(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホスト部とターミナル部とがそれぞれ、観察方向及び/又は照明方向により図柄及び/又は色彩が変化する複数のデバイスを比較検査するための少なくとも一つの観察手段と、前記少なくとも一つの観察手段を制御する制御手段と、前記少なくとも一つの観察手段のデバイスを操作及び/又は表示する操作表示手段とを備えて比較検査し、前記比較検査したデバイスの観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを記憶して蓄積した記憶手段と、前記比較検査するデバイスの観察画像及び該画像の観察条件データを入力して送受信する通信手段又はターミナル部で比較検査するデバイスの観察画像及び該画像の観察時の観察条件データをホスト部の記憶手段より取得する通信手段とを有し、前記ホスト部とターミナル部とが通信回線で接続された比較検査システムであって、
前記ホスト部とターミナル部とのそれぞれの少なくとも一つの観察手段は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び/又は回転させるため、前記制御手段により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御手段により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御手段による制御で確定した試料系の位置及び/又は照明系の照射方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを備え、
前記制御手段は、前記少なくとも一つの観察手段の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記少なくとも一つの観察手段の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するステージコントローラを備え、
前記操作表示手段は、前記少なくとも一つの観察手段の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、
前記ターミナル部は、前記ホスト部に対して観察対象物の比較検査に用いる基準としての観察画像及び該画像の観察時の観察条件データの送付を要求し、前記ホスト部は、前記ターミナル部の要求に対し、ホスト部の比較検査装置内又は記憶部に記憶し、保存されている基準とする観察画像及び該画像の観察時の観察条件データをデータベースから取得し、又は前記ターミナル部の観察対象物と同じ観察対象物をホスト部の比較検査装置内の試料台に載置し、基準とする画像を決定し、その時の観察条件データを取得し、前記取得したいずれを基準とするかを決定してターミナル部に送信し、前記ターミナル部は前記ホスト部から送信された前記基準とする観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを取得して前記操作表示手段の記憶部に記憶し、前記ホスト部と同一条件にあわせて前記操作表示手段に表示し、又は前記ターミナル部は、前記ホスト部の記憶手段より取得した観察画像及び該画像の観察条件データを操作表示手段で記憶及び表示し、前記ターミナル部の観察手段の試料台に載置した前記複数のデバイスの中の一つの観察画像の観察条件を、前記ホスト部の操作表示手段の基準画像の観察条件と同一に制御し、前記ホスト部の操作表示手段の基準画像と前記ターミナル部の観察するデバイスを載置した観察手段の試料台を同時に移動及び／又は回転している画像を観察し、前記観察画像のデバイスの図柄及び/又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴とする比較検査システム。
【請求項２】
ホスト部とターミナル部とがそれぞれ、観察方向及び/又は照明方向により図柄及び/又は色彩が変化する複数のデバイスを比較検査するための少なくとも一つの観察手段と、前記少なくとも一つの観察手段を制御する制御手段と、前記少なくとも一つの観察手段のデバイスを操作及び/又は表示する操作表示手段とを備えて比較検査し、前記比較検査したデバイスの観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを記憶して蓄積した記憶手段と、前記比較検査するデバイスの観察画像及び該画像の観察条件データを入力して送受信する通信手段又はターミナル部で比較検査するデバイスの観察画像及び該画像の観察時の観察条件データをホスト部の記憶手段より取得する通信手段とを有し、前記ホスト部とターミナル部とが通信回線で接続された比較検査システムであって、
前記ホスト部とターミナル部とのそれぞれの前記少なくとも一つの観察手段は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び/又は回転させるため、前記制御手段により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御手段により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御手段による制御で確定した試料系の位置及び/又は照明系の照射方向で前記デバイスをズームレンズとカメラにより撮影する撮影系とを備え、
前記制御手段は、前記少なくとも一つの観察手段の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記少なくとも一つの観察手段の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを備え、
前記操作表示手段は、前記少なくとも一つの観察手段の撮影系で撮影された観察画像を調整するカメラコントローラと、画像をズームするズームコントローラと、前記撮影系からの観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御手段のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、
前記ターミナル部は、前記ホスト部に対して観察対象物の比較検査に用いる基準としての観察画像及び該画像の観察時の観察条件データの送付を要求し、前記ホスト部は、前記ターミナル部の要求に対し、ホスト部の比較検査装置内又は記憶部に記憶し、保存されている基準とする観察画像及び該画像の観察時の観察条件データをデータベースから取得し、又は前記ターミナル部の観察対象物と同じ観察対象物をホスト部の比較検査装置内の試料台に載置し、基準とする画像を決定し、その時の観察条件データを取得し、前記取得したいずれを基準とするかを決定してターミナル部に送信し、前記ターミナル部は前記ホスト部から送信された前記基準とする観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを取得して前記操作表示手段の記憶部に記憶し、前記ホスト部と同一条件にあわせて前記操作表示手段に表示し、又は前記ターミナル部は、前記ホスト部の記憶手段より取得した観察画像及び該画像の観察条件データを操作表示手段で記憶及び表示し、前記ターミナル部の観察手段の試料台に載置した前記複数のデバイスの中の一つの観察画像の観察条件を、前記ホスト部の操作表示手段の基準画像の観察条件と同一に制御し、前記ホスト部の操作表示手段の基準画像と前記ターミナル部の観察するデバイスを載置した観察手段の試料台を同時に移動及び／又は回転している画像を観察し、前記観察画像のデバイスの図柄及び/又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴とする比較検査システム。
【請求項３】
請求項1又は２に記載において、前記少なくとも一つの観察手段の試料系に、試料台をＸ方向及び/又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージにより傾斜した状態のデバイスを観察できるようにしたことを特徴とする比較検査システム。
【請求項４】
請求項1、２又は３に記載において、前記少なくとも一つの観察手段の試料系に載置されたデバイスを撮影する撮影系に、該撮影系をＸ方向及び/又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージによりデバイスを傾斜した方向から観察できるようにしたことを特徴とする比較検査システム。
【請求項５】
請求項1、２、３又は４に記載において、前記観察方向及び/又は照明方向により図柄及び/又は色彩が変化するデバイスとは、表面が、観察する角度、照明方向又は種類によって色や模様が変化したり、模様に動きなどが現れるホログラムや回折格子等のＯＶＤであることを特徴とする比較検査システム。
【請求項６】
請求項1、２、３又は４に記載において、前記観察方向及び/又は照明方向により図柄及び/又は色彩が変化するデバイスとは、画線構成におけるインキの盛り上がり、すき入れ又はエンボスによる凹凸により、観察方向及び/又は傾斜することにより模様が変化するものであることを特徴とする比較検査システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に偽造防止用途として用いられている、各種印刷物、証明書類、有価証券類に付与されている、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイス同士を比較検査するために用いる比較検査システムに関するものである。本発明において、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスとは、例えば、ホログラム又は回折格子のように、表面が、観察する角度、照明方向又は種類によって色や模様が変化したり、模様に動きなどが現れるもの、また、画線構成におけるインキの盛り上がり、すき入れ又はエンボスによる凹凸により、観察方向及び／又は傾斜することにより模様が変化するものをいう。測定対象物としてはデバイスだけでも良いが、デバイスを基材に付与した物でも良い。その場合、基材としてはデバイスが付与できる材質なら基材の種類は問わない。
【０００２】
【従来の技術】
従来、観察方向及び／又は照明方向により、図柄及び／又は色彩が変化するデバイスを検査及び／又は撮影を行うために観察する方法としては、図１０に示すように、デバイスが付与された印刷物２９を置き、印刷物２９、照明３１、カメラ３０の位置合わせを行って撮影した後、印刷物２９を交換し、同条件の位置出しを行い撮影するというのが一般的であり、それらの撮影された画像をモニタ表示やプリントアウト等を行い比較検査をしていた。この検査及び／又は撮影を遠方でも同様に行う場合、最初に観察した者が、画像データ及び／又は画像データをプリントアウト等を行ったものを遠方に送り、遠方の者がそれを資料として検査及び／又は撮影を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このような比較検査を行う場合、そのデバイスの位置や角度、照明の種類や角度、観察方向等の観察条件を合わせる必要があり、その条件が変わるとそのデバイスの模様や色が大きく変化してしまい、観察を行うことが困難であった。また、観察者はそのデバイスについての知識が少ないことが考えられるため、観察方向や照明方向の調整の方法についても熟練を要するものであった。このような方法でそれぞれ撮影した画像を比較検査する場合、撮影時の条件や位置の微細なずれ等が生じ、検査の判定を困難にしていた。
【０００４】
また、微細な領域を比較検査する場合があるが、１つめの印刷物を撮影し、次に２つめの印刷物を撮影しようとする際には、微細な領域を観察しているため１つめに観察した位置を見つけだすことや、観察条件を再現するのが非常に困難であった。
【０００５】
また、同条件で正確な位置での撮影が可能であった場合でも、検査を行う上で、もう少し移動や傾けた状態にしたいなどの、さらに異なる条件での撮影を行うことで、判定の参考にすることが考えられるが、その撮影も時間がかかってしまうため、迅速にあらゆる方向からの比較を行うことができる観察画像を得ることが困難であった。
【０００６】
また、このようなデバイスが付与されている印刷物の種類が多種にわたる場合、比較検査を行うため印刷物の位置や向き、それを撮影する観察方向、照明の方向などの観察環境を調整する必要があり、非常に時間がかかるという問題があった。
【０００７】
従って、このようなデバイス同士を比較検査する場合には、撮影に慣れたものが行うというのが現状で、不慣れな者が撮影を行った場合には、検査判定を行うための適した画像を得ることが困難になるという問題が生じていた。
【０００８】
さらに、このような比較検査を遠方で同様に行う場合、比較検査の方法、観察条件等を伝達しても、等しい観察画像を得ることは困難であった。
【０００９】
上記デバイス同士の比較検査に際しての問題点を解決するために、本出願人は、デバイスの位置や角度、照明の種類や角度、観察方向等の観察条件を同じにして比較検査することを可能とする、比較検査装置及び比較検査方法（特願平２００２−５９７０８）を出願している。
【００１０】
本発明の目的は、本出願人が先に出願した比較検査装置を用いて、例えば遠方に設置した比較検査装置と通信ネットワークを介して接続されることにより、観察方向や照明方向により図柄や色彩が変化する複数のデバイス又は該デバイスを付与した複数の印刷物の比較検査を、２つ同時に又は交換して比較検査する方法を、距離及び／又は時間に影響されることなく遠方でも同様に比較検査が可能となる比較検査システムを提供する。
【００１１】
【発明が解決するための手段】
本発明の比較検査システムは、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを比較検査するための少なくとも一つの観察手段と、前記少なくとも一つの観察手段を制御する制御手段と、前記少なくとも一つの観察手段のデバイスを操作及び／又は表示する操作表示手段とを備えて比較検査し、前記比較検査したデバイスの観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを記憶して蓄積した記憶手段と、前記比較検査するデバイスの観察画像及び該画像の観察条件データを入力して送受信する通信手段とが通信回線で接続された比較検査システムであって、
前記少なくも一つの観察手段は、
前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御手段により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、
前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御手段により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、
前記制御手段による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを備え、
前記制御手段は、
前記少なくとも一つの観察手段の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記少なくとも一つの観察手段の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するステージコントローラを備え、
前記操作表示手段は、
前記少なくとも一つの観察手段の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、
前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記少なくとも一つの観察手段を前記制御手段により制御し、撮影された観察画像を前記操作表示手段で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記記憶手段に記憶し、次に前記デバイスを交換し、又は前記通信手段から入力したデバイスの前記記憶手段の観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを取得し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示手段で入力し、前記少なくとも一つの観察手段を前記操作表示手段で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備え、
前記少なくとも一つの観察手段を使用して、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００１２】
本発明の比較検査システムは、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを比較検査するための少なくとも一つの観察手段と、前記少なくとも一つの観察手段を制御する制御手段と、前記少なくとも一つの観察手段のデバイスを操作及び／又は表示する操作表示手段とを備えて比較検査し、前記比較検査したデバイスの観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを記憶して蓄積した記憶手段と、前記比較検査するデバイスの観察画像及び該画像の観察条件データを前記記憶手段より取得する通信手段とが通信回線で接続された比較検査システムであって、
前記少なくも一つの観察手段は、
前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御手段により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、
前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御手段により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、
前記制御手段による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを備え、
前記制御手段は、
前記少なくとも一つの観察手段の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記少なくとも一つの観察手段の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するステージコントローラを備え、
前記操作表示手段は、
前記少なくとも一つの観察手段の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、
前記記憶手段の観察画像及び該画像の観察条件データを取得した前記少なくとも一つの観察手段を前記制御手段により制御し、撮影された観察画像を前記操作表示手段で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示手段で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示手段で入力し、前記少なくとも一つの観察手段を前記操作表示手段で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備え、
前記少なくとも一つの観察手段を使用して、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００１３】
本発明の比較検査システムは、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを比較検査するための少なくとも一つの観察手段と、前記少なくとも一つの観察手段を制御する制御手段と、前記少なくとも一つの観察手段のデバイスを操作及び／又は表示する操作表示手段とを備えて比較検査し、前記比較検査したデバイスの観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを記憶して蓄積した記憶手段と、前記比較検査するデバイスの観察画像及び該画像の観察条件データを入力して送受信する通信手段とが通信回線で接続された比較検査システムであって、
前記少なくとも一つの観察手段は、
前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御手段により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、
前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御手段により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、
前記制御手段による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスをズームレンズとカメラにより撮影する撮影系とを備え、
前記制御手段は、
前記少なくとも一つの観察手段の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記少なくとも一つの観察手段の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを備え、
前記操作表示手段は、
前記少なくとも一つの観察手段の撮影系で撮影された観察画像を調整するカメラコントローラと、画像をズームするズームコントローラと、前記撮影系からの観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御手段のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、
前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記少なくとも一つの観察手段を前記制御手段により制御し、撮影された観察画像を前記操作表示手段で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記記憶手段に記憶し、次に前記デバイスを交換し、又は前記通信手段から入力したデバイスの前記記憶手段の観察画像及び該画像の観察時の観察条件を取得し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示手段で入力し、前記少なくとも一つの観察手段を前記操作表示手段で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備え、
前記少なくとも一つの観察手段を使用して、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００１４】
本発明の比較検査システムは、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを比較検査するための少なくとも一つの観察手段と、前記少なくとも一つの観察手段を制御する制御手段と、前記少なくとも一つの観察手段のデバイスを操作及び／又は表示する操作表示手段とを備えて比較検査し、前記比較検査したデバイスの観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを記憶して蓄積した記憶手段と、前記比較検査するデバイスの観察画像及び該画像の観察条件データを入力して送受信する通信手段とが通信回線で接続された比較検査システムであって、
前記少なくとも一つの観察手段は、
前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御手段により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、
前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御手段により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、
前記制御手段による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスをズームレンズとカメラにより撮影する撮影系とを備え、
前記制御手段は、
前記少なくとも一つの観察手段の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記少なくとも一つの観察手段の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを備え、
前記操作表示手段は、
前記少なくとも一つの観察手段の撮影系で撮影された観察画像を調整するカメラコントローラと、画像をズームするズームコントローラと、前記撮影系からの観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御手段のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、
前記記憶手段の観察画像及び該画像の観察時の観察条件を取得して前記少なくとも一つの観察手段を前記制御手段により制御し、撮影された観察画像を前記操作表示手段で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示手段で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示手段で入力し、前記少なくとも一つの観察手段を前記操作表示手段で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備え、
前記少なくとも一つの観察手段を使用して、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００１５】
本発明の比較検査システムにおいて、前記比較検査に用いる基準画像は、前記比較検査する少なくとも一つの観察手段の試料台にデバイスを載置し、該デバイスの画像を基準とする、又は前記記憶手段に予め記憶され保管された比較検査画像及び該画像の記憶時の観察条件データを基準として比較検査することを特徴としている。
【００１６】
本発明の比較検査システムにおいて、前記少なくとも一つの観察手段の試料系に、試料台をＸ方向及び／又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージにより傾斜した状態のデバイスを観察できるようにしたことを特徴としている。
【００１７】
本発明の比較検査システムにおいて、前記少なくとも一つの観察手段の試料系に載置されたデバイスを撮影する撮影系に、該撮影系をＸ方向及び／又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージによりデバイスを傾斜した方向から観察できるようにしたことを特徴としている。
【００１８】
本発明の比較検査システムにおいて、前記観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスとは、表面が、観察する角度、照明方向又は種類によって色や模様が変化したり、模様に動きなどが現れるホログラムや回折格子等のＯＶＤであることを特徴としている。
【００１９】
本発明の比較検査システムにおいて、前記観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスとは、画線構成におけるインキの盛り上がり、すき入れ又はエンボスによる凹凸により、観察方向及び／又は傾斜することにより模様が変化するものであることを特徴としている。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明の比較検査システムは、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスを観察する観察条件を通信回線で入力する入力手段と、移動、回転、傾斜等をさせる試料系と、デバイスに照明の照射角度等を変化させて照明する照明系と、デバイスを撮影するカメラの角度等を変化させる撮影系とを備えた少なくとも一つの観察手段を備えて成り、前記観察手段の観察条件をディスプレイ上に表示して、その観察条件になるように少なくとも一つの観察手段を操作する操作表示手段に接続され、前記少なくとも一つの観察手段の観察条件の座標軸による制御及び同期並びに前記複数のデバイスの観察画像の合成を行い、前記操作表示手段とのデータ伝送を媒介する制御手段と、前記少なくとも一つの観察手段とデータ伝送される操作データ及び前記観察画像を前記制御手段を介して記憶する記憶手段とから構成されている。
【００２１】
複数のデバイスを比較検査する場合、比較検査に用いる基準画像としては、比較検査システムの比較検査装置の少なくとも一つの観察手段の試料台にデバイスを載置し、該デバイスの画像を基準として比較検査する、又は比較検査装置内又はホストコンピュータに予め記憶し保存されている観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを基準として比較検査してもよい。
【００２２】
【実施例】
以下、本発明に係わる比較検査システムの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明に係わる比較検査システムの一実施の形態の全体構成を示す構成図であり、一例としてホスト部とターミナル部とをＬＡＮ／ＷＡＮ等のネットワークに接続した構成としている。基本的にはホスト部とターミナル部の比較検査装置の構成は同じであるが、ネットワークを利用した比較検査を有効に活用するために、ターミナル部の比較検査装置の構成を簡単にすることも可能である。
【００２３】
図２は、図１に示した本発明の一実施の形態である比較検査システムのホスト部とターミナル部の間の手順を示した流れ図である。まず、ターミナル部からホスト部に接続するために、入力部から接続要求（Ｓ０１）を行う。ホスト部では、これを受けて接続開始のための操作を行い、ターミナル部に接続開始の許可（Ｓ０２）を送付する。
【００２４】
次に、ターミナル部は、ホスト部に対して、観察対象物の比較検査に用いる基準としての観察画像及び該画像の観察時の観察条件データの送付を要求（Ｓ０３）する。ホスト部では、ターミナル部の要求を受けて、基準とする画像の選択（Ｓ０４）をする。基準とする観察画像としては、ホスト部の比較検査装置の試料台に、ターミナル部の観察対象物と同じ観察対象物を載置し（Ｓ０５）、基準とする画像を決定し、その時の観察条件データを取得（Ｓ０６）する。又は、ホスト部の比較検査装置内又は記憶部（５）に記憶し、保存されている基準とする観察画像及び該画像の観察時の観察条件データをデータベースから取得（Ｓ０７）する。これらのいずれを基準とするかを決定し、ターミナル部に送付する（Ｓ０８）。
【００２５】
ターミナル部は、ホスト部から送付された前記基準とする観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを取得して記憶し（Ｓ０９）、ホスト部と同一条件にあわせ、観察部の試料台に比較検査する観察対象物を載置し、比較検査を開始する（Ｓ１０）。
【００２６】
図３は、本発明の比較検査システムに用いられる比較検査装置の基本構成の一例を示す図であり、１つの観察部６、制御部７、操作表示部８から成る構成である。
【００２７】
図４は、本発明の比較検査システムに用いられる比較検査装置の他の一例を示す図であり、観察部を２つとした場合の例であり、観察部(A)１、観察部(B)２、制御部３、操作表示部４の他に、記憶部５、モニタ９、プリンタ１０、動画記録装置１１を有した構成としたものである。
【００２８】
比較検査したデバイスの観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを記憶し、保存するのは、比較検査装置内又は記憶部５のデータベースに対応付けて保存される。
【００２９】
以下に、図１に示した本発明の一実施の形態である比較検査システムに、図３、図４に示す比較検査装置を用いて、複数の観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスを付与した印刷物を比較検査するシステムの一実施例を、図８、図９の各フローチャートを用いて詳細に説明する。なお、本実施例において用いる基準とする観察画像は、ホスト部の比較検査装置の操作表示部４の試料台に載置された印刷物の画像を基準とする場合を例に説明する。
【００３０】
（実施例１）  本実施例は、図１の比較検査システムを構成するホスト部の比較検査装置には図４の比較検査装置を、ターミナル部の比較検査装置には図３の比較検査装置を用いた構成とし、図８のフローチャートを用いて詳細に説明する。
【００３１】
図３のターミナル部の観察部６及び図４のホスト部の観察部(A)１、観察部(B)２の初期化を行い（Ｓ１１）、前記ホスト部の観察部(A)１又は観察部(B)の試料系の試料台に印刷物を載置し（Ｓ２１）、観察したい位置に移動し（Ｓ３１）、次にターミナル部の観察部６の試料系の試料台に印刷物を載置し（Ｓ４１）、前記ホスト部の観察部(A)１又は観察部(B)の座標をターミナル部の観察部６に入力し座標を合わせ（Ｓ５１）、ホスト部の観察部(A)１又は観察部(B)とターミナル部の観察部６の観察位置を微調整し（Ｓ６１）、位置が正確かどうかを確認し、正確であったら、ホスト部の観察部(A)１又は観察部(B)に載置した印刷物を撮影する（Ｓ７１）。適切な画像であるか否かを比較検査し（Ｓ８１）記録し直す場合はもう一度（Ｓ６１）に戻って操作を繰り返す。
【００３２】
次に、他の観察場所を観察する場合は、同期操作でホスト部の観察部(A)１又は観察部(B) とターミナル部の観察部６を移動し（Ｓ９１）、ホスト部の観察部(A)１又は観察部(B) とターミナル部の観察部６の観察位置を微調整し（Ｓ１０１）、位置が正確かどうかを確認し、正確であったら、ホスト部の観察部(A)１又は観察部(B) とターミナル部の観察部６に載置した印刷物を撮影する（Ｓ１１１）。適切な画像であるか否かを比較検査し（Ｓ１２１）、記録し直す場合は、もう一度（Ｓ９１）に戻って操作を繰り返す。適切な画像であり、他の観察場所を観察する場合は（Ｓ１３１）、もう一度（Ｓ９１）に戻って操作を繰り返す。他の観察場所の観察を終え、観察対象物を交換する場合には（Ｓ１４１）、もう一度（Ｓ２１）に戻って操作を繰り返す。
【００３３】
（実施例２）  本実施例は、図１の比較検査システムのホスト部の比較検査装置には図４の比較検査装置を、ターミナル部の比較検査装置には図３の比較検査装置を用いた構成とし、図９のフローチャートを用いて詳細に説明する。
【００３４】
図３のターミナル部の観察部６の初期化を行い（Ｓ１２）、あらかじめ図４のホスト部の操作表示部４の記憶部に記憶してある基準とする観察画像を表示する（Ｓ２２）。次にターミナル部の観察部６の試料系の試料台に印刷物を載置し（Ｓ３２）、あらかじめ図４のホスト部の操作表示部４の記憶部に記憶してある基準とする観察画像の座標を入力する（Ｓ４２）。更に、ホスト部の操作表示部４の記憶部に記憶してある基準とする観察画像とターミナル部の観察部６の観察位置を微調整し（Ｓ５２）、ターミナル部の観察部６に載置した印刷物を撮影する（Ｓ６２）。適切な画像であるか否かを比較検査し（Ｓ７２）、記録し直す場合は、もう一度（Ｓ５２）に戻って操作を繰り返す。適切な画像であり、他の観察場所を観察する場合は（Ｓ８２）、もう一度（Ｓ２２）に戻って操作を繰り返す。他の観察場所の観察を終え、観察対象物を交換する場合には（Ｓ９２）、もう一度（Ｓ３２）に戻って操作を繰り返す。
【００３５】
図５は、本発明の比較検査システムに用いる比較検査装置の観察部の詳細図であり、試料系、照明系及び撮影系全体の構成図（側面図）の一実施例である。図６は、前記図５の試料系及び撮影系の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）であり、図７は、前記図５の照明系の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。これらの図を用いてそれぞれの操作機能を説明しながら、実施例２をさらに詳しく説明する。
【００３６】
図３のターミナル部の観察部６の試料系の各ステージを初期化し（Ｓ１２）、あらかじめホスト部の比較検査装置の操作表示部４の記憶部に記憶してある基準とする観察画像を表示する（Ｓ２２）。前記観察画像の観察条件のデータを、ネットワークを介してターミナル部に読み込み、次にターミナル部の制御部７のステージコントローラ及び操作表示部８のコンピュータにより制御される観察部６の試料系、照明系及び観察系のうち、試料系の構成は、試料台１６、Ｙステージ１７、Ｘステージ１８、θステージ１９、Ｙ軸方向傾斜ステージ２０、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１から成り、試料台１６に比較検査を行う印刷物を載置し（Ｓ３２）、あらかじめホスト部の比較検査装置の操作表示部４の記憶部に記憶してある基準の座標を入力する（Ｓ４２）。
【００３７】
観察部を構成する試料系、照明系、撮影系のそれぞれの機能をさらに詳しく説明する。試料系を構成する各ステージの関係を試料台１６の動作を中心に図を用いて説明する。図６の試料系の側面図（ｂ）で、Ｙステージ１７により、試料台１６は矢印のように紙面に対して水平移動する。図６の試料系の正面図（ａ）で、Ｘステージ１８により、Ｘステージ１８上に載置しているＹステージ１７を含む試料台１６は矢印のように紙面に対して水平移動し、θステージ１９により、θステージ１９上に載置しているＸステージ１８及びＹステージ１７を含む試料台１６は、θステージ１９の中心を軸に回転し、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１は、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心であり、焦点を合わせている点Ａを中心に、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１上に載置しているＹ軸方向傾斜ステージ２０、θステージ１９、Ｘステージ１８及びＹステージ１７を含む試料台１６を矢印のように移動させることにより、点Ａの部分はカメラ２６及びズームレンズ２５との距離を保ったままとなり、焦点調整することなく印刷物を傾斜させて観察できる。
【００３８】
Ｙ軸方向傾斜ステージ２０についてもＸ軸方向傾斜ステージ２１と同様で、図６の試料系の側面図（ｂ）で、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心であり、焦点を合わせている点Ａを中心に、Ｙ軸方向傾斜ステージ２０上に載置しているθステージ１９、Ｘステージ１８及びＹステージ１７を含む試料台１６を矢印のように移動させることにより、点Ａの部分はカメラ２６及びズームレンズ２５との距離を保ったままとなり、焦点調整することなく印刷物を傾斜させて観察できる。
【００３９】
照明系の構成は、照明方向が変えられる傾斜ステージ２４、照明２２、照明２２の光源２３から成り、印刷物に照明を照射する。照明系の構成をさらに詳細に説明すると、図７の照明系の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）に示すように、照明２２は、傾斜ステージ２４に取り付けられており、光ファイバにより光源２３と接続され光源が照明２２に送られる。照明２２の動作をさらに詳しく説明すると、図５で、傾斜ステージ２４は、照明２２が試料台の印刷物に照明を照射している照明の中心である点Ａを中心に、傾斜ステージ２４に取り付けられている照明２２を矢印のように移動させることにより、点Ａの部分は照明との距離を保ったままとなり、明るさを変えることなく照射角度を変更させることができる。
【００４０】
撮影系の構成は、印刷物を斜めから撮影できるＹ軸方向傾斜ステージ２７、Ｘ軸方向傾斜ステージ２８に取り付けられたカメラ２６とカメラに取り付けられたズームレンズ２５から成り、ズームレンズ２５はレンズコントローラでコントロールし、また、カメラ２６はカメラコントローラでコントロールして印刷物を撮影する。
【００４１】
カメラ２６及びズームレンズ２５の動作をさらに詳細に説明すると、図６の撮影系の正面図（ａ）で、Ｙ軸方向傾斜ステージ２７、カメラ２６及びズームレンズ２５が取り付けられているＸ軸方向傾斜ステージ２８は、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心であり、焦点を合わせている点Ａを中心に矢印のように移動させることにより、点Ａの部分はカメラ２６及びズームレンズ２５との距離を保ったままとなり、焦点調整することなく傾斜させた方向から印刷物の観察ができる。
【００４２】
Ｙ軸方向傾斜ステージ２７についてもＸ軸方向傾斜ステージ２８と同様で、図６の撮影系の側面図（ｂ）で、カメラ２６及びズームレンズ２５が取り付けられているＹ軸方向傾斜ステージ２７は、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心であり、焦点を合わせている点Ａを中心に矢印のように移動させることにより、点Ａの部分はカメラ２６及びズームレンズ２５との距離を保ったままとなり、焦点調整することなく傾斜させた方向から印刷物の観察ができる。
【００４３】
以上の機能を適宜操作しながら、更にホスト部の操作表示部４の記憶部に記憶してある基準とする観察画像と、ターミナル部の観察部の６の観察位置を微調整し（Ｓ５２）、ターミナル部の観察部６に載置した印刷物を撮影する（Ｓ６２）。適切な画像であるか否かを比較検査し（Ｓ７２）、記録し直す場合は、もう一度（Ｓ５２）に戻って操作を繰り返す。適切な画像であり、他の観察場所を観察する場合は（Ｓ８２）、もう一度（Ｓ２２）に戻って操作を繰り返す。他の観察場所の観察を終え、観察対象物を交換する場合には（Ｓ９２）、もう一度（Ｓ３２）に戻って操作を繰り返す。
【００４４】
記憶部５は、この比較検査をしている静止画及び動画の記録を行うことができ、また、ネットワーク上に接続されているホスト部の比較検査装置からこのデータをダウンロードし、静止画及び動画の再生も行えるため、比較検査の参考として用いることができる。
【００４５】
プリンタ１４は、この比較検査をしている静止画を出力することができるため、動画再生やモニタの環境のないところでの資料として用いることができる。
【００４６】
以上、観察部の操作機能の詳細を説明してきたが、観察部が増設された場合も同様の手順で行うことができる。また、観察部の試料系のＸステージ、Ｙステージ、θステージ、Ｘ軸方向傾斜ステージ及びＹ軸方向傾斜ステージの重ね方、並びに撮影系のＸ軸方向傾斜ステージ及びＹ軸方向傾斜ステージの重ね方については、図６の試料系では、試料台１６の下から、Ｙステージ１７、Ｘステージ１８、θステージ１９、Ｙ軸方向傾斜ステージ２０、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１の順で、図６の撮影系では、カメラ２６が、Ｙ軸方向傾斜ステージ２７、Ｘ軸方向傾斜ステージ２８の順で取り付けられているが、比較検査する印刷物及び観察方法により重ね方を変更して観察することができる。例えば、試料台１６の下から、θステージ１９、Ｙステージ１７、Ｘステージ１８、Ｙ軸方向傾斜ステージ２０、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１という関係にすることにより、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心を変えて観察することが可能となる。
【００４７】
また、照明については、可視光だけではなく紫外光等の光源や、コヒーレント、非コヒーレント、コヒーレントな光源ではレンズを加えることにより平行光、拡散光等を用いることができ、比較検査する印刷物の種類により前記照明を組み合わせて観察することができる。例えば、回折格子を観察する場合、平行光としたレーザ光を用いることにより、一定の周波数や方向を持つ回折格子のみの観察ができる。
【００４８】
また、観察部の各ステージを同期して移動させている間の観察も比較検査として用いられるもので、移動させている状態の動画の記録、再生も同様に用いられる。
【００４９】
また、観察部の試料系、照明系、撮影系は座標で制御されているので、観察する印刷物が１つの場合でも測定できるのはいうまでもない。
【００５０】
以上の実施例は、ホスト部の比較検査装置の観察部の試料台に載置された印刷物の画像を基準画像とし、該画像及びこの時の観察部の観察条件のデータをターミナル部の比較検査装置で読み取り比較検査する場合と、ホスト部の比較検査装置の操作表示部の記憶部にあらかじめ記憶されている基準とする観察画像及び該画像の観察時の観察条件データを基準として比較検査する場合とを詳細に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において変更し得ることはいうまでもない。
【００５１】
【発明の効果】
本発明の比較検査システムによって、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを観察する場合に、観察方向や照明方向等の調整、また、撮影時の条件や位置の微細なずれ、さらに、被検査物を交換した時に同条件で正確な位置を見つけ出す困難さ等が解消され、容易に同一条件で同時に比較検査を距離及び／又は時間に影響されることなく比較検査水準を一定に保つことを可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態による比較検査システムの一例を示す構成図である。
【図２】本発明の一実施の形態による比較検査システムのホスト部とターミナル部の手順を示す流れ図である。
【図３】本発明の一実施の形態による比較検査システムに用いる比較検査装置の一例を示す概略説明図である。
【図４】本発明の一実施の形態による比較検査システムに用いる比較検査装置の他の一例を示す概略説明図である。
【図５】本発明の一実施の形態による比較検査システムに用いる比較検査装置の観察部（試料系、照明系、撮影系）の一例を示す概略説明図（側面図）である。図中の点Ａは、カメラ及びズームレンズの撮影中心であり、印刷物の表面に焦点を合わせたときの位置である。
【図６】本発明の一実施の形態による比較検査システムに用いる比較検査装置の試料系及び撮影系の一例を示す概略説明図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図を示す。図中の点Ａは、カメラ及びズームレンズの撮影中心であり、印刷物の表面に焦点を合わせたときの位置である。
【図７】本発明の一実施の形態による比較検査システムに用いる比較検査装置の照明系の一例を示す概略説明図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図を示す。
【図８】本発明の一実施の形態による比較検査システムを用いた比較検査の一例のフローチャートである。
【図９】本発明の一実施の形態による比較検査システムを用いた比較検査の一例のフローチャートである。
【図１０】従来の観察方法の実施例を示す概略説明図である。
【符号の説明】
１、２、６、９、１０  観察部
３、７、１１          制御部
４、８、１２          操作表示部
５                    記憶部
１３        モニタ
１４        プリンタ
１５        動画記録装置
１６        試料台
１７        Ｙステージ
１８        Ｘステージ
１９        θステージ
２０        Ｙ軸方向傾斜ステージ
２１        Ｘ軸方向傾斜ステージ
２２        照明
２３        光源
２４        傾斜ステージ
２５        ズームレンズ
２６        カメラ
２７        Ｙ軸方向傾斜ステージ
２８        Ｘ軸方向傾斜ステージ
２９        印刷物
３０        カメラ
３１        照明
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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