(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
防振連結される部材にそれぞれ取り付けられる第一の取付部材と第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結すると共に、該本体ゴム弾性体で壁部の一部が構成されて非圧縮性流体が封入された流体室を形成する一方、該流体室の壁部の別の一部を変位可能な可動壁で構成すると共に、該可動壁を加振駆動するアクチュエータを設けた流体封入式能動的マウントにおいて、
磁性材からなるヨーク部材に対して軸方向一方の側に開口する環状凹溝を設けて該環状凹溝にコイルを収容配置することにより、該コイルへの通電によって該コイルの周囲に磁路が形成されるようにすると共に、該ヨーク部材における環状凹溝の開口部の内周側壁部と外周側壁部にそれぞれ該磁路の両磁極を設定する一方、磁性材からなる加振部材を、前記ヨーク部材における環状凹溝の開口部側に離間して軸方向で対向位置せしめて、前記コイルへの通電により該加振部材に磁力を及ぼして、それら加振部材とヨーク部材の間に軸方向の加振力を及ぼすようにした電磁式加振器を用い、前記ヨーク部材を前記第二の取付け部材によって固定支持せしめると共に、前記加振部材を前記可動壁に固定的に設けることにより、該可動壁に加振力を及ぼす前記アクチュエータを構成し、更に、かかるアクチュエータにおける前記ヨーク部材の磁極が設定された前記環状凹溝の開口部の内周側壁部および外周側壁部の少なくとも一方と、それに最も接近して位置せしめられる前記加振部材の内周部分及び／又は外周部分とを、軸方向で直接に対向位置せしめる一方、かかるヨーク部材における内周側壁部および外周側壁部の少なくとも他方の角部と、それに最も接近して位置せしめられる前記加振部材の内周部分及び／又は外周部分の角部とを、軸直角方向にずらせて軸方向で傾斜して対向位置せしめたことを特徴とする流体封入式能動的マウント。
【請求項２】
前記第二の取付部材で支持された仕切壁にて前記流体室を仕切ることにより、壁部の一部が前記本体ゴム弾性体で構成された主液室と、壁部の一部が前記可動壁で構成された副液室を形成すると共に、それら主液室と副液室を相互に連通するオリフィス通路を形成した請求項１に記載の流体封入式能動的マウント。
【請求項３】
前記アクチュエータにおいて前記加振部材が前記ヨーク部材側に変位せしめられることにより、それら加振部材とヨーク部材において互いに軸直角方向にずらせて軸方向で傾斜して対向位置せしめた部分の先端面が、相互に当接することなく、少なくとも軸直角方向で重なる位置まで達し得るようにした請求項１又は２に記載の流体封入式能動的マウント。
【請求項４】
前記アクチュエータにおける前記加振部材と前記ヨーク部材において、互いに軸直角方向にずらせて軸方向で傾斜して対向位置せしめた部分の相互に近接する内外周面を、それぞれ、軸方向に延びる筒状面とすると共に、軸方向の投影においてそれら内外周面間に隙間が形成されるように、それら内周面および外周面の各径方向寸法を設定した請求項１乃至３の何れかに記載の流体封入式能動的マウント。
【請求項５】
前記アクチュエータにおける前記加振部材と前記ヨーク部材において、互いに対向位置せしめた部分の軸直角方向での対向間距離の大きさを、互いに軸方向で直接に対向位置せしめた部分の対向面間距離の大きさ以下とした請求項１乃至４の何れかに記載の流体封入式能動的マウント。
【請求項６】
前記アクチュエータにおいて、前記ヨーク部材における内周側壁部を外周側壁部よりも軸方向に突出せしめる一方、前記加振部材の該ヨーク部材に対する軸方向対向面の中央部分に凹所を設けて、該加振部材の軸方向対向面の外周部分を該ヨーク部材の外周側壁部に対して軸方向で直接に対向位置せしめると共に、該加振部材の凹所の開口角部を該ヨーク部材の内周側壁部の外周角部に対して軸方向で傾斜して対向位置せしめ、更に、該加振部材の凹所の底面を該ヨーク部材の内周側壁部に対して、それら加振部材の開口角部とヨーク部材の内周側壁部の外周角部との対向面間距離よりも大きな対向面間距離をもって軸方向で直接に対向位置せしめた請求項１乃至５の何れかに記載の流体封入隙能動的マウント。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は、自動車用エンジンマウント等に用いられて、防振すべき振動に対して能動的な防振効果を発揮する、新規な構造の流体封入式の能動的マウントに関するものである。
【０００２】
【背景技術】
振動伝達系を構成する部材間に介装される防振連結体や防振支持体等としての防振装置の一種として、互いに防振連結される部材に取り付けられる第一の取付部材と第二の取付部材を離間配置せしめて、本体ゴム弾性体で連結する一方、それら第一の取付部材と第二の取付部材の間に加振力を及ぼす加振力発生手段を設けて防振特性を調節するようにした能動的マウントが知られている。例えば、特開昭６１−２９３９号公報等に記載の防振装置が、それである。このような能動的マウントは、例えば、防振連結される部材に対して、防振すべき振動に対応した加振力を及ぼすことにより、振動を相殺的に抑制したり、或いは、マウントのばね特性を入力振動に応じて積極的に変更して低動ばね化等させることにより、防振性能の向上を図ることが出来るのであり、例えば、自動車用エンジンマウントやボデーマウントなどへの適用が考えられている。
【０００３】
ところで、このような能動的マウントでは、加振力を発生する加振器が必要であり、かかる加振器においては、発生加振力の優れた周波数制御性が要求される。そこで、能動的マウント用の加振器としては、例えば、前記公報等にも記載されているように、永久磁石とコイルを離間して対向配設すると共に、該コイルに通電することによりローレンツ力や電磁力を利用して加振力を得るようにしたボイスコイル型の加振器を採用することが提案されている。
【０００４】
しかしながら、ボイスコイル型の加振器では、得られる加振力が小さく、十分な加振力を得ようとすると、消費電力や発熱の他、加振器の大型化等が問題となり易いという問題があった。しかも、ボイスコイル型の加振器においては、コイル側と永久磁石側が軸方向の相対変位に際して摺接し易く、摺接部位における異音の発生やエネルギの損失、部品の劣化等が問題となり易いという問題もあった。
【０００５】
また一方、特開平１０−２２７３２９号公報等には、能動的マウント用の加振器として、電磁石型の電磁式加振器を採用したものが提案されている。かかる加振器は、一般に、磁性材からなるヨーク部材に対して軸方向一方の側に開口する環状凹溝を設けて該環状凹溝にコイルを収容配置することにより、該コイルへの通電によって該コイルの周囲に磁路が形成されるようにすると共に、該ヨーク部材における環状凹溝の開口部の内周側壁部と外周側壁部にそれぞれ該磁路の両磁極を設定する一方、磁性材からなる加振部材を、前記ヨーク部材における環状凹溝の開口部側に離間して軸方向で対向位置せしめて、前記コイルへの通電により該加振部材に磁力を及ぼして、それら加振部材とヨーク部材の間に軸方向の加振力を及ぼすようにした構造とされている。
【０００６】
このような電磁式の加振器においては、コイルへの通電を制御することによって、発生加振力の周波数や位相等を高精度に制御することが出来ることに加えて、前述の如きボイスコイル型の加振器よりも大きな加振力を容易に得ることが可能となる。
【０００７】
ところが、従来の電磁式の加振器においては、加振部材の変位方向（軸方向）で、ヨーク部材の磁極面と加振部材が直接に対向位置せしめられており、その対向面間距離が、発生加振力の大きさに与える影響が非常に大きいという特徴があった。そのために、加振部材とヨーク部材の相対的な初期位置が僅かに違うと目的とする大きさの加振力、ひいては能動的防振効果を有効に得ることが出来なくなり、安定した防振性能を得ることが難しいという問題があった。
【０００８】
特に、自動車用のエンジンマウント等のように、装着状態下でパワーユニット重量等の支持荷重が及ぼされる場合には、支持荷重の大きさによっても、ヨーク部材の磁極面と加振部材の対向面間距離が変化する場合があることから、たとえ加振器自体の製品寸法精度等を向上させても、それを組み込んだマウントを装着した状態下で、ヨーク部材の磁極面と加振部材の対向面間距離を高精度に設定することが極めて難しいために、目的とする防振性能を安定して得ることが一層困難となるという問題があった。
【０００９】
【解決課題】
ここにおいて、本発明は、上述の如き事情を背景として為されたものであって、その解決課題とするところは、例えば、初期荷重等が及ぼされる装着状態下でも、目的とする能動的防振効果が有効に且つ安定して発揮され得る、新規な構造の流体封入式能動的マウントを提供することにある。
【００１０】
【解決手段】
以下、このような課題を解決するために為された本発明の態様を記載する。なお、以下に記載の各態様は、任意の組み合わせで採用可能である。また、本発明の態様乃至は技術的特徴は、以下に記載のものに限定されることなく、明細書全体および図面に記載され、或いはそれらの記載から当業者が把握することの出来る発明思想に基づいて認識されるものであることが理解されるべきである。
【００１１】
本発明の第一の態様は、防振連結される部材にそれぞれ取り付けられる第一の取付部材と第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結すると共に、該本体ゴム弾性体で壁部の一部が構成されて非圧縮性流体が封入された流体室を形成する一方、該流体室の壁部の別の一部を変位可能な可動壁で構成すると共に、該可動壁を加振駆動するアクチュエータを設けた流体封入式能動的マウントにおいて、
磁性材からなるヨーク部材に対して軸方向一方の側に開口する環状凹溝を設けて該環状凹溝にコイルを収容配置することにより、該コイルへの通電によって該コイルの周囲に磁路が形成されるようにすると共に、該ヨーク部材における環状凹溝の開口部の内周側壁部と外周側壁部にそれぞれ該磁路の両磁極を設定する一方、磁性材からなる加振部材を、前記ヨーク部材における環状凹溝の開口部側に離間して軸方向で対向位置せしめて、前記コイルへの通電により該加振部材に磁力を及ぼして、それら加振部材とヨーク部材の間に軸方向の加振力を及ぼすようにした電磁式加振器を用い、前記ヨーク部材を前記第二の取付け部材によって固定支持せしめると共に、前記加振部材を前記可動壁に固定的に設けることにより、該可動壁に加振力を及ぼす前記アクチュエータを構成し、更に、かかるアクチュエータにおける前記ヨーク部材の磁極が設定された前記環状凹溝の開口部の内周側壁部および外周側壁部の少なくとも一方と、それに最も接近して位置せしめられる前記加振部材の内周部分及び／又は外周部分とを、軸方向で直接に対向位置せしめると共に、かかるヨーク部材における内周側壁部および外周側壁部の少なくとも他方の角部と、それに最も接近して位置せしめられる前記加振部材の内周部分及び／又は外周部分の角部とを、軸直角方向にずらせて軸方向で傾斜して対向位置せしめたことを特徴とする。
【００１２】
このような本態様に従う構造とされた流体封入式能動的マウントにおいては、上述の如き構造の電磁式加振器を前記可動壁に加振力を及ぼすアクチュエータとして採用していることから、コイルへの通電によってヨーク部材の磁極部間に磁界が形成され、この磁界中に配された加振部材に対して磁気吸引力等が作用せしめられて、以て可動壁に加振力が及ぼされることとなる。それ故、コイルへの供給電流を制御することにより、加振部材を目的とする周波数で加振することが出来るのである。
【００１３】
そこにおいて、ヨーク部材の少なくとも一方の磁極部は、加振部材に対して、加振部材の変位方向（軸方向）で直接に対向位置せしめられるが、ヨーク部材の少なくとも他方の磁極部は、加振部材に対して、加振部材の変位方向（軸方向）に対して傾斜した方向で対向位置せしめられることとなる。そして、前者の、軸方向で直接対向位置せしめられたヨーク部材の少なくとも一方の磁極部と加振部材の間で、大きな磁気吸引力等が確保され得る。また一方、後者の、軸方向に傾斜して対向位置せしめられたヨーク部材の少なくとも他方の磁極部と加振部材の間では、作用する磁気吸引力等の方向も軸方向に傾斜することとなり、ヨーク部材に対する加振部材の軸方向での相対位置の変化量に対して、作用する磁気吸引力等の大きさの変化量が小さく抑えられる。
【００１４】
それ故、このような本態様に従う構造とされた流体封入式能動型マウントにおいては、加振部材とヨーク部材の相対位置のばらつきに起因する発生加振力のばらつきが抑えられて安定した加振力が生ぜしめられる特定構造の電磁式加振器をアクチュエータとして採用したことにより、例えば、装着状態下で及ぼされる静的な初期荷重等によって加振部材とヨーク部材の相対位置が変化するような場合でも、可動壁に安定した加振力を作用せしめることが出来るのであり、以て、目的とする能動的防振効果を有効に且つ安定して得ることが可能となるのである。
【００１５】
また、本発明の第二の態様は、前記第一の態様に従う構造とされた流体封入式能動的マウントにおいて、前記第二の取付部材で支持された仕切壁にて前記流体室を仕切ることにより、壁部の一部が前記本体ゴム弾性体で構成された主液室と、壁部の一部が前記可動壁で構成された副液室を形成すると共に、それら主液室と副液室を相互に連通するオリフィス通路を形成したことを、特徴とする。このような本態様においては、オリフィス通路を流通せしめられる流体の共振作用等の流動作用を利用することにより、可動壁の加振に基づいて主液室に生ぜしめられる圧力変化を、一層効率的に得ることが可能となり、それによって、より優れた防振効果を得ることが出来るのである。
【００１６】
また、本発明の第三の態様は、前記第一又は第二の態様に従う構造とされた流体封入式能動的マウントにおいて、前記アクチュエータの前記加振部材が前記ヨーク部材側に変位せしめられることにより、それら加振部材とヨーク部材において互いに軸直角方向にずらされて軸方向に傾斜して対向位置せしめられた部分の軸方向先端面が、相互に当接することなく、少なくとも軸直角方向で重なる位置まで達し得るようにしたことを、特徴とする。このような本態様に従って加振部材とヨーク部材の相対位置を設定することにより、大きな加振力をより効率的に得ることが出来ると共に、加振部材とヨーク部材の相対距離のばらつきに起因する発生加振力のばらつきを抑えてより安定した加振力を得ることが可能となる。
【００１７】
また、本発明の第四の態様は、前記第一乃至第三の何れかの態様に従う構造とされた流体封入式能動的マウントにおいて、前記アクチュエータの前記加振部材と前記ヨーク部材において互いに軸直角方向にずらせて軸方向で傾斜して対向位置せしめた部分の相互に近接する内外周面を、それぞれ、軸方向に延びる筒状面とすると共に、軸方向の投影においてそれら内外周面間に隙間が形成されるように、それら内周面および外周面の各径方向寸法を設定したことを、特徴とする。このような本態様に従えば、加振部材とヨーク部材において軸直角方向にずらせて軸方向で傾斜して対向位置せしめた部分間での磁気吸引力を、それぞれ筒形状をもって形成された加振部材とヨーク部材の内外周面により、一層効率的に且つ安定して得ることが可能となる。
【００１８】
また、本発明の第五の態様は、前記第一乃至第四の何れかの態様に従う構造とされた流体封入式能動的マウントにおいて、前記アクチュエータの、前記加振部材と前記ヨーク部材において、互いに対向位置せしめた部分の軸直角方向での対向間距離の大きさを、互いに軸方向で直接に対向位置せしめた部分の対向面間距離の大きさ以下としたことを、特徴とする。このような本態様においては、加振部材とヨーク部材の相対距離のばらつきに起因する発生加振力のばらつきがより一層有利に軽減され得る。なお、特に、本態様において前記第四の態様を併せて採用するに際しては、加振部材のヨーク部材に対する相対移動範囲の全体に亘って、それぞれ筒状面をもって形成された内周面と外周面の半径寸法の差が、加振部材とヨーク部材において互いに軸方向で直接に対向位置せしめられた部分の対向面間距離よりも小さくなるように設定した構成が、より好適に採用され得る。
【００１９】
また、本発明の第六の態様は、前記第一乃至第五の何れかの態様に従う構造とされた流体封入式能動的マウントにおいて、前記アクチュエータの前記ヨーク部材における内周側壁部を外周側壁部よりも軸方向に突出せしめる一方、前記加振部材の該ヨーク部材に対する軸方向対向面の中央部分に凹所を設けて、該加振部材の軸方向対向面の外周部分を該ヨーク部材の外周側壁部に対して軸方向で直接に対向位置せしめると共に、該加振部材の凹所の開口角部を該ヨーク部材の内周側壁部の外周角部に対して軸方向で傾斜して対向位置せしめ、更に、該加振部材の凹所の底面を該ヨーク部材の内周側壁部に対して、それら加振部材の開口角部とヨーク部材の内周側壁部の外周角部との対向面間距離よりも大きな対向面間距離をもって軸方向で直接に対向位置せしめたことを、特徴とする。このような本態様に従えば、ヨーク部材と加振部材の間において、軸方向で直接に対向位置して磁気吸引力等が作用せしめられる部分と、軸方向に傾斜して対向位置して磁気吸引力等が作用せしめられる部分とが、共に有利に形成され得る。
【００２０】
また、本発明の第七の態様は、前記第一乃至は第六の態様に従う構造とされた流体封入式能動形マウントにおいて、壁部の一部が変位容易な可撓性膜で構成されて容積変化が許容される平衡室を形成すると共に、該平衡室を前記流体室に連通する流体流路を形成したことを、特徴とする。このような本態様においては、装着状態下で初期荷重が及ぼされることによって本体ゴム弾性体が弾性変形する場合でも、流体室の内圧が流体流路を通じて平衡室に逃がされることにより、流体室の内圧変化が軽減乃至は回避されることから、目的とする防振効果をより安定して得ることが可能となる。なお、特に、本態様において前記第二の態様を併せて採用するに際しては、流体流路を前記オリフィス通路よりも低周波数域にチューニングすることが望ましく、それによって、オリフィス通路を流動せしめられる流体の流動作用に基づく能動的防振作用の向上効果が、流体流路の影響を殆ど受けることなく安定して発揮され得る。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２２】
先ず、図１には、本発明の一実施形態としての自動車用エンジンマウント１０が示されている。このエンジンマウント１０は、第一の取付部材としての第一の取付金具１２と第二の取付部材としての第二の取付金具１４が本体ゴム弾性体１６によって連結された構造とされている。そして、第一の取付金具１２が自動車のパワーユニットに取り付けられる一方、第二の取付金具１４が自動車のボデーに取り付けられることにより、パワーユニットをボデーに対して防振支持せしめるようになっている。なお、以下の説明中、上下方向とは、原則として図中の上下方向をいうものとする。
【００２３】
より詳細には、第一の取付金具１２は、略逆円錐台形のブロック形状を有していると共に、大径側端面から軸方向上方に向かって突出する螺着部１３が一体形成されており、この螺着部１３に設けられたねじ穴によって、第一の取付金具１２が、図示しない自動車のパワーユニットに固定的に取り付けられるようになっている。また、第一の取付金具１２の大径側端部外周面には、径方向外方に向かって突出する鍔状のストッパ部２２が一体形成されている。
【００２４】
また、この第一の取付金具１２には、本体ゴム弾性体１６が加硫接着されている。かかる本体ゴム弾性体１６は、全体として大径の略円錐台形状を呈していると共に、大径側端面に開口する大径の凹部１８を有しており、その小径側端面から第一の取付金具１２が軸方向に差し込まれた状態で同一中心軸上に配されて加硫接着されている。また、本体ゴム弾性体１６の大径側端部外周面には、大径円筒形状の金属スリーブ２０が重ね合わされて加硫接着されている。これにより、本体ゴム弾性体１６は、第一の取付金具１２と金属スリーブ２０を有する一体加硫成形品として形成されている。また、第一の取付金具１２のストッパ部２２には、緩衝ゴム２３が、軸方向上方に向かって突出して、本体ゴム弾性体１６と一体形成されている。
【００２５】
一方、第二の取付金具１４は、大径の略段付き円筒形状を有しており、軸方向中間部分に形成された段差部２４を挟んで、軸方向上部が大径部２６とされていると共に、軸方向下部が小径部２８とされている。また、これら大径部２６および小径部２８の内周面には、略全面を覆う薄肉のシールゴム層３０が設けられて加硫接着されていると共に、小径部２８側の開口部には、略薄肉の円板形状を有する薄肉ゴム膜からなるダイヤフラム３２が配設されており、このダイヤフラム３２の外周縁部が第二の取付金具１４の開口周縁部に加硫接着されることによって、第二の取付金具１４の下側開口部が流体密に閉塞されている。なお、本実施形態では、このダイヤフラム３２が、シールゴム層３０と一体形成されていると共に、このダイヤフラム３２によって可撓性膜が構成されている。
【００２６】
そして、第二の取付金具１４は、その大径部２６が金属スリーブ２０に外挿されて、圧入や絞り加工等で嵌着固定されることによって、本体ゴム弾性体１６の外周面に固着されている。これにより、第一の取付金具１２と第二の取付金具１４が、同一中心軸上で軸方向に相互に離間して配設されており、本体ゴム弾性体１６によって弾性的に連結されている。また、第二の取付金具１４の大径部２６が本体ゴム弾性体１６に固着されることにより、第二の取付金具１４の上側開口部が本体ゴム弾性体１６によって流体密に閉塞されている。更に、かかる第二の取付金具１４には、図示されているように、軸方向上側からストッパ筒金具３７が被せられて第二の取付金具１４の大径部２６に外嵌固定されている。このストッパ筒金具３７は、軸方向中間部分に形成された段差部３９を挟んだ軸方向上下に小径部４１と大径部４３を有していると共に、軸方向上端部において径方向内方に突出する円環板状の当接突起４５が一体形成されており、この当接突起４５が、第一の取付金具１２のストッパ部２２に対して軸方向上方に離間して対向位置せしめられている。そして、大きな振動荷重が入力された際、ストッパ部２２が緩衝ゴム２３を介して当接突起４５に当接することにより、第一の取付金具１２と第二の取付金具１４のリバウンド方向（軸方向離間方向）での相対変位量が制限されるようになっている。
【００２７】
また、第二の取付金具１４には、軸方向中間部分に位置して仕切部材３４が収容配置されており、本体ゴム弾性体１６とダイヤフラム３２の対向面間の中間部分に配設されている。この仕切部材３４は、金属や合成樹脂等の硬質材で形成されて略円板形状を有しており、第二の取付金具１４の軸直角方向に広がる状態で配設されて、外周縁部を、第二の取付金具１４の段差部２４と金属スリーブ２０の軸方向端面との間で挟圧保持されることによって、第二の取付金具１４に固設されている。これにより、第二の取付金具１４の中空内部が、仕切部材３４を挟んで、本体ゴム弾性体１６側とダイヤフラム３２側とに流体密に仕切られている。そして、本体ゴム弾性体１６と仕切部材３４の間には、壁部の一部が本体ゴム弾性体１６で構成されて、内部に非圧縮性流体が封入された主液室３５が形成されている。そして、この主液室３５には、第一の取付金具１２と第二の取付金具１４の間に振動が入力された際、本体ゴム弾性体１６の弾性変形に基づいて内圧変化が生ぜしめられるようになっている。なお、封入流体としては、水やアルキレングリコール，ポリアルキレングリコール，シリコーン油等が採用され得るが、特に本実施形態では、後述するように流体の共振作用に基づく防振効果が有効に発揮されるように、粘性が０．１Ｐａ・ｓ以下の低粘性流体が好適に採用される。また、かかる非圧縮性流体の充填は、例えば、第二の取付金具１４に対する本体ゴム弾性体１６の一体加硫成形品の組み付けを非圧縮性流体中で行うこと等によって、有利に為され得る。
【００２８】
また、仕切部材３４の外周部分には、金属や合成樹脂等の硬質材で形成された円環ブロック形状のオリフィス部材３６が、下面に重ね合わされて配設されており、該オリフィス部材３６の外周面上に突設されたフランジ状の環状支持片３８が、仕切部材３４の外周縁部と共に、第二の取付金具１４の段差部２４と金属スリーブ２０の軸方向端面の間で挟持されることにより、かかるオリフィス部材３６が第二の取付金具１４に固設されている。
【００２９】
更にまた、このオリフィス部材３６の軸方向下側開口部には、可動壁４４が配設されている。かかる可動壁４４においては、下方に開口する逆カップ形状の可動金具４６が中央部分に配設されると共に、Ｌ字形断面で周方向に延びる環状の嵌着金具４８が外周部分に配設されており、これら可動金具４６と嵌着金具４８の筒壁部間に円環板形状を有する壁ゴム弾性体５０が介装されて、該壁ゴム弾性体５０の内周面が可動金具４６の筒壁部に加硫接着されていると共に、該壁ゴム弾性体５０の外周面が嵌着金具４８に加硫接着されている。要するに、壁ゴム弾性体５０は、可動金具４６と嵌着金具４８を備えた一体加硫成形品として形成されている。
【００３０】
そして、かかる可動壁４４は、嵌着金具４８がオリフィス部材３６に圧入固定されることによって、オリフィス部材３６の下側開口部を流体密に覆蓋する状態で組み付けられている。また、これにより、オリフィス部材３６の中空内部には、仕切部材３４と可動壁４４の対向面間において、壁部の一部が可動壁４４で構成されて、主液室３５と同じ非圧縮性流体が内部に封入された副液室５２が形成されており、この副液室５２には、可動壁４４の変位に基づいて内圧変化が生ぜしめられるようになっている。
【００３１】
また、オリフィス部材３６には、上面に開口して周方向に一周弱の長さで延びる周溝４０が形成されており、この周溝４０が仕切部材３４で覆蓋されることによって、周方向に延びるオリフィス通路４２が形成されている。そして、該オリフィス通路４２は、その周方向一方の端部が、仕切部材３４に設けられた連通孔を通じて主液室３５に連通されている一方、周方向他方の端部が、オリフィス部材３６に設けられた連通孔（図示せず）を通じて副液室５２に連通されており、以て、主液室３５と副液室５２の相対的な圧力差に基づいて、オリフィス通路４２を通じての流体流動が生ぜしめられるようになっている。
【００３２】
なお、オリフィス通路４２は、その内部を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用に基づいて、可動壁４４の変位によって副液室５２に生ぜしめられる圧力変化が主液室３５に対してより効率的に伝達されて優れた能動的防振効果が発揮されるように、能動的防振効果が要求される周波数域に応じて断面積や長さ等が設定されている。
【００３３】
さらに、第二の取付金具１４の内部には、可動壁４４の下方に位置する小径部２８内において、加振器としてのアクチュエータ５４が収容状態で組み込まれている。このアクチュエータ５４は、厚肉の略円筒形状を有するホルダブロック５６にヨーク部材５８やコイル６４，加振板７４等の駆動力発生機構が組み付けられており、該ホルダブロック５６が、第二の取付金具１４の小径部２８に対して、圧入や絞り加工等により、シールゴム層３０を挟んで流体密に嵌着固定されることによって、第二の取付金具１４で支持されている。また、ホルダブロック５６の軸方向上端面は、嵌着金具４８を介して、オリフィス部材３６の軸方向下端面に対して流体密に重ね合わされている。
【００３４】
そこにおいて、ホルダブロック５６は、合成樹脂やアルミニウム等の非磁性材で形成されることが望ましい。一方、ヨーク部材５８は、鉄等の強磁性材で形成されて円形のブロック形状を有しており、中心軸上を軸方向に貫通して延びる挿通孔６０が設けられていると共に、該挿通孔６０の周りには、軸方向上方に向かって開口する環状凹溝６２が設けられている。そして、この環状凹溝６２にコイル６４が収容されて固定的に組み付けられていることによって、ヨーク部材５８により、コイル６４の周りにヨークが形成されており、コイル６４への通電によって環状磁路が形成されるようになっている。
【００３５】
そして、ヨーク部材５８に形成された環状凹溝６２にコイル６４が収容配置されていることにより、コイル６４の周りに形成されたヨークが、コイル６４の内周側に位置する内周側壁部６６と、コイル６４の外周側に位置する外周側壁部６８と、それら内周側壁部６６と外周側壁部６８の軸方向下端部を相互に接続する環状底壁部７０とから構成されており、軸方向上方において、内周側壁部６６の上端開口部と外周側壁部６８の上端開口部との間で分断されている。また、内周側壁部６６の軸方向上端面は、外周側壁部６８の軸方向上端面よりも軸方向上方に所定高さだけ大きく突出されており、コイル６４の軸方向上端面よりも軸方向上方に飛び出して突出せしめられている。
【００３６】
また、ヨーク部材５８の挿通孔６０には、挿通孔６０よりも十分に小径の断面形状を有する連結ロッド７２が挿通配置されており、挿通孔６０から上下両側に突出せしめられた連結ロッド７２の上端部と下端部に対して、加振部材としての加振板７４と安定板７６が、それぞれ軸直角方向に広がる状態で固着されている。そして、これら加振板７４と安定板７６は、連結ロッド７２で相互に連結されて、全体として一体的に、ヨーク部材５８に対する軸方向の相対変位が許容されるようになっている。即ち、加振板７４と安定板７６はヨーク部材５８およびコイル６４の軸方向両側において、それぞれ軸方向外方に離間して、それらヨーク部材５８およびコイル６４に対して軸方向で対向位置せしめられている。
【００３７】
かかる安定板７６は、上方に開口する略カップ形状を有しており、該安定板７６の周囲には、Ｌ字形断面で周方向に延びる環状の固定金具７８が、径方向外方に離間して配設されている。更に、これら安定板７６と固定金具７８の筒壁部間には、円環板形状を有する支持ゴム弾性体８０が介装されており、該支持ゴム弾性体８０の内周面が安定板７６の筒壁部に加硫接着されていると共に、該支持ゴム弾性体８０の外周面が固定金具７８に加硫接着されている。そして、固定金具７８が、ホルダブロック５６の軸方向下面に対して流体密に重ね合わされて、ボルトや溶接等によって固着されており、それによって、安定板７６が、ホルダブロック５６、ひいては第二の取付金具１４により、支持ゴム弾性体８０を介して弾性的に位置決め支持されている。
【００３８】
また、このようなアクチュエータ５４が第二の取付金具１４に組み込まれることにより、第二の取付金具１４の小径部２８内には、安定板７６とダイヤフラム３２の対向面間において、壁部の一部がダイヤフラム３２で構成されて、該ダイヤフラム３２の変形に基づいて容積変化が容易に許容される平衡室８２が形成されている。そして、この平衡室８２には、主液室３５や副液室５２と同じ非圧縮性流体が封入されている。また、アクチュエータ５４を構成するホルダブロック５６には、外周面を軸方向に延びる軸方向溝８４が設けられており、この軸方向溝８４が第二の取付金具１４の小径部２８で覆蓋されることによって流体流路８６が形成されている。そして、該流体流路８６の一方の端部が、オリフィス部材３６に設けられた通孔８８によって、オリフィス通路４２を介して主液室３５に連通されていると共に、該流体流路８６の他方の端部が、平衡室８２に連通されている。
【００３９】
要するに、主液室３５と平衡室８２の間では、流体流路８６を通じて相互に流体流動が生ぜしめられるようになっている。そして、エンジンマウント１０の装着状態下において、パワーユニットの支持荷重が及ぼされて本体ゴム弾性体１６が弾性変形すると、流体流路８６を通じての主液室３５から平衡室８２への流体流動により、主液室３５の圧力増大が軽減乃至は回避されるようになっている。また、振動入力時には、主液室３５と平衡室８２の間での相対的な圧力差に基づいて流体流路８６を通じての流体流動が生ぜしめられることにより、流体の共振作用等の流動作用に基づく防振効果が発揮されるようになっている。特に、本実施形態では、流体流路８６を流動せしめられる流体の流動作用に基づく防振効果が、前記オリフィス通路４２を通じての流体流動作用に基づく防振効果よりも低周波数域で発揮されるように、かかる流体流路８６がオリフィス通路４２よりも低周波数域にチューニングされている。
【００４０】
一方、アクチュエータ５４において、連結ロッド７２の上端部に固設された加振板７４は、鉄等の強磁性材で形成されており、全体として略厚肉の円板形状を有している。また、この加振板７４の中央部分には、下面において下方に開口する円形の中央凹所９０が形成されていると共に、上面において上方に突出する円形の中央凸部９２が一体形成されている。即ち、これら中央凹所９０と中央凸部９２により、加振板７４は、全体として略ハット形状とされている。また、加振板７４は、その外径寸法が、ヨーク部材５８の外周側壁部６８の外径寸法と略同じにされていると共に、中央凹所９０の筒状内周面９４の内径寸法が、ヨーク部材５８の内周側壁部６６の筒状外周面９６の外径寸法よりも所定量だけ大きくされている。
【００４１】
そして、かかる加振板７４は、可動壁４４の下方に配されて、その中央凸部９２が、可動金具４６の筒壁部に対して圧入固定されている。これにより、加振板７４が、壁ゴム弾性体５０を介して、オリフィス部材３６、ひいては第二の取付金具１４により弾性的に位置決め支持されている。要するに、連結ロッド７２で一体的に連結された加振板７４と安定板７６は、軸方向上下両端部において、それぞれ軸直角方向に広がる壁ゴム弾性体５０と支持ゴム弾性体８０を介して、第二の取付金具１４によって所定位置に弾性的に支持されているのであり、それら壁ゴム弾性体５０と支持ゴム弾性体８０の弾性変形に基づいて、軸方向の変位が許容されるようになっているのである。
【００４２】
このように弾性支持された加振板７４は、ヨーク部材５８における磁路の開口部側（軸方向上側）に離間して対向配置されており、ヨーク部材５８の外周側壁部６８の軸方向上端面が、加振板７４の外周縁部９８の下面に対して、軸方向に離間して直接に対向位置せしめられていると共に、ヨーク部材５８の内周側壁部６６の軸方向上端部が、加振板７４の中央凹部９０の開口角部１００に対して、軸方向で直接に対向することなく、径方向内方にずれて対向位置せしめられている。なお、特に本実施形態では、加振板７４の外周部下面が、ヨーク部材５８の内周側壁部６６の軸方向上端面と軸直角方向に広がる略同一平面上に位置せしめられるように、加振板７４の中立位置（コイル６４への非通電状態下での弾性支持位置）が設定されている。
【００４３】
なお、加振板７４の中央凹部９０の底面は、ヨーク部材５８の内周側壁部６６の軸方向上端面に対して軸方向で離間して直接に対向位置せしめられているが、その対向面間距離が、軸方向に傾斜して対向位置せしめられたヨーク部材５８の内周側壁部６６の軸方向上端部と加振板７４の中央凹部９０の開口角部１００との対向間距離よりも大きく設定されている。特に本実施形態では、図２にモデル的に示されているように、加振板７４における中央凹部９０の筒状内周面９４と、ヨーク部材５８における内周側壁部６６の筒状外周面９６との径方向対向面間に、全体に亘って径方向寸法：Ｄの隙間が形成されるように設定されていると共に、加振板７４における中央凹部９０の底面と、ヨーク部材５８における内周側壁部６６の軸方向上端面との対向面間距離：Ｌが、Ｄ≦Ｌとなるように設定されている。また、特に本実施形態では、加振板７４における外周縁部９８の下面と、ヨーク部材５８における外周側壁部６８の軸方向上端面との対向面間距離：Ｍが、Ｄ≦Ｍとなるように設定されている。
【００４４】
そして、このような中立位置が設定されることにより、加振板７４は、壁ゴム弾性体５０と支持ゴム弾性体８０の弾性変形に基づいて軸方向に変位せしめられることによって、ヨーク部材５８に対して軸方向に接近／離間せしめられることとなり、接近方向への変位によって、加振板７４の中央凹所９０にヨーク部材５８の内周側壁部６６が、接触することなく入り込むこととなる。
【００４５】
上述の如き構造とされたエンジンマウント１０においては、コイル６４への通電によって、コイル６４の周りに配設されたヨーク部材５８によってヨークが構成され、ヨーク部材５８の内外周壁部６６，６８の先端部に形成される両磁極によって、それに対向位置せしめられた加振板７４に対して磁界が及ぼされることにより、かかる加振板７４がヨーク部材５８側、即ち図中の軸方向下方に吸引駆動せしめられる。それ故、コイル６４への通電周波数や電流を制御することにより、加振板７４を目的の周波数と振幅で加振することが出来るのである。
【００４６】
そして、加振板７４の加振に対応して副液室５２に生ぜしめられる圧力変化を、オリフィス通路４２を通じて主液室３５に伝達せしめて、主液室３５の内圧を入力振動に対して能動的に制御することにより、振動に対して能動的な防振効果を得ることが出来るのである。また、そこにおいて、オリフィス通路４２を流動せしめられる流体の共振作用等の流動作用を利用することによって、より効率的な能動的防振効果を得ることが可能となる。特に、本実施形態では、主液室３５の圧力変化に基づいて、主液室３５と平衡室８２との間での流体流路８６を通じての流体流動も生ぜしめられることから、この流体流路８６を通じての流体流動を利用することによって、オリフィス通路４２のチューニング周波数とは異なる周波数域において、受動的防振効果を得ることが出来ると共に、能動的防振効果を効率的に得ることも可能となる。
【００４７】
そこにおいて、加振板７４は、コイル６４への通電によってヨーク部材５８に生ぜしめられる磁力の作用で吸引駆動されることから、例えばボイスコイル型等の電磁駆動手段に比して、大きな加振力を効率的に得ることが出来るのである。
【００４８】
しかも、加振板７４の内周側において、該加振板７４とヨーク部材５８の磁極部の対向部分が、軸方向で傾斜して対向位置せしめられていることから、加振板７４が変位せしめられた際にも、加振板７４とヨーク部材５８の相対距離の変化量に対する、加振板７４に作用せしめられる磁気吸引力の変化量が小さく抑えられるのであり、その結果、加振板７４のヨーク部材５８に対する初期位置にばらつきがあった場合でも、目的とする加振力が安定して生ぜしめられて、目的とする能動的防振効果が安定して発揮されるのである。
【００４９】
なお、このように加振板７４のヨーク部材５８に対する軸方向での相対位置の変化に伴う磁気吸引力の変化量が抑えられる技術的理由は、加振板７４の内周側におけるヨーク部材５８の磁極部との対向方向が軸方向に傾斜しており、軸方向の駆動力が分力として生ぜしめられることに加えて、加振板７４とヨーク部材５８における対向磁極部が、それら加振板７４やヨーク部材５８の軸方向端面だけでなく、筒状内外周面９４，９６によっても構成されており、加振板７４のヨーク部材５８に対する軸方向変位に伴って、それら加振板７４やヨーク部材５８における有効な磁極部がそれぞれ変位せしめられることなどによるものと考えられる。
【００５０】
因みに、上述の如き構造のエンジンマウント１０に装着されたアクチュエータ５４において、Ｄ＝１ｍｍに設定して、一定の電流をコイル６４に給電することにより加振板７４に及ぼされる軸方向駆動力（発生力）を求めた結果を、図３に示す。なお、かかるアクチュエータ５４においては、図２に示されているように、加振板７４の下面とヨーク部材５８における内周側壁部６６の軸方向上端面とが同じ軸直角平面上となる位置を基準位置とし、その基準位置から、加振板７４を、ヨーク部材５８に対する離隔方向に１ｍｍ変位させた離隔位置と、ヨーク部材５８に対する接近方向に０．５ｍｍ変位させた接近位置との３位置について、それぞれ軸方向駆動力を求め、図３中に、基準位置で生ぜしめられる発生力に対する割合値で示した。なお、図３中、ギャップ値は、図２中におけるＭの値を示す。
【００５１】
また、比較例として、図４に示されているように、内周側壁部６６と外周側壁部６８を同一の軸方向高さとしたヨーク部材５８ａと、下面の全体を平坦面とした加振板７４ａを備えた比較例としてのアクチュエータを採用した場合について、ヨーク部材５８ａと加振板７４ａの軸方向対向面間距離：Ｍが２．５ｍｍとなる位置を基準位置として、かかる基準位置から１ｍｍ離隔させた離隔位置と、０．５ｍｍ接近させた接近位置との３位置について、それぞれ軸方向駆動力を求めた結果を、図３に比較例として併せ示す。
【００５２】
かかる図３に示された結果からも、本実施形態のアクチュエータ５４を採用したエンジンマウント１０においては、従来構造とされた比較例のアクチュエータを用いたエンジンマウントに比して、加振板のヨーク部材５８に対する相対位置に同じだけのばらつきがあった場合でも、発生力のばらつきを大幅に抑えることの出来ることが、明らかである。換言すれば、従来構造とされた比較例のアクチュエータを用いたエンジンマウントでは、本実施形態のアクチュエータ５４を採用したエンジンマウント１０と同じ程度に発生力のばらつきを抑えるためには、加振板の位置のばらつきを、図３中にαで示される極めて狭い範囲に抑えることが必要となるのである。
【００５３】
以上、本発明の一実施形態について詳述してきたが、これはあくまでも例示であって、本発明は、かかる実施形態における具体的な記載によって、何等、限定的に解釈されるものでない。
【００５４】
例えば、前記実施形態のエンジンマウント１０では、ヨーク部材５８の外周側壁部６８と加振板７４の外周部分との間に、軸方向の対向部位が形成されていると共に、ヨーク部材５８の内周側壁部６６と加振板７４の内周部分との間に、軸方向に傾斜した対向部位に形成されていたが、それとは反対に、例えば図５〜７に要部が概略的に示されているように、それらヨーク部材５８の外周側壁部６８と加振板７４の外周部分との間に、軸直角方向にずれて軸方向に傾斜した対向部位を形成することも可能である。なお、図５〜７においては、その理解を容易とするために、前記実施形態におけるエンジンマウント１０のアクチュエータ５４と同様な構造とされた部材および部位について、それぞれ、図中に同一の符号を付しておく。
【００５５】
すなわち、図５に示されたエンジンマウント用のアクチュエータにおいては、ヨーク部材５８の内周側壁部６６よりも外周側壁部６８の方が、軸方向上方に突出せしめられていると共に、加振板７４として、下面が全体に亘って平坦面とされたものが採用されており、且つ加振板７４の外径寸法が、ヨーク部材５８における外周側壁部６８の内径寸法よりも僅かに小さく設定されている。また、図６に示されたエンジンマウント用のアクチュエータにおいては、ヨーク部材５８の内周側壁部６６と外周側壁部６８が、何れも軸方向上方に突出せしめられていると共に、下面が全体に亘って平坦面とされた加振板７４の外周縁部において、軸方向下方に突出する環状突出部１０４が、ヨーク部材５８における外周側壁部６８の内径寸法よりも僅かに小さな外径寸法をもって一体形成されている。更にまた、図７に示されたエンジンマウント用のアクチュエータにおいては、外周側壁部６８よりも内周側壁部６６の方が軸方向上方に突出せしめられた、前記実施形態と同じ構造のヨーク部材５８が採用されていると共に、下面が全体に亘って平坦面とされた加振板７４の外周縁部において、軸方向下方に突出する環状突出部１０６が、ヨーク部材５８における外周側壁部６８の外径寸法よりも僅かに大きな内径寸法をもって一体形成されている。
【００５６】
これら図５〜７の何れに記載されたエンジンマウント用のアクチュエータにおいても、ヨーク部材５８における内周側壁部６６の軸方向上端面と加振板７４が軸方向で直接に対向位置せしめられて有効な磁気吸引力が作用せしめられると共に、ヨーク部材５８における外周側壁部６８の軸方向上端部と加振板７４が軸方向に傾斜して対向位置せしめられており、加振板７４のヨーク部材５８に対する軸方向相対位置のばらつきに起因する加振力のばらつきが有効に軽減されて、加振板７４に対して安定して加振力が及ぼされることとなり、以て、前記実施形態におけるアクチュエータと同様な効果が有効に発揮されるのである。
【００５７】
さらに、本発明に従う構造とされた能動的マウントにおいては、そのアクチュエータを構成するヨーク部材における内外周側壁部の少なくとも一方において、加振部材に対して軸方向で直接に対向位置する部分が設けられると共に、それら内外周壁部の他方において、少なくとも加振部材に対して軸直角方向でずらされて傾斜して対向位置する部分が設けられていれば良く、例えば、加振部材に対して軸方向で直接に対向位置する部分が設けられた、ヨーク部材における内外周側壁部の何れか一方において、更に加振部材に対して軸直角方向でずらされて傾斜して対向位置する部分を付加して設けることも可能であり、また、加振部材に対して軸直角方向でずらされて傾斜して対向位置する部分が設けられた、ヨーク部材における内外周壁部の他方において、更に加振部材に対して軸方向で直接に対向位置する部分を付加して設けることも可能である。
【００５８】
具体的には、例えば、図８に示されているように、ヨーク部材５８の内周側壁部６６と外周側壁部６８を、何れも軸方向上方に突出させると共に、下面が全体に亘って平坦面とされた加振板７４の径方向中間部分において、軸方向下方に突出する環状突出部１０８を、ヨーク部材５８における内周側壁部６６の外径寸法よりも僅かに大きな内径寸法と、外周側壁部６８の内径寸法よりも僅かに小さな外径寸法をもって、一体形成した構造をもって、能動的マウント用のアクチュエータを構成することも可能である。このような構造の能動的マウント用アクチュエータにおいては、加振板７４の下面と、ヨーク部材５８における内周側壁部６６および外周側壁部６８の各軸方向上端面とが、それぞれ、軸方向で直接に対向位置せしめられていると共に、加振板７４の環状突出部１０８の内周側角部とヨーク部材５８の内周側壁部６６の外周側角部、および加振板７４の環状突出部１０８の外周側角部とヨーク部材５８の外周側壁部６８の内周側角部が、それぞれ、軸直角方向にずれて対向位置せしめられている。要するに、かかるアクチュエータにおいては、ヨーク部材５８の内周側壁部６６と外周側壁部６８の何れにおいても、加振板７４に対して、軸方向で直接に対向位置する磁極部分と、軸直角方向にずれて傾斜して対向位置する磁極部分とが、それぞれ形成されているのである。そして、このような構造とされた能動的マウント用アクチュエータにおいても、加振板７４のヨーク部材５８に対する軸方向相対位置のばらつきに起因する加振力のばらつきが有効に軽減されて、加振板７４に対して安定して加振力が及ぼされることとなり、以て、前記実施形態における能動的マウント用アクチュエータと同様な効果が有効に発揮されるのである。
【００５９】
また、オリフィス通路４２や流体流路８６の具体的構造は、要求される防振特性や防振装置の基本的構造等に応じて適宜に変更されるものであって限定されるものでない。
【００６０】
さらに、本発明は、例示の如き構造のマウントだけでなく、例えば、第一の取付部材としての軸部材の径方向外方に離間して、第二の取付部材としての外筒部材が配設されると共に、それら軸部材と外筒部材が、両部材間に介装された本体ゴム弾性体によって連結された構造を有し、ＦＦ型自動車用エンジンマウント等に好適に採用される筒型マウント等にも適用可能である。
【００６１】
また、前記実施形態では、本発明を、自動車用エンジンマウントに適用したものの具体例を示したが、自動車用エンジンマウントの他、自動車用やそれ以外の各種装置用の各種マウントにも、本発明が適用可能であることは、勿論である。
【００６２】
その他、一々列挙はしないが、本発明は、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加えた態様において実施され得るものであり、また、そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであることは、言うまでもない。
【００６３】
【発明の効果】
上述の説明から明らかなように、本発明に従う構造とされた流体封入式能動的マウントにあっては、ヨーク部材と加振部材の間で磁力が及ぼされる部分を、加振部材の変位方向に対して傾斜して対向位置せしめたことにより、ヨーク部材と加振部材の相対位置のばらつきに伴う加振部材の駆動力のばらつきが抑えられるのであり、それによって、目的とする能動的防振効果が有効に且つ安定して発揮され得る。それ故、例えばマウント装着状態下で入力される初期荷重によって加振器におけるヨーク部材と加振部材の相対位置に影響が及ぼされるおそれがある場合等においても、能動的防振特性の安定化が図られ得るのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態としての自動車用エンジンマウントを示す縦断面説明図である。
【図２】図１に示されたエンジンマウントに用いられているアクチュエータの要部を示すモデル図である。
【図３】図１に示されたエンジンマウントに用いられているアクチュエータの出力特性を示すグラフである。
【図４】比較例としての従来構造のエンジンマウントに用いられるアクチュエータの要部を示すモデル図である。
【図５】図１に示されたエンジンマウントに採用され得るアクチュエータの別の構造例を示す要部概略図である。
【図６】図１に示されたエンジンマウントに採用され得るアクチュエータの更に別の構造例を示す要部概略図である。
【図７】図１に示されるエンジンマウントに採用され得るアクチュエータの更に別の構造例を示す要部概略図である。
【図８】図１に示されるエンジンマウントに採用され得るアクチュエータの更に別の構造例を示す要部概略図である。
【符号の説明】
１０  エンジンマウント
１２  第一の取付金具
１４  第二の取付金具
１６  本体ゴム弾性体
３４  仕切部材
３５  主液室
４２  オリフィス通路
４４  可動壁
５２  副液室
５４  アクチュエータ
５８  ヨーク部材
６４  コイル
６６  内周側壁部
６８  外周側壁部
７４  加振板
８２  平衡室
８６  流体流路
９０  中央凹所
９８  外周縁部
１００  開口角部
【図１】
0003620369.tif 000002
【図２】
0003620369.tif 000003
【図３】
0003620369.tif 000004
【図４】
0003620369.tif 000005
【図５】
0003620369.tif 000006
【図６】
0003620369.tif 000007
【図７】
0003620369.tif 000008
【図８】
0003620369.tif 000009