(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
重りと、該重りを内部に収容するための外箱と、前記重りを互いに直交する２方向に振動可能に前記外箱の内部に吊り下げる複数の棒ばねと、前記重りに固定され、前記２方向に平行な複数の永久磁石と、前記外箱内部に固定され、前記複数の永久磁石間で該永久磁石と所定距離離れた導体板とを有することを特徴とするステージ用制振装置。
【請求項２】
前記外箱、前記重り，前記棒ばね、及び前記導体板が、ステンレスからなることを特徴とする請求項１のステージ用制振装置。
【請求項３】
前記永久磁石が、サマリウム・コバルト磁石であることを特徴とする請求項１または２のステージ用制振装置。
【請求項４】
前記重りと前記外箱とを連結する薄板ばねを設けることにより、前記２方向に関するばね定数に差を持たせ、前記２方向に関する振動を制振できるようにしたことを特徴とする請求項１，２、または３のステージ用制振装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、制振装置に関し、特に、真空チャンバー内で使用される精密作業ステージ用の制振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の制振技術は、制振対象となる装置と、その装置を設置する床（土台）との間に防振ゴム等の防振材を配設し、床の振動が制振対象装置に伝わるのを防ぐものである。また、制振対象となる装置を設置する床（土台）の剛性を高めることで、床自体の振動発生を抑えることも行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の制振技術は、制振の対象となる装置全体の振動を抑制しようとするものであって、装置内の各部における微小振動（振幅が数十μｍ以下程度の振動）については、全く考慮されていない。また、真空チャンバー内のように、特殊な条件下（高温、クリーン雰囲気）で使用される精密作業用ステージ等の微小振動を抑制する制振装置については、全く知られていない。
【０００４】
本発明は、高温かつクリーンな雰囲気下で、微小振動を抑制できる制振装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、重りと、該重りを内部に収容するための外箱と、前記重りを互いに直交する２方向に振動可能に前記外箱の内部に吊り下げる複数の棒ばねと、前記重りに固定され、前記２方向に平行な複数の永久磁石と、前記外箱内部に固定され、前記複数の永久磁石間で該永久磁石と所定距離離れた導体板とを有することを特徴とするステージ用制振装置が得られる。
【０００６】
ここで、前記外箱、前記重り、前記棒ばね、及び前記導体板の材料としては、ステンレスが使用できる。また、前記永久磁石としては、サマリウム・コバルト磁石を使用することができる。
【０００７】
また、本発明によれば、前記重りと前記外箱とを連結する薄板ばねを設けることにより、前記２方向に関するばね定数に差を持たせ、前記２方向に関する振動を制振できるようにしたことを特徴とするステージ用制振装置が得られる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【０００９】
図１に、本発明の第１の実施の形態の制振装置を示す。図１（ａ）は、蓋を外した状態の制振装置の平面図であり、図１（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、そのＡ−Ａ線断面図及びＢ−Ｂ線断面図である。ただし、図１（ｂ）及び（ｃ）では、蓋を取り付けた状態で、図１（ａ）の制振装置を示している。
【００１０】
この制振装置は、基本的には、ばね−質量系に減衰器（磁気ダンパ）を取り付けたものである。詳述すると、この制振装置は、外箱１１と、この外箱１１内に、棒ばね１２を介して吊された重り１３を有している。そして、重り１３の下面には、永久磁石１４を取り付けるための３つの支持部材１５ａ，１５ｂ及び１５ｃが固着されている。また、外箱１１の内部底面には、永久磁石と所定の空隙をおいて、これら永久磁石１４に挟まれるように、導体板１６が固定されている。永久磁石１４及び導体板１６は、ＹＺ平面に平行な主面を持ち、これらを互いに対向させている。また、中央に位置する支持部材１５ｂは、細いばね材１７により、外箱１１に連結されている。さらに、重り１３と支持部材１５ｂとは、それぞれ薄板ばね１８及び１９により外箱１１に連結されている。細いばね材１７及び薄板ばね１８、１９は、重り１３が、外箱に対して図のＺ軸方向にのみに可動となる様に、重り１３の移動方向を規制する。また、薄板ばね１８は、幅の異なる別の薄板ばねと交換すること等により、重り１３を支持するばね全体のばね定数を調節するために利用される。
【００１１】
この制振装置は、例えば、図２に示すような、レーザアニーリング装置のステージ２１の振動を減衰させるために使用される。ステージ２１は、２対の駆動用支軸２２によってＸ軸方向に移動可能に支持されたトロリ部２３に取り付けられており、トロリ部２３の振動がそのまま、ステージ２１の振動となる。トロリ部２３は、上記のように、Ｘ軸方向に延在する２対の駆動用支軸２２に支持されているため、Ｘ軸方向については、問題となるような振動は発生しない。一方、Ｙ軸方向及びＺ軸方向については、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に延在する支持部材が存在しないため、問題となる振動が発生しやすい。また、Ｘ軸に平行な軸を回転軸とする回転振動も発生しやすい。そこで、図１の制振装置は、これらの振動を減衰させるために使用される。ただし、図１の制振装置は、１台で一方向の振動しか減衰させることができないので、上記３方向の振動を制振するためには、３台の制振装置が必要になる。
【００１２】
制振装置による制振効果を十分に得るためには、以下の条件を満たすように、制振装置の重りの重さ等を決定しなければならない。
【００１３】
即ち、図３に示すように、主系（ステージ及びトロリ部）の質量をＭ1 、付加系（制振装置の重り、支持部材、及び永久磁石）の質量をＭ2 と、主系のばね定数及び減衰係数を、それぞれｋ1 、ｃ1 、付加系のばね定数及び減衰係数は、それぞれｋ2 、ｃ2 とすると、各系の運動は、数式１で表される。
【００１４】
【数１】
0003671388.tif 000002
【００１５】
この数式１で表される運動方程式より、定常応答における、主系と付加系との振幅比を求め、付加系の減衰比ζａが“０”の場合と“∞”の場合の共振曲線の交点を最大値にする減衰比ζａを求める。求めたζａが、この振動系での合理的な減衰効果を与える。そして、求めた減衰比ζａを実現するための、付加系の質量、ばね定数、及び減衰定数を上記数式１と下記の数式２とに基づいて決定する。
【００１６】
【数２】
0003671388.tif 000003
【００１７】
以上のようにして求めた値を持つ付加系の質量Ｍ2 は、主系質量Ｍ1 が振動すると、同時に振動を初める。そして、負荷系質量Ｍ2 の振動は、主系質量Ｍ1 の振動を吸収する。図２の例では、トロリ部２３に固定あるいは内蔵された、図１の制振装置の重り１３が、トロリ部２３の振動により振動を始める。そして、重り１３は、その重みによる慣性力と、各ばねの応力と、永久磁石１４の導体板１６に対する吸引力によって、トロリ部２３及びステージ２１の振動を減衰させるように働く。
【００１８】
図１の制振装置は、上記のように、レーザアニーリング装置に使用されるステージの制振を想定している。これはつまり、制振装置が真空チャンバー内で使用されることを意味する。したがって、制振装置は、高温度下で、クリーン性を維持できる必要がある。そのような素材（永久磁石１４を除く全ての材料）として、例えば、ステンレス材がある。また、磁石としては、高温度下でも、減磁率の小さいサマリウム・コバルト磁石を使用することができる。サマリウム・コバルト磁石を用いた場合、その組成にもよるが、温度２００℃でも、十分な制振効果が得られる。
【００１９】
次に、本発明の第２の実施の形態について図４を参照して説明する。本実施の形態による制振装置は、直交する２方向の振動を双方とも制振することができる。以下、詳述する。
【００２０】
図４（ａ）は、蓋を取り外した状態の、本実施の形態による制振装置の平面図である。そして、図４（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ図４（ａ）におけるＣ−Ｃ断面図及びＤ−Ｄ断面図である。
【００２１】
本実施の形態による制振装置の基本的構成は、第１の実施の形態と同じであるので、図４においては、同一機能を有するものには、図１と同一の符号を付してある。
【００２２】
第２の実施の形態が、第１の実施の形態と最も異なる点は、棒ばね１２の配置にあり、本実施の形態では、重り１３がＺ軸方向のみならず、Ｙ軸方向にも移動可能なように、棒ばね１２が、重り１３を外箱１１に吊り下げている。
【００２３】
また、薄板ばね１８は、Ｙ軸方向と、Ｚ軸方向とで異なるばね定数を実現するために使用される。これは、ステージが、２つの方向に関して同一の振動特性を持たないことの方が多く、制振装置としては、２方向のばね定数を異なるものとしなければ、ステージの２方向の振動を制振することができないからである。つまり、棒ばね１２のみでは、Ｙ軸方向についても、Ｚ軸方向についても同一のばね定数しか得られないので、薄板ばね１８を用いて、Ｚ軸方向のばね定数をほとんど変えることなく、Ｙ軸方向のばね定数を大きくして、異なるばね定数を実現する。
【００２４】
さらにまた、細いばね材１７は、導体１６の厚みを変えると、制振特性を変化することに対応して、磁石の位置を変えることができるように取り付けられている。
【００２５】
以上の構成により、本実施の形態による制振装置は、直交する２方向の振動を減衰させることができる。
【００２６】
本実施の形態による制振装置と、第１の実施の形態による制振装置とを、図５に示すように、真空チャンバー５１内のステージ５２を支持、移動させるトロリ部５３に取り付けると、２つの制振装置で、３方向の振動を制振することができる。即ち、第１の実施の形態による制振装置５４をトロリ部５３の側面に固定し、Ｚ軸方向の振動を抑制するようにすることで、Ｘ軸に平行な軸を回転軸とするステージの回転振動を制振することができる。また、第２の実施の形態による制振装置５５を、トロリ部５３に内蔵させることで、Ｙ軸方向の振動及びＺ軸方向の振動を制振することができる。
【００２７】
図６、図７、及び図８は、第２の実施の形態による制振装置の制振効果を示すグラフである。詳述すると、図６、図７及び図８は、それぞれ、暗振動が存在するとき、歩行振動を加えたとき、及び、跳び跳ね振動を加えたときの、時間とＺ軸方向の振動振幅との関係を示すグラフであり、各図（ａ）は、制振装置を取り付けていないもの、各図（ｂ）は、制振装置を取り付けたものである。
【００２８】
図６、図７、及び図８から明らかなとおり、制振装置を取り付けることにより、全ての振動が効率よく制振されている。
【００２９】
【発明の効果】
本発明によれば、外箱に、重りを棒ばねで吊し、非接触状態で減衰効果の得られる磁気ダンパを取り付けたことで、クリーン雰囲気下で、クリーン雰囲気を壊すことなく微小振動を制振できる制振装置が得られる。
【００３０】
また、磁気ダンパに使用される永久磁石として、サマリウム・コバルト磁石を使用することにより、高温化でも、微小振動を制振できる制振装置が得られる。さらに、本発明によれば、重りを２方向に振動可能に棒ばねで吊し、さらに、薄板ばねで重りと外箱とを連結することで、２方向のばね定数に差を生じさせることができ、２方向の振動を制振することができる、コンパクトな制振装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図２】図１の制振装置が適用されるステージの斜視図である。
【図３】制振動作原理を説明するための模式図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。
【図５】本発明の第１及び第２の実施の形態による制振装置をステージに取り付けた状態を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態による制振装置のＺ軸方向に関する暗振動に対する制振特性を示すグラフである。
【図７】本発明の第２の実施の形態による制振装置のＺ軸方向に関する歩行振動に対する制振特性を示すグラフである。
【図８】本発明の第２の実施の形態による制振装置のＺ軸方向に関する跳びはね振動に対する制振特性を示すグラフである。
【符号の説明】
１１      外箱
１２      棒ばね
１３      重り
１４      永久磁石
１５ａ，１５ｂ，１５ｃ      支持部材
１６      導体板
１７      細いばね材
１８，１９      薄板ばね
２１      ステージ
２２      駆動用支軸
２３      トロリ部
５１      真空チャンバー
５２      ステージ
５３      トロリ部
５４      制振装置
５５      制振装置
【図１】
0003671388.tif 000004
【図２】
0003671388.tif 000005
【図３】
0003671388.tif 000006
【図４】
0003671388.tif 000007
【図５】
0003671388.tif 000008
【図６】
0003671388.tif 000009
【図７】
0003671388.tif 000010
【図８】
0003671388.tif 000011