(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一般産業機械や各種遊技設備等に設けられているテーブルを往復移動させるテーブル往復駆動用シリンダであり、
シリンダケース内を固定の仕切壁で二分して第１のシリンダ室と第２のシリンダ室とを形成し、
該第１のシリンダ室に第１のピストンを、第２のシリンダ室に第２のピストンをそれぞれ摺動自在に嵌入させると共に、その第１のピストンの前記仕切壁に対向する面と反対側の面に第１のピストンロッドを設けてその先端側を前記シリンダケースの一端面に形成した孔から前記テーブルの押圧面に接触可能に突出させ、前記第２のピストンの前記仕切壁に対向する面と反対側の面に第２のピストンロッドを設けてその先端側を前記シリンダケースの他端面に形成した孔から前記テーブルの前記押圧面に対向する押圧面に接触可能に突出させ、
前記第１のシリンダ室の前記第１のピストンと前記仕切壁との間に形成される室に連通する第１のポートと、前記第２のシリンダ室の前記第２のピストンと前記仕切壁との間に形成される室に連通する第２のポートとを設けたテーブル往復駆動用シリンダを使用するシリンダ駆動システムであって、
前記テーブル往復駆動用シリンダの前記第１のピストンロッドを前記テーブルの押圧面に固定又は接触させると共に前記第２のピストンロッドを前記テーブルの前記押圧面に対向する押圧面に固定又は接触させ、
前記テーブル往復駆動用シリンダの第１のポート及び第２のポートを切換弁を介して圧力源に接続し、
前記切換弁を、前記第１のポートに圧力を供給して前記第２のポートを減圧させる第１の切換位置と、前記第２のポートに圧力を供給して前記第１のポートを減圧させる第２の切換位置とに切換可能にし、
前記切換弁と並列に加圧用切換弁を設け、前記テーブルを作動させる直前に前記加圧用切換弁によりシステムの管路内及び前記テーブル往復駆動用シリンダの前記第１のポートが連通する室と前記第２のポートが連通する室の圧力を前記テーブルの作動圧まで高めるようにしたことを特徴とするシリンダ駆動システム。
【請求項２】
前記テーブルが、車両の少なくとも一部を載置した状態で前記第１のピストンロッドの移動方向に移動可能な車両積載テーブルであることを特徴とする請求項１記載のシリンダ駆動システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、一般産業機械や各種遊技設備等に設けられているテーブルを、前後もしくは左右に移動させる空圧シリンダ又は油圧シリンダ等のテーブル往復駆動用シリンダのシリンダ駆動システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、工作機械等の一般産業機械や各種遊技設備等には、前後もしくは左右に移動するテーブルが設けられているものがある。これらは、その駆動源に、例えば油圧シリンダや空圧シリンダを使用している。
図１０は、その油圧シリンダの一例を示したものであり、片ロッドシリンダの場合を示している。
この片ロッドシリンダは、ピストン７０の同図で左側の受圧面７０ａに先端がテーブル２に接するピストンロッド７１が固定されているため、その受圧面７０ａは右側の受圧面７０ｂに比べて面積が小さい。
【０００３】
すなわち、受圧面７０ａの受圧面積をＡ1 とし、受圧面７０ｂの受圧面積をＢ1 とすると、Ａ1 ＜Ｂ1 の関係にあり、この片ロッドシリンダの矢示Ａ方向の前進時の出力はＰ（受圧面に作用する圧力）×Ｂ1 、後退時の出力はＰ×Ａ1 となるため、前進時の出力が後退時の出力に比べて大きくなる。
【０００４】
また、油圧シリンダには、図１１に示すような両ロッドシリンダもある。この両ロッドシリンダは、ピストン８０の同図で左右の受圧面８０ａと８０ｂの受圧面積が等しいため、矢示Ａ方向の前進時と矢示Ｂ方向の後退時とで出力が同じになる。
そして、この両ロッドシリンダでは、左右の受圧面積が等しいため、速度制御も前進時と後退時で同じ制御ができる。したがって、テーブル駆動用としてはこの両ロッドシリンダが片ロッドシリンダに比べて多く使用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の片ロッドシリンダの場合には、後退時における出力を前進時の出力と同じ大きさが得られるようにしようとすると、受圧面７０ａの受圧面積を、ピストンロッド７１の径方向の断面積分だけ大きくする必要があるので、そのためにはピストン７０全体の直径が大きくなってしまうため、シリンダ全体が大型化してしまうという問題点があった。
また、仮りにこのようにしたとすると、そのピストン７０の直径が大きくなる分だけ受圧面７０ｂ側の受圧面積も大きくなるので、前進時の出力が必要以上に大きくなってしまうため、無駄な出力を浪費してしまうようになる。
【０００６】
また、後者の両ロッドシリンダの場合には、前進時と後退時の出力が同じになるという利点があるが、ピストン８０の左右の受圧面８０ａ，８０ｂには共にピストンロッド８１，８２が固定されているため、そのピストンロッド８１，８２の径方向の断面積分だけ受圧面８０ａと８０ｂの各受圧面積が少なくなる。
したがって、このシリンダで、例えば図１０の片ロッドシリンダにおける前進時の出力を得ようとすると、ピストンロッド８１，８２の径方向の断面積分だけ各受圧面８０ａ，８０ｂの受圧面積を多くしなければならないため、ピストン８０をサイズアップさせた両ロッドシリンダを使用しなければならなくなるので、装置が大型化してしまうと共に、コストもアップしてしまうという問題点があった。
【０００７】
この発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、小型で出力に無駄がなく、高速駆動も可能なテーブル往復駆動用シリンダを使用して、一般産業機械や各種遊技設備等に設けられているテーブルを駆動するシリンダ駆動システムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明は上記の目的を達成するため、一般産業機械や各種遊技設備等に設けられているテーブルを往復移動させるテーブル往復駆動用シリンダを使用するシリンダ駆動システムにおいて、上記シリンダのシリンダケース内を固定の仕切壁で二分して第１のシリンダ室と第２のシリンダ室とを形成し、その第１のシリンダ室に第１のピストンを、第２のシリンダ室に第２のピストンをそれぞれ摺動自在に嵌入させる。
【０００９】
また、その第１のピストンの上記仕切壁に対向する面と反対側の面に第１のピストンロッドを設けてその先端側をシリンダケースの一端面に形成した孔からテーブルの押圧面に接触可能に突出させ、第２のピストンの上記仕切壁に対向する面と反対側の面に第２のピストンロッドを設けてその先端側を前記シリンダケースの他端面に形成した孔から上記テーブルの上記押圧面に対向する押圧面に接触可能に突出させる。
さらに、第１のシリンダ室の前記第１のピストンと上記仕切壁との間に形成される室に連通する第１のポートと、第２のシリンダ室の第２のピストンと上記仕切壁との間に形成される室に連通する第２のポートとを設ける。
【００１０】
また、上記テーブル往復駆動用シリンダの第１のピストンロッドを上記テーブルの押圧面に固定又は接触させると共に第２のピストンロッドを上記テーブルの上記押圧面に対向する押圧面に固定又は接触させ、テーブル往復駆動用シリンダの第１のポート及び第２のポートを切換弁を介して圧力源に接続し、その切換弁を、上記第１のポートに圧力を供給して第２のポートを減圧させる第１の切換位置と、第２のポートに圧力を供給して第１のポートを減圧させる第２の切換位置とに切換可能にする。
さらに、上記切換弁と並列に加圧用切換弁を設け、上記テーブルを作動させる直前に上記加圧用切換弁によりシステムの管路内及びテーブル往復駆動用シリンダの第１のポートが連通する室と第２のポートが連通する室の圧力を上記テーブルの作動圧まで高めるように構成する。
【００１１】
そうすれば、切換弁を第１の切換位置にすると、圧力源から第１のポートに圧力が供給されると共に第２のポートが減圧されるので、第１のピストンロッドが突出側に移動してテーブルが移動する。
また、切換弁を第２の切換位置にすると、圧力源から第２のポートに圧力が供給されると共に第１のポートが減圧されるので、第２のピストンロッドが突出側に移動して、テーブルが今度は逆方向に移動する。
【００１２】
さらに、例えば作動油は一般的に圧縮性があるため、切換弁を第１の切換位置あるいは第２の切換位置に切り換えたときには、シリンダの受圧面に設定通りの圧力が即到達することはなく、必ず作動油の圧縮により時間的な遅れが生じるが、加圧用切換弁がテーブルを作動させる直前にシステムの管路内及びテーブル往復駆動用シリンダの第１のポートが連通する室と第２のポートが連通する室の圧力をテーブルの作動圧まで高めるので、シリンダを遅れなく駆動することができる。
【００１３】
また、上記テーブルは、車両の少なくとも一部を載置した状態で第１のピストンロッドの移動方向に移動可能な車両積載テーブルとすることもできる。
このようにすれば、このシリンダ駆動システムを、テーブル上に車両の少なくとも一部を載置した状態でその車両をテーブルの移動方向に移動させる遊技設備等にも使用することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１はこの発明によるシリンダ駆動システムで使用するテーブル往復駆動用シリンダをそれによって駆動されるテーブルと共に示す概略構成図、図２は同じくそのシリンダを前進側に駆動させた状態を示す概略構成図、図３は同じくそのシリンダを後退側に駆動させた状態を示す概略構成図である。
【００１５】
このテーブル往復駆動用シリンダ(以下、単にシリンダと云う)１は、図１に示すように一般産業機械や各種遊技設備等に設けられているテーブル２を往復移動させるテーブル往復駆動用のシリンダである。
このシリンダ１は、シリンダケース３内を長手方向の中央で、固定の仕切壁４で二分して第１のシリンダ室１１と第２のシリンダ室１２とを形成し、その第１のシリンダ室１１に第１のピストン２１を、第２のシリンダ室１２に第２のピストン２２をそれぞれ摺動自在に嵌入させている。
【００１６】
また、このシリンダ１は、第１のピストン２１の仕切壁４に対向する面２１ａと反対側の面２１ｂに第１のピストンロッド３１を設けて、その先端側をシリンダケース３の一端面３ａに形成した孔からテーブル２の押圧面２ａに接触可能に突出させ、第２のピストン２２の仕切壁４に対向する面２２ａと反対側の面２２ｂに第２のピストンロッド３２を設けてその先端側をシリンダケース３の他端面３ｂに形成した孔からテーブル２の押圧面２ａに対向する押圧面２ｂに接触可能に突出させている。
【００１７】
さらに、このシリンダ１は、第１のシリンダ室１１の第１のピストン２１と仕切壁４との間に形成される室に連通する第１のポートＰo1と、第２のシリンダ室１２の第２のピストン２２と仕切壁４との間に形成される室に連通する第２のポートＰo2とを設けている。
なお、シリンダケース３の第１のピストンロッド３１側にはエアーベント用接続口５が、第２のピストンロッド３２側にはエアーベント用接続口６がそれぞれ形成されており、それらは第１のピストン２１と第２のピストン２２の移動に伴ってシリンダケース３に対して出入りする空気を単に通過させるだけの役割を果たすものであり、本来のテーブル２の駆動に影響を与えるものではない。
【００１８】
このシリンダ１は、図１に示した第１のポートＰo1に圧力源から圧油を流入させ、第２のポートＰo2をタンクに連通させると、その圧力源の油圧が第１のピストン２１の同図で右側の面２１ａに作用するので、第１のピストン２１が第１のピストンロッド３１と共に矢示Ａ方向に移動し、それによってテーブル２が同方向に押し出されて図２に示すように前進する。
【００１９】
すると、そのテーブル２の押圧面２ｂには第２のピストンロッド３２の先端が当接しているので、その第２のピストンロッド３２が第２のピストン２２と共に矢示Ａ方向に移動するため、第２のピストンロッド３２が収縮する。
したがって、第２のピストン２２に対しては、従来のシリンダのようにロッド側の面２２ｂに圧力を加える必要がない。
【００２０】
次に、今度は第２のポートＰo2に圧力源から圧油を流入させ、第１のポートＰo1をタンクに連通させると、その圧力源の油圧が第２のピストン２２の図２で左側の面２２ａに作用するので、第２のピストン２２が第２のピストンロッド３２と共に矢示Ｂ方向に移動する。それによって、テーブル２が同方向に押し出されて図３に示すように後退する。
【００２１】
すると、そのテーブル２の押圧面２ａには第１のピストンロッド３１の先端が当接しているので、その第１のピストンロッド３１が第１のピストン２１と共に矢示Ｂ方向に移動するため、第１のピストンロッド３１が収縮する。
したがって、この場合も上述した前進の場合と同様に、第１のピストン２１に対しては、従来のシリンダのようにロッド側の面２１ｂに圧力を加える必要がない。
【００２２】
このように、シリンダ１は、２個の通常の単動シリンダを背中合わせにしたような構成をしており、第１のピストン２１と第２のピストン２２の２つのピストンを有している。そして、その第１と第２のピストン２１と２２の第１のピストンロッド３１側と第２のピストンロッド３２側の各面２１ｂと２２ｂは共に受圧面として使用せずに、それと反対側の面(キャップ側)２１ａと２２ａを共に受圧面として使用している。
【００２３】
そのため、このシリンダ１は、それが単体では第１と第２のピストン２１と２２が共に突出する側に移動するだけであるため、それを収縮側に戻すことはできないが、上述したようにテーブル２と組み合わせて使用することにより、そのテーブル２を前進（矢示Ａ）及び後退（矢示Ｂ）させることができる。
このように、このシリンダ１は、第１のピストンロッド３１と第２のピストンロッド３２がそれぞれ第１と第２のピストン２１と２２の受圧面と反対側の面２１ｂと２２ｂに設けられているので、その第１と第２のピストンロッド３１，３２が受圧面となる面２１ａ及び２２ａに無い分だけ各受圧面の面積を有効に使用することができる。
【００２４】
したがって、受圧面（面２１ａ，２２ａ）にピストンロッドが設けられている場合に比べて、外径の小さな第１，第２のピストン２１，２２であっても、受圧面積が大きい分だけ、その第１，第２のピストン２１，２２を大きな出力で、高速に移動させることができる。
すなわち、図４に示すようなピストンロッド８１，８２の外径が共にｄであり、ピストン８０の外径がＤである従来の両ロッド方式のシリンダと、図５に示すような第１のピストンロッド３１と第２のピストンロッド３２の外径が共にｄであり、第１のピストン２１と第２のピストン２２の外径が共にＤであるシリンダ１との受圧面積を比較してみると、次のようになる。
なお、ｄ＝Ｄ／２の関係にあるものとする。
【００２５】
まず、図４のピストン８０の両側の受圧面８０ａ，８０ｂの各受圧面積Ａａは、
0003625248.tif 000002
また、図５の第１のピストン２１と第２のピストン２２の受圧面となる面２１ａ，２２ａの各受圧面積Ｂａは、Ｂａ＝３.１４×Ｄ２／４となる。
したがって、Ａａ／Ｂａ＝０.７５ となり、図５のシリンダを使用すれば、図４のシリンダの７５％の大きさのピストンであっても、同じ出力が得られる。
このように、このシリンダ１によれば、テーブルを駆動させるために必要な駆動負荷に合わせた最適サイズの小型シリンダを提供することができる。
【００２６】
図６は図１のシリンダを使用したこの発明によるシリンダ駆動システムの油圧回路例を示す油圧回路図である。
この油圧回路は、シリンダ１の第１のポートＰo1及び第２のポートＰo2を切換弁４０を介して圧力源７に接続している。そして、その切換弁４０を、第１のポートＰo1に圧力を供給し、第２のポートＰo2をタンク８に連通させることによって減圧させる図６で左方に移動させた切換位置である第１の切換位置と、第２のポートＰo2に圧力を供給し、第１のポートＰo1をタンク８に連通させることによって減圧させる同図で右方に移動させた切換位置である第２の切換位置とに切換可能にしている。
【００２７】
また、この油圧回路は、切換弁４０と並列に加圧用切換弁４１を設け、テーブル２を作動させる直前にその加圧用切換弁４１によりシステムの管路内及びシリンダ１の第１のポートＰo1が連通する室と第２のポートＰo2が連通する室の圧力をテーブル２の作動圧（動き出す圧力）まで高めるようにしている。
そして、切換弁４０のＲポートを、速度調整弁９を介してタンク８に連通させている。その速度調整弁９は、第１のポートＰo1あるいは第２のポートＰo2からタンク８に流出する油の流量を調整することにより、テーブル２の移動速度を調整する役割を果たす。
【００２８】
なお、このシリンダ駆動システムでは、シリンダ１の第１のピストンロッド３１をテーブル２の押圧面２ａに固定又は接触させると共に、第２のピストンロッド３２をテーブル２の押圧面２ａに対向する押圧面２ｂに固定又は接触させている。
このシリンダ駆動システムは、切換弁４０を図６に示した位置から左方に移動させて第１の切換位置にすると、圧力源７から第１のポートＰo1に圧力が供給されると共に第２のポートＰo2がタンク８に速度調整弁９を介して連通することにより減圧されるので、第１のピストンロッド３１が突出側（矢示Ａ方向側）に移動してテーブル２が前進する。
【００２９】
また、切換弁４０を図６に示した位置から右方に移動させて第２の切換位置にすると、圧力源７から第２のポートＰo2に圧力が供給されると共に第１のポートＰo1がタンク８に速度調整弁９を介して連通することにより減圧されるので、第２のピストンロッド３２が突出側に移動して、テーブル２が今度は矢示Ｂの逆方向に後退する。
【００３０】
ところで、一般的に作動油は圧縮性があるため、切換弁４０を上述した第１の切換位置あるいは第２の切換位置に切り換えたときには、シリンダ１の受圧面となる面２１ａあるいは２２ａに設定通りの圧力が即到達することはないので、必ず作動油の圧縮によりテーブル２の移動が遅れる。
しかしながら、このシリンダ駆動システムでは、上述したように切換弁４０と並列に加圧用切換弁４１を設け、テーブル２を作動させる直前にその加圧用切換弁４１の位置を図６に示した位置から右方に切り換えることにより、システムの管路内及びシリンダ１の第１のポートＰo1が連通する室と第２のポートＰo2が連通する室の圧力をテーブル２の作動圧まで高める。
【００３１】
そして、その後で切換弁４０を第１の切換位置あるいは第２の切換位置に切り換えると、加圧用切換弁４１をすぐに図６に示す位置に戻す。
このようにすることにより、テーブル２を移動させるための負荷相当圧（＝負荷／受圧面積）を、シリンダ１の各受圧面となる面２１ａと２２ａに、切換弁４０を第１の切換位置あるいは第２の切換位置に切り換える前に作用させることができるので、上記のようなテーブル２の移動遅れを防止することができる。
【００３２】
なお、この加圧用切換弁４１を設けなかった場合のテーブル２の移動遅れ時間は、例えば配管（２５Ａ）の長さを１０ｍ、シリンダ容積を５００ｃｃ、所要圧力を１０ＭＰa とすると、油の圧縮ボリュームは約３２ｃｃとなり、ポンプ（圧力源７）の流量を１０１／ｍｉｎとすると、約０.２ 秒（圧縮のための所要時間）となる。
【００３３】
図７は第１のピストンロッドの外径と第２のピストンロッドの外径とを異ならせたテーブル往復駆動用シリンダを示す概略構成図であり、図１と対応する部分には同一の符号を付してある。
このシリンダ１′は、第１のピストンロッド３１に対して第２のピストンロッド（以下、単にピストンロッドと云う）３２′の外径を太くしている（逆にして第１のピストンロッド３１側を太くしてもよい）。
【００３４】
このようにすれば、テーブル２が矢示Ｂ方向に移動したときにピストンロッド３２′に大きなスラスト力が加わるようなときでも、そのピストンロッド３２′は外径をシリンダケース３の内径が許す範囲で大きくして強度アップを図っているので、ピストンロッド３２′の変形を防止することができる。
また、ピストンロッド３２′の外径を大きくしても、それによってピストン２２の受圧面積が減少するようなことがないので、シリンダ１′を初期の設定通りの出力で確実に駆動することができる。
さらに、ピストンロッド３２′のようにロッド径を大きくしても、油圧制御系の変更が全く不必要であるという利点もある。
【００３５】
図８はこの発明によるシリンダ駆動システムで使用するテーブル往復駆動用シリンダの他の例を示す概略構成図であり、図７と対応する部分には同一の符号を付してある。
このシリンダ５１は、シリンダのストローク長が長いために一体製作が困難な場合に、シリンダケース５３Ａと５３Ｂを別々に製作し、それらを組立て時にフランジ部５４と５５を互いにボルトで結合するようにしたものである。
このような構成にすれば、第１のピストンロッド３１の移動方向（図８で左右方向）に長いシリンダ５１であっても、それを容易に製作することができる。
なお、この図８では、第１，第２のポートＰo1，Ｐo2及びエアーベント用接続口５，６の図示を省略してある。
【００３６】
図９は図６のシリンダ駆動システムを適用した車両姿勢変更用テーブル装置を示す平面図である。
この車両姿勢変更用テーブル装置は、図６で説明したシリンダ駆動システムにより、走行路５６と上面が略同じ高さにあるテーブル２を矢示ＡあるいはＢ方向に高速で移動させるものであり、シリンダ１は、そのテーブル２の下側に配設されている。
【００３７】
そして、この車両姿勢変更用テーブル装置は、テーブル２が例えば教習所内等の走行路５６を走行する車両の一部である例えば後輪（テーブル２を大型化して前後輪とすることもできる）を載置した状態で、第１のピストンロッド３１の移動方向である矢示ＡあるいはＢ方向に移動可能にしている。
走行路５６の両側には、車両の走行方向に沿って所定の間隔を置いて車速センサ５７，５８及び５９，６０がそれぞれ配設されていて、その車速センサ５７と５９が、また車速センサ５８と６０がそれぞれ対向している。
【００３８】
そして、車速センサ５７から投光された光を受光側の車速センサ５９が受け、車速センサ６０から投光された光を受光側の車速センサ５８が受け、そのセンサ間を車両が通過することによって遮光されたときに、車両の通過を検知する。
そして、その車両の車速を瞬時に図示しない制御部で検出して、その車両の後輪がテーブル２の上に位置するタイミングで、シリンダ１を瞬時に矢示ＡあるいはＢ方向に高速で移動させ、走行車両をスリップさせる。
【００３９】
なお、この車両姿勢変更用テーブル装置では、テーブル２の移動方向の両端部をテーブルカバー６１，６２で覆っているため、走行路５６をテーブル２に向かって走行する車両の運転者には、そのテーブル２がどちらのテーブルカバー６１，６２側に偏って移動しているかについては、外部からでは判断できないようになっている。
このような車両姿勢変更用テーブル装置であっても、図１等で説明したシリンダ１は、小型でありながら高い出力により高速でテーブル２を移動させることができるので、そのテーブル２上に載った車両の走行姿勢を急激に変更することができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によるシリンダ駆動システムによれば、小型でありながら出力に無駄のないテーブル往復駆動用シリンダを使用してテーブルを高速で往復駆動させることができるので、シリンダ駆動システムをコンパクトに構成することができ、しかも安価にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるシリンダ駆動システムで使用するテーブル往復駆動用シリンダをそれによって駆動されるテーブルと共に示す概略構成図である。
【図２】同じくそのシリンダを前進側に駆動させた状態を示す概略構成図である。
【図３】同じくそのシリンダを後退側に駆動させた状態を示す概略構成図である。
【図４】この発明によるシリンダ駆動システムで使用するシリンダと受圧面積を比較するために示した両ロッド方式のシリンダの概略図である。
【図５】この発明によるシリンダ駆動システムで使用するシリンダの受圧面積を図４の両ロッド方式のシリンダと比較するために示すシリンダの概略図である。
【図６】図１のシリンダを使用したこの発明によるシリンダ駆動システムの油圧回路例を示す油圧回路図である。
【図７】第１のピストンロッドの外径と第２のピストンロッドの外径を異ならせたテーブル往復駆動用シリンダを示す概略構成図である。
【図８】この発明によるシリンダ駆動システムで使用するテーブル往復駆動用シリンダの他の例を示す概略構成図である。
【図９】図６のシリンダ駆動システムを適用した車両姿勢変更用テーブル装置を示す平面図である。
【図１０】従来の片ロッドシリンダの一例を示す概略構成図である。
【図１１】従来の両ロッドシリンダの一例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１，１′，５１：テーブル往復駆動用シリンダ
２：テーブル                ３：シリンダケース
３ａ：一端面                ３ｂ：他端面
１１：第１のシリンダ室      １２：第２のシリンダ室
２１：第１のピストン        ２１ａ，２１ｂ：面
２２：第２のピストン        ２２ａ，２２ｂ：面
３１：第１のピストンロッド
３２，３２′：第２のピストンロッド
４０：切換弁                ４１：加圧用切換弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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