(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間に誘電体線路を介装して成る非放射性誘電体線路の製造方法において、前記平行平板導体の主面における前記誘電体線路の所定の配置パターンと鏡像関係のパターンでもって形成され、かつ底面に弾性材が設置されている溝を一面に有する治具を用い、前記溝内に前記誘電体線路を収容するとともに前記誘電体線路の露出した上面または前記平行平板導体の前記配置パターンの部位に接着剤を塗布し、前記平行平板導体の主面と前記治具の一面とを対向させて前記誘電体線路を前記平行平板導体の主面に押圧することにより前記誘電体線路を前記平行平板導体の主面の前記配置パターンの部位に接着することを特徴とする非放射性誘電体線路の製造方法。
【請求項２】
高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間に誘電体線路を介装して成る非放射性誘電体線路の製造方法において、前記平行平板導体の主面における前記誘電体線路の所定の配置パターンと鏡像関係のパターンでもって形成され、かつ底面に貫通孔が形成され、該貫通孔に前記誘電体線路に外部より弾性的に荷重を加えるための押圧部材が挿置されている溝を一面に有する治具を用い、前記溝内に前記誘電体線路を収容するとともに前記誘電体線路の露出した上面または前記平行平板導体の前記配置パターンの部位に接着剤を塗布し、前記平行平板導体の主面と前記治具の一面とを対向させて前記誘電体線路を前記平行平板導体の主面に押圧することにより前記誘電体線路を前記平行平板導体の主面の前記配置パターンの部位に接着することを特徴とする非放射性誘電体線路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばミリ波等の高周波帯域で用いられる非放射性誘電体線路であって、ミリ波集積回路等に好適に使用される非放射性誘電体線路の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の非放射性誘電体線路（Nonradiative Dielectric Waveguideで、以下、ＮＲＤガイドという）Ｓ１の構成を図１に示す。図１のＮＲＤガイドＳ１は、使用周波数において空気中を伝搬する電磁波（高周波信号）の波長λに対して、間隔ｄがλ／２以下である一対の平行平板導体１，３の間に誘電体線路２を介装することにより、その誘電体線路２に沿って電磁波が伝搬でき、放射波は平行平板導体１，３の遮断効果によって抑制されるという動作原理に基づいている。
【０００３】
このＮＲＤガイドＳ１の電磁波伝搬モードとしては、ＬＳＭモード，ＬＳＥモードの２種類があることが知られているが、損失の小さいＬＳＭモードが一般的に使用されている。また、ＮＲＤガイドの他のタイプとして、図２のような曲線状の誘電体線路１４を設けたＮＲＤガイドＳ２もあり、これにより電磁波を容易に曲線的に伝搬させることができ、ミリ波集積回路の小型化や自由度の高い回路設計ができるという利点を持っている。
【０００４】
なお、図１および図２において、上側の平行平板導体３，１３は内部を透視するように一部を切り欠くか、破線で示した。また、１，１１は下側の平行平板導体である。
【０００５】
また、ＮＲＤガイドをミリ波送受信器として作動させるためには、図３に示すような構成が一例として上げられる。このミリ波送受信器は、高周波ダイオード発振器のような発振器５２が付設され、発振器５２から出力されたミリ波信号を伝搬させる第１の誘電体線路５３と、第１の誘電体線路５３に、一端側が電磁結合するように近接配置されるかまたは一端が接合されて、ミリ波信号の一部をミキサー側へ伝搬させる第２の誘電体線路５８とを有する。
【０００６】
また、平行平板導体５１に平行に配設されたフェライト板の周縁部に所定間隔で配置されかつそれぞれミリ波信号の入出力端とされた第１の接続部５４ａ，第２の接続部５４ｂおよび第３の接続部５４ｃを有し、一つの接続部から入力されたミリ波信号をフェライト板の面内で時計回りまたは反時計回りに隣接する他の接続部より出力させるサーキュレータ５４であって、第１の誘電体線路５３のミリ波信号の出力端に第１の接続部５４ａが接合されるサーキュレータ５４を有する。
【０００７】
さらに、サーキュレータ５４の第２の接続部５４ｂに接合され、ミリ波信号を伝搬させるとともに先端部に送受信アンテナ５６を有する第３の誘電体線路５５と、送受信アンテナ５６で受信され第３の誘電体線路５５を伝搬してサーキュレータ５４の第３の接続部５４ｃより出力した受信波をミキサー５９側へ伝搬させる第４の誘電体線路５７と、第２の誘電体線路５８の中途と第４の誘電体線路５７の中途とを近接させて電磁結合させるかまたは接合させて成り、ミリ波信号の一部と受信波とを混合させて中間周波信号を発生させるミキサー部Ｍ１とを具備している。
【０００８】
また、バイアス電圧印加方向がミリ波信号の電界方向に合致するように配置され、バイアス電圧を周期的に制御することによってミリ波信号を周波数変調した送信用のミリ波信号として出力する可変容量ダイオードを、第１の誘電体線路５３の途中に介在させた構成も一例として挙げられる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、高周波信号（電磁波）をＮＲＤガイドの誘電体線路を伝送させる際、電磁波の損失を小さく抑えるためには次のような課題があった。
【００１０】
即ち、発振器５２から出力されたミリ波信号を、第１の誘電体線路５３に損失なく伝搬させるためには、発振器５２と第１の誘電体線路５３との適切な位置関係が重要であり、また、第１の誘電体線路５３を伝搬する電磁波の一部を、第２の誘電体線路５８へ損失なく伝搬させるためには、第１の誘電体線路５３と第２の誘電体線路５８との適切な位置関係が重要である。
【００１１】
また、フェライト板周縁部の第１，第２，第３の接続部５４ａ，５４ｂ，５４ｃにおいて、第１，第３，第４の誘電体線路５３，５５，５７とフェライト板との間で、電磁波が損失なくかつ所定方向に漏れなく伝搬されるためには、第１，第３，第４の誘電体線路５３，５５，５７とフェライト板の適切な位置関係が重要であり、また、第２の誘電体線路５８を伝搬する電磁波の一部と第４の誘電体線路５７を伝搬する受信波とを損失なく電磁結合させるためには、第２の誘電体線路５８と第４の誘電体線路５７との適切な位置関係が重要である。
【００１２】
また、バイアス電圧印加方向がミリ波信号の電界方向に合致するように配置され、バイアス電圧を周期的に制御することによってミリ波信号を周波数変調した送信用のミリ波信号として出力する可変容量ダイオードを有する構造においても、誘電体線路と可変容量ダイオードとの適切な位置関係が重要である。
【００１３】
以上のように、各誘電体線路を所定位置に配置することは、高周波信号の伝搬損失を小さく抑えるために重要であるが、従来、各誘電体線路を所定位置に高精度に配置することは非常に困難であった。
【００１４】
さらには、熱サイクルや振動の大きい環境下で、誘電体線路を所定位置に長期的に固定することは非常に困難であった。
【００１５】
従って、本発明は上記事情に鑑みて完成されたものであり、その目的は、誘電体線路を所定位置に高精度に配置でき、また誘電体線路を長期にわたって安定的かつ強固に固定できる信頼性の高い製造方法であり、電磁波の伝搬損失が小さい高性能なＮＲＤガイドを作製できる製造方法を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の非放射性誘電体線路の製造方法は、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間に誘電体線路を介装して成る非放射性誘電体線路の製造方法において、前記平行平板導体の主面における前記誘電体線路の所定の配置パターンと鏡像関係のパターンでもって形成され、かつ底面に弾性材が設置されている溝を一面に有する治具を用い、前記溝内に前記誘電体線路を収容するとともに前記誘電体線路の露出した上面または前記平行平板導体の前記配置パターンの部位に接着剤を塗布し、前記平行平板導体の主面と前記治具の一面とを対向させて前記誘電体線路を前記平行平板導体の主面に押圧することにより前記誘電体線路を前記平行平板導体の主面の前記配置パターンの部位に接着することを特徴とする。
【００１７】
本発明によれば、上記の構成により、誘電体線路を平行平板導体の主面の所定位置に高精度で配置でき、また誘電体線路の破損等がない機械的特性に優れた高信頼性の製造方法を提供することができ、さらに高周波信号の伝搬損失を小さくした高性能なＮＲＤガイドを提供することが可能となる。また、誘電体線路を長期にわたって安定的かつ強固に固定でき、誘電体線路を高い信頼性でもって固定できる。また、高周波信号の伝搬損失が小さい高性能なＮＲＤガイドを用いた、高性能かつ高信頼性の車載用等のミリ波送受信器を作製できる。さらに、誘電体線路に適度な荷重をかけながら平行平板導体の主面に押圧することができ、また誘電体線路の押圧時に誘電体線路に過大な荷重が加わるのを抑えて、誘電体線路が破損するのを防ぐことができる。
【００１８】
また本発明の非放射性誘電体線路の製造方法は、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間に誘電体線路を介装して成る非放射性誘電体線路の製造方法において、前記平行平板導体の主面における前記誘電体線路の所定の配置パターンと鏡像関係のパターンでもって形成され、かつ底面に貫通孔が形成され、該貫通孔に前記誘電体線路に外部より弾性的に荷重を加えるための押圧部材が挿置されている溝を一面に有する治具を用い、前記溝内に前記誘電体線路を収容するとともに前記誘電体線路の露出した上面または前記平行平板導体の前記配置パターンの部位に接着剤を塗布し、前記平行平板導体の主面と前記治具の一面とを対向させて前記誘電体線路を前記平行平板導体の主面に押圧することにより前記誘電体線路を前記平行平板導体の主面の前記配置パターンの部位に接着することを特徴とする。
【００１９】
本発明によれば、上記の構成により、誘電体線路を平行平板導体の主面の所定位置に高精度で配置でき、また誘電体線路の破損等がない機械的特性に優れた高信頼性の製造方法を提供することができ、さらに高周波信号の伝搬損失を小さくした高性能なＮＲＤガイドを提供することが可能となる。また、誘電体線路を長期にわたって安定的かつ強固に固定でき、誘電体線路を高い信頼性でもって固定できる。また、高周波信号の伝搬損失が小さい高性能なＮＲＤガイドを用いた、高性能かつ高信頼性の車載用等のミリ波送受信器を作製できる。さらに、外部より誘電体線路に加わる荷重を微妙に制御することができ、また誘電体線路に過大な荷重が加わるのを抑えて、誘電体線路の押圧時に誘電体線路が破損するのを防ぐことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明のＮＲＤガイドの製造方法について以下に詳細に説明する。
【００２１】
本発明の製造方法は、平行平板導体の主面における誘電体線路の所定の配置パターンと鏡像関係のパターンでもって形成された溝を一面に有する治具を用い、溝内に誘電体線路を収容するとともに誘電体線路の露出した上面または平行平板導体の配置パターンの部位に接着剤を塗布し、平行平板導体の主面と治具の一面とを対向させて誘電体線路を平行平板導体の主面に押圧することにより誘電体線路を平行平板導体の主面の配置パターンの部位に接着するものである。
【００２２】
そして、図４は本発明の製造方法における治具を示し、平行平板導体の主面における誘電体線路の所定の配置パターンと鏡像関係のパターンでもって形成された溝を有する治具の一面の平面図である。
【００２３】
治具は、対向する端部に位置決めピン用の貫通孔１３ａが形成された略四角形の支持板１４と、支持板１４の一方の主面に設けられた平板状のレプリカ部１１とから成る。レプリカ部１１は、金属，セラミックス，樹脂等の材料から成り、平行平板導体の主面における誘電体線路の所定の配置パターンと鏡像関係のパターンでもって、誘電体線路、および各種部材が収容される溝１２が設けてある。
【００２４】
本発明でいう鏡像関係とは、版画の原版のように版画とは左右が逆になった裏返し関係の位置関係である。そして、本発明の治具を用いることにより、設計上の配置パターンに対し位置ズレを０．５ｍｍ以内とすることができ、さらに０．１ｍｍ以内、さらには０．０１ｍｍ以内の高い位置精度で配置することができる。
【００２５】
溝１２の幅は、収容する部材に対し１００±２０％の範囲内の大きさであることが好適であり、より好ましくは９０％〜１０５％であることが、作業性、部材の保持し易さ、位置精度の観点から好ましい。なお、レプリカ部１１がゴム等の弾性を有する材料から成る場合、溝１２の幅を収容する部材に対し１００％以下の大きさとすることができる。
【００２６】
レプリカ部１１の材料はセラミックスまたは金属がよく、特にタングステンカーバイト等の超鋼合金から成るのがよい。その場合、レプリカ部１１を高精度に加工できるため、誘電体線路や各種部材を高い位置精度で配置することが可能である。また、耐摩耗性が良く、耐久性に優れたレプリカ部１１が得られる。
【００２７】
また、溝１２を形成するために、誘電体線路や各種部材の配置パターンの凸状部を有する金型等のマスター型に、ウレタンゴム，シリコーンゴムなどを流し込んで硬化させてレプリカ部１１を得ることもできる。
【００２８】
レプリカ部１１と平行平板導体５１との位置を合わせるためには、支持板１４またはレプリカ部１１の対向する端部に位置決めピン用の貫通孔１３ａを２つ以上設けるか、レプリカ部１１の外周辺を基準位置とすれば良い。レプリカ部１１がゴムなどの軟質で弾力性のある材料から成り、穴あけ加工が困難な場合、貫通孔１３ａは金属等の支持板１４に形成するのが良い。
【００２９】
また、図４では、支持板１４上にレプリカ部１１を設けた構成であるが、支持板１４を省いてレプリカ部１１に貫通孔１３ａを形成してもよい。
【００３０】
図５は、レプリカ部１１に、図３に示した各部材、即ち誘電体線路５３，５５，５７，５８、無反射終端部５８ａ、発振器５２、フェライト板、ミキサー５９などの部材を溝に収容した状態の平面図である。この場合、誘電体線路５３，５５，５７，５８は、それぞれ複数の誘電体線路部分を連続配置することによって構成しても構わない。
【００３１】
図６は、平行平板導体５１の主面の所定の配置位置に対して、誘電体線路などの部材５０を配置する配置方法を示す治具の側面図である。平行平板導体５１は支持板１５に位置決めピン１６で固定されており、支持板１５の平行平板導体５１が固定された主面の対向する端部で支持板１４の貫通孔１３ａに対応する位置には、位置決めピン１３が立設されている。そして、貫通孔１３ａに位置決めピン１３を通すことによって、各部材を溝に収容した支持板１４を支持板１５に対向させ、平行平板導体５１の主面の所定位置に各部材を接着し配設することができる。
【００３２】
上記の構成により、平行平板導体５１の所定位置に対して、位置ズレ０．５ｍｍ以内、さらに０．１ｍｍ以内、さらには０．０１ｍｍ以内の位置精度で、誘電体線路などの部材を配置することが可能になる。
【００３３】
このとき、位置決めを正確に行うため、位置決めピン１３と位置決めピン用の貫通孔１３ａ，１３ｂとのサイズの差、さらには位置決めピン１６と位置決めピン用の穴１６ａとのサイズの差は、０．０５ｍｍ以内であることが好ましく、さらには０．０１ｍｍ以内であることがより好ましい。
【００３４】
また、平行平板導体５１に位置決めピン用の貫通孔１３ｂを直接設けることもでき、その場合平行平板導体５１と支持板１５との位置ズレを考慮する必要がないため、より高精度に部材５０を配置することが可能となる。
【００３５】
また、平行平板導体５１の主面の配置パターンの部位または部材５０の平行平板導体５１と対向する側の面に、スクリーン印刷、メタルマスクによる印刷、ディスペンサーによる塗布などの手法で接着剤２３を予め塗布しておき、平行平板導体５１の主面に部材５０を配置した後、接着剤２３を硬化させることにより、高精度に配置された部材５０をそのまま接着することができる。
【００３６】
接着剤２３としては、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤などが使用可能である。また、接着剤２３のはみ出しによるレプリカ部１１と平行平板導体１２との固着を回避するために、接着される部材５０はレプリカ部１１の表面から０．１ｍｍ以上突出した状態で収容されることが好ましい。または、接着剤２３の逃げ部を考慮した段付きの溝構造であっても良い。即ち、接着剤２３の溝からのはみ出しを抑えられるように、溝の開口部を内部よりも広げて段差部を設け、その段差部内に余分な接着剤２３を溜めるようにすることもできる。
【００３７】
本発明の誘電体線路は、テフロン（登録商標），ポリスチレン，コーディエライト（２ＭｇＯ・２Ａｌ２Ｏ３・５ＳｉＯ２）セラミックス、ガラスセラミックス等から成る。
【００３８】
平行平板導体は５１、高い電気伝導度および加工性等の点で、Ｃｕ，Ａｌ，Ｆｅ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｔ，ＳＵＳ（ステンレススチール），真鍮（Ｃｕ−Ｚｎ合金）等の導体板、あるいはセラミックス，樹脂等から成る絶縁板の表面にこれらの導体層を形成したものから成る。
【００３９】
本発明において、前記溝の底面に弾性材が設置されていることが好ましい。その場合の治具等の構成を図７，図８に示す。レプリカ部１１の溝の底面にゴム２１またはバネ２２が設置されており、支持板１４，１５に形成されたネジ孔に螺合されたネジ２４を締めることにより、誘電体線路等の部材５０がゴム２１，バネ２２によって平行平板導体５１の主面に押圧され、接着される。
【００４０】
なお、図７，図８の構成において、ネジ２４で締め付ける代わりに、支持板１４の上方および／または支持板１５の下方より荷重をかけて押圧しても構わない。また、フック等で支持板１４，１５を外側より挟み込んで固定しても構わない。また、弾性材としてゴム２１，バネ２２以外のものを用いてもよい。
【００４１】
荷重があまり小さい場合、部材５０で接着剤２３を十分押し込むことができず、その結果、接着層の厚みが厚くなり、接着強度が不十分となり易い。十分な接着強度を得るうえで、接着層の厚みは１００μｍ以下が好ましく、より好ましくは３０μｍ以下が良い。また、接着層の厚みは５μｍ以上がよく、５μｍ未満では、剥離強度が低下し、部材５０の固定の信頼性が劣化する傾向がある。
【００４２】
荷重があまり大きい場合、部材５０の変形や破壊が発生し易くなる。従って、荷重は以上を考慮して設定することが好ましい。
【００４３】
荷重の値は、ストレスゲージ等によって荷重が直接測定できる場合はその荷重値を、溝の底面に弾性材が配置される場合は弾性材の変形量と弾性率やバネ定数から算出した値を、部材５０の平行平板導体５１との接触面積で割ることによって得られる。
【００４４】
本発明において、溝の底面に貫通孔が形成され、貫通孔に誘電体線路に外部より弾性的に荷重を加えるための押圧部材が挿置されていることが好ましい。この場合の治具等の構成を図９に示す。レプリカ部１１の溝の底面に貫通孔が形成されており、押圧板２６の部材５０側の主面（図９では下面）には、ゴムやバネ等から成る弾性材２５を介して柱状の押圧部材２５ａが取り付けられており、押圧部材２５ａは支持板１４の上下主面間およびレプリカ部１１の溝の底面を貫通する貫通孔に挿置される。この構成により、押圧板２６を下方に押圧することにより、押圧部材２５ａを部材５０に対して弾性的に押圧し、部材５０を平行平板導体５１の主面の配置パターンの部位に押圧して接着することができる。また、支持板１５，１４および押圧板２６のそれぞれの対向する端部には貫通孔１３ａ，１３ｂ等が形成され、それらの貫通孔１３ａ，１３ｂ等に位置決めピン１３が挿入されており、支持板１５，１４および押圧板２６は上下動することができる。
【００４５】
平行平板導体５１の配置パターンの部位に予め接着剤２３を塗布し、押圧部材２５ａで荷重をかけた状態でレプリカ部１１を上方に引き上げ脱型することにより、平行平板導体５１に部材５０が接着剤２３によって密着し、その後接着剤２３を硬化させる。
【００４６】
かくして、本発明は、レプリカ部１１を脱型した状態で接着剤２３を硬化させる工程に供することができるという利点がある。例えば接着剤２３の硬化工程が加熱工程である場合、レプリカ部１１と平行平板導体５１の熱膨張差による位置ズレが発生することがなく、部材５０を高精度に配置することが可能となる。また、レプリカ部１１等の治具による熱容量の影響を低減することができるため、加熱工程への投入数量も増加させることが可能となる。さらに、例えば接着剤２３の硬化工程が紫外線照射工程である場合、接着部はレプリカ部１１の影となり、紫外線を接着部に均一に照射することが困難になるが、レプリカ部１１が脱型されている状態であれば紫外線の照射が容易となる。この場合、レプリカ部１１を透明な材料、例えばアクリル樹脂、ガラスなどで構成すれば、レプリカ部１１を脱型せずとも紫外線を照射でき好ましい。
【００４７】
また、図９の構成において、好ましくは支持板１４およびレプリカ部１１の溝の底面を貫通する貫通孔を部材５０が通過できる大きさにすることによって、予め支持板１４およびレプリカ部１１を平行平板導体５１に密着させた状態で部材５０を上方から溝に収容した後、押圧部材２５ａを上方より配置すれば、部材５０が容易に所定の位置に配置できるという利点がある。これにより、作業性が大幅に向上する。
【００４８】
接着剤２３は、レプリカ部１１を脱型した後、部材５０が密着していることが必要なため、２５℃における粘度が１０００ｍＰａ・ｓｅｃ以上、さらには４００００ｍＰａ・ｓｅｃ以上であることが好ましい。
【００４９】
【実施例】
本発明の実施例を以下に示す。
【００５０】
（実施例１）
図４〜図６に示す本発明の製造用の治具を用いて以下のようにしてＮＲＤガイドを作製した。
【００５１】
図４に示すように、直径３．０１ｍｍの位置決めピン用の貫通孔１３ａが対向する端部に計２個設けてある略四角形のＡｌ製の支持板１４上に、室温硬化後の線収縮率０．１以下、引っ張り強さ５ＭＰａ（メガパスカル）のシリコーンゴムから成り、深さ１ｍｍの溝１２を有するレプリカ部１１を形成した。レプリカ部１１の溝１２の位置は、貫通孔１３ａを基準として測定顕微鏡を用いて測定したところ、所定の設計位置に対して０．１ｍｍ以内の位置ズレであった。
【００５２】
このような溝１２に、図５に示すような高さ１．５ｍｍの各部材、即ち誘電体線路５３，５５，５７，５８、無反射終端部５８ａ、発振器５２、フェライト板、ミキサー５９等の部材５０を収容した。
【００５３】
次に、図６に示すように、シリコーン樹脂接着剤２３を主面の所定の設計位置にディスペンサーにて塗布したＡｌ製の平行平板導体５１を、直径３．０１ｍｍの貫通孔１３ｂが貫通孔１３ａと相対する位置に２個設けてあるＡｌ製の支持板１５上に配置した。平行平板導体５１とレプリカ部１１の溝に収容した部材５０を、直径３ｍｍの位置決めピン１３を貫通孔１３ａ，ｂに通すことにより、支持板１４および支持板１５を押圧して、密着させた。このとき、部材５０の平行平板導体５１に対向する面に種々の圧力が加わるように支持板１４に荷重をかけた状態で、１２０℃で３時間加熱し、接着剤２３を硬化させた後、レプリカ部１１を脱型した。
【００５４】
以上のようにして作製したＮＲＤガイドについて、部材５０の位置関係を貫通孔１３ａを基準として測定顕微鏡を用いて測定し、所定の設計位置に対する位置ズレを測定した。次に、これらのＮＲＤガイドに、信頼性試験、即ち熱衝撃試験（気相状態、環境温度−４０℃〜１２５℃、環境温度入れ替え時間２分以内、サイクル数１０００回、ＪＡＳＯ（社）自動車技術会−Ｄ００１−９４−５−１７準拠）を施した。その後、機械的衝撃試験（衝撃パルスの加速度ピーク値９８１ｍ／ｓ２、パルス作用時間６ｍｓ、３軸（ｘ軸，ｙ軸，ｚ軸）各３回、ＪＡＳＯ−Ｄ００１−９４−５−２４、ＪＡＰＩＡ（社）日本自動車部品工業会−ＥＬ−００２−１９９０−０５準拠）を行った。その後、７６．５ＧＨｚの高周波信号の伝送損失をネットワークアナライザーで評価した。
【００５５】
適当な荷重で押圧した本発明の試料では、部材５０の位置ズレが０．１ｍｍ〜０．２ｍｍと小さく、また信頼性試験後の伝送損失も０．１２ｄＢ／ｍ〜０．１８ｄＢ／ｍと小さく、優れた高周波信号の伝送特性が得られた。これに対し、荷重が小さすぎた試料では位置ズレは０．５ｍｍと比較的小さかったものの、信頼性試験後に部材の脱離が発生し、また、荷重が大きすぎた試料では荷重の負荷が大きいため、部材５０の変形、破壊が見られ、高周波信号は伝送しなかった。
【００５６】
（実施例２）
図４，図５，図９に示す本発明の製造用の治具を用いて以下のようにしてＮＲＤガイ
ドを作製した。
【００５７】
図４に示すように、直径３．０１ｍｍの位置決めピン用の貫通孔１３ａが対向する端部に計２個設けてある略四角形のＡｌ製の支持板１４上に、室温硬化後の線収縮率０．１以下、引っ張り強さ５ＭＰａ（メガパスカル）のシリコーンゴムから成り、深さ１ｍｍの溝１２を有するレプリカ部１１を形成した。レプリカ部１１の溝１２の位置は、貫通孔１３ａを基準として測定顕微鏡を用いて測定したところ、所定の設計位置に対して０．１ｍｍ以内の位置ズレであった。
【００５８】
このような溝１２に、図５に示すような高さ１．５ｍｍの各部材、即ち誘電体線路５３，５５，５７，５８、無反射終端部５８ａ、発振器５２、フェライト板、ミキサー５９等の部材５０を収容した。
【００５９】
次に、図９に示すように、一液性エポキシ樹脂接着剤２３を所定の設計位置にスクリーン印刷により塗布したＡｌ製の平行平板導体５１を、直径３．０１ｍｍの貫通孔１３ｂが貫通孔１３ａと相対する位置に２個設けてあるＡｌ製の支持板１５上に配置した。平行平板導体５１とレプリカ部１１の溝に収容した部材５０を、直径３ｍｍの位置決めピン１３を貫通孔１３ａ，ｂに通すことにより、押圧板２６を支持板１５に押圧して、密着させた。その際、バネの先端に設けられた柱状の押圧部材２５ａを溝１２の貫通孔より通して、部材５０に圧力が加わるように押圧し、押圧板２６上に荷重をかけて密着させた。さらに、押圧部材２５ａで部材５０に荷重を加えたまま、一体構造のレプリカ部１１と支持板１４を上方に脱型した後、押圧板２６を上方に引き上げ、さらに平行平板導体５１を支持板１５から取り外して、部材５０が所定の位置に密着した平行平板導体５１を得た。この状態で、１２０℃で１時間加熱し、接着剤２３を硬化させた。
【００６０】
以上のようにして作製したＮＲＤガイドの部材５０の位置関係を、貫通孔１３ａを基準として工具顕微鏡を用いて測定し、所定の設計位置に対する位置ズレを測定したところ、各部材の位置ズレは０．０２ｍｍ以内でありきわめて良好であった。次に、このＮＲＤガイドに、信頼性試験、即ち熱衝撃試験（気相状態、環境温度−４０℃〜１２５℃、環境温度入れ替え時間２分以内、サイクル数１０００回、ＪＡＳＯ（社）自動車技術会−Ｄ００１−９４−５−１７準拠）を施した。その後、機械的衝撃試験（衝撃パルスの加速度ピーク値９８１ｍ／ｓ２、パルス作用時間６ｍｓ、３軸各３回、ＪＡＳＯ−Ｄ００１−９４−５−２４、ＪＡＰＩＡ（社）日本自動車部品工業会−ＥＬ−００２−１９９０−０５準拠）を行った。その後、７６．５ＧＨｚの高周波信号の伝送損失をネットワークアナライザーで評価したところ、伝送損失が０．０６ｄＢ／ｍときわめて良好であり、本発明の製造方法により、高性能なＮＲＤガイドを作製することが可能になった。
【００６１】
なお、本発明は上記実施の形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を施すことは何等差し支えない。
【００６２】
【発明の効果】
本発明によれば、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間に誘電体線路を介装して成る非放射性誘電体線路の製造方法において、平行平板導体の主面における誘電体線路の所定の配置パターンと鏡像関係のパターンでもって形成された、かつ底面に弾性材が設置されている溝を一面に有する治具を用い、溝内に誘電体線路を収容するとともに誘電体線路の露出した上面または平行平板導体の配置パターンの部位に接着剤を塗布し、平行平板導体の主面と治具の一面とを対向させて誘電体線路を平行平板導体の主面に押圧することにより誘電体線路を平行平板導体の主面の配置パターンの部位に接着することにより、誘電体線路を平行平板導体の主面の所定位置に高精度で配置でき、また誘電体線路の破損等がない機械的特性に優れた高信頼性の製造方法を提供することができ、さらに高周波信号の伝搬損失を小さくした高性能なＮＲＤガイドを提供することが可能となる。また、誘電体線路を長期にわたって安定的かつ強固に固定でき、誘電体線路を高い信頼性でもって固定できる。また、高周波信号の伝搬損失が小さい高性能なＮＲＤガイドを用いた、高性能かつ高信頼性の車載用等のミリ波送受信器を作製できる。さらに、誘電体線路に適度な荷重をかけながら平行平板導体の主面に押圧することができ、また誘電体線路の押圧時に誘電体線路に過大な荷重が加わるのを抑えて、誘電体線路が破損するのを防ぐことができる。
【００６３】
また本発明によれば、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間に誘電体線路を介装して成る非放射性誘電体線路の製造方法において、平行平板導体の主面における誘電体線路の所定の配置パターンと鏡像関係のパターンでもって形成され、かつ底面に貫通孔が形成され、貫通孔に誘電体線路に外部より弾性的に荷重を加えるための押圧部材が挿置されている溝を一面に有する治具を用い、溝内に誘電体線路を収容するとともに誘電体線路の露出した上面または平行平板導体の配置パターンの部位に接着剤を塗布し、平行平板導体の主面と治具の一面とを対向させて誘電体線路を平行平板導体の主面に押圧することにより誘電体線路を平行平板導体の主面の配置パターンの部位に接着することにより、誘電体線路を平行平板導体の主面の所定位置に高精度で配置でき、また誘電体線路の破損等がない機械的特性に優れた高信頼性の製造方法を提供することができ、さらに高周波信号の伝搬損失を小さくした高性能なＮＲＤガイドを提供することが可能となる。また、誘電体線路を長期にわたって安定的かつ強固に固定でき、誘電体線路を高い信頼性でもって固定できる。また、高周波信号の伝搬損失が小さい高性能なＮＲＤガイドを用いた、高性能かつ高信頼性の車載用等のミリ波送受信器を作製できる。さらに、外部より誘電体線路に加わる荷重を微妙に制御することができ、また誘電体線路に過大な荷重が加わるのを抑えて、誘電体線路の押圧時に誘電体線路が破損するのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のＮＲＤガイドの一例の内部を透視した斜視図である。
【図２】従来のＮＲＤガイドの他の例の内部を透視した斜視図である。
【図３】従来のＮＲＤガイドを備えたミリ波レーダーの一例の平面図である。
【図４】本発明の製造方法に使用する治具の平面図である。
【図５】本発明の製造方法に使用する治具に誘電体線路等の部材を収容した状態の平面図である。
【図６】本発明の製造方法において用いられる治具の一例の側面図である。
【図７】本発明の製造方法において用いられる治具の他の例の側面図である。
【図８】本発明の製造方法において用いられる治具の他の例の側面図である。
【図９】本発明の製造方法において用いられる治具の他の例の側面図である。
【符号の説明】
１１：レプリカ部
１２：溝
１３：位置決めピン
１３ａ，１３ｂ：貫通孔
１４：支持板
１５：支持板
２３：接着剤
５０：誘電体線路等の部材
５１：平行平板導体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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