(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１アーム、第２アーム、第２アームの先端に設けられる旋回自在な物品支持部を有するハンドを備え、車体上の待機位置からステーション側に突出させて、第１アームを所定角度回動させ、第２アームを第１アームと反対方向に第１アームの倍の角度だけ回動させ、ハンドを第１アームと同方向に第１アームと同じ角度だけ回動させることで、カセットの姿勢を変えることなく移動させるスカラーアームを備えた移載装置と、カセットの向きを変更してステーションに移載するように移載装置を制御する制御手段とを備えた無人搬送車において、制御手段は、物品支持部がステーション側に変位した、旋回するカセットがステーションと反対側の車体の側面から突出しない位置で、物品支持部をハンドに対して時計回り又は反時計回りに９０度旋回させた後、スカラーアームを進退させてカセットを移載するように制御することを特徴とする無人搬送車。
【請求項２】
ステーションには複数のカセットが並置可能であって、物品支持部をハンドに対して時計回り又は反時計回りに９０度旋回させる位置は、物品支持部がステーション側に変位した、旋回するカセットがステーションと反対側の車体の側面から突出しない位置で、かつ、旋回するカセットがステーションに載置されている他のカセットと接触しない位置であることを特徴とする請求項１に記載の無人搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、旋回自在な物品支持部を有し、車体上の待機位置からステーション側に突出させて物品を移載する移載装置を備え、物品の向きを変更してステーションに移載する無人搬送車に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶を製造するクリーンルームでは、無人搬送車によってワークが搬送されるようになっており、無人搬送車の搬送経路の両側に、ワークを薬品処理等するための各種の処理装置が配置されている。ワークは一側面が開口したカセットに複数収納され、カセットは開口が処理装置側に向くように、無人搬送車によって各処理装置に載置される。無人搬送車には、旋回自在な物品支持部を有するスカラーアーム（移載装置）が搭載されており、車体中央の物品載置台と、処理装置のカセットを載置するためのステーションとの間でカセットを移載するようになっている。カセットは、物品載置台上においては、その開口が進行方向を向くようになされ、処理装置のステーションとの間で移載する際には、時計回り又は反時計回りに物品支持部を９０度旋回させることにより、その開口が処理装置側を向くようになされる。
このような無人搬送車では、カセットが大きくなると、物品支持部を旋回させている最中に、カセットが本体の側面から大きくはみ出してしまう問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このため、従来の無人搬送車では、車体を大きくすることで、旋回するカセットが処理装置と反対側の側面からはみ出さないようにして、近傍を通行する作業者等にカセットが接触しないようにしている。
本発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目して成されたものである。その課題は、物品を所定の向きに旋回させて移載する無人搬送車であって、車体を大きくすることなく、ステーションと反対側の車体の側面から物品が大きく突出しないようにすることである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するために、請求項１に記載の発明においては、第１アーム、第２アーム、第２アームの先端に設けられる旋回自在な物品支持部を有するハンドを備え、車体上の待機位置からステーション側に突出させて、第１アームを所定角度回動させ、第２アームを第１アームと反対方向に第１アームの倍の角度だけ回動させ、ハンドを第１アームと同方向に第１アームと同じ角度だけ回動させることで、カセットの姿勢を変えることなく移動させるスカラーアームを備えた移載装置と、カセットの向きを変更してステーションに移載するように移載装置を制御する制御手段とを備えた無人搬送車において、制御手段は、物品支持部がステーション側に変位した、旋回するカセットがステーションと反対側の車体の側面から突出しない位置で、物品支持部をハンドに対して時計回り又は反時計回りに９０度旋回させた後、スカラーアームを進退させてカセットを移載するように制御することとした。
【０００５】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、ステーションには複数のカセットが並置可能であって、物品支持部をハンドに対して時計回り又は反時計回りに９０度旋回させる位置は、物品支持部がステーション側に変位した、旋回するカセットがステーションと反対側の車体の側面から突出しない位置で、かつ、旋回するカセットがステーションに載置されている他のカセットと接触しない位置であることを特徴とすることとした。
【０００７】
従って、請求項１に記載の発明では、物品支持部がステーション側に変位した位置で物品支持部をハンドに対して旋回させるため、車体を大きくすることなく、ステーションと反対側の車体の側面からのカセットのはみ出し量を抑えることができる。
【０００８】
そして、旋回するカセットがステーションと反対側の車体の側面から突出しない位置で物品支持部を旋回させるため、ステーションと反対側の車体の側面からカセットがはみ出すのを防止することができ、近傍を通行する作業者等にカセットが接触するのを確実に防ぐことができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明の作用および効果に加えて、物品支持部をハンドに対して時計回り又は反時計回りに９０度旋回させる位置は、物品支持部がステーション側に変位した、旋回するカセットがステーションと反対側の車体の側面から突出しない位置で、かつ、旋回するカセットがステーションに載置されている他のカセットと接触しない位置であるため、カセットがステーションに載置されている他のカセットと接触するのを防止することができ、接触によるカセットの破損を防ぐことができる。
【００１０】
【実施の形態】
本発明の無人搬送車の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図１に、本実施の形態の無人搬送車１の平面図を示し、図２に、無人搬送車１の正面図を示す。
無人搬送車１は、カセットｗを移載する移載装置２と、カセットｗの四隅を支持する載置台６とを備え、移載装置２は載置台６の下方中央に配置され、この位置で待機するようになっている。移載装置２は、スカラーアーム３とスカラーアーム３を昇降可能に支持する昇降装置４と、昇降装置４を旋回させる旋回テーブル５とを備えている。
旋回テーブル５には、ステーション８に対する位置を検出する距離センサ５１が設けられており、ステーション８に対する無人搬送車１の停止位置のズレを検出できるようになっている。
【００１１】
スカラーアーム３は、第１アーム３１、第２アーム３２、第２アーム３２の先端に設けられる旋回自在な物品支持部３３を有するハンド３４を備え、駆動手段により進退するようになっている。スカラーアーム３は、第１アーム３１を所定角度回動させ、第２アーム３２を第１アーム３１と反対方向に第１アーム３１の倍の角度だけ回動させ、ハンド３４を第１アーム３１と同方向に第１アーム３１と同じ角度だけ回動させることで、カセットｗの姿勢を変えることなく移動させることができる。また、物品支持部３３を時計回り又は反時計回りに９０度旋回させることにより、載置台６に開口が進行方向を向くように載置されているカセットｗを開口が処理装置側を向くようにしてステーション８に移載することができるようになっている。
【００１２】
このような、スカラーアーム３の伸縮、昇降台４の昇降、旋回テーブル５及び物品支持部３３の旋回等の移載装置２の動きは、制御装置７により制御される。
移載装置２に用いられるスカラーアーム３は、先端に旋回自在な物品支持部３３を備えたスライドフォークなどでも良く、昇降装置をハンド３４に内蔵し、物品支持部３３のみを昇降させるようにしても良い。
【００１３】
ステーション８には、例えば３つのカセットｗが所定間隔で並置されるようになっており、スカラーアーム３が挿入可能な作業空間８１を有している。
また、ステーション８には、無人搬送車１の距離センサ５１に対応するターゲットｔが設けられている。
【００１４】
カセットｗを無人搬送車１からステーションに移載する動作を、図４及び図５を参照しながら説明する。
まず、無人搬送車１を、目的のステーションの前で停止させる。カセットｗは、無人搬送車１の中央の物品載置台６に、開口を進行方向に向けて載置されている。また、スカラーアーム３は折り畳まれ、移載に備えて待機した状態となっている（図４（ａ））。
無人搬送車１は、目的のステーションに対して傾いて停止していると共に、前後方向にもズレて停止しているとする。このため、ズレ量を補正して、カセットｗをステーションに移載する必要がある。このズレ量は距離センサｓで検出したターゲットｔまでの距離を基に求められ、ズレ量を基にスカラーアーム３の伸縮量と旋回テーブルの旋回角度を制御する（ステップｓ１）。
【００１５】
次に、昇降台を上昇させて載置台６上のカセットｗをスカラーアーム３の物品支持部３３で支持する（ステップｓ２）。
そして、旋回テーブルをステップｓ１で求めた旋回角度で旋回させるとともに、物品支持部３３を旋回角度と逆方向に同じだけ旋回させ、ステーション（カセットｗが載置される位置）に対する無人搬送車１の傾きを補正する（ステップｓ３）。この旋回テーブル及び物品支持部３３の旋回角度は極わずかであり、旋回させたカセットｗが無人搬送車１の車体からはみ出すおそれはない。なお、上記のように、旋回テーブルだけではなく、物品支持部３３も旋回させるのは、カセットｗをステーションに対して傾きなく載置するためである。
【００１６】
次に、スカラーアーム３をステーション側の所定位置まで進出させ、一旦停止させる（ステップｓ４）。停止させる位置は、カセットｗを旋回させてもカセットｗがステーションと反対側の車体の側面からはみ出さない位置であって、かつ、ステーションに載置されている不図示の他のカセットに、旋回するカセットｗが接触しない位置となっている（図４（ｂ））。
【００１７】
次に、この位置で物品支持部３３を時計回りに９０度旋回させ、カセットｗの開口が処理装置を向くようにする（ステップｓ５）。図４（ｃ）に示すように、旋回させたカセットｗの旋回軌跡９は、ステーションと反対側の車体の側面からはみ出ないようになっている。
【００１８】
次に、スカラーアーム３をステップ１で求めた伸張量だけ伸張させる（ステップｓ６）。図４（ｄ）に示すように、カセットｗはステーションに対して正しい姿勢で載置される。
そして、昇降装置を下降させ、カセットｗをステーションに載置する（ステップｓ７）。
ステーションへの移載が終了すると、スカラーアーム３を縮め、無人搬送車の物品載置台まで退入させ、待機位置に戻す（ステップｓ８）。
【００１９】
ステーションから無人搬送車にカセットを移載する場合は、図６に示すように、無人搬送車１を、目的のステーションの前で停止させ、距離センサで検出したターゲットまでの距離から求められた目的のステーションに対するズレ量を基にスカラーアームの伸縮量と旋回テーブルの旋回角度を求める（ステップｓ１１）。
旋回テーブルをステップｓ１１で求めた旋回角度で旋回させるとともに、物品支持部を旋回角度と逆方向に同じだけ旋回させ、ステーションに対するカセットの姿勢を補正する（ステップｓ１２）。
ステップｓ１１で求めた伸縮量だけスカラーアームを待機位置からステーションまで伸張させる（ステップｓ１３）。
昇降装置を上昇させステーション上のカセットをスカラーアームの物品支持部で支持する（ステップｓ１４）。
【００２０】
そして、物品支持部でカセットを支持した後、スカラーアームを所定位置まで退入させ、一旦停止させる（ステップｓ１５）。この停止位置は、ステーションに載置されている他のカセットに、旋回するカセットが接触しない位置であり、図５と同じ位置でも、異なる位置であっても良い。
【００２１】
次に、物品支持部を、反時計まわりに９０度旋回させ、カセットの開口が物品支持部に載置した際に無人搬送車の進行方向を向くようにする（ステップｓ１６）。
スカラーアームを縮め、無人搬送車の物品載置台の下方まで退入させる（ステップｓ１７）。
昇降装置を下降させ、カセットを物品載置台上に載置し、スカラーアームを待機位置に戻す（ステップｓ１８）。
【００２２】
なお、この発明は以下のようにして具体化しても良い。
本実施の形態では、補正データを得る手段として、旋回テーブルに設けた距離センサと、ステーションに設けたターゲットにより行っているが、スカラーアームの先端にＣＣＤカメラを搭載し、停止時に撮像した画像と予め記憶されている正規の画像とのずれ量から補正データを得るようにしても良く、その他の方法でも良い。
また、本実施の形態では、無人搬送車の両側に処理装置が配置されている場合として、物品支持部を時計回り又は反時計回りに９０度旋回させたが、物品支持部の旋回角度は、９０度に限られるものではなく、走行経路に対する処理装置の位置や処理装置のカセット収納方向等に応じた角度となる。
また、本実施の形態では、移載装置の待機位置を載置台の中央下方にしたが、この位置に限られるものではない。また、本実施の形態では、カセットを移載装置から載置台に移載した後で搬送するようにしているが、載置台を設けずカセットを移載装置で支持ししたまま搬送するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態の無人搬送車を示す平面図である。
【図２】本実施の形態の無人搬送車を示す正面図である。
【図３】本実施の形態の無人搬送車を示す側面図である。
【図４】本実施の形態の無人搬送車のカセットの移載の動きを示す平面図である。
【図５】本実施の形態の無人搬送車からステーションにカセットを移載する際の制御装置による制御のフローチャートである。
【図６】本実施の形態のステーションから無人搬送車にカセットを移載する際の制御装置による制御のフローチャートである。
【符号の説明】
１  無人搬送車
２  移載装置
７  制御手段
８  ステーション
３３  物品支持部
ｗ  カセット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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