(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁容器内に固定側電極と可動側電極とを備えた真空バルブと、該真空バルブ内の前記固定側電極と可動側電極との各々に前記真空バルブ外に接続された導体端子と、前記可動側電極に接続された絶縁ロッドを介して前記可動側電極を駆動する開閉手段とを備えた真空遮断器において、前記固定側電極及び可動側電極は耐火性金属と高導電性金属との合金からなるアーク電極と、該アーク電極を支持する高導電性金属からなる電極支持部と、該電極支持部に連なる縦磁界発生コイルとを有し、前記アーク電極と電極支持部と縦磁界発生コイルとは前記高導電性金属の溶融によって一体に形成され、前記電極支持部の０.２％耐力が１０kg／mm2 以上で比抵抗が２.８μΩcm 以下であり、前記固定側電極と可動側電極の少なくとも一方の電極は前記電極支持部に高導電性金属からなる縦磁界発生コイルが設けられていることを特徴とする真空遮断器。
【請求項２】
高真空に保たれた絶縁容器内に固定側電極と可動側電極とを備えた真空バルブにおいて、前記両電極は耐火性金属と高導電性金属との複合部材よりなるアーク電極と、該アーク電極を支持する高導電性金属からなる電極支持部と、該電極支持部に連らなる縦磁界発生コイルとを有し、前記アーク電極と電極支持部と縦磁界発生コイルとは前記高導電性金属の溶融によって一体に形成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項３】
高真空に保たれた絶縁容器内に固定側電極と可動側電極とを備えた真空バルブにおいて、前記両電極は耐火性金属と高導電性金属との複合部材よりなるアーク電極と、該アーク電極を支持する高導電性金属からなる電極支持部と、該電極支持部に連らなる縦磁界発生コイルとを有し、前記アーク電極と電極支持部と磁界発生コイルとは前記高導電性金属の溶融によって一体に形成され、前記電極支持部の０.２％ 耐力が１０kg／mm2 以上で比抵抗が２.８μΩcm 以下であることを特徴とする真空バルブ。
【請求項４】
耐火性金属と高導電性金属との合金からなるアーク電極と、該アーク電極を支持する高導電性金属からなる電極支持部と、該電極支持部に連らなる縦磁界発生コイルとが前記高導電性金属の溶融によって一体に形成されていることを特徴とする電気接点。
【請求項５】
耐火性金属と高導電性金属との合金からなるアーク電極と、該アーク電極を支持する高導電性金属からなる電極支持部と、該電極支持部に連らなる縦磁界発生コイルとが前記高導電性金属の溶融によって一体に形成され、前記電極支持部の０.２％耐力が１０kg／mm2以上で比抵抗が２.８μΩcm 以下であることを特徴とする電気接点。
【請求項６】
耐火性金属と高導電性金属との合金からなるアーク電極と、該アーク電極を支持する高導電性金属からなる電極支持部と、該電極支持部に連らなる縦磁界発生コイルとを有する電気接点の製造法において、前記アーク電極は耐火性金属を有する多孔質焼結体上に前記高導電性金属を載置し、該高導電性金属を溶融して前記多孔質体中に溶浸させることにより形成し、前記電極支持部及び磁界発生コイルは前記溶浸後に残留する前記高導電性金属の厚さを前記電極支持部として必要な厚さに設定することによって形成することを特徴とする電気接点の製造法。
【請求項７】
前記高導電性金属の前記多孔質体への溶浸後に残留する厚さと形状を前記電極支持部及び縦磁界発生コイルの形状に合わせて溶融凝固によって形成する請求項６に記載の電気接点の製造法。
【請求項８】
前記アーク電極，電極支持部及び磁界発生コイルを前記高導電性金属の溶融により一体に形成する電気接点の製造法であって、所望の温度に保持させて前記高導電性金属中に過飽和に固溶した金属又は金属間化合物を析出させる熱処理工程を有する請求項６または７のいずれかに記載の電気接点の製造法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、新規な真空遮断器とそれに用いる真空バルブ、更にそれに用いられる電気接点及びその製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
真空遮断器内の電極構造は、一対の固定電極及び可動電極から成っている。上記固定及び可動電極の構造は、アーク電極と該アーク電極を支持するアーク支持部材と、該アーク支持部材に連らなるコイル電極材とコイル電極端部には電極棒の４部品から構成されている。
【０００３】
上述したアーク電極材は、高電圧，大電流を開閉遮断するために直接アークにさらされる、アーク電極に要求される満足すべき特性は、遮断容量が大きいこと、耐電圧値が高いこと、接触抵抗値が小さいこと（電気伝導に優れていること）、耐溶着性に優れていること、接点消耗量が少ないこと及び裁断電流値が小さいこと、等基本的な要件が挙げられる。しかし、これらの特性を全て満足させることは困難であって一般には用途に応じて特に重要な特性を重視し、他の特性はある程度犠牲にした材料が使用されている。大電流，高電圧遮断用アーク電極材料としては、特開昭６３−９６２０４  号公報にはＣｒ又はＣｒ−ＣｕスケルトンにＣｕを溶浸させる方法が開示されている。また、同様の製法は特公昭５０−２１６７０  号公報にも開示されている。
【０００４】
一方、アーク電極支持部材は、アーク電極の補強部材の役目とともに支持部材の形状を工夫することで縦磁界を発生させる効果も持っている。そして使用される材料は導伝性の良好な純Ｃｕが使用されている。
【０００５】
更に、コイル電極材は、特公平３−１７３３５号公報にも開示されているようにアーク電極及び支持部材の補強部材の役目もあるが主な役目としてはコイル電極形状を種々に工夫することでアーク電極に縦磁界を発生させ、縦磁界によりアーク電極に発生するアークをアーク電極全体に拡散させるとともに強制遮断する部材である。使用される材料はアーク支持部材と同様に純Ｃｕである。
【０００６】
一方、これらアーク電極，アーク電極支持部，コイル電極及び電極棒で構成される電極の製造工程は、アーク電極材の製造と機械加工，アーク電極支持部材，コイル電極材及び電極棒のそれぞれの機械加工と各部品の組立とろう付作業の工程を経て電極が完了する。
【０００７】
前述のアーク電極の製造方法は、Ｃｒ粉末，Ｃｕ粉末，Ｗ粉，Ｃｏ粉，Ｍｏ粉，Ｗ粉，Ｖ粉末，Ｎｂ粉あるいはこれらの合金粉を所定の組成，形状，空孔量に成形，焼結後、焼結体のスケルトンにＣｕあるいは合金溶湯をしみ込ませるいわゆる溶浸法が、あるいは溶浸前の焼結工程で密度を１００％にするいわゆる粉末冶金法により製造されたアーク電極材を、更に機械加工して所定形状とする。
【０００８】
アーク電極支持部，コイル電極及び電極棒は、純Ｃｕ素材から縦磁界の発生し易いように工夫された所定形状にそれぞれ切り出し加工される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このようにして溶浸後機械加工された各部品を、組立後、ろう付して一連の電極構造となる。しかし、ろう付方法は、アーク電極，アーク電極支持部，コイル電極及び電極棒のそれぞれの間に接合材とぬれ性の良好なろう材を入れ、真空中あるいは還元性雰囲気中で昇温しろう付接合されるが、ろう付接合を用いて構成される電極は、各部材の機械加工工程とろう付するための部品組立時の各部品の芯合わせ等に非常な手数と時間がかかり、合わせて、ろう付不良による電極材の破壊や脱落の事故原因となる。このように従来方法で製造された電極構造は、電極材特性の均一性，信頼性及び安全性が劣っている。
【００１０】
また、最近では材料開発とともに真空遮断器の設計仕様上から大電流，高電圧を開閉遮断しようとする試みがなされている。一例として、開閉遮断速度を速くすることで遮断性能向上がなされている。しかし、これら遮断速度を速くすることでアーク電極間の接触力増大と電極開閉時には電極全体に衝撃的な応力がかかり、経時的には電極材は変形する。一般に、アーク電極材には遮断特性あるいは溶着特性に優れた高強度のアーク電極材が使用されているが、アーク支持部材，コイル電極材及び電極棒には純Ｃｕを使用されている。純Ｃｕ材は耐力が非常に小さいことと、さらには上述したように縦磁界の発生を目的に横断面への溝切が設けられ、特に衝撃的な応力に耐えきれず経時的には変形することになる。そして、電極部材の変形は、電極開閉動作の不都合やアーク電極の溶着障害やアーク電極の破壊，脱落をまねき、緊急時の開閉動作に支障をきたすことにもなる。
【００１１】
本発明の目的は、経時的な変形が少なく信頼性の高い電極を備えた真空遮断器とそれに用いる真空バルブ及びそれに用いる電気接点とその製造法を提供するにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、絶縁容器内に固定側電極と可動側電極とを備えた真空バルブと、該真空バルブ内の前記固定側電極と可動側電極との各々に前記真空バルブ外に接続された導体端子と、前記可動側電極に接続された絶縁ロッドを介して前記可動側電極を駆動する開閉手段とを備えた真空遮断器において、前記固定側電極及び可動側電極は耐火性金属と高導電性金属との合金からなるアーク電極と、該アーク電極を支持する高導電性金属からなる電極支持部と、該支持部に前記導体端子に電気的に接続され前記高導電性金属からなる電極棒と、該電極支持部に連らなる縦磁界発生コイルとを有し、前記アーク電極と電極支持部と電極棒又は磁界発生コイルとは前記高導電性金属の溶融によって一体に形成されていることを特徴とする真空遮断器にある。
【００１３】
前記アーク電極はＣｒ，Ｗ，Ｍｏ及びＴａの１種又は２種以上の混合物と、
Ｃｕ，Ａｇ又はＡｕからなる高導電性金属又はこれらを主にした高導電性合金との合金からなり、前記電極支持部は前記高導電性金属又は合金からなるのが好ましい。
【００１４】
更に、前記アーク電極はＣｒ，Ｗ，Ｍｏ及びＴａの１種又は２種以上の合計量５０〜８０重量％とＣｕ，Ａｇ又はＡｕ２０〜５０重量％とを含む合金からなり、前記電極支持部はＣｒ，Ａｇ，Ｗ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｓｉ，Ｂｅ，Ｔｉ，Ｃｏ，Ｆｅの１種又は２種以上の合計量が２．５重量％以下とＣｕ，Ａｇ又はＡｕとの合金からなるものが好ましい。
【００１５】
本発明におけるアーク電極は多孔質耐火金属中に含浸した高導電性金属との複合合金よりなり、前記アーク電極と電極支持部とは前記高導電金属の溶融によって一体に形成されているのが好ましい。
【００１６】
本発明における電極支持部と電極棒又は磁界発生コイルとは０．２％  耐力が
１０ｋｇ／ｍｍ２以上で、比抵抗が２．８μΩｃｍ  以下のものとする。
【００１７】
本発明は、前記固定側電極と可動側電極の少なくとも一方は前記電極支持部に高導電性金属からなる電極棒又は縦磁界発生コイルが設けられているものである。
【００１８】
前記縦磁界発生コイルは前記電極支持部にろう付又は前記高導電性金属の溶融凝固によって一体に形成することができる。
【００１９】
前記縦磁界発生コイルは円筒状でその円周面にスリット溝が設けられた形状又その横断面が略卍状である形状がある。
【００２０】
前記真空バルブは三相に対しては３組あり、該３組の真空バルブを横に並べて樹脂の絶縁筒によって一体に組込んだものが好ましい。
【００２１】
また、本発明は、高真空に保たれた絶縁容器内に固定側電極と可動側電極とを備えた真空バルブにおいて、前記両電極は耐火性金属と高導電性金属との複合部材よりなるアーク電極と、該アーク電極を支持する高導電性金属からなる電極支持部と、該支持部に連らなり前記高導電性金属からなる電極棒と、該電極支持部に連らなる縦磁界発生コイルとを有し、前記アーク電極と電極支持部とは前記高導電性金属の溶融によって一体に形成されていることを特徴とする真空バルブにある。
【００２２】
本発明における真空バルブの電極，磁界発生コイルの構成は前述と同様である。
【００２３】
本発明は、耐火性金属と高導電性金属との合金からなるアーク電極と、該アーク電極を支持する高導電性金属からなる電極支持部と、該支持部に連らなり前記高導電性金属からなる電極棒と、該電極支持部に連らなる縦磁界発生コイルとが前記高導電性金属の溶融によって一体に形成されていることを特徴とする電極接点にある。
【００２４】
本発明における電気接点のアーク電極の構成は前述と同様である。
【００２５】
本発明は、耐火性金属と高導電性金属との合金からなるアーク電極と、該アーク電極を支持する高導電性金属からなる電極支持部と、該支持部に連らなり前記高導電性金属からなる電極棒と、該電極支持部に連らなる縦磁界発生コイルとを有する電気接点の製造法において、前記アーク電極は耐火性金属を有する多孔質焼結体上に前記高導電性金属を載置し、該高導電性金属を溶融して前記多孔質体中に溶浸させることにより形成し、前記電極支持部と電極棒又は磁界発生コイルとは前記溶浸後に残留する前記高導電性金属の厚さを前記電極支持部として必要な厚さに設定することによって形成することを特徴とする電気接点の製造法にある。
【００２６】
また、本発明は、前記アーク電極及び電極支持部を前記高導電性金属に溶浸させて凝固させて形成後、所望の温度に保持させて前記高導電性金属中に過飽和に固溶した金属又は金属間化合物を析出させる熱処理工程を有するものである。
【００２７】
前記電気接点は真空バルブの固定側電極又は可動側電極に用いることができる。
【００２８】
本発明は、前記電極支持部に高導電性金属からなる縦磁界発生コイルを有し、前記高導電性金属の前記多孔質体への溶浸後に残留する厚さと形状を前記電極支持部及び電極棒又は縦磁界発生コイルの形状に合わせて溶融凝固によって形成することができる。
【００２９】
真空遮断器の電極構造は、アーク電極，アーク電極支持部材及び電極棒からなり、必要に応じてコイル電極から構成される。アーク電極は耐火金属と導電性金属との複合合金からなり、前者にはＣｒ，Ｗ，Ｍｏ，Ｔａ等の約１８００℃以上の高融点の金属が用いられ、高導電性金属としてのＣｕ，Ａｇ，Ａｕに対して固溶量として３％以下の小さいものが好ましい。アーク電極支持部材，コイル電極材及び電極棒には特に純Ｃｕが好ましいが、強度が小さいことからこれら各部材の変形防止対策として鉄系材料の純Ｆｅ，ステンレス鋼で補強し電極の変形防止につとめている。
【００３０】
耐火金属は５０〜８０重量％、特に５５〜６５重量％とＣｕ，Ａｇ又はＡｕ
２０〜５０重量％を含む合金で、特に前者の多孔質焼結体又は若干の１０重量％以下の高導電金属を含む多孔質焼結体中に高導電性金属を溶融含浸させた複合材とするのが好ましい。
【００３１】
また、アーク電極と電極支持部の２層構造とし、電極支持部はアーク電極を補強支持するもので、その半分以上の厚さとするのが好ましく、特にそれと同等以上の厚さとすることが好ましい。多孔質焼結体は空隙率を５０〜７０％とすることが好ましい。耐火金属としては特に、耐電圧特性を高めるためにＣｒに対して１〜１０重量％のＮｂ，Ｖ，Ｆｅ，Ｔｉ，Ｚｒの１種又は２種以上を含むことができる。
【００３２】
コイル電極には高導電性金属をろう付又は電極支持部とともに多孔質耐火金属中への溶浸の際に同時に鋳造技術と同様の方法で製造することができ、アーク電極材，アーク電極支持部材、及びコイル電極材とは金相学的に連続した一体構造で構成できる。この結果、各部材の機械加工工程，ろう付時の各部材組立工程の低減、また、非接合であることから従来のろう付部の極部発熱，ろう付不良によるアーク電極材の破壊，脱落等の問題がなくなる。コイル電極をろう付にて形成する場合にはセラミックス粒子を分散した複合材を用いることができる。
【００３３】
また、本発明によれば、電極を構成するアーク電極材，アーク電極支持部材及びコイル電極材は、金相学的に連続した一体構造で構成されると同時に一体構造の電極製造と同一工程内でアーク電極支持部材及びコイル電極材が得られ、０．０１〜２．５  重量％のＣｒ，Ａｇ，Ｗ，Ｖ，Ｚｒ，Ｓｉ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｂｅ，Ｎｂ，Ｔｉの１種又は２種以上をＡｕ，Ａｇ，Ｃｕ中に含有せしめたものを用いることができる。したがって、アーク電極支持部材及びコイル電極材の電気導伝性をあまり低下させずに機械的強度、特に耐力を大幅に高めることができる。その結果、電極間の接触圧力の増大，電極開閉時の衝撃力にも充分対応でき、経時的な変形も解決できる。
【００３４】
このように、アーク電極材，アーク電極支持部材及びコイル電極材とは非接合であるとともに金相学的に連続した一体化構造にしたことと、上記該部材の高強度化の組み合わせにより従来の電極構造に比べて悪影響を除去したより信頼性及び安全性の高い真空遮断器を提供できる。
【００３５】
本発明によれば、Ｃｒ，Ｗ，Ｍｏ，Ｔａ粉末又はこれにＣｕ，Ａｇ，Ａｕ粉末あるいは他の任意の金属粒子を所定組成に混合し、その混合粉を所定の空隙含有率になるように成形後、焼結し多孔質焼結体を形成する。その後、純Ｃｕ，Ａｇ，Ａｕ又はこれらの合金からなるブロックを前記焼結体上に載置し、溶融させて多孔質焼結体の空隙に純Ｃｕ又はＣｕ合金等の金属を溶浸させる。その時、溶融溶浸材中への焼結体組成元素の液相拡散を積極的に利用し、溶融溶浸材を前述の含有量となるように合金化する。溶浸完了後の鋳塊を所定形状の電極に加工する。
【００３６】
高導電性金属の溶浸に際しては溶浸の温度と保持時間によって高導電性金属への多孔質体金属の溶解量をコントロールでき、特に電極支持部，コイル電極に対する比抵抗と強度とを考慮して温度及び時間が設定される。勿論高導電性金属に対して予め合金元素を加えた合金を用いることもできるので、両者を考慮して決定される。その結果、前述の強度が高く、比抵抗の低いものが得られることから高い性能のものが得られる。
【００３７】
本発明における電極は前述の如く所望の形状で溶浸と鋳造技術との組合わせによって求めるものを作ることができるが、前述した最終形状として切削加工によって得られる。
【００３８】
真空遮断器は、断路器，接地開閉器，避雷器，変流器とともに用いられ、高層ビル，ホテル，インテリジェントビル，地下街，石油コンビナート，各種工場，駅，病院，会館，地下鉄，上下水道等の公共設備などの電源として欠かせない高圧受変電設備として用いられる。
【００３９】
【発明の実施の形態】
実施例１
図１（ａ）は、本発明の方法で試作した一体構造電極の鋳塊断面を示すものである。図中、１がアーク電極材、２がアーク電極支持部材、３が溶浸用Ｃｕの供給材と押湯の部材である。
【００４０】
５重量％のＣｕ粉末と９５重量％のＣｒ粉末をＶ型ミキサーにより混合後、直径８０ｍｍの金型を用いて、成形圧力１．５ｔｏｎ／ｃｍ２  で直径８０ｍｍ，厚さ９ｍｍの成形体を作製した。その成型体を水素雰囲気中、焼結温度１２００℃×３０分で焼結体とした。この時の焼結体空隙率は６５％である。次に図１（ｂ）は電極の製造法を示す図で、図に示すように、１００メッシュ〜３２５メッシュのアルミナ粉４（Ａｌ２Ｏ３）を１０ｍｍ程度に敷いた内径９０ｍｍ×外径１００ｍｍ×高さ１００ｍｍの黒鉛容器５の底面中央に上記焼結体６を置き、純Ｃｕからなる直径８０ｍｍ，厚さ１５ｍｍのアーク電極支持部及びコイル電極部となる溶浸材７を前記焼結体６と同一円心上に載置した。次に直径２８ｍｍ，長さ２５ｍｍの溶浸材及び押湯部を形成するＣｕからなる押湯８を溶浸材７と同一円心上に設置する。黒鉛容器５内には純Ｃｕからなる溶浸材７及び押湯８とアルミナ粉９を充填する。
【００４１】
溶浸条件は、１×１０−５トル以下の真空中で１，２００  ℃×９０分間保持し、アーク電極支持部及びコイル電極部材となる溶浸７と溶浸用Ｃｕ供給及び押湯８が溶融するとともに溶浸材が焼結体６のスケルトン中に均一にしみこませた後、真空雰囲気中で放冷凝固させる。図１（ａ）は、凝固後に黒鉛容器から取り出した鋳塊の断面外観である。また図１（ｃ）には切削加工後のアーク電極１とアーク電極支持部２とを示し、両者の界面部を顕微鏡組織写真により観察した結果、Ｃｒ焼結体の空孔にＣｕが溶浸していることが明らかとなった。
【００４２】
このように本発明方法によれば図１（ａ）及び図１（ｃ）からもわかるようにアーク電極，アーク電極支持部及び電極棒又はコイル電極部とが一体構造で構成される電極が十分作製可能であることがわかる。アーク電極と電極支持部とは同等の厚さである。また、アーク電極材とアーク電極支持部材の界面は金相学的に完全に連続一体化がなされており、ろう付等による接合が不必要であることがわかる。
【００４３】
図２は図１（ｂ）の鋳型を３段にしたもので、一度に３個のものを製造することができる。同様の手法は実施例２に対しても実施することができる。３個に限らず、所望の個数を一度に製造することができる。
【００４４】
実施例２
図３は、溶浸状態とその鋳塊を用いて製作した電極形状を示したものである。溶浸条件は実施例１とほぼ同様である。
【００４５】
Ｎｏ．２  は、実施例１に対し黒鉛容器５の長さを１５０ｍｍにし、アーク電極支持部材及びコイル電極部材１１の長さを４５ｍｍとした。また溶浸保持時間は１２０分とし、その他は実施例１と同様である。このようにして得た鋳塊から（ａ）及び（ｂ）型の電極を作製した。つまり（ａ）型は、アーク電極１２，アーク電極支持部１３及びコイル電極材１４を一体構造とし、電極棒１５をろう付により接合１６したものである。また、（ｂ）型は、（ａ）型に対し中心に純Ｆｅからなる補強部材１７を設けたものである。補強部材１７は電極支持部１３と電極棒１５に各々ろう付される。
【００４６】
Ｎｏ．３  はＮｏ．２  に対しアーク電極支持部材及びコイル電極部材１９の形状を凹形にするとともに、溶浸用Ｃｕ供給及び押湯部材１８を排除した状態で溶浸した。Ｎｏ．３  の鋳塊からは（ａ）型の電極形状を製作した。
【００４７】
Ｎｏ．４  はＮｏ．２  に対し溶浸用Ｃｕ供給及び押湯部材２０の長さを１００ｍｍとし、黒鉛容器５の長さを２００ｍｍとした。Ｎｏ．４  の鋳塊からは（ｃ）型の電極を作製した。（ｃ）型の電極はろう付接合を使用せずとも電極棒２２を含めた一体構造の電極構成が可能である。Ｎｏ．３  の鋳塊からは（ｃ）型以外にも（ａ）型及び（ｂ）型の電極構造を切削加工によって作製できる。
【００４８】
Ｎｏ．５  はＮｏ．４  に対しアーク電極支持部材及びコイル電極部材２３及び溶浸用Ｃｕ供給及び押湯部材２４の中心に焼結体２６に向ってラッパ型の鉄芯を入れたものである。この鉄芯に関してはＣｕの融点より高いものであり、形状にはこだわらない。Ｎｏ．５  の鋳塊からは（ｄ）型と（ｅ）型の電極を作製した。
【００４９】
（ｄ）型電極は（ｃ）型電極の中心に補強部材２７を鋳ぐるんだ形状である。
【００５０】
（ｅ）型電極は（ｂ）型電極の補強部材１７の替りに鉄芯を鋳ぐるんだ形状の電極である。
【００５１】
以上の結果において、それぞれの鋳塊寸法と溶浸前の状態の寸法変化を測定した結果、アーク電極支持部材及びコイル電極部材の寸法は溶浸前の状態と溶浸後の鋳塊寸法の差異はほとんどなかった。一方、押湯部材の寸法測定結果、溶浸前の状態で２５ｍｍに対し、溶浸後の鋳塊寸法は１０ｍｍに減少した。このように本発明を達成させる第１条件として、アーク電極支持部材及びコイル電極部材と溶浸用Ｃｕ又はＣｕ合金供給及び押湯部材とを２重構造にすることである。
【００５２】
また健全かつ、目的の鋳塊寸法を得るためには、鋳塊の冷却速度のコントロールが重要である。鋳塊側面からの冷却速度より鋳塊上部の冷却速度を大きくする必要がある。本発明を達成する第２条件として、鋳塊上部の冷却速度を大きくする保温剤としてアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）等の比熱が大きく、Ｃｕ溶湯と反応しないセラミックス粒子が適当である。この時のセラミックス粒径が大き過ぎたり、小さ過ぎたりすると溶湯はセラミックス粒子間を通して流れ出てしまい鋳型の役目をなさない。最適粒径は２０メッシュから３２５メッシュである。また、保温のためのセラミックス粒子の必要量は、目的の鋳塊直径寸法の２／３以上の厚さが必要である。
【００５３】
実施例３
表１は、実施例２のＮｏ．２  の溶浸したままのものにおいて溶浸温度を種々に変えた場合の鋳塊中のＣｒ量を分析した結果と、焼結体６及びアーク電極支持部材及びコイル電極部材１１のそれぞれの組成を変化させた場合の鋳塊中のそれぞれの組成元素を分析した結果を示したものである。なお、溶湯用Ｃｕ供給及び押湯８は同じ組成である。
【００５４】
Ｎｏ．６〜Ｎｏ．８は、焼結体６の組成Ｃｒ−５Ｃｕ材に純Ｃｕを溶浸する時の溶浸温度を変え、１２０分保持した場合の鋳塊中のＣｒ量である。溶浸温度１２５０℃の場合の鋳塊組成は１．６５％  Ｃｒを含有するＣｕ合金になることがわかる。Ｎｏ．９，１０，１４，１５，１６，１８  は、焼結体６の組成をＣｒ−５Ｃｕ一定とし、溶浸材の組成をそれぞれＣｕ−Ａｇ，Ｃｕ−Ｚｒ，Ｃｕ−Ｓｉ，Ｃｕ−Ｂｅ合金を用いた場合の鋳塊中の元素分析結果である。各鋳塊ともＣｒを約０．６％  程度を含む３元Ｃｕ合金になることがわかる。
【００５５】
Ｎｏ．１１，１２，１３，１７は、溶浸材７，押湯８の組成を純Ｃｕ一定とし焼結体６の組成をそれぞれＣｒ−５ＣｕにＶ，Ｎｂ，Ｖ，Ｎｂ，Ｗを添加した場合の鋳塊中の元素分析結果である。各鋳塊ともＶ，Ｎｂ，Ｗの含有量は０．０２％  以下であり、鋳塊組成は１．０％  程度のＣｒを含むＣｕ合金であることがわかる。
【００５６】
【表１】
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【００５７】
表２は、アーク電極（組成：５９重量％Ｃｒ−４１重量％Ｃｕ）と純Ｃｕ材を従来方法であるろう付接合（条件：温度８００℃，真空中、Ｎｉ系ろう材）した場合（厚さ約３μｍ）の接合部の電気抵抗及び強度の測定結果（比較例１）、及び８００℃で焼鈍した純銅の電気抵抗値（比較例２）とＮｏ．６〜１８  で得た鋳塊の電気抵抗及び強度測定結果を示したものである。電気抵抗測定は４点式抵抗測定法で、強度測定はアームスラ引張試験機を用いて実施した。
【００５８】
従来方法でろう付接合した（比較例１）界面の強度は２２〜１２ｋｇ／ｍｍ２  とばらつきが大きく、強度１２ｋｇ／ｍｍ２  の試験片にはろう付不良部が確認された。また、界面部を含む電気抵抗値は４．８２μΩ・ｃｍ  と純銅材（比較例２）に比べ約３〜４倍の高い抵抗値である。それに対しＮｏ．６の界面強度は２４〜２５ｋｇ／  ｍｍ２  と安定した強度を示し、試験片の欠陥は観察されなかった。また、本発明の実施例では界面を含む電気抵抗値は測定できないものである。比較例１のアーク電極の相手材が純Ｃｕに対し、Ｎｏ．６  の相手材にはＣｒが約０．６２％  含むＣｕ合金であるにもかかわらず、界面がないので、比抵抗は１．９５μΩｃｍ  と比較例１より低い値である。これは従来技術のろう付接合部界面の抵抗値が非常に大きいことがわかる。
【００５９】
一方、比較例２の純Ｃｕの強度は最大値２２〜２３ｋｇ／ｍｍ２  に対し０．２％  耐力は４〜５ｋｇ／ｍｍ２  と非常に軟弱であり、アーク電極支持部材あるいはコイル電極材に使用した場合には衝撃的な荷重に耐えきれず経時的に変形してしまうことがわかる。これに対し、ＣｒあるいはＡｇ，Ｖ，Ｎｂ，Ｚｒ，Ｓｉ，Ｗ，Ｂｅをそれぞれ含有したＣｕ合金であるＮｏ．７〜１８  の電気抵抗値は、焼鈍純Ｃｕに比較すれば約１．５〜２．０倍の抵抗値を示したが、従来技術のろう付接合界面抵抗値と比較すると約半分以下であり充分に実機真空遮断器用電極材に使用可能である。またＮｏ．７〜１８  の強度は、いずれも最大強度２２〜２５ｋｇ／ｍｍ２  と純Ｃｕとあまり変っていないが０．２％  耐力値において１０〜１４ｋｇ／ｍｍ２  と２倍に強度向上がはかられている。
【００６０】
このように、本発明によるＣｒあるいはＡｇ，Ｖ，Ｎｂ，Ｚｒ，Ｓｉ，Ｗ及び、Ｂｅをそれぞれ含有するＣｕ合金製アーク電極支持部材，コイル電極材及び電極棒は、電極開閉時の衝撃的荷重の繰り返しによる変形が生じないため変形にともなう溶着障害を防止して信頼性及び安全性の向上が図られる。
【００６１】
【表２】
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【００６２】
図４は溶浸温度と多孔質Ｃｒ焼結体からの溶浸材中へのＣｒの固溶量との関係を示す線図である。図に示すように溶浸温度を高めることによって溶浸材中へのＣｒ量を高めることができる。また、所望のＣｒ量を得るには溶浸温度によって定めることができる。
【００６３】
図５はＣｕ中への合金元素の含有量と０．２％  耐力との関係を示す線図である。図に示すようにＣｒのみの含有とＣｒと他の元素とを含む合金のいずれも含有量の増大によって強化されることが明らかである。また、Ｃｒ単独に対して、他の元素と一緒に含有した合金の方が同じ全含有量でも高強度を有する。各元素の含有量としてＡｇ０．１％，Ｚｒ０．１％，Ｓｉ０．１％，Ｂｅ０．０５％，Ｎｂ，Ｖ，Ｗは各々０．０１％  以上とすることにより１０ｋｇ／ｍｍ２  以上の耐力が得られる。
【００６４】
図６は０．２％  耐力と比抵抗との関係を示す線図である。図４に示すようにＣｕ中への全固溶量の増大によって強度の向上とともに比抵抗も増すので、比抵抗の増加を少なくして強度の向上を図るにはＣｒ単独よりも他の元素を加えることによって得られることが分る。特に、Ｓｉ以外は比抵抗が小さくて高強度が得られる。特に、０．２％耐力を１０ｋｇ／ｍｍ２以上、比抵抗１．９〜２．８μΩｃｍが好ましい。
【００６５】
図７はＣｒ，Ｓｉ，Ｂｅ，Ｚｒ，Ａｇ，Ｎｂ，Ｖ及びＷ量と比抵抗との関係を示す線図である。比抵抗は合金元素を加えることによって増加するが、電極支持部及びコイル電極の比抵抗は出来るだけ小さくすることによって通電中の電極温度を低く押えることができること及び遮断時のアーク発生に伴うアーク熱を電極棒を通して冷却する必要があり、その熱伝導を高くする必要があることから熱伝導率を高く維持することができる。本実施例においては所望の比抵抗を図によっておおよその値のものを求めることができる。Ｃｒをアーク電極として用いる場合にはＣｒの溶浸量を考慮し、各元素の含有量をＳｉ０．５％，Ｂｅ０．５％，  Ｚｒ１．５％，Ａｇ２．５％  ，Ｎｂ，Ｖ，Ｗは各々０．１％  を上限として含有させることが好ましい。比抵抗として３．０μΩｃｍ以下とするのが好ましい。
【００６６】
実施例４
図８は本発明に係るアーク電極を用いた真空バルブの断面図である。
【００６７】
絶縁材で形成された絶縁筒体からなる真空容器３５の上・下開口部に上・下一体をなす端板３８ａ，３８ｂを設けて真空室を形成する真空容器を構成し、上記上端板３８ａの中程に固定電極３０ａの一部を形成する固定側の電極棒３４ａを垂設し、この固定側の電極棒３４ａに縦磁界発生コイル３３ａ及びアーク電極３１ａを設け、上記固定電極３０ａの直下に位置する上記下端板３８ｂの中程に可動電極３０ｂの一部を形成する可動側の電極棒３４ｂを昇降自在に設け、この可動側の電極棒３４ｂに上記縦磁界発生コイル３３ａ及びアーク電極３１ｂと同形等大の縦磁界発生コイル３３ｂ及びアーク電極３１ｂを付設し、上記固定電極３０ａのアーク電極３１ａに対して上記可動電極３０ｂのアーク電極３１ｂを接離するようにし、上記可動側の電極棒３４ｂの周りに位置する上記下端板３８ｂの内がわに金属製ベローズ３７を伸縮するようにして被冠して設け、さらに、上記両アーク電極の周りに円筒状をなす金属板のシールド部材３６を絶縁筒体からなる真空容器３５によって設置し、このシールド部材３６は上記絶縁筒体の絶縁性を損なわないようにして構成したものである。
【００６８】
さらに、上記アーク電極３１ａ，３１ｂは前述の溶浸によって得られたアーク極支持部３２ａ，３２ｂに一体固着され、各縦磁界発生コイル３３ａ，３３ｂに純鉄からなる補強部材３９ａ，３９ｂによって補強されてろう付される。補強部材３９ａ，３９ｂとして他にオーステナイト系ステンレス鋼が用いられる。絶縁筒体からなる真空容器３５にはガラス，セラミックス焼結体が用いられる。絶縁筒体からなる真空容器３５は金属製端板３８ａ，３８ｂにコバール等のガラス，セラミックスの熱膨脹係数に近い合金板を介してろう付され、１０−６ｍｍＨｇ以下の高真空に保たれる。
【００６９】
固定側の電極棒３４ａは端子に接続され、電流の通路となる。排気管（図示なし）は上端板３８ａに設けられ、排気のとき真空ポンプに接続される。ゲッタは真空容器内部に微量のガスが発生した場合に吸収して真空を保つ働きとして設けられる。シールド部材３６はアークによって発生した主電極表面の金属蒸気を付着させ、冷却させる働きを有し、また付着した金属はゲッタ作用を有する真空度保持の働きを有する。
【００７０】
図９は電極の詳細を示す断面図である。固定電極及び可動電極のいずれもほぼ同じ構造を有する。アーク電極部３１は実施例１に示すＣｕからなる電極支持部をＣｕの溶浸によって一体化したものである。この一体のものを図のように切削加工によって得た。電極支持部３２には更に非磁性のオーステナイト系ステンレス鋼からなる補強の平板４０をろう付するとともに、コイル電極３３にも同様の平板をろう付した。コイル電極３３は純銅からなるもので、前述のろう材より低融点のろう材を用いて電極棒３４及び電極に各々ろう付した。
【００７１】
本実施例における電極支持部３２は純銅を溶浸によって形成したもので、その支持部３２へのＣｒ量は溶浸温度によって異なることは前述の通りであり、要求される強度と電気抵抗とを考慮して決められる。尚、電気抵抗は熱処理によって化合物を析出させることによって強度を下げずに低めることができる。特に、本実施例においては純銅を溶浸後、９００℃まで放冷し、その温度から７００〜８００℃付近までを３時間及びその温度から更に６００〜７００℃付近までを２時間かけてゆっくり冷却することによってＣｒの析出物を形成させた。
【００７２】
図１０は本実施例における電極部とコイル電極３３との結合状態を示す斜視図である。可動側の電極棒３４ｂが軸方向に移動させると可動電極３０ｂは固定電極３０ａと電気的に接離すると同時に両電極間にアーク電流４９が生じ、金属蒸気を発生する。
【００７３】
金属蒸気は絶縁筒からなる真空容器３５に支持されている中間シールド部材３６に附着すると共に、円筒状コイル電極３３の軸方向磁界により分散して、消弧する。円筒状コイル電極３３は固定および可動電極３０ａ，３０ｂに取付けられているが、少なくとも一方側に設ければよい。
【００７４】
主のアーク電極４１の裏面に取付けられた円筒状コイル電極３３は、一端に開口を有する円筒部からなるコイル電極４２から構成されている。円筒部からなるコイル電極４２は一端にアーク電極支持部１３を他端に開口を有している。補強部材３９は、高抵抗部材たとえばＦｅ，ステンレス等から成り、底面４３と主のアーク電極４１との間に配置されている。主電極側の円筒部の開口端面４５は、２個の突出部４６，４７を形成し、主のアーク電極４１は突出部４６，４７に電気的に接続している。突出部は主電極に形成してもよい。一方の突出部４６と他方の突出部４７との間の半円弧状の円筒部４２は、円弧状スリット５０，５１を切込んで、２本の円弧状電流通路５２，５３を形成している。電流通路５２，５３の一方端たとえば入力端５４は突出部４６，４７に、他方端たとえば出力端５５は底面４３を介して電極棒３４に接続している。入力端５４と出力端５５とがラップする円筒部の入力端５４と出力端５５との間には、傾斜状のスリット溝５６を形成している。傾斜状スリット５６の一端は、円弧状スリット片端５０と連通し、他端は円弧状スリット片端５７と対応する開口端面４５との間に切込んで形成している。したがって、入力端５４と出力端５５とは、傾斜状のスリット溝５６により電気的に区分されている。出力端５５は底面４３のロッド附近まで延ばしたスリット５８を形成して、軸方向磁界Ｈによる渦電流を防止する。
【００７５】
次に、可動電極３０ｂを固定電極３０ａから引離してしゃ断すると、アーク電流４９が両電極間に点弧する。アーク電流４９は、矢印方向で示す如く、突出部４６，４７から入力端５４および電流通路５２，５３を流れて、出力端５５から底面４３を通って電極棒３４に流れる。
【００７６】
この電流経路で、電流通路５２，５３及びラップする入力端５４と出力端５５とに流れる電流は、１ターンを形成したことになり、１ターンの電流により発生した軸方向磁界Ｈは、主電極全面に渡って均一に印加され、アーク電流４９は主電極全面に均一に分散し、しゃ断性能を向上させることができると共に、主電極全面を有効に利用できるので、この分真空しゃ断器を小形化できる。
【００７７】
図１１は真空バルブ５９とその操作機とを示す真空遮断器の構成図である。
【００７８】
操作機構部を前面配置とし、背面に真空バルブを支持する三相一括型の３組の耐トラッキング性を有するエポキシレジン筒６０を配置した小形，軽量な構造である。
【００７９】
各相端はエポキシレジン筒，真空バルブ支持板で水平に支持された水平引き出し形である。真空バルブは、絶縁操作ロッド６１を介して、操作機構によって開閉される。
【００８０】
操作機構部は、構造が簡単で、小型軽量な電磁操作式の機械的引きはずし自由機構である。開閉ストロークが少なく、可動部の質量が小さいために衝撃は僅少である。本体前面には、手動連結式の二次端子のほか、開閉表示器，動作回数計，手動引きはずしボタン，手動投入装置，引出装置およびインターロックレバーなどが配置されている。
【００８１】
（ａ）閉路状態
遮断器の閉路状態を示し、電流は上部端子６２，主電極３０，集電子６３，下部端子６４を流れる。主電極間の接触力は、絶縁操作ロッド６１に装着された接触バネ６５によって保たれている。
【００８２】
主電極の接触力，早切バネの力および短絡電流による電磁力は、支えレバー６６およびプロップ６７で保持されている。投入コイルを励磁すると開路状態からプランジャ６８がノッキングロッド６９を介してローラ７０を押し上げ、主レバー７１を回して接触子を閉じたあと、支えレバー６６で保持している。
【００８３】
（ｂ）引きはずし自由状態
開離動作により可動主電極が下方に動かされ、固定・可動両主電極が開離した瞬間からアークが発生する。
【００８４】
アークは、真空中の高い絶縁耐力と激しい拡散作用によって短時間に消弧される。
【００８５】
引きはずしコイル７２が励磁されると、引きはずしレバー７３がプロップ６７の係合をはずし、主レバー７１は早切バネの力で回って主電極が開かれる。この動作は、閉路動作の有無には全く関係なく行われる機械的引きはずし自由方式である。
【００８６】
（ｃ）開路状態
主電極が開かれたあと、リセットバネ７４によってリンクが復帰し、同時にプロップ６７が係合する。この状態で投入コイル７５を励磁すると（ａ）の閉路状態になる。７６は排気筒である。
【００８７】
真空遮断器は高真空中でアーク遮断し、真空の持っている高い絶縁耐力と、アークの高速拡散作用により優れた遮断性能を有しているが、反面無負荷のモートル，変圧器を開閉する場合電流が零点に達する以前に遮断してしまい、いわゆるさい断電流を生じ、この電流とサージインピーダンスの積に比例する開閉サージ電圧を発生する場合がある。このため３ｋＶ変圧器や３ｋＶ，６ｋＶ回転機などを真空遮断器で直接開閉するときは、サージアブソーバを回路に接続してサージ電圧を抑制し、機器を保護する必要がある。サージアブソーバとしては、コンデンサを標準としますが、負荷の衝撃波耐電圧値によって、ＺｎＯ非直線抵抗体を使用することもできる。
【００８８】
以上の本実施例により、圧力１５０ｋｇ，しゃ断速度０．９３ｍ／秒  で、７．２  ｋＶ，３１．５ｋＡのしゃ断が可能となる。
【００８９】
実施例５
図１２は実施例４と同じ真空バルブを用いて直流回路を遮断する主回路構成を示す図である。８０は直流電源、８１は直流負荷、８２は真空バルブ、８３はショートリング、８４は電磁反発コイル、８５は転流コンデンサ、８６は転流リアクトル、８７はトリガギャップ、８８は静止型過電流引外し装置、８９はＺｎＯ非直線抵抗体である。
【００９０】
本実施例においては、次の特徴が得られる。
【００９１】
（１）遮断時に気中アークを発生しないので、騒音を発生せず、防災効果が大きい。
【００９２】
（２）開極時間が短いため（約１ｍｓ）規格値を上まわる突進率の事故電流の遮断が可能で、限流値を小さく抑えることができる。
【００９３】
（３）真空バルブの使用により高周波のコンデンサ放電電流の遮断が可能で、アーク時間が極めて短く（約０．５ｍｓ）接点消耗が少なくできる。
【００９４】
（４）静止形過電流引外し装置の採用により電流目盛を精度良く設定でき、経年変化がない。
【００９５】
（５）ラッチ式の電動ばね操作器の採用により、操作電流が大幅に低減するとともに保持電流が不要となる。
【００９６】
（６）占有面積が約１／４となり、変電所スペースの縮小が可能となる。
【００９７】
実施例６
図１３は他の電極構造を示す断面図である。（ａ）は正面図で、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ部の正面図である。
【００９８】
本実施例では実施例１と同様に主電極９２をＣｕ−Ｃｕ多孔質焼結体からなる表面のアーク電極に純銅と溶浸して電極支持部を形成したものである。この主電極９２に対して縦磁界発生コイル電極９１をろう付したものであり、純鉄又はステンレス鋼から補強部材９６のろう付によって補強される。９０は導電棒である。主電極９２はコイル電極９１の凸状部９５でろう付される。
【００９９】
実施例７
図１４は他の例の電極構造を示す図である。（ａ）は平面図及び（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【０１００】
対向面から見て互いに重なり合うようになっており、各々右巻と左巻のスパイラル形電極である。１００は相互に接離可能な部材でアーク電極部の接触部と呼ばれる。１０１はアークランナーである。スパイラル溝１０２は接触部１００に終端を有し、アークランナー１０１をそれぞれ区分している。各アークランナーはその先端部１０３にて電極外周部と接している。なお、アークランナーの枚数は任意である。電極はたとえばＣｕ−Ｃｒ（銅−クロム）合金をアーク電極１０４と電極支持部１０５を銅の溶浸によって形成した一体形に作られている。溝１０２は機械加工によって形成することができる。
【０１０１】
図示しないが、短絡電流１２．５ｋＡ  以下の真空遮断器の電極にはスパイラル溝１０２の無い単純な、いわゆる平板形構造が用いられる。平板形構造において、接触部，アークランナーに相当するテーパー部、および電極外周部を有し、これらは一体形に作られている。
【０１０２】
主電極はろう付された電極棒を通じて、真空容器外部の電極端子に接続される。
【０１０３】
図１４のスパイラル形電極で交流回路の短絡電流１２．５〜５０ｋＡ  を遮断する場合の動作を説明する。まず、一対の電極が開極を始めると、主電極の接触部１００から発弧する。この開極点からの経過時間と共に電極間アークは接触部１００からアークランナー１０１を経てアークランナー先端部１０３へと移動していく。この際、スパイラル形電極構造の特性から、電極空間に半径方向の磁界が形成され、この磁界の向きはアークの向きと直角であるから、この磁界は横磁界と呼ばれる。横磁界による駆動効果によって電極上のアークの移動が促進され、電極の不均一な消耗が防止される。
【０１０４】
【発明の効果】
本発明によれば、アーク電極と該アーク電極を支持する支持部材と該支持部材に連らなるコイル電極とを有する固定側電極及び可動側電極を備えた真空遮断器において、前記アーク電極と上記アーク電極支持部材、好ましくは、コイル電極材とは非接合からなる溶融一体の構造を有し、前記支持部材及びコイル電極は０．０１〜２．５重量％のＣｒ，Ａｇ，Ｖ，Ｎｂ，Ｚｒ，Ｓｉ，Ｗ及びＢｅ等を含有したＣｕ合金から構成されるので、ろう付接合にともなう各部材の機械加工工程及び組立工程の低減とろう付接合不良による電極材の破壊や脱落を防止するとともに、アーク電極支持部材及びコイル電極材の強度向上により電極変形にともなう溶着障害を防止できることからより信頼性及び安全性の高い真空遮断器とそれに用いる真空バルブ及び電気接点を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電気接点の製造法を示す工程図。
【図２】３個の電気接点を一度に製造する場合の鋳型の断面図。
【図３】各種電極の形状とその製造鋳型の関係を示す断面図。
【図４】Ｃｒの固溶量と溶浸温度との関係を示す線図。
【図５】０．２％  耐力と合金元素の固溶量との関係を示す線図。
【図６】０．２％  耐力と比抵抗との関係を示す線図。
【図７】比抵抗と合金元素との関係を示す線図。
【図８】真空バルブの断面図。
【図９】真空バルブ用電極の断面図。
【図１０】真空バルブ用電極の斜視図。
【図１１】真空遮断器の全体構成図。
【図１２】直流真空遮断器を用いた回路図。
【図１３】他の例の真空バルブ用電極の構造を示す断面図と正面図。
【図１４】他の例の真空バルブ用電極の正面図と断面図である。
【符号の説明】
１，１２，３１ａ，３１ｂ，４１，９２，１０４…アーク電極、２，１３，３２ａ，３２ｂ，４８，９４，１０５…アーク電極支持部、４，９…アルミナ粉、５…黒鉛容器、６…多孔質焼結体、７…溶浸材、８…押湯、１４，３３ａ，３３ｂ，４２，９１…コイル電極、１５，２２，３４，３４ａ，３４ｂ，９０，１０６…電極棒、１７，２７，４４，９６…補強部材、３５…真空容器、３６…シールド部材、３７…ベローズ、５６…スリット溝、６０…エポキシレジン筒、６１…絶縁操作ロッド、６２…上部端子、６３…集電子、６４…下部端子、６５…接触バネ、６６…支えレバー、６８…プランジャ、７１…主レバー、７２…引きはずしコイル、７５…投入コイル、７６…排気筒、８０…直流電源、８１…直流負荷、８２…真空バルブ、８３…ショートリング、８４…電磁反発コイル、８５…転流コンデンサ、８６…転流リアクトル、８７…トリガギャップ、８８…静止型過電流引外し装置、８９…ＺｎＯ非直線抵抗体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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