(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向中心軸を有する長いコアフィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）、
前記コアフィラメント上に施される導電性ボトム電極（１１）、
その誘電率が水分吸収量と相関関係にあり、前記ボトム電極（１１）上に施された活性フィルム（１２）、および
前記活性フィルム（１２）上に施される導電性表面電極（１３）からなる、ラジオゾンデで操作する容量型湿度検知器であって、
前記ボトム電極（１１）は一つまたは二つの円筒形スリーブにより構成され、
前記表面電極(１３)は一つの円筒形スリーブにより構成され、前記表面電極(１３)は水分が透過しそしてコアフィラメントの長手中心軸方向で部分的に一つまたは二つのボトム電極に重なり合うものであり、
そして、
前記コアフィラメントの径ＤＳはおよそ５０μｍ〜２００μｍの範囲にあり、そして検知器のキャパシタンス（ＣＭ）は、およそ２〜５００ｐＦの範囲にあることを特徴とする容量型湿度検知器。
【請求項２】
前記コアフィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）の円形断面において、検知器は円対称であり、検知器フィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）の長手中心軸方向に関して同軸であることを特徴とする請求項１記載の容量型湿度検知器。
【請求項３】
前記ボトム電極（１１）は二つの円筒スリーブにより構成され、各スリーブは内側端部および外側端部(１１ａ、１１ｂ)を有し、各スリーブは相対するように前記コアフィラメント上に施されてなり、そうして対向する内側端部同士は前記コアフィラメントの長さ方向で一定の距離(Ｌ０)をもって離隔し、活性フィルム(１２)は前記二つのスリーブ上に施され、そして前記円筒状表面電極(１３)は活性フィルム(１２)上に施され、前記表面電極(１３)は部分的に一定の軸方向長さ(ｌ)にわたり前記二つのスリーブの対向する内側端部と重なり合い、ここで、測定されるべきキャパシタンス（ＣＭ）は、前記二つのスリーブと表面電極（１３）との間の二つの円筒状コンデンサーを直列に接続されて形成され、前記測定されるべきキャパシタンス（ＣM ）は、前記二つのスリーブの外側端部(１１ａ、１１ｂ)間で測定されることを特徴とする請求項１または２に記載の検知器。
【請求項４】
コアフィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）は、該コアフィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）内に少なくとも一つの第１の抵抗ワイヤ（１４、１４ａ、１４ｂ）からなり、前記第１の抵抗ワイヤ（１４、１４ａ、１４ｂ）は検知器の電気加熱のためおよび／または前記抵抗ワイヤ（１４、１４ａ、１４ｂ）の抵抗が温度に依存することによる検知器の温度測定のために使用されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の検知器。
【請求項５】
コアフィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）は、コアフィラメント（１０Ｅ）、前記コア（１０Ｅ）に接してその周りに巻きついた第２の抵抗ワイヤ（１４ｃ）および前記第２の抵抗ワイヤ（１４ｃ）上の絶縁層（１６）からなり、前記第２の抵抗ワイヤ（１４ｃ）は検知器の電気加熱のためおよび／または検知器の温度測定のために使用されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の検知器。
【請求項６】
下記の工程（ａ）、（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）の組み合わせからなり記載のシーケンスで行われることを特徴とする容量型湿度検知器の製造方法：
（ａ）絶縁素材の連続したコアフィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）の外周面に円筒状に複数の導電性ボトム電極（１１）を真空蒸着して二つの連続する円筒形ボトム電極の対向する端が互いに軸方向に一定の距離（ＬO ）をおくようにし；
そして、ここで、前記距離（Ｌ０）に係る間隙は各ボトム電極（１３）の対向する端により形成され、コアフィラメントはおよそ５０μｍ〜２００μｍの範囲の直径を有する工程；
（ｂ）先の工程（ａ）で得られた連続のコアフィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）に、電導度が吸収水分量と相関する活性フィルム（１２）をコーティングする工程；
（ｃ）先の工程（ｂ）で得られた連続のコアフィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）に円筒状に複数の導電性表面電極（１３）をコーティングし、各表面電極は、少なくとも一つのボトム電極（１１）に少なくとも部分的に、また、前記ボトム電極（１３）と関連する前記距離（Ｌ０）に係る間隙に少なくとも部分的に重なり合う工程；および、
（ｄ）前記工程（ｃ）で得られた連続の検知器フィラメント（１００）を切断して、個々の切断したピースは一つまたは二つのボトム電極（１１）と一つの表面電極（１３）を含み、前記電極（１１、１３）およびその間の活性フィルム（１２）が測定されるべき円筒状コンデンサー（ＣＭ）を形成し、そのキャパシタンスはおよそ２〜５００ｐＦの範囲にあるものである工程。
【請求項７】
前記工程（ａ）においては、ボトム電極（１１）はコアフィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）を第１の送り出しリール（２８ａ）からマスク（２１）を通して送り出し、第１の巻き取りリール（２８ｂ）に巻き取ることを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【請求項８】
前記工程（ｂ）で得られたボトム電極（１１）を含むコアフィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）のコーティングが、ボトム電極（１１）が設けられたコアフィラメント（１０）に活性マテリアルのコーティングを行うもので、該工程は、コアフィラメント（１０）を第２の繰り出しリール（３０ａ）から繰り出して、一定の速度でコーティング剤溶液（ＰＬ）の槽（３１）内を通過させるかまたは、るつぼに通して第２の巻き取りリール（３０ｂ）に巻き取らせて前記コアフィラメントの周面に前記コーティング剤をコーティングし、そしてコアフィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）のコーティング層を前記第２の巻き取りリールによる巻き取りの前に乾燥工程（３３）に通すことを特徴とする請求項６または７記載の製造方法。
【請求項９】
前記工程（ｃ）で得られた連続の検知器フィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）は、ボトム電極（１１）の中間の部分で検知器に切断され、各検知器は二つのボトム電極（１１）と一つの表面電極（１３）を具備し、各検知器の端はボトム電極（１１）の端でコンタクト領域（１１ａ、１１ｂ）を形成するように引き剥きまたはエッチング処理により露出され、検知器の電気接点（１９）は、前記コンタクト領域に、導電性接着剤の手段により接続されることを特徴とする請求項６から８のいずれかに記載の製造方法。
【請求項１０】
前記工程（ｃ）で得られた連続の検知器フィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）は、ボトム電極（１１）と表面電極（１３）との間のギャップ（Ｌ０）で、個々の検知器に切断されることを特徴とする請求項６から８のいずれかに記載の製造方法。
【請求項１１】
前記工程（a）で使用される連続の検知器フィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）は、少なくとも一つの第１の抵抗ワイヤ（１４、１４ａ、１４ｂ）を内部に置くことにより製造されることを特徴とする請求項６〜１０のいずれかに記載の製造方法。
【請求項１２】
前記工程（a）で使用される連続の検知器フィラメント（１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ）は、コアフィラメント（１０Ｅ）に第２の抵抗（１４ｃ）を巻きつけることにより製造され、前記第２の抵抗（１４ｃ）には絶縁層（１６）がコーティングされることを特徴とする請求項６〜１１のいずれかに記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、インピーダンス検知器、特に、ラジオゾンデ操作のためのインピーダンス検知器に関するもので、該検知器は、絶縁素材から作られた基体を備え、この基体に検知器インピーダンスのフォーメーションと接続に必要な電極と接点パターンとを施し、該検知器においては、検知器インピーダンス電極の間に活性フィルムが存在し、そのインピーダンス値が検知器の手段により測定されるフィジカルな量のファンクションである。
【０００２】
また、発明は、インピーダンス検知器の製造プロセスに関する。
【０００３】
【従来の技術】
従来の技術において、インピーダンスの変化を測定すべき量のファンクションとして電気的に検知する温度と湿度の検知器は、数多くの異なったものが知られている。そのような湿度検知器は、例えば、米国特許第３，１６８，８２９；３，３５０，９４１号ならびに出願人のフィンランド特許第４８，２２９号から知られている。
【０００４】
フィンランド特許第４８，２２９号は、本発明に関連の従来の技術に関係し、その特許においては、誘電絶縁素材がポリマーフィルムであり、その誘電率がポリマーフィルムに吸収される水の量のファンクションである容量湿度検知器が記載されている。
【０００５】
温度測定もまた従来技術に知られているように、容量検知器が使用され、これらは、通常キャパシタプレートの間の絶縁素材の誘電率が温度に依存し、この場合、検知器の端子から検知されたキャパシタンスもまた温度に左右される事実に基づくものである。
【０００６】
【発明が解決すべき課題】
インピーダンスの変化に基づく上記した検知器と他の検知器においては、検知器の凍結と水濡れ、ラジエーション故障、検知器の遅鈍化および履歴現象を含む望ましくない現象が発生する。このような点を解決することが、この発明の解決課題である。
【０００７】
【課題を解決するための具体的手段】
上記した問題の解決のため、前記検知器に各種のメカニカルなシールドを備えさせることが従来技術から知られている。また、該検知器を加熱することで問題を阻止しようとする試みもなされている。加熱の検知器には、正確な温度の測定が要求され、その部分について、それ自体の問題が発生する。
【０００８】
本発明に極めて関連が深い、出願人による極く最近の研究については、フォンランド特許出願第９２１４４９号（１９９２年４月１日出願）、第９３３７０１号（１９９３年４月２３日出願）、第９３３７０２号（１９９３年４月２３日出願）を参照する。これらの出願に記載の構造と方法とは、適用できる範囲において、本発明にも使用できる。
【０００９】
さらに、従来技術の湿度検知器においては、検知器の速度と精度に関し、さらに向上すべき必要がある。
【００１０】
関連の検知器の製造の従来技術のプロセスは、特に、非常に小型で、測定精度に優れ、製造プロセスにおいて各種のパラメーターを具合よくコントロールできる、最高の速度と精度をもった検知器を目指す場合、数多くの工程を必要とする。
【００１１】
本発明の目的は、従来技術のインピーダンス検知器、特に、湿度検知器の構造並びに製造プロセスを改良し、前記した問題点を克服し、検知速度と検知精度を高め、製造工程を能率化できるインピーダンス検知器を提供することにある。
【００１２】
本発明の目的達成のため、本発明による検知器は、検知器の基体が絶縁素材からなる長方形のコアフィラメントで、該コアフィラメントのまわりに前記電極と前記活性フィルムとが施されていることを主たる特徴とするものである。
【００１３】
他方、本発明による検知器の製造プロセスは、所定のシーケンスで行われる下記の工程
（ａ），（ｂ），（ｃ）および（ｄ）の組み合わせからなる：
【００１４】
（ａ）絶縁素材の連続したコアフィラメントに、二つの導電ボトム電極を互いに相互の軸間距離をおいて真空蒸着し、
（ｂ）前記工程（ａ）で得られた連続のコアフィラメントにインピーダンス測定に活性なマテリアルをコーティングし、
（ｃ）工程（ｂ）で得られた連続コアフィラメントに導電表面電極をコーティングし、これら電極は、前記ボトム電極の間のギャップと対面するように少なくとも位置が配置され、前記ボトム電極に一部が対面する位置にあり、そして、
（ｄ）工程（ｃ）で得られた連続したコアフィラメントを短く切断し、インピーダンス検知器を作る。
【００１５】
この発明を容量湿度検知器に適用する場合は、活性マテリアルは、誘電率が絶縁マテリアルで吸収される水の量のファンクションである絶縁マテリアルである。
【００１６】
この発明によるインピーダンス検知器は、ワイヤー形状、小型、小質量が特徴で、リスポンスが迅速な検知器である。この検知器の円形断面形状と小型寸法は、また、凍結現象をなくす利点がある。検知器における小型で都合のよいフォルムは、湿気の濃縮と凍結の問題を回避するに充分なものであり、必要に応じ、表面処理が可能である。しかしながら、これらの手段でも不足の場合は、この発明の検知器は、効率的で迅速な加熱で完璧なものになる。そして、湿度検知器における温度測定は、精度よく、迅速に測定できるものであって、これは、検知器の内外の熱伝導特性がすぐれているからである。さらに、そのような場合、湿度測定の妨げになる加熱作用をなくすための補正計算における開始値として、温度測定が従来技術の方法で使用される。
【００１７】
各特定の場合における最適な検知器の構造は、この発明による検知器の適用モードによるものでる。該検知器は、コントロールされた加熱のもとに、常時加熱され、定期的に加熱され、または、他の手段で加熱されながら使用できる。この発明の湿度検知器は、極めて迅速な測定が可能である、たったミリセカンドのオーダーのデュレーションの効率的な加熱パルスの使用に適している。温度の測定は、連続して、または、湿度の測定と交互に行える。サイクル加熱と温度の測定に関しては、出願人の前記フィンランド特許出願９３３７０２を参照されたい。この発明においては、加熱せず、そして、温度測定しない構造の検知器にすることも可能である。検知器の保護手段は、検知器が小型であるから、その必要性は、ない。検知器にシールド構造を付加すること自体、湿度測定においての問題発生の禍因となる。
【００１８】
この発明の検知器の構造によれば、その製造において、連続したフィラメントリールプロセスが使用でき、該フィラメントを検知器サイズに切断し、切断したピースの両端に接点を設けて、検知器にすることが容易に行える。コアフィラメントは、種々の手段で形成できる。グラスファイバのみを使用してもよく、または、該グラスの内部に加熱レジスタおよび／または温度測定デテクタがあってもよい。温度計には、ミニチュアのサーミスタも適している。該ガラスそれ自体、容量温度デテクタの誘電体としても作用し、コアフィラメントは、同時に、加熱レジスタおよび温度測定キャパシタンスの電極の一つであり、前記コアの上に設けられた金属化部分は、他方の電極を構成する。前記コアのベーシックなマテリアルとして、ガラスのほかに、プラスチックスのような適当なマテリアルも使用できる。
【００１９】
この発明の製造プロセスにおいては、コアフィラメントに薄い真空蒸着金属膜領域が形成され、該領域は、検知器がその周囲と接続されたとき、ボトム電極ならびに接点電極として作用する。この構造に対し、ポリマーの薄いフィルムまたは均等物が処理され、このプラスチックフィルムに対し、表面電極が真空蒸着され、これを介して電極湿気がポリマーフィルムへ浸透してゆく。表面電極は、二つの連続したボトム電極を部分的にオーバーラップするように配置されているのが好ましく、表面電極でカバーされていないボトム電極の一部分は、検知器が周囲と接続されたときに接点領域として作用する。このほかの構造も本発明の技術的範囲に入る。該電極は、単一化された面であって、コア全体のまわりにあるものである必要はなく、二つのもの、または、二つのパート以上のものからなっていてもよい。
【００２０】
この発明の製造プロセスで作られれたときは特に、この発明の検知器は、低コストで、使用が簡単なものになる。この発明の検知器は、相対湿度測定におけるラジオゾンデに使用するのが好適であるが、さらに、産業における湿度測定や気象モニターや地上における天気予測などにも広く使用できる。ここで特に強調すべき点は、この発明の検知器は、容量湿度検知器のほかに、抵抗または容量温度検知器のような検知器や他の相応するインピーダンス検知器を広く含む点である。
【００２１】
検知器フィラメントの長さが長くなり、厚さが薄くなると、湿度検知器の構造が改善される。これは、これらの手段によって、ラジエーションエラーをなくすことができるからであり、干渉作用する水滴が付着しなくなり、水滴が付着したとしても、それで表面領域が増えるという作用も減るものである。
【００２２】
この発明の検知器フィラメントのコアフィラメントの内部に加熱ワイヤおよびまたは温度測定ワイヤを使用するとき、ボトム電極の間のギャップは、可能な限り短くすべきであり、これによって、表面電極とコア内のワイヤとの間に形成されるキャパシタンスは、最低になる。
【００２３】
【実施例】
まず最初に、図１，図２，図３，図４により、この発明の検知器の製造プロセスの主たる特徴を簡単に説明する。
【００２４】
この発明によるプロセスで、連続した検知器フィラメント１００が作られる。この検知器フィラメント１００を適宜の長さごとにポイントＲ−Ｒのところで輪切りに切断して、フィラメントピースを作るもので、これらのピースにコネクタパーツを取り付けて湿度検知器とする。湿度検知器は、検知器の基体として機能する薄いコアフィラメント１０へ加工される。コアフィラメント１０は、断面円形のもので、その直径Ｄｓ  ≒２ｒｓ  は、極めて小さく、原則として、Ｄｓ  ≒１０μｍ〜２ｍｍで、ラジオゾンデに対しては、Ｄｓ  は、概ね５０μｍ〜２００μｍの範囲が好ましい。コアフィラメント１０における図１に示す領域Ｆの範囲にわたり、ボトム電極１１が施され、該電極は、また、接点パーツとして作用する。ボトム電極１１と該電極に関係がなく残されているコアフィラメント１０の部分とには、ポリマーフィルム１２または均等物が施される。ポリマーフィルム１２は、検知器キャパシタンスＣＭ  における活性部分として作用する。ポリマーフィルム１２の誘電率εは、ポリマーフィルム１２によって吸収される水の量のファンクションであり、その結果、ＣＭ  ＝ｆ（ＲＨ）となる。ポリマーフィルム１２へは、その領域Ｐにわたり、表面電極１３が施されるものであり、この電極は、非常に薄いので、湿気が浸透するが、電気的には連続している。検知器フィラメント１００は、ボトム電極１１の領域Ｆの中間で各ピースに切断され、領域Ｅにおいては、ポリマーフィルムは、除去されて、コネクタ領域が形成され、これらの領域にキャパシタンスＣＭ  測定ワイヤがそれぞれ接続される。
【００２５】
図１によれば、ボトム電極１１と表面電極１３との間の領域Ｃ１  とＣ２  とにおいて、キャパシタンスが形成され、それらの誘電体がポリマーフィルム１２である。
【００２６】
つぎに、図５と図６を参照しながら、この発明による検知器の構造と寸法関係の好ましい実施例と、検知器の作用原理を説明する。表面電極１３の両端の領域に形成されたシリンドリカルなコンデンサーＣ１  ，Ｃ２  は、端子１９の間で検知器キャパシタンスＣＭ  が測定されるときに、シリーズで接続される。図５の寸法では、Ｃ１  ＝Ｃ２  ＝Ｃであり、その場合、ＣＭ  ＝Ｃ／２である。図５の構造においては、検知器のアクティブな長さｌは、コンポーネントコンデンサーＣ１  ，Ｃ２  の間で、１／２以外に、そして、１／２に分割でき、即ち、コンデンサーＣ１  ，Ｃ２  は、互いに比較して異なるマグニチュードをもつことができ、そのような場合、アース接続がディスターブしない点から利点ともなる。
【００２７】
シリンドリカルなコンデンサーのキャパシタンスＣは、理論的には以下のとおりである：
【００２８】
0003625873.tif 000002
【００２９】
代表的には、誘電定数εｒ（ε＝εｒ  εｏ）は、εｒ  ≒２〜５の範囲にある。ポリマーフィルム１２の厚さ、即ち、ｒｕ  −ｒｓ  は、数マイクロメーターが代表的なものである。
【００３０】
各検知器のアプリケーションにおいて、検知器キャパシタンスＣＭ  は、主に軸方向寸法ｌを変えることで、特定のアプリケーションの条件により定められる。
【００３１】
湿度検知器の長さ寸法における種々のパラメーターの変化の最も幅広いレンジとラジオゾンデへの応用における種々のパラメーターの変化の好ましいレンジを下記に示す。
【００３２】
ｒｓ  ≒  ５μｍ〜１ｍｍ、好ましくは、ｒｓ  ≒  ２５μｍ〜１００μｍ
ｒｕ  ≒  ５μｍ〜１ｍｍ、好ましくは、ｒｕ  ≒  ２５μｍ〜１００μｍ
１  ≒  ０．０１ｍｍ〜１００ｍｍ、好ましくは、ｌ≒０．１ｍｍ〜４０ｍｍ
ＬＯ  ≒  ０．１ｍｍ〜１００ｍｍ、好ましくは、ＬＯ  ≒  ０．５ｍｍ〜５ｍｍ
Ｌ≒０．１ｃｍ〜２０ｃｍ、好ましくは、Ｌ≒１ｃｍ〜１０ｃｍ
【００３３】
図５と図６に示された検知器の端子１９，１９の間のキャパシタンスＣＭ  は、ＣＭ  ≒０．１ｐＦ〜１０００ｐＦであり、ラジオゾンデへのアプリケーションにおいては、ＣＭ  ≒２ｐＦ〜５００ｐＦである。
【００３４】
図７から図１１は、この発明による検知器の基体を形成するコアフィラメント１０の変形例を示す。図７の例では、コアフィラメント１０は、細いガラスファイバまたは他の絶縁素材のみからなる細い径のものからなる。図８の例は、コアフィラメント１０Ｂは、ガラスファイバコア１０ａの中核に抵抗ワイヤ１４が設けられ、この抵抗ワイヤは、検知器の加熱抵抗体として、および／または検知器の温度測定のための抵抗体として使用される。図９の例では、コアフィラメント１０Ｃにおけるコア１０ｂは、誘電セラミックガラスから作られていて、検知器の温度の測定における誘電体として作用する。外層１６は、ガラスコーティング層または他の絶縁素材の層からなる。これらの構造についての詳細は、１９９２年４月１日に出願されたフィンランド特許出願第９２１４４９号を参照されたい。図１０に示すコアフィラメント１０Ｄにおいては、ガラスファイバコア１０ａの内部に、平行な２本の抵抗ワイヤ１４ａ，１４ｂが設けられていて、検知器の加熱および／または温度測定のための抵抗体として作用する。外層１６は、ガラス層または他の絶縁素材層からなる。
【００３５】
図１１に示すコアフィラメント１０Ｅにおいては、ガラスコア１０ａの内部に加熱抵抗ワイヤ１４が設けられ、ガラスコア１０ａに抵抗ワイヤ１４ｃが巻き付けてあって、温度測定を行うが、抵抗ワイヤ１４と抵抗ワイヤ１４ｃの機能を逆にし、前者を温度測定に、後者を加熱に使用してもよい。外層１６は、金属化層またはガラスコーティングからなる。
【００３６】
図７〜図１１において示されたコアフィラメント１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅは、検知器の基体として作用し、該フィラメントにボトム電極１１、ポリマーフィルム１２および表面電極１３が設けられる。コア１０ｂとして、誘電セラミックガラスが用いられる図９に示された構造とプロセスについては、前記フィンランド特許出願第９２１４４９号を参考にするもので、温度に依存する検知器のキャパシタンスは、前記フィンランド特許出願に記載のように、対向する二つの電極１５の間か、または、シリンドリカルな電極１５と抵抗ワイヤ１４からなるものでもよい中央電極の間で測定できる。また、図８〜図１１に示された構造を種々組み合わせたり、ミックスさせてもよい。
【００３７】
図１２は、コアフィラメントの製造プロセスをフローチャートで示したものである。ガラスファイバーの引き抜き加工は、周知の技術によるものである。また、例えば、孔付き坩堝に入っている溶融ガラスとフィラメントを前記孔から引き抜いてガラスでコーティングされたフィラメントが作られる。また、おなじようなるつぼの手段で、二本のフィラメントをガラスでコーティングすることも可能であり、これによって、フィラメントが別々にガラス内にあるガラスコーティングフィラメントとなる。ガラスのコーティングは、また、ガラスペーストの手段で行うことができる。ガラスファイバーに金属をコーティングするには、真空蒸着または導電性ペーストで行うことができる。金属コーティングされたガラスに絶縁層を施すには、例えば、低融点ガラスが入ったパーフォレーションを有するるつぼの手段、ペーストコーティングの手段または化学的方法により、絶縁層が被着できるが他の構成の絶縁層も液体中に浸漬することで被着できる。
【００３８】
図１３〜図１６は、図１２に示すように作られたコアフィラメント１０にボトム電極１１が設けられ、そして活性ポリマーコーティングまたは均等物がコーティングされる手段と装置を示す。
【００３９】
コアフィラメント１０にボトム電極１１が金属真空蒸着手段により形成されるもので、該電極は、検知器のエンビロメントと接触する接触領域としても作用する。真空蒸着は、例えば、図１３に示す手段で行われるもので、フィラメントは、リール２８ａからリール２８ｂへ一定の長さで順次、ステップワイズ（間欠的に）で送られる。リール２８ａとリール２８ｂの間にあっては、フィラメント１０は、伸直しており、蒸着マスク２１を通過する。該マスク２１によって、金属がコーティングされないフィラメントの部分がマスキングされる。フィラメント１０の周囲をぐるり金属化するために、マスク２１内でフィラメント１０をその中心軸回りで回転させるか、または、蒸着する金属のソース３０を複数個配置するようにしてもよい。図１３において、フィラメント１０を回転させるために、前記リール２８ａ，２８ｂを水平軸２６を回転軸として回転するフレーム２７ａ，２７ｂに装着し、前記リール２８ａ，２８ｂを回転させて、前記フィラメント１０を回転させる構成であり、前記マスク２１は、ジャーナル結合２４ａ，２４ｂによってフレーム２７ａ，２７ｂに連結され、フィラメント１０は、マスク２１の貫通孔２５に通されるもので、該貫通孔は、図示のようにマスク２１の下端に、所定の一定の間隔をおいて櫛歯状に形成された複数のパイプ２２を貫通しており、貫通孔２６は、前記回転軸２６とセンターが一致している。このように、リール２８ａから送り出されたフィラメント１０は、前記パイプ２２の貫通孔２２を通り、リール２８ｂに達し、そこで、フィラメント１０の動きがを一端停止し、フレーム２７ａ，２７ｂを回転させて、フィラメント１０を回転させながら、金属蒸着操作を行うもので、これによって、パイプ２２の貫通孔２５内にあるフィラメント１０の部分は、該パイプによってマスキングされ、パイプ２５，２５の間に露出しているフィラメント部分に金属が真空蒸着されるもので、この操作が終われば、つぎの真空蒸着操作に備えて、所定の長さのフィラメント１０がリール２８ａから送り出される。符号２０は、真空蒸着装置を示し、この装置は、フード２９を備えている。なお、必要に応じて、装置２０には、マスクアライメントを行う手段としての光学検知器を設けてもよい。
【００４０】
図１３と図１４，図１５に示された装置によって製造されたフィラメント１０は、ついで、図１６に示す装置で、薄いポリマー層で被覆されるもので、このポリマー層を形成するポリマーＰＬは、形成される容量検知器の湿度感知絶縁素材として機能するものであり、前記素材の誘電率は、前記ポリマー層によって吸収される水分の量のファンクションである。前記ポリマーのコーティングを行うには、フィラメント１０をリール３０ａから適当なな溶液濃度のポリマーＰＬが溜められている槽３１内へ所定の一定の速度で送り出し、図示矢印に示すように、槽内へ案内し、該槽内の底部近くにある案内ロール３２を経て槽３１の液面から抜け出させ、乾燥のための乾燥オーブン３３内を通し、巻き取りリール３０ｂへ巻き取るようにして行うもので、フィラメント１０は、ポリマーＰＬの槽３１内を通過することで、前記ポリマーがコーティングされ、コーティングされたフィラメント１０は、乾燥オーブン３３で乾燥され、巻き取られる。このほかに、フィラメント１０に坩堝を用いてポリマーコーティングすることもできる。
【００４１】
図１６で示すような手段でポリマー層が被覆されたフィラメント１０には、図１３、図１４、図１５で示したと同じ手段で表面電極１３が真空蒸着手段で施される。これには、先ず最初に、表面電極１３を形成する部分の位置決めを正確に行うもので、表面電極１３を形成する部分を二つのボトム電極１１と前記ボトム電極に部分的に重なる部分との間に位置を正しく合わせる。その後、フィラメント１０を切断して、コンプリートの検知器フィラメント１００を得るように切断操作が行われるもので、それには、隣り合うボトム電極１１，１１間の該電極が施されていない部分を図１７に示すポイントＲ−Ｒで切断する。検知器フィラメント１００が検知器エレメントを備えていれば、前記コアに被覆されていない接触領域を形成するために、引き剥き（ピーリング）操作、エッチングなどの操作が必要になる。引き剥きは、例えば、図１６に示したと同様なシステムで、エッチングにより行える。検知器の電気的接続は、主に導電性接着剤の手段で行える。シールドとしては、エポキシ樹脂の使用が好ましい。検知器を作るには、例えば、オーブンによる処理、化学的コーティング、エッチングなどの補足処理プロセスが必要になる場合がある。これらの処理は、図１３から図１６に示したような装置手段で行える。
【００４２】
加熱ワイヤ１４に適当な素材は、例えば、プラチナ線である。加熱（発熱）抵抗線であるワイヤ１４の電気抵抗は、１〜５０００オーム、好ましくは、１〜１０００オームである。温度測定に用いる前記ワイヤ、例えば、プラチナワイヤの場合、その電気抵抗は、原則として、１〜３０００オーム、好ましくは、３０〜１０００オームである。容量温度測定の場合、キャパシタンスの範囲は、湿度測定における場合と同じオーダーである。
【００４３】
図１７には、この発明による方法によって作られた検知器フィラメントの他の例が示されていて、各検知器フィラメントは、ボトム電極１１と表面電極との間のポイントＲ−Ｒで切断されて作られている。シリンドリカルなボトム電極１１と、これに対応する同軸の表面電極１３とは、それぞれの一端が重なり合って、シリンドリカルな検知器コンデンサーＣが形成され、ポリマー層１２または均等物が誘電体を構成している。検知器キャパシタンスＣは、検知器フィラメントの一端において、領域Ｋにわたり、被覆されていないボトム電極１１部分に接続され、表面電極１３への接続は、検知器フィラメントの対応する端部の領域Ｋにおいて行われる。
【００４４】
図１８に示すように、絶縁素材のフィラメント１０の内部に導電性コアワイヤ１４Ａが設けられていて、これに表面電極１３の一端１３ａが電気的に接続している。前記一端１３ａとコアワイヤ１４Ａの近傍の切断端部は、例えば、エポキシ樹脂などで保護される。図１８に示す検知器の電気的接続は、コアワイヤ１４Ａの端部１４Ａ’からと、ボトム電極１１の被覆されていない端部１１ａから行われる。活性ポリマー層１２または均等物は、表面電極１３の外側へ張り出ている。
【００４５】
図１９は、検知器フィラメントの一端１６Ａがエポキシ樹脂などで湿気から保護されている同軸検知器構造を示す。フィラメントコア１０の面にボトム電極１１が円筒状に形成され、該電極に活性フィルム１２が積層され、該フィルムに表面電極１３が円筒状に積層されている。これら１０，１１，１２，１３は、すべて同軸である。電気的接続は、電極１１，１３の端部１１ａ，１３ａから行われる。電気的接続領域は、電気的接続が終わった後に、エポキシ樹脂などで保護され、耐水性が付与される。図１８の検知器において、コアワイヤ１４Ａで湿度測定の必要がなければ、これを検知器の加熱および／または温度測定に用いることができる。図１８と図１９に示す構造は、検知器の電気的接続を検知器のみの一端から行うことができる利点があり、これによって、外部周囲への検知器の電気的接続作業が容易になる。電気的接続は、例えば、導電性接着剤の手段で行うことができ、この場合、誘電層１２を介してエッチングされた接着剤層または該層が除去された接着剤層を使用することも可能である。
【００４６】
前記実施例は、この発明を限定するものではなく、前記実施例以外にも種々の変形例が予測できる。例えば、検知器フィラメント１００において、検知器フィラメントそれぞれは、対のボトム電極をもち、それらの間にフリーナギャップがあって、その部分で検知器フィラメント１００が切断（Ｒ−Ｒで）される。また、ボトム電極１１と表面電極とは、必ずしも均一化されたシリンドリカルなものでなくてもよく、それらは、他のパターンまたはセパレートなコンポーネンツパターンであってもよい。
【００４７】
この発明によれば、従来技術のインピーダンス検知器、特に、湿度検知器の構造並びに製造プロセスを改良し、前記した問題点を克服し、検知速度と検知精度を高め、製造工程を能率化できるインピーダンス検知器、並びに、効率のよい、その製造法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の製造方法によって作られた連続のフィラメントを所要部分で切断して、個々の検知器フィラメントに仕上げられる切断に関しての説明図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線矢視方向断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線矢視方向断面図である。
【図４】図１のＣ−Ｃ線矢視方向断面図である。
【図５】この発明による、検知器の好ましい構造の例の断面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ線矢視方向断面図である。
【図７】この発明の製造方法に使用のコアフィラメントの例を説明する断面図である。
【図８】この発明の製造方法に使用のコアフィラメントの例を説明する断面図である。
【図９】この発明の製造方法に使用のコアフィラメントの例を説明する断面図である。
【図１０】この発明の製造方法に使用のコアフィラメントの例を説明する断面図である。
【図１１】この発明の製造方法に使用のコアフィラメントの例を説明する断面図である。
【図１２】この発明による検知器に使用のコアフィラメントの製造工程のいくつかの例を示したフローチャートである。
【図１３】この発明による製造方法において、ボトム電極を作るための、リールと回転部品類を備えた真空蒸着装置の一例を示す説明図である。
【図１４】図１３に示された装置におけるマスキング装置の正面図である。
【図１５】図１３に示された装置におけるマスキング装置の側面図である。
【図１６】ボトム電極が設けられた連続したファイバーフィラメントに活性ポリマー層をコーティングするための装置の説明図である。
【図１７】この発明の製造方法によりボトム電極と表面電極とが設けられた検知器フィラメントの断面図である。
【図１８】中央ワイヤが設けられている、この発明による検知器の一例の断面図である。
【図１９】この発明による同軸検知器の構造を示す断面図である。
【符号の説明】
１０；１０Ｂ；１０Ｃ；１０Ｄ；１０Ｅ      コアフィラメント（基体）
１１      ボトム電極
１２      活性フィルム
１３      表面電極
１００    検知器フィラメント
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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