(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転するディスクと、該ディスクの媒体面に対向して配置され、該ディスクの回転による空気流により媒体面に対して浮上支持されて該ディスクに対して情報の記録再生を行うヘッドスライダと、該スライダを媒体面の移動範囲内で移動させる手段とを具備し、前記スライダはその底面に、該ディスクの回転時の浮上力発生と磁気ディスクの回転停止時の接触支持のための平坦なレール面を有する１対のレールを形成したディスク装置において、
前記スライダは、１対のレールのうちディスクに対して外径側にあるレールのレール面に、ディスク媒体の回転停止時にディスクの媒体面に接触させる突起状のパッドを設け、前記ディスクは、ディスク媒体面の記録領域より内径側にあるコンタクト・スタート・ストップ領域を記録領域より粗面として形成したことを特徴とする浮上型ディスク装置。
【請求項２】
前記パッドは、スライダの流入端側の幅が小さく、流出端側の幅を拡げた玉子型の形状を有することを特徴とする請求項１に記載のディスク装置。
【請求項３】
前記パッドは、３０nm以上の高さを有することを特徴とする請求項１に記載のディスク装置。
【請求項４】
前記コンタクト・スタート・ストップ領域はＲａ３５Å以上の粗面に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のディスク装置。
【請求項５】
回転するディスクと、該ディスクの媒体面に対向して配置され、該ディスクの回転による空気流により媒体面に対して浮上支持されて該ディスクに対して情報の記録再生を行うヘッドスライダと、該スライダを媒体面の移動範囲内で移動させる手段とを具備し、前記スライダはその底面に、該ディスクの回転時の浮上力発生と磁気ディスクの回転停止時の接触支持のための平坦なレール面を有する１対のレールを形成したディスク装置において、
前記スライダは、１対のレールのうちディスクに対して外径側にあるレールのレール面に、ディスク媒体の回転停止時にディスク媒体面に接触させる突起状のパッドを具備し、
前記ディスクは内径側に記録領域より粗面であるコンタクト・スタート・ストップ領域を有し、スライダの内径端位置で、前記１対のレールの両方が該コンタクト・スタート・ストップ領域上に来るように構成したことを特徴とするディスク装置。
【請求項６】
前記パッドは、スライダの流入端側の幅が小さく、流出端側の幅を拡げた玉子型の形状を有することを特徴とする請求項５に記載のディスク装置。
【請求項７】
前記パッドは、３０nm以上の高さを有することを特徴とする請求項５に記載のディスク装置。
【請求項８】
前記コンタクト・スタート・ストップ領域はＲａ３５Å以上の粗面に形成されていることを特徴とする請求項５に記載のディスク装置。
【請求項９】
回転するディスクと、該ディスクの媒体面に対向して配置され、該ディスクの回転による空気流により媒体面に対して浮上支持されて該ディスクに対して情報の記録再生を行うヘッドスライダと、該スライダを媒体面の移動範囲内で移動させる手段とを具備し、前記スライダはその底面に、該ディスクの回転時の浮上力発生と磁気ディスクの回転停止時の接触支持のための平坦なレール面を有する１対のレールを形成したディスク装置において、
前記スライダは、１対のレールのうちディスクに対して外径側にあるレールのレール面に、ディスク媒体の回転停止時にディスク媒体面に接触させる突起状のパッドを具備し、
前記ディスクは内径側に記録領域より粗面であるコンタクト・スタート・ストップ領域を有し、スライダの内径端位置で、前記１対のレールのうちの内径側のレールのみが該コンタクト・スタート・ストップ領域上に来るように構成したことを特徴とするディスク装置。
【請求項１０】
前記パッドは、スライダの流入端側の幅が小さく、流出端側の幅を拡げた玉子型の形状を有することを特徴とする請求項９に記載のディスク装置。
【請求項１１】
前記パッドは、３０nm以上の高さを有することを特徴とする請求項９に記載のディスク装置。
【請求項１２】
前記コンタクト・スタート・ストップ領域はＲａ３５Å以上の粗面に形成されていることを特徴とする請求項９に記載のディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はディスク装置に関し、更に詳しくは、浮上型ヘッドスライダを用いたディスク装置に関する。
近年、コンピュータ用外部記憶装置の一種である磁気ディスク装置、光ディスク装置の小型化及び大容量化が望まれている。
【０００２】
特に、磁気ディスク装置の大容量化のためには、スピンドルに取付けられる磁気ディスクの枚数を増やすのが１つの方法であり、これに伴い最近の磁気ディスク装置では磁気ディスクの実装間隔は小さくなっている。
ハードディスクに対して情報の記録或いは再生を行う磁気ディスク装置において、磁気ヘッドと磁気ディスク表面の接触による磨耗損傷を避けるために、起動停止時には磁気ヘッドが磁気ディスクに接触し、情報の記録再生時には高速回転する磁気ディスク表面に発生する空気流によって、磁気ヘッドを磁気ディスク表面より微小間隔保って浮上させるようにした、所謂コンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）方式の浮上型磁気ヘッドが用いられている。
【０００３】
ＣＳＳ方式の浮上型磁気ヘッドにおいては、サスペンションにより支持されたスライダが磁気ディスクの表面に発生する空気流を浮上面に受けて浮上し、スライダに組み込まれた磁気ヘッド素子が磁気ディスク面上を移動し、所定のトラックへ情報の記録再生を行う。
よって磁気ヘッド素子の組み込まれたスライダは、磁気ディスクの回転が停止しているときには磁気ディスク表面に接し、磁気ディスクが回転すると、回転によって発生する空気流を浮上面に受けて浮上し、スライダに組み込まれた磁気ヘッド素子はサスペンションにより支持されながら磁気ディスク面上を移動し、所定のトラックへ情報の記録再生を行う。
【０００４】
【従来の技術】
従来、浮上型磁気ヘッドスライダを採用した磁気ディスク装置では、スライダのディスク対向面側の左右両端に一対のレールが設けられており、更に、レールの空気流流入端側にテーパを設けてスキーのソリ状にすることにより、高速回転させたディスク上にヘッドを浮上させて、磁気ディスクとヘッド素子部との微小間隔を安定に維持してきた。
【０００５】
この方式は高い浮上安定性とサブミクロン・オーダの微小な浮上量を確保できる反面、回転停止時にはディスクにスライダのレール面が接触し、磁気ディスク装置の起動時と停止時にディスクとレール面の摺動が起こる。
このため、磁気ディスクの記録層上にはダイヤモンド・ライク・カーボン等の硬い材料からなる保護膜と、保護膜の摩擦・磨耗を低減してディスクの耐久性を向上させるための潤滑層が形成されている。潤滑層の存在により保護膜の摩擦・磨耗は低減するが、停止時にはディスクとスライダとの間で吸着が起こり起動に支障を生ずる。
【０００６】
近年の情報量の増大に伴い、磁気ディスク装置の高密度・大容量化及び小型化の進展は著しく、小型化、低消費電力に伴うスピンドルモータのトルクの減少や、高密度化のためのディスクの平滑化により、ディスクとスライダ間の吸着発生の問題は動作不良の原因として大きくクローズアッブされてきている。
スライダとディスクの吸着を低減するために、スライダの浮上面を長手方向全長に渡ってクラウン加工し、スライダとディスクとの接触面積を減らすことが提案されている。
【０００７】
更に、近年では高密度化の進展に伴って浮上量０を指向した接触型ヘッドの適用も検討され始めており、動作不良やヘッド素子部又はディスク記録層の破壊等の原因となるディスクとスライダ間の吸着の発生を防止することが一層重要な課題となっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の磁気ディスク装置では次に示すような問題があった。
まず、高密度化に伴いディスク表面は平滑化する傾向にあるが、対向する面が互いに平滑になればなるほど接触面積は増大して吸着力が大きくなるため、ディスクとスライダのレール面との吸着が起こりやすくなる傾向にある。
【０００９】
また、装置の小型化の進展と共にディスクを回転させるスピンドルモータのトルクは小さくなり、吸着発生時にスピンドルモータのトルク不足から起動できない場合が生じてくる。起動できた場合でも、吸着が解除されずにスライダの支持機構の変形やディスク記録層の破壊を伴う重大な障害を引き起こす可能性がある。
【００１０】
クラウン加工したスライダは吸着防止には有効であるが、加工精度のばらつきが大きく磁気ヘッドスライダがコスト高となり量産に向かないという問題がある。
更に、スライダ浮上面の長手方向にクラウン加工をするために、流出端部に形成されている磁気変換素子（ヘッド素子部）の高さよりも、スライダのレール面がディスクに近くなってしまうため、スペース上のロスが生ずるという問題がある。
【００１１】
したがって、本発明の課題は、簡単な構造でスライダとディスクとの吸着の発生を有効に低減することのできるディスク装置を提供することである。
本発明の他の課題は、起動時の浮き上がり特性を改善したヘッドスライダを提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために、本発明によれば、回転するディスクと、該ディスクの媒体面に対向して配置され、該ディスクの回転による空気流により媒体面に対して浮上支持されて該ディスクに対して情報の記録再生を行うヘッドスライダと、該スライダを媒体面の移動範囲内で移動させる手段とを具備し、前記スライダはその底面に、該ディスクの回転時の浮上力発生と磁気ディスクの回転停止時の接触支持のための平坦なレール面を有する１対のレールを形成したディスク装置において、
前記スライダは、１対のレールのうちディスクに対して外径側にあるレールのレール面にディスク媒体の回転停止時にディスクの媒体面に接触させる突起状のパッドを設け、前記ディスクは、ディスク媒体面の内径側にあるコンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）領域を記録領域より粗面として形成したことを特徴とする浮上型ディスク装置が提供される。
【００１３】
このように、本発明では、レール面に突起状のパッドを設け、ディスク媒体の回転停止時に、該パッド及びレールの空気流流出端部のみディスクの媒体面に接触させるように構成したので、スライダの停止時に、仮に、パッドを設けたレールが平滑面であるディスクの記録層の領域にあっても、突起状のパッドがディスクの記録層に点接触するのみであるから、スライダとディスクとの吸着が有効に低減される。
【００１４】
また、仮に、パッドのないレールがＣＳＳ面上に停止しても、ＣＳＳ面は粗面として構成されているので、レールとＣＳＳ面が接触しても、面接触ではなく点接触の状態となるので、スライダとディスクとの吸着が有効に低減される。
【００１５】
これによると、ＣＳＳ領域はスライダの移動範囲内の内径端にあり、ディスクの停止時にはスライダをＣＳＳ領域へ移動するようにされる。したがって、スライダのレールは、ディスク装置の停止時、粗面であるＣＳＳ領域にて点接触の状態で接触しているので、スライダとディスクとの吸着が有効に低減される。
前記パッドは、３０nm以上の高さを有するのが好ましい。
【００１６】
また、前記コンタクト・スタート・ストップ領域はＲａ３５Å以上の粗面に形成されているのが好ましい。
前記パッドは、スライダの流入端側の幅が小さく、流出端側の幅を拡げた玉子型の形状を有する。
【００１７】
前記ディスクは内径側に記録領域より粗面であるコンタクト・スタート・ストップ領域を有し、スライダの内径端位置で、前記１対のレールの両方が該コンタクト・スタート・ストップ領域上に来るように構成することもできる。
また、前記ディスクは内径側に記録領域より粗面であるコンタクト・スタート・ストップ領域を有し、スライダの内径端位置で、前記１対のレールのうちの内径側のレールのみが該コンタクト・スタート・ストップ領域上に来るように構成することもできる。この場合は、ディスク装置の停止時、スライダの内径端位置で、１対のレールのうち外径側にあるレールは磁気ディスクの記録領域上に位置するが、この部分にパッドが設けられているので、スライダと記録領域との間は点接触となり、相互の吸着が防止される。また、両方のスライダがＣＳＳ領域から外れて記録領域にあっても、パッドが記録領域に対して接触するので、吸着の問題は解消され、その分、ディスクにおける記録領域を広くとることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は本発明による磁気ヘッドスライダを適用可能な磁気ディスク装置の（上側カバーを取り外した）平面図であり、図２は図１の矢印Ａから見た拡大側面図で、磁気ディスク装置のヘッドスライダ部及びその支持部を示す。
【００１９】
ディスクエンクロージャ１のベースにはスピンドルモータ（図示せず）により回転駆動されるスピンドル２が立設され、スピンドル２には磁気ディスク３が所定間隔に複数枚積層されている。
ヘッドアーム４はディスクエンクロージャ１のベースにシャフト５でもって回転可能に枢着されている。このヘッドアーム４の一方の回転端部には、コイル６が取付けられ、他方の回転端部には、前述の磁気ヘッドスライダ２０がサスペンション７を介して取付けられている。なお、マグネット８及び９とヨーク１０で形成される磁気回路の磁気ギャップ中に、コイル６が配設されている。
【００２０】
図２に示すように、磁気ヘッドスライダ２０はサスペンション７の先端部に形成したフレクシャー部分に傾動可能に取付けられる。なお、サスペンション７は基端近傍にのみ撓み可能にＲ曲げされた弾性部７ａが設けられており、中間部分の側部には折り曲げによりフランジ７ｂが設けられ、剛性が高められている。
この磁気ヘッドスライダ２０が取り付けられたサスペンション７の基端７ｃは、磁気ディスク装置のヘッドアーム４の取付け孔４ａに嵌合して取付けられることになる。
【００２１】
また、サスペンション７のヘッドアーム４に対する取付けは、弾性部７ａにより磁気ヘッドスライダ２０が磁気ディスク３に向かって所定のばね圧で押圧されるようにしてされる。したがって、このディスク装置はＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）方式をとることになる。
ヘッドアーム４は、インナーストッパＳ1 とアウタストッパＳ2 の移動規制を受けて、両ストッパ間を移動することになる。従って、磁気ヘッドスライダ２０はヘッドアーム４により磁気ディスク３に対する両ストッパで規制された移動範囲内の内径端の位置から外径端の位置まで移動させられる。磁気ヘッドスライダ２０がその移動範囲内での磁気ディスク３の内径端のＣＳＳ領域１１（図１）内に到達した時、ストッパ（Ｓ1 ）によりヘッドアーム４の内径端の位置が規制されるようにストッパＳ1 の配置が決められている。尚、ストッパＳ1 、Ｓ2 は共に、本実施形態では、縦型コイルを利用した磁気回路を利用している為、磁気回路のギャップ下部で、ヘッドアーム４の下部と接触するように配置されることになる。なお、１２は磁気ディスク３のデータ領域である。
【００２２】
図３は本発明における磁気ヘッドスライダ２０を磁気ディスク（図示せず）と対向する面から見た斜視図であり、図４はその平面図である。これらの図において、３０、３１、３２はレール、３３は溝部、３４は流入端、３５は流出端、３６は電磁変換素子である。
レール３０は磁気ヘッドスライダ２０の流入端３４側の中央にあり、その左右両側にある１対のレール３１、３２は流入端３４側から流出端３５側まで延びている。
【００２３】
磁気ディスク３が回転し、空気が磁気ヘッドスライダ２０に流入すると、レール３０、３１、３２の浮上面には、磁気ヘッドスライダ２０を磁気ディスク３から離そうとする方向の浮上力が発生する。また、同時に、溝３３においては、流入端３４側からの流入空気が膨張し、磁気ヘッドスライダ２０を磁気ディスク３側に吸引しようとする負圧が発生する。
【００２４】
そこで、磁気ヘッドスライダ２０は両方向の力（空気流による浮上力や吸引力だけでなく、サスペンション７によるバネ圧等も含む）がバランスする高さまで磁気ディスクから浮上する。
磁気ヘッドスライダ２０は、その左右両側にある１対のレール３１、３２にレール面上にそれぞれ突出したパッド３７、３８、３９、４０が設けられる。１対のレール３１、３２のうち磁気ディスク３に対して外径側にあるレール３２のレール面に設けられた円柱状パッド３８は、内径側のレール３１の円柱状パッド３７より流出端３５（磁気変換素子３６）に近い位置に設けられている。玉子型パッド３９、４０は円柱状より面積が大きく形成されており、パッドの摩耗の進行を遅くする作用をなしている。そして、それらはレール３１、３２の流入端３４側にそれぞれ設けられている。これらの突起状のパッド３７、３８、３９、４０は例えば薄膜形成技術（スパッタ法、ＣＶＤ法）を用いて耐摩耗性に優れたダイアモンド・ライク・カーボン等により形成することができる。
【００２５】
次に、具体的な膜形成方法について図５を参照して説明する。
まず、Ａｌ2 Ｏ3 ＴｉＣなどよりなるウェハに磁気トランスジューサを形成した後に、ウェハを複数の棒状の基体に切断し、さらにその切断面をフォトリソグラフィー技術を用いて加工して傾斜面を形成する。傾斜面は、基体の一部を斜めからイオンミリングすることにより容易に形成される。
【００２６】
その後に、図５（ａ）に示すように、基体５１の上にシリコン（Ｓｉ）よりなる密着層５２を３nm、ＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）よりなるレール面保護膜５３を３０nm、Ｓｉよりなる中間膜５４を３nm、ＤＬＣよりなるコンタクト膜５４を３０nmの厚さに形成する。続いて、コンタクト膜５４上にレジストを塗布した後にレジストを露光、現像することにより、図５（ｂ）に示すようなレール面４２を形成する領域覆うストライプ状のレジストパターン５６を形成する。
【００２７】
次いで、図５（ｃ）に示すように、レジストパターン５６に覆われない領域にあるコンタクト膜５５、中間膜５４、レール面保護膜５３、密着層５２及び基体５１上部を順次イオンミリングによるエッチングによって除去する。これにより２つのレール面４２を区分する凹部４１ａが形成されるとともに、スライダ毎に分割するための溝５１ａが形成される。この後にレジストパターン５６を除去する。
【００２８】
次に、第二のレジストを塗布した後にこの第二のレジストを露光、現像することにより、図５（ｄ）に示すように、レール面４２の傾斜面４３と平坦面４４の境界を含む領域に例えば直径２０μｍの第一の円形レジストパターン５７を形成するとともに、レール面４２の傾斜面４３を有しない端部寄りに例えば長さ１５０μｍ、巾３０μｍの玉子型のレジストパターン５８を形成する。
【００２９】
次に、図５（ｅ）に示すように、コンタクト膜５５のうち第一及び第二の円形レジストパターン５７、５８に覆われない部分を酸素プラズマによって除去すると、第一及び第２の円形レジストパターン５７、５８の下のコンタクト膜５５は、第一及び第二の突起（パッド）４５、４６となる。この場合、炭化シリコン製の中間膜５４は酸素プラズマによってエッチングされないので、レール面保護膜５３の膜厚及び突起４５、４６の膜厚がほぼ均一になって寸法、形状が良好になり、歩留りが向上する。
【００３０】
この後に、分割用の溝５１ａに沿って基体５１を分割すると、スライダの形成が完成する。スライダのうちレール面４２に沿った長さは１．２mm、２つのレール面４２を含む方向の幅は１．０mmである。なお、突起（パッド）４５、４６をマスクにして中間膜５４をパターニングすることにより中間膜５４を突起（パッド）の一部にしてもよい。また、レール面４２を覆う保護膜５３を構成する材料はＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｓｉ、ＳｉＣであってもよい。
【００３１】
ところで、上記したレール面上の突起（パッド）の形成、厚さ、頂部の面積は、スライダの形状、傾斜面のテーパ角によって適宜変えることが必要である。また、突起（パッド）４５、４６及びレール面４４をＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｓｉ、ＳｉＣ、ＤＬＣ等の保護膜で覆ってもよい。さらに、空気流出端寄りの第二の突起４６はいずれか１個あればよい。
【００３２】
なお、突起（パッド）３９、４０（図４）の形状については、円柱形と玉子型がある。パッド自体の摩耗を考慮してパッドの面積を大きくすることが行なわれるが、本発明では、長手方向に長い玉子型の形状を採用している。これは空気流入方向にパッド面積を確保することで、浮上方向に対しての摩擦が大きくなって摩耗するのを防止するためである。
【００３３】
図６（ａ）は本発明の実施例として用いる磁気ヘッドスライダ２０の形状及び寸法（単位mm）を示したものであり、図６（ｂ）はパッド（突起）３９、４０の形状及び寸法（単位mm）を示したものである。なお、スライダ２０の高さは０．３０±０．０１５（mm）であり、パッド（突起）３９、４０の高さは４１nm±６nmである。
【００３４】
本発明の実施例において、特にパッド３９、４０の流入側の幅を小さく流出側の幅が拡がるような玉子型にしている。このような玉子型の形状を採用するのはパッド自体による空気流入抵抗を小さくするためである。パッド３９、４０の高さは、磨耗を考慮して３０nm以上が良い。本実施例の場合は、１．２mm長さ、１．０mm幅、厚さ３００μｍのスライダで、パッドの高さを４０〜５０nmとしている。
【００３５】
磁気ディスク３の回転が停止しており且つ磁気ヘッドスライダ２０がディスク媒体面上にある時は、図７に示すように、レール３１、３２の流出端３５（磁気変換素子３６）が磁気ディスク３の媒体面に接触するようにこれらのパッド３７、３８、３９、４０の全部又は一部が媒体面上に接触する。
このように磁気ディスク３の回転停止時に、磁気ヘッドスライダ２０と磁気ディスク３との間は、主として突起状のパッド３７、３８、３９、４０において点接触するのみである。したがって、スライダ２０と磁気ディスク３との間での吸着を防止することができ、所謂スティクション・フリー（ＳＦ）スライダを構成する。なお、本実施例のスライダ２０の浮上量は、３０nm程度としている。
【００３６】
図６（ａ）及び（ｂ）は磁気ヘッドスライダ２０が磁気ディスク３のＣＳＳ領域に位置する場合を示すもので、（ａ）はＣＳＳ領域１１を比較的大きくとった例、（ｂ）はＣＳＳ領域１１を小さくとった例を示す。なお、図６（ａ）、（ｂ）の例では、磁気ヘッドスライダ２０のディスクに対して外径側のレール３２に一箇所の突起状パッド３８を設けている。
【００３７】
また、磁気ディスク３のＣＳＳ領域１１は、所謂ゾーンテクスチャー加工をし、図示のように粗面１１ａとしている。
なお、ゾーンテキスチャーに関しては、従来の全面テキスチャー（粗面）とされたディスクでは、Ｒａ１５〜２０Å以下であったが、本発明のｃｓｓゾーンテキスチャーはＲａ３５Å以上、本実施例では、５０Å程度とし、データゾーンはＲａ１５〜２０Å以下としている。
【００３８】
ゾーンテキスチャーのゾーンの幅は、スライダの幅の２倍以下とすることができる。従来の全面テキスチャーでは２倍以上とっている。
ゾーンテキスチャーの形成方法はレーザテキスチャー（レーザビームをディスク基板に照射して媒体表面に熱変形を利用して凹凸を形成する）又は、メカニカルテキスチャー（基板表面を機械的なダイヤモンド等の研磨剤を使用して凹凸の傷を形成する）ことで行う。
【００３９】
磁気ディスク３の回転が停止した場合に、磁気ヘッドスライダ２０を磁気ディスク３のデータ領域１２の内径側にあるＣＳＳ領域１１に移行させ、ストッパ（図示せず）にてＣＳＳ領域１１上でスライダ２０を停止させるシステムにおいて、図８（ａ）の実施例のように、ＣＳＳ領域１１を大きくとり、制御上両方のレール３１、３２面がＣＳＳ領域に来るようにしているが、機械的公差又は磁気ヘッドスライダ２０がＣＳＳ領域１１へ移動する過程での何らかの衝撃や誤動作等により、磁気ヘッドスライダ２０はＣＳＳ領域１１に乗る可能性が高く、前述のような突起状パッドがなくても、スライダ２０のレール３１、３２がゾーンテクスチャー（粗面）１１ａに点接触の状態で接触しているので、ディスク３とスライダ２０との間の吸着は生じない。
【００４０】
即ち、図８（ａ）の実施例は、両方のレール３１、３２がｃｓｓ領域１１にのって、スライダが停止すべく、ヘッドアームとの接触位置を決めてストッパを配置する点に特徴を有する。この実施例では、表面粗さが大きな領域にｃｓｓさせるので、（表面粗さが荒い分パッドは磨耗し易くなるわけであるがパッド自体、耐磨耗に関して考慮されており、ある程度以上の大きさのパッドが必要になっているという理由で）ある程度の大きさのパッドであっても吸着を確実に防止させる効果を有する。
【００４１】
図８（ｂ）に示す実施例では、ＣＳＳ領域１１を小さくしてデータ領域１２を大きくとる効果を狙って、スライダの一方のレールを意図的にデータ領域１２に位置させるような制御を行なう。
また、図８（ｂ）の実施例では、ＣＳＳ領域１１を小さくした場合において、磁気ヘッドスライダ２０がＣＳＳ領域１１へ戻る過程で、たとえ衝撃や誤動作によりスライダ２０がＣＳＳ領域１１からデータ領域１２側へ外れても、外れたレール３２の突起状パッド３８が磁気ディスク３の表面に点接触により接触するので、ディスク３とスライダ２０の表面が共に平滑化されていても、それらの間の吸着は防止される。したがって、図８（ｂ）に示す実施例ではＣＳＳ領域を小さくすることが可能となり、その分、データ領域を広くとのことができる。
【００４２】
なお、ヘッドアーム４（スライダ２０）の内径端の位置規制に関しては、前述のようにストッパの配置を規定するか、電気的にその位置で停止するように制御して（例えば、ディスクの回転停止時の回転モータの逆起電力を利用して）ＣＳＳ領域まで移動させて、その位置に保持した状態で回転が停止すべく制御し、スライダを着地させる等の方法による。
【００４３】
以上、添付図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の精神ないし範囲内において種々の形態、変形、修正等が可能であることに留意すべきである。
例えば、上記の実施例では磁気ディスク装置について説明したが、本発明は、光磁気ディスク装置の磁気ヘッドを搭載する浮上型スライダや、光ディスク装置の光学ヘッドを搭載する浮上型スライダ等においても、応用可能である。
【００４４】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、レール面に突起状のパッドを設け、ディスク媒体の回転停止時に、該パッド及びレールの空気流流出端部のみ磁気ディスクの媒体面に接触させるように構成したので、スライダの停止時に、仮に、パッドを設けたレールが平滑面である磁気ディスクのデータ領域にあっても、突起状のパッドが磁気ディスクの記録層（データ領域）に点接触するのみであるから、スライダとディスクとの吸着が有効に低減される。
【００４５】
また、ディスク媒体の回転停止時に、スライダを所謂ＣＳＳ領域に戻すようにする場合において、ＣＳＳ領域が小さく、スライダがＣＳＳ領域上に乗らないことがあっても、上記のように突起状のパッドが磁気ディスクの記録層に点接触することで吸着を防止できる。よって、その分、記録層を広くでき、高密度で大容量で且つ高速度の磁気ディスクを達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気ディスク装置の表面カバーを取り外して見た平面図である。
【図２】図１のＡ矢印図である。
【図３】本発明における磁気ヘッドスライダを磁気ディスクと対向する面から見た斜視図である。
【図４】本発明における磁気ヘッドスライダの平面図である。
【図５】スライダの膜形成方法を説明する図である。
【図６】（ａ）はスライダの詳細な寸法を示し、（ｂ）はパッドの詳細な寸法を示す。
【図７】磁気ヘッドスライダが磁気ディスクに接触している状態を示す。
【図８】磁気ヘッドスライダ２０が磁気ディスク３のＣＳＳ領域に位置する場合を示し、（ａ）はＣＳＳ領域を比較的大きくとった例、（ｂ）はＣＳＳ領域を小さくとった例を示す。
【符号の説明】
１…エンクロージャ
２…スピンドル
３…磁気ディスク
４…アーム
１１…ＣＳＳ領域
１２…データ領域
２０…磁気ヘッドスライダ
３０、３１、３２…レール
３６…磁気変換素子
３７、３８…突起状パッド
３９、４０…突起状パッド
【図１】
0003678530.tif 000002
【図２】
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【図３】
0003678530.tif 000004
【図４】
0003678530.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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