(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック前駆体、触媒、界面活性剤および溶媒からなるフィルム形成性液体を調製する工程、
前記フィルム形成性液体を基板上に置く工程、および
前記基板上の前記フィルム形成性液体から前記溶媒を除去して、前記基板上にセラミックフィルムを製造する工程からなり、
前記セラミックフィルムが２．３未満の誘電率および５００ｐｐｍ未満の金属含量を有することを特徴とする基板上にセラミックフィルムを製造する方法。
【請求項２】
前記誘電率が２．２〜１．３である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ハライド含量が１ｐｐｍ未満である、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記ハライド含量が５００ｐｐｂ未満であり前記金属含量が１ｐｐｍ未満である、請求項１，２又は３に記載の方法。
【請求項５】
前記金属含量が１ｐｐｍ未満である、請求項１，２又は３に記載の方法。
【請求項６】
前記金属含量が１００ｐｐｂ未満である、請求項１〜５のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
前記セラミック前駆体が、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）、テトラメトキシシラン（ＴＭＯＳ）、チタン（ＩＶ）イソプロポキシド、チタン（ＩＶ）メトキシドおよびアルミニウムｓｅｃ−ブトキシドからなる群から選択される、請求項１〜６のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
前記触媒が有機酸であり、前記フィルム形成性液体がＨＣｌ、ＨＢｒ、Ｈ2ＳＯ4およびＨ3ＰＯ4の酸触媒を含まない、請求項１〜７のいずれかに記載の方法。
【請求項９】
前記触媒が、酢酸、ギ酸、グリコール酸、グリオキサル酸、シュウ酸およびＨＮＯ3からなる群から選択される、請求項１〜８のいずれかに記載の方法。
【請求項１０】
前記界面活性剤が非イオン性であり前記フィルム形成性液体がイオン性界面活性剤を含まない、請求項１〜９のいずれかに記載の方法。
【請求項１１】
前記界面活性剤がエチレンオキシドとプロピレンオキシドのブロックコポリマーである、請求項１〜１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１２】
前記界面活性剤が、エチレンオキシドとプロピレンオキシドのブロックコポリマーおよびポリオキシエチレンアルキルエーテルからなる群から選択される、請求項１〜１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１３】
前記界面活性剤がエトキシ化アセチレン性ジオールである、請求項１〜１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１４】
前記界面活性剤がオクチルフェニルエトキシレートである、請求項１〜１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１５】
前記溶媒が、メタノール、イソプロパノール、イソブタノール、エタノールおよびｎ―ブタノールからなる群から選択される、請求項１〜１４のいずれかに記載の方法。
【請求項１６】
前記溶媒の除去が、前記基材を回転させる工程および前記基板上の前記セラミックフィルムを焼成する工程からなる、請求項１〜１５のいずれかに記載の方法。
【請求項１７】
前記フィルム形成性液体が、少なくとも３００時間のゲル化時間を有するゾルである、請求項１〜１６のいずれかに記載の方法。
【請求項１８】
前記セラミックフィルムが約５０％から約８５％の多孔度を有する、請求項１〜１７のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は誘電率が低減されたフィルムに関し、より詳細には、多孔度が増加し、ハライド含量が低下し、金属含量が低下したメソポーラスセラミックフィルムを製造する方法及びそれによって得られるセラミックフィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
要素密度（ｆｅａｔｕｅ  ｄｅｎｓｉｔｇ）が増加した集積回路を調製する必要性がエレクトロニス産業に存在する。これを効率的に行うために、素子中の金属配線は互いに接近して配置されなくてはならない。要素寸法が小さくなるにつれて、絶縁能力の増した絶縁材料が要求されている。線幅０．１８ミクロンの素子は密なシリカ系の材料または部分的にフッ素化されたその誘導体を使用している。これらの材料の典型的な誘電率は約４．２〜３．８であるが、誘電率とは真空の誘電率を約１と定義する相対的な尺度である。素子中の線幅が０．１３ミクロン以下に減少するにつれ、層間誘電材料の誘電率の著しい低下が要求される。現在の見積もりでは、２．２以下の範囲の誘電率が要求される。この目標を達成するために、さまざまな種類の材料が現在研究されている。それらには、有機ポリマーおよび多孔性酸化物材料がある。
【０００３】
誘電率を低下させる可能性のある経路（方法）として、材料内に空隙を作る方法がある。シリカ系材料の場合、これを達成する方法はいくつかある。エーロゲルおよびキセロゲルは非常に高い多孔度を持ち、したがって誘電率も１．１以下であることが知られている。この手法にはいくつかの欠点があることが分かっている。第１に、これらの材料は機械的に強固でなく、チップ製造時に用いられる集積プロセスに耐えるのが困難である。また、その多孔度は、幅広い分布を示す細孔径から構成されている。これは、エッチングおよび均一な側壁バリアコーティングの形成に問題を起こす。
【０００４】
多孔性シリカ材料の類で他に可能性のあるものは、ゼオライトである。ゼオライトの薄膜を調製する方法は公知であるが、多孔度が比較的低いので、２．３以下の誘電率を達成できない。マックスウェルの方程式（マックスウェルの方程式はＫｉｎｇｅｒｙ  ｅｔ  ａｌ．，Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  ｔｏ  Ｃｅｒａｍｉｃｓ，ｐ．９４８（Ｊｏｈｎ  Ｗｉｌｅｙ  ＆  Ｓｏｎｓ，Ｉｎｃ．１９７０に記載されている）によれば、問題とするＳｉＯ2材料で前記誘電率を達成するには、５５％を超える多孔度が要求される。
【０００５】
これらの基準を念頭に置いて、秩序のあるメソポーラスシリカ材料を利用して低誘電率フィルムを調製することも提案されている。薄膜材料の調製がこの技術には要求される。メソポーラスフィルムの調製が、ゾルゲル経路により達成されることが最近知られてきた。Ｂｒｉｎｋｅｒらに付与された米国特許第５，８５８，４５７号、Ｌｉｕらに付与された米国特許第５，６４５，８９１号およびＷＯ  ９９／３７７０５にいくつかの例が記載されている。これらの例は、メソポーラスシリカフィルムの調製が可能であることを示している。
【０００６】
しかし、ＢｒｉｎｋｅｒらおよびＬｉｕらの特許のどちらも、エレクトロニス用途での使用に耐えられるフィルムを形成するのに重要であると本発明者らが特定したいくつかの側面において問題がある。両特許とも、エレクトロニス産業での使用に耐えられる試薬の使用を教示していない。両特許とも、この種の材料の整った細孔構造を形成するために要求されるカチオン性四級アンモニウム界面活性剤の使用を記載している。そのような界面活性剤は、集積回路の調製に用いられる金属およびバリアー材料のいくつかに対して腐食性を示すハライド対イオンを有する。Ｌｉｕらはこれらのハライドを除去するためにイオン交換を行うことを教示しているが、イオン交換の後、もし残存するとしたらどの程度のハライドがフィルム内に残存するのかは、Ｌｉｕらからは明らかでない。さらに、イオン交換工程は、方法の複雑さおよび経費を増加させる。
【０００７】
従来技術に関する他の問題には、オルトケイ酸テトラエチルなどのシリカ前駆体からシリカを形成するゾルゲル反応の酸触媒としてのＨＣｌの使用がある。上述のとおり、ハライドはこれらの用途に用いられる金属およびバリアーに対して腐食性がある。
メソポーラスフィルムの整った細孔構造を形成するためのカチオン性界面活性剤の使用を教示する他に、Ｂｒｉｎｋｅｒらに付与された米国特許第５，８５８，４５７号は、同じ目的で非イオン性界面活性剤の使用を教示している。しかし、Ｂｒｉｎｋｅｒらは、カチオン性またはアニオン性界面活性剤ではなく非イオン性界面活性剤を使用する利点を認識していない。
【０００８】
本明細書に引用された全ての参考文献は、参照によりそのまま本明細書に組み込まれる。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、誘電率２．３未満、ハライド含量１ｐｐｍ未満および汚染物質金属含量１ｐｐｍ未満であるセラミックフィルムを製造する方法を提供する。
本発明は、誘電率２．３未満、ハライド含量１ｐｐｍ未満および汚染物質金属含量１ｐｐｍ未満であるセラミックフィルムも含包する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明によるフィルムは、セラミック前駆体（例えばシリカ前駆体）を含む塗布液を基板上に塗布しスピンプロセッサー上で回転させる、以下の好ましい方法により提供できる。
シリカが最も好ましいセラミックフィルムではあるが、本発明は他のセラミックの利用を想起している。本明細書で使用されるセラミックという用語は、イオン結合および共有結合により結合している金属および非金属元素でできた複雑な化合物および固溶体のことである。セラミック材料は無機元素の組合せである場合が一番多い。セラミック材料は炭素を含むことがある。セラミック材料の例は、金属酸化物、金属酸化物の化合物、金属炭化物および窒化物ならびに炭酸塩があるがこれらに限定されない。より詳細には、例えば、セラミック材料には、シリカ、チタニア、アルミナ、ケイ酸チタン、炭化チタン、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素があるがこれらに限定されない。セラミック材料は、動物の外皮、骨および歯の中に天然に存在するが、磁器または他の人工製品にも見出される。
【００１１】
フィルムが形成される元の塗布液は、好ましくは以下の２段階プロセスにより提供される。第１段階では、部分的に加水分解したシリカのストック溶液が提供される。これは、シリカ前駆体（例えばオルトケイ酸テトラエチル）、アルコール（例えばエタノールなど）、水および酸触媒を反応させることにより実施される。得られたストック溶液は昇温下で（好ましくは約４０〜７０℃、より好ましくは約６０℃）ある期間（好ましくは約６０〜１５０分間、より好ましくは約９０分間）エージングされ、次いで第２段階で使用される。
【００１２】
塗布液（ｓｐｉｎｎｉｎｇ  ｓｏｌｕｔｉｏｎ）を調製する第２段階では、このストック溶液の一部を追加のアルコール（すなわちアルコール希釈剤、第１段階で使用したアルコールと同じである必要はない）で希釈し、単官能化アルコキシシランを、追加の酸触媒、水および界面活性剤とともに添加する。界面活性剤は混合物中で細孔形成剤として機能する。
【００１３】
塗布液提供方法での使用に好適なセラミック前駆体には、例えばテトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）、テトラメトキシシラン（ＴＭＯＳ）、チタン（ＩＶ）イソプロポキシド、チタン（ＩＶ）メトキシドおよびアルミニウムｓｅｃ−ブトキシドがある。
塗布液提供方法の第１段階で使用するのに好適なアルコールには、例えばエタノール、メタノール、プロパノール（例えばイソプロパノール）、イソブタノールおよびｎ−ブタノールがある。
【００１４】
塗布液提供方法の第２段階で使用するのが好適なアルコール希釈剤には、例えばエタノール、メタノール、プロパノール（例えば、イソプロパノール）、イソブタノールおよびｎ−ブタノールがある。
塗布液提供方法で使用される酸触媒は、好ましくは有機酸である。酸触媒の具体例としては、例えば酢酸、シュウ酸およびギ酸がある。
【００１５】
塗布液提供方法で使用するのに好適な官能化アルコキシシランには、ＲＳｉ（ＯＲ’）3；Ｒ2Ｓｉ（ＯＲ’）2；Ｒ3ＳｉＯＲ’；ＲＲ’Ｓｉ（ＯＲ”）2；およびＲＲ’Ｒ”ＳｉＯＲ'''があり、前式において、Ｒ，Ｒ’，Ｒ”およびＲ'''はそれぞれアルキル（特にメチル、エチル、イソプロピル、ブチル）またはアリール（特にフェニル）であり；例えばメチルトリエトキシシランおよびフェニルトリエトキシシランであり、またはＲがフェニル、ＣＦ3またはブチルでありＲ’が上記で定義されたとおりのＲ2Ｓｉ（ＯＲ’）2；Ｒ3ＳｉＯＲ’がある。Ｒ，Ｒ’およびＲ”が上記で定義されととおりのＲ2Ｒ’ＳｉＯＳｉＲ2Ｒ’およびＲＲ’Ｒ”ＳｉＯＳｉＲＲ’Ｒ”も使用できる。アルキルアルコキシシランの使用は、低いκおよび高いモジュラスを維持しながら、κの安定性を向上させる。
【００１６】
塗布液提供方法で使用するのに好適な界面活性剤としては、例えばＰｌｕｒｏｎｉｃ  Ｌ１２１、Ｌ１２３、Ｌ３１、Ｌ８１、Ｌ１０１およびＰ１２３（ＢＡＳＦ  Ｉｎｃ．）、Ｂｒｉｊ  ５６（Ｃ16Ｈ33（ＯＣＨ2ＣＨ2）10ＯＨ）（ＩＣＩ）、Ｂｒｉｊ  ５８（Ｃ16Ｈ33（ＯＣＨ2ＣＨ2）20ＯＨ）（ＩＣＩ）およびＳｕｒｆｙｎｏｌ  ４６５および４８５（Ａｉｒ  Ｐｒｏｄｕｃｔｓ  ａｎｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ，Ｉｎｃ）がある。前記界面活性剤は、エチレンオキシドプロピレンオキシド（ＥＯ−ＰＯ）ブロックコポリマーでもよく、またはポリオキシエチレンアルキルエーテルでもよい。好ましくは、前記界面活性剤は、Ａｉｒ  Ｐｒｏｄｕｃｔｓ  ａｎｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ，Ｉｎｃ、Ａｌｌｅｎｔｏｗｎ，ＰＡから市販されているＳｕｒｆｙｎｏｌシリーズなどのエトキシ化アセチレンジオール（ｅｔｈｏｘｙｌａｔｅｄ  ａｃｅｔｙｌｅｎｉｃ  ｄｉｏｌ）である。金属含量が２０ｐｐｍ未満の界面活性剤を提供することが特に好ましい。そのような界面活性剤は、Ｂｒｉｊの商標でＷｉｌｍｉｎｇｔｏｎ，ＤＥのＩＣＩＳｕｒｆａｃｔａｎｔｓ  （Ｕｎｉｑｅｍａ）から、Ｓｕｒｆｙｎｏｌの商標でＡｌｌｅｎｔｏｗｎ、ＰＡのＡｉｒ  Ｐｒｏｄｕｃｔｓ  ａｎｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ，Ｉｎｃから、Ｐｌｕｒｏｎｉｃの商標でＭｔ．Ｏｌｉｖｅ，ＮＪのＢＡＳＦ  Ｃｏｒｐ．Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ  Ｃｈｅｍｉｃａｌｓから市販されている。
【００１７】
塗布液は基板（例えば、シリコンウェハ、Ｓｉ3Ｎ4、Ａｌ、Ｐｔなど）に塗布され、溶液はスピンプロセッサー上で回転される。高速の動きにより揮発性アルコールが除去され、フィルム形成を引き起こす。アルコールが除去されるにつれ、界面活性剤濃度が臨界ミセル濃度（Ｃmc）を超え秩序ある液晶相が溶解状態で形成される。存在するシリカ前駆体は液晶の周囲にネットワークを形成し、加水分解および縮合反応が進行するにつれ、ネットワークは固形薄膜を形成する。焼成して界面活性剤を除去すると、シリカネットワークはさらに反応して硬質な薄膜を形成する。
【００１８】
プロセスパラメータの変更により、本発明のフィルムの誘電率を調整することが可能である。これは、細孔径およびフィルム中の細孔の分布を変動させることにより達成される。本発明のフィルムはメソポーラスであり、本開示の目的には、約５００Å未満、より好ましくは約１３Åから約５００Åの範囲の、最も好ましくは２０Åから５０Åの細孔径を表すと定義される。前記フィルムが一様な大きさの細孔を持ち、細孔がフィルム中に均一に分布していることが好ましい。本発明のフィルムは好ましくは約５０％から約８０％の、より好ましくは約５５％から約７５％の多孔度を有する。
【００１９】
配合物中の界面活性剤の量および種類を操作することにより、さまざまな多孔度を持つフィルムを調製することが可能であることを発明者らは確認した。最低レベルの多孔度が、２．３未満の誘電率を得るために重要である。また、フィルムが水分を吸収しないようにすることも必要である。水の誘電率は７８．５であるので、少量の水の吸収ですら、誘電率を許容できない程の高い値に上昇させる。本発明のフィルムは、低減された吸湿性および向上した誘電安定性を有する。
【００２０】
本発明は、フィルム形成性溶液の貯蔵安定性（すなわちゲル化時間）を増大させる。これは、これらの溶液を使用してフィルムを形成するには重要な要件である。フィルム形成性溶液が長時間エージングされるほど形成されるフィルムの多孔性が減少すると述べているＢｒｉｎｋｅｒらの米国特許第５，８５８，４５７号に示されるように、溶液が短時間しか利用可能でないならば、所有にかかる費用が高すぎて所望の用途に利用できない。本発明のフィルムのゲル化時間は約２２℃で保存される場合、少なくとも２４時間であり、より好ましくは少なくとも３００時間である。
【００２１】
本発明の方法は、集積回路調製の効率を低下させる汚染物質を含まないため、エレクトロニス産業での使用が許容されている化学物質を利用する。ＨＣｌ、ＨＢｒ、Ｈ2ＳＯ4およびＨ3ＰＯ4の酸触媒、カチオン性界面活性剤およびアニオン性界面活性剤は避けることが好ましいが、本発明のフィルムに望ましくない対イオンをもたらすからである。しかし、ＨＮＯ3は、おそらくその分解生成物が無害なため許容できる酸触媒である。好ましくは本発明のフィルムは汚染性金属を５００ｐｐｍ未満、好ましくは１ｐｐｍ未満、より好ましくは５００ｐｐｂ未満の量で含有する。好ましくは本発明のフィルムは汚染性ハライドを１ｐｐｍ未満、好ましくは７５０ｐｐｂ未満、より好ましくは５００ｐｐｂ未満の量で含有する。
【００２２】
これらのフィルムを、典型的には３０分未満の時間で調製するのが可能であるが、この時間は集積回路の妥当な製造速度を達成するために許容できるものである。
誘電率を下げるため、乾燥フィルムを脱ヒドロキシル化（アニーリング）することが好ましい。これは、ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ、米国特許第５，９５５，１４０号を参照）などの試薬とともに基板を乾燥雰囲気中に置くか、または好適な条件下で基板をＨＭＤＳに接触させることにより行うことができる。ＨＭＤＳはトリメチルシリル基で、乾燥ゲルの細孔表面に結合している水および／またはヒドロキシルの多くを置換する。この交換は室温またはそれ以上の温度で起こる。この交換は水および／またはヒドロキシルを除去するだけでなく、乾燥フィルムを疎水性にもする。
【００２３】
【実施例】
本発明は以下の実施例に関連してより詳細に説明されるが、本発明がそれに限定される考えられるべきではないと理解されたい。
実施例中で、誘電率はＡＳＴＭ規格  Ｄ１５０−９８により測定された。フィルムの多孔度は、フィルムの誘電率および密な二酸化ケイ素の誘電率（４．２）を用いてマックスウェルのモデルにより見積もられた。フィルムは、低抵抗（０．０１Ωｃｍ）の単結晶シリコンウェハの上でスピンコートし、４００℃に焼成して形成した。焼成後、フィルムの厚さ（ｄ）をＴｅｎｃｏｒ  Ｐ−２プロフィルメーターにより測定した。厚さの誤差は２％未満である。キャパシタンス−電圧は、Ｓｏｌｏｔｒｏｎ  １２６０周波数分析器およびＭＳＩ  ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ  Ｈｇ−４０１水銀プローブを用いて１ＭＨｚで測定した。キャパシタンスおよび水銀プローブ面積（Ａ）の誤差は１％未満である。基板（ウェハ）のキャパシタンス（ＣSi）、バックグラウンドキャパシタンス（Ｃb）および全体のキャパシタンス（ＣT）を測定し、フィルムのキャパシタンス（Ｃf）を式１により測定した。
Ｃf＝ＣSi（ＣT−Ｃb）／［ＣSi−（ＣT−Ｃb）］              式（１）
フィルムの誘電率を式（２）から計算する。
ε＝Ｃfｄ／ε0Ａ                                           式（２）
誘電率の全体的な誤差は５％未満と見積もられる。
【００２４】
水分吸収がある場合、フィルムの多孔度は分光偏光解析法により測定することができる。フィルムを単結晶シリコンウェハ上に塗布し、実施例２のとおり焼成した。シグナルをＳＥ  ８００（Ｓｅｎｔｅｃｈ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ  ＧＭｂＨ）により集め、Ｂｒｕｇｇｅｍａｎｎモデルを用いたＳｐｅｃｔｒｏｒａｙソフトウェアにより計算した。厚さおよび空気のパーセンテージは、４００ｎｍ〜８００ｎｍの波長範囲で、約１未満の平均二乗誤差でシミュレートした。シミュレートされた厚さは、通常プロフィルメーターで測定された厚さとよく一致した（２，３パーセントの差の範囲で）。
【００２５】
実施例１：ＨＣｌを酸触媒として用いる標準ストック溶液
ＨＣｌを酸触媒として用いて標準ストック溶液を調製した。きれいなＰＴＦＥ容器中に、以下の順序で、６１ｍｌオルトケイ酸テトラエチル（ＴＥＯＳ）、６１ｍｌエタノール（無水）、５ｍｌ脱イオン水および０．２ｍｌの０．０７Ｍ  ＨＣｌ溶液を計り入れた。容器を密封し、６０℃の水浴に９０分間つけた。溶液を室温まで放冷し、塗布液の調製に用いた。
【００２６】
実施例２：０．０７Ｍ  ＨＣｌを用いた標準的な塗布液
風袋を計った（ｔａｒｅｄ）ポリプロピレンボトル中で、ストック溶液１０ｍｌ、エタノール１０ｍｌ、トリデカフルオロ−１，１，２，２−テトラヒドロオクチル−１−トリエトキシシラン（ＴＦＴＳ）と呼ばれる［（ＣＨ3ＣＨ2Ｏ）3Ｓｉ（ＣＨ2）2（ＣＦ2）5ＣＦ3］０．４２ｍｌ、脱イオン水０．４ｍｌおよび０．０７Ｍ  ＨＣｌ  １．０ｍｌを混合し、上記のストック溶液を用いて塗布液を調製した。溶液の重量を量り、その量の６重量％でＰｌｕｒｏｎｉｃ  Ｌ１２１（エチレンオキシド−プロピレンオキシド（ＥＯ−ＰＯ）ブロックコポリマー）界面活性剤を加えた。得られた溶液を２０分間超音波処理し、得られた無色透明な溶液を０．２ミクロンのシリンジフィルターに通して濾過した。
【００２７】
５００ｒｐｍで１０秒回転させながら、塗布液１．２ｍｌをシリコンウェハの上に落とし、スピードを２５秒間３０００ｒｐｍに上げ薄膜を調製した。フィルムは、ウェハ全体で透明かつ均一であった。多孔性シリカフィルムを製造するための焼成を、毎分５℃で４２５℃までフィルムを加熱して４２５℃で３０分間保つことにより窒素パージした箱型炉中で行った。この炉を室温まで放冷しフィルムの特性を分光偏光解析法により測定した。得られたフィルムは厚さ０．７２ミクロンで屈折率１．１９６０であった。この屈折率は多孔度５５．９％に相当し、２．１９の誘電率が示唆される。
【００２８】
実施例１および２は、ＨＣｌを酸触媒とし、ポリアルキレンオキシドブロックコポリマーを界面活性剤として使用する例である。ＨＣｌを触媒としてゾルゲル溶液の調製に使用しようとすると、マイクロエレクトロニクス用途での使用が排除される。集積回路を形成するのに使用される金属およびバリア材料との間に起こりうる反応が、これらの回路の効率を著しく低減しかねない。多孔度および誘電率の観点でフィルムの調製において少なくとも等しい性能を提供する代替触媒を見出すことが重要である。許容できる候補としては、銅およびタングステンなど、マイクロエレクトロニクスに通常使用される金属を腐食しない酸がある。
【００２９】
したがって、フッ化水素酸（ＨＦ）、酢酸（ＨＯＡｃ）、シュウ酸およびギ酸を用いて代替の酸触媒を特定する実験を行った。官能基および界面活性剤を固定してフィルムを調製するプロセスの両工程において全てを使用した。ＢｒｉｎｋｅｒおよびＳｃｈｅｒｅｒ（Ｂｒｉｎｋｅｒ  ａｎｄ  Ｓｃｈｅｒｅｒ，Ｓｏｌ−Ｇｅｌ  Ｓｃｉｅｎｃｅ，ｐ．１１８（Ａｃａｄｅｍｉｃ  Ｐｒｅｓｓ，Ｉｎｃ．Ｈａｒｃｏｕｒｔ  Ｂｒａｃｅ  Ｊｏｖａｎｏｖｉｃｈ  Ｐｕｂｌｉｓｈｅｒｓ，１９９０））は、異なる酸触媒を用いたＴＥＯＳ系のゲル時間とｐＨを列挙している。ＴＥＯＳに対して一定の酸モル量では、ＨＦが最短のゲル化時間（１２時間）を与え、次はＨＯＡｃ（７２時間）、次いでＨＣｌ（９２時間）であった。これは、この用途において、同濃度であればＨＦおよびＨＯＡｃはＨＣｌと同等な性能を与えるはずであることを示している。しかし、実施例６〜１０（下記）では、等しい濃度で代替の酸のいずれもＨＣｌと同等な性能を示さなかった。したがって、１Ｍ  ＨＯＡｃおよび濃縮（すなわち９９．７％）ＨＯＡｃを用いて類似の試験を行った（以下の実施例１１〜１４参照）。その結果から、酢酸溶液には「誘導期」があることが示されたが、約４日後には０．０７ＭのＨＣｌを用いた類似溶液と比較して同等な結果が得られた。どちらの溶液も室温で少なくとも２週間は活性を保っていた。室温以下に冷却すれば、これらの溶液は前記期間を超えても効果を保っている。これらの結果は、以下の実施例１２および１４、貯蔵寿命試験に示されている。
【００３０】
実施例３：０．０７Ｍ  ＨＦを用いて調製されたストック溶液
酸触媒としてＨＣｌの代わりにＨＦを用いてストック溶液を調製した。きれいなＰＴＦＥ容器内に、以下の順序で、６１ｍｌのＴＥＯＳ、６１ｍｌのエタノール（無水）、５ｍｌの脱イオン水および０．２ｍｌの０．０７Ｍ  ＨＦ溶液を計り入れた。容器を密封し、６０℃の水浴に９０分間つけた。溶液を室温まで放冷し、以下の全塗布液の調製に用いた。このストック溶液を用いて３種の異なる塗布液を調製したが、それぞれ異なる量の０．０７Ｍ  ＨＦを含んでいた。ＨＦはＨＣｌよりも水中で弱い酸であるので、より弱い酸を補うために量を変えた。
【００３１】
実施例４：１．０ｍｌの０．０７Ｍ  ＨＦを用いて調製された塗布液
ポリプロピレン（ＰＰ）ボトル中に、以下の順序で、１０ｍｌの上記ストック溶液、１０ｍｌのエタノール、０．４２ｍｌのＴＦＴＳ、０．４ｍｌの脱イオン水および１．０ｍｌの０．０７Ｍ  ＨＦ溶液を計り入れた。溶液の重量を量り、溶液重量の８重量％のＰｌｕｒｏｎｉｃ  Ｌ１２１界面活性剤を加えた。溶液を小さな超音波浴中で２０分間超音波処理をした。得られた均一で透明な溶液を０．２ミクロンのシリンジフィルターに通して濾過した。この溶液を、約１０秒間約５００ｒｐｍで回転し次いで２５秒間３０００ｒｐｍで回転させながら、ウェハの中心に１．２ｍｌの最終溶液を供給することにより、優良な低抵抗率４インチシリコンウェハの上にスピンコートした。次いで、毎分５℃で４２５℃まで加熱し、３０分間この温度に保ちこの炉を室温まで放冷することにより、窒素パージ箱型炉中でフィルムを焼成した。フィルムの屈折率を測定した。
【００３２】
実施例５：０．８ｍｌの０．０７Ｍ  ＨＦ塗布液
この溶液は、実施例３のストック溶液を用いて調製した。実施例４のように１．０ｍｌの０．０７Ｍ  ＨＦ溶液を使う代わりに、０．８ｍｌを使用した。溶液を実施例４と同様に試験した。
実施例６：１．２ｍｌの０．０７Ｍ  ＨＦ塗布液
この溶液は、実施例３のストック溶液を用いて調製した。実施例４のように１．０ｍｌの０．０７Ｍ  ＨＦ溶液を使う代わりに、１．２ｍｌを使用した。溶液を実施例４と同様に試験した。
【００３３】
実施例７：０．０７Ｍ酢酸を用いて調製されたストック溶液
プロセス中でＨＣｌの代わりに０．０７Ｍ酢酸を用いて、実施例１に従いストック溶液を調製した。他の試薬は同じ量を用いた。
実施例８：酢酸塗布液
風袋を計ったポリプロピレン容器に、以下の順序で１０ｍｌの実施例７で調製したストック溶液、１０ｍｌのエタノール、０．４２ｍｌのＴＦＴＳ、０．４ｍｌの脱イオン水および１．２ｍｌの０．０７Ｍ  ＨＯＡｃを加えた。この溶液に、１．５２ｇのＬ１２１界面活性剤を加えた。その重量は溶液重量の８重量％であった。溶液を２０分間超音波処理し、得られた無色透明な溶液を、０．２ミクロンシリンジフィルターに通して濾過した。
【００３４】
実施例９：０．０７Ｍギ酸を使用して調製されたストック溶液
プロセス中でＨＣｌの代わりに０．０７Ｍギ酸を使用して、実施例１に従いストック溶液を調製した。他の試薬は同じ量用いた。
実施例１０：ギ酸塗布液
風袋を計ったポリプロピレン容器に、以下の順序で、実施例９で調製したストック溶液１０ｍｌ、１０ｍｌのエタノール、０．４２ｍｌのＴＦＴＳ、０．４ｍｌの脱イオン水および１．２ｍｌの０．０７Ｍ  ギ酸を加えた。この溶液に、１．５８ｇのＬ１２１界面活性剤を加えた。その重量は溶液重量の８重量％であった。溶液を２０分間超音波処理し、得られた無色透明な溶液を、０．２ミクロンシリンジフィルターに通して濾過した。
【００３５】
実施例４、５、６、８および１０の５種の塗布液を用いて、同じ方法でシリコンウェハの上でフィルムを調製した。各溶液の約１．２ｍｌを別々に、個々のウェハの上に供給した。ウェハを５００ｒｐｍで１０秒回転させ、次いで３０００ｒｐｍに加速して２５秒間維持した。このプロセスの最後で、ウェハを窒素パージした箱型炉に入れ、毎分５℃で４２５℃まで加熱し、３０分間その温度に保ち、室温まで放冷した。これらのフィルムはいずれも焼成工程で残らなかった。上記の実施例で用いた濃度および量ではゾルゲル反応を触媒するのに代替の酸が無効であったことは驚くべきことである。Ｂｒｉｎｋｅｒのデータがあれば、同じ濃度で類似の結果を期待する者はいないであろう。
【００３６】
溶液を冷蔵庫中に保存し、異なる時間経過後にフィルムを調製するために用いた。４日後、酢酸およびＨＦ触媒溶液は、光学的品質は劣るが約６０％の多孔度の良好なフィルムを形成できたが、ギ酸触媒溶液では形成できなかった。
実施例１１および１２は、フィルムの特性に対する酢酸濃度の影響を示している。上記のとおり、０．０７Ｍ  ＨＯＡｃおよびギ酸フィルムは最初は品質が劣っていた。したがって、ストック溶液および塗布液の両方の酢酸触媒の濃度を変えた。２種の異なる濃度、１．０Ｍおよび濃縮（９９．７％）を用いた。
【００３７】
実施例１１：１．０Ｍ  ＨＯＡｃストック溶液
０．０７Ｍ  ＨＯＡｃ溶液を１．０Ｍ  ＨＯＡｃ溶液に変えて実施例７に従いストック溶液を調製した。他の試薬は同じであり、溶液を実施例７と同様に処理した。
実施例１２：１．０Ｍ  ＨＯＡｃ塗布液
プロセス中で１．２ｍｌの０．０７Ｍ  ＨＯＡｃの代わりに１．０ｍｌの１．０Ｍ  ＨＯＡｃを使用し、実施例８に従い塗布液を調製した。他の試薬は同じ量を用いた。室温で２日間エージングすると、この塗布液は、多孔度５４％および厚さ約０．２ミクロンのフィルムを作り出した。
【００３８】
実施例１３：濃縮ＨＯＡｃストック溶液
０．０７Ｍ  ＨＯＡｃ溶液を濃縮（９９．７％）ＨＯＡｃに代えて、実施例７に従いストック溶液を調製した。他の試薬は同じであり、溶液を実施例７と同様に処理した。
実施例１４：濃縮ＨＯＡｃ塗布液
プロセス中で１．２ｍｌの０．０７Ｍ  ＨＯＡｃの代わりに１．０ｍｌの濃縮（９９．７％）ＨＯＡｃを使用して、実施例８に従い塗布液を調製した。他の試薬は同じ量を用いた。室温で４日間エージングすると、このゾルは多孔度５８％および厚さ約０．５μｍのフィルムを作り出した。
【００３９】
実施例１５：貯蔵寿命試験
塗布液のエージングの効果を調べるように計画された一連の実験を、濃縮酢酸および０．０７Ｍ  ＨＣｌを用いて実施し、ゾルゲル反応の触媒としての有機酸の使用による効果があるかどうか調べた。
２種の異なるストック溶液を調製した。（１）濃縮酢酸（９９．７％）の第１ストック溶液および（２）０．０７Ｍ  ＨＣｌの第２ストック溶液である。塗布液を、ＨＣｌおよびＨＯＡｃを用いて上述のとおり作り、冷蔵庫中または室温で保存した。２，３日ごとにゾルからフィルムを作った。フィルムを分光偏光解析法によりキャラクタリゼーションし、屈折率を決定し、多孔度と関連づけ、最終的に誘電率を決定した。表１は試験の結果を表す。
【００４０】
【表１】
0003668126.tif 000002
発明者らは、配合物中の界面活性剤の量および種類を操作することによりさまざまな多孔度を持つフィルムを調製可能であることを見出した。２．３未満の誘電率を達成するために最低レベルの多孔度が重要である。また、フィルムが水を吸収しないようにすることも必要である。水の誘電率は７８．５であるので、少量の水ですら誘電率を許容できない程の高い値に上昇させる。
【００４１】
セラミック材料と空気の混合物の誘電率を予測することが可能である。理想的な誘電体の混合物は、印加される場に対して平行または垂直な単なる層であると考えられる。Ｒａｍｏｓ  ｅｔ  ａｌ．，４４３  Ｍａｔ．Ｓｏｃ．Ｓｙｍｐ．Ｐｒｏｃ．Ｖｏｌ．９１（１９９７）は、水平モデルと相関のあるバルクエーロゲル材料のデータを示し、材料の誘電率に対する密度（または多孔度）の関係性を記している。補足的な手法は、マトリックス中の球形粒子に基づくマックスウェル（上記のＫｉｎｇｅｒｙ  ｅｔ  ａｌ．，参照）が導いた関係性の利用である。発明者らは、メソポーラスシリカフィルムの誘電率を予測するのに後者を用いた。多孔度は分光偏光解析法により得られ、それからフィルムの屈折率が分かる。特定の場合では、測定された誘電率と多孔度から計算された誘電率とを比較したが、両方の測定の誤差範囲内で一致した。誘電率の目安として多孔度のみを報告している試験もある。
【００４２】
Ｒａｍｏｓらが指摘したとおり、フィルムの多孔度を調整して、適当な誘電率および機械的強度を達成できることが重要である。本発明のメソポーラスフィルムが多孔度を変える能力は、拡張性および現在の集積化の要件を満たす能力の両方にとって望ましい。
実施例１６：Ｂｒｉｊ５６およびＰＴＥＳまたはＴＦＴＳを含む溶液
この試験は、典型的に使用されるカチオン性界面活性剤に伴うアルカリ金属およびハライドなどの潜在的な汚染物質を低減するため、非イオン性界面活性剤の選択を特定のものに限定した。エチレンオキシドとプロピレンオキシドのブロックコポリマーならびにポリオキシエチレンエーテルを界面活性剤として使用した。塗布液の重量分率としての界面活性剤の量を検討した。さらに、２種の異なる官能基を分析した。官能基は、一般式Ｒ−Ｓｉ（ＯＣＨ2ＣＨ3）3のモノ置換エトキシシランである。この場合、試験した２種の官能基（Ｒ）は、フェニル（ＰＴＥＳ）および（ＣＨ2）2（ＣＦ2）5ＣＦ3（ＴＦＴＳ）である。
【００４３】
実施例１で調製したストック溶液１０ｍｌを使って塗布液を調製し、ストック溶液を１０ｍｌのエタノールで希釈し、表２に示す溶液中の全シリカに対するパーセントとしてのモル量の官能基を、脱イオン水０．４ｍｌおよび０．０７Ｍ  ＨＣｌ  １．０ｍｌとともに添加した。表２に示される重量％の界面活性剤（この場合Ｂｒｉｊ  ５６（Ｃ16Ｈ33（ＯＣＨ2ＣＨ2）10ＯＨ））を溶液に加えた。１０種の溶液のそれぞれを２０分間超音波処理し、０．２ミクロンシリンジフィルターに通して濾過した。４インチウェハに対して約１．２ｍｌの塗布液を用いて、各溶液をシリコンウェハ上にスピンコートした。回転速度および持続期間は上記の実施例に記載したものとほぼ同じである。毎分５℃の速度で４２５℃まで窒素中でフィルムを加熱し、３０分間保った後室温まで放冷することにより、箱型炉中でウェハを焼成した。分光偏光解析法を利用して各フィルムの屈折率を測定し、それぞれの多孔度を計算した。各フィルムの多孔度のパーセントを表２に示す。５％ＴＦＴＳおよび６％Ｂｒｉｊ５６で調製したフィルムの場合、フィルムを低抵抗率の優良シリコンウェハ（ｐｒｉｍｅ  Ｓｉ  ｗａｆｅｒ）上に塗布し、水銀プローブを用いて１ＭＨｚで誘電率を測定した。そのフィルムの実際の誘電率は４．５６（±０．３）であった。多孔度４１％では、マックスウェルの関係を用いて予測される誘電率は２．６である。この差は水分吸収によると思われ、吸湿を最低限にする必要性を表している。
【００４４】
【表２】
0003668126.tif 000003
実施例１７：Ｐｌｕｒｏｎｉｃ  Ｐ１２３およびＰＴＥＳまたはＴＦＴＳを含む溶液
表３はこの試験から得られた多孔度パーセントを示すが、この試験はＢｒｉｊ５６の代わりにＰｌｕｒｏｎｉｃ  Ｐ１２３を用いて実施例１６にほぼ対応しているものである。
【００４５】
【表３】
0003668126.tif 000004
実施例１８：Ｐｌｕｒｏｎｉｃ  Ｌ１２１およびＰＴＥＳまたはＴＦＴＳを含む溶液
表４はこの試験から得られた多孔度パーセントを示すが、この試験はＢｒｉｊ５６の代わりにＰｌｕｒｏｎｉｃ  Ｌ１２１を用いて実施例１６にほぼ対応しているものである。
【００４６】
【表４】
0003668126.tif 000005
図１は、実施例１６から１８の結果を表している。この結果は、界面活性剤の種類および量を変えることにより、フィルムの多孔度を調整しこの用途に望まれる誘電率を達成することができることと、それを超えると利用可能なフィルムが形成されない臨界量があることを示している。これは、従来技術の文献には示されても示唆されてもいない。
【００４７】
実施例１９：誘電率の予測値対実測値
低抵抗率の優良シリコンウェハ上に一連のフィルムを調製し、大気への暴露を最低限にしながら水銀プローブで誘電率を測定した。表５は、誘電率の測定値と、分光偏光解析法により測定された屈折率より推定されたフィルムの多孔度を基に計算された値を比較するものである。
【００４８】
【表５】
0003668126.tif 000006
マックスウェルの方程式を用いて予測されたκ値と実測の誘電率は、両手法に関連する実験誤差範囲内で一致した。この例は、分光偏光解析法により決定したフィルム中の多孔度を用いて誘電率を予測することの妥当性を示している。
【００４９】
実施例２０：細孔径の測定
実施例２に記載の塗布液を用いて、米国特許第５，８５８，４５７号に記載の表面弾性波（ＳＡＷ）装置上および単結晶シリコンウェハ上に薄膜を形成した。フィルムを実施例２と同様な方法で処理した。ＳＡＷ装置上に塗布されたフィルムで窒素吸着等温線を測定した。
【００５０】
このデータからＧｌａｖｅｓ  ｅｔ  ａｌ．，５  Ｌａｎｇｍｕｉｒ  ４５９−６６（１９８９）に記載のとおり細孔径分布を得た。細孔径分布を図２に示す。
実施例１６で議論されたとおり誘電率を測定すると２．１７であったが、マックスウェルの方程式を用いて計算される誘電率（２．１９）と同等であった。
【００５１】
実施例２１：酸触媒として酢酸および官能基としてメチルトリエトキシシラン（ＭＴＥＳ）を用いて調製したフィルムの試験
濃縮酸酸を用いて実施例１３と同様にストック溶液を調製した。この溶液１００ｍｌを１００ｍｌの無水エタノールで希釈した。これに、２．２ｍｌのＭＴＥＳ、４．０ｍｌの脱イオン水および１０ｍｌの濃縮酢酸を加えた。この溶液を用いて、表６に示すさまざまな濃度の５種の異なる界面活性剤を用いて、２０種の塗布液を調製した。Ｐｌｕｒｏｎｉｃ  Ｆ１２７はＢＡＳＦから市販されている。
【００５２】
【表６】
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塗布液を室温で５日間エージングした後、以下のスピニング条件でシリコンウェハおよびＳＡＷ装置上にフィルムを調製した。溶液を５００ｒｐｍで回転しているウェハ上に供給し、ウェハを５００ｒｐｍで７秒回転させ、１２００ｒｐｍまで４０秒間加速した。フィルムを上記の実施例と同様に焼成し、分光偏光解析法を用いて屈折率およびフィルム厚さを決定した。これらのフィルムのデータを表７に示す。
【００５３】
【表７】
0003668126.tif 000008
この試験は、Ｐｌｕｒｏｎｉｃ  Ｆ１２７は試験した濃度では効果的な界面活性剤ではないことを示している。Ｂｒｉｊ界面活性剤はどちらでも、低誘電率フィルムを与えるには多孔度の量が不十分である。Ｐ１２３界面活性剤は、配合物中６重量％で６０％を超える多孔度のフィルムを生みだした。より高い濃度では、効果的でないようである。この特定の界面活性剤で最適な界面活性剤濃度があるように見えるのは興味深い。
【００５４】
実施例２２：異なるアルコールを用いる多孔度の効果
６１ｍｌのＴＥＯＳ、６１ｍｌのイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、５．２ｍｌの脱イオン水および０．２ｍｌの濃縮ＨＯＡｃをきれいなＦＥＰボトル中で混合してストック溶液を調製した。この透明な混合物を６０℃の水浴で９０分間加熱した。ストック溶液を放冷し、以下の実施例の塗布液調製に使用した。
【００５５】
実施例２３：ＩＰＡのみを用いた塗布液
きれいなポリプロピレンボトルに、１０ｍｌの実施例２２のストック溶液、１０ｍｌのＩＰＡ、０．２２ｍｌのＭＴＥＳ、１．４ｍｌの水および１．０ｍｌの濃縮ＨＯＡｃを加えた。この無色透明な溶液に、１．５８ｇのＬ１２１界面活性剤を加えた。この量は、塗布液全体量の８重量％にあたる。異なる分子量およびエタノールより高い沸点を有する異なるアルコールの間で直接比較ができるようにこの量を固定した。上記実施例と同様に、この溶液を超音波処理および濾過した。
【００５６】
この溶液を、実施例２１の手順で単結晶シリコンウェハおよびＳＡＷ装置の上にスピンコートした。フィルムを実施例２に従い焼成し、水銀プローブを用いて誘電率を、偏光解析法を用いて屈折率を測定した。ＳＡＷ装置上でスピンコートしたフィルムから、窒素吸着および脱着等温線を得た。これらのデータを、実施例２４および２５のデータとともに表８にまとめた。
【００５７】
実施例２４：塗布液調製に用いられたイソブタノール
この実施例は実施例２３と同様であるが、ＩＰＡの代わりにイソブタノールを使用してストック溶液を希釈した。
実施例２５：塗布液調製に用いられたｔｅｒｔ−ブタノール（ｔ−ブタノール）
この実施例は実施例２４と同様であるが、イソブタノールの代わりにｔ−ブタノールを使用してストック溶液を希釈した。
【００５８】
実施例２６：ウェハの後処理
上述のとおり、水は誘電率が大きいのでフィルムの細孔中に吸着した水の量を制御するのが重要である。表面のヒドロキシル基が吸湿をもたらしているようである。表面ヒドロキシ基を反応させて表面を疎水性にする方法が多く存在することが知られている。上記の実施例では、表面官能基を生み出すための単官能性トリエトキシシラン（例えば、ＴＦＴＳ、ＰＴＥＳおよび／またはＭＴＥＳ）の使用は、誘電率を低下させる。表面ヒドロキシル基をさらに除去および反応させることが必要であろう。これを実施する可能性のある経路は多く存在する（例えばＩｍｐｅｎｓ  ｅｔ  ａｌ．，Ｍｉｃｒｏｐｏｒｏｕｓ  ａｎｄ  Ｍｅｓｏｐｏｒｏｕｓ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，１９９９，２８，２１７−２３２を参照されたい）。発明者らは、シリル化剤ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）の使用を検討した。
【００５９】
実施例２３および２４にしたがって調製したフィルムを焼成後に箱形炉から取りだし、ペトリ皿中においた。希釈しないＨＭＤＳをフィルム上にシリンジで供給した。ペトリ皿にフタをしてフィルムをＨＭＤＳと接触させたまま数分保った。余分なＨＭＤＳをウェハ表面から流し、ウェハを約３５０℃のホットプレートの上に１分間置いた。フィルムの特性を試験し、水銀プローブを用いて誘電率を測定し、分光偏光解析法を用いて屈折率を測定した。結果を表８に示す。
【００６０】
【表８】
0003668126.tif 000009
表８のかっこ内の数値は、偏光測定から計算された厚さと比較するためにＴｅｎｃｏｒを用いた粗面測定により測定された厚さである。この試験は、ＨＭＤＳ処理をしたＩＰＡ溶液またはＩＰＡストック溶液およびイソブタノールで調製されたフィルムが、低誘電率フィルムを製造するのに効果的であることをはっきりと示している。
【００６１】
実施例２７：Ｘ線回折データ
メソポーラスシリカフィルムの低誘電率特性は、空洞のメソポアに関連する高い多孔度から生じている。非晶質シリカマトリックスのメソポアの細孔形状および空間配置は著しく周期的であるが、長距離空間的細孔秩序がない材料中ではＸ線的に非晶質に見える。これらの材料は粉末形態では等方的バルク性を示すが、その機械的、電気的性質は高度に模様のつけられた（すなわち、単結晶の）薄膜においては、シリコンウェハ表面に対する細孔系の形状および配向のため、異方的であるかもしれない。
【００６２】
Ｘ線回折法は、これらの材料を構造的にキャラクタリゼーションする最良の方法の１つを提供する。ＴＥＭイメージとは対照的に、Ｘ線データは、試料調製なしにウェハから非破壊的に得られ、ナノメーターではなくミリメーターの面積の平均である。
メソポーラスシリカは最初パウダーとして調製され、Ｘ線回折技術はこれらの材料の構造的性質の決定およびルーチン的な相の同定の手段であった。Ｂｅｃｋｅｔ  ａｌ．，Ａ  Ｎｅｗ  ｆａｍｉｌｙ  ｏｆ  ｍｅｓｏｐｏｒｏｕｓ  ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  ｓｉｅｖｅｓ  ｐｒｅｐａｒｅｄ  ｗｉｔｈ  ｌｉｑｕｉｄｃｒｙｓｔａｌ  ｔｅｍｐｌａｔｓ，１１４  Ｊ．Ａｍ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．１０８３４−４３（１９９２）を参照されたい。これらの材料の粉末回折分析には、一次格子転移に関連する比較的大きな間隔（２０〜１００Å）のため比較的小さい回折角（０．５°〜２．０°の２θ）でのデータ収集が必要である。最近の粉末回折計では非常に困難であるわけではないが、これらの測定には注意深い低角度装置調節および試料調製が必要である。しかし、ウェハ基板上のこれらの材料の薄膜を分析することは、従来のＸ線粉末回折法にとって厳しい問題を提示している。我々の初期の実験は、ウェハ配向の小さな変化により回折強度に大きな変化があることを明らかにした。面検出器によるその後の試験でこれらの強度の変化は高度に組織されたフィルムから生じることが確認された。無秩序に配向された粉末というより単結晶により近いフィルムもある。
【００６３】
他の問題は、ウェハの大きさである。従来の粉末回折計は大きな（例えば６インチまたは８インチ）直径のウェハを収容できない。この問題のため、発明者らは、面検出器系（ａｒｅａ  ｄｅｔｅｃｔｏｒ  ｓｙｓｔｅｍ）および斜入射（ｇｒａｚｉｎｇ  ｉｎｃｉｄｅｎｃｅ）Ｘ線反射率（ＧＩＸＲ）を含む、追加のＸ線技術および機器の評価を行った。Ｂｏｗｅｎ  ｅｔ  ａｌ．，Ｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ、１９９３，４，１７５−１８２を参照されたい。
【００６４】
１次元シンチレーションカウンターの代わりに高分解能サンプルステージおよび面検出器を備えた回折装置は、組織化材料を分析するのに著しく有利である。回折環の小さな部分のみを記録する代わりに、面検出器は完全な環を透過モードで、環の半分を反射モードで記録できる。これは、いくつかの単結晶反射と低分解能鏡面及び斜入射Ｘ線反射データを検出するに十分である。斜入射は、試料表面から低角度で反射されたＸ線反射を分析する。従来の回折技術と異なり、ＧＩＸＲは表面の最上のミクロン層における電子密度分布に敏感であり、結晶化度または物理的状態に作用されない。
【００６５】
高分解能ＧＩＸＲデータは、高分解能５軸サンプルステージ、Ｓｉ（２２０）入射ビームモノクロメーター、シンチレーションディテクターおよびＣｕＫα放射を備えたＢｅｄｅ  Ｄ１回折システムにより得た。ＧＩＸＲデータは、２５アークセカンドから２５００アークセカンドまでθ−２θモードで集めた。図３および４は、それぞれ実施例２および１４にしたがい調製されたフィルムの典型的なＧＩＸＲデータを示す。
【００６６】
図３は、強度対アークセカンドで表した角度のプロットである。この回折パターンは、厚さが５０００Åでバルクシリカの約４７％の密度を持つフィルムと一致している。これは、図２に示した偏光法データとも一致している。このプロットはＸ線ビームの反射率のみを示している。この角度範囲ではブラッグ回折を示すものはない。この結果は、（ＳＡＷデータによる細孔径分布、図２に示すように）フィルム中に存在する細孔が一様な大きさであっても、入射Ｘ線を回折するほど規則度が十分に長い長さ規模ではないことを示している。
【００６７】
図４は、実施例１４に従い調製されたフィルムのＧＩＸＲデータを示している。このフィルムは実施例２で作られたフィルムとは非常に異なる。この場合、サンプルは縞を示さず、認められるほどの密度勾配も示さない（すなわち、フィルムは等方性である）。ブラッグ回折ピークが約１８８０アークセカンド（１．０４°２θ）にある。これは細孔中心から細孔中心までの距離約８５Åに相当する。このフィルムはブラッグ回折を示すが、Ｂｒｉｎｋｅｒらが米国特許第５，８５８，４５７号で観察した範囲の外にある。
【００６８】
実施例２８：濃縮酢酸を用いた無官能化フィルム
実施例１３に従い調製したストック溶液２０ｍｌ、無水エタノール２０ｍｌ、０．５ｍｌのＴＥＯＳ（官能化トリエトキシシランの代わりに）、脱イオン水０．８ｍｌおよび濃縮酢酸２．０ｍｌを用いて塗布液を作った。この無色透明な溶液に、塗布液の８重量％にあたる３．００ｇのＬ１２１界面活性剤を加えた。この溶液を０．２マイクロメーターのシリンジフィルターに通して濾過し、２つの等しいロットに分けた。１つのロットを７０℃の水浴中に３時間おいた。この加熱は、酢酸含有溶液に見られる誘導期を加熱により短縮できるかを確認するために行った。他のロットは室温で放置した。
【００６９】
両溶液を、実施例２０に記載の手順に従い単結晶シリコンウェハ上にスピンコートした。これらのフィルムを実施例２０に記載のものと同様に処理した。キャラクタリゼーションデータを、実施例２９の比較データとともに表９に示す。
実施例２９：０．０７Ｍ  ＨＣｌを用いた無官能化フィルム
この実施例は、実施例１のストック溶液を用い、実施例２８の濃縮ＨＯＡｃを０．０７Ｍ  ＨＣｌに代えた、実施例２８の比較例である。この溶液は０．２マイクロメーターのシリンジフィルターに通して濾過するのが困難なので、１．０マイクロメーターのフィルターを用いた。この溶液を２つのロットに分け、実施例２８と同様に処理した。キャラクタリゼーションデータを表９に示す。
【００７０】
【表９】
0003668126.tif 000010
この試験は、エージングプロセスを加速させるのに加熱が幾分効果的であることを示している。酢酸の最初のフィルム（加熱済みおよび室温の両方とも）は非常に薄かった。使用可能なフィルムを得るためにはスピニング条件の変更が必要であろう。７日後、酢酸フィルムの両方では多孔度および厚さは同等であり、未だに使用可能な低誘電率フィルムを生みだしているが、塩酸フィルムはより密になっているようである。これは、使用可能なフィルムを生み出すのに必要な誘導期を短縮するために、弱酸を用いた溶液の加熱を利用する可能性を示している。
【００７１】
実施例３０：０．１０Ｍ  シュウ酸を用いて調製したストック溶液
プロセス中でＨＣｌの代わりに０．１０Ｍ  シュウ酸を用いて実施例１に従いストック溶液を調製した。他の試薬は同量を用いた。
実施例３１：シュウ酸塗布液
風袋を計ったポリプロピレンボトルに、以下の順序で、実施例３０で調製した１０ｍｌのストック溶液、１０ｍｌのエタノール、０．２２ｍｌのＭＴＥＳ、０．４ｍｌの脱イオン水および１．０ｍｌの０．１０Ｍシュウ酸を加えた。この溶液に、１．５１ｇのＬ１２１界面活性剤を加えた。この重量は溶液重量の８重量％に相当する。この溶液を２０分間超音波処理し、得られた無色透明な溶液を０．２ミクロンシリンジフィルターに通して濾過した。
【００７２】
５００ｒｐｍで７秒間回転しながら１．２ｍｌの塗布液をウェハ上に供給することにより、この溶液を単結晶シリコンウェハ上にスピンコートした。次いでこの速度を４０秒間１２００ｒｐｍまで上げた。フィルムの焼成を実施例２と同様に行った。得られたフィルムを分光偏光解析法でキャラクタリゼーションした。結果を表１０に示す。
【００７３】
【表１０】
0003668126.tif 000011
これらの結果は、実施例２８および表９で示した濃縮酢酸の結果と同様であり、より強いシュウ酸が酢酸よりもより迅速にゾルゲル反応を触媒していることを示している。これは他の強いカルボン酸でも期待され、そのような酸にはとりわけグリコール酸およびグリオキサル酸などがある。
【００７４】
実施例３２：エトキシ化アセチレンジオール界面活性剤
塗布液の調製には、主にシリカ、エタノールおよび水を含むストック溶液、酸、エタノール、水および界面活性剤が必要であった。ストック溶液は、２８．３ｇのＴＥＯＳ、２４．０ｇのエタノール、２．５３ｇの水および０．１１ｇの０．０７Ｍ  ＨＣｌを混合し、溶液を９０分間６０℃に加熱し、使用前に溶液を室温まで放冷して調製した。
【００７５】
塗布液には、８．８ｇの上記で調製したストック溶液、１２．５ｇのエタノール、０．４ｇの水、１ｇの０．０７Ｍ  ＨＣｌおよび２ｇの界面活性剤Ｓｕｒｆｙｎｏｌ  ４６５およびＳｕｒｆｙｎｏｌ  ４８５が必要である。溶液を２０分間超音波処理し、０．２ミクロンＡｃｒｏｄｉｓｃに通して濾過した。溶液をウエハ上に供給しスピンコートして乾燥させる。ウェハを調製した後、窒素中４２５℃での熱分解を利用して界面活性剤を除去する。Ｓｕｒｆｙｎｏｌ  ４６５およびＳｕｒｆｙｎｏｌ  ４８５の両方の溶液の結果を表１１に示す。
【００７６】
【表１１】
0003668126.tif 000012
実施例３３：低濃度のエトキシ化アセチレンジオール
この実施例は、界面活性剤濃度の低下がフィルムの特性に及ぼす影響を示す。Ｓｕｒｆｙｎｏｌ  ４６５の量が、配合物中の元々の８重量％（２．０ｇ）から４％（１．０ｇ）および２％（０．５ｇ）に低下したことを除いて実施例３２と同じ手順を利用した。全てのウェハを、開放した鉢型配置の中で１８００ｒｐｍで２０秒間回転し、次いで窒素中で４２５℃で焼成し界面活性剤を除去した。結果を以下の表１２に示す。
【００７７】
【表１２】
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実施例３４：エトキシ化アセチレンジオールおよびシュウ酸
この実施例は、ＨＣｌの代わりのシュウ酸の使用を示す。塗布液およびストック溶液中の０．０７Ｍ  ＨＣｌを０．１Ｍシュウ酸に代え、各試薬を同量用いた。溶液を混合し、超音波処理し、０．２ミクロンＡｃｒｏｄｉｓｃに通して濾過し、ウェハ上にスピンコートした。ウェハを、開放した鉢型配置の中で１８００ｒｐｍで２０秒間回転して余分な溶液および溶媒を除き、次いで窒素中で４２５℃で焼成し界面活性剤をフィルムから除去した。結果を以下の表１３に示す。
【００７８】
【表１３】
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実施例３５：界面活性剤の純度分析
この実施例は、追加の精製を行う前の出発界面活性剤の純度を示している。以下に示す他の多くの市販界面活性剤に対してスクリーニングされた金属を、Ｓｕｒｆｙｎｏｌは明らかにはるかに低濃度で含有する。これらの金属を最初の材料中に少量しか含まないので、電子グレードへの洗浄、すなわち２０ｐｐｂ未満への洗浄ははるかに容易である。分析結果を表１４に示す。Ｔｒｉｔｏｎ  Ｘ−１１４はＣｈａｒｌｅｓｔｏｎ，ＷＶのＵｎｉｏｎ  Ｃａｒｂｉｄｅ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎから市販されている。
【００７９】
【表１４】
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実施例３６：細孔径の測定
この実施例は、焼成後の最初の例における配合物からＳｕｒｆｙｎｏｌ界面活性剤を用いて得られたフィルムの細孔径を示す。以下の表１５は、ＳＡＷ技術を用いて測定すると、Ｓｕｒｆｙｎｏｌはブロックコポリマーよりもはるかに小さい細孔径を生みだすが、それでもメソポーラスフィルムに類似の多孔度および屈折率を有することを示している。
【００８０】
【表１５】
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実施例３７：メチルトリエトキシシラン（ＭＴＥＳ）および精製済みＴｒｉｔｏｎ  Ｘ−１１４界面活性剤の配合物中の量が誘電率（κ）、κ安定性および機械的強度に与える影響
低誘電率（κ）、κ安定性（８５℃／相対湿度８５％（８５／８５）試験２時間後）および高モジュラスの最適な組合せを決定するため、メチルトリエトキシシラン（ＭＴＥＳ）および精製済みＴｒｉｔｏｎ  Ｘ−１１４界面活性剤の量を変えて一連の溶液を調製した。
【００８１】
溶液は、基本として以下の配合に従って調製した。この配合物は、シリカ源の５０％がＭＴＥＳであり界面活性剤が全配合物重量の５％加えられているので、５０％ＭＴＥＳ／５％界面活性剤配合物と記載される。
【００８２】
【表１６】
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【００８３】
【表１７】
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全てのフィルムを８インチのウェハ上でスピンコートし、同じアニーリング条件で処理した（それぞれ１．５、１．５および３分間、９０、１８０および４００℃で空気中硬化）。フィルムを、窒素の減圧下で４２５℃で６分間さらに熱処理した。
【００８４】
この試験は、フィルムの機械的安定性および誘電安定性の間に兼ね合いがあることを明確に示している。これは、低濃度の界面活性剤および中程度の量のＭＴＥＳで加工することにより釣り合いをとることができる。この試験では、最適の混合物は５０％ＭＴＥＳ／４％界面活性剤配合物であった。この組合せが、最高のモジュラスとともに最低のκおよび最良のκ安定性を与えた。誘電安定性を達成するための２次的な処理が不要であることが利点である。これにより、誘電用途用のフィルムを調製するために必要なプロセスが簡略化される。
【００８５】
本発明は、特定の実施例とともに詳細に記載されてきたが、その精神および範囲から逸脱することなくさまざまな変更および修飾が加えられることが当業者には明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】多孔度対界面活性剤対官能基の三次元グラフである。
【図２】実施例２のメソポーラスシリカフィルムの細孔径分布のグラフである。
【図３】実施例２に従い調製されたメソポーラスシリカフィルムの斜入射Ｘ線反射率（ＧＩＸＲ）を示すグラフである。
【図４】実施例１４に従い調製されたメソポーラスシリカフィルムのＧＩＸＲデータを示すグラフである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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