(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸状のレールと、それに外嵌される筒状の移動体と、レールと移動体との間に配置されてそれらの相対的なスライド動作に伴い転動循環される複数の転動体とを備え、前記レールおよび移動体が金属で形成され、転動体がセラミックスで形成されている直動型軸受であって、
前記セラミックス製の転動体が、平均粒径０．２〜１μｍの窒化けい素の粉末に対して少なくともＹ２Ｏ３，Ａｌ２Ｏ３などの焼結助剤が５〜２０重量％添加された材料を、１〜１０気圧の圧力下で焼結した焼結体からなるとともに、前記セラミックス製の転動体の表面に開口するポアの大きさが２０〜３０μｍであることを特徴とする直動型軸受。
【請求項２】
軸状のレールと、それに外嵌される筒状の移動体と、レールと移動体との間に配置されてそれらの相対的なスライド動作に伴い転動循環される複数の転動体とを備え、前記レールおよび移動体が金属で形成され、転動体がセラミックスで形成されている直動型軸受であって、
前記セラミックス製の転動体が、平均粒径０．２〜１μｍの窒化けい素の粉末に対して少なくともＹ２Ｏ３，Ａｌ２Ｏ３などの焼結助剤が５〜２０重量％添加された材料を、１〜１０気圧の圧力下で焼結した焼結体からなるとともに、前記セラミックス製の転動体の表面に開口するポアの大きさが１〜１５μｍであることを特徴とする直動型軸受。
【請求項３】
請求項１または２に記載の直動型軸受において、
前記焼結助剤が９〜１４重量％であることを特徴とする直動型軸受。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、直動型軸受に係り、特に清浄環境等で用いるのに好適な直動型軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】
前述の環境として、例えば半導体製造装置内部に配設される搬送系などが挙げられるが、このような環境では、直動型軸受からの発塵が問題となる。
【０００３】
そのため、潤滑剤として、グリースに比べ低発塵である固体潤滑剤（金、銀、鉛、銅などの軟質金属、カーボンや二硫化モリブデンなど）が用いられる。この固体潤滑剤は、レールおよび移動体の軌道面や転動体の表面などに、膜状にコーティングされる。
【０００４】
この他、転動体の転動、摺動に伴う摩耗粉の発生を抑制するために、転動体をセラミックスで形成することが考えられる。このセラミックスとして、本願出願人は、高密度かつ高強度な高品位なものを製作するようにしている。このような高品位なセラミックスとするには、不純物濃度を低くするとともに気孔率を小さくすることが重要となる。
【０００５】
ここで、本願出願人が現在実施しているセラミックス部品の製造方法を簡単に説明する。
【０００６】
まず、平均粒径０．２μｍのα型の窒化けい素の粉末（高グレード品例えば株式会社宇部興産の品種番号Ｅ−１０）に対してイットリア（Ｙ２Ｏ３），アルミナ（Ａｌ２Ｏ３），窒化アルミ（ＡｌＮ），チタニア（ＴｉＯ２）などの焼結助剤を１０重量％以下添加する。これにバインダーを混入して金型に充填した状態で単軸圧縮することにより成形する。この成形品を最終形状に近い状態に加工するとともにバインダーなどの有機物を除去してから、いわゆるＨＰ（ホット・プレス）、ＨＩＰ（ホット・アイソスタティック・プレス）と称する手法により焼結する。この焼結体の転動面や摺動面に対して超仕上げ加工を施す。ＨＰ、ＨＩＰでは、焼結時に１０００気圧もの高い圧力をかける。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したような従来のセラミックスでは、原料コストや製造コストが高くつくことが原因で、製品価格が非常に高くなる。
【０００８】
このように従来では、高品位のセラミックスを形成しようとするあまり、価格が高価になっており、そのために、使用対象が制限されることになっていた。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、直動型軸受において、発塵を抑制できるような構成としながら、価格低減を図ることである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の直動型軸受は、軸状のレールと、それに外嵌される筒状の移動体と、レールと移動体との間に配置されてそれらの相対的なスライド動作に伴い転動循環される複数の転動体とを備え、前記レールおよび移動体が金属で形成され、転動体がセラミックスで形成されている直動型軸受であって、前記セラミックス製の転動体が、平均粒径０．２〜１μｍの窒化けい素の粉末に対して少なくともＹ２Ｏ３，Ａｌ２Ｏ３などの焼結助剤が５〜２０重量％添加された材料を、１〜１０気圧の圧力下で焼結した焼結体からなるとともに、前記セラミックス製の転動体の表面に開口するポアの大きさが２０〜３０μｍである。
また、本発明の直動型軸受は、軸状のレールと、それに外嵌される筒状の移動体と、レールと移動体との間に配置されてそれらの相対的なスライド動作に伴い転動循環される複数の転動体とを備え、前記レールおよび移動体が金属で形成され、転動体がセラミックスで形成されている直動型軸受であって、前記セラミックス製の転動体が、平均粒径０．２〜１μｍの窒化けい素の粉末に対して少なくともＹ２Ｏ３，Ａｌ２Ｏ３などの焼結助剤が５〜２０重量％添加された材料を、１〜１０気圧の圧力下で焼結した焼結体からなるとともに、前記セラミックス製の転動体の表面に開口するポアの大きさが１〜１５μｍである。
【００１１】
【作用】
転動体は、窒化けい素の粉末の焼結時に従来例で引用したＨＰ、ＨＩＰなどのように１０００気圧もの高い圧力をかけずに１〜１０気圧の比較的低い圧力をかけるだけと簡易に済ませることにより、形成されている。その密度や強度については、従来の高品位セラミックスに比べると若干低くなるものの、実用上十分な強度を有する。なお、焼結助剤の量が５重量％未満の場合には、焼結不良となり、また２０重量％を超えると母材の窒化けい素の量が相対的に少なくなり、十分な強度が得られない。さらには、９〜１４重量％の範囲のものが、焼結性と強度上から好適に用いられる。焼結圧としては１〜１０気圧程度であれば、比較的安価な圧力容器で達成されるので、従来のように大掛かりで高価な装置が必要でなくなる。
【００１２】
このように、本発明では、製造コストを削減することにより、従来の高品位セラミックスよりも製品価格を低く抑えるようにしている。
【００１３】
また、焼結体には、表面に開口するポアが存在するから、それが潤滑膜の摩耗粉をトラップして貯溜するようになる。これにより、発塵要素が低減するだけでなく、潤滑性の長期継続が期待できるようになる。
【００１４】
さらに、本発明では、従来の高品位セラミックスのような高品質な原料（窒化けい素の粉末の平均粒径の細かいもの）を用いたり、あるいは比較的低品質な原料（窒化けい素の粉末の平均粒径の粗いもの）を用いることができる。低品質な原料は、高品質な原料に比べて安価（約半値）であるから、製品価格の一層の低減に貢献できる。
【００１５】
【実施例】
以下、本発明の詳細を図面に示す実施例に基づいて説明する。図１ないし図３は本発明の一実施例にかかり、図１は、直動型玉軸受の縦断面図、図２は、図１の横断面図、図３は、レールの横断面図である。
【００１６】
図中、Ａは直動型玉軸受、１は円筒形の軸からなるレール、２は円筒部材からなる移動体、３はプレス製の保持器、４はボール、５は保持筒である。
【００１７】
レール１は、ＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃ製でなり、その外周面の円周六箇所に軸方向に沿う直線状の溝６が全長に及んで設けられている。
【００１８】
移動体２は、同じくＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃ製でなり、その内周面の軸方向中間領域の円周六箇所にはレール１の近接する溝６に径方向で対向するようにそれぞれ負荷循環ボール列および無負荷循環ボール列用の軌道溝９１，９２が設けられている。
【００１９】
保持器３は、ＪＩＳ規格ＳＵＳ３０４製でなり、移動体２の内周面の一部に沿うように湾曲加工された円筒形状をなす。その両端部分は、保持筒５により支持されている。中央領域に各々六条の横長の環状溝３１，３２が対称的に設けられている。環状溝３１の直線部分は底が貫通されて底無しとされて負荷循環ボール列４１用とされている。環状溝３２は底有りとされて無負荷循環ボール列４２用とされている。
【００２０】
前述のレール１側と移動体２側の対向する二つの直線状の溝６，９１がそれぞれ対となって合計六本の負荷用ボール転送路１２を構成している。このボール転送路１２に存在するボール４群は、保持器３の環状溝３１の底無し直線部に位置する。また、移動体２の溝９２と保持器３の環状溝３２の底有り部とが対となって合計六本の無負荷用ボール循環路１３を構成している。これら、六本のボール転送路１２それぞれとそれに近い側に隣り合う六本のボール循環路１３それぞれとが一本ずつ連通連結されていて、それでボール循環回路を構成している。このため、レール１と移動体２との相対的な軸方向スライド動作に伴って、このボール転送路１２とボール循環路１３との間でボール４群が転動循環されるようになっている。
【００２１】
ところで、レール１の溝６と移動体２の溝９１の横断面は、サーキュレータアーク状に形成されるが、その他、ゴチックアーチ状でもよい。この場合、溝の横断面は、それぞれＶ字形状に形成されていて、対向する一対の溝６，９１でボール４が四点接触支持されるようになる。この溝６，９１それぞれの二つの斜面はそれぞれ緩やかな曲面に形成される。なお、レール１の溝６それぞれにボール４をあてがった状態でのボール４群の外接円径と、移動体２の溝９１それぞれにボール４をあてがった状態でのボール４群の内接円径との差を調整して所定の予圧を付加することにより、一対の溝６，９１でボール４を四点接触支持させるようにされる。
【００２２】
前述のレール１および移動体２は、耐食性材料により形成されている。この耐食性材料としては、例えば上述のＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃなどのマルテンサイト系ステンレス鋼の他、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ６３０などの析出硬化型ステンレス鋼に適当な硬化熱処理を施した金属材などが挙げられる。また、軽荷重用途では、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ３０４などのオーステナイト系ステンレス鋼でもよい。また、保持器３は、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ３０４の他、黄銅、チタン材などが好適に用いられるが、合成樹脂材料とすることもできる。この合成樹脂材料としては、例えばポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥと略称する）、エチレンテトラフルオロエチレン（ＥＴＦＥ）などのふっ素系樹脂やポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ナイロン４６などのエンジニアリングプラスチックスなどの使用も可能である。これらの樹脂にはガラス繊維などの強化繊維が添加されていてもよい。
【００２３】
これらのレール１の溝６、移動体２の溝９１および保持器３の環状溝３２には、図示しないが潤滑膜が被覆形成される。なお、レール１の外周面全面に潤滑膜を形成してもよい。この潤滑膜としては、金、銀、鉛、ＭｏＳ２、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、グラファイトなどの固体潤滑剤が挙げられる。なお、パーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＦ）などの潤滑油の薄膜とすることもできる。
【００２４】
なお、ボール４は、セラミックス材により形成される。このセラミックス材としては、下記詳細に説明する。
【００２５】
このような材料で直動型玉軸受Ａの各構成要素を形成すれば、例えば半導体製造装置などにおいて用いられるハロゲン系腐食性ガスに対しても、腐食せずに済むようになるとともに、使用環境での発塵をも低減できるようになる。
【００２６】
次に、上述したセラミックス製のボール４に関する製造方法を具体的に説明する。
【００２７】
▲１▼  原料としては比較的低品質なものを用いる。原料である平均粒径０．５〜１μｍのα型の窒化けい素の粉末（例えば電気化学工業株式会社の品種番号ＳＮ−９ＦＷ）に対してイットリア（Ｙ２Ｏ３），アルミナ（Ａｌ２Ｏ３），窒化アルミ（ＡｌＮ），チタニア（ＴｉＯ２）などの焼結助剤を５〜２０重量％添加し、これを適当な混合機（ボールミル）でもって有機溶剤または水を用いて均一に混合する（調合工程）。
【００２８】
▲２▼  混合されたスラリーにバインダーを混入して、一定粒径の球状粒子を製造する（乾燥造粒工程）。
【００２９】
▲３▼  造粒粉末を単純形状の金型に充填した状態で単軸圧縮する（成形工程）。なお、ここで成形品を所望形状とする金型を用いれば、下記▲４▼の一次加工工程を省略することができる。
【００３０】
▲４▼  この成形品をボール４に応じて最終形状に近い状態に加工する（一次加工工程）。
【００３１】
▲５▼  加工したものを脱脂炉内で徐々に加熱し、脱脂対象品からバインダーなどの有機物を分解あるいは揮発させて除去する（脱脂工程）。
【００３２】
▲６▼  脱脂したものを１〜１０気圧の圧力下で焼結する（焼結工程）。焼結温度や焼結時間は、１８００℃、２〜４時間である。なお、焼結によって、成形品が所定の割合で収縮するものの、この収縮量は、比重を計れば容易に把握でき、ベースとする素材や助剤の混合比によって適宜調整できる。
【００３３】
▲７▼  この焼結体の転動面や摺動面に対して超仕上げ加工を施し、最終製品の寸法、表面状態とする（二次加工工程）。この超仕上げ加工では、表面粗さをＲＺで約０．１〜０．８μｍにまでできる。
【００３４】
▲８▼  最終製品の表面のクラックやピンホールなどの発生の有無を蛍光浸透探傷で検査する。
【００３５】
このような製造方法により得られるものを低品位セラミックスと称する。この低品位セラミックスと、従来例の製造方法により得られる高品位セラミックスとの物性を調べたので、下記表１に示す。
【００３６】
【表１】
0003614508.tif 000002
【００３７】
密度は、アルキメデス方法により測定している。硬度、破壊靭性値は、ビッカース硬度計を用いて測定しており、硬度は図４に示すビッカース圧痕の対角線の長さから算出し、破壊靭性値ＫＩＣは、ＩＦ（Ｉｎｄｅｎｔｉｏｎ  Ｆｒａｃｔｕｒｅ）法により下記する新原の式を用いて算出する。曲げ強度は、直接材料の強度を測定するもので、ＪＩＳ  Ｒ  １６０１規格の３点曲げ強度試験方法を用いている。
【００３８】
新原の式＝０．０１１４Ｅ０．４Ｐ０．６ａ−０．７（Ｃ／ａ−１）−０．５
但し、Ｐは荷重（Ｋｇｆ）、ｄは圧痕の対角線長（ｍｍ）、Ｅはヤング率（Ｋｇｆ／ｍｍ２  ）、Ｃは圧痕の中心点から亀裂の長さ（ｍｍ）、ａは圧痕の対角線長の１／２（ｍｍ）である。
【００３９】
ところで、上記製造方法の▲１▼の工程において、従来の高品質な原料を用いてもよい。この高品質な原料とは、例えば平均粒径０．２μｍのα型の窒化けい素の粉末（高グレード品例えば株式会社宇部興産の品種番号Ｅ−１０）に対してイットリア（Ｙ２Ｏ３），アルミナ（Ａｌ２Ｏ３），窒化アルミ（ＡｌＮ），チタニア（ＴｉＯ２）などの焼結助剤を１０重量％以下添加したものである。この高品質な原料を用いて上記▲２▼〜▲８▼のような処理を施したものを、中品位セラミックスと称する。
【００４０】
この中品位セラミックス製のボールについて下記試験により評価する。試験は、ボールのスラスト試験、ラジアル試験を行った。
【００４１】
スラスト試験では、図５に示すようなスラスト軸受において、玉サイズを３／８インチ、１／４インチの２種類とし、油浴潤滑とし、軸の回転数を１２００ｒｐｍとし、面圧を３／８インチのものは２９１ｋｇｆ／ｍｍ２（２．８５ＧＰａ）、１／４インチのものは３１９ｋｇｆ／ｍｍ２（３．１３ＧＰａ）とした。いずれのサイズのボールも、１０００時間で打ち切ったが剥離などの異常はなかった。
【００４２】
ラジアル試験では、図６に示すようなラジアル試験機を用いる。試験軸受は、呼び番号＃６２０６のラジアル玉軸受とし、油浴潤滑とし、回転数を６０００ｒｐｍとし、面圧を３３５ｋｇｆ／ｍｍ２（３．２８ＧＰａ）とした。４００時間で打ち切ったがボールに剥離などの異常がなかった。
【００４３】
このような試験より、直動型玉軸受のボールを安価な中品位セラミックスとしても、優れた特性を発揮することがわかった。但し、その場合、最大接触応力を所要以下（安全を考慮して２５０ｋｇｆ／ｍｍ２以下）に規制するのが好ましい。低品位セラミックスについても、前述の評価試験を行っていないが、前述の物性評価によりほぼ同様になるものと考えられる。
【００４４】
そして、低品位、中品位セラミックスは、従来例で説明した製造方法で製造される高品位セラミックスに比べて密度が若干低下するため、その内部や表面にポアが点在するようになる。低品位セラミックスの場合、ポアの大きさが約２０〜３０μｍに、また、中品位セラミックスの場合、低品位セラミックスに比べてポアの大きさが約１〜１５μｍと小さくなり、その点在量が少なくなる。
【００４５】
しかし、このような低品位セラミックスや中品位セラミックスでも、上述した評価により実用上あまり問題ないことがわかる。その上、低品位セラミックスや中品位セラミックスの場合、高品位セラミックスに比べて次のような点で優位であると言える。つまり、表面に開口するポアが、潤滑膜の摩耗粉をトラップして貯溜するようになる。要するに、潤滑膜の摩耗粉のボール４に対する移着性が良好となる。これについて、上記製造方法の▲７▼のように超仕上げ加工を施していれば、焼結体の表面により多くのポアが開口するようになるので、より潤滑膜の摩耗粉のボール４に対する移着性が良好となる。
【００４６】
この移着性について、下記試験により調査しているので、説明する。この試験では、潤滑膜をコーティングした金属製（ＪＩＳ規格ＳＵＳ６３０）の平板試料を水平に置き、この平板試料の上面（潤滑膜形成面）に、超仕上げを施したセラミックス製の円柱試料の外周面を垂直方向に押し付けた状態で、水平方向に滑らせることにより、円柱試料に対する固体潤滑剤の移着状況を調べる。この垂直荷重は１０Ｋｇｆ、滑り距離を３０ｍｍ、摺動回数を１回としている。
【００４７】
円柱試料は、▲１▼低品位セラミックス（表面粗さＲＺ約０．５μｍ）、▲２▼中品位セラミックス（表面粗さＲＺ約０．２μｍ）、▲３▼高品位セラミックス（表面粗さＲＺ約０．２μｍ）、▲４▼高品位セラミックス（表面粗さＲＺ約０．５μｍ）の４つを用意している。これらの円柱試料は、いずれも直径φ４０ｍｍ、長さ１５ｍｍとし、平板試料に対する潤滑膜は、金、ＭｏＳ２としている。金は、イオンプレーティングにて膜厚１μｍとし、ＭｏＳ２は、樹脂バインダーを用いて、膜厚１０μｍとしている。
【００４８】
試験結果を、図７ないし図１０に添付する顕微鏡写真に示す。このうち、図７（ａ）〜（ｃ）は、前述の▲１▼に関するもの、図８（ａ）〜（ｃ）は前述の▲２▼に関するもの、図９（ａ）〜（ｃ）は前述の▲３▼に関するもの、図１０（ａ）〜（ｃ）は前述の▲４▼に関するものである。また、図７ないし図１０の各（ａ）は試験前の円柱試料表面の状態を表し、図７ないし図１０の各（ｂ）は潤滑膜を金とした場合での試験後の円柱試料表面の状態を表し、図７ないし図１０の各（ｃ）は潤滑膜をＭｏＳ２とした場合での試験後の円柱試料表面の状態を表している。
【００４９】
これらの写真結果から、低品位、中品位セラミックスだと、表面に開口するポアに対して潤滑剤が入り込むことがわかり、高品位セラミックスだと、表面に開口するポアがほとんどないかもしくはかなり小さいので、潤滑剤が入り込まないことが分かる。結果的には、高品位セラミックスに比べて低品位、中品位セラミックスは、移着性が良好となっている。
【００５０】
なお、前述と同様の試験を球体試料により行ったが、図１１および図１２に添付する顕微鏡写真に示すように、前述と同様の結果が得られた。図１１（ａ）、（ｂ）は中品位セラミックスの球体試料に関するもの、図１２（ａ）、（ｂ）は高品位セラミックスの球体試料に関するものであり、図１１および図１２の各（ａ）は試験前の球体試料表面の状態を表し、図１１および図１２の各（ｂ）は試験後の球体試料表面の状態を表している。球体試料は、直径３／８インチで、表面粗さはいずれもＲａで０．０１μｍである。平板試料に形成する潤滑膜は樹脂バインダーを用いたＭｏＳ２とし、膜厚１０μｍとしている。垂直荷重は５Ｋｇｆ、滑り距離を２０ｍｍ、摺動回数を５回往復とする。
【００５１】
さらに、直動型玉軸受の初期発塵試験を行ったので、説明する。この試験では、図１３に示すような発塵試験装置を用いる。試験に用いた直動型玉軸受は、光洋精工（株）製型番ＳＥＳＤＭ１０ＳＴ５である。レール１および移動体２をＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃ、保持器３をＪＩＳ規格ＳＵＳ３０４とし、レール１の溝６、移動体２の溝９１および保持器３の環状溝３２に樹脂バインダーにＰＴＦＥを混合した固体潤滑剤をコーティングしている。ボールは、実施例として中品位セラミックスに、比較例として高品位セラミックスにしている。
【００５２】
試験条件は、下記のとおり。
【００５３】
・往復速度  ：２０〜３０ｍｍ／ｓ
・荷重      ：ラジアル荷重５０Ｎ
・ストローク：１００ｍｍ
・雰囲気    ：１０−３Ｐａ以下、クリーンベンチ内（クラス１０）
・環境温度  ：室温
・計測条件  ：粒子径０．３８μｍ以上の発塵粒子数
計測タイミングを１０分間隔とし、試験時間を２０時間としている。
【００５４】
結果は、比率で言うと、比較例：実施例＝１：０．８になり、実施例のほうが優れている。そもそも、回転初期では、潤滑膜からの摩耗粉や剥離粉が発塵成分となる。これらの発塵成分は、中品位セラミックスの場合、表面に開口するポアにトラップされて貯溜されるので、前述の結果が得られたものと考えられる。なお、低品位セラミックスの場合だと、同等またはそれ以上の結果が得られるものと考えられる。
【００５５】
なお、本発明は上記実施例のみに限定されない。例えば、実施例で説明した直動型玉軸受の他の種類、例えば角状レールに跨がった鞍型移動体を備えた、いわゆる直動ガイドなどの直動型軸受にも本発明を適用できる。
【００５６】
【発明の効果】
本発明では、製造コストを削減するように工夫しているから、従来の高品位セラミックスよりも安価にでき、しかも、密度や強度については、従来の高品位セラミックスに比べると若干低くなるものの、実用上十分な強度を有している。しかも、原料についても低品質のものを用いれば、原料コストをも低減できるから、製品価格の一層の低減に貢献できる。このように、本発明では、直動型軸受を比較的安価に構成できるようになる。
【００５７】
また、焼結体には表面に開口するポアが存在するので、これが潤滑膜からの摩耗粉をトラップして貯溜するようになるなど、発塵の抑制と、潤滑作用の長期継続とに効果を奏する。
【００５８】
したがって、例えば半導体製造過程のように高精度な加工が要求されるところに本発明の直動型軸受を用いると、清浄雰囲気を阻害しにくくなるので、半導体製造品の歩留まり向上に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例にかかる直動型玉軸受の縦断面図
【図２】図１の横断面図
【図３】レールの横断面図
【図４】本発明の実施例での硬度、破壊靭性値測定に関する圧痕を示す模式図
【図５】ボールの寿命試験の様子を示す図
【図６】ボールの寿命試験に用いるラジアル試験機を示す図
【図７】低品位セラミックスの円柱試料に関する潤滑剤移着試験の前後の顕微鏡写真
【図８】中品位セラミックスの円柱試料に関する潤滑剤移着試験の前後の顕微鏡写真
【図９】高品位セラミックスの円柱試料に関する潤滑剤移着試験の前後の顕微鏡写真
【図１０】他の高品位セラミックスの円柱試料に関する潤滑剤移着試験の前後の顕微鏡写真
【図１１】中品位セラミックスの球体試料に関する潤滑剤移着試験の前後の顕微鏡写真
【図１２】高品位セラミックスの球体試料に関する潤滑剤移着試験の前後の顕微鏡写真
【図１３】直動型玉軸受の発塵量測定に用いる試験装置の概略図。
【符号の説明】
Ａ      直動型玉軸受
１      レール
２      移動体
３      保持器
４      ボール
６      軸の溝
９１      移動体の溝
３１      保持器の環状溝
１２      ボール転送路
１３      ボール循環路
１６      潤滑油の薄膜
【図１】
0003614508.tif 000003
【図２】
0003614508.tif 000004
【図３】
0003614508.tif 000005
【図４】
0003614508.tif 000006
【図５】
0003614508.tif 000007
【図６】
0003614508.tif 000008
【図７】
0003614508.tif 000009
【図８】
0003614508.tif 000010
【図９】
0003614508.tif 000011
【図１０】
0003614508.tif 000012
【図１１】
0003614508.tif 000013
【図１２】
0003614508.tif 000014
【図１３】
0003614508.tif 000015