(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の要件を備えたことを特徴とするホルダ装着用ステージ、
（Ａ01）ホルダ搬送部材により搬送されるホルダの下面を支持するとともに、外壁に囲まれた真空室内に配置されたホルダ支持プレート、
（Ａ02）前記ホルダ支持プレートの上面に突出可能で且つ前記ホルダ支持プレート上面に支持されたホルダの下面を押し上げ可能に配置された固定ピン、および前記固定ピンにより押し上げられたホルダの上面位置に当接して前記固定ピンとの間に前記ホルダを挟持して固定する上面規制部材、
（Ａ03）前記ホルダ支持プレート下面に水平軸回りに揺動可能に支持されるとともに、固定ピンを前記ホルダ支持プレートから上方に突出させて前記ホルダの下面を上昇させるホルダ固定位置と前記固定ピンをホルダ支持プレートの上面より下方に保持するホルダ開放位置との間で揺動可能な揺動レバー、
（Ａ04）前記ホルダ支持プレート下面側に回転可能に支持された一対の回転プレート、
（Ａ05）前記一対の回転プレートの互いに反対向きの回転に伴って前記揺動レバーを揺動させるレバー作動部材、
（Ａ06）前記一対の回転プレートにそれぞれ一端側の連結端部が固定され且つ他端側の操作端部が前記一対の回転プレートの中心を結ぶ線分の垂直２等分線の両側に所定間隔を置いて対向して配置された一対のアーム、
（Ａ07）前記対向して配置された前記操作端部と接触する接触部分を有し、前記操作端部が互いに離れる方向に沿って移動可能なシフタ、
（Ａ08）前記シフタを前記外壁の外側から移動させるシフタ移動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子顕微鏡やビーム描画装置で使用されるホルダ装着用ステージに関し、特に、試料や材料を保持するホルダがホルダ装着用ステージに装着される際にホルダ装着用ステージに作用する水平方向の力が小さなホルダ装着用ステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
前記ホルダ装着用ステージとしては、従来、下記（Ｊ01）に示す技術が知られている。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、左方、右方、上方、下方、または、前側、後側、左側、右側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【０００３】
（Ｊ01）図７に示す技術
図７は従来のホルダ装着用ステージの説明図で、図７Ａは平面図、図７Ｂは前記図７Ａの矢印ＶIIＢから見た図である。
図７において、平面図でほぼ４角形のホルダ０１を搬送するホルダ搬送部材０２の下側にはＶブロック０３が固定されている。前記ホルダ０１は、ホルダ搬送部材０２の先端部に着脱自在に連結されて、図７の右側(−Ｙ側）からステージ０４のホルダ支持プレート０５上に搬送される。ステージ０４の左端部にはホルダ位置決め部材０６が配置されている。
前記ホルダ０１をホルダ支持プレート０５上に搬送する際、前記Ｖブロック０３がホルダ固定装置の一対のアーム０７，０７を押し開く。各アーム０７は回転プレート０８に連結されており、回転プレート０８にはレバー作動部材（ワイヤ）０９の左端が連結されている。
【０００４】
前記前後方向に離れて配置された一対の回転プレート０８，０８は前後方向（Ｘ軸方向）に延びるプレート連結部材０１０により連結されている。プレート連結部材０１０の前後両端は前記回転プレート０８に形成された前後（Ｘ軸方向）る延びる長孔にスライド可能に係合しており、前記一対の回転プレート０８の回転時には、プレート連結部材０１０は左右方向（Ｙ軸方向）に移動するように構成されている。
前記プレート連結部材０１０の中央部には左右方向（Ｙ軸方向）に延びるレバー作動部材０１１の右端が連結され、左端は揺動レバー０１２に連結されている。揺動レバー０１２は水平軸０１２a回りに揺動するレバーであり、揺動レバー０１２の左端は、固定ピン０１３の上昇位置を規制している。なお、前記固定ピン０１３は圧縮バネ０１４（図７Ｂ参照）により常時上方に付勢されている。
【０００５】
図７Ｂの状態から、前記レバー作動部材０１１が右側（−Ｙ側）に移動したときには前記揺動レバー０１２は反時計方向に揺動して前記固定ピン０１３の上端を下方に移動させるようになっている。
また、前記レバー作動部材０９，０９の右端には、前記レバー作動部材０１１の左端に連結された揺動レバー０１２と同様の同様レバー０１２が連結されており、前記レバー作動部材０９が左側（Ｙ側）に移動したときには固定ピン０１３の上端を下方に移動させるようになっている。
【０００６】
したがって、前記Ｖブロック０３により前記一対のアーム０７，０７の右端を前後に押し開くと、前記回転プレート０８，０８が回転してプレート連結部材０１０およびレバー作動部材０１１が右方に移動し、前記固定ピン０１３の上端が下がるように構成されている。また、前記アーム０７，０７の右端が図７Ａの実線の位置にあるとき（Ｖブロック０３により押し広げられていない状態）では、前記固定ピン０１３の上端は前記圧縮バネ０１４により上方に突出した位置に保持されている。
【０００７】
ホルダ０１は、前記ホルダ搬送部材０２により右側からステージ０４上に搬送されると、前記Ｖブロック０３がアーム０７，０７を押し開く。このとき、前記固定ピン０１３が下がり、ホルダ０１はホルダ位置決め部材０６の下部に当接して停止する。その状態でホルダ搬送部材０２をホルダ０１から離脱させてＶブロック０３とともに右方に移動させると、前記一対のアーム０７，０７は閉じて前記固定ピン０１３が上昇する。前記固定ピン０１３は前記ホルダ０１下面を上方に押し上げて前記ホルダ位置決め部材０６との間にホルダ０１を挟持して固定する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
（前記（Ｊ01）の問題点）
前記従来技術（Ｊ01）では、次のような問題点がある。
前記ホルダ０１をステージ０４上に固定できる状態にするため、前記Ｖブロック０３が前記アーム０７，０７を押し開くが、そのとき、アーム０７，０７には前記開く方向の力の他に、図７の右から左に向かう水平分力（Ｖブロック０３が押す力）が働いてしまう。
そのため、ホルダ０１を交換する毎に、ステージ０４に水平方向の力が加わり、ステージ０４の移動精度が悪化する。
前記ステージ０４は、電子ビーム描画装置等で使用される場合、高速かつ高精度に移動する必要がある。このような場合には前記移動精度の悪化は大きな問題となる。
また、ホルダ搬送部材０２によってＶブロック０３を動かしているので、Ｖブロック０３を押す力が強くなると、ホルダ搬送部材０２を動かすための機構そのものを頑丈にすることが必要となるので、ゴミの発生の少ないシンプルな機構を用いることの妨げとなる。
【０００９】
本発明は、前述の事情に鑑み下記（Ｏ01）の記載内容を課題とする。
（Ｏ01）ホルダをホルダ装着用ステージに着脱する際のホルダ固定機構の作動時にステージに作用する力を小さくすること。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の説明において本発明の構成要素の後に付記したカッコ内の符号は、本発明の構成要素に対応する後述の実施例の構成要素の符号である。なお、本発明を後述の実施例の構成要素の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【００１１】
（本発明）
前記課題を解決するために、本発明のホルダ装着用ステージは下記の要件を備えたことを特徴とする、
（Ａ01）ホルダ搬送部材（２）により搬送されるホルダ（１）の下面を支持するとともに、外壁（Ｐ）に囲まれた真空室（Ａ）内に配置されたホルダ支持プレート（３）、
（Ａ02）前記ホルダ支持プレート（３）の上面に突出可能で且つ前記ホルダ支持プレート（３）上面に支持されたホルダ（１）の下面を押し上げ可能に配置された固定ピン（３）、および前記固定ピン（３）により押し上げられたホルダ（１）の上面位置に当接して前記固定ピン（３）との間に前記ホルダ（１）を挟持して固定する上面規制部材（１０）、
（Ａ03）前記ホルダ支持プレート（３）下面に水平軸回りに揺動可能に支持されるとともに、固定ピン（１６）を前記ホルダ支持プレート（３）から上方に突出させて前記ホルダ（１）の下面を上昇させるホルダ固定位置と前記固定ピン（１６）をホルダ支持プレート（３）の上面より下方に保持するホルダ開放位置との間で揺動可能な揺動レバー（１５）、
（Ａ04）前記ホルダ支持プレート（３）下面側に回転可能に支持された一対の回転プレート（１１）、
（Ａ05）前記一対の回転プレート（１１）の互いに反対向きの回転に伴って前記揺動レバー（１５）を揺動させるレバー作動部材（１２，１４）、
（Ａ06）前記一対の回転プレート（１１）にそれぞれ一端側の連結端部が固定され且つ他端側の操作端部（１８a）が前記一対の回転プレート（１１）の中心を結ぶ線分の垂直２等分線の両側に所定間隔を置いて対向して配置された一対のアーム（１８）、
（Ａ07）前記対向して配置された操作端部（１８a）と接触する接触部分（２２ｂ）を有し、前記操作端部（１８ａ）が互いに離れる方向に沿って移動可能なシフタ（２２）、
（Ａ08）前記シフタ（２２）を前記外壁（Ｐ）の外側から移動させるシフタ移動装置（２３〜３２）。
【００１２】
（本発明の作用）
前記構成を備えた本発明のホルダ装着用ステージでは、ホルダ支持プレート（３）は、外壁（Ｐ）に囲まれた真空室（Ａ）内に配置される。ホルダ搬送部材（２）は、ホルダ（１）を前記ホルダ支持プレート（３）に搬送する。前記ホルダ支持プレート（３）は、前記ホルダ（１）の下面を支持する。
前記ホルダ支持プレート（３）下面側には一対の回転プレート（１１）が回転可能に支持される。
【００１３】
シフタ移動装置（２３〜３２）は、前記シフタ（２２）を前記外壁（Ｐ）の外側から移動させる。
シフタ（２２）は、前記対向して配置された一対のアーム（１８）の操作端部（１８a）と接触する接触部分（２２ｂ）を有し、前記操作端部（１８ａ）が互いに離れる方向に沿って移動できる。したがって、シフタ移動装置（２３〜３２）により、シフタ（２２）が前記操作端部（１８ａ）を互いに離す方向に移動すると、接触部分（２２ｂ）が操作端部（１８a）に接触して、操作端部（１８ａ）を互いに離れる側に移動させる。このとき、一対のアーム（１８）は互いに反対向きに回動する。
このため、シフタ（２２）からアーム（１８）に作用する力はアーム（１８）を回転させる力だけであり、余分な方向の力は作用しない。したがって、シフタ（２２）がアーム（１８）に作用する力によりホルダ装着用ステージに余分な外力が加わることを防止することができる。
【００１４】
前記垂直２等分線の両側に所定の間隔で対向して配置された一対のアーム（１８）の一端側の連結端部は、前記一対の回転プレート（１１）にそれぞれ固定されているので、前記アーム（１８）の互いに反対向きの回転と同時に前記一対の回転プレートも互いに反対向きに回転する。
レバー作動部材（１２，１４）は、前記回転プレート（１１）の回転に伴って揺動レバー（１５）を揺動させる。
【００１５】
前記ホルダ支持プレート（３）下面に水平軸回りに揺動可能に支持された前記揺動レバー（１５）は、ホルダ固定位置とホルダ開放位置との間で揺動する。前記揺動レバー（１５）は、前記ホルダ固定位置では固定ピン（１６）を前記ホルダ支持プレート（３）から上方に突出させて前記ホルダ（１）下面を押し上げる。このとき、前記ホルダ（１）は、その上面位置を規制する上面規制部材（１０）と下面を押し上げる固定ピン（１６）とにより挟持され、固定される。
また、前記揺動レバー（１５）は、前記ホルダ開放位置では前記固定ピン（１６）をホルダ支持プレート（３）の上面よりも下方に保持する。このホルダ開放位置では、ホルダ支持プレート（３）上へホルダ（１）の搬入、搬出を行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
（発明の実施の形態１）
本発明の実施の形態１のホルダ装着用ステージは、前記本発明において次の要件を備えたことを特徴とする、
（Ａ011）前記外壁（Ｐ）を垂直に貫通するとともに外壁（Ｐ）の外側から回転操作される回転軸（２７）に装着され且つ前記外壁（Ｐ）の内側に配置されたディスク（２８）と、前記ディスク（２８）の回転時に前記シフタ（２２）を移動させるディスク・シフタ連動機構（２３〜２７，２９）とを有する前記シフタ移動装置（２３〜３２）。
【００１７】
（発明の実施の形態１の作用）
前記構成を備えた本発明の実施の形態１のホルダ装着用ステージでは、前記シフタ移動装置（２３〜３２）のディスク（２８）は、前記外壁（Ｐ）の内側に配置されている。また、ディスク（２８）は、前記外壁（Ｐ）を垂直に貫通するとともに外壁（Ｐ）の外側から回転操作される回転軸（２７）に装着される。したがって、前記ディスク（２８）は前記外壁（Ｐ）の外側から回転操作される。
前記シフタ移動装置（２３〜３２）のディスク・シフタ連動機構（２３〜２７，２９）は、前記ディスク（２８）の回転時に前記シフタ（２２）を移動させる。
【００１８】
（発明の実施の形態２）
本発明の実施の形態１のホルダ装着用ステージは、前記本発明において次の要件を備えたことを特徴とする、
（Ａ012）一対のシフタ（２２）の移動をガイドするシフタガイド（２１）と、前記一対のシフタ（２２）に連結された一対のスライダ（２４）と、前記一対の各スライダ（２４）を移動可能に支持するレール（２３）と、前記一対のスライダ（２４）および前記ディスク（２８）を連結するリンク（２９）とを有する前記ディスク・シフタ連動機構（２３〜２７，２９）。
【００１９】
（発明の実施の形態２の作用）
前記構成を備えた本発明の実施の形態１のホルダ装着用ステージでは、前記ディスク・シフタ連動機構（２３〜２７，２９）のディスク（２８）が回転すると、前記ディスク（２８）にリンク（２９）で連結されたスライダ（２４）が前記レール（２３）に沿って移動する。このとき、前記スライダ（２４）に連結された前記シフタ（２２）は、シフタガイド（２１）に沿って移動する。このシフタ（２２）の移動により、前記アーム（１８）等を介して前記揺動レバー（１５）を揺動させて前記固定ピン（１６）の移動操作を行うことができる。
【００２０】
【実施例】
次に図面を参照しながら、本発明のホルダ装着用ステージの実施の形態の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
（実施例１）
図１は本発明のホルダ装着用ステージの実施例１の平面図である。図２は前記図１のII−II線断面図である。図３は前記図１の要部の説明図で、図３Ａは前記図１Ａの要部拡大図、図３Ｂは前記図３Ａの矢印IIIＢから見た図である。図４は前記図３で示した部分の作用説明図で、図４Ａは前記図３Ａと異なる状態を示す図、図４Ｂは前記図４Ａの矢印IＶＢから見た図である。図５は同実施例１の要部の拡大斜視図である。図６は同実施例１で使用する固定ピンの作用説明図で、図６Ａは平面図、図６Ｂは前記図６Ａの矢印ＶIＢから見た図である。
【００２１】
図１〜図６において、右壁Ｐ1および前壁Ｐ2等を有する外壁Ｐに囲まれた真空室Ａ内にはホルダ装着用ステージＳが設けられている。前記ステージＳに着脱可能に装着されるホルダ１は、平面図でほぼ４角形で且つ角部が削られ形成された曲面状の被ガイド面１a、下面１b、および、ホルダ搬送部材２の先端部２aに着脱自在に連結される連結部１cを有しており、図１の右側から前記ステージＳのホルダ支持プレート３（図２参照）上に搬送される。したがって、前記ホルダ搬送部材２およびホルダ１は前記外壁Ｐの右壁Ｐ1を貫通して移動するように構成されている。
図１において、ステージＳの左端部には、前記ホルダ支持プレート３の上側にホルダ位置決めローラ４が水平軸回りに回転可能に支持されている。また、ステージＳの後端部には、前記ホルダ支持プレート３の上側に左右一対のホルダガイド用固定ローラ５が鉛直軸回りに回転可能に支持されている。
【００２２】
図１において、ステージＳの前端部（Ｘ端部）には、前記ホルダ支持プレート３の上側にホルダガイド用可動ローラ６が鉛直軸（Ｚ軸に平行な軸）回りに回転可能に支持されている。前記可動ローラ６は、鉛直軸７a回りに回動可能な回動レバー７により回動可能に支持されており、引張バネ８により常時後方側（−Ｘ側）に付勢されている。前記回動レバー７はピン９により回動位置が規制されており、前記可動ローラ６の後方（−Ｘ方向）への移動位置は制限されている。
したがって、図１においてホルダ搬送部材２により右方からホルダ１がホルダ支持プレート３上に搬送されたとき、ホルダ１は前記被ガイド面１aが前記固定ローラ５および可動ローラ６にガイドされて左方（Ｙ方向）に移動する。そして前記ホルダ１は、その前側面が前記可動ローラ６により後方に押されて前記左右一対の固定ローラ５に押圧され、位置決めされる。
【００２３】
前記一対の固定ローラの間には前記ホルダ１の上面位置を規制する上面規制部材１０（図１、図６Ｂ参照）が配置されている。上面規制部材１０は支持ブロック１０aおよび前記支持ブロック１０a上面に固定された上面規制板１０bを有している。
図６Ｂにおいて、前記上面規制板１０bは前記ホルダ支持プレート３上のホルダ１の下面１bが後述の固定ピンにより上方に押圧されたときに、前記ホルダ１の上面位置を規制する部材である。
【００２４】
前記ホルダ支持プレート３下面には凹部Ｃ（図２、図１参照）が形成されており、凹部Ｃ内には左右一対の回転プレート１１，１１が回転可能に支持されている。回転プレート１１にはレバー作動部材１２（図１参照）の後端が連結されいる。前記レバー作動部材１２の前端（Ｘ端）については後述する。
前記左右方向に離れて配置された一対の回転プレート１１，１１は左右方向（Ｙ軸方向）に延びるプレート連結部材１３により連結されている。前記プレート連結部材１３の左右両端は前記回転プレート１１に形成された左右（Ｙ軸方向）に延びる長孔にスライド可能に係合しており、前記一対の回転プレート１１の回転時には、プレート連結部材１３は前後方向（Ｘ軸方向、すなわち、回転プレート１１，１１の中心を結ぶ線分の垂直２等分線の方向）に移動するように構成されている。
前記プレート連結部材１３の中央部には前後方向（Ｘ軸方向）に延びるレバー作動部材１４の前端が連結され、後端は揺動レバー１５（図６参照）に連結されている。図６Ｂにおいて、揺動レバー１５は水平軸１５a回りに揺動するレバーであり、揺動レバー１５の後端（−Ｘ端）は、上下方向にスライド移動可能に支持された固定ピン１６のフランジ部１６aの上面に当接している。
【００２５】
前記固定ピン１６のフランジ部１６aの下面は圧縮バネ１７により常時上方位置に押し上げられて、前記ホルダ１の下面１bを上方に押圧（図６Ｂの２点鎖線参照）するようになっている。その状態では、前記ホルダ１は前記固定ピン１６の上端と前記上面規制板１０bとの間に挟持されて固定される。
図６Ｂにおいて、前記レバー作動部材１４が前側（Ｘ側）に移動したときには前記揺動レバー１５は２点鎖線位置から実線位置に揺動して前記固定ピン１６の上端は下方に移動するようになっている。
【００２６】
図１、図３、図４において、前記各回転プレート１１に連結された前記レバー作動部材１２の前端は、揺動レバー１５（前記レバー作動部材１４の後端に連結された前記揺動レバー１５と同様に構成されたレバー）に連結されている。このレバー作動部材１２の前端に連結された揺動レバー１５は、前記レバー作動部材１４の後端に連結された揺動レバー１５と同様に、前記回転プレート１１の回転に伴って揺動し、前記圧縮バネ１７と同様の圧縮バネにより上方に付勢された固定ピン１６の上下位置を調整する。そして、前記固定ピン１６は、その上昇時にホルダ１を上面規制部材１０の上面規制板（図示せず）に押圧して固定する。
【００２７】
図１において、左右一対のアーム１８，１８の後端部は、前記左右一対の回転プレート１１，１１にそれぞれ連結されている。前記回転プレート１１，１１は、前記圧縮バネ１７の作用により矢印方向（図１、図３参照）の回転力を受けているため、前記アーム１８，１８の前端１８a，１８aは互いに閉じる方向の力を受けている。前記各アーム１８の前端部１８aは、左右に押し開くための操作端部として形成されている。
前記回転プレート１１、アーム１８は、前記引張バネＢにより、常時は図１の実線位置（図３Ａに示す位置）に保持されている。前記アーム１８，１８の前端部（操作端部）１８a，１８aが図１の実線の位置（閉じた位置）にあるときは、前記固定ピン１６（図６参照）の上端は上方に突出した位置に保持されている。そして、前記左右一対のアーム１８，１８の前端部を図１の２点鎖線の位置（図４Ａに示す位置）に押し開くと、前記回転プレート１１，１１が回転してプレート連結部材１３、レバー作動部材１４が前側（Ｘ側）に移動し、前記固定ピン１６（図６参照）の上端が下がるように構成されている。
【００２８】
図１、図３Ａ、図４Ａにおいて、前記外壁Ｐの前壁Ｐ2内側には、前記アーム前端１８a，１８aに隣接して、左右に延びるシフタガイド２１、および前記シフタガイド２１によりガイドされた左右一対のシフタ２２，２２が設けられている。前記シフタガイド２１は左右方向の中央部が前側に凹んで形成されている。
シフタ２２は前記シフタガイド２１に接触する部分にローラ２２aが設けられている。また、左右一対のシフタ２２は、前記左右一対のアーム１８を開閉するためのシフタであり、前記アーム前端部１８aに接触するアーム接触ローラ２２b（図５参照）を有している。
【００２９】
図５において、前記シフタガイド２１に沿って左右に延びる円柱状のレール２３が設けられており、レール２３には左右一対のスライダ２４，２４（図３Ａ、図４Ａ参照）が左右にスライド移動可能に支持されている。なお、スライダ２４は、前記レール２３が貫通する貫通孔を有しており、前記貫通孔内面にはレール２３の外周面との摩擦力を抵抗力を小さくするため、螺旋状に循環するボールを収容するボール循環溝が形成されている。すなわち、前記貫通孔内面には循環式リニアガイドが設けられている。なお、前記スライダ２４の貫通孔と前記貫通孔を貫通するレール２３との間には、摩擦力を小さくする従来公知の種々の手段を設けることが可能である。
前記スライダ２４，２４と前記シフタ２２，２２とは、それぞれ回転可能に連結されている。そして、前記スライダ２４とシフタ２２との間には引張バネ２５が設けられており、図５に示すように、前記引張バネ２５によりシフタ２２のローラ２２aはシフタガイド２１に押し付けられている。
【００３０】
図１に示す前後方向（Ｘ軸方向）に延びる回転軸２７は、前記前壁Ｐ2を貫通して設けられており、前記回転軸２７の後端部（−Ｘ端部）には、図３Ｂ、図４Ｂ、図５に示すように、前記レール２３に隣接して円板状のディスク２８が支持されている。ディスク２８と前記左右一対のスライダ２４，２４との間はリンク２９，２９により連結されている。前記符号２３〜２７，２９で示された要素によりディスク・シフタ連動機構（２３〜２７，２９）が構成されている。
ディスク２８の後面（−Ｘ側の面）の中央部には、回転位置規制用突起３０が形成されている。図３Ｂに示すように、スライダ２４，２４が接近する方向に移動したとき、前記スライダ２４，２４が前記回転位置規制用突起３０に当接した位置で停止するように構成されている。
【００３１】
前記回転軸２７には、エア駆動によるロータリアクチュエータ３１の回転力が、回転導入器３２を介して伝達される。回転導入器３２としては、前壁Ｐ2の内側を真空に保持しながら外側の回転力を内側に伝達することが可能な従来公知の種々のものを採用することが可能である。
前記符号２３〜３２で示された要素によりシフタ移動装置（２３〜３２）が構成されている。
【００３２】
（実施例１の作用）
前記構成を備えた本発明の実施例１のホルダ装着用ステージＳでは、前記シフタ移動装置（２３〜３２）はディスク・シフタ連動機構（２３〜２７，２９）を有している。ディスク・シフタ連動機構（２３〜２７，２９）のディスク２８は、前記外壁Ｐを垂直に貫通するとともに外壁Ｐの外側から回転操作される回転軸２７に装着され、且つ、前記外壁Ｐの内側に配置されている。そして、前記ディスク２８は前記外壁Ｐの外側から回転操作される。
前記ディスク２８の回転操作は、ホルダ装着用ステージＳへのホルダ１の搬送方向と異なる方向に配置されているので、ホルダ１の搬送に影響を与えることなく操作することができる。
図５において、ディスク２８が回転すると、前記ディスク２８にリンク２９で連結されたスライダ２４が前記レール２３に沿って移動する。このとき、前記スライダ２４に連結された前記シフタ２２は、シフタガイド２１に沿って移動する。
【００３３】
ホルダ装着用ステージＳのホルダ支持プレート３下面側には一対の回転プレート１１が回転可能に支持されており、前記回転プレート１１にはそれぞれ一対のアーム１８の連結端部が連結されている。前記一対のアーム１８は、前記一対の回転プレート１１を結ぶ線分の垂直２等分線の両側に所定間隔で対向して配置されており、アーム１８，１８の操作端部１８a，１８aは対向して配置されている。
前記シフタ２２は、前記対向して配置された一対のアーム１８の操作端部１８aを互いに離れる側に移動させる。このとき、各アーム１８は互いに反対向きに回動する。
前記シフタ２２は、前記操作端部１８aとの接触部分が操作端部１８aの移動方向とほぼ同じ方向に移動するので、シフタ２２からアーム１８に作用する力はアーム１８を回転させる力だけであり、余分な方向の力は作用しない。したがって、シフタ２２がアーム１８に作用する力によりホルダ装着用ステージに余分な外力が加わることを防止することができる。
【００３４】
前記垂直２等分線の両側に対称に配置された一対のアーム１８の一端側の連結端部は、前記一対の回転プレート１１にそれぞれ固定されているので、前記アーム１８，１８が互いに反対向きに回転すると同時に前記一対の回転プレートも互いに反対向きに回転する。この回転に伴って前記レバー作動部材１２は前後方向に移動する。
両端部が前記一対の回転プレート１１に連結されたプレート連結部材１３は、前記一対の回転プレート１１の互いに反対向きの回転に伴って前記垂直２等分線に沿って移動し、レバー作動部材１４を移動させる。
したがって、前記レバー作動部材１２，１４は、前記回転プレート１１の回転に応じて移動し、前記揺動レバー１５を揺動させる。
前記ホルダ支持プレート３下面に水平軸回りに揺動可能に支持された揺動レバー１５は、ホルダ固定位置とホルダ開放位置との間で揺動可能である。前記揺動レバー１５は、前記ホルダ固定位置では固定ピン１６を前記ホルダ支持プレート３から上方に突出させて前記ホルダ１の下面１b（図６Ｂ参照）を上方に押し上げる。このとき、ホルダ１は、その上面および下面が前記上面規制部材１０および固定ピン１６により挟持され、固定される。
また、前記揺動レバー１５は、前記ホルダ開放位置では前記固定ピン１６をホルダ支持プレート３の上面よりも下方に保持する。このホルダ開放位置では、ホルダ支持プレート３上面に対するホルダ１の搬入、搬出を行うことができる。
【００３５】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記に例示する。
（Ｈ01）前記一対の回転プレート１１の回転時にプレート連結部材１３を前後方向（Ｘ軸方向）に移動させる構成として、前記プレート連結部材１３の左右両端を前記回転プレート１１に形成された左右（Ｙ軸方向）に延びる長孔にスライド可能に係合させる構成とする代わりに、前記プレート連結部材１３を伸縮可能に構成し且つプレート連結部１３の両端を回転プレート１１に回転可能に連結する構成を採用することが可能である。
（Ｈ02）固定ピン１６は揺動レバー１５に固定支持することが可能である。
【００３６】
【発明の効果】
前述の本発明のホルダ装着用ステージは、下記の効果を奏することができる。
（Ｅ01）ホルダをホルダ装着用のステージに着脱する際のホルダ固定機構の作動時にステージに作用する力を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は本発明のホルダ装着用ステージの実施例１の平面図である。
【図２】  図２は前記図１のII−II線断面図である。
【図３】  図３は前記図１の要部の説明図で、図３Ａは前記図１Ａの要部拡大図、図３Ｂは前記図３Ａの矢印IIIＢから見た図である。
【図４】  図４は前記図３で示した部分の作用説明図で、図４Ａは前記図３Ａと異なる状態を示す図、図４Ｂは前記図４Ａの矢印IＶＢから見た図である。
【図５】  図５は同実施例１の要部の拡大斜視図である。
【図６】  図６は同実施例１で使用する固定ピンの作用説明図で、図６Ａは平面図、図６Ｂは前記図６Ａの矢印ＶIＢから見た図である。
【図７】  図７は従来のホルダ装着用ステージの説明図で、図７Ａは平面図、図７Ｂは前記図７Ａの矢印ＶIIＢから見た図である。
【符号の説明】
Ａ…真空室、Ｐ…外壁、
１…ホルダ、１b…下面、２…ホルダ搬送部材、３…ホルダ支持プレート、１０…上面規制部材、１１…回転プレート、１２…レバー作動部材、１３…プレート連結部材、１４…レバー作動部材、１５…揺動レバー、１６…固定ピン、１８a…操作端部、１８…アーム、２１…シフタガイド、２２…シフタ、２３…レール、２４…スライダ、２７…回転軸、２８…ディスク、２９…リンク、
（２３〜３２）…シフタ移動装置、
（２３〜２７，２９）…ディスク・シフタ連動機構、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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