(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子ビームの照射によりＸ線を放出する円盤状回転陽極と、この回転陽極が機械的に連結されたほぼ円筒状の回転体と、この回転体の内側に挿入されるとともに中心軸方向に沿って形成された潤滑剤収容室を有するほぼ円柱状の固定体と、これら回転体および固定体の間に構成され少なくとも動作中は液状である金属潤滑剤が供給された動圧式すべり軸受と、前記回転陽極、回転体および固定体の一部を内部に収容する真空容器とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、
上記固定体には該固定体の上記真空容器外に露出している端部側から上記潤滑剤収容室を避けた位置に少なくとも１個の穴が中心軸方向に沿って形成され且つ該穴内に前記固定体よりも熱伝導率の高い伝熱部材が挿入されて前記固定体と一体的に接合されていることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項２】
上記穴およびそれに挿入された伝熱部材は、複数対備えるとともに上記固定体の中心軸の方向に沿って並行して設けられている請求項１記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項３】
上記穴およびそれに挿入された伝熱部材は、上記固定体の中心軸のまわりにほぼ等間隔に設けられている請求項２記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項４】
上記固定体は、上記潤滑剤収容室から横方向に伸びて上記回転体と固定体との間の隙間に通じる潤滑剤通路を更に有し、上記穴およびそれに挿入された伝熱部材は、上記固定体の潤滑剤通路を越えて回転陽極側端部近くまで伸びている請求項１記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項５】
上記穴およびそれに挿入された伝熱部材は複数対備え、これら穴および伝熱部材は上記固定体の横方向に伸びる潤滑剤通路を越えて回転陽極側端部近くまで伸びている長い構造のものと、前記潤滑剤通路を越えない短い構造のものとが混在している請求項４記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項６】
電子ビームの照射によりＸ線を放出する円盤状回転陽極と、この回転陽極が機械的に連結されたほぼ円筒状の回転体と、この回転体の内側に挿入されるとともに中心軸方向に沿って形成された潤滑剤収容室を有するほぼ円柱状の固定体と、これら回転体および固定体の間に構成され少なくとも動作中は液状である金属潤滑剤が供給された動圧式すべり軸受と、前記回転陽極、回転体および固定体の一部を内部に収容する真空容器とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、
上記固定体には該固定体の上記真空容器外に露出している端部側から中心部に沿って穴が形成され該穴内に前記固定体よりも熱伝導率の高い伝熱部材が挿入されて前記固定体と一体的に接合されており、上記潤滑剤収容室は上記伝熱部材のまわりに該伝熱部材と並行して少なくとも１個形成されていることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項７】
上記固定体には、上記潤滑剤収容室から横方向に伸びて上記回転体と固定体との間の隙間に通じる潤滑剤通路を更に有している請求項６記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項８】
上記固定体には、スラスト方向の動圧式すべり軸受を構成するためのサークル状らせん溝が中心軸に対して垂直な面に形成されており、上記潤滑剤収容室から伸びて上記サークル状らせん溝の内側領域または外側領域の一部に開口するすくなくとも１個の潤滑剤通路を更に有している請求項６記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項９】
電子ビームの照射によりＸ線を放出する円盤状回転陽極と、この回転陽極が機械的に連結されたほぼ円筒状の回転体と、この回転体の内側に挿入されたほぼ円柱状の固定体と、これら回転体および固定体の間に構成され少なくとも動作中は液状である金属潤滑剤が供給された動圧式すべり軸受と、前記回転陽極、回転体および固定体の一部を内部に収容する真空容器とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、
上記回転体は複数の円筒状構造体によって構成され、且つ、前記複数の円筒状構造体のうち、上記固定体との間に動圧式すべり軸受を構成する内側円筒状構造体の外周壁に、前記内側円筒状構造体よりも熱伝導率の高い伝熱部材が実質的に円筒状に接合されていることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項１０】
上記内側円筒状構造体の外周壁に接合された伝熱部材と、上記内側円筒状構造体のまわりに配置されて上記回転陽極が機械的に固定された円筒状構造体との間に、断熱用の間隙が設けられている請求項９記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項１１】
上記内側円筒状構造体の外周壁に接合された伝熱部材は、前記内側円筒状構造体外周壁の円周方向に所定間隔で配置された複数の部材で構成されている請求項９記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項１２】
電子ビームの照射によりＸ線を放出する円盤状回転陽極と、この回転陽極が機械的に連結されたほぼ円筒状の回転体と、この回転体の内側に挿入されるとともに中心軸方向に沿って形成された潤滑剤収容室を有するほぼ円柱状の固定体と、これら回転体および固定体の間に構成され少なくとも動作中は液状である金属潤滑剤が供給された動圧式すべり軸受と、前記回転陽極、回転体および固定体の一部を内部に収容する真空容器とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、
上記固定体には該固定体の上記真空容器外に露出している端部側から上記潤滑剤収容室を避けた位置に少なくとも１個の穴が形成され該穴内に前記固定体よりも熱伝導率の高い伝熱部材が挿入されて前記固定体と一体的に接合されており、
上記回転体は複数の円筒状構造体によって構成され、且つ、前記複数の円筒状構造体のうち、上記固定体との間に動圧式すべり軸受を構成する内側円筒状構造体の外周壁に、前記内側円筒状構造体よりも熱伝導率の高い伝熱部材が実質的に円筒状に接合されていることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項１３】
上記固定体に設けられた少なくとも１個の固定体用伝熱部材と、上記回転体の内側円筒状構造体に設けられた回転体用伝熱部材とは、中心軸方向における相対的な位置が、少なくとも一部で重複している請求項１２記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項１４】
電子ビームの照射によりＸ線を放出する円盤状回転陽極と、この回転陽極が機械的に連結されたほぼ円筒状の回転体と、この回転体の内側に挿入されたほぼ円柱状の固定体と、これら回転体および固定体の間に構成され少なくとも動作中は液状である金属潤滑剤が供給された動圧式すべり軸受と、前記回転陽極、回転体および固定体の一部を内部に収容する真空容器とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、
上記固定体には該固定体の上記真空容器外に露出している端部側から冷却媒体を通す通路を有する固定体用伝熱部材が挿入されて一体的に接合されていると共に前記固定体用伝熱部材は封着用金属リングを介し前記真空容器に気密溶接されていることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項１５】
上記固定体用伝熱部材は、上記穴が形成された固定体よりも熱伝導率の高い材料で構成されている請求項１４記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項１６】
上記冷却媒体を通す通路は、固定体用伝熱部材の中心部に直線状に、側面にらせん状にそれぞれ形成され、且つ前記直線状冷却媒体通路およびらせん状冷却媒体通路が奥端部で連結されている請求項１４記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項１７】
電子ビームの照射によりＸ線を放出する円盤状回転陽極と、この回転陽極が機械的に連結されたほぼ円筒状の回転体と、この回転体の内側に挿入されたほぼ円柱状の固定体と、これら回転体および固定体の間に構成され少なくとも動作中は液状である金属潤滑剤が供給された動圧式すべり軸受と、前記回転陽極、回転体および固定体の一部を内部に収容する真空容器とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、
上記固定体の前記動圧式すべり軸受が設けられる第１部分が所定の第１材料で形成され、前記固定体の前記第１部分よりも前記回転陽極から遠い側に位置する第２部分が前記第１材料よりも熱伝導率の大きい第２材料で形成され、且つこれら第１部分および第２部分が一体的に接合されていることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項１８】
上記第２部分に端面側から穴が形成され、この穴内に前記第２部分の材料よりも熱伝導率の大きい伝熱部材が挿入されている請求項１７記載の回転陽極型Ｘ線管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は回転陽極型Ｘ線管に係わり、特に液体金属で潤滑される動圧式すべり軸受を備える回転陽極型Ｘ線管に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の動圧式すべり軸受を備える回転陽極型Ｘ線管およびそれを収容容器内に装着したＸ線管装置の構成について、その主要部を断面で示した図２２を参照して説明する。同図中の符号１４１は回転陽極型Ｘ線管の真空容器で、この真空容器１４１の内部に電子ビームを放出する陰極１４０や円盤状回転陽極１４２などが配置され、この円盤状回転陽極１４２の陰極１４０と対向する領域にＸ線を放出する陽極ターゲット層１４３が設けられている。
【０００３】
円盤状回転陽極１４２は、固定用ナット１４４で支持シャフト１４５に固定され、支持シャフト１４５は全体がほぼ円筒状に形成された回転体１４６に連結されている。回転体１４６は、外側円筒１４６ａ、中間円筒１４６ｂおよび有底の内側円筒１４６ｃの３層構造からなっており、中間円筒１４６ｂに支持シャフト１４５が連結されている。
【０００４】
内側円筒１４６ｃの内側には、円柱状の固定体１４７が挿入されている。この固定体１４７の表面には、ヘリンボンパターンのらせん溝１４８が形成されており、これら固定体１４７と回転体１４６との間の動圧式すべり軸受部を含む間隙部分やらせん溝１４８内に、少なくとも動作中は液状である金属潤滑剤たとえばＧａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金が供給されている。
【０００５】
同図には示されていないが、固定体１４７の中心部分には、液体金属潤滑剤を収納する潤滑剤収容室が設けられている。そして、潤滑剤収容室と動圧式すべり軸受部との間には、複数個の横方向潤滑剤通路が放射状に設けられ、潤滑剤収容室に収納された液体金属潤滑剤がこれら潤滑剤通路を通して動圧式すべり軸受部に供給されるようになっている。
【０００６】
動圧式すべり軸受を構成する回転体の内側円筒１４６ｃと固定体１４７とは、動作中に２０μ程度の軸受間隙を保つように設定されている。軸受面を形成する内側円筒１４６ｃおよび固定体１４７には、例えばＳＫＤ−１１（ＪＩＳ規定）などの鉄合金工具鋼のような金属材料が使用されている。このＳＫＤ−１１の熱伝導率は、室温で２４Ｗ／ｍ・Ｋと比較的小さい値である。
【０００７】
固定体１４７の外周部には、上下方向にある間隔で２つの段部１４９、１５０が環状に形成されている。段部１４９、１５０において固定体１４７の外径が変化しており、いずれも円盤状回転陽極１４２と反対側に位置する下端側の方が小さくなっている。下方に位置する段部１５０の外周部分に突出部１５１が環状に形成され、突出部１５１の外側に、固定体１４７を囲んで金属リング１５２が配置されている。この金属リング１５２は、内周部分と外周部分にそれぞれ環状の突出部１５３、１５４が設けられている。固定体１４７の図の下方に位置する固定体外方端部１４７ａは、真空容器１４１の外側まで伸び、回転陽極型Ｘ線管を収容容器１５５に固定する被固定部として利用される。
【０００８】
真空容器１４１は、円盤状回転陽極１４２の主要部分を包囲する金属製の径大部１４１ａ、および、回転体１４６や固定体１４７の各主要部分を包囲する径小部１４１ｂから構成されている。この径小部１４１ｂは例えばガラスで形成され、その端部に薄肉金属のシールリング１５６が接合されている。シールリング１５６は、封着用金属リング１５２の外周部分の突出部１５４とその先端部分どうしが気密溶接されている。封着用金属リング１５２の内周部分の突出部１５３および固定体１４７の段部１５０に形成された突出部１５１も、先端部分どうしが気密溶接され、こうして固定体１４７は真空容器１４１と真空気密に封着されている。真空容器１４１の径小部１４１ｂの外側には、回転体１４６に回転力を与えるステータ１５７が配置されている。このステータ１５７は、鉄芯およびそれに巻かれたコイルを備えている。
【０００９】
上記した構成の回転陽極型Ｘ線管は、その固定体端部１４７ａが絶縁体で構成された壷状の保持部材１５８の中央底部に固定されている。この保持部材１５８は、その円筒部１５８ｂの開口端部が収容容器１５５に複数のボルト１６０で固定されている。また、保持部材１５８の中央底部には、透孔が設けられており、この部分に中央透孔１５９がある独楽（こま）状の金属リング１５８ａが複数個のボルト１６１で固定されている。そして、金属リング１５８ａ中央の透孔１５９を固定体外方端部１４７ａが貫通している。
【００１０】
金属リング１５８ａの外径は真空容器１４１の内側に向かってテーパ状に細くなり固定体外方端部１４７ａと接する内周部分に環状の突出部１６２が形成されている。金属リング１５８ａに固定体の外方端部１４７ａを固定する場合、金属リング１５８ａの突出部１６２の先端面と固定体１４７の段部１５０とが接触する。
【００１１】
固定体外方端部１４７ａは、その外周壁に形成された雄ねじに螺合するナット１６３で金属リング１５８ａに締付け固定されている。ナット１６３を締付けた際、被固定部である固定体外方端部１４７ａが図の下方に引っ張られ、突出部１６２の先端面と固定体１４７の段部１６０との接触が強固になり、回転陽極型Ｘ線管は保持部材１６８に固定される。
【００１２】
回転陽極型Ｘ線管を収納する収容容器１６５の内側には、絶縁冷却油が充填され循環させられるとともに、Ｘ線を遮蔽する鉛の遮蔽部材１６４が配置されている。また、陽極ターゲット層１４３の横方向に位置する領域にＸ線を外部に取り出すためのＸ線放射窓１６５が設けられている。保持部材１５８の壷状部分１５８ｂや金属リング１５８ａには絶縁冷却油を循環させるための循環用孔が設けられ、保持部材１５９の横方向に位置する収容容器１５５の部分に絶縁冷却油を導入する導入口１６６が設けられている。この導入口１６６から供給された絶縁冷却油は、矢印Ｙで示すように回転陽極型Ｘ線管の真空容器１４１と収容容器１５５との間隙を流れるようになっている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の回転陽極型Ｘ線管の場合、回転陽極に発生する熱は、主にこの陽極から輻射で真空容器に達し、真空容器から絶縁冷却油に伝導され放散される。回転陽極が発生する熱の一部および動圧式すべり軸受の回転によって発生する自己発熱した熱は、たとえば陽極回転機構を構成する回転体に伝導し、回転体の外周面から一部が放散されるとともに、軸受を介して固定体に至り、さらに真空容器外に位置する固定体外方端部に至って管外に放散される。
【００１４】
ところで、動圧式すべり軸受部分に供給されているＧａ合金等の液体金属潤滑剤は、非常に活性であり、軸受部分が高温になると、固定体や回転体の軸受面を構成する金属材料と反応する。その結果、金属間化合物層が軸受面上に堆積され、らせん溝の深さや軸受隙間が徐々に減少して回転特性を劣化させる場合がある。また、軸受部分が高温になると、各材料からガスが発生しやすくなり、発生したガス気泡とともに液体金属潤滑剤がガスにより軸受部分から押し出されて漏出する不都合も考えられる。
【００１５】
そのため、固定体や回転体、軸受部分の温度上昇を抑えるために、例えば特開平７−１３０３１１号公報に開示されているように、固定体の芯部を高熱伝導材料で構成し、固定体に至る熱を固定体の芯部を通して真空容器外に放出させる構造が知られている。これは、主として溶融した銅を固定体の芯部に流し込んで高熱伝導体を形成するものである。そのため、固定体の製造が困難であるとともに、固定体の機械的強度が弱いものとなりやすいという問題がある。
【００１６】
また、回転陽極型Ｘ線管の真空容器外に延長された固定体の外方端部に放熱フィンを取付けてこれに絶縁油を直接当てて冷却する構成や、固定体内部に設けた空洞に冷却媒体を導入して循環させ、冷却効率を高める構成等も知られている。
【００１７】
上述のような固定体の外方端部を冷却する構成は、軸受部分から相当離れているため、十分な放熱効果が得られない傾向がある。また、固定体内部に冷却媒体を循環させる構成は、軸の内部にまで穴をあけるため固定体の機械的強度が低下する問題がある。
【００１８】
なお、動圧式すべり軸受部分の温度は、前述のように、回転陽極が発生する熱の一部および回転による軸受部分の自己発熱により、場所によって不均一になる。そのため、温度の高い部分では液体金属潤滑剤と軸受面との不所望な反応が進行してしまう場合がある。
【００１９】
この発明は、上記した欠点を解決するもので、動圧式すべり軸受部分の温度の不均一化および温度上昇を抑え、製造が比較的容易で且つとくに固定体の機械的強度が高く、長期に亙り安定な回転特性を維持できる回転陽極型Ｘ線管を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するこの発明の一つは、固定体の上記真空容器外に露出している端部側から上記潤滑剤収容室を避けた位置に少なくとも１個の穴が中心軸方向に沿って形成され且つ穴内に固定体よりも熱伝導率の高い伝熱部材が挿入されて前記固定体と一体的に接合されている回転陽極型Ｘ線管である。
【００２１】
上記の目的を達成する他の発明は、固定体には該固定体の上記真空容器外に露出している端部側から中心部に沿って穴が形成され該穴内に前記固定体よりも熱伝導率の高い伝熱部材が挿入されて前記固定体と一体的に接合されており、上記潤滑剤収容室は上記伝熱部材のまわりに該伝熱部材と並行して少なくとも１個形成されている回転陽極型Ｘ線管である。
【００２２】
上記の目的を達成するさらに他の発明は、固定体には該固定体の上記真空容器外に露出している端部側から中心部に沿って穴が形成されこの穴内に固定体よりも熱伝導率の高い伝熱部材が挿入されて前記固定体と一体的に接合されており、上記潤滑剤収容室は上記伝熱部材のまわりに該伝熱部材と並行して少なくとも１個形成されている回転陽極型Ｘ線管である。
【００２３】
上記の目的を達成するさらに他の発明は、上記固定体には該固定体の上記真空容器外に露出している端部側から冷却媒体を通す通路を有する冷却媒体流通部材が挿入されて一体的に接合されている回転陽極型Ｘ線管である。
【００２４】
上記の目的を達成するさらに他の発明は、固定体の動圧式すべり軸受が設けられる第１部分が所定の第１材料で形成され、この固定体の第１部分よりも回転陽極から遠い側に位置する第２部分が第１材料よりも熱伝導率の大きい第２材料で形成され、且つ、第１部分および第２部分が一体的に接合されている回転陽極型Ｘ線管である。
【００２５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、同一部分は同一符号であらわす。まず、図１乃至図３に示す実施例を説明する。なお、図２は図１の陽極回転体および固定体の部分を拡大して示しており、図３の（ａ）は図１および図２の３ａ−３ａにおける回転体内側円筒および固定体の横断面図を示し、図３の（ｂ）は同じく図１および図２の３ｂ−３ｂにおける同じく横断面図を示している。
【００２６】
これらの図において、符号１１は回転陽極型Ｘ線管を構成する真空容器で、図１では、その一部だけが示されている。真空容器１１内には、電子ビームを放出する陰極（図示せず）や円盤状回転陽極１２などが配置されている。円盤状回転陽極１２は、その大部分がモリブデンまたはモリブデン合金で構成され、陰極と対向する焦点領域にＸ線を放出するタングステンまたはレニウム−タングステン合金のような陽極ターゲット層１３が設けられている。
【００２７】
円盤状回転陽極１２は、固定用のナット１４で支持シャフト１５に固定され、この支持シャフト１５は回転機構の回転体１６に連結されている。回転体１６は、外側円筒１６ａ、中間円筒１６ｂおよび有底内側円筒１６ｃの３層構造になっており、中間円筒１６ｂが支持シャフト１５と連結されている。内側円筒１６ｃの下端開口部はスラストリング１８がねじ止めされている。
【００２８】
回転体の外側円筒１６ａは、外周面に熱輻射性を高める黒色膜が付着された銅で構成されている。中間円筒１６ｂは、熱伝導率が非常に小さく且つ高温でも機械的強度の高い例えば５０重量％の鉄と５０重量％のニッケルとの合金（以下、ＴＮＦ材と記す）で構成されている。また、有底内側円筒１６ｃは、内周面が軸受面となるので、比較的高硬度で且つ液体潤滑剤で侵されにくい例えば鉄合金工具鋼のＳＫＤ−１１（ＪＩＳ規定）で構成されている。
【００２９】
なお、ＴＮＦ材は熱伝導率が約１６（Ｗ／ｍ・Ｋ）で非常に小さく、これを中間円筒１６ｂに使用することにより、この中間円筒自体の熱伝達抑制効果とともに後述するその内側の断熱用間隙Ｇａの存在とも相俟って、回転陽極から軸受部分への熱伝達を小さく抑えることができる。またこのＴＮＦ材は、熱膨張率が約１０×１０−６／℃であり、内側円筒のＳＫＤ−１１に近い値である。
【００３０】
内側円筒１６ｃと中間円筒１６ｂとは、円盤状回転陽極１２から熱伝導経路的に遠い同図のやや下方部分でろう接等により連結され、残りの部分すなわちこれら内側円筒１６ｃの外周面と中間円筒１６ｂとの間には断熱用の第１の間隙Ｇａが設けられている。
【００３１】
また、中間円筒１６ｂと外側円筒１６ａとは、円盤状回転陽極１２に近い嵌合部分でろう接等により連結され、残りの部分すなわちこれら両円筒間の下方部分には断熱用の第２の間隙Ｇｂが設けられている。
【００３２】
内側円筒１６ｃの外周壁の一部すなわち断熱用間隙Gａが設けられた部分の下端近くには、第１の段部Ｔ１が設けられている。この第１段部Ｔ１よりも上方に位置する内側円筒１６ｃの第１部分Ａｐは、第１段部Ｔ１よりも下方に位置する内側円筒１６ｃの第２部分Ａｑよりも外径が小さく形成されている。
【００３３】
そして、この固定体の外径の小さい第１部分Ａｐの外周壁には、図３の（ａ）にも示すように、回転体用伝熱部材１９が例えばろう付によって実質的に円筒状となるように接合されている。これら伝熱部材１９の接合部を符号Ｂであらわしている。回転体用伝熱部材１９の厚さは、その外周面と第２部分Ａｑの外周面が面一になる寸法に設定されている。この実施例において、回転体用伝熱部材１９は、円筒状となる部材を円周方向に４分割した同じ大きさの円弧状板材を、隣接する板材どうしの間に所定の微小間隔ｇを持たせて配置している。そして、この回転体用伝熱部材１９は、内側円筒１６ｃよりも熱伝導率の大きい材料、たとえばタングステン焼結材料に銅を３５重量％溶浸させた複合材料によって形成されている。
【００３４】
内側円筒１６ｃの内周面の一部、たとえば第１段部Ｔ１よりも下方に第２の段部Ｔ２が形成されている。この第２の段部Ｔ２よりも上方に位置する内側円筒１６ｃの第２の部分Ａｑは、第２段部Ｔ２よりも下方に位置する内側円筒１６ｃの第３部分Ａｒよりも内径が小さく形成されている。
【００３５】
さて、内側円筒１６ｃの内側には、ほぼ円柱状の固定体１７が挿入されている。固定体１７の下方端部１７ａは、スラストリング１８の中央開口部分を貫通し、封着用金属リング２０に一部が固定されるとともに、さらに、真空容器１１の外側まで伸びている。固定体１７の下端部すなわち円盤状回転陽極１２と反対側の外方端部１７ａは、この回転陽極型Ｘ線管を収容容器（図示せず）に固定する被固定部として利用される。固定体１７は封着用金属リング２０の内側に気密溶接され、封着用金属リング２０の外側が、真空容器１１に固定された薄肉金属のシールリング２２と気密溶接され、固定体１７は真空容器１１に真空気密に封着されている。
【００３６】
固定体１７の外周面の一部には、２組のヘリンボンパターンのらせん溝２３ａ、２３ｂが形成され、回転体１６と固定体１７との間にラジアル方向の動圧式すべり軸受を形成している。上下のらせん溝２３ａ、２３ｂに挟まれた領域の固定体１７の外周面には、液体金属潤滑剤の一部を貯蔵する凹部２４が形成されている。回転体１６の内側円筒１６ｃと固定体１７との間には、動作中に２０μ程度の軸受間隙を含む隙間が保たれるようになっている。
【００３７】
また、内側円筒１６ｃの円盤状回転陽極１２側の底面と、この底面に近接して対面する固定体１７の上端面、および固定体１７の第２段部Ｔ２の下面とこれに近接して対面するスラストリング１８の上面にも、それぞれサークル状のヘリンボンパターンのらせん溝２５ａ、２５ｂが形成され、スラスト方向の動圧式すべり軸受が形成されている。
【００３８】
相互に嵌合し且つ近接した部分に動圧式すべり軸受を構成する回転体の内側円筒１６ｃ、固定体１７およびスラストリング１８は、例えば前述のようなＳＫＤ−１１で構成されている。
【００３９】
固定体１７の中心部分には、液体金属潤滑剤を収納する潤滑剤収容室２６が回転中心軸Ｃの方向に沿って形成された穴によって構成されており、この潤滑剤収容室２６の上端は固定体１７の上端面において開口している。潤滑剤収容室２６と固定体１７の外周面に設けられた凹部２４との間には、潤滑剤収容室２６の延長方向と相違する方向に分岐する３個の横方向の潤滑剤通路２７が約１２０度間隔で放射状に形成されている。
【００４０】
なお、潤滑剤通路は、凹部２４に通じる部分の限られず、各らせん溝の動作中の潤滑剤圧力が相対的に低くなる領域またはその近傍に開口するように適宜の位置に適宜の数を形成してもよい。そして、回転体１６、固定体１７、スラストリング１８の相互間の軸受間隙を含む隙間やらせん溝２３ａ、２３ｂ、さらに潤滑剤収容室２６や潤滑剤通路２７、２４凹部には、少なくとも動作中は液状である金属潤滑剤たとえばＧａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金が供給されている。こうして、Ｘ線管の動作中、潤滑剤収容室２６に収納された液体金属潤滑剤は、その開口や潤滑剤通路、凹部等を経て動圧式すべり軸受部分に供給される。
【００４１】
そこで、固定体１７には、図３の（ａ）および同（ｂ）にも示すように、予め、円盤状回転陽極１２と反対側に位置する外方端部１７ａの先端面から中心軸Ｃの方向に沿って長さの相違する２組の穴、すなわち管軸方向に沿う長さの長い３個の第１組の穴２８ａ、およびそれよりも短い長さの３個の第２組の穴２８ｂが設けられ、これらの各組の穴２８ａ、２８ｂに、それぞれ第１組の固定体用伝熱部材２９ａ、第２組の固定体用伝熱部材２９ｂが各々密に嵌合され、且つ、各組の穴２８ａ、２８ｂの内面に例えばろう付により一体的に接合されている。これら伝熱部材２９の接合部を同様に符号Ｂであらわしている。
【００４２】
そして、各組の穴２８ａ、２８ｂ、およびそれに挿入して接合された各組の伝熱部材２９ａ、２９ｂは、固定体中の潤滑剤収容室２６を避けて中心軸Ｃから半径方向に変位した位置で且つ円周方向に約１２０度間隔に設けられている。しかも、第１組の穴２８ａおよび伝熱部材２９ａは、各潤滑剤通路２７を避けた位置に設けられ、この潤滑剤通路２７を越えてさらに円盤状回転陽極１２の方の固定体端部近くまで伸びている。第２組の穴２８ｂおよび伝熱部材２９ｂは、円周方向の位置においては潤滑剤通路２７の位置に対応するがこの潤滑剤通路２７には届かないように、潤滑剤通路２７の手前まで設けられている。
【００４３】
第１組および第２組の穴２８ａ、２８ｂに嵌合される各固定体用伝熱部材２９ａ、２９ｂは、固定体１７よりも熱伝導が良好な材料、たとえば銅（Ｃｕ）で形成されている。固定体１７と銅とは熱膨張特性に相違があるが、この場合、銅の直径が小さく且つろう付されているため、熱応力差による実用上の問題は生じない。
【００４４】
なお、固定体用伝熱部材２９ａ、２９ｂを形成する材料には、回転体用伝熱部材１９と同様、タングステン焼結材料に銅を３５重量％溶浸させた複合材料などを使用することもできる。タングステンと銅とはほとんど固溶し合わないため、タングステンに対する銅の重量比が増加すると、複合材料としての熱伝導特性や熱膨張特性は銅単体の特性に近づいていく。したがって、銅の重量比を調整すれば、回転体用伝熱部材１９や固定体用伝熱部材２９ａ、２９ｂの熱膨張特性を、ＳＫＤ１１など軸受部分を構成する材料の熱膨張特性に近似させることができる。このような複合材料としては、たとえば（株）東芝製の電気接点材料「エルゴナイト」（商標）も適する。
【００４５】
以上説明した回転陽極型Ｘ線管は、図２２に示したように収容容器内に収容し、固定体外方端部１７ａの雄ねじ１７ｂを保持部材の金具に通し、ナットにより締付けて固定し、Ｘ線管装置として動作に供することができる。なお、固定体外方端部１７ａを余分に長く形成しておき、その先端部に放熱フィンを取付けて放熱性を更に高めるようにしてもよい。或いはまた、各固定体用伝熱部材２９ａ、２９ｂを固定体外方端部１７ａの端面よりも余分に長く構成しておき、その先端部に放熱フィンを取付けたり、または絶縁冷却油を直接吹き付けるように構成して放熱性を更に高めてもよい。
【００４６】
ここで、良好な熱伝導特性をもつ主な材料を軸受構成材料とともに図４の表に示す。この図４の表から明らかなように、伝熱部材に適する材料としては、熱伝導率が比較的高い銅がある。なお、銅は軸受を構成する材料たとえばＳＫＤ−１１と熱膨張率が相違している。そのため、回転体用伝熱部材や固定体用伝熱部材に銅を用いると回転体や固定体の形状、寸法関係によっては、使用時（例えば約２２０℃）、あるいは、軸受部品の真空脱ガス時（例えば約７５０℃）に熱応力が高くなり、回転機構を構成する部品を変形させ、寸法不良の原因になる場合も考えられる。それに対して、タングステン６５重量％、銅３５重量％の複合材料を使用した場合は、熱膨張率がＳＫＤ−１１の値に近く、部品の寸法不良が減少し、同時に、高い熱伝導効果が得られる。
【００４７】
上記した構成によれば、各軸受け部分に比較的近接して配置された回転体内側円筒の外周面の回転体用伝熱部材や、固定体に設けた穴に挿入され一体的に接合された固定体用伝熱部材によって、軸受部分に伝わる熱や軸受部分で自己発生する熱による各軸受部分の温度が速やかに均一化されるようになる。そして、この軸受部分の熱を固定体の外方端部の方に効率よく伝達して真空容器外に放散させ、軸受部分の温度上昇を抑えることができる。とくに、回転体用伝熱部材および固定体用伝熱部材は、軸方向において少なくとも一部が重なり合う位置関係になっているため、軸受部分が実質的に高熱伝導材で挾持される形になり、軸受部分の温度の均一化、および外部への熱放散性が高くなる。
【００４８】
その結果、らせん溝や軸受隙間の寸法変化が抑制され、長期に亙り安定な回転特性を維持できる回転陽極型Ｘ線管が得られる。また、真空容器外に位置する固定体外方端部を含む固定体は、一部の穴に固定体用伝熱部材が嵌合されているものの、固定体用伝熱部材に占める割合を小さく抑えることや、伝熱部材を固定体に一体的に固着することにより、固定体の機械的強度が十分維持される。
【００４９】
図５に示す実施例は、回転体用伝熱部材１９として、円周方向に１２分割した円弧状板材を、回転体内側円筒１６ｃの外周壁にろう接等により固着して実質的に円筒状としたものである。なお、図５は図３（ａ）に対応する位置の回転体内側円筒および固定体の横断面図であり、重複する説明は省略する。
【００５０】
ここで、回転体用伝熱部材１９の分割数を多くした場合の効果について説明する。回転体用伝熱部材１９には、たとえばタングステン焼結材料に銅を３５重量％溶浸させた複合材料が用いられる。このような複合材料の熱膨張率は、図４に示すように、低温では軸受部の構成材料であるＳＫＤ−１１に近い値である。しかし、温度が上昇すると、伝熱部材の方がＳＫＤ−１１よりも熱膨張率が僅かながら大きくなる。そのため、内側円筒１６ｃに回転体用伝熱部材１９をろう付する場合、あるいは、軸受組み立て部品として高温脱ガス処理をする場合などに熱応力が発生し、内側円筒１６ｃの円筒構造部分が圧縮力を受けて変形することがある。
【００５１】
このような変形は、通常、分割された回転体用伝熱部材１９どうしの隙間Ｇａの谷部分に応力が集中して発生し、内側円筒１６ｃの肉厚が薄いほど変形が起き易い。しかし、回転体用伝熱部材１９の分割数が多くなると、回転体用伝熱部材１９どうしの多数の隙間ｇの谷に熱応力が分散される。その結果、熱応力の過大な局部集中が緩和され、内側円筒１６ｃの円筒構造部分の変形が抑制される。
【００５２】
上記の実施形態では、回転体用伝熱部材１９を円周方向に多分割した構造の例で説明している。しかし、回転体用伝熱部材１９としては、断面が矩形のたとえば同一形状の角棒を内側円筒の外周面に等間隔に多数並べた構造、あるいは、円筒状構造の表面に多数のスリット状の溝を軸方向に等間隔に設けた構造などを用いることもできる。或いはまた、回転体内側円筒の直径が比較的小さい場合には、回転体用伝熱部材１９を単一の円筒体で構成することもできる。
【００５３】
次に、図６に示す実施例を説明する。図示しない円盤状回転陽極が固定された支持シャフト１５は回転体５４に連結されている。この回転体５４は、前述の実施例と同様に、外側円筒５４ａ、中間円筒５４ｂおよび有底内側円筒５４ｃの３層円筒状構造で構成されている。内側円筒５４ｃの下端開口にはスラストリング５９がねじ止めされている。
【００５４】
回転体の外側円筒５４ａは、前述の実施例と同様に、外周面に黒色膜が付着された銅で構成され、中間円筒５４ｂはＴＮＦ材で構成され、有底内側円筒５４ｃおよびスラストリング５９はＳＫＤ−１１で構成されている。
【００５５】
内側円筒５４ｃの外周面の一部に段部Ｔ１が設けられている。内側円筒５４ｃは、段部Ｔ１の上方部分Ａｐの方が、段部Ｔ１の下方部分Ａｑよりも外径が小さく形成され、外径の小さい上方部分Ａｐの外周面に円筒又は複数個に分割した厚肉の回転体用伝熱部材５６がろう接等により一体接合されている。
【００５６】
回転体用伝熱部材５６の半径方向の厚さは、その外周面と下方部分Ａｑの外周面が面一になる寸法に設定されている。回転体用伝熱部材５６は、内側円筒５４ｃよりも熱伝導率が大きい材料、たとえばタングステン焼結材料に銅を溶浸させた複合材料（例えば、タングステン６０重量％、銅４０重量％）によって形成されている。
【００５７】
また、段部Ｔ１よりも下方の内側円筒５４ｃの内周面の一部に段部Ｔ２が設けられている。内側円筒５４ｃは、段部Ｔ２の上方部分Ａｑの方が、段部Ｔ２の下方部分Ａｒよりも内径が小さくなっている。そして、内側円筒５４ｃの内部空間に、狭い軸受間隙を保って固定体５５が嵌め込まれている。
【００５８】
固定体５５は、回転体５４の内側円筒５４ｃの空間に合わせて、外径が小さい第１径小部５５ｗ、第１径小部５５ｗよりも外径が大きい径大部５５ｘ、および径大部５５ｘよりも外径が小さい第２径小部５５ｙなどから構成されている。第１径小部５５ｗと径大部５５ｘとの境界、および、径大部５５ｘと第２径小部５５ｙとの境界に、それぞれ段部Ｚ１、Ｚ２が形成されている。
【００５９】
そこで、固定体５５には、固定体外方端部５５ｂの端面から径大部５５ｘの部分まで、予め、中心軸Ｃの部分に軸方向に沿って内径の比較的大きい穴５５ａが設けられ、その穴５５ａに固定体用伝熱部材５７が密に嵌合され、例えばろう付により接合されている。固定体用伝熱部材５７は、固定体５５よりも熱伝導率が大きい材料、たとえばタングステン焼結材料に銅を溶浸させた複合材料（タングステン６５重量％、銅３５重量％）で形成されている。
【００６０】
固定体５５の第１径小部５５ｗの側面には、上下の２つの領域にヘリンボンパターンのらせん溝５８ａ、５８ｂが形成され、回転体５４との間にラジアル方向の動圧式すべり軸受を形成している。内側円筒５４ｃの段部Ｔ１と対向する段部Ｚ１、および、回転体５４の下端部にねじ止めされるとともに段部Ｚ２の面に接するスラストリング５９の上面にも、それぞれサークル状のヘリンボンパターンらせん溝６０ａ、６０ｂが形成され、回転体５４との間にスラスト方向の動圧式すべり軸受を形成している。この実施例は、各動圧式すべり軸受部の直径を、図１および図２に示した実施例に比べて小さく構成し、それによってＸ線管の回転動作時の軸受抵抗が小さくなるようにして、より高速回転で動作させるのに適するものである。
【００６１】
固定体５５の中心部分には、液体金属潤滑剤を収納する潤滑剤収容室６１が中心軸Ｃの方向に沿って設けられている。潤滑剤収容室６１に上端は、固定体５５の上端面に開口し、潤滑剤収容室６１と動圧式すべり軸受との間には、潤滑剤収容室６１から分岐した横方向潤滑剤通路６２が固定体５５の放射状に設けられている。潤滑剤収容室６１に収納された液体金属潤滑剤は、上端の開口や潤滑剤通路６２を経て動圧式すべり軸受部に供給されるようになっている。
【００６２】
なお、スラストリング５９の下方には、液体金属潤滑剤が真空空間側に漏れないように、回転部分に連結された第１トラップリング６３および固定部分に連結された第２トラップリング６４が設けられ、第２トラップリング６４は封着用金属リング６５に固定されている。なお、固定体外方端部５５ｂの外周壁には、締付け固定用の雄ねじ５５ｃが形成されている。
【００６３】
上記した構成によれば、回転体５４の内側円筒５４ｃに回転体用伝熱部材５６が接合され、また、固定体５５の端面に設けられた穴に固定体用伝熱部材５７が接合され、これら回転体用伝熱部材５６や固定体用伝熱部材５７を、熱伝導の良好な材料、たとえばタングステン焼結材料に銅を溶浸させた複合材料で形成している。
【００６４】
したがって、回転体に伝導する熱や軸受部分で発生する熱は、各軸受け部分間で速やかに分散されて温度が均一化されるようになるとともに、固定体５５などを通して管外に効率よく放散されて、軸受部分の温度上昇が抑えられる。また、真空容器外に延長された固定体外方端部に形成された穴に、固定体用伝熱部材が挿入されているものの、固定体外方端部占める固定体用伝熱部材の横断面積の割合を小さく抑えることや、ろう接等で一体結合することにより、固定体の機械的強度は十分維持される。
【００６５】
なお、複合材料を形成するタングステンと銅はほとんど固溶し合わない。そのため、タングステンに対する銅の重量比が増加すれば、複合材料としての熱伝導特性や熱膨張特性は銅単体の特性に近づいていく。したがって、銅の重量比を調整すれば、回転体用伝熱部材や固定体用伝熱部材の熱膨張特性を、ＳＫＤ−１１など軸受部分の材料の熱膨張特性に近づけることができる。
【００６６】
たとえば、タングステン６５重量％、銅３５重量％の複合材料を用いた場合、熱膨張率がＳＫＤ１１に近い値となり、回転体の内側円筒５４ｃと回転体用伝熱部材５６の接合部分、および、固定体５５と固定体用伝熱部材５７との接合部分に発生する熱応力が小さくなり、熱膨張率の相違による部品の変形などが防止され、同時に、高い熱伝導効果が得られる。
【００６７】
ここで、固定体５５の外方端部５５ｂにおける高熱伝導効果について説明する。たとえば図６において、固定体用伝熱部材５７の外径Ｄ２を固定体５５の隣接部分の外径Ｄ１の１／２とし、固定体５５の熱伝導率をｋ１（ＳＫＤ１１の場合、２４Ｗ／ｍ・Ｋ）、その横断面積をＳ１、固定体用伝熱部材５７の熱伝導率をｋ２（＝２４０Ｗ／ｍ・Ｋ）、その横断面積をＳ２とすると、固定体５５の外方端部５５ｂにおける有効熱伝導率ｋは、
0003663111.tif 000002
となる。
【００６８】
式（１）をｋ１やｋ２の値を使って計算すると、ｋ＝７８Ｗ／ｍ・Ｋとなり、固定体用伝熱部材５７を設けた場合は、これを設けない場合の約３．３倍の冷却効果が得られる。
【００６９】
次に、軸受部における熱伝導効果について説明する。図６において、回転体用伝熱部材５６や固定体用伝熱部材５７がなく、これらの部分も内側円筒５４ｃと同じ材料で形成されているとした場合、その熱伝導は、内側円筒５４ｃと同じ外径Ｄ３のＳＫＤ１１（熱伝導率ｋ１＝２４Ｗ／ｍ・Ｋ）の中実円柱として計算される。また、内側円筒５４ｃの外周部に回転体用伝熱部材５６を設けた構造（図６）の場合は、たとえば、内側円筒５４ｃの外周部に内径がＤ２（＝０．６×Ｄ３）で、外径がＤ３の回転体用伝熱部材（熱伝導率ｋ２＝２４０Ｗ／ｍ・Ｋ）が接合されているとして計算される。
【００７０】
このとき、回転体用伝熱部材５６が接合されている場合の有効熱伝導率ｋは、固定体の場合と同様に、
ｋ＝（ｋ２・（Ｄ３2−Ｄ２2 ）＋ｋ１・Ｄ２2 ）／Ｄ３2   ……（２）
となる。
【００７１】
式（２）のｋの値を計算すると、ｋ＝１６２Ｗ／ｍ・Ｋとなる。この値は、軸受部の材質を全てモリブデン（ｋ＝１４７Ｗ／ｍ・Ｋ）に替えた場合よりも高い熱伝達効果および放熱効果が得られる。したがって、各軸受部分の温度の均一化がより効率的になされる。
【００７２】
また、２種の材料を組み合わせた場合に、それぞれの材料に高温時に発生する熱応力σは、ヤング率をＥ、２種の材料の熱膨張率差を△α、常温との温度差を△Ｔとすると、σ＝Ｅ・△α・△Ｔで表わされる。
【００７３】
図６の構造で、使用時の温度である約２２０℃（△Ｔ＝２００℃）、軸受の真空脱ガス処理時の温度である７５０℃（△Ｔ＝７３０℃）の場合について、上記のσが、各温度での材料の引張り強度よりも小さければ、熱変形が発生する問題は生じない。そのために、△αが十分小さくなる材料の組み合わせを選択することが必要となる。たとえば、軸受材料がＳＫＤ１１の場合は、接合する高熱伝導材料として、タングステン６５重量％、銅３５重量％の複合材料を選択することにより、熱変形の問題を解決できる。
【００７４】
図７に示す実施例は、図６に示した実施例と類似した構造において、回転体用伝熱部材５６を固定体径大部５５ｘの近くまで延長して固定し、また、固定体用伝熱部材５７を固定体径大部５５ｘの内側まで延長して設けたものである。なお、図６と同一部分は同一符号であらわし、重複する説明を省略する。
【００７５】
この実施例によれば、固定体の機械的強度をほとんど損なうことなく、図６の場合よりも軸受部分の放熱性をさらに高めることができる。
【００７６】
図８に示す実施例は、図７に示した実施例と類似した構造において、固定体用伝熱部材５７を固定体径大部５５ｘの内側を通過して回転体用伝熱部材５６の図示下方側の一部の内側領域まで延長して設けたものである。これによって、回転体用伝熱部材５６と固定体用伝熱部材５７とは、軸方向に沿う距離Ｌｏにわたって実質的に重複して位置するようになっている。なお、図７と同一部分は同一符号であらわし、重複する説明を省略する。
【００７７】
この実施例によれば、回転体用伝熱部材５６と固定体用伝熱部材５７とが一部で実質的に重複するようになっているため、図７の場合よりも軸受部分の温度の均一化および放熱性をさらに高めることができ、且つ固定体の機械的強度もほとんど損なうことがない。
【００７８】
次に、図９乃至図１１に示す実施例を説明する。図示しない円盤状回転陽極が固着された支持シャフト１５は、回転体７６の中間円筒７６ｂに連結されている。回転体７６は、外側円筒７６ａ、中間円筒７６ｂおよび有底内側円筒７６ｃの３層構造になっており、内側円筒７６ｃの下端開口にはスラストリング７８がねじ止めされている。
【００７９】
回転体の外側円筒７６ａは、前述の実施例と同様に、外周面に黒色膜が付着された銅で構成され、中間円筒７６ｂはＴＮＦ材で構成され、有底内側円筒７６ｃおよびスラストリング７８はＳＫＤ−１１で構成されている。
【００８０】
回転体内側円筒７６ｃの外周面の一部、たとえば中間円筒７６ｂとの間に断熱間隙Ｇａが設けられている領域に、第１段部Ｔ１が設けられている。第１段部Ｔ１よりも上方に位置する内側円筒７６ｃの第１部分Ａｐは、第１段部Ｔ１よりも下方に位置する内側円筒７６ｃの第２部分Ａｑよりも外径が小さく形成されている。外径の小さい第１部分Ａｐの外周部分に、回転体用伝熱部材７９がろう付によって実質的に円筒状に接合されている。回転体用伝熱部材７９の厚さは、その外周面と第２部分Ａｑの外周面が面一になる寸法に設定されている。なお、回転体用伝熱部材７９は、内側円筒７６ｃよりも熱伝導が良好な材料、たとえばタングステン焼結材料に銅を３５重量％溶浸させた複合材料で形成されている。
【００８１】
回転体内側円筒７６ｃの内周面の一部、たとえば第１段部Ｔ１よりも下方には、第２段部Ｔ２が形成されている。第２段部Ｔ２よりも上方に位置する内側円筒７６ｃの第２部分Ａｑは、第２段部Ｔ２よりも下方に位置する内側円筒７６ｃの第３部分Ａｒよりも内径が小さく形成されている。
【００８２】
そして、回転体内側円筒７６ｃの内側には、動作中に２０μ程度の軸受間隙を保つようにほぼ円柱状の固定体７７が挿入されている。固定体７７の下方部分はスラストリング７８の中央孔を貫通し、封着用金属リング８０に一部が固定され、さらに、固定体外方端部７７ａが真空容器７１の外側まで伸びている。この固定体外方端部７７ａは、外周壁に締付け固定用の雄ねじ７７ｂを有し、この回転陽極型Ｘ線管を収容容器（図示せず）に固定する被固定部として利用される。封着用金属リング８０は、真空容器７１に一端が固定された薄肉金属のシールリング８２と気密溶接され、同時に、固定体７７と気密溶接されている。
【００８３】
そこで、真空容器外に位置する固定体外方端部７７ａの下端面からその中心部分に中心軸Ｃの方向に沿って比較的内径の大きい穴Ｈが予め形成されている。この穴Ｈの上端は固定体７７の上端面の近くまで伸びている。
【００８４】
固定体７７の外周面には、２組のらせん溝８３ａ、８３ｂが形成され、ラジアル方向の動圧式すべり軸受が形成されている。これら２組のらせん溝８３ａ、８３ｂに挟まれた領域の固定体７７の外周面に、液体金属潤滑剤の一部を貯蔵する凹部８４が形成されている。また、内側円筒７６ｃの回転陽極側の底面と接する固定体７７の上端面、およびスラストリング７８の上面にもそれぞれらせん溝８５ａ、８５ｂが形成され、スラスト方向の動圧式すべり軸受が形成されている。
【００８５】
また、固定体７７の中心部に形成された穴Ｈを避けたまわりには、内部に液体金属潤滑剤を収容する潤滑剤収容室８６が軸方向に沿い且つ円周方向に９０度間隔で４個形成されている。これら潤滑剤収容室８６の上端は固定体７７の上端面に開口している。潤滑剤収容室８６の下端には、らせん溝８３ｂよりも下方に位置する部分のらせん溝の端部および軸受間隙へと通じる４個の第１潤滑剤通路９０ａが分岐して放射状に形成されている。さらに、潤滑剤収容室８６と固定体７７の外周面に設けられた凹部８４との間にも、固定体７７の４個の第２潤滑剤通路９０ｂが放射状に形成されている。さらにまた、潤滑剤収容室８６と固定体７７の上端面に開口９５を持つ小さい孔と連結して４個の第３潤滑剤通路９０ｃが固定体７７の穴Ｈのない部分を横方向に貫通するように放射状に形成されている。なお、４個の潤滑剤収容室８６は、固定体７７の上端面のサークル状ヘリンボンパターンらせん溝８５ａの外周領域に開口し、中央の開口９５はらせん溝８５ａのない中心軸部分に位置している。
【００８６】
これら潤滑剤収容室８６や、各潤滑剤通路、回転体７６と固定体７７の軸受間隙部分、凹部８４、らせん溝８３ａ、８３ｂ内には、動作中に液状である金属潤滑剤たとえばＧａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金が供給されている。
【００８７】
そして、上記した構成の固定体７７の穴Ｈの内部には、図１１に示すように、固定体用伝熱部材９１が挿入され、穴Ｈの内面に例えばろう接によって一体的に接合されている。固定体用伝熱部材９１には、固定体７７よりも熱伝導率の高い例えばタングステン６５重量％、銅３５重量％の複合材料などが使用される。
【００８８】
上記した構成によれば、熱伝導率が高く且つボリウムの大きい固定体用伝熱部材９１が固定体７７の中心部の穴に密に嵌合され、ろう接等により一体的に接合されている。しかも、回転体用用伝熱部材７６ｃと固定体用伝熱部材９１とは、軸方向に沿って比較的長い距離にわたって実質的に重複した形で位置している。このため、各軸受部分の温度の均一化および固定体を通して良好な熱伝達特性が得られ。こうして、軸受部分の熱は効率よく管外に放散され、軸受部分の温度上昇が抑えられる。また、固定体７７の穴に固定体用伝熱部材９１が密に嵌合され固着される構造であるため、固定体７７の機械的強度も十分維持される。
【００８９】
次に、図１２および図１３に示す実施例を、図９乃至図１１と同一部分は同一符号であらわし、重複を避けて説明する。この実施例は、固定体７７の中心部分に設けられた穴Ｈの内部に、内側円筒７６ｃよりも良好な熱伝導材料、たとえばタングステン６５重量％、銅３５重量％の複合材料などで形成された固定体用伝熱部材１０１が挿入され、穴Ｈの内面に例えばろう付により一体的に接合されている。固定体用伝熱部材１０１には、その中心部分に冷媒通路１０１ａが中心軸Ｃの方向に沿って設けられ、また、外周部分にはらせん状に冷媒通路１０１ｂが設けられている。
【００９０】
両冷媒通路１０１ａ、１０１ｂは、図の上端側で連結され、真空容器７１外に位置する雄ねじ７７ｂを有する固定体端部７７ａのさらに図示下端部に位置する両冷媒通路端には、絶縁油等の冷却媒体を導入する導入パイプ１０２ａ、冷却媒体を導出する導出パイプ１０２ｂがそれぞれ設けられている。
【００９１】
上記した構成において導入パイプ１０２ａから冷却媒体が導入される。冷却媒体は、冷媒通路１０１ａを通り、その後、固定体７７の穴Ｈの内面と固定体用伝熱部材１０１との間に形成された軸受部に近いらせん状冷媒通路１０１ｂを通り、導出パイプ１０２ｂから外部へと導出される。このとき、軸受部分の熱は、固定体用伝熱部材１０１自体で外部に放散されるとともに、冷媒通路を通る冷却媒体によっても放散される。そのため、軸受部分の温度上昇が一層抑制される。また、固定体７７の穴に固定体用伝熱部材１０１が密に嵌合されて一体的に接合された構造であるため、固定体７７の機械的強度も十分維持される。
【００９２】
なお、固定体７７の穴Ｈに挿入する前の固定体用伝熱部材１０１は、予め、図１３のように加工しておく。すなわち、固定体用伝熱部材１０１は、中心部分に軸方向に直線状の冷媒通路１０１ａが形成され、外周部分にらせん状の冷媒通路１０１ｂが形成されている。なお、固定体用伝熱部材１０１は、固定体７７と同様の材質のもので構成してもよい。
図１４に示す実施例は、図１２および図１３に示した実施例と類似した構造において、冷媒通路を有する固定体用伝熱部材１０１を固定体の外方端部分と一体化したものである。なお、図１２および図１３と同一部分は同一符号であらわし、重複する説明を省略する。
【００９３】
この実施例における固定体用伝熱部材１０１は、予め固定体７７に開けられた穴Ｈの内部に挿入される部分と、固定体外方端部７７ａとなる部分とが一体物で構成され、スラストリング７８の内側部分の位置に直径が変えられた段部が設けられている。そして、この段部から図の上側径小部分の外周壁に、らせん状の冷媒通路１０１ｂが形成されている。固定体外方端部７７ａの部分には、らせん状冷媒通路１０１ｂに通じる直線状の冷媒通路１０１ｃ、および中心部分の直線状冷媒通路１０１ａが平行に形成されている。
【００９４】
この固定体用伝熱部材１０１は、固定体７７の穴Ｈの内部に径小部が密に挿入されるとともにスラストリング７８の内側部分の下端面に段部の面が突き当てられ、例えばろう接或いは摩擦圧接等により固定体７７と一体的に接合される。なお、段部の接合面１１５ｃは、摩擦圧接により高温での接合強度を十分高め、固定体外方端部７７ａによりこのＸ線管を収容容器に安定して固定できるようにすることが望ましい。
【００９５】
この実施例によれば、軸受部分の熱を固定体用伝熱部材１０１により一層効率よく外部に放散させることができ、且つ機械的強度を十分維持することができる。とくに、軸受部分から離れている固定体外方端部７７ａに形成された冷媒通路１０１ａ，１０１ｃは直線状であるため、冷媒の流通抵抗が小さくなり、冷媒による放熱作用が増強される利点がある。
【００９６】
図１５に示す実施例は、図７に示した実施例と類似した構造において、回転体用伝熱部材として冷媒循環通路１０１ａ，１０１ｂを有する円柱状伝熱部材１０１を固定体の穴５５ａに挿入し、例えばろう接により接合したものである。そして、円柱状伝熱部材１０１の上端は、固定体径大部５５ｘの内側領域、すなわち回転体用伝熱部材５６に比較的近接した位置まで延長して固定されている。なお、図７と同一部分は同一符号であらわし、重複する説明を省略する。
この実施例によれば、固定体の機械的強度をほとんど損なうことなく、軸受部分の熱放熱性を高めることができる。
【００９７】
次に図１６に示す実施例を説明する。図示しない円盤状回転陽極が固定された支持シャフト１５は回転体１１４に結合されている。回転体１１４は、たとえば外側円筒１１４ａ、中間円筒１１４ｂ、および有底内側円筒１１４ｃの３層構造である。回転体の外側円筒１１４ａは、前述の実施例と同様に、外周面に黒色膜が付着された銅で構成され、中間円筒１１４ｂはＴＮＦ材で構成され、有底内側円筒１１４ｃはＳＫＤ−１１で構成されている。
【００９８】
そして、回転体１１４の内部空間には、狭い軸受間隙を保って円柱状の固定体１１５が嵌め込まれている。この固定体１１５は、図示しない回転陽極側に位置する第１固定体部分１１５ａ、および、第１固定体部分１１５ａよりも図示下端側のやや径小な第２固定体部分１１５ｂの２つの部分から構成されている。第１固定体部分１１５ａは軸受に適したＳＫＤ１１などの材料で形成され、第２固定体部分１１５ｂは、ＳＫＤ１１よりも熱伝導率が高い、たとえば炭素を０．５％含む低炭素鋼などで形成されている。この第２固定体部分１１５ｂは、外方端部を有し、その外周壁に雄ねじ１１５ｄが形成されている。
【００９９】
第１固定体部分１１５ａには、回転体１１４の下端開口部にねじ止めされるスラストリング１１６の上面に沿って段部Ｓが形成されている。第１固定体部分１１５ａと第２固定体部分１１５ｂとは、スラストリング１１６の内側部分に位置する接合面１１５ｃおいて、摩擦圧接等の高温圧接、フラッシュ溶接等の突合わせ抵抗溶接、またはろう付などの方法で接合されている。
【０１００】
固定体１１５の第１固定体部分１１５ａには、上下の２つの領域にらせん溝１１７ａ、１１７ｂが設けられ、回転体１１４との間にラジアル方向の動圧式すべり軸受を形成している。第１固定体部分１１５ａの内側円筒１１４ｃと対向する上端面、および、段部Ｓの面に接するスラストリング１１６の上面には、それぞれらせん溝１１８ａ、１１８ｂが形成され、回転体１１４との間にスラスト方向の動圧式すべり軸受を形成している。
【０１０１】
また、固定体１１５の第１固定体部分１１５ａの中心部分には、その上端面から中心軸Ｃの方向に沿って、液体金属潤滑剤を収納する潤滑剤収容室１１９が設けられている。潤滑剤収容室１１９と動圧式すべり軸受との間には、たとえば４個の潤滑剤通路１２０が９０°間隔に放射状に分岐して設けられ、潤滑剤収容室１１９に収納された液体金属潤滑剤が潤滑剤通路１２０などを通して動圧式すべり軸受部に供給されるようになっている。
【０１０２】
スラストリング１１６の図の下方には、液体金属潤滑剤が真空側に漏れないように、回転部分に連結された第１トラップリング１２１および固定部分に連結された第２トラップリング１２２が、それぞれ固定体１１５の第２固定体部分１１５ｂを囲んで環状に設けられている。第２トラップリング１２２は金属リング１２３に固定されている。固定体１１５の第２固定体部分１１５ｂは金属リング１２３の部分に気密溶接されるとともにさらにその外方まで伸びている。
【０１０３】
この実施例によれば、ラジアル方向の動圧式すべり軸受およびスラスト方向の動圧式すべり軸受は、固定体１１５の第１固定体部分１１５ａに設けられている。第１固定体部分１１５ａはＳＫＤ１１などで形成されているため回転特性のよい動圧式すべり軸受が構成される。また、第２固定体部分１１５ｂは熱伝導率の高い低炭素鋼で形成している。このため、良好な放熱特性が得られ、軸受部分の温度上昇が抑えられる。
【０１０４】
なお、固定体１１５が受ける機械的荷重が比較的小さい場合は、第２固定体部分１１５ｂを形成する材料として純鉄を利用することもできる。純鉄を利用した場合は、低炭素鋼を利用した場合よりも軸受部分の大きな温度低減効果が得られる。
【０１０５】
図１７に示す実施例は、図１６に示した実施例と類似した構造において、固定体１１５の外方端部１１５ｂの側に内径の大きい穴１３１をスラストリング１１６の上端部に対応する位置まで予め形成し、この穴１３１に固定体１１５よりも高い熱伝導率をもつ材料で形成された円柱状の固定体用伝熱部材１３２を密に嵌め込み、穴１３１の内面にろう接等により一体接合したものである。なお、図１６と同一部分は同一符号であらわし、重複する説明を省略する。この実施例によれば、比較的簡単な構造で、軸受部分の良好な熱放散性が得られる。
【０１０６】
なお、固定体用伝熱部材１３２としては、低炭素鋼や、純鉄の他、ニッケル、ニッケル合金、銅、銅合金、モリブデン、モリブデン合金、タンタル、タンタル合金、タングステン、タングステン合金の中から任意の材料を選ぶことができる。たとえば銅を使用した場合、銅は熱伝導度が高いため、軸受部分のより大きい温度低減効果が得られる。
【０１０７】
図１８に示す実施例は、図１６に示した実施例と類似した構造において、固定体１１５の主要部に接合した別材料製の固定体外方端部１１５ｂに内径の大きい穴１３１をスラストリング１１６に対応する位置まで予め形成し、この穴１３１に固定体外方端部１１５ｂよりもさらに高い熱伝導率を持つ材料で形成された円柱状の固定体用伝熱部材１３２を密に嵌め込み、穴１３１の内面にろう接等により一体接合したものである。なお、図１６と同一部分は同一符号であらわし、重複する説明を省略する。
【０１０８】
この実施例において、固定体１１５の回転陽極側に位置する第１固定体部分１１５ａがＳＫＤ１１などで形成され、第２固定体部分１１５ｂが炭素を０．５％含む低炭素鋼などで形成され、さらに、固定体用伝熱部材１３２が銅又は銅合金で形成されている。それによって、第２固定体部分１１５ｂによる軸受部の温度低減効果、および、第２固定体部分１１５ｂに嵌め込まれた固定体用伝熱部材１３２による温度低減効果により、軸受部分のより大きな温度低減効果が得られる。
図１９に示す実施例は、図１６に示した実施例と類似した構造において、第１固定体部分１１５ａの内部に例えば４個の棒状の高熱伝導材１２９ａを挿入して一体接合したものである。なお、図１６と同一部分は同一符号であらわし、重複する説明を省略する。
【０１０９】
この実施例において、４個の棒状の高熱伝導材１２９ａは、固定体の中心部分に形成した潤滑剤収容室１１９や各放射状通路１２０を避けた位置に設けられ、且つ上端部は固定体の上端面の近傍まで延長され、下端は第２固定体部分１１５ｂの上端接合面１１５ｃに伝熱的に接合されている。これによって、各軸受部分の熱が速やかに分散されるとともに固定体外方端部１１５ｂの方に効率よく伝導され、放熱される。
【０１１０】
なお、図１６乃至図１９に示した実施例において、回転体の内側円筒１１４の外周壁に、図１乃至図３に示した実施例等と同様の回転体用伝熱部材を接合した構成にしてもよい。
【０１１１】
図２０および図２１に示す実施例は、図１乃至図３に示した実施例と類似した構造において、軸受部分を構成する固定体１７の内部に円筒状部１１５ｅを有する固定体用伝熱材１１５を一体接合したものである。なお、図１乃至図３と同一部分は同一符号であらわし、重複する説明を省略する。
【０１１２】
この実施例において、固定体用伝熱材１１５は、その円筒状部１１５ｅが回転体用伝熱部材１９の下部と軸方向に沿った距離Ｌｏにわたって重複している。また、固定体の中心部分に形成した潤滑剤収容室１１９や各放射状通路１２０を避けた位置に設けられている。これによって、軸受部分の温度の均一化およびすぐれた熱放散性が得られる。
【０１１３】
以上説明した各実施例によれば、軸受部の温度が均一化され且つ温度上昇が抑制され、軸受面を構成する部材と液体金属潤滑剤との不所望な反応や、らせん溝或いは軸受隙間の寸法変化、ガス放出、潤滑剤の漏出が抑制され、高負荷の陽極ターゲット入力に対し長時間に亙り安定した回転特性が維持される。また、軸受に伝わる熱および軸受部分で発生する熱も速やかに管外に放散され、軸受部分の温度上昇が抑えられる。したがって、軸受面が液体金属潤滑材と反応してらせん溝や軸受間隙の寸法が変化してしまうことが抑制され、長期に亙り安定した回転特性が維持される。また、比較的高速回転に適応可能となる。
【０１１４】
なおとくに、固定体の外方端面から穴を形成し、その穴に固定体用伝熱部材を嵌合し接合する構成は、製造が容易であり、高品質で安価に製造できる。また、製造時の排気工程や軸受構造部分の脱ガス工程などに有効に機能する潤滑剤収容室用や潤滑剤通路用の穴を避けた位置に固定体用伝熱部材を配置できる。なおまた、固定体部分に配置される固定体用伝熱部材の外径を、固定体用伝熱部材を囲む部分の固定体の外径の１／２以下に選べば、固定体の機械的強度が低下するようなこともほとんどなく、より望ましい。
【０１１５】
なお、上記の各実施形態では、固定体用伝熱部材や回転体用伝熱部材、固定体の端部を、銅、あるいはタングステン６５重量％、銅３５重量％の複合材料などで形成している。しかし、軸受材料として他のスチール材を使用した場合は、熱膨張率が９〜１３×１０−６／℃の範囲内にあるため、銅の重量比率を２０％から５０％の範囲内で選べば、タングステンと銅の複合材を使用することができる。
【０１１６】
また、複合材料としては、モリブデンおよびモリブデン合金、タンタル、タンタル合金、タングステン、タングステン合金、タングステンカーバイドの少なくとも一つを含む焼結材料の空孔部に、銅および銀の少なくとも１つを含む金属材料を含浸させた構成、あるいは、銅および銀の少なくとも一つを含む金属中に、この金属と固溶体を形成しないセラミクス材料を分散させた構成、あるいは、銅および銀の少なくとも一つの金属材料とグラファイトとを組み合わせた構成なども使用できる。
【０１１７】
また、複合材料でなく、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、マグネシウム、マグネシウム合金、銀合金、炭素繊維強化炭素複合材料（Ｃ／Ｃ材）のうちの少なくとも１つからなる材料を使用することもできる。なお、伝熱部材は、いずれの構成を用いる場合でも、良好な熱伝導を実現するために、熱伝導率が常温で１００Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが望ましい。
【０１１８】
また、上記の一部の実施形態では、回転体を構成する内側円筒の外周部分に回転体用伝熱部材を接合し、同時に、固定体端部の穴に固定体用伝熱部材を接合している。この場合、回転体用伝熱部材か固定体用伝熱部材のいずれか一方だけを設ける構造にすることもできる。しかし、その両方を設けた方がより大きな熱放出効果が得られることは既に述べた通りである。
【０１１９】
また、上記した実施形態では、軸受は固定体の片側端部のみで支持されたいわゆる片持ち支持軸受構造に関して説明したが、それに限らず、固定体の両端部がともに例えば真空容器に支持されたいわゆる両持ちの支持軸受構造にも適用できる。
【０１２０】
また、上記の実施形態では、回転体を構成する内側円筒の外周部分に回転体用伝熱部材を接合する場合、あるいは、固定体の穴に固定体用伝熱部材を接合する場合、主としてろう付等で接合している。しかし、ろう付等に限らず、摩擦圧接や拡散接合、溶接半田付け、接着剤による接着、或いは部分的に上記の適当な接合方法を組合わせて用いることもできる。
【０１２１】
【発明の効果】
この発明によれば、動圧式すべり軸受部分の温度の均一化が得られるとともに温度上昇を抑え、長期に亙り安定した回転特性を維持できる回転陽極型Ｘ線管を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を説明するための縦断面図である。
【図２】図１の要部拡大縦断面図である。
【図３】図２の要部横縦断面図である。
【図４】本発明を含むＸ線管の軸受部に使用される材料の特性を比較する表形式の図である。
【図５】本発明の他の実施例を説明する横断面図である。
【図６】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図７】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図８】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図９】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図１０】図９の固定体の上面図である。
【図１１】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図１２】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図１３】図１２の要部を示す側面図である。
【図１４】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図１５】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図１６】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図１７】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図１８】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図１９】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図２０】本発明のさらに他の実施例を説明する要部縦断面図である。
【図２１】図２０の要部斜視図である。
【図２２】一般的な回転陽極型Ｘ線管およびＸ線管装置を説明する要部縦断面図である。
【符号の説明】
１１…真空容器
１２…円盤状回転陽極
１３…陽極ターゲット層
１４…固定用ナット
１５…支持シャフト
１６…回転体
１７…固定体
１８…スラストリング
１９…回転体用伝熱部材
２０…金属リング
２２…シールリング
２３ａ、２３ｂ…らせん溝
２４…固定体の凹部
２５ａ、２５ｂ…らせん溝
２６…潤滑剤収容室
２７…潤滑剤通路
２８ａ…第１の穴
２８ａ…第２の穴
２９ａ…第１の固定体用伝熱部材
２９ａ…第２の固定体用伝熱部材
Ｇａ，Ｇｂ…断熱用の間隙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0003663111.tif 000015
【図１４】
0003663111.tif 000016
【図１５】
0003663111.tif 000017
【図１６】
0003663111.tif 000018
【図１７】
0003663111.tif 000019
【図１８】
0003663111.tif 000020
【図１９】
0003663111.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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