(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測用ケーブルが各別に接続された複数本のプローブを個別昇降を自在に制御して扇形に配列させてなる基板検査装置用ラインプローブにおいて、
前記各プローブのうち、少なくとも１本の特定プローブを除いた他の不特定プローブのそれぞれは、計測用ケーブルと導通させたチェック用ケーブルを別途に備え、前記特定プローブが備える計測用ケーブルは、開閉自在なスイッチを有してその閉成時に定電流の印加を自在にして配設し、前記不特定プローブが備える各チェック用ケーブルは、開閉自在なスイッチを有してその閉成時に電流の計測を自在にしてそれぞれ配設するとともに、各プローブを同一の電導部材にすべて接触させ、もしくは前記電導部材から不特定プローブのみをすべて引き離した状態のもとで、前記特定プローブの計測用ケーブルのスイッチを閉成すると同時に前記不特定プローブのいずれかひとつのプローブのチェック用ケーブルのスイッチを閉成して電流値を計測する操作を前記各不特定プローブ毎に繰り返し行い、その際に得られる各電流値により対応する各プローブの昇降状態の適否をプローブ毎に個別にチェックすることを特徴とする基板検査装置用ラインプローブの適否状態チェック方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板検査装置用ラインプローブの適否状態チェック方法に係り、さらに詳しくは、複数本の各プローブが計測に適した状態にあるか否かを容易に確認することができる基板検査装置用ラインプローブの適否状態チェック方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本出願人は、インサーキットテスタによる高速検査を可能にするために、複数本のプローブを個別昇降を自在に制御して扇形に配列させてなる同時多点接触プローブを開発している（以下、これら一群のプローブを「ラインプローブ」と称する）。
【０００３】
図４は、上記ラインプローブの概要を示すものであり、扇形支持部１５に対し複数本のプローブＰ1 〜Ｐn （例えば１３本）がそれぞれその接触端１２側を扇のかなめ方向へと向かわせた扇形に配列してラインプローブ１１の全体が形成されている。
【０００４】
このため、図示例のように基板２１の実装リード部品２３が有するリード２３ａ，２３ｂに対し検査を行う場合には、リードピッチが一致する二本のプローブＰ1 ，プローブＰn のみを降下させてそれぞれの接触端１２，１２をリード２３ａ，２３ｂに接触させることができることになる。また、図示は省略してあるが、多ピンリード部品に対しては、対応する適宜のプローブを選択して降下させ、必要部位のそれぞれに対し各別に同時多点接触させることができるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記ラインプローブ１１によれば、各プローブＰ1 〜Ｐn を同時に多点接触させることができるので、各種の検査を高速化することはできる。
【０００６】
しかし、何らかの事情で各プローブＰ1 〜Ｐn が備える計測用ケーブル（図示せず）のうちのいずれかに断線が生じていたり、プローブＰ1 〜Ｐn 自体の昇降が円滑に行われていない場合には、正確な検査ができなくなるため、適宜、プローブＰ1 〜Ｐn が正しく計測できる状態になっているか否かを個別にチェックする必要があり、作業的に煩雑になる不都合があった。
【０００７】
本発明は従来技術にみられた上記課題に鑑み、ラインプローブを構成している各プローブが正しく計測できる状態にあるか否かを簡易、かつ、迅速にチェックすることができる基板検査装置用ラインプローブの適否状態チェック方法を提供することにその目的がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成すべくなされたものであり、その構成上の特徴は、計測用ケーブルが各別に接続された複数本のプローブを個別昇降を自在に制御して扇形に配列させてなる基板検査装置用ラインプローブにおいて、前記各プローブのうち、少なくとも１本の特定プローブを除いた他の不特定プローブのそれぞれは、計測用ケーブルと導通させたチェック用ケーブルを別途に備え、前記特定プローブが備える計測用ケーブルは、開閉自在なスイッチを有してその閉成時に定電流の印加を自在にして配設し、前記不特定プローブが備える各チェック用ケーブルは、開閉自在なスイッチを有してその閉成時に電流の計測を自在にしてそれぞれ配設するとともに、各プローブを同一の電導部材にすべて接触させ、もしくは前記電導部材から不特定プローブのみをすべて引き離した状態のもとで、前記特定プローブの計測用ケーブルのスイッチを閉成すると同時に前記不特定プローブのいずれかひとつのプローブのチェック用ケーブルのスイッチを閉成して電流値を計測する操作を前記各不特定プローブ毎に繰り返し行い、その際に得られる各電流値により対応する各プローブの昇降状態の適否をプローブ毎に個別にチェックすることにある。
【０００９】
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施に供されるラインプローブの概略構成を具現化して例示する説明図であり、扇形支持部１５に対し複数本のプローブＰ1 〜Ｐn （図示例では１３本）をそれぞれその接触端１２側が扇のかなめの方向に向かうようにして扇形に配列し、頂端１３側に計測用ケーブル１〜ｎを備えてラインプローブ１１の全体が構成されている。
【００１１】
しかも、前記ラインプローブ１１は、各プローブＰ1 〜Ｐn のそれぞれが前記計測用ケーブル１〜ｎと頂端１３側にて導通させたチェック用ケーブル１′〜ｎ′をも別途に備えて構成されている。
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【００１６】
本発明は、図１に示すラインプローブ１１に対して行われるものであり、前記各プローブＰ1 〜Ｐn のうち、少なくとも１本の特定プローブ（以下、プローブＰ1 を特定プローブとする）を除いた他の不特定プローブ（以下、プローブＰ2 〜Ｐn を不特定プローブとする）のそれぞれは計測用ケーブル２〜ｎと導通させたチェック用ケーブル２′〜ｎ′を別途に備えて配設されている。
【００１７】
また、前記特定プローブＰ1 が備える計測用ケーブル１は、開閉自在なスイッチＳＷ1 を有して図２に示す測定回路を形成して配設されているので、このスイッチＳＷ1 を閉成した際にプローブＰ1 の側に定電流電源３１からの定電流を印加することができるようになっている。
【００１８】
しかも、前記不特定プローブＰ2 〜Ｐn が備える各チェック用ケーブル２′〜ｎ′の側は、開閉自在なスイッチＳＷ2 ′〜ＳＷn ′を有して同じく図２に示す測定回路を形成して配設されているので、スイッチＳＷ2 ′〜ＳＷn ′のいずれかを閉成した際に対応するいずれかのチェック用ケーブル２′〜ｎ′を流れる電流を電流計３２により計測できるようになっている。
【００１９】
この場合、前記ラインプローブ１１を構成する各プローブＰ1 〜Ｐn の降下制御状態の適否は、次のプロセスを経て行われる。
【００２０】
すなわち、各プローブＰ1 〜Ｐn の接触端１２を同一の電導部材２２にすべて接触させる降下制御状態のもとで、前記特定プローブＰ1 の計測用ケーブル１のスイッチＳＷ1 を閉成すると同時に、前記不特定プローブＰ2 〜Ｐn におけるプローブＰ2 のチェック用ケーブル２′のスイッチＳＷ2 ′のみを閉成することにより、定電流電源３１からの電流は計測用ケーブル１→プローブＰ1 →電導部材２２→プローブＰ2 →チェック用ケーブル２′のルートをたどって電流計３２へと流れ込み、電流値が計測されることになる。
【００２１】
このとき、電流計３２が所定の数値を示していれば、プローブＰ1 とプローブＰ2 とは確実に降下して正常に動作していることがチェックできることになる。また、電流計３２が所定の数値を示していない場合には、少なくともプローブＰ1 とプローブＰ2 とのいずれかが正しく降下しておらず、異常な動作状態にあることが確認できることになる。
【００２２】
かくして、プローブＰ3 から最後のプローブＰn に至るまでプローブ毎に同様なスイッチ操作を繰り返し行うことにより、プローブＰ1 〜Ｐn の降下制御状態が正常か異常かを確実に確認できることになる。
【００２３】
一方、不特定プローブＰ2 〜Ｐn の上昇制御状態の適否は、次のプロセスを経て行われる。
【００２４】
すなわち、前記特定プローブＰ1 のみを電導部材２２に接触させ、前記不特定プローブＰ2 〜Ｐn の接触端１２を前記電導部材２２からすべて引き離した上昇制御状態のもとで、前記特定プローブＰ1 の計測用ケーブル１のスイッチＳＷ1 を閉成すると同時に、前記不特定プローブＰ2 〜Ｐn におけるプローブＰ2 のチェック用ケーブル２′のスイッチＳＷ2 ′のみを閉成する。
【００２５】
この場合、定電流電源３１からの電流が電流計３２により計測されなければ、プローブＰ2 が正しく上昇しており、正常な動作状態にあることが確認できる。しかし、定電流電源３１からの電流が電流計３２により計測された場合には、計測用ケーブル１→プローブＰ1 →電導部材２２→プローブＰ2 →チェック用ケーブル２′のルートをたどって電流計３２へと流れ込んでいることが判明し、プローブＰ2 が何らかの原因で正しく上昇しておらず、異常な動作状態にあることが確認できる。
【００２６】
かくして、プローブＰ3 から最後のプローブＰn に至るまでプローブ毎に同様なスイッチ操作を繰り返し行うことにより、プローブＰ2 〜Ｐn の上昇制御状態が正常か異常かを確実に確認することができることになる。なお、特定プローブＰ1 が正常に降下していない場合には、定電流電源３１からの電流が電流計３２に流れることはないので、事前にプローブＰ1 と導電部材２２との接触状態を確認しておくのが望ましい。
【００２７】
【００２８】
本発明は上述したようにして構成されているので、各プローブＰ1 〜Ｐn の降下制御状態の適否は、各プローブＰ1 〜Ｐn の接触端１２を同一の電導部材２２にすべて接触させる降下制御状態のもとで、前記特定プローブＰ1 の計測用ケーブル１のスイッチＳＷ1 を閉成すると同時に、チェック用ケーブル２′〜ｎ′のスイッチＳＷ2 ′〜ＳＷn ′の開閉を順次繰り返し行い、その際に電流計３２が計測する電流値を確認することにより、プローブＰ1 〜Ｐn の降下制御状態が正常か異常かを確実にチェックすることができる。
【００２９】
また、不特定プローブＰ2 〜Ｐn の上昇制御状態の適否は、前記特定プローブＰ1 のみを電導部材２２に接触させ、前記不特定プローブＰ2 〜Ｐn の接触端１２を前記電導部材２２からすべて引き上げる上昇制御状態のもとで、前記特定プローブＰ1 の計測用ケーブル１のスイッチＳＷ1 を閉成すると同時に、チェック用ケーブル２′〜ｎ′のスイッチＳＷ2 ′〜ＳＷn ′の開閉を順次繰り返し行い、その際に電流計３２が計測する電流値を確認することにより、プローブＰ1 〜Ｐn の上昇制御状態が正常か異常かを確実にチェックすることができる。
【００３０】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、各プローブの降下制御状態の適否は、各プローブを同一の電導部材にすべて接触させる降下制御状態のもとで、前記特定プローブの計測用ケーブルのスイッチを閉成すると同時に、不特定プローブのチェック用ケーブルのスイッチの開閉を順次繰り返し行い、その際に計測される電流値を確認することにより、プローブの降下制御状態が正常か異常かを確実にチェックすることができる。
【００３１】
【００３２】
また、不特定プローブの上昇制御状態の適否は、特定プローブのみを電導部材に接触させ、不特定プローブを前記電導部材からすべて引き上げる上昇制御状態のもとで、特定プローブの計測用ケーブルのスイッチを閉成すると同時に、不特定プローブのチェック用ケーブルのスイッチの開閉を順次繰り返し行い、その際に計測される電流値を確認することにより、プローブの上昇制御状態が正常か異常かを確実にチェックすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施に供されるラインプローブの概略構成例を示す説明図である。
【図２】本発明の実施に供される測定回路図である。
【図３】本発明が適用される従来からあるラインプローブの概略構成を示す説明図であ
る。
【符号の説明】
１〜ｎ  計測用ケーブル
１′〜ｎ′  チェック用ケーブル
１１  ラインプローブ
Ｐ1 〜Ｐn   プローブ
１２  接触端
１３  頂端
１５  扇形支持部
２１  基板
２２  導電部材
３１  定電流電源
３２  電流計
【図１】
0003620912.tif 000002
【図２】
0003620912.tif 000003
【図３】
0003620912.tif 000004