(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リードフレームと合紙が交互に積み重ねられ、且つ、合紙がリードフレーム領域の外側まで拡がった積み重ね物から、リードフレームと合紙を交互に取り出し分離するためのリードフレームと合紙の分離装置であって、少なくとも、リードフレームをその一面で吸着する吸着部と、リードフレームと合紙が交互に積み重ねられた積み重ね物全体を積載する積載部と、リードフレームを吸着する際に、合紙を吸着されるリードフレームから分離するための合紙分離部と、合紙を吸着して除去するための合紙吸着部とからなり、合紙分離部はリードフレームを吸着する際に、リードフレーム領域でない合紙の外側部の複数箇所で合紙を積載部側へ押しつけるもので、吸着部は合紙合紙分離部が合紙を積載部側へ押しつけている間に、リードフレームを吸着しながら、積み重ね物から離れるようにして、吸着したリードフレームを分離するもので、合紙吸着部は合紙除去の際に所定の位置から前記積み重ね物上に移動して合紙を吸着除去するものであることを特徴とするリードフレームと合紙の分離装置。
【請求項２】
請求項１における吸着部が、リードフレームを吸着しながら、積み重ね物から離れる動作を、吸着部の移動のみで行うことを特徴とするリードフレームと合紙の分離装置。
【請求項３】
請求項１における吸着部が、リードフレームを吸着しながら、積み重ね物から離れる動作を、吸着部の移動および積載部の移動の両方で行うことを特徴とするリードフレームと合紙の分離装置。
【請求項４】
請求項１ないし３における合紙分離部は、吸着部の外周部に取付けられたもので、合紙を押しつける押さえ部を伸縮するシリンダ動作により移動させて、合紙を積載部側へ押しつけるものであることを特徴とするリードフレームと合紙の分離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、リードフレームを処理をするための装置の供給部におけるリードフレームと合紙を交互に取り出して分離するための分離装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体装置は、電子機器の高性能化と軽薄短小の傾向からＬＳＩはＡＳＩＣに代表されるように、ますます高集積化、高機能化の一途をたどってきている。
多端子ＩＣ、特にゲートアレイやスタンダードセルに代表されるＡＳＩＣあるいは、マイコン、ＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｉｇｎａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）等をコストパーフォーマンス高くユーザに提供するパッケージとしてリードフレームを用いたプラスチックＱＦＰ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｐａｃｋａｇｅ）が主流となり、現在では３００ピンを超えるものまで実用化に至ってきている。
【０００３】
ＱＦＰは、図４（ｂ）に示すリードフレーム４２０を用いたもので、図４（ａ）に示すように、ダイパッド４２１上に半導体素子４１０を搭載し、銀めっき等の表面処理がなされたインナーリード４２２先端部と半導体素子４１０の端子４１１とをワイヤ４３０にて結線し、封止用樹脂４４０で封止を行い、この後、ダムバー部４２４をカットし、アウターリード４２３をガルウイング状に成形したものである。このように、ＱＦＰは、パッケージの４方向に外部回路と電気的に接続するためのアウターリード４２３を設けた構造で多端子化に対応できるものとして開発されてきた。
尚、図４（ｂ）（ロ）は、図４（ｂ）（イ）のＦ１−Ｆ２における断面図である。
ここで用いられるリードフレーム４２０は、通常、４２合金（４２％ニッケル−鉄合金）あるいは銅合金などの電気伝導率が高く，且つ機械的強度が大きい金属材を素材とし、フォトエッチング法かあるいはスタンピング法により、図４（ｂ）に示すような形状に作製されていた。
そして、通常は、図４（ｂ）に示すリードフレームを複数個を面付けした状態でエッチング等の外形加工を行った後、ワイヤボンディング等のためのメッキ処理や、半導体素子の搭載、樹脂封止を行い、これを分離すると言う方法がとられている。
【０００４】
上記のように、外形加工されたリードフレームに対して、ワイヤボンディングのためのめっき処理等を行う場合、従来は、外形加工されたリードフレームを積層した状態でリードフレームの載置台に載せて、一旦ストックしておき、これを適宜、リードフレーム吸着用のチャンバーにてリードフレームの一面を吸着して、処理装置へ供給していた。
しかし、リードフレームを載置台に載せて、一旦ストックする際には、リードフレームの錆発生防止のために、油紙等をリードフレーム間に合紙として入れ、合紙とリードフレームとを交互に積層した状態にする必要がある為、リードフレームと合紙を交互に重ねた積み重ね物からリードフレームを吸着する際、吸着しようとするリードフレームの直ぐ下の合紙まで一緒に吸着してしまい、リードフレームのみの吸着が難しいという問題があった。
上記合紙の吸着の問題が解決したとしても、別に、静電気の影響により合紙がリードフレームに付着するという問題もあった。そして、リードフレームに静電気により付着した合紙は、搬送途中で落下したとしても、その落下位置が不規則なので、合紙排出用の吸着ノズルが確実に合紙を吸着できなかった。
【０００５】
更に、従来のリードフレームを処理装置へ供給する装置を、図３に基づいて以下簡単に説明しておく。
このリードフレームを処理装置へ供給する方法は、吸着部３１０によるリードフレーム３７０を吸着する際の合紙の吸着の問題が解決された場合であるが、静電気によるリードフレームへの合紙の付着は、解決されていないものである。
尚、はじめは、載置台３２０上に積み重ねられた積み重ね物３９０の一番上にはリードフレーム３７０があるとする。
先ず、チャンバー３１１内を負圧してリードフレームを吸着する吸着部３１０を、図３（ａ）（イ）の状態から、載置台３２０上に積み重ねられた積み重ね物３９０のリードフレーム３７０の一面に接するように移動させ、リードフレーム３７０を吸着部３１０に吸着させる。（図３（ａ）（ロ））
次いで、吸着したリードフレーム３７０のみを積み重ね物３９０から離すように吸着部３１０を移動する。（図３（ａ）（ハ））
この後、更に吸着部３１０を所定位置へ移動して、処理装置へリードフレーム３７０を供給する。
一方、載置台３２０上に積み重ねられた積み重ね物３９０の一番上の面には合紙３８０があることとなるが、図３（ｂ）に示すように、合紙３８０は、合紙吸着部３４０のノズル３１１にて吸引され除去される。
リードフレームに静電気により合紙が付着する場合は、図３（ｃ）（イ）のように、吸着部３１０に吸着されたリードフレーム３７０に合紙３８０が付着することとなるが、通常、合紙は自重により搬送途中で落下し、図３（ｃ）（ロ）のようになるが、落下位置は不規則である。
したがって、合紙吸着部３４０のノズル３４１にて、合紙３８０を吸着して除去することができない場合が多々あった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、リードフレームと合紙が交互に積み重ねられた積み重ね物から、リードフレームと合紙を交互に取り出し分離し、リードフレームを処理装置へ供給する装置においては、リードフレームを吸着して積み重ね物から分離する際、合紙を吸着しないことは勿論のこと、静電気による合紙のリードフレームへの付着の問題の解決が求められていた。
本発明は、このような状況のもと、上記のように、リードフレームと合紙が交互に積み重ねられた積み重ね物から、リードフレームと合紙を交互に正確に取り出し分離ができるリードフレームを処理装置へ供給する分離装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のリードフレームと合紙の分離装置は、リードフレームと合紙が交互に積み重ねられ、且つ、合紙がリードフレーム領域の外側まで拡がった積み重ね物から、リードフレームと合紙を交互に取り出し分離するためのリードフレームと合紙の分離装置であって、少なくとも、リードフレームをその一面で吸着する吸着部と、リードフレームと合紙が交互に積み重ねられた積み重ね物全体を積載する積載部と、リードフレームを吸着する際に、合紙を吸着されるリードフレームから分離するための合紙分離部と、合紙を吸着して除去するための合紙吸着部とからなり、合紙分離部はリードフレームを吸着する際に、リードフレーム領域でない合紙の外側部の複数箇所で合紙を積載部側へ押しつけるもので、吸着部は合紙合紙分離部が合紙を積載部側へ押しつけている間に、リードフレームを吸着しながら、積み重ね物から離れるようにして、吸着したリードフレームを分離するもので、合紙吸着部は合紙除去の際に所定の位置から前記積み重ね物上に移動して合紙を吸着除去するものであることを特徴とするものである。
そして、上記における吸着部が、リードフレームを吸着しながら、積み重ね物から離れる動作を、吸着部の移動のみで行うことを特徴とするものである。
そしてまた、上記における吸着部が、リードフレームを吸着しながら、積み重ね物から離れる動作を、吸着部の移動および積載部の移動の両方で行うことを特徴とするものである。
また、上記における合紙分離部は、吸着部の外周部に取付けられたもので、合紙を押しつける押さえ部を伸縮するシリンダ動作により移動させて、合紙を積載部側へ押しつけるものであることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】
本発明のリードフレームと合紙の分離装置は、このような構成にすることにより、リードフレームと合紙が交互に積み重ねられた積み重ね物から、リードフレームと合紙を交互に正確に取り出し分離ができる、リードフレームと合紙の分離装置の提供を可能としている。
本発明のリードフレームと合紙の分離装置は、リードフレームと合紙が交互に積み重ねられ、且つ、合紙がリードフレーム領域の外側まで拡がった積み重ね物から、リードフレームと合紙を交互に取り出し分離するためのリードフレームと合紙の分離装置であり、詳しくは、リードフレームをその一面で吸着する吸着部と、リードフレームと合紙が交互に積み重ねられた積み重ね物全体を積載する積載部と、リードフレームを吸着する際に、合紙を吸着されるリードフレームから分離するための合紙分離部と、合紙を吸着して除去するための合紙吸着部とからなり、合紙分離部はリードフレームを吸着する際に、リードフレーム領域でない合紙の外側部の複数箇所で合紙を積載部側へ押しつけるもので、吸着部は合紙分離部が合紙を積載部側へ押しつけている間に、リードフレームを吸着しながら、積み重ね物から離れるようにして、吸着したリードフレームを分離するもので、合紙吸着部は合紙除去の際に所定の位置から前記積み重ね物上に移動して合紙を吸着除去するものであることによりこれを達成している。
具体的には、吸着部が、リードフレームを吸着しながら、積み重ね物から離れる動作を、吸着部の移動のみ、ないし吸着部の移動および積載部の移動の両方で行い、且つ、合紙分離部を、吸着部の外周部に取付け、合紙を積載部へ押しつけることにより、装置全体を比較的、簡単な構成としている。
【０００９】
【実施例】
本発明のリードフレームと合紙の分離装置の実施例を以下、図１にそって説明する。
図１（ａ）は実施例のリードフレームと合紙の分離装置を示す側面図であり、図１（ｂ）は、合紙分離部が合紙を押しつける位置の一部を示した平面図である。
図１中、１００は分離装置、１１０は吸着部、１１１はチャンバー、１１１Ｓはチャンバー面、１１２は負圧配管、１１６は可変支持部、１１７は上下駆動部、１１８は支持柱、１１９は可動支持部、１２０は積載部、１２１は昇降用ジャッキ、１２２は載置台、１２３は可変支持部、１３０は合紙分離部、１３１は押しつけ部、１３１Ａは押しつけ箇所（平面図）、１３２はシリンダ部、１４０は合紙吸着部、１４１は管、１４２は吸引部、１７０はリードフレーム、１８０は合紙、１９０は積み重ね物である。
本実施例のリードフレームと合紙の分離装置１００は、リードフレーム１７０と合紙１８０が交互に積み重ねられ、且つ、合紙１８０がリードフレーム１７０領域の外側まで拡がった積み重ね物１９０から、リードフレーム１７０と合紙１８０を交互に取り出し分離するためのリードフレーム１７０と合紙１８０の分離装置で、ワイヤボンディングのめっき等の処理装置へリードフレーム１７０を供給するための装置である。
図１（ａ）に示すように、リードフレーム１７０をその一面で吸着する吸着部１１０と、リードフレーム１７０と合紙１８０が交互に積み重ねられた積み重ね物１９０全体を積載する積載部１２０と、リードフレームを吸着する際に、合紙を吸着されるリードフレームから分離させるように合紙１８０を積載部１２０側へ押しつける合紙分離部１３０と、合紙１８０を吸着して除去するための合紙吸着部１４０とからなる。
【００１０】
吸着部１１０は、負圧にされたチヤンバー１１１を備え、チャンバー１１１のリードフレームと接する側の面（１１１Ｓ）に所定形状の孔を開けてリードフレームを吸引して吸着するものである。負圧にされたチヤンバー１１１は、通常、負圧配管１１２を介して負圧にされる。
尚、負圧にするとは外気より低い圧にすることで、負圧配管１１２はチャンバー１１１を外気より低くするための配管である。
負圧にされたチヤンバー１１１の一面１１１Ｓがリードフレーム面に略平行の状態で接するように、チャンバー面１１１Ｓは調整可能に固定されている。
そして、合紙分離部１３０が合紙１８０を積載部１２０側へ押しつけている間に、吸着部１１０は、リードフレーム１７０を吸着しながら、積み重ね物１９０から離れるようにして、吸着したリードフレーム１７０を分離する。
チャンバー部１１１は、上下可動に移動できるように、可変支持部１１６により固定され、上下駆動部１１７により移動される。
そして、これらチャンバー部１１１、上下駆動部１１７、可変支持部１１６等、および合紙分離部１３０は、支持柱１１８により支持されており、且つ、支持柱１１８は可動支持部１１９に支持されている。
【００１１】
積載部１２０は、リードフレーム１７０と合紙１８０が交互に積み重ねられた積み重ね物１９０全体をほぼ水平にした状態で載置台１２２上に載せて、上下移動できるように、昇降用ジヤッキ１２１および可変支持部１２３を備えている。
【００１２】
合紙分離部１３０は、リードフレーム１７０を吸着する際に、図１（ｂ）に示すように、リードフレーム領域でない合紙の外側部の複数箇所１３１Ａを積載部１２０へ押しつけるもので、吸着部１１０の外周部に取付けられている。そして、合紙１８０を押しつける押さえ部１３１を伸縮するシリンダ動作により移動させて、合紙１８０を積載部１２０へ押しつけるものである。
シリンダー１３２部は、リードフレーム１７０のサイズや、合紙１８０のサイズに合わせてその固定位置は移動可能としてある。
【００１３】
合紙吸着部１４０は、合紙１８０の除去の際に、所定の位置から前記積み重ね物１９０上に移動して合紙１８０を吸着除去するものである。
合紙１８０を吸着する際には、リードフレーム吸着する場合と異なり、その直ぐ下のリードフレームを合紙とともに吸着することはないため、単に、負圧して吸引する部分をもてばよく、管１４１を移動し先端部のノズル状の吸引部１４２で合紙を吸引する。
【００１４】
次に、本実施例のリードフレームと合紙の分離装置の動作の１例を図２をもとに説明する。
先ず、吸着部１１０を、リードフレーム１７０と合紙１８０とが交互に積み重ねられ、且つ、合紙１８０がリードフレーム領域の外側まで拡がった積み重ね物１９０上にセットする。（図２（ａ））
次に、吸着部１１０を下降させ、チャンバー１１１の吸着面１１１Ｓをリードフレームにほぼ平行に接するようにし、リードフレーム１７０を吸着する。（図２（ｂ））
次に、吸着部１１０を上昇、積載部１２０を下降させるとともに、吸着部１１０に固定した合紙分離部１３０の押しつけ部１３１が合紙１８０を積載部１２０へ押し続けるように、シリンダ部１３２を動作させ、シリンダ部が伸びた状態にする。（図２（ｃ））
吸着部１１０がリードフレーム１７０のみを吸着し、積載部１２０上の積み重ね物１９０から充分離れた後、合紙分離部１３０のシリンダ部１３２を動作させ、リンダ部が縮んだ状態にし、押しつけ部１３１を合紙１８０から離す。（図２（ｄ））
【００１５】
このようにして、図２（（ａ））において、積載部１２０上の積み重ね物１９０の一番上に置かれていたリードフレーム１７０を、積み重ね物１９０から分離することができる。
図２（ｄ）に示す状態で吸着部１１０全体を移動することにより、所望の処理装置へリードフレームのみを搬送供給することができる。
また、図２（ｄ）の状態では合紙１８０が積載部１２０上の積み重ね物１９０の１番上に載っていることとなるが、合紙１８０の吸着は、リードフレーム１７０を吸着する場合と異なり、直ぐ下のリードフレームを吸着することもなく、且つ静電気によりリードフレームが合紙に付着することもない為、単純に合紙吸着部１４０を所定の位置から積み重ね物１９０上に移動して合紙１８０を吸着除去する。
【００１６】
そして、上記、リードフレームの吸着分離と合紙の吸着分離を繰り返すことにより、連続的にリードフレームを積載部１２０上の積み重ね物１９０から所望の処理装置へと供給することを可能としている。
【００１７】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、リードフレームと合紙が交互に積み重ねられた積み重ね物から、リードフレームと合紙を交互に正確に取り出し分離できる、リードフレームと合紙の分離装置の提供を可能としている。
その結果、リードフレームのめっき処理等の処理装置へのリードフレームの提供を正確にできるものとしている。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例のリードフレームと合紙の分離装置の概略構成図
【図２】実施例のリードフレームと合紙の分離装置の動作を説明するための図
【図３】従来のリードフレームと合紙の分離装置の概略構成図
【図４】半導体装置とリードフレームの図
【符号の説明】
１００              分離装置
１１０              吸着部
１１１              チャンバー
１１１Ｓ            チャンバー面
１１２              減圧配管
１１６              可変支持部
１１７              上下駆動部
１１８              支持柱
１１９              可動支持部
１２０              積載部
１２１              昇降用ジヤッキ
１２２              載置台
１２３              可変支持部
１３０              合紙分離部
１３１              押しつけ部
１３１Ａ            押しつけ箇所
１３２              シリンダ部
１４０              合紙吸着部
１４１              管
１４２              吸引部
１７０              リードフレーム
１８０              合紙
１９０              積み重ね物
３１０              吸着部
３１１              チャンバー
３２０              載置台
３４０              合紙吸着部
３４１              ノズル
３７０              リードフレーム
３８０              合紙
３９０              積み重ね物
４００              半導体装置
４１０              半導体素子
４１１              端子
４２０              リードフレーム
４２１              ダイパッド
４２２              インナーリード
４２３              アウターリード
４２４              ダムバー
４２５              フレーム（枠）部
４３０              ワイヤ
４４０              封止樹脂
【図１】
0003701383.tif 000002
【図２】
0003701383.tif 000003
【図３】
0003701383.tif 000004
【図４】
0003701383.tif 000005