(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースプレートと、前記ベースプレートに回転自在に設けられた回転軸と、前記回転軸に回転駆動力を伝達する回転駆動部と、前記ベースプレートの上面に設けられたホルダと、前記ホルダの上面の一部に設けられた第１のハウジングと、前記第１のハウジングの外周に設けられた取付用ホルダと、前記取付用ホルダに回転自在に設けられた軸と、この軸と前記回転軸とに前記回転駆動部からの回転駆動力を伝達する伝達部と、前記第１のハウジングの上面に設けられ内部に蒸発源を有する第２のハウジングと、前記第１のハウジングの側端にベアリングとリングギヤとを介して設けられ前記伝達部からの回転駆動力を伝達する円筒回転体と、前記第２のハウジングの上面に側縁が前記円筒回転体と嵌合して設けられ前記第２のハウジング内の蒸発源の垂直直線上に位置する部分に蒸着口を備えた回転防着板と、前記回転防着板の上面から離間して前記回転防着板の同心軸の延長線上に位置するように固定防着板支持柱により前記ベースプレートに設けられ前記回転防着板の垂直直線上に位置する部分に開口部を備えた固定防着板とからなる蒸着材料付着防止機構。
【請求項２】
回転防着板の下面に、溶射膜を有する請求項１記載の蒸着材料付着防止機構。
【請求項３】
固定防着板は、中央に中空孔を有するとともに周面に複数個の突起を備え、前記突起と嵌合する固定防着板支持柱によりベースプレートの上面に固定する構成を有する請求項１記載の蒸着材料付着防止機構。
【請求項４】
固定防着板の上面に、回転防着板の蒸着口の垂直直線上に位置する部分にマスクプレート蒸着口を有するマスクプレートを備え、前記回転防着板とマスクプレートとは、前記固定防着板の中空孔を通過する固定ピンにより固定した構成を有する請求項３記載の蒸着材料付着防止機構。
【請求項５】
回転防着板は、隣合う蒸着口の間でかつ少なくともその対角線上に位置する部分に蒸着材料供給口を有する構成を備え、固定防着板は、開口部の対角線上に位置する部分に固定防着板蒸着材料供給口を有する構成を備えた請求項１記載の蒸着材料付着防止機構。
【請求項６】
回転防着板は、隣合う蒸着口の間でかつその少なくとも対角線上に位置する部分に蒸着材料供給口を有する構成を備え、固定防着板は、開口部の対角線上に位置する部分に固定防着板蒸着材料供給口を有する構成を備え、マスクプレートは、前記防着板の蒸着材料供給口と垂直直線上に位置する部分にマスクプレート蒸着材料供給口を有する構成を備えた請求項２記載の蒸着材料付着防止機構。
【請求項７】
回転防着板と固定防着板との間に、ベースプレートに回転自在に支持された蒸着シャッター部を有し、前記蒸着シャッター部は、前記回転防着板の蒸着口と前記固定防着板の中空孔との垂直直線上に位置する部分に蒸着シャッター開口部を備えた請求項４記載の蒸着材料付着防止機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被蒸着部材に不要な蒸着箇所への蒸着膜である付着堆積物の形成を防止する蒸着材料付着防止機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
以下、従来の蒸着材料付着防止機構について、図面を参照しながら説明する。
【０００３】
図８は従来の蒸着材料付着防止機構の要部である防着カバー部の要部断面図である。
【０００４】
図において、１は金属材料等からなるホルダである。２はホルダ１の上面に設けられた耐熱性および耐薬品性に優れた金属材料等からなる有底筒型のハウジングで、内部に蒸発源３を備えるものである。４はハウジング２の開口を塞ぐように設けられた鉄系の金属材料等からなる防着板で、蒸発源３内の受動素子や導体金属等からなる蒸着材料５の蒸気流６が通過する開口部７を備えるものである。８は基板等の被蒸着部材で、蒸発源３から蒸発した蒸着材料５の蒸気流６が防着板４の開口部７を通過し、被蒸着部材８に蒸着膜を形成するものである。９は防着板４と被蒸着部材８との間に設けられた高耐熱性および耐薬品性に優れた板状金属材料からなるＬ字型のシャッターで、このシャッター９が移動することにより、防着板４の開口部７から通過する蒸気流６の上昇を開放または遮断するものである。ここで、少なくともハウジング２と被蒸着部材８との間は、真空状態となっている。
【０００５】
以上のように構成された蒸着材料付着防止機構について、以下にその動作を説明する。
【０００６】
まず、蒸発源３を加熱することにより、蒸発源３に供給された蒸着材料５も加熱され、蒸気流６を発生させる。
【０００７】
次に、シャッター９を開放すると、蒸気流６が防着板４の開口部７を通過して上昇し、被蒸着部材８の所望の箇所に蒸気流６が到達し、蒸着膜を形成していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、蒸気流６の、開口部７の通過に伴って防着板４の下面にも不要な蒸着膜である付着堆積物が形成されてしまい、しだいに開口部７を塞いでしまっていた。この付着堆積物を除去するには、真空状態から大気圧状態に戻した後、防着板４に付着した付着堆積物を除去するかまたは新しい防着板４に交換しなければならず、作業効率が悪いという課題を有していた。
【０００９】
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、作業効率の向上した蒸着材料付着防止機構を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、ベースプレートと、前記ベースプレートに回転自在に設けられた回転軸と、前記ベースプレートの下面に設けられた前記回転軸に回転駆動力を伝達する回転駆動部と、前記ベースプレートの上面に設けられたホルダと、前記ベースプレートの上面の一部に設けられた第１のハウジングと、前記第１のハウジングの外周に設けられた取付用ホルダと、前記取付用ホルダに回転自在に設けられた軸と、前記回転軸と軸とに前記回転駆動部からの回転駆動力を伝達する伝達部と、前記第１のハウジングの上面に設けられ内部に蒸発源を有する第２のハウジングと、前記第１のハウジングの側端にベアリングとリングギヤとを介して設けられ前記伝達部からの回転駆動力を伝達する円筒回転体と、前記第２のハウジングの上面に側縁が前記円筒回転体と嵌合して設けられ前記第２のハウジング内の蒸発源の垂直直線上に位置する部分を開口してなる蒸着口を備えた回転防着板と、前記回転防着板の上面から離間して前記回転防着板の同心軸の延長線上に位置するように固定防着板支持柱により前記ベースプレートに設けられ前記回転防着板の垂直直線上に位置する部分に開口部を備えた固定防着板とからなるものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１記載の発明は、ベースプレートと、前記ベースプレートに回転自在に設けられた回転軸と、前記回転軸に回転駆動力を伝達する回転駆動部と、前記ベースプレートの上面に設けられたホルダと、前記ホルダの上面の一部に設けられた第１のハウジングと、前記第１のハウジングの外周に設けられた取付用ホルダと、前記取付用ホルダに回転自在に設けられた軸と、この軸と前記回転軸とに前記回転駆動部からの回転駆動力を伝達する伝達部と、前記第１のハウジングの上面に設けられ内部に蒸発源を有する第２のハウジングと、前記第１のハウジングの側端にベアリングとリングギヤとを介して設けられ前記伝達部からの回転駆動力を伝達する円筒回転体と、前記第２のハウジングの上面に側縁が前記円筒回転体と嵌合して設けられ前記第２のハウジング内の蒸発源の垂直直線上に位置する部分に蒸着口を備えた回転防着板と、前記回転防着板の上面から離間して前記回転防着板の同心軸の延長線上に位置するように固定防着板支持柱により前記ベースプレートに設けられ前記回転防着板の垂直直線上に位置する部分に開口部を備えた固定防着板とからなるものである。
【００１２】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の回転防着板の下面に、溶射膜を有するものである。
【００１３】
また、請求項３記載の発明は、請求項１記載の固定防着板は、中央に中空孔を有するとともに周面に複数個の突起を備え、前記突起と嵌合する固定防着板支持柱によりベースプレートの上面に固定する構成を有するものである。
【００１４】
また、請求項４記載の発明は、請求項３記載の固定防着板の上面に、回転防着板の蒸着口の垂直直線上に位置する部分にマスクプレート蒸着口を有するマスクプレートを備え、前記回転防着板とマスクプレートとは、前記固定防着板の中空孔を通過する固定ピンにより固定した構成を有するものである。
【００１５】
また、請求項５記載の発明は、請求項１記載の回転防着板は、隣合う蒸着口の間でかつ少なくともその対角線上に位置する部分に蒸着材料供給口を有する構成を備え、固定防着板は、開口部の対角線上に位置する部分に固定防着板蒸着材料供給口を有する構成を備えたものである。
【００１６】
また、請求項６記載の発明は、請求項２記載の回転防着板は、隣合う蒸着口の間でかつその少なくとも対角線上に位置する部分に蒸着材料供給口を有する構成を備え、固定防着板は、開口部の対角線上に位置する部分に固定防着板蒸着材料供給口を有する構成を備え、マスクプレートは、前記防着板の蒸着材料供給口と垂直直線上に位置する部分にマスクプレート蒸着材料供給口を有する構成を備えたものである。
【００１７】
また、請求項７記載の発明は、請求項４記載の回転防着板と固定防着板との間に、ベースプレートに回転自在に支持された蒸着シャッター部を有し、前記蒸着シャッター部は、前記回転防着板の蒸着口と前記固定防着板の中空孔との垂直直線上に位置する部分に蒸着シャッター開口部を備えたものである。
【００１８】
以上の構成により、回転防着板を交換する頻度が少なくなり、作業効率が向上するという作用を奏するものである。
【００１９】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における蒸着材料付着防止機構について、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１は本発明の実施の形態１における蒸着材料付着防止機構の一部を透過した要部断面図、図２は同要部である回転防着板と固定防着板との分解斜視図である。
【００２１】
図において、２１は金属材料等からなるベースプレートである。２２はガイドブッシュで、内部にベースプレート２１の上下面に突出して回転自在に支持した回転軸２３を支持するものである。２４はセラミック系材料等からなる熱絶縁プレートで、ベースプレート２１の下面に回転軸２３を挿通して設けられている。２５は金属材料等からなる断面コ字型のブラケットで、熱絶縁プレート２４の下面に回転軸２３を挿通して設けられている。２６は真空シール部で、ブラケット２５の内面の上面に回転軸２３を挿通して設けられ、ベースプレート２１の上面の真空を維持するものである。２７は検出板で、ブラケット２５内の真空シール部２６の下面の離間した回転軸２３を挿通して設けられている。２８は検出器で、検出板２７の円周部に所定の隙間を有して設けられ、この検出器２８と検出板２７とにより回転軸２３の回転駆動量を検出し、演算し、後述するモータ２９に回転駆動量を制御する信号を送出するものである。３０は自在継手で、ブラケット２５内の検出板２７の下面に回転軸２３を挿通して設けられている。２９はサーボまたはパルス駆動タイプのモータで、ブラケット２５の下面で回転軸２３と連接するように設けられている。このモータ２９の回転駆動量は、検出板２７と検出器２８とにより、回転軸２３の回転駆動量を検出し、この回転駆動量を演算した回転駆動量を制御する信号により制御されている。少なくともこのモータ２９と回転軸２３とにより、回転駆動部を構成するものである。
【００２２】
３１はホルダで、ベースプレート２１の上面に回転軸２３から離間して設けられている。３２は金属材料等からなる有底筒型の第１のハウジングで、ホルダ３１の上面に設けられている。３３は取付用ホルダで、第１のハウジング３２の外周に固着され、回転軸２３の略上面まで突出して設けられている。３４は軸で、第１のハウジング３２の上下面に突出して回転自在に設けられている。３５は軸ハウジングで、取付用ホルダ３３の回転軸２３の下面に突出した軸３４を挿通して設けられている。３６は軸用ベアリングで、軸３４と軸ハウジング３５との間に設けられている。３７は軸下面スプロケットで、軸ハウジング３５より突出した軸３４に設けられている。３８は支柱で、取付用ホルダ３３の回転軸２３の略上面に突出した部分の下面に設けられている。３９はアイドラーで、支柱３８の下面に設けられている。４０は中スプロケットで、アイドラー３９の下面に軸下面スプロケット３７と同一平面上に回転自在に設けられている。４１は回転軸スプロケットで、ベースプレート２１の上面に突出した回転軸２３に中スプロケット４０と同一平面上に回転自在に設けられている。４２は耐熱性金属材料等からなるチェーンで、軸スプロケット３７、中スプロケット４０および回転軸スプロケット４１との間を懸架して設け、回転軸２３の回転駆動力を軸３４に伝達するものである。４３は軸用ギヤで、取付用ホルダ３３の上面に突出した軸３４に設けられている。このチェーン４２、軸スプロケット３７、中スプロケット４０、回転軸スプロケット４１、軸用ギヤ４３および軸３４とにより、伝達部を構成している。
【００２３】
５１はベアリングハウジングで、第１のハウジング３２の側面にベアリング５２を介して設けられている。５３はベアリング押えで、ベアリング５２を押さえるため、第１のハウジング３２の上面に設けられている。５４はＴ字型のリングギヤで、第１のベアリング５１とベアリング押え５３との間にリングギヤ５４のＴ字型の突部が挿入されるとともに、軸用ギヤ４３と噛み合って回転駆動するものである。５５はインナーリングで、リングギヤ５４の上面に設けられている。
【００２４】
６１は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料からなる円筒回転体で、インナーリング５５の側面に脱着自在に装着して設けられている。６２は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料からなる有底筒型の第２のハウジングで、第１のハウジング３２の上面に高さ方向が円筒回転体６１の高さより低くなるように設けられている。６３は有底筒状の蒸発源で、第２のハウジング６２の内部に設けられている。６４は蒸着材料で、蒸発源６３の内部に設けられ、蒸発源６３の加熱に伴って溶融し、蒸気流（図示せず。）が発生するものである。６５は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料からなる円板型の回転防着板で、円筒回転体６１に嵌合して設けられ、蒸発源６３の直上に蒸気流が通過するように円形に開口した蒸着口６６を有している。この回転防着板６５は図２に示すように、周面に円筒回転体６１に嵌合する複数個の切欠部６５ａを有するとともに、円周端近傍に複数個の蒸着口６６を備えている。６７は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料からなる円板型の固定防着板で、回転防着板６５の上面から離間した回転防着板６５の同心軸の延長線上に位置するように、固定防着板支持柱６８によりベースプレート２１に設けられている。この固定防着板６７は、図２に示すように、下面に位置する回転防着板６５の蒸着口６６のいずれか一つの垂直直線上に位置する部分に開口部６７ａを備えている。６９はシャッターで、回転防着板６５と固定防着板６７との間に設けられ、このシャッター６９が移動することにより、回転防着板６５の蒸着口６６および固定防着板６７の開口部６７ａを通過した蒸気流の上昇を開放または遮断するものである。７０は蒸着したい基板等の被蒸着部材で、蒸発源６３から蒸発した蒸着材料６４の蒸気流が回転防着板６５の蒸着口６６および固定防着板６７の開口部６７ａを通過して上昇し、被蒸着部材７０に到達して蒸着膜を形成するものである。
【００２５】
以上のように構成された蒸着材料付着防止機構について、以下にその動作を説明する。
【００２６】
まず、蒸発源６３を加熱することにより、蒸発源６３の内部の蒸着材料６４が溶融し、蒸気流となり上方に蒸発飛散する。
【００２７】
次に、上方に蒸発飛散した蒸気流は、回転防着板６５の蒸着口６６を通過し上昇する。
【００２８】
次に、回転防着板６５の蒸着口６６を通過した蒸気流は、シャッター６９が開放されている場合、固定防着板６７の開口部６７ａを通過し上昇する。
【００２９】
次に、固定防着板６７の開口部６７ａを通過して上昇した蒸気流は、被蒸着部材７０に到達し、被蒸着部材７０の所定箇所に蒸着膜を形成する。
【００３０】
ここで、蒸気流が回転防着板６５の蒸着口６６を通過して上昇する際に、この回転防着板６５の蒸着口６６の近傍にも不要な蒸着膜である付着堆積物が形成されてしまう。
【００３１】
しかしながら、付着堆積物が所定量付着すると、回転防着板６５を回転させて、今まで使用していた蒸着口６６から新しい蒸着口６６に変更して使用する。
【００３２】
今まで使用していた蒸着口６６から新しい蒸着口６６に変更して使用する方法は、まず、モータ２９を回転駆動させて、その回転駆動力を回転軸２３に伝達する。この際、モータ２９の回転駆動量は、回転軸２３に挿通して設けられた検出板２７と検出器２８とにより回転駆動量を検出し、検出した回転駆動量を参照して回転駆動量を制御する信号をモータ２９に送出して回転軸２３の回転駆動量を制御している。
【００３３】
次に、回転軸２３に伝達された回転駆動力を、回転軸２３に挿通して設けられた回転軸スプロケット４１に伝達する。
【００３４】
次に、回転軸スプロケット４１に伝達された回転駆動力を、回転軸スプロケット４１、中スプロケット４０および軸スプロケット３７に懸架したチェーン４２に伝達する。
【００３５】
次に、チェーン４２により軸スプロケット３７に伝達された回転伝達力を、軸３４に伝達する。
【００３６】
次に、軸３４に伝達された回転駆動力を、軸３４に挿通された軸用ギヤ４３に伝達する。
【００３７】
次に、軸用ギヤ４３に伝達された回転伝達力を、この軸用ギヤ４３と噛み合うリングギヤ５４に伝達する。
【００３８】
次に、リングギヤ５４に伝達された回転駆動力を、インナーリング５５を介して円筒回転体６１に伝達する。
【００３９】
次に、円筒回転体６１に伝達された回転駆動力を、この円筒回転体６１と嵌合した回転防着板６５に伝達する。この際、円筒回転体６１と回転防着板６５とは、回転防着板６５の周面に設けた切欠部６５ａに円筒回転体６１を嵌合して結合しているため、回転駆動し、今まで使用していた蒸着口６６から新しい蒸着口６６に変更して使用することができるものである。
【００４０】
なお、本実施の形態１で説明した回転防着板６５を、図３に示すように、回転防着板６５の下面をサンドブラストまたはエッチング等により粗化した後、アルミニウムまたはアルマイト等の溶射膜７１を設けることにより、アンカー効果により溶射膜７１に付着した付着堆積物の付着強度が優れ回転防着板６５の回転駆動時の剥離が少なくなり、下面の第２のハウジング６２を汚すことはない。
【００４１】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２における蒸着材料付着防止機構について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態２と実施の形態１との異なる構成は、蒸着材料付着防止機構の要部である回転防着板と固定防着板の構成であるので、この点を図面を参照しながら説明する。
【００４２】
図４は本発明の実施の形態２における蒸着材料付着防止機構の要部である回転防着板、固定防着板およびマスクプレートの分解斜視図である。
【００４３】
図において、８１は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料からなる円板型の回転防着板で、円筒回転体６１（本図では、図示せず。）に嵌合して設けられ、蒸発源６３（本図では、図示せず。）の垂直直線上に位置する部分に蒸気流が通過して上昇するように所定の間隔でかつ円形に開口した複数個の蒸着口８２を有している。この回転防着板８１は、周面に円筒回転体６１の上面の先端と嵌合する複数個の切欠部８１ａを有している。８３は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料からなる円板型の固定防着板で、回転防着板８１の上面から離間して設けられている。この固定防着板８３は、中央に中空孔８４を有しかつ下面に位置する回転防着板６５の蒸着口６６のいずれか一つの垂直直線上に位置する部分に開口部８３ａを有している。また、固定防着板８３は、周面に突出して複数個の突起８５を備え、この突起８５と嵌合する固定防着板支持柱６８（本図では、図示せず。）により、回転防着板８１の同心軸の延長線上に位置するように、ベースプレート２１に固定するものである。８６は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料からなる円板型のマスクプレートで、固定防着板８３の上面から離間して設けられている。このマスクプレート８６は、回転防着板８１の蒸着口８２の垂直直線上に位置する部分にこの蒸着口８２の大きさより大きいマスクプレート蒸着口８７を有している。また、このマスクプレート８６と回転防着板８１とは、固定防着板８３の中空孔８４を通過する複数個の固定ピン８８により固定され、回転防着板８１とマスクプレート８６とは常にともに回転駆動するものである。
【００４４】
以上のように構成することにより、蒸気流が回転防着板８１の蒸着口８２の近傍に不要な蒸着膜である付着堆積物が形成されても、回転防着板８１とマスクプレート８６とが共回りして、今まで使用していた蒸着口８２から新たな蒸着口８２に変更して使用することができるので、回転防着板８１を交換する頻度が少なくなり、作業効率が向上するものである。
【００４５】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３における蒸着材料付着防止機構について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態３と実施の形態１との異なる構成は、蒸着材料付着防止機構の要部である回転防着板と固定防着板の構成であるので、この点を図面を参照しながら説明する。
【００４６】
図５は本発明の実施の形態３における蒸着材料付着防止機構の要部である回転防着板、固定防着板およびマスクプレートの分解斜視図である。
【００４７】
図において、９１は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料等からなる円板型の回転防着板で、円筒回転体６１（本図では、図示せず。）に嵌合して設けられている。この回転防着板９１は、蒸発源６３（本図では、図示せず。）の垂直直線上に位置する部分に蒸気流が通過して上昇するように所定の間隔でかつ円形に開口した複数個の蒸着口９２を有するとともに、この隣合う蒸着口９２の間でかつ少なくとも蒸着口９２の対角線上に位置する部分に、蒸着材料６４（本図では、図示せず。）を供給するための角型の孔からなる蒸着材料供給口９３を備えている。また、この回転防着板９１は、周面に円筒回転体６１との上面の先端と嵌合する複数個の切欠部９４を有している。９５は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料からなる円板型の固定防着板で、回転防着板９１の上面から離間した回転防着板９１の同心軸の延長線上に位置する部分に、固定防着板支持柱６８（本図では、図示せず。）によりベースプレート２１（本図では、図示せず。）に設けられている。この固定防着板９５は、下面に位置する回転防着板９１の蒸着口９２のいずれか一つの垂直直線上に位置する部分に開口部９６を有するとともに、この開口部９６の対角線上の円周端に蒸着材料６４を供給するための角型の孔からなる固定防着板蒸着材料供給口９７を備えたものである。
【００４８】
以上のように構成することにより、蒸着作業中に蒸着作業をしていない蒸発源６３（本図では、図示せず。）に、回転防着板９１の蒸着材料蒸着口９３および固定防着板９５の固定防着板蒸着口９７から蒸着材料６４を供給することができる。
【００４９】
（実施の形態４）
以下、本発明の実施の形態４における蒸着材料付着防止機構について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態４と実施の形態１との異なる構成は、蒸着材料付着防止機構の要部である回転防着板と固定防着板の構成であるので、この点を図面を参照しながら説明する。
【００５０】
図６は本発明の実施の形態４における蒸着材料付着防止機構の要部である回転防着板、固定防着板およびマスクプレートの分解斜視図である。
【００５１】
図において、１０１は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料からなる円板型の回転防着板で、円筒回転体６１（本図では、図示せず。）に嵌合して設けられている。この回転防着板１０１は、蒸発源６３（本図では、図示せず。）の垂直直線上に位置する部分に蒸気流が通過して上昇するように所定の間隔でかつ円形に開口した複数個の蒸着口１０２を有するとともに、この隣合う蒸着口１０２の間でかつ少なくとも蒸着口１０２の対角線上に位置する部分に、蒸着材料６４（本図では、図示せず。）を供給するための角型の孔からなる蒸着材料供給口１０３を有している。また、この回転防着板１０１は、周面に円筒回転体６１の上面の先端と嵌合する複数個の切欠部１０４を設けている。１０５は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料からなる円板型の固定防着板で、回転防着板１０１の上面から離間するように設けられている。この固定防着板１０５は、中央に中空孔１０９を有しかつ下面に位置する回転防着板１０１のいずれか一つの蒸着口１０２の垂直直線上に位置する部分に開口部１０６を、この開口部１０６の対角線上に蒸着材料６４を供給するための角型の孔からなる固定防着板蒸着材料供給口１０７とを備えている。また、固定防着板１０５の円面に突出して複数個の突起１０８を有し、この突起１０８と嵌合する固定防着板支持柱６８（本図では、図示せず。）により回転防着板１０１の同心軸の延長線上に位置するように設けられている。１１０は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料等からなる円板型のマスクプレートで、固定防着板１０５の上面に離間して設けられている。このマスクプレート１１０は、回転防着板１０１の蒸着口１０２の垂直直線上に位置する部分にこの蒸着口１０２の大きさより大きいマスクプレート蒸着口１１１を有するとともに、回転防着板１０１の蒸着材料供給口１０３の垂直直線上に位置する部分に、蒸着材料６４を供給するための角型のマスクプレート供給口１１２を備えている。また、このマスクプレート１１０と回転防着板１０１とは、固定防着板１０５の中空孔１０９を通過する複数個の固定ピン１１３により固定され、回転防着板１０１とマスクプレート１１０とは常に共に回転駆動するものである。
【００５２】
以上のように構成することにより、蒸気流が回転防着板１０１の蒸着口１０２の近傍にも蒸着膜としての付着堆積物が形成されても、回転防着板１０１とマスクプレート１１０とが共回りして、今まで使用していた蒸着口１０２から新たな蒸着口１０２に変更して使用することができるので、回転防着板１０１を交換する頻度が少なくなり、作業効率が向上するものである。
【００５３】
また、蒸着作業中に蒸着作業をしていない蒸発源６３（本図では、図示せず。）に、回転防着板１０１の蒸着口１０２、固定防着板１０５の固定防着板蒸着口１０７およびマスクプレート１１０のマスクプレート供給口１１２から蒸着材料６４を供給することができる。
【００５４】
（実施の形態５）
以下、本発明の実施の形態５における蒸着材料付着防止機構について、図面を参照しながら説明する。本実施の形態５と実施の形態１との異なる構成は、蒸着材料付着防止機構の要部である回転防着板、固定防着板の構成および新たに蒸着シャッター部を備えた点にあるので、この点を図面を参照しながら説明する。
【００５５】
図７は本発明の実施の形態５における蒸着材料付着防止機構の要部である回転防着板、固定防着板の構成および蒸着シャッター部の分解斜視図である。
【００５６】
図において、１２１は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料等からなる円板型の回転防着板で、円筒回転体６１（本図では、図示せず。）に嵌合して設けられている。この回転防着板１２１は、蒸発源６３（本図では、図示せず。）の垂直直線上に位置する部分に蒸気流が通過し上昇するように所定の間隔でかつ円形に開口した複数個の蒸着口１２２を有するとともに、周面に複数個の円筒回転体６１の上面の先端と嵌合する切欠部１２３を備えるものである。１２４は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料からなる円板型の固定防着板で、回転防着板１２１の上面から離間して設けられている。この固定防着板１２４は、中央に中空孔１２５を有しかつ下面に位置する回転防着板１２１の蒸着口１２２のいずれか一つの垂直直線上に位置する部分に円型の開口部１２６を備えている。また、固定防着板１２４は、周面に突出して複数個の突起１２７を備え、この突起１２７と嵌合する固定防着板支持柱６８（本図では、図示せず。）により、回転防着板１２１の同心軸の延長線上に位置するように、ベースプレート２１（本図では、図示せず。）に固定するものである。１２８は高耐熱性かつ高薬品性に優れたステンレス材料等の鉄系金属材料からなる円板型のマスクプレートで、固定防着板１２４の上面に設けられている。このマスクプレート１２８は、回転防着板１２１の蒸着口１２２の垂直直線上に位置する部分にこの蒸着口１２２の大きさより大きいマスクプレート蒸着口１２９を有している。また、このマスクプレート１２８と回転防着板１２１とは、固定防着板１２４の中空孔１２５を通過する複数個の固定ピン１３０により固定され、回転防着板１２１とマスクプレート１２８とは常ににともに回転駆動するものである。１３１は金属材料等からなる円板型の蒸着シャッター部で、回転防着板１２１と固定防着板１２４との間に回転自在に設けられている。この蒸着シャッター部１３１は、回転防着板１２１の蒸着口１２２と固定防着板１２４の開口部１２６との間の垂直直線上に位置する部分に蒸着シャッター開口部を有している。また、蒸着シャッター部１３１は、中心部に設けた蒸着シャッター回転軸１３３を介してベースプレート２１（本図では、図示せず。）に設けたパルスモータ等からなる蒸着シャッター部１３１に固着され、回転防着板１２１の回転駆動と同期して回転駆動するものである。この蒸着シャッター部１３１は、被蒸着部材７０（本図では、図示せず。）の所定箇所に蒸着膜を形成しない場合、蒸着シャッター開口部１３２を有さない位置で停止する。すなわち、隣合う蒸着シャッター開口部１３２の間で停止させ、蒸気流が当たるようにして蒸気流の当たった部分に不要な蒸着膜である付着堆積物を形成させるようにする。被蒸着部材７０の所定箇所に蒸着膜を形成する場合は、垂直直線上に回転防着板１２１の蒸着口１２２、蒸着シャッター部１３１の蒸着シャッター開口部１３２およびマスクプレート１２８のマスクプレート蒸着口１２９を並ばせ、蒸気流を通過させることにより蒸気膜を形成させるものである。ここで、回転防着板１２１の蒸着口１２２に付着堆積物が一定量たまったら、回転防着板１２１を回転させることにより、回転防着板１２１と共回りするマスクプレート１２８も回転するとともに、回転防着板１２１と同期した蒸着シャッター部１３１も回転させて、垂直直線上に新たな回転防着板１２１の蒸着口１２２、蒸着シャッター部１３１の蒸着シャッター開口部１３２およびマスクプレート１２８のマスクプレート蒸着口１２９を並ばせて蒸着を再開するものである。
【００５７】
以上のように構成することにより、蒸気流が回転防着板１２１の蒸着口１２２の近傍に付着堆積物が形成されても、回転防着板１２１とマスクプレート１２８とが共回りするとともに蒸着シャッター部１３１も回転駆動して、今まで使用していた回転防着板１２１の蒸着口１２２、マスクプレート１２８のマスクプレート蒸着口１２９および蒸着シャッター部１３１の蒸着シャッター開口部１３２から新たな蒸着口１２２、マスクプレート蒸着口１２９および蒸着シャッター開口部１３２に変更して使用することができるので、回転防着板１２１を交換する頻度が少なくなり、作業効率が向上するものである。
【００５８】
【発明の効果】
以上のように本発明は、回転防着板の蒸着口近傍に不要な蒸着膜である付着堆積物が形成されても、回転防着板が回転することにより、今まで使用していた蒸着口から新たな蒸着口に変更して使用できるので、回転防着板を交換する頻度が少なくなり、作業効率が向上するという効果を奏するものである。
【００５９】
また、回転防着板に蒸着材料供給口を、固定防着板に固定防着板蒸着口を、さらにマスクプレートを有する構成にはこのマスクプレートにマスクプレート供給口を設けることにより、蒸着作業をしていない蒸発源にこれら供給口から蒸着材料を供給することができるため、回転防着板の蒸着口が使用できる限り蒸発源も使用できるため、回転防着板を交換する頻度がさらに少なくなり、作業効率がさらに向上するという効果を奏するものである。
【００６０】
また、回転防着板の下面に溶射膜を設けることにより、アンカー効果により溶射膜に付着した付着堆積物の付着強度が優れるので、回転防着板の回転駆動時に付着堆積物が下面に剥離することが少なくなり、下面の第２のハウジングを汚すことはないという効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における蒸着材料付着防止機構の一部を透過した要部断面図
【図２】同要部である回転防着板と固定防着板との分解斜視図
【図３】同要部である回転防着板の断面図
【図４】本発明の実施の形態２における蒸着材料付着防止機構の要部である回転防着板、固定防着板およびマスクプレートの分解斜視図
【図５】本発明の実施の形態３における蒸着材料付着防止機構の要部である回転防着板および固定防着板の分解斜視図
【図６】本発明の実施の形態４における蒸着材料付着防止機構の要部である回転防着板、固定防着板およびマスクプレートの分解斜視図
【図７】本発明の実施の形態５における蒸着材料付着防止機構の要部である回転防着板、固定防着板、マスクプレートおよび蒸着シャッター部の分解斜視図
【図８】従来の蒸着材料付着防止機構の要部断面図
【符号の説明】
２１  ベースプレート
２３  回転軸
２９  モータ
３１  ホルダ
３２  第１のハウジング
３３  取付用ホルダ
３４  軸
３５  軸ハウジング
４０  中スプロケット
４１  回転軸スプロケット
４２  チェーン
４３  軸用ギヤ
５２  ベアリング
５４  リングギヤ
６１  円筒回転体
６２  第２のハウジング
６３  蒸発源
６５，８１，９１，１０１，１２１  回転防着板
６６，８２，９２，１０２，１２２  蒸着口
６７，８３，９５，１０５，１２４  固定防着板
６７ａ，８３ａ，９６，１０６，１２６  開口部
６８  固定防着板支持柱
７１  溶射膜
８４，１０９，１２５  中空孔
８５，１０８，１２７  突起
８６，１１０，１２８  マスクプレート
８７，１１１，１２９  マスクプレート蒸着口
８８，１１３，１３０  固定ピン
９３，１０３  蒸着材料供給口
９７，１０７  固定防着板蒸着材料供給口
１１２  マスクプレート供給口
１３１  蒸着シャッター部
１３２  蒸着シャッター開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0003663882.tif 000007
【図７】
0003663882.tif 000008
【図８】
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