(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレーム部材を有するボンディング機を用いる使用のためのボンドヘッドであって、以下：
アームアセンブリ；および
該アームアセンブリとフレーム部材との間を結合したリンケージであって、該リンケージは、旋回中心であるアンカー点および下方の旋回点を有し、それによって該アームアセンブリの下面の下にある少なくとも２つの仮想旋回点を形成する、リンケージ、
を備える、ボンドヘッド。
【請求項２】
前記リンケージが板バネであり、該板バネの上部が前記ボンディング機に脱着可能に結合され、そして該板バネの下部が前記アームアセンブリに脱着可能に結合される、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記リンケージが板バネであり、該板バネの上部が前記ボンディング機に結合され、そして該板バネの下部が前記アームアセンブリに結合される、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記アームアセンブリがボンド平面の上方に配置され、そして前記仮想旋回点が該ボンド平面の表面上にある、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
フレーム部材を有するボンディング機を用いる使用のための装置であって、以下：
ボンド平面の上方に配置されたボンドヘッド；
該ボンドヘッド上の第１の位置にて該ボンドヘッドと該フレーム部材との間を結合する第１のリンケージであって、旋回中心であるアンカー点、下方の旋回点、および第１の長手軸を有する、第１のリンケージ；および
該ボンドヘッド上の第２の位置にて該ボンドヘッドと該フレーム部材との間を結合する第２のリンケージであって、旋回中心であるアンカー点、下方の旋回点、および第２の長手軸を有する、第２のリンケージ、
を備え、
ここで、該ボンドがヘッドアップ位置にある場合、該第１の長手軸および第２の長手軸が該ボンドヘッドの下面の下にある第１の仮想点で交差し、そして該ボンドヘッドがヘッドダウン位置にある場合、ボンド平面にある第２の仮想点で交差する、装置。
【請求項６】
前記ボンドヘッドに取り付けられたボンディングボンディングツールをさらに備え、ここで、該ボンドツールが該ボンドヘッドの上部位置と下部位置との間で第１の方向に移動する、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記第１の方向が前記ボンド平面に対して実質的に直交している、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記ボンドツールの下部および前記仮想旋回点が、前記ボンド平面に対して実質的に平行な軸を形成する、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記第１のリンケージが第１の板バネの一部であり、該第１の板バネの上部が前記ボンディング機に脱着可能に結合され、そして前記第２のリンケージが第２の板バネの一部であり、該第２の板バネの上部が該ボンディング機に脱着可能に結合され、該板バネによって、前記ボンドヘッドが前記リンケージおよび前記フレーム部材に対して移動することが可能となる、請求項５に記載の装置。
【請求項１０】
前記第１および第２のリンケージの各々が、前記ボンドヘッドが前記リンケージおよび前記フレーム部材に対して移動することを可能にするベアリングを備える、請求項５に記載の装置。
【請求項１１】
前記ベアリングがボールベアリングアセンブリである、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記第１のリンクの上部と前記第２のリンクの上部との間の距離が、該第１のリンクの下部と該第２のリンクの下部との間の距離よりも大きい、請求項５に記載の装置。
【請求項１３】
前記仮想点がボンド平面の表面上に位置する、請求項５に記載の装置。
【請求項１４】
並進テーブルを用いる使用のための半導体デバイスへワイヤをボンディングするための装置であって、以下：
固定リンク；
カプラーリンク；
該カプラーリンクの前方部分にて該固定リンクおよび該カプラーリンクに脱着可能に結合された第１の旋回部材であって、旋回中心であるアンカー点、下方の旋回点、および第１の長手軸を有する、第１の旋回部材；
該カプラーリンクの後方部分にてフレーム部材および該カプラーリンクに脱着可能にボンディングされた第２の旋回部材であって、旋回中心であるアンカー点、下方の旋回点、および第２の長手軸を有する、第２の旋回部材；
を備え、
ここで、該第１の長手軸および該第２の長手軸の交差点は、該カプラーリンクがヘッドアップ位置にある場合、該カプラーリンクの下面の下にある第１の仮想の旋回点を形成し、そして該カプラーリンクがヘッドダウン位置にある場合、ボンド平面にある第２の仮想点を形成する、装置。
【請求項１５】
さらに以下：
前記カプラーリンクに脱着可能に結合された超音波トランスデューサ；および
該超音波トランスデューサの前方部分にて該超音波トランスデューサに結合されたボンディングツール、
を備え、
ここで、該ボンディングツールの先端と前記仮想の旋回点との間に形成された線がボンド平面内に存在する、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記ボンディングツールがキャピラリーおよびウェッジツールの内の１つである、請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記第１の旋回部材が、前方スィングリンクの上方旋回にて、第１のネジを用いて前記フレーム部材に取り付けられた前方スィングリンクであり、
該前方スィングリンクが、該前方スィングリンクの下方旋回にて、第２のネジを用いて前記カプラーリンクに取り付けられ、
前記第２の旋回部材が、後方スィングリンクの上方旋回にて、第３のネジを用いて該フレーム部材に取り付けられた後方スィングリンクであり、そして
該後方スィングリンクが、該後方スィングリンクの下方旋回にて、第４のネジを用いて該カプラーリンクに取り付けられる、請求項１４に記載の装置。
【請求項１８】
さらに以下：
前方板バネ；および
後方板バネ、
を備え、
ここで、前記第１の旋回部材は該前方板バネの下部であり、そして前記第２の旋回部材は該後方板バネの下部であり、そして
該前方板バネの上部および該後方板バネの上部が前記ボンディング装置の下部に脱着可能に結合される、請求項１４に記載の装置。
【請求項１９】
前記固定リンクが前記並進テーブルに取り付けられる、請求項１４に記載の装置。
【請求項２０】
前記カプラーリンクがボンド平面の上に配置され、そして前記仮想点が該ボンド平面の表面上に位置する、請求項１４に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に半導体デバイスへのワイヤのボンディングにおける使用のためのツールに関し、より詳細には、半導体デバイスに細いワイヤをボンディングするための、リンケージを誘導するボンドヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
現代の電子装置は、半導体チップ、または集積回路（ＩＣ）が取り付けられるプリント回路基板に大きく依存する。チップと基板との間の機械的および電気的接続は、チップ設計者にとって難問を呈した。ＩＣを基板に相互接続するための３つの周知の技術は、ワイヤボンディング、テープ自動化ボンディング（ＴＡＢ）およびフリップチップである。
【０００３】
これらのプロセスのなかで最も一般的なものはワイヤボンディングである。ワイヤボンディングにおいて、複数のボンディングパッドは基板の最上面上のパターン内に配置され、チップはボンディングパッドのパターンの中心に取り付けられ、そしてこのチップの最上面が基板の最上面から離れて面する。細いワイヤ（アルミニウムかまたは金のワイヤであり得る）は、チップの最上面での接触子と基板の最上面での接触子との間に接続される。
【０００４】
電子構成要素の製造プロセスの際に広く使用される金属ワイヤを使用して、ワイヤボンディング装置は、電気的に半導体チップを基板に接続する。典型的なワイヤボンディング機は、ボンドヘッド、Ｘ−Ｙ表、ワークホルダー（ｗｏｒｋｈｏｌｄｅｒ）およびオプティクスを備える。
【０００５】
ボンドヘッドは、ボンディングツールおよび溶接機（通常は、超音波トランスデューサ）を保持し、そしてそれをボンディングされるべきデバイスに対して垂直に移動し、その結果、溶接が起こる地点にそれが達し得る、機構である。このボンドヘッドはまた、ボンディングサイクルにおける適切な点でワイヤをつかみ、その結果、デバイスとリードフレームとの間の相互接続が完全な場合にワイヤが切断され得る、ワイヤクランプを有する。Ｘ−Ｙ表は、デバイスの面内でボンドヘッドを移動させ、その結果、ヘッドが一方のボンド位置から別のボンド位置まで移動し得る、機構である。ワークホルダは、ワークを強固に保持し、また溶接をより容易にするためにデバイスを加熱し得る機構である。このオプティクスは、ボンドヘッドを適切なボンディングパッドに照準を定める。
【０００６】
初期のボンドヘッドは、機械の操作者によって照準を合わせられそして移動された。今日、従来の機械は電子モータによって移動され、機載コンピュータによって制御され、そして照準を合わせられ、そして１０００ボンドパッドのオーダーで含み得るデバイスに１秒当たり１２個のワイヤまでボンディングする。
【０００７】
小規模の今日の集積回路によって、機構がボンドパッドを見逃すことを防ぐために、任意の好ましくない横運動を防ぐ機構によって、ボンドヘッドはデバイスに対してその下方に誘導されるべきである。
【０００８】
従来のボンディング機において、２種類の機構が現在使用される。第１の機構は、ワークに対して垂直に取り付けられた予備装填された直線スライドである。第２の機構は、ヘッドの中央に取り付けられたボールベアリングまたは他の回転ベアリングであり、これによってボンドヘッドがシーソーのように旋回することが可能となる。ボンディングツールは、ボンドヘッドの一方の末端に取り付けられ、リニア電気モーターはボンドヘッドの他方の末端に取り付けられる。
【０００９】
線形ボンドヘッドは、線形ボンドヘッドが、旋回ボンドヘッドと比較してより遅い機構を生じる高い慣性および摩擦を有するという点で不利益を有する。しかし、旋回ボンドヘッドはまた、不利益を有する。なぜなら、旋回の中心線が、ボンディングされるべきデバイスの面と同じ高さである必要があるためである。結果として、旋回ヘッドは、非常に大きなデバイスをボンディングし得ない。なぜなら、旋回ベアリングは、それが非常に遠位にまで到達する場合、大きなデバイスの縁と当たるためである。これは、「Ｃ」クランプの垂直部材が、いかに遠位にまでクランプが到達し得るか、またはそのスロートが以下に深いかを課すという制限に類似している。
【００１０】
図１に、従来の旋回ボンディング機１００が示される。図１において、ボンディング機１００は、ボンドヘッド１０４に取り付けられるボンドツール１０２を備える。ボンドツール１０２は、超音波トランスデューサ１２２およびキャピラリー１２８を備える。
【００１１】
上で説明したように、ボンドヘッド１０４はベアリング１０６の周りを旋回する。ボンディングツール１０２の先端１０８とベアリング１０６の前方部分１１０との間の距離は、距離ｄ1として示される。距離ｄ1は、ボンディング機１００の設計制限のために限りがあり、そしてボンディング機１００によってボンドされ得るデバイスのサイズに直接の影響を有する。ベアリング１０６の中心１１２およびボンディングツール１０２の先端１０８は、旋回中心線１１４を形成し、これは、ボンドヘッド１０４がヘッド下降（ボンディング）位置にある場合、ボンディングされるべきデバイスのボンド平面内にある（示していない）。
【００１２】
図２は、従来の旋回ボンドヘッドの簡略化した側面図である。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のボンドヘッドの上記不利益を解決するために、本発明は、ボンディング機を用いた使用のためのリンケージを誘導するボンドヘッドに関する。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明のボンドヘッドは、フレーム部材を有するボンディング機を用いる使用のためのボンドヘッドであって、以下：アームアセンブリ；および該アームアセンブリとフレーム部材との間を結合したリンケージであって、該リンケージは、該アームアセンブリの下面の下にある仮想旋回点を形成する、リンケージ、を備える、ボンドヘッドであり、このことにより上記課題が解決される。
【００１５】
１つの実施形態では、前記リンケージが板バネであり、該板バネの上部が前記ボンディング機に脱着可能に結合され、そして該板バネの下部が前記アームアセンブリに脱着可能に結合される。
【００１６】
１つの実施形態では、前記リンケージが板バネであり、該板バネの上部が前記ボンディング機に結合され、そして該板バネの下部が前記アームアセンブリに結合される。
【００１７】
１つの実施形態では、前記アームアセンブリがボンド平面の上方に配置され、そして前記仮想旋回点が該ボンド平面の表面上にある。
【００１８】
本願の請求項５による装置は、フレーム部材を有するボンディング機を用いる使用のための装置であって、以下：ボンド平面の上方に配置されたボンドヘッド；該ボンドヘッド上の第１の位置にて該ボンドヘッドと該フレーム部材との間を結合する第１のリンケージであって、該第１のリンケージは第１の長手軸を有する、第１のリンケージ；および該ボンドヘッド上の第２の位置にて該ボンドヘッドと該フレーム部材との間を結合する第２のリンケージであって、該第２のリンケージは第２の長手軸を有する、第２のリンケージ、を備え、ここで、該第１の長手軸および第２の長手軸が該ボンドヘッドの下面の下にある仮想点で交差する、装置であり、このことにより上記課題が解決される。
【００１９】
１つの実施形態では、前記ボンドヘッドに取り付けられたボンディングボンディングツールをさらに備え、ここで、該ボンドツールが該ボンドヘッドの上部位置と下部位置との間で第１の方向に移動する。
【００２０】
１つの実施形態では、前記第１の方向が前記ボンド平面に対して実質的に直交している。
【００２１】
１つの実施形態では、前記ボンドツールの下部および前記仮想旋回点が、前記ボンド平面に対して実質的に平行な軸を形成する。
【００２２】
１つの実施形態では、前記第１のリンケージが第１の板バネの一部であり、該第１の板バネの上部が前記ボンディング機に脱着可能に結合され、そして前記第２のリンケージが第２の板バネの一部であり、該第２の板バネの上部が該ボンディング機に脱着可能に結合され、該板バネによって、前記ボンドヘッドが前記リンケージおよび前記フレーム部材に対して移動することが可能となる。
【００２３】
１つの実施形態では、前記第１および第２のリンケージの各々が、前記ボンドヘッドが前記リンケージおよび前記フレーム部材に対して移動することを可能にするベアリングを備える。
【００２４】
１つの実施形態では、前記ベアリングがボールベアリングアセンブリである。
【００２５】
１つの実施形態では、前記第１のリンクの上部と前記第２のリンクの上部との間の距離が、該第１のリンクの下部と該第２のリンクの下部との間の距離よりも大きい。
【００２６】
１つの実施形態では、前記仮想点がボンド平面の表面上に位置する。
【００２７】
本願の請求項１４による装置は、並進テーブルを用いる使用のための半導体デバイスへワイヤをボンディングするための装置であって、以下：固定リンク；カプラーリンク；該カプラーリンクの前方部分にて該固定リンクおよび該カプラーリンクに脱着可能に結合された第１の旋回部材であって、該第１の旋回部材は第１の長手軸を有する、第１の旋回部材；該カプラーリンクの後方部分にてフレーム部材および該カプラーリンクに脱着可能にボンディングされた第２の旋回部材であって、該第２の旋回部材は第２の長手軸を有する、第２の旋回部材；を備え、ここで、該第１の長手軸および該第２の長手軸の交差点が該カプラーリンクの下面の下にある仮想の旋回点を形成する、装置であり、このことにより上記課題が解決される。
【００２８】
１つの実施形態では、さらに以下：前記カプラーリンクに脱着可能に結合された超音波トランスデューサ；および該超音波トランスデューサの前方部分にて該超音波トランスデューサに結合されたボンディングツール、を備え、ここで、該ボンディングツールの先端と前記仮想の旋回点との間に形成された線がボンド平面内に存在する。
【００２９】
１つの実施形態では、前記ボンディングツールがキャピラリーおよびウェッジツールの内の１つである。
【００３０】
１つの実施形態では、前記第１の旋回部材が、前方スィングリンクの上方旋回にて、第１のネジを用いて前記フレーム部材に取り付けられた前方スィングリンクであり、該前方スィングリンクが、該前方スィングリンクの下方旋回にて、第２のネジを用いて前記カプラーリンクに取り付けられ、前記第２の旋回部材が、後方スィングリンクの上方旋回にて、第３のネジを用いて該フレーム部材に取り付けられた後方スィングリンクであり、そして該後方スィングリンクが、該後方スィングリンクの下方旋回にて、第４のネジを用いて該カプラーリンクに取り付けられる。
【００３１】
１つの実施形態では、さらに以下：前方板バネ；および後方板バネ、を備え、ここで、前記第１の旋回部材は該前方板バネの下部であり、そして前記第２の旋回部材は該後方板バネの下部であり、そして該前方板バネの上部および該後方板バネの上部が前記ボンディング装置の下部に脱着可能に結合される。
【００３２】
１つの実施形態では、前記固定リンクが前記並進テーブルに取り付けられる。
【００３３】
１つの実施形態では、前記カプラーリンクがボンド平面の上に配置され、そして前記仮想点が該ボンド平面の表面上に位置する。
【００３４】
このボンドヘッドは、アームアセンブリ、およびこのアームアセンブリとボンディング機のフレームとの間を結合するリンケージを備える。このリンケージは、アームアセンブリの下面の下にある仮想旋回点を形成する。
【００３５】
本発明は、さらに、ボンド平面上に配置されたボンドヘッド、ボンドヘッドとボンディング機のフレームとの間を結合する第１のリンケージ、およびボンドヘッドとボンディング機のフレームとの間を結合する第２のリンケージを備える装置に関し、ここで、第１のリンケージおよび第２のリンケージの長手軸は、ボンドヘッドの下面の下にある仮想点にて交差する。
【００３６】
本発明はまた、並進テーブルを用いる使用のための、ワイヤを半導体デバイスにボンディングするための装置に関する。この装置は、固定リンク；カプラーリンク；カプラーリンクの前方部分にて固定リンクおよびカプラーリンクに脱着可能に結合した第１の旋回部材であって、第１の長手軸を有する、第１の旋回部材；カプラーリンクの後方部分にてフレーム部材とカプラーリンクに脱着可能に結合した第２の旋回部材であって、第２の長手軸を有する第２の旋回部材を備える。第１の長手軸および第２の長手軸の交差は、カプラーリンクの下面の下にある仮想旋回点を形成する。
【００３７】
本発明のこれらのおよび他の局面は、本発明の例示の実施態様の図面および記載を参照して以下に記載される。
【００３８】
【発明の実施の形態】
本発明は、ボンドヘッドを、可動リンケージを使用するボンディング機のフレームに結合することによって従来のボンディング機の欠点を克服する。この可動リンケージは、板バネ、ベアリング表面を有する固体リンク、またはボンドヘッドがリンケージおよびフレームに対して移動することを可能にする任意の他のリンケージであり得る。
【００３９】
図３を参照して、本発明の第一の例示的実施態様が示される。図３には、ボンドヘッド３００は、カプラーリンク３０４、固定リンク３０６、前方リンク３０８、後方リンク３１４、およびボンドツール１０２を備える。例示的実施態様において、ボンドツール１０２は、超音波トランスデューサ３２２およびキャピラリー３２８を備える。ボールボンディング手順にて使用されるキャピラリー３２８は、ウェッジボンディングツール（示していない）と置換され、ウェッジボンディング手順を実行し得ることは周知である。
【００４０】
前方リンク３０８は、カプラーリンク３０４の前方部分にて、カプラーリンク３０４および固定リンク３０６に結合される。同様に、後方リンク３１４は、カプラーリンク３０４の後方部分にてカプラーリンク３０４および固定リンク３０６に結合される。このように、カプラーリンク３０４は、前方向および後方向に固定リンク３０６に対してスィングし得、これによってカプラーリンク３０４が旋回するのを可能にする。
【００４１】
前方リンク３０８は、ベアリング３１０および３１２を備え得、そして後方リンク３１４は、ベアリング３１６および３１８を備え得、これによって固定リンク３０６に対するカプラーリンク３０４の移動が容易になる。ベアリング３１０、３１２、３１６および３１８は、例えば、ボールベアリングアセンブリであり得る。例示的実施態様において、リンク３０８および３１４は、剛性であるが、所望される場合、可撓性であり得る。リンク３０８および３１４は、取り付け手段３２４を使用して固定リンク３０６およびカプラーリンク３０４に結合され得る。好ましい実施態様において、リンクは互いに脱着可能に結合される。取り付け手段３２４は脱着可能な結合のためのネジ、スタッドおよびナット、ピンなどであり得ると考えられる。より永続的な結合が所望される場合、例えばリベットが取り付け手段３２４として使用され得る。
【００４２】
図３に示されるように、前方リンク３０８は、仮想点３２０にて後方リンク３１４の長手軸３３２と交差する長手軸３３０を有する。仮想点３２０は、カプラーリンク３０４の下面３３４の下にあり、ボンディングされるべきデバイス（示していない）のボンド平面３２６に位置する。ボンドヘッドがヘッドダウン（すなわち、ボンディング）位置にある場合、キャピラリー３２８の先端１０８はボンド平面３２６に位置する。図３から明らかなように、リンク３０８の上部と３１４の上部との間の距離は、リンク３０８の下部と３１４の下部との間の距離よりも長い。
【００４３】
図４を参照して、本発明の第二の例示的実施態様の斜視図が示される。図４に、板バネ４０２、４０４は、ボンドヘッドアセンブリ４００においてそれぞれリンク３０８および３１４として使用される。全ての他の局面において、この実施態様は第一の例示的実施態様に類似する。
【００４４】
図５は、第二の例示的実施態様の側面図である。図５にて、ボンディング装置５００はボンドヘッド基部５０２およびボンドヘッド３００を備える。板バネ４０２、４０４は、取り付け手段５０８を使用してボンドヘッド基部５０２に脱着可能に結合される。同様に、取り付け手段５０８は、板バネ４０４、４０４を、ボンドヘッド３００（この図には示していない）に取り付けるために使用され得る。取り付け手段５０８は、ネジおよびナット、スタッドおよびナット、自己タッピングネジなどのような任意の種類の取り付け手段であり得ると考えられる。
【００４５】
板バネ４０２の使用は、ベアリングを使用することなく、ボンドヘッド３００の旋回を提供することによって第一の例示的実施態様の設計よりも単純な設計を提供する。図５に示されるように、第一および第二の実施態様のリンケージ配置の使用は、従来の旋回ボンディング機と比較して、限定されないスロート領域５０６を提供する。
【００４６】
図７は、「ヘッドアップ」（すなわち、静止）位置のボンディング機５００の切断側面図である。図７に示されるように、板バネ４０２、４０４は、取り付け手段５０８を用いてボンドヘッド基部５０２およびボンドヘッド３００に取り付けられる。ヘッドアップ位置にある場合、板バネ４０２は旋回点７０２にて下方向に曲げられ、そして板バネ４０４は旋回点７０４にて上方向に曲げられる。
【００４７】
図８は、「ヘッドダウン」（すなわち、ボンディング）位置のボンディング装置５００の切断側面図である。図８に示されるように、板バネ４０２は、旋回点７０２で上方向に曲げられ、そして板バネ４０４は旋回点７０４で下方向に曲げられる。
【００４８】
図６は、本発明の例示的実施態様の運動的模式図である。図６において、６０２は、前方板バネ４０２のアンカー点および旋回中心である；６０４は後方リーフスプリング４０４のアンカー点および旋回中心である；６０６は、ボンドヘッド３０がヘッドアップ位置にある場合、前方板バネ４０２の位置である；６０８は、ボンドヘッド３００がヘッドアップ位置にある場合、後方板バネ４０４の位置である；６１０は、ボンドヘッド３００がヘッドダウン位置にある場合、前方板バネ４０２の位置である；６１２は、ボンドヘッド３００がヘッドダウン位置にある場合、後方板バネ４０４の位置である；６１４は、前方リンク３０８の下方の前方旋回点である；６１６は、後方リンク３１４の下方の後方旋回点である；そして６１８はカプラーリンク表す。６００は、ボンドヘッド３００がヘッドアップ位置からヘッドダウン位置に移動する際にボンドツールの経路である。６０６および６０８の交差（延ばした場合）は、ボンドツール３００がヘッドアップ位置にある場合、仮想旋回点６２０を得、一方で、６１０および６１２の交差（延ばした場合）は、ボンドツール３００がヘッドダウン位置にある場合、仮想旋回点６２２を得る。上で議論したように、仮想点６２２はボンド平面３２６に位置する。図６に示されるように、経路６００およびボンド平面３２６によって形成される角度αは、約９０°である。
【００４９】
本発明は例示的実施態様に関して記載されるが、それらに限定されない。むしろ、添付の特許請求の範囲は、本発明の真の精神および範囲から逸脱することなく当業者によってなされ得る、本発明の他の改変および実施態様を含むように理解されるべきである。
【００５０】
ボンディングヘッドを用いる使用のためのボンドヘッド。このボンドヘッドは、アームアセンブリ；およびアームアセンブリとボンディング機のフレームとの間を結合したリンケージを備える。このリンケージは、アームアセンブリの下面の下にある仮想の旋回点を形成する。
【００５１】
【発明の効果】
ボンディング機によってボンドされ得るデバイスのサイズに影響することがない、ボンドヘッドを提供すること。
【００５２】
本発明は、添付の図面と関連させて読む場合、上記の詳細な説明から最も良く理解される。共通のプラクティスに従って、図面の種々の特徴は一定の縮尺ではないことが強調される。反対に、種々の特徴の寸法は、明確さのために、任意に拡大されるかまたは縮小される。以下の図は図面に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、従来の旋回ボンディング機の部分斜視図である。
【図２】図２は、従来の旋回ボンドヘッドの簡略化した部分側面図である。
【図３】図３は、本発明の第１の例示的実施態様の切断側面図である。
【図４】図４は、本発明の第２の例示的実施態様の斜視図である。
【図５】図５は、第２の例示的実施態様の側面図である。
【図６】図６は、本発明の運動的模式図である。
【図７】図７は、ボンドヘッドがヘッドアップ位置にある場合の第２の例示的実施態様の切断側面図である。
【図８】図８は、ボンドヘッドがヘッドダウン位置にある場合の第２の例示的実施態様の切断側面図である。
【符号の説明】
３００  ボンドヘッド
３１０，３１２，３１６，３１８  ベアリング
３０４  カプラーリンク
【図１】
0003683801.tif 000002
【図２】
0003683801.tif 000003
【図３】
0003683801.tif 000004
【図４】
0003683801.tif 000005
【図５】
0003683801.tif 000006
【図６】
0003683801.tif 000007
【図７】
0003683801.tif 000008
【図８】
0003683801.tif 000009