(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともレンズを貼付する部位が、過冷却液体域を有するアモルファス合金からなることを特徴とするレンズ貼付皿。
【請求項２】
過冷却液体域を有するアモルファス合金からなる素材を過冷却液体域に加熱し、少なくともレンズを貼付する部位を一対の金型により押圧して、所望の形状に成形することを特徴とするレンズ貼付皿の製作方法。
【請求項３】
過冷却液体域を有するアモルファス合金からなる素材を過冷却液体域に加熱し、少なくともレンズを貼付する部位をレンズと金型とにより押圧して、所望の形状に成形することを特徴とするレンズ貼付皿の製作方法。
【請求項４】
レンズ貼付皿に使用した過冷却液体域を有するアモルファス合金を溶解し、液体急冷鋳造により再鋳造した素材を用いることを特徴とする請求項２または３記載のレンズ貼付皿の製作方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨装置の砥石によりレンズを研磨する際に、レンズ素材を貼付して固定するレンズ貼付皿に係わり、特に、顕微鏡レンズ等の高精度レンズ加工に用いるレンズ貼付皿とその製作方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のレンズ貼付皿は、以下に説明するものが公知とされている（従来技術１）。図１０（ａ）（ｂ）に示すように、レンズ貼付皿は、貼付部１０１と取付け部１０２とフランジ１０３とから成っている。取付け部１０２は、研磨装置の回転軸の中心に設けられた取付け穴に取着して使用される。貼付部１０１には、レンズを貼付するための貼付面１０１ａが設けられており、研磨するレンズの貼付面の形状に合わせて一つ一つ研磨加工され、表面粗さ１．５μｍ程度、形状精度は±１０μｍ程度の精度に仕上げられている。
【０００３】
また、これらのレンズ貼付皿を汎用化し、貼付皿の製作コストを低減しようとする試みが、特開平６−９１５０７号公報に開示されている（従来技術２）。図１１に示すように、レンズ貼付皿は、皿ベース２０１とこの上に接合されたレンズ貼付部２０２とから構成され、レンズ貼付部２０２は硫酸カルシウムと水溶性樹脂とからなっている。レンズ貼付部２０２の上面は、被加工物たるレンズ２０３の貼付面に合わせて成形され、ホットメルトタイプの貼付剤２０４により、レンズ２０３をレンズ貼付部２０２に固定するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかるに、上記従来技術には以下のような問題点があった。即ち、従来技術１では、図１０に示したレンズ貼付皿を用いた場合、レンズの厚さのバラツキは、該レンズ貼付皿の貼付面１０１ａの形状精度により決定され、研磨加工によるレンズ厚さの加工精度は±１０μｍ程度が限界であって、これ以上の高精度のレンズを大量生産することはできなかった。
【０００５】
また、従来技術２では、図１１に示したレンズ貼付皿を用いた場合、主に水溶性樹脂からなるレンズ貼付部２０２の剛性が低く、研磨加工時の歪みや破損の原因となり、高精度のレンズ加工には適用できなかった。また、このレンズ貼付部２０２は、熱に対しても十分な耐性が欠如し、ホットメルトタイプの貼付剤２０４を使用する際の加熱に繰り返し耐えることができず、レンズを貼付する度に再成形する必要があり、工数の増大を招いていた。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、請求項１に係る発明の課題は、高剛性かつ高精度であって、レンズを高精度に研磨し得るレンズ貼付皿を提供することである。
請求項２、３または４に係る発明の課題は、請求項１記載のレンズ貼付皿を容易に製作することのできるレンズ貼付皿の製作方法を提供することである。
請求項４に係る発明の課題は、上記課題に加え、老巧化したレンズ貼付皿を再利用することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、レンズ貼付皿において、少なくともレンズを貼付する部位が、過冷却液体域を有するアモルファス合金からなることを特徴とする。
請求項２または４に係る発明は、レンズ貼付皿の製作方法において、過冷却液体域を有するアモルファス合金からなる素材を過冷却液体域に加熱し、少なくともレンズを貼付する部位を一対の金型により押圧して、所望の形状に成形することを特徴とする。
請求項３または４に係る発明は、レンズ貼付皿の製作方法において、過冷却液体域を有するアモルファス合金からなる素材を過冷却液体域に加熱し、少なくともレンズを貼付する部位をレンズと金型とにより押圧して、所望の形状に成形することを特徴とする。
請求項４に係る発明は、上記手段に加え、レンズ貼付皿に使用した過冷却液体域を有するアモルファス合金を溶解し、液体急冷鋳造により再鋳造した素材を用いることを特徴とする。
【０００８】
請求項１に係る発明の作用では、少なくともレンズを貼付する部位が、過冷却液体域を有するアモルファス合金からなることにより、過冷却液体域に加熱されたアモルファス合金は急激な粘性の低下により、数ＭＰａ程度の低圧力で塑性変形され、高剛性、高精度のレンズ貼付皿となる。
請求項２または４に係る発明の作用では、過冷却液体域を有するアモルファス合金からなる素材を過冷却液体域に加熱し、少なくともレンズを貼付する部位を一対の金型により押圧して、所望の形状に成形することにより、高精度の金型形状に沿ったレンズ貼付皿を容易に製作できる。
請求項３または４に係る発明の作用では、過冷却液体域を有するアモルファス合金からなる素材を過冷却液体域に加熱し、少なくともレンズを貼付する部位をレンズと金型とにより押圧して、所望の形状に成形することにより、レンズの形状と金型形状とに沿ったレンズ貼付皿を極めて容易に製作できる。
請求項４に係る発明の作用では、上記作用に加え、レンズ貼付皿に使用した過冷却液体域を有するアモルファス合金を溶解し、液体急冷鋳造により再鋳造した素材を用いることにより、老巧化したレンズ貼付皿を素材として再生する。
【０００９】
【発明の実施の形態１】
図１〜図３は発明の実施の形態１を示し、図１はレンズを貼付したレンズ貼付皿の縦断面図、図２はレンズ貼付皿の成形装置の成形直前の状態を示す縦断面図、図３はレンズ貼付皿の成形装置の成形直後の状態を示す縦断面図である。
【００１０】
図１において、被加工物たるレンズ１は、熱可塑性の貼付剤２によって、過冷却液体域を有するアモルファス合金からなるレンズ貼付皿３の貼付面３ａに接着されている。レンズ貼付皿３は、研磨装置の回転軸に着脱される取付け部３ｂと、回転軸の端面にストッパーとなるフランジ３ｃとを有している。ここで、過冷却液体域を有するアモルファス合金とは、ガラス遷移温度（Ｔｇ）が結晶化温度（Ｔｘ）より低温側に存在するアモルファス合金であり、過冷却液体域＝Ｔｘ〜Ｔｇと定義され、数１０度〜１００度に及ぶ広い過冷却液体域を有する。これらの過冷却液体域を有するアモルファス合金は、その特徴として過冷却液体域での急激な粘性の低下が発現し、数ＭＰａ程度の圧力で大きな塑性変形を行うことができる。
【００１１】
本発明の実施の形態１では、過冷却液体域を有するアモルファス合金として、Ｚｒ55Ｃｕ30Ａｌ10Ｎｉ5 （添字はａｔｏｍｉｃ％を示す）を用いた。Ｚｒ55Ｃｕ30Ａｌ10Ｎｉ5 は、常温から３５０℃までは引っ張り強度１．５ＭＰａ、硬さＨｖ５１０、線膨張係数１０×１０-6であり、ガラスレンズ（例えばＳＦ１０：線膨張係数８〜９×１０-6）のレンズ貼付皿として十分な強度、硬さおよび線膨張係数を有する。さらにＺｒ55Ｃｕ30Ａｌ10Ｎｉ5 は、４２０〜４９０℃という約７０℃の広い過冷却液体域を有し、この過冷却液体域では、１０10Ｐａ・ｓ程度の液体としての粘性を示し、数１０ＭＰａ程度の圧力で成形加工が可能である。また、貼付剤２は一般にヤニと呼ばれるホットメルトタイプのものである。
【００１２】
つぎに、レンズ貼付皿３の成形装置について説明する。図２に示すように、抵抗加熱器４に囲繞されたスリーブ５内には、それぞれ超硬合金からなる上胴型６、下胴型７および下型８が嵌装されている。上胴型６の内面６ａはレンズ貼付皿の取付け部３ｂを、下胴型７の内面７ａはフランジ３ｃを、下型８の成形面８ａは貼付面３ａをそれぞれ形成するように構成されている。特に、下型８の成形面８ａは、レンズ１の貼付面の曲率半径と同一に形成され、表面粗さＲmax ３０ｎｍに仕上げられている。上胴型６の内面６ａには、銅鋳型によって急冷鋳造されたＺｒ55Ｃｕ30Ａｌ10Ｎｉ5 からなるアモルファス素材９が装填されるとともに、上型１０がアモルファス素材９の背面を押圧できるように配設されている。上型１０の下面１０ａは、レンズ貼付皿３の取付け部３ｂの面取りおよび端面を形成する。
【００１３】
上型１０は、図示を省略したポンチにより、押圧され、過冷却液体域に加熱されたアモルファス素材９を押圧成形する。上胴型６、下胴型７、下型８および上型１０（以下「金型」とよぶ）の内部には、それぞれ金型温度を測定する図示を省略した温度センサが内蔵されており、この温度センサからの信号によって図示を省略した温度調節器により抵抗加熱器４を制御し、金型温度を目標温度に保持する。また、成型装置全体は、成型時の高温による金型の酸化を防止するため、１０-4Ｔｏｏｒ程度の図示を省略した真空チャンバー内、または窒素、アルゴンなどの不活性ガスに置換されたチャンバー内に設置されている。
【００１４】
つぎに、レンズ貼付皿３の製作方法について説明する。まず、上記成型装置にアモルファス素材９を装填し、抵抗加熱器４にてアモルファス素材９を過冷却液体域に加熱する。加熱は、アモルファス素材９の結晶化を防止するため、結晶化開始温度４９０℃以下でガラス遷移温度４２０℃以上の過冷却液体域で、できる限り短時間に加熱することが望ましい。本発明の実施の形態１では、常温から４５０±５℃まで約３００ｓｅｃで昇温を行った。昇温後、ポンチにより上型１０を押圧し、過冷却液体状態のアモルファス素材９を金型内にて成形する。
【００１５】
成形後、抵抗加熱器４による加熱保持を停止し、窒素など不活性ガスを金型に吹きつけて冷却する。金型温度がアモルファス素材９のガラス遷移温度より２０℃低い温度（４００℃）になった時点で、ポンチによる押圧を解除する。なお、ポンチによる成形圧力は２０ＭＰａ、押圧時間は６０ｓｅｃとした。このようにして、図３に示すように、レンズ貼付皿３を得た。成形圧力および成形時間を適宜調節することはできるが、５ＭＰａ以下では成形時間の増大を招き、１０００ｓｅｃ以上の過冷却液体域保持はアモルファス素材９が結晶化し、成形または再成形が不能になる恐れがある。
【００１６】
こうして成形されたレンズ貼付皿３では、貼付面３ａの表面粗さは、Ｒmax ０．３μｍであり、形状精度は、下型８の形状に対して５μｍ以内の精度に仕上げられた。また、成形されたレンズ貼付皿３を切断し、断面を研磨した後、フッ酸によるエッチングを行い組織観察を行った結果、約２０％の結晶質が観察されたが、成形精度への影響は確認されなかった。
【００１７】
レンズ貼付皿３をレンズ研磨加工に使用する方法について説明する。レンズ貼付皿３の貼付面３ａに貼付剤２を介してレンズ１を貼付する。この際、貼付剤２を８０〜１００℃に加熱して流動化させた状態でレンズ１を貼付面３ａに貼付け、常温に冷却することにより、レンズ１をレンズ貼付皿３に固定する。固定後、レンズ貼付皿３をレンズ研磨装置に装着し、レンズ１に所望の研磨加工をする。加工後、レンズ１を貼付面３ａより剥がし、必要回数だけレンズ研磨加工に使用することができる。
【００１８】
従来技術１の研磨加工によるレンズ貼付皿では、貼付面の表面粗さはＲmax １．５μｍ程度で、貼付剤膜厚が不均一となっていたため、微視的にはレンズ保持力が不均一となり、レンズ加工精度に大きな悪影響を与えていた。しかし、本発明の実施の形態１のレンズ貼付皿３では、貼付面３ａの表面粗さはＲmax ０．３μｍで従来の１／５程度となり、レンズ保持力が均一化され、レンズ加工精度が向上した。表１は、レンズ貼付皿３と従来技術１のレンズ貼付皿とにより研磨加工したレンズの厚さのバラツキを比較した結果である。表１より、従来技術１のレンズ貼付皿を使用した場合より、明らかに加工精度の向上がみられる。
【００１９】
【表１】
0003706880.tif 000002
【００２０】
レンズ貼付皿３は、設計変更などにより、異なった形状と曲率半径のレンズを加工する場合は、下型８を交換し、再成形することができる。再成形は、金型の温度分布のバラツキ、変形率などの要因により、アモルファス相に発生する結晶質の割合が増加すると成形精度および成形能が悪化するが、本発明の実施の形態１のＺｒ55Ｃｕ30Ａｌ10Ｎｉ5 の場合、形状精度５μｍ以下の精度で成形できる限界は、アモルファス相が４０％以下になるまでであった。
【００２１】
また、大きな形状変更（体積変化）が必要になった場合は、レンズ貼付皿３を洗浄後、一旦溶解し、銅鋳型による急冷鋳造により、再びアモルファス化させ、素材の体積を調節した後、再成形することができる。再鋳造によるアモルファス化は不純物の混入などで回を追うごとに困難になるが、本発明の実施の形態１では、３回までは可能であった。
【００２２】
本発明の実施の形態１によれば、アモルファス合金の過冷却液体域で、金型による成形という簡便な方法で、高精度なレンズ貼付皿をバラツキなく製作することができる。しかも、アモルファス合金たるＺｒ55Ｃｕ30Ａｌ10Ｎｉ5 は、常温ではステンレス４２０Ｊ２の２倍近い強度と硬度とを有するため、加工時のレンズ貼付皿の変形を減少させ、レンズ加工精度を向上させることができる。さらに、金型を交換し、再成形するだけで、簡単に貼付面の形状を変更することができるため、金型さえあれば、必要なときに、必要な個数のレンズ貼付皿を容易に製造し、設計変更に迅速に対応することができる。これにより、レンズ貼付皿の保管スペースを最小限にすることもできる。また、再成形による結晶化や形状の大幅変更などにより、再成形が不能になったレンズ貼付皿も、再溶融し銅鋳型にて急冷鋳造することにより、再びアモルファス化が可能であり、切り屑のでない成形加工とともに、省資源に貢献することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態２】
図４〜図７は発明の実施の形態２を示し、図４はレンズを貼付したレンズ貼付皿の縦断面図、図５はレンズ貼付皿の成形装置の成形直前の状態を示す縦断面図、図６はレンズ貼付皿の成形装置の成形直後の状態を示す縦断面図、図７はアモルファス素材の変形例を用いた成形装置の縦断面図である。
【００２４】
図４において、レンズ貼付皿２１は、研磨装置の回転軸に着脱する皿ベース２１Ａとレンズ１を貼付する貼付部２１Ｂとから構成されている。皿ベース２１Ａは、研磨装置の磁気チャックに装着できるように、磁性材料たるＳＵＳ４２０Ｊ２からなり、取付け部２１Ａａとフランジ２１Ａｂと中心穴２１Ａｃとを有している。貼付部２１Ｂは、皿ベース２１Ａ上に形成され、アモルファス合金には、発明の実施の形態１と同様にＺｒ55Ｃｕ30Ａｌ10Ｎｉ5 が用いられている。また、貼付部２１Ｂの貼付面２１Ｂａには、発明の実施の形態１と同様に、熱可塑性の貼付剤２によって、レンズ１が接着されている。
【００２５】
つぎに、レンズ貼付皿２１の成形装置について説明する。図５に示すように、本発明の実施の形態２の成形装置は、発明の実施の形態１と基本構造が同一のため、異なる部材のみ説明し、同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。上胴型２６の内段面２６ａは、皿ベース２１Ａが嵌装できるように形成されている。また、中心穴２６ｂは、アモルファス素材２９と上型２２とが嵌入できるように皿ベース２１Ａの中心穴２１Ａｃと同一内径に形成されている。アモルファス素材２９と上型２２の外径は、上胴型２６の中心穴２６ｂおよび皿ベース２１Ａの中心穴２１Ａｃの内径より、やや小さく形成されている。また、下胴型７の内面７ａの上部には、皿ベース２１Ａが嵌装されている。その他の構成は発明の実施の形態１と同様である。
【００２６】
レンズ貼付皿２１の製作方法について説明する。まず、上記成型装置に皿ベース２１Ａとアモルファス素材２９を装填し、抵抗加熱器４にてアモルファス素材２９を過冷却液体域に加熱する。以下の加熱、成形条件および成形過程は、発明の実施の形態１と同様にして、図６に示すように、皿ベース２１Ａと貼付部２１Ｂとからなるレンズ貼付皿２１を得た。
【００２７】
このようにして成形されたレンズ貼付皿２１は、線膨張係数が５×１０-6とＺｒ55Ｃｕ30Ａｌ10Ｎｉ5 の線膨張係数より小さい超硬合金製の金型からは容易に離型できるが、線膨張係数が１６×１０-6であるＳＵＳ４２０Ｊ２製の皿ベース２１Ａと貼付部２１Ｂとは焼き嵌め状態で完全に一体化している。また、成型後の貼付部２１Ｂの結晶質の割合は５％以下であり、発明の実施の形態１と同様に、貼付面２１Ｂａの形状精度は下型８の成形面８ａの形状に対して５μｍ以内で、表面粗さはＲmax ０．３μｍであった。
【００２８】
レンズ貼付皿２１をレンズ研磨加工に使用する方法について説明する。レンズ貼付皿２１の貼付面２１Ｂａに貼付剤２を介してレンズ１を貼付する。この際、貼付剤２を８０〜１００℃に加熱して流動化させた状態でレンズ１を貼付面２１Ｂａに貼付け、常温に冷却することにより、レンズ１をレンズ貼付皿２１に固定する。固定後、レンズ貼付皿２１をレンズ研磨装置に装着し、レンズ１に所望の研磨加工をする。この際、貼付部２１Ｂを形成するＺｒ55Ｃｕ30Ａｌ10Ｎｉ5 は非磁性材料であるが、皿ベース２１Ａは磁性材料から形成されているので、研磨装置には磁気チャックを用いることができる。加工後、レンズ１を貼付面２１Ｂａより剥がし、必要回数だけレンズ研磨加工に使用することができる。
【００２９】
レンズ研磨加工後のレンズの精度は発明の実施の形態１と同様であった。また、レンズ貼付皿２１の貼付部２１Ｂの再成形および再利用は、発明の実施の形態１と同様のため、説明を省略する。
【００３０】
本発明の実施の形態２によれば、発明の実施の形態１の効果に加え、大きな形状変更（体積変化）が必要となった場合でも、再成形の際に、皿ベースの中心穴が体積変化分を吸収するので、極端な場合を除き、再鋳造する必要はなく、より汎用的に再使用することができる。さらに、ＳＵＳ４２０Ｊ２等の磁性体の皿ベースを一体成形することができるので、Ｚｒ55Ｃｕ30Ａｌ10Ｎｉ5 等の非磁性体のアモルファス合金を用いても、研磨装置に磁気チャック機構を採用することができ、既存の生産システムへの適用が容易となる。
【００３１】
本発明の実施の形態２では、円柱状のアモルファス素材を用いたが、これに替えて、図７に示すように、成形物たる貼付部２１Ｂに近い形状のアモルファス素材２９Ａを用いることができ、成形時間、成形圧力を低減し、金型の損傷を少なくすることができる。また、成形に伴うアモルファス相の結晶化を抑制することができるため、より多くの研磨回数や再成形を行うことができる。
【００３２】
【発明の実施の形態３】
図８〜図９は発明の実施の形態３を示し、図８はレンズ貼付皿の成形装置の成形直前の状態を示す縦断面図、図９はレンズ貼付皿の成形装置の成形直後の状態を示す縦断面図である。本発明の実施の形態３のレンズ貼付皿は、既に発明の実施の形態１の図１に示したレンズ貼付皿３と同一であるが、区別のためレンズ貼付皿３３とする。本発明の実施の形態３が発明の実施の形態１と異なる点は、アモルファス素材の材質と、下型とともにレンズを用いていることとにある。その他は発明の実施の形態１と同様のため、同一の部材には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００３３】
レンズ貼付皿３３の成形装置について説明する。図８において、アモルファス素材３１には、Ｚｒ65Ａｌ7.5 Ｃｕ27.5（添字はａｔｏｍｉｃ％を示す）を用いた。Ｚｒ65Ａｌ7.5 Ｃｕ27.5は、常温から３５０℃までは引っ張り強度１．２ＧＰａ、硬さＨｖ４７０、線膨張係数９×１０-6であり、レンズ貼付皿として十分な強度、硬度および適度な線膨張係数を有する。さらに、Ｚｒ65Ａｌ7.5 Ｃｕ27.5は３７０〜４７０℃という約１００℃の広い過冷却液体域を有し、この過冷却液体域では１０10Ｐａ・ｓ程度の液体としての粘性を示し、数１０ＭＰａ程度の圧力で成形加工が可能である。
【００３４】
図８に示すように、下型３２の成形面３２ａは、レンズ１の非貼付面１ｂと線接触するように、円錐面に形成されている。この成形面３２ａに載置されたレンズ１は貼付面１ａを上にして、アモルファス素材３１を支持している。その他の構造は、発明の実施の形態１と同様である。
【００３５】
つぎに、レンズ貼付皿３３の製作方法について説明する。まず、上記成型装置にアモルファス素材３１を装填し、抵抗加熱器４にてアモルファス素材３１を過冷却液体域に加熱する。加熱は、アモルファス素材３１の結晶化を防止するため、結晶化開始温度４７０℃以下でガラス遷移温度３７０℃以上の過冷却液体域で、できる限り短時間に加熱することが望ましい。本発明の実施の形態３では、常温から４００±５℃まで約２００ｓｅｃで昇温を行った。昇温後、ポンチにより上型１０を押圧し、過冷却液体状態のアモルファス素材３１を金型内にて成形する。
【００３６】
成形後、一定時間加圧し、抵抗加熱器４による加熱を停止し、窒素など不活性ガスを金型に吹きつけて冷却する。金型温度がアモルファス素材３１のガラス遷移温度より２０℃低い温度（３５０℃）になった時点で、ポンチによる押圧を解除する。なお、ポンチによる成形圧力は２０ＭＰａ、押圧時間は５０ｓｅｃとした。このようにして、図９に示すように、レンズ貼付皿３３を得た。成形圧力および成形時間を適宜調節することはできるが、５ＭＰａ以下では成形時間の増大を招き、１０００ｓｅｃ以上の過冷却液体域保持はアモルファス素材３１が結晶化し、成形または再成形が不能になる恐れがある。
【００３７】
こうして成形されたレンズ貼付皿３３は、レンズ１に固着することなく、形状精度は、レンズ１の形状に対して６μｍ程度に仕上げられた。発明の実施の形態１または２に比べ、形状の転写精度が低下したのは、レンズ１が超硬合金に比べ高温下での剛性が低かったためであるが、発明の実施の形態１または２の金型の形状精度は、通常５μｍ以下であるので、実際に貼付けるレンズとの形状誤差は８μｍである。また、成形されたレンズ貼付皿３を切断し、断面を研磨した後、フッ酸によるエッチングを行い組織観察を行った結果、約５％の結晶質が観察されたが、成形精度には影響しなかった。
【００３８】
レンズ貼付皿３３の使用法については、発明の実施の形態１と同様に扱うことができる。また、レンズ貼付皿３３は、設計変更などにより、異なった形状と曲率半径のレンズを加工する場合は、レンズ１を交換し、再成形することができる。再成形は、金型の温度分布のバラツキ、変形率などの要因により、アモルファス相に発生する結晶質の割合が増加すると成形精度および成形能が悪化するが、本発明の実施の形態３のＺｒ65Ａｌ7.5 Ｃｕ27.5の場合、発明の実施の形態１、２と同様に、形状精度５μｍ以下の精度で成形できる限界は、アモルファス相が４０％以下になるまでであった。
【００３９】
本発明の実施の形態３によれば、発明の実施の形態１の効果に加え、わざわざ下型をレンズの曲率半径に合わせて製作しなくとも、加工するレンズ自体を型として利用できるため、より簡便にレンズ貼付皿を製作できるので、設計変更に容易かつ迅速に対応することができる。また、成形時に金型の加工誤差を含まないため、よりレンズ形状に近い高精度なレンズ貼付皿を得ることができ、研磨加工時のレンズの歪みを最小限にすることができる。
【００４０】
本発明の実施の形態３では、アモルファス合金のみから成るレンズ貼付皿の製作例を示したが、発明の実施の形態２のような皿ベースと貼付部からなるレンズ貼付皿であっても、貼付部の成形に本発明の実施の形態３を応用してレンズを直接用いて成形することができる。
【００４１】
本発明の各発明の実施の形態では、両凸レンズを貼付するレンズ貼付皿を例として説明しているが、両凹レンズ、メニスカスレンズなどの貼付皿を過冷却液体域を有するアモルファス合金で成形できることは言うまでもない。また、各発明の実施の形態では、Ｚｒ系の過冷却液体域を有するアモルファス合金を用いているが、各発明の実施の形態同士でアモルファス合金を交換して用いてもよく、さらに他の過冷却液体域を有するアモルファス合金、例えば、Ｌａ55Ａｌ25Ｎｉ20（Ｔｇ＝２００℃、Ｔｘ＝２７５℃）などを用いることもできる。
【００４２】
【発明の効果】
請求項１に係る発明によれば、過冷却液体域に加熱されたアモルファス合金は急激な粘性の低下により、数ＭＰａ程度の低圧力で塑性変形され、高剛性、高精度のレンズ貼付皿となるので、レンズを高精度に研磨することができる。
請求項２または４に係る発明によれば、高精度の金型形状に沿ったレンズ貼付皿を容易に製作できるので、レンズの高精度加工を安定させることができる。
請求項３または４に係る発明によれば、レンズの形状と金型形状とに沿ったレンズ貼付皿を極めて容易に製作できるので、レンズの高精度加工を安定させることができるとともに、設計変更に迅速に対応することができる。
請求項４に係る発明によれば、上記効果に加え、老巧化したレンズ貼付皿を素材として再生するので、省資源に貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】発明の実施の形態１のレンズを貼付したレンズ貼付皿の縦断面図である。
【図２】発明の実施の形態１のレンズ貼付皿の成形装置の成形直前の状態を示す縦断面図である。
【図３】発明の実施の形態１のレンズ貼付皿の成形装置の成形直後の状態を示す縦断面図である。
【図４】発明の実施の形態２のレンズを貼付したレンズ貼付皿の縦断面図である。
【図５】発明の実施の形態２のレンズ貼付皿の成形装置の成形直前の状態を示す縦断面図である。
【図６】発明の実施の形態２のレンズ貼付皿の成形装置の成形直後の状態を示す縦断面図である。
【図７】発明の実施の形態２のアモルファス素材の変形例を用いた成形装置の縦断面図である。
【図８】発明の実施の形態３のレンズ貼付皿の成形装置の成形直前の状態を示す縦断面図である。
【図９】発明の実施の形態３のレンズ貼付皿の成形装置の成形直後の状態を示す縦断面図である。
【図１０】従来技術１のレンズ貼付皿の構成図である。
【図１１】従来技術２のレンズを貼付したレンズ貼付皿の縦断面図である。
【符号の説明】
１  レンズ
２  貼付剤
３  レンズ貼付皿
３ａ  貼付面
３ｂ  取付部
３ｃ  フランジ
【図１】
0003706880.tif 000003
【図２】
0003706880.tif 000004
【図３】
0003706880.tif 000005
【図４】
0003706880.tif 000006
【図５】
0003706880.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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