(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ収納容器の上蓋の内側に取り付けられ、ウェーハ収納容器内に収容された複数のウェーハの各上縁部を弾性片でそれぞれ押えて該ウェーハを保持する構成のウェーハ押え部材において、
上記弾性片の先端部に、上記上蓋を閉じたときに上記ウェーハの上縁部が入り込む係止溝を形成するために、内側に傾斜する傾斜面をそれぞれ有しかつ互いに対向する一対の係止片が設けられているとともに、
上記弾性片の上記各係止片よりも先端側に、上記上蓋を閉じる過程において上記ウェーハの上縁部を上記係止溝に誘導するための傾斜面を有する１個のガイド片が、上記互いに対向する一対の係止片のうち一方の係止片に隣接して設けられ、このガイド片の先端部が凸曲面に形成されたことを特徴とするウェーハ押え部材。
【請求項２】
一枚のウェーハの上端部を係止溝に係止する一対の弾性片が互いに離間して設けられ、これらの弾性片に設けられたガイド片が、上記係止されたウェーハを挟んで両側に位置してそれぞれ設けられたことを特徴とする請求項１記載のウェーハ押え部材。
【請求項３】
一枚のウェーハの上端部を係止溝に係止する一対の弾性片が互いに離間して設けられ、これらの弾性片に設けられたガイド片が、上記係止されたウェーハの片側に位置してそれぞれ設けられたことを特徴とする請求項１記載のウェーハ押え部材。
【請求項４】
請求項１、２または３記載のウェーハ押え部材が上蓋の内側に取り付けられたことを特徴とするウェーハ収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数のウェーハを収容するウェーハ収納容器の上蓋に取り付けられて、ウェーハの上縁部を保持するウェーハ押え部材およびこのウェーハ押え部材を備えたウェーハ収納容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェーハ（以下、単にウェーハという）はシリコン等の単結晶インゴットを軸線に直交する方向に薄くスライスして得られるが、これは薄くて脆く、しかも汚染を極端に嫌うため、その搬送には充分な配慮が必要である。
すなわち、ウェーハをクリーンな状態で輸送するために、ウェーハをウェーハ収納インラインバスケット（内箱）に入れた状態でウェーハ収納容器（輸送用ウェーハ出荷ボックス）に収納し、これに、上蓋をかぶせて気密状態に封じ込め、さらに、ウェーハ収納容器の外部を包装し衝撃を緩和する緩衝材とともに段ボール梱包して、輸送する。そして、上記輸送中や保管中等において、振動等によりウェーハがウェーハ収納容器に対して移動しないようにするために、上記上蓋には、ウェーハ収納容器内に収容された複数のウェーハの各上縁部を弾性片でそれぞれ押えるウェーハ押え部材（上部緩衝部材）が設けられている。
【０００３】
以下、この種のウェーハ収納容器の従来例について、２つの例（実公平６−２２７２号公報および特開平５−６３０６５号公報）をあげて説明する。
【０００４】
実公平６−２２７２号公報に記載のウェーハ収納容器は、図１０に示すように、上蓋５１と容体５２と内箱５３とから構成され、上蓋５１と容体５２とのそれぞれの開口周縁には帯状段部５４、５５があって、パッキン５６を介して互いに係合閉止できるようになっている。内箱５３はその断面形状が椀状をしていて、その椀側部に相当する上部側壁５７、５７の内側にはウェーハＷの配列方向に多数のひだ５８・・・が互いに対称に設けられていて、それぞれの隣接するひだ５８、５８間にウェーハＷ・・・を、その左右両側縁で個別に収容し得るようになっている。一方、上蓋５１の下面には上部緩衝板６０が着脱自在に装着されており、各ウェーハＷ・・・の上縁部を弾性的に保持し輸送中の振動に備えるようになっている。
【０００５】
図１１はこの上部緩衝板６０の詳細を示すもので、これは、たとえば、四角形の枠体６１と、内箱５３の上部側壁５７、５７に平行して吊設されている一対の下降壁６２、６２とそれぞれの下縁部より内側方に相対して延出する多数の短冊状の弾性片６３・・・とから構成されていて、それぞれの弾性片６３・・・の先端部下面には各ウェーハＷ・・・の上縁部を係止するための係止片６４が設けられている。この係止片６４は互いに断面が対称の一組の側壁６５、６６からなっていて、同図（ｃ）に示されるように、その側面は全体としてＭ字状を呈している。この係止片６４を構成する一組の側壁６５、６６は各弾性片６３・・・の両側の斜め方向に相対して設けられ、また弾性片６３ａの一方の側壁６５ａが、これに隣接する弾性片６３ｂの他の側壁６６ｂと側面から見て互いに一部が重なり合う位置に隣接して設けられていて、各側壁６５、６６が弾性片全体として平面千鳥状を呈するように配設されている。
【０００６】
上記構成において、多数のウェーハＷを内箱５３のひだ５８・・・に沿って個別に挿入する際に、図１１（ｃ）に示されるように、その上縁部Ｗｃが弾性片６３ａと６３ｂの隙間Ｐにはまり込む恐れがなく、各係止片６４の一組の側壁６５、６６の間に収めることができる。一方、上部緩衝板６０によって支持されたウェーハＷは、その上縁部Ｗｃを上蓋５１の内部下面に設けられた上部緩衝板６０の係止片６４により、また左右両側縁を内箱５３の左右両側壁５７、５７に設けられたひだ５８、５８・・・間により、それぞれ個別に支持されるため、ウェーハＷの輸送中または取扱い中における振動に充分に対応し、ウェーハＷが上部緩衝板６０の係止片６４から外れて他の部品と接触し微粉を発生したり、損傷を受ける恐れがない。
【０００７】
一方、特開平５−６３０６５号公報に記載のウェーハ収納容器は、図１８および図１９に示すように、外箱７１と、該外箱７１内に収容される内箱７２と、ウェーハ押え７３を含んでいる。外箱７１は、本体７１Ａと上蓋７１Ｂとで構成され、上蓋７１Ｂは本体７１Ａにかぶせられて本体７１Ａと接合一体化されるが、両者の間にはパッキンが介在するため、上蓋７１Ｂを閉じた状態では外箱７１は密閉状態に保たれる。また、上記内箱７２は複数枚のウェーハＷを整然と収容するものであって、これの上部は開口し、その相対向する側壁の内側には縦方向に長い複数のリブがウェーハの配列方向に適当なピッチで突設されており、これらのリブの間には仕切り溝が形成されている。而して、ウェーハは側壁にそれぞれ形成された相対向する一対の仕切り溝に嵌め込まれて収容される。
【０００８】
ここで、ウェーハ押え７３の構成の詳細を図１２〜図１７に基づいて説明する。なお、図１２はウェーハ押え７３の正断面図、図１３は図１２の右側面図、図１４は図１２の下面図、図１５は図１４のＸＶ部拡大詳細図、図１６は図１５のＸＶＩ−ＸＶＩ線断面図、図１７は図１５のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ線断面図である。
ウェーハ押え７３は、摩擦係数の大きな熱可塑性エラストマー（ポリエステル系）等で一体成形され、これは矩形の枠体７５を有しており、該枠体７５の下面には、内側に向かって側面くの字状に折曲された複数の弾性片７６・・・がウェーハＷの配列方向（図１２の紙面垂直方向）に左右２列に高密度に配列され吊設されている。また、枠体７５の左右一対の弾性片７６・・・の列の中央部には、ウェーハＷの配列方向に長いオリフラ押え７７が設けられている。このオリフラ押え７７はウェーハＷのオリエンテーションフラット（オリフラ）Ｗａを押さえるためのものである。
【０００９】
弾性片７６・・・の自由端（ウェーハＷとの当接部）の下面には、図１５〜図１７に示すように、ウェーハＷの配列方向（図１５の左右方向）に相対向する櫛歯状の係止片７８ａ・・・、７８ｂ・・・および係止片７９ａ・・・、７９ｂが下方（図１７においては上方）に向かって広がるように突設されている。すなわち、図１５に示す一つの弾性体７６Ａにはそれぞれ３本の係止片７８ａ・・・、７８ｂが形成され、該弾性片７６Ａに隣接する弾性片７６Ｂ、７６Ｃにはそれぞれ４本の係止片７９ａ・・・、７９ｂが形成されている。そして、図１５に示すように、弾性片７６Ａの一方の係止片７８ａ・・・と弾性片７６Ｂの係止片７９ｂ・・・及び弾性片７６Ａの他方の係止片７８ｂ・・・と弾性片７６Ｃの係止片７９ａ・・・とは互いに噛み合っており、図１７に示すように、これら係止片７８ａ・・・と７９ｂ・・・及び係止片７８ｂ・・・と７９ａ・・・とは側面視で互いにオーバーラップしている。
【００１０】
また、図１７に示すように、各弾性片７６において係止片７８ａ・・・と係止片７８ｂおよび係止片７９ａ・・・と係止片７９ｂ・・・の相対向する面は斜面を構成しており、これらの係止片７８ａ・・・と係止片７８ｂおよび係止片７９ａ・・・と係止片７９ｂ・・・の間には下方（図１７においては上方）に向かって広がる溝（ウェーハＷが嵌合すべき溝）８２・・・が形成されている。
【００１１】
図１８に示すように複数枚のウェーハＷ・・・を図の紙面垂直方向に配列して収容する内箱７２は、外箱７１の本体７１Ａ内に収容され、その後に上蓋７１Ｂが図１９に示すように本体７１Ａにかぶせられて固定されると、該上蓋７１Ｂに取り付けられたウェーハ押え７３は、ウェーハＷ・・・の上縁部を押えてこれらウェーハＷ・・・を弾性的に保持する。すなわち、ウェーハ押え７３の左右一対の弾性片７６、７６はウェーハＷの上縁部に当接してその弾性力でウェーハＷを下方へ押圧して該ウェーハＷを弾性的に支持する。このとき、ウェーハＷは、その上縁部が弾性片７６、７６に突設された係止片７８ａ・・・、７８ｂ・・・および係止片７９ａ・・・、７９ｂ・・・の間の溝８２、８２に嵌まり込んで支持されるが、前述のように係止片７８ａ・・・と係止片７９ｂ・・・及び係止片７８ｂ・・・と係止片７９ａ・・・とは噛み合って側面視で互いにオーバーラップしており、このオーバーラップする部分は隣接するウェーハＷ、Ｗの間の中央において山の頂部を形成するため、ウェーハＷは弾性片７６、７６の間の隙間に落ち込むことなく、上蓋７１Ｂを閉じた時点でたとえば図１７の鎖線にて示す位置にあったウェーハＷは係止片７８ａ・・・に沿って溝８２の中央に自動的に位置せしめられる。この結果、全てのウェーハＷ・・・は弾性片７６・・・の溝８２・・・に嵌まり込んでその上縁を保持され、弾性片７６・・・の間に挟まれることがないため、損傷を受けることがない。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記実公平６−２２７２号公報に記載の従来例では、係止片をＭ字状を呈する一組の側壁から構成するので、この側壁の形状が複雑になってコストが嵩み、また、上記特開平５−６３０６５号公報に記載の従来例では、係止片を櫛歯形状にして互いに噛み合わせるものなので、やはり、構造が複雑化し、製造コストが嵩むことになる。
さらに、上記各従来例においては、弾性片の先端部のみに設けられた係止片が、ウェーハを溝に装着するためのガイドの役目の他に、上記溝を形成する役目も兼ねているので、ウェーハの上縁部を確実に保持するためには、係止片の全長に渡り上記溝の方向を精度よく形成しなければならず、ウェーハ押え部材を作製するための金型として精度の高い高価なものを用いる必要があり、結果的に、製造コストのさらなる増加が伴うことになる。
【００１３】
そこで、本出願人は、上記問題を解消するものとして、新規のウェーハ収納容器のウェーハ押え部材を提案した（特願平８ー３１１０４６号参照）。このウェーハ収納容器について、図２０〜図２６を参照して説明する。
図２０の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、ウェーハ収納容器の正面図および側面図である。図２１は図２０に示したウェーハ収納容器の係止構造を示す図であって、第１および第２の双方のフック部材１９、２０が上蓋２４に係止されている状態を示している。図２２は図２１に示したウェーハ押え部材の正面図、図２３は図２２の下面図、図２４は図２３のＸＸＩＶ−ＸＸＩＶ線矢視図、図２５は図２３の要部である各弾性片の拡大図、図２６はウェーハの上縁部が係止溝に保持されるまでの過程を説明するための図である。
【００１４】
まず、図２０および図２１に示すように、平面視略矩形の上蓋２４は、その互いに相対向する位置において、後述する一対の係止機構Ａ、Ａにより、外箱本体２５に係止されるようになっている。そして、これらの上蓋２４および外箱本体２５とで、ウェーハ収納容器が構成され、複数枚のウェーハＷを整然とした状態で収納するようになっている。
【００１５】
複数枚のウェーハＷは、外箱本体２５内に設けた中仕切りと呼ばれる内箱（バスケット）３３に整然と収容されている。内箱３３の上部は開口し、その相対向する一対の側壁の内側には縦方向に長い複数のリブ３４がウェーハＷの配列方向（図２１では図面に垂直な方向）に適当なピッチで突設されており、これらのリブ３４の間には複数の仕切溝が形成されている。そして、各ウェーハＷは、上記側壁壁にそれぞれ形成された相対向する一対の仕切溝に嵌め込まれて整然と並べられている。そして、上蓋２４が外箱本体２５に密着している状態において、上蓋２４の天板部２４ｃの下面には、上記整然と並べられた各ウェーハＷのそれぞれの上縁部に当接して押さえるための複数の弾性片（ウェーハ押さえ片）３６を有するウェーハ押さえ部材（上部緩衝部材）３５が装着されている。これにより、ウェーハ収納容器の輸送時等においても、ウェーハＷが安定に保持されて移動したりしない。
【００１６】
さらに、図２１に示すように、上蓋２４の下端開口周縁部は、内外二重壁を構成する内側壁２４ｂと外側壁２４ａとを有する突出部（フランジ部）２４ｅが形成されている。また、外箱本体２５の上端の開口周縁部にも、同じく内外二重壁を構成する内側壁２５ｂと外側壁２５ａとが形成されている。なお、符号２５ｃは、外箱本体２５の上部を取り囲む大径側壁を示している。
図示のように、上蓋２４が外箱本体２５の上端開口部にかぶせられて係止されている状態においては、上蓋２４および外箱本体２５の各外側壁２４ａ、２５ａは互いに嵌合しているとともに、上蓋２４および外箱本体２５の各内側壁２４ａ、２５ａも互いに嵌合している。外箱本体２５の内外側壁２５ｂ、２５ａで囲まれる環状の空間は、シール部材（たとえばＯリング）２６を装着するためのシール部材装着溝２８になっている。一方、上蓋２４の突出部２４ｅの下面には、上記シール部材２６に押圧する断面逆山形の突起２７が環状に形成されている。この突起２７の下端がシール部材２６に線接触にて押圧し、シール部材２６とのシール作用によって上蓋２４と外箱本体２５との接合部からウェーハ収納容器内への外気の浸入が防止されている。
【００１７】
また、係止機構Ａについて図２１を参照して簡単に説明すると、外箱本体２５の相対向する側壁にはブラケット３１が一体的にそれぞれ設けられており、各ブラケット３１にはピン部材３２を介して第１のフック部材１９の下端部が回動自在（矢印Ｂ方向参照）に設けられている。この第１のフック部材１９は側面視（図２０（ｂ）図示）でほぼ凹型のものであり、その上部凹部には、第２のフック部材２０の下端部がピン部材３０を介して回動自在（矢印Ｃ方向参照）に支持されている。
上蓋２４の側壁２４ｄには空気流通穴４０が形成され、この空気流通穴４０は、図２１の状態時には、上記側壁２４ｄが第２のフック部材２０により押圧されていることにより密閉されている。
【００１８】
第１のフック部材１９の上端部両側は、上蓋２４の突出部（フランジ部）２４ｅの上面と係止可能な突出部２４ｆ、２４ｇになっている（図２０（ｂ）参照）。一方、第２のフック部材２０はほぼ「く」字型に屈曲形成されたものであり、その上端部で上蓋２４の天板部２４ｃに係止可能である。
符号３７は上蓋２４に設けられた押し上げ突起を示している。この押し上げ突起３７は、上記上蓋２４の側壁２４ｄの、第２のフック部材２０と重なる位置に、側方へ突出するように一体的に設けられている。そして、第２のフック部材２０には、上記天板部２４ｃに係止されている状態において、上記押し上げ突起３７が入り込むような凹み部２０ａが形成されている。
【００１９】
さらに、図２２〜図２６に示すように、上蓋２４の下面に着脱自在に装着されたウェーハ押え部材３５は、その本体３５ａの両側から下方へ垂設されて略「く」字状に広がる短冊状の弾性片３６を複数備えている。ウェーハ押え部材３５の片側（たとえば図２２および図２３中の左側）において、弾性片３６の数は収容するウェーハＷの数と等しい数となっており、上記の弾性片３６はウェーハ押え部材３５の両側に設けられているので、弾性片３６の総数はウェーハの最大収容数の２倍と等しい。なお、上蓋２４が外箱本体（容器本体）２５に係止されている状態では、各弾性片３６は各ウェーハＷより力を受け、両側の弾性片３６のなす角度θ（図２２参照）はほぼ９０゜になっている。なお、ウェーハ押え部材３５は、摩擦係数の大きな樹脂、たとえば熱可塑性エラストマー（ポリエステル系）で一体成形されたものである。
【００２０】
特に、図２５および図２６に示すように、各弾性片３６の先端部下面の幅方向の両端部に、ウェーハＷの上縁部をガイドするための内側に傾斜する傾斜面４８ａ、４８ｂをそれぞれ有する一対のガイド片４１ａ、４１ｂが、上記弾性片３６の長さ方向に互い違いに設けられ、隣接する弾性片３６の隣接するガイド片４１ｂ、４１ａの一部は弾性片の幅方向に重なり合っている。本例では、この重なり量（オーバーラップ量）Ｈ（図２５参照）は弾性片３６間の隙間量と等しくなっている。なお、各ガイド片４１ａ、４１ｂの幅方向両側の下面は平坦部４３、４４になっている。
【００２１】
弾性片３６のガイド片４１ａ、４１ｂよりも根元側の下面に、ウェーハＷの上縁部を押えるための内側に傾斜する傾斜面４９ａ、４９ｂをそれぞれ有する一対の係止片４２ａ、４２ｂが設けられている。この一対の係止片４２ａ、４２ｂの間にウェーハ装着溝（係止溝）４７が形成されている。なお、各係止片４２ａ、４２ｂの幅方向両側の下面は平坦部４５、４６になっており、傾斜面４９ａ、４９ｂの傾斜角度は傾斜面４８ａ、４８ｂのそれよりも大きくなっている。
【００２２】
上記のように構成されたウェーハ収納容器において、複数枚のウェーハＷを収容した内箱３３を外箱本体２５内に装着した状態で、この外箱本体２５に上蓋２４をかぶせると、図２６に示すように、ウェーハＷ（二点鎖線で示す）の上縁部は、対応する一対のガイド片４１ａ、４１ｂのいずれかの傾斜面４８ａ、４８ｂに当接する。隣接する弾性片３６の隣接するガイド片４１ｂ、４１ａの一部は上記弾性片３６の幅方向に重なり合っているので、ウェーハＷの上縁部が隣接する弾性片３６間に挿入される恐れはない。この状態では、ウェーハＷから弾性片３６におよぼされる力は小さいので、弾性片３６は大きくは変形せず、両側の弾性片３６のなす角度θ（図２２参照）は９０゜より小さくなっている。第１のフック部材１９を収納容器側に回動させて、その突出部２４ｆ（２４ｇ）で上蓋２４の突出部２４ｅに係止させて下方へ押圧して、上蓋２４を外箱本体２５に密閉する。
この際、上蓋２４は若干下降して、ウェーハＷ（実線で示す）の上縁部はガイド片４１ａ、４１ｂにガイドされつつ、一対の係止片４２ａ、４２ｂ間の係止溝４７に当接されて保持される。この状態では、弾性片３６は大きく変形し、両側の弾性片３６のなす角度θ（図２２参照）はほぼ９０゜になっている。
そして、第２のフック部材２０を上蓋２４の天板部２４ｃに係止させる（図２１の状態）。
【００２３】
上述のように、各弾性片３６の先端に一対のガイド片４１ａ、４１ｂを互い違いに設けて、このガイド片４１ａ、４１ｂの後方に一対の係止片４２ａ、４２ｂを設けて係止溝４７を形成することにより、簡単な構成にすることができる。そして、上蓋２４を下降させて外箱本体２５に装着する際には、まず、各弾性片３６の一対のガイド片４１ａ、４１ｂの間にウェーハＷの上縁部が入り込み、それらの傾斜面４８ａ、４８ｂによりウェーハＷは一対のガイド片４１ａ、４１ｂ間の中間に移動するように案内されるので、ウェーハＷは係止溝４７に円滑に入って保持される。
【００２４】
このように、それぞれ簡単な形状のガイド片４１ａ、４１ｂおよび係止片４２ａ、４２ｂにそれぞれガイドおよび保持する機能を分担させることにより、係止溝４７の方向および幅が高精度に要求される係止片４２ａ、４２ｂの長さが短くても、ウェーハＷの上縁部をまずガイド片４１ａ、４１ｂで案内して係止溝４７に入れることができる。そして、ウェーハ押え部材３５は金型により一体成形されるものであり、高精度を要する係止片４２ａ、４２ｂの長さが短くてもよいので、この金型の精度は低いもので済み、結果的に、製造コストが低く済む。
【００２５】
ところで、上記特願平８ー３１１０４６号に記載のウェーハ収納容器にあっては、隣接するガイド片４１ａ、４１ｂどうしが重なり合っているために、傾いたウェーハＷが該ガイド片４１ａ、４１ｂに同時に接触することにより、円滑にガイドされずに、ウェーハＷを引っかけてしまい、ウェーハＷに傷をつけてしまう場合があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ウェーハの上縁部を押えて円滑にかつ確実に保持できるとともに、構成が簡単で製造コストが安い、ウェーハ押え部材およびこのウェーハ押え部材を備えたウェーハ収納容器を提供することにある。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１は、ウェーハ収納容器の上蓋の内側に取り付けられ、ウェーハ収納容器内に収容された複数のウェーハの各上縁部を弾性片でそれぞれ押えて該ウェーハを保持する構成のウェーハ押え部材において、上記弾性片の先端部に、上記上蓋を閉じたときに上記ウェーハの上縁部が入り込む係止溝を形成するために、内側に傾斜する傾斜面をそれぞれ有しかつ互いに対向する一対の係止片が設けられているとともに、上記弾性片の上記各係止片よりも先端側に、上記上蓋を閉じる過程において上記ウェーハの上縁部を上記係止溝に誘導するための傾斜面を有する１個のガイド片が、上記互いに対向する一対の係止片のうち一方の係止片に隣接して設けられ、このガイド片の先端部が凸曲面に形成されたものである。
この請求項１にあっては、一対の係止片によって構成される係止溝にウェーハを誘導するに際して、一方の係止片に隣接して設けられたガイド片の傾斜面によってウェーハをガイドして係止片の傾斜面に導く。これにより、従来のように、ウェーハが隣接する弾性片のガイド片に同時に接触して円滑にガイドされないような事態を招くことがない。また、凸曲面に形成されたガイド片の先端部によって、ウェーハを円滑に所定方向に誘導することにより、ウェーハがより傷つきにくい。
【００２７】
本発明の請求項２は、一枚のウェーハの上端部を係止溝に係止する一対の弾性片が互いに離間して設けられ、これらの弾性片に設けられたガイド片が、上記係止されたウェーハを挟んで両側に位置してそれぞれ設けられたものである。
この請求項２にあっては、一対の弾性片にそれぞれ設けられた１個ずつのガイド片が、ウェーハを挟んで両側に位置しているから、これらのガイド片によってウェーハをガイドすることにより、ウェーハを係止片の傾斜面に受け渡し、係止溝に円滑に誘導することができる。
【００２８】
本発明の請求項３は、一枚のウェーハの上端部を係止溝に係止する一対の弾性片が互いに離間して設けられ、これらの弾性片に設けられたガイド片が、上記係止されたウェーハの片側に位置してそれぞれ設けられたものである。
この請求項３にあっては、一対の弾性片にそれぞれ設けられた１個ずつのガイド片が、ウェーハの片側に位置しているから、これらのガイド片によってウェーハをガイドすることにより、ウェーハを係止片の傾斜面に受け渡し、係止溝に円滑に誘導することができる。
【００２９】
本発明の請求項４は、上記請求項１、２または３記載のウェーハ押え部材が上蓋の内側に取り付けられたものである。
この請求項４にあっては、上記構成のウェーハ押え部材によってウェーハを確実に押さえることにより、運搬時等にウェーハが揺れ動くようなことがなく、円滑に取り扱うことができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
図１は本発明の一実施形態のウェーハ収納容器の外観を示す斜視図、図２は図１のウェーハ収納容器の構成を示す分解斜視図、図３は本発明の一実施形態を示すウェーハ押え部材の正面図、図４は図３の下面図、図５は図４のＶーＶ線矢視図、図６は外箱本体を示す正面図、図７は図６の平面図、図８は図６の左側面図、図９は本発明の他の実施形態を示すウェーハ押え部材の下面図である。
【００３１】
本実施形態のウェーハ収納容器は、図１および図２に示すように、外箱１とこの外箱１内に収納される内箱２を含んで構成され、上記外箱１は、外箱本体３とこの外箱本体３に対して開閉可能な上蓋４とに分割される。外箱本体３には、平面視がほぼ矩形断面の開口部の全周にわたってコ字状断面のシール溝５が設けられ、シール部材としてのパッキン６がシール溝５に嵌合して配設されている。外箱本体３は四隅のコーナー部に設けられた上下方向の４本の脚部３ａで自立し、対向する一対の外側面の脚部３ａ、３ａ間には本体凹部３ｂが設けられ、この本体凹部３ｂを形成する側壁上部にフック・レバー部材７が着脱可能に取り付けられるとともに、他の対向する外側面には、ウェーハ収納容器を持ち運ぶ時に使用する搬送凹部３ｃ、３ｄ（図６および図８参照）が設けられている。
【００３２】
上記上蓋４の内側には、複数のウェーハ装着溝（係止溝）８ａを備えたウェーハ押え部材８が着脱可能に取り付けられている一方、内箱２には、複数枚のウェーハＷを整然とした状態で収納するために、上記ウェーハ装着溝８ａに対向する収納溝２ａが複数設けられている。
上記フック・レバー部材７は、一対の係合凹部１１を備えたフック部９と、指掛け部１５を備えたレバー部１０とが分割可能に連結されている。そして、上記レバー部１０は上記外箱本体３に回動自在に支持されている一方、フック部９の係合凹部１１に、上記上蓋４に形成された係合突起１７が入り込むことにより、フック・レバー部材７を介して、外箱本体３と上蓋４とが係止するように構成されている。
【００３３】
上記ウェーハ押え部材８は、図３〜図５に示すように、その本体８ｂの両側から下方へ垂設されて略「く」字状に広がる弾性片８ｃが対をなして複数設けられている。ウェーハ押え部材８の一方側において、弾性片８ｃの数は収容するウェーハＷの数と等しい数となっており、上記弾性片８ｃはウェーハ押え部材８の本体８ｂの両側に設けられて、上記ウェーハＷの上端部の２カ所をそれぞれ保持するようになっているので、弾性片８ｃの総数はウェーハＷの最大収容数の２倍に設定されている。なお、ウェーハ押え部材８は、摩擦係数の大きな樹脂、たとえば熱可塑性エラストマー（ポリエステル系）で一体成形されたものである。
【００３４】
上記各弾性片８ｃの先端部下面の幅方向の両端部には、ウェーハＷの上縁部を押えるための内側に傾斜する傾斜面８ｄ、８ｅをそれぞれ有する一対の係止片８ｆ、８ｇが設けられている。そして、この一対の係止片８ｆ、８ｇの間に上記ウェーハ装着溝（係止溝）８ａが形成されている。なお、上記各傾斜面８ｄ、８ｅに連なる各係止片８ｆ、８ｇの幅方向両側の下面は、円弧面状の凸曲面８ｈ、８ｉになっている。
【００３５】
上記弾性片８ｃの上記各係止片８ｆ、８ｇよりも先端側には、上記ウェーハｗの上縁部を上記係止溝８ａに誘導するための傾斜面８ｊを有する１個のガイド片８ｋが、上記互いに対向する一対の係止片８ｆ、８ｇのうち一方の係止片８ｆ、８ｇに隣接して設けられている。すなわち、図４において、左側の弾性片８ｃにあっては、係止片８ｆに並んで係止片８ｆよりも先端側にガイド片８ｋが設けられ、かつ右側の弾性片８ｃにあっては、係止片８ｇに並んで係止片８ｇよりも先端側にガイド片８ｋが設けられている。
【００３６】
また、これらの傾斜面８ｊに連なる各ガイド片８ｋの先端面（下面）は、円弧面状の凸曲面８ｍとされている。さらに、上記ガイド片８ｋは、隣接する弾性片８ｃ側に張り出して形成されている。さらにまた、上記傾斜面８ｄ、８ｅの傾斜角度は傾斜面８ｊのそれよりも大きくなっている。
【００３７】
上記外箱本体３は、図６〜図８に示すように、その外側面に上記搬送凹部３ｃ、３ｄが形成され、かつ上縁部にこの上縁部から垂下する垂下壁３ｅが形成されている。そして、この垂下壁３ｅは、図８に示すように、上記フック・レバー部７を装着する部分３ｆが切り欠かれて形成されている。
【００３８】
また、上記垂下壁３ｅと、上記搬送凹部３ｃ、３ｄとの間の空隙が、搬送時の指かかり部３ｇ、３ｈとされている。そして、指かかり部３ｈは、指かかり部３ｇに比べて深く形成されており、これにより、持ち運ぶ際の指のかかり具合の違いから、内部に収容された内箱２内のウェーハＷの表裏判別の目安とすることができる。
なお、上位搬送凹部３ｄは、その中間部に段差部３ｉが形成されており、この段差部３ｉにより、目視による上記内箱２内のウェーハＷの表裏判別の目安とすることができる。
【００３９】
上記のように構成されたウェーハ収納容器においては、従来同様に、収納溝２ａに複数枚のウェーハＷを収容した状態の内箱２を外箱本体３内に装着して、この外箱本体３上に上蓋４をかぶせる。
この場合、上蓋４を外箱本体３上にかぶせると、ウェーハＷの上端部は、対応する一対の弾性片８ｃのガイド片８ｋの傾斜面８ｊに当接し、これらの傾斜面８ｊに沿って移動して、各一対ずつの係止片８ｆ、８ｇの傾斜面８ｄ、８ｅに円滑に受け渡されて、これらの係止片８ｆ、８ｇ間の係止溝８ａに確実に誘導されて保持される。
【００４０】
そして、上蓋４を外箱本体３にしっかりと密着させて内部を密閉状態にすると、上記弾性片８ｃが変形して、この弾性力によって、上記係止溝８ａに装着されたウェーハＷを下方に押え付けて内箱２の収納溝２ａとの間において確実に保持する。
【００４１】
また、上記ガイド片８ｋおよび係止片８ｆ、８ｇは、それらの先端面（下端面）が凸曲面８ｍ、８ｈ、８ｉに形成されているから、これらの凸曲面８ｍ、８ｈ、８ｉにウェーハＷが接触した場合に、ウェーハＷに対する当たりが柔らかで、ウェーハＷが損傷することがないとともに、ウェーハＷが該凸曲面８ｍ、８ｈ、８ｉから容易に傾斜面８ｊ、８ｄ、８ｅに導かれる。
【００４２】
なお、本実施形態においては、図４に示すように、ガイド片８ｋを、左側の弾性片８ｃにあっては、、係止片８ｆに並んで係止片８ｆよりも先端側に設け、かつ右側の弾性片８ｃにあっては、、係止片８ｇに並んで係止片８ｇよりも先端側に設けて、これらの対をなすガイド片８ｋ、８ｋを、ガイド対象であるウェーハＷを挟んで両側に位置するように配置した構成で説明したが、これに限らず、図９に示すように配置してもよい。
【００４３】
すなわち、左右の弾性片８ｃともに、ガイド片８ｋを、係止片８ｆに並んで係止片８ｆよりも先端側に設けて、これらの対をなすガイド片８ｋ、８ｋを、ガイド対象であるウェーハＷの片側に位置するように配置してもよい。
【００４４】
なおまた、複数枚のウェーハＷを収容した状態の内箱２を外箱本体３内に装着して、この外箱本体３上に上蓋４をかぶせる際に、外箱本体３（内箱２）を傾斜させて、内部のウェーハＷを片寄せ状態（ウェーハ面が鉛直面に対して所定角度傾斜した状態）にしておくと、各ウェーハＷの上縁部が一方向に揃うから、これらのウェーハＷの上縁部と弾性片８ｃのガイド片８ｋおよび係止片８ｆ、８ｇとが円滑に係合し易くなる。
【００４５】
【発明の効果】
本発明の請求項１は、ウェーハ収納容器の上蓋の内側に取り付けられ、ウェーハ収納容器内に収容された複数のウェーハの各上縁部を弾性片でそれぞれ押えて該ウェーハを保持する構成のウェーハ押え部材において、上記弾性片の先端部に、上記上蓋を閉じたときに上記ウェーハの上縁部が入り込む係止溝を形成するために、内側に傾斜する傾斜面をそれぞれ有しかつ互いに対向する一対の係止片が設けられているとともに、上記弾性片の上記各係止片よりも先端側に、上記上蓋を閉じる過程において上記ウェーハの上縁部を上記係止溝に誘導するための傾斜面を有する１個のガイド片が、上記互いに対向する一対の係止片のうち一方の係止片に隣接して設けられ、このガイド片の先端部が凸曲面に形成されたものであるから、一対の係止片によって構成される係止溝にウェーハを誘導するに際して、一方の係止片に隣接して設けられたガイド片の傾斜面によってウェーハをガイドして係止片の傾斜面に導くことにより、従来のように、ウェーハが隣接する弾性片のガイド片に同時に接触して円滑にガイドされないような事態を招くことがない。また、凸曲面に形成されたガイド片の先端部によって、ウェーハを円滑に所定方向に誘導することにより、ウェーハがより傷つきにくい。
したがって、ウェーハの上縁部を押えて円滑にかつ確実にウェーハを保持できるとともに、構成が簡単で製造コストが安いという優れた効果を奏することができる。
【００４６】
本発明の請求項２は、一枚のウェーハの上端部を係止溝に係止する一対の弾性片が互いに離間して設けられ、これらの弾性片に設けられたガイド片が、上記係止されたウェーハを挟んで両側に位置してそれぞれ設けられたものであるものであるから、これらのガイド片によってウェーハをガイドすることにより、ウェーハを係止片の傾斜面に受け渡し、係止溝に円滑に誘導することができる。
【００４７】
本発明の請求項３は、一枚のウェーハの上端部を係止溝に係止する一対の弾性片が互いに離間して設けられ、これらの弾性片に設けられたガイド片が、上記係止されたウェーハの片側に位置してそれぞれ設けられたものであるから、これらのガイド片によってウェーハをガイドすることにより、ウェーハを係止片の傾斜面に受け渡し、係止溝に円滑に誘導することができる。
【００４８】
本発明の請求項４は、上記請求項１、２または３記載のウェーハ押え部材が上蓋の内側に取り付けられたものであるから、上記構成のウェーハ押え部材によってウェーハを確実に押さえることにより、運搬時等にウェーハが揺れ動くようなことがなく、円滑にウェーハを取り扱うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態のウェーハ収納容器の外観を示す斜視図である。
【図２】  図１のウェーハ収納容器の構成を示す分解斜視図である。
【図３】  本発明の一実施形態を示すウェーハ押え部材の正面図である。
【図４】  図３の下面図である。
【図５】  図４のＶーＶ線矢視図である。
【図６】  外箱本体を示す正面図である。
【図７】  図６の平面図である。
【図８】  図６の左側面図である。
【図９】  本発明の他の実施形態を示すウェーハ押え部材の下面図である。
【図１０】  従来の上部緩衝板を備えたウェーハ収納容器について、その構造を説明するための分解斜視図である。
【図１１】  図１０の上部緩衝板に係わる図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はその部分拡大平面図、（ｃ）はウェーハ挿入時の作用を示す、（ｂ）図のＸＩＩ−ＸＩＩ線断面図である。
【図１２】  他の従来のウェーハ押えの正断面図である。
【図１３】  図１２のウェーハ押えの側面図である。
【図１４】  図１２のウェーハ押えの下面図である。
【図１５】  図１４のＸＶ部拡大詳細図である。
【図１６】  図１５のＸＶＩ−ＸＶＩ線断面図である。
【図１７】  図１５のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ線断面図である。
【図１８】  ウェーハ押えの作用説明のための、上蓋の収納容器本体への装着前のウェーハ収容容器の正断面図である。
【図１９】  ウェーハ押えの作用説明のための、上蓋の収納容器本体への装着後のウェーハ収納容器の正断面図である。
【図２０】  （ａ）、（ｂ）はそれぞれ、本出願人が提案したウェーハ収納容器の正面図、側面図である。
【図２１】  図２０に示したウェーハ収納容器の係止構造を示す図であり、第１および第２の双方のフック部材が上蓋に係止されている状態を示している。
【図２２】  ウェーハ押え部材の正面図である。
【図２３】  図２２の下面図である。
【図２４】  図２３のＸＸＩＶ−ＸＸＩＶ線矢視図である。
【図２５】  図２３の要部（弾性片の先端部）の拡大図である。
【図２６】  ウェーハを溝に装着する過程を示す説明図である。
【符号の説明】
Ｗ  ウェーハ
３  外箱本体
４  上蓋
８  ウェーハ押え部材
８ａ  ウェーハ装着溝（係止溝）
８ｃ  弾性片
８ｄ、８ｅ  傾斜面
８ｆ、８ｇ  係止片
８ｊ  傾斜面
８ｋ  ガイド片
８ｍ  凸曲面
【図１】
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【図２】
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【図３】
0003701496.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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