(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属成品の表面に、高速度工具鋼、合金工具鋼又は非鉄合金鋼などの高強度、高硬度な材質からなる前記金属成品と同等以上の硬度を有する金属又は金属成分から成るショットを、ショット径０．３mm以上０．６mm以下のショットと、０．３mm未満０．０３mm以上のショットとの混合ショットとして、前記金属成品の表面に噴射圧力０．２９MPa 以上又は５０m/sec 以上で噴射し、前記金属成品の表面内部のより深い圧縮残留応力の増加と、前記金属成品の表面の熱処理硬化及び表面粗さの向上をもたらすことを特徴とする金属成品の表面処理方法。
【請求項２】
前記混合ショットを構成するショットが、同材質から成る請求項１記載の金属成品の表面処理方法。
【請求項３】
前記ショットの形状が球形である請求項１又は２記載の金属成品の表面処理方法。
【請求項４】
前記金属成品が鉄系のとき、表面付近の温度をＡ3 変態点以上に、非鉄系の金属成品のとき、表面付近の温度を再結晶温度以上に上昇する請求項１又は２記載の金属成品の表面処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工具類、機械部品などの金属成品の表面処理方法に関し、より詳しくは、熱処理硬化及び圧縮残留応力の発生に伴う成品表面の硬化、疲労強度の増加と共に、熱処理による表面の改質といった効果を得るショットピーニングにおいて、表面内部のより深い圧縮残留応力及び表面粗さの向上を目的とした多工程ショットピーニング、又はピーニング加工後の研磨加工などの処理工程を不要とした金属成品の表面処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、金属成品の表面処理方法としては、ばねや成品形状に鋳造した鋳鋼品、鋳造成品、ステンレス鋼などの金属成品等を、その全部あるいは一部において、焼入れ焼き戻し処理した後に冷間加工を施すショットピーニングが知られている。この方法は、高周波誘導加熱などにより成品に約８５０℃前後で焼入れし、６００℃前後で焼き戻すという処理を行って、表面組織の変態を行わせた後、空冷し、常温あるいは温間で通常のピーニング加工を施して圧縮残留応力を生ぜしめて、疲労強度を増加させるものである。
【０００３】
上記ショットピーニングでは、金属成品の表面にショットを噴射させたときの衝突による塑性変形により、金属成品の表面に圧縮残留応力が生じるので、この圧縮残留応力は塑性変形部であるくぼみの大きさに比例する。また、塑性変形部であるくぼみの大きさは、ショット径に比例するので、圧縮残留応力とショット径も比例関係にあるといえる。
【０００４】
つまり、表層からより深い内部での内部圧縮残留応力、硬化の深さを得るためには、ショット粒径の大きなショットが有効であり、従来は、ショット径が１．２〜０．６mm程度のショットを用いている。
【０００５】
また、上記表面処理方法においては、熱処理工程とショットピーニング工程を別個に行わなければならず、温度制御を伴う工程管理が繁雑でコスト高となる問題に対して、「金属成品の表面加工熱処理法」（特許第１５９４３９５号）では、金属成品の表面に、成品と同等以上の硬度を有する４０〜２００μのショットを噴射速度１００m/sec 以上で噴射し、表面付近の温度をＡ3 変態点以上に上昇させて、ブラスト処理により、圧縮残留応力の発生に伴う成品表面の硬化、疲労強度の増加と共に熱処理による表面の改質を可能にした。
【０００６】
なお、本明細書ではショット径が約０．３mm以上のショットを「大きなショット」、ショット径が０．３未満〜０．０３mm程度のショットを「小さなショット」という。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の表面処理方法においては、以下の問題点があった。
【０００８】
前述のように、従来の表面処理方法にあっては、金属成品の表面に深い内部残留圧縮応力、加工硬化又は熱処理硬化の深さを得るためには、ショット径が比較的大きなショットを用いる必要があったが、大きなショットほど寿命が短く、破砕しやすいという問題があった。
【０００９】
これは、同一速度で噴射されたショットの有する運動量は直径の３乗に比例して大きくなるから衝突の際の力積も直径の３乗に比例する。また、ショットが粉砕した時の破壊面の面積は直径の２乗に比例し、耐力も直径の２乗に比例するので、したがって、大きなショットほど、破砕しやすく寿命が短いことがわかる。
【００１０】
ショットが破砕しやすいとコスト高となるだけでなく安定した噴射ができないことや、破砕したショットは装置の故障の原因でもあった。また、大きなショットは装置自体に与える衝撃力も大きくなるため、ショットの破砕だけでなく、装置の損傷などによりコスト高となる問題があった。
【００１１】
また、破砕したショットは、破面の端で鋭い角を成しているので、この破砕したショットが金属成品の表面に衝突すると、くぼみを作らずに食い込んで切削作用を起こし、表面荒れの原因ともなっていた。
【００１２】
また、従来のショットは、鋳鉄ショット、鋳鋼ショット、カットワイヤショットが主に用いられており、これらのショットでは寿命に限界があった。
【００１３】
さらに、金属成品の表面に大きなショットによりショットピーニングを行うと金属成品表面は梨地模様となり、用いるショットのショット径が大きい程凹凸が甚だしく、また、破砕しやすい大きなショットを用いるために、破砕したショットにより金属表面が切削され、より一層表面荒れが生じ、そのままでは使用不可能であったり、被加工物の表面内部の圧縮残留応力が得られないなどの問題があった。
【００１４】
そこで、上記問題点の解決策として、大きなショットによるハードショットピーニング後に、再度小さなショットでピーニング加工をするか、またピーニング加工後、ＣＢＮ研磨加工などを施して、表面の粗さの向上と表面内部の圧縮残留応力を高めているが、いずれにしても複数の処理工程を必要とするのでコスト高となっていた。
【００１５】
また、前述の「金属成品の表面加工熱処理法」（特許第１５９４３９５号）では、噴射速度及び噴射密度との関係から、高速な噴射速度を得るためにショット径が４０〜２００μである小さなショットを用いており、圧縮残留応力及び熱処理硬化の生じる成品表層からの深さには限界があった。
【００１６】
本発明は途上の問題点を解決するために開発されたもので、高強度、高硬度な材質から成り、ショット径が異なる小さなショット及び大きなショットを混合した混合ショットを用いてブラスト処理をすることで、圧縮残留応力の発生に伴う表面の熱処理硬化、疲労強度の増加と共に、熱処理による表面の改質といった効果を得るショットピーニングにおいて、表面内部までのより深い圧縮残留応力の発生及び表面粗さの向上を可能とし、特に、従来の多工程のショットピーニング、又はピーニング加工後の研磨加工などの処理工程を不要とした金属成品の表面処理方法を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を解決するために、本発明の金属成品の表面処理方法においては、金属成品の表面に、高速度工具鋼、合金工具鋼又は非鉄合金鋼などの高強度、高硬度な材質からなる前記金属成品と同等以上の硬度を有する金属又は金属成分から成るショットを、ショット径０．３mm以上０．６mm以下のショットと、０．３mm未満０．０３mm以上のショットとの混合ショットとして、前記金属成品の表面に噴射圧力０．２９MPa 以上又は５０m/sec 以上で噴射し、前記金属成品の表層からより深い内部での圧縮残留応力の増加と共に、前記金属成品の表面の熱処理硬化及び表面粗さの向上をもたらすことを特徴とする金属成品の表面処理方法。
【００１８】
ショット形状は、これに限定されないが、球形が好ましい。
【００１９】
また、前記混合ショットのショット径は、０．６〜０．０３mmのショットをランダムに含むものであってもよい。
【００２０】
また、前記混合ショットを構成するショットは、材質、硬度及びショット径を目的に応じて選択することができるが、表面処理後に、材質の異なるショットを分級する必要がないという点で、同材質から成る混合ショットとすることが好ましい。
【００２１】
さらに、前記混合ショットは、従来主として用いられている鋳鉄ショット、鋳鋼ショットよりも同一ショット径においては、約３０倍以上の寿命を有する高強度、高硬度で破砕しにくい高速度工具鋼、合金工具鋼又は非鉄合金鋼などの材質からなる混合ショットを用いる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
金属成品Ａの表面に、前記金属成品Ａの硬度と同等以上の硬度を有し、ショット径が異なるショットを混合した混合ショットＢを噴射圧力０．２９MPa 以上又は５０m/sec 以上で噴射すると、鉄系の金属成品Ａの表面付近の温度はＡ3 変態点以上に、もしくは非鉄系の金属成品Ａの表面付近の温度は再結晶温度以上に上昇する。
【００２３】
すなわち、混合ショットＢの衝突前と衝突後の速度変化は、金属成品Ａ及び混合ショットＢの硬度により異なるが、衝突後の速度は低下する。この速度の変化はエネルギー不変の法則により、その大部分は熱エネルギーに変換され、混合ショットＢの衝突した変形部分のみで熱交換が行われるので、温度上昇は金属成品Ａの表面付近に局部的に生ずる。
【００２４】
このとき、金属成品Ａのみならず混合ショットＢの表面も同様に温度上昇し、金属成品Ａ及び混合ショットＢが鉄系の場合は、金属成品Ａ及び混合ショットＢの母材がＡ3 変態点以上に達し、この温度上昇が金属成品Ａ及び混合ショットＢの表面層付近に局部的なものであるゆえに、直ちに冷却される。また、さらに連続して行われる混合ショットＢによるショットピーニングでの上昇する温度が低いときや、冷却速度が遅いときは焼き戻し処理の効果が生じ、金属成品Ａの表面層の金属組織が微細化され高強度で靱性に富む組織となる。
【００２５】
なお、上記温度上昇はショットの速度により変化するので、噴射圧力又は速度、ショット径及び材質によっては温度上昇が小さく、したがって、金属成品Ａが鉄系の場合は、金属成品Ａの母材のＡ3 変態点以上にまで温度は上昇しないが、この場合は、金属成品Ａの表面に混合ショットＢとの衝突による塑性変形が生じ、いわゆるショットピーニングによる金属成品Ａの表面の硬度及び疲労強度の向上といった改質が行われる。
【００２６】
より詳細に説明すると、ショット径が異なるショットを混合した混合ショットＢを噴射すると、前記混合ショットＢ中のショット径の小さなショットは、高速度で金属成品Ａの表面に衝突し、衝突前後のエネルギー変化は熱エネルギーに変換されるので、金属成品Ａの表面付近が局部的に温度上昇し、前述のように金属成品Ａの表面層の金属組織が微細化され、高強度かつ高硬度な表面層が生成される。
【００２７】
また、前記混合ショットＢ中のショット径の大きなショットは、前記小さなショットに比べて、金属成品Ｂの表面への衝突速度が遅く、したがって衝突時の金属成品Ａの表面付近の温度上昇も低い。つまり、この大きなショットでは金属成品Ａの表面を熱処理によって改質することはないが、大きなショットの衝突により金属成品Ａに生じる塑性変形部は前記小さなショットよりも大きく、ピーニング加工により金属成品Ａの表面内部までの圧縮残留応力の発生及び硬化が生じ、金属成品Ａの表面硬度の向上及び疲労強度の増加といった効果をもたらす。
【００２８】
なお、前述のように、前記小さなショットは噴射圧力又は速度、ショット径及及び材質によっては必ずしも金属成品Ａの表面を熱処理することはなく、その場合は、ピーニング加工としての効果を得ることができる。つまり、目的に応じて噴射圧力及び速度、ショット径及び材質を選択することができる。
【００２９】
また、ショットの寿命についてブリネル硬度試験を例にして説明すると、静的に種々のショット径のショットで同一資料を押してくぼみを作るとき、
くぼみとショットの直径の比（ｋ＝ｄ／Ｄ）を一定にするための押し力Ｐとくぼみの直径ｄの関係は
Ｐ＝πＤ2 ｋ2 Ｃ／４    （Ｃ：一定）
となる。これから、ショットにおける単位断面積当たりの力は一定であることがわかる。
【００３０】
実際のショットピーニングでは、動的にショットが被加工物に衝突するので、上記試験に対して動的な見解を考慮すると、同一速度で噴射されたショットの有する運動量は直径の３乗に比例して大きくなるから衝突の際の力積も直径の３乗に比例すると考えれば、破壊面の面積は直径の２乗に比例し耐力も直径の２乗に比例する。つまり、直径の大きなショットほど寿命が短いといえる。
【００３１】
本発明における前記混合ショットＢ中の大きなショットに関しては、前記混合ショットＢ中の小さなショット及び大きなショットが、噴射後速度が異なることから、金属成品Ａのみならず大きなショットと小さなショットが互いに衝突する。この衝突は、前記大きなショットと小さなショットとの相対速度が大きければ、小さなショット及び大きなショットの衝突部における温度上昇をもたらし、鉄系のショットの場合はＡ3 変態点以上に達し、熱処理効果により微細化され高強度で高硬度な組織を有するショットとなる。また、前記相対速度が小さく、よって温度上昇が小さくても、衝突による互いの塑性変形により硬化し、高強度かつ高硬度な組織を有するショットとなる。
【００３２】
このことは、ショットの寿命を向上させるだけでなく、高強度かつ高硬度なショットを用いることで従来用いられていた大きなショット（ショット径：１．２〜０．６mm）よりもショット径が小さくても同等以上の効果を得ることができ、また、ショット材質として、高速度工具鋼、合金工具鋼、非鉄合金などの高強度かつ高硬度で破砕しにくいショットを用いることで、より一層の効果を得ることができる。
【００３３】
高速度工具鋼ショット表面硬度は、平均HV800であるが、上記噴射後の硬度は、Hv1000であった。  Hv1300に達したショットを用いても破砕が少ない。
【００３４】
また、金属成品Ａの表面に大きなショットを噴射すると、前記金属成品Ａの表面は凹凸の激しい梨地模様となり、さらには、粉砕しやすい大きなショットであるために粉砕したショットが金属成品Ａの表面に噴射されると、前記金属成品Ａの表面に食い込み、表面荒れがより一層増加するという問題があった。しかし、小さいショットを含んだ混合ショットであるために、たとえ金属成品Ａの表面が凹凸の激しい表面になっても、小さいショットによるピーニング加工により研磨作用が働き、結果として、良質な表面層を得ることができる。
【００３５】
【実施例】
以下、実施例について図面を参照して説明する。
【００３６】
なお、実施例で用いるショットピーニング装置としてのブラスト装置はエア式の直圧式のブラスト装置であるが、エア式であれば吸込式のサイホン式又は重力式、あるいは他のブラスト装置でもよい。
【００３７】
図１、図２において、５１はブラスト加工装置５０のキャビネットで、被加工物を投入する投入口５３を備え、この投入口から投入した被加工物にショット（本明細書において、回収タンク４０内及び噴射ノズル５２から噴射される金属成分のショットを「金属成分から成るショット」または、単に「ショット」という）を噴射する噴射ノズル５２をキャビネット５１内に設けている。
【００３８】
また、前記キャビネット５１内の下部にはホッパ５８が設けられ、ホッパ５８の最下端は導管５５を介してキャビネット５１の近くに設置されたショット回収用の回収タンク４０の上部に連通する。
【００３９】
回収タンク４０はいわゆるサイクロンで、粉塵をショットから分離する装置であり、図１に示すように、上部に円筒形状を成す円筒部４１と、下部に下方に向けて徐々に狭くなる円錐形状を成す円錐部４２とから成るタンクで、回収タンク４０の円筒部４１の上部の側壁に流入口４３を設け、この流入口４３に連通管４５を介して導管５５を連結する。なお、前記連通管４５の軸線方向は円筒部４１の横断面円形を成す内壁面の接線方向に位置しているので、連通管４５を経て回収タンク４０内に流入した気流は円筒部４１の内壁に沿って回りながら降下してゆくのである。
【００４０】
また、回収タンク４０の円錐部４２の下端は、ダンプバルブ４６を介してショット圧送用のタンク４７に開閉自在に連通しており、このタンク４７の下端には噴射ノズル５２から噴射するショットの噴射量を調整するショット量調整器４８を備え、該ショット量調整器４８から管５４を介して前記噴射ノズル５２に連通している。
【００４１】
直圧式ブラスト装置の特徴は、前記タンク４７内に圧縮空気を送り込むと、タンク４７の下部のショット量調整器４８より前記圧縮空気によって、ショットが圧縮空気と共に圧送され、管５４内を噴射ノズル５２の方向に向けて送給され、噴射ノズル５２からショットが圧縮空気と共にキャビネット５１内の被加工物へ噴射される。
【００４２】
前記ダンプバルブ４６は、図示せざるフットスイッチ又はマイクロスイッチに連動する電磁弁の作動により上下動し、このダンプバルブ４６の上下動により回収タンク４０とタンク４７間を開閉するよう構成している。前記ダンプバルブ４６が上がり、回収タンク４０とタンク４７間を遮断すると同時にタンク４７内に圧縮空気が充満し、タンク４７内のショットが圧縮空気に抑圧されてショット量調整器４８内に流入し、このショット量調整器４８内で圧縮空気とショットとが適当に混合され図示せざるショット供給口を経て管５４を介して噴射ノズル５２から噴射される。
【００４３】
次に、前記スイッチをもとに戻すと、ダンプバルブ４６が下がり回収タンク４０とタンク４７間を開放しタンク４７内の圧縮空気が回収タンク４０内に逃げ出しタンク４７内の圧力が大気圧になる。タンク４７内が大気圧になる直前に、ダンプバルブ４６が下がると直ちに噴射ノズル５２からショットの噴射が止まり、同時に回収タンク４０の底部に集積しているショットが一気にタンク４７内へ落下する。
【００４４】
一方、回収タンク４０の上端壁面の略中央には連結管４４が設けられ、この連結管４４は排出管５７を介してダストコレクタ５６に連通している。
【００４５】
ダストコレクタ５６は排風機５９を回転しダストコレクタ５６内の空気を外気へ放出している。この排風機５９によりブラスト装置５０のキャビネット５１、導管５５、回収タンク４０内がそれぞれ負圧になり、また図示せざる圧縮機から供給された圧縮空気がショットと共に噴射ノズルから噴射されるので、キャビネット５１から順に導管５５、回収タンク４０、ダストコレクタ５６へ気流が流れる。
【００４６】
〔実施例１〕
上記のブラスト装置５０を用いて、被加工物としてギヤー（φ１００×２０ｔ、ＳＣＭ４２０、浸炭焼入、焼戻し品）を投入口５３からキャビネット５１内へ収納し、ショット径が異なるショットを混合した混合ショットを噴射ノズル５２より被加工物の表面へ噴射してブラスト加工を行った。
【００４７】
混合ショットは、ショット径が０．６〜０．１mmの高速度工鋼から成り、回収タンク４０内へ投入し、前記混合ショットはタンク４７内へ落下している。
【００４８】
図示せざる圧縮空気供給源から圧縮空気を前記タンク４７内に送り込むと、前述したようにタンク４７の下部のショット量調整器４８より前記圧縮空気によって、前記混合ショットが圧縮空気と共に圧送され、管５４を介してノズル径７mmの噴射ノズル５２へ送給され、噴射ノズル５２から前記混合ショットが圧縮空気と共に被加工物へ噴射される。
【００４９】
また、比較例１として、ショット径が０．９〜０．７mmの大きなショットによるピーニング加工後にショット径が０．３〜０．２mmの小さなショットによりピーニング加工を行った２回の処理工程からなる表面処理方法を行った。
【００５０】
上記実施例１及び比較例１の加工条件と表面処理後の被加工物の表面粗さ（最大値）、表面及び深さ５０μでの圧縮残留応力を〔表１〕に示す。
【００５１】
【表１】
0003730015.tif 000002
【００５２】
また、実施例１における表面処理後の被加工物の寿命は、比較例１における被加工物と同等以上であった。
【００５３】
比較例１では、１回目の０．９〜０．７mmの大きなショットによるピーニング加工によって、表面内部（５０μ）にまで圧縮残留応力が発生しているが、表面荒れが激しく、そのために表面付近での圧縮残留応力の発生が不足している。これは、２回目の０．３〜０．２mmの小さなショットを用いたピーニング加工を行うことによって、表面粗さの改善と表面付近の圧縮残留応力の発生を高めているが、本発明の実施例１においては、前記２つのピーニング加工による効果と同等以上の効果を、１回のブラスト処理で得ることができ、つまり、１回のブラスト処理によりピーニング効果と熱処理効果を得ることができた。
【００５４】
〔実施例２〕
実施例２では、被加工物としてシャフト（ＳＣＭ４２０、浸炭焼入、焼戻し品、φ３０×３００Ｌ）に対して、ショット径が０．４〜０．０５mmの高速度工具鋼から成る混合ショットを用いて、実施例１と同様な要領で表面処理を行った。
【００５５】
また、比較例２としてショット径が０．７〜０．５mmの大きなショットによるピーニング加工後に、前出特許第１５９４３９５号における表面加工熱処理をショット径が０．１mmのショットを用いて行った。
【００５６】
実施例２及び比較例２における加工条件及び結果を〔表２〕に示す。
【００５７】
【表２】
0003730015.tif 000003
【００５８】
〔実施例３〕
実施例３では、被加工物としてギヤー（ＳＣＭ４２０、浸炭焼入、焼戻し品、φ１２０×１５ｔ）に対して、ショット径が０．３〜０．０５mmの高速度工具鋼から成る混合ショットを用いて、実施例１と同様な要領で表面処理を行った。
【００５９】
また、比較例３としてショット径が０．８mmの大きなショットによるピーニング加工後にＣＢＮ研磨を行った。
【００６０】
実施例３及び比較例３における加工条件及び結果を〔表３〕に示す。
【００６１】
【表３】
0003730015.tif 000004
【００６２】
実施例２及び実施例３において、上記実施例１と同様に、本発明により１回のブラスト処理によりピーニング加工及び熱処理による効果を得て、被加工物の表面内部までの圧縮残留応力の発生、表面粗さの向上により、被加工物の表面硬度及び疲労強度が増加した。
【００６３】
特に、実施例３においては、比較例３でのピーニング加工後にＣＢＮ研磨を行った場合に比べ、表面粗さは若干悪化しているが、疲労寿命に関しては約５倍以上に増加した。
【００６４】
上記各実施例及び各比較例に関して、表面硬度Hv（ａ）及び圧縮残留応力（ｂ）と表面からの深さとの関係を図３〜図５に示す。
【００６５】
図３〜図５により明らかなように、大きなショットによるピーニング加工と小さなショットによるピーニング加工又は研磨の２回の処理工程を要する従来の表面処理方法である比較例１〜３に対して、ショット径の異なるショットを混合した混合ショットを用いて、１回のブラスト処理を行った本発明の実施例１〜３は、表面硬度及び圧縮残留応力共に、前記比較例１〜３と同等以上の効果を得ていることがわかる。
【００６６】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されるので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００６７】
（１）金属成品の表面に、前記金属成品と同等以上の硬度を有する金属又は金属成分から成るショットを噴射し、前記金属成品の表面の硬度を向上させる金属成品の表面処理方法において、前記噴射を噴射圧力０．２９MPa 以上又は５０m/sec 以上で噴射し、また、前記ショットはショット径が異なるショットを混合した混合ショットであるので、ショット径の大きなショットは金属成品に塑性変形を生じさせてピ−ニング効果を高め、ショット径の小さなショットは金属表面の粗さの向上と、場合によっては表面付近の温度を上昇させ、金属組織が微細化されて金属成品の表面の硬度及び耐久性を向上できた。特に、従来は、前記効果を得るために２回の処理工程を必要としていたが、一回のブラスト処理で従来の処理方法と同等以上の効果を得ることができた。
【００６８】
（２）ショット径の異なるショットが混合した混合ショットであるために、ショット径の大小で速度変化が生じ、ショット径の異なるショット間で衝突が起こり、その衝突による温度上昇によりショット材質そのものの硬度をも上昇させることができ、破砕しにくいショットを生成することができた。
【００６９】
（３）従来の鋳鉄ショット、鋳鋼ショットよりも高強度かつ高硬度で破砕しにくい高速度工具鋼、合金工具鋼又は非鉄合金鋼などの材質からなる混合ショットとを用いてブラスト処理するので、ショットの破砕によるブラスト装置の故障や被加工物の表面荒れを防ぎ、安定したブラスト加工を行うことができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に用いたブラスト装置を示す正面図である。
【図２】本発明の実施例に用いたブラスト装置を示す平面図である。
【図３】実施例１及び比較例１における表面硬度（ａ）及び圧縮残留応力（ｂ）と表面深さの関係を表すグラフである。
【図４】実施例２及び比較例２における表面硬度（ａ）及び圧縮残留応力（ｂ）と表面深さの関係を表すグラフである。
【図５】実施例３及び比較例３における表面硬度（ａ）及び圧縮残留応力（ｂ）と表面深さの関係を表すグラフである。
【符号の説明】
４０  回収タンク
４１  円筒部
４２  円錐部
４３  流入口
４４  連結管
４５  連通管
４６  ダンプバルブ
４７  タンク
４８  ショット量調整器
５０  ブラスト装置
５１  キャビネット
５２  噴射ノズル
５３  投入口
５４  管
５５  導管
５６  ダストコレクタ
５７  排出管
５８  ホッパ
５９  排風機
【図１】
0003730015.tif 000005
【図２】
0003730015.tif 000006
【図３】
0003730015.tif 000007
【図４】
0003730015.tif 000008
【図５】
0003730015.tif 000009