(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピックアップ＆プレース部（７）でデバイスをピックアップしたりプレースメントして、テストトレーとカストマトレー間でデバイスを搬送するハンドラにおいて、
駆動軸であるボールネジ（１）及びこれと平行するリニアガイドＡ（２）に第１のスライダ（８）で連結し、第１のデバイスをピックアップしたりプレースメントする第１のピックアップ＆プレース部（７）を有する基準ハンドリング部Ａ（３）と、
上記リニアガイドＡ（２）に第２のスライダ（８）で連結し、第２のデバイスをピックアップしたりプレースメントする第２のピックアップ＆プレース部（７）を有するハンドリング部Ｂ（４）と、
上記第１のスライダ（８）と第２のスライダ（８）とに取り付けられ、上記基準ハンドリング部Ａ（３）との間隔を変更駆動するシリンダ（５）と、
上記第１のスライダ（８）と第２のスライダ（８）とに取り付けられ、調整位置を変えることができ、それに応じてピッチ変換量を調整する調整用シャフト（６）と、を具備し、
上記基準ハンドリング部Ａ（３）及びハンドリング部Ｂ（４）が上記リニアガイドＡ（２）上を移動中又は停止中に、上記基準ハンドリング部Ａ（３）を基準として上記シリンダ（５）と上記調整用シャフト（６）とで上記ハンドリング部Ｂ（４）が移動して上記第１のピックアップ＆プレース部（７）と第２のピックアップ＆プレース部（７）の間隔を変えることを特徴とするハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、複数のハンドリング部をボールネジやタイミングベルトを用いて移動中又は停止中に、駆動軸と同一軸上のハンドリング部相互間のピッチを変換する機構に関する
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の特性試験装置などでは、被試験対象とするデバイスを所定の位置に搬出入する機構であるハンドラにおいては、ハンドリング部に設けられたデバイスを搬出又は搬入するための機構で複数あるピックアップ＆プレース部の相互の間隔即ちピッチを変換する必要が生ずる。それは、図４に示すように、被試験対象であるデバイスを収納しているトレイが、特性試験装置内で用いられる専用のテストトレイと呼ばれるものと収納間隔つまり収納ピッチが異なることがほとんどだからである。そのため、ピックアップ（搬出）するときとプレースメント（搬入）するときの複数あるピックアップ＆プレース部相互間のピッチを、変換しなければならない。複数でハンドリング部つまりピックアップ＆プレース部を構成するのはハンドリング部の効率を向上させるためである。
【０００３】
ハンドラにおけるハンドラ部のピッチ変換を行う場合の従来技術においては、図３に示すように、ハンドリング部を移動させるときには、ハンドラ機構を構成するボールネジ１やタイミングベルトを駆動することによって行っている。二ヶ所以上の複数のハンドリング部をもつ構成のハンドラの場合、駆動軸と同一軸上のリニアガイドＡ２に連結されたスライダー８上に、移動のための駆動ユニットとは別に、ピッチ変換のための駆動ユニットとしてシリンダ５やリニアガイドＢ９を設けて行っている。このために、▲１▼別の駆動ユニット部を設けることで部材費高となり、かつ組立において工数増となるため全体としてコストアップとなってしまう、▲２▼また、複数のハンドリング部が、ボールネジ１又はタイミングベルトとリニアガイドＡ２に１つのスライダー８によって連結された上に、更に駆動部を設けねばならないので全体として重量が増加し、慣性モーメントが大きくなってしまい搬送速度を上げることができない。という問題点を有していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする課題は、複数のハンドリング部をボールネジやタイミングベルトを用いて移動中又は停止中に、駆動軸と同一軸上の例えばハンドリング部相互間のピッチを変換する機構において、▲１▼その構成を簡素化することで部材費及び組立費の低減を図り低コスト化を実現することであり、▲２▼駆動せねばならない機構部分を軽量化することで、ハンドリング部のピッチ変換のみならず移動や停止に要する時間を最小限として高速化が図れる機構を得ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の課題を解決するために、（イ）基準ハンドリング部Ａを駆動軸であるボールネジ上にスライドで固定し、他のハンドリング部Ｂはリニアガイドのみに分けて連結し、（ロ）かつ、ハンドリング部Ｂは、駆動軸上に固定した基準ハンドリング部Ａに設けたピッチ変換用の駆動系であるシリンダ及び調整用シャフトで連結し、（ハ）基準ハンドリング部Ａを基準として、調整用シャフトで設定したピッチ変換ストローク長分だけ、ピッチ変換用シリンダを駆動させることで、（ニ）ハンドリング部Ｂを移動してピックアップ＆プレース部のピッチ変換を行う、という機構の構成を得た。
【０００６】
【作用】
本発明の目的は、ハンドリング部相互間の間隔（ピッチ）をより安価なもので高速で変換できる機構を得ることである。近時変換効率を向上させるため、ハンドリング部に設けられたピックアップ＆プレース部も複数で構成されるようになった。ところがほとんどの場合、例えばＩＣデバイスの例ではカストマの専用トレイとＩＣ試験装置のハンドラに固有のテストトレイの収納ピッチは一致しない。従って、ハンドリング部の動作による搬出入時にはピッチ変換が必要となる。つまりカストマトレイから搬出するときピックアップ＆プレース部でピックアップしたときのピッチは、プレースメントすべきテストトレイのピッチに合わせて搬入せねばならない。また、試験終了後はその逆のピッチ変換動作が必要になる。ハンドリング部が１ヶしかないものでは当然ながら不要である。
【０００７】
従来技術では、複数のハンドリング部の駆動のためのユニット類を、基準となるハンドリング部が取り付けられている１枚のスライダ上に全てを載せていたために、全体としての重量が重いものとなり慣性モーメントが大きくなって高速化ができず、また構成部品も高価で制御系の配線も複雑となり組立費がかさんでいた。
本発明では、複数のハンドリング部は分割してそれぞれのスライダによってボールネジやリニアガイドＡに取り付け、かつ使用部品もシリンダ及び調整用シャフトに代えて簡素化と軽量化を図ったことで、ピッチ変換の高速化と低廉化を実現したものである。
【０００８】
【実施例】
図１は、本発明の実施例のハンドリング部の概念を示す正面図である。図２は、図１の詳細部分を示す正面図である。また図３は、従来技術によるハンドリング部の概念を示す正面図である。そして図４は、カストマトレイとテストトレイの収納ピッチの相異を示す平面図である。さらに、図５は、基準ハンドリング部Ａと、ハンドリング部Ｂをシリンダで連結する部分を説明するための断面図である。
（１）本発明では、図１に示すように、ハンドラに２個設けられたハンドリング部の１つは基準ハンドリング部Ａ３として駆動軸であるボールネジ１及びリニアガイドＡ２上にスライダ８によって取り付けた。また、もう１つのハンドリング部Ｂ４はリニアガイドＡ２のみに別に独立したスライダ８によって取り付けた。そして、基準ハンドリング部Ａ３とハンドリング部Ｂ４はピッチ変換のための駆動部であるシリンダ５と、ピッチの変換量を所定の値に調整する調整用シャフト６とによって連結した。図２は、図１の詳細図を示す。
【０００９】
（２）図１及び図２の双方には、（Ａ）ピッチを広く変換した状態と（Ｂ）ピッチを狭く変換した状態とを示している。また図２には（Ａ）の状態から（Ｂ）の状態に移り変わる状況を詳細に記してある。そして図５に示すように、基準ハンドリング部Ａ３とハンドリング部Ｂ４とを連結するシリンダ５の連結部はフローティング状態で行う。そのことで調整用シャフト６と位置センサによって、シリンダ５の駆動有効ストローク分の範囲内で所定の変換ピッチに精度良くスムーズに調整できる。
【００１０】
（３）本発明では、上記記載の様に複数個設けるハンドリング部を、それぞれに別のスライダ８によって独立して設けた。そして、本発明のような構成としたことでハンドリング部には、従来技術によるリニアガイドＢ９のような重量のあるものは不要で、調整用シャフト６として軽量化し、かつ省部品化と簡素化が実現した。また、そのために、駆動したときの慣性モーメントが減少した分、ブレが収れんする時間も短くなったので、結果的にピックアップ＆プレース部７の搬出入速度の高速化が図れた。
【００１１】
（４）そして、ハンドリング部が３個以上で存在する場合には、同様の構成でハンドリング部Ｂ４を基準として行うことが可能であり、基準ハンドリング部Ａ３側に駆動有効ストローク長の異なるシリンダ５や同じく２重、４重にストロークが変えられるシリンダ５と調整用シャフト６とを設けることで、本発明の利点を損なうことなく構成することが可能である。
【００１２】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
（１）本発明による構成の機構としたことで、ピッチ変換のための駆動系にリニアガイドＢのような高価格なものが必要であったものを省くことができたので、低価格化を実現することができた。
（２）また、本発明の機構として重量のあるリニアガイドＢを省いたことで、駆動系源を用いて移動しなければならないユニットが全体として軽量化されて慣性モーメントが減少し、移動及び停止時に発生するブレが収れんするまでの時間が短縮されたので、ピックアップ＆プレース部による搬出入時の速度を格段に高速化することができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例のハンドリング部の概念を示す正面図である。
【図２】本発明の実施例を示す図１の詳細部分を示す正面図である。
【図３】従来技術によるハンドリング部の概念を示す正面図である。
【図４】カストマトレイとテストトレイの収納ピッチの相異を示す平面図である。
【図５】基準ハンドリング部Ａとハンドリング部をシリンダで連続する部分を説明するための断面図である。
【符号の説明】
１ ボールネジ
２ リニアガイドＡ
３ 基準ハンドリング部Ａ
４ ハンドリング部Ｂ
５ シリンダ
６ 調整用シャフト
７ ピックアップ＆プレース部
８ スライダ
９ リニアガイドＢ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
0003674972.tif 000005
【図５】
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