(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクに対して情報を磁気転写するための転写面に対して前記情報に対応したパターンで強磁性薄膜からなる磁性部が設けられているマスター情報担体であって、
前記強磁性薄膜に関して前記磁気ディスクの外周側に対応する部分における膜厚が、内周側に対応する部分における膜厚よりも大きくされている、ことを特徴とするマスター情報担体。
【請求項２】
請求項１に記載のマスター情報担体において、
前記強磁性薄膜に関して、前記磁気ディスク周方向における長さと膜厚との比が前記磁気ディスク半径方向位置に関わらずほぼ同一となるよう、その膜厚が設定されている、ことを特徴とするマスター情報担体。
【請求項３】
請求項１または２に記載のマスター情報担体において、
内外周面が同一高さを有する円盤状基体上に、磁気転写情報に対応して複数の配列パターン形状でもって同一深さに複数の凹部が設けられ、前記凹部に前記強磁性薄膜が埋設されているとともに、その強磁性薄膜の上面がその膜厚に対応して前記凹部から上方に突出されている、ことを特徴とするマスター情報担体。
【請求項４】
請求項１または２に記載のマスター情報担体において、
内外周面が同一高さを有する円盤状基体に対してその面上に、磁気転写情報に対応して複数の配列パターン形状でもって前記強磁性薄膜が設けられている、ことを特徴とするマスター情報担体。
【請求項５】
情報を磁気転写するための転写面に対して前記情報に対応したパターンで強磁性薄膜からなる磁性部が設けられているマスター情報担体を用いて前記情報が磁気転写された磁気ディスクを製造する方法であって、
磁性膜が形成されている被転写面を有する磁気ディスクにおける前記磁性膜に対して直流消去磁界を印加して一定方向の磁化をもたせる第１工程と、
請求項１ないし４いずれかに記載のマスター情報担体と、磁性膜が形成されている被転写面を有する磁気ディスクとを転写状態に重ね合わせる第２工程と、
前記重ね合わせ後、前記マスター情報担体に前記直流消去磁界と逆極性の直流励磁磁界を印加して前記強磁性薄膜を励磁するとともに、前記強磁性薄膜間における漏れ磁束で前記磁気記録媒体の磁性膜の磁化を反転させる第３工程と、
を含むことを特徴とする磁気ディスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録再生装置に用いられる磁気ディスクなどの磁気記録媒体に、所定の情報を記録するのに使用されるマスター情報担体およびこれを用いた磁気ディスクの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一方のディスクをマスター情報担体としそれに記録されている情報を、他方のディスクを磁気記録媒体としてそれに磁気転写により面状に一括して記録させて、前記情報が記録された磁気ディスクを製造する方法が知られている。
【０００３】
例えば、特開平１０−４０５４４号公報には、基体の表面に、情報に対応するパターン形状で強磁性材料からなる磁性部を形成してマスター情報担体とし、このマスター情報担体の表面を、強磁性薄膜が形成された磁気ディスクなどの磁気記録媒体の表面に接触させ、磁界印加により、マスター情報担体に形成した情報に対応するパターン形状の磁化パターンを磁気記録媒体に磁気転写する技術が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、マスター情報担体に設けられた前記情報に対応する配列パターンを、磁化パターンとして磁気記録媒体に磁気転写するにあたっては、磁気記録媒体全面に亘って均一に安定して高密度の情報が記録されることが重要である。
【０００５】
ところが、本発明者が、情報が磁気転写された磁気ディスクを用いて磁気記録再生装置で情報に対する再生を行ったところ、その再生信号の品質が劣化したり、あるいは、磁気ディスク上の位置により再生信号が不安定に変化するなど、原因不明の現象が認められた。
【０００６】
このような再生信号品質の劣化を生じたのでは、磁気記録再生装置のサーボトラッキングを行うことが、もはや困難となる場合がある。
【０００７】
そのため、本発明者は、鋭意研究を進め、種々の実験と検討を繰り返し行った結果、上記現象は、以下の作用によるものであることを見出した。
【０００８】
すなわち、マスター情報担体上の個々の強磁性薄膜パターンの周方向長さは、磁気転写された情報を磁気ヘッドを用いて再生した際の再生信号において、時間軸上で所定のパルス間隔を得るよう設計されている。ところが、磁気記録再生装置において磁気ディスクの回転速度は一定であるから、磁気ディスク上の一点における周速度は、その内周よりも外周の方が大きくなる。
【０００９】
したがって、ある磁気転写された信号を磁気ヘッドで再生した際の信号波形において内周から外周に渡って一定のパルス間隔を得るためには、強磁性薄膜パターンの周方向長さを外周ほど長くすることが必要である。これに対して、強磁性薄膜の膜厚は、内周、外周に関わらず一定となっていた。
【００１０】
そこで、本発明者が、強磁性薄膜の膜厚に対してさらに研究を加えた結果、磁気記録媒体に対して均一に安定して高密度の情報を磁気転写できるマスター情報担体およびこれを用いた磁気ディスクの製造方法の発明を完成できるに至った。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
（１）本発明のマスター情報担体は、磁気ディスクに対して情報を磁気転写するための転写面に対して前記情報に対応したパターンで強磁性薄膜からなる磁性部が設けられているマスター情報担体であって、前記強磁性薄膜に関して前記磁気ディスクの外周側に対応する部分における膜厚が、内周側に対応する部分における膜厚よりも大きくされていることを特徴とする。
【００１２】
本発明のマスター情報担体によると、磁性膜が形成されている被転写面を有する磁気ディスクにおける前記磁性膜に対して直流消去磁界を印加して一定方向の磁化をもたせる第１工程と、マスター情報担体と、磁性膜が形成されている被転写面を有する磁気ディスクとを転写状態に重ね合わせる第２工程と、前記重ね合わせ後、前記マスター情報担体に前記直流消去磁界と逆極性の直流励磁磁界を印加して前記強磁性薄膜を励磁するとともに、前記強磁性薄膜間における漏れ磁束で前記磁気記録媒体の磁性膜の磁化を反転させる第３工程とを有する磁気ディスクの製造方法において、前記第３工程で磁気記録媒体の半径位置に関わらず一様な直流励磁磁界をマスター情報担体に印加した場合においても、磁気記録媒体の内周側で十分な磁化反転を得るとともに、外周側ではマスター情報担体の強磁性薄膜上の逆磁性の漏れ磁束の発生を許容範囲以下に抑制して、磁気記録媒体に対してその半径位置に関わらず良好な信号品質でもって磁気転写を行うことができる。
【００１３】
本発明のマスター情報担体は、好ましくは、前記強磁性薄膜に関して、その周方向長さと膜厚との比が半径方向内外周においてほぼ同一となるよう、その膜厚が設定されている。
【００１４】
こうした場合、より均一に安定して高密度の情報を磁気転写された磁気ディスクを製造するのに用いることができる。
【００１５】
（２）本発明の磁気ディスクの製造方法は、情報を磁気転写するための転写面に対して前記情報に対応したパターンで強磁性薄膜からなる磁性部が設けられているマスター情報担体を用いて前記情報が磁気転写された磁気ディスクを製造する方法であって、磁性膜が形成されている被転写面を有する磁気ディスクにおける前記磁性膜に対して直流消去磁界を印加して一定方向の磁化をもたせる第１工程と、前記（１）のマスター情報担体と、磁性膜が形成されている被転写面を有する磁気ディスクとを転写状態に重ね合わせる第２工程と、前記重ね合わせ後、前記マスター情報担体に前記直流消去磁界と逆極性の直流励磁磁界を印加して前記強磁性薄膜を励磁するとともに、前記強磁性薄膜間における漏れ磁束で前記磁気記録媒体の磁性膜の磁化を反転させる第３工程とを含むことを特徴とする。
【００１６】
本発明の磁気ディスクの製造方法によると、均一に安定して高密度の情報を磁気転写された磁気ディスクを製造することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の詳細を図面に示される実施形態に基づいて説明する。
【００１８】
図１に、本実施の形態における磁気転写装置の概要を示す。図１において、円盤状の磁気記録媒体１は、中心孔１ａを有するドーナツ円盤状の非磁性基板の表面を被転写面とし、その被転写面にＣｏ等を主成分とする強磁性薄膜をスパッタリング法によって成膜することにより構成されている。
【００１９】
２は、上記磁気記録媒体１の被転写面に接触するように重ね合わされて配置された円盤状のマスター情報担体で、このマスター情報担体２は、一般的には上記磁気記録媒体１より径が大きい形状で、磁気記録媒体１に接触する側の表面には、それを転写面として磁気記録媒体１の被転写面に磁気転写すべき情報に対応した微細な配列パターン形状の強磁性薄膜からなる領域２ａが設けられている。
【００２０】
３は、磁気記録媒体１を保持するディスク保持体であり、このディスク保持体３の先端部には磁気記録媒体１を位置決め保持する保持部３ａが設けられている。また、ディスク保持体３内部には、磁気記録媒体１の中心孔１ａに連通しかつ一端が排気ダクト４に接続される吸引孔３ｂが設けられている。
【００２１】
また、排気ダクト４の端部には排気装置５が装着されており、この排気装置５を始動させることにより、排気ダクト４、ディスク保持体３の吸引孔３ｂを通して、磁気記録媒体１とマスター情報担体２との間の空間が大気圧に対して負圧状態となり、この結果、マスター情報担体２が磁気記録媒体１の方向に吸引され、マスター情報担体２に磁気記録媒体１が位置決めされた状態で互いの転写面と被転写面とが重ね合わされる。この場合、マスター情報担体２の転写面には領域２ａを除く領域において若干の隙間溝を形成し、その隙間溝を通して、磁気記録媒体１とマスター情報担体２との間の空気を吸引することもできる。
【００２２】
着磁用ヘッド６は、マスター情報担体２から磁気記録媒体１に磁気転写による記録をするためのもので、この着磁用ヘッド６から印加される磁界によりマスター情報担体２に形成された情報に対応した強磁性薄膜パターンが磁化され、これらから発生する漏れ磁束によって磁気記録媒体１に情報が記録される。
【００２３】
この着磁用ヘッド６は、例えば図２に示すように、巻線６ａを具備した強磁性材料からなる磁気コア半体６ｂと、同じく強磁性材料からなる磁気コア半体６ｃとを対向させて、ギャップ６ｄを有する環状の磁気回路を形成したものであり、巻線６ａに励磁電流を印加することによって、ギャップ６ｄには、矢印ＬＦで示すように磁気コア半体６ｂから磁気コア半体６ｃに向かう漏れ磁束が発生し、また印加する電流の向きを変えることによってギャップ６ｄに発生する漏れ磁束の向きを変えることができる。
【００２４】
矢印ＩＦは、図２に示す向きの漏れ磁束ＬＦが発生している時に磁気コア半体６ｂ、６ｃに発生する内部磁束の向きを示している。
また、図３に示すように、着磁用ヘッド６のギャップ６ｄの形状は、マスター情報担体２に対向する面において、記録再生用磁気ヘッドのトラッキング走査軌道と同じ円弧状になっている。従って、ギャップ６ｄに発生する磁界の方向は、トラッキング走査軌道と常に垂直となり、マスター情報担体２の強磁性薄膜は、全てのトラックにおいて、記録再生用磁気ヘッドのトラッキング走査方向と垂直な方向に磁化される。すなわち、記録再生用磁気ヘッドのヘッドギャップ長方向と同じ方向に磁化されるのである。
【００２５】
次に、図４を参照してマスター情報担体２の一例について説明する。
【００２６】
マスター情報担体２の転写面には、複数の領域２ａが略放射状に形成されている。
【００２７】
図４の一点鎖線で囲んだ部分の拡大図を、図５に模式的に示す。図５に示すように、領域２ａには、磁気記録媒体に記録されるディジタル情報、例えばプリフォーマット記録に対応する位置に、上記情報に対応したパターン形状で強磁性薄膜からなる磁性部による情報パターンが形成されている。
【００２８】
図５において、ハッチングを施した部分が強磁性薄膜によって構成された磁性部である。この図５に示す情報パターンは、クロック信号、トラッキング用サーボ信号、アドレス情報等の各々の領域をトラック長さ方向に順次配列したものである。なお、図５に示す情報パターンは一例であり、磁気記録媒体に記録されるディジタル情報に応じて、情報パターンの構成や配置等を適宜決定することとなる。
【００２９】
例えば、磁気ディスクドライブ装置において、磁気ディスクの磁性膜に、まずリファレンス信号を記録し、そのリファレンス信号に基づいてトラッキング用サーボ信号などのプリフォーマット記録を行う場合には、本発明によるマスター情報担体を用いて磁気ディスクの磁性膜に、あらかじめプリフォーマット記録に用いるリファレンス信号のみを磁気転写し、そしてその磁気ディスクをドライブ装置の筐体内に組み込み、トラッキング用サーボ信号などのプリフォーマット記録は、磁気ディスクドライブ装置の磁気ヘッドを使用して行うようにしてもよい。この場合、最終的なプリフォーマット記録は、従来の方法と同様にドライブ装置内に搭載された磁気ヘッドによって行われる。しかしながら、高価な専用のサーボ記録装置を用いることなく、ドライブ装置自体が磁気転写されたリファレンス信号を参照して最終的なプリフォーマット記録を自己完結することができるので、最終的なプリフォーマット情報を直接磁気転写する場合と同様に、従来の方法に比べてコストメリットが大きい。
【００３０】
図４、図５に示した領域の一部断面を図６に示す。
【００３１】
図６に示すように、マスター情報担体２は、Ｓｉ基板、ガラス基板、プラスチック基板などの非磁性材料からなる円盤状の基体１０の転写面１０ｂに、情報に対応する複数の微細な配列パターン形状で凹部１０ａを形成し、その基体１０の凹部１０ａに磁性部である強磁性薄膜１１を埋め込む形態で形成することにより構成されている。
【００３２】
ここで、図1の磁気転写装置を用いて磁気記録媒体１とマスター情報担体２とを均一に密着させ良好な転写特性を得るためには、強磁性薄膜１１の表面１１ａができる限り平坦で、かつ基体１０の一主面１０ｂに対して、突出した構成とすることが好ましい。
【００３３】
強磁性薄膜１１としては、硬質磁性材料、半硬質磁性材料、軟質磁性材料を問わず、多くの種類の磁性材料を用いることができ、磁気記録媒体にディジタル情報を磁気転写できるものであればよい。例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｆｅ−Ｃｏ合金などを用いることができる。なお、磁気記録媒体の種類によらずに十分な記録磁界を発生させるためには、磁性材料の飽和磁束密度が大きいほどよい。特に、２０００エルステッド（１５９ｋＡ／ｍ）を超える高保磁力の磁気ディスクや磁性層の厚みの大きいフレキシブルな磁気ディスクに対しては、飽和磁束密度が０．８テスラ以下になると十分な記録を行うことができない場合があるので、一般的には、０．８テスラ以上、好ましくは１．０テスラ以上の飽和磁束密度を有する磁性材料が用いられる。
【００３４】
また、強磁性薄膜１１の厚さは、ビット長や磁気記録媒体の飽和磁化や磁性層の膜厚によるが、例えばビット長約１μｍ、磁気記録媒体の飽和磁化約５００ｅｍｕ／ｃｃ（５００ｋＡ／ｍ）、磁気記録媒体の磁性層の厚さが約２０ｎｍの場合では、５０ｎｍ〜５００ｎｍ程度あれば良い。
【００３５】
ここで、このような磁気転写を良好に行うためには、マスター情報担体に設けた強磁性薄膜としての軟質磁性薄膜もしくは半硬質磁性薄膜の配列パターン形状に基づき、これらを励磁して一様に磁化することが望ましく、また、磁気転写に先立って、磁気記録媒体を一様に直流消去しておくことが望ましい。
【００３６】
次に、磁気転写の手順について説明する。
【００３７】
まず、図７に示すように、着磁用ヘッド６を磁気記録媒体１に近づけた状態で、磁気記録媒体１の中心軸を回転軸として磁気記録媒体１と平行に回転させることにより、図８の矢印で示すように磁気記録媒体１を予め一方向に磁化する（初期磁化）。
【００３８】
次に、図１に示すように、磁気記録媒体１にマスター情報担体２を位置決めして重ね合わせた状態で、排気装置５を始動させることにより、磁気記録媒体１の中心孔１ａを通してマスター情報担体２が吸引され、マスター情報担体２の転写面と磁気記録媒体１の被転写面とが均一に密着するように重ね合わされる。
【００３９】
その後、図９に示すように、着磁用ヘッド６により印加される磁界が初期磁化とは逆極性となるようにし、かつディスク保持体３に保持されている磁気記録媒体１の中心を回転中心として、マスター情報担体２と平行に回転させることにより、マスター情報担体２に直流励磁磁界１４を印加する。これにより、マスター情報担体２の強磁性薄膜１１が磁化され、そしてマスター情報担体２に重ね合わせた磁気記録媒体１の所定の領域１ｂに、図１０に示すように強磁性薄膜１１による磁性部のパターン形状に対応した情報が記録される。なお、図１０に示す矢印は、この時磁気記録媒体１の情報が記録される領域１ｂ外において残留する磁化の方向を示している。
【００４０】
図１１には、情報記録時の磁化の様子を詳細に示している。図１１に示すように、マスター情報担体２を磁気記録媒体１に密着させた状態で、マスター情報担体２に外部から磁界を印加して強磁性薄膜１１を磁化することによって、磁気記録媒体１の強磁性薄膜からなる磁気記録層１ｃに情報を記録することができる。すなわち、非磁性の基体１０に所定のパターン形状で強磁性薄膜１１を形成して構成したマスター情報担体２を用いることにより、ディジタル情報を磁気記録媒体１に磁気的に磁気転写することができる。
【００４１】
ここで、磁気転写方法について、図１２を参照してより詳しく説明する。図１２（ａ）は磁気記録媒体１の直流消去過程、同図（ｂ）は磁気転写過程、および同図（ｃ）は磁気記録媒体１の残留磁化状態を、それぞれ情報トラック長さ方向における断面で示している。
【００４２】
この情報トラック長さ方向は、磁気記録媒体１およびマスター情報担体２の円周方向に一致する。
【００４３】
図１２（ａ）に示すように、磁気記録媒体１上の磁気記録層１ｃは、マスター情報担体２を用いた信号の磁気転写に先立って直流消去磁界１２により、一定方向の磁化１３を有するよう一様に直流消去される。
【００４４】
次に、図１２（ｂ）に示すように、マスター情報担体２の転写面を磁気記録媒体１上の磁気記録層１ｃの表面に密着させ、直流励磁磁界１４によって強磁性薄膜１１を励磁する。この際、直流励磁磁界１４の極性は、直流消去磁界１２と逆極性とする。これにより、強磁性薄膜１１間の部分においてのみ、漏れ磁束１５により磁気記録媒体１上の磁化１３が反転される。この結果、マスター情報担体２を取り除いた後、磁気記録媒体１上にはマスター情報担体２上に形成された強磁性薄膜１１の配列パターン形状に対応する磁化１３のパターンを記録することができる。
【００４５】
以上のように、マスター情報担体２から磁気記録媒体１に磁気転写する場合、マスター情報担体２に、磁気記録媒体１に記録させるべき所定のディジタル情報に対応する配列パターン形状で、強磁性薄膜からなる磁性部をあらかじめ形成しておき、そのマスター情報担体２に磁気記録媒体１を接触させ、マスター情報担体２に形成された配列パターン形状を磁化パターンとして磁気転写する。
【００４６】
このような方法においては、マスター情報担体２に形成した磁性部の配列パターンを、対応する磁化パターンとして信頼性良く正確に転写することが重要である。
【００４７】
すなわち、個々の強磁性薄膜１１の断面は、内周ほど強磁性薄膜１１の長さＡと膜厚ｔとの比(＝Ａ／ｔ)が小さく、外周ほど強磁性薄膜１１の長さＡと膜厚ｔとの比が大きい細長い形状となっている。
【００４８】
このように断面形状の異なる強磁性薄膜パターンにおいては、図１２（ｂ）に示すように一様な直流励磁磁界１４を印加した場合、その形状に伴う磁気異方性の差異のため、その磁化過程や磁気記録媒体１への転写特性が異なってくる。つまり、磁気記録媒体１の磁気特性がその全面において一様である場合、磁化反転に寄与する漏れ磁束１５において最適値を得、転写特性において最適値を得る直流励磁磁界１４の値は、磁気記録媒体１の半径位置に依存して異なってくるのである。
【００４９】
このため、磁気記録媒体１の内周側で良好な信号品質の磁気転写を行うことができる直流励磁磁界１４において磁気転写を行った場合に、磁気記録媒体１の外周側における磁気転写による信号品質が許容限度以下であったり、逆に磁気記録媒体１の外周側で良好な信号品質を得ることができる直流励磁磁界１４において磁気転写を行った場合には、磁気記録媒体１の内周側における信号品質が許容限度以下に劣化する現象を生じてしまう。
【００５０】
本発明者らは、上記の現象をさらに詳細に検討した結果、最適な直流励磁磁界値を半径位置で異ならしめる磁気学的機構を以下のとおり明らかにするに至った。
【００５１】
すなわち、マスター情報担体１において、その強磁性薄膜１１の長さＡと膜厚ｔとの比が大きい外周のパターンは、直流励磁磁界１４の印加方向における反磁界が小さいので、より小さい磁界値において飽和に達しやすい。逆に、長さＡと膜厚ｔとの比が小さい内周のパターンは、直流励磁磁界１４の印加方向における反磁界が外周に比べて大きい。
【００５２】
このため、磁気記録媒体１上で強磁性薄膜間に対応する領域の磁化反転に寄与する漏れ磁束１５において同じ値を得るためには、内周において外周よりも大きな直流励磁磁界１４を必要とすることになる。
【００５３】
このように、磁気記録媒体２の外周において最適な漏れ磁束１５を得、最適な信号品質を得ることができる直流励磁磁界１４を用いて磁気転写した場合には、磁気記録媒体１の内周側において、マスター情報担体２の強磁性薄膜１１間に対応する領域で十分な磁化反転が得られず、信号品質が劣化してしまう。
【００５４】
逆に磁気記録媒体１の内周において最適な漏れ磁束１５を得、最適な信号品質を得ることができる直流励磁磁界１４を用いて磁気転写した場合には、マスター情報担体２の外周側の強磁性薄膜１１が飽和に達してしまう。
【００５５】
すなわち、直流励磁磁界１４の印加によってマスター情報担体２の強磁性薄膜１１上において磁気記録媒体１の初期磁化とは逆極性の磁束を発生し、初期磁化を減磁もしくは消去するために信号品質を劣化してしまうのである。
【００５６】
以上のように、信号品質の劣化が、マスター情報担体２上の強磁性薄膜１１の断面形状における長さＡと膜厚ｔとの比が一定ではないことに起因することを見出したことに基づき、本発明においては、マスター情報担体２上に備えられた強磁性薄膜１１の膜厚ｔを、磁気記録媒体１の外周側に対応する位置において内周側に対応する位置よりも大きくなるように構成する。
【００５７】
これにより、磁気記録媒体１の半径位置に関わらず一様な直流励磁磁界１４を印加した場合においても、磁気記録媒体１の内周側で十分な磁化反転を得るとともに、外周側では強磁性薄膜１１上の逆極性の漏れ磁束１５の発生を許容範囲以下に抑制して、磁気記録媒体１の半径位置に関わらず良好な信号品質を得ることができる。
【００５８】
以下にマスター情報担体２の構成と製造方法について説明する。
【００５９】
図１３は、マスター情報担体２の断面構成において内周側に対応する位置と外周側に対応する位置において示した断面図である。
【００６０】
このマスター情報担体２では、強磁性薄膜１１の断面形状における長さＡが外周側で長くなる一方で、膜厚ｔも外周側ほど大きくなるよう構成している。この際、既述したような磁気学的機構から、強磁性薄膜１１の断面形状における長さＡと膜厚ｔとの比が、内周側と外周側とにおいて概略一致するように構成すれば、より好ましい。
【００６１】
このような構成によって、マスター情報担体２の半径位置に関わらず一様な直流励磁磁界１４を印加した場合においても、内周側で十分な磁化反転を得るとともに、外周側では強磁性薄膜１１上の逆極性の漏れ磁束の発生を許容範囲以下に抑制して、磁気記録媒体１に対してその半径位置に関わらず良好な信号品質の磁気転写を行うことができる。
【００６２】
図１３に示したマスター情報担体２は、例えば、基体１０上に情報に対応するレジストパターンを形成し、そのパターン形状をマスクとして基体１０の表面をエッチングした後、エッチングされた基体１０の凹部１０ａに強磁性薄膜１１を埋め込むことにより製造することができる。
【００６３】
この際、マスター情報担体２上に備えられた強磁性薄膜１１の膜厚ｔを、磁気記録媒体１の外周側に対応する位置において内周側に対応する位置よりも大きくなるという本発明の構成を実現するためには、強磁性薄膜１１を堆積する際の成膜速度を外周側に対応する位置において内周側に対応する位置よりも早くすることが必要である。
【００６４】
例えば、強磁性薄膜１１の成膜方法としてスパッタ法を用いる場合には、スパッタ速度が磁気記録媒体１の外周側に対応する位置において内周側に対応する位置よりも大きくなるよう、プラズマ密度分布を適切に制御することにより上記構成を実現することができる。
【００６５】
さらにエッチング深さが磁気記録媒体１の外周側に対応する位置において内周側に対応する位置よりも大きくなる構成とすることにより、図１３に示すように強磁性薄膜１１の基体１０の表面からの突出量をその半径位置に関わらずほぼ一定とすることができる。
【００６６】
製造装置上の都合により場所によらずエッチング深さを一定としかできない場合には、図１４に示すように、基体１０の表面からの強磁性薄膜１１の突出量が、外周側において内周側よりも大きい構成とせざるを得ない場合がある。この場合にも、マスター情報担体２の基体１０が相応にフレキシブルであれば、マスター情報担体２と磁気記録媒体１は全面に渡って良好に密着できるので、問題はない。
【００６７】
図１５にマスター情報担体２の別の一例を示している。図１５は、マスター情報担体２の断面構成を各々磁気記録媒体１の内周側に対応する位置と外周側に対応する位置において示した断面図である。図１５に示すマスター情報担体２でも、図１３、１４に示す構成と同様に、強磁性薄膜１１の断面形状における長さＡが外周側で大きくなる一方で、膜厚ｔも外周側ほど大きくなるよう構成している。この際、既述したような磁気学的機構から、強磁性薄膜１１の断面形状における長さＡと膜厚ｔとの比が、その内周側と外周側とにおいて概略一致するように構成すれば、より好ましい。
【００６８】
このような構成によって、磁気記録媒体１の半径位置に関わらず一様な直流励磁磁界１４をマスター情報担体２に印加した場合においても、磁気記録媒体１の内周側で十分な磁化反転を得るとともに、外周側ではマスター情報担体２の強磁性薄膜１１上の逆極性の漏れ磁束１５の発生を許容範囲以下に抑制して、磁気記録媒体１に対してその半径位置に関わらず良好な信号品質でもって磁気転写を行うことができる。
【００６９】
図１５に示したマスター情報担体２は、例えば、基体１０に成膜された強磁性薄膜１１上に情報に対応するレジストパターンを形成し、そのパターン形状をマスクとして強磁性薄膜１１をエッチングすることにより製造することができる。
【００７０】
この際、マスター情報担体２上に備えられた強磁性薄膜１１の膜厚ｔを、磁気記録媒体１の外周側に対応する位置において内周側に対応する位置よりも大きくなるという本発明の構成を実現するためには、強磁性薄膜１１を堆積する際の成膜速度を外周側に対応する位置において内周側に対応する位置よりも大きくすることが必要である。
【００７１】
例えば、強磁性薄膜１１の成膜方法としてスパッタ法を用いる場合には、スパッタ速度が磁気記録媒体の外周側に対応する位置において内周側に対応する位置よりも大きくなるよう、プラズマ密度分布を適切に制御することにより上記構成を実現することができる。
【００７２】
一方、強磁性薄膜のエッチングには、化学的エッチング手法よりも、イオンミリング法のように物理的エッチング手法の方が広く一般用途に供している。このような物理的エッチング手法を用いる場合、エッチングを正確に強磁性薄膜１１と基体１０との境界において終了することは困難な場合が多い。
【００７３】
しかしながら、本発明の構成では、エッチングを正確にマスター情報担体２の強磁性薄膜１１と基体１０の境界において終了する必要はなく、エッチングを基体１０にまで及ばせても一向に差し支えない。本発明の構成を有するマスター情報担体２は、磁気記録媒体１の外周側に対応する位置において内周側よりも膜厚が大きいので、例えば図１５に示すように、外周側において強磁性薄膜１１と基体１０との境界でエッチングを終了するようエッチング条件を設定し、内周側では膜厚が小さい分、オーバーエッチングして基体１０にまでエッチングを及ばせる構成とすることもできる。
【００７４】
この場合も、マスター情報担体２の強磁性薄膜１１の突出量を、外周側において内周側よりも大きい構成とせざるを得ないが、図１４の構成と同様に基体１０が相応にフレキシブルであれば、磁気記録媒体１とマスター情報担体２は全面に渡って良好に密着できるので、問題はない。
【００７５】
以上、マスター情報担体２の実施形態を説明したが、これらのマスター情報担体２の構成を実現することにより、高品位の再生信号を安定して得ることができ、大量生産時の製品の品質保証、および生産歩留り向上の観点からも十分な性能マージンを有するプリフォーマット記録を行うことができる。
【００７６】
さらに以上の説明では、磁気記録媒体１として、主に磁気ディスクドライブ装置等に搭載されるハードな磁気ディスクに応用することに主眼をおいて記述を行ったが、本発明はこれに限られるものではなく、フレキシブルな磁気ディスク、磁気カードおよび磁気テープ等の磁気記録媒体においても応用可能であり、上記と同様に発明の効果を得ることができる。
【００７７】
また、磁気記録媒体に記録される情報に関しては、トラッキング用サーボ信号やアドレス情報、再生クロック信号等のプリフォーマット信号に主眼をおいて記述を行ったが、本発明の構成が応用可能な情報も、上記に限られたものではない。
【００７８】
例えば、本発明の構成を用いて様々なデータ信号やオーディオ、ビデオ信号の記録を行うことも原理的に可能である。この場合には、本発明のマスター情報担体とこれを用いた磁気記録媒体への記録技術によって、ソフトディスク媒体の大量複写生産を行うことができる。
【００７９】
以下に、本実施の形態による具体的な効果を述べる。
【００８０】
膜厚が半径位置に依らず一定である従来構成のマスター情報担体と、図１３に示すように膜厚が外周側ほど大きい本発明の構成のマスター情報担体を用いて、保磁力が３５００エルステッドの３．５インチハードディスク上に周期信号の転写実験を行った。
【００８１】
マスター情報担体上のパターンを形成する強磁性薄膜は、飽和磁束密度１．６テスラのＣｏ膜とした。ここで、従来の構成を有するマスター情報担体におけるＣｏ膜厚は、半径位置に依らず０．３ミクロン一定とした。一方、本発明の構成を有するマスター情報担体のＣｏ膜厚は、ハードディスクの内周側である半径２０ｍｍ位置で０．３ミクロン、ハードディスクの外周側である半径４５ｍｍ位置で０．５ミクロンとし、その間の膜厚は半径位置に応じて内周から外周まで単調増加する構成とした。また、転写記録した信号周期（波長）は、半径２０ｍｍ位置で２．０ミクロン、半径４５ｍｍ位置で４．５ミクロンとし、その間の信号波長は時間軸上で一定のパルス間隔を得るよう半径位置に比例して増加させた。なお、転写記録時にマスター情報担体に印加される直流励磁磁界は、ディスク内周側の転写信号品質に対して最適となるように設定した。
【００８２】
転写記録された信号を磁気ヘッドで再生した際の信号Ｓ／Ｎを表１に示す。
ディスク内周側では、従来構成と本発明の構成におけるＳ／Ｎ値はほぼ同等である。しかし、従来構成では、外周側で大きくＳ／Ｎが劣化していることが分かる。これは、ディスク内周側において最適化された直流励磁磁界が、ディスク外周側に対しては大きすぎるためにＣｏ膜の飽和を生じたものである。一方、本発明の構成では、外周側でのＳ／Ｎ劣化はほとんどなく、発明の効果が現れていることが理解される。
【００８３】
【表１】
0003655212.tif 000002
【００８４】
【発明の効果】
以上のように本発明のマスター情報担体によれば、磁気記録媒体に対して均一に安定して高密度の情報を磁気転写することができる。また、本発明の磁気ディスクの製造方法によれば、品質の優れた磁気ディスクを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による磁気記録媒体への磁気転写を実施するための磁気転写装置の一例の概要を示す断面図
【図２】着磁用ヘッドの概略を示す斜視図
【図３】着磁用ヘッドのマスター情報担体に対向する一主面を示す平面図
【図４】マスター情報担体の一例を示す平面図
【図５】マスター情報担体に形成される情報の配列パターンの一例を説明するための説明図
【図６】マスター情報担体の一例を示す断面図
【図７】磁気記録媒体に一方向磁界を印加している状況を示す斜視図
【図８】図７に示す工程により一方向に着磁された磁気記録媒体の状況を模式的に示す斜視図
【図９】磁気記録媒体に情報を磁気転写している状況を示す斜視図
【図１０】図９に示す工程により情報が記録された磁気記録媒体の状況を模式的に示す斜視図
【図１１】図９に示す工程により磁気記録媒体に情報を磁気転写した場合の磁化パターンの様子を説明するための説明図
【図１２】
マスター情報担体を用いたプリフォーマット記録の好ましい記録状態を示す模式図
【図１３】マスター情報担体の構成の一例を示す断面図
【図１４】マスター情報担体の構成の別の一例を示す断面図
【図１５】マスター情報担体の構成の別の一例を示す断面図
【符号の説明】
１  磁気記録媒体
２  マスター情報担体
２ａ  領域
６  着磁用ヘッド
６ａ  巻線
６ｂ  第１の磁気コア半体
６ｃ  第２の磁気コア半体
６ｄ  ギャップ
６ｅ  永久磁石
６ｆ  永久磁石
１０  基体
１１  強磁性薄膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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