(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接地された外側金属ケースと、この外側金属ケースに収容され、電気的に絶縁された内側金属ケースと、この内側金属ケースに収容され、気体輸送されてくる帯電粉体を捕集する捕集容器と、前記帯電粉体を外部から前記捕集容器に導入する導入口を有する絶縁体製の帯電粉体の吸引導入口取付部材と、この吸引導入口の下部に設けられた捕集容器の取付部と、前記帯電粉体を前記捕集容器内に捕集するために前記帯電粉体を輸送する気体を吸引する吸引排気口と、前記外側金属ケースと前記内側金属ケースとのそれぞれに設けられ、両金属ケース間の電位差を測定する電位計が接続される電極とを有することを特徴とする吸引式ファラデーケージ。
【請求項２】
前記外側金属ケースには、取り外し自在に設けられ前記外側金属ケースの蓋となるプレートを有し、該プレートに前記帯電粉体の吸引導入口取付部材を設けた請求項１に記載の吸引式ファラデーケージ。
【請求項３】
前記捕集容器が、袋状に形成されたガラス繊維製の円筒フィルタである請求項１または２に記載の吸引式ファラデーケージ。
【請求項４】
前記ガラス繊維製の円筒フィルタの開口部を前記捕集容器の取付部に挿入し、ナットを締めて円筒フィルタを固定する請求項３に記載の吸引式ファラデーケージ。
【請求項５】
前記捕集容器が、袋状に形成された２重円筒フィルタであり、内側がガラス繊維製円筒フィルタであり、外側がセルロース製円筒フィルタであり、この外側のセルロース製フィルタの開口部を前記取付部に挿入してナットを締めて前記捕集容器を固定する請求項１または２に記載の吸引式ファラデーケージ。
【請求項６】
前記帯電粉体の吸引導入口取付部材の絶縁体が１０１４Ω・ｃｍ以上の電気抵抗を有する硬質プラスチックである請求項１〜５のいずれかに記載の吸引式ファラデーケージ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定試料である帯電粉体を吸引して捕集し、捕集された帯電粉体の電荷量や帯電量を測定する吸引式ファラデーケージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の吸引式ファラデーケージは、図４に示すように、外側金属ケース１１０の内部に収容された内側金属ケース１１２の底にフィルター１１４を設け、そのフィルター１１４で帯電粉体１１６を濾過するとともに搬送気体（空気）は吸引排気口１１８を通して吸引ポンプ１２０で排出することによって帯電粉体１１６を内側金属ケース１１２内に吸引して捕集し、電位計１２２で外側金属ケース１１０と内側金属ケース１１２との電位差を測定し、内側金属ケース１１２内に捕集された帯電粉体１１６の荷電量を測定するものである。
【０００３】
しかし、この従来の吸引式ファラデーケージは、吸引ポンプ１２０による搬送気体の流れによって帯電粉体１１６を内側金属ケース１１２内に吸引して捕集するものなので、内側金属ケース１１２に捕集された帯電粉体１１６の重量を実際に測定することはできない。そのため、通常は供給された粉体の量が内側金属ケース１１２に収納された帯電粉体１１６の量であるとして処理しているが、実際には、内側金属ケースの上面１１２は開かれた空間に向かって開口しており、吸引ポンプ１２０によって帯電粉体１１６を吸引して内側金属ケース１１２内に捕集しても帯電粉体１１６が内側金属ケース１１２に完全に捕集されるとは限らず、帯電粉体１１６が微量ながら開かれた空間に残るので、内側金属ケース１１２に捕集された帯電粉体１１６の量として供給された粉体の量を使用することは正確ではない。
【０００４】
このため、従来の吸引式ファラデーケージで帯電粉体の電荷量を測定するときには、供給された粉体に与えられた総電荷量が測定されるのではなく、内側金属ケース１１２に収納された帯電粉体１１６の総電荷量が測定される結果となり、従って、粉体の単位重量当たりの電荷量としては誤差が生じることになる。
【０００５】
特開平５−１１９０９５号公報には、供給された帯電粉体をロートを用いて可能な限り集めて内側金属ケースに収納する技術が開示されているが、これでも供給された粉体を完全に内側金属ケース内に収納することは極めて困難であり、内側金属ケースに収納された帯電粉体の量を直接測定しなければ正確な測定結果を得ることはできない。
【０００６】
また、従来技術では、内側金属ケースに帯電粉体を直接収納して電荷量を測定するので、測定した後に帯電した粉体を内側金属ケースから取り出して清掃しなければならない。しかし、液晶スペーサの散布や電子写真のトナーによる複写や印刷、静電塗装の粉体塗料による塗装の例を示すまでもなく、帯電した粉体を完全に取り除くことは非常に困難であることは周知である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解消し、内側金属ケースに吸引して捕集された帯電粉体の電荷量や帯電量および重量を直接容易に測定することができ、従って帯電粉体の単位重量当たりの電荷量を正確に測定すると共に、測定後の帯電粉体を内側金属ケースから容易に取り除くことができる吸引式ファラデーケージを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明者は、吸引式ファラデーケージについて鋭意研究した結果、内側金属ケースの更に内側に捕集容器を設け、この捕集容器内の帯電粉体の電荷量を通常の測定と同様に測定した後、この捕集容器に収納された帯電粉体の重量を測定することによって、帯電粉体の電荷量と重量をそれぞれ直接測定することが可能であり、測定後には、捕集容器を取り除くことによって容易に帯電粉体を内側金属ケースから完全に取り除くことが可能であることを知見し、本発明に到達したものである。
【０００９】
すなわち、本発明の態様は、接地された外側金属ケースと、この外側金属ケースに収容され、電気的に絶縁された内側金属ケースと、この内側金属ケースに収容され、気体輸送されてくる帯電粉体を捕集する捕集容器と、前記帯電粉体を外部から前記捕集容器に導入する導入口を有する絶縁体製の帯電粉体の吸引導入口取付部材と、この吸引導入口の下部に設けられた捕集容器の取付部と、前記帯電粉体を前記捕集容器内に捕集するために前記帯電粉体を輸送する気体を吸引する吸引排気口と、前記外側金属ケースと前記内側金属ケースとのそれぞれに設けられ、両金属ケース間の電位差を測定する電位計が接続される電極とを有することを特徴とする吸引式ファラデーケージを提供するものである。
【００１０】
ここで、前記外側金属ケースには、取り外し自在に設けられ前記外側金属ケースの蓋となるプレートを有し、該プレートに前記帯電粉体の吸引導入口取付部材を設けることが好ましく、また、前記捕集容器が、袋状に形成されたガラス繊維製の円筒フィルタであり、前記ガラス繊維製の円筒フィルタの開口部を前記捕集容器の取付部に挿入し、ナットを締めて円筒フィルタを固定することが好ましい。また、前記捕集容器が、袋状に形成された２重円筒フィルタであり、内側がガラス繊維製円筒フィルタであり、外側がセルロース製円筒フィルタであり、この外側のセルロース製フィルタの開口部を前記取付部に挿入してナットを締めて前記捕集容器を固定することが好ましい。さらに、前記帯電粉体の吸引導入口取付部材の絶縁体が、１０１４Ω・ｃｍ以上の電気抵抗を有する硬質プラスチックであることが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係わる吸引式ファラデーケージを添付の図面に示す好適実施例に基づいてより詳細に説明する。
図１は、本発明の吸引式ファラデーケージの一実施例を示す構成図である。
同図に示すように、本発明の吸引式ファラデーケージは、装置全体を外側金属ケース１０で囲み、その中心に内側金属ケース１２が収容されるように設けられている。内側金属ケース１２は、本実施例では中空の管状に形成されており、外側金属ケース１０の底面から突出した複数個（本実施例では３個）の棒状の絶縁体１４によって容易に着脱できるように支持されている。これら外側金属ケース１０および内側金属ケース１２は、導電性の高い、例えばアルミニウム、アルミニウム合金やステンレスのような金属材料によって作られる。
【００１２】
外側金属ケース１０の上面には、外側金属ケース１０の蓋となるプレート１６が外側金属ケース１０から取り外し自在に設けられており、このプレート１６の中心に、測定試料である液晶スペーサ粒子、電子写真トナー、粉体塗料等の帯電粉体２０を内側金属ケース１２内に吸引して捕集するための電気抵抗の十分に大きな絶縁体で形成された帯電粉体の吸引導入口取付部材（以下、単に取付部材という）２２を螺合させることによって取り付ける。この帯電粉体の吸引導入口の取付部材２２は中心に帯電粉体２０を気体輸送する輸送管（図示せず）を挿入する、吸引導入口となる貫通孔２４を有するものでプレート１６を貫通して設けられており、下部には捕集容器であるガラス繊維製の円筒フィルタ２６の開口部を挿入して保持する捕集容器の取付部２８が設けられている。
帯電粉体２０の吸引導入口の取付部材２２およびその貫通孔２４の形状は、特に制限的ではなく、帯電粉体２０を供給する側の部材の形状に合わせて、適宜選択することができる。例えば、供給部材を取り付ける取付部を設けてもよいし、図２に示すように、帯電粉体２０が吸引されやすいようにロート状に形成することもできる。
また、本実施例では、帯電粉体の吸引導入口となる貫通孔２４の取付部材２２は、帯電粉体の導入口を形成するとともに捕集容器（フィルタ）ホルダとしても機能し、捕集容器の取付部２８と一体となっているが、本発明はこれに限定されず、プレート１６の下部で切り離して帯電粉体の吸引導入口の取付部材２２はプレート１６に取り付け、捕集容器の取付部２８は内側金属ケース１２に取り付けるようにすることもできる。この場合には、捕集容器の取付部２８の外径を内側金属ケース１２の内径に嵌め込むことによって、捕集容器の取付部２８を内側金属ケース１２に取り付けることが可能である。
【００１３】
従って、供給された粉体を図示しない帯電装置で積極的に、もしくは気体輸送によって不可避的に帯電された帯電粉体２０は、吸引装置ポンプ３０で吸引された輸送気体に担持されて取付部材２２に導入され、貫通孔２４を通って内側金属ケース１２内に収容されたガラス繊維製の円筒フィルタ２６内に吸引され、帯電粉体２０は円筒フィルタ２６内に留まり輸送気体は円筒フィルタ２６を通り抜けることによって帯電粉体２０のみが円筒フィルタ２６内に捕集されることになる。
【００１４】
外側金属ケース１０は、帯電粉体２０を内側金属ケース１２内に吸引して捕集するために気密にしておくことが望ましい。そのために、本実施例では、各部にＯリング３２を用いて帯電粉体を内側金属ケース１２内に吸引するのに支障がないように十分に気密にしている。
なお、外側金属ケース１０の蓋となるプレート１６は、Ｏリング３２上に載置することによって、気密でありかつ容易に取り外し可能となっているが、位置決めピン１８で位置決めすることにより、取り外しの容易性を確保しつつ正確に位置決めするようにしてもよい。
【００１５】
外側金属ケース１０の底面から突出した複数個（本実施例では３個）の棒状の絶縁体１４は、内側金属ケース１２を正確に位置決めして支持すれば足りるものであるが、可能な限り電気抵抗の高い絶縁体で、且つ断面積を小さくして絶縁性を高くすることが望ましい。そのために、本実施例では３個の棒状で電気抵抗の高いデルリン（登録商標）、テフロン（登録商標）等の硬質プラスチックを使用している。しかし、内側金属ケース１２を位置決め保持する絶縁体１４は、この材質、形状に限られるものではなく、セラミック等の各種の材質や各種の形状が使用可能なことは明らかである。
【００１６】
なお、本実施例においては、３本の棒状絶縁体１４の頂部を一部円弧状に切り欠いて切欠部１４ａを設け、この３本の絶縁体１４の切欠部１４ａに内側金属ケース１２と略同一径もしくは少し大きい直径の円形パンチングメタル１３を載置し、このパンチングメタル１３の上に内側金属ケース１２を載置することにより、内側金属ケース１２を外側ケース１０内に正確に位置決めし、かつ絶縁して容易に着脱可能に支持している。この円形パンチングメタル１３は、内側金属ケース１２の底面を構成し、内側金属ケース１２の内側に配置される円筒フィルタ２６内に捕集された帯電粉体の電気力線を接地外側金属ケース１０に逃がさない、すなわち外側金属ケース１０から円筒フィルタ２６内の帯電粉体を電気的に遮蔽するとともに、円筒フィルタ２６の下側からの帯電粉体の搬送気体の吸引力を低下させないようにし、円筒フィルタ２６内への帯電粉体の濾別および捕集を効率よく行うためのものである。本発明に用いられるパンチングメタル１３は、導電性金属製多孔板であれば、特に制限的ではなく、例えばステンレス、アルミニウム、アルミニウム合金製パンチングメタルを挙げることができる。
【００１７】
また、内側金属ケース１２は、外側金属ケース１０と電気的に完全に絶縁しておく必要がある。絶縁体であっても電気抵抗の小さいもので絶縁すると、内側金属ケース１２の電荷の一部が外側金属ケース１０を経由してアースに逃げるので、荷電量の測定に誤差が生じる。従って、この帯電粉体の導入口の取付部材２２の絶縁体は１０１４Ω・ｃｍ以上、より好ましくは１０１４〜１０１８Ω・ｃｍの電気抵抗を有する硬質プラスチックやセラミックであることが望ましい。なお、上述した内側金属ケース１２をパンチングメタル１３を介して支持する棒状絶縁体１４も、同様に１０１４Ω・ｃｍ以上、より好ましくは、１０１４〜１０１８Ω・ｃｍの電気抵抗を有するものであるのが好ましい。この条件を満足するために、本実施例においては、帯電粉体の導入口の取付部材２２として電気抵抗の非常に大きい硬質プラスチックであるテフロン（登録商標）を使用している。
【００１８】
捕集容器であるガラス繊維製の円筒フィルタ２６は、袋状に形成され、帯電粉体２０を確実に捕集しかつ搬送気体を可能な限り抵抗なく通過させるものを選択する。帯電粉体２０の粒径にバラツキがあるときは、最小粒径の帯電粉体を確実に捕捉するものにする。
なお、本発明に用いられる捕集容器は、ガラス繊維製の円筒フィルタ２６に限定するものではなく、上述の如く帯電粉体２０を確実に捕集できればどのようなものでもよく、例えばシリカ繊維製フィルタやフッ素繊維製フィルタなどを例示することができる。
【００１９】
ガラス繊維製の円筒フィルタ２６は、取付部材２２の捕集容器の取付部２８に開口部を挿入して保持するように構成されている。本実施例では、円筒フィルタ２６の開口部を挿入する取付部２８の外側にリング状片部３４を設けて円環状溝３６を形成し、ナット（フィルタ止め）３８で円環状溝３６の溝幅を調整可能にすることによって円筒フィルタ２６を保持する摩擦力を適正に維持することができる。すなわち、この円環状溝３６に円筒フィルタ２６の開口部を挿入してナット３８でリング状片部３４を内側に押して締め、円筒フィルタ２６の開口部をクランプして固定することができる。
【００２０】
ところで、図１に示す実施例においては、捕集容器であるガラス繊維製円筒フィルタ２６を直接取付部材２２の捕集容器取付部２８に取り付けているが、本発明はこれに限定されず、図２に示す実施例のように、２重構造として、ガラス繊維等製円筒フィルタ２６を内側に入れて、外側の、ガラス繊維等より硬質の円筒フィルタ４０で支持し、この硬質円筒フィルタ４０の開口部を取付部材２２の捕集容器取付部２８に挿入して保持するようにしてもよい。すなわち、硬質円筒フィルタ４０の開口部を取付部２８の円環状溝３６に嵌入し、ナット３８でリング状片部３４を内側に押して締め、硬質円筒フィルタ４０の開放端側をクランプして固定してもよい。
【００２１】
ここで、硬質円筒フィルタ４０としては、気体透過性に優れ、内側のガラス繊維等の円筒フィルタ２６を支持することができ、捕集容器取付部２８に堅固に固定できる強度を有していればどのようなものでもよく、例えば、セルロース製円筒フィルタ等を用いることができる。
以上のように、捕集容器を２重構造にすることにより、直接帯電粉体を捕集するガラス繊維等製のこわれやすい、特に開口部が欠けやすい円筒フィルタ２６を保護することができ、捕集された帯電粉体の計測（帯電量および重量の計測）を正確なものとすることができる。
【００２２】
ところで、図１および図２に示される実施例においては、円筒フィルタ２６および硬質円筒フィルタ４０の開口部を挿入する円環状溝３６が形成された取付部２８を有する取付部材２２は、図３に示すように、円環状溝３６を形成するリング状片部３４にすり割り（線状切り欠き）３４ａを設け、ナット３８のテーパ部３８ａによるリング状片部３４の円環状溝３６側への曲がりを大きくして、円筒フィルタ２６および４０の開口部のクランプ（締付）力を増大させるように構成してもよい。なお、取付部材２２のつまみ２２ａの部分やナット３８の外周３８６には、螺合を容器にするために平目等のローレットを形成しておくのがよい。
【００２３】
なお、取付部材２２の取付部２８への円筒フィルタ２６および４０の取付方法は、これに限定されず、これらの円筒フィルタ２６および４０の開口部を確実に固定できれば、どのような方法でもよい。例えば、これらの円筒フィルタ２６，４０の開口部の強度がある程度強ければ、取付部２８に円環状溝３６を形成せず、取付部２８に単なるテーパ部を設け、このテーパ部に円筒フィルタ２６，４０の開口部を差し込んだだけでもよいし、あるいは、差し込まれた円筒フィルタ２６，４０の開口部を単なるテーパ部を持つナットで締め付けるように構成してもよい。
【００２４】
そして、本発明においては、帯電粉体２０は、すべて円筒フィルタ２６に捕集されるので、内側金属ケース１２内に入り、帯電粉体２０が内側金属ケース１２の内側に付着もしくは固着することはない。従って、本発明では、測定後、内側金属ケース１２を清掃する必要がないし、仮に清掃する必要が生じても、容易に清掃することができる。
【００２５】
外側金属ケース１０と内側金属ケース１２には、それぞれ同軸ケーブル用同軸端子４４および電極４６が設けられている。外側金属ケース１０に設けられる同軸ケーブル用同軸端子４４は、外周端子４４ａと中心端子４４ｂとからなり、外周端子４４ａは外側金属ケース１０に取り付けられ、電気的に接続されて、外側金属ケース１０の電極となり、中心端子４４ｂは、外周端子４４ａに対して電気的に絶縁され、内側金属ケース１２の電極４６にリード線４５で接続される。そして、外側金属ケース１０の同軸端子４４を同軸ケーブルによって電位計４８に接続することにより、外側金属ケース１０の電極（となる外周端子）４４ａと内側金属ケース１２の電極４６とが電位計に接続される。こうして、電位計４８によって、外側金属ケース１０と内側金属ケース１２との電位差が測定され、円筒フィルタ２６内の帯電粉体２０の総電荷量が測定される。また、外側金属ケース１０の同軸端子４４の外周端子４４ａは、接地されて外側金属ケース１０の電位を常に０に維持するようにするのが好ましい。
なお、外側金属ケース１０の外周端子４４ａ及び内側金属ケース１２の電極４６を電位計４８に接続するのに同軸端子４４と同軸ケーブルを用いる構成としているが、各々の電極からリード線を外部に引き出して電位計４８に接続するように構成してもよい。
【００２６】
また、外側金属ケース１０には、吸引排気口５０が設けられており、吸引ポンプ３０に接続されて帯電粉体２０を内側金属ケース１２内に吸引して、円筒フィルタ２６内に吸引して捕集する。この吸引排気口５０は、図４に示す従来技術のように、内側金属ケース１２に直接設けるように構成してもよい。
なお、本発明に用いられる帯電粉体を輸送する気体は、帯電粉体の帯電量や重量や性質に影響を与えるものでなければ、例えば乾燥気体もしくは極低湿度気体であれば、特に制限的ではなく、例えば、窒素ガス、空気、アルゴンやネオンなどの不活性ガスなどを挙げることができる。
【００２７】
以上のように構成された吸引式ファラデーケージによって、電荷量を測定するには、次のようにして行う。
先ず、図示しない帯電装置で帯電させた帯電粉体もしくは不可避的に帯電した帯電粉体を気体輸送する輸送管を本実施例の吸引式ファラデーケージの吸引導入口部材２２の貫通孔２４に挿入して、気体輸送される帯電粉体２０をガラス繊維製の円筒フィルタ２６内に流入させ、円筒フィルタ２６内に捕集させる。なお、帯電粉体を本実施例の吸引式ファラデーケージの上方の開かれた空間に供給してもよい。この場合には、この開かれた空間に供給された帯電粉体２０は、吸引ポンプ３０によって吸引排気口５０から吸引される気流によって帯電粉体の吸引導入口部材２２から貫通孔２４を通ってガラス繊維製の円筒フィルタ２６内に流入し、円筒フィルタ２６内に捕集されることになる。
この時、外側金属ケース１０内はＯリング３２等によって気密に保持されるので吸引ポンプ３０による吸引効果は大きく、帯電粉体２０が円筒フィルタ２６外に漏れ出すことはなく全てが円筒フィルタ２６内に捕集され、外側金属ケース１０や内側金属ケース１２内に飛散することがない。
【００２８】
こうして、供給された全量の帯電粉体が円筒フィルタ２６内に流入して捕集されると、吸引ポンプ３０の作動が停止し、次いで内側金属ケース１２に捕集された帯電粉体２０の総電荷量を測定する。この電荷量の測定は、円筒フィルタ２６内に流入して捕集された帯電粉体の電荷量が円筒フィルタ２６を介して内側金属ケース１２に誘導されるので、公知の方法、すなわち、通常の吸引式ファラデーケージの電荷量の測定と全く同様にして行うことができる。
【００２９】
次に、円筒フィルタ２６内に収納された帯電粉体２０の重量を測定する。帯電粉体２０の重量を測定する際には、外側金属ケース１０の蓋を構成するプレート１６を取り外して捕集容器であるガラス繊維製の円筒フィルタ２６を取り出す。このとき、プレート１６は単に位置決めピン１８で位置決めされているのみで取り外し自在に設けられており、円筒フィルタ２６は捕集容器の取付円筒部２８に開口部を挿入して保持されているのみなので、極めて容易に円筒フィルタ２６を取り出すことができる。
取り出した円筒フィルタ２６は、その中に帯電粉体２０を収納しているので、その重量を測定し、使用前に測定した空の円筒フィルタ２６の重量、すなわち風袋重量と比較することによって容易に帯電粉体の正確な重量を測定することができる。
【００３０】
このようにして測定した帯電粉体２０の総電荷量と帯電粉体２０の重量から、実測値に基づく単位重量当たりの電荷量を求めることができる。
また、供給する粉体の単位重量当たりの粒子の個数、表面積等を事前に実測しておけば、それぞれ粒子１個当たり、単位表面積当たりの電荷量を実測値に基づいて正確に算出することができる。
【００３１】
本発明に係る吸引式ファラデーケージは、基本的に以上のように構成されるが、本発明は、これらに限定されるわけではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改良ならびに設計の変更を行ってよいことは勿論である。
【００３２】
【発明の効果】
以上に詳述したように、本発明によれば、内側金属ケース内の捕集容器に収納された帯電粉体の重量を直接測定して、帯電粉体の単位重量当たりの電荷量を正確に測定すると共に、測定後の帯電した粉体を内側金属ケースから容易に取り除くことができる。
また、帯電粉体はすべて内側金属ケース内の捕集容器にもれなく捕集されるので、帯電粉体の重量および帯電量の測定が正確であるばかりか、漏れ出した帯電粉体が内側金属ケースや外側金属ケースに付着することも少ないもしくはないので、清掃が不要であるし、仮に付着しても容易に清掃して除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る吸引式ファラデーケージの一実施形態の概略構成図である。
【図２】  本発明に係る吸引式ファラデーケージの別の実施形態の概略構成図である。
【図３】  本発明に係る吸引式ファラデーケージの吸引導入口取付部材およびナットの分解部分断面図である。
【図４】  従来技術の吸引式ファラデーケージの概念図である。
【符号の説明】
１０  外側金属ケース
１２  内側金属ケース
１３  パンチングメタル
１４  絶縁体
１６  プレート
１８  位置決めピン
２０  帯電粉体
２２  帯電粉体の吸引導入口部材（フィルタホルダ）
２４  貫通孔
２６  ガラス繊維製の円筒フィルタ（捕集容器）
２８  捕集容器の取付（円筒）部
３０  吸引ポンプ
３２  Ｏリング
３４  リング状片部
３６  円環状溝
３８  ナット（フィルタどめ）
４４  同軸端子
４４ａ  外周端子
４４ｂ  中心端子
４５  リード線
４６  電極
４８  電位計
５０  吸引排気口
【図１】
0003726221.tif 000002
【図２】
0003726221.tif 000003
【図３】
0003726221.tif 000004
【図４】
0003726221.tif 000005