(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定方向に移動するベルト上にシート状被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する欠陥を検出する装置に於いて、
（１）ベルトに通気性素材を用いること、
（２）検査位置を通過するベルト下部に、ベルトの走行方向に垂直に複数の孔またはスリットを複数列設けた天板を有する真空吸引機構を配設し、検査位置を通過するシート状被検査物をベルト下部より吸引すること、
（３）該センサーの撮像部（焦点）が天板に穿った孔間またはスリット間になる如く光源とセンサーが配設されていること、
（４）該センサーがＣＣＤリニアイメージセンサーまたはレーザー式検査機であり、孔またはスリットのない天板上に存在するシート状被検査物を検査すること、
を特徴とするシ−ト状物の欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス、樹脂、紙等のシート状被検査物に存在する異物、傷、ピンホール等の欠陥をＣＣＤリニアイメージセンサーやレーザー式検査機等のセンサーを用いて電子的に検出する光学的検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より偏光フィルムやＴＦＴカラーフィルター等の光学フィルムに存在する異物、傷、ピンホール等の欠陥は図６に示す如く光源１より光を照射し、シート状被検査物２よりの反射散乱光をＣＣＤリニアイメージセンサー３で受光し、そのセンサーからの出力信号を図示しない検出手段で検出し、シートに存在する欠陥を光の明暗として判断・検出する方法が行われている。
これらを工業的に検査する場合には一連の製造工程の中で、一定方向に移動するベルト上にフィルム等のシート状被検査物を載置し、特定場所にセンサーの焦点を合わせて上記した方法により検査が行われているが、これらの検査方法はフィルム面上で反射する散乱光にセンサーの焦点距離を合わせていることより、ベルト上に載置されたフィルムに何らかの要因で撓みや凹凸等が生じる場合には欠陥として検出されるため、検査位置に於けるフィルムはセンサーと等距離に位置し焦点がずれないようにする必要がある。
【０００３】
例えばベルトに通気性素材を用い、かつ検査位置を通過するベルト下部に真空吸引ボックスを配設し、検査位置を通過するフィルムをベルト下部より吸着し検査に供するフィルムをベルトに密着させ検査する方法が考えられる。この方法はベルトにフィルムを吸着させるため、フィルム周囲の巻き上がり等は防止し得るが、フィルム（シート）が大きい場合には真空吸引ボックスの中央部が周辺部よりも下方に撓んで、その反射画像波形は図５のようになり焦点距離が合い難いとの欠点を有する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記欠点を改良する目的で本発明者等は図４に示すような真空吸引ボックスに２〜５ｍｍ径の丸孔を穿った厚み３ｍｍの金属製ラス板を天板として配設し用いたが、検査に供するフィルムが薄い場合には、該丸孔中央部に於いて微妙にフィルムが下方に撓み、その反射画像波形は図４のようになり、欠陥が存在する場合との差異が不明確となり、上述した方法の欠点を完全には解決し得なかった。
かかる知見を基礎として本発明者等は、大きさ、厚みに影響されず、常に焦点距離に問題のない、廉価で操作性に優れ、かつ精度の高いシ−ト状物の欠陥検査装置を見出すべく鋭意検討した結果、該真空吸引ボックスに敷設する天板形状を工夫し、特定位置にセンサーを配設するという簡単な方法で上記問題点が全て解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
即ち本発明は、一定方向に移動するベルト上にシート状被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する欠陥を検出する装置に於いて、（１）ベルトに通気性素材を用いること、（２）検査位置を通過するベルト下部に、ベルトの走行方向に垂直に複数の孔またはスリットを複数列設けた天板を有する真空吸引機構を配設し、検査位置を通過するシート状被検査物をベルト下部より吸引すること、（３）該センサーの撮像部（焦点）が天板に穿った孔間またはスリット間になる如く光源とセンサーが配設されていること、（４）該センサーがＣＣＤリニアイメージセンサーまたはレーザー式検査機であり、孔またはスリットのない天板上に存在するシート状被検査物を検査すること、を特徴とするシ−ト状物の欠陥検査装置を提供するにある。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面を用いてさらに詳細に説明する。図１は本発明のシ−ト状物の欠陥検査装置を示す概略図であり、図２〜図４はベルト４と接触する真空吸引機構Ｂの天板構造を示す概略図である。図１においてシート状被検査物である偏光フィルム２は走行するベルト上に載置され検査位置Ａまで搬送される。検査位置Ａはベルト下部に真空吸引ボックス５と天板６よりなる真空吸引機構Ｂを持ち、ベルトで搬送されてきた偏光フィルムをベルト下部より吸引しベルト上に密着させ、この状態に於いて光源１から照射された光を反射散乱光としてＣＣＤリニアイメージセンサー或いはレーザー式検査機等のセンサー３で受光し、そのセンサーからの出力信号を図示しない検出手段で検出する構造となっている。この方法に於いて欠陥はその光の明暗として検出し判断する。
【０００７】
本発明に於いては真空吸引機構Ｂの天板６の孔構造に特徴を有する。図２及び図３は本発明に用いる天板６を示すものである。図２に示す天板６に於いてはベルト４の走行方向面に垂直に丸孔８を連続的に、且つ複数列有する例である。図３はベルトの走行方向面に垂直にスリット７を複数列有する例である。該孔の数、孔径、孔の形状、スリットの幅、列数等はベルト上に載置されたフィルムがベルトに密着すればよく、特に制限されないが、通常孔径５ｍｍ〜２０ｍｍ、孔間隔５ｍｍ〜１５ｍｍ、各列の間隔５ｍｍ〜１５ｍｍの範囲で実施すればよい。またスリットの場合にはスリットの幅５ｍｍ〜１５ｍｍ、各列の間隔５ｍｍ〜１５ｍｍの範囲で実施すればよい。
【０００８】
本発明に於いては各孔又は各スリットの列間Ｙに常にセンサーの焦点がある状態で光源１及びセンサー３をベルト４の走行方向面に垂直なラインＡ上に設置することを必須とする。かかる構造とすることにより、検査位置Ａは常に天板６の孔或いはスリットのない天板上に存在するシート状被検査物を検査するため、検査位置Ａのシート状被検査物には撓みや凹凸が生じ難く、図２、図３の反射画像波形に見られる如く、画像はフラットであるため、誤認が少なく検出精度が向上する。検査位置Ａは天板に形成されるいずれのスリット間Ｙ〜Ｙn'或いは孔間Ｙ〜Ｙn'であってもよい。
【０００９】
本発明に用いるベルト４は真空吸引機構よりの吸引能がベルト上のフィルム２に達し得るものであればよく、通常厚み約０．３ｍｍ〜０．５ｍｍのポリエチレン製の多孔質ベルトが使用される。ベルトの色は特に制限されないが通常グレーが使用される。真空吸引ボックス５の天板６とベルト４の間に抵抗を少なくする目的で厚み約２ｍｍ〜４ｍｍのポリエチレン製の多孔質シート９を配設してもよい。また天板６の素材はステンレス、合成樹脂成形体、セラミックス等いずれでもよく、特に制限されない。
真空吸引ボックス内の真空度は通常約７０ｍｍＨｇ〜約９０ｍｍＨｇの範囲で実施される。
【００１０】
【発明の効果】
以上詳述した本発明によれば真空吸引機構の天板を特殊構造とし、センサーの撮像部（焦点）を特定位置に配設するのみで、何ら操作を複雑化することなく、従来公知のＣＣＤリニアイメージセンサー等を用いた光学的検査装置の検出精度を向上せしめ得るものであり、その産業上の効果はすこぶる大である。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＣＣＤリニアイメージセンサーを用いた光学的検査装置の概略図である。
【図２】真空吸引機構の天板の孔構造を示す概略図およびこれを用いた反射画像波形を示す。
【図３】真空吸引機構の天板の孔構造を示す概略図およびこれを用いた反射画像波形を示す。
【図４】真空吸引機構の天板の孔構造を示す概略図およびこれを用いた反射画像波形を示す。
【図５】天板のない真空吸引機構を示す概略図およびこれを用いた反射画像波形を示す。
【図６】ＣＣＤリニアイメージセンサーを用いた光学的検査装置の概略図である。
【符号の説明】
１  光源
２  シート状被検査物
３  センサー
４  ベルト
５  真空吸引ボックス
６  天板
７  スリット
８  丸孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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