(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品が接続または搭載された扁平長尺物の乾燥方法において、
該扁平長尺物が出入可能な出入開口部を備える第１チャンバーと、該第１チャンバー内に加熱空気を送風するための送気手段と、一端が該扁平長尺物が通り得る扁平状の連通孔を介して該第１チャンバーに連設され他端に該扁平長尺物が入出するための扁平状の入出開口部を有する扁平状の第２チャンバーとを有し、該連通孔が該第１チャンバーから該第２チャンバーへ流れる送気の流路断面を絞る絞り開口とした乾燥装置を用い、前記加熱空気を該扁平長尺物の搬送方向と平行に前記送気手段から送気することにより、該扁平長尺物に変形や損傷を与えることなく該扁平長尺物の狭小間隙を乾燥させることを特徴とする前記乾燥方法。
【請求項２】
前記第２チャンバーは、前記連通孔と同じ流路断面を有する筒状体で形成されていることを特徴とする請求項１記載の乾燥方法。
【請求項３】
前記第１チャンバーは、前記連通孔に向けて漸次流路断面を狭小化するテーパー形状とされていることを特徴とする請求項１又は２に記載の乾燥方法。
【請求項４】
前記第１チャンバーは、該第１チャンバー内において、一端が前記出入開口部に連接されて他端が前記連通孔の近傍に開口する扁平状の案内筒を備えることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の乾燥方法。
【請求項５】
前記乾燥装置は、更に、前記扁平長尺物を前記第１チャンバー及び第２チャンバーの各チャンバー内を通過させ走行移動させるための走行移動手段をえることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、扁平長尺物の乾燥方法、詳しくは、電子部品が接続され又は電子部品が搭載されるリードフレーム、半導体部品が搭載されたキャリアテープ等の扁平長尺物を洗浄した後に乾燥させるための乾燥方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、フリップチップ等の半導体部品が搭載されたリードフレーム、ハイブリッドＩＣに接続するためのリードフレーム、或いは、半導体部品が搭載されたキャリアテープ等の扁平長尺物を洗浄する洗浄剤としては、フロン系洗浄剤に代えて、アルコール系洗浄剤や水系洗浄剤を用いるのが主流となってきている。フロン系洗浄剤やアルコール系洗浄剤は、洗浄後に揮発するため乾燥工程は必ずしも必要ではなかったが、水系洗浄剤は、自然乾燥によっては蒸発しきらずに被洗浄物に残留することがあり、斯かる残留物によって電子部品のリークや金属の腐食等を引き起こすことがある。従って、特に水系洗浄剤を用いて洗浄する場合には、洗浄後の洗浄液を完全に飛ばす必要があった。
【０００３】
そのため、洗浄後の扁平長尺物を温風乾燥機に連続的に通して乾燥させるが、斯かる温風乾燥機は、乾燥させるべき扁平長尺物を温風室内に連続的に流し、扁平長尺物の長手方向に対して略垂直方向に弱い熱風を吹き付けるものが一般的であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の温風乾燥機は、フリップチップ等の電子部品が搭載されたリードフレームのように、電子部品とリードフレームとの隙間が１００μｍ程度であると、リードフレームの周囲から弱い温風を吹き付けただけでは、１００μｍ程度の狭小間隙に十分に温風が行き届かず、乾燥が不十分となる。その反面、そのような狭小間隙にも十分に温風を送り込める程度に温風風速を上げようとすると、その風力によってリードフレームが変形したり、搭載部品を損傷させる他、大型の送風機が必要となり装置のコストアップ及び消費電力の増大という問題が生じる。
【０００５】
そこで、本発明は、上記したような極めて狭い間隙にも熱風を送り込むことができるとともに、乾燥対象たる扁平長尺物に変形や損傷を与えることがなく、しかも経済的な扁平長尺物の乾燥方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記目的は、電子部品が接続または搭載された扁平長尺物の乾燥方法において、該扁平長尺物が出入可能な出入開口部を備える第１チャンバーと、該第１チャンバー内に加熱空気を送風するための送気手段と、一端が該扁平長尺物が通り得る扁平状の連通孔を介して該第１チャンバーに連設され他端に該扁平長尺物が入出するための扁平状の入出開口部を有する扁平状の第２チャンバーとを有し、該連通孔が該第１チャンバーから該第２チャンバーへ流れる送気の流路断面を絞る絞り開口とした乾燥装置を用い、前記加熱空気を該扁平長尺物の搬送方向と平行に前記送気手段から送気することにより、該扁平長尺物に変形や損傷を与えることなく該扁平長尺物の狭小間隙を乾燥させることを特徴とする前記乾燥方法により達成される。
【０００７】
前記第２チャンバーは、前記連通孔と同じ流路断面を有する筒状体で形成されていることが好ましい。
【０００８】
前記第１チャンバーは、前記連通孔に向けて漸次流路断面を狭小化するテーパー形状とされていることが好ましい。
【０００９】
前記第１チャンバーは、該第１チャンバー内において、一端が前記出入開口部に連接されて他端が前記連通孔の近傍に開口する案内筒を備えることが好ましい。
【００１０】
前記乾燥装置は、更に、前記扁平長尺物を前記第１チャンバー及び第２チャンバーの各チャンバー内を通過させ走行移動させるための走行移動手段を備えることが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施形態について以下に添付図面を参照して説明する。図１は、本発明に係る乾燥方法を実施するための乾燥装置を走行移動手段と組み合わせた一実施形態を示す断面図、図２は、図１の乾燥装置を拡大して示す断面図である。
【００１２】
乾燥装置１は、第１チャンバー２と、第１チャンバー２に連設された第２チャンバー３とを有している。第１チャンバー２と第２チャンバー３とは、連通孔４を介して連接されている。第１チャンバー２は、乾燥されるべき扁平長尺物Ｈが出入り可能な出入開口部５を備え、第２チャンバー３は、扁平長尺物Ｈが入出可能な入出開口部６を備えている。第１チャンバー２には、送風ポート７が設けられ、この送風ポート７は、図外の送風機と送風管（不図示）を介して接続され、該送風機から第１チャンバー２内に温風又は冷風が圧送される送気手段を構成し得る。
【００１３】
連通孔４は、第１チャンバー２から第２チャンバー３へ流れる送風の流路断面を絞るような絞り開口となされ、それにより第１チャンバー２から第２チャンバー３への送風の流速を上昇させる働きを有している。斯かる観点から、連通孔４は、前記扁平長尺物が挿通可能であり且つ送風のための間隙を有する限りにおいて、狭小断面であることが好ましく、従って、連通孔４は、扁平長尺物の幅方向断面と略同程度の開口断面、例えば、扁平長尺物を通した時に数ミリメートル程度の隙間ができる程度の大きさにすることができる。
【００１４】
また、第１チャンバー２の出入開口部５の大きさは、前記扁平長尺物が出入開口部５に挿入され且つ前記送風機からの送風が第１チャンバー２内に送り込まれた時に第１チャンバー２内から出入開口部５を介して前記送風機からの送風ができるだけ漏れないよう、できるだけ狭小である方が好ましく、上記した連通孔４と同様に、扁平長尺物の幅方向断面と略同程度の開口断面、例えば、扁平長尺物を通した時により数ミリメートル程度の隙間ができる程度の大きさにすることができる。
【００１５】
第２チャンバー３は、図示のように、連通孔４と同じ流路断面を連続して有する筒状体で形成することが好ましい。第２チャンバー３をこのような筒状体としておけば、第２チャンバー３内においてその長さ方向に均等な送風流れを形成でき、乾燥のバラツキを少なくすることができる。
【００１６】
第１チャンバー２は、その内部に、一端が出入開口部５に連接されて他端が連通孔４の近傍に開口する案内筒８を備えることができる。なお、第１チャンバー２が斯かる案内筒８を備える場合は、第１チャンバー２内に送風可能であれば送風ポート７の配置は特に限定されないが、案内筒８を備えない場合には、送風ポート７を連通孔４の側に開口させて、送風が出入開口部５に向かないようにしておく。
【００１７】
第１チャンバー２の形状は、内部空間を形成するものであれば特に限定されず、例えば、円柱形状、四角柱形状等の種々の形状を採用し得るが、図示のように、連通孔４に向けて漸次流路断面を狭小化するテーパー形状とすることが好ましい。
【００１８】
乾燥装置１は、更に、扁平長尺物を第１チャンバー２及び第２チャンバー３を通過させ走行移動させるための走行移動手段を備えることができる。該走行移動手段としては、例えば、図１に示すように、乾燥装置１の両側に、扁平長尺物Ｈが巻かれているリール９と、巻き取り用リール１０とを有することができ、乾燥装置１を並列して複数個設ける場合には、中間リール１１を介在させることができる。こうして、リール９から引き出された扁平長尺物Ｈは、乾燥装置１を通して巻き取り用リール１０に巻回され得る。リール９及び巻き取りリール１０は、筐体１２に取り付けることができる。
【００１９】
上記構成を有する乾燥装置１は、第１チャンバー２と第２チャンバー３とを連通する連通孔４が絞り開口とされているため、第１チャンバー２内から第２チャンバー３内へ吹き出す温風又は冷風の風速が上昇させられる。従って、第１チャンバー２内へ送られる風速が小さくても、第２チャンバー３において風速を上昇することができる。
【００２０】
しかも、その風の流れは、長尺扁平物の長手方向に沿った流れとなるので、上記したようなリードフレームとチップとの狭小間隙にも温風等を送り込まれ、該狭小間隙内の水分を飛ばし、確実に乾燥させることができる。
【００２１】
第２チャンバー３を、連通孔４と同じ流路断面を有する筒状体により形成しておけば、扁平長尺物の長手方向に沿った温風等の流れが筒状体の長さに亘って導かれ、前記した狭小間隙における乾燥をより効果的なものとすることができる。
【００２２】
第１チャンバー２を、連通孔４に向けて漸次流路断面を狭小化するテーパー形状とすれば、第１チャンバー２内における温風等の流れの乱流等を防止することができるとともに、流れの摩擦を小さくすることができる。
【００２３】
第１チャンバー２が案内筒８を備えておけば、最初に扁平長尺物を乾燥装置１に通す作業が簡易になる。また、第１チャンバー２内において乱流が生じた場合いであってもその乱流から扁平長尺物を保護する働きもある。
【００２４】
乾燥装置は、更に、前記走行移動手段を備えることにより、扁平長尺物を連続的に乾燥させることができる。また、前記走行移動手段による扁平長尺物の走行方向は、送風方向（図４の→方向）と逆方向であってもよく、この場合は、扁平長尺物に対する送風の相対速度が大きくなり、水分を吹き飛ばす効果も増大する。
【００２５】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明に係る乾燥方法によれば、コストをかけることなく、リードフレームとフリップチップとの間の隙間のような極めて狭い間隙にも熱風を送り込むことができるとともに、乾燥対象たる扁平長尺物に変形や損傷を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る乾燥装置を走行移動手段と組み合わせた一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１の乾燥装置を拡大して示す側面図である。
【図３】図２の乾燥装置の平面図である。
【図４】図２及び図３のＡ−Ａ線断面図である。
【符号の説明】
１  乾燥装置
２  第１チャンバー
３  第２チャンバー
４  連通孔
５  出入開口部
６  入出開口部
７  送風ポート
８  筒状体
【図１】
0003674674.tif 000002
【図２】
0003674674.tif 000003
【図３】
0003674674.tif 000004
【図４】
0003674674.tif 000005