(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線回折測定に用いる多軸試料台であって、
試料を平面状に装着可能な試料装着部と、この試料装着部を試料面と平行な任意軸を中心として回転させるα回転手段と、前記試料装着部を面内回転させるβ回転手段と、前記試料装着部を試料面に対し垂直な方向に移動させるｚ移動手段と、前記試料装着部を試料面と平行な方向に移動させる平行移動手段と、を備え、
前記平行移動手段は、平行駆動モータの作動に伴いカムが回転して摺動板を往復移動させる構成であり、前記摺動板に前記試料装着部が設けられていることを特徴とする多軸試料台。
【請求項２】
試料台本体を有する請求項１記載の多軸試料台において、
前記α回転手段は、前記試料台本体に形成した円弧状のα回転案内部と、前記α回転案内部に沿って移動自在な移動架台と、この移動架台を駆動するα駆動手段と、前記移動架台の移動に伴い前記α回転案内部と移動架台との間に多数の金属球体を移動循環させるボール循環手段とを備え、
前記試料装着部、β回転手段、平行移動手段、およびｚ移動手段を前記移動架台に搭載したことを特徴とする多軸試料台。
【請求項３】
請求項１または２に記載の多軸試料台において、
前記β回転手段は、前記試料装着部と一体に回転する従動歯車と、この従動歯車に噛み合う駆動歯車と、β駆動モータと、このβ駆動モータからの駆動力を前記駆動歯車に伝達する駆動力伝達手段とを備え、
かつ、前記駆動力伝達手段は、基端が軸受を介して前記β駆動モータの駆動軸に装着されるとともに先端が軸受を介して前記駆動歯車の回転軸に装着された支持アームと、前記β駆動モータの駆動軸と駆動歯車の回転軸との間に巻き掛けられた無端状動力伝達体と、前記支持アームを付勢して前記駆動歯車を前記従動歯車に常時接触させる付勢手段と、を含むことを特徴とする多軸試料台。
【請求項４】
請求項１または２に記載の多軸試料台において、
前記β回転手段は、前記試料装着部と一体に回転するウォームホイールと、このウォームホイールに噛み合うウォームと、β駆動モータと、該β駆動モータからの回転駆動力を前記ウォームに伝達して該ウォームを回転させるとともに、前記平行移動手段による試料装着部の移動方向に中心軸が延在し、かつ前記ウォームに対して軸方向に摺動自在な回転駆動軸と、を備えたことを特徴とする多軸試料台。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、Ｘ線回折装置おいて、試料を平面状に装着するとともに、当該試料をＸ線に対し任意に回転または移動させることのできる多軸試料台に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｘ線回折装置は、Ｘ線源から発射されたＸ線を試料に照射するとともに、当該試料から反射または透過してきた回折Ｘ線を検出器で検出することにより、試料に対する入射角θと回折角２θとの関係等を測定し、該測定結果により試料の結晶構造等を分析することができる理化学装置である。
このＸ線回折装置を用いた試料分析に、正極点図をもって試料の配向等を分析する方法がある。正極点図は、試料の入射Ｘ線に対する方位と回折Ｘ線の強度分布との関係を、ポーラーネットと呼ばれるステレオ投影図に表示したものである。
【０００３】
この正極点図の測定においては、Ｘ線回折装置の試料台に装着した試料を試料面と略平行な任意の軸中心に任意の角度αだけ回転させるとともに、同試料を角度βだけ面内回転させ、これら角度α，βの方位における回折Ｘ線の積分強度をＸ線検出器で測定する。そして、この回折Ｘ線の積分強度をポーラーネット上に表示して正極点図を作成する。なお、ポーラーネットは、径方向に角度αのメモリが刻まれており、中心がα＝９０°，外周がα＝０°と定義されている。また、ポーラーネットの円周方向には、角度βのメモリが刻まれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
Ｘ線回折装置を用いた正極点図の測定には、上記のように試料面と略平行な任意の軸中心に任意のα角度だけ試料を回転させるα回転手段と、同試料をβ角度だけ面内回転させるβ回転手段とが最低限必要となる。
したがって、従来から正極点図測定に用いられるＸ線回折装置には、これらα回転手段、およびβ回転手段を備えた多軸試料台が装着されていた。
【０００５】
一方、肉厚の薄い薄膜状の試料に対するＸ線回折測定に対しては、Ｘ線源に対する試料面の原点位置を正確に割り出すために、試料面と垂直なｚ軸方向に前後移動させるｚ移動手段を試料台が備えている必要がある。
このように、Ｘ線回折測定の用途によって、試料の回転または移動方向が異なっているため、従来は目的別に試料台が用意されており、それらのうちから測定用途に適合した試料台を選択して用いるようになっていた。
【０００６】
しかしながら、Ｘ線回折装置を所持しているユーザのなかには、正極点図の測定や薄膜試料の測定、その他にも各種用途のＸ線回折測定を実施しているか、あるいは将来実施する可能性をもったユーザが少なからず存在している。これらのユーザからすると、目的別に試料台をとり揃えなければならないのは、費用的にみて不経済であり、しかもＸ線回折装置への試料台の据付け、調整に手間がかかり能率的ではない。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、Ｘ線回折装置を用いた種々の測定用途に一台の試料台で対応できるようにして、設備コストの低減および作業能率の向上を実現することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためにこの発明の多軸試料台は、試料を平面状に装着可能な試料装着部と、試料装着部を試料面と略平行な任意軸を中心として回転させるα回転手段と、試料装着部を面内回転させるβ回転手段と、試料装着部を試料面に対し略垂直な方向に移動させるｚ移動手段とを備えている。
このようにα回転手段、β回転手段、およびｚ移動手段を備えることにより、例えば、先に説明した正極点図の測定と薄膜試料の測定とを、この多軸試料台一台で実施することができる。
【０００９】
さらにこの発明の多軸試料台は、試料の表面状態が部分的に不均一になっていることを考慮して、試料装着部を試料面と略平行な方向に移動させる平行移動手段を備えてもよい。
このような平行移動手段を備えることにより、試料を適宜試料面と平行に移動してＸ線の照射部位を変え、測定データの均一化を図ることができる。
【００１０】
またこの発明は、上記のα回転手段を、試料台本体に形成した円弧状のα回転案内部と、このα回転案内部に沿って移動自在な移動架台と、この移動架台を駆動するα駆動手段と、移動架台の移動に伴いα回転案内部と移動架台との間に多数の金属球体を移動循環させるボール循環手段とを備えた構成とすることができる。
このような構成とすれば、試料装着部、β回転手段、ｚ移動手段、さらには平行移動手段といった各手段を移動架台に搭載しても、上記ボール循環手段により、α回転案内部と移動架台との間に多数の金属球体が介在するので、移動架台を滑らかに移動させることができる。
【００１１】
この発明は、上記のβ回転手段を、試料装着部と一体に回転する従動歯車と、この従動歯車と噛み合う駆動歯車と、β駆動モータと、このβ駆動モータからの駆動力を駆動歯車に伝達する駆動力伝達手段とを備えた構成とすることができる。
この場合は、上記駆動力伝達手段を、基端が軸受を介してβ駆動モータの駆動軸に装着されるとともに先端が軸受を介して駆動歯車の回転軸に装着された支持アームと、β駆動モータの駆動軸と駆動歯車の回転軸との間に巻き掛けられたベルト，チェーン等の無端状動力伝達体と、支持アームを付勢して上記駆動歯車を従動歯車に常時接触させる付勢手段とを含む構成とすることが好ましい。
【００１２】
このような構成とすれば、平行移動手段により試料装着部が試料面と略平行な方向に移動しても、支持アームがこの移動に追従するので、駆動歯車と従動歯車との間の噛み合い状態を保持し、従動歯車（すなわち、試料装着部）の回転を継続することができる。
【００１３】
一方、β回転手段は、試料装着部と一体に回転するウォームホイールと、このウォームホイールに噛み合うウォームと、β駆動モータと、β駆動モータからの回転駆動力を前記ウォームに伝達して該ウォームを回転させ回転駆動軸とを備えた構成としてもよい。
この場合は、回転駆動軸を、平行移動手段による試料装着部の移動方向に中心軸が延在するとともに、ウォームに対し軸方向に摺動自在な構成とすることにより、平行移動手段による試料装着部の移動があっても、継続してウォームへ回転駆動力を伝達することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１はこの発明の実施形態に係る多軸試料台の右側面図、図２は同じく左側面図、図３は図１におけるＡ−Ａ線断面図、図４は図１における矢視Ｂ−Ｂ線図である。
この発明の実施形態に係る多軸試料台は、Ｘ線回折装置のゴニオメータに固定する試料台本体１、測定試料を平面状に保持する試料装着部材２、およびこの試料装着部材２を回転または移動させる駆動手段を備えている。
【００１５】
このうち上記の駆動手段は、試料装着部材２に装着された試料を試料面内の任意軸Ｏを中心として回転（以下、α回転ともいう）させるα回転手段と、試料装着部材２に装着された試料を面内回転（以下、β回転ともいう）させるβ回転手段と、試料装着部材２に装着された試料を試料面に対し略平行な方向（以下、この実施形態ではγ方向ともいう）に移動させる平行移動手段と、試料装着部に装着された試料を試料面に対し略垂直な方向（以下、ｚ軸方向ともいう）に移動させるｚ移動手段とを含んでいる。
【００１６】
図５はα回転手段における駆動力伝達機構を示す断面図、図６は同手段における移動案内機構を示す断面図である。
これらの図をも参照して、まずα回転手段について説明すると、このα回転手段は、試料台本体１に形成したα回転案内部１０、移動架台１１、およびα駆動モータ（α駆動手段）１２からなり、移動架台１１がα駆動モータ１２からの駆動力をもってα回転案内部１０に沿って移動する構成となっている。
【００１７】
α回転案内部１０は、試料面内の任意軸Ｏと直交する仮想平面上で、同軸Ｏを中心とする円弧状に形成してある。このα回転案内部１０における試料台本体１の正面に位置する部位には、任意の長さにＸ線透過用の切欠き１０ａを形成してある。また、α回転案内部１０の左右両側面には、断面Ｖ字状の案内溝１０ｂが円弧状の案内軌道に沿って形成してある。さらに、α回転案内部１０の正面中央部には、後述する移動架台１１のウォームホイール片１７を挿入するための中央溝１０ｃが円弧状の案内軌道に沿って形成してある（図３，図５参照）。
【００１８】
一方、移動架台１１の背面部には、α回転案内部１０に緩やかに嵌め合わせることのできる装着溝部１１ａが形成してあり、この装着溝部１１ａ内の両側面には、断面Ｖ字形状をしたボール循環溝１１ｂが形成してある。ここで、α回転案内部１０に形成した案内溝１０ｂと移動架台１１に形成したボール循環溝１１ｂとは、α回転案内部１０に移動架台１１の装着溝部１１ａを嵌め合わせた状態において、互いに対向するように位置決めされている。
【００１９】
さらに、装着溝部１１ａにおける左右の側壁には、図６に示すようにボール循環孔１１ｃが形成してあり、このボール循環孔１１ｃが上述したボール循環溝１１ｂと連通して、ボール循環経路を形成している。そして、このボール循環経路内には多数の金属球体１３が移動自在に装入してあり、α回転案内部１０に沿った移動架台１１の移動に伴い、これら多数の金属球体１３がボール循環経路内を移動する仕組みを形成している。
【００２０】
移動架台１１のボール循環溝１１ｂ内に位置する金属球体１３は、すなわちα回転案内部１０の案内溝１０ｂと移動架台１１のボール循環溝１１ｂとの間に介在することになる。ここで、各金属球体１３は、案内溝１０ｂとボール循環溝１１ｂとで形成される内部空間の幅よりも若干大きな直径のものを使用している。これにより、α回転案内部１０に形成した案内溝１０ｂの内面と、移動架台１１に形成したボール循環溝１１ｂの内面とは、それぞれ金属球体１３に接触し、その接触状態は点接触となっている。
【００２１】
したがって、α回転案内部１０に形成した案内溝１０ｂの内面、および移動架台１１に形成したボール循環溝１１ｂの内面に生じる接触抵抗は小さく、移動架台１１に重量物を搭載しても滑らかに移動することができる。
【００２２】
なお、移動架台１１に形成したボール循環溝１１ｂの両端部には、湾曲面を有するボール返し片１４が案内溝１０ｂ側に突き出して取り付けてあり、このボール返し片１４が金属球体１３を円滑にボール循環孔１１ｃへと導くとともに、ボール循環孔１１ｃ内の金属球体１３を円滑にボール循環溝１１ｂへ導いている。
【００２３】
α駆動モータ１２は、試料台本体１の背面部上端に設置してある。同モータ１２の駆動軸１５は、α回転案内部１０の背面中央位置付近を通り試料台本体１の背面部下端へと延在して配設してあり、かつα回転案内部１０と交差する付近にウォーム１６が装着されている。
【００２４】
一方、上述した移動架台１１の背面部には、α回転案内部１０に係合する装着溝部１１ａが形成してあり、かつこの装着溝部１１ａの内底面中央には、ウォームホイール片１７が形成してある（図３，図５参照）。このウォームホイール片１７は、α回転案内部１０の円弧形状に対応するピッチ円に沿って歯形を形成してあり、α回転案内部１０に装着した状態において、上記のウォーム１６と噛み合っている。したがって、移動架台１１は、ウォーム１６およびウォームホイール片１７を介してα駆動モータ１２からの駆動力を受け、α回転案内部１０に沿って移動する。
【００２５】
この移動架台１１の移動範囲（すなわち、α回転角度）は、ウォームホイール片１７の長さにより決定される。したがって、このウォームホイール片１７の長さは、例えばＸ線回折装置を用いた正極点図測定において必要とされるα回転角度をカバーできる円弧長さとすることが好ましい。
【００２６】
次に、ｚ移動手段について図１〜図４を参照して説明する。
このｚ移動手段は、移動架台１１に固定したｚ駆動モータ２０と、移動架台１１に搭載した前後移動部材２１とを含んでいる。移動架台１１の左右外側面には、ｚ軸方向に案内レール２２が延在して設けてあり、一方、前後移動部材２１の側板には、案内レール２２と摺動自在に係合する案内溝２３が形成してある。これら案内レール２２と案内溝２３との係合によって、前後移動部材２１は移動架台１１上で、ｚ軸方向に移動自在となっている。
【００２７】
ｚ駆動モータ２０の駆動軸２０ａには雄ねじが形成してある。一方、前後移動部材２１において、ｚ駆動モータ２０の駆動軸２０ａと対向する部位には、ナット部材２４が嵌め込んであり、このナット部材２４の雌ねじ部に、ｚ駆動モータの駆動軸（雄ねじ）２０ａが螺合している。したがって、ｚ駆動モータ２０を作動すると、駆動軸（雄ねじ）２０ａとナット部材２４の雌ねじ部とで構成されたねじ機構により、前後移動部材２１がｚ軸方向へ移動する。
【００２８】
続いて、平行移動手段について、図２〜図４および図７を参照して説明する。
図７は平行移動手段を示す正面図である。
この平行移動手段は、前後移動部材２１に固定した平行駆動モータ３０と、前後移動部材２１の前面に装着した摺動板３１と、平行駆動モータ３０の駆動力を摺動板３１に伝えるカム機構とを含んでいる。
【００２９】
前後移動部材２１の前面には、γ方向に案内レール３２が延在して設けてあり、一方、摺動板３１の裏面には、案内レール３２と摺動自在に係合する案内溝３３が形成してある。これら案内レール３２と案内溝３３との係合によって、前後移動部材２１は移動架台１１上で、γ方向に移動自在となっている。
【００３０】
平行駆動モータ３０の駆動軸には、カム３４が装着してあり、一方、摺動板３１の端部にはこのカム３４と係合する従動コロ３５が取り付けてある。これらカム３４および従動コロ３５によってカム機構が形成してある。カム３４は、従動コロ３５に往復直線運動を与える任意の形状のものを使用する。この実施形態では、カム３４としてハート形カムを用いている。摺動板３１は、コイルばね３６等の付勢部材によって付勢されており、この付勢力によりカム３４と従動コロ３５とが常時当接している。
平行駆動モータ３０を作動すると、カム３４が回転して従動コロ３５とともに摺動板３１をγ方向に往復移動させる。
【００３１】
次に、β回転手段について、図１〜図４および図８を参照して説明する。
図８はβ回転手段における駆動力伝達機構を一部切断して示す左側面図である。
このβ回転手段は、前後移動部材２１に固定したβ駆動モータ４０と、摺動板３１の前面に回転軸受４１を介して装着した回転板４２と、この回転板４２の周縁に設けた従動歯車４３と、β駆動モータ４０の駆動力を従動歯車４３に伝える駆動力伝達機構とを含んでいる。試料装着部材２は回転板４２に装着され、従動歯車４３と一体にβ回転するようになっている。
【００３２】
駆動力伝達機構は、図８に示すように、β駆動モータ４０の回転をプーリ４４，４５および動力伝達ベルト４６を介して駆動歯車４７に伝え、この駆動歯車４７と噛み合う従動歯車４３を回転させる構成となっている。
【００３３】
駆動歯車４７の回転軸４７ａは、一対の支持アーム４８の先端部に軸受４８ａを介して回転自在に装着してある。また、支持アーム４８の基端部はβ駆動モータ４０の駆動軸４０ａに軸受４８ｂを介して回転自在に装着してあり、この駆動軸４０ａを中心として、支持アーム４８は揺動自在となっている。さらに、支持アーム４８は付勢手段としてのばね部材４９によって付勢されており、この付勢力をもって支持アーム４８の先端に装着された駆動歯車４７と従動歯車４３との噛み合い状態を保持している。
【００３４】
ちなみに、β駆動モータ４０は前後移動部材２１に固定してあり、一方、従動歯車４３は摺動板３１と一体になってγ方向に移動するため、β駆動モータ４０と従動歯車４３との間には平行移動手段の作動に伴って相対移動が生じる。このような相対移動があっても支持アーム４８とともに駆動歯車４７が揺動するので、従動歯車４３との噛み合い状態を保持することができる。
【００３５】
上述した構成の多軸試料台は、一台で試料装着部材２に装着された試料に対して、α回転，β回転，ｚ軸方向の往復移動を適宜与えることができる。したがって、Ｘ線回折装置によって行ない得る種々の測定用途にこの一台をもって対応することができる。
例えば、正極点測定においては、α回転，β回転が必要となり、しかもα回転は±４５°（場合によっては±９０°）と広範囲な回転角度を必要とするが、この多軸試料台によればそのすべての動作を満足することができる。しかも、ｚ軸方向の往復移動を備えているので、試料の厚さ方向の位置決めを確実かつ容易に行うことができる。
【００３６】
また、薄膜測定においては、α回転，β回転，およびｚ軸方向の往復移動が必要となるが、この多軸試料台によれば勿論そのすべての動作を満足することができる。さらに、α回転およびｚ軸方向の往復移動を必要とする試料の歪測定（残留応力測定）をも、この多軸試料台で行うことができる。
【００３７】
さらに、上述した多軸試料台は、試料装着部材２に装着された試料を、試料面と平行な方向に往復移動（例えば、γ方向の移動）させることができるので、Ｘ線の照射部位を適宜変化させて、測定データの均一化を図ることができる。
【００３８】
なお、試料装着部材２、回転板４２、摺動板３１、前後移動部材２１、および移動架台１１には、それぞれＸ線を透過させるための透孔２ｈ，４２ｈ，３１ｈ，２１ｈ，１１ｈ（切欠き等でもよい）が形成してあり（例えば、図４参照）、透過式のＸ線回折測定にも対応できる構成となっている。
【００３９】
また、試料台本体１に形成したα回転案内部１０には、任意の長さにＸ線透過用の切欠き１０ａが形成してあるので、試料台本体１の正面側から入射するＸ線や正面側へ出射する回折Ｘ線を、α回転案内部１０が遮蔽するおそれがない。したがって、広い走査範囲でＸ線回折測定を実施することができる。
【００４０】
図９および図１０は、β回転手段の変形例を示す図である。
この変形例に示すβ回転手段は、前後移動部材２１に固定したβ駆動モータ４０と、摺動板３１の前面に回転軸受（図示せず）を介して回転自在に装着した回転板４２と、この回転板４２の周縁に設けたウォームホイール６０と、β駆動モータ４０の駆動力をウォームホイール６０に伝える駆動力伝達機構とを含んでいる。試料装着部材２は回転板４２に装着され、ウォームホイール６０と一体にβ回転するようになっている。
【００４１】
駆動力伝達機構は、β駆動モータ４０の回転を傘歯車６１，６２、回転駆動軸６３、およびウォーム６４を介してウォームホイール６０に伝え、同ホイール６０を回転させる構成となっている。ここで、ウォーム６４は、摺動板３１に設けた軸受６５，６６により回転自在に支持され、ウォームホイール６０と噛み合っている。また回転駆動軸６３は、摺動板３１に設けた軸受６７により、回転自在でかつ軸方向に移動自在に支持されており、基端に傘歯車６２を装着している。この傘歯車６２は、β駆動モータ４０の回転軸に装着した傘歯車６１と噛み合っている。
【００４２】
ウォーム６４の中心軸部分は中空部６４ａとなっており、その内周面には軸方向にキー溝６４ｂが形成してある。一方、回転駆動軸６３の先端部には任意の長さに軸方向のキー６３ａが設けてある。回転駆動軸６３の先端部は、このキー６３ａをキー溝６４ｂと係合するようにして、ウォーム６４の中空部６４ａに嵌入してある。これにより、回転駆動軸６３は、ウォーム６４に対し軸方向に摺動自在であるが、回転駆動力はキー６３ａを介してウォーム６４に伝達可能となっている。
【００４３】
回転駆動軸６３は、摺動板３１の移動方向、すなわち平行移動手段による試料装着部材２の移動方向（γ方向）に沿って延在しており、摺動板３１の移動に伴いウォームに対し同方向に相対移動する。したがって、摺動板３１が移動しても継続してウォーム６４へ回転駆動力を伝達することができる。
【００４４】
図１１〜図１３は、この発明の他の実施形態を示す図である。
この実施形態では、回転板４２の前面にｘ−ｙ５１，５２移動板を設け、このｘ−ｙ移動板５１，５２の前面に試料装着部材２を装着した構成となっている。回転板４２は、図８に示した構成の駆動力伝達機構を介してβ駆動モータ４０の駆動力を伝達されβ回転する。また、回転板４２は、図では示していないが、前後移動部材２１に回転軸受を介して回転自在に装着してある。前後移動部材２１は先の実施形態で示したｚ移動手段によりｚ方向に移動するとともに、移動架台１１とともにα回転する。
【００４５】
ｘ−ｙ移動板５１，５２は、試料装着部に装着された試料を、試料面に対し略平行なｘ方向およびｙ方向へ移動させる。このｘ−ｙ移動板５１，５２により、試料面内での試料の位置合わせを行なうことが可能となる。
なお、この実施形態では、先に説明した平行移動手段を備えなかったが、必要に応じて平行移動手段を設けることもできる。
また、ｘ−ｙ移動板５１，５２は、この実施形態では手動で操作する簡略な構成としたが、駆動モータを利用して駆動する構成としてもよい。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したようにこの発明の多軸試料台によれば、Ｘ線回折装置を用いた種々の測定用途に一台で対応でき、設備コストの低減および作業能率の向上を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施形態に係る多軸試料台の右側面図である。
【図２】同じく左側面図である。
【図３】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図１における矢視Ｂ−Ｂ線図である。
【図５】同多軸試料台のα回転手段における駆動力伝達機構を示す断面図である。
【図６】同多軸試料台のα回転手段における移動案内機構を示す断面図である。
【図７】同多軸試料台の平行移動手段を示す正面図である。
【図８】同多軸試料台のβ回転手段における駆動力伝達機構を一部切断して示す左側面図である。
【図９】β回転手段の変形例を示す正面図である。
【図１０】図９に示したβ回転手段の駆動力伝達機構を示す側面断面図である。
【図１１】この発明の他の実施形態を示す正面図である。
【図１２】同じく平面図である。
【図１３】同じく右側面図である。
【符号の説明】
１：試料台本体          ２：試料装着部材
１０：α回転案内部    １０ａ：切欠き
１０ｂ：案内溝          １０ｃ：中央溝
１１：移動架台        １１ａ：装着溝部
１１ｂ：ボール循環溝    １１ｃ：ボール循環孔
１２：α駆動モータ      １３：金属球体
１４：ボール返し片      １５：駆動軸
１６：ウォーム            １７：ウォームホイール片
２０：ｚ駆動モータ      ２１：前後移動部材
２２：案内レール        ２３：案内溝
２４：ナット部材        ３０：平行駆動モータ
３１：摺動板            ３２：案内レール
３３：案内溝            ３４：カム
３５：従動コロ          ３６：コイルばね
４０：β駆動モータ      ４１：回転軸受
４２：回転板            ４３：従動歯車
４４，４５：プーリ
４６：動力伝達ベルト    ４７：駆動歯車
４７ａ：回転軸            ４８：支持アーム
４８ａ，４８ｂ：軸受      ４９：ばね部材
２ｈ，４２ｈ，３１ｈ，２１ｈ，１１ｈ：透孔
５１，５２：ｘ−ｙ移動板
６０：ウォームホイール    ６１，６２：傘歯車
６３：回転駆動軸          ６３ａ：キー
６４：ウォーム            ６４ｂ：キー溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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