(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平方向に回転するターンテーブルを設け、このターンテーブルの同一円周上に位置して被洗浄物が収納可能な複数の筒型の処理槽を設け、この処理槽の少なくとも１個の処理槽を除く前記各処理槽を介して上下一対の蓋体を対向配置し、その上下の蓋体の少なくとも何れか一方を昇降させて前記処理槽を密閉する昇降手段と、前記蓋体に連通して前記被洗浄物の洗浄・乾燥処理する洗浄・乾燥ユニットとを備えた洗浄装置であって、前記ターンテーブルを間歇的に回転させて被洗浄物を組み込みこんだ処理槽を洗浄・乾燥位置へと順次回転移送するように構成すると共に、前記各処理槽は前記ターンテーブルにバネを介して上下動自在に組み込まれ、前記上下各蓋体は各処理槽と僅かな隙間を保って保持され、前記ターンテーブルの停止時に、前記昇降手段により前記上部又は下部蓋体を昇降させて前記ターンテーブルに組み付けた各処理槽に押し付け、更に、前記バネで支持された各処理槽を同体的に昇降させて前記各処理槽を洗浄装置本体の枠状フレームの底部に立設された支柱に固定されている固定板に固定した前記上部又は下部蓋部に押し付けることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
洗浄・乾燥工程が完了した被洗浄物を収納した処理槽を回転して開口させ、この位置を前記被洗浄物の組み込み及び取り出し位置としたことを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
洗浄ユニットは洗浄液又はリンス洗浄液を溜める貯水槽と、密閉した前記処理槽内に前記洗浄液又はリンス洗浄液を高圧噴射する噴射手段と、この噴射手段から被洗浄物に向けて噴射された洗浄液又はリンス洗浄液を貯水槽内に循環させる循環パイプとを有するとともに、乾燥ユニットは密閉した前記処理槽内に熱風を送る送風手段と、この送風手段から前記処理槽へ送られる熱風を処理槽の外部に排出する排気パイプを備えたことを特徴とする請求項１又は２記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、独立した複数の処理工程により被洗浄物を洗浄する洗浄装置に係るもので、例えば、各種精密加工部品やプリント回路基板、シリコンウェハーなどの各種電子部品を洗浄する洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の洗浄装置として特開昭５５−９９３７５号公報には、粗洗浄槽、超音波洗浄槽、蒸気洗浄槽を並設し、ロータリハンガーによって被洗浄物を収容したバケットを吊下げた状態で順次粗洗浄槽、超音波洗浄槽、蒸気洗浄槽に搬送し、洗浄時においてロータリハンガーに吊下げたバケットを降下させて、粗洗浄槽、超音波洗浄槽内に溜めた洗浄液に被洗浄物を浸漬して洗浄した後、蒸気洗浄槽によって被洗浄物に付着した洗浄液を除去してから搬出するように構成した洗浄装置が開示されている。
【０００３】
しかし、このように、多数の洗浄槽を並設した洗浄装置においては、各洗浄槽を設置する広いスペースが必要であるため装置が大型化する。さらに、被洗浄物の洗浄工程において、被洗浄物を各洗浄槽の上部に搬送し、これを降下させて、各洗浄槽内の洗浄液に被洗浄物を浸漬して洗浄した後、被洗浄物を引き上げて次洗浄工程に搬送することから、被洗浄物を取り出すための昇降ストロークを確保する必要があるため、装置の全高も高くなるから、一層、装置が大型化する。しかも、洗浄工程が変わるたびに被洗浄物を昇降させる必要があり、処理に要する時間が長く、効率的な洗浄作業が行えない。
【０００４】
本発明はこれらの問題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、洗浄装置の小型化を図ると共に処理に要する時間が比較的短い洗浄装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１の洗浄装置は、水平方向に回転するターンテーブルを設け、このターンテーブルの同一円周上に位置して被洗浄物が収納可能な複数の筒型の処理槽を設け、この処理槽の少なくとも１個の処理槽を除く前記各処理槽を介して上下一対の蓋体を対向配置し、その上下の蓋体の少なくとも何れか一方を昇降させて前記処理槽を密閉する昇降手段と、前記蓋体に連通して前記被洗浄物の洗浄・乾燥処理する洗浄・乾燥ユニットとを備えた洗浄装置であって、前記ターンテーブルを間歇的に回転させて被洗浄物を組み込みこんだ処理槽を洗浄・乾燥位置へと順次回転移送するように構成すると共に、前記各処理槽は前記ターンテーブルにバネを介して上下動自在に組み込まれ、前記上下各蓋体は各処理槽と僅かな隙間を保って保持され、前記ターンテーブルの停止時に、前記昇降手段により前記上部又は下部蓋体を昇降させて前記ターンテーブルに組み付けた各処理槽に押し付け、更に、前記バネで支持された各処理槽を同体的に昇降させて前記各処理槽を洗浄装置本体の枠状フレームの底部に立設された支柱に固定されている固定板に固定した前記上部又は下部蓋部に押し付けることを特徴とするものである。
【０００６】
請求項１の構成により、ターンテーブルを中心として洗浄・乾燥ユニットをコンパクトに配置することができるとともに、被洗浄物は処理槽内に収納した状態のままターンテーブルを間歇的に回転させて洗浄・乾燥位置に短時間で搬送することが可能である。また、洗浄工程・乾燥工程が切り変わる毎の被洗浄物を処理槽から出入りさせる必要がないから、処理に要する時間が短縮化される。また、ターンテーブルを回転させる際、上下各蓋体と各処理槽との間に僅かな隙間が保持されるから、確実にターンテーブルを回転させるができるとともに、洗浄時には上下各蓋体で各処理槽を密閉して効果的に洗浄・乾燥処理することが可能となる。
【０００７】
本発明の請求項２の洗浄装置は、請求項１記載の洗浄装置において、洗浄・乾燥工程が完了した被洗浄物を収納した処理槽を回転して開口させ、この位置を前記被洗浄物の組み込み及び取り出し位置としたものである。
【０００８】
請求項２の構成により、洗浄・乾燥工程が完了した被洗浄物を回転させて取り出し位置に搬送することで、処理槽内から被洗浄物を容易に取り出すことができ、この後、空の処理槽に被洗浄物を組み込み、テーブルの回転により、処理槽内の被洗浄物は洗浄・乾燥ユニットへと搬送される。
【０００９】
本発明の請求項３の洗浄装置は、請求項１又は２記載の洗浄装置において、前記洗浄ユニットは洗浄液又はリンス洗浄液を溜める貯水槽と、密閉した前記処理槽内に前記洗浄液又はリンス洗浄液を高圧噴射する噴射手段と、この噴射手段から被洗浄物に向けて噴射された洗浄液又はリンス洗浄液を処理槽内に循環させる循環パイプとを有するとともに、前記乾燥ユニットは密閉した前記処理槽内に熱風を送る送風手段と、この送風手段から前記処理槽へ送られる熱風を処理槽の外部に排出する排気パイプを備えたものである。
【００１０】
請求項３の構成により、上下の蓋体で密閉した処理槽に収納した被洗浄物に向けて洗浄液を高圧噴出することにより、高圧洗浄液は被洗浄物の表面及び密閉した処理槽の内周面に激しく当たって乱流が生じ、被洗浄物の表面を効果的に洗浄を行うことができる。こうして洗浄が完了した後、密閉した処理槽に収納した被洗浄物に向けて熱風を送風することにより、被洗浄物を効率的に乾燥することができる。
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【発明の実施形態】
以下、本発明の実施例を添付図面を参照して説明する。図１〜図３は、本発明の一実施例を示しており、同図において、１は洗浄装置本体である。洗浄装置本体１は水平回動自在に設けたターンテーブル２を備え、このターンテーブル２に被洗浄物Ｗを収容する筒型の処理槽３を取り付ける複数の開口部４が形成されている。処理槽３の上下周縁にはフランジ部５,６が形成され、前記ターンテーブル２に形成した開口部４に処理槽３を挿入した際、上部フランジ部５をターンテーブル２上に載置することによってターンテーブル２に処理槽３を吊下げ保持している。また、ターンテーブル２に取り付ける処理槽３は、上部フランジ部５とターンテーブル２との間に介在するバネ７によってターンテーブル２上から僅かに浮き上がった状態で上下動自在に取り付けられている。なお、本実施例ではターンテーブル２には５つの処理槽３が同一円周上に位置して等間隔毎に取り付けられている。
【００１４】
前記ターンテーブル２の中央部には上下に貫通した回転軸９が一体的に固着されている。また、前記洗浄装置本体１の枠状フレーム１Ａの底部には、上端部に固定板10を固定した支柱11が立設されるとともに、前記枠状フレーム１Ａの天板の内面には取付枠12が固定されている。この取付枠12の底板13と前記固定板10との間に前記回転軸９を軸受14によって回動自在に軸支している。前記取付枠12の底板13には回転軸９を駆動する駆動モータ15が固定され、この駆動モータ15によって回転軸９を間歇的に回転駆動することによって、回転軸９に一体化した前記ターンテーブル２及びターンテーブル２に組み付けた各処理槽３を一斉に回転移送するように構成している。前記処理槽３の回転に伴う移送経路に沿って前記処理槽３を密閉する上下一対の蓋体20,20Ａが設けられている。この蓋体20,20Ａは１つの処理槽３を除いて残った他の処理槽３に対応して設けられている。この上下の蓋体20,20Ａはそれぞれドーム状に形成され、上部蓋体20が前記取付枠12の底板13に固定され、一方、下部蓋体20Ａは前記固定板10にそれぞれ固定されている。また、前記上部蓋体20は昇降手段たるシリンダ21により昇降自在に取り付けられており、前記ターンテーブル２の回転時には、上部蓋体20は上限位置にあり、ターンテーブル２に組み付けた処理槽３と上下の蓋体20,20Ａとの間には僅かな隙間が形成される。そして、ターンテーブル２の停止時に、前記シリンダ21により上部蓋体20を降下させてターンテーブル２に組み付けた各処理槽３に押し付け、さらに、バネ７で支持された各処理槽３を同体的に降下させて該各処理槽３を固定板10に固定した下部蓋体20Ａに押し付ける。これにより、上下各蓋体20,20Ａで各処理槽３を密閉する。なお、上下の各蓋体20,20Ａは５つの処理槽３に対して１つ少ない上下４組の各蓋体20,20Ａが設けられており、各蓋体20,20Ａで処理槽３を密閉した際、洗浄装置本体１の最も前側に位置する一つの処理槽３には開口する。この位置が処理槽３への被洗浄物Ｗの組み込み・取出し位置Ａとなる。
【００１５】
また、各蓋体20,20Ａの取り付け位置に隣接して第１〜第３の洗浄ユニット25、26、27と乾燥ユニット28が設けられている。各洗浄ユニット25、26、27にはそれぞれ洗浄液を溜める貯水槽29及びその貯水槽29内の洗浄液を噴射する噴射手段としての洗浄用ポンプ30が備えられている。なお、洗浄用ポンプ29と前記下部蓋体20Ａとはパイプ32で連通し、さらに、上下各蓋体20,20Ａと洗浄槽28とを循環パイプ33,34で連通している。また、乾燥ユニット28は、送風手段たるブロアモータ40、熱風ヒータ41、フィルタ42を備えている。そして、乾燥ユニット28と上部蓋体20とがパイプ45で連通するとともに、上部蓋体20Ａには、乾燥ユニット28を外部に放出する排気パイプ46が連通している。
【００１６】
次に、本実施例の作用を説明する。組み込み・取出し位置Ａとなる洗浄装置本体１の処理槽３は常に開口しており、処理槽３内に組み付けたバケットＣに被洗浄物Ｗを入れる。この被洗浄物Ｗの搬入は手動操作でもハンバーなどのクランプ手段などによりバケットＣを処理槽３内に自動的に搬入するようにしてもよい。このようにして、処理槽３内に被洗浄物Ｗを搬入した後、駆動モータ15を駆動してターンテーブル２を間歇的に回転させる。なお、テーブル２には５つの処理槽３が等間隔毎に組み付けられ、テーブル２は７２度のピッチで間歇的に回転するように制御される。これにより、被洗浄物Ｗを収納した処理槽３が第１の洗浄ユニット25の洗浄位置、すなわち、上下各蓋体20,20Ａの間で停止する。テーブル２が停止すると、シリンダ21により各上部蓋体20を一斉に降下させ、上部蓋体20をそれぞれ処理槽３に押し付ける。テーブル２に組み付けた上部蓋体20はバネ７によってターンテーブル２上から僅かに浮き上がった状態で上下動自在に取り付けられているため、上部蓋体20によって押し付けられた処理槽３は降下し、固定板10に固定した下部蓋体20Ａに当接し、処理槽３が上下の蓋体20,20Ａにより密閉される。こうして処理槽３を上下の蓋体20,20Ａで密閉した状態で第１の洗浄ユニット25の洗浄用ポンプ30により、貯水槽29内の洗浄液を下部蓋体20Ａから高圧噴射する。この高圧で噴射され洗浄液は筒状の処理槽３を通って上部蓋体20、循環パイプ33から貯水槽29内に循環する。このように、密閉した処理槽３に収納した被洗浄物Ｗに向けて洗浄液を高圧噴出することにより、高圧洗浄液は被洗浄物Ｗの表面及び密閉した処理槽３の内周面に激しく当たって乱流が生じ、被洗浄物Ｗの表面を効果的に洗浄を行うことができる。こうして第１の洗浄ユニット25で被洗浄物Ｗの洗浄が完了した後、シリンダ21を作動し、上部蓋体20を一斉に上昇させる。これにより、上下各蓋体20,20Ａが洗浄槽３から離れ、洗浄槽３はバネ７によって復帰し、上下各蓋体20,20Ａと処理槽３との間に僅かな隙間が生じる。これによりテーブル２の回転が可能となり、前記駆動モータ15の作動により、前記と同様の手段で、テーブル２を回転させて洗浄槽３内の被洗浄物Ｗを第２の洗浄ユニット26へ回転移送する。
【００１７】
被洗浄物Ｗが第２の洗浄ユニット26の洗浄位置で停止すると、上部蓋体20,20Ａはシリンダ21によって一斉に降下し、洗浄槽３が密閉される。この後、第２の洗浄ユニット26の洗浄用ポンプ30を作動し、貯水槽29内のリンス洗浄液を被洗浄物Ｗに噴射してリンス洗浄が行われる。このリンス洗浄工程時においても前述した洗浄工程と同様、上下の蓋体20,20Ａで処理槽３を密閉した状態で洗浄用ポンプ30から被洗浄物Ｗに向けてリンス洗浄が高圧噴射され、被洗浄物Ｗに残留する洗浄液などが除去される。
【００１８】
リンス洗浄が完了すると、前記と同様な手段により、テーブル２を回転させて洗浄槽３内の被洗浄物Ｗを第３の洗浄ユニット27へ回転移送する。ここでは、純水などの濯ぎ液で被洗浄物Ｗに残留するリンス洗浄液を除去する。この濯ぎ工程は、前述した洗浄、リンス洗浄と同様、上下の蓋体20,20Ａで処理槽３を密閉した状態で洗浄用ポンプ30から被洗浄物Ｗに向けて純水が高圧噴射され、被洗浄物Ｗに残留するリンス液などが除去し、洗浄工程が完了する。
【００１９】
洗浄工程が完了すると、前記と同様な手段により、テーブル２を回転させて洗浄槽３内の被洗浄物Ｗを乾燥ユニット28へ回転移送する。ここでは、上下の蓋体20,20Ａで処理槽３を密閉した状態でブロアモータ40で送られた空気が熱風ヒータ41で加熱し、フィルタ42で濾過した熱風を被洗浄物Ｗに吹き付けて被洗浄物Ｗを乾燥させて水切りを行う。こうして洗浄・乾燥サイクルが終了する。
【００２０】
被洗浄物Ｗの洗浄・乾燥サイクルが終了すると、テーブル２を回転させて被洗浄物Ｗは組み込み・取出し位置Ａへと送られる。すなわち、組み込み・取出し位置Ａは上下の蓋体20,20Ａがないから、処理槽３は開口し、洗浄・乾燥処理された被洗浄物Ｗの取り出しが可能となる。こうして、処理槽３から被洗浄物Ｗの取り出した後、空になった処理槽３に再び被洗浄物Ｗを収納し、再びテーブル２を回転させて前述した洗浄サイクルを行う。
【００２１】
このように、本実施例では、ターンテーブル２に複数の処理槽３を同一円周上に配置し、その処理槽３に対応して処理槽３を密閉する上下の蓋体20,20Ａと被洗浄物Ｗの洗浄サイクルを行う第１〜第３の洗浄ユニット第１〜第３の洗浄ユニット25、26、27と乾燥ユニット28を配置したことにより、ターンテーブル２を中心として第１〜第３の洗浄ユニット25、26、27と乾燥ユニット28をコンパクトに配置することができる。また、従来は、バケットに収納した被洗浄物をバケットをハンガーで吊下げた状態で並設した他数の各洗浄槽に被洗浄物を搬送する場合、次工程の洗浄工程へ移行する際、洗浄槽から完全に被洗浄物を引き上げた状態で隣接する洗浄槽の上方まで搬送し、これを洗浄槽内に降下するように構成していたので、被洗浄物を昇降させる上下の搬送ストロークを確保するには装置全体を高くする必要がある。しかし、本実施例では、被洗浄物Ｗは処理槽３内に収納した状態のままターンテーブル２を間歇的に回転させて第１〜第３の洗浄ユニット25、26、27の洗浄位置と乾燥ユニット28の乾燥位置に搬送することから、被洗浄物Ｗを引き上げて処理槽３から出入りさせる必要がないため、装置の高さも抑えられ、より小型化することができる。また、本実施例では、被洗浄物Ｗを回転させる際、処理槽３と上下の蓋体20,20Ａとの間に僅かな隙間が形成され、被洗浄物Ｗを搬送する際、ターンテーブル２がスムーズに回転する。そして、被洗浄物Ｗを洗浄する際、上部蓋体20をシリンダ21で降下させることによって、上部蓋体20で処理槽３の上部開口部を密閉した状態で処理槽３を下方側に押し下げ、処理槽３をバネ７の付勢力に抗して降下させて処理槽３の下部開口部を下部蓋体20Ａによって密閉する。このように、上部蓋体20を僅かに降下させるだけで、上下の蓋体20,20Ａで処理槽３を密閉することができるとともに、被洗浄物Ｗを処理槽３に収納した状態のまま、ターンテーブル２の回転により被洗浄物Ｗを洗浄することにより、搬送時間を短縮化することが可能となるから、効率的に洗浄処理を行うことができる。また、上下の蓋体20,20Ａで密閉した処理槽３に収納した被洗浄物Ｗに向けて洗浄液を高圧噴出することにより、高圧洗浄液は被洗浄物Ｗの表面及び密閉した処理槽３の内周面に激しく当たって乱流が生じ、被洗浄物Ｗの表面を効果的に洗浄を行うことができる。
【００２２】
以上、本実施例を詳述したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、ターンテーブルや処理槽を密閉する昇降手段は前記実施例に限るものではない。また、ターンテーブルに組み込む処理槽、ひいてはターンテーブルの周縁に配置する洗浄ユニットの数も前記実施例に限定されるものではない。さらに、１つの処理槽を常に開口させて、この位置を組み込み・取出し位置とした例を示したが、２つの処理槽を常に開口させて組み込み位置と取出し位置とを分けてもよい。また、処理槽への被洗浄物の組み込みと取出しは自動化が可能である。
【００２３】
【発明の効果】
本発明の請求項１の洗浄装置は、水平方向に回転するターンテーブルを設け、このターンテーブルの同一円周上に位置して被洗浄物が収納可能な複数の筒型の処理槽を設け、この処理槽の少なくとも１個の処理槽を除く前記各処理槽を介して上下一対の蓋体を対向配置し、その上下の蓋体の少なくとも何れか一方を昇降させて前記処理槽を密閉する昇降手段と、前記蓋体に連通して前記被洗浄物の洗浄・乾燥処理する洗浄・乾燥ユニットとを備えた洗浄装置であって、前記ターンテーブルを間歇的に回転させて被洗浄物を組み込みこんだ処理槽を洗浄・乾燥位置へと順次回転移送するように構成したものであるから、ターンテーブルを中心として洗浄・乾燥ユニットをコンパクトに配置することができるとともに、被洗浄物は処理槽内に収納した状態のままターンテーブルを間歇的に回転させて洗浄・乾燥位置に短時間で搬送することができるから、効率的に洗浄工程・乾燥工程を処理できる。また、前記各処理槽は前記ターンテーブルにバネを介して上下動自在に組み込まれ、前記上下各蓋体は各処理槽と僅かな隙間を保って保持され、前記昇降手段により上部蓋体と各処理槽とを降下させて前記処理槽を下部蓋体に密着させたものであるから、ターンテーブルを回転させる際、上下各蓋体と各処理槽との間に僅かな隙間が保持され、確実にターンテーブルを回転させることができるとともに、洗浄時には上下各蓋体で各処理槽を確実に密閉することが可能となる。
【００２４】
本発明の請求項２の洗浄装置によれば、請求項１記載の洗浄装置において、洗浄・乾燥工程が完了した被洗浄物を収納した処理槽を回転して開口させ、この位置を前記被洗浄物の組み込み及び取り出し位置としたものであるから、洗浄・乾燥工程が完了した被洗浄物を取り出し位置へと回転搬送し、処理槽内から被洗浄物を容易に取り出すことができ、この後、空の処理槽に被洗浄物を組み込み、テーブルの回転により、処理槽内の被洗浄物を洗浄・乾燥処理することができる。
【００２５】
本発明の請求項３の洗浄装置によれば、請求項１〜３の何れか１項記載の洗浄装置において、前記洗浄ユニットは洗浄液又はリンス洗浄液を溜める貯水槽と、密閉した前記処理槽内に前記洗浄液又はリンス洗浄液を高圧噴射する噴射手段と、この噴射手段から被洗浄物に向けて噴射された洗浄液又はリンス洗浄液を貯水槽内に循環させる循環パイプとを有するとともに、前記乾燥ユニットは密閉した前記処理槽内に熱風を送る送風手段と、この送風手段から前記処理槽へ送られる熱風を処理槽の外部に排出する排気パイプを備えたものであるから、被洗浄物の表面を効果的に洗浄を行うことができるとともに洗浄が完了した被洗浄物を効率的に乾燥することができる。
【００２６】
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例を示す洗浄装置の正面図である。
【図２】  同上洗浄装置の平面から見た断面図である。
【図３】  同上洗浄装置を側面方向から見た断面図である。
【符号の説明】
１  洗浄装置
２  ターンテーブル
20,20Ａ  蓋体
21  シリンダ（昇降手段）
25,26,27  洗浄ユニット
28  乾燥ユニット
29  貯水槽
30  洗浄用ポンプ（噴射手段）
33,34  循環パイプ
40  ブロアモータ（送風手段）
46  排気パイプ
Ａ  組み込み・取出し位置
【図１】
0003635659.tif 000002
【図２】
0003635659.tif 000003
【図３】
0003635659.tif 000004