(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、この基板上に設けられた撮像素子と、この撮像素子上に設けられ、表面部分に結像レンズ部を形成した光学素子と、前記撮像素子及び前記結像レンズ部の側面部を封止し、かつ、前記光学素子の表面部分上に盛り上がり部を形成する高粘度樹脂部と、この高粘度樹脂部の前記盛り上がり部に囲まれた前記表面部分上であって、前記結像レンズ部を露出させた部分に前記高粘度樹脂部よりも粘度の低い低粘度樹脂を設けた低粘度樹脂部とを備えた撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、撮像素子と結像レンズ部を有する光学素子とを一体化した撮像装置及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の撮像装置としては、例えば特開平９−２８４６１７号公報に記載されたものがあった。その公報には、結像レンズ部と複数の脚部とからなる光学素子を基板上に載置された撮像素子であるＣＣＤベアチップ上に配置したものである。それらの脚部をＣＣＤベアチップの上面の角部に当接させることにより、結像レンズ部とＣＣＤベアチップに設けた受光面の焦点方向を含む相対位置が所定位置になるように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のこの種の撮像装置においては、固定焦点レンズを用いており、結像レンズ部と撮像素子上の受光面との焦点方向を含む相対位置精度を確保するため、光学素子に複数の脚部を設ける必要があった。したがって、従来の撮像装置では、レンズ構造が複雑で、パッケージ型であるため、小型化が困難あるという課題があった。
【０００４】
この発明は、かかる課題を解決するためになされたものであり、撮像素子及び結像レンズ部を有する光学素子と筐体をも一体化して、又は撮像素子及び光学素子を樹脂封止して小型化を図る新規な撮像装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の撮像装置は、基板と、この基板上に設けられた撮像素子と、この撮像素子上に設けられ、表面部分に結像レンズ部を形成した光学素子と、前記撮像素子及び前記結像レンズ部の側面部を封止し、かつ、前記光学素子の表面部分上に盛り上がり部を形成する高粘度樹脂部と、この高粘度樹脂部の前記盛り上がり部に囲まれた前記表面部分上であって、前記結像レンズ部を露出させた部分に前記高粘度樹脂部よりも粘度の低い低粘度樹脂を設けた低粘度樹脂部とを備えたものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態１について、図１（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）を用いて説明する。図１（ａ）はこの発明の実施の形態１を示す外形平面図、図１（ｂ）はその筐体の外形側面図、図１（ｃ）はこの発明の実施の形態１に係る一体化した撮像素子・光学素子と筐体とを組み立てる前の撮像素子・光学素子と筐体の断面図、図１（ｄ）は撮像素子・光学素子と筐体を組み立てた後の部分断面図、図１（ｅ）はその全体構成の断面図である。図１において、２は受光部を有する撮像素子、３は少なくとも１つの結像レンズ部３ａを有し、かつ、結像レンズ部３ａと離隔した位置に形成した凸部３ｇを有する光学素子であって、この光学素子３は撮像素子２と一体化をしている。７は撮像素子２と光学素子３とを組み合わせて一体化した一体型撮像装置を組み込む筐体であって、筐体７には開口部７ａと光学素子３の凸部３ｇと対向する位置にこれと対応する構造の溝部７ｂを形成している。図１（ｃ）、（ｄ）に示すように、撮像素子２と光学素子３を一体化して光学素子３の凸部３ｇと筐体７の溝部７ｂを嵌合させて一体化している。このとき、結像レンズ部３ａは、筐体７の開口部７ａに入り込むように外部に覗かしている。ここで、光学素子３の凸部３ｇと筐体７の溝部７ｂは嵌合して組み立てられるように対応した形状としている。また、筐体７の外形については、図１（ｂ）（ｅ）に示すように、その周辺部において、結像レンズ部３ａとは反対側に折り曲げた構成にし、その折り曲げた端部は撮像素子２の光学素子３と反対側の底部と略同一又はやや外側になるように構成している。なお、上記の折り曲げた端部の形状は円形状としている。
【００２０】
図２（ａ）（ｂ）は、それぞれこの発明の実施の形態２を示す正面図及び側面図である。また、図３（ａ）（ｂ）はそれぞれこの発明の実施の形態３を示す正面図及び側面図である。図２では光学素子３上の凸部３ｇを四角形としたものである。図３では光学素子３上の凸部３ｇを四角形状の２段構成としたもので、上側を下側よりも一辺の長さを小さくして図示しない筐体７の開口部７ａが下側の四角形の上面に当たるようにしている。このため、下側の四角形の高さは結像レンズ部３ａの突出高さと同一又は若干高く形成している。なお、図２及び図３には図示していないが、凸部３ｇに対応するように筐体７の溝部７ａの形状は四角形とすることは勿論である。
【００２１】
さらに、この発明の実施の形態４ついて図４（ａ）（ｂ）（ｃ）を用いて説明する。図４（ａ）（ｂ）は、それぞれこの発明の実施の形態１に係る撮像装置の正面図及び側面図である。図４（ｃ）はこの発明の実施の形態１に係る撮像装置の筐体を付加したときの構成を示す側面図である。図４において、図１等と同一符号は同一又は相当部分を示す。図４においては、光学素子３上に形成する凸部３ｇを複数個設けている。
【００２２】
このように、これらの実施の形態２，３又は４によれば、撮像素子２と光学素子３とを一体化した撮像装置が筐体７に対して回転しないように構成できる。また、光学素子３上の凸部３ｇと筐体７の溝部７ｂが嵌合される個所を接着して一体化してもよい。なお、これらの実施の形態では、光学素子３上に凸部３ｇを、筐体７上に溝部７ｂを設けたが、それに限るものではなく、凸部３ｇの断面形状も○型及び□型に限るものではない。
【００２３】
このように、この発明の実施の形態１乃至４に係る撮像装置は、筐体７に組み込むための部品が光学素子２と一体化しているため、省部品化が可能になり、筐体７との組み立てが容易になる。また、一般には、撮像装置は、撮像素子及び光学素子が基板上に固定され、厳密にいえば筐体とは独立して配置されているが、この発明の実施の形態１に係る撮像装置によれば、一体化した撮像素子及び光学素子を必ずしも基板上に固定する必要はなく、撮像装置の動作や信号処理のやり取りをするための信号系のインターフェースを接続するだけでよい。したがって、基板に撮像素子を固定するための固定部が省スペース化でき、小型化・設計自由度の拡大を実現することができる。
【００２４】
次に、この発明の実施の形態５について図５（ａ）（ｂ）（ｃ）を用いて説明する。図５（ａ）（ｂ）は、それぞれこの発明の実施の形態５に係る撮像装置の正面図及び側面図である。図５（ｃ）はこの発明の実施の形態５に係る撮像装置の筐体を付加したときの構成を示す側面図及び一部拡大図である。図５において、図１と同一符号は同一又は相当部分を示す。図５（ａ）（ｂ）に示すように、光学素子３は突出部３ｈを有し、結像レンズ部３ａは突出部３ｈ上に形成している。この突出部３ｈは、図５（ｃ）に示すように、筐体７の開口部７ａの周辺部における内側に形成した勘合部７ｃに嵌め込まれている。このとき、勘合部７ｃを形成するための筐体７の内側に突出する部分の高さは、突出部３ｈの高さと略同一又はやや低いとする。
【００２５】
図５（ｃ）において、８は接着剤で、筐体７の内側に突出する部分と光学素子３の突出部３ｈ等との間に設けて光学素子３と筐体７とを一体化を実現している。また、結像レンズ部３ａは、図５（c）に示すように、開口部７ａが外部に臨んでいる。このようにして、一体化した撮像素子２と光学素子３を筐体７に組み込んだとき、筐体７との相対位置が決められ、かつ、組み立て時の作業が容易となる。また、光学素子３上に突出部３ｈを設けることにより、光学素子３は段付形状になることから、高さ方向の相対位置も決められる。なお、撮像装置製品においては、光学素子３上の結像レンズ部３ａと筐体７上の開口部７ａとの相対位置関係は、撮像装置が被写体を光学情報として取り込むためその相対位置は重要であるが、この実施の形態５では、その位置合わせを容易にすることができる。
【００２６】
次に、この発明の実施の形態６について図６（ａ）（ｂ）を用いて説明する。図６（ａ）（ｂ）は、それぞれこの発明の実施の形態６に係る撮像装置の部分拡大断面図である。図６（ａ）（ｂ）において、図５と同一符号は同一又は相当部分を示す。図６に示す撮像装置は、基本的には図５（ｃ）に示すものと同様であるが、特徴とするところは結像レンズ部３ａの周縁部における筐体７に切欠き部７ｄを形成し、この切欠き部７ｄに赤外光除去機能を有する赤外光除去部材９を装着している。筐体７の開口部７ａの周縁部は、入射光の絞り効果を有するようにテーパ形状７ｅに形成している。この実施の形態６では、光学素子３の結像レンズ部３ａの周縁部に設けられた突出部３ｈとそれに対応する筐体７に設けられた嵌合部７ｃとで組み合わせ、さらにその嵌合部を接着剤８により固定して、一体化した光学素子３と撮像素子２とを筐体７に一体化・固定化をしている。
【００２７】
このようにすることにより、この実施の形態６に係る撮像装置は、接着剤８を介して光学素子３が筐体７に一体化されるため、何らかの原因で筐体７の開口部７ａの外側から光学素子３を筐体７の内側に押し込もうとする外力が働いたとき、その外力は光学素子３と筐体７の接着剤８の接着力により吸収されるため、外力による撮像素子２へ直接加わる衝撃を緩和することができる。また、図６（ｂ）は、筐体７の開口部７ａの周縁部におけるテーパ形状７ｅにより、入射光に対する絞り効果を有する。このように、撮像装置が組み込まれる製品の筐体上に絞り機能をもたせることにより、撮像装置側には絞り機能をもたせる必要がなくなり、撮像装置の工数を低減するとともに、工程品質が向上し低コスト化できる。
【００２８】
また、筐体７の開口部７ａに赤外光除去効果を有するプレートを配置しているため、撮像装置側には赤外光除去手段を設ける必要がなくなり、撮像装置の作製工数を低減するとともに、工程品質が向上し低コスト化できる。すなわち、品質変動要素が大きい光学素子一体型撮像装置工程の部品点数を省部品化し、工数削減するとともに、不良発生機会を減少することができ、工程品質を安定化・向上させることができる。なお、赤外光除去機能を有する部品９を硬質の材料にしてもよい。それにより、何らかの原因で筐体７の開口部７ａの外側から光学素子３を筐体７の内側に押し込もうとする外力が働いたとき、撮像装置に与える負荷を軽減できるとともに、光学素子３の結像レンズ部３ａに傷等が発生することを防ぐことができる。
【００２９】
次に、この発明の実施の形態７について図７を用いて説明する。図７はこの発明の実施の形態７に係る撮像装置の構成を示す構成図である。図７において、１は基板、２は撮像素子、３は少なくとも1つの結像レンズ部３ａを有する光学素子、１０は基板1と撮像素子２をワイヤーボンディングにより電気的に接続する金ワイヤ、１１は金ワイヤ１０を封止する封止樹脂である。撮像素子２は基板1上に実装され、金ワイヤ１０によりワイヤーボンディング方法で電気的に接続されている。光学素子３は撮像素子２上に接着剤により仮固定されるが、封止樹脂１１により基板上に一体化・固定される。
【００３０】
このような構成にすれば、封止樹脂１１により吸湿及び異物進入から撮像装置を保護でき、外力に対する保護の機能も有しながら、光学素子３を撮像素子２と一体化・小型化を実現できる。なお、封止樹脂１１は遮光性の樹脂としてもよい。そうすれば、前述の効果を達成できるほか、結像レンズ部３ａ以外から撮像素子２上の受光面への光線の進入を防ぐことができる。パケージ機能を有する部品を不要とし、省部品化・小型化も可能となる。また、この発明の実施の形態７は、使用される封止樹脂の材質を限定するものではなく、例えばシリコン系の弾力性樹脂でも可能であるほか、エポキシ系の硬質樹脂でも可能である。封止樹脂を構成する方法を限るものでもなく、例えばデイスペンス方法で構成してもよいし、成形方法によって構成してもよい。撮像素子２と基板１を金ワイヤ１０により電気的に接続された構成について述べたが、金ワイヤに限るものでもない。
【００３１】
また、図７において光学素子３上の結像レンズ部３ａを除いた封止樹脂１１の外形を曲面状に形成されている。例えば、液状の遮光性封止樹脂を用いて構成する場合、光学素子３の表面上に角張ったエッジ部があると、そのエッジ部を境に封止樹脂１１が流れ落ち、現像としてそのエッジ部付近だけ封止樹脂１１の厚みが薄くなり、光学素子３のエッジ部から封止樹脂１１を通過して光が撮像素子２上まで透過するという問題があった。しかしながら、封止樹脂１１の形状を、図７のように光学素子３の結像レンズ部３ａ以外の外形表面部を滑らかな曲線形状とすることにより、前述の角張ったエッジ部がないため、部分的に封止樹脂１１の膜厚が薄くなることがなく、遮光機能を維持することもできる。
【００３２】
次に、この発明の実施の形態８について、図８、図９（ａ）（ｂ）（ｃ）、図１０、図１１（ａ）（b）を用いて説明する。図８はこの発明に実施の形態８に係る撮像装置の構成を示す構成図、図９（ａ）（ｂ）（ｃ）は、この発明の実施の形態に係る光学素子の平面図、正面図及び側面図である。図１０はこの発明の実施の形態８に係る撮像装置の別の構成を示す構成図、図１１（ａ）（ｂ）はそれぞれこの発明の実施の形態８に係る撮像装置の平面図及び部分拡大図を付加した側面図である。図８、図９（ａ）（ｂ）（ｃ）、図１０、図１１（ａ）（ｂ）において、図７と同一符号は同一又は相当部分を示す。図８、図１０においては、光学素子３の結像レンズ部３ａ以外における表面外形部分を滑らかな曲面形状３Ｉとした点に特徴がある。また、図１０ではワイヤボンデイング部を覆うように光学素子３に傘形状３Ｊを形成している。また、図１１（ａ）（ｂ）においては、光学素子３の結像レンズ部３ａ以外における表面外形部分に傾斜を持ったテーオア形状３Ｋを形成した形状としている。
【００３３】
図８において、光学素子３の結像レンズ部３ａ以外の外形表面部は、図９（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように角張ったエッジ部を排除した丸みをもった曲面形状に仕上げている。ワイヤボンドにより基板１と電気的に接続した撮像素子２上に、光学素子３を仮固定し、封止樹脂１１により電気的結合部を封止しながら、光学素子３を基板１及び撮像素子２と一体化・固定して撮像装置を構成する。この発明の実施の形態８に係る撮像装置も、液状の遮光性封止樹脂を用いて構成する場合、実施の形態７と同様の問題があったが、光学素子３の表面上に角張ったエッジ部があると、そのエッジ部を境に封止樹脂１１が流れ落ち、現像としてそのエッジ部付近だけ封止樹脂１１の厚みが薄くなり、光学素子３のエッジ部から封止樹脂１１を通過して光が撮像素子２上まで透過するという問題があった。しかしながら、光学素子３を図９のように光学素子３の結像レンズ部３ａ以外の外形表面部を滑らかな曲線形状とすることにより、前述術の角張ったエッジ部が内ため、部分的に封止樹脂の膜厚が薄くなることがなく、遮光機能を維持することもできる。
【００３４】
また、図１１（ａ）に示すように、撮像素子２の上面角部付近において光学素子３のテーパ形状３ｋの裾部分におけるエッジ角を大きくすると、遮光性の封止樹脂１１がそのエッジ部でその膜厚が薄くなることを緩和することができ、遮光機能を維持できる。図１１（ｂ）の部分拡大図に示すように、光学素子３の結像レンズ部３ａ以外の表面外形部分に微細な凹凸３Ｌを形成している。これにより、光学素子３の表面における封止樹脂１１の流動抵抗を付与して、封止樹脂１１の流れ出しを防止して封止樹脂１１による濃淡ばらつきの発生を少なくし、遮光機能を向上させることができる。
【００３５】
また、図１１（ｂ）においては、光学素子３の凹凸３Ｌを階段状に形成したが、それに限るものではなく、例えば擦りガラス等の擦り状にしてもよく、封止樹脂１１と光学素子３の界面に流体の流動抵抗を設けるその他の手段でもよい。また、樹脂封止部の形成時には、液状であって、硬化後は弾力性のあるシリコン系の封止樹脂を用い、金ワイヤ１０を覆うような傘形状３Ｊを設けてもよい。このようにすると、弾力性のある封止樹脂を用いる場合でも、光学素子３の傘形状３Ｊにより、金ワイヤ１０を外力からの保護機能を強化でき、外力に対する強度を向上させることができる。なお、硬質の封止樹脂を用いる場合に、傘形状３Ｌにしても製品信頼性が向上することができる。
【００３６】
次に、この発明の実施の形態９について、図１２を用いて説明する。図１２は、この発明の実施の形態９に係る撮像装置の構成を示す構成図である。図１２において、図１１と同一符号は同一又は相当部分を示すため、それらの説明は省略する。図１２において、封止樹脂１１は、チクソ性の高い封止樹脂１１ａと低粘土の封止樹脂１１ｂとで構成している。光学素子３及び撮像素子２を基板１と一体化している封止樹脂１１を、光学素子３の上面角部から基板１に至るまでの部分をチクソ性が高く、かつ、高粘度の封止樹脂１１ａにより、光学素子３の上面部分は封止樹脂１１ａよりチクソ性が低く、かつ、低粘度の封止樹脂１１ｂで構成している。このようにすると、封止樹脂１１ａは高チクソ性・高粘度のため、封止樹脂自体の形状を維持することができ、封止樹脂部が流れ出さず、遮光機能を維持できる。なお、封止樹脂１１ｂも、高チクソ性の封止樹脂でもよい。
【００３７】
次に、この発明の実施の形態１０に係る撮像装置について、図１３（ａ）（ｂ）及び図１４（ａ）（ｂ）並びに図１５を用いて説明する。図１３（ａ）（ｂ）及び図１４（ａ）（ｂ）は、この実施の形態１０に係る撮像装置の正面図及び部分的拡大図を付加した側面図、図１５は図１４（ｂ）に相当する部分についての別の実施例を示す部分拡大図である。図１３及び図１４において、図１２と同一符号は同一又は相当部分を示すため、それらの説明は省略する。図１３及び図１４においては、光学素子３の結像レンズ部３ａの極周縁部における外形部に凹部３ｍを形成している。図１４においては光学素子３に形成した凹部３ｍに遮光性の部品１２を配置している。この遮光性の部品１２は、図１４（ｂ）の部分拡大図に示すように、入射光に対する絞り機能を有する形状１２ａを形成している。また、図１５では、光学素子３の結像レンズ部３ａの周囲付近に遮光性の部品１２を配置し、その遮光性の部品１２に赤外光除去機能を有する部品９を嵌合させている。
【００３８】
このように、図１３では、光学素子３の結像レンズ部３ａの極周縁部に凹部３ｍを設け、封止樹脂１１は光学素子３と撮像素子２と基板１とを一体化・固定している。このとき、封止樹脂１１を光学素子３に塗布する際に、塗布量のばらつきにより、光学素子３の結像レンズ３ａ付近における形状が結像レンズ部３ａの周縁形状に対して歪んだり、結像レンズ部３ａのレンズ面上に付着するなどの不具合を防止するため、図１３（ａ）（ｂ）に示すように、光学素子３に設けられた凹部３ｍに封止樹脂１１の溜まり部を形成したものである。したがって、封止樹脂１１の塗布形状が光学素子３の結像レンズ部３ａの周縁部を正確に封止し、結像レンズ部３ａのレンズ面上に付着することも防ぐことができる。
【００３９】
また、図１４では、図１３に示す凹部３ｍにその形状と対応し嵌合組立て可能な寸法の遮光性の部品１２を凹部３ｍに光学素子３と当接しながら嵌合組立している。こうして、封止樹脂１１の塗布形状が光学素子３の結像レンズ部３ａの周縁形状に影響を与えず、結像レンズ部３ａの極周縁部は遮光性の部品１２によって確実に遮光され、封止樹脂１１の結像レンズ部３ａのレンズ面上への付着を確実に防止できるとともに、封止樹脂１１の塗布作業を容易、かつ、安定した品質とすることができる。また、図１４（ｂ）の部分拡大図に示すように、遮光性の部品１２における結像レンズ３ａの周縁部と接近している部分を１２ａのような形状とすることにより、入射光の絞り機能を設けている。
【００４０】
なお、この実施の形態１０では、絞り機能を有する遮光性の部品１２ａと赤外除去効果を有する部品９を別々に設けたが、それらの両方を構成してもよい。こうすれば、封止樹脂１１により光学素子３、撮像装置２及び基板１を一体化・固定する場合に、その封止樹脂１１により結像レンズ３ａの周縁部において光学的な性能を損なうことなく生産でき、実施の形態７の場合における効果をも併せもつことができる。
【００４１】
【発明の効果】
この発明の請求項１に係る撮像装置は、基板上の撮像素子と結像レンズ部を有する光学素子との側面部に高粘度樹脂部を備え、かつ、上記結像レンズ部を除く上記光学素子の表面に高粘度樹脂部よりも粘度の低い低粘度樹脂を設けた低粘度樹脂部を備えたので、封止樹脂自体の形状を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  （ａ）はこの発明の実施の形態１を示す外形平面図、（ｂ）はその筐体の外形側面図、（ｃ）はこの発明の実施の形態１に係る一体化した撮像素子・光学素子と筐体とを組み立てる前の撮像素子・光学素子と筐体の断面図、（ｄ）は撮像素子・光学素子と筐体を組み立てた後の部分断面図、（ｅ）はその全体構成の断面図である。
【図２】  （ａ）（ｂ）は、それぞれこの発明の実施の形態２を示す正面図及び側面図である。
【図３】  （ａ）（ｂ）はそれぞれこの発明の実施の形態３を示す正面図及び側面図である。
【図４】  （ａ）（ｂ）は、それぞれこの発明の実施の形態１に係る撮像装置の正面図及び側面図、（ｃ）はこの発明の実施の形態１に係る撮像装置の筐体を付加したときの構成を示す側面図である。
【図５】  （ａ）（ｂ）は、それぞれこの発明の実施の形態５に係る撮像装置の正面図及び側面図、（ｃ）はこの発明の実施の形態５に係る撮像装置の筐体を付加したときの構成を示す側面図及び一部拡大図である。
【図６】  （ａ）（ｂ）は、それぞれこの発明の実施の形態６に係る撮像装置の部分拡大断面図である。
【図７】  この発明の実施の形態７に係る撮像装置の構成を示す構成図である。
【図８】  この発明の実施の形態８に係る撮像装置の構成を示す構成図である。
【図９】  （ａ）（ｂ）（ｃ）は、それぞれ図８に示す撮像装置に係る光学素子の外形を示した平面図、正面図及び側面図である。
【図１０】  この発明の実施の形態８に係る撮像装置の構成を示す構成図である。
【図１１】  （ａ）（ｂ）はそれぞれこの発明の実施の形態８に係る撮像装置の平面図及び部分拡大図を付加した側面図である。
【図１２】  この発明の実施の形態９に係る撮像装置の構成を示す構成図である。
【図１３】  （ａ）（ｂ）は、それぞれこの実施の形態１０に係る撮像装置の正面図及び部分的拡大図を付加した側面図である。
【図１４】  （ａ）（ｂ）は、それぞれこの実施の形態１０に係る撮像装置の正面図及び部分的拡大図を付加した側面図である。
【図１５】  図１４（ｂ）に相当する部分についての別の実施例を示す部分拡大図である。
【符号の説明】
１…基板、２…撮像素子、３…光学素子、３ａ…結像レンズ部、３ｇ…凸部、３ｈ…突出部、３Ｊ…傘形状、３ｋ…テーパ部、３Ｌ…凹凸、３ｍ…凹部、７…筐体、７ａ…開口部、７ｂ…溝部、７ｃ…嵌合部、７ｄ…切欠き部、８…接着剤、９…赤外光除去部材、１０…金ワイヤ、１１…封止樹脂、１１ａ…高粘度の封止樹脂、１１ｂ…低粘度の封止樹脂、１２…遮光性…の部品、１２ａ…絞り形状
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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