(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にパターン形成された電極の選択された電極に着色成分が堆積され、該着色電極上の電極取り出し部は絶縁膜により被覆され、絶縁膜の一部にコンタクトホールが形成されており、かつ前記コンタクトホールによって導通材を介して電極と外部電源を接続して構成されるカラーフィルター基板において、コンタクトホールを複数設けることにより、コンタクトホール内における導通材と、絶縁膜及び電極とで形成される接触面積を増加させる構造としたことを特徴とするカラーフィルター基板。
【請求項２】
基板上にパターン形成された電極の選択された電極に着色成分が堆積され、該着色電極上の電極取り出し部は絶縁膜により被覆され、絶縁膜の一部にコンタクトホールが形成されており、かつ前記コンタクトホールによって導通材を介して電極と外部電源を接続して構成されるカラーフィルター基板において、コンタクトホール内に突起部を設けることにより、コンタクトホール内における導通材と、絶縁膜及び電極とで形成される接触面積を増加させる構造としたことを特徴とするカラーフィルター基板。
【請求項３】
突起部が絶縁材によって形成されたものであることを特徴とする請求項２記載のカラーフィルター基板。
【請求項４】
突起部が電極下面に設けられた凸構造によって形成されたものであることを特徴とする請求項２または３記載のカラーフィルター基板。
【請求項５】
突起部が、逆テ−パー状の突起により形成されていることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載のカラーフィルター基板。
【請求項６】
コンタクトホールの壁面を逆テ−パー状とすることにより、コンタクトホール内における導通材と、絶縁膜及び電極とで形成される接触面積を増加させる構造としたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のカラーフィルター基板。
【請求項７】
絶縁膜および／または突起部が黒色のフォトレジスト膜で形成されたものであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のカラーフィルター基板。
【請求項８】
基板上にパターン形成された電極の選択された電極に着色成分が堆積され、該着色電極上の電極取り出し部は絶縁膜により被覆され、絶縁膜の一部にコンタクトホールが形成されており、かつ前記コンタクトホールによって導通材を介して電極と外部電源を接続して構成されるカラーフィルター基板において、コンタクトホール下部に凹部を形成することにより、コンタクトホール内における導通材と、絶縁膜及び電極とで形成される接触面積を増加させる構造としたことを特徴とするカラーフィルター基板。
【請求項９】
コンタクトホール下部に設けられた凹部が電極下面に設けられた凹構造によって形成されたものであることを特徴とする請求項８記載のカラーフィルター基板。
【請求項１０】
コンタクトホール下部に設けられた凹部が電極材料のパターンによって形成されたものであることを特徴とする請求項８記載のカラーフィルター基板。
【請求項１１】
コンタクトホール下部に設けられた凹部が黒色のフォトレジスト膜で形成されたものであることを特徴とする請求項８または９記載のカラーフィルター基板。
【請求項１２】
基板が樹脂基板であることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載のカラーフィルター基板。
【請求項１３】
導通材が導電粒子と樹脂基板の変形に追随して変形できる導電性樹脂の混合組成物から形成されたものであることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載のカラーフィルター基板。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれかに記載のカラーフィルター基板を装着したことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項１５】
基板上にパターン形成された電極の特定の電極には、導通材を介して電極と外部電源を接続するため、該電極上の電極取り出し部は絶縁膜により被覆され、絶縁膜の一部にコンタクトホールが形成され、該コンタクトホール内における導通材と、絶縁膜及び電極とで形成される接触面積を増加させる構造を設けたパターン形成された電極基板を着色成分を含む電解液に浸漬し、選択した電極に通電して着色成分を電極上に堆積させることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載のカラーフィルター基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、カラー液晶表示装置に用いるカラーフィルター基板の製造方法に関するものである。特に携帯性にすぐれたプラスチックフィルム基板に好適なカラーフィルター基板の製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
液晶表示装置は様々な分野で使用されるようになり、情報表示装置としてＣＲＴにせまる勢いである。特に、携帯性が要求される機器においては小型、軽量、小消費電力であることから多くの機器に採用されている。このうち、ほとんどのものが基板にガラスを使用したものであるが、携帯電話や電子手帳等の携帯用機器にはプラスチックフィルムを使用した液晶表示装置が用いられるようになった。プラスチックフィルムはその厚さが０．１〜０．３ｍｍ程度であり、重量も軽いため携帯用機器に最適である。しかしながら、フィルム基板では微細なパターンニングが困難であること、基板の寸法が温度や湿度等の環境によって微妙に変化することなどから、カラーフィルターを形成することが難しく、ほとんどのものはモノクロ表示である。一方、カラーフィルターを使用しないカラー表示方法も提案されているが、表示できる色数に制限があり、その表示色も鮮やかなものではない。また、この方法では２枚の基板間距離（セルギャップ）を厳密に制御する必要があるため、基板間距離の制御が難しいプラスチックフィルム液晶表示装置ではいまだ実用化に至ってはいない。
液晶用カラーフィルターの製造方法としては染色法、顔料分散法、電着法、ミセル電解法、印刷法等さまざまなものが提案されている。染色法、顔料分散法、印刷法などでは赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）及び黒（ＢＫ）のパターン形成において、それぞれ位置を他のパターンに対して正確に位置合わせを行う必要がある。たとえば、始めに黒パターンを形成し、この黒パターンに対して赤、緑、青の各パターンを精密に位置合わせしながら形成していく。また、カラーフィルターパターンと液晶駆動用電極との位置合わせも必要である。位置合わせ精度は使用する基板の材質、サイズ、製造装置等によるが、ガラス基板を使用する場合、ミクロン単位の位置合わせが可能である。一方、ガラス基板と比較してプラスチックフィルム基板は大きな寸法変化を起こす。熱履歴は当然のこと、フィルムが置かれている温湿度によって±０．１％もの寸法変化を起こす。このため、精密な位置合わせを行うことは非常に難しい。プラスチックフィルム基板上にカラーフィルターを作成するためには、精密な位置合わせを必要としない、もしくは精密な位置合わせを必要とする工程を極力減らした製造プロセスが必要である。
【０００３】
前述したカラーフィルターの製造方法のうちミセル電解法（特開平２−２４６０３、特開平２−１４６００１）においては基板に設けられた透明導電膜パターン上に選択的にカラーフィルター層を形成するため、ＲＧＢ各色間に位置ずれが発生しない。また、カラーフィルター層を導電性材料にする、もしくはカラーフィルター層に導電性材料を混合することによってフィルター形成用の電極を液晶駆動用電極と兼用することが提案されている（特開平６−３４８０９）。
しかしながら、カラーフィルター層を導電性にした場合、複数色（たとえばＲ、Ｇ、Ｂの三色）から成るカラーフィルターを形成する場合には各色ごとに電極を選択的に接続しなければならない。カラー液晶表示装置の電極ピッチは１００μｍ以下のものが一般的であり、その一本、一本の電極を直接プロービングして外部回路と接続することは難しい。このため、特開平３−１０２３０２においてはＲ、Ｇ、Ｂ各色に対応する電極を選択的に取り出せるような電極取出窓口を感光性樹脂により形成したのち、導電性ペーストにて外部回路との接続を行っている。ところがこの方法によりプラスチックフィルム基板上にカラーフィルターの形成を試みたところ、基板寸法変化による導電性ペーストと電極材料との接触不良等の問題が発生した。
一方、特開平２−１７５８９７や特開平３−４２０２には電極取出窓を使用せず、着色後の電極をエッチングにより切断する方法も提案されているが、いずれの方法も製造工程が複雑になり、プラスチックフィルム基板に応用することは難しい。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的はプラスチックフィルム基板上に電気化学的法により導電性カラーフィルターを形成する方法、及びこの導電性カラーフィルターを装着したフィルム基板を使用したプラスチックカラー液晶表示装置を提供することである。
特にコンタクトホール部の導通をより確実にし、接続不良に伴うフィルター形成時の不良を大幅に低減した導電性カラーフィルターおよびその製造方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
図２は従来のコンタクトホール部の断面図を模式的に示したものである。このような従来例の電気的接続では接続が不安定となり、接触不良によって部分的にカラーフィルターが形成されないという不良を生ずることがあった。この現象は基板１として樹脂フィルムを用いたときには特に顕著であった。
本発明者らはこのような現象を改良すべく種々検討を行った結果、前記接触不良の原因は、導通材と電極の接着力にあり、特に柔軟性のある樹脂基板の場合、基板の変形に伴ってコンタクトホール部の導通材が浮いてしまい、導電材と電極の十分な接触が得られないことによるという結論に達した。さらに本発明者らはこの点を改良すべく検討を行った結果、コンタクトホール部に導通材との接触面積を増加させる構造を設けることによってこのような問題点を解決できることを見いだし本発明に至った。
【０００６】
すなわち、本発明によれば、基板上にパターン形成された電極の選択された電極に着色成分が堆積され、該着色電極上にはコンタクトホールが絶縁材によって形成されており、かつ前記コンタクトホールによって導通材を介して電極と外部電源を接続して構成されるカラーフィルター基板において、コンタクトホール部に導通材との接触面積を増加させる構造を設けたことを特徴とするカラーフィルター基板および該カラーフィルター基板の製造方法を提供することにより、前記カラーフィルター基板に関する課題を解決することができた。
【０００７】
本発明のカラーフィルター基板は、例えば基板上にパターン形成された電極の特定の電極には、導通材を介して電極と外部電源を接続するためのコンタクトホールが絶縁材によって電極上の一部に形成され、かつ該コンタクトホール部に導通材との接触面積を増加させる構造を設けたパターン形成された電極基板を着色成分を含む電解液に浸漬し、選択した電極に通電して着色成分を電極上に堆積させることにより製造することができる。
【０００８】
以下、本発明のカラーフィルター基板、および該カラーフィルター基板の製造法を図面に基づいて詳しく説明する。
図１は、電解液に浸漬する基板の模式図である。
１はガラスや合成樹脂などからなる絶縁性基板、２１〜２３は基板上に設けられた電極であり、たとえば２１が青、２２が緑、２３が赤というように複数色のフィルターに対応して設けられる。３は絶縁膜であり、コンタクトホール４が形成されている。５は導通材、５２、５３は外部電源回路との接続部である。この基板を例えばＡで示した線より下を顔料を含む電解液に漬け、外部回路から導通材を介してコンタクトホールの開けられた電極に電圧を印加することによって、特定の選択された電極群にのみカラーフィルターが形成される。例えば、青の電解液に浸漬し通電することにより２１の電極上に青フィルターが、緑の電解液に浸漬し通電することにより２２の電極上に緑のフィルターが、赤の電解液に浸漬して通電することによって２３に赤のフィルターを形成することができる。
【０００９】
図３は本発明の別のカラーフィルター基板の構成例を示したものである。本例のものではコンタクトホールの壁面に図３に示すような逆テーパー構造を設け、コンタクトホール内の導通材の浮きを防止するものである。逆テーパー状の構造を形成する方法は特に限定されないが、例えば、パターン基板上に露光によって可溶化するポジ型フォトレジストを塗布し、裏面からパターン露光することにより図３に示すような逆テーパー状の壁面を持ったコンタクトホールを形成する。または露光によって架橋し不溶となるネガ型のフォトレジストを用い上面から露光することによっても逆テーパー状の断面を得ることができる。この場合のテーパーの角度は１０゜から４５゜の範囲が好ましい。
【００１０】
図４は本発明の別のカラーフィルター基板の構成例を示したものである。
本例のものではコンタクトホール内に突起部７を設けることにより、導通材の接着力を向上させるとともに導通材を平坦化し、コンタクトホール部にかかる応力を分散させるものである。
突起部７の形状は高さが絶縁膜厚の１０％〜１２０％が好ましく、５０％〜１００％の範囲が好ましい。コンタクトホールの水平寸法に対しては、突起の幅は５％〜９０％の範囲が好ましい。また突起の数はコンタクトホールに対して１個とは限らず、複数個を設けることができ、この場合、さらに接着強度が向上するため好ましい。
突起は絶縁膜と同じ材料でも異なっていても良いが、同じ材料で構成する方がプロセスが簡略化されて好ましい。なお、本例のものにおいて、図５のように逆テーパー状の壁面構造および突起部７を設けることでさらに導通材の接着力を高めることができる。また、突起部は図４および５に示すように電極上に形成することもできるが、図８に示すように電極下部に設けることもできる。このような構造により、導通材を平坦に近くまたは周辺に対して盛り上がるように形成することができる。このような構造とすることにより導通材の硬化時に導通材が電極から浮き上がりにくくすることができるためより確実な接続を確保することができる。またこの例では突起部を絶縁体を用いて形成した場合に比べて導通面積を大きくすることができるという利点を有しており好ましい。このような構造を実現するには、具体的には電極成膜前にフォトレジスト等を用いて突起部９を形成すればよい。また、このような盛り上がり部を複数設けることもできる。
【００１１】
図６（ａ）および（ｂ）は本発明の別のカラーフィルター基板の構成例を示したものである。
本例のものでは、各電極あたり１つであったコンタクトホールを複数個にすることによって、より確実な接触を得るものであり、本図のものは、コンタクトホールの数が４の場合である。コンタクトホールの開いている領域は図１と同様であるが、該領域は各々８μｍ×１５μｍの寸法の４つのコンタクトホールに分割されている。
ここで図６（ａ）は断面図、図６（ｂ）は平面図である。コンタクトホールをこのような複数個の構成とすることにより、仮に１つのコンタクトホールの接触が不良となっても残りのコンタクトホールによって電気的接続が確保されるので均一なフィルター形成を行わせることができる。コンタクトホールの数は特に制約されないが、小さくしすぎた場合には逆に接触不良を生じやすくなるため、開口部の直径が５μｍ程度が寸法の下限となる。また、数を増やした場合、結果としてコンタクト部の面積が大きくなり、基板の有効領域を狭めてしまうため、適当な数に設定する必要がある。１本の電極あたりの数は好ましくは２個〜２０個の範囲である。
【００１２】
図７（ａ）および（ｂ）は本発明の別のカラーフィルター基板の構成例を示したものである。
本例ではコンタクトホール下部に凹部８をもうけることによって接着強度を向上させるものである。凹部８は、電極のパターンで形成させた構造である。また凹部８を設ける構造としては、電極下部に別の凹部を有する層を設ける構造が挙げられる。前者の構造は接触する電極面積が大きくとれるため有利であり、後者の構造は電極のパターニングに際して同時に形成することができるのでプロセスの増加を伴うことがない点で有利である。
凹部の大きさの下限は凹部の形成方法の精度に依存し、上限はコンタクトホールの大きさから決まり、また設ける数にも依存するため好適な大きさの規定は難しいが、該凹部の直径が１μｍ以上であることが好ましく、また、コンタクトホールの大きさの７０％以下であることが好ましい。また、凹部の深さは０．０５μｍ〜５μｍが好ましく、０．１μｍ〜２μｍの範囲がより好ましい。
【００１３】
本発明で用いることのできる基板としては、ガラス、合成樹脂シート、合成樹脂フィルムなどを用いることができる。特に、合成樹脂シートや合成樹脂フィルムでは製造工程でのハンドリングや電解液へ浸積、温湿度の変化による基板の変形があり、従来の接続方法では接続不良が多発するのに対し、本発明を適用することにより欠陥のないカラーフィルターを提供できることから合成樹脂シートや合成樹脂フィルムは、本発明が特に効果が大きい基板である。
【００１４】
絶縁膜としては絶縁性を有するものであれば用いることができるが、フィルム用途には柔軟性を有するものが好ましく、有機の高分子膜を好ましく用いる。この絶縁膜はコンタクトホールをパターン形成する必要があるため、それ自体に感光性を有し、パターン形成が容易なフォトレジスト材料を特に好ましく用いる。
【００１５】
絶縁膜の膜厚の下限はピンホールなどによる絶縁不良が生じない膜厚であり、一般的には０．２μｍ程度が下限となる。厚すぎた場合には導通不良が生じやすくなるが、上限の膜厚はコンタクホールの大きさや形状、導通材の材質、膜厚等の多くの要因で決定される。一般的には２０μｍ以下が好ましく、成膜の容易性を考慮すると５μｍ以下が好ましい。また本発明における絶縁膜や突起部、凹凸はフォトレジスト材料を用いて形成することもできる。この場合、黒色のフォトレジスト材料はマスクの設計によってフィルター間にブラックマスクをも同時に形成できるため特に好ましい。
【００１６】
導通材としては、図１のようにパターン形成可能なものが必要である。例えば金属を蒸着等で成膜してフォトリソグラフィーによってパターン形成することもできる。しかしながら工業的には導電ペーストを印刷やディスペンサーなどによってパターン状に形成する方法が簡便で有利である。特に樹脂フィルムを基板とした場合には、導電ペーストの硬化後の固さが接続の信頼性に影響する。このためウレタンやシリコーンなどの柔軟性を有し、基板の変形に追従する材料を特に好ましく用いる。上述のコンタクトホール形状と柔軟性のある導電ペーストを併用することによって特に接続部の信頼性の高い製造方法を提供することができる。
また、本発明によって製造されたカラーフィルターは導通不良による濃度むらがなく高い均一性を有している。
したがって、このフィルターを用いて製造された液晶表示装置はフィルターの濃度むらが少ないために均一性に優れるという特徴を有している。
【００１７】
次に、実施例に基づき本発明を説明する。
以下の実施例において、特に断りのない限り、基板にはポリエーテルスルホン基板、電極材料にはＩＴＯ、導通材にはアクリル系の銀ペースト、絶縁膜にはポジ型のフォトレジスト（ＯＦＰＲ）（東京応化製）を用い、膜厚は１．５μｍとした。導通材の厚さは０．４ｍｍ、塗布幅は１ｍｍとした。コンタクトホールは２０μｍ×４０μｍとした。
電極は幅１００μｍ、ピッチ１１０μｍのストライプ形状で、電極の長さは１５０ｍｍ、ストライプの数は１９２０本とした。電極の接続は図１に示すように２本おきに導通するようにした。
【００１８】
実施例１
コンタクトホールの壁面に図３に示すような逆テーパー構造を設けた。テーパーの角度は約２０°とした。この上に熱硬化型のアクリル系の銀ペーストをディスペンサーを用いて塗布し、焼成して樹脂を硬化させた。この基板を青顔料と酸化錫からなる導電性微粒子と電解質と界面活性剤を含み、顔料と導電性微粒子が界面活性剤によってミセル化された水性分散液に浸漬し、電極に通電した。この電解液の場合、電極反応によって界面活性剤が酸化され、ミセルが壊れ、電極上に顔料と導電性微粒子が堆積する（膜厚１．５μｍ）。ついで水洗を行い余分の顔料を洗浄した。１００℃で乾燥後、緑の顔料を含む電解液に浸漬し、他の電極群に通電した。同様の操作を繰り返すことにより青、緑、赤のフィルターを形成した。このようにして作製されたフィルターは欠陥がなく均一性も優れていた。
【００１９】
実施例２
実施例１において絶縁膜のテーパー構造をなくし、絶縁膜のパターン形成と同時にフォトレジストによって５μｍ×１０μｍの突起部を二つ形成した。このようなコンタクトホール形状によって、実施例１と同様のフィルター形成を行わせた。このようにして作製されたフィルターは欠陥がなく均一性も優れていた。
【００２０】
実施例３
実施例２において突起部と絶縁膜の両方に実施例１と同様の逆テーパー構造を設けた。このようにして作製されたフィルターは欠陥がなく均一性もさらに優れていた。
【００２１】
実施例４
図８に示すように基板上に黒のフォトレジストによって２０μｍ×１０μｍ、高さ１μｍの凸部を設け、次いでＩＴＯを成膜した。なお黒のフォトレジストはフィルター間にあたる部分にも設け、ブラックマスクを兼ねる構成とした。他は実施例１のものの逆テーパーがない場合と同様にしてフィルターを作製した。このようにして作製されたフィルターは欠陥がなく均一性も実施例２のものよりさらに優れていた。
【００２２】
実施例５
図７に示すように、膜厚０．１５μｍのＩＴＯ電極をパターニングすることにより、５μｍ角の８個の凹部をコンタクトホール内に形成した。他は実施例１の逆テーパーがない場合と同様にしてカラーフィルターを作製した。このようにして作製されたフィルターは欠陥がなく均一性も優れていた。
【００２３】
実施例６
実施例５において、凹部の形成を電極下面に設けた黒のフォトレジスト層で行った。この場合、実施例５よりさらに均一なフィルターを形成することができた。なお黒のフォトレジストはフィルター間にあたる部分にも設け、ブラックマスクを兼ねる構成とした。
【００２４】
実施例７〜１２
実施例１〜５において基板にガラス基板を用いたところ同様に高い均一性のフィルターを形成することができた。
【００２５】
実施例１３
実施例１〜６において導電性樹脂としてウレタン系の柔軟性のある導電性樹脂を用いたところ、接続不良は全く発生せず、均一性はさらに向上した。
【００２６】
実施例１４〜１９
実施例１〜６で作製したカラーフィルターにオーバーコートを施した上で可溶性ポリイミド配向膜（ＡＬ３０４６：日本合成ゴム製）を６００Åの厚さで成膜した。隣接するカラーフィルターの配向膜をラビング処理し、同様に配向処理を行った対向基板とをラビング方向が２４０°の角度を成すように６．８μｍ粒径のシリカスペーサーを介して張り合わせ、空隙にΔｎが０．１２８なる誘電異方性が正の液晶と光学活性物質の混合液晶を注入してＳＴＮ型のセルを作製した。セルの上下にはレターデーションが４２０ｎｍである位相差板を設け、さらに上下を偏光板で挾んだ。
これらの装置を動作させたところ均一で良好な表示が行えた。
【００２７】
比較例
実施例１において逆テーパーを設けずにフィルターを作製した。
このフィルターは一部の電極にフィルターが形成されない欠陥を生じ、また、フィルターが形成された部分の均一性も実施例１に対して劣っていた。
【００２８】
【効果】
１．  生産プロセスにおいて導通不良を生ずることがない。そのため、良品率が高くなるとともに、電気的に接続が不完全なことに起因する膜厚むら、濃度むらがなく、高い均一性を有するカラーフィルター基板を提供することができる。
２．  上記効果に加えて、従来の樹脂基板、特に樹脂フィルムを用いた場合の基板変形によって引き起こされる導通不良を大幅に低減もしくは皆無とすることができるため、樹脂基板を用いた場合にも高い良品率を得ることができ、電気的な接続が不完全なことに起因する膜厚むら、濃度むらがなく、高い均一性を有するカラーフィルター基板を提供することができる。
３．  上記効果に加えて、さらに良品率が高くなるとともに、電気的な接続が不完全なことに起因する膜厚むら、濃度むらがなく、高い均一性を有するカラーフィルターを提供することができる。
４．  濃度むらが少ないために均一性に優れた液晶表示装置が得られた。
５．  前記１〜３の効果を奏するカラーフィルター基板を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】カラーフィルター基板の断面図。
【図２】従来のコンタクトホール部の断面図。
【図３】壁面を逆テーパー構造としたコンタクトホール部の断面図。
【図４】（ａ）コンタクトホール内に突起部を設けた構造としたコンタクトホール部の断面図。
（ｂ）コンタクトホール内に突起部を設けた構造としたコンタクトホール部の平面図。
【図５】図４において、突起部およびコンタクトホール壁面を逆テーパー状構造としたもののコンタクトホール断面図。
【図６】（ａ）コンタクトホールを複数個としたコンタクトホールの断面図。
（ｂ）コンタクトホールを複数個としたコンタクトホールの平面図。
【図７】（ａ）下部に凹部を設けたコンタクトホールの断面図。
（ｂ）下部に凹部を設けたコンタクトホールの平面図。
【図８】電極下部に凸部を設けたコンタクトホールの断面図。
【符号の説明】
１  絶縁性基板
２  電極
２１  電極（青色のカラーフィルターに対応）
２２  電極（緑色のカラーフィルターに対応）
２３  電極（赤色のカラーフィルターに対応）
３  絶縁膜
４  コンタクトホール
４１  コンタクトホール
４２  コンタクトホール
４３  コンタクトホール
４４  コンタクトホール
５  導通材
５２  外部電源回路との接続部
５３  外部電源回路との接続部
７  突起部
８  凹部
９  突起部
Ａ  電解液に基板を浸積した場合の浸積部分と非浸積部分の境界線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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