(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、この光源からの光を参照光と測定光とに分割すると共に、被検面で反射した測定光と前記参照光とを合成して干渉縞を生じさせるための分割合成素子と、この分割合成素子と前記被検面との間に配置した干渉測定用ヌル原器とを有する非球面形状測定用干渉計において、
前記光源と前記分割合成素子との間に選択的に配置される被検面測定用および被検面アライメント用の異なる波長の光を透過するカラーフィルターと、
前記分割合成素子と前記干渉測定用ヌル原器との間に挿脱可能に配置される輪帯状の開口を有する絞りとを有し、
前記干渉測定用ヌル原器は、回折格子からなる被検面測定用パターンを有し、
被検面アライメント時には、前記光源と前記分割合成素子との間に被検面アライメント用の前記カラーフィルターを配置すると共に、前記分割合成素子と前記干渉測定用ヌル原器との間に前記絞りを挿入し、被検面測定時には、前記光源と前記分割合成素子との間に被検面測定用の前記カラーフィルターを配置すると共に、前記分割合成素子と前記干渉測定用ヌル原器との間から前記絞りを取り除くようにしたことを特徴とする非球面形状測定用干渉計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光学素子の面形状、特に、非球面形状を測定する干渉計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
非球面の形状を干渉計を用いて測定する方法は、従来種々提案されている。かかる測定方法においては、被検面の非球面量が小さい場合には、球面測定用干渉計で評価することもできるが、非球面量が大きくなると測定が困難になるため、何らかの対策が必要になる。その対策として、例えば、干渉計の光路中に非球面波を発生させるヌル原器と呼ばれるものを配置して、非球面の被検面に垂直に光を入射させるようにしたものが従来提案されており、また、この場合に用いるヌル原器として、回折光学素子（ＤＯＥ）であるホログラムを利用するホログラム原器と呼ばれるものや、ゾーンプレートを利用するゾーンプレート原器と呼ばれるものが提案されている。
【０００３】
また、ヌル原器をアライメントする方法として、特開平６−１１３２３号公報には、以下のような方法が提案されている。
（１）測定波発生部材（ヌル原器）の片面に波長λ１の波長に対応した形状測定波面を生成するためのパターンを形成し、その反対面にλ２の波長の光が入射したときに球面波を発生させるパターンを形成して、球面波をアライメントに用いる方法。
（２）測定波発生部材の同一面に、形状測定波面用パターンと、球面波用パターンとの２つを重ねて形成する方法。
（３）測定波発生部材の異なる領域に、形状測定波面用パターンと球面波用パターンとを形成する方法。
（４）測定波発生部材を液晶素子で形成し、形状測定波面用パターンと球面波用パターンとの切り替えを、液晶に印加する電圧分布を変えることにより実現する方法。
【０００４】
一方、ヌル原器を、例えば平行光束中に置く場合には容易に位置合わせすることができるが、例えば球面波中に置く場合には、平行光束中に配置する場合に比べてアライメント軸が２軸増えるために、アライメントが困難になる。このように、ヌル原器を球面波中に置く場合のアライメント方法として、例えば、
（５）特公平５−１３４４１号公報に開示されているように、位置合わせマークを有する調整用ホログラム原器を所定位置に配置して、アライメント光学系のレチクルの指標を位置合わせマークに合致させ、次に調整用ホログラム原器と測定用ホログラム原器とを交換する方法。
（６）特開平５−１５７５３２号公報に開示されているように、１枚の基板上に測定用の透過型計算機ホログラムと位置合わせ用の反射型計算機ホログラムとを形成し、反射型ホログラムを用いて干渉計に位置合わせした後、基板を所定量移動させて透過型ホログラムを所定の位置にセットして、測定する方法。
がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の非球面形状測定用干渉計にあっては、以下のような問題点がある。
【０００６】
問題点１
上記（１）の方法においては、例えば波長λ１の光は、形状測定波面を発生させるためのパターンだけでなく、その反対面の球面波を発生させるパターンにも入射して、２つのパターンで回折されるため、光の利用効率が低下する。このような現象は、波長λ２の光を用いる場合にも、同様に発生する。
【０００７】
問題点２
上記（２）の方法においては、同一面に２つのパターンが重ねて形成されているため、入射光が２つのパターンで回折され、これがため形状測定光、アライメント光の利用効率が低下する。
【０００８】
問題点３
上記（３）の方法においては、測定波発生部材の異なる領域に２つのパターンが形成されているため、異なる被検面に対応するには、全体を作り直さなければならず、汎用性に欠ける。
【０００９】
問題点４
上記（４）の方法においては、液晶素子を用いるため、装置が複雑になると共に、液晶素子の電極パターンが決まっているために、液晶素子に正確な位相分布を持たせることができず、測定精度に限界がある。
【００１０】
問題点５
また、上記（１），（２），（３），（４）のいずれの方法においても、測定波面用とアライメント波面用の２つのパターンが必要になる。
【００１１】
問題点６
上記（５）の方法においては、測定時に原器を交換する手間が必要になり、また、その原器を交換するという作業が誤差発生原因になる。
【００１２】
問題点７
上記（６）の方法においては、反射型ホログラムを用いて位置合わせをした後に基板を高精度に移動させる機構が必要になるため、装置が複雑で高価になる。また、光学的方法で高精度に位置合わせしても、結局最後に用いる機械的移動機構で全体の精度が決定されてしまう。
【００１３】
この発明の目的は、特に上記問題点５を解決し、簡単に製作できるヌル原器を用いて高精度の形状測定ができるよう適切に構成した非球面形状測定用干渉計を提供しようとするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、この発明は、光源と、この光源からの光を参照光と測定光とに分割すると共に、被検面で反射した測定光と前記参照光とを合成して干渉縞を生じさせるための分割合成素子と、この分割合成素子と前記被検面との間に配置した干渉測定用ヌル原器とを有する非球面形状測定用干渉計において、
前記光源と前記分割合成素子との間に選択的に配置される被検面測定用および被検面アライメント用の異なる波長の光を透過するカラーフィルターと、
前記分割合成素子と前記干渉測定用ヌル原器との間に挿脱可能に配置される輪帯状の開口を有する絞りとを有し、
前記干渉測定用ヌル原器は、回折格子からなる被検面測定用パターンを有し、
被検面アライメント時には、前記光源と前記分割合成素子との間に被検面アライメント用の前記カラーフィルターを配置すると共に、前記分割合成素子と前記干渉測定用ヌル原器との間に前記絞りを挿入し、被検面測定時には、前記光源と前記分割合成素子との間に被検面測定用の前記カラーフィルターを配置すると共に、前記分割合成素子と前記干渉測定用ヌル原器との間から前記絞りを取り除くようにしたことを特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
この発明に係る非球面形状測定用干渉計においては、被検面測定用パターンは、被検面測定時に用いるカラーフィルターの波長の光に対して作成されるので、異なる波長の光が入射すると、被検面測定用波面とは異なる波面が形成される。したがって、被検面測定用パターンの所定のピッチ分布を有する一部分に、被検面測定用波長とは異なる波長のカラーフィルターおよび絞りを経てアライメント用の光を入射させれば、ほぼ無収差の球面波からなるアライメント用波面が発生するので、アライメント用波面を発生させるための特別なパターンをヌル原器に形成する必要がない。
【００１６】
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１は、この発明とともに開発した第１参考例における光学系全体の構成を示す図である。この第１参考例は、フィゾー型干渉計に適用したもので、光源１、ビームエキスパンダー２、参照平面３、ヌル原器１０、ハーフミラー７、瞳結像レンズ８およびスクリーン９を有し、例えば非球面レンズ等の被検対象物（被検レンズ）６の被検面６１の形状を測定する。
【００１７】
図１において、光源１は、例えばＨｅ−Ｎｅレーザーを用い、ビームエキスパンダー２は、レンズ群２１，２２をもって構成する。また、参照平面３は、ビームエキスパンダー２とヌル原器１０との間に配置し、ハーフミラー７は、ビームエキスパンダー２を構成するレンズ群２１，２２間に配置する。
【００１８】
ヌル原器１０は、測定用ＤＯＥ４および被検面アライメント用ＤＯＥ５を有する。測定用ＤＯＥ４は、図２ａに示すように、光学材料からなる平行平面板を基板とし、その片面に同心円状のリングパターンを有する透過型の回折格子からなる測定用パターン４１を形成して構成する。ここで、測定用パターン４１は、その断面形状を図２ｂに示すように、所定の回折次数、例えば１次の回折光に対してブレーズ化するのが好ましい。
【００１９】
また、被検面アライメント用ＤＯＥ５は、図３ａに示すように、光学材料からなる平行平面板を基板とし、その中心部を円形にくり抜いて中空に形成すると共に、片面に同心円状のリングパターンを有する透過型の回折格子からなる被検面アライメント用パターン５１が形成して構成する。ここで、被検面アライメント用パターン５１は、その断面形状を図３ｂに示すように、所定の回折次数、例えば２次の回折光に対してブレーズ化するのが好ましい。この第１参考例では、図４に示すように、被検面アライメント用ＤＯＥ５の中空部に、測定用ＤＯＥ４を嵌合して、両者の相対的位置関係を一定に保持する。
【００２０】
図１に示す構成において、光源１から出たレーザ光は、ビームエキスパンダー２により光束径が広げられ、ほぼ平行な光束に変換されて、参照平面３に入射する。参照平面３では、入射光に対して数％の反射光が発生し、その反射光は参照光となり、透過光は測定用ＤＯＥ４および被検面アライメント用ＤＯＥ５に入射する。
【００２１】
被検面アライメント用ＤＯＥ５に入射した光束は、被検面アライメント用パターン５１により回折作用を受け、被検面６１の面頂に集光する輪帯状の球面波に変換される。ここで、被検面アライメント用パターン５１の断面形状を、上述したようにブレーズ化しておけば、回折効率がほぼ１００％となるので、干渉縞を観察する際にコントラストを向上させることができる。被検面６１が所定の位置に置かれていれば、球面波に変換された光束は、被検面６１の面頂に収束して反射され、その反射された光束は、再び輪帯状の球面波となって参照平面３、レンズ群２２、ハーフミラー７および瞳結像レンズ８を経てスクリーン９に至り、参照平面３で反射された参照光と干渉して輪帯状の干渉縞を形成する。
【００２２】
一方、測定用ＤＯＥ４に入射した光束は、測定用パターン４１により回折作用を受けて所定の波面に変換される。ここで、測定用パターン４１の断面形状が、上述したようにブレーズ化されていれば、回折効率がほぼ１００％となるので、ノイズとなる不要光による干渉縞の発生を有効に防止できる。測定用パターン４１により変換された光束は、被検面６１にほぼ垂直に入射して反射され、この被検面６１で反射された光束は、被検面６１に大きな形状誤差がない場合には、往路とほぼ同じ光路を通って、参照平面３、レンズ群２２、ハーフミラー７および瞳結像レンズ８を経てスクリーン９に至り、参照平面３で反射された参照光と干渉して干渉縞を形成する。
【００２３】
以下、実際に測定を行う手順について説明する。
先ず、被検レンズ６をおおよそ所定の位置に置いて、被検面アライメント用パターン５１による干渉縞を観察しながら、図示しない被検レンズ位置調整機構により、被検レンズ６の光軸方向の位置を調整する。この調整において、被検面６１の光軸方向の位置が正しくないと、スクリーン９には、図５ａに示すように、被検面アライメント用パターン５１による干渉縞１１と被検面測定用パターン４１による干渉縞１２との２つの干渉縞が観測され、正しく位置調整されると、図５ｂに示すように、干渉縞１１がヌルになる。
【００２４】
次に、図示しない被検レンズ位置調整機構により、被検面６１の傾きや、偏心を調整して、被検面測定用パターン４１による干渉縞をできるだけヌルに近づける。この際、被検面６１の傾きや、偏心を調整すると、面頂の位置が光軸方向にずれる場合があるので、ときどき被検面アライメント用パターン５１による干渉縞を確認するのが望ましい。この調整において、被検面６１に製作誤差がない場合には、アライメントが終了すると、図５ｃに示すように、干渉縞１１，１２がともにヌルになる。
【００２５】
被検面６１のアライメントが終了した後、被検面６１の形状測定に移る前に、図１に示すように、輪帯状の絞り１４を光路中に配置して、測定用パターン４１以外に入射する光束を遮断するのが望ましい。この状態で、図示しない機構により参照平面３を光軸方向に微動させることにより、位相シフト測定を行うこともできる。
【００２６】
この第１参考例では、ヌル原器１０を構成する測定用ＤＯＥ４と、被検面アライメント用ＤＯＥ５とを別々に作成しているので、測定用ＤＯＥ４と被検面６１の面頂との光軸方向の距離を一定にしておけば、異なる被検面形状に対しても、測定用ＤＯＥ４と被検面アライメント用ＤＯＥ５との両方を作り直す必要はなく、測定用ＤＯＥ４の部分だけを作り替えることによって、容易に対処することができる。
【００２７】
また、図１では、被検面６１を凹面の非球面としたが、測定用ＤＯＥ４に形成する測定用パターン４１を変更することにより、凸面の非球面に対しても、容易に対処することができる。
【００２８】
さらに、上記説明では、光源１として、Ｈｅ−Ｎｅレーザを挙げたが、これに限られるわけでなく、他のレーザ、例えばＨｅ−Ｃｄレーザ、Ａｒ+ レーザを用いることもできる。
【００２９】
また、上述した第１参考例では、被検面アライメント用ＤＯＥ５の中空部に、測定用ＤＯＥ４を嵌合して、両者の相対的位置関係を一定に保持するようにしたが、例えば測定用ＤＯＥ４を、特定の溶剤にとける接着剤により被検面アライメント用ＤＯＥ５の中空部に接着したり、図６に示すように、被検面アライメント用ＤＯＥ５の側面にネジ穴を形成し、そのネジ穴を利用してネジ１１０により両者を固定するように構成することもできる。
【００３０】
あるいは、図７に示すように、測定用ＤＯＥ４および被検面アライメント用ＤＯＥ５を、それぞれよく研磨した平行平面基板で製作して、オプティカルコンタクトにより一体化させることもできる。この場合には、両者のリングパターンの中心を一致させる必要があるが、被検面アライメント用ＤＯＥ５を中空のドーナツ形状に加工する必要はないので、その製作が容易になる。
【００３１】
さらに、図８ａに示すように、被検面アライメント用パターン５１を、異なる球面波を発生させる２つのパターン５１Ａおよび５１Ｂを同心円状に形成して構成し、これにより図８ｂに示すように、異なる２つの位置に収束させるようにしたり、あるいは、図８ｃに示すように、上記の２つのパターン５１Ａおよび５１Ｂを、同一軸帯上で互い違いに等分に配置して、図８ｄに示すように、異なる２つの位置に収束させるようにすることもできる。このようにすれば、例えば両面が非球面からなるレンズの異なる面を測定する場合、１つの被検面アライメント用ＤＯＥ５を用いてアライメントすることができるので、新たにＤＯＥを作る手間が省けるという利点がある。
【００３２】
図９は、この発明とともに開発した第２参考例における光学系全体の構成を示す図である。この第２参考例は、参照面として球面を用いる。このため、図１に示す構成において、参照平面３に代えて参照レンズ３′を用いる。この参照レンズ３′は、一般に参照球面３１′を含む複数のレンズ素子を有する。この参照レンズ３′の参照球面３１′以外の面には、無反射膜をコーティングする。
【００３３】
また、この第２参考例では、図１０に示すようなヌル原器１０′を用いる。このヌル原器１０′は、光学材料からなる平行平面板を基板とし、その片面に同心円状のリングパターンを有する回折格子からなる被検面測定用パターン４１′と、被検面アライメント用パターン５１′と、ＤＯＥアライメント用パターン５２′とを形成する。ここで、測定用パターン４１′および被検面アライメント用パターン５１′は、透過型の回折格子とし、その断面形状は所定の回折次数、例えば１次光に対してブレーズ化する。また、ＤＯＥアライメント用パターン５２′は、その表面にＡｌ（アルミニウム）などの金属薄膜をコートして反射型の回折格子として作用させる。なお、ＤＯＥアライメント用パターン５２′は、その断面形状を所定の反射回折次数、例えば２次光に対してブレーズ化する。
【００３４】
図９に示す構成において、光源１から出たレーザ光は、ビームエキスパンダー２により光束径が広げられ、ほぼ平行な光束に変換されて、参照レンズ３′に入射する。参照レンズ３′は、入射した平行光束を収束する球面波に変換する。ここで、参照レンズ３′の参照球面３１′には、無反射コーティングが施されていないので、参照レンズ３′に入射した光束は、参照球面３１′で数％が反射され、その反射光が参照光となり、参照レンズ３′により球面波に変換された光束がヌル原器１０′に入射することになる。
【００３５】
ヌル原器１０′に入射した球面波のうち、測定用パターン４１′に入射した光束は、回折格子により回折作用を受けて、所定の波面に変換される。ここで、測定用パターン４１′は、その断面形状がブレーズ化されているので、回折効率がほぼ１００％となり、ノイズとなる不要光による干渉縞の発生が防止される。この測定用パターン４１′により変換された光束は、被検レンズ６′の被検面６１′にほぼ垂直に入射し、この被検面６１′で反射された光束は、被検面６１′に大きな形状誤差がない場合には、往路とほぼ同じ光路を通り、参照レンズ３′、レンズ群２２、ハーフミラー７および瞳結像レンズ８を経てスクリーン９に至り、参照球面３１′で反射された参照光と干渉して干渉縞を形成する。
【００３６】
一方、被検面アライメント用パターン５１′に入射した光束は、図１１に詳細に示すように、ここで回折作用を受けて、被検面６１′の面頂に集光する球面波に変換される。この際、被検面アライメント用パターン５１′は、その断面形状がブレーズ化されているので、回折効率がほぼ１００％となり、したがって干渉縞のコントラストを向上させることができる。ここで、被検面６１′が所定の位置に置かれていれば、球面波に変換された光束は、被検面６１′の面頂で反射され、この反射された光束は、再び同じ光路をたどって、参照レンズ３′、レンズ群２２、ハーフミラー７および瞳結像レンズ８を経てスクリーン９に至り、参照球面３１′で反射された参照光と干渉して輪帯状の干渉縞を形成する。
【００３７】
さらに、ＤＯＥアライメント用パターン５２′に入射した光束は、ここで反射回折作用を受け、入射光の光路を逆にたどって発散球面波に変換される。この際、ＤＯＥアライメント用パターン５２′は、その断面形状がブレーズ化されているので、高い回折効率が得られ、したがって干渉縞のコントラストを向上させることができる。ここで、ヌル原器１０′が所定の位置に置かれていれば、反射回折を受けて球面波に変換された光束は、参照レンズ３′、レンズ群２２、ハーフミラー７および瞳結像レンズ８を経てスクリーン９に至り、参照球面３１′で反射された参照光と干渉して輪帯状の干渉縞を形成する。
【００３８】
以下、実際に測定を行う手順について説明する。
先ず、ヌル原器１０′を、参照レンズ３′から発生する球面波中に配置する。次に、ＤＯＥアライメント用パターン５２′の干渉縞がヌルフリンジになるように、図示しない移動機構によりヌル原器１０′の位置を調整する。この際、被検レンズ６′を光路中から外しておけば、スクリーン９には、ＤＯＥアライメント用パターン５２′からの反射回折光による干渉縞のみが現れるので、調整し易くなる。この操作により、測定用パターン４１′および被検面アライメント用パターン５１′も所定位置にアライメントされたことになる。
【００３９】
ヌル原器１０′のアライメントが終了後、被検レンズ６′のアライメントおよび被検面６１′の形状測定を、上述した第１参考例で説明したと同様にして行う。なお、この際、好適には、ＤＯＥアライメント用パターン５２′に入射する光束を遮断しておくと、スクリーン９の被検面アライメントパターン５１′や測定用パターン４１′による干渉縞が見易くなる。
【００４０】
この第２参考例によれば、ヌル原器１０′に、反射型の回折格子からなるＤＯＥアライメント用パターン５２′および透過型の回折格子からなる被検面アライメント用パターン５１′を形成したので、球面波中に測定用ＤＯＥを配置した場合でも、測定用ＤＯＥおよび被検面のアライメントを正確に行うことができる。
【００４１】
なお、この第２参考例では、ヌル原器１０′に、被検面の測定用パターン４１′、被検面アライメントパターン５１′およびＤＯＥアライメントパターン５２′の３つのパターンを一体に形成したが、第１参考例のように、測定用パターンを形成する部材と、その他のパターンを形成する部材とを別々に製作して、それらを結合してもよい。また、図９では、被検面６１′を凸面としたが、測定用パターン４１′を変更することにより、凹面に対しても容易に適用することができる。
【００４２】
図１２ａおよび図１２ｂは、この発明の一実施形態を説明するための図で、図１２ａは測定時の光学系の構成を、図１２ｂはアライメント時の光学系の構成をそれぞれ示す。この光学系の基本的構成は、第１参考例のフィゾー干渉計と同様であるが、この実施形態では、光源１′として、例えば、５４３ｎｍ，６０４ｎｍ，６３３ｎｍなどの発振波長を持つマルチカラーＨｅ−Ｎｅレーザーを用いる。また、光源１′とビームエキスパンダー２との間の光路中には、測定時にはカラーフィルター１３ａを、アライメント時にはカラーフィルター１３ｂを配置する。ここで、カラーフィルター１３ａは、光源１′の発振波長のうちの１つである波長λ１の近傍だけを透過するバンドパスフィルターをもって構成し、カラーフィルター１３ｂは、光源１′の発振波長のうちの１つで、波長λ１とは異なる波長λ２の近傍だけを透過するバンドパスフィルターをもって構成する。
【００４３】
また、ヌル原器１０″は、光学材料からなる平行平面板を基板とし、その片面には、図１３に示すように、同心円状のリングパターンを有する透過型の回折格子からなる測定用パターン４１″を形成する。ここで、測定用パターン４１″は、その断面形状を波長λ１の所定の回折次数、例えば１次光に対してブレーズ化する。
【００４４】
さらに、アライメント時においては、参照平面３とヌル原器１０″との間の光路中に絞り１４を配置する。この絞り１４には、所定の半径ｒの輪帯状スリット１５を形成する。この絞り１４は、金属板などで作る場合には、図１４に示すように、中央の円盤状部分を保持するための保持部が必要となるが、ガラス基板全面にＣｒなどの金属薄膜を形成し、エッチングにより輪帯状スリット１５を形成する場合には、保持部は必要なく、つながったスリット開口部とすることができる。
【００４５】
ここで、絞り１４のスリット半径ｒの決め方について、図１５を参照して説明する。ヌル原器１０″の測定用パターン４１″の半径ｒに対するピッチｄの変化を表す関数をｄ（ｒ）とおき、ヌル原器１０″と被検面６１″の面頂との距離をＬとする。測定用パターン４１″は、波長λ１の１次光に対してブレーズ化されているので、波長λ２の光が入射した場合には、１次光以外の次数の光も射出される。ここで、半径ｒの場所に入射した波長λ２の光が測定用パターン４１″に入射した時、そのｍ次回折光が被検面６１″の面頂に集光される条件は、
ｄ（ｒ）・ｒ／（ｒ２＋Ｌ２）１／２＝ｍ・λ２
となる。上記の条件が成り立つ半径ｒの周辺では、多少の誤差はあるものの、入射した光は同様に被検面６１″の面頂に集光する。その条件が成り立つ範囲の半径ｒに対応する幅の輪帯状スリット１５を、絞り１４に形成する。
【００４６】
なお、この実施形態では、ビームエキスパンダー２および瞳結像レンズ８は、波長λ１およびλ２に対して収差補正がなされたアクロマートとする。
【００４７】
次に、実際に測定を行う場合の手順について説明する。
先ず、図１２ｂに示すように、光源１′とビームエキスパンダー２との光路中にカラーフィルター１３ｂを挿入すると共に、参照平面３とヌル原器１０″との間の光路中に絞り１４を、その輪帯状のスリット１５の中心が干渉計の光軸と一致するように挿入する。この状態で、第１参考例で説明したと同様にして、被検レンズ６″を所定の位置に置いて干渉縞を観察しながら、図示しない被検レンズ位置調整機構により被検レンズ６″の光軸方向の位置を調整する。このとき、スクリーン９には、図１６ａに示すように、絞り１４により制限され、測定用パターン４１″の一部分に入射した波長λ２の光束による干渉縞１１′が観測される。ここで、図１６ｂのように、干渉縞１１′がヌルになると、被検面６１″の光軸方向の位置が正しく置かれたことになる。
【００４８】
被検面６１″のアライメントが終了したら、図１２ａに示すように、カラーフィルター１３ｂの代わりにカラーフィルター１３ａを挿入すると共に、絞り１４を取り除く。次に、図示しない被検レンズ位置調整機構により、被検面６１″の傾きや、偏心を調整して測定用パターン４１″による干渉縞１２′をできるだけヌルに近づける。ここで、被検面６１″に製作誤差がなければ、アライメントの終了により、図１６ｃに示すように、干渉縞１２′はヌルフリンジになる。
【００４９】
被検面６１″のアライメントが終了し、その形状測定を行うにあたっては、アライメント用の波長λ２の光は、カラーフィルター１３ａで遮断されるので、その状態で、図示しない機構により参照平面３を光軸方向に微動させて、位相シフト測定を行うことができる。
【００５０】
この実施形態によれば、測定用パターン４１″の他にアライメント用パターンを必要としないので、ヌル原器１０″を製作するときの工程が簡略化され、したがって簡単に製作できるヌル原器１０″を用いて高精度の形状測定ができる。
【００５１】
なお、この実施形態では、光源１′としてＨｅ−Ｎｅレーザを挙げたが、これに限られるわけでなく、他のレーザ、例えばＨｅ−Ｃｄレーザ（マルチライン）、Ａｒ＋レーザ（マルチライン）等を用いることもできる。また、ヌル原器１０″に、第２参考例で説明したようなヌル原器アライメント用パターンを形成することもできる。
【００５２】
さらに、この実施形態では、干渉計の基本構成としてフィゾー型を用いて説明したが、この発明はトワイマン・グリーン型（マイケルソン型）干渉計に対しても有効に適用することができる。
【００５３】
ところで、一般に、ＤＯＥ（回折光学素子）は、平行平面板上に凹凸の回折格子パターンを形成して構成される。例えば、上述したヌル原器を構成するＤＯＥは、円板状あるいはドーナツ状の平行平面板上に凹凸の回折格子パターンを形成して構成される。しかし、ＤＯＥにおける回折格子パターンの間隔は、通常数μｍから数１００μｍであり、また、その高さも波長程度と、非常に微細であるため、ＤＯＥが可視光に対して透明な材料からなる場合には、直接目視するとＤＯＥの表と裏の表面が重なって見え、回折格子パターンが形成されている範囲はわかっても、それがＤＯＥのどちらの面にあるのかが非常にわかりにくい。
【００５４】
このようなことから、ＤＯＥを用いて光学系を組み立てる場合などに、ＤＯＥの表裏を間違えやすく、また表裏の判断に時間がかかるという問題がある。このような問題は、特に、図４、図６および図７に示したように、別々に形成した測定用ＤＯＥ４と被検面アライメント用ＤＯＥ５とを一体化したヌル原器１０を用いて、図１に示したような干渉計を構成する場合には、ヌル原器そのものを組み立てる場合と、それを用いて干渉計を組み立てる場合との双方において生じることになる。
【００５５】
以下、このような問題を解決し得るＤＯＥについて説明する。
図１７ａおよびｂは、その第１の例を示すもので、図１７ａは、ＤＯＥ７１を回折格子パターン側から見た図であり、図１７ｂは、図１７ａのＡ−Ａ線断面図である。このＤＯＥ７１は、可視光に対して十分に透明な材料からなっている。また、ＤＯＥ７１は、同心円状の回折格子パターンを形成した円状の領域７２と、その領域の外側の回折格子パターンがない輪帯状の領域７３とを有する。この第１の例においては、回折格子パターンがない領域７３の最外周部分に、図１７ｂに示すように、陵を面取りした面取り部分７４を形成する。なお、この面取り部分７４の面取りの量は、反対側の陵７５の面取り量に比べて十分に大きく、目視により面取り部分７４と反対側の陵７５とを容易に区別できる程度とする。
【００５６】
このように構成すれば、面取り部分７４と反対側の陵７５とを目視で容易に識別することができるので、ＤＯＥ７１のどちらの面に面取り部分７４があるのか容易にわかる。また、面取り部分７４と回折格子パターンを形成した領域７２とは、ＤＯＥ７１の同じ面側にあるので、面取り部分７４がある面がどちらの面かがわかれば、回折格子パターンを形成した面も容易にわかる。すなわち、面取り部分７４は、回折格子パターンを形成した面を示す目印の役割を果たしており、これにより回折格子パターンを形成した面がどちらかを、目視により容易に認識することができる。したがって、このようなＤＯＥ７１を用いれば、光学系を組み立てる際などに、ＤＯＥ７１の表裏を容易に識別できるので、その表裏を間違えることなく正確に組み込むことができ、作業にかかる時間を短縮することができる。
【００５７】
以上、第１の例では、回折格子パターンを形成した面を識別するために、一方の面側に面取り部分７４を形成したＤＯＥ７１について説明したが、このような面取り部分７４を形成する場合に限らず、図１８、図１９および図２０に示すようにＤＯＥ７１を構成することもできる。以下、図１８を第２の例、図１９を第３の例および図２０を第４の例として、それぞれに示すＤＯＥ７１の構成について説明する。
【００５８】
図１８に示すＤＯＥ７１は、図１７に示したＤＯＥと同様に、同心円状の回折格子パターンを形成した円状の領域７２と、その外側にある回折格子パターンのない輪帯状の領域７３とを有する。この第２の例では、ＤＯＥ７１の最外周部分に、他の領域より低い段差７６を形成する。ここで、段差７６は、回折格子パターンの凹凸に比べて十分大きく、目視で段差７６があることが容易にわかる程度とする。
【００５９】
このように構成すれば、段差７６を目視で容易に識別することができるので、ＤＯＥ７１のどちらの面に段差７６があるのか容易にわかる。また、段差７６と回折格子パターンは同じ面内にあるので、段差７６がどちらの面にあるのかわかれば、回折格子パターンを形成した面も容易にわかる。すなわち、段差７６は、回折格子パターンを形成した面を示す目印の役割を果たしており、これにより回折格子パターンのある面がどちらか容易に判断できる。
【００６０】
したがって、図１８に示すＤＯＥ７１を用いれば、図１７の場合と同様に、光学系を組み立てる際などに、ＤＯＥ７１の表裏を容易に識別できるので、その表裏を間違えることなく正確に組み込むことができ、作業にかかる時間を短縮することができる。さらに、この第２の例では、面取りよりも狭い範囲で、段差７６を深く形成できるので、段差７６を認識し易く、またＤＯＥ７１の有効径を大きく取ることができる利点がある。
【００６１】
次に、図１９に示すＤＯＥ７１について説明する。この第３の例は、陵を、ある半径で丸めた形状の曲面７７を最外周部分に形成したものである。この曲面７７は、同心円状の回折格子パターンを形成した円状の領域７２と、その外側の回折格子パターンがない輪帯状の領域７３と同じ面側に形成する。また、曲面７７の反対側の陵７５は、図１７に示したＤＯＥの陵と同様とする。なお、曲面７７の半径は、曲面７７と反対側の陵７５とを目視で容易に識別できる程度に大きくする。
【００６２】
このように構成すれば、曲面７７と陵７５とを目視で容易に識別することができるので、ＤＯＥ７１のどちらの面に曲面７７があるのか容易にわかる。また、曲面７７と回折格子パターンを形成した領域７２とは同じ面内にあるので、曲面７７がＤＯＥ７１のどちらの面にあるのかがわかれば、回折格子パターンがどちらにあるのかも容易にわかる。すなわち、曲面７７は、回折格子パターンを形成した面を示す目印の役割を果たしており、これにより回折格子パターンのある面がどちらか容易に判断できる。
【００６３】
したがって、図１９に示すＤＯＥ７１を用いれば、図１７の場合と同様に、光学系を組み立てる際などに、ＤＯＥ７１の表裏を容易に識別できるので、その表裏を間違えることなく正確に組み込むことができ、作業にかかる時間を短縮することができる。さらに、この第３の例では、回折格子パターンが形成された面の角が丸まっているので、欠けにくく、また他のものにひっかけにくいという利点もある。
【００６４】
以上説明した第１〜３の例では、回折格子パターンが形成された面の最外周部分全体に、面取り部分７４、段差７６、曲面７７などの目印を形成するようにしたが、これらの目印は、例えば図２０に第４の例を示すように、外周部の一部にあるだけでもよい。図２０に示すＤＯＥ７１は、図２０ａに平面図を、図２０ｂに図２０ａのＡ−Ａ線断面図を示すように、同心円状の回折格子パターンを形成した円状の領域７２と、その外側の回折格子パターンがない輪帯状の領域７３とを有する。この第４の例では、回折格子パターンがない領域７３内で、有効径外に、複数個の凹部７８を形成する。これら各凹部７８の深さは、回折格子パターンの凹凸に比べて十分大きく、目視で容易に認識することができる程度とする。また、凹部７８の数は、図２０では４個であるが、それ以上でもそれ以下でも、また１つでも良い。
【００６５】
このように構成すれば、凹部７８を目視で容易に認識することができるので、ＤＯＥ７１のどちらの面に凹部７８があるのか容易にわかる。また、凹部７８と回折格子パターンを形成した領域７２とは同じ面内にあるので、凹部７８がＤＯＥ７１のどちらの面にあるのかがわかれば、回折格子パターンがどちらにあるのかも容易にわかる。すなわち、凹部７８は、回折格子パターンが形成された面を示す目印の役割を果たしており、これにより回折格子パターンが形成されている面がどちらか容易に判断することができる。
【００６６】
したがって、図２０に示すＤＯＥ７１を用いれば、図１７の場合と同様に、光学系を組み立てる際などに、ＤＯＥ７１の表裏を容易に識別できるので、その表裏を間違えることなく正確に組み込むことができ、作業にかかる時間を短縮することができる。
【００６７】
以上、第１〜４の例では、回折格子パターンを形成した面と同じ面内に目印を有するＤＯＥについて説明したが、これらの目印は、回折格子パターンを形成した面と反対の面にあってもよい。この場合、目印が回折格子パターンを形成した面と反対側にあるので、目印がどちらの面にあるかがわかれば、回折格子パターンはその反対の面内にあることになる。したがって、この場合も上述した場合と同様に、光学系を組み立てる際などに、ＤＯＥ７１の表裏を容易に識別できるので、その表裏を間違えることなく正確に組み込むことができ、作業にかかる時間を短縮することができる。
【００６８】
また、上述したＤＯＥ７１は、同心円状の回折格子パターンを有するものであったが、直線状の回折格子パターンを有する場合でも、上述した構成を有効に適用することができ、これにより同様の効果を得ることができる。
【００６９】
次に、図２１を参照して、回折格子パターンを形成した面を識別するための目印を有するＤＯＥの第５の例について説明する。図２１ａは、ＤＯＥ７９を回折格子パターン側から見た図であり、図２１ｂはその側面を示す図である。このＤＯＥ７９は、直線状の回折格子パターンを有し、可視光に対して充分に透明な材料からなっている。この例では、ＤＯＥ７９の側面に凹部８０を形成する。この凹部８０は、その中心と回折格子パターンを形成した面８１との間隔が、凹部８０の中心と、面８１とは反対側の面８２との間隔よりも狭く、その差は目視で容易に判断できる程度とする。また、凹部８０の深さは、目視で容易に認識することができる程度とする。
【００７０】
このように構成すれば、凹部８０を目視で容易に認識することができ、その凹部８０の位置を見ることによって、どちらの面が回折格子パターンのある面かが容易にわかる。すなわち、凹部８０は、どちらの面に回折格子パターンがあるかを示す目印の役割を果たすことになる。したがって、このようなＤＯＥ７９を用いれば、光学系を組み立てる際などに、ＤＯＥ７９の表裏を容易に識別できるので、その表裏を間違えることなく正確に組み込むことができ、作業にかかる時間を短縮することができる。また、凹部８０は側面の表面よりへこんでいるので、枠などを付ける際に邪魔にならず、治具などと組み合わせ易い利点がある。
【００７１】
なお、図２１では、凹部８０の形状を長方形としたが、目視で容易に認識することができる程度の大きさと深さがあれば、任意の形とすることができる。また、目印は、側面より飛び出した凸部とすることもできる。この場合には、凸部が側面より外側にあるので、凸部でＤＯＥ７９を通る光が遮られることがない。したがって、回折格子パターンをＤＯＥ７９の基板全面に形成することができるので、ＤＯＥの大きさに対して有効径の広いＤＯＥを得ることができる。言い換えれば、同じ有効径ならば、より小さなＤＯＥを得ることができる。
【００７２】
図２２は、目印を有するＤＯＥの第６の例を示すものである。このＤＯＥ７９は、図２１に示したのと同様に直線状の回折格子パターンを有する。この第６の例では、ＤＯＥ７９の側面に、三角形の平板を付けたような形状の凸部８３を設ける。この凸部８３は、目視で容易にその形状がわかる程度の大きさと高さを有し、かつ回折格子パターンを形成した面の方に底辺８４が、それと逆の面の方に頂角８５がそれぞれ向くように設ける。
【００７３】
かかる構成によれば、凸部８３の形状を見ることによって、容易に凸部８３の三角形の向きがわかるので、それにより、どちらが回折格子パターンのある面かがわかる。したがって、このようなＤＯＥ７９を用いれば、光学系を組み立てる際などに、ＤＯＥ７９の表裏を容易に識別できるので、その表裏を間違えることなく正確に組み込むことができ、作業にかかる時間を短縮することができる。また、凸部８３が側面より外側にあるので、凸部８３でＤＯＥを通る光を遮ることがなく、回折格子パターンをＤＯＥ７９の基板全面に形成することができ、ＤＯＥの大きさに比べて有効径の広いＤＯＥを得ることができる。すなわち、第５の例と同様に、同じ有効径ならばより小さなＤＯＥを得ることができる。
【００７４】
なお、図２２では、凸部８３の形状を三角形としたが、回折格子パターンを形成した面に平行な面に対して上下非対称の形状で、目視により容易に認識することができる程度の大きさと高さを有すれば、任意の形状とすることができる。また、このような形状の目印は、側面よりへこんだ凹部であってもよい。この場合には、目印が側面の表面よりへこんでいるので、枠などを付ける際に、邪魔にならず、治具などと組み合わせ易くなる。
【００７５】
図２１および図２２に示したＤＯＥ７９では、目印を一つとしたが、目印の数は一つに限らず、必要に応じて複数の目印を設けることもよい。また、回折格子パターンも、直線状に限らず、同心円状のものとすることもでき、その場合も同様な目印を付けることで、同様の効果を得ることができる。
【００７６】
次に、図２３を参照して、目印を有するＤＯＥの第７の例について説明する。図２３ａは、ＤＯＥを回折格子パターン側から見た図であり、図２３ｂは、図２３ａのＡ−Ａ線断面図である。このＤＯＥ８６は、同心円状の回折格子パターンを形成した円状の領域７２と、その外側の回折格子パターンのない輪帯状の領域７３とを有する。この例では、回折格子パターンのない領域７３内に、表面がすりガラス状になっている領域８７を形成する。なお、領域８７の反対側の面は鏡面とする。
【００７７】
このように構成すれば、表面がすりガラス状の領域８７とその反対側の面の表面とを目視で容易に区別できるので、ＤＯＥ８６のどちらの面に領域８７があるのか目視で容易にわかる。ここで、領域８７と回折格子パターンを形成した領域７２とは同じ面内にあるので、領域８７がある面がわかれば、どちらが回折格子パターンのある面かが容易にわかる。すなわち、表面がすりガラス状の領域１７は、回折格子パターンがどちらの面にあるかを示す目印の役割を果たすことになる。
【００７８】
したがって、このようなＤＯＥ８６を用いれば、光学系を組み立てる際などに、ＤＯＥ８６の表裏を容易に識別できるので、その表裏を間違えることなく正確に組み込むことができ、作業にかかる時間を短縮することができる。また、ＤＯＥ８６の表裏を判断するための目印が、すりガラス状の細かい凹凸であり、大きな凹凸がないので、普通のＤＯＥと同様に扱うことができる。
【００７９】
なお、表面がすりガラス状の領域８７は、周辺部１周に亘って存在しなくてもよく、回折格子パターンがない領域７３内に、目視で認識できる程度の面積で形成すればよい。また、この領域８７は、回折格子パターンを形成した領域７２と反対側の面で、有効径外の領域に形成することもできる。この場合も、領域８７がどちらの面にあるかがわかれば、回折格子パターンがある面はその反対側の面であることがわかる。
【００８０】
さらに、図２３では、同心円状の回折格子パターンを有するＤＯＥ８６を示したが、直線状の回折格子パターンを有するものであっても、この例を有効に適用することができる。また、回折格子パターンのある面を判断するための領域８７は、すりガラス状の表面に限らず、裏面の表面と異なり、その違いが目視で容易にわかるようなもの、例えば、目視で認識可能な程度の大きさの格子とすることもできる。
【００８１】
図２４は、目印を有するＤＯＥの第８の例を示す断面図である。このＤＯＥ８８は、可視光に対して十分に透明な材料からなり、一方の面側には、同心円状の回折格子パターンを形成した円状の領域７２と、その外側の一部、もしくは全体に、図示しない鏡筒と嵌合するように、光軸方向に突出して形成された輪帯状の凸部８９を有する。また、回折格子パターンと反対側の面側にも、その有効径外の一部、もしくは全体に、図示しない鏡筒と嵌合するように形成された同様の輪帯状の凸部９０を有する。この例では、凸部８９と凸部９０とを、目視で容易に区別できる程度に、それらの高さ、あるいは幅を異ならせる。
【００８２】
このように構成すれば、回折格子パターンを形成した面側にある凸部８９と、その反対の面側にある凸部９０とは、高さあるいは幅が目視で容易に区別できるほど異なるので、凸部８９と凸部９０とを比べれば、どちらが回折格子パターンを形成した面側にある凸部であるかが容易にわかる。すなわち、凸部１９と凸部２０は、それらを比較することにより、回折格子パターンがある面がどちらなのかを容易に判断できるので、これらは回折格子パターンがある面を判断するための目印の役割を果たすことになる。
【００８３】
したがって、このようなＤＯＥ８８を用いれば、光学系を組み立てる際などに、ＤＯＥ８８の表裏を容易に識別できるので、その表裏を間違えることなく正確に組み込むことができ、作業にかかる時間を短縮することができる。さらに、凸部８９および凸部９０は、鏡筒と嵌合するもので、わざわざ後から枠をはめるなどの特別な工程を要することなく、そのまま鏡筒に固定することができる。また、凸部８９および凸部９０は、回折格子パターンと一体に形成され、回折格子パターンと既にアライメントがあっているので、鏡筒に固定する際に、鏡筒と回折格子パターンのアライメントを合わせる必要がなく、アライメントのための時間や手間を大幅に節約することができる。
【００８４】
なお、凸部８９および凸部９０は、両方ともある必要はなく、枠の設計に基づいて一方だけとすることもできる。この場合には、両方に凸部がある場合よりも、より違いが大きくなるので、回折格子パターンのある面をより判断し易くなる利点がある。また、図２４では、同心円状の回折格子パターンを有するＤＯＥ８８を示したが、直線状の回折格子パターンの場合にも、この例を有効に適用することができる。
【００８５】
図２５は、目印を有するＤＯＥの第９の例を示す断面図である。このＤＯＥ９１は、同心円状の回折格子パターンを形成した円状の領域７２およびその外側の回折格子パターンのない輪帯状の領域７３とを支持する部材９２と、この支持部材９２とは異なる材料からなり、回折格子パターンのない領域７３上に形成した識別部材９３とを有する。支持部材９２は、例えば、可視光に対して十分透明な材料で形成する。また、識別部材９３は、支持部材９２との違いが目視で認識できる材料、例えば、透明ではなく色がついた材料や、屈折率が支持部材９２の屈折率と大きく異なる材料等で形成し、かつその大きさは、目視で認識することができる程度に大きくする。
【００８６】
このように構成すれば、支持部材９２と識別部材９３とを目視で容易に区別できるので、識別部材９３がＤＯＥ９１のどちらの面にあるかが容易にわかる。ここで、識別部材９３は、回折格子パターンを形成した面と同じ側にあるので、識別部材９３がＤＯＥ９１のどちらの面にあるかがわかれば、回折格子パターンがどちらにあるのかも容易にわかる。すなわち、識別部材９３はＤＯＥ９１の回折格子パターンがある面を示す目印の役割を果たすことになる。したがって、かかるＤＯＥ９１を用いれば、光学系を組み立てる際などに、ＤＯＥ９１の表裏を容易に識別できるので、その表裏を間違えることなく正確に組み込むことができ、作業にかかる時間を短縮することができる。
【００８７】
なお、識別部材９３は、図２５に示したように支持部材９２の表面より突出して設ける他、例えば、図２６に第１０の例を示すように、支持部材９２の領域７３に溝を形成し、この溝に埋設するようにしてもよい。また、この識別部材９３は、回折格子パターンがある面側の他、例えば、回折格子パターンがある面と反対の面に設けることもできるし、あるいは、図２７に第１１の例を示すように、支持部材９２の側面に設けることもできる。ただし、図２７に示すように、識別部材９３を支持部材９２の側面に設ける場合には、回折格子パターンがある面に近い位置か、もしくはその反対の面に近い位置にかたよって設ける。また、上述した識別部材９３は、支持部材９２の一部にのみ設けることもできる。
【００８８】
上述した第１〜１１の例の説明では、平行平面板上に回折格子パターンを形成したＤＯＥを示したが、両面とも球面の場合や、一方が平面で他方が球面の場合でも、同様に適用することができる。すなわち、両面とも球面の場合には、両者の曲率半径が近いと、どちらの面に回折格子パターンが形成されているかがわかりにくいが、上記第１〜１１の例に示したような目印を形成すれば、回折格子パターン面を容易に判別することができる。また、一方が平面で他方が球面の場合には、球面の曲率半径が大きいと平面に近くなり、目視での判別が困難になるが、両面とも球面である場合と同様に、上記第１〜１１の例に示したような目印を形成すれば、回折格子パターン面を容易に判別することができる。
【００８９】
以上説明した目印を有するＤＯＥによれば、回折格子パターンを形成した面がどちらであるかを、目視で容易に認識することができる。したがって、このＤＯＥを用いて光学系を組み立てる際などには、回折格子パターンを形成した面と他の面との識別にかかる時間が短縮でき、また、間違いもなくなる。
【００９０】
さらに、上記の目印は、回折格子パターンの形成と同時に形成できるので、後から別に形成する場合に比べて、時間や費用の節約になり、したがってＤＯＥを迅速かつ安価に量産することができる。また、後から目印を別に形成する場合には、目印を形成する際に回折格子パターンがどちらの面にあるのかが判断しにくいが、上記のように初めから一体に形成できるので、そのような心配もない。さらに、回折格子パターンを成形する材料と同一材料で目印を形成する場合には、材料の境目がないので、剥がれる危険性もなく、耐久性の高いＤＯＥを得ることができる。
【００９１】
付記
１．回折格子パターンを形成した面を少なくとも１つ有する回折光学素子であって、前記回折格子パターンを形成した面を他の面と区別するための識別手段を有することを特徴とする回折光学素子。
２．付記１記載の回折光学素子において、前記回折格子パターンと、該回折格子パターンを形成した面を支持する部材と、前記識別手段とを一体に成形したことを特徴とする回折光学素子。
【００９２】
【発明の効果】
この発明に係る非球面形状測定用干渉計によれば、アライメント用のカラーフィルターおよび絞りを経て測定用パターンの一部にアライメント用の波長の光を透過回折させて、被検面アライメント用の波面を発生させるようにしたので、ヌル原器にアライメント用パターンを形成する必要がない。したがって、簡単に製作できるヌル原器を用いて高精度の形状測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明とともに開発した第１参考例における光学系全体の構成を示す図である。
【図２】  図１に示す測定用ＤＯＥの構成を示す図である。
【図３】  同じく、被検面アライメント用ＤＯＥの構成を示す図である。
【図４】  同じく、ヌル原器の構成を示す図である。
【図５】  図１に示す干渉計による測定方法を説明するための図である。
【図６】  測定用ＤＯＥと被検面アライメント用ＤＯＥとの他の保持態様を示す図である。
【図７】  同じく、さらに他の保持態様を示す図である。
【図８】  第１参考例におけるヌル原器の変形例を説明するための図である。
【図９】  この発明とともに開発した第２参考例における光学系全体の構成を示す図である。
【図１０】  図９に示すヌル原器の構成を示す図である。
【図１１】  第２参考例の動作を説明するための図である。
【図１２】  この発明の一実施形態を説明するための図である。
【図１３】  図１２に示すヌル原器の構成を示す図である。
【図１４】  同じく、絞りの構成を示す図である。
【図１５】  絞りのスリット半径の決め方を説明するための図である。
【図１６】  一実施形態の動作を説明するための図である。
【図１７】  回折格子パターンを形成した面と他の面とを識別する識別手段を有するＤＯＥの第１の例を示す図である。
【図１８】  同じく、第２の例を示す図である。
【図１９】  同じく、第３の例を示す図である。
【図２０】  同じく、第４の例を示す図である。
【図２１】  同じく、第５の例を示す図である。
【図２２】  同じく、第６の例を示す図である。
【図２３】  同じく、第７の例を示す図である。
【図２４】  同じく、第８の例を示す図である。
【図２５】  同じく、第９の例を示す図である。
【図２６】  同じく、第１０の例を示す図である。
【図２７】  同じく、第１１の例を示す図である。
【符号の説明】
１  光源
２  ビームエキスパンダー
３  参照平面
４  測定用ＤＯＥ
４１  測定用パターン
５  被検面アライメント用ＤＯＥ
５１  被検面アライメント用パターン
６  被検レンズ
６ｌ  被検面
７  ハーフミラー
８  瞳結像レンズ
９  スクリーン
１０  ヌル原器
１１  被検面アライメント用パターンの干渉縞
１２  被検面測定用パターンの干渉縞
１４  絞り
【図１】
0003655680.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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