(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体流路を流れる流体の流量を電磁力に応答して調整する油圧サーボ弁を制御対象として、前記油圧サーボ弁の駆動を制御する複数の制御系を備え、前記各制御系は、前記油圧サーボ弁の調整による流量を検出する流量検出手段と、前記油圧サーボ弁に対する指令値と前記流量検出手段の検出値とを比較して両者の偏差が設定値の範囲から外れているときには、ゼロゲインまたは積分ゲインのうちゼロゲインを選択するスイッチからの信号と比例ゲインの信号とを加算することにより比例ゲインを選択し前記両者の偏差が前記設定値の範囲内にあるときには、ゼロゲインまたは積分ゲインのうち積分ゲインを選択するスイッチからの信号と比例ゲインの信号とを加算することにより比例積分ゲインを選択し各選択したゲインで前記両者の偏差を補正して制御信号を生成する制御信号生成手段と、前記制御信号に従った電磁力を前記油圧サーボ弁に与える電磁力発生手段とからなる油圧サーボ制御装置。
【請求項２】
流体流路を流れる流体の流量を油圧に従った開度で調整する流量調整弁を制御対象として、前記流量調整弁に、前記流量調整弁を電磁力に応じた油圧により駆動する油圧サーボ回路を介して接続されて、前記油圧サーボ回路の駆動を制御する複数の制御系を備え、前記各制御系は、前記流量調整弁の開度を検出する開度検出手段と、開度指令値と前記開度検出手段の検出値との偏差を算出する偏差算出手段と、この偏差算出手段の算出値が設定値を超えたときに、ゼロゲインまたは積分ゲインのうちゼロゲインを選択するスイッチからの信号と比例ゲインの信号とを加算することにより比例ゲインを選択し前記偏差算出手段の算出値が前記設定値以下のときには、ゼロゲインまたは積分ゲインのうち積分ゲインを選択するスイッチからの信号と比例ゲインの信号とを加算することにより比例積分ゲインを選択し各選択したゲインで前記偏差算出手段の算出値を補正する偏差補正手段と、前記流量調整弁のオフセットに関する信号と前記偏差補正手段により補正された算出値に関する信号とを増幅して開度信号を生成する開度信号生成手段と、前記開度信号に従った電磁力を前記油圧サーボ回路に与えるサーボコイルとからなる油圧サーボ制御装置。
【請求項３】
流体流路を流れる流体の流量を油圧に従った開度で調整する流量調整弁と、この流量調整弁を電磁力に応じた油圧により駆動する油圧サーボ回路と、この油圧サーボ回路の駆動を制御する複数の制御系とを備え、前記各制御系は、前記流量調整弁の開度を検出する開度検出手段と、開度指令値と前記開度検出手段の検出値との偏差を算出する偏差算出手段と、この偏差算出手段の算出値が設定値を超えたときに、ゼロゲインまたは積分ゲインのうちゼロゲインを選択するスイッチからの信号と比例ゲインの信号とを加算することにより比例ゲインを選択し前記偏差算出手段の算出値が前記設定値以下のときには、ゼロゲインまたは積分ゲインのうち積分ゲインを選択するスイッチからの信号と比例ゲインの信号とを加算することにより比例積分ゲインを選択し各選択したゲインで前記偏差算出手段の算出値を補正する偏差補正手段と、前記流量調整弁のオフセットに関する信号と前記偏差補正手段により補正された算出値に関する信号とを増幅して開度信号を生成する開度信号生成手段と、前記開度信号に従った電磁力を前記油圧サーボ回路に与えるサーボコイルとからなる油圧サーボ制御システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、油圧サーボ制御装置に係り、特に、火力プラントにおける油圧式サーボ弁の開度を制御するに好適な油圧サーボ制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
火力プラントにおいては主蒸気量を調整するための弁や燃料流量を調整するための弁が用いられている。例えば、汽力プラントにおける蒸気タービンの主蒸気量を調整するための主蒸気加減弁、ガスタービン−コンバインドプラントにおいて燃料流量を調整するための燃料流量調節弁が用いられており、これらの弁には、制御応答性、精度などを考慮して、通常、油圧式のサーボ弁が採用されている。
【０００３】
油圧式サーボ弁は、蒸気などの流体の流路を形成する流体流路中に挿入された弁と、この弁に接続されたピストンと、このピストンを往復動自在に収納するシリンダと、シリンダに油圧を供給する油圧アクチュエータを備えており、この油圧アクチュエータがトルクモータに接続されている。油圧アクチュエータの油圧を調整するトルクモータには開度信号に応答して電磁力を発生するサーボコイルが設けられている。このサーボコイルは、信頼性向上のために、通常、２〜３本で構成されており、複数本のコイルを採用することで、多コイル式油圧サーボ弁を構成する。また、トルクモータを駆動するドライブ回路においては、弁の開度を検出する開度計の出力信号と開度指令との偏差を求め、この開度偏差に制御ゲインを掛け算して開度信号を生成し、この開度信号に従った電流をサーボコイルに供給する回路構成が採用されている。多コイル式油圧サーボ弁に用いられるドライブ回路の制御ゲインは、開度偏差に対する高い応答性が求められているところから、比例ゲインを要素としたもので構成されている。
【０００４】
また、多コイル式油圧サーボ弁のシリンダ内に挿入されたピストンロッドにはコイルスプリングが巻き付けられており、このコイルスプリングの弾性力は弁に対して常に閉じる方向に作用する。このため、制御システムの電源が遮断されてサーボコイルに電流が供給されなくなったときには、コイルスプリングの弾性力により弁が流体流路を閉塞し、システム全体を安全方向に移行させる。この場合、電源遮断時に弁を閉弁方向に付勢するコイルスプリングの弾性力を考慮して、ドライブ回路にはオフセットがヌルバイアスとして設定されている。このヌルバイアスを示すオフセット信号を開度信号に加えることで、コイルスプリングの弾性力と釣合いを保ちながら弁の開度を制御する構成が採用されている。すなわち、開度偏差（制御偏差）を制御ゲインで補正して得られた信号を多コイルに伝送する伝送系を複数の伝送系に分け、各伝送系にそれぞれ増幅器（サーボアンプ）を設け、コイルスプリングの弾性力を考慮したヌルバイアスとして、電源遮断時におけるコイルスプリングの弾性力をコイルの数に応じて分割した値を用い、この値をオフセット信号として各増幅器の入力側に付加する構成を採用している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術においては、制御ゲインの要素と各コイルを結ぶ系が単に複数の伝送系で構成されているだけであるため、一部のコイルが断線したときには、断線したコイルに接続された増幅器からの信号がコイルに供給されなくなり、故障した系に割り当てられたオフセット分だけ制御系全体のオフセットにずれが生じ、弁開度に偏差が生じ、サーボ弁を高精度に制御できなくなる。
【０００６】
さらに、ドライブ回路のうち制御ゲインの要素と各コイルとを結ぶ系のみが多重系で構成されているが他の要素は単一の系になっているため、開度偏差を求める減算器など各コイル共通の要素が故障すると、サーボ弁を制御できず、システムの信頼性を損なう恐れがある。またドライブ回路にコイルごとの独立性が保たれていないので、保守を行うにも、各コイル共通の部分を稼動中に保守できず、各コイル共通の部分を考慮した保守手順が必要となり、保守作業が面倒である。またさらに人為的ミスにより各コイル共通部分が損傷したときには、サーボアンプを多重の冗長構成にしても、システムの運用が停止されることになる。
【０００７】
なお、２重系のサーボアンプとして、２つのサーボコイルに２段の増幅器を接続し、各増幅器に、ポジティブフィードバック回路を構成する抵抗を接続した構成を採用すれば、一方のサーボコイルが断線したときには、一方の増幅器のゲインを２倍にすることで、一方のサーボコイルの断線に伴うオフセットを吸収できる。しかし、この方式を採用しても、一部の抵抗や増幅器が故障すると、システム全体が停止することになる。
【０００８】
本発明の目的は、多重制御系のうち一部の制御系の異常によっても制御対象を制御できる油圧サーボ制御装置および油圧サーボ制御システムを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、流体流路を流れる流体の流量を電磁力に応答して調整する油圧サーボ弁を制御対象として、前記油圧サーボ弁の駆動を制御する複数の制御系を備え、前記各制御系は、前記油圧サーボ弁の調整による流量を検出する流量検出手段と、前記油圧サーボ弁に対する指令値と前記流量検出手段の検出値とを比較して両者の偏差が設定値の範囲から外れているときには、ゼロゲインまたは積分ゲインのうちゼロゲインを選択するスイッチからの信号と比例ゲインの信号とを加算することにより比例ゲインを選択し前記両者の偏差が前記設定値の範囲内にあるときには、ゼロゲインまたは積分ゲインのうち積分ゲインを選択するスイッチからの信号と比例ゲインの信号とを加算することにより比例積分ゲインを選択し各選択したゲインで前記両者の偏差を補正して制御信号を生成する制御信号生成手段と、前記制御信号に従った電磁力を前記油圧サーボ弁に与える電磁力発生手段とからなる油圧サーボ制御装置を提案する。
【００１０】
本発明は、また、流体流路を流れる流体の流量を油圧に従った開度で調整する流量調整弁を制御対象として、前記流量調整弁に、前記流量調整弁を電磁力に応じた油圧により駆動する油圧サーボ回路を介して接続されて、前記油圧サーボ回路の駆動を制御する複数の制御系を備え、前記各制御系は、前記流量調整弁の開度を検出する開度検出手段と、開度指令値と前記開度検出手段の検出値との偏差を算出する偏差算出手段と、この偏差算出手段の算出値が設定値を超えたときに、ゼロゲインまたは積分ゲインのうちゼロゲインを選択するスイッチからの信号と比例ゲインの信号とを加算することにより比例ゲインを選択し前記偏差算出手段の算出値が前記設定値以下のときには、ゼロゲインまたは積分ゲインのうち積分ゲインを選択するスイッチからの信号と比例ゲインの信号とを加算することにより比例積分ゲインを選択し各選択したゲインで前記偏差算出手段の算出値を補正する偏差補正手段と、前記流量調整弁のオフセットに関する信号と前記偏差補正手段により補正された算出値に関する信号とを増幅して開度信号を生成する開度信号生成手段と、前記開度信号に従った電磁力を前記油圧サーボ回路に与えるサーボコイルとからなる油圧サーボ制御装置を提案する。
【００１１】
本発明は、さらに、流体流路を流れる流体の流量を油圧に従った開度で調整する流量調整弁と、この流量調整弁を電磁力に応じた油圧により駆動する油圧サーボ回路と、この油圧サーボ回路の駆動を制御する複数の制御系とを備え、前記各制御系は、前記流量調整弁の開度を検出する開度検出手段と、開度指令値と前記開度検出手段の検出値との偏差を算出する偏差算出手段と、この偏差算出手段の算出値が設定値を超えたときに、ゼロゲインまたは積分ゲインのうちゼロゲインを選択するスイッチからの信号と比例ゲインの信号とを加算することにより比例ゲインを選択し前記偏差算出手段の算出値が前記設定値以下のときには、ゼロゲインまたは積分ゲインのうち積分ゲインを選択するスイッチからの信号と比例ゲインの信号とを加算することにより比例積分ゲインを選択し各選択したゲインで前記偏差算出手段の算出値を補正する偏差補正手段と、前記流量調整弁のオフセットに関する信号と前記偏差補正手段により補正された算出値に関する信号とを増幅して開度信号を生成する開度信号生成手段と、前記開度信号に従った電磁力を前記油圧サーボ回路に与えるサーボコイルとからなる油圧サーボ制御システムを提案する。
【００１２】
前記手段によれば、油圧サーボ弁に対する指令値（流量指令値）と実際の検出値（開度または流量）とを比較して両者の偏差（制御偏差）が設定値の範囲から外れているときには、単一の要素ゲインまたは比例ゲインを選択し、両者の偏差が設定値の範囲内にあるときには複数の要素を含むゲインまたは比例積分ゲインを選択し、各選択したゲインで両者の偏差を補正して制御信号を生成し、生成された制御信号に従った電磁力を油圧サーボ弁に与えるようにしているため、一部の電磁力発生手段が故障しても流量の偏差を補正できる。
【００１３】
また流量調整弁の開度と開度指令値との偏差を算出し、この算出値が設定値を越えたときに単一の要素ゲインまたは比例ゲインを選択し、算出値が設定値以下のときには複数の要素を含むゲインまたは比例積分ゲインを選択し、各選択したゲインで偏差算出値を補正し、補正された算出値に基づいた開度信号をサーボコイルに供給するようにしているため、一部のサーボコイルに断線などの異常が生じても、弁開度の偏差を補正できる。
【００１４】
さらに、電磁力発生手段またはサーボコイルに対する制御系が互いに独立して構成されているため、一部の制御系が故障などによって異常になっても、制御対象を高精度に制御できるとともに、各制御系ごとに保守点検でき、保守点検作業が容易になる。さらに制御系の一部が人為的ミスによって異常になってもシステム全体が停止するのを防止できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態を説明する。
図１は、本発明の一実施形態を示すシステムの全体構成図である。図１において、油圧サーボ制御システムは、例えば、火力プラントにおいて主蒸気または燃料流量を制御するためのシステムとして、ドライブ回路１０，１２，１４、油圧サーボ弁１６、開度計２０，２２，２４などを備えて構成されている。油圧サーボ弁１６の流量調整弁１８は主蒸気または燃料を供給するための流体流路（図示省略）中に設けられており、流量調整弁１８の開度を調整することで主蒸気または燃料の供給量（流量）が制御される。油圧サーボ弁１６の調整による流量または流量調整弁１８の開度は開度計２０，２２，２４によって検出され、各開度計２０〜２４の検出値がそれぞれドライブ回路１０，１２，１４に入力されている。すなわち開度計２０〜２４はそれぞれ流量検出手段または開度検出手段として構成されており、各開度計２０〜２４、ドライブ回路１０〜１４は制御系の１要素として構成されている。なお、本実施形態においては、複数の制御系（多重制御系）として３重の制御系の構成のみを示しているが、４重系以上でも同様に構成できる。また、各ドライブ回路１０〜１４は同一の構成であるため、以下、ドライブ回路１０の構成を基本として説明する。
【００１６】
ドライブ回路１０は、制御信号生成手段として、減算器２６，偏差開始器２８，比例ゲイン３０，積分ゲイン３２，ゼロゲイン３４，スイッチ３６，加算器３８，オフセット４０，サーボアンプ４２を備えて構成されている。減算器２６は、油圧サーボ弁１６に対する指令値、具体的には流量調整弁１８に対する指令値（弁開度指令値）と開度計２０の計測による検出値とを比較して両者の偏差（制御偏差）を算出する偏差算出手段として構成されており、減算器２６の算出値が偏差監視器２８，比例ゲイン３０，積分ゲイン３２に入力されている。偏差監視器２８は、減算器２６の算出値を監視し、偏差の算出値が設定値の範囲から外れているときまたは偏差の算出値が設定値よりも大きいときにはゼロゲイン３４を選択するための信号をスイッチ３６に出力し、偏差の算出値が設定値の範囲内にあるときまたは偏差の算出値が設定値よりも小さいときには積分ゲイン３２を選択するための信号をスイッチ３６に出力する。また偏差の算出値は比例ゲイン３０と掛け算されて加算器３８に入力されている。また偏差の算出値は積分ゲイン３２と掛け算されてスイッチ３６に入力される。スイッチ３６は偏差監視器２８からの信号に応答して、ゼロゲイン３４または積分ゲイン３２を選択し、選択した信号を加算器３８に出力する。加算器３８は積分ゲイン３０からの信号とスイッチ３６からの信号とを加算し、加算した信号をサーボアンプ４０に出力する。すなわち、偏差監視器２８，比例ゲイン３０，積分ゲイン３２，ゼロゲイン３４，スイッチ３６，加算器３８は、偏差の算出値が設定値の範囲から外れているときまたは偏差の算出値が設定値よりも大きいときには単一の要素ゲインとして比例ゲイン３０を選択し、偏差の算出値が設定値の範囲内にあるときまたは偏差の算出値が設定値よりも小さいときには複数の要素を含むゲインとして、比例積分ゲイン（比例ゲイン３０＋積分ゲイン３２）を選択し、各選択したゲインで偏差の算出値を補正する偏差補正手段として構成されている。
【００１７】
サーボアンプ４２の入力側には加算器３８からの信号とともにオフセット４０に関する信号が入力されている。オフセット４０に関する信号は、流量調整弁１８に閉弁方向の弾性力を与えるコイルスプリングの弾性力を考慮し、このコイルスプリングの弾性力を３分割した値に対応付けて設定されている。サーボアンプ４２は、オフセット４０に関する信号と加算器３８からの信号を増幅し、制御信号としての開度信号を生成する開度信号生成手段として構成されており、開度信号が図２に示すトルクモータ４４に供給されている。
【００１８】
トルクモータ４４は、Ｕ字型の固定子４６，４８、回転子５０を備えており，固定子４６，４８の両端にそれぞれ磁極の相異なる磁石が固定されている。回転子５０はその中央部が軸５２によって回転自在に固定されており、この軸５２には回転子５２と交差するパイプ５４が回転自在に固定されている。回転子５０の外周側には多コイルとして、３本のサーボコイル５６，５８，６０が巻き付けられており、各サーボコイル５６，５８，６０はそれぞれドライブ回路１０〜１４のサーボアンプに接続されている。各サーボコイル５６〜６０に開度信号による電流が流れると、その電流の極性に応じた磁極が回転子５０の両端に形成され、各磁極が固定子４６，４８の磁石と吸引または反発することにより回転子５０とパイプ５４が軸５２を中心として回動する。すなわち、サーボコイル５６，５８，６０は電磁力発生手段として構成されており、サーボコイル５６〜６０から発生する電磁力、すなわち起磁力によって回転子５０とパイプ５４が軸５２を中心として回動する。
【００１９】
パイプ５４は、油圧サーボ弁１６の１要素として、制御油を供給するための配管６２の管路途中に設けられており、パイプ５４の一端にはノズル６４が設けられている。ノズル６４は油圧アクチュエータ６６の制御油導入口６８に配置されており、制御油導入口６８は、パイプ７０を介してシリンダ室７２の両側に接続されている。このシリンダ室７２内には可動部７４が往復動自在に挿入されており、パイプ５４の回動に伴ってノズル６４が回動することで、制御油の供給経路が切り替わり、制御油の供給経路の切り替わりに応じて可動部７４がシリンダ室７２内を往復動する。シリンダ室７２は配管７４を介して配管６２に接続されているとともに油圧シリンダ７６に接続されている。油圧シリンダ７６は油圧アクチュエータ６６，パイプ５４，配管６２，７４とともに油圧サーボ回路を構成するようになっており、油圧シリンダ７６のシリンダ室７８内にはピストン８０が往復動自在に挿入されている。ピストン８０のピストンロッド８２が流量調整弁１８に接続されているとともに開度計２０，２２，２４に接続されている。さらにピストンロッド８２の外周にはコイルスプリング８４が巻き付けられている。このコイルスプリング８４からは、矢印で示す方向の弾性力が発生し、この弾性力は、流量調整弁１８に対して閉弁方向に作用する。開度計２２〜２４は、例えば、差動トランスを用いて構成されており、各開度計２２〜２４はピストンロッド８２の移動に応じて振幅が変化する交流の開度信号を出力する。
【００２０】
ここで、サーボコイル５６〜６０に供給される開度信号の電流に従って回転子５０から矢印で示す方向の電磁力が発生すると、パイプ５４が矢印で示す方向に回動し、パイプ７０内には矢印で示す方向に制御油が流れ、可動部７４の移動に伴って油圧シリンダ７６に油圧が供給され、ピストン８０の移動に伴って流量調整弁１８の開度が調整される。
【００２１】
次に、図３を参照して、本実施形態におけるシステムの作用を説明する。
まず、油圧サーボ弁１６に対する開度指令値がドライブ回路１０に入力されると、この開度指令値と開度計２２の検出値との偏差が減算器２６において算出され、この算出値が偏差開始器２８において設定値と比較される。この設定値Ｇの範囲または大きさは、サーボコイル５６，５８，６０のうち１本のサーボコイルが断線したときの油圧サーボ弁１６のフルストロークに対する偏差の１〜２％に設定されている。なお、３本のサーボコイル５６，５８，６０のうち２本のサーボコイルが断線したときを考慮したときには、設定値Ｇの大きささを２〜３％に設定すればよい。
【００２２】
制御偏差の算出値が設定値の範囲から外れているときまたは設定値Ｇよりも大きいときにはゼロゲイン３４が選択され、加算器３８において比例ゲイン３０のみで偏差の算出値が補正される。このあと制御偏差に関する算出値が設定値の範囲内または設定値Ｇよりも小さくなったときには、積分ゲイン３２がスイッチ３６によって設定され、比例ゲイン３０と積分ゲイン３２とが加算器３８で加算され、比例積分ゲインによって偏差の算出値が補正されることになる。制御偏差の算出値が比例ゲイン３０と比例積分ゲイン（比例ゲイン３０＋積分ゲイン３２）で補正されたあとサーボアンプ４２で増幅される開度信号が生成される。この開度信号がサーボコイル５６に入力されると、油圧サーボ弁１６は実線で示す応答特性を示すことになる。この結果、制御偏差が大きいときには比例ゲイン３０によって即応性のある制御特性を示し、制御偏差が設定値Ｇの範囲になったときには比例積分ゲインによって定常偏差を補正した特性を示し、弁開度の偏差を高精度に補正できる。
【００２３】
このような制御が行われている過程で、例えば、タイミングｔ１において３本のサーボコイル５６〜６０のうち１本のサーボコイルが断線したときには、オフセット４０の一部が喪失することにより偏差が一旦発生する。しかし、この偏差は設定値Ｇの範囲内にあるため、制御ゲインは比例積分ゲインとなり、積分ゲイン３２の働きで弁開度の偏差が高精度に補正され、１本のサーボコイルの断線によっても弁開度を高精度に維持できる。
【００２４】
なお、制御ゲインとして比例ゲイン３０のみを用いた場合には、図４に示すように、ステップ応答に対する追従性を、油圧サーボ弁１６そのものの持つ追従特性に応じて良好な結果を示す。しかし、タイミングｔ１に示すように、一部のサーボコイルが断線すると、オフセットの一部が失われることによってコイルスプリング８４の弾性力との釣合いが取れなくなり、弁開度は指令値に対して定常的に偏差を持ったままとなる。
【００２５】
また、制御ゲインとして比例積分ゲインのみを用いた場合には、図５に示すように、ステップ応答に対する特性は、制御系そのものに遅れ要素があることから、油圧サーボ弁１６の持つ機械的追従特性よりさらに制御系の遅れを重畳した分だけ遅れることになる。ただし、一部のサーボコイルが断線したときには、タイミングｔ１に示すように、積分要素ゲインの有する定常偏差補正機能により、オフセットの一部喪失に伴う偏差は吸収され、結果として弁開度の偏差は補正される。
【００２６】
本実施形態によれば、制御偏差の大きさに応じて制御ゲインを切り替わるようにしているため、制御の応答性を高め、一部のサーボコイルの断線によっても開度の偏差を補正でき、油圧サーボ弁１６の弁開度を高精度に制御できる。さらに制御系が互いに独立に構成されているため、一部の制御系の異常によってシステム全体が停止するのを防止できるとともに、制御系ごとに保守点検でき、信頼性および保守性が高まる。
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば、制御偏差の大きさに応じて制御ゲインを切り替わるようにしているため、制御の応答性を高め、一部の制御系の異常によっても制御対象を高精度に制御できる。さらに制御系が互いに独立に構成されているため、一部の制御系の異常によってシステム全体が停止するのを防止できるとともに、制御系ごとに保守点検でき、信頼性および保守性が高まる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態を示すシステムの全体構成図である。
【図２】  油圧サーボ弁の概略構成図である。
【図３】  本実施形態におけるシステムのステップ応答特性図である。
【図４】  比例ゲインのみを用いたときのみのステップ応答特性図である。
【図５】  比例積分ゲインのみを用いたときのステップ応答特性図である。
【符号の説明】
１０，１２，１４  ドライブ回路
１６  油圧サーボ弁
１８  流量調整弁
２０，２２，２４  開度計
２６  演算器
２８  偏差監視器
３０  比例ゲイン
３２  積分ゲイン
３４  ゼロゲイン
３６  スイッチ
３８  加算器
４０  オフセット
４２  サーボアンプ
４４  トルクモータ
５６，５８，６０  サーボコイル
６６  油圧アクチュエータ
７６  油圧シリンダ
【図１】
0003700076.tif 000002
【図２】
0003700076.tif 000003
【図３】
0003700076.tif 000004
【図４】
0003700076.tif 000005
【図５】
0003700076.tif 000006