(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
前後方向に移動する板状の基材の下面に塗工液を塗布するために左右方向に延びるように配され、毛管現象により塗工液を吐出口へと導く塗工液上昇経路を有するノズルと、
前記ノズルを収納し前記塗工液上昇経路の下部へと塗工液を供給する液溜め槽とを備えた塗工装置において、
前記塗工液上昇経路に、塗工液の毛管現象を促進する毛管現象促進部材を設け、
前記毛管現象促進部材は、前記塗工液が上昇する方向に延びる仕切り壁であって、前記左右方向に延びる平板であり、前記塗工液上昇経路が２層以上のスリット状経路からなり、
前記各スリット状経路の間隔を決定するスペーサ板が、前記吐出口上にあって塗布領域を挟む個所に配置され、この個所において該吐出口を閉塞することを特徴とする塗工装置。
【請求項２】
バックアップロールによって前後方向に移動する長尺状の基材の下面に塗工液を塗布するために左右方向に延びるように配され、毛管現象により塗工液を吐出口へと導く塗工液上昇経路を有するノズルと、
前記ノズルを収納し前記塗工液上昇経路の下部へと塗工液を供給する液溜め槽とを備えた塗工装置において、
前記塗工液上昇経路に、塗工液の毛管現象を促進する毛管現象促進部材を設け、
前記毛管現象促進部材は、前記塗工液が上昇する方向に延びる仕切り壁であって、前記左右方向に延びる平板であり、前記塗工液上昇経路が２層以上のスリット状経路からなり、
前記各スリット状経路の間隔を決定するスペーサ板が、前記吐出口上にあって塗布領域を挟む個所に配置され、この個所において該吐出口を閉塞することを特徴とする塗工装置。
【請求項３】
前記仕切り壁をなす平板、及び、前記スペーサ板が、前記ノズルを構成する一対の基本部材の間に狭持されて保持されることを特徴とする請求項１または２に記載の塗工装置。
【請求項４】
前後方向に移動する板状の基材の下面に塗工液を塗布するために左右方向に延びるように配され、毛管現象により塗工液を吐出口へと導く塗工液上昇経路を有するノズルと、
前記ノズルを収納し前記塗工液上昇経路の下部へと塗工液を供給する液溜め槽とを備えた塗工装置において、
複数の前記ノズルが前記前後方向に並べて配され、一の前記ノズルによる塗布の後に他の前記ノズルによりさらに塗布を行うことにより、前記基材に対して重ね塗りが行われ、
前記塗工液上昇経路の間隔を決定するスペーサ板が、前記吐出口上にあって塗布領域を挟む個所に配置され、この個所において該吐出口を閉塞することを特徴とする塗工装置。
【請求項５】
バックアップロールによって前後方向に移動する長尺状の基材の下面に塗工液を塗布するために左右方向に延びるように配され、毛管現象により塗工液を吐出口へと導く塗工液上昇経路を有するノズルと、
前記ノズルを収納し前記塗工液上昇経路の下部へと塗工液を供給する液溜め槽とを備えた塗工装置において、
複数の前記ノズルが前記前後方向に並べて配され、一の前記ノズルによる塗布の後に他の前記ノズルによりさらに塗布を行うことにより、前記基材に対して重ね塗りが行われ、
前記塗工液上昇経路の間隔を決定するスペーサ板が、前記吐出口上にあって塗布領域を挟む個所に配置され、この個所において該吐出口を閉塞することを特徴とする塗工装置。
【請求項６】
前記スペーサ板が、前記ノズルを構成する一対の基本部材の間に狭持されて保持されることを特徴とする請求項４または５に記載の塗工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板、乾板、金属板といった板状の基材、またはプラスチックフィルム、金属箔、布帛、不織布といった長尺・可撓性の基材（ウェブ）等に塗工液を塗布するための塗工装置、及びこれに用いるノズルに関する。特には、毛管現象を用いる塗工装置及びノズルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や平面表示装置の分野において、基板上に保護膜等をなすための均一な膜を形成する技術としては、スピンコーティング等が一般的であった。
【０００３】
しかし、スピンコーティングであると、基板の縁部における隆起部の形成や、塗工液の跳ね上がりという問題があった。また、基板の所定領域にのみ塗布を行うことができず、また、むだになる塗工液が多くコスト削減が図れないという問題があった。
【０００４】
そこで、近年、毛管現象を用いて塗布を行う塗工装置が提案されている（特開平８-２２５２８号、特開平６-４３９０８号）。このような塗工装置においては、塗布幅方向へと線状に延びるノズルに、塗工液を毛管現象によりノズルの吐出口へと導くスリット状の塗工液上昇経路が備えられ、上方に位置する基材の下面に塗工液を塗布する。
【０００５】
詳しくは、塗布幅方向へと線状に延びる蓋付き液溜め槽に、上記ノズルを沈めておき、塗工する際には、蓋を開けるとともにノズルを上昇させて、ノズル上端の吐出口が上方へと突出し、基材の下面に近接配置されるようにする。そして、ノズル吐出口上のメニスカスを基材の下面に接触（接液）させて、塗工を行う。
【０００６】
このような方法であると、塗工液は、一つのスリット状の塗工液上昇経路を通じてのみ、毛管現象により吐出口へと供給される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
そのため、かなり厚さの小さい薄膜を塗工する場合には適しているが、塗布厚をある限度以上に大きくすることはできなかった。塗工液上昇経路のスリット幅を調整することにより、塗工液の供給量をある範囲内で増大させることはできるが、毛管現象を用いている関係上、スリット幅をある所定幅以上に大きくすると、かえって塗工液の供給量が減少してしまうからである。
【０００８】
塗布厚を大きくする目的で、塗工速度を調整したり、また塗工液の濃度を大きくすることも考えられたが、濃度を上昇させても、粘度の上昇により供給量が減少するなどの理由で、ほとんど効果が得られない場合が多かった。
【０００９】
また、液溜め槽の液面からノズル先端の吐出口への塗工液上昇の高さを小さくとることや、ノズル先端と基材とのギャップを小さくとることなどの工夫も考えられたが、これらを最適化しても、それほど塗布厚を大きくすることができなかった。
【００１０】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、毛管現象によって塗工液を液溜め槽からノズル先端へと導く塗工装置において、塗布厚の増大または塗布処理効率の向上を実現できる塗工装置を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１の塗工装置は、前後方向に移動する基板に塗工液を塗布するために左右方向に延びるように配され、毛管現象により塗工液を吐出口へと導く塗工液上昇経路を有するノズルと、前記ノズルを収納し前記塗工液上昇経路の下部へと塗工液を供給する液溜め槽とを備えた塗工装置において、前記塗工液上昇経路に、塗工液の毛管現象を促進する毛管現象促進部材を設けたことを特徴とする。
【００１２】
上記構成により、基材への塗工液供給量を大きくすることができ、塗布厚の増大を実現することができる。
【００１３】
請求項２の塗工装置は、前後方向に移動するウェブに塗工液を塗布するために左右方向に延びるように配され、毛管現象により塗工液を吐出口へと導く塗工液上昇経路を有するノズルと、前記ノズルを収納し前記塗工液上昇経路の下部へと塗工液を供給する液溜め槽とを備えた塗工装置において、前記塗工液上昇経路に、塗工液の毛管現象を促進する毛管現象促進部材を設けたことを特徴とする。
【００１４】
請求項４の塗工装置においては、前記毛管現象促進部材としての仕切り壁が、前記左右方向に延びる平板であり、前記塗工液上昇経路が２層以上のスリット状経路からなることを特徴とする。
【００１５】
このような構成により、簡単な構造部材を追加するだけで、塗工液供給量を大きく増大させることができる。
【００１６】
請求項５の塗工装置においては、前記仕切り壁をなす平板、及び、スペーサ板が、前記ノズルを構成する一対の基本部材の間に狭持されて保持されることを特徴とする。
【００１７】
このような構成により、吐出口上の閉塞領域に位置を自由に変更することができ、塗布幅の変更を容易に行うことができる。
【００１８】
請求項７〜８の塗工装置においては、前後方向に移動する板状または長尺状の基材の下面に塗工液を塗布するために左右方向に延びるように配され、毛管現象により塗工液を吐出口へと導く塗工液上昇経路を有するノズルと、前記ノズルを収納し前記塗工液上昇経路の下部へと塗工液を供給する液溜め槽とを備えた塗工装置において、複数の前記ノズルが前記前後方向に並べて配され、一の前記ノズルによる塗布の後に他の前記ノズルによりさらに塗布を行うことにより、前記基材に対して重ね塗りを行うことを特徴とする。
【００１９】
上記構成によっても、基材への塗工液供給量を大きくすることができ、塗布厚の増大を実現することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
<第１の実施例>
本発明の第１の実施例について、図１〜４を用いて説明する。
【００２１】
図１は、塗工装置の要部、及び、ガラス基板２８下面への塗布の様子を模式的に示す切開斜視図である。ここで、ガラス基板２８は、液晶表示装置の表示パネル等に用いられるものであり、塗工液は、例えば、保護膜を形成するためのものである。
【００２２】
塗布幅方向に線状に延びるノズル８２は、その中央部の塗布領域において、略水平に移動するガラス基板２８の下面へと順次塗工液を供給する。すなわち、ガラス基板２８の移動に伴い、ガラス基板２８を濡らす塗工液が、ノズル８２の先端の吐出口８３からガラス基板２８の下面へと、塗工液の表面張力により順次引き上げられて塗布が行なわれる。
【００２３】
ノズル８２は、横断面（塗布方向断面）において、略矩形状ないしは略台形状の本体部から上方にくちばし状の吐出口８３部分が突き出してなり、下面から吐出口８３へと垂直に延びる、スリット状の塗工液上昇経路８８を有している。横断面で示すように、塗工液上昇経路８８は、平板状の仕切り板８５により分割されて多層スリットをなしている。図示の例では、ノズル８２を構成する一対のノズル基本部材８６の間に、３枚の仕切り板８５がスペーサ板８７を介して狭持され、４層のスリット状経路８８-1〜4をなしている。これら仕切り板８５は、垂直に配され、ノズル基本部材８６における内側面すなわち塗工液上昇経路８８に臨む垂直の壁面と平行に配置される。
【００２４】
ノズル８２は、液溜め槽６６中に収納され、塗布を行う際、吐出口８３の部分を除き、液溜め槽６６中に溜められた塗工液中に沈められる。
【００２５】
液溜め槽６６は、図に示すように、横断面が、アルファベットのＣ字を左に倒したような形状であり、塗布を行う際、上方のスリット状開口８４から、ノズル８２の吐出口８３が上方へ突き出す。ここで、液溜め槽６６における液面の高さは、後述の液面高さ調整機構により所定の高さに保たれる。また、ノズル８２及び液溜め槽６６の高さ位置も後述の上下動・支持機構により所定の値に保たれる。
【００２６】
ノズル８２の塗布幅方向の両端では、ノズル８２を構成する各部材８５〜８７がネジ８９によりネジ止めされる。また、ノズル８２は、この両端部でノズル支持シャフト７８により支持され、後述するように、このノズル支持シャフト７８を介して上下動される。ノズル支持シャフト７８の上端部は、液溜め槽６６の底面を貫通するが、この底面の開口に口部が接合されたジャバラ状のブーツ（閉塞部材）９８が配されて、塗工液の漏れ出しが防止されている。
【００２７】
なお、吐出口８３上における、塗布を行う塗布領域８３ａは、スペーサ板８７により吐出口８３が閉塞された閉塞領域８３ｂより塗布幅方向両側から挟まれている。閉塞領域８３ｂより外の領域８３ｃでは、図に示すように、塗工液９０のメニスカス９０ａが形成される。
【００２８】
３枚の仕切り板８５は、両端部にネジ用通孔が設けられ、一対のノズル基本部材８６の間で、ネジ８９により固定される。この際、上記の一対の閉塞領域８３ｂを形成する個所で、仕切り板８５同士の間、及び、仕切り板８５とノズル基本部材８６との間に、スペーサ板８７が挟み込まれる。したがって、例えば、ノズル８２には、両側で４枚ずつ、計８枚のスペーサ板８７が挟み込まれる。
【００２９】
ノズル８２の下端部には、スリット状経路８８-1〜4の下端から下方へ開いた断面ラッパ状の塗工液導入部が形成されている。すなわち、各ノズル基本部材８６には、内側面下端の塗工液導入部に望む個所に、斜面８６ｂが形成されている。
【００３０】
本実施例のノズルであると、上記に説明したように、塗工液上昇経路８８が多層スリットとして形成され、各仕切り壁８５が毛管現象による塗工液９０の引き上げに寄与するので、毛管現象を用いる塗工ノズルにあって、単層スリットを用いる従来技術のものに比べて、多量の塗工液を供給することができる。
【００３１】
すなわち、スリット状経路８８-1〜4の数の分だけ従来よりも塗布厚が増大する。
【００３２】
ノズル基本部材８６及び仕切り板８５は、具体例において、ステンレス製であるが、塗工液に対する濡れ性が良く、毛管現象を充分に引き起こす材料であるならば、他の金属、プラスチック等からなるものでも良い。
【００３３】
上記実施例によると、このように塗工液供給量を増大させても、追加する部材は、単純な構造の仕切り板８５及びスペーサ板８７のみであり、組立作業も容易である。特には、スペーサ板８７を配置する位置を変更するだけで、閉鎖領域８３ｂの位置を容易に変更することができる。したがって、塗布幅の設定及び変更を容易に行うことができる。
【００３４】
また、このように、塗布領域８３ａの両側に、吐出口８３が閉塞された閉鎖領域８３ｂが設けられることにより、塗布領域８３ａの両端における塗布厚の変化を効果的に防止することができる。閉鎖領域８３ｂが設けられない場合、塗布幅の外側の領域８３ｃにある塗工液のメニスカス９０ａから、ガラス基板２８下面の塗布幅両端部へと、塗工液が引き込まれるか、または、該メニスカス９０ａからの表面張力が作用するため、塗布幅両端部及びその付近等で塗布厚が変化してしまうのである。
【００３５】
次に、図２〜３を用いて、ノズル８２を支持し上下動させる支持・駆動機構、及び、液溜め槽６６を支持し上下動させる支持・駆動機構について簡単に説明する。
【００３６】
液溜め槽６６が、断面Ｌ字状の液溜め槽支持部材５４と、片くさび形の可動コッタ３４，３６とを介して、ベースプレート３２から支持される。
【００３７】
液溜め槽支持部材５４は、上端に液溜め槽６６が固着された垂直板５６と、垂直板５６の下端に接続する水平板５８と、水平板５８の中央部から下方に突き出し、ベースプレートからのガイドシャフト６４を受けるガイドシャフト受け部６５と、このガイドシャフト受け部６５の両側で水平板５８から下方に突き出す脚部６０，６２とからなる。
【００３８】
可動コッタ３４，３６は、上面に、液溜め槽支持部材５４の脚部６０，６２を載置する、滑り台状の斜面を有し、サーボモーター５２及びボールネジ５０により、塗布幅方向に駆動される。すなわち、可動コッタ３４，３６が塗布幅方向に駆動されることにより、液溜め槽支持部材５４が精密に上下動される。この際、ガイドシャフト６４及びガイドシャフト受け部６５により、液溜め槽支持部材５４の水平方向への位置ズレが防止されている。
【００３９】
なお、脚部６０，６２と可動コッタ３４，３６との間には、リニアウェイ４２，４８が形成されており、可動コッタ３４，３６とベースプレート３２との間にも同様にリニアウェイ３８，４４が形成されている。
【００４０】
一方、ノズル８２の両端を支持するノズル支持シャフト７８，８０は、上下可動プレート７４、及び、水平可動プレート７０を介して、液溜め槽支持部材５４から支持されている。
【００４１】
液溜め槽支持部材５４を支持する上下可動プレート７４には、液溜め槽支持部材５４の水平板５８から上方に突き出すガイドシャフト７６を受けるためのガイドシャフト受け部７５が接合される。これにより、上下可動プレート７４は水平方向の位置ズレが防止されている。
【００４２】
水平可動プレート７０は、水平方向に配置された一対のリニアウェイ６８を介して液溜め槽支持部材５４の垂直板５６から支持され、エアシリンダ７１によって塗布幅方向に駆動される。
【００４３】
液溜め槽支持部材５４を支持する上下可動プレート７４は、一方へと下がる斜めに配置された一対のリニアウェイ７２を介して、水平可動プレート７０から支持され、水平可動プレート７０が水平方向に駆動されるに伴い、上下に駆動される。このようにして、ノズル８２が、エアシリンダ７１の駆動にしたがい、水平可動プレート７０の水平方向駆動を介して、上下に駆動される。
【００４４】
なお、ガラス基板２８は、吸引機構を備えた吸引テーブル２４により支持され、所定の速度で移動される。吸引テーブル２４その他、塗工装置全体の構成、及び塗工の詳しい工程については、特願平１１−２４５４９７と同様である。
【００４５】
図３中には、液溜め槽６６からツノ状に突き出した液面高さ検知管１１２が示されているが、これは特願平１１−２４５４９７に詳述されるように、液面検知センサを備え、塗工液タンクから液溜め槽６６へのポンプによる塗工液供給量を制御するためのものである。液溜め槽６６からのドレイン管と塗工液供給量とのバランスにより、液溜め槽６６の液面高さが所定の値に保たれる。
【００４６】
上記のような上下動・支持機構であると、精密な上下動及び高さ位置の設定が簡単な構造により実現できる。
【００４７】
<第２の実施例>
次に、第２の実施例の塗工装置について、図４の模式的な断面図により説明する。
【００４８】
本実施例では、図４に示すように、従来技術と同様の単層スリットのノズル８２'が２重に設けられ、ガラス基板２８の下面には、二つのノズル８２'-1，８２'-2からほぼ連続して塗布が行なわれる。すなわち、二つのノズル８２'-1，８２'-2が、塗布方向に重なるように並べて配置され、１番目のノズル８２'-1により塗布が行なわれた後、さらに、２番目のノズル８２'-2により塗布が行なわれることにより、重ね塗りが行なわれる。
【００４９】
したがって、上記実施例の場合と同様、従来技術の毛管現象式塗工ノズルを用いる場合に比べて、単位時間あたりの塗工液供給量を大きくすることができ、塗布厚の増大を実現することができる。
【００５０】
なお、本実施例においても、スペーサ板８７等による閉塞領域８３ｂを、塗布領域８３ａの両側に設けて、塗布領域両端部での塗布厚の変化を防止することができる。また、上記の上下動駆動機構を用いて精密かつ確実な上下動を行うことができる。
【００５１】
<変形例１〜１６>
次に、変形例１〜１６のノズルについて図５を用いて説明する。これら変形例では、第１の実施例における塗工液上昇経路８８の構成について種々の変更を加えている。
【００５２】
変形例１（１）は、１対のノズル基本部材８６間のスリット状経路中に、径がこのスリット状経路の幅に等しい垂直の丸棒を密に並列させたものである。すなわち、隣り合う丸棒と、ノズル基本部材８６の平壁との間ごとに毛管状の微少な塗工液上昇経路が形成される。
【００５３】
変形例２（２）では、変形例１の丸棒が中空円筒状のパイプに置き換えられ、パイプ中の空間も毛管状の微少な塗工液上昇経路をなしている。
【００５４】
変形例３（３）では、片面に多数の縦溝（垂直方向の溝）が密に並列されたプレートが、１対のノズル基本部材８６間に挟みこまれ、この多数の縦溝が、それぞれ毛管状の微少な塗工液上昇経路をなしている。
【００５５】
変形例４〜５（４〜５）では、多数の垂直通孔（縦穴）が密に並列されたプレートが、１対のノズル基本部材８６間に挟みこまれ、この多数の縦穴が、それぞれ毛管状の微少な塗工液上昇経路をなしている。変形例４では縦穴の断面が矩形（角型）であるのに対して、変形例５では、縦穴の断面が略楕円径である。
【００５６】
変形例６（６）では、多孔性の金属燒結体からなるプレートが、１対のノズル基本部材８６間に挟みこまれている。金属燒結体中の複雑な連続空隙が多数の毛管状の微少な塗工液上昇経路をなしている。
【００５７】
変形例７（７）では、水平断面がパルス波形状であるプレート、すなわち、両面に多数の縦溝（垂直方向の溝）を密に並列されたプレートが１対のノズル基本部材８６間に挟みこまれ、この多数の縦溝が、それぞれ毛管状の微少な塗工液上昇経路をなしている。
【００５８】
変形例８（８）は、１対のノズル基本部材８６間のスリット状経路中に、径がこのスリットの間隔より小さい多数の垂直の丸棒を密に並列させたものである。これにより、丸棒同士、または丸棒とノズル基本部材８６の平壁との間に多数の毛管状の微少な塗工液上昇経路が形成される。
【００５９】
変形例９（９）では、変形例８の丸棒が中空円筒状のパイプに置き換えられ、パイプ中の空間も毛管状の微少な塗工液上昇経路をなしている。
【００６０】
変形例１０では、水平断面がサイン波状ないしはのこ歯状であるプレートが用いられている。
【００６１】
変形例１１では、目の細かい金網が挟み込まれている。
【００６２】
変形例１２では、垂直方向に配向された多数の親水性繊維または親水化処理されたカーボン繊維が密に並列されており、変形例１３では、親水性繊維または親水化カーボン繊維からなる布または不織布が用いられる。
【００６３】
変形例１４〜１５では、上記第１の実施例と同様、平板からなる仕切り板が用いられるが、幅の狭い、すなわち塗布幅方向の寸法が小さいスペーサ部材８７'，８７"が多数、略一定の間隔をおいて並列されて用いられる。変形例１４におけるスペーサ部材８７'は、細長い板状であり、ところどころでまとめて配置される。すなわち、スリットの幅方向（塗工装置の塗布方向）に重ねあわさるように配置される。これに対して変形例１５におけるスペーサ部材８７"は、断面が略正方形であり、スリット層ごとに異なる位置に配置される。
【００６４】
変形例１６は、ボール状または砂状の粒子が密に埋め込まれて、これらの間の連続空隙が毛管状の微少な塗工液上昇経路をなしている。
【００６５】
これら変形例において、一対のノズル基本部材８６の間に挟み込まれる構造材またはスペーサは、塗工液に対する濡れ性が良く、毛管現象を充分に引き起こす材料であるならば、金属製でもプラスチック製でも良く、多数の繊維が集合してなるものでも、金属箔やプラスチックフィルムからなるものでも良い。
【００６６】
上記変形例１〜１６であっても、前述の第１の実施例とほぼ同様の効果が得られる。これら変形例において、塗工液に濡れ性を有し前記毛管現象に寄与する壁面は、水平断面に表れるものを見た場合、これらの構造物を配置しなかった場合に比べて、少なくとも１．３倍以上、通常１．５倍以上、好ましくは、１．７倍以上、より好ましくは、２倍以上である。
【００６７】
<変形例１７〜１８>
上記第１及び第２の実施例において、ガラス基板等の基板の下面に塗布を行う場合を例にとり説明したが、フィルムや不織布等の可撓性長尺部材に対しても全く同様に塗布を行うことができる。
【００６８】
図６に示す変形例１７においては、バックアップロール２０４の直下に、上記第１の実施例のノズル８２を配置して、可撓性長尺部材（ウェブ）２０２がバックアップロール２０４に沿って送られるようにした。
【００６９】
図７に示す変形例１８においては、二つのバックアップロール２０４-1，２０４-2を並べて配置し、これら各の直下に、上記第２の実施例の単スリットノズル８２'-1，８２'-2をそれぞれ配置した。そして、同様に、可撓性長尺部材（ウェブ）２０２がバックアップロール２０４-1及び２０４-2に沿って送られるようにした。
【００７０】
【発明の効果】
基材への塗工液供給量を大きくすることができ、塗布厚の増大を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施例に係る、塗工装置の要部、及び、ガラス基板下面への塗布の様子を模式的に示す切開斜視図である。
【図２】ノズル及び液溜め槽をそれぞれ上下動させる駆動機構について説明するための模式的な切開斜視図である。
【図３】図２に示す駆動機構をさらに説明するための、塗布方向から見た塗工装置の模式的な正面図である。
【図４】第２の実施例に係る塗工装置の要部について説明するための模式的な縦断面図である。
【図５】変形例１〜１６のノズルの構成について模式的に示す断面斜図である。
【図６】変形例１７の塗工装置について模式的に示す縦断面図である。
【図７】変形例１８の塗工装置について模式的に示す縦断面図である。
【符号の説明】
２８  ガラス基板
６６  液溜め槽
７８  ノズル支持シャフト
８２  ノズル
８３  ノズルの吐出口
８３ａ  ノズルの吐出口上における塗布領域
８３ｂ  閉塞領域
８４  液溜め槽のスリット状開口
８５  仕切り板
８６  ノズル基本部材
８７  スペーサ板
８８  塗工液上昇経路
８９  ネジ
９８  ブーツ
【図１】
0003663448.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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