(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気流の上流側で浮上面に形成されてスライダ幅方向に延びる１筋のフロントレールと、フロントレールの頂上面に形成されて、スライダ本体の上流側でスライダ幅方向に延びる１筋の第１空気軸受け面と、フロントレールの頂上面および第１空気軸受け面を相互に接続する段差と、気流の下流側で浮上面に形成されて気流の流通路を間に挟んでスライダ幅方向に配列される１対のリアレールと、第１空気軸受け面から分離してリアレールの頂上面にそれぞれ形成され、スライダ本体の下流側で気流の流通路を間に挟んでスライダ幅方向に配列される１対の第２空気軸受け面と、リアレールの頂上面および第２空気軸受け面を相互に接続する段差とを備え、第２空気軸受け面のうち、ヘッド素子が埋め込まれる一方の第２空気軸受け面の上流側でスライダ幅方向に延びて段差を形成する上流端は、他方の第２空気軸受け面の上流側でスライダ幅方向に延びて段差を形成する上流端よりも下流側に配置され、この配置に基づき前記一方の第２空気軸受け面は他方の第２空気軸受け面より小さく形成されることを特徴とする負圧ヘッドスライダ。
【請求項２】
請求項１に記載の負圧ヘッドスライダにおいて、前記一方の第２空気軸受け面側では、前記リアレールの頂上面に対して第２空気軸受け面の配置が調整されることを特徴とする負圧ヘッドスライダ。
【請求項３】
請求項２に記載の負圧ヘッドスライダにおいて、前記一方の第２空気軸受け面の下流端は上流側に変位されることを特徴とする負圧ヘッドスライダ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の負圧ヘッドスライダにおいて、前記浮上面に形成されて、前記フロントレールのスライダ幅方向両端から下流側に延びる１対のサイドレールをさらに備えることを特徴とする負圧ヘッドスライダ。
【請求項５】
請求項４に記載の負圧ヘッドスライダにおいて、前記サイドレールのスライダ幅方向の厚みは、前記リアレールのスライダ幅方向の厚みに比べて薄く設定されることを特徴とする負圧ヘッドスライダ。
【請求項６】
請求項４または５に記載の負圧ヘッドスライダにおいて、前記サイドレールには、前記フロントレールを迂回する気流を前記流通路に導く間隙が形成されることを特徴とする負圧ヘッドスライダ。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれかに記載の負圧ヘッドスライダにおいて、前記一方の第２空気軸受け面側では、前記上流端の配置に基づき前記間隙の大きさが調整されることを特徴とする負圧ヘッドスライダ。
【請求項８】
気流の上流側で浮上面に形成されてスライダ幅方向に延びる１筋のフロントレールと、フロントレールの頂上面に形成されて、スライダ本体の上流側でスライダ幅方向に延びる１筋の第１空気軸受け面と、フロントレールの頂上面および第１空気軸受け面を相互に接続する段差と、気流の下流側で浮上面に形成されて気流の流通路を間に挟んでスライダ幅方向に配列される１対のリアレールと、第１空気軸受け面から分離してリアレールの頂上面にそれぞれ形成され、スライダ本体の下流側で気流の流通路を間に挟んでスライダ幅方向に配列される１対の第２空気軸受け面と、リアレールの頂上面および第２空気軸受け面を相互に接続する段差とを備え、第２空気軸受け面のうち、ヘッド素子が埋め込まれる一方の第２空気軸受け面の上流側でスライダ幅方向に延びて段差を形成する上流端は、他方の第２空気軸受け面の上流側でスライダ幅方向に延びて段差を形成する上流端よりも下流側に配置され、この配置に基づき前記一方の第２空気軸受け面は他方の第２空気軸受け面より小さく形成される負圧ヘッドスライダが組み込まれたことを特徴とする記録ディスク駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク駆動装置その他の記録ディスク駆動装置に用いられる負圧ヘッドスライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば磁気ディスク駆動装置の分野では、磁気ディスクに対する情報の書き込み時や読み出し時にディスク面から浮上する浮上ヘッドスライダを磁気ヘッドに用いることが多い。こうした浮上ヘッドスライダでは、磁気ディスクのディスク面に対向するスライダ本体の浮上面に空気軸受け面（いわゆるＡＢＳ）が形成される。磁気ディスクが回転すると、ディスク面に沿って発生する気流が空気軸受け面に作用してスライダ本体に浮力を生じさせるのである。
【０００３】
近年、磁気ディスク駆動装置の分野では、一層の記録密度向上が要求されるようになった。記録密度を向上させるにはスライダ本体の浮上量を極力低く設定する必要がある。しかしながら、浮上量を低く設定すると、浮上中にスライダ本体がディスク面に衝突する確率が高まってしまう。そこで、従来では、空気軸受け面に生じる浮力に対抗する負圧を発生させ、浮力と負圧とのバランスによって浮上量を規定する負圧ヘッドスライダが提案されている。この負圧ヘッドスライダでは、スライダ本体をディスク面に引き寄せる方向に負圧が働き、スライダ本体の浮上安定性を高めることができる。その結果、スライダ本体とディスク面との衝突の確率を低下させることができるのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
今後、さらに記録密度の向上が要求されるようになれば、浮上安定性を一層高める必要があり、同時に、スライダ本体のロール剛性を高める必要が出てくる。ロール剛性が低いと、浮上中にスライダ本体が気流に沿った中心軸を中心に回転してしまい、スライダ本体がディスク面に衝突してしまうからである。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、浮上安定性およびロール剛性の高い負圧ヘッドスライダを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、スライダ本体の浮上面に形成されて、スライダ本体の上流側でスライダ幅方向に延びる１筋の第１空気軸受け面と、この第１空気軸受け面から分離して前記浮上面に形成され、スライダ本体の下流側で気流の流通路を間に挟んでスライダ幅方向に配列される１対の第２空気軸受け面とを備えることを特徴とする負圧ヘッドスライダが提供される。
【０００７】
かかる負圧ヘッドスライダによれば、ヘッド素子が埋め込まれるスライダ本体の下流側で、スライダ幅方向に並んだ２つの第２空気軸受け面で正圧すなわち浮力が生成される。そういった２つの正圧によってスライダ本体が支持されることから、スライダ本体のロール剛性を著しく高めることができる。
【０００８】
前記第１空気軸受け面は、気流の上流側で前記浮上面に形成されてスライダ幅方向に延びる１筋のフロントレールの頂上面に形成されればよい。こうしたフロントレールの形成によれば、ディスク面に生成される気流が真っ先にフロントレールに遮られ、その結果、フロントレールの裏側で生成される負圧が減少することを阻止することができる。前記第２空気軸受け面は、気流の下流側で前記浮上面に形成されて気流の流通路を間に挟んでスライダ幅方向に配列される１対のリアレールの頂上面にそれぞれ形成されればよい。
【０００９】
第１空気軸受け面や第２空気軸受け面は段差によってフロントレールの頂上面やリアレールの頂上面に接続されることが望ましい。こうした段差の働きによって、第１および第２空気軸受け面に大きな正圧を生成させることができるからである。
【００１０】
浮上面には、前記フロントレールのスライダ幅方向両端から下流側に延びる１対のサイドレールが形成されることが望ましい。こうしたサイドレールの働きによれば、ディスク面に沿って生成される気流がフロントレールを迂回してフロントレールの裏側に回り込めなくなり、その結果、フロントレールの裏側で確実に大きな負圧を生成させることが可能となる。特に、こうしたサイドレールのスライダ幅方向の厚みは、リアレールのスライダ幅方向の厚みに比べて薄く設定されることが望ましい。このようにサイドレールの厚みが薄ければ、負圧を発生させる領域を広げることができ、大きな負圧を発生させることができるからである。
【００１１】
ただし、前記サイドレールには、前記フロントレールを迂回する気流を前記流通路に導く間隙が形成されることが望ましい。こうした間隙によれば、前述したフロントレールやリアレールの高さを低く設定しても、低い周速で負圧の飽和が発生することを極力阻止することが可能となる。その結果、負圧の周速応答性が高められ、周速の変動に拘らずスライダ本体の浮上量を一定に維持することができることとなる。
【００１２】
前記フロントレールの頂上面やリアレールの頂上面には、スライダ本体がディスク面に着座する際に第１空気軸受け面や第２空気軸受け面とディスク面との接触を回避させる吸着防止パッドが形成されてもよい。かかる吸着防止パッドによれば、第１および第２空気軸受け面が直接にディスク面に接触することが回避される。その結果、ディスク面上に成膜された潤滑剤の吸着力が弱められ、ディスクの回転開始時に即座にスライダ本体が浮上することができることとなる。
【００１３】
さらにまた、前記第２空気軸受け面のうち、ヘッド素子が埋め込まれる一方の第２空気軸受け面は、他方の第２空気軸受け面より小さく形成されてもよい。こうすれば、ロール角に基づく傾斜姿勢をスライダ本体にとらせることができ、したがって、ヘッド素子の近辺で、浮上面とディスク面との距離を最も短かくすることが可能となる。
【００１４】
前記一方の第２空気軸受け面を前記他方の第２空気軸受け面よりも小さく形成するにあたって、前記一方の第２空気軸受け面は、第１幅でスライダ幅方向に延びて前記段差に連なる上流端と、第１幅よりも大きな第２幅でスライダ幅方向に延びる下流端とを備えればよい。例えば読み取り用ヘッド素子としてＭＲ（磁気抵抗）素子が用いられる場合、ＭＲ（磁気抵抗）素子がシールド層によって挟み込まれなければならない。このシールド層がスライダ幅方向に十分に延びていなければ、ＭＲ素子に不要な磁気が作用してしまい、ＭＲ素子は正確な情報を読み取ることができなくなってしまう。一般に、ヘッドスライダは、スライダ本体の下流側を最も記録媒体に接近させる傾斜姿勢に維持されることが多い。こうした傾斜姿勢が維持される限り、スライダ本体の下流側に埋め込まれたヘッド素子を十分に記録媒体に接近させることができる一方で、記録媒体に対するスライダ本体の接触面積を最小限に押さえることができるからである。したがって、前述のように第２空気軸受け面の下流端で大きな幅を確保しておけば、スライダ幅方向に沿ったシールド層の幅を確保しつつ、第２空気軸受け面を小さく形成することができるのである。
【００１５】
あるいは、前記一方の第２空気軸受け面を前記他方の第２空気軸受け面よりも小さく形成するにあたって、前記一方の第２空気軸受け面の上流側でスライダ幅方向に延びて前記段差を形成する上流端は、前記他方の第２空気軸受け面の上流側でスライダ幅方向に延びて前記段差を形成する上流端よりも下流側に配置されてもよい。こうした配置によれば、一方の第２空気軸受け面では、他方の第２空気軸受け面に比べて、気流の流れ方向に沿った広がりが縮小される。その結果、一方の第２空気軸受け面の面積は減少し、その結果、他方の第２空気軸受け面に比べて一方の第２空気軸受け面の浮力は抑制される。スライダ幅方向に沿ったシールド層の広がりを圧迫することなく、一方の第２空気軸受け面に生じる浮力を抑制することができるのである。こうして浮力が抑制されれば、一方の第２空気軸受け面はディスク面に接近することができる。
【００１６】
こうして一方の第２空気軸受け面の上流端が変位される場合には、上流端の配置に基づき、リアレールとサイドレールとの間に形成される間隙の大きさが調整されることが望ましい。例えば上流端の変位に追随してサイドレールがリアレールに向かって延びない場合には、サイドレールとリアレールとの間に大きな間隙が生成されてしまう。こうした大きな間隙は、フロントレールの背後に生じる負圧を逃してしまう。その一方で、上流端の変位に追随してサイドレールがリアレールに向かって延伸していると、間隙の大きさが縮小され、その結果、高い負圧を維持することが可能となる。こうして高い負圧が維持されれば、一方の第２空気軸受け面はディスク面に接近することができるのである。
【００１７】
さらにまた、前記他方の第２空気軸受け面に比べて前記一方の第２空気軸受け面で浮力を小さくさせるには、前記一方の第２空気軸受け面側で、前記リアレールの頂上面に対して第２空気軸受け面の配置が調整されてもよい。前述の段差で生じる大きな正圧には、段差の面積や高さ、第２空気軸受け面の大きさのほか、段差に連なるリアレール頂上面の広がりが影響する。頂上面の広がりが小さければ正圧は発生しにくく、反対に、頂上面の広がりが大きければ大きな正圧が発生しやすい。したがって、気流を受けやすい方向で段差に連なるリアレール頂上面の広がりを狭めれば、一方の第２空気軸受け面の浮力を抑制することができるのである。
【００１８】
さらにまた、前記一方の第２空気軸受け面を前記他方の第２空気軸受け面よりも小さく形成するにあたって、前記一方の第２空気軸受け面は、下流側でスライダ幅方向に延び、上流側に変位された下流端を備えてもよい。前述した負圧ヘッドスライダでは、スライダ本体の下流側でより大きな正圧が生じる。したがって、一方の第２空気軸受け面の下流端を上流側に変位させることによって一方の第２空気軸受け面の面積を減少させれば、一方の第２空気軸受け面に生じる浮力を効率的に抑制することができるのである。
【００１９】
以上のような負圧ヘッドスライダは、ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）を始めとする磁気ディスク駆動装置その他の記録ディスク駆動装置に組み込まれて使用されることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
【００２１】
図１は磁気ディスク駆動装置の一具体例としてのハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１０の内部構造を示す。ＨＤＤ１０のハウジング１１には、スピンドルモータ１２に装着される磁気ディスク１３と、磁気ディスク１３に対向する負圧ヘッドスライダ１４とが収容される。負圧ヘッドスライダ１４は、シャフト１５回りで揺動することができるキャリッジアーム１６の先端に固着される。磁気ディスク１３に対する情報の書き込みや読み取りにあたっては、磁気回路から構成されるアクチュエータ１７によってキャリッジアーム１６が揺動駆動され、その結果、負圧ヘッドスライダ１４が磁気ディスク１３上の所望の記録トラックに位置決めされる。ハウジング１１の内部空間は、図示しないカバーによって閉鎖される。
【００２２】
図２は本発明に係る負圧ヘッドスライダ１４を示す。この負圧ヘッドスライダ１４のスライダ本体は、磁気ディスク１３に対向する浮上面１９を備える。浮上面１９には、磁気ディスク１３が回転した際に生成される気流２０の上流側でスライダ幅方向に延びる１筋のフロントレール２１と、気流２０の下流側で気流の流通路２２を間に挟んでスライダ幅方向に配列される１対のリアレール２３とが形成される。
【００２３】
フロントレール２１の頂上面には、スライダ幅方向に延びる１筋の第１空気軸受け面２４が形成される。その一方で、２つのリアレール２３の頂上面には、気流の流通路２２を間に挟んでスライダ幅方向に配列される１対の第２空気軸受け面２５ａ、２５ｂがそれぞれ形成される。磁気ディスク１３が回転し、ディスク面に沿って気流２０が発生すると、その気流２０が第１および第２空気軸受け面２４、２５ａ、２５ｂに作用する。その結果、第１および第２空気軸受け面２４、２５ａ、２５ｂでは、スライダ本体をディスク面から浮上させる浮力が生成される。この負圧ヘッドスライダ１４では、第１空気軸受け面２４に大きな浮力が生成される結果、スライダ本体はピッチ角αの傾斜姿勢で維持される。ここで、ピッチ角αとは、気流２０の流れ方向に沿ったスライダ本体前後方向の傾斜角をいう。
【００２４】
第１および第２空気軸受け面２４、２５ａ、２５ｂは、段差２７ａ、２７ｂ、２７ｃによってフロントレール２１およびリアレール２３の頂上面に接続される。この段差２７ａ、２７ｂ、２７ｃは、後述するように、第１および第２空気軸受け面２４、２５ａ、２５ｂに大きな正圧すなわち浮力を生じさせることができる。
【００２５】
一方の第２空気軸受け面２５ａは、他方の第２空気軸受け面２５ｂに比べて小さく形成される。したがって、この負圧ヘッドスライダ１４では、一方の第２空気軸受け面２５ａに比べて他方の第２空気軸受け面２５ｂに大きな浮力が生成される。その結果、負圧ヘッドスライダ１４では、スライダ本体はロール角βの傾斜姿勢で維持される。ここで、ロール角βとは、気流２０の流れ方向に直交するスライダ本体幅方向の傾斜角をいう。
【００２６】
こうして小さく形成された第２空気軸受け面２５ａでは、スライダ本体に埋め込まれた磁気ヘッド素子の書き込みおよび読み出しギャップ２８が露出する。スライダ本体のピッチ角αおよびロール角βの働きによって、磁気ヘッド素子のギャップ２８付近で、スライダ本体とディスク面との距離が最も短くなる。
【００２７】
フロントレール２１のスライダ幅方向両端には、下流側に延びる１対のサイドレール２９が接続される。このサイドレール２９によれば、フロントレール２１を幅方向両側から迂回する気流がフロントレール２１の裏側に進入しなくなる。したがって、第１空気軸受け面２４に沿って流れる気流がフロントレール２１を通過すると同時にディスク面鉛直方向に広がり、その結果、負圧が生成される。この負圧が前述の浮力にバランスすることによってスライダ本体の浮上量は規定されることとなる。１対のサイドレール２９と１対のリアレール２３との間には、フロントレール２１を幅方向両側から迂回する気流を流通路２２に導く間隙３０が形成される。
【００２８】
フロントレール２１の頂上面やリアレール２３の頂上面には、さらに、スライダ本体がディスク面に着座する際に第１および第２空気軸受け面２４、２５ａ、２５ｂとディスク面との接触を回避させる複数の吸着防止パッド３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄが形成される。しかも、この負圧ヘッドスライダ１４では、大きな浮力を生む第２空気軸受け面２５ｂ側に配置される吸着防止パッド３１ｃに対して、小さな浮力しか生まない第２空気軸受け面２５ａ側に配置される吸着防止パッド３１ｄは気流２０の上流側に配置される。前述のロール角βの作用によって第２空気軸受け面２５ａ側では負圧ヘッドスライダ１４の浮上量が小さいことから、このように吸着防止パッド３１ｄをずらすことによって吸着防止パッド３１ｄがディスク面に接触することは回避されることができる。
【００２９】
いま、磁気ディスク１３が回転すると、ディスク面に沿って気流２０が生成される。気流２０が生成されると、それまでディスク面に着座していた負圧ヘッドスライダ１４はディスク面から浮上する。このとき、吸着防止パッド３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄの働きによって、第１および第２空気軸受け面２４、２５ａ、２５ｂはディスク面に直接に接触していない。したがって、ディスク面上に成膜された潤滑剤の吸着力が弱められ、負圧ヘッドスライダ１４は即座に浮上することができることとなる。スライダ本体の浮上中、ヘッド素子の書き込みおよび読み出しギャップ２８によって磁気ディスク１３に対する情報の書き込みや読み出しが実行される。
【００３０】
気流２０が負圧ヘッドスライダ１４に作用すると、例えば図３に示されるように、スライダ本体の浮上面１９では正圧すなわち浮力と負圧とが生成される。図３には、シミュレーションソフトウェアによって算出された負圧ヘッドスライダ１４の一具体例の圧力分布が示される。スライダ本体の大きさは、縦１．２５ｍｍ、幅１ｍｍ、そして厚み０．３ｍｍとする。
【００３１】
図３から明らかなように、気流２０が流れてくると、第１空気軸受け面２４の前面に形成された段差２７ａ（位置Ｂ）で大きな正圧が生じる。生じた正圧は第１空気軸受け面２４の下流側に向かうにつれて増大する。
【００３２】
続いて気流２０がフロントレール２１を通過した時点（位置Ｃ）で正圧は消失する。正圧に代わって負圧が生成される（位置Ｄ）。この負圧は、フロントレール２１の裏側で気流２０の通路が急激にディスク面鉛直方向に広がることによって生成される。しかも、サイドレール２９の働きによって、フロントレール２１の正面に衝突してフロントレール２１を迂回する気流２０はフロントレール２１の裏側に進入することがほとんどできない。その結果、フロントレール２１の裏側に大きな負圧が生成されることとなる。
【００３３】
下流側のリアレール２３に達した気流２０は、第２空気軸受け面２５ａ、２５ｂの前面に形成された段差２７ｂ、２７ｃ（位置Ｅ）で再び大きな正圧を生じさせる。生じた正圧は、第２空気軸受け面２５ａ、２５ｂの下流側に向かうにつれて増大する。第２空気軸受け面２５ａ、２５ｂが途切れた時点（位置Ｆ）で正圧は消失する。
【００３４】
この負圧ヘッドスライダ１４では、位置Ｂ〜Ｃや位置Ｅ〜Ｆで生じる正圧と、位置Ｄで生じる負圧とのバランスによってスライダ本体の浮上量が決定される。しかも、大きな正圧と大きな負圧とがバランスすることによって高い浮上安定性が得られる。正圧と負圧とをバランスさせるには段差２７ａ、２７ｂ、２７ｃの高さを０．２μｍ以下に設定することが望ましい。
【００３５】
加えて、この負圧ヘッドスライダ１４では、ピッチ角αの姿勢のときに最もディスク面に近づくスライダ本体の下流側で、スライダ幅方向に並んだ２つの正圧によってスライダ本体が支持されることから、ロール剛性が著しく高められることとなる。
【００３６】
一般に、磁気ディスク駆動装置１０が置かれる雰囲気の気圧が低いと、空気が薄くなる結果、第１および第２空気軸受け面２４、２５ａ、２５ｂで生成される正圧は気圧にほぼ比例して減少する。したがって、負圧ヘッドスライダ１４では、気圧の減少に伴って減少する正圧に比例して負圧を減少させる必要がある。負圧が一定のままではスライダ本体の浮上量が減少してしまうからである。
【００３７】
図４は、負圧ヘッドスライダ１４に対する気圧の影響を示すグラフである。グラフ中の実線によれば、比率＝（気圧Ｐ＝０．７ａｔｏｍ時の正圧）／（気圧Ｐ＝１ａｔｏｍ時の正圧）の変化具合が示され、グラフ中の点線によれば、比率＝（気圧Ｐ＝０．７ａｔｏｍ時の負圧）／（気圧Ｐ＝１．０ａｔｏｍ時の負圧）の変化具合が示される。このグラフから明らかなように、フロントレール２１やリアレール２３の高さＨ（図２参照）、言い替えれば、フロントレール２１やサイドレール２９、リアレール２３に囲まれる溝の深さが変動しても、正圧の比率はほとんど変動しない。その一方で、フロントレール２１やリアレール２３の高さが低くなるにつれて、負圧と正圧との間で比率の差が縮まっていく様子が観察されることができる。すなわち、フロントレール２１やリアレール２３の高さを低く設定すれば、負圧の気圧依存性を高めることができ、その結果、気圧の変動に拘らずスライダ本体の浮上量を極力一定に維持させることができることがわかる。したがって、磁気ディスク駆動装置１０が使用される地域の標高に影響されることなくほぼ一定の浮上量を期待することができる。この場合には、高さＨは２μｍ以下であることが好ましい。
【００３８】
その一方で、フロントレール２１やリアレール２３の高さを低く設定すると、比較的低い磁気ディスク１３の周速で負圧が飽和してしまう。したがって、周速が速まって第１および第２空気軸受け面２４、２５ａ、２５ｂに生じる浮力が増大しても、その増大に追随して負圧が増大しなくなってしまう。その結果、周速が速まれば速まるほど、スライダ本体の浮上量が増大してしまうこととなる。例えば、磁気ディスク１３の中心側に比べて周速の速い磁気ディスク１３の外周側では、スライダ本体の浮上量が大きくなってしまうのである。
【００３９】
そこで、本発明に係る負圧ヘッドスライダ１４では、間隙３０の形成によってこの周速に対する負圧の応答性が高められている。例えば図５に示されるように、間隙３０が形成されていると、前述のようにフロントレール２１やリアレール２３の高さを低く設定しても、周速が高まるにつれて負圧が増加していくことがわかる。間隙３０が形成されていないと、低い周速で負圧が飽和してしまい、それ以上周速を速めても負圧が増加することはないことがわかる。
【００４０】
なお、間隙３０は、できる限り下流側に形成されることが望ましい。そうすれば、フロントレール２１とサイドレール２９とに囲まれる空間が広がり、生成される負圧を大きくすることができると同時に、負圧の作用点を下流側にシフトさせることができるからである。その結果、スライダ本体の浮上安定性が向上する。
【００４１】
次に負圧ヘッドスライダ１４の製造方法を詳述する。まず、図６（ａ）に示すように、Ａｌ２Ｏ３（アルミナ）層が表面に成膜されたＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ（アルチック）製のウェハー４０表面に磁気ヘッド素子を形成する。磁気ヘッド素子は、１負圧ヘッドスライダ１４に切り出される１ブロックごとに形成される。直径５インチのウェハーでは、例えば１００ｘ１００＝１００００個の負圧ヘッドスライダを切り出すことができる。形成された磁気ヘッド素子はＡｌ２Ｏ３層の保護膜によって覆われる。
【００４２】
続いて、図６（ｂ）に示すように、磁気ヘッド素子が形成されたウェハー４０から、負圧ヘッドスライダ１４が一列に並んだウェハーバー４０ａを切り出す。切り出したウェハーバー４０ａの切断面４１に浮上面１９を形作る。最終的に、図６（ｃ）に示すように、ウェハーバー４０ａから各負圧ヘッドスライダ１４が切り出される。
【００４３】
ここで、浮上面１９の形成方法を詳述する。まず、図７（ａ）に示すように、ウェハーバー４０ａの切断面４１にＳｉ密着層４２を介してＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）層４３を積層する。そのＤＬＣ層４３に再びＳｉ密着層４４を介してＤＬＣ層４５を積層する。ＤＬＣ層４５表面に、吸着防止パッド３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄのパターンを形成するフィルムレジスト４６を成膜する。
【００４４】
続いて図７（ｂ）に示すように、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）によってＤＬＣ層４５およびＳｉ密着層４４を削り取り、ＤＬＣ層４３を露出させる。これによって、吸着防止パッド３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄの先端部分が形成される。続いて図７（ｃ）に示すようにレジスト４６を除去する。
【００４５】
次に図７（ｄ）に示すように、フォトレジスト４７によって第１および第２空気軸受け面２４、２５ａ、２５ｂのパターンを形成する。フォトレジスト４７は、同時に、形成された吸着防止パッド３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄを覆う。露光現像後、図７（ｅ）に示すように、イオンミルを実施し、ＤＬＣ層４３およびＳｉ密着層４２や、ウェハーバー４０ａの本体すなわちアルチックを削り取る。この削り取りによって、第１および第２空気軸受け面２４、２５ａ、２５ｂが形成される。図７（ｂ）で先端部分が形成された吸着防止パッド３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄが同時に完成する。その後、図７（ｆ）に示すように、フォトレジスト４７が除去される。
【００４６】
次に図８（ａ）に示すように、フォトレジスト４８によってフロントレール２１、サイドレール２９およびリアレール２３のパターンを形成する。形成された吸着防止パッド３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄおよび第１および第２空気軸受け面２４、２５ａ、２５ｂはフォトレジスト４８で覆われる。露光現像後、イオンミルを実施し、ウェハーバー４０ａの本体すなわちアルチックをさらに削り取る。この削り取りによって、フロントレール２１、サイドレール２９およびリアレール２３が形成される。フロントレール２１、サイドレール２９およびリアレール２３の頂上面には、ＤＬＣ層４５によって頂上面が保護される吸着防止パッド３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄや、同様にＤＬＣ層４３によって頂上面が保護される第１および第２空気軸受け面２４、２５ａ、２５ｂが形成されている。その後、図８（ｂ）に示すようにフォトレジスト４８が除去されると、浮上面１９が完成する。
【００４７】
以上のような負圧ヘッドスライダ１４では、例えば図９に示されるように、一方の第２空気軸受け面２５ａは、第１幅Ｗ１でスライダ幅方向に延びて段差２７ｂに連なる上流端５１と、第１幅Ｗ１よりも大きな第２幅Ｗ２でスライダ幅方向に延びる下流端５２とを備えてもよい。例えば磁気ヘッド素子が読み取り用ヘッドとしてＭＲ（磁気抵抗）素子を備える場合、ＭＲ素子はシールド層５３によって挟み込まれる。このシールド層５３がスライダ幅方向に十分に延びていなければ、ＭＲ素子に不要な磁気が作用してしまい、ＭＲ素子は正確な情報を読み取ることができなくなってしまう。したがって、一方の第２空気軸受け面２５ａの下流端５２で大きな幅を確保しておけば、スライダ幅方向のシールド層の広がりを確保しつつ第２空気軸受け面２５ａの大きさを小さくし、その結果、一方の第２空気軸受け面２５ａに比べて他方の第２空気軸受け面２５ｂに大きな浮力を生じさせることができる。
【００４８】
こうした第１幅Ｗ１の上流端５１と第２幅Ｗ２の下流端５２とを形成するにあたって、第２空気軸受け面２５ａはスライダ幅方向の広がりを変化させる。例えば図９に示されるように、第２空気軸受け面２５ａは、第１幅Ｗ１の上流端５１から第２幅Ｗ２の下流端５２に向かって、徐々にスライダ幅方向の大きさを拡張させてもよい。また、第２空気軸受け面２５ａは、図１０に示されるように、上流端５１から下流端５２に向かって第１幅Ｗ１を維持してもよい。さらに、第２空気軸受け面２５ａは、図１１に示されるように、上流端５１付近で第１幅Ｗ１を維持し、下流端５２に近づくにつれて徐々にスライダ幅方向の大きさを拡張させていってもよい。
【００４９】
さらにまた、一方の第２空気軸受け面２５ａに比べて他方の第２空気軸受け面２５ｂで大きな浮力を生じさせるには、例えば図１２に示されるように、他方の第２空気軸受け面２５ｂの上流側でスライダ幅方向に延びて段差２７ｃに連なる上流端５５に比べて、下流側に、一方の第２空気軸受け面２５ａの上流側でスライダ幅方向に延びて段差２７ｂに連なる上流端５６を配置してもよい。こうした配置によれば、一方の第２空気軸受け面２５ａでは、他方の第２空気軸受け面２５ｂに比べて、気流の流れ方向に沿った広がりが縮小される。その結果、一方の第２空気軸受け面２５ａの面積は減少し、他方の第２空気軸受け面２５ｂに比べて一方の第２空気軸受け面２５ａの浮力は抑制される。スライダ幅方向に沿ったシールド層５３の広がりを圧迫することなく、一方の第２空気軸受け面２５ａに生じる浮力を抑制することができるのである。
【００５０】
このように第２空気軸受け面２５ａの上流端５６を下流側に変位させる場合には、リアレール２３とサイドレール２９との間に形成される間隙３０の大きさが調整されることが望ましい。例えば図１２に示されるように、上流端５６の変位に追随してサイドレール２９がリアレール２３に向かって延びない場合には、サイドレール２９とリアレール２３との間に大きな間隙３０が生成されてしまう。こうした大きな間隙３０は、前述したようにフロントレール２１の背後に生じる負圧を逃してしまう。その一方で、例えば図１３に示されるように、上流端５６の変位に追随してサイドレール２９がリアレール２３に向かって延伸していると、間隙３０の大きさが縮小され、その結果、高い負圧を維持することが可能となる。こうして高い負圧が維持されれば、一方の第２空気軸受け面２７ａはディスク面に接近することができるのである。
【００５１】
さらにまた、一方の第２空気軸受け面２５ａの浮力を調整するにあたっては、例えば図１４に示されるように、リアレール２３の頂上面に対して第２空気軸受け面２５ａの配置が調整されてもよい。前述のように段差２７ｂ、２７ｃで生じる大きな正圧には、段差２７ｂ、２７ｃの面積や高さ、第２空気軸受け面２５ａ、２５ｂの大きさのほか、段差２７ｂ、２７ｃに連なるリアレール２３頂上面の広がりが影響する。頂上面の広がりが小さければ正圧は発生しにくく、反対に、頂上面の広がりが大きければ大きな正圧が発生しやすい。したがって、例えば図１４に示されるように、気流を受けやすい方向すなわちスライダ本体から外向きで段差２７ｂに連なるリアレール２３頂上面の広がりＷ３を狭めれば、一方の第２空気軸受け面２５ａの浮力を抑制することができるのである。
【００５２】
さらにまた、一方の第２空気軸受け面２５ａの浮力を調整するにあたっては、例えば図１５に示されるように、一方の第２空気軸受け面２５ａは、下流側でスライダ幅方向に延び、上流側に変位された下流端５７を備えてもよい。前述した負圧ヘッドスライダ１４では、図３から明らかなように、スライダ本体の下流端で最大の正圧が生じる。したがって、一方の第２空気軸受け面２５ａの下流端５７を上流側に変位させることによって一方の第２空気軸受け面２５ａの面積を減少させれば、一方の第２空気軸受け面２５ａに生じる浮力を効率的に抑制することができるのである。
【００５３】
なお、本発明に係る負圧ヘッドスライダ１４は、前述した通りハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１０に適用されるだけでなく、その他の記録ディスク駆動装置に適用されてもよい。
【００５４】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、第１および第２空気軸受け面の位置を調整することによって、浮上安定性およびロール剛性の高い負圧ヘッドスライダを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の内部構造を示す平面図である。
【図２】  本発明に係る負圧ヘッドスライダの拡大斜視図である。
【図３】  負圧ヘッドスライダの圧力分布を示す図である。
【図４】  負圧ヘッドスライダに生じる圧力に対する周囲の雰囲気の気圧の影響を示すグラフである。
【図５】  間隙の効果を示すグラフである。
【図６】  負圧ヘッドスライダの製造方法を概略的に示す図である。
【図７】  図２の７−７線に沿った概略断面図であって、浮上面の形成方法を概略的に示す図である。
【図８】  図２の７−７線に沿った概略断面図であって、浮上面の形成方法を概略的に示す図である。
【図９】  浮上面の形状を示す負圧ヘッドスライダの平面図である。
【図１０】  浮上面の形状を示す負圧ヘッドスライダの平面図である。
【図１１】  浮上面の形状を示す負圧ヘッドスライダの平面図である。
【図１２】  浮上面の形状を示す負圧ヘッドスライダの平面図である。
【図１３】  浮上面の形状を示す負圧ヘッドスライダの平面図である。
【図１４】  浮上面の形状を示す負圧ヘッドスライダの平面図である。
【図１５】  浮上面の形状を示す負圧ヘッドスライダの平面図である。
【符号の説明】
１０  記録ディスク駆動装置としてのハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）、１４  負圧ヘッドスライダ、１９  浮上面、２１  フロントレール、２２  流通路、２３  リアレール、２４  第１空気軸受け面、２５ａ  一方の第２空気軸受け面、２５ｂ  他方の第２空気軸受け面、２７ａ，２７ｂ，２７ｃ  段差、２８  ヘッド素子のギャップ、２９  サイドレール、３０  間隙、３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ  吸着防止パッド、５１  上流端、５２  下流端、５５  他方の第２空気軸受け面の上流端、５６  一方の第２空気軸受け面の上流端、５７  変位された下流端、Ｗ１  第１幅、Ｗ２  第２幅。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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