(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
捩じれ溝を有するプランジャーとカシメを有するスリーブからなるコンタクトプローブに於いて、プランジャー１に捩じれ溝の摺動辺断面形状がＲ形状をなす捩じれＲ溝２を形成し、スリーブ７に平面カシメ５及びスプリング８を設けてなるコンタクトプローブ。
【請求項２】
請求項１記載のコンタクトプローブに於いて、捩じれＲ溝２に代えて、摺動辺断面形状がＶ形状をなす捩じれＶ溝３を形成し、スリーブ７に平面カシメ５、及びスプリング８を設けてなるコンタクトプローブ。
【請求項３】
請求項１記載のコンタクトプローブに於いて、スリーブ７の平面カシメ５に代えて山型カシメ６を形成し、スプリング８を設けてなるコンタクトプローブ。
【請求項４】
請求項１記載のコンタクトプローブに於いて、捩じれＲ溝２に代えて、摺動辺断面形状がＶ形状をなす捩じれＶ溝３を形成し、スリーブ７の平面カシメ５に代えて山型カシメ６を形成し、スプリング８を設けてなるコンタクトプローブ。
【請求項５】
請求項１記載のコンタクトプローブに於いて、捩じれＲ溝２に代えて、摺動辺断面形状が直線形状をなす、捩じれ平面溝４を形成し、スリーブ７の平面カシメ５に代えて山型カシメ６を形成し、スプリング８を設けてなるコンタクトプローブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、電子素子、及び電気機器の電気信号計測の為に計測器と素子を接続する、接続技術に係わり近年大容量高速化するデータ送信量にともない接続の確実性、安定性及び耐久性を向上させる技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知の通り、従来、回転式コンタクトプローブは接続装置としての、テストソケットやテストジグ等のコンタクト針として使用されており、スプリングでプランジャーがスリーブから摺動し、進退と同時に回転する物が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術によると、摺動し進退と同時に回転する従来コンタクトプローブに於いて、更に次の点に於いて性能の向上が考えられる。
【０００４】
即ち、従来技術の回転式コンタクトプローブに於いて、プランジャー摺動面とカシメ摺動面の摩擦により、そのスプリング圧ではプランジャーが動かなくなる事故がたびたび発生し、そのために必要以上のスプリング圧を附加し摺動回転させるという問題が発生した。
【０００５】
従来回転式コンタクトプローブに於いて、進退と回転をさせる為にスプリング圧が必要以上に高いことは、計測対象である半導体や電子素子の破損に至る事が考えられる。
【０００６】
上記、従来技術の回転式コンタクトプローブに於いて、スプリング圧を高める事無くプランジャーの摺動と回転を良くする為に、プランジャーの捩じれ溝摺動面とカシメ摺動面の摩擦を小さくする事を目的として、カシメ深さを浅くする事が考えられる、しかしカシメ深さを浅くしプランジャーの捩じれ溝摺動面とカシメ摺動面のギャップを大きくする事は、直ちに電気的特性の低下をもたらすという問題があった。
【０００７】
従って、本発明の目的とするところは、近年、大容量高速化するデータ送信量にともない、計測機器との接続の確実性、安定性及び耐久性向上させる技術を提供する事にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を解決するために、本発明は次の技術的手段を有する。
【０００９】
即ち、実施例に対応する添付図面中の符号を用いて説明すると、本発明はプランジャー１の捩じれ溝に於いて、その断面の摺動辺がＲ形状をなす、捩じれＲ溝２を形成し、平面カシメ５、スリーブ７及びスプリング８を設けてなる事を特徴とするコンタクトプローブ。
【００１０】
又、プランジャー１の捩じれ溝に於いて、その断面の摺動辺がＶ形状をなす、捩じれＶ溝３を形成し、平面カシメ５、スリーブ７及びスプリング８を設けてなる事が考慮される。
【００１１】
又、スリーブ７の平面カシメ５に代えて山型カシメ６及びスプリング８を設けてなる事が考慮される。
【００１２】
【発明の実施形態】
上記構成に基づき添付図面に従い本発明の実施例を詳述する。
【００１３】
第１図は、請求項１の実施例を示した物である、即ちプランジャー１の捩じれ溝に於いて、その断面の摺動辺がＲ形状をなす、捩じれＲ溝２を形成し、スリーブ７に平面カシメ５及びスプリング８を設けてなる、コンタクトプローブを示したものであり、プランジャー１を検査対象に接触し進退させることにより回転する。
【００１４】
第２図は、請求項２の実施例を示した物である、即ちプランジャー１の捩じれ溝に於いて、その断面の摺動辺がＶ形状をなす捩じれＶ溝３を形成し、スリーブ７に平面カシメ５及びスプリング８を設けてなるコンタクトプローブを示したものであり、プランジャー１を検査対象に接触し進退させることにより回転する。
【００１５】
第３図は、請求項３の実施例を示した物である、即ちプランジャー１の捩じれ溝に於いて、その断面の摺動辺がＲ形状をなす捩じれＲ溝２を形成し、スリーブ７に山型カシメ６及びスプリング８を設けてなるコンタクトプローブを示したものであり、プランジャー１を検査対象に接触し進退させることにより回転する。
【００１６】
第４図は、請求項４の実施例を示した物である、即ちプランジャー１の捩じれ溝に於いて、その断面の摺動辺がＶ形状をなす捩じれＶ溝３を形成し、スリーブ７に山型カシメ６及びスプリング８を設けてなるコンタクトプローブを示したものであり、プランジャー１を検査対象に接触し進退させることにより回転する。
【００１７】
第５図は、請求項５の実施例を示した物である、即ちプランジャー１の捩じれ溝に於いて、その断面の摺動辺が直線形状をなす捩じれ平面溝４を形成し、スリーブ７に山型カシメ６及びスプリング８を設けてなるコンタクトプローブを示したものであり、プランジャー１を検査対象に接触し進退させることにより回転する。
【００１８】
次に、第６図は従来の捩じれ平面溝４と平面カシメ５を有する回転式コンタクトプローブを示したものである。
【００１９】
第７図は、従来の捩じれ平面溝４と平面カシメ５を有する回転式コンタクトプローブに於いて、プランジャー１の捩じれ平面溝４摺動面の平坦度と平面カシメ５摺動面とのギャップ関係を示したものである。
【００２０】
プランジャー１の捩じれ溝摺動面の平坦度は加工精度によるもので、コンタクトプローブのサイズにより異なり、通常０．００５ｍｍから０．０２ｍｍ位である。
【００２１】
即ち、第７図のＡ地点は、プランジャー１の捩じれ平面溝４摺動面の最低部に平面カシメ５摺動面が位置した図であるが、仮にプランジャー１の捩じれ平面溝４摺動面の平坦度を０．０１ｍｍとすると、ギャップ数値が０．０１ｍｍ以上でないとＢ地点の最上部で、平面カシメ５の摺動面が乗り上げプランジャー１が停止する事故になる。
【００２２】
第７図のＢ断面は、プランジャー１の捩じれ平面溝４摺動面の最上部に平面カシメ５摺動面が乗り上げたところの図であるが、両摺動面が平面であるために面接触状態で乗り上げ強い摩擦が発生し、最悪の場合はプランジャー１が停止する事故になる。
【００２３】
第８図は、本発明の捩じれＲ溝２を有する回転式コンタクトプローブのプランジャー１の捩じれＲ溝２摺動面の平坦度と、平面カシメ５摺動面とのギャップの関係を示したものである。
【００２４】
第８図のＡ地点は、プランジャー１の捩じれＲ溝２摺動面の最低部に平面カシメ５摺動面が位置した図である、この時、仮にプランジャー１の捩じれＲ溝２摺動面の平坦度を０．０１ｍｍとし、ギャップ数値を０．０１ｍｍとしても、Ｂ地点に於いてプランジャー１の捩じれＲ溝２摺動面と平面カシメ５摺動面が接触した時に点接触である為にプランジャー１が停止する事は無い。
【００２５】
即ち、第８図のＢ断面は、プランジャー１の捩じれＲ溝２摺動面の最上部に平面カシメ５の摺動面が乗り上げたところの図であるが、摺動面の接触が点接触であるために強い摩擦は発生せずプランジャー１が停止する事は無い。
【００２６】
第９図は、本発明の捩じれＶ溝３を有する回転式コンタクトプローブのプランジャー１の捩じれＶ溝３摺動面の平坦度と、平面カシメ５摺動面とのギャップの関係を示したものである。
【００２７】
第９図のＡ地点は、プランジャー１の捩じれＶ溝３摺動面の最低部に平面カシメ５摺動面が位置した図である、この時、仮にプランジャー１の捩じれＶ溝３摺動面の平坦度を０．０１ｍｍとし、ギャップ数値が０．０１ｍｍとしても、Ｂ地点に於いてプランジャー１の捩じれＶ溝３摺動面と平面カシメ５摺動面が接触した時に点接触である為にプランジャー１が停止する事は無い。
【００２８】
即ち、第９図のＢ断面は、プランジャー１の捩じれＶ溝３摺動面の最上部に平面カシメ５の摺動面が乗り上げたところの図であるが、摺動面の接触が点接触であるために、強い摩擦は発生せずプランジャー１が停止する事は無い。
【００２９】
第１０図は、本発明の捩じれＲ溝２を有する回転式コンタクトプローブのプランジャー１の捩じれＲ溝２摺動面の平坦度と、山型カシメ６摺動面とのギャップの関係を示したものである。
【００３０】
第１０図のＡ地点は、プランジャー１の捩じれＲ溝２摺動面の最低部に山型カシメ６の摺動面が位置した図である、この時、仮にプランジャー１の捩じれＲ溝２摺動面の平坦度を０．０１ｍｍとし、ギャップ数値を０．０１ｍｍとしても、Ｂ地点に於いてプランジャー１の捩じれＲ溝２摺動面と山型カシメ６摺動面が接触した時に点接触である為にプランジャー１が停止する事は無い。
【００３１】
即ち、第１０図のＢ断面は、プランジャー１の捩じれＲ溝２摺動面の最上部に山型カシメ６の摺動面が乗り上げたところの図であるが、摺動面の接触が点接触であるために強い摩擦は発生せずプランジャー１が停止する事は無い。
【００３２】
第１１図は、本発明の捩じれＶ溝３を有する回転式コンタクトプローブのプランジャー１の捩じれＶ溝３摺動面の平坦度と、山型カシメ６摺動面とのギャップの関係を示したものである。
【００３３】
第１１図のＡ地点は、プランジャー１の捩じれＶ溝３摺動面の最低部に山型カシメ６摺動面が位置した図である、この時、仮にプランジャー１の捩じれＶ溝３摺動面の平坦度を０．０１ｍｍとし、ギャップ数値を０．０１ｍｍとしても、Ｂ地点に於いてプランジャー１の捩じれＶ溝３摺動面と山型カシメ６摺動面が接触した時に点接触である為にプランジャー１が停止する事は無い。
【００３４】
即ち、第１１図のＢ断面は、プランジャー１の捩じれＶ溝３摺動面の最上部に山型カシメ６の摺動面が乗り上げたところの図であるが、摺動面の接触が点接触であるために強い摩擦は発生せずプランジャー１が停止する事は無い。
【００３５】
第１２図は、本発明の捩じれ平面溝４を有する回転式コンタクトプローブのプランジャー１の捩じれ平面溝４摺動面の平坦度と、山型カシメ６摺動面とのギャップの関係を示したものである。
【００３６】
第１２図のＡ地点は、プランジャー１の捩じれ平面溝４摺動面の最低部に山型カシメ６摺動面が位置した図である、この時、仮にプランジャー１の捩じれ平面溝４摺動面の平坦度を０．０１ｍｍとし、ギャップ数値を０．０１ｍｍとしても、Ｂ地点に於いてプランジャー１の捩じれ平面溝４の摺動面と山型カシメ６摺動面が接触した時に、点接触である為にプランジャー１が停止する事は無い。
【００３７】
即ち、第１２図のＢ断面は、プランジャー１の捩じれ平面溝４摺動面の最上部に山型カシメ６の摺動面が乗り上げたところの図であるが、摺動面の接触が点接触であるために強い摩擦は発生せずプランジャー１が停止する事は無い。
【００３８】
以上、詳述した如く全く新しいコンタクトプローブである。
【００３９】
【発明の効果】
本発明は上記構成に基づくと、プランジャーの捩じれ溝摺動面とカシメ摺動面のギャップを必要最小限の距離にする事ができ、必要以上のスプリング圧をプランジャーに加える事無く、プランジャーのスムーズな摺動と回転を可能とする。
【００４０】
更に、プランジャーの捩じれ溝摺動面とカシメ摺動面のギャップを必要最小限距離にする事によって、電気的特性が向上する事を可能とする。
【００４１】
更に、プランジャーの捩じれ溝摺動面とカシメ摺動面が点接触であるために、カシメ作業時のギャップ調整が容易になり、製造時の歩留まりも良くなりコストの削減が可能である。
【００４２】
以上、詳述した如く本発明は、プランジャー１の捩じれ溝に於いて、その断面の摺動辺がＲ形状をなす捩じれＲ溝２、又はＶ形状をなす捩じれＶ溝３、又は直線をなす平面溝４を形成し、スリーブ７に平面カシメ５もしくは山型カシメ６を形成し、スプリング８を設けてなるコンタクトプローブに於いて必要最小限のスプリング圧でプランジャー１のスムーズな摺動回転を可能とし、更に電気的特性を向上させて、大容量高速化するデータ送信を可能とし、計測機器との接続の確実性、安定性及び耐久性を向上させる事を可能とするものである。
【００４３】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例の一部切り欠け図とカシメ部断面図である。
【図２】本発明の第２実施例の一部切り欠け図とカシメ部断面図である。
【図３】本発明の第３実施例の一部切り欠け図とカシメ部断面図である。
【図４】本発明の第４実施例の一部切り欠け図とカシメ部断面図である。
【図５】本発明の第５実施例の一部切り欠け図とカシメ部断面図である。
【図６】従来コンタクトプローブの一部切り欠け図とカシメ部断面図である。
【図７】従来コンタクトプローブ、プランジャー１の捩じれ平面溝４摺動面の平坦度と平面カシメ５とのギャップの関係図である。
【図８】本発明コンタクトプローブ、プランジャー１の捩じれＲ溝２摺動面の平坦度と平面カシメ５とのギャップの関係図である。
【図９】本発明コンタクトプローブ、プランジャー１の捩じれＶ溝３摺動面の平坦度と平面カシメ５とのギャップの関係図である。
【図１０】本発明コンタクトプローブ、プランジャー１の捩じれＲ溝２摺動面の平坦度と山型カシメ６とのギャップの関係図である。
【図１１】本発明コンタクトプローブ、プランジャー１の捩じれＶ溝３摺動面の平坦度と山型カシメ６とのギャップの関係図である。
【図１２】本発明コンタクトプローブ、プランジャー１の捩じれ平面溝４摺動面の平坦度と山型カシメ６とのギャップの関係図である。
【符号の説明】
１  プランジャー
２  捩じれＲ溝
３  捩じれＶ溝
４  捩じれ平面溝
５  平面カシメ
６  山型カシメ
７  スリーブ
８  スプリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003625209.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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