(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
タンク内の液面位置と同一の液面位置となるように、タンク内の液体が導かれた光透過性のチューブと、
このチューブ内に移動自在に設けられ、上記液体より比重の小さなフロートと、
上記チューブの所定の位置に設けられ、上記フロートの上方への移動を阻止するストッパと、
上記フロートを検知する位置センサとを備えてなり、
上記チューブは、柔軟性を有するもので構成され、
上記ストッパは、上記フロートの移動が不能になる程度まで、上記チューブの一部を内側に変形させた絞り部によって構成され、
上記位置センサは、少なくとも上方へ移動しストッパによって停止しているフロートを検知する位置に設けられていることを特徴とする液面検出装置。
【請求項２】
請求項１記載の液面検出装置において、
ストッパ、フロート及び位置センサは、複数組設けられていることを特徴とする液面検出装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の液面検出装置において、
チューブの一部を両側から挟んで絞り部を形成するクリップを備えていることを特徴とする液面検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、タンク内に貯留された液体の量を検出するための液面検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の液面検出装置としては、例えば透明チューブの上下をタンク内に接続することによって、タンク内の液面位置をチューブ内にそのまま表示し、このチューブの液面位置をセンサを介して電気的な信号として取り出すように構成したものが知られている。センサとしては、例えば光透過型センサや、光反射型センサが用いられている。光透過型センサを用いた場合には、発光部から受光部に向かう光がチューブ内の液体によって遮られることを利用して、液面が所定の位置対して上にあるか、下にあるかを検知するようになっている。また、光反射型センサを用いた場合には、発光部から発した光がチューブ内の液体に当たって反射し受光部に入ることを利用して、上述のような液面の位置を検知するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記液面検出装置においては、液体がある程度以上透明であると、光が液体内を透過してしまうため、光透過型センサを用いた場合も、光反射型センサの場合も、液面が所定のレベルより上にあるのに、下にあると誤認するおそれがある。また、チューブ内の液面にフロートを浮かべた場合には、そのフロートが遮光体あるいは反射体となるため液面位置を検出することができるようになる。しかし、フロートがセンサの位置を通過してしまうと、再び液面の位置がわからなくなってしまうという欠点がある。
【０００４】
この発明は、上記事情に鑑みなされたもので、液面が所定の位置に対してどの位置にあるかを確実に検出することのできる液面検出装置を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、タンク内の液面位置と同一の液面位置となるように、タンク内の液体が導かれた光透過性のチューブと、  このチューブ内に移動自在に設けられ、上記液体より比重の小さなフロートと、  上記チューブの所定の位置に設けられ、上記フロートの上方への移動を阻止するストッパと、  上記フロートを検知する位置センサとを備えてなり、  上記チューブは、柔軟性を有するもので構成され、  上記ストッパは、上記フロートの移動が不能になる程度まで、上記チューブの一部を内側に変形させた絞り部によって構成され、  上記位置センサは、少なくとも上方へ移動しストッパによって停止しているフロートを検知する位置に設けられていることを特徴とする。
【０００６】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、ストッパ、フロート及び位置センサは、複数組設けられていることを特徴とする。
【０００７】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明において、チューブの一部を両側から挟んで絞り部を形成するクリップを備えていることを特徴とする。
【０００８】
そして、上記のように構成される請求項１記載の発明によれば、チューブ内の液面の上昇に伴ってフロートも上昇するが、そのフロートはストッパによって上方への移動が阻止されることになり、所定の位置より上方に移動することがない。また、フロートは、上方への移動の過程において位置センサによって検出されることになり、ストッパによって停止した後も位置センサによって検出され続けることになる。従って、位置センサによるフロートの検出があれば、タンクの液面が所定の位置以上のところにあり、同検出がなければ、タンクの液面が所定の位置未満のところにあると判断することができる。即ち、液面が所定の位置に対してどの位置にあるかを確実に検出することができる。
【０００９】
請求項２記載の発明によれば、ストッパ、フロート及び位置センサを複数組設けているので、少なくとも各ストッパによって停止しているフロートを各位置センサで検出することができる。このため、例えば下から３番目までの位置センサがフロートを検出している場合には、この３番目に対応する所定の位置以上にタンクの液面があると判断することができる。また、全ての位置センサがフロートを検出していなければ、最下位置の位置センサに対応する所定の位置よりタンクの液面が低いと判断することができる。従って、タンクの液面の位置をより詳細に検出することができる。
【００１０】
また、請求項１記載の発明によれば、チューブを柔軟性を有するもので構成し、このチューブの一部を内側に変形させた絞り部によってストッパを構成しているので、チューブにおける軸方向の自由な位置にストッパを構成することができる。従って、液面の位置が異なる場合や、タンクが異なる場合等にも対応することができる。
【００１１】
請求項３記載の発明によれば、請求項１又は２記載の発明における絞り部をクリップによって簡単に形成することができる。従って、ストッパとなる絞り部をチューブにおける自由な位置により簡単に形成することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の実施形態について、添付図面に基づいて詳細に説明する。この実施形態では被処理体（ウエハ等）の洗浄・乾燥処理装置における薬液貯留用のタンクに適用した場合について説明する。
【００１３】
◎第１実施形態
この発明の第１実施形態を図１〜図１０を参照して説明する。この実施形態で示す液面検出装置７０は、図１及び図２に示すように、外側タンク（タンク）２内の液面位置と同一の液面位置となるように、外側タンク２内の薬液（液体）が導かれた透明（光透過性）のチューブ７１を備えている。このチューブ７１内には、図３及び図４に示すように、その長手方向に移動自在に、上記薬液より比重の小さなフロート７２が備えられている。また、チューブ７１の所定の位置には、フロート７２の上方への移動を阻止するストッパ７１ａが構成されていると共に、フロート７２を検知する位置センサ７が設置されている。この位置センサ７は、少なくともストッパ７１ａによって停止しているフロート７２を検知する位置に設けられている。
【００１４】
また、上記ストッパ７１ａは、チューブ７１の長手方向に沿う４箇所の位置に、設けられており、フロート７２及び位置センサ７も、ストッパ７１ａに対応する各位置に設けられている。そして、チューブ７１は、図４に示すように、柔軟性を有するもので構成されており、ストッパ７１ａは、フロート７２の移動が不能になる程度まで、チューブ７１の一部を内側に変形させた絞り部によって構成されている。また、この絞り部からなるストッパ７１ａは、チューブ７１の一部を両側から挟むクリップ７３によって構成されている。
【００１５】
以下、上記構成について更に詳細に説明する。まず、被処理体の洗浄・乾燥処理装置の概要を説明する。即ち、この洗浄・乾燥処理装置は、半導体デバイスの製造工程やＬＣＤ製造工程において、半導体ウエハやＬＣＤガラス等の被処理体（以下にウエハ等という）に付着したレジストやドライ処理後の残渣（ポリマ等）を除去するために、処理液等を用いる液処理装置であり、ウエハ等を薬液で洗浄した後、この薬液をリンス液で洗い流し、更に乾燥気体を吹き付けて乾燥させるようになっている。上記薬液としては、例えばレジスト剥離液、ポリマ除去液等の薬液や、この薬液の溶剤例えばイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）が使用される。リンス液としては、例えば純水が使用される。乾燥気体としては、例えば窒素（Ｎ2）等の不活性ガスや清浄空気等が使用されるようになっている。
【００１６】
また、高価な薬液を有効に利用するために、洗浄処理に使われた薬液をリサイクル薬液として再利用するようになっている。即ち、新規薬液を貯留するタンクと、リサイクル薬液を貯留するタンクの２種類を用意し、リサイクル薬液を使用して一次洗浄処理を行った後、新規薬液を使用して二次洗浄処理を行うようになっている。
【００１７】
このため、薬液供給部５２には、図１に示すように、薬液供給源３から供給される新規薬液を貯留すると共に、リサイクル薬液を貯留するためのタンク１０が備えられている。タンク１０は、薬液開閉弁３ａを介設する薬液管路３ｂを介して薬液供給源３に接続する新液を貯留する内側タンク１と、この内側タンク１を内方に収容する外側タンク２とからなる二重槽構造に構成されている。この場合、内側タンク１は有底円筒状のステンレス製容器にて形成されている。また、外側タンク２は、大径の胴部２ａと小径の開口部２ｂと開口部２ｂ側に向かって漸次狭小テーパ状の肩部２ｃとを有する有底円筒状のステンレス製容器にて形成されている。ここで、肩部２ｃを開口部２ｂ側に向かって漸次狭小テーパ状としたのは、外側タンク２内に貯留される薬液が開口部２ｂに充満される過程で肩部２ｃに空気が溜まるのを防止するためである。また、外側タンク２の外周面には、外側タンク２を囲繞するように加熱手段であるヒータ４が配設されている。
【００１８】
この場合、内側タンク１の上端部には、この内側タンク１からオーバーフローする薬液を外側タンク２内に供給するオーバーフロー管路５が配設されている。従って、薬液供給源３から内側タンク１内に供給される新規薬液が内側タンク１内に充満された後、オーバーフロー管路５を介して外側タンク２内に供給可能になっている。また、外側タンク２の開口部２ｂにおける内側タンク１との隙間Ｓが狭く形成されている。この隙間Ｓは外側タンク２内に貯留される薬液の液面が検出できる面積であれば可及的に狭い方がよい。その理由は、内側タンク１と外側タンク２の隙間Ｓが狭い程、外側タンク２内に貯留される薬液の液面の外気と接触する面積を少なくすることができるので、薬液の空気との接触による化学反応や劣化を抑制することができ、薬液の品質や性能の維持を図ることができるからである。
【００１９】
なお、内側タンク１及び外側タンク２の開口部には、パージガス供給管路６とガス抜き管路６Ａが接続されており、両タンク１，２内に貯留される薬液が外気に晒されて雰囲気が変化するのを防止するために、図示しない不活性ダス例えばＮ2ガス等のパージガス供給源に接続するパージガス供給管路６からパージガス例えばＮ2ガスが供給されるようになっている。なお、外側タンク２の外方近接部には光透過型の位置センサ７が設けられている。この位置センサ７は、高さ方向の位置によって、上限センサ７ａ、適量センサ７ｂ、補充センサ７ｃ及び下限センサ７ｄとして示す。これらのセンサ７ａ〜７ｄは制御部３０（ＣＰＵ）に接続されている。また、内側タンク１の上端部には、薬液満杯センサ（図示せず）が配設されており、この薬液満杯センサによって内側タンク１内から外側タンク２内に流れる薬液の状態を監視することができるようになっている。すなわち、薬液満杯センサと上記適量センサ７ｂからの検出信号に基づいて制御手段例えば中央演算処理装置３０（以下にＣＰＵ３０という）からの制御信号を薬液開閉弁３ａに伝達することで、内側タンク１及び外側タンク２内の薬液の液量を管理することができる。即ち、外側タンク２におけるリサイクル薬液が不足してきた場合には、その不足分を新規薬液で補うようになっている。なお、位置センサ７については、後述する液面検出装置の説明において更に詳細に説明する。
【００２０】
また、内側タンク１内に貯留される薬液と、外側タンク２内に貯留される薬液は、外側タンク２の外方近接部に配設される１つのヒータ４によって加熱・保温されるようになっている。この場合、内側タンク１内の薬液の温度は、内側タンク薬液温度センサ（図示せず）によって検出され、外側タンク２内の薬液の温度は、外側タンク薬液温度センサ（図示せず）によって検出され、また、ヒータ４の温度は、コントロール温度センサ（図示せず）と、オーバーヒート温度センサ（図示せず）によって検出されるようになっている。これら温度センサのうち、外側タンク薬液温度センサ、コントロール温度センサ及びオーバーヒート温度センサの検出信号を温度制御部（図示せず）で制御して、外側タンク２内の薬液温度、ヒータ４の加熱温度を所定温度に設定できるようになっている。
【００２１】
即ち、外側タンク２内の薬液の温度が例えば８０℃〜１５０℃になるように制御されると共に、ヒータ４自体も、例えば２００℃以上のオーバーヒート状態にならないように制御されるようになっている。また、内側タンク１内の薬液の温度は、外側タンク２内の薬液の温度とほぼ等しい温度になるようになっている。
【００２２】
一方、内側タンク１には、この内側タンク１内の薬液をウエハ等に供給するための第１の供給管路１４ａが配置されており、外側タンク２には、この外側タンク２内の薬液をウエハ等に供給するための第２の供給管路１４ｂが配置されている。また、外側タンク２内から供給される薬液は、ウエハ等の洗浄に使われないときは循環管路１８を介して再び外側タンク２に戻るようになっている。この際、第２の供給管路１４ｂに介設されたフィルタ（図示せず）によって、リサイクル薬液の濾過が行われるようになっている。
【００２３】
内側タンク１内の新規薬液は、ウエハ等を洗浄した後に、戻り管路５６を介して外側タンク２に送られ、リサイクル薬液として利用されるようになっている。そして、外側タンク２内に貯留されたリサイクル薬液を第２の供給管路１４ｂを介して供給することにより、ウエハ等の一次洗浄処理を行い、内側タンク１内に貯留された新規薬液を第１の供給管路１４ａを介して供給することにより、ウエハ等の二次洗浄処理を行うようになっている。
【００２４】
また、外側タンク２の底部には、リサイクル薬液を排出するための排液取出管路５８が接続されており、この排液取出管路５８には、上記チューブ７１に薬液を供給するための下側管路５８ａと、排出処理のためのドレン管路５８ｂとが接続されている。ドレン管路５８ｂには、排液開閉弁５７が介設されている。
【００２５】
次に、液面検出装置７０について更に詳細に説明する。チューブ７１は、図４に示すように、透明で柔軟性を有し、かつ高温に耐えうる材料、例えばＰＦＡ（テトラフルオロエチレン-パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）で形成されている。このＰＦＡは、炭素原子とフッ素原子からなる主鎖にパーフルオロアルコキシ基が結合した分子構造を有しており、ポリ四フッ化エチレン（ＰＴＦＥ）とほとんど同じような優れた性能を持ち、しかも透明性が良好である。また、高温における力学的性質に優れており、２５０℃での連続使用に耐えるという特長がある。そして、一般の熱可塑性樹脂と同様に、射出、押出し、吹込み等により成形品を製造することが可能である。なお、チューブ７１は、押出しにより成形したものである。
【００２６】
チューブ７１は、図２に示すように、下端部が下側管路５８ａを介して外側タンク２の底に接続されており、上端部が上側管路５８ｃを介して外側タンク２における液面より上側の空間部に接続されている。また、チューブ７１の側方には、図２及び図３に示すように、チューブ７１の両側に支持レール７４が設けられている。この支持レール７４は、タンク１０を設置する基礎Ｇ上に、垂直に立設されている。
【００２７】
支持レール７４には、図４〜図６に示すように、位置センサ７を保持するブラケット７５が支持レール７４の延在する方向に沿って移動自在に設けられている。ブラケット７５は、位置センサ７の後述する発光部７Ａ又は受光部７Ｂを挿入するための円筒孔７５ａを有しており、この円筒孔７５ａに挿入した発光部７Ａ又は受光部７Ｂを止めねじ７５ｂで固定するようになっている。また、ブラケット７５自体は、つまみ付きねじ７５ｃによって、支持レール７４の所定の位置に固定されるようになっている。
【００２８】
位置センサ７は、光を発する発光部７Ａと、この発光部７Ａからの光を受ける受光部７Ｂとを備えた光透過型のもので構成されており、フロート７２が遮光物体となって発光部７Ａから受光部７Ｂに入る光を遮ることにより、フロート７２を検出するようになっている。特に、位置センサ７は、ブラケット７５によって位置を調整することにより、ストッパ７１ａによって止まった球形のフロート７２を必ず検出する位置に設けられるようになっている。
【００２９】
また、位置センサ７は、図３に示すように、上述のように４箇所の位置に設けられており、上側から、上限センサ７ａ、適量センサ７ｂ、補充センサ７ｃ及び下限センサ７ｄとなっている。そして、ストッパ７１ａ及びフロート７２は、各センサ７ａ〜７ｄに対応するようにして４箇所の位置に設けられている。
【００３０】
ストッパ７１ａは、図４、図６及び図７に示すように、クリップ７３により平行に押しつぶされた形状の絞り部になっており、フロート７２の上方への移動を阻止するが、薬液の移動を妨げることがないようになっている。
【００３１】
クリップ７３は、図７及び図８に示すように、把持部７３ａと、留め部７３ｂとを備えた構成になっている。把持部７３ａは、図８に示すように、所定の半径で屈曲する基部７３ｃと、この基部７３ｃからＶ字状に延びる断面円形状の線材部７３ｄによって形成されており、例えばスプリング弾性を有する金属やプラスチック等によって形成されている。留め部７３ｂは、各線材部７３ｄを平行になるまで弾性変形させた状態において、これらの線材部７３ｄの先端部に嵌まるようになっており、線材部７３ｄを平行に維持するようになっている。そして、クリップ７３は、平行に延びる線材部７３ｄによって、上述したストッパ７１ａを形成するようになっている。
【００３２】
なお、クリップ７３は、図９に示すように、留め部７３ｂにおける一方の嵌合部７３ｅを一方の線材部７３ｄの先端部に溶接等で固定するようにしてもよい。この場合には、他方の線材部７３ｄの先端部は、留め部７３ｂのＵ字状の溝７３ｆを介して、同留め部７３ｂにおける他方の嵌合部７３ｇに嵌合することになる。
【００３３】
上記のように構成された液面検出装置７０においては、チューブ７１内の液面の上昇に伴ってフロート７２も上昇するが、そのフロート７２はストッパ７１ａによって上方への移動が阻止されることになり、所定の位置より上方に移動することがない。また、フロート７２は、上方への移動の過程において位置センサ７によって検出されることになり、ストッパ７１ａによって停止した後も位置センサ７によって検出され続けることになる。従って、位置センサ７によるフロート７２の検出があれば、外側タンク２内の液面が位置センサ７が設けられた所定の位置以上のところにあり、同検出がなければ、所定の位置未満のところにあると判断することができる。即ち、外側タンク２内の液面が所定の位置に対してどの位置にあるかを確実に検出することができる。
【００３４】
なお、検出の開始は、最初に外側タンク２内に薬液が供給された時点で開始され、まず、下限センサ７ｄがフロート７２を検出した時点で補充が開始され、適量センサ７ｂによってフロート７２を検出した時点で薬液の供給が停止する。なお、補充の方法は、例えば、(1)補充センサ７ｃがＯＦＦ状態になったら適量センサ７ｂがフロート７２を検出するまで補充するか、あるいは、(2)１回の処理終了後に適量センサ７ｂがフロート７２を検出するまで薬液を補充するなどの方法を採ることができる。
【００３５】
また、例えば図１０（ａ）に示すように、下から３番目の適量センサ７ｂまでがフロー７２を検出している場合には、外側タンク２の液面が適量センサ７ｂに対応する所定の位置より高く、上限センサ７ａに対応する所定の位置より低い位置にあると判断することができる。即ち、液面は正常であると判断することができる。また、上限センサ７ａがフロート７２を検出した時点で、オバーフローの危険があると判断することができる。このとき、図示しない制御手段によって薬液供給源３からの薬液の供給を停止するように制御すると共に、アラームを出すように制御される。更に、図１０（ｂ）に示すように、下限センサ７ｄによりフロート７２の検出ができなくなった時点で、液面が許容位置より低くなったと判断することができる。このとき、図示しない制御手段によって外側タンク２の加熱を停止するように制御される。また、補充センサ７ｃによりフロート７２の検出ができなくなった時点で、補給が必要になっ たと判断することができ、この信号に基づいて外側タンク２に薬液が供給されることになる。この薬液の供給は適量センサ７ｂによってフロート７２を検出するまで行われる。
【００３６】
更に、チューブ７１を柔軟性を有するもので構成し、このチューブ７１の一部を内側に変形させた絞り部によってストッパ７１ａを構成しているので、チューブ７１における自由な位置にストッパ７１ａを構成することができる。従って、液面の位置が異なる場合や、タンクが異なる場合等にも対応することができるという利点がある。しかも、ストッパ７１ａをクリップ７３によって簡単に形成することができる。この場合、チューブ７１の絞り部は、他の部分と流量が同じになるようにする方が好ましい。
【００３７】
◎第２実施形態
次に、この発明の第２実施形態を図１１〜図１３を参照して説明する。だだし、第１実施形態の構成要素と共通する要素には同一の符号を付し、その説明を簡略化する。この第２実施形態が第１実施形態と異なる主な点は、取付手段７６を介し位置センサ７をチューブ７１に取り付けるように構成している点である。
【００３８】
即ち、取付手段７６は、チューブ７１の外周面を締め付けることにより、同チューブ７１に固定するようになっている。即ち、中心に円形孔７６ｃを有する円盤を、その中心を通る面で半分に切断した形状の第１の半円盤部７６ａと、第２の半円盤部７６ｂとを備えている。各半円盤部７６ａ、７６ｂは、図１３に示すように、その円形孔７６ｃがチューブ７１の外周面に嵌合した状態において、合わせ面７６ｄ間の隙間Ｓ１が所定量（約１〜３ｍｍ）あくようになっている。
【００３９】
また、各半円盤部７６ａ、７６ｂには、発光部７Ａ又は受光部７Ｂを挿入する円筒孔７６ｅが形成されている。この円筒孔７６ｅは、合わせ面７６ｄに対して直交し、かつ円形孔７６ｃから法線方向に延びるように形成されている。発光部７Ａ又は受光部７Ｂは、円筒孔７６ｅに挿入された状態で止めねじ７６ｆによって固定されるようになっている。また、一方の半円盤部７６ａには、その各合わせ面７６ｄに、連結ボルト７６ｇのねじ部が螺合するねじ孔７６ｈが開口しており、他方の半円盤部７６ｂには、その各合わせ面７６ｄに、連結ボルト７６ｇのねじ部を挿通する貫通孔７６ｉが開口している。この貫通孔７６ｉには、連結ボルト７６ｇの頭部を収納する座ぐり部７６ｊが形成されている。
【００４０】
一方、フロート７２は、円柱部の上下の端部を半球状に丸めた長尺のもので形成されている。
【００４１】
上記のように構成された液面検出装置７０においては、各半円盤部７６ａ、７６ｂの円形孔７６ｃをチューブ７１の外周面に嵌めてから、これらの半円盤部７６ａ、７６ｂを連結ボルト７６ｇで連結する。各半円盤部７６ａ、７６ｂは、連結ボルト７６ｇを所定量締め付けることにより、チューブ７１に確実に固定された状態になる。その後、発光部７Ａ又は受光部７Ｂを各円筒孔７６ｅに挿入して止めねじ７６ｆで固定する。
【００４２】
このように、取付手段７６を用いた場合も、位置センサ７をチューブ７１における自由な位置に設置することができる。また、取付手段７６は、円形孔７６ｃによって、チューブ７１の外周面を内方に向けてほぼ均一に圧迫することになるので、チューブ７１をほぼ円形に保つことができる。即ち、チューブ７１が変形してフロート７２の移動を妨げることがない。
【００４３】
また、取付手段７６はチューブ７１における断面円形状の部分に取り付けることになるため、位置センサ７がストッパ７１ａに対して比較的下方の位置に配置されることになる。しかし、フロート７２が長尺のもので形成されているので、ストッパ７１ａによって停止したフロート７２の下端部を位置センサ７によって確実に検出することができる。しかも、フロート７２の上下の端部が半球面状に形成されているので、ストッパ７１ａにおけるチューブ７１の内面を傷つけることがない。
【００４４】
◎参考実施形態
次に、この発明の参考実施形態について図１４〜図１６を参照して説明する。ただし、第２実施形態の構成要素と共通する要素には同一の符号を付し、その説明を簡略化する。この参考実施形態が第２実施形態と異なる主な点は、透明な（光透過性の）硬質管７１ｂを継手７１ｃでつなぐことにより長尺のチューブ７１を形成し、継手７１ｃにストッパ７１ａを形成した点である。
【００４５】
即ち、硬質管７１ｂは、通常のガラスや石英ガラスによって円筒状に形成されたものである。継手７１ｃは、通常のガラスや石英ガラス等による透明な（光透過性の）材料で形成されたものであり、硬質管７１ｂの外周面に嵌まる筒部７１ｄと、この筒部７１ｄの軸方向の中央に設けられたストッパ７１ａとによって一体に形成されている。ストッパ７１ａは、硬質管７１ｂの端面を保持するようにもなっている。また、ストッパ７１ａの中央に開けられた円形の絞り孔７１ｅは、球状のフロート７２が通過不能な大きさの径に形成されている。ただし、絞り孔７１ｅには、球状のフロート７２が当接した状態においても、薬液の流れが可能なように複数の溝７１ｆが形成されている。そして、硬質管７１ｂと継手７１ｃとは、接着剤によって固定されている。
【００４６】
また、取付手段７６の円形孔７６ｃは、継手７１ｃの外周面に嵌合する径に形成されている。
【００４７】
上記のように構成された液面検出装置７０においては、透明な硬質管７１ｂ及び継手７１ｃを介して、フロート７２を検出することができる。また、硬質管７１ｂの長さを変えることにより、ストッパ７１ａの位置を自由に変更することができる。しかも、硬質管７１ｂとしてはガラス等の硬質のものを使用することができるので、より高温の液体の液面検出にも利用することができる。
【００４８】
なお、上記継手７１ｃは、ステンレス等の耐食性を有する不透明な材料で形成してもよい。ただし、この場合には、図１７（ａ）に示すように、位置センサ７が通過可能な大きさの孔７１ｇか、位置センサ７の光が通過可能な大きさの孔を継手７１ｃに形成する必要がある。また、図１７（ｂ）に示すように、硬質管７１ｂに取付手段７６を直接取り付けることによって、上記のような孔７１ｇ等を形成しなくても、フロート７２の検出が可能である。ただし、位置センサ７がストッパ７１ａに対して比較的下方の位置に配置されることになるので、フロート７２を第２実施形態で示したもの（図１１参照）と同様に長尺のもので形成することにより、ストッパ７１ａによって停止したフロート７２を確実に検出することができるようにする必要がある。
【００４９】
また、上記各実施形態においては、フロート７２として、球状のものや両端球形の円柱状のものを示したが、図１８（ａ）に示す円柱状のものや、図１８（ｂ）に示す円筒状のものや、図１８（ｃ）に示す周面に軸方向に延びる複数の溝７２ａを有するものや、図１８（ｄ）に示す六角柱状のものや、その他の多角柱状のもので構成してもよい。そして、図１８（ａ）〜（ｄ）に示すものについては、図１８（ｅ）に示すように、周面と端面との角部に斜めに傾斜したＣ面取り７２ｂや、同角部を円弧状に丸めたＲ面取り７２ｃを設けることにより、ストッパ７１ａに対するダメージを少なくすることが好ましい。また、図１８（ｂ）〜（ｄ）に示すフロート７２については、断面積が小さくなり、フロート７２を有する部分を薬液が通りやすくなるので、外側タンク２内の液面変化に対するチューブ７１内の液面変化の応答性を向上させることができる。
【００５０】
更に、上記各実施形態においては、位置センサ７として光透過型のものを示したが、この位置センサ７は、図１９に示すように、光反射型のもので構成してもよい。即ち、図１９に示す位置センサ７は、図１３に示す光透過型のものを光反射型のものに変更したものである。光反射型の位置センサ７は、発光部７Ａから発した光がフロート７２の表面で反射して受光部７Ｂに入ることにより、フロート７２を検出するようになっている。また、位置センサ７としては、光透過型のものについても、光反射型のものについても、光量が強いレーザー光を用いたもので構成することが好ましい。
【００５１】
また、クリップ７３については、Ｖ字状に延びる線材部７３ｄの先端部同士を互いに近付けて留め部７３ｂで固定することにより、またチューブ７１からの反力により、線材部７３ｄが円弧状に撓むことになってもよい。そして、線材部７３ｄが円弧状に撓んだ場合には、ストッパ７１ａの断面が楕円形状に近くなるが、このストッパ７１ａによってもフロート７２の移動を阻止することができるので全く問題ない。
【００５２】
また更に、チューブ７１を、軟質管と、硬質管７１ｂとを連結したもので構成し、軟質管の部分にクリップ７３でストッパ７１ａを形成するようにしてもよい。
【００５３】
上記各実施形態では、被処理体（ウエハ等）の洗浄・乾燥処理装置について、液面検出装置７０のための限られた範囲の説明をしたが、以下に、洗浄・乾燥処理装置について全体的な説明を行う。
【００５４】
上記洗浄・乾燥処理装置２０は、図２０に示すように、被処理体である半導体ウエハＷ（以下にウエハＷという）を保持する回転可能な保持手段例えばロータ２１と、このロータ２１を水平軸を中心として回転駆動する駆動手段であるモータ２２と、ロータ２１にて保持されたウエハＷを包囲する複数例えば２つの処理部｛具体的には第１の処理室，第２の処理室｝の内チャンバ２３，外チャンバ２４と、これら内チャンバ２３又は外チャンバ２４内に収容されたウエハＷに対して処理液例えばレジスト剥離液，ポリマ除去液等の薬液の供給手段５０、この薬液の溶剤例えばイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）の供給手段６０、リンス液例えば純水等の供給手段（リンス液供給手段）１１０又は例えば窒素（Ｎ2）等の不活性ガスや清浄空気等の乾燥気体（乾燥流体）の供給手段８０｛図２０では薬液供給手段５０と乾燥流体供給手段８０を示す。｝と、内チャンバ２３を構成する内筒体２５と外チャンバ２４を構成する外筒体２６をそれぞれウエハＷの包囲位置とウエハＷの包囲位置から離れた待機位置に切り換え移動する移動手段例えば第１，第２のシリンダ２７，２８及びウエハＷを図示しないウエハ搬送チャックから受け取ってロータ２１に受け渡すと共に、ロータ２１から受け取ってウエハ搬送チャックに受け渡す被処理体受渡手段例えばウエハ受渡ハンド２９とで主要部が構成されている。
【００５５】
上記のように構成される洗浄・乾燥処理装置２０におけるモータ２２、処理流体の各供給手段５０，６０，９０，８０｛図２０では薬液供給手段５０と乾燥流体供給手段８０を示す。｝の供給部、ウエハ受渡ハンド２９等は制御手段即ちＣＰＵ３０によって制御されている。
【００５６】
また、上記ロータ２１は、水平に配設されるモータ２２の駆動軸２２ａに片持ち状に連結されて、ウエハＷの処理面が鉛直になるように保持し、水平軸を中心として回転可能に形成されている。この場合、ロータ２１は、モータ２２の駆動軸２２ａにカップリング（図示せず）を介して連結される回転軸（図示せず）を有する第１の回転板２１ａと、この第１の回転板２１ａと対峙する第２の回転板２１ｂと、第１及び第２の回転板２１ａ，２１ｂ間に架設される複数例えば４本の固定保持棒３１と、図示しないロック手段及びロック解除手段によって押え位置と非押え位置とに切換移動する一対の押え棒３２とで構成されている。この場合、モータ２２は、予めＣＰＵ３０に記憶されたプログラムに基づいて所定の高速回転と低速回転を選択的に繰り返し行い得るように制御されている。なお、モータ２２は冷却手段３７によって過熱が抑制されるようになっている。この場合、冷却手段３７は、冷却パイプ３７ａと、冷却水供給パイプ３７ｂと、熱交換器３７ｃとを具備してなる。
【００５７】
一方、処理部例えば内チャンバ２３（第１の処理室）は、第１の固定壁３４と、この第１の固定壁３４と対峙する第２の固定壁３８と、これら第１の固定壁３４及び第２の固定壁３８との間にそれぞれ第１及び第２のシール部材４０ａ，４０ｂを介して係合する内筒体２５とで形成されている。すなわち、内筒体２５は、移動手段である第１のシリンダ２７の伸張動作によってロータ２１と共にウエハＷを包囲する位置まで移動されて、第１の固定壁３４との間に第１のシール部材４０ａを介してシールされると共に、第２の固定壁３８との間に第２のシール部材４０ｂを介してシールされた状態で内チャンバ２３（第１の処理室）を形成する。また、第１のシリンダ２７の収縮動作によって固定筒体（図示せず）の外周側位置（待機位置）に移動されるように構成されている。この場合、内筒体２５の先端開口部は第１の固定壁３４との間に第１のシール部材４０ａを介してシールされ、内筒体２５の基端部は固定筒体の中間部に周設された第３のシール部材（図示せず）を介してシールされて、内チャンバ２３内に残存する薬液の雰囲気が外部に漏洩するのを防止している。なお、内筒体２５は、耐薬品性及び耐強度性に富むステンレス鋼製部材にて形成されている。なお、内筒体２５は、ステンレス鋼の表面に例えばＰＴＦＥやＰＦＡ等のフッ素系合成樹脂をコーティングあるいは貼着したものや、内筒体２５自体をＰＴＦＥやＰＦＡ等のフッ素系合成樹脂にて形成することにより、保温性の向上が図れる。
【００５８】
また、外チャンバ２４（第２の処理室）は、待機位置に移動された内筒体２５との間にシール部材４０ｂを介在する第１の固定壁３４と、第２の固定壁３８と、第２の固定壁３８と内筒体２５との間にそれぞれ第４及び第５のシール部材４０ｄ，４０ｅを介して係合する外筒体２６とで形成されている。すなわち、外筒体２６は、移動手段である第２のシリンダ２８の伸張動作によってロータ２１と共にウエハＷを包囲する位置まで移動されて、第２の固定壁３８との間に第４のシール部材４０ｄを介してシールされると共に、内筒体２５の先端部外方に位置する第５のシール部材４０ｅを介してシールされた状態で、外チャンバ２４（第２の処理室）を形成する。また、第２のシリンダ２８の収縮動作によって固定筒体の外周側位置（待機位置）に移動されるように構成されている。この場合、外筒体２６と内筒体２５の基端部間には第５のシール部材４０ｅが介在されて、シールされている。したがって、内チャンバ２３の内側雰囲気と、外チャンバ２４の内側雰囲気とは、互いに気水密な状態に離隔されるので、両チャンバ２３，２４内の雰囲気が混じることなく、異なる処理流体が反応して生じるクロスコンタミネーションを防止することができる。なお、外筒体２６は、内筒体２５と同様に、耐薬品性及び耐強度性に富むステンレス鋼製部材にて形成されている。なお、外筒体２６は、内筒体２５と同様に、ステンレス鋼の表面に例えばＰＴＦＥやＰＦＡ等のフッ素系合成樹脂をコーティングあるいは貼着したものや、内筒体２５自体をＰＴＦＥやＰＦＡ等のフッ素系合成樹脂にて形成することにより、保温性の向上が図れるので好適である。
【００５９】
上記のように構成される内筒体２５と外筒体２６は共に先端に向かって拡開するテーパ状に形成されている。このように内筒体２５及び外筒体２６を、一端に向かって拡開するテーパ状に形成することにより、処理時に内筒体２５又は外筒体２６内でロータ２１が回転されたときに発生する気流が拡開側へ渦巻き状に流れ、内部の薬液等が拡開側へ排出し易くすることができる。また、内筒体２５と外筒体２６とを同一軸線上に重合する構造とすることにより、内筒体２５と外筒体２６及び内チャンバ２３及び外チャンバ２４の設置スペースを少なくすることができると共に、装置の小型化が図れる。
【００６０】
一方、上記処理液供給手段のうち、薬液例えばポリマ除去液の供給手段５０は、図２１に示すように、処理部すなわち内筒体２５内に取り付けられる薬液供給ノズル５１と、薬液供給部５２と、これら薬液供給ノズル５１と薬液供給部５２とを接続する薬液供給管路５３を具備してなる。
【００６１】
上記薬液供給部５２は、図２２に示すように、薬液供給源３（液供給源）と、この薬液供給源３から供給される新規の薬液を貯留すると共に、処理に供された薬液を貯留するタンク１０とで主要部が構成されている。タンク１０については、既に説明した通りである。
【００６２】
なお、外側タンク２の外方近接部にはそれぞれ光透過型の上限センサ７ａ，秤量センサ（先の説明では「補充センサ」）７ｂ，ヒータオフ下限センサ（先の説明では「適量センサ」）７ｃ及び下限センサ７ｄが配設されており、これらセンサ７ａ〜７ｄはＣＰＵ３０に接続されている。これらセンサ７ａ〜７ｄのうち、上限センサ７ａと下限センサ７ｄは、外側タンク２内に貯留される薬液の上限液面と下限液面を検出し、秤量センサ７ｂは、外側タンク２内に実際に貯留されている薬液の量を検出し、また、ヒータオフ下限センサ７ｃは、ヒータ４による加熱可能な薬液量を検出し得るようになっている。
【００６３】
また、内側タンク１内に貯留される薬液と、外側タンク２内に貯留される薬液は、外側タンク２の外方近接部に配設される１つのヒータ４によって加熱・保温されるようになっている。この場合、内側タンク１内の薬液の温度は、内側タンク薬液温度センサＴａによって検出され、外側タンク２内の薬液の温度は、外側タンク薬液温度センサＴｂによって検出され、また、ヒータ４の温度は、コントロール温度センサＴｃと、オーバーヒート温度センサＴｄによって検出されるようになっている。これら温度センサＴａ〜Ｔｄのうち、外側タンク薬液温度センサＴｂ、コントロール温度センサＴｃ及びオーバーヒート温度センサＴｄの検出信号を温度制御部（図示せず）で制御して、外側タンク２内の薬液温度、ヒータ４の加熱温度を所定温度に設定できるようになっている。
【００６４】
即ち、温度センサＴｂ〜Ｔｄで検出された検出信号を温度制御部で制御することにより、外側タンク２内の薬液の温度Ｔ1を所定温度、すなわち、８０℃＜Ｔ1＜１５０℃に制御することで、内側タンク１内の薬液の温度Ｔ０を外側タンク２内の薬液の温度Ｔ1の熱容量によってＴ1とほぼ等しい温度に設定することができる。
【００６５】
一方、処理部すなわち内筒体２５内に取り付けられる薬液供給ノズル５１と、薬液供給部５２とを接続する薬液供給管路５３は、図２０及び図２２に示すように、内側タンク１内の薬液を処理部側に供給する第１の供給管路１４ａと、外側タンク２内の薬液を処理部側に供給する第２の供給管路１４ｂと、これら第１及び第２の供給管路１４ａ，１４ｂを連結して共通化する主供給管路１４ｃとで主に構成されている。この場合、第１の供給管路１４ａには第１の切換開閉弁１５ａが介設され、第２の供給管路１４ｂには第２の切換開閉弁１５ｂが介設されている。また、主供給管路１４ｃには例えばダイアフラム式の供給ポンプ１６が介設されると共に、この供給ポンプ１６の吐出側に順次、第３の切換開閉弁１５ｃ、フィルタ１７、第４の切換開閉弁１５ｄが介設されている。
【００６６】
また、主供給管路１４ｃにおける供給ポンプ１６の吐出側と外側タンク２とは、第５の切換開閉弁１５ｅを介設した循環管路１８が接続されており、外側タンク２内から供給される薬液を循環し得るように構成されている。
【００６７】
また、主供給管路１４ｃにおける供給ポンプ１６の吐出側｛具体的には供給ポンプ１６と第３の切換開閉弁１５ｃとの間｝と、第３の切換開閉弁１５ｃの吐出側と循環管路１８の接続部との間には、主供給管路１４ｃから分岐され再び主供給管路１４ｃに連結するバイパス管路１９が接続されている。このバイパス管路１９には、第６の切換開閉弁１５ｆ、フィルタ１９ａ及び第７の切換開閉弁１５ｇが順次介設されている。また、外側タンク２の開口部２ｂと処理部には、薬液の戻り管路５６が接続されており、処理部で処理に供された薬液が外側タンク２内に貯留されて、リサイクルに供されるようになっている。
【００６８】
上記のようにして薬液供給管路５３を形成することにより、外側タンク２内に貯留された薬液を第２の供給管路１４ｂ、主供給管路１４ｃ、バイパス管路１９及び主供給管路１４ｃを介して処理部側に供給することができる。また、内側タンク１内に貯留された薬液（新液）を第１の供給管路１４ａと主供給管路１４ｃを介して処理部側に供給することができる。また、ウエハＷの処理の待機時には、外側タンク２内に貯留された薬液を循環管路１８を介して循環することができる。
【００６９】
なお、外側タンク２の底部には排液開閉弁５７を介設した排液管路５８が接続されている（図２２）。
【００７０】
一方、薬液の溶剤例えばＩＰＡの供給手段６０は、図２１に示すように、内筒体２５内に取り付けられる上記薬液供給ノズルを兼用する供給ノズル５１（以下に薬液供給ノズル５１で代表する）と、溶剤供給部６１と、この供給ノズル５１と薬液供給部５２とを接続するＩＰＡ供給管路６２に介設されるポンプ５４、フィルタ５５、ＩＰＡ供給弁６３を具備してなる。この場合、溶剤供給部６１は、溶剤例えばＩＰＡの供給源６４と、このＩＰＡ供給源６４から供給される新規のＩＰＡを貯留するＩＰＡ供給タンク６１ａと、処理に供されたＩＰＡを貯留する循環供給タンク６１ｂとで構成されており、両ＩＰＡ供給タンク６１ａ，６１ｂには、上記内チャンバ２３の拡開側部位の下部に設けられた第１の排液ポート４１に接続する第１の排液管４２に図示しない切換弁（切換手段）を介して循環管路９０が接続されている。図面では、ＩＰＡ供給タンク６１ａ，６１ｂを別個に配置する場合について説明したが、上記内側タンク１と外側タンク２と同様に、ＩＰＡ供給タンク６１ａ，６１ｂを二重槽構造とする方が望ましい。
【００７１】
一方、リンス液例えば純水の供給手段１１０は、図２１に示すように、第２の固定壁３８に取り付けられる純水供給ノズル１１１と、純水供給源１１２と、純水供給ノズル１１１と純水供給源１１２とを接続する純水供給管路１１３に介設される供給ポンプ１１４、純水供給弁１１５とを具備してなる。この場合、純水供給ノズル１１１は、内チャンバ２３の外側に位置すると共に、外チャンバ２４の内側に位置し得るように配設されており、内筒体２５が待機位置に後退し、外筒体２６がロータ２１とウエハＷを包囲する位置に移動して外チャンバ２４を形成した際に、外チャンバ２４内に位置して、ウエハＷに対して純水を供給し得るように構成されている。なお、純水供給ノズル１１１は、外チャンバ２４に取り付けられるものであってもよい。
【００７２】
また、外チャンバ２４の拡開側部位の下部には、第２の排液ポート４５が設けられており、この第２の排液ポート４５には、図示しない開閉弁を介設した第２の排液管４６が接続されている。なお、第２の排液管４６には、純水の比抵抗値を検出する比抵抗計４７が介設されており、この比抵抗計４７によってリンス処理に供された純水の比抵抗値を検出し、その信号を上記ＣＰＵ３０に伝達するように構成されている。したがって、この比抵抗計４７でリンス処理の状況を監視し、適正なリンス処理が行われた後、リンス処理を終了することができる。
【００７３】
なお、上記外チャンバ２４の拡開側部位の上部には、第２の排気ポート４８が設けられており、この第２の排気ポート４８には、図示しない開閉弁を介設した第２の排気管４９が接続されている。
【００７４】
また、乾燥流体供給手段８０は、図２０及び図２１に示すように、第２の固定壁３８に取り付けられる乾燥流体供給ノズル８１と、乾燥流体例えば窒素（Ｎ2）供給源８２と、乾燥流体供給ノズル８１とＮ2供給源８２とを接続する乾燥流体供給管路８３に介設される開閉弁８４、フィルタ８５、Ｎ2温度調整器８６とを具備してなり、かつ乾燥流体供給管路８３におけるＮ2温度調整器８６の二次側に切換弁８７を介して上記ＩＰＡ供給管路６２から分岐される分岐管路８８を接続してなる。この場合、乾燥流体供給ノズル８１は、上記純水供給ノズル１１１と同様に内チャンバ２３の外側に位置すると共に、外チャンバ２４の内側に位置し得るように配設されており、内筒体２５が待機位置に後退し、外筒体２６がロータ２１とウエハＷを包囲する位置に移動して外チャンバ２４を形成した際に、外チャンバ２４内に位置して、ウエハＷに対してＮ2ガスとＩＰＡの混合流体を霧状に供給し得るように構成されている。この場合、Ｎ2ガスとＩＰＡの混合流体で乾燥した後に、更にＮ2ガスのみで乾燥する。なお、ここでは、乾燥流体がＮ2ガスとＩＰＡの混合流体である場合について説明したが、この混合流体に代えてＮ2ガスのみを供給するようにしてもよい。
【００７５】
なお、上記薬液供給手段５０、ＩＰＡ供給手段６０、純水供給手段１１０及び乾燥流体供給手段８０における供給ポンプ１６，５４、薬液供給部５２の第１〜第７の切換開閉弁１５ａ〜１５ｇ、温度制御部（図示せず）、Ｎ2温度調整器８６、ＩＰＡ供給弁６３及び切換弁８７は、ＣＰＵ３０によって制御されている（図２０参照）。
【００７６】
次に、上記洗浄・乾燥処理装置２０の動作態様について説明する。まず、搬入・搬出部（図示せず）側からウエハ搬送チャックによって搬送されるウエハＷ又はウエハキャリア内のウエハＷをウエハ受渡ハンド２９が受け取り、その後、ウエハ受渡ハンド２９が上昇して押え棒３２が外方に開いた状態のロータ２１内にウエハＷを挿入して固定保持棒３１と閉動作した押え棒３２に受け渡す。固定保持棒３１と押え棒３２内にウエハＷを受け渡した後、図示しないロック手段が作動して押え棒３２がロックされる。その後、ウエハ受渡ハンド２９は元の位置に移動する。
【００７７】
上記のようにしてロータ２１にウエハＷがセットされると、内筒体２５及び外筒体２６がロータ２１及びウエハＷを包囲する位置まで移動して、内チャンバ２３内にウエハＷを収容する。この状態において、まず、ウエハＷに薬液を供給して薬液処理を行う。この薬液処理は、ロータ２１及びウエハＷを低速回転例えば１〜５００ｒｐｍで回転させた状態で所定時間例えば数十秒間薬液を供給した後、薬液の供給を停止し、その後、ロータ２１及びウエハＷを数秒間高速回転例えば１００〜３０００ｒｐｍで回転させてウエハＷ表面に付着する薬液を振り切って除去する。この薬液供給工程と薬液振り切り工程を数回から数千回繰り返して薬液処理を完了する。
【００７８】
上記薬液処理工程において、内側タンク１及び外側タンク２内に薬液が貯留された状態の通常の処理では、最初に供給される薬液は、外側タンク２内に貯留された薬液が使用される。すなわち、第２，第６，第７及び第４の切換開閉弁１５ｂ，１５ｆ，１５ｇ，１５ｄが開いた状態で供給ポンプ１６が作動することにより、外側タンク２内の薬液は、第２の供給管路１４ｂ、主供給管路１４ｃ、バイパス管路１９及び主供給管路１４ｃを流れて処理部側に供給される。この際、供給ポンプ１６を通過した薬液はフィルタ１９ａによって濾過され、薬液中に混入する不純物や夾雑物等が除去される。ある一定時間内最初に使用された薬液は第１の排液管４２から廃棄される。それ以外の薬液は一定時間処理に供された後、外側タンク２内に戻されて、以後循環供給される。
【００７９】
所定時間薬液を循環供給して処理を行った後、内側タンク１内の新規薬液が処理部側に供給されて薬液処理が終了する。内側タンク１内の新規薬液を処理部側へ供給する場合には、上記第２，第６及び第７の切換開閉弁１５ｂ，１５ｆ，１５ｇが閉じ、第１，第３及び第４の切換開閉弁１５ａ，１５ｃ，１５ｄが開く。この状態で供給ポンプ１６が作動することにより、内側タンク１内の新規薬液は、第１の供給管１４ａ及び主供給管１４ｃを流れて処理部側に供給される。この際、供給ポンプ１６を通過した新規薬液はフィルタ１７によって濾過され、薬液中に混入する不純物や夾雑物等が除去される。また、前回の処理時に供給され、主供給管路１４ｃに残留した新規薬液は、次回の新規薬液と共にフィルタ１７によって濾過される。なお、処理に供された新規薬液は戻り管路５６を介して外側タンク２内に貯留される。
【００８０】
上記説明では、内側タンク１内と外側タンク２内に薬液が貯留された状態の通常の薬液処理について説明したが、内側タンク１及び外側タンク２内に薬液が貯留されていない空の状態では、以下のようにして薬液処理を行う。
【００８１】
まず、薬液開閉弁３ａを開いて薬液供給源３から薬液を内側タンク１内に供給すると共に、内側タンク１からオーバーフロー管路５を介して外側タンク２内に所定量の薬液を貯留する。そして、処理初期時に、外側タンク２内の新規薬液を処理部側に供給して最初の薬液処理を行う。その後は、上記通常の薬液処理と同様に、外側タンク２内の薬液を循環供給した後、内側タンク１内の新規薬液を処理部側に供給して、薬液処理を終了する。
【００８２】
なお、薬液処理工程の際には、薬液処理に供された薬液は第１の排液ポート４１に排出され、切換弁（図示せず）の動作によって戻り管路５６を介して薬液供給部５２に循環又は第１の排液管４２に排出される一方、薬液から発生するガスは第１の排気ポート４３を介して第１の排気管４４から排気される。
【００８３】
上記のようにして、薬液処理を行った後、内チャンバ２３内にウエハＷを収容したままの状態で、ＩＰＡ供給手段６０のＩＰＡの供給ノズルを兼用する薬液供給ノズル５１から低速回転例えば１〜５００ｒｐｍで回転させた状態で所定時間例えば数十秒間ＩＰＡを供給した後、ＩＰＡの供給を停止し、その後、ロータ２１及びウエハＷを数秒間高速回転例えば１００〜３０００ｒｐｍで回転させてウエハＷ表面に付着するＩＰＡを振り切って除去する。このＩＰＡ供給工程とＩＰＡ振り切り工程を数回から数千回繰り返して薬液除去処理を完了する。この薬液除去処理においても、上記薬液処理工程と同様に、最初に供給されるＩＰＡは、循環供給タンク６１ｂ内に貯留されたＩＰＡが使用され、この最初に使用されたＩＰＡは第１の排液管４２から廃棄され、以後の処理に供されるＩＰＡは供給タンク６１ｂ内に貯留されたＩＰＡを循環供給する。そして、薬液除去処理の最後に、ＩＰＡ供給源６４から供給タンク６１ａ内に供給された新規のＩＰＡが使用されて、薬液除去処理が終了する。
【００８４】
薬液処理及びリンス処理が終了した後、内筒体２５が待機位置に後退して、ロータ２１及びウエハＷが外筒体２６によって包囲、すなわち外チャンバ２４内にウエハＷが収容される。したがって、内チャンバ２３内で処理されたウエハＷから液がしたたり落ちても外チャンバ２４で受け止めることができる。この状態において、まず、リンス液供給手段の純水供給ノズル１１１から回転するウエハＷに対してリンス液例えば純水が供給されてリンス処理される。このリンス処理に供された純水と除去されたＩＰＡは第２の排液ポート４５を介して第２の排液管４６から排出される。また、外チャンバ２４内に発生するガスは第２の排気ポート４８を介して第２の排気管４９から外部に排出される。
【００８５】
このようにして、リンス処理を所定時間行った後、外チャンバ２４内にウエハＷを収容したままの状態で、乾燥流体供給手段８０のＮ2ガス供給源８２及びＩＰＡ供給源６４からＮ2ガスとＩＰＡの混合流体を回転するウエハＷに供給して、ウエハ表面に付着する純水を除去することで、ウエハＷと外チャンバ２４内の乾燥を行うことができる。また、Ｎ2ガスとＩＰＡの混合流体によって乾燥処理した後、Ｎ2ガスのみをウエハＷに供給することで、ウエハＷの乾燥と外チャンバ２４内の乾燥をより一層効率よく行うことができる。
【００８６】
上記のようにして、ウエハＷの薬液処理、薬液除去処理、リンス処理及び乾燥処理が終了した後、外筒体２６が内筒体２５の外周側の待機位置に後退する一方、図示しないロック解除手段が動作してウエハ押え棒３２をウエハＷの押え位置から後退する。すると、ウエハ受渡ハンド２９が上昇してロータ２１の固定保持棒３１にて保持されたウエハＷを受け取って洗浄・乾燥処理装置２０の上方へ移動する。洗浄・乾燥処理装置２０の上方へ移動されたウエハＷはウエハ搬送チャックに受け取られて搬入・搬出部に搬送された後、装置外部に搬送される。
【００８７】
なお、上記洗浄・乾燥処理装置２０では、被処理体が半導体ウエハＷである場合について説明したが、ウエハＷ以外の例えばＬＣＤ基板やＣＤ等の被処理体についても適用できることは勿論である。
【００８８】
【発明の効果】
以上に説明したように、この発明の液面検出装置は、上記のように構成されているので、以下のような効果が得られる。
【００８９】
（１）請求項１記載の発明によれば、チューブ内の液面の上昇に伴ってフロートも上昇するが、そのフロートはストッパによって上方への移動が阻止されることになり、所定の位置より上方に移動することがない。また、フロートは、上方への移動の過程において位置センサによって検出されることになり、ストッパによって停止した後も位置センサによって検出され続けることになる。従って、位置センサによるフロートの検出があれば、タンクの液面が所定の位置以上のところにあり、同検出がなければ、タンクの液面が所定の位置未満のところにあると判断することができる。即ち、液面が所定の位置に対してどの位置にあるかを確実に検出することができる。
【００９０】
（２）請求項２記載の発明によれば、ストッパ、フロート及び位置センサを複数組設けているので、少なくとも各ストッパによって停止しているフロートを各位置センサで検出することができる。このため、例えば下から３番目までの位置センサがフロートを検出している場合には、この３番目に対応する所定の位置以上にタンクの液面があると判断することができる。また、全ての位置センサがフロートを検出していなければ、最下位置の位置センサに対応する所定の位置よりタンクの液面が低いと判断することができる。従って、タンクの液面の位置をより詳細に検出することができる。
【００９１】
（３）請求項１記載の発明によれば、チューブを柔軟性を有するもので構成し、このチューブの一部を内側に変形させた絞り部によってストッパを構成しているので、チューブにおける軸方向の自由な位置にストッパを構成することができる。従って、液面の位置が異なる場合や、タンクが異なる場合等にも対応することができる。
【００９２】
（４）請求項３記載の発明によれば、請求項１又は２記載の発明における絞り部をクリップによって簡単に形成することができる。従って、ストッパとなる絞り部をチューブにおける自由な位置により簡単に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の第１実施形態として示した液面検出装置及びこの液面検出装置を設置するタンクを示す断面図である。
【図２】  同液面検出装置を示す側面図である。
【図３】  同液面検出装置を示す図であり、図２のIII矢視図である。
【図４】  同液面検出装置を示す要部正面図である。
【図５】  同液面検出装置を示す図であり、図４のＶ矢視図である。
【図６】  同液面検出装置を示す図であり、図４のVI−VI線に沿う断面図である。
【図７】  同液面検出装置におけるストッパの部分を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図、（ｃ）は（ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図８】  同液面検出装置におけるクリップを示す分解正面図である。
【図９】  同液面検出装置における他のクリップを示す正面図である。
【図１０】  同液面検出装置の作用を示す図であり、（ａ）は下から３番目のストッパまで液面が上昇している状態を示す図であり、（ｂ）は最下位置のストッパまでしか液面が上昇していない状態を示す図である。
【図１１】  この発明の第２実施形態として示した液面検出装置の要部正面図である。
【図１２】  同液面検出装置を示す図であり、図１１のXII矢視図である。
【図１３】  同液面検出装置を示す図であり、図１１のXIII−XIII線に沿う断面図である。
【図１４】  この発明の参考実施形態として示した液面検出装置の要部断面図である。
【図１５】  同液面検出装置を示す図であり、図１４のXV矢視図である。
【図１６】  同液面検出装置を示す図であり、図１４のXVI−XVI線に沿う断面図である。
【図１７】  同液面検出装置における位置センサの他の例を示す図であり、（ａ）は第１の他の例を示す断面図、（ｂ）は第２の他の例を示す断面図である。
【図１８】  この発明の各実施形態で示したフロートの他の例を示す図であり、（ａ）は円柱形状のフロートを示す斜視図、（ｂ）は円筒形状のフロートを示す斜視図、（ｃ）は外周に溝を設けたフロートを示す斜視図、（ｄ）は六角柱状のフロートを示す斜視図、（ｅ）は上下の端面と側面との角部に斜め直線状のＣ面取りを形成したフロートの正面図、（ｆ）は上下の端面と側面との角部に円弧状のＲ面取りを形成したフロートの正面図である。
【図１９】  この発明の各実施形態で示した位置センサの他の例を示す図であり、図１１のXIII−XIII線に相当する位置の断面図である。
【図２０】  この発明の実施形態として示した各液面検出装置を適用する洗浄・乾燥処理装置の概略構成図である。
【図２１】  同洗浄・乾燥処理装置の概略配管図である。
【図２２】  同洗浄・乾燥処理装置の要部を示す概略構成図である。
【符号の説明】
２  外側タンク
７  位置センサ
７１  チューブ
７１ａ  ストッパ
７１ｂ  硬質管
７１ｃ  継手
７２  フロート
７３  クリップ
【図１】
0003727221.tif 000002
【図２】
0003727221.tif 000003
【図３】
0003727221.tif 000004
【図４】
0003727221.tif 000005
【図５】
0003727221.tif 000006
【図６】
0003727221.tif 000007
【図７】
0003727221.tif 000008
【図８】
0003727221.tif 000009
【図９】
0003727221.tif 000010
【図１０】
0003727221.tif 000011
【図１１】
0003727221.tif 000012
【図１２】
0003727221.tif 000013
【図１３】
0003727221.tif 000014
【図１４】
0003727221.tif 000015
【図１５】
0003727221.tif 000016
【図１６】
0003727221.tif 000017
【図１７】
0003727221.tif 000018
【図１８】
0003727221.tif 000019
【図１９】
0003727221.tif 000020
【図２０】
0003727221.tif 000021
【図２１】
0003727221.tif 000022
【図２２】
0003727221.tif 000023