれかのローラに設置されているフィルムメータ数カウンタによって不良位置を検出し、図示していない制御装置により不良位置を記録する。そして、この記憶された不良位置データに基づき不良の転写フィルム部分は転写されずに排出部Ｅへと巻き取られる。
【００２３】
図６は製造ユニットの前に配設された位置調整部Ｄを示す平面図、図７は位置調整部Ｄの位置調整機構を示す斜視図である。
【００２４】
図６に示すように、左右方向の第１の位置決め部材である「へ」の字型の揺動板３０が基板ＧＢの進行方向に対して直交する方向に揺動することにより基板ＧＢの概ねの位置調整を行う。第２の位置決め部材である傾斜を持った搬送ローラ群により基板は左右方向の位置決めをされる。この搬送ローラ群の対向する搬送ローラ３１は徐々にその間隔を挟めてあり、基板ＧＢが所定位置に調整されるように構成してある。このように左右方向を略位置調整された基板ＧＢは、前の基板ＧＢの通過後に上昇する前進方向の位置決め部材であるストッパー３２で一時停止され、同時に搬送ローラ３１の回転も一時停止する。この時点で基板ＧＢは搬送ローラ３１に保持され、搬送ローラ３１は図示していない保持手段でローラ載置台３３に保持されている。
【００２５】
ローラ載置台３３は図３及び図７に示すように回転台３４に保持され、さらに回転台３４はＹ方向移動部材３５に保持され、Ｙ方向移動部材３５はＹ方向案内部材３６に保持され、Ｙ方向案内部材３６はＸ方向移動部材３７に保持され、Ｘ方向移動部材３７はＸ方向案内部材３８に保持され、Ｘ方向案内部材３８は基台３９に保持されている。これによりローラ載置台３３のＸ−Ｙ方向の移動と回転を行って基板ＧＢの位置を調整する。
【００２６】
位置合わせ用の検出カメラ４０の検出信号により演算して求めた位置ズレ量に従い、Ｘ方向案内部材３８に沿ってＸ方向移動部材３７を左右方向に動かし、Ｙ方向案内部材３６に沿ってＹ方向移動部材３５を前後方向に動かす。また、回転が必要な場合には回転台３４を回動させて基板ＧＢの進行方向の角度を変更する。このようにすることで上記演算した位置ズレ量を「０」にするか或いは許容範囲内にする。
【００２７】
本実施例では、基板ＧＢにはその進行方向を先頭としてパターン形成部の両側に「＋」型のアライメントマークを設けてある。また、基板ＧＢが停止した位置で「□」型のカメラ側のアライメントマークを形成したガラス板４１が基板ＧＢの「＋」型のアライメントマーク上に位置するようにしてある。つまり、検出カメラ４０から見ると、図８に示すように「□」型のアライメントマークＭＡと「＋」型のアライメントマークＭＢが重なった状態になる。検出カメラ４０により両マークＭＡ，ＭＢを検出した後、演算制御部によりαラインで横方向の位置ズレ量を演算し、βラインで縦方向の位置ズレ量を演算する。そして、位置ズレ量の許容値をそれぞれ±Δａ、±Δｂとした時に、ａ1 ≦ａ2 ±Δａ、ｂ1 ≦ｂ2 ±Δｂとなるように演算制御部の信号に基づき基板ＧＢの位置を調整する。
【００２８】
ここで基板ＧＢ上のアライメントマークＭＢの配置例としては図９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す３種類の形態があるが他のものでも構わない。とにかく、Ｒ，Ｇ，Ｂ別の各転写ユニットにおいてカメラ側のアライメントマーク「□」を基板ＧＢ上のＲ，Ｇ，Ｂ別のアライメントマーク「＋」に対応させて基板ＧＢの位置調整を行う。このようにして、Ｒ，Ｇ，Ｂ別に順番に転写することで、カラーフィルタのパターンに対応した着色画素が基板ＧＢ上に順番に形成できる。この場合、基板ＧＢ上の中央に設けるパターン形成部の両脇に図９（ａ）に示すようなアライメントマーク群を「ハ」の字形に配置することにより、基板ＧＢの進行方向が目視で分かって都合がよい。また、このように「ハ」の字形に配置することで、２台の検出カメラ４０の間隔は、Ｒ，Ｇ，Ｂ毎に広げていくことになるため、別のアライメントマークを誤って読み取ることがなくなる。
【００２９】
上記のようにして基板ＧＢの位置調整を完了した後、転写部Ｃにおける転写ローラ５１の回転に同期したロータリーエンコーダによる第１のタイミング信号と、基板ＧＢのエッジ検知を行うタイミングセンサ４２（図６参照）からの第２のタイミング信号とを演算制御部に入力し、転写ローラ５１と基板ＧＢとの重ね合わせのタンミングがとれる時にストッパー３２が降下して基板ＧＢは転写部Ｃへ移動を開始する。
【００３０】
転写部Ｃは転写ローラ５１とその下側に押圧ローラ５２とが配設されて構成されている。押圧ローラ５２の前後には基板ＧＢがスムースに搬送されるように一定間隔で搬送ローラ５３があり、各ローラ５３はタイミングベルトによるタイミング機構で接続され、さらにモータによる駆動機構が接続されている。このようにすることで各ローラ５３は同期を取りながら駆動され、位置調整部Ｄのストッパー３２が降下すると基板ＧＢは一定タイミングで転写部Ｃへと搬送される。なお、既に位置決めされている基板ＧＢをずらさないようにするため、搬送ローラ５３の側面は基板ＧＢの側面と接触しないようにしてある。また、押圧ローラ５２には加熱手段が内蔵されている。これにより、基板ＧＢを下部から加熱して転写に適した温度（８０〜１７０℃の高温）に保ちながら、転写ローラ５１と押圧ローラ５２の間で転写フィルム１０と基板ＧＢを押圧して転写工程を行う。
【００３１】
図１０は転写部における転写ローラを示すもので、（ａ）はその正面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ断面図である。
【００３２】
転写ローラ５１は円筒状のローラ部分５３とこれに連結した支持部材５４とからなり、支持部材５４を回転させることでローラ部分５３が回転するようになっている。ローラ部分５３の外周面には図１１に例示するパターンで凸部５５が設けられている。図１１に例示するパターンはモザイク型の場合の「Ｒ」用のパターンである。凸部５５の巾は１００μｍ程度で間隔は３００μｍ程度である。凸部５５の高さは本実施例では１０〜５０μｍ程度であるが、転写フィルム１０の厚みに合わせて例えば３００μｍ程度にしてもよい。また、支持部材５４には転写ローラ５１全体が上昇及び下降できるように図示していない上下動用の駆動機構が設けられている。もちろん、基板ＧＢとローラ部分５３が重なった時に、ローラ部分５３に設けてある凸部５５が転写フィルム１０を押すことにより、凸部５５に対応して基板ＧＢ上に着色画素を形成することができる。
【００３３】
ローラ部分５３の内部は吸引路５６に連結されており、支持部材５４の一方がベアリング５４ａを介してこの吸引路５６に支持されている。吸引路５６を経由してローラ部分５３内のエアが外部に排出されるが、この時のエアの経路は吸引孔５７、吸引室５８、吸引路５６の順である。そして、ローラ部分５３の上側では吸引しないように吸引室５８の上部にマスク部材５９を配設して吸引孔５７をローラ部分５３の内部から塞いでいる。このマスク部材５９はローラ部分５３が回転しても回転しないが、その中心は吸引路５６と接続されているのでエアはここを通って排出される。この吸引手段を採ることにより、転写時において、凸部５５の間にある吸引孔５７は転写フィルム１０を吸引し、転写フィルム１０をローラ部分５３に吸着することになる。このように各吸引孔５７で転写フィルム１０を吸着すると、凸部５５に対応する部分が基板ＧＢ側に張り出す状態になるために品質の良い転写が行われる。
【００３４】
図３に戻るが、転写部Ｃにて転写工程を終了した後、転写済みの転写フィルム１０は第３のダンサーローラ６１を経て排出部Ｅの巻取ロール６２に巻き取られ、基板ＧＢは着色画素を形成されて次工程へ排出される。
【００３５】
【発明の効果】
本発明は上述のように構成されているので、次に記載する効果を奏する。
【００３６】
請求項１記載のカラーフィルタの製造方法によれば、ガラス基板上にＲ，Ｇ，Ｂの各着色画素をそれぞれ型押し式の転写装置によりパターン状に形成し、隣り合うそれらの着色画素の境界部分の上に重なるようにして遮光層を型押し式の転写装置により形成するようにしたので、遮光層と着色画素との間に空気が入ったり着色画素がめくれ上がったりするようなことがなく、品質のよいカラーフィルタを提供することができる。仮に着色画素間に空気が入っても、その上に遮光層があるために、これが白スジや色ムラとして見えることはない。
【００３７】
請求項２記載の製造装置では、型押し式の転写装置で構成した第１〜第３の製造ユニットにより３色の着色画素を形成し、その後で同じく型押し式の転写装置で構成した第４の製造ユニットにより遮光層を形成するので、遮光層が着色画素の端部を押さえることとなり、着色画素のめくれ上がり等の問題が回避されることから、品質のよいカラーフィルタを効率よく生産することができる。
【００３８】
請求項３記載の製造装置では、位置調整部により基板の位置合わせを行ってから着色画素や遮光層を形成するようにしたことにより、基板上にこれらを位置精度よく形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るカラーフィルタの断面構造図である。
【図２】  図１のカラーフィルタを作製する製造装置の一例を示すブロック図である。
【図３】  製造ユニットを構成する型押し転写装置を位置調整部とともに示す概略構成図である。
【図４】  転写装置の検査部における判定画像の一例を示すグラフである。
【図５】  転写装置の検査部における判定画像の一例を示すグラフである。
【図６】  位置調整部の平面図である。
【図７】  位置調整部の位置調整機構を示す斜視図である。
【図８】  基板側とカメラ側のアライメントマークを重ねた状態を検出グラフとともに示す説明図である。
【図９】  基板側のアライメントマークの配置例を示す説明図である。
【図１０】  転写部における転写ローラを示すもので、（ａ）はその正面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ断面図である。
【図１１】  転写ローラの外周面に形成された凸部を示すパターン図である。
【図１２】  従来のカラーフィルタの断面構造図である。
【図１３】  従来のカラーフィルタの欠点を説明するための説明図である。
【符号の説明】
ＧＢ  ガラス基板
１  遮光層
２  着色画素
３  保護層
４  透明導電膜
Ｕ1   第１の製造ユニット
Ｕ2   第２の製造ユニット
Ｕ3   第３の製造ユニット
Ｕ4   第４の製造ユニット
４０  検出カメラ
【図１】
0003678450.tif 000002
【図２】
0003678450.tif 000003
【図３】
0003678450.tif 000004
【図４】
0003678450.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003678450.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0003678450.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0003678450.tif 000013
【図１３】
0003678450.tif 000014