(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置箱体に、Ｘ線発生手段と、検査すべき試料を載置した試料支持手段とを、同期的に同角度同方向に連動揺動可能に支持した連動揺動機構を設け、この連動揺動機構は、装置箱体に揺動可能に設けた取付台と、この取付台と所定距離離隔して前記装置箱体に揺動可能に設けた支持台と、これら取付台と支持台とを互いに平行に且つ揺動可能に連結した一対の支軸と、前記取付台と支持台との間において、前記一対の支軸に沿って昇降可能に且つ揺動可能に設けて、前記試料支持手段を取り付けた昇降台とを備え、前記取付台または支持台に、取付台と支持台の夫々の揺動中心を中心として、連動揺動させるための駆動機構を設け、前記昇降台を昇降機構により昇降調節する構成とし、前記駆動機構による連動揺動機構の作動下に、Ｘ線発生手段と、試料支持手段とを、同期的に同角度同方向に連動揺動させて前記試料支持手段上の試料にＸ線発生手段からＸ線を照射して装置箱体底側に配置した撮像手段によりＸ線透視像を得る構成としたことを特徴とするＸ線透視検査装置。
【請求項２】
前記昇降機構は、支持台または取付台に揺動可能に取り付けたモータと、モータ軸に連結したねじシャフトと、ねじシャフトに螺入するナットとを有し、このナットを前記昇降台に揺動可能に取り付けて前記ねじシャフトをナットを介して螺入すると共にねじシャフト先端を前記モータの取付箇所と対向する支持台または取付台に揺動可能に取り付ける構成としたことを特徴とする請求項１記載のＸ線透視検査装置。
【請求項３】
前記Ｘ線発生手段は、Ｘ線発生源の中心と、取付台の中心と撮像手段中心とを結ぶ中心線に一致させるように取付台に取り付けて、Ｘ線照射中心軸を前記中心線に合わせるようにし、前記試料支持手段は前記昇降台に、前記中心線に試料をもたらすように取り付ける構成とし、前記Ｘ線照射中心軸に対し、第１の軸方向と第２の軸方向に位置決め調節する構成としたことを特徴とする請求項１記載のＸ線透視検査装置。
【請求項４】
前記Ｘ線発生手段は、Ｘ線発生源の中心と、取付台の中心と撮像手段中心とを結ぶ中心線に一致させるように取付台に取り付けて、Ｘ線照射中心軸を前記中心線に合わせるようにし、前記試料支持手段は前記昇降台に、前記中心線に試料をもたらすように取り付ける構成とし、前記Ｘ線照射中心軸に対し、第１の軸方向と第２の軸方向に位置決め調節すると共に、Ｘ線照射中心軸を中心に回転位置決め調節する構成としたことを特徴とする請求項１記載のＸ線透視検査装置。
【請求項５】
前記試料支持手段をＸ線照射中心軸を中心に回転位置決め調節する回転動作量に対応して、前記第１の軸方向および第２の軸方向に、夫々移動させて、試料上の観察点の位置を取付台の中心と撮像手段中心とを結ぶ中心線上にもたらすようにしたことを特徴とする請求項４記載のＸ線透視検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば高密度に実装された基板における内部を、Ｘ線を照射して透視することで検査するＸ線透視検査装置に関し、特に、基板内部の欠陥の発見を容易にするために上下動、前後左右動及び揺動を行う、Ｘ線透視検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体検査装置として、例えば高密度に実装された基板における内部を検査するに、Ｘ線を照射して透視するＸ線透視検査装置が用いられている。
かかるＸ線透視検査装置では、通常、Ｘ線発生手段からのＸ線照射中心線上にＣＣＤカメラの中心線を合わせるように設置しているが、前記中心線上に障害物が存在すると、この障害物によって前記Ｘ線が遮られて観察が妨げられるので、かかる箇所を観察するには、斜め方向からＸ線を照射して観察するようにしている。
その際、Ｘ線発生手段から放射状にＸ線が照射され、照射範囲である１２０度の円錐形の範囲内では、中央部と周辺部とで、その強度はあまり変わりがないことが解っているので、斜め方向からＸ線を照射して観察する場合には、Ｘ線発生源を中心に、ＣＣＤカメラ、またはＸ線発生手段のいずれかを回転させればよいことになる。
【０００３】
そこでこれまでのＸ線透視検査装置としては、Ｘ線発生手段を固定してＣＣＤカメラを、Ｘ線発生源を中心に旋回する方法と、Ｘ線発生手段と試料台とを同時に、Ｘ線発生源を中心に揺動させる方法が採用されてきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者のＣＣＤカメラを旋回させる方法では旋回半径が大きいので、装置全体が大型化する欠点がある。
一方、後者のＸ線発生手段と試料台とを同時に揺動する方法では、Ｘ線発生手段と試料台との揺動はその機構上、駆動装置を別個にしなければならず複雑化する。
また観察部分の倍率はＸ線発生源から観察部までの距離とＸ線発生源からＣＣＤカメラまでの距離の比率によって決まるので、Ｘ線発生手段を回転する場合には、試料とＸ線発生手段の干渉を防ぐために試料台も同時に回転するのが倍率を大にするには効果的であるという観点に至った。
本発明は以上のような背景から提案されたものであって、Ｘ線発生手段と試料台とを同期的に前後左右動及び揺動を行う方式としたことで、機構を単純化することができ、しかも装置の小型化が可能なＸ線透視検査装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記した課題を解決するために、本発明では、請求項１において、装置箱体に、Ｘ線発生手段と、検査すべき試料を載置した試料支持手段とを、同期的に同角度同方向に連動揺動可能に支持した連動揺動機構を設け、この連動揺動機構は、装置箱体に揺動可能に設けた取付台と、この取付台と所定距離離隔して前記装置箱体に揺動可能に設けた支持台と、これら取付台と支持台とを互いに平行に且つ揺動可能に連結した一対の支軸と、前記取付台と支持台との間において、前記一対の支軸に沿って昇降可能に且つ揺動可能に設けて、前記試料支持手段を取り付けた昇降台とを備え、前記取付台または支持台に、取付台と支持台の夫々の揺動中心を中心として、連動揺動させるための駆動機構を設け、前記昇降台を昇降機構により昇降調節する構成とし、前記駆動機構による連動揺動機構の作動下に、Ｘ線発生手段と、試料支持手段とを、同期的に同角度同方向に連動揺動させて前記試料支持手段上の試料にＸ線発生手段からＸ線を照射して装置箱体底側に配置した撮像手段によりＸ線透視像を得る構成としたＸ線透視検査装置を提案する。
また本発明では、請求項２において、前記昇降機構は、支持台または取付台に揺動可能に取り付けたモータと、モータ軸に連結したねじシャフトと、ねじシャフトに螺入するナットとを有し、このナットを前記昇降台に揺動可能に取り付けて前記ねじシャフトをナットを介して螺入すると共にねじシャフト先端を前記モータの取付箇所と対向する支持台または取付台に揺動可能に取り付ける構成としたＸ線透視検査装置を提案する。
また本発明では、請求項３において、前記Ｘ線発生手段は、Ｘ線発生源の中心と、取付台の中心と撮像手段中心とを結ぶ中心線に一致させるように取付台に取り付けて、Ｘ線照射中心軸を前記中心線に合わせるようにし、前記試料支持手段は前記昇降台に、前記中心線に試料をもたらすように取り付ける構成とし、前記Ｘ線照射中心軸に対し、第１の軸方向と第２の軸方向に位置決め調節する構成としたＸ線透視検査装置を提案する。
また本発明では、請求項４において、前記Ｘ線発生手段は、Ｘ線発生源の中心と、取付台の中心と撮像手段中心とを結ぶ中心線に一致させるように取付台に取り付けて、Ｘ線照射中心軸を前記中心線に合わせるようにし、前記試料支持手段は前記昇降台に、前記中心線に試料をもたらすように取り付ける構成とし、前記Ｘ線照射中心軸に対し、第１の軸方向と第２の軸方向に位置決め調節すると共に、Ｘ線照射中心軸を中心に回転位置決め調節する構成としたＸ線透視検査装置を提案する。
さらに本発明では、請求項５において、前記試料支持手段をＸ線照射中心軸を中心に回転位置決め調節する回転動作量に対応して、前記第１の軸方向および第２の軸方向に、夫々移動させて、試料上の観察点の位置を取付台の中心と撮像手段中心とを結ぶ中心線上にもたらすようにしたＸ線透視検査装置を提案する。
【０００６】
請求項１によれば、試料支持手段を昇降機構により昇降調節して倍率を調節し、連動揺動機構における駆動手段により、支持台と取付台とを、取付台と支持台の夫々の揺動中心を中心として、連動揺動させ、さらに昇降台も連動揺動させることで、Ｘ線発生手段と試料支持手段とを同期的に同角度同方向に連動揺動させて、前記試料支持手段上の試料にＸ線発生手段からＸ線を適宜異なった角度方向から照射してＸ線透視像を捉えることができる。
【０００７】
請求項２によれば、連動揺動機構を構成する支持台と取付台とを揺動範囲内で傾斜させても、昇降台を昇降機構により昇降させて、試料支持手段の倍率調節が可能である。
【０００８】
請求項３によれば、Ｘ線照射中心軸に対して、検査すべき試料を第１軸または第２軸方向に位置決め調節することで、取付台の中心と撮像手段中心とを結ぶ中心線に試料の各所の観察目標点をもたらすことができ、検査の便に寄与することができる。
【０００９】
請求項４によれば、Ｘ線照射中心軸に対して、検査すべき試料を第１軸または第２軸方向に位置決め調節すると共に、Ｘ線照射中心軸を中心に回転位置決め調節することで、取付台の中心と撮像手段中心とを結ぶ中心線に試料の各所の観察目標点をもたらすことができ、検査の便に寄与することができる。
【００１０】
請求項５によれば、取付台と、支持台とを傾斜させることで同期的に昇降台を傾斜させても、試料支持手段をＸ線照射中心軸を中心に回転位置決め調節する回転動作量に対応して、前記第１の軸方向および第２の軸方向に、夫々移動させて、試料上の観察点の位置を取付台の中心と撮像手段中心とを結ぶ中心線上にもたらすことができる。
【００１１】
【発明の実施の態様】
以下、本発明にかかるＸ線透視検査装置につき、一つの実施の態様を挙げ、添付の図面に基づいて説明する。
図１にＸ線透視検査装置１を示す。このＸ線透視検査装置１は、Ｘ線発生手段２と、試料Ｓを載置した試料支持手段３とを、同期的に同角度同方向に連動揺動させてなる連動揺動機構４を設けると共に、前記試料支持手段３を昇降調節する昇降機構５を設け、前記試料支持手段３を昇降機構５により昇降調節すると共に前記連動揺動機構４の作動下に、前記試料支持手段３上の試料ＳにＸ線発生手段２からＸ線を照射してＸ線透視像を得る構成としている。
すなわちＸ線透視検査装置１は、装置箱体６内の底部側に配置した撮像手段７と、この撮像手段７上方に、連動揺動機構４を構成する支持台８と、この支持台８上方に、一対の支軸９，９を介して揺動可能に支持した、Ｘ線発生手段２を載置してなる取付台１０とを設けている。また、これら支持台８と取付台１０との間において、前記支軸９，９をガイド軸として、支軸９，９に昇降台１１を昇降可能に配置している。そしてこの昇降台１１には、前記試料支持手段３を設け、前記Ｘ線発生手段２からのＸ線を前記試料支持手段３を介し前記試料Ｓを透過させ、前記撮像手段７において前記試料Ｓの透視像を得るようにしている。
【００１２】
前記支持台８と取付台１０とは、一対の支軸９，９と、回転軸受１２を介して連結して４節平行リンク状に構成している（図２、図３参照）。
前記支持台８は、対向する端辺の中間箇所を前記装置箱体６に、水平方向に指向するピンＰを回転軸とする軸受１３，１３を介して揺動可能に取り付けている。
一方、前記取付台１０も、対向する端辺の中間箇所を前記装置箱体６に、水平方向に指向するピンＰを回転軸とする軸受１３，１３を介して揺動可能に取り付けている。
そして前記支持台８の端辺の適所に、前記支持台８と取付台１０とを、支持台８および取付台１０中間箇所の軸受１１を中心として揺動変位させるための駆動手段１４の作動軸１４ａを取り付けている。
【００１３】
前記昇降台１１は、前記支持台８と取付台１０との間において、一対の支軸９，９をガイドとして、直動案内軸受１５を介し、支軸９，９に沿って昇降可能に装着している。この場合、前記直動案内軸受１５は、昇降台１１に対し、揺動可能に取り付けている。
そして前記昇降台１１は、前記試料支持手段３を昇降調節する昇降機構５によって、所望の高さ位置に調節可能としている。
前記昇降機構５は、モータ５ａとこのモータ５ａに連結したねじシャフト５ｂと、ナット５ｃとによって構成している。前記モータ５ａは、前記支持台８上に揺動可能に軸止めしてあり、前記ねじシャフト５ｂは、前記昇降台１１を貫いて前記取付台１０の下面に先端を揺動可能に軸止めしている。
前記ナット５ｃは、前記昇降台１１に突設した取付部１６に揺動可能に取り付けてあり、ナット５ｃを、前記ねじシャフト５ｂに螺入している。
【００１４】
前記Ｘ線発生手段２は、周知の開放型Ｘ線管（図示省略）を採用したもので、Ｘ線発生源を、前記取付台１０の中心から昇降台１１の中心を介して支持台８下方の撮像手段７（ここではＣＣＤカメラ）と一体のイメージインテンシファイアＩ．Ｉ．の中心を結ぶ中心線Ｏに合わせるように取付台１０に設置している。また前記昇降台１１の中心周囲は、後述する試料支持手段３を設置可能とすると共に、Ｘ線を透過可能なように開口している。
なお、図２に示すようにＸ線発生手段２が鉛直方向に支持された状態では、前記中心線Ｏと、Ｘ線発生源のＸ線の照射中心軸Ｚとは一致するようにしてあり、Ｘ線発生源から試料支持手段３を介して透過したＸ線は、支持台８下方の撮像手段７と一体のイメージインテンシファイアＩ．Ｉ．中心に、所定範囲に投影されるようになっている。
【００１５】
次に前記試料支持手段３について説明する。
すなわち試料支持手段３は、詳細に図示はしないが、前記中心線Ｏを中心に、検査すべき試料Ｓを位置決め調節する、周知の回転テーブル１７とＸ軸テーブル１８とＹ軸テーブル１９とで構成している。これら回転テーブル１７とＸ軸テーブル１８とＹ軸テーブル１９は、いずれも中心箇所、所定範囲開口しており、夫々のいずれの位置決め動作時においても、Ｘ線の透過が可能なようにしている。
【００１６】
前記回転テーブル１７は、図示は省略するが昇降台１１の中心周りに回転可能な駆動手段（例えばウオーム＆ホイール）を備えている。回転テーブル１７が昇降台１１の中心を通る中心線Ｏ周りに回転することで、回転テーブル１７上のＸ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１９とが連動回転する構成である。
【００１７】
前記Ｘ軸テーブル１８とＹ軸テーブル１９とは、それぞれＸ軸移動用直動アクチュエータ、Ｙ軸移動用アクチュエータ（図示省略）を備えている。
また前記Ｙ軸テーブル１９上には、検査すべき試料Ｓを載置するための試料台（図示省略）を載置するようにしている。
【００１８】
かかる構成によって、前記試料支持手段３は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびα方向に試料台を位置決め調節すると共に、前記した昇降台１１における昇降機構５によって中心線Ｏ（Ｘ線の照射中心軸Ｚ）方向に調節可能としている。
なお、照射中心軸Ｚ方向の調節は、試料Ｓの倍率に関係し、これら試料支持手段３における回転テーブル１７とＸ軸テーブル１８とＹ軸テーブル１９、並びに昇降台１１における昇降機構５への位置決め調節は、全て、外部に設置したオペレーション手段である、パソコンによって集中制御するようにしている（例えばパソコン本体に接続した、キーボード、ジョイスティック等の機構操作手段）。このパソコンには、所定の画像解析、計測等のソフトウェアの他、上記の試料支持手段３における試料台上の試料Ｓの位置決め制御、設定のためのソフトウェアを搭載している。
【００１９】
ここで、試料支持手段３における試料台上の試料Ｓの位置決め制御するためのソフトウェアの一例を挙げて説明する。
試料Ｓの位置決め制御するためのソフトウェアの一例としては、試料Ｓにおける観察点を、常時、パソコンにおける表示部であるＣＲＴ中央に表示させるために、試料支持手段３をＸ線照射中心軸Ｚを中心に回転位置決め調節する回転動作に対応して、Ｘ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１９をそれぞれＸ軸、Ｙ軸方向に位置決め調節する手順が設定されている。
【００２０】
なおかかるソフトウェアは、このＸ線透視検査装置１の機構に基づいて設定している。
すなわち、Ｘ線発生手段２が鉛直方向に支持された状態では、前記中心線Ｏと、Ｘ線発生源のＸ線の照射中心軸Ｚとは一致するようにしてあり、Ｘ線発生源から試料支持手段３を介して透過したＸ線は、支持台８下方の撮像手段７と一体のイメージインテンシファイアＩ．Ｉ．中心に、所定範囲に投影されるようになっているので、Ｘ線発生手段２が鉛直方向に支持された状態で、試料Ｓを観察するときは、Ｘ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１９をそれぞれＸ軸、Ｙ軸方向に位置決め調節して、観察点を前記中心線Ｏに合わすことで、前記観察点をＣＲＴ中央に表示することができる（図４参照）。
【００２１】
次に、前記観察点を今度は、斜め方向から観察するためにＸ線発生手段２および昇降台１１と共に試料支持手段３を右方に傾けると（図５参照）、前記観察点はＣＲＴ中央から左方に移動する。もしこの移動量が大きいと、ＣＲＴ上に表示されなくなる。
そこで、Ｘ軸テーブル１８を操作して試料Ｓを移動し、前記中心線Ｏに合わすことで、前記観察点をＣＲＴ中央に表示することができる。なお、回転テーブル１７の位置が当初の位置、すなわちＹ軸方向が取付台１０の揺動中心軸と平行状態にあるときはＸ軸テーブル１８のみの操作でよい。
【００２２】
さらに今度は、回転テーブル１７をα度回転させると、再び前記観察点はＣＲＴ中央から外れるので、Ｘ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１９をそれぞれＸ軸、Ｙ軸方向に位置決め調節して、観察点を前記中心線Ｏに合わすことで、前記観察点をＣＲＴ中央に表示することとなる。この際の、Ｘ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１９の移動量は
Ｘ＝−Ｂ（１−Ｃｏｓα）……（１）
Ｙ＝−ＢＳｉｎα………………（２）
となる（ただし、Ｂ＝Ａｔａｎθ）。
ここでＡ：Ｘ線発生源から試料Ｓにおける観察点までの距離、Ｂ：回転テーブル１７の位置が当初の位置、すなわちＹ軸方向が取付台１０の揺動中心軸と平行状態にあるときの観察点の移動量、θ：Ｘ線発生手段２の傾斜角、α：回転テーブル１７の回転角。
【００２３】
以上のような本発明にかかるＸ線透視検査装置１において、昇降台１１上の試料支持手段３における試料台に検査すべき半導体基板等の試料Ｓを載置し、運転開始でＸ線発生手段２のＸ線発生源であるＸ線管から、前記試料支持手段３における試料台上の試料Ｓに向かってＸ線が照射され、試料支持手段３を介し試料Ｓを透過したＸ線は、支持台８下方の撮像手段７と一体のイメージインテンシファイアＩ．Ｉ．に投影され、この透視像は撮像手段７から、パソコンにおける表示部であるＣＲＴ上に表示することができ、観測者は、これによって試料Ｓの内部を捉えることができる（図６参照）。
Ｘ線発生手段２が鉛直方向に支持された状態では、前記中心線Ｏと、Ｘ線発生源のＸ線の照射中心軸Ｚとは一致するようにしてあり、Ｘ線発生源から試料支持手段３を介して透過したＸ線は、支持台８下方の撮像手段７と一体のイメージインテンシファイアＩ．Ｉ．中心に、所定範囲に投影されるようになっているので、Ｘ線発生手段２が鉛直方向に支持された状態で、試料Ｓを観察するときは、Ｘ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１９をそれぞれＸ軸、Ｙ軸方向に位置決め調節して、観察点を前記中心線Ｏに合わすことで、前記観察点をＣＲＴ中央に表示することができる（図４参照）。
【００２４】
ここで、透視される像の倍率を調節するときは、ジョイスティックや、キーボードから指令を出し、昇降台１１における昇降機構５のモータ５ａを起動してねじシャフト５ｂを回転させ、ねじシャフト５ｂ上のナット５ｃを移動させることで、前記昇降台１１を昇降させて、試料支持手段３の高さ位置を調節すればよい。
【００２５】
また、試料の比較的表層の箇所だけではなく、高密度に実装された基板におけるチップ部品の接合部等を透視するときは、様々な角度からＸ線を試料に照射することで前記接合部の透視像を捉えることができる。
そのためには、支持台８の端辺に連結した駆動手段１４を起動する。駆動手段１４を起動すると、支持台８と取付台１０とは、４節平行リンク動作をなし、中間箇所の軸受１３，１３を中心として互いに同角度、傾斜する。これに伴って支持台８と取付台１０との間の昇降台１１も同角度、揺動変位する（図７、図８参照）。
すなわち、支持台８と取付台１０とは、中間箇所の軸受１１を中心として互いに同角度、傾斜するだけであるから、取付台１０上のＸ線発生手段２のＸ線発生源であるＸ線管はぶれることはなく、前記Ｘ線管からのＸ線ビームは、照射中心軸Ｚがθ傾斜するだけであり、昇降台１１上の試料支持手段３も同期して傾斜するので、試料支持手段３における試料台上の試料からＸ線が外れることはない。
【００２６】
そして、上述のように試料支持手段３の傾斜によって試料Ｓにおける観察点を、ＣＲＴ中央に表示するために、回転テーブル１７の回転角に応じ、パソコンに設定された試料支持手段３における試料台上の試料Ｓの位置決め制御、設定のためのソフトウェアにおいて、Ｂ＝Ａｔａｎθ，Ｘ＝−Ｂ（１−Ｃｏｓα），Ｙ＝−ＢＳｉｎαの演算を行って、Ｘ軸テーブル１８、およびＹ軸テーブル１９の移動量を求めて、Ｘ軸テーブル１８、およびＹ軸テーブル１９を制御動作させることで、Ｘ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１９をそれぞれＸ軸、Ｙ軸方向に位置決め調節して、観察点を中心線Ｏに合わすことで、前記観察点をＣＲＴ中央に表示することができる。
【００２７】
以上のように、本発明のＸ線透視検査装置１では、Ｘ線発生手段２と試料支持手段３とを同期的に、同角度、揺動変位する機構を採用したことにより、機構を簡単化することができ、しかも、試料Ｓの観察点ずれを補正するためのソフトウェアも簡単化することができる。
【００２８】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、Ｘ線発生手段と試料支持手段とを同期的に、同角度、揺動変位する連動揺動機構を採用したことにより、機構を単純化することができ、しかも装置の小型化が可能で、試料の観察点ずれを補正するためのソフトウェアも簡単化することができる。
【００２９】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるＸ線透視検査装置の一つの実施の形態を示す、概略的な斜視説明図である。
【図２】図１に示すＸ線透視検査装置の側面図である。
【図３】図１に示すＸ線透視検査装置の平面図である。
【図４】図１に示すＸ線透視検査装置におけるＸ線発生手段と、試料支持手段との位置関係を示した、説明図である。
【図５】Ｘ線透視検査装置におけるＸ線発生手段と、試料支持手段とを傾斜させた際の観察点のずれを補正する説明のための線図である。
【図６】本発明にかかるＸ線透視検査装置の機構の作用を説明するための、模式的機構図である。
【図７】本発明にかかるＸ線透視検査装置の機構の作用を説明するための、模式的機構図である。
【図８】本発明にかかるＸ線透視検査装置の機構の作用を説明するための、模式的機構図である。
【符号の説明】
１                            Ｘ線透視検査装置
２                            Ｘ線発生手段
３                            試料支持手段
４                            連動揺動機構
５                            昇降機構
５ａ                          モータ
５ｂ                          ねじシャフト
５ｃ                          ナット
６                            装置箱体
７                            撮像手段
８                            支持台
９                            支軸
１０                          取付台
１１                          昇降台
１２                          回転軸受
１３                          軸受
１４                          駆動手段
１４ａ                        作動軸
１５                          直動案内軸受
１６                          取付部
１７                          回転テーブル
１８                          Ｘ軸テーブル
１９                          Ｙ軸テーブル
Ｓ                            試料
Ｐ                            ピン
Ｉ．Ｉ．                      イメージインテンシファイア
【図１】
0003608736.tif 000002
【図２】
0003608736.tif 000003
【図３】
0003608736.tif 000004
【図４】
0003608736.tif 000005
【図５】
0003608736.tif 000006
【図６】
0003608736.tif 000007
【図７】
0003608736.tif 000008
【図８】
0003608736.tif 000009