(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータと、出力空気圧を電気出力信号に変換する圧力センサと、入力された電気信号に基づき前記モータを駆動する電気回路とを内蔵した防爆容器と、
前記電気信号に基づいて空気圧信号を出力する空気圧変換ユニットと、このユニットの出力を増幅するパイロットリレーとを内蔵する非防爆容器とからなる電気／空気圧変換器であって、
前記防爆容器内に通ずる軸穴に取り付けられ、前記モータに連動して運動する駆動軸と、この駆動軸の運動を前記空気圧変換ユニットに伝達する伝達手段とを備え、
前記駆動軸は、軸方向に貫通し、かつ防爆の要件を満たすフレームアレスタを内蔵した空気通路を有し、この空気通路の一端に前記空気圧変換ユニットまたは前記パイロットリレーのいずれか一方から出力される空気圧を導く空気配管が接続され、他端に前記空気圧を前記圧力センサに導く空気配管が接続されるとともに、前記軸穴に防爆の要件を満たす隙と長さを有するように軸受を介して配置されていることを特徴とする電気／空気圧変換器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気／空気圧変換器に関し、特に防爆雰囲気で用いられる電気／空気圧変換器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電気／空気圧変換器は、電気信号を空気圧信号に変換する装置であり、特に防爆雰囲気のプラントなどで使用される。電気／空気圧変換器の空気圧変換部は、ノズル・フラッパ機構等を用いるため、ノズルのつまりを掃除したり、機械的機構の手入れをしたりといったメンテナンスが必要である。このため、電気／空気圧変換器は、現場で蓋を外せない防爆容器の外に防水程度の能力を持った非防爆容器を設けて、この容器に空気圧変換部を入れる構造とするのが一般的である。そのため、防爆容器内で電気信号を回転や往復運動などの機械的運動に変換すると共に、これを防爆容器外部の空気圧変換部に伝達する必要がある。この場合、防爆容器の壁に伝達機構を通す貫通孔が設けられるため、ここで防爆要件を満たす必要がある。
【０００３】
一方、正確な制御をするためには、出力空気圧を電気信号に変換し外部の調節器にフィードバックする必要がある。このため、防爆容器内に圧力センサを配置し、防爆容器の壁に別途、貫通孔を設けて出力空気圧を圧力センサに送るための空気通路を形成すると共に、この空気通路内に防爆の要件を満たすフレームアレスタを設けている。ところで、防爆容器の壁に伝達機構やフレームアレスタを直接取り付けた場合、メンテナンスなどでこれらの部品交換を行うときに防爆容器の蓋を外さなければならない。これを防ぐため、防水容器に２つの円筒形接合部を設けて、これに伝達機構やフレームアレスタをそれぞれ取り付け、防爆容器の貫通孔との接合を円筒形接合部で行うようにして、防水容器のみを取り外せば消耗部品の交換などのメンテナンスができるようにした電気／空気圧変換器が知られている。
【０００４】
このような電気／空気圧変換器の構成例を図４と図５に示す。図４は、従来の電気／空気圧変換器の構成を示す部分切欠正面図であり、図５は、その構成を示すブロック図である。従来の電気／空気圧変換器は、耐圧防爆容器１と防水容器２の２つの容器を接合し、１つの容器構造としている。ここで、耐圧防爆容器１の防水容器２と接する面には、２つの台地状の突起が設けられており、これらの突起の中心に貫通孔が設けられている。また、これらの突起の防水容器２と接する面には、貫通孔の外周に沿って、防水用Ｏリング２０，２１を収納する溝が設けられている。
【０００５】
一方、防水容器２の耐圧防爆容器１と接する面には、２つの円筒形接合部が突出して設けられている。これらの円筒形接合部は、中心が耐圧防爆容器１の貫通孔と一致し、外径が貫通孔の内径より防爆の要件を満たす隙が生じる程度小さく、長さが貫通孔より長くなるように形成されている。また、これらの円筒形接合部の根本にはリング状の溝が設けられて防水用Ｏリング２０，２１が取り付けられている。
【０００６】
このような構成において、耐圧防爆容器１の２つの貫通孔に防水容器２の円筒形接合部が挿入されると共に、耐圧防爆容器１が防水容器２の内側からねじ１９で固定されて１つの容器構造となっている。ここで、耐圧防爆容器１の貫通孔と防水容器２の円筒形接合部の間は、防爆の要件を満たす隙接合７０，７１となっている。
【０００７】
耐圧防爆容器１には、モータ６、電流変換ユニット４、電気回路基板３及び端子台５が収納されている。また、耐圧防爆容器１の下面には、電線を通すための電気コンジット接続口８が設けられている。モータ６は、パルス信号により駆動されるパルスモータであり、その回転軸にかさ歯車７が取り付けられている。電流変換ユニット４は、空気圧力を電流信号に変換して出力する圧力センサである。電気回路基板３は、モータ駆動回路８１及びインタフェース回路（Ｉ／Ｆ）８２を備えている。インタフェース回路８２は、外部から入力される電気信号に基づいて所定のパルス信号を発生させ、モータ駆動回路８１に出力するものであり、電気信号としてパルス信号、アナログ信号又はディジタル信号が用いられる。モータ駆動回路８１は、インタフェース回路８２から入力されるパルス信号により、モータ６を駆動するパルス信号を出力する。
【０００８】
端子台５は、外部配線を接続する接続端子であり、電気コンジット接続口８を通して外部から信号線（図示せず）や電源線（図示せず）が接続される。端子台５に接続される信号線には、この電気／空気圧変換器へ電気信号を入力する入力信号線と、電気信号を出力するための出力信号線がある。なお、図示しないが、電源線は、端子台５から電気回路基板３に接続され、インタフェース回路８２とモータ駆動回路８１と電流変換ユニット４に電源を供給する。
ここで、端子台５の入力信号線がインタフェース回路８２の電気信号入力に接続され、インタフェース回路８２のパルス信号出力がモータ駆動回路８１のパルス信号入力に接続され、モータ駆動回路８１の出力がモータ６に接続されている。また、電流変換ユニット４の電流出力が、電気回路基板３を介して端子台５の出力信号線に接続されている。
【０００９】
防水容器２にはモータ軸の回転を空気圧変換ユニット９に伝達する駆動軸、空気圧変換ユニット９、パイロットリレー１０（空気圧増幅器）及びフレームアレスタ６０が収納されている。また、防水容器２の下面には、供給空気接続口１１と出力空気接続口１６が設けられている。駆動軸は、一方の円筒形接合部の貫通孔に挿入され、貫通孔の両端に設けられた軸受５４で保持された回転軸５０の両端に歯車を取り付けたものである。回転軸５０の耐圧防爆容器側にはかさ歯車５１が取り付けられており、モータ６の回転軸に取り付けられたかさ歯車７と噛み合わされて回転軸５０を回転させる。この回転軸５０の防水容器側には平歯車５２が取り付けられており、空気圧変換ユニット９の駆動軸に取り付けられた平歯車５５と噛み合わされている。ここで、回転軸５０は、貫通孔に防爆の要件を満たす隙接合７４で取り付けられている。
【００１０】
空気圧変換ユニット９は、空気入力口と空気出力口とフラッパ機構を駆動する駆動軸を備えており、ノズル・フラッパ機構により入力された空気の圧力を所定の範囲で制御し出力する。パイロットリレー１０は、空気供給口、供給空気出力口、空気入力口、空気出力口及び検出用空気出力口の５つのポートを備えており、空気供給口から空気の供給を受けて取り込むと共に、一部を供給空気出力口から出力する。また、空気入力口から取り入れた空気圧を増幅して空気出力口と検出用空気出力口から出力する。フレームアレスタ６０は、円筒状の配管の中に丸棒状の軸６１を挿入し、両端に空気配管用継手を取り付けた構造であり、軸６１と配管の間の隙が防爆の要件を満たす隙接合７６となるように軸６１の外径を設定し、この隙を空気が流れるようにしたものである。フレームアレスタ６０は、円筒形接合部の貫通孔に防爆の要件を満たす隙接合７５で取り付けられている。
【００１１】
ここで、供給空気接続口１１からパイロットリレー１０の空気供給口へ空気配管１２が接続されており、出力空気接続口１６からパイロットリレー１０の空気出力口へ空気配管１５が接続されている。また、パイロットリレー１０の供給空気出力口から空気圧変換ユニット９の空気入力口へ空気配管１３が接続されており、空気圧変換ユニット９の空気出力口からパイロットリレー１０の空気入力口へ空気配管１４が接続されている。また、パイロットリレー１０の圧力検出用空気出力口からフレームアレスタ６０の防水容器側空気配管用継手へ空気配管１７が接続され、フレームアレスタ６０の耐圧防爆容器側空気配管用継手から電流変換ユニット４の空気入口に空気配管１８が接続されている。
【００１２】
このような構成において、外部の調節器（図示せず）から電気信号８５が出力されると、電気回路基板３のインタフェース回路８２に入力される。インタフェース回路８２は、電気信号８５に基づいて所定パルスの制御信号８６を発生させ、モータ駆動回路８１に出力する。モータ駆動回路８１は入力された制御信号８６に基づいてモータ駆動パルス８７をモータ６に出力する。これにより、モータ６が回転し、この回転がモータ軸のかさ歯車７と噛み合った駆動軸５０のかさ歯車５１に伝えられて駆動軸５０が回転する。駆動軸５０が回転すると、駆動軸５０の防水容器側に取り付けられた平歯車５２が空気圧変換ユニット９の駆動軸に取り付けられた平歯車５５に回転を伝える。これにより、電気信号８５が空気圧変換ユニット９に伝達される。
【００１３】
一方、供給空気接続口１１から、空気配管１２でパイロットリレー１０の空気供給口に供給された空気は、分岐されて、一方はパイロットリレー１０に供給され、他方は供給空気出力口から空気配管１３で空気圧変換ユニット９の空気入力口に供給される。この空気は、空気圧変換ユニット９のノズル・フラッパ機構により減圧を受けて空気出力口から出力される。この空気出力口の圧力は、空気圧変換ユニット９の駆動軸の回転により所定の範囲で変化する。この空気は、空気配管１４でパイロットリレー１０の空気入力口に供給され、圧力増幅されたのち、分岐されて、一方は空気出力口から空気配管１５で出力空気接続口１６に供給され、他方は圧力検出用空気出力口から空気配管１７でフレームアレスタ６０に入力される。出力空気接続口１６に供給された空気は、制御弁（図示せず）などの空圧機器に供給されてその制御に用いられる。
【００１４】
フレームアレスタ６０に入力された空気は、隙接合７６の隙を通って耐圧防爆容器側から出力され、空気配管１８で電流変換ユニット４に入力される。電流変換ユニット４は、入力された空気圧を電流信号に変換して出力する。この電流信号は、圧力モニター信号８８として外部の調節器に出力される。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成であると、駆動軸とフレームアレスタのほかに耐圧防爆容器の２つの貫通孔に対して防爆要件を満たす必要がある。この場合、隙と奥行きにより爆発時の炎を外に出さないという防爆要件においては、防爆隙を０．２５ｍｍ以下にする必要があるため、２つの貫通孔に対して同時に隙の要件を満足させるには、貫通孔の口径、２つの貫通孔のピッチ、円筒形接合部の外径及び２つの円筒形接合部のピッチについて、高精度の加工が要求される。しかし、加工精度を考えると精度管理が極めて難しいという問題があった。また、耐圧防爆容器と防水容器を組み立てるときは、２つの貫通孔にそれぞれの円筒形接合部を同時に入れるため、それぞれの接合面に傷をつけないように慎重に行う必要があり、非常に気を使う難しい作業となっていた。
本発明の目的は、上記課題を解決するため、防爆容器の加工精度管理や組立を容易にした電気／空気圧変換器を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、この発明の電気／空気圧変換器は、モータと出力空気圧を電気出力信号に変換する圧力センサと入力された電気信号に基づきモータを駆動する電気回路とを内蔵した防爆容器と、電気信号に基づいて空気圧信号を出力する空気圧変換ユニットとこのユニットの出力を増幅するパイロットリレーとを内蔵する非防爆容器とからなり、防爆容器内に通ずる軸穴に取り付けられ、モータに連動して運動する駆動軸と、この駆動軸の運動を空気圧変換ユニットに伝達する伝達手段とを備えており、駆動軸は軸方向に貫通し、かつ防爆の要件を満たすフレームアレスタを内蔵した空気通路を有し、この空気通路の一端に空気圧変換ユニットまたはパイロットリレーのいずれか一方から出力される空気圧を導く空気配管が接続され、他端に空気圧を圧力センサに導く空気配管が接続されるとともに、軸穴に防爆の要件を満たす隙と長さを有するように軸受を介して配置されていることによって特徴づけられる。
この場合、駆動軸内の空気通路と空気配管の接続部の一構成例は、外径が先端方向に減少する傾斜面を有するパイプ状のオス側と、傾斜面の最小外径より大きく最大外径より小さい開口部を有するメス側とからなり、オス側の傾斜面がＯリングを介してメス側の開口面と接するように接続されている。
また、モータ及び駆動軸内の空気通路と空気配管の接続部は、軸穴が設けられた容器に保持されている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に図を用いてこの発明の実施の形態を説明する。
図１は、この発明の実施の形態に係る電気／空気圧変換器の構成を示す部分切欠正面図であり、図２は、その構成を示すブロック図である。この電気／空気圧変換器は、図１に示すように、耐圧防爆容器１と防水容器２の２つの容器を接合し、１つの容器構造としている。ここで、耐圧防爆容器１の防水容器２と接する面には、１つの台地状の突起が設けられており、この突起の中心に貫通孔が設けられている。また、これらの突起の防水容器２と接する面には、貫通孔の外周に沿って、防水用Ｏリング２０を収納する溝が設けられている。
【００１８】
一方、防水容器２の耐圧防爆容器１と接する面には、１つの円筒形接合部が突出して設けられている。この円筒形接合部は、中心が耐圧防爆容器１の貫通孔と一致し、外径が貫通孔の内径より防爆の要件を満たす隙が生じる程度小さく、長さが貫通孔より長くなるように形成されている。また、この円筒形接合部の根本にはリング状の溝が設けられて防水用Ｏリング２０が取り付けられている。このような構成において、耐圧防爆容器１の貫通孔に防水容器２の円筒形接合部が挿入されると共に、耐圧防爆容器１が防水容器２の内側からねじ１９で固定されて１つの容器構造となっている。ここで、耐圧防爆容器１の貫通孔と防水容器２の円筒形接合部の間は、防爆の要件を満たす隙接合７０となっている。
【００１９】
耐圧防爆容器１には、モータ６、電気回路基板３、電流変換ユニット４及び端子台５が収納されている。また、耐圧防爆容器１の下面には、電線を通すための電気コンジット接続口８が設けられている。
ここで、モータ６、電気回路基板３、電流変換ユニット４、端子台５及び電気コンジット接続口８と各配線の接続は、従来例で説明したものと同じであるため、説明を省略する。なお、電気回路基板３、電流変換ユニット４及び端子台５は、耐圧防爆容器１に取り付けられており、モータ６は円筒形接合部の耐圧防爆容器側に取り付けられている。
【００２０】
防水容器２には、フレームアレスタと回転軸を一体化しモータ軸の回転を空気圧変換ユニット９に伝達すると共に空気圧信号を電流変換ユニット４に伝達する駆動軸、空気圧変換ユニット９及びパイロットリレー１０が収納されている。また、防水容器２の下面には、供給空気接続口１１と出力空気接続口１６が設けられている。ここで、空気圧変換ユニット９、パイロットリレー１０、供給空気接続口１１及び出力空気接続口１６は、従来例で説明したものと同じであるため、説明を省略する。
【００２１】
次に、駆動軸について説明する。図３は、駆動軸の詳細を示す拡大断面図である。図３において、駆動軸は回転軸３０と調整ねじ４０とホルダー４５を有する。回転軸３０は、円筒形接合部の貫通孔に挿入され、貫通孔の両端に設けられた軸受３４で保持されており、防爆の要件を満たす隙接合７２で取り付けられている。この回転軸３０の耐圧防爆容器側にはかさ歯車３１が取り付けられており、モータ６の回転軸に取り付けられたかさ歯車７と噛み合わされている。また、回転軸３０の防水容器側には平歯車３２が取り付けられており、空気圧変換ユニット９の駆動軸に設けられた平歯車３５と噛み合わされている。
【００２２】
また、この回転軸３０は、フレームアレスタを兼ねており、軸内に形成された空気通路には、防爆の要件を満たす隙と奥行きを形成する丸棒状の軸３３が挿入されている。この回転軸３０の耐圧防爆容器側の先端は空気通路の出口となっており、この出口の外周に溝が形成され、Ｏリング４３が配置されている。また、この回転軸３０の平歯車３２と防水容器側の先端との間には外径が先細りとなっている傾斜部が形成されている。また、防水容器側の先端は、空気通路の入り口となっている。
【００２３】
調整ねじ４０は、頭部に空気配管用継手４４が取り付けられ、先端部に外径が先細りとなった傾斜部が形成され、頭部と傾斜部の間にねじ溝が切られた、中心軸に空気通路を有するねじであり、取付金具４２にロックナット４１と共に取り付けられる。取付金具４２は、円筒形接合部の耐圧防爆容器側に取り付けられており、調整ねじ４０を取り付けたときにその中心軸が回転軸３０の中心と一致するように固定されている。ホルダー４５は、空気通路と空気配管用継手４６を備えた接続用金具であり、円筒形接合部の防水容器側に、空気通路の中心が回転軸３０の中心と一致するように取り付けられている。このホルダー４５は、空気通路の回転軸側出口の外周に溝が形成され、Ｏリング４７が配置されている。
【００２４】
この場合、調整ねじ４０が回転軸３０の耐圧防爆容器側の空気通路にＯリング４３を介して接続されており、回転軸３０の防水容器側の先端がホルダー４５の空気通路にＯリング４７を介して接続されている。調整ねじ４０と回転軸３０の接続部は、回転軸側に配置されたＯリング４３が、調整ねじ４０の傾斜部分に接触するように構成されている。また、調整ねじ４０の空気配管用継手４４から電流変換ユニット４の空気入口に空気配管１８が接続されている。
回転軸３０とホルダー４５の接続部は、ホルダー側に配置されたＯリング４７が、回転軸３０の傾斜部分に接触するように構成されている。また、ホルダー４５の空気配管用継手から空気配管がパイロットリレー１０の圧力検出用空気出力口に接続されている。なお、そのほかの空気配管の接続は、従来例と同じであるので、説明を省略する。
【００２５】
次に、図１から図３を参照して、この電気／空気圧変換器の動作について説明する。このような構成において、外部の調節器（図示せず）から電気信号８５が出力されると、電気回路基板３のインタフェース回路８２に入力される。インタフェース回路８２は、電気信号８５に基づいて所定パルスの制御信号８６を発生させ、モータ駆動回路８１に出力する。モータ駆動回路８１は入力された制御信号８６に基づいてモータ駆動パルス８７をモータ６に出力し、モータ６を回転させる。これにより、モータ軸のかさ歯車７と噛み合った回転軸３０のかさ歯車３１が駆動され、回転軸３０が回転する。防水容器側では、回転軸３０の回転により回転軸３０の平歯車３２が空気圧変換ユニット９の駆動軸に取り付けられた平歯車３５に回転を伝達し、空気圧変換ユニット９の駆動軸が回転する。
【００２６】
一方、供給空気接続口１１から、空気配管１２でパイロットリレー１０の空気供給口に供給された空気は、分岐されて、一方はパイロットリレー１０に供給され、他方は供給空気出力口から空気配管１３で空気圧変換ユニット９の空気入力口に供給される。この空気は、空気圧変換ユニット９のノズル・フラッパ機構により減圧を受けて空気出力口から出力される。この空気出力口の圧力は、空気圧変換ユニット９の駆動軸の回転により所定の範囲で変化する。この空気は、空気配管１４でパイロットリレー１０の空気入力口に供給され、圧力増幅されたのち、分岐されて、一方は空気出力口から空気配管１５で出力空気接続口１６に供給され、他方は圧力検出用空気出力口から空気配管１７でホルダー４５に入力される。出力空気接続口１６に供給された空気は、制御弁（図示せず）などの空圧機器に供給されてその制御に用いられる。
【００２７】
ホルダー４５に入力された空気は、回転軸３０との接続部を介して回転軸３０の空気通路に出力される。回転軸３０の空気通路に入力された空気は、隙接合７３の隙を通って耐圧防爆容器側から出力され、調整ねじ４０との接続部を介して空気配管１８で電流変換ユニット４に入力される。電流変換ユニット４は、入力された空気圧を電流信号に変換して出力する。この電流信号は、圧力モニター信号８８として外部の調節器に出力される。
【００２８】
この発明の実施の形態によれば、空気圧変換ユニットを駆動する駆動軸と空気圧信号を伝達するフレームアレスタを一体化することができるので、耐圧防爆容器の貫通孔が１カ所で済み、貫通孔間の加工精度を管理する必要が無くなると共に、組立が容易にできるようになる。また、回転軸３０のホルダー４５との接続部及び調整ねじ４０の回転軸３０との接続部にそれぞれ傾斜面を設け、この傾斜面でＯリングと接触させるようにすると共に、調整ねじ４０でＯリング４３，４７を締め付ける力を調整できるようにしたので、回転軸３０の空気通路内に漏れることなく空気を導入でき、かつ回転軸３０の回転がスムーズになるように調整することができる。
【００２９】
なお、回転軸の空気入出力部は、実施の形態に示した構造に限定されるものではなく、例えば、回転軸の両端を共にＯリングを配置した穴とし、実施の形態で用いた調整ねじと同様の機構を駆動軸の両側に取り付けるようにしてもよい。すなわち、一方の穴に対して先細り形状のパイプを押しつけ、その傾斜面と穴側の面との間にＯリングを介在させる構造であれば、どのようなものでもよい。
【００３０】
また、この発明の実施の形態では、モータ６及び回転軸内の空気通路と空気配管の接続部を保持する取付金具４２とホルダー４５とを、軸穴が設けられた防水容器に取り付けたので、回転軸との噛み合わせや接続の組立・調整が容易にできると共に、防水容器を取り外すだけで消耗部品の交換などのメンテナンスができる。
また、この発明の実施の形態では、空気圧変換ユニットを駆動する駆動軸に回転軸を用いたが、これに限定されるものではなく、駆動軸を往復運動させて伝達するものであってもよい。
また、この発明の実施の形態では、防水容器に円筒形接合部を設け、この円筒形接合部を耐圧防爆容器の貫通孔に挿入しているが、耐圧防爆容器に円筒形接合部を設けて防水容器に設けた貫通孔に挿入するようにしてもよいことは言うまでもない。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、空気圧変換ユニットを駆動する駆動軸と空気圧信号を伝達するフレームアレスタを一体化することができる。これにより、耐圧防爆容器の貫通孔を１カ所にできるので従来例のような貫通孔間の加工精度を管理する必要が無くなると共に、防爆隙を要する取付部品数が減るので、精度管理の必要な作業を減らせるという効果が得られる。
また、耐圧防爆容器と防水容器の組付けを行う場合も挿入する穴が１つであるため、従来例のように穴を傷つけないように２つの穴に同時に注意を払う必要が無くなり、１つの穴に注意をすればよいため、組立が容易になるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る電気／空気圧変換器の構成を示す部分切欠正面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る電気／空気圧変換器の構成を示すブロック図である。
【図３】図１の駆動軸の詳細を示す拡大断面図である。
【図４】従来の電気／空気圧変換器の構成を示す部分切欠正面図である。
【図５】従来の電気／空気圧変換器の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１…耐圧防爆容器、２…防水容器、３…電気回路基板、４…電流変換ユニット、５…端子台、６…モータ、７，３１，５１…かさ歯車、８…電気コンジット接続口、９…空気圧変換ユニット、１０…パイロットリレー（空気圧増幅器）、１１…供給空気接続口、１２，１３，１４，１５，１７，１８…空気配管、１１…出力空気接続口、１９…固定ねじ、２０，２１…防水用Ｏリング、３０…回転軸、３２，３５，５２，５５…平歯車、３３，６１…軸、３４，５４…軸受、４０…調整ねじ、４１…ロックナット、４２…取付金具、４３，４７…Ｏリング、４４，４６…空気配管用継手、４５…ホルダー、５０…駆動軸、６０…フレームアレスタ、７０，７１，７２，７３，７４，７５，７６…隙接合、８１…モータ駆動回路、８２…インタフェース回路（Ｉ／Ｆ）、８５…電気信号、８６…制御信号、８７…モータ駆動パルス、８８…圧力モニター信号。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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