(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
床面で全面均一吸込とされているクリーンルームの天井に取り付けられる断面略半楕円形状を為すクリーンルーム用フィルタユニットにおいて、
クリーンルーム用エアフィルタが、該クリーンルーム用エアフィルタ各部位から吹き出す前記クリーンルームの水平方向の空間に対し受け持つ空気流体要素を、前記クリーンルームの垂直方向の空間に対し受け持つ空気流体要素より増やし、均一な風速分布の必要な床上１５００ｍｍレベルで部屋全体が全面下向きの整った層流になるように、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域の曲率を、前記クリーンルームの垂直方向に吹き出す領域の曲率より小さくして成る短径方向に切断した断面略半楕円形状を為すと共に、短径方向に吹き出す領域の濾材面積を大きくして成る
ことを特徴とするクリーンルーム用フィルタユニット。
【請求項２】
床面で全面均一吸込とされているクリーンルームの天井に取り付けられる断面略半楕円形状を為すクリーンルーム用フィルタユニットにおいて、
クリーンルーム用エアフィルタが、該クリーンルーム用エアフィルタ各部位から吹き出す前記クリーンルームの水平方向の空間に対し受け持つ空気流体要素を、前記クリーンルームの垂直方向の空間に対し受け持つ空気流体要素より増やし、均一な風速分布の必要な床上１５００ｍｍレベルで部屋全体が全面下向きの整った層流になるように、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域の曲率を、前記クリーンルームの垂直方向に吹き出す領域の曲率より小さくして成る縦断面形状が略１／４楕円形状を為すと共に、短径方向に吹き出す領域の濾材面積を大きくして成る
ことを特徴とするクリーンルーム用フィルタユニット。
【請求項３】
前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域の曲率が、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域と前記クリーンルームの垂直方向に吹き出す領域との中間に吹き出す領域の曲率より小さいことを特徴とする請求項１又は２に記載のトンネル式クリーンルーム用フィルタユニット。
【請求項４】
床面で全面均一吸込とされていて、かつ垂れ壁により高い清浄度を必要とする高速流域と低速流域とに区画したクリーンルームの低速流域の天井に取り付けられる断面略半楕円形状を為すクリーンルーム用フィルタユニットにおいて、
クリーンルーム用エアフィルタが、フィルタ面各部位から吹き出す空気流体要素について前記クリーンルームの水平方向の空間拡がりに対し垂直方向より増やし、均一な風速下向きベクトル分布の必要な床上１５００ｍｍまでの部屋全体が全面下向きの層流となり、かつ高速流域近傍に高速流域から離れるに従って高速流とほぼ等速から低速流になる境界層を形成できるように、前記クリーンルームの水平方向の曲率及び前記クリーンルームの垂直方向の曲率を決めた断面略半精円弧形状を為している
ことを特徴とするクリーンルーム用フィルタユニット。
【請求項５】
前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域の曲率が、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域と前記クリーンルームの垂直方向に吹き出す領域との間の中間に吹き出す領域の曲率より小さいことを特徴とする請求項４に記載のクリーンルーム用フィルタユニット。
【請求項６】
前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域が、直線であることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載のクリーンルーム用フィルタユニット。
【請求項７】
前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域が、濾材密度を高くしていることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載のクリーンルーム用フィルタユニット。
【請求項８】
前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域が、濾材の高さを高くして、濾材面積を増加させていることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載のクリーンルーム用フィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体工場、精密機械工場、薬品製造工場等の無塵室或いは無菌室に適用されるトンネル式クリーンルームに用いられるフィルタユニットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体工場に於ては、超ＬＳＩの高集積化・超微細化に伴なう製造技術の高度化への対応として超清浄度空間の必要性が増大し、クラス１〜１００の清浄度を有するクリーンルームが要求されている。
この要求に応えるものとしては、垂直層流方式のクリーンルームとトンネル方式クリーンルームとがある。
【０００３】
処で、垂直層流方式のクリーンルームは、天井の全面に高性能フィルタを施設すると共に、温湿度を室全体として制御する必要があり、室内の生産装置毎の温度制御の不均衡を起こす虞があった。
これに対し、トンネル式クリーンルームは、そのエリア分けにより作業部毎に高精度に制御することができる可能性があるという利点を有する。
【０００４】
このトンネル式クリーンルームとしては、例えば、特開昭６１−２８２７４２号公報がある。
これを図１４により説明する。
図に於て、１はトンネル式クリーンルームである。このトンネル式クリーンルーム１には垂れ壁２により高い清浄度を必要とする高速流域Ａと境界域Ｃと低速流域Ｂとが区画されている。
【０００５】
高速流域Ａには、高性能フィルタ３が施設されている。この高性能フィルタ３は、トンネル状室内の天井側に設けた給気チャンバ４に取り付けてある。
高性能フィルタ３の下方には、トンネル式クリーンルーム１の床５上に配置された生産機械６が位置している。
低速流域Ｂ側の垂れ壁２と天井７との間には、吹出口８が設けられている。この吹出口８は、２つの高性能フィルタ９，１０と、両高性能フィルタ９，１０に清浄空気を送る給気チャンバ１１と、給気チャンバ１１内に位置し垂れ壁２よりの高性能フィルタ９の上部に設けたダンパ１２とで構成されている。
【０００６】
境界域Ｃは、高性能フィルタ９からの吹出によって形成される。
このトンネル式クリーンルーム１によれば、高性能フィルタ３を介して高速流域Ａの全域に亘って清浄空気を略鉛直下向きに０．３〜０．４m/sec程度の速度で層流状に吹き出し、低速流域Ｂでは、清浄空気を高性能フィルタ１０を介して拡散的に０．０５〜０．２m/sec程度の室内平均降下風速になるように吹き出している。
【０００７】
そして、境界域Ｃに於ては、水平に取り付けた高性能フィルタから清浄空気を略鉛直下向きに０．３〜０．４m/sec程度の速度で吹き出している。
この境界域Ｃに於ける高速流域Ａの気流流れと同じ気流流れを高性能フィルタ９とダンパ１２によって形成するため、境界域Ｃ側に位置する作業員からの発塵の巻き込みを防止することができる。
【０００８】
図１５は、同じく特開昭６１−２８２７４２号公報に記載されてあるトンネル式クリーンルームである。
この場合には、高性能フィルタ１３を天井側に施設し、１つの吹出口１４に境界域用１４ａと低速流域用１４ｂとを設けたものである。
このトンネル式クリーンルームに於ても、図１４と同様に境界域Ｃ側に位置する作業員からの発塵の巻き込みを防止することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
処が、図１４に示すトンネル式クリーンルームでは、ダンパ１２によって境界域Ｃの風速を調整するものであるため、ダンパ１２の調整に手間取ると共に、高性能フィルタ９、１０がそれぞれ直線で形成され、高性能フィルタ９、１０の為す角度がかなり大きな角度を持つため、高性能フィルタ９、１０の夫々から吹き出す気流により、新たな境界域ができる。夫れにより、境界域Ｃは、高性能フィルタ９の幅の分だけ位置がずれたに過ぎないことになる可能性が大きい。
【００１０】
又、図１５に示すトンネル式クリーンルームでは、高性能フィルタ１３から吹出口１４内に動圧が掛かるため、清浄空気は横向きの低速流域用１４ｂよりも下向きの境界域用１４ａから出やすくなり、高速流域Ａの流速よりも速くなる可能性がある。その場合には、境界域Ｃ側に位置する作業員からの発塵の巻き込みを防止することができない。
【００１１】
一方、従来のトンネル式クリーンルーム空調システムとしては、図１６に示すものが知られている。
このシステムでは、高速流域Ａの給気チャンバ４と低速流域Ｂの給気チャンバ１１と床下空間１５とが配管１６により空調機（図示せず）に連絡され、床下空間１５内の空気を、空調機の冷温水コイル及びファンに導いた後、空調された空気を高速流域Ａの給気チャンバ４と低速流域Ｂの給気チャンバ１１に供給し、フィルタ３及び吹出口９，１０からトンネル式クリーンルーム１内に吹き出させることによりトンネル式クリーンルーム１内の空気の空調及び浄化が行われている。
【００１２】
然し乍ら、このような従来のトンネル式クリーンルーム空調システムでは、一台の空調機によりトンネル式クリーンルーム１内の空調を行っているため、トンネル式クリーンルーム１内に部分的に発生する熱負荷に有効に対応することが困難であるという問題があった。
一方、クリーンルームとしては、例えば、実公平５−３８８２１号公報の第３図に示されている全面ラミナーフロー方式や同じく第４図に示されているコンベンショナル方式が知られている。
【００１３】
然し、全面ラミナーフロー方式のものでは、整った層流となるが、天井チャンバーやフィルタ全面設置を必要とし、天井が低く、高価となるという欠点がある。
又、コンベンショナル方式のものは、清浄空気の吹出が一方向で局部的であるため、フィルタ側方に渦流が発生し停滞して循環できず、清浄化できないという欠点がある。
【００１４】
そこで、これらの問題点を解決するものとして、実公平５−３８８２１号公報に記載される断面略半円形状のクリーンルーム用エアフィルタや実開昭６３−４３６２０号公報に記載される略円弧状のクリーンルーム用エアフィルタのように、クリーンルーム用エアフィルタ面から放射状に気流を吹き出すものが提案されている。
【００１５】
処で、断面略半円形状や略円弧状のクリーンルーム用エアフィルタから吹き出される気流は、図１７及び図１８のように、フィルタ面１７から矢印で示すように放線方向へ均等に吹き出される。速度をベクトルで表すと、フィルタ面１を出た直後のベクトルの絶対長はどの位置も同一であり、フィルタ面１７でのベクトル密度もどの部位も同じである。
【００１６】
尚、図１７は断面１／４半円クリーンルーム用エアフィルタを示し、図１８は断面略半円形状クリーンルーム用エアフィルタを示す。
ここで、図１９に示すように、このフィルタユニット１８をクリーンルーム１９に用い、気流分布を良好にする目的で床２０には全面パンチングパネル等が設けられて全面均一吸込とされている。
【００１７】
クリーンルーム１９の天井２１には、フィルタユニット１８が取り付けられている。クリーンルーム１９には、空調装置２３がフィルタユニット１８のサプライチャンバ２２と床下空間２４とを連絡し、清浄空気を循環するようになっている。
又、クリーンルーム１９は、経済性のため、フィルタユニット１８のフィルタ列の設置ピッチを大きく取りたいので、図２０のように横長の室内に空気を送ることになる。
【００１８】
よって、壁２５とフィルタユニット１８の中心位置までの距離Ｗがクリーンルーム１９の高さＨよりも大きく設定されている。
図２０は、一点鎖線を対称軸とみなし、壁の条件をなくして、鏡面展開すると、図１９と同義となる。
以下、対称軸の右側だけを表示する図２０に基づいて説明する。
【００１９】
図２０に於て、フィルタユニット１８下方の鉛直方向（−Ｚ方向）では、風速は、図２１に示すように、吹出点２６から離れるに従いその流体の部分（流体要素）２７が空間の拡がりと共に拡がり連続の式により風速は減少する。
然し、ある程度下方に進むと、床２０の吸い込みにより隣り合った要素も下向きベクトルとなり、流体要素２７は拡大せず、一定速度となり床２０まで達する。
【００２０】
これに対し、Ｘ軸方向は図２２に示すとおりとなる。
先ず、最初に吹き出した流体要素２８は、水平方向（＋Ｘ方向）には、境界層を別としても空間の拡がりと共に拡がり、連続の式により風速は減少する。
又、境界層からの粘性の影響も少なからず受け、風速は更に減少する。又、隣り合った流体要素２８は、吸込条件により−Ｚ方向への力を受け、Ｘ軸方向に進むと壁２５に当たって、吸込方向、−Ｚ方向へ流れ、ベクトル方向が変わる。
【００２１】
これにより、水平方向に進んでいる流体要素２８は、壁２５面で下方に引かれ、速度も又非常に減少しているので、図２３に示すように負圧２９となる。
これが渦３０の核となり、天井２１と壁２５との隅部に発生してしまう。これにより、水平方向の壁２５ぎわの流体要素２８Ａでは、図２４に示すように、天井２１に沿って−Ｘ方向にベクトルが発生し、更に水平方向の風速減少に勢いを付けて渦３０の成長を促している。
【００２２】
これらの要因により、天井２１と壁２５の隅部に渦３０が大きく成長してしまい、定常的に存在することになる。
この渦３０により、この中に入り込んだ塵埃がなかなか排出されず、清浄化しずらくなる。
又、この渦３０の成長に伴い、吹き出された風速ベクトルのかなりの部分のＸ成分が渦運動のエネルギーとして使われてしまい、壁２５にぶつかったＸ→−Ｚ成分に変化するベクトル量も減少する。
【００２３】
その結果、図２５に示すように、壁２５に近いエリアの−Ｚ方向ベクトル量も減少し、このエリアの風速が遅くなり、クリーンルーム１９で必要な床上１５００ｍｍまでの−Ｚ方向ベクトル量分布が部屋全体として悪くなる。
即ち、図２５に於ける領域３１の風速が遅くなる。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為されたもので、その目的は、境界領域に位置する作業員からの発塵を高速流域に巻き込むことを防止すると共に、良好な気流分布を与えることができるトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットを提供することにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、床面で全面均一吸込とされているクリーンルームの天井に取り付けられる断面略半楕円形状を為すクリーンルーム用フィルタユニットにおいて、クリーンルーム用エアフィルタが、該クリーンルーム用エアフィルタ各部位から吹き出す前記クリーンルームの水平方向の空間に対し受け持つ空気流体要素を、前記クリーンルームの垂直方向の空間に対し受け持つ空気流体要素より増やし、均一な風速分布の必要な床上１５００ｍｍレベルで部屋全体が全面下向きの整った層流になるように、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域の曲率を、前記クリーンルームの垂直方向に吹き出す領域の曲率より小さくして成る短径方向に切断した断面略半楕円形状を為すと共に、短径方向に吹き出す領域の濾材面積を大きくして成ることを特徴とするものである。
請求項２の発明は、床面で全面均一吸込とされているクリーンルームの天井に取り付けられる断面略半楕円形状を為すクリーンルーム用フィルタユニットにおいて、クリーンルーム用エアフィルタが、該クリーンルーム用エアフィルタ各部位から吹き出す前記クリーンルームの水平方向の空間に対し受け持つ空気流体要素を、前記クリーンルームの垂直方向の空間に対し受け持つ空気流体要素より増やし、均一な風速分布の必要な床上１５００ｍｍレベルで部屋全体が全面下向きの整った層流になるように、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域の曲率を、前記クリーンルームの垂直方向に吹き出す領域の曲率より小さくして成る縦断面形状が略１／４楕円形状を為すと共に、短径方向に吹き出す領域の濾材面積を大きくして成ることを特徴とするものである。
【００２５】
請求項３の発明は、請求項１又は２に記載のトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットにおいて、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域の曲率が、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域と前記クリーンルームの垂直方向に吹き出す領域との中間に吹き出す領域の曲率より小さいことを特徴とするものである。
請求項４の発明は、床面で全面均一吸込とされていて、かつ垂れ壁により高い清浄度を必要とする高速流域と低速流域とに区画したクリーンルームの低速流域の天井に取り付けられる断面略半楕円形状を為すクリーンルーム用フィルタユニットにおいて、クリーンルーム用エアフィルタが、フィルタ面各部位から吹き出す空気流体要素について前記クリーンルームの水平方向の空間拡がりに対し垂直方向より増やし、均一な風速下向きベクトル分布の必要な床上１５００ｍｍまでの部屋全体が全面下向きの層流となり、かつ高速流域近傍に高速流域から離れるに従って高速流とほぼ等速から低速流になる境界層を形成できるように、前記クリーンルームの水平方向の曲率及び前記クリーンルームの垂直方向の曲率を決めた断面略半精円弧形状を為していることを特徴とするものである。
【００２６】
請求項５の発明は、請求項４に記載のクリーンルーム用フィルタユニットにおいて、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域の曲率が、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域と前記クリーンルームの垂直方向に吹き出す領域との間の中間に吹き出す領域の曲率より小さいことを特徴とするものである。
請求項６の発明は、請求項１乃至５の何れかに記載のクリーンルーム用フィルタユニットにおいて、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域が、直線であることを特徴とするものである。
請求項７の発明は、請求項１乃至５の何れかに記載のクリーンルーム用フィルタユニットにおいて、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域が、濾材密度を高くしていることを特徴とするものである。
請求項８の発明は、請求項１乃至５の何れかに記載のクリーンルーム用フィルタユニットにおいて、前記クリーンルームの水平方向に吹き出す領域が、濾材の高さを高くして、濾材面積を増加させていることを特徴とするものである。
【００２７】
（作用）
請求項１乃至請求項８の発明に於ては、ファンフィルタユニットにより高性能フィルタからトンネル式クリーンルームの高速流域内に流入される。
又、請求項１乃至請求項８の発明に於ては、高速流域では従来と同様に生産機械に向かって流れる高速層流を形成する。
【００２８】
一方、低速流域と境界域では、短径方向に切断した断面略半楕円形状を為すクリーンルーム用エアフィルタを備えたクリーンルーム用フィルタユニットが、水平方向に対する曲率が垂直方向の曲率より小さくなるため、水平方向の空間の拡がりに対し受け持つ流体要素を増やすことができ、これにより、水平方向に対する流体要素の空間への拡がりが少なくなり、吹出からかなり遠くまで風速を持って負圧の発生が抑えられる。
【００２９】
又、垂直方向では、断面略半楕円形状を為すクリーンルーム用エアフィルタを備えたクリーンルーム用フィルタユニットが、下からの吸い込みがあるため、流体要素に対する空間の拡がりが少なく、ある程度進むと、それ以上拡がらなくなるため、この部分は風速を維持し易く、空間の他の部分に比べて早くなる傾向がある。そこで、他の部分と同じような空間の拡がりを持たせるため、クリーンルーム用エアフィルタのフィルタ面の曲率を大きくする。
【００３０】
以上により、低速流域では短径方向に切断した断面略半楕円形状を為すクリーンルーム用エアフィルタを備えたクリーンルーム用フィルタユニットから均一な低速流を形成することができる。
又、フィルタユニット短径部分に多くの濾材面積を割り当てたので、境界域は他の低速域に比べて多風量を与えることができる。又、濾材を短径部で漸増させ放射状に気流吹き出しをしているので、境界域では自然に高速流域から離れるに従って高速流域と隣り合うエリア部分の吹出風量が低速になっている。
【００３１】
そのため、境界域に於て、上昇気流が起こらず、室内が安定した下向きの気流が得られる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて説明する。
【００３３】
図１は、請求項１乃至請求項８の一実施の形態に係るトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットを適用した空調システムを示す。
図に於て、４１はトンネル式クリーンルームである。このトンネル式クリーンルーム４１には垂れ壁４２により高い清浄度を必要とする高速流域Ａと境界域Ｃと低速流域Ｂとが区画されている。
【００３４】
トンネル式クリーンルーム４１は、低速流域Ｂの天井４３側にトンネル式クリーンルーム４１内に清浄空気を吹き出すトンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９が取り付けられ、床４４には全面に穿孔されたパンチングメタルが施設されている。そして、天井空間４６と床下空間４５とは、空調機４７を介して連絡している。床上には生産機械４８が配置されている。
【００３５】
トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９は、図１に示すように、短径方向に切断した断面略半楕円形状を為すクリーンルーム用エアフィルタ５０と、サプライヤチャンバ５１とで構成されている。又、サプライヤチャンバ５１には、空調機４７の風がダクト５２で供給されたり、或いはモータファン５２が配設されたりしている。
【００３６】
高速流域Ａには、ファンフィルタユニット５３が配置されている。このファンフィルタユニット５３は、横断面直方形形状で筒状のユニット本体５４の下端開口部５５には、ＵＬＰＡフィルタ，ＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ５６が配置されている。
空調機４７を駆動してダクト５２を介して清浄空気をファンフィルタユニット５３及びトンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９へ供給することによって、トンネル式クリーンルーム４１へ清浄空気を供給する。高性能フィルタ５６で浄化された後、高速流域Ａ内に０．３〜０．４m/secの高速で吹き出される。
【００３７】
一方、トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９からは、低速流域Ｂで０．０５〜０．２m/sec程度の室内平均降下風速になるように低速で清浄空気が吹き出される。
ここで、トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９の作用を、図６乃至図１３より詳述する。
上述した図２２に示す従来例に於けるＸ方向の流体要素の距離による変化に着目し、図７に示すように、トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９のクリーンルーム用エアフィルタ５０の短径方向に吹き出す領域５０Ａのフィルタ面５０ａの曲率を、従来の断面半円形状のクリーンルーム用エアフィルタの曲率より小さくすることにより、即ち、−Ｚ方向に並ぶ流体要素のベクトル方向の−Ｚ成分を半円断面より少しずつ増やすことで、Ｘ方向の空間の拡がりに対し受け持つ流体要素８７を増やした。
【００３８】
これにより、Ｘ方向に対する流体要素８７の空間への拡がりが少なくなり、吹出からかなり遠くまで風速を持って負圧の発生が抑えられる。
一方、図８に示すように、−Ｚ方向でトンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９のクリーンルーム用エアフィルタ５０の直下の長径方向に吹き出す領域５０Ｂは、床４４からの吸い込みがあるため、流体要素８８に対する空間の拡がりが少なく、−Ｚ方向にある程度進むと、それ以上拡がらなくなる。
【００３９】
よって、この部分は風速を維持し易く、空間の他の部分に比べて早くなる傾向がある。そこで、他の部分と同じような空間の拡がりを持たせるため、トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９のクリーンルーム用エアフィルタ５０の直下の長径方向に吹き出す領域５０Ｂのフィルタ面５０ｂの曲率を大きくする。
これらの曲率を満たすための形状は、図９に示すように、短径の半径ａ＜長径の半径ｂの縦長楕円形状が当てはまる。
【００４０】
曲率１／ρの夫々の大きさの関係を図９及び図１０により説明する。
図９は、本実施の形態に係るトンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９のクリーンルーム用エアフィルタ５０の基本構成を示す。図１０は従来の断面半円径形状のトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットを示す。
図９及び図１０に於て、短径の半径をａ、長径の半径をｂ、曲率を１／ρ、短径と楕円曲線との交点、即ち、クリーンルーム用エアフィルタ５０の短径方向に吹き出す領域５０Ａを（１／ρ）ｄ、長径と楕円曲線との交点、即ち、クリーンルーム用エアフィルタ５０の直下の長径方向に吹き出す領域５０Ｂを（１／ρ）ｃ、半円形状のクリーンルーム用エアフィルタ１７の半径をｒ、半円形状のクリーンルーム用エアフィルタ１７の真下の吹出を（１／ρ）ａ、天井２１と半円形状のクリーンルーム用エアフィルタ１７の交点を（１／ρ）ｂとすると、本実施の形態に係るトンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９のクリーンルーム用エアフィルタ５０の縦長楕円形状は、（１／ρ）ｃ＞（１／ρ）ａ＞（１／ρ）ｄ、且つａ＜ｂとなる。
【００４１】
この形状でトンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９のクリーンルーム用エアフィルタ５０の断面を形成すれば、均等吹出、均等吸込の条件で低速域に於て良好な気流分布を得ることができる。
又、図２〜図４に示すように、クリーンルーム用エアフィルタ５０の短径方向に吹き出す領域５０Ａの濾材面積を増やしたことで、境界域Ｃに多風量を与えている。これと放射状に気流を吹き出していることで、境界域Ｃを低速域→高速域にかけて風速を漸増させている。
【００４２】
即ち、図２では、クリーンルーム用エアフィルタ５０の短径方向に吹き出す領域５０Ａを直線状としている（請求項６）。図３では、クリーンルーム用エアフィルタ５０の短径方向に吹き出す領域５０Ａの濾材の密度５０Ａ１が他の濾材の密度５０Ａ２より密になっている（請求項７）。図４では、クリーンルーム用エアフィルタ５０の短径方向に吹き出す領域５０Ａの濾材の折り高さ５０Ａ３が他の濾材の折り高さ５０Ａ４より高くしてある（請求項８）。
【００４３】
これにより、垂れ壁下方の高速流域と低速流域との境界部の吹出速が、略等速となり、境界域Ｃでの乱れによる渦は殆ど発生しなくなる。
以上のように、トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット４９のクリーンルーム用エアフィルタ５０から吹き出された清浄空気は、垂れ壁４２に流体要素８７で表される気流がぶつかると、高速流域Ａの速度と略同等或いはやや遅めの速度となって、図７のように、垂れ壁４２に沿って境界域Ｃへ降下するため、高速流域Ａと境界域Ｃとの間では、下向きの安定した気流が形成され、上昇気流が発生しない。
【００４４】
図５は、請求項２のトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットの一実施の形態を示す。
本実施の形態は、短径方向に切断した断面略１／４楕円形状を為すトンネル式クリーンルーム用フィルタユニット６６を用いる点で図１に示すトンネル式クリーンルーム用フィルタユニット５０と相違する。
【００４５】
即ち、トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット６６のクリーンルーム用エアフィルタ６７が短径方向に切断した断面略１／４楕円形状を為している。
それに伴って、サプライヤチャンバ６８が小さくなっている。
従って、クリーンルーム６９は、図１のクリーンルーム６０の半分となっている。
【００４６】
この実施の形態に於ても、上記実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
尚、上記実施の形態では、サプライヤチャンバを用いた場合について説明したが、本発明はこれに限らず、天井チャンバに供給される清浄空気をファンで圧送するものであっても良い。
【００４７】
又、トンネル式クリーンルーム用エアフィルタは、例えば、図１２に示すように、所定の長さにされたクリーンルーム用エアフィルタ５１をパッキング７１を介して枠体７２で連結すると共に開口側を支持部材７３で閉鎖したダクト７４にしても良い。
このクリーンルーム用エアフィルタダクトの基本構成は、クリーンルーム用エアフィルタの構造以外は特開昭６３−２９４４４０号公報に開示されるものと同様である。
【００４８】
更には、図１３に示すように、クリーンルーム用エアフィルタの外側を保護カバー７５で覆っても良い。
更に又、本発明に使用されるクリーンルーム用エアフィルタは、例えば、実公平５−３８８２１号公報に記載されるように、複数に分割したものを連結したものでも或いは一つのものでも良い。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１乃至８に記載された発明によれば、クリーンルーム用エアフィルタが、短径方向に切断した断面略半楕円形状又は短径方向に切断した断面略１／４楕円形状を為すと共に、短径方向に吹き出す領域の濾材面積が大きいため、通常の横長のクリーンルームに良好な気流分布を与えることができる。又、クリーンルーム内の気流分布を均一化できる。クリーンルームの隅部の渦領域を縮小でき、同じ風量で更にクリーン化ができる。
【００５０】
又、高速流域と低速流域の境界域で流速をなだらかに変化させることで渦の発生を防ぎ、非常に清浄化能力を高くしている。
【図面の簡単な説明】
【図１】  請求項１乃至８に係るトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットを空調システムに適用した一実施の形態を示す説明図である。
【図２】図１の空調システムに於ける断面１／４半円形状のクリーンルーム用エアフィルタの説明図である。
【図３】図１の空調システムに於ける断面１／４半円形状のクリーンルーム用エアフィルタの説明図である。
【図４】図１の空調システムに於ける断面１／４半円形状のクリーンルーム用エアフィルタの説明図である。
【図５】請求項２のトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットの一実施の形態を示す断面図である。
【図６】図１のトンネル式クリーンルームに於けるトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットの吹き出しに関する説明図である。
【図７】図６に於けるトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットの短径方向の吹き出しに関する説明図である。
【図８】図６に於けるトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットの長径方向の吹き出しに関する説明図である。
【図９】図１に於けるトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットの基本構成を示す説明図である。
【図１０】従来の断面半円形状のトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットの基本構成を示す説明図である。
【図１１】図１に於けるトンネル式クリーンルーム空調システムの別の実施の形態を示す説明図である。
【図１２】図１に於けるトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットの別の実施の形態を示す説明図である。
【図１３】図１に於けるトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットの別の実施の形態を示す説明図である。
【図１４】従来のトネル式クリーンルームを示す説明図である。
【図１５】従来のトンネル式クリーンルームを示す説明図である。
【図１６】従来のトンネル式クリーンルームを示す説明図である。
【図１７】従来の断面１／４半円形状のクリーンルーム用フィルタの説明図である。
【図１８】従来の断面半円形状のクリーンルーム用フィルタの説明図である。
【図１９】図１８の断面半円形状のクリーンルーム用フィルタを用いたクリーンルームの説明図である。
【図２０】図１９の断面半円形状のクリーンルーム用エアフィルタを用いたクリーンルームの説明図である。
【図２１】図１７又は図１８のクリーンルーム用エアフィルタの垂直方向の吹き出し状態を示す説明図である。
【図２２】図１７又は図１８のクリーンルーム用エアフィルタの水平方向の吹き出し状態を示す説明図である。
【図２３】図１７又は図１８のクリーンルーム用エアフィルタの水平方向の吹き出し状態を示す説明図である。
【図２４】図１７又は図１８のクリーンルーム用エアフィルタの水平方向の吹き出し状態を示す説明図である。
【図２５】図１７又は図１８のクリーンルーム用エアフィルタの水平方向の吹き出し状態を示す説明図である。
【符号の説明】
４１  トンネル式クリーンルーム
４２  垂れ壁
４３  天井
４４  床
４５  床下空間
４６  天井空間
４７  空調機
４８  生産機械
５０  トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット
５０Ａ  クリーンルーム用エアフィルタ５０の短径方向に吹き出す領域
５１  ユニット本体
５３  ファンフィルタユニット
５５  高性能フィルタ
６０  軸流型ファン
Ａ  高速流域
Ｂ  低速流域
Ｃ  境界域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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