(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
原料粉末をプラズマフレームにより加熱溶融して粉末を合成／精製し、該合成／精製粉末を反応塔底部の回収容器に回収する粉末の合成／精製方法において、該反応塔内壁に微粒粉収集手段を設け、該微粒粉収集手段により反応塔内に浮遊し内壁に付着する不純物を含む微粒粉を収集し、不純物の少ない残部粉末粒子を落下させて前記回収容器に回収することにより、純度の高い製品粉末を得ることを特徴とする熱プラズマによる粉末の合成／精製方法。
【請求項２】
原料粉末をプラズマフレームにより加熱して溶融球状化し、該球状粉末を反応塔底部の回収容器に回収する粉末の球状化方法において、該反応塔内壁に微粒粉収集手段を設けて、該微粒粉収集手段により反応塔内に浮遊し内壁に付着する微粒粉を収集し、微粒粉が減少した残部球状粒子を落下させて前記回収容器に回収することにより、微粒粉の混入が少ない粒度の揃った球状粒子を得ることを特徴とする熱プラズマによる粉末の球状化方法。
【請求項３】
原料粉末をプラズマフレームにより加熱して溶融球状化し、該球状粉末を反応塔底部の回収容器に収集する粉末の球状化方法において、該反応塔内壁の上部側に微粒粉収集手段を設け、該内壁の下部側に中粒粉収集手段を設け、前記微粒粉収集手段により反応塔内上部に浮遊し内壁に付着する微粒粉を収集し、前記中粒粉収集手段により反応塔内下部に浮遊する中粒粉を収集し、残部大粒の球状粒子を落下させて前記回収容器に回収することにより、球状粒子を微粒粉と中粒粉と大粒粉とに分別して得ることを特徴とする熱プラズマによる粉末の球状化方法。
【請求項４】
前記微粒粉収集手段と中粒粉収集手段のそれぞれまたは一方を２以上備えることにより、さらに粒度を細分別して回収することを特徴とする請求項３に記載の熱プラズマによる粉末の球状化方法。
【請求項５】
原料粉末をプラズマフレームにより加熱溶融して粉末を合成／精製し、該合成／精製粉末を反応塔底部の回収容器に回収する粉末の精製装置において、反応塔内壁に該反応塔内に浮遊し内壁に付着する不純物を含む微粒粉を収集する微粒粉収集手段が設けられ、反応塔底部に不純物の少ない残部粉末粒子を落下させて回収する回収容器が設けられた、純度の高い製品粉末が得られることを特徴とする熱プラズマによる粉末の合成／精製装置。
【請求項６】
前記微粒粉収集手段は、反応塔内壁内周に設けられた受け皿と該受け皿に集まる微粒粉を吸引する吸引手段とを備えたことを特徴とする請求項５に記載の熱プラズマによる粉末の合成／精製装置。
【請求項７】
原料粉末をプラズマフレームにより加熱して溶融球状化し、該球状粉末を反応塔底部の回収容器に回収する粉末の球状化装置において、反応塔内壁に該反応塔内に浮遊し内壁に付着する微粒粉を収集する微粒粉収集手段が設けられ、反応塔底部に前記微粒粉が減少した残部球状粒子を落下させて回収する回収容器が設けられた、微粒粉の混入が少ない粒度の揃った球状粒子が得られることを特徴とする熱プラズマによる粉末の球状化装置。
【請求項８】
前記微粒粉収集手段は、反応塔内壁内周に設けられた受け皿と該受け皿に集まる微粒粉を吸引する吸引手段とを有することを特徴とする請求項７に記載の熱プラズマによる球状粉末の球状化装置。
【請求項９】
原料粉末をプラズマフレームにより加熱して溶融球状化し、該球状粉末を反応塔底部の回収容器に収集する粉末の球状化装置において、該反応塔内壁の上部側に反応塔内上部に浮遊し内壁に付着する微粒粉を収集する微粒粉収集手段が設けられ、該内壁の下部側に反応塔内下部に浮遊する中粒粉を収集する中粒粉収集手段が設けられ、反応塔底部に残部大粒の球状粒子を落下させて回収する回収容器が設けられた、球状粒子を微粒粉と中粒粉と大粒粉とに分別して得られることを特徴とする熱プラズマによる粉末の球状化装置。
【請求項１０】
前記微粒粉収集手段と中粒粉収集手段は、それぞれ反応塔内壁内周に設けられた受け皿と該受け皿に集まる粉末を吸引する吸引手段とを備えることを特徴とする請求項９に記載の熱プラズマによる粉末の球状化装置。
【請求項１１】
前記微粒粉収集手段と中粒粉収集手段のそれぞれまたは一方を２以上備えたことを特徴とする請求項１０に記載の熱プラズマによる粉末の球状化装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱プラズマにより高融点の金属又は金属化合物の純度の高い粉末を得るための合成／精製や、焼結加工性のよい粒度の揃った球状粉末を得るための球状化方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の熱プラズマによる粉末の精製装置は、図３に示すように原料ホッパー１５から原料粉末をプラズマフレーム１中に供給して溶融し合成されて、溶融と反応ガスにより精製され、精製された粉末４が反応塔３１内に落下して回収容器３３に収集されるようになっている。あるいは熱プラズマによる粉末の球状化装置の場合には、プラズマフレーム１中に供給された原料粉末が熱プラズマにより溶融球状化して、この球状粉末が反応塔３１内に落下して回収容器３３に収集されるようになっている（例えば特許文献１、２、３及び４）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−２６９５１１号公報
【特許文献２】
特開平５−９０７５号公報
【特許文献３】
実開平１−６９６３１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の熱プラズマによる粉末の精製装置では、図３に示すように微粒粉の粉末５が反応塔上部内壁に付着して、この微粒粉５が剥離して落下し、他の粒子とともに回収容器３３に回収される。この微粒粉５中には蒸気圧の低い不純物などが多く、純度の高い粉末４に混じるために高純度の粉末が得られ難かった。なお、ここでいう微粒粉には超微粒粉を含むものである。
【０００５】
また、従来の熱プラズマによる粉末の球状化装置では、前記同様に微粒粉の粉末５が反応塔上部内壁に付着して剥離し、この微粒粉が回収容器に回収される球状粉末４に混じるために成形性の良い粒度の揃った粉末を得るためには分級に手間を要した。
【０００６】
そこで、本発明は、プラズマによる粉末の合成／精製装置において、不純物を含む微粒粉を別個に収集して純度の高い粉末が得られる合成／精製方法と装置、及び微粒粉や粒度の異なる粉末を分別して収集して粒度の揃った焼結加工性のよい球状粉末が得られる球状化方法と装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の熱プラズマによる粉末の合成／精製方法と装置は、原料粉末をプラズマフレームにより加熱溶融して粉末を合成／精製し、該合成／精製粉末を反応塔底部の回収容器に回収する粉末の合成／精製方法において、該反応塔内壁に微粒粉収集手段を設け、該微粒粉収集手段により反応塔内に浮遊し内壁に付着する不純物を含む微粒粉を収集し、不純物の少ない残部粉末粒子を落下させて前記回収容器に回収することにより、純度の高い製品粉末を得ることを特徴とするものである。
【０００８】
すなわち、本発明者らは前記したように、従来の精製装置では不純物を含む微粒粉が反応塔内壁に集中して付着することに着目し、反応塔内壁に微粒粉収集手段を設けて、これにより反応塔内に浮遊し内壁に付着する超微粒粉を別に収集し、不純物を含まない球状粒子だけを落下させて回収することにより純度の高い製品粉末を得ようとするものである。
【０００９】
また、本発明の熱プラズマによる粉末の球状化方法と装置は、原料粉末をプラズマフレームにより加熱して溶融球状化し、該球状粉末を反応塔底部の回収容器に回収する粉末の球状化方法において、該反応塔内壁に微粒粉収集手段を設けて、該微粒粉収集手段により反応塔内に浮遊し内壁に付着する微粒粉を収集し、微粒粉が減少した残部球状粒子を落下させて前記回収容器に回収することにより、微粒粉の混入が少ない粒度の揃った球状粒子を得ることを特徴とするものである。ここでいう微粒粉は超微粒粉を含めたものをいい、以下の説明においても同様である。
【００１０】
すなわち、本発明者らは前記したように、従来の精製装置では粒度の異なる微粒粉が反応塔内壁に集中して付着することに着目し、反応塔内壁に微粒粉収集手段を設けて、これにより反応塔内に浮遊し内壁に付着する微粒粉を別に収集し、微粒粉の混在の少ない成形性の良い均一粒度の球状粉末を得るものである。
【００１１】
また、本発明の熱プラズマによる粉末の球状化方法と装置は、原料粉末をプラズマフレームにより加熱して溶融球状化し、該球状粉末を反応塔底部の回収容器に収集する粉末の球状化方法において、該反応塔内壁の上部側に微粒粉収集手段を設け、該内壁の下部側に中粒粉収集手段を設け、前記微粒粉収集手段により反応塔内上部に浮遊し内壁に付着する微粒粉を収集し、前記中粒粉収集手段により反応塔内下部に浮遊する中粒粉を収集し、残部大粒の球状粒子を落下させて前記回収容器に回収することにより、球状粒子を微粒粉と中粒粉と大粒粉とに分別して得ることを特徴とするものである。
【００１２】
すなわち、本発明の熱プラズマによる粉末の球状化方法と装置は、粒度の小さい微粒粉末が反応塔上部内壁に集中し、やや粒度の大きい中粒粉末が反応塔中部、下部に集中することに着目し、反応塔上部の微粒粉収集手段により上部に浮遊し内壁に付着する微粒粉を収集し、下部の中粒粉収集手段により反応塔下部に浮遊する中粒粉を収集し、残りの落下する大粒粉を反応塔底部の回収容器に回収することにより、各粒度ごとに揃った粒度の球状粉を得るものである。
【００１３】
また、前記微粒粉収集手段と中粒粉収集手段のそれぞれまたは一方を２以上備えることにより、さらに粒度を分別して回収することも可能である。
【００１４】
ここで微粒粉、中粒粉、大粒粉というのは、絶対的大きさではなく比較した相対的な大きさをいい、前述のように微粒粉には超微粒粉といわれるものも含み、材料（比重）などにより異なるが、一般的にいえば微粒粉は１０μｍ以下、中粒粉は１０〜３０μｍ、大粒粉は３０μｍ以上位の粒度である。通常回収容器に回収する大粒粉を製品粒粉とするが、微粒粉、中粒粉も用途により使用できる。
【００１５】
前記の精製または球状化装置において、前記微粒粉収集手段と中粒粉収集手段は、反応塔内壁内周に設けられた受け皿と該受け皿に集まる微粒粉を吸引する吸引手段とを備えることが望ましい。
【００１６】
すなわち、反応塔内壁内周に受け皿を設けると内壁に集中して付着する不純物を含む微粒粉末や、粒度の小さい球状粉末がこの受け皿に溜まるのでこれを吸引手段によって吸引することにより簡易に上記目的を達することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
［実施形態１］
以下、本発明を図示の実施形態について具体的に説明する。図１は本発明実施形態１の球状粉末の精製装置の断面図である。また、図３は従来の球状粉末の精製装置の断面図である。
【００１８】
まず図３に基づき従来の精製装置の全体の構成について説明する。従来の精製装置の主体はプラズマトーチ１１、原料ホッパー１５、反応塔３１及び回収容器３３により構成されている。
【００１９】
プラズマトーチ１１において、高周波誘導コイル１３に通電するとプラズマフレーム１が発生し、石英管１２にＡｒ，Ｈ2 などのガスを供給する。原料粉は原料ホッパー１５から原料供給管１６を介してプラズマフレーム１中に供給される。Ａｒ，Ｈ2 などのガスの導入手段は簡略化のため図示を省略した。
【００２０】
反応塔３１は円筒箱型をなし、円筒部３２の上蓋３４にプラズマトーチ１１が搭載されている。円筒部３２の下部は開口されて回収容器３３に接続されている。反応塔３１内のガスは、円筒部３２の側面の排気口３５に接続されたサイクロン３６、フィルタ３７を通して排気されるようになっている。
【００２１】
上記構成の従来の精製装置の動作について以下に説明する。まず、プラズマトーチ１１の高周波誘導コイル１３に高周波電力を投入し、Ａｒなどのガスを流入するとプラズマフレーム１が石英管１２の下部側から噴出する。
【００２２】
プラズマフレーム１中に原料ホッパー１５から原料供給管１６を介して原料粉末を供給すると、プラズマフレームにより溶融されて球状化した製品粉末４が反応塔３１内で冷却されて落下し回収容器３３に回収される。
【００２３】
この際に、微粒粉５と中粒粉６の一部は排気口３５からサイクロン３６、フィルタ３７に排気され、中粒粉６はサイクロン３６で分離され、微粒粉５はフィルタ３７で分離される。しかし、発生する多くの微粒粉は図３に示すように反応塔上部内壁に集中して上部内壁に付着する。そして、この付着して溜った微粒粉が剥離して落下し回収容器３３に混入する。発明者らはこの微粒粉に蒸気圧の低い不純物などが多く含まれる傾向があることを見出だし、この落下した微粒粉が回収容器３３に回収される製品粉末に混入するために製品粉末の純度が低下することを見出だした。
【００２４】
そこで、図１に示す本発明の精製装置は、微粒粉の混入を低減するよう構成されたものである。プラズマトーチ、反応塔などの構成は図３の従来装置とほぼ同一であるあが、図に示すように反応塔３１の円筒部３２の内壁に受け皿２１と微粒粉を吸引する吸引箱２５などで構成する吸引手段を有する微粒粉収集手段２０が設けられている点で異なる。受け皿２１は円筒部３２の内壁との間隔が上部で開いたテーパ円筒リング２２が底部２２ａで円筒部３２の内壁内周に装着された形状をなしている。受け皿２１に対応する円筒部３２の外周に吸引箱２５が設けられ、受け皿２１と吸引箱２５の間の円筒部３２の円周に亘って多数の吸引孔２３が貫通されている。そして吸引箱２５の吸引口２６が吸引管２７を介してフィルター３８に導通されている。
【００２５】
以下、本発明の精製装置の動作について説明する。プラズマトーチ１１のフレーム１に投入された原料粉末は高温で溶融されて精製され、反応塔３１内に落下する。この際に微粒粉は反応塔３１の上部に浮遊する。そしてこの微粒粉は図に示すように反応塔内壁に付着し、これが剥離して下部に落下する。
【００２６】
本発明の精製装置には、反応塔内壁内周に受け皿２１が設けられているので、反応塔内壁に付着して落下する微粒粉は受け皿２１で受けられ、吸引孔２３から吸引口２６を介して吸引されてフィルター３８に捕集される。
【００２７】
なお、製品粉末より粒度の小さい中粒粉の粉末は排気口３５から吸引され、サイクロン３６、フィルター３７に捕集される。そのために、回収容器３３に回収される製品粉末には微粒粉をほとんど含まない球状粉が得られる。これにより、回収容器３３に回収される製品粉末は、不純物の混入が少なく純度の高い大粒粉の製品粉末が得られる。なお、前述したようにここでいう微粒粉、中粒粉、大粒粉は比較した相対的な粒度をいい、一般的には微粒粉は１０μｍ以下、中粒粉は１０〜３０μｍ、大粒粉は３０μｍ以上位である。
【００２８】
［実施形態２］
次に本発明の粉末の球状化装置について説明する。実施形態２の球状化装置も実施形態１の精製装置と全く同一の装置を使用するので、前記図１に基づいて説明する。
【００２９】
プラズマトーチ１１のフレーム２に投入された原料粉末は高温で溶融されて球状になり反応塔３１内に落下して球状粉末として回収容器３３に回収される。この際に粒度の小さい微粒粉は反応塔上部に浮遊し図に示すように反応塔上部内壁に付着し、剥離して下部に落下する。そのために前記図３の従来の装置では、回収容器に回収される製品粉末には微粒粉が混在する。そのため焼結成形性の良い粒度の球状粉末だけを得るには分級を要するが、微粒であるために分級が困難である。
【００３０】
本発明の精製装置には、内壁内周に受け皿２１が設けられているので、反応塔内壁に付着した微粒粉は受け皿２１に受けられ、吸引孔２３から吸引口２６を介して吸引され、フィルター３８に捕集される。そして、中粒粉は下部の排気口３５から吸引され、サイクロン３６、フィルター３７に捕集される。
【００３１】
これにより、微粒粉、中粒粉、大粒粉（製品粉末）と分級して収集される。そのために、回収容器３３に回収される製品粉末には微粒粉、中粒粉をほとんど含まない焼結成形性の良い粒度の球状粉末だけが分級しないで得られる。なお、ここでいう微粒粉、中粒粉、大粒粉も前述した相対的な粒度をいうものである。
【００３２】
［実施形態３］
図２は本実施形態３の球状化装置の断面図である。上記実施形態２の球状化装置においても微粒粉、中粒粉、大粒の製品粒度品と分級して収集できるが、実施形態３ではさらに積極的に前記受け皿を反応塔下部の排気口にも設けたものである。
【００３３】
図２に基づいて説明すると、実施形態３の球状化装置では、実施形態２の反応塔上部の微粒粉収集手段２０の他に下部に同じ形状の中粒粉収集手段２０´が設けられている。すなわち、実施形態２の上部受け皿２１の他に下部受け皿２１´が設けられ、下部受け皿２１´も上部受け皿２１と同じ形状のテーパ円筒リング２２´が円筒部３２の内壁内周に装着されている。そして上部受け皿２１と同様に吸引孔２３´と吸引箱２５´が設けられ吸気口２６´を介してサイクロン３６、フィルター３７に導通される。
【００３４】
前記実施形態２の中粒粉は下部受け皿２１´によりさらに積極的に収集されるので、回収容器３３に回収される球状粉末はさらに製品粒度以外の粒度の粉末が排除され、均一粒度の製品粉末が得られる。
【００３５】
なお、実施形態３では中粒粉収集手段２０´を実施形態２の下部の排気口３５と共用したが、中粒粉収集手段２０´は排気口３５と別個に設けてもよい。
【００３６】
【実施例】
［実施例１］
実施例１は、Ｗ粉末の精製について、図１の本発明の精製装置と図３の従来の装置とを用いて精練効果を比較した。図４〜６に原料と得られた粉末の顕微鏡写真を示す。図４は原料粉、図５と６は従来の装置と本発明の装置のそれぞれ回収容器に回収された球状粉末を示す。図４に示す破砕形状の原料粉は、図５、図６ともに綺麗に球状化されている。しかし、図５の従来装置による球状粉末は表面に微粒粉が付着しているのに対し、図６の本発明装置による球状粉末は表面にはこのような微粒粉の付着が認められず、微粒粉が微粒粉収集手段により分離されて回収容器には大粒粉のみが回収されたことが判る。
【００３７】
上記の図５の従来装置による球状粉末と図６の本発明装置による球状粉末について不純物を分析した結果を表１に示す。表１から、従来装置、本発明装置ともに原料粉からは不純物は大幅に減少して精練効果が認められる。しかし、本発明装置は従来装置に比し全不純物が共に各段に減少し、本発明装置による精練効果の著しい向上が認められる。
【００３８】
【表１】
0003639279.tif 000002
【００３９】
［実施例２］
実施例２は、実施例１と同様にしてＭｏ粉末の精製について、本発明の精製装置と従来装置とを用いて精練効果を比較した。図７〜９に粉末の顕微鏡写真を示す。図７は原料粉、図８と９は従来の装置と本発明の装置のそれぞれ回収容器に回収された球状粉末を示す。図７に示す原料粉に対し、図８の従来装置による回収球状粉末は表面に多量の微粒粉が付着して凝集した形状を示し、球状形が認めにくい。これに対し、図９の本発明装置による回収球状粉末は表面に微粒粉の付着がなく綺麗に球状化されている。すなわち本発明装置によれば、微粒粉が分離されて回収容器には大粒粉のみが回収されたことが判る。
【００４０】
実施例１と同様に上記の図８の従来装置による球状粉末と図９の本発明装置による球状粉末について不純物を分析した結果を表２に示す。表２から、従来装置では微粒粉が分離されないので回収粉末の不純物は原料粉からほとんど低減せず、あまり精練効果が認められないことが判る。これに対し本発明装置では微粒粉が分離されるので、不純物が原料粉からほぼ半分以下に減少しており十分な精練効果が認められる。このように、本発明装置は従来装置に比し精練効果の著しい向上が認められる。
【００４１】
【表２】
0003639279.tif 000003
【００４２】
［実施例３］
実施例３は、Ａｌ2 Ｏ3 粉末について、実施例１、２と同様の図１の本発明の球状化装置と図３の従来の装置とを用いて球状化試験を行った。表３にその試験結果を示す。まず表の見方について説明する。回収容器、サイクロンの欄は従来方法、本発明方法ともに、それぞれ回収容器３３、サイクロン３６に回収された粉末、フィルタの欄は従来方法はフィルタ３７に回収された粉末、本発明方法はフィルタ３７、３８に回収された粉末を示す。粒度別比率は各粒径ごとの粒度分布をＷｔ％で示し合計１００％である。
【００４３】
【表３】
0003639279.tif 000004
【００４４】
部位別回収率は前述の回収容器、サイクロン、フィルタに回収された粉末の回収比率を示す。粒度別回収効率は各部位で回収された粉末量に対する回収容器では大粒粉、サイクロンでは中粒粉、フィルタでは微粒粉の比率を示す。
【００４５】
表３から、従来方法に対して本発明方法は、回収容器においては中粒粉や微粒粉の混入が減少し大粒粉の回収率が８９％から９５％に向上していることが判る。また、サイクロンにおいては微粒粉の混入が減少し中粒粉の回収率が９３％から９６％に向上していることが判る。
【００４６】
［実施例４］
実施例４は、ＳｉＯ2 粉末について、実施例３と同様に図１の本発明の球状化装置と図３の従来の装置とを用いて球状化試験を行った。表４にその試験結果を示す。表の見方は表３と同様である。
【００４７】
【表４】
0003639279.tif 000005
【００４８】
表４から、従来方法に対して本発明方法は、実施例３と同様に回収容器においては大粒粉の回収率が８２％から９３％に向上し、サイクロンにおいては中粒粉の回収率が６６％から７７％に向上していることが判る。
【００４９】
上述の実施例３、４に示すように本発明方法によれば、従来方法より回収容器とサイクロンにおいて粒度の異なる粉末の混入が少なく分級がより良く行われるので、回収容器の製品粉末のみでなく、用途によりサイクロンで回収した微粒粉の混入の少ない中粒粉を選択使用することもできる。
【００５０】
以上述べたように、本発明の実施形態の熱プラズマによる粉末の合成／精製方法と装置によれば、反応塔内壁に微粒粉収集手段を設けて、これにより内壁周辺に浮遊する微粒粉を収集し、不純物を含まない球状粒子だけを回収容器に落下させるので高純度の粉末を得ることができる。
【００５１】
また、本発明の熱プラズマによる粉末の球状化方法と装置によれば、反応塔内壁に微粒粉収集手段を設けて、反応塔内に浮遊し内壁に付着する微粒粉を収集して残部球状粒子だけを回収容器に回収するので、微粒粉の混入が少ない成形性の良い粒度の揃った球状粒子を得ることができる。
【００５２】
また、本発明の熱プラズマによる粉末の球状化方法と装置は、反応塔上部と下部に微粒粉収集手段と中粒粉収集手段を設けて、上部の微粒粉収集手段により上部内壁周辺に浮遊する微粒粉を収集し、下部の中粒粉収集手段により反応塔下部内壁周辺に浮遊する中粒粉を収集し、残りの落下する大粒粉を反応塔底部の回収容器に回収することにより、一層各粒度ごとに揃った粒度の球状粉を得ることができる。
【００５３】
上記の微粒粉収集手段と中粒粉収集手段は、反応塔上下部内壁に集中する不純物を含む微粒粉末や、粒度の小さい球状粉末を受ける受け皿とこの受け皿に集まった微粒粉を吸引する吸引手段とを備えるので、上記目的を簡易に達することができる。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の熱プラズマによる粉末の合成／精製方法と装置では、従来装置より不純物の混入の少ない純度の高い粉末が得られるので、合成粉末の性能が向上し新しい用途が開ける。また、本発明の熱プラズマによる粉末の球状化方法と装置では、微粒粉を含まない焼結加工性などのよい均一な所定粒度の球状粉末が得られるので焼結品などの品質が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明実施形態１の精製装置の断面図
【図２】  本発明実施形態２の球状化装置の断面図
【図３】  従来の精製／球状化装置の断面図
【図４】  本発明実施例１の原料粉末の顕微鏡写真
【図５】  本発明実施例１の従来装置による精製粉末の顕微鏡写真
【図６】  本発明実施例１の本発明装置による精製粉末の顕微鏡写真
【図７】  本発明実施例２の原料粉末の顕微鏡写真
【図８】  本発明実施例２の従来装置による精製粉末の顕微鏡写真
【図９】  本発明実施例２の本発明装置による精製粉末の顕微鏡写真
【符号の説明】
１  プラズマフレーム、３  原料粉末、４  製品粉末（大粒粉）、５  微粒粉、６  中粒粉、１１  プラズマトーチ、１２  石英管、１３  高周波誘導コイル、１５  原料ホッパー、１６  原料供給管、２０  微粒粉収集手段、２０´  中粒粉収集手段、２１、２１´  受け皿、２２  テーパ円筒リング、２３  吸引孔、２５  吸引箱、２６  吸引口、２７  吸引管、３１  反応塔、３２  円筒部、３３  回収容器、３４  上蓋、３５  排気口、３６  サイクロン、３７  フィルタ、  ３８  フィルタ
【図１】
0003639279.tif 000006
【図２】
0003639279.tif 000007
【図３】
0003639279.tif 000008
【図４】
0003639279.tif 000009
【図５】
0003639279.tif 000010
【図６】
0003639279.tif 000011
【図７】
0003639279.tif 000012
【図８】
0003639279.tif 000013
【図９】
0003639279.tif 000014