(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極（２）が設けられたウェハ（１）上に形成された絶縁層（３）と、この絶縁層（３）の前記電極（２）に整合する領域に形成された開口部（３ａ）と、この開口部（３ａ）を介して前記電極（２）に接続された再配線層（５，６）と、前記ウェハ（１）、前記絶縁層（３）及び前記再配線層（５，６）を封止する封止樹脂層（８）と、この封止樹脂層（８）内に埋設されその少なくとも上面の一部が前記封止樹脂層から露出しその上面上に各１個の半田バンプ（１１）が形成された複数個のポスト（７）と、を有し、前記各ポスト（７）は、前記絶縁層（３）上に形成された１個の樹脂製突部（４）と、この樹脂製突部（４）の少なくとも上面を被覆し前記再配線層（５，６）及び前記半田バンプ（１１）に接続された導電層（５，６）と、を有することを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項２】
前記ポストと前記封止樹脂層との境界は平面視で前記ポストの上面の外側にあることを特徴とする請求項１に記載の半導体パッケージ。
【請求項３】
前記封止樹脂層に形成された開口部の内側面は内側に傾斜して前記ポストの上面の周囲を取り囲む溝が形成され、この溝により境界が区切られていることを特徴とする請求項２に記載の半導体パッケージ。
【請求項４】
前記ポストは、その周囲の少なくとも一部は前記封止樹脂層により被覆され、前記封止樹脂層は、前記ポストよりも離れたところの上面が前記ポストの上面よりも低くなるような厚さで形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体パッケージ。
【請求項５】
電極（２）が設けられたウェハ（１）と、このウェハ（１）上に形成された複数個の樹脂製突部（４）と、この樹脂製突部（４）上に形成され前記電極（２）に接続された導電層（５，６）と、各前記樹脂製突部（４）上であって前記導電層（５，６）上に１個ずつ形成された複数個の半田バンプ（１１）と、少なくとも前記半田バンプ（１１）を露出して前記ウェハ（１）を封止する封止樹脂層（８）と、を有することを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項６】
平面視で前記半田バンプの中心の位置と前記樹脂製突部の中心の位置とが一致していることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の半導体パッケージ。
【請求項７】
前記樹脂製突部の断面が台形状であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の半導体パッケージ。
【請求項８】
前記封止樹脂層に形成され前記半田バンプを露出させる開口部の最上部の面積が、前記樹脂製突部上の前記導電層の上面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の半導体パッケージ。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の半導体パッケージを有し、前記ウェハに集積回路が形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の半導体装置と、前記半田バンプに接続された回路基板と、を有することを特徴とする電子装置。
【請求項１１】
電極が設けられたウェハ上に前記電極に整合する領域に開口部が設けられた絶縁層を形成する工程と、前記絶縁層上に複数個の樹脂製突部を形成する工程と、前記開口部を介して前記電極に接続された再配線層を形成する工程と、前記再配線層に接続され前記樹脂製突部を被覆する導電層を形成する工程と、前記ウェハ、前記絶縁層及び前記再配線層を封止し前記導電層における前記樹脂製突部の直上域上に開口部が形成された封止樹脂層を形成する工程と、前記封止樹脂層の開口部において前記導電層における前記樹脂製突部の直上域上に半田バンプを形成する工程と、を有することを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
【請求項１２】
前記封止樹脂層を形成する工程は、全面に感光性樹脂層を形成する工程と、前記感光性樹脂層に前記樹脂製突部上の前記導電層を露出させる開口部をフォトリソグラフィ技術によって形成する工程と、を有することを特徴とする請求項１１に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項１３】
前記封止樹脂層に形成された開口部の最上部の面積は、前記樹脂製突部上の前記導電層の上面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項１１又は１２に記載の半導体パッケージの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板（インタポーザ）を使用しないウェハレベルＣＳＰ（Chip Size/Scale Package）等の半導体パッケ一ジ、半導体装置、電子装置及び半導体パッケージの製造方法に関し、特に、容易に製造することができる半導体パッケージ、半導体装置、電子装置及び半導体パッケージの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近時、半導体装置の小型化が促進されており、これに伴ってそのパッケージの小型化が注目されている。例えば、日経マイクロデバイス１９９８年８月号及び１９９９年２月号等に種々の半導体パッケージが提案されている。その中でも、特にＣＳＰとよばれる半導体パッケージによるウェハレベルＣＳＰは、パッケージの小型化及びコストの低減に高い効果を示す。このＣＳＰは、ウェハごと樹脂封止されたパッケージである。図９は従来のＣＳＰの構成を示す断面図である。なお、図９はプリント基板へ搭載される状態を示しており、以下の説明では図９とは上下関係が逆になっている。
【０００３】
従来のＣＳＰにおいては、ウェハ５１上に複数個のＡｌパッド５２が形成されている。また、ウェハ５１の全面にＡｌパッド５２を覆うＳｉＮ層５３及びポリイミド層５４が形成されている。ＳｉＮ層５３及びボリイミド層５４には、その表面からＡｌパッド５２まで達するビアホールが形成されている。そして、ビアホール内に導体層５５が埋め込まれている。更に、ポリイミド層５４上には、導体層５５に接続された再配線層５６が形成されている。再配線層５６は、例えばＣｕからなる。そして、ポリイミド層５４の全面に再配線層５６を覆う封止樹脂層５７が設けられている。封止樹脂層５７の内部には、その表面から再配線層５６まで達するメタルポストとしてＣｕポスト６８が形成されている。Ｃｕポスト５８上には、バリアメタル層５９が形成されており、バリアメタル層５９上に半田等のソルダボール６０が形成されている。
【０００４】
次に、上述のような従来のＣＳＰの製造方法について説明する。図１０（ａ）乃至（ｅ）は従来のＣＳＰの製造方法を工程順に示す断面図である。なお、図１０（ａ）乃至（ｅ）においては、再配線層及びポリイミド層等は省略している。
【０００５】
先ず、図１０（ａ）に示すように、表面が平坦なウェハ６１を準備する。そして、図１０（ｂ）に示すように、ウェハ６１上に複数個のＣｕポスト６２をメッキにより形成する。次いで、図１０（ｃ）に示すように、全てのＣｕポスト６２を覆うように樹脂封止を行い、封止樹脂層６３を形成する。その後、図１０（ｄ）に示すように、封止樹脂層６３の表面を研磨することにより、各Ｃｕポスト６２を露出させる。そして、図１０（ｅ）に示すように、Ｃｕポスト６２上に半田等のソルダボール６４を搭載する。
【０００６】
このようにして、前述のようなＣＳＰが形成される。このＣＳＰは、その後、所定の大きさにダイシングされる。
【０００７】
一般に、半導体パッケージとプリント基板等との熱膨張率は相違しているので、熱膨張率の相違に基づく応力が半導体パッケージの端子に集中する。しかし、前述のようなＣＳＰにおいては、柱状のＣｕポスト６２を高く形成することにより、その応力が分散しやすくなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、熱膨張率の相違に基づく応力を分散させるためには、Ｃｕポスト等のメタルポストに再配線層から１００μｍ程度の高さが必要となるが、この高さのメタルポストをメッキにより形成すると、極めて長い時間が必要となるという問題点がある。このため、製造コストが高くなる。また、メタルポストの高さの制御が困難であるという問題点もある。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、プリント基板等に実装され使用される際に発生する応力を分散することができると共に、短時間で製造することができる半導体パッケージ、半導体装置、電子装置及び半導体パッケージの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る半導体パッケージは、電極が設けられたウェハ上に形成された絶縁層と、この絶縁層の前記電極に整合する領域に形成された開口部と、この開口部を介して前記電極に接続された再配線層と、前記ウェハ、前記絶縁層及び前記再配線層を封止する封止樹脂層と、この封止樹脂層内に埋設されその少なくとも上面の一部が前記封止樹脂層から露出しその上面上に各１個の半田バンプが形成された複数個のポストと、を有し、前記各ポストは、前記絶縁層上に形成された１個の樹脂製突部と、この樹脂製突部の少なくとも上面を被覆し前記再配線層及び前記半田バンプに接続された導電層と、を有することを特徴とする。
【００１１】
本発明においては、少なくとも上面を導電層に被覆された樹脂製突部がポストに設けられているので、このポストに応力が発生した場合、主に樹脂製突部によってその応力が分散される。このため、ポストに厚いメッキ層は必要ではなくなるので、製造工程が短縮される。また、ポストの高さは樹脂製突部の高さによって制御することが可能であるので、その調整は容易である。
【００１２】
なお、前記ポストが貫通する前記封止樹脂層に形成された開口部の面積を、前記ポストの上面の面積よりも大きくすることにより、半田バンプと導電層との接触面積を大きくすることが可能となるので、導電性の確保及び接合強度の面における信頼度が向上する。このとき、前記ポストと前記封止樹脂層との境界は平面視で前記ポストの上面の外側にあってもよい。
【００１３】
また、前記封止樹脂層に形成された開口部の側面を内側に傾斜させて前記ポストの上面の周囲を取り囲む溝を形成し、この溝により境界を区切ることにより、樹脂をなくすことによる樹脂製突部の変形の自由度が大きくなり、応力がより一層分散されやすくなる。
【００１４】
同様に、前記ポストを、その周囲の少なくとも一部が前記封止樹脂層により被覆され、前記封止樹脂層を、前記ポストよりも離れたところの上面が前記ポストの上面よりも低くなるような厚さで形成することによっても、樹脂製突部の変形の自由度が大きくなり、応力がより一層分散されやすくなる。
【００１５】
本発明に係る他の半導体パッケージは、電極が設けられたウェハと、このウェハ上に形成された複数個の樹脂製突部と、この樹脂製突部上に形成され前記電極に接続された導電層と、各前記樹脂製突部上であって前記導電層上に１個ずつ形成された複数個の半田バンプと、少なくとも前記半田バンプを露出して前記ウェハを封止する封止樹脂層と、を有することを特徴とする。
【００１６】
このとき、平面視で前記半田バンプの中心の位置と前記樹脂製突部の中心の位置とを一致させると、半田バンプから樹脂製突部に作用する応力をより一層均一に分散させることが可能となる。
【００１７】
なお、前記樹脂製突部の断面が台形状であってもよい。
【００１８】
本発明に係る半導体装置は、上述のいずれかの半導体パッケージを有し、前記ウェハに集積回路が形成されていることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明に係る電子装置は、この半導体装置と、前記半田バンプに接続された回路基板と、を有することを特徴とする。
【００２０】
本発明に係る半導体パッケージの製造方法は、電極が設けられたウェハ上に前記電極に整合する領域に開口部が設けられた絶縁層を形成する工程と、前記絶縁層上に複数個の樹脂製突部を形成する工程と、前記開口部を介して前記電極に接続された再配線層を形成する工程と、前記再配線層に接続され前記樹脂製突部を被覆する導電層を形成する工程と、前記ウェハ、前記絶縁層及び前記再配線層を封止し前記導電層における前記樹脂製突部の直上域上に開口部が形成された封止樹脂層を形成する工程と、前記封止樹脂層の開口部において前記導電層における前記樹脂製突部の直上域上に半田バンプを形成する工程と、を有することを特徴とする。
【００２１】
なお、前記封止樹脂層を形成する工程は、全面に感光性樹脂層を形成する工程と、前記感光性樹脂層に前記樹脂製突部上の前記導電層を露出させる開口部をフォトリソグラフィ技術によって形成する工程と、を有してもよい。
【００２２】
また、前記封止樹脂層に形成された開口部の最上部の面積は、前記樹脂製突部上の前記導電層の上面の面積よりも大きいものであってもよい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、導電層に被覆された樹脂製突部をポストに設けているので、ポストに発生した応力を主に樹脂製突部によって分散することができる。このため、従来ポストに必要とされていた厚いメッキ層を不要とし、製造工程を短縮することができる。また、ポストの高さは樹脂製突部の高さによって制御することができるので、その制御は容易である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】（ａ）乃至（ｃ）は本発明の第１の実施例に係る半導体パッケージの製造方法を工程順に示す断面図である。
【図２】（ａ）乃至（ｃ）は、同じく、本発明の第１の実施例に係る半導体パッケージの製造方法を示す図であって、図１に示す工程の次工程を工程順に示す断面図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、同じく、本発明の第１の実施例に係る半導体パッケージの製造方法を示す図をあって、図２に示す工程の次工程を工程順に示す断面図である。
【図４】第１の実施例においてシード層５を除去した後の状態を示す写真をトレースした図である。
【図５】第１の実施例において封止樹脂層８を形成した後の状態を示す写真をトレースした図である。
【図６】本発明の第２の実施例により製造された半導体パッケージを示す断面図である。
【図７】第２の実施例において、封止樹脂層８ａを形成した後の状態を示す写真をトレースした図である。
【図８】本発明の第３の実施例により製造された半導体パッケージを示す断面図である。
【図９】従来のＣＳＰの構成を示す断面図である。
【図１０】（ａ）乃至（ｅ）は従来のＣＳＰの製造方法を工程順に示す断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施例に係る半導体パッケージの製造方法について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図１（ａ）乃至（ｃ）、図２（ａ）乃至（ｃ）並びに図３（ａ）及び（ｂ）は本発明の第１の実施例に係る半導体パッケージの製造方法を工程順に示す断面図である。
【００２６】
本実施例においては、先ず、図１（ａ）に示すように、集積回路（図示せず）及びその電極、例えばＡｌパッド２が設けられたＳｉウェハ１の全面にＳｉＮなどのパッシベーション膜９を直接形成したものを準備する。そして、このパッシベーション膜９のＡｌパッド２に整合する位置に開口部を形成し、Ａｌパッド２を露出させる。
【００２７】
その後、図１（ｂ）に示すように、Ａｌパッド２に整合する位置に開口部３ａを有する樹脂の絶縁層３を形成する。絶縁層３は、例えばポリイミド、エポキシ又はシリコーン樹脂等からなり、その厚さは、例えば５乃至５０μｍである。また、絶縁層３は、例えば回転塗布法、印刷法又はラミネート法等により形成することができる。開□部３ａは、例えば樹脂層３を構成するポリイミド等の膜を全面に成膜した後にフォトリソグラフィ技術によりパターニングすることにより形成することができる。
【００２８】
次いで、図１（ｃ）に示すように、ウェハ上において電極とは離れた位置に、絶縁層３上に樹脂からなる断面が台形状の突部（円錐の上部分を除いた形状の樹脂製突部）４を形成する。台形状の突部４は、例えばポリイミド、エポキシ又はシリコーン樹脂等からなり、その厚さは、例えば２５乃至１００μｍである。また、突部４は、ポリイミド等を印刷する方法、ラミネートする方法又は回転塗布（スピンコート）する方法等により形成することができる。
【００２９】
続いて、図２（ａ）に示すように、電解メッキ用の薄いシード層５を全面又は必要な領域に形成する。このシード層５は、一例えばスパッタ法により形成されたＣｕ層及びＣｒ層の積層体又はＣｕ層及びＴｉ層の積層体である。また、無電解Ｃｕメッキ層でもよく、蒸着法、塗布法又は化学気相成長（ＣＶＤ）法等により形成された金属薄膜層であってもよく、これらを組み合わせてもよい。
【００３０】
次いで、シード層５上に電解メッキ用のレジスト膜（図示せず）を形成する。このレジスト膜は、開口部３ａ、突部４及びこれらに挟まれた領域に整合する領域に形成された開口部を有している。また、レジスト膜は、例えばフィルムレジストをラミネートする方法又は液体レジストを回転塗布する方法等を使用して形成することができる。その後、図２（ｂ）に示すように、レジスト膜をマスクとして露出したシード層５上に、導電層であるＣｕメッキ層６を電解銅メッキにより形成する。以上の工程によりＳｉウェハ１上にはＣｕメッキ層６による配線路（回路パターン）が形成される。Ｃｕメッキ層６の厚さは、例えば５乃至５０μｍである。その後、Ｃｕメッキ層６上に、例えばＮｉメッキ層及びＡｕメッキ層（図示せず）を、その後に形成する半田バンプの濡れ性向上のために形成してもよい。
【００３１】
続いて、図２（ｃ）に示すように、レジスト膜を剥離し、ウェハの面上に露出している不要なシード層５をエッチングにより除去して導電層６以外の部分に絶縁層３を露出させる。このようにして、導電層により被膜されたポスト７をＳｉウェハ１上に形成する。図４は第１の実施例においてシード層５を除去した後の、Ｓｉウェハ１の表面状態を示す斜め横方向から見た写真をトレースした図である。図４において、ウェハ上には複数の台形状の突部４と、複数の電極２と、これらを接続する導電層６が図示されている。電極２と突部４との間の導電層６はＳｉウェハ１上にて配線路を形成する。図示されているように、これら配線路は、電極２と樹脂製突部４との間の真っ直ぐな最短路とならずに屈曲する場合もある。
【００３２】
その後、図３（ａ）に示すように、全面に表面保護用の厚さが１０乃至１５０μｍ程度の封止樹脂層８を、ポスト７の表面の周縁部分に盛り上がるようにして被覆し、中央部のみを露出させるようにして形成する。つまり、封止樹脂層８の開口部１０の面積がポスト７の上面の面積よりも小さいものとする。この封止樹脂層にはポリイミド樹脂、エポキシ樹脂又はシリコーン樹脂が好適に用いられる。図５は第１の実施例において封止樹脂層８を形成した後の表面状態を示し、斜め横方向から見た写真をトレースした図である。封止樹脂層８を形成する工程は、例えば封止樹脂層８を感光性ポリイミド樹脂等の感光性樹脂から構成し、これをフォトリソグラフィ技術によりパターニングすることにより行うことができるが、この方法に限定されるものではない。
【００３３】
次いで、ポスト７の表面上に、例えば半田バンプ１１を形成する。この半田バンプ１１の形成方法としては、メッキ法、印刷法、メタルジェット法、及び半田ボ一ルを載置する方法等が挙げられる。ここで、半田バンプ１１と樹脂製突部４の中心が、平面視（ウェハの上から見た方向）で一致していることが応力の均一分散という点で重要である。つまり、平面視で円形なる半田バンプ１１の中心位置と、円形なる樹脂製突部４の中心位置とが一致するということが重要である。
【００３４】
このようにして製造された半導体パッケージのポスト７は、図２（ｃ）及び図４に示すような形状を有している。即ち、高さが例えば３０μｍであり、横断面が台形状をなす樹脂製の突部４を覆うように、その表面上及び側面上にシード層５及び２０μｍのＣｕメッキ層６が形成されている。そして、全体としては高さ５０μｍのポストが形成されている。従って、プリント基板に実装され応力が発生した場合には、フレキシブルな樹脂製の突部４により、その応力が均等に分散され、ウェハに与える歪みを緩和する。また、シード層５及びＣｕメッキ層６は、半田バンプとＡｌパッド２との間の再配線層としても機能する。この再配線層は前述の配線路に相当するものである。
【００３５】
このように、本実施例によれば、１００μｍもの厚いメッキ層がなくても導通の確保及び応力の均一分散が可能であるので、メッキ工程の簡略化により短時間で製造することができ、製造コストを低減することが可能である。また、ポスト７の高さは、突部４の高さにより制御することが可能であるので、その調整は樹脂の盛り上げ量調整だけであり、容易である。
【００３６】
次に、第２の実施例について説明する。図６は本発明の第２の実施例により製造された半導体パッケージを示す断面図である。なお、図６に示す第２の実施例において、図３（ｂ）に示す第１の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。第２の実施例は、封止樹脂層がポストの上面を全て覆っていないことが第１の実施例と異なっている。
【００３７】
第２の実施例においては、第１の実施例と同様の工程によりＣｕメッキ層６を形成し、不要なシード層５を除去した後、図６に示すように、全面に表面保護用の封止樹脂層８ａをポスト７の表面が露出し、且つ封止樹脂層８ａとポスト７との間に溝が形成されるようにして形成する。つまり、封止樹脂層８ａの円形なる開口部１０ａの面積が、ポスト７の円形なる上面の面積よりも大きいものとする。封止樹脂層８ａの開口部は、その内側面１０ｄが内側すなわちウェハ側に傾斜している。つまり、内側面１０ｄは落ち込んでいる。そして、ポスト７の周囲には、ポスト７を取り囲むような円形の溝が形成され、この溝によりポスト７と封止樹脂層８ａとが区切られている。図７は第２の実施例において封止樹脂層８ａを形成した後の状態を示す写真をトレ一スした図であり、ポスト７上に露出する導電層６を取り囲むように、リング状の溝が形成されているのが分かるであろう。その後、第１の実施例と同様にして、ポスト７の表面上に半田バンプ１１を形成する。なお、上記溝の深さには種々の実施例があり、図示の如く、ポスト７の上部までの浅いものから下部に至るまで切り込んだ様々な変形例が存在する。
【００３８】
このようにして第２の実施例により製造された半導体パッケージのポスト７においても、プリント基板に実装され応力が発生した場合には、突部４により、その応力が分散される。特に、第２の実施例においては、ポスト７の側面が封止樹脂層８ａに完全には被覆されておらず、また、ポスト７の上部に封止樹脂層８ａが存在しないので、ポスト７のすべての周囲が封止樹脂層８ａにて固定されておらず、第１の実施例と比して、ポスト７が変形し易くなっている。つまり、ポスト７を構成する樹脂製の突部が変形し易くなっている。このため、応力分散の効果がより一層高いものとなっている。また、シード層５及びＣｕメッキ層６は、半田バンプとＡｌパッド２との間の再配線層としても機能する。
【００３９】
なお、封止樹脂層８ａを形成する工程は、Ｃｕメッキ層６を覆う樹脂層を形成した後にＣｕメッキ層６が露出するまで表面ポリッシングする工程としてもよい。
【００４０】
次に、第３の実施例について説明する。図８は本発明の第３の実施例により製造された半導体パッケージを示す断面図である。なお、図８に示す第３の実施例において、図３（ｂ）に示す第１の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００４１】
第３の実施例においては、第１の実施例と同様の工程によりＣｕメッキ層６を形成し、不要なシード層５を除去した後、図８に示すように、表面保護用の封止樹脂層８ｂを、ポスト７の上面及び側面の上部を除く領域に形成する。従って、この場合にも、封止樹脂層８ｂの開口部１０ｂはポスト７の上面の面積よりも大きいものとなる。その後、第１の実施例と同様にして、ポスト７の表面上に半田バンプ１１を形成する。ここで、封止樹脂層８ｂのポスト７よりも離れた場所の上面８ｄはポスト７の上面よりも低い高さにあり封止樹脂層８ｂの開口部１０ｂの内縁７ａはポスト７の周囲を取り囲むようにして、その内縁７ａがポスト７の側面を這いあがり、ポスト周囲に薄い層を形成している。
【００４２】
また、この内縁７ａの先端１０ｃはポスト７の上面よりも幾分か下方に位置して、即ち、ポスト７は、その周囲又は一部が封止樹脂層８ｂにより被覆されている。封止樹脂層８ｂは、ポスト７よりも離れたところの表面８ｄがポスト７の上面よりも低くなるような厚さで形成されている。なお、内縁７ａの先端１０ｃがポスト７の上面と一致していてもよい。
【００４３】
このようにして第３の実施例により製造された半導体パッケージのポスト７においても、ポスト７の側面が封止樹脂層８ｂに完全には被覆されておらず、また、ポスト７の、特に上部の周囲には封止樹脂層８ｂが存在しないので、第２の実施例と同様にポスト７が変形し易く、従って、第１の実施例と比して、応力分散の効果がより一層高いものとなっている。なお、特に図示していないが、ポスト７周囲の封止樹脂層８ｂ（即ち、開口部ｌ０ｂの内縁７ａ）の厚さは、上側に行くに従って次第に薄くなるものとしてもよい。また、Ｃｕメッキ層６の上面が封止樹脂層８ｂから完全に露出しているので、導通の確保及び機械的接続の信頼性がより一層高い。
【００４４】
なお、ポスト内部に設けられる樹脂製突部の材料は、ポリイミド、エポキシ又はシリコーン樹脂等に限定されるものではなく、応力を分散することが可能なものであれば使用可能である。また、ポスト７における導電層は、必ずしも内部の樹脂製突部全体を被覆していなくてもよく、少なくとも半田バンプが形成される上面で樹脂製突部を被覆していればよい。以上の実施例は、ポスト７と電極２は導電層６により、接続されている。しかしながら、回路基板に接続されるウェハ全体の応力分布を面上にて均等とするため、電極２と接続されていないポスト７をウェハ上に分散配置する場合もある。
【００４５】
また、これらの実施例により製造された半導体パッケージは、その後、半田バンプを回路基板に接続して、例えば電子装置に組み込まれる。
【００４６】
電子装置とは、これら回路基板と周辺機器等を組み合わせたものであり、例えばモービルホン又はパーソナルコンピュータである。
【００４７】
なお、絶縁層３には、前記各実施例以外の樹脂又は樹脂以外の絶縁材を用いることもできる。
【００４８】
また、電極と樹脂製突部との位置関係はこれらの実施例におけるものに限定されるものではない。
【００４９】
更に、ウェハとしては、Ｓｉウェハ以外に、例えばＧａＡｓ系又はＧａＰ系等の化合物半導体ウェハを使用することもできる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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