(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ複数個の素子を配列してなるラインフォーカス型超音波送信プローブとラインフォーカス型超音波受信プローブとを被検査板を挟んで対向配置し、上記送信プローブの各素子から送信され上記被検査板内を通過した超音波信号をそれぞれ対向する受信プローブの素子で受信し、上記受信した超音波信号のうち、上記被検査板を０．５往復して透過した一次透過波信号の受信と上記被検査板を１．５往復して透過した二次透過波信号の受信との間で内部欠陥からの反射波信号が受信される超音波ラインセンサに対する、上記対向する送信プローブと受信プローブの間のアライメントずれを検出する方法において、
上記受信プローブの少なくとも一つの素子で受信した、一次透過波信号と二次透過波信号の振幅比に基づき、上記素子の配列方向に直交する方向へのアライメントずれを検出することを特徴とする超音波ラインセンサのアライメントずれ検出方法。
【請求項２】
上記対向する送信プローブ及び受信プローブにおける、上記素子の配列方向に離れた２箇所での各超音波信号の受信時刻又は伝搬時間の差に基づき、上記対向する送信プローブと受信プローブとの間の平行度のずれを検出することを特徴とする請求項１に記載した超音波ラインセンサのアライメントずれ検出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば超音波探傷に使用される超音波ラインセンサ、特に鋼板などの圧延金属板中の介在物の検出を、全幅など所定の幅を一度に実施可能な超音波ラインセンサについてのアライメントずれ検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本発明が対象とするような超音波ラインセンサは、例えば特開平０７−２５３４１４号公報や特開平１１−８３８１５号公報などに記載されているような構成となっている。
すなわち、鋼板を挟んでラインフォーカス型超音波送信プローブとラインフォーカス型超音波受信プローブとを対向配置し、送信プローブから超音波ビームを鋼板に向けてほぼ垂直に送信し、鋼板に入射して受信プローブ側に透過した透過波と、該入射波によって生起された内部欠陥からの反射波と、を受信プローブで受信し、その受信した透過波及び反射波から内部欠陥を検出するものである。
【０００３】
ここで、上記透過波については、図１１に示すように、鋼板３内を０．５往復して受信プローブ側素子に到達する一次透過波Ｔ１と、鋼板３を１．５往復して受信プローブ側素子に到達する二次透過波Ｔ２とがあり、この２つの透過波Ｔ１及びＴ２の受信間に、図１２に示すように、上記内部欠陥からの反射波Ｆ１，Ｆ２が受信プローブ側素子で受信されることで、内部欠陥からの反射波Ｆ１，Ｆ２が検出可能となる。
【０００４】
また、鋼板３の全幅について、当該鋼板３に含まれる微小な介在物の探傷を一度に行うときには、例えば、鋼板３を挟んで対向配置するラインフォーカス型の送受プローブの組を、板幅方向に且つ板幅以上の長さだけ複数組配置することで超音波探傷装置を構成する。上記複数の送信プローブ及び受信プローブは、たとえば、それぞれ板幅方向に沿って平行に延びる送信用枠体若しくは受信用枠体に取り付けられる。
【０００５】
このとき、複数チャンネルの受信波形を安定させてゲート範囲を広げ、表面不感帯を出来る限り狭くして探傷するためには、対向する送受信プローブのアライメント調整が重要となる。
従来のアライメント調整としては、例えば、各プローブにおける超音波ビームの焦点が均一となるように各プローブのケースを加工し、プローブのケースが平行に、かつ、いずれの方向にもオフセットしないで対向するように、各枠体に調整して取り付けることが考えられる。すなわち、各部品の加工精度及び機械的な取付け精度を向上させることで、対向する送信プローブとの受信プローブとの間のオフセット及び平行度を所定のアライメント精度以上に設定している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記アライメントの精度は、プローブのケースの加工精度、枠体のプローブ取付け座の精度、機械的な取付け精度などの機械的な精度に依存してしまうため、対向する送受信プローブ間のオフセット量や平行度が、許容されるアライメント精度を越えるおそれがある。
【０００７】
これに対処するために、各加工精度等を上げることも考えられるが、加工コスト的に不利になるばかりか、このような機械的な調整ではアライメント精度の向上にも限度がある。
ここに、対応する送受信プローブ間が許容以上にオフセットしていたり平行度が悪い場合には、検出感度が小さくなりすぎたり、１つのプローブの組における複数個のチャンネルの感度が均一にならずに受信波形に乱れ等を生じさせる。このため、ゲート範囲を広げることができずに表面の不感帯が増大し、微小な介在物を検出する際の阻害要因を増大させてしまう。
【０００８】
また、プローブ設置時にアライメントが精度良く取付けられた場合であっても、使用時の振動などによって、許容されるアライメント精度以上に対向する送受信プローブ間がオフセットしてしまうことも想定される。これを防止するためには、保守間隔を短くする必要があるが、このことは探傷作業能率の低下に繋がる。
【０００９】
また、従来にあっては、アライメントずれが自動検出されないので、各送受信プローブのアライメントずれの有無の検査を手動で全て行う必要があり、手間が掛かる。
本発明は、上記のような問題点に着目してなされたもので、超音波センサのアライメントずれを簡単かつ自動で検出可能な、アライメントずれ検出方法を提供することを課題としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のうち請求項１に記載した発明は、それぞれ複数個の素子を配列してなるラインフォーカス型超音波送信プローブとラインフォーカス型超音波受信プローブとを被検査板を挟んで対向配置し、上記送信プローブの各素子から送信され上記被検査板内を通過した超音波信号をそれぞれ対向する受信プローブの素子で受信し、上記受信した超音波信号のうち、上記被検査板を０．５往復して透過した一次透過波信号の受信と上記被検査板を１．５往復して透過した二次透過波信号の受信との間で内部欠陥からの反射波信号が受信される超音波ラインセンサに対する、上記対向する送信プローブと受信プローブの間のアライメントずれを検出する方法において、
上記受信プローブの少なくとも一つの素子で受信した、一次透過波信号と二次透過波信号の振幅比に基づき、上記素子の配列方向に直交する方向へのアライメントずれを検出することを特徴とするものである。
【００１１】
次に、請求項２に記載した発明は、請求項１に記載した構成に対し、上記対向する送信プローブ及び受信プローブにおける、上記素子の配列方向に離れた２箇所での各超音波信号の受信時刻又は伝搬時間の差に基づき、上記対向する送信プローブと受信プローブとの間の平行度のずれを検出することを特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
超音波ラインセンサの基本構成は、上記特開平０７−２５３４１４号公報や特開平１１−８３８１５号公報などに開示されているものと同じであり、送信プローブ１と受信プローブ２とが、概念図である図１に示すように、被検査板である鋼帯３の通過路を挟んで上下に対向配置されている。上記各プローブ１，２は、ラインフォーカス型超音波プローブである一次元アレイ型プローブからそれぞれ構成される。符号４はラインフォーカスビーム（送信ビーム）を、符号５は受信ビームを示す。
【００１３】
ここで、上記対向するプローブ１，２は、例えば水槽内に配置されて水中で使用される。
上記各プローブ１，２は、それぞれ鋼帯３の板幅方向に１０個の素子が配列されて構成されることで、１０チャンネルを有する。
送信プローブ１の各素子は、それぞれ個別の電気パルス送信器６ａ〜６ｊに接続されて該電気パルス送信器６ａ〜６ｊから電気パルスが送信されるようになっている。その複数の電気パルス送信器６ａ〜６ｊは、同期信号発生器７に接続されて、当該同期信号発生器７からのクロックパルスを受け同期をとって電気パルスを送信可能となっている。
【００１４】
また、受信プローブ２の各素子は、それぞれ受信増幅器８ａ〜８ｊに接続され、各受信増幅器８ａ〜８ｊは、ゲート回路９ａ〜９ｊを通じてコンパレータ１０ａ〜１０ｊに接続されている。これによって、素子が受信した超音波信号（受信信号）が増幅され、さらにゲート回路９ａ〜９ｊによって、一次透過波と二次透過波との間で受信される所定の反射波が抽出され、続いてコンパレータ１０ａ〜１０ｊによって、所定レベル以上の反射波が入力されると欠陥検出信号を出力する構成となっている。
【００１５】
上記構成によって、送信プローブ１から超音波が送信され、鋼帯３を板厚方向に０．５往復して受信プローブ２に到達する一次透過波Ｔ１と鋼帯３を板厚方向に１．５往復して受信プローブ２に到達する二次透過波Ｔ２との間にあらわれる欠陥からの反射波が各チャンネルのゲート回路９ａ〜９ｊによってそれぞれ抽出され、所定レベル以上である場合には内部欠陥として検出されるようになっている。
【００１６】
上記のような構成の送受信プローブ１，２の組が、図２に示すように、鋼帯３の板幅方向に複数個配置され、配列した送信プローブ１及び受信プローブ２は、図３に示すように、コ字状の枠体１１に支持されている。すなわち、上記枠体１１は、鋼帯３を挟んで板幅方向に沿って水平に延びる上側アーム１１ａ及び下側アーム１１ｂが縦枠部１１ｃで一体に連結されて構成され、上記上側アーム１１ａに対し複数の送信プローブ１が取り付けられると共に、下側アーム１１ｂに対し複数の受信プローブ２が取り付けられる。
【００１７】
ここで、上記送信プローブ取付け構造は、アライメント調整可能な構造であって、上記送信プローブと受信プローブとの対向方向に平行な取付け面に対し、シムを介して取り付けられる構造であって、取付け面に直交する軸回りにプローブを回動変位させる平行度調整機構と、上記シムとして、金属板から接近・離脱する方向にテーパが付いたシムを使用し、該シムを金属板から接近・離脱する方向に変位させることで、取付け面からのプローブのオフセット量を変更するオフセット調整機構とを備える。
【００１８】
次に、各プローブ１，２の取付け及びその取付け構造について説明する。なお、本実施形態では、送信プローブ１側の取付け時に、アライメント微調整を行う実施形態であるため、当該送信プローブ１側の取付け構造を主に説明する。
先ず、受信プローブ２の取付けについて説明すると、鋼板３の板幅方向に延びると共に下側アーム上面から送信プローブ１側（鋼板３側）に向けて突出した平板状の取付け板を有し、該取付け板に受信プローブ２が千鳥状に取り付けられている。つまり、取付け板の両側面（取付け面）について交互に受信プローブ２が取り付けられている。このとき、出来るだけ受信プローブ２の各素子が鉛直上方を向くようにアライメント調整を行う。
【００１９】
その後に、送信プローブ１の取付けを行う。ここで、下面図である図４や鋼板３の板幅方向から見た図５に示すように、下側アーム１１ａの下面から下方（鋼板３側）に向けて取付け板２０が突出している。その取付け板２０は、鋼板３の板幅方向に延びる長方形形状の板材であって、その両側面２０ａ（取付け面）に対し、送信プローブ１は、図４のように交互に取り付けられる。
【００２０】
その取付け構造について図５等を参照しつつ説明すると、取付け板２０の取付け面２０ａに基準板２１が固定されている。該基準板２１の送信プローブ１側の面は、下方に向かうにつれて取付け面２０ａに近づくテーパがついた傾斜面２１ａを有する。基準板２１の傾斜面２１ａと平板状の第１取付け座２２の一方の面がシム２３を介して対向し、該第１取付け座２２は、４本のボルト２４（図５では２本のみ図示されている）によって上記基準板２１に取り付けられている。このとき、該ボルト２４の軸部の途中に対し、皿バネなどからなる弾性体２５が設けられることで、基準板２１と第１取付け座２２の距離が若干変位可能な状態で第１取付け座２２が基準板２１に向けて付勢された状態となっている。
【００２１】
ここで、図５では、ボルト２４の軸部先端部側が基準板２１に螺合し、頭部２４ａの外周が第１取付け座２２に設けたボルト穴内径面と螺合し該ボルト穴内に弾性体２５が配置される例を示している。
上記シム２３の基準板２１側の面２３ａは、基準板２１の傾斜面２１ａ部分に当接すると共に、当該傾斜面２１ａのテーパと天地が逆の勾配のテーパが付いている。これによって、第１取付け座２２と当接する面は水平方向を向くようになっている。
【００２２】
また、上記第１取付け座２２の下部には、基準板２１側に張り出す張出部２６を有している。該張出部２６には、軸を上下に向け且つ貫通したネジ用の穴が設けられ、そのネジ用の穴に下側からオフセット用調整ネジ２７が差し込まれて回転自在な状態で固定されている。そのオフセット用調整ネジ２７の軸部は当該ネジ用の穴位置より上方に突出し、その軸部先端部が上記シム２３の下端部に螺合している。
【００２３】
なお、上記張出部２６に軸を上下に向け且つ貫通したネジ穴を設け、そのネジ穴に下側からオフセット用調整ネジ２７を螺合させ、その軸先端面をシム２３の下端面に当接させる、あるいは、オフセット用調整ネジ２７の軸部先端部を回転自在な状態でシム２３の下端面に連結しても良い。
ここで、上記基準板２１、第１取付け座２２、及びシム２３によってオフセット調整機構Ａが構成されている。
【００２４】
また、上記第１の板材を構成する第１取付け座２２の他方の面に、第２の板材を構成する平板状の第２取付け座２８の一方の面が当接している。
上記第１取付け座２２及び第２取付け座２８の下部中央にネジ穴が設けられている。該両ネジ穴の軸は取付け面２０ａに直交し、その両ネジ穴にネジ２９を締結することで、第２取付け座２８が、第１取付け座２２に対し当該ネジ２９を支点として正逆回転可能な状態で支持される。
【００２５】
また、第１取付け座２２の上部左右対称位置からそれぞれ、図６及び図７に示すように、第２取付け座２８側に突出体を構成する棒体３０が突出し、第２取付け座２８の上部には、上記各棒体３０を遊挿可能大きさの大径穴３１がそれぞれ設けられ、該大径穴３１内を上記各棒体３０が貫通している。
また、第２取付け座２８の幅方向端面上部には、上記大径穴３０内に向けて平行度調整用ネジ３２がそれぞれ螺合している。その平行度調整用調整ネジ３２の各軸部先端が上記棒体３０側面に対向可能に配置されている。
【００２６】
上記第１及び第２取付け座２２，２８によって平行度調整機構Ｂが構成される。
そして、上記第２取付け座２８には、プローブ取付け用ボルト穴３３が設けられていて、該ボルト穴３３を通じて送信プローブ１が取り付けられる。
次に、上記取付け構造における、アライメントずれを検出しアライメント微調整を精度良く行う方法について説明する。
【００２７】
まず、平行度の微調整について説明する。
対向する受信プローブ２と送信プローブ１との間の平行を調整する場合には、ネジ２９を仮締め状態として、上側一対の平行度調整ネジ３２の螺合量を変化させることで、第１取付け座２２に対し第２取付け座２８がネジ２９を支点にして回転変位する。これによって、受信プローブ２に対し送信プローブ１が平行となるように微調整する。調整が終了したら、上記ネジ２９について本締めを行う。
【００２８】
この平行度の微調整の確認は、次のように行う。
すなわち、送信プローブ１の各素子から同期をとって超音波を送信させて対応する受信プローブ２の各素子で受信させ、その各素子に対応するチャネルでの受信時刻を検出する。この受信時刻は、伝搬時間に対応した時刻である。即ち、受信時刻から送信時刻を減算処理すれば伝搬時間となる。
【００２９】
なお、この平行度のアライメント調整の場合には、送受信プローブ１，２間に鋼板３を介挿させずに行っても良い。または、鋼板３を介在させた状態で行っても良い。すなわち、探傷にラインセンサを使用している際にも適宜、本実施形態を実行してアライメントの狂いを検査することができる。また、このアライメント調整時には、例えば各素子に透過波検出回路を一時的に接続して受信時刻を検出するようにすれば良い。
【００３０】
そして、素子の配列方向両端部に対応する１チャンネル及び１０チャンネルでの受信時刻（伝搬時間）を比較し、その時間差がゼロとなるように、平行度調整ネジ３２の螺合量を調整して送信プローブ１側の平行度を微調整する。
例えば、図８のように１０チャンネルの受信信号の受信時刻の方が１チャンネルの受信信号の受信時刻よりも遅い場合には、図９のように、その遅れ時間分だけ１０チャンネル側が相対的に遠いと判定し、（その遅れ時間×媒体中の超音波の伝搬速度）だけ、送受信プローブ１，２間における１０チャンネル側を近づけるか、または１チャンネル側を離すように、平行度調整ネジ３２の進退量を調整し、第２取付け座２８を僅かに回転変位させる。ここで、図８では、鋼板３を介挿した状態で行った場合の例である。
【００３１】
これを各プローブ１，２の組毎に行うことで、各プローブ１，２の組の平行度が向上する。
上記のように、１チャンネルと１０チャンネルの超音波受信信号に基づき、当該信号の伝播時間が同じになるようにアライメント調整を実施することにより、対向する送受信プローブ１，２を正確に平行にすることが可能となる。
【００３２】
ここで、上記実施形態では、素子の配列方向両端部に対応する１チャンネルと１０チャンネルでの伝搬時間を利用しているが、これに限定されない。例えば、２チャンネルと９チャンネルでの伝搬時間を利用したりしても良い。但し、両端部に対応する１チャンネルと１０チャンネルでの伝搬時間を利用する方が、ずれ量が大きく検出できるため、精度が向上する。
【００３３】
次に、オフセット微調整の方法について説明する。
張出部２６に回転自在な状態で固定したオフセット用調整ネジ２７を正逆回転させてシム２３に対する軸部の螺合位置を変位させることで、シム２３の上下方向の位置を変位させて微調整する。
例えば、オフセット用調整ネジ２７を右回りに回転させると、当該回転量に比例した量だけシム２３が下方に変位するようにする。このとき、シム２３は基準板２１の傾斜面２１ａに沿って下方に移動することで、当該シム２３の位置、つまり送信プローブの位置が基準板２１に接近する方向に連続的にオフセットする。
【００３４】
逆に、オフセット用調整ネジ２７を左回りに回転させると、当該回転量に比例した量だけシム２３は上方に変位する。このとき、シム２３は基準板２１の傾斜面２１ａに沿って上方に移動することで、当該シム２３の位置、つまり送信プローブの位置が基準板２１から離れる方向に連続的にオフセットする。
なお、張出部２６にネジ穴を設け、そのネジ穴に下側からオフセット用調整ネジ２７を螺合させ、その軸先端面をシム２３の下端面に当接させる場合は、以下のようにすればよい。
【００３５】
すなわち、オフセット用調整ネジ２７を正逆回転させて張出部２６に対する軸部の螺合位置を変位させることで、シム２３の上下方向の位置を変位させて微調整する。
例えば、オフセット用調整ネジ２７を右回りに回転させると、当該回転量に比例した量だけ当該オフセット用調整ネジ２７の位置が上方に変位するようにすると、当該オフセット用調整ネジ２７の軸部先端でシム２３が押されてオフセット用調整ネジ２７の移動量と同じだけシム２３が上方に変位する。このとき、シム２３は基準板２１の傾斜面２１ａに沿って上方に移動することで、当該シム２３の位置、つまり送信プローブ１の位置が基準板２１から離れる方向に連続的にオフセットする。
【００３６】
逆に、オフセット用調整ネジ２７を左回りに回転させると、当該回転量に比例した量だけ当該オフセット用調整ネジ２７の位置が下方に変位し、その分だけ、当該オフセット用調整ネジ２７の軸部先端が、シム２３下端面から下方に変位する。このとき、弾性体２５（皿バネなど）によって第１取付け座２２が基準板２１に向けて付勢されていると共に、傾斜面２１ａが斜め下方を向くように傾いていることから、当該付勢力により、常にシム２３には下方に向かう分力が負荷されていると共に当該シム２３自体の質量によって、オフセット用調整ネジ２７の軸部先端が下方に移動すると、シム２３は調整ネジ２７の軸部先端に当接するまで下方に移動する。この結果、調整ネジ２７の回転量に比例しただけシム２３は下方に変位する。このとき、シム２３は基準板２１の傾斜面２１ａに沿って下方に移動することで、当該シム２３の位置、つまり送信プローブ１の位置が基準板２１に接近する方向に連続的にオフセットする。
【００３７】
このように、第１取付け座などの取付け取り外しやシムの交換を繰り返すことなく、調整ネジ２７を回転するだけで、送信プローブ１の取付け板２０に対する水平方向のオフセットが微調整され、受信プローブ２に対し鉛直方向で送信プローブ１が正対するように設定される。
この、素子の配列に直交する方向のオフセット（アライメントずれ）の微調整の確認は、次のように行う。
【００３８】
すなわち、対向する送信プローブ１と受信プローブ２との間に被検査板である鋼板３を介在させた状態で、それぞれの対向配置されたプローブ１，２の組毎に、送信プローブ１の各素子から超音波を送信させて対応する受信プローブ２の各素子で受信させ、その各受信プローブ２側素子で受信した透過波Ｔ１及びＴ２に基づき当該透過波Ｔ１及びＴ２のエコー高さ（振幅）の比Ｈを、下記式に基づき求める。
【００３９】
Ｈ＝（Ｅ２／Ｅ１）
上記Ｅ１は、一次透過波Ｔ１のエコー高さを、Ｅ２は、二次透過波Ｔ２のエコー高さをそれぞれ表している。
ここで、送受信プローブ１，２の各焦点がちょうど鋼板３表面から反射したところでアライメントを合わせて、精度良く探傷可能な設定を行うと、図１０に示すように、鋼板表面で１度反射した二次透過波Ｔ２の方が透過波Ｔ１よりも大きくなる。また、送信プローブ１と受信プローブ２との間のオフセットが大きくなるほど、透過波Ｔ１の振幅に対する透過波Ｔ２の振幅が小さくなる、つまり上記比Ｈが小さくなる。
【００４０】
これに基づいて、各送受信プローブ１，２の組毎に、少なくとも一つの対向する素子について、上記比Ｈを観測しながら、オフセット様調整ネジ７を回転しシム２３を上下させることで、オフセット調整を行い、上記比Ｈが一番大きくなった位置で固定する。これによって、素子配列方向に直交する方向のアライメント調整が完了する。
【００４１】
ここで、各送受信プローブ１，２の上記比Ｈを観測する素子は、一箇所例えば６チャンネルの素子位置の比Ｈを観測しても良いが、プローブを確実に素子配列方向と直交する方向に変位できない場合には、プローブが素子配列方向に直交する方向に対し傾いて変位するおそれがある。これを防止するには、各プローブ１，２の組毎に２箇所の素子位置についてそれぞれ比Ｈを観測してオフセットを検出してアライメントを調整することが好ましい。この場合には、一番離れている１チャンネルと１０チャンネルの素子で行うことが好ましい。
【００４２】
上記のように各プローブの組について、平行度及びオフセット方向のアライメント調整をして取付けた後、実際に鋼板３を通過させて、内部欠陥の探傷を連続的に行う。
そして、適宜、オンラインにて上述のアライメントを確認した方法と同じ方法にて、許容を越えたアライメントずれの有無を自動検出する。
【００４３】
すなわち、各プローブの組毎に、素子配列方向に離れた２個のチャンネルの超音波受信時刻の差をオンラインで算出し、その算出した差が、予め設定した平行度ずれ判定値ＨＴを越えてると判定すると、許容を越える量だけ平行度がずれているとしてアラームを出力する。
また、各プローブの組毎に、少なくとも一つのチャンネルにおいて、オンラインで、透過波の振幅比を求め、その振幅比が、予め設定したオフセットずれ判定値ＥＴよりも小さいと、オフセット方向のアライメントずれが許容値を越えたとしてアラームを出力する。
【００４４】
ここで、透過波の振幅比でオフセット方向のアライメントずれを検出することで、鋼板３の厚さや探傷環境条件による検出誤差を小さくすることができる。
なお、例えば一次透過波の振幅だけでオフセット方向のアライメントずれを検出しようとしたところ、検出誤差が大きく、精度良くアライメントずれを検出することが困難であった。
【００４５】
また、許容値を越えるアライメントずれが発生しているプローブの組だけを自動マスクで探傷から外しても良い。少なくとも、次の保守まで誤検出が防止できる。
このように、上記平行度及びオフセットの探傷感度に影響するアライメントずれが探傷中であっても自動的かつ簡易に検出することができる。この結果、装置の異常の早期発見が可能となる。また、微小介在物欠陥以外の信号検出（過検出）を防止可能となる。
【００４６】
しかも、許容を越えたプローブの組が分かっているので、保守の際のアライメント調整が短時間で可能となり、保守時間の短縮にも繋がる。
ここで、対向するプローブ１，２の軸（上下方向）が相互にわずかだけ傾斜することも考えられるが、上記実施形態のように、平行度とオフセット方向の両方のアライメントずれを検出してアライメント調整を行うことで、多少の傾斜があっても検出感度に問題はない。勿論、目に見えるほどの傾斜が有れば補正する。
【００４７】
なお、本実施形態では、各送信プローブ１及び受信プローブ２をそれぞれ千鳥状に配置しているのは、隣り合う子間での空間の干渉を避けつつ鋼板３の板幅方向全幅での検査を可能とするためである。
また、このように千鳥に各プローブ１，２を配置することで、鋼板３の板幅方向全幅での検査が可能であるにも関わらず、取付け板２０における同一の側面に取り付けられるプローブ１，２間に空間が確保されて、各プローブ１，２についての取付けや、上述のアライメント微調整の作業が容易となる。
【００４８】
また、上記実施形態では、取付け板２０の取付け面２０ａにオフセット調整機構Ａを取り付け、そのオフセット調整機構Ａの可動部（第１取付け座２２）に平行度調整機構Ｂを取り付け、該平行度調整機構Ｂの可動部（第２取付け座２８）に送信プローブ１を取り付けているが、これに限定されない。
例えば、取付け板２０の取付け面２０ａに平行度調整機構Ｂを取り付け、その平行度調整機構Ｂの可動部にオフセット調整機構を取り付け、該オフセット調整機構Ａの可動部にプローブ１，２を取り付けるように構成しても良い。
【００４９】
また、上記実施形態では、取付けのネジ２９が、平行度調整機構Ｂの回転の支点を兼ねるようにしているが、これに限定しない。
また、上記実施形態では、突起体として左右一対の棒体３０を設けた場合を例示しているが、これに限定されず、突起体は１つでも良い。この場合には、突起体に対し、左右両側から平行度調整ネジ３２の軸部先端を当接させて突起体の回転方向の位置を規制すればよい。また、上記実施形態では突起体を上部に設けているが側方に設けても良い。要は、上記平行度調整ネジ３２の軸がネジ２９の方向（径方向）に向いていなければ、回動変位を調整可能である。
【００５０】
また、上記実施形態では、送信プローブ１側のアライメントを微調整しているが、受信プローブ２側のアライメントを微調整しても良い。
また、上側に受信プローブ２が配置され、下側に送信プローブ１が配置されても良い。また送信プローブ１と受信プローブ２とを入れ違い（例えば上側は幅方向に送信プローブ１−受信プローブ２−送信プローブ１・・・と並び、下側は受信プローブ２−送信プローブ１−受信プローブ２・・・と並ぶ）に配しても良い。
【００５１】
また、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、上記の本発明のアライメントずれ検出方法を用いて検出したずれは、従来の方法を用いて調整することができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、オンラインであっても簡易且つ早期にアライメントずれを検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づく実施形態に係る送受信子の概念図である。
【図２】本発明に基づく実施形態に係る各探触子の配置例を示す図である。
【図３】本発明に基づく実施形態に係る各探触子が枠体に支持されている状態を示す図である。
【図４】本発明に基づく実施形態に係る送信子の配設構造を示す下面図である。
【図５】本発明に基づく実施形態に係る送信子の取付け構造を示す図である。
【図６】本発明に基づく実施形態に係る平行度調整機構を示す斜視図である。
【図７】本発明に基づく実施形態に係る第２取付け座を示す正面図である。
【図８】受信時刻のずれの一例を示す図である。
【図９】図８の場合の送受信子の状態を示す図である。
【図１０】一次透過波と二次透過波との振幅の関係を示す図である。
【図１１】各透過波及び反射波を説明するための図である。
【図１２】各透過波及び反射波の受信関係を示す図である。
【符号の説明】
Ｔ１  一次透過波
Ｔ２  二次透過波
Ｆ２  反射波
Ａ    オフセット調整機構
Ｂ    平行度調整機構
１    送信プローブ
２    受信プローブ
３    鋼板（被検査板）
６ａ〜６ｊ  電気パルス発生器
７    同期信号発生器
８ａ〜８ｊ  受信増幅器
９ａ〜９ｊ  ゲート回路
１０ａ〜１０ｊ  コンパレータ
１１  枠体
１１ａ  上側アーム
１１ｂ  下側アーム
２０  取付け板
２０ａ  取付け面
２１    基準板
２１ａ  傾斜面
２２    第１取付け座（第１の板材）
２３    シム
２４    ボルト
２５    弾性体
２６    張出部
２７    オフセット用調整ネジ
２８    第２取付け座（第２の板材）
２９    ネジ（支点）
３０    棒体（突出体）
３１    大径穴
３２    平行度調整ネジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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