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(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
交流電圧を昇圧し且つ電源を接地電位から絶縁する絶縁変圧器と、当該絶縁変圧器から出力された交流電圧を整流して直流電圧を発生する直流電圧発生部とを備える中性粒子入射装置のイオン源用イオン生成電源において、
高周波インバータを前記絶縁変圧器の一次側に設けることを特徴とする中性粒子入射装置のイオン源用イオン生成電源。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、核融合装置における中性粒子入射装置（ＮＢＩ）のイオン源用イオン生成電源に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
核融合装置における中性粒子入射装置のイオン源用の電源は、イオンを生成するためのイオン生成電源と、作ったイオンを加速するための加速電源とから構成される。イオン生成電源には、フィラメント電源、アーク電源、バイアス電源、磁気フィルター電源、引き出し電源などがある。通常、イオンを加速電源の高電位上で作り、イオンを高電位から接地電位（ゼロ電位）に向かって加速するために、イオン生成電源は接地から絶縁された電源である。接地電位から絶縁するために絶縁変圧器を使用し、その２次巻線側が高電位となる。
【０００３】
図２に従来の中性粒子入射装置のイオン源用電源の構成概略を示す。図２において、参照番号１００はイオン源を示し、当該イオン源１００は、イオン生成部１０２とイオン加速部１０４とを有する。また、図２において、参照番号１０６はイオン源用電源を示し、当該イオン源用電源１０６は、イオンを生成するためイオン生成部１０２に電気的に接続されているイオン生成電源１０８と、生成されたイオンを加速するためイオン加速部１０４に電気的に接続されているイオン加速電源１１０とを有する。イオン生成電源１０８は、接地電位から絶縁するための絶縁変圧器１１２を含み、その絶縁変圧器１１２の２次側には、フィラメント電源、アーク電源、バイアス電源、磁気フィルター電源、引き出し電源などの各電源を構成するために必要な種々の電圧制御回路、スイッチング回路を設けて、出力制御を行うようにしていた。図２においては、例として、フィラメント電源を構成するため、イオン生成電源１０８は、絶縁変圧器１１２の２次側に降圧変圧器１１４、当該降圧変圧器１１４の出力交流電圧を整流して直流電圧を生成する整流器１１６、及び出力制御のための高速半導体スイッチ１１８を有するよう示されている。このように、従来のイオン生成電源は、高電位側にイオン生成部用の各電源の電圧制御回路やスイッチング回路を設けて、当該イオン生成電源とイオン生成部との間の高速スイッチング等の出力制御を行っていた。
【０００４】
一方、イオン加速電源１１０は、交流電圧をより高い周波数の交流電圧に変換する高周波インバータ１２０、当該変換されたより高い周波数を有する交流電圧を昇圧する変圧器１２２、及び当該昇圧された交流電圧を整流して高圧の直流電圧を生成して、当該生成された直流電圧をイオンを加速するためイオン加速部に印加する整流器１２４を有する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図２に示される構成では、高電位側にイオン生成部用の各電源の電圧制御回路やスイッチング回路を設けているため、高エネルギー大出力ビームの要求とともに、イオン加速電源出力電圧が高くなり、また、イオン源で高い頻度で発生する放電破壊（短絡現象）の際のサージも大きくなり、そのためイオン生成用電源の制御回路がサージによって誤動作したり、破壊され、電源を安定に作動させることが極めて難しくなってきている。
【０００６】
従って、本発明の課題は、近傍に存在する高電圧や、大きなサージに耐えて、安定に動作する中性粒子入射装置のイオン源用イオン生成電源を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の中性粒子入射装置のイオン源用イオン生成電源は、交流電圧を昇圧し且つ電源を接地電位から絶縁する絶縁変圧器と、当該絶縁変圧器から出力された交流電圧を整流して直流電圧を発生する直流電圧発生部とを備え、高周波インバータを前記絶縁変圧器の一次側に更に設けることを特徴とする。
【０００８】
本発明は、上記のように構成され、イオン生成用電源の高電位側にはサージに敏感な制御装置を用いない新しい方式である。本発明は、低電位側である絶縁変圧器の一次側に電圧制御と高速のスイッチングを行う高周波インバータを設け、高電位側は、例えば、単なる降圧変圧器と整流器の組合わせとしている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
【００１０】
【実施例】
以下図面を参照して本発明の好適な実施形態について説明する。
【００１１】
図１に本発明の中性粒子入射装置のイオン源用イオン生成電源の好適な一実施形態を示す。なお、図１において、図２と同一の参照番号の構成要素は図２の構成要素と同一であるので、それらの説明は繰り返さない。
【００１２】
図１において、参照番号１０はイオン源用電源を示し、当該イオン源用電源１０は、本発明の好適な一実施形態のイオン源用イオン生成電源１２と従来の構成のイオン加速電源１１０とを含む。イオン生成電源１２は、従来の絶縁変圧器１１２、必要に応じて設けられる降圧変圧器１１４、及び整流器１１６を含むとともに、低電位側である絶縁変圧器１１２の一次側に電圧制御と高速のスイッチングを行う高周波インバータ１４が設けられている。この高周波インバータ１４の制御角を変える等の電圧制御により、整流器１１６の出力に所望の直流電圧を発生させ、また高周波インバータ１４のスイッチング素子を高速でオフにすることにより、イオン生成電源１２とイオン生成部１０２との接続が高速で切られる。
【００１３】
本実施形態においては、高電位側は単なる降圧変圧器１１４及び整流器１１６の組合わせで、電圧制御やスイッチングのための半導体スイッチ等がなく、そしてイオン生成電源１２の低電位側で高周波インバータ１４により電圧制御及び高速のスイッチングを行うので、加速電源出力の電圧の高電圧化と共にイオン源で高い頻度で発生する放電破壊の際の大きなサージによる誤動作が生じることなく、また高周波インバータ１４の出力電圧の制御及びスイッチング系が破壊する恐れもなくなり、イオン生成電源１２を安定に作動させることができる。なお、インバータを用いることに起因する直流電圧リップルはインバータの周波数を上げることによって実用可能なレベルまで低く抑えることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の中性粒子入射装置のイオン源用イオン生成電源の好適な一実施形態を示す図である。
【図２】従来の中性粒子入射装置のイオン源用電源の構成概略を示す図である。
【符号の説明】
１０  イオン源用電源
１２  イオン生成電源
１４  高周波インバータ
１００  イオン源
１０２  イオン生成部
１０４  イオン加速部
１１０  イオン加速電源
１１２  絶縁変圧器
１１４  降圧変圧器
１１６  整流器
【図１】
0003621837.tif 000002
【図２】
0003621837.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイルとこのコイルを巻いたボビンとを側面に開口のあるヨークで覆い、前記ボビンの中心と前記ヨークの一端面の中心にプランジャを通すとともに、このプランジャの先端を前記ヨークの底面に突出させたコアに対向させ、前記プランジャ及びコアと前記ボビン及びヨークとの間に筒状のスリーブを介在したソレノイドにおいて、前記スリーブの底面と前記ヨークの底面の間に気密手段を施したソレノイド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プランジャ吸引時の音や振動を新規手段で軽減したソレノイドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プランジャ吸引時の音・振動対策としては、衝突する箇所すべてになんらかの緩衝材を設けることによりプランジャの運動エネルギーをできるだけ吸収し、プランジャ吸引時の音・振動を軽減させる構造になっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、緩衝材を多用するとプランジャ吸引時の位置精度が低下しやすかったり、衝突時の反発力によりプランジャの吸引力が相殺され、必要な吸引力を得るためにはソレノイドを大型化する必要があった。本発明はこのような実状を鑑み、プランジャ吸引時の音や振動を新規手段で軽減できるソレノイドを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
請求項に示した通りである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を説明するが、それはあくまで本発明に基づいて採択された例示的な実施形態であり、本発明をその実施形態に特有な事項に基づいて限定解釈してはならず、本発明の技術的範囲は、請求項に示した事項さらにはその事項と実質的に等価である事項に基づいて定めなければならない。
【０００６】
図示の実施形態は、コイル１とこのコイル１を巻いたボビン２とを側面に開口のあるヨーク３で覆い、前記ボビン２の中心と前記ヨーク３の一端面の中心にプランジャ４を通すとともに、このプランジャ４の先端を前記ヨーク３の底面に突出させたコア５に対向させ、前記プランジャ４及びコア５と前記ボビン２及びヨーク３との間に筒状のスリーブ６を介在したソレノイドにおいて、前記スリーブ６の底面と前記ヨーク３の底面の間にリング状の気密シート７を挟み込んで気密手段を施したソレノイドである。なお、スリーブ６はプランジャ４の移動がスムーズになるように介在され、その下端は外向きに折り曲げられた形状をなし、その折り曲げ部分はボビン２の底面に当接している。また、気密手段だけではプランジャ４吸引時の音や振動を充分には軽減できない場合が多いため、プランジャ４の大径を成す頭部８の下面に弾性または柔軟性のあるＯリング９を補助的に介在させると好ましい。
【０００７】
さらに詳述すれば、ヨーク３、プランジャ４、コア５は磁性体で構成され、その他は非磁性体で構成される。そして、シート７は気密性があれば材質を問わないが、柔軟性のあるものが好ましい。また、シート７の代わりに接着剤、グリス等で気密手段を施してもよい。また、ヨーク３は２分割構成であり、それらは接合部１０にて接合されている。
【０００８】
本実施形態によれば、コイル１に通電した時にプランジャ４がコア５に向かって吸引されるが、その時の音や振動は、従来と同様にＯリング９とヨーク３の一端面との緩衝衝突による軽減があるが、その他に、スリーブ６内の空気がスリーブ６とプランジャ４との隙間だけから漏れ、ボビン２の底面側からヨーク３側面の開口へは漏れないため、プランジャ４の移動速度が従来より低下するため、さらに軽減される。なお、念のため述べると、プランジャ４が吸引された状態ではプランジャ４の先端とコア５の先端にはわずかに隙間が形成され、それらが衝突することはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】断面図
【図２】斜視図
【符号の説明】
１  コイル
２  ボビン
３  ヨーク
４  プランジャ
５  コア
６  スリーブ
７  気密シート（気密手段）
【図１】
0003621035.tif 000002
【図２】
0003621035.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
安定剤として１〜２０重量％の一般式Ｒ′ＣＯＯＨ［式中、Ｒ′はＣ１−Ｃ２０アルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基である］のカルボン酸、および１〜２０重量％の酸化カルシウムまたは酸化亜鉛を含有する、安定化された式（Ｉ）
【化１】
0003621163.tif 000003
［式中、
ＲはＣ１−Ｃ２０アルキル、シクロアルキル、アリールまたはアラルキル基であり、そして
ｘは２〜１５の整数である］
のジチオ燐酸ポリスルフィド類。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
ジチオ燐酸ポリスルフィド類は既知であり、同様にゴム加硫用の加硫剤または加硫促進剤としてのそれらの使用も既知である（ＤＤＲ特許  ２２８  ７２２、ＤＥ−ＯＳ  ２２  ４９  ０９０およびＥＰ−Ａ  ３８３  １０２参照）。ゴム加硫中の大気でのニトロソアミン類に関する指標値に従うことは難しいため、良好な加硫活性を有するが危険な分解生成物、特にニトロソアミン類は生成しないゴム助剤に特に関心がもたれている。ジチオ燐酸ポリスルフィド類はこれに関して重要な位置を占める。
【０００２】
ジチオ燐酸ポリスルフィド類は対応するジチオ燐酸のナトリウム塩および二塩化二硫黄（Ｓ２Ｃｌ２）から製造できる。それらは不快なメルカプタンの様な臭気を有する緑色がかった黄色の油であり、そして特に水の存在下では容易に分解して硫化水素を排除する。
【０００３】
ジチオ燐酸ポリスルフィド類は式
【０００４】
【化２】
0003621163.tif 000002
【０００５】
［式中、
ＲはＣ１−Ｃ２０アルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基であり、そして
ｘは２〜１５の整数である］
を有する。
【０００６】
基Ｒは好適にはＣ４−Ｃ８アルキル基である。
【０００７】
ｘは好適には４〜６そして非常に特に好適には４である。
【０００８】
本発明は、各場合とも混合物に関して、１〜２０重量％の一般式Ｒ′ＣＯＯＨ［式中、Ｒ′はＣ１−Ｃ２０アルキル、シクロアルキル、アリールまたはアラルキルである］のモノカルボン酸、および１〜２０重量％の酸化カルシウムまたは酸化亜鉛の添加により熱および加水分解による分解に対して安定化された式（Ｉ）のジチオ燐酸ポリスルフィド類を提供する。
【０００９】
安定化された生成物は薄黄色の事実上無臭の油であり、それらは水性媒体中でそして熱に呈された時にも分解を受けない。
【００１０】
安定化のためのカルボン酸および酸化物はジチオ燐酸ポリスルフィドに対して所望の方法で加えることができる。それらは好適には製造直後に加えられ、そして好適にはカルボン酸および金属酸化物の両者が使用される。ここでは最初にカルボン酸を加えそして次に金属酸化物を加えることが好ましい。
【００１１】
好適な安定化されたジチオ燐酸ポリスルフィド類は、例えば、ジブチルジチオ燐酸ポリスルフィド、ジ−２−エチルヘキシルジチオ燐酸ポリスルフィド類であり、好適なカルボン酸は、例えば、２−エチルヘキサン酸、ｎ−ヘキサン酸、ココヤシ仁油脂肪酸であり、そして好適な金属酸化物は酸化亜鉛である。安定化のためのカルボン酸の量は、混合物に関して、１〜２０％、好適には１〜５％であり、そして金属酸化物の量も同様に、混合物に関して、１〜２０％、好適には１〜５％である。
【００１２】
安定化されたジチオ燐酸ポリスルフィド類は安定化されていない生成物と同じ方法で活性を損なうことなくゴムの加硫用に使用できる。安定化された生成物の利点は、熱および水に対するそれらの不感性、不快な臭気の減少およびとりわけそれらの確実性の比較的大きい計量性（ｍｅｔｅｒａｂｉｌｉｔｙ）である。
【００１３】
【実施例】
ジブチルジチオ燐酸ポリスルフィドの安定化
２００ｇのジブチルジチオ燐酸を最初にフラスコ中に６０ｇの水と共に加え、そして１２４ｇの水酸化ナトリウム溶液（２５％）と一緒にゆっくり撹拌した。室温における１時間の撹拌後に、５２ｇの二塩化二硫黄をゆっくり滴々添加した。混合物の撹拌を約２時間続け、そして分離漏斗中で水相を有機相から分離した。８ｇの２−エチルヘキサン酸および次に８ｇの酸化亜鉛を有機相に加えた。生じた混合物を真空下で７０℃に２時間保ち、そして次に珪藻土を通して濾過した。
【００１４】
収量：２２０ｇの黄色の低臭気性の油。
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボルト端へ螺合させたナットに対し、下側にこのナットと係合可能な６角孔をまた上側に上記ボルト端露出部へ自由被挿可能な円孔を６角孔と同心に連通して備えるソケットと、
上記ソケットの円孔へ回り止めして昇降可能に挿入され附設ばねによりソケットから離反方向に附勢された円筒状アダプタと、
下端は前記アダプタの上端へ挿入固着され上端部にレンチが装着されたラチェット筒と、
ラチェット筒を昇降自在に貫通し下端に捺印具をアダプタ下端の内側に位置させて備える捺印棒と、
一端は捺印棒の上端に他端はレンチの外端部に夫々係止され捺印棒上端を定高さ位置まで持上げ可能に附勢した板ばねと、
トルクレンチによるナット締付トルクの反力を同レンチ内のトグル装置を介してコイルばねで受けこのコイルばね圧が設定値に達したとき起るトグル作用で上記捺印棒の押下げを可能とした押下げ装置とから成り、アダプタ下端がボルトの上端外周に当接したとき、ボルトの上端面と捺印棒下端面との上下間隔が常に一定となることを特徴とする捺印式トルクレンチ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明はねじの締付作業に用いるトルクレンチに関するもので、締付終了時に自動的にねじ端へ捺印着色できるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】
前記目的に沿うものとして公知のものを図５について説明する。トルクレンチａの柄へパイプｂが被挿され、柄の端部はトグルリンクｃを介してパイプｂの終端部へ連結されている。パイプｂの上面には、アームｄが固定され、アームの他端には筒ｅが固定されてレンチａの頭部に臨ませてある。筒ｅは空気シリンダを形成し、これへインク装置を備えた捺印棒ｆが昇降自在に挿入されている。筒ｅには空気孔ｇが穿ってある。パイプｂにはマイクロスイッチｈが装着してあり、トグルリンクｃの作動によってこのスイッチも作動し、空気孔ｇへ送気するようになっている。従って所定トルクでスイッチｈが作動し、捺印棒ｆを押下げ、レンチ頭内のボルトに捺印することになる。
【０００３】
しかしこの装置では捺印棒の昇降ストロークが筒ｅの空気シリンダによって長さを限定される。このためナットを締込んだあとのボルト突出長さが均等でない場合には、昇降棒が降下してもボルト端に達しないことも起こる。他に空気送入ホースがレンチ板の操作の障げになる等の問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の如くボルトの突出長さが不均等な場合でも、確実に捺印可能とするものである。解決手段として図５（公知例）に示す筒eの下部分をソケットとアダプタに２分し、前者は後者へ垂直方向摺動可能に挿入する。ソケット下側の６角孔をナットに係合させたとき、アダプタ下端が附設ばねで常にボルト頭へ当接するようにし、このときアダプタ下端と捺印棒下端との間に、常時は適当な間隔を保つようにしておく。別にパイプ上面へ板ばねの一端を固定し、他端を捺印棒頂部へ係止しておく。パイプ内トグルリンクの作動でこの板ばねが一挙に引下げられる装置を附設する。板ばねの引下げにより捺印棒は前記間隔を降下して確実に捺印する。空気装置は使われない。板ばね使用により筒全体の長さも長くならない。
なお以下の説明中でラチェット機構やトグルリンクは公知であるから、説明は簡略化する。
【０００５】
【実施例】
図１に於いてレンチ１は頭１ａと平坦な柄１ｂとから成る。ラチェット筒２はレンチ頭１ａへ挿入され、ラチェット係合可能にしてある。アダプタ３はラチェット筒下端に固着され、タテ溝３ａを備え、下端でボルトＢと当接可能にしてある。ソケット４は下側にナットＮと係合可能な６角孔を、また上側にボルトＢ端露出部へ自由に被挿可能な円孔を６角孔と同心に連通して備えてある。上側の内面には、アダプタのタテ溝３ａと係合するピン４ａを備え、溝に沿い回り止めされて昇降可能である。ソケット４の上面とアダプタ外周に設けたばね受３ｂとの間にはばね５が挿入してあり、それぞれが離反方向に附勢されている。捺印棒６はラチェット筒２の底板を昇降自在に貫通し、下端にはインクを用いる捺印具６ａがアダプタ下端の内側に位置させて備えている。
【０００６】
パイプ７はレンチ柄１ｂへ被挿され、ピン７ａによって柄に係止されている。板ばね８は一端がパイプ上面に固着され、他端は捺印棒６の頂部に係止してある。柄１ｂは図２の如くトグルリンク９、スラスタ１０、ばね受１１、ばね１２を介して、ばね圧調整可能にパイプ尾端へ接続する。スラスタ１０には、ローラ１０ａが設けてあって、このローラはリンク９とパイプ内面とに当接する。
【０００７】
従ってこのレンチによる締込トルクが一定値に達したとき、リンク９のトグル作用で、図２に於いて斜めであったリンク９は、図３の如くパイプ軸線方向に転じ、柄１ｂに設けた突起を同図に於いて上方へと押付ける。
【０００８】
これに対応する箇所で図４に示すレバ装置がパイプ７に設けてある。レバ装置はアーム１３と、Ｌ形レバ１４と、ボルト１５とから成る。アーム１３はパイプ７へ突出固定してある。レバ１４は折曲基部に於いてアーム端へ枢着される。ボルト１５はレバ１４の一辺端に螺着され、パイプに穿った孔を自由貫通して、内部の柄１ｂの側片に当接させてある。レバ１４の他辺には板ばね８が圧下可能に配置される。従ってリンク９が図３の如く変位したとき、柄１ｂも変位し、ボルト１５を介し図４に於いてレバ１４を時計方向に回動させ、板ばね８を圧下する。これにより捺印棒は急下降して、ボルトＢの端部に捺印する。
【０００９】
【作用】
作業に当たってはまずソケット４の６角孔をナットＮにはめこむ。この状態でさらに押込むとアダプタ３はばね５のばね力に抗してその下端をボルトＢのねじ軸端面に当接する。このとき捺印棒下端とボルトＢの端面との間はボルトＢの突出長さに係わりなく、一定である。この状態でパイプを反復回動させ、ラチェット作用で締込を反復する。締込トルクが処定値に来たとき前記のトグル作用で捺印棒が降下する。
【００１０】
【発明の効果】
締込を終わったナットからねじ軸の突出長さの大小に係わりなく、確実に捺印できる。空気装置を廃して板ばね使用としたことにより、全装置が簡素化小型化され、故障も起こりにくくなる。
以上
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の正面図である。
【図２】トグル作用の説明図である。
【図３】トグル作用の説明図である。
【図４】レバ装置の説明図である。
【図５】従来品の正面図である。
【符号の説明】
１      レンチ
２      ラチェット筒
３      アダプタ
４      ソケット
５      ばね
６      捺印棒
７      パイプ
８      板ばね
９      トグルリンク
１０    スラスタ
１０ａ  ローラ
１１    ばね受
１２    ばね
１３    アーム
１４    レバ
１５    ボルト
以上
【図１】
0003621438.tif 000002
【図２】
0003621438.tif 000003
【図３】
0003621438.tif 000004
【図４】
0003621438.tif 000005
【図５】
0003621438.tif 000006
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
低融点樹脂を厚み３０〜２５０μでアルミ単体またはアルミ蒸着フィルムの裏面にコートし、穴径０．１ｍｍφ以下、０．００１ｍｍφ以上、穴数２５００００〜５０００００個／ｍ2の穴をあけたシートと、ＪＩＳＺ−０２０８により測定した透湿度１００ｇ／ｍ2２４ｈ以上、ＪＩＳＬ−１０９２により測定した耐水度５０Ａｑ−ｃｍ以上、ＪＩＳＰ−８１１７により測定した透気度が３０秒以上の不織布単体あるいはこれらに樹脂割布織布を積層してなることを特徴とする釘打ち後に漏水防止性を有する遮熱透湿建材用複合シート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は遮熱性とともに透湿性を有する建材用複合シートに係り、特に釘を用いて釘打ちによる取付け後、その部分からの漏水を防止できる優れた釘打ち漏水防止性を有し、壁材の最外層や屋根下地用等の建築用材料として好適に使用できる遮熱透湿建材用複合シートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
上述した壁材の最外装や屋根下地用等に使用される建築用材料として、（ａ）アスファルトを不織布に含浸したシート、（ｂ）充填材を添加したオレフィン系樹脂等からなるシートを延伸して得られる微細な孔部を有する多孔質シート及び、（ｃ）不織布等が知られている。しかしながら、上記（ａ）のシートは、防水性や釘打ち後の漏水防止性は優れているが、透湿性がないため、内部からの湿気がシートで遮断され下地の板材を腐らせるという問題があった。また、（ｂ）のシート及び（ｃ）の不織布についてはシートや不織布の孔径を制御することにより、防水性と透湿性を満足させることができるが、上記の釘打ち漏水防止性に劣るという問題があり、更に、いずれも太陽光線の輻射熱を遮蔽する遮熱性に劣るという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記の問題点を解決した遮熱性と透湿防水機能に優れ、釘打ち性良好な建材用複合シートを提供することを目的とする。
【０００４】
本発明は前記課題を解決しようとしたもので、その要旨は、低融点樹脂を厚み３０〜２５０μでアルミ単体またはアルミ蒸着フィルムの裏面にコートし、穴径０．１ｍｍφ以下、０．００１ｍｍφ以上、穴数２５００００〜５０００００個／ｍ2の穴をあけたシートと、ＪＩＳＺ−０２０８により測定した透湿度１００ｇ／ｍ2２４ｈ以上、ＪＩＳＬ−１０９２により測定した耐水度５０Ａｑ−ｃｍ以上、ＪＩＳＰ−８１１７により測定した透気度が３０秒以上の不織布単体あるいはこれらに樹脂割布織布を積層してなることを特徴とする釘打ち後に漏水防止性を有する遮熱透湿建材用複合シートにある。
【０００５】
以下、本発明を図面に基づきさらに詳細に説明する。
【０００６】
【実施例】
図１は本発明の模式的断面図であり、１はアルミ単体またはアルミ蒸着フィルム、２は不織布単体または樹脂割布織布積層シート、３は低融点樹脂、４は穴である。
【０００７】
アルミ単体またはアルミ蒸着フィルム１は熱線を反射するためのものであって、蒸着フイルムを用いる場合のアルミ層の厚みは１００〜４００オングストローム程度のものが好適に用いられる。アルミ層の厚みが１００オングストローム未満では熱線反射による遮熱効果が不充分で好ましくなく、アルミ層の厚みが４００オングストロームを越えるのは経済的に好ましくない。
【０００８】
アルミ単体またはアルミ蒸着フィルムの裏面にはエチレンエチルアクリレート（ＥＥＡ）、エチレン−酢酸ビニール共重合体（ＥＶＡ）等の低融点樹脂３を厚み３０〜２５０μ程度にコートし、低融点樹脂３を介してアルミ単体またはアルミ蒸着フィルム１と不織布単体または樹脂割布織布積層シート２とを積層してなり、アルミ単体またはアルミ蒸着フィルム１側には穴径０．１ｍｍφ以下の穴４が穴数２５００００〜５０００００個／ｍ２  設けてある。
【０００９】
低融点樹脂３の厚みが３０μ未満では不織布または樹脂割布織布積層シート２とアルミ単体またはアルミ蒸着フィルム１との接着が不充分なため剥離する惧れがあるばかりでなく釘穴シール効果が不充分となるので好ましくなく、また低融点樹脂３の厚みが２５０μを越えるのはコスト的に不利であり、経済的に好ましくない。また、アルミ単体またはアルミ蒸着フィルム１側の穴４の穴径が０．１ｍｍφを越え、穴数が５０００００個／ｍ２  を越えるとアルミ単体またはアルミ蒸着フィルム１と不織布または樹脂割布織布積層シート２との接着面積が減少し、剥離の惧れがあり好ましくなく、アルミ単体またはアルミ蒸着フィルム１側の穴４の穴径が０．００１ｍｍφ未満で穴数が２５００００未満では室内側からの水蒸気を外部に排出させることができず、不織布または樹脂割布織布積層シート２の室内側面に結露した水分が室内側に落下したり、野地板を腐らせる虞があり好ましくない。
【００１０】
本発明に使用される不織布としてはポリエチレン系、ポリプロピレン系、ポリエチレン／ポリプロピレン混合系、ポリエチレンテレフタレート系の乾式あるいは湿式不織布が挙げられあるいはこれらに強度向上を図るために樹脂割布織布等を積層したものが用いられる。
【００１１】
この不織布単体または樹脂割布織布を積層したシート２はＪＩＳＺ−０２０８により測定した透湿度が１００ｇ／ｍ２  ２４ｈｒ以上でＪＩＳＬ−１０９２により測定した耐水度５０Ａｑ−ｃｍ以上、ＪＩＳＰ−８１１７のより測定した透気度が３０秒以上であることが必要である。不織布単体または樹脂割布織布を積層したシート２の透湿度が１００ｇ／ｍ２  ２４ｈｒ未満で上記透気度が３０秒未満であると室内から発生した水蒸気を外部に排出させることができず、不織布単体または樹脂割布織布を積層したシート２の室内側面に結露した水分が室内側に落下したり野地板を腐らせる虞があり好ましくない。
【００１２】
また上記耐水度が５０Ａｑ−ｃｍ未満であると不織布単体または樹脂割布織布を積層したシート２は防水機能を発揮し得ず、雨漏れにより野地板を腐らせるのみならず、室内への水漏れを生じさせ好ましくない。
【００１３】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の建材用複合シートによれば遮熱、断熱性及び透湿性、防水性に優れ、釘打ち漏水防止性良好で室内から発生した水蒸気をスムースに排出し得るので、野地板とフーフィングとの境界面で結露し、野地板を腐らせることがなく住宅の耐久性を大幅に向上でき、壁材の最外装や屋根下地用等の建築用材料として好適に使用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一例を示す模式的断面図。
【符号の説明】
１    アルミ単体またはアルミ蒸着フィルム
２    不織布単体または樹脂割布織布積層シート
３    低融点樹脂
４    穴
【図１】
0003621452.tif 000002
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体にシートを巻付けて使用する清掃具であって、前記本体が直方体をなし、その直方体の長辺側の両側面に四隅の角部より本体内側へテーパをつけ円弧又は台形の凹みを設けて、本体の中央部の幅を狭くし、前記凹みの底部に厚さ方向に延びる溝を複数形成した清掃具。
【請求項２】
短辺側の両側面が平行をなし、四隅の角部にて短辺側の側面と長辺側の側面とのなす角度θが、４５°≦θ＜９０°である請求項１記載の清掃具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、本体にシートを巻付けて使用する清掃具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の清掃具として、特開平９−３００２２７号公報に示されるように、単層の矩形状で、手で持って使用（ワックス塗布）するものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記公報に記載の清掃具は、本体を清掃対象面に直接押し当てて使用するものであり、汚れた場合に全体を交換しなければならない。
また、把持すると、指が邪魔になって、隅々まで拭くことができない。
本発明は、本体にシートを巻付けて使用する清掃具であって、把持しやすく、窓ガラス面などを隅まで清掃（拭き掃除）し得る清掃具の提供を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
このため、本発明は、本体にシートを巻付けて使用する清掃具であって、前記本体が直方体をなし、その直方体の長辺側の両側面に四隅の角部より本体内側へテーパをつけ円弧又は台形の凹みを設けて、本体の中央部の幅を狭くし、前記凹みの底部に厚さ方向に延びる溝を複数形成した。
【０００５】
【発明の効果】
本発明によれば、本体にシートを巻付けて使用するため、汚れた場合の取り替えが容易である。また、円弧又は台形の凹み部分を把持することで、指が邪魔にならずに、窓ガラス面などを隅まで清掃できる。
また、前記角度θは、４５°≦θ＜９０°とすることで、清掃具の角部のへたりが生じにくく、被清掃部のコーナーにも容易に入り込むことができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は一実施形態を示す清掃具本体の斜視図、図２はその使用状態を示す斜視図である。
清掃具本体１は、厚さｔ＝２０〜３０ｍｍ程度で、直方体をなし、長辺側の両側面２，２に凹み３，３を設けて、中央部の幅を狭くしてある。
【０００７】
短辺側の両側面４，４は平行をなし、四隅の角部にて短辺側の側面４と長辺側の側面２とのなす角度θは、４５°≦θ＜９０°とする。本実施形態ではθは略８０°とした。
凹み３の最大深さｄは、握る際、指が長辺側の側面２の両端を結んだ仮想線２ａから突出せず、５ｍｍ≦ｄ≦３０ｍｍとする。また、凹み３の底部には、シートを介して握る際の摩擦力の向上のため、厚さ方向に延びる溝３ａを複数形成してある。
【０００８】
本体１の材質は、発泡ポリエチレン、発泡エチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、ポリエチレン等の樹脂とする。本体の表面硬度は、アスカーＣ硬度〔ＳＲＩＳ（（財）日本ゴム協会規格）０１０１に規定の硬度〕で、３０度〜６０度のものとし、ある程度の「こし」を持たせた。
尚、アスカーＣ硬度は、高分子計器（株）製、商品名：ゴム硬度計アスカーＣ型を用いて測定した。
【０００９】
使用に際しては、図２に示すように、使い捨ての不織布等のシート５をコ字状に巻付けてから、凹み３の部分をシート５を介し手で持って使用する。
このように、本体１にシート５を巻付けて使用するため、汚れた場合の取り替えが容易である。また、握り部が凹んでいるので、把持しやすく、握る際、指が長辺側の側面２の両端を結んだ仮想線２ａから突出せず、指が被清掃部の縁線にぶつからないため、邪魔にならずに、窓ガラス面などを隅まで清掃できる。
【００１０】
また、四隅の角部の角度θを、４５°≦θ＜９０°とすることで、へたりを生じることなく、コーナーに入り込ませて、確実に清掃できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す清掃具本体の斜視図
【図２】使用状態を示す斜視図
【符号の説明】
１  清掃具本体
２  長辺側の側面
２ａ  仮想線
３  凹み
４  短辺側の側面
５  シート
【図１】
0003621584.tif 000002
【図２】
0003621584.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板、
該半導体基板の端部に隣接して該基板に含まれる少なくとも２つの電気導電体、
前記半導体基板の端部から切り取られた開口部であって、前記端部より前記２つの電気導電体の間の部分へ向かって伸長する前記開口部、および
酸化物絶縁層を介して前記基板に取付けられるとともに、前記開口部と２つの導電体のうち１つとの間で前記基板の端部に伸長している多結晶トランジスタ・ゲート構造
を備え、前記開口部は、前記基板の前記端部に隣接する領域において前記２つの電気導電体間のコンダクタンスを低減し、これにより、過剰電圧が前記２つの導電体の間に発生した場合に、低減された電流がこの領域に流れるようにした電圧保護配列を組み込んだトランジスタ装置。
【請求項２】
前記半導体基板は、拡散シリコンから成る請求項１記載のトランジスタ装置。
【請求項３】
前記２つの電気導電体は、前記基板に形成された連続した金属接点から成る請求項１または２記載のトランジスタ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、電圧保護装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
トランジスタは、静電放電（ＥＳＤ’ｓ：ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  ｄｉｓｃｈａｒｇｅｓ）によって破壊されやすい。
【０００４】
トランジスタの電極は、連続した接点を介して半導体基板に一般に結合する。静電放電の場合には、過剰電流が連続した接点を介して基板に放電する可能性がある。基板端部には電流が流れることのできる大きな表面があるので、基板端部に最も近い連続した接点は、他の連続した接点より大きな電流を引き込む可能性がある。この過剰な電流の流れは、基板端部に最も近い接点を破壊する可能性がある。さらに、端部におけるトランジスタの多結晶ゲートと基板との間には、絶縁性が弱いという固有の問題が一般に存在する。静電放電は、それらの間が短絡した回路になることが知られる。
【０００５】
本発明は、上記の課題を軽減する電圧保護装置を提供する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
電圧保護装置は、基板端部に隣接する少なくとも２つの電気導電体を有する半導体基板により構成される。開口部は、端部より２つの電気導電体の間の部分に向かって伸張する。過剰電圧が２つの導電体の間に発生した場合、低減された電流がこの領域に流れるので、開口部は、基板端部に隣接する領域の２つの電気導電体の間のコンダクタンスを低減する。
【０００７】
半導体基板は、拡散シリコンから成る。
【０００８】
２つの電気導電体は、基板に形成された連続した金属接点から成る。
【０００９】
多結晶トランジスタ・ゲート構造は、酸化物絶縁層を介して、基板に取付けられ、ゲート構造は、開口部と２つのうち１つの導電体との間の基板の端部に伸張する。この方法において、過剰電圧が２つの導電体の間に発生した場合、開口部によって、酸化物材料はゲート構造と基板との間の短絡を引き起こす可能性を低減させる。
【００１０】
電圧保護装置は、トランジスタ装置に組み込むことが可能である。
【００１１】
この方法において、不均等な電流の流れは、基板端部に最も近い接点から低減され、多結晶のゲート構造と基板との間に起きる短絡の可能性も低減される。
【００１２】
【実施例】
図１を参照して、集積回路（ＩＣ）のトランジスタに組み込まれる電圧保護装置もしくは電圧保護配列１０を示す。集積回路のドープされた半導体基板１２、例えば拡散シリコン基板は、その表面に、第１の金属の電流伝導経路１６への第１の連続した接点１６ａ、１６ｂ、１６ｃと、第２の金属の電流伝導経路１８への第２の連続した接点１８ａ、１８ｂ、１８ｃと、第３の金属の電流伝導経路２０への第３の連続した接点２０ａ、２０ｂ、２０ｃとを形成している。伝導経路は、その集積回路用の外部接続を形成し、その間で静
電放電が発生する。
【００１３】
トランジスタの多結晶シリコン・ゲート構造１４は、基板１２上に形成される。基板１２とゲート構造１４との間の酸化物絶縁材料１５の層は、それらの間の絶縁を提供する。ゲート構造１４の第１アーム１７は、基板１２を横切って、第１導電体１６と第２導電体１８との間を伸張する。ゲート構造１４の第２アーム１９は、第２導電体１８と第３導電体２０との間の基板１２と交差して伸張する。
【００１４】
構造１４は、アーム１７上に固有の脆弱部分２６およびアーム１９上に同様に脆弱部分２８を有し、アーム１７，１８および基板１８との間の酸化物材料１５の絶縁が不十分となることを理解されたい。
【００１５】
第１の切込みまたは開口部２２は、基板１２の端部からゲート構造１４の第１アーム１７と第２導電体１８の接点１８ａとの間の部分へ向かって、垂直に伸張するように基板１２の端部から切り取られる。
【００１６】
同様に、第２開口部２４は、基板１２の端部からゲート構造１４の第２アーム１９と第２導電体１８の接点１８ａとの間の部分へ向かって、垂直に伸張するように基板１２の端部から切り取られる。
【００１７】
導電体中の、どのような静電放電も、基板１２を介して、導電体１８と導電体１６，２０の一方または両方との間に電流を流させる。端部に隣接する基板部分では、静電放電電流が流れるより大きな領域があるが、開口部２２，２４はこの領域における導電エリアを低減させ、過剰電流が基板１２の端部に最も近い接点である接点１８ａを介して流れることを防ぐ。これによって、接点１８ａに破壊を起こす可能性が低減される。
【００１８】
さらに、基板１２の端部において、ゲート構造１４の接点１８ａと脆弱部分２６，２８との間に、より高い抵抗性経路がある。その結果、部分２６，２８は、静電放電の間のより低い電位に晒され、それによってゲート構造１４と基板１２との間の短絡を生じさせる酸化物材料の絶縁破壊の可能性を低減させる。
【００１９】
上記の説明のどちらか一方の装置が使用できることを理解されたい。例えば、別の半導体材料が、ガリウム・ヒ素のようにシリコンの代わりに基板として使用することができる。
【００２０】
さらに、単一の開口部または切込みが、２つの導電体を有する装置において使用可能であることを理解されたい。簡単には、２つ以上の開口部または切込みは、多数の導電体とともに装置において使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による電圧保護装置の好適な実施例である。
【符号の説明】
１０  電圧保護装置
１２  基板
１４  ゲート構造
１５  酸化物材料
１６  第１導電体
１６ａ〜１６ｃ  第１導電体の連続した接点
１７  第１アーム
１８  第２導電体
１８ａ〜１８ｃ  第２導電体の連続した接点
１９  第２アーム
２０  第３導電体
２０ａ〜２０ｃ  第３導電体の連続した接点
２２  開口部
２４  第２開口部
２６，２８  脆弱部分
【図１】
0003621949.tif 000002
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
機台に１対のスタンドを設け、該スタンド間に２個の側ロール及び昇降傾倒自在の中央ロールを有し、該中央ロールの下方に直立ピンを昇降自在金具に穿設した支持孔に昇降摺動自在に嵌合支持し、かつ該直立ピンを回動方向に固定し、かつ直立ピンの下面を発条により支持して該直立ピンの上部を支持孔の上方に突出させてなるベンディングロールにおいて、中央ロールの外周面に小径溝を形成し、該溝の底面が中央ロールと同心円であり、上記直立ピンの上端を上記底面に発条の力で接触させた状態で上記中央ロールの長手方向中央部側下面に対向する円弧形切込面を直立ピンに形成し、該切込面の切込終端から外側に向って下向傾斜面を形成してなる円錐曲げロール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は扇形鋼板又はステンレス薄板の円錐曲げロールに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の円錐曲げロールではワークが扇形鋼板又はステンレス鋼板では図９に示すように鋼板の開先ａが中央ロールの下面と直立ピンとの間に進入し、円錐曲げ作業に際し開先ａがつぶれ再度開先を形成する必要があるばかりでなく円錐の寸法が不正確となりその修正に多大な手間と熟練を要した。
【０００３】
又扇形鋼板が薄鋼板（３．２ｍｍ以下）、薄ステンレス鋼板（３．０ｍｍ以下）では往々にして中央ロールの下面と直立ピンとの間に嵌り込み易く円錐曲げが不可能となる場合があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は中央ロールと直立ピンとの間へのワークの嵌り込みが無く、かつ開先のつぶれによる不都合を防止することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため本発明は
機台に１対のスタンドを設け、該スタンド間に２個の側ロール及び昇降傾倒自在の中央ロールを有し、該中央ロールの下方に直立ピンを昇降自在金具に穿設した支持孔に昇降摺動自在に嵌合支持し、かつ該直立ピンを回動方向に固定し、かつ直立ピンの下面を発条により支持して該直立ピンの上部を支持孔の上方に突出させてなるベンディングロールにおいて、中央ロールの外周面に小径溝を形成し、該溝の底面が中央ロールと同心円であり、上記直立ピンの上端を上記底面に発条の力で接触させた状態で上記中央ロールの長手方向中央部側下面に対向する円弧形切込面を直立ピンに形成し、該切込面の切込終端から外側に向って下向傾斜面を形成してなる円錐曲げロール
によって構成される。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明では一方の側ロール１０と中央ロール１との間から扇形鋼板又は扇形ステンレス鋼板７を挿入するに際し、該鋼板７の凹円弧縁７’に形成した開先ａの斜面ａ’を直立ピン３の上記下向傾斜面６に当接し、凹円弧縁７’の上面を水平方向切込面５に接し、その状態で両側ロール１０、１０及び中央ロール１を図７矢印の方向に回動することによって上記鋼板７を錐面に曲げることができ、開先ａの損傷はない。
【０００７】
又直立ピン３の上端が小径溝２の底面２’に接しているため中央ロール１の下面に接している上記鋼板７の凹円弧縁７’又は開先ａが直立ピン３と中央ロール１との間に進入することはない（図１参照）。
【０００８】
【実施例】
図５に示すように機台８に１対のスタンド９、９’を設け、該スタンド９、９’に２個の側ロール１０、１０を設け、その中央上部に昇降傾倒自在の中央ロール１を側ロール１０、１０と平行に設け、中央ロール１の両端部をスタンド９、９’の直立案内ガイド９”、９”に沿って昇降する軸受函１２の軸受１３に支持し、軸受函１２、１２はスタンド９、９’の上端に設けた油圧シリンダー１３によって昇降させることができる。
【０００９】
側ロール１０、１０の中間で中央ロール１の下方には昇降自在金具１１（端曲げ用押型１１’又は起伏昇降金具１１’）が機台８に支持され、該金具１１に穿設した直立支持孔１２内に直立ピン３を昇降摺動自在に嵌合し、該直立ピン３の下面を発条４又は圧力空気（エヤシリンダ）によって支持し該ピン３の上部を支持孔１２の上方に突出させる。そして該ピン３は図１及び図２に示すように中央ロール１の長手方向中央部側に上端から直立切欠面３’及び切欠段３”、３ａが形成され、切欠段３”、３ａに逆Ｌ形キイ１４を係合し該キイ１４を昇降自在金具１１にボルト１５で止着し直立ピン３の回動を止める。
【００１０】
中央ロール１の一端側外周面には小径溝２を形成し、該溝２の底面２’が中央ロール１と同心円であって、上記直立ピン３の上端を該底面２’に発条４又は圧力空気（エヤシリンダ）等の力で接触させる。
【００１１】
その状態において中央ロール１の中心線の中央部側下面に対向する直立ピン３の側面に円弧形切込面５を形成し、該切込面５の切込終端５’から外側に向って下向傾斜面６を形成する。
【００１２】
このようにした円弧形切込面５には図１に示すように上記鋼板７の凹円弧縁７’が進入し、開先ａの斜面が上記下向傾斜面６に接して直立ピン３の上端と中央ローラ１の下面との間に開先ａ又は上記鋼板７の凹円弧縁７’が進入することは無い。
【００１３】
尚図５中１６はスタンド９の上部着脱用ピン、１７は中央ロール起伏用延長棒、１８は中央ロール起伏用スタンド、１９は中央ロール起伏用螺杆である。
【００１４】
【発明の効果】
本発明は上述のように構成したので上記円錐曲げロールにおいて、ワーク即ち扇形鋼板又は扇形ステンレス鋼板における凹円弧縁に形成した開先が直立ピンに形成した円弧形切込面及び下向傾斜面に嵌合し、その状態で円錐曲げを行い得て、厚板の凹円弧縁の開先や薄板の凹円弧縁が中央ロールの下面と直立ピンの上端との間に挟まれるおそれがなく、開先のつぶれもなく円滑に円錐曲げを行い得る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の円錐曲げロールを示す側面図である。
【図２】直立ピンを図１右方から見た正面図である。
【図３】図１の平面図である。
【図４】開先部の縦断面図である。
【図５】従来の円錐曲げ機の全体図である。
【図６】従来の端曲げ用押型の斜視図である。
【図７】従来の円錐曲げ状態の縦断正面図である。
【図８】従来の円錐曲げ状態の側面図である。
【図９】従来の円錐曲げ状態の縦断正面図である。
【図１０】開先が中央ローラと直立ピンとに挟まっている状態の側面図である。
【符号の説明】
１      中央ロール
２      小径溝
２’    底面
３      直立ピン
４      発条
５      円弧形切込面
５’    切込終端
６      下向傾斜面
【図１】
0003621957.tif 000002
【図２】
0003621957.tif 000003
【図３】
0003621957.tif 000004
【図４】
0003621957.tif 000005
【図５】
0003621957.tif 000006
【図６】
0003621957.tif 000007
【図７】
0003621957.tif 000008
【図８】
0003621957.tif 000009
【図９】
0003621957.tif 000010
【図１０】
0003621957.tif 000011
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャピラリの下端から延在したワイヤの先端と電気トーチとの間に高電圧を印加して放電を起こさせ、ワイヤの先端にボールを形成させるワイヤボンディング装置におけるボール形成装置において、電気トーチ部付近に空間を設けて前記電気トーチを覆う絶縁部材と、前記空間を加熱するように前記絶縁部材に取付けられたヒータとを備えたことを特徴とするワイヤボンディング装置におけるボール形成装置。
【請求項２】
前記ヒータは、制御回路で温度がコントロールされることを特徴とする請求項１記載のワイヤボンディング装置におけるボール形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤボンディング装置におけるボール形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ワイヤボンディング装置においては、キャピラリの下端から延在したワイヤの先端と電気トーチとの間に高電圧を印加して放電を起こさせ、ワイヤの先端にボールを形成させる工程がある。
【０００３】
従来、安定したボール径を得るために、ボール形成時の不安定要素を排除し、安定した放電を行なわせるボール形成装置として、例えば特開平９−２９８２１５号公報が挙げられる。このボール形成装置は、電気トーチ部付近に隙間を設けるように電気トーチを筒状の絶縁物よりなるカバーで覆っている。即ち、前記隙間の存在により、電気トーチとカバーとの間に境界が形成されなく、ボール径が安定する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術は、電気トーチを覆うカバーが電気トーチに及ぼす影響を除去するようにしたものであり、電気トーチの周囲の雰囲気が及ぼす影響の改善を図ったものではない。この装置によってもそれ相応の効果は認められるが、超ファインピッチボンディングおいて、特に小ボールを安定して形成させるのは充分に満足できるものではなかった。
【０００５】
本発明の課題は、電気トーチの表面の自由電子の活性化が図れ、電気トーチ周囲の雰囲気の安定も図れ、安定した放電が可能で、ボール径が一層安定するワイヤボンディング装置におけるボール形成装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の請求項１の手段は、キャピラリの下端から延在したワイヤの先端と電気トーチとの間に高電圧を印加して放電を起こさせ、ワイヤの先端にボールを形成させるワイヤボンディング装置におけるボール形成装置において、電気トーチ部付近に空間を設けて前記電気トーチを覆う絶縁部材と、前記空間を加熱するように前記絶縁部材に取付けられたヒータとを備えたことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１により説明する。電気トーチ１の外周には、ガラス等の絶縁物よりなる絶縁部材２が空間３を設けて配設されており、絶縁部材２は固定部在４を介して電気トーチ１に固定されている。絶縁部材２には、電気トーチ１の放電部１ａの周囲を加熱させるヒータ５と、空間３の温度を測定する温度検出器６が取付けられており、ヒータ５の加熱温度は、温度検出器６の測定結果に基づいて制御回路７でコントロールされる。
【０００９】
ワイヤ８はキャピラリ９に挿通され、ボール形成時には、キャピラリ９の下端より延在している。そこで、ワイヤ８に正極電圧、電気トーチ１に負極電圧が与えられ、両者間で高電圧による放電１０が行なわれる。この放電１０のエネルギーによって、ワイヤ８の先端部が溶融してボール８ａが形成される。
【００１０】
本実施の形態においては、前記ボール８ａの形成時に、ヒータ５によって絶縁部材２が加熱され、空間３及び電気トーチ１の温度が上昇している。電気トーチ１の温度が上昇することで、電気トーチ１の表面の自由電子が活性化し、放電条件のキャパシティが向上して放電し易くなる。また絶縁部材２内の温度が上昇して電気トーチ１の放電部１ａの周囲の湿気が少ない状態で安定する。これらのことにより、電気トーチ１の放電が安定すると共に、ワイヤ８の先端までの雰囲気が固定し、放電距離を長くしても安定して放電１０できる。また電気トーチ１が絶縁部材２内に配置されていることにより、外気の影響を受けることなく放電１０でき、また放電密度が安定してボール径が安定する。
【００１１】
図２は本発明の第２の実施の形態を示す。なお、図１と同じ又は相当部材及び相当部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。以下、同様とする。本実施の形態は、絶縁部材２の開口部２ａの形状を広くし、電気トーチ１の先端部付近に広い空間３を設けたものである。このように形成しても、前記実施の形態と同様の効果が得られる。
【００１２】
図３は本発明の第３の実施の形態を示す。図１の第１の実施の形態は、絶縁部材２の開口部２ａが電気トーチ１の先端の前方側となっている。本実施の形態は、絶縁部材２の開口部２ａが電気トーチ１の先端側の上方部に形成されている。従って、電気トーチ１の先端の上方面又は上方端より放電を行なわせる場合に適用するものである。このように形成しても、前記実施の形態と同様の効果が得られる。
【００１３】
【発明の効果】
本発明は、電気トーチ部付近に空間を設けて前記電気トーチを絶縁部材で覆い、電気トーチ部周囲を加熱させた状態で放電を行なわせるので、電気トーチの表面の自由電子の活性化が図れ、電気トーチ周囲の雰囲気の安定も図れ、安定した放電が可能で、ボール径が一層安定する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のワイヤボンディング装置におけるボール形成装置の第１の実施の形態を示す断面図である。
【図２】本発明のワイヤボンディング装置におけるボール形成装置の第２の実施の形態を示す断面図である。
【図３】本発明のワイヤボンディング装置におけるボール形成装置の第３の実施の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
１    電気トーチ
１ａ    放電部
２    絶縁部材
３    空間
５    ヒータ
７    制御回路
８    ワイヤ
８ａ    ボール
９    キャピラリ
１０    放電
【図１】
0003621368.tif 000002
【図２】
0003621368.tif 000003
【図３】
0003621368.tif 000004