(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に設けられた少なくとも１個の発熱部と、該発熱部に沿った液体収容部を有する液体収容手段と、該液体収容手段の前記液体収容部に回転自在に支持された第１の回転子と、該第１の回転子と一体である第２の回転子を有し、前記第１の回転子が、前記発熱部の発熱に伴う前記液体収容部の液体の沸騰によって回転することによって前記第２の回転子を回転駆動し、そのまわりの流体を流動させるように構成されていることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項２】
各回転子が、プラスチック材料を射出成形することによって一体成形されたものであることを特徴とする請求項１記載のマイクロポンプ。
【請求項３】
複数の液滴吐出用の発熱部を有する基板と、該基板の各発熱部に沿った液流路とこれに連通する共通液室を有する液流路構成手段と、該液流路構成手段の前記共通液室の液体を強制流動させる少なくとも１個のマイクロポンプを有し、該マイクロポンプが、前記基板の所定の部位に設けられた第２の発熱部と、その発熱に伴う前記液体の沸騰によって回転する第１の回転子と、該第１の回転子の回転によって回転駆動される第２の回転子を備えていることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
【請求項４】
マイクロポンプが一対設けられており、一方のマイクロポンプが共通液室に液体を供給し、他方のマイクロポンプが排出するように構成されていることを特徴とする請求項３記載の液体噴射記録ヘッド。
【請求項５】
請求項３または４記載の液体噴射記録ヘッドと、該液体噴射記録ヘッドの発熱部に電気信号を供給して発熱させる駆動手段を備えた液体噴射記録装置。
【請求項６】
請求項３または４記載の液体噴射記録ヘッドと、該液体噴射記録ヘッドから吐出される液体によって記録がなされる被記録媒体を搬送するための搬送手段を備えた液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転子の外径が数μｍないし数ｍｍであるマイクロポンプおよびこれを用いた液体噴射記録ヘッドならびに該液体噴射記録ヘッドを搭載する液体憤射記録装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般的にバブルジェットプリンタと呼ばれているバブルジェット方式の液体噴射記録装置においては、印字開始前や印字中定期的に液体噴射記録ヘッドのノズル（液流路）を負圧吸引し、印字中にノズル内に溜まった泡を除去して吐出性能を回復させるメンテナンスを必要とする。
【０００３】
そこで液体噴射記録ヘッドの共通液室のインク（記録液）を吸引するためのポンプが必要であり、また、吸引されたインクを回収するためのタンクやインク吸収体等を液体噴射記録ヘッドに搭載しなければならず、このために液体噴射記録ヘッドが大型化かつ高コスト化する傾向にある。
【０００４】
図１２は一従来例による液体噴射記録ヘッドＥ0 の主要部を示すもので、これは、一列に配設された発熱部１００１ａとこれに接続されたリード電極１００１ｂ等を有するヒーターボード１０００と、その表面に積層された樹脂層１０１０と、該樹脂層１０１０の頂部を覆う天板１０２０を有し、樹脂層１０１０は、ヒーターボード１０００の各発熱部１００１ａに面したノズル１０１１とこれらに連通する共通液室１０１２を形成し、また、天板１０２０の開口１０２０ａには共通液室１０１２にインクを供給するためのインク供給管１０２１が接続される。
【０００５】
図示しない駆動回路からリード電極１００１ｂを経て発熱部１００１ａに電流が供給されると、ノズル１０１１内のインクが加熱され膜沸騰によって飛翔液滴となってノズル１０１１から吐出され、印字が行なわれる。
【０００６】
このような印字を繰り返えすと駆動条件によってはノズル１０１１内に泡が溜まり、このためにノズル１０１１内に充分なインクが補給されない状態となって不吐出部が発生し、不良印字となるおそれがある。
【０００７】
従って、前述のようにノズル１０１１内のインクを負圧吸引し、溜まった泡を除去するメンテナンスが必要であり、このための吸引ポンプを別途用意しておくのが一般的であった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の技術によれば、液体噴射記録ヘッドのノズルを負圧吸引するためのポンプを別途用意しておき、必要に応じて天板のインク供給管に接続してメンテナンスを行なうものであるために、装置の複雑化やランニングコストの上昇を招き、加えて、負圧吸引した廃インクを回収して処理するためのタンクやインク吸収体等を搭載しなければならず、装置が大型化するという未解決の課題がある。
【０００９】
そこで、小型の吸引ポンプを内蔵した液体噴射記録ヘッドの開発が望まれているが、市販されているダイヤフラム式、ギヤ式の定量注入ポンプあるいはこれより小型のベロー式やチューブ式等の微量定量ポンプ等は、小さいものでも外寸（縦、横、高さ）が１００〜２００ｍｍであり、また、動力源として外部電源を必要とするため、これらを液体噴射記録ヘッドに搭載すると液体噴射記録ヘッドの大型化を避けることができず、また、組立工程も著しく複雑になる。
【００１０】
さらに、近年では、高速印字のためにマルチノズル化が進み、液体噴射記録ヘッドの共通液室が大きくなってこれに収容されるインク量が増大する傾向にあるが、共通液室内のインク量が増大すると、インクの温度や粘度等にバラつきを生じ、印字の濃度ムラ等の印字品位の劣化を招きやすいという未解決の課題がある。
【００１１】
本発明は上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、超小型で部品の製造コストが低くしかも組み付けも簡単であるマイクロポンプおよびこれを用いた液体噴射記録ヘッドならびに該液体噴射記録ヘッドを搭載する液体噴射記録装置を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明のマイクロポンプは、基板の表面に設けられた少なくとも１個の発熱部と、該発熱部に沿った液体収容部を有する液体収容手段と、該液体収容手段の前記液体収容部に回転自在に支持された第１の回転子と、該第１の回転子と一体である第２の回転子を有し、前記第１の回転子が、前記発熱部の発熱に伴う前記液体収容部の液体の沸騰によって回転することによって前記第２の回転子を回転駆動し、そのまわりの流体を流動させるように構成されていることを特徴とする。
【００１３】
各回転子が、プラスチック材料を射出成形することによって一体成形されたものであるとよい。
【００１４】
また、本発明の液体噴射記録ヘッドは、複数の液滴吐出用の発熱部を有する基板と、該基板の各発熱部に沿った液流路とこれに連通する共通液室を有する液流路構成手段と、該液流路構成手段の前記共通液室の液体を強制流動させる少なくとも１個のマイクロポンプを有し、該マイクロポンプが、前記基板の所定の部位に設けられた第２の発熱部と、その発熱に伴う前記液体の沸騰によって回転する第１の回転子と、該第１の回転子の回転によって回転駆動される第２の回転子を備えていることを特徴とする。
【００１５】
マイクロポンプが一対設けられており、一方のマイクロポンプが共通液室に液体を供給し、他方のマイクロポンプが排出するように構成されているとよい。
【００１６】
【作用】
基板の発熱部の発熱によって液体収容部の液体を加熱して沸騰させ、発生した気泡を回転子の羽根に受けて第１の回転子を回転させ、これによって第２の回転子を回転駆動する。第２の回転子の回転によってそのまわりの液体を強制流動させ、該液体の供給、排出や撹拌等を行なう。
【００１７】
基板の発熱部は、液体噴射記録ヘッドの電気熱変換体と同様の工程で容易に製作されるものであり、液体収容手段の液体収容部にら旋状等の羽根を有する第１の回転子を嵌合させるだけであるから、組立工程が極めて簡単であり、装置全体が著しく大型化するおそれもない。
【００１８】
また、各回転子自体も、プラスチック材料を用いた射出成形等によって超小型のものを低コストで製作できる。
【００１９】
このようなマイクロポンプを液体噴射記録ヘッドに組み込んで液体を強制循環させることで、常時良好な液体吐出性能を維持することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
図１は一実施例によるマイクロポンプをその一部分を破断した状態で示す斜視図である。これは、所定の軸Ｏのまわりに等間隔で配設された３個の発熱部１ａ〜１ｃ（発熱部１ｃは図示せず）を有する基板１と、その表面に接着された液体収容手段である天板２と、天板２の底部に形成された液体収容部である円筒状のモータ室２ａに回転自在に嵌合する第１の回転子３を有し、図１においては、天板２の上部と図示左側の側部を破断した状態で示されている。
【００２２】
図２に示すように、天板２の上部には液室２ｂが設けられ、液室２ｂの上端は、天板２を図示上向きに貫通する図示しない配管に開口している。第１の回転子３はスピンドル４を介して第２の回転子５と一体的に結合されており、第２の回転子５は液室２ｂ内に配設され、第２の回転子５の回転によって、液室２ｂ内の液体が撹拌あるいは供給、排出される。
【００２３】
基板１の各発熱部１ａ〜１ｃは、基板１の端縁に露出する個別端子１１ａ〜１１ｃおよび共通端子１１ｄに接続されており、これらを介して所定のタイミングで逐次または同時に通電されて発熱し、モータ室２ａ内の液体を加熱し、これを沸騰させる。
【００２４】
第１の回転子３は基板１の発熱部１ａ〜１ｃと同数すなわち、３個の羽根３ａ〜３ｃを有し、これらは、各発熱部１ａ〜１ｃの発熱によって発生した気泡の膨張圧を受けて第１の回転子３を回転させる。これによって第２の回転子５が回転駆動され、前述のように液室２ｂ内の液体を供給、排出あるいは撹拌するポンプ作用を行なう。
【００２５】
本実施例によるマイクロポンプは液体噴射記録ヘッドの記録液であるインクを強制的に循環あるいは撹拌するために開発されたものであり、基板１の内部構造は、図３に示すように、シリコン基板からなる本体１２を有し、その表面を熱酸化することで、ＳｉＯ2 層１３を略１．２μｍ形成させ、そのうえに層間絶縁膜として膜厚略１．２μｍのＳｉＯ2 膜１４をＰＥ−ＣＶＤ法等によって成膜し、次いで膜厚１０００Åの窒化タンタル膜からなる発熱抵抗体１５を反応性スパッタリング法によって積層し、さらに、膜厚５５００ÅのＡｌ配線層１６をスパッタリング法によって積層してパターニングし、パターニングされたＡｌ配線層１６の中断部分から露出する発熱抵抗体１５によって発熱部１ａ〜１ｃを構成するものである。
【００２６】
Ａｌ配線層１６および発熱抵抗体１５の露出表面は、ＰＥ−ＣＶＤ法によって成膜された膜厚１μｍのＳｉ3 Ｎ4 層（窒化シリコン層）１７とこれに積層された膜厚２３００ÅのＴａ層（タンタル層）１８からなる保護層によって覆われる。
【００２７】
各発熱部１ａ〜１ｃの個別端子１１ａ〜１１ｃおよび共通端子１１ｄは、図４に示すように、パターニングされたＡｌ配線層１６の端部に配設され、前記保護層に設けられたスルーホールから露出する。
【００２８】
なお、本実施例においては基板１の本体にシリコン基板を用いたが、これに替えて、ガラス板やＡｌ2 Ｏ3 等のセラミック板を用いることもできる。
【００２９】
各発熱部１ａ〜１ｃの大きさは、幅２００μｍ、長さ３００μｍであり、発熱抵抗体１５のシート抵抗は２１Ω／口、抵抗値３１．５Ωである。そこで図５に示すように、共通端子１１ｄを印加電圧３０Ｖの電源ＶＨに接続し、各個別端子１１ａ〜１１ｃをそれぞれオン時間が２０μｓｅｃであるトランジスタ４１に接続すれば、モータ室２ａ内の液体（インク）を発泡させるのに充分なエネルギーを得ることができる。
【００３０】
第１の回転子３の各羽根３ａ〜３ｃは、図１に示すように、第１の回転子３の軸部のまわりに等間隔で配設され、基板１の各発熱部１ａ〜１ｃにおいて液体の沸騰によって発生する気泡の膨張圧を回転トルクに変換しやすいように、極めて薄い板状体を軸部のまわりにら旋状に巻き付けて得られる形状を有する。
【００３１】
また、第１の回転子３と一体である第２の回転子５も同様に３個の羽根５ａ〜５ｃを有し、これらの形状は第１の回転子３の各羽根３ａ〜３ｃと同様である。
【００３２】
第１の回転子３とスピンドル４と第２の回転子５からなる回転体の材質は、比重が小さくて射出成形等による一体成形の容易なプラスチック材料、例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン等が望ましい。
【００３３】
第１の回転子３の寸法は、例えば、その最大外径が２ｍｍ、軸部の直径が０．５ｍｍ、各羽根３ａ〜３ｃの厚さが０．２ｍｍ、軸部の長さが０．４ｍｍに設定される。第２の回転子５の寸法もこれと同様である。
【００３４】
液室２ｂ内の液体が、例えば水を主成分とし、粘度が４〜５ｃｐ程度のインク等の液体であれば、第２の回転子５によるポンプ作用によって液室２ｂ内の液体を略０．１〜５ｃｃ／ｍｉｎの速度でくみ上げることができる。
【００３５】
また、液体の発泡を動力源とするものであるからポンプ作用の立ち上がりや立ち下がりが極めて迅速であり、液体を一定のインターバルで間欠的にくみ上げたり、撹拌するのに好適である。
【００３６】
さらに、ポンプ作用も安定しており、一定の流量をむらなくくみ上げることができる。
【００３７】
加えて、各回転子の製作も容易であり、材料も高価なものを必要とせず、従って部品コストが低く、超小型でしかも安価なマイクロマシンを実現できる。
【００３８】
図６は、本実施例と同様のマイクロポンプＭ1 ，Ｍ2 を一対用いた液体噴射記録ヘッドＥ1 の主要部を示す部分斜視図であって、これは、前述の基板１と同様の内部構造を有する基板８１と、その表面に後述する弾性部材によって押圧されたプラスチック製の液流路構成手段である天板８２を有し、基板８１は、その一端に近接して一列に配設された液滴吐出用の発熱部８１ａと、中央部分に設けられた一対のマイクロポンプ用の第２の発熱部（図示せず）を有し、基板８１の他端には、液滴吐出用の発熱部８１ａとマイクロポンプ用の発熱部にそれぞれ所定のタイミングで通電するための個別端子８１ｂと図示しない共通端子が露出している。
【００３９】
天板８２は、一対の管状の突出部８２ａ（一方は図示せず）と、一列に配設されたオリフィスを有するオリフィスプレート部８２ｂを有し、天板８２の本体部分８２ｃには、オリフィスプレート部８２ｂの各オリフィス８２ｄに連通する液流路（ノズル）８２ｅと、共通液室８２ｆが形成されている。共通液室８２ｆ内にはマイクロポンプＭ1 ，Ｍ2 が配設され、これらはそれぞれ、前述の回転子３，５と同様の第１、第２の回転子を有する。
【００４０】
天板８２のオリフィスプレート部８２ｂの各オリフィス８２ｄは、例えば、約４．５ｍｍにわたって等間隔で約３６０ｄｐｉ（ｄｏｔｔｓ  ｐｅｒ  ｉｎｃｈ）の高密度で配設されている。
【００４１】
基板８１の液滴吐出用の発熱部８１ａおよびマイクロポンプ用の発熱部は同じ内部構造を示し、面積が異なるだけであるから、同一工程で製作される。なお、マイクロポンプ用の発熱部の寸法は例えば１０５×４０μｍ2 であり、液滴吐出用の発熱部８１ａは前述のドット数を実現する極めて微小な面積を有する。
【００４２】
天板８２は前述の天板１と同様に射出成形によって一体成形したうえで、オリフィスプレート部８２ｂの表面に撥水性被膜（サイトップＣＴＸ  旭ガラス製）を塗布する。必要であれば、これを塗布する前に、密着性を向上させるための密着性向上剤（シランカップリング剤  Ａ１１１０  日本ユニカ製）を塗布するとよい。
【００４３】
なお、基板８１は、液滴吐出用の発熱部８１ａやマイクロポンプ用の発熱部を所定のタイミングで駆動するための図示しない駆動回路を搭載したプリント基板８４とともに放熱板８５に支持されている。
【００４４】
記録液であるインクは、インク供給側のマイクロポンプＭ1 によって共通液室８２ｆに吸入され、インク排出側のマイクロポンプＭ2 によって排出される。
【００４５】
共通液室８２ｆから各液流路８２ｅに流入したインクは前述の駆動回路によって選択的に発熱する液滴吐出用の発熱部８１ａによって加熱されて発泡し、飛翔液滴としてオリフィスプレート部８２ｂのオリフィス８２ｄから吐出され、図示しない記録紙等に被着して印刷が行なわれる。
【００４６】
さらに、排出側のマイクロポンプＭ2 を一時的に停止あるいは減速させることで共通液室８２ｆ内のインクの圧力を上昇させ、各液流路８２ｅから強制的にインクを押し出すことで液流路８２ｅ内の付着物を除去し、液滴吐出性能を回復することができる。従来は、液滴吐出性能の回復を、別途用意されたポンプによって行なっていたが、本実施例によれば液体噴射記録ヘッド内に内蔵されたマイクロポンプを用いることができる。従って、液体噴射記録装置の組立工程やメンテナンスを大幅に簡略化できる。
【００４７】
図７および図８は本実施例による液体噴射記録ヘッドＥ1 を搭載した液体噴射記録ヘッドカートリッジの全体の組み立てを説明するもので、まず、天板８２を弾性部材８６によって基板８１に押圧してこれらを一体化したうえで、基板８１とプリント基板８４を放熱板８５にビス止めし、天板８２の各突出部８２ａに嵌合する供給管と排出管を有するインク供給部材８７を天板８２に組み付ける。
【００４８】
このように組み立てたものを、インク（記録液）をしみ込ませるためのスポンジ８８ａを内蔵するインクタンク８８の凹所８８ｂに位置させ、側板８９をインクタンク８８にビス止めし、反対側をフタ９０によって閉塞する。なお、必要であれば、インク供給部材８７を天板８２に組み付けたうえで各部の漏れ止めと保護のためにシリコーンシーラントＴＥＳ−３９９（東芝シリコーン製）等やウレタン系あるいはエポキシ系の封止剤を注入する。
【００４９】
次に、本実施例による液体噴射記録ヘッドを搭載した液体噴射記録装置について図９を参照して説明する。
【００５０】
液体噴射記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」という）１０３とインクタンクであるインク容器とを接合した記録ヘッドカートリッジを搭載したキャリッジ１０１はガイド軸１０４および螺旋溝１０５ａをもつリードスクリュ１０５に案内され、キヤリッジ１０１上には、インク容器が内装されたインク容器カセット１０２を装着することが可能である。
【００５１】
リードスクリュ１０５は、正逆回転する駆動モータ１０６によって歯車列１０６ａ，１０６ｂ，１０６ｃ，１０６ｄを介して正逆回転され、その螺旋溝１０５ａに先端部が係合したキャリッジ１０１に設けられているピン（図示せず）を介してキャリッジ１０１を矢印方向および反矢印方向へ往復移動させる。駆動モータ１０６の正逆回転の切換は、キャリッジ１０１がホームポジションにあることをキャリッジ１０１に設けられたレバー１１５とフォトカプラ１１６とで検出することにより行なう。
【００５２】
他方、被記録媒体である記録紙１０９は、プラテン１０７に押え板１０８によって押圧され、被記録媒体を記録紙ヘッドに対向するように搬送する搬送手段である紙送りモータ１１０によって駆動される紙送りローラ（図示せず）によって記録ヘッド１０３に対向するように搬送される。
【００５３】
図１０および図１１は、本実施例による液体噴射記録ヘッドを搭載した別の液体噴射記録装置の全体図で、記録媒体の記録幅に対応した幅を有するいわゆるフルラインタイプのインクジェット記録ヘッドおよびそのインクジェット記録ヘッドを使用したインクジェット記録装置の模式的概略説明図である。フルラインタイプのインクジェット記録ヘッドは、その性質上、吐出口の数が多数であって、本発明の効果が最も顕著にあらわれるものである。
【００５４】
この記録装置では、フルラインタイプのインクジェット記録ヘッド２００は、記録媒体搬送ローラ３００によって搬送される紙や布等の記録媒体４００に対向して配置されている。そして、記録媒体４００を搬送しながら、フルラインタイプのインクジェット記録ヘッド２００から記録信号に応じてインクを記録媒体４００に向けてインクを吐出することにより、長尺の記録媒体４００に記録がなされる。本発明の場合、吐出エネルギー発生素子を設けたヒータボードを複数個並べることでインクジェット記録ヘッドを製造するので、フルラインタイプの記録ヘッドのような長いインクジェット記録ヘッドでも容易に製造することができる。
【００５５】
本発明は、特に液体噴射記録方式の中で熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を行なう、いわゆるインクジェット記録方式の記録ヘッド、記録装置において、優れた効果をもたらすものである。
【００５６】
その代表的な構成や原理については、例えば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である。
【００５７】
この記録方式を簡単に説明すると、記録液（インク）が保持されているシートや液流路に対応して配置されている発熱部である電気熱変換体に電気信号を供給して発熱させる駆動手段である駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さらに優れた記録を行なうことができる。
【００５８】
記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも本発明は有効である。
【００５９】
加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成を有するものにおいても本発明は有効である。
【００６０】
さらに、本発明が有効に利用される記録ヘッドとしては、記録装置が記録可能である記録媒体の最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがある。このフルラインタイプの記録ヘッドは、上述した明細書に開示されているような記録ヘッドを複数組み合わせることによってフルライン構成にしたものや、一体的に形成された一個のフルラインタイプの記録ヘッドであってもよい。
【００６１】
加えて、装置本体に装着されることで、装置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
【００６２】
さらに、記録装置の記録モードとしては黒色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせで構成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極めて有効である。
【００６３】
本発明において、上述した各インクにたいして最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。
【００６４】
さらに加えて、本発明のインクジェット記録装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組み合わせた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採るものであってもよい。
【００６５】
【発明の効果】
本発明は上述のように構成されているので、以下に記載するような効果を奏する。
【００６６】
超小型で部品の製造コストが低くしかも組み付けが簡単であるマイクロポンプを実現できる。このようなマイクロポンプを液体噴射記録ヘッドに組み込むことで、常時良好な記録液（インク）吐出性能を維持する液体噴射記録装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施例によるマイクロポンプをその一部を破断した状態で示す一部破断斜視図である。
【図２】図１の装置を示す模式断面図である。
【図３】図１の装置の基板の内部構造を示す模式断面図である。
【図４】図１の装置の発熱部とその接続配線を説明する説明図である。
【図５】図１の装置の発熱部の電気回路を説明する説明図である。
【図６】図１の装置と同様のマイクロポンプを用いた液体噴射記録ヘッドの主要部を一部破断して示す一部破断斜視図である。
【図７】図６の液体噴射記録ヘッドを用いた液体噴射記録ヘッドカートリッジを分解した状態で示す分解斜視図である。
【図８】図７の液体噴射記録ヘッドカートリッジを組み立てた状態で示す斜視図である。
【図９】液体噴射記録装置の全体を示す斜視図である。
【図１０】フルラインタイプの液体噴射記録ヘッドを示す模式斜視図である。
【図１１】図１０の液体噴射記録ヘッドを搭載する液体噴射記録装置を示す模式斜視図である。
【図１２】従来例による液体噴射記録ヘッドの主要部を一部破断した状態で示す一部破断部分斜視図である。
【符号の説明】
Ｍ1 ，Ｍ2   マイクロポンプ
１，８１    基板
１ａ，１ｂ，１ｃ，８１ａ    発熱部
２，８２    天板
３，５    回転子
３ａ〜３ｃ，５ａ〜５ｃ    羽根
【図１】
0003647114.tif 000002
【図２】
0003647114.tif 000003
【図３】
0003647114.tif 000004
【図４】
0003647114.tif 000005
【図５】
0003647114.tif 000006
【図６】
0003647114.tif 000007
【図７】
0003647114.tif 000008
【図８】
0003647114.tif 000009
【図９】
0003647114.tif 000010
【図１０】
0003647114.tif 000011
【図１１】
0003647114.tif 000012
【図１２】
0003647114.tif 000013