(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下床上に床パネル支持体を設置し、床パネル支持体上に空気通風口を多数形成した床パネルを敷設するとともに、床パネルを床パネル支持体に固定してなるクリーンルームの床パネル固定装置において、
前記床パネルに形成された空気通風口の何れかに床パネルの表面から回転自在に挿入され、かつ先端部が前記床パネルの裏面から突出する１個以上の固定用ボルトと、
前記床パネル支持体に係合する第１位置と該床パネル支持体に対する係合を解除する第２位置との間を回動するように前記固定用ボルトの先端部に該固定用ボルトに配した２つのナットで挟持されて固定されるとともに、前記床パネル側の面が前記床パネル支持体に係合自在であってかつ前記床パネルから遠ざかる方向に傾斜する傾斜部を有する１個以上の固定金具とを有し、
前記傾斜部の先端部は、前記固定金具の回動中心から最も遠い係合点と該回動中心に最も近い近接点とを有し、該係合点は前記第２位置から前記第１位置への回動方向において前記傾斜部の後縁部に位置する
ことを特徴とするクリーンルームの床パネル固定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工場等のクリーンルームの床パネルを固定するための固定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体を用いた装置等を製造するために使用されるクリーンルームでは、天井側と床側とのどちらか一方に空気吹出孔を設けるとともに、他方に空気吸込孔を設けて空気を上下方向に流通させることにより、室内の清浄化を図るようにしている。
【０００３】
このようなクリーンルームでは、通常、床はフリーアクセスフロアと呼ばれる二重床構造、すなわち有孔下床の上に設置された床パネル支持体の上に多数の通風口を有する床パネルを敷設した床構造にされている。
床パネルは床パネル支持体に固定されない場合が多いが、特に地震対策上の観点から床パネルの固定について問題提起されている。
【０００４】
図５は、従来のこの種の床パネル固定装置を示すもので、１は床パネルで、床パネル１の裏面には床パネル支持体としてのＨ形鋼２の上辺２ａがリブ３で当接される。
床パネル１の裏面には、さらにリブ３の両側に位置するように補強リブ４が突設されていて、補強リブ４に形成された専用穴５には、フックボルト６の一端部を構成する鉤部６ａが挿入されることによってフックボルト６は補強リブ４に垂下される。
【０００５】
７は専用金物で、専用金物７はＵ字状の金物の両端部を外方に屈曲した形状で、専用金物７の底部７ａは、Ｈ形鋼２の下辺２ｂの下側に接面している。他方、専用金物７の両端部の屈曲部７ｂには貫通孔が形成されていて、フックボルト６の他端部が貫通孔を貫通し、この他端部がナット８によって専用金物７に固定される。９はシール材を有するボルトである。
【０００６】
図６は、他の従来の床パネル固定装置を示すもので、１０は床パネルで、床パネル１０に形成した専用穴１１には固定ボルト１２が挿入されていて、その先端部は床パネル１０の裏面から突出している。
１３は断面形状が四角形の角形パイプで、床パネル支持体としての角形パイプ１３の上面には固定ロッド１４が固定される。
【０００７】
固定ロッド１４の両端部にはネジ穴が形成されていて、ネジ穴には固定ボルト１２の先端部がねじ込まれる。
１５は専用金物で、専用金物１５はＵ字状の金物の両端部を外方に屈曲し、さらにその先端部を上方に立ち上げた形状になっている。
【０００８】
専用金物１５の両端部の立ち上がった立上部１５ａには貫通孔１６が形成されていて、この貫通孔１６を固定ロッド１４の端部が貫通している。
専用金物１５の底部１５ｂに形成されたネジ穴１５ｃには、皿状の先端部を有するボルト１７が螺合されていて、その皿状の先端部は角形パイプ１３の底部に当接自在になっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例の前者では、床パネル支持体としてＨ形鋼が使用され、後者では角形パイプが使用されているが、どちらの場合も床パネルを床パネル支持体に固定するためには、前者の場合には補強リブ４に専用穴５を形成する必要があり、また後者の場合には床パネル１０に専用穴１１を形成する必要があるため、既設の床パネルにはこれを固定するための固定装置を設けることが困難であった。
【００１０】
また、床パネルの固定を解除して床パネルを取り外す場合に、上記従来例の前者では、その都度床パネル１の床下で専用金物７を取り外す必要があり、また後者では床パネル１０の床上での固定ボルト１２の取り外しと床下での専用金物１５の取り外しが必要になるため、床パネルの取り外しが困難であった。
さらに、上述したように、上記従来例の前者では床パネルとしてＨ形鋼が使用され、後者では角形パイプが使用されているが、このように床パネル支持体の種類が異なると、それに応じて床パネルの固定手段を変えなければならないため、部品点数の増加がまぬがれなかった。
【００１１】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的は床パネルを床パネル支持体に固定するために床パネル等に専用穴を設ける必要がないクリーンルームの床パネル固定装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、既設の床パネルに固定装置を適用することができるクリーンルームの床パネル固定装置を提供することにある。
【００１２】
本発明のさらなる他の目的は、床パネルの取り外しが容易なクリーンルームの床パネル固定装置を提供することにある。
本発明のさらなる他の目的は、床パネル支持体の種類にかかわらず使用しうる汎用性を備えたクリーンルームの床パネル固定装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明では、下床上に床パネル支持体を設置し、床パネル支持体上に空気通風口を多数形成した床パネルを敷設するとともに、床パネルを床パネル支持体に固定してなるクリーンルームの床パネル固定装置において、前記床パネルに形成された空気通風口の何れかに床パネルの表面から回転自在に挿入され、かつ先端部が前記床パネルの裏面から突出する１個以上の固定用ボルトと、前記床パネル支持体に係合する第１位置と該床パネル支持体に対する係合を解除する第２位置との間を回動するように前記固定用ボルトの先端部に該固定用ボルトに配した２つのナットで挟持されて固定されるとともに、前記床パネル側の面が前記床パネル支持体に係合自在であってかつ前記床パネルから遠ざかる方向に傾斜する傾斜部を有する１個以上の固定金具とを有し、前記傾斜部の先端部は、前記固定金具の回動中心から最も遠い係合点と該回動中心に最も近い近接点とを有し、該係合点は前記第２位置から前記第１位置への回動方向において前記傾斜部の後縁部に位置することを特徴とするものである。
【００１５】
（作用）
請求項１に記載の発明では、下床の上に床パネル支持体を設置した後、床パネル支持体上に床パネルを敷設する。
床パネルに形成された多数の空気通風口のうち床パネル支持体の両側に位置する任意の空気通風口に固定用ボルトを挿入した後、床パネルの下側から固定用ボルトに固定金具を固定する。
【００１６】
床パネルを床パネル支持体に固定するには、レンチ又はドライバ等の工具を固定用ボルトの頭部の係合部に係合して固定用ボルトを回動させることにより、固定金具を第２位置から第１位置へ回動させると、固定金具の先端部側は傾斜しているため、傾斜部の傾斜面は床パネル支持体に摺動自在に係合する。こうして固定金具が第２位置から第１位置まで回動すると、傾斜部の係合点が床パネル支持体に係合する。
上記と反対に床パネルの固定を解除するには、レンチ又はドライバ等の工具を用いて固定用ボルトを回動させることにより、固定金具を第１位置から第２位置へ回動させて床パネル支持体に対する傾斜部の係合を解除させる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るクリーンルームの床パネル固定装置を図面に示す実施形態を参照しながら説明する。
図１乃至図３は本発明に係るクリーンルームの床パネル固定装置の１実施形態を示すもので、同図において５０は床パネルで、床パネル５０は図示しない下床の上に設置されたＨ形鋼からなる床パネル支持体を構成する根太５１の上に敷設される。
【００１９】
根太５１の床パネル５０に対する固定は、根太５１の上部側の上辺５１ａの上面に突設した固定片Ｘを、床パネル５０の裏面側に形成した凹所Ｙの側壁に固定することによって行う。
床パネル５０には、多数の空気通風口５２が形成されていて、任意の空気通風口５２には固定用ボルト５３が回転自在に挿入される。
【００２０】
固定用ボルト５３の頭部５３ａの上面には、六角形の穴からなる凹所又はプラス若しくはマイナス形状の溝からなる係合部Ｚが形成される。
係合部Ｚは、固定用ボルト５３を回動するためにレンチやドライバ等の工具を係合するもので、床パネル５０の表面に露出している。
固定用ボルト５３の先端部は床パネル５０の裏面から突出していて、その先端部には固定金具５４が固定される。
【００２１】
固定金具５４は細長の金属板からなり、その基部には取付孔５４ａが形成される。固定金具５４の固定用ボルト５３に対する固定は、取付孔５４ａに固定用ボルト５３の先端部を挿通し、固定用ボルト５３に螺合した一組のナット５５ａ、５５ｂを締め付けることによって固定金具５４の基部を挟持することにより行う。
固定金具５４は、その先端部側に床パネル５０から遠ざかる方向に傾斜する傾斜部５６を有する。傾斜部５６の傾斜角度には、特に限定はないが、固定金具５４を回動する際に、固定金具５４の傾斜部５６の上側の傾斜面Ｓ、つまり床パネル５０側の傾斜面Ｓが上辺５１ａの下端縁５１ｃに係合し得る範囲に設定する。
【００２２】
固定金具５４の傾斜部５６の先端部は湾曲状に形成されていて、この湾曲状の輪郭線を構成する点のうち回動中心から最も離れた点Ｐ、これを以後、係合点Ｐと称するが、この係合点Ｐは、図３において固定金具５４の反時計回り方向の回動方向に向かって後側の後縁部５６ａの尖端に位置する。
一方、湾曲状の輪郭線を構成する点のうち固定金具５４の回動中心に最も近い点Ｑ、これを以後、近接点Ｑと称するが、この近接点Ｑは固定金具５４の反時計回り方向の回動方向に向かって前側の前縁部５６ｂに位置する。
【００２３】
湾曲状の輪郭線は、この係合点Ｐと近接点Ｑとを滑らかな曲線で結ぶことによって得られる。
しかし、固定金具５４の先端部は必ずしも湾曲状である必要はなく、係合点Ｐと近接点Ｑとを単に直線で結んでもいい。
【００２４】
要するに、固定金具５４の先端部の形状は、固定金具５４を回動させてその先端部を根太５１のウェブ５１ｄに係合させる際に、係合点Ｐがウェブ５１ｄに係合しうるような形状であれば任意の形状にすることができる。
次に本実施形態の作用について説明する。
図示しない下床の上に根太５１を設置した後、根太５１の上に床パネル５０を敷設する。
【００２５】
床パネル５０に形成された多数の空気通風口５２のうち根太５１の両側に位置する任意の２つの空気通風口５２のそれぞれに固定用ボルト５３を挿入する。
床パネル５０の下側からそれぞれの固定用ボルト５３にナット５５ａを螺合した後、固定金具５４の取付孔５４ａに固定用ボルト５３を挿通させ、ついでナット５５ｂを固定用ボルト５３に螺合することにより、固定金具５４を固定用ボルト５３に固定する。
【００２６】
この場合、図示しない下床からの固定金具５４の高さであるが、これは根太５１の上辺５１ａの下端縁５１ｃが固定金具５４の傾斜部５６の傾斜面Ｓに係合し得るように設定する。
このようにして固定金具５４を固定用ボルト５３に固定した後は、随時床パネル５０の固定及び固定解除が可能になる。
【００２７】
床パネル５０を根太５１に固定するには、レンチ又はドライバ等の工具を固定用ボルト５３の頭部５３ａの係合部Ｚに係合して固定用ボルト５３を、図３に矢印Ａで示すように、反時計回り方向に回動させる。
すると、固定金具５４の先端部側は傾斜しているため、傾斜部５６の傾斜面Ｓは根太５１の上辺５１ａの下端縁５１ｃに摺動自在に係合する。こうして固定金具５４が反時計回り方向に約９０゜回動すると、図３に示すように、傾斜部５６の係合点Ｐが根太５１のウェブ５１ｄに係合する。
【００２８】
ここに固定金具５４の回動角度９０゜とは、固定金具５４の直線状の後縁部５６ａが、根太５１の上辺５１ａの長手方向に対してほぼ平行の位置からほぼ直交する位置に達するまでの回動角度のことである。
上記と反対に床パネル５０の固定を解除するには、レンチ又はドライバ等の工具を用いて固定用ボルト５３を時計回り方向、すなわち図３に示す矢印Ａ方向と反対方向に約９０゜回動させる。
【００２９】
すると、固定金具５４の係合点Ｐのウェブ５１ｄに対する係合が解かれるとともに、上辺５１ａの下端縁５１ｃと傾斜部５６との係合も解除される。
以上説明したように、本実施形態では、固定用ボルト５３を床パネル５０に取り付けるために、空気吹出孔又は空気吸込孔として床パネル５０に既に設けられている空気通風口５２を利用するので、固定用ボルト５３を取り付けるための専用の穴を設ける必要がなく、このためコスト削減が可能になる。
【００３０】
また、床パネル５０の空気通風口５２を利用するのであるから、既設の床パネル５０にも床パネル固定装置を適用することができる。
さらに、床パネル５０の空気通風口５２を利用するので、床パネル５０の固定箇所として任意の数及び任意の位置を選択することができる。
さらに、床パネル５０の固定又は固定の解除は、レンチ等の適当な工具を用いて固定用ボルト５３を回すだけでよく、しかもこの作業は床パネル５０の上からできるため、床パネル５０の固定及び固定の解除がきわめて容易である。
【００３１】
さらに、根太５１には何の加工も施す必要がなく、しかも専用の治具も取り付ける必要がないので、根太５１がどのような形状、構造であっても本実施形態に係る固定装置を適用することができる。
さらに、固定金具５４は傾斜部５６を有するので、傾斜部５６が根太５１の下端縁５１ｃに係合した状態で床パネル５０が上下左右に移動した場合でも、これに抗する方向の反力が作用するため、床パネル５０のずれが極力抑制される。
【００３２】
さらに、本実施形態では、固定金具５４の傾斜部５６の先端部が根太５１に係合するので、特に、床パネル５０の左右方向の移動が防止される。
図４は、上記構成に係る固定用ボルト５３と固定金具５４とを他の種類の根太１５１に適用した例を示す。
本実施形態では根太１５１として、断面形状が四角形の角形パイプが用いられる。この根太１５１も上記と同様の手段により床パネル５０に固定される。
【００３３】
固定用ボルト５３と固定金具５４との構成は上記と同一であるが、本実施形態では、固定用ボルト５３として上記の場合に比べ長さが長いものが使用される。このような長さが長い固定用ボルト５３を使用することにより、固定金具５４を角形パイプからなる根太１５１の底部に係合させることが可能になる。
根太１５１として、このように角形パイプを使用しても、床パネル５０の固定及び固定の解除は上記と同様である。
【００３４】
すなわち、床パネル５０を固定する場合には、固定用ボルト５３を回動させることにより固定金具５４を反時計回り方向に約９０゜回動させて、固定金具５４の傾斜部５６を根太１５１、つまり角形パイプの底部側の角部１５１ａに係合させる。
床パネル５０の固定時における固定金具５４の位置は図３に示す位置と同じであるが、根太１５１が角形パイプの場合には、Ｈ形鋼のウェブ５１ｄに相当する部分がないので、固定金具５４の傾斜部５６の先端部は根太１５１のどの部分にも係合しない。
【００３５】
床パネル５０の固定を解除する場合には、固定用ボルト５３を回動させて、固定金具５４を時計回り方向に約９０゜回動させることにより、固定金具５４の傾斜部５６と根太１５１の角部１５１ａとの係合を解除する。
このように固定用ボルト５３の長さを適当に選択することにより固定金具５４の位置、すなわち床パネル５０からの離間距離を任意に設定することができ、このため本実施形態のように、根太１５１が角形パイプであっても、Ｈ形鋼の場合に使用したのと同一の固定用ボルト５３と固定金具５４とを使用することができる。
【００３６】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明では、固定用ボルトを床パネルに取り付けるために、空気吹出孔又は空気吸込孔として床パネルに既に設けられている空気通風口を利用するので、固定用ボルトを取り付けるための専用の穴を設ける必要がなく、このためコスト削減が可能になる。
【００３７】
また、床パネルの空気通風口を利用するのであるから、既設の床パネルにも床パネル固定装置を適用することができる。
さらに、床パネルの空気通風口を利用するので、床パネルの固定箇所として任意の数及び任意の位置を選択することができる。
さらに、床パネルの固定又は固定の解除は、レンチ等の適当な工具を用いて固定用ボルトを回すだけでよく、しかもこの作業は床パネルの上からだけでできるため、床パネルの固定及び固定の解除がきわめて容易である。
【００３８】
さらに、床パネル支持体には何の加工も施す必要がなく、しかも専用の治具も取り付ける必要がないので、床パネル支持体がどのような形状、構造であっても本実施形態に係る固定装置を適用することができる。
さらに、固定用ボルトの長さを適当に選択することにより固定金具の床パネルからの距離を任意に設定することができるため、種々の形状・構造の床パネル支持体に対して同一の固定用ボルトと固定金具とを使用することができる。
【００３９】
また、固定金具は傾斜部を有するので、傾斜部が床パネル支持体に係合した状態で床パネルが上下左右に移動した場合でも、これに抗する方向の反力が作用するため、床パネルのずれが極力抑制される。
さらに、固定金具の傾斜部の先端部が床パネル支持体に係合するので、特に、床パネルの左右方向の移動が防止される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るクリーンルームの床パネル固定装置の概略斜視図。
【図２】同じく、正面図。
【図３】同じく、平面図。
【図４】同じく、変形例の図２相当図。
【図５】従来のクリーンルームの床パネル固定装置の正面図。
【図６】他の従来例の図５相当図。
【符号の説明】
５０  床パネル
５１、１５１ａ  根太（床パネル支持体）
５３  固定用ボルト
５４  固定金物
５６  傾斜部
Ｐ  係合点
Ｚ  係合部
【図１】
0003620902.tif 000002
【図２】
0003620902.tif 000003
【図３】
0003620902.tif 000004
【図４】
0003620902.tif 000005
【図５】
0003620902.tif 000006
【図６】
0003620902.tif 000007