(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体上に気相から薄膜を析出させて炭化珪素を形成する炭化珪素製造方法において、
前記基体上に珪素層を形成する珪素層形成工程と、
前記珪素層中にＮ，Ｂ，Ａｌ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｐ，Ａｓ，Ｓｂ，Ｓｅ，Ｚｎ，Ｏ，Ａｕ，Ｖ，Ｅｒ，Ｇｅ，Ｆｅから選ばれる少なくとも１種類の元素を不純物として添加させる不純物添加工程と、
前記不純物が添加された珪素層を炭化して不純物が添加された炭化珪素層を形成する炭化工程と、を有し、
前記珪素層形成工程及び不純物添加工程は、いずれも炭素原料の不存在下で行い、
かつ、前記珪素層形成工程後に、不純物添加工程を行い、しかる後、炭化工程を行うことを特徴とする炭化珪素の製造方法。
【請求項２】
基体上に気相から薄膜を析出させて炭化珪素を形成する炭化珪素製造方法において、
前記基体上に珪素層を形成する珪素層形成工程と、
前記珪素層中にＮ，Ｂ，Ａｌ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｐ，Ａｓ，Ｓｂ，Ｓｅ，Ｚｎ，Ｏ，Ａｕ，Ｖ，Ｅｒ，Ｇｅ，Ｆｅから選ばれる少なくとも１種類の元素を不純物として添加させる不純物添加工程と、
前記不純物が添加された珪素層を炭化して不純物が添加された炭化珪素層を形成する炭化工程と、を有し、
前記珪素層形成工程及び不純物添加工程は、いずれも炭素原料の不存在下で行い、
かつ、前記珪素層形成工程と不純物添加工程とを同時に行い、しかる後、炭化工程を行うことを特徴とする炭化珪素の製造方法。
【請求項３】
前記珪素層形成工程、不純物添加工程及び炭化工程を化学気相成長法を用いて基体上に薄膜をエピタキシャル成長をさせながら行い、前記珪素層形成工程における珪素原料としてシラン系又はジクロロシラン系ガスを用い、前記炭化工程における炭素原料として不飽和炭化水素ガスを用いることを特徴とする請求項１又は２に記載の炭化珪素製造方法。
【請求項４】
前記珪素層形成工程、不純物添加工程及び炭化工程によって薄膜状の炭化珪素を形成する一連の単位工程を繰り返し行うことにより、目的の厚さの炭化珪素層を形成することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の炭化珪素製造方法。
【請求項５】
前記各単位工程において添加する不純物量を変えることによって、厚さ方向に不純物濃度が異なる炭化珪素層を形成することを特徴とする請求項４に記載の炭化珪素製造方法。
【請求項６】
前記基体は少なくともその表面が単結晶珪素、立方晶炭化珪素又は六方晶炭化珪素で構成されており、前記基体表面に形成される炭化珪素が立方晶炭化珪素又は六方晶炭化珪素であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の炭化珪素製造方法。
【請求項７】
基体上に炭化珪素層を形成した後に、基体を除去してウエハ状の炭化珪素を形成することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の炭化珪素製造方法。
【請求項８】
前記不純物添加工程で添加する不純物の種類を変えることによって炭化珪素層中にｐｎ接合を設けることを特徴とする請求項４〜７のいずれかに記載の炭化珪素製造方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の炭化珪素製造方法によって製造された炭化珪素を種結晶に用いて昇華再結晶法によって炭化珪素を成長させることを特徴とする炭化珪素製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイスの基板材料やセンサーとして、半導体製造装置の部材として、半導体素子製造工程におけるダミーウエハに用いられる炭化珪素薄膜やインゴットあるいは構造体として、太陽電池として、さらには、Ｘ線マスクとして用いることができる炭化珪素製造方法及び炭化珪素並びにこの炭化珪素を用いた半導体装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
炭化珪素は２．２ｅＶ以上の広い禁制帯幅を有する半導体であり、熱的、化学的、機械的にも安定な結晶である。また、熱伝導率も高いため、高周波、大電力、高温などの条件下での半導体素子材料としての応用が期待されている。
【０００３】
炭化珪素の製造方法としては、加熱したコークス表面で珪素を反応させ、コークス表面に炭化珪素を析出させる方法（アチェーソン法）やアチェーソン法により生成した炭化珪素を加熱して昇華させ、再結晶化させる方法（昇華法、改良レーリー法）、炭素るつぼ中で珪素を融解させ、るつぼ内の浮遊炭素と珪素とを反応させつつ引き上げをおこなう液相成長法などが知られている。
【０００４】
さらに高純度で結晶欠陥の少ない炭化珪素膜を得る方法としては、炭素源のガスと珪素源のガスを常圧または減圧雰囲気で熱的に反応させ、基板表面に析出させる化学的気相堆積法（ＣＶＤ法）、基板表面に珪素源分子と炭素源分子とを交互に吸着させ、炭化珪素を基板の結晶性を引き継ぎつつエピタキシャル成長させる原子層エピタキシー法（ＡＬＥ法）が用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、炭化珪素を半導体デバイスの材料として用いる場合、不純物の制御は極めて重要である。たとえば、ディスクリートタイプのパワー半導体デバイス（ショットキーバリアダイオードなど）のサブストレートとして炭化珪素を用いる場合、デバイスがオン状態の際の直列抵抗（オン抵抗）は素子内部での電力損失につながるため、極力低減しなければならない。このようなオン抵抗低減のため、サブストレートには最大１０21／ｃｍ3もの不純物添加が要求される。
【０００６】
一方、半導体デバイスの降伏電圧は、一般には不純物濃度の−０．５乗に比例するため、デバイス内部において電界が集中する部分の不純物濃度は１×１０14／ｃｍ3以下まで低減しなければならない。珪素を素材とした半導体デバイスを作製する場合には、不純物の添加法として熱拡散法が用いられる。熱拡散法とは、被添加基板表面に不純物を塗布、または被添加基板を不純物雰囲気に曝しつつ、加熱することにより、所望の不純物を基板内部に拡散させることにより添加する方法である。しかしながら、炭化珪素中における不純物の拡散係数は珪素のそれに比べて著しく低く、半導体デバイスを作製できるほど（深さ１μｍ以上、添加濃度範囲  １×１０14〜１×１０21／ｃｍ3）不純物を添加することが不可能である。
【０００７】
炭化珪素に対して、このような広範囲にわたる不純物濃度を制御するため、炭化珪素にはイオン注入法による不純物添加が施される。しかしながら、イオン注入法は不純物添加の深さ分布が注入イオンの飛程に制限されるため、たとえば特表平１１−５０３５７１号公報にあるように、炭化珪素の半導体層へのドーパント導入方法は、低温で半導体層へドーパントをイオン注入する工程において非晶質表面近接層を形成させるように実施し、この工程の後で表面近接層に続く半導体層の非注入下層中にドーパントが拡散する高温での半導体層の焼鈍工程を実施しなければならない。しかも、本方法を用いたとしてもサブストレート全体への高濃度不純物添加は困難である。
【０００８】
また、注入イオンの電気的活性化が不十分であったり、イオン注入により炭化珪素内部に結晶欠陥が生じてしまうため、たとえば、特開平１２−０６８２２５号公報に記載の発明のように炭素（Ｃ）原子を付加的にイオン注入することで、炭化珪素に注入したアクセプター原子の電気的活性化率を向上するとともに熱処理による拡散を抑制したり、特開平１０−２５６１７３号公報にあるように、炭化珪素基板の珪素面上にＳｉＯ2  からなるマスクを形成し、不純物元素として窒素をイオン注入した後に、珪素面に垂直な方向のイオン注入（チャネリング注入）および（０００１）珪素面に垂直な方向から７°傾斜した方向のイオン注入（ランダム注入）を行う必要がある。さらには、特開平１１−１２１３９３号公報に述べられているように炭化ケイ素半導体にリン原子を高温でイオン注入する際に、そのイオン注入の温度が１２００℃以上である炭化ケイ素半導体へのリン原子不純物をドープする方法をとらなければならない。
【０００９】
例えば、サブストレート全体にわたる不純物添加を実施する際には、炭化珪素形成と同時に不純物を添加する方法（ｉｎ−ｓｉｔｕ  ドーピング）も用いられるが、この際には添加する不純物源や濃度に制限が加えられる。例えば、特開平０９−０６３９６８号公報に開示の発明においては、炭素と珪素とを含んだガスを流すと同時にホウ素を含んだガスを流すことによりｐ型炭化珪素半導体層を気相成長する際に、結晶成長に寄与する炭素の供給量Ｑｃと、結晶成長に寄与する珪素の供給量Ｑｓｉとの間に、１＜Ｑｃ／Ｑｓｉ＜５の関係を満たすことが要求されている。
【００１０】
また、形成されたｐ型炭化珪素半導体層においては、成分元素である炭素の原子密度ｄCと珪素の原子密度ｄSiとの間に、１＜ｄC／ｄSi≦３２／３１の制限がある。または、特表平１０−５０７７３４号公報に述べられているように、ＣＶＤプロセス又は昇華プロセスにおいて、炭化珪素単結晶のドーピングにその分子中で少なくとも１個のホウ素原子が少なくとも１個の炭素原子に化学的に結合されている有機ホウ素化合物を使用する際の有利な有機ホウ素化合物はトリアルキルホウ素である。
【００１１】
Ｉｎ−ｓｉｔｕドーピングによって不純物である窒素濃度を広範囲で変化させようとする場合、たとえばＡｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．６５（１３），２６（１９９４）に述べられているように、炭化珪素中において結晶格子の占有率がＮと競合関係に有るＣの濃度を変化させる方法も報告されているが、この場合、結晶格子位置に納まるＮ濃度がＣ濃度に対して敏感に変化するため、炭化珪素成長時の珪素源とＣ源の組成比を厳密に制御する必要が有り、本方法を量産化に適応することは困難である。
【００１２】
また、昇華再結晶法により不純物を導入する場合には、あらかじめ原料となる炭化珪素粉体と不純物源（Ａｌ，Ｂ等）を一定割合で混合し、これを昇華させて種結晶上に再結晶化させるが、昇華温度における不純物源の蒸気圧が炭化珪素の蒸気圧を大きく上回るため、炭化珪素成長初期には不純物濃度が高く、成長終了時には不純物源が揮発して無くなってしまうため、不純物濃度の低い炭化珪素が形成される。
【００１３】
このため、昇華再結晶化法により形成した炭化珪素をスライスして炭化珪素基板を得ようとしても、基板間の不純物濃度ばらつき（抵抗率のばらつき）が大きくなり、安定したデバイス特性が得られない。また、昇華再結晶化法により成長される炭化珪素表面は必ずしも平坦でないため、急峻なｐｎ接合部や平滑なｐｎ接合部を得ることは難しい。
【００１４】
さらに、従来の気相成長法で炭化珪素を成長しつつ不純物を導入する場合（ｉｎ−ｓｉｔｕドーピング）には、炭化珪素成長と同時に不純物の取り込みが進行するため、たとえば、成長中に不純物原料を切り替えてｐｎ接合を得ようとしても、反応系中にある程度の不純物ガスが滞留するため、明確な（急峻な濃度勾配を有する）ｐｎ接合を得ることができない。また、接合部近辺にはドナー不純物とアクセプター不純物との両者が存在するため、補償度が高くなり、接合における移動度を高めることが困難である。さらには、原料ガスの流れ等により面内の不純物濃度が不均一になってしまい、大面積にわたって面内の不純物濃度を均一にすることは困難であった。そのため、厳密な不純物濃度の制御を行うことができず、歩留まり良く所望の不純物濃度分布を有する炭化珪素を得ることができなかった。
【００１５】
本発明は、上述の問題点を克服するためになされたものであり、不純物源や不純物濃度に対する制限もしくは不純物添加範囲の深さ制限等を受けること無く、直径４インチ以上の大面積にわたり高い制御性のもとで不純物添加をおこないつつ、十分な生産性のもとで製造を可能とする炭化珪素製造方法、炭化珪素及び半導体装置を提供することを目的とするものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するための手段として、第１の手段は、
基体上に気相又は液相から薄膜を析出させて炭化珪素を形成する炭化珪素製造方法において、
基体上に珪素層を形成する珪素層形成工程と、
前記珪素層にＮ，Ｂ，Ａｌ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｐ，Ａｓ，Ｓｂ，Ｓｅ，Ｚｎ，Ｏ，Ａｕ，Ｖ，Ｅｒ，Ｇｅ，Ｆｅから選ばれる少なくとも１種類の元素を不純物として添加する不純物添加工程と、
前記不純物が添加された珪素層を炭化して不純物が添加された炭化珪素層を形成する炭化工程とを有することを特徴とする炭化珪素の製造方法である。
第２の手段は、
前記珪素層形成工程、不純物添加工程及び炭化工程を化学気相成長法を用いて基体上に薄膜をエピタキシャル成長をさせながら行い、前記珪素層形成工程における珪素原料としてシラン系又はジクロロシラン系ガスを用い、前記炭化工程における炭素原料として不飽和炭化水素ガスを用いることを特徴とする第１の手段にかかる炭化珪素製造方法である。
第３の手段は、
前記珪素層形成工程後に、不純物添加工程を行い、しかる後、炭化工程を行うことを特徴とする第１又は第２の手段にかかる炭化珪素製造方法である。
第４の手段は、
前記珪素層形成工程と不純物添加工程とを同時に行い、しかる後、炭化工程を行うことを特徴とする第１又は第２の手段にかかる炭化珪素製造方法である。
第５の手段は、
前記珪素層形成工程と不純物添加工程とを同時に行いつつ、これら工程を開始した一定時間後に炭化工程を行うことを特徴とする第１又は第２の手段にかかる炭化珪素製造方法である。
第６の手段は、
前記珪素層形成工程、不純物添加工程及び炭化工程によって薄膜状の炭化珪素を形成する一連の単位工程を繰り返し行うことにより、目的の厚さの炭化珪素層を形成することを特徴とする第１〜第５のいずれかの手段にかかる炭化珪素製造方法である。
第７の手段は、
前記各単位工程において添加する不純物量を変えることによって、厚さ方向に不純物濃度が異なる炭化珪素層を形成することを特徴とする第６の手段にかかる炭化珪素製造方法である。
第８の手段は、
得られる炭化珪素の不純物濃度が、１×１０13／ｃｍ3〜１×１０21／ｃｍ3の範囲になるように不純物添加量を制御することを特徴とする第１〜第７のいずれかの手段にかかる炭化珪素製造方法である。
第９の手段は、
得られる炭化珪素の厚さ方法における不純物濃度勾配が、１×１０18／ｃｍ4〜４×１０24／ｃｍ4の範囲になるように不純物添加量を制御することを特徴とする第１〜第８のいずれかの手段にかかる炭化珪素製造方法である。
第１０の手段は、
前記基体は少なくともその表面が単結晶珪素、立方晶炭化珪素又は六方晶炭化珪素で構成されており、前記基体表面に形成される炭化珪素が立方晶炭化珪素又は六方晶炭化珪素であることを特徴とする第１〜第９のいずれかの手段にかかる炭化珪素製造方法である。
第１１の手段は、
基体上に炭化珪素層を形成した後に、基体を除去してウエハ状の炭化珪素を形成することを特徴とする第１〜第１０のいずれかの手段にかかる炭化珪素製造方法である。
第１２の手段は、
単位工程における不純物添加工程で添加する不純物の種類を変えることによって炭化珪素層中にｐｎ接合を設けることを第６〜第１１のいずれかの手段にかかる炭化珪素製造方法である。
第１３の手段は、
第１〜第１２の手段にかかる炭化珪素製造方法によって製造された炭化珪素を種結晶に用いて気相成長法、昇華再結晶法、又は、液相成長法によって炭化珪素を成長させることを特徴とする炭化珪素製造方法である。
第１４の手段は、
厚さ方法における不純物濃度勾配が、１×１０22／ｃｍ4〜４×１０24／ｃｍ4である層領域を有する炭化珪素である。
第１５の手段は、
第１〜第１３の手段にかかる炭化珪素製造法によって製造された炭化珪素、又は、第１４の手段にかかる炭化珪素を用いたことを特徴とする半導体装置である。
【００１７】
上述の第１〜第５の手段によれば、珪素に不純物を添加してからこれを炭化することにより、不純物を含む炭化珪素を形成していることから、炭化珪素に不純物を添加する従来の場合に比較して、所望の高い濃度の不純物を容易にかつ正確に添加することが可能になった。すなわち、一般的に、炭化珪素に添加できる不純物濃度は限られているのに対して、珪素には比較的自由に不純物を添加できる。上記手段は、この点に着目したもので、上記手段により、炭化珪素における不純物の拡散係数と固溶度の限界を超えた高濃度の不純物添加が実現できる。また、上記手段によれば、最終的に炭化珪素層中に取り込まれる不純物量は、あらかじめ珪素に添加した不純物量に一致するため、炭化珪素中の不純物量は珪素層形成時の不純物添加条件（たとえば、不純物の供給量や供給時間）によって、厳密に制御することが可能である。しかも、既に形成された炭化珪素に対する不純物の拡散係数は、珪素に対する拡散係数をはるかに下回るため、炭化珪素成長中のインナーディフュージョンなどにより不純物の濃度分布が乱れることも防がれる。したがって、不純物の添加範囲は、あらかじめ形成する珪素層の厚さにより精密に制御することが可能である。これにより、例えば、厚さ１μｍ以上の領域にわたって第８の手段に規定されるような、極めて広い範囲の不純物濃度の炭化珪素を容易に得ることができる。これにより、半導体デバイスとして広い応用が可能になる。
なお、上述の珪素層形成工程及び不純物添加工程は、いずれも、炭素原料の不存在下で行うことが重要である。炭素原料の不存在下であれば、不純物添加工程を珪素層形成工程と同時に行ってもよいし、珪素層形成工程の後に行ってもよい。いずれにしても、炭化工程は、珪素層形成工程及び不純物添加工程よりも後で行なうことが必須である。その理由は以下の通りである。
すなわち、珪素層が形成された基体上に炭素原料と不純物原料とを同時に導入すると、不純物が添加されるよりも、炭化珪素が形成される方が優勢になる。これは、珪素表面の炭化は表面反応なのに対し、不純物の拡散は時間の平方根に比例する現象であるため、炭化現象の方が短時間で完了するためである。それゆえ、炭素の存在下では十分な不純物添加はできない。さらに、基板表面には炭素原料が優先的に吸着するため、不純物原料が基板内部に拡散することが阻まれる。従って、十分な不純物を添加するためには、炭素原料の不存在下で不純物原料を珪素層の形成された基体に導入する必要がある。なお、この場合、珪素原料と不純物原料とは同時に導入してもよい。
そして、不純物元素が添加された珪素層が形成された後に、炭素原料を基体上に導入するようにすればよい。この炭化工程の際には、炭素原料と共に不純物原料が導入されていてもよい。これは不純物原料と炭素原料が同時に存在しても、炭化が優先的に起こると考えられるので、結果的に炭素原料が単独で導入された場合と同じとなるからである。
また、炭化工程において、所定の範囲の流量比（炭素原料と珪素原料の付着係数比によって決まる）であれば、炭素原料と共に珪素原料が存在していてもかまわない。これは、その流量比の範囲の場合には、基板表面に炭素原料が吸着層を形成し、炭素原料と珪素原料とを同時に供給してもそれ以上炭化珪素が形成されることがない状態にすることができるからである。
気相又は液相から薄膜を析出する具体的手段としては、例えば、化学的気相堆積（成長）法（ＣＶＤ法）、分子線エピタキシー法（ＭＢＡ法）、液相エピタキシー法（ＬＰＥ法）等がある。
基体としては、少なくとも表面に珪素、炭化珪素、ＴｉＣ、サファイヤ等を有するものを用いることができる。
添加する不純物としては、Ｎ，Ｂ，Ａｌ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｐ，Ａｓ，Ｓｂ，Ｓｅ，Ｚｎ，Ｏ，Ａｕ，Ｖ，Ｅｒ，Ｇｅ，Ｆｅが挙げられる。このうち、アクセプターとしてＰ型半導体を形成するものとして、ＩＩＩ族元素であるＢ，Ａｌ，Ｇａ，Ｉｎが、ドナーとしてｎ型半導体を形成するものとして、Ｖ族元素であるＮ，Ｐ，Ａｓ，Ｓｂが、電子親和力の差により禁制帯に準位を形成し、電気抵抗を変化させるものとして、ＩＶ族元素であるＳｅが挙げられる。また、その他として深い準位を形成し、少数キャリアのライフタイムや抵抗率を変化させるものとしてＺｎ，Ｏ，Ａｕ，Ｖ，Ｇｅ，Ｆｅが挙げられる。
上記不純物は、単独で使用しても、複数を同時に使用してもよい。例えば、同じタイプの不純物であっても、禁制帯中に形成する準位が異なり、温度に対する抵抗率の変化が異なるため、ある温度での抵抗率を調整したい場合、複数種の不純物を同時に添加する。例えば、上記のＶ族元素から任意の２つを選択し、これを同時に添加する。例えば、ＮとＰとを添加する。
また、ドナーとアクセプターとを同時に添加して、キャリアを補償させることにより、抵抗率を増加させることができる。これにより、例えば、ＰｉＮダイオードのｉ層を形成することができる。例えば、ドナーのＮとアクセプターのＢを同時に添加する。また、結晶成長中にどうしても入り込んでしまう不純物による抵抗率の増加を相殺するために、その不純物とは逆の性質を持つ不純物を添加したり、ドナーとアクセプターを同時に添加する際に、入り込んでしまう不純物の性質を相殺するように調整してこれらを添加することにより、抵抗率の高い炭化珪素を形成することができる。
珪素層形成工程、不純物添加工程及び炭化工程は、気相又は液相への原料の供給を制御することにより行うことができる。例えば、炭化珪素の原料に対して混入する不純物源の濃度比を変えたり、不純物を混入する時間を調節する。
また、シラン系ガス又はジクロロシラン系のガスとしては、ジクロロシラン、テトラクロロシラン、トリクロロシラン、ヘキサクロロシラン等がある。また、不飽和炭化水素ガスとして、アセチレン、エチレン、プロパン等がある。これらの原料を用いることにより、炭化珪素の形成温度が低く、ガス流量比変化の許容幅が大きく、得られる炭化珪素の結晶性も良好なものとすることができる。
第２の手段によって製造する場合には、反応時の基板等の基体の温度を９００〜１４００℃、好ましくは１０００〜１４００℃にする。反応温度が高すぎると、基体として珪素を用いた場合に珪素が解け出してしまい、反応温度が低すぎると、反応速度が著しく遅くなるからである。
また、第６の手段によれば、任意の濃度プロファイルを有する不純物添加層形成が実現できる。また、この方法を用いた場合、不純物としては珪素中に拡散する不純物であれば一切の制約を受けずに用いることができる。
第７の手段によれば、任意の濃度勾配を有するものを得ることができる。すなわち、従来得ることができなかったような急な濃度勾配、例えば、第９の手段に規定されるような急な濃度勾配を有するものも容易に得ることができる。
第１０の手段によれば、良好な炭化珪素が得られる。また、例えば、炭化珪素基板上に炭化珪素を形成した場合にはそのまま半導体用炭化珪素基板として利用できる。ここで、基体の炭化珪素としては、アチェーソン法や昇華再結晶法で形成した炭化珪素も用いることができる。また、珪素の表面を炭化したものでもよい。
この場合、基体としては、例えば、表面の結晶法線軸をわずかに傾けた基板（オフ角を導入した基板）を用いることができる。このような基板としては、表面法線軸を［００１］から［１１０］方向にわずかに傾けた珪素（１００）基板があげられる。また、基板として、表面に一方向に平行に延びる複数の起伏を設けた基板を用いることもできる。例えば、（００１）面で、ある基板表面に［０１１］方位に平行に延びる起伏を設けた珪素基板や、立方晶炭化珪素基板等が挙げられる。この場合、形成させる炭化珪素層の欠陥を低減することが可能になり、高品質な炭化珪素を得ることができる。
第１１の手段によれば、所望の均一な不純物濃度、あるいは、所望の厳密に制御された不純物濃度分布を有する炭化珪素半導体ウエハが得られる。基体の除去は、基体として例えば珪素基板を用いた場合には、基板上に炭化珪素層を形成した後に、基板をエッチング、切断による方法等で除去する。基板上に炭化珪素層を厚く形成した場合には、この形成した炭化珪素層をワイヤソー等の手段で切断、スライスしてウエハを得る。この場合、ウエハの直径が６インチの場合には、厚さを０．６５ｍｍとし、ウエハの直径が５インチの場合には、厚さを０．５ｍｍとし、ウエハの直径が４インチ又は３インチの場合には、厚さを０．３６ｍｍ程度とする。このような大面積で比較的厚い場合でも、ウエハ全体に正確に制御された不純物濃度を得ることができる。具体的には、直径４インチ以上にわたる面内全体の不純物濃度のばらつきを５％以下に、厚さ方向全体にわたる不純物濃度のばらつきを５％以下にできる。なお、ここで、不純物濃度のばらつき（％）は、不純物濃度のばらつき＝｛（最高濃度−最低濃度）／平均濃度｝×１００（％）の式で求められる。さらには、不純物濃度勾配も第９の手段あるいは第１４の手段に範囲で正確に制御して設けることができる。
第１２の手段によれば、不純物濃度をそれぞれ正確に制御したｐｎ接合が再現性よく得ることができるので、所望の半導体装置を歩留まり良く大量に製造することを可能にする。
第１３の手段によれば、種結晶として用いる炭化珪素の不純物濃度を適度に設定することにより、その電気抵抗率を適切な値に制御し、これにより、結晶成長中におけるパーティクルの付着を防止することができ、結果として良質な炭化珪素インゴットを得ることを可能にする。
第１４の手段によれば、厚さ方向に濃度勾配を有する炭化珪素を厚さ方向に多数のスライス片に切断形成することにより、所望の濃度のスライス片を容易に得ることができる。これにより、半導体の内部電界の制御幅が広がり、半導体デバイスの動作特性を設計する上で極めて有利になる。
第１５の手段によれば、高速、高耐圧、高効率のパワー半導体等を得ることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
（実施例１）
図１は実施例１にかかる炭化珪素製造方法を実施するためのＣＶＤ装置の概略構成を示す図、図２は実施例１にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。以下、図１、図２を参照にしながら実施例１にかかる炭化珪素製造方法を説明し、あわせて、本発明の実施例にかかる炭化珪素を説明する。なお、この実施例は、珪素層形成工程後に、不純物添加工程を行い、しかる後、炭化工程を行うようにした例である。
【００１９】
図１において、ＣＶＤ装置１０は、成膜室１内には、ガス導入パイプ２がその先端ノズル２ａが成膜室１の中央部に位置するように略垂直に立てた状態に設けられ、このガス導入パイプ２の先端部には、プレート３とが取り付けられている。プレート３の下側には、このプレート３上に配置される基板４等を加熱するための加熱手段５が設けられている。なお、基板４は本発明における基体を構成するものである。ガス導入パイプ２のガス供給側は、成膜室１の外部に設けられ、バルブ２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅを介してそれぞれ、Ｈ2ガス、Ｎ2ガス、ＳｉＨ2Ｃｌ2ガス及びＣ2Ｈ2ガス供給源に接続されている。また、成膜室１には、排気パイプ６が接続され、この排気パイプ６が圧力調整バルブ７を介して図示しない排気ポンプ等に接続されて成膜室１内を排気できるようになっている。
【００２０】
上述のＣＶＤ装置１０は、公知のいわゆるコールドウォールタイプの減圧ＣＶＤ装置であり、プレート３上に配置した基板４を加熱手段５によって適宜の温度に加熱し、排気パイプ６によって成膜室１内の排気を行うとともに、ガス導入パイプ２のノズル２ａから、適宜のガスを供給し、成膜室１内に適宜の気相を形成することによって、基板４上に薄膜を成長させるものである。
【００２１】
上述の減圧ＣＶＤ装置１０によって、次のようにして、炭化珪素を製造する。ここで、基板４として、直径が６インチであり、結晶の｛００１｝面が表面に現れる単結晶珪素基板を用る。そして、前処理としてこの珪素基板表層を炭化し、基板上に成長させる炭化珪素層と珪素基板との間にバッファ層として薄い炭化珪素層を形成することにより、結晶性のよい炭化珪素層を成長できるようにする。すなわち、排気パイプ６を通じて成膜室１内を排気し、バルブ２ｂ及びバルブ２ｅを開いて、Ｈ2ガスを２００ｓｃｃｍ、Ｃ2Ｈ2ガスを５０ｓｃｃｍそれぞれを導入して、成膜室１内を１００ｍＴｏｒｒになるようにするとともに、加熱手段５によって基板４の温度を約１分間で１２００℃まで加熱する。これによって、基板４の表層をあらかじめ炭化しておく。この処理が終了したら、バルブ２ｅを閉じてＣ2Ｈ2ガスの導入を一旦止める。以後は、基板温度を維持したままでＨ2ガスを常時２００ｓｃｃｍ流しつつ、成膜室１内の圧力が６０ｍＴｏｒｒとなるように排気パイプ６を通じての圧力調整バルブ７による排気量をコントロールすることによって圧力調整を行いながら以下の成膜操作をする。
【００２２】
図２に示したように、まず、バルブ２ｃを開いて供給量３０ｓｃｃｍでＳｉＨ2Ｃｌ2ガスを５秒間供給する（珪素層の形成）。次に、バルブ２ｃを閉じてＳｉＨ2Ｃｌ2ガス供給を止め、バルブ２ｄを開いて供給量５０ｓｃｃｍでＮ2ガスを５秒間供給する（珪素層へのＮ（ドナー）添加）。次いで、バルブ２ｄを閉じてＮ2ガス供給を止め、バルブ２ｅを開いて供給量１０ｓｃｃｍでＣ2Ｈ2ガスを５秒間供給する（Ｎ添加された珪素層の炭化）。以上の一連の工程（珪素層の形成工程、珪素層へのＮ添加工程及びＮ添加された珪素層の炭化工程）を単位工程とすると、この単位工程を２０００回繰り返す。これにより、基板４（珪素基板）上にエピタキシャル成長によって立方晶炭化珪素膜が形成される。
【００２３】
上記炭化珪素膜の成長に要した時間は８．３時間である。成長の結果、基板４（珪素基板）上には５４μｍの単結晶炭化珪素半導体膜が形成された。基板４（珪素基板）上に成長した炭化珪素中のＮ濃度をＳＩＭＳ（２次イオン質量分析法）により測定した結果、７．４×１０19／ｃｍ3で均一に分布していることが判明した。また、この炭化珪素中の室温における電子濃度をホール効果を用いて測定したところ、７．２×１０19／ｃｍ3であることが分かった。さらに、この炭化珪素の抵抗率は０．００７Ωｃｍであった。不純物濃度のばらつきは、面内、厚さ方向とも３．７％であった。
【００２４】
（実施例２）
図３は実施例２にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。図３を参照にしながら実施例２にかかる炭化珪素製造方法及び炭化珪素を説明する。この実施例の炭化珪素製造方法は、上述の実施例１の炭化珪素製造方法における単位工程が異なるほかはほぼ同一の構成を有するので、以下では、上記単位工程を中心説明し、共通する部分の説明は省略する。なお、この実施例は、珪素層形成工程と不純物添加工程とを同時に行い、しかる後、炭化工程を行うようにした例である。
【００２５】
図３に示したように、この実施例の単位工程は、まず、バルブ２ｃを開いて供給量３０ｓｃｃｍでＳｉＨ2Ｃｌ2ガスを５秒間供給する（珪素層の形成）と同時に、バルブ２ｄを開いて供給量５０ｓｃｃｍでＮ2ガスを５秒間供給する（珪素層へのＮ（ドナー）添加）。すなわち、ＳｉＨ2Ｃｌ2ガスとＮ2ガスとを同時に５秒間供給することによって、珪素層の形成と、珪素層へのＮ（ドナー）添加とを同時に行う。次いで、バルブ２ｃ及びバルブ２ｄを閉じてＳｉＨ2Ｃｌ2ガス及びＮ2ガスの供給を止め、バルブ２ｅを開いて供給量１０ｓｃｃｍでＣ2Ｈ2ガスを５秒間供給する（Ｎ添加された珪素層の炭化）。以上の単位工程を２０００回繰り返す。これにより、基板４（珪素基板）上にエピタキシャル成長によって立方晶炭化珪素半導体膜が形成される。
【００２６】
炭化珪素の成長に要した時間は５．６時間である。成長の結果、基板４（珪素基板）上には５４μｍの単結晶炭化珪素が得られた。珪素基板上に成長した炭化珪素中の不純物をＳＩＭＳ（２次イオン質量分析法）により測定した結果、実施例１と同量のＮ2供給量であるにもかかわらず、炭化珪素中のＮ濃度は７．４×１０19／ｃｍ3で均一に分布していることが判明した。また、この炭化珪素中の室温における電子濃度をホール効果を用いて測定したところ、７．２×１０19／ｃｍ3であることが分かった。また、この炭化珪素の抵抗率は０．００７Ωｃｍであった。不純物濃度のばらつきは、面内、厚さ方向とも３．７％であった。この実施例によれば、珪素層の堆積工程と珪素層への不純物添加工程が時間的に重なっても、分離しても、本発明の効果は変わらないことが明らかとなった。又、実施例１に比較して短い時間で同様の炭化珪素半導体が得られる。
【００２７】
（参考例１）図４は参考例１にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。図４を参照にしながら参考例１にかかる炭化珪素製造方法及び炭化珪素を説明する。この実施例の炭化珪素製造方法も、上述の実施例１の炭化珪素製造方法における単位工程が異なるほかはほぼ同一の構成を有するので、以下では、上記単位工程を中心説明し、共通する部分の説明は省略する。なお、この参考例は、珪素層形成工程と不純物添加工程とを同時に行いつつ、これら工程を開始した一定時間後に炭化工程を行うようにした例である。
【００２８】
図４に示したように、この参考例の単位工程は、まず、バルブ２ｃを開いて供給量３０ｓｃｃｍでＳｉＨ２Ｃｌ２ガスを連続して供給する（珪素層の形成）と同時に、バルブ２ｄを開いて供給量５０ｓｃｃｍでＮ２ガスを連続して供給する（珪素層へのＮ（ドナー）添加）。すなわち、ＳｉＨ2Ｃｌ２ガスとＮ２ガスとを同時に継続して供給することによって、珪素層の形成と、珪素層へのＮ（ドナー）添加とを継続的に行う。次に、上記ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスとＮ２ガスとの供給開始時点から５秒経過後にバルブ２ｅを開いて供給量１０ｓｃｃｍでＣ２Ｈ２ガスを５秒間供給する（Ｎ添加された珪素層の炭化）。この場合、Ｃ２Ｈ２ガス供給時においても、上記ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスとＮ２ガスとの供給は継続する。
【００２９】
以上の単位工程を２０００回繰り返す。これにより、基板４（珪素基板）上にエピタキシャル成長によって立方晶炭化珪素半導体膜が形成される。炭化珪素の成長に要した時間は５．６時間である。成長の結果、基板４（珪素基板）上には５４μｍの単結晶炭化珪素が得られた。珪素基板上に成長した炭化珪素中の不純物をＳＩＭＳ（２次イオン質量分析法）により測定した結果、実施例１と同量のＮ２供給量であるにもかかわらず、炭化珪素中のＮ濃度は７．３×１０１９／ｃｍ３で均一に分布していることが判明した。また、この炭化珪素中の室温における電子濃度をホール効果を用いて測定したところ、７．２×１０１９／ｃｍ３であることが分かった。また、この炭化珪素の抵抗率は０．００７Ωｃｍであった。不純物濃度のばらつきは、面内、厚さ方向とも３．７％であった。この参考例によれば、ＳｉＨ２Ｃｌ２供給とＮ２供給を連続し、Ｃ２Ｈ２供給を間欠的に行っても、実質的に炭化珪素中への不純物添加は、Ｃ２Ｈ２供給時（珪素層の炭化時）には起こっておらず、不純物添加過程と炭化過程が時間的に分離していることがわかる。また、この参考例によっても、実施例１に比較して短い時間でほぼ同様の炭化珪素半導体が得られる。また、この参考例によれば、他の実施例に比較してガス供給の制御を単純にできる。
【００３０】
（参考例２）次に、図５は参考例２にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。図５を参照にしながら参考例２にかかる炭化珪素製造方法及び炭化珪素を説明する。この参考例の炭化珪素製造方法は、上述の参考例１の炭化珪素製造方法における単位工程において、Ｎ２ガスを供給する代わりにＢＣｌ３ガスを２０ｓｃｃｍ供給することによって、珪素層に添加する不純物として、Ｎ（ドナー）の代わりに、Ｂ（アクセプター）を添加するようにした点、Ｃ２Ｈ２ガス供給量を５ｓｃｃｍとした点を除く外は参考例１と同じであるので、詳細説明は省略する。
【００３１】
炭化珪素の成長に要した時間は５．６時間である。成長の結果、基板４（珪素基板）上には５４μｍの単結晶炭化珪素が得られた。珪素基板上に成長した炭化珪素中のＢ濃度をＳＩＭＳ（２次イオン質量分析法）により測定した結果、１．３×１０19／ｃｍ3で均一に分布していることが判明した。また、この炭化珪素中の室温における正孔濃度をホール効果を用いて測定したところ、１．０×１０19／ｃｍ3であることが分かった。また、この炭化珪素の抵抗率は０．０１Ωｃｍであった。不純物濃度のばらつきは、面内、厚さ方向とも３．７％であった。
【００３２】
（参考例３）次に、図６は参考例３にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。図６を参照にしながら参考例３にかかる炭化珪素製造方法及び炭化珪素を説明する。この参考例の炭化珪素製造方法は、上述の参考例１の炭化珪素製造方法における単位工程において、Ｎ２ガスの供給量（ｆｎ）を変えるとともに、ＳｉＨ２Ｃｌ２ガスとＮ２ガスとの供給開始時点からＣ２Ｈ２ガスの供給を開始する時点間での時間（ｔｓ）を変えて多数の炭化珪素半導体を成膜した外は参考例１と同じであるので、詳細説明は省略する。
【００３３】
図７はｔｓとｆｎを変化させて成膜した多数の炭化珪素半導体中の電子濃度を観測した結果を示すグラフである。図７に示されるように、電子濃度はｔｓとｆｎの双方に比例しており、その値は３×１０14／ｃｍ3から１．８×１０20／ｃｍ3のデバイス化が可能な範囲で高精度の制御が可能であることが判明した。  さらに、ｔｓを１０秒以上に延長することにより、さらに高い電子密度を達成でき得ることもわかる。
【００３４】
（参考例４）次に、基板４（単結晶珪素基板）上に、ｐｎ接合を有する半導体装置を形成する例を参考例４として掲げる。この参考例は、上述の参考例１の方法における単位工程を１０００回行って基板４上にｎ型半導体を形成し、次に、参考例２の方法における単位工程を１０００回行うことによって、上記ｎ型半導体の上にｐ型半導体を形成して、基板４上にｐｎ接合された厚さ５４μｍの炭化珪素半導体を形成するものである。形成時間は５．６時間である。成膜条件は、単位工程の回数を除いてはそれぞれ参考例１、２と同じである。
【００３５】
次に、基板４（単結晶珪素基板）をＨＦとＨＮＯ3の混合溶液を用いて除去し、炭化珪素半導体の上面側（ｐタイプ側）と下面側（ｎタイプ側）にＮｉの電極を蒸着する。次いで、上面、下面の電極に導線を接着し、直流電圧を印可しつつ、ｐｎ接合部の容量を測定した。印加電圧は−１０Ｖから＋１０Ｖの直流であり、容量測定は１ＭＨｚの交流電圧（０．２Ｖ）を用いた。印加電圧に対する容量変化から、本方法にて形成されたｐｎ接合部のビルトインポテンシャルは１．５６Ｖであることが見出され、ｐｎ接合部の不純物濃度勾配が１．４×１０24／ｃｍ4であることが算出された。次に、上部電極をマイナス側とし下部電極をプラス側とし炭化珪素半導体内のｐｎ接合に電圧を印可したところ、３Ｖで降伏現象が観測された。
【００３６】
（参考例５）この参考例は、上述の参考例の方法で製造した炭化珪素を種結晶に用いて、昇華再結晶法によって炭化珪素を製造する例である。以下説明する。まず、上述の参考例３の方法を用い、形成される炭化珪素の抵抗率が０．００１Ωｃｍになるようにｆｎ又はｔｓの値を設定して口径６インチの珪素基板上に口径６インチの立方晶炭化珪素の第１の種結晶を形成する。同様にして、形成される炭化珪素の抵抗率が５０Ωｃｍになるようにｆｎ又はｔｓの値を設定して口径６インチの珪素基板上に口径６インチの立方晶炭化珪素の第２の種結晶を形成する。
【００３７】
次に、上記種結晶たる炭化珪素が形成された基板を黒鉛製のるつぼに下向きに設置し、るつぼ下部にＳｉＣパウダーを挿入し、パウダー温度を２４００℃、基板温度を２０００℃としてＳｉＣパウダーを昇華させ、基板上にＳｉＣを再結晶化させた。この場合、基板表面とパウダー上部との間隔を１００ｍｍとする。ＳｉＣの成長速度は０．５ｍｍ／ｈｒである。
【００３８】
１０ｍｍ成長後の表面を５００℃の熔融ＫＯＨで１０分エッチング処理し、表面のエッチピット密度を測定したところ、第１の種結晶（抵抗率が０．００１Ωｃｍ）を用いた場合には、１０／ｃｍ2以下であるのに対し、第２の種結晶（抵抗率が５０Ωｃｍ）を用いた場合には、３５００／ｃｍ2となった。すなわち、抵抗率を著しく低く押さえることにより、昇華再結晶化におけるパーティクル（主として原料の炭化珪素粉）の静電気による付着を抑えることができ、欠陥濃度が著しく低い、口径６インチ、厚さ１０ｍｍの高品位の立方晶炭化珪素インゴットが得られる。
【００３９】
次に、比較のために、同様の条件下で、市販の６Ｈ−ＳｉＣ（マイクロパイプ濃度１００／ｃｍ２、口径２インチ、抵抗率４０Ωｃｍ）を基板にしてＳｉＣを昇華再結晶化させたところ、表面のエッチピット密度は１０００／ｃｍ2、パーティクル数は３０００／ｃｍ2であった。
【００４０】
以上のように、上記実施例によれば、とｐｎ接合部において１０２４／ｃｍ４を超える急峻な不純物濃度勾配が形成できる。また、上述の参考例３に示したように、不純物濃度を１×１０１４〜１×１０２１／ｃｍ３の範囲で制御良く変化し得ることから、濃度勾配も１０１７／ｃｍ４から１０２４／ｃｍ４の範囲で制御可能であることは自明であり、半導体デバイスのｐｎ接合部において３から１００００Ｖの広い範囲で降伏電圧を制御可能であることが明らかである。
【００４１】
以上、実施例に基づいて説明したように、本発明を用いると、広い範囲での不純物濃度制御および不純物濃度勾配制御が高精度で可能となり、半導体デバイスのビルトインポテンシャルや降伏電圧を高精度で制御することが可能となる。  また、本発明の効果は不純物としてＮ2，ＢＣｌ3を用いた場合に限られたものではなく、珪素に対して拡散し得る不純物であれば、一切の制限なく、本発明の効果が発現する。  また、炭化珪素の原料としては、ＳｉＨ2Ｃｌ2とＣ2Ｈ2を用いたが、その他基板上に珪素を析出させる原料と、この珪素を炭化させ得る炭素源を組み合わせることにより、本発明の効果が発現する。
【００４２】
炭化珪素の成長温度としては１２００℃を用いたが、これも珪素源の分解ならびに珪素層の炭化が起こり得る温度９００℃以上であれば、本発明の効果が発現し得る。炭化珪素成長時のガス供給時間に関しても本発明の実施例に限られるものではなく、所望の炭化珪素膜厚を得るための必要なガス導入時間、ガス導入回数を選択することができる。炭化珪素の結晶相としても立方晶に限るものではなく、六方晶系や菱面体晶系の炭化珪素であっても、本発明の効果は何ら変わるものではない。
【００４３】
さらに、上述の実施例では、気相成長法による場合の例を掲げたが、本発明は、液相成長法にも適用できる。液相成長法による場合は、はじめに基板表面をＳｉ融液に接触させ、基板表面にＳｉ層を成長させた後、このＳｉ層を不純物雰囲気に露出させ（例えば、不純物雰囲気の気相や不純物を含んだＳｉ融液）、Ｓｉ層中に不純物を拡散させ、次いで、不純物を含んだＳｉ表面を炭化水素雰囲気に露出させる。これにより、液相成長法によっても、気相成長法と同様の効果をえることができる。また、上記実施例では、不純物濃度勾配を１．４×１０24／ｃｍ4にした例を掲げたが、本発明の方法によれば、不純物濃度勾配を１×１０18／ｃｍ4〜４×１０24／ｃｍ4の範囲内で任意に選定することができることが確認されている。以下、本発明との比較のために、従来の製造方法の具体例を比較例として掲げる。
【００４４】
（比較例１）
この比較例は、実施例１における単位工程が異なるほかは実施例１と同様の成膜条件で成膜を行うものである。すなわち、図８に示すように、実施例１における単位工程を繰り返す代わりに、Ｈ2ガス、ＳｉＨ2Ｃｌ2ガス、Ｎ2ガス及びＣ2Ｈ2ガスを同時に連続して６０分間供給することによって、炭化珪素形成と同時に不純物添加も行うようにしたものである。各ガスの供給量は、実施例１と同じである。
【００４５】
これにより、７７μｍの立方晶炭化珪素半導体膜を基板４（単結晶珪素基板）上にを得た。珪素基板上に成長した炭化珪素中の不純物をＳＩＭＳ（２次イオン質量分析法）により測定した結果、炭化珪素中のＮ濃度は３．２×１０16／ｃｍ3で均一に分布していることが判明した。また、この炭化珪素中の室温における電子濃度をホール効果を用いて測定したところ、２．７×１０16／ｃｍ3であることが分かった。また、この炭化珪素の抵抗率は０．４２Ωｃｍであった。不純物濃度のばらつきは、面内、厚さ方向とも８．２％であった。
【００４６】
この比較例１から、明らかなように、上述の実施例によれば、一旦基板上に珪素層を形成し、形成と同時に不純物を添加した後に、不純物を含んだ珪素層を炭化するようにしていることから、炭化珪素形成と同時に不純物を添加した場合に比べて、同量の不純物ガス導入量であっても不純物濃度は３桁以上高くなり、炭化珪素の抵抗率を著しく低減することが可能となる。
【００４７】
（比較例２）
この比較例は、上述の比較例１において、図９に示すように、Ｎ2ガスの供給の代わりにＢＣｌ3ガスを２０ｓｃｃｍ供給するようにしたほかは比較例１と同じである。これにより、珪素層に添加する不純物として、Ｎ（ドナー）の代わりに、Ｂ（アクセプター）を添加するようにした点を除く外は比較例１と同じであるので、詳細説明は省略する。
【００４８】
これにより、７７μｍの立方晶炭化珪素膜を珪素基板上に得た。珪素基板上に成長した炭化珪素中の不純物をＳＩＭＳ（２次イオン質量分析法）により測定した結果、炭化珪素中のＢ濃度は２．２ｘ１０16／ｃｍ3で均一に分布していることが判明した。また、この炭化珪素中の室温における正孔濃度をホール効果を用いて測定したところ、７．５ｘ１０15／ｃｍ3であることが分かった。また、この炭化珪素の抵抗率は１．７４Ω−ｃｍであった。不純物濃度のばらつきは、面内、厚さ方向とも８．２％であった。
【００４９】
この比較例２からも、明らかなように、上述の実施例によれば、一旦基板上に珪素層を形成し、形成と同時に不純物を添加した後に、不純物を含んだ珪素層を炭化するようにしていることから、炭化珪素形成と同時に不純物を添加した場合に比べて、同量の不純物ガス導入量であっても不純物濃度は３桁以上高くなり、炭化珪素の抵抗率を著しく低減することが可能となる。
【００５０】
（比較例３）
次に、図１０を参照にしながら比較例３にかかる炭化珪素製造方法及び炭化珪素を説明する。この比較例の炭化珪素製造方法は、上述の比較例１の炭化珪素製造方法におけるＮ2ガスの供給量（ｆｎ）を変えて多数の炭化珪素半導体を成膜した外は比較例１と同じであるので、詳細説明は省略する。
【００５１】
図１１はｆｎを変化させて成膜した多数の炭化珪素半導体中の電子濃度を観測した結果を示すグラフである。図１１に示されるように、電子濃度はｆｎによって増加する傾向があるが、その関係は比例関係ではなく、ｆｎの増加に伴い、電子濃度の増加傾向が鈍化する傾向にある。また、本比較例における電子濃度の可変範囲は１×１０13／ｃｍ3から４×１０16／ｃｍ3程度であり、上述の実施例の場合に比較して狭く、半導体デバイスの製造には不十分である。
【００５２】
（比較例４）
次に、基板４（単結晶珪素基板）上に、ｐｎ接合を有する半導体装置を形成する比較例を比較例４として掲げる。この比較例は、上述の比較例１の方法を３０分行って基板４上にｎ型半導体を形成し、次に、比較例３の方法を３０分行うことによって、上記ｎ型半導体の上にｐ型半導体を形成して、基板４上にｐｎ接合された厚さ７７μｍの炭化珪素半導体を形成するものである。成膜条件は、成膜時間を除いてはそれぞれ比較例１、２と同じである。
【００５３】
次に、基板４（単結晶珪素基板）をＨＦとＨＮＯ3の混合溶液を用いて除去し、炭化珪素半導体の上面側（ｐタイプ側）と下面側（ｎタイプ側）にＮｉの電極を蒸着する。次いで、上面、下面の電極に導線を接着し、直流電圧を印加しつつ、ｐｎ接合部の容量を測定した。印加電圧は−１０Ｖから＋１０Ｖの直流であり、容量測定は１ＭＨｚの交流電圧（０．２Ｖ）を用いた。印加電圧に対する容量変化から、本方法にて形成されたｐｎ接合部のビルトインポテンシャルは０．９２Ｖであることが見出され、ｐｎ接合部の不純物濃度勾配が４．５ｘ１０18／ｃｍ4であることが算出された。次に、上部電極をマイナス側とし下部電極をプラス側とし炭化珪素内のｐｎ接合に電圧を印加したところ、１２４Ｖで降伏現象が観測された。
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明は、基体上に気相又は液相から薄膜を析出させて炭化珪素半導体を形成する炭化珪素製造方法において、基体上に珪素層を形成する珪素層形成工程と、前記珪素層にＮ，Ｂ，Ａｌ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｐ，Ａｓ，Ｓｂ，Ｓｅ，Ｚｎ，Ｏ，Ａｕ，Ｖ，Ｅｒ，Ｇｅ，Ｆｅから選ばれる少なくとも１種類の元素を不純物として添加する不純物添加工程と、前記不純物が添加された珪素層を炭化して不純物が添加された炭化珪素層を形成する炭化工程とを有することを特徴とするもので、これにより、不純物源や不純物濃度に対する制限もしくは不純物添加範囲の深さ制限等を受けること無く、高い制御性のもとで不純物添加をおこないつつ、十分な生産性のもとで製造を可能とする炭化珪素製造方法、炭化珪素及び半導体装置を得ているものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１にかかる炭化珪素製造方法を実施するためのＣＶＤ装置の概略構成を示す図である。
【図２】実施例１にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。
【図３】実施例２にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。
【図４】参考例１にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。
【図５】参考例２にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。
【図６】参考例３にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。
【図７】ｔｓとｆｎを変化させて成膜した多数の炭化珪素中の電子濃度を観測した結果を示すグラフである。
【図８】比較例１にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。
【図９】比較例２にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。
【図１０】比較例３にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。
【図１１】ｆｎを変化させて成膜した多数の炭化珪素中の電子濃度を観測した結果を示すグラフである。
【図１２】比較例４にかかる炭化珪素製造方法の原料ガス供給タイミングの説明である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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