(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
各リードフレーム間に中間紙を介在させた複数枚のリードフレームを積層収納するストッカと、
このストッカにおける最上層のリードフレームをピックアップして所定位置まで搬送するピックアップ手段と、
このピックアップ手段によるピックアップ後、前記ストッカにおいて新たに最上層に位置付けられたリードフレーム上の中間紙を除去する中間紙除去手段と、
この中間紙除去手段にて除去された中間紙を収納する収納手段と、を有するリードフレーム供給装置において、
前記収納手段の入口付近に設置されて、この収納手段内への中間紙の収納の有無を検知する収納検知手段と、
中間紙除去手段による今回の中間紙除去動作開始から次回の中間紙除去動作開始までの所定時間内に収納検知手段より中間紙検知信号が出力されない場合に前記収納手段内に中間紙が収納されなかったと判断して報知手段から警報を発するとともに、前記ピックアップ手段及び中間紙除去手段の作動を停止させる制御手段と、を有することを特徴とするリードフレーム供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ペレット等がボンディングされるリードフレームを供給するリードフレーム供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ペレットボンディング装置等の半導体製造装置は、積層状態のリードフレームを１枚ずつリードフレーム搬送装置へ移送するリードフレーム供給装置を設けている。このリードフレーム供給装置は、ストッカ内に積層状態で収納されたリードフレームを、ピックアップ手段で１枚ずつリードフレーム搬送装置へ供給するが、この際に、リードフレーム間に介在された中間紙を、吸着手段（特開平4-55224 号公報）やエアーノズル（特公平3-777 号公報）等の中間紙除去手段にて、リードフレームの供給の度に除去して、この除去された中間紙を収納手段内に収納させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来技術では、中間紙が収納手段内に収納されたか否かの検知や、収納手段が中間紙で満杯か否かの検出が実施されていないので、中間紙除去手段にて除去された中間紙が収納手段内に収納されなかった場合や、収納手段が中間紙で満杯になった場合に、収納手段に収納されなかった中間紙がリードフレーム供給装置の周囲に散乱してしまうことがある。
【０００４】
また、ペレットボンディング装置の下部、或いは側面部には、制御装置冷却用の冷却ファンが設置されており、上述の散乱した中間紙が上記冷却ファンに吸引されて、ペレットボンディング装置内に巻き込まれるおそれがある。
【０００５】
更には、散乱した中間紙が冷却ファンの吸込口に張り付いたり、冷却ファン自体に巻き付いて、制御装置の冷却に支障をきたし、万一の場合には、制御装置が破損してしまうおそれもある。
【０００６】
本発明は、上述の事情を考慮してなされたものであり、中間紙の装置周辺への散乱を防止できるリードフレーム供給装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、各リードフレーム間に中間紙を介在させた複数枚のリードフレームを積層収納するストッカと、このストッカにおける最上層のリードフレームをピックアップして所定位置まで搬送するピックアップ手段と、このピックアップ手段によるピックアップ後、前記ストッカにおいて新たに最上層に位置付けられたリードフレーム上の中間紙を除去する中間紙除去手段と、この中間紙除去手段にて除去された中間紙を収納する収納手段と、を有するリードフレーム供給装置において、前記収納手段の入口付近に設置されて、この収納手段内への中間紙の収納の有無を検知する収納検知手段と、中間紙除去手段による今回の中間紙除去動作開始から次回の中間紙除去動作開始までの所定時間内に収納検知手段より中間紙検知信号が出力されない場合に前記収納手段内に中間紙が収納されなかったと判断して報知手段から警報を発するとともに、前記ピックアップ手段及び中間紙除去手段の作動を停止させる制御手段と、を有するものである。
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば以下の作用効果を奏する。
中間紙除去手段にて除去された中間紙が、収納手段内に収納されたことが収納検知手段にて検知されなかった場合には、制御手段がピックアップ手段及び中間紙除去手段の作動を停止させることから、中間紙のリードフレーム供給装置周辺への散乱を確実に防止させることができる。このとき、中間紙除去手段による今回の中間紙除去動作開始から、次回の中間紙除去動作開始までの所定時間内に異常を検知し、警報を発するとともに、ピックアップ手段及び中間紙除去手段の作動を停止させる。即ち、異常の早期発見、早期報知、早期対応が可能になる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
Ａ．第１の実施の形態
図１は、本発明に係るリードフレーム供給装置の第１の実施の形態を示す斜視図である。図２は、図１の一部を示す側面図である。
【００１２】
図１に示すリードフレーム供給装置１０は、リードフレーム１をペレットボンディング装置のリードフレーム搬送装置２へ移送するものであり、ストッカ１１、昇降装置１２、ピックアップ手段としてのピックアップ装置１３、中間紙除去手段としての中間紙除去装置１４、収納手段としての収納容器１５、収納検知手段としての収納検知センサ１６及び制御手段としての制御装置１７を有して構成される。
【００１３】
ストッカ１１は、複数枚（例えば 200〜 600枚）のリードフレーム１を積層して収納する。このとき、ストッカ１１内に収納される上下のリードフレーム間に中間紙３が介在されて、重ね合されたリードフレーム１のリードが保護される。
【００１４】
昇降装置１２は、モータ１８、昇降ねじ軸１９、ベルト２０及び昇降台２１を備えて構成される。モータ１８の回転力がベルト２０を介して昇降ねじ軸１９へ伝達される。昇降台２１は昇降ねじ軸１９に螺合されて、この昇降ねじ軸１９の回転に伴い昇降する。この昇降台２１は、ストッカ１１の底部を構成し、ストッカ１１内の積層状態のリードフレーム１を支持する。この昇降装置１２は、制御装置１７によるモータ１８の制御によって、ストッカ１１内に収納された積層状態のリードフレーム１の最上層にあるリードフレーム１を、ピックアップ装置１３のピックアップレベルに常時押し上げ設定する。
【００１５】
ピックアップ装置１３は、ＸＺ駆動テーブル２２と、このＸＺ駆動テーブルに支持され、このＸＺ駆動テーブルにより前後方向（Ｘ方向）及び上下方向（Ｚ方向）に移動されるリードフレーム吸着アーム２３と、を有して構成される。このピックアップ装置１３は、制御装置１７により制御され、昇降装置１２によりストッカ１１内でピックアップレベルに設定された最上層のリードフレーム１をリードフレーム吸着アーム２３により吸着し、リードフレーム搬送装置２へ移送し載置させる。
【００１６】
中間紙除去装置１４は、旋回駆動部２４に中間紙吸着アーム２５が連結されたものであり、この中間紙吸着アーム２５が旋回駆動部２４により旋回される。中間紙吸着アーム２５は、ストッカ１１側の吸着位置から、例えば270 度離れた剥離位置まで旋回する。この剥離位置の入側には、中間紙吸着アーム２５の旋回通過経路を挟む両側に左右一対の剥離板２６が設置される。前記収納容器１５は、この剥離板２６の下方に配置される。中間紙吸着アーム２５の吸着力は、中間紙３を左右の剥離板２６内に引き込まない程度の強さに設定される。
【００１７】
上述の中間紙除去装置１４は、制御装置１７により制御され、ストッカ１１内で最上層にあるリードフレーム１をピックアップ装置１３がピックアップした後、次に最上層となったリードフレーム１上に存在する中間紙３を、吸着位置に位置する中間紙吸着アーム２５により吸着し、この中間紙吸着アーム２５が次に旋回することにより、その中間紙３をストッカ１１から剥離位置まで移動させる。中間紙吸着アーム２５に吸着された中間紙３は、剥離位置にて剥離板２６によりその移動が阻止され、中間紙吸着アーム２５から剥離して、収納容器１５内へ落下収納される。
【００１８】
尚、中間紙吸着アーム２５の吸引力は、中間紙吸着アーム２５が収納容器１５の上方に到達した時点で解除されてもよく、この場合には剥離板２６は必ずしも必要でない。
【００１９】
さて、収納検知センサ１６は例えば透過型センサであり、図１及び図２に示すように、収納容器１５の入口付近に設置される。収納検知センサ１６は、中間紙除去装置１４にて除去された中間紙３が、この一対の収納検知センサ１６間を通過して収納容器１５内へ収納されたことを検知し、この検知信号を制御装置１７へ出力する。
【００２０】
制御装置１７は、収納検知センサ１６からの検知信号が受信されたときには、収納正常であると判定し、昇降装置１２、ピックアップ装置１３及び中間紙除去装置１４の動作を継続させ、又、収納検知センサ１６からの検知信号が受信されなかった場合に、収納異常であると判定して、報知手段としての警報器２７にて警報を発生させ、更に昇降装置１２、ピックアップ装置１３及び中間紙除去装置１４の動作を停止させて、リードフレーム供給装置１０の運転を停止する。
【００２１】
次に、作用を説明する。
中間紙３を介在して積層された複数枚のリードフレーム１をストッカ１１に収納する。このとき、ストッカ１１内のリードフレーム１を昇降装置１２の昇降台２１が支持する。
【００２２】
次に、ストッカ１１内の最上層にあるリードフレーム１を、ピックアップ装置１３によりピックアップして、リードフレーム搬送装置２へ移送する。このとき、ピックアップ装置１３は、ＸＺ駆動テーブル２２の作動により、リードフレーム吸着アーム２３をストッカ１１内で最上層のリードフレーム１上に移動させ、このリードフレーム１を吸着させた後、再びＸＺ駆動テーブル２２の作動により、吸着されたリードフレーム１をリードフレーム搬送装置２まで移送し載置させる。
【００２３】
その後、ストッカ１１内で新たに最上層となったリードフレーム１上にある中間紙３を、中間紙除去装置１４により収納容器１５内へ収納させる。このとき、中間紙除去装置１４は、吸着位置にある中間紙吸着アーム２５により上記中間紙３を吸着し、次に、この中間紙吸着アーム２５を剥離位置まで旋回させ、剥離板２６にて中間紙３を剥離し、この中間紙３を収納容器１５内へ落下収納させる。このとき、落下した中間紙３は、この落下を収納検知センサ１６にて検知される。制御装置１７は、収納検知センサ１６から中間紙３の検知信号が出力された場合、中間紙３が収納容器１５内へ収納されたと判断し、リードフレーム１の供給動作を継続する。一方、所定時間内に収納検知センサ１６から中間紙３の検知信号が出力されなかった場合、中間紙３が収納容器１５内へ収納されなかったと判断し、警報器２７から警報を発するとともに、リードフレーム供給装置１０の運転を停止する。尚、所定時間内とは、例えば、中間紙吸着アーム２５が、中間紙３を吸着してから、次の中間紙３の吸着を開始するまでの時間である。
【００２４】
上述の作用は、剥離された中間紙３が収納容器１５内へ収納された旨の検知信号を収納検知センサ１６が制御装置１７へ出力している間は、制御装置１７により繰り返される。しかし、収納検知センサ１６から上記検知信号の出力がなされなかったときには、制御装置１７によって、警報器２７から警報が発生され、リードフレーム供給装置１０の運転が停止される。このため、収納容器１５内に収納されなかった中間紙３が、この収納容器１５の周囲に散乱することを防止できる。
【００２５】
また、ペレットボンディング装置の下部或いは側面部には、制御装置１７を冷却するための冷却ファン（不図示）が設置されている場合が多いが、収納容器１５の周囲に中間紙３が散乱しないので、散乱した中間紙３を上記冷却ファンによってペレットボンディング装置内へ巻き込むことを防止できる。更に、中間紙３が冷却ファンの吸込口に張り付いたり、ファン自体に巻き付くことを防止できるので、制御装置１７の冷却を良好に実施でき、この制御装置１７の安全性を確保できる。
【００２６】
Ｂ．第２の実施の形態
図３は、本発明に係るリードフレーム供給装置の第２の実施の形態を示す斜視図である。図４は、図３の一部を示す側面図である。
【００２７】
図３に示すリードフレーム供給装置３０は、リードフレーム１をペレットボンディング装置のリードフレーム搬送装置２へ移送するものであり、ストッカ３１、ピックアップ手段としてのピックアップ装置３３、中間紙除去手段としての中間紙除去装置３４、収納手段としての収納容器３５、収納検知手段としての収納検知センサ３６及び制御手段としての制御装置３７を有して構成される。
【００２８】
ストッカ３１内に、複数枚のリードフレーム１が積層して収納され、各リードフレーム１間に中間紙３が介在される。このストッカ３１は、図示しない昇降装置により、ストッカ３１内の最上層のリードフレーム１が常にピックアップレベルに位置するよう押し上げ設定する。
【００２９】
ピックアップ装置３３は、ＸＺ駆動機構３８に吸着機構３９を設置したものである。ＸＺ駆動機構３８が、吸着機構３９をストッカ３１とリードフレーム搬送装置２との間で移動させ昇降させる。また、吸着機構３９の吸着部４０が、ストッカ３１内の最上層のリードフレーム１を吸着し、このリードフレーム１をＸＺ駆動機構３８の作動でリードフレーム搬送装置２上に移載させる。
【００３０】
中間紙除去装置３４は、エアー源４１に接続されたエアーノズル４２を備えたものである。ピックアップ装置３３にて最上層のリードフレーム１がピックアップされた後、新たに最上層となったリードフレーム１上にある中間紙３は、上記エアーノズル４２からの吹出エアーによって除去され、収納容器３５内へ収納される。
【００３１】
収納検知センサ３６は透過型センサであり、図４にも示すように、収納容器３５の入口付近に配置される。この収納検知センサ３６は、中間紙除去装置３４にて吹き飛ばされた中間紙３が収納容器３５内に収納されたことを検知し、この検知信号を制御装置３７へ出力する。
【００３２】
図３に示す制御装置３７は、中間紙除去装置３４によって除去された中間紙３が収納容器３５内へ収納された旨の検知信号を収納検知センサ３６が出力している間は、ストッカ３１の昇降装置、ピックアップ装置３３及び中間紙除去装置３４の動作を継続させるが、収納検知センサ３６が検知信号を出力しなかったときには、報知手段としての警報器４３から警報を発生させ、ストッカ３１の昇降装置、ピックアップ装置３３及び中間紙除去装置３４を停止させて、リードフレーム供給装置３０の運転を停止する。
【００３３】
また、制御装置３７を冷却するための冷却ファンは、図示しないが、ペレットボンディング装置の下部或いは側面部に設置されている。
【００３４】
従って、このリードフレーム供給装置３０においても、中間紙除去装置３４にてストッカ３１内のリードフレーム１上から除去された中間紙３が収納容器３５内に収納された旨の検出信号を、収納検知センサ３６が出力しなかったときに、制御装置３７が警報器４３に警報を発生させ、更にストッカ３１の昇降装置、ピックアップ装置３３及び中間紙除去装置３４の作動を停止させることから、中間紙３をリードフレーム供給装置３０の周囲へ散乱させることを防止できる。この結果、散乱した中間紙３のペレットボンディング装置内への巻き込みや、散乱した中間紙３による制御装置３７の冷却不良を防止できる。
【００３５】
尚、上記両実施の形態では、収納検知センサ１６、３６が透過型センサの場合を述べたが、カメラであっても良い。また、収納容器１５、３５は、収納袋であっても良い。
【００３６】
更に制御装置１７、３７は、中間紙３が収納容器１５、３５に収納された旨の検出信号を収納検知センサ１６、３６から受信しなかったときに、警報器２７、４３から警報を発生させるだけでも良く、又は、リードフレーム供給装置１０、３０を停止させるだけでも良い。また、報知手段は、警報器２７、４３に限らず、モニタ等を用い、警告をモニタに表示させるようにしても良い。警報を発生させるだけの場合には、作業者が収納容器１５、３５に収納されなかった中間紙３を処理できるので、収納容器１５、３５の周囲に中間紙３を散乱させることがない。
【００３７】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係るリードフレーム供給装置によれば、中間紙の装置周辺への散乱を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明に係るリードフレーム供給装置の第１の実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１の一部を示す側面図である。
【図３】図３は、本発明に係るリードフレーム供給装置の第２の実施の形態を示す斜視図である。
【図４】図４は、図３の一部を示す側面図である。
【符号の説明】
１  リードフレーム
２  リードフレーム搬送装置
３  中間紙
１０  リードフレーム供給装置
１１  ストッカ
１３  ピックアップ装置
１４  中間紙除去装置
１５  収納容器
１６  収納検知センサ
１７  制御装置
２４  旋回駆動部
２５  中間紙吸着アーム
２６  剥離板
２７  警報器
３０  リードフレーム供給装置
３１  ストッカ
３３  ピックアップ装置
３４  中間紙除去装置
３５  収納容器
３６  収納検知センサ
３７  制御装置
４１  エアー源
４２  エアーノズル
４３  警報器
【図１】
0003641034.tif 000002
【図２】
0003641034.tif 000003
【図３】
0003641034.tif 000004
【図４】
0003641034.tif 000005