(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のプローブ針が固定用接着剤で針押さえに固定されているプローブカードにおいて、前記針押さえは、プローブ針の長手方向に交差する方向に延びる細長い針固定部を有し、前記針固定部は前記固定用接着剤を受け入れる複数の溝を備えていて、この溝は、前記針固定部の長手方向に垂直に延びる一つ以上の仕切壁によって互いに分断されていて，前記溝に受け入れられた前記固定用接着剤は、前記針固定部の長手方向に垂直な分断線によって分断された複数の接着領域を構成し，前記複数の接着領域は，分断されていない一つの前記針固定部に設けられていて，前記複数の接着領域のそれぞれにおいて一群の前記プローブ針が前記針押さえに固定されていることを特徴とするプローブカード。
【請求項２】
多数のプローブ針が固定用接着剤で針押さえに固定されているプローブカードにおいて、前記針押さえは、プローブ針の長手方向に交差する方向に延びる細長い針固定部を有し、この針固定部のプローブ針固定側には、その長手方向に延びる前記固定用接着剤が付着しており、前記針固定部のプローブ針固定側と反対の側には、前記固定用接着剤と平行に補償用接着剤が付着しており，前記針固定部は、前記固定用接着剤を受け入れる固定溝と、この固定溝の裏側に形成された前記補償用接着剤を受け入れる補償溝とを有することを特徴とするプローブカード。
【請求項３】
前記針固定部の長手方向に垂直な断面において、前記固定用接着剤の断面積と前記補償用接着剤の断面積とが等しいことを特徴とする請求項２記載のプローブカード。
【請求項４】
多数のプローブ針を固定用接着剤で針押さえに固定したプローブカードの製造方法において、次の各段階を備える製造方法。
（イ）前記針押さえの針固定部に、前記固定用接着剤を受け入れる複数の第１固定溝と、これらの第１固定溝を前記針固定部の長手方向に垂直な分断線で互いに分断する一つ以上の仕切壁とを形成する段階。
（ロ）針先位置決め装置に、多数のプローブ針の針先を挿入するための穴と、前記固定用接着剤を受け入れる第２固定溝とを形成する段階。
（ハ）前記針先位置決め装置の穴にプローブ針の針先を挿入してプローブ針が前記第２固定溝を横切るように位置決めした状態で、前記固定用接着剤を前記第２固定溝に充填し、さらに、前記第１固定溝にも前記固定用接着剤を充填し、前記第１固定溝が前記第２固定溝に重なるように前記針押さえを前記針先位置決め装置に載せて、前記固定用接着剤を硬化させる段階。
（ニ）前記固定用接着剤によって前記針押さえにプローブ針が接着固定されている状態で、前記針押さえを前記針先位置決め装置から離す段階。
（ホ）前記針押さえをプローブカードの配線基板に取り付ける段階。
【請求項５】
前記針先位置決め装置は、多数のプローブ針の針先を挿入するための穴を形成した針先位置決め板と、前記第２固定溝を形成した針置き台とから構成されていることを特徴とする請求項４記載の製造方法。
【請求項６】
多数のプローブ針を固定用接着剤で針押さえに固定したプローブカードの製造方法において、次の各段階を備える製造方法。
（イ）前記針押さえの針固定部に、前記固定用接着剤を受け入れる第１固定溝を形成する段階。
（ロ）針先位置決め装置に、多数のプローブ針の針先を挿入するための穴と、前記固定用接着剤を受け入れる複数の第２固定溝と、これらの第２固定溝を針先位置決め装置の長手方向に垂直な分断線で互いに分断する一つ以上の仕切壁とを形成する段階。
（ハ）前記針先位置決め装置の穴にプローブ針の針先を挿入してプローブ針が前記第２固定溝を横切るように位置決めした状態で、前記固定用接着剤を前記第２固定溝に充填し、さらに、前記第１固定溝にも前記固定用接着剤を充填し、前記第１固定溝が前記第２固定溝に重なるように前記針押さえを前記針先位置決め装置に載せて、前記固定用接着剤を硬化させる段階。
（ニ）前記固定用接着剤によって前記針押さえにプローブ針が接着固定されている状態で、前記針押さえを前記針先位置決め装置から離す段階。
（ホ）前記針押さえをプローブカードの配線基板に取り付ける段階。
【請求項７】
前記針先位置決め装置は、多数のプローブ針の針先を挿入するための穴を形成した針先位置決め板と、前記複数の第２固定溝及び前記仕切壁を形成した針置き台とから構成されていることを特徴とする請求項６記載の製造方法。
【請求項８】
多数のプローブ針を固定用接着剤で針押さえに固定したプローブカードの製造方法において、次の各段階を備える製造方法。
（イ）前記針押さえの針固定部に、前記固定用接着剤を受け入れる第１固定溝と、この第１固定溝の裏側に配置されて第１固定溝と平行に延びる補償溝とを形成する段階。
（ロ）針先位置決め装置に、多数のプローブ針の針先を挿入するための穴と、前記固定用接着剤を受け入れる第２固定溝とを形成する段階。
（ハ）前記針先位置決め装置の穴にプローブ針の針先を挿入してプローブ針が前記第２固定溝を横切るように位置決めした状態で、前記固定用接着剤を前記第２固定溝に充填し、さらに、前記第１固定溝にも前記固定用接着剤を充填し、前記第１固定溝が前記第２固定溝に重なるように前記針押さえを前記針先位置決め装置に載せるとともに、前記補償溝にも補償用接着剤を充填して、前記固定用接着剤と前記補償用接着剤を硬化させる段階。
（ニ）前記固定用接着剤によって前記針押さえにプローブ針が接着固定されている状態で、前記針押さえを前記針先位置決め装置から離す段階。
（ホ）前記針押さえをプローブカードの配線基板に取り付ける段階。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プローブ針を針押さえに接着固定する構造に特徴のあるプローブカードに関し、またそのプローブカードを製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７は、一列に並んだ複数個（例えば８チップや１６チップ）のＩＣチップを同時に検査するための従来のプローブカードの底面図である。図８（Ａ）は図７の８Ａ−８Ａ線断面図である。図８（Ａ）において、多数のプローブ針１０の基端は配線基板１２の配線パターンに半田付け１３で固定されており、プローブ針１０の途中は針押さえ１４の底面に接着剤２４によって接着固定されている。針押さえ１４は配線基板１２の開口部１６の内部に配置され、配線基板１２の下方に突き出している。針押さえ１４の上面には支持板１８が接着固定されている。この例では、針押さえ１４は直接には配線基板１２に固定されず、支持板１８を介して固定されているが、針押さえ１４を直接、配線基板１２に固定してもよい。
【０００３】
図７の底面図に示すように、配線基板１２の細長い長方形の開口部１６の内部には、開口部１６よりも周囲寸法の小さい細長い長方形の枠状の針押さえ１４が、その周囲と開口部１６との間にわずかな隙間をあけて配置されている。支持板１８は、針押さえ１４と幅が同じであるが、ネジ２２で固定するために針押さえ１４よりも長くなっている。針押さえ１４の、互いに平行な１対の針固定部には、接着剤２４によってプローブ針１０の途中が固定されている。この例では、８個のＩＣチップ２６を同時に検査できるようにプローブ針１０が配列されている。
【０００４】
図８（Ｂ）は針押さえにプローブ針を固定する従来方法を示す正面切断端面図である。プローブ針１０は針置き台３０に載せられ、プローブ針１０の針先は針先位置決め板２８の穴に挿入されて位置決めされる。針置き台３０は針先位置決め板２８の上に載っていて、これらによって針先位置決め装置が構成されている。針押さえ１４には第１固定溝が形成され、針置き台３０には第２固定溝が形成されている。まず、針置き台３０の第２固定溝に接着剤２４を流し込み、針押さえ１４の第１固定溝にも接着剤２４を充填して、第１固定溝が第２固定溝に重なるように針押さえ１４を針置き台３０にかぶせる。この状態で、針押さえ１４と針先位置決め装置とを恒温槽に入れて加熱し、接着剤２４を硬化させる。接着剤２４が硬化したら、常温に戻してから、プローブ針１０が接着固定された状態の針押さえ１４を針先位置決め装置から取り外す。この針押さえ１４を図７に示すように配線基板１２に取り付ける。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
図９は、針押さえの細長い針固定部３２の一部分を示す斜視図である。この針固定部３２は、８個分のＩＣチップを同時に検査できるように細長くなっており、多数のプローブ針１０が接着剤２４で固定されている。針押さえの材質はセラミックであり、接着剤２４は熱硬化性接着剤である。この針固定部３２は、接着剤２４が硬化した後に常温に戻す段階で、接着剤２４が収縮する。一方、針固定部３２の方はセラミックなので、ほとんど収縮しない。したがって、接着剤２４の収縮による応力のために、針固定部３２は、図９の矢印３４に示すように接着剤２４が付着している側が凹となるように変形する。このような変形は、主として針先高さの不一致をもたらし、プローブ針の配列精度を悪化させる。ひどいときには、上述の変形により針固定部３２が破断する。このような針固定部３２の変形は、針固定部３２が長いほど、また、接着剤２４の層が厚いほど顕著である。図７に示すように、一列に並んだ複数個（例えば８チップや１６チップ）のＩＣチップを同時に検査するためのプローブカードにおいては、針押さえ１４の針固定部が長くなるので、上述の変形は無視できなくなる。
【０００６】
この発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、細長い針押さえに多数のプローブ針を接着固定する場合において、接着剤の収縮による針押さえの変形を防ぐことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明のプローブカードは、接着剤の収縮による針押さえの変形を防ぐという共通の課題に対して、大きく分けて二つの解決手段をとっている。第１の解決手段は、針押さえにプローブ針を固定している接着剤を、針固定部の長手方向に垂直な分断線で分断するものである。第２の解決手段は、プローブ針を固定する接着剤の裏側の位置に補償用接着剤を設けて、固定用接着剤の収縮による応力を、補償用接着剤の収縮による応力で相殺するようにしたものである。
【０００８】
上述の第１の解決手段としての分断手法を採用する場合でも、大きく分けて２種類がある。一つの方法は、接着剤を受け入れる溝を分断するように針押さえの側に仕切壁を形成することである。このようにすると、プローブ針を接着剤で固定した状態の針押さえは、その複数の接着領域の間に仕切壁が存在している。別の方法は、針押さえの側には仕切壁を設けずに、製造段階でプローブ針を位置決めするための針先位置決め装置の側の溝に仕切壁を形成することである。このようにすると、プローブ針を接着剤で固定した状態の針押さえは、その複数の接着領域の間には開放空間が存在している。いずれの方法によっても、複数の接着領域は、針固定部の長手方向に垂直な分断線によって互いに分断された状態になる。したがって、接着剤が収縮する場合に、その収縮による応力は、分断された個々の接着領域に限定され、針固定部の長手方向全体にわたっての変形が抑制される。
【０００９】
一列に並んだ複数個のＩＣチップを同時に検査するためのプローブカードにおいては、個々の接着領域が一つのＩＣチップに対応するように接着領域を分断するのが実際的である。
【００１０】
上述の第２の解決手段においては、針押さえの針固定部において、プローブ針を固定する側に、固定用接着剤を受け入れるための固定溝を形成し、その裏側には、補償用接着剤を受け入れるための補償溝を形成する。固定溝にはプローブ針固定用の接着剤が充填され、補償溝には補償用接着剤が充填される。固定用接着剤の収縮により針固定部に作用する応力と、補償用接着剤の収縮により針固定部に作用する応力とは、互いに相殺される。これらの相殺を効果的にするには、理想的には、針固定部の長手方向に垂直な断面において、固定用接着剤の断面積と補償用接着剤の断面積を等しくするのが好ましい。ただし、両者の断面積を必ずしも等しくしなくても、実用的には、針押さえの変形抑制効果が十分な場合も多い。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１（Ａ）は、この発明のプローブカードの一実施形態における針押さえの針固定部の一部を示す斜視図である。この針固定部４０は細長い形状をしており、プローブ針の長手方向に交差する方向に細長く延びている。プローブ針を固定する傾斜面４２には複数の第１固定溝４４が形成されている。これらの第１固定溝４４は仕切壁４６によって互いに分断されている。仕切壁４６は針固定部４０の長手方向に垂直に延びている。この仕切壁４６の傾斜面４２からの突き出し高さは、後述する針置き台の第２固定溝の深さにほぼ等しい。この実施形態では、針固定部４０に仕切壁４６を設けた点に特徴があり、プローブカードのその他の構造は従来と同じである。したがって、その他の部品については図７及び図８に示したのと同様であり、その説明は省略する。
【００１２】
図１（Ｂ）は、細長い針置き台４８の一部を示す斜視図である。この針置き台４８は針押さえにプローブ針を接着剤で固定する工程で使用するものである。この針置き台４８にはプローブ針１０を載せる傾斜面５０があり、この傾斜面５０に細長い第２固定溝５２が形成されている。傾斜面５０にはプローブ針１０をセットするための浅い溝を多数形成してもよいし、この実施形態のように平坦面としてもよい。この針置き台４８自体は、従来のプローブカード製造方法で使用されるものと同じである。
【００１３】
次に、図１（Ａ）に示す針固定部４０と、図１（Ｂ）に示す針置き台４８とを用いて、プローブ針を針固定部４０に接着固定する工程を、図１０の正面切断端面図を参照して説明する。図１０（Ａ）において、プローブ針１０を針置き台４８の傾斜面５０に載せて、プローブ針１０の針先１１を針先位置決め板５４の穴に挿入する。針置き台４８は針先位置決め板５４の上に載っていて、これらによって針先位置決め装置が構成されている。針固定部４０には第１固定溝４４が形成されており、針置き台４８には第２固定溝５２が形成されている。
【００１４】
次に、図１０（Ｂ）に示すように、針置き台４８の第２固定溝５２に接着剤５６を流し込み、第１固定溝４４にも（溝を上に向けた状態で）接着剤５６を充填する。そして、針固定部４０を反転して、素早く、第１固定溝４４を第２固定溝５２の上にかぶせる。これにより、第１固定溝４４と第２固定溝５２で形成される空間に接着剤５６を満たす。このとき、針固定部４０の仕切壁が針置き台４８の第２固定溝５２に入り込み、第１固定溝４４と第２固定溝５２の中に入る接着剤５６は、仕切壁で分断される。この状態で、針押さえと針先位置決め装置とを恒温槽に入れて加熱し、接着剤５６を硬化させる。
【００１５】
次に、図１０（Ｃ）に示すように、接着剤５６が硬化したら、常温に戻してから、プローブ針１０が接着固定された針固定部４０を有する針押さえを、針先位置決め装置から取り外す。なお、針置き台４８の第２固定溝５２には接着剤５６を充填する前に離型剤を塗布しており、かつ、第２固定溝５２の形状も型剥がれが容易なように角部に丸みを付けて加工してあるので、硬化した接着剤５６は針固定部４０の側にだけ固着して、針置き台４８の側には固着しない。針置き台４８から取り外した針押さえは、図７に示すように配線基板１２に取り付ける。
【００１６】
溝の寸法の具体例を述べると、針押さえの針固定部の幅が４ｍｍのものに対しては、第１固定溝４４は、幅が２ｍｍ（針固定部の幅の半分程度）、深さが０．４ｍｍであり、第２固定溝５２は、幅が４ｍｍ（針固定部の幅と同程度）、深さが０．１５〜０．２ｍｍである。また、針押さえの針固定部の幅が７ｍｍのものに対しては、第１固定溝４４は、幅が４ｍｍ、深さが０．４ｍｍであり、第２固定溝５２は、幅が７ｍｍ、深さが０．１５〜０．２ｍｍである。したがって、第２固定溝５２の深さは、第１固定溝４４の半分程度である。第２固定溝５２に充填される接着剤は、硬化したときにプローブ針の剥がれ防止の役割をするが、この第２固定溝５２を省略することも有り得る。
【００１７】
図２（Ａ）は、針固定部４０にプローブ針１０が接着固定された状態の一部を示す斜視図である。接着剤５６は、針固定部４０に形成された仕切壁４６によって互いに分断されている。すなわち、複数の接着領域が、針固定部４０の長手方向５８に垂直な分断線によって互いに分断されている。図２（Ａ）から明らかなように，分断された複数の接着領域は、分断されていない一つの細長い針固定部４０に載っている。これにより、接着剤５６が硬化した後に常温に戻す段階で、接着剤５６が収縮しても、その収縮による応力は、分断された個々の接着領域に限定され、針固定部４０の長手方向全体にわたっての変形が抑制される。
【００１８】
図２（Ａ）において、個々の接着領域に固定された一群のプローブ針は、検査すべき一つのＩＣチップに対応している。図面では、プローブ針の本数を少なくしているが、実際は、１個のＩＣチップを検査するための多数のプローブ針１０が一つの接着領域に固定されている。
【００１９】
図２（Ｂ）は、針固定部４０の長手方向に沿った断面で切断した断面図である。プローブ針１０を接着固定する接着剤５６は仕切壁４６によって互いに分断されている。
【００２０】
図３（Ａ）は、別の実施形態における針固定部の一部を示す斜視図である。この針固定部４０ａには細長い第１固定溝４４ａが形成されており、仕切壁は存在しない。したがって、この針固定部自体は、従来のものと同じ構造である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の針固定部４０ａと組み合わせて使用する針置き台４８ａの一部を示す斜視図である。この針置き台４８ａの傾斜面５０ａには、複数の第２固定溝５２ａが形成されている。これらの第２固定溝５２ａは仕切壁６０によって互いに分断されている。仕切壁６０は、細長い針置き台４８ａの長手方向に対して垂直に延びている。この仕切壁６０の傾斜面５０ａからの突き出し高さは、針固定部４０ａの第１固定溝４４ａの深さにほぼ等しい。この実施態様では、この針置き台４８ａの仕切壁６０に特徴があり、この仕切壁ゆえに接着剤が分断される。プローブカードのその他の構成は従来と同じである。また、図３（Ａ）に示す針固定部４０ａと、図３（Ｂ）に示す針置き台４８ａとを用いて、プローブ針を針固定部に接着固定する工程は、図１０に示したのと同様である。
【００２１】
図４（Ａ）は、図３に示す針固定部４０ａと図３（Ｂ）に示す針置き台４８ａとを用いて製造した場合の、針固定部４０ａにプローブ針１０が接着固定された状態の一部を示す斜視図である。接着剤５６ａは開放空間６２によって、針固定部４０ａの長手方向に垂直な分断線で分断されている。この開放空間６２は針置き台４８ａの仕切壁６０によって作られたものである。このように開放空間６２で分断されていても、接着剤５６ａの収縮による応力は、分断された個々の接着領域に限定され、針固定部４０ａの長手方向全体にわたっての変形が抑制される。
【００２２】
図４（Ｂ）は、針固定部４０ａの長手方向に沿った断面で切断した断面図である。プローブ針１０を接着固定する接着剤５６ａは開放空間６２によって互いに分断されている。
【００２３】
図５（Ａ）は、さらに別の実施形態における針固定部の一部を示す斜視図である。この針固定部４０ｂには、プローブ針１０を固定する側に細長い第１固定溝４４ｂが形成され、その裏側には、細長い補償溝６４が形成されている。図５（Ｂ）は、図５（Ａ）の針固定部４０ｂを補償溝６４側から見た斜視図である。
【００２４】
図５に示す針固定部４０ｂは、図１（Ｂ）に示す針置き台４８と組み合わせて使用される。この場合、針固定部４０ｂの第１固定溝４４ｂの断面積と、図１（Ｂ）の針置き台４８の第２固定溝５２の断面積の合計が、固定用接着剤の充填断面積となる。一方、針固定部４０ｂの補償溝６４の断面積が補償用接着剤の充填断面積となる。そして、固定用接着剤の断面積と補償用接着剤の断面積は、理想的には等しくするのが好ましい。
【００２５】
溝の寸法の具体例を述べると、針押さえの針固定部の幅が４ｍｍのものに対しては、第１固定溝４４ｂは、幅が２ｍｍ（針固定部の幅の半分程度）、深さが０．４ｍｍであり、補償溝６４は、幅が２ｍｍ、深さが０．４ｍｍである。すなわち、この具体例では、第１固定溝４４ｂと補償溝６４とで断面積がほぼ等しくなっている。針置き台の第２固定溝まで考慮すると、補償溝側の断面積は、プローブ針を固定する側の溝（第１固定溝と第２固定溝）の断面積よりも小さくなっている。このようにしても、実際には補償溝の効果はかなりあり、針固定部の変形はかなり抑制される。固定側と補償側とで断面積を等しくしなかったのは、補償溝の断面積を大きくすると、かえって針固定部の剛性が減少して、変形に対する抵抗力が低下することを恐れたためである。針押さえの針固定部の断面自体を大きく取れるような条件のときには、固定側と補償側とで断面積を等しくすることは好ましいものである。
【００２６】
次に、図５に示す針固定部４０ｂを用いてプローブ針を針固定部４０ｂに接着固定する工程を、図１１の正面切断端面図を参照して説明する。図１１（Ａ）において、プローブ針１０を針置き台４８の傾斜面５０に載せて、プローブ針１０の針先１１を針先位置決め板５４の穴に挿入する。次に、図１１（Ｂ）に示すように、針置き台４８の第２固定溝５２に接着剤５７を流し込み、この接着剤５７の上に針固定部４０ｂをかぶせて、第１固定溝４４ｂにも接着剤５７を行き渡らせる。さらに、針固定部４０ｂの補償溝６４にも補償用接着剤６６を流し込む。この補償用接着剤６６の材質は固定用接着剤５７と同じものである。この状態で、針押さえと針先位置決め装置とを恒温槽に入れて加熱し、固定用接着剤５７と補償用接着剤６６を硬化させる。次に、図１１（Ｃ）に示すように、接着剤５７、６６が硬化したら、常温に戻してから、プローブ針１０が接着固定された針固定部４０ｂを有する針押さえを、針先位置決め装置から取り外す。この針押さえを図７に示すように配線基板１２に取り付ける。
【００２７】
図６（Ａ）は、針固定部４０ｂにプローブ針１０が接着固定された状態の一部を示す斜視図である。針固定部４０ｂのプローブ針固定側には固定用接着剤５７が存在し、その裏側には補償用接着剤６６が存在している。したがって、接着剤５７、６６が硬化した後に常温に戻す段階で、これらの接着剤が収縮しても、固定用接着剤５７の収縮による応力は、補償用接着剤６６の収縮による応力と相殺され、針固定部４０ｂの長手方向全体にわたっての変形が抑制される。
【００２８】
図６（Ｂ）は、針固定部４０ｂの長手方向に沿った断面で切断した断面図である。プローブ針１０を接着固定する接着剤５７と補償用接着剤６６とが針固定部４０ｂの互いに反対側の面に充填されている。
【００２９】
【発明の効果】
この発明のプローブカードは、針押さえにプローブ針を固定している接着剤を、針固定部の長手方向に垂直な分断線で分断しているので、接着剤が収縮する場合に、その収縮による応力は、分断された個々の接着領域に限定され、針固定部の長手方向全体にわたっての変形が抑制される。また、別の発明のプローブカードでは、プローブ針を固定する接着剤の裏側の位置に補償用接着剤を設けているので、固定用接着剤の収縮による応力を補償用接着剤の収縮による応力で相殺でき、やはり、針固定部の長手方向全体にわたっての変形が抑制される。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のプローブカードの一実施形態における針押さえの針固定部の一部を示す斜視図と、針置き台の一部を示す斜視図である。
【図２】針固定部にプローブ針が接着固定された状態の一部を示す斜視図と断面図である。
【図３】別の実施形態における針固定部の一部を示す斜視図と、針置き台の一部を示す斜視図である。
【図４】図３の針固定部と針置き台を用いた場合の、図２と同様の斜視図と断面図である。
【図５】本発明のさらに別の実施形態における針固定部の一部を示す斜視図である。
【図６】図５の針固定部を用いた場合の、図２と同様の斜視図と断面図である。
【図７】従来のプローブカードの底面図である。
【図８】図７の８Ａ−８Ａ線断面図と、針押さえにプローブ針を固定する方法を示す正面切断端面図である。
【図９】プローブ針を固定した状態の従来の針押さえの針固定部の一部分を示す斜視図である。
【図１０】プローブ針を図１の針固定部に接着固定する工程を示す正面切断端面図である。
【図１１】プローブ針を図５の針固定部に接着固定する工程を示す正面切断端面図である。
【符号の説明】
１０  プローブ針
４０  針固定部
４４  第１固定溝
４６  仕切壁
４８  針置き台
５２  第２固定溝
５４  針先位置決め板
５６  接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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