(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形断面を有する流量測定部と、前記流量測定部の上流側に配置された上流室と、前記流量測定部の下流側に配置された下流室と、前記流量測定部を挟んで配置された第一の超音波振動子と第二の超音波振動子と、前記超音波振動子からの信号を基に流量を算出する流量演算部とを有し、前記流量測定部は長手方向に延びる流路凹部を持つ流量測定本体に長手方向に延びる流路凸部を持つ流量測定覆体を前記流路凹部を前記流路凸部にはめ合わせて形成し、かつ流量測定本体の流路凹部あるいは流量測定覆体の流路凸部にスペーサを設けて矩形断面の断面積を可変とした超音波式流量計。
【請求項２】
スペーサは流量測定部の矩形断面の長辺および短辺を縮小してアスペクト比が一定となるように設定した請求項１記載の超音波式流量計。
【請求項３】
超音波振動子は流量測定本体の流路凹部の側壁に配置した請求項１記載の超音波式流量計。
【請求項４】
超音波振動子は矩形断面とし流量測定本体の流路凹部の側壁に配置した請求項１記載の超音波式流量計。
【請求項５】
矩形断面を有する流量測定部と、前記流量測定部の上流側に配置された上流室と、前記流量測定部の下流側に配置された下流室と、前記流量測定部を挟んで配置された第一の超音波振動子と第二の超音波振動子と、前記超音波振動子からの信号を基に流量を算出する流量演算部とを有し、前記流量測定部は長手方向に延びる流路凹部を持つ流量測定本体に長手方向に延びる流路凸部を持つ流量測定覆体を前記流路凹部を前記流路凸部にはめ合わせて形成するとともに、流量測定本体の流路凹部の上流側には上流室の一部を形成する上流室凹部を一体に設け、流量測定本体の流路凹部の下流側には下流室の一部を形成する下流室凹部を一体に設けた超音波式流量計。
【請求項６】
上流室凹部あるいは下流室凹部の流路凹部との接続部に設けた段差部には滑らかな曲率を施した請求項１記載の超音波式流量計。
【請求項７】
超音波振動子は上流室凹部および下流室凹部に設けた請求項５記載の超音波式流量計。
【請求項８】
超音波振動子の流量測定部側の開口端に収納凹部を設け、この収納凹部に超音波は透過する整流体を流量測定本体の流路凹部の側壁と面一に配置した請求項３記載の超音波式流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波により流量の計測を行う流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種の計測装置として、図１８に示すように、断面が矩形の流体流路１の一部に超音波振動子２と３を対向するように配置し、超音波振動子２から発した超音波を超音波振動子３で検出するまでの時間を計測し、この時間から流体の速度を演算して流量を算出する流量計があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の流量計では、矩形の断面形状により流路の速度分布をできるだけ二次元的に形成して測定精度の向上を図っていたが、アスペクト比（長辺長さＨ0／短辺長さＷ0）を大きくして且つ流路長さを大きくするには加工上の制約があり、測定流路内の流れは必ずしも二次元的にならず、三次元的な流れを生じる可能性があり測定精度上の課題を有していた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するため、矩形断面をした流量測定部を流体が流動する方向である長手方向に延びる流路凹部を持つ流量測定本体と長手方向に延びる流路凸部を持つ流量測定覆体を重ねて流路凹部と流路凸部の間に矩形断面の流量測定部を形成し、かつ流量測定本体の流路凹部あるいは流量測定覆体の流路凸部にスペーサを設けて矩形断面の断面積を可変としたものである。
【０００５】
上記発明によれば、アスペクト比が大きく且つ流路長さの長い流量測定部を全域にわたって寸法精度が高くしかも安価に製造でき、さらに広範囲の流量レンジに対して流路凹部あるいは流路凸部の高さのみを変えることで対応でき、測定精度が高く汎用性の高い流量計が低コストで実現できるとともに、スペーサの着脱により流量測定レンジに応じた設定が利用者にでも簡単にでき、広い流量レンジに対して精度が高く使い勝手のよい流量計が提供できる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明は、矩形断面を有する流量測定部と、前記流量測定部の上流側に配置された上流室と、前記流量測定部の下流側に配置された下流室と、前記流量測定部を挟んで配置された第一の超音波振動子と第二の超音波振動子と、前記超音波振動子からの信号を基に流量を算出する流量演算部とを有し、前記流量測定部は長手方向に延びる流路凹部を持つ流量測定本体に長手方向に延びる流路凸部を持つ流量測定覆体を前記流路凹部を前記流路凸部にはめ合わせて形成したものである。
【０００７】
そして、流量測定部の前後に設けた上流室および下流室により流れを安定化された流体は、流路凹部に流路凸部をはめ合わせることにより寸法精度が高くしかも安価にアスペクト比が大きく流路長さを長く構成した流量測定部で、その流れ状態の二次元性を高められて精度のよい計測ができる。また流量測定部の矩形断面が安価に製造できるとともに、広範囲の流量レンジに対して流路凹部あるいは流路凸部の少なくとも一方の高さを変えるのみで流量測定部の矩形断面積を設定でき生産性の高い構成が実現できる。
【０００８】
さらに、流量測定本体の流路凹部あるいは流量測定覆体の流路凸部にスペーサを設けて矩形断面の断面積を可変としたものである。
【０００９】
そして、スペーサの着脱により流量測定レンジに応じた設定が利用者にでもでき、使い勝手のよい流量計が提供できる。
【００１０】
また、スペーサは流量測定部の矩形断面の長辺および短辺を縮小してアスペクト比が一定となるように設定したものである。
【００１１】
そして、流量測定レンジに応じてスペーサを取り付けた場合でもアスペクト比が最適に設定でき、より精度の高い測定ができる。
【００１２】
また、超音波振動子は流量測定本体の流路凹部の側壁に配置したものである。
【００１３】
そして、流路凹部の高さは矩形断面の流量測定部の高さよりも大きく形成されるので、矩形断面の高さよりも大きな寸法を持つ超音波振動子であっても流量測定本体に取り付けることができ、超音波振動子の設定の自由度が高く測定レンジに関わらず共用化できるため生産性に優れ、さらに流量測定本体に超音波振動子を互いに対向して取り付けるため超音波振動子間の位置の微調節あるいは超音波の入出力レベルの調節が組み立て工程時に容易にでき生産性に優れる。
【００１４】
また、超音波振動子は矩形断面とし流量測定本体の流路凹部の側壁に配置したものである。
【００１５】
そして、矩形断面の流量測定部に対して矩形断面の超音波振動子としているので、流量測定部内に均等に効率よく超音波の発信および受信ができ、精度の高い計測を低入力で実現できる。
【００１６】
また、流量測定本体の流路凹部の上流側には上流室の一部を形成する上流室凹部を一体に設け、流量測定本体の流路凹部の下流側には下流室の一部を形成する下流室凹部を一体に設けたものである。
【００１７】
そして、上流室および下流室は流量測定部を構成する流量測定本体によって位置決めが確実になされ且つ流量測定部と上流室および下流室との接続部の形状を任意に構成でき流量測定部での流れ状態の二次元性を高めることで測定精度が向上し、さらに上流室および下流室の形状は片面底なし状とできるため加工しやすい形状が得られ生産性が向上できる。
【００１８】
また、上流室凹部あるいは下流室凹部の流路凹部との接続部に設けた段差部には滑らかな曲率を施したものである。
【００１９】
そして、流体の流路構成において上記接続部に段差ができる場合でも、段差部に任意の滑らかな曲率を設けることにより流量測定部での流れ状態の二次元性を確保して精度の高い計測ができ、さらに流体が流動する時の圧力損失を低減することができる。
【００２０】
また、超音波振動子は上流室凹部および下流室凹部に設けたものである。
【００２１】
そして、流量測定部にスペーサを設けて流量測定レンジに応じた矩形断面にした場合でもスペーサに遮蔽されることなく超音波振動子から流体中に超音波が有効に放出され精度の高い計測ができ、さらに流量測定本体に超音波振動子を互いに対向して取り付けるため振動子の位置微調整あるいは入出力レベルの調節が組み立て工程時に容易にでき生産性に優れる。
【００２２】
また、超音波振動子の流量測定部側の開口端に収納凹部を設け、この収納凹部に超音波は透過する整流体を流量測定本体の流路凹部の側壁と面一に配置したものである。
【００２３】
そして、流量測定部の超音波振動子取り付け部は整流体を側壁と面一に設けているので凹みによる流れの二次元性に対する乱れの発生を防止して精度の高い計測ができ、収納凹部の成形加工および整流体の組込加工が容易となり生産性が高められる。
【００２４】
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【００２５】
（実施例１）
図１は本発明の実施例１の超音波式流量計の縦断面図、図２は同流量計の流量計測部のＡ−Ａ断面図、図３は同流量計の流量計測部のＢ−Ｂ断面図、図４は同流量計の流量計測部の斜視図である。
【００２６】
図１〜図４において、４は流量測定部であり、５は流量測定部４の上流側に設けた上流室、６は流量測定部４の下流側に設けた下流室、７は上流室５に接続された入口部、８は下流室６に接続された出口部である。９、１０は流量測定部４を挟んで配置された超音波振動子であり、１１は超音波振動子９、１０に接続されこの超音波振動子９，１０からの信号を基に流量を算出する流量演算部である。
【００２７】
流量測定部４は図３、図４に示すように流体が流動する長手方向に延びる流路凹部１２を持つ流量測定本体１３と長手方向に延びる流路凸部１４を持つ流量測定覆体１５からなり、長手方向に延びる流路凹部１２に長手方向に延びる流路凸部１４をはめ合わせて矩形断面の流路１６を形成したものである。
【００２８】
流量演算部１１は図５に示すように超音波振動子９、１０に対する信号発生・処理部１７、および演算部１８より構成されている。
【００２９】
次に動作を説明する。
【００３０】
流体は入口部７より流入し上流室５に入り、流れを安定させる。そのあと流量測定部４の流路１６に入り下流室６により流れが安定化されたまま流量測定部４を出て、下流室６を経て出口部８より流出する。
【００３１】
今、流量測定部４内の流れを考える。図２において、流れは流路１６を通過するが、このとき、通常知られている方法により、信号発生・処理部１７の作用により超音波振動子９、１０間で流路１６をよぎるようにして超音波の送受が行われる。図５に示す流量演算部１１において、このとき計測される信号を信号発生・処理部１７により処理し、さらに演算部１８にて超音波の伝搬時間より流速が計算され、この流速に基づいて流量が算出される。
【００３２】
ところで、流路１６は流路凹部１２と流路凸部１４で構成することによりアスペクト比が大きく、すなわち流路幅Ｗに対して流路高さＨを十分小さく設定されているため、流路断面での流れ状態の二次元性をより確実にすることができ、しかも流体の流動する長手方向全域にわたって流路１６の断面の寸法精度を高めて製造されるため流路１６全域での流れ状態の二次元性が確保できる。
【００３３】
このように、流量測定部４の前後に設けた上流室５および下流室６により流れを安定化された流体は、流路凹部１２に流路凸部１４をはめ合わせることにより寸法精度が高くしかも安価にアスペクト比が大きく流路長さを長く構成した流量測定部４で、その流れ状態の二次元性をより高めて精度のよい計測ができる。また流量測定部４の矩形断面が安価に製造でき、さらに広範囲の流量レンジに対して流路凹部１２あるいは流路凸部１４の少なくとも一方の高さを変えるのみで流量測定部４の矩形断面積を任意に設定でき生産性の高い流量計が実現できる。
【００３４】
（実施例２）
図６は本発明の実施例２の超音波式流量計の流量測定部の横断面図である。
【００３５】
図６において、流量測定本体１３の流路凹部１２に流路１６の全域にわたりスペーサ１９を取り付け、流路高さＨの寸法を小さくしている。
【００３６】
流量レンジに応じて厚さｔの異なるスペーサ１９を装着することにより、広範囲の流量レンジに高い精度で計測ができる。
【００３７】
このようにスペーサ１９の着脱により流量測定レンジに応じた流量測定部４の流路１６の設定が利用者にでも簡単にでき、使い勝手のよい流量計が提供できる。
【００３８】
なお、本実施例ではスペーサ１９を流量測定本体１３の流路凹部１２に設置する場合を示したが、スペーサ１９は流量測定覆体１５の流路凸部１４に設けてもよく、また流路凹部１２と流路凸部１４の両方に装着しても良いのは言うまでもない。
【００３９】
（実施例３）
図７は本発明の実施例３の超音波式流量計の流量測定部の横断面図である。
【００４０】
図７において、スペーサ２０は、その断面を略Ｕ字状として流量測定部４の矩形断面の流路１６の長辺である流路幅Ｗおよび短辺である流路高さＨをアスペクト比が一定になるように共に縮小変化させるもので、流量測定本体１３の流路凹部１２に流路１６の全域にわたり設けている。
【００４１】
流量レンジに応じたスペーサ２０を装着することにより、矩形の流路１６の断面を最適なアスペクト比を保つことができ、広範囲の流量レンジに対してより高い精度で計測ができ、しかも極端な扁平断面を避けることにより流動する流体の圧力損失が増大することが防止できる。
【００４２】
このように、流量測定レンジに応じてスペーサを取り付けた場合でも流路１６の断面のアスペクト比が最適な形状に設定できるため、より精度の高い測定ができるとともに流体の圧力損失を低減できる。
【００４３】
（実施例４）
図８は本発明の実施例４の超音波式流量計のＡ−Ａ断面図、図９は図８の流量測定部４のＣ−Ｃ断面図、図１０は図８の流量測定部４のＤ矢視図である。
【００４４】
図８〜図１０において、２１は流量測定部４を構成する流路凹部１２の側壁２２に超音波振動子９、１０を配置した流量測定本体である。
【００４５】
流路凹部１２の高さは流量測定部４の矩形断面の高さよりも大きく形成されているので、図９、図１０に示すように矩形断面の流路１６の高さＨよりも大きな外形寸法Ｄ（Ｄ＞Ｈ）を持つ超音波振動子９、１０であっても流路１６に対して最適な位置を保ったまま流量測定本体２１に取り付けることができる。
【００４６】
従って、超音波振動子の設定の自由度が高く、流量測定レンジに関わらず超音波振動子の共用化ができ生産性に優れ、片面が広く開放され且つ一体となった流量測定本体に超音波振動子を互いに対向して取り付けるため、超音波振動子間の位置の微調節あるいは超音波の入出力レベルの調節が組み立て工程時に容易にでき組立作業性が良く生産性に優れる。
【００４７】
（実施例５）
図１１は本発明の実施例５の超音波式流量計の流量測定部４のＣ−Ｃ断面図、図１２は同流量計の流量測定部４のＤ矢視図である。
【００４８】
図１１、図１２において、超音波振動子２３、２４はその断面形状を矩形とし、流量測定本体２１の側壁２２に配置している。
【００４９】
このように、流路の横断面形状が矩形の流量測定部に対して矩形断面の超音波振動子としているので、流量測定部の流路内に均等に効率よく超音波の発振および受信ができ、超音波振動子を駆動するための入力を低減して精度の高い計測が実現できる。
【００５０】
（実施例６）
図１３は本発明の実施例６の超音波式流量計の流量測定本体の外観斜視図、図１４は同流量計の上流室の断面図である。
【００５１】
図１３において、２５は流量測定本体であり、流量測定本体２５は長手方向に延びる流路凹部２６の上流側に一体に設けた上流室５の一部を形成する上流室凹部２７と流路凹部２６の下流側に一体に設けた下流室６の一部を形成する下流室凹部２８を有している。超音波振動子９、１０は流路凹部２６を形成する側壁２９に配置されている。
【００５２】
図１４は上流室凹部２７の上に取り付ける上流室５であり、入口部７に対して上流室凹部２７との接続部３０は仕切壁のない底なし状となっている。下流室６は上流室５と同様に出口部８に対して下流室凹部２８との接続側は底なし状（図示せず）となっている。
【００５３】
このように、上流室５および下流室６は流量測定部を構成する流量測定本体２５によって位置決めが確実になされ、且つ流量測定部と上流室５および下流室６との接続部は平面上に一体に配置するため接続部の形状を流れ状態の二次元性を高める任意に構成でき、流量測定部での流れのに二次元性を高めることができ測定精度が向上する。さらに、上流室および下流室の形状は片面を底なし状とできるため成形加工しやすい形状が得られ生産性が向上できる。
【００５４】
（実施例７）
図１５は本発明の実施例７の超音波式流量計の流量測定本体の外観斜視図である。
【００５５】
図１５において、３１は流量測定本体であり、流量測定本体３１は長手方向に延びる流路凹部３２の上流側に一体に設けた上流室５の一部を形成する上流室凹部３３と流路凹部３２の下流側に一体に設けた下流室６の一部を形成する下流室凹部３４を有し、流路凹部３２の幅および深さは上流室凹部３３および下流室凹部３４の幅および深さよりも小さいため各凹部との接続部には滑らかな曲率を施した段差部３５、３６を設けている。上流側の段差部３５は側面側の段差部３５ａと底面側の段差部３５ｂで構成され、下流側の段差部３６は側面側の段差部３６ａと底面側の段差部３６ｂで構成されると共に、各段差部３５ａ、３５ｂ、３６ａ、３６ｂには滑らかな曲率が設けられている。３７は流路凹部３２を形成する側壁であり、この側壁３７に超音波振動子９、１０が配置されている。
【００５６】
このように、流体の流路構成上において流量測定部と上流室あるいは下流室との接続部に段差ができる場合でも、段差部３５、３６に任意の滑らかな曲率を設けることにより流量測定部の入口、出口での流れ状態の乱れの発生を抑え、流量測定部での流れ状態の二次元性を確保して精度の高い計測ができる。さらに流量測定部の入口、出口での流れ状態の乱れの発生を抑えることにより、流体の流動時の圧力損失を低減できる。
【００５７】
（実施例８）
図１６は本発明の実施例８の超音波式流量計の流量測定本体の外観斜視図である。
【００５８】
図１６において、３８は流量測定本体であり、流量測定本体３８は長手方向に延びる流路凹部２６の上流側に一体に設けた上流室５の一部を形成する上流室凹部２７と流路凹部２６の下流側に一体に設けた下流室６の一部を形成する下流室凹部２８を有し、この上流室凹部２７および下流室凹部２８には超音波振動子３９、４０が流路凹部２６を挟んで対向して設けられている。
【００５９】
このように、超音波振動子３９、４０を上流室凹部２７および下流室凹部２８に設置しているので、流量測定部４にスペーサを設けて流路の矩形断面を変化させ流量レンジの拡大を図った場合でも、スペーサに超音波が通る切り欠き等の細工を施す必要がなく、超音波はスペーサに遮蔽されることなく超音波振動子から流体中に超音波が有効に放出でき、精度の高い計測ができる。
【００６０】
さらに超音波振動子を流量測定本体に互いに対向してと取り付けるため、組立工程時において超音波振動子の位置の微調節あるいは入出力レベルの調節が容易にでき生産性に優れる。
【００６１】
（実施例９）
図１７は本発明の実施例９の超音波式流量計の流量測定本体の外観斜視図である。
【００６２】
図１７において、４１は流量測定本体であり、４２は流量測定本体４１の長手方向に延びる流路凹部２６を形成する側壁であり、４３は側壁４２に設けた超音波振動子９、１０の流量測定部側の開口端側に設けた収納凹部であり、４４は収納凹部４３に側壁４２と面一に取り付けられる整流体であり、この整流体４４は超音波は通過する性質を持つメッシュの細かい網状のものなどで構成される。
【００６３】
このように、流路凹部の側壁に設けた超音波振動子の取り付け部の流路側の開口端に生じる凹みを側壁と面一にした整流体で覆うことにより、測定流路内の流れに凹みによる影響の発生を防止して流れ状態の二次元性を確保し、流れの乱れの発生を防止した精度の高い計測ができる。さらに、流量測定部を流路凹部を持つ流量測定本体と流路凸部を持つ流量測定覆体とをはめ合わせる構成とし、片面が開放した流量測定本体に収納凹部を設けるため成形加工および整流体の組込加工が容易となり生産性を高めることができる。
【００６４】
なお、本発明の実施例１から実施例９は流量計について説明したが、流速計についても同様であるのは言うまでもない。
【００６５】
以上の説明から明らかなように本発明の各実施例における超音波式流量計によれば、次の効果が得られる。
【００６６】
長手方向に延びる流路凹部を持つ流量測定本体と長手方向に延びる流路凸部を持つ流量測定覆体を重ねて流路凹部と流路凸部の間に矩形断面の流量測定部を形成することにより、アスペクト比が大きく且つ流路長さの長い流量測定部を全域にわたって寸法精度が高くしかも安価に製造でき、さらに広範囲の流量レンジに対して流路凹部あるいは流路凸部の少なくとも一方の高さのみを変えることで対応でき、測定精度が高く汎用性の高い流量計が低コストで実現できるという有利な効果がある。
【００６７】
また、流量測定本体の流路凹部あるいは流量測定覆体の流路凸部にスペーサを設けて矩形断面の断面積を可変として、スペーサの着脱により流量測定レンジに応じた設定が利用者にでも簡単にでき、広い流量レンジに対して精度が高く使い勝手のよい流量計が提供できる。
【００６８】
また、スペーサは流量測定部の矩形断面の長辺および短辺を縮小してアスペクト比が一定となるように設定して、流量測定レンジに応じてスペーサを取り付けた場合でもアスペクト比が最適に設定でき、より精度の高い測定を低圧力損失でできる。
【００６９】
また、超音波振動子は流量測定本体の流路凹部の側壁に配置して、矩形断面の高さよりも大きな寸法を持つ超音波振動子であっても流量測定本体に取り付けることができ、超音波振動子の設定の自由度が高く測定レンジに関わらず共用化できるため生産性に優れ、さらに流量測定本体に超音波振動子を互いに対向して取り付けるため超音波振動子間の位置の微調節あるいは超音波の入出力レベルの調節が組み立て工程時に容易にでき組み立て作業性が良く生産性に優れる。
【００７０】
また、超音波振動子は矩形断面として、矩形断面の流量測定部に対して矩形断面の超音波振動子としているので、流量測定部内に均等に効率よく超音波の発信および受信ができ、精度の高い計測を低入力で実現できる。
【００７１】
また、流量測定本体の流路凹部の上流側および下流側には上流室および下流室の一部を形成する上流室凹部および下流室凹部を一体に設けているので、上流室および下流室は流量測定部を構成する流量測定本体によって位置決めが確実になされ且つ流量測定部と上流室および下流室との接続部の形状を任意に構成でき流量測定部での流れ状態の二次元性を高めることで測定精度が向上し、さらに上流室および下流室の形状は片面底なし状とできるため加工しやすい形状が得られ生産性が向上できる。
【００７２】
また、上流室凹部あるいは下流室凹部の流路凹部との接続部に設けた段差部には滑らかな曲率を施しているので、流量測定部での流れ状態の二次元性を確保して精度の高い計測ができ、さらに流体が流動する時の圧力損失を低減することができる。
【００７３】
また、超音波振動子は上流室凹部および下流室凹部に設けて、流量測定部にスペーサを設けて流量測定レンジに応じた矩形断面にした場合でもスペーサに遮蔽されることなく超音波振動子から流体中に超音波が有効に放出され精度の高い計測ができ、さらに流量測定本体に超音波振動子を互いに対向して取り付けるため振動子の位置微調整あるいは入出力レベルの調節が組み立て工程時に容易にでき生産性に優れる。
【００７４】
また、超音波振動子の流量測定部側の開口端に設けた収納凹部に超音波は透過する整流体を流量測定本体の流路凹部の側壁と面一に配置して、凹みによる流れの二次元性に対する乱れの発生を防止して精度の高い計測ができ、さらに収納凹部の成形加工および整流体の組込加工が容易となり生産性が高められる。
【００７５】
【発明の効果】
本発明の超音波式流量計は、アスペクト比が大きく且つ流路長さの長い流量測定部を全域にわたって寸法精度が高くしかも安価に製造でき、さらに広範囲の流量レンジに対して流路凹部あるいは流路凸部の少なくとも一方の高さのみを変えることで対応でき、測定精度が高く汎用性の高い流量計が低コストで実現できるという有利な効果があるとともに、流量測定本体の流路凹部あるいは流量測定覆体の流路凸部にスペーサを設けて矩形断面の断面積を可変として、スペーサの着脱により流量測定レンジに応じた設定が利用者にでも簡単にでき、広い流量レンジに対して精度が高く使い勝手のよい流量計が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例１の超音波式流量計の縦断面図
【図２】  同流量計の流量計測部のＡ−Ａ断面図
【図３】  同流量計の流量計測部のＢ−Ｂ断面図
【図４】  同流量計の流量計測部の斜視図
【図５】  同流量計の流量演算部のブロック図
【図６】  本発明の実施例２の超音波式流量計の流量測定部の横断面図
【図７】  本発明の実施例３の超音波式流量計の流量測定部の横断面図
【図８】  本発明の実施例４の超音波式流量計のＡ−Ａ断面図
【図９】  同流量計の流量測定部のＣ−Ｃ断面図
【図１０】  同流量計の流量測定部のＤ矢視図
【図１１】  本発明の実施例５の超音波式流量計の流量測定部のＣ−Ｃ断面図
【図１２】  同流量計の流量測定部のＤ矢視図
【図１３】  本発明の実施例６の超音波式流量計の流量測定本体の外観斜視図
【図１４】  同流量計の上流室の断面図
【図１５】  本発明の実施例７の超音波式流量計の流量測定本体の外観斜視図
【図１６】  本発明の実施例８の超音波式流量計の流量測定本体の外観斜視図
【図１７】  本発明の実施例９の超音波式流量計の流量測定本体の外観斜視図
【図１８】  従来の超音波式流量計の部分断面図
【符号の説明】
４  流量測定部
５  上流室
６  下流室
９、１０  超音波振動子
１１  流量演算部
１２  流路凹部
１３  流量測定本体
１４  流路凸部
１５  流量測定覆体
【図１】
0003689975.tif 000002
【図２】
0003689975.tif 000003
【図３】
0003689975.tif 000004
【図４】
0003689975.tif 000005
【図５】
0003689975.tif 000006
【図６】
0003689975.tif 000007
【図７】
0003689975.tif 000008
【図８】
0003689975.tif 000009
【図９】
0003689975.tif 000010
【図１０】
0003689975.tif 000011
【図１１】
0003689975.tif 000012
【図１２】
0003689975.tif 000013
【図１３】
0003689975.tif 000014
【図１４】
0003689975.tif 000015
【図１５】
0003689975.tif 000016
【図１６】
0003689975.tif 000017
【図１７】
0003689975.tif 000018
【図１８】
0003689975.tif 000019