(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向配置されたＸ線源とＸ線検出器の間に、搬送手段により検査対象物を搬送しつつＸ線を照射して得られる当該検査対象物のＸ線透視像を用いた画像処理により、検査対象物中の異物の有無を、設定手段によりあらかじめ設定されている判定用パラメータを用いて判定する画像処理手段を備えたＸ線異物検査装置において、
複数種の異物パターン像を記憶する記憶手段と、上記Ｘ線検出器により撮像した異物の存在しない検査対象物のＸ線透視像に、上記記憶手段に記憶されている複数種の異物パターン像の任意のものを選択的に合成する画像合成手段を備え、その合成された画像を用いて、上記設定手段により判定用パラメータを設定し得るように構成されていることを特徴とするＸ線異物検査装置。
【請求項２】
検査対象物のＸ線透視像を用いた画像処理により、検査対象物中の異物の有無を、あらかじめ設定されている判定用パラメータを用いて判定するＸ線異物検査装置における画像処理手段で用いる異物判定用パラメータを設定するための装置であって、
上記Ｘ線異物検査装置に用いられているものと同じ機能を有する画像処理手段と、複数の異物パターンを記憶する記憶手段と、Ｘ線異物検査装置により撮像した異物の存在しない検査対象物のＸ線透視像をロードするデータ取り込み手段と、その取り込んだ検査対象物のＸ線透視像と上記記憶手段に記憶されている複数種の異物パターン像のうちの任意のものを選択的に合成する画像合成手段と、その合成された画像を用いて、上記画像処理手段で用いる判定用パラメータを設定する設定手段を備えていることを特徴とするＸ線異物検査装置のための判定用パラメータ設定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば食品等などの検査対象物のＸ線透視像の画像処理により、その内部に異物が存在しているか否かを判定するＸ線異物検査装置と、この種のＸ線異物検査装置のための判定用パラメータを任意に場所で設定することのできる判定用パラメータ設定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査対象物の内部に異物が混入しているかいなかを検査する装置として、Ｘ線を用いて検査対象物の内部を透視し、その透視画像を画像処理することにより、検査対象物内の異物の存在の有無を検査する装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
この種のＸ線異物検査装置は、図６にその構成例を模式的に示す。この図６において、（Ａ）は検査対象物Ｗの搬送方向側方から見た機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図であり、（Ｂ）はその右側面から見た機械的構成を表す模式図である。Ｘ線源６１とＸ線検出器６２を対向配置するとともに、これらの間に検査対象物Ｗを搬送する搬送装置６３を配置した構成をとる。
【０００４】
Ｘ線源６１はファンビーム状のＸ線を出力し、Ｘ線検出器６２はそのファンビーム状のＸ線の広がり方向に複数の素子を並べてなる１次元検出器であり、検査対象物Ｗはそのファンビーム状のＸ線に対して垂直な方向に搬送される。そして、検査対象物ＷがＸ線源６１とＸ線検出器６２の配設位置に到来したことを光電センサ６４ａと反射板６４ｂの対によって検出し、検査対象物ＷがＸ線源６１とＸ線検出器６２の間を通過し終えるまでの間に、Ｘ線検出器６２の出力を刻々と画像処理装置６５に取り込むことにより、画像処理装置６５には検査対象物ＷのＸ線透視像が取り込まれることになる。
【０００５】
画像処理装置６５では、検査対象物ＷのＸ線透視像を画像処理することによって異物Ｓが混入しているか否かを判別し、その判別結果（ＯＫ／ＮＧ）は、搬送装置６３の下流側に設けた排除装置（図示せず）等に供給され、ＮＧの場合にはその検査対象物Ｗを排除する。
【０００６】
画像処理装置６５には、検査対象物ＷのＸ線透視像の表示手段と、異物有無の判定用のパラメータ等を設定するための入力手段が接続されており、この例では、これらの機能を併せ持ったモニタ付きタッチパネル６５ａが接続されている。
【０００７】
ここで、検査対象物Ｗを透過したＸ線の線量分布は、検査対象物Ｗの厚さや内容物等によって一定ではなく、画像処理装置６５による異物の有無の判定は、通常、１つのしきい値を用いて、Ｘ線線量がある一定レベル以下の部位があるから異物有りと判定するような単純な方法を採用することができない。
【０００８】
よって、画像処理装置６５による異物有無の判定には、一般に複数の判定用パラメータが設定される。例えば、図７に１次元Ｘ線検出器の各素子（位置）とその出力（Ｘ線の線量）との関係の例を示すグラフを用いて説明すると、２つのしきい値Ｔｈ１とＴｈ２と比較距離Ｌｃを判定用パラメータとして用いる。このうち、しきい値Ｔｈ１は、このレベルより下の部分が存在すれば異物有りと判定するためのものであり、しきい値Ｔｈ２は、各素子出力に対して比較距離Ｌｃ内の素子出力との比較とを比較し、その差が当該しきい値Ｔｈ２よりも大きい場合に異物有りと判定するためのパラメータである。
【０００９】
以上のような各判定用パラメータＴｈ１，Ｔｈ２およびＬｃ等の値を設定するには、従来、検査対象物と検出したい異物を用意し、異物を混入した検査対象物である異物混入サンプルを作成して、そのＸ線透過情報を用いて最適なパラメータの組み合わせを設定していた。このとき、検出したい異物の種類は、一般に複数種に及び、従って、複数種の異物を用意し、それぞれの異物について１つずつ検査対象物に混入させた異物混入サンプルを作成して、全ての異物混入サンプルについて異物有りと判定するようなパラメータ群を設定する必要がある。
【特許文献１】特開２００１−２８１１７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、上記したような従来の判定用パラメータの設定に際しての異物混入サンプルの作成においては、実際には、正常な、つまり異物の混入していない検査対象物の入手は容易であるものの、検査すべき複数種の異物を直ちに入手することは困難である場合が多く、そのため、異物混入サンプルの作成とパラメータ設定には比較的長い時間を要し、その間、生産現場において装置の稼働を停止させなければならないという問題があった。
【００１１】
また、時間が経過することにより物性等が変化する物品、例えばアイスクリーム等、については、事前に上記のような異物混入サンプルを作成してパラメータ設定を行うことが実質的に不可能であるため、このような物品の異物を検査するための装置については、実ラインへの導入後に調整・検証さぜるを得ない場合が多く、そのため、検証不足での稼働による導入後のトラブルが発生することもあった。
【００１２】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、実際に異物混入サンプルを作成することなく、判定用パラメータを最適に設定することができ、また、経時的に物性等が変化する物品についても事前の調整・検証を容易に行うことのできるＸ線異物検査装置と、実際のＸ線異物検査装置を用いることなく、任意の場所においてＸ線異物検査装置のための判定用パラメータを最適に設定することのできるシミュレーション装置の提供をその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の目的を達成するため、本発明のＸ線異物検査装置は、互いに対向配置されたＸ線源とＸ線検出器の間に、搬送手段により検査対象物を搬送しつつＸ線を照射して得られる当該検査対象物のＸ線透視像を用いた画像処理により、検査対象物中の異物の有無を、設定手段によりあらかじめ設定されている判定用パラメータを用いて判定する画像処理手段を備えたＸ線異物検査装置において、複数種の異物パターンを記憶する記憶手段と、上記Ｘ線検出器により撮像した異物の存在しない検査対象物のＸ線透視像に、上記記憶手段に記憶されている複数種の異物パターンの任意のものを選択的に合成する画像合成手段を備え、その合成された画像を用いて、上記設定手段により判定用パラメータを設定し得るように構成されていることによって特徴づけられる（請求項１）。
【００１４】
また、本発明のＸ線異物検査装置のための判定用パラメータ設定装置は、検査対象物のＸ線透視像を用いた画像処理により、検査対象物中の異物の有無を、あらかじめ設定されている判定用パラメータを用いて判定するＸ線異物検査装置における画像処理手段で用いる異物判定用パラメータを設定するための装置であって、上記Ｘ線異物検査装置に用いられているものと同じ機能を有する画像処理手段と、複数の異物パターンを記憶する記憶手段と、Ｘ線異物検査装置により撮像した異物の存在しない検査対象物のＸ線透視像をロードするデータ取り込み手段と、その取り込んだ検査対象物のＸ線透視像と上記記憶手段に記憶されている複数種の異物パターンのうちの任意のものを選択的に合成する画像合成手段と、その合成された画像を用いて、上記画像処理手段で用いる判定用パラメータを設定する設定手段を備えていることによって特徴づけられる（請求項２）。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のＸ線異物検査装置によれば、複数種の異物パターンを記憶手段に記憶し、そのうちの任意の異物パターンを、Ｘ線検出器により撮像した異物の存在しない検査対象物のＸ線透視像に対して合成して、その合成画像を用いて画像処理手段による判定のためのパラメータを設定することができるので、実際の検査対象物はＸ線検出器による撮像時にのみ必要であり、かつ、実際の異物のサンプルを用意することなく、判定用パラメータの設定を行うことができる。その結果、判定用パラメータの設定に要する一連の時間を従来に比して大幅に短縮化することができると同時に、異物混入サンプルを作成する作業も不要となる。
【００１６】
また、経時的に物性等が変化する物品についても、その物品が必要なのはＸ線透視像を撮像するだけであるが故に、通常の物品と全く同様にパラメータ設定を行うことができ、事前の調整・検証を容易に行うことができ、このような物品にもこの種のＸ線異物検査装置を導入しやすくなる。
【００１７】
一方、本発明のＸ線異物検査装置のための判定用パラメータ設定装置によると、例えば実際のＸ線異物検査装置のＸ線検出器により撮像した異物の存在しない検査対象物を撮像したＸ線透視像をロードすることにより、Ｘ線異物検査装置と離れた任意に場所において、上記と同様に、実際の異物のサンプルを用意することなく、異物パターンを検査対象物のＸ線透視像と合成した画像を用いて、画像処理手段のための判定用パラメータを設定することができ、実際のＸ線異物検査装置が組み込まれている生産ラインを停止させることなく、例えば次の検査対象物のための判定用パラメータを設定することが可能となり、生産効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ本発明の好適な実施の形態について説明する。
図１は本発明の実施の形態の構成図であり、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【００１９】
互いに対向配置されたＸ線源１とＸ線検出器２、およびこれらの間で検査対象物Ｗを搬送する搬送装置３、その搬送装置３により搬送されてくる検査対象物ＷがＸ線源１とＸ線検出器２の配設位置に到来したことを検知する光電センサ４等を主体とする機械的構成は、前記図６に示した従来の装置と同じであり、１次元状に複数の素子を並べてなるＸ線検出器２からの出力は刻々と画像処理装置５に取り込まれる。この実施の形態の特徴は、以下に示す画像処理装置５の機能にある。
【００２０】
画像処理装置５は、Ｘ線検出器２からの出力をデジタル化するＡ−Ｄ変換器５１、光電センサ４による検査対象物Ｗの検出信号を取り込み、当該光電センサ４により検査対象物Ｗの検知と同時にＯＮ，通りすぎた時点でＯＦＦの信号を発生する制御部５２、その制御部５２からの信号がＯＮとなっている状態においてＡ−Ｄ変換器５１からの出力を取り込むことにより、検査対象物Ｗの２次元状のＸ線透視像を記憶する画像メモリ５３、Ａ−Ｄ変換器５１からの出力並びに画像メモリ５３に記憶した検査対象物ＷのＸ線透視像を、前記した図７に例示した複数の判定用パラメータを用いて、その検査対象物Ｗ内に異物が存在しているか否かを自動的に判定してＯＫ／ＮＧの判定結果を排除装置（図示せず）に対して供給する自動判定部５４、タッチパネル５ａを接続するためのタッチパネルインターフェース５５、画像メモリ５３に格納されている画像をビデオ信号としてタッチパネル５ａに出力して表示するための表示制御部５６、後述する手法によって異物サンプル像を記憶する不揮発性メモリ５７、画像メモリ５３内の画像や後述するように合成された画像等を記憶するローカルメモリ５８、および全体を制御するＣＰＵ５９を主体として構成されている。
【００２１】
次に、以上の構成からなる本発明の実施の形態の作用を、その使用方法とともに説明する。
まず、異物パターンを作成して記憶させる手順について述べる。この異物パターンの作成は、例えば装置の工場出荷時や据え付け時、あるいは据え付け後に随時に行うことができる。
【００２２】
この異物パターンの作成に際しては、例えば図２（Ａ）に示すように、異物として各種物品に混入する可能性のある材質・形状の物体を用意する。すなわち、ステンレス球Ｓ０、ステンレス線Ｓ１、樹脂（小）Ｓ２、樹脂（大）Ｓ３、ゴム（中）Ｓ４、ゴム（大）Ｓ５、ガラス球（中）Ｓ６、ガラス球（大）Ｓ７などである。また、これらとは別に、異物の背景が飽和しないように、背景用部材として所定の厚みを持つアクリル板等を用意し、図２（Ｂ）に示すように、そのアクリル板等からなる背景部材Ａの上に、用意した異物Ｓ０〜Ｓ７のうちの一つ、例えば異物Ｓ０等を載せ、それを搬送装置３で搬送してそのＸ線透視像を読み込ませる。これにより、画像メモリ５３にはその透視画像が記憶され、同時にタッチパネル５ａのモニタには図２（Ｃ）に示すような透視画像が表示される。
【００２３】
この表示から、オペレータはタッチパネル５ａ上のモニタ画像から異物像をタッチする。これにより、ＣＰＵ５９はタッチパネルインターフェース５５を介して画像上の位置情報を認識し、この位置に対応する画像メモリ５３のアドレスをアクセスし、周囲の画像とレベル（線量データ）が異なる部分を抜き出し、異物パターンｉｂ０（ｕ，ｖ）として不揮発性メモリ５７に記憶する。なお、（ｕ，ｖ）は異物パターン内のモニタ画面上でのｘ，ｙ軸上への位置であり、ｉｂ０はその各位置（ｕ，ｖ）における異物Ｓ０のＸ線の吸収量に係るデータであって、背景部材Ａの各位置におけるＸ線透過線量（Ｘ線検出データ）の平均値をＡとし、異物Ｓ０の各位置でのＸ線透過線量（Ｘ線検出データ）をｂ（ｕ，ｖ）とすれば、Ｘ線検出器２がログ特性を有しているとすれば、
ｉｂ０（ｕ，ｖ）＝Ａ−ｂ（ｕ，ｖ）  ・・・・（１）
で表される。
【００２４】
以上の操作を、異物Ｓｋ（ｋ＝０〜７）について行うことにより、不揮発性メモリ５７にｉｂｋ（ｋ＝０〜７）の合計７個の異物パターンが格納される。この異物パターンの作成・記憶操作は、前記したようにあらかじめ実行しておくものであって、各異物パターンは不揮発性メモリ５７に格納されるが故に、一旦作成しておくことによって、装置電源を切っても何度でも使用することができる。
【００２５】
さて、以上のような複数の異物パターンｉｂｋ（ｕ，ｖ）を登録しておくことにより、実際の装置駆動に際しての異物有無の判定用のパラメータ設定は、以下の手順によって行うことができる。
【００２６】
最初に、正常な検査対象物Ｗ、つまり異物が混入していない良品の検査対象物Ｗを用意し、その検査対象物Ｗを搬送装置３によって搬送し、そのＸ線透視像を読み込ませる。画像処理装置５では、その正常な検査対象物ＷのＸ線透視像ｉｍｇ（ｘ，ｙ）を画像メモリ５３に記憶した後、そのデータをローカルメモリ５８に転送する。なお、ｘ，ｙはモニタ画面上の互いに直交する２軸方向への座標であり、ｉｍｇはその各座標におけるＸ線透過データを表している。そして、この正常な検査対象物ＷのＸ線透視像と、不揮発性メモリ５７に記憶している各異物パターンｉｂｋとを合成する。この合成方法の例について述べると、図３に示すように、ローカルメモリ５８に記憶している正常な検査対象物ＷのＸ線透視像ｉｍｇ（ｘ，ｙ）と、不揮発性メモリ５７に記憶している各異物パターンｉｂｋのそれぞれを合成して、以下に示すような合成像Ｇｎ（ｘ，ｙ）を作成する。
Ｇｎ（ｘ，ｙ）＝ｉｍｇ（ｘ，ｙ）−ｉｇｋ（ｘｐ＋ｕ，ｙｐ＋ｖ）  ・・・・（２）
【００２７】
この（２）式においてｘｐ，ｙｐは異物パターンｉｇｋ（ｕ，ｖ）の検査対象物像ｉｍｇ（ｘ，ｙ）内への組み込み位置を表す座標であって、検査対象物像ｉｍｇ（ｘ，ｙ）内の領域をランダムに選択するものとし、例えばＣＰＵ５９がランダム関数などを用いて発生し、その位置がｉｍｇ（ｘ，ｙ）内であることは、ｉｍｇ（ｘｐ，ｙｐ）の値（Ｘ線透過データ）がある一定値以下であることを確認すればよい。また、ｎは合成像の種類であり（ｎ＝１，２，・・・・）、各異物パターンｉｂｋ（ｋ＝０〜７）について１つずつ合成像を作る場合には、ｎ＝１〜７となる。なお、合成像は、各異物パターンの検査対象物像に対する組み込み位置（ｘｐ，ｙｐ）を変更するなどして、１つの異物パターンに対して複数の合成像を作成する場合もある。このようにして作成された各異物存在検査対象物像Ｇｎ（ｘ，ｙ）は、それぞれローカルメモリ５８に格納される。
【００２８】
以上の手順により各異物存在検査対象物像Ｇｎ（ｘ，ｙ）の作成を完了した後、これらを用いて自動判定部５４における判定用パラメータを設定する。
この設定に際しては、ＣＰＵ５９はモニタ付きタッチパネル５ａに図４に例示するような設定画面を表示させる。この図４において、Ｍは画像の表示部を示し、Ｂ１はその画像表示部Ｍに表示すべき画像（正常な検査対象物の像、もしくは異物パターンを合成した合成像Ｇｎ）の種類を選択するための入力ボックス、Ｂ２〜４はそれぞれしきい値Ｔｈ１，Ｔｈ２，および比較距離Ｌｃを設定するための入力ボックスである。
【００２９】
オペレータは、この表示において、画像種類を指定するための入力ボックスＢ１を介して、正常な検査対象物Ｗの画像と、異物Ｓ０〜Ｓ７のいずれかを選択する。これにより、該当する画像データがローカルメモリ５８から画像メモリ５３にロードされ、モニタ付きタッチパネル５ａの画像表示部Ｍにその画像が表示される。図４の例では、異物０を選択した状態を示している。同時に、自動判定部５４はその画像データを処理して異物の有無を判定する。その際、入力ボックスＢ２〜Ｂ４を介してしきい値Ｔｈ１，Ｔｈ２および比較距離Ｌｃを適宜に設定する。自動判定部５４では、これらの判定用パラメータにより前記した図７において説明した異物検出処理を行い、異物と判定した部位に画像表示部Ｍ上で例えば赤マークを付し、ＮＧメッセージを表示するとともに出力する。
【００３０】
オペレータは、異物Ｓ０〜Ｓ７が合成されてなる各合成像を選択した状態で全てＮＧメッセージが表示され、かつ、正常な検査対象物像を選択した状態でＯＫメッセージが表示されるように、入力ボックスＢ２〜Ｂ４を介して各判定用パラメータであるしきい値Ｔｈ１，Ｔｈ２および比較距離Ｌｃの各値を調整して、設定操作を終了する。これにより、ラインで実際の検査を行ったとき、異物の存在しない正常な検査対象物Ｗが通過したときにＯＫ、異物Ｓ０〜Ｓ７のいずれかに類似した異物が混入している検査対象物Ｗが通過したときにはＮＧのメッセージが出力されることになる。
【００３１】
以上のように、この実施の形態によると、実物の検査対象物ＷはそのＸ線透視像を得るべく１回だけ搬送装置３によりＸ線源１とＸ線検出器２の間を通過させるだけで、後は不要となるため、経時的に物性が変化してしまうアイスクリームのような食品に対するパラメータ設定も通常の物品と全く同等に行うことができ、また、異物パターンが不揮発性メモリ５７に格納されているため、異物の実物のサンプルが不要となって、判定用パラメータの設定の手間を大幅に省略することができる。
【００３２】
ところで、以上の実施の形態では、Ｘ線異物検査装置により判定用パラメータの設定を行った例を示したが、実際にライン内で稼働するＸ線異物検査装置とは別のシミュレーション装置を用いて、任意の場所で上記した操作と同等の操作によって、ライン内で稼働するＸ線異物検査装置のための判定用パラメータを設定することもできる。
【００３３】
図５にそのシミュレーション装置の構成例を表すブロック図を示す。
この例において、画像メモリ５３、自動判定部５４、タッチパネルインターフェース５５、表示制御部５６、不揮発性メモリ５７、ローカルメモリ５８、およびＣＰＵ５９は図１に示した画像処理装置５に用いているものと全く同等のものであり、タッチパネルインターフェース５５を介してモニタ付きタッチパネル５ａが接続されている点も同じであって、このモニタ付きタッチパネル５ａの表示内容も先の例と同じである。
【００３４】
このシミュレーション装置と先の例における画像処理装置５との相違点は、Ａ−Ｄ変換器５１と制御部５２に相当する機能を有していない点と、画像メモリ５３に対してメモリカードインターフェース１５１を介してメモリカードの内容が読み込まれるようになっている点である。先の実施例における異物パターンｉｂｋは前もって不揮発性メモリ５７に記憶されており、異物の存在しない正常な検査対象物ＷのＸ線透視像は、先の例と同じ手順によりＸ線異物検査装置のＸ線検出器によって読み取り、これをメモリカードに格納して、このシミュレーション装置の画像メモリ５３に読み込む。そして、その検査対象物ＷのＸ線透視像ｉｍｇ（ｘ，ｙ）と、不揮発性メモリ５７内の異物パターンｉｂｋ（ｕ，ｖ）とを合成してローカルメモリ５８に記憶する手順以下は、先の例と全く同等の手順によって、判定用パラメータの調整を行うことができる。このようにして調整した判定用パラメータは、実際のＸ線異物検査装置に対して、手動により、あるいは適当な記憶媒体を通じて、更にはＬＡＮ等を通じて随時に設定することができる。
【００３５】
従って、このシミュレーション装置を用いることにより、例えばライン内で稼働しているＸ線異物検査装置の検査対象物の種類を変更する場合等において、Ｘ線異物検査装置自体は稼働を続けたまま、次の検査対象物のための判定用パラメータを未然に決定しておき、ラインにおいて検査対象物を変更すると同時にＸ線異物検査装置に設定することが可能となり、判定用パラメータ設定のためにラインを止める時間を可及的に少なくすることができる。
【００３６】
なお、以上の実施の形態においては、正常な検査対象物のＸ線透視像データをメモリカードを介してシミュレーション装置の画像メモリに格納する例を示したが、インターネットやＬＡＮなどを介してＸ線透視像データをシミュレーション装置に送信するように構成し得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の形態の構成図であり、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【図２】本発明の実施の形態による異物パターンの作成方法の説明図であり、（Ａ）は用意すべき異物の例の説明図で、（Ｂ）はその異物のＸ線透視情報をＸ線検出器で読み取る際の説明図、（Ｃ）は（Ｂ）の状態で読み取ったときのＸ線透視像の例の説明図である。
【図３】本発明の実施の形態における検査対象物のＸ線透視像の異物パターンとの合成手法の説明図である。
【図４】本発明の実施の形態により判定用パラメータを設定する際にモニタ付きタッチパネル５ａに表示される画面の例の説明図である。
【図５】本発明に係るシミュレーション装置の構成例を示すブロック図である。
【図６】従来のＸ線異物検査装置の構成例を示す図であり、（Ａ）は検査対象物Ｗの搬送方向側方から見た機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図であり、（Ｂ）はその右側面から見た機械的構成を表す模式図である。
【図７】この種のＸ線異物検査装置で用いられる判定用パラメータの例を説明するためのグラフである。
【符号の説明】
【００３８】
１  Ｘ線源
２  Ｘ線検出器
３  搬送装置
４  光電センサ
５  画像処理装置
５１  Ａ−Ｄ変換器
５２  制御部
５３  画像メモリ
５４  自動判定部
５５  タッチパネルインターフェース
５６  表示制御部
５７  不揮発性メモリ
５８  ローカルメモリ
５９  ＣＰＵ
１５１  メモリカードインターフェース
Ｗ  検査対象物
Ｓ  異物
【図１】
0003682587.tif 000002
【図２】
0003682587.tif 000003
【図３】
0003682587.tif 000004
【図４】
0003682587.tif 000005
【図５】
0003682587.tif 000006
【図６】
0003682587.tif 000007
【図７】
0003682587.tif 000008