(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の受光素子を一方向に配列して構成され、該配列方向と交差する方向に移動する被検査体を所定の周期δｔで撮像するラインセンサカメラと、
このラインセンサカメラからの映像信号を前記所定の周期で記憶する映像信号用メモリと、
被検査体が所定距離移動する毎にパルス信号を発生するエンコーダと、
前記パルス信号を所定数カウントする毎に前記映像信号用メモリから映像信号を読み出して画素毎に加算し、被検査体がΔ移動する間の所定の加算回数Ｎに対応して画素毎の映像信号の平均値を演算する信号処理回路と、
この信号処理回路の演算により得られた画素毎の映像信号の平均値を出力する出力手段とを備えた移動物体の画像処理装置であって、
前記ラインセンサカメラは、受光素子配列方向に対応する各受光素子の画素サイズよりも、被検査体の移動方向に対応する画素サイズの方を大きくした受光素子を備え、
前記ラインセンサカメラによる受光角θ、該カメラの受光素子の１画素に対応する被検査体上の移動方向の撮像範囲δｙ／cosθ及び被検査体の最低速度Ｖminが、
δｙ／cosθ＋Ｖmin・δｔ≧Δ／Ｎ
なる条件を満たすことを特徴とする移動物体の画像処理装置。
【請求項２】
複数の受光素子を一方向に配列して構成され、該配列方向と交差する方向に移動する被検査体を所定の周期δｔで撮像するラインセンサカメラと、
このラインセンサカメラからの映像信号を前記所定の周期で記憶する映像信号用メモリと、
被検査体が所定距離移動する毎にパルス信号を発生するエンコーダと、
前記パルス信号を所定数カウントする毎に前記映像信号用メモリから映像信号を読み出して画素毎に加算し、被検査体がΔ移動する間の所定の加算回数Ｎに対応して画素毎の映像信号の平均値を演算する信号処理回路と、
この信号処理回路の演算により得られた画素毎の映像信号の平均値を出力する出力手段とを備えた移動物体の画像処理装置であって、
前記ラインセンサカメラの受光側前段には、被検査体の移動方向について像をぼかす光学部材が配置されて、
前記ラインセンサカメラによる受光角θ、該カメラの受光素子の１画素に対応する被検査体上の移動方向の撮像範囲δｙ／cosθ及び被検査体の最低速度Ｖminが、
δｙ／cosθ＋Ｖmin・δｔ≧Δ／Ｎ
なる条件を満たすことを特徴とする移動物体の画像処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、移動する被検査体をラインセンサカメラ（リニアアレイカメラ）で撮像して得られる検出信号を信号処理する画像処理装置に係わり、特に移動速度に変動がある高速移動物体の画像処理を行う移動物体の画像処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、鋼板等の帯状の走行する被検査体を光学式に検査する場合、リニアアレイカメラ等の一次元の撮像装置が用いられる。この場合、被検査体の幅方向（Ｘ方向）についてはリニアアレイカメラによる一定周期の電子的な走査が行われ、被検査体の移動方向である長手方向（Ｙ方向）については被検査体自体の走行による走査が行われる。従って、被検査体の走行速度が変化すると、長手方向の分解能が変化してしまうという問題がある。
【０００３】
そこで、特開平９−２５７７２３号公報では、被検査体が一定距離進行する間、リニアアレイカメラの全走査について同一画素の信号を加算し、加算回数で除して平均値を算出する装置が開示されている。また、特開平１１−１６６９０４号公報では、被検査体が画像処理上の長手分解能の所定回数分の１だけ進む毎に映像信号を取り込み、同一画素の信号を加算し、被検査体が画像処理上の長手分解能だけ進行したときに、加算されたデータを所定回数で除して平均値を算出する装置が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この種の装置にあっては次のような問題があった。即ち、特開平９−２５７７２３号公報では、被検査体の移動速度が低速の場合或いは被検査体が停止する場合には、リニアアレイカメラの走査本数分だけの莫大なメモリ容量が必要になるという問題があった。また、特開平１１−１６６９０４号公報では、「抜け」が生じないよう被検査体が所定距離進む毎に映像信号を加算し、平均値を算出する必要があるため、被検査体が高速で移動する場合には、処理速度が間に合わなくなる、或いは高速化するために装置が高価になるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記事情を考慮して成されたもので、その目的とするところは、画像メモリの容量が少なくて済み、かつ被検査体の移動速度が大幅に変化する場合でも移動方向の分解能を一定に保つことができ、画像採取の見落としのない良好な画像処理を行い得る移動物体の画像処理装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
（構成）
上記課題を解決するために本発明は次のような構成を採用している。
【０００７】
（１）即ち本発明は、複数の受光素子を一方向に配列して構成され、該配列方向と交差する方向に移動する被検査体を所定周期δｔで撮像するラインセンサカメラと、このラインセンサカメラからの映像信号を前記所定の周期で記憶する映像信号用メモリと、被検査体が所定距離移動する毎にパルス信号を発生するエンコーダと、前記パルス信号を所定数カウントする毎に前記映像信号用メモリから映像信号を読み出して画素毎に加算し、被検査体がΔ移動する間の所定の加算回数Ｎに対応して画素毎の映像信号の平均値を演算する信号処理回路と、この信号処理回路の演算により得られた画素毎の映像信号の平均値を出力する出力手段とを備えた移動物体の画像処理装置であって、前記ラインセンサカメラは、受光素子配列方向に対応する各受光素子の画素サイズよりも、被検査体の移動方向に対応する画素サイズの方を大きくした受光素子を備え、前記ラインセンサカメラによる受光角θ、該カメラの受光素子の１画素に対応する被検査体上の移動方向の撮像範囲δｙ／cosθ及び被検査体の最低速度Ｖminが、δｙ／cosθ＋Ｖmin・δｔ≧Δ／Ｎなる条件を満たすことを特徴とする。
【０００９】
（２）また本発明は、複数の受光素子を一方向に配列して構成され、該配列方向と交差する方向に移動する被検査体を所定の周期δｔで撮像するラインセンサカメラと、このラインセンサカメラからの映像信号を前記所定の周期で記憶する映像信号用メモリと、被検査体が所定距離移動する毎にパルス信号を発生するエンコーダと、前記パルス信号を所定数カウントする毎に前記映像信号用メモリから映像信号を読み出して画素毎に加算し、被検査体がΔ移動する間の所定の加算回数Ｎに対応して画素毎の映像信号の平均値を演算する信号処理回路と、この信号処理回路の演算により得られた画素毎の映像信号の平均値を出力する出力手段とを備えた移動物体の画像処理装置であって、前記ラインセンサカメラの受光側前段には、被検査体の移動方向について像をぼかす光学部材が配置されて、前記ラインセンサカメラによる受光角θ、該カメラの受光素子の１画素に対応する被検査体上の移動方向の撮像範囲δｙ／cosθ及び被検査体の最低速度Ｖminが、
δｙ／cosθ＋Ｖmin・δｔ≧Δ／Ｎ
なる条件を満たすことを特徴とする。
【００１０】
ここで、光学部材はシリンドリカルレンズであることが望ましい。
【００１１】
（作用）
（１）本発明によれば、ラインセンサカメラにおける各受光素子の１画素の受光素子配列方向に対応する画素サイズよりも、被測定体移動方向に対応する画素サイズの方を大きくしているので、移動速度が高速の場合でも処理速度を低く抑えることが可能となり、これにより安価な装置を構成することが可能となる。
【００１２】
（２）また本発明によれば、ラインセンサカメラの受光側前段に被測定体の移動方向について像をぼかす光学部材を配置することにより、上記のように被測定体移動方向側の画素サイズを大きくしたのと等価となり、移動速度が高速の場合でも処理速度を低く抑えることが可能となる。
【００１３】
（３）また本発明によれば、ラインセンサカメラによる受光角θ、撮像範囲δｙ／cosθ及び被検査体の最低速度Ｖminを前記のように設定することにより、ラインセンサカメラでは被検査体の移動速度には関係なく、所定の周期で画像を検出してメモリに書き込み、映像信号の読み出しは被検査体の所定距離の移動に対応して行うので、画像メモリの必要量が少なくて済むと共に、被検査体の移動速度によらず、被検査体の面積当たりの画素数を一定に保つことができる。従って、移動速度が大幅に変化する場合でも、被検査体の移動方向の分解能が一定で、かつ画像採取の見落としのない、移動する被検査体の画像処理装置を実現することが可能となる。
【００１４】
（４）また、上記（３）の構成に加え、（１）或いは（２）の構成を採用することにより、上記した各々の効果を有するより優れた画像処理装置を実現することが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
発明の実施形態を説明する前に、本発明の基本原理について説明する。
【００１６】
まず、図４に示すように、速度Ｖで走行している被検査体４１を受光角θでリニアアレイカメラ４２により撮像する場合を考える。
【００１７】
このとき、被検査体４１が停止している場合のリニアアレイカメラ４２の１画素に対応する被検査体４１上の撮像範囲は、撮像素子サイズ，レンズ焦点距離及び撮像距離などから決まるが、図５の実線で示すように、幅方向δｘ，長手方向δｙ／cosθであるとする。通常は、撮像素子の１画素のサイズの縦／横比は等しくδｘ＝δｙである。なお、上記の幅方向はリニアアレイカメラ４２を構成する撮像素子の配列方向に相当し、長手方向は被検査体４１の移動方向に相当している。
【００１８】
ところが、被検査体４１が速度Ｖで移動している場合は、図５の破線で示すように、Ｖ・δｔなるブレが生じ、結果的に図５の実線及び破線の範囲を撮像していることになる。ここで、δｔはリニアアレイカメラ４２の撮像周期である。また、被検査体４１の速度が一定ではなく変化している場合には、Ｖはδｔの間の平均速度となる。
【００１９】
従って、画像長手分解能は疵の大きさや信号処理速度などから決定する必要があるが、被検査体がΔだけ進行する毎に、長手方向１ラインのデータを取得し、その後の画像処理を行うとすると、Δがδｙ／cosθ＋Ｖ・δｔより大きい場合には、単純に間引きを行ったのでは被検査体上の走査の抜けが生じることが理解できる。
【００２０】
そこで、ΔをＮ等分し、被検査体がΔ／Ｎだけ進行する度毎に、リニアアレイカメラの映像信号を読み込み、Ｎ個の映像信号を画素毎に積算し、平均値を用いて長手方向の１ラインの映像信号に対応させることを考える。このとき、
δｙ／cosθ＋Ｖmin・δｔ≧Δ／Ｎ    … (1)
を満たすことにより、被検査体上の走査の抜けを無くすことができる。ここで、Ｖminは被検査体の想定される最低速度である。また、通常の撮像素子では１画のサイズの縦横比が等しく、必要な幅方向分解能であるδｘを決定すると、それに伴い必然的にδｙが決定されてしまい、(1) 式は次式のようになる。
【００２１】
δｘ／cosθ＋Ｖmin・δｔ≧Δ／Ｎ    … (2)
そのため、撮像条件よりδｘ，θ，δｔが、被検査体より決定されると、(2) 式を満足するようにするためには、Ｎをある程度大きくする必要がある。すると必然的に映像信号の読み込み周期が短くなり、平均値を算出するまでの処理量が増加するため、高速に処理する必要が生じてくる。
【００２２】
ところが、例えば１画素のサイズの縦／横比がｎ：１といった撮像素子を有するカメラを用いると、δｙ＝ｎ・δｘと値を大きくすることができ、(1) 式は次式のようになる。
【００２３】
ｎ・δｘ／cosθ＋Ｖmin・δｔ≧Δ／Ｎ… (3)
そうすると、Ｎの値を小さく、即ち映像信号の取り込み周期を長くすることができ、信号処理装置の速度を高速にせずに、より高速の移動体に対して適用することが可能になる。
【００２４】
また、縦／横比がｎ：１の撮像素子を用いなくても、例えば撮像素子の前に縦方向のみ像をぼかすシリンドリカルレンズを設置することにより実現することもできる。
【００２５】
本発明は、このような点に着目してなされたものである。以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
【００２６】
図１は、本発明の一実施形態に係わる移動物体の画像処理装置の概略構成を示すブロック図である。この装置は、受光素子を直線上に配列した一次元撮像素子を有するリニアアレイカメラ１１と、カメラ１１を制御するカメラコントローラ１３と、カメラ出力（映像信号）をデジタル化するＡ／Ｄコンバータ１４と、デジタル化された映像信号を記憶し、読み出す映像信号用メモリ１５と、映像信号に対して所定の信号処理を行うためのＤＳＰ１６と、ＤＳＰ演算用メモリ１７と、信号処理された映像信号を外部に出力するための出力回路１８と、から構成されている。
【００２７】
ここでは、リニアアレイカメラ１１の画素数は、例えば２０４８、各画素の縦横比は２：１のものを使用している。被検査体上の幅方向の分解能は０．１２５ｍｍとなっている。長手方向の分解能は、リニアアレイカメラ１１は受光角６０度で撮像するとすると、０．１２５×２／cos６０＝５ｍｍに相当している。サンプルクロック発生器１２は、リニアアレイカメラ１１の走査用の周波数２．５ＭＨｚのクロックパルスを発生する。
【００２８】
カメラコントローラ１３は、カメラ１１からの映像信号の採取と記録を制御する。このカメラコントローラ１３の制御対象は、カメラ１１からの映像信号をデジタル化するＡ／Ｄコンバータ１４（の変換開始）、映像信号用メモリ１５への映像信号の記録（デジタル信号の書き込み）である。映像信号用メモリ１５は、デュアルポートメモリを用いており、一方のポートＡで、カメラコントローラ１３からのタイミングに従って映像信号をそれぞれ対応するアドレスに記憶し、他方のポートＢから、別のタイミングに従って映像信号を読み出すことができる。容量は、リニアアレイカメラ１１の画素数に合わせて２０４８バイトとする。
【００２９】
信号処理装置はＤＳＰ１６により構成され、映像信号用メモリ１５に格納されたデータと、ＤＳＰ演算用メモリ１７に格納されたデータとを用いて演算処理を行う。なお、映像信号用メモリ１５に通常のメモリ（ポート数：１）を用いた場合には、書き込みのタイミングを避けて読み出しを行うようにすればよい。
【００３０】
ここでは、外部からのトリガパルスの割り込みにより、映像信号用メモリ１５に格納されたデータを読み出して、演算用メモリ１７のデータに画素毎に加算する。トリガパルスは、エンコーダにより被検査体がΔ／Ｎ移動する毎に発生させる。ここでは、Δ＝３ｍｍ，Ｎ＝６としている。これにより、演算用メモリ１７には、画素毎に映像信号の積算値が格納されることになる。
【００３１】
ＤＳＰ１６は、所定の積算回数Ｎ毎に積算値を積算回数Ｎで除算し、画素毎の平均値を算出し、出力回路１８に格納する。この出力回路１８も、ここではデュアルポートメモリを用いている。出力回路１８に格納されたデータは、図示しない外部の画像処理装置により読み出され、被検査用の信号として用いられる。
【００３２】
次に、本実施形態装置の動作について説明する。図２は、上記の各回路における信号のタイミングを示すタイムチャートである。カメラコントローラ１３関連の動作は、次のようになる。サンプルクロック発生器１２からは、２．５ＭＨｚの読み出しサンプルクロック２２が生成される。これに基づき、カメラコントローラ１３では、各種のパルス２１〜２４を発生する。
【００３３】
まず、スタートパルス２１は、以下に述べる画像処理用のデータを作成するための一連の動作を開始するための信号で、１．２５ｋＨｚである。これは、２０４８（２ｋ）画素を２．５ＭＨｚの読み出し周波数で読み出すときの繰り返し周波数に相当する。
【００３４】
このスタートパルス２１により、リニアアレイカメラ１１の読み出しが開始される。個々の画素は、読み出しサンプルクロック２２により読み出される。Ａ／Ｄスタートパルス２３は、サンプルクロック２２と同一周波数で、位相を読み出し完了の時刻に会わせておく。このＡ／Ｄスタートパルス２３により、Ａ／Ｄコンバータ１４が、読み出された映像信号のデジタル変換を開始し、デジタル変換後の映像信号をデータバスに出力する。
【００３５】
これと平行して、カメラコントローラ１３が、アドレスバスに個々の画素（の位置）に対応するアドレスを出力する。データとアドレスの準備が完了する頃、Ｒ／Ｗコントロールパルス２４が生成され、映像信号用メモリ１５に書き込みを指示し、個々の画素の映像信号の書き込みが行われる。
【００３６】
このようにして、画素の読み出しからメモリへの書き込みに至る個々の画素についての動作が総じて（この場合、２０４８画素）完了すると、再度スタートパルス２１が生成され、上記の一連の動作が繰り返される。この繰り返しの周期（スタートパルス２１の周期）は、以下に述べる画像処理用のデータ処理の周期とは全く無関係に、一定の周期（ここでは、１．２５ｋＨｚ）で行われる。
【００３７】
次に、ＤＳＰ１６関連の動作について説明する。エンコーダパルス２６は、被検査体上一定移動距離毎に生成されるパルスであり、ここでは０．５ｍｍに設定されている。平均値間引間隔パルス２５は、一定数のエンコーダパルス２６毎に生成されるパルスである。ここではエンコーダパルス６個に対して、平均値間引間隔パルス２５が１個対応している。この平均値間引き間隔パルス２５は、外部から与えても良く、ＤＳＰ１６自身でエンコーダパルス２６をカウントして生成してもよい。
【００３８】
撮像素子の１画素の縦横比が１：１のリニアアレイカメラを使用した場合には、少なくとも被検査体が０．２５ｍｍ移動する毎に、合計エンコーダパルス１２個に対して積算及び平均を演算する必要があり、信号処理をより高速に行う必要がある。
【００３９】
ＤＳＰ１６は、外部からのエンコーダパルス２６により割り込みが入ると、映像信号用メモリ１５のポートＢから内部データの読み出しを行う。この際、ＤＳＰ１６からアドレスパスにアドレスが出力され、次いでＲ／Ｗコントロール（読み出し可パルス）が出力される。これを受けて映像信号用メモリ１５は、そのアドレスに対応する内部データを、ポートＢからデータバスに出力する。ＤＳＰ１６は、このデータを取り込み、今後は演算用メモリ１７から、同一のアドレスに対応する内部データを読み出す。その後、ＤＳＰ１６はこれらのデータを加算し、結果を演算用メモリ１７の同じアドレス（画素に対応）に戻す。
【００４０】
なお、Ｒ／Ｗコントロールパルス２４は、図１の回路では３つのメモリに同時に出されるので、読み書きを行うメモリを指定する必要がある。その場合は、デコーダ等で目的のメモリを選択しチップイネーブルとすることで、そのメモリのみを読み書き可能とすればよい。
【００４１】
ＤＳＰ１６は、このように一定数のエンコーダパルス２６についてデータの加算を行った後、平均間引間隔パルス２５により、平均値を算出する。これは、演算用メモリ１７から内部データを読み出して、画素毎に一定数（この例では５）で除算して行う。ＤＳＰ１６は、算出した平均値を、出力回路１８の一方のポートから書き込む。その後、次のエンコーダパルス２６によりデータの加算が開始され、上記の動作が繰り返される。
【００４２】
この出力回路１８のデータが、画像処理用のデータであり、他方のポートから書き込みのタイミングによらず読み出すことができる。但し、画像処理用のデータの読み出しは、出力回路１８のデータが更新される前に、即ち次の平均間引間隔パルス２５の前に行う必要がある。
【００４３】
図３は、上記の実施形態における信号処理装置（ＤＳＰ）１６の動作を示すフローチャートである。まず、ステップ３０１でエンコーダパルス２６の割り込みが入ると、ステップ３０３でカウント数が判定され、カウント数が一定値未満の場合、ステップ３０４で読み出しアドレスＮを０にリセットし、ステップ３０５〜３１０の読み出しループに入る。
【００４４】
読み出しループでは、ステップ３０５で映像信号用メモリ１５からアドレスｎのデータを読み出し、ステップ３０６で演算用メモリ１７の対応するアドレスのデータと加算し、ステップ３０７で結果を演算用メモリ１７の同じアドレスにストアする。そして、ステップ３０８でアドレスｎを判定し、アドレスｎが上限値未満であれば、ステップ３１０でアドレスｎに１を加算し、ステップ３０５〜３０８を反復する。
【００４５】
ステップ３０８でアドレスｎが上限値（ここでは２０４７）に到達したと判定すると、ステップ３０９でカウント値を１だけインクリメントし、リターン（待機状態）となり、次のエンコーダパルス２６の割り込み（ステップ３０１）を待つ。
【００４６】
一方、ステップ３０３でカウント数が上限値Ｎに到達したと判定すると、ステップ３２０で読み出しアドレスｎを０にリセットし、平均値間引ループに入る。なお、このループでは出力回路１８のデータ更新を行うので、ループに入る前に、ステップ３１９で読み出し可フラグをＯＦＦにしておく。平均値間引きループでは、ステップ３２１，３２２で、ステップ３０５，３０６と同じ動作を行い、映像信号用メモリ１５からアドレスｎのデータを読み出し、演算用メモリ１７の対応するアドレスのデータと加算する。その後、ステップ３２４で演算用メモリ１７のアドレスｎのデータをカウント数の上限値Ｎ（ここでは６）で除算し、ステップ３２５で出力回路１８にストアする。その後、演算用メモリ１７を初期化しておく。
【００４７】
そして、次のエンコーダパルス２６により、データの加算が開始され、上記の動作が繰り返される。ステップ３２６でアドレスｎが判定され、アドレスｎが上限値未満であれば、ステップ３２７でアドレスｎに１を加算し、ステップ３２１〜３２６を反復する。
【００４８】
ステップ３２６でアドレスｎが上限値（ここでは２０４７）に到達したと判定すると、ステップ３２８で読み出し可フラグをＯＮにし、出力回路１８の別のポートからの読み出しを許可する。次いで、ステップ３２９でカウント数を初期化し、ステップ３３０でリターン（待機状態）となり、次のエンコーダパルス２６の割り込み（ステップ３０１）を待つことになる。
【００４９】
このように本実施形態によれば、ラインセンサカメラ１１の１画素サイズの縦／横比をｎ：１（ｎ＞１）とし、ラインセンサカメラ１１による受光角θ、撮像範囲δｙ／cosθ及び被検査体の最低速度Ｖminを前記 (3)式のように設定することにより、画像メモリの必要量が少なくて済むと共に、被検査体の移動速度によらず被検査体の面積当たりの画素数を一定に保つことができ、しかも移動速度が高速の場合でも処理速度を低く抑えることが可能となる。このため、移動速度が大幅に変化する場合でも被検査体の移動方向の分解能が一定でかつ画像採取の見落としのない画像処理装置を安価に構成することができ、より高速の移動体に対して適用することが可能になる。
【００５０】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。実施形態では、ラインセンサカメラとしてＣＣＤカメラを用いたが、ＣＣＤに限らず各種の固体撮像装置を用いることができる。さらに、撮像装置の画素サイズや画素数等は、仕様に応じて適宜変更可能である。また、実施形態ではラインセンサカメラの画素サイズを撮像素子配列方向に対し被測定体移動方向の方で大きくしたが、この代わりに被測定体の移動方向について像をぼかすシリンドリカルレンズ等の光学部材をラインセンサカメラの受光側前段に配置してもよい。
【００５１】
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、（１）ラインセンサカメラの画素サイズを撮像素子配列方向よりも被測定体移動方向の方を大きくする、（２）ラインセンサカメラの受光側前段に被測定体の移動方向について像をぼかす光学部材を配置する、（３）ラインセンサカメラによる受光角θ、撮像範囲δｙ／cosθ及び被検査体の最低速度Ｖminが、δｙ／cosθ＋Ｖmin・δｔ≧Δ／Ｎを満たすように設定する、の何れか又はこれらの組合せを採用することにより、画像メモリの容量が少なくて済み、かつ被検査体の移動速度が大幅に変化する場合でも移動方向の分解能を一定に保つことができ、画像採取の見落としのない良好な画像処理を行い得る移動物体の画像処理装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係わる画像処理装置の概略構成を示すブロック図。
【図２】各信号のタイミングを示すタイムチャート。
【図３】実施形態における信号処理装置（ＤＳＰ）の動作を示すフローチャート。
【図４】速度Ｖで走行している被検査体を受光角θでリニアアレイカメラにより撮像する様子を示す図。
【図５】リニアアレイカメラの１画素に対応する被検査体上の撮像範囲を示す図。
【符号の説明】
１１…リニアアレイカメラ
１２…サンプルクロック発生器
１３…カメラコントローラ
１４…Ａ／Ｄ変換器
１５…映像信号用メモリ
１６…ＤＳＰ
１７…ＤＳＰ演算用メモリ
１８…出力回路
２１…スタートパルス
２２…サンプルクロック
２３…Ａ／Ｄスタートパルス
２４…Ｒ／Ｗコントロールパルス
２５…平均値間引間隔パルス
２６…エンコーダパルス
４１…被検査体
４２…リニアアレイカメラ
【図１】
0003641994.tif 000002
【図２】
0003641994.tif 000003
【図３】
0003641994.tif 000004
【図４】
0003641994.tif 000005
【図５】
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