(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属薄板に開口部及び認識マークを形成するとともに、切り欠き部が形成されたブリッジを形成し、前記開口部の直交部は導電性ボールが搭載される基板の第１の角部を受け、この第１の角部の対角線上の第２の角部はこの対角線方向に弾性変形自在な前記ブリッジの前記切り欠き部によって前記第１の角部側へ押し付けるようにしたことを特徴とする導電性ボール搭載用キャリア。
【請求項２】
キャリアに保持された複数の基板の電極に導電性ボールを搭載する導電性ボールの搭載方法であって、キャリアに開口された開口部の直交部に基板の第１の角部を受け、この第１の角部の対角線上の第２の角部はこの対角線方向に弾性変形自在に設けられたブリッジの切り欠き部によって前記第１の角部側へ押し付けることにより複数の各基板を前記キャリアに対して個別に位置決めした状態で保持させ、複数の基板分の導電性ボールを保持した搭載ヘッドを前記キャリアに形成された認識マークを認識することによりキャリアに対して相対的に位置決めし、前記複数の基板に対して搭載ヘッドにより導電性ボールを一括して搭載することを特徴とする導電性ボールの搭載方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に導電性ボールを搭載するための導電性ボール搭載用キャリア及び導電性ボールの搭載方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）などの小形の基板は、サイズが小さく取り扱いにくいことから、大形のキャリアに保持させて製造ラインを搬送することが行われている。一般に１つのキャリアについて複数の基板を保持させた状態で各工程での作業や工程間の搬送を行うようになっている。導電性ボールが移載される小型の基板には、従来より複数の基板を単に保持するのみのトレイ状のキャリアが用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記トレイ状の基板を用いる場合には、導電性ボールの搭載に際し各基板自体を個別に位置決めする必要があった。このため、キャリアを搬送する搬送機構や基板を個別に位置決めする位置決め機構が複雑になり、設備コストが増大すると共に、搬送動作や位置決め時に動作不具合が生じやすいという問題点があった。
【０００４】
そこで本発明は、上記問題点を解消し、簡略な機構で複数の基板に対して効率よく導電性ボールを搭載することができる導電性ボール搭載用キャリア及び導電性ボールの搭載方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の導電性ボール搭載用キャリアは、金属薄板に開口部及び認識マークを形成するとともに、切り欠き部が形成されたブリッジを形成し、前記開口部の直交部は導電性ボールが搭載される基板の第１の角部を受け、この第１の角部の対角線上の第２の角部はこの対角線方向に弾性変形自在な前記ブリッジの前記切り欠き部によって前記第１の角部側へ押し付けるようにしたものである。
請求項２記載の導電性ボールの搭載方法は、キャリアに保持された複数の基板の電極に導電性ボールを搭載する導電性ボールの搭載方法であって、キャリアに開口された開口部の直交部に基板の第１の角部を受け、この第１の角部の対角線上の第２の角部はこの対角線方向に弾性変形自在に設けられたブリッジの切り欠き部によって前記第１の角部側へ押し付けることにより複数の各基板を前記キャリアに対して個別に位置決めした状態で保持させ、複数の基板分の導電性ボールを保持した搭載ヘッドを前記キャリアに形成された認識マークを認識することによりキャリアに対して相対的に位置決めし、前記複数の基板に対して搭載ヘッドにより導電性ボールを一括して搭載するようにした。
【０００６】
本発明によれば、ブリッジによって基板の第１の角部を開口部の直交部に押し付けることにより基板をキャリアに対して個別に位置決めした状態で保持させ、複数の基板分の導電性ボールを保持した搭載ヘッドをキャリアに形成された認識マークを認識することによりキャリアに対して相対的に位置決めし、前記複数の基板に対して搭載ヘッドにより導電性ボールを一括して搭載することにより、導電性ボール搭載時に基板を個別に位置決めする必要がなく、簡略な機構で複数の基板に対して導電性ボールを効率よく良好な精度で搭載することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の斜視図、図２（ａ）は本発明の一実施の形態のキャリアの斜視図、図２（ｂ）は本発明の一実施の形態のキャリアの部分平面図、図３は本発明の一実施の形態のキャリアの平面図である。
【０００８】
まず図１を参照して、導電性ボールの搭載装置について説明する。図１において、搬送部１０には左右１対の搬送レール１１が相対して配設されている。搬送レール１１上面にはベルト１２が図示しない駆動手段により走行自在に装着されている。ベルト１２上には導電性ボールが搭載される対象の複数の基板６を保持したキャリア１が載置される。ベルト１２が走行することによりキャリア１は搬送レール１１上で搬送され、導電性ボール搭載位置で位置決めされる。各基板６には、図２（ｂ）に示すように多数の導電性ボール８が、格子状の配列パターンで搭載される。
【０００９】
搬送レール１１の導電性ボール搭載位置の下方には、基板の下受け部１３が配設されている。下受け部１３にはシリンダ１４によって上下動する下受けブロック１５が配設されており、下受けブロック１５には吸着保持部１５ａがキャリア１での基板６の位置に対応して形成されている。キャリア１が搭載位置に位置決めされた状態で、下受けブロック１５を上昇させることにより、吸着保持部１５ａは基板６の下面に当接し、真空吸着によって基板６の位置を保持する。
【００１０】
搬送レール１１の上方には、搭載ヘッド１６が図示しない移動手段によって移動可能に配設されている。搭載ヘッド１６の下面には吸着ツール１７が装着されており、吸着ツール１７の下面はキャリア１に保持された状態の複数の基板６の位置および導電性ボールの配列パターンに対応して、導電性ボール８を真空吸着する吸着孔が形成された吸着面となっている。すなわち、搭載ヘッド１６は複数の基板６を対象とした多連型となっている。
【００１１】
搬送レール１１の側方には、ボール供給部１８が配設されており、ボール供給部１８には多数の導電性ボール８が貯溜されている。ボール供給部１８に対して搭載ヘッド１６を下降させて吸着孔から真空吸引することにより、各吸着孔には導電性ボール８が真空吸着される。これにより、搭載ヘッド１６はキャリア１に保持された複数の基板分の導電性ボール８を真空吸着により保持する。
【００１２】
そして導電性ボール８を保持した搭載ヘッド１６をキャリア１の上方に移動させ、搭載ヘッド１６をキャリア１に対して下降させて真空吸着を解除することにより、キャリア１に保持された状態の複数の基板６に、導電性ボール８を同時に一括して搭載する。搭載ヘッド１６には、搭載ヘッド１６と一体的に移動するカメラ１９が装着されている。カメラ１９によってキャリア１を撮像することにより、キャリア１の位置を認識する。この位置認識結果に基づいて、搭載ヘッド１６の移動手段を駆動することにより、搭載ヘッド１６をキャリア１に対してＸＹ方向およびθ方向に位置決めすることができる。
【００１３】
次に、図２を参照してキャリア１について説明する。図２において、キャリア１は、細長形状の金属薄板により製作されている。キャリア１には複数個の開口部２がピッチをおいて形成されており、キャリア１の両端部には複数の認識マーク１ａ，１ｂが形成されている。このキャリア１が有する開口部２は、矩形状の開口の対角線上に帯状のブリッジ３を渡したものである。この認識マーク１ａ，１ｂを搭載ヘッド１６と一体的に移動するカメラ１９によって認識することにより、キャリア１の位置が認識される。
【００１４】
ブリッジ３の中央部には、円形部４が設けられており、円形部４にはピン穴５および略９０度の切り欠き部４ａが形成されている。クランプ状態では、開口部２の直交部２ａは基板６の第１の角部６ａを受けており、基板６の第１の角部６ａの対角線上の第２の角部６ｂは、基板６の対角線方向（矢印ａ方向）に弾性変形自在な押しつけ片であるブリッジ３の切り欠き部４ａによって第１の角部６ａ側へ押しつけられる。ピンをピン穴５に差し込んでブリッジ３を矢印ａ方向に強制的に弾性変形させることにより、基板６はクランプ状態を解除される。７は、開口部２に沿って設けられたスリットである。
【００１５】
ここで開口部２の辺Ａ，Ｂ（ハッチングで示す）は、基板６の位置決めの基準となる基準辺であり、基板６を直交部２ａと切り欠き部４ａにより対角線方向から弾性的にクランプして辺Ａ，Ｂに基板６を押し当てた状態で保持することにより、基板６は正しく位置決めされる。
【００１６】
図３は、キャリア１に保持された複数の基板６に対して導電性ボール８を搭載する際の位置合わせ基準を説明するものである。前述のように、キャリア１の２つの認識マーク１ａ，１ｂと各開口部２の基準辺Ａ，Ｂとの相対位置を示す寸法ｄ１，ｄ２，ｄ３、ｐ１，ｐ２，ｐ３は、全て所定公差内に収まるようにキャリア１が製作されている。このため、キャリア１に基板６が正しく保持された状態では、各基板６は認識マーク１ａ，１ｂに対して許容誤差以内に位置決めされる。
【００１７】
ここで、各基板６の外形と基板に形成された導電性ボール搭載用の電極位置との相対位置関係について説明する。導電性ボール搭載用の電極位置は必ずしも均一な位置精度で形成されているとは限らず、図３に示すように３つの基板６（１），６（２），６（３）のそれぞれのコーナ部の電極位置を示す寸法ｄｘ１，ｄｙ１、ｄｘ２，ｄｙ２、ｄｘ３，ｄｙ３は一般にばらついている。従来このような導電性ボール８が搭載される基板６の位置決め基準としては、コーナ部の電極位置が多用され、単一の基板に個別に導電性ボール８を搭載する場合には、上記ばらつきは通常導電性ボール８の位置ずれの許容範囲内に収まっており、特に問題とはされていなかった。
【００１８】
しかしながら、複数の基板６に多連型の搭載ヘッド１６によって同時に導電性ボールを搭載する際の位置決め基準として、特定基板（例えば両端に位置する基板）のコーナ部の電極位置を用いると、各基板毎の電極位置のばらつきによって位置ずれが重畳し、基板６によっては電極の位置ずれが許容範囲外となるおそれがある。
【００１９】
そこで本実施の形態では、このようなキャリアに保持された状態の複数の基板６に多連型の搭載ヘッド１６によって導電性ボール８を同時一括する際の位置決め方法として、キャリア１に形成された認識マーク１ａ，１ｂを用いる。すなわち、認識マーク１ａ，１ｂの位置をカメラ１９によって認識し、この認識結果に基づいて搭載ヘッド１６を位置決めする。
【００２０】
これにより、搭載ヘッド１６に装着された吸着ツール１７の吸着孔を複数の基板６のそれぞれに所定精度範囲内で位置合わせすることができる。換言すれば、キャリア１が所定精度で製作され、キャリア１の認識マーク１ａ，１ｂの位置認識が所定精度で行われていれば、複数の基板６に対して導電性ボール８の搭載を許容範囲内の位置ずれ精度で行うことができる。
【００２１】
キャリア１の製作精度の確保および認識マーク１ａ，１ｂの認識精度を所定範囲内に収めることは、既存技術によって容易に実現が可能であることから、上記方法を採用することにより、簡略な機構によって妥当な精度範囲内で、複数の基板６に対して導電性ボールを一括して効率よく搭載することが可能となる。
【００２２】
【発明の効果】
本発明によれば、ブリッジによって基板の第１の角部を開口部の直交部に押し付けることにより基板をキャリアに対して個別に位置決めした状態で保持させ、複数の基板分の導電性ボールを保持した搭載ヘッドをキャリアに形成された認識マークを認識することによりキャリアに対して相対的に位置決めし、複数の基板に対して搭載ヘッドにより導電性ボールを一括して搭載するようにしたので、導電性ボール搭載時に基板を個別に位置決めする必要がなく、簡略な機構で複数の基板に対して導電性ボールを効率よく良好な位置精度で搭載することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装置の斜視図
【図２】（ａ）本発明の一実施の形態のキャリアの斜視図
（ｂ）本発明の一実施の形態のキャリアの部分平面図
【図３】本発明の一実施の形態のキャリアの平面図
【符号の説明】
１  キャリア
１ａ，１ｂ  認識マーク
６  基板
８  導電性ボール
１６  搭載ヘッド
１９  カメラ
【図１】
0003622616.tif 000002
【図２】
0003622616.tif 000003
【図３】
0003622616.tif 000004