(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の角柱状永久磁石を周期配列し被検査材に磁場を印加する磁石配列ユニットと、被検査材に渦電流を発生させる或いは被検査材の渦電流を検出するコイルを具備している電磁超音波探触子において、
磁石配列ユニットは、高さ方向に着磁され磁化方向が交互に逆向きとなるように配列されている主磁石と、厚み方向に着磁され磁化方向が交互に反対向きとなるように前記各主磁石の間及び両端に位置している補助磁石を、高さ方向を揃えて組み合わせた周期配列構造をなし、前記磁石配列ユニットを、複数組、隣り合う関係にある主磁石の磁化の向きが互いに逆になり且つ補助磁石の磁化の向きも互いに逆になるように組み合わせて磁石構造体とし、補助磁石のＮ極側の面に接する主磁石のＮ極側の面を磁石ワーキング面とすることを特徴とする電磁超音波探触子。
【請求項２】
磁石配列ユニットの両端に位置する端部補助磁石は、その磁石厚み寸法ｂ′が、それ以外の補助磁石の磁石厚み寸法ｂの０．２５〜１倍に設定されている請求項１記載の電磁超音波探触子。
【請求項３】
磁石高さＬが、磁石配列周期長Ｔ＝２（ａ＋ｂ）の０．５〜１．５倍の寸法（但し、ａは主磁石の厚み寸法）である請求項２記載の電磁超音波探触子。
【請求項４】
主磁石の磁石厚み寸法ａと補助磁石の磁石厚み寸法ｂが等しい請求項３記載の電磁超音波探触子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属などの導電性被検査材を非接触で非破壊で検査或いは計測するのに用いる電磁超音波探触子に関し、更に詳しく述べると、縦方向（高さ方向）に磁化した主磁石と横方向（厚み方向）に磁化した補助磁石とを組み合わせ磁石配列ユニットとすることで高い超音波強度が得られるように工夫した電磁超音波探触子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】
特開平１０−２８２０７１号公報
【０００３】
超音波探傷装置には各種の超音波変換素子が使用されており、その１つに電磁超音波探触子がある。電磁超音波探触子は、導電性を有する被検査材の表面近傍に位置するコイルに高周波電流を流し、それによって被検査材内に誘起される渦電流と探触子に設けられた永久磁石による磁場との相互作用により、被検査材内に直接超音波を発生させ、欠陥の検査や被検査材の厚みの測定などを行うデバイスである。例えば図５に示すように、電磁超音波探触子１０は、被検査材（図示せず）に磁場を印加する磁石構造体１２と、被検査材に渦電流を発生させる送信コイル（或いは被検査材の渦電流を検出する受信コイル）１４を具備しており、そのコイル引出線１６が高周波電流源或いは探傷器など（図示せず）に接続される。
【０００４】
このような電磁超音波探触子は、永久磁石の構造・配置、及び渦電流励起用等のコイル構造の適切な組み合わせにより、各種モード送受信超音波探触子を簡単に構成できる。そのため、非接触・非破壊検査法として高温環境への使用や原子力プラント・鉄道探傷などの分野への応用が盛んに研究されてきた。
【０００５】
電磁超音波探触子で磁場印加に用いられる従来の磁石配列ユニットは、通常、図６に示すように、高さ方向に着磁されている多数の角柱状永久磁石２０を、隣接する磁石の磁化方向が互いに逆向きとなるように一列に配列した構造である。この磁石配列ユニット２２の上下面のいずれか一方が磁石ワーキング面（被検査材に対向する面）となる。図中の矢印は磁化方向（Ｓ極からＮ極へ向かう方向）を示している。従って、磁石配列ユニットにおける各磁石は、磁石ワーキング面に対して垂直方向で交互に逆向きに磁化された状態となっている。このような磁石配列ユニット２２は、１組のみでも磁石構造体を構成できる。また、このような磁石配列ユニット２２を、２組、組同士で隣り合う磁石も磁化方向が互いに逆向きとなるように同数並べることで２列の磁石構造体２４が得られる（図６のＢ参照）。更に、磁石配列ユニットを同様のルールで増やしてもよく、それによって多数列の磁石構造体が得られる。
【０００６】
このような磁石構造体を用い、それに誘導電流の供給用コイル（送信探触子の場合）及び／又は渦電流の検出用コイル（受信探触子の場合）を組み合わせることによって電磁超音波探触子が構成されることになる。
【０００７】
ところで、磁石配列ユニットの他の従来例として、永久磁石間に非磁性スペーサを介在させる構成も提案されている（特許文献１参照）。この構造では、スペーサを介在させることで該スペーサ内での磁気抵抗が増加し、被検査材に印加できる磁場強度が増加するため、感度が向上するとされている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
いずれにしても、このような従来構造の磁石構造体では、上下面が磁気的に対称な構造であり、上下面のいずれを磁石ワーキング面としても磁気特性は同一である。そのため、磁石の持っている磁気エネルギーの半分しか電磁超音波探触子として利用できていない。
【０００９】
また、従来の電磁超音波探触子の磁石構造体では、磁石高さ寸法Ｌの大きな構成（高い角柱状永久磁石を用いる構成）が採用されている。これは、磁石高さ寸法Ｌが小さいと、磁気特性が弱くなる恐れがあるからである。そこで磁石高さ寸法Ｌは、通常、磁石配置周期長さの２〜３倍程度、もしくはそれ以上に設定されている。そのため磁石が大型化するばかりでなく、重くなる欠点があった。
【００１０】
本発明の目的は、探傷能力・計測能力を向上できる電磁超音波探触子を提供することである。本発明の他の目的は、より小型化、軽量化できる電磁超音波探触子を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
厚み方向に磁化している磁石は、その厚みが薄い偏平状の場合に、反磁場の影響が大きく、磁石性能の低下が予想される。そのため、厚み方向に着磁されている偏平状磁石を電磁超音波探触子の磁石構造体に使用することは極力避けるべきであるというのが技術常識であった。しかし、本発明者等は、数値解析と実験試作を重ねた結果、高さ方向に着磁されている主磁石と厚み方向に着磁されている補助磁石を適正に組み合わせることで磁気特性が向上し、それによって超音波性能が高まることを見出した。本発明は、かかる知得に基づき完成されたものである。
【００１２】
本発明は、多数の角柱状永久磁石を周期配列し被検査材に磁場を印加する磁石配列ユニットと、被検査材に渦電流を発生させる或いは被検査材の渦電流を検出するコイルを具備している電磁超音波探触子において、磁石配列ユニットは、高さ方向に着磁され磁化方向が交互に逆向きとなるように配列されている主磁石と、厚み方向に着磁され磁化方向が交互に反対向きとなるように前記各主磁石の間及び両端に位置している補助磁石を、高さ方向を揃えて組み合わせた周期配列構造をなし、前記磁石配列ユニットを、複数組、隣り合う関係にある主磁石の磁化の向きが互いに逆になり且つ補助磁石の磁化の向きも互いに逆になるように組み合わせて磁石構造体とし、補助磁石のＮ極側の面に接する主磁石のＮ極側の面を磁石ワーキング面とすることを特徴とする電磁超音波探触子である。従って、更に付言すると、本明細書において高さ方向とは磁石ワーキング面に垂直な方向を意味し、厚み方向とは磁石配列方向を意味している。
【００１３】
ここで磁石配列ユニットの両端に位置する端部補助磁石は、その磁石厚み寸法ｂ′が、それ以外の補助磁石の磁石厚み寸法ｂの０．２５〜１倍に設定されているのが好ましい。また磁石高さＬは、磁石配列周期長Ｔ＝２（ａ＋ｂ）の０．５〜１．５倍の寸法（但し、ａは主磁石の厚み寸法）とするのが好ましい。更に、主磁石の磁石厚み寸法ａと補助磁石の磁石厚み寸法ｂとを等しくするのが望ましい。これらは、主磁石と補助磁石が同一磁石材料からなる場合である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明で用いる磁石構造体を構成する磁石配列ユニット及び各磁石の一例を図１に示す。磁石配列ユニット３０は、多数の四角柱状（ここでは横断面が長方形の柱状体である）の永久磁石を周期配列した構造である。使用している磁石は、高さ方向（図面で縦方向）に着磁されている主磁石３２ａと、厚み方向（図面で横方向）に着磁されている補助磁石３２ｂとの２種類であり、磁化の向きを考慮して周期的に配列する。具体的には、磁化方向が交互に逆向きとなるように配列されている主磁石３２ａと、磁化方向が交互に逆向きとなるように前記主磁石３２ａの間及び両端に位置している補助磁石３２ｂとを、高さ方向を揃えて配列する。そして、補助磁石３２ｂのＮ極側の面に接する主磁石３２ａのＮ極側の面を磁石ワーキング面に選定する。従って、図１では磁石配列ユニット３０の下面が磁石ワーキング面となり、磁石の高さ方向が磁石ワーキング面に垂直方向、厚み方向が磁石配列方向となる。因みに、磁石配列ユニット３０の上面では下面よりも遙かに磁束密度が低下する（上面と下面で磁気特性が非対称となる）ため、磁石ワーキング面としては使用しない。このような磁石配列ユニット３０は、それ１個のみでも電磁超音波探触子の磁石構造体として機能する。
【００１５】
図１のＢは、この磁石配列状況を２次元で示したものである。図示のように、図面右手方向をｘ方向、上方向をｙ方向とするｘ−ｙ座標系を設定する。上向き（ｙ方向）に磁化している主磁石３２ａと、右向き（ｘ方向）に磁化している補助磁石３２ｂと、下向き（−ｙ方向）に磁化している主磁石３２ａと、左向き（−ｘ方向）に磁化している補助磁石３２ｂとで１つの磁石配列周期Ｔが構成される。ここで、以下の説明のために、磁石の寸法を次のように定義する。
Ｌ：磁石の高さ寸法
ａ：主磁石の厚み寸法
ｂ：補助磁石の厚み寸法
ｂ′：端部補助磁石の厚み寸法
ｗ：磁石の幅寸法
【００１６】
電磁超音波探触子に組み込む磁石構造体は、磁石ワーキング面に垂直方向の磁束密度が、できる限り均一的周期性を保つようにする必要がある。そこで本発明では、前記のように、磁石構造体の両端部が補助磁石となるような構造にしている。両端部に補助磁石が無いと、磁束密度分布の均一的周期性が損なわれるからである。なお、両端部に配置した補助磁石（端部補助磁石）の磁化方向は、同一でもよいし、逆でもよい。主磁石と補助磁石とが同一磁石材料の場合、端部補助磁石の厚み寸法ｂ′は、それ以外の補助磁石の厚み寸法ｂの０．２５〜１倍とする。電磁超音波探触子は小さいリフトオフ距離（ワーキング面からの距離）で高性能を呈し、実測用リフトオフ距離は通常１．５mm程度以内であることから、上記のような範囲が適当なのである。ここで端部補助磁石の厚み寸法ｂ′の最適値はリフトオフ距離に依存し、リフトオフ距離が短ければｂ′寸法を小さめに調整する。つまり、リフトオフ距離に応じたｂ′寸法を設定することで、磁束密度分布の均一性を改善できるのである。
【００１７】
また、磁石高さＬは、磁石配列周期長Ｔ＝２（ａ＋ｂ）の０．５〜１．５倍とするのがよい。磁石高さＬが小さすぎるとパワー不足となるし、逆に磁石高さＬが大きすぎると大型化し重くなるし、磁石高さＬがある程度大きくなると磁気特性は飽和してしまうからである。更に、主磁石の厚み寸法ａと補助磁石の厚み寸法ｂの比を、１：１．５〜１．５：１の範囲とするのが好ましいが、ほぼ等しくする（１：１とする）のが最適である。その時に超音波強度を最も大きくできるからである。
【００１８】
本発明で用いる磁石構造体においては、主磁石と補助磁石とで材質上の制限はなく、磁石材料が同じでもよいし、異なっていてもよい。異なっている場合、主磁石と補助磁石の最適な寸法関係は必ずしも上記と同じになるとは限らない。しかし、主磁石の厚みａと補助磁石の厚みｂの異なる組み合わせにおいて、電磁超音波探触子の超音波強度が異なるだけであり、電磁超音波探触子としての機能が失われることはない。
【００１９】
図２は本発明に用いる磁石構造体の他の例を示している。この磁石構造体３４は、図１に示した如き磁石配列ユニット３０を、２組、隣り合う関係にある主磁石３２ａの磁化の向きが互いに逆になり、且つ補助磁石３２ｂの磁化の向きも互いに逆になるように組み合わせたものである。図示するのは省略するが、同様のルールによって磁石配列ユニットを３組以上並設することで、多数列の磁石構造体を構成することができる。
【００２０】
図３及び図４は、磁石構造体とコイルの組み合わせを示している。図３は、１組の磁石配列ユニット３０で磁石構造体が構成されている場合（図１参照）に有効な構造である。コイル４０は、磁石構造体の上面から下面（ワーキング面）にかけてｘ−ｙ平面にほぼ垂直な軸のまわりに線材を所定回数巻き付ける構造である。特に、ワーキング面に沿うコイル線の方向をｘ方向と平行にするのが好ましい。図４は、２組の磁石配列ユニットによって磁石構造体３４が構成されている場合（図２参照）である。平面状コイル４２を用い、それを磁石構造体の磁石ワーキング面（ここでは下面）に配置する。コイル幅方向の片側辺は一方の磁石配列ユニット直下に位置し、反対側辺は他方の磁石配列ユニット直下に位置するように設ける。
【００２１】
このような電磁超音波探触子は、送信用及び受信用のいずれにも使用できる。また、送信コイルと受信コイルを重ねて（異なる巻数が可能であるし、異なる寸法とすることも可能である）配置することにより、送受信兼用の電磁超音波探触子を構成することもできる。これらについては、例えば特許文献１に記載されているような従来公知の手法で行える。このような磁石構造体及びコイルを電磁超音波探触子に組み込むことによって、電磁超音波探触子の小型化・高性能化が可能になる。
【００２２】
【実施例】
磁石構造体についての解析結果について以下に説明する。図７は、ｙ方向（ワーキング面に垂直方向）の磁束密度のリフトオフ距離依存性を示しており、横軸はｘ方向（ワーキング面に平行方向）沿いの磁石相対位置、縦軸はｙ方向の磁束密度Ｂｙである。Ａは本発明品の解析結果、Ｂは従来品の解析結果であり、いずれもリフトオフ距離（ワーキング面からの距離）を０．１〜４．０mmの範囲で変化させて描いている。本発明品は、主磁石と補助磁石に同じ磁石材料を用い、磁石の高さＬ＝７mm、主磁石の厚みａ＝１．２５mm、補助磁石の厚みｂ＝１．２５mmである。従来品は、磁石の高さＬ＝７mm、磁石の厚み＝２．５mmである。これらの結果から、リフトオフ距離が小さいほどｙ方向の磁束密度Ｂｙが強くなる点では本発明品も従来品も同じであるが、同じリフトオフ距離で両者を対比すると、本発明品の方が磁束密度Ｂｙがはるかに増大していることが分かる。つまり、本発明品は従来品に比べて、より一層強力な磁気特性が発現している。
【００２３】
また図示するのは省略するが、端部補助磁石が存在しない場合には、両端側の磁束密度分布は明らかに低くなり、全体的に均一性が欠けることが確認されている。図７のＡでは、リフトオフ距離が０．１mm程度以内のように短い場合に磁束密度が均一的周期性を呈している。解析結果によれば、端部補助磁石の厚みｂ′＝３ｂ／４の場合、リフトオフ距離０．５mmにおける磁束密度の均一性が良好となり、リフトオフ距離０．５mm程度で測定する電磁超音波探触子に適すること、また端部補助磁石の厚みｂ′＝ｂ／２の場合、リフトオフ距離１．０mmにおける磁束密度の均一性が良好となり、リフトオフ距離１．０mm程度で測定する電磁超音波探触子に適することも確認されている。一般的に電磁超音波探触子は小さいリフトオフ距離で高性能を呈するので、例えば、ここで示した例では、７００〜９００ｋＨｚに適する電磁超音波探触子の場合、実測用リフトオフ距離は１．５mm程度以内と考えられる。これらのことから、端部補助磁石の厚みｂ′は０．２５ｂ〜ｂの範囲が適当ということになる。
【００２４】
図８は、縦方向（高さ方向）に磁化している磁石の中心縦断面（図１のｍ−ｍ断面）におけるｙ方向の磁束密度Ｂｙの磁石厚み寸法依存性を示し、横軸はｙ方向の相対位置、縦軸はｙ方向の磁束密度Ｂｙである。主磁石の厚みａと補助磁石の厚みｂ（端部補助磁石の厚みｂ′＝ｂ）との和が一定（ここではａ＋ｂ＝２．５mm）となる様々な組み合わせについて解析している。図の中心部にある縦線はワーキング面に相当し、その左側の領域が磁石内部に、右側の領域が磁石外部に相当する。磁石外部において、主磁石の厚みａが小さいほど磁石表面近傍においてｙ方向磁束密度が大きいが、リフトオフ距離の増加につれて減少し、それぞれの曲線が交差し逆転する場合もある。いずれにしても、多数の磁束密度分布曲線の中で一番下に位置するのはｂ＝０の構造（即ち補助磁石が無い従来品）に相当し、従来品の磁束密度分布が一番弱いことを意味している。
【００２５】
図９は、縦方向（高さ方向）に磁化している磁石の中心縦断面（図１のｍ−ｍ断面）におけるｙ方向の磁束密度Ｂｙの磁石高さ寸法依存性を示し、横軸はｙ方向の相対位置、縦軸はｙ方向の磁束密度Ｂｙである。磁石高さ寸法Ｌを２〜１０mmの範囲で変化させて解析している。図の中心部にある縦線はワーキング面に相当し、その左側の領域が磁石内部に、右側の領域が磁石外部に相当する。
【００２６】
磁石内部においては磁石高さ寸法Ｌの影響により最高磁束密度は異なる。しかし磁石外部においては、Ｌ＝５，７，１０mmの場合、３つの曲線はほぼ重なっていて、Ｌ＝３mmの場合の曲線から少し下がり始め、Ｌ＝２．５mmとＬ＝２mmの場合には明らかなパワー減少が見られる。結果として、ｙ方向磁束密度は磁石高さ寸法Ｌには敏感でないことが分かった。言い換えれば、ある程度高さ寸法Ｌの小さい磁石を使用しても、高さ寸法Ｌの非常に大きい磁石とほぼ同じ磁気特性を有するので、適正な磁石高さに設定することで電磁超音波探触子の小型化・軽量化が簡単に達成できることが分かる。
【００２７】
磁石の製作による性能ばらつきと表面加工層の性能低下、磁石組立の難易を考慮すると、磁石高さ寸法Ｌは磁石配列周期Ｔ＝２（ａ＋ｂ）の０．５倍以上（つまり、ここではＬ≧２．５mm）が望ましく、また軽量化を考慮すると、高さが大きすぎると重くなるので、磁石高さ寸法Ｌは磁石配列周期Ｔの１．５倍以下（つまり、ここではＬ≦７．５mm）が望ましい。
【００２８】
図１０は、縦方向（高さ方向）に磁化している磁石の中心縦断面（図１のｍ−ｍ断面）におけるｙ方向の磁束密度Ｂｙの磁石高さ寸法依存性を示し、横軸はｙ方向の相対位置、縦軸はｙ方向の磁束密度Ｂｙである。磁石高さ寸法Ｌを変化させて解析している。図の中心部にある縦線はワーキング面に相当し、その左側の領域が磁石内部に、右側の領域が磁石外部に相当する。ここでは磁石高さ寸法Ｌを５，７，１０mmと変えた３種類の磁石構造体について、ｙ方向の磁束密度Ｂｙの分布曲線を求めている。これは、図９を補足するもので、磁石ワーキング面側と共に、それと反対面側における磁束密度分布も示している。
【００２９】
磁石外部において２組の曲線が観察されるが、上の曲線はワーキング面側におけるｙ方向磁束密度分布であり、下の曲線はワーキング面の反対面側におけるｙ方向磁束密度分布である。明らかに、ワーキング面側に比べてそれと反対面側の磁気特性が弱い。この弱い磁気特性は、ワーキング面側に強力な磁気特性が発現した結果である。従って本発明では、適切にワーキング面を選定することが必要であり、それによって同じ材質、ほぼ同じ磁石材料使用量であっても、より強力な電磁超音波探触子が構成できることが分かる。
【００３０】
次に、本発明に係る電磁超音波探触子の超音波強度特性について説明する。解析条件は、磁石配置周期数８＋補助磁石１個、周波数７００ｋＨｚ、磁石高さＬ＝７mm、磁石配置周期長さ２（ａ＋ｂ）＝５mmであり、伝播媒質材料はステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）である。図１１では、主磁石の厚みａと補助磁石の厚みｂの和（ａ＋ｂ）を一定とし、ａとｂの組み合わせを変化させた場合の超音波強度特性を示している。ａとｂの各組み合わせにおいて類似の超音波分布特性を示している。このことから、超音波分布特性はａとｂの組み合わせの関数ではなく、ａ＋ｂの合計値の関数であることが分かる。ａとｂの組合せが異なる場合、超音波強度のピーク値のみが変化し、指向性形状などは殆ど変化しない。なお、図において、一つの強力なメインローブピークと７つの弱いサイドローブピークが観察され、その合計数８は磁石配置周期数と一致している。強力なメインローブピークは鋭い超音波指向性を意味し、メインローブのピーク値は超音波強度として評価できる。なお、解析は相対超音波分布特性について行ったもので、図の縦軸及び横軸は相対値を示している。
【００３１】
図１２は、図１１のデータを元に、超音波強度のピーク値と超音波屈折角を磁石厚みａの関数として再整理した結果である。ａとｂの差が大きいほど、超音波強度のピーク値が小さく、主磁石の厚み寸法ａと補助磁石の厚み寸法ｂの比を、１：１．５〜１．５：１の範囲とすると良好な超音波強度が得られる。特に、両者が同じ場合（ａ＝ｂ＝１．２５mm）に一番強力な超音波強度が得られる。従って、本発明の電磁超音波探触子に用いた磁石配置構造の主磁石厚みａと補助磁石厚みｂを変化することにより、探触子の出力を調整できることが分かる。なお、同図において、ｂ＝０の場合は従来の磁石構造体に相当する。両者の超音波強度のピーク値を比較すると、ａ＝ｂの場合はｂ＝０の場合の１．４倍の性能向上が達成できた。一方、超音波の屈折角の変化は、ａとｂの組合せにかかわらず僅か（０．３°範囲以内）であり、超音波指向性方向はあまり変化しないことも分かる。
【００３２】
これらの解析結果から、本発明に係る電磁超音波探触子は、磁気特性の向上に伴い性能が飛躍的に高められることが明らかとなった。この性能向上は、重量軽減とパワーアップの両面で達成される。
【００３３】
【発明の効果】
本発明は上記のように、縦方向に磁化している主磁石と横方向に磁化している補助磁石とを適正に組み合わせた磁石配列ユニットを用いる構成であるから、電磁超音波探触子の小型化、高性能化（探傷能力・計測能力の向上）を図ることができる。本発明により、より強力な電磁超音波探触子を必要とする検査・計測環境や、より小型の電磁超音波探触子を必要とする検査・計測環境において、電磁超音波による非破壊検査の欠陥検出性が向上し、また非破壊評価の測定精度が向上し、全体的に電磁超音波による非破壊検査・評価の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明で用いる磁石構造体の一例を示す説明図。
【図２】本発明で用いる磁石構造体の他の例を示す説明図。
【図３】磁石構造体とコイルの組み合わせの一例を示す説明図。
【図４】磁石構造体とコイルの組み合わせの他の例を示す説明図。
【図５】電磁超音波探触子の構造例を示す説明図。
【図６】従来の電磁超音波探触子で用いる磁石構造体の一例を示す説明図。
【図７】ｙ方向磁束密度Ｂｙのリフトオフ距離依存性の一例を示すグラフ。
【図８】ｙ方向磁束密度Ｂｙの磁石厚み寸法依存性の例を示すグラフ。
【図９】ｙ方向磁束密度Ｂｙの磁石高さ寸法依存性の一例を示すグラフ。
【図１０】ｙ方向磁束密度Ｂｙの磁石高さ寸法依存性の他の例を示すグラフ。
【図１１】磁石寸法に対する超音波強度特性を示すグラフ。
【図１２】磁石寸法に対する超音波強度のピーク値と超音波屈折角の関係を示すグラフ。
【符号の説明】
３０  磁石配列ユニット
３２ａ  主磁石
３２ｂ  補助磁石
【図１】
0003727933.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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