(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一表面に電子源及び該電子源よりも高電位に規定される第一の導電体を備える第一の基板と、表面に前記第一の導電体と概略同電位に規定される第二の導電体を有する画像形成部材を備え、前記第一の基板の前記電子源を備える面に対して、前記画像形成部材を備える面が対向するように配置される第二の基板とを少なくとも有する真空容器と、前記真空容器内部に、前記第一の導電体と前記第二の導電体とを電気的に接続する、少なくとも一部が弾性体からなる導電性弾性構造とを少なくとも有する表示装置において、
前記導電性弾性構造は、前記第一の導電体の前記第二の基板への正射影領域と、前記第二の導電体の前記第一の基板への正射影領域とが重なる領域に内包されていることを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記第一の基板は、前記真空容器内につながるスルーホール端子を有し、該スルーホール端子を介して前記第一の導電体の電位が規定されることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記第一の基板は、前記第一の導電体の周囲に配置され、前記第一の導電体よりも低電位に規定される低圧配線を有していることを特徴とする請求項２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記第一の基板は、前記第一の導電体と前記低圧配線との間に高抵抗膜を有していることを特徴とする請求項３に記載の表示装置。
【請求項５】
前記第一の導電体と前記導電性弾性構造のそれぞれが、中心軸において軸対称であり、かつ前記第一の導電体と前記導電性弾性構造のそれぞれの中心軸が略一致していることを特徴とする請求項２から４のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項６】
前記真空容器の封止手段が前記導電性弾性構造の位置決め手段を兼ねていることを特徴とする請求項２から５のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項７】
前記導電性弾性構造は３本以上の複数本のばねからなる弾性部を備えていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テレビジョン受像機やコンピュータ等のディスプレイ、或いは、文字や画像を表示するメッセージボード等に用いられる表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、表示装置として、カラー陰極線管（ＣＲＴ）が広く用いられている。このＣＲＴの駆動原理は、陰極からの電子ビームを偏向させ、画面の蛍光体を発光させる方式であるため、表示装置には画面サイズに伴う奥行きが必要であった。
【０００３】
しかしながら、表示装置の奥行きを長くした場合は、設置スペースの拡大、重量の増加といった問題が発生するため、薄型でかつ軽量化が可能な平面型の表示装置が強く切望されている。
【０００４】
平面型の表示装置及びその装置への高電圧の給電方法の例として、特開平１０−３２１１６７号公報、特開２０００−１９５４４９号公報においては、表面伝導型電子放出型ディスプレイパネル（以後、ＳＥＤと称する）が開示されており、また、特開平０５−１１４３７２号公報においては、電界放出型表示装置（以後、ＦＥＤと称する）が開示されている。
【０００５】
図１０に、従来の平面型の表示装置として、特開平０５−１１４３７２号公報に開示されたＦＥＤの概要を示す。
【０００６】
本従来例の超薄型平面表示装置（ＦＥＤ）２０を作製する場合、まず、アノード電極である給電導電層６を搭載した前面パネル２と、カソード電極７を搭載した背面パネル３との間に、絶縁層８，２８を挟み込み封着する。その後、前面パネル２と背面パネル３との間の内部の空気を排気管（不図示）から吸い出し、封止し、真空構造を形成することで超薄型平面表示装置２０を作製する。
【０００７】
尚、図１０においては、前面パネル２及び背面パネル３により、前面パネル２と背面パネル３との間に扁平空間を有する扁平管体４が構成されている。また、前面パネル２の内面には、蛍光面１が形成され、更にメタルバック層６ａがほぼ全面に形成され、このメタルバック層６ａと給電導電層６とが電気的に接続されている。また、背面パネル３の内面には蛍光面１と対向して電界放出型カソードＫを有する電極構体５が配置されている。また、この電極構体５は、背面パネル３上にカソード電極７が設けられ、このカソード電極７上に絶縁層８が被覆され、この絶縁層８上にゲート電極９が配列されている。
【０００８】
上記のように構成された超薄型平面表示装置２０においては、給電導電層６とカソード電極７との間に電圧を印加すると、カソード電極７から電子が放出され、この電子により蛍光面１を発光させることで画素が形成され、前面パネル２上に画像や文字等が表示される。
【０００９】
このとき、給電導電層６に電圧を印加するには、背面パネル３に空けられた孔部１５から端子導出部１７を介して電圧を印加する。すると、蛍光面電位給電用端子１６、弾性体１９を介して給電導電層６に電圧が印加される。
【００１０】
このように、特開平０５−１１４３７２号公報に開示された表示装置においては、アノード電極である給電導電層６に弾性体を介して高電圧の電位を供給しており、また、上述の特開２０００−１９５４４９号公報に開示された表示装置においても同様に、アノード電極に弾性体を介して高電圧の電位を供給している。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
我々は、鋭意検討した結果、上述の特開２０００−１９５４４９号公報、特開平０５−１１４３７２号公報に開示された表示装置のように、弾性体を介してアノード電極に電位を供給する場合には、アノード電位が印加される領域の制御が困難であるという問題点を見出した。この点について、以下に詳述する。
【００１２】
上述のように弾性体を介してアノード電極に電位を供給する場合、リアプレート（図１０の背面パネル３に相当）とフェイスプレート（図１０の前面パネル２に相当）間の距離が表示パネル毎に異なること、また封着等の高温プロセスによって弾性体の弾性特性が劣化することに起因して、弾性体の収縮状態が表示パネル毎、また経時時間毎に異なる場合ある。このような場合、表示パネル内における弾性体の存在領域が異なることとなり、その結果、弾性体に印加されているアノード電位の印加領域が変化することとなる。このアノード電位の印加領域の変化は、▲１▼その近傍の電子放出素子から放出される電子ビームの軌道を変化させる、▲２▼表示パネル内での不慮の放電を誘発する、等の問題を生じることとなる。
【００１３】
また、我々は、フェイスプレートのアノード電極への電位供給のための高圧端子を、リアプレートに設けた開口から引き出す構成とした場合、リアプレートの真空容器形成面とは反対側の面（リアプレートの大気に露出する面）の電位が不安定になり、不慮の放電等を引き起こすことがあることも見出した。この点について、以下に詳述する。
【００１４】
上述のように、フェイスプレートのアノード電極への電位供給用の高圧端子を、リアプレートに設けた開口から引き出す場合、リアプレートの大気側の面における開口の周辺は、高圧端子の電位に覆われることとなり、ほぼ高圧端子の電位に規定される。このような高圧の印加状態においては、リアプレートの大気側の面における開口の周辺雰囲気が大気であるため、放電発生が懸念される。特に、フラットパネルディスプレイの場合、リアプレートの大気側の面の周囲には表示装置の駆動回路や、真空容器と筐体を連結する真空容器保持構造等が近接配置されるため、高圧端子と他の部材間での不慮の放電を誘発することが懸念される。
【００１５】
また更には、図１０のように構成される、特開平０５−１１４３７２号公報に開示された表示装置においては、以下のような問題もあった。
【００１６】
アノード電極である給電導電層６に対し、端子導出部１７を介して電圧を印加しているため、端子導出部１７を覆うシール体１８の真空封止が必要となる。しかしながら、シール体１８の真空封止には、端子導出部１７とシール体１８との界面での真空封止、シール体１８と背面パネル３との真空封止が必要となり、封止箇所が複数であるためリークする可能性が高くなり、気密信頼性の高い電圧印加構造が得られなかった。
【００１７】
また、端子導出部１７が外部に出っ張っているため、超薄型平面表示装置２０の小型化・薄型化を図る上で大きな障害となっていた。
【００１８】
更に、超薄型平面表示装置２０の作製工程において、端子導出部１７の外部の出っ張りに対応させるためには作製装置や検査装置用のスペースを確保する必要があるため、表示装置の作製工程が煩雑となり、コスト高になっていた。
【００１９】
以上のとおり、本発明は、高圧の印加領域を制御し、不慮の放電の誘発を抑制することと、更には表示装置の小型化・薄型化・ローコスト化を図り、電位の安定した表示装置を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の表示装置は、同一表面に電子源及び該電子源よりも高電位に規定される第一の導電体を備える第一の基板と、表面に前記第一の導電体と概略同電位に規定される第二の導電体を有する画像形成部材を備え、前記第一の基板の前記電子源を備える面に対して、前記画像形成部材を備える面が対向するように配置される第二の基板とを少なくとも有する真空容器と、前記真空容器内部に、前記第一の導電体と前記第二の導電体とを電気的に接続する、少なくとも一部が弾性体からなる導電性弾性構造とを少なくとも有する表示装置において、前記導電性弾性構造は、前記第一の導電体の前記第二の基板への正射影領域と、前記第二の導電体の前記第一の基板への正射影領域とが重なる領域に内包されていることを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、第二の導電体への給電用に設けた導電性弾性構造体周辺の電位分布は、導電性弾性構造体の形状に依存することなく、第一の導電体と第二の導電体によって規定されることになるため、導電性弾性構造体の形状（突起等）や、配置関係による不慮の放電を防止することが可能となる。
【００２２】
また、好ましくは、前記第一の基板は、前記真空容器内につながるスルーホール端子を有し、該スルーホール端子を介して前記第一の導電体の電位が規定されることを特徴とする。
【００２３】
また、前記第一の基板は、前記第一の導電体の周囲に配置され、前記第一の導電体よりも低電位に規定される低圧配線を有していることを特徴とする。
【００２４】
また、前記第一の基板は、前記第一の導電体と前記低圧配線との間に高抵抗膜を有していることを特徴とする。
【００２５】
また、前記第一の導電体と前記導電性弾性構造のそれぞれが、中心軸において軸対称であり、かつ前記第一の導電体と前記導電性弾性構造のそれぞれの中心軸が略一致していることを特徴とする。
【００２６】
また、前記真空容器の封止手段が前記導電性弾性構造の位置決め手段を兼ねていることを特徴とする。
【００２７】
また、前記導電性弾性構造は３本以上の複数本のばねからなる弾性部を備えていることを特徴とする。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００３５】
本発明の表示装置に用いる電圧印加構造の一例の分解斜視図及び組み立て断面図をそれぞれ図１及び図２に示す。また、図１及び図２に示した電圧印加構造を用いた表示装置の概要図を図４に示す。尚、図４は、説明上、表示装置の筐体１１５を部分的に省略し、表示パネル１１３のリアプレート大気側を示したものである。
【００３６】
本発明の表示パネル１１３を作製する場合、まず、アノード電極１０６と発光部材（例えば蛍光体）とから構成される画像形成部材を表面に搭載したフェイスプレート（第二の基板）１０１と、電子源領域１０５を表面に搭載したリアプレート（第一の基板）１０２とを向かい合わせ、両者を枠１０３を介してフリット１０４ｂによって封着する。その後、フェイスプレート１０１とリアプレート１０２との間の内部の空気を排気管（不図示）から吸い出し、封止し、真空構造を形成することで表示パネル１１３を作製する。尚、フェイスプレート１０１、リアプレート１０２及び枠１０３はガラス等からできている。
【００３７】
電圧印加構造１１７は、真空中のアノード電極１０６に大気から電圧を印加するための構造であり、本例ではその好ましい形態として、真空中の引き出し配線（第二の導電体）１００、弾性構造１０７、耐圧部材１０９及び低圧配線１１０と、真空から大気を導通させるスルーホール構造１０８と、大気側の電位規定構造とから構成される。尚、引き出し配線１００とアノード電極１０６は別々の名称で説明しているが、引き出し配線１００はアノード電極の部分名称であり、第二の導電体はアノード電極１０６と引き出し配線１００とから構成されるものである。また、ここで、スルーホール構造１０８とは、リアプレート１０２に設けた貫通穴と、この穴を介して直接または他の導電体を介してアノード電極（第二の導電体）１０６に電気的につながるスルーホール端子（図５の配線１１８ｂ）と、このスルーホール端子に電気的に接続するリアプレート１０２の真空側に設けた電極（第一の導電体：図５の配線１１８ａ）と、リアプレート１０２の大気側に設けた電極（図５の配線１１８ｃ）とからなる構造を意味する。また、電位規定構造は、耐電圧構造１１６と低電圧層１１４とから構成される。尚、以下において、電圧印加構造１１７のうち、アノード電極１０６へと同電位が印加される構造を高圧印加構造（導電性部材）と言う場合もあり、上述の実施形態において、高圧印加構造（導電性部材）は、弾性構造１０７及びスルーホール構造１０８から構成されることとなる。尚、高圧印加構造（導電性部材）は上述の構造に限るものではなく、例えば、開口を導電体で完全に充填したタイプのスルーホール構造や、また電位規定構造を有する場合においては、ピン状の構造（例えば図１０の蛍光面電位供給用端子１６）等も使用可能である。
【００３８】
上述の本実施形態においては、リアプレート１０２のスルーホール構造１０８の大気側に電子源領域１０５よりも高電位に規定された電圧が印加され、その電圧がスルーホール構造１０８の真空側電極（第一の導電体）、弾性構造１０７、及び引き出し配線１００を介してアノード電極１０６（第二の導電体）に印加されることになる。
【００３９】
以下に、スルーホール構造１０８、弾性構造１０７、及び電位規定構造について詳細に説明する。
（１）スルーホール構造
スルーホール構造１０８は、リアプレート１０２に予めドリル等で空けておいた円柱状の貫通穴に設けられており、リアプレート１０２の真空内面に形成された電極（第一の導電体）と、大気側に形成された電極と、これらの電極が電気的導通するように貫通穴の内面に形成された電極（スルーホール端子）とから構成される。尚、スルーホール構造１０８は中心軸においてほぼ軸対称に構成されている。
【００４０】
スルーホール構造１０８の作製方法について図５を参照して説明する。
【００４１】
まず、リアプレート１０２上に、電子源領域１０５を形成すると同時に配線１１８ａ（第一の導電体）を形成する（図５（ａ））。次に、配線１１８ａとリアプレート１０２を挟んで対極側のリアプレート１０２上に配線１１８ｃを形成する（図５（ｂ））。次に、配線１１８ａと配線１１８ｃとの間の穴壁面に配線１１８ｂ（スルーホール端子）を形成する（図５（ｃ））。その後、乾燥・焼成を行うことで配線１１８ａ，１１８ｂ，１１８ｃを一体としたスルーホール構造１０８が作製される。また、スルーホール構造１０８の穴をフリット１０４ａによって埋めることで真空気密を確保する。
（２）弾性構造
弾性構造１０７は、リアプレート１０２上のスルーホール構造１０８とフェイスプレート１０１との間に設置されている。尚、弾性構造１０７は中心軸においてほぼ軸対称に構成されており、弾性構造１０７の中心軸はスルーホール構造１０８の中心軸と略一致している。また、フェイスプレート１０１上には、上述したアノード電極１０６から弾性構造１０７に接触する部分まで引き出し配線１００（第二の導電体）が設けられている。ここで、弾性構造１０７は、上述の第一の導電体のフェイスプレート１０１への正射影領域と、第二の導電体のリアプレート１０２への正射影領域とが重なる領域の内部に内包されるように配置されている。これによって、弾性構造１０７の伸縮状態に影響されることなく、アノード電位の印加領域が規定されるため、高圧印加構造の近傍の電子放出素子から放出される電子ビームの軌道の変化、及び表示パネル１１３内での不慮の放電を防止することができる。尚、弾性構造１０７は、リアプレート１０２とフェイスプレート１０１との封着時にリアプレート１０２上に設置する方法、もしくは、スルーホール構造１０８の作製時にフリット１０４ａで固定する方法のどちらの方法で設置しても良い。
【００４２】
弾性構造１０７の材質としては、導電性のものであれば良く、例えば、金属やカーボン等である。尚、弾性構造１０７の材質の選定にあたり、リアプレート１０２との熱膨張係数を合わせるように材質を選ぶと良い。例えば、４２６合金や４８Ｎｉ合金等である。
【００４３】
弾性構造１０７の構造としては、少なくともその一部に弾性を備えていれば良い。例えば、弾性部分の構造としては、板ばね構造、さらばね構造、コイルばね構造等である。更に、弾性構造１０７を設置するために位置決め部材（後述の２１２，３１２，４１２等）を使用しても良い。この位置決め部材の材質としては、導電性のものが良い。中でも、金属、カーボンであると更に良い。尚、弾性構造１０７の材質に金属を用いる場合、リアプレート１０２がガラスからできているため、熱膨張係数を合わせるように材質を選ぶと良い。例えば、４２６合金や４８Ｎｉ合金等である。
【００４４】
また、第一の導電体の周辺における、より好ましい形態を以下に記す。
【００４５】
スルーホール構造１０８の真空側の電極（第一の導電体）の周辺には、電子源領域１０５の作製時にスルーホール構造１０８の真空側から一定距離を保つ様に、円状の低圧配線１１０をリアプレート１０２上に形成するのが好ましい。低圧配線１１０は、リアプレート１０２の端において、筐体１１５側のグランドに電気的接続されている低圧配線引き出し配線１１１により、グランド電位に規定されている。このように低圧配線１１０を、電圧が印加されるスルーホール構造１０８の周囲に配置することで、スルーホール構造１０８に印加された高電位の存在領域を、低圧配線１１０の内側（低圧配線１１０とスルーホール構造１０８との間の領域）に閉じ込めることができるため、スルーホール構造１０８周辺での不慮の放電を防止することが可能となる。これによって、スルーホール構造１０８周囲の電界の変化を抑制することができ、その結果、電位の安定した電圧印加構造１１７が得られる。これにより、表示パネル１１３を安定して駆動することができるようになる。
【００４６】
更に、スルーホール構造１０８の真空側の電極（第一の導電体）と低圧配線１１０との間には、耐圧部材１０９がリアプレート１０２上に形成されているのがより好ましい。耐圧部材１０９には高抵抗な膜が形成されており、この膜によって電位をより安定させ、耐電圧を向上させている。この膜としては、スルーホール構造１０８の真空側と低圧配線１１０との距離や形状によって最適な耐電圧を示す抵抗値を持つものが良く、例えば、帯電防止膜等である。これによって、第一の導電体と低圧配線１１０との間に微小な電流が流れることで、第一の導電体と低圧配線１１０との間の電位が略均等間隔で分布しながら低圧配線１１０の内側に閉じ込めることが可能となり、より確実に放電を防止できる。
（３）電位規定構造
低電圧層（導電層）１１４は、リアプレート１０２上に、スルーホール構造１０８の大気側から一定距離に形成された円状の層である。低電圧層（導電層）１１４は、筐体１１５側の例えばグランドに電気的接続されており、グランド電位に規定されている。この構成によって、スルーホール構造１０８に印加された高電位の存在領域を、低電圧層（導電層）１１４の内側（低電圧層（導電層）１１４とスルーホール構造１０８との間の領域）に閉じ込めることができるため、リアプレート大気側の周辺での不慮の放電を防止することが可能となる。
【００４７】
耐電圧構造１１６は、スルーホール構造１０８と低電圧層（導電層）１１４との間に形成されている。耐電圧構造１１６は、体積抵抗の高い絶縁物もしくは高抵抗の膜に被膜された絶縁性の部材から構成されている。例えば、絶縁物によるポッティングや帯電防止膜等である。尚、耐電圧構造１１６の中心軸は、弾性構造１０７及びスルーホール構造１０８の中心軸と略一致している。
【００４８】
電位規定構造は、電圧が印加されるスルーホール構造１０８の周囲に低電圧層１１４（導電層）を配置し、好ましくは、スルーホール構造１０８と低電圧層（導電層）１１４との間に耐電圧構造１１６を設置した構造であり、それにより、より確実に高電位の存在領域を低電圧層１１４の内側に閉じ込めることが可能となり、スルーホール構造１０８周囲の電界の変化をより確実に抑制することができる。このような電位規定構造を採用することで、電圧を安定して印加することができ、表示パネル１１３を安定して駆動することができるようになる。
【００４９】
また、図１１に示すように、表示パネル１１３を、駆動回路１３１、回路基板１３２、不図示の電圧電源、電圧ケーブル、低圧電源等とともに、筐体１１５によって封入することで表示装置を作製する。
【００５０】
ここで、本発明の特徴である、第一の導電体及び第二の導電体と弾性構造１０７との位置関係について、図１２及び図１３を用いて説明する。
【００５１】
図１２は、リアプレート１０２上の電圧印加構造近傍をフェイスプレート１０１側から見た平面図であり、図１３は、フェイスプレート１０１上の電圧印加構造近傍をリアプレート１０２側から見た平面図である。
【００５２】
本実施形態においては、図１２及び図１３に示すように、弾性構造１０７が第一の導電体及び第二の導電体の内側に位置する。言い換えれば、弾性構造１０７が、第一の導電体のフェイスプレート１０１への正射影領域と、第二の導電体のリアプレート１０２への正射影領域との間に内包される。それにより、弾性構造１０７付近の電位分布は、弾性構造１０７と低圧配線１１０との間の電位差によって生じるものから第一の導電体と低圧配線１１０との間の電位差によって生じる電位分布へと変わり、弾性構造１０７の形状や加工粗さ等に起因した突起部による放電発生を抑制することができる。
【００５３】
また、リアプレート１０２の電子源領域１０５の形成面とは反対側の面（裏面）に低電圧層（導電層）１１４を設けたことで、リアプレート１０２の裏面にアノード電極１０６と同電位の高圧印加構造（導電性部材）が存在しても、高電位の存在領域を低電圧層（導電層）１１４の内側に閉じ込めることができるため、リアプレート１０２の裏面周辺での不慮の放電を防止することが可能となる。特にフラットパネルディスプレイにおいては、図１１に示すように、リアプレート１０２の裏面に近接して回路基板１３２等が配置されるため、不慮の放電発生が懸念されるが、本発明の構造を用いることで放電発生を回避でき特に好ましい。
【００５４】
また、更に、本実施形態においては、アノード電極１０６への電圧印加構造１１７に、ほぼ軸対象である弾性構造１０７と、リアプレート１０２に形成したスルーホール構造１０８と、大気側の耐電圧構造１１６とを採用し、さらにそれぞれの中心軸を略一致させるのが好ましい。このように構成することによって、電圧印加構造１１７の中心軸からの電位分布もほぼ軸対象となることで、放電の原因となる電位の歪みをより少なくすることができる。その結果、電位の安定した電圧印加構造１１７及び表示パネル１１３を得ることができる。また、上述のようにスルーホール構造１０８を用いることによって、スルーホール構造１０８の貫通穴のみを封止すれば真空構造を封止することができるため、封止箇所を減少させることができる。それにより、電圧印加構造１１７の気密信頼性を向上することができる。そして、真空気密をスルーホール１０８の貫通穴内部で行ったため、表示パネル１１３背面の出っ張りを無くすことができる。
【００５５】
以下に、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００５６】
【実施例】
（第１の実施例）
図１に、本発明の第１の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造の分解斜視図を示す。また、図２に、本発明の第１の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造の組み立て断面図を示す。また、図４に、図１及び図２に示した電圧印加構造を用いた表示装置の概要図を示す。尚、図４は、説明上、表示装置の筐体１１５を部分的に省略し、表示パネル１１３のリアプレート大気側を示したものである。
【００５７】
本実施例の表示パネル１１３を作製する場合、まず、アノード電極１０６を表面に搭載したフェイスプレート１０１と、電子源領域１０５を表面に搭載したリアプレート１０２とを向かい合わせ、両者を枠１０３を介してフリット１０４ｂによって封着する。その後、フェイスプレート１０１とリアプレート１０２との間の内部の空気を排気管（不図示）から吸い出し、封止し、真空構造を形成することで表示パネル１１３を作製する。尚、フェイスプレート１０１、リアプレート１０２、及び枠１０３はガラスからできている。
【００５８】
電圧印加構造１１７は、真空中のアノード電極１０６に大気から電圧を印加するための構造であり、真空中の引き出し配線１００、弾性構造１０７、耐圧部材１０９及び低圧配線１１０と、真空から大気を導通させるスルーホール構造１０８と、大気側の電位規定構造とから構成される。電位規定構造は、耐電圧構造１１６と低電圧層１１４とから構成される。
【００５９】
本実施例においては、リアプレート１０２の大気側のスルーホール構造１０８に印加された電圧が、スルーホール構造１０８の真空側、弾性構造１０７、及び引き出し配線１００を介してアノード電極１０６に印加されることになる。
【００６０】
以下に、スルーホール構造１０８、弾性構造１０７及び電位規定構造について詳細に説明する。
（１）スルーホール構造
スルーホール構造１０８は、リアプレート１０２（厚さ約２.８ｍｍ）に予めドリル等で空けておいた円柱状の貫通穴（直径約２ｍｍ）に設けられており、リアプレート１０２の表裏面（真空内面及び真空構造外面）に形成された電極（厚さ約２０μｍ）と、これらの電極が電気的導通するように貫通穴の内面に形成された電極（厚さ約２０μｍ）とから構成される。尚、スルーホール構造１０８は中心軸においてほぼ軸対称に構成されている。
【００６１】
スルーホール構造１０８の作製方法について図５を参照して説明する。
【００６２】
まず、リアプレート１０２上に、電子源領域１０５を形成すると同時に、銀ペースト（ＮＰ−４０４５：株式会社ノリタケカンパニーリミテド製）を４２０℃で焼成することで配線１１８ａを形成する（図５（ａ））。次に、配線１１８ａとリアプレート１０２を挟んで対極側のリアプレート１０２上に、銀ペーストをスキージ印刷により転写することで配線１１８ｃを形成する（図５（ｂ））。次に、配線１１８ａと配線１１８ｃとの間の穴壁面に金属棒を用いて銀ペーストを斑無く塗りこむことで配線１１８ｂを形成する（図５（ｃ））。その後、１２０℃で乾燥し、４２０℃で焼成することによって配線１１８ａ，１１８ｂ，１１８ｃを一体としたスルーホール構造１０８が作製される。また、スルーホール構造１０８の中央穴にフリット１０４ａを注入し、１２０℃で乾燥し、３９０℃で焼成することで、真空気密を保持している。
【００６３】
また、スルーホール構造１０８の真空側には、電子源領域１０５の作製時にスルーホール構造１０８の真空側から一定距離である４［ｍｍ］を保つ様に、円状の低圧配線１１０をリアプレート１０２上に形成する。低圧配線１１０は、リアプレート１０２の端において、筐体１１５側のグランドに電気的接続されている低圧配線引き出し配線１１１により、グランド電位に規定されている。この低圧配線１１０を、電圧が印加されるスルーホール構造１０８の周囲に配置することで、環境の変化によるスルーホール構造１０８周囲の電界の変化を抑制することができ、その結果、電位の安定した電圧印加構造１１７が得られる。これにより、表示パネル１１３を安定して駆動することができるようになる。
【００６４】
更に、スルーホール構造１０８の真空側と低圧配線１１０との間には、耐圧部材１０９がリアプレート１０２上に形成されている。この耐圧部材１０９には高抵抗な膜（シート抵抗値＝約１０11Ω）が形成されており、この膜によって電位をより安定させ、耐電圧を向上させている。この膜の抵抗値としては、スルーホール構造１０８の真空側と低圧配線１１０との距離や形状によって最適な耐電圧を示す抵抗値を持つものが良く、ここでは、特開平０８−１８０８０１号公報に開示された帯電防止膜を用いている。
（２）弾性構造
弾性構造１０７は、リアプレート１０２上のスルーホール構造１０８とフェイスプレート１０１との間に設置されている。尚、弾性構造１０７は中心軸においてほぼ軸対称に構成されており、弾性構造１０７の中心軸はスルーホール構造１０８の中心軸と略一致している。また、フェイスプレート１０１上には、上述したアノード電極１０６から弾性構造１０７に接触する部分まで引き出し配線１００が設けられている。
【００６５】
ここで、弾性構造１０７の概要について図３を参照して説明する。尚、弾性構造１０７は、図３の上部に図示されている面がフェイスプレート１０１の方向を向くように設置される。
【００６６】
台座１２２の上下には、弾性部１２１がそれぞれの外形円の中心軸を一致させてレーザースポット溶接等によって接地されている。そして、その弾性部１２１の台座１２２と接地されていない面側の円周縁に支点１２０ａ，１２０ｂが同様に中心軸を一致させてレーザースポット溶接等により接地されている。
【００６７】
弾性構造１０７は、支点１２０ａの弾性部１２１と接地されていない面がフェイスプレート１０１上の引き出し配線１００に密着し、支点１２０ｂの弾性部１２１と接地されていない面がリアプレート１０２上のスルーホール１０８に密着するように設計されている。弾性構造１０７の主要材料としては４８Ｎｉ合金を採用している。
【００６８】
弾性構造１０７は、フェイスプレート１０１とリアプレート１０２とが封止される前に、リアプレート１０２のフェイスプレート１０１と向かい合う面上であるスルーホール構造１０８の真空側に設置される。
【００６９】
弾性構造１０７の設置方法としては、リアプレート１０２の貫通穴（不図示）をフリット１０４ａにより封止する工程で、リアプレート１０２に位置決めされた弾性構造１０７の中央穴からフリット１０４ａを塗布し、リアプレート１０２の穴と弾性構造１０７の中央穴とをフリット１０４ａで埋め、乾燥炉内（１２０℃／１０分）で乾燥させ、焼成炉内（３９０℃／１０分）で焼成する方法を用いた。
【００７０】
弾性構造１０７には、２枚の板ばね構造を採用し、各板ばね構造は、３本のばねからなる弾性部で構成されている。１枚目の板ばね構造は、板ばねの両支点の一方がフリット１０４ａによりリアプレート１０２に固定されている台座に固定されており、他方がリアプレート１０２のスルーホール構造１０８に圧接されている。２枚目の板ばね構造は、板ばねの両支点の一方がフリット１０４ａによりリアプレート１０２に固定されている台座に固定されており、板ばねの両支点の他方がフェイスプレート１０１の引き出し配線１００に圧接されている。
【００７１】
フェイスプレート１０１側の引き出し配線１００とリアプレート１０２側のスルーホール構造１０８との電気的導通を取るために、弾性構造１０７を用いたことによって、フェイスプレート１０１とリアプレート１０２との間の熱変化による微少変形や平行度の悪さ等による接地不良を防ぐことができる。
【００７２】
弾性部１２１は、３本以上の複数本のばねから構成されるのが良く、ここでは、３本のばねが並列に配置されている。これにより、フェイスプレート１０１、リアプレート１０２と支点１２０ａ，１２０ｂとの接触面に小さな突起や傷が存在している場合にも、支点１２０ａ，１２０ｂをフェイスプレート１０１とリアプレート１０２に確実に接触させることができる。
【００７３】
リアプレート１０２上の弾性構造１０７（直径約５ｍｍ）の占有面積は、スルーホール構造１０８（直径約６ｍｍ）を構成するリアプレートの真空側に設けた電極（第一の導電体：配線１１８ａ）の占有面積及びフェイスプレートの引き出し配線１００（第二の導電体）の占有面積よりも小さくなっている。これにより、弾性構造１０７を、フェイスプレート１０１側の引き出し配線１００及びリアプレート１０２側のスルーホール構造１０８上からはみ出さずに収まるように設置することができる。すなわち、弾性構造１０７を、第一の導電体のフェイスプレート１０１への正射影領域と、第二の導電体のリアプレート１０２への正射影領域とが重なる領域に内包されるように設置することができる。その結果、弾性構造１０７付近の電位分布は、弾性構造１０７と低圧配線１１０との間の電位差から生じるものからスルーホール構造１０８と低圧配線１１０との間の電位分布から生じるものへと変わり、弾性構造１０７の形状や加工粗さ等から来る突起部による放電発生を抑制することができる。
【００７４】
また、スルーホール構造１０８の貫通穴のみを封止すれば真空構造を封止することができるため、封止箇所を減少させることができる。それにより、電圧印加構造１１７の気密信頼性を向上することができる。そして、真空気密をスルーホール構造１０８の貫通穴内部で行ったため、表示パネル１１３背面の出っ張りを無くすことができる。
【００７５】
スルーホール構造１０８を用いることで、フリット１０４ａの真空側から大気側への電位をほぼ均一に保つことができるため、ボイド放電、絶縁破壊などを防ぐことができ、その結果、真空気密信頼性を向上することができる。
（３）電位規定構造
低電圧層１１４（導電層）は、リアプレート１０２上に、スルーホール構造１０８の大気側から一定距離に形成された円状の層である。低電圧層（導電層）１１４は、筐体１１５側のグランドに電気的接続されており、グランド電位に規定されている。
【００７６】
耐電圧構造１１６は、スルーホール構造１０８と低電圧層１１４との間に形成されている。耐電圧構造１１６は、体積抵抗の高い絶縁物もしくは高抵抗の膜によって被膜された絶縁性の部材から構成されている。例えば、絶縁物によるポッティング構造や帯電防止膜等である。尚、耐電圧構造１１６の中心軸は、弾性構造１０７及びスルーホール構造１０８の中心軸と略一致している。電圧印加構造１１７には、不図示の電圧電源から電圧ケーブルを通して給電する。
【００７７】
電位規定構造は、電圧が印加されるスルーホール構造１０８の周囲に低電圧層１１４を配置し、スルーホール構造１０８と低電圧層１１４との間に耐電圧構造１１６が設置される構造であり、それにより、スルーホール構造１０８に印加された高電位の存在領域を、低電圧層（導電層）１１４の内側（低電圧層（導電層）１１４とスルーホール構造１０８との間の領域）に閉じ込めることができるため、リアプレート大気側の周辺での不慮の放電を防止することが可能となる。また、環境の変化によるスルーホール構造１０８周囲の電界の変化を抑制することも可能となる。このような電位規定構造を採用することで、電圧を安定して印加することができ、表示パネル１１３を安定して駆動することができるようになる。
【００７８】
また、図１１に示すように、表示パネル１１３を、駆動回路１３１、回路基板１３２、不図示の電圧電源、電圧ケーブル、低圧電源等とともに、筐体１１５によって封入することで表示装置を作製する。
【００７９】
また、更に、本実施例においては、アノード電極１０６への電圧印加構造１１７に、弾性構造１０７と、リアプレート１０２に形成したスルーホール構造１０８と、大気側の耐電圧構造１１６とを採用し、それぞれの中心軸を略一致させているため、電圧印加構造１１７の中心軸からの電位分布もほぼ軸対象となることで、放電の原因となる電位の歪みを少なくすることができ、特に好ましい。その結果、電位の安定した電圧印加構造１１７及び表示パネル１１３を得ることができる。また、真空気密をスルーホール１０８の貫通穴内部で行ったため、表示パネル１１３背面の出っ張りを無くすことができる。それにより、表示装置を小型化、薄型化することができるとともに、導通信頼性のある安定した画像表示を行うことができる。
【００８０】
また、スルーホール構造１０８が形成されたリアプレート１０２の穴を封止する真空封止と、弾性構造１０７の位置決めとを、フリット１０４ａの同一部材で、同一工程で行うことができるため、表示装置をローコストな構造とすることができる。
【００８１】
（第２の実施例）
図６に、本発明の第２の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造の組み立て断面図を示す。尚、本実施例の電圧印加構造の分解斜視図は、第１の実施例の図１と同様である。また、本実施例の表示装置の概要図は、第１の実施例の図４と同様である。よって、以下では、第１の実施例との差異である、弾性構造について詳述する。尚、図６中の部材番号は、図２と同じものについては同じ番号を用いる。また、それ以外の部材についても、図２と同様のものは、２００番から始まる番号を用いて説明する。
【００８２】
弾性構造２０７は、リアプレート１０２上のスルーホール構造１０８とフェイスプレート１０１との間に設置されている。尚、弾性構造２０７は中心軸においてほぼ軸対称に構成されており、弾性構造２０７の中心軸はスルーホール構造１０８の中心軸と略一致している。また、フェイスプレート１０１上には、上述したアノード電極１０６から弾性構造２０７に接触する部分まで引き出し配線１００が設けられている。
【００８３】
弾性構造２０７には、線径φ０．２ｍｍの圧縮コイルばね構造を採用しており、圧縮コイルばねの材質にはピアノ線（ＳＷＰ）を採用している。
【００８４】
弾性構造２０７は、フェイスプレート１０１とリアプレート１０２とが封止される前に、リアプレート１０２のフェイスプレート１０１と向かい合う面上であるスルーホール構造１０８の真空側に設置される。
【００８５】
弾性構造２０７の設置方法としては、リアプレート１０２の貫通穴（不図示）をフリット２０４ａにより封止する工程で、リアプレート１０２の穴にフリット２０４ａを塗布してから位置決め部材２１２を挿入し、乾燥炉内（１２０℃／１０分）で乾燥させ、焼成炉内（３９０℃／１０分）で焼成し、その後、弾性構造２０７を設置する方法を用いた。
【００８６】
このように、弾性構造２０７の位置決めに位置決め部材２１２を用いることで、位置決めが容易となり、工程時間を短縮することができる。尚、位置決め部材２１２の材質には４２６合金を採用している。
【００８７】
フェイスプレート１０１側の引き出し配線１００とリアプレート１０２側のスルーホール構造１０８との電気的導通を取るために、弾性構造２０７を用いたことによって、熱変化による微少変形、フェイスプレート１０１とリアプレート１０２との間の平行度の悪さ等による接触不良を防ぐことができる。
【００８８】
リアプレート１０２上の弾性構造２０７（直径約５ｍｍ）の占有面積は、スルーホール構造１０８（直径約６ｍｍ）を構成するリアプレート１０２の真空側に設けた電極（第一の導電体）の占有面積及びフェイスプレート１０１の引き出し配線１００（第二の導電体）の占有面積よりも小さくなっている。これにより、弾性構造２０７を、フェイスプレート１０１側の引き出し配線１００及びリアプレート１０２側のスルーホール構造１０８上からはみ出さずに収まるように設置することができる。すなわち、弾性構造２０７を、第一の導電体のフェイスプレート１０１への正射影領域と、第二の導電体のリアプレート１０２への正射影領域とが重なる領域に内包されるように設置することができる。その結果、弾性構造２０７付近の電位分布は、弾性構造２０７と低圧配線１１０との間の電位差から生じるものからスルーホール１０８と低圧配線１１０との間の電位分布から生じるものへと変わり、よって、弾性構造２０７の形状に依存することなく、弾性構造２０７の形状や加工粗さ等から来る突起部による放電発生を抑制することができる。
【００８９】
また、スルーホール構造１０８の貫通穴のみを封止すれば真空構造を封止することができるため、封止箇所を減少させることができる。それにより、電圧印加構造１１７の気密信頼性を向上することができる。そして、真空気密をスルーホール構造１０８の貫通穴内部で行ったため、表示パネル１１３の背面の出っ張りを無くすことができる。
【００９０】
スルーホール構造１０８を用いることで、フリット２０４ａの真空側から大気側への電位をほぼ均一に保つことができるため、ボイド放電、絶縁破壊などを防ぐことができ、その結果、真空気密信頼性を向上することができる。
【００９１】
また、本実施例においては、第１の実施例と同様に、リアプレート１０２の大気側の面に電位規定構造を設けた。それにより、スルーホール構造１０８に印加された高電位の存在領域を、低電圧層（導電層）１１４の内側（低電圧層（導電層）１１４とスルーホール構造１０８との間の領域）に閉じ込めることができるため、リアプレート大気側の周辺での不慮の放電を防止することが可能となる。また、環境の変化によるスルーホール構造１０８周囲の電界の変化を抑制することができる。このような電位規定構造を採用することで、電圧を安定して印加することができ、表示パネル１１３を安定して駆動することができるようになる。
【００９２】
また、図１１に示すように、表示パネル１１３を、駆動回路１３１、回路基板１３２、不図示の電圧電源、電圧ケーブル、低圧電源等とともに、筐体１１５によって封入することで表示装置を作製する。
【００９３】
また、更に、本実施例においては、第一の実施例と同様に、アノード電極１０６への電圧印加構造１１７に、弾性構造２０７と、リアプレート１０２に形成したスルーホール構造１０８と、大気側の耐電圧構造１１６とを採用し、それぞれの中心軸を略一致させているため、電圧印加構造１１７の中心軸からの電位分布もほぼ軸対象となることで、放電の原因となる電位の歪みを少なくすることができ、特に好ましい。その結果、電位の安定した電圧印加構造１１７及び表示パネル１１３を得ることができる。また、真空気密をスルーホール１０８の貫通穴内部で行ったため、表示パネル１１３背面の出っ張りをなくすことができる。それにより、表示装置を小型化、薄型化することができるとともに、導通信頼性のある安定した画像表示を行うことができる。
【００９４】
また、位置決め部材２１２を用いて弾性構造２０７の位置決めを行うことにより、弾性構造２０７を容易に設置することができるため、表示装置を簡単な工程で作製できるローコストな構造とすることができる。
【００９５】
（第３の実施例）
図７に、本発明の第３の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造の分解斜視図を示す。また、図８に、本発明の第３の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造の組み立て断面図を示す。尚、本実施例の表示装置の概要図は、第１及び第２の実施例の図４と同様である。よって、以下では、前述の実施例と本実施例との差異である、弾性構造についてのみ詳述する。尚、図７及び図８中の部材番号は、図１と同じものについては同じ番号を用いる。また、それ以外の部材についても、図１及び図２と同様のものは、３００番から始まる番号を用いて説明する。
【００９６】
弾性構造３０７は、リアプレート１０２上のスルーホール構造１０８とフェイスプレート１０１との間に設置されている。尚、弾性構造３０７は中心軸においてほぼ軸対称に構成されており、弾性構造３０７の中心軸はスルーホール構造１０８の中心軸と略一致している。また、フェイスプレート１０１上には、上述したアノード電極１０６から弾性構造３０７に接触する部分まで引き出し配線１００が設けられている。
【００９７】
ここで、弾性構造３０７の概要について図３を参照して説明する。尚、弾性構造３０７は、図３の上部に図示されている面がフェイスプレート１０１の方向を向くように設置される。
【００９８】
台座１２２の上下には、弾性部１２１がそれぞれの外形円の中心軸を一致させてレーザースポット溶接等によって接地されている。そして、その弾性部１２１の台座１２２と接地されていない面側の円周縁に支点１２０ａ，１２０ｂが同様に中心軸を一致させてレーザースポット溶接等により接地されている。
【００９９】
弾性構造３０７は、支点１２０ａの弾性部１２１と接地されていない面がフェイスプレート１０１上の引き出し配線１００に密着し、支点１２０ｂの弾性部１２１と接地されていない面がリアプレート１０２上のスルーホール１０８に密着する様に設計されている。
【０１００】
弾性構造３０７は、フェイスプレート１０１とリアプレート１０２とが封止される前に、リアプレート１０２のフェイスプレート１０１と向かい合う面上であるスルーホール構造１０８の真空側に設置される。
【０１０１】
弾性構造３０７の設置方法としては、リアプレートの貫通穴（不図示）をフリット３０４ａにより封止する工程で、リアプレート１０２の穴にフリット３０４ａを塗布してから位置決め部材３１２を挿入し、乾燥炉内（１２０℃／１０分）で乾燥させ、焼成炉内（３９０℃／１０分）で焼成し、その後に弾性構造３０７を設置する方法を用いた。
【０１０２】
このように、弾性構造３０７の位置決めに位置決め部材３１２を用いることで、弾性構造３０７の位置決めが容易となり、工程時間を短縮することができる。
【０１０３】
また、フリット３０４ａの焼成後に、弾性構造３０７をリアプレート１０２上に置いているだけであるため、リアプレート１０２と弾性構造３０７とは接着されていない。従って、フリット３０４ａ焼成時に弾性構造３０７を押し圧して設置する手間が省けるため、作製工程を簡素化できる。また、弾性構造３０７を傾いて設置したり、押し圧によってリアプレート１０２が割れたりする等の問題を防ぐことができる。
【０１０４】
弾性構造３０７には、板ばね構造を採用しており、主な材質は４２６合金である。また、位置決め部材３１２は、４２６合金からできており、直径１．５ｍｍ、高さ３ｍｍの円柱の形状となっている。このように、リアプレート１０２及び位置決め部材３１２を熱膨張率の近い材質から構成することで、熱変化による熱応力が発生せず、接着界面での剥離などが無い電圧印加構造１１７を得ることができる。
【０１０５】
フェイスプレート１０１側の引き出し配線１００とリアプレート１０２側のスルーホール構造１０８との電気的導通を取るために、弾性構造３０７を用いたことによって、フェイスプレート１０１とリアプレート１０２間の熱変化による微少変形、平行度の悪さ等による接触不良を防ぐことができる。
【０１０６】
弾性部１２１は、３本以上の複数本のばねから構成されるのが良く、ここでは、３本のばねが並列に配置されている。これにより、フェイスプレート１０１、リアプレート１０２と支点１２０ａ，１２０ｂとの接地面に小さな突起や傷が存在していた場合にも、支点１２０ａ，１２０ｂをフェイスプレート１０１とリアプレート１０２に確実に接触させることができる。
【０１０７】
リアプレート１０２上の弾性構造３０７の占有面積は、スルーホール構造１０８を構成するリアプレート１０２の真空側に設けた電極（第一の導電体）の占有面積及びフェイスプレート１０１の引き出し配線１００（第二の導電体）の占有面積よりも小さくなっている。これにより、弾性構造３０７を、フェイスプレート１０１側の引き出し配線１００及びリアプレート１０２側のスルーホール構造１０８上からはみ出さずに収まるように設置することができる。すなわち、弾性構造３０７を、第一の導電体のフェイスプレート１０１への正射影領域と、第二の導電体のリアプレート１０２への正射影領域とが重なる領域に内包されるように設置することができる。その結果、弾性構造３０７付近の電位分布は、弾性構造３０７と低圧配線１１０との間の電位差から生じるものから、スルーホール１０８と低圧配線１１０との間の電位分布から生じるものへと変わり、よって、弾性構造３０７の形状に依存することなく、弾性構造３０７の形状や加工粗さ等から来る突起部による放電発生を抑制することができる。
【０１０８】
また、スルーホール構造１０８の貫通穴のみを封止すれば真空構造を封止することができるため、封止箇所を減少させることができる。それにより、電圧印加構造１１７の気密信頼性を向上することができる。そして、真空気密をスルーホール１０８の貫通穴内部で行ったため、表示パネル１１３背面の出っ張りを無くすことができる。
【０１０９】
スルーホール構造１０８を用いることで、フリット３０４ａの真空側から大気側への電位をほぼ均一に保つことができるため、ボイド放電、絶縁破壊などを防ぐことができ、その結果、真空気密信頼性を向上することができる。
【０１１０】
また、本実施例においては、前述の他の実施例と同様に、リアプレート１０２の大気側の面に電位規定構造を設けた。それにより、スルーホール構造１０８に印加された高電位の存在領域を、低電圧層（導電層）１１４の内側（低電圧層（導電層）１１４とスルーホール構造１０８との間の領域）に閉じ込めることができるため、リアプレート大気側の周辺での不慮の放電を防止することが可能となる。また、環境の変化によるスルーホール構造１０８周囲の電界の変化を抑制することができる。このような電位規定構造を採用することで、電圧を安定して印加することができ、表示パネル１１３を安定して駆動することができるようになる。
【０１１１】
また、図１１に示すように、表示パネル１１３を、駆動回路１３１、回路基板１３２、不図示の電圧電源、電圧ケーブル、低圧電源等とともに、筐体１１５によって封入することで表示装置を作製する。
【０１１２】
また、更に、本実施例においては、前述の他の実施例と同様に、アノード電極１０６への電圧印加構造１１７に、弾性構造３０７と、リアプレート１０２に形成したスルーホール構造１０８と、大気側の耐電圧構造１１６とを採用し、それぞれの中心軸を略一致させているため、電圧印加構造１１７の中心軸からの電位分布もほぼ軸対象となることで、放電の原因となる電位の歪みを少なくすることができ、特に好ましい。その結果、電位の安定した電圧印加構造１１７及び、表示装置を得ることができる。また、真空気密をスルーホール１０８の貫通穴内部で行ったため、表示パネル１１３背面の出っ張りを無くすことができた。それにより、表示装置を小型化、薄型化することができるとともに、導通信頼性のある安定した画像表示を行うことができる。
【０１１３】
また、位置決め部材３１２を用いて弾性構造３０７の位置決めを行うことにより、弾性構造３０７を容易に設置することができるため、表示装置を、簡単な工程で作製できるローコストな構造とすることができる。
【０１１４】
また、リアプレート１０２と弾性構造３０７とを、フリット３０４ａで接着せずに電気的導通を確保しているため、接着面の剥離や接着不良による電気的導通不良などを防ぐことができる。
【０１１５】
（第４の実施例）
図９に、本発明の第４の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造の組み立て断面図を示す。尚、本実施例の電圧印加構造の分解斜視図は、弾性構造の形状を除き、第３の実施例の図７と同様である。また、本実施例の表示装置の概要図は、第１〜第３の実施例の図４と同様である。よって、以下では、前述の実施例と本実施例との差異である、弾性構造についてのみ詳述する。尚、図９中の部材番号は、図７及び図８と同じものについては同じ番号を用いる。また、それ以外の部材についても、図７及び図８と同様のものは、４００番から始まる番号を用いて説明する。
【０１１６】
弾性構造４０７は、リアプレート１０２上のスルーホール構造１０８とフェイスプレート１０１との間に設置されている。尚、弾性構造４０７は中心軸においてほぼ軸対称に構成されており、弾性構造４０７の中心軸はスルーホール構造１０８の中心軸と略一致している。また、フェイスプレート１０１上には、上述したアノード電極１０６から弾性構造４０７に接触する部分まで引き出し配線１００が設けられている。
【０１１７】
弾性構造４０７は、フェイスプレート１０１とリアプレート１０２とが封止される前に、リアプレート１０２のフェイスプレート１０１と向かい合う面上であるスルーホール構造１０８の真空側に設置される。
【０１１８】
弾性構造４０７の設置方法としては、リアプレートの貫通穴（不図示）をフリット４０４ａにより封止する工程で、リアプレート１０２の穴に位置決め部材４１２を挿入し、その隙間にフリット４０４ａを塗布し、乾燥炉内（１２０℃／１０分）で乾燥させ、焼成炉内（３９０℃／１０分）で焼成し、その後に弾性構造４０７を設置する方法を用いた。
【０１１９】
このように、弾性構造４０７の位置決めに位置決め部材４１２を用いることで、弾性構造４０７の位置決めが容易となり、工程時間を短縮することができる。
【０１２０】
また、フリット４０４ａの焼成後に、弾性構造４０７をリアプレート１０２上に置いているだけであるため、リアプレート１０２と弾性構造４０７とは接着されていない。従って、弾性構造４０７をリアプレート１０２に押し圧して接着する手間が省けるため、作製工程を簡素化できる。また、弾性構造４０７をフリット４０４ａの焼成時に押し圧して接着を行う必要が無くなるため、弾性構造４０７を傾いて接着したり、押し圧によってリアプレート１０２が割れたりする等の不具合を防ぐことができる。
【０１２１】
弾性構造４０７には、線径φ０．２ｍｍの圧縮コイルばね構造を採用しており、圧縮コイルばねの材質にはＳＵＳ３０４を採用している。また、位置決め部材４１２は４８Ｎｉ合金からできており、直径１．５ｍｍ、高さ３ｍｍの円柱と、その一端に直径３ｍｍ、厚さ０．５ｍｍの円盤とが一体になった形状をしていて、この円盤部がリアプレートと接することで開口を封じ、表示パネル１１３を封止する構造を兼ねている。
【０１２２】
また、この位置決め部材４１２の円盤と反対側には、弾性構造４０７がレーザースポット溶接等で接地されている。
【０１２３】
フェイスプレート１０１側の引き出し配線１００とリアプレート１０２側のスルーホール構造１０８との電気的導通を取るために、弾性構造４０７を用いたことによって、熱変化による微少変形、フェイスプレート１０１とリアプレート１０２間の平行度の悪さ等による接触不良を防ぐことができる。
【０１２４】
リアプレート１０２上の弾性構造４０７の占有面積は、スルーホール構造１０８を構成するリアプレート１０２の真空側に設けた電極（第一の導電体）の占有面積及びフェイスプレート１０１の引き出し配線１００（第二の導電体）の占有面積よりも小さくなっている。これにより、弾性構造４０７を、フェイスプレート１０１側の引き出し配線１００及びリアプレート１０２側のスルーホール構造１０８上からはみ出さずに収まるように設置することができる。すなわち、弾性構造４０７を、第一の導電体のフェイスプレートへの正射影領域と、第二の導電体のリアプレートへの正射影領域とが重なる領域に内包されるように設置することができる。その結果、弾性構造４０７付近の電位分布は、弾性構造４０７と低圧配線１１０との間の電位差から生じるものからスルーホール１０８と低圧配線１１０との間の電位分布から生じるものへと変わり、よって、弾性構造４０７の形状に依存することなく弾性構造４０７の形状や加工粗さ等から来る突起部による放電発生を抑制することができる。
【０１２５】
また、スルーホール構造１０８の貫通穴のみを封止すれば真空構造を封止することができるため、封止箇所を減少させることができる。それにより、電圧印加構造１１７の気密信頼性を向上することができる。そして、真空気密をスルーホール１０８の貫通穴内部及び円盤部によって行ったため、表示パネル１１３背面の出っ張りを無くすことができる。
【０１２６】
位置決め部材４１２は、リアプレート１０２の電子源領域１０５と反対側面において円盤型の形状となっているため、フリット４０４ａの焼成前の設置時に座りが良く、リアプレート１０２に対しての垂直性が良くなる。その結果、焼成後の位置決め部材４１２のリアプレート１０２に対する垂直性が、位置決め部材４１２の上下で最大０．２ｍｍ傾いていたものが、０．１ｍｍ以下に収まり、弾性構造４０７に対して良好な位置決めを行うことができる。また、位置決め部材４１２と弾性部材４０７との金属同士を接着したことにより、引き出し配線１００までの電気的導通の信頼性が向上する。また、位置決め部材４１２とスルーホール構造１０８との電気的導通も、表示パネル１１３を作製した後に半田等により確実に補修することができ、電圧印加構造１１７全体の電気的導通の信頼性が向上する。そして、位置決め部材４１２に円盤部分を設けたことによって、位置決め部材４１２の軸方向のリアプレート１０２に対する位置精度を大幅に改善することができ、弾性部材４０７の高さのばらつきが０．２ｍｍであったものが、０．１ｍｍ以下に抑制することができる。
【０１２７】
スルーホール構造１０８を用いることで、フリット４０４ａの真空側から大気側への電位をほぼ均一に保つことができるため、ボイド放電、絶縁破壊などを防ぐことができ、その結果、真空気密信頼性を向上することができる。
【０１２８】
また、本実施例においては、前述の他の実施例と同様に、リアプレート１０２の大気側の面に電位規定構造を設けた。それにより、スルーホール構造１０８に印加された高電位の存在領域を、低電圧層（導電層）１１４の内側（低電圧層（導電層）１１４とスルーホール構造１０８との間の領域）に閉じ込めることができるため、リアプレート大気側の周辺での不慮の放電を防止することが可能となる。また、環境の変化によるスルーホール構造１０８周囲の電界の変化を抑制することができる。このような電位規定構造を採用することで、電圧を安定して印加することができ、表示パネル１１３を安定して駆動することができるようになる。
【０１２９】
また、図１１に示すように、表示パネル１１３を、駆動回路１３１、回路基板１３２、不図示の電圧電源、電圧ケーブル、低圧電源等とともに、筐体１１５によって封入することで表示装置を作製する。
【０１３０】
また、更に、本実施例においては、前述の他の実施例と同様に、アノード電極１０６への電圧印加構造１１７に、弾性構造４０７と、リアプレート１０２に形成したスルーホール構造１０８と、大気側の耐電圧構造１１６とを採用し、それぞれの中心軸を略一致させているため、電圧印加構造１１７の中心軸からの電位分布もほぼ軸対象となることで、放電の原因となる電位の歪みを少なくすることができ、特に好ましい。その結果、電位の安定した電圧印加構造１１７及び表示パネル１１３を得ることができる。また、真空気密をスルーホール１０８の貫通穴内部で行ったため、表示パネル１１３背面の出っ張りをなくすことができた。これにより、表示装置を小型化、薄型化することができるとともに、導通信頼性のある安定した画像表示を行うことができる。
【０１３１】
また、位置決め部材４１２の下側に、リアプレート１０２の穴を塞ぐように段差（円盤部分）を形成しているため、位置決め部材４１２のリアプレート１０２厚み方向の位置精度を向上することができ、個体差なく弾性構造４０７の弾性力を得ることができる。
【０１３２】
また、スルーホール構造１０８と引き出し配線１００との電気的導通を、弾性構造４０７と位置決め部材４１２を介して、リアプレート１０２の大気側で行うことになるため、スルーホール構造１０８と引き出し配線１００とが電気的不導通である場合は、表示パネル１１３を作製した後でも補修して電気的導通を確保することができ、それにより、歩留まりを向上させることができる。
【０１３３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明においては、アノード電極等の第二の導電体への給電用の導電性弾性構造が、第一の基板の真空面に設けた第一の導電体の第二の基板への正射影と、第二の基板に設けた第二の導電体の第一の基板への正射影との重なる領域に内包される。それにより、導電性弾性構造体周辺の電位分布は、導電性弾性構造体の形状に依存することなく、第一の導電体と第二の導電体によって規定されるため、導電性弾性構造体の形状（突起等）や、配置関係による不慮の放電を防止することができるという優れた効果が得られる。
【０１３４】
また、第一の導電体と導電性弾性構造のそれぞれを中心軸において軸対称とし、かつ第一の導電体と導電性弾性構造のそれぞれの中心軸を略一致させているため、表示装置の背面の出っ張りをなくし、小型化、薄型化、ローコスト化を図ることができるとともに、気密信頼性が高く、安定した画像表示を行うことができるという優れた効果が得られる。
【０１３５】
また、第一の基板の大気面に設けた導電層をアノード電極よりも低電位のグラウンド等に規定することで、アノード電極への給電用に設けられた導電性部材を第一の基板に設けた穴を介して引き出す構成においても、導電性部材に印加された高電位の存在領域を、導電層の内側（導電層と導電性部材との間の領域）に閉じ込めることができるため、第一の基板の大気側の周辺での不慮の放電を防止することができるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造を示す組み立て断面図である。
【図３】本発明の第１及び第３の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造の弾性構造の一構成例を示す概要図である。
【図４】本発明の表示装置を採用したＳＥＤの一構成例を示す概要図である。
【図５】本発明の表示装置に用いる電圧印加構造のスルーホール構造の作製手順を説明するための図である。
【図６】本発明の第２の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造を示す組み立て断面図である。
【図７】本発明の第３の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造を示す分解斜視図である。
【図８】本発明の第３の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造を示す組み立て断面図である。
【図９】本発明の第４の実施例の表示装置に用いる電圧印加構造を示す組み立て断面図である。
【図１０】従来の表示装置のアノード引き出し部分を示す概要図である。
【図１１】本発明の表示装置の断面図である。
【図１２】本発明の表示装置に用いる電圧印加構造のリアプレート部分の平面図である。
【図１３】本発明の表示装置に用いる電圧印加構造のフェイスプレート部分の平面図である。
【符号の説明】
１００    引き出し配線（第二の導電体）
１０１    フェイスプレート（第二の基板）
１０２    リアプレート（第一の基板）
１０３    枠
１０４ａ，２０４ａ，３０４ａ，４０４ａ    フリット
１０４ｂ，２０４ｂ，３０４ｂ，４０４ｂ    フリット
１０５    電子源領域
１０６    アノード電極（第二の導電体）
１０７，２０７，３０７，４０７    弾性構造
１０８    スルーホール構造
１０９    耐圧部材
１１０    低圧配線
１１１    低圧配線引き出し配線
１１３    表示パネル
１１４    低電圧層（導電層）
１１５    筐体
１１６    耐電圧構造
１１７    電圧印加構造（導電性部材）
１１８ａ    配線（第一の導電体）
１１８ｂ    配線（スルーホール端子）
１１８ｃ    配線
１２０ａ，１２０ｂ    支点
１２１    弾性部
１２２    台座
２１２，３１２，４１２    位置決め部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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