(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
工場の複数のロットのためのスケジュールを発生させる方法であって、
複数のプロセス資源と、前記複数のプロセス資源によって処理されるべき前記複数のロットとを評価するための所定の時限を選択する手順と、
前記所定の時限中に前記複数ロットの処理に使用できる複数の選択されたプロセス資源を、前記複数のプロセス資源から選択する手順と、
前記所定の時限中に前記複数の選択されたプロセス資源によって処理できる複数の選択されたロットを、前記複数のロットから選択する手順と、
選択されたプロセス資源と選択されたロットとの組合わせのそれぞれに対してプロセス資源スコアを決定する手順と、
前記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対してロットスコアを決定する手順と、
前記組合わせのそれぞれに対する前記ロットスコアと前記プロセス資源スコアとを組合わせて、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する組合わせスコアを決定する手順と、
選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する前記組合わせスコアのそれぞれを比較することにより１つの優勝スコアを決定する手順と、
該優勝スコアに従ってロットを処理するように工場内のプロセス資源を制御する手順と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
工場の複数のロットのためのスケジュールを発生させる装置であって、
複数のプロセス資源と、前記複数のプロセス資源によって処理されるべき前記複数のロットを評価するための所定の時限を選択する手段と、
前記所定の時限中に前記ロットの処理に使用できる複数の選択されたプロセス資源を、前記複数のプロセス資源から選択する手段と、
前記所定の時限中に前記複数の選択されたプロセス資源によって処理できる複数の選択されたロットを、前記複数のロットから選択する手段と、
前記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの組合わせのそれぞれに対してプロセス資源スコアを決定する手段と、
前記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対してロットスコアを決定する手段と、
前記組合わせのそれぞれに対する前記ロットスコアと前記プロセス資源スコアとを組合わせて、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する組合わせスコアを決定する手段と、
選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する前記組合わせスコアのそれぞれを比較することにより１つの優勝スコアを決定する手段と、
該優勝スコアに従ってロットを処理するように工場内のプロセス資源を制御するコントローラと、
を含むことを特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、スケジューリングと制御を介して複数の製造シーケンスを持つ分散型工場のモデルをつくる装置および方法に関する。さらに本発明は、コンピュータ総合生産（ＣＩＭ）システム、即ちＣＩＭシステムの自動制御に用いる工場モデルを含むコンピュータ総合生産システムに関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
大多数の製造プラントあるいは工場は、機種が異なり相互に接続されていないワークステーションを含んでいるために、分散型である。この工場設計の長所は、各種の製品の混在に対して適応性があるということである。欠点は、作業（operation ）、管理および品質管理が複雑になることである。
【０００３】
分散型製造プラントは、一連のプロセス手順によって各種の製品を製造する。各プロセス手順は当該工場の少なくとも１つのワークステーションによって実行される。最新の電子製品の製造においては分散型工場が普通である。たとえば、６つの種類の分散型工場が含まれている。即ちウェハーのスライシング、ウェハーの製造、半導体部品の組立、回路基板の製造、回路基板の組立および電子製品の組立の６工場である。
【０００４】
分散型工場の原型はウェハー製造プラントあるいはウェハー工場であり、この中では、各プロセスが平均して約１５０手順もある１０００以上のこれらのプロセスに従って、多数の製品が同時に生産されている。かかる多数のプロセスを１枚の製造図に表すことは困難である。しかし、都合のよいことに、かかる工場はコンピュータシステムに記述できるのである。
【０００５】
分散型工場が複雑なことは、ジョブショップと呼ばれる普通のクラスの分散型工場に何万という製造シーケンスがあることによっても示されている。ジョブショップにおけるシーケンスの集合を記述する標準的な方法は、ジョブショップの複雑性に降伏して当該工場の製品経路をランダムに記述することである。製品経路はランダムでないことは明かであるが、ごく最近になってコンピュータは、高度に複雑な工場を正確に記述する実用的な計算力を備えるようになったのである。
【０００６】
工場は、複雑でデータと情報が豊富にある実在（entity）である。工場を単に記述するだけでも、何万ものパラメータを持つデータ構造体が必要になる。さらに、操業中の稼働工場（dynamic factory ）からは、製品の流れを記述するパラメータデータ構造体より１０倍も多いデータが生じる。分散型工場を操業し制御すると、この巨大な量の情報が大きな問題となる。
【０００７】
工場現場のスケジューラはごく限られた機能しか持っていない。彼らスケジューラは、処理する次の１つあるいは複数のロットをワークステーションで選ぼうと試みる。この選択は、当該ロットの納期と、当該ロットを完成するために残されているプロセス時間に高度に依存するのが普通である。一般にスケジュールから最も遅れているロットに優先権が与えられ、この優先権関数（priority function ）に従って待ち合わせ中の全ロットをランク付けしなければならない。ロットと待ち合わせの位置は、製品追跡システムから生じる。世の中には、理論が正確な解を与えることに失敗した場合の結果として、工場現場で行われるその場限りの多くの決断を介して、次善の条件で操業する工場がたくさんあるのが現実である。したがって、これらの工場がもっと実用的に使用されかつもっと能率的に操業されるように、モデル作成技術および制御技術によって改善しようという大きなニーズ存在する。
【０００８】
スケジューリングの理論と生産負荷投入計画（shop loading scheme ）はともに２つの主要な構造的欠陥を持っている。第１に、これらは個別工場の詳細を認識することができないのでその結果として、あるいはこれらの詳細に応答できないのである。実際のスケジューリングの問題においては、能率という点から見た成功あるいは失敗は作業の詳細によって決まることが多い。第２に、双方の方法論は工場の動的な作業を無視している。不幸なことに、人間である工場管理者は、稼働用設備の状況（operational dynamics）を正確に検討して、スケジューリングの解を求めているのである。
【０００９】
上述の問題点に対する従来の１つの方法は、予測型スケジューラ（predictive scheduler）を使用することである。しかし、多数のロットが一時停止になったり機械が故障した場合、非能率な結果あるいは不正確な結果が生じる、そのような予測型スケジューラは時代遅れで使用されなくなるであろう。かかる条件のもとでは、これらの予期しない出来事を吸収する（accommodate ）ため機械およびロットを再スケジュールすることが必要である。これらの問題に対処する１つの方法は、影響を受けるロットを単にスケジュールから追い出すか削除して、これらのロットは後で再スケジュールすることである。
【００１０】
ウェハー工場のスケジューリングに対する別の方法は、特急ルール（dispatch rules）を使用することである。特急ルールの例は、先入れ先だし（ＦＩＦＯ）および最短処理時間である。しかし、これらの方法の１つの欠点は、これらの方法は、機械の次の投入に関するなんらかの決定がおこなわれる前に、当該機械が空いてしまうという欠点を持っていることである。これは非能率になり、この機械に関するなんらかの決定を下すことができる前に、一定の時間がたってしまうことになる。
【００１１】
特急ルールの別の欠点はプロセス手順の間に時間的制約があるかもしれないことである。たとえば、洗浄作業と後に続く成長作業の間には３０分の時間しかないというようなことである。
【００１２】
この問題を解決する１つの方法は、プロセスの第１手順を実行する前に、これらの制約がスケジュールを満足しているかチェックすることにより、「転ばぬ先の杖（look before you leap）」式方法をとることである。しかし、この転ばぬ先の杖式方法は、純粋な特急ルールのオプションではない。
【００１３】
予測型スケジューラにとって、次の米国特許が示すようにスケジュール自動再設定はスケジューリング研究の活発な分野である。
【００１４】
Ａｔｈｅｒｔｏｎに対する米国特許第４，７９６，１９４号に開示されていることは、最終的にプラントの操業の定義を導く数学的理論ではなく、いかにして工場を実際に操業するかを定義することに始まる製造シーケンスを持った分散型工場の制御プロセスである。
【００１５】
Ｈａｄａｖｉに対する米国特許第４，９５６，７８４号に開示されていることは、進行中の作業を処理している複数の機械を含む工場へ、仕掛かり作業（pending jobs）のプールから作業を開放する方法である。
【００１６】
Ｈａｄａｖｉに対する米国特許第５，１７０，３５５号に開示されていることは、進行中の作業を処理している複数の機械を含む工場へ、仕掛かり作業のプールから作業を開放することを制御する方法である。
【００１７】
【課題を解決する手段】
本発明は、一連の製造作業に従って製造物のロットを製造するために必要なスケジュールの選択をおこなうスケジューラを開示している。本発明は、所定の量の時間を各ロットおよび各プロセス資源（process resource）の将来に対してスケジュールする。各ロットに対して、所定の時間限界（time horizon）をカバーするように、次に來るプロセスシーケンスの中で十分な作業がスケジュールされる。各プロセス資源に対して、所定の時間限界をカバーするように、当該資源で十分なロットが処理されるようにスケジュールされる。時間限界内の時間は、資源に対する競争がロットの処理あるいはプロセス資源を妨害するときにのみ、スケジュールされずに残される。次にどのロットをプロセス資源にスケジュールするかを決めるために、選択されたロットの集合と選択されたプロセス資源の集合とからの対のそれぞれを使って評価が行われる。選択されたロットには、指定された時間窓の中の作業が必要であると思われるロットだけでなく、特定の製造作業を待っているであろうすべてのロットが含まれている。選択されたプロセス資源には、要求される作業を実行することができるすべてのプロセス資源が含まれている。選択されたロットと選択されたプロセス資源との組合わせは多くの要因について評価される。１つのプロセス手順に対する組み合わされた各対に対して、クリティカルパス法による解析がおこなわれるが、この組み合わされた各対によって、この対にしたときに実現される手順のサイクルタイムと機械のアイドル時間を評価することが可能になる。この評価は、各要因に対して点数（スコア）を割り当て、これらの点数（スコア）を組合わせてロットとプロセス資源の各対の点数（組合わせスコア）を求める。最高点数（優勝スコア）を持った対により、工場のどのプロセス資源でどのロットを処理するかが決定される。
【００１８】
【実施例】
本発明とその利点は、添付図面の図１〜１４を参照することにより理解される。なお同じ番号は各図面の同じく該当する部分に使用されている。
【００１９】
スケジューラ・モジュール１１０は、各種要因、たとえば他のロットやプロセス資源および各プロセス資源上の各ロットのクリティカルパスを検討して、処理すべきロットをスケジュールする。
【００２０】
図１は、ロット条件がスケジューラ・モジュール１１０に入力されることを示している。スケジューラ・モジュール１１０には、図２に示すようなワークステーション、スケジューラ・モジュール１１０に入力しスケジューラ・モジュール１１０から出力する入出力（Ｉ／Ｏ）回路２４０、工場モジュー２０１と完成すべき命令リストのデータベース２２０、データを格納するメモリ２６０およびソフトウエアからの回路を形成するＲＯＭ２７０、たとえばファームウエアが含まれている。スケジューラ・モジュール１１０は、工場モジュール２０１と完成すべきロットの命令リストとに接続されている。スケジューラ・モジュール１１０は、工場２０１のプロセス資源２００を制御して、ロット２１０をスケジュールし、適切な時間間隔の間に、適切なプロセス資源２００により処理されるように振り向ける。スケジューラ・モジュール１１０は、別に開放データを命令リスト２２０に送るので、ロットは待ち合わせ行列から工場２０１に開放される。さらに命令リスト２２０は、ロットデータをスケジューラに送るので、スケジューラ１１０はロットデータとスケジュールを評価して工場内の各種ロット２１０を制御することができる。
【００２１】
図２において、ユーザ２５６は、キーボード２５８およびマウス２５２を介して、モノクロームモニタあるいはカラーモニタ２５４の付いたワークステーション２５０においてスケジューリング情報を入力したり受信したりする。ワークステーション２５０は、メモリ２６０に格納された情報を複数のユーザと共用するためネットワークを介してスケジューラ・モジュール１１０に接続されている。
【００２２】
図３は、スケジューラ・モジュール１１０のスケジュール発生器モジュール１００およびスケジュール・インタプリタ・モジュール１０２を示している。スケジューラ・モジュール１１０は、工場２０１に入るロットの計画されたリリース時間を受信するためプランナ・モジュール１０８に接続されている。さらに、スケジューラ・モジュール１１０は、たとえば、未処理の生ウェハーを完成ウェハーに変換するための各種プロセス資源の観点から、工場内のロットに対するパターン、エッチング、成長など手順シーケンスのデータを受信するため、ウェハー仕様書モジュール１０４に接続されている。ロットが特定のプロセス資源に振り向けられるように工場１０６と通信しかつ工場１０６を制御し、あるいは、たとえば１つのプロセス資源が処理されるロットを受けることができるという、プロセス資源に対応するデータを提供するため、スケジューラ・モジュール１１０は工場モジュール１０６に接続されている。スモールトーク８０言語などのオブジェクト指向プログラミングは、相互にメッセージを送ることによって対話する動的オブジェクト間の通信を容易にしている。これらのメッセージを、手続きの呼出（procedure call）に対応させることができるであろう。スケジューラ・モジュール１１０には、各ロットおよび各プロセス資源をスケジュールため、複数のオブジェクトが含まれている。
【００２３】
図４は、スケジュール発生器１００の各種オブジェクトの間で送られる一連のメッセージを示している。たとえば、スケジュール発生器モジュール１００は、完成すべき命令リスト２２０からのメッセージを受信する。命令リスト２２０から次作業識別器（upcoming operation identifier ）オブジェクト３１０に送られる「スケジュールすべきロット」メッセージ４０２は、新ロットを工場２０１に対してスケジュールしてもよいことを、スケジュール発生器モジュール１００に報告する。次作業識別器オブジェクト３１０は、「ロットの次の作業」メッセージ４０４をウェハー仕様書モジュール１０４に送りこのロットの処理作業を決定する。処理作業は工場２０１のプロセス資源２００によって実行される。次作業識別器オブジェクト３１０は、「次の作業を加えよ」メッセージ４０６をロット時間線オブジェクト３００に送り、このロットの処理作業に対応する処理作業イベントをこのロットの時間線に加える。ロット時間線は図７に示されている。
【００２４】
次作業識別器オブジェクト３１０は、「計画ロット（projected lot ）到着を加えよ」メッセージ４０８をプロセス資源グループ時間線オブジェクト３３０に送る。このメッセージは、プロセス資源のどれかがこの作業を実行できるプロセス資源グループを表すオブジェクトの時間線に、このロットのロット到着イベントを加える。ロットはその推定到着時間でそれぞれのプロセス資源グループの時間線に置かれる。たとえば、推定到着時間は、第１の作業には現在時間であり、第２の作業に対する到着時間は第１の作業を実行する推定時間である。第３の作業に対する到着イベントは第１と第２の作業を実行する時間の合計である。
【００２５】
引き続いて、次作業識別器オブジェクト３１０は、「延長スケジュールイベントを加えよ」メッセージ４１０を主時間線オブジェクト３６０に送り、このロットのスケジュールを延長する。スケジュールを延長するこの要求は、図７に示すように主時間線に加えられる。周期的に、スケジュール・インタプリタ・モジュール１０２は、「次にスケジュールしたイベントを検索せよ」メッセージ４１２を主時間線オブジェクト３６０に送る。主時間線オブジェクト３６０からの最も早い要求が、工場のプロセス資源２００からロットを移動させることか、ロットを工場のプロセス資源２００に振り当てることかのいずれかであるとき、スケジュール・インタプリタ・オブジェクト１０２は、工場にロットを物理的に移動させるか、工場のプロセス資源２００からロットを除去させる。スケジュール・インタプリタ・オブジェクト１０２が、主時間線にスケジュールを延長する要求を見つけると、スケジュール・インタプリタ・オブジェクト１０２は、「ロットのスケジュールを延長せよ」メッセージ４１４をスケジュール延長器オブジェクト３４０に送り、イベントがロットを延長する場合の追加スケジュールを実行するか、あるいはスケジュール・インタプリタ・オブジェクト１０２はメッセージ４１６をスケジュール延長器オブジェクト３４０に送り、主時間線上のイベントがプロセス資源に対するものである場合当該プロセス資源のスケジュールを延長する。スケジュール延長器オブジェクト３４０は、点数テーブルを生成してスケジュールの選択を容易にする。「ロットのスケジュールを延長せよ」メッセージ４１４がスケジュール延長器オブジェクト３４０によって受信されると、スケジュール延長器オブジェクト３４０はスケジュールすべき次の処理作業を決定し、対応するプロセス資源グループを見つけて、このプロセス資源グループを使用して、要求された作業を実行できるプロセス資源を相互参照する辞書の中のすべてのプロセス資源を調べ上げ、「プロセス資源」メッセージ４１８を使用して潜在的に当該ロットを処理できるように、これらのプロセス資源を点数テーブルの中に配置する。その上、いくつかのプロセス資源が異なるプロセス資源グループの中にオーバーラップしてメンバーシップを持っていると、点数テーブル３５０に１グループ以上のプロセス資源を配置できる。
【００２６】
スケジュール延長器オブジェクト３４０は、「プロセス資源のスケジュールを延長せよ」メッセージ４１６を受信して、上に説明したように辞書を調べ上げることによりプロセス資源グループを決定する。
【００２７】
「ロットのスケジュールを延長せよ」メッセージ４１４がスケジュール延長器オブジェクト３４０によって受信されたと想定すると、「スケジュールを延長せよ」メッセージに述べられているロットにより必要とされる作業を実行できるプロセス資源グループの時間線を調べることにより、点数テーブルのロットが決定されなければならない。スケジュール延長器オブジェクト３４０は、「ロット到着を受領せよ」メッセージ４２０をプロセス資源グループ時間線３３０に送り、所定の時限内に到着イベントを持つ全ロットを決定する。この所定の時限には、ほぼ同じ時間に同じ作業を必要とする他のロットだけでなく、「スケジュールを延長せよ」メッセージからのロットが含まれている。所定の時限内のこれらのロットは、「ロット」メッセージ４２２を使用して点数テーブルに含まれる。次に、スケジュール延長器オブジェクト３４０は、点数テーブル・オブジェクト３５０に「最良対」メッセージ４２４を送り、ロットとプロセス資源のすべての組合わせを評価する。点数テーブル・オブジェクト３５０は、最高点数を持つロットとプロセス資源の組合わせを決定する。即ちこれが優勝対（winning pair）である。スケジュール延長器オブジェクト３４０は、ロット時間線オブジェクト３００に「延長せよ」メッセージ４２６を送り、プロセス資源上のプロセス資源イベントを優勝ロットの時間線に加える。さらに、スケジュール延長器オブジェクト３４０は、プロセス資源時間線オブジェクト３２０に「延長せよ」メッセージ４２８を送り、当該ロットの処理作業イベントを優勝プロセス資源時間線に加える。優勝ロットとプロセス資源は、最初にスケジュールされるように要求されたロットと同じである必要はないことに注意されたい。スケジュール延長器オブジェクト３４０は、「更新せよ」メッセージ４３０をプロセス資源グループ時間線オブジェクトに送り、優勝ロットに対応するロット到着イベントをプロセス資源グループから除去するので、この優勝ロットは再度スケジュールされない。スケジュール延長器オブジェクト３４０は、「スケジュールされたイベントを加えよ」メッセージ４３２を主時間線オブジェクト３６０に送り、優勝プロセス資源上の優勝ロットを処理する工場イベントを加える。たとえば、工場は、優勝ロットを優勝プロセス資源に移動させて優勝プロセス資源を優勝ロットに振り向けるように制御される。主時間線オブジェクト３６０は、スケジュール・インタプリタ１０２が工場内のこれらのイベントを次に決まる時刻にスケジュールすることを保証する。さらに、主時間線オブジェクト３６０は、スケジュール延長イベントを優勝ロットと優勝プロセス資源の双方に対して加えるので、優勝ロットはさらに処理され、優勝プロセス資源はさらに将来のロットに対してスケジュールされる。スケジュール延長器オブジェクト３４０は、「ロットにもっと多くの次作業を」メッセージ４３４を次作業識別器オブジェクト３１０に送り、優勝ロットに対して１つの作業がスケジュールされたので、次作業識別器オブジェクト３１０は優勝ロットに対する次の未スケジュール作業を取得しなければならないことを示す。
【００２８】
点数テーブルの計算を実行するため、図５は、優勝プロセス資源と優勝ロットとを決定することができるように、これらの点数テーブルをデータで満たすためのメッセージシーケンスを示している。たとえば、セルの値を計算するため、スケジューラ・オブジェクト１１０がスケジュール延長器オブジェクト３４０を介して「セルの値を計算せよ」メッセージ５１０を点数テーブル・オブジェクト３５０に送ると、点数テーブル・オブジェクト３５０は、点数テーブルの中で見つかる或ロットと或プロセス資源によって表されるセルそれぞれに対する点数を計算する。点数テーブルに置かれた複数のプロセス資源は、特定の製造手順を実行する選択肢（alternatives）としての複数のプロセス資源に対応する。点数テーブル・オブジェクト３５０は、「最新のセットアップを見つけよ」メッセージ５１２をＰＲ資源時間線オブジェクト６１２に送り、当該作業がスケジュールされる前にプロセス資源をチェックすることにより、スケジュールされたプロセス資源の構成あるいはセットアップを決定する。点数テーブル・オブジェクト３５０は、点数テーブル内のセルの点数の計算に必要なデータの収集を開始するため、「セル組合わせ用データを集めよ」メッセージ５１４を点数テーブル・セル・オブジェクト６２６に送る。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「キャリアを推測した（deducted carrier）」メッセージ５１６を材料処理セット・オブジェクト（material processing set object）６２８に送り、ロット名をスケジューラ内部の名前からプロセス資源が認識できるロット名に変換する。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「要因を計画せよ（plan factor ）」メッセージ５１８を点数テーブル・セル・オブジェクト６２６自体に送り、処理時間の推定値と共に、この手順を実行できるプロセス資源を記述する各種要因の計画を決定する。仕様書モジュール１０４は、プロセス資源の現在の設計基準に反映する値のみを提供するだけであるかた、たとえば最近、工場現場においてプロセス資源を改修した結果、プロセス資源は今現在、仕様書の中で見つかる計画要因に一致することができないので、追加データが必要となるであろう。もっと完全な情報を取得するために、点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「接触を使用して（using contact ）計画された諸要因でセットアップされたＭＰＳにより機械の能力を検証せよ」メッセージ５２０をプロセス資源２次エージェント・オブジェクト（process resource secondary agent object ）６３２に送り、プロセス資源がロットを処理するために必要な時限、現在のセットアップから当該ロットに要求されるセットアップに変換するために必要な時限、当該ロットを処理するために必要なセットアップおよびプロセス資源が提案されたセットアップから現在のセットアップにスイッチバックするために必要な時限を決定する。
【００２９】
プロセス資源６３２に、ウェハー仕様書モジュール１０４の計画要因から入手できる情報よりも多くの最新情報がなければ、この情報は、メッセージ５２２、５２４、５２６、５２８から取得される。プロセス資源２次エージェント・オブジェクト６３２は、「装置セット」メッセージ５２２を計画要因オブジェクト６３０に送り、この手順を実行できるプロセス資源を決定する。たとえば、エッチング手順が要求されると、計画要因オブジェクト６３０は、エッチングを実行する全プロセス装置を識別する。プロセス資源２次エージェント・オブジェクト６３２は、「装置用プロセス資源」メッセージ５２４をスケジューラ・オブジェクト１１０に送り、ウェハー仕様書内のプロセス資源に使用される名前を工場現場の制御システムによって認識される名前に変換する。プロセス資源２次エージェント・オブジェクト６３２は、「ウェハー数」メッセージ５２６を材料処理セット・オブジェクト６２８に送り、たとえば、１ロットは１０枚のウェハーから構成されているというように、このロットに何枚のウェハーがあるかを決定する。プロセス資源２次エージェント・オブジェクト６３２は、「推定時間」メッセージ５２８を計画要因オブジェクト６３０に送り、特定プロセス資源の上で疾くとのロットを処理する時間を推定する。たとえば、１０枚のウェハーのロットは、１台のエッチング装置は１０枚のウェハーをエッチングするのに１０分必要とするというように要求できる。最後に、プロセス資源２次エージェント・オブジェクト６３２は、たとえば、名前、ウェハー数、特定プロセス資源上のプロセスに対する推定など、得られた結果を保持するため、「処理時間を新しくせよ（new for process time）」メッセージ５３０を新しい「スケジュール済み機械の能力検証（new schd machine capability verification）」オブジェクト６３４に送る。したがって、計画された要因がウェハー仕様書あるいはそれ以外から決定されたかどうかによって、以下に述べる手順が実行される。
【００３０】
点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「新しくせよ」メッセージ５３２をＣＰＭ環境変数オブジェクト６１４に送り、当該プロセス資源上のロットを処理するのに必要な全アクティビティを記述するクリティカルパスメソド・アクティビティ・ネットワークをつくるために必要な全データを格納する（図６を参照）。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「材料プロセスセット」メッセージ５３４をＣＰＭ環境変数オブジェクト６１４に送り、そのロットの処理をＣＰＭネットワークで記述できるロットを指定する。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「基準点」メッセージ５３６をＣＰＭ環境変数オブジェクト６１４に送り、クリティカルパス・ネットワークの中の全アクティビティの継続時間をこの基準点から測定できるように共通基準点を確定し、さらに点数テーブル内の全セルの共通基準点を確定する。基準点は、全ロットおよびプロセス資源の各種の時間線に新しくスケジュールしたイベントを加えて、こういったイベントの継続時間がすべて正の数であることを保証する最も早い時刻である。
【００３１】
点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「プロセス資源」メッセージ５３８をＣＰＭ環境変数オブジェクト６１４に送り、プロセス資源をクリティカルパスメソド環境の変数として指定する。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「機械能力検証」メッセージ５４２をＣＰＭ環境変数オブジェクト６１４に送り、前の手順でつくられた「スケジュール済み機械の能力検証」オブジェクト６３４を含める。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「ＣＰＭネットワークを更新せよ（new CPM netwrok with）」メッセージ５４２をＣＰＭネットワーク・オブジェクト６２０に送り、ＣＰＭネットワークのすべての詳細なアクティビティを作り上げる。たとえば、図６は、「ロットを移動させよ」、「機械のロードロック（load lock ）の真空度を上げよ（pump down vacuum load lock of the machine ）」、「ロットを処理せよ」および「ウェハーの冷却期間を容易せよ」のアクティビティを備えた典型的なクリティカルパスメソド・ネットワークを示している。できあがったクリティカルパスは太い実線で示されている。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「クリティカルパスメソド・ネットワークを計算せよ」メッセージ５４４をクリティカルパス・ネットワーク・オブジェクト６２０に送り、ネットワークの各アクティビティの継続時間を計算するが、このアクティビティの典型的な継続時間は図６のアークの下の数字で表されている。クリティカルパス・ネットワーク・オブジェクト６２０は、「継続時間を計算せよ」メッセージ５４６を各クリティカルパスメソド・アクティビティ・オブジェクト６２２に送り、当該ロットおよびプロセス資源の現在のスケジュールのデータを読み、ＣＰＭ環境変数オブジェクト６１４を調べることによって、クリティカルパス・ネットワークの各アクティビティの時間を計算する。クリティカルパスメソド・アクティビティ・オブジェクト６２２は、「見つけたバッファを送った（exported find buffer for）」メッセージ５４８を工場オブジェクト２０１に送り、どの記憶バッファが特定のプロセス資源に対応するかを決定する。このことが要求されるのは、複数のプロセス資源上のプロセスの間で待つため、工場現場におけるロットの１つが記憶バッファに移送されなければならないときである。点数テーブル・オブジェクト３５０は、「セットアップが必要なウェハーのテーブルを解析せよ」メッセージ５５０を自身に送り、点数テーブル・セルを探索して、同じセットアップを使用する全ウェハーを見つける。見つけられたウェハーの数は、セルの値をセルの点数に変換するために使用される（図９を参照）。その上、点数テーブル・オブジェクト３５０は、点数テーブルの中の各セルが、クリティカルパス・ネットワークと対応するクリティカルパスを介して、当該ロットがプロセス資源上のプロセスを完了するのにどれだけの時間が掛かるか決定することができるように「最小のサイクル時間を計算せよ」メッセージ５５２を点数テーブル・オブジェクト３５０自身に送る。所定のロットに対応する各種セルが相互に比較されて、どれかのプロセス資源上のロットを処理するために必要な最短時間を見つけると、この最短時間は、メッセージ５５６でセル点数を計算するのに使用される。点数テーブル・オブジェクト３５０は、「セル点数を計算せよ」メッセージ５５４を点数テーブル・セル・オブジェクト６２６に送り、メッセージ５５６、５５８、５６０、５６２を発行することにより点数テーブルの点数を計算する。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「サブセル点数を計算せよ」メッセージ５５６をＭＰＳセル・オブジェクト６１６に送り、各ロット要因の点数を計算しかつロット要因点数を組合わせることにより、所定のセルのロット点数を計算する。ロット要因を単純に相互に加えてもよいし、あるいは特定の要因に相対的重要度を加えるため重みを使用して結合してもよい。各セルのクリティカルパスの長さの点数を計算するため、ＭＰＳセル・オブジェクト６１６は、「クリティカルパスに戻れ（return critical path）」メッセージ５５８をクリティカルパス・ネットワーク・オブジェクト６２０に送り、各クリティカルパスの長さの点数を計算するため、各セルのクリティカルパス・ネットワークからクリティカルパスの長さを求める。普通の優先順位のロットのクリティカルパスの長さの点数は、マイナス・クリティカルパスの長さ割る最小クリティカルパスの長さプラス１、によって計算される（図１３を参照）。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「サブセルの点数を計算せよ」メッセージ５６０をプロセス資源セル・オブジェクト６１８に送り、各ツール要因の点数を計算しかつこれらを組み合わせることにより、各セルのツール点数を計算する。ツール点数は、ツール要因を加算することにより計算してもよいし、あるいは特定のツール要因に重点を置いたり重点を置かないため、ツール要因に異なる重みをつけてもよい。プロセス資源セル・オブジェクト６１８は、「プロセス資源アイドル」メッセージ５６２をクリティカルパス・ネットワーク・オブジェクト６２０に送り、クリティカルパス・ネットワークを調査してアクティビティのスラック時間（free slack）、即ち、所与のロットがこのプロセス資源上で処理されているときプロセス資源がアイドルでいられる時間を決定するプロセス資源を含んでいるスラック時間を計算する。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「セルの総和を計算せよ」メッセージ５６４を点数テーブル・セル・オブジェクト６２６自身に送り、サブセルの総計を結合することにより、各セルの総計を計算する。この結合は、ロット点数とツール点数とのサブセルのそれぞれに重み付けした後加算することにより、求められる。つぎにスケジューラ・オブジェクト１１０は、「優勝セルを決定せよ」メッセージ５６６を点数テーブル・オブジェクト３５０に送り、最高点数のセルを決定する。ついでこのプロセス資源上でこのロットを処理するエントリは、それぞれのプロセス資源とロットの時間線に加えられる。
【００３２】
図８〜１４は、点数テーブル・セルの値から各種のロット要因およびツール要因の点数テーブル・セルの点数への翻訳を示している。いろいろなタイプのロットとツール要因が示されているが、総ツール点数にするため、本発明は説明したしたツール点数のすべてを使用しなかったことを理解すべきであり、所与の点数テーブル・オブジェクト３５０の中で点数を決定するためには、あらゆる組合わせあるいはロット要因とツール要因のすべてを使用してもよい。
【００３３】
図８は、ロット当たりの機械の処理時間とツール点数との間の関係を示しているが、ツール点数は、ボトルネックにならない機械とボトルネックになる機械との双方に対して特性が示されている。点数を表すポイントは、問題の特定の機械の処理時間の、あらゆる機械上のロットの最短処理時間に対する比率を表している。説明のためにポイントとロット当たりの機械の処理時間との間の直線関係が示されているが、本発明を使用するためには、２次曲線など、どんな関係を使用してもよい。
【００３４】
図９は、機械セットアップ時間と点数に対応するポイントとの間の関係を示している。このプロセス資源のセットアップ時間の比率は、この同じセットアップ時間を必要とする点数テーブル内のロットのウェハー数で除算されている。
【００３５】
図１０は、点数に対応するポイントと機械セットアップのスイッチバック時間との間の関係を示している。スイッチバック時間は、セットアップを変更して現在のセットアップに戻す時間である。スイッチバック時間は、提案されたセットアップから現在のセットアップに変更して戻すための時間を、現在のセットアップを必要とするウェハー数によって除算したものに等しい。
【００３６】
図１１は、点数に対応するポイントとバッチ機械のパーセント容量との間の関係を示している。処理時間の２倍を１０で除しそれにパーセント容量を１００で除したものを乗算し、それから１０で除した処理時間をマイナスすることによりポイントが計算される。
【００３７】
図１２は、ポイントと、高い優先順位のロットと普通の優先順位のロットとの双方に対するロット待ち合わせ時間との間の関係を示している。
【００３８】
図１３は、ポイントとキャリア完成時間の比率との間の関係を示している。この比率は、考慮中のプロセス資源上でこのロットの作業を完了する時間を、あらゆるプロセス資源上でこのロットの作業を完了する最短時間で除算することにより、クリティカルパスの長さを比較している。
【数１】
0003717967.tif 000002
【００３９】
図１４は、ポイントと機械のアイドル時間（Ｍ−ＩＤＬＥ）との間の関係を示しているが、機械のアイドル時間とは、処理する次のロットが機械に到着するまで、その機械が無稼働でいなくてはならない時間のことである。
【表１】
0003717967.tif 000003
【００４０】
例１は、プロセス資源ＰＲ１上のロットＬ３に対する、たとえばクリティカルパスの長さと待ち時間などのロット要因および、たとえば資源のアイドル時間やロット当たりセットアップ時間などのツール要因を示している。図６は、例１に対するクリティカルパスメソド・ネットワークを示しており、クリティカルパスの長さと資源のアイドル時間の値がこのネットワークから求められる。図８〜１４の関係は各要因の値から点数を決定するために使用される。ロット要因からの点数の合計によりロット点数が決定され、ツール要因からの点数の合計によりツール点数が決定される。ロット点数とツール点数は組み合わされてプロセス資源ＰＲ１上のロットＬ３の総計点数になる。
【表２】
0003717967.tif 000004
【００４１】
比較すると、例２には、プロセス資源ＰＲ２上のロットＬ３のグラフから得られたロット要因とツール要因からこれらの点数の決定が示されている。ロット要因とツール要因の双方に対して小計が求められ、つぎにロット要因の小計とツール要因の小計とから総計が求められる。この総計を、ＰＲ１上のＬ３からの総計と比較すると、プロセス資源ＰＲ２上のロット３の組合わせに利点が追加されていることがわかることは明瞭である。この利点は、ロットＬ３がプロセス資源ＰＲ１のかわりにＰＲ２の上で処理された場合、クリティカルパスの長さからの点数の寄与がより大きい（より正である）ということにより明瞭に示されている。
【表３】
0003717967.tif 000005
【００４２】
例３は、ロットＬ１〜Ｌ３とプロセス資源ＰＲ１、ＰＲ２との組合わせの比較を示している。最高点数はプロセスＰＲ１上のロットＬ１で得られ、より高い（最低の負の）点数になっている。したがって、ロットＬ１、Ｌ２、Ｌ３がプロセス資源ＰＲ１、ＰＲ２と競合状態にある場合、最も有利な組合わせは、ロット１とプロセス資源ＰＲ１の組合わせで得られることはきわめて明瞭である。
【表４】
0003717967.tif 000006
【００４３】
例４は、次に完成する点数テーブルを示しているが、ここではロットＬ２とロットＬ３がプロセス資源ＰＲ１とＰＲ２によって評価されている。プロセス資源ＰＲ１上のロットＬ２が最高点数、即ち負の最低点数になることがわかる。
【表５】
0003717967.tif 000007
【００４４】
さらに例５に示されているように、ロットＬ３をプロセス資源ＰＲ１上あるいはプロセス資源ＰＲ２上で処理すべきかを決定するために同じ方法が使用されている。例５は、プロセス資源ＰＲ２上のロットＬ３が、プロセス資源ＰＲ１上のロットＬ３よりも高い（より小さい負の）点数になっていることを示している。例１はプロセス資源ＰＲ１上のロットＬ３の詳細な計算を示しており、例２はプロセス資源ＰＲ２上のロットＬ３の詳細な計算を示している。
【表６】
0003717967.tif 000008
【００４５】
例６は、第１の処理方法（recipe）を必要とするウェハーＣ１、Ｃ２と第２の処理方法を必要とするウェハーＣ４、Ｃ５の４ロットの処理を示している。Ｃ１は処理される準備ができて処理されるのを待っている。一方Ｃ２は準備ができておらずこの作業から１０分遅れている。Ｃ４はこの作業から６０分遅れており、Ｃ５は準備ができて処理されるのを待っている。本例は、処理すべきウェハーの数が異なり、必要とする処理の方法が異なり、さらに待ち合わせ時間（queue time：Ｑ）が異なるバッチと同様、準備できているバッチと準備ができていないバッチの効果を示している。その上、説明のため、機械はアイドルでありかつ４８枚のウェハー容量を持っているものとする。
【表７】
0003717967.tif 000009
【００４６】
例７は、ツール点数、ロット点数および総合計点数によって４つのウェハーロットの比較を示している。ツール点数には、機械アイドル（Ｍ−ＩＤＬＥ）点数、、機械処理時間（ＰＴ）および機械セットアップ時間（ＳＵ）の点数が含まれている。キャリア点数には、クリティカルパスの長さの点数および待ち時間点数が含まれている。前の例と同様に、各ロット・ツール対に対するツール点数とロット点数を加算することにより小計を求めると、優勝点数はロットＣ５である。即ち、Ｃ５では、＋３の総合計点数が求められ、これはＣ１の２．５、Ｃ２の−１．５およびＣ４の−９．０という総合計点数よりも大きい。
【表８】
0003717967.tif 000010
【００４７】
例８は、（例７に示す）それ自体で最高等級のロットＣ５と、最高等級のロットＣ５と同じ処理方法で次に最高等級のロットＣ４とを一緒にしたロットとの比較を示している。同様に、第２の最高等級のロットＣ１自体と、ロットＣ１と次に同じ方法の最高等級のロットＣ２を一緒にしたロットが比較されている。この比較が示していることは、最良組合わせはＣ１とＣ２のロットだということである。Ｃ１とＣ２については、Ｃ５とＣ４の組合わせよりも機械アイドル時間の点数が非常に大きいので、Ｃ１とＣ２の組合わせはＣ５とＣ４よりも大きいツール点数を受ける。したがって、複数のサブツール点数で見るツール点数と複数のサブロット点数で見るロット点数とを評価するとともに、これらの点数を加算し優勝点数を拾い上げることにより、本発明は、工場内のより能率的なスケジューリングとロット管理を提供することができる。
【００４８】
最後に示す１群の例は、本発明が先入れ先出し（ＦＩＦＯシステム）と比較された場合における本発明の優れた特徴を示している。
【表９】
0003717967.tif 000011
【００４９】
例９は、ウェハーのロットＣ６、Ｃ７、Ｃ８と機械Ｍ２、Ｍ３の状態とを示しているが、この機械のどちらかはセットアップＡとセットアップＢにしたがってウェハーを処理することができる。この例では機械のセットアップの変更に１２分かかる。
【表１０】
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【００５０】
例１０は、総合計点数になる機械点数とロット点数について、Ｃ６、Ｃ７、Ｃ８間の比較を示している。機械点数は、アイドル時間（Ｍ−ＩＤＬＥ）、処理時間（ＰＴ）、セットアップ時間（ＳＵ）およびスイッチバック時間（ＳＷＢ）が考慮され、一方ロット点数は、アイドルに対する待ち時間、スイッチバックに対する待ち時間、処理時間および待ち合わせ時間が考慮される。例１０に示すように、優勝対は機械２の上のＣ６である。
【表１１】
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【００５１】
例１１に示すように、残りの２つのロット、即ちＣ７、Ｃ８が機械３および機械２について評価されている。結果はＭ２上の処理によりＣ７が優勝する。
【表１２】
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【００５２】
例１２に示すように、機械３および機械２についてロットＣ８を比較すると、この場合、機械２によるこのロットよりも点数が高いので、機械３が優勝する。
【表１３】
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【００５３】
例１３は本発明とＦＩＦＯシステムとの間の比較を示しているが、ＦＩＦＯシステムでは３回のセットアップ変更が生じる、即ち機械３は、Ｃ６に対してセットアップＢからセットアップＡに変更され、機械２は、ロットＣ８に対してセットアップＡからセットアップＢに変更された後、ロットＣ７に対して再びセットアップＡに変更される。
【００５４】
対象的に、本発明によればセットアップの変更がない。ロットＣ８はセットアップを変更する必要がない機械３で処理され、Ｃ６、Ｃ７の両ロットは、セットアップを変更せずに機械２で処理される。このように、本発明のスケジューラは、より能率的なスケジューリングを計画できるように工場を制御することができる。
【００５５】
本発明とその利点を詳細に説明してきたが、請求の範囲に定義されている本発明の精神と範囲から逸脱することなく、この中で各種変更、置換および修正ができることを理解されたい。
【００５６】
以上の説明に関して更に以下の項を開示する。
１．工場の複数のロットのスケジュールを発生させる方法であって、
複数の資源と、前記複数の資源によって処理される前記複数のロットとを評価する所定の時限を選択する手順と、
前記所定の時限中に前記ロットの処理に使用できる複数の選択されたプロセス資源を、前記複数の資源から選択する手順と、
前記所定の時限中に前記選択されたプロセス資源によって処理できる複数の選択されたロットを、前記複数のロットから選択する手順と、
選択されたプロセス資源と選択されたロットとの組合わせのそれぞれに対してツール点数を決定する手順と、
前記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対してロット点数を決定する手順と、
前記組合わせのそれぞれに対する前記ロット点数と前記ツール点数とを組合わせて、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせに対する組合わせ点数を決定する手順と、
選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する前記組合わせ点数のそれぞれを比較することにより優勝点数を決定する手順と、
工場内のプロセス資源を制御し、優勝点数に従ってロットを処理する手順と、を含むことを特徴とする方法。
【００５７】
２．第１項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる方法であって、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する各プロセス資源のアイドル時間に基づいて、前記ツール点数を決定する手順をさらに含むことを特徴とする方法。
【００５８】
３．第１項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる方法であって、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対するセットアップ時間に基づいて、前記ツール点数を決定する手順をさらに含むことを特徴とする方法。
【００５９】
４．第１項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる方法であって、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する処理時間に基づいて、前記ツール点数を決定する手順をさらに含むことを特徴とする方法。
【００６０】
５．第１項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる方法であって、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対するプロセス資源を待つ前記ロットに対して要求される時間に基づいて、前記ロット点数を決定する手順をさらに含むことを特徴とする方法。
【００６１】
６．第１項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる方法であって、前記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する前記ロットの待ち合わせ時間に基づいて、ロット点数を決定する手順をさらに含むことを特徴とする方法。
【００６２】
７．第１項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる方法であって、選択されたプロセス資源と選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対するプロセス資源のセットアップの待ちに基づいて、前記ロット点数を決定する手順をさらに含むことを特徴とする方法。
【００６３】
８．第１項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる方法であって、選択されたプロセス資源と選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対してプロセス資源のクリティカルパスに基づいて、前記ロット点数を決定する手順をさらに含むことを特徴とする方法。
【００６４】
９．第１項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる方法であって、前記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対するスイッチバック時間の待ちに基づいて、ツール点数を決定する手順をさらに含むことを特徴とする方法。
【００６５】
１０．工場の複数のロットのスケジュールを発生させる装置であって、
複数の資源と、前記複数の資源によって処理される前記複数のロットを評価する所定の時限を選択する手段と、
前記所定の時限中に前記ロットの処理に使用できる複数の選択されたプロセス資源を、前記複数の資源から選択する手段と、
前記所定の時限中に前記選択されたプロセス資源によって処理できる複数の選択されたロットを、前記複数のロットから選択する手段と、
前記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの組合わせのそれぞれに対するツール点数を決定する手段と、
選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対してロット点数を決定する手段と、
前記組合わせのそれぞれに対する前記ロット点数と前記ツール点数とを組合わせて、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせに対する組合わせ点数を決定する手段と、
選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する各組合わせ点数を比較することにより優勝点数を決定する手段と、
優勝点数に従ってロットを処理するように工場内のプロセス資源を制御するコントローラと、
を含むことを特徴とする装置。
【００６６】
１１．第１０項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる装置であって、前記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する前記選択されたプロセス資源のアイドル時間に基づいて、前記ツール点数を決定する手段をさらに含むことを特徴とする装置。
【００６７】
１２．第１０項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる装置であって、前記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する前記選択されたプロセス資源の機械セットアップに基づいて、前記ツール点数を決定する手段をさらに含むことを特徴とする装置。
【００６８】
１３．第１０項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる装置であって、前記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する前記プロセス資源の処理時間に基づいて、ツール点数を決定する手段をさらに含むことを特徴とする装置。
【００６９】
１４．第１０項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる装置であって、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する前記プロセス資源のクリティカルパスに基づいて、ツール点数を決定する手段をさらに含むことを特徴とする装置。
【００７０】
１５．第１０項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる装置であって、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する前記選択されたプロセス資源を待つために必要な時間に基づいてロット点数を決定する手段をさらに含むことを特徴とする装置。
【００７１】
１６．第１０項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる装置であって、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する選択されたロットの待ち合わせ時間に基づいて、ロット点数を決定する手段をさらに含むことを特徴とする装置。
【００７２】
１７．第１０項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる装置であって、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対する前記選択されたプロセス資源のセットアップの待ちに基づいて、ロット点数を決定する手段をさらに含むことを特徴とする装置。
【００７３】
１８．第１０項記載の、工場の複数のロットのスケジュールを発生させる装置であって、選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対するそれらの選択されたプロセス資源のスイッチバック時間の待ちに基づいて、ツール点数を決定する手段をさらに含むことを特徴とする装置。
【００７４】
１９．１つの方法と装置が、プロセス資源と当該プロセス資源によって処理されるロットとを評価する時限を選択する。プロセス資源による処理に使用できかつ選択されたロットの処理に使用できるように、ロットとプロセス資源とがそれぞれ選択される。選択されたプロセスと選択されたロットの組合わせのそれぞれに対するツール点数およびロット点数が決定されるとともに、優勝点数を選択するために組み合わされる。工場は、優勝点数に従ってプロセス資源を介して制御される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による処理すべき命令のリスト、スケジューラおよび工場を示す図。
【図２】本発明によるワークステーションを示す図。
【図３】本発明のスケジューラ・モジュール、プランナ・モジュール、仕様書モジュールおよび工場モジュールを示す図。
【図４】本発明のスケジューリング・オブジェクトおよび仕様書オブジェクトを示す図。
【図５】本発明のスケジューラ・モジュール、プランナ・モジュールおよび工場モジュールに対する追加オブジェクトを示す図。
【図６】本発明を使用して、あるロットのクリティカルパスを示す図。
【図７】本発明の主時間線、ロット時間線およびプロセス資源時間線を示す図。
【図８】機械処理時間と点数に対応するポイントとの間の関係を示す図。
【図９】ウェハー当たりの機械セットアップと点数に対応するポイントとの間の関係を示す図。
【図１０】機械セットアップスイッチバック時間と点数に対応するポイントとの間の関係を示す図。
【図１１】バッチ機械容量率（batch machine percent of capacity ）と点数に対応するポイントとの間の関係を示す図。
【図１２】キャリア待ち合わせ時間と点数に対応するポイントとの間の関係を示す図。
【図１３】キャリア完了時間と対応するポイントとの間の関係を示す図。
【図１４】機械アイドル時間と点数に対応するポイントとの間の関係を示す図。
【符号の説明】
１００          スケジュール発生器モジュール
１０２          スケジュール・インタプリタ・モジュール
１０４          ウェハー仕様書モジュール
１０６          工場モジュール
１０８          プランナ・モジュール
１１０          スケジューラ・オブジェクト
２００          プロセス資源
２０１          工場モジュール
２１０          ロット
２２０          命令リスト
２３０          ＣＰＵ
２４０          入出力回路
２５０          ワークステーション
２６０          メモリ
２５０          ワークステーション
２５２          マウス
２５４          モニタ
２５６          ユーザ
２５８          キーボード
２７０          ＲＯＭ
【図１】
0003717967.tif 000016
【図２】
0003717967.tif 000017
【図３】
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【図４】
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【図５】
0003717967.tif 000020
【図６】
0003717967.tif 000021
【図７】
0003717967.tif 000022
【図８】
0003717967.tif 000023
【図９】
0003717967.tif 000024
【図１０】
0003717967.tif 000025
【図１１】
0003717967.tif 000026
【図１２】
0003717967.tif 000027
【図１３】
0003717967.tif 000028
【図１４】
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