(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
濾過効率を測定される試料を固定する試料固定治具と、
前記試料固定治具を装着するための密閉空間を形成するチャンバと、
前記チャンバ内の静電気を除去するためイオン化された所定ガスを発生させて前記チャンバに注入するガスイオン化部と、
粒子を発生させて前記チャンバに注入する粒子発生部と、
前記試料を透過する前後の前記粒子の数を計数する粒子計数部とを含むことを特徴とする防塵繊維部材の濾過効率測定装置。
【請求項２】
前記計数部は、前記チャンバの前後方体に各各設置されて前記試料を透過する前後の前記粒子の数を各各計数する第１粒子計数部と第２粒子計数部とを持つことを特徴とする請求項１記載の防塵繊維部材の濾過効率測定装置。
【請求項３】
前記チャンバの後方体から排出される前記粒子をフィルタリングするフィルタ部を含むことを特徴とする請求項１記載の防塵繊維部材の濾過効率測定装置。
【請求項４】
前記チャンバを開閉するため前記チャンバの固定された前方体に対して前記チャンバの後方体を移動させるチャンバ開閉部を含むことを特徴とする請求項１又は請求項３記載の防塵繊維部材の濾過効率測定装置。
【請求項５】
前記チャンバの内面に無静電フィルムが塗布されることを特徴とする請求項１記載の防塵繊維部材の濾過効率測定装置。
【請求項６】
前記イオン化された所定のガスは、窒素ガスであることを特徴とする請求項１記載の防塵繊維部材の濾過効率測定装置。
【請求項７】
前記試料固定治具の表面に無静電フィルムが塗布されることを特徴とする請求項１記載の防塵繊維部材の濾過効率測定装置。
【請求項８】
前記試料固定治具は、貫通孔が各各形成された上板及び下板と、
前記上板及び下板を相互連結する連結部とを持つことを特徴とする請求項１記載の防塵繊維部材の濾過効率測定装置。
【請求項９】
前記上板及び下板は、互いに所定距離離間された状態で、前記上板及び下板の貫通孔同士が平面視において一部のみ重なるように位置することを特徴とする請求項８記載の防塵繊維部材の濾過効率測定装置。
【請求項１０】
前記上板及び下板が密着された状態で、前記上板及び下板の貫通孔同士が平面視において完全に重なるように位置することを特徴とする請求項８記載の防塵繊維部材の濾過効率測定装置。
【請求項１１】
ガスイオン化部を利用してイオン化された所定ガスを密閉されたチャンバに注入して前記チャンバ内の静電気を除去する段階と、
前記静電気が除去されたチャンバに濾過効率を測定する試料を固定した試料固定治具を装着する段階と、
粒子発生部を利用して前記試料固定治具を装着したチャンバに粒子を注入する段階と、
粒子計数部を利用して前記試料を透過する前後の前記粒子の数を各各計数する段階と、
前記計数された粒子の数を利用して前記濾過効率を演算する段階とを含むことを特徴とする防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【請求項１２】
前記チャンバ内の静電気が除去される間前記粒子計数部が前記チャンバ内に残存する粒子の数を計数した結果粒子の数が０であると、前記試料固定治具を前記チャンバに装着することを特徴とする請求項１１記載の防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【請求項１３】
前記試料を固定した試料固定治具を装着する段階は、前記試料を試料固定治具に固定させる段階と、
前記試料固定治具を前記チャンバ内に設置する段階とを含むことを特徴とする請求項１１記載の防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【請求項１４】
前記試料を試料固定治具に固定させる段階は、前記試料固定治具の第１及び第２プレートを相互離隔させる段階と、
前記第１及び第２プレート間に前記試料を位置させる段階と、
前記試料固定治具の第１及び第２プレートを相互接触させる段階とを含むことを特徴とする請求項１３記載の防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【請求項１５】
前記試料固定治具を前記チャンバ内に設置する段階は、チャンバ開閉部を利用して前記チャンバの後方体を前記チャンバから離隔させて前記チャンバを開放する段階と、
前記開放されたチャンバの前方体に前記試料固定治具を装着する段階と、
前記チャンバ開閉部を利用して前記試料固定治具が装着された前方体に前記後方体を密着させて前記チャンバを密閉する段階とでなることを特徴とする請求項１３記載の防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【請求項１６】
前記粒子計数部の第１粒子計数部と第２粒子計数部の中でいずれの一つが前記粒子の数を”０”で計数することを特徴とする請求項１２記載の防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【請求項１７】
前記粒子計数部の第１粒子計数部と第２粒子計数部は、前記試料を透過する前後の前記粒子の数を各各計数することを特徴とする請求項１１記載の防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【請求項１８】
前記試料固定治具を装着する段階で、前記イオン化された所定ガスを前記チャンバに注入することを特徴とする請求項１１記載の防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【請求項１９】
前記チャンバが開放された状態でも前記イオン化されたガスが前記チャンバに注入されることを特徴とする請求項１５記載の防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【請求項２０】
前記イオン化されたガスは、窒素ガスであることを特徴とする請求項１１又は請求項１６記載の防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【請求項２１】
濾過効率を測定するための試料を固定する試料固定治具と、
前記試料固定治具を装着するための密閉空間を形成するチャンバと、
前記チャンバ内の静電気を除去するためイオン化された所定ガスを発生させて前記チャンバに注入するガスイオン化部と、
前記チャンバ内の所定の湿度を維持するため水蒸気を発生させて前記チャンバに注入する加湿部と、
前記チャンバに粒子を発生させて注入する粒子発生部と、
前記試料を透過する前後の前記粒子の数を計数する粒子計数部とを含むことを特徴とする防塵繊維部材の濾過効率測定装置。
【請求項２２】
前記加湿部は、前記チャンバ内の湿度をクリーンルームの湿度と同一に維持させることを特徴とする請求項２１記載の防塵繊維部材の濾過効率測定装置。
【請求項２３】
ガスイオン化部を利用してイオン化された所定ガスを密閉されたチャンバに注入して前記チャンバ内の静電気を除去するとともに、加湿部を利用して前記チャンバに水蒸気を注入して所定湿度を維持させる段階と、
前記静電気が除去されたチャンバに濾過効率を測定する試料を固定した試料固定治具を装着する段階と、
粒子発生部を利用して前記試料固定治具を装着したチャンバに粒子を注入する段階と、
粒子計数部を利用して前記試料を透過する前後の前記粒子の数を各各計数する段階と、
前記計数された粒子の数を利用して前記濾過効率を演算する段階とを含むことを特徴とする防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【請求項２４】
前記チャンバが開放された状態でも前記イオン化されたガスと共に前記水蒸気が前記チャンバに注入されることを特徴とする請求項２３記載の防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【請求項２５】
前記チャンバの温度と湿度が作業者人体の温度及び湿度と同一な条件で前記試料の濾過効率を測定することを特徴とする請求項２３記載の防塵繊維部材の濾過効率測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は防塵繊維部材（フィルター部材）の濾過効率測定に係り、より詳細には、防塵繊維部材の濾過効率を測定して作業者の人体から発生した粒子がクリーンルームに放出されることを効果的に遮断する防塵製品の使用期限を設定するようにした防塵繊維部材の濾過効率測定装置及びその測定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
公知されるように、半導体素子の製造工程は、清浄空気を提供するクリーンルーム（Ｃｌｅａｎ  Ｒｏｏｍ）内で行われて、前記クリーンルーム内の上方には微細粒子が浮遊しているが、近年まで半導体素子の不良を誘発させる汚染源としてあまり指摘されなかった。しかし、最近、半導体素子の微細化、高密度化が急速に進行されることにより前記粒子が半導体素子の主要汚染源になっている。したがって、半導体素子の収率や信頼性、品質等に悪影響が及ぶ粒子の発生源を除去するためクリーンルームの高清浄度を維持することに多くの関心が集中されている。
【０００３】
前記粒子はクリーンルームに投入される設備、消耗品、施設物等の原資材から発生するものと、クリーンルーム内で作業する作業者の活動により持続的で発生するものとがある。現在は、設備、消耗品、施設物等の材質改善と素材の持続的な開発によりこれらから発生する粒子の発生量は非常に減少されたので、作業者の人体から発生する粒子が主要な不良要因として浮かび上がってきた。
前記粒子が作業者の人体から発生することを抑制するためには完全な無人製造工程を運営することが理想的であるがこれは現実的に不可能である。したがって、最小限の人力を必要とする製造工程を運営しながら作業者から発生する粒子を最大限に抑制するための労力が行われている。
【０００４】
作業者がクリーンルームで所定の作業をする間、作業者自身の人体から粒子が放出することを防止するため防塵製品、例えば、防塵衣、防塵マスク（Ｍａｓｋ）、防塵手袋等を着用して、これら防塵製品の濾過効率を増加させるため高性能濾過効率の防塵繊維部材が持続的に開発されてきた。
前記防塵製品が使用期限を超過するようになると、防塵製品の防塵繊維部材の濾過効率が減少するから作業者の人体から発生した粒子が前記防塵製品により濾過されず放出される。したがって、これらの適切な使用期限を決定するため濾過効率を正確に測定して、防塵繊維部材の開発時に防塵繊維部材の濾過効率水準を正確にテストする必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、これまで防塵繊維部材の粒子濾過効率を測定する装置やクリーンルームのような高清浄度の環境条件で防塵繊維部材の粒子濾過効率を正確に測定する装置は提案されなかった。
このように、防塵繊維部材に適切な使用期限が設定できない状況下ではクリーンルームで作業者が防塵衣、防塵マスク、防塵手袋、ワイパー（Ｗｉｐｅｒ）等を使用期限を超過して使用していた。したがって、多量の粒子が作業者の人体から防塵繊維部材を透過してクリーンルームに放出されることによりクリーンルームの高清浄度の維持が困難で、半導体素子の収率向上を阻害する問題点があった。
【０００６】
また、クリーンルームの高清浄度を維持するため高価な設備が追加に要求されることにより半導体素子の原価が上昇する問題点があった。
したがって、本発明の目的は、作業者の人体から発生した粒子によるクリーンルームの汚染を抑制するため防塵繊維部材の濾過効率を正確に測定して防塵製品を開発するとともに、防塵製品の適切な使用期限が設定できるようにした防塵繊維部材の濾過効率測定装置及びその測定方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するための本発明による防塵繊維部材の濾過効率測定装置は、濾過効率を測定する試料を固定する試料固定治具と、前記固定治具を装着するための密閉空間を形成するチャンバ（Ｃｈａｍｂｅｒ）と、前記チャンバ内の静電気を除去するため前記チャンバにイオン（Ｉｏｎ）化された所定ガス（Ｇａｓ）を発生させて注入するガスイオン化部と、粒子を発生させて前記チャンバに注入する粒子発生部と、前記試料を透過する前後の前記粒子の数を計数する粒子計数部とを含むことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明による防塵繊維部材の濾過効率測定方法は、ガスイオン化部を利用してイオン化された所定ガスを密閉されたチャンバに注入して前記チャンバ内の静電気を除去する段階と、前記静電気が除去されたチャンバに濾過効率を測定する試料を固定した試料固定治具を装着する段階と、粒子発生部を利用して前記試料固定治具を装着したチャンバに粒子を注入する段階と、粒子計数部を利用して前記試料を透過する前後の前記粒子の数を各各計数する段階と、前記計数された粒子の数を利用して前記濾過効率を演算する段階とを含むことを特徴とする。
【０００９】
好ましくは、本発明は、イオン化された窒素がイオン化部から密閉されたチャンバに注入されてチャンバ内に残存する静電気とチャンバ内に残存する窒素の静電気が除去されると、チャンバ内の粒子の数が粒子計数部の第１粒子計数部により“０（Ｚｅｒｏ）”と計数される。以後、濾過効率を測定する試料を固定した試料固定治具をチャンバに装着して粒子発生部からチャンバの前方体に粒子を注入して、粒子の計数部の第１粒子計数部と第２粒子計数部を利用して試料を透過する前後の粒子の数を計数する。したがって、作業者が試料を透過する前後の粒子の数を基礎として濾過効率を演算する。
【００１０】
このように設定された使用期限内で防塵繊維部材を利用した防塵衣、防塵マスク、防塵手袋、ワイパー等がクリーンルームで使用されると、作業者人体からの粒子の発生が抑制されてクリーンルームの高清浄度が維持される。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明による防塵繊維部材の濾過効率測定装置及び測定方法について詳細に説明する。
図１は本発明による防塵繊維部材の濾過効率測定装置を概略的に示す構成図、図２（ａ）は図１の試料固定治具３の上板（第１プレート）３ａと下板（第２プレート）３ｂが隔離された状態を示す正面図及び平面図、図２（ｂ）は図１の試料固定治具３の上板３ａと下板３ｂが密着された状態を示す正面図及び平面図、図３は本発明による防塵繊維部材の濾過効率測定方法を示すフローチャートである。
【００１２】
図１に図示されるように、防塵繊維部材の濾過効率を測定する装置は、開閉可能なチャンバ１１の前方体１１ａ内にイオン化されたガスを注入するガスイオン化部１３と、前方体１１ａ内に粒子を注入する粒子発生部１５と、チャンバ１１の前方体１１ａと後方体１１ｂとの間に装着される試料固定治具３と、チャンバ１１内の前記粒子の数を計数する粒子計数部１７と、チャンバ１１から排出される粒子をフィルタリング（Ｆｉｌｔｅｒｉｎｇ）するフィルタ（Ｆｉｌｔｅｒ）部１９と、チャンバ１１の開閉のため後方体１１ｂを前進及び後進させるチャンバ開閉部２０とで構成される。
【００１３】
ここで、チャンバ１１の内面には無静電フィルム１１ｃが塗布されて、粒子計数部１７は試料固定治具３に固定された試料１を透過する前後の粒子の数を各各計数する第１粒子計数部１７ａと第２粒子計数部１７ｂとを持つ。
また、図２（ａ）と図２（ｂ）に図示されるように、試料固定治具３の上板３ａと下板３ｂの中央部に同一な大きさの円形貫通孔が形成されて、上板３ａと下板３ｂの両側面の前方及び後方部には連結部３ｃを収容するための溝（図示せず）が各各形成されて前記溝に連結部３ｃが各各挿入される。試料固定治具３の表面には無静電フィルム（Ｆｉｌｍ）３ｄが塗布されている。
【００１４】
前記のように構成される防塵繊維部材の濾過効率測定装置の濾過効率測定方法について図３を参照して説明すると次のようである。
まず、作業者が濾過効率を測定するための試料１、例えば、防塵衣、防塵マスク、防塵手段、ワイパー等の防塵繊維部材を装着するため、図２（ａ）に図示されるように、試料固定治具３の上板３ａと下板３ｂとの間の間隔を充分に広くする。
この時、連結部３ｃの両端部が上板３ａと下板３ｂの両側面に形成される溝（図示せず）に各各挿入されているから上板３ａまたは下板３ｂを左右に押したり引いたりして両者間が調節される。
この状態で、試料１、例えば、防塵繊維部材を下板３ｂの中央部に位置させて図２（ｂ）に図示されるように、上板３ａと下板３ｂとの間の間隔を最大限に密着させて試料１を堅固に固定させる（Ｓ１）。前記試料１は上板３ａの貫通孔と下板３ｂの貫通孔を充分にカバーできる程度の面積を持つ。
【００１５】
次に、チャンバ１１内面の静電気を除去するための作業者がガスイオン化部１３の弁Ｖ1 を開放して、粒子発生部１５の弁Ｖ2 を閉鎖状態で継続維持する（Ｓ２）。ここで、ガスイオン化部１３はＴＳＩ社で市販中の製品である。
前記イオン化されたガス、例えば、窒素Ｎ2 がチャンバ１１内に注入されると、チャンバ１１内の静電気だけではなくチャンバ１１内に残存する窒素の静電気も除去されるとともに、チャンバ１１内の残存する粒子も除去される。
【００１６】
前記静電気が除去される間粒子計数部１７の第１粒子計数部１７ａが前記粒子の数を計数する（Ｓ３）。即ち、粒子発生部１５でだけ発生する粒子を利用して試料１の濾過効率を測定するため、前記粒子が完全に除去された後、第１粒子計数部１７ａがチャンバ１１内の粒子の数を“０”と計数する。この時、第２粒子計数部１７ｂが動作している場合には第２粒子計数部１７ｂがチャンバ１１内の粒子数を”０”と計数しても関係ない。
【００１７】
次に、作業者が計数値を確認した後ガスイオン化部１３の弁Ｖ1 を継続開放した状態で前記試料固定治具３をチャンバ１１内に装着する（Ｓ４）。即ち、作業者がチャンバ開閉部２０、例えば、エアシリンダ（Ａｉｒ  Ｃｙｌｉｎｄｅｒ）または駆動モータ（Ｍｏｔｏｒ）を利用してチャンバ１１の前方体１１ａに密着された後方体１１ｂを後進させてチャンバ１１を開放させる（Ｓ４１）。
チャンバが開放されると、後方体１１ｂの後進を完了した後作業者が試料固定治具３を前記固定治具固定部に装着して（Ｓ４３）、試料固定治具３が装着された後、作業者がチャンバ開閉部２０を利用して後方体１１ｂを前方体１１ａに前進させてチャンバ１１を密閉させる（Ｓ４５）。
この時、チャンバ１１が開放されている間、前記イオン化された窒素をチャンバ１１に継続注入する理由は、チャンバ１１の開放された内部空間が周囲環境により汚染されることを防止するためである。
【００１８】
次に、チャンバ１１が密閉されると、作業者がガスイオン化部１３の弁Ｖ1 を閉鎖して粒子発生部１５の弁Ｖ2 を開放して所定の大きさ、例えば、０．１〜５．０μｍ直径の粒子と共に窒素を前方体１１ａ内に注入する（Ｓ５）。この時、チャンバ１１内の圧力を所望する圧力、例えば、１２ｐｓｉの圧力で調整する。前記圧力はチャンバ１１に連結された圧力計（図示せず）により確認される。
以後、前方体１１ａ内の粒子と窒素が試料１を経て後方体１１ｂ内に注入される間前方体１１ａ内の粒子はほとんど後方体１１ｂ内に注入されず、粒子の一部だけが試料１から透過される。したがって、前方体１１ａ内の粒子数が後方体１１ｂ内の粒子数より多い。
【００１９】
次に、後方体１１ｂ内の粒子と窒素がフィルタ部１９を経て瀘過されて清浄な空気だけが外部に排出される。これは防塵繊維部材の瀘過効率測定装置をクリーンルーム内でも使用可能であることを意味する。勿論、フィルタ部１９が省略されても防塵繊維部材の瀘過効率測定装置の本来の役割には影響が及ばない。
次に、第１粒子計数部１７ａは前方体１１ａ内の粒子の数を計数して第２粒子計数部１７ｂは後方体１１ｂ内の粒子数を計数して、その計数された粒子の数を自体のディスプレイ（Ｄｉｓｐｌａｙ）部（図示せず）に各各ディスプレイする（Ｓ６）。
【００２０】
次に、作業者が前記粒子数を利用して試料１の瀘過効率を演算する（Ｓ７）。その瀘過効率は次の（式１）により決定される。
（式１）
瀘過効率（％）＝（Ａ−Ｂ）／Ａ
ここで、Ａは前方体１１ａ内の計数された粒子の数、Ｂは後方体１１ｂ内の計数された粒子の数である。
例えば、Ａが１００でＢが２０と計数されると、濾過効率（％）は８０％で決定される。
したがって、本発明は静電気がない高清浄度のチャンバ内で防塵繊維部材の濾過効率を測定してクリーンルームでの防塵繊維部材の適切な使用期限が決定できる。
【００２１】
以下、本発明の他の実施の形態による防塵繊維部材の濾過効率測定装置及びその方法について添付図面を参照して説明する。
図４は本発明の他の実施の形態による防塵繊維部材の濾過効率測定装置を概略的に示す構成図、図５は本発明の他の実施の形態による防塵繊維部材の濾過効率測定方法を示すフローチャートである。
本発明による他の実施の形態は、図４に図示されるように、加湿部１６がチャンバ１１内の湿度を調節するため水蒸気を注入することの以外には、図１と同一な構造になっている。
【００２２】
このように構成される防塵繊維部材の濾過効率測定装置の一つの繊維部材濾過効率測定方法を図５を参照して説明すると次のようである。
まず、試料１を試料固定治具３に固定した後（Ｓ１１）、チャンバ１１内の静電気を除去するとともにチャンバ１１内の湿度を所定湿度、例えば、クリーンルームの湿度と同一にするため加湿部１６の弁Ｖ3 を開放する（Ｓ１２）。
この時、前記水蒸気がチャンバ１１内に注入されると、チャンバ１１内の湿度がクリーンルームの湿度である４５±５％の湿度と同一に維持されて、前記イオン化された窒素Ｎ2 がチャンバ１１内に注入されると、チャンバ１１内の静電気とチャンバ１１内に残存する窒素の静電気だけではなく、チャンバ１１内に残存する粒子も除去されるようになる。
【００２３】
次に、加湿部１６の弁Ｖ3 が継続開放された状態で、第１粒子計数部１７ａがチャンバ１１内の粒子の数を“０”と計数して（Ｓ１３：この時、第２粒子計数部１７ｂが動作している場合には第２粒子計数部１７ｂがチャンバ１１内の粒子数を”０”と計数しても関係ない）、作業者がこれを確認した後ガスイオン化部１３の弁Ｖ1 と加湿部１６の弁Ｖ3 が継続開放された状態で本発明の一実施の形態と同一な過程を通して試料１を固定した試料固定治具３をチャンバ１１内に装着する（Ｓ１４）。
【００２４】
次に、チャンバ１１が密閉されると、チャンバ１１内の湿度がクリーンルームの湿度と同一に維持される状態で作業者がガスイオン化部１３の弁Ｖ1 を閉鎖して粒子発生部１５の弁Ｖ2 を開放して所定の大きさ、例えば、０．１〜５．０μｍの直径の粒子と共に窒素を前方体１１ａ内に注入する（Ｓ１５）。
【００２５】
次に、第１粒子計数部１７ａは前方体１１ａ内の粒子の数を計数して第２粒子計数部１７ｂは後方体１１ｂ内の粒子数を計数して、その計数された粒子の数を自体のディスプレイ（Ｄｉｓｐｌａｙ）部（図示せず）に各各ディスプレイして（Ｓ１６）、作業者が前記粒子数を利用して前記（式１）により試料１の濾過効率を演算する（Ｓ１７）。
したがって、本発明は静電気がなく、湿度がクリーンルームの湿度と同一な高清浄度のチャンバ内で防塵繊維部材の濾過効率を測定することにより、クリーンルームでの防塵繊維部材の適切な使用期限をより正確に決定できる。
【００２６】
一方、本発明はクリーンルーム条件以外に防塵衣を着用した作業者の人体から発生する温度、湿度条件と同一な条件で防塵繊維部材の濾過効率を測定して防塵繊維部材の適切な使用期限をより正確に決定できる。
以上、本発明の好ましい実施の形態について詳細に記述したが、本発明が属する技術分野において通常の知識を持つ者であれば、添付された請求の範囲に定義された本発明の精神及び範囲を離脱しなく本発明を多様に変形または変更して実施できる。
【００２７】
【発明の効果】
以上のように本発明による防塵繊維部材の濾過効率測定装置及びその測定方法によると、静電気を除去してチャンバ内の湿度をクリーンルームの湿度と同一にした環境条件を持つチャンバ内で防塵繊維部材を透過する前後の粒子の数を計数して防塵繊維部材の濾過効率を正確に測定できる。したがって、作業者がクリーンルームで防塵衣、防塵マスク、防塵手袋、ワイパー等を使用期限を超過して使用しないので、作業者人体から発生する粒子をクリーンルームに放出することを効果的に遮断できる。
また、本発明は費用負担がなくクリーンルームの高清浄度を維持して半導体素子の収率を向上させるだけではなく、防塵繊維部材の濾過効率を正確に測定してこれを今後の防塵繊維部材開発に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施の形態による防塵繊維部材の濾過効率測定装置を概略的に示す構成図である。
【図２】  （ａ）は図１の試料固定治具の上板と下板が隔離された状態を示す正面図及び平面図、（ｂ）は図１の試料固定治具の上板と下板が密着された状態を示す正面図及び平面図である。
【図３】  本発明の一実施の形態による防塵繊維部材の濾過効率測定方法を示すフローチャートである。
【図４】  本発明の他の実施の形態による防塵繊維部材の濾過効率測定装置を概略的に示す構成図である。
【図５】  本発明の他の実施の形態による防塵繊維部材の濾過効率測定方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１  試料
３  試料固定治具
３ａ  上板
３ｂ  下板
３ｃ  連結部
３ｄ、１１ｃ  無静電フィルム
１１  チャンバ
１１ａ  前方体
１１ｂ  後方体
１３  ガスイオン化部
１５  粒子発生部
１６  加湿部
１７  粒子計数部
１７ａ  第１粒子計数部
１７ｂ  第２粒子計数部
１９  フィルタ部
２０  チャンバ開閉部
【図１】
0003701108.tif 000002
【図２】
0003701108.tif 000003
【図３】
0003701108.tif 000004
【図４】
0003701108.tif 000005
【図５】
0003701108.tif 000006