(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器状をなし下部にドレン流出口を有するドレン集合・排出部を備え、
そのドレン集合・排出部の前記ドレン流出口にドレン回収口が対向するようにドレン回収位置に配置されたドレン回収容器に、ドレン集合・排出部に集められてドレン流出口から流下するドレンを回収するようにしたドレン回収装置において、
前記ドレン回収容器のドレン回収口を閉塞するための蓋を載置する載置部を有し、前記ドレン集合・排出部のドレン流出口から滴下する液滴を受けるための液滴受け部を設けるとともに、
４本のリンク杆を備え、前記液滴受け部を、前記ドレン回収位置へのドレン回収容器の挿入及びドレン回収位置からのドレン回収容器の取出しの各操作に伴うドレン回収容器の移動動作に連動して前記ドレン集合・排出部のドレン流出口の直下位置とその位置から外れた待避位置との間で移動可能にかつ常に水平姿勢に支持する平行リンク機構を設けたことを特徴とするドレン回収装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、スピンコータ、スピンデベロッパ等の半導体製造装置などにおいて、塗布液、現像液等のドレンを回収容器に回収するためのドレン回収装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置、例えばスピンコータ（回転式塗布装置）には、基板の表面に供給され回収カップ内において基板表面上から周囲に飛散した塗布液を集めスピンコータ本体の下部の容器収納ボックス内に配置された樹脂製タンク等のドレン回収容器に回収するためのドレン回収装置が設けられている。このドレン回収装置は、スピンコータの回収カップ底部に接続されたドレン配管の先端部が差し込まれた容器状をなすドレン集合・排出部を備え、ドレン集合・排出部の下部にドレン流出口が形設されている。
【０００３】
ドレン回収装置によりドレンを回収しようとするときは、空のドレン回収容器のドレン回収口に装着されている蓋を取り外し、そのドレン回収容器をスピンコータ本体の下部の容器収納ボックス内へ挿入して、ドレン回収容器を、そのドレン回収口がドレン集合・排出部のドレン流出口に対向するように位置決めして固定する。そして、ドレン回収容器のドレン回収口に前もって装着しておいた漏斗を通し、或いは、ドレン集合・排出部のドレン流出口とドレン回収容器のドレン回収口とを筒状連接具によって連接しその筒状連接具を通すなどして、ドレン集合・排出部に集められたドレンを周囲にこぼすことなくドレン回収容器内に回収するようにする。また、ドレン回収容器がドレンで満杯になると、そのドレン回収容器を容器収納ボックスから取り出し、空のドレン回収容器と交換するようにする。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来は、ドレン回収容器を交換する際に、ドレン回収装置のドレン集合・排出部のドレン流出口からドレンの液滴が滴下して、容器収納ボックスの内部を汚す、といった問題点がある。
【０００５】
そこで、この発明は、ドレン回収容器の交換時に、ドレン流出口から滴下するドレンの液滴によって容器収納部内が汚染されるのを防止することができるドレン回収装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、容器状をなし下部にドレン流出口を有するドレン集合・排出部を備えたドレン回収装置において、前記ドレン回収容器のドレン回収口を閉塞するための蓋を載置する載置部を有し、前記ドレン集合・排出部のドレン流出口から滴下する液滴を受けるための液滴受け部を設けるとともに、４本のリンク杆を備え、前記液滴受け部を、前記ドレン回収位置へのドレン回収容器の挿入及びドレン回収位置からのドレン回収容器の取出しの各操作に伴うドレン回収容器の移動動作に連動して前記ドレン集合・排出部のドレン流出口の直下位置とその位置から外れた待避位置との間で移動可能にかつ常に水平姿勢に支持する支持・移動機構を設けたことを特徴とする。
【０００９】
請求項１に係る発明のドレン回収装置では、ドレン回収容器がドレンで満杯になってそれを空のドレン回収容器と交換する際に、ドレン回収口がドレン集合・排出部のドレン流出口に対向しているドレン回収容器をドレン回収位置から取り出そうとするときに、ドレン回収容器の移動に伴ってドレン回収口がドレン集合・排出部のドレン流出口の位置から外れるが、ドレン回収容器の移動動作に連動して、平行リンク機構に支持された液滴受け部がドレン集合・排出部のドレン流出口の直下位置へ移動してくる。このため、ドレン集合・排出部のドレン流出口から滴下したドレンの液滴は、液滴受け部上に落下することとなり、容器収納部内を汚すことがない。一方、空のドレン回収容器をドレン回収位置へ挿入するときは、ドレン集合・排出部のドレン流出口の直下位置にあった液滴受け部は、ドレン回収容器の移動動作に連動して待避位置へ移動し、ドレン回収容器のドレン回収口がドレン集合・排出部のドレン流出口に対向することとなる。
【００１０】
また、液滴受け部は、蓋を載置する載置部を有しているので、ドレン回収容器の交換時に、空のドレン回収容器のドレン回収口から取り外した蓋を液滴受け部の載置部に載置しておくようにすれば、そのドレン回収容器をドレン回収位置に配置してドレンの回収を行なっている間、蓋が液滴受け部に保管されて紛失されることがない。また、蓋を逆さにした状態で液滴受け部の載置部に載置しておくようにすれば、ドレン回収容器の交換の際に、ドレン集合・排出部のドレン流出口から滴下したドレンの液滴が蓋内に落ちることとなり、液滴受け部を汚すことがない。そして、液滴受け部は、平行リンク機構によって常に水平姿勢に支持された状態となるので、液滴受け部上にドレン回収容器の蓋を置いたような場合に、液滴受け部が動いても、液滴受け部上から蓋が脱落するようなことがない。また、ドレンが溜まった状態の液滴受け部にドレンの回収容器などが触れて、液滴受け部が動いたようなときでも、液滴受け部からドレンがこぼれ落ちるようなことがない。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の最良の実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１は、この発明の１実施例を示し、（Ａ）は、容器収納ボックス内のドレン回収位置にドレン回収容器を配置してドレン回収装置によりドレンの回収を行なっているときの状態を示す概略正面図であり、（Ｂ）は、ドレン回収位置からドレン回収容器を取り出しているときの状態を示す概略正面図である。
【００１４】
ドレン回収装置１０は、半導体製造装置、例えばスピンコータの本体の下部に設けられた容器収納ボックス１２の内部に配設されており、図示しない回収カップの底部等に接続されたドレン配管１４、１６の各下端部が差し入れられた容器状をなすドレン集合・排出部１８を備えており、ドレン集合・排出部１８の下部には、筒状をなす排液筒部２０が一体に形設されていて、排液筒部２０の下端がドレン流出口２２となっている。ドレン回収装置１０の下方には、ドレン回収容器２４が配置され、ドレン回収位置にドレン回収容器２４が位置決め固定されたときに、ドレン回収容器２４のドレン回収口２６が排液筒部２０のドレン流出口２２に対向する。また、図示例のものでは、ドレン回収位置に配置されたドレン回収容器２４のドレン回収口２６と排液筒部２０のドレン流出口２２とを接続するための筒状連接具３０が、排液筒部２０にその軸線方向に沿って移動自在に係合して設けられている。尚、筒状連接具３０を設ける代わりに、従来一般的に行なわれているように、ドレン回収容器２４のドレン回収口２６に漏斗を装着するようにしてもよいし、また、排液筒部を直接にドレン回収容器のドレン回収口に差し入れるようにしてもよい。
【００１５】
以上の構成は、従来の装置と何ら変わるところは無いが、このドレン回収装置１０には、液滴受け部３２が設けられている。液滴受け部３２は、図２に斜視図を示すように、上板部３４及び両側板部３６、３６を有しており、両側板部３６、３６に、互いに平行な前後一対のローラ３８、３８がそれぞれ回動自在に取着されている。また、上板部３４の上面側には、前端部及び後端部に囲い板４０がそれぞれ固着されており、上板部３４の上面がドレン回収容器２４の蓋２８の載置部となっている。そして、液滴受け部３２の両側板部３６、３６には、各上端部が装置固定部にそれぞれ回動自在に軸着された互いに平行な４本のリンク杆４２の各下端部がそれぞれ回動自在に軸着され、それら４本のリンク杆４２からなる平行リンク機構によって液滴受け部３２は、常に水平姿勢に保たれるように揺動可能に支持されている。
【００１６】
上記した構成のドレン回収装置１０では、図１の（Ａ）に示したように、容器収納ボックス１２内のドレン回収位置にドレン回収容器２４が配置されかつ排液筒部２０のドレン流出口２２とドレン回収容器２４のドレン回収口２６とが筒状連接具３０を介在させて連通した状態において、回収カップからドレン配管１４、１６を通ってドレン集合・排出部１８の容器内に集められたドレンがドレン流出口２２から流下し、そのドレンがドレン回収口２６を通ってドレン回収容器２４内に回収される。このとき、液滴受け部３２は、ドレン回収容器２４の上面部に乗り上げて待避位置に保持されている。また、ドレン回収容器２４のドレン回収口２６から取り外された蓋２８が、液滴受け部３２の上板部３４上に逆さにされて載置されている。
【００１７】
ドレン回収容器２４内にドレンが回収されていって、ドレン回収容器２４がドレンで満杯になると、それを空のドレン回収容器と交換する。これには、筒状連接具３０を上方へ移動させてから、ドレン回収容器を、図１の（Ａ）に矢印で示す方向へ引っ張ってドレン回収位置から取り出す。このとき、ドレン回収容器２４の移動に伴い、液滴受け部３２は、一対のローラ３８、３８がドレン回収容器２４の上面部に転接しながら図１の（Ａ）に示す待避位置に留まり、その後に、ドレン回収容器２４の後端側（図１における左端側）から離脱して右方へ移動し、最終的に、図１の（Ｂ）に示すように、ドレン集合・排出部１８の排液筒部２０のドレン流出口２２の直下位置へ移動してきて停止する。このように、液滴受け部３２が排液筒部２０のドレン流出口２２の直下位置に配置されるので、ドレン流出口２２からドレンの液滴が滴下したとしても、その液滴は液滴受け部３２上の蓋２８内に落下することとなり、容器収納ボックス１２の内部を汚すようなことがない。
【００１８】
次に、空のドレン回収容器を容器収納ボックス１２内のドレン回収位置へ挿入するときは、液滴受け部３２上から蓋２２を取り去り、その蓋２２内に溜まったドレンをドレン回収容器２４内へ流し込んだ後、その蓋２２をドレン回収容器２４のドレン回収口２６に装着し、次いで、空のドレン回収容器の蓋を取り外して、その蓋を液滴受け部３２の上板部３４上に逆さにした状態で載置する。そして、空のドレン回収容器を容器収納ボックス１２内のドレン回収位置へ押し込むようにする。このとき、空のドレン回収容器の移動に伴い、液滴受け部３２は、ドレン回収容器に押されて排液筒部２０のドレン流出口２２の直下位置から左方へ移動し、ドレン回収容器の上面部へ乗り上げて待避位置へと移動する。そして、ドレン回収容器が、そのドレン回収口が排液筒部２０のドレン流出口２２に対向するドレン回収位置まで移動する間、液滴受け部３２のローラ３８はドレン回収容器の上面部に転接する。ドレン回収容器がドレン回収位置に固定されると、筒状連接具３０を下方へ移動させ、排液筒部２０のドレン流出口２２とドレン回収容器のドレン回収口とを筒状連接具３０によって連通させる。
【００２０】
【発明の効果】
請求項１に係る発明のドレン回収装置を使用すると、ドレン回収容器の交換時に、ドレン流出口から滴下したドレンの液滴によって容器収容部内が汚染されることが防止される。また、ドレン回収容器から取り外した蓋を液滴受け部上に載置しておくことにより、蓋の紛失が防止され、蓋を逆さにした状態で液滴受け部上に載置しておくことにより、液滴受け部自体はドレンの液滴によって汚されることがないので、その清掃作業が不要になる。さらに、液滴受け部上にドレン回収容器の蓋を置いたような場合に、液滴受け部の移動によって液滴受け部上から蓋が脱落する心配が無く、また、ドレンが溜まった状態の液滴受け部が動くようなことがあっても、液滴受け部からドレンがこぼれ落ちて容器収納部内を汚す、といった心配が無い。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の１実施例を示し、（Ａ）は、容器収納ボックス内のドレン回収装置にドレン回収容器を配置してドレン回収装置によりドレンの回収を行なっているときの状態を示す概略正面図であり、（Ｂ）は、ドレン回収位置からドレン回収容器を取り出しているときの状態を示す概略正面図である。
【図２】図１に示したドレン回収装置の液滴受け部及びその支持・移動機構の構成の１例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０  ドレン回収装置
１２  容器収納ボックス
１４、１６  ドレン配管
１８  ドレン集合・排出部
２０  排液筒部
２２  ドレン流出口
２４  ドレン回収容器
２６  ドレン回収口
２８  ドレン回収容器の蓋
３０  筒状連接具
３２  液滴受け部
４２  リンク杆
【図１】
0003609168.tif 000002
【図２】
0003609168.tif 000003