(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のセラミックグリーンシートを積層して得られたものであって、特定の前記セラミックグリーンシートに貫通孔を設けることによって、その積層方向での一方の端面の一部に開口を位置させるキャビティが形成されていて、前記キャビティは、少なくとも第１のキャビティ部と前記第１のキャビティ部の底面の一部に開口を位置させる第２のキャビティ部とからなる、グリーンシート積層体を作製する工程と、
前記キャビティにおける前記第１のキャビティ部を除く部分の平面形状と実質的に同じ平面形状を有しかつ前記第１のキャビティ部を除く部分の深さ以上の高さを有するブロックを用意する工程と、
前記キャビティにおける前記第１のキャビティ部を除く部分内に、前記ブロックを挿入する工程と、
次いで、前記グリーンシート積層体を積層方向にプレスする工程と、
次いで、前記グリーンシート積層体を焼成する工程と
を備える、多層セラミック基板の製造方法。
【請求項２】
前記ブロックは、前記セラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料の焼結温度では焼結しない無機材料を含む、請求項１に記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項３】
前記ブロックは、前記セラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料の焼結温度で焼失し得る硬化性樹脂からなる、請求項１に記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項４】
弾性体を用意する工程、および前記キャビティの前記開口と同等かわずかに小さい貫通孔を有する剛体板を用意する工程をさらに備え、前記プレスする工程は、前記剛体板の前記貫通孔を前記キャビティの前記開口に位置合わせした状態で、前記グリーンシート積層体の上に前記剛体板を載せ、前記弾性体から前記剛体板を介して前記グリーンシート積層体に対して圧力を及ぼすように実施される、請求項１ないし３のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項５】
前記プレスする工程において、静水圧プレスが適用され、前記グリーンシート積層体、前記剛体板および前記弾性体が、包装用容器を用いて真空パックされた状態とされる、請求項４に記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項６】
前記キャビティは、前記第２のキャビティ部の底面の一部に開口を位置させる第３のキャビティ部をさらに備える、請求項１ないし５のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項７】
前記セラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料の焼結温度では焼結しない収縮抑制用無機材料を用意する工程をさらに備え、
前記グリーンシート積層体を作製する工程は、前記キャビティの開口を露出させる貫通部を形成した状態としながら、前記グリーンシート積層体の積層方向での各端面を覆うように、前記収縮抑制用無機材料を含む収縮抑制層を設ける工程を含み、
前記焼成する工程は、前記セラミックグリーンシートに含まれる前記セラミック材料のみが焼結する条件下で実施される、請求項１ないし６のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項８】
前記ブロックは、前記収縮抑制用無機材料を含む、請求項７に記載の多層セラミック基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、多層セラミック基板の製造方法に関するもので、特に、電子部品を実装かつ収容するためのキャビティを有しかつこのキャビティが複数段をもって形成されている、多層セラミック基板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器に対する小型軽量化、多機能化、高信頼性化等の要望が、近年、ますます高まっており、これに伴い、基板への実装技術の向上も求められている。基板への実装技術の向上を図る効果的な方法として、最も典型的には、基板での配線の高密度化を図ることがある。
【０００３】
そこで、このような基板での配線の高密度化に対応するため、セラミックグリーンシートに導体膜等を印刷によって形成したものを複数枚積み重ね、プレスした後、焼成することによって作製される多層セラミック基板の開発が進められている。
【０００４】
他方、多層セラミック基板自身の小型化および低背化を図るため、多層セラミック基板に、電子部品実装用のキャビティを形成することが有効である。また、このようなキャビティが、複数段をもって形成されると、すなわち、少なくとも第１のキャビティ部とこの第１のキャビティ部の底面の一部に開口を位置させる第２のキャビティ部とを備えるように形成されると、第２のキャビティ部に、電子部品を収容しながら、第１のキャビティ部の底面を、たとえば、この電子部品をワイヤボンディングするための導電パッドを形成するための領域として用いることができる。
【０００５】
しかしながら、１段のキャビティならともかく、上述のような複数段のキャビティを形成した多層セラミック基板の場合には、これを得るための焼成工程の結果、キャビティの周辺部が不所望に変形したり、割れたり、あるいはキャビティの底面部の端部においてクラックが発生したりするといった問題に頻繁に遭遇しているのが現状である。
【０００６】
このような不具合は、焼成工程の前において、多層セラミック基板となるべきグリーンシート積層体をプレスするとき、比較的形状の複雑な複数段のキャビティが存在しているために、グリーンシート積層体全体に対して均一な圧力をかけることが困難であり、そのため、プレス後のグリーンシート積層体において、キャビティの内部の階段状の底面の平坦性が損なわれたり、キャビティに不所望な変形が生じたりし、これらのことが、グリーンシート積層体の特定の箇所に残留応力がもたらす結果となって発生するものと考えられる。
【０００７】
上述の問題を解決するため、特開平９−３９１６０号公報には、複数段のキャビティを有するグリーンシート積層体を、１対のゴムシートで挟んだ状態で真空パックし、静止流体中で等方加圧することによってプレス工程を実施することが記載されている。
【０００８】
また、特開平９−１８１４４９号公報には、複数段のキャビティと同形状の複数段の凸部分を有する弾性体をもって、グリーンシート積層体を加圧することによってプレス工程を実施することが記載されている。
【０００９】
また、特開平６−２２４５５９号公報には、キャビティの開口と同等かわずかに小さい貫通孔を有する剛体板をグリーンシート積層体の上に載せ、弾性体からこの剛体板を介してグリーンシート積層体に圧力を及ぼすことを、キャビティの各段毎に行なうことによって、全体としてプレスされた、複数段のキャビティを有するグリーンシート積層体を作製する方法が記載されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平９−３９１６０号公報に記載されている方法をたとえ採用しても、プレス工程において、ゴムシートがキャビティ内に入り込んだ結果、キャビティの内部に階段状に形成される底面に応力がかかり、この底面が不所望に変形してしまい、底面の平坦性を維持することができないことがある。また、ゴムシートの入り込みによって、キャビティの径方向寸法が広がってしまい、寸法精度を劣化させることがある。
【００１１】
次に、特開平９−１８１４４９号公報に記載されている方法では、得ようとする多層セラミック基板に形成されるべきキャビティの形状の種類毎に弾性体を用意する必要がある。また、プレス工程において、グリーンシート積層体に形成された複数段のキャビティと弾性体に形成された複数段の凸部分とを位置合わせしなければならないが、このような位置合わせはそれほど容易ではなく、工程の能率化を妨げる。これらのことから、特開平９−１８１４４９号公報に記載されている方法を実施しようとすれば、多層セラミック基板の製造コストの上昇を招くことが予想される。
【００１２】
次に、特開平６−２２４５５９号公報に記載されている方法では、キャビティ内にある階段状の底面の平坦性が損なわれることなく、また、キャビティの径方向寸法が広がることも防止できるが、キャビティの各段毎にプレス工程を実施しなければならないので、生産性が比較的低いという問題を有している。
【００１３】
そこで、この発明の目的は、上述したような問題を解決し得る、複数段のキャビティを形成している多層セラミック基板の製造方法を提供しようとすることである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
この発明は、簡単に言えば、上述した技術的課題を解決するため、複数段のキャビティの一部に適当なブロックを挿入することによって、このキャビティを、擬似的に１段のキャビティの形態となるようにした上で、プレス工程を実施することを特徴としている。
【００１５】
より詳細には、この発明に係る多層セラミック基板の製造方法は、複数のセラミックグリーンシートを積層して得られたものであって、特定のセラミックグリーンシートに貫通孔を設けることによって、その積層方向での一方の端面の一部に開口を位置させるキャビティが形成されていて、このキャビティは、少なくとも第１のキャビティ部と第１のキャビティ部の底面の一部に開口を位置させる第２のキャビティ部とからなる、グリーンシート積層体を作製する工程と、キャビティにおける第１のキャビティ部を除く部分の平面形状と実質的に同じ平面形状を有しかつ第１のキャビティ部を除く部分の深さ以上の高さを有するブロックを用意する工程と、キャビティにおける第１のキャビティ部を除く部分内に、上記ブロックを挿入する工程と、次いで、グリーンシート積層体を積層方向にプレスする工程と、次いで、グリーンシート積層体を焼成する工程とを備えることを特徴としている。
【００１６】
上述したブロックは、グリーンシート積層体をプレスする工程において、その形態をある程度維持できる材料であれば、任意の材料をもって構成することができるが、好ましくは、セラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料の焼結温度では焼結しない無機材料を含む組成とされたり、あるいは、セラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料の焼結温度で焼失し得る硬化性樹脂から構成されたりする。
【００１７】
この発明において、プレスする工程は、好ましくは、次のように実施される。すなわち、弾性体が用意されるとともに、キャビティの開口と同等かわずかに小さい貫通孔を有する剛体板が用意され、剛体板の貫通孔をキャビティの開口に位置合わせした状態で、グリーンシート積層体の上に剛体板を載せ、弾性体から剛体板を介してグリーンシート積層体に対して圧力を及ぼすように、プレス工程が実施される。
【００１８】
上述したプレス工程において、より好ましくは、静水圧プレスが適用され、この場合には、グリーンシート積層体、剛体板および弾性体が、包装用容器を用いて真空パックされた状態とされる。
【００１９】
この発明において作製されるグリーンシート積層体に形成されるキャビティは、３段以上であってもよく、たとえば、前述した第２のキャビティ部の底面に一部に開口を位置させる第３のキャビティ部をさらに備えていてもよい。
【００２０】
また、この発明は、いわゆる無収縮プロセスを用いた多層セラミック基板の製造方法にも向けられる。この場合、この発明は、セラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料の焼結温度では焼結しない収縮抑制用無機材料を用意する工程をさらに備え、グリーンシート積層体を作製する工程において、キャビティの開口を露出させる貫通部を形成した状態としながら、グリーンシート積層体の積層方向での各端面を覆うように、上述した収縮抑制用無機材料を含む収縮抑制層を設ける工程が実施される。そして、焼成する工程は、セラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料のみが焼結する条件下で実施される。
【００２１】
上述した好ましい実施態様において、ブロックは、収縮抑制層に含まれる収縮抑制用無機材料と同じ無機材料を含むようにされてもよい。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の一実施形態による多層セラミック基板の製造方法の途中の段階で実施されるプレス工程を図解的に示す断面図である。図１の一部には、多層セラミック基板を製造する途中の段階で得られるグリーンシート積層体１が図示されている。
【００２３】
グリーンシート積層体１は、その積層方向での各端部に第１および第２の端面２および３を有しているが、第１の端面２に開口４を位置させているキャビティ５を形成している。キャビティ５は、第１のキャビティ部６と第１のキャビティ部６の底面７の一部に開口８を位置させている第２のキャビティ部９とからなる。
【００２４】
なお、上述したようなキャビティ５は、グリーンシート積層体１において、複数個分布するように設けられてもよい。
【００２５】
このようなグリーンシート積層体１を作製するにあたって、第１のキャビティ部６を形成するための貫通孔を有する第１のセラミックグリーンシート１０と第２のキャビティ部９を形成するための比較的小さい貫通孔を有する第２のセラミックグリーンシート１１と貫通孔を有しない第３のセラミックグリーンシート１２とがそれぞれ用意される。
【００２６】
これらセラミックグリーンシート１０〜１２の各々は、図示しないが、複数のセラミックグリーンシートを積層して所望の厚みを得るようにされてもよい。
【００２７】
また、セラミックグリーンシート１０〜１２は、ガラス成分を含むガラスセラミックをもって構成されてもよい。
【００２８】
上述した第１ないし第３のセラミックグリーンシート１０〜１２が積層されることによって、グリーンシート積層体１が得られる。より具体的には、グリーンシート積層体１を得るため、第３のセラミックグリーンシート１２の上に、第２のセラミックグリーンシート１１が積層され、さらにその上に、第１のセラミックグリーンシート１０が積層される。
【００２９】
なお、図示しないが、グリーンシート積層体１には、内部導体膜が形成されたり、ビアホール導体が形成されたり、端面２および３上に外部導体膜が形成されたりしている。
【００３０】
また、セラミックグリーンシート１０〜１２に含まれるセラミック材料の焼結温度では焼結しない収縮抑制用無機材料が用意される。前述したように、セラミックグリーンシート１０〜１２がガラス成分を含むとき、収縮抑制用無機材料としては、たとえばアルミナ粉末が用いられる。
【００３１】
上述した収縮抑制用無機材料を用いて、グリーンシート積層体１の第１および第２の端面２および３をそれぞれ覆うように、第１および第２の収縮抑制層１３および１４がそれぞれ設けられる。第１の端面２上に位置される第１の収縮抑制層１３にあっては、キャビティ５の開口４を露出させる貫通部１５を形成している。この貫通部１５は、好ましくは、キャビティ５の開口４と実質的に同じ形状とされる。
【００３２】
上述した収縮抑制層１３および１４は、収縮抑制用無機材料を含むスラリーをシート状に成形することによって、無機材料シートを作製し、この無機材料シートを、セラミックグリーンシート１０〜１２とともに積層することによって、端面２および３にそれぞれ沿うように設けることができる。この場合、収縮抑制層１３および１４の各々において必要とする厚みは、上述の無機材料シートの積層数によって調整されることもできる。
【００３３】
次に、グリーンシート積層体１のキャビティ５における第１のキャビティ部６を除く部分、すなわち、この実施形態では、第２のキャビティ部９の平面形状と実質的に同じ平面形状を有しかつ第２のキャビティ部９の深さ以上の（すなわち、第２のキャビティ部９の深さと同等かこれを超える）高さを有するブロック１６が用意され、このブロック１６が、第２のキャビティ部９内に挿入される。このブロック１６の挿入にあたっては、たとえば、チップ部品を配線基板上に実装するために用いられる実装機を適用することができる。
【００３４】
一例として、グリーンシート積層体１が、１００ｍｍ×１００ｍｍの平面寸法を有しかつ１ｍｍの厚みを有し、かつ、キャビティ５の寸法に関して、第１のキャビティ部６が、３ｍｍ×３ｍｍの平面寸法を有しかつ３００μｍの深さを有し、他方、第２のキャビティ部９が、２ｍｍ×２ｍｍの平面寸法を有しかつ２００μｍの深さを有するとき、ブロック１６の寸法に関しては、１．９８ｍｍ×１．９８ｍｍの平面寸法を有しかつ２１０μｍの高さを有するように設定される。
【００３５】
このような寸法に選ばれたとき、ブロック１６は、第２のキャビティ部９の内周面との間にわずかなクリアランスを残すため、第２のキャビティ部９への挿入を容易にすることができる。また、ブロック１６は、第２のキャビティ部９の開口８からわずかに突出した状態となるが、このようにブロック１６の高さ寸法を、第２のキャビティ部９の深さ寸法より大きくなるように予め設定すれば、ブロック１６の高さ寸法についての精度をそれほど高くする必要がないので、ブロック１６の作製を能率的に行なうことができる。
【００３６】
ブロック１６は、好ましくは、前述した収縮抑制層１３および１４に含まれる収縮抑制用無機材料と同じ無機材料を含む組成とされる。この無機材料は、ブロック１６としての形態を維持できるようにするため、その粉末にバインダ等が添加され、ペースト状とされたものが成形され、必要に応じて、所望の寸法を得るためカットされる。
【００３７】
ブロック１６は、セラミックグリーンシート１０〜１２に含まれるセラミック材料の焼結温度では焼結しないが、収縮抑制用無機材料とは異なる無機材料を含む組成とされてもよく、また、このような無機材料の焼結体をもって構成されてもよい。
【００３８】
上述のように、ブロック１６の挿入によって、擬似的に１段の形態を有するようにされたキャビティ５を備えるグリーンシート積層体１は、次に、積層方向にプレスされる。このプレスに際して、弾性体１７および剛体板１８がそれぞれ用意される。
【００３９】
弾性体１７は、たとえば、１０ｍｍの厚みを有するシリコーンラバーから構成される。
【００４０】
剛体板１８は、キャビティ５の開口４と同等かわずかに小さい貫通孔１９を有し、たとえば、金属、樹脂、セラミックのような剛体から構成される。また、剛体板１８の厚みは、たとえば１ｍｍ程度とされる。
【００４１】
剛体板１８は、その貫通孔１９をキャビティ５の開口４に位置合わせした状態で、グリーンシート積層体１の上に載せられる。特に、この実施形態では、剛体板１８は、第１の収縮抑制層１３に接するように載せられる。そして、これらグリーンシート積層体１、収縮抑制層１３および１４、剛体板１８ならびに弾性体１７は、包装用容器としてのプラスチックからなる袋２０によって真空パックした状態とされ、静水圧プレス装置の水槽内に入れられ、静水圧が付与される。この静水圧プレスにおいて、たとえば、６０℃の温度で５００ｋｇｆ／ｃｍ2 の圧力が付与される。
【００４２】
上述したプレス工程において、まず、グリーンシート積層体１の第１の端面２は、剛体板１８に接する第１の収縮抑制層１３を介して平坦に維持される。また、第１のキャビティ部６の底面７にあっては、ブロック１６の存在によって、その平坦性が保たれる。また、ブロック１６の存在により、第１のキャビティ部６の底面７および第２のキャビティ部９の側面を横方向に押す力が及ぼされにくいので、キャビティ５に関して、高い寸法精度を得ることができる。
【００４３】
なお、ブロック１６が、前述したように、無機材料粉末をペースト化した成形体によって構成される場合、このプレス工程において、ブロック１６は、その厚みを減じるように変形し、その結果、前述した第２のキャビティ部９の内周面との間のクリアランスが塞がれ、ブロック１６による上述した機能がより効果的に発揮されるようになる。
【００４４】
次に、グリーンシート積層体１は、袋２０から取り出され、プレスを付与しない状態で、たとえば、４５０℃の温度で４時間の脱脂工程および９００℃の温度で２０分間の本焼成工程を含む焼成工程に付される。
【００４５】
上述した焼成工程において、収縮抑制層１３および１４に含まれる収縮抑制用無機材料は、実質的に焼結しないため、収縮抑制層１３および１４には、実質的な収縮が生じない。したがって、グリーンシート積層体１に備えるセラミックグリーンシート１０〜１２にあっては、焼成工程において、厚み方向にのみ収縮が生じ、主面方向の収縮は、収縮抑制層１３および１４によって拘束されるため、実質的に生じないようにすることができる。なお、焼成工程における上述したセラミックグリーンシート１０〜１２の厚み方向の収縮は、ブロック１６によって拘束されることはない。
【００４６】
このようにして焼結を終えたグリーンシート積層体１によって、目的とする多層セラミック基板を得ることができる。通常、このように多層セラミック基板を得た後、収縮抑制層１３および１４が除去され、また、ブロック１６が除去される。焼成工程において、収縮抑制層１３および１４は実質的に焼結せず、また、ブロック１６が前述したような無機材料を含む場合には、これも実質的に焼結しないため、これら収縮抑制層１３および１４ならびにブロック１６を簡単に除去することができる。なお、ブロック１６が焼結体から構成される場合には、焼成工程の前に、これを除去しておくことが好ましい。
【００４７】
図２は、この発明の他の実施形態による多層セラミック基板の製造方法の途中の段階で得られるグリーンシート積層体２１を図解的に示す断面図である。図２に示したグリーンシート積層体２１は、図１に示したグリーンシート積層体１と比較して、３段のキャビティ２２を有している点で異なっている。
【００４８】
より詳細には、グリーンシート積層体２１は、第１および第２の端面２３および２４を有し、キャビティ２２は、第１の端面２３にその開口２５を位置させている。キャビティ２２は、第１のキャビティ部２６と第１のキャビティ部２６の底面２７の一部に開口２８を位置させる第２のキャビティ部２９と第２のキャビティ部２９の底面３０の一部に開口３１を位置させる第３のキャビティ部３２とからなる。
【００４９】
グリーンシート積層体２１は、第１のキャビティ部２６を形成するための貫通孔を有する第１のセラミックグリーンシート３３と第２のキャビティ部２９を形成するための貫通孔を有する第２のセラミックグリーンシート３４と第３のキャビティ部３２を形成するための貫通孔を有する第３のセラミックグリーンシート３５と貫通孔を有しない第４のセラミックグリーンシート３６とを積層して得られたものである。
【００５０】
また、グリーンシート積層体２１の第１および第２の端面２３および２４を覆うように、それぞれ、第１および第２の収縮抑制層３７および３８が設けられる。第１の収縮抑制層３７にあっては、キャビティ２２の開口２５を露出させる貫通部３９を形成している。
【００５１】
このようなグリーンシート積層体２１を積層方向にプレスするにあたって、キャビティ２２における第１のキャビティ部２６を除く部分、すなわち、この実施形態では、第２および第３のキャビティ部２９および３２内に、ブロック４０および４１が挿入される。ブロック４０は、第２のキャビティ部２９の平面形状と実質的に同じ平面形状を有し、ブロック４１は、第３のキャビティ部３２の平面形状と実質的に同じ平面形状を有している。
【００５２】
また、ブロック４０および４１は、それぞれ、第２および第３のキャビティ部２９および３２の深さ以上の高さを有するが、特に、第３のキャビティ部３２に挿入されるブロック４１については、第３のキャビティ部３２の深さ寸法と同等の高さ寸法を有していることが好ましい。
【００５３】
グリーンシート積層体２１を得た後に実施されるプレス工程および焼成工程等については、図１に示したグリーンシート積層体１の場合と実質的に同様であるので、その説明は省略する。
【００５４】
図３は、この発明のさらに他の実施形態による多層セラミック基板の製造方法の途中の段階で得られるグリーンシート積層体２１が示されている。なお、図３に示したグリーンシート積層体２１、収縮抑制層３７および３８ならびにこれらに関連する構成は、図２に示したものと実質的に同様であるので、対応する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００５５】
図３に示したグリーンシート積層体２１の第２および第３のキャビティ部２９および３２には、グリーンシート３３〜３６に含まれるセラミック材料の焼結温度で焼失し得る硬化性樹脂からなるブロック４２が挿入される。
【００５６】
このような硬化性樹脂は、好ましくは、硬化前の段階で、第２および第３のキャビティ部２９および３２に注入され、注入後において、硬化される。そのため、グリーンシート積層体２１にあっては、セラミックグリーンシート３３〜３６相互間の密着性を高めておくことが望ましく、たとえば、セラミックグリーンシート３３〜３６を積層する工程において、積層毎に仮プレスしたり、積層後において、グリーンシート積層体２１を、比較的低い圧力で仮プレスしたりすることが行なわれる。
【００５７】
硬化性樹脂としては、たとえば６０℃程度の温度で硬化する熱硬化性樹脂が用いられ、この場合には、６０℃程度の温度に設定されたオーブンに入れることによって硬化される。また、硬化性樹脂として、光硬化性樹脂を用いてもよく、この場合には、光を照射することによって硬化される。さらに、硬化性樹脂を、第２および第３のキャビティ部２９および３０とは異なる形状、たとえば球状の固体として用意し、これをキャビティ２２内に配置した後、たとえば熱を加えることによって、これを軟化させ、第２および第３のキャビティ部２９および３２の形状に適合させ、その状態で硬化するようにしてもよい。
【００５８】
上述のように、ブロック４２において硬化性樹脂を用いると、図１または図２に示したブロック１６または４０および４１のように予め形状が決まったブロックを挿入する場合に遭遇する位置合わせ精度の問題を大幅に緩和することができる。
【００５９】
図３に示した実施形態の場合も、図１に示した実施形態の場合と同様の方法によって、プレス工程および焼成工程等が実施される。この焼成工程において、硬化性樹脂からなるブロック４２は焼失し、これを除去するための特別な工程は不要である。
【００６０】
以上、この発明を図示した実施形態に関連して説明したが、この発明の範囲内において、その他、種々の変形例が可能である。
【００６１】
たとえば、プレス工程において、静水圧プレス以外の剛体プレスを適用してもよい。
【００６２】
また、グリーンシート積層体に形成されるキャビティは、４段以上の形態を有していてもよい。
【００６３】
また、図示の各実施形態では、グリーンシート積層体１および２１に関連して収縮抑制層１３および１４ならびに３７および３８を設け、いわゆる無収縮プロセスによる焼成方法を適用したが、これら収縮抑制層を設けずに、通常の焼成方法を適用してもよい。
【００６４】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、少なくとも第１のキャビティ部と第１のキャビティ部の底面の一部に開口を位置させる第２のキャビティ部とからなるキャビティが形成されたグリーンシート積層体を積層方向にプレスするにあたって、第１のキャビティ部を除く部分の平面形状と実質的に同じ平面形状を有しかつ第１のキャビティ部を除く部分の深さ以上の高さを有するブロックを用意し、このブロックを、キャビティにおける第１のキャビティ部を除く部分内に挿入するようにしているので、プレス工程において、キャビティの変形、特に各キャビティ部の底面での変形を生じにくくすることができ、高い寸法精度をもってキャビティが形成された多層セラミック基板を製造することができる。
【００６５】
この発明において、ブロックとして、グリーンシート積層体に備えるセラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料の焼結温度では焼結しない無機材料を含むものを用いると、グリーンシート積層体の焼成工程の後でも、ブロックは実質的に焼結しないため、その除去を容易に行なうことができる。
【００６６】
また、この発明において、ブロックとして、セラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料の焼結温度で焼失し得る硬化性樹脂からなるものを用いると、硬化性樹脂の硬化前の段階でキャビティ内に注入することが可能となり、そのため、ブロックの挿入に際して高い位置合わせ精度が要求されず、挿入工程を能率的に進めることができるとともに、焼成工程を終えた段階では、ブロックが焼失しているので、ブロックを除去するための特別な工程を省略することができる。
【００６７】
この発明において、プレス工程を実施するため、弾性体を用意するとともに、キャビティの開口と同等かわずかに小さい貫通孔を有する剛体板を用意し、剛体板の貫通孔をキャビティの開口に位置合わせした状態で、グリーンシート積層体の上に剛体板を載せ、弾性体から剛体板を介してグリーンシート積層体に対して圧力を及ぼすようにプレス工程を実施すれば、剛体板によって、キャビティの開口を位置させているグリーンシート積層体の端面の平坦性が維持しながら、弾性体によって、キャビティの内部にまで均一な圧力を及ぼすことが容易になる。その結果、より品質の高い多層セラミック基板を得ることができる。
【００６８】
また、上述の弾性体は、キャビティの形状の変更に関わらず、同じものを用いることができるので、キャビティの形状に適合する形状を有する弾性体を用いる場合に比べて、コストの低減を図ることができるとともに、位置合わせの問題も回避することができる。
【００６９】
上述したようなグリーンシート積層体、剛体板および弾性体が、包装用容器を用いて真空パックされた状態とされ、静水圧プレスを適用してプレス工程を実施するようにすれば、グリーンシート積層体に及ぼされる圧力の一層の均一化を図ることができる。
【００７０】
この発明が、セラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料の焼結温度では焼結しない収縮抑制用無機材料を含む収縮抑制層を、グリーンシート積層体の積層方向での各端面を覆うように設けた状態で、焼成工程を実施する、いわゆる無収縮プロセスに適用されたとき、キャビティの深さが収縮抑制層の厚み分だけより深くなるので、グリーンシート積層体に対して圧力を均一にかけることが難しい状態に置かれる。しかしながら、この発明によれば、キャビティ内にブロックが挿入されるので、その分、キャビティの見掛け上の深さが減じられ、その結果、グリーンシート積層体全体に対して均等なプレス作用を及ぼすことが容易になる。
【００７１】
また、上述した無収縮プロセスを適用すれば、得られた多層セラミック基板の寸法精度をより高めることができる。
【００７２】
このような無収縮プロセスを適用する場合において、収縮抑制層に含まれる収縮抑制用無機材料をもってブロックを構成するようにすれば、前述した無機材料を含む場合の効果がそのまま維持されるばかりでなく、材料の共通化を図れ、この点に関してコストの低減を期待することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態による多層セラミック基板の製造方法の途中の段階で実施されるプレス工程を図解的に示す断面図である。
【図２】この発明の他の実施形態による多層セラミック基板の製造方法の途中の段階で得られるグリーンシート積層体２１のプレス工程前の状態を図解的に示す断面図である。
【図３】この発明のさらに他の実施形態による多層セラミック基板の製造方法の途中の段階で得られるグリーンシート積層体２１のプレス工程前の状態を図解的に示す断面図である。
【符号の説明】
１，２１  グリーンシート積層体
２，３，２３，２４  端面
４，８，２５，２８，３１  開口
５，２２  キャビティ
６，２６  第１のキャビティ部
７，２７，３０  底面
９，２９  第２のキャビティ部
１０，１１，１２，３３，３４，３５，３６  セラミックグリーンシート
１３，１４，３７，３８  収縮抑制層
１５，３９  貫通部
１６，４０，４１，４２  ブロック
１７  弾性体
１８  剛体板
１９  貫通孔
２０  袋
３２  第３のキャビティ部
【図１】
0003711883.tif 000002
【図２】
0003711883.tif 000003
【図３】
0003711883.tif 000004