(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のダイヤモンド砥粒をボンドで固めて円盤型に形成したダイヤモンド研削砥石において、前記研削砥石の作業面を前記砥粒とボンドとが略同一面となるよう真円状に研削し、且つ前記研削加工したボンドを一様に所定深さドレッシングして前記砥粒を当該ドレッシングしたボンドの表面より突き出させるとともに、この突き出された砥粒の先端部を熱化学的に研磨して平坦且つ平滑に整形したことを特徴とするダイヤモンド研削砥石。
【請求項２】
多数のダイヤモンド砥粒をボンドで固めてカップ型に形成したダイヤモンド研削砥石において、前記研削砥石の作業面を前記砥粒とボンドとが同一面となるよう高精度の平面に研削し、且つ前記研削加工したボンドを一様に所定深さドレッシングして前記砥粒を当該ドレッシングしたボンドの表面より突き出させるとともに、この突き出された砥粒の先端部を熱化学的に研磨して平坦且つ平滑に整形したことを特徴とするダイヤモンド研削砥石。
【請求項３】
第１のツルーイング装置と、ドレッシング装置と、第２のツルーイング装置とを配備し、
前記第１のツルーイング装置を、静圧軸受により支持され且つ多数のダイヤモンド砥粒をボンドで固めたダイヤモンド研削砥石をワークとして支持する主軸と、この主軸の回転駆動源と、前記ワークであるダイヤモンド研削砥石の作業面を前記ダイヤモンド砥粒とボンドとが略同一面となるよう研削する第１のツルーイング工具と、この第１のツルーイング工具の回転駆動源と、前記第１のツルーイング工具と前記ワークであるダイヤモンド研削砥石とを切り込み方向に相対的に送る切り込み手段とを備えて構成し、
前記ドレッシング装置を、前記研削したボンドの表面を一様に所定深さドレッシングして前記ダイヤモンド砥粒が当該ドレッシングされたボンドの表面より突き出し可能に構成し、
前記第２のツルーイング装置を、静圧軸受により支持され且つ前記ドレッシングされたダイヤモンド研削砥石をワークとして支持する主軸と、この主軸の回転駆動源と、前記ドレッシングされたボンドの表面から突き出された各ダイヤモンド砥粒の先端部を平坦且つ平滑に熱化学的研磨して切れ刃を揃える第２のツルーイング工具と、この第２のツルーイング工具の回転駆動源と、前記第２のツルーイング工具と前記ワークであるダイヤモンド研削砥石とを切り込み方向に相対的に送る切り込み手段とを備えて構成したことを特徴とするダイヤモンド研削砥石のツルーイング装置。
【請求項４】
単一のツルーイング装置に、前記第１のツルーイング工具と第２のツルーイング工具とを選択的に取り付け、単一のツルーイング装置を前記第１のツルーイング装置と第２のツルーイング装置とに兼用したことを特徴とする請求項３記載のダイヤモンド研削砥石のツルーイング装置。
【請求項５】
前記ワークであるダイヤモンド研削砥石を支持する前記主軸の位置を固定し、前記第１のツルーイング工具とドレッシング装置と第２のツルーイング工具とを、それぞれワークに対する加工位置と退避位置とに移動可能に構成したことを特徴とする請求項３または４記載のダイヤモンド研削砥石のツルーイング装置。
【請求項６】
前記第１のツルーイング工具として、カップ型メタルボンドダイヤモンド砥石を用いたことを特徴とする請求項３，４または５記載のダイヤモンド研削砥石のツルーイング装置。
【請求項７】
前記第２のツルーイング工具として、カップ型鉄系金属製の定盤を用いたことを特徴とする請求項３，４，５または６記載のダイヤモンド研削砥石のツルーイング装置。
【請求項８】
前記ドレッシング装置を、前記ダイヤモンド研削砥石との間に所定の間隔をおいて配置された電極と、陽極を前記ワークであるダイヤモンド研削砥石に結び且つ陰極を前記電極に結んだ電源と、前記ダイヤモンド研削砥石の回転駆動源とを備えて構成したことを特徴とする請求項３，４，５，６または７記載のダイヤモンド研削砥石のツルーイング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、ダイヤモンド研削砥石とダイヤモンド研削砥石のツルーイング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１７（ａ）はツルーイング前のメタルボンドダイヤモンド研削砥石の外形を示す図、図１７（ｂ）はツルーイング後のメタルボンドダイヤモンド研削砥石の外形を示す図、図１８はツルーイング前のダイヤモンド研削砥石の砥粒の切れ刃状態を示す模式図である。
【０００３】
一般に、研削砥石の回転振れＶを抑制し、研削砥石の形状を修正することをツルーイングといい、ボンドを除去して砥粒を突き出させることをドレッシングという。ツルーイング前のダイヤモンド研削砥石３は、図１７（ａ）および図１８に示すように、ダイヤモンド砥粒１の切れ刃高さ、つまりダイヤモンド砥粒１の先端部の高さが揃っていない。
【０００４】
ところで、従来ダイヤモンド研削砥石のツルーイング法としては、ＧＣ砥石（炭化珪素系砥石）を工具とし対象研削砥石を加工する方法、ドレス用砥石を加工する方法、放電作用によりボンドを溶かす方法などがある。これらは、「ビトリファイドダイヤモンド砥石のツルーイングに関する研究」（昭和６２年度精密工学会春季大会学術講演論文集）や「電解放電ドレッシングに関する基礎研究」（’９０精密工学会春季大会学術講演論文集）で述べられているように、基本的にはボンドを除去することにより、砥粒を脱落させて研削砥石の回転振れを除去する脱落型ツルーイング法である。
【０００５】
図１９は従来のツルーイング法（脱落型ツルーイング法）によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石の表面状態の模式図である。
【０００６】
この従来のツルーイング法では、ツルーイングによりボンド２′が除去され、このボンド２′に支えられていたダイヤモンド砥粒１′が脱落し、余分に突き出ていたダイヤモンド砥粒１′が除去される。しかし、このツルーイング法では、工具である砥粒の硬度が、加工すべきダイヤモンド砥粒１の硬度と比べて低く、ダイヤモンド砥粒１を加工することができない。
【０００７】
一方、近年注目されている脆性材料の超精密研削加工においては、ナノメータオーダの形状精度と、表面粗さを目標にしている。この目標を達成するためには、砥粒１個当たりの切り込み深さを臨界切り込み深さ以下とする加工条件で加工しなければならない。ところで、脆性材料を研削すると、クラックを発生させながら、脆性モードで加工されることが知られている。しかし、砥粒の切り込み深さを微小量に制御して加工することにより、脆性材料を金属と同じように、クラックを発生させない延性モードで加工できることが分かっている。延性モードと脆性モードの境界を臨界切り込み深さ（ｄｃ値）といい、材料によっても異なるが、０．１μｍ程度といわれている。このための研削砥石の切れ刃状態は、研削砥石の回転振れをサブミクロンオーダかそれ以下に抑制し、且つ砥粒の切れ刃高さを揃える必要がある。
【０００８】
図２０は磁気ヘッドの斜視図、図２１は図２０のＳ部分の拡大図である。
【０００９】
他方、近年磁気ヘッドの高精度化が進んでおり、特に形状精度の高精度化と、加工段差の低減化が要求されている。現在、図２０に示す磁気ヘッド４における記録媒体に対向する面である浮上面の仕上げ加工には、ラッピングが用いられている。しかし、ラッピングは圧力転写原理に基づいた加工法であるため、加工圧力の高いエッジ部分が早く加工されやすい。このため、エッジがだれるので、高い形状精度を出すことは困難である。また、ラッピングでは遊離砥粒を使用しているため、図２１に示す基板５（ビッカース硬度Ｈｖ＝１３００）と保護膜６（Ｈｖ＝１０００）の硬さに比較して、磁性膜７（Ｈｖ＝２００）は軟らかいので早く加工され、加工段差Ａが生じる。これに対して、運動転写原理に基づいた加工法である研削により磁気ヘッド４の浮上面を加工できるならば、原理的にラッピングよりも高い形状精度で加工することが可能であり、原理的には加工段差を０とすることができる。しかし、ラッピングを研削に置き換える場合の問題点は、研削による加工面粗さがラッピングによる加工面粗さよりも悪いことである。
【００１０】
したがって、研削により高い形状精度で、且つ良好な加工面粗さで磁気ヘッドを加工するには、ダイヤモンド研削砥石に次のような点が要求される。
【００１１】
すなわち、ダイヤモンド砥粒を支持剛性の高いメタルボンドで結合すること、研削砥石の回転振れをサブミクロンオーダに抑制すること、砥粒の切れ刃高さを揃えることである。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来のツルーイング法は、ツルーイングにより砥粒のボンドを除去し、このボンドにより支えられていた砥粒を脱落させる、いわゆる脱落型ツルーイング法であり、この方法では工具である砥粒の硬度が、加工すべきダイヤモンド砥粒の硬度に比べて低いため、ダイヤモンド砥粒を研削加工できない。したがって、ツルーイングしたダイヤモンド研削砥石の真円度は、研削砥石の外周面のダイヤモンド砥粒の分布精度（研削砥石の加工に関与する面内に、ダイヤモンド砥粒が一様に分散して配置されているか，どうかの指標）と、ダイヤモンド砥粒径に影響され、図７のＡ，Ｂから分かるように、研削砥石の砥粒径が大きい場合には、研削砥石の回転振れが大きくなる問題がある。また、砥粒径が数μｍと小さい場合においても、研削砥石の回転振れは、せいぜい１μｍであり、サブミクロンオーダに回転振れを抑制できない問題がある。
【００１３】
前述のごとく、セラミック等の脆性材料の超精密研削加工では、研削砥石の砥粒１個当たりの切り込み深さを臨界切り込み深さ以下の加工条件で加工しなければならない。そのためには、研削砥石の回転振れをサブミクロンオーダか、それ以下に抑制し、且つ砥粒の切れ刃高さを揃える必要がある。ところが、従来のツルーイング法では砥粒の切れ刃高さを揃えることについては配慮されていない。したがって、従来のツルーイング法でツルーイングされた研削砥石では、砥粒１個当たりの切り込み深さを臨界切り込み深さ以下の加工条件で加工し、脆性材料にクラックを発生させないで延性モードで加工するという、脆性材料の超精密研削加工には適用できない問題がある。
【００１４】
さらにまた、磁気ヘッドにおける記録媒体に対向する面を研削するには、高い形状精度で、且つラッピングと同程度の加工面粗さで加工する必要がある。そして、磁気ヘッドの浮上面をラッピングと同程度の加工面粗さに研削するには、ダイヤモンド砥粒を支持剛性の高いメタルボンドで結合してダイヤモンド研削砥石を形成し、このダイヤモンド研削砥石の回転振れを抑制し、且つダイヤモンド砥粒の切れ刃高さを揃える必要がある。ところが、従来のツルーイング法では硬いダイヤモンド研削砥石自体を研削し、ダイヤモンド砥粒の切れ刃高さを揃えることについて配慮されていない。したがって、従来のツルーイング法でツルーイングされたダイヤモンド研削砥石では、磁気ヘッドにおける記録媒体に対向する面の研削加工に適用できない問題がある。
【００１５】
本発明の第１の目的は、作業面の振れが極めて小さく、且つダイヤモンド砥粒の切れ刃高さを精密に揃えたダイヤモンド研削砥石を提供することにある。
【００１６】
また、本発明の第２の目的は、前記ダイヤモンド研削砥石を確実に形成し得るダイヤモンド研削砥石のツルーイング法を的確に実施し得るダイヤモンド研削砥石のツルーイング装置を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
前記第１の目的は、多数のダイヤモンド砥粒をボンドで固めて円盤型に形成したダイヤモンド研削砥石において、前記研削砥石の作業面を前記砥粒とボンドとが略同一面となるよう真円状に研削し、且つ前記研削加工したボンドを一様に所定深さドレッシングして前記砥粒を当該ドレッシングしたボンドの表面より突き出させるとともに、この突き出された砥粒の先端部を熱化学的に研磨して平坦且つ平滑に整形したことにより、達成される。
【００１８】
また、前記第１の目的は、多数のダイヤモンド砥粒をボンドで固めてカップ型に形成したダイヤモンド研削砥石において、前記研削砥石の作業面を前記砥粒とボンドとが同一面となるよう高精度の平面に研削し、且つ前記研削加工したボンドを一様に所定量ドレッシングして前記砥粒を当該ドレッシングしたボンドの表面より突き出させるとともに、この突き出された砥粒の先端部を熱化学的に研磨して平坦且つ平滑に整形したことにより、達成される。
【００１９】
前記第２の目的は、第１のツルーイング装置と、ドレッシング装置と、第２のツルーイング装置とを配備し、前記第１のツルーイング装置を、静圧軸受により支持され且つ多数のダイヤモンド砥粒をボンドで固めたダイヤモンド研削砥石をワークとして支持する主軸と、この主軸の回転駆動源と、前記ワークであるダイヤモンド研削砥石の作業面を前記ダイヤモンド砥粒とボンドとが略同一面となるよう研削する第１のツルーイング工具と、この第１のツルーイング工具の回転駆動源と、前記第１のツルーイング工具と前記ワークであるダイヤモンド研削砥石とを切り込み方向に相対的に送る切り込み手段とを備えて構成し、前記ドレッシング装置を、前記研削したボンドの表面を一様に所定深さドレッシングして前記ダイヤモンド砥粒が当該ドレッシングされたボンドの表面より突き出し可能に構成し、前記第２のツルーイング装置を、静圧軸受により支持され且つ前記ドレッシングされたダイヤモンド研削砥石をワークとして支持する主軸と、この主軸の回転駆動源と、前記ドレッシングされたボンドの表面から突き出された各ダイヤモンド砥粒の先端部を平坦且つ平滑に熱化学的研磨して切れ刃を揃える第２のツルーイング工具と、この第２のツルーイング工具の回転駆動源と、前記第２のツルーイング工具と前記ワークであるダイヤモンド研削砥石とを切り込み方向に相対的に送る切り込み手段とを備えて構成することにより、達成される。
【００２０】
また、前記第２の目的は、単一のツルーイング装置に、前記第１のツルーイング工具と第２のツルーイング工具とを選択的に取り付け、単一のツルーイング装置を前記第１のツルーイング装置と第２のツルーイング装置とに兼用したことによっても、達成される。
【００２１】
さらに、前記第３の目的は、ワークであるダイヤモンド研削砥石を支持する前記主軸の位置を固定し、前記第１のツルーイング工具とドレッシング装置と第２のツルーイング工具とを、それぞれワークに対する加工位置と退避位置とに移動可能に構成したことによって、より良く達成される。
【００２２】
さらにまた、前記第３の目的は、第１のツルーイング工具として、カップ型メタルボンドダイヤモンド砥石を用いたことにより、また第２のツルーイング工具として、カップ型鉄系金属製の定盤を用いたことにより、またさらに前記ドレッシング装置を、前記ダイヤモンド研削砥石との間に所定の間隔をおいて配置された電極と、陽極をワークであるダイヤモンド研削砥石に結び且つ陰極を前記電極に結んだ電源と、前記ダイヤモンド研削砥石の回転駆動源とを備えて構成したことによって、より良く達成される。
【００２３】
【作用】
本発明の請求項１記載の発明では、多数のダイヤモンド砥粒をボンドで固めた円盤型のダイヤモンド研削砥石の作業面である外周面を砥粒とボンドとが略同一面となるよう真円状に研削しているので、使用時におけるダイヤモンド研削砥石の回転振れをサブミクロンオーダに抑制することが可能となる。また、その研削加工したボンドを一様に所定深さドレッシングして前記砥粒を当該ドレッシングしたボンドの表面より突き出させるとともに、この突き出された砥粒の先端部を熱化学的に研磨して平坦且つ平滑に整形しているので、ダイヤモンド砥粒の切れ刃高さを精密に揃えることができる。したがって、この請求項１記載のダイヤモンド研削砥石では、脆性材料の超精密研削加工や、磁気ヘッドにおける記録媒体に対向する面の研削仕上げに適用することができる。
【００２４】
次に、請求項２記載の発明では、多数のダイヤモンド砥粒をボンドで固めたカップ型のダイヤモンド研削砥石の作業面である端面を前記砥粒とボンドとが同一面となるよう高精度の平面に研削しているので、使用時におけるダイヤモンド研削砥石の作業面の振れをサブミクロンオーダに抑制することができる。また、請求項１記載のダイヤモンド研削砥石と同様、研削加工したボンドを一様に所定深さドレッシングして砥粒を当該ドレッシングしたボンドの表面より突き出させ、さらにボンドの表面より突き出されたダイヤモンド砥粒の先端部を熱化学的に研磨して平坦且つ平滑に整形しているので、ダイヤモンド砥粒の切れ刃高さを揃えることができる。その結果、この請求項２記載のダイヤモンド研削砥石においても、脆性材料の超精密研削加工や、磁気ヘッドにおける記録媒体に対向する面の研削仕上げに適用することができる。
【００２５】
請求項３記載の発明では、第１のツルーイング装置と、ドレッシング装置と、第２のツルーイング装置とを配備している。
【００２６】
前記第１のツルーイング装置は、静圧軸受により支持された主軸と、この主軸の回転駆動源と、ワークであるダイヤモンド研削砥石の作業面をダイヤモンド砥粒とボンドとが略同一面となるよう研削する第１のツルーイング工具と、この第１のツルーイング工具の回転駆動源と、前記第１のツルーイング工具とワークであるダイヤモンド研削砥石とを切り込み方向に相対的に送る切り込み手段とを備えている。そして、この第１のツルーイング装置の主軸に、ワークであるダイヤモンド研削砥石を取り付け、主軸と第１のツルーイング工具とをそれぞれ独立の回転駆動源により回転させる。ついで、切り込み手段を介してダイヤモンド研削砥石または第１のツルーイング工具を、ダイヤモンド研削砥石の作業面を切り込む方向に微小量ずつ送り込む。これにより、ワークが円盤型のダイヤモンド研削砥石の場合にはその作業面である外周面を、またワークがカップ型のダイヤモンド研削砥石の場合にはその作業面である端面を、それぞれ第１のツルーイング工具により微小量ずつ研削することができる。この第１のツルーイング工具によるダイヤモンド研削砥石の作業面の研削時において、主軸は静圧軸受により強力に支持されていて、切り込み方向の反対方向に逃げないし、ワークであるダイヤモンド研削砥石は主軸およびこれの回転駆動源を通じて直接回転駆動され、第１のツルーイング工具はこれの回転駆動源により直接回転駆動されるので、ダイヤモンド研削砥石と第１のツルーイング工具とが摩擦接触しても、それぞれ決められた方向に高精度で回転するので、第１のツルーイング工具により、ダイヤモンド研削砥石の作業面から突出している部分を確実に研削することができ、ワークが円盤型のダイヤモンド研削砥石の場合には真円状に正確に整形でき、ワークがカップ型のダイヤモンド研削砥石の場合には作業面である端面を高精度の平面に整形することができる。
【００２７】
ついで、前記第１のツルーイング装置により整形されたダイヤモンド研削砥石をドレッシング装置に取り付ける。このドレッシング装置により、ボンドの表面を一様に所定深さ除去し、ボンドの表面にダイヤモンド砥粒を突き出させる。
【００２８】
次に、前記第２のツルーイング装置は、静圧軸受により支持された主軸と、この主軸の回転駆動源と、ドレッシングされたボンドの表面から突き出されたダイヤモンド砥粒の先端部を平坦且つ平滑に熱化学的研磨する第２のツルーイング工具と、この第２のツルーイング工具の回転駆動源と、前記第２のツルーイング工具とワークであるダイヤモンド研削砥石とを切り込み方向に相対的に送る切り込み手段とを備えている。そこで、この第２のツルーイング装置の主軸に、前記ドレッシング装置でドレッシングされたダイヤモンド研削砥石をワークとして取り付ける。そして、主軸と第２のツルーイング工具とをそれぞれ独立の回転駆動源により回転駆動させる。ついで、切り込み手段を介してダイヤモンド研削砥石または第２のツルーイング工具を、ダイヤモンド研削砥石の作業面を切り込む方向に微小量ずつ送り込む。これにより、ボンドの表面から突き出されたダイヤモンド砥粒のうちの、最も突き出されているダイヤモンド砥粒の先端部から第２のツルーイング工具により徐々に研磨されて行き、各ダイヤモンド砥粒の先端部が平坦且つ平滑に研磨される。また、この第２のツルーイング装置においても、研磨加工時に主軸は静圧軸受により強力に支持されているので、切り込み方向の反対方向に逃げないし、ワークであるダイヤモンド研削砥石は主軸およびこれの回転駆動源により直接回転駆動され、第２のツルーイング工具はこれの回転駆動源により直接回転駆動されるので、ダイヤモンド研削砥石と第２のツルーイング工具とが摩擦接触してもそれぞれ決められた方向に高精度で回転し、第２のツルーイング工具により、ボンドの表面から突き出されたダイヤモンド砥粒の先端部を確実に且つ正確に研磨することができ、これによりダイヤモンド砥粒の切れ刃高さを精密に揃えることができる。
【００２９】
したがって、この請求項３記載の発明では、前記本発明に係るダイヤモンド研削砥石のツルーイング法を的確に実施することが可能となる。
【００３０】
請求項４記載の発明では、単一のツルーイング装置に、第１のツルーイング工具と第２のツルーイング工具とを選択的に取り付け、単一のツルーイング装置を前記第１のツルーイング装置と第２のツルーイング装置とに兼用するようにしている。
【００３１】
これにより、この請求項４記載の発明では、設備費を節減できる外、装置の設置スペースが狭くて済む。
【００３２】
請求項５記載の発明では、ワークを支持する主軸の位置を固定し、前記第１のツルーイング工具とドレッシング装置と第２のツルーイング工具とを、それぞれワークに対する加工位置と退避位置とに移動可能に構成している。そして、主軸にワークであるダイヤモンド研削砥石を取り付け、そのダイヤモンド研削砥石の作業面の研削加工時には、第１のツルーイング工具を加工位置に移動させて目的とする研削加工を行ったのち、退避位置に移動させる。次に、ダイヤモンド研削砥石のボンドの表面のツルーイング時には、ツルーイング装置を加工位置に移動させて目的とするツルーイングを行ったのち、退避位置に移動させる。ついで、ボンドの表面から突き出された各ダイヤモンド砥粒の先端部の研磨加工時には第２のツルーイング工具を加工位置に移動させて目的とする研磨加工を行ったのち、退避位置に移動させる。
【００３３】
この請求項５記載の発明では、主軸にワークであるダイヤモンド研削砥石を取り付けたままの状態で、ダイヤモンド研削砥石の作業面の研削加工、ボンドの表面のドレッシング、ボンドの表面から突き出された各ダイヤモンド砥粒の先端部の研磨加工を順次に行うようにしているので、ワークの取り付け誤差を無くすことができる結果、極めて高精度に加工することができ、しかも前述の加工を連続的に行うことができる結果、作業能率を向上させることができる。
【００３４】
請求項６記載の発明では、第１のツルーイング工具としてカップ型メタルボンドダイヤモンド砥石を用いており、また請求項７記載の発明では、第２のツルーイング工具としてカップ型鉄系金属製の定盤を用いている。
【００３５】
これにより、前記請求項６および７記載の発明とも、硬いワークであるダイヤモンド研削砥石を的確にツルーイングすることができる。
【００３６】
本発明の請求項８記載の発明では、ドレッシング装置を、ワークであるダイヤモンド研削砥石との間に所定の間隔をおいて配置された電極と、陽極をワークであるダイヤモンド研削砥石に結び且つ陰極を電極に結んだ電源と、前記ダイヤモンド研削砥石の回転駆動源とを備えている。
【００３７】
したがって、この請求項８記載の発明では、ボンドとして支持剛性の高いメタルボンドを使用した場合であっても、そのメタルボンドを電気分解させ、ダイヤモンド砥粒の切れ刃状態を崩さずにボンドの表面を一様に除去し、ボンドの表面よりダイヤモンド砥粒の先端部である砥粒の切れ刃を容易に突き出させることができる。
【００３８】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面により説明する。
【００３９】
図１〜図６は本発明の一実施例を示すもので、図１（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明のダイヤモンド研削砥石やダイヤモンド研削砥石のツルーイング装置に係るツルーイング法の概念図、図２は本発明ツルーイング装置における第１のツルーイング装置の正面図、図３は図２の中央縦断側面図、図４は同ツルーイング装置における電解ドレッシング装置の概念図、図５は図４のＱ部分の拡大図であって、電解ドレッシングの作用説明図、図６は同ツルーイング装置における第２のツルーイング装置の正面図である。
【００４０】
これらの図に示す実施例において、ツルーイング装置は、図２〜図６に示すように、第１のツルーイング装置１０と、ドレッシング装置と、第２のツルーイング装置２１とを配備して構成されている。そして、この実施例ではワークとして、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドで固め、円盤型に形成したダイヤモンド研削砥石３を対象としている。
【００４１】
前記第１のツルーイング装置１０は、送りテーブル１１と、工具支持台１２と、第１のツルーイング工具１３と、これの回転駆動源（図示せず）と、主軸１４と、この主軸１４を支持している静圧軸受１５と、前記主軸１４の回転駆動源（図示せず）と、主軸１４を介してダイヤモンド研削砥石３を送る切り込み手段（これも図示せず）と、研削液供給手段（これも図示せず）とを備えている。
【００４２】
前記送りテーブル１１は、ツルーイング時に、工具支持台１２を介して第１のツルーイング工具１３を図２の矢印方向に移動させるようになっており、その送り速度を符号ｆで示す。
【００４３】
前記第１のツルーイング工具１３には、カップ型のダイヤモンド砥石が用いられている。この第１のツルーイング工具１３は、主軸１４と直交する方向に配置され、工具支持台１２上に支持されている。また、第１のツルーイング工具１３は回転駆動源により、図２の矢印方向に直接回転駆動されるようになっており、その回転数を符号ｎで示す。
【００４４】
前記主軸１４には、フランジ８を介してワークであるダイヤモンド研削砥石３が装着され、このダイヤモンド研削砥石３は図３に示すように、クランプ９により止められている。また、主軸１４は静圧軸受１５により支持され、さらに回転駆動源により、図２の矢印方向に直接回転駆動されるようになっており、その回転数を符号Ｎで示す。
【００４５】
前記静圧軸受１５には、静圧空気軸受または静圧油軸受が用いられている。
【００４６】
前記切り込み手段は、ツルーイング中に、主軸１４を介してダイヤモンド研削砥石３を図２に矢印で示すように、ワークである円盤型のダイヤモンド研削砥石３の半径方向に微小送りをかけるようになっており、その１回分の切り込み深さを符号ｄで示す。
【００４７】
前記研削液供給手段は、第１のツルーイング工具１３とワークであるダイヤモンド研削砥石３間に研削液を供給するように配置されている。
【００４８】
前記ドレッシング装置として、この実施例では電解ドレッシング装置１６を用いている。この電解ドレッシング装置１６は、図４に示すように、電極１７と、電源としての直流電源１８と、研削液１９の供給手段と、ワークであるダイヤモンド研削砥石３の回転駆動源（図示せず）とを備えている。
【００４９】
前記電極１７は、ワークであるダイヤモンド研削砥石３の外周面との間に、所定の間隔ｇをおいて配置されている。
【００５０】
前記直流電源１８は、陽極をダイヤモンド研削砥石３に結び、陰極を電極１７に結んでいる。
【００５１】
前記研削液１９は、ダイヤモンド研削砥石３と電極１７間のすき間に供給される。
【００５２】
前記回転駆動源は、ドレッシング時に、ダイヤモンド研削砥石３を図４の矢印ｅ方向に回転駆動する。
【００５３】
そして、この電解ドレッシング装置１６では、直流電源１８からダイヤモンド研削砥石３と電極１７に通電すると、ダイヤモンド砥粒のメタルボンドが電気分解され、図５に示すように、金属イオン２０となって除去されるようになっている。
【００５４】
前記第２のツルーイング装置２１は、図６に示すように、送りテーブル２２と、工具支持台２３と、第２のツルーイング工具２４と、これの回転駆動源（図示せず）と、主軸２５と、この主軸２５を支持している静圧軸受（図示せず）と、前記主軸２５の回転駆動源（図示せず）と、主軸２５を介してダイヤモンド研削砥石３を送る切り込み手段（これも図示せず）とを備えている。
【００５５】
前記送りテーブル２２は、ツルーイング時に、工具支持台２３を介して第２のツルーイング工具２４を図６の矢印方向に移動させるようになっており、その送り速度を符号ｆで示す。
【００５６】
前記第２のツルーイング工具２４には、鉄系金属である鋳鉄製でカップ型の定盤が用いられている。この第２のツルーイング工具２４は、主軸２５と直交する方向に配置され、且つ工具支持台２３に支持されている。また、前記ツルーイング工具２４は回転駆動源により、図６の矢印方向に直接回転駆動されるようになっており、その回転数を符号ｎで示す。
【００５７】
前記主軸２５には、ワークとして、前記ドレッシング装置によりドレッシングされたダイヤモンド研削砥石３がフランジ８を介して装着され、クランプ９により止められている。また、主軸２５は静圧軸受で支持され、さらに回転駆動源により、図６の矢印方向に直接回転駆動されるようになっており、その回転数を符号Ｎで示す。
【００５８】
前記静圧軸受は、第１のツルーイング装置１０の主軸１４の静圧軸受１５と同様である。
【００５９】
前記切り込み手段は、ツルーイング中に、主軸２５を介してダイヤモンド研削砥石３を図６に矢印で示すように、ワークであるダイヤモンド研削砥石３の半径方向に微小送りをかけるようになっており、その１回分の切り込み深さを符号ｄで示す。
【００６０】
次に、前記実施例のツルーイング装置の作用に関連して、そのツルーイング法と、その製品であるダイヤモンド研削砥石について説明する。
【００６１】
まず、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドで固めて円盤型に形成したワークであるダイヤモンド研削砥石３を、ツルーイング装置における図２および図３に示す第１のツルーイング装置１０の主軸１４にフランジ８を介して装着し、クランプ９により止める。
【００６２】
ついで、第１のツルーイング工具１３を図２の矢印方向に回転させ、主軸１４を介してダイヤモンド研削砥石３を図２の矢印方向に回転させる。また、切り込み手段により主軸１４を介してダイヤモンド研削砥石３を、図２の矢印方向に送りをかけ、第１のツルーイング工具１３の上面にダイヤモンド研削砥石３の外周面の最も突き出している部分が接触するようにセットする。そして、研削液供給手段により、第１のツルーイング工具１３とダイヤモンド研削砥石３間に研削液を供給する。ついで、前記切り込み手段によりダイヤモンド研削砥石３に、前記矢印方向に自動微小送りをかける。さらに、送りテーブル１１を図２の矢印方向に微小ずつ移動させる。
【００６３】
これにより、ダイヤモンド砥石である第１のツルーイング工具１３により、ワークであるダイヤモンド研削砥石３の外周面が研削され、このとき図１（ａ）に示すように、ダイヤモンド研削砥石３のダイヤモンド砥粒１も研削され、いわゆる加工型ツルーイング法によりダイヤモンド研削砥石３全体が真円状に研削加工される。
【００６４】
前記ダイヤモンド研削砥石３の研削時において、主軸１４は静圧軸受１５により強力に支持されており、ダイヤモンド研削砥石３の切り込み方向の反対方向に逃げない。また、ダイヤモンド研削砥石３は主軸１４およびこれの回転駆動源（図示せず）を通じて直接回転駆動され、第１のツルーイング工具１３はこれの回転駆動源（図示せず）を通じて直接回転駆動されるので、ダイヤモンド研削砥石３と第１のツルーイング工具１３とが摩擦接触しても、それぞれ決められた方向に高精度で回転する。したがって、第１のツルーイング工具１３により、ダイヤモンド研削砥石３の外周面上の突き出している部分を確実に研削できる結果、ダイヤモンド研削砥石３を真円状に正確に整形することができる。
【００６５】
前述のごとく、加工型ツルーイング法によりダイヤモンド研削砥石３を真円状に研削加工後、第１のツルーイング装置１０の各部の駆動を停止させ、加工されたダイヤモンド研削砥石３を主軸１４から取り出し、第１のツルーイング装置１０の各部を初期の状態に戻す。
【００６６】
ついで、前記研削加工されたダイヤモンド研削砥石３を、図４に示す電解ドレッシング装置１６に取り付ける。さらに、ワークである前記ダイヤモンド研削砥石３との間に図４に示す所定の間隔ｇをおいて電極１７を配置し、直流電源１８の陽極をダイヤモンド研削砥石３に結び、陰極を電極１７に結んで通電する。
【００６７】
続いて、前記ダイヤモンド研削砥石３と電極１７間に研削液１９を流し、回転駆動源（図示せず）によりダイヤモンド研削砥石３を図４の矢印ｅ方向に回転させる。
【００６８】
これにより、ダイヤモンド研削砥石３のメタルボンド２が電気分解され、図５に示すごとく、金属イオン２０となってメタルボンド２の表面から一様に除去される。したがって、この電解ドレッシングにより、ダイヤモンド砥粒１の切れ刃状態を崩さずにメタルボンド２を容易に除去し、図１（ｂ）に示すように、メタルボンド２の表面からダイヤモンド砥粒１の先端部である切れ刃を突き出させることができる。
【００６９】
前記ダイヤモンド研削砥石３をドレッシング後、電解ドレッシング装置１６の各部の機能を停止させ、電解ドレッシング装置１６からダイヤモンド研削砥石３を取り外し、電解ドレッシング装置１６を初期状態に戻す。
【００７０】
ついで、前記ドレッシングされたダイヤモンド研削砥石３をワークとして、図６に示す第２のツルーイング装置２１の主軸２５にフランジ８を介して装着し、クランプ９により止める。
【００７１】
そして、第２のツルーイング工具２４を図６の矢印方向に回転させ、主軸２５を介してダイヤモンド研削砥石３を矢印方向に回転させる。また、切り込み手段により主軸２５を介してダイヤモンド研削砥石３に図６の矢印方向に送りをかけ、第２のツルーイング工具２４の上面にダイヤモンド研削砥石３の外周面が接触するようにセットする。その後は、前記切り込み手段によりダイヤモンド研削砥石３に、前記矢印方向に自動微小送りをかけ、さらに送りテーブル２２を図６の矢印方向に微小ずつ移動させる。
【００７２】
これにより、鋳鉄製の定盤である第２のツルーイング工具２４にワークであるダイヤモンド研削砥石３が接触し、前記第２のツルーイング工具２４にダイヤモンド研削砥石３のダイヤモンド砥粒１が擦り合わされ、いわゆる研磨型ツルーイング法によりメタルボンド２の外周面から突き出されている各ダイヤモンド砥粒１の先端部が研磨される。つまり、鋳鉄製の定盤とダイヤモンドとを擦り合わせると、ダイヤモンドの炭素を鉄が吸収するという、鉄とダイヤモンドの化学反応により、各ダイヤモンド砥粒１の先端部が微小量ずつ除去される。
【００７３】
この第２のツルーイング装置２１では、前述のごとく、鉄とダイヤモンドの化学変化を利用して、各ダイヤモンド砥粒１の先端部を第２のツルーイング工具２４により研磨する研磨型ツルーイング法により、図１（ｃ）に示すように、ダイヤモンド砥粒１の切れ刃高さを確実に且つ高精密に揃えることができる。
【００７４】
また、前記ダイヤモンド研削砥石３の研磨時において、主軸２５は静圧軸受（図示せず）により強力に支持されていて、ダイヤモンド研削砥石３の切り込み方向の反対方向に逃げない。しかも、ダイヤモンド研削砥石３は主軸２５およびこれの回転駆動源（図示せず）を通じて直接回転駆動され、第２のツルーイング工具２４はこれの回転駆動源（図示せず）により直接回転駆動されるので、ダイヤモンド研削砥石３と第２のツルーイング工具２４とが摩擦接触しても、それぞれ決められた方向に高精度で回転する。したがって、第２のツルーイング工具２４により、メタルボンド２の外周面より突き出された各ダイヤモンド砥粒１の先端部を確実に研磨することができる。その結果、メタルボンド２の外周面から突き出された各ダイヤモンド砥粒１の切れ刃高さを精密に揃えることが可能となる。
【００７５】
前述のごとく、ダイヤモンド研削砥石３のダイヤモンド砥粒１の切れ刃高さを揃えたのち、第２のツルーイング装置２１の各部の駆動を停止させ、製品であるダイヤモンド研削砥石３を主軸２５から取り外し、第２のツルーイング装置２１の各部を初期状態に戻し、ダイヤモンド研削砥石３のツルーイングの１ストロークを終了する。
【００７６】
以上のツルーイング工程を経て形成された製品である円盤型のダイヤモンド研削砥石３は、加工型ツルーイング法により真円状に整形されているので、回転振れがサブミクロンオーダに抑制される。また、電解ドレッシング法により、硬いメタルボンド２を使用しても、ダイヤモンド砥粒１の先端部を所定量突き出させることができる。しかも、研磨型ツルーイング法により、前記メタルボンド２から突き出された各ダイヤモンド砥粒１の先端部が研磨され、切れ刃高さが精密に揃えられていて、良好な加工面粗さが得られるように、切れ刃がほぼ台形に整形されている。したがって、この製品であるダイヤモンド研削砥石３を脆性材料の延性モードでの加工や、図２０に示す磁気ヘッド４における記録媒体に対向する面の研削仕上げに直ちに適用することが可能となる。
【００７７】
次に、図１４はカップ型ダイヤモンド研削砥石を対象とするツルーイング法の説明図である。
【００７８】
そのカップ型ダイヤモンド研削砥石を本発明のダイヤモンド研削砥石のツルーイング装置に係るツルーイング法によりツルーイングする場合は、ダイヤモンド研削砥石３０の作業面である端面３１を最初に高精度の平面に研削加工し、次に同端面３１のボンドの表面をドレッシングし、ついで同端面３１のボンドの表面から突き出された各ダイヤモンド砥粒の先端部を研磨加工する。
【００７９】
まず、ワークであるダイヤモンド研削砥石３０の端面３１を研削加工するには、図２に示す実施例の第１のツルーイング装置１０の主軸１４を垂直方向に支持したツルーイング装置を使用する。そして、図１４に示す実施例ではダイヤモンド研削砥石３０を主軸（図示せず）に、ツルーイングすべき端面３１を下向きにし、第１のツルーイング工具１３の軸心に対して偏心させて取り付ける。また、第１のツルーイング工具１３には、ワークであるダイヤモンド研削砥石３０のダイヤモンド砥粒径よりも大きい砥粒径のダイヤモンド砥石を使用する。
【００８０】
ついで、ダイヤモンド研削砥石３０を主軸およびこれの回転駆動源（いずれも図示せず）を介して矢印ｉ方向に回転させ、第１のツルーイング工具１３をこれの回転駆動源（図示せず）を介して矢印ｈ方向に回転させながら、第１のツルーイング工具１３の上面にダイヤモンド研削砥石３０の端面３１の最も突き出ている部分を接触させる。なお、第１のツルーイング工具１３の周速をダイヤモンド研削砥石３０の周速よりも速くする。また、第１のツルーイング工具１３の上面にダイヤモンド研削砥石３０の端面３１を接触させたのちは、ダイヤモンド研削砥石３０に自動切り込み送りをかけ、微小量ずつ送り、ダイヤモンド研削砥石３０の端面３１を高精度の平面に研削する。
【００８１】
次に、端面３１を高精度の平面に研削したダイヤモンド研削砥石３０をドレッシング装置（図示せず）により、ボンドの表面を一様に除去し、ボンドの表面よりダイヤモンド砥粒の先端部を所定量突き出させる。前記ボンドがメタルボンドの場合には、図４に示す電解ドレッシング装置１６を使用することにより、メタルボンドの表面を電気分解により一様に、容易に除去することができる。
【００８２】
ついで、ドレッシングによりボンドの表面より突き出された各ダイヤモンド砥粒の先端部を研磨加工するには、図６に示す実施例の第２のツルーイング装置２１の主軸２５を垂直方向に支持したツルーイング装置を使用する。また、第２のツルーイング工具２４には、図６に示すごとく、鋳鉄製でカップ型の定盤を使用する。そして、前記主軸にワークであるダイヤモンド研削砥石３０を、ツルーイングすべき端面３１を下向きにし、第２のツルーイング工具２４の軸心に対して偏心させて取り付ける。ついで、ダイヤモンド研削砥石３０を主軸およびこれの回転駆動源（いずれも図示せず）を介して回転させ、第２のツルーイング工具２４をこれの回転駆動源（図示せず）を介してダイヤモンド研削砥石３０の周速よりも早い周速で回転させ、第２のツルーイング工具２４の上面に、多数のダイヤモンド砥粒のうちの最も突き出しているダイヤモンド砥粒を接触させたのち、ダイヤモンド研削砥石３０に自動切り込み送りをかけ、各ダイヤモンド砥粒の先端部を研磨し、ダイヤモンド砥粒の切れ刃高さを高精度に揃える。
【００８３】
以上の工程により、カップ型ダイヤモンド研削砥石３０においても、その作業面である端面３１を図１（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、ツルーイングすることができる。したがって、カップ型ダイヤモンド研削砥石を、その使用時において、作業面である端面の振れがサブミクロンオーダに抑制され、且つ良好な加工面粗さが得られるように、ツルーイングすることが可能となる。
【００８４】
続いて、図１５は軸付きダイヤモンド研削砥石を対象とするツルーイング法の説明図である。
【００８５】
その軸付きダイヤモンド研削砥石のツルーイング法において、図１５に示す軸付きダイヤモンド研削砥石３２の作業面として外周面３３または環状エッジ３４をツルーイングする場合は、前述の円盤型ダイヤモンド研削砥石３と同様の工程で行う。また、軸付きダイヤモンド研削砥石３２の作業面として端面３５をツルーイングする場合は、前述のカップ型ダイヤモンド研削砥石３０と同様の工程で行う。これにより、軸付きダイヤモンド研削砥石３２においても、その作業面である外周面３３、環状エッジ３４または端面３５を図１（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、ツルーイングすることができる。
【００８６】
進んで、図１６は本発明ツルーイング装置の他の実施例の正面図である。
【００８７】
この図１６に示す実施例のツルーイング装置は、円盤型ダイヤモンド研削砥石３を対象とするもので、主軸１４と、第１のツルーイング工具１３と、電解ドレッシング装置１６と、第２のツルーイング工具（図示せず）とを配備している。
【００８８】
前記主軸１４は、図２および図３に示すものと同様、静圧軸受により支持され、且つ独立の回転駆動源により回転駆動されるようになっている。また、この主軸１４は位置が固定されている。
【００８９】
前記第１のツルーイング工具１３は、図２および図３に示すものと同様、工具支持台１２に支持され、且つ独立の回転駆動源により回転駆動されるようになっている。前記工具支持台１２は、送りテーブル１１上に搭載されている。そして、前記第１のツルーイング工具１３は、主軸１４に支持されたワークであるダイヤモンド研削砥石３に対する加工位置、つまり加工型ツルーイングを行う位置と、退避位置とに移動可能に設置されている。
【００９０】
前記電解ドレッシング装置１６は、図４に示すものと同様、電極１７と、直流電源１８と、研削液１９の供給手段とを備えている。この電解ドレッシング装置１６の前記各部材も、主軸１４に支持されたダイヤモンド研削砥石３に対する加工位置、つまり電解ドレッシングを行う位置と、退避位置とに移動可能に設置されている。
【００９１】
前記第２のツルーイング工具は、図６に示すものと同様、工具支持台上に支持され、且つ独立の回転駆動源により回転駆動されるようになっている。前記工具支持台は、送りテーブル上に搭載されている。そして、この第２のツルーイング工具も、主軸１４に支持されたダイヤモンド研削砥石３に対する加工位置、すなわち研磨型ツルーイングを行う位置と、退避位置とに移動可能に設置されている。
【００９２】
前記ツルーイング装置を使用してツルーイングを行う場合は、まず主軸１４にワークであるダイヤモンド研削砥石３を取り付け、第１のツルーイング工具１３をその工具支持台１２および送りテーブル１１と一緒に加工位置に移動させ、ダイヤモンド研削砥石３および第１のツルーイング工具１３をそれぞれ独立に回転させ、前述したところと同様、ダイヤモンド研削砥石３の作業面である外周面を加工型ツルーイングにより真円状に研削加工する。この加工型ツルーイングを行ったのち、第１のツルーイング工具１３を退避位置に移動させる。
【００９３】
次に、主軸１４にダイヤモンド研削砥石３を取り付けたままの状態で、電解ドレッシング装置１６を加工位置に移動させ、電極１７をダイヤモンド研削砥石３との間に所定の間隔をおいて配置する。直流電源１８の陰極は、既に電極１７に結ばれた状態で移動して来るので、直流電源１８の陽極をダイヤモンド研削砥石３に結び、主軸１４を介してダイヤモンド研削砥石３を回転させながら前述したところと同様、ダイヤモンド研削砥石３のメタルボンドの外周面を一様に電解ドレッシングする。このドレッシング終了後、ダイヤモンド研削砥石３から直流電源１８を取り外し、電解ドレッシング装置１６を退避位置に移動させる。
【００９４】
ついで、主軸１４にダイヤモンド研削砥石３を取り付けたままの状態で、第２のツルーイング工具をその工程支持台および送りテーブルと一緒に加工位置に移動させる。
【００９５】
続いて、ワークであるダイヤモンド研削砥石３および第２のツルーイング工具をそれぞれ独立に回転させ、前述したところと同様、研磨型ツルーイングを行い、メタルボンドの外周面に突き出された各ダイヤモンド砥粒の先端部を研磨し、切れ刃高さを揃える。この研磨型ツルーイング終了後、第２のツルーイング工具を退避位置に移動させ、ダイヤモンド研削砥石３のツルーイングの１ストロークを終了する。
【００９６】
この図１６の実施例のツルーイング装置によれば、主軸１４にワークであるダイヤモンド研削砥石３を取り付けたままの状態で、加工型ツルーイング、電解ドレッシング、研磨型ツルーイングを順次行うようにしているので、ダイヤモンド研削砥石３の取り付け誤差を無くすことができ、したがってより一層高精度にツルーイングすることができる外、前述の加工を連続的に行うことができるので、作業能率を向上させることが可能となる。
【００９７】
なお、この実施例において、主軸を垂直方向に支持することにより、カップ型ダイヤモンド研削砥石のツルーイングを行い得るようにすることができる。また、電解ドレッシング装置１６に代えて機械的ドレッシング装置を用いても良い。
【００９８】
この実施例の他の構成，作用については、前記図２〜図６，図１４に示す実施例と同様である。
【００９９】
次に、本発明の具体的な実施例について説明する。
【０１００】
実施例１：
図１６に示すツルーイング装置を使用し、ワークとして円盤型のダイヤモンド研削砥石３の外周面を研削し、真円状に整形するツルーイングを行った。
ワークとして、メタルボンド２のダイヤモンド研削砥石３を用いた。このダイヤモンド研削砥石３は、直径＝１２４．５ｍｍ、厚さ＝１．５μｍである。
主軸１４を静圧軸受としての静圧空気軸受で支持した。この主軸１４の回転精度は０．２μｍであり、ツルーイング時には主軸１４の回転速度をＮ＝１０００ｒｐｍとした。
第１のツルーイング工具１３には、カップ型メタルボンドダイヤモンド砥石を用いた。このダイヤモンド砥石としては、ダイヤモンド砥粒の粒度＝２００〜４００＃程度のものが良く、ダイヤモンド砥粒がメタルボンドから十分突き出ていなければならない。もし、ダイヤモンド砥粒の突き出し量が小さい場合には、ドレッシングする必要がある。第１のツルーイング工具１３の回転数ｎ＝３５００ｒｐｍとした。
【０１０１】
この実施例１で使用したツルーイング装置は、主軸１４を静圧空気軸受で支持し、第１のツルーイング工具１３および主軸１４をそれぞれ独立の回転駆動源で回転駆動するようにしているため、高剛性であり、高精度回転する（主軸の回転精度０．２μｍ、剛性８０Ｎ／μｍ）。静圧軸受として静圧油軸受を使用すれば、さらに高剛性とすることができる。
【０１０２】
前記主軸１４に、ワークであるダイヤモンド研削砥石３を、フランジおよびクランプを介して取り付けた。主軸１４とダイヤモンド研削砥石３との間には、はめあい公差があるため、一般的にはダイヤモンド研削砥石３に数１０μｍの回転振れが発生する。主軸１４に対するダイヤモンド研削砥石３のセッティングを工夫しても、１０μｍ前後の回転振れが生じる。
【０１０３】
工具支持台１２上に第１のツルーイング工具１３を、側面振れ＝１０μｍ以内に納まるように取り付けた。そして、主軸１４を介してダイヤモンド研削砥石３を回転させ、且つ第１のツルーイング工具１３を回転させながら、第１のツルーイング工具１３にダイヤモンド研削砥石３を接触させ、送りテーブル１１を一方向に移動させ、次の条件でツルーイングを行った。
【０１０４】
ツルーイング条件
・ワーク                    メタルボンドダイヤモンド研削砥石
・第１のツルーイング工具    ＳＤ２００Ｑ１２５Ｍ
・主軸の回転数Ｎ            １０００ｒｐｍ
・送りテーブルの送り速度ｆ  １０．０ｍｍ／ｍｉｎ
・１回の切り込み深さｄ      １．０μｍ
・研削液                    水溶性研削液
・研削液流量                ２．０リットル／ｍｉｎ
【０１０５】
以上のようなツルーイング条件でツルーイングを行い、ツルーイング後にダイヤモンド研削砥石３の回転振れを測定した。前記回転振れの測定法は、差動トランス型変位計を用いて、その触針をダイヤモンド研削砥石３の外周面（作業面）に当てて測定し、レコーダに記録した。
【０１０６】
図７はツルーイングされたダイヤモンド研削砥石の回転振れの測定結果を示すグラフである。
【０１０７】
この図７において、Ａは従来技術であるいわゆる脱落型ツルーイング法でツルーイングした場合を示し、Ｂは主軸を支持する軸受にボールベアリングを使用した市販のツルーイング装置でツルーイングした場合を示し、Ｃは前記図１６に示すツルーイング装置を使用し、前記実施例１のいわゆる加工型ツルーイング法でツルーイングした場合を示す。
【０１０８】
なお、図７のＡは主軸をボールベアリングで支持した市販のツルーイング装置を用い、ツルーイング工具としてＧＣ砥石を用いた場合である。この従来技術である脱落型ツルーイング法でツルーイングしたダイヤモンド研削砥石の回転振れは、ミクロンオーダであり、しかもダイヤモンド研削砥石の平均砥粒径が２０μｍ以上に大きくなると、ダイヤモンド研削砥石の回転振れが急激に大きくなり、回転振れを抑制しにくい傾向にある。
【０１０９】
また、図７のＢは主軸をボールベアリングで支持した市販のツルーイング装置を用い、ツルーイング工具としてダイヤモンド砥石を用いた場合である。このツルーイング装置は、剛性＝３Ｎ／μｍ、回転精度＝８μｍであった。このツルーイング装置を用いて、加工型ツルーイング法と同様にダイヤモンド研削砥石をツルーイングした。その結果、図７のＢから分かるように、ダイヤモンド研削砥石の回転振れを低減することができなかった。
【０１１０】
これに対して、前記実施例１による加工型ツルーイング法によりダイヤモンド研削砥石をツルーイングした結果、図７のＣに示すように、ダイヤモンド研削砥石の平均砥粒径の大小にかかわらず、ダイヤモンド研削砥石の回転振れを０．３μｍ以下に抑制することができた。
【０１１１】
図８は本発明に係るツルーイング法により研削されたダイヤモンド研削砥石の外周面の１００倍ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）写真、図９は同２０００倍ＳＥＭ写真である。尚、この図８，９の鮮明な写真は、原出願（平成３年特許願第１９３７１４号）に添付した図８，９を参照願います。
【０１１２】
そのツルーイング法における前記実施例１によりツルーイングされたダイヤモンド研削砥石では、メタルボンドの表面とダイヤモンド砥粒の先端部とが同一面内に存在し、図８および図９に示すように、ダイヤモンド砥粒の脱落痕は見当たらない。
【０１１３】
実施例２：
前記実施例１でツルーイングしたダイヤモンド研削砥石３のメタルボンド２を、電解ドレッシング法によりドレッシングした。
【０１１４】
前述したように、ツルーイング後のダイヤモンド研削砥石では、メタルボンドとダイヤモンド砥粒の先端部とが同一面内に存在しているため、このまま研削砥石として使用すると、メタルボンドの表面と被削剤とが接触して正常な研削加工が行われない。このため、メタルボンドの表面からダイヤモンド砥粒の先端部を突き出させるドレッシングが必要である。
【０１１５】
この実施例２では、ドレッシング法として電解ドレッシング法を用いた。ここでの電解ドレッシング法では、図１６に示す電解ドレッシング装置１６を使用した。
【０１１６】
ワークであるダイヤモンド研削砥石３の外周面との間に、間隔ｇ＝０．１０〜０．１５ｍｍをおいて電極１７を配置した。直流電源１８の陽極をダイヤモンド研削砥石３に結び、陰極を電極１７に結んだ。前記ダイヤモンド研削砥石３と電極１７間のすき間に研削液１９を流し、またダイヤモンド研削砥石３と電極１７とに通電し、ダイヤモンド研削砥石３を回転させ、次の電解ドレッシング条件でメタルボンド２をドレッシングした。
【０１１７】
電解ドレッシング条件
・ワーク                  メタルボンドダイヤモンド研削砥石
・ワークと電極間の間隔ｇ  ０．１３ｍｍ
・印加電圧                ３０Ｖ
・ワークの回転数          ２０００ｒｐｍ
・研削液                  水溶性研削液
・研削液流量              ６．０リットル／ｍｉｎ
・ドレッシング時間        １．０ｍｉｎ
【０１１８】
以上の電解ドレッシング条件でドレッシングを行った結果、メタルボンド２を半径方向の寸法で平均３μｍに、表面一様に除去することができ、ダイヤモンド砥粒１の先端部を十分突き出させることができた。
【０１１９】
実施例３：
電解ドレッシング法によりメタルボンド２の表面を除去し、ダイヤモンド砥粒１を突き出させたのち、ダイヤモンド砥粒１の先端部を図１６に示すツルーイング装置を使用して研磨した。
【０１２０】
前述のごとく、ダイヤモンド研削砥石３のメタルボンド２を除去し、ダイヤモンド砥粒１の先端部を突き出させただけのダイヤモンド研削砥石３は、例えば脆性材料の臨界切り込み深さでの延性モードの研削加工や、磁気ヘッドにおける記録媒体に対向する面をラッピング仕上げと同程度の加工面粗さに研削加工を行う用途には使用できない。これらの用途に使用する場合には、メタルボンド２から突き出されているダイヤモンド砥粒１の先端部を研磨し、ダイヤモンド砥粒１の切れ刃高さを揃える必要がある。
【０１２１】
そこで、メタルボンド２の表面から突き出されたダイヤモンド砥粒１の先端部を、研磨型ツルーイング法によりツルーイングし、ダイヤモンド砥粒１の切れ刃高さを揃えることとした。第２のツルーイング工具として、カップ型鋳鉄製の定盤を取り付けて用いた。前記ダイヤモンド研削砥石３を主軸１４および回転駆動源により回転させ、第２のツルーイング工具を別の回転駆動源により回転させながら、第２のツルーイング工具の上面にダイヤモンド研削砥石３の外周面を接触させた。ついで、ダイヤモンド研削砥石３に微小量の切り込み送りをかけ、送りテーブルを所定の送り速度で送り、次のツルーイング条件でツルーイングを行った。
【０１２２】
ツルーイング条件
・ワーク                            メタルボンドダイヤモンド研削砥石
・第２のツルーイング工具            鋳鉄製定盤（ＦＣ２０）
・第２のツルーイング工具の回転数ｎ  ３５００ｒｐｍ
・主軸の回転数Ｎ                    １０００ｒｐｍ
・送りテーブルの送り速度ｆ          ５．０ｍｍ／ｍｉｎ
・１回の切り込み深さｄ              ０．２μｍ
【０１２３】
以上のようなツルーイング条件で、ダイヤモンド研削砥石３のダイヤモンド砥粒１の先端部を研磨型ツルーイング法によりツルーイングしたのち、そのダイヤモンド砥粒１の切れ刃高さの測定を行った。
【０１２４】
図１０は研削砥石の砥粒の切れ刃高さ測定装置の概念図、図１１は同測定装置により得られた測定データの評価法の説明図である。
【０１２５】
ここで、図１０に示す砥粒の切れ刃高さ測定装置を使用してダイヤモンド研削砥石３のダイヤモンド砥粒１の切れ刃高さを測定し、図１１に示す測定データの評価法に従って処理した。すなわち、ダイヤモンド砥粒１を研磨したのちのダイヤモンド研削砥石３の外周面に、図１０に示す砥粒の切れ刃高さ測定装置の触針式変位計２６を当て、ダイヤモンド研削砥石３を超低速回転させ、ダイヤモンド研削砥石３の外周面の２次元プロフィールを測定し、レコーダ２７に記録した。
【０１２６】
そして、得られた測定データについて、図１１に示すように、基準長さＬを取り、この基準長さＬ内に入っているダイヤモンド砥粒１のうちで最も突き出ているダイヤモンド砥粒の先端部を基準点Ｐとし、この基準点Ｐより高さの基準範囲ｔを取り、この基準範囲ｔ内に入っているダイヤモンド砥粒１の先端部の個数を計数し、ツルーイング精度の評価法とした。
【０１２７】
その結果、ダイヤモンド砥粒の精度＝８００のメタルボンドダイヤモンド研削砥石について、従来のツルーイング法として市販のツルーイング装置（主軸の支持にボールベアリング使用、剛性＝３Ｎ／μｍ、回転精度＝８μｍ）にＧＣ砥石を取り付けてツルーイングした場合と、本発明に係るツルーイング法に従い前記実施例１，２，３によりツルーイングした場合を前記評価法で評価したところ、基準長さＬ＝１ｍｍ、高さの基準範囲ｔ＝０．５μｍの中に入っているダイヤモンド砥粒の先端部の数、つまり切れ刃の数は従来のツルーイング法によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石では４個、本発明に係るツルーイング法に従い実施例１，２，３によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石３では４２個であった。この測定結果から明らかなように、本発明に係るツルーイング法によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石３は、ダイヤモンド砥粒１の切れ刃高さが揃っていることが分かる。
【０１２８】
図１２は本発明に係るツルーイング法でツルーイングされた製品であるダイヤモンド研削砥石の外周面のＳＥＭ写真である。尚、この図１２の鮮明な写真は、原出願（平成３年特許願第１９３７１４号）に添付した図１２を参照願います。
【０１２９】
この図１２から、前記実施例３によって、メタルボンド２の表面より突き出されたダイヤモンド砥粒１の先端部を、鋳鉄製の定盤で研磨することにより、ダイヤモンド砥粒１の切れ刃断面が平坦且つ平滑に整形され、且つ多数のダイヤモンド砥粒１の切れ刃高さがきれいに揃えられていることが分かる。
【０１３０】
実施例４：
本発明に係るツルーイング法によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石３と、従来のツルーイング法によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石を使用して、実際に溝加工を行い、その溝の加工面粗さを測定した。被削材は、アルミナチタンカーバイドである。
【０１３１】
従来のツルーイング法として、市販のツルーイング装置（主軸の支持にボールベアリング使用、剛性＝３Ｎ／μｍ、回転精度＝８μｍ）を使用した。このツルーイング装置に、ツルーイング工具としてＧＣ砥石を取り付けて用いた。本発明に係るツルーイング法としては、前記実施例１，２，３によりツルーイングした。
【０１３２】
従来のツルーイング法によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石による溝加工、および本発明に係るツルーイング法によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石３による溝加工とも、加工条件は次のとおりである。
【０１３３】
加工条件
・研削砥石                        メタルボンドダイヤモンド研削砥石
・被削材                          アルミナチタンカーバイド
・加工機の主軸の回転数            ４０００ｒｐｍ
・加工機の送りテーブルの送り速度  １００ｍｍ／ｍｉｎ
・１回の切り込み深さ              ２．０μｍ
【０１３４】
図１３はダイヤモンド研削砥石により研削加工の加工面粗さの実験結果を示すグラフである。この図１３に示す実験において、加工面粗さはダイヤモンド研削砥石の外周面で研削された加工面の粗さを測定したものである。この図１３中、Ａは従来のツルーイング法によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石であって、市販のツルーイング装置（主軸の支持にボールベアリング使用、剛性＝３Ｎ／μｍ、回転精度＝８μｍ）にＧＣ砥石を取り付けてツルーイングしたダイヤモンド研削砥石で研削した場合を示す。そして、図１３中、Ｂは本発明に係るツルーイング法による前記実施例１，２，３によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石で研削した場合を示す。
【０１３５】
この図１３から分かるように、本発明に係るツルーイング法によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石で研削したときの加工面粗さは、ダイヤモンド砥粒の平均砥粒径＝４０μｍという粗いダイヤモンド砥粒においても、加工面粗さ＝０．２μｍＲｍａｘという良好な加工面に研削仕上げすることができた。これに対して、従来のツルーイング法によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石では、ダイヤモンド砥粒の平均砥粒径が２０μｍを越えると、加工面粗さが悪くなり、平均砥粒径＝４０μｍでは加工面粗さ＝２．１μｍＲｍａｘとなった。この実験結果より、本発明に係るツルーイング法によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石によれば、加工面粗さを飛躍的に向上させることができる。これは、本発明に係るツルーイング法によりダイヤモンド砥粒の切れ刃高さを揃えた効果である。
【０１３６】
実施例５：
本発明に係るツルーイング法でツルーイングしたカップ型ダイヤモンド研削砥石を、平面研削盤に工具として取り付け、このダイヤモンド研削砥石により図２０に示す磁気ディスク用磁気ヘッドの記録媒体に対向する面である浮上面を加工した。その結果、加工面粗さ０．０１μｍＲｍａｘに加工することができた。しかも、磁気ヘッド複合材の加工量の差である加工段差をラッピングの場合の０．０５μｍから０．０２μｍに低減することができた。このように加工段差を低減することは、磁気ヘッドの磁性媒体と磁気ディスク面との間隔を小さくすることになり、記録密度の向上が図れる。言い換えると、記録密度が同じなら、加工段差が低減できた分だけ、磁気ヘッドの浮上量（基板５と磁気ディスクとの間隔）を増やすことができるので、クラッシュの危険性を少なくすることができる。したがって、磁気ディスク装置の信頼性の向上を図れる。
【０１３７】
研削で仕上げた磁気ヘッドの浮上面には、一定方向に規則的な１０ｎｍオーダの研削痕が形成される。これにより、磁気ヘッドと磁気ディスクが接触しているときの摩擦力が低減し、クラッシュの危険性が少なくなり、磁気ディスク装置の信頼性が向上する。
【０１３８】
この結果より、従来は磁気ヘッドの仕上げ加工において、ラッピングが行われて来たが、研削加工だけで加工された磁気ヘッドを製作することができることが分かる。
【０１３９】
また、光ヘッドやガラスを材料とした光学系の仕上げ加工には、現在ラッピングが用いられているが、前述の磁気ヘッドと同じように、研削に置き換えることができる。
【０１４０】
次に、本発明の他の色々な実施例について列挙する。
【０１４１】
本発明では、ダイヤモンド砥粒のボンドはメタルボンドに限らず、樹脂系ボンドを使用しても良い。この樹脂系ボンドを使用したときは、電解ドレッシング法に代えて、従来行われていた機械的ドレッシング法により、ダイヤモンド砥粒を突き出させるようにする。
【０１４２】
また、本発明ではボンドの表面から突き出されたダイヤモンド砥粒の先端部の研磨を鋳鉄製の定盤だけで行う場合に限らず、定盤上にダイヤモンド砥粒を供給して行っても良い。さらには、鋳鉄製の定盤に代えて、他の研磨工具を用いても良い。
【０１４３】
さらに、本発明では単一のツルーイング装置に、第１のツルーイング工具１３と第２のツルーイング工具２４とを交換して取り付け、単一のツルーイング装置を第１のツルーイング装置と第２のツルーイング装置とに兼用するようにしても良い。
【０１４４】
【発明の効果】
以上説明した請求項１記載の発明では、多数のダイヤモンド砥粒をボンドで固めて円盤型に形成したダイヤモンド研削砥石において、前記研削砥石の作業面を前記砥粒とボンドとが同一面となるよう真円状に研削し、且つ前記研削加工したボンドを一様に所定深さドレッシングして前記砥粒を当該ドレッシングしたボンドの表面より突き出させるとともに、この突き出された砥粒の先端部を熱化学的に研磨して平坦且つ平滑に整形しているので、ダイヤモンド砥粒の切れ刃高さを精密に揃えることができる結果、脆性材料の延性モードでの超精密研削加工や、磁気ヘッドにおける記録媒体に対向する面の研削仕上げに適用し得る効果がある。
【０１４５】
請求項２記載の発明では、多数のダイヤモンド砥粒をボンドで固めてカップ型に形成したダイヤモンド研削砥石において、前記研削砥石の作業面を前記砥粒とボンドとが同一面となるよう高精度の平面に研削し、且つ前記研削加工したボンドを一様に所定深さドレッシングして前記砥粒を当該ドレッシングしたボンドの表面より突き出させるとともに、この突き出された砥粒の先端部を熱化学的に研磨して平坦且つ平滑に整形しているので、この請求項２記載の発明においても、脆性材料の延性モードでの超精密研削加工や、磁気ヘッドにおける記録媒体に対向する面の研削仕上げに適用し得る効果がある。
【０１４６】
本発明の請求項３記載の発明によれば、第１のツルーイング装置と、ドレッシング装置と、第２のツルーイング装置とを配備し、前記第１のツルーイング装置を、静圧軸受により支持され且つ多数のダイヤモンド砥粒をボンドで固めたダイヤモンド研削砥石をワークとして支持する主軸と、この主軸の回転駆動源と、ワークであるダイヤモンド研削砥石の作業面を前記ダイヤモンド砥粒とボンドとが略同一面となるよう研削する第１のツルーイング工具と、この第１のツルーイング工具の回転駆動源と、前記第１のツルーイング工具とワークであるダイヤモンド研削砥石とを切り込み方向に相対的に送る切り込み手段とを備えて構成し、前記ドレッシング装置を、前記研削したボンドの表面を一様に所定深さ除去してダイヤモンド砥粒を当該ドレッシングされたボンドの表面より突き出し可能に構成し、前記第２のツルーイング装置を、静圧軸受により支持され且つドレッシングされたダイヤモンド研削砥石をワークとして支持する主軸と、この主軸の回転駆動源と、前記ドレッシングされたボンドの表面から突き出された各ダイヤモンド砥粒の先端部を平坦且つ平滑に熱化学的研磨して切れ刃を揃える第２のツルーイング工具と、この第２のツルーイング工具の回転駆動源と、前記第２のツルーイング工具とワークであるダイヤモンド研削砥石とを切り込み方向に相対的に送る切り込み手段とを備えて構成しており、特に第１，第２のツルーイング装置とも主軸を静圧軸受により支持し、且つそれぞれ独立の回転駆動源により回転させるようにしているので、主軸の支持剛性および回転精度とも著しく向上させることができるため、本発明に係るツルーイング法を的確に実施し得る効果がある。
【０１４７】
請求項４記載の発明によれば、単一のツルーイング装置に、前記第１のツルーイング工具と第２のツルーイング工具とを選択的に取り付け、単一のツルーイング装置を前記第１のツルーイング装置と第２のツルーイング装置とに兼用しているので、設備費を節減できる外、装置の設置スペースが狭くて済む効果がある。
【０１４８】
請求項５記載の発明によれば、ワークであるダイヤモンド研削砥石を支持する前記主軸の位置を固定し、前記第１のツルーイング工具とドレッシング装置と第２のツルーイング工具とを、それぞれワークに対する加工位置と退避位置とに移動可能に構成しているので、主軸にダイヤモンド研削砥石を取り付けたままの状態でダイヤモンド研削砥石の作業面を研削する加工型ツルーイング、ボンドの表面からダイヤモンド砥粒の先端部を突き出させるドレッシング、ダイヤモンド砥粒の先端部を研磨して切れ刃高さを揃える研磨型ツルーイングを順次行うことができるため、ダイヤモンド研削砥石の取り付け誤差を無くすことができる結果、より一層高精密にツルーイングし得る効果があり、作業能率の向上を図り得る効果もある。
【０１４９】
請求項６記載の発明では、前記第１のツルーイング工具として、カップ型メタルボンドダイヤモンド砥石を用いており、また請求項７記載の発明では、第２のツルーイング工具として、カップ型鉄系金属製の定盤を用いており、さらに請求項８記載の発明では、前記ドレッシング装置を、前記ダイヤモンド研削砥石との間に所定の間隔をおいて配置された電極と、陽極をワークであるダイヤモンド研削砥石に結び且つ陰極を前記電極に結んだ電源と、前記ダイヤモンド研削砥石の回転駆動源とを備えて構成しているので、それぞれ本発明に係るツルーイング法をより一層良好に実施し得る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るツルーイング法の一実施例を示すもので、図１（ａ）はダイヤモンド研削砥石の外周面の加工型ツルーイング工程を示す図、図１（ｂ）はダイヤモンド砥粒のボンドのドレッシング工程を示す図、図１（ｃ）はボンドから突き出されたダイヤモンド砥粒の研磨型ツルーイング工程を示す図である。
【図２】本発明ツルーイング装置における第１のツルーイング装置の正面図である。
【図３】図２の中央縦断側面図である。
【図４】本発明ツルーイング装置における電解ドレッシング装置の概念図である。
【図５】図４のＱ部分の拡大図である。
【図６】本発明ツルーイング装置における第２のツルーイング装置の正面図である。
【図７】ツルーイングされたダイヤモンド研削砥石の回転振れの測定結果を示すグラフである。
【図８】本発明に係るツルーイング法における加工型ツルーイング工程でツルーイングされたダイヤモンド研削砥石の外周面の１００倍ＳＥＭ写真である。
【図９】本発明に係るツルーイング法における加工型ツルーイング工程でツルーイングされたダイヤモンド研削砥石の外周面の２０００倍ＳＥＭ写真である。
【図１０】研削砥石の砥粒の切れ刃高さの測定装置の概念図である。
【図１１】図１０の測定装置により得られた測定データの評価法の説明図である。
【図１２】本発明に係るツルーイング法でツルーイングされた製品であるダイヤモンド研削砥石の外周面のＳＥＭ写真である。
【図１３】ダイヤモンド研削砥石により研削加工した加工面粗さの実験結果を示すグラフである。
【図１４】カップ型ダイヤモンド研削砥石を対象とした本発明に係るツルーイング法の説明図である。
【図１５】軸付きダイヤモンド研削砥石を対象とした本発明に係るツルーイング法の説明図である。
【図１６】本発明ツルーイング装置の他の実施例を示す正面図である。
【図１７】ダイヤモンド研削砥石のツルーイングの概念を示すもので、図１７（ａ）はツルーイング前のメタルボンドダイヤモンド研削砥石の外形を示す図、図１７（ｂ）はツルーイング後のメタルボンドダイヤモンド研削砥石の外形を示す図である。
【図１８】ツルーイング前のダイヤモンド研削砥石の砥粒の切れ刃状態を示す図である。
【図１９】従来のツルーイング法によりツルーイングしたダイヤモンド研削砥石の表面状態の模式図である。
【図２０】磁気ヘッドの斜視図である。
【図２１】図２０のＳ部分の拡大図である。
【符号の説明】
１…ダイヤモンド砥粒、２…メタルボンド、３…ダイヤモンド研削砥石、４…磁気ヘッド、８…ダイヤモンド研削砥石取り付け用のフランジ、９…同クランプ、１０…ツルーイング装置における第１のツルーイング装置、１１…第１のツルーイング装置の送りテーブル、１２…同工具支持台、１３…同第１のツルーイング工具、１４…同主軸、１５…主軸の静圧軸受、１６…ツルーイング装置における電解ドレッシング装置、１７…電解ドレッシング装置の電極、１８…直流電源、２１…ツルーイング装置の第２のツルーイング装置、２２…第２のツルーイング装置の送りテーブル、２３…同工具支持台、２４…同第２のツルーイング工具、２５…同主軸、３０…カップ型ダイヤモンド研削砥石、３１…同研削砥石の作業面である端面。
【図１】
0003671250.tif 000002
【図２】
0003671250.tif 000003
【図３】
0003671250.tif 000004
【図４】
0003671250.tif 000005
【図５】
0003671250.tif 000006
【図６】
0003671250.tif 000007
【図７】
0003671250.tif 000008
【図８】
0003671250.tif 000009
【図９】
0003671250.tif 000010
【図１０】
0003671250.tif 000011
【図１１】
0003671250.tif 000012
【図１２】
0003671250.tif 000013
【図１３】
0003671250.tif 000014
【図１４】
0003671250.tif 000015
【図１５】
0003671250.tif 000016
【図１６】
0003671250.tif 000017
【図１７】
0003671250.tif 000018
【図１８】
0003671250.tif 000019
【図１９】
0003671250.tif 000020
【図２０】
0003671250.tif 000021
【図２１】
0003671250.tif 000022