(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査ステーションに配置された基準面を有する基準ベースと、
板材を検査ステーションに搬入して前記板材の板面を前記基準面に向けた状態で前記板材を前記基準面上に載置し、検査後に前記検査ステーションから前記板材を搬出する搬送装置と、
前記基準ベースの前記基準面に載置されて静止した前記板材の前記基準面からの反り量が許容範囲内にあるか否かを検査する反り検査器とを具備する板材の反り検査装置であって、
前記反り検査器は、帯状の光線を出す発光手段と前記発光手段から出た帯状の光線を受光する受光手段とが組み合わされてなる第１及び第２の反り検査ユニットと、前記第１及び第２の反り検査ユニットの出力に基づいて前記板材の前記基準面からの反り量が前記許容範囲内にないときに反り検出信号を出力する判定部とからなり、
前記第１及び第２の反り検査ユニットを構成する前記発光手段及び前記受光手段は、それぞれ前記基準ベースの前記基準面とほぼ平行に前記帯状の光線が延びるように前記基準面の両側に配置され、
前記第１及び第２の反り検査ユニットは、それぞれのユニットで用いる前記帯状の光線が前記板材の大きさに応じた所定の間隔をあけてほぼ平行に延びる位置関係で配置され、
前記基準ベースの前記基準面と前記帯状の光線との間の距離によって前記許容範囲が定められ、
前記反り検査器の前記判定部は前記第１及び第２の反り検査ユニットの少なくとも１つの前記反り検査ユニットにおいて受光量の減少を検出すると前記反り検出信号を出力するように構成されている板材の反り検査装置。
【請求項２】
検査ステーションに配置された基準面を有する基準ベースと、
板材を検査ステーションに搬入して前記板材の板面を前記基準面に向けた状態で前記板材を前記基準面上に載置し、検査後に前記検査ステーションから前記板材を搬出する搬送装置と、
前記基準ベースの前記基準面に載置されて静止した前記板材の前記基準面からの反り量が許容範囲内にあるか否かを検査する反り検査器とを具備する板材の反り検査装置であって、
前記反り検査器は、帯状の光線を出す発光手段と前記発光手段から出た帯状の光線を受光する受光手段とが組み合わされてなる第１乃至第３の反り検査ユニットと、前記第１乃至第３の反り検査ユニットの出力に基づいて前記板材の前記基準面からの反り量が前記許容範囲内にないときに反り検出信号を出力する判定部とからなり、
前記第１乃至第３の反り検査ユニットを構成する前記発光手段及び前記受光手段は、それぞれ前記基準ベースの前記基準面とほぼ平行に前記帯状の光線が延びるように前記基準面の両側に配置され、
前記第１及び第２の反り検査ユニットは、それぞれのユニットで用いる前記帯状の光線が前記板材の大きさに応じた所定の間隔をあけてほぼ平行に延びる位置関係で配置され、
前記第３の反り検査ユニットは前記第１及び第２の反り検査ユニットの間に配置され、
前記基準ベースの前記基準面と前記帯状の光線との間の距離によって前記許容範囲が定められ、
前記反り検査器の前記判定部は、前記第１乃至第３の反り検査ユニットの少なくとも１つの反り検査ユニットにおいて受光量の減少を検出すると前記反り検出信号を出力するように構成されている板材の反り検査装置。
【請求項３】
前記第１及び第２の反り検査ユニットは、それぞれのユニットで用いる前記帯状の光線が、前記板材の搬入方向とほぼ直交する方向に延びるように配置され、
前記第１及び第２の反り検査ユニットの間隔は前記搬入方向両側に位置する前記板材の２つの辺の反りを検出するように定められている請求項１または２に記載の板材の反り検査装置。
【請求項４】
前記第１及び第２の反り検査ユニットは、両者間の間隔が調整可能に設けられている請求項１または２に記載の板材の反り検査装置。
【請求項５】
検査ステーションに配置された基準面を有する基準ベースと、
板材を検査ステーションに搬入して前記板材の板面を前記基準面に向けた状態で前記板材を前記基準面上に載置し、検査後に前記検査ステーションから前記板材を搬出する搬送装置と、
前記基準ベースの前記基準面に載置された前記板材の前記基準面からの反り量が許容範囲内にあるか否かを検査する反り検査器とを具備する板材の反り検査装置であって、
前記反り検査器は、前記基準面と平行する向きでこの基準面とほぼ全体的に対向する帯状の光線を出す発光手段と前記発光手段から出た帯状の光線を受光する受光手段とが組み合わされてなる１つの反り検査ユニットと、前記反り検査ユニットの出力に基づいて前記板材の前記基準面からの反り量が前記許容範囲内にないときに反り検出信号を出力する判定部とからなり、
前記反り検査ユニットを構成する前記発光手段及び前記受光手段は、前記基準ベースの前記基準面とほぼ平行に前記帯状の光線が延びるように前記基準面の両側に配置され、
前記基準ベースの前記基準面と前記帯状の光線との間の距離によって前記許容範囲が定められ、
前記反り検査器の前記判定部は前記反り検査ユニットが受光量の減少を検出すると前記反り検出信号を出力するように構成されている板材の反り検査装置。
【請求項６】
前記基準ベースは前記反り検査ユニットに対する位置の調整を可能にする位置調整機構を備えた支持手段によって支持されている請求項１，２または５に記載の板材の反り検査装置。
【請求項７】
前記搬送装置は前記板材の前記板面と接触して前記板材を搬送する回転ベルトを備えたベルトコンベアからなり、
前記基準ベースの前記基準面側の表面部には、前記回転ベルトの厚み寸法よりも深さ寸法が長く且つ前記回転ベルトが通過するベルト通過溝が形成され、
更に、前記ベルトコンベアの前記回転ベルトの上に乗って搬送されてきた前記板材を前記基準ベースの前記基準面に対応した位置で停止させる板材ストッパ機構と、少なくとも前記ベルト通過溝内における前記回転ベルトの上下位置を変更するベルト位置変更装置とを備え、
前記ベルト位置変更装置は前記板材が前記板材ストッパ機構によって停止させられるまでは前記回転ベルトの前記板材の前記板面と接触する接触面を前記ベルト通過溝の開口面より上に位置させ、前記板材が前記板材ストッパ機構によって停止させられて反り検査が実行されているときには、前記回転ベルトの前記接触面を前記ベルト通過溝の開口面より下に位置させるように構成されている請求項１，２または５に記載の板材の反り検査装置。
【請求項８】
前記板材ストッパ機構は、ストッパ部材と、前記ストッパ部材を板材停止位置または退避位置に移動させるストッパ部材移動装置とを具備し、
前記ストッパ部材は、前記板材停止位置にあるときに、前記板材の前記搬送方向側の辺と当接して前記板材を停止させるが前記回転ベルトの通過は許容するように構成され、
前記ストッパ部材移動装置は、前記ベルト位置変更装置の動作によって前記回転ベルトの前記接触面が前記ベルト通過溝の開口面より下に位置すると、前記ストッパ部材を前記搬送方向側に移動させて前記ストッパ部材を前記退避位置に退避させ、反りの検査が終了して前記板材が前記検査ステーションから搬出された後に前記ストッパ部材を前記板材停止位置に移動させるように構成されている請求項７に記載の板材の反り検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路基板のような板材の反りを検査する板材の反り検査装置に関するねのである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、回路基板の製造に際しては、これを製造する各工程の終りで基板の反りの検査を行っている。このように各工程の終りで基板の反りの検査を行うのは、例えばパターン印刷工程の前工程で基板に反りが発生していると、パターン印刷工程で印刷時の光学像がゆがみ、正確なパターンを印刷できないことになるからである。
【０００３】
このような基板の反りの検出を従来は、基板の搬送経路の途中にゲートを設けて、反りが生じている基板はこのゲートを通過できないようにして反りを検査するゲート方式の反り検査装置か、あるいは基板の搬送経路の途中に基準面を有する基準ベースと、この基準面の四隅の上方にそれぞれに対向させて静電容量センサを対向配置し、各静電容量センサの静電容量値の違いで反りを検査する静電容量式の反り検査装置等が用いられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ゲート方式の反り検査装置では、反りのある基板が搬送装置で送られてきてゲートを通過できずにその位置で停止すると、次々に送られてくる基板も反りのある基板に進行を阻止されて停止することになり、反り検査を円滑に行えない問題点がある。
【０００５】
一方、静電容量式の反り検査装置では、搬送経路の途中に基準面を有する基準ベースを昇降自在に配置し、搬送装置で基板が運ばれてきて基準ベースの真上に到達したとき、基準ベースを上昇させて基板を搬送装置から浮かせ、基準ベースの上昇位置でその基準面の四隅の上方にそれぞれに対向して存在する各静電容量センサが測定する静電容量値の違いで基板の反りを検査する構造であるため、基準ベースの上昇位置が測定精度に影響を及ぼし、換言すれば検査すべき基板の位置決めに高い精度が要求され、検査を正しく行い難い問題点があった。またこの装置では、４つの静電容量センサを必要とし、その測定感度を一定に揃える調整を４箇所で行わなければならず、調整に手間と時間がかかる問題点があった。
【０００６】
本発明の目的は、反りのある板材が検出されても、次に検査する板材の検査に支障を及ぼさない板材の反り検査装置を提供することにある。
【０００７】
本発明の他の目的は、検査すべき板材の位置決めにそれほど高い精度が要求されない板材の反り検査装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、検査すべき板材の四隅の反りを個々に検査しなくても板材の反りを検査することができる板材の反り検査装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、検査すべき板材の反りが基準面に向かって凹となる反りであっても検出を行える板材の反り検査装置を提供することにある。
【００１０】
本発明の他の目的は、反り検査ユニットの設置が容易な板材の反り検査装置を提供することにある。
【００１１】
本発明の他の目的は、大きさの異なる板材であっても、その反りの検査ができる板材の反り検査装置を提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、１つの反り検査ユニットで、板材のどのような反りでも検査できる板材の反り検査装置を提供することにある。
【００１３】
本発明の他の目的は、厚みや材質の異なる板材の反りを検査する場合の反りの許容範囲の調整ができる板材の反り検査装置を提供することにある。
【００１４】
本発明の他の目的は、検査のたびに板材を搬送装置から浮かすために基準面を上下させる必要がない板材の反り検査装置を提供することにある。
【００１５】
本発明の更に他の目的は、検査ステーションに板材を停止させたストッパ部材をこの板材から逃がす際に板材を上下振動させない板材の反り検査装置を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、検査ステーションに配置された基準面を有する基準ベースと、板材を検査ステーションに搬入してその板材の板面を基準面に向けた状態で板材を基準面上に載置し、検査後に検査ステーションから板材を搬出する搬送装置と、基準ベースの基準面に載置されて静止した板材の基準面からの反り量が許容範囲内にあるか否かを検査する反り検査器とを具備する板材の反り検査装置を改良するものである。
【００１７】
このような板材の反り検査装置において、反り検査器は、帯状の光線を出す発光手段とこの発光手段から出た帯状の光線を受光する受光手段とが組み合わされてなる第１及び第２の反り検査ユニットと、これら第１及び第２の反り検査ユニットの出力に基づいて板材の基準面からの反り量が許容範囲内にないときに反り検出信号を出力する判定部とで構成する。第１及び第２の反り検査ユニットを構成する発光手段及び受光手段は、それぞれ基準ベースの基準面とほぼ平行に帯状の光線が延びるように基準面の両側に配置する。第１及び第２の反り検査ユニットは、それぞれのユニットで用いる帯状の光線が板材の大きさに応じた所定の間隔をあけてほぼ平行に延びる位置関係で配置する。板材の反りの許容範囲は、基準ベースの基準面と帯状の光線との間の距離によって定める。反り検査器の判定部は、第１及び第２の反り検査ユニットの少なくとも１つの反り検査ユニットにおいて受光量の減少を検出すると反り検出信号を出力するように構成する。
【００１８】
このような板材の反り検査装置では、第１及び第２の反り検査ユニットを構成する発光手段及び受光手段をそれぞれ基準ベースの基準面とほぼ平行に帯状の光線が延びるように基準面の両側に配置して、基準ベースの基準面の上に置かれた板材の反りを検査する。即ち、基準ベースの基準面の上に置かれた板材が反っていて、発光手段が出す帯状の光線を遮ると、受光手段が受光する受光量が減少して、判定部が反りありと判定して反り検出信号を出力する。回路基板等の板材は、反る方向が通常決まっており、その反りの有無の検査をする際には、通常、板材はその反りが基準面から離れて上向きに凸となる向きで搬送装置に供給することが行われているので、板材に反りがあれば反り検査ユニットで容易に検出することができる。
【００１９】
本発明のように発光手段と受光手段とを組み合わせた第１及び第２の反り検査ユニットを用いて、これら第１及び第２の反り検査ユニットを構成する発光手段及び受光手段をそれぞれ基準ベースの基準面とほぼ平行に帯状の光線が延びるように基準面の両側に配置して検査をすると、板材の上方から静電容量センサで検査する場合と違って、検査のときの板材の位置決め精度はそれほど高くなくてよく、検査を容易に行うことができる。
【００２０】
また、基準面の両側に発光手段と受光手段とを配置して検査をする第１及び第２の反り検査ユニットによれば、検査すべき板材の四隅の反りを個々に検査しなくても板材の反りを検査することができ、少ない数の検査ユニットを用いて検査を行うことができ、反り検査装置の価格が安くなる。また、検査ユニットの数が少ない分だけ、検査ユニットの位置決めや設定作業が楽になる。
【００２１】
この装置では、発光手段は帯状の光線を出し、受光手段はこの帯状の光線を受光するので、線状の光線と違って、この光線の帯状の幅内に板材の反り部分が入っていれば板材の反りを検出することができ、反りの検出を安定して容易に行うことができる。
【００２２】
本発明の装置で、特に、反り検査器を、帯状の光線を出す発光手段とこの発光手段から出た帯状の光線を受光する受光手段とが組み合わされてなる第１乃至第３の反り検査ユニットと、これら第１乃至第３の反り検査ユニットの出力に基づいて板材の基準面からの反り量が許容範囲内にないときに反り検出信号を出力する判定部とで構成し、これら第１乃至第３の反り検査ユニットを構成する発光手段及び受光手段をそれぞれ基準ベースの基準面とほぼ平行に帯状の光線が延びるように基準面の両側に配置すると共に第３の反り検査ユニットを第１及び第２の反り検査ユニットの間に配置し、反り検査器の判定部を第１乃至第３の反り検査ユニットの少なくとも１つの反り検査ユニットが受光量の減少を検出した際に反り検出信号を出力するように構成すると、板材の四隅のいずれかが上向きになる反りは勿論のこと、誤って板材がその四隅の反りが下向きになる向きで供給されても、この場合には板材の中央側が上向きに凸になっているので第３の反り検査ユニットでその反りを検出することができる。
【００２３】
本発明で用いる第１及び第２の反り検査ユニットは、それぞれのユニットで用いる帯状の光線が、板材の搬入方向とほぼ直交する方向に延びるように配置し、第１及び第２の反り検査ユニットの間隔を搬入方向両側に位置する板材の２つの辺の反りを検出するように定めると、反り検査ユニットを構成する発光手段と受光手段とを板材の搬入方向とほぼ直交する方向の両側に配置すればよく、反り検査ユニットの設置を容易に行うことができる。
【００２４】
また、第１及び第２の反り検査ユニットを、両者間の間隔が調整可能となるように設けると、大きさの異なる板材であっても、その大きさに合わせて第１及び第２の反り検査ユニット間の間隔を調整することにより、大きさの異なる板材であっても、その反りの検査を行うことができる。
【００２５】
また本発明の装置で、特に、反り検査器を、基準面と平行する向きでこの基準面とほぼ全体的に対向する帯状の光線を出す発光手段とこの発光手段から出た帯状の光線を受光する受光手段とが組み合わされてなる１つの反り検査ユニットと、この反り検査ユニットの出力に基づいて板材の基準面からの反り量が許容範囲内にないときに反り検出信号を出力する判定部とで構成し、反り検査ユニットを構成する発光手段及び受光手段を基準ベースの基準面とほぼ平行に帯状の光線が延びるように基準面の両側に配置すると、１つの反り検査ユニットで、板材のどのような反りでも検査することができる。
【００２６】
また本発明の装置で、基準ベースを、反り検査ユニットに対する位置の調整を可能にする位置調整機構を備えた支持手段によって支持させると、厚みや材質の異なる（反り量の異なる）板材の反りを検査する場合の反りの許容範囲の調整を容易に行うことができる。反り検査ユニット側を動かすと、反り検査ユニットの設定のやり直しが必要になるが、基準ベースを移動させる場合にはこのような設定のやり直しが不要になる。
【００２７】
また本発明の装置は、搬送装置を板材の板面と接触してこの板材を搬送する回転ベルトを備えたベルトコンベアで構成し、基準ベースの基準面側の表面部には回転ベルトの厚み寸法よりも深さ寸法が長く且つ回転ベルトが通過するベルト通過溝を形成することが好ましい。更に、ベルトコンベアの回転ベルトの上に乗って搬送されてきた板材を基準ベースの基準面に対応した位置で停止させる板材ストッパ機構と、少なくともベルト通過溝内における回転ベルトの上下位置を変更するベルト位置変更装置とを備えて、ベルト位置変更装置は板材が板材ストッパ機構によって停止させられるまでは回転ベルトの板材の板面と接触する接触面をベルト通過溝の開口面より上に位置させ、板材が板材ストッパ機構によって停止させられて反り検査が実行されているときには、回転ベルトの接触面をベルト通過溝の開口面より下に位置させるように構成することが好ましい。
【００２８】
このように基準ベースの基準面側の表面部に回転ベルトの厚み寸法よりも深さ寸法が長く且つ回転ベルトが通過するベルト通過溝を形成し、このベルト通過溝内における回転ベルトの上下位置をベルト位置変更装置で変更すると、基準ベースの基準面を上昇させずに回転ベルトの方を下降させることにより、板材を回転ベルトから浮かして基準ベースの基準面上に置くことができ、検査のたびに板材を搬送装置から浮かすために基準面を上下させる必要がない板材の反り検査装置を提供することができる。このように基準ベースの基準面の位置を変えないで検査が行えると、基準面の位置の変化による誤差が入らず、検査を容易に精度よく行うことができる。
【００２９】
また、板材ストッパ機構によりベルトコンベアの回転ベルトの上に乗って搬送されてきた板材を基準ベースの基準面に対応した位置で容易に停止させることができる。
【００３０】
また本発明の装置で、板材ストッパ機構を、ストッパ部材と、このストッパ部材を板材停止位置または退避位置に移動させるストッパ部材移動装置とで構成し、且つストッパ部材を、板材停止位置にあるときに、板材の搬送方向側の辺と当接して板材を停止させるが回転ベルトの通過は許容するように構成することが好ましい。またストッパ部材移動装置は、ベルト位置変更装置の動作によって回転ベルトの接触面がベルト通過溝の開口面より下に位置させた際に、ストッパ部材を搬送方向側に移動させて退避位置に退避させ、反りの検査が終了して板材が検査ステーションから搬出された後にストッパ部材を板材停止位置に移動させるように構成することが好ましい。
【００３１】
このようにベルト位置変更装置の動作によって回転ベルトの接触面がベルト通過溝の開口面より下に位置した際に、ストッパ部材移動装置がストッパ部材を搬送方向側に移動させて退避位置に退避させると、検査ステーションに板材を停止させたストッパ部材をこの板材から逃がす際に、ストッパ部材を上下方向に逃がすタイプのものと違って、板材を上下振動させることがなく、このため板材の反りの検出精度を悪化させることなく安定して検査を行うことができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
図１（Ａ）（Ｂ）乃至図４は本発明に係る板材の反り検査装置における実施の形態の第１例を示したものであり、図１（Ａ）はこの反り検査装置における要部平面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）の側面図、図２は図１（Ａ）のＸ−Ｘ線断面図、図３は第１例で用いているベルト位置変更機構と搬送装置との関係を示す一部縦断側面図、図４は第１例で回転ベルトが下降された状態における回転ベルト，基準ベース，板材の相互関係を示す縦断側面図である。
【００３３】
この板材の反り検査装置では、検査ステーション１に基準ベース２がその基準面２ａを上に向けて水平向きに設置されている。基準ベース２は後述する反り検査ユニットに対する位置の調整を可能にするように位置調整機構３ａを備えた支持手段３によって支持されている。位置調整機構３ａは、例えばラックとピニオンとによる構造のもの、或いはスクリューネジとその回転で昇降するナットブロックとによる構造のもの等を用いることができる。回路基板の如き板材４は、搬送装置５によって検査ステーション１に搬入されて、板面を基準面２ａに向けた状態でこの基準面２ａ上に載置され、検査後に検査ステーション１から搬出されるようになっている。
【００３４】
図３に詳しく説明するように、この搬送装置５は、板材４の板面と接触して板材４を搬送するエンドレスの２本の回転ベルト６と、これら回転ベルト６の長手方向の両端でこれら回転ベルト６を掛け渡しているローラ７と、このローラ７を回転させるモータ８と備えたベルトコンベアで構成されている。基準ベース２の基準面２ａ側の表面部には、回転ベルト６の厚み寸法よりも深さ寸法が長く且つ回転ベルト６を通過させように縦断させてベルト通過溝９が形成されている。
【００３５】
搬送装置５の回転ベルト６の上に乗って搬送されてきた板材４を基準ベース２の基準面２ａに対応した位置で停止させるために板材ストッパ機構１０が、板材４の移動方向に対して基準ベース２の下流側の位置に設けられている。この板材ストッパ機構１０は、ストッパ部材１０ａと、このストッパ部材１０ａを板材停止位置または退避位置に移動させる油圧シリンダの如きストッパ部材移動装置１０ｂとを具備して構成されている。ストッパ部材１０ａは、板材停止位置にあるときに、板材４の搬送方向側の辺と当接して板材４を停止させるが回転ベルト６の通過は許容するように上面にベルト通過溝１０ｃを備えている。ストッパ部材移動装置１０ｂは、後述するベルト位置変更装置の動作によって回転ベルト６の接触面をベルト通過溝９の開口面より下に位置させた際に、ストッパ部材１０ａを搬送方向側に移動させて退避位置に退避させ、反りの検査が終了して板材４が検査ステーション１から搬出された後にストッパ部材１０ａを板材停止位置に移動させるように構成されている。
【００３６】
図３に示すように、この板材の反り検査装置は、少なくともベルト通過溝９内における回転ベルト６の上下位置を変更するベルト位置変更装置１１を備えている。このベルト位置変更装置１１は、搬送装置５の前後のローラ７を同時に昇降させる油圧シリンダ１１ａ，１１ｂにより構成されている。このようなベルト位置変更装置１１は、板材４が板材ストッパ機構１０によって停止させられるまでは図３に示すように回転ベルト６の板材４の板面と接触する接触面６ａをベルト通過溝９の開口面９ａより上に位置させ、板材４が板材ストッパ機構１０によって停止させられて反り検査が実行されているときには、図４に示すように回転ベルト６の接触面６ａをベルト通過溝９の開口面９ａより下に位置させるように制御する構造になっている。
【００３７】
検査ステーション１には、基準ベース２の基準面２ａに載置されて静止した板材４の基準面２ａからの反り量が許容範囲内にあるか否かを検査する反り検査器１２が配置されている。反り検査器１２は、帯状の光線１３，１４を出す発光手段１５ａ，１６ａと、これら発光手段１５ａ，１６ａから出た帯状の光線１３，１４を受光する受光手段１５ｂ，１６ｂとが組み合わされてなる第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６と、第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６の出力に基づいて板材４の基準面２ａからの反り量が許容範囲内にないときに反り検出信号を出力する判定部１７とで構成されている。板材４の基準面２ａからの反り量の許容範囲は、基準ベース２の基準面２ａと帯状の光線１３，１４との間の距離によって定められている。
【００３８】
これら第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６を構成する発光手段１５ａ，１６ａ及び受光手段１５ｂ，１６ｂは、それぞれ基準ベース２の基準面２ａとほぼ平行に帯状の光線１３，１４が延びるようにして基準面２ａの両側に配置されている。この場合には、第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６は、それぞれのユニットで用いる帯状の光線１３，１４が、板材４の搬入方向とほぼ直交する方向に延びるように配置されている。
【００３９】
第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６の間隔は、板材４の大きさに応じた所定の間隔をあけてほぼ平行に延びる位置関係で配置され、搬入方向の両側に位置する板材４の２つの辺の反りを検出するように定められている。このため第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６は、両者間の間隔が調整可能に設けられている。第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６の間隔の調整は、板材４の移動方向に対して下流側に存在する第２の反り検査ユニット１６を固定として、発光手段１５ａと受光手段１５ｂとからなる第１の反り検査ユニット１５を例えば共通の架台に支持させておいてこの架台を図示しないスクリューネジ等のユニット移動手段で第２の反り検査ユニット１６の方向に平行移動させることが好ましい。
【００４０】
反り検査器１２の判定部１７は、第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６の少なくとも１つの反り検査ユニットにおいて受光量の減少を検出すると、反り検出信号を出力するように構成されている。
【００４１】
次に、かかる構成の反り検査装置の動作について説明する。この板材の反り検査装置では、検査すべき板材４の四隅のいずれかに反りがあった場合、その反りが上向きになる面側を上にしてサプライ側で板材４が搬送装置４の各回転ベルト６の上に跨がって載せられて検査ステーション１に搬送される。反りは主に板材４の四隅に現れ、このため反りが現れた板材４の隅部は上向きに反り返る。
【００４２】
このとき検査ステーション１では、図１（Ｂ）に示すように基準ベース２の下流側の末端位置でストッパ部材１０ａがストッパ部材移動装置１０ｂの操作により基準ベース２の基準面２ａより上にストッパ部材１０ａの一部が存在するようにして待機させられている。また、基準ベース２の位置では、各回転ベルト６は基準面２ａの上方を通過している。これら回転ベルト６の通過を邪魔しないようにストッパ部材１０ａの上部には、前述したようにベルト通過溝１０ｃが設けられている。
【００４３】
各回転ベルト６で運ばれてきた板材４がストッパ部材１０ａに当たると、図示しないセンサがこれを検出してベルト位置変更装置１１に信号を出し、これにより油圧シリンダ１１ａ，１１ｂが作動して搬送装置５の前後のローラ７を同時に下降させる。この操作により搬送装置５の各回転ベルト６が下降して図４に示すように基準ベース２の各ベルト通過溝９に入り、これらベルト通過溝９内を通って走行する状態になる。この状態になると、板材４は各回転ベルト６で支えられた状態から離れて、基準ベース２の基準面２ａに支えられた状態に変わる。またこの状態になると、ストッパ部材移動装置１０ｂの操作によりストッパ部材１０ａが搬送方向側に移動されて退避位置に退避させられる。ストッパ部材１０ａの退避が搬送方向側に行われると、ストッパ部材１０ａの退避が真下に向けて行われる場合に生ずるストッパ部材１０ａが板材４の端縁を下向きにこすって板材４に上下振動を起こすのを回避することができ、板材４を基準面２ａ上で静止状態に保持できる。
【００４４】
かかる状態で、反り検査器１２の第１，第２の反り検査ユニット１５，１６により基準面２ａ上の板材４の反りがあるか否かの検査を行う。この検査は、第１，第２の反り検査ユニット１５，１６の発光手段１５ａ，１６ａから帯状の光線１３，１４を図５に示すように板材４の搬送方向の前後両端の位置をカバーできるような位置関係で出すことにより行う。帯状の光線１３，１４の高さは、板材４に反りがなければこの板材４で各帯状の光線１３，１４が遮光されない位置に予め定められている。
【００４５】
このため板材４に反りがなければ、帯状の光線１３，１４は板材４で遮光されないので、判定部１７から反り検出信号がでない。このように反り検出信号が出なかった板材４は、回路基板の製造に際しては搬送装置５の末端から次工程に運ばれて回路基板を製造するための次の加工を受ける。
【００４６】
板材４の四隅のいずれかに反りがあると、図５の場合では帯状の光線１３が一部遮光されるので、受光手段１５ｂに受光される光量が減少し、判定部１７から反り検出信号が出る。反り検出信号が出た板材４は、搬送装置５の末端から反り矯正工程に運ばれて反りの矯正を受ける。反りの矯正が終わった板材４は、再度反り検査をする。
【００４７】
１つの板材４の反りの検査が終了すると、ベルト位置変更装置１１の油圧シリンダ１１ａ，１１ｂが作動して搬送装置５の前後のローラ７を同時に上昇させる。この操作により、搬送装置５の各回転ベルト６が上昇して図３に示すように基準ベース２の基準面２ａの上方を各回転ベルト６が走行する状態に戻る。
【００４８】
このような操作が繰り返されて、多数枚の板材４の反りの検査が順次行われる。
【００４９】
図６（Ａ）（Ｂ）は本発明に係る板材の反り検査装置における実施の形態の第２例を示したものであり、（Ａ）はこの反り検査装置における要部平面図、（Ｂ）は（Ａ）の側面図である。
【００５０】
この反り検査装置においては、検査ステーション１の反り検査器１２が、板材４の進行方向の両端の反りの検査を行う第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６の他に、これら第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６の間にあって板材４の進行方向の中間の反りの検査を行う第３の反り検査ユニット１８を備えている点で第１例と相違している。この第３の反り検査ユニット１８は、帯状の光線９を出す発光手段１８ａと、これら発光手段１８ａから出た帯状の光線１９を受光する受光手段１８ｂとが組み合わされて構成されている。これら発光手段１８ａと受光手段１８ｂも、基準ベース２の基準面２ａとほぼ平行に帯状の光線１９が延びるようにして基準面２ａの両側に配置されている。この場合も、第３の反り検査ユニット１８は、帯状の光線１９が板材４の搬入方向とほぼ直交する方向に延びるように配置されている。受光手段１８ｂからの検出信号は判定部１７に入力されている。判定部１７は、いずれかの反り検査ユニット１５，１６，１８の受光手段１５ｂ，１６ｂ，１８ｂから減光信号が入力されると、反り検出信号を出すようになっている。その他の構成は、第１例と同様である。
【００５１】
このような構成の板材の反り検査装置によれば、誤って反りの方向が逆向きの板材４が供給されて、前述したようにストッパ部材１０ａで停止させられ、搬送装置５の下降で該板材４が基準ベース２の基準面２ａに載せられた場合、この板材４では反りが四隅のいずれかに現れているとすると、この反りで板材４の隅部は下向きに反り返り、この反り部分で持ち上げられて板材４の上面中央側が上に凸形に突出する形になっている。このため板材４は、第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６の発光手段１５ａ，１６ａ出す帯状の光線１３，１４を遮光しないが、第３の反り検査ユニット１８の発光手段１８ａが出す帯状の光線９を遮光することとなり、受光手段１８ｂの受光量が減少し、判定部１７に減光信号が入力されるので、判定部１７は反り検出信号を出す。この場合、判定部１７からは板材４の搬入姿勢が誤っていることを示す信号を出すことができる。
【００５２】
従って、反りの向きが逆向きになっている板材４の反りも、この第２例の反り検査装置によれば検出することができる。板材４の反りが図５のようなものは、第１例と同様に第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６でその反りを検出することができる。
【００５３】
図８（Ａ）（Ｂ）は本発明に係る板材の反り検査装置における実施の形態の第３例を示したものであり、（Ａ）はこの反り検査装置における要部平面図、（Ｂ）は（Ａ）の側面図である。
【００５４】
この反り検査装置においては、検査ステーション１の反り検査器１２が１つの反り検査ユニット２０で構成されている。この反り検査ユニット２０は、基準ベース２の基準面２ａと平行する向きでこの基準面２ａとほぼ全体的に対向する帯状の光線２１を出す発光手段２０ａとこの発光手段２０ａから出た帯状の光線２１を受光する受光手段２０ｂとの組み合わせで構成されている。発光手段２０ａは、並設した複数の光源を用いるか、１つの光源の光の幅を光学系を用いて広げること等により、所定幅の帯状の光線２１を得ることができる。これら発光手段２０ａと受光手段２０ｂも、基準ベース２の基準面２ａとほぼ平行に帯状の光線２１が延びるようにして基準面２ａの両側に配置されている。この場合も、反り検査ユニット２０は、帯状の光線２１が板材４の搬入方向とほぼ直交する方向に延びるように配置されている。受光手段２０ｂからの検出信号は判定部１７に入力されている。判定部１７は、受光手段２０ｂから減光信号が入力されると、反り検出信号を出すようになっている。その他の構成は、第１例と同様である。
【００５５】
このような１つの帯状の光線２１の幅が板材４全体をカバーできるようになっている反り検査ユニット２０を用いると、１つの反り検査ユニット２０で、板材４のどのような反りでも検査することができる。
【００５６】
なお、図１（Ａ）や図６（Ａ）に示す板材の反り検査装置においては、第１及び第２の反り検査ユニット１５，１６の発光手段１５ａ，１６ａと受光手段１５ｂ，１６ｂを、各回転ベルト６に沿ってこれら回転ベルト６の外側の基準ベース２の両側に配置することもできる。
【００５７】
また、ベルト位置変更装置１１は各ローラ７を軸受けスタンドでそれぞれ支持させておき、これら軸受けスタンドを共通のベース上に設置し、このベースを共通の昇降手段で昇降させる構成にすることもできる。
【００５８】
【発明の効果】
本発明に係る板材の反り検査装置では、第１及び第２の反り検査ユニットを構成する発光手段及び受光手段をそれぞれ基準ベースの基準面とほぼ平行に帯状の光線が延びるように基準面の両側に配置して、基準ベースの基準面の上に置かれた板材の反りを検査するので、基準ベースの基準面の上に置かれた板材が反っていれば発光手段が出す帯状の光線を遮って、受光手段が受光する受光量が減少し、判定部が反りありと判定して反り検出信号を出力することになり、板材の反りを光電的に容易に検出することができる。
【００５９】
本発明のように発光手段と受光手段とを組み合わせた第１及び第２の反り検査ユニットを用いて、これら第１及び第２の反り検査ユニットを構成する発光手段及び受光手段をそれぞれ基準ベースの基準面とほぼ平行に帯状の光線が延びるように基準面の両側に配置して検査をすると、板材の上方から静電容量センサで検査する場合と違って、検査のときの板材の位置決め精度はそれほど高くなくてよく、検査を容易に行うことができる。
【００６０】
また、基準面の両側に発光手段と受光手段とを配置して検査をする第１及び第２の反り検査ユニットによれば、検査すべき板材の四隅の反りを個々に検査しなくても板材の反りを検査することができ、少ない数の検査ユニットを用いて検査を行うことができ、反り検査装置の低価格化を図ることができる。また、検査ユニットの数が少ない分だけ、検査ユニットの位置決めや設定作業が楽になる利点がある。
【００６１】
更にこの装置では、発光手段は帯状の光線を出し、受光手段はこの帯状の光線を受光するので、線状の光線と違って、この光線の帯状の幅内に板材の反り部分が入っていれば板材の反りを検出でき、反りの検出を安定して容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る板材の反り検査装置における実施の形態の第１例を示したものであり、（Ａ）はこの反り検査装置における要部平面図、（Ｂ）は（Ａ）の側面図である。
【図２】図１（Ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。
【図３】第１例で用いているベルト位置変更機構と搬送装置との関係を示す一部縦断側面図である。
【図４】第１例で回転ベルトが下降された状態における回転ベルト，基準ベース，板材の相互関係を示す縦断側面図である。
【図５】第１例で板材の反りの検出を行っている状態を示す説明図である。
【図６】本発明に係る板材の反り検査装置における実施の形態の第２例を示したものであり、（Ａ）はこの反り検査装置における要部平面図、（Ｂ）は（Ａ）の側面図である。
【図７】第２例で板材の反りの検出を行っている状態を示す説明図である。
【図８】本発明に係る板材の反り検査装置における実施の形態の第３例を示したものであり、（Ａ）はこの反り検査装置における要部平面図、（Ｂ）は（Ａ）の側面図である。
【符号の説明】
１  検査ステーション
２  基準ベース
２ａ  基準面
３  支持手段
３ａ  位置調整機構
４  板材
５  搬送装置
６  回転ベルト
６ａ  接触面
７  ローラ
８  モータ
９  ベルト通過溝
９ａ  開口面
１０  板材ストッパ機構
１０ａ  ストッパ部材
１０ｂ  ストッパ部材移動装置
１０ｃ  ベルト通過溝
１１  ベルト位置変更装置
１１ａ，１１ｂ  油圧シリンダ
１２  反り検査器
１３，１４  帯状の光線
１５，１６  第１及び第２の反り検査ユニット
１５ａ，１６ａ  発光手段
１５ｂ，１６ｂ  受光手段
１７  判定部
１８  第３の反り検査ユニット
１９  帯状の光線
２０  反り検査ユニット
２０ａ  発光手段
２０ｂ  受光手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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