(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外表面に多数のブラシ毛を植毛した円筒状のブラシ本体と、
上記ブラシ本体の内部の軸方向両端側に設けられた軸受を介して設けたシャフトと、
上記シャフトの内部に軸方向に形成され、上記軸受の少し内方の２カ所においてシャフトとブラシ本体との間の空部に連通する流体出口を備える流路孔と、
上記ブラシ本体の植毛部分に形成され、上記空部に連通するとともにその植毛部分に流体出口を備える本体側流体通路と、
上記シャフトの流路孔に供給されその流路孔の流体出口から空部に導入された流体の流れを受けてブラシ本体を回転させる回転駆動部と、を備え、
上記回転駆動部は、上記流路孔の流体出口の各々よりさらに軸方向で少し内方の２カ所に設けられ、シャフトに固定された固定翼と、ブラシ本体の内周面に固定された回転翼とからなり、
上記シャフトの流路孔に供給された流体は、軸方向両端側の流体出口から出て、シャフトとブラシ本体との間の空部に入り、回転駆動部、本体側流体通路、およびブラシ毛の植毛根部分を経由して排出される、
ことを特徴とする洗浄用ブラシ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶ディスプレイや半導体基板等の洗浄に使用する洗浄用ブラシに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、液晶ディスプレイや半導体基板等のワークの洗浄工程では、洗浄用ブラシを用いた洗浄が行われ、純水または洗浄液をシャワーしながらブラシに回転を与え、ワークのこすり洗いを行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の洗浄用ブラシでは、純水または洗浄液をシャワーしながら洗浄しているものの、ワークから除去した異物やブラシ自身の摩耗粉がブラシ内部に滞留してしまって、それらを速やかに流し落とすことができず、滞留した異物や摩耗粉でワーク表面を再汚染し、またその表面に傷（スクラッチ）を付けてしまい、したがって、要求されているようなる高度の洗浄品質を達成できなくなっている。
【０００４】
この発明は上記に鑑み提案されたもので、液晶ディスプレイや半導体基板等の洗浄に要求される高度の洗浄品質を達成することのできる洗浄用ブラシを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、洗浄用ブラシであって、外表面に多数のブラシ毛を植毛した円筒状のブラシ本体と、上記ブラシ本体の内部の軸方向両端側に設けられた軸受を介して設けたシャフトと、上記シャフトの内部に軸方向に形成され、上記軸受の少し内方の２カ所においてシャフトとブラシ本体との間の空部に連通する流体出口を備える流路孔と、上記ブラシ本体の植毛部分に形成され、上記空部に連通するとともにその植毛部分に流体出口を備える本体側流体通路と、上記シャフトの流路孔に供給されその流路孔の流体出口から空部に導入された流体の流れを受けてブラシ本体を回転させる回転駆動部と、を備え、上記回転駆動部は、上記流路孔の流体出口の各々よりさらに軸方向で少し内方の２カ所に設けられ、シャフトに固定された固定翼と、ブラシ本体の内周面に固定された回転翼とからなり、上記シャフトの流路孔に供給された流体は、軸方向両端側の流体出口から出て、シャフトとブラシ本体との間の空部に入り、回転駆動部、本体側流体通路、およびブラシ毛の植毛根部分を経由して排出される、ことを特徴としている。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下にこの発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。先ず第１の実施形態を図１、図２および図３を用いて説明する。
【００１１】
図１はこの発明の洗浄用ブラシの構成を示す正面断面図、図２は図１のＩ−Ｉ線断面図、図３は図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。これらの図において、この発明の洗浄用ブラシ１は、外表面に多数のブラシ毛７…を植毛した円筒状のブラシ本体５と、ブラシ本体５の内部に軸受４ａ，４ｂを介して設けたシャフト３とを備えている。
【００１２】
ブラシ本体５の適宜複数の箇所には、シャフト３との間の空部Ｒに連通する本体側流体通路６を穿設してあり、空部Ｒに流入した流体は、この本体側流体通路６を通り、ブラシ毛７…の植毛根部分７ａを流体出口として外部に排出されるようになっている。
【００１３】
シャフト３は、その両端側が支持部３１等に挟持固定されている。このシャフト３の内部には、一端側が開口する流路孔２が軸方向に沿って形成されている。また、シャフト３とブラシ本体５との間には、ブラシ本体５の両端側に相当する位置にそれぞれ、上記した軸受４ａ，４ｂが嵌着してある。シャフト３には、この軸受４ａ，４ｂのそれぞれ少し内方に、流路孔２から空部Ｒに連通する、四方に開口した流体出口８ａ，８ｂが穿設されている。
【００１４】
この流体出口８ａ，８ｂのさらに少し内方には、シャフト３とブラシ本体５との間に回転駆動部９ａ，９ｂが設けられている。この回転駆動部９ａ，９ｂはそれぞれ、シャフト３の外周面に固定された固定翼９１ａ，９１ｂと、ブラシ本体５の内周面に固定された回転翼９２ａ，９２ｂとを備えている。回転駆動部９ａ，９ｂは、流路孔２に供給されその流体出口８ａ，８ｂから空部Ｒに導入された流体の流れを受けると、固定翼９１ａ，９１ｂがその流れを斜流とし、その斜流で回転翼９２ａ，９２ｂが回転するようになっている。そして、この回転翼９２ａ，９２ｂの回転と一体にブラシ本体５が回転する。
【００１５】
上記構成を有する洗浄用ブラシ１において、シャフト３の一端側開口から流路孔２に供給された流体は、前段側の流体出口８ａもしくは後段側の流体出口８ｂを通って、空部Ｒに入り、回転駆動部９ａ，９ｂに流入して、ブラシ本体５を回転させ、その回転駆動部９ａ，９ｂを通った後、複数箇所に形成した本体側流体通路６に入り、植毛根部分７ａから外部に排出される。
【００１６】
このように、この第１の実施形態では、ブラシ本体５の内側から供給した流体でブラシ本体５を回転させることで、ワークをブラシ毛７…でこすり洗浄するとともに、その流体を本体側流体通路６を介して植毛根部分７ａから外部に排出するようにしたので、ブラシ毛７…内部に滞留しがちである異物や摩耗粉を、ブラシ毛７…の根元側から流れてくる流体で速やかに流し落とすことができる。したがって、滞留した異物や摩耗粉によるワーク表面が再汚染されたり傷付くのを防止することができ、液晶ディスプレイや半導体基板等の洗浄に要求される高度の洗浄品質を達成することができる。
【００１７】
また、モータ駆動源によらないで洗浄用ブラシ１を回転させるので、低コストで洗浄でき、また騒音も低減してクリーンな環境での洗浄が可能となる。
【００１８】
次に、第２の実施形態を図４および図５を用いて説明する。
【００１９】
図４はこの発明の第２の実施形態に係る洗浄用ブラシの要部構成を示す正面断面図、図５は図４のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。これらの図において、第２の実施形態に係る洗浄用ブラシ１０は、シャフト１３とブラシ本体１５とを備え、シャフト１３は、内部に軸方向に形成され一端側に軸方向とは直角に四方向の流体出口１８を有する流路孔１２と、その流体出口１８より他端寄りに設けた拡径開口部１３０とを備えている。
【００２０】
また、ブラシ本体１５は、厚肉円盤状のプレート部１５１と、そのプレート部１５１の外径より小さい径でプレート部１５１の裏面に立設された周壁部１５２とからなり、一端側の周壁部１５２がシャフト１３の拡径開口部１３０に軸受１４を介して回転自在に嵌着されるとともに、他端側のプレート部１５１外表面に多数のブラシ毛１７…が植毛されている。このブラシ本体１５のプレート部１５１の適宜複数の箇所には、プレート部１５１とシャフト１３との間であって周壁部１５２に囲まれている空部Ｒ１に連通する本体側流体通路１６を穿設してあり、空部Ｒ１に流入した流体は、この本体側流体通路１６を通り、ブラシ毛１７…の植毛根部分１７ａを流体出口として外部に排出されるようになっている。
【００２１】
上記のシャフト１３の流体出口１８のさらに少し一端寄りには、シャフト１３と、ブラシ本体１５の周壁部１５２との間に回転駆動部１９が設けられている。この回転駆動部１９は、シャフト１３の外周面に固定された固定翼１９１と、ブラシ本体１５の周壁部１５２内周面に固定された回転翼１９２とを備えている。回転駆動部１９は、流路孔１２に供給されその流体出口１８から空部Ｒ１に導入された流体の流れを受けると、固定翼１９１がその流れを斜流とし、その斜流で回転翼１９２が回転するようになっている。そして、この回転翼１９２の回転と一体にブラシ本体１５が回転する。
【００２２】
上記構成を有する洗浄用ブラシ１０において、シャフト１３の他端側開口（図示省略）から流路孔１２に供給された流体は、流体出口１８を通って、空部Ｒ１に入り、回転駆動部１９に流入して、ブラシ本体１５を回転させ、その回転駆動部１９を通った後、複数箇所に形成した本体側流体通路１６に入り、植毛根部分１７ａから外部に排出される。
【００２３】
このように、この第２の実施形態においても、上記した第１の実施形態の場合と同様に、ブラシ本体１５の裏面側から供給した流体でブラシ本体１５を回転させることで、ワークをブラシ毛１７…でこすり洗浄するとともに、その流体を本体側流体通路１６を介して植毛根部分１７ａから外部に排出するようにしたので、ブラシ毛１７…内部に滞留しがちである異物や摩耗粉を、ブラシ毛１７…の根元側から流れてくる流体で速やかに流し落とすことができる。したがって、滞留した異物や摩耗粉によるワーク表面が再汚染されたり傷付くのを防止することができ、液晶ディスプレイや半導体基板等の洗浄に要求される高度の洗浄品質を達成することができる。
【００２４】
また、モータ駆動源によらないで洗浄用ブラシ１０を回転させるので、低コストで洗浄でき、また騒音も低減してクリーンな環境での洗浄が可能となる。
【００２５】
次に、第３の実施形態を図６および図７を用いて説明する。
【００２６】
図６はこの発明の第３の実施形態に係る洗浄用ブラシの要部構成を示す正面断面図、図７は図６のＩＶ−ＩＶ線断面図である。この第３の実施形態に係る洗浄用ブラシ２０が、上記した第２の実施形態に係る洗浄用ブラシ１０と相違する点は、シャフト１３に形成する流体出口２８を、図６に示すように、シャフト軸方向に対して斜め下方に向け、かつ図７に示すように、周方向に傾けて三方向に形成した点であり、また、回転駆動部２９を固定翼２９１のみで形成した点である。このように構成することで、流路孔１２を導かれて流体出口２８の三方向の出口から噴出した流体は、直接固定翼２９１に斜流となってぶつかり、固定翼２９１を回転させ、ブラシ本体１５を回転させる。
【００２７】
したがって、この第３の実施形態に係る洗浄用ブラシ２０は、より簡単な構成の下で、上記した高度の洗浄品質の達成やクリーンな環境での洗浄を可能とする。
【００２８】
次に、第４の実施形態を図８および図９を用いて説明する。
【００２９】
図８はこの発明の第４の実施形態に係る洗浄用ブラシの要部構成を示す正面断面図、図９は図８のＶ−Ｖ線断面図である。この第４の実施形態に係る洗浄用ブラシ３０が、上記した第２の実施形態に係る洗浄用ブラシ１０と相違する点は、シャフト１３の流路孔１２の終端に拡幅部３２０を設け、その拡幅部３２０に流体出口３８を形成するとともに、その流体出口３８を、図８に示すように、シャフト軸方向に対して斜め下方に向け、かつ図９に示すように、周方向に傾けて六方向に形成した点であり、また、ブラシ本体１５の周壁部１５２の内周面に固定する回転駆動部３９を、円環状のプレートで構成し、そのプレート内周面を鋸歯状とした点である。
【００３０】
このように構成することで、流路孔１２を導かれて流体出口３８の六方向の出口から噴出した流体は、直接回転駆動部３９の鋸歯状のプレート内周面に斜流となってぶつかり、回転駆動部３９を回転させ、ブラシ本体１５を回転させる。
【００３１】
したがって、この第４の実施形態に係る洗浄用ブラシ２０は、複雑な形状となる回転翼や固定翼を用いることなく、さらに一層簡単な構成の下で、上記した高度の洗浄品質の達成やクリーンな環境での洗浄を可能とする。
【００３２】
なお、上記した第１の実施形態では、ブラシ本体５の適宜複数の箇所に本体側流体通路６を形成するように構成したが、図１０に示すように、この本体側流体通路６をブラシ本体５に多数存在する植毛根部分７ａの各々に形成するようにしてもよい。また、同様に、上記した第２〜第４の実施形態では、ブラシ本体１５の適宜複数の箇所に本体側流体通路１６を形成するように構成したが、図１１に示すように、この本体側流体通路１６をブラシ本体１５に多数存在する植毛根部分１７ａの各々に形成するようにしてもよい。
【００３３】
このように構成することで、ブラシ毛７，１７内部に滞留しがちである異物や摩耗粉を流し落とす作用がより強められ、したがって、滞留した異物や摩耗粉によってワーク表面が再汚染されたり傷付くのをより確実に防止することができ、より一層高度の洗浄品質を達成することができるようになる。
【００３４】
【発明の効果】
この発明は上記した構成からなるので、以下に説明するような効果を奏することができる。
【００３５】
請求項１に記載の発明では、ブラシ本体の内側から供給した流体でブラシ本体を回転させることで、ワークをブラシ毛でこすり洗浄するとともに、その流体を本体側流体通路を介して植毛根部分から外部に排出するようにしたので、ブラシ毛内部に滞留しがちである異物や摩耗粉を、ブラシ毛の根元側から流れてくる流体で速やかに流し落とすことができる。したがって、滞留した異物や摩耗粉によってワーク表面が再汚染されたり傷付くのを防止することができ、液晶ディスプレイや半導体基板等の洗浄に要求される高度の洗浄品質を達成することができる。
【００３６】
また、モータ駆動源によらないで洗浄用ブラシを回転させるので、低コストで洗浄でき、また騒音も低減してクリーンな環境での洗浄が可能となる。
【００３７】
また、この発明では、流体通路をブラシ本体の植毛部分に対応して設けたので、ブラシ毛内部に滞留しがちである異物や摩耗粉を流し落とす作用がより強められ、したがって、滞留した異物や摩耗粉によってワーク表面が再汚染されたり傷付くのをより確実に防止することができ、より一層高度の洗浄品質を達成することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の洗浄用ブラシの構成を示す正面断面図である。
【図２】図１のＩ−Ｉ線断面図である。
【図３】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図４】この発明の第２の実施形態に係る洗浄用ブラシの要部構成を示す正面断面図である。
【図５】図４のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図６】この発明の第３の実施形態に係る洗浄用ブラシの要部構成を示す正面断面図である。
【図７】図６のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図８】この発明の第４の実施形態に係る洗浄用ブラシの要部構成を示す正面断面図である。
【図９】図８のＶ−Ｖ線断面図である。
【図１０】第１の実施形態においてブラシ毛の各植毛根部分に本体側流体通路を形成した場合を示す図である。
【図１１】第２〜第４の実施形態においてブラシ毛の各植毛根部分に本体側流体通路を形成した場合を示す図である。
【符号の説明】
１    洗浄用ブラシ
２    流路孔
３    シャフト
４ａ  軸受
４ｂ  軸受
５    ブラシ本体
６    本体側流体通路
７    ブラシ毛
７ａ  植毛根部分
８ａ  流体出口
８ｂ  流体出口
９ａ  回転駆動部
９ｂ  回転駆動部
１０    洗浄用ブラシ
１２    流路孔
１３    シャフト
１４    軸受
１５    ブラシ本体
１６    本体側流体通路
１７    ブラシ毛
１７ａ  植毛根部分
１８    流体出口
１９    回転駆動部
２０    洗浄用ブラシ
２８    流体出口
２９    回転駆動部
３０    洗浄用ブラシ
３１    支持部
３８    流体出口
３９    回転駆動部
９１ａ  固定翼
９１ｂ  固定翼
９２ａ  回転翼
９２ｂ  回転翼
１３０    拡径開口部
１５１    プレート部
１５２    周壁部
１９１    固定翼
１９２    回転翼
２９１    固定翼
３２０    拡幅部
Ｒ    空部
Ｒ１  空部
【図１】
0003623410.tif 000002
【図２】
0003623410.tif 000003
【図３】
0003623410.tif 000004
【図４】
0003623410.tif 000005
【図５】
0003623410.tif 000006
【図６】
0003623410.tif 000007
【図７】
0003623410.tif 000008
【図８】
0003623410.tif 000009
【図９】
0003623410.tif 000010
【図１０】
0003623410.tif 000011
【図１１】
0003623410.tif 000012