(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
略水平方向に移動自在なトーチ(4)により、テーブル(3)上に載置されたワーク(2)を上方から熱切断する熱切断加工機(1)において、
前記テーブル(3)の内部に、仕切り板(7)により前記テーブル(3)の一辺と平行に仕切ることにより並設された複数の排気室(20)と、
各排気室(20)の排気方向の一端側に設けられた排気口(23)と、
排気口(23)に直接または排気ダクト(24c)を介して連通し、各排気室(20)の排気を行う排気手段(25)と、
前記各排気口(23)、または各排気室(20)から排気手段(25)への個別排気経路をそれぞれ開閉する開閉駆動手段(24b)と、
前記各排気室(20)の前記排気口(23)と略対向する位置に各排気室(20)ごとにそれぞれ設けられ、プッシュエアーを送風するファンまたはブロアと、
前記各開閉駆動手段(24b)および前記ファンまたはブロアを、切断加工中の前記トーチ(4)の位置に対応して同期制御または単独制御する制御手段(6)とを備えた
ことを特徴とする熱切断加工機。
【請求項２】
請求項１記載の熱切断加工機において、
前記ファンまたはブロアの排気室(20)側に整流板(26)を備えた
ことを特徴とする熱切断加工機。
【請求項３】
請求項１記載の熱切断加工機において、
前記ファンまたはブロアからのプッシュエアーは前記各排気室(20)の外側に設けられたそれぞれの送風室(22c)を経由して排気室(20)に送風される
ことを特徴とする熱切断加工機。
【請求項４】
請求項３記載の熱切断加工機において、
前記排気室(20)と前記送風室(22c)の間に整流板(26)を備えた
ことを特徴とする熱切断加工機。
【請求項５】
請求項１記載の熱切断加工機において、
前記排気口(23)はトーチ(4)の移動原点側に設けた
ことを特徴とする熱切断加工機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集塵装置を備えた熱切断加工機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、金属板材（以後、ワークと称する）をプラズマアークまたはレーザ光などにより熱切断する際、被切断材の裏面からヒュームや高圧ガス（以後、排煙と称する）が発生し、工場内の作業環境を悪化することから、この排煙を効率良く集塵する種々の技術が開発されてきている。
【０００３】
例えば、実開昭５１−４２８４１号公報には、切断テーブルを小部屋に区切り、それぞれの小部屋に開閉自在な弁機構を有し、主排気管を介して粉塵を濾し取る集塵装置に連通させた枝排気管と、切断中のプラズマトーチの位置に対応してプラズマトーチが切断を行っている小部屋の枝排気管のみを開く手段とを設けた構成が開示されている。そしてこの構成により、プラズマ切断で排煙が発生している小部屋のみを集中的に効率よく集塵できるとしている。
【０００４】
また、特公昭５２−３２３４３号公報には、切断テーブルを小部屋に区切り、切断中のプラズマトーチの位置を検出するリミットスイッチを備え、この検出信号によって、プラズマトーチが切断を行っている小部屋のダンパのみを開く技術が記載されている。上記構成により、プラズマ切断で排煙が発生している小部屋のみを集中的に効率良く集塵できるとしている。
【０００５】
また、特公昭６０−４３２３１号公報には、プラズマトーチを搭載したキャリッジの移動方向に対し直角方向に仕切られて設けられた切断テーブル内の煙道と、該キャリッジに載置し、切断テーブルの前記煙道にそれぞれ対面させた、一対の吸引フードおよび噴出フードと、キャリッジ上に搭載した集塵機とを設けた比較的大型のプラズマ切断機の技術が記載されている。
この構成によると、キャリッジに設けられた吸引フードがトーチと一緒に移動するので、従来の小部屋毎に必要であったダンパが不要となり構造が簡素で低コストである。また、噴出フードから吸引フードに向かう気流により強制循環させ集塵効率が向上する、などの効果があるとしている。
【０００６】
また、実開平２−８７５９１号公報には、レーザ加工時に発生するヒューム、燃焼ガス等を挟む位置に一対の吸気装置と排気装置とを設け、一方の吸気装置でヒューム、燃焼ガス等を他方の排気装置へ送風し、他方の排気装置はこれをレーザ加工機外に排出する技術が開示され、この構成により排気効率が向上するとしている。
【０００７】
また一方、実開平５−９７６０号公報には、図６に示すように、プラズマトーチ３１の下方に排煙シュータ３２を備えてなるプラズマ加工機において、該シュータ３２の上縁に送風管３３を配設し、該送風管３３には、該送風管内の空気を該シュータ３２内へ吐出してワーク３４の外縁と該シュータ３２の開口内縁との隙間にエアカーテンを形成する複数個の吐出孔３５を備える構成とし、これにより切断または溶接などのプラズマ加工時に発生する排煙を高効率で吸入して集塵できるとした、プラズマ加工機の集塵装置が開示されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の集塵装置においては、以下のような課題を有している。
（１）実開昭５１−４２８４１号公報および特公昭５２−３２３４３号公報に記載の第１および第２の従来技術においては、これらは何れも排煙を、テーブル内の排気室から吸引排気するのみの方式であるので、排気効率が悪い。特に、プラズマ切断で発生するヒュームは、μｍオーダの酸化鉄の微粉末が、高温ガスに浮遊したもので、その比重が常温の空気よりも軽い為、空気中を上昇する。従って、排気口に近い位置で切断が行われた場合は、ヒュームは直ちに排気口に吸い込まれるので問題は無いが、排気口から遠い場合には、先に従来例として記載した実開平５−９７６０号公報でも問題になっている通り、ヒュームはワークの裏面に沿って広がり、ワークの縁に沿って、ワークとテーブルの間から漏れ出てくるという問題がある。また、ワークの大きさは必ずしも、テーブルと同じ大きさのものばかりではなく、テーブルに対して小さいワークもあるので、その場合には、隙間が大きくなり集塵効率は低下し、漏れ出てくるヒュームの量も多くなるという不具合が生じることになる。
【０００９】
（２）特公昭６０−４３２３１号公報に記載の第３の従来技術においては、集塵装置と噴出フードと吸引フードとを、本来プラズマトーチ移動用に設けた、キャリッジに装備するため、そのキャリッジは大きい必要があり、ガントリータイプと呼ばれる大型のプラズマ切断機（例えばその加工エリアが３ｍ×１２ｍサイズのテーブル）においてのみにしかその実績がない。
しかし、一般的に量販されている比較的小型のプラズマ切断機（例えばその加工エリアが１.５ｍ×３ｍサイズのテーブル）では、そのキャリッジに集塵装置や噴出フードや吸引フードを設けることはスペース的に困難であり、現在のところ実用化の例は見当たらない。
また、この従来技術では、煙道で発生したヒュームを含む排気を、集塵機により清浄化し、直接、集塵機からプッシュエアー（テーブル内の煙道へエアーを送り込む）として使用している。この方法は、プッシュエアー用の機器を必要としないのでシンプルな方法ではあるが、問題点としては、プラズマ切断における排ガスは温度が高く、それをプッシュエアーとして使用すると、比重が軽いことによる上昇気流が発生し、プッシュエアーを排気口に向けて吹き出しても、ヒュームが上に出てしまうことからその回収効率が悪い点があげられる。
さらに、移動するキャリッジに、噴出フードや吸引フードを設けている為、キャリッジを高速で送るような切断を行うと、テーブルの区画内にヒュームが残っているような状況で、噴出フードや吸引フードが次の区画に移ることとなり、その残ったヒュームが機外へ漏れ出てくる不具合が発生する。
【００１０】
（３）実開平２−８７５９１号公報に記載の第４の従来技術においては、レーザ加工機において、排煙を送風装置で排気室へ押し込み、この排煙を排気装置で吸引排気する方式（以後プッシュプル方式と称する）の技術を開示してはいるものの、切断テーブルが分割されていず、複数の排気室に分かれていないため、切断テーブル全体を排気する必要があり、吸引力の強い大型の集塵装置を要する。
また本技術では、複数の排気室に分かれていないので、排気室は必然的に大きくなり、向かい合う送風口および排気口と、それらの間における排気室との間で断面積が急激に変化し、排気室内で排気の気流に乱れが生じて渦や淀みができることになる。従って、良好な集塵効果は得られない。
【００１１】
（４）実開平５−９７６０号公報に記載の第５の従来技術においては、プッシュエアー（エアカーテン）がワークの周囲近傍に設けた送風口から中央に吹き出して、ヒュームを巻き込みながら、ワークの中央で下降気流となって、排気口に吸い込まれる構成になっている。この様に複雑な気流の流れにより、切断テーブル内に渦や淀みができて、集塵効率は良いとは言えない。
また、テーブルに対して小さいワークを切断加工する場合、テーブルと送風口との隙間は大きくなり、集塵効率が低下し、この隙間から漏れ出てくるヒュームの量が多くなるといった問題も生じる。
【００１２】
本発明は、上記の問題点に着目してなされ、小型のテーブルタイプの熱切断機においても適用可能で、熱切断の際に発生する排煙を効率良く換気し、工場内の作業環境を良好に保つことのできる熱切断加工機を提供することを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
上記の目的を達成するために、第１発明による熱切断加工機は、略水平方向に移動自在なトーチにより、テーブル上に載置されたワークを上方から熱切断する熱切断加工機において、前記テーブルの内部に、仕切り板により前記テーブルの一辺と平行に仕切ることにより並設された複数の排気室と、各排気室の排気方向の一端側に設けられた排気口と、排気口に直接または排気ダクトを介して連通し、各排気室の排気を行う排気手段と、前記各排気口、または各排気室から排気手段への個別排気経路をそれぞれ開閉する開閉駆動手段と、前記各排気室の前記排気口と略対向する位置に各排気室ごとにそれぞれ設けられ、プッシュエアーを送風するファンまたはブロアと、前記各開閉駆動手段および前記ファンまたはブロアを、切断加工中の前記トーチの位置に対応して同期制御または単独制御する制御手段とを備えたことを特徴とするものである。
【００１４】
第１発明によると、切断中にワーク裏面側に発生する排煙は、テーブルの内部に互いに仕切って設けた複数の排気室のうち、トーチ位置に対応した排気室のみに入るが、そのトーチ位置に対応した排気室の送風および排気を、排気方向に互いに対向して設けた排気口とファンまたはブロアとにより行うようにした。このとき、各排気室ごとに設けられるファンまたはブロアと、各排気口から排気手段までの間で個別に設けた排気経路をそれぞれ開閉する開閉駆動手段とをトーチの水平位置に基づいて同期または単独制御している。これにより、熱切断中にトーチの位置のワーク下部より排煙を発生している排気室のその排煙を、該排気室内においてファンまたはブロアから送風されたプッシュエアーの流れに乗せて排気口側に送り、渦や淀みなどの気流の乱れを起こすことなく、極めて効率良く、排気手段で吸引排気することができる。したがって、所謂理想的なプッシュプル換気が行われるので、排煙の機外への漏れを激減できる。
【００１５】
第２発明は、第１発明において、前記ファンまたはブロアの排気室側に整流板を備えたことを特徴としている。
【００１６】
第２発明によると、ファンまたはブロアからのプッシュエアーを整流板により一様な流れにして排気室内に送風することができる。
【００１７】
第３発明は、第１発明において、前記ファンまたはブロアからのプッシュエアーは前記各排気室の外側に設けられたそれぞれの送風室を経由して排気室に送風されることを特徴としている。
【００１８】
第３発明によると、ファンまたはブロアからのプッシュエアーが１つの排気室にのみ送風され、排煙を排気している排気室にのみ送風するようにファンまたはブロアをタイミング良く作動させることができるので、理想的なプッシュプル換気が行われ、短時間で確実に換気でき、換気効率を向上できる。また、ファンまたはブロアを必要時にタイミング良く作動させることにより、排気口が閉じているか、または排気手段が作動していない時に該排気室内に送風し、排気室底に堆積した排煙を巻き上げて機外へ漏出させてしまう、などの不具合も生じない。
【００１９】
第４発明は、第３発明において、前記排気室と前記送風室の間に整流板を備えたことを特徴としている。
【００２０】
第４発明によると、ファンまたはブロアからのプッシュエアーを整流板により一様な流れにして排気室内に送風することができる。
【００２１】
第５発明は、第１発明において、前記排気口はトーチの移動原点側に設けたことを特徴としている。
【００２２】
前述したように、高温ガスに浮遊した排煙は、その比重が軽いため上昇する。従って、排気口に近い位置で切断が行われた場合は、排煙は直ちに排気口に吸い込まれるが、ワークが小さく排気室の上面を覆いきれない場合、排気口から遠くにある排煙はワークの裏面に沿って広がり、ワークとテーブルの間から漏れ出てくる傾向がある。そこで、第５発明によると、排気口をトーチの移動原点側に設ける構成としたので、テーブルに対して小さいワークの場合においても、ワークはテーブルの機械原点側に載置されることが多く、このため排気口側の排気室上面をワークで覆うことになり、ワークとテーブル上縁の隙間を殆ど皆無にできるので、集塵効率は格段に良くなり、漏れ出てくる排煙の量を激減できる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図面１〜図５を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００２４】
図１に、本発明に係る熱切断加工機の例としてプラズマ加工機の斜視図を示す。
本プラズマ加工機１は、ワーク２を支持するとともに、作業環境を清潔に保つために切断中にワーク２の裏面から発生する排煙を捕集するテーブル３と、テーブル３上にあって、Ｘ軸方向に走行自在とされ、かつＹ軸方向に走行自在とされたＹ軸キャリッジ５と、Ｙ軸キャリッジ５上にあって、プラズマアークを噴射するトーチ４を保持し、これをワーク２に対して垂直方向であるＺ軸方向に移動自在とし、切断中に、トーチ４とワーク２の間の距離（スタンドオフと称する）を切断に適した所定高さに保つ機能を有し、Ｙ軸方向に走行自在とするＺ軸台車９とを備えている。それぞれのＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸には、制御手段６としてのＮＣコントローラによって制御され、かつ所定の動きをするＸ軸サーボモータ１０ａ、Ｙ軸サーボモータ１０ｂ、Ｚ軸サーボモータ１０ｃをそれぞれ装備しており、制御手段６はワーク２を予め決められた形状に切断するように、このサーボモータ１０ａ，１０ｂを制御してトーチ４をＸＹ平面上で移動させて、形状切断を行う。また、Ｚ軸方向については、ワーク２が切断中に熱変形して反った場合でも、スタンドオフをアーク電圧により検出し、トーチ４とワーク２間のスタンドオフを適正な一定値に保つようにＺ軸サーボモータ１０ｃを制御することにより、良好な切断を実現する。
【００２５】
図２は本発明に係る熱切断加工機の平面断面図で、図４におけるＢ−Ｂ矢視図であり、図３は本発明に係る熱切断加工機の側面図であり、図４は本発明に係る熱切断加工機の背面図で、一部（図２におけるＡ−Ａ）断面図である。
図２〜４において、テーブル３は上部にワーク２を載置するワーク支持板８を備えており、ワーク支持板８の下方に位置するテーブル３内空間は、テーブル３の一辺（本例では、テーブル３の短辺）と平行に設けた仕切り板７によって、複数の小区画の排気室２０に区切られている。それぞれの排気室２０には、トーチ４を挟んで互いに対向する位置に、排煙を吸引するための排気口２３と、この排気口２３に向けて気流（プッシュエアー）を送風する送風口２１とを設ける。それぞれの排気室２０の排気口２３は、テーブル３の一側面に配設した一つの排気ダクト２４ｃに連通しており、排気ダクト２４ｃはヒュームを含む排煙をフィルター（図示せず）で濾し取り清浄化する集塵機（排気手段）２５に接続されている。
【００２６】
排気口２３には、その出口側に、開閉駆動手段２４ｂ（本例ではエアシリンダ）によって駆動する開閉手段２４ａを設けており、図４に示したように、開閉駆動手段２４ｂを伸縮させることにより、開閉手段２４ａは排気口２３を開閉する。
【００２７】
また各排気室２０の送風口２１の外側には、それぞれカバー２２ｂにより覆われた送風室２２ｃを形成し、それぞれのカバー２２ｂには、外気を取り込みプッシュエアーを送風室２２ｃに送風する電動ファン２２ａを取り付けている。
また、プラズマ切断機１においては、発明者らが実施したテストによると、プッシュプル集塵を有効に行うためには、先行特許（実開平５−９７６０号公報）に記載されたようなカーテン状のプッシュエアーではなく、図５に示すように、排気室２０の横断面に亘って広く一様にプッシュエアーを流した方が有効であることが判った。またその結果により、電動ファン２２ａの下流側で、かつ前記送風室２２ｃと排気室２０の間には、プッシュエアーを一様な流れとして排気室２０に送風するための整流板２６を設けるのが望ましいことも判明した。なお、図５では整流板２６はルーバであるが、他の形状として、メッシュやパンチングメタルのようなものでも整流板として有効である。
これらの電動ファン２２ａ、カバー２２ｂ、送風室２２ｃおよび整流板２６等で送風手段２２を構成している。
【００２８】
次に、作動を説明する。
それぞれの排気室２０の電動ファン２２ａと開閉駆動手段２４ｂは、トーチ４の移動に合わせて連動するように制御されている。制御手段６はトーチ４（Ｙ軸キャリッジ５）のＸ軸方向の位置をＸ軸サーボモータ１０ａに装着されているＸ軸位置センサ（図示せず）から入力し、入力したＸ軸位置に基づき、これに対応した室別駆動信号を出力し、この駆動信号によって、トーチ４のＸ軸方向移動に合わせて電動ファン２２ａと開閉駆動手段２４ｂを連動させている。
なお、電動ファン２２ａと開閉駆動手段２４ｂを連動させる他の制御としては、Ｙ軸キャリッジ５のＸ軸方向移動にあわせてリミットスイッチを踏むことによって機械的にトーチ４の位置を検出し、この位置に基づき制御してもよい。
【００２９】
また、トーチ４の移動と、電動ファン２２ａ及び開閉駆動手段２４ｂとの連動のタイミングとしては、切断中のトーチ４が位置する排気室２０の電動ファン２２ａと開閉駆動手段２４ｂを有効とする（すなわち電動ファン２２ａをオンし、開閉駆動手段２４ｂを開作動する）のに合わせて、その排気室２０に隣接し、かつ直前にトーチ４が通過していた排気室２０の電動ファン２２ａと開閉駆動手段２４ｂ（直前まで有効であった電動ファン２２ａと開閉駆動手段２４ｂ）については、トーチ４が該排気室２０を通過すると同時に無効にする（電動ファン２２ａを停止し、開閉駆動手段２４ｂを閉作動する）のではなく、所定時間遅れて無効にするようにした方がよい。これは、トーチ４が通過した後も、排煙が排気室２０に残っており、それを完全に排気する為である。なお、上記所定時間の目安としては、プッシュエアーの風速値で送風口２１と排気口２３の間の距離を除して求めた時間、つまり送風口２１を出たプッシュエアーが排気口２３に達する時間程度に設定するのが好ましい。
【００３０】
また、プッシュエアーを、開閉駆動手段２４ｂが開いている、または排気手段２５が排気している排気室２０のみに供給する制御が望ましい。何故なら、排気動作をしていない排気室２０でプッシュエアーを供給すると、排気室２０内の粉塵を巻き上げ、機外へ粉塵を吹き出す恐れがあるからである。
なお、プッシュエアーによる粉塵の巻き上げが多くなく、かつプッシュエアー量が少ない場合には、プッシュエアーの送風の制御を個別に行わず、全ての送風を一括で行ってもよい。そうすることにより、送風手段の個別制御が不要になり、コストを下げることができる。
【００３１】
さらに、上記の実施例ではそれぞれの排気室２０毎に電動ファン２２ａを設けたが、プッシュエアーとしては、大型のファンあるいはブロアを１個設け、これから各送風口２１に個別に設けた図示しない送風ダクトや配管によりプッシュエアーを分配するように構成してもよい。このとき、各送風口２１、または上記個別の送風ダクトや配管に、開閉駆動手段２４ｂと同期および／または単独で制御して送風およびその停止を行う送風開閉手段を設けた方が好ましい。この送風開閉手段を開閉することにより、１個の大型のファンあるいはブロアで、各送風口２１を経由して１つの排気室(20)にのみ送風可能となる。
【００３２】
また、本発明では送風口２１と排気口２３の配置は、テーブル３の原点（トーチ４の移動原点位置で、図１、図２、図４に示した配置）に近い側を排気口２３に定めている。この理由を、以下に説明する。
通常、プラズマ切断機１では、テーブル３の全面に対応した、大きなワーク２を置くだけでなく、テーブル３よりも小さなワーク２を切断することが多々ある。このような場合、ワーク２はテーブル３の原点側に置かれることが普通で、その際には、反原点側に、テーブル３の上縁とワーク２の隙間が生じる、言い換えれば排気室２０の上部に大きな開口部ができることになる。
しかしながら、本発明の実施例では反原点側に送風口２１を配置し、原点側に排気口２３を配置したので、上記開口部より排煙が漏れ出ることが無く、極めて効率良く集塵できる。
【００３３】
以上説明したように、本発明により以下のような効果を奏する。
（１）本願発明は、熱切断加工機において、テーブルの内部に複数の排気室を設け、その各排気室にそれぞれ排気方向に対向して、排気手段に連通している排気口と、送風手段に連通している送風口とを設け、各排気口の開閉駆動手段および各送風手段を切断中のトーチの位置に基づいて同期および／または単独（両手段個別に）制御する制御手段とを備えた構成とした。よって、熱切断時に、切断中のトーチが位置し、ワークの下部より排煙を発生している排気室内の排煙を、送風手段で排気口側へ押し込み（プッシュ）、かつ排気口側から開閉駆動手段を介して排気手段で吸い込む（プル）ことができ、渦や淀みなどの気流の乱れを起こすことなく極めて効率良く排気する、所謂理想的なプッシュプル換気が行われるので、排煙の機外への漏れを激減できる。
また、換気効率が良い為、集塵機（排気手段）の小型化が可能となる。
（２）送風手段として各送風口に個別に電動ファンを設けたので、排煙を発生している排気室のみに対応して電動ファンをタイミング良く稼動させて送風することができ、理想的な効率の良いプッシュプル換気が行われる。
また、電動ファンを必要時にタイミング良く稼動させることにより、開閉手段が閉じて排気口が閉じているか、または排気手段が作動していない時に排気室内に送風し、排気室底に堆積した排煙を巻き上げて機外へ漏出させてしまう、などの不具合も生じない。
（３）排気口をトーチ移動の機械原点側に設ける構成としたので、テーブルに対して小さいワークの場合においても、機械原点側、即ち、排気口側の排気室の上面をワークで覆うことになり、排気口近傍のワークとテーブル上縁との隙間を殆ど皆無にできるので、集塵効率は格段に良くなり、漏れ出てくる排煙の量を激減できる。
【００３４】
（４）切断加工中のトーチが通過した後の排気室に対しても、制御手段から所定の信号を得るまでの所定時間のあいだ、該排気室の送風および排気を継続するので、高速切断時のトーチ移動、または切断完了後の高速トーチ移動など排気室に排煙の残り易い場合においても、その排気室に残存する排煙を完全に排気し、結果的にはテーブル内全体の排煙の排気を完全に行うことができる絶大な効果が得られる。
（５）トーチキャリッジに噴出フードや吸引フード、集塵機（排気手段）等を設ける必要がないので、小型のテーブルを有する熱切断加工機にも適用できる。（６）電動ファン等の送風手段からのエアを一旦送風室２２ｃに溜め、この送風室２２ｃから整流板２６によりさらに整流して排気室２０に送風するので、排気室２０内には横断面に亘って広く一様にプッシュエアーを流すことができ、確実に排煙を排気口まで押し込むことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る熱切断加工機の斜視図である。
【図２】本発明に係る熱切断加工機の平面図（図４におけるＢ−Ｂ矢視図）である。
【図３】本発明に係る熱切断加工機の側面図である。
【図４】本発明に係る熱切断加工機の背面図、一部（図２におけるＡ−Ａ）断面図である。
【図５】本発明に係る熱切断加工機のプッシュプル集塵システム概要の説明図である。
【図６】従来技術であるプラズマ加工機の排煙シュータの要部断面図である。
【符号の説明】
１…熱切断加工機、２…ワーク、３…テーブル、４…トーチ、５…Ｙ軸キャリッジ、６…制御手段、７…仕切り版、８…ワーク支持板、９…Ｚ軸台車、１０ａ…Ｘ軸サーボモータ、１０ｂ…Ｙ軸サーボモータ、１０ｃ…Ｚ軸サーボモータ、２０…排気室、２１…送風口、２２…送風手段、２２ａ…電動ファン、２２ｂ…カバー、２３…排気口、２４ａ…開閉手段、２４ｂ…開閉駆動手段（エアシリンダ）、２４ｃ…排気ダクト、２５…集塵機（排気手段）、２６…整流板。
【図１】
0003678693.tif 000002
【図２】
0003678693.tif 000003
【図３】
0003678693.tif 000004
【図４】
0003678693.tif 000005
【図５】
0003678693.tif 000006
【図６】
0003678693.tif 000007