(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出口を有するとともに粘度が時間経過とともに高くなる液体を充填する加圧室と、前記液体を前記加圧室内にて加圧するための加圧手段とを備え、前記加圧手段の一回の加圧動作により前記液体を実質的に一つの微小液滴として前記吐出口から吐出するように構成した液滴吐出装置を用いる液滴吐出方法であって、
前記一回の加圧動作を間歇的に繰り返して複数の微小液滴を吐出するとともに、前記繰り返される加圧動作間の時間が長いほど前記加圧手段による前記液体の加圧速度を大きくしたことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出方法であって、
前回の加圧動作から今回の加圧動作までの時間が所定時間より長いとき第１の加圧速度にて前記液体を加圧して吐出し、前回の加圧動作から今回の加圧動作までの時間が前記所定時間より短いとき第１の加圧速度よりも小さい第２の加圧速度にて前記液体を加圧して吐出することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出方法であって、
前記加圧手段は付与される電圧に応じて前記加圧室の容積を変化させる圧電／電歪素子であり、
前記第１の加圧速度で前記液体を加圧するときは前記電圧の変化速度を第１の電圧増大速度に設定し、前記第２の加圧速度で前記液体を加圧するときは前記電圧の変化速度を前記第１の電圧増大速度よりも小さい第２の電圧増大速度に設定する液滴吐出方法。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載の液滴吐出方法であって、
前記第２の加圧速度に対する前記第１の加圧速度の比は、１より大きく４．８以下の値に設定される液滴吐出方法。
【請求項５】
請求項２乃至請求項４の何れか一項に記載の液滴吐出方法であって、
前記第１の加圧速度での加圧動作により吐出される微小液滴の初速度が０．１乃至１０ｍ／ｓの速度である液滴吐出方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の液滴吐出方法であって、前記液体が生体物質を含む溶液である液滴吐出方法。
【請求項７】
吐出口を有するとともに粘度が時間経過とともに大きくなる液体を充填する加圧室と、前記液体を前記加圧室内にて加圧するための加圧手段とを備え、前記加圧手段の一回の加圧動作により前記液体を実質的に一つの微小液滴として前記吐出口から吐出するように構成した液滴吐出装置のヘッドを、所定の位置に移動し、同位置にて前記一回の加圧動作を間歇的に繰り返して複数の微小液滴を吐出することにより液滴を形成する動作、を繰り返し行う液滴吐出方法であって、
前記所定の位置に移動した直後に行われる前記加圧動作における液体の加圧速度を、同所定の位置にてそれ以降に行われる前記加圧動作における液体の加圧速度より大きくしたことを特徴とする液滴吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体を加圧室内で加圧することで微小液滴として吐出口から吐出する液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法に係り、特に間歇的に加圧動作を繰り返して前記微小液滴を複数回に渡り吐出するための液滴吐出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の液滴吐出方法は、例えば、特開２００１−１８６８８０号公報に開示されている。この公報に開示された技術は、ＤＮＡ断片を含む液体（ＤＮＡ断片の溶液）を加圧室に充填するとともに加圧室の壁面に備えられた圧電／電歪素子を駆動し、これにより加圧室の容積を変化させて加圧室内の液体を加圧し、以って、加圧室に連通した吐出口から同液体を微小液滴として吐出することにより、前記吐出口に対向配置された顕微鏡スライドガラス等の基板上に液滴を形成するようになっている。また、この液滴吐出方法は、一回の加圧動作（吐出動作）によって吐出される液滴量を微量とするとともに、同加圧動作を間歇的に繰り返すことで、前記基板上の同一箇所に対して複数回にわたり微小液滴を滴下し、この加圧動作の回数を調整することで前記基板上に形成される一つの液滴の量、及び／又は同液滴の直径を精密に制御するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記開示された液滴吐出方法においては、各加圧動作における加圧速度（加圧手段が圧電/電歪素子である場合には印加電圧の変化速度）を一定とし、従って、吐出される微小液滴の吐出速度を一定の速度としている。このため、例えば、ＤＮＡ断片を含む液体のように、粘度が時間経過とともに変化する液体を吐出する場合、加圧速度をその粘度が高い場合に対し適切な値に設定しておくと、同粘度が低い状態の液体を吐出する際に吐出力が過大となって、吐出口端部において更に微小な液滴が吐出の主方向とは異なる方向に飛散し、場合によっては基板上で隣接する他の液滴に到達してしまうという問題がある。一方、上記飛散を回避するために、前記加圧速度を液体の粘度が低い場合に対し適切な値に設定すると、粘度が高い状態の液体を吐出する際に吐出力が過小となって、液滴吐出方向が狙いとする方向とは異なる場合が生じるという問題がある。
【０００４】
【本発明の概要】
本発明は、上記課題に対処するためになされたものであって、本発明によれば、吐出口を有するとともに粘度が時間経過とともに大きくなる液体を充填する加圧室と、前記液体を前記加圧室内にて加圧するための加圧手段とを備え、前記加圧手段の一回の加圧動作により前記液体を実質的に一つの微小液滴として前記吐出口から吐出するように構成した液滴吐出装置を用いる液滴吐出方法であって、前記一回の加圧動作を間歇的に繰り返して複数の微小液滴を吐出するとともに、前記繰り返される加圧動作間の時間が長いほど前記加圧手段による前記液体の加圧速度を大きくした液滴吐出方法が提供される。
【０００５】
これによれば、加圧動作間の時間が長くなるほど、即ち、吐出しようとする液体の粘度が高くなるほど、前記液体の加圧速度が大きくなるので、各微小液滴の吐出に適切な加圧速度を設定することができ、上記液滴の飛散、及び液滴吐出方向のずれの発生を回避することが可能となる。
【０００６】
この場合、前記間歇的な微小液滴の吐出を同一箇所に対して行い、同箇所に一つの液滴を形成することが好適である。
【０００７】
これによれば、例えば、前記吐出口に対向配置された基板上に適量、及び／又は適切な直径を有する一つの液滴を形成することができるので、ＤＮＡ断片、或いはプロテイン（抗体を含む）等の生体物質の溶液等からなる検出ポイント（スポット）を基板上に有する検出チップを容易に製造することができる。
【０００８】
また、上記液滴吐出方法においては、前回の加圧動作から今回の加圧動作までの時間が所定時間より長いとき第１の加圧速度にて前記液体を加圧して吐出し、前回の加圧動作から今回の加圧動作までの時間が前記所定時間より短いとき第１の加圧速度よりも小さい第２の加圧速度にて前記液体を加圧して吐出することが好適である。
【０００９】
これによれば、前回の加圧動作から今回の加圧動作までの時間が所定時間より長いとき、即ち、吐出しようとする液体の粘度が高いとき、相対的に大きい第１の加圧速度にて同液体を加圧して吐出するので、液滴吐出方向を狙いとする方向に維持することができる。一方、前回の加圧動作から今回の加圧動作までの時間が前記所定時間より短いとき、即ち、吐出しようとする液体の粘度が低いとき、相対的に小さい第２の加圧速度にて同液体を加圧して吐出するので、吐出口端部において発生する前記液滴の飛散を回避することができる。
【００１０】
また、前記加圧手段が付与される電圧に応じて前記加圧室の容積を変化させる圧電／電歪素子である場合、前記第１の加圧速度で前記液体を加圧するときは前記電圧の変化速度を第１の電圧増大速度に設定し、前記第２の加圧速度で前記液体を加圧するときは前記電圧の変化速度を前記第１の電圧増大速度よりも小さい第２の電圧増大速度に設定することが好適である。
【００１１】
また、上記何れかの場合、前記第２の加圧速度に対する前記第１の加圧速度の比は、１より大きく４．８以下の値に設定されることが望ましい。
更に、前記第１の加圧速度での加圧動作により吐出される微小液滴の初速度が０．１乃至１０ｍ／ｓの速度であることが好適である。
これらによれば、特に、ＤＮＡ断片、或いはプロテイン（抗体を含む）等の生体物質の溶液等の液滴を基板上に高密度で形成することが可能となる。
【００１２】
また、本発明によれば、
吐出口を有するとともに粘度が時間経過とともに大きくなる液体を充填する加圧室と、前記液体を前記加圧室内にて加圧するための加圧手段とを備え、前記加圧手段の一回の加圧動作により前記液体を実質的に一つの微小液滴として前記吐出口から吐出するように構成した液滴吐出装置のヘッドを、所定の位置に移動し、同位置にて前記一回の加圧動作を間歇的に繰り返して複数の微小液滴を吐出することにより液滴を形成する動作、を繰り返し行う液滴吐出方法であって、
前記所定の位置に移動した直後に行われる前記加圧動作における液体の加圧速度を、同所定の位置にてそれ以降に行われる前記加圧動作における液体の加圧速度より大きくしたことを特徴とする液滴吐出方法が提供される。
【００１３】
このように、ヘッドの移動には、同一箇所で繰り返し吐出する場合の加圧動作間の時間より長い時間を要するので、ヘッド移動直後の最初の吐出のための加圧速度を同一箇所で繰り返し吐出する場合の加圧速度より大きくすれば、時間経過とともに粘度が増大する液体の状態に応じた加圧速度で同液体を加圧し、吐出することができる。その結果、液滴の飛散及び液滴吐出方向の狙いとした方向からのずれの発生を回避することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明による液滴吐出方法の実施形態について説明すると、図１は本液滴吐出方法を用いて検出チップの一種であるＤＮＡチップ１０を作成する液滴吐出装置２０の概略斜視図である。ＤＮＡチップ１０は、スライドガラス基板１１の上に互いに異なるＤＮＡ断片を含んだ複数（例えば、約３０００個）の検出ポイント（スポット）１２…１２を整列配置してなり、遺伝子構造の解析等に利用されるものである。
【００１５】
液滴吐出装置２０は、平板状のヘッド２０ａと、ヘッド２０ａに一体的に設けられた支持部２０ｂとを備えている。ヘッド２０ａは、図１において図示を省略したＸＹＺθ移動装置（図８を参照）によって支持部２０ｂが移動されることにより、基板１１の平面に平行な面内であって互いに直交するＸ軸、及びＹ軸方向に移動するようになっている。
【００１６】
図２に平面図を示したヘッド２０ａは、互いに同一構造を有する４個の第１〜第４モジュール２１〜２４を備えている。モジュール２１〜２４は、平面視で略長方形状を有していて、第１モジュール２１と第２モジュール２２、及び第３モジュール２３と第４モジュール２４は、それぞれ各長辺が互いに対向するように配置され、第１モジュール２１と第３モジュール２３、及び第２モジュール２２と第４モジュール２４は、それぞれ各短辺が互いに対向するように配置されている。以下、第１モジュール２１を代表例として、その詳細構造について説明する。
【００１７】
第１モジュール２１は、その概略斜視図である図３に示したように、基部２１ａと一対の固定治具部２１ｂ，２１ｂとを備えている。基部２１ａは平面視でＸ軸、及びＹ軸に沿って延びる辺を有する長方形状の薄板体であって、上面に複数個のマイクロピペット２１ｃ…２１ｃを備えている。マイクロピペット２１ｃ…２１ｃは１２行２列に配列されていて、後述するように固定治具部２１ｂ，２１ｂによって基部２１ａ上に固定されるようになっている。
【００１８】
マイクロピペット２１ｃは、平面図である図４、及び図４の１−１線に沿った平面にてマイクロピペット２１ｃを切断した断面図である図５に示したように、各辺が互いに直交するＸ軸，Ｙ軸，及びＺ軸に平行に延びる略直方体形状の基体３０と、薄板状の加圧手段４０と備えている。基体３０は、順にＺ軸正方向に積層・圧着される複数のセラミックスの薄板体（以下、「セラミックスシート」と称呼する。）３１〜３５からなり、加圧手段４０は、セラミックスシート３５の外側面（Ｚ軸正方向側の面）に固着されている。基体３０内には、液体供給通路３０ａと、加圧室（キャビティ）３０ｂと、液体供給通路３０ａと加圧室３０ｂとを連通する液体導入孔３０ｃと、吐出口３０ｄとが形成されている。
【００１９】
液体供給通路３０ａは、セラミックスシート３２に形成され、各辺がＸ軸、及びＹ軸方向に沿う略長方形の切欠き部の側壁面、セラミックスシート３１の上面、及びセラミックスシート３３の下面により画定された空間と、この空間に連通したセラミックスシート３３〜３５に設けられた円筒状の孔とにより形成されていて、吐出すべき溶液（ＤＮＡ断片の溶液）がセラミックスシート３５に設けられた前記孔側から供給されるようになっている。
【００２０】
なお、ＤＮＡ断片の溶液（ＤＮＡ断片を含む液体）は、ＤＮＡ断片をＰＣＲ機で増幅したＰＣＲ産物に３Ｍsodium acetateとイソプロパノールとを加えて数時間放置した後に、同ＰＣＲ産物を遠心機を用いて沈殿させ、これを乾燥して得られたＤＮＡ粉末に緩衝液（例えば、ＴＥバッファ溶液）を加えて濃度を１〜１０μｇ／μリットルとし、水、食塩水、モノマー、及び／又はポリマーを含む水溶液で希釈して得られるもので、空気に曝された状態においては溶媒が比較的早期に蒸発して、時間経過とともにその粘度が高くなる溶液である。
【００２１】
再び、図５を参照すると、加圧室３０ｂは、セラミックスシート３４に形成され、各辺がＸ軸、及びＹ軸方向に沿う略長方形の切欠き部の側壁面、セラミックスシート３３の上面、及びセラミックスシート３５の下面により画定された空間と、この空間に連通したセラミックスシート３３，３２に設けられた円筒状の孔とにより形成されている。加圧室３０ｂは、そのＸ軸正方向端部がセラミックスシート３２に設けられた液体供給通路３０ａの上部にまで延びていて、同端部においてセラミックスシート３３に設けられた小径円筒状の液体導入孔３０ｃにより液体供給通路３０ａと連通している。また、吐出口３０ｄは、セラミックスシート３１に設けられた小径円筒状の孔であって、加圧室３０ｂとマイクロピペット２１ｃの外部とを連通するようになっている。
【００２２】
加圧手段４０は、薄板状の圧電／電歪素子４１と、同圧電／電歪素子４１の上面、及び下面にそれぞれ設けられた上部電極４２、及び下部電極４３とからなっている。上部電極４２、及び下部電極４３は、図４に示したように、それぞれ後述する圧電／電歪素子駆動装置（図８を参照）に接続されるパッド４２ａ，４３ａを備えている。圧電／電歪素子４１は、上部電極４２と下部電極４３の間に付与される電位差（印加電圧Ｖ）により作動してセラミックスシート３５（加圧室３０ｂの上壁３０ｂ１）を変形させ、これにより、加圧室３０ｂの容積をΔＶだけ変化させ、加圧室内の液体を加圧して吐出口３０ｄから微小液滴として吐出するようになっている。
【００２３】
一方、前述した基部２１ａには、図３に示したように、Ｙ軸方向両端部に各一対の固定孔２１ａ１…２１ａ１が設けられるとともに、図５に示したように、前記マイクロピペット２１ｃ…２１ｃが同基部２１ａ上に整列配置された状態において同マイクロピペット２１ｃ…２１ｃの各吐出口３０ｄ…３０ｄに対応する位置に、同吐出口３０ｄ…３０ｄの直径よりも十分に大きな直径を有する複数の（全２４個の）貫通孔２１ａ２…２１ａ２が設けられている。
【００２４】
固定治具部２１ｂ，２１ｂの各々は、モジュール２１の正面図である図６、及び同モジュール２１の平面図である図７に示したように、各辺がＸ軸，Ｙ軸，及びＺ軸に沿って伸びる略直方体形状を有している。固定治具部２１ｂは、図６に示したように、両端にボルト貫通孔２１ｂ１，２１ｂ１を備えていて、同ボルト貫通孔２１ｂ１，２１ｂ１と前記基部２１ａの固定孔２１ａ１，２１ａ１とを貫通するボルトＢ，Ｂにより基部２１ａに固定されるとともに、同固定治具部２１ｂの下面と前記基部２１ａの上面との間に上記整列配置されたマイクロピペット２１ｃ…２１ｃを挟持し、これらのマイクロピペット２１ｃ…２１ｃを基部２１ａに固定するようになっている。
【００２５】
また、固定治具部２１ｂは、マイクロピペット２１ｃ…２１ｃの各液体供給通路３０ａ…３０ａに連通するとともに、中心軸線がＺ軸方向に伸びる円筒中空状の液体通路２１ｂ２…２１ｂ２を備えるとともに、各液体通路２１ｂ２…２１ｂ２に液体を導くため同液体通路２１ｂ２…２１ｂ２の各上部に連通された中空逆円錐台状のチューブ２１ｂ３…２１ｂ３を備えている。
【００２６】
次に、上記液滴吐出装置２０を制御するシステムの概略について説明すると、図８にブロック図により示したように、同システムは複数準備された液滴吐出装置２０の支持部２０ｂの一つを選択して保持するとともに、同保持した支持部２０ｂを移動させることでヘッド２０ａをＸ軸、及びＹ軸方向に移動する（必要に応じ、更にＺ軸方向に移動するとともに、Ｚ軸周りに角度θだけ回転する）ＸＹＺθ移動装置５０と、同ＸＹＺθ移動装置５０が保持している液滴吐出装置２０（ヘッド２０ａ）の前記複数のマイクロピペット２１ｃ…２１ｃの各電極パッド４２ａ，４３ａに接続されるとともに同電極パッド４２ａ，４３ａ間に液滴吐出のための駆動信号（印加電圧Ｖ）を付与するための圧電/電歪素子駆動装置５５と、前記ＸＹＺθ移動装置５０及び前記圧電/電歪素子駆動装置５５とに接続された電気制御装置６０とからなっている。電気制御装置６０は、ＣＰＵを含むマイクロコンピュータであって、前記ＸＹＺθ移動装置５０に移動指示信号を送出するとともに、前記圧電/電歪素子駆動装置５５に前記印加電圧Ｖを付与するための駆動指示信号を送出するようになっている。
【００２７】
次に、上記のように構成された液滴吐出装置２０を用いた液滴吐出方法について、上記電気制御装置６０のＣＰＵが実行するプログラムを示した図９，図１０，図１２，及び図１４、ＤＮＡチップ１０のガラス基板１１上に形成される検出ポイントの位置を示した図１１、及び液体の加圧時（微小液滴の吐出時）における前記印加電圧Ｖの電圧波形を示した図１３を参照しながら説明する。
【００２８】
なお、本実施形態においては、図１１に示したように、検出ポイントは一つのガラス基板１１上に４行１２列のブロック形状に形成される。各ブロックには、検出ポイントが８行（座標ａ１〜ａ８）８列（座標ｂ１〜ｂ８）に整列配置される。また、各液滴吐出装置２０の吐出口３０ｄの列間隔（図７の距離Ｗ）は、ガラス基板１１の第１行ａqから第３行ａq（qは１〜８の整数）までの距離（例えば、ガラス基板１１の第１行ａ１から第３行ａ１までの距離）、及び第２行ａqから第４行ａqまでの距離と等しく、吐出口３０ｄの同一行内で隣接する同吐出口３０ｄ間の距離（図７の距離Ｌ）は、同一行内にて隣接するブロックのｂqからｂqまでの距離（例えばガラス基板１１の第１行第１列ｂ１から第１行第２列ｂ１までの距離）と等しくなっている。
【００２９】
また、本実施形態においては、ｋmax枚（例えば、２０枚）のガラス基板１１をマトリクス状に整列配置したパレットを１乃至３０パレット準備し、各ヘッド２０ａは準備された全てのパレット上の各ガラス基板１１上に必要な検出ポイントを形成した後に交換される。なお、以下においては、説明の便宜上、一つのパレットのみを使用してｋmax枚のＤＮＡチップを作成する例について説明する。
【００３０】
先ず、合計で３２個の第１番目〜第３２番目のヘッド２０ａ（液滴吐出装置２０）を準備し、各ヘッド２０ａが有する各モジュール２１〜２４の各液体供給通路３０ａを介して各加圧室３０ｂに互いに異なる種類のＤＮＡ断片の溶液を充填する。なお、ＤＮＡの溶液を各液体供給通路３０ａに注入する際には、図３に示したカートリッヂ２１ｄが使用される。次いで、電気制御装置６０の図示しない起動スイッチが投入されると、ＣＰＵは図９のステップ９００から処理を開始してステップ９０５に進み、同ステップ９０５にて３２種類のヘッド２０ａのうちの何れかを特定するための変数ｈに値「１」を設定するとともに、第１乃至第４モジュール２１〜２４の何れかを特定するための変数ｍに値「１」を設定する。
【００３１】
次に、ＣＰＵはステップ９１０に進んでヘッドｈ（この場合、変数ｈの値は「１」であるから第１番目のヘッド）を保持するようにＸＹＺθ移動装置５０に指示信号を送出し、ステップ９１５に進んでパレット上のガラス基板１１の一つを特定するための変数ｋに値「１」を設定し、その後、ステップ９２０に進んで変数ｈが奇数であるか否かを判定する。この場合、変数ｈは「１」であるから、ＣＰＵはステップ９２０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ９２５に進み、同ステップ９２５にて「第ｈ番目のヘッドの第ｍモジュールの最もＸ軸負方向且つ最もＹ軸負方向に位置するマイクロピペット２１ｃの吐出口３０ｄ（以下、この吐出口３０ｄの位置を「基準位置」と称呼する。）を、図１１に示したｋ番目（この場合は第１番目）のガラス基板１１の第１行の座標（ａｍ，ｂ（ｈ＋１）／２）＝（ａ１，ｂ１）の直上に移動する。この移動に要する時間Ｔint1は、後述するように、繰り返される加圧動作間の時間、即ち、前回の加圧動作から今回の加圧動作までの時間の一つであり、約０．５秒〜６．０秒程要する。
【００３２】
次いで、ＣＰＵはステップ９３０に進んで、ＤＮＡ断片を含む溶液の第１吐出（第１噴射）を実施する。具体的には、ＣＰＵは図１２に示した第１吐出ルーチンの処理をステップ１２００から開始し、ステップ１２０５にてタイマＴをリセットしてスタート（タイマＴによる計時を開始）する。次いで、ＣＰＵはステップ１２１０に進み、第ｈ番目のヘッドの第ｍモジュールが有する各マイクロピペット２１ｃの上部電極４２、及び下部電極４３間に付与する印加電圧Ｖを第１の電圧増大速度であるＶ１／Ｔ１（例えば、６０Ｖ／１５μｓ）にて増大させる。
【００３３】
そして、ＣＰＵはステップ１２１５にてタイマＴが第１時間Ｔ１（例えば、１５μｓ）を計時したか否かを判定し、タイマＴが第１時間Ｔ１を計時していないときは、ステップ１２１０の処理を繰り返す。一方、タイマＴが第１時間Ｔ１を計時すると、ＣＰＵはステップ１２１５にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１２２０に進む。なお、上記第１の電圧増大速度Ｖ１／Ｔ１は、吐出口３０ｄの大きさ、加圧室３０ｂの容量等、或いは、吐出しようとする溶液の粘度に応じて設定され、吐出口３０ｄから吐出される微小液滴の初速度が０．１乃至１０ｍ／ｓの速度となるように設定されることが好適である。
【００３４】
以上により、図１３の時刻ｔ１〜ｔ２に示したように、印加電圧Ｖが第１時間Ｔ１だけＶ１／Ｔ１の変化速度にて上昇し、各マイクロピペット２１ｃの加圧室３０ｂ内のＤＮＡ断片の溶液が前記第１の電圧増大速度に対応する第１の加圧速度で加圧され、吐出口３０ｄから微小液滴として吐出される。この結果、図１１の黒丸で示した第１番目のガラス基板１１上の位置、即ち、第１行第ｎ列（ｎは、１〜１２の整数、以下同じ。）の（ａ１，ｂ１）、及び第３行第ｎ列の（ａ１，ｂ１）に液滴が付着する。
【００３５】
ステップ１２２０に進んだＣＰＵは、タイマＴを再びリセット・スタートし、ステップ１２２５に進んで印加電圧Ｖを第１電圧Ｖ１（例えば、６０Ｖ）に保持し、ステップ１２３０に進んでタイマＴが第２時間Ｔ２（例えば、５μｓ）を計時したか否かを判定するとともに、タイマＴが第２時間Ｔ２を計時していないときは、ステップ１２２５の処理を繰り返す。一方、タイマＴが第２時間Ｔ２を計時すると、ＣＰＵはステップ１２３０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１２３５に進む。以上により、図１３の時刻ｔ２〜ｔ３に示したように、印加電圧Ｖが値Ｖ１にて第２時間Ｔ２だけ維持される。
【００３６】
ＣＰＵはステップ１２３５に進むと、タイマＴを再びリセット・スタートし、ステップ１２４０に進んで印加電圧Ｖを第１電圧減少速度であるＶ１／Ｔ３にて減少させ、続くステップ１２４５にてタイマＴが第３時間Ｔ３（例えば、４０μｓ）を計時したか否かを判定する。そして、タイマＴが第３時間Ｔ３を計時していないときは、ステップ１２４０の処理を繰り返す。一方、タイマＴが第３時間Ｔ３を計時すると、ＣＰＵはステップ１２４５にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１２５０に進む。以上により、図１３の時刻ｔ３〜ｔ４に示したように、印加電圧Ｖが第３時間Ｔ３だけＶ１／Ｔ３（＝６０Ｖ／４０μｓ）の変化速度にて減少し、各マイクロピペット２１ｃの加圧室３０ｂ内の容積が増大（復帰）するので、液体供給通路３０ａから液体導入孔３０ｃを介して加圧室３０ｂ内に液体が充填される。
【００３７】
ＣＰＵはステップ１２５０に進むと、タイマＴを再びリセット・スタートし、ステップ１２５５に進んで印加電圧Ｖを「０」に維持するとともに、続くステップ１２６０にてタイマＴが第４時間Ｔ４（例えば、２４０μｓ）を計時したか否かを判定する。そして、タイマＴが第４時間Ｔ４を計時していないときは、ステップ１２５５の処理を繰り返す。一方、タイマＴが第４時間Ｔ４を計時すると、ＣＰＵはステップ１２６０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１２９５に進み、第１吐出ルーチンを終了して図９のステップ９３５に戻る。以上により、図１３の時刻ｔ４〜ｔ５の第４時間Ｔ４（＝ＴＣ−（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３））間、印加電圧Ｖが「０」に維持される。
【００３８】
次に、ＣＰＵは図９のステップ９３５にてカウンタＣの値を「１」に設定し、ステップ９４０にて第２吐出を実施する。即ち、ＣＰＵは、図１４に示した第２吐出ルーチンの処理をステップ１４００から開始する。この第２吐出ルーチンは、第１吐出ルーチンに対し、ステップ１４１０における印加電圧の増大速度が第１の電圧増大速度より小さい第２の電圧増大速度Ｖ２／Ｔ５（＝５０Ｖ／１５μｓ）であって液体が前記第１の加圧速度より小さい第２の加圧速度で加圧される点、ステップ１４２５において維持される印加電圧がＶ１より小さいＶ２（＝５０Ｖ）である点、及び、ステップ１４４０における電圧減少速度が第１電圧減少速度よりも小さい（緩やかな）第２電圧減少速度Ｖ２／Ｔ７（＝５０Ｖ／４０μｓ）である点においてのみ相違している。従って、以下においては、各ステップの詳細説明を省略する。なお、実験によれば、前記第２の加圧速度（第２の電圧増大速度）に対する前記第１の加圧速度（第１の電圧増大速度）の比は、１より大きく４．８以下の値に設定されると液滴の吐出が良好に行われた。
【００３９】
上記第２吐出ルーチンの処理が実行される結果、図１３に示したように、時刻ｔ５〜ｔ６では、印加電圧Ｖが第５時間Ｔ５（＝Ｔ１＝１５μｓ）だけＶ２／Ｔ５（＝５０Ｖ／１５μｓ）の第２の電圧増大速度にて上昇し、各マイクロピペット２１ｃの加圧室３０ｂ内のＤＮＡ断片を含む溶液が第１吐出時よりも緩やかに加圧され、吐出口３０ｄから微小液滴として吐出される。この結果、図１１の黒丸で示した第１番目（第ｋ番目）のガラス基板１１上の位置に液滴が追加される。また、時刻ｔ６〜ｔ７においては、印加電圧ＶがＶ２（＝５０Ｖ）に第６時間Ｔ６（＝Ｔ２＝５μｓ）だけ維持され、時刻ｔ７〜ｔ８においては、第７時間Ｔ７だけ印加電圧ＶがＶ２／Ｔ７（＝５０Ｖ／４０μｓ）の減少速度にて減少され、その後、時刻ｔ８〜ｔ９の第８時間Ｔ８（＝Ｔ４）だけ印加電圧Ｖが「０」に維持される。
【００４０】
ＣＰＵは、図１４のステップ１４９５に到達すると、図９のステップ９４５に進んでカウンタＣの値を「１」だけ増大し、続くステップ９５０にて同カウンタＣの値が所定値Ｃ１（ここでは、「５」に設定されている。）と等しくなったか否かを判定する。この時点においてカウンタＣの値は「２」となっているから、ＣＰＵはステップ９５０にて「Ｎｏ」と判定してステップ９４０に戻り、再び第２吐出ルーチンを実行する。このような処理は、カウンタＣの値が５になるまで繰り返されるので、第２吐出ルーチンによる液滴の吐出が合計で４回実行される。この結果、第１行第ｎ列の（ａ１，ｂ１）、及び第３行第ｎ列の（ａ１，ｂ１）の同一箇所（同一位置）に複数回に渡って液滴が吐出され、望ましい量、及び望ましい直径を有する検出ポイント（スポット）が形成される。
【００４１】
その後、カウンタＣの値が「５」となると、ＣＰＵはステップ９５０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ９５５に進み、同ステップ９５５にて変数ｍの値を「１」だけ増大し、ステップ９６０に進んで変数ｍの値が「５」となったか否かを判定する。この時点では、変数ｍの値は「２」であるから、ＣＰＵはステップ９６０にて「Ｎｏ」と判定してステップ９２０に戻り、変数ｈの値は「１」のままで変更されておらず奇数であるから、同ステップ９２０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ９２５〜９５０に進む。
【００４２】
この結果、第１番目のヘッドの第２モジュールの基準位置が、第ｋ番目のガラス基板の第１行の（ａ２,ｂ１）の直上位置（図１１において二重丸の位置）に移動される。かかる移動に要する時間（正確には、かかる移動に要する時間と前回の第２吐出の終了タイミングから同移動開始までの時間Ｔ８の和の時間）Ｔint1は、前記第１吐出の終了タイミングから同第１吐出に続く第２吐出の開始タイミングまでの時間（＝Ｔ４）、及び連続する第２吐出開始タイミングと第２吐出開始タイミングとの間の時間（＝Ｔ８）である時間Ｔint2よりも長い。換言すると、前記ヘッド２０ａの移動に要する時間Ｔint1は所定時間（一定時間）Ｔthより長く、時間Ｔint2は同所定時間Ｔthより短い。このため、ヘッド２０ａの位置が移動された直後においては、吐出口３０ｄ付近におけるＤＮＡ断片の溶液の粘度が前記第２吐出を行う直前の粘度より大きく（高く）なる。従って、先ず、同位置において１回の第１吐出ルーチンに基づく相対的に大きい加圧速度による液滴の吐出（第１吐出）を行い、次いで、合計で４回の第２吐出ルーチンに基づく相対的に小さい加圧速度による液滴の吐出（第２吐出）を間歇的に行う。この結果、第１行第ｎ列の（ａ２，ｂ１）、及び第３行第ｎ列の（ａ２，ｂ１）に所望の検出ポイントが形成される。
【００４３】
以降、このような処理が繰り返され、第３モジュールにより、第１行第ｎ列の（ａ３，ｂ１）、及び第３行第ｎ列の（ａ３，ｂ１）に、即ち、図１１において丸内に×印が付された位置に検出ポイントが形成されるとともに、第４モジュールにより、第１行第ｎ列の（ａ４，ｂ１）、及び第３行第ｎ列の（ａ４，ｂ１）に、即ち、図１１において丸内に縦線が付された位置に検出ポイントが形成される。この段階で、ＣＰＵは、ステップ９５５にてｍの値を「５」に変更するため、ステップ９６０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ９６５に進み、同ステップ９６５にて変数ｍの値を「１」に設定し、ステップ９７０にて変数ｋの値を「１」だけ増大する。
【００４４】
次いで、ＣＰＵはステップ９７５にて変数ｋの値が１パレット上の最大ガラス基板枚数ｋmaxより大きくなったか否かを判定する。この場合、変数ｋの値は「２」であって最大ガラス基板枚数ｋmaxより小さいから、ＣＰＵはステップ９７５にて「Ｎｏ」と判定してステップ９２０に戻る。この段階では、変数ｈの値は「１」のままであるので、ＣＰＵはステップ９２０にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップ９２５にて第ｈ番目（第１番目）の第ｍモジュール（第１モジュール）の基準位置を、第ｋ番目（２番目）のガラス基板１１の第１行の座標（ａｍ，ｂ（ｈ＋１）／２）＝（ａ１，ｂ１）の直上に移動し、次いでステップ９３０〜９５０の処理を実行して、第２番目のガラス基板１１の上に第１番目のヘッドの第１モジュールにより検出ポイントを形成する。
【００４５】
その後、ＣＰＵはステップ９５５、９６０の処理と、同処理に基づくステップ９２０〜９５０の処理を実行し、変数ｍの値が５となると、ステップ９６５にて変数ｍの値と「１」とするとともに、ステップ９７０にて変数ｋの値を「１」だけ増大し、次いでステップ９７５にて変数ｋの値が最大ガラス基板枚数ｋmaxより大きくなったか否かを判定する。従って、第１番目〜第ｋmax番目のガラス基板１１に対して第１番目のヘッドにより検出ポイントが形成されると、ＣＰＵはステップ９７５にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ９８０に進み、同ステップ９８０にて変数ｈの値を「１」だけ増大する。
【００４６】
次いで、ＣＰＵはステップ９８５に進んで、変数ｈの値が１７に到達したか否かを判定する。この場合、変数ｈの値は「２」であるから、ＣＰＵはステップ９８５にて「Ｎｏ」と判定してステップ９１０に戻り、同ステップ９１０にて第２番目（第ｈ番目）のヘッドを保持するとともに、ステップ９１５にて変数ｋの値を「１」に設定し、続くステップ９２０にて「Ｎｏ」と判定してステップ９９０に進む。そして、ステップ９９０にて第２番目のヘッドの第１モジュールの基準位置を、図１１に示した第ｋ番目のガラス基板１１の第１行の座標（ａｍ＋４，ｂｈ／２）＝（ａ５，ｂ１）の直上に移動し、その後、前述したステップ９３０〜９５０を実行する。この結果、第１番目のガラス基板１１の第１行第ｎ列の（ａ５，ｂ１）、及び第３行第ｎ列の（ａ５，ｂ１）に検出ポイントが形成される。
【００４７】
そして、ＣＰＵは、ステップ９５５にて「１」だけ増加されて行く変数ｍが「５」となって、ステップ９６０にて「Ｙｅｓ」と判定するまで、ステップ９２０〜９５５の処理を繰り返す。以上により、第２番目のヘッドの第２モジュールにより第１番目のガラス基板１１の第１行第ｎ列の（ａ６，ｂ１）、及び第３行第ｎ列の（ａ６，ｂ１）に検出ポイントが形成され、第２番目のヘッドの第３モジュールにより第１行第ｎ列の（ａ７，ｂ１）、及び第３行第ｎ列の（ａ７，ｂ１）に検出ポイントが形成され、第２番目のヘッドの第４モジュールにより第１行第ｎ列の（ａ８，ｂ１）、及び第３行第ｎ列の（ａ８，ｂ１）に検出ポイントが形成される。
【００４８】
以降においては、ステップ９７０の処理により変数ｋの値が「１」ずつ増大され、また変数ｋの値が最大ガラス基板枚数ｋmaxより大きくなる毎にステップ９８０の処理により変数ｈが「１」ずつ増大され、同変数ｈが「１７」となるまでは、ステップ９１０〜９８０の処理が繰り返し実行される。この結果、第ｈ番目（１≦ｈ≦１６）のヘッドにより、第１番目〜第ｋmax番目のガラス基板１１の上に検出ポイントが形成される。即ち、パレット上の各ガラス基板１１の第１行と第３行の検出ポイントの全てが形成される。なお、パレットを複数個使用する場合には、総べてのパレット上の第１〜第ｋmax番目のガラス基板１１に検出ポイントを形成してから変数ｈを増大し、ヘッド２０ａを交換する。
【００４９】
次に、変数ｈが１７になると、ＣＰＵはステップ９８５にて「Ｙｅｓ」と判定して、図１０のステップ１０００に進み、第ｈ番目（この場合、第１７番目）のヘッドを保持する。次いで、ＣＰＵはステップ１００５に進んで、変数ｋの値を再び「１」に設定し、続くステップ１０１０にて変数ｈが奇数であるか否かを判定する。この場合、変数ｈは「１７」であって奇数であるから、ＣＰＵはステップ１０１０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１０１５に進み、第ｈ番目のヘッドの第ｍモジュール（この場合、第１７番目のヘッドの第１モジュール）の基準位置を第ｋ番目のガラス基板１１（この場合、第１番目のガラス基板１１）の第２行の座標（ａｍ，ｂ（（ｈ−１６）＋１）／２）＝（ａ１，ｂ１）の直上に移動し、次いでステップ１０２０〜１０４０の処理を実行する。
【００５０】
このステップ１０２０〜１０４０は、前述したステップ９３０〜９５０とそれぞれ同一のステップである。これらのステップの処理が実行される結果、第１番目のガラス基板１１の第２行第ｎ列の（ａ１，ｂ１）、及び第４行第ｎ列の（ａ１，ｂ１）に検出ポイントが形成される。なお、この場合においても、ステップ１０２０ではヘッド移動直後であって前回の吐出（加圧動作）から所定時間Ｔthより長い時間Ｔint1が経過しているから第１吐出ルーチンによる相対的に大きい第１の加圧速度による吐出が実行され、ステップ１０３０では前回の吐出（加圧動作）から所定時間Ｔthより短い時間Ｔint2が経過した時点であるから第２吐出ルーチンによる相対的に小さい第２の加圧速度による吐出が実行される。
【００５１】
その後、ＣＰＵはステップ１０４５にて変数ｍを「１」だけ増加し、同変数ｍが「５」となるまで上記ステップ１０１０〜１０４５の処理を繰り返す。この結果、第１番目のガラス基板１１に対し、第１７番目のヘッドの第２モジュールにより第２行ｎ列の（ａ２，ｂ１）位置、及び第４行ｎ列の（ａ２，ｂ１）位置、第３モジュールにより第２行ｎ列の（ａ３，ｂ１）位置、及び第４行ｎ列の（ａ３，ｂ１）位置、及び第４モジュールにより第２行ｎ列の（ａ４，ｂ１）位置、及び第４行ｎ列の（ａ４，ｂ１）位置に検出ポイントが形成される。
【００５２】
変数ｍの値が「５」になると、ＣＰＵはステップ１０５０にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１０５５に進み、同ステップ１０５５にて変数ｍの値を「１」に設定し、続くステップ１０６０にて変数ｋの値を「１」だけ増大する。
【００５３】
次いで、ＣＰＵはステップ１０６５にて変数ｋの値が１パレット上の最大ガラス基板枚数ｋmaxより大きくなったか否かを判定する。この場合、変数ｋの値は「２」であって最大ガラス基板枚数ｋmaxより小さいから、ＣＰＵはステップ１０６５にて「Ｎｏ」と判定してステップ１０１０に戻る。この結果、ＣＰＵはステップ１０１０にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップ１０１５にて第ｈ番目（第１７番目）の第ｍモジュール（第１モジュール）の基準位置を、第ｋ番目（２番目）のガラス基板１１の第２行の座標（ａｍ，ｂ（（ｈ−１６）＋１）／２）＝（ａ１，ｂ１）の直上に移動し、ステップ１０２０〜１０４０の処理を実行し、第２番目のガラス基板上に第１７番目のヘッドの第１モジュールにより検出ポイントを形成する。そして、ステップ１０４５にて変数ｍの値が「１」ずつ増大されて、ステップ１０５０にて「Ｙｅｓ」と判定されるまで、ｋ番目（２番目）のガラス基板１１の第２行の座標（ａｍ，ｂ（（ｈ−１６）＋１）／２）に基準位置が移動されて、検出ポイントが形成される。
【００５４】
このような処理が繰り返され、ステップ１０６０にて増加された変数ｋの値が最大ガラス基板枚数ｋmaxより大きくなると、ＣＰＵはステップ１０６５にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１０７０に進み、同ステップ１０７０にて変数ｈの値を「１」だけ増大し、続くステップ１０７５にて変数ｈの値が３２より大きくなったか否かを判定する。この場合、変数ｈの値は「１８」であるから、ＣＰＵはステップ１０７５にて「Ｎｏ」と判定しステップ１０００に戻り、第１８番目のヘッドを保持する。
【００５５】
この時点においては、変数ｈは偶数である。従って、ＣＰＵはステップ１０１０にて「Ｎｏ」と判定してステップ１０８０に進み、同ステップ１０８０にて第ｈ番目のヘッドの第ｍモジュール（この場合、第１８番目のヘッドの第１モジュール）の基準位置を、第ｋ番目（この場合、ステップ１００５により第１番目）のガラス基板１１の第２行の座標（ａｍ＋４，ｂ（（ｈ−１６）／２）＝（ａ５，ｂ１）の直上に移動し、以降、ステップ１０２０〜１０４０を実行する。これにより、第１番目のガラス基板１１の第２行ｎ列の（ａ５，ｂ１）位置、及び第４行の（ａ５，ｂ１）位置に検出ポイントが形成される。
【００５６】
その後、ＣＰＵはステップ１０４５にて変数ｍを「１」だけ増加し、同変数ｍが「５」となるまで上記処理を繰り返す。この結果、第１８番目のヘッドの第２モジュールにより、第１番目のガラス基板１１の第２行ｎ列の（ａ６，ｂ１）位置、及び第４行ｎ列の（ａ６，ｂ１）位置、第３モジュールにより第２行ｎ列の（ａ７，ｂ１）位置、及び第４行ｎ列の（ａ７，ｂ１）位置、及び第４モジュールにより第２行ｎ列の（ａ８，ｂ１）位置、及び第４行ｎ列の（ａ８，ｂ１）位置に検出ポイントが形成される。
【００５７】
そして、以降においても以上の処理が繰り返し実行され、変数ｋの値が最大ガラス基板枚数ｋmaxより大きくなる毎に「１」だけ増大される変数ｈが「３３」になると、ＣＰＵはステップ１０７５にて「Ｙｅｓ」と判定してステップ１０９５に進み、同ステップ１０９５にて本ルーチンを終了する。この結果、第１７〜第３２番目のヘッドにより、パレット上の各ガラス基板１１の第２行と第４行の検出ポイントが全て形成される。なお、この場合においても、パレットを複数個使用するときには、総べてのパレット上の第１〜第ｋmax番目のガラス基板１１に検出ポイントを形成してから変数ｈを増大するように構成しておく。
【００５８】
以上、説明したように、本発明による液滴吐出方法によれば、ヘッド位置を所定位置に移動し、加圧手段４０による加圧動作を間歇的に繰り返すことにより、各加圧動作ごとに吐出口３０ｄから一つだけ吐出される微小液滴をガラス基板１１上の同一箇所に対し複数回だけ吐出して検出ポイントを形成する。また、検出ポイントを所定の箇所に形成すると、直ちにヘッド２０ａを移動し、続けて加圧動作を行って微小液滴の吐出を行う。このとき、繰り返される加圧動作間の時間に応じて前記加圧手段４０による加圧室３０ｂ内の液体の加圧速度を変更する。上記例では、ヘッド２０ａの移動には、同一箇所で繰り返し吐出する場合の加圧動作間の時間より長い時間を要するので、ヘッド移動直後の最初の吐出のための加圧速度を同一箇所で繰り返し吐出する場合の加圧速度より大きくする。即ち、繰り返される加圧動作間（連続する加圧動作の間）の時間が長いほど、加圧速度（従って、吐出される微小液滴の初速度）を大きくする。この結果、時間経過とともに粘度が変化（増大）する液体の状態に応じた加圧速度で同液体を加圧し、吐出することができるので、吐出口３０ｄ近傍における液滴の飛散、及び液滴吐出方向の狙いとした方向からのずれの発生を回避することができる。
【００５９】
なお、本発明は上記実施形態に限定されることはなく、本発明の範囲内において種々の変形例を採用することができる。例えば、上記実施形態において、吐出される溶液はＤＮＡ断片の溶液であったが、ＤＮＡ断片の他、プロテイン（抗体を含む）等の他の生体物質の溶液等、時間経過とともに粘度が変化する他の溶液であってもよい。
【００６０】
また、上記実施形態においては、電気制御装置６０のＣＰＵを使用して印加電圧を制御していたが、図８に示した圧電/電歪素子駆動装置５５を、予め図１３に示した波形と同様な波形をメモリ内に記憶していて、電気制御装置６０のＣＰＵからの第１吐出又は第２吐出の指示に応じて同メモリから対応する前記印加電圧の波形を読み出し、この電圧を前記各マイクロピペット２１ｃの上部電極４２、及び下部電極４３間に付与するファンクションジェネレータとしてもよい。このようなファンクションジェネレータを採用することで、詳細な印加電圧波形制御が可能となるので、例えば、前記Ｖ１を６０Ｖ、Ｖ２を５０Ｖ、Ｔ１及びＴ５を２．５μｓ、Ｔ２及びＴ６を５μｓ、Ｔ３及びＴ７を４０μＳ、Ｔ４及びＴ８を２５２．５μｓとすることもできる。更に、間歇的に繰り返される吐出間の時間をタイマーで計測しておき、同計測された時間に応じて前記加圧速度（印加電圧の増大速度、吐出される液滴の初速度）を変更するように構成してもよい。
【００６１】
更に、上記実施形態においては、２０（ｋmax）枚のガラス基板１１が整列配置されたパレットを一つだけ用いて２０個のＤＮＡチップを同時に製造していたが、同様なパレットを複数（例えば、２〜３０個）準備し、第ｈ番目のヘッド２０ａにより、これら総べてのパレット上の総べてのガラス基板に検出ポイントを形成した後に同第ｈ番目のヘッド２０ａを第（ｈ＋１）番目のヘッド２０ａに交換し、同第（ｈ＋１）番目のヘッド２０ａにより総べてのパレット上の総べてのガラス基板に検出ポイントを形成して行くようにすることもできる。これによれば、数百枚単位のＤＮＡチップを同時に効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施形態に係る液滴吐出方法に用いる液滴吐出装置、及び同液滴吐出方法により形成されるＤＮＡチップの概略を示した斜視図である。
【図２】  図１に示した液滴吐出装置のヘッドの平面図である。
【図３】  図１に示した液滴吐出装置のヘッドに搭載されるモジュールの概略分解斜視図である。
【図４】  図３に示したモジュールに搭載されるマイクロピペットの平面図である。
【図５】  図４の１−１線に沿った平面にてマイクロピペットを切断した断面図である。
【図６】  図３に示したモジュールの正面図である。
【図７】  図３に示したモジュールの平面図である。
【図８】  図１に示した液滴吐出装置を制御するシステムの概略ブロック図である。
【図９】  図８に示した電気制御装置のＣＰＵが実行するプログラムを示したフローチャートである。
【図１０】  図８に示した電気制御装置のＣＰＵが実行するプログラムを示したフローチャートである。
【図１１】  図１に示したＤＮＡチップの基板上に形成される検出ポイントの位置を示す同基板の平面図である。
【図１２】  図８に示した電気制御装置のＣＰＵが実行するプログラムを示したフローチャートである。
【図１３】  マイクロピペットの圧電／電歪素子に印加される電圧の波形を示したタイムチャートである。
【図１４】  図８に示した電気制御装置のＣＰＵが実行するプログラムを示したフローチャートである。
【符号の説明】
１０…ＤＮＡチップ、１１…スライドガラス基板、２０…液滴吐出装置、２０ａ…ヘッド、２０ｂ…支持部、２１〜２４…第１〜第４モジュール、２１ａ…基部、２１ｂ…固定治具部、２１ｃ…マイクロピペット、３０…基体、３０ａ…液体供給通路、３０ｂ…加圧室、３０ｃ…液体導入孔、３０ｄ…吐出口、３１〜３５…セラミックスシート、４０…加圧手段、４１…圧電／電歪素子、４２…上部電極、４３…下部電極、５０…ＸＹＺθ装置、５５…圧電／電歪素子駆動装置、６０…電気制御装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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