(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
デジタルデバイスの検査装置を用いてデバイスのテストを行う際に必要となるテストパターンプログラムとメインプログラムとを生成するテストプログラム生成システムにおいて、
テストを行う対象であるデバイスにどのような種類のセルが使用されているかを示す情報を格納したデバイス情報ファイルと、各種のセルに関する情報を格納したセル情報データベースとを用意しておき、デバイスの設計時に実施されたシミュレーションの結果データを格納したシミュレーションファイルと、前記デバイス情報ファイルと、前記セル情報データベースとに格納された情報を第１のソフトウェアで処理することによってテストパターンプログラムを生成する既存のソフトウェアを実行させるために必要なプロシージャを作成し、
この作成されたプロシージャで前記既存のソフトウェアを実行することによって前記テストパターンプログラムを生成し、
この生成されたテストパターンプログラム、及び、前記デバイス情報ファイルと前記セル情報データベースとに格納された情報を第２のソフトウェアで処理することによってメインプログラムを生成するととともに、
前記第１のソフトウェアが、
前記既存のソフトウェアに対応するフォーマットで前記シミュレーションファイルを読み込む命令ファイルを作成する第１のステップと、
入力された前記シミュレーションファイルに格納された双方向ピンに関する信号波形データに含まれる不要なパルスの有無を判定し、この信号波形データに不要なパルスが含まれていれば、そのパルスをカットする命令ファイルを作成する第２のステップと、
前記双方向ピンの信号変化点をマスクする旨の指令が前記デバイス情報ファイルに含まれているか否かを判定し、マスクする旨の指令が含まれていれば、前記双方向ピンの信号波形データに対して、その双方向ピンの入力／出力を切り換えるコントロール信号の変化点が含まれる全ての所定期間をマスクする命令ファイルを作成する一方、マスクする旨の指令が含まれていなければ、前記双方向ピンの信号波形データに対して、その双方向ピンの入力／出力を切り換えるコントロール信号の変化点のうち、前記双方向ピンを入力から出力に切り換える変化点が含まれる所定期間のみをマスクする命令ファイルを作成する第３のステップと、
から構成されることを特徴とするテストプログラム生成システム。
【請求項２】
前記第１のソフトウェアが、
前記デバイス情報ファイルにマスクを指定する旨の指令が含まれているか否かを判定し、マスクを指定する旨の指令が含まれていれば、マスク用命令ファイルを作成する第４のステップと、
検査用の判定点を決定する命令ファイルを作成する第５のステップと、
から構成されることを特徴とする請求項１に記載のテストプログラム生成システム。
【請求項３】
前記第１のソフトウェアには、
前記第２のステップから前記第３のステップへ至るまでの間に、前記シミュレーションファイルに格納された入力ピンに関する信号波形データにおける信号変化点を所定の周期に合わせる命令ファイルを作成するステップと、
前記第３のステップにおいて、前記双方向ピンの信号変化点をマスクする旨の指令が前記デバイス情報ファイルに含まれているか否かを判定した後に、前記双方向ピンの入力／出力を切り換えるコントロール信号の変化点を所定の周期に合わせる命令ファイルを作成するステップと、
が設けられることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のテストプログラム生成システム。
【請求項４】
前記第２のソフトウェアが、
前記テストパターンプログラムが入力されると、前記デバイス情報ファイルに基づいて前記セル情報データベースから使用セルの情報を読み込む第６のステップと、
前記第６のステップで読み込まれた使用セルの情報に応じて測定項目を決定する第７のステップと、
使用するテスターを選別する第８のステップと、
前記デバイス情報ファイルにコントロール信号が含まれているか否かを判定し、コントロール信号が含まれていれば、その信号変化点をサーチする第９のステップと、
ＤＣ測定点をサーチする第１０のステップと、
前記第６から第１０のステップの結果に基づき、使用するテスターに応じた言語でメインプログラムを生成する第１１のステップと、
から構成されることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れかに記載のテストプログラム生成システム。
【請求項５】
デジタルデバイスの検査装置を用いてデバイスのテストを行う際に必要となるテストパターンプログラムとメインプログラムとを生成するテストプログラム生成システムにおいて、
テストを行う対象であるデバイスにどのような種類のセルが使用されているかを示す情報を格納したデバイス情報ファイルと、各種のセルに関する情報を格納したセル情報データベースとを用意しておき、デバイスの設計時に実施されたシミュレーションの結果データを格納したシミュレーションファイルと、前記デバイス情報ファイルと、前記セル情報データベースとに格納された情報を第１のソフトウェアで処理することによってテストパターンプログラムを生成する既存のソフトウェアを実行させるために必要なプロシージャを作成し、
この作成されたプロシージャで前記既存のソフトウェアを実行することによって前記テストパターンプログラムを生成し、
この生成されたテストパターンプログラム、及び、前記デバイス情報ファイルと前記セル情報データベースとに格納された情報を第２のソフトウェアで処理することによってメインプログラムを生成するとともに、
前記第２のソフトウェアが、
前記テストパターンプログラムが入力されると、前記デバイス情報ファイルに基づいて前記セル情報データベースから使用セルの情報を読み込む第６のステップと、
前記第６のステップで読み込まれた使用セルの情報に応じて測定項目を決定する第７のステップと、
使用するテスターを選別する第８のステップと、
前記デバイス情報ファイルにコントロール信号が含まれているか否かを判定し、コントロール信号が含まれていれば、その信号変化点をサーチする第９のステップと、
ＤＣ測定点をサーチする第１０のステップと、
前記第６から第１０のステップの結果に基づき、使用するテスターに応じた言語でメインプログラムを生成する第１１のステップと、
から構成されることを特徴とするテストプログラム生成システム。
【請求項６】
前記第２のソフトウェアの第８のステップにおいて、前記デバイス情報ファイルにテスターを指定する情報が含まれているか否かを判定し、前記デバイス情報ファイルにテスターを指定する情報が含まれていれば、その情報に従ってテスターを決定する一方、前記デバイス情報ファイルにテスターを指定する情報が含まれていなければ、前記第７のステップにおいて決定した測定項目に応じて最適なテスターを選別することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のテストプログラム生成システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、デジタルデバイスの検査装置を用いてデバイスのテスト（評価、出荷検査など）を行う際に必要となるテストパターンプログラムとメインプログラムとを生成するテストプログラム生成システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
デジタルデバイスの検査装置（以下、「テスター」と呼ぶ）を用いてデバイスのテスト（評価、出荷検査など）を行う際には、使用するテスターに応じたテストプログラムが必要となる。このテストプログラムは、信号波形データを表すテストパターンプログラムと、このテストパターンプログラムでテストを行うためのメインプログラムとで構成されるが、従来は、これらのプログラムを以下に述べるような手法で生成していた。
【０００３】
まず、１つ目の手法では、デバイスの回路図に基づいて、人為作業により真理値表を考えだし、テストパターンプログラム及びメインプログラムを生成していた。
【０００４】
次に、２つ目の手法では、ＣＡＤ（Computer Aided Design）により設計した回路がシミュレーション（回路検証）されるので、そのシミュレーションの結果データをプリントアウトし、そのリストを人為作業によりテストパターンプログラムに変換し、一方、メインプログラムはデバイス固有情報（テストの対象であるデバイスに使用されているセルに関する情報）に基づいて人為作業により生成していた。
【０００５】
最後に、３つ目の手法では、上記シミュレーションの結果データをテストパターンプログラムに変換するＴＤＳ（ＴＤＳは商品名である）というソフトウェアが市販されているので、このＴＤＳを用いてシミュレーションファイル（シミュレーションの結果データを格納したファイル）からテストパターンプログラムを生成し、一方、メインプログラムについては、上記２つ目のシステムと同様に生成していた。尚、ＴＤＳを実行するためには、デバイス固有情報に応じたプロシージャが必要であり、このプロシージャは人為作業により条件解析を行うことによって作成していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、従来は、テストプログラムを生成するにあたって、条件入力（例えば、プロシージャの作成など）が人為作業であったため、まず、テストプログラムが生成されるまでに膨大な時間を要し、また、入力ミスなどにより所望のテストプログラムが生成されず、その結果、回路検証確度が低く、その他には、生成されたテストプログラムの完成度にばらつきが生じる。
【０００７】
そこで、本発明は、テストプログラムが生成されるまでに要する時間の短縮、生成されたテストプログラムによる回路検証確度の向上、及び、テストプログラムの完成度の均一化を実現したテストプログラム生成システムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明のテストプログラム生成システムでは、デジタルデバイスの検査装置を用いてデバイスのテストを行う際に必要となるテストパターンプログラムとメインプログラムとを生成するテストプログラム生成システムにおいて、テストを行う対象であるデバイスにどのような種類のセルが使用されているかを示す情報を格納したデバイス情報ファイルと、各種のセルに関する情報を格納したセル情報データベースとを用意しておき、デバイスの設計時に実施されたシミュレーションの結果データを格納したシミュレーションファイルと、前記デバイス情報ファイルと、前記セル情報データベースとに格納された情報を第１のソフトウェアで処理することによってテストパターンプログラムを生成する既存のソフトウェアを実行させるために必要なプロシージャを作成し、この作成されたプロシージャで前記既存のソフトウェアを実行することによって前記テストパターンプログラムを生成し、この生成されたテストパターンプログラム、及び、前記デバイス情報ファイルと前記セル情報データベースとに格納された情報を第２のソフトウェアで処理することによってメインプログラムを生成するとともに、前記第１のソフトウェアが、前記既存のソフトウェアに対応するフォーマットで前記シミュレーションファイルを読み込む命令ファイルを作成する第１のステップと、入力された前記シミュレーションファイルに格納された双方向ピンに関する信号波形データに含まれる不要なパルスの有無を判定し、この信号波形データに不要なパルスが含まれていれば、そのパルスをカットする命令ファイルを作成する第２のステップと、前記双方向ピンの信号変化点をマスクする旨の指令が前記デバイス情報ファイルに含まれているか否かを判定し、マスクする旨の指令が含まれていれば、前記双方向ピンの信号波形データに対して、その双方向ピンの入力／出力を切り換えるコントロール信号の変化点が含まれる全ての所定期間をマスクする命令ファイルを作成する一方、マスクする旨の指令が含まれていなければ、前記双方向ピンの信号波形データに対して、その双方向ピンの入力／出力を切り換えるコントロール信号の変化点のうち、前記双方向ピンを入力から出力に切り換える変化点が含まれる所定期間のみをマスクする命令ファイルを作成する第３のステップとから構成される。
【０００９】
以上の構成によれば、人為作業はシミュレーションファイルとデバイス情報ファイルの入力、及び、テストパターンプログラムの入力だけとなり、人為作業による条件入力はなくなる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。本発明のテストプログラム生成システムによりテストプログラムが生成される手順を図１に示すフローチャートを用いて説明する。テスターによりテストするデバイスのシミュレーションファイル１００と、テスターによりテストするデバイスにどのようなセルが使用されているかを示す情報を格納したデバイス情報ファイル２００と、各種のセルに関する情報を格納したセル情報データベース３００を用意しておく。
【００１１】
まず、デバイス情報ファイル２００に基づいて、セル情報データベース３００から使用セル（デバイスに使用されているセル）の情報を抽出し、その抽出した情報を基に条件解析を行って必要なファイルを生成した後、シミュレーション結果ファイル１００をテストパターンプログラムに変換する既存のソフトウェアであるＴＤＳを実行させるために必要なプロシージャを生成する（＃１）。
【００１２】
次に、＃１で生成されたプロシージャによりＴＤＳを実行することによって、テストパターンプログラム４００が生成される（＃２）。そして、デバイス情報ファイル２００に基づいて、セル情報データベース３００から使用セルの情報を抽出し、その抽出した情報と、＃２で生成されたテストパターンプログラム４００内のデータを用いて、使用するテスターに対応する言語でメインプログラム５００が生成される（＃３）。
【００１３】
そして、上記＃１、＃３での処理はソフトウェアにより行われる。まず、＃１において行われる処理について図２に示すフローチャートを用いて説明する。まず、ＴＤＳに対応するフォーマットでシミュレーションファイル１００を読み込む命令ファイルを作成する（＃１０１）。
【００１４】
尚、シミュレーションファイル１００には、例えば、図４に示すようなＩＣの各ピンに関する信号波形データが格納されており、同図において、Ａはある入力ピンの信号、Ｂはある出力ピンの信号、Ｃはある双方向ピンの信号の波形データをそれぞれ示しており、ＣＮＴは信号Ｃを波形データとする双方向ピンの入力／出力を切り換えるコントロール信号を示している。
【００１５】
次に、入力されたシミュレーションファイル１００の信号波形データに含まれる不要なパルス（例えば、図４中の信号Ｃ上にある、テスターでは実現不可能なパルスＰ）の有無を判定し（＃１０２）、不要なパルスがあれば（＃１０２のＹ）、そのパルスをカットする命令ファイルを作成する（＃１０３）。
【００１６】
次に、例えば、図４中の信号Ａの変化点ｈ１が時間軸上において１０．１１５６ｎｓｅｃの位置にあるとすれば、その変化点ｈ１をｎｓｅｃオーダーの小数点以下を四捨五入した１０ｎｓｅｃの位置ｈ１’に移すというように、全ての信号変化点を１ｎｓｅｃ単位にあわせる命令ファイルを作成する（＃１０４）。
【００１７】
次に、双方向ピンの信号変化点をマスクする（判定対象からはずす）旨の指令（以下、「マスク指令」と呼ぶ）がデバイス情報ファイル２００に含まれているか否かを判定し（＃１０５）、マスク指令が含まれていれば（＃１０５のＹ）、双方向ピンの入力／出力を切り換えるコントロール信号の変化点を１レート（所定の時間間隔で区切られた区間）単位にあわせる（例えば、図４中のコントロール信号ＣＮＴの変化点ｈ２を点ｈ２’に移す）命令ファイルを作成する（＃１０６）とともに、双方向ピンの信号波形データに対して、その双方向ピンのコントロール信号の変化点のあるレートをマスクする（例えば、図４において、コントロール信号ＣＮＴの変化点ｈ２を点ｈ２’に移したとすると、信号Ｃの斜線部をマスクする）命令ファイルを作成する（＃１０７）。
【００１８】
一方、マスク指令が含まれていなければ（＃１０５のＮ）、コントロール信号の変化点を１レート単位にあわせる命令ファイルを作成する（＃１０８）とともに、双方向ピンの信号波形データに対して、その双方向ピンのコントロール信号の変化点のうち、双方向ピンを入力から出力に切り換える変化点のあるレートのみをマスクする命令ファイルを作成する（＃１０９）。
【００１９】
次に、デバイス情報ファイル２００にマスクを指定する旨の指令（以下、「マスク指定指令」と呼ぶ）が含まれているか否かを判定し（＃１１０）、マスク指定指令が含まれていれば（＃１０９のＹ）、マスク用ファイルを作成する（＃１１１）。次に、ストローブ点（判定点）を決定する命令ファイルを作成する（＃１１２）。そして、以上のステップで作成された全ての命令ファイルを統括したプロシージャを作成する（＃１１３）。
【００２０】
尚、＃２では、作成されたプロシージャによりＴＤＳを実行することによってテストパターンプログラムが生成されるが、その処理内容については既存のソフトウェアによるものであるので、説明を省略する。
【００２１】
次に、＃３において行われる処理について図３に示すフローチャートを用いて説明する。ＴＤＳを実行することにより生成されたテストパターンプログラムが＃３の処理を行うソフトウェアに対して入力されると、デバイス情報ファイル２００に基づいて、セル情報データベース３００から使用セルの情報を読み込む（＃３０１）。次に、＃３０１で読み込まれた使用セルの情報に応じて測定項目を決定する（＃３０２）。
【００２２】
次に、使用するテスターを選別する（＃３０３）。尚、＃３０３でのテスターの選別は、デバイス情報ファイル２００にテスターを指定する情報が含まれていれば、それに従ってテスターを決定し、含まれていなければ、＃３０２で決定した測定項目に応じて最適なテスターを選別する。
【００２３】
次に、デバイス情報ファイル２００にコントロール信号が含まれているか否かを判定する（＃３０４）。コントロール信号が含まれていれば（＃３０４のＹ）、その信号変化点をサーチする（その信号変化点がどこのレートに含まれているかを調べる）（＃３０５）。次に、ＤＣ測定点をサーチする（ＤＣ測定点がどこのレートに含まれているかを調べる）（＃３０６）。そして、以上のステップでの結果に基づき、使用するテスターに応じた言語でメインプログラムを生成する（＃３０７）。
【００２４】
以上のようなテストプログラム生成システムによれば、人為作業はシミュレーションファイル１００とデバイス情報ファイル２００との入力だけであり、条件入力（例えば、命令ファイルの作成）が人為作業ではなく、ソフトウェアにより処理されるので、テストプログラムが生成されるまでに要する時間を短縮することができ、また、入力ミスなどに起因して所望のテストプログラムが生成されないという問題も解消され、テストプログラムによる回路検証確度を向上させることができ、さらに、個人のスキルに依存せず、テストプログラムの完成度を均一にすることができる。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のテストプログラム生成システムによれば、テストプログラムが生成されるまでに要する時間の短縮、生成されたテストプログラムによる回路検証確度の向上、及び、テストプログラムの完成度の均一化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のテストプログラム生成システムによりテストプログラムが生成される手順を示すフローチャートである。
【図２】  図１中の＃１において行われる処理を示すフローチャートである。
【図３】  図１中の＃３において行われる処理を示すフローチャートである。
【図４】  シミュレーションファイル１００に格納された信号波形データの一例を示す図である。
【符号の説明】
１００    シミュレーションファイル
２００    デバイス情報ファイル
３００    セル情報データベース
４００    テストパターンプログラム
５００    メインプログラム
【図１】
0003657097.tif 000002
【図２】
0003657097.tif 000003
【図３】
0003657097.tif 000004
【図４】
0003657097.tif 000005