(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する第一のステージ、
この第一のステージを摺動自在に保持すると共に、固定プレートに摺動自在に保持された第二のステージ、
上記第二のステージ上に回転可能に支承され、所定方向に形成されたネジ部分と、途中で逆方向となるように形成されたネジ部分とを有するボールネジ、
このボールネジを回転駆動する駆動源、
上記ボールネジの所定方向に形成されたネジ部分に螺合されると共に、上記第一のステージに固定された第一の稼動部、
上記ボールネジの逆方向に形成されたネジ部分に螺合されると共に、上記固定プレートに固定された第二の稼動部、及び
上記基板上にレーザー光を出射するレーザー出射部を備えたことを特徴とするレーザー加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば液晶表示装置等の欠陥を修復する際に使用されるレーザー加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図４は、従来のレーザー加工装置の概略図である。図において、１１は基板１を保持するステージ、４は固定プレート、１２は固定プレート４に配置されると共に稼動部１３を有するボールネジ、８はボールネジ１２を回転させる駆動モータで、図４では一方向（Ｙ方向）の機構を記しているが、実際の装置では他方向（Ｘ方向）にも同様の機構が設置されている。９はレーザー照射部、１０はレーザー光である。稼動部１３に固定されたステージ１１は、駆動モータ８によりボールネジ１２を回転させることにより固定プレート４の表面に沿って摺動し、所定位置において、ステージ１１上の基板１がレーザー照射部９から照射されたレーザー光１０により加工される。
【０００３】
また、図５は、特開平５ー２７７９３１号公報に開示された従来の工作機械である。図において、１４は機械本体、１５は機械本体１４に対して上下移動可能な状態で支持された第一の主軸台、１６は第一の主軸台１５に対して上下移動可能な状態で支持された第二の主軸台、１７は第二の主軸台に装着された加工用砥石、１８は被工作物を保持するステージである。被工作物の鉛直面を研磨する場合に、加工用砥石１７には、第一の主軸台１５の上下動に第二の主軸台１６の上下動が加えられるため、加工用砥石１７の上下動速度は高速となり、加工時間を短縮できると共に、加工精度も向上できる。すなわち、第一の主軸台１５と第二の主軸台１６を二個のステージに置き換えた場合、ステージを高速で移動できるため、加工時間を短縮できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、加工装置において被加工物を保持するステージの移動機構としては、従来いくつかの構成が提案されてきたがいずれも有効ではない。例えば、図４に示された装置では、ステージ１１の移動速度は、駆動モータ８の回転速度の上限により決まり、ステージ１１の移動速度を速くするためには、回転速度の速い高機能な駆動モーターを使用するか、あるいはボールネジのネジピッチを大きくする必要があり、コスト高、あるいは螺合するネジとの摩擦抵抗が大きくなるなどの問題があった。
また、図５に示された方法では、第一の主軸台１５と第二の主軸台１６を動かすために駆動系が二個必要となるため、コストが高くなると共に制御が複雑になるなど問題があった。
【０００５】
この発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、駆動モータの回転速度および個数を変えずにステージの移動速度を速めることができるレーザー加工装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明に係わるレーザー加工装置は、基板を保持する第一のステージ、この第一のステージを摺動自在に保持すると共に、固定プレートに摺動自在に保持された第二のステージ、上記第二のステージ上に回転可能に支承され、所定方向に形成されたネジ部分と、途中で逆方向となるように形成されたネジ部分とを有するボールネジ、このボールネジを回転駆動する駆動源、上記ボールネジの所定方向に形成されたネジ部分に螺合されると共に、上記第一のステージに固定された第一の稼動部、上記ボールネジの逆方向に形成されたネジ部分に螺合されると共に、上記固定プレートに固定された第二の稼動部、及び上記基板上にレーザー光を出射するレーザー出射部を備えたものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下、この発明の一実施の形態であるレーザー加工装置を図について説明する。図１は本発明のレーザー加工装置の斜視図、図２は本装置に搭載されているボールネジの斜視図である。図１において、１は基板、２は基板を保持する第一のステージ、３は第一のステージを保持する第二のステージ、４は固定プレート、５は第二のステージ３に配置されたボールネジで、図２に示すように、ネジの方向が途中で逆方向になるよう形成されており、螺旋の方向が異なる部分にそれぞれ第一の稼動部６と第二の稼動部７が螺合され、ボールネジ５を回転させることにより第一の稼動部６と第二の稼動部７は逆方向に移動するよう構成されている。ここで第一の稼動部６は第一のステージ２に取り付けられ、第二の稼動部７は固定プレート４に取り付けられている。８はボールネジを回転させる駆動モータ、９はレーザー照射部、１０はレーザー光である。
ボールネジ５を駆動モータ８により回転させることにより、第一の稼動部６に取り付けられた第一のステージ２は、ボールネジ５が取り付けられた第二のステージ３に対して移動し、かつ第二の稼動部７が、第二の稼動部７が取り付けられた固定プレート４を第一のステージ２の移動方向と逆方向に移動させようとする力により、逆に第二のステージ３が固定プレート４に対して第一のステージ２と同方向に移動する。
【０００８】
この発明によれば、基板１を保持した第一のステージ２を移動させる駆動モータ８の回転速度および個数を従来のものと変えずに、第一のステージ２の移動速度を２倍に速めることができる。
【０００９】
参考例
図３はこの発明の参考例を示すレーザー加工装置の斜視図である。図において、１１は基板を保持すると共に固定プレート４に摺動自在に保持されたステージである。なお、図１と同一部分については同符号を付し説明を省略する。
ここで、第一の稼動部６はステージ１１に取り付けられ、第二の稼動部７は固定プレート４に取り付けられ、ボールネジ５は駆動モータ８と共に固定プレート４に摺動自在に支持されている。ボールネジ５を駆動モータ８により回転させることにより、第一の稼動部６に取り付けられたステージ１１は、ボールネジ５に対して移動し、かつ第二の稼動部７は固定プレート４に取り付けられているため、逆にボールネジ５をステージ１１の移動方向と同方向に移動させる。
本参考例によれば、駆動モータ８の負荷を軽減した状態で、実施の形態１と同様の効果が得られる。
【００１０】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、被加工物を保持したステージを移動させる駆動モータの回転速度および個数を従来のものと変えずに、ステージの移動速度を２倍に速めることができ、レーザー加工装置のタクトタイムを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１によるレーザー加工装置を示す斜視図である。
【図２】  この発明の実施の形態１によるボールネジを示す斜視図である。
【図３】  この発明の参考例によるレーザー加工装置を示す斜視図である。
【図４】  従来のこの種レーザー加工装置を示す斜視図である。
【図５】  従来の工作機械を示す概略図である。
【図１】
0003683042.tif 000002
【図２】
0003683042.tif 000003
【図３】
0003683042.tif 000004
【図４】
0003683042.tif 000005
【図５】
0003683042.tif 000006