(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を複数の供給口を通してそれぞれ１本のミキシング流路内へ導入し、これらの流体を薄片状の層流として流通させつつ、流体同士をその接触界面の法線方向へ拡散し、混合するマイクロミキサーであって、
外部から流体の供給をそれぞれ受ける複数のヘッダ部と、
前記複数のヘッダ部にそれぞれ一端部が接続された複数の流体供給路と、
前記複数の流体供給路の他端部にそれぞれ環状の軌跡に沿って開口するように設けられ、互いに略同心状となるように配設された複数の供給口と、
一端部が前記複数の供給口に接続され、該複数の供給口を通して導入された流体が他端部から流出するミキシング流路とを有し、
前記環状軌跡に直交する開口幅方向に沿った前記供給口の開口幅を１μm以上で５００μm以下としたことを特徴とするマイクロミキサー。
【請求項２】
最内周側に位置する前記流体供給路及び前記ミキシング流路の内周側に流体の流通方向に沿って延在し、かつ前記出液口から下流側へ突出するように設けられたロッド状の整流部材を有することを特徴とする請求項１記載のマイクロミキサー。
【請求項３】
前記ミキシング流路内を流通する流体の温度を制御し、又は前記ミキシング流路内から流出した流体の温度を制御する温度制御手段を有することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロミキサー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体を複数の供給口からそれぞれ１本のミキシング流路内へ導入し、これら流体を薄片状の層流としてミキシング流路内を流通させつつ、流体同士を混合し、又は混合及び反応させるマイクロミキサーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、写真感光材料に用いられる乳剤等の製造に係る化学工業や医薬品、試薬等の製造に係る医薬品工業の分野では、マイクロミキサー又はマイクロリアクターと呼ばれる微小容器を用いた新しい製造プロセスの開発が進められている。マイクロミキサー及びマイクロリアクターには、その断面を円形に換算した場合の等価直径が数μｍ〜数百μｍ程度の複数本のマイクロチャンネル及び、これらのマイクロチャンネルと繋がる混合空間が設けられており、このマイクロミキサー及びマイクロリアクターでは、複数本のマイクロチャンネルを通して複数の流体をそれぞれ混合空間へ導入することで、複数の溶液を混合し、又は混合と共に化学反応を生じさせる。なお、マイクロミキサーとマイクロリアクターとは基本的な構造が共通とされているが、特に、複数の溶液を混合する際に化学反応を伴うものをマイクロリアクターと言う場合がある。このことから、マイクロミキサーには、マイクロリアクターが含まれるものとして以下の説明を行う。このようなマイクロミキサーとしては、例えば、特表平９−５１２７４２号公報、ＰＣＴ国際公開公報ＷＯ  ００／６２９１３号に開示されているものがある。これらのマイクロミキサーは、何れも、２種類の溶液をそれぞれマイクロチャンネル等と呼ばれる微細な給液路を通し、極めて薄い薄片状の層流として混合空間内へ供給することで、この混合空間内で二種類の溶液同士を混合及び反応させるものである。
【０００３】
次に、上記のようなマイクロミキサーによる混合及び反応がタンク等を用いたバッチ方式と異なる点を説明する。すなわち、液相の化学反応は、一般に反応液の界面において分子同士が出会うことによって反応が起こるので、微小空間内で反応を行うと相対的に界面の面積が大きくなり、反応効率は著しく増大する。また分子の拡散そのものも拡散時間は距離の二乗に比例する。このことは、スケールを小さくするに従って反応液を能動的に混合しなくても、分子の拡散によって混合が進み、反応が起こり易くなることを意味している。また、微小空間においては、スケールが小さいために層流支配の流れとなり、溶液同士が層流状態となって互いに拡散し、混合されて行く。
【０００４】
上記のような特徴を有するマイクロミキサーを用いれば、例えば、混合及び反応の場として大容積のタンク等を用いた従来のバッチ方式と比較し、溶液同士の反応時間及び温度の高度制御が可能になる。またバッチ方式の場合には、特に、反応速度が速い溶液環間では混合初期の反応接触面で反応が進行し、さらに溶液間の反応により生成された一次生成物が容器内で引き続き反応を受けてしまうことから、生成物の不均一や混合容器内で凝集や析出が生じてしまうおそれがある。これに対して、マイクロミキサーによれば、溶液が混合容器内に殆ど滞留することなく連続的に流通するので、溶液間の反応により生成された一次生成物が混合容器内に滞留する間に引き続き反応を受けてしまうことを抑止でき、従来では取り出すことが困難であった純粋な一次生成物を取り出すことも可能になり、また混合容器内での凝集や析出も生じ難くなる。
【０００５】
また、実験的な製造設備により製造された少量の化学物質を大規模の製造設備により多量に製造（スケールアップ）する際には、従来、実験的な製造設備に対し、バッチ方式による大規模の製造設備での再現性を得るために多大の労力及び時間を要していたが、必要となる製造量に応じてマイクロミキサーを用いた製造ラインを並列化することにより、このような再現性を得るための労力及び時間を大幅に減少できる可能性がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記した特表平９−５１２７４２号、ＷＯ  ００／６２９１３号公報等に開示された従来のマイクロミキサーでは、複数の給液路が混合空間内に面してそれぞれ給液口を開口させており、これら複数の給液口を通して溶液が混合空間内へ導入されるが、これら給液口の開口面積の総和に対して混合空間の断面積が急激に拡大する部分が存在し、さらに混合空間の一部には混合溶液の流れる方向を急激に変化させる部分が存在する。この混合空間内における断面積が急激に拡大する部分付近や、混合溶液の流れる方向を急激に変化させる部分付近では溶液の滞留が生じ易くなり、特に、溶液間の反応が合一や成長が伴う沈殿生成反応の場合には、これらの滞留部に凝集や析出が発生し、これを起因とした目詰まりや、凝集物や析出物の混入による生成物の均質性の低下が発生してしまうという問題が生じる。
【０００７】
本発明の目的は、上記事実を考慮して、複数の溶液間の混合又は化学反応が進行する空間であるミキシング流路内における溶液の滞留を効果的に抑制できるマイクロミキサーを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るマイクロミキサーは、外部から流体の供給をそれぞれ受ける複数のヘッダ部と、前記複数のヘッダ部にそれぞれ一端部が接続された複数の流体供給路と、前記複数の流体供給路の他端部にそれぞれ環状の軌跡に沿って開口するように設けられ、互いに略同心状となるように配設された複数の供給口と、一端部が前記複数の供給口に接続され、該複数の供給口を通して導入された流体が他端部から流出するミキシング流路とを有し、前記環状軌跡に直交する開口幅方向に沿った前記供給口の開口幅を１μm以上で５００μm以下としたことを特徴とする。
【０００９】
上記本発明に係るマイクロミキサーによれば、複数の流体供給路の他端部にそれぞれ環状の軌跡に沿って開口し、互いに略同心状となるように配設された複数の供給口が設けられ、これら複数の供給口にミキシング流路における上流側の一端部が接続されることにより、複数の供給口を通してそれぞれミキシング流路内へ導入される複数種類の流体が供給口の開口幅に対応する薄片状の層流となってミキシング流路内を流通すると共に、互いに隣接する層流間の界面では各流体の分子が相互に拡散するので、複数の供給口の開口幅をそれぞれ十分微小な幅（１μm以上で５００μm以下）にしておけば、複数の供給口をそれぞれ通してミキシング流路内へ導入された複数種類の流体を極めて短時間で均一に混合し、この複数種類の流体が混合された流体をミキシング流路の出液口からマイクロミキサーの外部へ供給できる。
【００１０】
また本発明に係るマイクロミキサーでは、複数の流体供給路における下流側の端部とミキシング流路とを直線的に配置すると共に、ミキシング流路自体を直線的に沿って延在するものとするば、ミキシング流路内における流体の流れも直線的なものになるので、ミキシング流路内で流体の流れが急激に変化することによる流体の滞留が生じなくなり、またミキシング流路の断面積を任意の位置で一定にするようにすれば、ミキシング流路内で断面積が変化することによる混合流体の滞留も生じなくなる。
【００１１】
また本発明に係るマイクロミキサーにおいて、外部から複数の流体供給路に供給される流体としては、例えば、液体、気体、液体中に金属微粒子等が分散された固液混合物、気体中に金属微粒子等が分散された固気混合物、液体中に気体が溶解せずに分散した気液混合物等も対象となり、また流体の種類が異なるとは、化学組成が異なる場合のみならず、例えば、温度、固液比等の状態が異なる場合も含まれる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係るマイクロミキサーについて図面を参照して説明する。
【００１３】
（第１の実施形態）
図１には本発明の第１の実施形態に係るマイクロミキサーの一例が示されている。このマイクロミキサー１０は、２種類の溶液Ｌ１、Ｌ２を同時に混合し、これらの溶液Ｌ１、Ｌ２が均一に混合された溶液ＬＭを外部へ供給するためのものである。ここで、マイクロミキサー１０により溶液Ｌ１、Ｌ２を混合する際には、溶液Ｌ１、Ｌ２間に化学反応が生じる場合と生じない場合とが考えられるが、本実施形態に係るマイクロミキサーは何れの場合にも用いることができる。
【００１４】
図１に示されるように、マイクロミキサー１０は全体として略円柱状に形成されており、装置の外殻部を構成する円筒状のミキサー本体１２を備えている。ここで、図中における直線Ｓは装置の軸心を示しており、この軸心Ｓに沿った方向を装置の軸方向として以下の説明を行う。ミキサー本体１２は、その軸方向に沿った基端部が先端側の部分に対して大径とされた大径部１４とされており、この大径部１４内には、外部から溶液Ｌ１及びＬ２の供給を受ける一対の第１ヘッダ部１６及び第２ヘッダ部１８が設けられている。ミキサー本体１２は、大径部に対して先端側の部分が内径一定の円管部２０とされており、この円管部２０の先端面には溶液ＬＭの出液口２２が開口し、また円管部２０の先端部には出液口２２の外周側に延出するようにリング状のフランジ部２４が設けられている。
【００１５】
ここで、ミキサー本体１２の先端部には、フランジ部２４と対になるフランジ部が設けられた出液配管（図示省略）が連結され、ミキサー本体１２の出液口２２から吐出された溶液ＬＭは、出液配管を通して一時貯留用の貯留容器、溶液ＬＭに対して次の処理を行うための他のマイクロミキサー等へ送られる。ここで、ミキサー本体１２のフランジ部２４と出液配管のフランジ部とは、ボルト及びナットを用いたねじ継手、一対のフランジ部の外周側からリング状の連結部材を嵌挿するフルェール継手等の各種の継手構造により連結することができ、また溶接により連結するようにしても良い。
【００１６】
ミキサー本体１２における大径部１４の基端面は円板状の底蓋２６により閉塞されており、この底蓋２６の中心部には円形の嵌挿穴２８が穿設されている。ミキサー本体１２には、その大径部１４内から円管部２０内へ突出するように丸棒状の整流部材３０が同軸的に配設されている。整流部材３０の基端部は底蓋２６の嵌挿穴２８に嵌挿されて支持されている。また整流部材３０の先端部には先端側へ向って縮径する円錐部３２が形成されている。ここで、整流部材３０の外径は円管部２０の内径よりも小径とされ、この円管部２０の内径との寸法差が円管部２０内における溶液Ｌ１，Ｌ２の流通量に基づいて設定される。
【００１７】
ミキサー本体１２の大径部１４内には、この大径部１４内の空間を軸方向に沿って略２等分するように区画する円板状の仕切板３４が配置されており、この仕切板３４により区画された基端側及び先端側の空間は、それぞれ第１ヘッダ部１６及び第２ヘッダ部１８とされている。これらのヘッダ部１６，１８には、それぞれ給液配管３６，３８が接続されている。これらの給液配管３６，３８を通して、ヘッダ部１６，１８には、マイクロミキサー１０の上流側に設置された２個の給液源（（図示省略）から加圧状態とされた溶液Ｌ１及び溶液Ｌ２が供給される。これらの給液源は、例えば、溶液Ｌ１，Ｌ２を生成する他のマイクロミキサーや、溶液Ｌ１，Ｌ２を貯えた貯留タンク及びポンプ等からなる
仕切板３４の中心部には、開口径が円管部２０の内径と整流部材３０の外径との中間寸法とされた円形の開口部が穿設されており、仕切板３４には、開口部の周縁部から円管部２０内へ突出するパイプ状の隔壁部材４０が一体的に形成されている。この隔壁部材４０は、円管部２０及び整流部材３０とそれぞれ同軸的に配置されており、円管部２０と整流部材３０との間の空間を内周側と外周側とに区画している。ここで、隔壁部材４０により区画された外周側及び内周側の空間はそれぞれ第１給液路４２及び第２給液路４４とされ、これらの第１及び第２給液路４２，４４は、それぞれ基端部側で第１及び第２ヘッダ部１６，１８に連通している。またミキサー本体１２の円管部２０内には、隔壁部材４０よりも先端側であって整流部材３０の円錐部３２よりも基端側に給液路４２，４４に対して肉厚とされた円筒状の空間が形成され、この円筒状の空間は、給液路４２，４４からそれぞれ供給された溶液Ｌ１と溶液Ｌ２との混合又は混合及び化学反応が行われるミキシング流路４６とされている。
【００１８】
ミキサー本体１２内には、円管部２０の内周面と隔壁部材４０の外周面との間に複数個（本実施形態では４個）のスペーサ４８が介装されると共に、隔壁部材４０の内周面と整流部材３０の外周面との間にも複数個（本実施形態では４個）のスペーサ５０が介装されている。これら複数個のスペーサ４８，５０はそれぞれ矩形プレート状に形成され、その表裏面部が円管部２０内における溶液Ｌ１，Ｌ２の流通方向（矢印Ｆ方向）と平行となるように支持されている。また複数個のスペーサ４８，５０は、それぞれ軸心Ｓを中心とする周方向に沿って９０°間隔で配置され、周方向における位置が互いに一致している。ここで、外周側のスペーサ４８は隔壁部材４０を円管部２０に連結し、内周側のスペーサ５０は整流部材３０を隔壁部材４０に連結すると共に、給液路４２，４４の径方向に沿った開口幅Ｗ１，Ｗ２（図１（Ａ）参照）を設定している。これにより、隔壁部材４０及び整流部材３０がそれぞれ十分な強度で円管部２０に連結固定され、溶液Ｌ１，Ｌ２の液圧や重力の影響により所定の位置から変移したり、変形することが防止されると共に、開口幅Ｗ１，Ｗ２が予め設定された寸法に確実に維持される。
【００１９】
図１（Ｂ）に示されるように、第１給液路４２及び第２給液路４４の先端部には、それぞれミキシング流路４６内へ開口する第１給液口５２及び第２給液口５４が形成されている。これらの給液口５２，５４は、それぞれ軸心Ｓを中心とする円軌跡に沿って開口し、互いに同心状となるように配設されている。ここで、第１給液口５２の径方向に沿った開口幅Ｗ１は、１μｍ以上で５００μｍ以下の範囲で、第１ヘッダ部１６への溶液Ｌ１の供給量、種類等に応じて適宜設定される。また第２給液口５４の径方向に沿った開口幅Ｗ２も、１μｍ以上で５００μｍ以下の範囲で、第２ヘッダ部１８への溶液Ｌ２の供給量、種類等に応じて適宜設定される。
【００２０】
ここで、開口幅Ｗ１，Ｗ２は、それぞれ給液口５２，５４の開口面積を規定し、この給液口５２，５４の開口面積と溶液Ｌ１，Ｌ２の供給量に応じて、給液口５２，５４を通してミキシング流路４６内へ導入される溶液Ｌ１，Ｌ２の初期流速が定まる。これらの開口幅Ｗ１，Ｗ２は、例えば、給液口５２，５４を通してミキシング流路４６内へ供給される溶液Ｌ１，Ｌ２の流速が互いに等しくなるように設定される。但し、溶液Ｌ１，Ｌ２が均一に混合するまでの時間（混合時間）の短縮を考えた場合には、当然、開口幅Ｗ１，Ｗ２は狭いほど有利となり、また隔壁部材４０の径方向に沿った厚さも可能な限り薄くすることが望まれる。
【００２１】
円管部２０内におけるミキシング流路４６よりも先端側の空間は、ミキシング流路４６内で溶液Ｌ１，Ｌ２の混合が行われ、又は混合及び化学反応が行われた溶液ＬＭが出液口２２へ向って流れる出液路５６とされている。ここで、溶液ＬＭが溶液Ｌ１，Ｌ２の混合のみにより生成される場合には、ミキシング流路４６の出口部で溶液Ｌ１，Ｌ２が略均一に混合されている必要があり、また溶液ＬＭが溶液Ｌ１，Ｌ２の混合及び化学反応により生成される場合には、ミキシング流路４６の出口部で溶液Ｌ１，Ｌ２が略均一に混合され、しかも溶液Ｌ１，Ｌ２間の化学反応も略完全に完了している必要がある。従って、ミキシング流路４６の溶液Ｌ１，Ｌ２の流通方向に沿った路長ＰＦ（図１（Ａ）参照）は、溶液Ｌ１，Ｌ２の混合が完了し、又は混合及び化学反応が略完了するような長さに設定する必要がある。なお、ミキサー本体１２内には、常に、溶液Ｌ１，Ｌ２及びこれらが混合された溶液ＬＭが隙間なく充填され、ヘッダ部１６，１８から出液口２２側へ流通しているものとする。
【００２２】
上記のように構成された本実施形態に係るマイクロミキサー１０では、給液配管３６，３８を通してヘッダ部１６，１８にそれぞれ加圧状態の溶液Ｌ１，Ｌ２を供給することにより、これらの溶液Ｌ１，Ｌ２がヘッダ部１６，１８からそれぞれ給液路４２，４４内へ供給され、これらの給液路４２，４４内を流通し、給液口５２を通して所定の流速を有する液流としてミキシング流路４６内へ導入される。このとき、給液口５２，５４の開口幅Ｗ１，Ｗ２が１μｍ〜５００μｍという微小幅とされていることから、給液口５２，５４を通してミキシング流路４６内へ導入される溶液Ｌ１，Ｌ２は、それぞれ開口幅Ｗ１，Ｗ２に対応する幅を有する薄片状の層流となって出液路５６側へ向って流れつつ、各層流の界面ではその法線方向に沿って分子拡散が生じて溶液Ｌ１，Ｌ２が混合し、出液路５６の手前側で溶液Ｌ１，Ｌ２が均一に混合され、又は均一に混合されると共に溶液Ｌ１，Ｌ２間の化学反応が完了して溶液ＬＭが生成される。この溶液ＬＭは、出液路５６内を流通し、フランジ部２４を介してミキサー本体１２の先端部に接続された出液配管へ供給される。
【００２３】
以上説明した本発明の第１の実施形態に係るマイクロミキサー１０によれば、複数の給液路４２，４４の先端部にそれぞれ円環状の軌跡に沿って開口し、互いに略同心状となるように配設された２個の給液口５２，５４が設けられ、これらの給液口５２，５４にミキシング流路４６が接続されることにより、給液口５２，５４を通してそれぞれミキシング流路内へ導入される２種類の溶液Ｌ１，Ｌ２が給液口５２，５４の開口幅Ｗ１，Ｗ２にそれぞれ対応する薄片状の層流となってミキシング流路４６内を流通すると共に、互いに隣接する層流間の界面で各溶液Ｌ１，Ｌ２の分子が相互に拡散するので、給液口５２，５４の開口幅Ｗ１，Ｗ２をそれぞれ十分微小な幅（１μm以上で５００μm以下）にしておけば、給液口５２，５４をそれぞれ通してミキシング流路４６内へ導入された２種類の溶液Ｌ１，Ｌ２を短時間で均一に混合し、この２種類の溶液Ｌ１，Ｌ２が混合され、又は混合され化学反応が完了した溶液ＬＭを出液路５６へ送り出し、出液配管を通して他のマイクロミキサー、貯留タンク等へ供給できる。
【００２４】
またマイクロミキサー１０では、２本の給液路４２，４４とこれらの給液路４２，４４における給液口５２，５４に接続されるミキシング流路４６とを軸心Ｓを中心として直線的に配置されているので、ミキシング流路４６内で溶液Ｌ１，Ｌ２，ＬＭの流れが急激に変化することによる溶液Ｌ１，Ｌ２，ＬＭの滞留が生じなくなり、またミキシング流路４６の軸直角方向に沿った断面積が任意の位置で一定とされているので、ミキシング流路４６内で断面積が変化することによる溶液Ｌ１，Ｌ２，ＬＭの滞留も生じなくなる。この結果、マイクロミキサー１０内における溶液Ｌ１，Ｌ２及び溶液ＬＭの滞留に伴う析出及び凝集を抑制できるので、凝集又は析出に起因する目詰まりや、凝集物や析出物の混入による生成物の均質性の低下を防止できるようになる。なお、本実施形態に係るミキシング流路４６の断面積は、給液路４２，４４の断面積の総和に対して隔壁部材４０の断面積だけ拡大したものになっているが、ミキシング流路４６の断面積と給液路４２，４４の断面積の総和とが一致するように、ミキシング流路４６の内径を給液口５２の内径に対して縮径するようにしても良い。
【００２５】
またマイクロミキサー１０は、ミキサー本体１２の先端部にフランジ部２４が設けられており、このフランジ部２４を用いてミキサー本体１２を対となるフランジ部を有する出液配管に直接接続できるようになっているので、ミキサー本体１２を下流側に配置された他のマイクロミキサーや貯留タンク等へ接続するためのマイクロミキサー専用の特殊な配管も不要にでき、化学物質、医薬品等の製造ラインへの設置も簡単になる。
【００２６】
次に、本発明の第１の実施形態に係るマイクロミキサーの変形例について説明する。図２及び図３には、それぞれ本発明の第１の実施形態に係るマイクロミキサーの変形例が示されている。
【００２７】
先ず、図２に示されるマイクロミキサー６０について説明する。このマイクロミキサー６０は、３種類の溶液Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を混合して溶液ＬＭを生成するためのものである。マイクロミキサー６０では、大径部１４内の空間が２枚の第１仕切板６２及び第２仕切板６４により軸方向に沿って略３等分されるように区画されており、これらの仕切板６２，６４により区画された３個の空間は基端側から先端側へ向って順に、第１ヘッダ部６６、第２ヘッダ部６８及び第３ヘッダ部７０とされている。これらのヘッダ部６６，６８，７０には、それぞれ給液配管３６，３７，３８が接続されている。これらの給液配管３６，３７，３８を通して、ヘッダ部６６，６８，７０には、マイクロミキサー１０の上流側に設置された３個の給液源（図示省略）から加圧状態とされた溶液Ｌ１、溶液Ｌ２及び溶液Ｌ３がそれぞれ供給される。
【００２８】
第１仕切板６２の中心部には、その開口径が円管部２０の内径と整流部材３０の外径との中間寸法とされた円形の開口部が穿設されており、この第１仕切板６２には、開口部の周縁部から円管部２０内へ突出するパイプ状の第１隔壁部材７２が一体的に形成されている。また第２仕切板６４の中心部にも、その開口径が第１隔壁部材７２の内径と整流部材３０の外径との中間寸法とされた円形の開口部が穿設されており、この第２仕切板６２には、開口部の周縁部から第１隔壁部材７２の内周側へ突出するパイプ状の第２隔壁部材７４が一体的に形成されている。これらの隔壁部材７２，７４は、円管部２０及び整流部材３０とそれぞれ同軸的に配置されており、円管部２０と整流部材３０との間の空間を径方向に沿って外周側、中間区間及び内周側に区画している。ここで、隔壁部材４０により区画された外周側、中間区間及び内周側の空間はそれぞれ第１給液路７６、第２給液路７８及び第３給液路８０とされ、これらの給液路７６，７８，８０は、それぞれ基端部側でヘッダ部６６，６８，７０に連通している。
【００２９】
ミキサー本体１２内には、円管部２０と第１隔壁部材７２との間、第１隔壁部材７２と第２隔壁部材７４との間、及び第２隔壁部材７４と整流部材３０との間にそれぞれ複数個（本実施形態では４個ずつ）のスペーサ８２，８４，８６が介装されている。これら複数個のスペーサ８２，８４，８６はそれぞれ矩形プレート状に形成され、その表裏面部が円管部２０内における溶液Ｌ１〜Ｌ３の流通方向（矢印Ｆ方向）と平行となるように支持されている。これらのスペーサ８２，８４，８６は、図１に示されるマイクロミキサー１０におけるスペーサ４８，５０と同様に、第１隔壁部材７２、第２隔壁部材７４及び整流部材３０を円管部２０に対して連結固定し、給液路７６，７８，８０の径方向に沿った開口幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３（図２（Ａ）参照）を設定している。これにより、隔壁部材７２，７４及び整流部材３０がそれぞれ十分な強度で円管部２０に連結固定され、溶液Ｌ１〜Ｌ３の液圧や重力の影響により所定の位置から変移したり、変形することが防止されると共に、開口幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３が予め設定された寸法に確実に維持される。
【００３０】
図２（Ｂ）に示されるように、第１給液路７６及び第２給液路７８及び第３給液路８０の先端部には、それぞれミキシング流路４６内へ開口する第１給液口８８、第２給液口９０及び第３給液口９２が形成されている。これらの給液口８８，９０，９２は、それぞれ軸心Ｓを中心とする円軌跡に沿って開口し、互いに同心状となるように配設されている。ここで、給液口８８，９０，９２の径方向に沿った開口幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３は、図１に示されるマイクロミキサー１０の場合と同様に、１μｍ以上で５００μｍ以下の範囲でヘッダ部６６，６８，７０への溶液Ｌ１〜Ｌ３の供給量、種類等に応じて適宜設定される。
【００３１】
ここで、溶液ＬＭが溶液Ｌ１〜Ｌ３の混合のみにより生成される場合には、ミキシング流路４６の出口部で溶液Ｌ１，Ｌ２が略均一に混合されている必要があり、また溶液ＬＭが溶液Ｌ１〜Ｌ３の混合及び化学反応により生成される場合には、ミキシング流路４６の出口部で溶液Ｌ１〜Ｌ３が略均一に混合され、しかも溶液Ｌ１〜Ｌ３間の化学反応も略完全に完了している必要がある。従って、ミキシング流路４６の溶液Ｌ１〜Ｌ３の流通方向に沿った路長ＰＦ（図２（Ａ）参照）は、溶液Ｌ１〜Ｌ３の混合が完了し、又は混合及び化学反応が完了するような長さに設定する必要がある。
【００３２】
上記のように構成された本実施形態に係るマイクロミキサー６０では、給液配管２６，２７，２８を通してヘッダ部６６，６８，７０にそれぞれ加圧状態の溶液Ｌ１〜Ｌ３を供給することにより、これらの溶液Ｌ１〜Ｌ３がヘッダ部６６，６８，７０からそれぞれ給液路７６，７８，８０内へ供給され、これらの給液路７６，７８，８０内を流通し、給液口８８，９０，９２を通して所定の流速を有する液流としてミキシング流路４６内へ導入される。このとき、給液口８８，９０，９２の開口幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３が１μｍ〜５００μｍという微小幅とされていることから、給液口８８，９０，９２を通してミキシング流路４６内へ導入される３種類の溶液Ｌ１〜Ｌ３は、それぞれ開口幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３に対応する幅を有する薄片状の層流となって出液路５６側へ向って流れつつ、各層流の界面ではその法線方向に沿って分子拡散が生じて溶液Ｌ１〜Ｌ３が混合し、出液路５６の手前側で溶液Ｌ１〜Ｌ３が均一に混合され、又は均一に混合されると共に溶液Ｌ１〜Ｌ３間の化学反応が完了した溶液ＬＭが生成される。この溶液ＬＭは、出液路５６内を流通し、フランジ部２４を介してミキサー本体１２の先端部に接続された出液配管へ供給される。
【００３３】
また、マイクロミキサー１０とマイクロミキサー６０とを比較すれば明らかなように、本実施形態に係るマイクロミキサー１０，６０の構成によれば、大径部１４を軸方向に沿って区画する仕切板及び、これと一体的に形成され円管部２０と整流部材３０との間を径方向に沿って区画する隔壁部材を増設することにより、溶液が供給されるヘッダ部及びミキシング流路４６内へ溶液を層流状態として供給する給液路を簡単に増設できるので、図１に示されるマイクロミキサー１０と同様な作用効果を奏すると共に、ミキシング流路４６内で４種類以上の溶液をそれぞれ薄片状の層流として混合し、又は混合及び化学反応させるマイクロミキサーも簡単に実現できるようになる。
【００３４】
次に、図３に示されるマイクロミキサー１００について説明する。このマイクロミキサー１００は、図１に示されるマイクロミキサー１０と同様に、２種類の溶液Ｌ１，Ｌ２を混合して溶液ＬＭを生成するためのものである。このマイクロミキサー１００がマイクロミキサー１０と異なる点は、円管部２０と隔壁部材４０との間及び隔壁部材４０と整流部材３０との間に配置されたスペーサ４８，５０が省略され、これらのスペーサ４８，５０の代わりに、給液路４２，４４の先端側の開口部にそれぞれ円環状のノズルプレート１０２，１０４が取り付けられている点である。
【００３５】
２枚のノズルプレート１０２，１０４は、円管部２０と隔壁部材４０との間、隔壁部材４０と整流部材３０との間にそれぞれ介装されて、給液口５２，５４の先端側の開口部をそれぞれ閉塞するように固定されている。これらのノズルプレート１０２，１０４には、図３（Ｂ）に示されるように、それぞれ円形の給液口１０６，１０８が複数穿設されており、これらの給液口１０６，１０８を通して、給液口５２，５４はミキシング流路４６に連通している。これらの給液口１０６，１０８は、その内径Ｒ１，Ｒ２が給液路４２，４４の開口幅Ｗ１，Ｗ２よりも小径とされている。また複数個の給液口１０６は、軸心Ｓを中心とする周方向に沿ったピッチが等しくなるようにノズルプレート１０２に設けられ、複数個の給液口１０８も、軸心Ｓを中心とする周方向に沿ったピッチが等しくなるようにノズルプレート１０４に設けられている。このとき、ノズルプレート１０２，１０４には、給液口１０６と給液口１０８とを可能な限り近接するようにして配置することが望ましい。
【００３６】
ここで、ノズルプレート１０２，１０４は、マイクロミキサー１０におけるスペーサ４８，５０と同様に、隔壁部材４０及び整流部材３０を円管部２０に対して連結固定し、給液路４２，４４の径方向に沿った開口幅を設定している。これにより、隔壁部材４０及び整流部材３０がそれぞれ十分な強度で円管部２０に連結固定され、溶液Ｌ１，Ｌ２の液圧や重力の影響により所定の位置から変移したり、変形することが防止されると共に、給液路４２，４４の開口幅が予め設定された寸法に確実に維持される。またノズルプレート１０２における給液口１０６の内径Ｒ１は、１μｍ以上で５００μｍ以下の範囲内で、第１ヘッダ部１６への溶液Ｌ１の供給量、種類等に応じて適宜設定され、さらに内径Ｒ１及び第１ヘッダ部１６への溶液Ｌ１の供給量に応じてノズルプレート１０２における給液口１０６の個数が決定される。ノズルプレート１０４における給液口１０８の内径Ｒ２も、１μｍ以上で５００μｍ以下の範囲内で、第２ヘッダ部１８への溶液Ｌ２の供給量、種類等に応じて適宜設定され、さらに内径Ｒ２及び第２ヘッダ部１８への溶液Ｌ２の供給量に応じてノズルプレート１０４における給液口１０８の個数が決定される。
【００３７】
上記のように構成された本実施形態に係るマイクロミキサー１００では、給液配管３６，３８を通してヘッダ部１６，１８にそれぞれ加圧状態の溶液Ｌ１，Ｌ２を供給することにより、これらの溶液Ｌ１，Ｌ２がヘッダ部１６，１８からそれぞれ給液路４２，４４内へ供給され、これらの給液路４２，４４内を流通し、給液口１０６，１０８を通して所定の流速を有する液流としてミキシング流路４６内へ導入される。このとき、給液口１０６，１０８の内径Ｒ１，Ｒ２が１μｍ〜５００μｍという微小径とされていることから、給液口１０６，１０８を通してミキシング流路４６内へ導入される２種類の溶液Ｌ１，Ｌ２は、それぞれ内径Ｒ１，Ｒ２に対応する外径を有する複数本の細棒状の層流となって出液路５６側へ向って流れつつ、各層流の界面ではその法線方向に沿って分子拡散が生じて溶液Ｌ１，Ｌ２が混合し、出液路５６の手前側で溶液Ｌ１，Ｌ２が均一に混合され、又は均一に混合されると共に溶液Ｌ１，Ｌ２間の化学反応が完了した溶液ＬＭが生成される。この溶液ＬＭは、出液路５６内を流通し、フランジ部２４を介してミキサー本体１２の先端部に接続された出液配管へ供給される。
【００３８】
図３に示されるマイクロミキサー１００では、溶液Ｌ１，Ｌ２がそれぞれ円形の給液口１０６，１０８を通してミキシング流路４６内へ導入され、これらの溶液Ｌ１，Ｌ２がそれぞれ複数本の細棒状の層流に分断されてミキシング流路４６内を流通する。一方、図１に示されるマイクロミキサー１０では、溶液Ｌ１，Ｌ２がそれぞれ単一の薄片状の層流となってミキシング流路４６内を流通する。このことから、マイクロミキサー１００では、図１に示されるマイクロミキサー１０と比較すると、マイクロミキサー１０と同様な作用効果に加え、ミキシング流路４６内で溶液Ｌ１，Ｌ２によりそれぞれ形成される層流についての比表面積を増加させることが可能になるので、ミキシング流路４６内で溶液Ｌ１，Ｌ２が均一に混合するまでの時間及び化学反応が完了するまでの時間を短縮することが可能になる。
【００３９】
なお、図３に示されるマイクロミキサー１００では、ノズルプレート１０２，１０４における給液口１０６，１０８をそれぞれ円形としてが、これらの給液口１０６，１０８の形状については、必ずしも円形である必要はなく、外周側へ向って幅広となる扇状、六角形、長円状等の任意の形状とすることができ、給液口１０６，１０８の形状を変えることにより、給液口１０６，１０８から吐出される溶液Ｌ１，Ｌ２により形成される層流の比表面積それぞれを調整するようにしても良い。
【００４０】
なお、以上説明した本実施形態に係るマイクロミキサー１０，６０，１００では、給液口５２，５４，８８，９０，９２，１０６，１０８がそれぞれ円環状の軌跡に沿って開口しているが、これらの給液口５２，５４，８８，９０，９２，１０６，１０８を、必ずしも円環状の軌跡に沿って開口させる必要はなく、矩形環状、楕円環状、長円環状等の円以外の環状軌跡に沿って開口させても良く、また給液口５２，５４，８８，９０，９２，１０６，１０８を連続した波形状、山形状等のジグザグ状とし、溶液Ｌ１〜Ｌ３間の接触界面の面積を実質的に増大させるようにしても良い。
【００４１】
（第２の実施形態）
図４には本発明の第２の実施形態に係るマイクロミキサーが示されている。なお、このマイクロミキサー１２０は、第１の実施形態に係るマイクロミキサー６０（図２参照）を基礎とし、溶液Ｌ１〜Ｌ３及び溶液ＬＭの液温を制御するための液温制御装置１２２，１２４，１２６を追加したものである。このことから、図８に示されるマイクロミキサー１２０では、第１の実施形態に係るマイクロミキサー１０，６０と構成及び作用が共通の部材については同一符合を付して説明を省略する。
【００４２】
本実施形態に係るマイクロミキサー１２０は、図２に示されるマイクロミキサー６０と同様に、３種類の溶液Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を混合し、又は混合すると共に化学反応させて溶液ＬＭを生成するためのものであるが、溶液Ｌ１〜Ｌ３の混合に化学反応を伴う場合に特に適したものである。図４（Ｂ）に示されるように、マイクロミキサー１２０には、水、オイル等の熱容量が比較的大きい液体を熱移動媒体Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３としてそれぞれ用いた３個の第１液温制御装置１２２、第２液温制御装置１２４及び第３液温制御装置１２６が設けられている。ここで、液温制御装置１２２，１２４は、主として、ミキシング流路４６内を流通して混合又は、混合及び化学反応が進行している溶液Ｌ１〜Ｌ３の液温を制御するためのものであり、液温制御装置１２６は出液路５６内を流通する溶液ＬＭの液温を制御するためのものである。
【００４３】
第１液温制御装置１２２は、ミキサー本体１２の中心部に配置された整流部材１２８及び第１熱交換器（図示省略）を備えている。整流部材１２８は、第１の実施形態に係る整流部材３０と同様に、その外形形状が先端部に円錐部１３０が形成された略円柱状とされているが、中実状とされた整流部材３０と異なり、外殻部が薄肉状の金属板により成形されて内部が中空状とされている。整流部材１２８内には、その基端側から整流部材１２８内径よりも小径とされた給液管１３２が挿入されており、給液管１３２は、整流部材１２８の基端側の開口を閉塞する閉塞板（図示省略）及ぶ複数個のスペーサ１３４により整流部材１２８と同軸的に支持されている。
【００４４】
給液管１３２の先端は円錐部１３０の付根付近に達しており、その先端面には整流部材１２８内に熱移動媒体Ｃ１を供給するための給液口１３３が開口している。また整流部材１２８は、その内周面と供液管１３２の外周面との間に形成された隙間が熱移動媒体Ｃ１の復流路１３６とされており、この復流路１３６を通して、給液管１３２の給液口１３３から流出した熱移動媒体Ｃ１は整流部材１２８の先端側から基端側へ流通する。
【００４５】
ここで、給液管１３２の基端面を閉塞した閉塞板には復液配管（図示省略）が連結されており、この復液配管の先端部は復流路１３６に連通している。また復液配管の基端部及び給液管１３２の基端部はそれぞれ第１熱交換器（図示省略）に接続されており、この第１熱交換器は、復液配管を通して整流部材１２８内から戻ってきた熱移動媒体C１を予め設定された液温Ｔ１に温度調整し、給液管１３２を通して整流部材１２８内へ送り出す。
【００４６】
第１液温制御装置１２２には、循環用ポンプ（図示省略）が設けられており、このポンプは、常に、給液管１３２及び復液配管を通して、熱移動媒体Ｃ１を熱交換器と整流部材１２８内との間を循環させる。これにより、復流路１３６内を流通する熱移動媒体Ｃ１の液温Ｔ１と第３給液路８０内を流通する溶液Ｌ３の液温との間又は、ミキシング流路４６内を流通して混合が進行中の溶液Ｌ１〜Ｌ３の液温との間に温度差がある場合には、整流部材１２８の外殻部を介して熱移動媒体Ｃ１と溶液Ｌ３又は溶液Ｌ１〜Ｌ３との間で熱交換が行われ、溶液Ｌ３又は溶液Ｌ１〜Ｌ３の液温が液温Ｔ１に近づくように温度変化する。
【００４７】
第２液温制御装置１２４は、円管部２０におけるミキシング流路４６の外周側に配置された熱交換ジャケット１３８及び第２熱交換器（図示省略）を備えている。熱交換ジャケット１３８は、外形形状が肉厚円筒状とされており、その内周面が円管部２０の外周面に密着するようにミキサー本体１２へ固定されている。また熱交換ジャケット１３８の内部は中空とされており、この内部空間は熱移動媒体Ｃ２が流通する循環液室１４０とされている。また熱交換ジャケット１３８には、給液配管４２及び復液配管１４４の一端部がそれぞれ接続されており、これらの給液配管４２及び復液配管１４４の他端部はそれぞれ第２熱交換器（図示省略）に接続されている。
【００４８】
ここで、第２熱交換器は、復液配管１４４を通して熱交換ジャケット１３８内から戻ってきた熱移動媒体C２を予め設定された液温T２に温度調整し、給液配管４２を通して熱交換ジャケット１３８の循環液室１４０内へ送り出す。この熱移動媒体Ｃ２は循環液室１４０内を流通して復液配管１４４を通して第２熱交換器に戻る。この循環液室１４０内には、熱移動媒体Ｃ２の流れ方向を制限する隔壁（図示省略）が設置されており、この隔壁により、熱移動媒体Ｃ２は循環液室１４０内を少なくとも１周以上流通した後、復液配管１４４に達するように流通する。
【００４９】
第２液温制御装置１２４にも、第１液温制御装置１２２と同様に、循環用ポンプ（図示省略）が設けられており、このポンプは、常に、給液配管４２及び復液配管１４４を通して、熱移動媒体Ｃ２を第２熱交換器と循環液室１４０内との間を循環させる。これにより、循環液室１４０内を流通する熱移動媒体Ｃ２の液温Ｔ２とミキシング流路４６内を流通して混合が進行中の溶液Ｌ１〜Ｌ３の液温との間に温度差がある場合には、熱交換ジャケット１３８の内周壁部及び円管部２０の外周壁部を介して熱移動媒体Ｃ２と溶液Ｌ１〜Ｌ３との間で熱交換が行われ、溶液Ｌ１〜Ｌ３の液温が液温Ｔ２に近づくように温度変化する。
【００５０】
第３液温制御装置１２６は、円管部２０における出液路５６の外周側に配置された熱交換ジャケット１４６及び第３熱交換器（図示省略）を備えている。熱交換ジャケット１４６は、熱交換ジャケット１３８と同様の形状及び構造とされており、その内部に熱移動媒体Ｃ３が流通する循環液室１４８が設けられている。この熱交換ジャケット１４６には、給液配管１５０及び復液配管１５２の一端部がそれぞれ接続されており、これらの給液配管１５０及び復液配管１５２の他端部はそれぞれ第２熱交換器（図示省略）に接続されている。
【００５１】
ここで、第３熱交換器は、復液配管１５２を通して熱交換ジャケット１４６内から戻ってきた熱移動媒体C３を予め設定された液温T３に温度調整し、給液配管１５０を通して熱交換ジャケット１３８の循環液室１４８内へ送り出す。この熱移動媒体Ｃ３は循環液室１４８内を流通して復液配管１５２を通して第３熱交換器に戻る。この循環液室１４８内には、熱移動媒体Ｃ３の流れ方向を制限する隔壁（図示省略）が設置されており、この隔壁により、熱移動媒体Ｃ３は循環液室１４８内を少なくとも１周以上流通した後、復液配管１５２に達するように流通する。
【００５２】
第３液温制御装置１２６にも、第１液温制御装置１２２と同様に、循環用ポンプ（図示省略）が設けられており、このポンプは、常に、給液配管１５０及び復液配管１５２を通して、熱移動媒体Ｃ３を第３熱交換器と循環液室１４８内との間を循環させる。これにより、循環液室１４８内を流通する熱移動媒体Ｃ３の液温Ｔ３と出液路５６内を流通する溶液ＬＭの液温との間に温度差がある場合には、熱交換ジャケット１４６の内周壁部及び円管部２０の外周壁部を介して熱移動媒体Ｃ３と溶液ＬＭとの間で熱交換が行われ、溶液ＬＭの液温が液温Ｔ３に近づくように温度変化する。
【００５３】
次に、上記のように構成された本実施形態に係るマイクロミキサー１２０の作用について説明する。マイクロミキサー１２０では、給液配管２６，２７，２８を通してヘッダ部６６，６８，７０にそれぞれ加圧状態の溶液Ｌ１〜Ｌ３を供給することにより、これらの溶液Ｌ１〜Ｌ３がヘッダ部６６，６８，７０からそれぞれ給液路７６，７８，８０内へ供給され、これらの給液路７６，７８，８０内を流通し、給液口８８，９０，９２を通して所定の流速を有する液流としてミキシング流路４６内へ導入される。このとき、給液口８８，９０，９２の開口幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３が１μｍ〜５００μｍという微小幅とされていることから、給液口８８，９０，９２を通してミキシング流路４６内へ導入される３種類の溶液Ｌ１〜Ｌ３は、それぞれ開口幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３に対応する幅を有する薄片状の層流となって出液路５６側へ向って流れつつ、各層流の界面ではその法線方向に沿って分子拡散が生じて溶液Ｌ１〜Ｌ３が混合し、出液路５６の手前側で溶液Ｌ１〜Ｌ３が均一に混合され、又は均一に混合されると共に溶液Ｌ１〜Ｌ３間の化学反応が完了した溶液ＬＭが生成される。この溶液ＬＭは、出液路５６内を流通し、フランジ部２４を介してミキサー本体１２の先端部に接続された出液配管へ供給される。
【００５４】
また、本実施形態に係るマイクロミキサー１２０では、熱移動媒体Ｃ１の液温Ｔ１を適宜設定することにより、第１液温制御装置１２２によって第３給液路８０内を流れる溶液L３の液温を上昇、維持、又は低下させることが可能になるので、第３給液口９２を通してミキシング流路４６内へ供給される溶液L３の液温を所望の温度に制御することが可能になる。さらにマイクロミキサー１２０では、熱移動媒体Ｃ１，Ｃ２の液温Ｔ１，Ｔ２を適宜設定することにより、液温制御装置１２２，１２４によりミキシング流路４６内を流れつつ、混合が進行し、又は混合と共に化学反応が進行する溶液Ｌ１〜Ｌ３の液温を上昇、維持、又は低下させることが可能になる。このとき、溶液Ｌ１〜Ｌ３の混合に化学反応が伴い、しかも化学反応の速度、反応生成物の性質等が溶液Ｌ１〜Ｌ３の液温に影響される場合には、溶液Ｌ１〜Ｌ３の混合に伴う化学反応における反応速度、反応生成物の性質等を精密に制御できるようになる。さらにマイクロミキサー１２０では、熱移動媒体Ｃ３の液温Ｔ３を適宜設定することにより、第３液温制御装置１２６により出液路５６内を流れる溶液ＬＭの液温を上昇、維持、又は低下させることが可能になる。このとき、溶液ＬＭに溶液Ｌ１〜Ｌ３の一次的な化学反応の完了後も生成物の合一、成長、分解等の二次的な反応が継続して生じ、この二次的な反応が溶液ＬＭの液温に影響される場合には、二次的な反応での反応速度、反応生成物の性質等を精密に制御できるようになる。
【００５５】
なお、本実施形態に係るマイクロミキサー１２０では、液温制御装置１２２，１２４，１２６として液体を熱移動媒体Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３とし、これれらの熱移動媒体Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３との熱交換により溶液Ｌ１〜Ｌ３又は溶液ＬＭの液温を制御するものを用いたが、このような液温制御装置１２２，１２４，１２６に代えて、例えば、ペルチェ素子を整流部材１２８の内部又は円管部２０の外周側に配設し、ベルチェ素子により溶液Ｌ１〜Ｌ３又は溶液ＬＭに対する熱排出及び熱供給を行うようにしても良く、また溶液Ｌ１〜Ｌ３又は溶液ＬＭの液温を昇温するだけで良い場合には、ハロゲンヒータ等の発熱抵抗体を整流部材１２８の内部又は円管部２０の外周側に配設し、液温を昇温するようにしても良い。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係るマイクロミキサーによれば、複数の流体間の混合又は化学反応が進行する空間であるミキシング流路内における流体の滞留を効果的に抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施形態に係るマイクロミキサーの一例についての構成を示す軸方向及び軸直角方向に沿った断面図である。
【図２】  本発明の第１の実施形態に係るマイクロミキサーの変形例についての構成を示す軸方向及び軸直角方向に沿った断面図である。
【図３】  本発明の第１の実施形態に係るマイクロミキサーの他の変形例についての構成を示す軸方向及び軸直角方向に沿った断面図である。
【図４】  本発明の第２の実施形態に係るマイクロミキサーの一例についての構成を示す軸方向及び軸直角方向に沿った断面図である。
【符号の説明】
１０      マイクロミキサー
１２      ミキサー本体
１６      第１ヘッダ部
１８      第２ヘッダ部
３０      整流部材
４２      第１給液路（流体供給路）
４４      第２給液路（流体供給路）
４６      ミキシング流路
５２      第１給液口（供給口）
５４      第２給液口（供給口）
６０      マイクロミキサー
６６      第１ヘッダ部
６８      第２ヘッダ部
７０      第３ヘッダ部
７６      第１給液路（流体供給路）
７８      第２給液路（流体供給路）
８０      第３給液路（流体供給路）
８８      第１給液口（供給口）
９０      第２給液口（供給口）
９２      第３給液口（供給口）
１００    マイクロミキサー
１０６    第１給液口（供給口）
１０８    第２給液口（供給口）
１２０    マイクロミキサー
１２２      第１液温制御装置（温度制御手段）
１２４      第２液温制御装置（温度制御手段）
１２６      第３液温制御装置（温度制御手段）
【図１】
0003727595.tif 000002
【図２】
0003727595.tif 000003
【図３】
0003727595.tif 000004
【図４】
0003727595.tif 000005