(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
トレイ収納位置にてトレイをその下に両側から係合させたトレイ受止め部材による受止めるのに併せトレイ把持部材により側方から把持して積み重ね状態に支持しておき、この支持した積み重ね状態のトレイの下面に接するまでトレイ移送体を上動させてこのトレイ移送体により前記積み重ね状態のトレイを支持した状態で前記トレイ把持部材および前記トレイ受止め部材による支持を解除する工程と、
前記トレイ移送体を下動させて前記積み重ね状態のトレイをトレイ１枚分の積み重ねかさ分だけ下降させた時点で、前記トレイ把持部材により最下段のトレイの１つ上のトレイを側方から把持して前記最下段のトレイ以外の積み重ね状態のトレイを支持する工程と、
前記トレイ移送体をさらに下動させて前記最下段のトレイとこの最下段のトレイの１つ上のトレイとの間に前記トレイ受止め部材の先端が挿入しうる空間が形成された時点で、前記トレイ受止め部材により前記最下段のトレイ以外の積み重ね状態のトレイをその下面両側から係合して受止め支持する工程と、
前記最下段のトレイを支持しているトレイ移送体を下動させて前記最下段のトレイを所定位置に供給する工程とを備えたことを特徴とするトレイ供給方法。
【請求項２】
トレイをトレイ収納位置へ１つ１つ積み重ねて収納する、あるいはトレイ収納位置での積み重ね収納状態から１つ１つ所定位置に供給するために、トレイ収納位置の下で上下動でき、かつ、下動位置でトレイ収納位置下部と、トレイの供給を受ける位置あるいはトレイを使用に供する位置との間でトレイを移送するトレイ移送体と、トレイ収納位置にトレイ移送体の上動により順次積み重ね状態に収納されるトレイの下に両側から係合してそのトレイをトレイ収納位置に支持する、あるいは前記係合位置からの退避により前記支持を解除するように開閉するトレイ受止め部材と、前記トレイ受止め部材に受け止められたトレイを側方から把持する、あるいはこの把持を解除するように開閉するトレイ把持部材と、トレイ受止め部材およびトレイ把持部材を適時に開閉する開閉機構とを備え、請求項１記載の各工程を行うようにしたトレイ収納・供給装置。
【請求項３】
トレイ受止め部材はトレイとの係合位置を保つように付勢され、トレイ受止め部材の開閉機構は、トレイ移送体に設けられたカムと、トレイ受止め部材に設けられたカムフォロアとで構成され、トレイ移送体がトレイをトレイ収納位置に持ち上げるのに連動してカムがカムフォロアを介しトレイ受止め部材を係合位置から側方に退避させ、トレイ移送体がトレイをトレイ収納位置の持ち上げ位置から下動するのに連動してカムがカムフォロアを介しトレイ受止め部材を係合位置に戻すようにした請求項２に記載のトレイ収納・供給装置。
【請求項４】
請求項２に記載のトレイ収納・供給装置を搭載したことを特徴とする電子部品作業機。
【請求項５】
バンプ未形成のＩＣチップを収容したトレイを積み重ねて収納する第１のトレイ収納部と、空状態のトレイを積み重ねて収納する第２のトレイ収納部と、第１のトレイ収納部の最下のトレイを下方から取出し、これをチップ供給位置に運び、このチップ供給位置において空状態となったトレイを第２のトレイ収納部に運び、そのトレイを第２のトレイ収納部に下方から収納する第１のトレイ移送体とからなる第１のトレイ収納・供給装置を備え、バンプ形成のＩＣチップを収容したトレイを積み重ねて収納する第３のトレイ収納部と、空状態のトレイを積み重ねて収納する第４のトレイ収納部と、第４のトレイ収納部の最下のトレイを下方から取出し、これをチップ受取位置に運び、このチップ受取位置においてチップ形成のＩＣチップ収納されたトレイを第３のトレイ収納部に運び、そのトレイを第３のトレイ収納部に下方から収納する第２のトレイ移送体とからなる第２のトレイ収納・供給装置を備え、チップ供給位置にあるトレイからバンプ未形成のＩＣチップをピックアップして、これをボンディングステージに移載し、ボンディングステージでバンプが形成されたＩＣチップをピックアップして、これをチップ受取位置にあるトレイに移載する移載ヘッドを備え、ボンディングステージ上にあるＩＣチップにバンプを形成するバンプ形成ユニットを備え、かつ第１のトレイ収納・供給装置及び第２のトレイ収納・供給装置は、請求項２に記載されたトレイ収納・供給装置であることを特徴とするバンプボンダー装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はトレイ供給・収納装置に関し、例えば、電子部品など各種の部品を整列した状態で収納したトレイを取り扱い、収納している部品を電子回路基板などの製造のための使用に供するのに用いられる。
【０００２】
【従来の技術】
この種の従来の装置は、図５、図６の（ａ）から（ｄ）に示すように、トレイ収納位置ｄの下でシリンダｋにより上下動され、かつ、下動位置でトレイ収納位置ｄと、トレイｅの供給を受ける図示しない位置、あるいはトレイｅに収容した部品を使用に供する図示しない位置と、の間でトレイｅを移送するトレイ移送体ｇを有している。トレイ収納位置ｄには、図５に示すシリンダａによりトグルｂを介して開閉される一対の把持部材ｃが設けられている。この一対のトレイ把持部材ｃは相対向する面にトレイ収納位置ｄに積み重ね収納されるトレイｅの間の隙間ｊに図６の（ｃ）に示すように入り込んで、直ぐ上のトレイｅの下に側方から図６の（ａ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように係合する突起ｈを有し、この係合を図６の（ｂ）、（ｃ）の順序で行うことによって、突起ｈが係合しているトレイｅをそれより上のトレイｅとともに支持してトレイ収納位置ｄへの収納状態に支持し、それより下のトレイｅを収納状態に支持したトレイｅから図６の（ｄ）に示すようにトレイ移送体ｇにより受載して下動することにより分離し、この状態で部品を使用に供する位置にまで移動できるようにするか、あるいは、図６の（ｄ）→（ｃ）→（ｂ）→（ａ）の順序で上動するトレイ移送体ｇによりトレイ収納位置ｄに収納されてくるトレイｅを受け入れた後、最下のトレイｅの下に突起ｈを係合させることにより支持して収納できるようにする。
【０００３】
これにより、トレイｅを、トレイ収納位置ｄへ１つ１つ積み重ねて収納するのに供し、あるいはトレイ収納位置ｄでの積み重ね収納状態から１つ１つ分離して所定の位置に供給し、収容している部品を使用に供するようなことを自動的に達成することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、一般に市販されているトレイｅは、これが積み重ねられたときにできる相互間の隙間ｊの大きさが一定していないので、トレイ把持部材ｃの突起ｈが入らないことがあり、積み重ね状態に収納されたトレイｅを１つ１つ確実に分離できない場合がある。また、小型のトレイｅでは前記隙間ｊが小さかったり、なかったりする場合があり、この場合にはトレイｅの分離が不可能になる。
【０００５】
そこで、突起ｈなしで側方からの摩擦力のみでトレイｅを把持することが考えられる。しかし、このようにするとトレイ把持部材ｃの把持力がトレイｅの重量に耐えられず、トレイｅが落下することが危惧され実用上問題である。
【０００６】
本発明の目的は、相互間にできる隙間の状態にかかわらずトレイを確実に分離して供給でき、しかも、積み重ね収納状態のトレイが落下するような心配のない安全なトレイ収納・供給装置を提供することにある。また本発明の他の目的はこのようなトレイ収納・供給装置を備えたバンプボンダー装置、電子部品実装機などの電子部品作業機を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は、トレイを、トレイ収納位置へ１つ１つ積み重ねて収納するのに供し、あるいはトレイ収納位置での積み重ね収納状態から１つ１つ使用に供するために、トレイ収納位置の下で上下動でき、かつ、下動位置でトレイ収納位置下部と、トレイの供給を受ける位置、あるいはトレイを使用に供する位置と、の間でトレイを移送するトレイ移送体を有し、トレイ収納位置にトレイ移送体の上動により順次積み重ね状態に収納されるトレイの下に両側から係合してそのトレイをトレイ収納位置に支持し、前記係合位置からの退避により、前記支持を解除するか、あるいはトレイ収納位置にトレイ移送体の上動によって収納されるトレイを受け入れるように開閉する受止め部材と、前記受止め部材に受け止められたトレイを側方から把持し、またこの把持を解除するように開閉するトレイ把持部材と、トレイ受止め部材およびトレイ把持部材を適時に開閉する開閉機構とを備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
このような構成では、トレイ受止め部材およびトレイ把持部材は開閉機構によって適時に開閉することができ、トレイ移送体によって１つのトレイがトレイ収納位置に持ち上げられる際に、トレイ受止め部材がトレイ把持部材に先行して開かれることにより、トレイ相互間にできる隙間が小さかったり、無かったりしても、持ち上げトレイは、トレイ把持部材がトレイ収納位置に把持しているトレイまでトレイ受止め部材と干渉することなく到着することができ、到着して以降トレイ把持部材が開かれることにより、前記持ち上げられるトレイをトレイ収納位置に受け入れ、既収納トレイがないときはそれを単独で収納し、既収納トレイがあるときはそれを同時に持ち上げられながら積み重ね状態に収納していき、１つのトレイが収納される都度トレイ受止め部材およびトレイ把持部材が閉じられることにより、受止め部材は収納されたトレイの下部に側方から係合してそれを受け止め支持するのに併せ、トレイ把持部材は収納されたトレイを側方から把持するので、積み重ね状態で収納されるトレイを、トレイ受止め部材とトレイ把持部材との協働により確実に支持でき、トレイが自身の重みによって脱落する危惧のない安全なものとなるし、トレイの支持が必要な間で、トレイ把持部材による把持だけになるのは、トレイが１つ１つトレイ収納位置に持ち上げられた後、トレイ移送体が少し下動する一瞬の間だけであるので、これがトレイの落下を招くようなことにはならず、前記安全はそこなわれない。
【０００９】
また、積み重ね状態で収納されているトレイを１つ１つ分離して部品を使用に供したりする所定の位置に供給する際、トレイ受止め部材およびトレイ把持部材が開いて上動したトレイ移送体に収納されているトレイを載置した後、トレイ移送体が１つのトレイの積み重ねかさ分だけ下動した時点でトレイ把持部材がトレイ受止め部材に先行して閉じた状態とし、それ以降のトレイ移送体の下動により最下のトレイ１つを収納状態のトレイから分離することができ、この分離された最下のトレイがある位置まで下動された時点でトレイ受止め部材を閉じることにより、分離れた最下のトレイと干渉することなく収納位置に把持されたトレイの下部にトレイ受止め部材が側方より係合してそれを受け止め支持する状態に復帰するので、トレイ相互間にできる隙間が小さくても、あるいは無くても、積み重ね収納状態のトレイを１つ１つに確実に分離することができるし、トレイの支持が必要な間で、トレイ把持部材による把持だけになるのは、トレイを１つ１つに分離する際の、収納位置外に下動されたトレイがトレイ受止め部材の閉じ動作の邪魔にならない位置まで下動される一瞬の間だけであるので、これがトレイの落下を招くようなことにはならず、前記安全性は損なわれない。
【００１０】
本発明において、さらに、トレイ受止め部材はトレイとの係合位置を保つように付勢され、トレイ受止め部材の開閉機構は、トレイ移送体に設けられたカムと、トレイ受止め部材に設けられたカムフォロアとで構成され、トレイ移送体がトレイをトレイ収納位置に持ち上げるのに連動してカムがカムフォロアを介しトレイ受止め部材を係合位置から側方に退避させ、トレイ移送体がトレイをトレイ収納位置の持ち上げ位置から下動するのに連動してカムがカムフォロアを介しトレイ受止め部材を係合位置に戻すように構成すると好適である。
【００１１】
このような構成では、本発明の上記作用に加え、さらに、トレイ受止め部材は付勢によってトレイの下部との係合位置に常時あり、トレイ移送体の上下動に連動したカムとカムフォロアとの働きによって、トレイ移送体の開閉を予め設定された機械的なタイミングで繰り返し正確に達成されるので、トレイ受止め部材の開閉時期が狂ったり、開閉時期を誤るようなことがないし、構造および制御の簡単な安価な装置となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の代表的な一実施の形態について図１から図３を参照しながら説明する。
【００１３】
本実施の形態は電子部品を収容したトレイを積み重ね状態に収納し、また、このように収納されたトレイを部品を使用に供する位置へ順次に供給するのに用いるトレイ収納・供給装置の場合を示している。しかし、これに限られることはなく、どのような種類のトレイを取り扱う場合にも本発明は適用できる。
【００１４】
本実施の形態のトレイ収納・供給装置は、図１に示すように、トレイ１を、トレイ収納位置２へ１つ１つ積み重ねて収納するのに供し、あるいはトレイ収納位置２での積み重ね収納状態から１つ１つ所定位置に供給するために、トレイ収納位置２の下で上下動でき、かつ、下動位置でトレイ収納位置下部と、トレイの補給を受ける図示しない所定の位置、あるいはトレイに収容している部品を使用に供する図示しない所定の位置と、の間でトレイ１を移送するトレイ移送体３を有している。
【００１５】
トレイ移送体３は前記トレイ１の移送のために、水平面上で互いに直行するＸＹ２方向に移動できる図示しないＸＹテーブル上に、空圧または油圧のシリンダ９によって上下動できるように支持され、１つのもので、前記トレイ１をトレイ収納位置２に収納したり、収納されているトレイ１を所定の位置に供給することができる。もっとも、トレイ１を収納するためのトレイ移送体３と、収納されているトレイ１を所定の位置に供給するためのトレイ移送体３との２つを設けるようにすることもできる。
【００１６】
トレイ収納位置２には、トレイ移送体３の上動により図２の（ｄ）→（ｃ）→（ｂ）の順序で１つ１つ順次下方から積み重ね状態に収納されるトレイ１の下に、図２の（ｂ）→（ａ）に示す順序で両側から係合してそのトレイ１をトレイ収納位置２に支持し、前記係合位置からの退避により、前記支持を解除するか、あるいは図２の（ｄ）→（ｃ）→（ｂ）に示す順序でトレイ収納位置２にトレイ移送体３の上動によって収納されるトレイを受け入れるように開閉するトレイ受止め部材４と、このトレイ受止め部材４に受け止められたトレイ１を摩擦力により側方から把持し、またこの把持を解除するように開閉するトレイ把持部材５と、トレイ受止め部材４およびトレイ把持部材５を適時に開閉するために、例えば個別の開閉機構６、７とが設けられている。しかし、場合によっては１つの開閉機構とすることもできる。
【００１７】
トレイ受止め部材４は図１、図２に示すように、トレイ収納部カバー１６の左右外面に取り付けられた固定フレーム１２に軸１１により枢支されたＬ型レバー部材であって、トレイ収納位置２の左右に一対設けられ、固定フレーム１２との間に働かされたばね１３によってトレイ１の下に両側から係合する図２の（ａ）、（ｄ）に示す係合位置を保つように付勢されている。トレイ受止め部材４の開閉機構６は、図１、図２に示すように、トレイ移送体３に設けられたカム１４と、トレイ受止め部材４に設けられたカムフォロア１５とで構成され、トレイ移送体３がトレイ１を図２の（ｄ）→（ｃ）に示す順にトレイ収納位置２に持ち上げるのに連動してカム１４がカムフォロア１５を介しトレイ受止め部材４を図２の（ｄ）に示す係合位置から図２の（ｃ）に示すように側方に退避させ、また、トレイ移送体３がトレイ１をトレイ収納位置２に持ち上げた図２の（ｂ）に示す位置から下動するのに連動してカム１４がカムフォロア１５を介しトレイ受止め部材４を図２の（ｂ）、（ｃ）に示す状態から図２の（ｄ）に示す係合位置に戻すようにしてある。
【００１８】
トレイ把持部材５は、トレイ収納部カバー１６の背部に設けられた直進ガイド１９の案内を受けて左右に開閉できるように支持され、トレイ収納部カバー１６の背部に取り付けた空圧または油圧のシリンダ１７によってトグル１８を介し開閉動作されるようにしてある。
【００１９】
図２は（ａ）のトレイ１を積み重ねて収納した状態において、収納されているトレイ１を図２の（ｄ）に示すように１つずつ分離して部品を使用に供する図示しない所定の位置へ順次に供給するための動作状態を、順を追って示してある。
【００２０】
この図２の動作につき図３の具体的な動作のシーケンスに従って説明すると、トレイ１を用いて部品を使用に供し終えると言ったことで、トレイ供給の信号が図示しない制御系に入ると、図３のシーケンスが実行される。
【００２１】
まず、トレイ移送体３が図１、図２の（ａ）に示すようにトレイ収納位置２の下部にあるときはそのまま図２の（ｂ）に示すように上動される。もしトレイ収納位置２にトレイ移送体３がなければトレイ収納位置２に移動してから上動させられる。
【００２２】
トレイ移送体３が収納されているトレイ１を受載されるに適した受載高さ、例えば本実施の形態では、トレイ移送体３の上動によってカム１４とカムフォロア１５とを介し、トレイ受止め部材４の収納されているトレイ１の最下のものとの係合を外して、トレイ移送体３の上に設けられたトレイ１を受載するトレイ受載台３ａが、積み重ね収納されている最下のトレイ１の下面に当接する高さになった図２の（ｂ）に示す状態で、トレイ移送体３の上動を停止する。この上動位置はシリンダ９の最伸長ストロークの設定によって決定することができる。しかし、上下動アクチュエータの種類に応じて、トレイ移送体３が所定の受載高さになったことをリミットスイッチやフォトセンサ、あるいはリードスイッチ等によってトレイ移送体３やこれに連動する部材の移動位置から検出し、あるいはトレイ移送体３が上動し初めてからの時間経過のカウント等から検出し、これら検出結果に基づいてトレイ移送体３の上動を停止するようにもできる。
【００２３】
また、トレイ移送体３の上動が停止した後、トレイ把持部材５を図２の（ｂ）に矢印で示すように開く。これにより、トレイ収納位置２に支持されていたトレイ１がフリーとなって、トレイ移送体３のトレイ受載台３ａの上に自重で載った状態になる。次いで、トレイ移送体３がトレイ１の１つの積み重ねかさ分Ｈだけ図２の（ｃ）のように下動されて、最下のトレイ１をトレイ収納位置２外として、トレイ収納位置２にある他のトレイ１から分離できる分離高さとなった状態で、トレイ把持部材５を図２の（ｃ）に矢印で示すように閉じる。分離高さになる状態はシリンダ９の途中ストロークの設定によって決めることができる。しかし、この場合も、リミットスイッチやフォトセンサ、あるいはリードスイッチ、トレイ移送体３が下動し初めてからの時間経過のカウント等によって、トレイ把持部材５の閉じタイミングを決めることができる。
【００２４】
それ以降のトレイ移送体３の下動により最下のトレイ１を収納状態のトレイ１から分離することができ、この分離された最下のトレイ１がある位置まで下動された時点、すなわち最下のトレイ１とその上のトレイ１との間にトレイ受止め部材４の先端が挿入しうる空間が形成された時点でトレイ受止め部材４を閉じることにより、分離された最下のトレイ１と干渉することなく収納位置に把持されたトレイ１の下部にトレイ受止め部材４が側方より係合してそれを受け止め支持する。
【００２５】
トレイ移送体３がさらに下動されて、分離したトレイ１が所定位置への移送高さになった状態でトレイ移送体３の下動を停止した後、トレイ移送体３を部品を使用に供する所定の位置に移動させて停止し、トレイ１が図示しない移載機構によって回路基板製造機等における部品供給部に移載され収容している部品が使用に供されるようにする。トレイ１の移載が終了するとトレイ移送体３をトレイ収納位置２の下方に復帰させて停止し、次のトレイ供給まで待機するようにする。
【００２６】
もっとも、トレイの移載なしに収容部品を使用に供することができる。この場合、トレイ移送体３は部品を使用に供し終えないと復帰できない不利はあるが、トレイの移載機構を省略することができる。
【００２７】
このように、本実施の形態では、トレイ受止め部材４が収納されたトレイ１の下面に側方から係合してそれを受け止め支持するのに併せ、トレイ把持部材５が収納されたトレイ１を側方から摩擦力によって把持するので、積み重ね状態で収納されるトレイ１を、トレイ受止め部材４とトレイ把持部材５との協働により確実に支持でき、トレイ１が自身の重みによって脱落する危惧のない安全なものとなる。
【００２８】
また、積み重ね状態で収納されているトレイ１を１つ１つ分離して部品を使用に供したりする所定の位置に供給する際、次のような動作が行われる。先ずトレイ受止め部材４およびトレイ把持部材５が開いて上動したトレイ移送体３に収納されているトレイ１を載置した後、トレイ移送体３が１つのトレイ１の積み重ねかさ分Ｈだけ下動した時点でトレイ把持部材５がトレイ受止め部材４に先行して閉じた状態となり、摩擦力により最下のトレイ１を除いたトレイ１を支持する。
【００２９】
それ以降のトレイ移送体３の下動により最下のトレイ１を収納状態のトレイ１から分離することができ、この分離された最下のトレイ１がある位置まで下動された時点、すなわち最下のトレイ１とその上のトレイ１との間にトレイ受止め部材４の先端が挿入しうる空間が形成された時点でトレイ受止め部材４を閉じることにより、分離された最下のトレイ１と干渉することなく収納位置に把持されたトレイ１の下部にトレイ受止め部材４が側方より係合してそれを受け止め支持する状態に復帰する。従って、トレイ１の相互間にできる隙間２１が小さくても、あるいは無くても、積み重ね収納状態のトレイ１を１つ１つに確実に分離することができるし、トレイ１の支持が必要な間で、トレイ把持部材５による摩擦力による把持だけになるのは、トレイ１を１つ１つに分離する際の、トレイ収納位置２外に下動されたトレイ１がトレイ受止め部材４の閉じ動作の邪魔にならない位置まで下動される一瞬の間だけであり、上側のトレイ１は摩擦力により把持されており、たとえズリ落ちることがあってもその移動距離は僅かであるので、トレイ１の落下を招くようなことにはならず、前記安全性は損なわれない。
【００３０】
なお、トレイ移送体３は収納されているトレイ１を受載するのにトレイ受載台３ａを有し、トレイ１との間に大きな隙間２１を形成するようにしていて、トレイ１とトレイ移送体３との間の隙間におけるトレイ受止め部材４との干渉の問題がないようにしているが、このようなトレイ受載台３ａを設けないで、トレイ移送体３がトレイ受止め部材４と干渉しないで収納されているトレイ１の最下のものを受載する位置に到達できるようにトレイ受止め部材４の退避タイミングを早めるようにしてもよい。
【００３１】
図４は所定位置にて補給されるトレイ１をトレイ収納位置２に１つ１つ順次収納する場合の動作シーケンスを示し、その動作はトレイ１の供給動作とは全く逆になる図２の（ｄ）→（ｃ）→（ｂ）→（ａ）に示す動作順序で行われるだけであり、詳細な説明は省略するが、トレイ受止め部材４およびトレイ把持部材５はそれぞれの開閉機構によって適時に開閉されて、トレイ移送体３によって１つのトレイ１がトレイ収納位置２へ図２の（ｄ）→（ｃ）→（ｂ）に示す順序で持ち上げられる際に、トレイ受止め部材４がトレイ把持部材５に先行して図示に示すように開かれることにより、トレイ１相互間にできる隙間２１が小さかったり、無かったりしても、持ち上げトレイ１は、トレイ把持部材５がトレイ収納位置２に把持しているトレイ１までトレイ受け止め部材４と干渉することなく図２の（ｃ）に示すように到着することができ、到着して以降トレイ把持部材５が図２の（ｃ）に示すように開かれることにより、前記持ち上げられるトレイ１をトレイ収納位置２に受け入れ、既収納トレイ１がないときはそれを単独で収納し、既収納トレイ１があるときはそれを図２の（ｃ）から（ｂ）に示すように同時に持ち上げられながら積み重ね状態に収納していき、１つのトレイ１が収納される都度トレイ受止め部材４およびトレイ把持部材５が閉じられることにより、トレイ受止め部材４は収納されたトレイ１の下部に図２の（ｂ）→（ａ）に示すように側方から係合してそれを受け止め支持するのに併せ、トレイ把持部材５は収納されたトレイ１を側方から把持し、前記トレイ１が自身の重みによって脱落する危惧のない安全なものとなる。
【００３２】
このトレイ１の収納工程においても、トレイ１の支持が必要な間で、トレイ把持部材５による把持だけになるのは、トレイ１が１つ１つトレイ収納位置２に持ち上げられた後、トレイ移送体３が少し下動する一瞬の間だけであるので、これがトレイ１の落下を招くようなことにはならず、前記安全は損なわれない。
【００３３】
また、トレイ受止め部材４の開閉機構６が、前記にようにカム１４と、カムフォロア１５とで構成され、トレイ移送体３の上下動に連動したカム１４とカムフォロア１５との働きによって、トレイ受止め部材４の開閉を予め設定された機械的なタイミングで繰り返し正確に達成されるので、トレイ受止め部材４の開閉時期が狂ったり、開閉時期を誤るようなことがないし、構造および制御の簡単な安価な装置となる。
【００３４】
次に上記トレイ収納・供給装置を搭載したバンプボンダー装置を図７を参照して説明する。
【００３５】
このバンプボンダー装置は、ボンディングステージ５１上に供給されたＩＣチップにバンプ形成ユニット５２によるワイヤーボンディングによりバンプを形成するものである。ボンディングステージ５１の右側方のチップ供給位置５３上には、バンプ未形成のＩＣチップが収容されたトレイ１が配置され、ボンディングステージ５１の左側方のチップ受取位置５４上には、バンプ形成のＩＣチップが収容されたトレイ１が配置されている。Ｘ、Ｙ方向及び上下方向に移動可能な移載ヘッド５５は、前記チップ供給位置５３上のトレイ１からＩＣチップをピックアップし、ボンディングステージ５１上に移載し、又ボンディングステージ５１上でバンプを形成されたＩＣチップをピックアップし、前記チップ受取位置５４上のトレイ１に移載する。
【００３６】
バンプボンダー装置の右端側には前後１対のトレイ収納部５６ａ、５６ｂが設けてあり、前側のトレイ収納部５６ａのトレイ収納位置２には、バンプ未形成のＩＣチップを収容したトレイ１が積み重ねて収納され、後側のトレイ収納部５６ｂのトレイ収納位置２には、空状態のトレイ１が積み重ねて収納されている。これらトレイ収納部５６ａ、５６ｂ及び前記チップ供給位置５３の下方には、図１、図２に示したトレイ移送体３がＸＹテーブル（図示省略）に支持されて配設されている。トレイ収納部５６ａ、５６ｂ及びトレイ移送体３で構成されるトレイ収納・供給装置は、図１、図２に示すような構成、作用を有しており、その詳細は既に説明したとおりである。前側のトレイ収納部５６ａのトレイ収納位置２には、上方からＩＣチップを収納したトレイ１を収納する。このトレイ収納部５６ａの最下のトレイ１はトレイ移送体３上に取出され、トレイ移送体３のＸ、Ｙ方向及び上下方向の移動により、チップ供給位置５３に運ばれる。一連のワイヤボンディング作業により、トレイ１に収納されたＩＣチップがすべて使われて、チップ供給位置５３上のトレイ１が空状態になると、その空状態のトレイ１を前記トレイ移送体３は、後側のトレイ収納部５６ｂに運び、そのトレイ収納位置２に下方より収納する。順次下方より積み重ねて収納された空状態のトレイ１は、後側のトレイ収納部５６ｂの上方よりまとめて容易に取出すことができる。
【００３７】
バンプボンダー装置の左端側にも前後１対のトレイ収納部５６ｃ、５６ｄが設けてあり、前側のトレイ収納部５６ｃのトレイ収納位置２には、バンプ形成のＩＣチップを収容したトレイ１が積み重ねて収納され、後側のトレイ収納部５６ｄのトレイ収納位置２には、空状態のトレイ１が積み重ねて収納されている。これらトレイ収納部５６ｃ、５６ｄ及び前記チップ受取位置５４の下方には、図１、図２に示したトレイ移送体３がＸＹテーブル（図示省略）に支持されて配設されている。トレイ収納部５６ｃ、５６ｄ及びトレイ移送体３で構成されるトレイ収納・供給装置は、図１、図２に示すような構成、作用を有しており、その詳細は既に説明したとおりであり、又バンプボンダー装置の右端側に配したものと基本的には同一である。後側のトレイ収納部５６ｄのトレイ収納位置２には、上方から空状態のトレイ１を収納する。このトレイ収納部５６ｄの最下のトレイ１はトレイ移送体３上に取出され、トレイ移送体３のＸ、Ｙ方向及び上下方向の移動により、チップ受取位置５４に運ばれる。一連のワイヤボンディング作業により、トレイ１が満杯状態になるまでバンプ形成のＩＣチップが収納されると、その満杯状態のトレイ１を前記トレイ移送体３は、前側のトレイ収納部５６ｃに運び、そのトレイ収納位置２に下方より収納する。順次下方より積み重ねて収納されたバンプ形成のＩＣチップを収容したトレイ１は、前側のトレイ収納部５６ｃの上方よりまとめて容易に取出すことができる。
【００３８】
上記のように本発明のトレイ収納・供給装置をバンプボンダー装置に搭載すると、装置を稼働させたままで、トレイ交換を行うことができ、しかも各トレイ収納部５６a 〜５６ｄにおけるトレイ１の出し入れを容易に行うことができる。
【００３９】
本発明のトレイ収納・供給装置をバンプボンダー装置以外の電子部品作業機、例えば、電子部品実装機に搭載することができる。
【００４０】
【発明の効果】
本発明によれば、トレイ受止め部材およびトレイ把持部材の適時な開閉によって、トレイ１つ１つを積み重ね状態に収納し、また、積み重ね状態に収納したトレイを１つ１つに分離して供給することを、問題なく確実に達成することができる。従って、電子部品を収納したトレイを扱うバンプボンダーや電子部品実装器などにおいて有効に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の代表的な一実施の形態のトレイ収納・供給装置を示す要部の斜視図である。
【図２】図１の装置のトレイ供給時の動作状態を示す説明図である。
【図３】図１の装置のトレイ供給動作のシーケンスを示すフローチャートである。
【図４】図１の装置のトレイの収納動作のシーケンスを示すフローチャートである。
【図５】従来のトレイ収納・供給装置を示す要部の斜視図である。
【図６】図５の装置のトレイ供給時の動作状態を示す説明図である。
【図７】本発明の一実施形態を示すバンプボンダー装置の斜視図である。
【符号の説明】
１  トレイ
２  トレイ収納位置
３  トレイ移送体
４  トレイ受止め部材
５  トレイ把持部材
６、７  開閉機構
９、１７  シリンダ
１３  ばね
１４  カム
１５  カムフォロア
１８  トグル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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