(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の被加工物をレーザー加工機の所定位置に位置決めするレーザー加工機の被加工物位置決め装置において、
前記被加工物が載置される載置面に形成された空気流通孔への吸気と排気とを切り換えることにより載置された被加工物を吸着または浮上させ、浮上させて被加工物の位置決め移動を容易にし、吸着して位置決めされた被加工物を平面状態に保持する定盤と、前記定盤上に載置された被加工物の基準端の位置を規制する基準ピンと、前記定盤上に載置されたシート状の被加工物の基準端側及びその反対側を両面から挟んで被加工物の湾曲を防止する湾曲防止手段と、前記被加工物を前記基準ピン側に押し出して被加工物の基準端を基準ピンに当接させる位置決め操作部とを具備してなることを特徴とするレーザー加工機の被加工物位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シート状の被加工物をレーザー加工機の所定の加工位置に位置決めするレーザー加工機の被加工物位置決め装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
高密度に電子回路を形成した多層基板等に用いられる樹脂製のシートに微小な孔を高精度に加工するためにレーザー加工機が用いられる。この加工を効率よく低コストで実施するため、複数のシートを大きなサイズのシート上に展開して１枚の加工用シートとし、一括して処理することが望まれている。
【０００３】
このような大きなサイズのシートをレーザー加工機の所定位置に位置決めする従来装置は、図５に示すように構成されており、所定位置に配設された定盤２２上に搬入されたシート１を位置決めピン２４で基準ピン２３側に押し出して、シート１の基準端を基準ピン２３に当接させることにより位置決めする。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、シート１が１枚の加工サイズのシートとして裁断される以前はロール状態で供給されるため、裁断後にもロール時のカールした形状が残存しており、これが大きなサイズになるほどカールする傾向が強くなり、また、樹脂製のシート１は静電気を帯びやすく、その静電気により定盤２２上に吸着するため、位置決めピン２４からの押圧を受けると、静電気による吸着とカール形状の残存とから定盤２２上での移動が円滑になされず、図示するように湾曲が生じて位置決め精度が低下する問題点があった。
【０００５】
本発明の目的とするところは、シート状の被加工物を精度よく位置決めすることができるレーザー加工機の被加工物位置決め装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明は、シート状の被加工物をレーザー加工機の所定の加工位置に位置決めするレーザー加工機の被加工物位置決め装置において、前記被加工物が載置される載置面に形成された空気流通孔への吸気と排気とを切り換えることにより載置された被加工物を吸着または浮上させ、浮上させて被加工物の位置決め移動を容易にし、吸着して位置決めされた被加工物を平面状態に保持する定盤と、前記定盤上に載置された被加工物の基準端の位置を規制する基準ピンと、前記定盤上に載置されたシート状の被加工物の基準端側及びその反対側を両面から挟んで被加工物の湾曲を防止する湾曲防止手段と、前記被加工物を前記基準ピン側に押し出して被加工物の基準端を基準ピンに当接させる位置決め操作部とを具備してなることを特徴とする。
【０００７】
上記構成によれば、定盤上に搬入されたシート状の被加工物は、定盤に形成された空気流通孔から排気がなされることにより浮上するので、帯電した静電気により定盤に吸着することがなく、その移動が円滑にできる状態となる。この状態で被加工物の基準端側とその反対側とから、その両面を湾曲防止手段により挟んでおくことにより被加工物が湾曲状態に変形しないので、位置決め操作部により被加工物を基準ピン側に押し出し、被加工物の基準端を基準ピンに当接させると位置決めされるので、定盤の空気流通孔を吸気に切り換え、被加工物を定盤上に吸着して位置決めされた状態に保持する。この構成により被加工物がロール状態であったときのカール形状が残存していたり、静電気の帯電による定盤への付着により位置決めの動作が円滑且つ正確になされない状態は解決され、被加工物の位置決め精度が向上して精密なレーザー加工を実施することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の一実施形態について説明し、本発明の理解に供する。以下に示す実施形態は、高密度の電子回路を形成する多層基板に使用される樹脂製シートを被加工物として、これをレーザー加工機の所定位置に位置決めする位置決め装置として構成されている。
【０００９】
図１は、位置決め装置２０の平面図、図２は、そのＡ−Ａ線矢視方向側面図を示しており、位置決め装置２０は、定盤２、基準ピン５、湾曲防止部１６ａ〜１６ｄ、位置決め操作部１０を備えて構成され、定盤２上に搬入されたシート１を所定位置に位置決めする。
【００１０】
定盤２は、シート１が載置される載置面上に多数の開口部（空気流通孔）３が設けられており、各開口部３は図２に示すように、空気配管で吸排気切替器４に接続されて図外の吸排気装置に連結され、前記開口部３から吸気するときには載置されたシート１を定盤２上に吸着保持し、開口部３から排気するときには載置されたシート１を僅かに浮上させることにより載置位置の移動が容易にできるように構成されている。
【００１１】
基準ピン５は、定盤２上に載置されるシート１の図示Ｘ軸方向の位置決め点となるもので、この基準ピン５にシート１のＸ軸方向の位置決めの基準端とする端部を当接させることにより、Ｘ軸方向の位置決めがなされる。尚、Ｙ軸方向の位置決めは、Ｙ軸方向から定盤２上に搬入されるシート１の端辺を定盤２の位置決め辺２ａに当接させることにより位置決めされる。前記基準ピン５は図２に示すように昇降駆動装置６に取り付けられ、レーザー加工機へのセット時には上昇位置にあり、位置決め時に下降して図示する所定位置に固定される。
【００１２】
位置決め操作部１０は、押出ピン７、７を図２に示す直線駆動装置８によりＸ軸方向に移動させることにより、定盤２上に載置されたシート１を前記基準ピン５側に押し出してシート１の基準端を基準ピン５に当接させることにより位置決めできるように構成され、回動アーム７ａ、７ａの先端部に取り付けられた各押出ピン７、７は、それぞれバネ９、９が回動アーム７ａ、７ａの後端を引っ張り方向に付勢することによって所定圧力でシート１に当接するように構成されている。
【００１３】
湾曲防止部１６は、前記位置決め操作部１０側に一対の湾曲防止部１６ａ、１６ｂ、前記基準ピン５側に一対の湾曲防止部１６ｃ、１６ｄとして設けられている。図３は、湾曲防止部１６ａを側面図として示すもので、他の湾曲防止部１６ｂ〜１６ｄも同様に構成されている。図示するように先端に挟持ピン１１、後端にカムフォロア１３が取り付けられた一対のレバー２５、２５は、支持軸１２位置で交差して支持軸１２に回動自在に軸支されている。この回動軸１２はシリンダ１５に連結されており、シリンダ１５の動作により支持軸１２が定盤２側に押し出されると、所定位置に固定されたカム１４の傾斜面上に載ったカムフォロア１３、１３の間隔が広がるため、図示するように挟持ピン１１、１１間が閉じてシート１の端部を挟み、前記位置決め操作部１０によってシート１の端部が押されたときにシート１が湾曲してしまうことを防止する。前記挟持ピン１１によるシート１の挟持は、シート１が湾曲しないように挟持しているだけでよいので、挟圧する必要はなくシート１との間に僅かな隙間を設けた状態で挟み、シート１がＸ軸方向に自由に移動できるように保持する。この湾曲防止部１６ａ〜１６ｄはＸ軸方向の両側に設けられているので、それぞれがシート１の両端辺を挟んでいることによってロール状態にあったときのカール状態が残存しているシート１を湾曲しないように保持することができる。
【００１４】
次に、上記構成によりシート１を所定位置に位置決めする動作について説明する。
【００１５】
まず、定盤２上にシート１が搬入されると、定盤２の開口部３から空気を排出してシート１を僅かに浮上させ、シート１の位置移動が容易にできるようにする。シート１は樹脂製なので静電気を帯びやすく、その静電気により定盤２に付着してしまうと移動が困難になるが、開口部３からの排気により浮上させておくと移動が円滑になされる。
【００１６】
次いで、基準ピン５が昇降駆動装置６により下降して所定位置にセットされる。更に、シリンダ１５の動作により各湾曲防止部１６ａ〜１６ｄが動作してシート１のＸ軸方向の両端部を挟持ピン１１で挟持した状態にして、直線駆動装置８の動作により押出ピン７、７を基準ピン５側に移動させることにより、定盤２上に載置されたシート１を押し出し、シート１の基準端側の端辺を基準ピン５に当接させて位置決めする。
【００１７】
シート１の位置決めがなされると、吸排気切替器４を吸気に切り換えることにより定盤２の開口部３から吸気して、位置決めされたシート１を定盤２上に吸着保持する。この後、位置決め操作部１０、湾曲防止部１６、基準ピン５は、それぞれ定盤２の両側から退き、待機位置に移動する。
【００１８】
図４はレーザー加工機の構成を示し、Ｘ軸テーブル１８及びＹ軸テーブル１９上にシート把持部１７を備えて構成されている。上記位置決め装置２０は、このレーザー加工機のシート把持部１７のＹ軸方向位置に隣接して配置されているので、位置決めされた状態で定盤２上に保持されているシート１は、前記Ｙ軸テーブル１８の動作により定盤２の位置に移動したシート把持部１７によって、その両端辺が把持され、レーザー加工位置に移動する。シート１はその両端を把持された状態でレーザー５０の照射による加工がなされる。
【００１９】
【発明の効果】
以上の説明の通り本発明によれば、定盤上に搬入されたシート状の被加工物を定盤に形成された空気流通孔からの排気により僅かに浮上させ、その移動が円滑にできる状態にして、更に、被加工物の基準端側とその反対側との両面を湾曲防止手段により挟んでおくことにより被加工物が湾曲状態に変形しないようにして、位置決め操作部により被加工物を基準ピン側に押し出すことにより、被加工物の基準端を基準ピンに当接させて位置決めする。位置決めされた被加工物は定盤の空気流通孔を吸気に切り換えることにより定盤上に吸着して位置決めされた状態に保持する。この構成により被加工物がロール状態であったときのカール形状が残存していたり、静電気の帯電による定盤への付着により位置決めの動作が円滑且つ正確になされない状態は解決され、被加工物の位置決め精度が向上して精密なレーザー加工を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る位置決め装置の構成を示す平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線矢視方向での位置決め装置の構成を示す側面図。
【図３】実施形態に係る湾曲防止部の構成を示す側面図。
【図４】レーザー加工機の構成を示す側面図。
【図５】従来例に係る位置決め装置の構成を示す側面図。
【符号の説明】
１  シート（被加工物）
２  定盤
３  開口部（空気流通孔）
５  基準ピン
１０  位置決め操作部
１６  湾曲防止部
２０  位置決め装置
【図１】
0003727441.tif 000002
【図２】
0003727441.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003727441.tif 000005
【図５】
0003727441.tif 000006