(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
監視対象に関する情報を表わす複数の文書及び図面をそれぞれ文書・図面ファイルとして格納する文書・図面ファイル格納手段と、
前記文書・図面ファイルの内容を画面に表示する表示手段と、
前記文書・図面ファイルの中から特定の文書又は図面を指定する指令信号に応じて、当該文書又は図面の検索を行い、その文書又は図面の情報を前記表示手段に表示させる文書・図面表示制御手段とを備えた文書・図面検索表示システムにおいて、
前記指令信号は、前記監視対象の状態検出手段により検出された状態に対応する識別番号を含み、前記文書・図面ファイルは、前記識別番号とこれに対応する文書及び図面とを含み、
前記指令信号が前記監視対象の異常状態を示すアラーム信号であるとき、前記表示手段は、前記識別番号により特定されるアラーム発生箇所を表示すると共に、前記異常状態への対処方法を記述した文書を表示するか又はその異常が発生した箇所の構成を示す図面を表示するかをオペレータに選択させるアラーム表示画面を表示し、
前記文書・図面表示制御手段は、前記アラーム表示画面で文書が選択されたときは前記異常状態が検出されたアラーム発生箇所に対応する電子文書、前記アラーム表示画面で図面が選択されたときは前記異常状態が検出されたアラーム発生箇所に対応する電子図面を、前記表示手段に表示させる
ことを特徴とする文書・図面検索表示システム。
【請求項２】
監視対象に関する情報を表わす複数の文書及び図面をそれぞれ文書・図面ファイルとして格納する文書・図面ファイル格納手段と、
前記文書・図面ファイルの内容を画面に表示する表示手段と、
前記文書・図面ファイルの中から特定の文書又は図面を指定する指令信号に応じて、当該文書又は図面の検索を行い、その文書又は図面の情報を前記表示手段に表示させる文書・図面表示制御手段とを備えた文書・図面検索表示システムにおいて、
前記表示手段は、前記文書又は図面のどちらを表示するかをオペレータに選択させる選択画面を表示し、該選択画面で文書が選択されたときは電子文書、該選択画面で図面が選択されたときは電子図面を表示し、
前記指令信号は前記選択画面で選択された文書又は図面を指定する信号であり、前記文書・図面表示制御手段は、その信号で指定された文書又は図面を検索し前記表示手段に表示させることを特徴とする文書・図面検索表示システム。
【請求項３】
請求項１又は２記載の文書・図面検索表示システムにおいて、前記文書・図面ファイル格納手段は、前記文書・図面表示制御手段に付随的に設けられた記憶部である文書・図面検索表示システム。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか記載の文書・図面検索表示システムにおいて、前記文書・図面ファイル格納手段は、前記文書・図面表示制御手段に付随して設けられ、前記監視対象に関する情報を格納した第１の記憶部と、前記文書・図面表示制御手段と通信手段を介して接続される文書・図面管理手段に付随して設けられ、前記監視対象の変更や改造に伴って前記第１の記憶部に格納されている情報の内容が変更又は改変された場合にその変更又は改変後の情報が格納される第２の記憶部とで構成されている文書・図面検索表示システム。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか記載の文書・図面検索表示システムにおいて、前記監視対象は半導体又は液晶製造装置であり、前記文書及び図面は当該半導体又は液晶製造装置の構造、取扱い、部品名称等の記述及び装置全体或いは部品の回路図である文書・図面検索表示システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子化された文書・図面のファイルの中から特定の文書及び図面を必要な時に即座に検索して表示できる文書・図面検索表示システムに関する。なお、本発明でいう「文書・図面」は、文字、記号、符号等で記述された文書と、図形や絵柄等で表わされた図面とを含む。従って、「文書・図面ファイル」は、文書及び図面の内容をデータ化したものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体製造工程では、極めて僅かな不純物（例えば１ミクロン以下のごみ）でも、製造される半導体に悪影響を与えるため、半導体製造装置は、クリーンルームと称される室内で稼動するように配置されており、このクリーンルーム内には塵や埃を持ち込まないように厳しく管理されている。その管理の一つとして、塵や埃その他の不純物が付着しやすい紙類の持込みが禁止されているので、製造工場の管理者やオペレータ等の要員は、半導体製造装置の構造及びトラブル対策等を記載した書類（マニュアル）を持ち込むことができない。そのため、半導体製造工程で何らかの事故或いは不都合が生じた場合、現場でマニュアルを参照しながら原因の究明や対策をとることができず、知識や経験の乏しい要員は、クリーンルームの外に出てマニュアルを参照しなければならず、不便であると共に迅速な対応ができないという問題がある。
【０００３】
そこで、塵や埃等が付着しないように表面を合成樹脂等で加工した特製のシートでマニュアルを作成し、それをクリーンルーム内に常備することも行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような特製シートで作成されたマニュアルは、通常の紙製のものよりも高価である。更に、半導体や液晶素子の製造技術の高度化に伴なってそれらの製造装置が複雑化或いは大型化する程、マニュアルの内容も複雑化し或いは量が多くなって価格が一層増大する。しかも、製造装置の構造を理解したりトラブル対策を検討したりするためにマニュアルを現場で参照することが非常に面倒になってくる。特に、製造工程で何らかの事故或いは不都合が生じた場合は、迅速に原因を究明すると共に必要な対策をとることが要求されるが、従来のマニュアルを参照する方法では、その要求に充分応えることができなかった。
【０００５】
故に、本発明の目的は、半導体や液晶素子の製造装置のような監視対象に関してマニュアルに記載されているような文書及び図面を電子化し、トラブル発生時などに、必要な情報を迅速且つ容易に参照できるようにすることにより、マニュアルの記載事項の検索等の面倒な作業をなくすと共に、書類の持込みが制限されている場所で採用するのに適した文書・図面検索表示システムを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の文書・図面検索表示システムは、監視対象に関する情報を表わす複数の文書及び図面をそれぞれ文書・図面ファイルとして格納する文書・図面ファイル格納手段と、前記文書・図面ファイルの内容を画面に表示する表示手段と、前記文書・図面ファイルの中から特定の文書又は図面を指定する指令信号に応じて、当該文書又は図面の検索を行い、それらの情報を前記表示手段に表示させる文書・図面表示制御手段とを備える。
【０００７】
上記指令信号は、監視対象の状態検出手段により検出された状態に対応する識別番号を含み、上記文書・図面ファイルは、識別番号とこれに対応する文書及び図面とを含む。
【０００８】
そして、上記指令信号が監視対象の異常状態を示すアラーム信号であるとき、表示手段は、上記識別番号により特定されるアラーム発生箇所を表示すると共に、異常状態への対処方法を記述した文書を表示するか又はその異常が発生した箇所の構成を示す図面を表示するかをオペレータに選択させるアラーム表示画面を表示し、文書・図面表示制御手段は、アラーム表示画面で文書が選択されたときは、異常状態が検出されたアラーム発生箇所に対応する電子文書、アラーム表示画面で図面が選択されたときは、異常状態が検出されたアラーム発生箇所に対応する電子図面を、表示手段に表示させるように構成される。
【０００９】
本発明の別の態様では、表示手段は、上記文書又は図面のどちらを表示するかをオペレータに選択させる選択画面を表示し、この選択画面で文書が選択されたときは電子文書、図面が選択されたときは電子図面を表示し、上記指令信号は上記選択画面で選択された文書又は図面を指定する信号であり、文書・図面表示制御手段は、その信号で指定された文書又は図面を検索し上記表示手段に表示させることを特徴とする。
【００１０】
本発明の具体的な構成手段としては、コンピュータ（パソコン）が用いられる。この場合、パソコンのＣＰＵが文書・図面表示制御手段として、ＣＰＵに付随した記憶手段（メモリ、ハードディスク又はＣＤ−ＲＯＭ）が文書・図面ファイル格納手段として、それぞれ機能する。
【００１１】
本発明の更に別の実施態様では、上記文書・図面ファイル格納手段は、監視対象に関する情報を格納した第１の記憶部と、上記文書・図面表示制御手段と通信手段を介して接続される文書・図面管理手段に付随して設けられ、監視対象の変更や改造に伴って上記第１の記憶部に格納されている情報の内容が変更又は改変された場合にその変更又は改変後の情報が格納される第２の記憶部とで構成される。
【００１２】
より具体的には、監視対象に対応して設けられたパソコンのメモリ等の記憶手段が第１の記憶部として用いられ、このパソコンと専用又は公衆電話回線やデータ回線等の通信手段を介して接続される文書・図面管理手段として働く他のコンピュータの記憶手段が、第２の記憶部として用いられる。この場合、監視対象に対する文書・図面表示制御手段として用いられるパソコンが、必要に応じて他のコンピュータにファイル要求を送り、必要な情報の検索を実行させてその情報を得る。
【００１３】
また、本発明は、半導体又は液晶製造装置のマニュアル及び図面を自動的に検索して表示する手段として好適である。この場合、本発明のシステムの監視対象は半導体又は液晶製造装置であり、当該半導体又は液晶製造装置の構造、取扱い、部品名称等の記述及び装置全体或いは部品の回路図が、文書・図面ファイルとして格納される。
【００１４】
【作用及び効果】
本発明では、監視対象に関する文書及び図面を含む文書・図面ファイルが、文書・図面ファイル格納手段に格納されている。文書・図面表示制御手段は、特定の文書又は図面を指定する指令信号に応じて、当該文書又は図面の検索を行い、それらの情報を表示手段の画面に表示させる。
【００１５】
従って、製造工場の管理者や要員等のオペレータは通常、監視対象に関する情報のうち必要なもの（例えば、監視対象装置の構造や取扱い）を選択して本発明のシステムに入力すれば、その必要な情報が自動的に検索されて表示される。
【００１６】
特に、上記指令信号が監視対象の異常状態を示すアラーム信号であるときは、表示手段に、監視対象毎の異常状態を示すアラーム発生箇所を表示すると共に、異常状態への対処方法を記述した文書を表示するか又はその異常が発生した箇所の構成を示す図面を表示するかをオペレータに選択させるアラーム表示画面を表示する。このアラーム表示画面で文書が選択されたときは、異常状態が検出されたアラーム発生箇所に対応する電子文書、図面が選択されたときは、異常状態が検出されたアラーム発生箇所に対応する電子図面を表示する。
このように、アラームの内容／原因を示す文書と構造を示す図面とを選択的に検索、表示することにより、アラームの発生要因の確認が容易にできる。すなわち、電子図面を表示することにより、アラーム発生場所の構造や電子回路を確認できるので、より詳細な原因の特定が容易になり、アラーム復旧時間の短縮を図ることができる。また、電子文書化されたマニュアルを表示することにより、関連するアラ−ム情報を参照して適切な対応をとることができる。同時に複数のアラームが発生した場合でも、オペレータは、各アラームの発生箇所や種類に応じて文書と図面を選択的に検索表示させることで、不具合の原因を迅速に特定し、間違いのない手順で回復することができる。
以上により、監視対象の装置や製造工程で何らかの異常或いは不都合が生じた場合でも、それに関する情報（例えば、異常の発生箇所及び対処方法）が、リアルタイムで自動的に検索表示される。従って、知識や経験の乏しい要員であっても、表示手段の画面に表示された事項を参照しながら、異常の箇所、原因等を究明し、適切な対策を講じることができる。
【００１７】
また、本発明によれば、文書又は図面のどちらを表示するかをオペレータに選択させる選択画面が表示され、この選択画面で文書が選択されたときは電子文書、図面が選択されたときは電子図面が表示される。これは、監視対象に異常が発生した場合に限らず、オペレータが望む時はいつでも、所望の電子文書又は電子図面を検索表示できるものである。
上記のように、本発明は図面を含む文書・図面を電子化し、必要な情報を迅速且つ容易に参照できるようにしたので、オペレータは、従来のマニュアル検索等の面倒な作業なしに監視対象の構造や状態を把握することが可能になり、また、半導体製造のためのクリーンルームのように書類の持込みが制限されている場所でも、マニュアル検索手段として好適に用いられる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１は、例えば半導体又は液晶の製造に使用される装置１を監視対象とする文書・図面検索表示システム３の基本的な構成を示す。
【００１９】
このシステム３では、監視対象の装置１に対するシステム構成手段（ハードウェア）としてパソコンを使用し、そのＣＰＵで文書・図面表示制御部４を構成し、ＣＰＵに付随したＣＲＴ及びメモリ（或いはハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ）で、監視対象の装置に関する情報を表示する表示部５、及び文書・図面ファイル格納手段としての記憶部６をそれぞれ構成している。なお、図では省略したが、パソコンのＣＰＵには表示部（ＣＲＴ）５の他にキーボードやマウス等の入力操作手段（図示省略）が接続されている。
【００２０】
記憶部６に格納されている文書・図面ファイルは、監視対象装置１に関する文書及び図面を含んでおり、後述のように、その内容が監視対象の変更や改造に伴って変更又は改変されたとき、その変更又は改変後の情報を含む文書・図面ファイル（これは、後述の文書・図面管理システム８の記憶部に格納される）に対して、元の情報を保持するため、「標準ローカル文書・図面ファイル」と称する。
【００２１】
文書・図面表示制御部４は、監視対象装置１に対し、電話回線やデータ回線等の通信ネットワーク７を介して接続される。そして、記憶部６に標準ローカル文書・図面ファイルとして格納されている情報のうち特定の文書又は図面を指定する指令信号に応じて、その文書又は図面の検索を行い、それらの情報を表示部５の画面に表示するプログラムに従って動作する。
【００２２】
上記指令信号は、監視対象装置１の状態検出部２により検出された状態に基づいて、監視対象装置１から出力される。状態検出部２は、監視対象装置１が正常に作動していることをチェックするため、装置内の圧力、温度等を検出するセンサや動作時間等を計時するタイマ等の計測手段から成り、いずれかの計測手段が、装置が正常に作動していないこと、すなわち異常を示しているとき、監視対象装置１は、その異常状態（エラー発生）を示すアラーム信号を発生する。
【００２３】
例えば、監視対象装置１が流体制御弁のようなバルブを含み、そのバルブの開閉動作を圧力センサによる検出信号で確認するように構成されている場合、圧力異常が検出されると、監視対象装置１は、自動的に作動を停止すると共にアラーム信号を出力する。
【００２４】
監視対象装置１は、このアラーム信号で示される異常状態を特定するために、状態検出部２で検出される各種状態ごとに予め設定された識別番号（「アラームＩＤ」と称する）、この識別番号で特定される異常状態（種類）を表わす文言（「アラーム名称」と称する）、異常発生時刻（「アラーム時刻」と称する）等の情報を、データファイル（「アラームログファイル」と称する）として格納する記憶部を備えている。
【００２５】
この実施例の「アラームログファイル」は、図２に示すように、状態検出部２で検出される状態の種類ごとに「アラームＩＤ」、「アラーム名称」、「アラーム時刻」等の項目で構成されている。なお、アラームログファイルは、監視対象側でなく、文書・図面検索表示システム３で作成してその記憶部に格納するようにしてもよい。
【００２６】
例えば、状態検出部２からアラーム信号が出力された時、文書・図面表示制御部４は、その「アラームＩＤ」により特定された「アラーム名称」等の情報を、後述の「アラーム表示画面」（図６）に表示する。そして、そのアラーム表示画面に表示された「アラーム名称」が選択されると、その異常状態への対処方法を記述したメッセージ或いはその異常が発生した部位の構成を示す図面を表示部５に表示させる。この動作は、プログラムに従って実行される。
【００２７】
一方、文書・図面検索表示システム３の記憶部６に格納されている文書・図面ファイル（標準ローカル文書・図面ファイル）は、上記の識別番号と、これに対応する文書及び図面とを含んでいる。例えば、状態検出部２からの検出信号がアラーム信号の場合、識別番号は「アラームＩＤ」、文書及び図面は、それぞれアラーム文書ファイル及びアラーム図面ファイルと称する。アラーム文書ファイルは、例えば図３に示すように、状態検出部２で検出される各種状態ごとに「ファイル名」、異常の内容を表わす「名称」及び「対処方法」を記述することにより、構成される。
【００２８】
また、文書・図面ファイルは、図４に示すように、識別番号（「アラームＩＤ」）と「電子文書ファイル」及び「電子図面ファイル」とを１対１に対応させた「ファイルテーブル」を有する。後述のようにファイル検索を実行するとき、文書・図面表示制御部４は、アラームＩＤをメインキーとして、それに対応する電子文書ファイル又は電子図面ファイルを検索する。なお、監視対象装置の機種、バージョン（型式）等をサブキーとして検索できるようにするため、これらの項目を「アラームＩＤ」と対応させて付加した「ファイルテーブル」を作成してもよい。
【００２９】
再び図１において、文書・図面表示制御部４は、通信ネットワーク７を介して、監視対象装置１の変更や改造に伴って内容が変更又は改変された後の情報を含む文書・図面ファイルが格納された他の文書・図面管理システム８とも接続される。この文書・図面管理システム８は、コンピュータのＣＰＵで構成される文書・図面管理部９とこれに付随したメモリ、ハードディスク或いはＣＤ−ＲＯＭで構成される記憶部１０とを備えている。
【００３０】
この文書・図面管理システム８に対し、文書・図面表示制御部４は、必要に応じて文書・図面管理部９にファイル要求を送る。このファイル要求に応じて、文書・図面管理部９は、記憶部１０に格納されている文書・図面ファイルから必要な情報を検索し、取り出した情報を、通信ネットワーク７を介して、文書・図面表示制御部４に送る動作を実行する。
【００３１】
なお、文書・図面検索表示システム３の標準ローカル文書・図面ファイルのみで足りる場合には、上記の文書・図面管理システム８に対するファイル要求は不要であり、その意味で、文書・図面管理システム８は、文書・図面検索表示システム３にとって補助的なものである。逆に、全てのファイルを記憶部１０に持たせて、その中で検索する方法をとることも可能である。
【００３２】
次に、図５は、監視対象装置１に異常が発生した時の文書・図面検索表示システム３の動作の概略を示すフローチャートであり、各ステップの▲１▼〜▲５▼は、図１において矢印で示された動作に対応している。
【００３３】
図５において、初めに、発生した異常状態に対応したアラームＩＤその他アラームログファイルの内容が、監視対象装置１から文書・図面表示制御部３へ送信される（ステップＳＴ１）。文書・図面表示制御部４は、送信されたアラームログファイルの内容に応じて、表示部５に図６に示すような「アラーム表示画面」を表示させる（ＳＴ２）。この「アラーム表示画面」では、アラームの発生した箇所を示す文書部分（装置１の部品名称など）を点滅させるか又は他と異なる色で表示する。或いは、監視対象装置１の構成図を表示し、アラームの発生した箇所を点滅又は異なる色で表示してもよい。
【００３４】
このような「アラーム表示画面」において、オペレータは、異常状態に対処する方法を見出したいとき、アラームの発生した箇所を特定する（例えば、マウス等の入力操作手段を用いて画面内の点滅部分をクリック操作して選択する）と、文書・図面表示制御部４は、必要な文書・図面ファイルを「アラームＩＤ」によって特定する（ＳＴ３）。そして、記憶部６に格納されている文書・図面ファイルの探索を実行し（ＳＴ４）、上記「アラームＩＤ」に対応した文書又は図面を取り出して表示する（ＳＴ５）。
【００３５】
より具体的には、図６の「アラーム表示画面」において、オペレータがアラームの発生した箇所を特定し、「電子マニュアル」の部分を選択すると、図７に示すような電子文書が表示され、「電子図面」の部分を選択すると、図８に示すような電子図面（この例では、回路図）が表示される。これにより、アラームへの対処方法を認識し、或いはアラームの発生した箇所の詳細な構造を知って原因を究明することができる。
【００３６】
なお、文書・図面検索表示システム３は、監視対象装置１に異常が発生した場合に限らず、使用者が望む時はいつでも、所望の「電子文書」及び「電子図面」を検索表示することができる。これは、図９に示すような「選択画面」が表示されている時、オペレータが「電子マニュアル」の部分を選択すると、図１０に示すような「電子文書」の画面を表示し、「電子図面」の部分を選択すると、図１１に示すような「電子図面」（この例では、図８と同じ回路図）の画面を表示する動作を文書・図面表示制御部４に実行させるプログラムにより、実現される。
【００３７】
図１２は、実施例の文書・図面検索表示システム３において、前述のように記憶部に格納された文書・図面ファイルと、その中から特定された文書又は図面を検索表示するための複数の動作プログラムとの関係を示す概念図であり、図１３〜図１６は、以下で説明する動作プログラムによる処理手順を示すフローチャートである。
【００３８】
アラーム表示プログラム
図１３に示すように、文書・図面表示制御部４は、監視対象装置１でアラーム信号が発生したか否かを判定し（ステップＳＴ１１）、“ＹＥＳ”であれば、そのアラーム信号で特定されたアラームログファイルの内容を、「アラーム表示画面」を表示する（ＳＴ１２）。ここで、アラームログファイルは、前述（図２）のように、予め設定したアラームＩＤ毎に所定の項目（例えば「アラーム名称」）を記述した情報であり、アラーム発生時には、図１２に示すように、アラームＩＤで特定したアラームログファイルＡＬi が文書・図面表示制御部３へ送信される。
【００３９】
文書・図面表示制御部４は、アラームＩＤによって特定されたアラーム内容を識別し（ＳＴ１３）、その内容に対応した「アラーム表示画面」上の項目部分を点滅（或いは他と異なる色で表示）する（ＳＴ１４）。
【００４０】
ここで、オペレータからの選択入力の有無を判定し（ステップＳＴ１５）、“ＮＯ”であれば、アラーム識別（ＳＴ１３）及びアラーム項目の点滅（ＳＴ１５）を繰り返し、オペレータからの選択入力があると、文書・図面（図面を含む）検索動作を実行する（ＳＴ１６）。この文書・図面検索動作については、後で図１４を参照して説明する。
【００４１】
次に、文書・図面表示制御部４は、検索された文書・図面を表示する動作を実行する（ステップＳＴ１７）。この文書・図面表示動作は、文書情報を表示する「電子文書」表示と図面を表示する「電子図面」表示とに分けられる。前者については図１５、後者については図１６をそれぞれ参照して、後述する。
【００４２】
最後に、以上の動作を終了するか否かを判定する（ＳＴ１８）。この判定は、文書・図面ファイル表示画面においてオペレータが「終了」を選択したとき“ＹＥＳ”となり、以上の動作を終了する。一方、“ＮＯ”であれば、上記アラーム識別（ＳＴ１３）以下の動作を繰り返す。
【００４３】
文書・図面検索プログラム
図１４に示すように、文書・図面表示制御部４は、アラームＩＤを確認し（ＳＴ２１）、確認したアラームＩＤをキーとして、記憶部６に格納されている「ファイルテーブル」を参照し、該当する文書・図面ファイルを検索（サーチ）する（ＳＴ２２）。ここで、ファイルテーブルは、前述（図４）のように、少なくとも各アラームＩＤに対応した「文書ファイル名」「図面ファイル名」とを記述したテーブルであり、これを参照することにより、アラームＩＤで特定した文書ファイル名と図面ファイル名がわかる（ＳＴ２３）。なお、アラームＩＤの確認により、記憶部６には該当する文書・図面ファイルがないことがわかった時、或いは予めわかっている時には、文書・図面表示制御部４は文書・図面管理部９にファイル要求を送り、文書・図面管理部９で、記憶部１０に格納されている文書・図面ファイルを検索し、取り出した情報を文書・図面表示制御部４に送る。
【００４４】
文書・図面表示制御部４は、上記の検索動作により、図１２に示すように、複数の電子文書ファイルＤ1 ，Ｄ2 ，Ｄ3 ，・・・・・ からアラームＩＤで特定した文書ファイルＤi 、複数の電子図面ファイルＦ1 ，Ｆ2 ，Ｆ3 ，・・・・・ からアラームＩＤで特定した図面ファイルＦi 、或いは他のコンピュータによる文書・図面管理システム８に格納されている文書・図面ファイルＥ1 ，Ｅ2 ，Ｅ3 ，・・・・・ から特定の文書・図面ファイルを、それぞれ取り出すことができる。
【００４５】
電子文書表示プログラム
図１５に示すように、文書・図面表示制御部４は、上記の文書・図面検索動作で取り出した文書・図面ファイルのうちの文書ファイル（アラーム文書情報）を表示する（ＳＴ３１）。これは、表示部５に前述（図７）の「電子文書」画面を表示する動作である。この画面において、オペレータが「終了」を選択したかどうかにより終了を判定し（ＳＴ３２）、“ＹＥＳ”であれば以上の動作を終了する。一方、“ＮＯ”であれば、次に他の文書・図面（文書情報）へのリンク（オペレータの選択）の有無を判定し（ＳＴ３３）、“ＮＯ”であれば「終了」操作を待ち、“ＹＥＳ”のとき、アラーム文書情報の表示（ＳＴ３１）に戻って以下の動作を繰り返す。
【００４６】
電子図面表示プログラム
図１６に示すように、文書・図面表示制御部４は、上記の文書・図面検索動作で取り出した文書・図面ファイルのうちの図面ファイル（アラーム図面）を表示する（ＳＴ４１）。これは、表示部５に前述（図８）の「電子図面」画面を表示する動作である。この画面において、オペレータが「終了」を選択したかどうかにより終了を判定し（ＳＴ４２）、“ＹＥＳ”であれば以上の動作を終了する。一方、“ＮＯ”であれば、図面の拡大、縮小又は移動の指示（オペレータの選択）の有無を判定し（ＳＴ４３）、“ＮＯ”であれば「終了」操作を待ち、“ＹＥＳ”のとき、指示された拡大、縮小又は移動の処理を実行し（ＳＴ４４）、その後図面の表示（ＳＴ３１）に戻って以下の動作を繰り返す。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の文書・図面検索表示システムの構成を示す図。
【図２】監視対象の異常状態に関する情報を含むアラームログファイルの例を示す図。
【図３】監視対象の異常状態に対応する文書情報を含むアラーム文書ファイルの例を示す図。
【図４】アラームＩＤと文書・図面ファイルとの対応を示すファイルテーブルを示す図。
【図５】監視対象に異常が発生した時の文書・図面検索表示システムの動作の概略を示すフローチャート。
【図６】「アラーム表示画面」の例を示す図。
【図７】「電子文書画面」の例を示す図。
【図８】「電子図面画面」の例を示す図。
【図９】「選択画面」の例を示す図。
【図１０】図９の「選択画面」において「電子マニュアル」の部分を選択したときに表示される「電子文書画面」の例を示す図。
【図１１】図９の「選択画面」において「電子図面」の部分を選択したときに表示される「電子図面画面」の例を示す図。
【図１２】実施例の文書・図面検索表示システムの記憶部に格納された文書・図面ファイルと、その中から特定された文書及び図面を検索表示するための複数の動作プログラムとの関係を示す概念図。
【図１３】アラーム表示プログラムの処理手順を示すフローチャート。
【図１４】文書・図面検索プログラムの処理手順を示すフローチャート。
【図１５】電子文書表示プログラムの処理手順を示すフローチャート。
【図１６】電子図面表示プログラムの処理手順を示すフローチャート。
【符号の説明】
１…監視対象装置、２…状態検出部、３…文書・図面検索表示システム、４…文書・図面表示制御部、５…表示部、６…記憶部、７…通信ネットワーク、８…文書・図面管理システム、９…文書・図面管理部、１０…記憶部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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