(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定の回転角速度で回転するターンテーブル上のテーブル回転中心を中心とした円周位置に基板を１つ以上配列配置し、前記ターンテーブルを回転させると共にバーナを前記ターンテーブルの径方向に往復移動して前記基板上を往復させながら、前記バーナからガラスの原料ガスと酸素ガスと水素ガスを流して酸素水素火炎中で前記原料ガスの加水分解反応を起こし、前記基板上に下部クラッドガラス微粒子とコアガラス微粒子と上部クラッドガラス微粒子を堆積し、前記コアガラス微粒子から成るコアによって、互いに間隔を介して並設した２本以上の光導波路を備えた位相部を有する回路を形成する平面光導波回路の製造方法であって、前記平面光導波回路の位相部中央部における光導波路並設方向を上下方向とし、該上下方向に直交する方向を左右方向としたとき、前記位相部の最上端と最下端との距離および位相部の最右端と最左端との距離のうち距離が短い方の方向を前記ターンテーブルの径方向とほぼ一致させて、前記下部クラッドガラス微粒子と前記コアガラス微粒子と前記上部クラッドガラス微粒子の少なくとも一つのガラス微粒子の堆積を行なうことを特徴とする平面光導波回路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信分野に用いられるアレイ導波路回折格子やマッハツェンダ光干渉回路等の回路を有する平面光導波回路の製造方法に関するものである。
【０００２】
【背景技術】
光通信において、本格的なブロードバンド時代を迎え、情報通信システムもさらなる進歩を遂げようとしている。この情報通信システムの進歩に伴い、波長分割多重（Wavelength Division Multiplexing  (WDM)）伝送技術の研究開発が盛んに行なわれ、実用化が進みつつある。光波長多重通信は、例えば互いに異なる波長を有する複数の光を波長多重化して伝送させるものであり、このような光波長多重通信のシステムにおいては、伝送される波長多重光から互いに異なる複数の波長の光を分波したり、互いに異なる複数の波長の光を合波する波長光合分波器が必要である。
【０００３】
波長光合分波器の一例として、以下に述べるような平面光導波回路（PLC ; Planar Lightwave Circuit）が適用されている。つまり、図１３に示すようなアレイ導波路回折格子（AWG；Arrayed Waveguide Grating）の回路や、図１４に示すようなマッハツェンダー光干渉計（MZI ; Mach-Zehnder Interferometer）回路等を有する平面光導波回路が光波長合分波器として用いられている。
【０００４】
図１３、図１４に示すように、これらの平面光導波回路は、シリコン等の基板１１上に、各図に示す回路構成（導波路構成）を有する石英系ガラスの導波路形成領域１０を形成することにより得られる。
【０００５】
マッハツェンダ光干渉計の回路は、例えば図１４の（ａ）、（ｂ）に示すように、互いに間隔を介して２本の光導波路２１，２２を並設して形成され、これらの光導波路２１，２２が近接した複数（ここでは２つ）の方向性結合部２３，２４を導波路長手方向に間隔を介して形成している。隣り合う方向性結合部２３，２４に挟まれた領域の光導波路２１，２２が位相部２０と成し、位相部２０の機能によって複数の光信号の分波または合波の機能を果たす。
【０００６】
なお、マッハツェンダ光干渉計の回路には、図１４の（ａ）に示すように、位相部２０を形成する光導波路２１，２２の長さが互いに異なるもの、同図の（ｂ）に示すように、位相部２０を形成する光導波路２１，２２の長さが互いに等しいものがある。同図の（ｂ）に示す回路は、例えば位相部２０を形成する光導波路２１，２２の少なくとも一方にヒータ（図示せず）等を設けて、可変光減衰器や光スイッチ等に適用されることもある。
【０００７】
図１３に示すように、アレイ導波路回折格子の導波路構成は、１本以上の光入力導波路１２と、該光入力導波路１２の出射側に接続された第１のスラブ導波路１３と、該第１のスラブ導波路１３の出射側に接続されたアレイ導波路１４と、該アレイ導波路１４の出射側に接続された第２のスラブ導波路１５と、該第２のスラブ導波路１５の出射側に複数並設接続された光出力導波路１６とを有している。
【０００８】
前記アレイ導波路１４は、第１のスラブ導波路１３から導出された光を伝搬するものであり、複数のチャンネル導波路１４ａを並設して形成されており、隣り合うチャンネル導波路１４ａの長さは互いに設定量（ΔＬ）異なっている。
【０００９】
なお、光出力導波路１６は、例えばアレイ導波路回折格子によって分波あるいは合波される互いに異なる波長の信号光の数に対応させて設けられるものであり、アレイ導波路１４を構成するチャンネル導波路１４ａは、通常、例えば１００本といったように多数設けられるが、同図においては、図の簡略化のために、これらのチャンネル導波路１４ａ、光出力導波路１６および光入力導波路１２の各々の本数を簡略的に示してある。
【００１０】
光入力導波路１２には、例えば送信側の光ファイバ（図示せず）が接続されて、波長多重光が導入されるようになっており、光入力導波路１２を通って第１のスラブ導波路１３に導入された光は、その回折効果によって広がってアレイ導波路１４に入射し、アレイ導波路１４を伝搬する。
【００１１】
このアレイ導波路１４を伝搬した光は、第２のスラブ導波路１５に達し、さらに、光出力導波路１６に集光されて出力されるが、アレイ導波路１４の全てのチャンネル導波路１４ａの長さが互いに異なることから、アレイ導波路１４を伝搬した後に個々の光の位相にずれが生じ、このずれ量に応じて集束光の波面が傾き、この傾き角度により集光する位置が決まる。
【００１２】
そのため、波長の異なった光の集光位置は互いに異なることになり、その位置に光出力導波路１６を形成することによって、波長の異なった光を各波長ごとに異なる光出力導波路１６から出力できる。
【００１３】
すなわち、アレイ導波路回折格子は、光入力導波路１２から入力される互いに異なる複数の波長をもった多重光から１つ以上の波長の光を分波して各光出力導波路１６から出力する光分波機能を有しており、分波される光の中心波長は、アレイ導波路１４の隣り合うチャンネル導波路１４ａの長さの差（ΔＬ）及びチャンネル導波路１４ａの実効屈折率（等価屈折率）ｎｃに比例する。
【００１４】
例えば図１３に示すように、１本の光入力導波路１２から波長λ１，λ２，λ３，・・・λｎ（ｎは２以上の整数）の波長多重光を入力させると、これらの各波長の光は、第１のスラブ導波路１３で広げられ、アレイ導波路１４に到達し、第２のスラブ導波路１５を通って、前記の如く、波長によって異なる位置に集光され、互いに異なる光出力導波路１６に入射し、それぞれの光出力導波路１６を通って、光出力導波路１６の出射端から出力される。
【００１５】
そして、各光出力導波路１６の出射端に光出力用の光ファイバ（図示せず）を接続することにより、この光ファイバを介して、前記各波長の光が取り出される。なお、各光出力導波路１６や前述の光入力導波路１２に光ファイバを接続するときには、例えば光ファイバの接続端面を１次元アレイ状に配列固定した光ファイバアレイを用意し、この光ファイバアレイを光出力導波路１６や光入力導波路１２の接続端面側に固定して光ファイバと光出力導波路１６及び光入力導波路１２を接続する。
【００１６】
上記アレイ導波路回折格子において、各光出力導波路１６から出力される光の光透過特性（アレイ導波路回折格子の透過光強度の波長特性）は、各光透過中心波長（例えばλ１，λ２，λ３，・・・λｎ）を中心とし、それぞれの対応する光透過中心波長から波長がずれるにしたがって光透過率が小さくなる光透過特性を示す。
【００１７】
アレイ導波路回折格子の光透過中心波長λ０は、アレイ導波路１４の等価屈折率ｎｃと、隣り合うチャンネル導波路１４ａの長さの差ΔＬと、回折次数ｍとにより決定され、次式（１）により示されるものである。したがって、１つの光出力導波路１６について、前記光透過特性を示す波長は１つとは限らず、設定される回折次数によって複数の中心波長が存在しうる。この光透過中心波長λ０を中心に、ある波長間隔Δλ（ｎｍ）の複数の光信号を分波することができるため、以下の議論ではλ０のみを考慮すればよい。
【００１８】
λ０＝ｎｃΔＬ／ｍ・・・・・（１）
【００１９】
また、アレイ導波路回折格子は、光回路の相反性（可逆性）の原理を利用しているため、光分波器としての機能と共に、光合波器としての機能も有している。すなわち、図１３とは逆に、各光出力導波路１６から互いに波長が異なる複数の光を入射させると、これらの光は、上記と逆の伝搬経路を通り、第２のスラブ導波路１５とアレイ導波路１４と第１のスラブ導波路１３とによって合波され、１本の光入力導波路１２から出射される。
【００２０】
このようなアレイ導波路回折格子においては、前記の如く、回折格子の波長分解能が回折格子を構成するアレイ導波路１４の各チャンネル導波路１４ａの長さの差（ΔＬ）に比例するために、ΔＬを大きく設計することにより、従来の光波長合分波器では実現できなかった波長間隔の狭い波長多重光の光合分波が可能となり、高密度の光波長多重通信の実現に必要とされている、複数の信号光の光合分波機能、すなわち、波長間隔が１ｎｍ以下の複数の光信号を分波または合波する機能を果たすことができる。
【００２１】
上記平面光導波回路は、例えば以下に示す製造方法により製造される。すなわち、図１５の（ａ）に示すように、一定の回転角速度で回転するターンテーブル５上のテーブル回転中心Ｃを中心とした円周位置に、基板１１を１つ以上配列配置する。
【００２２】
そして、ターンテーブル５を例えばＢ方向に回転させると共に、バーナ６を矢印Ａに示すように径方向に往復移動して前記基板１１上を往復させながら、矢印Ｆに示すように、前記バーナ６からガラスの原料ガスと酸素ガスと水素ガスを流して酸素水素火炎中で前記原料ガスの加水分解反応を起こし、前記基板１１上に下部クラッドガラス微粒子とコアガラス微粒子を順に堆積する。
【００２３】
なお、上記バーナ６の往復移動は、例えばターンテーブル５の径方向（半径方向）の位置ｒ１と位置ｒ１よりも内側の位置ｒ２との間で行なわれる。
【００２４】
上記のようなガラス微粒子の堆積方法は火炎加水分解堆積法と呼ばれており、図１５の（ｂ）には、この火炎加水分解堆積法によって基板１１上に下部クラッド１のガラス微粒子（下部クラッドガラス微粒子）を堆積した後、焼結ガラス化した状態が断面図により示されている。
【００２５】
その後、コア２のガラス微粒子（コアガラス微粒子）を堆積した後、焼結ガラス化し、図１５の（ｃ）に示す状態とする。然る後に、フォトリソグラフィと反応性イオンエッチング（RIE ; Riactive Ion Etching）法により、前記コアガラス微粒子から成るコア２によってアレイ導波路回折格子の回路やマッハツェンダ光干渉計の回路が形成されるように、コアパターン化する。同図の（ｄ）は、コアパターン化した状態を断面図により示す。
【００２６】
その後、図１５の（ｅ）に示すように、コア２を覆う上部クラッド３の微粒子（上部クラッドガラス微粒子）を、上記火炎加水分解堆積法によってコアパターン上に堆積し、この上部クラッドガラス微粒子を透明ガラス化して導波路形成領域１０を形成する。
【００２７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記アレイ導波路回折格子のような波長光合分波器は、例えば非常に狭い波長間隔で光の合分波を行なうことが期待され、設計に対する製造誤差を極力小さくすることが望まれている。
【００２８】
しかしながら、上記火炎加水分解堆積法を適用する場合、バーナ６のスポットサイズが基板１１に対して小さいために、バーナ６の下部を基板１１が数回通過しなければ基板全体を覆うガラス微粒子を得ることができず、ガラス微粒子の堆積むらが生じ、このガラス微粒子堆積むらに伴って平面光導波回路の光透過中心波長が設計波長からずれてしまうことがあった。
【００２９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、火炎加水分解堆積法を用いて形成される平面光導波回路の光透過中心波長の設計波長からのずれを抑制可能な平面光導波回路の製造方法を提供することにある。
【００３０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は次のような構成をもって課題を解決するための手段としている。すなわち、本発明の平面光導波回路の製造方法は、一定の回転角速度で回転するターンテーブル上のテーブル回転中心を中心とした円周位置に基板を１つ以上配列配置し、前記ターンテーブルを回転させると共にバーナを前記ターンテーブルの径方向に往復移動して前記基板上を往復させながら、前記バーナからガラスの原料ガスと酸素ガスと水素ガスを流して酸素水素火炎中で前記原料ガスの加水分解反応を起こし、前記基板上に下部クラッドガラス微粒子とコアガラス微粒子と上部クラッドガラス微粒子を堆積し、前記コアガラス微粒子から成るコアによって、互いに間隔を介して並設した２本以上の光導波路を備えた位相部を有する回路を形成する平面光導波回路の製造方法であって、前記平面光導波回路の位相部中央部における光導波路並設方向を上下方向とし、該上下方向に直交する方向を左右方向としたとき、前記位相部の最上端と最下端との距離および位相部の最右端と最左端との距離のうち距離が短い方の方向を前記ターンテーブルの径方向とほぼ一致させて、前記下部クラッドガラス微粒子と前記コアガラス微粒子と前記上部クラッドガラス微粒子の少なくとも一つのガラス微粒子の堆積を行なう構成をもって課題を解決する手段としている。
【００３４】
本発明者は、火炎加水分解堆積法によりガラス微粒子を堆積して形成される膜の膜質について様々に検討し、その結果、図１２に示すように、バーナの移動方向であるターンテーブルの径方向（同図のＡ方向）の均質度が、その垂直方向（同図のＥ方向）に比べて劣化することを見出した。
【００３５】
また、本発明者は、下部クラッドガラス微粒子とコアガラス微粒子と上部クラッドガラス微粒子の膜質が均一になると、コアにより形成される回路（光導波路）の等価屈折率をほぼ均一にできるものであり、下部クラッドガラス微粒子とコアガラス微粒子と上部クラッドガラス微粒子の膜質のうち、少なくとも一つのガラス微粒子を均一にすることによって、位相部を形成する光導波路の等価屈折率を均一に近づけることができることを見いだした。
【００３６】
上記構成の本発明は、平面光導波回路の位相部中央部における光導波路並設方向を上下方向とし、該上下方向に直交する方向を左右方向としたとき、前記位相部の最上端と最下端との距離および位相部の最右端と最左端との距離のうち距離が短い方の方向を前記ターンテーブルの径方向とほぼ一致させて、下部クラッドガラス微粒子とコアガラス微粒子と上部クラッドガラス微粒子の少なくとも一つのガラス微粒子の堆積を行なうために、位相部における距離が長い方の方向の上部クラッドガラス微粒子膜質均一性を良好にできる。
【００３７】
したがって、本発明においては、位相部を形成する光導波路の等価屈折率を均一に近づけることができ、位相誤差に伴う光透過中心波長ずれを抑制することができ、かつ、光透過波形の上部形状を保持することが可能となる。
【００３８】
なお、上記ガラス微粒子のうち、特に、コアを覆う上部クラッドガラス微粒子の膜質が不均一となると、コアにより形成される回路（光導波路）の等価屈折率を不均一にする原因となり、位相部を伝搬する光に位相誤差が生じ、光透過波形の上部形状がくずれ、かつ、光透過中心波長が設計波長からずれる。
【００３９】
そのため、少なくとも上部クラッドガラス微粒子を堆積する際に、前記位相部の最上端と最下端との距離および位相部の最右端と最左端との距離のうち距離が短い方の方向を前記ターンテーブルの径方向とほぼ一致させて、上部クラッドガラス微粒子を堆積させると好ましい。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明において、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略する。図１の（ａ）には、本発明に係る平面光導波回路の製造方法の第１実施形態例における要点が模式的に示されており、同図の（ｂ）には、第１実施形態例の平面光導波回路の製造方法により製造される平面光導波回路が示されている。
【００４１】
本第１実施形態例の平面光導波回路の製造方法は、火炎加水分解堆積法を用いて図１の（ｂ）に示す回路構成の平面光導波回路を製造するものであり、本実施形態例の特徴は、同図の（ａ）に示すように、火炎加水分解堆積法により上部クラッド微粒子を堆積する工程を特徴的な構成としたことである。
【００４２】
つまり、本実施形態例は、図２に示すように、平面光導波回路の位相部中央部（この場合、アレイ導波路１４の中央部）における光導波路並設方向（この場合、チャンネル導波路１４ａの並設方向）を上下方向とし、該上下方向に直交する方向を左右方向としたとき、前記位相部の最上端と最下端との距離Ｓおよび位相部の最右端と最左端との距離Ｔのうち距離が短い方の方向（ここではＴ方向）を、図１の（ａ）に示すように、ターンテーブル５の径方向（矢印Ａ方向）とほぼ一致させて、上部クラッドガラス微粒子の堆積を行なうことを特徴としている。
【００４３】
本実施形態例では、図２に示すアレイ導波路１４の形成領域において、最上端と最下端との距離Ｓは２．７ｃｍであり、最右端と最左端との距離Ｔは２．１ｃｍであり、左右方向の距離Ｔが短かったので、上記のように、上記左右方向をターンテーブル５の径方向と一致させて上部クラッドガラス微粒子の堆積を行なった。
【００４４】
なお、本実施形態例においても、下部クラッド微粒子とコアガラス微粒子の堆積工程、これらのガラス微粒子の透明ガラス化工程、コアパターン化は従来例とほぼ同様に行ない、コアパターンは図１の（ｂ）に示す導波路構成を有するパターンとした。また、上部クラッドガラス微粒子の透明ガラス化も従来例と同様に行なった。
【００４５】
本実施形態例の製造方法で製造した平面光導波回路は、１００ＧＨｚ間隔で３２波の光の合分波を行なうアレイ導波路回折格子の回路構成を有している。また、このアレイ導波路回折格子の回路は、図１の（ｂ）に示す回路であり、光入力導波路１２の出射側に、図３に示すように、光入力導波路１２の幅よりも広幅で、かつ、第１のスラブ導波路１３側に向かうにつれて拡幅する台形状導波路５０を接続して形成されている。台形状導波路５０の斜辺２９は実質的にほぼ直線と成している。
【００４６】
台形状導波路５０は、マルチモードとなる幅のマルチモード導波路として機能し、かつ、光の進行方向に向かうにつれて拡幅する形状のマルチモード拡幅形状導波路として機能する。なお、光入力導波路１２の出力端側における導波路構成の詳細は、特願２０００−２８５４４８に記載されている。
【００４７】
本第１実施形態例の平面光導波回路の製造方法は、火炎加水分解堆積法により堆積したガラス微粒子によって形成される膜質についての検討に基づき、上部クラッド微粒子の堆積工程において、平面光導波回路の位相部における上下方向と左右方向のうち距離が短い方の方向（図２のＴ方向）と膜質の均質度が低い図１のＡ方向を一致させて上部クラッドガラス微粒子の堆積を行なったものである。
【００４８】
したがって、本第１実施形態例によれば、平面光導波回路に形成されているアレイ導波路回折格子回路の位相部（アレイ導波路１４の形成領域）における距離が長い方の方向の上部クラッドガラス微粒子膜質均一性を良好にできるので、アレイ導波路１４の等価屈折率を均一に近づけることができ、位相誤差に伴う光透過中心波長ずれを抑制することができ、かつ、光透過波形の上部形状を保持することができる。
【００４９】
そして、本実施形態例によって製造した平面光導波回路は、上記提案例と同様の動作により同様の効果を奏し、例えば図４に示すように、平面光導波回路の光透過特性を、それぞれの光透過中心波長を中心とした平坦型のスペクトルとすることができる。
【００５０】
なお、図５には、本実施形態例の比較例として、平面光導波回路の位相部（アレイ導波路１４）の上下方向をターンテーブル５の径方向と一致させて、上部クラッドガラス微粒子の堆積を行なって製造した平面光導波回路の透過スペクトルが示されている。
【００５１】
同図に示すように、比較例においては、平面光導波回路の透過スペクトルを平坦型にすることができなかったが、本実施形態例は、上記のように、上部クラッドガラス微粒子の堆積方法を適切にすることにより、設計通り光透過中心波長と平坦型のスペクトルを得ることができた。
【００５２】
次に、本発明に係る平面光導波回路の製造方法の第２実施形態例について説明する。本第２実施形態例の平面光導波回路の製造方法は、上記第１実施形態例とほぼ同様であり、本第２実施形態例が上記第１実施形態例と異なることは、製造する平面光導波回路の回路構成を図６に示す構成としたことである。
【００５３】
本第２実施形態例の製造方法により製造する平面光導波回路は、インターリーバー光波長合分波器として機能するアレイ導波路回折格子回路を有するものであり、以下に、インターリーバー光合分波器について説明する。
【００５４】
インターリーバー光波長合分波器は、近年の波長分割多重伝送技術のさらなる発展に伴って提案された光波長合分波器である。例えば波長多重化において、図１０の（ａ）、（ｂ）に示すように、設定波長間隔で互いに異なる複数波長の光を持った波長多重光を、同図の矢印Ａに示すように合波して、同図の（ｃ）に示すようにする（例えば同図の（ａ）に示す既存の波長間に、同図の（ｂ）に示す新たな波長を挿入する）。
【００５５】
上記波長多重化によって、例えば波長λ１、λ３、λ５、λ７、λ９、λ１１・・・の波長多重光と波長λ２、λ４、λ６、λ８、λ１０、・・・の波長多重光が合波され、波長λ１、λ２、λ３、λ４、λ５、λ６、λ７、λ８、λ９、λ１０、λ１１・・・を持った波長多重光が形成される。
【００５６】
このように、インターリーバー光波長合分波器を適用すると、一定光周波数間隔（一定波長間隔）で合波された波長多重光に対し、同じ波長間隔ながらもオフセット値分ずらした波長を挿入することにより、波長多重密度を増加することができる。
【００５７】
また、インターリーバー光波長合分波器は、波長分割化においては、図１０の矢印Ｂに示すように、同図の（ｃ）に示した波長多重光を、同図の（ａ）、（ｂ）に示すように分波する。この波長分割化によって、例えば波長λ１、λ２、λ３、λ４、λ５、λ６、λ７、λ８、λ９、λ１０、λ１１、・・・を持った波長多重光を、波長λ１、λ３、λ５、λ７、λ９、λ１１、・・・の波長多重光と波長λ２、λ４、λ６、λ８、λ１０の波長多重光に分波することが行なわれる。
【００５８】
最近、上記のようなインターリーバー光波長合分波器を、アレイ導波路回折格子の回路を有する構成により実現する提案が、特願２００１−２２３２２６に提案された。そこで、本発明者は、第２実施形態例の平面光導波回路の製造方法により製造する平面光導波回路に、インターリーバー光波長合分波器として機能するアレイ導波路型回折格子の回路構成（上記提案により提案された構成）を適用することにした。なお、上記特願２００１−２２３２２６の提案は未だ公開になっていないものである。
【００５９】
本第２実施形態例の製造方法により製造される平面光導波回路は、波長多重光の合分波を、１００ＧＨｚ間隔と５０ＧＨｚ間隔で行なうインターリーバー光波長合分波器として機能するものである。
【００６０】
つまり、この平面光導波回路は、図６に示す回路構成を有し、例えば同図の矢印に示すように、隣り合う波長同士の間隔が５０ＧＨｚ間隔の波長λ１、λ２、λ３、λ４、λ５、λ６、λ７、λ８、λ９、λ１０、λ１１、・・・を持った波長多重光を分波して、隣り合う波長同士の間隔が１００ＧＨｚ間隔の波長λ１、λ３、λ５、λ７、λ９、λ１１、・・・の波長多重光と、隣り合う波長同士の間隔が１００ＧＨｚ間隔の波長λ２、λ４、λ６、λ８、λ１０、・・・の波長多重光にする。
【００６１】
また、本実施形態例の製造方法で製造される平面光導波回路は、図６に示す矢印とは逆に、隣り合う波長同士の間隔が１００ＧＨｚ間隔の波長λ１、λ３、λ５、λ７、λ９、λ１１、・・・の波長多重光と、隣り合う波長同士の間隔が１００ＧＨｚ間隔の波長λ２、λ４、λ６、λ８、λ１０、・・・の波長多重光を合波して、隣り合う波長同士の間隔が５０ＧＨｚ間隔の波長λ１、λ２、λ３、λ４、λ５、λ６、λ７、λ８、λ９、λ１０、λ１１、・・・を持った波長多重光にする。
【００６２】
また、第２実施形態例の製造方法で製造する平面光導波回路も、上記第１実施形態例の製造方法で製造した平面光導波回路と同様に、光入力導波路１２の出射側に、光入力導波路１２の幅よりも広幅で、かつ、第１のスラブ導波路１３側に向かうにつれて拡幅する台形状導波路５０を接続して形成されており、台形状導波路５０の構成および機能は、上記第１実施形態例における構成および機能と同様である。
【００６３】
本第２実施形態例では、図７に示すように、位相部であるアレイ導波路１４の形成領域において、最上端と最下端との距離Ｓは３．５ｃｍであり、最右端と最左端との距離Ｔは２．５ｃｍであり、左右方向の距離Ｔが短かったので、上記第１実施形態例と同様に、左右方向をターンテーブル５の径方向と一致させて上部クラッドガラス微粒子の堆積を行なった。
【００６４】
本第２実施形態例も上記第１実施形態例と同様の効果を奏することができる。
【００６５】
図８には、本第２実施形態例の製造方法によって製造した平面光導波回路の光透過特性が示されている。同図に示すように、本第２実施形態例の製造方法により製造した平面光導波回路は、それぞれの光透過中心波長を中心とした平坦型のスペクトルとなった。
【００６６】
なお、図９には、本第２実施形態例の比較例として、平面光導波回路の位相部（アレイ導波路１４）の左右方向をターンテーブル５の径方向と一致させて、上部クラッドガラス微粒子の堆積を行なって製造した平面光導波回路の透過スペクトルが示されている。
【００６７】
同図に示すように、比較例においては、平面光導波回路の透過スペクトルを平坦型にすることができなかったが、本実施形態例は、上記のように、上部クラッドガラス微粒子の堆積方法を適切にすることにより、設計通り平坦型のスペクトルを得ることができた。
【００６８】
なお、本発明は上記各実施形態例に限定されることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば上記各実施形態例では、アレイ導波路回折格子の回路を有する平面光導波回路を製造したが、本発明の平面光導波回路の製造方法により製造される平面光導波回路は必ずしもアレイ導波路回折格子とするとは限らず、互いに間隔を介して並設した２本以上の光導波路を備えた位相部を有していればよい。
【００６９】
つまり、本発明の平面光導波回路の製造方法により製造される平面光導波回路は、例えば図１４に示したようなマッハツェンダ光干渉回路を有する回路としてもよい。
【００７０】
この場合も、図１１の（ａ）、（ｂ）に示すように、位相部の上下方向の距離Ｓが左右方向の距離Ｔよりも短い場合は、上下方向をターンテーブル５の径方向と一致させ、その逆に、同図の（ｃ）に示すように、位相部の左右方向の距離Ｔが上下方向の距離Ｓよりも短い場合は、左右方向をターンテーブル５の径方向と一致させて上部クラッドガラス微粒子の堆積を行なうことにより、上記各実施形態例と同様の効果を奏することができる。
【００７１】
また、平面光導波回路を、アレイ導波路回折格子を有する構成とする場合にも、上記各実施形態例のように、光入力導波路１２の出射側に台形状導波路５０を設ける構成とするとは限らず、従来のアレイ導波路回折格子や提案されている様々なアレイ導波路回折格子の回路を適用することができる。
【００７２】
さらに、上記各実施形態例では、その製造方法において、上部クラッドガラス微粒子の堆積を、位相部の最上端と最下端との距離および位相部の最右端と最左端との距離のうち距離が短い方の方向を前記ターンテーブルの径方向とほぼ一致させて行ったが、本発明の平面光導波回路の製造方法は、この方法に限定されるものではない。
【００７３】
つまり、本発明の平面光導波回路の製造方法は、下部クラッドガラス微粒子とコアガラス微粒子と前記上部クラッドガラス微粒子の少なくとも一つのガラス微粒子の堆積を、位相部の最上端と最下端との距離および位相部の最右端と最左端との距離のうち距離が短い方の方向を前記ターンテーブルの径方向とほぼ一致させて行えばよく、この方法の適用によって、平面光導波回路の位相誤差に伴う光透過中心波長ずれを抑制し、光透過波形の上部形状を保持することができる。
【００７４】
【発明の効果】
本発明の平面光導波回路の製造方法によれば、火炎加水分解堆積法による下部クラッドガラス微粒子とコアガラス微粒子と前記上部クラッドガラス微粒子の少なくとも一つのガラス微粒子の堆積工程を特徴的な工程とすることにより、平面光導波回路の位相部における距離が長い方の方向の上部クラッドガラス微粒子膜質均一性を良好にできる。
【００７５】
したがって、本発明の平面光導波回路の製造方法によれば、製造される平面光導波回路の位相部を形成する光導波路の等価屈折率を均一に近づけることができ、平面光導波回路の位相誤差に伴う光透過中心波長ずれを抑制し、光透過波形の上部形状を保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る平面光導波回路の製造方法の第１実施形態例における上部クラッド微粒子堆積工程（ａ）と、この製造方法により製造した平面光導波回路の例を示す説明図である。
【図２】上記実施形態例により製造される平面光導波回路の位相部を示す平面説明図である。
【図３】上記実施形態例により製造される平面光導波回路の光入力導波路出力側構成を示す平面説明図である。
【図４】上記実施形態例の製造方法を適用して製造した平面光導波回路の通過スペクトル例を示すグラフである。
【図５】図１の（ｂ）の回路構成を有する平面光導波回路を従来の製造方法を適用して製造した場合の通過スペクトル例を示すグラフである。
【図６】本発明に係る平面光導波回路の製造方法の第２実施形態例により製造される平面光導波回路回路構成を示す平面説明図である。
【図７】上記第２実施形態例により製造される平面光導波回路の位相部を示す平面説明図である。
【図８】上記第２実施形態例の製造方法を適用して製造したアレイ導波路回折格子の通過スペクトル例を示すグラフである。
【図９】図６の回路構成を有する平面光導波回路を従来の製造方法を適用して製造した場合の通過スペクトル例を示すグラフである。
【図１０】インターリーバー光波長合分波器の機能を模式的に示す説明図である。
【図１１】マッハツェンダ光干渉計回路の位相部構成例を示す説明図である、
【図１２】火炎加水分解堆積法を用いて形成した膜の、膜質均質方向と膜質不均質方向を示す説明図である。
【図１３】アレイ導波路回折格子の回路を有する平面光導波回路例を示す説明図である。
【図１４】マッハツェンダ光干渉計回路を有する平面光導波回路例を示す説明図である。
【図１５】火炎加水分解堆積法を用いた平面光導波回路の製造方法を示す説明図である。
【符号の説明】
１  下部クラッド
２  コア
３  上部クラッド
５  ターンテーブル
６  バーナ
１０  導波路形成領域
１１  基板
１２  光入力導波路
１３  第１のスラブ導波路
１４  アレイ導波路
１４ａ  チャンネル導波路
１５  第２のスラブ導波路
１６  光出力導波路
２１，２２  光導波路
２３，２４  方向性結合部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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