(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス流路を通じてガスを輸送すべく該ガス流路を有する集積型の多機能ガスコンポーネントユニットにおいて、
第１ガスコンポーネントと、
フィルタを有する第２ガスコンポーネントと、
該第１ガスコンポーネントが該第２ガスコンポーネント上に垂直に積み上げられて接続されるように、該第１ガスコンポーネントと該第２ガスコンポーネントとを接続するコネクタとをそなえ、
該第２ガスコンポーネントが、モジュール型のベース上に垂直方向に設置しうると共に、該モジュール型のベースと接続される側に、該第２ガスコンポーネントを通じて該第１ガスコンポーネントにガスを流入させる入力ポート、及び、該第２ガスコンポーネントを通じて該第１ガスコンポートからガスを出す出力ポートを有し、
該ガス流路を通じて、該入力ポートから流入したガスが該第２ガスコンポーネントを通じ、該フィルタを通って該第１ガスコンポーネントに流入し、該第１ガスコンポーネントに流入したガスが該第２ガスコンポーネントを通り、該フィルタを通って最後に該出力ポートから流出するように構成されていることを特徴とする、集積型の多機能ガスコンポーネントユニット。
【請求項２】
該第１ガスコンポーネントが、ガスフィルタ，ガス清浄器，水分モニタ，ゲージ，バルブ，ディフューザ，キャパシタンスダイヤフラムゲージ，圧力変換器，圧力レギュレータのいずれかを含むことを特徴とする、請求項１記載の集積型の多機能ガスコンポーネントユニット。
【請求項３】
該第１ガスコンポーネントが圧力変換器であることを特徴とする、請求項１記載の集積型の多機能ガスコンポーネントユニット。
【請求項４】
垂直に積み上げられて接続された第３ガスコンポーネントを更にそなえていることを特徴とする、請求項１記載の集積型の多機能ガスコンポーネントユニット。
【請求項５】
ガス流路を通じてガスを輸送すべく該ガス流路を有する集積型のモジュール型圧力変換器／フィルタ装置において、
フィルタを有するフィルタ部と、
該フィルタ部に接続された圧力変換部と、
該圧力変換部と該フィルタ部とを接続しうるコネクタとをそなえ、
該フィルタ部が、モジュール型のベース上に垂直方向に設置しうると共に、該モジュール型のベースと接続される側に、該フィルタ部を通じて該圧力変換部にガスを流入させる入力ポート、及び、該フィルタ部を通じて該圧力変換部からガスを出す出力ポートを有し、
該ガス流路を通じて、該入力ポートから流入したガスが該フィルタ部を通じ、該フィルタを通って該圧力変換部に流入し、該圧力変換部に流入したガスが該フィルタ部を通り、該フィルタを通って最後に該出力ポートから流出するように構成されていることを特徴とする、集積型のモジュール型圧力変換器／フィルタ装置。
【請求項６】
ガス流路を通じてガスを輸送すべく該ガス流路を有するガスコンポーネントユニットの集積方法において、
第１ガスコンポーネントとフィルタを有する第２ガスコンポーネントとが垂直に積み上げられるように該第１ガスコンポーネントと該第２ガスコンポーネントを接続して、該ガス流路を通じて、ガスが該第２ガスコンポーネントを通じ、該フィルタを通って該第１ガスコンポーネントに対して流入及び送出できるガスコンポーネントユニットを作製し、
該第１及び第２のガスコンポーネントにより構成される該ガスコンポーネントユニットを、ガス流の流入・流出部を有するモジュール型のベース上に垂直方向に設置することを特徴とする、ガスコンポーネントユニット集積方法。
【請求項７】
該第１ガスコンポーネントが、ガスフィルタ，ガス清浄器，水分モニタ，ゲージ，バルブ，ディフューザ，キャパシタンスダイヤフラムゲージ，圧力変換器，圧力レギュレータのいずれかを含むことを特徴とする、請求項６記載のガスコンポーネントユニット集積方法。
【請求項８】
該第１ガスコンポーネントが圧力変換器であり、
モジュール型のコネクタを用いて、該圧力変換器と該フィルタとを接続することを特徴とする、請求項７記載のガスコンポーネントユニット集積方法。
【請求項９】
該フィルタが、メンブレインを有し、
第３溶接部により該メンブレインの周囲を溶接して該メンブレインを該フィルタに取り付け、
該メンブレインがテフロン製，ステンレススチール製，ニッケル製，セラミック製のいずれかであることを特徴とする、請求項８記載のガスコンポーネントユニット集積方法。
【請求項１０】
第３ガスコンポーネントを垂直に積み上げるように設置することを特徴とする、請求項６記載のガスコンポーネントユニット集積方法。
【請求項１１】
ガス流路を通じてガスを輸送すべく該ガス流路を有するモジュール型ガススティックの製造方法において、
フィルタを有する第１ガスコンポーネントをガス流の流入・流出部を有するモジュール型のベース上に垂直方向に接続し、
第２ガスコンポーネントを、該ガス流路を通じて、ガスが該第１ガスコンポーネントを通じ、該フィルタを通って該第２ガスコンポーネントに対して流入及び送出されるように該第１ガスコンポーネント上に垂直に積み上げるように設置し、
第１コネクタを用いて該第１ガスコンポーネントを該第２ガスコンポーネントに接続させることを特徴とする、モジュール型ガススティック製造方法。
【請求項１２】
第３ガスコンポーネントを該第２ガスコンポーネント上に垂直に積み上げるように設置し、
第２コネクタを用いて該第３ガスコンポーネントを該第２ガスコンポーネントに接続させることを特徴とする、請求項１１記載のモジュール型ガススティック製造方法。
【請求項１３】
該第２ガスコンポーネントが、ガスフィルタ，ガス清浄器，水分モニタ，ゲージ，バルブ，ディフューザ，キャパシタンスダイヤフラムゲージ，圧力変換器，圧力レギュレータのいずれかを含むことを特徴とする、請求項１１記載のモジュール型ガススティック製造方法。
【請求項１４】
圧力変換器とフィルタとを接続してモジュール型で集積型の圧力変換器／フィルタ集積ユニットとし、
該圧力変換器／フィルタ集積ユニットが、
フィルタ部と、
圧力変換部と、
該フィルタ部と該圧力変換部とを接続しうるモジュール型のコネクタとを有することを特徴とする、請求項１１記載のモジュール型ガススティック製造方法。
【発明の詳細な説明】
＜発明の技術分野＞
本発明は、ガス輸送システム及びその計測装置、特に、ガス輸送システムに様々なコンポーネントを集積したシステム及び集積方法に関するものであり、更に、半導体製造に用いられるガススティックのガス流コンポーネントの集積システムに関するものである。
【０００１】
＜関連出願＞
本願は、３５  Ｕ．Ｓ．Ｃ．§１１９（ｅ）に従い、１９９８年１１月２０日に提出された出願番号６０／１０９，１６６出願に基づいて優先権を主張する。
＜発明の背景＞
今日、多くの製造工程では、流れるガスの加減調整やフィルタリング、清浄、監視するための多くのコンポーネントを備えたガス流路を通してのガス供給が必要となっている。例えば、化学蒸着法のような一般的な半導体製造工程では、プロセスチャンバの中で超高純度のガスを適正なレートで且つ適当な量だけツールへ受け渡す必要がある。一般に、ガス路（通常、半導体製造工程ではガススティックと呼ばれる）には多くのガスコンポーネントが組み込まれており、このガスコンポーネントとしては、マスフローコントローラ，フローモニタ，水分モニタ，バルブ，レギュレータ，ガスフィルタ，ガス清浄器，圧力センサ，ディフューザ，キャパシタンスダイヤフラムゲージ，ディスプレイ，圧力変換器及び商業用に用いられる他のコンポーネントがある。
【０００２】
図１に、典型的なガス路（あるいはガススティック）１０を示す。図１では、ガスは、ソースから、アイソレーションバルブ１２，レギュレータ１４，圧力変換器又はセンサ１６，フィルタ１８，アイソレーションバルブ２０，マスフローコントローラ２２，ダウンストリームアイソレーションエアオペレーティドバルブ２６などが組み込まれたガス路１０を通って図示せざるプロセスチャンバへ流れる。各ガスコンポーネントは直列コネクタ２４を使って隣接するコンポーネントと接続されている。図１の各ガスコンポーネントは単一の機能しか持たず、水平なガス流路２８に沿って直列に接続されている。このガス路１０は製造システムの一つの典型例であり、ソースからプロセスチャンバまでのガス路に他のコンポーネントを付け加えたり別のコンポーネントに入れ替えたりすることも可能である。
【０００３】
上述した商業用のガス路コンポーネントは、従来、分離独立型のユニットとして製造され、一般的に互いに直列に接続されるようになっている。図１に示した例では、独立型のフィルタ１８は、マスフローコントローラ２２に腐食性のガスが入るのを防ぐため、ガススティック１０のガス流方向に対してマスフローコントローラ２２の前方に配置されている。同様に、上述のガスコンポーネントについてはいずれも特定の用途を持った独立型のアイテムとしてガススティック１０に組み込まれている。しかしながら、ガススティック１０にガスコンポーネントを付加していくと、ガスコンポーネント及びコネクタの長さだけガススティック１０の総長さが増加してしまう。
【０００４】
また、半導体産業では、標準的なフットプリントを用いたモジュール型のガススティックへと移行している。しかし、標準的なフットプリントはスペース面での制約があり、ガススティックに組み込めるガスコンポーネントの数に制限がある。さらに、通常の直列接続では、モジュール型のフットプリント上に単純にガスコンポーネントを垂直方向に積み上げることは困難あるいは不可能である。
【０００５】
＜発明の概要＞
本発明は、ガスをソースから多数のガスコンポーネントを通して輸送する従来のガス流路システム及びその方法に関連する不都合や課題を実質的に除去あるいは軽減した改良型のガスコンポーネント集積システム及びその方法を提供する。  特に、本発明のガスコンポーネント集積システム及びその方法は、少なくとも二つ以上のガスコンポーネントを積み上げて一つの多機能ユニットとするガスコンポーネントシステムを提供する。モジュール構成で、多機能ガスコンポーネントは本来のガス流軸に対して垂直な方向に積み上げている。そして、ガスコンポーネントは高さの制約の範囲内あるいは特有のガス路応用のために必要となる範囲でできるだけ多くのコンポーネントを積み上げている。
【０００６】
ガスコンポーネントは、各々個別に作られたものを標準的なＶＣＲコネクションやＳＥＭＩ２７８７仕様のコネクションを使って互いに接続させてもよい。
各コネクタは、各ガスコンポーネントを垂直に積み上げて接続させるものでもよいし、直列に接続させるものでもよい。直列に接続させるものの場合、集積された本発明の多機能ガスコンポーネントは、完全に密閉された多機能型の集積ユニットとして形成することができる。
【０００７】
本発明の一実施形態としてのガスコンポーネント集積システムにおける多機能フィルタ／圧力変換器モジュールでは、フィルタ上に圧力変換器が積み上げられている。つまり、従来のガスコンポーネントがフィルタをガス路におけるガス流軸に沿って圧力変換器に直列に（一般的に水平方向に）接続させていたのと違って、本発明のフィルタ／圧力変換器モジュールは圧力変換器をフィルタ上に本来のガス流路に対して垂直方向に積み上げて接続させている。
【０００８】
また、他の実施形態では、フィルタはマスフローコントローラの中にガス流軸に沿って直列に（一般的に水平方向に）取り付けられている。前述したように、いずれの実施形態においても、互いに接続されたガスコンポーネント、例えば、ＶＣＲコネクションでマスフローコントローラに接続されたフィルタは分離することができる。また、集積ユニットとして溶接あるいは他の永久シールにより接続されたガスコンポーネントも分離することができる。
【０００９】
本発明は、二つ又はそれ以上のガスコンポーネントを積み上げて一つのユニットとすることで、ガスコンポーネントが更に組み込まれたとしてもガススティックに占有されるスペースが少なくてすむという重要な技術的利点を提供することができる。
また、モジュール型のガススティックフットプリントに、より多くのガスコンポーネントを配することにより、他の技術的利点がある。
【００１０】
さらに、モジュール型のガススティックフットプリントにガスコンポーネントを積み上げる方法を提供することにより、更なる技術的な利点を提供することができる。
また、一つのガスコンポーネントにいくつかの機能を兼ねさせることにより別の技術的な利点が提供できる。
【００１１】
＜発明の詳細な説明＞
本発明の好ましい形態について、図や図に対応する部分を示す符号を用いて説明する。
本発明のガスコンポーネント集積システム及び方法では、始点から終点へ向けてガスを輸送するガススティックに用いられるガスコンポーネントの内少なくとも二つのガスコンポーネントを直列式あるいはモジュール式のいずれかの形式で連結させている。例えば、本発明では圧力変換器，フィルタ，ディスプレイを単一ユニットとして連結しており、このことにより、ガス流軸に沿ったガススティックのサイズが縮小される。ガスコンポーネントは直列接続で用いられるＶＣＲコネクションによって集積することができる。モジュール形式のものでは、ガスコンポーネントをベースブロック上に垂直に（ベースブロックに対して略垂直に）接続するために多くの異なる接続方法をとることができる。このように、従来ガスコンポーネントをガス流路軸に対して水平方向接続させていたのに対して、本発明では垂直方向に積み上げて接続させている。
【００１２】
ガスコンポーネントを集積するために用いられる接続方法には、工業標準の接続方法（ＶＣＲコネクション，バットウェルドコネクション，Ｓｗａｇｅｌｏｃｋコネクションなど）が含まれる。また、この接続にはＳＥＭＩ  Ｄｒａｆｔ  Ｄｏｃ．２７８７に記載されているｄｒａｆｔ  ＳＥＭＩ２７８７仕様を満たす接続方法であってもよい。このｄｒａｆｔ  ＳＥＭＩ２７８７仕様を満たす接続は、ここではＢシール，Ｃシール，ＣＳシール，Ｗシール，Ｚシールなどのように表記している。本発明の方法で集積されるガスコンポーネントとしては、ガスフィルタ，ガス清浄器，圧力変換器，マスフローコントローラ，ディスプレイ，水分モニタ，ゲージ，バルブ，ディフューザ，キャパシタンスダイアフラムゲージ，圧力レギュレータなどがある。本発明では少なくとも二つのガスコンポーネントを一体に取付け単一の多機能ユニットとしている。本発明の多機能ガスコンポーネントは、これより先、半導体ガススティックの形態として図示され記述されているが、本発明のガスコンポーネント集積システム及び方法は、他のガス流路にも適用可能である。
【００１３】
図２Ａは、本発明の一実施形態としての集積されたガスコンポーネントシステム１０を示しており、このガスコンポーネントシステム１０は圧力変換器の機能とフィルタの機能との複合機能を有している。図２Ａに示された圧力変換器／フィルタ集積ガスコンポーネントユニット１００はフィルタ部３２，圧力変換部３９，モジュラコネクション３６を有し、モジュラコネクション３６により圧力変換部３９がフィルタ部３２に接続される。モジュラコネクション３６はVCRコネクションであり、雄ＶＣＲコネクション３５と雌ＶＣＲ取付け部３７で構成される。フィルタ部３２は、フィルタ３３，ディスクメンブレイン３１，Ｃシール３０，雄ＶＣＲコネクション３５から構成される。図示のように、Ｃシール３０は溶接部４４でフィルタ３３に溶接され、雄ＶＣＲコネクション３５は溶接部４６でフィルタ３３に溶接されている。ディスクメンブレイン３１は、図２Ａに示すように、定常操作時にはフィルタとして機能する。ディスクメンブレイン３１は（図２Ｅのフィルタ部３２がチューブメンブレイン３１を用いているのに対して）ディスク形状を有し、フィルタ部３２を横切るように配され、Ｃシール３０とフィルタ３３とが通じるようになっている。ディスクメンブレイン３１は例えば４ＬＲＶと同等以上のＬＲＶ（Ｌｏｇ  Ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ  Ｖａｌｕｅ）を有することができる。そして、ディスクメンブレイン３１にはテフロン製，ステンレススチール製，ニッケル製、セラミック製などがある。ディスクメンブレイン３１はその周囲を溶接してフィルタ部３２本体に取り付けられる。ディスクメンブレイン３１は、チューブメンブレイン３１に対して、ユニット１００全体の高さやサイズを縮小できる利点がある。そして、このことによって、逆に、図２Ａで示したフィルタ／圧力変換器ユニット１００はＳＥＭＩ２７８７仕様を満たすことになる。圧力変換部３９は圧力変換器３４と雌ＶＣＲ取付け部３７とで構成される。圧力変換部３９は、通常、製造時に中にＶＣＲコネクションや他のコネクションが作りこまれる。フィルタ３２は、雄ＶＣＲコネクション３５を雌ＶＣＲ取付け部３７に接続させることにより圧力変換部３９と接続する。フィルタ部３２はＣシールコネクション４２でモジュラベース３８に接続される。
【００１４】
図２Ｂ〜図２Ｄは図２Ａに示したフィルタ／圧力変換器ガスコンポーネント１００の別の概観図である。図２Ｂ〜図２Ｄでは、（図２ＡではＣシールであったのに対し、）ＳＥＭＩ２７８７仕様のシール３０がＷシールとなっており、他の特徴は図２Ａのものと同様である。図２Ｃ，２Ｄはフィルタ／圧力変換器ユニット１００のフィルタ部３２を詳細に示した図である。図２Ｄに示すように、フィルタ部３２は入力ポート４８と出力ポート４９とをそなえている。操作時に、ガスは入力ポート４８を通ってフィルタ／圧力変換器ユニット１００に流入し、フィルタ３３を通って圧力変換器３４に入り、圧力変換器３４を通ってフィルタ３３に戻り、最後に出力ポート４９を通ってフィルタ／圧力変換器ユニット１００から出る。
【００１５】
フィルタ３３及び圧力変換器３４は、ガス流オペレーション又はシステムにおいて当業者にとってよく知られている標準的なフィルタと圧力変換器を用いることができる。フィルタメンブレイン３１についても当業者にとってよく知られているチューブメンブレインやディスクメンブレインを用いることができる。
図２Ａ〜図２Ｅに示す実施形態におけるガスコンポーネントユニット１００は、モジュール型で、垂直方向に積み上げられたもので、さらにサーフィスマウント型のものであり、モジュラベース（ＳＥＭＩ２７８７仕様）上で用いられるものである。本実施形態ではＳＥＭＩ２７８７シール／ＶＣＲのスタック構造の例であり、ここでは、フィルタ部３２をモジュラベース３８（モジュール型のガススティックなどで使うことができる）に接続するためにＣシールコネクション又はＷシールコネクションが用いられ、フィルタ部３２を圧力変換部３９に接続するためにＶＣＲ取付け部が用いられている。モジュラコネクション３６とモジュラベース３８とによって、フィルタ３２と圧力変換器３４との一方、あるいは双方を取り替えることができる。このとき、一方を取り替えても他の一方を同時に取り替える必要はない。たとえば、フィルタ３２が損傷してもモジュラＶＣＲコネクション３６でフィルタ３２を圧力変換器３４から取り外し、Ｃシールコネクション又はＷシールコネクション３０でモジュラベース３８からフィルタ３２を取り外すことができる。そして、代替のフィルタ部３２を挿入することでフィルタ／圧力変換器ガスコンポーネントユニット１００がモジュラベース３８上で取り替えられる。
【００１６】
図３は図２Ａ及び図２Ｂに示したユニットを組み込んだガススティック１０を示す図である。図３に示すモジュール型のガススティック１０は、図１に示した従来の直列接続型のガススティック１０と対比させている。モジュール型のガススティック１０はモジュラベース３８上に取り付けられており、モジュール型のガススティックに対するＳＥＭＩ２７８７仕様（高さ，長さ，幅に対する制限を含む）を満足している。図３では、モジュール型でサーフィスマウント型のフィルタ／圧力変換器１００はガス流に対してレギュレータの後方で且つアイソレーションバルブ２０の前方に配置されている。これは、図１に示した直列接続のガススティック１０とは配置が異なっている。つまり、図１では直列接続のガススティック１０では、ガスコンポーネントは、レギュレータ１４とアイソレーションバルブ２０との間に、コネクタ２４，圧力センサ１６，コネクタ２４，フィルタ１８，コネクタ２４だけ必要である。これに対して、本発明では、コンポーネントの数を減らして単一の多機能フィルタ／圧力変換器ユニット１００としている。このことにより、ガス流２８の軸に沿った水平方向のスペースを縮小することができる。図３に示すように、フィルタ部３２はモジュラベース３８上に垂直方向（ガス流２８の軸に対して略垂直方向）に取り付けられ、圧力変換器３９はフィルタ部３２の上部に垂直方向に積み上げられる。
【００１７】
図４は、多機能ガスコンポーネントの別形態のモジュール型集積方法を示している。ここでは、複合ガスコンポーネントを雄ＶＣＲコネクタとＣシールとの組み合わせでモジュール形式で集積する代わりに、図４に示すように、二つのＣシール３０を使ってバルブ５０とフィルタ３３とを接続するとともに、別の一つのＣシール３０を使ってフィルタ３３とモジュラベース３８とを接続している。図４のダブルＣシールコネクションによって図２Ａ及び図２Ｂの雄／雌ＶＣＲコネクションが置き換えられている。なお、図４に示したＣシール３０に代えて、Ｂシール，ＣＳシール，Ｗシール、ＺシールなどＳＥＭＩ２７８７仕様を満たす他のモジュール型のシールを用いてもよい。
【００１８】
図５Ａ，図５Ｂ，図５Ｃは多機能ガスコンポーネントユニット１００の他の形態を示す図であり、この多機能ガスコンポーネントユニット１００は内部に複合ガスコンポーネントをそなえた密閉されたユニットであり、一体形成された単一の複合ユニットである。図５Ａ，図５Ｂ，図５Ｃは、全てサーフィスマウント型の配置が示されている。図５Ａは、バルブ７０がフィルタ３３上に設置されるとともに、フィルタ３３がモジュラベース３８上に設置された様子を示している。図５Ｂは、モニタディスプレイ５１が変換機３４の上に設置されるとともに、変換機３４がフィルタ３３の上に設置され、更に、これらが全て単一の多機能ガスコンポーネントユニット１００として集積され、モジュラベース３８上に設置された様子を示している。図５Ｃは、レギュレータ１４がフィルタ３３上に単一の多機能ガスコンポーネント１００として集積され、モジュラベース３８上に設置された様子を示している。図５Ａ〜図５Ｃのいずれにおいても、各ガスコンポーネントを互いに接続して単一ユニットとするために溶接８０を用いている。本発明のガスコンポーネント集積システム及び方法では、多数のガスコンポーネントを図２Ａ，図２Ｂ，図４で説明したのと同じ方法を用いて一方を他方の上に積み上げて設置することができる。三つのガスコンポーネントにより構成される多機能ガスコンポーネント１００は図５Ｂに示される。
【００１９】
図６はガスコンポーネント集積システム及び方法における一形態を示しており、複合ガスコンポーネントはモジュラベースで直列接続により集積されている。図６に示すように、マスフローコントローラ２２はモジュラベース３８上に設置され、チューブフィルタ３１はモジュラベース３８の側部に設置されている。そして、多機能ガスコンポーネントユニット１００を形成している。図２Ａ，２Ｂ，４，５Ａ，５Ｂ，５Ｃではユニットはサーフィスマウント配置により他のガスコンポーネントと接続されたが、図６に示す多機能ガスコンポーネントユニット１００はチューブフィルタ３１においてモジュラベース３８内で他のガスコンポーネントと直列に接続される。チューブフィルタ３１はガス流を制限するために用いられる。なお、チューブフィルタ３１に代えて、ディスクフィルタ３１を用いることもできる。
【００２０】
図２Ａに示す多機能ガスコンポーネントユニット１００はＣシールコネクションとＶＣＲコネクションとが両方用いられている。工業標準のＶＣＲコネクションはＳＥＭＩ２７８７仕様のＣシールコネクションに比べて非常に安価であるため、ＣシールコネクションとＶＣＲコネクションとを両方用いた上記の多機能ガスコンポーネントユニット１００は価格面で有利である。図２Ａでは、Ｃシール３０はフィルタ／圧力変換器ユニット１００をモジュラフットプリント３８（ＳＥＭＩ２７８７仕様に従う）に取り付けるために用いられているが、圧力変換器３４とフィルタ３３との接続にはＶＣＲコネクション３６（Ｃシールによりフィルタ３３と圧力変換器３４とを接続させる場合に比べて安価となる）が使われている。しかしながら、図４に示すように、Ｃシール３０とＣシール３０のようなＳＥＭＩ２７８７仕様のシールとＳＥＭＩ２７８７仕様のシールとの接続方法で接続してもよい。
【００２１】
本発明におけるガスコンポーネント集積システム及び方法では、始点から終点までガスを輸送するガススティックに用いられるガスコンポーネントの内少なくとも二つのガスコンポーネントを互いに直列あるいはモジュール形式により接続させている。本発明は、例えば図５Ｂに示すように、圧力変換器，フィルタ，ディスプレイを単一ユニットとして結合することができ、このことにより、ガス流軸に沿った方向のガススティックのサイズを縮小することができる。また、ガスコンポーネントを直列に接続させる場合にＶＣＲコネクションを用いることができる。モジュール形式のものでは、ガスコンポーネントをベースブロック上に垂直（ベースブロックに対して略垂直）に積み上げて接続する場合にはさまざまな接続方法を用いることができる。このように、本発明ではガスコンポーネントを水平なガス流軸に対して垂直方向に積み上げるようにしている。
【００２２】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
本発明及び発明の利点をよりよく理解するために、符号の示す特徴が示された添付の図面に関して説明を行なう。
【図面の簡単な説明】
【図１】  ガス流軸に沿って互いに直列に接続された個々に単一機能を有する一連のガスコンポーネントを有する、従来のガス流路（ガススティック）を示す図である。
【図２Ａ】  本発明におけるモジュールタイプで垂直積み上げ式のサーフィスマウント型の形態で、取り外し可能な接続方法で接続されたフィルタと圧力変換器との機能を併せ持った形態を示す。
【図２Ｂ】  図２Ａで示した形態のユニットの概観を示している。
【図２Ｃ】  図２Ａで示した形態のユニットの概観を示している。
【図２Ｄ】  図２Ａで示した形態のユニットの概観を示している。
【図２Ｅ】  図２Ａの形態のフィルタ部で使用しうるチューブフィルタメンブレインを示している。
【図３】  本発明の図２Ａの形態に組み込まれたガススティックを示している。
【図４】  本発明の他の形態で、取り外し可能な接続方法で接続されたフィルタ及びバルブの機能を併せ持った垂直積み上げ式でモジュールタイプのサーフィスマウント型の形態を示している。
【図５Ａ】  本発明の集積されたサーフィスマウント型の単一ユニットタイプの多機能ガスコンポーネントにおける一形態で、パーマネントコネクションにより接続された形態を示している。
【図５Ｂ】  本発明の集積されたサーフィスマウント型の単一ユニットタイプの多機能ガスコンポーネントにおける一形態で、パーマネントコネクションにより接続された形態を示している。
【図５Ｃ】  本発明の集積されたサーフィスマウント型の単一ユニットタイプの多機能ガスコンポーネントにおける一形態で、パーマネントコネクションにより接続された形態を示している。
【図６】  直列接続型の多機能ユニットの形態で、取外し可能な（モジュール型の）コネクション及びパーマネントコネクション（一体形成による接続）の双方を用いて接続し、フィルタ及びマスフローコントローラの機能を併せ持った形態を示している。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図２Ｅ】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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