(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検眼にアライメント用の指標光を投影する指標光投影手段と、前記指標光の前記被検眼の角膜からの反射像を受像して前記被検眼と装置本体との上下左右方向の相対位置関係を検出するＸＹアライメント検出手段とを備えた眼科装置において、
前記ＸＹアライメント検出手段は、ＸＹアライメントを検出するための第一の受光手段と、ＸＹアライメントを検出するための第二の受光手段と、該第二の受光手段により検出された第二のアライメント情報を基に前記第一の受光手段により検出された第一のアライメント情報を補正する補正手段とを有していることを特徴とする眼科装置。
【請求項２】
前記第一の受光手段は、前記指標光の角膜反射光を含んだ入射光の重心位置を求めることにより前記被検眼の位置を求める受光素子を含み、前記第二の受光手段は、光強度分布を検出すると共に、設定された所定の閾値に基づいて前記指標光の角膜反射像を抽出することにより、被検眼の位置を検出する第二の受光素子を含むものである請求項１に記載の眼科装置。
【請求項３】
前記第一の受光手段は２次元ＰＳＤを受光素子とし、前記第二の受光手段は２次元ＣＣＤを受光素子とする請求項１に記載の眼科装置。
【請求項４】
前記被検眼と前記装置本体との前後方向の相対位置を検出するＺアライメント検出手段を備え、該Ｚアライメント検出手段と前記ＸＹアライメント検出手段との検出情報に基づき前記装置本体を自動的に駆動する駆動手段を備えている請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の眼科装置。
【請求項５】
前記２次元ＣＣＤは前記被検眼の前眼部を観察する前眼部観察光学系に兼用されている請求項３又は請求項４に記載の眼科装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検眼と装置とを所定の位置関係に整合させる必要がある眼科装置、例えば角膜内皮細胞観察撮影装置、非接触式眼圧計のような眼科装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、非接触で角膜内皮細胞の観察撮影を行う装置が知られている（特公昭７−１２１２５５号公報）。この種の眼科装置では、被検眼に対して斜め方向からアライメント用の指標光を投影し、被検眼角膜による反射光を被検眼軸に対して対称な方向から受光して、被検眼と装置本体との前後方向（Ｚ方向）の位置関係を検出するＺアライメント検出手段と、被検眼に対して正面から指標光を投影して、角膜からの反射光を正面から受光して被検眼と装置本体との上下・左右方向（Ｘ・Ｙ方向）の位置情報を検出するＸＹアライメント検出手段とを有する。このＸＹアライメント検出手段としては、絶対位置情報の検出と検出時間の短縮とから２次元ＰＳＤが実用上用いられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＰＳＤ（position sensitive device：固体位置検出素子）は、ＰＳＤ内に入射した光の重心位置を検出するものであり、また、外乱の影響も受け易い。例えば、被検眼に対して指標光を正面から投影し、被検眼角膜による反射光を正面から受光する場合、ＰＳＤには、角膜表面反射による指標像（以下、信号光という）の他に、瞳孔内を通る眼底からの反射光や強膜、虹彩による反射光（以下、背景光という）が入射する。その背景光は、光強度的には信号光に比べてかなり小さいが、ＰＳＤ内に広く分布し、入射光の重心位置を検出するＰＳＤでは、ノイズとなり、無視できない影響を与える。また、この背景光は、信号光と同じ波長、同じ周期で点滅するため、背景光と信号光との分離が困難である。すなわち、このＰＳＤにより検出された相対位置情報には検出誤差が存在する。
【０００４】
ＰＳＤの代わりに、ＣＣＤ（charge coupled device）のように光強度分布を検出可能な固体撮像素子を用いれば、光強度に閾値を設けることにより背景光を除去して信号光のみを検出することができる。しかしながら、ＣＣＤによる検出は、アライメント検出時間として最低でも２０ミリ秒程度の時間が必要となり、高速度で制御される撮影光学系や各種補正機構などを搭載した装置では、装置の操作に支障をきたすと共に、装置の測定精度の低下を招き、ひいては、検者及び被検者の負担を大幅に増大させる。
【０００５】
ＰＳＤに背景光が入射しないようにするには、指標光の光束径を細くして、強膜や虹彩などからの反射光を極力少なくすればよいが、指標光の光束径を細くすると、角膜位置ずれに対して、指標光の反射光がＰＳＤに到達しない場合がある。以下、その理由を説明する。
【０００６】
図９（ａ）〜（ｃ）は、アライメント光学系７０を示している。アライメント光学系７０はハーフミラー７１、対物レンズ７２、ＰＳＤ７３を有する。図９（ａ）は角膜Ｃと装置本体とが整合されている状態、図９（ｂ）は角膜Ｃの頂点Ｐと装置本体とが位置ずれを起こしている状態、図９（ｃ）は角膜Ｃの頂点Ｐと装置本体とが位置ずれを起こし、かつ、指標光の光束径が細い状態を示している。
【０００７】
図９（ａ）〜図９（ｃ）において、図示を略す指標光を投影する指標光投影光学系により平行光束とされた指標光Ｋはハーフミラー７１で反射され、角膜Ｃの表面Ｔに導かれる。角膜Ｃに投影された指標光Ｋは、角膜Ｃの頂点Ｐと角膜Ｃの曲率中心との中間位置に輝点像Ｒを形成するようにして角膜表面Ｔで反射される。その反射された指標光はハーフミラー７１を透過し、対物レンズ７２により集光されてＰＳＤ７３に結像され、その中心に輝点像Ｒに対応する像Ｒ´を形成する。
【０００８】
指標光Ｋの光束径が十分に太い場合には（図９（ａ）、（ｂ）参照）、その角膜Ｃによる反射光は、角膜Ｃと装置本体との位置ずれがないときはもちろんのこと、位置ずれがあった場合でも、その一部が光路に戻るため、対物レンズ７２によりＰＳＤ７３上に結像し、アライメント状態の検出ができる。しかし、指標光Ｋの光束径が細い場合（図９（ｃ）参照）、その角膜Ｃによる反射光は、その相対位置が大きくずれると光路からはずれる方向に向かって反射するため、対物レンズ７２に入射しない。従って、その反射光がＰＳＤ７３に達せず、アライメント状態を検出できない。
【０００９】
このように、被検眼Ｅに投影する指標光の光束径を細くして背景光を低減し、アライメントの検出精度を向上させようとすると、被検眼Ｅの位置が上下又は左右方向に大きくずれると角膜Ｃによる反射光が受光光学系に入射しなくなり、結果としてアライメント検出可能範囲が狭くなるという問題がある。
【００１０】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的とするところは、アライメントの検出精度を低下させることなく、アライメント検出可能範囲を広く設定できると共にアライメント検出時間の短縮をも図ることができ、ひいては、検者、被検者の負担を大幅に減少させることのできる眼科装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の眼科装置は、上記課題を解決するため、被検眼にアライメント用の指標光を投影する指標光投影手段と、前記指標光の前記被検眼の角膜からの反射像を受像して前記被検眼と装置本体との上下左右方向の相対位置関係を検出するＸＹアライメント検出手段とを備えた眼科装置において、
前記ＸＹアライメント検出手段は、ＸＹアライメントを検出するための第一の受光手段と、ＸＹアライメントを検出するための第二の受光手段と、該第二の受光手段により検出された第二のアライメント情報を基に前記第一の受光手段により検出された第一のアライメント情報を補正する補正手段とを有していることを特徴とし、好ましくは、前記第一の受光手段は、前記指標光の角膜反射光を含んだ入射光の重心位置を求めることにより前記被検眼の位置を求める受光素子を含み、前記第二の受光手段は、光強度分布を検出すると共に、設定された所定の閾値に基づいて前記指標光の角膜反射像を抽出することにより、被検眼の位置を検出する第二の受光素子を含むものである。また、前記第一の受光手段は２次元ＰＳＤを受光素子とし、前記第二の受光手段は２次元ＣＣＤを受光素子とするのが好ましい。
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、背景光に基づく検出誤差が内在する第一の受光手段を用いた場合でも正確なアライメント検出が可能となり、測定時間の短縮を図ることができ、また、アライメントの検出精度を低下させることなく、アライメント検出可能範囲を広く設定することができるため、検者及び被検者の負担を大幅に減少させることができる。
【００１３】
請求項４に記載の眼科装置は、請求項１〜３にいずれかに記載のものにおいて、被検眼と装置本体との前後方向の相対位置を検出するＺアライメント検出手段を備え、Ｚアライメント検出手段とＸＹアライメント検出手段との検出情報に基づき装置本体を自動的に駆動する駆動手段を備えていることを特徴とする。
請求項５に記載の眼科装置は、請求項３又は４に記載のものにおいて、２次元ＣＣＤは被検眼の前眼部を観察する前眼部観察光学系に兼用されていることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１において、符号１は前眼部観察光学系である。前眼部観察光学系１は被検眼Ｅの左右に配設されて、前眼部をダイレクトに照明する複数個の赤外照明光源２、ハーフミラー３、対物レンズ４、ハーフミラー５、ＣＣＤカメラ６、遮光板７を有する。被検眼Ｅの前眼部からの反射像は、ハーフミラー３、対物レンズ４、ハーフミラー５を経由してＣＣＤカメラ６に導かれ、前眼部像がＣＣＤカメラ６の撮像面に形成される。ＣＣＤカメラ６は図示を略すモニタ装置に画像信号を出力し、モニタ装置の画面８には、図２（ａ）に示すように、前眼部像Ｅ´が表示される。なお、遮光板７は前眼部観察時に前眼部観察光学系１の光路から退避されかつ角膜内皮撮影時に光路中に挿入される。
【００１５】
図１（ａ）において、符号１０は指標投影光学系である。指標投影光学系１０は赤外光を出射する光源１１、集光レンズ１２、開口絞り１３、ピンホール板１４、ダイクロイックミラー１５、投影レンズ１６を有する。ピンホール板１４はアライメント指標を形成する役割を有し、ピンホール板１４の配設箇所に投影レンズ１６の焦点が一致している。開口絞り１３は投影レンズ１６に関して被検眼Ｅの角膜Ｃの頂点Ｐと共役な位置に設けられている。その投影レンズ１６は固視標光学系１７の一部を構成している。固視標光学系１７は可視光を出射する固視光源１８、ピンホール板１９を有する。ピンホール板１９は投影レンズ１６の焦点位置に配設され、固視光源１８から出射された固視標光は、ピンホール板１９、ダイクロイックミラー１５を透過した後、投影レンズ１６により平行光束に変換され、ハーフミラー３により反射されて被検眼Ｅに導かれる。被検者はその固視標光を注視することによりその視線が固定される。
【００１６】
光源１１から出射された赤外光は、集光レンズ１２により集光されて開口絞り１３を通過してピンホール板１４に導かれる。ピンホール板１４を通過した光束はダイクロイックミラー１５により反射されて、投影レンズ１６に導かれる。投影レンズ１６はピンホール板１４を通過した光束を平行光束に変換し、その平行光束はハーフミラー３により反射されてＸＹ方向アライメント検出用の指標光として角膜Ｃに投影される。指標投影光学系１０はＸＹ方向アライメント検出用の指標光を被検眼Ｅの角膜Ｃに向けて投影する役割を果たす。その角膜Ｃに投影された指標光は、図３に示すように角膜Ｃの頂点Ｐと角膜Ｃの曲率中心ＭＲとの中間位置ＭＰに輝点像Ｒを形成するようにして角膜Ｃの表面Ｔで反射される。
【００１７】
その角膜Ｃで反射された反射像は、ハーフミラー３を透過した後、対物レンズ４に導かれる。その対物レンズ４はＸＹアライメント検出系２０に兼用されている。その対物レンズ４により集光された指標光はその一部がハーフミラー５により反射されてＸＹアライメント検出系２０の一部を構成する第一の受光手段としての２次元ＰＳＤ２１に導かれる。２次元ＰＳＤ２１の詳細については後述する。
【００１８】
ハーフミラー５を透過した残りの指標光は第二の受光手段としてのＣＣＤカメラ６に導かれる。そのＣＣＤカメラ６の撮像面には輝点像Ｒ２が形成される。このＣＣＤカメラ６はＸＹアライメント検出手段にも兼用されるものであるが、その詳細については詳述する。図２（ａ）には、その輝点像Ｒ２に対応する輝点像が符号Ｒ２´として示されている。なお、図２（ａ）において、符号２４ａは図示を略す画像生成手段によって生成されたオートアライメント用のマーク、符号２４ｂはアライメント許容範囲を示すマークである。
【００１９】
図１（ｂ）において、符号３０は撮影用照明光学系である。撮影用照明光学系３０は、撮影用照明光源３１、集光レンズ３２、スリット板３３、ダイクロイックミラー３４、開口絞り３５、対物レンズ３６を有する。撮影用照明光源３１にはキセノンランプが例えば用いられる。ダイクロイックミラー３４は可視光を透過し赤外光を反射する役割を有する。開口絞り３５は対物レンズ３６に関して角膜Ｃと共役である。ダイクロイックミラー３４はＺアライメント検出用照明光学系４０の一部に兼用されている。そのＺアライメント検出用照明光学系４１は光源４１、集光レンズ４２、スリット板４３を有する。光源４１は赤外光を出射する。光源４１から出射された赤外光は、集光レンズ４２により集束されつつスリット板４３を通過してスリット光となり、ダイクロイックミラー３４により反射されて開口絞り３５に導かれ、この開口絞り３５を透過した後、対物レンズ３６により集束されつつ角膜Ｃに導かれて角膜Ｃを照明する。撮影用照明光源３１から出射された可視光は集光レンズ３２により集光されてスリット板３３に導かれ、このスリット板３３を通過した可視光はスリット光としてダイクロイックミラー３４を透過して同様に開口絞り３５に導かれ、対物レンズ３６により角膜Ｃを斜め方向から照明する。
【００２０】
符号５０は撮影光学系である。この撮影光学系５０は被検眼Ｅの光軸に関して撮影用照明光学系３０と略対称な斜め方向から被検眼Ｅの角膜Ｃの内皮細胞による反射光を受像して角膜内皮細胞を撮影する役割を有する。この撮影光学系５０は対物レンズ５１、ダイクロイックミラー５２、マスク５３、ミラー５４、リレーレンズ５５、遮光板５６、ミラー５７を有する。ダイクロイックミラー５２は赤外光を反射し可視光を透過する機能を有する。ミラー５７は前眼部観察光束の妨げとならない位置に配設されると共に物面側（被検眼Ｅ側）の傾斜角θと同一角度を持って傾斜されている。
【００２１】
撮影用照明光学系３０により照射されたスリット光束Ｌは、図４に示すように角膜Ｃで反射される。スリット光束Ｌの一部は空気と角膜Ｃの境界面である角膜表面Ｔにおいてまず反射される。また、角膜表面Ｔを透過した光束の一部は角膜内皮細胞面Ｎで反射される。角膜表面Ｔからの反射光束Ｔ´の光量が最も多く角膜内皮細胞面Ｎからの反射光束Ｎ´の光量は相対的に小さく、角膜実質Ｍからの反射光束Ｍ´の光量が最も小さい。その反射光束は対物レンズ５１により集光されつつダイクロイックミラー５２を透過しマスク５３上に一旦結像される。更に、マスク５３により角膜内皮細胞像を形成する以外の余分の反射光束Ｔ´、Ｍ´が遮蔽され、マスク５３を通過した反射光束Ｎ´はミラー５４で反射され、リレーレンズ５５により集光されつつミラー５７により反射され、ＣＣＤカメラ６上に角膜内皮細胞像が形成される。モニタ装置の画面８には、図５に示すようにそのＣＣＤカメラ６からの映像信号により角膜内皮細胞像５８が表示される。
【００２２】
対物レンズ５１はＺアライメント検出系６０の一部を構成している。Ｚアライメント検出系６０はリニアセンサ６１を有する。リニアセンサ６１は対物レンズ５１に関して角膜Ｃと共役な位置に設けられている。Ｚアライメント検出用照明光学系４０により投光されたスリット光の角膜Ｃによる反射光は対物レンズ５１により集束されつつダイクロイックミラー５２により反射されてリニアセンサ６１に結像される。リニアセンサ６１は光強度分布を検出する役割を有する。そのリニアセンサ６１上の光量分布が図６に示されている。この図６において、符号６２は角膜Ｃの表面Ｔにより反射された光束のピーク部であり、符号６３は角膜内皮細胞面により反射された光束のピーク部である。リニアセンサ６１の検出出力はＺアライメント検出回路６４に入力されている。
【００２３】
ＰＳＤ２１（第一の受光手段）上の輝点像Ｒ１´の位置情報（第一のＸＹアライメント情報）とＣＣＤカメラ６（第二の受光手段）の輝点像Ｒ２´の位置情報（第二のＸＹアライメント情報）とは、ＸＹアライメント検出回路２２に入力される。ＸＹアライメント検出回路２２は、図７に詳細に示すように位置検出回路２２ａと位置検出回路２２ｂと誤差演算回路２２ｃと内部メモリ２２ｄと補正回路２２ｅとスイッチ２２ｆとから構成されている。
【００２４】
ＣＣＤカメラ６の撮像面の光量分布は、図２（ａ）に示すＡ−Ａ´線においては、図２（ｂ）に示すようになる。その図２（ｂ）において、符号Ｒ２´´は輝点像Ｒ２´に対応する光量分布、符号Ｒ３は瞳孔Ｅ１を通して眼底内部から反射された反射光の光量分布、Ｒ４は虹彩Ｅ２により反射された反射光の光量分布、Ｒ５は強膜Ｅ３により反射された反射光の光量分布である。図２（ｂ）において、瞳孔Ｅ１を通じて眼底から反射された反射光の光量は一番小さく、次に虹彩Ｅ２により反射された反射光の光量が小さく、強膜Ｅ３により反射された反射光の光量が一番大きい。
【００２５】
位置検出回路２２ｂでは図２（ｂ）に示す閾値Ｌ´を設けることにより、強膜Ｅ３による反射光量分布Ｒ５と虹彩Ｅ２による反射光量分布Ｒ４との境界番地Ａ１，Ａ２を抽出し、番地Ａ１よりも小さい番地、番地Ａ２よりも大きい番地の光量情報を破棄する。次に、位置検出回路２２ｂは番地Ａ１から番地Ａ２までの光量を各番地毎に抽出し、閾値Ｌ´を越えた光量の番地を抽出し、この番地の中で最大光量の番地ｘ１を抽出する。この抽出された番地ｘ１が輝点像Ｒ２´の位置情報である。このようにして求められた番地ｘ１に基づく位置情報は検出誤差が除去されている。
【００２６】
ＰＳＤ２１の受像面には、輝点像Ｒに対応する輝点像Ｒ１´が図８（ａ）に示すように形成される。受像面での光強度分布は、例えばＸ方向について図示すれば、図８（ｂ）に示すようになり、この図８（ｂ）において、符号Ｒ１´´は輝点像Ｒ１´に対応する光量分布、符号Ｎ１は前眼部等により反射された背景光に基づく光量分布を模式的に示し、この背景光に基づく光量分布は検出誤差となる。ＰＳＤ２１は全光量を荷重平均した重心位置としての位置情報ｘ２を出力する。従って、輝点像Ｒ１´のみに基づく位置情報ｘとはならず、この位置情報ｘ２には背景光の存在に基づく検出誤差Δが含まれている。なお、位置情報ｘと位置情報ｘ１とは一対一に対応している。
【００２７】
位置検出回路２２ａの位置情報ｘ２はスイッチ２２ｆを介して誤差演算回路２２ｃと補正回路２２ｅとに入力される。そのスイッチ２２ｆは常時は誤差演算回路２２ｃの側に接続されており、制御回路６５はマーク２４ａ内に輝点像Ｒ２´が入ったとき、スイッチ２２ｆを誤差演算回路２２ｃの側から補正回路２２ｅの側に切り換える。位置検出回路２２ｂから出力される位置情報ｘ１は誤差演算回路２２ｃに入力される。誤差演算回路２２ｃは位置情報ｘ１と位置情報ｘ２との差を計算する。この差が検出誤差Δである。そして、この検出誤差Δを基にして補正式が構築される。この補正式は内部メモリ２２ｄに保存される。
【００２８】
補正回路２２ｅは、位置検出回路２２ａの検出出力に基づき内部メモリ２２ｄに記憶された補正式により位置情報を補正する。この補正された位置情報ｘは制御回路６５に入力される。アライメント検出を繰り返す場合、同一被検者同一被検眼ではこの補正式はほぼ同じある。従って、内部メモリ２２ｄに記憶された補正式は繰り返し、補正回路２２ｅでの演算に用いることができる。被検者が交替したり、被検眼の左右を変更した場合、内部メモリ２２ｄをリセットして再設定を行う。また、測定の都度この補正式を誤差演算回路２２ｃにより構築してもよい。このように内部メモリ２２ｄに記憶された補正式に基づいて、演算回路２２ａに基づく位置情報を補正すれば、検出速度の遅いＣＣＤカメラ６と同等の正確な位置情報を保持しつつ、位置検出回路２２ａにより高速で位置情報の検出を行なうことができる。
【００２９】
検者はモニタ画面８で前眼部像Ｅ'を観察しながら、輝点像Ｒ２´がオートアライメント許容範囲を示すマーク２４ａに入り、かつ、ピントが合うように装置本体をＸＹＺ方向に手動で移動させてアライメント調整を行う。
【００３０】
制御回路６５は電源をオンすると、光源２、１１、１８、５１を点灯させる。制御回路６５はマーク２４ａ内に輝点像Ｒ２´が入ると、装置本体を被検眼Ｅに対して整合されるように図示を略す駆動手段により装置本体を自動的に駆動する。
【００３１】
Ｚアライメント検出回路６４の検出出力とＸＹアライメント検出回路２２の検出出力とは制御回路６５に入力され、ＸＹアライメント検出回路２２は被検眼に対する装置本体の上下左右の位置関係が許容範囲（図２（ａ）のマーク２４ｂを参照）にあるとき、ＸＹアライメント完了信号を制御回路６５に出力する。また、Ｚアライメント検出回路６４は被検眼に対する装置本体の光軸方向の距離が許容範囲にあるときにＺアライメント完了信号を制御回路６５に出力する。なお、Ｚアライメント検出回路６４は、リニアセンサ６１の基準番地Ｑを中心としてその両側δの範囲内にピーク部６３の番地ｚが存在するとき、Ｚアライメント完了信号を出力する。すなわち、制御回路６５は、ＸＹアライメント検出系２０の検出結果がマーク２４ｂ内にありかつＺアライメント検出系６０の検出結果が許容範囲にあるとき、光源２、１１、１８、５１を消灯し、光源３１を自動的に発光させる。これにより角膜Ｃにスリット光が照明され、角膜内皮細胞の撮影が撮影される。
【００３２】
なお、ＸＹアライメント検出回路２２から出力される情報およびＺアライメント検出回路６５から出力される情報に基づいて、装置本体と被検眼Ｅのアライメント状態を検出し、その検出結果をＣＲＴ等に表示するように構成することもできる。
以上実施の形態について説明したが、２次元ＰＳＤではなく、互いに直交した一対の一次元ＰＳＤを用いてもよい。この場合、ハーフミラーで光路を分割してこの一対の一次元ＰＳＤに指標光を導く構成としてもよい。また、Ｚアライメント検出系６０のリニアセンサ６１上の角膜表面及び角膜内皮細胞面からの反射像の間隔から、公知の手段によって角膜厚を演算する角膜厚測定機能を付加してもよい。
【００３３】
【発明の効果】
この請求項１に記載の発明は、以上説明したように構成したので、アライメント検出誤差を低下させることなくアライメント検出可能範囲を広く設定できると共にアライメント検出時間の短縮を図ることができ、ひいては、検者及び被検者の負担を大幅に減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る眼科装置の光学系を示し、（ａ）はその光学系の側面図を示し、（ｂ）はその光学系の平面図を示す。
【図２】  （ａ）はモニタ装置の画面に表示された前眼部像の説明図で、（ｂ）は、（ａ）の輝点Ｒ１´を含むＡ−Ａ´（Ｘ方向）直線上での光強度を示す図である。
【図３】  図１に示す角膜への指標光の投影状態を示す拡大図である。
【図４】  図１に示す角膜へのスリット光の照射状態を示す説明図である。
【図５】  モニタ装置の画面に表示された角膜内皮細胞像の説明図である。
【図６】  図１に示すリニアセンサ上におけるスリット光束の光量分布状態を示す図である。
【図７】  図１のＸＹアライメント回路の詳細を説明する図である。
【図８】  図１に示すＰＳＤ上に受光された輝点像Ｒ１´を説明する図で、（ａ）は輝点像Ｒ１´の像を示す図で、（ｂ）は、図（ａ）の輝点を含むＢ−Ｂ´（Ｘ方向）直線上での光強度を示す図である。
【図９】  （ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、指標光束径Ｋとアライメント検出範囲の状態を説明するための説明図である。
【符号の説明】
６…ＣＣＤカメラ（第二の受光手段）
２０…ＸＹアライメント検出系
２１…２次元ＰＳＤ（第一の受光手段）
２２…ＸＹアライメント検出回路
２２ａ…位置検出回路（位置検出手段）
２２ｂ…位置検出回路（位置検出手段）
２２ｃ…誤差演算回路
２２ｄ…内部メモリ
２２ｅ…補正回路（補正手段）
５０…撮影光学系
６０…Ｚアライメント検出系
６４…Ｚアライメント検出回路
６５…制御回路
Ｅ…被検眼
Ｃ…角膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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