(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
略円筒形のアルミニウム系金属材の軸部分にニッケル、鉄、コバルトから選ばれる金属材もしくはこれらの合金材が配され、軸部分の重量は８〜３３ｗｔ％であり、外径がφ３ｍｍ以下、長さが１００ｍ以上かつ、抗張力は１５０（Ｎ／ｍｍ２）以上であることを特徴とする複合真空蒸着素材。
【請求項２】
ニッケル、鉄、コバルトから選ばれる金属もしくはこれらの合金の線材表面にアルミニウム系金属線材を摩擦力を利用し熔圧着的金属間接合で被覆し第１母材を形成する工程、前記第１母材を減面率９７％以内まで冷間線引きし第２母材を得る工程と、前記第２母材を切断して所定の長さに分割して複合真空蒸着材を得る工程を備えることを特徴とする複合真空蒸着材の製造方法。
【請求項３】
前記、軸部分の金属材もしくはこれらの合金材と略円筒形のアルミニウム系金属材の接合が、熔圧着的金属間接合である請求項１記載の複合真空蒸着素材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、放熱効果の高い膜の作製に用いる蒸着材に関し、例えばブラウン管の内壁に設ける放熱用膜を製造する際に用いる蒸着材に係わる。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器には、電流の供給や電子の放出といった動作に伴って発熱する部品が使用されている。このような部品であるブラウン管や３極管等の電子管には、例えば、蓄熱による動作不良を避けるために、熱を逃がす放熱板や放熱膜が設けられることがある。ブラウン管の場合、その内壁にアルミニウム膜を蒸着して単層の放熱膜としたり、さらにアルミニウム膜の上にカーボン膜を吹き付けしたり塗布して、２層の放熱膜を設けていた。単層膜よりも２層以上の膜で放熱膜を構成することが多い。特にブラウン管の場合は、輝度を得るため反射率の高いアルミニウム膜が用いられている。また、２層以上の膜の場合、各々の層の組成は全く別の元素で構成されていた。
【０００３】
これらの従来技術において、１回の蒸着作業で蒸着初期と終期で組成の異なる膜を作製する方法は、ほとんど検討されていない。本来、蒸着作業は蒸着初期と終期で蒸着膜に組成差がない均一な蒸着膜を得ることを主目的に技術検討されているため、蒸着初期と終期で組成の異なる膜を作製するには、初期蒸着材（Ａ蒸着材と言う）を蒸発トレーに載せ蒸発させた後、初期蒸着材と異なった蒸着材（Ｂ蒸着材と言う）を再度蒸発トレーに載せ、蒸発させる事で実現させてきた。ただし、この方法ではＡ組成膜とＢ組成膜が完全に分離した２層構造の蒸着膜となるが、２回の蒸着作業が必要となる。
【０００４】
発明者らは、これらを解決する方策として、１回の蒸着作業で蒸着初期と終期で大きく組成の異なる膜が得られるクラッドワイヤー型蒸着材を開発し既に出願し特開２０００−８７２２０で開示されている。同クラッドワイヤー型蒸着材は、高蒸気圧の金属の軸部分に低蒸気圧金属を配した蒸着材である。製造方法としては、高蒸気圧金属パイプに低蒸気圧金属棒を挿入し、冷間線引きを行ない金属パイプと金属棒を一体化するものである。
【０００５】
ブラウン管の内壁に蒸着膜を付ける蒸着装置において、蒸着材の蒸発トレーへの供給自動化を行う方法には、大きく分けて２種類の方法がある。第１の方法は、所定の寸法に切断した蒸着材をパーツフィーダー等で整列および搬送して、ロボット等で摘み上げ蒸発トレーに供給する。第２の方法としては長尺の蒸着材をスプロールに巻取り、これを装置に供給するものである。スプロールより蒸着材を引き出し、真空蒸着装置に付属した切断装置で蒸発トレー上で所定の寸法に蒸着材を切断、もしくは蒸発トレー上以外の場所で切断して、切断装置に付属したアームで蒸発トレーに供給する方式がある。蒸着膜の膜厚は蒸着材の体積（重量）に略比例するため、蒸着膜厚を制御する上で蒸着材の体積（重量）は正確にする必要がある。φ２〜３ｍｍ＊７〜１５ｍｍ長さの丸棒形状の蒸着材の場合、外形寸法φは±０．０５ｍｍ、長さは±０．１ｍｍ以下の精度が要求される。スプロールを頻繁に交換する事を避けるため、スプロールには数１００ｍ以上の連続した蒸着材が巻かれていることが求められる。また、第１の方法においても長尺の蒸着材を用いる事が、切断作業の効率上から好ましいのは言うまでもない。
【０００６】
【発明の解決しようとする課題】
従来のパイプに金属棒を挿入し冷間線引きする方法では、製造出来る長さに限界があった。例えば、外径φ１２ｍｍｘ内径φ３．５ｍｍｘ長さ１ｍのアルミニウムパイプに外径φ３ｍｍｘ長さ１ｍの鉄棒を挿入し、外径φ２ｍｍまで冷間線引きした時得られる蒸着材の長さは、約３３ｍである。例えば３００ｍの長尺の蒸着材を得るには、初期のパイプ長さを約９．２ｍとする必要がある。９ｍ以上のパイプの内径φ３．５ｍｍにφ３ｍｍの鉄棒を挿入することは作業性上難しいものである。また、ドローベンチと称される直線方向に線引きする装置も非常に大掛かりなものとなってしまう。冷間線引きの途中で蒸着材を熔接で繋ぎ更に冷間線引きを行ない長尺品を得る方法が考えられるが、熔接部分は組成が変わってしまうため除去する必要がある。熔接部分を検出し除去する装置を前記切断装置に付加する必要がある。また、アルミニウム中の鉄量を数％以内の精度で連続的にかつ高速で分析することは難しい。
【０００７】
長いパイプの使用が難しいのであれば、太いパイプを使用することは容易に考えられることである。しかし、冷間線引き加工を行ない縮径するに従い軸部分に挿入した金属棒が加工硬化を起こし、軸部分に挿入した金属棒がアルミニウムパイプの中で切れてしまったり、外側のアルミニウムだけが延ばされて組成が全く異なったものができてしまう。一般に鉄は連続的には９８％程度までが縮径出来る限度であると言われている。９８％とは初期の断面積を９８％小さくし初期の断面積の２％まで縮径したものである。
【０００８】
加工硬化を起こした線材を更に線引きするには、熱処理を入れて焼きなましする工程を追加する必要がある。蒸着材の外径は１〜３ｍｍ程度の細いものもあるため、太いパイプから製造をスタートするとφ１ｍｍの蒸着材を得るまでに数回の熱処理が必要である。熱処理中に蒸着材を酸化させないために、雰囲気は不活性にする必要があり熱処理作業の費用がかかるものであった。
【０００９】
長尺のクラッド材を作製する方法として、軸部分の金属にアルミニウムを塑性変形で付加するコンフォーム押出しと呼ばれる方式がある。コンフォーム押出しは、英国原子力公社（ＵＫＡＥＡ）で開発された塑性加工方法で摩擦力を利用して押出しを行なうものである。コンフォーム押出しの原理等はＭｅｔａｌｓ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ    Ａｕｇｕｓｔ  １９８４  Ｖｏｌ．１１に開示されているので詳細は省略する。コンフォーム押出しは長尺品を作ることは比較的容易であるが、小径のものを作製するのは難しい。軸部分の金属に張力を加えながらアルミニウムを塑性変形させながら付加するため、軸部分の金属が０．８ｍｍ以上のものが主であった。アルミニウムの厚みは薄く出来るので０．８ｍｍの軸で外径１．５ｍｍ程度のクラッド材を作製することは可能である。アルミニウムの外径φ１．５ｍｍで軸部分の鉄材の径がφ０．８ｍｍでは、全体に占める鉄の重量比が約５４％となってしまい、本発明の目的とする組成８〜３３ｗｔ％は得られない。
【００１０】
コンフォーム押出しで作製したクラッド材は、アルミニウムと軸部分の金属材との接合強度が弱く、小径のスプロールに巻いたときアルミニウムと軸部分の金属が剥がれ数十ミクロン以上の隙間が出来ることがある。この蒸着材を切断したとき端部のアルミニウムが潰れ、端部は隙間がない状態となることが多い。蒸着材の途中に隙間があると蒸着作業中に蒸着材の中の空気が膨張し突沸現象を起こす恐れがあり、アルミニウムと軸部分の金属は強固に接合している事が重要である。
【００１１】
そこで、本発明は、アルミニウム系金属の外装材と軸部分はニッケル、鉄、コバルトから選ばれる金属材もしくはこれらの合金材で、軸部分の重量は全体の８〜３３ｗｔ％であり組成が安定し、外径がφ３ｍｍ以下、長さが１００ｍ以上かつ、アルミニウムと軸部分の金属が強固に接合した長尺の複合真空蒸着材を、歩留まり良く安価に提供することを目的とする
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の複合真空蒸着素材（以下、蒸着材と言う）は、略円筒形のアルミニウム系金属材の軸部分にニッケル、鉄、コバルトから選ばれる金属材もしくはこれらの合金材が配され、アルミニウムと軸部分の金属が強固に接合され、軸部分の重量はアルミニウムを含めた全重量の８〜３３ｗｔ％であり、外径がφ３ｍｍ以下、長さが１００ｍ以上かつ、抗張力は１５０（Ｎ／ｍｍ２）以上であることを特徴とするものである。
【００１３】
略円筒形のアルミニウム系金属の軸部分にニッケル、鉄、コバルトから選ばれる金属材もしくはこれらの合金材（以下、軸金属と言う）が熔圧着的金属間接合で強固に接合していることが重要である。本発明において熔圧着的金属間接合とは、金属が熔融されて接合したものではなく、金属材が塑性変形する時の自己発熱で軟化し外部から加えられる力により、金属間結合するものである。強固に接合していないと、アルミニウム系金属と軸金属の中に空気が捕り込まれ真空蒸着作業中に熔融した蒸着材が飛散る突沸現象を起こす恐れがあるためである。アルミニウム系金属と軸金属の接合強度を数値化することは難しい。目安としては、蒸着材を万力等で挟み外径を１０％程度潰したのち、潰した部分の断面を観察しアルミニウム系金属と軸金属の接合面に隙間が無いこと、もしくは、軸金属の初期の素材表面粗さより所定の径に仕上がった母材の円形断面に現れる軸金属の表面粗さが粗くなっていることで、蒸着材に必要な接合強度があると判断できる。
【００１４】
蒸着材全体に占める軸金属の重量比率は、８％以上で３３％以下である。ＣＲＴに用いたとき、８％以下では放熱膜としての性能が得られない。３３％以上では電子が蒸着膜を透過する率が下がり、輝度の低下が無視出来なくなるためである。放熱特性と輝度特性の面から軸金属の重量比率は１０％以上で３０％以下がより好ましい範囲である。
【００１５】
蒸着材の外径は特に制約がある訳ではないが、径に対する長さの関係からφ３ｍｍ以下が好ましいものである。大径で長さが短いものでは、蒸着材を蒸着トレーに載せたとき、径方向が被蒸着部面に向くか長さ方向が被蒸着部面に向くか安定しない。不安定な状態で蒸着トレーに蒸着材が載せられると、蒸着膜の組成、膜厚分布に問題が生じることがある。安定に蒸着材を蒸着トレーに載せるには、径がφ３ｍｍ以下で長さが径の２倍以上ある事が好ましい。スプロールに巻いた蒸着材を蒸着装置に設ける場合、蒸着材の長さは１００ｍ以上である事が作業効率的に重要である。スプロールの交換作業回数を下げるには、最低でも１００ｍの長さが必要である。好ましくは２００ｍ以上とすることで、１日１回程度の交換で済む。また、矯正器や切断機を通すことでスプロールに巻かれた蒸着材にロスが出ることがある。このロスはスプロール交換毎に発生するものであるので、出来得る限り長い蒸着材を使用することがロスを減らすことに役立つ。しかし、数十、数百ｋｇになるような長さにすることは、スプロールの交換作業から言って好ましい物ではない。
【００１６】
蒸着母材は所定の長さに切断して蒸着装置の蒸発トレーに供給する必要がある。切断工程を蒸着装置近くで行なうか、離れた場所で行なうかで蒸着装置に供給する蒸着材の形態は異なって来る。つまり、所定の長さに切断されたものか、スプロールに巻かれた長尺状態か、である。所定の長さに切断された蒸着材も切断前は、スプロールに巻かれた状態であることは確かである。切断作業は、巻かれた状態の母材を矯正器にかけて巻き癖を除去する工程と、切断する工程に大別できる。何れの工程でも蒸着母材には引張りの力が発生するため、引張られたときに切れないことと、不用意に伸びないことが重要である。そのため、蒸着母材は１５０（Ｎ／ｍｍ２）以上の抗張力を有することが切断工程では必要である。伸びも数％以下であることが望ましい。
【００１７】
本発明の蒸着材の製造方法はニッケル、鉄、コバルトから選ばれる金属材もしくはこれ
らの合金の線材表面にアルミニウム系金属線材を摩擦力を利用し熔圧着的金属間接合で被
覆し第１母材を形成する工程、前記第１母材を減面率９７％以内まで冷間線引きし伸長さ
せ第２母材を形成する工程と、前記第２母材を切断して所定の長さに分割して複合真空蒸
着材を得る工程を備えることを特徴とする。
以  上
【００１８】
第１母材の製造方法は、第１母材の軸金属線材と、断面が丸や多角形状のアルミニウム系金属線材をコンフォーム押出し装置に装着し、連続的に押出しを行なう。アルミニウム系金属とダイの摩擦力で温度が上がりアルミニウム系金属が軟化し、第１母材の外径を規制する金型より連続的に押し出される。押出し開始の数１０ｍは温度が安定しないためか、アルミニウム系金属の表面が波打った様に不安定な部分ができるので、この不安定部分を除去することが重要である。軸金属は第１母材製作工程前に、５５０〜８００℃不活性ガスもしくは還元ガス雰囲気で熱処理して置くことが、第２母材を製作する上で重要である。第１母材は数百ｍ〜数千ｍの長さで製作することが、製造費用の点から有利である。
【００１９】
第１母材の外径は、φ数ｍｍ〜φ数１０ｍｍまで選ぶ事が出来る。第１母材を小径で製作した場合、第２母材の作製は短時間で済むだけでなく減面率も少なくて済むが、第１母材の製造価格が上がり好ましくない。第１母材を大径にした場合、第２母材作製時の減面率が大きくなってしまい、途中で熱処理を入れないと切れたりして線引き出来なくなる。このことから、第１母材の外径はφ３〜φ１２ｍｍが好ましいものである。
【００２０】
第２母材は、冷間線引き加工を用いて伸長して行く。１回の減面率は１５〜３０％とした。第２母材径から所定の径までの総合減面率は９７％以下とすることが軸金属の切断を予防する上で重要である。種々の検討から減面率９７．８〜９８．３％までは、軸金属の切断は無いようであるが、軸金属が切断してしまうと切断部近傍の組成が不均一となるため、余裕を見て減面率は９７％までとすることが好ましいものである。
総合減面率４０％以上で、アルミニウム系金属と軸金属は強固に結合し折り曲げたりしても、アルミニウム系金属と軸金属が剥がれる様な現象は起こさなくなる。このことからも、コンフォーム押出しで作製した第１母材を冷間線引き加工し第２母材を作ることでより強固にアルミニウム系金属と軸金属を結合させられるものである。
【００２１】
第２母材をスプロールに巻き取るか、所定の寸法に切断して、蒸着材を得ることができる。切断した蒸着材はバリ等が発生するが、このバリ等が蒸着材供給装置等で問題になるのであれば、バレル研磨を施すか、端面を転造加工等で丸めることを行なってもよい。
【００２２】
本発明の蒸着材は、軸部分の金属材もしくはこれらの合金材と略円筒形のアルミニウム系金属材の接合が、熔圧着的金属間接合であることを特徴とするものである。
【００２３】
熔圧着的金属間接合とは、金属が熔融されて接合したものではなく、金属材が塑性変形する時の自己発熱で軟化し外部から加えられる力により、金属間結合するものである。つまり、接合部を熔融温度まで上げて熔かして接合するのではなく、軟化した状態で塑性変形を用いて接合させるものである。熔融状態になるまで温度を上げることがないので、使用する金属材が蒸発したり、著しく酸化する様なことは起さない。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。図１は、本発明の複合真空蒸着材の一実施態様の斜視図である。図１ａ）は、所定の外径とした第２母材状の蒸着材、図１ｂ）は第２母材を所定の長さに切断した蒸着材である。略円柱状のアルミニウム１の軸部分に軸金属２が設けられている。アルミニウム１の外径は１．５±０．００５ｍｍ、軸金属の径は０．９８±０．０１ｍｍである。図１ａ）の第２母材状の蒸着材は、長さ３００ｍである。図１ｂ）の切断した蒸着材は長さ、２０±０．２ｍｍとしている。本実施例では、軸金属を鉄とし、前記寸法形状では鉄２５ｗｔ％、アルミニウム７５ｗｔ％となる。
【００２５】
次に実施例で用いた製造方法について図２を用いて説明する。説明を判りやすくするため同一の部位、部品には同じ符号を付けている。まず、第１母材を作製するため、６ｍｍ角のアルミニウム線３とφ１．６ｍｍの鉄線３を各約３００ｍ準備した（ステップ１）。鉄線は７００℃の水素中熱処理で、表面の汚れの除去と軟化処理を行なっている。鉄線４をダイボックス５に、アルミニウム線３をホイル６に装着し、ホイル６を回転させ被覆部７で鉄線４にアルミニウムを被覆した第１母材８を得る（ステップ２）。被覆部７の出口径をφ５ｍｍとしたので、第１母材８の外径はφ５ｍｍとなっている。第１母材の初期被覆部８’を切断除去し、第１母材８を得た（ステップ３）。第１母材８の先端部を線引きダイスの孔から引き出すために先端部を叩いて細い部分９を作製した（ステップ４）。線引きダイス１０に細い部分９を通し、先端を線引き機のクランパー１１に固定し線引きを行なった（ステップ５）。ステップ４、５はφ１．５ｍｍの第２母材１２が得られるまで繰り返した。１回の減面率を１５〜３０％としたため、１４種の線引きダイスを使用した。第２母材１２の先端の細い部分９を除去し第２母材１２を得た（ステップ６）。第２母材１２のスプロール１３に巻き取った長尺の蒸着材１４（ステップ７）、第２母材１２を２０±０．２ｍｍに切断した蒸着材１５を得た（ステップ８）。
【００２６】
第１母材８と第２母材１２のアルミニウム１と軸金属２の接合強度を調査した。各々の試料を万力で挟み、初期の外径の９５％位になるよう締め付けた後、締め付けた部分の円形断面を研磨して観察した。第１母材のアルミニウムと鉄の界面に２０〜５０μｍ位の隙間が観察された。第２母材の界面には全く隙間が見られず強固に接合されていることが確認された。このことから、第２母材の冷間線引き工程は、縮径するだけでなくアルミニウムと軸金属を強固に接合する効果があることが判る。また、第２母材を切断機で切断した断面を観察したが界面の剥がれはなかった。
【００２７】
外径φ１．５ｍｍの第２母材を引っ張り試験行ない、抗張力を測定した。抗張力は約２４０（Ｎ／ｍｍ２）であり、矯正機や切断機で引張っても切れることはなかった。
【００２８】
比較のために、アルミニウムパイプに鉄線を挿入し冷間線引きしたものを製造した。アルミニウムパイプは外径φ１２．５ｍｍ内径φ３．５ｍｍ、鉄線はφ３．０ｍｍを用いた。アルミニウムパイプの内径と鉄線の外径差を０．５ｍｍとしたのは、容易に挿入出来るぎりぎりの隙間としたためである。アルミニウムパイプおよび鉄線の長さは１．５ｍとした。鉄線は７００℃の水素中熱処理を行なっている。アルミニウムパイプは鉄線と結合するまでは、肉厚が変わらず外径が縮小して行くものである。φ２．３ｍｍまでは、線引き出来たがそれ以下の径では鉄の切断が始まった。φ２．５ｍｍの時点で５５０℃窒素中熱処理を施すことにより、φ１．６まで線引きすることができたがそれ以下の径では鉄の切断が始まりφ１．５まで線引きすることができなかった。また、線引きできたφ２．３ｍｍの断面を研磨して、鉄の含有量を測定したが２７〜３２％と予定より多くなっていただけでなく、組成のばらつきが大きかった。これは、アルミニウムパイプは鉄線と結合するまでにばらつきが発生したためと考えられる。このことからも、本発明の第１母材をコンフォーム押出し、第２母材を冷間線引きとすることで、安定した組成が得られるだけでなく、アルミニウムと鉄が強固に接合した長尺品が容易に得られることが判る。
【００２９】
本発明の他の実施例を示す。第１母材を作製するため、６ｍｍ角のアルミニウム線３とφ０．９６ｍｍの鉄線３を各約３００ｍ準備した。鉄線は７００℃の水素中熱処理で、表面の汚れの除去と軟化処理を行なっている。コンフォーム押出しを行なった第１母材は外径φ５ｍｍ、鉄の外径はφ０．９６ｍｍであった。鉄の含有量は約９．７％であった。外径φ２．０ｍｍになるまで冷間線引きを行ない第２母材を得た。第２母材の鉄の外径はφ０．３７７ｍｍで、第１母材と同じ鉄の含有量は約９．７％であった。抗張力は約２００（Ｎ／ｍｍ２）であった。
【００３０】
比較のために、アルミニウムパイプに鉄線を挿入し冷間線引きしたものを製造した。組成がばらつくことを考慮して、アルミニウムパイプをφ１０．５−φ２．０ｘｍｍと、φ１０．０−φ１．５ｍｍ、φ９．５−φ１．５ｍｍの３種類準備し、夫々に挿入する鉄線もφ１．５ｍｍとφ１．３ｍｍ、φ１．０ｍｍの３種類を準備した。１回の減面率は１５〜３０％と前記第２母材線引きと同じとしたが、φ２．７付近から鉄の切断が始まりφ２．４ｍｍでは３種類とも鉄の切断が発生してしまいφ２．０ｍｍを得ることができなかった。また、切断発生直前の径の試料の鉄含有量を測定したが、１０〜２１％と大きくばらついていた。
【００３１】
本発明の他の実施例を示す。外径５ｍｍで軸金属がニッケルで径がφ１．６ｍｍの第１母材をコンフォーム押出しで作製した後、冷間線引きを行ない外径φ２．０ｍｍの第２母材を得た。第１母材でのニッケルの含有量は２７．３％で、第２母材のニッケル含有量も２７．６％とほぼ同様の値を示した。
【００３２】
比較のために、アルミニウムパイプにニッケル線を挿入し冷間線引きしたものを製造した。外径φ１２．５ｍｍ−内径φ３．５ｍｍのアルミニウムパイプに、φ３．０ｍｍのニッケル線を挿入し冷間線引きをおこなった。減面率を種々変えて実験したがφ２．０〜φ２．５ｍｍでニッケルが切断して、φ２．０を安定に製造することはできなかった。また、切断する直前の径の試料のニッケル含有量を測定したが、３１．８％と設計した値から約５ポイントも異なるものであった。
【００３３】
本発明の他の実施例を示す。外径５ｍｍで軸金属がコバルトで径がφ１．６ｍｍの第１母材をコンフォーム押出しで作製した後、冷間線引きを行ない外径φ１．８ｍｍの第２母材を得た。第１母材でのコバルトの含有量は２７．２％で、第２母材のコバルト含有量も２７．４％とほぼ同様の値を示した。
【００３４】
比較のために、アルミニウムパイプにコバルト線を挿入し冷間線引きしたものを製造した。外径φ１２．５ｍｍ−内径φ３．５ｍｍのアルミニウムパイプに、φ３．０ｍｍのコバルト線を挿入し冷間線引きをおこなった。減面率を種々変えて実験したがφ２．５〜φ２．９ｍｍでニッケルが切断して、φ２．３を製造することはできなかった。また、切断する直前の径の試料のコバルト含有量を測定したが、３４．３％と設計した値から約７ポイントも異なるものであった。
【００３５】
【発明の効果】
以上で説明したように、アルミニウムの外装材と軸部分はニッケル、鉄、コバルトから選ばれる金属もしくはこれらの合金材で、コンフォーム押出しで第１母材を製造し、第１母材を冷間線引きし第２母材を得ることで、軸部分の重量は全体の８〜３３ｗｔ％であり組成が安定し、外径がφ３ｍｍ以下、長さが１００ｍ以上かつ、アルミニウムと軸部分の金属が強固に接合した長尺の複合真空蒸着材を歩留まり良く安価に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の複合真空蒸着材の模式図である。
【図２】本発明の複合真空蒸着材の製造方法を説明する図である。
【符号の説明】
１  アルミニウム、２  軸金属、３  アルミニウム線、４  鉄線、
５  ダイボックス、６  ホイル、７  被覆部、８  第１母材、
８’  初期被覆部、９  細い部分、１０  線引きダイス、１１  クランパー、
１２  第２母材、１３  スプロール、１４  長尺の蒸着材、
１５  切断した蒸着材
【図１】
0003710055.tif 000002
【図２】
0003710055.tif 000003