(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
有底筒状ケースと、有底筒状ケースの内底部に配置される圧電振動子と、圧電振動子と電気的に接続され有底筒状ケース外部に引き出される入出力端子と、残響波を抑制するための緩衝材と、を有してなる超音波センサであって、
前記緩衝材に予め固化された発泡性樹脂からなる樹脂栓を用い、該樹脂栓が圧電振動子と間隔を空けて有底筒状ケース内部に挿入固定されていることを特徴とする超音波センサ。
【請求項２】
前記樹脂栓の上部に、樹脂栓とは密度の異なる樹脂が重ねて配置されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波センサ。
【請求項３】
前記樹脂栓は、少なくともその一方主面が、樹脂の発泡による発泡孔を有さないスキン層となっていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の超音波センサ。
【請求項４】
前記有底筒状ケースは、プラスチック材料よりなる筒部と、金属材料よりなる振動面とを組み合わせてなることを特徴とする請求項１ないし請求項３記載の超音波センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は超音波センサ、特に自動車のバックソナー、コーナーソナーとして使用される超音波センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、超音波センサの分野において、センサの送受波面に近接する被検出物を検知するための近距離タイプの超音波センサの需要が増加している。このような用途の超音波センサにあって、距離測定時の測定誤差の原因として最も問題となるのが、送波信号の残響波と受波信号との干渉である。近接距離の測定に際しては、この残響特性がセンサの測定信頼性を左右することとなるので、残響特性の改善が大きな課題となっている。
【０００３】
この問題に対応して従来より、図８（ａ）、（ｂ）に示す構造の超音波センサ５１が提案されている。図８（ａ）に示す超音波センサ５１において、金属製の有底筒状ケース５２の内部底面には、その両主面に電極の形成された板状の圧電振動子５３が配置されている。有底筒状ケース５２の内側面には係止段差部６２が設けられており、シリコンゴムからなる緩衝材５４が係止段差部６２で係止されて有底筒状ケース５２内部に圧入配置されている。緩衝材５４上には外部端子５５ａ・５５ｂを有する基板５６が配置されている。基板５６は接着剤によって緩衝材５４に固定されたり、有底筒状ケース５２の開口部をケース内側に折り曲げてかしめることによって固定される。基板５６の両主面上には、外部端子５５ａ・５５ｂと導通する配線パターン５７ａ・５７ｂがそれぞれ形成されている。配線パターン５７ａは、ワイヤ５８を介して圧電振動子５３上面の電極と電気的に接続されている。配線パターン５７ｂは、金属製の有底筒状ケース５２を介して圧電振動子５３下面の電極と電気的に接続されている（配線パターン５７ｂと有底筒状ケース５２とは半田５９によって接続されている）。なお図８（ｂ）の超音波センサ６１は、図８（ａ）におけるシリコンゴムの緩衝材５４を綿状の緩衝材６４に変更したもので、その他の構成は図８（ａ）の超音波センサ５１と変わるところはない。
【０００４】
次に超音波センサ５１の動作について説明する。まず、超音波センサ５１の外部端子５５ａ・５５ｂに駆動電圧を印加し、圧電振動子５３を振動させる。この圧電振動子５３の振動と連動して、有底筒状ケース５２の振動面６０が振動し、図８（ａ）に示す矢印方向に超音波を発する。所定時間経過後、被検出物から反射してきた超音波が振動面６０を介して圧電振動子５３に到達し反射信号に変換され、外部端子５５ａ・５５ｂから出力される。ここで、駆動電圧の印加時点から反射信号の出力時点までの時間が検出され、この検出結果から被検出物との距離が測定される。
【０００５】
以上の動作過程において、圧電振動子５３の振動と連動して、振動面６０のみならず有底筒状ケース５２全体も振動するため、この振動が残響波を引き起こす。また、圧電振動子５３の振動により、図８（ａ）に示す矢印方向のみならず、有底筒状ケース５２の内部方向にも超音波が発生するため、このケース５２内部の超音波も残響波となる。
【０００６】
これらの残響波に対し、有底筒状ケース５２の振動から生じる残響波に対しては、図８（ａ）に示すように、ケース５２に圧入配置されたシリコンゴムの復元力によって抑制する。また、ケース５２の内部方向に発生する超音波に対しては、図８（ｂ）に示すように、ケース５２内に詰められた綿状の緩衝材６４によって吸音し抑制する。これらの手法によって、超音波センサの残響特性の改善が図られる。
【０００７】
またその他の従来例としては、Ｑ値の低い発泡性樹脂を用いることによって残響波を抑制し残響特性を改善しようとする構成が、例えば実開平５−６３１９６や特開平７−１５４８９８等に開示されている。すなわち、有底筒状ケースを発泡性樹脂で形成することにより残響特性を改善する手法や、板状の発泡性樹脂上に圧電振動子を接合することにより残響特性を改善する手法が開示されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図８（ａ）に示す構成を用いて残響特性を改善しようとする場合、シリコンゴムの復元力でケース５２の不要な振動は抑制できるものの、ケース５２内部に生じる不要な超音波はゴム中を自在に伝播するため充分に吸音することができず、残響特性の改善には限界があった。また、一般にシリコンゴムは復元力が非常に強いため制振を目的とする緩衝材には好適であるが、振動させる必要のある振動面６０までもが制振されてしまい、超音波の送波および受波に障害が発生し超音波センサ５１の感度が劣化すると言う問題があった。
【０００９】
また、図８（ｂ）に示す構成を用いて残響特性を改善しようとする場合、ケース５２内部に生じる不要な超音波は吸音できるものの、緩衝材が綿状のためケース５２への密着性が低く、ケース５２の不要な振動は充分に抑制することができず、残響特性の改善には限界があった。
【００１０】
さらに、有底筒状ケースを発泡性樹脂で形成する手法による場合、発泡性樹脂を筒状に形成するために手間がかかること、発泡性樹脂内部には多数の空乏（発泡孔）が存在するためケースとしての強度および耐久性に欠けること等が問題点として挙げられる。
【００１１】
さらにまた、板状の発泡性樹脂と圧電振動子とを接合する手法による場合、制振性の高い発泡性樹脂を圧電振動子に直接貼り付けているため、広がり振動時での感度特性の劣化は避けられないこと等が問題点として挙げられる。
【００１２】
したがって、本発明の目的は上述の技術的問題点を解消するためになされたものであって、有底筒状ケースの振動およびケース内部に発生する超音波の双方を効果的に抑制することにより残響特性の大幅な改善を図ることができる超音波センサを提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、本発明の請求項１に記載の超音波センサは、有底筒状ケースと、有底筒状ケースの内底部に配置される圧電振動子と、圧電振動子と電気的に接続され有底筒状ケース外部に引き出される入出力端子と、残響波を抑制するための緩衝材とを有してなる超音波センサであって、前記緩衝材に予め固化された発泡性樹脂からなる樹脂栓を用い、該樹脂栓が圧電振動子と間隔を空けて有底筒状ケース内部に挿入固定されている。
【００１８】
このように、緩衝材として発泡性樹脂を用いるに際して、予め固化された発泡性樹脂を栓（樹脂栓）として用いる構成としても良い。
【００１９】
すなわち、超音波センサを製造する方法としては、有底筒状ケース内部に液体状の発泡性樹脂を充填し、充填後に熱硬化、経時硬化等の手法で固化させる方法が、一つの方法として検討される。
しかしながら、液体状の樹脂をケース内部に充填すると、ケースの底部（振動面）まで空隙なく樹脂が充填されることになるので、振動面の振動阻害による感度特性の劣化が懸念される。
【００２０】
この点に関して、予めケース外部で発泡性樹脂を固化させておき、固化した樹脂を栓（樹脂栓）としてケース内部に挿入固定する手法をとることによって、この懸念は解消されうる。つまり、ケース内部に樹脂栓を挿入固定するに際して、該樹脂栓が振動面及び圧電振動子に接しない位置に固定することにより、振動面の振動阻害を防止できるからである。なお、樹脂栓を挿入固定した後に、該樹脂栓の上部にさらにシリコンゴム等の強い復元力を有する樹脂を重ねて配置しても構わない。
【００２１】
また、使用する樹脂栓は、少なくともその一方主面が樹脂の発泡による発泡孔を有さないスキン層となっていることが望ましい。これは、発泡栓はその構造上多数の発泡孔を有しており、例えば樹脂栓の上部にさらに異なる樹脂を充填する場合に、液体状の樹脂が樹脂栓中の連続する発泡孔を伝って樹脂栓の裏面側まで流れ出す恐れがあるからである。樹脂栓の少なくとも一方主面を発泡孔の存在しない状態（スキン層の形成された状態）にすれば、この流出を防止することができる。なおここで言うスキン層としては、発泡孔が完全に存在しない状態が最も望ましいが、液体状樹脂の流出が防げる程度に発泡孔が存在していても良い。
【００２２】
なお、本発明の超音波センサに用いられる有底筒状ケースとしては、その筒部も振動面（底面）も金属材料で形成されているもの、あるいはプラスチックで作られた筒部と、金属材料で作られた振動面とを組み合わせて形成されているもののいずれを用いても構わない。前者の場合であれば、有底筒状ケースの材料としては、軽くて弾性率の高いアルミニウム等が適当である。後者の場合であれば、耐熱性・耐久性に優れたエンジニアリングプラスチック材料、具体的にはポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルフォン等が筒部の材料として適当であり、軽くて弾性率の高いアルミニウム等の材料が振動面の材料として適当である。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図を参照して詳細に説明する。
【００２４】
［第１実施例、図１〜図３］
以下、本発明の第１実施例の超音波センサ１の構造を、図１を参照しながら説明する。
【００２５】
図１に示す超音波センサ１において、アルミニウム等からなる金属製の有底筒状ケース２の内部底面には、その両主面に電極の形成された板状の圧電振動子３が配置されている。有底筒状ケース２内部のほぼ全体には、緩衝材４として発泡シリコン等の発泡性樹脂が充填されている。緩衝材４上には外部端子５ａ・５ｂを有する基板６が配置されている。基板６は接着剤によって緩衝材４に固定されたり、有底筒状ケース２の開口部をケース内側に折り曲げてかしめることによって固定される。基板６の両主面上には、外部端子５ａ・５ｂと導通する配線パターン７ａ・７ｂがそれぞれ形成されている。配線パターン７ａは、ワイヤ８を介して圧電振動子３上面の電極と電気的に接続されている。配線パターン７ｂは、金属製の有底筒状ケース２を介して圧電振動子３下面の電極と電気的に接続されている（配線パターン７ｂと有底筒状ケース２とは半田９によって接続されている）。なお、本実施例においては両主面に電極の形成された圧電振動子を使用しているが、必ずしもこれに限られるものではない。すなわち、例えば圧電振動子の振動面１０と接する側の主面には必ずしも電極を形成する必要はない。これは、導電性を有する有底筒状ケース２を電極として機能させることが可能だからである。
【００２６】
以上のような構成の超音波センサ１は、以下のようにして組み立てられる。
【００２７】
まず、有底筒状ケース２の内部底面に圧電振動子３を半田や導電性接着剤等によって固定する。次に圧電振動子３の上面側の電極と基板６上の配線パターン７ａとをワイヤ８を用いて電気的に接続する。そして、ケース２の内部に液体状の発泡性樹脂を充填し、その上に基板６を載置する。その後、所定の方法を用いて発泡性樹脂を固化させ、樹脂の固化後、配線パターン７ｂとケース２とを半田９によって接続する。このようにして、超音波センサ１を組み立てる。
【００２８】
次に超音波センサ１の動作について説明する。まず、超音波センサ１の外部端子５ａ・５ｂに駆動電圧を印加し、圧電振動子３を振動させる。この圧電振動子３の振動と連動して、有底筒状ケース２の振動面１０が振動し、図１に示す矢印方向に超音波を発する。所定時間経過後、被検出物から反射してきた超音波が振動面１０を介して圧電振動子３に到達し反射信号に変換され、外部端子５ａ・５ｂから出力される。ここで、駆動電圧の印加時点から反射信号の出力時点までの時間が検出され、この検出結果から被検出物との距離が測定される。
【００２９】
以上の動作過程において発生する残響波は、本実施例の超音波センサ１においては、以下のようにして抑制される。
【００３０】
まず、有底筒状ケース２の内部に充填されている発泡性樹脂は、発泡によってその体積が大きくなるので、ケース２への密着性が高まり、ケース２を内側から外側に押し張る力（復元力）が働くことになる。この力により、有底筒状ケース２全体の振動を抑制することができる。また、発泡性樹脂内部に存在する多数の空乏（発泡孔）によって超音波が散乱・吸収されるので、ケース２の内部に発生する超音波を吸音、抑制することができる。これによりケース２自体の振動、およびケース内部にこもる超音波の双方を効率的に抑制することが可能となり、残響特性を大幅に改善することができる。
【００３１】
ここで、本発明に用いられる発泡性樹脂に求められる好ましい条件について検討する。すなわち、一般に密度の高い樹脂を緩衝材４に用いることにより超音波センサの残響特性は向上する傾向にあるが、他方、超音波センサの感度特性は劣化する傾向にある。従って、残響特性・感度特性の双方において好ましい特性の得られる樹脂密度の範囲について検討を加える。
【００３２】
まず、樹脂密度と残響特性との関係を示すグラフを図２に示す。このグラフから明らかなように、用いる発泡性樹脂の密度が０．０１ｇ／ｃｍ3未満になると、急激に残響時間が長くなり所望する残響特性を得られなくなる。次に、樹脂密度と感度特性との関係を示すグラフを図３に示す。このグラフから明らかなように、用いる発泡性樹脂の密度が０．９ｇ／ｃｍ3を越えると、急激に感度電圧が低くなり、所望する感度特性を得られなくなる。
【００３３】
以上の検討から、用いる発泡性樹脂の樹脂密度を０．０１〜０．９ｇ／ｃｍ3の範囲内に設定することで、残響特性・感度特性の双方において好ましい特性の得られる超音波センサを得られることがわかる。
【００３４】
なお、本実施例の超音波センサにおいては、従来例とは異なり圧電振動子３の配置されているケース２の底部（振動面１０）まで空隙なく緩衝材である発泡性樹脂が充填されており、感度特性の劣化が懸念されるが、上述の条件を満たす発泡性樹脂を用いることにより、従来例の超音波センサを上回る感度特性を得られることが確認されている。
【００３５】
［第２実施例、図４］
以下、本発明の第２実施例の超音波センサの構造を、図４を参照しながら説明する。
【００３６】
図４に示す超音波センサ２１においては、有底筒状ケース２２がそれぞれ別体の筒部２２ａと振動面２２ｂとを組み合わせることにより形成されている。筒部２２ａには耐熱性・耐久性に優れたエンジニアリングプラスチック材料、具体的にはポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルフォン等が用いられる。振動面２２ｂには軽くて弾性率の高いアルミニウム等の材料が用いられる。そして、筒部２２ａにはワイヤ等の導電部材２８が埋設されており、その１つは一端が圧電振動子２３の一方主面上に形成された電極に半田や導電性接着剤で接続され、他の１つは一端が金属製の振動面２２ｂに接続されている。それぞれの他端は筒部２２ａの外部に引き出されている。この導電部材２８によって、圧電振動子２３の両主面に形成された電極と外部回路（図示せず）との電気的接続を行う。また有底筒状ケース２２内部のほぼ全体には、緩衝材２４として発泡シリコン等の発泡性樹脂が充填されている。
【００３７】
以上のような構成の超音波センサ２１は、以下のようにして組み立てられる。
【００３８】
まず、有底筒状ケース２２の内部底面（振動面）に圧電振動子２３を半田や導電性接着剤等によって固定する。次に導電部材２８の一端をそれぞれ、圧電振動子の一方主面および振動面に半田や導電性接着剤等で接続する。そして、ケース２２の内部に液体状の発泡性樹脂を充填し、所定の方法を用いて樹脂を硬化させる。このようにして、超音波センサ２１を組み立てる。
【００３９】
このように、導電部材２８を筒部２２ａに埋設することにより、従来必要とされていた基板や外部端子等の部品を不要とすることができ、さらに、超音波センサの作り方を簡略化することが可能となる。
【００４０】
その他の点については、第１実施例の超音波センサ１と変わるところはないので、その説明を省略する。
【００４１】
［第３実施例、図５］
本発明の第３実施例の超音波センサ３１は、図５に示すように、第２実施例の超音波センサ２１の緩衝材が、複数の樹脂の層から構成されている。
【００４２】
この層の構成として、振動面２２ｂの直上に配置される第１層目の樹脂層３４ａには、前述の所定の密度を有する発泡性樹脂が用いられている。第２層目の樹脂層には、第１層目の樹脂よりも密度の高い、例えばシリコンゴム等の樹脂が用いられている。
【００４３】
緩衝材３４をこのような積層構造とすることにより、振動面２２ｂでの超音波の送受波に関しては第２実施例と同等の感度特性を実現しつつ、振動面２２ｂから離れた部分、すなわち感度特性に影響を与えにくい部分に高密度のシリコンゴムを緩衝材として用いることにより筒部２２ａの不要な振動を第１層目の発泡性樹脂よりもより強く抑制することができるので、残響特性をさらに向上させることができる。
【００４４】
その他の点については、第２実施例の超音波センサ２１と変わるところはないので、その説明を省略する。
【００４５】
なお、第１実施例の超音波センサ１においても同様に、緩衝材をこのような積層構造とすることは可能である。
【００４６】
［第４実施例、図６〜図７］
以下、本発明の第４実施例の超音波センサの構造を、図を参照して説明する。なお、上述の各実施例に示した超音波センサと同一の構成部分については、同一の符号を付す。
【００４７】
図６（ａ）は、超音波センサ４１を示す断面図である。図６（ａ）において、有底筒状ケース２の内部には、予め固化された発泡性樹脂からなる円盤状の樹脂栓４２が挿入されており、圧電振動子３と間隔を空けて固定されている。樹脂栓４２の上部には、樹脂栓４２よりも密度の高いシリコンゴム等の樹脂４３が重ねて配置されている。この樹脂栓４２と樹脂４３とから緩衝材４４が構成されており、緩衝材４４によってケース２自体の制振やケース２内部にこもる超音波の吸音を効率的に行っている。樹脂４３上には外部端子５ａ・５ｂを有する基板６が配置されており、接着剤等を用いて緩衝材４４に固定されている。なお、その他の構成については、第１実施例の超音波センサ１と変わるところはないのでその説明を省略する。
【００４８】
また、超音波センサ４１の製造方法については、ケース２の内部に液体状の発泡性樹脂を充填する工程が、樹脂栓４２を挿入固定しさらにその上部にシリコンゴムを充填する工程に置き換わる点以外は、第１実施例の超音波センサ１の製造方法と特に本質的な変更点はない。
【００４９】
図６（ｂ）は、本実施例のまた別の超音波センサ４５を示す断面図である。図６（ｂ）に示す超音波センサ４５は、第２実施例の超音波センサ２１と同様に、有底筒状ケース２２がそれぞれ別体の筒部２２ａと振動面２２ｂとを組み合わせることにより形成されている。図６（ｂ）において、有底筒状ケース２２の内部には、予め固化された発泡性樹脂からなる円盤状の樹脂栓４６が挿入されており、圧電振動子３と間隔を空けて固定されている。樹脂栓４６の上部には、樹脂栓４６よりも密度の高い、例えばシリコンゴム等の樹脂４７が重ねて配置されている。この樹脂栓４６と樹脂４７とから緩衝材４８が構成されており、緩衝材４８によってケース２２自体の制振やケース２２内部にこもる超音波の吸音を効率的に行っている。なお、その他の構成については、第２実施例の超音波センサ２１と変わるところはないのでその説明を省略する。
【００５０】
また、超音波センサ４５の製造方法については、ケース２２の内部に液体状の発泡性樹脂を充填する工程が、樹脂栓４６を挿入固定しさらにその上部にシリコンゴムを充填する工程に置き換わる点以外は、第２実施例の超音波センサ２１の製造方法と変更点はない。
【００５１】
このように、本実施例においては、予め固化された発泡性樹脂からなる樹脂栓４２（４６）を用いる点が特徴である。固化された樹脂栓をケース内部に押し込んで挿入固定する手法をとることによって、振動面や圧電振動子から間隔を空けた位置に樹脂栓を固定することが可能になる。したがって、液体状の発泡性樹脂をケース底部（振動面）から空隙なく充填する場合に生じる恐れのある問題、具体的には振動面の振動阻害による感度特性の劣化と言う問題を解消することができる。
【００５２】
ここで、ケース内部に挿入される樹脂栓４２について説明する。図７は本実施例で使用される樹脂栓を示す斜視図である。図７（ａ）において、樹脂栓４２は有底筒状ケース２の内径とほぼ同一の径を有する円盤状の発泡性樹脂である。樹脂栓４２は、ケース２に挿入される段階では既に固化されている。樹脂栓４２は多数の発泡孔４９を有している。樹脂栓４２の一方主面は発泡孔４９を有さないスキン層５０となっている。スキン層５０は、発泡性樹脂の表面に薄いフイルムを貼り付けて形成しても良いし、発泡工程において自然に形成される層を用いても良い。
【００５３】
このようにスキン層を有する樹脂栓を用いることにより、樹脂栓４２をケース２内部に挿入した場合、樹脂栓４２の上部に液体状のシリコンゴム等を重ねて充填しても、樹脂栓４２の表面には液体の通路となる恐れのある発泡孔を有さないスキン層が介在しているので、液体が樹脂栓の裏面側に漏れ出してくる恐れが無くなる（液体状のシリコンゴムが樹脂栓から漏れ出して振動面や圧電振動子に付着すると、センサの感度特性が劣化する恐れがある）。
【００５４】
なお、本実施例ではスキン層５０を有する樹脂栓を使用したが、図７（ｂ）に示すようなスキン層を有さない樹脂栓であっても、有底筒状ケースの制振やケース内部の超音波の吸収を効果的に行いうることは言うまでもない。
【００５５】
【効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の超音波センサは以下の優れた効果を有する。
【００５６】
すなわち、有底筒状ケース内部に発泡性樹脂を充填し、この発泡性樹脂を残響波を抑制する緩衝材として用いることにより、ケース自体の振動およびケース内部の超音波の双方を効率的に抑制することができ、結果として超音波センサの残響特性を大幅に改善することができる。またその際、発泡性樹脂には従来のゴムほどの強い復元力ではないので、振動面を必要以上に押さえつけることがなく、超音波センサの感度特性に与える悪影響を低く抑えることができる。
【００５７】
また、緩衝材を発泡性樹脂とまた別の樹脂との積層構造とすることにより、超音波センサの感度を低下させることなく、さらに効率的にケースの振動を抑制することが可能になる。
【００５８】
加えて、予め固化された発泡性樹脂からなる樹脂栓をケース内部に押し込んで挿入固定する手法をとることによって、振動面や圧電振動子から間隔を空けた位置に樹脂栓を固定することが可能になる。したがって、液体状の発泡性樹脂をケース底部（振動面）から充填する場合に生じる恐れのある問題、具体的には振動面の振動阻害による感度特性の劣化と言う問題を解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例の超音波センサを示す断面図である。
【図２】本発明の超音波センサに用いる発泡性樹脂の樹脂密度と残響特性との関係を示すグラフである。
【図３】本発明の超音波センサに用いる発泡性樹脂の樹脂密度と感度特性との関係を示すグラフである。
【図４】第２実施例の超音波センサを示す断面図である。
【図５】第３実施例の超音波センサを示す断面図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）第４実施例の超音波センサを示す断面図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）第４実施例の超音波センサに用いる樹脂栓を示す斜視図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）従来例の超音波センサを示す断面図である。
【符号の説明】
１  ・・・  超音波センサ
２  ・・・  有底筒状ケース
３  ・・・  圧電振動子
４  ・・・  緩衝材
５ａ、５ｂ  ・・・  外部端子
６  ・・・  基板
７ａ、７ｂ  ・・・  配線パターン
８  ・・・  ワイヤ（導電性部材）
９  ・・・  半田
１０・・・  振動面
【図１】
0003721786.tif 000002
【図２】
0003721786.tif 000003
【図３】
0003721786.tif 000004
【図４】
0003721786.tif 000005
【図５】
0003721786.tif 000006
【図６】
0003721786.tif 000007
【図７】
0003721786.tif 000008
【図８】
0003721786.tif 000009