(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な合成樹脂基材フィルムの片面に粘着剤層が設けられ、他面にアンカー層と剥離層とがこの順に設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープを製造する際に、基材フィルムの一面にアンカー剤を塗工してアンカー層を設けた後、別途セパレータ上に形成した粘着剤層面を基材フィルムの他面にラミネートし、次いでアンカー層上に離型剤を塗工することを特徴とするフォトマスク保護用粘着テープの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路形成工程等において粘着性を有するフォトレジストに密着させて使用するフォトマスク保護用粘着テープの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、プリント配線板を作製する際に、液状フォトレジスト等の粘着性を有するフォトレジストが使用されている。このような粘着性を有するフォトレジストに密着して使用される露光用フォトマスクの表面の汚れや損傷等から保護する目的で、従来よりポリエステル基材よりなるフォトマスク保護用粘着テープが用いられている。しかし、液状フォトレジストは粘着性を有するため、フォトマスク保護用粘着テープにフォトレジストが付着したりして、露光後レジストからフォトマスクを剥離し難くなるという問題点があった。
【０００３】
このような問題点を解決するために、フォトマスク保護用粘着テープの基材に離型剤をコーティングして、シリコーン系離型剤層を設けたものが提案されている（実開平３−１１４８４５号公報）。しかしながら、この離型剤層付きフォトマスク保護用粘着テープであっても、使用する度に離型剤層に付着したフォトレジストかすをクリーニングするためにアルコールで拭き取る必要があり、その際離型剤が脱落することがあり、離型効果が著しく低下することがあった。
このため、離型剤層と基材との密着性を向上させる目的でアンカー剤（シランカップリング剤）を使用する方法が採用されている。
即ち、従来のフォトマスク保護用粘着テープの製造方法は、基材にアンカー剤を塗布し、その上に離型剤層を形成した後、他面に粘着剤層を形成するのが通常であった。
【０００４】
ところで、回路基板の凹凸が著しいソルダーレジスト工程での露光では５００ショット程度使用した場合、回路基板の凹凸がフォトマスク保護用粘着テープ側に痕跡として残るため、フォトマスク保護用粘着テープを剥離して取り替える必要があった。ところが、このようなフォトマスク保護用粘着テープを剥離する際に、フォトマスク側に粘着剤が糊残りするという問題点があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上記問題点に鑑み、アルコールクリーニングを行っても離型効果の低下がなく、しかも１，０００ショットの露光後においても、粘着剤の糊残りを起こさずに剥離することが可能なフォトマスク保護用粘着テープの製造方法を提供することにあり、更にこの検討の過程において、製造条件によっては粘着テープに白い塗布むらによる外観不良現象を来す場合があることを知見し、これを抑制する製造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープの製造方法は、透明な合成樹脂基材フィルムの片面に粘着剤層が設けられ、他面にアンカー層と剥離層とがこの順に設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープを製造する際に、基材フィルムの一面にアンカー剤を塗工してアンカー層を設けた後、別途セパレータ上に形成した粘着剤層面を基材フィルムの他面にラミネートし、次いでアンカー層上に離型剤を塗工することを特徴とする。
【０００７】
以下に、本発明の製造方法を図面を参照しながら詳細に説明する。
まず、基材フィルム１の一面にアンカー層２を形成する（図１参照）。アンカー層２は、基材フィルム１と後述する離型剤層との密着性を向上させるためのものであり、この２層積層体はロール状に巻き取って保管することも可能である。
次いで、図２に示したように、別途セパレータ４上に形成した粘着剤層３面を、上記２層積層体の基材フィルム１の他面にラミネートする。この場合もラミネート後にロール状に巻き取って保管してもよく、引き続く次工程に供給してもよい。さらに、アンカー層２上に離型剤を塗工して離型剤層５を設けることにより、図３に示したフォトマスク保護用粘着テープが得られる。
【０００８】
上記基材フィルムとしては、透明性を有するものであれば特に制限はなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリカーボネート、トリアセテート、ポリイミド等の透明なフィルムが好適に用いられる。
上記基材フィルムの厚みは、光透過性、取扱い性等を考慮して、適宜決定することが好ましい。
【０００９】
上記アンカー層は、アンカー剤を塗工、乾燥することによって形成することができる。アンカー剤としては、例えば特開平６−１７９７６３号公報に開示されている如き、下記（１）式で表されるシランカップリング剤が好適に用いられる。
【００１０】
【化１】
0003704296.tif 000002
【００１１】
式中、ＸはＣＨ3 、ＹはＯＣＨ3 、Ｚは (ＣＨ2)3-ＯＣＨ2-ＣＨ2-ＯＨをそれぞれ示す。また、ｎは１７、ｍは３、ｐは２の整数をそれぞれ示す。
上記アンカー剤の塗工方法は、特に制限がなく、従来公知の塗工装置が使用可能である。
【００１２】
上記セパレータとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート等の樹脂フィルムに、シリコーン系離型剤等により離型処理を施したものを用いることが好ましい。
【００１３】
本発明で用いられる粘着剤は、特に制限はないが、透明性を考慮するとアクリル系粘着剤が好ましい。アクリル系粘着剤としては、（メタ）アクリル酸エステルモノマーと官能基含有モノマーとの共重合体からなるアクリル系ポリマーを主成分とするものが好ましく、重合方法については特に制限はない。
【００１４】
上記（メタ）アクリル酸エステルモノマーとしては、例えば、エチルアクリレート、ブチルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート等が挙げられ、官能基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられる。
【００１５】
上記アクリル系粘着剤としては、アクリル系ポリマー内部に一部架橋構造をもつものが好ましい。架橋構造をもつことによって粘着剤の凝集力が高められるので、テープ剥離時に糊残りし難くなる。このような架橋構造は、前記官能基含有モノマーと反応し得る架橋剤の使用によって形成することができ、架橋剤としては、例えば、エポキシ架橋剤、脂肪族又は芳香族イソシアネート系架橋剤等が好適に用いられる。
【００１６】
上記セパレータ上に粘着剤層を形成する方法としては、例えば、ロールコーター、コンマコーター等を用いて、セパレータの片面に粘着剤を直接塗工し乾燥する方法や、一旦離型紙上に同様の方法で粘着剤層を設けた後セパレータの片面へ転写する方法などが用いられる。
【００１７】
本発明の製造方法によると、まず、基材フィルムの一面にアンカー層を設けた後で基材フィルムの他面に粘着剤層を積層するので、アンカー剤塗工面は汚染されていないため、アンカー剤の塗布むらによる白化が起こらない。また、粘着剤層を積層した後で離型剤層を塗工するので、基材フィルムの粘着剤層積層面は離型剤の移行による汚染を受けていないので、密着不良現象を防止できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明をさらに詳しく説明するため以下に実施例を挙げるが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
（実施例１）
ＰＥＴ基材フィルム（三菱化学ポリエステルフィルム社製「Ｋ２３０−６Ｅ」、５．６μｍ厚）の片面に、上記（１）式で表されるシランカップリング剤〔式中、ＸはＣＨ3 、ＹはＯＣＨ3 、Ｚは (ＣＨ2)3-ＯＣＨ2-ＣＨ2-ＯＨをそれぞれ示し、ｎは１７、ｍは３、ｐは２の整数をそれぞれ示す〕をＭＥＫ及びｎ−ブタノールの混合溶剤で５重量％の固形分濃度に希釈した後、乾燥後の厚みが０．０５μｍとなるように塗布し、１３０℃で１分間乾燥してアンカー層を形成した。
別途、一方の面にシリコーン離型剤層が形成されたセパレータ（リンテック社製「２５１１」）上に、イソシアネート架橋タイプのアクリル系粘着剤（綜研化学社製「ＳＫダイン１４２５」）をトルエンで１０重量％の固形分濃度に希釈して塗工後、１２０℃で３０秒間乾燥して乾燥後の厚み３．５μｍの粘着剤層を設けた。次いで、上記粘着剤層をＰＥＴ基材フィルムのもう一方の面に積層した後、アンカー層上に白金触媒による付加反応型シリコーン離型剤（信越化学社製「ＫＳ−７７２」）をトルエンで５重量％の固形分濃度に希釈して、塗布量１ｇ／ｍ2 の割合で塗工後１５０℃で１分間乾燥して離型剤層を設け、フォトマスク保護用粘着テープを得た。
【００１９】
（比較例１）
ＰＥＴ基材フィルム（実施例１と同様）の片面に実施例１と同様にしてアンカー層を形成した後、実施例１と同様にしてシリコーン離型剤を塗工、乾燥し、一旦ロール状に巻き取った。次いで、アンカー層を有するＰＥＴ基材フィルムの他面に、実施例１と同様にして粘着剤層を積層し、フォトマスク保護用粘着テープを得た。
【００２０】
（比較例２）
ＰＥＴ基材フィルム（実施例１と同様）の片面に、実施例１と同様にして粘着剤層を積層した後、ＰＥＴ基材フィルムのもう一方の面に実施例１と同様にしてアンカー層を形成し、一旦ロール状に巻き取った。
次いで、アンカー層上に実施例１と同様にしてシリコーン離型剤を塗工、乾燥し、フォトマスク保護用粘着テープを得た。
【００２１】
上記実施例及び比較例で得られたフォトマスク保護用粘着テープにつき、下記項目の性能評価を行い、その結果を表１に示した。
（１）外観
フォトマスク保護用粘着テープの外観を目視観察し、透明性及び白化の有無を評価した。
【００２２】
（２）糊残り率
フォトマスク保護用粘着テープのセパレータを剥離し、粘着剤層側に銀塩ネガフィルムをラミネーターを用いて貼合わせ、４０℃のオーブンに２４時間入れた後取り出し常温で３０分間放冷した。次いで、フォトマスク保護用粘着テープを９０度方向に手で剥離し、フォトマスク保護用粘着テープを貼付けた全面積に対する糊残り部分の面積を百分率で表示した。
糊残り率（％）＝（糊残り部分の面積／貼付けた全面積）×１００
【００２３】
（３）耐エタノール性
エタノール１ｇを吸収させて湿らせた脱脂綿で２００ｇの重りをくるんだものを、フォトマスク保護用粘着テープの離型剤塗布面に載せ５０回及び１００回往復移動させた後、一方の粘着面に平滑な板を貼合わせた両面粘着テープ（積水化学社製「＃５７０」）のもう一方の粘着面を、フォトマスク保護用粘着テープの離型剤塗布面に重ね合わせ、２ｋｇのローラーで押圧して貼合わせ、評価用試料を作製した。この評価用試料について、剥離速度３００ｍｍ／分でフォトマスク保護用粘着テープの１８０度剥離試験を行い、剥離強度を測定した。
初期値に比べて剥離強度増加量の少ないものが良好である。
【００２４】
【表１】
0003704296.tif 000003
【００２５】
実施例１では、外観、糊残り及び耐エタノール性のいずれの項目においても、良好な結果が得られた。これに対して、比較例１では糊残りが起こった。これは離型剤層表面のシリコーン離型剤が基材の反対面へ移行して、その表面を汚染したためと思われる。また、比較例２では、アンカー剤塗布後に白い塗布むらが認められた。これは粘着剤層形成用セパレータの背面が自身のシリコーン離型剤により汚染され、これがさらに基材のアンカー剤塗布面へ移行して、アンカー剤と何らかの反応を起こしたためと考えられる。
【００２６】
【発明の効果】
本発明のフォトマスク保護用粘着テープの製造方法は、上述の構成であり、外観、糊残り及び耐エタノール性の各性能が共に優れたフォトマスク保護用粘着テープを提供する。
【図面の簡単な説明】
【図１】基材フィルムの一面にアンカー層が形成された状態を示す模式断面図である。
【図２】基材フィルムのもう一方の面に粘着剤層が積層された状態を示す模式断面図である。
【図３】フォトマスク保護用粘着テープをを示す模式断面図である。
【符号の説明】
１  基材フィルム
２  アンカー層
３  粘着剤層
４  セパレータ
５  離型剤層
【図１】
0003704296.tif 000004
【図２】
0003704296.tif 000005
【図３】
0003704296.tif 000006