(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛍光体を塗布した複数の陽極電極をマトリクス状に配置した発光表示部と前記陽極電極を選択駆動し前記発光表示部の発光を制御する多結晶シリコンからなる薄膜トランジスタを含む駆動回路とが基板上に一体に形成された陽極基板と、この陽極基板の前記発光表示部搭載面に対向配置した複数のフィラメント状陰極と、前記陽極基板と前記フィラメント状陰極との間に配置したグリッド電極と、前記陽極基板と前記フィラメント状陰極と前記グリッド電極とを内蔵する少なくとも一面が透光性を有する真空外囲器とを備えた蛍光表示装置において、
前記陽極基板は、
前記陽極電極形成面に各陽極電極を囲みかつ接地される補助電極を有する
ことを特徴とする蛍光表示装置。
【請求項２】
請求項１記載の蛍光表示装置において、
前記補助電極は黒色である
ことを特徴とする蛍光表示装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の蛍光表示装置において、
前記真空外囲器は、
前記陽極基板の前記基板と同じ膨張係数を有する部材からなる
ことを特徴とする蛍光表示装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の蛍光表示装置において、
前記陽極基板の前記基板は、
前記真空外囲器に形成された凹部に収容されている
ことを特徴とする蛍光表示装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１つに記載の蛍光表示装置において、
前記陽極基板は、
矩形に形成された前記基板の１辺の縁に沿って配置された複数の接続端子を備えている
ことを特徴とする蛍光表示装置。
【請求項６】
請求項５記載の蛍光表示装置において、
前記陽極基板は、マトリクス状に複数配置されている
ことを特徴とする蛍光表示装置。
【請求項７】
請求項５記載の蛍光表示装置において、
前記陽極基板の前記接続端子は、
前記真空外囲器を貫通するリード端子と接続されている
ことを特徴とする蛍光表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は蛍光表示装置に関し、特に蛍光体を塗布した複数の陽極をマトリクス状に配列した発光表示部と、発光表示部の発光を制御する駆動回路とが一体に形成された陽極基板を備えたアクティブマトリクス型蛍光表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
蛍光表示装置は、少なくとも一方が透明な真空容器（外囲器）の中で陰極から放出される電子を陽極上に塗布された蛍光体に衝突させてこの蛍光体を発光させ、所望のパターンを表示する電子管である。この蛍光表示装置は、通常では、電子の働きを制御するためのグリッドを備えた３極管構造のものが最も多く用いられている。このような蛍光表示装置の１つに、蛍光体を塗布した複数の陽極をマトリクス状に配列した発光表示部と、発光表示部の発光を制御する駆動回路とが一体に形成された陽極基板を絶縁基板上に配置して得られる発光表示面を備えたアクティブマトリクス型蛍光表示装置がある。
【０００３】
従来のアクティブマトリクス型蛍光表示装置の一構成例は、駆動回路が陽極基板となるガラス基板の表面に配置された多結晶シリコン膜に形成された半導体集積回路で構成され、発光表示部が多結晶シリコン膜の表面を覆うパッシベーション膜（絶縁膜）上にマトリクス状に配置され駆動回路と接続された陽極電極と各陽極電極上に塗布された蛍光体とから構成されている（例えば、特開２００２−８５７１号公報参照。）。この場合、駆動回路はガラス基板上に形成した、いわゆる低温多結晶シリコン膜からなる薄膜トランジスタにより構成されているので、大型化と低コスト化とが可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述した従来のアクティブマトリクス型蛍光表示装置は、発光表示部の周辺部の発光が不均一となり表示品位が低下する問題があった。
本発明はこの問題を解決するためになされたものであり、蛍光体を塗布した複数の陽極電極をマトリクス状に配置した発光表示部と陽極電極を選択駆動し発光表示部の発光を制御する多結晶シリコンからなる薄膜トランジスタを含む駆動回路とが基板上に一体に形成された陽極基板を備えたアクティブマトリクス型蛍光表示装置において、発光表示部の発光を均一にすることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明は、蛍光体を塗布した複数の陽極電極をマトリクス状に配置した発光表示部と陽極電極を選択駆動し発光表示部の発光を制御する多結晶シリコンからなる薄膜トランジスタを含む駆動回路とが基板上に一体に形成された陽極基板と、この陽極基板の発光表示部搭載面に対向配置した複数のフィラメント状陰極と、陽極基板とフィラメント状陰極との間に配置したグリッド電極と、陽極基板とフィラメント状陰極とグリッド電極とを内蔵する少なくとも一面が透光性を有する真空外囲器とを備えた蛍光表示装置において、陽極基板は陽極電極形成面に各陽極電極を囲む補助電極を有することによって特徴づけられる。
【０００６】
この場合、補助電極は接地される。陽極電極を囲む補助電極が接地されることにより、補助電極が発光に寄与しない余剰電子を吸収する。これにより、余剰電子による陽極電極周辺の絶縁膜の帯電が防止され、陽極電極に入射する電子の乱れがなくなるので発光表示部の発光が均一化する。また、補助電極の一構成例は黒色である。補助電極を黒色とすることにより表示画素のコントラストが向上する。黒色の補助電極を構成する電極材料として、例えばカーボンが用いられる。
【０００７】
この蛍光表示装置の一構成例は、真空外囲器が陽極基板の基板と同じ膨張係数を有する部材からなる。また、この蛍光表示装置の他の構成例は、陽極基板の基板が真空外囲器に形成された凹部に収容されている。陽極基板の一構成例は、矩形に形成された基板の１辺の縁に沿って配置された複数の接続端子を備えている。この場合、蛍光表示装置の一構成例は、陽極基板がマトリクス状に複数配置されている。また、蛍光表示装置の別の構成例は、陽極基板の接続端子が真空外囲器を貫通するリード端子と接続されている。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下に図を用いて発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明の第１の実施の形態にかかる蛍光表示装置の構成を示しており、同図において（ａ）は全体の構成を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）の発光表示部の拡大図、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ線断面図である。また、図２は図１の陽極基板の発光表示部と陽極基板に接続するリードピンとを含む切断面を示す断面図である。この蛍光表示装置は、プレートガラス１０１、スペーサガラス１０２及びフロントガラス１０３からなる外囲器内に陽極基板１１０とグリッド電極１３０と複数のフィラメント陰極１４０とが収容されている。
【０００９】
プレートガラス１０１は矩形状であり、一端がリード接続端子１０５に接続され他端がボンディングパッド１０７に接続された所定数の陽極基板用配線１０６と、一端がリード接続端子１０５に接続されたグリッド電極用配線１３３とが表面に形成されている。これらのリード接続端子１０５は、プレートガラス１０１上の１辺の縁に沿って配置され、それぞれ陽極基板用のリードピン１０４やグリッド電極用のリードピン１３４と接続されている。この実施の形態では、製造工程を簡素化するため、リード接続端子１０５、ボンディングパッド１０７及び配線１０６，１３３の材質を例えばアルミニウムのように同じもので構成し、１つの工程で製作できるようにしている。
【００１０】
プレートガラス１０１上には、蛍光体１１５を塗布した陽極電極１１４をマトリクス状に配列した発光表示部１２０と発光表示部１２０の発光を制御する駆動回路とが一体に形成された陽極基板１１０と、グリッド電極１３０を陽極基板１１０の上方に所定距離離間して保持する１対のグリッドサポート１３１と、複数のフィラメント陰極１４０をグリッド電極１３０の上方に所定距離離間して保持する１対のフィラメントサポート１４２とが配置されている。
【００１１】
陽極基板１１０は、発光表示部１２０搭載面の１辺の縁に沿って所定数のボンディングパッド１１７を備えており、ボンディングパッド１１７の配置された辺がプレートガラス１０１のリード接続端子１０５が配置された辺と対向するように配置されている。各ボンディングパッド１１７は、ボンディングワイヤ１０８によりそれぞれ陽極基板用配線のボンディングパッド１０７に接続されている。この陽極基板１１０は、発光表示部１２０搭載面と反対の面がプレートガラス１０１と接着されることにより固定されている。ここで、プレートガラス１０１との接着は、例えばポリイミド樹脂のような耐熱樹脂で行う。
【００１２】
陽極基板１１０の上方には発光表示部１２０を覆うように１つのグリッド電極１３０が離間配置され、グリッド電極１３０の上方には複数のフィラメント陰極１４０が互いに平行かつ離間して配置されている。グリッド電極１３０はメッシュ状であり、陽極基板１１０のボンディングパッド１１７が配置された辺と直交する２つの辺の外側に配置された１対のグリッドサポート１３１の間に張り渡されて各グリッドサポート１３１に低融点のフリットガラスを含む絶縁ペーストで固定されている。
【００１３】
グリッドサポート１３１は、厚さが陽極基板１１０よりも所定の高さだけ厚く、かつ長さがグリッド電極１３０の幅よりも長いガラス板であり、２つのグリッドサポート１３１が陽極基板１１０を間において平行に配置されプレートガラス１０１に接着されている。この場合、グリッドサポート１３１はプレートガラス１０１に低融点のフリットガラスを含む絶縁ペーストで固定されている。グリッド電極１３０は、メッシュの一部が一方のグリッドサポート１３１から引き出されてプレートガラス１０１上に形成されたグリッド配線１３３に導電性ペーストで固定されている。
【００１４】
各フィラメント陰極１４０は、１対のグリッドサポート１３１を挟むように対向して配置された１対のアンカー１４１の間に張り渡されており、アンカー１４１に溶接で取り付けられている。アンカー１４１は、陰極用リードピン１４４を兼ねた脚部を有するフィラメントサポート１４２に溶接で取り付けられている。フィラメントサポート１４２と一体に形成された陰極用リードピン１４４は、複数のリードピン１０４が配置されているプレートガラス１０１上の１辺の縁に配置されている。なお、フィラメントサポート１４２の上には、アンカー１４１以外にも図示しないゲッターリング等の部品が取り付けられている。
【００１５】
フィラメント陰極１４０の上方にはプレートガラス１０１に対向して矩形状の透明なフロントガラス１０３が配置されており、プレートガラス１０１とプレートガラス１０１の周辺に配置されたスペーサガラス１０２とフロントガラス１０３とがフリットガラスで接着されて外囲器が構成され、内部が真空に保持されている。リードピン１０４，１３４，１４４は、プレートガラス１０１の１辺に配置されており、プレートガラス１０１とスペーサガラス１０２の間から外部に引き出されている。なお、フィラメントサポート１４２の脚部もプレートガラス１０１とスペーサガラス１０２に挟まれており、フリットガラスで接着され固定されている。ここで、プレートガラス１０１、スペーサガラス１０２、フロントガラス１０３及び陽極基板１１０の基体は、熱膨張率の違いによる歪みや破損を防止するため同じ膨張係数を有する部材で構成されている。この実施の形態では、真空外囲器を構成するガラス部材に後述する陽極基板１１０の基体であるホウケイ酸ガラスを用いる。
【００１６】
次に、陽極基板１１０について図１を参照して詳細に説明する。陽極基板１１０は、発光表示部１２０とこの発光表示部１２０の発光を制御する駆動回路とが一体に形成されたアクティブマトリクス基板である。この陽極基板１１０は、ガラス基板１１１を基体とし、このガラス基板１１１の表面に多結晶シリコン膜１１２が形成されている。この多結晶シリコン膜１１２には薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を含む半導体集積回路が形成されており、この半導体集積回路により駆動回路が構成されている。多結晶シリコン膜１１２に形成された薄膜トランジスタは、移動度が非晶質シリコン膜に形成された薄膜トランジスタに比し２桁から３桁程度高い高性能な特性が得られるので、特に表示面積の大型化に有効である。
【００１７】
ここで、多結晶シリコン膜１１２には、ガラス基板１１１の歪点以下の処理温度で形成された、いわゆる低温多結晶シリコン膜を用いている。この低温多結晶シリコン膜は、通常４５０℃〜６００℃で形成されるものであり、例えば化学的気相成長法（ＣＶＤ）などの周知の技術で形成されている。また、ガラス基板１１１には、トランジスタ特性に悪影響を及ぼすナトリウムなどを含まないホウケイ酸ガラスを用いる。多結晶シリコン膜１１２に形成する半導体集積回路は、低温多結晶シリコン膜を用いた周知の製造プロセスで製造される。
【００１８】
多結晶シリコン膜１１２の表面はパッシベーション膜（絶縁膜）１１３で覆われており、このパッシベーション膜１１３の上に発光表示部１２０が形成されている。発光表示部１２０は、パッシベーション膜１１３上に所定のピッチでマトリクス状に配置された陽極電極１１４と、各陽極電極１１４上に塗布されたドット状の蛍光体１１５と、各陽極電極１１４を囲むようにパッシベーション膜１１３上に配置された格子状の補助電極１１６とで構成されている。
【００１９】
各陽極電極１１４の直下には駆動回路の一部をなす陽極駆動部の薄膜トランジスタ形成部１１２ａが形成されており、パッシベーション膜１１３に設けられたスルーホール１１３ａを介して陽極電極１１４と接続されている。補助電極１１６はボンディングパッド１１７の１つに接続されている。この場合、陽極電極１１４、補助電極１１６及びボンディングパッド１１７はアルミニウムで構成され、蛍光体１１５は従来の蛍光表示装置で使用されている蛍光体材料で構成されている。なお、補助電極１１６の材質はアルミニウムに限られるものではない。例えば、補助電極１１６をカーボンで構成してもよい。補助電極１１６をカーボンで構成した場合、補助電極１１６の色が黒色となり各画素が黒色の格子で囲まれるため、表示画面のコントラストが向上する利点がある。これらパッシベーション膜１１３、陽極電極１１４、蛍光体１１５、補助電極１１６及びボンディングパッド１１７の形成には周知の従来技術を用いることができる。
【００２０】
図３は、陽極基板の回路構成を示すブロック図であり、縦Ｎドット×横Ｍドット（ＮとＭは自然数）のマトリクスに配列された表示画素の点灯を制御する駆動回路の一例を示す。この駆動回路は、表示画素ごとに設けられた陽極電極１１４を所定期間駆動するためのメモリ機能を有する表示画素数分（Ｎ×Ｍ個）の陽極駆動部２０１と、各陽極駆動部２０１に表示データを入力し駆動させるデータ入力制御部とを備えている。
【００２１】
陽極駆動部２０１は、駆動信号を入力する列入力ａと表示データを入力する行入力ｂと陽極電極１１４を駆動する出力とを有する。この場合、陽極駆動部２０１は、図４に示すように、メモリ用トランジスタ２１１とコンデンサ２１２と駆動用トランジスタ２１３とから構成されており、各陽極電極１１４に対応して発光表示部１２０の下側の多結晶シリコン膜１１２に形成されている。この場合、メモリ用トランジスタ２１１と駆動用トランジスタ２１３は電界効果トランジスタで構成されており、メモリ用トランジスタ２１１のゲートに駆動信号を入力する列入力ａが接続され、メモリ用トランジスタ２１１のソースに表示データを入力する行入力ｂが接続されている。
【００２２】
また、メモリ用トランジスタ２１１のドレインがコンデンサ２１２の一方の端子と駆動用トランジスタ２１３のゲートに接続され、駆動用トランジスタ２１３のソースが陽極電圧であるＶＤＤの接続端子（図示せず）に接続され、駆動用トランジスタ２１３のドレインが陽極電極１１４に接続されている。また、コンデンサ２１２の他方の端子がアース接続端子（図示せず）を介して接地されている。これにより、表示データが点灯でかつ駆動信号が入力されるとメモリ用トランジスタ２１１がコンデンサ２１２を充電し、充電されたコンデンサ２１２が所定期間、駆動用トランジスタ２１３をＯＮの状態に保持し、陽極電極１１４を駆動する。
【００２３】
また、陽極電極１１４を取り囲む補助電極１１６がアース接続端子（図示せず）を介して接地されている。補助電極１１６が接地されることにより発光表示部の周辺部の画素においても発光が均一となり表示品位が向上する。補助電極１１６を接地することにより発光表示部の周辺部の発光が均一化するのは、陽極電極１１４周辺の絶縁体の帯電を防止して陽極電極１１４に入射する電子の乱れをなくすためではないかと考えられる。
【００２４】
データ入力制御部は、各行の表示データを１列分受信し、各行の陽極駆動部２０１に所定のタイミングで１列分ずつ入力させるデータ入力部と、各行の陽極駆動部２０１に所定のタイミングで１列分ずつ入力された表示データを出力させる出力制御部とからなる。データ入力部は縦続接続されたＮ個のＤフリップフロップ回路２０２と各Ｄフリップフロップ回路２０２のデータ出力Ｑに接続されたＮ個のラッチ回路２０３とからなり、出力制御部は縦続接続されたＭ個のＤフリップフロップ回路２０４と各Ｄフリップフロップ回路２０４のデータ出力Ｑに接続されたＭ個のラッチ回路２０５とからなる。
【００２５】
データ入力部では、各Ｄフリップフロップ回路２０２のクロック入力ＣＫに縦同期クロックＶＣＫの信号端子が接続され、先頭のＤフリップフロップ回路２０２のデータ入力Ｄに各画素の表示データである縦データＶＤＡの信号端子が接続され、前段のＤフリップフロップ回路２０２のデータ出力Ｑが次段のＤフリップフロップ回路２０２のデータ入力Ｄと前段のラッチ回路２０３の入力ＩＮとに接続されている。また、各ラッチ回路２０３のクロック入力Ｃに縦Ｎドットイネーブル信号ＶＷＲの信号端子が接続され、各ラッチ回路２０３の出力ＯＵＴが各陽極駆動部２０１の行入力ｂに接続されている。
【００２６】
出力制御部では、各Ｄフリップフロップ回路２０４のクロック入力ＣＫに横同期クロックＨＣＫの信号端子が接続され、先頭のＤフリップフロップ回路２０４のデータ入力Ｄに駆動信号である横データＨＤＡの信号端子が接続され、前段のＤフリップフロップ回路２０４のデータ出力Ｑが次段のＤフリップフロップ回路２０４のデータ入力Ｄと前段のラッチ回路２０５の入力ＩＮとに接続されている。また、各ラッチ回路２０５のクロック入力Ｃに横Ｍドットイネーブル信号ＨＷＲの信号端子が接続され、各ラッチ回路２０５の出力ＯＵＴが各陽極駆動部２０１の列入力ａに接続されている。
【００２７】
陽極基板１１０は、このような回路構成を有するので、図５に示す信号を入力することにより、横方向スキャン（表示データ縦１列書換）駆動が可能である。図５は、この蛍光表示装置の制御波形を示すタイミングチャートである。図５において、（ａ）は縦同期クロックＶＣＫ、（ｂ）は縦データＶＤＡ、（ｃ）と（ｄ）は横Ｍドットイネーブル信号ＨＷＲ、（ｅ）は横同期クロックＨＣＫ、（ｆ）は横データＨＤＡ、（ｇ）は縦Ｎドットイネーブル信号ＶＷＲである。
【００２８】
この場合、縦同期クロックＶＣＫに同期して表示データである縦データＶＤＡをＮ個入力することにより１列分の表示データがデータ入力部の対応するラッチ回路２０３に保持され、横Ｍドットイネーブル信号ＨＷＲにより出力制御部の対応する列のラッチ回路２０５から駆動信号が出力され、この列に接続された陽極駆動部２０１を駆動することにより表示データを縦１列同時に書き換える。出力制御部の対応する列の選択は、１画面分の表示データに先立って送られる横データＨＤＡが横同期クロックＨＣＫにより出力制御部の各Ｄフリップフロップ回路２０４を転送されることにより行われる。
【００２９】
この陽極基板１１０はアクティブマトリクス駆動を行う制御回路を含んでいるため、表示画面の行数と列数とにかかわりなく、６つの信号線（ＶＣＫ、ＶＤＡ、ＶＷＲ、ＨＣＫ、ＨＤＡ、ＨＷＲ）と電源供給線（ＶＤＤ、アース）を接続するのみで各陽極１１４を駆動することができる。このため、接続箇所が少なくすむので接続信頼性が向上する。また、接続箇所が少ないためボンディングワイヤ１０８の接続箇所を陽極基板１１０の１辺のみにすることができるので、プレートガラス１０１上に形成する陽極基板用配線１０６の引き回しが単純化され製造が容易となる。
【００３０】
この蛍光表示装置は、通電加熱されたフィラメント陰極１４０から放出された熱電子がグリッド電極１３０に印加された正電圧により拡散及び加速されて絶えず陽極基板１１０に照射されており、照射された電子はアクティブマトリクス駆動により正電圧が印加された陽極１１４に入射して蛍光体１１５を発光させ、入力データの画面表示を行う。一方、正電圧が印加されなかった陽極１１４上や次の駆動周期となるまで駆動されない列の陽極１１４上に照射された電子は、補助電極１１６に入射し吸収される。このように、補助電極１１６が発光に寄与しない余剰電子を吸収するので、余剰電子によるパッシベーション膜１１３などの帯電が防止される。
【００３１】
この実施の形態にかかる蛍光表示装置は、アクティブマトリクス駆動を行う陽極基板１１０が陽極電極形成面に各陽極電極１１４を囲む格子状の補助電極１１６を有し、この補助電極１１６が接地されているので、発光表示部の周辺部の画素においても発光が均一となり表示品位が向上する。なお、この陽極基板１１０は、駆動回路や補助電極１１６に接続された複数の接続端子を矩形に形成された基板の１辺の縁に沿って配置しているので、複数の陽極基板をマトリクス状に密着配置してより大型の画面を構成することが可能である。
【００３２】
図６は、本発明の第２の実施の形態にかかる蛍光表示装置の構成を示す斜視図である。また、図７は図６の陽極基板の発光表示部と陽極基板に接続するリードピンとを含む切断面を示す断面図である。図６と図７において、図１及び図２と同符号は同一部分を示す。この実施の形態にかかる蛍光表示装置が第１の実施の形態にかかる蛍光表示装置と異なる点は、真空外囲器を構成するプレートガラス１０１が陽極基板１１０の基板部であるガラス基板１１１を収容可能な深さの凹部（溝）を有し、この凹部の底にガラス基板１１１が接着されていることと、陽極基板１１０にボンディングパッドに代えてリード接続端子１１９が配置され、このリード接続端子１１９に陽極基板用のリードピン１０４が直接接続されていることである。
【００３３】
この実施の形態によれば、陽極基板１１０の基板部がプレートガラス１０１の溝に収容されているので、グリッド電極１３０やフィラメント陰極１４０の高さをガラス基板１１１の厚さ分下げることができる。このため、グリッド電極やフィラメント陰極のサポート部材にプレートガラスを陽極基板に用いる一般的な蛍光表示管のサポート部材を使用することが可能となる。また、陽極基板にリードピン１０４が直接接続されているので、プレートガラス１０１上の陽極基板用配線の形成やボンディングワイヤの接続が不要である。このため、第１の実施の形態で得られる効果に加えて、接続箇所の減少による信頼性向上や製造工程の削減による生産コストの削減の効果が期待できる。
【００３４】
これらの実施の形態では、真空外囲器を構成するガラス部材に陽極基板と同じ熱膨張係数を持たせるためホウケイ酸ガラスを用いたが、真空外囲器を構成するガラス部材に一般的なソーダガラスを用いるようにしてもよい。この場合、熱膨張係数の違いによる歪みや破損を防止するため、陽極基板をボンディングパッドやリード接続端子が形成された１辺のみを接着剤で固定するとよい。その際、接着剤の厚みによる基板の傾きを防止するため、例えば接着剤充填用の溝を設けるとよい。
【００３５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の蛍光表示装置は、蛍光体を塗布した複数の陽極電極をマトリクス状に配置した発光表示部と陽極電極を選択駆動し発光表示部の発光を制御する多結晶シリコンからなる薄膜トランジスタを含む駆動回路とが基板上に一体に形成された陽極基板の陽極電極形成面に各陽極電極を囲みかつ接地される補助電極を有するので、発光表示部の周辺部の画素においても発光が均一となり表示品位が向上する効果が得られる。また、陽極基板は薄膜トランジスタが接続された陽極電極を導電体である補助電極が囲んでいるので、製造工程中における薄膜トランジスタの静電破壊を防止する効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１の実施の形態にかかる蛍光表示装置の構成を示す図である。
【図２】  図１の陽極基板の発光表示部と陽極基板に接続するリードピンとを含む切断面を示す断面図である。
【図３】  陽極基板の回路構成を示すブロック図である。
【図４】  図３の陽極駆動部の回路図である。
【図５】  図３の駆動回路の制御波形を示すタイミングチャートである。
【図６】  第２の実施の形態にかかる蛍光表示装置の構成を示す斜視図である。
【図７】  図６の陽極基板の発光表示部と陽極基板に接続するリードピンとを含む切断面を示す断面図である。
【符号の説明】
１０１…プレートガラス、１０１ａ…溝、１０２…スペーサガラス、１０３…フロントガラス、１０４，１３４，１４４…リードピン、１０５，１０９，１１９…リード接続端子、１０６…陽極基板用配線、１０７，１１７…ボンディングパッド、１０８…ボンディングワイヤ、１１０…陽極基板、１１１…ガラス基板、１１２…多結晶シリコン膜、１１２ａ…薄膜トランジスタ形成部、１１３…パッシベーション膜（絶縁膜）、１１３ａ…スルーホール、１１４…陽極電極、１１５…蛍光体、１１６…補助電極、１２０…発光表示部、１３０…グリッド電極、１３１…グリッドサポート、１３３…グリッド配線、１４０…フィラメント陰極、１４１…アンカー、１４２…フィラメントサポート、２０１…陽極駆動部、２０２，２０４…フリップフロップ回路、２０３，２０５…ラッチ回路、２１１…メモリ用トランジスタ、２１２…コンデンサ、２１３…駆動用トランジスタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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