(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液漕、フィルター、ポンプ、及びこれらの主要工程変数として、薬液漕内のパーティクル数、薬液漕内の薬液温度、薬液漕内の薬液濃度、フィルターの差動圧力、ポンプのストローク数、ポンプの薬液の流れ度、及びポンプの圧力を感知するための多数のセンサーをそれぞれが具備する複数の薬液処理装置と、
それぞれの前記センサーから感知された前記主要工程変数に対するデータを実時間表示、貯蔵及び処理して前記主要工程変数を全体的に中央管理するように前記複数の薬液処理装置と連結された一つの主コンピューターとを備えることを特徴とする薬液処理装置の中央管理装置。
【請求項２】
前記複数の薬液処理装置は直列、並列及び直並列混合方式の連結方式中から選ばれた一つの方式で連結されたことを特徴とする請求項１記載の薬液処理装置の中央管理装置。
【請求項３】
前記各薬液処理装置は感知された主要工程変数値のうちいずれか一つが与えられた範囲を外れる場合警報がなる警報装置を具備することを特徴とする請求項１記載の薬液処理装置の中央管理装置。
【請求項４】
前記センサーは前記主コンピューターによりオン／オフ等の遠隔調整が可能であることを特徴とする請求項１記載の薬液処理装置の中央管理装置。
【請求項５】
薬液漕、フィルター、ポンプ及びこれらの主要工程変数として、薬液漕内のパーティクル数、薬液漕内の薬液温度、薬液漕内の薬液濃度、フィルターの差動圧力、ポンプのストローク数、ポンプの薬液の流れ度、及びポンプの圧力を感知するための多数のセンサーをそれぞれが具備する複数の薬液処理装置と、
それぞれの前記センサーから感知された前記主要工程変数に対するデータを個別に管理するように一つの薬液処理装置と個別的に接続された多数個の補助コンピューターと、
それぞれの前記センサーから感知された前記主要工程変数に対するデータを実時間表示、貯蔵及び処理して前記主要工程変数を全体的に中央管理するように前記複数の薬液処理装置及び補助コンピュータと連結された一つの主コンピューターとを具備することを特徴とする薬液処理装置の中央管理装置。
【請求項６】
半導体素子及び液晶素子の製造ライン内における管理を可能とするように前記補助コンピューター及び一つの主コンピュータと連結された一つの追加コンピューターをさらに備えることを特徴とする請求項５記載の薬液処理装置の中央管理装置。
【請求項７】
多数個の前記補助コンピューターと一つの主コンピューターがＬＡＮに連結されたことを特徴とする請求項５記載の薬液処理装置の中央管理装置。
【請求項８】
前記センサーは感知された主要工程変数が与えられた範囲の値を外れる場合警報がなる警報装置を具備することを特徴とする請求項５記載の薬液処理装置の中央管理装置。
【請求項９】
前記補助コンピューターは直列、並列及び直並列混合方式の連結方式中から選ばれた一つの方式で連結されたことを特徴とする請求項５記載の薬液処理装置の中央管理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体素子及び液晶素子（ＬＣＤ）製造工程における洗浄工程に係り、特に洗浄工程から発生される工程変数をさらに効率的に管理しうる薬液処理装置の中央管理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子の高集積化により金属パーティクルの汚染のような微細汚染に対する管理基準はさらに厳格になり、これにより、洗浄工程の効率化及び最適化が要されている。
【０００３】
このような洗浄工程の効率化及び最適化は使用される水を含んだ化学溶液（以下、水を含んだ全ての化学溶液を薬液と称する）の適切な選択及び開発、使用温度と濃度の適切な管理と共に使用設備、即ち、薬液処理装置の主要な工程変数の適切な選択と管理がなされなければ不可能である。また、量産ラインで薬液処理装置の一日処理物量を考慮する時、設備の異常事態の早期発見による深刻な問題の予防は強いて強調する必要がない。
【０００４】
しかしながら、現在まで薬液処理装置の主要な工程変数は全体的な管理でない、個別的、周期的な管理がなされている実情である。薬液処理装置、特に薬液漕の周期的、個別的な管理に対しては論文“Adopting a particle monitoring program for hot-liquid baths: a case study ”( Microcontamination May, 1994 p. 37参照）に開示されている。前記論文は薬液漕のパーティクル数を周期的に測定し、これを参照して薬液処理装置の主要構成要素、例えばフィルター又はポンプの交換時期を予測することに対して記述している。しかしながら、前記論文による方法は量産ライン内に設けられた多数の薬液処理装置を周期的、個別的に管理すべきなので非効率的である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明は薬液処理装置に使用される薬液及び主要な構成設備、例えば、ポンプまたはフィルターなどの主要変数を全体的に中央管理して多数の薬液処理装置を効率的に管理しうる装置を提供することをその目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項１記載の薬液中央管理装置は、薬液漕、フィルター、ポンプ及びこれらの主要工程変数として、薬液漕内のパーティクル数、薬液漕内の薬液温度、薬液漕内の薬液濃度、フィルターの差動圧力、ポンプのストローク数、ポンプの薬液の流れ度、及びポンプの圧力を感知するための多数のセンサーをそれぞれが具備する複数の薬液処理装置と、それぞれの前記センサーから感知された前記主要工程変数に対するデータを実時間表示、貯蔵及び処理して前記主要工程変数を全体的に中央管理するように前記複数の薬液処理装置と連結された一つの主コンピューターとを備えることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項２記載の薬液処理装置の中央管理装置は、前記複数の薬液処理装置は直列、並列及び直並列混合方式で連結されたことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項３記載の薬液処理装置の中央管理装置は、前記薬液処理装置は感知された主要工程変数値のうちいずれか一つが与えられた範囲を外れる場合警報がなる警報装置を具備することを特徴とするものである。
【００１１】
請求項４記載の薬液処理装置の中央管理装置は、前記センサーは前記主コンピューターにより前記センサーのオン／オフ等が遠隔調整が可能であることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項５記載の薬液処理装置の中央管理装置は、薬液漕、フィルター、ポンプ及びこれらの主要工程変数として、薬液漕内のパーティクル数、薬液漕内の薬液温度、薬液漕内の薬液濃度、フィルターの差動圧力、ポンプのストローク数、ポンプの薬液の流れ度、及びポンプの圧力を感知するための多数のセンサーをそれぞれが具備する複数の薬液処理装置と、それぞれの前記センサーから感知された前記主要工程変数に対するデータを個別的に管理するように一つの薬液処理装置と個別的に接続された多数個の補助コンピューターと、それぞれの前記センサーから感知された前記主要工程変数に対するデータを実時間表示、貯蔵及び処理して前記主要工程変数を全体的に中央管理するように前記複数の薬液処理装置及び補助コンピューターと連結された一つの主コンピューターとを具備することを特徴とするものである。
【００１３】
請求項６記載の薬液処理装置の中央管理装置は、半導体素子及び液晶素子の製造ライン内における管理を可能とするように前記補助コンピューター及び一つの主コンピューターと連結された一つの追加コンピューターをさらに備えることを特徴とする。
【００１４】
請求項７記載の薬液処理装置の中央管理装置は、多数個の前記補助コンピューターと一つの主コンピューターはＬＡＮで連結されたことを特徴とするものである。
【００１５】
請求項８記載の薬液処理装置の中央管理装置は、前記センサーは感知された主要工程変数が与えられた範囲の値を外れる場合警報がなる警報装置を具備することを特徴とするものである。
【００１７】
請求項９記載の薬液処理装置の中央管理装置は、前記補助コンピューターは直列、並列及び直並列混合方式で連結されることを特徴とするものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面１、２に基づき本発明を詳細に説明する。
【００１９】
図１は本発明の第１実施例による薬液処理装置の中央管理装置の概略図である。
【００２０】
図１を参照すれば、参照符号１０は半導体素子及び液晶素子洗浄工程に使用され多数のセンサーをそれぞれが具備する複数の薬液処理装置を、２０は前記複数の薬液処理装置のセンサーから感知された主要工程変数に関するデータを実時間表示、貯蔵および処理して前記主要工程変数を中央管理するように前記複数の薬液処理装置１０と接続された主コンピューターを、３０は前記複数の薬液処理装置と連結されて必要時警報信号を発生する警報装置をそれぞれ示す。
【００２１】
ここで、前記薬液処理装置１０は直列にｎ個（ｎ≧１）が連結されたり、並列にｍ個（ｍ≧１）が連結されて前記主コンピューター２０のポートと接続され得るが、直列及び並列の混合形態にも連結され得る。一方、必要により各薬液処理装置１０に一つの警報装置を設けたり、一つのセンサーに一つの警報装置を設けることもできる。
【００２２】
一方、前記薬液処理装置１０内に設けられたセンサーは洗浄工程の信頼性を決める主要工程変数を感知するように設けられる。このような主要工程変数としては薬液漕内のパーティクル数、薬液の温度及び濃度、フィルターの差動圧力、ポンプのストローク数、薬液の流れ速度及びポンプの圧力等がある。
【００２３】
即ち、前記主要工程変数を測定するように前記薬液処理装置１０内に多数のセンサーが設けられ、半導体素子および液晶素子の量産ライン内に備えられた多数の薬液処理装置は前記主コンピューター２０と接続されている。したがって、前記それぞれのセンサーにより感知された各薬液処理装置における主要工程変数に対するデータは主コンピューターに伝送されて中央管理される。
【００２４】
前記薬液処理装置における主要工程変数中パーティクル数を計数するためのセンサーと、即ち、パーティクルカウンタを例えて本発明の中央管理装置を簡略に説明する。薬液漕内の前記パーティクル数はある水準以上になると洗浄工程の信頼性を下げ、製造される半導体素子の不良を誘発する場合もある。
【００２５】
前記パーティクルカウンタは薬液漕内に設けられて薬液漕内のパーティクルから発散される光を感知してパーティクル数を計数し、感知されたパーティクルの数が電気的な信号に変わって前記主コンピューター２０に伝送される。以後、各薬液処理装置１０から伝送された前記パーティクル数は前記主コンピューター２０に実時間表示、貯蔵及び処理される。この際、必要によっては前記感知されたパーティクル数が工程限界値より多い場合警報がなるように警報装置３０を前記薬液処理装置１０と連結して設けることができる。また、前記主コンピュータ２０により前記センサーのオン／オフなどが遠隔調整され得る。
【００２６】
前記方法によれば、半導体素子及び液晶素子の製造工程で使用される各薬液処理装置の薬液漕内のパーティクル数を中央の主コンピュータにより管理できるので、多数の薬液処理装置を同時に効率的に管理し得る。
【００２７】
同様に、薬液漕内のパーティクル数の以外に薬液処理装置において洗浄工程の信頼性を決める前記主要な工程変数も、設けられたセンサーにより各薬液処理装置から主コンピューターに伝送されて中央管理され得る。
【００２８】
本発明の前記第１実施例によれば、薬液処理装置で使用される薬液および主要構成設備、例えばポンプまたはフィルターなどの主要な工程変数を一つのコンピューターを通じて全体的に中央管理することにより半導体素子及び液晶素子の製造ライン内に設けられた多数の薬液処理装置を効率的に管理することができる。図２は本発明の第２実施例による薬液処理装置の中央管理装置の概略図である。第２実施例は各薬液処理装置の個別的な管理を可能とするように多数の補助コンピューターを設けたことを除いては前記第１実施例と同一である。図２において、前記図１でと同一な参照符号は同一な部材を示す。
【００２９】
図２を参照すれば、参照符号１０は半導体素子及び液晶素子洗浄工程に使用され多数のセンサーをそれぞれが具備する複数の薬液処理装置を、２０は前記複数の薬液処理装置のセンサーから感知された主要工程変数に関するデータを実時間表示、貯蔵及び処理して前記主要工程変数を中央管理するように前記複数の薬液処理装置と接続された主コンピューターを、３０は前記複数の薬液処理装置と連結されて必要時警報信号を発生する警報装置を、４０は前記複数の薬液処理装置と連結されて各薬液処理装置内の個別的なモニタリングのための補助コンピューターをそれぞれ示す。
【００３０】
前記補助コンピューター４０は前記薬液処理装置１０と同様に直列にｎ個（ｎ≧１）が連結されたり、並列にｍ個（ｍ≧１）が連結され得るが、直列および並列の混合形態としても連結され得る。この際、多数個の前記補助コンピューター４０と一つの前記主コンピューター２０はＬＡＮに連結されることが望ましい。一方、前記各薬液処理装置と連結された前記補助コンピューターの以外に半導体素子及び液晶素子製造、特に製造ライン内に一つの追加コンピューターをさらに設けて製造ライン内で前記薬液処理装置１０を管理することもできる。この際、前記主コンピューター２０を事務室に設けて事務所における管理を可能とする。
【００３１】
本発明の前記第２実施例によれば、薬液処理装置で使用される薬液及び主要構成設備、例えばポンプまたはフィルターなどの主要工程変数を一つの主コンピューターを通じて全体的に中央管理することにより、管理の効率を高めるだけでなく、各薬液処理装置と連結された補助コンピューターを通じて個別的に管理することができる。
【００３２】
以上、本発明の一例として本発明の実施の形態を限定的に説明したが、これに限定されず、本発明の思想的範囲内における当該分野の通常の知識を持つ者により本願発明に対する各種変形が可能なことは明白である。
【００３３】
【発明の効果】
前記本発明によれば、一つの主コンピューターを通じて複数の薬液処理装置の主要工程変数を全体的に中央管理して半導体素子及び液晶素子の洗浄工程を効率的に管理することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例による薬液処理装置の中央管理装置の概略図である。
【図２】本発明の第２実施例による薬液処理装置の中央管理装置の概略図である。
【符号の説明】
１０    薬液処理装置
２０    主コンピューター
３０    警報装置
４０    補助コンピューター
【図１】
0003701054.tif 000002
【図２】
0003701054.tif 000003