(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の要件を備えた電子線バイプリズム装置、
（Ａ01）電子銃から出射する電子線の通路の外側を囲むように配置された電子顕微鏡の鏡筒（１）を貫通する筒状の電子線バイプリズム装着部材（４）に着脱可能に装着されたヘッド支持部材（７〜６２）、
（Ａ02）基端部が前記ヘッド支持部材（７〜６２）内端に連結され先端部にロータ支持穴（７３a）が形成されたヘッド本体（４７）、
（Ａ03）前記ロータ支持穴（７３a）に回転可能に支持され、回転軸を挟んで対向配置された一対のアース電極（８４a，８４b）を有し、下面に前記回転軸を中心とするリング状且つ板状の圧電体駆動用導電板（８６）およびフィラメント給電用導電板（８７）を有するロータ（８１）、
（Ａ04）前記ロータ（８１）を回転させるロータ回転駆動装置（５４〜６２＋１０６〜１１１）、
（Ａ05）前記ヘッド本体（４７）に固定支持され且つ導電ケーブル（１２１）を介して外部の電源に接続された接触端子（１１６，１１７）であって、前記ロータ（８１）の回転に伴って回転移動する前記圧電体駆動用導電板（８６）およびフィラメント給電用導電板（８７）にそれぞれ接触する前記接触端子（１１６，１１７）、
（Ａ06）前記ロータ（８１）に一端部が支持された板状の圧電体（９０）、
（Ａ07）前記圧電体（９０）の他端部である自由端部に支持されたフィラメント支持部材（９２）であって、前記一対のアース電極（８４a，８４b）に挟まれた空間を挟んで配置された一対のフィラメント固定部（９２c，９２c）が設けられた前記フィラメント支持部材（９２）、
（Ａ08）前記一対のフィラメント固定部（９２c，９２c）に両端部が固定され且つ前記一対のアース電極（８４a，８４b）間に配置されたフィラメント（９４）、
（Ａ09）前記板状の圧電体（９０）の互いに反対向きの表面にそれぞれ形成された圧電体駆動電極膜（９０a）および圧電体グランド電極膜（９０b）、
（Ａ010）前記圧電体駆動電極膜（９０a）および圧電体グランド電極膜（９０b）間に圧電体駆動電圧が印加されたときに、前記フィラメント（９４）を平行移動させるように変位する前記圧電体（９０）、
（Ａ011）前記圧電体駆動用導電板（８６）および圧電体駆動電極膜（９０a）間を接続するリード線（Ｌ1）、ならびに前記フィラメント給電用導電板（８７）および前記フィラメント（９４）間を接続するリード線（Ｌ2）。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子の波が起こす干渉を利用して試料の形、厚さ、磁場等の情報を含む像を得る電子ホログラフィーを得るための装置、すなわち、電子線パイプリズムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子顕微鏡の中でつくった干渉縞を、電子レンズで拡大して、フィルムに焼き付けた像（電子ホログラム）にレーザ光を当てて再生像（立体像）を得ることにより、極微小の形、厚さ、磁場などの情報を得ることができる。
良質の電子線ホログラムを得るには、干渉現象がはっきり現れる干渉性のよい、しかも高輝度の電子線が必要である。そのために冷陰極放射でエネルギーが揃っている（ΔＥ＝約０.２ｅＶ）電界放射型電子銃（field emission gun）が用いられる。
電子線ホログラムは電子銃からの電子線を２つに分け、２つに分けた電子線の一方を試料にあてたときに生じる散乱波と、他方の試料にあてない参照波とを干渉させて内部の情報を干渉縞として記録するものである。
通常の電子顕微鏡では対物レンズによって試料の拡大像が結像されるが、電子線ホログラムを得るには、図１９に示すように、対物レンズと拡大レンズの間に電子線バイプリズムを置く。
【０００３】
図１９は前記電子線ホログラムを得るための電子線バイプリズムが組込まれた電子顕微鏡の概略説明図である。
図１９において電子線バイプリズムは１本のフィラメント０１とそれを挟んで配置された一対のアース電極０２，０２より構成される。前記電子線バイプリズムは、電子に対して、三角形のプリズムを２つ組み合わせた光のプリズムと同じ働きをする。
電子線バイプリズムのフィラメント０１の右と左に入射した電子線は図１９のように偏向されて干渉縞をつくり、それを拡大レンズ０３で拡大してフィルム０４に撮影記録することにより電子線ホログラムが得られる。
電子線バイプリズムを電界放射型電子顕微鏡に装着することにより電子線による干渉像（電子ホログラム）を作成でき、それを再生すれば電子線の位相、振幅成分の情報が得られる。前記情報により磁界、電界の観察や位相情報の定量的測定等も可能となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の電子線バイプリズム装置は、フィラメント（Ｐt電極）の水平方向の移動および鉛直軸周りの回転移動が可能であったが、それらの移動は手動で行っていた。このため、電極の水平方向の移動は０.１ｍｍ位の制御が限界であった。また、試料の観察したい方向とフィラメントの方向とを合わせることも困難であった。このため、試料の観察または検査したい場所を正確に選択して観察または検査することが容易でなかった。
【０００５】
そこで本発明者は下端部をロータに固定した円筒状の圧電体上端（圧電体の自由端）の直径方向の両端部にフィラメントの両端部を固定し、圧電体上端を前記フィラメントの延びる方向に対し垂直な方向に移動させるようにした電子線バイプリズム装置を発明して特許出願（特願平９−８９８９号）している。
前記特許出願に記載した電子線バイプリズム装置では、圧電体を支持する前記ロータを所定の回転位置に調節することができる。また、前記円筒状の圧電体を変形させることにより、圧電体の上端を前記フィラメントの延びる方向に対し垂直な方向にｎｍオーダで位置調整することができる。しかしながら、前記フィラメントを円筒状の圧電体の自由端の直径方向両端部に固定するので、フィラメントを強く張りすぎると（テンションをかけすぎると）圧電体を駆動したときに前記フィラメントが切れることがあった。
【０００６】
これは圧電体の直径方向両端部（フィラメント両端を固定する部分）の移動量が異なるために発生する。フィラメントにある程度の撓みを持たせれば、フィラメントが切れることはないが、作業が困難であり、前記撓みを持たせると振動に弱いと思われる。
また、光軸（電子ビームの軸）を囲むように円筒状の圧電体が配置されているので、前記圧電体からのもれ電場の影響を受けないように考慮する必要がある。
本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載内容を課題とする。
（Ｏ01）電子線バイプリズム装置において、試料の観察または検査したい場所を正確に選択して観察または検査できるようにし且つフィラメントの切断が発生しないようにすること。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決するために案出した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。
また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【０００８】
（本発明）
前記課題を解決するために、本発明の電子線バイプリズム装置は、下記の要件を備えたことを特徴とする、
（Ａ01）電子銃から出射する電子線の通路の外側を囲むように配置された電子顕微鏡の鏡筒（１）を貫通する筒状の電子線バイプリズム装着部材（４）に着脱可能に装着されたヘッド支持部材（７〜６２）、
（Ａ02）基端部が前記ヘッド支持部材（７〜６２）内端に連結され先端部にロータ支持穴（７３a）が形成されたヘッド本体（４７）、
（Ａ03）前記ロータ支持穴（７３a）に回転可能に支持され、回転軸を挟んで対向配置された一対のアース電極（８４a，８４b）を有し、下面に前記回転軸を中心とするリング状且つ板状の圧電体駆動用導電板（８６）およびフィラメント給電用導電板（８７）を有するロータ（８１）、
（Ａ04）前記ロータ（８１）を回転させるロータ回転駆動装置（５４〜６２＋１０６〜１１１）、
（Ａ05）前記ヘッド本体（４７）に固定支持され且つ導電ケーブル（１２１）を介して外部の電源に接続された接触端子（１１６，１１７）であって、前記ロータ（８１）の回転に伴って回転移動する前記圧電体駆動用導電板（８６）およびフィラメント給電用導電板（８７）にそれぞれ接触する前記接触端子（１１６，１１７）、
（Ａ06）前記ロータ（８１）に一端部が支持された板状の圧電体（９０）、
（Ａ07）前記圧電体（９０）の他端部である自由端部に支持されたフィラメント支持部材（９２）であって、前記一対のアース電極（８４a，８４b）に挟まれた空間を挟んで配置された一対のフィラメント固定部（９２c，９２c）が設けられた前記フィラメント支持部材（９２）、
（Ａ08）前記一対のフィラメント固定部（９２c，９２c）に両端部が固定され且つ前記一対のアース電極（８４a，８４b）間に配置されたフィラメント（９４）、
（Ａ09）前記板状の圧電体（９０）の互いに反対向きの表面にそれぞれ形成された圧電体駆動電極膜（９０a）および圧電体グランド電極膜（９０b）、
（Ａ010）前記圧電体駆動電極膜（９０a）および圧電体グランド電極膜（９０b）間に圧電体駆動電圧が印加されたときに、前記フィラメント（９４）を平行移動させるように変位する前記圧電体（９０）、
（Ａ011）前記圧電体駆動用導電板（８６）および圧電体駆動電極膜（９０a）間を接続するリード線（Ｌ1）、ならびに前記フィラメント給電用導電板（８７）および前記フィラメント（９４）間を接続するリード線（Ｌ2）。
【０００９】
（本発明の作用）
前述の構成を備えた本発明の電子線バイプリズム装置では、電子顕微鏡の鏡筒（１）は、電子銃から出射する電子線の通路の外側を囲むように配置される。前記鏡筒を貫通する筒状の電子線バイプリズム装着部材（４）には、ヘッド支持部材（７〜６２）が着脱可能に装着される。前記ヘッド支持部材（７〜６２）内端にはヘッド本体（４７）の基端部が連結され、ヘッド本体（４７）の先端部にはロータ支持穴（７３a）が形成されている。
前記ロータ支持穴（７３a）は、ロータ（８１）を回転可能に支持する。前記ロータ（８１）は、回転軸を挟んで対向配置された一対のアース電極（８４a，８４b）を有し、下面に前記回転軸を中心とするリング状且つ板状の圧電体駆動用導電板（８６）およびフィラメント給電用導電板（８７）を有する。
前記ヘッド本体（４７）に固定支持され且つ導電ケーブル（１２１）を介して外部の電源に接続された接触端子（１１６，１１７）は、前記ロータ（８１）の回転に伴って回転移動する前記圧電体駆動用導電板（８６）およびフィラメント給電用導電板（８７）にそれぞれ接触する。
前記ロータ（８１）に一端部が支持された板状の圧電体（９０）は、前記板状の圧電体（９０）の互いに反対向きの表面にそれぞれ圧電体駆動電極膜（９０a）および圧電体グランド電極膜（９０b）が形成される。前記圧電体（９０）の他端部である自由端部に支持されたフィラメント支持部材（９２）には、一対のフィラメント固定部（９２c，９２c）が設けられており、前記一対のフィラメント固定部（９２c，９２c）は、前記一対のアース電極（８４a，８４b）に挟まれた空間を挟んで配置される。前記一対のフィラメント固定部（９２c，９２c）に両端部が固定されたフィラメント（９４）は、前記一対のアース電極（８４a，８４b）間に配置される。
リード線（Ｌ1）は、前記圧電体駆動用導電板（８６）および圧電体駆動電極膜（９０a）間を接続する。リード線（Ｌ2）は、前記フィラメント給電用導電板（８７）および前記フィラメント（９４）間を接続する。
したがって、前記圧電体駆動電極膜（９０a）および圧電体グランド電極膜（９０b）間に圧電体駆動電圧が印加されたときに、前記圧電体（９０）は、前記フィラメント（９４）を平行移動させるように変位するため、前記フィラメント（９４）を平行移動させてその位置調節を行うことができる。前記フィラメント（９４）の平行移動の際、フィラメント（９４）の両端部を固定する一対のフィラメント固定部（９２c，９２c）の距離は変化しないので、フィラメント（９４）に張力が作用せず、切断されることもない。
また、ロータ回転駆動装置（５４〜６２＋１０６〜１１１）により、前記ロータ（８１）を回転させることができるので、前記フィラメント（９４）の回転位置を調節することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００１１】
【実施例】
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において互いに直交する矢印Ｘ，Ｙ，Ｚの方向に直交座標軸Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を定義し、矢印Ｘ方向を前方、矢印Ｙ方向を左方、 矢印Ｚ方向を上方とする。この場合、Ｘ方向（前方）と逆向き（−Ｘ方向）は後方、Ｙ方向（左方）と逆向き（−Ｙ方向）は右方、Ｚ方向（上方）と逆向き（−Ｚ方向）は下方となる。
また、前方（Ｘ方向）及び後方（−Ｘ方向）を含めて前後方向又はＸ軸方向といい、左方（Ｙ方向）及び右方（−Ｙ方向）を含めて左右方向又はＹ軸方向といい、上方（Ｚ方向）及び下方（−Ｚ方向）を含めて上下方向又はＺ軸方向ということにする。
さらに図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【００１２】
図１は透過型電子顕微鏡（荷電粒子線装置）の鏡筒に装着された本発明の電子線バイプリズム装置の実施例の平面図である。図２は前記図１のII−II線断面図である。
【００１３】
図１、図２において、荷電粒子線装置としての透過型電子顕微鏡の円筒状の鏡筒１内部には水平方向に延びるヘッド収容孔２aを有するヘッド収容フランジ２が配置されている。前記ヘッド収容フランジ２部材の中心部には鉛直方向（Ｚ軸方向）に延びる電子線通過孔２bが設けられており、前記電子線通過孔２bは前記ヘッド収容孔２aの内端部分でヘッド収容孔２aと連通している。前記電子線通過孔２bは上方に配置した図示しない電子銃から出射した電子ビームが上方から下方に通過する孔である。
【００１４】
前記鏡筒１にはバイプリズム装着フランジ（電子線バイプリズム装着部材）４が装着されている。前記バイプリズム装着フランジ４は、前記ヘッド収容孔２aに連通するヘッド挿入孔４aを有している。前記バイプリズム装着フランジ４の外端部（後端部、すなわち、−Ｘ端部）にはガスケット５を介してバイプリズム装置６の装着用フランジ７が複数のボルト８（図１参照）により固定されている。すなわち、前記バイプリズム装着フランジ４および装着用フランジ７の接合部の内周側部分にはリング状のガスケット５が挟持されており、前記各フランジ４，７の内外を気密にシールしている。
前記各フランジ４，７の連結部は前記ガスケット５を挟持して気密に連結されるコンフラットフランジ（すなわち、超高真空を得るための金属シール）（４＋５＋７）を構成している。
【００１５】
前記装着用フランジ７の後端面には連結フランジ１０が溶接されている。前記連結フランジ１０の下部には導電ケーブル接続孔１０a（図２参照）が形成されている。連結フランジ１０の外端面（後端面）には球面座形成部材１１が配置され、その外側に配置された外筒部材１２は前記連結フランジ１０に連結されている。前記連結フランジ１０および前記外筒部材１２により外筒（１０＋１２）が構成されている。
前記外筒部材１２の内側には円筒状の内端側（Ｘ端側）揺動部材１３が配置されている。内端側揺動部材１３の内端（Ｘ端）は前記球面座形成部材１１の球面周りに回動可能である。前記内端側揺動部材１３の外端（−Ｘ側の端）には円筒状の外端側（−Ｘ端側）揺動部材１４（図２参照）がネジ１６により連結されている。
【００１６】
前記内端側揺動部材１３は下端部の前側部分（Ｘ側部分）が切除されており、その切除部には引張バネ１７が配置されている。引張バネ１７は前記内端側揺動部材１３の下端部と前記連結フランジ１０との間に引張力を作用させて、前記内端側揺動部材を内方（Ｘ方向）に引っ張って、前記連結フランジ１０に押し付けている。
図１において、前記外筒部材１２の左側（Ｙ側）には、前記内端側揺動部材１３の外端部（−Ｘ側の端部）を右方（−Ｙ側）に押圧する押圧部材１８が設けられ、右側（−Ｙ側）には内端側揺動部材１３後端（−Ｘ端）の右端部分（−Ｙ側の端部）の位置を定める左右位置調整つまみ１９が設けられている。
【００１７】
図２において、前記外筒部材１２の上側には、前記内端側揺動部材１３の外端部（−Ｘ側の端部）を下方に押圧する押圧部材２１が設けられ、下側には内端側揺動部材１３下端の後端部分（−Ｘ側の端部）の上下位置を定める上下位置決めボルト２２が設けられている。
したがって、前記左右位置調整つまみ１９（図１参照）および上下位置決めボルト２２（図２参照）を調整することにより、前記内端側揺動部材１３およびこれに連結された外端側揺動部材１４の左右、上下の回動位置を調節することができるようになっている。また、前記符号１８，１９，２１，２２で示された要素は、前記内端側揺動部材１３および外端側揺動部材１４の軸回りの回転を不可能にしている。
前記左右位置調整つまみ１９および上下位置決めボルト２２により内筒傾斜操作部材（１９＋２２）が構成されている。
【００１８】
図２において、前記円筒状の外端側揺動部材１４の周囲には円筒状の螺旋状ガイド溝形成部材２３が回転可能に装着されている。前記螺旋状ガイド溝形成部材２３の外側には円筒状のＸ方向粗調節用ツマミ２４が固定されている。したがって、Ｘ方向粗調節用ツマミ２４を回転調節することにより螺旋状ガイド溝形成部材２３も回転するように構成されている。前記円筒状の外端側揺動部材１４の内孔には円筒状のピン支持部材２５が嵌合している。前記ピン支持部材２５にはＸ位置調節用の被ガイドピン２６が固定されており、前記Ｘ位置調節用の被ガイドピン２６は前記円筒状の螺旋状ガイド溝形成部材２３外周面に形成された円周方向および軸方向に延びる螺旋状のガイド溝（図示せず）に係合している。また、前記被ガイドピン２６は前記円筒状の外端側揺動部材１４に形成されたＸ軸方向に延びるガイド溝を貫通している。
【００１９】
したがって、前記Ｘ方向粗調節用ツマミ２４を回転させると、前記螺旋状ガイド溝形成部材２３は、前記図示しない螺旋状のガイド溝により、前記Ｘ位置調節用の被ガイドピン２６を、前記外端側揺動部材１４の前記図示しないＸ軸方向に延びるガイド溝に沿ってＸ軸方向に移動させる。
前記螺旋状ガイド溝形成部材２３およびＸ方向粗調節用ツマミ２４の後端側にはＸ方向微調整用ツマミ２８が配置されている。Ｘ方向微調整用ツマミ２８はフランジ状操作部２８aおよび前方に延びる円筒部２８bを有している。前記円筒部２８bは前記Ｘ方向粗調節用ツマミ２４の内側で且つ螺旋状ガイド溝形成部材２３の外側に配置されている。
前記符号２４および２８で示された要素により内筒移動操作部材（２４＋２８）が構成されている。
【００２０】
前記円筒状のピン支持部材２５内側には円筒状の調整力被伝達部材３１が配置されている。調整力被伝達部材３１の後端部の外周面には雄ネジ３１aが形成されており、前記Ｘ方向微調整用ツマミ２８のフランジ状操作部２８a中央部に形成された雌ネジと螺合している。また、調整力被伝達部材３１の外周面には前記Ｘ位置調節用の被ガイドピン２６がＸ軸方向に遊びを持って係合する係合溝３１bが形成されている。
【００２１】
したがって、前記内筒移動操作部材（２４＋２８）により前記被ガイドピン２６がＸ軸方向に移動した場合には、前記ガイドピン２６に係合する係合溝３１bを有する調整力被伝達部材３１も軸方向に移動調節されるように構成されている。また、前記Ｘ方向微調整用ツマミ２８を回転させた場合、Ｘ方向微調整用ツマミ２８の前記雌ネジと螺合する雄ネジ３１aを有する調節力被伝達部材３１は、前記被ガイドピン２６により回転不能であるため、Ｘ軸方向に移動してその位置が微調節される。
前記調整力被伝達部材３１内側には圧縮バネ３２およびこの圧縮バネ３２により常時後方（−Ｘ方向）に押されるスライダ３３が配置されている。前記スライダ３３には前記調整力被伝達部材３１に固定されたガイドピン３４に係合する被ガイド溝３３aが形成されている。このため、スライダ３３は軸周りの回転が不可能で、Ｘ軸方向のスライドのみ可能となっている。
【００２２】
前記調整力被伝達部材３１の前端（Ｘ端）には、順次、後端連結部材３７、円筒状連結部材３８および前端連結部材３９が連結されている。前記後端連結部材３７の前端と前記連結フランジ１０との間にベローズ４０が設けられており、前記筒状連結部材３８は前記ベローズ４０の内側に配置されている。
前記前端連結部材３９の外側面に形成された球面３９aは、前記連結フランジ１０内面に支持された円筒状軸受け４１により微小な角度範囲で回動可能に支持されている。前記球面３９aの中心は前記球面座形成部材１１の球面の中心と略一致している。そして、それらの球面の中心周りに、前記各揺動部材１３、１４、および前記外端側揺動部材１４に嵌合支持されるピン支持部材２５、調節力被伝達部材３１等が回動するように構成されている。
【００２３】
前記前端連結部材３９には前方に延びるケーブル挿通孔４２aを有する円筒カバー４２が連結され、円筒カバー４２の前端には連結ブロック４３が連結されている。連結ブロック４３は１個の操作部材接続孔４３aおよび２個の端子接続孔４３b（図１参照）を有している。前記操作部材接続孔４３a内および端子接続孔４３b内においてはそれぞれ後述の操作部材および導電ケーブル等の接続が行われる。図２において前記連結ブロック４３には連結ナット４４により、スペーサ４６を固着された導電性のヘッド本体４７が連結されている。
前記符号３１，３７〜３９，４２，４３で示された要素から内筒（３１＋３７〜３９＋４２＋４３）が構成されている。
【００２４】
前記調整力被伝達部材３１の後端にはボルト５１により後端プレート５２が連結されている。後端プレート５２にはポテンショメータ５３およびモータ５４が支持されている。前記モータ５４は後述の操作ロッドを操作する部材すなわち、操作ロッド操作部材５４としての機能を有する。ポテンショメータ５３が検出するモータ５４の回転角信号はモータ５４の回転制御に使用される。前記ポテンショメータ５３およびモータ５４等は前記後端プレート５２に固定されたカバー５５により被覆されている。
モータ５４の回転軸５６の先端には雄ネジ５６aが形成され、雄ネジ５６aは前記スライダ３３に形成された雌ネジ３３bと螺合している。したがって、モータ５４の回転軸５６の回転により前記スライダ３３が回転しようとするが、スライダ３３は前記被ガイド溝３３aが前記ガイドピン３４に係合して回転できない。このため、スライダ３３は軸方向にスライド移動する。
前記スライダ３３前端にはネジ（図示せず）により操作ロッド５８の後端部が連結されている。操作ロッド５８は前記前端連結部材３９の前端に設けたベローズ５９の前端プレート６１の後端面に連結されている。
前記前端プレート６１の前面から前方に延びる連結操作ロッド６２は、前記連結ブロック４３の操作部材接続孔４３a（図１参照）内に延びている。
前記符号７〜６２で示した要素によりヘッド支持部材（７〜６２）が構成されている。
【００２５】
図２において、前記連結フランジ１０下部の導電ケーブル接続孔１０aには、導電ケーブル挿通用円筒部材６３が連結されており、導電ケーブル挿通用円筒部材６３の下端にはフランジ６４が連結されている。
前記フランジ６４には、導電ケーブル６６の接続側端部を収容する導電ケーブル収容ケース６７の接続用フランジ６８が着脱自在に接続されている。
前記フランジ６４および接続用フランジ６８の接合部の内周側部分にはリング状のガスケット６９が挟持されており、前記各フランジ６４，６８の内外を気密にシールしている。すなわち、前記各フランジ６４，６８の連結部は前記ガスケット６９を挟持して気密に連結されるコンフラットフランジを構成している。
【００２６】
図６は電子線バイプリズム装置の実施例のヘッド本体の説明図で、図６Ａは平面図、図６Ｂは前記図６ＡのＶIＢ−ＶIＢ線断面図である。図７は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッド本体の説明図で、図７Ａは前記図６Ｂの矢印ＶIIＡから見た図、図７Ｂは前記図７Ａの矢印ＶIIＢから見た図である。図８は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッド本体の説明図で、図８Ａは前記図６ＢのＶIIIＡ−ＶIIIＡ線断面図、図８Ｂは前記図６Ｂの矢印ＶIIIＢから見た図である。
【００２７】
図６〜図８において、ヘッド本体４７は外端部（後端部、−Ｘ側端部）の円筒部７１、前記円筒部７１から内方（前方、Ｘ方向）に延びる外形が直方体状の操作部材収容部７２、および操作部材収容部７２先端に設けられたロータ支持部７３を有している。
図８Ｂにおいて、前記円筒部７１には前記スペーサ４６（図１、図２参照）を固定する際に使用する複数のネジ孔７１aが形成されている。前記円筒部７１の外周部には連結用雄ネジ７１bが形成されている。連結用雄ネジ７１bは、連結ナット４４（図１、図２参照）により連結ブロック４３と連結する際に使用される。また、前記円筒部７１には操作ロッド貫通孔７１cおよび導電ケーブル挿通孔７１dが形成されている。
【００２８】
前記操作部材収容部７２は、操作部材収容孔７２a（図６Ａ、図７Ａ参照）を有している。図６Ａにおいて、操作部材収容部７２は、前記操作部材収容孔７２aと前記操作ロッド貫通孔７１cとを接続する接続孔７２bを有している。
図６Ａにおいて、前記操作部材収容孔７２aには、接続孔７２bの右側（−Ｙ側）に前後に延びる細いバネ係止溝７２cが形成されている。そして前記バネ係止溝７２cを右側から左側に横切るようにボルト孔７２dが形成されている。このボルト孔７２dにはバネ係止ボルト７４（図３参照）が螺合している。
図７Ｂにおいて、前記操作部材収容部７２の右側面（−Ｙ側の側面）には導電ケーブル挿通溝７２eが形成されている。導電ケーブル挿通溝７２eの後端部には、導電ケーブル取出溝７２fが形成されている。導電ケーブル取出溝７２fは、図８Ｂから分かるように、前記導電ケーブル挿通孔７１dと接続している。したがって、導電ケーブル挿通孔７１dから導電ケーブル取出溝７２fに取り出された導電ケーブルは、図７に示すように、前記導電ケーブル挿通溝７２eを通って前記ロータ支持部７３に導かれるように構成されている。
【００２９】
図６Ａ、図６Ｂにおいてロータ支持部７３上面には、８角形のロータ支持穴７３aが形成されている。８角形の側面を有するロータ支持穴７３aは、円筒状のロータを嵌合させたときにロータ外側面を３点で接触して支持する。ロータ支持穴７３aの中央部には電子ビーム通過孔７３bが形成されている。
図６Ａ、図７Ａ、図８Ａにおいて、ロータ支持部７３の下面には、前記電子ビーム通過孔７３bの左右両側にそれぞれ長方形の端子配置用穴７３cが形成されている。端子配置用穴７３cは前記ロータ支持穴７３aと接続されている。
前記ロータ支持部７３の下面には、前記端子配置用穴７３cの後側に導電ケーブル収容凹部７３d（図６Ｂ、図７Ａ参照）が形成されている。図７Ａにおいて、前記ロータ支持部７３の下面には、前記端子配置用穴７３cと導電ケーブル収容凹部７３dの間にネジ孔形成領域７３eが設けられている。前記ネジ孔形成領域７３eには、４個の端子取付用ネジ孔７３fが形成されている。前記ネジ孔形成領域７３eは、図６Ｂ、図７Ａに示すように、前記ロータ支持部７３の下端面よりも上方に凹んで形成されている。
【００３０】
図７Ａにおいて、前記導電ケーブル挿通溝７２eの前端および導電ケーブル収容凹部７３dは接続溝７３gにより接続されている。
図６Ａにおいて、ロータ支持部７３上面には前記２個の操作ワイヤガイドプーリ支持孔７３hおよび、１個のロータ押え部材支持孔７３iが形成されている。
また、前記ロータ支持部７３上面には、４個のコーナ部にそれぞれロータ押えプレート固定ネジ孔７３jが形成されており、また、前端縁に沿ってさらに２個のネジ孔７３j′が形成されている。また図７Ａにおいて、前記ロータ支持部７３下面にも４個のコーナ部にそれぞれカバープレート固定ネジ孔７３kが形成されており、また、前端縁に沿ってさらに２個のネジ孔７３k′が形成されている。なお、前記ロータ支持部７３上面の４個のロータ押えプレート固定ネジ孔７３jおよび２個のネジ孔７３j′と、前記下面の４個のカバープレート固定ネジ孔７３kおよび２個のネジ孔７３k′とはそれぞれ同軸であるが、短い固定ネジを使用することにより上面側および下面側からそれぞれ固定ネジをねじ込めるように構成されている。
【００３１】
図９は同実施例で使用されるロータの説明図で、図９Ａは平面図、図９Ｂは図９ＡのIＸＢ−IＸＢ線断面図、図９Ｃは前記図９ＡのIＸＣ−IＸＣ線断面図である。
図９において、ロータ８１は導電性金属材料により構成されており、上下方向の貫通孔であるビーム通過孔８１a、フィラメント給電用リード線挿通孔８１b、圧電体駆動用リード線挿通孔８１cが形成されている。前記各リード線挿通孔８１b，８１cは、ロータ８１の下面側から上面側への電圧供給用リード線を通すための孔である。
前記ロータ８１は、円筒状外側面を有する円筒状下部８２、一部が切除された円筒状外側面を有する中央プレート部８３および前記中央プレート部８３から上方に突出する上部突出部８４を有している。
前記円筒状外側面を有する円筒状下部８２は、下端部に前記ロータ支持穴７３aの側面に嵌合する円筒状被支持部８２aを有し、円筒状被支持部８２aの上端には前記ロータ支持部７３上面に支持されるリング状被支持部８２bを有している。リング状被支持部８２bの上側にはリング状の操作ワイヤガイド溝８２cが形成されている。前記円筒状下部８２の前側部分には操作ワイヤ固定用ネジ収容部８２dおよび操作ワイヤ固定用ネジ孔８２eが形成されている。
前記円筒状下部８２の下面には、リング状の導電部材装着部が２段に形成されており、外側より内側の導電部材装着部の方が上方に凹んで形成されている。前記リング状の導電部材装着部は、リング状導電部材外側装着部８２f、リング状導電部材内側装着部８２gにより構成されている。前記各リング状の導電部材装着部８２f，８２gにはそれぞれ絶縁コーティングをしてリング状の圧電体駆動用導電板８６、フィラメント給電用導電板８７（図５参照）が張り付けてある。
【００３２】
図９Ａ、図９Ｂにおいて、前記中央プレート部８３には、前側（Ｘ側）に切除部８３aが形成されており、前記切除部８３aは前記フィラメント給電用リード線挿通孔８１bおよび操作ワイヤ固定用ネジ収容部８２dと連通している。前記中央プレート部８３前端面には前記切除部８３aの両側にカバー固定用ネジ孔８３b，８３bが形成され、また、中央プレート部８３の左右両側面にもカバー固定用ネジ孔８３bが形成されている。前記中央プレート部８３上面にはその後側の左右両側に圧電体支持部材固定用ネジ孔８３c，８３cが形成されている。
前記中央プレート部８３から上方に突出する前記上部突出部８４は前記ビーム通過孔８１aの上端からさらに上方に突出する一対のアース電極８４a，８４bを有している。前記一対のアース電極８４a，８４bは平行な対向面を有している。
【００３３】
図１０は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッド先端部の１部断面平面図である。図１１は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッド先端部の縦断面拡大図で、前記図１０のＸI−ＸI線断面図である。図１２は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッド先端部の横断面拡大図で、前記図１０のＸII−ＸII線断面図である。図１３は前記図１１に示す圧電体支持部材の説明図で、図１３Ａは上面図、図１３Ｂは縦断面図で前記図１３ＡのＸIIIＢ−ＸIIIＢ線断面図、図１３Ｃは斜視図である。
図１４は前記図１１に示すフィラメント支持部材の説明図で、図１４Ａは上面図、図１４Ｂは縦断面図で前記図１４ＡのＸIＶＢ−ＸIＶＢ線断面図、図１４Ｃは下面図で前記図１４Ｂの矢印ＸIＶＣから見た図である。図１５は前記図１１に示すカバーの説明図で、図１５Ａは縦断面図、図１５Ｂは下面図で前記図１５Ａの矢印ＸＶＢから見た図、図１５Ｃは後面図で前記図１５Ｂの矢印ＸＶＣから見た図である。
【００３４】
図１０〜図１５において、前記ロータ８１はその下端部の円筒状被支持部８２aが前記ロータ支持穴７３a（図６Ａ参照）の側面に３点接触で回転可能に嵌合し、リング状被支持部８２bがロータ支持部７３上面に回転可能に支持されている。
前記中央プレート部８３上面には導電性の圧電体支持部材８８が固定ネジ８９，８９（図１０参照）により固定されている。
図１３において、前記圧電体支持部材８８は前側部分（−Ｘ側部分）に左右一対の固定部８８a，８８aを有し、後側部分（Ｘ側部分）に圧電体支持面８８bとを有している。前記固定部８８a，８８aには、前記固定ネジ８９，８９の貫通孔が形成されている。
前記圧電体支持部材８８上面には板状の圧電体９０の後端部（−Ｘ側の端部）が接着により片持式に固定されている。圧電体９０の上面および下面には圧電体駆動用の電極膜９０aおよび９０bが形成されており、前記下面の電極膜（圧電体グランド電極膜）９０bは、前記導電性の圧電体支持部材８８、ロータ８１、ヘッド本体４７（図６参照）のロータ支持部７３を介してアースされている。
前記圧電体９０上面の圧電体駆動の電極膜（圧電体駆動電極膜）９０aはリード線Ｌ1により前記リング状の圧電体駆動用導電板８６（図１１参照）に接続されている。
前記圧電体９０の前端部（Ｘ端部）上面には板状の絶縁部材９１を介して導電性のフィラメント支持部材９２が接着により固定されている。なお、フィラメント支持部材９２の前記絶縁部材９１と接合面９２a（図１４Ｂ参照）には絶縁処理（フッ素樹脂コーティング）をして絶縁性を高めている。
【００３５】
図１４において、フィラメント支持部材９２にはアース電極貫通孔９２bを挟んで一対のフィラメント固定部９２c，９２cが設けられている。また、フィラメント支持部材９２には、リード線固定孔９２d、およびネジ孔９２eが形成されている。前記アース電極貫通孔９２bは長方形であり、前記アース電極８４a，８４b（図１０参照）が下方から上方に貫通している。
前記リード線固定孔９２dにはリード線Ｌ2の上端部が固定ネジ９３により固定されており、前記リード線Ｌ2の下端部は前記リング状のフィラメント給電用導電板８７に接続されている。
前記フィラメント支持部材９２の上面には、前記アース電極貫通孔９２bを横切り且つ前記アース電極８４a，８４bの間を通る白金のフィラメント９４（図１０参照）の両端が支持されている。
図１１、図１５において、前記フィラメント支持部材９２の周囲を被覆するカバー９６には前記アース電極８４a，８４bを収容する１個の電子線通過孔９６aと、４個の固定用溝９６bとが形成されている。前記固定用溝９６bは、前記カバー固定用ネジ孔８３b（図９参照）に螺合する固定ネジ９７により、ロータ８１の中央プレート部８３に固定されている。
【００３６】
前記図６Ａに示すロータ支持部７３上面の前記２個の操作ワイヤガイドプーリ支持孔７３hにはそれぞれ操作ワイヤガイドプーリ９８，９８（図３参照）が回転可能に支持されている。また、前記図６Ａに示すロータ支持部７３上面の前記ロータ押え部材支持孔７３iにはロータ押え部材９９（図１１参照）を貫通する軸１０１が挿入されている。前記ロータ押え部材９９のフランジ部９９aは、前記ロータ８１のリング状被支持部８２bを上方に移動しないよう押える機能を有している。
【００３７】
図１６は同実施例の前記図１１に示す後側ロータ押さえプレートの説明図で、図１６Ａは左側面図、図１６Ｂは下面図で前記図１６Ａの矢印ＸＶIＢから見た図、図１６Ｃは前側面図で前記図１６Ｂの矢印ＸＶIＣから見た図、図１６Ｄは前記図１６Ｂの矢印ＸＶIＤ−ＸＶIＤ線断面図である。
図１６において、後側ロータ押えプレート１０２は、前側部分に半円形の孔１０２aが形成されている。前記半円形の孔１０２aの内周縁は前記ロータ８１の後部外側面に対向するように配置される部分である。前記後側ロータ押えプレート１０２の下面（−Ｚ側の面）には前記半円形の孔１０２aの後側（−Ｘ側）に上方に凹んだ凹部１０２bが形成されている。
図１１に示すように、前記後側ロータ押さえプレート１０２は、前記凹部１０２b内に、前記操作ワイヤガイドプーリ９８，９８およびロータ押え部材９９が収容されるように、それらの上方を覆って配置される。前記後側ロータ押さえプレート１０２により、前記操作ワイヤガイドプーリ９８，９８およびロータ押え部材９９は、上方に移動しないように押えられる。後側ロータ押えプレート１０２は、前記ロータ支持部７３の後端部（−Ｘ端部）のコーナに形成された２個のロータ押えプレート固定ネジ孔７３j（図６参照）に螺合する固定ネジ１０３によりロータ支持部７３上面に固定されている。
【００３８】
図１７は前記図１１に示すロータ先端側保持部材の説明図で、図１７Ａは左側面図、図１７Ｂは下面図で前記図１７Ａの矢印ＸＶIIＢから見た図、図１７Ｃは前記図１７Ｂの矢印ＸＶIIＣ−ＸＶIIＣ線断面図である。
図１７において、前側ロータ押えプレート１０４は、後側部分に半円形の孔１０４aが形成されている。前記半円形の孔１０４aの内周縁は前記ロータ８１の前部外側面に対向するように配置される部分である。前記前側ロータ押えプレート１０４の前記半円形の孔１０４aの周辺に沿って、半リング状のロータ押え部１０４bが設けられている。
前記ロータ押え部１０４bは図１１に示すように、前記ロータ８１のリング状被支持部８２bを押える部分である。
【００３９】
前記ロータ８１の前記操作ワイヤガイド溝８２c（図９参照）には操作ワイヤ １０６が巻き掛けられており、操作ワイヤ１０６は前記操作ワイヤ固定ネジ孔８２e（図９参照）に螺合するワイヤ固定ネジ１０７（図１１参照）により固定されている。
【００４０】
図３は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッドの上面図である。図４は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッドの一部断面正面図である。図５は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッドの一部断面下面図である。
図３において、前記操作ワイヤ１０６は前記操作ワイヤガイドプーリ９８，９８にガイドされて、一端部は引張バネ１０８の前端に連結されている。引張バネ１０８の後端は前記バネ係止溝７２c（図６Ａ参照）を横切るボルト孔７２dに螺合する前記バネ係止ボルト７４（図３参照）に係止されている。したがって、操作ワイヤ１０６は常時前記引張バネ１０８により引っ張られており、この引張力は前記ロータ８１を上面図で時計方向に回転させる力を発生する。
【００４１】
図３において、前記操作ロッド貫通孔７１c（図６Ａ参照）および接続孔７２bを貫通して操作部収容孔７２a内に配置されたワイヤ連結ロッド１１１の前端に連結されている。このワイヤ連結ロッド１１１を前後に移動させることにより、前記ワイヤ連結ロッド１１１前端に連結された操作ワイヤ１０６を引っ張ったり、緩めたりすることができる。このとき、操作ワイヤ１０６に連結された前記ロータ８１が回転する。したがって、前記ワイヤ連結ロッド１１１を前後方向に進退移動させることによりロータ８１の回転位置を制御することができる。
前記ワイヤ連結ロッド１１１の後端は図１に示す連結ブロック４３の操作部材接続孔４３a（図１参照）内において前記連結操作ロッド６２の前端に連結されている。
図１において、前記連結操作ロッド６２の後端はベローズ５９の前端プレート６１に連結し、前端プレート６１は操作ロッド５８を介してスライダ３３に連結されている。前記スライダ３３は、前記モータ５４の回転軸５６の回転により前後に進退移動するので、前記モータ５４を正転または逆転させることにより、スライダ３３およびワイヤ連結ロッド１１１を進退移動させて前記ロータの回転位置を制御することができる。
【００４２】
図５において、前記リング状の圧電体駆動用導電板８６、フィラメント給電用導電板８７にはそれぞれ接触端子１１６，１１７が接触している。前記接触端子１１６，１１７は前記端子取付用ネジ孔７３f（図７Ａ参照）に螺合する固定ネジにより固定されている。
【００４３】
図１８は同実施例の電子線バイプリズム装置の電気回路図である。
前記各導電板８６，８７と各接触端子１１６，１１７との接続関係、および各導電板８６，８７と圧電体９０およびフィラメント９４との接続関係は図１８に示すとおりである。
図５において、前記各接触端子１１６，１１７に接続された２本の導線を含む導電ケーブル１２１は前記図７Ａに示す導電ケーブル収容凹部７３d、導電ケーブル挿通溝７２eを通って、さらに、導電ケーブル取出溝７２f（図７Ｂ参照）、導電ケーブル挿通孔７１d（図８Ｂ参照）を通ってヘッド本体４７の後側に導出されている。
前記ヘッド本体４７の後側に導出された導電ケーブル１２１の２本の導線は前記スペーサ４６に支持された２本の端子１２１a（図４に１本のみ図示）に接続されている。前記スペーサに支持された２本の端子はそれぞれ前記連結ブロック４３の２個の端子接続孔４３b（図１に１個のみ図示）内に延びている。
【００４４】
前記図２において、外部の電源（図示せず）に接続された導電ケーブル６６は２本の導線を有し、導電ケーブル収容ケース６７内のハーメチックシール１２２の２個の入力端子１２３に接続されている。ハーメチックシール１２２の２個の出力端子１２４に接続された２本の導線を有する内側の導電ケーブル１２６に接続されている。
【００４５】
前記導電ケーブル１２６は、前記連結フランジ１０下部の導電ケーブル接続孔１０aから円筒状軸受け４１の内部を通ってバイプリズム装着フランジ４内に延びている。さらに導電ケーブル１２６の２本の導線は、前記円筒カバー４２のケーブル挿通孔４２aを通って、前記連結ブロック４３の２個の前記端子接続孔４３bにそれぞれ接続されている。
前記導電ケーブル１２６の２本の導線は前記端子接続孔４３bおよび前記２本の端子１２１a（図４に１本のみ図示）を介して前記導電ケーブル１２１の２本の導線と接続されている。
したがって、前記外部の電源（図示せず）に接続された図２に示す導電ケーブル６６の２本の導線は、前記図５に示す導電ケーブル１２１に接続されている。
【００４６】
図４、図５に示すように、前記ヘッド本体４７の操作部材収容部７２およびロータ支持部７３の下面には下面被覆プレート１３１が装着されている。下面被覆プレート１３１には、前記ワイヤ連結ロッド１１１の下側面に接触する摩擦プレート１３２が固着されている。この摩擦プレート１３２は、前記ワイヤ連結ロッド１１１と摩擦接触して、ワイヤ連結ロッド１１１の急激な移動を防止する機能を有している。
前記符号５４〜６２、１０６〜１１１等で示された要素によりロータ回転駆動装置（５４〜６２＋１０６〜１１１）が構成されている。
また、図３〜図５において、前記ヘッド本体４７の操作部材収容部７２の上面および左右の側面には上側被覆プレート１３３が装着されている。前記上側被覆プレート１３３は前記導電ケーブル挿通溝７２e（図７、図５参照）に挿通されている導電ケーブル１２１（図５参照）を前記導電ケーブル挿通溝７２e内に保持する機能を有している。
前記符号７〜１３３で示された要素により前記バイプリズム装置６が構成されている。
【００４７】
（実施例の作用）
前述の構成を備えたバイプリズム装置６の実施例は、図１、図２に示すように、バイプリズム装着フランジ４に装着して使用される。
前記鏡筒１に固定されたバイプリズム装着フランジ４とバイプリズム装置６の装着用フランジ７とはガスケット５を挟持したコンフラットフランジにより連結されているので、気密性が高い。また、導電ケーブル挿通用円筒部材６３の下端のフランジ６４と接続用フランジ６８とはガスケット６９を挟持したコンフラットフランジにより連結されているので、気密性が高い。
すなわち、通常作業時に着脱作業を行う部分は、コンフラットフランジで連結しているので、常に高い気密性が得られる。
また、連結フランジ１０内側は、前記ベローズ４０および後端連結部材３７によりそれらの外側に対して高い気密性でシールされている。また、連結フランジ１０内側は、前記操作ロッド５８を収容する筒状連結部材３８および調整力被伝達部材３１等の内側に対してはベローズ５９（図１、図２参照）により高い気密性でシールされている。
したがって、前記連結フランジ１０の内側およびこれに連通する鏡筒１内側のヘッド収容孔２a内側等は鏡筒１の外側の大気に対して高い気密が得られる。このため、ヘッド収容孔２a内は高い真空度に保持できるので、バイプリズム装置を超高真空下で使用することができる。
【００４８】
前記ロータ回転駆動装置（５４〜６２＋１０６〜１１１）の前記モータ５４を駆動すると、前記操作ロッド５８（図２参照）およびワイヤ連結ロッド１１１が進退移動する。このとき、操作ワイヤ１０６に連結されたロータ８１が回転する。ロータ８１の回転によりロータ８１に支持されたフィラメント９４およびそれを挟んで配置された一対のアース電極８４a，８４bの位置が水平面内で回転する。
このため、試料に対するフィラメント９４の回転位置を合わせることができるので、試料の位置を最初に正確に位置決めする必要がなくなる。
【００４９】
また、導電ケーブル６６、１２６および１２１の導線を介して前記接触端子１１６（図５参照）に給電すると、圧電体駆動用導電板８６、リード線Ｌ1を介して圧電体９０の上面および下面間に電圧を印加することができる。印加電圧の向き（＋−の向き）を変えることにより圧電体９０を前後方向（Ｘ軸方向）に移動させて前記フィラメント９４の位置を精密に制御することが可能である。この場合アース電極８４a，８４b間のフィラメント９４の位置をｎｍのオーダで精密に制御することができる。
また、本実施例ではロータ８１の回転位置がどの位置であっても、前記フィラメント９４の位置を、フィラメント９４の延びる方向と垂直な方向に精密に移動させることができる。
【００５０】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記に例示する。
【００５１】
（Ｈ01）前記ハーメチックシール１２２の出力端子１２４数や導電ケーブル６６，１２１，１２６の導線数等は適当数設けておいて必要な本数だけ使用することが可能である。
（Ｈ02）前記フィラメント給電用導電板８７および前記フィラメント９４間を接続するリード線Ｌ2は、前記フィラメント支持部材９２を介して接続する代わりに直接接続したり、他の部材を介して接続することが可能である。例えば、前記フィラメント支持部材９２を導電部材により構成する代わりに、絶縁部材により構成することが可能であり、その場合、前記フィラメント固定部９２cをフィラメント支持部材９２とは別部材の導電部材により構成し、且つリード線Ｌ2を前記フィラメント固定部９２cに接続することが可能である。
【００５２】
【発明の効果】
前述の本発明の試料ホルダおよび試料回り止め部材は、下記の効果を奏することができる。
（Ｅ01）電子線バイプリズム装置において、試料の観察または検査したい場所を正確に選択して観察または検査できるようにし且つフィラメントの切断が発生しないようにすることができる。
（Ｅ02）電子線バイプリズム装置のフィラメントの移動をｎｍオーダで制御できるようにすることができる。また、試料の観察したい方向とフィラメントの方向とを容易に合わせることができる。したがって、試料の観察または検査位置を、正確に目標位置に移動させることができるので、試料の観察または検査したい箇所を容易且つ確実に観察または検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は透過型電子顕微鏡（荷電粒子線装置）の鏡筒に装着された本発明の電子線バイプリズム装置の実施例の平面図である。
【図２】  図２は前記図１のII−II線断面図である。
【図３】  図３は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッドの上面図である。
【図４】  図４は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッドの一部断面正面図である。
【図５】  図５は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッドの一部断面下面図である。
【図６】  図６は電子線バイプリズム装置の実施例のヘッド本体の説明図で、図６Ａは平面図、図６Ｂは前記図６ＡのＶIＢ−ＶIＢ線断面図である。
【図７】  図７は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッド本体の説明図で、図７Ａは前記図６Ｂの矢印ＶIIＡから見た図、図７Ｂは前記図７Ａの矢印ＶIIＢから見た図である。
【図８】  図８は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッド本体の説明図で、図８Ａは前記図６ＢのＶIIIＡ−ＶIIIＡ線断面図、図８Ｂは前記図６Ｂの矢印ＶIIIＢから見た図である。
【図９】  図９は同実施例で使用されるロータの説明図で、図９Ａは平面図、図９Ｂは図９ＡのIＸＢ−IＸＢ線断面図、図９Ｃは前記図９ＡのIＸＣ−IＸＣ線断面図である。
【図１０】  図１０は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッド先端部の１部断面平面図である。
【図１１】  図１１は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッド先端部の縦断面拡大図で、前記図１０のＸI−ＸI線断面図である。
【図１２】  図１２は同実施例の電子線バイプリズム装置のヘッド先端部の横断面拡大図で、前記図１０の矢印ＸII−ＸII線断面図である。
【図１３】  図１３は前記図１１に示す圧電体支持部材の説明図で、図１３Ａは上面図、図１３Ｂは縦断面図で前記図１３ＡのＸIIIＢ−ＸIIIＢ線断面図、図１３Ｃは斜視図である。
【図１４】  図１４は前記図１１に示すフィラメント支持部材の説明図で、図１４Ａは上面図、図１４Ｂは縦断面図で前記図１４ＡのＸIＶＢ−ＸIＶＢ線断面図、図１４Ｃは下面図で前記図１４Ｂの矢印ＸIＶＣから見た図である。
【図１５】  図１５は前記図１１に示すカバーの説明図で、図１５Ａは縦断面図、図１５Ｂは下面図で前記図１５Ａの矢印ＸＶＢから見た図、図１５Ｃは後面図で前記図１５Ｂの矢印ＸＶＣから見た図である。
【図１６】  図１６は同実施例の前記図１１に示す後側ロータ押さえプレートの説明図で、図１６Ａは左側面図、図１６Ｂは下面図で前記図１６Ａの矢印ＸＶIＢから見た図、図１６Ｃは前側面図で前記図１６Ｂの矢印ＸＶIＣから見た図、図１６Ｄは前記図１６Ｂの矢印ＸＶIＤ−ＸＶIＤ線断面図である。
【図１７】  図１７は前記図１１に示すロータ先端側保持部材の説明図で、図１７Ａは左側面図、図１７Ｂは下面図で前記図１７Ａの矢印ＸＶIIＢから見た図、図１７Ｃは前記図１７Ｂの矢印ＸＶIIＣ−ＸＶIIＣ線断面図である。
【図１８】  図１８は同実施例の電子線バイプリズム装置の回路図である。
【図１９】  図１９は前記電子線ホログラム得るための電子線バイプリズムが組込まれた電子顕微鏡の概略説明図である。
【符号の説明】
１…鏡筒、４…電子線バイプリズム装着部材（バイプリズム装着フランジ）、４７…ヘッド本体、７〜６２…ヘッド支持部材、７３a…ロータ支持穴、４７…ヘッド本体、８１…ロータ、８４a，８４b…アース電極、８６…圧電体駆動用導電板、８７…フィラメント給電用導電板、９０…圧電体、９０a…圧電体駆動電極膜、９０b…圧電体グランド電極膜、９２…フィラメント支持部材、９２c…一対のフィラメント固定部、９４…フィラメント、１１６，１１７…接触端子、１２１…導電ケーブル、５４〜６２＋１０６〜１１１…ロータ回転駆動装置、Ｌ1…リード線、Ｌ2…リード線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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