(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉容器（１）内に置かれた被処理体（Ｍ）に外部からレーザー導入用窓（５）を通してレーザー光（Ｒ’）を照射するレーザー照射装置の前記レーザー導入用窓（５）のくもりを検知する方法であって、
前記レーザー導入用窓（５）を通して導入したレーザー光（Ｒ’）を、前記密閉容器（１）内に設置したミラー（７）で反射させて前記レーザー導入用窓（５）から前記密閉容器（１）外へ導出し、その導出したレーザー光（Ｒ”）の強度を測定して前記レーザー導入用窓（５）のくもりを検知することを特徴とするレーザー導入用窓のくもり検知方法。
【請求項２】
密閉容器（１）内に置かれた被処理体（Ｍ）に外部からレーザー導入用窓（５）を通してレーザー光（Ｒ’）を照射するレーザー照射装置であって、
前記レーザー導入用窓（５）を通して導入したレーザー光（Ｒ’）を反射させて前記レーザー導入用窓（５）から前記密閉容器（１）外へ導出するよう前記密閉容器（１）内に設置したミラー（７）と、外部へ導出されたレーザー光（Ｒ”）の強度を測定して前記レーザー導入用窓（５）のくもりを検知するよう前記密閉容器（１）外に設置した測定手段（２０）とを具備したことを特徴とするレーザー照射装置（１００）。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザー導入用窓のくもり検知方法およびレーザー照射装置に関し、さらに詳しくは、環境上の問題点や保守上の問題点がなく、レーザー導入用窓の「くもり」を好適に検知できるレーザ導入用窓のくもり検知方法およびレーザー照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５は、従来のレーザー照射装置５００の一例の概略構成図である。
このレーザー照射装置５００は、真空チャンバ１と、その真空チャンバ１内の底面に設置された基台２と、その基台２上を移動すると共にその上面に被処理体Ｍが載置される移動載置台３と、前記真空チャンバ１の天井部１ａに設けられ且つ石英ガラス板の両面に紫外線反射防止膜（ＡＲコート）を形成したレーザー導入用窓５と、レーザー光Ｒを出射し前記レーザー導入用窓５を通してレーザー光Ｒ’を照射するレーザー発生装置６とを具備している。
また、前記移動載置台３には、レーザー光Ｒ’の強度を測定するためのセンサ６０が設置されている。
【０００３】
レーザー照射処理は、次の手順で行う。
未処理の被処理体Ｍを移動載置台２の上に載置し、真空引きする。次に、導入されるレーザー光Ｒ’と被処理体Ｍのレーザー照射を行う箇所とが一致するように移動載置台３を移動させる。次に、レーザー発生装置６をオンにしてレーザー光Ｒを発生させ、レーザー導入用窓５を通して真空チャンバ１内に導入されたレーザー光Ｒ’を被処理体Ｍに照射する。
【０００４】
レーザー照射処理を行っていると、被処理体Ｍから飛散した微小物質がレーザー導入用窓５に付着して「くもり」が生じ、その「くもり」で照射エネルギーが低下してしまう。そこで、定期的にレーザー導入用窓のくもり検知処理を実行し、「くもり」が検知されれば、レーザー導入用窓５の洗浄や交換を行う。
【０００５】
レーザー導入用窓のくもり検知処理は、次の手順で行う。
図６に示すように、導入されるレーザー光Ｒ’とセンサ６０とが一致するように移動載置台３を移動させる。次に、レーザー発生装置６をオンにしてレーザー光Ｒを発生させ、レーザー導入用窓５を透過して真空チャンバ１内に導入されたレーザー光Ｒ’の強度をセンサ６０で測定する。そして、「くもり」がない時に測定していたレーザー光Ｒ’の強度からの強度の低下が所定の許容範囲を超えたら、レーザー導入用窓５の洗浄や交換が必要と判定する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のレーザー照射装置５００では、レーザー光Ｒ’の強度を測定するセンサ６０を真空チャンバー１内に配置している。
しかし、真空チャンバー１内にセンサ６０を設置すると、配線からの真空漏れなどの環境上の問題点や、アクセスに手間がかかる等の保守上の問題点がある。
そこで、本発明の目的は、上記環境上の問題点や保守上の問題点がなく、レーザー導入用窓の「くもり」を好適に検知できるレーザ導入用窓のくもり検知方法およびレーザー照射装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
第１の観点では、本発明は、密閉容器（１）内に置かれた被処理体（Ｍ）に外部からレーザー導入用窓（５）を通してレーザー光（Ｒ’）を照射するレーザー照射装置の前記レーザー導入用窓（５）のくもりを検知する方法であって、前記レーザー導入用窓（５）を通して導入したレーザー光（Ｒ’）を、前記密閉容器（１）内に設置したミラー（７）で反射させて前記レーザー導入用窓（５）から前記密閉容器（１）外へ導出し、その導出したレーザー光（Ｒ”）の強度を測定して前記レーザー導入用窓（５）のくもりを検知することを特徴とするレーザー導入用窓のくもり検知方法を提供する。
上記第１の観点のレーザー導入用窓のくもり検知方法では、レーザー導入用窓（５）を通して導入したレーザー光（Ｒ’）を密閉容器（１）内に設置したミラー（７）で反射させてレーザー導入用窓（５）から密閉容器（１）外へ導出し、密閉容器（１）外へ導出されたレーザー光（Ｒ”）の強度を測定するようにしている。このため、センサを密閉容器（１）外に設置することが出来る。従って、配線からの真空漏れなどの環境上の問題点や、アクセスに手間がかかる等の保守上の問題点を解消できる。
【０００８】
第２の観点では、本発明は、密閉容器（１）内に置かれた被処理体（Ｍ）に外部からレーザー導入用窓（５）を通してレーザー光（Ｒ’）を照射するレーザー照射装置であって、前記レーザー導入用窓（５）を通して導入したレーザー光（Ｒ’）を反射させて前記レーザー導入用窓（５）から前記密閉容器（１）外へ導出するよう前記密閉容器（１）内に設置したミラー（１０）と、外部へ導出されたレーザー光（Ｒ”）の強度を測定して前記レーザー導入用窓（５）のくもりを検知するよう前記密閉容器（１）外に設置した測定手段（２０）とを具備したことを特徴とするレーザー照射装置（１００）を提供する。
上記第２の観点のレーザー照射装置（１００）では、上記第１の観点によるレーザー導入用窓のくもり検知方法を好適に実施できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図に示す実施形態により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
【００１０】
図１は、本発明のレーザー照射装置の一実施形態にかかる概略構成図である。
このレーザー照射装置１００は、真空チャンバ１と、その真空チャンバ１内の底面に設置された基台２と、その基台２上を移動すると共にその上面に被処理体Ｍが載置される移動載置台３と、前記真空チャンバ１の天井部１ａに設けられ且つ石英ガラス板の両面に紫外線反射防止膜（ＡＲコート）を形成したレーザー導入用窓５と、レーザー光Ｒを出射し前記レーザー導入用窓５を通してレーザー光Ｒ’を照射するレーザー発生装置６とを具備している。
また、前記移動載置台３には、レーザー光Ｒ’を反射させて前記レーザー導入用窓５から真空チャンバー１外へ導出するミラー７が設置されている。
さらに、真空チャンバー１外には、前記前記レーザー導入用窓５から導出されたレーザー光Ｒ”の強度を測定するセンサ１０（パワーメータあるいはエネルギーメータ）と、そのセンサ１０で測定したレーザー光の強度に基づいて前記レーザー導入用窓５の「くもり」を検知するくもり検知部２０が設けられている。
【００１１】
上記くもり検知部２０は、判定用閾値設定処理またはくもり検知処理の開始をユーザが任意に指示するための操作盤２１と、前記センサ１０で測定したレーザー光Ｒ”の強度をメモリ２３に入力するか又は比較器２５に入力するかを切り換える切換スイッチ２２と、前記センサ１０で測定したレーザー光Ｒ”の強度を記憶するメモリ２３と、そのメモリ２３に記憶した強度に対して所定の係数を乗算した値を判定用閾値として比較器２５に入力する演算器２４と、前記センサ１０で検知したレーザー光Ｒ”の強度と前記判定用閾値とを比較する比較器２５とを具備している。
【００１２】
図２は、判定用閾値設定処理のフロー図である。
この判定用閾値設定処理は、レーザー導入用窓５に「くもり」がない時に操作盤２１からユーザが起動指示することで実行される。
ステップＳＴ１では、図３に実線で示すように切換スイッチ２２をメモリ２３側に切り換える。
ステップＳＴ２では、図３に示すように、ミラー７でレーザー光を反射しうる位置に移動載置台３を移動する。
ステップＳＴ３では、レーザー光発生装置６からレーザー光Ｒを発生させ、ミラー７で反射されて外部に出てきたレーザー光Ｒ”の強度をセンサ１０で測定する。
ステップＳＴ４では、レーザー光Ｒ”の強度をメモり２３に記憶する。
ステップＳＴ５では、前記メモリ２３に記憶した強度に対して所定の係数（例えば０．８）を演算器２４により乗算し、判定用閾値を算出する。そして、判定用閾値設定処理を終了する。
【００１３】
図４は、くもり検知処理のフロー図である。
このくもり検知処理は、任意の時に操作盤２１からユーザが起動指示することで実行される。
ステップＳＳ１では、図３に破線で示すように切換スイッチ２２を比較器２５側に切り換える。
ステップＳＳ２では、図３に示すように、ミラー７でレーザー光を反射しうる位置に移動載置台３を移動する。
ステップＳＳ３では、レーザー光発生装置６からレーザー光Ｒを発生させ、ミラー７で反射されて外部に出てきたレーザー光Ｒ”の強度をセンサ１０で測定する。
ステップＳＳ４では、レーザー光Ｒ”の強度が判定用閾値より大きいか否かを比較器２５で判定し、大きければステップＳＳ５へ進み、大きくなければステップＳＳ６へ進む。
ステップＳＳ５では、操作盤２１は、「正常」信号を出力する。そして、くもり検知処理を終了する。
ステップＳＳ６では、操作盤２１は、「異常」信号を出力する。そして、くもり検知処理を終了する。
【００１４】
以上のレーザー照射装置１００によれば、レーザー導入用窓５の「くもり」を好適に検知できる。また、センサ１０を真空チャンバー１の外に設置しているため、設置や保守が容易になる。
【００１５】
【発明の効果】
本発明のレーザー導入用窓のくもり検知方法およびレーザー照射装置（１００）によれば、センサ（１０）を密閉容器（１）外に設置できるため、センサ（１０）への配線からの真空漏れなどの環境上の問題点やアクセスに手間がかかる等の保守上の問題点を解消でき、レーザー導入用窓（５）の「くもり」を好適に検知できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかるレーザー照射装置の概略構成図である。
【図２】判定用閾値設定処理のフロー図である。
【図３】判定用閾値設定時またはくもり検知処理時の動作の説明図である。
【図４】くもり検知処理のフロー図である。
【図５】従来のレーザー照射装置の一例の概略構成図である。
【図６】従来のレーザー導入用窓のくもり検知処理時の動作の説明図である。
【符号の説明】
１                    真空チャンバ
３                    移動載置台
５                    レーザー導入用窓
６                    レーザー発生装置
７                    ミラー
１０                  センサ
２０                  くもり検知部
２１                  操作盤
２２                  切換スイッチ
２３                  メモリ
２４                  演算器
２５                  比較器
１００                レーザー照射装置
Ｍ                    被処理体
Ｒ，Ｒ’，Ｒ”        レーザー光
ｍ                    モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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