(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクと、前記磁気ディスクに情報を書込み、それを読み出す磁気ヘッドを搭載したスライダと、前記磁気ヘッドが前記磁気ディスク上の任意の半径位置にアクセスする駆動力を発生するボイスコイルモータと、前記ボイスコイルモータの駆動力によってピボット軸を中心に回転運動するキャリッジと、前記スライダを柔軟に支持するためのフレクシャと、前記スライダに適切な荷重を付与するためのロードビームと、前記ロードビームに連接されたマイクロアクチュエータ搭載部と、前記マイクロアクチュエータ搭載部に設けられたマイクロアクチュエータと、前記マイクロアクチュエータ搭載部を前記キャリッジに固定するための固定部とを有する磁気ディスク装置において、
前記マイクロアクチュエータを、前記ロードビームの長手方向中心線に対して一方側で、前記マイクロアクチュエータ搭載部のキャリッジ側のアクチュエータ固定部と磁気ヘッド側のアクチュエータ固定部とに跨るように設け、
前記中心線に対して他方側で、前記キャリッジ側アクチュエータ固定部と前記磁気ヘッド側アクチュエータ固定部とを、前記中心線に向って凸な形状を有する伸縮可能な柔軟な１本の腕部で連結したことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気ディスク装置において、前記磁気ヘッドを前記磁気ディスクの外に退避させるロード・アンロード機構を備え、前記マイクロアクチュエータを前記中心線に対して前記磁気ディスクの中心から遠い側に設け、前記腕部を前記中心線に対して前記磁気ディスクの中心に近い側に設け、前記磁気ヘッドを前記ロード・アンロード機構によって前記磁気ディスクの外に退避させた状態で前記腕部が前記磁気ディスクの外側に位置するようにしたことを特徴とする磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ディスク装置に係り、特に、磁気ヘッドを目標トラックに精密に位置決めするためのマイクロアクチュエータを搭載した磁気ヘッド支持機構及びそれを用いた磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年の磁気ディスク装置の大容量化に伴い、磁気ヘッドは目標トラックに対して非常に高精度な位置決めをしなければならなくなっている。そのため、磁気ディスク装置ではキャリッジ回転中心に対して磁気ヘッドと反対側に設けたボイスコイルモータで粗く移動し、サスペンション部分に微動用のアクチュエータを備えた構成の駆動機構が提案されている。
【０００３】
例えば、特開平１１−１６３１１号公報では、粗動アクチュエータに加えてロードビームと磁気ヘッドを備えたサスペンションの間にマイクロアクチュエータを設けて駆動する構成が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
マイクロアクチュエータには、従来はコイルと磁石を用いた電磁型も検討されたが、最近近年では剛性や製造コストの観点からＰＺＴ等の圧電素子を用いた圧電型が実用化されつつある。
【０００５】
しかし、圧電素子は脆性材料であるため衝撃や摺動に弱く、摺動部分や、衝撃時または圧電素子駆動時の応力の集中する部分から塵埃が発生しやすいという欠点を持っている。磁気ディスク装置においては、記録密度向上の観点から磁気ヘッドを搭載したスライダの浮上面とディスク表面との間隔(浮上量)が数十ｎｍと非常に小さいため、塵埃が発生した場合には適正な浮上量を保つことが困難になり記録・再生できなくなり、最悪の場合にはスライダおよびディスクの破損が生じることがあり、磁気ディスク装置の信頼性の低下につながる。そのため圧電素子を使用する際には、可能な限り摺動部分を廃し、磁気ディスク装置外部から衝撃が加わった場合や圧電素子を駆動した場合に発生する応力をできる限り小くしなければならないという課題がある。
【０００６】
また、上記の信頼性と量産性を確保するために、圧電素子の使用個数を少なくしたいという課題もある。
【０００７】
さらに、磁気ディスク装置の稼動停止時に磁気ヘッドをディスクの外側に待避させるロード・アンロード機構を採用する磁気ディスク装置では、外部衝撃によりディスクとサスペンションが変形して両者が接触する事により、ディスク面が損傷することを避けるために、サスペンションをディスクの外に完全に待避させる事が課題である。このためにマイクロアクチュエータの幅を小さくしたいという課題もある。
【０００８】
本発明の目的は、上記の課題（の少なくとも一つ）を解決するもので、圧電素子の個数が少なく、構成が簡単で、摺動部が少なく正確に位置決めが出きるアクチュエータ構成とそれを用いた磁気ディスク装置を提供するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、マイクロアクチュエータを、ロードビームの長手方向中心線に対して一方側で、マイクロアクチュエータ搭載部のキャリッジ側のアクチュエータ固定部と磁気ヘッド側のアクチュエータ固定部とに跨るように設け、前記中心線に対して他方側で、キャリッジ側アクチュエータ固定部と磁気ヘッド側アクチュエータ固定部とを、前記中心線に向って凸な形状を有する伸縮可能な柔軟な１本の腕部で連結する。
これにより、マイクロアクチュエータは固定部以外では動作時及び、衝撃時共に他の部材と接触することがないため、摺動による塵埃の発生を回避できる。また、衝撃時には腕部が衝撃時に発生する応力を分担し、動作時には腕部が自由に変形することにより、マイクロアクチュエータへの応力の集中を緩和することができ、磁気ディスク装置の信頼性を向上することができる。
さらに、腕部をロードビーム長手方向中心線に向かって凸な形状とすることにより、腕部の経路長を長くしながらロードビーム長手方向中心線から腕部の最遠点までの距離を小さくできるので、マイクロアクチュエータの動作を阻害することなくロードビーム長手方向中心線回りの慣性モーメントを小さくでき、これによりねじれ振動を抑えることができる。
【００１０】
また、マイクロアクチュエータの個数を減少させることができる。
【００１１】
また、上記手段において、マイクロアクチュエータをロードビーム長手方向中心線に対して前記磁気ディスクの中心から遠い側に設け、腕部をロードビーム長手方向中心線に対して磁気ディスクの中心に近い側に設け、磁気ヘッドをロード・アンロード機構によって磁気ディスクの外に退避させた状態で腕部が前記磁気ディスクの外側に位置するようにした場合、腕部の形状は磁気ディスクの中心から遠ざかる方向に凸形状となるので、磁気ヘッドをロード・アンロード機構によって磁気ディスクの外に退避させたときに、小さな退避角度で腕部を磁気ディスクの外側に退避することができ、腕部とディスクとの接触を回避できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施例を、図面を用いて詳細に説明する。
【００１３】
図１は本発明を適用した磁気ディスク装置の斜視図であり、図２はそのサスペンションの斜視図、図３はサスペンションの側面図、図４はサスペンションの上面図、図５はマイクロアクチュエータの動作説明図、図６は図２のＡ−Ａ断面図である。
【００１４】
本実施例では、ロードビーム１の先端部にフレクシャ２を介して磁気ヘッドを搭載したスライダ３が取り付けられている。ロードビーム１はマイクロアクチュエータ搭載部４の一端に溶接等で固定されており、マイクロアクチュエータ搭載部４の他端にはマウント５が一体形成されている。マウント５は別体として溶接等で固定してもよい。この、ロードビーム１からマウント５までをここではサスペンションと称する。なお、マウント５はキャリッジ６に、かしめ等で固定されている。キャリッジ６がボイスコイルモータの駆動力によって、ピボット軸７を中心に回転運動することにより、磁気ヘッドは、ディスク８上の任意の半径位置にアクセスすることができる。さらに、マイクロアクチュエータ搭載部４に圧電素子（ピエゾ素子）で構成されたマイクロアクチュエータ９が固定される。このマイクロアクチュエータ９を駆動することで、磁気ヘッドの微少な位置合わせを行うものである。
【００１５】
図２、図６の段差部は、マイクロアクチュエータ９を固定するための固定場所４５であり、マイクロアクチュエータを容易に固定できるようにすると共に、マイクロアクチュエータが上方向に大きく突出しないようにしている。この段差部は、プレス、或いは、エッチング等によりマイクロアクチュエータを位置決めしやすいように凹に加工したものである。本実施例のマイクロアクチュエータ搭載部４は、腕部４１と磁気ヘッド側マイクロアクチュエータ固定部４２とキャリッジ側マイクロアクチュエータ固定部４３により一体的に構成してある。
【００１６】
腕部４１は、マイクロアクチュエータ９と接触・摺動しないように長手方向中心線１０により２分割される搭載部４のディスク中心側の搭載部４に配置し、マイクロアクチュエータは外側のマイクロアクチュエータ搭載部４に配置している。マイクロアクチュエータ９と腕部４１とを、中心線１０を境に別々に配置することにより両者が接触・摺動することはない。換言すると、マイクロアクチュエータと腕部を高さ方向に重ねる構造の場合に、発生する可能性のある接触・摺動を防止できる。更に、腕部４１の一端は磁気ヘッド側マイクロアクチュエータ固定部４２に接合され、他端はキャリッジ側マイクロアクチュエータ固定部４３に接合されている。また、腕部４１は、マイクロアクチュエータ９の動作を阻害しない程度に柔軟となるように、ディスクの中心から遠ざかる方向に凸形状としている。マイクロアクチュエータ搭載部４は衝撃時の過度の変形を回避し、かつ、サスペンション全体の高さを小さくするため、０．１５ｍｍ〜０．３ｍｍ程度の厚さが望ましい。
【００１７】
また、マイクロアクチュエータ搭載部４は製作公差の低減と製造コストの低減のため、プレスによる打ち抜き、またはエッチング加工を用いて形成されることが望ましい。
【００１８】
腕部４１はマイクロアクチュエータ９の動作を阻害しない程度に、回転方向には柔軟で、面方向には剛でなければならない。そのためには、腕部の経路長（形状の中心線に添う長さ）を長くすることと、腕部の幅を小さくすることが有効である。しかし、サスペンション全幅（サスペンション長手方向中心線からみた腕部の最遠点までの距離）が大きくなるにつれて、サスペンション長手方向中心軸に対する慣性モーメントが大きくなるため、長手方向中心軸に関するサスペンションのねじれ振動が増加し、磁気ヘッド位置決め動作に悪影響を及ぼすという問題がある。そのため、腕部はサスペンション全幅を小さくしながら経路長の長い形状にすることが望ましい。そのような要求に対して、本実施例に示すようにＵ字型とすることにより、例えばＶ字型の腕形状と比較して、サスペンションの長手中心軸に関する慣性モーメントをあまり大きくせずに経路長を長くすることができると共に、腕部４１がマイクロアクチュエータ９と接触・摺動することを回避できる。
【００１９】
本実施例ではＵ字型としたが、コの字型としてもよい。但し、Ｕ字形状とした方が応力集中は少なく望ましい。さらに、腕部41をサスペンション長手方向中心線10に向かって凸な形状とする事により、サスペンション長手方向中心線10回りの慣性モーメントを小さくできる。これによりねじれ振動を抑える事ができる。また、ディスク停止時に磁気ヘッドをディスクの外に待避させるロード・アンロード機構を採用する磁気ディスク装置では、衝撃によりディスクとサスペンションの一部が接触して、ディスク表面が損傷する可能性がある。この損傷を防ぐために、サスペンションはディスクの外に完全に待避させる必要がある。本実施例では、腕部41を中心線１０に向かって凸な形状とすることにより、サスペンションの全幅を小さくできる。このため、サスペンションを完全にディスク面から待避させる距離（角度）が小さくてよい。すなわち、結果として待避させる事が容易となる。
【００２０】
腕部４１の幅に関しては、マイクロアクチュエータ搭載部の厚さが０．１５〜０．３ｍｍ程度であるため、加工時の腕部断面形状のばらつき抑制や加工性の観点からマイクロアクチュエータの厚さと同等以上であることが望ましく、０.３〜０.４ｍｍ程度の幅が望ましい。
【００２１】
図５に、マイクロアクチュエータを駆動した時のサスペンションの変形状態の1例を示す。マイクロアクチュエータ９の中の矢印は、マイクロアクチュエータ９の伸縮方向を示している。マイクロアクチュエータ９には、上部電極（図示せず）と下部電極（図示せず）が設けられ、導電性を有する接着剤（図示せず）によってマイクロアクチュエータ搭載部４に固定される。マイクロアクチュエータ搭載部４は、マウント５やキャリッジ６を介して電気的には０電位となっている。
【００２２】
図５に示すように、上部電極に信号が入力された状態では、マイクロアクチュエータ９は信号の電極（正、負）により伸縮をする。伸縮方向は分極の方向と信号の電極の組み合わせにより決める事ができる。また、伸縮の大きさは信号の電圧の大きさにより制御する。例えば図５（１）に示すように、マイクロアクチュエータ９が長手方向には縮む変形をした場合には、サスペンション全体は図５(１)のように中心線に対して下側に変形する。これにより、スライダ３（図示せず）も中心線下側に微動することが可能となる。また、図５（２）に示すようにマイクロアクチュエータ９が長手方向に伸びる変形をした場合には、サスペンション全体では図５（２）のように中心線に対して上側に変形する。その結果、図５（１）とは逆の方向にスライダ３（図示せず）を微動させることができる。
【００２３】
この場合、マイクロアクチュエータ搭載部４の腕部４１は、図５に示すようにサスペンション長手方向と幅方向の両方向に容易に変形できる形状であるため、マイクロアクチュエータ９の動作を妨げる恐れがない。
【００２４】
これらの構成により、マイクロアクチュエータ９は、固定部以外ではマイクロアクチュエータ搭載部４と接触する個所が無い。また、動作時や磁気ディスク装置に衝撃が加わり、マイクロアクチュエータ９が変形した場合にでも、マイクロアクチュエータ９とマイクロアクチュエータ搭載部４の間に接触する場所が存在しないため、マイクロアクチュエータ９が摺動する恐れもなく、塵埃発生により磁気ディスク装置の信頼性が低下する恐れがない。また、衝撃力が加わった時に、マイクロアクチュエータ９にはロードビーム１の慣性力が加わるが、マイクロアクチュエータ搭載部４の腕部４１がそれを分担するため、マイクロアクチュエータ９に生じる応力が緩和される。このため、マイクロアクチュエータ９が損傷しにくくなり、磁気ディスク装置としての信頼性を高くすることができる。
【００２５】
なお、特開平１１−１６３１１号公報の構造では、スライダ側のマイクロアクチュエータ固定部は、３本の支持ビームの交点を中心として回転動作をする。このため、マイクロアクチュエータも固定部にならって変形しなければならない。結果として、マイクロアクチュエータがスライダの駆動に要する以外の変形をすることになり、マイクロアクチュエータに生じる応力が大きくなるため、応力集中部より塵埃が発生しやすいという問題がある。しかし、本発明においては図５のように腕部４１はサスペンション長手方向・幅方向ともに柔軟にできるので、マイクロアクチュエータ９の変形を拘束することがないため、塵埃発生の危険性を低下することができ、磁気ディスク装置の信頼性を向上することができる。
【００２６】
次に、図７に腕部４１形状をＵ字型からＶ字型にした第２の実施例を示す。また、図８に腕部４１形状を直線とした第３の実施例を示す。
【００２７】
第１実施例との違いは腕部４１の形状だけである。第１実施例のＵ字型から、第２実施例のＶ字型、第３実施例の直線型になるに従い、腕部４１の中心線距離は短くなり、サスペンション長手方向の剛性は増加する。このため、マイクロアクチュエータの変位力が一定の場合には、スライダの微小変位量が少なくなるため、第１の実施例と同じ量の変位をさせる場合は大きな電力が必要となる。一方、剛性が向上することにより、サスペンションの固有振動数が増加し、ディスク回転に伴う空気流などの外乱によるサスペンション振動を小さくできる。この結果として、外乱によるスライダの振動振幅を小さくできるという利点もある。また、固有値の振動数が増加するために、制御しやすいという利点もある。
【００２８】
第２実施例、第３実施例ともに、第１実施例と同様に、マイクロアクチュエータ９と腕部４１を別々の場所に設けているので、両者が摺動して発塵するという問題はない。また、１個のマイクロアクチュエータにより、スライダを微小変位させるため、信頼性と生産性（量産性）に優れている。さらに、第２の実施例では第１の実施例と同様に、腕部４１をＶ字型とし、マイクロアクチュエータの方向に凸形状としている。これにより、腕部４１の剛性を低下させることができると共に、マイクロアクチュエータ９の全幅を小さくする事ができる。また、これはディスク中心から遠ざかる方向に凸形状となるために、外部衝撃によりマイクロアクチュエータ搭載部とディスクとが接触しにくいという第１実施例と同じ利点もある。
【００２９】
各種の腕形状における変位量を計算により求め、第１実施例の変位で無次元化すると、第１実施例の変位１に対して、第２実施例では約０．８、第３実施例では約０．２しか生じない。この結果により、第１実施例のＵ字型が最も柔軟であり、圧電素子駆動時に磁気ヘッドの変位量が最も大きいことがわかる。この事から、スライダの大きな変位量が必要な場合には第１実施例のＵ形状を、また、スライダ変位量よりもサスペンションの固有値（振動数）の向上が必要な場合には、第２、第３実施例の腕部４１形状を選択すればよい。
【００３０】
図９及び図１０は、本発明の第４実施例、第5実施例を示した上面図である。両実施例と第１実施例の違いは、耐衝撃性能の向上を目的として、マイクロアクチュエータ搭載部４に腕部４１を２本設けている点である。第４実施例では、ディスク８側の腕部４１は、ディスク中心から遠ざかる方向に凸となっている。すなわち、サスペンション長手方向中心線１０に向いている。このため、同図に示すように、ロード・アンロード（Ｌ・ＵＬ）機構を有する磁気ディスク装置において、スライダがディスク外に待避した場合に、ディスク側の腕部４１はディスク８の外に完全に待避するので、衝撃により両者が接触する事は無い。これは第１の実施例と同様である。
【００３１】
ここで、本実施例のＬ・ＵＬ機構はサスペンション１の先端に設けたタブ１１がランプ２０に乗り上げて待避する機構であるが、本実施例の効果はこの機構に限定されるものではない。ディスクから遠い側の腕部４１は、磁気ヘッド側マイクロアクチュエータ固定部４２とキャリッジ側マイクロアクチュエータ固定部４３を、ディスク中心から遠ざかる方向（ディスク側の腕部41と同一方向）に凸のＵ字型形状ので連接している。これにより、マイクロアクチュエータ９の取付け位置を、第1実施例と同じように、マイクロアクチュエータ搭載部４の外側にしたままで、ディスクから遠い側の腕部４１を新たに設けることを可能としている。マイクロアクチュエータ９を外側に設けることにより、小さな力でスライダの大きな変位を得ることが可能となる。
【００３２】
この外側の腕部４１は、外部から衝撃力が加わった時にマイクロアクチュエータ９に発生する応力を緩和することができる。具体的には、ディスク面に対して垂直方向の衝撃が加わった場合に、２つの腕部４１により、衝撃時のサスペンション１の慣性力をマイクロアクチュエータ９と分担して受け止めるために、第１の実施例と比較して、マイクロアクチュエータ９に生じる応力を低下することが可能となる。この結果として、磁気ディスク装置の耐衝撃性能を向上し、信頼性を高くすることができる。ディスクから遠い側の腕部４１による効果は、それが無い場合のマイクロアクチュエータ９の最大応力を１とすると、その３０％から４０％程度を低減する事が可能となる。腕部４１の剛性を上げると、衝撃によるマイクロアクチュエータ９の最大応力を低減できるので耐衝撃性能を向上させる事が可能となる。
【００３３】
一方、腕部４１を２つ設ける事、及び、腕部４１の剛性を上げる事は、マイクロアクチュエータ９の伸縮の妨げになる恐れがある。これを避けるために、本実施例では、腕部４１形状をＵ字型としている。また、ディスク８から遠い側の腕部４１を、ディスク８から遠ざかる方向に凸とする事により、Ｕ字型の大きさに制約がなくなり、マイクロアクチュエータ９の伸縮方向に剛性の低い腕部４１を提供することができる。その結果、外部衝撃に強く、かつ、マイクロアクチュエータ９により、十分なスライダ変位を得る事が可能となる。
【００３４】
第４実施例と第５実施例の違いは、第５実施例では２つの腕部４１をサスペンション長手方向中心線１０に向かって凸なＵ字型形状としている点である。ディスク８から遠い側の腕部４１をサスペンション長手方向中心線１０に向かって凸なＵ字型形状とすることにより、前記中心線１０まわりのサスペンション搭載部４の慣性力を小さくできる。これにより、サスペンション１のねじり振動を小さくする事ができる。また、本実施例においても、第４の実施例と同様に、腕部４１によりマイクロアクチュエータ９の最大応力を低減できるので、耐衝撃性能を向上させる事ができる。
【００３５】
なお、図１０において、マイクロアクチュエータ９と中心線１０を挾んで反対側の腕部４１を前述のようにＵ形状とせずに直線で結ぶ構成としてもよい。この場合、アクチュエータ９を駆動することで発生する変位量は、図１０の構成の駆動電流と同じ量を加えた場合、小さくなる。しかし、面方向剛性を向上できる利点がある。
【００３６】
次に図１１に第６の実施例を示す。図１０の実施例との相違点は、中心線１０を挾んでマイクロアクチュエータ９に対向する位置にマイクロアクチュエータ９と略同じ形状の腕部５０をダミーアクチュエータとして設けた点である。この腕部５０を設けることで中心線１０に対する左右の質量バランスを取ることができる。このように、バランスを取ることでサスペンションの外力（ディスク回転に伴い発生する空気流等の外力）により、中心線に対してねじれ方向に発生するねじれ振動を抑制することができる。ねじれ振動は、磁気ヘッドをディスク半径方向に移動させるための、位置決め精度劣化させる。本実施例の構成とすることにより、１本のマイクロアクチュエータで構成した場合に問題となる、質量アンバランスを無くし、ねじれ振動を抑制できるので、磁気ヘッドを高い位置決め精度で位置決めすることができる。
【００３７】
また、ダミーマイクロアクチュエータにより、外部衝撃が加わった場合でも、ダミーアクチュエータが衝撃の１部を分担して受けるため、マイクロアクチュエータ４１に加わる衝撃力を緩和することができる。すなわち、耐衝撃性能を向上することができる。例えば、磁気ディスク装置を落下させた場合に、サスペンションをディスク面に近接、或いは遠ざかる方向に加速度が作用する。マイクロアクチュエータはピエゾ素子等で構成されており、ピエゾ素子はセラミックスの脆性材料のため、衝撃力に弱く、衝撃力を受けることで割れなどが発生し、その機能を失うという問題がある。このため、ダミーのアクチュエータである腕部５０を設けることで、先に述べたように衝撃力を緩和して、装置の長寿命化を図ることができると言う利点もある。なお、本構成は、図１０の実施例に限らず他の実施例に適用できることは言うまでもない。
【００３８】
【発明の効果】
本発明によれば、腕部をロードビーム長手方向中心線に向かって凸な形状とすることにより、腕部の経路長を長くしながらロードビーム長手方向中心線から腕部の最遠点までの距離を小さくできるので、マイクロアクチュエータの動作を阻害することなくロードビーム長手方向中心線回りの慣性モーメントを小さくでき、これによりねじれ振動を抑えることができる。また、マイクロアクチュエータは固定部以外では動作時、衝撃時ともに他の部材と接触することがないため、摺動による塵埃の発生を回避できる。また、衝撃時には連結部材が衝撃時に発生する応力を分担し、動作時には連結部材が自由に変形することにより、マイクロアクチュエータへの応力の集中を緩和することができる。また、マイクロアクチュエータの使用個数を減らす事ができる。また、外部衝撃を受けたときに、腕部とディスクとの接触を回避する事ができる。これらの事項より、磁気ディスク装置の信頼性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例のサスペンションを搭載する磁気ディスク装置の斜視図である。
【図２】本発明の第１実施例のサスペンションの斜視図である。
【図３】本発明の第１実施例のサスペンションの側面図である。
【図４】本発明の第１実施例のサスペンションの上面図である。
【図５】本発明の第１実施例のマイクロアクチュエータ動作時の変形図である。
【図６】図2のＡ−Ａ断面図である。
【図７】本発明の第２実施例のサスペンションの斜視図である。
【図８】本発明の第３実施例のマイクロアクチュエータ搭載部の上面図である。
【図９】本発明の第４実施例のサスペンションの上面図である。
【図１０】本発明の第５実施例のサスペンションの上面図である。
【図１１】本発明の第６実施例のサスペンションの上面図である。
【符号の説明】
１…ロードビーム、２…フレクシャ、３…スライダ、４…マイクロアクチュエータ搭載部、５…マウント、６…キャリッジ、７…ピボット軸、８…ディスク、９…マイクロアクチュエータ、４１…腕部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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