(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性の管または管状の容器の内周側面に被着された絶縁性または非導電性の被膜の欠陥を検査する管内被膜欠陥検査装置であって、
電界を集中させる尖端状の凹凸形状を表面に備えると共に、前記管または容器の内部に、前記被膜に対して非接触を保ちながら前記管または容器の長手方向に挿通可能に設定された電極と、
前記導電性の管または容器と前記電極との間に所定の電圧を印加する電圧印加手段と、
前記電極が前記管または容器の内部に挿通された状態で、前記電圧印加手段によって前記電圧が印加されて前記導電性の管または容器と前記電極との間にアーク放電が発生した場合に、そのアーク放電の発生を検知するアーク放電検知手段と
を備えたことを特徴とする管内被膜欠陥検査装置。
【請求項２】
前記電極は、螺子山状の凹凸形状を有する
ことを特徴とする請求項１記載の管内被膜欠陥検査装置。
【請求項３】
前記アーク放電検知手段が、前記導電性の管または容器と前記電極との間にアーク放電が発生した際の前記導電性の管または容器と前記電極との間の電圧変化に基づいて前記アーク放電の発生を検知するものである
ことを特徴とする請求項１記載の管内被膜欠陥検査装置。
【請求項４】
前記アーク放電検知手段が、前記導電性の管または容器と前記電極との間にアーク放電が発生した際の前記導電性の管または容器と前記電極とに流れる電流変化に基づいて前記アーク放電の発生を検知するものである
ことを特徴とする請求項１記載の管内被膜欠陥検査装置。
【請求項５】
導電性の管または管状の容器の内周側面に被着された絶縁性または非導電性の被膜の欠陥を検査する管内被膜欠陥検査方法であって、
前記管または容器の内部に、前記被膜に対して非接触を保ちながら、電界を尖端部に集中させる凹凸形状を表面に備えている電極を前記管または容器の長手方向に挿入し、
前記導電性の管または容器と前記電極との間に電圧を印加し、
前記電極が前記管または容器の内部に挿入された状態で、前記電圧印加手段によって前記電圧が印加されて前記導電性の管または容器と前記電極との間にアーク放電が発生すると、そのアーク放電の発生を検知する
ことを特徴とする管内被膜欠陥検査方法。
【請求項６】
導電性の管または管状の容器の内周側面に被着された絶縁性または非導電性の被膜の欠陥を検査する管内被膜欠陥検査方法であって、
前記管または容器の内部に、前記被膜に対して非接触を保ちながら、電界を尖端部に集中させる凹凸形状を表面に備えている電極を前記管または容器の長手方向に挿入し、
前記管または容器の内部に不活性ガスを導入し、そのガス圧を減圧し、
前記電極を前記管または容器の内部に挿入した状態で、前記導電性の管または容器と前記電極との間に電圧を印加し、その電圧の印加によって導電性の管または容器と前記電極との間にアーク放電が発生すると、そのアーク放電の発生を検知する
ことを特徴とする管内被膜欠陥検査方法。
【請求項７】
前記不活性ガスとしてアルゴンガスを用い、
前記電圧として１［ｋＶ］以上の電圧を印加し、
前記アルゴンガスのガス圧を、前記被膜に欠陥が存在していた場合に前記電圧の印加によって前記アーク放電が生じ得る２６００［Ｐａ］以上ないし４０００［Ｐａ］以下の範囲内の圧力にまで減圧する
ことを特徴とする請求項６記載の管内被膜欠陥検査方法。
【請求項８】
前記電極として、螺子山状の凹凸形状を有するものを用いる
ことを特徴とする請求項５ないし７のうちいずれか１つの項に記載の管内被膜欠陥検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば導電性の管の内部に絶縁性の被膜を被着してなる伸縮管（べローズ管）のような管における被膜の欠陥を検査するための管内被膜欠陥検査装置および管内被膜欠陥検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
金属またはその他の導電性材料からなる管または管状の容器の内周側面に、例えばフッ素樹脂膜のような絶縁膜をコーティング（被覆）してなる製品は、半導体、環境設備、生活設備、食品管理、医療機器などの幅広い分野で盛んに利用されるようになって来ている。
【０００３】
このような製品においては、コーティングされた絶縁膜に何らかの原因によってピンホール欠陥のような被覆不良等が生じていると、その部分で絶縁性や被覆性の完全さが損なわれてしまい、その製品が用いられているプラントや装置等にプロセス上の欠陥や不調などを生じさせる要因となる場合がある。このため、ピンホール欠陥のような被覆不良を見つけ出すために検査を行うことが、極めて重要なものとなっている。
【０００４】
そのような被覆不良を検査する技術としては、例えばエナメルレータ法が提案されている。このエナメルレータ法では、検査対象である管または管状の容器の内部に、例えば塩化ナトリウム水溶液のような電解液を注入し、その中に検出装置の負極側電極を浸漬する一方、管または管状の容器の金属あるいは導電性材料からなる部分には検出装置の正極側電極を接触させ、正極側電極と負極側電極との間に数ボルト程度の電圧を所定時間に亘って印加して、その正極側電極と負極側電極との間で電解液を介して漏洩電流が流れた場合には、それを検知することによって、管または管状の容器の内周側面にコーティングされた絶縁膜にピンホール欠陥のような被覆不良が生じているものと判定する。あるいは、このとき漏洩電流が流れなかった場合には、その検査地対象の絶縁膜には被覆不良は生じていないものと判定される。
【０００５】
また、それ以外に、特開昭６３−４４１５８号公報では、金属缶体の内面に、界面活性剤を含有する電解質溶液を介して電極を接触させ、その電極を移動させながら、その電極と金属缶体との間に電圧を印加して、漏洩電流が流れた場合には、それに基づいて、管または管状の容器の内周側面にコーティングされた絶縁膜にピンホール欠陥のような被覆不良が生じているものと判定するという技術が提案されている。
【０００６】
また、さらにそれ以外に、特開平６−７４９４１号公報では、熱硬化性樹脂膜または熱可塑性樹脂フィルムなどで内側表面が被覆された容器における被覆欠陥の検査方法として、その検査対象の容器の内部に導電性ブラシを接触させながら相対回転させると共に、その導電性ブラシと容器との間に８００〜１０００［Ｖ］の直流高電圧を印加して、それらの間に流れる電流値を計測し、その電流値に基づいて、検査対象の容器における被覆欠陥を検知するという技術が提案されている。
【０００７】
また、さらにそれ以外に、特開２０００−４６７７６号公報では、内側に絶縁膜が被着された金属容器の内部の被覆性を検知するにあたり、その検査対象の金属容器の内部に導電性ブラシを挿入して絶縁膜に接触させると共にその絶縁膜の表面に比抵抗が１２［ＭΩ・ｃｍ］以上〜１６［ＭΩ・ｃｍ］以下の導電性液体を供給し、金属容器と導電性ブラシとを相対的に回転させることで導電性ブラシによって導電性液体を微粒子化して、その状態で金属容器と導電性ブラシとの間に５［Ｖ］以上〜３０［Ｖ］以下の電圧を印加して、このとき漏洩電流が生じた場合には、それを検知することにより、検査対象の金属容器における被覆欠陥を検知するという技術が提案されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来から、検査対象の管や管状の容器の内部における絶縁膜の被覆不良を検査する技術として、検査対象と電極との間に電解質を介在させ、絶縁膜の被覆不良が生じていた場合には、それに起因した漏洩電流を生じさせることで、その被覆不良の発生を検知するという技術や、導電性ブラシを電極として用いて、その導電性ブラシを検査対象に接触させながら移動させるなどし、その導電性ブラシとピンホール欠陥のような被覆不良の部分との直接的な接触あるいは電解質を介しての接触によって漏洩電流を生じさせることで、その被覆不良の発生を検知するという技術が提案されていた。
【０００９】
しかしながら、電解質を用いる技術では、管や容器の内周側面の全面に亘って確実に電解質を行き渡らせなければ正確な検査が困難となるという不都合や、その電解質液を管や容器の内部に充填あるいは塗布する作業や、検査後にその電解質液を完全に除去したり洗浄するなどの作業が必要となるなど、その検査プロセスが煩雑なものとなり、スループットが低いという不都合がある。
【００１０】
また、検査対象の管や容器としては、例えば伸縮管（ベローズ管）のように管が直線的な円筒状ではなく襞状の複雑な形状（これをΩ構造とも呼ぶ）のものがあり、このような形状の管や容器の場合には、導電性ブラシが強く接触する部分と接触しない部分とが生じることとなり、例えば襞の奥まった部分にピンホール欠陥のような小さな欠陥が生じていた場合などには、その欠陥を検知できずに見過ごしてしまう場合がある。
【００１１】
また、導電性ブラシや電解質を接触させることに起因して、検査対象の管や容器の内部の表面が傷付いたり材質変化を引き起こす場合もある。
このような不都合があるため、実質的には、上記のような従来の検査技術を利用して被覆不良の検査を簡易かつ確実に行うことは実質的に困難であるという問題があった。
【００１２】
本発明はかかる問題点に鑑みて成されたもので、その目的は、煩雑な作業が必要となる電解質や被覆欠陥の検知が不確実になりやすくかつ検査対象の内部の表面を損傷するおそれのある導電性ブラシなどを用いることなく、管または管状の容器の内周側面にコーティングされた絶縁膜（あるいは非導電性膜）のピンホール欠陥のような被覆欠陥を簡易かつ確実に検知することができる管内被膜欠陥検査装置および管内被膜欠陥検査方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明による管内被膜欠陥検査装置は、導電性の管または管状の容器の内周側面に被着された絶縁性または非導電性の被膜の欠陥を検査する管内被膜欠陥検査装置であって、電界を集中させる尖端状の凹凸形状を表面に備えると共に、前記管または容器の内部に、前記被膜に対して非接触を保ちながら前記管または容器の長手方向に挿通可能に設定された電極と、前記導電性の管または容器と前記電極との間に所定の電圧を印加する電圧印加手段と、前記電極が前記管または容器の内部に挿通された状態で、前記電圧印加手段によって前記電圧が印加されて前記導電性の管または容器と前記電極との間にアーク放電が発生した場合に、そのアーク放電の発生を検知するアーク放電検知手段とを備えたものである。
【００１４】
すなわち、本発明による管内被膜欠陥検査装置では、検査対象の管または容器と、それに対して非接触に配置された電極との間に、被膜が介在していなければアーク放電を生じるような電圧を印加したときに、実際にその検査対象の管または容器と電極との間にアーク放電が生じると、それに基づいて、検査対象の管または容器の内周側面の被膜におけるピンホール欠陥のような被覆不良の発生が検知される。
【００１５】
なお、上記の絶縁性、非導電性とは、電気材料工学の観点からは、絶縁性、非導電性の区別は必ずしも明確な定義が為されているわけではないが、ここでは、いわゆる絶縁性物質と通常呼ばれている物質あるいは材料の特性を絶縁性と呼び、それよりも比抵抗などの特性としては低抵抗でも、実質的に電気的良導体ではない物質あるいは材料の特性を非導電性と呼ぶものとする。
【００１６】
ここで、前記電極は、電界を集中させる尖端状の凹凸形状を表面に備えたものである。
【００１７】
すなわち、電極の表面の形状を、電界が集中する尖端状の凹凸形状とすることにより、低電圧を印加しただけでも、被覆不良と電極との間でアーク放電が確実に生じるので、微小なピンホール欠陥のような被覆不良でも、さらに確実に検知される。
【００１８】
また、前記電極は、螺子山状の凹凸形状を有するものとしてもよい。
【００１９】
すなわち、電極の表面の形状を螺子山状の凹凸形状とすることで、その螺子山の尖端部に電界が集中するので、低電圧を印加しただけでも、被覆不良と電極との間でアーク放電が確実に生じるようになり、微小なピンホール欠陥のような被覆不良でも、さらに確実に検知される。
【００２０】
また、上記のアーク放電検知手段は、前記導電性の管または容器と前記電極との間にアーク放電が発生した際の前記導電性の管または容器と前記電極との間の電圧変化に基づいて前記アーク放電の発生を検知するものとしてもよい。
【００２１】
すなわち、導電性の管または容器と前記電極との間にアーク放電が発生した際には、その導電性の管または容器と電極との間の電圧に変化が生じるので、そのような電圧変化に基づいて、検査対象の管または容器の内周側面の被膜におけるピンホール欠陥のような被覆不良の発生が検知される。
【００２２】
あるいは、上記アーク放電検知手段は、前記導電性の管または容器と前記電極との間にアーク放電が発生した際の前記導電性の管または容器と前記電極とに流れる電流変化に基づいて前記アーク放電の発生を検知するものとしてもよい。
【００２３】
すなわち、導電性の管または容器と前記電極との間にアーク放電が発生した際には、その導電性の管または容器と電極との間に流れる電流に変化が生じるので、そのような電流変化に基づいて、検査対象の管または容器の内周側面の被膜におけるピンホール欠陥のような被覆不良の発生が検知される。
【００２４】
本発明による管内被膜欠陥検査方法は、導電性の管または管状の容器の内周側面に被着された絶縁性または非導電性の被膜の欠陥を検査する管内被膜欠陥検査方法であって、前記管または容器の内部に、前記被膜に対して非接触を保ちながら、電界を尖端部に集中させる凹凸形状を表面に備えている電極を前記管または容器の長手方向に挿入し、前記導電性の管または容器と前記電極との間に電圧を印加し、前記電極が前記管または容器の内部に挿入された状態で、前記電圧印加手段によって前記電圧が印加されて前記導電性の管または容器と前記電極との間にアーク放電が発生すると、そのアーク放電の発生を検知する、というものである。
【００２５】
すなわち、検査対象の管または容器と、それに対して非接触に配置された電極との間に、被膜が介在していなければアーク放電を生じるような電圧を印加したときに、実際にその検査対象の管または容器と電極との間にアーク放電が生じると、それに基づいて、検査対象の管または容器の内周側面の被膜にピンホール欠陥のような被覆不良の発生を検知することができる。
【００２６】
本発明による上記の他の管内被膜欠陥検査方法は、導電性の管または管状の容器の内周側面に被着された絶縁性または非導電性の被膜の欠陥を検査する管内被膜欠陥検査方法であって、前記管または容器の内部に、前記被膜に対して非接触を保ちながら、電界を尖端部に集中させる凹凸形状を表面に備えている電極を前記管または容器の長手方向に挿入し、前記管または容器の内部に不活性ガスを導入し、そのガス圧を減圧し、前記電極を前記管または容器の内部に挿入した状態で、前記導電性の管または容器と前記電極との間に電圧を印加し、その電圧の印加によって導電性の管または容器と前記電極との間にアーク放電が発生すると、そのアーク放電の発生を検知する、というものである。
【００２７】
すなわち、検査対象の管または容器と、それに対して非接触に配置された電極との間に、不活性ガスを導入し、そのガス圧を減圧して、アーク放電がより確実に生じやすい状態にしておき、被膜が介在していなければアーク放電が生じるような電圧を印加したときに、実際にその検査対象の管または容器と電極との間にアーク放電が生じると、それに基づいて、検査対象の管または容器の内周側面の被膜にピンホール欠陥のような被覆不良の発生を検知することができる。
【００２８】
ここで、前記不活性ガスとしてアルゴンガスを用い、前記電圧として１［ｋＶ］以上の電圧を印加し、前記アルゴンガスのガス圧を、前記被膜に欠陥が存在していた場合に前記電圧の印加によって前記アーク放電が生じ得る２６００［Ｐａ］ないし４０００［Ｐａ］の範囲内の圧力にまで減圧するようにしてもよい。
【００２９】
すなわち、不活性ガスとして簡易な取扱いが可能でアーク放電に適しているアルゴンガスを用い、そのアルゴンガスのアーク放電の特性に対応して、そのアルゴンガスのガス圧を２６００［Ｐａ］ないし４０００［Ｐａ］の範囲内の圧力にまで減圧することにより、検査対象の管または容器の内周側面の被膜にピンホール欠陥のような被覆不良が発生していたときに、それをさらに確実に検知することができるようになる。
【００３０】
また、前記電極として、螺子山状の凹凸形状を有するものを用いるようにしてもよい。
【００３１】
すなわち、電極の表面の形状を螺子山状の凹凸形状とすることで、その螺子山の尖端部に電界を集中させて、低電圧を印加しただけでも、被覆不良と電極との間でアーク放電を確実に生じさせることができ、微小なピンホール欠陥のような被覆不良でも、さらに確実に検知することが可能となる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００３３】
図１は、本発明の一実施の形態に係る管内被膜欠陥検査装置の概要構成を表したものである。この管内被膜欠陥検査装置は、内周側面に絶縁性の被膜１が被着された導電性の金属管（または管状の容器）２における、被膜１の被着不良や膜欠陥などを検査する管内被膜欠陥検査装置であって、検査対象の金属管２の内部に、被膜１に対して非接触を保ちながら挿通可能に設定された電極３と、検査対象の金属管２と電極３との間に所定の電圧を印加する高電圧発生回路（電圧印加手段）１１と、電極３が金属管２の内部に挿通された状態で電圧が印加されて、金属管２と電極３との間にアーク放電２０が発生した場合に、そのアーク放電２０の発生を検知する電圧計測器（アーク放電検知手段）１２とを、その主要部として備えている。
【００３４】
さらには、金属管２の内部にＡｒ（アルゴン）ガスのような不活性ガス（希ガス）を導入するガスボンベ１３と、その金属管２の内部に導入された不活性ガスを減圧してアーク放電２０が発生しやすい低圧状態にする真空ポンプ装置１４とを備えている。
【００３５】
さらに詳細には、検査対象の金属管２は、例えば長さが２０〜３０［ｃｍ］で内径が１０［ｃｍ］程度のもので、その内周側面には、フッ素樹脂のような絶縁性材料の被膜１が、極力均一な膜厚となるようにコーティング（被着）されている。
【００３６】
このような検査対象の金属管２の内部に、その金属管２の長手方向とほぼ平行に、被膜１と非接触を保ちながら、電極３が挿通される。この電極３は、ほぼ棒状の外形の表面に螺子山状（ネジのような螺旋状）の凹凸が形成されており、その螺子山のような凸部の稜線の尖端部３１は鋭角的な形状となっているので、この尖端部３１に電界が集中して（電界強度が高くなり）、アーク放電２０などの放電現象が発生しやすい状態になっている。
【００３７】
金属管２には、その両端にそれぞれ蓋４，５が検査工程の間だけ仮に取り付けられる。その蓋４，５によって、金属管２の内部が密閉されて気密性が高くなる。一方の蓋４には、そのほぼ中央に電極３が保持される。他方の蓋５には、真空ポンプ装置１４に開閉バルブ６を介して接続されているダクト７と、ガスボンベ１３に開閉バルブ８を介して接続されているダクト９とが設けられている。
【００３８】
このような蓋体４，５が取り付けられた状態で、ガスボンベ１３からＡｒガスが金属管２の密閉された内部に導入され、そのガス圧が真空ポンプ装置１４によって減圧される。
【００３９】
導電性の管である金属管２の外周側面には、高電圧発生回路１１の一方の出力端子１１１が配線１１２を介して接続され、高電圧発生回路１１の他方の出力端子１１３は配線１１４を介して電極３に接続される。従って、高電圧発生回路１１から出力される交流高電圧は、この金属管２と電極３との間に印加されることとなる。
【００４０】
高電圧発生回路１１の両出力端子１１１，１１３には、金属管２と電極３との間でアーク放電２０が生じたときの電圧変化を検知できるように、電圧計測器１２が接続されている。
【００４１】
ここで、高電圧発生回路１１のさらに具体的な回路構成は、例えば図２に示したようなものが好適である。すなわち、トランス１２１で出力電圧を昇圧し、可変インダクタンス１２２によって、出力端子１１１，１１３から出力される電圧を数［ｋＶ］程度までの任意の値の高電圧に調節することができる。従って、金属管２と電極３との間に印加される交流高電圧を任意の電圧値に調節することができる。その両出力端子１１１，１１３には電圧計測器１２が接続されており、その両出力端子１１１，１１３間の電圧すなわち金属管２と電極３との間の電圧が、この電圧計測器１２によって計測される。
【００４２】
被膜１にピンホール欠陥２１のような被覆不良が生じていた場合には、その金属管２における被覆不良の部分（図１ではピンホール欠陥２１）と電極３との間でアーク放電２０が生じる。そのアーク放電２０が生じた際の電圧変化を、この電圧計測器１２によって計測する。このようにして計測された電圧変化に基づいてアーク放電２０の発生が検知される。
【００４３】
次に、本実施の形態に係る管内被膜欠陥検査方法について説明する。
【００４４】
まず、検査対象の金属管２の内部に、その金属管２の長手方向とほぼ平行に、被膜１に対して非接触を保ちながら電極３を挿通する。そして金属管２の両端に、それぞれ蓋４，５を仮に取り付ける。その蓋４，５によって、金属管２の内部を密閉して気密性を高い状態にしておき、一方の蓋４では、そのほぼ中央に電極３を保持し、他方の蓋５では、それに設けられたダクト７，９を介して真空ポンプ装置１４によって徐々に金属管２の内部の空気を減圧して行く（空気を除去して薄くして行く）一方、ガスボンベ１３からＡｒガス（図示省略）を金属管２の内部に導入して行き、その圧力が２６００［Ｐａ］以上ないし４０００［Ｐａ］以下の範囲内の圧力（約２０［Ｔｏｒｒ］以上ないし約３０［Ｔｏｒｒ］以下）の圧力になると、それぞれのダクト７，９に設けられた開閉バルブ６，８を閉じ、真空ポンプ装置１４の動作も止める。このようにして金属管２の内部の空気を、減圧されてアーク放電２０が生じやすい状態のＡｒガスに置換する。
【００４５】
この状態で、高電圧発生回路１１を動作させ、可変インダクタンス１２２を調節して、高電圧発生回路１１から出力される電圧値を徐々に上昇させて行き、金属管２と電極３との間に数［ｋＶ］程度までの電圧の交流高電圧を印加する。
【００４６】
このように電圧値を上昇させて行くと、金属管２の内周側面にピンホール欠陥２１のような被覆不良が存在している場合には、そのピンホール欠陥２１のような被覆不良の部分の金属管２と電極３との間でアーク放電２０が発生し、これに起因して、高電圧発生回路１１の両出力端子１１１，１１３間には電圧降下が生じることとなる。そこで、このようなアーク放電２０が発生した際に特有の電圧降下を電圧計測器１２によって計測することにより、アーク放電２０の発生を検知することができ、それに基づいて被覆不良の存在を検知することができる。
【００４７】
あるいは、金属管２の内周側面には被覆不良が発生しておらず、被膜１の十分な被覆性が達成されている場合には、電圧値を上昇させて行っても金属管２と電極３との間にはアーク放電２０は生じない。従って、このような場合には、アーク放電２０に起因した電圧降下は電圧計測器１２で計測されないので、所定の計測の最後までこのような状態の場合には、被覆不良が発生していないものと判定することができる。
【００４８】
なお、本実施の形態に係る管内被膜欠陥検査装置を用いて、図３に示したように、壁面が金属のような導電性材料からなるべローズ状（襞状）の伸縮管となっている金属管２３の内周側面における被膜１の被覆性を検査することも可能である。なお、図３では、図１と同様の部位には同一の符号を付して示している。
【００４９】
すなわち、従来提案されていた検査装置や検査方法の技術では、特にこのようなべローズ状の伸縮管における壁面の襞の凹凸の奥の方にピンホール欠陥などが生じている場合などには、そのピンホール欠陥を確実に検知することは極めて困難であった。
【００５０】
しかし、本実施の形態に係る管内被膜欠陥検査装置およびそれを用いた検査方法によれば、そのようなべローズ状の伸縮管である金属管２３における壁面の襞の凹凸の奥の方に位置している被膜１にピンホール欠陥２４が生じている場合などでも、それを確実に検知することができる。
【００５１】
［実施例］
上記のような管内被膜欠陥検査装置を用いて、実際に、上記のような内周側面にフッ素樹脂からなる被膜１が被着された金属管２の内周側面における被覆不良の検査を行った。
【００５２】
その結果、直径が約０．１［ｍｍ］のピンホール欠陥が被膜１に存在している場合に、Ａｒガスを４００［Ｐａ］（約３［Ｔｏｒｒ］）に減圧して金属管２の内部に密封した状態で、高電圧発生回路１１によって電極３と金属管２との間に３［ｋＶ］の交流高電圧を印加した（掛けた）ところ、アーク放電２０が生じて、明確な電圧変化が検知されることが確認された。また、ピンホール欠陥２１のような被膜１の被着不良が全く発生していない金属管２の場合には、上記と同じ条件で電極３と金属管２との間に、３［ｋＶ］以上の交流高電圧を印加しても、アーク放電２０が生じることはなく、従って電圧変化が検知されることはなかった。
【００５３】
このように、アーク放電２０が発生した場合に生じる電圧変化を検知することにより、金属管２の内部の被膜１に被着不良が生じているか否かを確実かつ簡易に検査することができる。
【００５４】
なお、電極３の表面の凹凸形状としては、上記のような螺子山状のみには限定されないことは言うまでもない。この他にも、一つ一つの凹凸形状が螺子山のような連続したものではなく、例えば図４に一例を示したように、個々の凹凸形状３８がそれぞれ互いに独立したディスク状あるいは算盤の珠のような形状にしてもよい。あるいは、例えば凹凸形状の尖端部の稜線が、その棒状の電極３の長手方向に伸びたような形状（ピニオンギヤのような形状）、あるいはフィン状の凹凸が棒状の電極３を中心として放射状に突出した形状とすることなども可能である（いずれも図示省略）。ただし、棒状の電極３を中心とした形状の線対称性あるいは長手方向の均一性という観点からは、図１に示した形状とすることが、より望ましい。
【００５５】
また、検査対象の管や容器の材質は、上記のみには限定されないことは言うまでもない。非金属の導電性材料からなる管や容器の検査を行うことなども可能である。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１ないし４のいずれかに記載の管内被膜欠陥検査装置または請求項５ないし８のいずれかに記載の管内被膜欠陥検査方法によれば、検査対象の管または容器と、それに対して非接触に配置された電極との間に、被膜が介在していなければアーク放電を生じるような電圧を印加したときに、実際にその検査対象の管または容器と電極との間にアーク放電が生じると、それに基づいて、検査対象の管または容器の内周側面の被膜にピンホール欠陥のような被覆不良の発生が検知されるようにしたので、煩雑な作業が必要となる電解質や、被覆欠陥の検知が不確実になりやすくかつ検査対象の内部の表面を損傷するおそれのある導電性ブラシなどを用いなくとも、管または管状の容器の内周側面にコーティングされた絶縁膜や非導電性膜におけるピンホール欠陥のような被覆欠陥を、簡易かつ確実に検知することができるという効果を奏する。
【００５７】
また、電解質液などを使用しなくても済むので、検査プロセスの終了後にその電解質液を除去したり洗浄するなどの煩雑な作業を多用とすることが可能となり、検査工程のスループットを良好なものとすることができる。
【００５８】
また、導電性ブラシや電解質などを用いることなく非接触で検査を行うことができるので、管や容器の内部（内周側面など）に傷を付けたり材質変化を引き起こしたりすることを解消することができる。
【００５９】
更に、上記の電極の表面の形状を、電界が集中する尖端状を有する凹凸形状とすることにより、低電圧を印加しただけでも、被覆不良と電極との間でアーク放電を確実に生じさせることが可能となり、微小なピンホール欠陥のような被覆不良でも、さらに確実に検知することができる。
【００６０】
また、特に請求項２記載の管内被膜欠陥検査装置または請求項８記載の管内被膜欠陥検査方法によれば、上記の電極の表面の形状を螺子山状の凹凸形状とし、その凹凸形状の尖端部に電界が集中するようにしたので、低電圧を印加しただけでも、被覆不良と電極との間でアーク放電を確実に生じさせることが可能となり、微小なピンホール欠陥のような被覆不良でも、さらに確実に検知することができる。
【００６１】
また、特に請求項６記載の管内被膜欠陥検査方法によれば、アーク放電を生じさせる雰囲気として減圧された不活性ガスを用いて、検査対象の管または容器の内周側面の被膜にピンホール欠陥のような被覆不良が発生していたときに、アーク放電がさらに確実に生じるようにしたので、被覆不良の発生を、さらに確実に検知することができる。
【００６２】
また、さらに請求項７記載の管内被膜欠陥検査方法によれば、上記の不活性ガスとして、簡易な取扱いが可能でアーク放電に適しているアルゴンガスを用いて、そのアーク放電特性に対応してガス圧を２６００［Ｐａ］ないし４０００［Ｐａ］の範囲内の圧力にまで減圧し、検査対象の管または容器の内周側面の被膜にピンホール欠陥のような被覆不良が発生していた場合にはアーク放電がさらに確実に生じるようにしたので、被覆不良の発生をさらに確実に検知することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る管内被膜欠陥検査装置の概要構成を表した図である。
【図２】高電圧発生回路の具体的な回路構成の一例を表した図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る管内被膜欠陥検査装置によって、管の壁面がべローズ状の伸縮管の内周側面における被膜の被覆性を検査する場合の、伸縮管と管内被膜欠陥検査装置とを含めた全体的な概要構成を表した図である。
【図４】電極の表面の凹凸形状のバリエーションの一例を表した図である。
【符号の説明】
１…被膜、２…金属管、３…電極、４，５…蓋、６，８…開閉バルブ、７，９…ダクト、１１…高電圧発生回路、１２…電圧計測器、１３…ガスボンベ、１４…真空ポンプ装置、２０…アーク放電
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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