(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工前のワークを供給部より単数又は複数装備されたプレス部へ搬入するため、該プレス部に対してワークを保持して進退移動可能な搬入保持手段を備えたワーク搬入手段と、加工後のワークを前記プレス部より収容部へ搬出するため、該プレス部に対してワークを保持して進退移動可能な搬出保持手段を備えたワーク搬出手段とを備え、前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、同一平面に沿って上下に重なり合うように近接して対向配置され、それぞれ個別に備えた駆動源により回動する回動軸を一体に支持する可動支持板が、取付台の長手方向に往復動可能に取り付けられていることを特徴とするプレス装置の搬送機構。
【請求項２】
前記プレス部は、上型に対して下型が上下動可能に装備されており、前記ワーク搬入手段は、上動した下型上に前記搬入保持手段に保持した加工前のワークを移載し、前記ワーク搬出手段は型開きした下型上へ前記搬出保持手段を下動することにより加工後のワークを回収することを特徴とする請求項１記載のプレス装置の搬送機構。
【請求項３】
前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段に各々装備した搬入保持手段及び搬出保持手段は、前記プレス部の上下金型をそれぞれクリーニングするクリーナーと、クリーニングした塵埃などを吸引する吸引口及びこれに接続する吸引ダクトとをそれぞれ備えたことを特徴とする請求項１記載のプレス装置の搬送機構。
【請求項４】
前記搬出保持手段が加工後のワークを保持したままプレス部より退避するとき、前記搬入保持手段は加工前のワークを保持したままプレス部に進入し、前記搬出保持手段と搬入保持手段が入れ替わるように型開きしたプレス部に進退移動することを特徴とする請求項１記載のプレス装置の搬送機構。
【請求項５】
前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、前記プレス部に対する前記搬入保持手段及び搬出保持手段の進退方向と交差する方向に往復移動可能に装備されていることを特徴とする請求項１記載のプレス装置の搬送機構。
【請求項６】
前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、その周囲を囲繞するよう配設されたワーク供給部、プレス部及びワーク収容部に対してそれぞれワークを搬入及び／又は搬出することを特徴とする請求項１記載のプレス装置の搬送機構。
【請求項７】
ワーク供給部、プレス部及びワーク収容部はユニット化されており、前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段を有する基本ユニットに対して少なくとも１のユニットが着脱可能に装備されていることを特徴とする請求項１記載のプレス装置の搬送機構。
【請求項８】
搬入保持手段及び搬出保持手段に各々設けられる吸引口と回動軸と共に回転する回転ダクトが吸引ダクトにより各々接続されており、ワーク搬入手段及びワーク搬出手段が回動した際に、可動支持板の進退方向両側に設けられたいずれかの可動ダクトに回転ダクトが接続して吸引動作が行われることを特徴とする請求項１記載のプレス装置の搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工前のワークが供給部より単数又は複数装備されたプレス部に搬入され、加工後のワークが前記プレス部より収容部に搬出されるプレス装置の搬送機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プレス装置の中で用いられる樹脂封止装置は、トランスファモールドによる自動機が広く使用されている。このトランスファモールド装置は、例えば図１７に示すように、被成形品としてのリードフレームがリードフレーム供給部１０１よりフレーム整列部１０２に供給されてプレヒートされ、樹脂タブレット供給部１０３よりタブレットカセット１０３ａを介してフレーム整列部１０２に供給されて、ローダー１０４によりリードフレーム及び樹脂タブレットがチャックされてモールド金型１０５へ移送される。そして、該モールド金型１０５でクランプされ、ポット内から溶融樹脂をプランジャでキャビティ内に圧送してパッケージ部が樹脂封止される。樹脂封止後の成形品はアンローダー１０６により回収されてディケート部１０７へ搬送されゲートブレイクが行われた後、成形品のみが成形品収容部１０８に収容される。
【０００３】
上記ローダー１０４及びアンローダー１０６は、ガイドシャフト１０９に沿って供給位置と搬入位置、搬出位置とディゲート位置との間を矢印Ｘ方向にそれぞれ往復移動するように構成されている。上記ローダー１０４及びアンローダー１０６は、上記ガイドシャフト１０９に対して横並びに設けられている。また、上記ローダー１０４及びアンローダー１０６は、モールド金型１０５に対して矢印Ｙ方向に進退移動可能であり、上記搬入位置及び搬出位置よりモールド金型１０５に移動して被成形品を搬入し成形品を搬出する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記リードフレーム供給部１０１と成形品収容部１０８がモールド金型１０５の両側に設けられており、ローダー１０４及びアンローダー１０６は、ガイドシャフト１０９に沿って直線的に往復移動する配置構成であるため、装置全体がＸ方向に長くなりレイアウト上の制約を受け易く、プレス装置全体がコンパクトにならず、工場フロア内の床面積を広く取る。特に半導体装置製造用の樹脂封止装置は、高純度のクリーンルーム内で使用するため、該クリーンルーム内の床面スペースを効率良く利用することは重要である。
また、成形品の量産化を図るため、モールド金型１０５を複数装備した場合には、Ｘ方向に更に長くなるため装置全体が大型化する。また、上記複数のモールド金型１０５に対して一方向からローダー１０４及びアンローダー１０６が個別に進退移動し、アンローダー１０６が成形品を搬出してモールド金型１０５から退避してから、図示しないクリーナーが進退移動して上下金型表面をクリーニングし、次いでローダー１０４が被成形品をモールド金型１０５へ搬入するので、被成形品の搬入、金型クリーニング及び成形品の搬出が段階的に行われるためマシンサイクルが遅延化して、高速処理化に限界がある。
【０００５】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、装置全体を小型化すると共にマシンサイクルを短縮化して、量産化や高速化を実現可能なプレス装置の搬送機構を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。
即ち、加工前のワークを供給部より単数又は複数装備されたプレス部へ搬入するため、該プレス部に対してワークを保持して進退移動可能な搬入保持手段を備えたワーク搬入手段と、加工後のワークを前記プレス部より収容部へ搬出するため、該プレス部に対してワークを保持して進退移動可能な搬出保持手段を備えたワーク搬出手段とを備え、前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、同一平面に沿って上下に重なり合うように近接して対向配置され、それぞれ個別に備えた駆動源により回動する回動軸を一体に支持する可動支持板が、取付台の長手方向に往復動可能に取り付けられていることを特徴とする。
【０００７】
また、プレス部は、上型に対して下型が上下動可能に装備されており、ワーク搬入手段は、上動した下型上に搬入保持手段に保持した加工前のワークを移載し、ワーク搬出手段は型開きした下型上へ搬出保持手段を下動することにより加工後のワークを回収することを特徴とする。
また、ワーク搬入手段及びワーク搬出手段に各々装備した搬入保持手段及び搬出保持手段は、プレス部の上下金型をそれぞれクリーニングするクリーナーと、クリーニングした塵埃などを吸引する吸引口及びこれに接続する吸引ダクトとをそれぞれ備えたことを特徴とする。
また、搬出保持手段が加工後のワークを保持したままプレス部より退避するとき、搬入保持手段は加工前のワークを保持したままプレス部に進入し、搬出保持手段と搬入保持手段が入れ替わるように型開きしたプレス部に進退移動することを特徴とする。
また、ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、プレス部に対する搬入保持手段及び搬出保持手段の進退方向と交差する方向に往復移動可能に装備されていることを特徴とする。
また、ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、その周囲を囲繞するよう配設されたワーク供給部、プレス部及びワーク収容部に対してそれぞれワークを搬入及び／又は搬出することを特徴とする。
また、ワーク供給部、プレス部及びワーク収容部はユニット化されており、前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段を有する基本ユニットに対して少なくとも１のユニットが着脱可能に装備されていることを特徴とする。
また、搬入保持手段及び搬出保持手段に各々設けられる吸引口と回動軸と共に回転する回転ダクトが吸引ダクトにより各々接続されており、ワーク搬入手段及びワーク搬出手段が回動した際に、可動支持板の進退方向両側に設けられたいずれかの可動ダクトに回転ダクトが接続して吸引動作が行われることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の態様を添付図面に基づいて詳細に説明する。
〔第１実施例〕
本実施例は、プレス装置の一例として半導体装置製造に用いるトランスファーモールドによる樹脂封止装置を用い、下型にプランジャを設置したロアープランジャ方式によるもので、マルチポットタイプのモールド金型を使用する、ロアーマルチプランジャ方式を採用した樹脂封止装置を用いて説明する。
【０００９】
図１はプレス部を取り外した樹脂封止装置の概略構成を示す平面図、図２は図１の樹脂封止装置の正面図、図３は図１の樹脂封止装置の右側面図、図４（ａ）（ｂ）（ｃ）は搬送機構の平面図、正面図及び左側面図、図５（ａ）〜（ｄ）はローダーの説明図、図６（ｅ）〜（ｇ）はローダーの他例の説明図、図７（ａ）〜（ｄ）はアンローダーの説明図、図８（ｅ）〜（ｇ）はアンローダーの他例の説明図である。
【００１０】
（全体構成）
先ず、図１〜図３を参照して樹脂封止装置の概略構成について説明する。
１は装置本体としての基本ユニットであり、プレス機能を装備した２台のプレス部２を着脱自在に装備している。尚、プレス部２は基本ユニット１の占有エリア内に位置しているので、プレス部２を着脱しても装置本体の占有エリアが変化することはない。また、プレス部２は複数台装備する場合に限らず単数装備されていても良い。
【００１１】
上記基本ユニット１は、ワークとして単数又は複数の被成形品（リードフレーム及び樹脂タブレット）を供給可能に収容するリードフレーム供給部３及び樹脂供給部４と、ワークとして樹脂封止後のリードフレームを収容するリードフレーム収容部５を装備している。また、上記基本ユニット１にはリードフレーム供給部３及び樹脂供給部４より供給されたリードフレーム及び樹脂タブレットを上記プレス部２へ搬入するためのワーク搬入手段としてのローダー６と、樹脂封止後のリードフレームを上記プレス部２より上記リードフレーム収容ユニット５へ搬出するワーク搬出手段としてのアンローダ７を装備している。上記ローダー６はアンローダー７の上に重なり合うように配設されている。
【００１２】
上記ローダー６は、上記リードフレーム供給部３より回転テーブル３ｂを備えたフレーム整列部３ａへ供給されたリードフレームを受け渡されて９０°回転した後、樹脂供給部４よりカセット４ａに供給された樹脂タブレットをそのカセット４ａより受け渡されて、更に９０°回転してこれらを型開きしたいずれか一方のプレス部２へ搬入する。また、アンローダー７は、成形後のリードフレームを前記プレス部２より回収して一旦ディゲート部８へ搬出する。
尚、上記リードフレーム供給部３やリードフレーム収容ユニット５は、基本ユニット１の基台上に角ロッド等により支持されたベースプレート（図示せず）上に設けられている。樹脂封止前のリードフレームを収容した供給マガジンや樹脂封止後のリードフレームを収容した収容マガジンは、上記ベースプレート上より取り出されて補充される。また、上記樹脂供給部４は、上記ベースプレートより下方の基台上に装備されており、上記カセット４ａはこの基台上の供給位置と上部の受け渡し位置とを往復移動している。
【００１３】
上記基本ユニット１の上記ローダー６及びアンローダー７の移動路９の両側には、装置基台の一部にプレス着脱部１０が設けられており、該プレス着脱部１０には前記プレス部２が着脱自在に装着される（図１参照）。
また、上記基本ユニット１には操作部１１が設けられており（図２参照）、樹脂封止動作の開始や動作モードを選択操作する。１２は制御部であり、上記操作部１１より入力された指令に基づき、基本ユニット１に装備された各部の動作を制御する。
【００１４】
上記リードフレーム供給部３及び樹脂供給部４より供給されたリードフレーム及び樹脂タブレットはローダー６にチャックされて、各プレス部２に搬入されて上下金型１３，１４間でクランプされて樹脂封止され、樹脂封止後の成形品はアンローダー７にチャックされてディゲート部８へ搬出され、ゲートブレイクが行われた後、リードフレーム収容部５へ移送されて収容される。
本実施例では、装置の一方向（図１の左側）からリードフレーム，樹脂タブレットの供給と成形品の取り出しが可能な配置構成にできるので、作業性が良い。
【００１５】
（プレス部の構成）
以下、上記プレス部２の構成について、概略を説明する。
図３において、プレスベースと下型１４を支持する可動プラテンとの間を図示しない昇降機構により連繋し、該昇降機構を電動モータ（サーボモータ）や油圧機構（図示せず）等を用いて作動させることによって上記下型１４を昇降させて、上固定プラテンに固定された上型１３との型開閉が行われる。また、上記下型１４にはポットに供給された樹脂をキャビティへ圧送すべくプランジャを上下動させるトランスファ駆動機構（図示せず）が装備されている。上記トランスファ駆動機構は電動モータや油圧機構などにより駆動される。上記プレス部２にも固有の操作部や制御部が装備されており、プレス動作を制御可能に構成されている。
【００１６】
また、上記プレス着脱部１０には、図１〜図３に示すように、プレス部２の底部を支持して着脱するため、該プレス部２の着脱方向に沿って複数のローラー１０ａがユニット支持面１０ｄに回動可能に設けられている。また、上記プレス着脱部１０のプレス部２の装着方向奥側には突き当て部１０ｂが形成されている。また、上記ユニット支持面１０ｄの長手方向両側には、プレス部２の幅方向をガイドするためのガイドレール１０ｃが設けられている。上記プレス着脱部１０の設置面より下型１４の加工面（パーティング面）までの距離は、金型の品種が変わっても一義的に決まるように設定されている。
【００１７】
尚、上記プレス着脱部１０に設けられたローラー１０ａは、該ローラー１０ａの変形や摩耗等を考慮すると、プレス部２の底部を着脱時支持する位置からプレス着脱部１０ａの内部に退避するように構成しても良い。この場合には、プレス着脱部１０のユニット支持面（平面）１０ｄによりプレス部２を支持するので、着脱を繰り返しても高さ出しの精度が変動することがない。また、上記ローラー１０ａの代わりに枠体に金属ボールが回転自在に取り付けられたボールベアリングを用いたり、上記ユニット支持面（平面）１０ｄを鏡面状にして滑り易くしても良い。上記プレス着脱部１０に装着されたプレス部２は、先端に螺合部を形成された位置決めピン１０ｅにより位置決め固定される。また、上記プレス部２の着脱作業は、予め専用の治具により平面位置及び高さ出しが行われた後、専用の移動台車Ｋなどにより運搬されてプレス着脱部１０に移載される（図１参照）。
【００１８】
（搬送機構の構成）
次に、ローダー６及びアンローダー７の構成について、図４〜図８を参照して具体的に説明する。図４において、上記ローダー６及びアンローダー７は上下に配設されており（図４（ｂ）参照）、同一平面に沿って移動可能に装備されている。このように、上記ローダー６及びアンローダー７を近接して対向配置することで、装置本体の占有面積を可能な限り少なくすることができる。また、上記ローダー６及びアンローダー７には、回動モータ（電動モータ）１５，１６が個別に装備されている（図４（ｂ）参照）。この回動モータ１５，１６のモータギヤと回動軸１７，１８に同軸状に設けられたプーリギヤ１９，２０との間にタイミングベルト（図示せず）が掛け渡されており、上記回動モータ１５，１６を駆動することにより、上記ローダー６及びアンローダー７は、回動軸１７，１８を中心にそれぞれ回動される。上記回動軸１７，１８の内部には、ローダー６及びアンローダー７の駆動部分への配線用のカールケーブル１７ａ，１８ａがそれぞれ配設されている。
【００１９】
ここで、上記ローダー６及びアンローダー７の移動機構について説明する。図４（ａ）において、２１は取付台であり、ローダー６及びアンローダー７にそれぞれ設けられている。この取付台２１には、上記ローダー６及びアンローダー７の回動軸１７，１８を一体に支持する可動支持板２２が、該取付台２１の長手方向に往復移動可能にそれぞれ取り付けられている。上記可動支持板２２は、上記取付台２１の長手方向に配設されたレール２３に対して可動支持板２２に固定されたガイド２２ａを介して移動可能に嵌め込まれている。また、上記取付台２１には、上記レール２３と平行にボールネジ２４が配設されている。このボールネジ２４は、上記取付台２１に設けられた正逆回転駆動可能な移動モータ（サーボモータ）２５によりタイミングベルト２５ａを介して回動される。
上記可動支持板２２の一部に形成されたナット２２ｂには上記ボールネジ２４が挿通するように螺合しており、上記ボールネジ２４が回転駆動されると、可動支持板２２がレール２３に沿って図４（ａ）の回動位置Ａと移動路９に沿って複数装備されたプレス部２に対応する進退位置Ｂとの間を左右方向に移動するように構成されている。尚、上記レール２３は回転軸１７，１８の中心部真下に設けなかったのは、該回転軸１７，１８の中心部は配線路として利用されるため、スペースを確保しようとするとローダー６及びアンローダー７の全体の高さが高くなってしまうためである。
【００２０】
また、図４（ｂ）（ｃ）に示すように、ローダー６及びアンローダー７は、型開きしたプレス部２に対してワークを保持して個別に進退移動可能な搬入保持手段としての搬入移動体２６及び搬出保持手段としての搬出移動体２７をそれぞれ装備している。
【００２１】
上記搬入，搬出移動体２６，２７の具体的な構成について図５〜図８を参照して説明する。図５（ａ）及び図７（ａ）は搬入，搬出移動体の上視図、図５（ｂ）（ｃ）及び図７（ｂ）（ｃ）は、図５（ａ）及び図７（ａ）の左右展開図、図５（ｄ）及び図７（ｄ）は上下クリーナーの待機状態を示す説明図、図６（ｅ）〜（ｇ）及び図８（ｅ）〜（ｇ）は、他例に係る上下クリーナーの上視図、上下クリーナーの動作状態及び待機状態を示す説明図である。
先ず、ローダー６に装備された搬入移動体２６の構成について図５（ａ）〜（ｄ）を参照して説明する。上記搬入移動体２６は、断面コ字状の搬入枠体２８の内部にチャックハンド２９、上型１３のパーティング面をクリーニングするための上クリーナー３０、該上クリーナー３０により掻き落とされた不要樹脂や塵埃などを吸引する吸引口３１及びこれに接続する吸引ダクト３２が可動フレーム２６ａに装備されている。この吸引ダクト３２は上記可動フレーム２６ａの周囲に沿って配設されており、後述する回転ダクト５０に接続されている。
【００２２】
上記上クリーナー３０は、吸引ダクト３２に接続するフード３３の開口内部に収容されている。上記フード３３の開口が、吸引口３１を兼用しているのは、上記ローダー６は、上クリーナー３０が先頭側となってプレス部２へ進入するため、上クリーナー３０のフード３３が吸引口３１を兼用することが望ましいためである。また、上記上クリーナー３０は、進退移動時の上型１３との干渉を回避するため、上クリーナーシリンダ３４により上型１３のパーティング面に対して接離動可能に構成されている。即ち、搬入移動体２６が金型内に進入するときのみ、上型１３側へ突出するよう上クリーナーシリンダ３４により接離動させる（図５（ｃ）（ｄ）参照）。尚、上記上クリーナー３０は、図６（ｅ）〜（ｇ）に示すように、図示しないシリンダ駆動により上クリーナー３０がフード３３と一体にプーリーを中心に回動して上型１３のパーティング面に接離動するように構成しても良い。
【００２３】
また、図５（ａ）に示すように、上記上クリーナー３０は上クリーナー駆動モータ３５よりプーリー間に掛け渡されたタイミングベルトを介して回転駆動される。また、成形前のリードフレームをチャックするチャックハンド２９は、チャックハンド取付プレート３６に保持されている。また樹脂タブレットは、上記チャックハンド取付プレート３６に形成されたタブレット保持穴３７に保持されて搬送される。
【００２４】
次に、アンローダー７に装備された搬出移動体２７の構成について、図７（ａ）〜（ｄ）を参照して説明する。上記搬出移動体２７は、断面コ字状の搬出枠体３８の内部にチャックハンド３９、下型１４のパーティング面をクリーニングするための下クリーナー４０、該下クリーナー４０により掻き出された不要樹脂や塵埃などを吸引する吸引口４１及びこれに接続する吸引ダクト４２が可動フレーム２７ａに装備されている。この吸引ダクト４２は上記可動フレーム２７ａの周囲に沿って配設されており、後述する回転ダクト５１に接続されている。
【００２５】
上記下クリーナー４０は、フード４３の開口内部に収容されており、該フード４３と隣接して吸引口４１が形成されている。上記吸引口４１は、下クリーナー４０とは別個に該下クリーナー４０より退避方向後側に形成されている。これは、上記下クリーナー４０は、搬出移動体２７がプレス部２より退避する際に下型１４のクリーニングを行うため、下クリーナー４０の退避方向後側に配設されているのが望ましいからである。また、上記下クリーナー４０は、進退移動時の下型１４や成形品との干渉を回避するため、下クリーナーシリンダ４４により下型１４のパーティング面に対して接離動可能に構成されている。即ち、搬出移動体２７が金型より退避するときのみ、下型１４側へ突出するよう下クリーナーシリンダ４４により接離動させる（図７（ｃ）（ｄ）参照）。尚、上記下クリーナー４０は、図８（ｅ）〜（ｇ）に示すように、図示しないシリンダ駆動により下クリーナー４０がフード４３と一体にプーリーを中心に回動して下型１４のパーティング面に接離動するように構成しても良い。
【００２６】
また、図７（ａ）に示すように、上記下クリーナー４０は下クリーナー駆動モータ４５よりプーリー間に掛け渡されたタイミングベルトを介して回転駆動される。また、成形後のリードフレームをチャックするチャックハンド３９は、チャックハンド取付プレート４６に保持されている。このチャックハンド取付プレート４６は、図７（ｃ）に示すハンドベースシリンダ４７により下動可能に装備されており、これによってチャックハンド３９の先端の爪部分を下型１４より離型した成形品に確実に潜り込ませて成形品の回収を確実に行うことができる。
【００２７】
上記搬入，搬出移動体２６，２７の進退動作について図４（ｂ）（ｃ）を参照して説明する。搬入，搬出枠体２８，３８に設けられた進退用モータ（電動モータ）４８，４９のモーターギヤは可動フレーム２６ａ，２７ａに設けられたラック２６ｂ，２７ｂとそれぞれ噛合している。上記進退用モータ４８，４９を正逆回転駆動することにより、可動フレーム２６ａ，２７ａを進退位置Ｂ（図４（ａ）参照）とプレス部２との間を往復動させる。上記可動フレーム２６ａ，２７ａは、搬入，搬出枠体２８，３８の両側に設けられたガイドレール２８ａ，３８ａ（図４（ｂ）参照）に沿って進退移動する。上記搬入，搬出移動体２６，２７は上下に配置されているので、可動フレーム２６ａ，２７ａは型開きしたプレス部２に同時に進入させることが可能ある。
【００２８】
次に、上記搬入，搬出移動体２６，２７のワークの搬入搬出動作について説明する。先ずローダー６は、図４（ａ）の回動位置Ａにおいて、搬入移動体２６から可動フレーム２６ａを前進させ、フレーム整列部３ａの回転テーブル３ｂ（図１参照）に切り出されたリードフレームをチャックハンド２９によりチャックする。また、上記可動フレーム２６ａを一旦後退させた後、回動モータ１５を作動させてローダー６を９０°回転させ、上記可動フレーム２６ａを前進させてカセット４ａより樹脂タブレットをチャックする。そして、上記可動フレーム２６ａを後退させて、時計回り若しくは反時計回りに９０°回転させた後、移動モータ２５を作動させて可動支持板２２をレール２３に沿って移動させ、ローダー６をその回動軸１７が回動位置Ａより進退位置Ｂへ到達するまで移動路９を移動させる。上記回転軸１７の回動位置Ａから進退位置Ｂへの移動とローダー６の回動を複合的に行えば、マシンサイクルの短縮化ができる。尚、図４（ａ）においてＲはローダー６，アンローダー７の旋回ラインを示す。
【００２９】
前述したように、プレス部２は上型１３に対して下型１４が上下動可能に装備されている。上記搬入移動体２６は、型開きしたプレス部２内に進退用モータ４８を駆動させて可動フレーム２６ａを進入させ、上動させた下型１４上にチャックハンド２９に保持したリードフレームや樹脂タブレットをチャックを解放して移載する。上記可動フレーム２６ａが型開きしたプレス部２に、図４（ａ）に示す進退位置Ｂより進入するとき、上クリーナーシリンダ３４を作動させてフード３３内に収容された上クリーナー３０を上型１３のパーティング面に接触させると共に回転させてクリーニングしつつ、塵埃を吸引ダクト３２内に吸引しながら進入する。尚、ワークを搬入後、上記可動フレーム２６ａがプレス部２より退避するときには、上記上クリーナー３０を上型１３より退避させた状態で進退位置Ｂへ退避させる。
【００３０】
また、樹脂封止後に型開きしたプレス部２より成形品を取り出す場合には、アンローダー７を図４（ａ）に示す進退位置Ｂに移動させた状態で、上記搬出移動体２７は、進退用モータ４９を駆動させて型開きしたプレス部２内に進退位置Ｂより可動フレーム２７ａを進入させる。尚、上記可動フレーム２７ａがプレス部２へ進入するときには、上記下クリーナー４０を下型１４より離間させた状態で進入する。
そして、ハンドベースシリンダ４７を作動させてチャックハンド３９を下型１４上へ下動させて、離型された成形品をチャックして再び上動させた後、成形品を保持したままプレス部２より進退位置Ｂまで退避させる。上記可動フレーム２７ａは、プレス部２より退避するとき、下クリーナーシリンダ４４を作動させてフード４３内に収容された下クリーナー４０を下型１４のパーティング面に接触させると共に回転させてクリーニングしつつ、塵埃を吸引ダクト４２内に吸引しながら退避する。
【００３１】
次に、移動モータ２５を作動させて可動支持板２２をレール２３に沿って移動させ、アンローダー７をその回動軸１８が進退位置Ｂより回動位置Ａへ到達するまで移動路９を移動させる。そして、必要に応じて回動モータ１６を起動してアンローダー７を１８０°回動させた後、進退用モータ４９を駆動させて回動位置Ａよりディゲート部８へ可動フレーム２７ａを移動させてチャックハンド３９を下動させて成形品が受け渡される。上記回動軸１８の進退位置Ｂから回動位置Ａへの移動とアンローダー７の回動を複合的に行えば、マシンサイクルの短縮化ができる。
上記ディゲート部８でゲートブレイクされた成形品は、リードフレームと不要樹脂とが分離され、図示しない搬送手段によりリードフレームのみがリードフレーム収容部５へ収容される。
【００３２】
上記搬入，搬出移動体２６，２７より可動フレーム２６ａ，２７ａを進退させる動作のタイミングは、プレス部２へ可動フレーム２７ａを進入させて樹脂封止が行われた成形品をチャックして下型１４のパーティング面をクリーニングしながら該プレス部２より退避するとき、次のワークを保持した可動フレーム２６ａが上型１３のパーティング面をクリーニングしながら進入する。即ち、上記可動フレーム２６ａと可動フレーム２７ａが入れ替わるように移動する。上記成形品をチャックした可動フレーム２７ａをプレス部２より退避させると、下型１４を上動させ、上記可動フレーム２６ａのチャックハンド２９を解放して、リードフレーム及び樹脂タブレットを下型１４のキャビティやポットにセットする。そして、上記可動フレーム２６ａをプレス部２より退避させると、下型１４が更に上動して上型１３と型閉じして樹脂封止が行われる。
このように、型開きしたプレス部２へワークの搬入搬出動作を連繋して行い、かつ金型のクリーニング動作を該搬入搬出動作と同時に行うことで、装置の合理化とサイクルタイムの短縮化を促進することができる。
【００３３】
また、搬入移動体２６のチャックハンド２９によるワークの搬入動作において、該チャックハンド２９の上下動を省略したのは、ローダー６自体の厚さを薄くして小型化できる他に、ローダー６とアンローダー７は上下に配設されているので、アンローダ７側の可動フレーム２７ａがプレス部２より退避したとき、ワークを保持した可動フレーム２６ａと下型１４との間に距離があるため、上記チャクハンド２９を下動させるより、型閉じ動作のため上動する下型１４の途中動作を利用してワークの搬入動作を行うことで、サイクルタイムを短縮化してより高速処理化が実現できるからである。
【００３４】
一方、上記搬出移動体２７のチャックハンド３９によるワークの搬出動作において、該チャックハンド３９の上下動を行うのは、下型１４が最下点まで下動したときに、エジェクションロッド（図示せず）により成形品を突き上げて離型させるため、上記チャックハンド３９により離型した成形品を取りに行かなければならないためである。また、上記エジェクションロッドによる成形品の突き上げは、可動プラテンの昇降動作を利用しているため、下型エジェクション専用の駆動源を省略できる。
しかしながら、成形品の離型動作が下型１４が最下点へ下動したときのみで行われるため、エジェクションロッドを設ける位置が規制されてしまう。このため、下型エジェクション専用の駆動源を下型ベース部に設ければ、チャックハンド３９の上下動は不要となり、また可動プラテンの位置によらずエジェクションロッドを突き上げて成形品を離型させることができるので、アンローダー７をローダー６の上側に配置することも可能となる。
【００３５】
次に、上記ローダー６及びアンローダー７における吸引ダクトの３２，４２の配管構造について図４（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。
吸引口３１，４１より可動フレーム２６ａ，２７ａの周囲に沿って形成された吸引ダクト３２，４２は、搬入，搬出枠体２８，３８内に装備された回転ダクト５０，５１にそれぞれ接続されている（図４（ｂ）参照）。この回転ダクト５０，５１は、回動軸１７，１８と共に回動するので、上記吸引ダクト３２，４２が回転軸１７，１８に絡みつくことはない。
【００３６】
また、可動支持板２２には、可動ダクト５２，５３が一体に取り付けられている（図４（ｂ）（ｃ）参照）。上記回転ダクト５０，５１にそれぞれ形成された回転吸引口５４，５５は、上記ローダー６及びアンローダー７が回動した際に、上記可動ダクト５２，５３の可動フレーム２６ａ，２７ａの進退方向両側に２か所にそれぞれ形成された可動吸引口５６，５７のいずれかに接続して吸引動作が行われる（図４（ａ）参照）。上記回動吸引口５４，５５は、例えば金属製の球面状突出部の頂上部分に開口が形成されており、上記可動吸引口５６，５７は、ゴム製又はプラスチック製の球面状突出部の頂上部分に開口が形成されている。よって、上記ローダー６及びアンローダー７の回動動作に伴い、回転吸引口５４，５５がいずれか一方に形成された可動吸引口５６，５７と圧接して該可動吸引口５６，５７の突出部分を弾性変形させることによりダクトどうしが気密性を保って接続される。尚、上記回転吸引口５４，５５と可動吸引口５６，５７は、気密性が保たれれば、金属部品どうし、或いはゴム製部品どうしの連結構造であっても良い。
【００３７】
また、上記可動支持板２２を取り付ける取付台２１には、上下固定ダクト５８，５９がそれぞれ設けられており、該上下固定ダクト５８，５９は上記可動ダクト５２，５３に上下接続ホース６０，６１により接続されている。上記上下固定ダクト５８，５９は図示しない集塵機へそれぞれ接続されている（図４（ｂ）参照）。
【００３８】
上記構成によれば、ローダー６及びアンローダー７は上下に配設され、それぞれ個別に備えた回動モータ１５，１６により回動軸１７，１８を中心に回動可能に装備したことにより、リードフレーム供給部３とプレス部２との間及びプレス部２とリードフレーム収容部５との間で、リードフレーム、樹脂タブレット、成形品などのワークを効率的に搬送することができる。よって、プレス装置のサイクルタイムを短縮化して、製品の量産化、高速処理化を実現できる。また、ワークを主として回転運動により搬送するため、設置面積を減少させて装置の小型化に寄与することができる。上記設置面積の減少は、特に半導体装置製造用のクリーンルームのスペースの有効利用が図れるため有意義である。
【００３９】
特に、上記ローダー６及びアンローダー７は、プレス部２に対してワークを保持して個別に進退移動可能な搬入，搬出移動体２６，２７をそれぞれ備え、搬入移動体２６は、上動した下型１４上にチャックハンド２９に保持した加工前のワークを移載し、搬出移動体２７のチャックハンド３９を下型１４上へ下動させて加工後のワークを回収することにより、型閉じ動作に入る下型１４の途中動作を利用してワークの搬入動作を行うことで、サイクルタイムを短縮化してより高速処理化が実現できる。また、上記搬出移動体２７のチャックハンド３９上下動を行うことにより、アンローダー７がプレス部２へ進入するときに成形品に干渉するおそれもなく、しかもチャックハンド３９により成形品が確実にチャックできる。
【００４０】
また、上記搬入，搬出移動体２６，２７は、プレス部２の上下金型１３，１４をそれぞれクリーニングする上下クリーナー３０，４０と、クリーニングした不要樹脂、塵埃などを吸引する吸引口３１，４１及びこれに接続する吸引ダクト３２，４２とをそれぞれ備えたことにより、型開きしたプレス部２にワークの搬入搬出動作を連繋して行い、かつ金型のクリーニング動作を前記搬入搬出動作と同時に行うことによっても、装置の合理化とサイクルタイムの短縮化を促進することができる。
【００４１】
尚、ワークの保持は、チャックハンドに限定されるものではなく、吸着方式によって保持することも可能である。
また、上記実施例は、樹脂封止装置の構成として、プレス部を基本ユニット１に対してプレス部２を着脱可能に装備した実施例について説明したが、図９に示すように、２台のプレス部６２を基本ユニット１に一体に組み込んだ構成であっても良い。この場合には取付台２１に取り付けられた可動支持板２２の移動方向は、各プレス部６２に対向する位置へ図９の上下方向に移動するように構成される。
【００４２】
〔第２実施例〕
次に、プレス装置の搬送機構の他例について図１０を参照して説明する。尚、前記第１実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。
第１実施例は、基本ユニット１のプレス着脱部１０に２台のプレス部２を装着可能な樹脂封止装置に適用する場合について説明したが、図１０に示すように、４台のプレス部２を装着可能な樹脂封止装置に適用することも可能である。この場合、ローダー６及びアンローダー７の構成は上記第１実施例と同様の構成が採用できる。
【００４３】
また、基本ユニット１に近い両側プレス部２に対してワークの搬入搬出を行う場合には、第１実施例と同様に図４（ａ）の進退位置Ｂまで回動軸１７，１８が到達するよう可動支持板２２を移動させて可動フレーム２６ａ，２７ａの進退を行う。また、基本ユニット１より遠い両側プレス部２対してワークの搬入搬出を行う場合には、図４（ａ）の進退位置Ｃまで回動軸１７，１８が到達するよう可動支持板２２を移動させて可動フレーム２６ａ，２７ａの進退を行う。この場合、図４（ｂ）に示すように、取付台２１，レール２３，ボールネジ２４を長いもの（Ｌ→Ｌ´）に変更することで可動支持板２２の移動量を延長させれば良い。また、ガイド２２ａの位置Ｇと回動位置Ａの距離Ｑを、進退位置Ｂ，Ｃ間の距離Ｐとを合わせて可動支持板２２を取付台２１の外方へ片持ち支持の状態で移動量Ｐだけ更に突出して移動するようにすれば、移動路９の延出部に支え等を設ける程度の改変で２プレスユニットと４プレスユニットの装置のいずれにも対応させることができる。
【００４４】
〔第３実施例〕
次に、プレス装置の搬送機構の他例について図１１〜図１４を参照して説明する。尚、前記第１実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。
前記各実施例は、ローダー６及びアンローダー７の回動軸１７，１８の移動路９に沿った移動機構を装備していたが、上記移動機構を装備してしない形態も可能である。また、基本ユニット１に装備されるプレス部２は着脱可能に構成されていたが、本実施例はプレス部６２を基本ユニット１に一体に装備されるように構成されている。
【００４５】
図１１〜図１３を参照して樹脂封止装置の概略構成について説明する。図１１は樹脂封止装置の平面図、図１２は図１１の樹脂封止装置の正面図、図１３は図１１の樹脂封止装置の右側面図、図１４（ａ）（ｂ）（ｃ）は搬送機構の平面図、正面図及び左側面図である。
図１１〜図１３において、基本ユニット１には、ローダー６及びアンローダー７の回動位置Ａの周囲にリードフレーム供給部３、樹脂供給部４、プレス部６２ディゲート部８及びリードフレーム収容部５が配設されている。上記ローダー６及びアンローダー７は、回動軸１７，１８を中心とした回動動作と可動フレーム２６ａ，２７ａの進退動作を行いながら、プレス部６２へのワークの搬入及び搬出を行う。即ち、上記ローダー６及びアンローダー７は、取付台２１に対して回動軸１７，１８が移動することなく回動可能にそれぞれ固定されている（図１４（ｂ）参照）。
【００４６】
また、上記ローダー６の搬入移動体２６は、進退用モータ４８を駆動させて可動フレーム２６ａをフレーム整列部３ａ上に前進させて、回転テーブル３ｂに切り出されたリードフレームをチャックハンド２９によりチャックする（図１３参照）。また、上記可動フレーム２６ａを一旦後退させた後、回動モータ１５を作動させてローダー６を９０°回転させ、上記可動フレーム２６ａを前進させてカセット４ａより樹脂タブレットをチャックする。そして、上記可動フレーム２６ａを後退させた後、上記ローダー６を時計回り若しくは反時計回りに１８０°回転させて、搬入移動体２６をプレス部６２に対向する位置まで回動させる（図１４（ａ）参照）。尚、図１４（ａ）において、Ｒはローダー６，アンローダー７の旋回ラインを示す。
【００４７】
上記搬入移動体２６は、進退用モータ４８を駆動させて可動フレーム２６ａを型開きしたプレス部６２内に進入させ、上動させた下型１４上にチャックハンド２９に保持したリードフレームや樹脂タブレットをチャックを解放して移載する。上記可動フレーム２６ａが型開きしたプレス部６２に進入するとき、上クリーナーシリンダ３４を作動させてフード３３内に収容された上クリーナー３０を上型１３のパーティング面に接触させると共に回転させてクリーニングしつつ、塵埃を吸引ダクト３２内に吸引しながら進入する（図１４（ｃ）参照）。
【００４８】
また、樹脂封止後に型開きしたプレス部６２より成形品を取り出す場合には、アンローダー７の搬出移動体２７は、進退用モータ４９を駆動させて可動フレーム２７ａを型開きしたプレス部６２内に可動フレーム２７ａを進入させる。
そして、ハンドベースシリンダ４７を作動させてチャックハンド３９を下型１４上へ下動させて、離型された成形品をチャックして再び上動させた後、成形品を保持したままプレス部６２より回動位置Ａまで退避させる。上記可動フレーム２７ａは、プレス部２より退避するとき、下クリーナーシリンダ４４を作動させてフード４３内に収容された下クリーナー４０を下型１４のパーティング面に接触させると共に回転させてクリーニングしつつ、塵埃を吸引ダクト４２内に吸引しながら退避する（図１４（ｃ）参照）。
【００４９】
次に、必要に応じて回動モータ１６を起動してアンローダー７を９０°回動させた後、進退用モータ４９を駆動させて可動フレーム２７ａを回動位置Ａよりディゲート部８へ移動させ、チャックハンド３９より成形品が受け渡される。
上記ディゲート部８でゲートブレイクされた成形品は、リードフレームと不要樹脂とが分離され、図示しない搬送手段によりリードフレームのみがリードフレーム収容部５へ収容される（図１１参照）。
【００５０】
上記搬入，搬出移動体２６，２７に装備した可動フレーム２６ａ，２７ａをプレス部６２へ進退させる動作のタイミングは、型開きしたプレス部６２へ可動フレーム２７ａを進入させて樹脂封止が行われた成形品をチャックして下型１４のパーティング面をクリーニングしながら該プレス部２より退避するとき、次のワークを保持した可動フレーム２６ａが上型１３のパーティング面をクリーニングしながら進入する。即ち、上記可動フレーム２６ａと可動フレーム２７ａが入れ替わるように移動する。上記可動フレーム２７ａをプレス部２より退避させると、下型１４を上動させ、上記可動フレーム２６ａのチャックハンド２９を解放して、リードフレーム及び樹脂タブレットを下型１４のキャビティやポットにセットする。そして、上記可動フレーム２６ａをプレス部２より退避させると、下型１４が更に上動して上型１３と型閉じして樹脂封止が行われる。
【００５１】
上記構成によれば、ローダー６及びアンローダー７の移動は回動動作及び搬入，搬出移動体２６，２７の進退動作のみであり、回動軸１７，１８の移動がないため、プレス部６２に対するワークの搬入搬出がスムーズに行えるのでサイクルタイムの短縮化に寄与することができる。
【００５２】
〔第４実施例〕
次に、プレス装置の搬送機構の他例について図１５を参照して説明する。尚、前記第１実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。
上記第３実施例は、プレス部６２を１台装備した樹脂封止装置について説明したが、図１５に示すように、プレス部６２ａ，６２ｂを複数台（本実施例では２台）装備していても良い。例えば上記プレス部６２ａは、フレーム整列部３ａに対して回動位置Ａを中心に時計回り方向に４５°回転した位置に配設されており、プレス部６２ｂはディゲート部８に対して回動位置Ａを中心に反時計回り方向に４５°回転した位置に配設されている。上記プレス部６２ａ，６２ｂどうしは、９０°の回転角度を隔てて配設されている。
【００５３】
図１５において、ローダー６の搬入移動体２６は、進退用モータ４８を駆動させて可動フレーム２６ａをフレーム整列部３ａ上に前進させて、回転テーブル３ｂに切り出されたリードフレームをチャックハンド２９によりチャックする。また、上記可動フレーム２６ａを一旦後退させて回動モータ１５を作動させてローダー６を９０°回転させた後、上記可動フレーム２６ａを前進させてカセット４ａより樹脂タブレットをチャックする。そして、上記可動フレーム２６ａを後退させた後、上記ローダー６を時計回り又は反時計回り方向に１３５°回転させて、搬入移動体２６をプレス部６２ａ若しくはプレス部６２ｂに対向する位置まで回動させる。
そして、進退用モータ４８を起動して可動フレーム２６ａをプレス部６２ａ又は６２ｂへ進退移動させてワークの搬入を行う。
【００５４】
また、樹脂封止後に型開きしたプレス部６２より成形品を取り出す場合には、アンローダー７は、搬出移動体２７の可動フレーム２７ａを、型開きしたプレス部６２ａ又は６２ｂ内に進入させる。そして、ハンドベースシリンダ４７を作動させてチャックハンド３９を下型１４上へ下動させて、離型された成形品をチャックして再び上動させた後、成形品を保持したままプレス部６２ａ又は６２ｂより回動位置Ａまで退避させる。
【００５５】
次に、回動モータ１６を起動してアンローダー７をプレス部６２ａに対向する位置から反時計回り方向へ２２５°又はプレス部６２ｂに対向する位置から時計回り方向へ４５°回動させた後、進退用モータ４９を駆動させて回動位置Ａよりディゲート部８へ可動フレーム２７ａを移動させて成形品が受け渡される。
上記ディゲート部８でゲートブレイクされた成形品は、リードフレームと不要樹脂とが分離され、図示しない搬送手段によりリードフレームのみがリードフレーム収容部５へ収容される。
【００５６】
このように、複数台のプレス部６２ａ，６２ｂを備えた樹脂封止装置においても、ローダー６及びアンローダー７の回動位置Ａの周囲にプレス部やワークの供給・収容部などを配設することにより、回動軸１７，１８を移動することなく装置レイアウトを自由に設計して回動角度を制御することにより、ローダー６及びアンローダー７によるワークの搬入搬出動作を最小限で行うことができ、サイクルタイムの短縮化や装置の小型化に寄与できる。
また、上記第４実施例に示す構成では、プレス部の数を増やそうとしても、装置レイアウト上難しいが、前記第２実施例のようにローダー６及びアンローダー７の移動機構を設けるとプレス部の数を増やし易く、装置の設置面積を増やすことなく成形品の量産化に対応できる。このときの回動軸１７，１８の移動は、移動路９を挟んで両側にプレス部２を配置しているので、最小の移動量で足りる。
【００５７】
〔第５実施例〕
次に、プレス装置の搬送機構の他例について図１６を参照して説明する。尚、前記第１実施例と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。
図１６において、ローダー６及びアンローダー７の回動位置Ａを中心にその周囲を囲繞するよう配設されたユニット化されたリードフレーム供給部３、樹脂供給部４、プレス部２及びリードフレーム収容部５が、基本ユニット１に対してそれぞれ着脱自在に装備されている。上記ローダー６及びアンローダー７は上記リードフレーム供給部３や樹脂供給部４よりリードフレームや樹脂タブレットなどを搬出し、リードフレーム収容部５に成形後のリードフレームを搬入し、プレス部２にリードフレームや樹脂タブレットなどを搬入し、成形後のリードフレームを搬出する。
【００５８】
上記基本ユニット１には、リードフレーム供給部３、樹脂供給部４、プレス部２及びリードフレーム収容部５が着脱可能なリードフレーム供給着脱部６３、樹脂供給着脱部６４、プレス着脱部６５及びリードフレーム収容着脱部６６がそれぞれ形成されている。上記各着脱部には、ユニット支持面６３ｄ，６４ｄ，６５ｄ，６６ｄ上に着脱方向に沿って複数のローラー６３ａ，６４ａ，６５ａ，６６ａがそれぞれ回動可能に設けられている。また、上記各着脱部装着方向奥側には突き当て部６３ｂ，６４ｂ，６５ｂ，６６ｂがそれぞれ形成されている。また、上記各着脱部の長手方向両側には、幅方向をガイドするためのガイドレール６３ｃ，６４ｃ，６５ｃ，６６ｃがそれぞれ設けられている。
これらは、基本ユニット１に装着されると同時にローダー６及びアンローダー７の搬送路に対しての高さ出しが行われるのが好ましいが、少なくともプレス部２の金型のパーティング面の高さ出しが行われるのが好ましい。また、上記各着脱部により高さ出しを行わなくても、ユニット化されたリードフレーム供給部３、樹脂供給部４、プレス部２及びリードフレーム収容部５が、上記着脱部を設けていない搬送機構のみ有する基本ユニット１に対して個別に着脱自在に装備されていても良い。また、第５実施例は、リードフレーム供給部３、樹脂供給部４、プレス部２及びリードフレーム収容部５が全て着脱可能な構成であるが、少なくとも１つが着脱自在であっても良い。
【００５９】
上記樹脂封止装置の各部をユニット化したのは、例えば、リードフレーム供給部３においては、リードフレームの回転テーブル３ｂへの供給を１枚切り出しにするか複数枚切り出しにするかで交換が必要な場合があり、樹脂供給部４においては、樹脂タブレットをマガジンタイプで供給するか、パーツフィーダーで供給するか、或いは樹脂タブレットの代わりに顆粒タイプの樹脂を供給するかを変更できればユーザーのニーズに応じて選択の幅が広がるためである。また、プレス部２は生産量を調整するため或いは品種を変えるため金型を交換する必要があり、リードフレーム収容部５は、製品によって積層マガジンとスリットマガジンとを選択して使用できるため、汎用性や使い勝手が著しく向上するためである。
【００６０】
このように、ユーザーの利便性向上を図った樹脂封止装置においても、各部に対してワークの搬入搬出をローダー６及びアンローダー７の回動動作により行えるので、ユーザーの利便性の向上に加えて、装置の小型化や製造工程のサイクルタイムの短縮化に寄与することができる。
【００６１】
尚、本発明は上記各実施の態様に限定されるものではなく、プレス装置は樹脂封止装置に限らずリード加工装置などの他の装置に適用することも可能である等、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんのことである。
【００６２】
【発明の効果】
本発明は前述したように、単数又は複数装備されたプレス部に対してワークを保持して進退移動可能な搬入保持手段を備えたワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、装置本体に互いに重なり合うよう配設し、それぞれ個別に備えた駆動源により回動軸を中心に回動可能に装備したことにより、ワークを供給部とプレス部との間及びプレス部と収容部との間で効率的に搬送することができる。よって、プレス装置のサイクルタイムを短縮化して、製品の量産化、高速処理化を実現できる。また、ワークを主として回転運動により搬送するため、設置面積を減少させて装置の小型化に寄与することができる。
特に、前記ワーク搬入手段は、上動した下型上に前記搬入保持手段に保持した加工前のワークを移載し、前記ワーク搬出手段は型開きした下型上へ前記搬出保持手段を下動することにより加工後のワークを回収するようにした場合には、型閉じ動作に入る下型の途中動作を利用してワークの搬入動作を行うことで、サイクルタイムを短縮化してより高速処理化が実現できる。
また、前記搬出保持手段が加工後のワークを保持したまま下型をクリーニングしながらプレス部より退避するとき、前記搬入保持手段は加工前のワークを保持したまま上型をクリーニングしながら前記プレス部に進入し、前記搬出保持手段と搬入保持手段が入れ替わるように型開きしたプレス部に進退移動することによって、型開きした金型にワークの搬入動作と搬出動作を連繋して行い、かつ金型のクリーニング動作を該搬入搬出動作と同時に行うことによっても、装置の合理化とサイクルタイムの短縮化を促進することができる。
また、前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、前記プレス部に対する搬入保持手段及び搬出保持手段の進退方向と交差する方向に往復移動可能に装備された場合には、前記プレス部の増設に応じて回動軸の位置を直線的に移動させてワークを前記プレス部に搬入搬出することができる。
また、前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段は、その周囲を囲繞するよう配設された供給部、プレス部及び収容部に対してそれぞれワークを搬入及び／又は搬出するようにした場合には、前記ワーク搬入手段及びワーク搬出手段の回動動作及び前記搬入保持手段及び搬出保持手段の進退動作を組み合わせてワークの搬入及び搬出がそれぞれスムーズに行えるので、サイクルタイムの短縮化に寄与できる。
また、前記供給部、プレス部及び収容部はユニット化されており、前記搬入手段及び搬出手段を有する基本ユニットに対して少なくとも１のユニットが着脱可能に装備された場合には、ユーザーの利便性の向上に加えて、装置の小型化やサイクルタイムの短縮化に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例に係るプレス部を取り外した樹脂封止装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１の樹脂封止装置の正面図である。
【図３】図１の樹脂封止装置の右側面図である。
【図４】搬送機構の平面図、正面図及び左側面図である。
【図５】ローダーの説明図である。
【図６】ローダーの他例の説明図である。
【図７】アンローダーの説明図である。
【図８】アンローダーの他例の説明図である。
【図９】図１に示す樹脂封止装置の他の構成を示す平面図である。
【図１０】第２実施例に係るプレス部を取り外した樹脂封止装置の概略構成を示す平面図である。
【図１１】第３実施例に係る樹脂封止装置の平面図である。
【図１２】図１１の樹脂封止装置の正面図である。
【図１３】図１１の樹脂封止装置の右側面図である。
【図１４】搬送機構の平面図、正面図及び左側面図である。
【図１５】第４実施例に係る樹脂封止装置の平面図である。
【図１６】第５実施例に係る各ユニットを取り外した樹脂封止装置の平面図である。
【図１７】従来の樹脂封止装置の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
１  基本ユニット
２，６２，６２ａ，６２ｂ  プレス部
３  リードフレーム供給部
３ａ  フレーム整列部
３ｂ  回転テーブル
４  樹脂タブレット供給部
４ａ  カセット
５  リードフレーム収容部
６  ローダー
７  アンローダー
８  ディゲート部
９  移動路
１０，６５  プレス着脱部
１０ａ，６３ａ，６４ａ，６５ａ，６６ａ  ローラー
１０ｂ，６３ｂ，６４ｂ，６５ｂ，６６ｂ  突き当て部
１０ｃ，２８ａ，３８ａ，６３ｃ，６４ｃ，６５ｃ，６６ｃ  ガイドレール
１０ｄ，６３ｄ，６４ｄ，６５ｄ，６６ｄ  ユニット支持面
１１  操作部
１２  制御部
１３  上型
１４  下型
１５，１６  回動モータ
１７，１８  回動軸
１７ａ，１８ａ  カールケーブル
１９，２０  プーリギヤ
２１  取付台
２２  可動支持板
２２ａ  ガイド
２２ｂ  ナット
２３  レール
２４  ボールネジ
２５  移動モータ
２６  搬入移動体
２６ａ，２７ａ  可動フレーム
２６ｂ，２７ｂ  ラック
２７  搬出移動体
２８，３８  搬入，搬出枠体
２９，３９  チャックハンド
３０，４０  上下クリーナー
３１，４１  吸引口
３２，４２  吸引ダクト
３３，４３  フード
３４，４４  上下クリーナーシリンダ
３５，４５  上下クリーナー駆動モータ
３６，４６  チャックハンド取付プレート
３７  タブレット保持穴
４７  ハンドベースシリンダ
４８，４９  進退用モータ
５０，５１  回転ダクト
５２，５３  可動ダクト
５４，５５  回転吸引口
５６，５７  可動吸引口
５８，５９  上下固定ダクト
６０，６１  上下接続ホース
６３  リードフレーム供給着脱部
６４  樹脂供給着脱部
６６  リードフレーム収容着脱部
【図１】
0003714765.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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