(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦吊姿態で保持された平板形状物を昇降手段によって下降させつつ表面処理槽内の液中に浸漬可能かつ搬送手段によって平板形状物を搬送方向に搬送可能であるとともに表面処理槽内を搬送中の平板形状物に表面処理を施す表面処理装置において、
前記縦吊姿態で保持された前記平板形状物を前記昇降手段によって下降させつつ表面処理槽内の液中に浸漬するに先立ち当該平板形状物の前記搬送方向と交叉する方向の両側から挟持片を接近させて当該平板形状物の縦吊姿態を維持するために当該平板形状物を挟持可能であるとともに当該平板形状物の前記表面処理槽内の液中に浸漬が終了したときから当該平板形状物の前記搬送方向への搬送開始までの間に両側の挟持片を当該平板形状物から離隔可能に形成された縦吊姿態維持手段を設けた、表面処理装置。
【請求項２】
前記縦吊姿態維持手段が、前記上下方向に伸びかつ複数の前記挟持片が上下方向に離隔した状態でかつそれぞれ内側に向かう姿勢で取付けられた一対の可動部材と、一対の可動部材を前記搬送方向と交叉する方向に離隔駆動可能および接近駆動可能な離隔接近駆動機構とから形成されている請求項１記載の表面処理装置。
【請求項３】
前記挟持片が、前記可動部材に突出させた状態で取付けられている請求項１または請求項２に記載の表面処理装置。
【請求項４】
前記挟持片が、前記搬送方向に伸びる細長形状とされるとともに前記搬送方向の上流側位置が高くかつ下流側位置が低くなる傾斜姿勢で前記可動部材に取付けられている請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載されている表面処理装置。
【請求項５】
前記離隔接近駆動機構が、一端部に前記可動部材が回動可能に連結されかつ他端部が駆動源に連結されるとともに中央支点を中心に回動可能なリンクを含むリンク機構から形成されている請求項２から請求項４までのいずれか１項に記載されている表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、縦吊姿態で保持された平板形状物を昇降手段によって下降させつつ表面処理槽内の液中に浸漬可能かつ搬送手段によって平板形状物を搬送方向に搬送可能であるとともに表面処理槽内を搬送中の平板形状物に表面処理を施す表面処理装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
被処理物の表面処理方法には、列配された各処理槽を順番に搬送可能としておき、被処理物を最初の処理槽内に浸漬して所定時間だけ当該処理を施し、処理後に当該被処理物を引き上げかつ次の処理槽へ搬送し、次の処理槽で所定時間だけ当該処理を施す。以下、同様な手順を繰り返すバッチ方式と、搬送方向に長い処理槽内に被処理物を浸漬し、被処理物の浸漬状態を維持しかつ連続的に搬送しつつ処理する連続方式とがある。
【０００３】
例えば、被処理物が平板形状物である連続方式の表面処理装置では、平板形状物を直接または間接的に搬送手段に縦吊姿態として取り付ける。平板形状物の各面を、搬送路つまりは搬送方向と平行となる姿態として、取り付ける。
【０００４】
ここで、搬送手段を駆動すると、各平板形状物は縦吊姿態を維持されつつ搬送路に沿った搬送方向に連続的に搬送される。そして、表面処理槽内の搬送（移行）中に給電手段から各平板形状物に給電される。したがって、各平板形状物の表面処理条件を均一とすることがでるから、バラツキのない高品質の表面処理を施すことができる。
【０００５】
しかし、平板形状物（例えば、プリント配線基板…ワークＷ）の厚み（面間寸法）が薄いものでは、搬送速度にもよるが、例えば図９に示す表面処理槽１０内の処理液Ｑ中を搬送する際に、例えば２点鎖線で示したように平板形状物（Ｗ）が搬送方向（図９で紙面垂直方向）と直交する方向（左右方向）に湾曲，折れが生じ、さらには揺動や振動が発生する場合がある。
【０００６】
これでは、処理槽１０内での電極間距離が変動してしまうので品質劣悪化を免れない。さらには、処理槽内装部材との衝突により平板形状物の破損や内装部材自体の変形等を発生させる虞がある。
【０００７】
そこで、本出願人は、図７，図８に示すように、処理槽１０内で搬送路Ｒの両側に上下方向に離隔されかつ搬送（Ｘ）方向に伸びる状態でガイドポスト８１に張設された複数のワイヤー（搬送ガイド）８２を有する搬送ガイド手段８０を設けた装置を提案（例えば、特願２０００−３８６８２号）している。
【０００８】
これによれば、ワイヤー（搬送ガイド）８２，８２間の間隔Ｄｇ（例えば、１６ｍｍ）内で平板形状物（ワークＷ）の自由運動を規制しかつ当該平板形状物（Ｗ）の縦吊姿態を維持しつつ搬送路Ｒに沿って搬送案内することができるので、平板形状物（Ｗ）を安定かつ円滑に搬送することができた。つまりは、高品質処理を行える。
【０００９】
上記バッチ方式および連続方式のいずれの場合でも、処理槽１０外から処理槽内液Ｑ中に平板形状物（Ｗ）を浸漬しなければならず、処理終了後は処理槽１０内液Ｑ中から処理槽１０外へ平板形状物（Ｗ）を取出さなければならない。
【００１０】
具体的には、昇降手段を用いて高所（大気中）から下降させて最初の処理槽１０内の液Ｑ中に平板形状物を浸漬可能でかつ表面処理終了後は昇降手段を用いて最後の処理槽１０内の液Ｑ中から高所（大気中）に平板形状物を上昇して取出可能に形成されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、平板形状物（ワークＷ）を処理槽１０に浸漬する際および処理槽１０から引上げる際の昇降速度は、処理槽１０内搬送中での表面処理の連続性を担保するために、平板形状物（例えば、プリント配線基板…ワークＷ）の処理槽１０内での搬送速度に比較して高速（例えば、４倍速）である。
【００１２】
かくして、浸漬に際する下降工程では、平板形状物（Ｗ）の先端部分（縦吊姿態での下端部分）Ｗａが大きな液抵抗を受けるので、例えば図９に実線で示す如く平板形状物（Ｗ）がＸ方向と直交する方向に湾曲，折れ曲りあるいは揺動してしまい、結果として、平板形状物（Ｗ）が槽内装品（例えば、上記ガイドポスト８１，図示しない電極等）に衝突したり、張り付いてしまう場合がある。
【００１３】
また、平板形状物（Ｗ）をいきなり搬送ガイド８２，８２間内（搬送路Ｒ）に下降可能に構築されている装置の場合には、平板形状物（Ｗ）の先端部分（縦吊姿態での下端部分）Ｗａが搬送ガイド間８２，８２（８１，８１）内に入らないので、搬送が開始できない。
【００１４】
本発明の目的は、処理槽内に浸漬する際の先端曲り等を防止しつつ平板形状物を縦吊姿態のまま真直ぐに処理槽内液中に下降させることができる表面処理装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、縦吊姿態で保持された平板形状物を昇降手段によって下降させつつ表面処理槽内の液中に浸漬可能かつ搬送手段によって平板形状物を搬送方向に搬送可能であるとともに表面処理槽内を搬送中の平板形状物に表面処理を施す表面処理装置において、前記縦吊姿態で保持された前記平板形状物を前記昇降手段によって下降させつつ表面処理槽内の液中に浸漬するに先立ち当該平板形状物の前記搬送方向と交叉する方向の両側から挟持片を接近させて当該平板形状物の縦吊姿態を維持するために当該平板形状物を挟持可能であるとともに当該平板形状物の前記表面処理槽内の液中に浸漬が終了したときから当該平板形状物の前記搬送方向への搬送開始までの間に両側の挟持片を当該平板形状物から離隔可能に形成された縦吊姿態維持手段を設けた、表面処理装置である。
【００１６】
かかる発明では、例えばハンガーを介して搬送手段に縦吊姿態で保持された平板形状物を昇降手段によって下降させて表面処理槽内の液中に浸漬させるに先立ち、縦吊姿態維持手段を働かせる。
【００１７】
すなわち、平板形状物の搬送方向と交叉する方向の両側から挟持片を接近させて、当該平板形状物を挟持させる。これにより、平板形状物の縦吊姿態を一定に維持できる。この状態において、昇降手段を下降動作させれば、平板形状物を縦吊姿態を維持したそのままの姿勢で下降させつつ、表面処理槽内の液中に確実かつ安定して浸漬させることができる。つまり、平板形状物を処理槽内へ浸漬する際の当該平板形状物の先端曲り等を防止しつつ平板形状物を縦吊姿態のまま真直ぐに処理槽内液中に下降させることができる。
【００１８】
逆に、表面処理槽内の液中に浸漬が終了したときから当該平板形状物の搬送方向への搬送開始までの間に、縦吊姿態維持手段を逆（上昇）動作させて、両側の挟持片を当該平板形状物から離隔させる。かくして、平板形状物を搬送方向に円滑に搬送することができる。
【００１９】
すなわち、処理槽内へ浸漬する際の先端曲り等を防止しつつ平板形状物を縦吊姿態のまま真直ぐに処理槽内液中に下降させることができるから、平板形状物が槽内装品に衝突したり、それらに張り付いてしまうことを防止することができかつ迅速に搬送して表面処理を行える。
【００２０】
また、請求項２の発明は、前記縦吊姿態維持手段が、前記上下方向に伸びかつ複数の前記挟持片が上下方向に離隔した状態でかつそれぞれ内側に向かう姿勢で取付けられた一対の可動部材と、一対の可動部材を前記搬送方向と交叉する方向に離隔駆動可能および接近駆動可能な離隔接近駆動機構とから形成された表面処理装置である。
【００２１】
かかる発明では、縦吊姿態維持手段を構成する離隔接近駆動機構を接近駆動させると、上下方向に伸びる形態の一対の可動部材が搬送方向と交叉する方向に接近する。すると、各可動部材に上下方向に離隔した状態でかつそれぞれ内側に向かう姿勢で取付けられた複数の挟持片が、平板形状物（面）を搬送方向と交叉する方向の両側から挟み込むことができる。したがって、平板形状物（面）の全面的な縦吊姿態を維持することができる。
【００２２】
また、離隔接近駆動機構を離隔駆動させると、上下方向に伸びる形態の一対の可動部材が搬送方向と交叉する方向に離隔する。すると、各可動部材に上下方向に離隔した状態でかつそれぞれ内側に向かう姿勢で取付けられた複数の挟持片が、平板形状物（面）から搬送方向と交叉する方向の両側へ逃げる。つまり、平板形状物（面）の搬送方向への搬送を許容できる。
【００２３】
したがって、請求項１の発明の場合と同様な作用効果を奏することができることに加え、さらに平板形状物（面）の姿勢を全面的かつ自動的に維持することできるとともに迅速な接近離隔駆動を行える。
【００２４】
また、請求項３の発明は、前記挟持片が、前記可動部材に突出させた状態で取付けられた表面処理装置である。
【００２５】
かかる発明では、各挟持片のそれぞれが、当該各可動部材に突出させた状態で取付けられている。かくして、各挟持片に挟持された平板形状物（面）は当該各可動部材に接触させない状態に保てる。つまり、各挟持片とこれに挟持された平板形状物（面）との間にスペースを確立（確保）できる。
【００２６】
したがって、例えば今回の平板形状物（面）の大きさ（上下方向寸法）が基本の平板形状物（面）の大きさ（上下方向寸法）より小さい場合には、当該平板形状物（面）の下端部を下方の挟持片で挟持できないから、液中への下降の際にその下端部が曲がってしまう虞が強い。しかし、下端部が曲がってしまったとしても、当該曲がり部分を上記スペース内に収容できので、平板形状物（面）の下端部が当該各可動部材に張り付いたり、当該各可動部材の外側に巻き付いたりすることを回避できる。
【００２７】
よって、請求項１および請求項２の各発明の場合と同様な作用効果を奏することができることに加え、さらに平板形状物（面）の大きさ（上下方向寸法）に対する適応性が広く、平板形状物（面）の表面品位を良好に担保できる。
【００２８】
さらに、請求項４の発明は、前記挟持片が、前記搬送方向に伸びる細長形状とされるとともに前記搬送方向の上流側位置が高くかつ下流側位置が低くなる傾斜姿勢で前記可動部材に取付けられた表面処理装置である。
【００２９】
かかる発明では、可動部材を接近させると、搬送方向に伸びる細長形状の各挟持片が縦吊姿態の平板形状物（面）をその両側から挟持することができる。各挟持片は搬送方向の上流側位置が高くかつ下流側位置が低くなる傾斜姿勢で可動部材に取付けられているから、液外（液内）においては、平板形状物（面）を同一水平線上で挟持することを回避できる。
【００３０】
また、液中においては、各挟持片を離隔しかつその後に平板形状物（面）を搬送方向に搬送する際に、平板形状物（面）の湾曲等した下端部がある挟持片の上に乗ってしまうことがあったとしても、下端部が下流側に行くにしたがって当該挟持片から逃げ（離れ）ることができるので、当該下端部が挟持片に噛み込んでしまうことがない。
【００３１】
したがって、請求項１から請求項３までの各発明の場合と同様な作用効果を奏することができることに加え、さらに平板形状物（面）を確実に挟持できかつ平板形状物（面）円滑な搬送を担保できる。
【００３２】
さらにまた、請求項５の発明は、前記離隔接近駆動機構が、一端部に前記可動部材が回動可能に連結されかつ他端部が駆動源に連結されるとともに中央支点を中心に回動可能なリンクを含むリンク機構から形成された表面処理装置である。
【００３３】
かかる発明では、他端部に連結された駆動源を離隔駆動させることにより、リンク機構（リンク）を中央支点を中心に離隔方向に回動させることができる。すると、リンクの一端部に回動可能に連結された可動部材が、平板形状物（面）から離隔する方向に移動する。つまり、各挟持片を平板形状物（面）から離隔させて挟持開放させられる。
【００３４】
一方、リンクの他端部に連結された駆動源を接近駆動させることにより、リンクを中央支点を中心に接近方向に回動させると、その一端部に回動可能に連結された可動部材が、平板形状物（面）に接近する方向に移動する。つまり、各挟持片で平板形状物（面）を両側から接近挟持させられる。
【００３５】
なお、リンク（リンク機構）が中央支点を中心に回動させた場合に、可動部材つまり各挟持片が上方（下方）から下方（上方）に変位しつつ円軌跡に沿って平板形状物（面）に離隔・接近するので、各挟持片を平板形状物（面）に向って直角方向から離隔・接近させる場合に比較して、各挟持片を平板形状物（面）にソフトタッチさせることができかつ離隔接近駆動機構の構造も簡単である。
【００３６】
したがって、請求項２から請求項４までの各発明の場合と同様な作用効果を奏することができることに加え、さらに円滑な挟持ができるとともに離隔接近駆動機構の構造簡素化およびコスト低減を図れる。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００３８】
本表面処理装置は、図１〜図４に示す如く、表面処理槽（１０Ａ，１０Ｂ）に関連配設可能な縦吊姿態維持手段５０を設け、縦吊姿態で保持された平板形状物（ワークＷ）を昇降手段３０によって下降させつつ表面処理槽（１０Ａ，１０Ｂ）内の液Ｑ中に浸漬するに先立ち当該ワークＷのＸ方向と交叉する方向の両側から挟持片５７，５７を接近させてその縦吊姿態を維持するためにワークＷを挟持可能かつワークＷの表面処理槽（１０Ａ，１０Ｂ）内の液Ｑ中に浸漬が終了したときからワークＷのＸ方向への搬送開始までの間に両側の挟持片５７，５７を当該ワークＷから離隔可能に形成されている。
【００３９】
本表面処理装置の基本的構成・機能は、縦吊姿態で保持された平板形状物（この実施形態では、プリント配線基板…上記のワークＷ）を昇降手段３０によって下降させつつ表面処理槽（１０Ａ，１０Ｂ）内の液中に浸漬可能かつ搬送手段２０によってワークＷをＸ方向に搬送可能であるとともに表面処理槽１０（１０Ａ，１０Ｂ）内を搬送中のワークＷに表面処理を施すことができる。つまり、本表面処理装置は、プリント配線基板にめっきを施すことができるめっき処理装置を構成する。
【００４０】
図１において、図示省略した左方から右方に直線で伸び、右端で円弧で折り返し、右方から左方に直線で伸び、図示省略した左端で円弧で折り返す軌跡（形状）の搬送路Ｒに沿って複数の表面処理槽１０が配設されている。ワークＷは、搬送路Ｒに沿った搬送（Ｘ）方向に搬送される。
【００４１】
ここに、手前側の前処理槽（例えば、酸性脱脂処理槽）の始端部（図で左側）でワークＷを投入して当該液Ｑ中に浸漬させるので、当該槽を浸漬投入槽１０Ａとする。この浸漬投入槽１０Ａ内の液中をＸ方向に搬送されたワークＷは、液シール部（図示省略）を通過して、そのまま右側の折り返し部に配設された表面処理槽（例えば、水洗処理槽）１０内を搬送され、終端部で当該表面処理槽１０から上方に持ち出させる。
【００４２】
次いで、表面処理槽（例えば、電解銅めっき処理槽）の始端部（図で右側）でワークＷを再び投入して当該液Ｑ中に浸漬させる。当該槽を浸漬投入槽１０Ｂとする。かくして、各浸漬投入槽１０Ａ，１０Ｂに、縦吊姿態維持手段５０を設けてある。
【００４３】
図２において、搬送手段２０は、Ｘ方向に伸びる搬送ガイド部材２１，搬送モータ２４によりＸ方向に所定ピッチだけ搬送ガイド部材２１上を進退動（往復動）する往復動部材２２と，この往復動部材２２に装着されたアンチバック方式のプッシャー２３を含み、ハンガー４０（非プッシュ部４６）をハンガーガイド部材２５に沿って所定ピッチづつピッチ送り（間欠搬送…連続的搬送の一態様）することができるプッシャー型搬送手段を構成する。
【００４４】
昇降手段３０は、図２，図４に示す如く、昇降体（リフト）３１，昇降機構（チェーン，スプロケット等）３３，昇降モータ３４等を含み、上下方向に移動可能に装着された昇降体（リフト）３１を昇降させることにより、ハンガーガイド部材２５を図３の左側の上昇位置から右側の下降位置に昇降可能に形成されている。
【００４５】
昇降体３１は、図３の横架部材３７とともに装置機構部を構成する支柱部材を兼ねるガイド支柱３５（詳しくは、平行取付されたガイドバー３６）に、複数のローラ３１Ｒを介して上下動可能に装着されている。
【００４６】
この昇降体３１には、図４に示す如く、腕木部材３２が一体的に設けられかつ腕木部材３２にはハンガー４０を保持するための保持部３２Ａが一体的に設けられている。そして、この保持部３２Ａには、上方に支持ローラ３２Ｂが設けられ、下方にハンガーガイド部材２５が取付けられている。
【００４７】
ハンガー４０は、図４に示すハンガー本体４３と，このハンガー本体４３の上部側に装着された被保持部４４および非プッシュ部４６と，その下部側に取付けられたクランプ４５とを含み、腕木部材３２の先端側に取付けられた保持部３２Ａ（３２Ｂ）に腕木部材３２（昇降体３１）の昇降運動とともに昇降可能に保持されかつクランプ４５で平板形状物（Ｗ）を縦吊姿態として挟持可能に形成されている。
【００４８】
Ｘ方向に離隔して保持された複数のハンガー４０は、搬送手段２０を構成しかつ図２に示すＸ方向に伸びるハンガーガイド部材２５上を複数のプッシャー２３の各１ピッチ同期送り動作により、連続的に搬送（Ｘ方向に間欠かつピッチ搬送）される。この際は、図４のＣ型形状の被保持部４４が、昇降体３１（腕木部材３２）と一体的な支持ローラ３２Ｂから離れる。つまり、上昇手段３０との係合が解除される。
【００４９】
また、電解銅めっき処理槽（１０Ｂ）においては、給電手段（図示省略）からハンガー４０を通して当該ハンガー４０にクランプ保持されたワークＷに給電することができる。電解銅めっき処理槽（１０Ｂ）内の電極（図示省略）にも、対向極性が給電される。
【００５０】
ここにおいて、縦吊姿態維持手段５０は、図４に示す如く、枠体５１，可動部材５５，挟持片５７，離隔接近駆動機構６０および駆動源（駆動シリンダ６８）とを含み、ハンガー４０に縦吊姿態で保持された平板形状物（Ｗ）を昇降手段３０によって下降させつつ浸漬投入槽（１０Ａ，１０Ｂ）内の液Ｑ中に浸漬するに先立ち、ワークＷのＸ方向と交叉する方向の両側から挟持片５７，５７を接近させてワークＷの縦吊姿態を維持するためにワークＷを挟持可能である。図６（Ａ）〜（Ｃ）に示す接近状態（挟持状態）を参照。
【００５１】
また、縦吊姿態維持手段５０は、浸漬投入槽（１０Ａ，１０Ｂ）内の液Ｑ中へのワークＷ浸漬が終了したときから当該ワークＷのＸ方向への搬送開始までの間に、両側（左右）の挟持片５７，５７を当該ワークＷから離隔可能に形成されている。図５（Ａ）〜（Ｃ）に示す離隔状態（挟持開放状態）を参照。
【００５２】
枠体５１は、図４に示す左右一対の支柱部材５２からなり、横木部材７２を介して、上下動装置７０の一部を構成するリフター７１の上下運動とともに上下動可能としてリフター７１に取り付けられている。このリフター７１は、ガイド支柱（摺動ガイドが敷設されている。）３５に摺動可能にガイドされ、上下動機構７３により上下動される。
【００５３】
この実施形態では、上下動機構７３を駆動させるための動力源（上下動モータ）は昇降手段３０の昇降モータ３４を兼用するものと形成してある。
【００５４】
なお、枠体５１も、昇降手段３０で、昇降（上下）させるように構築してもよい。かくすれば、上下動装置７０を、例えばめっき槽レールの上下用（専用）として利用できる。
【００５５】
左右一対の可動部材５５，５５は、離隔接近駆動機構６０を介しかつＸ方向と交叉する方向［この実施形態では、直交する方向（図４で左右方向）］に離隔接近駆動可能として、当該各支柱部材５２，５２に取付けられている。各可動部材５５には、この実施形態ではスペースＳを確保（確立）するための突出保持部材５６，５６を介して、複数の挟持片５７，５７が取付けられている（図５，図６を参照）。
【００５６】
この離隔接近駆動機構６０は、図４に示す左右１対のリンク機構６１（リンク６３を含む）および駆動源を形成する駆動シリンダ６８とから構成されている。
【００５７】
リンク機構６１は、中間部が上方支持ピン６２を介して支柱部材５２に回転可能に連結された上方リンク（リンク）６３を含み、この上方リンク６３の一端部６３Ａを可動部材５５の上端部に連結ピン６３ＡＰを介して回転可能に連結しかつ他端部６３Ｂを駆動シリンダ６８に回転可能に連結した構造である。
【００５８】
なお、動作安定性を向上させるために、基端部が下方支持ピン６５を介して支柱部材５２に回転可能に連結されかつその一端部６６Ａが可動部材５５の下端部に連結ピン６６ＡＰを介して回転可能に連結された下方リンク６６を設けてある。つまり、リンク機構６１は、平行四辺形リンク機構の場合の動作と同様に動作する。
【００５９】
かくして、図４の左側に示した接近状態（挟持状態）において、左側の駆動シリンダ（駆動源）６８で他端部６３Ｂを下方に向けて押込めば、上方リンク６３が上方支持ピン６２を中心に左廻りに回転するので、一端部６３Ａに連結された可動部材５５を上昇させつつ図４で左方向へ移動させることができる。つまり、複数の挟持片５７をワークＷから離隔させることができる。なお、下方リンク６６は、上方リンク６３に従動する。
【００６０】
したがって、図５に示す如く、左右の駆動シリンダ（駆動源）６８，６８を同時に離隔方向（下方向）に動作させれば、左右の可動部材５５，５５に取付けられた複数の挟持片５７，５７を同時にワークＷから離隔（挟持開放）させることができる。
【００６１】
すなわち、挟持片５７，５７間から表面処理終了後のワークＷを取出することができ、あるいは新規（未処理）のワークＷを挟持片５７，５７間に挿入することができる。
【００６２】
一方、図４の右側に示した離隔状態（挟持開放状態）において、右側の駆動シリンダ（駆動源）６８で他端部６３Ｂを上方に向けて持ち上げれば、上方リンク６３が上方支持ピン６２を中心に左廻りに回転するので、一端部６３Ａに連結された可動部材５５を下降させつつ図４で左方向へ移動させることができる。つまり、複数の挟持片５７をワークＷに接近させることができる。この場合も、下方リンク６６は上方リンク６３に従動する。
【００６３】
したがって、図６に示す如く、左右の駆動シリンダ（駆動源）６８，６８を同時に接近方向（上方向）に動作させれば、左右の可動部材５５，５５に取付けられた複数の挟持片５７，５７で同時にワークＷを挟持（接近）させることができるから、その後にワークＷを下降させて表面処理槽１０内の液Ｑ中に浸漬させても当該ワークＷの曲り発生を防止することができる。
【００６４】
そして、各挟持片５７が、突出保持部材５６を介して可動部材５５に突出させた状態でかつ上下方向に離隔配設した状態で取付けられている。したがって、平板形状物（面）の大きさ（上下方向寸法）に対する適応性を広く、平板形状物（面）の表面品位を良好に担保することができる。
【００６５】
しかも、最下の挟持片５７で挟持することができない平板形状物（面）の下端部［あるいは、平板形状物（面）の一部（上下方向の挟持片５７，５７間の部位）］が曲がったとしても、曲り部が突出した突出保持部材５６と可動部材５５との間に確立されたスペースＳ内に収容されるので、当該曲り部が可動部材５５に直接貼付いてしまうことを防止することができるわけである。
【００６６】
さらに、各挟持片５７が搬送（Ｘ）方向に伸びる細長形状とされるとともにＸ方向の上流側位置が高くかつ下流側位置が低くなる傾斜姿勢で可動部材５５に取付けてある。
【００６７】
かくして、仮に、最下の挟持片５７で挟持することができない平板形状物（面）の下端部が曲がりかつ当該曲り部がある１つの挟持片５７の上に乗ってしまった場合が生じても、その後に平板形状物（面）をＸ方向に移動させたときに、当該曲り部が下方に傾く挟持片５７から上方に自動的に離れることができる。換言すれば、平板形状物（面）のＸ方向の移動に伴って一段と強力に噛み込み（乗り上げ）しないようにすることができる。つまり、平板形状物（面）の一段と円滑な搬送を担保可能に形成されている。
【００６８】
かかる実施形態の表面処理装置では、図１に示す浸漬投入槽１０Ａの始端部の上方において、縦吊姿態で保持されたワークＷを昇降手段３０によって下降させて当該表面処理槽１０Ａ内の液中に浸漬させるに先立ち、縦吊姿態維持手段５０の離隔接近駆動機構６０を離隔駆動して可動部材５５，５５を図５に示す離隔状態にしておく。
【００６９】
この可動部材５５，５５間に、ローディング装置（図示省略）からローディングされかつ昇降手段３０（保持部３２Ａ…支持ローラ３２Ｂ）に保持されたハンガー４０を図３の左側に示した状態で保持させる。ハンガー４０には、ワークＷが縦吊姿態で保持されている。
【００７０】
ここで、離隔接近駆動機構６０を接近駆動させて各可動部材５５，５５を図６に示すように接近させる。つまり、対応する複数の挟持片５７でワークＷをその両面から挟持することができる。つまり、ワークＷの自由運動を規制できかつ縦吊姿態を一定に維持できる。
【００７１】
しかる後に、昇降手段３０と上下動装置７０を同期運転させ、ハンガー４０を腕木部材３２とともに下降させかつ枠体５１をリフター７１（横木部材７２）とともに下方に移動させる。つまり、上下関係を図３の左側に示した状態から右側に示した状態に移行させる。この意味において、上記したように、枠体５１も昇降手段３０によって昇降（上下）可能に構築してもよいと理解される。
【００７２】
この際、薄いワークＷが浸漬投入槽１０Ａ内の液Ｑ中に比較的に高速で移行されるが、縦吊姿態維持手段５０の縦吊姿態維持機能により、ワークＷの液抵抗による例えば図９に２点鎖線で示したような曲り等が生じない。したがって、表面処理槽１０Ａ内の液中に確実かつ安定して浸漬させることができるから、ワークＷが槽内装品（例えば、液加熱ユニット等）に干渉することを防止することができるわけである。
【００７３】
浸漬後で当該ワークＷのＸ方向への搬送開始までの間に、離隔接近駆動機構６０を離隔駆動させて、各可動部材５５，５５を図５に示すように離隔させる。つまり、対応する複数の挟持片５７をワークＷから離隔させて、その両面から挟持を開放する。ワークＷの自由運動を許容できる。
【００７４】
その後に、搬送手段２０を働かせてハンガー４０をＸ方向に１ピッチ分だけ搬送（進動）せる。この際、ハンガー４０の非保持部４４は、昇降手段３０（腕木部材３２）側の保持部３２ＡからＸ方向に離れる。
【００７５】
したがって、昇降手段３０および上下動装置７０を同期運転させ、腕木部材３２を上昇させかつ枠体５１をリフター７１（横木部材７２）とともに上方に移動させる。つまり、上下関係を図３の右側に示した状態からその左側に示した状態に移行させる。
【００７６】
かくして、搬送手段２０を働かせて、ハンガー４０をＸ方向にピッチ搬送しつつ表面処理槽（酸性脱脂処理槽…１０Ａ）でワークＷの両面を酸性脱脂処理することができる。搬送速度が浸漬中の下降速度に比較して低速であるとともに、上部が複数のクランプ４５を介してハンガー４０に保持された状態でかつＸ方向で最先のクランプ４５の方向にワークＷが引っ張られる状態で、ワークＷが曲がったり折れたりすることはない。
【００７７】
このワークＷは、次の処理槽１０の終端部まで搬送され、そこで昇降手段３０の下降動作、搬送手段２０の１ピッチ搬送動作および昇降手段３０の上昇動作により当該処理槽１０の上方に持ち出される。その後に、図示しない例えば引渡手段で浸漬投入槽１０Ｂ上へ引き渡される。
【００７８】
そして、浸漬投入槽（電解銅めっき処理槽）１０Ｂにおいて、浸漬投入槽１０Ａの場合と同様に浸漬される。この槽１０Ｂ内には搬送ガイド手段８０が設けられているが、ワークＷが縦吊姿態維持手段５０の縦吊姿態維持機能により縦吊姿態が維持されているので、その搬送ガイド８１，８１（８２，８２）間に円滑に導入することができる。
【００７９】
また、搬送ガイド手段８０内を搬送中のワークＷは自由運動が規制されているので槽内両側に配設された電極との間隔つまり極間距離を一定に保てるから安定した電解（めっき）処理を行える。すなわち、高品質のプリント配線基板を確実かつ高能率で生産することができ、歩留まりも大幅に向上できる。
【００８０】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、平板形状物を下降させて表面処理槽内の液中に浸漬するに先立ち当該平板形状物の搬送方向と交叉する方向の両側から挟持片を接近させて挟持可能で、表面処理槽内の液中に浸漬が終了したときから当該平板形状物の搬送方向への搬送開始までの間に両側の挟持片を平板形状物から離隔可能に形成された縦吊姿態維持手段を設た表面処理装置であるから、処理槽内へ浸漬する際の先端曲り等を防止しつつ平板形状物を縦吊姿態のまま真直ぐに処理槽内液中に下降させることができる。よって、平板形状物が槽内装品に衝突したり、それらに張り付いてしまうことを防止することができかつ迅速に搬送して表面処理を行える。
【００８１】
また、請求項２の発明によれば、縦吊姿態維持手段が上下方向に伸びかつ複数の挟持片が上下方向に離隔した状態でかつそれぞれ内側に向かう姿勢で取付けられた一対の可動部材と、一対の可動部材を搬送方向と交叉する方向に離隔駆動可能および接近駆動可能な離隔接近駆動機構とから形成されているので、請求項１の発明の場合と同様な効果を奏することができることに加え、さらに平板形状物（面）の姿勢を全面的かつ自動的に維持することできるとともに迅速な接近離隔駆動を行える。
【００８２】
また、請求項３の発明によれば、挟持片が可動部材に突出させた状態で取付けられているので、請求項１および請求項２の各発明の場合と同様な効果を奏することができることに加え、さらに平板形状物（面）の大きさ（上下方向寸法）に対する適応性が広く、平板形状物（面）の表面品位を良好に担保できる。
【００８３】
さらに、請求項４の発明によれば、挟持片が搬送方向に伸びる細長形状とされるとともに搬送方向の上流側位置が高くかつ下流側位置が低くなる傾斜姿勢で可動部材に取付けられているので、請求項１から請求項３までの各発明の場合と同様な効果を奏することができることに加え、さらに平板形状物（面）を確実に挟持できかつ平板形状物（面）円滑な搬送を担保できる。
【００８４】
さらにまた、請求項５によれば、離隔接近駆動機構が一端部に可動部材が回動可能に連結されかつ他端部が駆動源に連結されるとともに中央支点を中心に回動可能なリンクを含むリンク機構から形成されているので、請求項２から請求項４までの各発明の場合と同様な効果を奏することができることに加え、さらに円滑な挟持ができるとともに離隔接近駆動機構の構造簡素化およびコスト低減を図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るめっき処理装置を説明するための平面図である。
【図２】同じく、図１の矢視線▲２▼−▲２▼に基づく側面図である。
【図３】同じく、図１の矢視線▲３▼−▲３▼に基づく正面図である。
【図４】同じく、縦吊姿態維持手段（離隔接近駆動機構）を説明するための拡大図である。
【図５】同じく、縦吊姿態維持手段（離隔接近駆動機構）の接近（挟持）状態を説明するための図である。
【図６】同じく、縦吊姿態維持手段（離隔接近駆動機構）の離隔（挟持開放）状態を説明するための図である。
【図７】本発明および従来例における搬送ガイド手段を説明するための平面図である。
【図８】本発明および従来例における搬送ガイド手段を説明するための側面図である。
【図９】従来例の問題点を説明するための正面図である。
【符号の説明】
１０  表面処理槽
１０Ａ  浸漬投入槽（表面処理槽）
１０Ｂ  浸漬投入槽（表面処理槽）
２０  搬送手段
２１  搬送ガイド部材
２２  往復動部材
２３  プッシャー
２５  ハンガーガイド部材
３０  昇降手段
３１  昇降体
３２  腕木部材
３２Ａ  保持部
３３  昇降機構
３４  昇降モータ
３５  ガイド支柱
３７  横架部材
４０  ハンガー
４４  被保持部
５０  縦吊姿態維持手段
５１  枠体
５２  支柱部材
５５  可動部材
５６  突出保持部材
５７  挟持片
６０  離隔接近駆動機構
６１  リンク機構
６２  上方支持ピン（中央支点）
６３  上方リンク（リンク）
６５下方支持ピン
６６  下方リンク
６８  駆動シリンダ（駆動源）
７０  上下動装置
７２  横木部材
７３  上下動機構
８０  搬送ガイド手段
８１  ガイドポスト
８２  ワイヤー（搬送ガイド）
Ｗ  ワーク（平板形状材物…プリント配線基板）
Ｗａ  先端部
Ｒ  搬送路
Ｘ  搬送方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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