(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
脱気膜の一方側の液相室に流通される原水から脱気膜の他方側の気相室に気体を拡散し排除する脱気膜モジュールと、
この脱気膜モジュールの気相室に排気管を介し接続され、気相室から気体を排出する真空ポンプと、
脱気膜モジュールの気相室と真空ポンプの間の排気管に接続され、ここにエアーを供給するエアー供給源と、
このエアー供給源からのエアーが気相室側に逆流するのを防止する逆流防止手段と、
脱気膜モジュールの気相室と真空ポンプの間の排気管にバルブを介して接続され、排気管内に生じた凝縮水を貯留するドレインポットと、
脱気膜モジュールの気相室にパージ用ガス供給バルブを介して接続され、脱気膜モジュールの気相室にパージ用ガスを供給するパージ用ガス供給源と、
を有することを特徴とする膜脱気装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置において、
前記逆流防止手段は、前記エアー供給源から前記排気管への経路に設けられた第１の制御バルブと、前記経路と前記排気管とを接続する接続点よりも脱気膜モジュール側の前記排気管に設けられた第２の制御バルブと、第２の制御バルブを閉じた後、第１の制御バルブを開くように制御する制御手段と、を含むことを特徴とする膜脱気装置。
【請求項３】
請求項１に記載の装置において、
前記逆流防止手段は、前記エアー供給源から前記排気管への経路と前記排気管とを接続する接続点よりも脱気膜モジュール側の前記排気管に設けられた逆止バルブであることを特徴とする膜脱気装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載の装置において、
前記ドレインポットは、脱気膜モジュールの気相室と逆流防止手段の間の排気管にバルブを介して接続されることを特徴とする膜脱気装置。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１つに記載の装置において、
前記ドレインポットは、逆流防止手段と真空ポンプの間の排気管にバルブを介して接続されることを特徴とする膜脱気装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１つに記載の装置において、
前記ドレインポットには、貯留した凝縮水を外部に排出するためのガス供給管が接続されていることを特徴とする膜脱気装置。
【請求項７】
請求項６に記載の装置において、
前記ドレインポットに接続されたガス供給管は、前記パージ用ガス供給源に接続され、ドレインポットには前記パージ用ガス供給源からガスが供給されることを特徴とする膜脱気装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１つに記載の装置において、
前記パージ用ガスは、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス、水素ガス、炭酸ガスの中から選ばれたガスで構成されることを特徴とする膜脱気装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、脱気膜の一方側の液相室に流入される原水から脱気膜の他方側の気相室に酸素等の気体を拡散して水中の溶存酸素等の溶存気体を除去する脱気膜モジュールを備えた膜脱気装置、特に真空ポンプの運転停止時における真空ポンプへのエアーの供給に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造ラインでは、半導体の洗浄工程などにおいて、純度の高い水（純水、超純水）を使用することが必須である。そして、このような純水、超純水の製造においては、塩類、微粒子などを除去すると共に、溶存酸素等の所定の溶存ガスも除去する必要がある。
【０００３】
そこで、従来より、水中の溶存酸素等の除去に各種の脱気装置が使用されている。脱気装置は、真空状態において、液相中の溶存ガス（特に溶存酸素）を気相側に移行させて除去することを基本としている。そして、脱気装置の中には、液体を透過させないがガスを透過させるガス透過膜（脱気膜）を利用して、液相室と気相室とを仕切り、気相室を排気減圧することによって脱気を行う脱気膜モジュールを備えた膜脱気装置が知られている。この膜脱気装置によれば、液相の表面積を増大することが容易であり、小さな装置で効果的な脱気処理が行える。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、このような膜脱気装置に使用する真空ポンプとしては、ドライ型ダイヤフラム式のものが通常採用される。このタイプの真空ポンプは、ダイヤフラムに水が付着するとその寿命が著しく劣化する。一方、脱気膜モジュールの気相室には、膜を介し水蒸気が拡散してくるため、真空ポンプの吸排気は水蒸気が飽和したものとなっている。このため、真空ポンプの運転停止時に何等処置をせずにそのまま運転を停止すると、ダイヤフラムに水が付着する可能性が大きい。そこで、真空ポンプの運転を停止する際には、真空ポンプにエアーを流す等の処置をとり、ダイヤフラムを乾燥することが好適である。
【０００５】
しかし、本発明者の研究によると、エアーは多数の微粒子などを含んでおり、エアーが膜脱気装置側に拡散すると、脱気膜モジュールが汚染されてしまい、その結果、エアー中に含まれる微粒子が気相室および膜を介し液相室に拡散し、膜脱気装置の処理水中の微粒子が増加するという問題があることが判明した。そして、このような事態が生じると、真空ポンプの運転再開後かなりの期間処理水中の微粒子濃度が高くなり、処理水が使用できないという問題点があった。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解決することを課題としてなされたものであり、処理水中への微粒子の拡散を防止しつつ真空ポンへのエアー供給を行うことができる膜脱気装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、脱気膜の一方側の液相室に流通される原水から脱気膜の他方側の気相室に気体を拡散し排除する脱気膜モジュールと、この脱気膜モジュールの気相室に排気管を介し接続され、気相室から気体を排出する真空ポンプと、脱気膜モジュールの気相室と真空ポンプの間の排気管に接続され、ここにエアーを供給するエアー供給源と、このエアー供給源からのエアーが気相室側に逆流するのを防止する逆流防止手段と、脱気膜モジュールの気相室と真空ポンプの間の排気管にバルブを介して接続され、排気管内に生じた凝縮水を貯留するドレインポットと、脱気膜モジュールの気相室にパージ用ガス供給バルブを介して接続され、脱気膜モジュールの気相室にパージ用ガスを供給するパージ用ガス供給源と、を有することを特徴とする。
【０００８】
膜脱気装置の運転を停止する際など何らかの理由により、真空ポンプの運転を停止する際には、エアー供給源からのエアーを真空ポンプに供給する。そして、所定時間真空ポンプにエアーを流通する。これによって、真空ポンプの内部がエアーに晒され、乾燥される。
【０００９】
脱気膜モジュールからの排気は、通常、膜を介し原水から拡散されてくる水蒸気で飽和している。従って、エアーを流通しない場合には、運転停止後その内部に凝結水を生じる。膜脱気装置に利用する真空ポンプとしては、通常ドライ型ダイヤフラム式のものが利用され、ダイヤフラムに水が付着するとその寿命が著しく劣化する。そこで、上述のごとく運転停止時にエアーをその内部に流通することで、ダイヤフラムを乾燥させ、ここに水が付着することを防止するようにしている。
【００１０】
そして、本発明では、逆流防止手段を有している。従って、真空ポンプにエアーを流通する際に、エアーが脱気膜モジュールの気相室に拡散することを防止できる。そこで、気相室に拡散したエアー中に含まれる微粒子が膜を介し液相室側に拡散することを効果的に防止することができる。
【００１１】
また、本発明は、前記逆流防止手段は、前記エアー供給源から前記排気管への経路に設けられた第１の制御バルブと、前記経路と前記排気管とを接続する接続点よりも脱気膜モジュール側の前記排気管に設けられた第２の制御バルブと、第２の制御バルブを閉じた後、第１の制御バルブを開くように制御する制御手段と、を含むことを特徴とする。このように、制御手段により第１および第２の制御バルブの開く順番を制御することによって、エアー供給源からのエアーの膜モジュール側への拡散を確実に防止することができる。また、本発明は、前記逆流防止手段は、前記エアー供給源から前記排気管への経路と前記排気管とを接続する接続点よりも脱気膜モジュール側の前記排気管に設けられた逆止バルブであることを特徴とする。このように、逆止バルブを設けることで、エアー供給源から供給されたエアーが脱気膜モジュールに向けて拡散することを防止することができる。特に、逆止バルブは、何等制御をすることなく逆流を防止できる。このため、確実かつ効率的に脱気膜モジュールに向けてのエアーの拡散を防止することができる。
【００１２】
また、前記ドレインポットは、脱気膜モジュールの気相室と逆流防止手段の間の排気管にバルブを介して接続されること、前記ドレインポットは、逆流防止手段と真空ポンプの間の排気管にバルブを介して接続されること、前記ドレインポットには、貯留した凝縮水を外部に排出するためのガス供給管が接続されていること、前記ドレインポットに接続されたガス供給管は、前記パージ用ガス供給源に接続され、ドレインポットには前記パージ用ガス供給源からガスが供給されること、前記パージ用ガスは、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス、水素ガス、炭酸ガスの中から選ばれたガスで構成されること、等が好適である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に好適な実施の形態（以下、実施形態という）について、図面に基づいて説明する。
【００１４】
「第１実施形態」
図１は本発明装置の第１実施形態の構成を示す図である。
【００１５】
原水は、脱気膜モジュール１０に流入される。この脱気膜モジュール１０は、２つの脱気膜モジュール１０ａ、１０ｂの直列接続からなっている。各脱気膜モジュール１０は、密閉容器からなり、内部に多数の中空糸（脱気膜）を束ねた形状のものを有している。また、各脱気膜モジュール１０ａ、１０ｂの両端側には図示はされていないが中空糸の内側空間と連通する一対の排気室が形成され、中間部には中空糸の外側と連通する外部空間が分離形成されて液相室を構成している。なお、上記一対の排気室と中空糸内側空間とが気相室を構成する。
【００１６】
そして、原水は、１段目の脱気膜モジュール１０ａの液相室に導入され、ここから排出される１段目処理水が２段目の脱気膜モジュール１０ｂの液相室に導入され、ここから最終処理水として排出される。すなわち、脱気膜モジュール１０ａ、１０ｂの液相室は直列接続されており、原水は２段処理される。
【００１７】
脱気膜モジュール１０の排気室の一方には、排気管１２の一端が接続されており、この排気管１２の他端は、第２の制御バルブ１４を介し、ドライ型ダイヤフラム式の真空ポンプ１６に接続されている。また、第２の制御バルブ１４と真空ポンプ１６を接続する排気管１２には、他端が大気に開放する第１の制御バルブ１８が接続されている。そこで、第２の制御バルブ１４を閉じた状態で、第１の制御バルブ１８を開くことにより、真空ポンプ１６の吸い込み側に空気を供給可能になっている。そして、真空ポンプ１６の運転停止時には、真空ポンプ１６にエアーを供給し、真空ポンプ１６のダイヤフラムを乾燥させる。なお、原水流量２ｍ3／時間程度の処理を行う際には、真空ポンプとして、８０Ｌ／ｍｉｎ程度のものが採用され、脱気膜モジュール１０の排気室および中空糸内側空間は、真空度５０Ｔｏｒｒ程度に維持される。
【００１８】
脱気膜モジュール１０の排気室に接続された上記排気管１２には、バルブ２０を介しドレインポット２２が分岐接続されている。このドレインポット２２は、排気管１２内に発生する凝縮水を収集貯留する密閉容器である。ドレインポット２２の底部には、大気に開放されたバルブ２４が接続され、またドレインポット２２の上部空間には、バルブ２６、２８、３０を介し、窒素ガス供給源（例えば窒素ガスボンベ）３２が接続されている。バルブ３０は、窒素ガス供給源３２を系から切り離すためのオンオフ弁、バルブ２８はその下流側を一定の圧力に維持するレギュレート弁、バルブ２６は、ドレインポット２２に対する窒素ガスの供給を制御するオンオフ弁である。なお、ドレインポット２２は、原水流量２ｍ3／時間に対し、２Ｌ程度の容量とされ、この場合の凝縮水排出の頻度は２〜３回／日程度である。したがって、凝縮水排出に必要な窒素ガスの量もごく少量で足りる。
【００１９】
さらに、脱気膜モジュール１０の排気室の他方（真空ポンプ１６が接続されている排気室と反対側）には、窒素ガス供給源３２が接続されている。すなわち、窒素ガス供給源３２に接続されたバルブ３０の他端には、バルブ２８と並列にレギュレート弁として機能するバルブ３４が接続され、このバルブ３４の他端に、質量流量計３６、流量調整用ニードルバルブ３８、オンオフ用のバルブ４０を介し、脱気膜モジュール１０の排気室が接続されている。
【００２０】
従って、ニードルバルブ３８にて調整された量だけ、脱気膜モジュール１０の気相室へ窒素ガスが供給される。なお、質量流量計３６の計測結果に基づいて、ニードルバルブ３８を制御することによって、脱気膜モジュール１０への窒素ガスの供給量が正確に制御される。
【００２１】
また、本実施形態では、１つの窒素ガス供給源３２をドレインポット２２のパージ用ガスの供給源と、脱気膜モジュール１０への供給源の両方に用いる。従って、窒素ガス供給源３２の有効利用が図られる。
【００２２】
さらに、ドレインポット２２には、上限及び下限水位を検出するレベルセンサ４２が設けられ、このレベルセンサ４２の出力は、制御装置４４に供給される。そして、この制御装置４４は、レベルセンサ４２の出力等に応じて、バルブ２０、２４、２６の開閉等を制御し、ドレインポット２２からの凝縮水の排出を制御する。
【００２３】
「通常運転時の処理」
通常の運転時には、バルブ２４、２６を閉じ、バルブ２０を開き、密閉状態のドレインポット２２を排気管１２に連通させる。また、第１の制御バルブ１８を閉じ、第２の制御バルブ１４を開き、真空ポンプ１６を駆動して、脱気膜モジュール１０の気相室から排気を行い、中空糸内側空間を真空状態とする。この状態で、脱気膜モジュール１０内の中空糸外側空間、すなわち液相室に原水を流通すると、脱気膜モジュール１０の中空糸外側空間を流れる水中から溶存ガスが膜を介し内側空間に拡散する。そして、中空糸内側空間に移行したガスは、真空ポンプ１６を介し、系外に排出される。従って、溶存ガスが除去された処理水が脱気膜モジュール１０から排出される。
【００２４】
ここで、本実施形態では、バルブ４０を開き、所定の少量の窒素ガスを脱気膜モジュール１０の気相室に供給する。これによって、脱気膜モジュール１０の中空糸内側空間における酸素の分圧をより減少して、効果的な溶存酸素除去が行われる。なお、場合によってはバルブ４０を閉じ、窒素ガスの脱気膜モジュール１０の中空糸内側空間への供給は停止してもよい。
【００２５】
また、この処理水は、半導体製造ラインの洗浄装置等のユースポイントに供給される。通常の場合、膜脱気装置は、半導体装置を製造するクリーンルーム内に設けられ、処理水は脱気された状態で直接ユースポイントに供給される。
【００２６】
「凝縮水の排出」
上述のような処理において、脱気膜モジュール１０の中空糸内側空間を真空状態とすると、中空糸外側空間にある水からの水蒸気が中空糸内側空間に拡散してくる。そして、中空糸内側空間における水蒸気は、ほぼその時の温度、圧力における飽和水蒸気圧になる。そこで、排気管１２における温度変化などに起因して、排気管１２内に凝縮水が生じる。排気管１２は、ドレインポット２２が接続されている位置が最も低くなるように、設定されており、排気管１２内で生じた凝縮水は、重力によりドレインポット２２内に収集される。
【００２７】
そして、運転の継続によって、ドレインポット２２内に収集されている凝縮水の量が増加してきて、上限水位に達すると、制御装置４４は、バルブ２０を閉じ、排気管１２をドレインポット２２から切り離す。次に、バルブ２６を開き、窒素ガス供給源３２からの窒素ガスをパージ用ガスとしてドレインポット２２内に供給する。窒素ガス供給源３２の窒素ガス排出側は、バルブ２８によって、１．１気圧程度に圧力が制御されており、これによってドレインポット２２内の圧力は、１．１気圧程度になる。この状態で、バルブ２４を開くことで、ドレインポット２２内の凝縮水は、外部に排出される。
【００２８】
そして、凝縮水の排出によりドレインポット２２内の水位が下限水位に至ったときには、制御装置４４は、バルブ２４を閉じ、次にバルブ２６を閉じるように制御する。これによって、ドレインポット２２は気密状態となるため、バルブ２０を開け、凝縮水の収集を再開する。この時、バルブ２０を徐々に開放し、排気管１２内の圧力（真空度）が余り変動しないようにすることも好ましい。
【００２９】
このようにして、ドレインポット２２からの凝縮水の除去が行われるが、この時ドレインポット２２に充満されるガスは、窒素ガスである。従って、バルブ２０を開放したときに、ドレインポット２２内から排気管１２側に流れるガスは、窒素ガスである。従って、酸素ガスが脱気膜モジュール１０の排気側に供給されることがなく、処理水の溶存酸素濃度が高くなることを防止することができる。また、窒素ガス供給源３２から供給される窒素ガスは、通常、純度の高いものであり、微粒子などの不純物の混入も有効に防止できる。
【００３０】
なお、ドレインポット２２からの凝縮水の除去中においても、脱気膜モジュール１０による脱気処理はそのまま継続されており、溶存酸素その他の溶存ガスが除去された処理水が脱気膜モジュール１０から排出される。
【００３１】
「真空ポンプ運転停止時の処理」
次に、真空ポンプ１６の運転を停止する場合には、原水の供給を停止し、あるいは原水の供給を継続したまま、まず、第２の制御バルブ１４を閉じ、脱気膜モジュール１０の気相室から切り離す。この状態で真空ポンプ１６の運転を停止するが、運転を直ちに停止すると真空ポンプ１６に悪影響がでる。特に、本実施形態の真空ポンプ１６は、ドライ型ダイヤフラム式の真空ポンプであり、たとえドレインポット２２で凝縮水を収集するようにしても真空ポンプ１６のダイヤフラム等に水分が付着するのは避けられない。そこで、ある程度の期間空気を流通し内部を乾燥した後、運転を停止しないとダイヤフラムの寿命が著しく短くなる。
【００３２】
そこで、第２の制御バルブ１４を完全に閉じ、次いで第１の制御バルブ１８を徐々に開ける。これにより、真空ポンプ１６の吸い込み側に空気を供給し、真空ポンプ１６に十分な空気を流通させた後、真空ポンプ１６の運転を停止する。ここで、本実施形態では、第２の制御バルブ１４にモータバルブを使用しているため、この第２の制御バルブ１４が完全に閉じるまでに７〜８秒程度かかる。そこで、第２の制御バルブ１４の閉制御後、１０秒程度経過してこの第２の制御バルブ１４が完全に閉じた後、第１の制御バルブ１８を開放する。また、真空ポンプ１６への空気の流通は１分間以上行い、内部を十分に乾燥することが好適である。
【００３３】
このように、第２の制御バルブ１４を閉じた後、第１の制御バルブ１８を開くことにより、空気中に含まれる微粒子が、脱気膜モジュール１０の気相室に拡散することを効果的に防止することができる。
【００３４】
なお、第２の制御バルブ１４が完全に閉じる前に第１の制御バルブ１８を開けたり、あるいはこれらの制御バルブ１４、１８を一体化して三方弁で構成すると、切換の際に微粒子を多量に含むエアーが脱気膜モジュール１０の気相室に拡散してしまう。そして、微粒子が脱気膜モジュール１０の気相室に拡散すると、その後真空ポンプ１６の運転を再開して脱気膜モジュール１０の運転を再開したときに、比較的長期間に渡って処理水中の微粒子濃度が上昇してしまうという不具合が生じる。本実施形態のように、制御バルブ１４、１８を別々に設け、第２の制御バルブ１４を完全に閉じた後に第１の制御バルブ１８を開くことで、気相室への微粒子拡散による悪影響を効果的に排除できる。なお、このような制御バルブ１４、１８の制御は、制御装置４４が行う。
【００３５】
「第２実施形態」
図２に、第２実施形態の構成を示す。この第２実施形態では、上記第１実施形態の第２の制御バルブ１４に代えて、逆止バルブ４６を採用している。すなわち、この逆止バルブ４６は、排気管１２において、脱気膜モジュール１０から真空ポンプ１６に向けての気体の流れを許容するが、逆向きの流れを阻止するものである。従って、この構成にあっては、真空ポンプ１６の運転を停止する際には、単に第１の制御バルブ１８を開くだけでよい。これによって、エアーは第１の制御バルブ１８を介し排気管１２に供給され、真空ポンプ１６に流通される。そして、このとき排気管１２に供給されるエアーは、逆止バルブ４６によって、脱気膜モジュール側に拡散することが防止される。従って、非常に簡単な構成で、エアーが脱気膜モジュール１０に拡散することを防止することができる。なお、真空ポンプ１６は、所定量の空気の流通が行われた後、運転を停止する。また、本実施形態では、排気管１２におけるドレインポット２２の接続点より脱気膜モジュール１０に近い位置に逆止バルブ４６を設けている。従って、万一、ドレインポット２２側から、エアーが排気管１２に逆流した場合においてもこれが脱気膜モジュール１０側に拡散することを防止することができる。
【００３６】
「第３実施形態」
図３に第３実施形態の構成を示す。この構成では、第２実施形態の第１の制御バルブ１８に代えて、三方バルブ４８を採用している。図においては、この三方バルブ４８が真空ポンプ１６と脱気膜モジュール１０を連通している状態を示している。この状態で、通常の運転を行い、真空ポンプ１６の運転を停止する場合には、三方バルブ４８を駆動して、真空ポンプ１６を大気と連通する。これによって、真空ポンプ１６にエアーが供給され、内部が乾燥される。
【００３７】
そして、三方バルブ４８の駆動時において、脱気膜モジュール１０に連通する排気管１２が一時的に大気側と連通するが、逆止バルブ４６があるため、エアーの脱気膜モジュール１０側への逆流を確実に防止することができる。
【００３８】
「その他の構成」
また、膜脱気装置の運転を開始（再開）するときには、脱気膜モジュール１０の気相室内に酸素や微粒子が残留していない方がよい。そこで、膜脱気装置の運転開始に際し、窒素ガス供給源３２からの窒素ガスを脱気膜モジュール１０の気相室に供給し、所定時間ここに窒素ガスを流通することが好適である。すなわち、バルブ４０、２０、２４を開き、窒素ガスを脱気膜モジュール１０の気相室を通過させてバルブ２４から排出させることによって、窒素ガスのパージによる酸素や微粒子等の排出が行え、これにより、処理水中の酸素濃度や微粒子数の低下も早くなる。
【００３９】
また、パージ用ガスとしては、実質的に酸素を含まないものであればいかなるものでもよく、窒素ガスの他、ヘリウムガス、アルゴンガス、水素ガス、炭酸ガスなど半導体の洗浄工程などで問題とならないものが利用可能である。
【００４０】
更に、上述の実施形態では中空系の内側空間を気相室とし、外側空間を液相室とした脱気膜モジュールの例について説明したが、本発明で使用される脱気膜モジュールはこれに限定されるものではなく、上記とは逆に中空系の内側空間を液相室とし、外側空間を気相室としたものでもよい。また、膜の形状も中空系状のものに限らず、管状（チューブ状）、平膜状等の種々の形状のものを用いることができる。
【００４１】
本発明で使用する脱気膜としては、液体を透過させないが気体を透過させるものであればいかなるものでもよい。このような膜としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン製の膜や、ポリ四フッ化エチレン等のフッ素樹脂製の膜、さらにはポリスルホン製、シリコンゴム製等の膜がある。
【００４２】
【実施例】
上記第１〜３実施形態の装置において、原水の流通を継続しながら、真空ポンプ１６にエアーを供給する実験を行った。原水は、３〜５個／ｍＬの微粒子を含む超純水であったが、いずれの実施形態の装置においても処理水中の微粒子数に有意の変化はなかった。表１に第１実施形態の装置を用いて、真空ポンプ１６へのエアー供給、運転停止操作を行った場合の結果を一例として示す。
【００４３】
また、比較例として、第１実施形態の装置における第２の制御バルブ１４と第１の制御バルブ１８を同時に操作し、真空ポンプ１６にエアーを供給してみた。この例を表１に比較例として示す。このように、逆流防止手段がないと、停止操作の３分後には、微粒子数が２８６個まで上昇した。そして、２０分間の原水の流通において、微粒子数が原水とほぼ同じ７個／ｍＬにまで減少した。これより、制御バルブ１４、１８の切換時の一瞬のエアーの逆流により、かなりの微粒子が脱気膜モジュール１０へ逆流し、これを排除するには処理水を２０分間以上に渡って捨てなければならないことが分かる。なお、微粒子数は、粒径０．１μｍ以上のものの数である。
【００４４】
【表１】
0003646903.tif 000002
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、脱気膜モジュールから真空ポンプに至る排気管に逆流防止手段を有している。従って、真空ポンプを停止するにあたって真空ポンプにエアーを供給する際にそのエアーが脱気膜モジュールに逆流し、脱気膜モジュールが微粒子によって汚染されることを効果的に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１実施形態の膜脱気装置の構成を示す図である。
【図２】  第２実施形態の膜脱気装置の構成を示す図である。
【図３】  第３実施形態の膜脱気装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
１０  脱気膜モジュール、１２  排気管、１４  第２の制御バルブ、１６  真空ポンプ、１８  第１の制御バルブ、２０，２４，２６，２８，３０，３４，３８，４０  バルブ、２２  ドレインポット、３２  窒素ガス供給源、３６  質量流量計、４４  制御装置、４６  逆止バルブ、４８  三方バルブ。
【図１】
0003646903.tif 000003
【図２】
0003646903.tif 000004
【図３】
0003646903.tif 000005