(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＣが載置されているトレイを供給するトレイ供給部と、
可動部を押圧して変位させることにより上記ＩＣが着脱されるＩＣソケットを有する基板を供給する基板供給部と、
上記トレイ供給部に供給されたトレイと上記基板供給部に供給された基板との間で上記ＩＣを移送するためのロボット本体と、
上記ＩＣソケットのサイズに応じて間隔が調整可能になっており上記ＩＣソケットの可動部を押圧する複数のソケット押さえを有し、上記ロボット本体に支持され上記ＩＣを吸着保持する着脱ヘッドと、
上記ロボット本体の動作を制御する制御部と
を備えていることを特徴とするＩＣ着脱装置。
【請求項２】
ＩＣ及びＩＣソケットの少なくともいずれか一方の情報を制御部に入力することにより、ソケット押さえの間隔が自動的に調整されることを特徴とする請求項１記載のＩＣ着脱装置。
【請求項３】
着脱ヘッドは、一対のソケット押さえと、互いの間隔が開く方向へ上記ソケット押さえを付勢するばねと、いずれか一方のソケット押さえに回動自在に設けられているレバーと、このレバーの一端部に設けられ上記レバーの回動角度に応じて上記ソケット押さえの間隔を規制する間隔規制部材と、上記レバーの他端部に設けられているローラとを有しており、ロボット本体による上記着脱ヘッドの移動範囲内には、位置決め面を有する位置決め部材が設けられており、上記位置決め面に上記ローラを当接させた状態で上記着脱ヘッドを移動させることにより上記レバーを回動させ、上記ソケット押さえの間隔が調整されることを特徴とする請求項２記載のＩＣ着脱装置。
【請求項４】
着脱ヘッドに装着されてＩＣをセンタリングする複数のセンタリング治具が置かれたセンタリング治具ストッカを備え、上記ＩＣの情報を制御部に入力することにより、上記ＩＣに応じたセンタリング治具が自動的に選択されて交換されることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のＩＣ着脱装置。
【請求項５】
着脱ヘッドは、センタリング治具を保持するためのチャック爪と、このチャック爪を開閉するエアシリンダとを有していることを特徴とする請求項４記載のＩＣ着脱装置。
【請求項６】
トレイ供給部は、セットされたトレイマガジン及び上記トレイマガジンに収容されたトレイのいずれかを選択的に持ち上げるトレイ持上装置を有していることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のＩＣ着脱装置。
【請求項７】
トレイ供給部は、２枚のトレイを支持し回転可能なトレイ受けが設けられているトレイテーブルと、空のトレイを収容する空トレイ収容部と、トレイ持上装置、上記トレイテーブル及び上記空トレイ収容部の間でトレイを搬送するトレイ搬送装置とを有していることを特徴とする請求項６記載のＩＣ着脱装置。
【請求項８】
基板供給部は、ＩＣソケットに対するＩＣ着脱位置と基板交換位値との間で、基板を水平に保ったまま基板の位置を入れ換える基板反転装置を有していることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のＩＣ着脱装置。
【請求項９】
ロボット本体に支持されＩＣを吸着する吸着部と、
この吸着部の外側に設けられているとともに、互いの間隔が調整可能になっており、ＩＣソケットへの上記ＩＣの着脱時に上記ＩＣソケットの可動部を押圧する一対のソケット押さえと
を備えていることを特徴とするＩＣ着脱装置の着脱ヘッド。
【請求項１０】
間隔が開く方向へソケット押さえを付勢するばねと、いずれか一方のソケット押さえに回動自在に設けられているレバーと、このレバーの一端部に設けられ上記レバーの回動角度に応じて上記ソケット押さえの間隔を規制する間隔規制部材とを備えていることを特徴とする請求項９記載のＩＣ着脱装置の着脱ヘッド。
【請求項１１】
ソケット押さえの間隔を調整するときに一対のソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤを備えていることを特徴とする請求項９又は請求項１０記載のＩＣ着脱装置の着脱ヘッド。
【請求項１２】
間隔が開く方向へソケット押さえを付勢するばねと、ソケット押さえの間隔を調整するときに一対のソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤと、上記同期ギヤに押し付けられ、ソケット押さえの間隔を保持する間隔保持部材とを備えていることを特徴とする請求項９記載のＩＣ着脱装置の着脱ヘッド。
【請求項１３】
平行な状態を保ったまま一対のソケット押さえを同期して直線移動させる直線移動機構を備えていることを特徴とする請求項９記載のＩＣ着脱装置の着脱ヘッド。
【請求項１４】
ＩＣをセンタリングするセンタリング治具を保持するためのチャック爪と、このチャック爪を開閉するエアシリンダとを備えていることを特徴とする請求項９ないし請求項１３のいずれかに記載のＩＣ着脱装置の着脱ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、トレイ上のＩＣを移送して、例えばバーンイン工程用の基板上のＩＣソケットに装着したり、逆にＩＣソケットからＩＣを抜き取りトレイ上に移送するＩＣ着脱装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、製造されたＩＣ（ＩＣパッケージ）は、例えば１２０〜１３０℃の高温下で所定時間通電するバーンイン工程を経た後に、電気的動作試験が行われる。上記のバーンイン工程においては、基板上に並んだ複数のＩＣソケットにＩＣを装着、即ち電気的に接続した状態で、基板がバーンイン炉内にセットされる。従って、バーンイン工程の前後には、基板上のＩＣソケットに対してＩＣを移送し着脱する工程が必要となり、この工程のためにＩＣ着脱装置が使用される。
【０００３】
図３４は従来のＩＣ着脱装置の一例を示す斜視図である。図において、複数のＩＣソケット（図示せず）が搭載されている基板（バーンイン基板）１は、基板搬送部２により基板マガジン３から１枚ずつ搬送される。基板搬送部２の近傍には、複数のトレイ４が収納されているトレイ収納部５が設けられている。各トレイ４には、複数のＩＣ（図示せず）が載置される。
【０００４】
基板１とトレイ４との間のＩＣの移送は、ロボット本体６によって行われる。このロボット本体６には、ＩＣを吸着して保持する２個の着脱ヘッド７が搭載されている。これら２個の着脱ヘッド７の間隔は、基板１におけるＩＣソケットのピッチ、及びトレイ４内のＩＣ収納ピッチに応じて調整可能になっている。また、ロボット本体６には、トレイ４を搬送するためのトレイチャック部８も搭載されている。
【０００５】
次に、動作について説明する。例えば、トレイ収納部５に収納されたトレイ４上のＩＣを基板１上のＩＣソケットに装着する場合、着脱ヘッド７をロボット本体６によりトレイ４のＩＣ上に移動させ、２個のＩＣを吸着させる。この後、着脱ヘッド７を基板１のＩＣソケット上に移動させ、ＩＣソケットに装着して吸着を解除する。
【０００６】
このとき、ＩＣソケットには、コンタクトの開閉を行うカバーが設けられており、このカバーを着脱ヘッドで押圧することにより、コンタクトを開いた状態でＩＣをＩＣソケットにセットする。そして、着脱ヘッド７を上動させることにより、カバーの押圧を解除して、コンタクトを閉じ、ＩＣをＩＣソケットに保持させる。また、着脱ヘッド７におけるＩＣの位置決めは、ＩＣの肩部をチャック爪（図示せず）で四方から矯正することにより行われる。
【０００７】
このようにして、トレイ４からＩＣを２個ずつ基板１のＩＣソケットに装着していき、基板１の全てのＩＣソケットにＩＣが装着されたら、次の基板１が基板搬送部２により供給される。また、トレイ４の全てのＩＣが無くなったら、トレイチャック部８により新たなトレイ４が供給される。
【０００８】
上記のように、ＩＣソケットにＩＣが装着された基板をバーンイン炉（図示せず）に収納することにより、バーンイン工程が行われる。バーンイン工程の後には、上記と逆の手順によりＩＣソケットのＩＣがトレイ４に移送される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように構成された従来のＩＣ着脱装置においては、チャック爪でＩＣの位置決めをする必要があるとともに、ＩＣソケットにＩＣを着脱する際、着脱ヘッドのソケット押さえ（図示せず）によりＩＣソケットのカバーを押圧する必要があるが、装着されるＩＣに応じてＩＣソケットには種々のサイズのものがあるため、それぞれのＩＣソケットのサイズに対応するソケット押さえと、ＩＣのサイズに対応するチャック爪とを有する着脱ヘッドを多数保管しておき、ＩＣ及びＩＣソケットの種類が変わるたびに着脱ヘッド全体を交換する必要があった。このような着脱ヘッドの交換を行うためには、装置の運転を停止して１５〜２０分以上もかかり、作業効率の低下を招いていた。特に、多種少量生産の製品の増加に伴い、着脱ヘッドの交換の回数も増え、交換のための時間及び労力が作業効率に与える影響は大きなものとなっている。
【００１０】
一方、特定のサイズのＩＣ及びＩＣソケットのみに対応した着脱ヘッドを多数搭載したロボットにより、多数のＩＣを同時に移送する装置もあるが、やはり上記のような多種少量生産には不向きであり、異なるサイズのＩＣ及びＩＣソケットを扱っている間は、装置全体を休止させておくことになってしまう。
【００１１】
この発明は、上記のような問題点を解決することを課題としてなされたものであり、着脱ヘッドの交換時間を省略することにより、作業効率を大幅に向上させることができるＩＣ着脱装置を得ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明に係るＩＣ着脱装置は、ＩＣが載置されているトレイを供給するトレイ供給部と、可動部を押圧して変位させることによりＩＣが着脱されるＩＣソケットを有する基板を供給する基板供給部と、トレイ供給部に供給されたトレイと基板供給部に供給された基板との間でＩＣを移送するためのロボット本体と、ＩＣソケットのサイズに応じて間隔が調整可能になっておりＩＣソケットの可動部を押圧する複数のソケット押さえを有し、ロボット本体に支持されＩＣを吸着保持する着脱ヘッドと、ロボット本体の動作を制御する制御部とを備えたものである。
【００１３】
請求項２の発明に係るＩＣ着脱装置は、ＩＣ及びＩＣソケットの少なくともいずれか一方の情報を制御部に入力することにより、ソケット押さえの間隔が自動的に調整されるものである。
【００１４】
請求項３の発明に係るＩＣ着脱装置は、一対のソケット押さえと、互いの間隔が開く方向へソケット押さえを付勢するばねと、いずれか一方のソケット押さえに回動自在に設けられているレバーと、このレバーの一端部に設けられレバーの回動角度に応じてソケット押さえの間隔を規制する間隔規制部材と、レバーの他端部に設けられているローラとを、着脱ヘッドに設け、ロボット本体による着脱ヘッドの移動範囲内には、位置決め面を有する位置決め部材が設けられており、位置決め面にローラを当接させた状態で着脱ヘッドを移動させることによりレバーを回動させ、ソケット押さえの間隔が調整されるものである。
【００１５】
請求項４の発明に係るＩＣ着脱装置は、着脱ヘッドに装着されてＩＣをセンタリングする複数のセンタリング治具が置かれたセンタリング治具ストッカを備え、ＩＣの情報を制御部に入力することにより、ＩＣに応じたセンタリング治具が自動的に選択されて交換されるものである。
【００１６】
請求項５の発明に係るＩＣ着脱装置は、センタリング治具を保持するためのチャック爪と、このチャック爪を開閉するエアシリンダとを、着脱ヘッドに設けたものである。
【００１７】
請求項６の発明に係るＩＣ着脱装置は、セットされたトレイマガジン及びトレイマガジンに収容されたトレイのいずれかを選択的に持ち上げるトレイ持上装置を、トレイ供給部に設けたものである。
【００１８】
請求項７の発明に係るＩＣ着脱装置は、２枚のトレイを支持し回転可能なトレイ受けが設けられているトレイテーブルと、空のトレイを収容する空トレイ収容部と、トレイ持上装置、トレイテーブル及び空トレイ収容部の間でトレイを搬送するトレイ搬送装置とを、トレイ供給部に設けたものである。
【００１９】
請求項８に係るＩＣ着脱装置は、ＩＣソケットに対するＩＣ着脱位置と基板交換位値との間で、基板を水平に保ったまま基板の位置を入れ換える基板反転装置を、基板供給部に設けたものである。
【００２０】
請求項９の発明に係るＩＣ着脱装置の着脱ヘッドは、ロボット本体に支持されＩＣを吸着する吸着部と、この吸着部の外側に設けられているとともに、互いの間隔が調整可能になっており、ＩＣソケットへのＩＣの着脱時にＩＣソケットの可動部を押圧する一対のソケット押さえとを備えたものである。
【００２１】
請求項１０の発明に係るＩＣ着脱装置の着脱ヘッドは、間隔が開く方向へソケット押さえを付勢するばねと、いずれか一方のソケット押さえに回動自在に設けられているレバーと、このレバーの一端部に設けられレバーの回動角度に応じてソケット押さえの間隔を規制する間隔規制部材とを備えたものである。
【００２２】
請求項１１の発明に係るＩＣ着脱装置の着脱ヘッドは、ソケット押さえの間隔を調整するときに一対のソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤを備えたものである。
【００２３】
請求項１２の発明に係るＩＣ着脱装置の着脱ヘッドは、間隔が開く方向へソケット押さえを付勢するばねと、ソケット押さえの間隔を調整するときに一対のソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤと、同期ギヤに押し付けられ、ソケット押さえの間隔を保持する間隔保持部材とを備えたものである。
【００２４】
請求項１３の発明に係るＩＣ着脱装置の着脱ヘッドは、平行な状態を保ったまま一対のソケット押さえを同期して直線移動させる直線移動機構を備えたものである。
【００２５】
請求項１４の発明に係るＩＣ着脱装置の着脱ヘッドは、ＩＣをセンタリングするセンタリング治具を保持するためのチャック爪と、このチャック爪を開閉するエアシリンダとを備えたものである。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図について説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１によるＩＣ着脱装置を示す斜視図、図２は図１の装置の平面図である。設置台１１上には、セットされた複数のトレイ４を徐々に持ち上げて供給するトレイ持上装置１２が設けられている。各トレイ４は、複数のＩＣ（ＩＣパッケージ）１３を位置決めして載置可能に構成されている。トレイ持上装置１２のトレイ４が移送されるトレイテーブル１４は、トレイ持上装置１２の一側に隣接して設けられている。このトレイテーブル１４は、２枚のトレイ４を支持する回転可能なトレイ受け１５を有しており、このトレイ受け１５を１８０゜回転させることにより、トレイ受け１５上の２枚のトレイ４の位置を入れ換えることができる。
【００２７】
空のトレイ４を収容する空トレイ収容部１６は、トレイ持上装置１２の他側に隣接して設けられている。トレイ持上装置１２，トレイテーブル１４及び空トレイ収容部１６の間のトレイ４の搬送は、トレイ搬送装置１７により行われる。また、上記のトレイ持上装置１２，トレイテーブル１４，空トレイ収容部１６及びトレイ搬送装置１７により、トレイ供給部１８が構成されている。
【００２８】
複数の基板（バーンイン基板）１を昇降可能に収容している基板収容装置１９は、設置台１１の所定の位置に結合されている。設置台１１上には、基板供給部としての基板反転装置２０が設けられている。この基板反転装置２０は、設置台１１の上面と平行な軸を中心に回転可能な一対の回転ホルダ２１と、これらの回転ホルダ２１間に設けられ基板１を支持する２個の基板支持台２２とを有している。また、回転ホルダ２１を回転させることにより、基板１を水平に保ったまま２個の基板支持台２２の位置が入れ換えられるように構成されている。基板収容装置１９と基板反転装置２０との間での基板１の搬送は、図２（図１では省略）に示すように、設置台１１上に設けられた基板搬送装置２３により行われる。
【００２９】
また、設置台１１上には、トレイテーブル１４上のトレイ４と基板反転装置２０上の基板１との間でＩＣ１３を移送するロボット本体２４が設けられている。このロボット本体２４には、ＩＣ１３を吸着して保持する着脱ヘッド２５が上下動可能に支持されている。さらに、ロボット本体２４による着脱ヘッド２５の移動範囲内には、凹部２６ａを有する位置決め部材２６と、複数のセンタリング治具２７が置かれたセンタリング治具ストッカ２８が設けられている。設置台１１上に設けられた透明なカバー２９には、操作パネル３０が固定されている。設置台１１内には、シーケンスコントローラを有し装置全体の運転を制御する制御部（図示せず）が収容されており、操作パネル３０はこの制御部に接続されている。
【００３０】
次に、装置全体の基本的な動作について説明する。まず、ＩＣ１３が載置された複数のトレイ４が積層収容されているトレイマガジン４Ａをトレイ持上装置１２にセットするとともに、空のトレイマガジン４Ａを空トレイ収容部１６にセットする。また、複数の基板１を収容した基板収容装置１９を所定の位置にセットする。
【００３１】
この後、操作パネル３０を操作して運転を開始する。トレイ持上装置１２では、トレイマガジン４Ａ内のトレイ４が徐々に持ち上げられ、最上部のトレイ４がトレイ搬送装置１７によりトレイテーブル１４のトレイ受け１５に搬送される。一方、基板収容装置１９内の基板は、基板反転装置２０上に搬送される。この状態で、ロボット本体２４により着脱ヘッド２５がトレイ受け１５のトレイ４上に移動され、１個のＩＣ１３が着脱ヘッド２５により吸着される。これにより、吸着されたＩＣ１３は、位置決めされた状態で着脱ヘッド２５に保持される。この後、着脱ヘッド２５は、ＩＣ１３を保持したまま基板反転装置２０の基板１上に移動され、ＩＣソケット１Ａ上に降ろされる。そして、移送されたＩＣ１３がＩＣソケット１Ａに装着される。
【００３２】
このような作業が繰り返され、基板１上の全てのソケット１ＡにＩＣ１３が装着されると、基板反転装置２０の２枚の基板１の位置が入れ換えられ、次の基板１にＩＣ１３のＩＣソケット１Ａに対してＩＣ１３が装着される。そして、次の基板１に対するＩＣ装着作業が行われている間に、基板搬送装着２３により、作業済みの基板１が基板収容装置１９内に収容され、新しい基板１が空いている基板支持台２２上に搬送されて位置決めされる。この後、基板収容装置１９内の全ての基板１に対する作業が終了すると、基板収容装置１９が設置台１１から切り離され、次の工程へと搬送される。
【００３３】
また、トレイ受け１５上の一方のトレイ４から全てのＩＣ１３が無くなると、トレイ受け１５が１８０゜回転され、次のトレイ４からＩＣ１３が移送される。そして、次のトレイ４に対する作業が行われている間に、トレイ受け１５上の空のトレイ４がトレイ搬送装置１７により空トレイ収容部１６のトレイマガジン４Ａ内に搬送され、新しいトレイ４がトレイ持上装置１２からトレイ受け１５上の待機位置に搬送される。
【００３４】
上記のように、基板１の交換が基板反転装置２０により、トレイ４の交換がトレイテーブル１４により、それぞれ瞬時に行われるため、これらの交換作業に伴う装置の停止時間がなく、作業効率が向上される。
【００３５】
なお、基板１上のＩＣソケット１ＡからＩＣ１３を抜き取り、トレイ４に戻す作業は、上記の逆の手順で行われる。
【００３６】
次に、図１のＩＣ着脱装置の各部の詳細について説明する。まず、図３は図１のトレイ持上装置１２を示す斜視図である。図において、トレイ持上装置１２は、所定の位置に置かれたトレイマガジン４Ａを保持するマガジン保持シリンダ３１、トレイマガジン４Ａ内のトレイ４を持ち上げる持上台３２、持上台３２に回動可能に設けられトレイマガジン４Ａに係合するＬ字状の係合部材３３、及び係合部材３３を９０゜回動させる係合部材シリンダ３４を有している。
【００３７】
このようなトレイ持上装置１２では、図３に示すように、マガジン保持シリンダ３１によりトレイマガジン４Ａが所定の位置に保持され、係合部材３３が閉じられた状態で、持上台３２が上昇することにより、トレイマガジン４Ａ内に積層されたトレイ４が１枚分ずつ持ち上げられる。そして、図１のトレイ搬送装置１７により、トレイ４が上から順にトレイテーブル１４に搬送される。
【００３８】
この後、トレイマガジン４Ａ内のトレイ４が全て搬送されると、持上台３２が一度最下部まで下降され、マガジン保持シリンダ３１が解除されるとともに、係合部材３３が９０゜回動される。この状態で、持上台３２が上昇することにより、係合部材３３がトレイマガジン４Ａの下面に係合し、空のトレイマガジン４Ａが所定の高さまで持ち上げられる。
【００３９】
このように、トレイマガジン４Ａを所定の高さに持ち上げた状態で、トレイマガジン４Ａの交換を行うことにより、トレイマガジン４Ａが周囲の機器に衝突するのが防止されるとともに、交換作業が容易になる。
【００４０】
次に、図５は基板１の一例を示す平面図である。図において、基板１上には、複数のＩＣソケット１Ａが配列されているとともに、これらのＩＣソケット１Ａに通電するための配線パターン（図示せず）が設けられている。また、基板１の一端部には、バーンイン炉（図示せず）内の接続部に挿入され電気的に接続されるコネクタ１Ｂが設けられている。
【００４１】
図６はＩＣソケット１Ａの一例を示す平面図、図７は図６の断面図、図８は図６のカバーを押圧した状態を示す平面図、図９は図８の断面図である。ＩＣソケット１Ａのベース３５上には、弾性変形可能な複数のコンタクトピン３６がＩＣ１３のリード１３ａに対応して設けられている。これらのコンタクトピン３６は、その弾性力によりリード１３ａを上から押さえ付けている。また、ベース３５上には、全部のコンタクトピン３６に係合する可動部としてのカバー３７が設けられている。カバー３７の中央部には、ＩＣ１３を通すための開口３７ａが設けられている。
【００４２】
このようなＩＣソケット１Ａでは、ＩＣ１３の着脱時に着脱ヘッド２５（図１）によりカバー３７が均等に押圧される。これにより、全てのコンタクトピン３６が弾性変形し、図９に示すように、リード１３ａが解放される。カバー３７の押圧が解除されると、カバー３７は上動し、コンタクトピン３６は元の形状に復元され、リード１３ａがコンタクトピン３６に押さえ付けられる。これにより、リード１３ａとコンタクトピン３６とが電気的に接続される。
【００４３】
次に、図１０は図１の基板反転装置２０を示す平面図、図１１は図１０の斜視図、図１２は図１０の装置の基板反転動作中の斜視図である。図において、２個の基板支持台２２の位置を入れ換えるための駆動モータ１２１の駆動により、回転ホルダ２１が回転される。このとき、駆動モータ１２１の支持部に固定されている固定歯車１２２に噛み合う２個のアイドル歯車１２３が、固定歯車１２２の周囲を自転しながら公転する。これらアイドル歯車１２３には、基板支持台２２に固定されている水平保持歯車１２４が噛み合っており、図１１及び図１２にも示すように、基板支持台２２上の基板１が水平に保たれるように歯数等が設定されている。
【００４４】
このような基板反転装置２０を用いることにより、簡単な構造で、基板１を水平に保ったまま基板１の位置を入れ換えることができ、基板１の交換による作業停止時間を省略することができ、作業効率を向上させることができる。
【００４５】
次に、着脱ヘッド２５の構造について説明する。図１３は図１の着脱ヘッド２５を示す正面図である。図において、ロボット本体２４に上下動可能に支持されているヘッド軸４１の下端部には、ＩＣソケット１Ａのカバー３７を押圧する一対のソケット押さえ、即ち第１及び第２のソケット押さえ４２，４３が支点４２ａ，４３ａを中心に回動可能に設けられている。第１及び第２のソケット押さえ４２，４３には、これらが回動する際に互いに噛み合う同期ギヤ４２ｂ，４３ｂが設けられている。また、第１のソケット押さえ４２には、断面三角形の細かい溝が連続して刻まれている噛合面４２ｃが設けられている。
【００４６】
第１及び第２のソケット押さえ４２，４３は、これらの下端部が開離する方向へばね４４により付勢されている。第２のソケット押さえ４３には、レバー４５が支点４５ａを中心に回動自在に取り付けられている。レバー４５の一端部には、第１及び第２のソケット押さえ４２，４３の開方向への回動を規制する間隔規制部材としてのストッパ４６が回動自在に取り付けられている。また、ストッパ４６には、第１のソケット押さえ４２の噛合面４２ｃと噛み合う噛合面４６ａが設けられている。さらに、レバー４５を回動させ、第１のソケット押さえ４２の長さ方向のストッパ４６の位置を調整することにより、第１及び第２のソケット押さえ４２，４３の下端部の間隔、即ち開度が調整可能になっている。レバー４５の他端部には、回動自在な第１のローラ４７Ａが設けられている。第２のレバー４３には、回動自在な第２のローラ４７Ｂが設けられている。
【００４７】
第１及び第２のソケット押さえ４２，４３の間には、ヘッド軸４１の軸方向へ延びる吸着部としての吸着管４８が設けられている。この吸着管４８の先端部には、ＩＣ３１を吸着する吸着パッド４８ａが設けられている。ヘッド軸４１に対して固定されているハウジング（図示せず）には、固定台４９が固定されており、この固定台４９にはセンタリング治具２７が装着されている。
【００４８】
図１４はセンタリング治具２７の一例を示す斜視図である。センタリング治具２７には、２本の位置決めピン２７ａが設けられており、これらの位置決めピン２７ａをそれぞれ固定台４９に設けられた位置決め孔４９ａに挿通させることにより、センタリング治具２７の位置決めが行われている。
【００４９】
センタリング治具２７の下面には、テーパ状の壁部を有する凹部２７ｂが設けられている。吸着管４８の先端部は、センタリング治具２７の孔２７ｃに挿入され、吸着パッド４８ａの先端が凹部２７ｂ内に開口している。従って、吸着パッド４８ａにより吸着されたＩＣ１３は、凹部２７ａ内に引き付けられることにより凹部２７ｂのテーパ状の壁部で自動的にセンタリングされる。また、図１に示したように、センタリング治具ストッカ２８上には種々のセンタリング治具２７が置かれており、ＩＣ１３のサイズに応じてこれらのセンタリング治具２７との交換が可能となっている。
【００５０】
取付台４９には、支点５０ａを中心に回動可能なチャック爪５０が設けられており、そのチャック爪５０の先端部５０ｂがセンタリング治具２７の係合溝２７ｄに係合することにより、センタリング治具２７が保持されている。チャック爪５０は、その先端部５０ｂが係合溝２７ｄに係合する方向へばね５１により付勢されている。チャック爪５０の中間部には、チャック解除ローラ５２が回転自在に取り付けられている。また、取付台４９には、チャック解除ローラ５２を押圧することにより、ばね５１に逆らってチャック爪５０を回動させるエアシリンダ５３が搭載されている。
【００５１】
上記のような着脱ヘッド２５では、ＩＣ１３は、センタリング治具２７により位置決めされた状態で、吸着パッド４８ａに吸着されて保持される。このように、トレイ４からＩＣ１３が取り出されると、ロボット本体２４により着脱ヘッド２５が移動され、ＩＣソケット１Ａに対して正確な位置、正確な向きで着脱ヘッド２５が下降される。
【００５２】
このとき、第１及び第２のソケット押さえ４２，４３の開度は予め調整されているので、ＩＣソケット１Ａのカバー３７がソケット押さえ４２，４３により押圧され、コンタクトピン３６が図９のように弾性変形する。この状態で、ＩＣ１３の吸着が解除され、着脱ヘッド２５が持ち上げられる。これにより、コンタクトピン３６が復元し、ＩＣ１３がＩＣソケット１Ａに装着される。ＩＣ１３の抜き取りは、上記の逆である。
【００５３】
次に、ＩＣ１３の品種が変更された場合のＩＣ着脱装置の動作について説明する。図１５は図１のＩＣ着脱装置の品種変更時の動作手順を示すフローチャートである。まず、作業員は、図１の操作パネル３０に品種変更運転の指令を入力するとともに、新たなＩＣの品種や使用するＩＣソケットなどの情報のうち必要な情報を入力する。これにより、ロボット本体２４が制御され、着脱ヘッド２５がセンタリング治具ストッカ２８へ移動される（ステップＳ１）。制御部のメモリには、センタリング治具ストッカ２８における各センタリング治具２７の保管位置が予め入力され記憶されており、そのデータに従って着脱ヘッド２５が正確に移動される。
【００５４】
この後、着脱ヘッド２５のエアシリンダ５３が作動されることにより、ばね５１に逆らってチャック爪５０が回動され、センタリング治具２７の係合溝２７ｄに対するチャック爪５０の先端部５０ｂの係合が解除される。この状態で、着脱ヘッド２５が上動されることにより、図１６に示すように、位置決めピン２７ａが位置決め孔４９ａから抜け、センタリング治具２７が着脱ヘッド２５から解放される（ステップＳ２）。
【００５５】
次に、図１７に示すように、第１のローラ４７Ａが凹部２６ａに対向するように着脱ヘッド２５が位置決め部材２６の側方へ移動される（ステップＳ３）。なお、図１７ないし図２１では、センタリング治具２７の支持構造の図示を省略している。この後、着脱ヘッド２５が位置決め部材２６側へ移動され、第１のローラ４７Ａが凹部２６ａ内に挿入されるとともに、第２のローラ４７Ｂが位置決め部材２６に押し付けられる。これにより、図１８に示すように、ばね４４に逆らって第２のソケット押さえ４３が閉じられ、これに同期する第１のソケット押さえ４２も閉じられ、噛合面４２ｃと噛合面４６ａとの噛合が解除され、ストッパ４６が第１のソケット押さえ４２から分離される（ステップＳ４）。
【００５６】
この後、図１９に示すように、着脱ヘッド２５が上昇され、第１のローラ４７Ａが凹部２６ａの上面、即ち位置決め面２６ｂに当接する。この状態から、着脱ヘッド２５がさらに上昇されることにより（ステップＳ５）、レバー４５が図の反時計方向へ回動される。制御部には、ＩＣ１３の品種に応じた着脱ヘッド２５の移動量が予め入力され記憶されており、着脱ヘッド２５は設定された高さで停止される。
【００５７】
この後、図２０に示すように、着脱ヘッド２５が位置決め部材２６から開離する方向へ水平に移動されると、ばね４４の復元力により第１及び第２のソケット押さえ４２，４３が開方向へそれぞれ回動し、第１のソケット押さえ４２にストッパ４６が再び結合される（ステップＳ６）。そして、着脱ヘッド２５がさらに水平移動され、図２１に示すように、位置決め部材２６から開離すると、第１及び第２のソケット押さえ４２，４３の開度、即ち下端部の間隔の変更が完了する。
【００５８】
ここで、第１及び第２のソケット押さえ４２，４３の開度は、第１のソケット押さえ４２に対するストッパ４６の位置により調整され、ストッパ４６の位置は、レバー４５の角度によって調整される。さらに、レバー４５の角度は、位置決め面２６ｂからの着脱ヘッド２５の上昇量によって調整される。従って、図１９で示した着脱ヘッド２５の上昇時の高さをＩＣ１３の品種毎に制御部に入力し記憶させておくことにより、品種に応じた開度を得ることができる。
【００５９】
このように、開度の変更が完了したら、着脱ヘッド２５は、再びセンタリング治具ストッカ２８に移動される（ステップＳ７）。このとき、着脱ヘッド２５は、次に装着されるセンタリング治具ストッカ２８の保管位置の真上に正確に位置決めされる。そして、エアシリンダ５３によりチャック爪５０がばね５１に逆らって回動した状態で、図２２に示すように、着脱ヘッド２５が下降され、位置決めピン２７ａが位置決め孔４９ａに挿入される。
【００６０】
この後、図２３に示すように、エアシリンダ５３による押圧が解除されると、ばね５１によりチャック爪５０が回動し、その先端部５０ｂが係合溝２７ｄに係合し、センタリング治具２７の装着が完了する（ステップＳ８）。これにより、センタリング治具２７の交換及びソケット押さえ４２，４３の開度調整が終了し、着脱ヘッド２５は、選択された品種のＩＣ１３の着脱作業が可能となる。
【００６１】
このような着脱ヘッド２５を有するＩＣ着脱装置によれば、ＩＣ１３の品種が変更されても着脱ヘッド２５全体を交換する必要がないため、着脱ヘッド２５の交換時間を省略することができ、これにより作業効率を大幅に向上させることができる。
【００６２】
また、制御部にＩＣやＩＣソケットの情報を記憶しておくことにより、センタリング治具２７の交換及びソケット押さえ４２，４３の開度調整を自動的に行うため、作業効率は一層向上する。
【００６３】
さらに、位置決め面２６ｂを有する位置決め部材２６に対する着脱ヘッド２５の移動量でソケット押さえ４２，４３の開度を調整することができるので、開度をより正確に調整することができる。
【００６４】
さらにまた、エアシリンダ５３によりチャック爪５０を回動させてセンタリング治具２７のロックを解除するようにしたので、センタリング治具２７の着脱を小さなスペースで素早く行うことができる。但し、エアシリンダ５３を省略し、手動によりチャック爪５０を回動させてセンタリング治具２７の交換を手動で行うことも可能である。
【００６５】
また、一対のソケット押さえ４２，４３が同期ギヤ４２ｂ，４３ｂにより同期して回動するため、開度の調整が容易である。
【００６６】
なお、上記の例ではバーンイン工程について示したが、バーンイン工程の前及び後に行われる電気的動作試験についても、ＩＣソケットにＩＣを着脱する必要があれば、この発明の装置を適用することができる。
【００６７】
実施の形態２．
また、上記の例ではソケット押さえ４２，４３の間隔を自動的に調整するものを示したが、手動で行うものでもよい。即ち、図２４に示すように第１のローラを省略して、治具等を用いて手動でストッパ４６の位置を調整するようにしてもよい。この場合、ＩＣ品種に対応したストッパ４６の結合位置をソケット押さえ４２に記しておくこともできる。
【００６８】
実施の形態３．
次に、図２５はこの発明の実施の形態３による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。図において、一対のソケット押さえ４２，４３の上端部には、これらが回動する際に互いに噛み合う同期ギヤ６１，６２が設けられている。これらの同期ギヤ６１，６２には、エアシリンダ６３により上下動する間隔保持部材としてのラック６４が押し付けられている。他の構成は、上記実施の形態１とほぼ同様である。
【００６９】
このような着脱ヘッドでは、ソケット押さえ４２，４３の間隔は、ラック６４により保持されている。従って、これを変更する場合には、エアシリンダ６３により同期ギヤ６１，６２からラック６４を開離させた後、図２６に示すように、平面を持つ位置決め部材６５にローラ４７Ｂを押し付け、ばね４４に逆らってソケット押さえ４２，４３を閉じる。この後、図２７に示すように、設定された量だけ着脱ヘッドを水平に移動させ、適当な開度となった状態で、エアシリンダ６３を作動させ、ラック６４により同期ギヤ６１，６２をロックする。
【００７０】
このような着脱ヘッドによっても、実施の形態１と同様にソケット押さえ４２，４３の間隔を自動的に調整することができ、作業効率が向上する。
【００７１】
なお、上記の例では間隔保持部材としてラック６４を用いたが、ばね４４に抗して同期ギヤ６１，６２の回動を止めることができれば、単なる摩擦材であってもよく、開度を連続的に調整することができる。
【００７２】
実施の形態４．
また、上記の例ではエアシリンダ６３によりラック６４を動かしたが、図２８に示すように、操作レバー６６ａを有する押付装置６６によりラック６４を同期ギヤ６１，６２に押し付けるようにしてもよい。この場合、操作レバー６６ａを切り換えることにより、ラック６４が上動し、同期ギヤ６１，６２のロックが解除される。また、ソケット押さえ４２，４３の間隔は、品種に対応した間隔に合わせるための治具を用いて手動で調整される。
【００７３】
実施の形態５．
次に、図２９はこの発明の実施の形態５による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。図において、ヘッド軸４１の下端部には、水平方向へ延びるガイドレール７１が固定されている。このガイドレール７１には、一対のソケット押さえ、即ち第１及び第２のソケット押さえ７２，７３がガイド部材７４を介して互いに平行に取り付けられている。これらのソケット押さえ７２，７３は、ガイドレール７１に沿って直線移動可能になっている。また、第１のソケット押さえ７２には、噛合面７２ａが設けられている。
【００７４】
第１及び第２のソケット押さえ７２，７３の間には、これらを互いに開離する方向へ付勢するばね７５が設けられている。ヘッド軸４１に対して固定されている支持部（図示せず）には、支点７６ａを中心に回動可能なギヤ７６が取り付けられている。このギヤ７６には、一対のカム溝７６ｂが支点７６ａに対して対象に設けられている。これらのカム溝７６ｂには、ソケット押さえ７２，７３に固定された係合ピン７７が摺動自在に係合している。ギヤ７６は、外周部の歯を位置決めラック７８の歯に噛み合わせた状態で着脱ヘッドを上下動させることにより、回動される。
【００７５】
この例における直線移動機構７９は、ガイドレール７１，ガイド部材７４，ギヤ７６及び係合ピン７７により構成されている。ギヤ７６の支点７６ａには、棒状のレバー７９が回動自在に取り付けられている。レバー７９の一端部には、噛合面７２ａと噛み合うストッパ８０が回動自在に取り付けられている。レバー７９の他端部には、ローラ８１が回動自在に取り付けられている。
【００７６】
このような着脱ヘッドでは、位置決めラック７８にギヤ７６を噛み合わせた状態で着脱ヘッドの高さを変えることにより、ギヤ７６が回動され、これに連動してソケット押さえ７２，７３が移動され、開度が調整される。開度のロックは、ストッパ８０を第１のソケット押さえ７２の噛合面７２ａに噛合させることにより行われる。
【００７７】
この例では、第１及び第２のソケット押さえ７２，７３の開度が、回動ではなく、直線移動により調整されるので、吸着パッド４８ａの先端面に対するソケット押さえ７２，７３の先端面の高さ方向の位置が、開度によらず常に一定となり、ＩＣに対する吸着パッド４８ａの押付力の変化が防止される。
【００７８】
実施の形態６．
なお、上記実施の形態５ではソケット押さえ７２，７３の間隔を自動的に調整したが、治具等を用いて手動で調整するようにしてもよい。この場合、図３０に示すような構造とし、ストッパ８０を手動で解除した状態でギヤ７６を手動で回動させればよい。
【００７９】
実施の形態７．
図３１はこの発明の実施の形態７による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。図において、第１及び第２のソケット押さえ７２，７３は、リンク機構８２により同期して開閉するようになっている。また、ソケット押さえ７２，７３は、リンク機構８２を介してばね８３により開方向へ付勢されている。第２のストッパ７３には、レバー８４が回動自在に取り付けられている。このレバー８４の一端部には噛合面７２ａと噛み合うストッパ８５が、他端部には第１のローラ８６がそれぞれ回動自在に取り付けられている。また、第２のソケット押さえ７３には、第２のローラ８７が取り付けられている。この例における直線移動機構８８は、ガイドレール７１，ガイド部材７４及びリンク機構８２により構成されている。
【００８０】
このような着脱ヘッドは、実施の形態１と同様の位置決め部材２６に第２のローラ８７を押し付けてストッパ８５を分離した後、着脱ヘッドを設定高さまで上昇させてレバー８４を回動させる。この後、着脱ヘッドを水平移動させることにより、ストッパ８５の位置までソケット押さえ７２，７３が直線移動し、開度が調整される。従って、他の例と同様に開度調整の作業効率が向上する。また、第１及び第２のソケット押さえ７２，７３の開度が直線移動により調整されるので、ＩＣに対する吸着パッド４８ａの押付力の変化が防止される。さらに、一対のソケット押さえ７２，７３をリンク機構８２により同期させているので、構造が簡単である。
【００８１】
実施の形態８．
なお、上記実施の形態７ではソケット押さえ７２，７３の間隔を自動的に調整したが、治具等を用いて手動で調整するようにしてもよい。この場合、図３２に示すような構造とし、ストッパ８５を手動で解除した状態でソケット押さえ７２，７３を手動で動かせばよい。
【００８２】
実施の形態９．
次に、図３３はこの発明の実施の形態９による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。図において、ヘッド軸４１には、パルスモータ９１が固定されている。ガイドレール７１に沿って直線移動する一対のソケット押さえ７２，７３には、ボールねじ９２が螺合されている。このボールねじ９２の第１のソケット押さえ７２に螺合する部分と、第２のソケット押さえ７３に螺合する部分とでは、それぞれ逆向きのねじが切られている。従って、ボールねじ９２が回転すると、第１及び第２のソケット押さえ７２，７３は、それぞれ逆方向、即ち開閉するように移動する。パルスモータ９１の駆動力は、プーリ９３，９４及びタイミングベルト９５を介してボールねじ９２に伝達される。この例における直線移動機構９６は、ガイドレール７１，ガイド部材７４，パルスモータ９１，ボールねじ９２，プーリ９３，９４及びタイミングベルト９５から構成されている。
【００８３】
このような着脱ヘッドでは、パルスモータ９１によりボールねじ９２を回転させ、ソケット押さえ７２，７３の間隔を自動的に調整する。また、制御部には、ＩＣの品種に対応するソケット押さえ７２，７３の間隔を得るためのパルスモータ９１の運転情報が記憶されており、ＩＣの品種を入力することにより必要な時間だけパルスモータ９１に通電され、ソケット押さえ７２，７３の間隔が設定された間隔に変更される。
【００８４】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明のＩＣ着脱装置は、着脱ヘッドのソケット押さえの間隔を、ＩＣソケットのサイズに応じて調整可能としたので、ＩＣの品種の変更に伴う着脱ヘッドの交換を不要とすることができ、作業効率を大幅に向上させることができる。
【００８５】
請求項２の発明のＩＣ着脱装置は、ＩＣ及びＩＣソケットの少なくともいずれか一方の情報を制御部に入力することにより、ソケット押さえの間隔が自動的に調整されるので、作業効率をさらに向上させることができる。
【００８６】
請求項３の発明のＩＣ着脱装置は、位置決め部材の位置決め面に着脱ヘッドのローラを当接させた状態で着脱ヘッドを移動させることによりレバーを回動させ、ソケット押さえの間隔を自動的に調整するようにしたので、ソケット押さえの間隔をより確実かつスムーズに調整することができる。
【００８７】
請求項４の発明のＩＣ着脱装置は、ＩＣの情報を制御部に入力することにより、ＩＣに応じたセンタリング治具がセンタリング治具ストッカ上から自動的に選択されて交換されるようにしたので、センタリング治具の交換作業の効率を向上させることができる。
【００８８】
請求項５の発明のＩＣ着脱装置は、センタリング治具を保持するためのチャック爪と、このチャック爪を開閉するエアシリンダとを、着脱ヘッドに設けたので、センタリング治具を小さなスペースで素早く着脱することができる。
【００８９】
請求項６の発明のＩＣ着脱装置は、セットされたトレイマガジン及びトレイマガジンに収容されたトレイのいずれかを選択的に持ち上げるトレイ持上装置を、トレイ供給部に設けたので、トレイマガジンの交換作業を容易に行うことができる。
【００９０】
請求項７の発明のＩＣ着脱装置は、２枚のトレイを支持し回転可能なトレイ受けが設けられているトレイテーブルと、空のトレイを収容する空トレイ収容部と、トレイ持上装置、トレイテーブル及び空トレイ収容部の間でトレイを搬送するトレイ搬送装置とを、トレイ供給部に設けたので、トレイ交換に伴う作業停止時間を省略することができ、ＩＣ着脱作業の効率を向上させることができる。
【００９１】
請求項８の発明のＩＣ着脱装置は、基板の位置を入換可能な基板反転装置を基板供給部に設けたので、基板の交換による装置全体の停止時間を省略することができ、ＩＣ着脱作業の効率を向上させることができる。
【００９２】
請求項９の発明のＩＣ着脱装置の着脱ヘッドは、ソケット押さえの間隔を調整可能としたので、ＩＣの品種の変更に伴う着脱ヘッドの交換を不要とすることができ、作業効率を大幅に向上させることができる。
【００９３】
請求項１０の発明のＩＣ着脱装置の着脱ヘッドは、間隔が開く方向へソケット押さえを付勢するばねと、いずれか一方のソケット押さえに回動自在に設けられているレバーと、このレバーの一端部に設けられレバーの回動角度に応じてソケット押さえの間隔を規制する間隔規制部材とを備えたので、簡単な構造で、ソケット押さえの間隔を調整できるとともに、調整した間隔をより確実に保持することができる。
【００９４】
請求項１１の発明のＩＣ着脱装置の着脱ヘッドは、ソケット押さえの間隔を調整するときに一対のソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤを備えたので、簡単な構造でソケット押さえの間隔を左右均等に調整することができる。
【００９５】
請求項１２の発明のＩＣ着脱装置の着脱ヘッドは、間隔が開く方向へソケット押さえを付勢するばねと、ソケット押さえの間隔を調整するときに一対のソケット押さえを同期して変位させる同期ギヤと、同期ギヤに押し付けられ、ソケット押さえの間隔を保持する間隔保持部材とを備えたので、簡単な構造で、ソケット押さえの間隔を左右均等に調整できるとともに、調整した間隔をより確実に保持することができる。
【００９６】
請求項１３の発明のＩＣ着脱装置の着脱ヘッドは、平行な状態を保ったまま一対のソケット押さえを同期して直線移動させる直線移動機構を備えたので、吸着部の先端面に対するソケット押さえの先端面の高さ方向の位置が、開度によらず常に一定となり、ＩＣに対する吸着部の押付力の変化が防止される。
【００９７】
請求項１４の発明のＩＣ着脱装置の着脱ヘッドは、ＩＣをセンタリングするセンタリング治具を保持するためのチャック爪と、このチャック爪を開閉するエアシリンダとを備えたので、センタリング治具を小さなスペースで素早く着脱することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１によるＩＣ着脱装置を示す斜視図である。
【図２】  図１の装置の平面図である。
【図３】  図１のトレイ持上装置を示す斜視図である。
【図４】  図３のトレイマガジンを持ち上げた状態を示す斜視図である。
【図５】  基板の一例を示す平面図である。
【図６】  ＩＣソケットの一例を示す平面図である。
【図７】  図６の断面図である。
【図８】  図６のカバーを押圧した状態を示す平面図である。
【図９】  図８の断面図である。
【図１０】  図１の基板反転装置を示す平面図である。
【図１１】  図１０の斜視図である。
【図１２】  図１０の装置の基板反転動作中の斜視図である。
【図１３】  図１の着脱ヘッドを示す正面図である。
【図１４】  センタリング治具の一例を示す斜視図である。
【図１５】  図１のＩＣ着脱装置の品種変更時の動作手順を示すフローチャートである。
【図１６】  図１３のセンタリング治具を解放した状態を示す構成図である。
【図１７】  図１の着脱ヘッドを位置決め部材へ移動させた状態を示す要部構成図である。
【図１８】  図１７の着脱ヘッドを位置決め部材に押し付けた状態を示す要部構成図である。
【図１９】  図１８の着脱ヘッドを上昇させた状態を示す要部構成図である。
【図２０】  図１９の着脱ヘッドを水平移動させた状態を示す要部構成図である。
【図２１】  図２０の着脱ヘッドを位置決め部材から開離させた状態を示す要部構成図である。
【図２２】  図２１の着脱ヘッドをセンタリング治具上に下降させた状態を示す構成図である。
【図２３】  図２２のセンタリング治具の装着を完了した状態を示す構成図である。
【図２４】  この発明の実施の形態２による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。
【図２５】  この発明の実施の形態３による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。
【図２６】  図２５の着脱ヘッドを位置決め部材に押し付けた状態を示す構成図である。
【図２７】  図２６の着脱ヘッドを水平移動させた状態を示す要部構成図である。
【図２８】  この発明の実施の形態４による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。
【図２９】  この発明の実施の形態５による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。
【図３０】  この発明の実施の形態６による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。
【図３１】  この発明の実施の形態７による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。
【図３２】  この発明の実施の形態８による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。
【図３３】  この発明の実施の形態９による着脱ヘッドの要部を示す構成図である。
【図３４】  従来のＩＣ着脱装置の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  基板、１Ａ  ＩＣソケット、４  トレイ、１２  トレイ持上装置、１３  ＩＣ、１４  トレイテーブル、１５  トレイ受け、１７  トレイ搬送装置、１８トレイ供給部、２０  基板反転装置（基板供給部）、２４  ロボット本体、２５  着脱ヘッド、２６  位置決め部材、２６ｂ  位置決め面、２７  センタリング治具、２８  センタリング治具ストッカ、３７  カバー（可動部）、４２，４３，７２，７３  ソケット押さえ、４２ｂ，４３ｂ  同期ギヤ、４４  ばね、４５  レバー、４６  ストッパ（間隔規制部材）、４７Ａ  第１のローラ、４８  吸着管（吸着部）、５０  チャック爪、５３  エアシリンダ、６４  ラック（間隔保持部材）、７８，８８，９６  直線移動機構。
【図１】
0003711301.tif 000002
【図２】
0003711301.tif 000003
【図３】
0003711301.tif 000004
【図４】
0003711301.tif 000005
【図５】
0003711301.tif 000006
【図６】
0003711301.tif 000007
【図７】
0003711301.tif 000008
【図８】
0003711301.tif 000009
【図９】
0003711301.tif 000010
【図１０】
0003711301.tif 000011
【図１１】
0003711301.tif 000012
【図１２】
0003711301.tif 000013
【図１３】
0003711301.tif 000014
【図１４】
0003711301.tif 000015
【図１５】
0003711301.tif 000016
【図１６】
0003711301.tif 000017
【図１７】
0003711301.tif 000018
【図１８】
0003711301.tif 000019
【図１９】
0003711301.tif 000020
【図２０】
0003711301.tif 000021
【図２１】
0003711301.tif 000022
【図２２】
0003711301.tif 000023
【図２３】
0003711301.tif 000024
【図２４】
0003711301.tif 000025
【図２５】
0003711301.tif 000026
【図２６】
0003711301.tif 000027
【図２７】
0003711301.tif 000028
【図２８】
0003711301.tif 000029
【図２９】
0003711301.tif 000030
【図３０】
0003711301.tif 000031
【図３１】
0003711301.tif 000032
【図３２】
0003711301.tif 000033
【図３３】
0003711301.tif 000034
【図３４】
0003711301.tif 000035