(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
受け成形型と対向成形型の間に供給されたガラスゴブをプレス成形し、肉薄板状ガラスを製造する方法であって、
プレス成形の後、対向成形型と受け成形型とを離間させる際に、前記肉薄板状ガラスを受け成形型上に保持する部材を設けた方法であり、前記受け成形型が下型用胴型の内周面を上下に摺動自在に設けられた下型であり、前記対向成形型が上型用胴型の内周面を上下に摺動自在に設けられた上型であって、前記ガラスゴブを下型用胴型で囲まれた成形空間一杯に広げるとともに、前記肉薄板状ガラスの外周端部が上型用胴型の下面の下に伸び入るようにプレス成形し、プレス成形の後、上型と下型とを離間させる際に、上型用胴型の下面で肉薄板状ガラスの外周端部を上から押さえて前記肉薄板状ガラスを下型上に保持することを特徴とする肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項２】
前記肉薄板状ガラスが機械加工を経て情報記録媒体用ガラス基板に加工されるものであることを特徴とする請求項１に記載の肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項３】
前記ガラスゴブが溶融ガラスからなる請求項１または２に記載の肉薄板状ガラスの製造方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の肉薄板状ガラスの製造方法により製造された肉薄板状ガラスの主表面を研磨することを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法により製造された情報記録媒体用ガラス基板上に、少なくとも磁性層を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体、光磁気記録媒体及び光記録媒体等の情報記録媒体用ガラス基板並びにカメラ用フィルタ等に使用される、例えば肉厚３ｍｍ程度以下の肉薄板状ガラスをプレス成形により製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、肉薄板状ガラスをプレス成形により製造する方法としては、例えば特開平７−１３３１２１号公報に記載されたような製造方法がある。この方法は、上・下型のプレス面の表面温度をガラス転移点近傍に設定するとともに、胴型の内表面温度を前記プレス面の表面温度よりも高く設定することにより、ガラスの胴型方向の延びを阻害せずに肉薄板状ガラスをプレス成形する方法である。
【０００３】
ところで、一般に、ガラスゴブをプレスしてガラス製品を得る場合、ガラスゴブの熱が成形型に移動し、成形型の温度が上昇する。しかし、ガラスレンズのような肉厚の成形品の成形では、成形品の内部の温度は高く、成形型に移動する熱は比較的ガラスゴブの表面の熱だけであった。それに対して、磁気記録媒体用ガラス基板のような肉薄板状ガラス製品では、ガラスを広く薄く伸ばす必要があることから成形型を予め比較的高温にする必要がある上に、ガラス内部まで成形型と接触することになるため、ガラスゴブ全体の熱が急激に成形型に移動し、成形型の温度がより上昇することになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかるに、このように成形型の温度がかなり高くなると、肉薄板状ガラス製品が成形型に張り付きやすくなり、プレス成形の後、上型を上昇させたとき、時には、肉薄板状ガラスが上型に張り付いたまま上昇し、成形品を取り出せなくなることがあった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述の課題を解決するために、受け成形型と対向成形型の間に供給されたゴラスゴブをプレス成形し、肉薄板状ガラスを製造する方法であって、プレス成形の後、対向成形型と受け成形型とを離間させる際に、前記肉薄板状ガラスを受け成形型上に保持する部材を設けたことを特徴とする肉薄板状ガラスの製造方法とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
次に添付図面を参照して本発明による肉薄板状ガラスの製造方法の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明の実施の形態を説明するための図で、上型１１および下型２１を示す断面図である。この図のように、下型２１は、円板状の下型本体２２と、この下型本体２２の下面中央部に形成されて下型本体２２を支持する支持ロッド２３とによって構成されており、下型本体２２の平坦な上面はプレス面２４となっている。さらに、支持ロッド２３が図示しない駆動手段によって上下動されることによって、下型２１が上下動するようになっている。このような下型２１は、該下型２１を囲むように胴型２５を備えており、この胴型２５は、円筒状の胴型本体２６と、この胴型本体２６の下端部に内側に突出して形成された円環状のフランジ部２７とによって構成されている。下型２１は、このような胴型２５の内周面を上下に摺動自在に設けられる。
【０００７】
下型２１に対向して設けられる上型１１は、円板状の上型本体１２と、この上型本体１２の上面中央部に形成されて上型本体１２を支持する支持ロッド１３とにより構成されており、上型本体１２の平坦な下面はプレス面１４となっている。さらに、支持ロッド１３が図示しない駆動手段によって上下動されることによって、上型１１が上下動するようになっている。このような上型１１は、該上型１１を囲むように胴型１５を備えている。この胴型１５は、円筒状の胴型本体１６と、この胴型本体１６の上端部に内側に突出して形成された円環状のフランジ部１７とによって構成されており、前記胴型本体１６の内周面の径は、前述した下型用胴型２５、詳しくはその胴型本体２６の内周面の径より小さく形成されている。上型１１は、このような胴型１５の内周面を上下に摺動自在に設けられる。
【０００８】
なお、上型１１、上型用胴型１５、下型２１および下型用胴型２５は、耐熱性の材料、例えばグラファイト、タングステン合金、窒化物、炭化物、耐熱金属等で形成されるが、高周波加熱を行う場合には、これによって加熱できる耐熱金属等に限定される。特に鋳鉄が、強度、耐久性にも優れるため好ましい。また、上型用胴型１５の下面は、内周面側が凹部１８となっている。一方、下型用胴型２５の上面は内周面側が突部２８となっている。下型用胴型２５の上面に上型用胴型１５の下面を対接させた際は、この凹部１８と突部２８とが嵌合される。
【０００９】
以上のように構成された上型１１および下型２１を用いて肉薄板状ガラスをプレス成形する方法を図２ないし図４を参照して説明する。なお、図１に示すように、通常、下型２１は、下型用胴型２５の上面より、成形される肉薄板状ガラスの厚さ分だけ下がった位置に位置する。したがって、下型２１上には、成形される肉薄板状ガラスの厚さ分に相当する偏平状の空間（成形用空間）が胴型２５により囲まれて設けられる。
【００１０】
プレス成形においては、まず図２（ａ）に示すように白金製パイプ３１から一定流量で溶融ガラス３２を下型２１上に供給し、所定量となったところで溶融ガラス３２を図２（ｂ）に示すように切断刃３３で切断する。切断された溶融ガラス３２は、表現張力で丸みを帯びたオハジキ状ガラスゴブとなる。次に、図３（ａ）に示すように、上型用胴型１５を下降させ、上型用胴型１５の下面を下型用胴型２５の上面に当接させる。次に、図３（ｂ）に示すように上型１１を胴型１５の内周面を摺動して胴型１５の下面の位置まで下降させ、上型１１と下型２１とでガラスゴブをプレス成形する。これにより、ガラスゴブは下型用胴型２５で囲まれた偏平状の前記成形空間一杯に広がって肉薄板状ガラス３４になる。このとき、胴型１５と胴型２５とによって外周を囲んだのち上型１１を下降させるようにしたので、供給されたガラスゴブの量にバラツキがあっても、プレス成形された肉薄板状ガラス３４の外径は一定となる。個々の肉薄板状ガラス３４の外径が一定の場合、後述するラッピング工程で、個々の肉薄板状ガラス３４の平坦度が揃えやすい。ガラスゴブの量にバラツキが生じたとき、肉薄板状ガラス３４の厚さにバラツキが生じるが、研磨により削除されるので問題はない。また、上型用胴型１５の内周面の径を下型用胴型２５の内周面の径より小さくしたので、肉薄板状ガラス３４の外周端部は上型用胴型１５の下面の下に伸び入るようになる。
【００１１】
次に、図４（ａ）で示すように上型１１を胴型１５の内周面を摺動して上昇させる。このとき、上型１１に張り付いて肉薄板状ガラス３４が上昇する恐れがあるが、この装置においては、上型用胴型１５の下面で肉薄板状ガラス３４の外周端部が上から押えられるので、上型１１と一体に肉薄板状ガラス３４が上昇せず、肉薄板状ガラス３４は下型２１上に保持される。その後、図４（ｂ）に示すように上型用胴型１５を上昇させる。このとき、上型用胴型１５と肉薄板状ガラス３４は接触面積が少ないので、肉薄板状ガラス３４が上型用胴型１５に張り付いて上昇することはない。最後に、下型２１を下型用胴型２５の内周面を摺動して上昇させ、肉薄板状ガラス３４を取出す。
【００１２】
このように本発明の実施の形態によれば、上型１１と下型２１とを離間させる際に、上型用胴型１５により肉薄板状ガラス３４を下型２１上に確実に保持することができる。また、プレス成形の際に、上型用胴型１５が下降した後に上型１１が下降するようにしたので、ガラスゴブの量にバラツキがあっても肉薄板状ガラス３４の外径が変化することはない。これらから、本発明の実施の形態によれば、高品質の肉薄板状ガラスを量産できる。
【００１３】
以上のような方法において、下型は複数個配置され、ガラスゴブの供給の工程、プレス成形の工程、成形品の取り出し工程等の工程を順次経るように設計され、例えばターンテーブルの円周上に個々の下型を配置し、下型が各工程を経るようにターンテーブルを回転させることが好ましいが、直線方向に移動するように設計してもよい。また、各工程に、同時に供せられる下型の数は、単数であっても、複数個であってもよい。
一方、上型は、プレス成形の工程に位置した下型に対向して配置される。従って、上型は、一度のプレス成形に使用される下型と少なくとも同数が必要であるが、それ以上の個数を備えてもよい。
【００１４】
次に、下型および上型のそれぞれの成形面の温度は、プレス成形開始時に、ある所定温度に調節されることが必要である。
ここで、成形型について所定の温度とは、ガラス材料を、肉薄の板状に成形するのに適した温度をいう。かかる温度は、硝子種、肉厚、ガラス板のサイズ等により適宜決定される温度である。
【００１５】
さらに、プレス成形開始時の下型および上型の成形面の温度を前記所定温度に調節するために、下型および上型に対して、必要に応じて加熱する手段、および冷却する手段が講じられる。
加熱する手段としては、例えば、ニクロムヒータを成形型の周囲に複数配置して加熱する方法、成形型の周囲を取り囲むように配置したコイルに電流を流して導電体からなる成形型を誘導加熱する方法、ガスにより加熱する方法等があるが、均一な加熱ができる点で誘導加熱による方法が好ましい。誘導加熱によると、ニクロムヒータによる加熱の場合のように複数の熱源で一つの成形型を加熱する方法と異なり、一つのコイルで一または二以上の成形型を加熱することができるため熱源温度のバラツキという問題がなく、成形型とコイルの距離を一定にすることで成形型を均一に加熱することができる。また、誘導加熱を用いる場合、誘導加熱を上型、下型の両方に対して行っても、いずれか一方に行ってもよく、胴型を用いる場合には、胴型に適用することも可能である。
ここで、誘導加熱の際にコイルに流す電流は、高周波電流であることが好ましい。低周波電流では装置が大がかりになり、また、人の可聴音域であるため騒音が問題となることがある。
【００１６】
一方、プレス成形に供せられた成形型の温度は、溶融ガラスからの熱を受け取って、プレス成形前に比べて上昇している。従って、どの肉薄板状ガラスについても同等の温度条件でプレス成形するためには、次のプレス成形に供されるまでに、成形型が成形前の温度に戻っていることが必要である。このとき、プレス成形に供されたのち次のプレス成形に供されるまでの時間に自然冷却してプレス成形前の温度に戻る場合以外は、何らかの冷却手段を講じて温度を戻してやることが好ましい。したがって、加熱手段と同時に、冷却手段も必要となる。
冷却手段としては、成形型の中空部に水や空気を循環させる方法、水等の液体を成形型の中空部内面に吹き付けて気化させる方法などを採用することができる。液体を吹き付けて気化させる方法によると、液体の気化熱で成形型を冷却することができるため、液体を循環させる方法よりも少ない液量で冷却効果が得られる。従って、水等の気化熱を利用する方法は、冷却効果の観点ばかりでなく、冷却装置をより小さくすることができる観点からも好ましい。さらに、例えば上型の冷却に時間がかかり、成形後、次の成形までに所定の温度までに冷却出来ない場合等には、上型を複数個容易し、どれか１つの上型がプレス成形を行っているときに、他の上型を冷却しておき、複数個の上型を循環させてもよい。
【００１７】
また、プレス成形においては、上型と下型を予め所定の異なった温度に加熱しておき、ガラス原料の温度が軟化点以下で、上下型と熱的に平衡となるまで充分な時間プレスしてもよいし、あるいは、ガラスが軟化状態にあるときにプレスを終了してもよい。後者の場合は、肉薄板状ガラスの温度が、成形型の温度より高く、この時点で肉薄板状ガラスと成形型は熱的に平衡状態に至っていない。しかし、成形型があらかじめ所定の温度に保たれているので、成形後冷却して得られた肉薄板状ガラスは、反り等の形状が一定した一定の形状をしており、研削・研磨しやすい形状となっている。また、肉薄板状ガラスと成形型は熱的に平衡状態に達するまで冷却する必要がないため、成形時間を短縮することもできる。
さらに、プレス時間を短くする目的で、肉薄板状ガラスの中心部が当該ガラス材料の軟化点以上の温度でプレス成形を終了してもよい。
また、プレス成形後の肉薄板状ガラスは軟化状態にあるので、プレス成形に次いで、肉薄板状ガラスの反りを修正する工程を行ってもよい。肉薄板状ガラスの反りを修正する工程とは、例えば、肉薄板状ガラスの片面にのみ空気等を吹きかける等、不均一に熱を奪ったり、上型と同様な成形面を有した成形型によって、再度プレスしたりすることによって、反りの大きさを修正する工程のことである。
また、本発明の肉薄板状ガラスの製造方法では、上、下型のプレス面の表面温度をガラス転移点近傍に設定し、胴型の内表面温度を前記プレス面の表面温度よりも高く設定する成形方法を適用することが可能である。
【００１８】
さらに、溶融ガラスを薄い板状に成形するためには、溶融ガラスを外周方向によく引き延ばすことが必要であるため、成形型の成形面に固体潤滑剤を付着させて溶融ガラスの潤滑性を上げることが好ましい。このとき、肉薄板状ガラスを成形する際の成形型は、肉厚のものをプレス成形する場合よりもより多くの熱を溶融ガラスから受け取るため高温になる。従って、固体潤滑剤は高温域においても潤滑性を失わない耐熱性のものであることが好ましい。このような耐熱性固体潤滑剤としては、耐熱性に優れるものであれば特に限定されないが、窒化ホウ素（ＢＮ）が好適である。
また、極薄い肉薄板状ガラスであっても機械的強度に優れる板状ガラスを得るために、ガラス素材としてガラス転移点が高いものを用いることがある。このような場合には、成形型もかなり高温となるため、固体潤滑剤に要求される耐熱性は非常に高度なものとなる。このような場合にもＢＮ粉末は好適に用いられる。耐熱性固体潤滑剤は粉末化したものを用いることで、ガラスの成形面への均一な付着および余剰分の除去を容易に行うことができる。
【００１９】
上記の製造方法により得られた肉薄板状ガラスは、研削、研磨等の機械加工を経て、例えば情報記録媒体用ガラス基板となる。
以下、機械加工について詳しく説明する。機械加工については、具体的には、上記のガラスの表面を水洗浄し、以下の（１）荒ずり（粗研磨）、（２）砂掛け（精研削、ラッピング）、（３）第一研磨（ポリッシュ）、（４）第二研磨（ファイナル研磨、ポリッシュ）の各工程を経る。
【００２０】
（１）荒ずり工程
まず、粒度の細かいダイヤモンド砥石で上記ガラス基板の両面を片面ずつ研削加工した。このときの荷重は１００ｋｇ程度とした。これにより、ガラス基板両面の表面粗さをＲmax(JIS B 0601で測定）で１０μｍ程度に仕上げた。
次に、円筒状の砥石を用いてガラス基板の中央部分に孔を開けるとともに、外周端面も研削して直径を６５ｍｍφとした後、外周端面及び内周面に所定の面取り加工を施した。
【００２１】
（２）砂掛け（ラッピング）工程
次に、ガラス基板に砂掛け加工を施した。この砂掛け工程は、寸法精度及び形状精度の向上を目的としている。砂掛け加工は、ラッピング装置を用いて行い、砥粒の粒度を＃４００、＃１０００と替えて２回行った。
詳しくは、はじめに、粒度＃４００のアルミナ砥粒を用い、荷重を１００ｋｇ程度に設定して、内転ギアと外転ギアを回転させることによって、キャリア内に収納したガラス基板の両面を両精度０〜１μｍ、表面粗さ（Ｒmax)６μｍ程度にラッピングした。
次いで、アルミナ砥粒の粒度を＃１０００に替えてラッピングを行い、表面粗さ（Ｒmax)２μｍ程度とした。
上記砂掛け加工を終えたガラス基板を、中性洗剤、水の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。
【００２２】
（３）第一研磨（ポリッシュ）工程
次に、第一研磨工程を施した。この第一研磨工程は、上述した砂掛け工程で残留したキズや歪みの除去を目的とするもので、研磨装置を用いて行った。
詳しくは、ポリシャ（研磨粉）として硬質ポリシャ（セリウムパッドＭＨＣｌ：スピードファム社製）を用い、以下の研磨条件で第一研磨工程を実施した。
研磨液：酸化セリウム＋水
荷重：３００ｇ／ｃｍ2 （Ｌ＝２３８ｋｇ）
研磨時間：１５分
除去量：３０μｍ
下定盤回転数：４０ｒｐｍ
上定盤回転数：３５ｒｐｍ
内ギア回転数：１４ｒｐｍ
外ギア回転数：２９ｒｐｍ
上記第一研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水、純水、ＩＰＡ（イソプロピレンアルコール）、ＩＰＡ（蒸気乾燥）の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。
【００２３】
（４）第二研磨工程
次に、第一研磨工程で使用した研磨装置を行い、ポリシャを硬質ポリシャから軟質ポリシャ（ポリラックス：スピードファム社製）に替えて、第二研磨工程を実施した。研磨条件は、荷重を１００ｇ／ｃｍ2 、研磨時間を５分、除去量を５μｍとしたこと以外は、第一研磨工程と同様とした。
上記第二研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、中性洗剤、純水、純水、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、ＩＰＡ（蒸気乾燥）の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。なお、各洗浄槽に超音波を印加した。
このようにして、外径６５ｍｍφ、中心部の孔径２０ｍｍφ、厚さ０．５ｍｍ、Ｒmax ４０オングストローム、Ｒａ８オングストローム程度の円板状の情報記録媒体用ガラス基板を得た。
【００２４】
以上のような方法で製造された情報記録媒体用ガラス基板は、そのガラス基板上に下地層、磁性層、保護層、潤滑層を順次積層することにより、磁気記録媒体を構成する。
【００２５】
ここで、磁気記録媒体のガラス基板の材質としては、たとえば、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、アルミノボロシリケートガラス、ボロシリケートガラス、石英ガラス、チェーンシリケートガラス、または、結晶化ガラス等のガラスセラミックなどが挙げられる。さらに、好ましくは、次のような組成のガラスが使用される。
（１）結晶化ガラス１
重量％表示で、ＳｉＯ2 が６０〜８７％、Ｌｉ2 Ｏが５〜２０％、Ｎａ2 Ｏが０〜５％、Ｋ2 Ｏが０〜１０％、Ｎａ2 ＯとＫ2 Ｏが合計で０．５〜１０％、ＭｇＯが０．５〜７．５％、ＣａＯが０〜９．５％、ＳｒＯが０〜１５％、ＢａＯが０〜１３％、ＺｎＯが０〜１３％、Ｂ2 Ｏ3 が０〜１０％、Ａｌ2 Ｏ3 が０〜１０％、Ｐ2 Ｏ5 が０．５〜８％、ＴｉＯ2 が０〜５％、ＺｒＯ2 が０〜３％、ＳｎＯ2 が０〜３％、Ａｓ2 Ｏ3 とＳｂ2 Ｏ3 が合計で０〜２％、上記金属酸化物の１種以上の金属元素のフッ化物をＦの合計量として０〜５％含有し、場合により着色成分として、Ｖ2 Ｏ5 、ＣｕＯ、ＭｎＯ2 、Ｃｒ2 Ｏ3 、ＣｏＯ、ＭｏＯ3 、ＮｉＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、ＴｅＯ2 、ＣｅＯ2 、Ｐｒ2 Ｏ3 、Ｎｄ2 Ｏ3 、Ｅｒ2 Ｏ3 の群より選ばれた少なくとも１種を０〜５％含有し、主結晶としてリチウムジシリケート、場合によりα−クリストバライト、α−クオーツ、リチウムモノシリケート、β−スポジューメン等を含有し、結晶粒の大きさが３．０μｍ以下である結晶化ガラス。
（２）結晶化ガラス２
重量％表示で、ＳｉＯ2 が４５〜７５％、ＣａＯが４〜３０％、Ｎａ2 Ｏが２〜１５％、Ｋ2 Ｏが０〜２０％、Ａｌ2 Ｏ3 が０〜７％、ＭｇＯが０〜２％、ＺｎＯが０〜２％、ＳｎＯ2 が０〜２％、Ｓｂ2 Ｏ3 が０〜１％、Ｂ2 Ｏ3 が０〜６％、ＺｒＯ2 が０〜１２％、Ｌｉ2 Ｏが０〜３％、上記金属酸化物の１種以上の金属元素のフッ化物をＦの合計量として３〜１２％含有し、場合により着色成分としてＣｒ2 Ｏ3 、Ｃｏ3 Ｏ4 等を含有し、主結晶としてカナサイト又はカリウム・フルオロ・リヒテライトを含有し、結晶粒の大きさが１．０μｍ以下である結晶化ガラス。
（３）ガラス３
重量％表示で、ＳｉＯ2 が６２〜７５％、Ａｌ2 Ｏ3 が４〜１８％、ＺｒＯ2 が０〜１５％、Ｌｉ2 Ｏが３〜１２％、Ｎａ2 Ｏが３〜１３％含有するガラス。
【００２６】
このようなガラス基板は、耐衝撃性や耐振動性等の向上を目的として、表面に低温イオン交換法による化学強化処理を施すことができる。ここで、化学強化方法としては、従来より公知の化学強化法であれば特に制限されないが、例えば、ガラス転移点の観点から転移温度を超えない領域でイオン交換を行う低温型化学強化などが好ましい。化学強化に用いるアルカリ溶融塩としては、硝酸カリウム、硝酸ナトリウム、あるいは、それらを混合した硝酸塩などが挙げられる。
【００２７】
下地層としては、例えば、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ、Ｖ、Ｂ、Ａｌなどの非磁性金属から選ばれる少なくとも一種以上の材料からなる下地層等が挙げられる。Ｃｏを主成分とする磁性層の場合には、磁気特性向上等の観点からＣｒ単体やＣｒ合金であることが好ましい。また、下地層は単層とは限らず、同一又は異種の層を積層した複数層構造とすることもできる。例えば、Ｃｒ／Ｃｒ、Ｃｒ／ＣｒＭｏ、Ｃｒ／ＣｒＶ、ＣｒＶ／ＣｒＶ、Ａｌ／Ｃｒ／ＣｒＭｏ、Ａｌ／Ｃｒ／Ｃｒ、Ａｌ／Ｃｒ／ＣｒＶ、Ａｌ／ＣｒＶ／ＣｒＶ等の多層下地層等が挙げられる。
【００２８】
磁性層としては、例えば、Ｃｏを主成分とするＣｏＰｔ、ＣｏＣｒ、ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＣｒ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＮｉＰｔや、ＣｏＮｉＣｒＰｔ、ＣｏＮｉＣｒＴａ、ＣｏＣｒＴａＰｔ、ＣｏＣｒＰｔＳｉＯなどの磁性薄膜が挙げられる。磁性層は、磁性膜を非磁性膜（例えば、Ｃｒ、ＣｒＭｏ、ＣｒＶなど）で分割してノイズの低減を図った多層構成（例えば、ＣｏＰｔＣｒ／ＣｒＭｏ／ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒＴａＰｔ／ＣｒＭｏ／ＣｏＣｒＴａＰｔなど）としてもよい。磁気抵抗型ヘッド（ＭＲヘッド）又は大型磁気抵抗型ヘッド（ＧＭＲヘッド）対応の磁性層としては、Ｃｏ系合金に、Ｙ、Ｓｉ、希土類元素、Ｈｒ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｚｎから選択される不純物元素、又はこれらの不純物元素の酸化物を含有させたものなども含まれる。また、磁性層としては、上記の他、フェライト系、鉄−希土類系や、ＳｉＯ2 、ＢＮなどからなる非磁性膜中にＦｅ、Ｃｏ、ＦｅＣｏ、ＣｏＮｉＰｔ等の磁性粒子が分散された構造のグラニュラーなどであってもよい。また、磁性層は、内面型、垂直型のいずれの記録形式であってもよい。
【００２９】
保護層としては、例えば、Ｃｒ膜、Ｃｒ合金膜、カーボン膜、ジルコニア膜、シリカ膜等が挙げられる。これらの保護層は、下地層、磁性層等とともにインライン型スパッタ装置で連続して形成できる。また、これらの保護層は、単層としてもよく、あるいは、同一又は異種の膜からなる多層構成としてもよい。さらに、上記保護層上に、あるいは上記保護層に替えて、他の保護層を形成してもよい。例えば、上記保護層に替えて、Ｃｒ膜の上にテトラアルコキシランをアルコール系の溶媒で希釈した中に、コロイダルシリカ微粒子を分散して塗布し、さらに焼成して酸化ケイ素（ＳｉＯ2 ）膜を形成してもよい。
【００３０】
潤滑層は、例えば、液体潤滑剤であるパーフロロポリエーテル（ＰＦＰＥ）をフレオン系などの溶媒で希釈し、媒体表面にディッピング法、スピンコート法、スプレイ法によって塗布し、必要に応じ加熱処理を行って形成する。
【００３１】
以上本発明について詳述し、上記実施の形態では、型開きの際に上型用胴型１５で肉薄板状ガラス３４を下型２１上に保持したが、他の部材で下型２１上に保持してもよい。また、上型用胴型で保持する場合であっても、上型用胴型の具体的構造は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
同様に上型、下型、下型用胴型の構造も上記実施の形態に限定されるものではない。さらに、肉薄板状ガラスとしては、外形が円形のものの外、四角形等種々の形状のものを製造できる。
【００３２】
【発明の効果】
以上のように本発明の肉薄板状ガラスの製造方法によれば、プレス成形後の型開きの際に、肉薄板状ガラスが上型に張り付いて上昇することを防止でき、肉薄板状ガラスを確実に下型上に保持することができ、量産性を上げることができる。また、胴型が下降した後、上型が下降するようにすることにより、ガラスゴブの量のバラツキに係わらず、肉薄板状ガラスの外形を一定にすることができ、高品質の肉薄板状ガラスを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による肉薄板状ガラスの製造方法の実施の形態を説明するための図で、上型および下型を示す断面図。
【図２】図１の上型および下型を用いて肉薄板状ガラスをプレス成形する工程を示す断面図。
【図３】同プレス成形工程を示す断面図。
【図４】同プレス成形工程を示す断面図。
【符号の説明】
１１    上型
１５    胴型
２１    下型
２５    胴型
３４    肉薄板状ガラス
【図１】
0003704217.tif 000002
【図２】
0003704217.tif 000003
【図３】
0003704217.tif 000004
【図４】
0003704217.tif 000005