(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルを通してフォトレジストを噴射し、回転チャック上で回転されるウェーハに前記フォトレジストをコーティングするフォトレジストコーティング装置において、
前記ノズルを前記ウェーハの辺部から中心部方向に移動させてコーティングを行うノズル駆動手段；
前記ノズルの位置毎に回転速度が異なるように前記回転チャックを回転させるモータ；及び
前記ノズル駆動手段によって前記ウェーハの辺部から中心部に移動される前記ノズルの位置を確認し、前記モータの回転速度をこのノズルの位置に応じて段階的に増速させる制御手段；とを備え、
前記制御手段は、前記ノズルが前記ウェーハの辺部から中心部に移動する際、該ウェーハの辺部から中心部の方向に遠心力と表面張力を考慮して平面的な区間を区分し、この各区間毎に前記モータの回転速度を非線形的に段階的に増加するように制御するとともに、
該制御手段は、前記ウェーハの中心部の均一度を向上させるために、前記ウェーハの中心部で噴射する前記ノズルの噴射時間を延ばすことにより、所望の水準の均一度でフォトレジストのコーティングを行うことを特徴とするフォトレジストコーティング装置。
【請求項２】
ノズルをウェーハの辺部から中心部に移動しながらフォトレジストを噴射させ、前記移動時間の間、前記ウェーハの回転速度を増速させてウェーハ上にフォトレジストをコーティングするとともに、前記ノズルが前記ウェーハの辺部から中心部に移動する際、該ウェーハの辺部から中心部の方向に遠心力と表面張力を考慮して平面的な区間を区分し、この各区間毎に前記モータの回転速度を非線形的に段階的に増加するとともに、前記ウェーハの中心部の均一度を向上させるため、前記ウェーハの中心部で噴射する前記ノズルの噴射時間を延ばすことにより、所望の水準の均一度でフォトレジストのコーティングを行うことを特徴とするフォトレジストコーティング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフォトレジストコーティング装置及び方法、より詳細にはコーティングで消費するフォトレジストの量を少なくすることが可能なフォトレジストコーティング装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウェーハを所定の電子的動作を行う半導体装置に製造する加工工程として、通常、フォトレジストを利用する工程が必須不可欠である。フォトレジストはエッチングやイオン注入工程などでマスキング膜質で利用される。
【０００３】
フォトレジストのコーティングは回転コータ（Ｓｐｉｎ  Ｃｏａｔｅｒ）によって行われる。この回転コータは、フォトレジスト供給源からフォトレジストが供給されるポンピング部と、ポンピング供給されるフォトレジストを噴射コーティングするコーティング部とに区分される。
【０００４】
ポンピング部はフォトレジストのポンピングを窒素加圧方式で行う。また、コーティング部は、概ね図２のように、回転チャク１０上で定速で回転されるウェーハ１２の上部の所定位置に固定されたノズル１４を通してフォトレジストを噴射することでコーティングを行う。このとき、噴射コーティングされるフォトレジストの厚さは回転速度で調節される。
図２において、ウェーハ１２  の上面中央に噴射されるフォトレジストは回転面の辺の方に広がりながらコーティングされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながらこのような従来技術では、ウェーハ上にフォトレジストを噴射して全面をコーティングするためには、フォトレジスト一枚当たり７ｃｃ〜９ｃｃ程度必要となる。したがって、実際にウェーハ上にコーティングされる量（１ｃｃ以下）に比べて非常に多い量が必要となるという問題点があった。
【０００６】
すなわち、従来技術では、ウェーハにフォトレジストの膜質をコーティングするために噴射される量の中のうち、多くのフォトレジストの量が実際にコーティングされることなく浪費されることになる。したがって、経済的に多くの負担が発生するとともに、浪費される多くの量のフォトレジストは後処理工程において二次的な環境汚染をも発生させる要因となるという問題点もあった。
【０００７】
したがって、このような経済的な負担と環境汚染の問題点を満足する、より少量のフォトレジストによりウェーハに十分なコーティング膜質を形成可能なフォトレジストコーティング装置の開発が希求されている。
【０００８】
本発明はこのような従来技術の課題を解決し、フォトレジストを噴射するノズルを移動させるとともに回転チャックの回転速度を加変することで、少量のフォトレジストでもウェーハ上に十分なコーティング膜質を形成可能なフォトレジストコーティング装置及び方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述の課題を解決するために、ノズルを通してフォトレジストを噴射し、回転チャック上で回転されるウェーハにフォトレジストをコーティングするフォトレジストコーティング装置であって、ノズルをウェーハの辺部から中心部方向に移動させてコーティングを行うノズル駆動手段と、ノズルの位置毎に回転速度が異なるように回転チャックを回転させるモータと、ノズル駆動手段によってウェーハの辺部から中心部に移動されるノズルの位置を確認し、モータの回転速度をこのノズルの位置に応じて段階的に増速させる制御手段とを備え、制御手段は、ノズルがウェーハの辺部から中心部に移動する際にウェーハの辺部から中心部の方向に遠心力と表面張力を考慮して平面的な区間を区分し、この各区間毎にモータの回転速度を非線形的に段階的に増加するように制御するとともに、該制御手段は、ウェーハの中心部の均一度を向上させるために、ウェーハの中心部で噴射するノズルの噴射時間を延ばすことにより、所望の水準の均一度でフォトレジストのコーティングを行う。
【００１１】
本発明によるフォトレジストコーティング方法は、ノズルをウェーハの辺部から中心部に移動しながらフォトレジストを噴射させ、移動の間、ウェーハの回転速度を増速させてウェーハ上にフォトレジストをコーティングするとともに、ノズルがウェーハの辺部から中心部に移動する際、該ウェーハの辺部から中心部の方向に遠心力と表面張力を考慮して平面的な区間を区分し、この各区間毎にモータの回転速度を非線形的に段階的に増加するとともに、ウェーハの中心部の均一度を向上させるため、ウェーハの中心部で噴射するノズルの噴射時間を延ばすことにより、所望の水準の均一度でフォトレジストのコーティングを行う。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に添付図面を参照して本発明によるフォトレジストコーティング装置及び方法の実施の形態を詳細に説明する。
図１を参照すると本発明によるフォトレジストコーティング装置の実施の形態を示す構成図が示されている。本実施の形態によるフォトレジストコーティング装置は、図１に示すように、モータ２０と、このモータ２０から回転力を与えられる回転チャック２２と、この上部に配設されるノズル２６とにより構成されている。回転チャック２２はウェーハ２４をチャッキング（固定）し、ノズル２６はウェーハ２４の辺部から中心部に向けて移動する。
【００１３】
回転チャック２２の回転速度は、ノズル２６の位置、即ち噴射位置によって可変される。また、モータ２０は、現在の噴射地点と中心位置との距離に応じて予め設定された値によって回転速度を決定し、回転チャック２２に回転力を伝達する。即ち、ノズル２６が辺部に位置する時より中心部に位置する時に回転速度が増加するようにモータ２０から回転チャック２２に駆動力を伝達し、回転チャク２２の回転によってウェーハ２４を回転させる。
【００１４】
このとき、回転速度は製作者の意図によって、ウェーハ２４の辺部から中心部の方向にノズル２６の移動が進むほど、線形的または非線形的に増速されるように設計される。本発明による実施の形態では、図３に示すように、ウェーハを平面的にＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各区間に区分して区間毎にウェーハ２４の回転速度を非線形的に段階的に増速制御するように構成されている。
【００１５】
本発明による実施の形態では、このようにノズル２６を移動しながらウェーハの回転を変速させてフォトレジストのコーティングを行うことを実現する。このため、図４に示すような機能ブロックにより、モータ２０の駆動とノズル２６の移動を制御する。
【００１６】
具体的には、ノズル駆動部３０、モータ２０及びウェーハローディングメカニズム３４が制御部３６とインターフェイスされながら動作が行われるように構成されており、現在のノズル２６の位置を感知するためのノズル位置センシング部３８が制御部３６にセンシング信号を与えるように構成されている。
【００１７】
このように構成された本発明による実施の形態の動作について説明する。
ウェーハローディングメカニズム３４によって一枚ずつ移送され、回転チャック２２上に安置されたウェーハがチャッキングされる。制御部３６は、回転チャク２２上にウェーハ２４がチャッキングされると、モータ２０を初期定速で回転させながら、定速になるとノズル駆動部３０を制御して移動コーティングを開始する。
【００１８】
このとき、ノズル２６は初期の位置がウェーハ２４の辺部に位置しなければならない。また、ノズル位置センシング部３８から出力されるセンシング信号によって、ウェーハ２４に対するノズル２６の位置が制御部３６で感知される。
【００１９】
移動コーティングが始まると、ノズル２６はノズル駆動部３０によってウェーハの辺部（図３の区間Ａ）からウェーハの中心部（図３の区間Ｄ）の方向に移動される。また、現在移動中であるノズル２６の位置はノズル位置センシング部３８によって感知される。
【００２０】
ノズル位置センシング部３８はノズル２６の位置によるセンシング信号を制御部３６に出力する。制御部３６は、ウェーハの辺部から中心部に向かって移動されるノズル２６の現在位置に応じてモータ２０の回転速度を増速させる。これによって、回転チャク２２上にチャッキングされたウェーハ２４の回転速度は増加する。
【００２１】
もし、ウェーハ２４を定速で回転させながらフォトレジストの噴射をウェーハの辺部から中心部に移動すると、コーティングに必要なフォトレジストの量は減るが、ウェーハの辺部と中心部で回転速度と遠心力及び表面張力のような要素の力学的関係によってコーティングされる状態が変わってしまう。具体的には、中心部ではフォトレジストがコーティングされることなく玉のようにウェーハ表面を流れる現象が発生する。これにより、部分的にコーティングされないか不良コーティングされる現象が発生し、コーティングされるフォトレジストの均一度（Ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ）が低下してしまうという問題がでる。
【００２２】
このような問題は、モータ２０が回転チャック２２に回転力を可変して与えることで、図３の区間毎に遠心力及び表面張力のような要素などの力学的な関係を考慮してウェーハ２４の速度を増加させることで解決される。
【００２３】
即ち、フォトレジストがウェーハ２４に噴射される時、ノズル２６が辺部から中心部に移動される際に、遠心力とフォトレジストの表面張力を考慮して位置別に回転速度が増加されるので、フォトレジストがコーティングされなく流れる現象とコーティング不良が発生される現象が防止される。また、フォトレジストがコーティングされるための最適な速度にウェーハ２４が回転されるのでウェーハ２４の全面の均一度が向上する。
【００２４】
また、ウェーハの中心部の均一度をさらに向上させるため、ウェーハ２４の中心部に位置して噴射するノズル２６の噴射時間を０．  ２秒程度延ばすことで、所望の水準の均一度でフォトレジストのコーティングを行うことが可能となる。
【００２５】
そして、本発明による実施の形態を適用するとウェーハを一枚当たりコーティングするために消費されるフォトレジストの量は、約４ｃｃ以下に減らすことができるので、従来のフォトレジストの消費量の半分以下に節約できる。
【００２６】
従って、消費量が減る分、経済的な負担が軽減され、またそれに比例して二次的に発生する環境問題も減るという効果がある。
【００２７】
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明したが、本発明は特に上記の実施の形態に限定されるものでは無く、本発明の技術的思想の範囲内における当業者による多様な変形または修正は本発明の範疇に含まれる。すなわち、本発明の技術的限定は特許請求の範囲に属する。
【００２８】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように本発明によれば、フォトレジストをウェーハ上にコーティングするときに消費するフォトレジストの量を半分以下に減らすことができるので、経済的な負担が軽減し、また環境汚染問題も激減するという効果がある。また、ウェーハ上にコーティングされるフォトレジストの均一度もある程度従来に比べ向上する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるフォトレジストコーティング装置の実施の形態を示す構成図。
【図２】従来技術におけるフォトレジストコーティング装置の構成図。
【図３】ウェーハのコーティング面において、フォトレジスト噴射時の区間毎に回転速度が異なることを示す説明図。
【図４】本発明によるフォトレジストコーティング装置の実施の形態を示す機能ブロック図。
【符号の説明】
１０，  ２２    回転チャック
１２，  ２４    ウェーハ
１４，  ２６    ノズル
２０        モータ
３０        ノズル駆動部
３４        ウェーハローディングメカニズム
３６        制御部
３８        ノズル位置センシング部
【図１】
0003613586.tif 000002
【図２】
0003613586.tif 000003
【図３】
0003613586.tif 000004
【図４】
0003613586.tif 000005