(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部を真空に排気して使用する容器に内蔵させるガス吸着素子であって、
金属薄板上にガス吸着材料が塗布された平板を用い、
前記平板の中心部から周辺に向かって周辺部を残して放射状に切開して形成された各切片を、周辺方向に少なくとも一重以上折り曲げて形成されたガス吸着素子。
【請求項２】
前記平板は方形であり、その四つの角を折り曲げて八角形にしたものを用いることを特徴とする請求項１に記載のガス吸着素子。
【請求項３】
前記放射状に切開して形成された各切片は、少なくとも十文字以上に切開され、少なくとも４つ以上の切片を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のガス吸着素子。
【請求項４】
周囲と電気的に絶縁され、かつ気密性を確保した１つ以上の電極を設けたステムと、
前記ステムの周縁部を除く上面に固定され、かつ、電気配線によって前記電極に接続された赤外線センサチップと、
前記ステムの周縁部と合致する寸法の周縁部を有し、かつ、周縁部以外の部分に窓部を開口し、赤外線透過性を有する窓材を気密に封着することにより前記窓部を密閉したキャップと、を有し、
前記ステムおよび前記キャップが作る空間内に前記赤外線センサチップが収納されるように前記周縁部分同士を合わせ、真空中で溶接することにより気密封止された容器内に、請求項１乃至請求項３の何れかに記載のガス吸着素子を活性化して、前記赤外線センサチップの検出部および前記電気配線に接触しないように内蔵したことを特徴とする赤外線センサ。
【請求項５】
前記内蔵されるガス吸着素子は、ステム方向に３個所以上の折り曲げ部分を設け、かつ前記折り曲げ部分の高さを前記電気配線の高さより大とすると共に、前記３個所以上の折り曲げ部分の先端を通る円の径をキャップ内径より大として成型した後に前記キャップ内に挿入したものであることを特徴とする請求項４に記載の赤外線センサ。
【請求項６】
前記ステム上の前記赤外線センサチップの受光方向の少なくとも光入射範囲は開口し、前記電気配線に接触することなく、その上方を覆って保護するカバーを設け、該カバーと前記キャップとの間隙に前記ガス吸着素子を保持したことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の赤外線センサ。
【請求項７】
前記キャップの内部に突起部を設け、該突起部とキャップ壁面との間隙に前記ガス吸着素子を保持したことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の赤外線センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はセンサ等を真空環境による断熱雰囲気に実装する際に用いるガス吸着素子（いわゆるゲッター）と、それを用いた赤外線センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
内部を真空に保ち、電子機器等を収納する実装技術における従来例としては、特開平１０−１４８５７８号公報に記載されたものがある。この技術においては、センサを固定して接続端子を設けた下部のステムと、受光窓を備えたキャップとを合わせて周縁を気密封止して容器を形成する。そして内部の真空を維持するためには「ヒータ内蔵型」と呼ばれるゲッターを電力供給用のピン上に固定し、真空排気時あるいは真空封止後に通電加熱して活性化することにより、真空度を維持している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
真空封止する部材からは必ずガス放出があるため、前記の様にゲッターを挿入して真空度維持を図るが、従来は少量のゲッターで吸収出来るように、超高真空領域まで到達する真空排気を行った後に容器を封止するのが通例である。前記の従来例でも小さなゲッターを挿入している。しかし、超高真空領域まで排気する作業は数日にわたる長い時間がかかることが広く知られているところであり、真空実装の赤外線センサが非常に高価であることの一因となっている。そのためコストダウンを目指した量産には、上記の非常に長い排気を取りやめて、排気時間をガス量が多い初期排気の時間に止める代わりに、比較的安価なゲッターを多量に挿入する方が生産タクトが短くなり好都合である。しかし、従来の様に高価なヒーター内蔵型ゲッターを用いる場合には、ゲッター量を増加させることは大幅なコストアップにつながる。
また、熱に弱い窓材の反射防止コーティングやセンサチップに対して、一般に入手できるヒーター内蔵型ゲッターでは高温で５〜１０分の加熱をせねばならず、真空中は断熱環境であるとはいえ活性化時の輻射熱による熱障害を遮熱板を用いて避けることも必要で、遮熱板の設置面積を確保するために容器内部のレイアウトが難しくなり、かつ、ゲッター量を増加させることは困難であった。
【０００４】
本発明は、上記のごとき従来技術の問題を解決するためになされたものであり、一つの目的はゲッター量を大幅に増加させて排気時間の短縮を可能にしたガス吸着素子を提供することであり、他の目的はそのガス吸着素子を用いた赤外線センサを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明においては特許請求の範囲に記載するように構成している。まず、請求項１乃至請求項３はガス吸着素子に関する発明であり、請求項１に記載の発明においては、金属薄板上にガス吸着材料が塗布された平板を用い、前記平板の中心部から周辺に向かって周辺部を残して放射状に切開して形成された各切片を、周辺方向に少なくとも一重以上折り曲げて形成されたガス吸着素子とするものである。
【０００６】
また、請求項２に記載の発明においては、前記平板は方形であり、その四つの角を折り曲げて八角形にしたものを用いるように構成している。
【０００７】
また、請求項３に記載の発明においては、前記放射状に切開して形成された各切片は、少なくとも十文字以上に切開され、すくなくと４つ以上の切片を有するように構成している。
【０００８】
また、請求項４乃至請求項７は、前記のガス吸着素子を用いた赤外線センサに関する発明であり、請求項７に記載の発明は、周囲と電気的に絶縁され、かつ気密性を確保した１つ以上の電極を設けたステムと、前記ステムの周縁部を除く上面に固定され、かつ、電気配線によって前記電極に接続された赤外線センサチップと、前記ステムの周縁部と合致する寸法の周縁部を有し、かつ、周縁部以外の部分に窓部を開口し、赤外線透過性を有する窓材を気密に封着することにより前記窓部を密閉したキャップと、を有し、前記ステムおよび前記キャップが作る空間内に前記赤外線センサチップが収納されるように前記周縁部分同士を合わせ、真空中で溶接することにより気密封止された容器内に、請求項１乃至請求項３の何れかに記載のガス吸着素子を活性化して、前記赤外線センサチップの検出部および前記電気配線に接触しないように内蔵した赤外線センサである。
【０００９】
また、請求項５に記載の発明は、前記内蔵されるガス吸着素子は、ステム方向に３個所以上の折り曲げ部分を設け、かつ前記折り曲げ部分の高さを前記電気配線の高さより大とすると共に、前記３個所以上の折り曲げ部分の先端を通る円の径をキャップ内径より大として成型した後に前記キャップ内に挿入したものである。
【００１０】
また、請求項６に記載の発明は、前記ステム上の前記赤外線センサチップの受光方向の少なくとも光入射範囲は開口し、前記電気配線に接触することなく、その上方を覆って保護するカバーを設け、該カバーと前記キャップとの間隙に前記ガス吸着素子を保持したものである。
【００１１】
また、請求項７に記載の発明は、前記キャップの内部に突起部を設け、該突起部とキャップ壁面との間隙に前記ガス吸着素子を保持したものである。
【００１２】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明においては、ゲッター材の中心部に存在した部分を、切開して形成した複数の切片とし、それを周辺方向に折り曲げることによって開口部（センサチップが位置する場所に相当）を形成しているので、開口部となった部分のゲッター材がまったく無駄にならない。したがって開口部を大きくしてもゲッター材の利用効率が低下することなく、狭い個所に大量のゲッター材を内蔵することが可能になる。そのため従来のように長時間の排気を行うことなく、短時間の排気で主だったガスを排気して封止すれば、後は封入した多量のゲッターに排気を行わせることが出来るので、人件費および設備償却にかかわる組立てのタクトを大きく短縮することが出来、非常に大きなコスト削減が可能になる。  また、切開と折り曲げによって形成出来るので、端材を出すことなく任意の挿入形状が容易に実現でき、かつ、従来に比較して多量のゲッターを挿入できるにもかかわらず所要ゲッター材料の重量当たりのコストを抑制することができる。
【００１３】
また、請求項２においては、方形の平板の四つの角を折り曲げて八角形にしているので、原材料から端材を出さないようにして切り出した方形の平板から、円形のセンサケース等の形状に適合した八角形を、端材を出さないで実現することが出来る。そのためゲッター材の利用効率が大きくなり、ゲッター材料の重量当たりのコストを抑制できる。
【００１４】
また、請求項３においては、少なくとも十文字以上に切開して、少なくとも４つ以上の切片を有するので、開口部を広くすることが出来る。なお、後記図１（Ａ）に記載のように、より多く放射状に切開すれば開口部の形状を円形に近づけることが出来る。
【００１５】
また、請求項４においては、前記のようにして形成したガス吸着素子を活性化してからキャップ内に挿入するように構成しているので、組立て時にセンサチップや窓材の加熱を抑制することが出来る。また、組立て時の真空排気時間を従来に比較して極めて短くすることが出来るので、組立てコストを大幅に削減することができると共に、多量のゲッターを挿入できるのでセンサの信頼性を大きく向上させることができる。
【００１６】
また、請求項５においては、内蔵されるガス吸着素子として、ステム方向に３個所以上の折り曲げ部分（例えば後記図２の足部８に相当）を設け、折り曲げ部分の高さを電気配線の高さより大とすると共に、３個所以上の折り曲げ部分の先端を通る円の径をキャップ内径より大として成型しているので、ガス吸着素子がケースの中で内壁に衝突することが無く、パーティクルの発生を防止出来るのでセンサがカメラ等の多画素品であった場合の画素落ちが防止できる。
【００１７】
また、請求項６においては、保護用のカバーを設け、該カバーとキャップとの間隙にガス吸着素子を保持するので、ガス吸着素子の活性化時の歪みによってセンサチップや配線へ接触したり、ステム取り扱い中の手指等の接触による破壊を防止できるため、歩留まり向上や取り扱いに要するコストを軽減できる。
【００１８】
また、請求項７においては、キャップの内部に突起部を設け、該突起部とキャップ壁面との間隙に前記ガス吸着素子を保持するので、組立て時にガス吸着素子とケースとの位置合わせが自己整合的に行われるため組立ての簡略化を実現することが出来る。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明のガス吸着素子の実施例の平面図である。
まず、図１（Ａ）に示したガス吸着素子は八角形（４角形の四つの角を折り曲げた八角形でよい）の平板１を、その中心から放射状に１２等分に切開（破線２で示す）し、その１２個の切片３を周辺方向（外側）に折り曲げた形状を有している。そして切片３を折り曲げることによって空白となった部分が開口部４（中央の白抜きの部分）となり、この部分に後述するセンサチップ等が設置される。平板１はニクロムやニッケルの薄膜の表面に非蒸発型ゲッターを薄く塗布し、多孔質に焼結したもので、切断・折り曲げして成形することができ、使用時には真空中にて活性化の熱処理を施すことによりゲッターとして作用する。
なお、図１（Ａ）においては、切片３を外側に１回折り曲げた形状を示しているが、実際には、後記図２で詳述するように、紙面裏側方向にさらに折り曲げ、その部分が足部（図２の８に相当）となる。
【００２０】
また、図１（Ｂ）および（Ｃ）に示したガス吸着素子は、（Ｂ）に示した正方形の平板１を、その四つの角を裏面側に折り曲げて八角形とし、その中心から十文字に切開し、その４個の切片３を周辺方向（外側）に折り曲げ、さらに裏面側に折り曲げた形状を有している（Ｃ）。
【００２１】
上記のように、本発明のガス吸着素子においては、平板の中心部から周辺に向かって周辺部を残して放射状に切開して形成された各切片を、周辺方向に少なくとも一重以上折り曲げて形成している。また、放射状に切開する際は、図１（Ｂ）および（Ｃ）に示すように、少なくとも十文字以上に切開し、少なくとも４つ以上の切片を有するように構成すれば、開口部を広くすることが出来る。また、図１（Ａ）に示すように、より多く（例えば１２等分）に切開すれば、開口部の形状を円形に近くすることが出来る。
【００２２】
図２は、前記図１（Ｂ）、（Ｃ）の形状の形成方法を示す図である。以下、図２に基づいて詳細に説明する。
まず、図２（Ａ）の様なシート状のゲッター材９から、図２（Ｂ）に示すように、四角形の平板５を切り出す。
次に、図２（Ｃ）に示すように、四つの角６を折り曲げて八角形を作る。そして中央部を縦横十文字に切り開き、４つの切片７を作る。
次に、図２（Ｄ）に示すように、４５度傾いた四角形が開口（開口部４）するように４つの切片７を外側に折り曲げる。開口部４の大きさは八角形を作った時に四隅を折り曲げた部分６が内側に飛び出さない様にしておく方が良い。
次に、図２（Ｅ）に示すように、折り曲げた切片７の八角形の辺から飛び出した部分をさらに裏面側に折り曲げる。
図２（Ｆ）は、図２（Ｅ）のＡ−Ａ’断面図である。図２（Ｅ）で八角形の辺から飛び出した部分をさらに折り曲げた部分が足部８となり、ゲッター材のみで形成された立体形状のガス吸着素子となる。この足部８がセンサや周辺部の配線部を避けて保護する役割を果たす（詳細後述）。
【００２３】
上記のように、方形の平板の四つの角を折り曲げて八角形にしているので、原材料のゲッター材９から端材を出さないようにして切り出した四角形の平板から、円形のセンサケース等の形状に適合した八角形を、端材を出さないで実現することが出来る。そのためゲッター材の利用効率が大きくなり、ゲッター材料の重量当たりのコストを抑制できる。
【００２４】
次に、図２で説明した構成にした場合と従来の方法におけるゲッター材の利用効率について説明する。
図３は、単純なドーナツ状のゲッターを形成する場合を示す図である。
図３において、四角形（一辺の長さがＡ）のゲッター材の板から取れる最大径のドーナツ形を白抜きで示す。このドーナツ状のゲッターの開口部がセンサ部を設置する場所に相当する。開口部が円形の場合はＢがセンサ設置部の直径となり、開口部が四角の場合には一辺の長さがＣとなる。
【００２５】
図３に示すように、従来は、一辺がＡの四角形のゲッター材の板から外形がドーナツ状のゲッターを取った場合、図３の斜線部分は除去されて廃棄物となってしまう。上記の場合におけるゲッター材の利用効率を開口部が円の場合（直径Ｂ）と四角の場合（一辺の長さがＣ）について求める。
Ｂ２＝２×Ｃ２の関係があるので、円形開口の場合の効率η１は、
η１＝１−〔｛Ａ２−π×(Ａ／２)２＋π×Ｂ２／２｝／Ａ２〕
となり、四角形開口の場合の効率η２は、
η２＝１−〔｛Ａ２−π×(Ａ／２)２＋Ｂ２｝／Ａ２〕
となる。
【００２６】
図４は、上記の結果を示す図であり、横軸はゲッター材の切り出し寸法Ａに対する開口径（長）の比（開口比）であり、縦軸は利用効率である。
小さなケースに大きなセンサを収納しようとする場合は開口比が大きい場合であるが、開口比が大きいほどゲッター材の無駄が増加するという悪循環となる。これに対して、本実施例では、四つの角の部分および開口部の部分を折り曲げて使用し、折り曲げた部分がはみ出す寸法に設計する場合には、はみ出した部分はさらに折り込めば良いので、ゲッター材の切り出し寸法が一辺の長さＡであれば、Ａ２の面積を全てゲッター材として使用することが出来る。したがって開口比に拘りなく、利用効率は１００％である。また薄板を曲げるのは容易である。したがって、本発明においてはゲッター材を全く無駄にすることなく、かつ、センサ寸法に比較して小さなケースに多量のゲッターを収納できる。
【００２７】
上記のように、本発明においては、ゲッター材の中心部に存在した部分を、切開して形成した複数の切片とし、それを周辺方向に折り曲げることによって開口部（センサチップが位置する場所に相当）を形成しているので、開口部となった部分のゲッター材がまったく無駄にならない。したがって開口部を大きくしてもゲッター材の利用効率が低下することなく、狭い個所に大量のゲッター材を内蔵することが可能になる。そのため従来のように長時間の排気を行うことなく、短時間の排気で主だったガスを排気して封止すれば、後は封入した多量のゲッターに排気を行わせることが出来るので、人件費および設備償却にかかわる組立てのタクトを大きく短縮することが出来、非常に大きなコスト削減が可能になる。また、方形の平板の四つの角を折り曲げて八角形にすれば、原材料のゲッター材９から端材を出さないようにして切り出した四角形の平板から、円形のセンサケース等の形状に適合した八角形を、端材を出さないで実現することが出来る。そのためゲッター材の利用効率が大きくなり、ゲッター材料の重量当たりのコストを抑制できる。
【００２８】
次に、これまで説明した本発明のガス吸着素子を用いた赤外線センサについて説明する。
図５は、赤外線センサの一実施例の斜視図であり、赤外線センサチップを真空実装した赤外線センサのキャップ部分を４分の１カットしたモデルを示す。
図５において、円形のステム１８には外部との接続用のピン１０を貫通させるための貫通穴１１が設けられている。この貫通穴１１内にはガラス材が充填されてピン１０との気密封止を実現している。このステム１８上の中心部にセンサチップ１２がダイボンドされ、センサチップ１２上の外部接続用パッドとピン１０との間には電気配線となるワイヤボンディング１３が施されている。その周囲には前記本発明によって形成されたガス吸着素子（以下、ゲッター１４）が設置されている。ゲッター１４はその足部１５がステム１８上に位置し、切開と折り曲げによって開口された開口部がセンサチップ１２の受光部を邪魔せぬように位置している。その外側には赤外線透過窓１６を固定したキャップ１７が覆い、キャップ１７の周縁部とステム１８の周縁部とを気密接合し、内部は真空排気されている。
【００２９】
次に、本発明におけるゲッターを収納する簡単な真空容器の組立て工程の一例を図６を用いて説明する。
まず、図６（Ａ）に示すように、前記本発明に係る折り曲げにより成型したゲッター２６を準備する。この場合はゲッター２６の足部２７の最大径がキャップ３０の内径より少し大きくなるようにしておく。そして、ゲッター２６は足部２７が上向きとなるようにセラミック製のヒーターブロック３９に可動爪４０で密着させて固定する。
また、図６（Ｂ）に示すように、真空実装容器のキャップ３０の受光部には開口部３５が設けられ、それを塞ぐように赤外線透過窓２９が低温ガラス３６で接着されている。そしてキャップ３０の凹部を上向きにし、溶接用の治具３７に固定する。
また、図６（Ｃ）に示すように、真空実装容器のステム２１にセンサチップ２４をダイボンドする。ステム２１は外部との電気的接続用の端子２２がハーメチックシールによって電気的絶縁と真空封止を同時に満足しつつ設けられている。センサチップ２４と端子２２とは電気配線としてのワイヤボンド２５で接続されている。そしてステム２１はセンサチップ２４がダイボンドされた側を下向きにして溶接用治具３８に固定する。
次に、上記の溶接用の治具３７、溶接用治具３８およびヒーターブロック３９の３点を真空溶接機チャンバー内の可動ステージにセットし、全体を排気する。そして約１.３３×１０−３Ｐａ（≒１０−５Ｔｏｒｒ）に到達したところで前記ヒータブロック３９を加熱し、ゲッター２６が４００℃となるように制御して１０分間加熱して活性化する。
次に、ゲッター２６を１４７℃以下に冷却後、図６（Ｄ）に示すように、キャップ３０をヒータブロック３９の直下に移動させ、ヒータブロック３９の可動爪４０を緩めてゲッター２６をキャップ３０内に落とす。
次に、図６（Ｅ）に示すように、キャップ３０をステム２１の下に移動させて、さらに上昇させ、周縁同士を合わせて密着させる。そして、シーム溶接もしくは電子ビーム溶接法を用いて真空チャンバー内で周縁を溶接して封止する。
上記のようにして、前記図５に示した赤外線センサが完成する。
【００３０】
上記のように、本発明の赤外線センサにおいては、本発明のガス吸着素子を活性化してからキャップ内に挿入するように構成しているので、組立て時にセンサチップや窓材の加熱を抑制することが出来る。また、組立て時の真空排気時間を従来に比較して極めて短くすることが出来るので、組立てコストを大幅に削減することができると共に、多量のゲッターを挿入できるのでセンサの信頼性を大きく向上させることができる。
【００３１】
図７は、上記の赤外線センサの一部拡大断面図である。
図７に示すように、内蔵される板状のゲッター２６は、ステム２１方向に折り曲げによって形成した３個所以上の足部２７を設け、かつ足部２７の高さをワイヤボンド（電気配線）２５の高さより大にすると共に、足部２７の先端の径をキャップ３０の内径より大として成型した後に、キャップ３０内に挿入したものである。そのためゲッター２６がセンサチップ２４やワイヤボンド２５に接触するおそれがなく、かつ、ゲッター２６がケースの中で内壁に衝突することが無く、パーティクルの発生を防止することが出来るので、センサがカメラ等の多画素品であった場合にも画素落ちを防止することができる。
【００３２】
次に、本発明と従来例におけるゲッター量および排気時間について説明する。
従来の成型されたヒータ内蔵ゲッターではゲッター量が数１０ｍｇ程度のものを１本用いる場合が多い。これに対し、本発明では実装容器の容量に合わせて自由に内蔵量を決定することが出来る。ちなみに内径が２８φのケースであれば、ゲッター塗布厚が１５０μｍの場合に３０ｍｇ／ｃｍ２として計算すると、凡そゲッター総重量は２３５ｍｇもの量になる。これは従来の５倍近い量である。単純計算でもガス放出量が同様であれば、５倍のゲッター充填は約５倍の寿命が得られることになる。
【００３３】
組立て時には多量にガスが排気される初期排気の後の圧力はゆっくりと低下していくことが知られている。一方、実装容器に封入後のガス放出量は１／ｔ（ｔ：時間）に比例して低下していくことを考慮すると、封入後のガス放出量は微々たるものである。したがって従来の１週間にもおよぶ排気を行わず、数時間程度の排気を実施して主だったガスを排気して封止すれば、後は多量に封入するゲッターに排気を行わせることが出来る。そのため人件費および設備償却にかかわる組立てのタクトを大きく短縮することが出来、非常に大きなコスト削減が可能になる。
また、従来の超高真空を実現しながら組立て部材を真空中で搬送することは設備的に非常に高価なシステムとなるが、本発明では超高真空の必要はなく、設備コストが低減できる。
【００３４】
また、本発明のように、真空実装容器の形状に適合させてゲッターを成型する方法としては、所望の形状にゲッター材を焼結成形しておいて組み込む方法があったが、この方法は最初から決められた形状に成形してゲッター材を焼結するので、ゲッターメーカーでそれぞれ形を決めて製造するものであり、種々の形状に容易に適合させることは出来なかった。しかし、本発明によれば、一般的な平板状のゲッター材を用いて、一般の加工産業で使用されるプレス型を製作すれば、いつでも所望の形状のゲッターを準備することができ、コストのみならず納期的にも設計自由度の面でも有用である。
【００３５】
次に、図８はゲッター取付けの他の構成を示す要部断面図である。
本発明に係るゲッター２６はプレス成形を行っているため、加工歪が残った場合にはゲッター２６の活性化時の加熱でゆがむ場合がある。これをこのままキャップ３０内に挿入してステム２１と合わせると、位置ずれしてセンサチップ２４やワイヤボンド２５等の配線部をショートさせたり破壊してしまうおそれがある。本実施例はこのような場合にセンサチップ２４および配線部を保護する手段を設けた例である。
【００３６】
図８において、図７と同様に、ステム２１上にセンサチップ２４が配線のワイヤボンディング２５と共に実装されている。このワイヤボンディング２５を含むセンサチップ２４上方には、カバー４３が取り付けられ、内包される部分を保護している。
カバー４３は、図９に示すようにセンサチップ２４の受光面への赤外線の入射領域に掛からない様に大きさを決定した開口部４４が設けられ、周辺に設けた取付け部４２には固定するための孔４５を開けておく。カバー４３を形成する材料は当然ゲッターの反り等に耐える強度が必要であることは言うまでも無い。組立においては、一例として、ステム２１上の周縁に近い部分に固定用のピン４６を立てておき、前記カバーの孔４５を嵌める。なお、カバーの孔４５に突起４７を残しておけばピンにはめ込んだ際に自動的に固定することが出来る。あるいは嵌め込んだ後にピン４６にクリップナットをはめ込めんでもよい。何れの場合もカバー４３はステム２１に固定され、揺れたり逆さまにしても外れること無く内部が保護される。その後、前記と同様にキャップ３０とステム２１の間にゲッター２６を挿入すればゲッター２６が多少歪んでいてもセンサチップ２４および配線部はカバー４３に保護されて破壊されることは無い。
【００３７】
また歪んでいた場合には歪によるバネ性によって振動しないように固定される利点がある。また、カバー４３の固定には前記のピン４６に嵌め込む方法以外にもステム２１の一部に窪みを設けてカバー４３を嵌め込む方法でも良い。
また、歪量が小さい場合には図１０に示すように、カバー４３の取付け部４２にバネ部４８（カバーと一体の板バネ）を設けて、組み立て時にゲッター２６をキャップ３０側へ押し付けて固定することも可能である。図８はこの状態を示している。このときはゲッター成型時に足部を成型したり高さを調整する必要が無くゲッターの成型が容易になる。また固定具がカバー４３と一体となっているので特別な取り付け工数は不要である。
【００３８】
次に、図１１は、ゲッターをキャップに固定する構成を示す断面図である。  図１１に示すように、キャップ３０には突起部４９を少なくとも２箇所あるいは全周に渡って設けておく。ゲッター２６は加熱後にキャップ３０の突起部４９と外壁内面との間に押し込む。或いはちょうど嵌る大きさの固定具５０を押し込んでもゲッター２６は容易に固定できる。また、前記図１０のようにバネ部４８で押さえても良い。これにより位置合わせの必要が無く組立てがさらに簡単になる。
【００３９】
なお、これまで説明した各図は、工程の説明を容易にするためにデフォルメされており、正確な寸法比を示さない部分がある。また、実施の形態中の数値は本実施の形態を説明するための一例であり、これに限定されるものでは無く設計条件の変動により当然変化するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガス吸着素子の一実施例の平面図。
【図２】本発明のガス吸着素子の一実施例の形成方法を示す断面図。
【図３】従来方法でドーナツ状のゲッター材を形成する場合の材料利用状況を示す平面図。
【図４】従来方法におけるゲッター材の利用効率を示す特性図。
【図５】本発明の赤外線センサの一実施例の斜視図。
【図６】本発明におけるゲッターを収納する真空容器の組立て工程の一実施例を示す断面図。
【図７】本発明の赤外線センサの一部拡大断面図。
【図８】ゲッター取付けの他の構成を示す断面図。
【図９】保護用のカバー４３の一例を示す斜視図。
【図１０】保護用のカバー４３の他の一例を示す斜視図。
【図１１】ゲッター取付けの他の構成を示す断面図。
【符号の説明】
１…ゲッター材の平板                ２…切開個所を示す破線
３…切片                            ４…開口部
５…四角な平板                      ６…平板の四つの角
７…切片                            ８…足部
９…シート状のゲッター材          １０…接続用のピン
１１…貫通孔                        １２…センサチップ
１３…ワイヤボンディング            １４…ゲッター
１５…足部                          １６…赤外線透過窓
１７…キャップ                      １８…円形のステム
２１…真空実装容器のステム          ２２…電気的接続用の端子
２４…センサチップ                  ２５…ワイヤボンド
２６…ゲッター                      ２７…足部
２９…赤外線透過窓                  ３０…キャップ
３５…開口部                        ３６…低温ガラス
３７…溶接用治具                    ３８…溶接用治具
３９…ヒーターブロック              ４０…可動爪
４１…カバー                        ４２…取付け部
４４…開口部                        ４５…孔
４６…固定用のピン                  ４７…突起
４８…カバーと一体のバネ部          ４９…突起部
５０…固定具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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