(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相対的に走査しながらインクを吐出して各画素を着色することによりカラーフィルタを製造する方法であって、
各画素の色にそれぞれ対応する複数のインクジェットヘッドそれぞれの前記吐出ノズルのピッチ間隔をａ、前記複数のインクジェットヘッドそれぞれに対応する同色の画素の前記走査方向と直交する方向のピッチ間隔をｂとしたときに、ｂ＝ｎａ・ｃｏｓθ（ｎは正の整数）の関係を満たす角度θだけ、前記複数のインクジェットヘッドを前記走査方向と直交する方向に対して一括して傾ける工程と、
前記複数のインクジェットヘッドを前記吐出ノズルの並び方向に個別に微動させて、前記複数のインクジェットヘッドの吐出ノズルの位置を各インクジェットヘッドに対応する色の画素の位置に位置合わせする工程と、
前記位置合わせした複数のインクジェットヘッドを基板に対して相対的に走査させながら前記画素を着色する工程と、
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相対的に走査しながらインクを吐出して各画素を着色することによりカラーフィルタを製造する方法であって、
前記インクジェットヘッドの前記吐出ノズルのピッチ間隔をａ、前記インクジェットヘッドにより着色される同色の画素の前記走査方向と直交する方向のピッチ間隔をｂとしたときに、ｂ＝ｎａ・ｃｏｓθ（ｎは正の整数）の関係を満たす角度θだけ、前記インクジェットヘッドを前記走査方向と直交する方向に対して傾けて走査する工程と、
前記正の整数ｎを２以上に設定し、使用中の吐出ノズルの少なくとも１つに不具合が生じたときに、前記インクジェットヘッドを、前記吐出ノズルの並び方向に前記吐出ノズルのピッチ間隔ａの整数倍だけずらす工程と、
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記インクジェットヘッドは、熱エネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生体を備えていることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相対的に走査しながらインクを吐出して各画素を着色することによりカラーフィルタを製造する装置であって、
各画素の色にそれぞれ対応する複数のインクジェットヘッドを支持する支持体と、
前記支持体に設けられ、前記複数のインクジェットヘッドの前記走査方向に直交する方向に対する角度を一括して調整するための角度調整手段と、
前記支持体に設けられ、前記複数のインクジェットヘッドの吐出ノズルの位置を各インクジェットヘッドに対応する色の画素の位置に合わせるように、前記複数のインクジェットヘッドを前記インク吐出ノズルの並び方向に個別に位置調整するための位置調整手段と、
を具備することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
【請求項５】
前記インクジェットヘッドは、熱エネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生体を備えていることを特徴とする請求項４に記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項６】
走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相対的に走査しながらインクを吐出して各画素を着色することにより製造されるカラーフィルタを備える表示装置を製造する方法であって、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の製造方法により製造されたカラーフィルタを用意する工程と、
前記用意されたカラーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段とを一体化する工程と、
を備えることを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項７】
走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相対的に走査しながらインクを吐出して各画素を着色することにより製造されるカラーフィルタを有する、表示装置を備えた装置を製造する方法であって、
請求項６に記載の製造方法により製造された表示装置を用意する工程と、
前記用意された表示装置と、該表示装置に画像信号を供給する画像信号供給手段とを接続する工程と、
を有することを特徴とする、表示装置を備えた装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドにより基板に向けてインクを吐出して、各画素を着色することによりカラーフィルタを製造するためのカラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピュータの発達、特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及のためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であり、特にコスト的に比重の高いカラーフイルタのコストダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラーフイルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべく種々の方法が試みられているが、いまだ全ての要求特性を満足する方法は確立されていない。以下にそれぞれの方法を説明する。
【０００３】
最も多く用いられている第１の方法が染色法である。染色法は、ガラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材料を塗布し、これをフオトリソグラフィー工程により所望の形状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成する。
【０００４】
第２の方法は顔料分散法であり、近年染色法に取って代わりつつある。この方法は、基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングすることにより単色のパターンを得る。更にこの工程を３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成する。
【０００５】
第３の方法としては電着法がある。この方法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１の色を電着する。この工程を３回繰り返してＲ、Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成し、最後に焼成するものである。
【０００６】
第４の方法としては印刷法がある。この方法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより着色層を形成するものである。また、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成するのが一般的である。
【０００７】
これらの方法に共通している点は、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返す必要があり、コスト高になることである。また、工程が多いほど歩留りが低下するという問題を有している。更に、電着法においては、形成可能なパターン形状が限定されるため、現状の技術ではＴＦＴ用には適用できない。また、印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファインピッチのパターンは形成できない。
【０００８】
これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報あるいは特開平１−２１７３２０号公報等には、インクジェット方式を用いてカラーフイルタを製造する方法が開示されている。これらの方法は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の三色の色素を含有するインクをインクジェット方式で光透過性の基板上に吐出し、各インクを乾燥させて着色画素部を形成するものである。こうしたインクジェット方式では、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素の形成を一度に行うことが可能で大幅な製造工程の簡略化と、大幅なコストダウン効果を得ることが出来る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記インクジェット法に用いられる印字ヘッドについては、複数のノズルを兼ね備えたマルチノズルヘッドを用いることが望ましいが、従来マルチノズルのノズルピッチと画素のピッチを一致させることが難しいという問題点があった。また、マルチノズルでカラーフィルタを着色する場合、使用しているノズルのうち１本でも吐出状態が異常になれば、ヘッド全体を交換しなければならないという問題があった。
【００１０】
従って本発明の目的は、インクジェット方式によりカラーフィルタを形成する場合に高効率高スループットでカラーフィルタを製造できるようなカラーフィルタの製造方法及び製造装置及びこれらの製造方法及び製造装置により製造されたカラーフィルタ及び表示装置及び表示装置を備えた装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決し目的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタの製造方法は、走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相対的に走査しながらインクを吐出して各画素を着色することによりカラーフィルタを製造する方法であって、各画素の色にそれぞれ対応する複数のインクジェットヘッドそれぞれの前記吐出ノズルのピッチ間隔をａ、前記複数のインクジェットヘッドそれぞれに対応する同色の画素の前記走査方向と直交する方向のピッチ間隔をｂとしたときに、ｂ＝ｎａ・ｃｏｓθ（ｎは正の整数）の関係を満たす角度θだけ、前記複数のインクジェットヘッドを前記走査方向と直交する方向に対して一括して傾ける工程と、前記複数のインクジェットヘッドを前記吐出ノズルの並び方向に個別に微動させて、前記複数のインクジェットヘッドの吐出ノズルの位置を各インクジェットヘッドに対応する色の画素の位置に位置合わせする工程と、前記位置合わせした複数のインクジェットヘッドを基板に対して相対的に走査させながら前記画素を着色する工程と、を有することを特徴としている。
【００１４】
また、本発明に係わるカラーフィルタの製造方法は、走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相対的に走査しながらインクを吐出して各画素を着色することによりカラーフィルタを製造する方法であって、前記インクジェットヘッドの前記吐出ノズルのピッチ間隔をａ、前記インクジェットヘッドにより着色される同色の画素の前記走査方向と直交する方向のピッチ間隔をｂとしたときに、ｂ＝ｎａ・ｃｏｓθ（ｎは正の整数）の関係を満たす角度θだけ、前記インクジェットヘッドを前記走査方向と直交する方向に対して傾けて走査する工程と、前記正の整数ｎを２以上に設定し、使用中の吐出ノズルの少なくとも１つに不具合が生じたときに、前記インクジェットヘッドを、前記吐出ノズルの並び方向に前記吐出ノズルのピッチ間隔ａの整数倍だけずらす工程と、を有することを特徴としている。
【００１５】
また、この発明に係わるカラーフィルタの製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００１６】
また、本発明に係わるカラーフィルタの製造装置は、走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相対的に走査しながらインクを吐出して各画素を着色することによりカラーフィルタを製造する装置であって、各画素の色にそれぞれ対応する複数のインクジェットヘッドを支持する支持体と、前記支持体に設けられ、前記複数のインクジェットヘッドの前記走査方向に直交する方向に対する角度を一括して調整するための角度調整手段と、前記支持体に設けられ、前記複数のインクジェットヘッドの吐出ノズルの位置を各インクジェットヘッドに対応する色の画素の位置に合わせるように、前記複数のインクジェットヘッドを前記インク吐出ノズルの並び方向に個別に位置調整するための位置調整手段と、を具備することを特徴としている。
【００２０】
また、この発明に係わるカラーフィルタの製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００２２】
また、本発明に係わる表示装置の製造方法は、走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相対的に走査しながらインクを吐出して各画素を着色することにより製造されるカラーフィルタを備える表示装置を製造する方法であって、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の製造方法により製造されたカラーフィルタを用意する工程と、前記用意されたカラーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段とを一体化する工程と、を備えることを特徴としている。
【００２３】
また、本発明に係わる表示装置を備えた装置の製造方法は、走査方向と略直交する方向に複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘッドが基板上を相対的に走査しながらインクを吐出して各画素を着色することにより製造されるカラーフィルタを有する、表示装置を備えた装置を製造する方法であって、請求項６に記載の製造方法により製造された表示装置を用意する工程と、前記用意された表示装置と、該表示装置に画像信号を供給する画像信号供給手段とを接続する工程と、を有することを特徴としている。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な一実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明するのであるが、その前に本実施形態の概要について説明しておく。
【００２５】
本実施形態は、インクジェット方式によるカラーフィルタの製造装置に関するもので、複数本のノズルを持つマルチノズルタイプのインクジェットヘッドを複数本用いたヘッドマウントを用いたものである。
【００２６】
上記ヘッドマウントは、複数本のヘッドの取り付け角度を同時に変える機構と、ヘッド個別に副走査方向に位置を調整できる機構を持っている。
【００２７】
インクジェット法でカラーフィルタの画素を着色する場合、基本的には、一定の間隔（ピッチ）で複数個のノズルを有するマルチヘッドを用いて、画素ピッチに合うノズルを使用して主走査方向に着色して、次に副走査方向にヘッドまたは基板を移動させて、続いて主走査方向の着色を繰り返す。
【００２８】
本実施形態のマルチノズルのインクジェットヘッドの場合、ノズルのピッチの方が画素のピッチより細かいため、何本かおきのノズルを使用して描画することになる。また、画素のピッチとノズルのピッチの倍数が合わない場合は、インクジェットヘッドの角度を主走査方向に垂直ではなくある角度をつけて画素のピッチに合わせるようにセットする。
【００２９】
この際、同じノズルピッチをもつ複数個のヘッドを同時に回転させる機構を設けることにより画素ピッチとインクジェットヘッドの使用ノズルのピッチを同時に効率良く合わせることが可能となる。
【００３０】
また、各個別のインクジェットヘッドを副走査方向に微動できる機構を設けることにより、複数のヘッドのノズル位置を、カラーフィルタの画素の所望の位置に合わせることが可能となる。複数のヘッドをＲ、Ｇ、Ｂそれぞれの３色用のヘッドにすれば、３色同時着色ができるようになり、カラーフィルタ製造の効率が上がる。
【００３１】
さらに、使用ノズルのうち１本でも不良が発生したら、上記の微動機構によりヘッドを副走査方向にずらせば、別のノズルの組み合わせで着色が可能となり、ヘッド交換の頻度を減らすことができるようになる。
【００３２】
以下、一実施形態のカラーフィルタの製造装置の具体的な構成について説明する。
【００３３】
図１はカラーフィルタの製造装置の一実施形態の構成を示す概略図である。
【００３４】
図１において、５１は装置架台、５２は架台５１上に配置されたＸＹθステージ、５３はＸＹθステージ５２上にセットされたカラーフィルタ基板、５４はカラーフィルタ基板５３上に形成されるカラーフィルタ、５５はカラーフィルタ５４の着色を行うＲ（赤）,Ｇ（緑）,Ｂ（青）の各インクジェットヘッドを内蔵したヘッドマウント、５８はカラーフィルタ製造装置９０の全体動作を制御するコントローラ、５９はコントローラの表示部であるところのティーチングペンダント（パーソナルコンピュータ）、６０はティーチングペンダント５９の操作部であるところのキーボードを示している。なお、この実施形態では、インクジェットヘッドに対してカラーフィルタ基板側を移動させて、走査を行うようにしているが、インクジェットヘッド側を基板に対して移動させる構成としてもよい。
【００３５】
図２はカラーフィルタ製造装置９０の制御コントローラの構成図である。５９は制御コントローラ５８の入出力手段であるティーチングペンダント、６２は製造の進行状況及びヘッドの異常の有無等の情報を表示する表示部、６０はカラーフィルタ製造装置９０の動作等を指示する操作部（キーボード）である。
【００３６】
５８はカラーフィルタ製造装置９０の全体動作を制御するところのコントローラ、６５はティーチングペンダント５９とのデータの受け渡しを行うインタフェース、６６はカラーフィルタ製造装置９０の制御を行うＣＰＵ、６７はＣＰＵ６６を動作させるための制御プログラムを記憶しているＲＯＭ、６８は生産情報等を記憶するＲＡＭ、７０はカラーフィルタの各画素内へのインクの吐出を制御する吐出制御部、７１はカラーフィルタ製造装置９０のＸＹθステージ５２の動作を制御するステージ制御部、９０はコントローラ５８に接続され、その指示に従って動作するカラーフィルタ製造装置を示している。
【００３７】
次に、図３は、ヘッドマウント５５の内部構成を示した斜視図であり、図４は図３を上側から見た平面図である。
【００３８】
図３及び図４において、２０４ａ,２０４ｂ,２０４ｃはそれぞれマルチノズルのインクジェットヘッドであり、通常はＲ（赤）用ヘッド２０４ａ、Ｇ（緑）用ヘッド２０４ｂ、Ｂ（青）用ヘッド２０４ｃの３本のインクジェットヘッドを装着できるようになっている。２０５はノズル（ノズルはインクジェットヘッドの下面にあるので、実際は図４では見えないが説明の便宜上実線で示してある）であり、複数のノズルがヘッドの長手方向に同一ピッチで並んでいる。インクジェットヘッド２０４ａ,２０４ｂ,２０４ｃは、その一端部をホルダ２０８ａ,２０８ｂ,２０８ｃに夫々支持されており、これらのホルダはヘッドマウント５５に固定された回転軸２０６ａ,２０６ｂ,２０６ｃを中心にヘッドマウント５５に対して水平面内で回動可能に支持されている。また、インクジェットヘッド２０４ａ,２０４ｂ,２０４ｃは、その他端部をホルダ２１０ａ,２１０ｂ,２１０ｃに支持されており、これらのホルダはスライド部材２１４に対して回転軸２１２ａ,２１２ｂ,２１２ｃを中心に水平面内で回動可能に支持されている。スライド部材２１６は、ヘッドマウント５５に対してＸ方向及びＹ方向に移動可能に支持されており、バネ２１６により矢印Ａ方向に付勢されている。ヘッドマウント５５のバネ２１６と反対側の位置には、微動ネジ２１８が設けられており、この微動ネジ２１８を回転させることにより、スライド部材２１６がＸ方向に移動される。これにより、３つのインクジェットヘッド２０４ａ,２０４ｂ,２０４ｃを図４に破線で示す位置に対して（Ｙ軸に対して）任意の角度θだけ同時に傾けることができ、走査方向に対する傾きが調整される。また、ホルダ２１０ａ,２１０ｂ,２１０ｃ内には圧縮バネ２２０ａ,２２０ｂ,２２０ｃが設けられており、インクジェットヘッド２０４ａ,２０４ｂ,２０４ｃを図中右方向に付勢している。一方、ホルダ２０８ａ,２０８ｂ,２０８ｃには、圧縮バネ２２０ａ,２２０ｂ,２２０ｃに対向して微動ネジ２２２ａ,２２２ｂ,２２２ｃが設けられており、この微動ネジを回転させることにより、各インクジェットヘッドを矢印Ｂ方向に位置調整することができる。
【００３９】
なお、主走査方向Ｘと、各ヘッドの回転軸２０６ａ,２０６ｂ,２０６ｃを結ぶ直線が同一方向になるようにヘッドマウント５５を装置にセットすると、調整のとき便利である。
【００４０】
実際のカラーフィルタの着色時には、ヘッド回転軸２０６ａ,２０６ｂ,２０６ｃを中心として、複数のヘッドを同時に回転させて、所望のノズル（着色用のノズル）のピッチと画素のピッチを合わせるようにヘッドの角度θを調整する。このとき、ノズルピッチをａ（μｍ）とし、画素ピッチをｂ（μｍ）とすると、ｂ＝ｎａ・ｃｏｓθ（但し、ｎは正の整数）を満たすような角度θだけヘッドを傾ける。次に、微調整ネジ２２２ａ,２２２ｂ,２２２ｃを調整して、ノズルの位置をＲ,Ｇ,Βのそれぞれの画素パターンの位置に合わせ込む。
【００４１】
次に、図５は、ヘッドマウント５５に配置されるインクジェットヘッドの構造を示す図である。図３及び図４においては、インクジェットヘッドはＲ,Ｇ,Ｂの３色に対応して３個設けられているが、これらの３個のヘッドは夫々同一の構造であるので、図５にはこれらの３個のヘッドのうちの１つの構造を代表して示している。
【００４２】
図５において、インクジェットヘッド２０４ａは、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が形成された基板であるヒータボード１０４と、このヒータボード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概略構成されている。天板１０６には、複数の吐出口（ノズル）１０８が形成されており、吐出口１０８の後方には、この吐出口１０８に連通するトンネル状の液路１１０が形成されている。各液路１１０は、隔壁１１２により隣の液路と隔絶されている。各液路１１０は、その後方において１つのインク液室１１４に共通に接続されており、インク液室１１４には、インク供給口１１６を介してインクが供給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液路１１０に供給される。
【００４３】
ヒータボード１０４と、天板１０６とは、各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様に位置合わせされて図５の様な状態に組み立てられる。図５においては、２つのヒータ１０２しか示されていないが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応して１つずつ配置されている。そして、図５の様に組み立てられた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給すると、ヒータ１０２上のインクに膜沸騰が生じて気泡を形成し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８から押し出されて吐出される。従って、ヒータ１０２に加える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御することにより気泡の大きさを調整することが可能であり、吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコントロールすることができる。
【００４４】
図６は、このようにヒータに加える電力を変化させてインクの吐出量を制御する方法を説明するための図である。
【００４５】
この実施形態では、インクの吐出量を調整するために、ヒータ１０２に２種類の定電圧パルスを印加する様になされている。２つのパルスとは、図４に示す様にプレヒートパルスとメインヒートパルス（以下、単にヒートパルスという）である。プレヒートパルスは、実際にインクを吐出するに先立ってインクを所定温度に暖めるためのパルスであり、インクを吐出するために必要な最低のパルス幅ｔ5 よりも短い値に設定されている。従って、このプレヒートパルスによりインクが吐出されることはない。プレヒートパルスをヒータ１０２に加えるのは、インクの初期温度を、一定の温度にまで上昇させておくことにより、後に一定のヒートパルスを印加したときのインク吐出量を常に一定にするためである。また、逆にプレヒートパルスの長さを調節することにより、予めインクの温度を調節しておき、同じヒートパルスが印加された場合でも、インクの吐出量を異ならせることも可能である。また、ヒートパルスの印加に先立ってインクを暖めておくことにより、ヒートパルスを印加した時のインク吐出の時間的な立ち上がりを早めて応答性を良くする働きも持っている。
【００４６】
一方、ヒートパルスは、実際にインクを吐出させるためのパルスであり、上記のインクを吐出するために必要な最低のパルス幅ｔ5 よりも長く設定されている。ヒータ１０２が発生するエネルギーは、ヒートパルスの幅（印加時間）に比例するものであるため、このヒートパルスの幅を調節することにより、ヒータ１０２の特性のばらつきを調整することが可能である。
【００４７】
なお、プレヒートパルスとヒートパルスとの間隔を調整して、プレヒートパルスによる熱の拡散状態を制御することによってもインクの吐出量を調整することが可能となる。
【００４８】
上記の説明から分かる様に、インクの吐出量は、プレヒートパルスとヒートパルスの印加時間を調節することによって制御することも可能であるし、またプレヒートパルスとヒートパルスの印加間隔を調節することによっても可能である。従って、プレヒートパルス及びヒートパルスの印加時間やプレヒートパルスとヒートパルスの印加間隔を必要に応じて調整することにより、インクの吐出量やインクの吐出の印加パルスに対する応答性を自在に調節することが可能となる。
【００４９】
次に、このインクの吐出量の調整について具体的に説明する。
【００５０】
例えば、図６に示す様に吐出口（ノズル）１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃが、同じエネルギーを加えた時のインクの吐出量が異なっている場合について説明する。詳しくは、一定温度で、一定エネルギーを印加したときに、ノズル１０８ａのインク吐出量が３６ｐｌ（ピコリットル）、ノズル１０８ｂのインク吐出量が４０ｐｌ、ノズル１０８ｃのインク吐出量が４０ｐｌであり、ノズル１０８ａに対応するヒータ１０２ａ及びノズル１０８ｂに対応するヒータ１０２ｂの抵抗値が２００Ω、ノズル１０８ｃに対応するヒータ１０２ｃの抵抗値が２１０Ωであるものとする。そして、それぞれのノズル１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃの吐出量を全て４０ｐｌに合わせたいものとする。
【００５１】
それぞれのノズル１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃの吐出量を同じ量に調整するためには、プレヒートパルスとヒートパルスの幅を調整すれば良いのであるが、このプレヒートパルスとヒートパルスの幅の組み合わせには種々のものが考えられる。ここでは、ヒートパルスにより発生するエネルギーの量を３つのノズルで同じになる様に設定し、吐出量の調整は、プレヒートパルスの幅を調整することにより行なうものとする。
【００５２】
まず、ノズル１０８ａのヒータ１０２ａとノズル１０８ｂのヒータ１０２ｂの抵抗値は同じ２００Ωであるので、ヒートパルスにより発生するエネルギーを同じにするには、ヒータ１０２ａ，１０２ｂに同じ幅の電圧パルスを印加すればよい。ここでは、電圧パルスの幅を前述したｔ5 よりも長いｔ3 に設定する。一方、ノズル１０８ａと１０８ｂとは、同じエネルギーを加えた時の吐出量が、３６ｐｌと４０ｐｌと異なるため、ノズル１０８ａの吐出量を多くするために、ヒータ１０２ａには、ヒータ１０２ｂのプレヒートパルスの幅ｔ1 よりも長いｔ2 のプレヒートパルスを加える。このようにすれば、ノズル１０８ａと１０８ｂの吐出量を同じ４０ｐｌにそろえることができる。
【００５３】
一方、ノズル１０８ｃのヒータ１０２ｃの抵抗値は、他の２つのヒータ１０２ａ，１０２ｂの抵抗値よりも高い２１０Ωであるため、ヒータ１０２ｃから、他の２つのヒータと同じエネルギーを発生させるためには、ヒートパルスの幅を長くする必要がある。そのため、ここでは、ヒートパルスの幅を前述したｔ3 よりも長いｔ4 に設定している。また、プレヒートパルスの幅に関しては、一定エネルギーを加えた時のノズル１０８ｂと１０８ｃの吐出量が同じであるため、ヒータ１０２ｂと同じにすればよく、ｔ1 の幅のプレヒートパルスを加える。
【００５４】
以上の様にして、抵抗値と一定エネルギーを加えた時のインク吐出量の異なる３つのノズル１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃから同じ量のインクを吐出させることができる。また、同じ手法により、インクの吐出量を意識的に異ならせることも可能である。なお、プレヒートパルスを利用するのは、ノズルごとの吐出のバラつきを低減するためである。
【００５５】
次に、図７はカラーフィルタの製造工程を示した図である。図７を参照してカラーフィルタ５４の製造工程を説明する。
【００５６】
図７（ａ）は、光透過部９と遮光部１０を構成するブラックマトリクス２を備えたガラス基板１を示す。まず、ブラックマトリクス２の形成された基板１上に、それ自身はインク受容性に乏しいが、ある条件下（例えば光照射、または光照射と加熱）で親インク化されると共に、ある条件下で硬化する特性を有する樹脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベークを行って樹脂組成物層３を形成する（図７（ｂ））。樹脂組成物層３の形成には、スピンコート、ロールコート、バーコート、スプレーコート、ディップコート等の塗布方法を用いることができ、特に限定されるものではない。
【００５７】
次に、フォトマスク４を使用して光透過部９上の樹脂層に予めパターン露光を行うことにより樹脂層を一部親インク化させて（図７（ｃ））、樹脂組成物層３に親インク化された部分６と親インク化されていない部分５を形成する（図７（ｄ））。また、インクジェットヘッドが基板上を相対的に複数回走査しながらインクを吐出する際、インクジェットヘッドを固定して基板を移動させることにより相対的走査を行う場合と、基板を固定してインクジェットヘッドを移動させることにより相対的走査を行う場合のいずれも可能である。
【００５８】
その後インクジェット方式によりＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の各色インクを樹脂組成物層３に吐出して一度に着色し（図７（ｅ））、必要に応じてインクの乾燥を行う。インクジェット方式としては、熱エネルギーによる方式あるいは機械エネルギーによる方式が挙げられるが、いずれの方式も好適に用いることができる。使用するインクとしては、インクジェット用として用いることができるものであれば特に限られるものではなく、インクの着色剤としては、各種染料あるいは顔料のなかから、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素に要求される透過スペクトルに適合したものが適宜選択される。また、液状インク、ソリッドインク共に使用可能である。なお、インクジェットヘッドから吐出されるインクは樹脂組成物層３に付着される時点で滴状になっていてもよいが、インクジェットヘッドから滴状に分離せず、柱状の形態で付着することが好ましい。
【００５９】
次いで、光照射または光照射と加熱処理を行って着色された樹脂組成物層３を硬化させ、必要に応じて保護層８を形成する（図７（ｆ））。この樹脂組成物層３を硬化させるには先の親インク化処理における条件とは異なる条件、例えば光照射における露光量を大きくするか、加熱条件を厳しくするか、もしくは光照射と加熱処理を併用する等の方法が採用できる。
【００６０】
なお、硬化可能な樹脂組成物としては、ある条件下でインク受容性を有し、且つ光照射または光照射と加熱の少なくとも一方の処理により硬化し得るものであればいずれも使用可能であり、樹脂としては例えばアクリル系樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース等のセルロース誘導体あるいはその変性物等が挙げられる。
【００６１】
これらの樹脂を光あるいは光と熱により架橋反応を進行させるために光開始剤（架橋剤）を用いることも可能である。光開始剤としては、重クロム酸塩、ビスアジド化合物、ラジカル系開始剤、カチオン系開始剤、アニオン系開始剤等が使用可能である。またこれらの光開始剤を混合して、あるいは他の増感剤と組み合わせて使用することもできる。尚、架橋反応をより進行させるために光照射の後に熱処理を施しても良い。
【００６２】
これらの組成物を含む樹脂層は、非常に耐熱性、耐水性に優れており、後工程における高温あるいは洗浄工程に十分耐え得るものである。
【００６３】
また、本例においては、インク受容層（樹脂組成物層）を使用した例を示してあるが、基板にブラックマトリックスが形成されている場合でも同様に作成可能であるし、樹脂層を用いないで、ブラックマトリックスまたは、電極の間に直接インクをインクジェット方式で、射ち込んでも良い。
【００６４】
インクジェットヘッド２０４ａ,２０４ｂ,２０４ｃのノズルの位置としては、同一平面上に一定間隔で複数個並んでいることが望ましいが、その並び方は、図８に示すような一直線状でもよいし、図９に示すような千鳥状でもよい。ヘッドは、ノズルが副走査方向に対して一定の間隔になるように、所定角度だけ傾けてヘッドマウント５５にセットすれば良い。目的のカラーフィルタの画素のパターンのピッチに合わせるように複数のヘッド２０４ａ,２０４ｂ,２０４ｃを微動ネジ２１８により同時に回転させることにより、ノズル２０５の間隔の整数倍のピッチと、画素のピッチを合わせるように、ヘッドマウント５５を調整することができる。
【００６５】
さらに、複数のヘッド２０４ａ,２０４ｂ,２０４ｃのノズルが所望の着色したい画素上にくるように、微動ネジ２２２ａ,２２２ｂ,２２２ｃにより副走査方向（ノズルの並んだ方向）に微動させて調整することにより、多くのノズルを使用して着色することができるようになる。
【００６６】
また、図８（ａ）に示すように、使用中にあるノズルが不良（例えばインクの吐出量が少なくなるとか、不吐出になるとか）になった場合、そのヘッドを副走査方向（ノズルの並んだ方向）にノズルの間隔の整数倍の距離をずらすことにより、ヘッドを交換しなくてもさらに使用することが可能となる（図８（ｂ））。
【００６７】
このようにして、基板上に樹脂層を有し、その樹脂層が異なる色で着色された複数の着色部と非着色部を有するカラーフィルタが製造される。
【００６８】
図１０及び図１１は上記のカラーフィルタを組み込んだカラー液晶表示装置３０の基本構成を示す断面図である。
【００６９】
カラー液晶表示装置は、一般的にカラーフィルタ基板１と対向基板２１を合わせこみ、液晶化合物１８を封入することにより形成される。液晶表示装置の一方の基板２１の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Transistor)（不図示）と透明な画素電極２０がマトリクス状に形成される。また、もう一方の基板１の内側には、画素電極に対向する位置にＲＧＢの色材が配列するようカラーフィルタ５４が設置され、その上に透明な対向電極（共通電極）１６が一面に形成される。ブラックマトリクス２は、通常カラーフィルター基板１側に形成されるが（図１０参照）、ＢＭ（ブラックマトリクス）オンアレイタイプの液晶パネルにおいては対向するＴＦＴ基板側に形成される（図１１参照）。さらに、両基板の面内には配向膜１９が形成されており、これをラビング処理することにより液晶分子を一定方向に配列させることができる。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板１１,２２が接着されており、液晶化合物１８は、これらのガラス基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。また、バックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板（不図示）の組み合わせが一般的に用いられており、液晶化合物をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行うこのような液晶表示装置を情報処理装置に適用した場合の例を図１２乃至図１４を参照して説明する。
【００７０】
図１２は上記の液晶表示装置をワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置としての機能を有する情報処理装置に適用した場合の概略構成を示すブロック図である。
【００７１】
図中、１８０１は装置全体の制御を行う制御部で、マイクロプロセッサ等のＣＰＵや各種Ｉ／Ｏポートを備え、各部に制御信号やデータ信号等を出力したり、各部よりの制御信号やデータ信号を入力して制御を行っている。１８０２はディスプレイ部で、この表示画面には各種メニューや文書情報及びイメージリーダ１８０７で読み取ったイメージデータ等が表示される。１８０３はディスプレイ部１８０２上に設けられた透明な感圧式のタッチパネルで、指等によりその表面を押圧することにより、ディスプレイ部１８０２上での項目入力や座標位置入力等を行うことができる。
【００７２】
１８０４はＦＭ(Frequency Modulation)音源部で、音楽エディタ等で作成された音楽情報をメモリ部１８１０や外部記憶装置１８１２にデジタルデータとして記憶しておき、それらメモリ等から読み出してＦＭ変調を行うものである。ＦＭ音源部１８０４からの電気信号はスピーカ部１８０５により可聴音に変換される。プリンタ部１８０６はワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置の出力端末として用いられる。
【００７３】
１８０７は原稿データを光電的に読取って入力するイメージリーダ部で、原稿の搬送経路中に設けられており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿の読取りを行う。
【００７４】
１８０８はイメージリーダ部１８０７で読取った原稿データのファクシミリ送信や、送られてきたファクシミリ信号を受信して復号するファクシミリ（ＦＡＸ）の送受信部であり、外部とのインタフェース機能を有する。１８０９は通常の電話機能や留守番電話機能等の各種電話機能を有する電話部である。
【００７５】
１８１０はシステムプログラムやマネージャープログラム及びその他のアプリケーションプログラム等や文字フォント及び辞書等を記憶するＲＯＭや、外部記憶装置１８１２からロードされたアプリケーションプログラムや文書情報、さらにはビデオＲＡＭ等を含むメモリ部である。
【００７６】
１８１１は文書情報や各種コマンド等を入力するキーボード部である。
【００７７】
１８１２はフロッピーディスクやハードディスク等を記憶媒体とする外部記憶装置で、この外部記憶装置１８１２には文書情報や音楽あるいは音声情報、ユーザのアプリケーションプログラム等が格納される。
【００７８】
図１３は図１２に示す情報処理装置の模式的概観図である。
【００７９】
図中、１９０１は上記の液晶表示装置を利用したフラットパネルディスプレイで、各種メニューや図形情報及び文書情報等を表示する。このディスプレイ１９０１上ではタッチパネル１８０３の表面は指等で押圧することにより座標入力や項目指定入力を行うことができる。１９０２は装置が電話機として機能するときに使用されているハンドセットである。キーボード１９０３は本体と着脱可能にコードを介して接続されており、各種文書機能や各種データ入力を行うことができる。また、このキーボード１９０３には各種機能キー１９０４等が設けられている。１９０５は外部記憶装置１８１２へのフロッピーディスクの挿入口である。
【００８０】
１９０６はイメージリーダ部１８０７で読取られる原稿を載置する用紙載置部で、読取られた原稿は装置後部より排出される。またファクシミリ受信等においては、インクジェットプリンタ１９０７よりプリントされる。
【００８１】
上記情報処理装置をパーソナルコンピュータやワードプロセッサとして機能する場合、キーボード部１８１１から入力された各種情報が制御部１８０１により所定のプログラムに従って処理され、プリンタ部１８０６に画像として出力される。
【００８２】
ファクシミリ装置の受信機として機能する場合、通信回線を介してＦＡＸ送受信部１８０８から入力したファクシミリ情報が制御部１８０１により所定のプログラムに従って受信処理され、プリンタ部１８０６に受信画像として出力される。
【００８３】
また、複写装置として機能する場合、イメージリーダ部１８０７によって原稿を読取り、読取られた原稿データが制御部１８０１を介してプリンタ部１８０６に複写画像として出力される。なお、ファクシミリ装置の受信機として機能する場合、イメージリーダ部１８０７によって読取られた原稿データは、制御部１８０１により所定のプログラムに従って送信処理された後、ＦＡＸ送受信部１８０８を介して通信回線に送信される。
【００８４】
なお、上述した情報処理装置は図１４に示すようにインクジェットプリンタを本体に内蔵した一体型としてもよく、この場合は、よりポータブル性を高めることが可能となる。同図において、図１３と同一機能を有する部分には、対応する符号を付す。
【００８５】
次に、図３及び図４に示したようなヘッドの角度及び位置の調整機構を有する着色装置によりカラーフィルタを着色した具体例について説明する。
【００８６】
【第１の実施例】
ブラックマトリクスを設けた青板ガラス基板上に、ＭＭＡ（メチルメタクリレート）とＮ−ＮＡＭ（ｎ−メチロールアクリルアミド）の等量混合した共重合体を、エチルセロソルブに溶解させ粘度を調整したものに光開始剤を２％混合したものを用い、ロールコーターで１μｍの膜厚に塗布して、インク受容層のパターン形成を行った。その後、１２０℃で２分間乾燥させたところ、パターン寸法は８０μｍとなり、ブラックマトリクス上の隙間は約１０μｍとなっていた。
【００８７】
使用したインクジェットヘッドは、２５６本のノズルが４００ｄｐｉ（６３．５μｍ間隔）で一直線状に並んだものを使用した。Ｒ、Ｇ、Ｂそれぞれ１本づつ３本のヘッドをヘッドマウントに装着し、ヘッド取付け角度θを約１９．１°に調整した。次に、ノズル並び方向に微調整を行い、ノズルが４本おきに２４０μｍピッチで並ぶように、また、Ｒ、Ｇ、Ｂそれぞれのヘッドの使用ノズルが８０μｍずつずれるように各ヘッドの位置設定を行った。
【００８８】
このヘッドマウントを装着したインクジェット製造装置を用いて、前記インク受容層を設けた透明基板上にインクジェット方式によって、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色からなる所定のパターンを形成した。
【００８９】
このようにして作成した液晶用カラーフィルタを光学顕微鏡によって観察したところ、色ムラ、白ヌケ等のないカラーフィルタが得られた。しかも、１ノズルずつ３色で着色した場合よりも、６０倍以上も着色時間が短縮された。また、インクジェット製造装置へのヘッドの装着時間は、Ｒ、Ｇ、Ｂそれぞれのインクジェットヘッドを独立にセットする場合よりも著しく短縮された。
【００９０】
【第２の実施例】
第１の実施例と同様に１５インチサイズ（１２８０×１０２４画素）のカラーフィルタを２０枚作成したところ、Ｒのヘッドの一部のインク吐出量が少なくなってきた（２８ｎｇ→２５ｎｇ）。そこで、図８（ｂ）に示したように、そのＲヘッドをノズル並び方向に６３．５μｍずらしてさらに描画を続けたところ、フィルタの濃度にわずかの差が見られたが、カラーフィルタ特性としては問題のないものが得られた。ヘッドのアライメント調整時間も３分以内で完了し、いちいちヘッドを交換する場合と比べて著しく生産性が向上した。
【００９１】
【第３の実施例】
第２の実施例で作成したカラーフィルタを用いて、図１０に示す液晶パネルを作成し、駆動したところ、高精度なカラー表示が可能であった。また、ノズルを変えた時のつぎ目等は肉眼では確認できないレベルの液晶パネルが作成できた。
【００９２】
【第４の実施例】
第１の実施例と同様に光開始剤入りのインク受容層を用い、１１０μｍのパターンが繰り返されているパターン形成を行った。この時撥インク性の隙間は１５μｍとなっていた。
【００９３】
第１の実施例と同様のヘッドマウントを用いて、ヘッド取付け角度を約３０°に変更することにより、ノズル６本おきに使用し、４２本のラインを同時に着色することができた。これを繰り返すことにより、２１インチのカラーフィルタを９０秒で着色することが可能となった。また、１５インチ用のヘッド位置と２１インチ用のヘッド位置に変更するのに約５分の時間ロスで調整することが可能となった。
【００９４】
【第５の実施例】
インクジェットヘッドに３６０ｄｐｉの密度で２６００本のノズルを有するヘッドを用いて同様な仕組みのヘッドマウントに装置して１５インチのカラーフィルタを着色した。このとき、ヘッド取付け角度を約３１．７°に設定し、各色６４０ノズルを使用して、着色したところ、１５インチ用カラーフィルタが基板を２回スキャンするのみ（アライメントを含めて２０秒）で製造することが可能となった。
【００９５】
【第６の実施例】
図９に示したような、ノズルがちどり状に配列されたヘッド（６００ｄｐｉ）を用いても同様にヘッドの角度を調整することにより、第１の実施例と同様にインクジェット方式によりカラーフィルタを製造することができる。
【００９６】
この実施例では、ヘッド取付け角度θを２７．６°に設定して４本おきにノズルを使用することにより、１０インチの高性能カラーフィルタを作成することができた。
【００９７】
なお、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可能である。
【００９８】
本発明は、特にインクジェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネルギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーによりインクの状態変化を生起させる方式のプリント装置について説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、高精細化が達成できる。
【００９９】
その代表的な構成や原理については、例えば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持されているシートや液路に対応して配置されている電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。
【０１００】
このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことができる。
【０１０１】
記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成としても良い。
【０１０２】
さらに、記録装置が記録できる最大記録媒体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているような複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。
【０１０３】
加えて、装置本体に装着されることで、装置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。
【０１０４】
また、本発明の記録装置の構成として設けられる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にできるので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モードを行うことも安定した記録を行うために有効である。
【０１０５】
以上説明した本発明実施例においては、インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化するものを用いても良く、あるいはインクジェット方式ではインク自体を３０°Ｃ以上７０°Ｃ以下の範囲内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与時にインクが液状をなすものであればよい。
【０１０６】
加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のような、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も本発明は適用可能である。このような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向するような形態としてもよい。本発明においては、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。
【０１０７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば複数のヘッドを同時に回転させて角度を調整し、ノズル並び方向に各ヘッド個別に微調して移動させることより、多品種のカラーフィルタを同じカラーフィルタ製造装置で高速に製造することが可能になった。
【０１０８】
また、ヘッド内の使用ノズルが一部不良になってもヘッド交換をしないで、ノズル並び方向に移動させるだけで着色の継続ができるため、生産性が著しく向上する。
【０１０９】
さらに、インクジェット方式のもつ解像度や精度に微細パターン化されたフォトリソグラフィーの解像度、精度が加味され、高解像度のカラーフィルタパターンを得ることができる。
【０１１０】
これにより、種々のカラーデバイス構成に本発明のカラーフィルタを用いた場合でも、デバイスの機能、形成工程に影響を及ぼすこともなく、諸特性に優れたカラーデバイスを生産性良く形成することができる。
【０１１１】
【図面の簡単な説明】
【図１】カラーフィルタの製造装置の一実施形態の構成を示す概略図である。
【図２】カラーフィルタの製造装置の動作を制御する制御部の構成を示す図である。
【図３】ヘッドマウントの内部構成を示す斜視図である。
【図４】図３を上方から見た平面図である。
【図５】カラーフィルタの製造装置に使用されるインクジェットヘッドの構造を示す図である。
【図６】ヒータに加える電力を変化させてインクの吐出量を制御する方法を説明するための図である。
【図７】カラーフィルタの製造工程を示した図である。
【図８】インクジェットヘッドのノズルに不良が発生した場合の対処方法を示す図である。
【図９】ノズルが千鳥状に並んだヘッドを使用した例を示した図である。
【図１０】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。
【図１１】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。
【図１２】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示した図である。
【図１３】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示した図である。
【図１４】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示した図である。
【符号の説明】
５２  ＸＹθステージ
５３  ガラス基板
５４  カラーフィルタ
５５  ヘッドマウント
５８  コントローラ
５９  ティーチングペンダント
６０  キーボード
【図１】
0003683983.tif 000002
【図２】
0003683983.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003683983.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
0003683983.tif 000008
【図８】
0003683983.tif 000009
【図９】
0003683983.tif 000010
【図１０】
0003683983.tif 000011
【図１１】
0003683983.tif 000012
【図１２】
0003683983.tif 000013
【図１３】
0003683983.tif 000014
【図１４】
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