(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも基板の片面に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離された該フィルムを該基板から完全に剥離させる剥離手段と、完全に剥離された該フィルムをフィルム収容手段に搬送する搬送手段とを備え、該剥離手段は、部分的に剥離された該フィルムを該基板から上方に強制的に搬送するフィルム剥離搬送手段を含み、該フィルム剥離搬送手段は該基板の搬送径路の上方に配置された上側ベルト機構を含み、該上側ベルト機構には、該フィルムを上方に向けて搬送し次いで該基板の該搬送経路が延在する方向の一方に向けて搬出する上側搬送搬出経路が形成され、該搬送手段は、該上側搬送搬出経路から搬出された該フィルムを該フィルム収容手段に向けて搬送するフィルム剥離搬送装置において、
該搬送手段は、該基板の該搬送経路の上方において、該上側搬送搬出経路から搬出された該フィルムを該基板の該搬送経路の片側から他側に向かう方向に滑り落とすために、該片側から該他側に向かって低くなるように傾斜して配設されたフィルム搬送滑り台を備えており、
該フィルム搬送滑り台には、該上側搬送搬出経路から該フィルム搬送滑り台上に排出された該フィルムを掃き落とすための掃落手段が付設され、該掃落手段は、該フィルム搬送滑り台の該傾斜の方向に直交する方向に該フィルム搬送滑り台の上面に沿って延在するよう配設された掃落部材と、該掃落部材を、該フィルム搬送滑り台の該傾斜の方向の上端位置と下端位置との間を往復動させるための往復動手段とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置。
【請求項２】
該フィルム搬送滑り台は、該傾斜の方向に直交する方向の断面が複数の連続した凹凸形状をなす滑り案内板からなる、請求項１記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項３】
該掃落部材は、該フィルムを直接掃き落とす板部材を備え、該板部材は該滑り案内板に対し直立するよう配設され、該板部材の下端は該滑り案内板と略同様な形状をなしかつ該滑り案内板の上面に対し略一定の隙間をおいて上方に位置付けられている、請求項２記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項４】
該フィルム搬送滑り台の下面には、該下面との間に外気に対し密閉された空間を形成する室が形成され、該室は空気供給源に接続され、該フィルム搬送滑り台には、該空気供給源によって該室内に供給された空気を該フィルム搬送滑り台の上面側に排出させるための孔が複数個形成されている、請求項１記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項５】
該フィルム搬送滑り台の下面には、該下面との間に外気に対し密閉された空間を形成する室が形成され、該室は空気供給源に接続され、該フィルム搬送滑り台には、該空気供給源によって該室内に供給された空気を該フィルム搬送滑り台の上面側に排出させるための孔が複数個形成され、該フィルム搬送滑り台の該上面はブラシによって形成されている、請求項１記載のフィルム剥離搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、少なくとも基板の片面に貼着された保護フィルムの一端部を基板から部分的に剥離させ、次いで一端部が部分的に剥離された保護フィルムを基板から剥離させながら搬送し、完全に剥離された保護フィルムをフィルム収容部に搬送する形態の、フィルム剥離搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線基板の製造においては、ガラス繊維強化エポキシ樹脂等から形成されたコア板の両面に銅はくを貼着して銅張積層板を形成し、銅張積層板の両面にフォトレジスト層及び保護フィルムを積層したプリント配線基板素材を使用している。そしてこのプリント配線基板素材の両面に回路パターンを照射してフォトレジスト層を露光し、その後において両表面に存在する保護フィルム（以下単に「フィルム」と略称する）を剥離している。
【０００３】
平面から見て矩形をなすプリント配線基板素材のような基板の、少なくとも片面からフィルムを剥離することができるフィルム剥離搬送装置は、例えば特開昭６２−８３９７４号公報、特公平７−１７３０８号公報、特公平７−１７３０９号公報に開示されている。このうち特開昭６２−８３９７４号公報に開示されたフィルム剥離搬送装置は、基板の片面に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムを、基板から上方に強制的に搬送するフィルム剥離搬送手段を含んでいる。フィルム剥離搬送手段は、基板の搬送径路の上方に配置された上側ベルト機構及び搬送径路の下方に配置された下側ベルト機構を含んでいる。上側ベルト機構には、フィルムを上方に向けて搬送し次いで下方に向けて搬送する上側搬送経路が形成され、下側ベルト機構には、上側搬送経路から搬出されたフィルムを更に下方に向けて搬送する下側搬送経路が形成されている。基板の片面から剥離されたフィルムは上側搬送経路から下側搬送経路に搬送され、下側搬送経路からフィルム収容容器内に搬出される。
【０００４】
上記したフィルム剥離搬送装置においては、フィルムが上側搬送経路から下側搬送経路に搬送される過程において、基板の搬送径路を遮断しながら通過するので、ジャムが発生したときの影響が大きい、フィルムが基板の搬送径路を通過する間は基板を搬送することができないので基板の処理能力が低下する、等の問題が存在する。
【０００５】
特公平７−１７３０８号公報に開示されたフィルム剥離搬送装置におけるフィルム剥離搬送手段は、基板の搬送径路の上方に配置された上側ベルト機構を含み、上側ベルト機構には、フィルムを上方に向けて搬送し次いで剥離済みのフィルムを基板の搬送経路の延在方向の一方に搬出（排出）する上側搬送搬出経路が形成されている。上側搬送搬出経路の上流であって、基板の搬送経路の上方にはフィルム収容容器が離脱自在に装着されている。フィルム剥離搬送手段には、上側搬送搬出経路から剥離済みのフィルムが搬出される方向に向けて流体を噴出する流体噴出手段が設けられている。剥離済みのフィルムが上側搬送搬出経路からフィルム収容容器内に搬出される際に、流体噴出手段により噴出された流体により搬出が促進され、フィルム収容容器内に搬出される。したがって、このフィルム剥離搬送装置によれば、上側搬送経路から搬出されたフィルムが基板の搬送径路を遮断しながら通過することがないので、先に述べたフィルム剥離搬送装置が有する上記問題は解消されるといえる。
【０００６】
しかしながら特公平７−１７３０８号公報に開示されたフィルム剥離搬送装置においては、基板の搬送経路の上方にフィルム収容容器が離脱自在に装着されていることに起因して、フィルム収容容器の着脱が困難となり、また構成が複雑となる、更に、剥離済みのフィルムの搬出を促進するために相当量の流体を噴出しなければならず、いわゆるランニングコストが高くなる、更にまた、噴出流体の作用によってフィルムが塊状となる傾向が強く、上側搬送搬出経路を閉塞するおそれがある、等の別の問題が存在する。
【０００７】
特公平７−１７３０９号公報に開示されたフィルム剥離搬送装置におけるフィルム剥離搬送手段は、基板の搬送径路の上方に配置された上側ベルト機構を含み、上側ベルト機構には、フィルムを上方に向けて搬送し次いで剥離済みのフィルムを基板の搬送経路の延在方向の一方に搬出する上側搬送搬出経路が形成されている。上側搬送搬出経路の下流であって、基板の搬送経路の上方にはエアーダクトが配設されている。エアーダクトは基板の搬送経路に直交する方向に延在するよう配設されている。エアーダクトの前面には、送風用ファン、イオン発生装置及びジェットエアー吹出ノズルが設けられている。エアーダクトの後面には剥離フィルム排出ダクトが連結されている。剥離フィルム搬出ダクトは基板の搬送経路の側部を鉛直方向下方に延び、基板の搬送経路の下方に配置されたフィルム収容容器に開口するよう配置されている。
【０００８】
剥離済みのフィルムが上側搬送搬出経路からエアーダクト内に搬出されると、ジェットエアー吹出ノズルからエアーダクト内にイオンを含むエアが吹き付けられ、その吹き付け中の所定時間経過後、更にエアーダクトの中心にイオンを含むエアが吹き付けられる。エアーダクト内のフィルムは剥離フィルム搬出ダクトを通ってフィルム収容容器内に搬出される。したがって、このフィルム剥離搬送装置においても、上側搬送経路から搬出されたフィルムが基板の搬送径路を遮断しながら通過することがないので、最初に述べたフィルム剥離搬送装置が有する上記問題は解消されるといえる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら特公平７−１７３０９号公報に開示されたフィルム剥離搬送装置においては、エアーダクト、送風用ファン、イオン発生装置及びジェットエアー吹出ノズル等が設けられていることに起因して、構成が相当複雑となり高価となる、更に、剥離済みのフィルムを強制的に搬出するために相当量のエアを噴出しなければならず、いわゆるランニングコストが高くなる、更にまた、噴出エアの作用によってフィルムが塊状となる傾向が強く、剥離フィルム搬出ダクトを閉塞するおそれがある、等の別の問題が存在する。
【００１０】
本発明は、以上の事実に基づいてなされたもので、その目的は、比較的構成が簡単で低コストで製造できると共に、基板から剥離されたフィルムを、所望のとおり充分確実に搬送することができる、改良されたフィルム剥離搬送装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、少なくとも基板の片面に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離された該フィルムを該基板から完全に剥離させる剥離手段と、完全に剥離された該フィルムをフィルム収容手段に搬送する搬送手段とを備え、該剥離手段は、部分的に剥離された該フィルムを該基板から上方に強制的に搬送するフィルム剥離搬送手段を含み、該フィルム剥離搬送手段は該基板の搬送径路の上方に配置された上側ベルト機構を含み、該上側ベルト機構には、該フィルムを上方に向けて搬送し次いで該基板の該搬送経路が延在する方向の一方に向けて搬出する上側搬送搬出経路が形成され、該搬送手段は、該上側搬送搬出経路から搬出された該フィルムを該フィルム収容手段に向けて搬送するフィルム剥離搬送装置において、
該搬送手段は、該基板の該搬送経路の上方において、該上側搬送搬出経路から搬出された該フィルムを該基板の該搬送経路の片側から他側に向かう方向に滑り落とすために、該片側から該他側に向かって低くなるように傾斜して配設されたフィルム搬送滑り台を備えており、
該フィルム搬送滑り台には、該上側搬送搬出経路から該フィルム搬送滑り台上に排出された該フィルムを掃き落とすための掃落手段が付設され、該掃落手段は、該フィルム搬送滑り台の該傾斜の方向に直交する方向に該フィルム搬送滑り台の上面に沿って延在するよう配設された掃落部材と、該掃落部材を、該フィルム搬送滑り台の該傾斜の方向の上端位置と下端位置との間を往復動させるための往復動手段とを備えている、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。
【００１２】
本発明においては、上側ベルト機構の上側搬送搬出経路から搬出されたフィルムは、基板の搬送経路の上方に配設されたフィルム搬送滑り台上に搬出され、基板の搬送経路の側方に滑り落とされる。フィルムは、基板の搬送経路を遮断しながら通過することなく下方に搬出され、しかも上側搬送搬出経路から搬出された後は、全て自然落下が可能である。この可能性は、フィルム搬送滑り台の傾斜角度を大きくするほど高くなる。したがって、本発明によれば、基板から剥離されたフィルムを、所望のとおり充分確実に搬送することができる。この作用効果は、フィルム搬送滑り台を、基板の搬送経路の上方に配設することにより達成できる。したがって本発明によるフィルム剥離搬送装置は、構成が簡単で低コストで製造できる。
本発明においてはまた、掃落部材を、フィルム搬送滑り台の傾斜の方向の上端位置と下端位置との間を往復動させることによって、フィルム搬送滑り台に搬出されたフィルムを掃き落とすことができるので、フィルムの搬送は一層確実に遂行される。
【００１３】
本発明によれば、前記構成に加えて、更に、該フィルム搬送滑り台は、該傾斜の方向に直交する方向の断面が複数の連続した凹凸形状をなす滑り案内板からなる、フィルム剥離搬送装置が提供される。
この発明においては、滑り案内板上に搬出されたフィルムと滑り案内板の上面との隙間が多くなり、フィルムが静電気により密着する面積が少なくなる。その結果、フィルムが滑り案内板に張り付く力が低減され、フィルムは滑り落ち易くなる。
【００１４】
本発明によれば、第１番目に記載した構成に加えて、更に、該フィルム搬送滑り台の下面には、該下面との間に外気に対し密閉された空間を形成する室が形成され、該室は空気供給源に接続され、該フィルム搬送滑り台には、該空気供給源によって該室内に供給された空気を該フィルム搬送滑り台の上面側に排出させるための孔が複数個形成されている、フィルム剥離搬送装置が提供される。
この発明においては、フィルム搬送滑り台の孔の各々から空気がその上面側に排出されるので、フィルム搬送滑り台に搬出されたフィルムとフィルム搬送滑り台の上面との間に空気の隙間が形成され、フィルムが浮き上がる。その結果、フィルムは、フィルム搬送滑り台上を容易に自然落下することができる。
【００１６】
本発明によれば、第１番目に記載した構成に加えて、更に、該フィルム搬送滑り台の下面には、該下面との間に外気に対し密閉された空間を形成する室が形成され、該室は空気供給源に接続され、該フィルム搬送滑り台には、該空気供給源によって該室内に供給された空気を該フィルム搬送滑り台の上面側に排出させるための孔が複数個形成され、該フィルム搬送滑り台の該上面はブラシによって形成されている、フィルム剥離搬送装置が提供される。
この発明においては、フィルム搬送滑り台の孔の各々から空気がその上面側に排出されるので、フィルム搬送滑り台のブラシに搬出されたフィルムは、ブラシにおいて浮き上がる。この状態で、掃落部材を、フィルム搬送滑り台の傾斜の方向の上端位置と下端位置との間を往復動させることによって、フィルムを掃き落とすことができるので、フィルムの搬送は更に確実に遂行される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に従って構成されたフィルム剥離搬送装置の実施形態を詳細に説明する。
【００１８】
図１を参照して、本発明の新規な特徴をなすフィルム剥離搬送装置２は、全体を図示しないフィルム剥離装置１００の一部として備えられている。フィルム剥離搬送装置２を説明する前に、先ず、フィルム剥離装置１００についてその概要を説明する。
【００１９】
フィルム剥離装置１００は、入口側に配置された基板搬送手段１０２を備えている。基板搬送手段１０２は、基板Ｐの搬送方向Ｆに間隔を置いて実質上水平に配列された複数個の搬送ローラ１０４を備えている。これらの搬送ローラ１０４は電動モータによって回転駆動され、基板Ｐを基板搬送面ＰＬに沿って搬送方向Ｆに移動させることができる。なお、この実施形態においては、基板Ｐは、両面にフィルムが貼着されたプリント配線基板から構成されている。
【００２０】
基板搬送手段１０２の下流端部には、図示しないクランプ手段及び位置決め手段、そして端部剥離手段１０６が配設されている。クランプ手段は基板Ｐの搬送経路（基板搬送面ＰＬに沿った実質上水平な搬送経路）を挟んで上下に間隔を置いて配置された一対のクランプ部材を備え、基板Ｐを搬送経路上に解除自在にクランプできるよう構成されている。位置決め手段は、反射型光学式センサによって搬送ローラ１０４により搬送されてくる基板Ｐの前端を検出し、基板Ｐを所定の位置に停止させるよう構成されている。
【００２１】
端部剥離手段１０６は、基板Ｐの搬送経路の幅方向に往復移動させられるよう構成された移動体１０８と、基板Ｐの搬送経路を挟んで上下に間隔を置いて配置された一対の圧接ローラ１１０を備えている。一対の圧接ローラ１１０は、搬送経路上の基板Ｐを解除自在に圧接できるよう構成されている。基板Ｐがクランプ手段により所定の位置にクランプされた状態で、圧接ローラ１１０の各対は、基板Ｐの端部における各フィルムの端部上面に所定の圧力で圧接される。この状態で圧接ローラ１１０の各対は、移動体１０８によって幅方向に往復移動させられ、基板Ｐの各フィルムの端部が部分的に剥離される。
【００２２】
端部剥離手段１０６の下流側には後に詳述するフィルム剥離搬送装置２が配置され、フィルム剥離搬送装置２の下流側には他の基板搬送手段１１２が配置されている。端部剥離手段１０６により端部が部分的に剥離された基板Ｐの両面のフィルムは、それぞれフィルム剥離搬送装置２によって完全に剥離され、後述するようにしてフィルム収容容器１１４内に搬送される。フィルム収容容器１１４は基板Ｐの搬送経路の下方に離脱自在に装着されている。フィルム剥離装置１００の出口側に配置された基板搬送手段１１２は、フィルムが完全に剥離されて存在しない基板Ｐを更に下流に向けて搬送するために設けられ、搬送ローラ１０４と同様な搬送ローラ１１６が複数個備えられている。
【００２３】
次に図１及び図２を参照して、本発明に係るフィルム剥離搬送装置２について説明する。フィルム剥離搬送装置２は、基板Ｐの片面（上面）に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離された該フィルムを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段４と、完全に剥離されたフィルムをフィルム収容手段であるフィルム収容容器１１４に搬送する搬送手段６とを備えている。
【００２４】
剥離手段４は、部分的に剥離されたフィルムを基板Ｐから上方に強制的に搬送するフィルム剥離搬送手段８と、エア噴射手段９とを含んでいる。エア噴射手段９は、幅方向に延在する円筒部材から圧縮エアが、基板Ｐの搬送経路の上流方向に向けて噴射されるよう構成され、基板Ｐの搬送径路の上方に配置されている。このようなエア噴射手段９は、例えば特開平４−１６４７７０号公報に開示されたものと実質上同一の構成でよいので、詳細な説明は省略する。フィルム剥離搬送手段８は、基板Ｐの搬送径路の上方に配置された上側ベルト機構１０を含んでいる。上側ベルト機構１０における下方にはベルト車１１及び１２が配置され、また上方にはベルト車１３、１４、１５、１６及び１７が配置されている。各ベルト車１１〜１７は、それぞれ幅方向に延在する図示しない回転軸に複数個設けられている。そしてベルト車１１、１５及び１６の各々間には無端ベルト１８がそれぞれ巻き掛けられ、ベルト車１２、１３及び１４の各々間には無端ベルト１９がそれぞれ巻き掛けられている。無端ベルト１９の外周面側はベルト車１７に圧接するよう配設されている。無端ベルト１８の外周面側はベルト車１３に圧接するよう配設されている。
【００２５】
各無端ベルト１８及び１９の間には、図１に矢印で示されているように、フィルムを挟んで上方に向けて搬送し、次いで基板Ｐの搬送経路が延在する方向（図１の左右方向）の一方、すなわちこの実施形態では基板Ｐの搬送方向Ｆ、に向けて搬出する上側搬送搬出経路Ｌが形成されている。上側搬送搬出経路Ｌの上端部に配置された搬出部は、図１に示すように略水平に延在するように配設されている。図示はしていないが、上側搬送搬出経路Ｌの搬出部には、除電エアを吹き出させる手段が配設されている。なお、このような上側ベルト機構１０は図示しない電動モータに駆動連結され、各無端ベルト１８及び１９が上記のように移動するよう回転駆動させられる。
【００２６】
上側搬送搬出経路Ｌの上端部には、フィルムを上側搬送搬出経路Ｌから、後述するフィルム搬送滑り台２０に向けて案内する複数の針金ガイド対Ｗが、幅方向に間隔を置いて設けられている。針金ガイド対Ｗの各々は、無端ベルト１８及び１９の各々の幅方向の間に鉛直方向に延びるよう配置されている。針金ガイド対Ｗの各々はまた、帯電防止のためにアースされている。
【００２７】
図１〜図４を参照して、搬送手段６は、上側ベルト機構１０の上側搬送搬出経路Ｌから搬出されたフィルムを、フィルム収容容器１１４に向けて搬送するよう構成されている。搬送手段６は、上側搬送搬出経路Ｌより下流側における、基板Ｐの搬送経路の上方において、上側搬送搬出経路Ｌから搬出されたフィルムを基板Ｐの搬送経路の片側から他側（図１の表側から裏側、図２の右側から左側）に向かう方向に滑り落とすために、上記片側から他側に向かって低くなるように傾斜して配設されたフィルム搬送滑り台２０を備えている。
【００２８】
図３に示すように、フィルム剥離装置１００の本体側には、基板Ｐの搬送方向Ｆに向かって延びるフレーム２２及び２４が配設されている。フレーム２２は基板Ｐの搬送経路の片側において比較的高い位置に配設され、フレーム２４は基板Ｐの搬送経路の他側において比較的低い位置に配設されている。フィルム搬送滑り台２０はフレーム２２及び２４の間に傾斜して設けられている。フィルム搬送滑り台２０は、傾斜の方向（基板Ｐの搬送方向Ｆに直交する方向）に直交する方向（基板Ｐの搬送方向Ｆと同じ方向）の断面が複数の連続した凹凸形状をなす滑り案内板２６から構成されている。滑り案内板２６はステンレス等の金属板から形成されている。滑り案内板２６の上面には帯電防止塗料（導電性塗料）が塗布され、しかも滑り案内板２６はアースされている。滑り案内板２６の凹凸形状は、図示の実施形態では、凸部が円弧状をなし、凸部間に形成された凹部は平坦をなしている。滑り案内板２６の断面形状は、傾斜の方向の上端部から下端部まで一定であり、同方向に直線状に延在している。
【００２９】
滑り案内板２６の下面には、該下面との間に外気に対し密閉された空間を形成する室２８が形成されている。室２８は滑り案内板２６の下面を適宜の板部材により略箱形に囲うことにより形成される。室２８の底部２９には、室２８内に空気を供給するための空気供給源である電動ファン３０が装着されている。この構成に関連して、滑り案内板２６には、電動ファン３０によって室２８内に供給された空気を滑り案内板２６の上面側に排出させるための小孔が多数形成されている（図３参照）。小孔の各々の直径は１ｍｍ程度でよい。
【００３０】
滑り案内板２６には、上側搬送搬出経路Ｌから滑り案内板２６上に排出されたフィルムを掃き落とすための掃落手段４０が付設されている。掃落手段４０は、滑り案内板２６の傾斜の方向に直交する方向に滑り案内板２６の上面に沿って延在するよう配設された掃落部材４２と、掃落部材４２を、滑り案内板２６の傾斜の方向の上端位置と下端位置との間を往復動させるためのロッドレス空気圧シリンダ機構４４（往復動手段を構成する）とを備えている。掃落部材４２は図示しないフレームと板部材４２ａから構成され、フィルムを直接掃き落とす板部材４２ａは滑り案内板２６に対して直立するよう配設されている。板部材４２ａの下端は、滑り案内板２６の凹凸形状と略同様な形状をなし、滑り案内板２６の上面に対し略一定の隙間を置いて上方に位置付けられるよう配設されている（図４参照）。
【００３１】
図２を参照して、基板Ｐの搬送経路の上記他側には、鉛直方向に延びる側部搬送路５０が配設されている。側部搬送路５０の上端は、滑り案内板２６の下端部に開口し、側部搬送路５０の下端は、フィルム収容容器１１４に開口するよう配置されている。
【００３２】
なおこの実施形態においては、基板Ｐの他面（下面）に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離された該フィルムを基板Ｐから完全に剥離させる他の剥離手段が備えられている。図１を参照して、他の剥離手段は、部分的に剥離されたフィルムを基板Ｐから下方に強制的に搬送するフィルム剥離搬送手段である下側ベルト機構１２０と、図示しないエア噴射手段とを含んでいる。下側ベルト機構１２０及びエア噴射手段は基板Ｐの搬送経路の下方に配置されている。エア噴射手段は、幅方向に延在する円筒部材から圧縮エアが上流方向に向けて噴射されるよう構成されている。この圧縮エアは基板Ｐの下面と部分的に剥離されたフィルムの前端部との間に吹きつけられ、基板Ｐからの剥離が促進され、下方に偏向される。下方に偏向されたフィルムは、下側ベルト機構１２０により下方に向かって搬送され、フィルム収容容器１１４内に搬出される。下側ベルト機構１２０及び上記エア噴射手段は、本発明の新規な構成をなすものではなく、例えば特開平４−１６４７７０号公報に開示されたものと実質上同一の構成でよいので、詳細な説明は省略する。
【００３３】
次に、以上のように構成されたフィルム剥離搬送装置２の作用について説明する。図１〜図４を参照して、端部剥離手段１０６によって上面のフィルムの前端部が部分的に剥離され基板Ｐが、上側ベルト機構１０の下方に搬送されると、エア噴射手段９から圧縮エアが、基板Ｐと前端部から部分的に剥離されたフィルムとの間に吹き付けられる。これによりフィルムの剥離が促進され、その前端部が上方に偏向させられる。上方に偏向させられたフィルムは、上側ベルト機構１０の無端ベルト１８と１９間に挟まれ、上側搬送搬出経路Ｌに沿って上方に、次いで基板Ｐの搬送方向Ｆに向かって略水平に搬送され、滑り案内板２６上に搬出される。
【００３４】
滑り案内板２６は、上記のように凹凸形状をなしていること及び滑り案内板２６の下面の室２８内には電動ファン３０により常時空気が供給されており、この空気は滑り案内板２６の多数の孔を通り滑り案内板２６の上面側に排出されていること、によって、滑り案内板２６上に搬出されたフィルムは、滑り案内板２６に密着することなく浮き上がる。滑り案内板２６上に搬出されたフィルムは、更に、掃落手段４０の掃落部材４２の往復動により、滑り案内板２６の下端方向に強制移動させられるので、全く支障なく確実に側部搬送路５０内に搬送される。側部搬送路５０内に搬送されたフィルムは、従来のように塊状になることは全くなく、自然落下によりフィルム収容容器１１４内に収容される。
【００３５】
電動ファン３０により滑り案内板２６の下面の室２８内に供給される空気の量は、滑り案内板２６の上面からフィルムを浮き上がらせるために必要な量でよい。したがって空気の使用量は比較的微量であり、ランニングコストは従来に比較して著しく少ない。
【００３６】
上記実施形態では、フィルム搬送滑り台２０を、滑り案内板２６、室２８、電動ファン３０及び掃落手段４０の組合せにより構成しているので、フィルムの搬送効果は著しく高い。したがって滑り案内板２６の水平面に対する傾斜角度を比較的緩やかにすることが可能となり、装置全体の高さを低く抑えることができ、コンパクトとなる。上記実施形態では滑り案内板２６の傾斜角度は２５°〜３０°程度である。
【００３７】
図５は、滑り案内板２６の上面がブラシ６０によって形成されている他の実施形態を示している。その他の構成は、図４に示す実施形態と実質上同一であるので、同一部分を同一符号で示し、説明は省略する。ブラシ６０は、弾性を有しかつ略直立状態を保持することができる程度の剛性を有する合成樹脂製の細い線部材、あるいは毛状の部材を、多数滑り案内板２６の上面に直立して配設することにより形成することができる。ブラシ６０の上面は略平坦に形成される。上側搬送搬出経路Ｌからブラシ６０の上面に搬出されたフィルムは、電動ファン３０により供給される空気により浮き上がり、更に、掃落手段４０の掃落部材４２の往復動により、上記と同様に下端方向に強制移動させられる。掃落部材４２の下面は、ブラシ６０の上面と略平行に直線状に形成されており、略同一面に沿って、あるいはブラシ６０の上面より若干低い面に沿って移動するよう配設されることが好ましい（フィルムの、ブラシ６０の上面からの離れが良好となる）。
【００３８】
以上、本発明によるフィルム剥離搬送装置の実施の形態について説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形あるいは修正が可能である。例えば、上記実施形態では、フィルム搬送滑り台２０を、滑り案内板２６、室２８、電動ファン３０及び掃落手段４０の組合せにより構成しているが、これを、滑り案内板２６、室２８及び電動ファン３０の組合せとしてもよい。
【００３９】
また、フィルム搬送滑り台２０を、表面が平坦な凹凸のない一つの面からなる金属製の滑り案内板のみにより構成する例も考えられる。この場合、滑り案内板の水平面に対する傾斜角度を比較的急角度にすること、及び／又は滑り案内板の表面に帯電防止塗料を塗布しかつアースすること、が、フィルムの自然落下を促進する上で効果的である。この滑り案内板を合成樹脂により形成することも考えられる。また前記平坦な滑り案内板と掃落手段４０との組合せ、あるいは前記平坦な滑り案内板に多数の小孔を形成し、下面に室２８及び電動ファン３０を設けること、の組合せもある。
【００４０】
同様にして、フィルム搬送滑り台２０を、凹凸のある上記滑り案内板２６のみにより構成する例も考えられる。その場合は上記滑り案内板２６の孔は不要である。滑り案内板２６を上記のように合成樹脂により形成してもよい。またこれらの滑り案内板２６と掃落手段４０の組合せもある。
【００４１】
図５に示す実施形態においては、滑り案内板２６を、表面が平坦な凹凸のない一つの面からなる金属製又は合成樹脂製の滑り案内板により構成してもよい。
【００４２】
上記実施形態において、室２８に空気を供給する手段として、電動ファン３０を使用しているが、工場の空気供給源を利用する手段も一例として挙げることができる。この場合には減圧弁及び開閉弁を介して空気供給源と室２８とを接続すればよい。
【００４３】
上記実施形態において、上側ベルト機構１０には、フィルムを上方に向けて搬送し次いで基板Ｐの搬送経路が延在する方向の一方Ｆに向けて搬出する上側搬送搬出経路Ｌが形成されているが、上側搬送搬出経路Ｌのフィルムの搬出の方向は、基板Ｐの搬送方向Ｆと反対の方向であってもよい。
【００４４】
【発明の効果】
本発明に従って構成されたフィルム剥離搬送装置によれば、比較的構成が簡単で低コストで製造できると共に、基板から剥離されたフィルムを、所望のとおり充分確実に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って構成されたフィルム剥離搬送装置の実施形態を概略的に示す側面図。
【図２】図１を左方から見た概略図。
【図３】図１に示すフィルム剥離搬送装置の一部を示す斜視図。
【図４】図３のＡ−Ａ矢視断面図。
【図５】フィルム搬送滑り台の他の実施形態を示す断面図。
【符号の説明】
２  フィルム剥離搬送装置
４  剥離手段
６  搬送手段
８  フィルム剥離搬送手段
１０  上側ベルト機構
２０  フィルム搬送滑り台
２６  滑り案内板
２８  室
３０  電動ファン
４０  掃落手段
４２  掃落部材
４４  ロッドレス空気圧シリンダ機構
５０  側部搬送路
６０  ブラシ
１００  フィルム剥離装置
１１４  フィルム収容容器
Ｆ  基板Ｐの搬送方向
Ｌ  上側搬送搬出経路
Ｐ  基板
ＰＬ  基板Ｐの搬送面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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