(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
強弾性鉛ゲルマニウム酸化物（ＰＧＯ）膜を集積回路（ＩＣ）ウェハ上に生成する方法であって、
ａ）［Ｐｂ（ｔｈｄ）2］と［Ｇｅ（ＥＴＯ）4］とを混合して、２：１〜４：１の範囲のモル比を有するＰＧＯ混合物を生成する工程と、
ｂ）工程ａ）の該混合物を、テトラヒドロフラン、イソプロパノール、およびテトラグリムの溶媒に溶解させ、前駆体溶液を生成する工程と、
ｃ）工程ｂ）で生成された該溶液を加熱し、前駆体ガスを生成する工程と、
ｄ）工程ｃ）で生成された該前駆体ガスを該ＩＣウェハ上で分解し、Ｐｂ3ＧｅＯ5である第１の相を含むＰＧＯ薄膜を生成し、これにより強弾性特性を有する該ＰＧＯ膜を生成する工程と、
を包含する、方法。
【請求項２】
前記工程ａ）は、前記［Ｐｂ（ｔｈｄ）2］と［Ｇｅ（ＥＴＯ）4］とを、約３：１のモル比で混合する工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記工程ｂ）は、前記溶媒テトラヒドロフラン、イソプロパノール、およびテトラグリムのそれぞれのモル比が約８：２：１であることを包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記工程ｂ）は、溶媒１リットルあたり０．１〜０．５モルのＰＧＯ混合物濃度を有する前駆体溶液を生成する工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
液体ポンプおよび前駆体蒸発器が提供され、前記工程ｃ）は、該前駆体蒸発器を用いて前記前駆体溶液を１８０〜２５０℃の範囲の温度まで加熱することにより前記前駆体ガスを生成する工程を含み、前記工程ｂ）の後かつ該工程ｃ）の前にさらなる工程として
ｂ1）該液体ポンプを用いて、該工程ｂ）の該前駆体溶液を、該工程ｃ）の該前駆体蒸発器へ１分あたり０．１〜０．５ミリリットル（ｍｌ／ｍｉｎ）の速度で導入する工程、
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記ＩＣウェハは、反応器内に設置され、
ｃ1）チャンバ内の前記前駆体ガスと、１７０〜２５０℃の範囲の温度まで予備加熱された４０００〜６０００立方センチメートル毎分（ｓｃｃｍ）の範囲のアルゴンガスのシュラウドフローとを、混合する工程と、
ｃ2）１０００〜３０００ｓｃｃｍの範囲の酸素フローを該反応器に導入する工程と、
をさらに包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記ＩＣウェハは反応器内のウェハチャック上に設置され、前記工程ｃ）は、前駆体蒸気圧を３０〜５０ｔｏｒｒ（Ｔ）の範囲で定立する工程を含み、前記工程ｄ）は、該ウェハチャックを５００〜６５０℃の範囲の温度まで加熱する工程および５〜１０Ｔの範囲の反応器チャンバの圧力を定立させる工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記工程ｄ）の後にさらなる工程として、
ｅ）前記ＰＧＯ膜を、酸素雰囲気中で室温程度まで冷却する工程と、
ｆ）該工程ｄ）で生成された該ＰＧＯ膜を、酸素雰囲気およびＰｂを伴う酸素雰囲気からなる群より選択された雰囲気中でアニーリングし、これにより該ＰＧＯ膜の前記強弾性特性が向上する工程、
とを包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
強弾性デバイスが前記工程ｄ）の前記ＰＧＯ膜で形成され、前記工程ｆ）に続く、
ｇ）該ＰＧＯ膜の上の導電極を設ける工程と、
ｈ）該ＰＧＯ膜を、酸素雰囲気およびＰｂを伴う酸素雰囲気からなる群より選択された雰囲気中でアニーリングし、これにより該工程ｄ）で生成された該ＰＧＯ膜と該工程ｇ）で設けられた該電極との間の界面が向上する工程、
とを含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記工程ｆ）および前記工程ｈ）は、２０％よりも大きな分圧で前記酸素を導入することを包含する、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記工程ｆ）および前記工程ｈ）は、５００〜６００℃の範囲の温度で３０分〜２時間の間継続される電気炉アニーリングおよび、５００〜７５０℃の範囲の温度での急速加熱アニーリング（ＲＴＡ）からなる群より選択された、アニーリング方法の使用を包含する、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記工程ｆ）および前記工程ｈ）において、前記ＲＴＡは、１０〜１８００秒の範囲の継続時間および１秒あたり１０〜２００℃の範囲の昇温を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
前記工程ｄ）、前記工程ｆ）、および前記工程ｈ）は、前記第１の相Ｐｂ3ＧｅＯ5が１〜２ミクロンの範囲の結晶粒径を有することを包含する、請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
前記工程ａ）の前に、
前記ＩＣウェハの上の導電極を堆積させ、前記導電極の材料は、ＩｒおよびＰｔからなる群より選択されるというさらなる工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
前記工程ｄ）は、約１ミリメートル（ｍｍ）未満の膜厚を有するＰＧＯ膜を生成する工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
強弾性特性を有するキャパシタであって、
第１の導電極と、
該第１の電極の上の第１の相Ｐｂ3ＧｅＯ5を含むＰＧＯ薄膜と、
該ＰＧＯ膜の上の第２の導電極とを含み、
前記強弾性特性は、１００ｋＶ／ｃｍにおいて４×１０-6Ａ／ｃｍ2の漏れ電流を包含する、キャパシタ。
【請求項１７】
前記強弾性特性は、５０〜１００の範囲の比誘電率を包含する、請求項１６に記載のキャパシタ。
【請求項１８】
最小分極電圧は約１ボルトであり、飽和電圧は約５ボルトである、請求項１６に記載のキャパシタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は一般に、集積回路（ＩＣ）製造の分野に関し、特に、強弾性鉛ゲルマネート膜およびそのような薄膜の金属・有機化学気相成長方法（ＭＯＣＶＤ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
強弾性（ｆｅｒｒｏｅｌａｓｔｉｃ）膜は、高エネルギー蓄積キャパシタおよび高歪みアクチュエータ／トランスデューサのような用途における使用への可能性のため、近年大変注目を集めてきた。特に最近では、超小型電子デバイスの発達にともない、強弾性薄膜は、超小型アクチュエータ、超小型電子機械システム（ＭＥＭＳ）といった用途および高速マルチチップモジュール（ＭＣＭ）内のデカップリングキャパシタとして検討されている。強弾性体には残留分極が無いため蓄積された電荷が完全に放出できるので、電荷蓄積用途には、強弾性体は強誘電体よりも優れていることが分かっている。強弾性体は高い比誘電率および高い電荷蓄積密度を有するため、強弾性フィルムは、線形誘電体を有するフィルムよりも優れている。しかし、方形のヒステリシスループを有しかつ残留分極の無い強弾性薄膜を得るのは難しい。
【０００３】
強弾性鉛ゲルマニウム酸化物薄膜（以下ＰＧＯと呼ぶ）、特にＰｂ3ＧｅＯ5の製造および特性が、現在関心を集めている。鉛ゲルマネートは比較的新しい材料である。ＰｂＯ-ＧｅＯ2二元系は、Ｓｐｅｒａｎｓｋａｙａ（１９５９）により研究されてきた。Ｒ．Ｒ．Ｎｅｕｒｇａｏｎｋａｒらは、強弾性体Ｐｂ3ＧｅＯ5の単結晶を、チョクラルスキー法により成長させた(１９７４）。この材料の強弾性特性は、Ｒ．Ｒ．Ｎｅｕｒｇａｏｎｋａｒらにより最初に発見された。単結晶および多結晶材料の誘電および電気光学的特性が、この文献中で報告されている。強弾性体Ｐｂ3ＧｅＯ5は、室温では単斜晶空間群Ｐ２に属している。その結晶は強弾性体であるが、融点（７３８℃）まで相転移を示さない。この材料の興味深い特徴は、Ｐｂ3ＧｅＯ5は、超小型電子機械システム（ＭＥＭＳ）用途に適した強弾性特性を有しているという点である。
【０００４】
強誘電性鉛ゲルマニウム酸塩（Ｐｂ5Ｇｅ3Ｏ11）の薄膜は、熱蒸着およびフラッシュ蒸着（Ａ．Ｍａｎｓｉｎｇｈら、１９８０）、直流反応スパッタリング（Ｈ．Ｓｃｈｍｉｔｔら、１９８４）、レーザーアブレーション（Ｓ．Ｂ．Ｋｒｕｐａｎｉｄｈｉら、１９９１、およびＣ．Ｊ．Ｐｅｎｇら、１９９２）、およびゾル‐ゲル法（Ｊ．Ｊ．Ｌｅｅら、１９９２）により作成された。しかし、ＭＯＣＶＤ工程により作成された強弾性Ｐｂ3ＧｅＯ5の薄膜は報告されていない。
【０００５】
本発明によるＰＧＯ膜は、超小型電子機械システム（ＭＥＭＳ）および高速マルチチップモジュール（ＭＣＭ）用途に有用な強弾性特性を有する。Ｔｉｎｇｋａｉ  Ｌｉらにより発明され、１９９９年４月２８日付けで出願された「Ｍｕｌｔｉ-Ｐｈａｓｅ  Ｌｅａｄ  Ｇｅｒｍａｎａｔｅ  Ｆｉｌｍ  ａｎｄ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｍｅｔｈｏｄ」の名称を有する本願の優先権主張の基礎となる米国特許出願第０９／３０１，４３４号と同時係属中の特許出願（代理人受付番号ＳＬＡ４００、米国特許出願第０９／３０１，４３５号）において、Ｐｂ3ＧｅＯ5である第２相が、Ｐｂ5Ｇｅ3Ｏ11に加えられることにより、ｃ軸方向の増加なしに結晶粒径を増加させている。その結果得られる膜は、Ｐｒ値および比誘電率が増加し、Ｅｃ値が減少する。このような膜は、ＭＥＭ、ＭＣＭ、ＤＲＡＭ、およびＦｅＲＡＭ用途に有用である。
【０００６】
Ｔｉｎｇｋａｉ  Ｌｉらによって発明され、１９９９年４月２８日付けで出願された「Ｃ-Ａｘｉｓ  Ｏｒｉｅｎｔｅｄ  Ｌｅａｄ  Ｇｅｒｍａｎａｔｅ  Ｆｉｌｍ  ａｎｄ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  Ｓａｍｅ」の名称を有する本願の優先権主張の基礎となる米国特許出願第０９／３０１，４３４号と同時係属中の特許出願（代理人受付番号ＳＬＡ４０１、米国特許出願番号第０９／３０１，４２０号）において、Ｐｂ5Ｇｅ3Ｏ11膜が、ｃ軸方向に結晶学的に配向される。この膜は、より小さいＰｒおよび比誘電率値を有し、単トランジスタ（１Ｔ）用途に有用である。
【０００７】
Ｔｉｎｇｋａｉ  Ｌｉらによって発明され、１９９９年４月２８日付けで出願された「Ｅｐｉｔａｘｉａｌｌｙ  Ｇｒｏｗｎ  Ｌｅａｄ  ＧｅｒｍａｎａｔｅＦｉｌｍ  ａｎｄ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｍｅｔｈｏｄ」の名称を有する本願の優先権主張の基礎となる米国特許出願第０９／３０１，４３４号と同時係属中の特許出願（代理人受付番号ＳＬＡ４０２、米国特許出願第０９／３０２，２７２号）において、エピタキシャル成長されたＰＧＯ膜で、ｃ軸の配向性が非常に高いものが開示されている。その結果、高いＰｒ値およびＥｃ値と共により低い比誘電率が得られている。このような膜は、１Ｔおよび単トランジスタ／単キャパシタ（１Ｔ／１Ｃ）ＦｅＲＡＭ用途において有用である。上記３つの同時係属中の特許出願を、本明細書において参考のため援用する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
強弾性ＰＧＯ薄膜の堆積用のＣＶＤプロセスが開発されれば、有利である。
【０００９】
優れた膜均一性、優れた組成制御性、高い膜密度、高い堆積速度、優れたステップカバレッジ、および市場適性、を提供するＣＶＤプロセスがＰＧＯプロセス用に開発されることができれば、有利である。
【００１０】
本発明は、強弾性ＰＧＯ薄膜の堆積用のＣＶＤプロセスを提供することを目的とする。また、ＰＧＯ膜から形成される強弾性キャパシタを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の方法は、強弾性鉛ゲルマニウム酸化物（ＰＧＯ）膜を集積回路（ＩＣ）ウェハ上に生成する方法であって、ａ）［Ｐｂ（ｔｈｄ）2］と［Ｇｅ（ＥＴＯ）4］とを混合して、約２：１〜４：１の範囲のモル比を有するＰＧＯ混合物を生成する工程と、ｂ）工程ａ）の該混合物を、テトラヒドロフラン、イソプロパノール、およびテトラグリムの溶媒に溶解させ、前駆体溶液を生成する工程と、ｃ）工程ｂ）で生成された該溶液を加熱し、前駆体ガスを生成する工程と、ｄ）工程ｃ）で生成された該前駆体ガスを該ＩＣウェハ上で分解し、Ｐｂ3ＧｅＯ5である第１の相を含むＰＧＯ薄膜を生成し、これにより強弾性特性を有する該ＰＧＯ膜を生成する工程と、を包含し、これにより上記目的を達成する。
【００１２】
前記工程ａ）は、前記［Ｐｂ（ｔｈｄ）2］と［Ｇｅ（ＥＴＯ）4］とを、約３：１のモル比で混合する工程を含んでもよい。
【００１３】
前記工程ｂ）は、前記溶媒テトラヒドロフラン、イソプロパノール、およびテトラグリムのそれぞれのモル比が約８：２：１であることを包含してもよい。
【００１４】
前記工程ｂ）は、溶媒１リットルあたり約０．１〜０．５モルのＰＧＯ混合物濃度を有する前駆体溶液を生成する工程を含んでもよい。
【００１５】
液体ポンプおよび前駆体蒸発器が提供され、前記工程ｃ）は、該前駆体蒸発器を用いて前記前駆体溶液を約１８０〜２５０℃の範囲の温度まで加熱することにより前記前駆体ガスを生成する工程を含み、前記工程ｂ）の後かつ該工程ｃ）の前にさらなる工程としてｂ1）該液体ポンプを用いて、該工程ｂ）の該前駆体溶液を、該工程ｃ）の該前駆体蒸発器へ１分あたり約０．１〜０．５ミリリットル（ｍｌ／ｍｉｎ）の速度で導入する工程、を含んでもよい。
【００１６】
前記ＩＣウェハは、反応器内に設置され、ｃ1）チャンバ内の前記前駆体ガスと、約１７０〜２５０℃の範囲の温度まで予備加熱された約４０００〜６０００立方センチメートル毎分（ｓｃｃｍ）の範囲のアルゴンガスのシュラウドフローとを、混合する工程と、ｃ2）約１０００〜３０００ｓｃｃｍの範囲の酸素フローを該反応器に導入する工程と、をさらに含んでもよい。
【００１７】
前記ＩＣウェハは反応器内のウェハチャック上に設置され、前記工程ｃ）は、前駆体蒸気圧を約３０〜５０ｔｏｒｒ（Ｔ）の範囲で定立する工程を含み、前記工程ｄ）は、該ウェハチャックを約５００〜６５０℃の範囲の温度まで加熱する工程および約５〜１０Ｔの範囲の反応器チャンバの圧力を定立させる工程を含んでもよい。
【００１８】
前記工程ｄ）の後にさらなる工程として、ｅ）前記ＰＧＯ膜を、酸素雰囲気中で室温程度まで冷却する工程と、ｆ）該工程ｄ）で生成された該ＰＧＯ膜を、酸素雰囲気およびＰｂを伴う酸素雰囲気からなる群より選択された雰囲気中でアニーリングし、これにより該ＰＧＯ膜の前記強弾性特性が向上する工程、とを含んでもよい。
【００１９】
強弾性デバイスが前記工程ｄ）の前記ＰＧＯ膜で形成され、前記工程ｆ）に続く、ｇ）該ＰＧＯ膜の上の導電極を設ける工程と、ｈ）該ＰＧＯ膜を、酸素雰囲気およびＰｂを伴う酸素雰囲気からなる群より選択された雰囲気中でアニーリングし、これにより該工程ｄ）で生成された該ＰＧＯ膜と該工程ｇ）で設けられた該電極との間の界面が向上する工程、とを含んでもよい。
【００２０】
前記工程ｆ）および前記工程ｈ）は、約２０％よりも大きな分圧で前記酸素を導入することを含んでもよい。
【００２１】
前記工程ｆ）および前記工程ｈ）は、約５００〜６００℃の範囲の温度で約３０分〜２時間の間継続される電気炉アニーリングおよび、約５００〜７５０℃の範囲の温度での急速加熱アニーリング（ＲＴＡ）からなる群より選択された、アニーリング方法の使用を含んでもよい。
【００２２】
前記工程ｆ）および前記工程ｈ）において、前記ＲＴＡは、約１０〜１８００秒の範囲の継続時間および１秒あたり約１０〜２００℃の範囲の昇温を含んでもよい。
【００２３】
前記工程ｄ）、前記工程ｆ）、および前記工程ｈ）は、前記第１の相Ｐｂ3ＧｅＯ5が約１〜２ミクロンの範囲の結晶粒径を有することを含んでもよい。
【００２４】
前記工程ａ）の前に、前記ＩＣウェハの上の導電極を堆積させ、前記導電極の材料は、ＩｒおよびＰｔからなる群より選択されるというさらなる工程を含んでもよい。
【００２５】
前記工程ｄ）は、約１ミリメートル（ｍｍ）未満の膜厚を有するＰＧＯ膜を生成する工程を含んでもよい。
【００２６】
また、本発明のＰＧＯ薄膜は、強弾性特性を有する鉛ゲルマニウム酸化物（ＰＧＯ）薄膜であって、Ｐｂ3ＧｅＯ5である第１の相を含み、Ｐｂ3ＧｅＯ5である該第１の相の前記厚さは約１ｍｍ未満であり、これにより該Ｐｂ3ＧｅＯ5相は該ＰＧＯ膜の該強弾性特性を向上させており、これにより上記目的が達成される。
【００２７】
前記第１の相Ｐｂ3ＧｅＯ5は、約１〜２ミクロンの範囲の結晶粒径を有してもよい。
【００２８】
また、本発明のキャパシタは、強弾性特性を有するキャパシタであって、第１の導電極と、該第１の電極の上の第１の相Ｐｂ3ＧｅＯ5を含むＰＧＯ薄膜と、該ＰＧＯ膜の上の第２の導電極とを含み、これにより強弾性特性を有するＰＧＯ膜キャパシタが形成され、これにより上記目的が達成される。
【００２９】
前記強弾性特性は、約５０〜１００の範囲の比誘電率を包含してもよい。
【００３０】
前記強弾性特性は、１００ｋＶ／ｃｍにおいて４×１０-6Ａ／ｃｍ2の漏れ電流を包含してもよい。
【００３１】
最小分極電圧は約１ボルトであり、飽和電圧は約５ボルトであってもよい。
【００３２】
従って、本発明により、強弾性鉛ゲルマニウム酸化物（ＰＧＯ）膜を、集積回路（ＩＣ）のＩＣウェハ上に生成する方法が提供される。典型的には、ウェハはＩｒまたはＰｔにより形成される導電極材料で少なくとも部分的に覆われている。この方法は、
ａ）［Ｐｂ（ｔｈｄ）2］と［Ｇｅ（ＥＴＯ）4］とを混合して、約３：１のモル比を有するＰＧＯ混合物を生成する工程と、
ｂ）工程ａ）の混合物を、それぞれが約８：２：１のモル比を有するテトラヒドロフラン、イソプロパノール、およびテトラグリムの溶媒に溶解させ、溶媒１リットルあたりのＰＧＯ混合物が約０．１〜０．５モルの濃度、を有する前駆体溶液を生成する工程と、
ｃ）前駆体溶液を前駆体蒸発器に１分あたり約０．１〜０．５ミリリットルの範囲の速度（ｍｌ／ｍｉｎ）で導入し、溶液を加熱して、約１８０〜２５０℃の範囲の温度と約３０〜５０ｔｏｒｒ（Ｔ）の範囲の前駆体蒸気圧を有する前駆体ガスを生成する工程と、
ｃ1）チャンバ内の前駆体ガスを、約１７０〜２５０℃の範囲の温度まで予備加熱された約４０００〜６０００立方センチメートル毎分（ｓｃｃｍ）の範囲のアルゴンガスのシュラウドフローと、混合する工程と、
ｃ2）酸素フローを、反応器に約１０００〜３０００ｓｃｃｍの範囲で導入することにより、鉛ゲルマニウム酸化物のｃ軸配向を促進する工程と、
ｄ）ウェハチャックを約５００〜６５０℃の範囲の温度まで加熱し、約５〜１０Ｔの範囲の反応器チャンバの圧力を定立させ、ＩＣウェハ上の前駆体ガスを分解してＰｂ3ＧｅＯ5である第１の相を含み１ミリメートル（ｍｍ）未満の厚さを有するＰＧＯ薄膜を生成することにより、強弾性特性を有するＰＧＯ膜を生成する工程と、
ｅ）ＰＧＯ膜を、酸素雰囲気中で室温程度まで冷却する工程と、
ｆ）工程ｄ）で生成されたＰＧＯ膜を、酸素雰囲気およびＰｂを伴う酸素雰囲気からなる群より選択された雰囲気中でアニーリングする工程であって、酸素は約２０％よりも大きな分圧で導入され、これによりＰＧＯ膜の強弾性特性が向上する工程、
とを含む。
【００３３】
本発明のいくつかの局面において、強弾性デバイスが前記ＰＧＯ膜を用いて形成され、工程ｆ）に続いて、
ｇ）ＰＧＯ膜の上の導電極を設ける工程と、
ｈ）ＰＧＯ膜を、酸素雰囲気およびＰｂを伴う酸素雰囲気からなる群より選択された雰囲気中でアニーリングする工程であって、酸素は約２０％よりも大きな分圧で導入され、これによりＰＧＯ膜と工程ｇ）で設けられた電極との間の界面が向上する工程、
を、行う。
【００３４】
工程ｆ）および工程ｈ）は、典型的にはＰＧＯ膜をアニーリングする急速加熱アニーリング（以下ＲＴＡと呼ぶ）の使用を含む。急速加熱アニーリングにおいて、温度は約５００〜７５０℃の範囲で、継続時間は約１０〜３０分の範囲であり、昇温は１秒あたり約１０〜２００℃の範囲である。あるいは、電気炉アニーリングを、５００〜６００℃の間の温度で３０分〜２時間の間実施する。
【００３５】
強弾性特性を有する鉛ゲルマニウム酸化物（ＰＧＯ）薄膜も提供される。ＰＧＯ膜は、Ｐｂ3ＧｅＯ5である第１の相を含み、Ｐｂ3ＧｅＯ5である第１の相の厚さは約１ｍｍ未満であり、これによりＰｂ3ＧｅＯ5相は、ＰＧＯ膜の強弾性特性を向上させる。第１の相Ｐｂ3ＧｅＯ5は、典型的には約１〜２ミクロンの範囲の結晶粒径を有する。
【００３６】
強誘電特性を有するキャパシタも提供される。キャパシタは、第１の導電極、第１の電極を覆うＰｂ3ＧｅＯ5である第１の相を含むＰＧＯ薄膜、およびＰＧＯ膜の上の第２の導電極を含み、これにより、強弾性特性を有するＰＧＯ膜キャパシタが形成される。本キャパシタは、約５０〜１００の範囲の比誘電率および１００ｋＶ／ｃｍのとき４×１０-6Ａ／ｃｍ2の漏れ電流を有する。最小分極電圧は約１ボルトであり、飽和電圧は約５ボルト未満である。
【００３７】
【発明の実施の形態】
金属・有機化学気相成長（ＭＯＣＶＤ）法およびＲＴＰ（急速加熱プロセス）アニーリング法を用いて、強弾性Ｐｂ3ＧｅＯ5薄膜を、ＩｒまたはＰｔで被膜されているＳｉウェハ上に生成した。膜は、鏡面状でかつひび割れが無く、５００℃と６５０℃との間で完全な結晶化を示した。ＩｒまたはＰｔの電極を有する３００ｎｍ厚の膜において、良好な強弾性特性が得られた。分極は、印加電圧が１Ｖしかなくても生じることができ、５Ｖのときにほぼ完全な飽和が起こる。印加電圧が除去された後、分極は消滅する。漏れ電流は、印加電圧の増加にしたがって増加し、１００ｋＶ／ｃｍのとき約４×１０-6Ａ／ｃｍ2であった。比誘電率は、大多数の強弾性材料と同様に、印加電圧に応じて比誘電率が変わる挙動を示した。最大比誘電率は、約５０〜１００であった。この高品質ＭＯＣＶＤによるＰｂ3ＧｅＯ5膜は、超小型電子機械システム（ＭＥＭＳ）への用途および高速マルチチップモジュール（ＭＣＭ）中のデカップリングキャパシタへの用途に用いることができる。
【００３８】
本発明による鉛ゲルマニウム酸化物（以下ＰＧＯと呼ぶ）薄膜は、強弾性特性を有する。これらの膜は、第１の相としてＰｂ3ＧｅＯ5を含む。第１の相Ｐｂ3ＧｅＯ5の厚さは約１ｍｍ未満であり、これによりＰｂ3ＧｅＯ5相はＰＧＯ膜の強弾性特性を向上させる。第１の相Ｐｂ3ＧｅＯ5は、典型的には約１〜２ミクロンの範囲の結晶粒径を有する。
【００３９】
ＥＭＣＯＲＥ酸化物または液体送出装置を備えた他の同様なＭＯＣＶＤ反応器を、Ｐｂ3ＧｅＯ5膜を成長させるために用いた。このような装置は、図１中の、Ｔｉｎｇｋａｉ  Ｌｉらによって発明され、「Ｍｕｌｔｉ-Ｐｈａｓｅ  Ｌｅａｄ  Ｇｅｒｍａｎａｔｅ  Ｆｉｌｍ  ａｎｄ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｍｅｔｈｏｄ」の名称を有する本願の優先権主張の基礎となる米国特許出願第０９／３０１，４３４号と同時係属中の特許出願（米国特許出願第０９／３０１，４３５号）において示されている。ＭＯＣＶＤプロセスを用いて、Ｐｂ3ＧｅＯ5膜を、６インチのＰｔまたはＩｒで被膜されているＳｉウェハ上で堆積させた。表１は、ＰＧＯ薄膜用の前駆体の一覧表である。
【００４０】
【表１】
0003682913.tif 000002
表１  ＰＧＯ薄膜用の前駆体の特性
モル比が３：１の［Ｐｂ（ｔｈｄ）2］および［Ｇｅ（ＥＴＯ）4］を、ブチルエーテル（またはテトラヒドロフラン）、イソプロパノール、およびテトラグリムのモル比８：２：１の混合溶媒中に溶解させた。［Ｐｂ（ｔｈｄ）2］は、ビス（２，２，６，６−テトラメチル−３，５−ヘプタンジオナート）鉛（ＩＩ）であり、［Ｇｅ（ＥＴＯ）4］は、ゲルマニウム（ＩＶ）エトキシドである。前駆体溶液は、０．１〜０．５Ｍ／ＬのＰｂ3ＧｅＯ5濃度を有する。溶液を、ポンプを用いて蒸発器（１８０‐２５０℃）に０．１〜０．５ｍｌ／ｍｉｎの速度で注入し、前駆体ガスを生成した。前駆体ガスを、１７０〜２５０℃に予備加熱されたアルゴンフローを用いて反応器中に導入した。堆積温度および堆積圧力は、それぞれ５００〜６５０℃および５〜１０ｔｏｒｒである。酸素（１０００〜３０００ｓｃｃｍ）を有するシュラウドフロー（Ａｒ４０００〜６０００ｓｃｃｍ）を、反応器内に導入した。堆積後は、Ｐｂ3ＧｅＯ5膜を、酸素雰囲気中で室温まで冷却した。良好な強誘電性特性を達成するため、ＲＴＰ法を用いて上側電極を堆積させる前と後に、Ｐｂ3ＧｅＯ5膜をポストアニーリングした。本明細書中では、上側電極の堆積前のポストアニーリングを第１回目のアニーリングと規定し、上側電極の堆積後のポストアニーリングを第２回目のアニーリングと規定する。
【００４１】
いくつかの初期段階の試験用Ｐｂ3ＧｅＯ5膜の、基本的な組成、相ならびに強誘電性および電気的特性を測定した。Ｐｂ3ＧｅＯ5膜の組成は、エネルギー分散Ｘ線分析（ＥＤＸ）を用いて分析した。膜の相は、Ｘ線回折を用いて確認した。Ｉｒ／Ｔｉ／ＳｉＯ2／Ｓｉ基板上の膜の厚さおよび表面形態は、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて調査した。膜の漏れ電流および比誘電率は、ＨＰ４１５５-６高精度半導体パラメータアナライザおよびＫｅｉｔｈｌｅｙ１８２ＣＶアナライザを用いてそれぞれ測定した。膜の強誘電性特性は、標準的なＲＴ６６Ａテスタを用いて測定した。
【００４２】
本発明によるＰＧＯ膜を、約５００〜６５０℃の温度で堆積させた。堆積したままの膜は、鏡面状で、ひび割れが無く、かつ基板に良好に付着していた。光学顕微鏡および走査電子顕微鏡の両方を用いて観察しても、膜は、非常に滑らかな表面を呈していた。膜の成長率は、典型的には２〜５ｎｍ／ｍｉｎの範囲内であった。
【００４３】
図１は、強弾性鉛ゲルマニウム酸化物（ＰＧＯ）膜の生成方法中の工程を例示する。工程１００において、集積回路（ＩＣ）のウェハまたは膜を提供する。典型的には、工程１０２の前にさらなる工程（図示せず）として、ＩＣウェハを覆う導電極を堆積させる。導電極の材料は、ＩｒおよびＰｔからなる群より選択される。工程１０２において、［Ｐｂ（ｔｈｄ）2］と［Ｇｅ（ＥＴＯ）4］とを混合して、約２：１〜４：１の範囲のモル比を有するＰＧＯ混合物を生成する。モル比は、典型的には約３：１であるが、前駆体蒸気の温度および反応器チャンバ内の部分的なＰｂ雰囲気の存在の有無により変化する。
【００４４】
工程１０４において、工程１０２の混合物を、テトラヒドロフラン、イソプロパノール、およびテトラグリムの溶媒中に溶解させて前駆体溶液を生成する。本発明のいくつかの局面において、工程１０４は、それぞれのモル比が約８：２：１であるテトラヒドロフラン、イソプロパノール、およびテトラグリムの溶媒を用いる。典型的には、工程１０２および工程１０４は、同時に実施され、工程１０４は、溶媒１リットルあたりのＰＧＯ混合物が約０．１〜０．５モルの濃度を有する前駆体溶液を生成する工程を含む。表２および表３は、本発明によるプロセスで用いられる他の前駆体および溶媒を示す。
【００４５】
【表２】
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表２  ＰＧＯ膜用前駆体の特性
【００４６】
【表３】
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表３  ＰＧＯ膜用溶媒の特性
工程１０６において、工程１０４で生成された溶液を加熱して前駆体ガスを生成する。典型的には、工程１００において、反応器に付加的に前駆体蒸発器を提供し、工程１０６は、前駆体蒸発器を用いて前駆体溶液を約１８０〜２５０℃の範囲まで加熱する工程を含み、これにより前駆体ガスが生成される。本発明のいくつかの局面において、工程１００において液体ポンプを提供する。この場合、工程１０４の後かつ工程１０６の前に、さらなる工程を実施する。すなわち工程１０４ａ（図示せず）において、液体ポンプを用いて、工程１０４の前駆体溶液を工程１０６の前駆体蒸発器に１分あたり約０．１〜０．５ミリリットル（ｍｌ／ｍｉｎ）の範囲の速度で導入する。
【００４７】
工程１０８において、工程１０６においてＩＣウェハ上で生成された前駆体ガスを分解して、Ｐｂ3ＧｅＯ5である第１の相を含むＰＧＯ薄膜を生成する。バルク材料とは異なり、工程１０８は典型的には約１ミリメートル（ｍｍ）未満の膜厚を有するＰＧＯ膜を生成することを含む。工程１１０は、生成後のＰＧＯ膜が強弾性特性を有する生成物である。
【００４８】
本発明のいくつかの局面において、工程１００は、ＩＣウェハを反応器チャンバまたは真空チャンバ内に設置することを包含する。あるいは、ＩＣウェハは、工程１０８の前の工程（図示せず）において導入される。いずれにせよ、工程１０６ａにおいて、チャンバ内の前駆体ガスを、約１７０〜２５０℃の範囲の温度に予備加熱した、約４０００〜６０００立方センチメートル毎分（ｓｃｃｍ）のアルゴンガスのシュラウドフローと、混合する。次に、工程１０６ｂにおいて、酸素フローを約１０００〜３０００ｓｃｃｍの範囲で反応器に導入する。
【００４９】
さらに、工程１００において、ＩＣウェハを、前駆体およびガスの流れを促進するように設定されたチャンバ圧力を有する反応器内のウェハチャック上に設置する。工程１０６は、前駆体蒸気圧を約３０〜５０ｔｏｒｒ（Ｔ）の範囲で定立させる工程を含む。工程１０８は、ウェハチャックを約５００〜６５０℃の範囲の温度まで加熱する工程および約５〜１０Ｔの範囲の反応器チャンバの圧力を定立させる工程を含む。あるいは、酸素の分圧は１０％よりも大きく、好ましくは約２０〜５０％の範囲内にある。
【００５０】
典型的には、工程１０８の後にはさらなる工程が続く。工程１０８ａにおいて、ＰＧＯ膜を、酸素雰囲気中で室温程度まで冷却する。工程１１２において、工程１０８で生成されたＰＧＯ膜を、酸素雰囲気およびＰｂを伴う酸素雰囲気からなる群より選択された雰囲気中でアニーリングし、これによりＰＧＯ膜の強弾性が向上する。Ｐｂ雰囲気は、典型的には約０〜３０％の範囲内にある。
【００５１】
本発明のいくつかの局面において、工程１０８のＰＧＯ膜を用いて、強弾性デバイスを形成する。その場合、工程１１２の後にさらなる工程が続く。工程１１４において、ＰＧＯ膜の上に導電極を設ける。工程１１６において、ＰＧＯ膜を、酸素雰囲気およびＰｂを伴う酸素雰囲気からなる群より選択された雰囲気中で、アニーリングする。工程１０８で生成されたＰＧＯ膜と工程１１４で設けられた電極との間の界面が向上する。工程１１２および工程１１６は、典型的には約２０％よりも大きな分圧で導入された酸素を含む。
【００５２】
工程１１２および工程１１６は、約５００〜６００℃の範囲の温度で約３０分〜２時間の継続する電気炉アニーリングおよび、約５００〜７５０℃の範囲の温度の急速加熱アニーリングからなる群より選択された、アニーリング方法を用いることを含む。ＲＴＡが工程１１２および工程１１６において用いられた場合は、継続時間は約１０〜１８００秒の範囲内であり、昇温は１秒あたり約１０〜２００℃の範囲である。本発明のいくつかの局面において、第１回目のアニーリング工程は電気炉アニーリングであり、かつ第２回目のアニーリング工程はＲＴＡアニーリングである。工程１０８、工程１１２および工程１１８は、約１〜２ミクロンの範囲の結晶粒径を有する第１の相Ｐｂ3ＧｅＯ5を含む。
【００５３】
図２は、本発明による強弾性特性を有するキャパシタの完成品を例示している。キャパシタ２００は、第１の導電極２０２、第１の電極２０２の上のＰｂ3ＧｅＯ5である第１の相を含むＰＧＯ薄膜２０４、およびＰＧＯ膜２０４の上の第２の導電極２０６を含む。これにより、強弾性特性を有するＰＧＯ膜キャパシタが形成される。
【００５４】
キャパシタ２００は、約５０〜１００の範囲の比誘電率を含む強弾性特性および１００ｋＶ／ｃｍのとき４×１０-6Ａ／ｃｍ2の漏れ電流を有する。最小分極電圧は約１ボルトであり、飽和電圧は約５ボルトである。
【００５５】
図３は、５５０℃で堆積させた本発明によるＰｂ3ＧｅＯ5膜のＸ線パターンである。組成および図３のＸ線分析から、多結晶のＰｂ3ＧｅＯ5膜の形成が確認される。
【００５６】
図４は、本発明によるＰＧＯ膜のＳＥＭによる顕微鏡写真である。膜の平均結晶粒径は、約１．５μｍである。膜厚は、約３００ｎｍと測定された。表面形態に関し、ＳＥＭによる検査において、膜は、均一に分布した細かな結晶を有し、ひび割れは無いようであった。
【００５７】
図５は、本発明による膜の、最大分極（Ｐｍ）およびスイッチング電界（Ｅｓ）を例示する。堆積したままののＰｂ3ＧｅＯ5膜は、良好な強弾性特性を示す。ＲＴＰアニーリングを５５０〜６００℃で０．５時間行った後、Ｐｂ3ＧｅＯ5膜は、より高い分極（Ｐｍ）およびより低いスイッチング電界（Ｅｓ）を有する対称形の強弾性ヒステリシスループを呈した。図５に示すように、スイッチング電界が除去された後、分極は消滅する。分極は、スイッチング電圧が１Ｖと非常に低いときでも出現し、スイッチング電圧が高くなるのにしたがって増加する。
【００５８】
図６は、本発明によるＰＧＯ膜のＩ-Ｖ曲線を例示している。低漏れ電流密度は、超小型電子機械デバイスへの用途において、考慮されるべき重要な事項である。図６は、３００ｎｍの厚さのＭＯＣＶＤ  ＰＧＯ膜のＩ-Ｖ曲線を示し、優れたＩ-Ｖ曲線が認められる。Ｐｂ3ＧｅＯ5薄膜の漏れ電流の密度は、印加電圧が高くなるに従って増加し、１００ｋＶ／ｃｍのときに約４×１０-6Ａ／ｃｍ2である。
【００５９】
図７は、本発明によるＰＧＯ膜の比誘電率を例示している。比誘電率もまた、超小型電子機械システム（ＭＥＭＳ）および高速マルチチップモジュール（ＭＣＭ）内のデカップリングキャパシタにおいて、重要である。Ｐｂ3ＧｅＯ5薄膜の比誘電率は、大多数の強弾性材料と同様に、印加電圧に応じて比誘電率が変化する挙動を示す。Ｐｂ3ＧｅＯ5薄膜の最大比誘電率は、約５０〜１００である。図３〜図７は実験に用いた膜の結果を例示しており、必ずしも最適値ではない点に留意されたい。
【００６０】
本発明によれば、Ｐｂ3ＧｅＯ5相のＰＧＯ薄膜が提供される。Ｐｂ3ＧｅＯ5相のＰＧＯ薄膜は、多くの超小型電子機械への用途または高速マルチチップモジュール内のデカップリングキャパシタとして理想的な強弾性特性を有する。ＰＧＯ膜は、１ｍｍ未満の材料薄膜を堆積することが可能なＭＯＣＶＤプロセスにおいて、生成されることを特徴とする。ＭＯＣＶＤプロセスでは、Ｐｄおよびゲルマニウムを溶媒中で混合する。溶液を加熱して、分解用の前駆体蒸気を生成する。この方法により分解温度および分解圧力が提供される。堆積したままのの膜はまたアニーリングされることで、膜の強弾性特性が向上する。本発明によるＰＧＯ膜から形成される強弾性キャパシタもまた提供する。このＰＧＯ膜用のＭＯＣＶＤ堆積方法も提供する。本発明のその他の実施形態および改変は、当業者によってなし得る。
【００６１】
【発明の効果】
本発明によれば、強弾性ＰＧＯ薄膜の堆積用のＣＶＤプロセスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】強弾性鉛ゲルマニウム酸化物（ＰＧＯ）膜の生成方法中の工程を例示するフローチャートである。
【図２】本発明による強弾性特性を有するキャパシタの完成品を例示する図である。
【図３】５５０℃で堆積された、本発明によるＰｂ3ＧｅＯ5膜のＸ線パターンを示す図である。
【図４】本発明によるＰＧＯ膜のＳＥＭ顕微鏡写真である。
【図５】本発明による膜の、最大分極（Ｐｍ）およびスイッチング電界（Ｅｓ）を例示する図である。
【図６】本発明によるＰＧＯ膜のＩ-Ｖ曲線を例示する図である。
【図７】本発明によるＰＧＯ膜の比誘電率を例示する図である。
【符号の説明】
２００  キャパシタ
２０２  導電極
２０４  ＰＧＯ膜
２０６  導電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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