(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリット開孔を有するカラー陰極線管の色選別に用いられるスリットタイプのシャドウマスクを、搬送方向に直交する方向にスリット開孔を向け、搬送させながら、該スリットタイプのシャドウマスクの表面の欠陥の有無を抽出する検査装置であって、前記シャドウマスクの表裏面を、それぞれ照射する第一の線状光源、第二の線状光源と、前記第一の線状光源、前記第二の線状光源からの正反射光を、それぞれ入力し、前記シャドウマスク表面の画像データ信号を得る第一のラインセンサ、第二のラインセンサと、前記第一のラインセンサ、前記第二のラインセンサにより得られた画像データ信号をデータ処理し、表裏面の欠陥の有無を抽出する画像データ処理部とを有し、且つ、前記シャドウマスクのスリット方向に前記第一の線状光源、前記第二の線状光源、前記第一のラインセンサ、前記第二のラインセンサを設けているもので、前記画像データ処理部は、前記第一のラインセンサ、前記第二のラインセンサにより得られた前記画像データ信号から、前記シャドウマスクの表裏面についてそれぞれ、グリル表面部のエッジを検出し、且つ、検出された同じ面側に隣接するエッジ間の、表面部の幅またはスリット開口の幅を、所定周波数のパルス数に対応させるもので、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の前記表面部の幅と、裏面の前記表面部の幅とを、または、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の前記スリット開口の幅と、裏面の前記スリット開口の幅とを、パルス数でもって比較し、所定の差であれば正常、所定の差でない場合には異常と判断する第一の比較判定部と、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の、隣接する前記表面部の幅または隣接する前記スリット開口の幅について、パルス数でもって比較し、一致していれば正常、一致していなければ異常と判断する第二の比較判定部と、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク裏面の、隣接する前記表面部の幅または隣接する前記スリット開口の幅について、パルス数でもって比較し、一致していれば正常、一致していなければ異常と判断する第三の比較判定部と、全ての比較判定部の判断が正常である場合のみ正常とし、それ以外を異常と判断する論理判定部とを有するものであることを特徴とするスリットタイプのシャドウマスク検査装置。
【請求項２】
請求項１において、前記第一の線状光源、前記第二の線状光源とが、互いに光の照射向きが対向するように配置されていることを特徴とするスリットタイプのシャドウマスク検査装置。
【請求項３】
スリット開孔を有するカラー陰極線管（ＣＲＴ）の色選別に用いられるスリットタイプのシャドウマスクを、搬送方向に直交する方向にスリット開孔を向け、搬送させながら、該スリットタイプのシャドウマスクの表面の欠陥の有無を抽出する検査方法であって、前記シャドウマスクの表裏面を、それぞれ、前記シャドウマスクのスリット方向に設けられた、第一の線状光源、第二の線状光源で照射し、前記第一の線状光源、前記第二の線状光源からの正反射光を、それぞれ、それぞれ、前記シャドウマスクのスリット方向に設けら第一のラインセンサ、第二ラインセンサにより入力することにより、前記シャドウマスクの表裏面の画像データ信号を得る工程と、前記第一のラインセンサ、前記第二のラインセンサから得られたの画像データ信号から、前記シャドウマスクの表裏面についてそれぞれ、グリルの表面部のエッジを検出し、且つ、検出された同じ面側に隣接するエッジ間の表面部の幅またはスリット開口の幅を、所定周波数のパルス数に対応させる工程と、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の前記表面部の幅と、裏面の前記表面部の幅とを、または、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の前記スリット開口の幅と、裏面の前記スリット開口の幅とを、パルス数でもって比較し、所定の差であれば正常、所定の差でない場合には異常と判断する第一の比較判定工程と、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の、隣接する前記表面部の幅または隣接する前記スリット開口の幅について、パルス数でもって比較し、一致していれば正常、一致していなければ異常と判断する第二の比較判定工程と、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク裏面の、隣接する前記表面部の幅または隣接する前記スリット開口の幅について、それぞれ前記対応するパルス数でもって比較し、一致していれば正常、一致していなければ異常と判断する第三の比較判定工程とを有し、且つ、第一の比較判定工程、第二の比較判定工程、第三の比較判定工程によって得られた結果の論理演算判定でもって、正常か、異常であるかを判断し、シャドウマスク表面の欠陥の有無を抽出することを特徴とするスリットタイプのシャドウマスクの検査方法。
【請求項４】
請求項３において、前記第一の線状光源、前記第二の線状光源とが、互いに光の照射向きが対向するように配置されていることを特徴とするスリットタイプのシャドウマスク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，カラー陰極線管（ＣＲＴ）の色選別に用いられるスリットタイプのシャドウマスクの検査装置および検査方法に関し、特に、シャドウマスク表面部の欠陥を抽出するための検査装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラー陰極線管（ＣＲＴ）の色選別に用いられるシドウマスクは、高い解像性の要求に対し、当初はシャドウマスク自体の高精度な加工にて対応してきたが、近年、シャドウマスクを陰極線管（ＣＲＴ）に組み込み色選別に用いた際の、電子ビームによる熱膨張による色ズレが無視できないことが認識され、シャドウマスクの素材として、低膨張のインバー材を使用したり、シヤドウマスクのフレームへの固定に際してシャドウマスクにテンションをかけて用いるスリットタイプのものが採用されるようになってきた。
スリットタイプのシャドウマスクは、通常、図１０に示すような形状をしており、エッチング加工により作製されている。
尚、図１０（ａ）は全体の概略図で、図１０（ｂ）は図１０（ａ）の点線丸部Ｃ０を拡大して示した図であり、図１０（ｃ）（イ）、図１０（ｃ）（ロ）は、それぞれ図１０（ｂ）のＣ１−Ｃ２における断面を示した図である。
スリット開孔の断面形状が、図１０（ｃ）（イ）の場合は、板厚が薄いため、片面からのみのエッチングによる貫通したもので、図１０（ｃ）（ロ）の場合は、エッチングを両面から行った場合のものである。
そして、このようなシャドウマスクは、図１１に示すように、シャドウマスク８６０をカラー陰極線管（ＣＲＴ）８００に、フレーム８７０に固定されて、組み込まれる。
カラー陰極線管（ＣＲＴ）８００は、偏向ヨーク８２０にて偏向制御されながら走査される電子銃８１０からの電子線８１５を、シャドウマスク８６０のスリット部にて通過させ、螢光面８５０へ当て発光させるもので、螢光面の発光をパネル８４０前の人が観る。
【０００３】
このスリットタイプのシャドウマスクの、カラー陰極線管（ＣＲＴ）への組み込みのためのフレームによる固定方法としては、熱膨張を利用したものと、フレーム加圧によるものが知られている。
熱膨張を利用したものは、ゼニス社のＦＴＭ（Ｆｌａｔ  Ｔｅｎｓｉｏｎ  Ｍａｓｋ）と言われるもので、２５μｍ程度の厚さをもつ金属製のスリットタイプのシャドウマスクとセラミックフレームの熱膨張差を利用して、高温中に組立て、常温で、金属の収縮に伴ってテンションがかかるようにしたものである。
また、フレーム加圧によるものは、１００μｍ程度の厚さを持つスリットタイプのシャドウマスク（アパーチャグリルとも言う）を用いたもので、オタイコと呼ばれるＲ面をもつフレームとこれにマスクを介して嵌合するフレームとを用い、Ｒ面上にマスクを挾み（チャッキング）、テンションを付与し、フレーム位置決めによるＲ成形後、フレーム加圧を行い、マスクをこの加圧されたフレームに溶接固定するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
これらスリットタイプのシャドウマスクにおいては、一層の品質の向上、安定化が望まれており、図９に示すような、シャドウマスク２００のグリル２１０の表面部における凹部欠陥（キズ欠陥２１１Ａ等）やスリット開孔部２２０とグリル２１０との境界部の欠陥（カケ欠陥２１５Ａ、エグレ欠陥２１５Ｂ、大孔欠陥２１５Ｃ等）の検査も必要となってきた。
尚、図９（ｂ）（イ）、図９（ｂ）（ロ）は、それぞれ図９（ａ）のＦ１−Ｆ２、Ｆ３−Ｆ４に対応する断面図である。図９（ｃ）（イ）、図９（ｃ）（ロ）は欠陥部の断面を示した図である。
一方、従来のシャドウマスクの検査技術としては、特開平６−１６００４９号、特開平６−２２２９７３７号、特開平６−２４２０１４号公報等にて知られるように、透過光による検査方法が知られているが、スリットタイプのシャドウマスクにおけるシャドウマスク表面部を検査する場合に、これらの検査方法を適用することは難しかった。
このため、これらスリットタイプのシャドウマスクにおいては、シャドウマスクのグリルの表面部における凹部欠陥（キズ不良）や、スリット開孔部とグリルとの境界部の欠陥を検査できる検査装置が求められていた。
本発明は、このような状況のもと、エッチングにて貫通されたスリット開孔を有するスリットタイプのシャドウマスクの、シャドウマスクの表面部の状態を検査する検査装置および方法を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査装置は、スリット開孔を有するカラー陰極線管の色選別に用いられるスリットタイプのシャドウマスクを、搬送方向に直交する方向にスリット開孔を向け、搬送させながら、該スリットタイプのシャドウマスクの表面の欠陥の有無を抽出する検査装置であって、前記シャドウマスクの表裏面を、それぞれ照射する第一の線状光源、第二の線状光源と、前記第一の線状光源、前記第二の線状光源からの正反射光を、それぞれ入力し、前記シャドウマスク表面の画像データ信号を得る第一のラインセンサ、第二のラインセンサと、前記第一のラインセンサ、前記第二のラインセンサにより得られた画像データ信号をデータ処理し、表裏面の欠陥の有無を抽出する画像データ処理部とを有し、且つ、前記シャドウマスクのスリット方向に前記第一の線状光源、前記第二の線状光源、前記第一のラインセンサ、前記第二のラインセンサを設けているもので、前記画像データ処理部は、前記第一のラインセンサ、前記第二のラインセンサにより得られた前記画像データ信号から、前記シャドウマスクの表裏面についてそれぞれ、グリル表面部のエッジを検出し、且つ、検出された同じ面側に隣接するエッジ間の、表面部の幅またはスリット開口の幅を、所定周波数のパルス数に対応させるもので、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の前記表面部の幅と、裏面の前記表面部の幅とを、または、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の前記スリット開口の幅と、裏面の前記スリット開口の幅とを、パルス数でもって比較し、所定の差であれば正常、所定の差でない場合には異常と判断する第一の比較判定部と、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の、隣接する前記表面部の幅または隣接する前記スリット開口の幅について、パルス数でもって比較し、一致していれば正常、一致していなければ異常と判断する第二の比較判定部と、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク裏面の、隣接する前記表面部の幅または隣接する前記スリット開口の幅について、パルス数でもって比較し、一致していれば正常、一致していなければ異常と判断する第三の比較判定部と、全ての比較判定部の判断が正常である場合のみ正常とし、それ以外を異常と判断する論理判定部とを有するものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、前記第一の線状光源、前記第二の線状光源とが、互いに光の照射向きが対向するように配置されていることを特徴とするものである。
【０００６】
本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査装置は、シャドウマスクの開孔部に電着レジストを埋め込んだ状態で、シャドウマスクのグリル表面部の欠陥を抽出できるものであるが、必ずしも、電着レジストを埋め込む必要はなく、シャドウマスク単体での、シャドウマスクのグリル表面部の欠陥の抽出に際しても適用できるものである。
尚、場合によっては、シャドウマスクのスリット開孔部を、不透明な電着レジスト等にて埋め込んだ状態で、シャドウマスクの表面部の欠陥検出を行う場合もあるが、この場合には、必ずしも、シャドウマスクの表裏の第一の線状光源、第二の線状光源とが、互いに光の照射向きが対向するように配置する必要はない。
【０００７】
本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査方法は、スリット開孔を有するカラー陰極線管（ＣＲＴ）の色選別に用いられるスリットタイプのシャドウマスクを、搬送方向に直交する方向にスリット開孔を向け、搬送させながら、該スリットタイプのシャドウマスクの表面の欠陥の有無を抽出する検査方法であって、前記シャドウマスクの表裏面を、それぞれ、前記シャドウマスクのスリット方向に設けられた、第一の線状光源、第二の線状光源で照射し、前記第一の線状光源、前記第二の線状光源からの正反射光を、それぞれ、それぞれ、前記シャドウマスクのスリット方向に設けら第一のラインセンサ、第二ラインセンサにより入力することにより、前記シャドウマスクの表裏面の画像データ信号を得る工程と、前記第一のラインセンサ、前記第二のラインセンサから得られたの画像データ信号から、前記シャドウマスクの表裏面についてそれぞれ、グリルの表面部のエッジを検出し、且つ、検出された同じ面側に隣接するエッジ間の表面部の幅またはスリット開口の幅を、所定周波数のパルス数に対応させる工程と、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の前記表面部の幅と、裏面の前記表面部の幅とを、または、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の前記スリット開口の幅と、裏面の前記スリット開口の幅とを、パルス数でもって比較し、所定の差であれば正常、所定の差でない場合には異常と判断する第一の比較判定工程と、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の、隣接する前記表面部の幅または隣接する前記スリット開口の幅について、パルス数でもって比較し、一致していれば正常、一致していなければ異常と判断する第二の比較判定工程と、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク裏面の、隣接する前記表面部の幅または隣接する前記スリット開口の幅について、それぞれ前記対応するパルス数でもって比較し、一致していれば正常、一致していなければ異常と判断する第三の比較判定工程とを有し、且つ、第一の比較判定工程、第二の比較判定工程、第三の比較判定工程によって得られた結果の論理演算判定でもって、正常か、異常であるかを判断し、シャドウマスク表面の欠陥の有無を抽出することを特徴とするものである。
そして、上記において、前記第一の線状光源、前記第二の線状光源とが、互いに光の照射向きが対向するように配置されていることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】
本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査装置は、上記のように構成することにより、エッチングにて貫通されたスリット開孔を有するスリットタイプのシャドウマスクの、シャドウマスク表面部の状態を検査する検査装置の提供を可能とするものである。
具体的には、シャドウマスクの表裏面を、それぞれ照射する第一の線状光源、第二の線状光源と、前記第一の線状光源、前記第二の線状光源からの正反射光を、それぞれ入力し、前記シャドウマスク表面の画像データ信号を得る第一のラインセンサ、第二のラインセンサと、前記第一のラインセンサ、前記第二のラインセンサにより得られた画像データ信号をデータ処理し、表裏面の欠陥の有無を抽出する画像データ処理部とを有し、且つ、前記シャドウマスクのスリット方向に前記第一の線状光源、前記第二の線状光源、前記第一のラインセンサ、前記第二のラインセンサを設けているもので、前記画像データ処理部は、前記第一のラインセンサ、前記第二のラインセンサにより得られた前記画像データ信号から、前記シャドウマスクの表裏面についてそれぞれ、グリル表面部のエッジを検出し、且つ、検出された同じ面側に隣接するエッジ間の、表面部の幅またはスリット開口の幅を、所定周波数のパルス数に対応させるもので、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の前記表面部の幅と、裏面の前記表面部の幅とを、または、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の前記スリット開口の幅と、裏面の前記スリット開口の幅とを、パルス数でもって比較し、所定の差であれば正常、所定の差でない場合には異常と判断する第一の比較判定部と、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク表面の、隣接する前記表面部の幅または隣接する前記スリット開口の幅について、パルス数でもって比較し、一致していれば正常、一致していなければ異常と判断する第二の比較判定部と、前記パルス数に対応された前記シャドウマスク裏面の、隣接する前記表面部の幅または隣接する前記スリット開口の幅について、パルス数でもって比較し、一致していれば正常、一致していなければ異常と判断する第三の比較判定部と、全ての比較判定部の判断が正常である場合のみ正常とし、それ以外を異常と判断する論理判定部とを有するものであることを特徴とするものであることにより、これを達成している。
即ち、本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査装置は、第一の比較判定部、第二の比較判定部、第三の比較判定部、および論理判定部とを有することにより、シャドウマスク表裏面のグリル表面の幅またはグリルスリット開口の幅の差が正常であるか否かを判定し、また、シャドウマスクの表面および裏面における隣接するグリルの表面部の幅、またはグリルスリット開口の幅が正常であるか否かを判定し、且つ、これらの判定の論理演算により、最終的な欠陥の有無を判断することにより、確実な欠陥の検出を可能としている。
また、前記第一の線状光源、前記第二の線状光源とが、互いに光の照射向きが対向するように配置されていることにより、表裏の第一のラインセンサ、第二のラインセンサには、それぞれ、ほとんど前記第一の線状光源、前記第二の線状光源からのみの光が入り、互いにシャドウマスクの反対側からの光の入力を無視できるものとしている。
【０００９】
本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査方法は、上記のように構成することにより、エッチングにて貫通されたスリット開孔を有するスリットタイプのシャドウマスクにおける、シャドウマスク表面部の欠陥の有無を確実に抽出することを可能としている。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査装置を、図にもとづいて説明する。
図１は本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査装置の概略断面図であり、図２は図１のＡ０側からみた概略平面図であり、図３はその画像処理データ処理部の概略構成を示した図であり、図４、図５はエッジ信号幅をパルス数に対応させる処理を説明するための図である。
図１、図２、図３、図４、図５中、１００は検査装置、１１０第一の線状光源、１１５は第二の線状光源、１２０は第一のラインセンサ、１２５は第二のラインセンサ、１２７はＮＤフィルタ、１５０は画像データ処理部、２００はシャドウマスク、２００Ａ表面、２００Ｂ裏面、２００Ｓはシャドウマスク素材、２１０はグリル、２１１は表面部、２１１Ｅはエッジ、２１５は側壁部、２２０はスリット開孔、３１１、３１２は画像データメモリ、３２１、３２２は比較部（エッジ検出部）、３２５はスライスレベル判定部、３３１、３３２は矩形波発生部、３４０はパルス生成部、３５１、３５２はカウンタ、３６１は第一の比較判定部、３６２は第二の比較判定部、３６３は第三の比較判定部、３７１、３７２はメモリ、３８０は論理判定部（ＯＲ回路部）、４１０は第一のラインセンサ画像データ信号、４１５は第二のラインセンサ画像データ信号、４２１、４２２は表面部の信号レベル、４３１、４３２はスリット開口の信号レベル、４４１、４４２はスライスレベル、４５１、４５２はエッジ箇所、４１０Ａ、４１１Ａ、４１５Ａ、４１６Ａは生成波形、４１０Ｂ、４１１Ｂ、４１５Ｂ、４１６Ｂはパルス表示である。
本発明の検査装置は、エッチングにて貫通されたスリット開孔を有するカラー陰極線管（ＣＲＴ）の色選別に用いられるスリットタイプのシャドウマスクを、搬送方向に直交する方向にスリット開孔を向け、搬送させながら、シャドウマスクの表面部の欠陥を抽出する検査装置であり、図１に示すように、シャドウマスク２００の表裏面を、それぞれ照射する第一の線状光源１１０、第二の線状光源１１５と、該第一の線状光源１１０、第二の線状光源１１５からの正反射光を、それぞれ入力し、シャドウマスク２００表面の画像データ信号を得る第一のラインセンサ１２０、第二のラインセンサ１２５と、第一のラインセンサ１２０、第二のラインセンサ１２５により得られた画像データ信号をデータ処理し、表裏面の欠陥の有無を抽出する画像データ処理部１５０とを有し、且つ、図２に示すように、シャドウマスク２００のグリル２１０方向に第二の線状光源１１５、第二のラインセンサ１２５を設けている。
勿論、図２では表示されていないが、第一の線状光源１１０、第一のラインセンサ１２０もシャドウマスク２００のグリル２１０方向に設けている。図１に示す装置における第一のラインセンサ１２０、第二のラインセンサ１２５は、カメラに組み込まれたもので、ＣＣＤ素子等である。
【００１１】
図１に示す検査装置１００においては、シャドウマスク２００の表裏の第一の線状光源１１０、第二の線状光源１１５とが、互いに光の照射向きが対向するように配置されているが、これは、シャドウマスク単体またはシャドウマスクのスリット開孔２２０部に検査光に透明な電着レジストを埋め込んだ状態のものについて、グリル表面部の欠陥を検査する際に、シャドウマスク表裏の第一のラインセンサ１１０、第二のラインセンサ１１５には、それぞれ、にシャドウマスクの反対側からの光の入力がないものとできる。
図１は、シャドウマスク２００のスリット開孔部２２０に電着レジスト２５０を埋め込んだ状態でグリル２１０表面部の欠陥を抽出をする際の図を示しているが、本検査装置１００においては、必ずしも、電着レジスト２５０を埋め込む必要はなく、シャドウマスク単体での、グリル表面部の欠陥の抽出に際しても、本検査装置１００を適用できる。
尚、シャドウマスクに、検査光に不透明な電着レジストを埋め込んだ状態のものについて、表面部の欠陥を検査する場合には、図８に示すように、第一の線状光源１１０、第二の線状光源１１５、第一のラインセンサ１２０、第二のラインセンサ１２５を配置しても良い。
【００１２】
画像データ処理部１５０は、第一のラインセンサ１２０、第二のラインセンサ１２５により得られた画像データ信号から、シャドウマスク２００の表裏面についてそれぞれ、グリル２１０の表面部２１１のエッジ２１１Ｅを検出し、且つ、検出されたエッジ間の表面部２１１の幅またはスリット開口の幅を、所定周波数のパルス数に対応させる。
そして、パルス数に対応されたシャドウマスク表裏面のエッジ間のグリルの表面部２１１の幅またはスリット開口の幅を、パルス数でもって比較し、所定の差内であれば正常、所定の差でない場合には異常と判断する第一の比較判定部（図３の３６１）と、パルス数に対応されたシャドウマスク表面の隣接するエッジ間の幅について、パルス数でもって比較し、一致していれば正常、一致していなければ異常と判断する第二の比較判定部（図３の３６２）と、パルス数に対応されたシャドウマスク裏面の隣接するエッジ間の幅について、パルス数でもって比較し、一致していれば正常、一致していなければ異常と判断する第三の比較判定部（図３の３６３）と、全ての比較判定部の判断が正常である場合のみ正常とし、それ以外を異常と判断する論理判定部（図３の３８０）とを有するものである。
【００１３】
次に、図３に基づいて画像データ処理部１５０の処理フローを説明する。
Ｓ３１〜Ｓ３６、Ｓ３１Ａ〜Ｓ３６Ａは各ステップを示すものである。
先ず、図１に示す、シャドウマスクの表面２００Ａ側の第一のラインセンサ２１０にて得られた画像データ信号１２０Ｄは、順次、ラインセンサの各画素位置、走査（スキャン）数に対応させ、所定数走査（スキャン）分だけ、画像データメモリ３１０に蓄積される。（Ｓ３１）
次いで、この画像データメモリ３１０の各位置におけるデータ毎に、比較部（エッジ検出部）３２１にて、所定のスライスレベルと比較して表面部のエッジ位置を求める。（Ｓ３２）  スライスレベル設定部３２５により、比較部（エッジ検出部）３２１におけるスライスレベルの設定を行う。
求められたエッジ位置から、矩形波発生部３３１により矩形波を発生させ、シャドウマスクのグリルの表面部の幅またはスリット開口の幅に対応する矩形波出力を得る。（Ｓ３３）
これにより、隣接するエッジ間の表面部の幅またはスリット開口の幅が検出されたこととなる。
次いで、検出されたエッジ間の表面部の幅またはスリット開口の幅に対応する矩形波幅を、所定周波数のパルス数に対応させ、このパルス数をカウンターにより得る。（Ｓ３４）
所定周波数のパルス生成部３４０からのパルスと検出された隣接するエッジ間の表面部の幅またはスリット開口の幅に対応する矩形波とのＡＮＤ出力により、検出されたエッジ間の表面部の幅またはスリット開口の幅に対応するパルス数を得ることができる。
【００１４】
図１に示す、シャドウマスクの表面２００Ｂ側の第二のラインセンサ１２５にて得られた画像データ信号１２５Ｄについても、同様に、Ｓ３１Ａ、Ｓ３２Ａ、Ｓ３３Ａ、Ｓ３４Ａの処理を経て、検出された隣接するエッジ間の表面部の幅またはスリット開口の幅を、所定周波数のパルス数に対応させる。
【００１５】
次いで、パルス数に対応させて得られた、表裏のエッジ間の表面部の幅またはスリット開口の幅を、第一の比較判定部３６１により、パルス数で比較し、両者の差が所定数内である場合は正常と判断し、それ以外を異常と判断する。（Ｓ３５）正常と判断された場合には、０出力し、これを論理判定部（ＯＲ回路部）３７０へ入力する。
異常と判断された場合には、１出力し、これを論理判定部（ＯＲ回路部）３８０へ入力する。
【００１６】
このようにして、順次、隣接するエッジ間の表面部の幅またはスリット開口の幅に対応するパルス数を、それぞれ求めているが、一方、隣接するエッジ間の幅に対応する、カウンタ３５１内のパルス数を、メモリ３７１へ格納しておき、このメモリ３７１内に格納されたパルス数と、次いで新たに得られたカウンタ３５１内のパルス数とについて、第二の比較判定部３６２により比較し、一致している場合を正常、一致していない場合を異常と判断する。（Ｓ３６）
正常と判断された場合には、０出力し、それぞれ、これを論理判定部（ＯＲ回路部）３８０へ入力する。異常と判断された場合には、１出力し、それぞれ、これを論理判定部（ＯＲ回路部）３８０へ入力する。同様に、隣接するエッジ間の幅に対応する、カウンタ３５２内のパルス数を、メモリ３７２へ格納しておき、このメモリ３７２内に格納されたパルス数と、次いで新たに得られたカウンタ３５２内のパルス数とについて、第三の比較判定部３６３により比較し、一致している場合を正常、一致していない場合を異常と判断する。（Ｓ３６Ａ）
そして、正常と判断された場合には、０出力し、それぞれ、これを論理判定部（ＯＲ回路部）３８０へ入力する。異常と判断された場合には、１出力し、それぞれ、これを論理判定部（ＯＲ回路部）３８０へ入力する。
このように、第二の比較判定部３６２、第三の比較判定部３６３により、それぞれ、カウンタ３５１、３５２により得られたパルス数を順次、得られた順に比較することにより、隣接する表面部の幅またはスリット開口の幅に異常が有るか無いかを確認する。
【００１７】
論理判定部（ＯＲ回路部）３８０は、第一の比較判定部３６１、第二の比較判定部３６２、第三の比較判定部３６３からの入力を受け、出力するもので、全ての入力が０（正常判断）の場合には正常と判断して０出力し、入力の１つでも１（異常判断）の場合には異常と判断して１出力する。
【００１８】
次に、ステップＳ３２〜Ｓ３４、Ｓ３２Ａ〜Ｓ３４Ａまでの画像データ信号について、データ処理を更に説明する。
図４に示すデータ処理は、第一のラインセンサ１２５からの画像データ信号４１０、第二のラインセンサ１２０からの画像データ信号４１５をもとに、表面部の幅に対応する、パルス数を得る処理である。
尚、簡単のため表面部に欠陥がない場合について説明する。
尚、図４（ａ）（イ）、図４（ｂ）（イ）、図４（ｃ）（イ）はシャドウマスクの表面（図１の２００Ａ側）の表面部について、第一のラインセンサ１２５から得られた画像データ信号４１０の処理変移を示し、図４（ａ）（ロ）、図４（ｂ）（ロ）、図４（ｃ）（ロ）はシャドウマスクの裏面（図１の２００Ｂ側）の表面部について、第二のラインセンサ１２０から得られた画像データ信号４１５の処理変移を示している。
図４（ａ）は、画像データ信号と所定のスライスレベル４４１（４４２）との比較を示しており、比較により、表面部のエッジ４５１（４５２）位置を検出し、エッジ位置の検出結果に基づき、図４（ｂ）に示すような矩形波を発生させている。
図４（ｂ）に示す矩形波は、図４（ａ）における画像データ信号がスライスレベルを下から上に切るエッジの位置を、矩形波の立ち上がりエッジとしており、上から下に切るエッジの位置を、矩形波の立ち下がりエッジとしている。
図４（ａ）に示す画像データ信号の、エッジ検出による矩形波生成により、図４（ｂ）に示す、グリルの表面部の幅に対応する出力を得る。
得られた図４（ｂ）に示す表面部の幅に対応する出力と、所定周波数のパルス生成部からの出力とのＡＮＤ出力をとることにより、表面部の幅に対応するパルス数をえることができる。（図４（ｃ））
【００１９】
図５に示すデータ処理は、図４と同じ、ラインセンサから得られた画像データ信号４１０（４１５）をもとに、隣接するエッジ間のスリット開口の幅に対応した、パルス数を求め、これを比較するものである。
簡単のため、先ず、シャドウマスクの表面（図１の２００Ａ側）について、第一のラインセンサ１２５から得られた画像データ信号４１０の処理変移についてのみ説明する。
図５（ａ）（イ）は、第一のラインセンサ１２５による画像データ信号４１０と所定のスライスレベル４４１Ａとの比較を示しており、比較により、表面部のエッジ４５１Ａの位置を検出し、エッジ位置の検出結果に基づき、図５（ａ）（ロ）に示すような矩形波４１１Ａを発生させている。
図５（ａ）（ロ）に示す矩形波４１１Ａは、図５（ａ）（イ）における画像データ信号４１０がスライスレベル４４１Ａを上から下に切るエッジの位置を、矩形波の立ち上がりエッジとしており、下から上に切るエッジの位置を、矩形波の立ち下がりエッジとしている。
このようにして、図５（ａ）（イ）に示す画像データ信号の、エッジ検出による矩形波生成により、図５（ｂ）（イ）に示す、シャドウマスクのグリルのスリット開口の幅に対応する出力を得る。
得られた図５（ｂ）（イ）に示すスリット開口の幅に対応する出力と、所定周波数のパルス生成部からの出力とのＡＮＤ出力をとることにより、図５（ｃ）（イ）表面部の幅に対応するパルス数をえることができる。
同様にして、シャドウマスクの裏面（図１の２００Ｂ側）について、第二のラインセンサ１１５から得られた画像データ信号４１５の処理変移については、比較によるエッジ検出（図５（ａ）（ロ））を経て、図５（ｂ）（ロ）に示す、スリット開口の幅に対応する矩形波を得て、これより、更に、スリット開口の幅に対応するパルス数を得る。（図５（ｃ）（ロ））
【００２０】
次に、シャドウマスクのグリルの表面部に欠陥がある場合について、図３に示すＳ３２〜Ｓ３４（Ｓ３２Ａ〜３４Ａ）の処理を図６に基づいて簡単に説明する。
図５は、グリルの表面部に欠陥が無い場合の波形を図示しているが、この処理において、スリット開口に図９に示すキズ欠陥２１１Ａをもつ箇所をラインセンサにて画像データ信号を取り込んだ場合、ラインセンサによる画像データ信号４１０と所定のスライスレベル４４１Ａとは、図６（ａ）（イ）に示すようになる。
そして、画像データ信号６１０と所定のスライスレベル６４１との比較により、表面部のエッジ６５１の位置を検出し、エッジ検出により、スリット開口の幅に対応する矩形波出力を生成すると、図６（ａ）（ロ）のようになる。
キズ欠陥箇所がエッジ検出される。
更に、得られた図６（ａ）（ロ）に示すスリット開口の幅に対応する出力と、所定周波数のパルス生成部からの出力とのＡＮＤ出力をとることにより、スリット開口の幅に対応するパルス数をえることができる。（図６（ａ）（ハ））
即ち、スリット開口に図９に示すキズ欠陥２１１Ａをもつ箇所については、キズ欠陥２１１Ａの箇所に、異常パルスＰ１がカウントされることとなる。
したがって、隣接するスリット開口で、比較すると、欠陥箇所による異常パルスの発生した箇所では、正常のスリット開口に対応するパルス数と大きな差が出、これにより欠陥を検出することができる。
【００２１】
また、スリット開口に図９に示すカケ欠陥２１５Ａをもつ箇所をラインセンサにて画像データ信号を取り込んだ場合、ラインセンサによる画像データ信号６１０Ａと所定のスライスレベル６４１Ａとは、図６（ｂ）（イ）に示すようになる。
そして、画像データ信号６１０Ａと所定のスライスレベル６４１Ａとの比較により、表面部のエッジ６５１Ａの位置を検出し、エッジ検出により、スリット開口の幅に対応する矩形波出力を生成すると、図６（ｂ）（ロ）のようになる。
カケ欠陥箇所がエッジ検出される。
更に、得られた図６（ｂ）（ロ）に示すスリット開口の幅に対応する出力と、所定周波数のパルス生成部からの出力とのＡＮＤ出力をとることにより、スリット開口の幅に対応するパルス数をえることができる。（図６（ｂ）（ハ））
即ち、スリット開口に図９に示すカケ欠陥２１５Ａをもつ箇所については、対応するパルス数が、隣接する正常のスリット開口に比べ多くカウントされることとなる。
これにより、正常のスリット開口との比較でパルス数に差がでる。
また、表裏１面側にのみ図９に示すカケ欠陥２１５Ａをもつ箇所については、表裏間のパルス数の差が所定数を超えることとなる。
したがって、欠陥箇所を認識することができる。
【００２２】
次いで、シャドウマスクのスリット開孔部に電着レジストを埋め込んだ状態と、ラインセンサから得られる画像データ信号との関係を図７を下に説明する。
尚、電着レジストはシャドウマスクのグリルを固定した状態で検査するために設けたものである。
図７（ａ）は、スリット開孔部２２０に電着レジスト２５０が、その両面をシャドウマスク面にほぼ平行にして埋め込まれた状態で、図１に示すシャドウマスクの状態であり、前述の通り、ラインセンサから得られる画像データ信号は、図４、図５、図６のようになる。
図７（ｂ）は、電着レジスト２５０が、シャドウマスク面からへこんだ凹状である場合で、この場合のシャドウマスクの表裏から得られる画像データ信号は、それぞれ、図７（ｂ）（ロ）、図７（ｂ）（ハ）のようになる。
図７（ｃ）は、電着レジストがシャドウマスク面から凸状に出っ張った場合であるが、この場合も、凹状の場合とほぼ同様になる。
【００２３】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、エッチングにて貫通されたスリット開孔を有するスリットタイプのシャドウマスクの、表面部の欠陥を抽出する検査装置の提供を可能としている。
結果として、このようなスリットタイプのシャドウマスクにおいて、一層の品質の向上、安定化が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】      本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査装置の概略構成図
【図２】      シャドウマスクと線状光源、ラインセンサとの位置関係を示した図
【図３】      データ処理を説明するための図
【図４】      エッジ信号幅をパルス数に対応させる処理を説明するための図
【図５】      エッジ信号幅をパルス数に対応させる処理を説明するための図
【図６】      欠陥部を取り込んだ画像データ信号の処理を説明するための図
【図７】      電着レジストをスリット開口に埋め込んだ場合の画像データ信号を説明するための図
【図８】      線状光源とラインセンサの位置関係の１例を示した図
【図９】      シャドウマスクの表面欠陥を説明するための図
【図１０】      スリットタイプのシャドウマスクを説明するための図
【図１１】      カラー陰極線管（ＣＲＴ）を説明するための図
【符号の説明】
１００                    検査装置
１１０                    第一の線状光源
１１５                    第二の線状光源
１２０                    第一のラインセンサ
１２５                    第二のラインセンサ
１２７                    ＮＤフィルタ
１５０                    画像データ処理部
２００                    シャドウマスク
２００Ａ                  表面
２００Ｂ                  裏面
２００Ｓ                  シャドウマスク素材
２１０                    グリル
２１１                    表面部
２１１                    キズ欠陥
２１１Ｅ                  エッジ（表面部のエッジ）
２１５                    側壁部
２１５Ａ                  カケ欠陥
２１５Ｂ                  エグレ欠陥
２１５Ｃ                  大孔欠陥
２２０                    スリット開孔
２５０                    電着レジスト
３１１、３１２            画像データメモリ
３２１、３２２            比較部（エッジ検出部）
３２５                    スライスレベル判定部
３３１、３３２            矩形波生成部
３４０                    パルス生成部
３５１、３５２            カウンタ
３６１                    第一の比較判定部
３６２                    第二の比較判定部
３６３                    第三の比較判定部
３７１、３７２            メモリ
３８０                    論理判定部（ＯＲ回路部）
４１０                    第一のラインセンサ画像データ信号
４１０Ａ、４１５Ａ        矩形波
４１０Ｂ、４１５Ｂ        パルス表示
４１１Ａ、４１６Ａ        矩形波
４１１Ｂ、４１６Ｂ        パルス表示
４１２                    表面の画像データ信号
４１５                    第二のラインセンサ画像データ信号
４１７                    裏面の画像データ信号
４２１、４２２            表面部の信号レベル
４３１、４３２            スリット開口の信号レベル
４４１、４４１Ａ、４４２、４４２Ａ  スライスレベル
４５１、４５１Ａ、４５２、４５２Ａ  エッジ
７００                    シャドウマスク
７１０                    グリル
７１５                    スリット
７２０                    周辺部
７２２                    ノッチ
７３０                    開孔領域
８００                    カラー陰極線管（ＣＲＴ）
８１０                    電子銃
８１５                    電子線
８２０                    偏向ヨーク
８３０                    ファンネル
８４０                    パネル
８５０                    螢光面
８６０                    シャドウマスク
８７０                    フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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