(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプであって、
ギア駆動機構を収容するギアボックスに当たるチャンバ（１１）を備えており、
前記チャンバ（１１）は、
回転可能な軸（１）と、
前記軸（１）によって支持されかつ前記軸（１）と共に回転可能な凝集フィルタ（１５）と、
前記チャンバ（１１）から前記凝集フィルタ（１５）を通して前記軸（１）の中空な内部（２１、２２）の中への液体汚染ガスの流れを確立する手段（２４）とを収容しており、
前記凝集フィルタ（１５）は、環状又は管状の形態を有し、ガスは、ほぼ半径方向内方の方向に前記凝集フィルタ（１５）の中に流入し、凝集液体は、前記凝集フィルタ（１５）から、ほぼ半径方向外方の方向に噴出されるように構成される、
ことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記凝集フィルタ（１５）は、マイクロポーラスフィルタエレメントを備えることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記マイクロポーラスフィルタエレメントは、モールド成形されたマイクロファイバフィルタエレメントであることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記マイクロポーラスフィルタエレメントは、襞付きマイクロファイバフィルタエレメントであることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記マイクロポーラスフィルタエレメントは、巻回されたマイクロファイバシートで形成されることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記マイクロポーラスフィルタエレメントは、バインダ樹脂により保持されたガラスマイクロファイバで形成されることを特徴とする請求項２〜５のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
前記凝集フィルタ（１５）は、マイクロポーラスフィルタエレメント（１６）と、該マイクロポーラスフィルタエレメントの外面と接触する剛性で多孔の支持部材（２７）とを備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
前記凝集フィルタ（１５）は、マイクロポーラスフィルタエレメント（１６）と、該マイクロポーラスフィルタエレメント（１６）の内面と接触する内側の剛性で多孔の支持部材（２８）と、前記マイクロポーラスフィルタエレメント（１６）の外面と接触する外側の剛性で多孔の支持部材（２７）とを備えることを特徴とする請求項２〜６のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項９】
端キャップ（１７、１８）が、前記マイクロポーラスフィルタエレメント（１６）の両端部に接着取付けされることを特徴とする請求項２〜８のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】
前記軸は、前記軸の外面と、前記端キャップ（１７、１８）との間に、それぞれ、ガス密封シールを形成する、軸線方向に間隔を隔てた第１のシール（１９）及び第２のシール（２０）を支持していることを特徴とする請求項９に記載の真空ポンプ。
【請求項１１】
前記端キャップ（３１、３２）は、各々が、前記軸の外面と、前記端キャップ（３１、３２）との間に、それぞれ、ガス密封シールを形成するシール部材を支持していることを特徴とする請求項９に記載の真空ポンプ。
【請求項１２】
前記凝集フィルタ（１５）を通る液体汚染ガスの流れを確立する手段（２４）により、前記凝集フィルタ（１５）により除去されたガスの少なくとも一部を前記チャンバ（１１）の中に戻すように構成されることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項１３】
少なくとも１対の噛合いギア（８、９）を有し、該噛合いギア（８、９）によって、前記軸（１）が駆動されることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項１４】
真空ポンプのギア駆動機構によって生じた気−液混合物をガスと液体とに分離する方法であって、
ギア駆動機構はギアボックスのチャンバ（１１）の中に収容されており、前記チャンバは、真空ポンプのポンピングチャンバから実質的に隔絶されており、前記チャンバは、回転可能な軸（１）と、前記軸（１）によって支持され且つ前記軸（１）と共に回転可能な凝集フィルタ（１５）とを収容しており、
前記方法は、
気−液混合物を前記凝集フィルタ（１５）の中に送りこみ、それによって、液体が優先的に前記凝集フィルタ（１５）によって保留され、ガスが優先的に前記凝集フィルタ（１５）を通り、
気−液混合物は、前記軸（１）に対して、ほぼ半径方向内方の方向に前記凝集フィルタ（１５）に差し向けられ、
保留された液体は、回転する前記凝集フィルタ（１５）に関連した遠心力により前記凝集フィルタ（１５）から、ほぼ半径方向外方に向かって放出される、
ことを特徴とする方法。
【請求項１５】
分離された液体およびガスのうちの一方を前記チャンバから除去するための手段（２１、２２、２４）が設けられることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
分離されたガスは、前記軸（１）のボア（２２）を通して前記チャンバ（１１）から除去されることを特徴とする請求項１４又は１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記凝集フィルタ（１５）は、環状又は管状の形態を有し、かつ、前記軸（１）に同心状に取り付けられることを特徴とする請求項１４〜１６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１８】
前記凝集フィルタ（１５）は、ガラスマイクロファイバで作られた凝集エレメント（１６）を有することを特徴とする請求項１４〜１７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１９】
前記凝集エレメント（１６）は、ホウケイ酸ガラスマイクロファイバで作られることを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
分離すべき混合物は、前記ギア駆動機構（８、９）において生じた潤滑剤／ガス混合物であることを特徴とする請求項１４〜１９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２１】
請求項１〜１３のいずれか１項に記載のポンプ（３、４、５）に使用することができるようになっている、或いは、請求項１４〜２０のいずれか１項に記載の方法に使用することができるようになっている管状凝集フィルタであって、
前記凝集フィルタ（１５）は、管状のマイクロポーラスフィルタエレメント（１６）と、該マイクロポーラスフィルタエレメント（１６）の両端部に接着された端キャップ（１７、１８）とを有し、
前記端キャップは、前記軸（１）に対しシールして固定されている、
ことを特徴とする管状凝集フィルタ。
【請求項２２】
前記端キャップ（１７、１８）は、前記軸（１）の外面と、前記端キャップ（１７、１８）との間のガス密封シールを形成するシールリング（１９、２０）を支持するための、平らな円筒状の内面を含むことを特徴とする請求項２１に記載の管状凝集フィルタ。
【請求項２３】
前記端キャップ（１７、１８）は、Ｏリングシール（１９）を支持し、該Ｏリングシール（１９）は、前記軸（１）の外面と、前記円筒状の内面との間のガス密封シールを形成するものであることを特徴とする請求項２２に記載の管状凝集フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、気−液（ガス−液体）混合物の分離装置及び方法、及び或る形式の機械へのこれらの応用に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、環境的清浄性の考慮又は気−液混合物の成分部分の１つ又は両方を再循環する必要性を理由として、液体微小滴の「ミスト」からガスを分離する必要がある場合のように、気−液混合物を分離することが好都合な場合は多数存在する。
このような分離を行うことができるフィルタが知られている。より詳しくは、オイル等の液体の小さな浮遊（懸濁）小滴（一般に、「ミスト」と呼ばれている）を含有するガスが分離され且つ液体がフィルタに保留ないし保持される形式の凝集フィルタ（ｃｏａｌｅｓｃｉｎｇ  ｆｉｌｔｅｒ）が知られている。凝集フィルタは、ガラスマイクロファイバ、より詳しくは、ホウケイ（硼珪）酸ガラスマイクロファイバ（ｂｏｒｏｓｉｌｉｃａｔｅ  ｇｌａｓｓ  ｍｉｃｒｏｆｉｂｒｅｓ）を含む種々の材料から作ることができる。一般に凝集材料は、該凝集材料を通るガス流中を運ばれる液体の小滴を保留し且つ濾過効率を最高にするため、高表面エネルギを有することが要求される。凝集フィルタは一般に環状又は管状であり、マイクロファイバシートを成形（モールディング）又は襞付け（ｐｌｅａｔｉｎｇ）  することにより形成できる。特にモールディングの場合には、濾過効率を最適化するため、疎油性ではないバインダ樹脂、例えばエポキシ樹脂又はシリコーン樹脂を含むことが望ましい。一般に、凝集フィルタエレメントには、凝集フィルタエレメントの一表面又は両表面と接触しており且つフィルタ作用を妨げない充分な開放面積を有する機械的支持構造（例えば伸展金網又はエキスパンドメタルの層）が形成され又は設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、或る環境、より詳しくは、分離すべき気−液の流れを付勢して所定方向からフィルタに通す場合に、回転凝集フィルタを使用すると気−液混合物の分離を改善できるという発見に基づいている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の或る観点では、気−液混合物を成分部分に分離する方法が提供され、本発明の方法は、気−液混合物を付勢して凝集フィルタに通し、これにより、液体を優先的にフィルタにより保留させ且つガスを優先的にフィルタに通し、凝集フィルタが回転可能な軸に取り付けられ、気−液混合物が、軸に対してほぼ半径方向内方を向いてフィルタに供給され、保留された液体が、回転フィルタに関連する遠心力によりフィルタからほぼ半径方向外方に向かって放出されることを特徴とする。
本発明は、特に、チャンバ内に収容された気−液混合物の分離に適用できる。従って、本発明は、また、気−液混合物は実質的に閉鎖されたチャンバ内に収容され、分離された少なくとも１つの成分をチャンバから除去するための手段が設けられた気−液混合物分離方法を提供する。気−液混合物を、軸に対してほぼ半径方向内方に向かって付勢してフィルタ内に導入し、これにより、内方に流れる気−液混合物の流れ及び遠心力によりフィルタから放出される外方への液体の流れが同じ体積を占め、従って相互作用することが特に望ましいことが判明している。より詳しくは、本発明はこの理論の正当性に基づくものではないが、回転フィルタの外面から排出される凝集液小滴の抽出流れが、気−液混合物の流れにより運ばれ且つ内方に流れる微細滴と合体してサイズが成長するものと考えられる。また、この機構は達成される凝集に大きく寄与できると考えられる。
【０００５】
混合物を分離し且つその後に混合物の少なくとも１つの成分を収集するという本発明の好ましい全体的目的によれば、本発明はまた、１つの成分（通常はガス状成分）をチャンバから除去する手段（好ましくは、前記ガス状成分の少なくとも一部をチャンバ内に再循環させる手段）を提供する。
本発明は、この点での好ましい実施例として、分離された成分は、軸の内部ボア（好ましくは、実質的に軸線方向を向いたボア）を介してチャンバから除去されるガスである方法を提供する。
好ましくは、フィルタは環状又は管状であり且つ軸に同心状に取り付けられている。また、フィルタのガス出口側は、軸の実質的に半径方向を向いた１つ以上のボア（該ボアは、フィルタ内の所定位置にある）を介して実質的に軸線方向を向いたボアと連通するのが好ましい。
概略的にいえば、本発明は、潤滑油等を用いる機械又は設備に使用するのが特に適しており、これは、例えば、ギア駆動機構が組み込まれた任意の形式の機械である。このような機械は、使用時に、ギアボックスの領域に気−液混合物を発生し易い。気−液混合物において、ガス成分は空気であり、或いは、窒素又は窒素と空気との混合物のようなパージガスのこともある。また、液体成分は、ガス成分により分散又は浮遊されている潤滑油等の小滴の形態をなしている。このような機械又は設備において、一般に、ギア自体は軸と係合し且つギアボックスはギア駆動機構を収容する実質的に閉鎖されたチャンバを構成し、１本又は複数の軸がギアボックスの壁を貫通している。駆動モータ自体はチャンバ内又はチャンバ外に配置できる。
【０００６】
このような機械又は設備の１つの特別な例は或る形式の真空ポンプであり、この場合、ギア駆動機構はチャンバ内に収容するのが好ましく、チャンバの内部はそのポンピングチャンバから物理的に隔絶される。これは、特に、例えば半導体製造業等の用途に広く使用されている「ドライ」真空ポンプについていえるものであり、この場合に本質的なことは、ポンプ潤滑剤がポンピングチャンバを汚染しないようにして、半導体等の機器の潤滑剤汚染物が真空条件を受ける危険性を除去することである。一般に、このような「ドライ」真空ポンプは２本の軸を有し、一方の軸は、１組のロータを支持し且つ対応するロータ対（各軸の１つのロータ）が、これら自体のポンピングチャンバ内でポンピング作用を生じさせるべく相互係合するようにポンプ本体内に配置されている。ポンピングチャンバから離れた軸の端部は一般に相互噛合いギアを有し、一方の軸がモータにより回転されて、両軸のギアを介して反対方向に回転され、これによりロータ対によるポンピング作用が生じる。ポンピングチャンバの汚染を回避するため、軸の端部及び好ましくはモータ自体の全てが、軸シール及び他のシールによりポンピングチャンバからシールされた別のチャンバ内に収容されている。従って、ギア駆動機構に関連する潤滑剤及び冷却流体もそれらの別のチャンバ内に収容されている。本発明の方法は、このような真空ポンプに特に適している。特に、回転ギアにより引き起こされる液体潤滑剤の小滴は、ギアを収容するチャンバ内に液体／空気混合物を形成し、該混合物は本発明により分離される。
【０００７】
このようなポンプにおいて、本発明の好ましい実施例によれば、フィルタは、理想的には環状であり且つ一方の軸（通常は、非駆動軸）の回りに同心状に取り付けられており、且つ、フィルタからのガス出口をチャンバの外部の位置又は部位にリンク又は連結する内部ボア通路が設けられている。
ガス／液体混合物を付勢してフィルタに通す手段を設けなくてはならない。このような手段は、例えば、空気（又は好ましくは窒素のような不活性ガス）をチャンバ内に導入し、空気又は不活性ガスを、フィルタに通してチャンバ内に及び軸のボア又は通路を通してチャンバの外部に循環させる。好ましくは、次に、空気又は不活性ガスをチャンバ内に戻すべく連続流ベースで再循環させ、ガス流の全部又は一部を再循環させる。このような再循環は、空気又はガスを軸を通してチャンバ内に戻す手段（例えばポンプ本体部分に近接した軸の位置で軸に設けられたねじ）をポンプに組み込み、空気／ガスを軸の外部に供給してチャンバに戻すことにより首尾よく行われる。或いは、小さな空気ポンプを用いることもできる。このような方法で、空気／ガスがフィルタを通って連続供給される。
また、フィルタの前後に圧力差を導入又は形成することにより、ガス／液体混合物を付勢してフィルタに通し、フィルタの入口段により高い圧力を発生させることもできる。同様に、そのような圧力が実際に存在するときにのみ、本発明の方法を作動又は実施させ得ると考えることができる。
【０００８】
フィルタは軸と共に回転し、液体成分は一般にフィルタ内に保留される。保留された小滴がひとたび凝集すると、充分に大きな液体の滴が形成され、該滴は遠心力によりフィルタから噴出されて、例えば重力の作用によりポンプのオイルサンプ内に落下又は流下できる。
凝集フィルタ自体はこの一般的区分又は等級に該当する任意の形式のフィルタでよく、且つ凝集層単独又は凝集層と外部ドレン層とで構成でき、且つ本願明細書の導入部で述べた任意の形式にすることができる。
また、本発明は、別の態様で、内部空間を有し、該内部空間内に、回転可能な軸と、該軸により支持され且つ該軸と共に回転可能な凝集フィルタと、内部空間からフィルタを通って軸の中空内部内への液体汚染ガスの流れを確立又は形成する手段とが設けられたギアボックスにおいて、凝集フィルタが、ほぼ半径方向からフィルタ内へのガス流れ及び凝集液体のほぼ半径方向の噴出を行うための、内部空間に対し全体として円筒状の外面を有することを特徴とするギアボックスを提供する。
上記流路を備えた凝集フィルタは、大体において、約１３，０００ｒｐｍ、一般的には５００〜１０，０００ｒｐｍ、例えば２，０００〜６，０００ｒｐｍまでの回転速度をもつ軸に適することが判明している。凝集フィルタの幾つかの実施例は、高濾過効率、及び例えば２，５００〜５，０００ｒｐｍの運転速度で約４〜５ｃｍ水柱の圧力降下を呈する。
【０００９】
英国特許明細書第１５０８２１２号（Ｒｏｌｌｓ  Ｒｏｙｃｅ）は、ガス中の液体の浮遊物を分離するための遠心セパレータを開示している。遠心セパレータは、回転可能なチャンバと、浮遊物を導入するためのチャンバへの入口と、チャンバの半径方向外方部におけるチャンバからの出口とを有し、該出口は入口から分離されている。液体出口の半径方向内方に配置されたチャンバの部分には、ガスの出口が設けられている。チャンバ内にはパッキンが設けられており、該パッキンは比較的剛性の大きいマトリックスからなる。このマトリックスは、半合成連続気泡形発泡構造体上に金属をめっきし、その後に合成材料を除去することにより形成される金網である。パッキン内へのガス流路は半径方向ではなく軸線方向であり、使用されるパッキン材料は、本発明により考えられるマイクロファイバ材料よりもかなり粗いものである。
【００１０】
【実施例】
本発明のより良い理解のため、添付図面を参照して、種々の実施例を例示としてのみ説明する。
添付図面の図１は真空ポンプの一部を示す。該真空ポンプは、ポンプ本体（２）内に配置された軸（１）を有し、ポンプ本体（２）は、図示のように３つの本体部分（３、４、５）からなり、全ての本体部分（３、４、５）はシールして一体に固定されている。軸（１）は、本体部分（５）のベアリング（６）及び本体部分（３）のベアリング（７）により、本体（２）内で回転できるように取り付けられている。真空ポンプは、軸（１）に対して平行な軸線を有する第２軸（図示せず）を備えた形式のものである。これらの軸はそれぞれギア（８、９）を有し、これらのギア（８、９）は互いに係合している。第２軸をその長手方向軸線の回りで回転させる手段（図示せず）が設けられており、相互係合ギア（８、９）を介して軸（１）も回転される。一般に、ギア及び駆動モータ（図示せず）は潤滑を必要とし、この目的のためにオイルが使用され、オイルは内部チャンバ（１１）を汚染する。該チャンバ（１１）内で軸（１）が回転し、オイルのミストはチャンバ内に存在する空気又はガス中で浮遊する。
【００１１】
軸（１）は、該軸（１）に固定され且つ該軸（１）と共に回転できるピストンリングキャリヤ（１０）内に収容された一連のピストンリング（１２）の形態の軸シールにより、本体部分（３）内でシールされている。これにより、２つの軸の下部（図１で見て）を収容するチャンバ（１１）が、真空ポンプのポンピングチャンバ（図１で見て、本体部分（３）の上方に配置されている）から確実にシールされる。本体部分（３）の通路（１３、１４）の間には１つのピストンリング（１２）が配置されており、これにより、共通の源（Ａ）からのガス（例えば窒素）の流れがリング（１２）の両側に導かれ、該リング（１２）の両側の圧力を等しくする。これにより、シーリングを補助し且つガスが通路（１３）の上方のピストンリングを横切って全体として上方に、従ってポンプ出口内へと流れるようにする。
軸（１）は、該軸（１）と共に同心状に回転できるように環状フィルタ（１５）を支持するようになっている。フィルタは環状凝集フィルタエレメント（１６）を有し、該フィルタエレメント（１６）の両端部は、図示のようなＵ形断面の環状端キャップ（１７、１８）により支持され且つ該端キャップ（１７、１８）自体はＯリング（１９、２０）により軸（１）に対しシールして固定されている。この目的のため、端キャップ（１７）の円筒状環状面は、Ｏリング（１９）の両側に間隙をもってＯリング（１９）上にぴったりと嵌合できる充分な軸線方向長さを有する。またフィルタエレメント（１６）の外面及び内面は、これらの外面及び内面と一致する形状を有し且つ接触している２つの環状伸展金網部品により支持及び拘束されている。チャンバ（１１）から、外側の環状伸展金網部品及び凝集フィルタエレメント（１６）を全体として半径方向に通り、内側の伸展金網部品から、軸（１）に半径方向に形成された等間隔の６つの連続ボア（２１）（図１には２つのボアが示されている）内に向かうガス流路が形成される。ボア（２１）自体は、軸（１）に沿って軸線方向を向いた別のボア（２２）と連通している。ボア（２２）は、軸の基部でシール（図示のように）され且つ本体部分（３）の近くのボア（２２）の上端部で、別の組の６つの半径方向のボア（２３）と連通しており、これらのボア（２３）は、ピストンリングキャリヤ（１０）の半径方向ドリル孔を通って該キャリヤ（１０）の外面まで延びている。
【００１２】
ピストンリングキャリヤ（１０）の外側湾曲面の最下方部分には２条ねじすなわちスクロール（２４）が設けられており、該ねじすなわちスクロール（２４）のターンは、ボア（２３）とチャンバ（１１）とを連通させることができる。真空ポンプの使用に際し、軸（１）が高速で回転されると、本発明の方法によれば、チャンバ（１１）内に存在する空気又はガスを付勢して連続的にフィルタエレメント（１６）に向かわせることができる。空気又はガスは、図１に太い矢印で示すほぼ半径方向にフィルタエレメント（１６）に流入し、次に該フィルタエレメント（１６）を通って循環してボア（２１）内に入り、次いでボア（２２）及び最終的にボア（２３）に導かれ、該ボア（２３）からねじ（２４）を通ってチャンバ（１１）内に戻される。ねじすなわちスクロール（２４）自体の回転により、図示のような空気又はガスの再循環駆動力が付与される。
本発明の方法によれば、フィルタエレメント（１６）内に引き入れられた空気又はガス中に浮遊しているオイル小滴は、凝集フィルタの物理的特性によりフィルタエレメント（１６）内に保留又は捕捉される。オイル含有物が除去された空気又はガスは、フィルタを通過し且つ上記のようにして再循環される。フィルタにより保留されたオイル小滴は他の保留小滴と融合して大きなサイズの滴を形成する。これらの滴が成長すると、滴は、小さな矢印で示すように、ほぼ半径方向外方に向かってフィルタから周期的に噴出又は放出される。内方を向いたオイル含有空気／ガス流れと、外方を向いた凝集オイル滴との相互作用の可能性があるけれども、この相互作用は濾過効率を高めると考えられている。フィルタエレメント（１６）から放出されたオイル滴は、本体部分（４）の側壁に衝突し、本体部分（５）の近くでポンプ本体の基部に落下する。このようにして、オイルは、真空ポンプのポンピングチャンバに近いこれらの部分から全体として離れた状態に維持される。
【００１３】
図２には、環状のオイル凝集フィルタ（１５）が、より詳細に示されている。フィルタエレメント（１６）は、繊維質の有機又は無機材料（好ましくは、ガラスマイクロファイバ等の無機材料）から製造され、すなわち成形（モールド）できる。凝集フィルタは、0.001 〜１０ミクロンのサイズ、より詳しくは、この種の真空ポンプ内の空気中に浮遊するオイルの主成分を形成する1.5 ミクロン以下のサイズの粒子及び小滴を保留できる構造及びポア（孔）サイズにすべきである。適当な媒体は、ＡＳＴＭ  Ｄ  １９８６−１９７１（米軍規格２８２）によるフタル酸ジオクチル試験を受けたとき、一般に、99.97 〜99.9999 ％の間の効率を有する。凝集フィルタは、襞付きシートから形成された巻回シートの層から形成できるけれども、本発明の場合には、モールディング又は真空成形により作るのが好ましい。フィルタは、一般に、その製造時に、疎水性、疎油性及び一定の機械的強度を付与する樹脂バインダで含浸される。英国特許出願明細書ＧＢ−Ａ−１０１４８８２号（Domnick Hunter) 、ＧＢ−Ａ−１５４４８２２号及びＧＢ−Ａ−１６０３５１０号（方法の科学的発明）には、凝集エレメントに適した媒体が開示されている。より詳しくは、フィルタエレメント（１６）は、英国特許出願明細書ＧＢ−Ａ−１６０３５１９号に開示された方法に従って、ホウケイ酸ガラスマイクロファイバから成形（モールド）するのが好ましい。
【００１４】
一般に、外径６ｃｍ、長さ３ｃｍのフィルタ（１５）が、軸（１）への着脱に便利なように単一部品として形成される。製造時に、フィルタエレメント（１６）の内面には、内側の伸展金網支持体（２８）が取り付けられ、フィルタエレメント（１６）の外面には、外側の伸展金網支持体（２７）が取り付けられ、その後、環状端キャップ（１７、１８）が、内側の支持体（２８）と、外側の支持体（２７）に接着される。内側の支持体（２８）および外側の支持体（２７）は、約０．５ｍｍの厚さ及び６０％の開放面積をもつ伸展ステンレス鋼金網が便利である。フィルタエレメント（１６）は、エポキシ樹脂が含浸されたホウケイ酸ガラスマイクロファイバで作り、且つ、端キャップ（１７、１８）はアルミニウム合金を機械加工して、これらは、化学的攻撃に対する優れた抵抗性及び例えば約１３０℃の作動温度を有するグレードのエポキシ接着剤により、フィルタエレメント（１６）を、外側の支持体（２７）と、内側の支持体（２８）とに接着することができる。
図３に示す別の態様では、端キャップ（１７、１８）は、例えば、３０％ガラス充填ポリブチレンテレフタレートのような剛性プラスチック材料で作ることができ、且つ外側の伸展金網支持体（２７）の外面上には、例えば、ポリエステルニードルフェルトのような大きなポアサイズの有機織成（又は不織）又は発泡材料からなるドレン層を設けることができる。このようなドレン層は、米国特許ＵＳ−Ａ−５１２９９２３号に開示されている。
【００１５】
図４は、凝集フィルタが、その外面に単一の伸展金網支持体（２７）のみを備え且つ端キャップ（３１、３２）の間にサンドイッチされた別の形態を示す。端キャップ（３１、３２）は軸線方向延長部（３３）を有し、該軸線方向延長部（３３）にはＯリングシールを保持するための保持溝（３４）が形成されている。この構造では、フィルタを平らな軸上に嵌合でき且つ新しいＯリングシール対（これらのＯリングシール対はエレメント内に捕捉されており、エレメントの交換の度毎に取り替えられる）を供給できる。
図５及び図６には更に別の態様が示されており、この態様では、フィルタ（１５）の外側円筒面上にスプラッシュガード（飛散防護体）（３５）が嵌着され、該スプラッシュガード（３５）は、端キャップ（１７、１８）に接触して取り付けられる。スプラッシュガード（３５）は液体不透過材料からなる環状体であり、該環状体には外方に突出するルーバ（３７）が形成されている。矢印で示す回転方向に関してルーバ（３７）の後縁部には、ポート（３９）が形成されている。軸（１）が低速で回転するとき（より詳しくは、真空ポンプの始動時及び停止時）、フィルタエレメント（１６）はオイルの飛散を受け易い（オイルは、低回転速度では凝集エレメント（１６）に保留され、圧力降下に寄与する）。スプラッシュガード（３５）は、凝集エレメントが直接オイルの飛散を受ける傾向を減少させ、従って、ポンプの始動時又は低運転速度時に、小さな圧力降下でフィルタが作動できるようにする。しかしながら、スプラッシュガード（３５）が、汚染空気の侵入又は凝集オイル小滴の噴出を大きく損なうことはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の方法に使用される「ドライ」真空ポンプの一部を示す断面図である。
【図２】凝集フィルタを支持する図１のギアボックスの回転軸の一部の半分を断面した拡大図である。
【図３】凝集フィルタの第２形態を示す拡大部分断面図である。
【図４】凝集フィルタの第３形態を示す断面図である。
【図５】図１及び図２の凝集フィルタ上に嵌合するように構成されたスプラッシュガードを示す概略斜視図である。
【図６】図１及び図２の凝集フィルタ上に嵌合するように構成されたスプラッシュガードを示す概略断面図である。
【符号の説明】
１  軸
２  ポンプ本体
３、４、５  本体部分
６、７  ベアリング
８、９  ギア
１０  ピストンリングキャリヤ
１１  内部チャンバ
１２  ピストンリング
１３、１４  通路
１５  フィルタ
１６  フィルタエレメント
１７、１８  端キャップ
１９、２０  Ｏリング
２１、２２、２３  ボア
２４  ねじ（スクロール）
２７  外側の伸展金網支持体
２８  内側の伸展金網支持体
３１、３２  端キャップ
３３  軸線方向延長部
３４  保持溝
３５  スプラッシュガード
３７  ルーバ
３９  ポート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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