(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定吐出容量ポンプ(１,５１)と、この固定吐出容量ポンプ(１,５１)を駆動する可変速モータ(２,３１,５２)と、この可変速モータ(２,３１,５２)を駆動するインバータ(３)を有する油圧装置において、
上記可変速モータ(２,３１,５２)のトルクリプルおよび上記固定吐出容量ポンプ(１,５１)の吐出量変動に起因して生じる吐出圧力脈動を打ち消すように、上記インバータを制御する制御部(７１,７２,７３,７４)を備え、
上記制御部は、
上記固定吐出容量ポンプ(１,５１)の吐出圧力を所定値に保持する平均トルクに対応した第１の指令信号を出力する速度制御部(７１)と、
上記可変速モータの回転位置を表す位置検出信号と、上記速度制御部(７１)からの上記第１の指令信号とに基づいて、上記固定吐出容量ポンプの総吐出量の時間変化[ｍ３/秒]が正弦波状に増大するのに伴って、上記可変速モータの回転速度[rad/秒]を下降させるとともに上記可変速モータのトルク[Ｎｍ]を上昇させるように、上記インバータ出力を制御する一方、上記固定吐出容量ポンプの総吐出量の時間変化[ｍ３/秒]が正弦波状に減少するに伴って、上記可変速モータの回転速度[rad/秒]を上昇させるとともに上記可変速モータのトルク[Ｎｍ]を減少させるように、上記インバータ出力を制御するような正弦波状で、かつ、上記固定吐出容量ポンプの吐出圧力脈動を打ち消すための上記可変速モータのトルク波形に対応する第２の指令信号を出力する圧力脈動補償部(７３)と、
上記第１の指令信号と上記第２の指令信号との和が入力され、上記可変速モータからの検出信号が、上記和が表す信号に追従するように、上記インバータを制御する波形制御部(７２)とを有することを特徴とする油圧装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、油圧装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、油圧ポンプは一定速モータで駆動される。この油圧ポンプによって発生されたポンプ吐出圧力を、負荷側に必要な駆動圧力に対応させてリリーフ弁などで逃がすポンプ制御方式がある。また、油圧ポンプの吐出圧力を所定圧力にするためのコンパレータ弁を設け、ポンプ斜板を揺動させてポンプ吐出量を制御するポンプ制御方式もある。
【０００３】
しかし、前者のポンプ制御方式では、リリーフ弁で逃す圧力がそのままエネルギ損失となる上に、油圧ポンプとリリーフ弁間や油圧ポンプと一定速モータと間の伝達効率に起因するエネルギ損失が発生していた。
【０００４】
また、後者のポンプ制御方式においても、油圧ポンプと一定速モータとの間の伝達効率に起因するエネルギ損失が発生していた。
【０００５】
ところで、近年、地球環境保護の観点から、工場に対する省エネルギに対するニーズの高まりを受け、油圧ポンプを駆動するモータの回転数をインバータにより可変することにより省エネルギを可能にしたインバータ油圧ポンプシステムが提案されている。
【０００６】
図１３に、上記インバータ油圧ポンプシステムの一例を示す。このシステムは、インバータ１０１とモータ１０２を有するインバータ−モータ系を備え、インバータ１０１によって可変速駆動されるモータ１０２が油圧ポンプ１０３を駆動するシステムである。この油圧ポンプ１０３が吐出する作動油の圧力(または吐出量)は、電気信号に変換されて、油圧制御部１０５に入力される。この油圧制御部１０５は、速度制御部１０６に速度指令信号を出力し、速度制御部１０６,波形制御部１０７,速度検出部１０８でもって、上記作動油の圧力(または吐出量)が所定値となるように電子制御が行われる。
【０００７】
次に、上記インバータ油圧ポンプシステムを、具体的に、油圧のアクチュエータとして多用されている旋盤のクランプに適用した場合について、その動作を説明する。旋盤では、クランプは開口(ワークが固定されていない状態)もしくは、閉口(ワークが固定し保持されている状態)し、クランプが静止した状態になっている場合が大半(稼動時間の約９割)である。以下この状態をクランプの保持状態と略称する。
【０００８】
ここで、圧力制御部１０５として、ギアポンプなどの固定吐出容量のものを用いた場合には、油圧ポンプ１０３で駆動されるアクチュエータ(クランプ)が保持状態になると、圧力を所定値に保持するために必要な油圧ポンプ１０３の吐出量は、アクチュエータのリーク量のみを補償すればよくなるため減少し、これに対応すべくモータ１０２は減速制御される。
【０００９】
一般に、油圧ポンプには回転に伴って生じる吐出量変動があり、モータには回転に伴って生じるトルクリプルが有る。したがって、モータで油圧ポンプを駆動する場合、油圧ポンプの吐出量変動とモータのトルクリプルに起因して、吐出圧力には脈動が生じている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように、油圧ポンプ１０３は、稼働時間の大半を占める保持状態において、低速運転状態になるので、吐出圧力の脈動の周波数が低くなり、モータのイナーシャや配管の弾性等による脈動の減衰効果が小さくなり、吐出圧力脈動の影響が大きくなるという問題があった。
【００１１】
そこで、この発明の目的は、可変速駆動される固定容量ポンプの低速回転域において、油圧ポンプの吐出圧力の脈動を低減できる油圧装置を提供することにある。さらには、吐出圧力の脈動を低減するために生ずる不要な損失を低減し、効率を極大化できる油圧装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
ここで、回転角変化ｄθにおける油圧ポンプの総吐出量の変化をｄｑとすると、
τ・ｄθ＝ｐ・ｄｑ                          …(１)
の関係が成り立つ。ここで、ｐは吐出圧力、τは油に対する仕事に利用されるトルクである。ここで、軸受けなどの摩擦などの損失を無視できるとすると、(１)式から、
τＭ＝(ｐ/ω)・ｄｑ/ｄｔ ＋ Ｊｄω/ｄｔ          …(２)
を得る。ここで、ωは、モータの回転角速度、Ｊは、モータ,シャフトおよび油圧ポンプの慣性モーメントである。
【００１３】
固定ポンプ(固定容量ポンプ)の回転に伴う吐出量の脈動を正弦波に近似し、慣性モーメントによる影響を無視できるとすると、(２)式に基づき、吐出圧力ｐに脈動が無い場合の各所量の波形を求めると、図１４に示すようになる。図１４から分かるように、圧力ｐの脈動を無くするためには、インバータで制御されるモータのトルクを吐出量の脈動に合わすように制御すればよいことがわかる。
【００１４】
一般に、インバータで制御されるモータは、一定トルクにする電流指令制御下においても発生するトルクリプルがある。その要因としては大別して、次の(1),(2)がある。
(1) モータの電磁構造に起因するもの。例えば、磁束分布や起磁力分布に生ずる空間高調波によって起こるトルクリプル。
(2) インバータ出力波形との不整合に起因するもの。例えば、１２０度通電波形に含まれる高調波電流によって起こるトルクリプル。
【００１５】
この発明は、従来、油圧ポンプモータにおいて検討がなされていなかった油圧ポンプの吐出量変動やインバータで制御されるモータのトルクリプルに伴い生じる圧力脈動を低減するものであり、更には、前記インバータで制御されるモータのトルクリプルに着目して、圧力脈動低減のために発生する不要な損失(モータおよびインバータの損失)を低減し、システム効率を極大化するものである。
【００１６】
上記目的を達成するため、請求項１の発明は、固定吐出容量ポンプと、この固定吐出容量ポンプを駆動する可変速モータと、この可変速モータを駆動するインバータを有する油圧装置において、
上記可変速モータのトルクリプルおよび上記固定吐出容量ポンプの吐出量変動に起因して生じる吐出圧力脈動を打ち消すように、上記インバータを制御する制御部を備え、
上記制御部は、
上記固定吐出容量ポンプの吐出圧力を所定値に保持する平均トルクに対応した第１の指令信号を出力する速度制御部と、
上記可変速モータの回転位置を表す位置検出信号と、上記速度制御部からの上記第１の指令信号とに基づいて、上記固定吐出容量ポンプの総吐出量の時間変化[ｍ３/秒]が正弦波状に増大するのに伴って、上記可変速モータの回転速度[rad/秒]を下降させるとともに上記可変速モータのトルク[Ｎｍ]を上昇させるように、上記インバータ出力を制御する一方、上記固定吐出容量ポンプの総吐出量の時間変化[ｍ３/秒]が正弦波状に減少するに伴って、上記可変速モータの回転速度[rad/秒]を上昇させるとともに上記可変速モータのトルク[Ｎｍ]を減少させるように、上記インバータ出力を制御するような正弦波状で、かつ、上記固定吐出容量ポンプの吐出圧力脈動を打ち消すための上記可変速モータのトルク波形に対応する第２の指令信号を出力する圧力脈動補償部と、
上記第１の指令信号と上記第２の指令信号との和が入力され、上記可変速モータからの検出信号が、上記和が表す信号に追従するように、上記インバータを制御する波形制御部とを有することを特徴としている。
【００１７】
この請求項１の発明では、インバータ制御部でインバータを制御して、可変速モータを駆動し、この可変速モータと固定ポンプとによって生じる脈動を打ち消すことができる。したがって、圧力脈動低減のために発生する不要な損失(モータおよびインバータの損失)を低減し、システム効率を極大化できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００１９】
〔第１の参考例〕
図１に、この発明の油圧装置の第１参考例の構成を示す。この第１参考例は、固定容量ポンプ(固定ポンプという。)１と、この定容量ポンプ１を駆動する可変速モータとしての４極ブラシレスＤＣモータ２と、このブラシレスＤＣモータ２を駆動するインバータ３を備える。このポンプ１は、制御弁５を経由してアクチュエータ６に接続されている。そして、この制御弁５とポンプ１との間の油圧回路の圧力を表す圧力信号が、インバータ３に入力されるようになっている。また、可変速モータ２の回転位置を表す回転位置信号がインバータ３に入力されるようになっている。このインバータ３は、上記圧力信号と回転位置信号とに基づいて、可変速モータとしてのブラシレスＤＣモ−タ２を制御するようになっている。
【００２０】
上記ブラシレスＤＣモータ２は、図２に示すように、円筒形の回転子２１の表面に永久磁石２２を貼り付けた表面磁石構造になっており、この回転子２１を回転させる回転磁界を起こす固定子２３を備えている。
【００２１】
このブラシレスＤＣモータ２は、図３(Ａ)に示す１２０°通電波形にて駆動されたときに、図３(Ｂ)に示す瞬時トルク波形を示す。図３(Ｂ)を参照すれば分かるように、このブラシレスＤＣモータ２は、インバータ３の転流回数に対応して、１回転に１２回のトルクリプルが発生していることが分かる。
【００２２】
ここで、ブラシレスＤＣモータ２の最大トルク制御条件は、モータ逆起電圧とモータ電流との基本波位相の関係で定まり、通常はこれをほぼ満足する様に制御が行われている。上記表面磁石構造のブラシレスＤＣモータ２では、例えば、定格回転数５０[rps]、巻線インダクタンス３[ｍＨ]の仕様のモータとした場合に、指令電流の大きさと共に変化する(最大トルク条件を満たす)電流位相は、０〜１０[Ａ](０〜定格トルク)においては、回転数＝１０(ｒｐｓ)において、機械角で０〜５°だけ変化する。また、モータトルクリプルτδＭは、上記機械角の１２倍周期なので、モータトルクリプルτδＭの位相は、指令電流の変化に伴って、０〜６０°だけ変化する。モータ電流位相の変化に伴い転流によるトルクリプルτδＭの位相も同じだけ変化する。
【００２３】
この第１参考例では、定容量ポンプ１の圧力を一定に制御する圧力一定制御時において、上記ポンプ１のトルクの脈動トルクτδＲの位相が、上記モータトルクリプルτδＭの位相変化幅(０〜６０°)の内の中心の位相に一致するように、モータ２とポンプ１との間の回転位相を設定して連結した。これにより、指令電流が変化しても、ポンプ１の脈動トルクτδＲとモータ２のトルクリプルτδＭとの位相差(すなわち理想状態(同相状態)からの位相ずれ)を、±３０°以下にできる。
【００２４】
これにより、位相ずれが最大になったときでも、モータ２のトルクリプルτδＭの８６％(cos３０°＝０．８６)を、圧力一定制御のために活用できる。
【００２５】
なお、上記指令電流の変化によって発生する位相差は、小さいことが望ましいが、位相差を(±９０°)未満に設定できれば、cosθ＞０となるので、少なからずの効果を得ることができる。
【００２６】
なお、モータ２の回転子２１に装着された磁石２２の機械的位置と固定子２３の各相巻線との相対位置によって、モータ２の逆起電圧位相が定まるので、モータ電流との基本波位相関係を加味し、ポンプ１の形式によって定まる所望の脈動トルクτδＲのピーク位置とモータトルクリプルτδＭとが一致するように、ポンプ１とモータ２を組み付ければよい。
【００２７】
ここで、さらに、図４および図５を参照して、モータの脈動分による損失増加、およびこの第１参考例による効果について説明する。図４に、この参考例が備えるモータ-インバータ系の等価モデル(等価回路)を示す。図４において、Ｒは、モータ２の巻線抵抗であり、Ｉｔはトルク分電流である。ここで、このＩｔを、
ＩｔＡ＝Ｉｔ＋ΔＩｔ・ｓｉｎ(θ)
のように脈動させた場合、電流Ｉｔを一定に制御した場合に比べて、上記巻線抵抗Ｒでの損失増加分ΔＷＲlossは、次式で表される。
0003639754.tif 000002
【００２８】
したがって、この比較例のごとく脈動トルクに対応させてトルク分電流を変動させると巻線抵抗での損失が増加することが分かる。
【００２９】
これに対し、この第１参考例では、インバータ−モータ系におけるモータ２自体が持っているトルクリプルを、圧力一定制御のために活用しているので、図５(Ｂ)に示すように、トルク分電流の脈動振幅を低減することができ、効率を向上させることができる。尚、図５(Ａ)および図５(Ｂ)の破線は、従来例におけるトルク分電流の脈動振幅を示している。
【００３０】
〔第２参考例〕
次に、図６に、この発明の油圧装置の第２参考例が備える４極の埋め込み磁石構造のブラシレスＤＣモータ３１を示す。このモータ３１は、回転子３２に埋め込まれて装着された永久磁石３３と、回転磁界を発生させる固定子３４とで構成されている。なお、この第２参考例では、ポンプとインバータは、前述の第１参考例と同じものを用いた。
【００３１】
この構造のブラシレスＤＣモータ３１は、磁石トルクとリラクタンストルクとを活用することによって、最大トルクを得ることができる。この磁石トルクとは、回転子３２に装着された磁石３３と巻線電流とで得られるトルクであり、上記リラクタンストルクとは、回転子３２の鉄心部分と巻線電流で得られるトルクである。
【００３２】
このブラシレスＤＣモータ３１では、電磁設計により定まる磁石トルクとリラクタンストルクの配分によっては、０〜定格トルクまで変化させたときに、モータ逆起電力とモータ電流の基本波位相が、最大で、０〜２０°程度(機械角)まで変化する場合がある。このため、一定圧力制御される油圧ポンプに必要な脈動トルクτδＲと、モータ３１のトルクリプルτδＭの位相差をあるトルク範囲内では所定の範囲内(±６０°未満)に収めることが可能だが、すべてのトルク範囲に対応することはできない。
【００３３】
したがって、上記ブラシレスＤＣモータ３１を採用した第２参考例では、ポンプから一定圧力の流体を吐出させている圧力一定制御において、ポンプの脈動トルクτδＲの脈動周波数と、上記モータ３１の固有のトルクリプルτδＭの周波数とを非整数倍の関係に設定した。このような周波数設定によって、脈動トルクτδＲの位相とトルクリプルτδＭの位相とが、少なくとも逆相関係になることを排除できる。これにより、従来に比べて不要な脈動を低減でき、損失を低減できる。
【００３４】
〔第３参考例〕
次に、この発明の油圧装置の第３参考例を説明する。この第３参考例では、図７に示すトロコイド形式の油圧ポンプ５１と、図９に示すスイッチトリラクタンスモータ５２を備えている。
【００３５】
上記トロコイド式の油圧ポンプ５１は、図７に示すように、インナーロータ５３が６歯を有し、アウターロータ５５が７歯を有する構造になっている。したがって、この油圧ポンプ５１は、１回転について、ポンプ容積が６回変化する。このため、吐出圧力を一定に制御するためには、ポンプ回転数の６倍の周波数の脈動トルクτδＲで、ポンプ５１を駆動することが必要となる。
【００３６】
また、図９に示すスイッチトリラクタンスモータ(ＳＲモータ)５２は、固定子５７が１２個の突極子５８を有し、回転子５９が８個の突極子６０を有している。したがって、このＳＲモータ５２は、１回転当たり２４回の転流が必要になり、トルク指令電流を一定にした場合に、回転数の２４(４×６)倍の周波数のトルクリプルを発生する。
【００３７】
この第３参考例では、上記油圧ポンプ５１の脈動トルクτδＲとモータトルクリプルτδＭとの位相差を所定の範囲に納めることが困難な場合の別の手段として、ＳＲモータ５２のトルクリプルτδＭの周波数を脈動トルクτδＲの４倍以上に設定している。
【００３８】
この第３参考例では、ＳＲモータ５２のトルクリプルτδＭが、回転数に与える影響を低減し、ＳＲモータ５２のトルクリプルを補償するための不要なトルク分電流を重畳することを不要とし、従来に比べて、損失を低減できる。
【００３９】
図８を参照して、この参考例による効果を詳細に説明する。図８は、トロコイド形式の油圧ポンプ−モータ系における速度−トルクの伝達特性を示している。ここで、保持状態で、回転数１０[rps]でポンプを駆動している定常状態を一例に取ると、前述の圧力一定制御に必要な脈動トルクτδＲの周波数は６０[Ｈｚ]となる。これに対して、モータトルクリプルτδＭの周波数が回転数の４倍未満(例えば２倍)では、図８のトルク−速度伝達特性がフラットな特性にある。このため、慣性モーメントのはずみ車効果による減衰は無く、モータ５２のトルクリプルτδＭによる回転変動が、油圧ポンプ５１の圧力脈動に与える影響が大きく、この成分を打ち消すような電流を重畳する必要がある。
【００４０】
このため、損失の増加を招くが、ＳＲモータ５２のトルクリプルτδＭの周波数を、回転次数の４倍以上(例えば４倍)に選ぶと、図８のトルク−速度の伝達特性の減衰域(カットオフ周波数１５０Ｈｚ以上)に、ＳＲモータ５２のトルクリプルτδＭの周波数が高まる。これにより、ＳＲモータ５２のトルクリプルτδＭによる速度脈動が減衰する。これにより、速度脈動によるポンプの総吐出量の変動が減少し、ひいては、圧力脈動も低減できる。同時に、トルクリプルτδＭのリプル周波数が、２４０[Ｈｚ]になり、従来の一定速の油圧ポンプ機器にもあった圧力脈動周波数(１８０〜３６０Hz)程度にまで高周波化される。このため、この第３参考例によれば、モータトルクリプルτδＭによる速度変動を補償しなくても、従来機に比べて圧力脈動性能での遜色はなくなる。
【００４１】
この結果、積極的にモータトルクリプルに伴う回転速度変動を低減させるべく、電流に脈動指令を重畳させる構成が不要となり、ひいては、効率の向上を達成できる。
【００４２】
ここで、さらに、図１０を参照して、この第３参考例の効果について説明する。図１０において左側の３つの特性は、上から下に順に、比較例における平均圧力に対応するトルク分電流,圧力脈動に対応するトルク分電流,モータトルクリプル補償分に対応するトルク分電流特性を示し、右側の３つの特性が、この第３参考例における特性を示している。図１０の左側の最下に示すように、比較例では、モータのトルクリプルを補償する分の電流を必要としたが、この第３参考例では、モータトルクリプルに伴う圧力脈動への影響を低減したので、図１０の右側の最下に示すように、モータのトルクリプルを補償するための脈動電流を零にできる。
【００４３】
尚、上記参考例では、インバータ出力波形との不整合に起因するトルクリプルについて説明したが、モータの電磁構造に起因するトルクリプルについても同様な説明を展開できる。
【００４４】
〔実施の形態〕
次に、図１１に、この発明の実施形態を示す。この実施形態は、図１３に示した従来構成に比べて、図１１に示す圧力脈動補償部７３を備えている点だけが異なっている。したがって、この実施形態では、圧力脈動補償部７３の動作について重点的に説明する。
【００４５】
この圧力脈動補償部７３には、速度制御部７１からの出力信号と、モータの回転位置を表す位置検出信号とが入力される。上記速度制御部７１からの出力信号は、圧力を所定値に保持する平均トルクに対応した第１の電流指令信号である。そして、この圧力脈動補償部７３は、上記位置検出信号と第１電流指令信号とに基づいて、第２電流指令信号を出力し、この第２電流指令信号と第１電流指令信号の和が、波形制御部７２に入力される。図１２(Ａ)に、上記第１電流指令信号の一例を示し、図１２(Ｃ)に、上記第１電流指令信号と第２電流指令信号の和の一例を示す。
【００４６】
この波形制御部７２は、モータからの電流検出信号が表す電流が、上記第１,第２の電流指令信号の和が表す電流に追従するように、インバータを制御する。
【００４７】
この実施形態によれば、圧力脈動補償部７３が、図１２(Ｂ)に示すような圧力脈動を打ち消すためのトルク波形に対応する第２の電流指令信号を出力するから、図１２(Ｄ)に示すように、従来あった吐出圧力脈動(図１２(Ｂ))は無くなる、もしくは、大幅に低減できる。
【００４８】
なお、上記第１の電流指令信号に替えて、検出圧力の平均値(リプルを除去したもの)を、上記圧力脈動補償部７３に入力し、この検出圧力の平均値から、補償すべきトルク波形の振幅(すなわち、第２の電流指令信号の振幅)を決定してもよい。
【００４９】
【発明の効果】
以上より明らかなように、請求項１の発明は、インバータ制御部でインバータを制御して、可変速モータを駆動し、この可変速モータと固定ポンプとによって生じる脈動を打ち消すことができる。したがって、圧力脈動低減のために発生する不要な損失(モータおよびインバータの損失)を低減し、システム効率を極大化できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の油圧装置の第１参考例の構成を示す図である。
【図２】  上記第１参考例の油圧装置が備えるブラシレスＤＣモータの構成を示す図である。
【図３】  図３(Ａ)は、上記第１参考例の油圧装置が備えるモータを駆動する電流の波形を示す図であり、図３(Ｂ)は上記モータの脈動トルク波形を示す図である。
【図４】  インバータ−モータ系の等価回路を示す回路図である。
【図５】  図５(Ａ)は、比較例におけるトルク分電流波形を示す図であり、図５(Ｂ)は、第１参考例におけるトルク分電流波形を示す図である。
【図６】  この発明の第２参考例が有するブラシレスＤＣモータの構成を示す図である。
【図７】  この発明の第３参考例が有するトロコイドポンプの構造を示す図である。
【図８】  この発明の第３参考例における速度/トルク伝達ゲインの周波数特性図である。
【図９】  この第３参考例が有するスイッチングリラクタンスモータの構成を示す図である。
【図１０】  上記第３参考例の効果を説明する特性図である。
【図１１】  この発明の実施形態のインバータ制御部の構成を示すブロック図である。
【図１２】  図１２(Ａ),(Ｂ)は上記実施形態の比較例での第１電流指令波形と吐出圧力波形を示す波形図であり、図１２(Ｃ),(Ｄ)は上記実施形態での電流指令波形と吐出圧力波形を示す波形図である。
【図１３】  従来の油圧装置の構成を示すブロック図である。
【図１４】  ポンプ吐出圧力一定制御における吐出容積Ｑ,回転速度Ｎ,モータトルクＴ,ポンプ圧力Ｐの波形を示す図である。
【符号の説明】
１…定容量ポンプ、２…ブラシレスＤＣモータ、３…インバータ、
５…制御弁、６…アクチュエータ、２１…回転子、２２…永久磁石、
２３…固定子、３１…ブラシレスＤＣモータ、３２…回転子、
３３…永久磁石、３４…固定子、５１…トロコイド式油圧ポンプ、
５２…スイッチトリラクタンスモータ、
５３…インナーロータ、５５…アウターロータ、５７…固定子、
５９…回転子、６０…突極子、７２…波形制御部、７３…圧力脈動補償部。
【図１】
0003639754.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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