(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルと、各ノズルが連通する吐出室と、各吐出室内のインクを加圧するエネルギーを発生するアクチュエータ手段とを備え、このアクチュエータ手段を設けた基板とは異なるプリント基板上に各アクチュエータ手段に駆動波形を与える駆動回路を実装したインクジェットヘッドにおいて、前記プリント基板には電気的接続の良否の判定に用いるチェックランドを設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記チェックランドは千鳥状に配置し、前記プリント基板に形成された電極パターンと同じピッチ又は電極パターンのピッチより広いピッチで、且つ、前記プリント基板の接合部から離れた位置に設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記チェックランドは千鳥状に配置し、四角形又は円形の形状で、且つ対角寸法又は径をプリント基板の電極部の幅よりも大きくしたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
複数のノズルと、各ノズルが連通する吐出室と、各吐出室内のインクを加圧するエネルギーを発生するアクチュエータ手段とを備え、各アクチュエータ手段に駆動波形を与える駆動回路を実装したプリント基板を搭載し、前記アクチュエータ手段と前記プリント基板とをフレキシブルプリント基板を介して接続したインクジェットヘッドにおいて、前記フレキシブルプリント基板には前記プリント基板との接続部側に電気的接続の良否の判定に用いるチェックランドを設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、前記アクチュエータ手段が圧電素子、若しくは前記吐出室の壁面の一部を形成する振動板及びこれに対向する電極からなることを特徴とするインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はインクジェットヘッドに関し、特に駆動回路を実装したプリント基板を搭載したインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の記録部に用いるインクジェットヘッドは、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室（圧力室、加圧液室、液室、インク流路等とも称される。）と、この吐出室内のインクを加圧するエネルギーを発生するアクチュエータ手段（エネルギー発生手段）とを備えて、アクチュエータ手段を駆動することで吐出室内インクを加圧してノズルからインク滴を吐出させるものであり、記録の必要なときにのみインク滴を吐出するインク・オン・デマンド方式のものが主流である。
【０００３】
そして、インク滴（記録液体）を吐出させるためのアクチュエータ手段の種類により、幾つかの方式に大別される。例えば、特開平１０−１００４０１号公報に記載されているように、液室の壁の一部を薄い振動板とし、これに対応して電気機械変換素子としての圧電素子を配置し、電圧印加に伴って発生する圧電素子の変形により振動板を変形させることで液室内の圧力を変化させて、インク滴を吐出させるピエゾ方式のもの、液室内部に発熱体素子を配置し、通電による発熱体の加熱によって気泡を発生させ、気泡の圧力によってインク滴を吐出させるバブルジェット方式のものが一般に良く知られている。
【０００４】
また、例えば特開平２−２８９３５１号公報に記載されているように、Ｓiからなる液室の一部を形成する振動板と、この振動板に対向して配置された液室外の個別電極とを備え、振動板と電極との間に電界を印加することで発生する静電力により振動板を変形させて、液室内の圧力／体積を変化させることによりノズルからインク滴を吐出させる静電型のものも提案されている。
【０００５】
そして、これらのインクジェットヘッドにおいては、アクチュエータ手段とこのアクチュエータ手段に駆動波形を与える駆動回路を実装したプリント基板（以下、「ＰＣＢ基板」ともいう。）を搭載し、アクチュエータ手段とプリント基板とをフレキシブルプリント基板（以下、「ＦＰＣケーブル」ともいう。）を介して接続するようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、インクジェットヘッドは高集積化、高密度化に伴って高い部品精度が要求され、高い精度の部品を高い精度で組立てることによって初めて良好なヘッドが得られる。したがって、各組立工程毎に検査が必要なる。この検査としては、例えば圧電素子、特に積層型圧電素子をアクチュエータ手段に用いるインクジェットヘッドにあっては、圧電素子倒れ、ごみの付着、電極パターンの断線などの外観検査を主として行なっている。そのため、電気的な接続個所の良否判定は、目視で判断するか、最終検査工程である噴射検査で判断せざるを得ない。
【０００７】
しかしながら、各ノズル毎に駆動波形を印加したときの噴射結果で良否を判断しようとすると、噴射しない場合に、その噴射不良（噴射不能、滴速度が遅い状態など）がノズルの目詰まりに起因するのか、電気的な接続の欠陥に起因するものであるかを判別することは極めて困難である。
【０００８】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、噴射検査前に電気的な接続不良を事前に検査できるようにすることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１のインクジェットヘッドは、複数のノズルと、各ノズルが連通する吐出室と、各吐出室内のインクを加圧するエネルギーを発生するアクチュエータ手段とを備え、このアクチュエータ手段を設けた基板とは異なるプリント基板上に各アクチュエータ手段に駆動波形を与える駆動回路を実装したインクジェットヘッドにおいて、前記プリント基板には電気的接続の良否の判定に用いるチェックランドを設けた構成とした。
【００１０】
請求項２のインクジェットヘッドは、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記チェックランドは千鳥状に配置し、前記プリント基板に形成された電極パターンと同じピッチ又は電極パターンのピッチより広いピッチで、且つ、前記プリント基板の接合部から離れた位置に設けた構成とした。
【００１１】
請求項３のインクジェットヘッドは、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記チェックランドは千鳥状に配置し、四角形又は円形の形状で、且つ対角寸法又は径をプリント基板の電極部の幅よりも大きくした構成とした。
【００１２】
請求項４のインクジェットヘッドは、複数のノズルと、各ノズルが連通する吐出室と、各吐出室内のインクを加圧するエネルギーを発生するアクチュエータ手段とを備え、各アクチュエータ手段に駆動波形を与える駆動回路を実装したプリント基板を搭載し、前記アクチュエータ手段と前記プリント基板とをフレキシブルプリント基板を介して接続したインクジェットヘッドにおいて、前記フレキシブルプリント基板には前記プリント基板との接続部側に電気的接続の良否の判定に用いるチェックランドを設けた構成とした。
【００１３】
請求項５のインクジェットヘッドは、上記請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘッドにおいて、前記アクチュエータ手段が圧電素子、若しくは前記吐出室の壁面の一部を形成する振動板及びこれに対向する電極からなる構成とした。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。図１は本発明を適用したインクジェットヘッドの一例を示す分解斜視図、図２は同ヘッドの列間方向の要部拡大断面図、図３は同ヘッドのチャンネル間方向の要部拡大断面図である。
【００１５】
このインクジェットヘッドは、駆動ユニット１と、液室ユニット２と、ヘッドカバー３と、スペーサ部材４とを備えている。
駆動ユニット１は、チタン酸バリウム系セラミックからなる基板１１上に、複数の積層型圧電素子１２を列状に２列配置して接合し、これら２列の各圧電素子１２の周囲を取り囲む樹脂、セラミック等からなるフレーム部材１３を接着剤によって接合している。複数の圧電素子１２は、インクを液滴化して飛翔させるための駆動パルスが与えられる圧電素子（これを「駆動部」という。）１７，１７…と、駆動部１７，１７間に位置し、駆動パルスが与えられずに単に液室ユニット２を基板１１に固定する液室支柱部材となる圧電素子（これを「非駆動部」という。）１８，１８…とを交互に構成する。
【００１６】
ここで、圧電素子１２としては、図２に示すように、厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）２０と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡgＰd）からなる内部電極２１とを交互に積層した積層型圧電素子を用いている。
【００１７】
各圧電素子１２の内部電極２１は１層おきにＡgＰdからなる左右の端面電極２２，２３（２つの圧電素子列の対向する面側を端面電極２２とし、対向しない面側を端面電極２３とする。）に接続している。一方、基板１１上には、図１に示すようにＮi・Ａu蒸着、Ａuメッキ、ＡgＰtペースト印刷、ＡgＰdペースト印刷等によって共通電極２４及び個別電極２５の各パターンを設けている。
【００１８】
そして、各列の各圧電素子１２の対向する端面電極２２を導電性接着剤２６を介して共通電極２４に接続し、他方、各列の各圧電素子１２の対向しない端面電極２３を同じく導電性接着剤２６を介してそれぞれ個別電極２５に接続している。これにより、駆動部１７に駆動電圧を与えることによって、積層方向に電界が発生して、駆動部１７には積層方向の伸びの変位（ｄ３３方向の変位）が生起される。なお、共通電極２４は、図２にも示すように、フレーム部材１３に設けた穴１３ａ内に導電性接着剤２６を充填することで各圧電素子に接続されたパターンの導通を取っている。
【００１９】
一方、液室ユニット２は、金属材料、樹脂等からなる振動板３１と、ドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）からなる感光性樹脂層で形成した２層構造の液室隔壁部材３２と、金属材料からなるノズルプレート３３とを順次を積層し、熱融着して形成している。これらの各部材によって、１つの圧電素子１２（駆動部１７）と、この１つの圧電素子１２に対応するダイアフラム部３４と、各ダイアフラム部３４を介して加圧される加圧液室３５と、この加圧液室３５の両側に位置して加圧液室３５に供給するインクを導入する共通液室３６，３６と、加圧液室３５と共通液室３６，３６とを連通するインク供給路３７，３７と、加圧液室３５に連通するノズル３８とによって１つのチャンネルを形成し、このチャンネルを複数個２列設けている。
【００２０】
振動板３１は、金属材料、例えば電鋳工法によるＮiメッキ膜で形成したもので、駆動部１７に対応する前記ダイアフラム部３４と、非駆動部１８に接合する梁４１及びフレーム部材１３に接合するベース４２とを形成している。ダイアフラム部３４は、駆動部１７に接合する島状凸部４３と、この凸部４３の周囲に形成した厚み３〜１０μｍ程度の最薄膜部分（ダイアフラム領域）４４とからなる。
【００２１】
液室隔壁部材３２は、振動板３１側に予めドライフィルムレジストをラミネートして所要のマスクを用いて露光し、現像して所定の液室パターンを形成した第１感光性樹脂層４５と、ノズルプレート３３側に予めドライフィルムレジストをラミネートして所要のマスクを用いて露光し、現像して所定の液室パターンを形成した第２感光性樹脂層４６とを熱圧着で接合してなる。
【００２２】
ノズルプレート３３は金属材料、例えば電鋳工法によるＮiメッキ膜等で形成したもので、インク滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル３８を多数を形成している。このノズル３８の内部形状（内側形状）は、ホーン形状（略円柱形状又は略円錘台形状でもよい。）に形成している。また、このノズル３８の径はインク滴出口側の直径で約２５〜３５μｍである。
【００２３】
このノズルプレート３３のインク吐出面（ノズル表面側）は、図１に示すように撥水性の表面処理を施した撥水処理層４７としている。例えば、ＰＴＦＥ−Ｎi共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。
【００２４】
なお、駆動ユニット１の基板１１と圧電素子１２及びフレーム部材１３とは接着剤４９で接合して組付け、また、液室ユニット２も駆動ユニット１とは別個に加工、組立を行なった後、液室ユニット２の振動板３１と駆動ユニット１の圧電素子１２及びフレーム部材１３とを接着剤５０で接合してインクジェットヘッドとしている。
【００２５】
そして、基板１１をヘッド支持部材であるスペーサ部材（ヘッドホルダ）４上に支持して保持し、このスペーサ部材４内に配設したヘッド駆動用ＩＣ（駆動回路）を実装したＰＣＢ基板５２と駆動ユニット１の各圧電素子１２（駆動部１７）に接続した各電極２４，２５とをＦＰＣケーブル５３，５３を介して接続している。
【００２６】
また、ノズルカバー３は、ノズルプレート３３の周縁部及びヘッド側面を覆う箱状に形成した金属材料からなり、ノズルプレート３３の撥水処理層４７に対応して開口部を形成し、ノズルプレート３３の周縁部に接着剤にて接合している。さらに、このインクジェットヘッドには、図示しないインクカートリッジからのインクを液室に供給するため、スペーサ部材５１、基板１１、フレーム部材１３及び振動板３１にそれぞれインク供給穴５４〜５７を設けている。
【００２７】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、記録信号に応じて駆動部１７に駆動波形（１０〜５０Ｖのパルス電圧）を印加することによって、駆動部１７に積層方向の変位が生起し、振動板３１のダイアフラム部３４を介して加圧液室３５が加圧されて圧力が上昇し、ノズル３８からインク滴が吐出される。このとき、加圧液室３５から共通液室３６へ通じるインク供給路３７，３７方向へもインクの流れが発生するが、インク供給路３７，３７の断面積を狭小にすることで流体抵抗部として機能させて共通液室３６，３６側へのインクの流れを低減し、インク吐出効率の低下を防いでいる。
【００２８】
その後、インク滴吐出の終了に伴い、加圧液室３５内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性と駆動パルスの放電過程によって加圧液室３４内に負圧が発生してインク充填行程へ移行する。このとき、インクタンクから供給されたインクは共通液室３６，３６に流入し、共通液室３６，３６からインク供給路３７，３７を経て加圧液室３５内に充填される。そして、ノズル３８の出口付近のインクメニスカス面の振動が減衰し、表面張力によってノズル３８の出口付近に戻されて（リフィル）安定状態に至れば、次のインク滴吐出動作に移行する。
【００２９】
そこで、このインクジェットヘッドのＰＣＢ基板５２に本発明を適用した実施形態について図４乃至図６をも参照して説明する。なお、図４はＰＣＢ基板５２の裏面を示す平面説明図、図５は同基板の要部拡大説明図、図６は同基板の他の例を示す要部拡大説明図である。
【００３０】
ＰＣＢ基板５２にはＦＰＣケーブル５３と接合して接続するための電極接合部６１、６１を設けている。各電極接合部６１は、複数の電極６２からなり、このインクジェットヘッドでは１２８チャンネル（上下各６４チャンネル）としているので、各電極接合部６１にはそれぞれ６４個の電極６２を設けている。
【００３１】
そして、各電極接続部６１、６１に対応してＦＰＣケーブル５３とＰＣＢ基板５２との電気的接続の良否の判定に用いるチェックランド部６３、６３を設けている。各チェックランド部６３は電極接合部６１の電極６２に個々に対応する複数（この例では６４個）のチェックランド端子６４からなる。また、ＰＣＢ基板５２には、グランド（ＧＮＤ）端子６５、６６を設けている。
【００３２】
各チェックランド端子６４の形状は、例えば図５に示すように円形の形状としたり、図６に示すように四角形の形状とすることができるが、これに限られない。また、図５又は図６にも示すように、チェックランド端子６４は千鳥状に配置することにより、そのピッチＰ１は電極６２のピッチＰ２と同じかそれ以上の間隔にし、且つ、チェックランド部６２は電極接合部６１から離れた位置に設けている。
【００３３】
さらに、チェックランド端子６４は、図５に示すように円形状に形成したときにはその径Ｄが電極６２の幅Ｌよりも大きく、また図６に示すように四角形状に形成したときにはその対角寸法Ｃが電極６２の幅Ｌより大きくなるように形成している。ここでは、図５に示す例では、電極６２の幅Ｌを０．２ｍｍとしたときに、チェックランド端子６４の直径Ｄをφ０．４ｍｍの２倍にしている。また、図６に示す例では、電極６２の幅Ｌを０．２ｍｍとしたときに、チェックランド端子６４の対角寸法Ｃを約２．８倍にしている。
【００３４】
また、ＰＣＢ基板５２へのチェックランド部６３の形成方法について説明すると、電極接合部６１とチェックランド端子６４とは銅箔付き基板を用いて、マスキング露光した後に不要な銅箔を除去し、その後に、レジスト剤を塗布して電極部やチェックランド端子以外の箇所は絶縁処理する。最後にレジスト剤が塗布されていない箇所に金メッキを行い、耐食性、接続信頼性を得る。
【００３５】
このように構成したので、このインクジェットヘッドにおいては、基板１１の共通電極２４及び選択電極２５にＦＰＣケーブル５３，５３を接続した後、このＦＰＣケーブル５３，５３をＰＣＢ基板５２の電極接合部６１，６１に半田接続する。
【００３６】
そこで、ＦＰＣケーブル５３を電極接合部６１に接続した後、チェックランド部６３のチェックランド端子６４とＧＮＤ端子６５、６６間で各チャンネルの圧電素子１２の静電容量値を測定して、この測定結果が予め定めた基準値に入っているか否かを確認することで、電気的接続が良好に行われているか否か（良否）を判定することができる。
【００３７】
このようにＰＣＢ基板に電気的接続の良否を判定するために用いるチェックランドを設けることによって、噴射検査を行わないでも、電気的接続の良否を判定できるようになり、噴射検査前に不良品を工程から落とすことができ、無駄な噴射検査を行う必要がなくなる。
【００３８】
この場合、電気的検査はＦＰＣケーブル５３とＰＣＢ基板５２との接続状態を検査するために実施するが、生産性を考慮して検査はＰＣＢ基板５２のチェックランド部６３にピンプローブを接触させて各チャンネルの圧電素子１２の容量をスイッチングすることで計測する。このとき、プローブを接触させるチェックランド部６３をＦＰＣケーブル５３と半田接続する電極接合部６１と異なる位置に設けることで、プローブをチェックランド端子６４に接触させるときにＦＰＣケーブル５３を断線させたり、プローブとチェックランド端子６５ａとの接続不安定性が解消される。
【００３９】
また、チェックランド端子６４へのピンプローブの接触は画像認識でアライメントマークを直接検出して、予め認識しているピンプローブの位置と照合させながら行うが、このときプローブ自身の位置精度、アライメントマーク認識精度、プローブを接触するときの機械的な誤差などから、チェックランド端子６４の幅を電極６２の幅と同一にすると、プローブがチェックランド端子６４からはずれた状態で接触する可能性がある。
【００４０】
したがって、上述したようにチェックランド端子６４を電極６２より大きく形成することによって、プローブとチェックランド端子６４との接触誤差を吸収して、確実にプローブとチェックランド端子６４とを接触させることができ、画像認識時間などを含めた検査時間の短縮を図れる。ただし、チェックランド端子６５ａをあまり大きくしすぎると、駆動電圧を印加するときに隣接間で短絡する恐れが生じるので、上述したように円形状のチェックランド端子６４についてはその径を電極幅の２倍にし、四角形状のチェックランド端子６４についてはその対角寸法を電極幅の約２．８倍にしている。
【００４１】
次に、上記インクジェットヘッドのＦＰＣケーブル５３に本発明を適用した実施形態について図７乃至図９を参照して説明する。なお、図７はＦＰＣケーブル５３の平面説明図、図８は同ケーブルと基板及びＰＣＢ基板との接続の説明に供する説明図、図９は同ケーブルにチェックランド端子を設けた状態を説明する説明図である。
【００４２】
ＦＰＣケーブル５３は、図７及び図８に示すように、基板１１の共通電極２４及び個別電極２５と接続するための接続部７１と、ＰＣＢ基板５２の電極接合部と接続するための接続部７２とを有している。
【００４３】
そして、このＦＰＣケーブル５３は、図９に示すように、ベース材７３上に銅箔７４を形成してレジスト剤７５で被覆し、接続部７２側端部では銅箔７４上のレジスト剤７５を除去して、ＰＣＢ基板５２の電極接合部と接合するための半田層７６を設け、またベース材７３を除去して銅箔７４を露出させることで、チェックランド端子７７を形成している。
【００４４】
このようなＦＰＣケーブル５３は、銅箔７４付きベース材７３（通常はポリイミドフィルム）をマスク露光してパターニング形成する。その後、レジスト剤を塗布して半田メッキを施す以外の箇所を除去する。この除去工程も感光性のレジスト剤を用いてエッチング除去する。次に、レジスト剤７５によって被覆されていない箇所は半田メッキをすることで半田層７６を形成して半田接合が可能なようにする。最後に、半田層７６の反対側の面のベース材７３を除去してチェックランド端子７７を形成する。このベース材７３の除去はエキシマレーザーなどによってアブレーション加工によって除去できる。
【００４５】
このように構成したので、ＦＰＣケーブル５３のチェックランド端子７７に図９に示すようにプローブ７８を接触させて圧電素子１２の静電容量値を測定することで電気的接続の良否を判定することができる。これにより、前述した実施形態と同様の作用効果が得られると共に、ＰＣＢ基板５２にチェックランド端子を設ける場合よりも簡素化を図れ、また電極面に直接プローブを接触できるのでの信頼性も向上する。
【００４６】
なお、上記実施形態においては本発明をピエゾ型インクジェットヘッドに適用した例で説明したが、発熱抵抗体を用いるインクジェットヘッドや静電型インクジェットヘッドにも同様に適用することができる。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１のインクジェットヘッドによれば、アクチュエータ手段に駆動波形を与える駆動回路を実装したプリント基板に電気的接続の良否の判定に用いるチェックランドを設けたので、組立工程の途中での電気的接続の検査が可能になり、噴射検査工程前にヘッドの良否を判定することができて、生産性の向上と不良解析が可能になり、歩留まりを向上できる。
【００４８】
請求項２のインクジェットヘッドによれば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、チェックランドは千鳥状に配置し、プリント基板に形成された電極パターンと同じピッチ又は電極パターンのピッチより広いピッチで、且つ、プリント基板の接合部から離れた位置に設けたので、プローブを接触させるときの位置合わせが容易になり、またＦＰＣケーブルの断線や接触の不安定さをなくすることができる。
【００４９】
請求項３のインクジェットヘッドによれば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、チェックランドは千鳥状に配置し、四角形又は円形の形状で、且つ対角寸法又は径をプリント基板の電極部の幅よりも大きくしたので、自動計測する際に生じる位置検出誤差、プローブ位置精度誤差、機械系のガタなどプローブをチェックランド端子に接触させる際に生じ得る誤差による計測不良を低減することができる。
【００５０】
請求項４のインクジェットヘッドによれば、アクチュエータ手段とプリント基板とを接続するフレキシブルプリント基板にはプリント基板との接続部側に電気的接続の良否の判定に用いるチェックランドを設けた構成としたので、組立工程の途中での電気的接続の検査が可能になり、噴射検査工程前にヘッドの良否を判定することができて、生産性の向上と不良解析が可能になり、歩留まりを向上できると共に、プリント基板にチェックランド端子を設けるよりもプリント基板の簡素化を図れ、また検査時の接続信頼性が向上する。
【００５１】
請求項５のインクジェットヘッドによれば、上記請求項１乃至４のいずれかのインクジェットヘッドにおいて、アクチュエータ手段が圧電素子、若しくは前記吐出室の壁面の一部を形成する振動板及びこれに対向する電極からなる構成としたので、ピエゾ型インクジェットヘッド或いは静電型インクジェットヘッドの電気的接続の良否を組み立て途中で検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したインクジェットヘッドの一例を示す分解斜視図
【図２】同ヘッドの列間方向の要部拡大断面図
【図３】同ヘッドのチャンネル間方向の要部拡大断面図
【図４】本発明を同ヘッドのＰＣＢ基板に適用した例を示すＰＣＢ基板の裏側から見た説明図
【図５】同基板の要部拡大説明図
【図６】同基板の他の例を示す要部拡大説明図
【図７】本発明を同ヘッドのＦＰＣケーブルに適用した例を示すＦＰＣケーブルの説明図
【図８】同ＦＰＣケーブルと基板及びＰＣＢ基板との接続部を説明する説明図
【図９】同ＦＰＣケーブルの接続部の拡大説明図
【符号の説明】
１…駆動ユニット、２…液室ユニット、３…ノズルカバー、４…スペーサ部材、１１…基板、１２…圧電素子、１３…フレーム部材、１３ｂ…貫通穴、２４…共通電極、３１…振動板、３２…液室隔壁部材、３３…ノズルプレート、５２…ＰＣＢ基板、５３…ＦＰＣケーブル、６１…電極接続部、６３…チェックランド部、６４…チェックランド端子、７７…チェックランド端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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