(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状部材が収納された片方の収納装置と平板状部材が収納されていない他方の収納装置との間に介在される平板状部材の移載補助具であって、
平板状部材が移動する移動空間を規定する枠構造体と、
この枠構造体の移動空間に所定の間隔を置いて設けられた複数個の案内体を具備し、
前記枠構造体の片側に位置する前記片方の収納装置に収納された平板状部材は、隣接する案内体間を通して前記枠構造体の他側に位置する前記他方の収納装置に収納されることを特徴とする平板状部材の移載補助具。
【請求項２】
前記枠構造体は、第１の枠体とこの第１の枠体に移載位置と退避位置との間を旋回自在に装着され第２の枠体を備え、前記第２の枠体に前記複数個の案内体が設けられていることを特徴とする請求項１記載の平板状部材の移載補助具。
【請求項３】
前記第１の枠体は前記片方の収納装置に着脱自在に装着され、前記第２の枠体は前記他方の収納装置に着脱自在に装着されており、前記第２の枠体を前記移載位置に位置付けると前記案内板の一部が前記片方の収納装置内に位置して前記片方の収納装置内に収納された平板状部材を案内することを特徴とする請求項２記載の平板状部材の移載補助具。
【請求項４】
前記片方および前記他方の各収納装置は、
平板状部材を収納するための開口を有する収納装置本体を具備し、この収納装置本体の対向する両側壁に、平板状部材の挿入方向に延びる受部材が複数個設けられ、隣接する受部材間に溝が規定されている平板状部材の収納装置であって、前記受部材の各々は、収納装置本体の開口部において内側に比較的小さく突出する第１の受部と、収納装置本体の底部において内側に比較的大きく突出する第２の受部を備えていることを特徴とする請求項１記載の平板状部材の移載補助具。
【請求項５】
前記受部材の第１の受部は収納装置本体の開口からその底部に向けて延び、前記受部材の第２の受部は収納装置本体の底部からその開口に向けて延び、第１の受部と第２の受部との間に存在する第３の受部は、平板状部材の挿入方向に向けてその突出量が内側に漸次増加していることを特徴とする請求項４記載の平板状部材の移載補助具。
【請求項６】
前記受部材の第２の受部は、収納装置本体に収納される最小の平板状部材を収納したときに最小の平板状部材の重心が第２の受部の領域に位置するように設定され、前記受部材の第３の受部は、収納装置本体に収納される最大の平板状部材を収納したときに最大の平板状部材の重心が第３の受部の領域に位置するように設定されていることを特徴とする請求項５記載の平板状部材の移載補助具。
【請求項７】
平板状部材が収納された片方の収納装置と平板状部材が収納されていない他方の収納装置との間に移載補助具を介在し、
前記片方および前記他方の各収納装置は、
平板状部材を収納するための開口を有する収納装置本体を具備し、この収納装置本体の対向する両側壁に、平板状部材の挿入方向に延びる受部材が複数個設けられ、隣接する受部材間に溝が規定されている平板状部材の収納装置であって、前記受部材の各々は、収納装置本体の開口部において内側に比較的小さく突出する第１の受部と、収納装置本体の底部において内側に比較的大きく突出する第２の受部を備え、
前記移載補助具は、
平板状部材が移動する移動空間を規定する枠構造体と、
この枠構造体の移動空間に所定の間隔を置いて設けられた複数個の案内体を具備し、
前記枠構造体の片側に位置する前記片方の収納装置に収納された平板状部材は、隣接する案内体間を通して前記枠構造体の他側に位置する前記他方の収納装置に収納される移載補助具であり、
前記片方の収納装置が前記他方の収納装置よりも下から上となるように、前記片方の収納装置と前記他方の収納装置と前記移載補助具とを一体的に回転し、平板状部材が、その平板状部材の自重により前記片方の収納装置から前記他方の収納装置に前記案内体間を案内されて移載することを特徴とする平板状部材の移載方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハの如き平板状部材を収納するために使用する片方の収納装置から他方の収納装置に平板状部材を移す際に使用する移載補助具およびそれを用いる移載方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、たとえば半導体用ウェハを所望のとおりに処理するのに、ウェハを収納装置に収納して処理している。このウェハを収納する収納装置としては、たとえば図１４〜図１６に示すものが一般的である。図１４において、従来の収納装置は箱状の収納装置本体２を有し、この収納装置本体２の一側面には、矩形状の開口４が規定されている。収納装置本体２の対向する一対の側壁６、８の内面には、図１５に示すように、受部材１０が設けられている。受部材１０は所定の間隔を置いて図１５において上下方向（図１４においては左下から右上の方向）に複数個設けられており、隣接する受部材１０の間に溝１２を規定する。
【０００３】
受部材１０は平板状部材としてのウェハ１４（図１４）の挿入方向に延びており、したがって溝１２もこの方向に直線状に延びている。ウェハ１４は対向する溝１２にその両端部が案内され、隣接する受部材１２のうち下側に位置する受部材１０の上面に載置支持される（図１６参照）。
【０００４】
このような収納装置は、たとえばウェハをエッチング処理する際、収納装置内にウェハを収納した状態でエッチング処理液に浸漬される。そして、エッチング処理を所望のとおりに行うために、この処理の際に、ウェハを収納した状態で収納装置が揺動され、または処理液が攪拌される。
【０００５】
キャリアに収納した状態で上述の如く処理したウェハをたとえば他の収納装置に移載する場合がある。このような場合、ウェハの大きさが一定のときには、その移載作業は比較的容易に行うことができる。しかし、ウェハの大きさが異なるときには、比較的小さいウェハが受部材間の溝から外れて破損する恐れがあり、それ故に、従来このようなとき作業者がピンセット等のワークを用いて一枚毎移し換えを行っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の収納装置には、次のとおりの解決すべき課題が存在する。主として図１６を参照して、ウェハ１４を支持する受部材１０は、ウェハ１４が重ならないように支持するためのものである。対向する（図１５において左右方向に対向する）受部材１０間にウェハ１４が所要のとおり支持されるには、次のように構成する必要がある。すなわち、ウェハ１４が対向する受部材１０間に支持されるためには、最大径のウェハ１４Ａの直径は、片側の隣接する受部材１０間に規定される溝１２の底から他側の隣接する受部材１０間に規定される溝１２の底までの距離Ｌと実質上等しいまたはこの距離Ｌより幾分小さい値に設定される。一方、最小径のウェハ１４Ｂの直径は、片方の溝１２の底から他方の溝１２の底までの距離Ｌから受部材１０の長さＨを減じた値（Ｌ−Ｈ）に設定される。
【０００７】
したがって、収納装置に直径の大きく異なるウェハ１４を収納することができるようにするには、容易に理解される如く、受部材１０の長さＨを長くする必要がある。しかし、この受部材１０の長さＨを長くすると、たとえばエッチング処理の際に、受部材１０の先端部がウェハ１４の両面を覆うようになり、それ故に、ウェハ１４における、受部材１０に覆われた領域と、受部材１０に覆われていない領域とで、エッチング処理の状態に変化が生じ、実質上均一な処理ができない領域が広く発生するという不都合が生じる。かかるエッチングのムラを防止するためには、受部材１０の長さＨを短くすればよいが、かく短くすると、収納できるウェハ１４の直径が大きく制限され、適用できるウェハのサイズ範囲が狭くなるという問題が生じる。
【０００８】
また、このような収納装置において、たとえば大きさの異なるウェハ１４の移載作業を作業者が一枚毎手作業で行うとすれば、その作業が非常に煩雑となり、時間を要することになる。
【００１１】
本発明の目的は、片方の収納装置に収納された平板状部材を他方の収納装置に比較的安易な作業で確実に移載することができる平板状部材の移載補助具およびそれを用いる移載方法を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、平板状部材が収納された片方の収納装置と平板状部材が収納されていない他方の収納装置との間に介在される平板状部材の移載補助具であって、
平板状部材が移動する移動空間を規定する枠構造体と、
この枠構造体の移動空間に所定の間隔を置いて設けられた複数個の案内体を具備し、
前記枠構造体の片側に位置する前記片方の収納装置に収納された平板状部材は、隣接する案内体間を通して前記枠構造体の他側に位置する前記他方の収納装置に収納されることを特徴とする平板状部材の移載補助具である。
本発明に従えば、枠構造体に設けられた案内体が平板状部材を片方の収納装置から他方の収納装置に向けて案内するので、平板状部材の移載を比較的容易に且つ確実に行うことができる。
【００１７】
また本発明は、前記枠構造体は、第１の枠体とこの第１の枠体に移載位置と退避位置との間を旋回自在に装着され第２の枠体を備え、前記第２の枠体に前記複数個の案内体が設けられていることを特徴とする。
本発明に従えば、第２の枠体が移載位置と退避位置との間を旋回自在であるので、片方の収納装置に収納された平板状部材を損傷することなく、第２の枠体の案内体をウェハ間に容易に位置付けることができる。
【００１８】
また本発明は、前記第１の枠体は前記片方の収納装置に着脱自在に装着され、前記第２の枠体は前記他方の収納装置に着脱自在に装着されており、前記第２の枠体を前記移載位置に位置付けると前記案内板の一部が前記片方の収納装置内に位置して前記片方の収納装置内に収納された平板状部材を案内することを特徴とする。
本発明に従えば、平板状部材が収納された収納装置および空の収納装置が枠構造体に容易に装着でき、平板状部材の移載作業が容易となる。
また本発明は、前記片方および前記他方の各収納装置は、
平板状部材を収納するための開口を有する収納装置本体を具備し、この収納装置本体の対向する両側壁に、平板状部材の挿入方向に延びる受部材が複数個設けられ、隣接する受部材間に溝が規定されている平板状部材の収納装置であって、前記受部材の各々は、収納装置本体の開口部において内側に比較的小さく突出する第１の受部と、収納装置本体の底部において内側に比較的大きく突出する第２の受部を備えていることを特徴とする。
本発明に従えば、受部材の第１の受部は比較的大きい平板状部材の案内支持を許容し、受部材の第２の受部は、比較的小さい平板状部材の案内支持を許容する。したがって、サイズの異なる平板状部材でも確実に案内支持でき、また比較的大きい平板状部材を収納したときでも受部材が覆う領域が少なく、エッチング処理等の際の処理のムラも少なくなる。
また本発明は、前記受部材の第１の受部は収納装置本体の開口からその底部に向けて延び、前記受部材の第２の受部は収納装置本体の底部からその開口に向けて延び、第１の受部と第２の受部との間に存在する第３の受部は、平板状部材の挿入方向に向けてその突出量が内側に漸次増加していることを特徴とする。
本発明に従えば、第３の受部は中程度の平板状部材の案内支持を許容するようになり、受部材によって覆われる領域を少なく保ちながら中程度の平板状部材も確実に支持することができる。
また本発明は、前記受部材の第２の受部は、収納装置本体に収納される最小の平板状部材を収納したときに最小の平板状部材の重心が第２の受部の領域に位置するように設定され、前記受部材の第３の受部は、収納装置本体に収納される最大の平板状部材を収納したときに最大の平板状部材の重心が第３の受部の領域に位置するように設定されていることを特徴とする。
本発明に従えば、収納装置本体に平板状部材を収納したとき、収納可能な最小の平板状部材においてはその重心が第２の受部の領域に位置し、収納可能な最大の平板状部材においてはその重心が第３の受部の領域に位置するので、受部材から外れることなくこれら種々の平板状部材を支持することができる。
また本発明は、平板状部材が収納された片方の収納装置と平板状部材が収納されていない他方の収納装置との間に移載補助具を介在し、
前記片方および前記他方の各収納装置は、
平板状部材を収納するための開口を有する収納装置本体を具備し、この収納装置本体の対向する両側壁に、平板状部材の挿入方向に延びる受部材が複数個設けられ、隣接する受部材間に溝が規定されている平板状部材の収納装置であって、前記受部材の各々は、収納装置本体の開口部において内側に比較的小さく突出する第１の受部と、収納装置本体の底部において内側に比較的大きく突出する第２の受部を備え、
前記移載補助具は、
平板状部材が移動する移動空間を規定する枠構造体と、
この枠構造体の移動空間に所定の間隔を置いて設けられた複数個の案内体を具備し、
前記枠構造体の片側に位置する前記片方の収納装置に収納された平板状部材は、隣接する案内体間を通して前記枠構造体の他側に位置する前記他方の収納装置に収納される移載補助具であり、
前記片方の収納装置が前記他方の収納装置よりも下から上となるように、前記片方の収納装置と前記他方の収納装置と前記移載補助具とを一体的に回転し、平板状部材が、その平板状部材の自重により前記片方の収納装置から前記他方の収納装置に前記案内体間を案内されて移載することを特徴とする平板状部材の移載方法である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施の一形態である平板状部材の収納装置を示す斜視図であり、かかる収納装置はたとえば半導体ウエハ用キャリアとして適用することができる。図１において、図示のキャリアは収納装置本体としての箱状のキャリア本体２２を備えている。キャリア本体２２は、矩形状の底壁２４と、この底壁２４から垂直に延びる４側壁２６、２８、３０、３２（側壁３２については図２〜図４参照）を有し、４側壁２６、２８、３０、３２はキャリア本体２２の上面に矩形状の開口３４を規定する。
【００２０】
キャリア本体２２の開口部には、外側に突出するフランジ３６、３８、４０、４２が設けられている。これらフランジ３６、３８、４０、４２は、後に説明する移載補助具への装着を容易にする。実施形態では、フランジ３６、３８の角部とフランジ３８、４０の角部に、円形の位置決め孔４４がそれぞれ設けられている。また、フランジ４０、４２の角部とフランジ３６、４２の角部に、位置決めピン４６がそれぞれ設けられている。これら孔４４及びピン４６は、移載補助具への装着の際の両者の位置決めのために設けられている。位置決め機能として、孔４４とピン４６の組み合わせに代えて、種々の形状の凹部と突起の組み合わせを用いることもできる。
【００２１】
キャリア本体２２の対向する側壁２８、３２の内面に所定の間隔をおいて複数個の受部材４８、５０が設けられている。受部材４８、５０を示す図２〜図４も参照して、図示の形態では、側壁２８、３２の内面に受部材４８、５０が一体に設けられている。側壁２８に取付けられた受部材４８と他方の側壁３２に取付られた受部材５０は実質上同一間隔で対応して設けられている。キャリア本体２２及び受部材４８、５０は、たとえばテフロン等の合成樹脂の一体成形によって形成することができる。
【００２２】
受部材４８、５０は実質上同一の構成であり、実施の形態では、第１の受部４８ａ、５０ａと、第２の受部４８ｂ、５０ｂと、第３の受部４８ｃ、５０ｃを備えている。第１の受部４８ａ、５０ａは、キャリア本体２２の開口部に位置し、その開口３４から底に向けて矢印６０（図２）で示すウェハの挿入方向に延びている。第２の受部４８ｂ、５０ｂは、キャリア本体２２の底部に位置し、その底から開口３４に向けて延びている。また、第３の受部４８ｃ、５０ｃは、第１の受部４８ａ、５０ａと第２の受部４８ｂ、５０ｂとの間に位置している。
【００２３】
第１の受部４８ａ、５０ａは、内側（すなわち、対向する受部）に向けて比較的小さく突出し、第２の受部４８ｂ、５０ｂは、内側に向けて比較的大きく突出している。第２の受部４８ｂ、５０ｂは楔状に先端に向けて鋭く突出しており、隣接する第２の受部４８ｂ、５０ｂの間に比較的深いＶ字状の深溝部を規定する。第１の受部４８ａ、５０ａは、第２の受部４８ｂ、５０ｂの先端側大部分を除去した形状であり、隣接する第１の受部４８ａ、５０ａの間に比較的浅いＶ字状の浅溝部を規定する。図示の形態では、第３の受部４８ｃ、５０ｃは、矢印６０で示すウェハの挿入方向に向けてその突出量が漸次増加しており、したがって隣接する第３の受部４８ｃ、５０ｃの間に規定されるＶ字状の中間溝部は、上記挿入方向に向けてその深さが漸次増大している。受部材４８、５０によって規定される溝、実施形態では浅溝部、中間溝部および深溝部は、上記ウェハの挿入方向に向けて直線状に実質上連続して延びるウェハを案内支持するための溝６２を規定する。円形又は略円形のウェハを所望のとおりに案内支持するためには、たとえば、受部材４８、５０等の形状を次のとおりに設定することができる。すなわち、適用可能な最大径のウェハ６４Ａ（図３）のキャリア本体２２への挿入、離脱を図３に示すようにスムースに行うためには、受部材４８によって規定される溝６２の底から対向する受部材５０によって規定される溝６２の底までの距離Ｌ１は、この最大径のウェハ６４Ａの直径Ｄよりも約２ｍｍ程度大きくなる（Ｌ１＝Ｄ＋２）ように設定される。また、最大径のウェハ６４Ａが上記浅溝部から離脱しないようにするために、第１の受部４８ａ，５０ａの突出量Ｌ２は、約３ｍｍ程度に設定する（Ｌ２＝３）ことができる（したがって、第１の受部４８ａ、５０ａにおいてウェハ６４Ａが片側に寄ったとしても他側において約１ｍｍ程度受部に重なるようになる）。第２の受部４８ｂ、５０ｂの突出量Ｌ３は、適用可能な最小径のウェハ６４Ｂ（図３）が上記深溝部から離脱しないようにするために、最大径のウェハ６４Ａの直径Ｄから最小径のウェハの直径ｄを減じた値に約４ｍｍ程度加えた値（Ｄ−ｄ＋４）に設定することができる。さらに、第２の受部４８ｂ、５０ｂの奥行きＬ４は、最小径のウェハ６４ｂの直径ｄの半分の値に約２ｍｍ程度加えた値｛（ｄ／２）＋２｝に設定することができる。第２の受部４８ｂ、５０ｂの奥行きＬ４をかく設定することにより、最小径のウェハ６４Ｂは、図４に示すとおり、キャリア本体２２に所要のとおり収納したときその重心は第２の受部の領域６６（対向する第２の受部４８ｂ、５０ｂ間の領域）に位置する。したがって、ウェハ６４Ｂは、第２の受部４８ｂ、５０ｂに確実に支持され、溝６２の深溝部から外れることはない。さらにまた、第２の受部４８ｂ、５０ｂと第３の受部４８ｃ、５０ｃの奥行きの合計値Ｌ５は、直接移載可能な最大径ウェハの半径｛（Ｄ−Ｌ２＋１）／２｝より約２ｍｍ程度大きくなる｛２＋（Ｄ−Ｌ２＋１）｝ように設定することができる。かく設定することにより、最大径のウェハ６４Ａをキャリア本体２２に所要のとおりに収納したとき、その重心は第３の受部４８ｃ、５０ｃの領域６８（対向する第３の受部４８ｃ、５０ｃ間の領域）に位置し、したがってウェハ６４Ａは第３の受部４８ｃ、５０ｃに確実に支持され、溝６２の中間溝部から離脱することはない。そして、かく構成されていることに関連して、第３の受部４８ｃ、５０ｃの先端は、第１の受部４８ａ、５０ａの先端から第２の受部４８ｂ、５０ｂの先端に向けて直線上に延びている。したがって、中間サイズのウェハは、キャリア本体２２に所要のとおりに収納されると、その重心は実質上第３の受部の領域４８に位置し、溝６２の中間溝部から外れることはない。
【００２４】
このような構成の受部材４８、５０に比較的大きいウェハを収納したときには、その一部の領域が第２の受部４８ｂ、５０ｂおよび第３の受部４８ｃ、５０ｃに覆われるが、残りの大部分の領域は受部材４８、５０に覆われず、したがってウェハの広い領域において均一な処理を行うことが可能となる。このことは比較的小さいウェハを収納したときも同様である。
【００２５】
次に、図５〜図１３を参照して上述したキャリアの如き収納装置に好都合に適用することができる移載補助具について説明する。図５は、本発明の実施例の一形態である移載補助具を示す斜視図であり、図６は補助具の第１の枠体を、また図７は補助具の第２の枠体を示している。
【００２６】
図５〜図７において、図示の補助具１０２は枠構造体１０３を備えている。この枠構造体１０２は、矩形状の第１の枠体１０４と第２の枠体１０６から構成されている。第１の枠体１０４は４つのフレーム１０８、１１０、１１２、１１４から構成され、これらフレームからなる第１の枠体１０４は、図１に示すキャリアのフランジ３６、３８、４０、４２の形状に対応している。したがって、第１の枠体１０４によって規定される第１の移動空間はキャリア本体２２の開口３４に対応している。この第１の枠体１０４には、図６に示すとおり、フレーム１０８、１１０の角部とフレーム１０８、１１４の角部には円形状の位置決め孔１１６がそれぞれ形成されている。この位置決め孔１１６は、キャリア本体２２の位置決めピン４６にそれぞれ対応している。また、フレーム１１０、１１２の角部と、フレーム１１２、１１４の角部には、それぞれ位置決めピン１１８がそれぞれ設けられている。かかる位置決めピン１１８は、キャリア本体２２の位置決めピン４６に対応している。この第１の枠体１０４は、たとえば合成樹脂の一体成形により形成することはできる。
【００２７】
第２の枠体１０６は第１の枠体１０４と実質同一の構造であり、４つのフレーム１２０、１２２、１２４、１２６から構成され、図１のキャリアのフランジ３６、３８、４０、４２の形状に対応している。第２の枠体１０６によって規定される第２の移動空間は第１の移動空間と実質上同じであり、キャリア本体２２の開口３４に対応している。この第２の枠体１０６には、図７に示すとおり、フレーム１２２、１２４の角部とフレーム１２４、１２６の角部には円形状の位置決め孔１２８がそれぞれ形成されている。この位置決め孔１２８は、キャリア本体２２の位置決めピン４６にそれぞれ対応している。また、フレーム１２０、１２２の角部と、フレーム１２０、１２６の角部には、それぞれ位置決めピン１３０がそれぞれ設けられている。かかる位置決めピン１３０は、キャリア本体２２の位置決めピン４６に対応している。第２の枠体１０６もたとえば合成樹脂の一体成形により形成することができる。
【００２８】
第１の枠体１０４と第２の枠体１０６は、旋回自在に連結されている。実施の形態では、第１の枠体１０４のフレーム１１２と第２の枠体１０６のフレーム１２４は一対の蝶番１３２によって連結されており、したがって第２の枠体１０６は退避位置（図８に示す位置であって、第２の枠体１０６が第１の枠体１０４から大きく後退する位置）と移載位置（図１０に示す位置であって、第１の枠体１０４と第２の枠体１０６が重なる位置）の間を旋回自在である。
【００２９】
第２の枠体１０６には、複数個の案内体１３４が所定の間隔を置いて設けられている。各案内体１３４はプレート状であり、フレーム１２２、１２６の大きさに対応した連結部１３６、１３８と、中央部にて第１の枠体１０４に向けて延びる第１の案内部１４０と、中央部にて第１の案内部１４０と反対方向に延びる第２の案内部１４２を備えている。第１の案内部１４０および第２の案内部１４２は実質上同一の構造であり、その先端部の角部が切り取られて先細になっている。したがって後述如くして第２の枠体１０６を移載位置に向けて旋回させても第１の案内部１４０の先端部がキャリア本体２２の一部に当接することはない。案内体１３４の形状は三角状、半楕円状の任意の形状でよい。案内体１３４の片方の連結部１３６はフレーム１２０に固定され、他方の連結部１３８はフレーム１３８に固定されており、かかる案内体１３４は図１のキャリアの受部材４８、５０の間隔に対応して配置される。この案内体１３４は、防錆性の優れた材料、たとえば塩化ビニル、アルミニウムまたはその合金から形成することができる。なお、案内体１３４を第２の枠体１０６と一体成形により形成することもできる。
【００３０】
上述した構成の補助具は、たとえば、次のとおりにして使用することができる。図８〜図１３を参照して、ウェハ２００が収納されたキャリア２０２から空のキャリア２０４（図１２）にウェハ２００を移載する際には、まず、図８に示すとおり、補助具１０２を立てた状態において、補助具１０２の第１の枠体１０４にキャリア２０２を着脱自在に装着する。この装着の際には、図９に示すとおり、キャリア２０２に設けられた孔４４と補助具１０２第１の枠体１０４に設けられたピン１１８を係合させると共に、キャリア２０２のピン４６と第１の枠体１０４の孔１１６を係合させればよい。かくすると、キャリア２０２と補助具１０２とが所定の位置関係に保持され、キャリア２０２の開口部に補助具１０２が位置付けられる。かかる装着は、図８に示すとおり、第２の枠体１０６を退避位置に保持して行うのが望ましい。すなわち、第２の枠体１０６を退避位置に保持した状態では、第１の枠体１０４をキャリア２０２に装着しても補助具１０２の案内体１３４がキャリア２０２内に侵入することはなく、したがって、この装着の際に、案内体１３４がキャリア２０２内のウェハ２００に接触乃至当接することがなく、ウェハ２００の破損が確実に防止される。
【００３１】
次に、図１０に示すとおり、キャリア２０２に補助具１０２を装着した状態において、第２の枠体１０６を旋回させて移載位置に位置付ける。第２の枠体１０６を移載位置に位置付けるときには、キャリア２０２と補助具１０２とは所定の位置関係に保持されているので、補助具１０２の案内体１３４がキャリア２０２の受部材４８、５０に保持されたウェハ２００に接触乃至当接することはない。第２の枠体１０６を移載位置に位置付けると、図１１に示すとおり、案内体１３４は一対のウェハ２００の間に（詳細には、キャリア本体２２の受部材４８、５０の先端を結ぶ線上に）位置し、その第１の案内部１４０は、キャリア２０２の受部材４８、５０の第３の受部４８ｃ、５０ｃの中間部近傍まで位置するようになる。
【００３２】
次いで、図１２に示すとおり、補助具１０２の第２の枠体１０６に空のキャリア２０４を着脱自在に装着する。空のキャリア２０４も図１に示すものと実質上同一の構造のものが好ましい。このキャリア２０４の装着も、容易に理解される如く、ウェハ２００を収納したキャリア２０２と同様に、キャリア２０４に設けられた孔４４と補助具１０２第２の枠体１０６に設けられたピン１３０を係合させると共に、キャリア２０４のピン４６と第２の枠体１０６の孔１２８を係合させればよい。かくすると、キャリア２０４と補助具１０２とが所定の位置関係に保持され、キャリア２０４の開口部に補助具１０２が位置付けられる。かく装着すると、補助具１０２の案内体１３４がキャリア２０４における対応する受部材４８、５０の間に（詳細には、キャリア本体２２の受部材４８、５０の先端を結ぶ線上に）位置し、その第２の案内部１４２は、キャリア２０４の受部材４８、５０の第３の受部４８ｃ、５０ｃの中間部近傍まで位置するようになる。
【００３３】
しかる後、図１３に示すように、ウェハ２００が収納されたキャリア２０２を下になるように静かに移動させ、その後キャリア２０２が上となるように、キャリア２０２、２０４および補助具１０２を一体的に矢印２０６で示す方向にゆっくりと回転させる。かくすると、回転に伴って、自重によりウェハ２００がキャリア２０２からキャリア２０４に移動し、キャリア２０４に一度に移し換えられる。ウェハ２００の移動の際には、補助具１０２の案内体１３４の第１案内部１４０がキャリア２０２内に延び、その第２の案内部１４２が他方のキャリア２０４内に延びているので、ウェハ２００は案内体１３４に案内されながら補助具１０２の移動空間内を移動して他方のキャリア２０４に移載される。図示の形態では、第１の案内部１４０及び第２の案内部１４２がキャリア本体２２の第３の受部４８ｃ、５０ｃの中間部近傍まで延びているので、適用可能な最小径のウェハでも片方のキャリア２０２から他方のキャリアに確実に移載することができる。
【００３４】
上述した如くしてウェハ２００を移し換えた後は、キャリア２０４から補助具１０２およびキャリア２０２を離脱させればよい。キャリア２０４から補助具１０２を離脱させるには、キャリア２０２に対して補助具１０２を静かに離隔方向に移動させてピン４６、１１８と孔４４、１１６の係合を解除すればよい。また、補助具１０２からキャリア２０２を離脱させるには、補助具１０２に対してキャリア２０２を離隔方向に移動させてピン４６、１３０と孔４４、１２８の係合を解除すればよい。
【００３５】
なお、補助具１０２の案内体１３４は、ウェハ２００を確実に案内することができるのであれば棒形状等のものでもよい。また、補助具１０２に設けられる孔１１６、１２８およびピン１１８、１３０はキャリア本体２２に設けられる位置決め構造に対応して適宜の形状の凹部と突起の組み合わせとすることもできる。さらに、上述した構造のキャリアおよび補助具は、半導体ウェハに限定されず、ＣＤ−ＲＯＭ用ディスク、ＭＤ用ディスク等の平板状部材を収納するものとしても使用することができる。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、移載補助具の枠構造体に設けられた案内体が平板状部材を片方の収納装置から他方の収納装置に向けて案内するので、平板状部材の移載を比較的容易に且つ確実に行うことができる。
【００４０】
本発明によれば、第２の枠体が移載位置と退避位置との間を旋回自在であるので、片方の収納装置に収納された平板状部材を損傷することなく、第２の枠体の案内体を収納装置に収納された平板状部材間に容易に位置付けることができる。
【００４１】
本発明によれば、平板状部材が収納された収納装置および空の収納装置が枠構造体に容易に装着でき、平板状部材の移載作業が著しく容易となる。
また本発明によれば、受部材の第１の受部は比較的大きい平板状部材の案内支持を許容し、受部材の第２の受部は、比較的小さい平板状部材の案内支持を許容するので、サイズの異なる平板状部材でも確実に案内支持できる。また、比較的大きい平板状部材を収納したときでも受部材によって覆われる平板状部材の領域が少なく、エッチング処理等の際の処理のムラをも少なくすることができる。
また本発明によれば、第３の受部は中程度の平板状部材の案内支持を許容するようになり、受部材によって覆われる領域を少なく保ちながら中程度の平板状部材も確実に支持することができる。
また本発明によれば、収納装置本体に平板状部材を収納したとき、収納可能な最小の平板状部材においてはその重心が第２の受部の領域に位置し、収納可能な最大の平板状部材においてはその重心が第３の受部の領域に位置するので、受部材から外れることなくこれら種々のサイズの平板状部材を支持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態である平板状部材の収納装置としてのキャリアを示す斜視図である。
【図２】図１のキャリアの受部材を一部断面で示す断面図である。
【図３】図２におけるＯ−Ｏ線による断面図である。
【図４】図２におけるＰ−Ｐ線による断面図である。
【図５】本発明の実施の一形態である移載補助具を示す斜視図である。
【図６】図５の補助具の第１の枠体を示す正面図である。
【図７】図５の補助具の第２の枠体を示す正面図である。
【図８】ウェハが収納されたキャリアに補助具を装着した状態を示す斜視図である。
【図９】キャリアと補助具の第１の枠体とに設けられた位置決め機構を説明するために一部切り欠いて示す斜視図である。
【図１０】キャリアに補助具を装着した状態において第２の枠体を移載位置に位置付けたところを示す斜視図である。
【図１１】第２の枠体を移載位置に位置付けたときのウェハと補助具の案内体との位置関係を説明するための断面図である。
【図１２】補助具に双方のキャリアを装着した状態を示す斜視図である。
【図１３】ウェハが収納されたキャリアから空のキャリアにウェハを移動させるときの作業を説明するための斜視図である。
【図１４】従来の収納装置を、ウェハが収納された状態で示す斜視図である。
【図１５】図１４の収納装置における受部材を示す断面図である。
【図１６】従来の収納装置の受部材とサイズの異なるウェハとの関係を説明するための断面図である。
【符号の説明】
２２  キャリア本体
３４  開口
４８、５０  受部材
４８ａ、５０ａ  第１の受部
４８ｂ、５０ｂ  第２の受部
４８ｃ、５０ｃ  第３の受部
６２  溝
６４Ａ  最大径のウェハ
６４Ｂ  最小径のウェハ
６６  第２の受部領域
６８  第３の受部領域
１０２  移載補助具
１０３  枠構造体
１０４  第１の枠体
１０６  第２の枠体
１３４  案内体
１４０  第１の案内部
１４２  第２の案内部
２００  ウェハ
２０２、２０４  キャリア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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