(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの天井付近に設けた天井走行車の走行レールに沿ってワークの処理装置を配置した天井走行車システムにおいて、
前記処理装置の上部に、ワークを載置して前後進する前後進手段を配設して、前記処理装置の上面で支持し、かつ前後進により前記前後進手段を前記走行レールの直下へせり出させて、天井走行車と前記前後進手段との間でワークの受渡しができるように構成したことを特徴とする、天井走行車システム。
【請求項２】
天井走行車と前後進手段との間のワークの受渡しを、前記処理装置のワーク受渡しステーションの直上部で行うようにしたことを特徴とする、請求項１の天井走行車システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の利用分野】
この発明は、クリーンルームでのワーク搬送用の天井走行車システムに関する。
【０００２】
【従来技術】
天井走行車システムは、工場や倉庫などでワークを搬送するためのものである。このシステムでは、これらの建物の天井に沿って走行レールを敷設し、このレールに沿ってワークの処理装置を配置すると共に天井走行車を走行させて、処理装置間でワークを搬送する。天井走行車がワークを荷積みあるいは荷降ろしする位置はステーションと呼ばれ、天井走行車はこのステーションの直上部で停止するように制御される。ところでステーションがワークで一杯でこれ以上ワークを収容できない場合、ワークを一時的に保管するバッファが必要になる。そしてバッファを設けると、その分だけスペースが占有される。このことは例えばクリーンルームの場合、スペースが貴重なため問題となる。
【０００３】
【発明の課題】
この発明の課題は、以下の点にある（請求項１，２）。
1)  床面を占有せずに処理装置上部の空きスペースでワークを保管できるようにし、スペースを有効に利用すること、及び
2)  クリーンルーム内のスペースを有効に利用し、かつ前後進手段の設置を容易にすること。
請求項２での追加の課題は、
3) 処理装置のステーションと同じ位置で、天井走行車がワーク保管用の前後進手段とワークの受渡しをできるようにし、天井走行車の停止制御を容易にすることにある。
【０００４】
【発明の構成】
この発明は、クリーンルームの天井付近に設けた天井走行車の走行レールに沿ってワークの処理装置を配置した天井走行車システムにおいて、前記処理装置の上部に、ワークを載置して前後進する前後進手段を配設して、前記処理装置の上面で支持し、かつ前後進により前記前後進手段を前記走行レールの直下へせり出させて、天井走行車と前記前後進手段との間でワークの受渡しができるように構成したことを特徴とする。
【０００５】
好ましくは、天井走行車と前後進手段との間のワークの受渡しを、前記処理装置のワーク受渡しステーションの直上部で行うようにする。特に好ましくは、天井走行車からワークを受け渡そうとする処理装置のワーク受け渡しステーションにワークがある際に、前後進手段に天井走行車からワークを受け渡すように構成する。
【０００６】
【発明の作用と効果】
この発明では、処理装置の上部に前後進手段を設けて、処理装置の上面で支持し、前後進手段上にワークを載置するので、床面のスペースを占有せずにワークを保管できる。ここで前後進手段が処理装置からせり出して、処理装置本来のステーションの直上部で天井走行車とワークを受渡しするようにすれば、天井走行車の停止制御が容易になる。即ち天井走行車は、同じ停止位置で処理装置本来のステーションと前後進手段の双方に対してワークの受渡しができる。この発明の天井走行車システムはクリーンルーム内に配置するので、クリーンルームのスペースを有効利用でき、また前後進手段を処理装置の上面で支持するので、前後進手段の設置が容易になる。
【０００７】
【実施例】
図１〜図９に実施例を示す。図１は処理装置や前後進手段を除いた天井走行車システムの概要を示し、１は走行レールで例えばクリーンルームの天井に沿って敷設し、２はこのレール１に沿って走行する天井走行車で、３，３は一対の台車である。４は台車３の下部の巻き上げユニットで、昇降台５をベルトやロープ等の吊持材で昇降させ、６は搬送対象のワークである。ワークは物品そのものやあるいは物品を収容したケース等を意味し、実施例の場合、ワーク６は半導体基板や液晶基板等を収容したケースからなる。図２に台車３の構造を示すと、１０は走行モータで、ギア１２を介して走行車輪１４を駆動し、１６は台車３をレール１に沿ってスムーズに走行させるためのガイドローラである。台車３の底部にはピボット軸１８があり、巻き上げユニット４等の天井走行車本体をピボット連結している。
【０００８】
図３に移り、２０はレール支持部材で、２２はボルト、２４はそのカバーで、ボルト２２によりレール支持部材２０をクリーンルームの天井２６に固着する。３２はレール１に設けた架線で、３４は台車３の集電子である。３６は通信ケーブルで、３８は停止位置を示すマーク、４０はマーク３８の読み取りセンサである。
【０００９】
図４に、処理装置４２と前後進装置５０を示す。処理装置４２は半導体基板や液晶基板等に種々の処理を施す装置で、例えば成膜装置や熱処理装置、洗浄装置等からなる。処理装置４２は走行レール１の直下に沿ってワーク６の受渡し用ステーション４４，４６を有し、例えばステーション４４を処理装置４２の入口側に、ステーション４６を出口側に配置する。前後進装置５０は処理装置４２の上面に設置され、前後進装置５０の上面にワーク６を例えば５個程度保管でき、レール１の下部へと前進できる。前後進装置５０は処理装置４２の上面に配置するものに限らず、例えば前後進装置５０を天井２６から処理装置４２の上部の位置へ吊持しても良いが、処理装置４２の上面で支持すると設置が簡単になる。
【００１０】
図５に前後進装置５０の制御を示すと、４８は天井走行車システムのホストコンピュータで、天井走行車２と前後進装置５０のコントローラ５２の双方を制御する。図６，図７に前後進装置５０の構造を示すと、５６は前後進装置のベース、５８は１枚目のスライド、６０はスライド５８の底面のラック、６２は２枚目のスライド、６４はチェーンベルト、６６はギアである。そして前後進装置５０は例えばネジ６８で処理装置４２の上面に固定されている。
【００１１】
前後進装置５０は通常時は処理装置４２の上面上で待機しており、天井走行車２とのワーク６の受渡し時に、ギア６６，６６を回転させてラック６０によりスライド５８を前進させる。この時、スライド６２はチェーンベルト６４によりスライド５８よりさらにせり出す。このためステーション４４，４６の直上の位置で、天井走行車２とワーク６の受渡しができ、かつ受渡しが終了すると、元の位置へ復帰する。実施例では２枚のスライド５８，６２を用いて前後進装置５０を構成したが、例えば油圧や空気圧等のシリンダで前後進するものでも良い。例えばベルトコンベア等のコンベア全体をシリンダで前後進させ、かつコンベアのベルトを駆動してコンベアに対してワークをさらに前後進させても良い。前後進装置５０ではステーション４４，４６の直上で天井走行車２とワーク６の受渡しを行うようにしたので、天井走行車２の停止位置の数が減少し、天井走行車２の停止制御が容易になる。
【００１２】
前後進装置５０は処理装置４２の入口側や出口側でのワーク６のバッファとして用い、ステーション４４にワーク６がある際にその上部の前後進装置５０にワーク６を一時保管し、同様にステーション４６からのワーク６をその上部の前後進装置５０で一時保管する。前後進装置５０からステーション４４へワーク６を移動させる場合、天井走行車２は昇降台で前後進装置５０からワーク６を受け取り、前後進装置５０を復帰させた後に、さらに降下してステーション４４へワーク６を渡せば良い。同様にステーション４６からその上部の前後進装置５０へワーク６を渡す場合、ステーション４６上で昇降台５によりワーク６を把持して昇降台５を上昇させ、次に前後進装置５０を前進させてワーク６を荷降ろしすれば良い。このように天井走行車２は同じ位置でステーション４４，４６と前後進装置５０間のワーク６の受渡しができる。
【００１３】
図８に天井走行車システムの配置を示すと、クリーンルーム内に設置したレール１に沿って天井走行車２が走行し、このレール１に沿って処理装置４２ａ〜４２ｆが配置され、各処理装置４２の上面に各々一対の前後進装置５０が支持されている。また前後進装置５０は前進時にステーション４４，４６の真上の位置でワーク６を受渡しできる。
【００１４】
図９に前後進装置５０の制御を示すと、例えばホストコンピュータ４８から入庫の指令があると、コントローラ５２は前後進装置５０が一杯かどうか調べ、一杯の場合はその旨ホストコンピュータ４８に報告する。これ以外の場合、前後進装置５０はその上面の空き位置がステーション４４，４６の真上に表れるように前進し、天井走行車２からワーク６を受け取ったことを確認した後、元の位置へ復帰する。コントローラ５２はワーク６を図９の下部に示すように例えばリスト形式で管理し、リストの各位置には前後進装置５０の上面のアドレスを記録し、最も早く受け取ったワーク６のアドレスをリストの先頭に、最後に受け取ったワーク６のアドレスをリストの末尾に記録する。従って入庫があると、リストの末尾に、入庫したワーク６の前後進装置５０上でのアドレスを追加する。
【００１５】
出庫の指令を受けると、リストの先頭のワーク６がステーション４４，４６の真上に来るように前後進装置５０は前進し、昇降台５でワーク６を把持したことを確認するチャック信号を待って元の位置へ後退し、リストの先頭のアドレスを削除する。このようにすると、前後進装置５０でワーク６を先入れ先出しで処理でき、古いワーク６が前後進装置５０に残ることが無い。
【００１６】
実施例では、処理装置４２の上面を利用して前後進装置５０を設置するので、クリーンルーム内の空きスペースを有効に利用でき、前後進装置５０の設置も簡単である。前後進装置５０と天井走行車２とのワーク６の受渡しは、処理装置４２のステーション４４，４６の直上部で行うので、天井走行車２の停止制御が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の天井走行車の斜視図
【図２】実施例の天井走行車の台車の要部正面図
【図３】実施例の天井走行車の台車部の鉛直面での要部断面図
【図４】実施例での処理装置と前後進装置を示す斜視図
【図５】実施例での天井走行車と前後進装置とホストコンピュータの接続を示す図
【図６】実施例での停止時の前後進装置を示す図
【図７】実施例での前後進装置動作を示す図
【図８】実施例の天井走行車システムの配置を示す平面図
【図９】実施例の動作フローチャート
【符号の説明】
１                    走行レール
２                    天井走行車
３              台車
４                    巻き上げユニット
５                    昇降台
６          ワーク
１０                    走行モータ
１２                    ギア
１４                    走行車輪
１６                    ガイドローラ
１８                    ピボット軸
２０                    レール支持部材
２２          ボルト
２４          カバー
２６                    天井
３２          架線
３４                    集電子
３６                    通信ケーブル
３８                    マーク
４０                    読み取りセンサ
４２                    処理装置
４４，４６    ステーション
４８                    ホストコンピュータ
５０                    前後進装置
５２                    コントローラ
５４                    モータ
５６          ベース
５８          スライド
６０          ラック
６２          スライド
６４          チェーンベルト
６６          ギア
６８                    ネジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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