(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤上に移動可能に載置されるベースと、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って昇降可能に設けられ測定子を有するスライダと、このスライダの高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、この変位検出器の変位量を表示する表示手段とを備えた一次元測定機において、
前記変位検出器がインクリメンタル型変位検出器によって構成されているとともに、前記支柱にスライダの到達を検知する原点設定用検出器が設けられ、
前記スライダが支柱に沿って上昇するときの補正データを予め記憶した第１の補正データテーブルと、
前記スライダが支柱に沿って下降するときの補正データを予め記憶した第２の補正データテーブルと、
制御手段とを備え、
前記支柱は、アルミニウムまたはアルミニウム合金によって形成され、
前記制御手段は、電源投入時に前記スライダを支柱に沿って移動させ、前記原点設定用検出器がスライダの到達を検知したときを基準として前記変位検出器の原点を設定する原点設定処理手段、前記スライダが支柱に沿って上昇するときに検出された前記変位検出器の検出値を、前記第１の補正データテーブルに記憶された補正データによって補正する第１の補正処理手段、および、前記スライダが支柱に沿って下降するときに検出された前記変位検出器の検出値を、前記第２の補正データテーブルに記憶された補正データによって補正する第２の補正処理手段を含む、
ことを特徴とする一次元測定機。
【請求項２】
請求項１に記載の一次元測定機において、
前記原点設定用検出器は、支柱の上部に設けられ、
前記原点設定処理手段は、電源投入時に前記スライダを支柱に沿って上昇させることを特徴とする一次元測定機。
【請求項３】
定盤上に移動可能に載置されるベースと、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って昇降可能に設けられ測定子を有するスライダと、このスライダの高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、この変位検出器の変位量を表示する表示手段とを備えた一次元測定機において、
前記変位検出器がアブソリュート型変位検出器によって構成され、
前記スライダが支柱に沿って上昇するときの補正データを予め記憶した第１の補正データテーブルと、
前記スライダが支柱に沿って下降するときの補正データを予め記憶した第２の補正データテーブルと、
制御手段とを備え、
前記支柱は、アルミニウムまたはアルミニウム合金によって形成され、
前記制御手段は、前記スライダが支柱に沿って上昇するときに検出された前記変位検出器の検出値を、前記第１の補正データテーブルに記憶された補正データによって補正する第１の補正処理手段、および、前記スライダが支柱に沿って下降するときに検出された前記変位検出器の検出値を、前記第２の補正データテーブルに記憶された補正データによって補正する第２の補正処理手段を含む、
ことを特徴とする一次元測定機。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の一次元測定機において、
前記制御手段は、入力された温度データと基準温度との温度差に基づいて、前記変位検出器の検出値または補正後の値を補正することを特徴とする一次元測定機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、上下方向へ昇降可能に設けられた測定子を備え、この測定子を被測定物の測定部位に当接させて、被測定物の寸法、たとえば、高さ、段差、穴、軸などの寸法を測定する一次元測定機に関する。
【０００２】
【背景技術】
定盤上において、被測定物の寸法、たとえば、高さ、段差、穴、軸などの寸法を測定する場合、上下方向へ昇降可能な測定子を備えた一次元測定機、いわゆる、ハイトゲージが用いられている。
通常、ハイトゲージは、定盤上に移動可能に載置されるベースと、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って昇降可能に設けられ測定子を有するスライダと、このスライダの高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、この変位検出器の変位量を表示する表示手段とを備える構成である。
【０００３】
従来、このようなハイトゲージは、ベースに立設された支柱に沿ってスライダが昇降する構造であるから、測定精度を確保するためには支柱の剛性を高くする必要があり、そのため、支柱を鉄製、具体的には鋳物によって構成してある。
しかし、支柱を鋳物によって構成すると、重量が重く、定盤上を移動させるにはかなりの力が必要となる。そこで、ベースから定盤上へエアーを噴出してベースを定盤に対して浮上させるエアー浮上手段を付加し、比較的軽い力で移動させることができるようにしたハイドゲージも知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、エアー浮上手段を備えたハイトゲージの場合、エアーコンプレッサやエアーパッドなどが搭載されるため、さらに重量が重くなり、慣性力が非常に大きくなってしまい、そのため、勢いあまって被測定物に衝突させてしまう事故も考えられる。従って、衝突させないように慎重に移動させなければならないので、作業者への負担が大きいうえ、作業効率も悪いという課題がある。
そこで、軽量化するために、支柱を細くしたり、支柱の材質をアルミニウムに変えることが考えられる。しかし、そうすると、精度が低下するという課題が残る。
【０００５】
本発明の目的は、精度低下を招くことなく軽量化が可能で、操作性の向上、さらに、作業者への負担を軽減できる一次元測定機を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
まず、軽量化した際の課題を解決するために、スライダの高さ位置に対応した補正データを用意しておき、この補正データでスライダの高さ位置を補正することが試みられたが、このような補正では、スライダが支柱に沿って上昇するときと、スライダが支柱に沿って下降するときとで、誤差が発生するという不具合が見られた。
これは、スライダが支柱に沿って上昇するときには、測定子が被測定物に対して下から当接し、また、スライダが支柱に沿って下降するときには、測定子が被測定物に対して上から当接するため、測定子が被測定物に当接する際に支柱に作用する力が、逆向きに作用することに起因するものと考えられる。
そこで、本発明では、スライダが支柱に沿って上昇するときの補正データと、スライダが支柱に沿って下降するときの補正データとを予め別々に記憶しておき、スライダの昇降に応じて補正データを使い分けるようにしたものである。
【０００７】
また、補正データでスライダの高さ位置を補正しようとした際、変位検出器としてインクリメンタル型変位検出器を用いた場合、従来は、測定子の先端を定盤に接触させた状態を変位検出器の原点として設定しているが、測定子の長さが異なるものがあるため、測定子によってスライダの原点位置が異なることになるため、常に正確な補正ができないという問題がある。
そこで、本発明では、変位検出器としてインクリメンタル型変位検出器を用いた場合、支柱に原点設定用検出器を設けておき、電源投入時にスライダを支柱に沿って移動させ、原点設定用検出器がスライダの到達を検知したときを基準として、つまり、測定子の長さに関係なく、スライダが常に定位置において変位検出器の原点を設定するようにしたものである。
【０００８】
具体的には、本発明の一次元測定機は、上記目的を達成するために、次の構成を備える。
請求項１に記載の発明は、定盤上に移動可能に載置されるベースと、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って昇降可能に設けられ測定子を有するスライダと、このスライダの高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、この変位検出器の変位量を表示する表示手段とを備えた一次元測定機において、前記変位検出器がインクリメンタル型変位検出器によって構成されているとともに、前記支柱にスライダの到達を検知する原点設定用検出器が設けられ、前記スライダが支柱に沿って上昇するときの補正データを予め記憶した第１の補正データテーブルと、前記スライダが支柱に沿って下降するときの補正データを予め記憶した第２の補正データテーブルと、制御手段とを備え、前記支柱は、アルミニウムまたはアルミニウム合金によって形成され、前記制御手段は、電源投入時に前記スライダを支柱に沿って移動させ、前記原点設定用検出器がスライダの到達を検知したときを基準として前記変位検出器の原点を設定する原点設定処理手段、前記スライダが支柱に沿って上昇するときに検出された前記変位検出器の検出値を、前記第１の補正データテーブルに記憶された補正データによって補正する第１の補正処理手段、および、前記スライダが支柱に沿って下降するときに検出された前記変位検出器の検出値を、前記第２の補正データテーブルに記憶された補正データによって補正する第２の補正処理手段を含む、ことを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、スライダが支柱に沿って上昇するときに検出される変位検出器の検出値は、第１の補正データテーブルに記憶された補正データによって補正され、スライダが支柱に沿って下降するときに検出される変位検出器の検出値は、第２の補正データテーブルに記憶された補正データによって補正される。
つまり、変位検出器の検出値は、スライダが支柱に沿って上昇するときと、スライダが支柱に沿って下降するときとで異なる補正データで補正されることになるから、スライダが支柱に沿って上昇するときと、スライダが支柱に沿って下降するときとで、誤差が発生するという不具合を解消できる。従って、支柱などの本体部分を軽量化しても、スライダの昇降時で正確な補正を行えるから、つまり、精度低下を招くことなく軽量化が可能であるから、操作性の向上、さらに、作業者への負担を軽減できる。
また、変位検出器がインクリメンタル型変位検出器によって構成されているから、アブソリュート型検出器によって構成するより安価にできる。しかも、電源投入時に、スライダを支柱に沿って移動させ、原点設定用検出器がスライダの到達を検知したときを基準として変位検出器の原点を設定するようにしたから、つまり、スライダが常に一定高さ位置において変位検出器の原点が設定されるから、インクリメンタル型変位検出器によって構成した場合の不具合を解消でき、測定子の長さが異なるものであっても、常に正確な補正ができる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の一次元測定機において、前記原点設定用検出器は、支柱の上部に設けられ、前記原点設定処理手段は、電源投入時に前記スライダを支柱に沿って上昇させることを特徴とする。
この発明によれば、原点設定に際して、スライダが上昇するので、測定子が被測定物や定盤に衝突するのを回避できる。つまり、スライダが下降すると、被測定物への衝突が危惧されるが、上昇であればその問題の回避できる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、定盤上に移動可能に載置されるベースと、このベースに立設された支柱と、この支柱に沿って昇降可能に設けられ測定子を有するスライダと、このスライダの高さ方向の変位量を検出する変位検出器と、この変位検出器の変位量を表示する表示手段とを備えた一次元測定機において、前記変位検出器がアブソリュート型変位検出器によって構成され、前記スライダが支柱に沿って上昇するときの補正データを予め記憶した第１の補正データテーブルと、前記スライダが支柱に沿って下降するときの補正データを予め記憶した第２の補正データテーブルと、制御手段とを備え、前記支柱は、アルミニウムまたはアルミニウム合金によって形成され、前記制御手段は、前記スライダが支柱に沿って上昇するときに検出された前記変位検出器の検出値を、前記第１の補正データテーブルに記憶された補正データによって補正する第１の補正処理手段、および、前記スライダが支柱に沿って下降するときに検出された前記変位検出器の検出値を、前記第２の補正データテーブルに記憶された補正データによって補正する第２の補正処理手段を含む、ことを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、請求項１に記載の発明と同様に、スライダが支柱に沿って上昇するときに検出される変位検出器の検出値は、第１の補正データテーブルに記憶された補正データによって補正され、スライダが支柱に沿って下降するときに検出される変位検出器の検出値は、第２の補正データテーブルに記憶された補正データによって補正される。従って、精度低下を招くことなく軽量化が可能でるから、操作性の向上、さらに、作業者への負担を軽減できる。
また、変位検出器がアブソリュート型変位検出器によって構成されているから、請求項１に記載の発明における、電源投入時の変位検出器の原点設定を行わないで済む利点がある。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の一次元測定機において、前記制御手段は、入力された温度データと基準温度との温度差に基づいて、前記変位検出器の検出値またはその補正後の値を補正することを特徴とする。
ここにおいて、温度データは、作業者がキーボードなどから入力してもよく、あるいは、温度センサを設けて、これから自動入力するようにしてもよい。
この発明によれば、入力された温度データと基準温度との温度差に基づいて、検出値またはその補正後の値を補正するようにしたので、使用環境下の温度変動に対しても精度補償できる。換言すると、使用可能温度範囲を拡大できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は一次元測定機としてのハイトゲージを示す斜視図である。同図に示すように、本実施形態のハイトゲージは、定盤１０上に移動可能に載置されるベース１１と、このベース１１に立設された支柱１２と、この支柱１２に沿って上下方向へ昇降可能に設けられ測定子１３を有するスライダ１４と、このスライダ１４の高さ方向の変位量を検出する変位検出器４５（図２参照）とを備える。ここで、前記ベース１１および支柱１２のうち、少なくとも支柱１２については、アルミニウムまたはアルミニウム合金によって形成されている。つまり、鋳物などからなるハイドゲージに比べ、重量が軽量化されている。
【００１６】
前記ベース１１には、前記支柱１２の裏面側にグリップ部１５が設けら、このグリップ部１５の上面には、表面に表示手段を構成するＬＣＤなどの表示装置１６およびキー入力部１７を有する表示操作部１８が旋回可能に設けられている。また、ベース１１の下面には、定盤１０上にエアーを噴出してベース１１を定盤１０に対して浮上させるエアー浮上手段１９が設けられている。エアー浮上手段１９は、ベース１１の下面に設けられ無数のエアー噴出孔を有する複数のエアーパッド１９Ａと、このエアーパッド１９Ａにエアーを供給するコンプレッサ（図示していないが、グリップ部１５の下部に設置）などを備える。
【００１７】
前記支柱１２の上部位置には、スライダ１４の到達を検知する原点設定用検出器としてのリミットスイッチ４７が設けられている。
また、支柱１２の右側面（測定子１３を有する面に対して隣接する側面）でかつベース１１近傍（つまり、下部位置）には、ハンドル２１が支柱１２に対して直角に突設されている。ハンドル２１には、エアー浮上制御スイッチ３１、リピートスイッチ３２およびキャンセルスイッチ３３が順次が設けられている。エアー浮上制御スイッチ３１は、前記エアー浮上手段１９へのエアーの供給、遮断を制御するものである。リピートスイッチ３２は、前回の測定項目の測定手順を繰り返し指令するものである。キャンセルスイッチ３３は、現在実行中の測定手順のキャンセルを指令するものである。
【００１８】
図２は本実施形態の全体構成を示すブロック図である。同図において、制御装置４１は、制御手段としてのＣＰＵ４２と、メモリ４３とを備える。
前記メモリ４３には、各種の測定手順プログラムを記憶したプログラム記憶部４３Ａと、前記スライダ１４が支柱１２に沿って上昇するときの補正データを予め記憶した第１の補正データテーブル４３Ｂと、前記スライダ１４が支柱１２に沿って下降するときの補正データを予め記憶した第２の補正データテーブル４３Ｃとがそれぞれ設けられている。
【００１９】
前記第１の補正データテーブル４３Ｂには、図３に示すように、スライダ１４が上昇時において、支柱１２の高さ（Ｚ）に対応して、具体的には、支柱１２の一定高さ毎にそれに対応する補正量（補正データ）が記憶されている。
前記第２の補正データテーブル４３Ｃには、図４に示すように、スライダ１４の下降時において、支柱１２の高さ位置に対応して、具体的には、支柱１２の一定高さ毎にそれに対応する補正量（補正データ）が記憶されている。
これら補正データテーブル４３Ｂ、４３Ｃは、予め、一定高さ寸法毎にゲージブロックを測定し、そのゲージブロックの真値と測定値との差を補正量（補正データ）として記憶したものである。
【００２０】
前記ＣＰＵ４２には、前記キー入力部１７、前記ハンドル２１に設けられた３つのスイッチ３１，３２，３３、前記表示装置１６、前記エアー浮上手段１９、前記リミットスイッチ４７のほかに、前記スライダ１４を上下方向へ昇降させる昇降駆動手段４４と、この昇降駆動手段４４によって昇降されるスライダ１４の高さ方向の変位量を検出する変位検出器４５と、スピーカ４６とがそれぞれ接続されている。
また、ＣＰＵ４２は、前記プログラム記憶部４３Ａに記憶された測定手順プログラムに従って各ステップを実行する測定処理手段、電源投入時にスライダ１４を支柱１２に沿って移動させ、リミットスイッチ４７がスライダ１４の到達を検知したときを基準として変位検出器４５の原点を設定する原点設定処理手段、スライダ１４が支柱１２に沿って上昇するときに検出された変位検出器４５の検出値を、第１の補正データテーブル４３Ｂに記憶された補正データによって補正する第１の補正処理手段、および、スライダ１４が支柱１２に沿って下降するときに検出された変位検出器４５の検出値を、第２の補正データテーブル４３Ｃに記憶された補正データによって補正する第２の補正処理手段などを有する。
【００２１】
前記昇降駆動手段４４は、上下動モータ４４Ａと、この上下動モータ４４Ａの出力軸に設けられた定圧機構４４Ｂとを含んで構成されている。定圧機構４４Ｂは、上下動モータ４４Ａの回転をベルトなどの伝達手段を介してスライダ１４に伝達してスライダ１４を昇降させるとともに、スライダ１４に一定以上の負荷がかかったときに空転する機能を備える。
変位検出器４５は、インクリメタル型変位検出器によって構成されている。具体的には、前記支柱１２に沿って設けられた上下方向に光学格子を一定ピッチで有するスケール（図６に示す４５Ａ）と、このスケールに対向して前記スライダ１４に配置された検出器（図６に示す４５Ｂ）とを含み、この両者の協働によって支柱１２上におけるスライダ１４の高さ方向の変位量を電気的信号として検出する。
【００２２】
次に、本実施形態の作用を説明する。
電源が投入されると、ＣＰＵ４２は、昇降駆動手段４４を駆動してスライダ１４を上昇させ、リミットスイッチ４７がスライダ１４の到達を検知したときを基準として変位検出器４５の原点を設定する。たとえば、図５に示すように、電源投入時におけるスライダ１４の位置が０として表示されている状態から、その後、スライダ１４が上昇してリミットスイッチ４７に当接したときの変位検出器４５の値、つまり、Ｚ２を取り込み、このＺ２とリミットスイッチ４７の高さ位置、たとえば、６１０ｍｍとから、オフセット値ＯＦ２を、
オフセット値ＯＦ２＝Ｚ２−６１０
から求める。ここでは、定盤１０の表面が０になるように、変位検出器４５の原点を設定している。
【００２３】
このようにして原点設定を行ったのち、測定を行う。
測定にあたっては、まず、片手でハンドル２１を握り、その親指でエアー浮上制御スイッチ３１を押す。すると、エアー浮上手段１９によってベース１１が定盤１０に対して浮上した状態になるから、この状態でハンドル２１を握りながらベース１１を移動させ、測定子１３を被測定物の測定部位近傍に位置させたのち、エアー浮上制御スイッチ３１から手を離す。すると、エアーが遮断されるから、ベース１１は定盤１０上に接した状態で静止される。
【００２４】
ここで、昇降駆動手段４４を駆動してスライダ１４を上昇または下降させ、測定子１３を被測定物の測定部位に当接させる。
このとき、ＣＰＵ４２は、測定子１３が被測定物の測定部位に当接したときの変位検出器４５の値を取り込み、この変位検出器４５内のカウンタ値Ｚ１を図６に示す処理を経て測定値として出力する。
以下、この処理を順に説明する。
【００２５】
（１）単位変換
ここでは、測定子１３が測定部位に当接したときの変位検出器４５内のカウンタ値Ｚ１（パルス数として与えられている）を、ｍｍ単位の値Ｚ２に変換する。
（２）機械原点補正
ここでは、値Ｚ２をオフセット値ＯＦ２で補正して、機械原点補正を行う。つまり、
Ｚ３＝Ｚ２−ＯＦ２
を求める。
【００２６】
（３）機械（スケール）の温度補正
ここでは、変位検出器４５を構成するスケール４５Ａの温度補正を行って、Ｚ４を求める。つまり、
Ｚ４＝Ｚ３＋（スケールの線膨張係数）×（Ｚ３−ＯＦ３）
×（環境温度−２０）／１０００００
を求める。
ただし、ＯＦ３：スケールの膨張原点、たとえば、図５の下端で既知である。また、環境温度については、キー入力部１７から予め入力しておく。
なお、この温度補正については、次の（４）機械の指示精度補正の後に行ってもよい。
【００２７】
（４）機械の指示精度補正
ここでは、Ｚ４に対して第１の補正データテーブル４３Ｂまたは第２の補正データテーブル４３Ｃの補正量（補正データ）を用いて補正する。具体的には、スライダ１４の上昇によって測定子１３が被測定物に対して下から当接したときには、第１の補正データテーブル４３Ｂの補正量（補正データ）を用いて、また、スライダ１４の下降によって測定子１３が被測定物に対して上から当接したときには、第２の補正データテーブル４３Ｃの補正量（補正データ）を用いて、補正する。つまり、
Ｚ５＝Ｚ４−（上昇または下降時の補正量）
なお、第１および第２の補正データテーブル４３Ｂ、４３Ｃ（図３および図４）において、Ｚ４に対応するデータが無いときには、その前後の値から直線補間によって補正量を用いる。
【００２８】
（５）その他の補正
その他の補正として、既に公知の基準点補正、プローブ径補正／プローブ・オフセット補正、ワークの温度補正、スケールファクタ補正、ユーザ原点補正などを順次行ったのち、測定値として表示装置１６に表示する。
【００２９】
従って、本実施形態によれば、ベース１１および支柱１２のうち、少なくとも支柱１２をアルミニウムまたはアルミニウム合金によって形成し、支柱１２の重量を軽量化したので、慣性力も小さくでき、そのため、従来ほど、作業者が衝突に対して注意を払わなくてもよいので、作業者への負担を軽減でき、操作性も向上させることができる。
【００３０】
また、スライダ１４が支柱１２に沿って上昇するときの補正データを予め記憶した第１の補正データテーブル４３Ｂと、スライダ１４が支柱１２に沿って下降するときの補正データを予め記憶した第２の補正データテーブル４３Ｃとを予め用意しておき、スライダ１４が支柱１２に沿って上昇するときに検出される変位検出器４５の検出値を、第１の補正データテーブル４３Ｂに記憶された補正データによって補正し、スライダ１４が支柱１２に沿って下降するときに検出される変位検出器４５の検出値を、第２の補正データテーブル４３Ｃに記憶された補正データによって補正するようにしたので、スライダ１４が支柱１２に沿って上昇するときと、スライダ１４が支柱１２に沿って下降するときとで、誤差が発生するという不具合を解消できる。従って、支柱１２を軽量化することに伴う剛性の低下に対しても、精度補償できる。
【００３１】
また、変位検出器４５をインクリメンタル型変位検出器によって構成したので、アブソリュート型検出器によって構成するより安価にできる。しかも、電源投入時に、スライダ１４を支柱１２に沿って移動させ、リミットスイッチ４７がスライダ１４の到達を検知したときを基準として変位検出器４５の原点を設定するようにしたから、つまり、スライダ１４が常に一定高さ位置において変位検出器４５の原点を設定しているから、インクリメンタル型変位検出器によって構成した場合の不具合を解消でき、測定子１３の長さが異なるものであっても、常に正確な補正ができる。
【００３２】
しかも、原点設定に際して、リミットスイッチ４７を支柱１２の上部に設けるとともに、電源投入時には、スライダ１４を支柱１２に沿って上昇させてリミットスイッチ４７に当接させるようにしたので、電源投入時にスライダ１４を支柱１２に沿って下降させる場合に比べ、測定子１３が被測定物に衝突する事故を少なくできる。
【００３３】
また、入力された温度データと基準温度との温度差に基づいて、変位検出器４５の検出値Ｚ３を補正するようにしたので、使用環境下の温度変動に対しても精度補償できる。つまり、使用可能温度範囲を拡大できる。
【００３４】
なお、前記実施形態では、変位検出器をインクリメンタル型検出器によって構成したが、これに限らず、アブソリュート型検出器によって構成してもよい。
このようにすれば、前記実施形態で述べた、電源投入時の変位検出器の原点設定を行わないで済む利点がある。
【００３５】
また、前記実施形態では、光電式の変位検出器を用いたが、これに限らず、静電容量式や磁気式などでもよい。
また、前記実施形態では、環境温度をキー入力部１７から入力したが、温度センサなどを設けておき、この温度センサから自動的に入力するようにしてもよい。
【００３７】
【発明の効果】
本発明の一次元測定機によれば、精度低下を招くことなく軽量化が可能で、操作性の向上、さらに、作業者への負担を軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】同上実施形態のブロック図である。
【図３】同上実施形態の第１の補正データテーブルを示す図である。
【図４】同上実施形態の第２の補正データテーブルを示す図である。
【図５】同上実施形態における原点設定を示す図である。
【図６】同上実施形態における測定データ処理シーケンスを示す図である。
【符号の説明】
１０  定盤
１１  ベース
１２  支柱
１３  測定子
１４  スライダ
１６  表示装置（表示手段）
４２  ＣＰＵ（制御手段）
４３Ｂ  第１の補正データテーブル
４３Ｃ  第２の補正データテーブル
４５  変位検出器
４７  リミットスイッチ（原点設定用検出器）
【図１】
0003696431.tif 000002
【図２】
0003696431.tif 000003
【図３】
0003696431.tif 000004
【図４】
0003696431.tif 000005
【図５】
0003696431.tif 000006
【図６】
0003696431.tif 000007