(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央部に対象物を観察するための透孔を有する取付部材と、この取付部材の片面側にて上記透孔を中心としてリング状に設けられた発光体と、この発光体の光照射方向に設けられ一つの平面上に多数のシリンドリカルレンズを並列配置して形成されると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し入射光を散乱させる第一のレンチキュラーレンズと、この第一のレンチキュラーレンズの片面側に密接して設けられ該第一のレンチキュラーレンズと同様に構成されると共にそのシリンドリカルレンズの配列方向を上記第一のレンチキュラーレンズのシリンドリカルレンズの配列方向と交差させて配置した第二のレンチキュラーレンズと、この第二のレンチキュラーレンズの光路下流側に近接して設けられると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し上記第一及び第二のレンチキュラーレンズを透過した光を後方へ導くフレネルレンズとを備えて成ることを特徴とする微細領域の照明装置。
【請求項２】
上記フレネルレンズは、全体としてプラス焦点のレンズの働きをするものであることを特徴とする請求項１記載の微細領域の照明装置。
【請求項３】
中央部に対象物を観察するための透孔を有する取付部材と、この取付部材の片面側にて上記透孔を中心としてリング状に設けられた発光体と、この発光体の光照射方向にて該発光体に近接して設けられると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し発光体の照射光を後方へ導く第一のフレネルレンズと、この第一のフレネルレンズの光路下流側に近接して設けられると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し上記第一のフレネルレンズを透過した光を中心部に向けて平行に屈折させる第二のフレネルレンズとを備えて成ることを特徴とする微細領域の照明装置。
【請求項４】
上記第一のフレネルレンズは、全体としてマイナス焦点のレンズの働きをするものであることを特徴とする請求項３記載の微細領域の照明装置。
【請求項５】
中央部に対象物を観察するための透孔を有する取付部材と、この取付部材の片面側にて上記透孔を中心としてリング状に設けられた発光体と、この発光体の光照射方向にて該発光体の位置に対応してリング状に設けられその照射光を後方へ導くシリンドリカルレンズと、このシリンドリカルレンズの光路下流側に近接して設けられると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し上記シリンドリカルレンズを透過した光を中心部に向けて平行に屈折させるフレネルレンズとを備えて成ることを特徴とする微細領域の照明装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばプリント基板上に実装された電子部品等の半田付部の状態を検査する半田付外観検査装置において対象部品を照明したり、或いは顕微鏡で試料を観察する際にその試料を照明する場合などに用いる微細領域の照明装置に関し、特に、装置のコンパクト性を保ちつつ、対象物に照射する光の透過性が高く且つ高効率で拡散すると共に中心部から周辺部まで照明光を均一化することができる微細領域の照明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、発光体として１個の発光ダイオード（以下「ＬＥＤ」という）から照明の対象物に光を直接照射すると、そのときの照明光の強度分布は図１７（ａ）に示すようになる。また、複数個のＬＥＤから発生されコンボリューションされた光を照明の対象物に直接照射したとき、その光の一部を見る線像強度分布は図１７（ｂ）に示すようになる。このような直接照射の照明光で微細領域を照明した場合は、上記図１７（ａ）又は（ｂ）に示す強度分布又は線像強度分布では、横軸方向（ｘ座標）において輝度が急激なカーブを描いており、中心部と周辺部とで大きな輝度差が出てしまう。したがって、照明の対象物の中心部と周辺部とで明るさの差が出て、例えば所要の検査が高精度で実施できないことがあった。
【０００３】
これに対し、従来の微細領域の照明装置、例えば半田付外観検査装置の照明装置は、特開平７−２４３９８６号公報に示されるように、中央部に撮影用孔を有する円板状の取付部材の下面側に上記撮影用孔を中心として同心円状に多数の発光体（ＬＥＤ）を配置し、これらの発光体の下方にて該多数の発光体の光照射方向には上記取付部材の撮影用孔に対応する透孔を有する光拡散用のスモーク板を取り付け、このスモーク板で上記多数の発光体から照射される光を拡散して対象部品を照明するようになっていた。そして、これにより対象物に対する照明光の均一化はある程度実現可能であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の微細領域の照明装置においては、上記スモーク板で多数の発光体から照射される光を拡散して対象部品を照明するようになっていたので、図１７（ｂ）に示す線像強度分布において急激なカーブを抑えてフラットな分布特性とすることはできるが、該スモーク板は例えば半透明乳白色のプラスチック又はガラス製などの円形板から成るので、光の透過性がやや低く、上記発光体からの照射光の利用効率が低下することがあった。したがって、発光体が発生する光の強度をある程度大きくしなければならず、該発光体の寿命が低下することがあった。また、上記スモーク板による光の拡散では、透過した光の方向成分が殆どなくなり、対象物に対し照明光を一定の角度で照射することはできなかった。
【０００５】
そこで、本発明は、このような問題点に対処し、装置のコンパクト性を保ちつつ、対象物に照射する光の透過性が高く且つ高効率で拡散すると共に中心部から周辺部まで照明光を均一化することができる微細領域の照明装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、第一の発明による微細領域の照明装置は、中央部に対象物を観察するための透孔を有する取付部材と、この取付部材の片面側にて上記透孔を中心としてリング状に設けられた発光体と、この発光体の光照射方向に設けられ一つの平面上に多数のシリンドリカルレンズを並列配置して形成されると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し入射光を散乱させる第一のレンチキュラーレンズと、この第一のレンチキュラーレンズの片面側に密接して設けられ該第一のレンチキュラーレンズと同様に構成されると共にそのシリンドリカルレンズの配列方向を上記第一のレンチキュラーレンズのシリンドリカルレンズの配列方向と交差させて配置した第二のレンチキュラーレンズと、この第二のレンチキュラーレンズの光路下流側に近接して設けられると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し上記第一及び第二のレンチキュラーレンズを透過した光を後方へ導くフレネルレンズとを備えて成るものである。
【０００７】
そして、上記フレネルレンズは、全体としてプラス焦点のレンズの働きをするものである。
【０００８】
また、第二の発明による微細領域の照明装置は、中央部に対象物を観察するための透孔を有する取付部材と、この取付部材の片面側にて上記透孔を中心としてリング状に設けられた発光体と、この発光体の光照射方向にて該発光体に近接して設けられると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し発光体の照射光を後方へ導く第一のフレネルレンズと、この第一のフレネルレンズの光路下流側に近接して設けられると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し上記第一のフレネルレンズを透過した光を中心部に向けて平行に屈折させる第二のフレネルレンズとを備えて成るものである。
【０００９】
そして、上記第一のフレネルレンズは、全体としてマイナス焦点のレンズの働きをするものである。
【００１０】
さらに、第三の発明による微細領域の照明装置は、中央部に対象物を観察するための透孔を有する取付部材と、この取付部材の片面側にて上記透孔を中心としてリング状に設けられた発光体と、この発光体の光照射方向にて該発光体の位置に対応してリング状に設けられその照射光を後方へ導くシリンドリカルレンズと、このシリンドリカルレンズの光路下流側に近接して設けられると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し上記シリンドリカルレンズを透過した光を中心部に向けて平行に屈折させるフレネルレンズとを備えて成るものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は第一の発明による微細領域の照明装置の実施の形態を示す断面説明図である。図１の例は、例えばプリント基板１上に実装された電子部品等の半田付部の状態を検査する半田付外観検査装置において対象部品２を照明する照明装置を示しており、この照明装置は、図１に示すように、取付部材３と、発光体４と、第一のレンチキュラーレンズ５ａと、第二のレンチキュラーレンズ５ｂと、フレネルレンズ６とを備えて成る。
【００１２】
上記取付部材３は、この照明装置の発光体４を取り付けて配線する部材となるもので、図２に示すように適宜の直径（例えば200mm）の円板状に形成され、その中央部には検査対象のプリント基板１上に実装された電子部品等の対象部品２を上方から観察するための透孔７が形成されている。なお、図１において、符号８は上記プリント基板１上に実装された対象部品２の外観検査のために撮影するテレビカメラ又はＣＣＤカメラ等の撮像装置を示し、符号９は上記対象部品２からの反射光を撮像装置８に結像させるレンズを示している。
【００１３】
上記取付部材３の片面側（例えば下面側）にて同一平面内には、多数の発光体４が取り付けられている。この発光体４は、上記プリント基板１上に実装された電子部品等の半田付部の状態を検査するために対象部品２を照明する照明光を発するもので、例えば発光ダイオード（ＬＥＤ）から成り、図２に示すように上記透孔７を中心として複数の同心円状にリング状に配置されている。
【００１４】
上記発光体４の光照射方向すなわち下方側には、第一のレンチキュラーレンズ５ａが設けられている。この第一のレンチキュラーレンズ５ａは、上記発光体４から発せられた光を入射して散乱させるもので、図３に示すように一つの平面上に多数のシリンドリカルレンズ（かまぼこ型に形成された棒状レンズ）１０，１０，…を並列配置して形成され、全体として図１に示す取付部材３と同程度の大きさの円板状に形成されると共に、上記取付部材３の透孔７に対応する部位には同じく透孔１１が形成されている。この第一のレンチキュラーレンズ５ａの特性としては、図３に示すように、点光源としての一つの発光体４から射出された光が透過することにより、オブジェクト面１２には上記多数のシリンドリカルレンズ１０，１０，…の配列方向に沿って帯状に延びる光照射面１３が形成されるという特性を有する。なお、上記第一のレンチキュラーレンズ５ａは、図１において発光体４の下方にて所定の間隔（例えば約１０mm程度の間隔）で近接して設けられている。これは、近接しすぎると第一のレンチキュラーレンズ５ａによる拡散効果が薄れ、離しすぎると装置自体が大型化してしまうからである。
【００１５】
上記第一のレンチキュラーレンズ５ａの片面側すなわち下面側には、第二のレンチキュラーレンズ５ｂが密接して設けられている。この第二のレンチキュラーレンズ５ｂは、上記第一のレンチキュラーレンズ５ａから射出された光を入射して散乱させるもので、図４に示すように一つの平面上に多数のシリンドリカルレンズ１０，１０，…を並列配置して第一のレンチキュラーレンズ５ａと同様に構成され、図１に示すように上記取付部材３の透孔７に対応する部位には同じく透孔１４が形成されると共に、そのシリンドリカルレンズ１０，１０，…の配列方向を上記第一のレンチキュラーレンズ５ａのシリンドリカルレンズ１０，１０，…の配列方向と直交させて配置されている。この第二のレンチキュラーレンズ５ｂの特性は、図３に示す第一のレンチキュラーレンズ５ａの特性と全く同じであり、図４に示すように、第一のレンチキュラーレンズ５ａと第二のレンチキュラーレンズ５ｂとをそれぞれのシリンドリカルレンズ１０，１０，…の配列方向を互いに直交させて配置してあることから、点光源としての一つの発光体４から射出された光が透過することにより、オブジェクト面１２には正方形の光照射面１５が形成されるという特性を有する。なお、上記第一のレンチキュラーレンズ５ａと第二のレンチキュラーレンズ５ｂのそれぞれのシリンドリカルレンズ１０，１０，…の配列方向は、互いに直交させることが好ましいが、９０度以外の角度で交差させて透過光の拡散効果を調整するようにしてもよい。
【００１６】
このような状態で、図１及び図２に示すように構成されたリング状の発光体４から照射される照明光は、図４に示すオブジェクト面１２上で、強度分布は図５に示すようになり、線像強度分布は図６に示すようになる。この図６から明らかなように、図４に示すように組み合わせた第一のレンチキュラーレンズ５ａと第二のレンチキュラーレンズ５ｂとを透過して散乱された光は、かなりフラットな線像強度分布を持つものとなり、オブジェクト面１２ではかなり均一な輝度分布を形成することができる。
【００１７】
上記第二のレンチキュラーレンズ５ｂの光路下流側には、フレネルレンズ６が近接して設けられている。このフレネルレンズ６は、上記第一のレンチキュラーレンズ５ａ及び第二のレンチキュラーレンズ５ｂを透過した光を後方へ導くもので、図７に示すように異なる屈折角を有する複数のプリズムを一つの平面上に同心円状に並べて構成され、全体として図１に示す取付部材３と同程度の大きさの円板状に形成されると共に、上記取付部材３の透孔７に対応する部位には同じく透孔１６が形成されている。なお、図７の例では、上記フレネルレンズ６は、全体としてプラス焦点のレンズの働きをするものとされている。
【００１８】
このような状態で、図１及び図２に示すように構成されたリング状の発光体４から照射される照明光は、図４に示すように組み合わせた第一のレンチキュラーレンズ５ａと第二のレンチキュラーレンズ５ｂとを透過して散乱された光を、さらに図７に示すプラス焦点のフレネルレンズ６を透過して後方へ導くことにより、図８に示すようなフラットな線像強度分布を持つものとなり、照射対象面で均一な輝度分布を形成することができる。これにより、図１に示す対象部品２に照射する照明光を均一化することができる。ここで、レンチキュラーレンズによる光量均一性は高く、この均一化された光を検査部である中心部にプラス焦点のフレネルレンズ６を用いて集光させることにより、対象部品２をより明るく照明することができる。
【００１９】
図９は第二の発明による微細領域の照明装置の実施の形態を示す断面説明図である。図９の例も、例えばプリント基板１上に実装された電子部品等の半田付部の状態を検査する半田付外観検査装置において対象部品２を照明する照明装置を示しており、この照明装置は、図９に示すように、取付部材３と、発光体４と、第一のフレネルレンズ１７ａと、第二のフレネルレンズ１７ｂとを備えて成る。
【００２０】
上記取付部材３及び発光体４は、図１に示す実施の形態と全く同様に形成されている。そして、上記発光体４の光照射方向すなわち下方側には、第一のフレネルレンズ１７ａが該発光体４に近接して設けられている。この第一のフレネルレンズ１７ａは、上記発光体４から発せられた照射光を後方へ導くもので、図１０に示すように異なる屈折角を有する複数のプリズムを一つの平面上に同心円状に並べて構成され、全体として図９に示す取付部材３と同程度の大きさの円板状に形成されると共に、上記取付部材３の透孔７に対応する部位には同じく透孔１８が形成されている。なお、図１０の例では、上記第一のフレネルレンズ１７ａは、全体としてマイナス焦点のレンズの働きをするものとされている。このようなマイナス焦点の第一のフレネルレンズ１７ａを透過することにより、上記リング状の発光体４から照射された照明光が拡がる傾向となり、その結果、中心部の輝度に対し周辺部の輝度を相対的に上げることができる。なお、上記第一のフレネルレンズ１７ａは、図９において発光体４の下方にてほとんど隙間なく近接して設けられており、装置のコンパクト化が図られている。
【００２１】
上記第一のフレネルレンズ１７ａの光路下流側には、第二のフレネルレンズ１７ｂが近接して設けられている。この第二のフレネルレンズ１７ｂは、上記第一のフレネルレンズ１７ａを透過した光を中心部に向けて平行に屈折させるもので、図１１に示すように一つの平面上に同一の屈折角を有する複数のプリズムを一定の間隔で同心円状に並べて構成され、全体として図９に示す取付部材３と同程度の大きさの円板状に形成されると共に、上記取付部材３の透孔７に対応する部位には同じく透孔１９が形成されている。なお、図１１においては、図９に示す第二のフレネルレンズ１７ｂの右半分の部分だけを表している。
【００２２】
このような状態で、図９に示すように構成されたリング状の発光体４から照射される照明光は、その下方に近接して配置された第一のフレネルレンズ１７ａと第二のフレネルレンズ１７ｂとを透過して後方へ導くことにより、図１２に示すように中心部から周辺部までフラットな線像強度分布を持つものとなり、照射対象面で均一な輝度分布を形成することができる。また、図１１に示すように、第二のフレネルレンズ１７ｂの透過光は総て中心部に向けて平行に屈折されるので、図１３に示すように、プリント基板１上の異なる位置に実装された個々の対象部品２，２に入射する光は、その入射角α，βがそれぞれ等しくなる（α＝β）と共に、それに至る光路長ｌ，ｓもそれぞれ等しくなる（ｌ＝ｓ）。これにより、図９に示す対象部品２に照射する照明光を、その実装位置によらず照射角度及び光量を十分に均一化することができる。
【００２３】
図１４は第三の発明による微細領域の照明装置の実施の形態を示す断面説明図である。図１４の例も、例えばプリント基板１上に実装された電子部品等の半田付部の状態を検査する半田付外観検査装置において対象部品２を照明する照明装置を示しており、この照明装置は、図１４に示すように、取付部材３と、発光体４と、シリンドリカルレンズ２０と、フレネルレンズ２１とを備えて成る。
【００２４】
上記取付部材３及び発光体４は、図１に示す実施の形態と同様に形成されているが、発光体４は図１４の例ではリング状に１列だけ設けられている。そして、上記発光体４の光照射方向すなわち下方側にて上記発光体４の位置に対応する位置には、シリンドリカルレンズ２０が設けられている。このシリンドリカルレンズ２０は、上記発光体４から照射された光を後方へ導くもので、かまぼこ型の棒状レンズをリング状に形成して成る。したがって、上記シリンドリカルレンズ２０の中央部には、取付部材３の透孔７に対応する空間部が形成されている。
【００２５】
上記シリンドリカルレンズ２０の光路下流側には、フレネルレンズ２１が近接して設けられている。このフレネルレンズ２１は、上記シリンドリカルレンズ２０を透過した光を中心部に向けて平行に屈折させるもので、図１１に示すと同様に一つの平面上に同一の屈折角を有する複数のプリズムを一定の間隔で同心円状に並べて構成され、全体として図１４に示す取付部材３と同程度の大きさの円板状に形成されると共に、上記取付部材３の透孔７に対応する部位には同じく透孔２２が形成されている。
【００２６】
このような状態で、図１４に示すように構成されたリング状の発光体４から照射される照明光は、その下方に近接して配置されたシリンドリカルレンズ２０とフレネルレンズ２１とを透過して後方へ導くことにより、照射対象面で均一な輝度分布を形成することができると共に、フレネルレンズ２１の透過光は総て中心部に向けて平行に屈折されるので、図１３に示すと同様に、プリント基板１上に実装された個々の対象部品２，２に入射する光は、その入射角α，βがそれぞれ等しくなる（α＝β）と共に、それに至る光路長ｌ，ｓもそれぞれ等しくなる(ｌ＝ｓ）。これにより。図９に示す第二の発明による微細領域の照明装置とほとんど同様に、対象部品２に対する照明光の照射角度と光量の均一化の効果が得られる。
【００２７】
図１５は上記シリンドリカルレンズ２０とフレネルレンズ２１との組合せの変形例を示す説明図である。図１５（ａ）は上記のシリンドリカルレンズ２０と断面が三角形でリング状に形成されたプリズム２３とを組み合わせたものを示し、図１５（ｂ）は上記（ａ）のシリンドリカルレンズ２０とプリズム２３とを組み合わせたものを製造時に一体的に同時成形したレンズ２４を示している。
【００２８】
図１６は上記シリンドリカルレンズ２０の変形例を示す説明図である。この変形例は、図１４又は図１５（ａ）に示すようにシリンドリカルレンズ２０をリング状に形成するのではなく、市販の棒状のシリンドリカルレンズ２０′をそのまま用いて、上記シリンドリカルレンズ２０′を複数個円形に並べたものである。この場合は、シリンドリカルレンズの費用を安く抑えることができる。
【００２９】
なお、図１４においては、発光体４を１列のリング状に設けた場合を示したが、これに限らず、上記発光体４を複数列のリング状に設け、これに伴いフレネルレンズ２１も上記発光体４に対応して複数列のリング状に設けてもよい。また、図１４においては、発光体４を１列のリング状に設けられた多数のＬＥＤとした場合を示したが、これに限らず、１本のリング状の蛍光管としてもよい。
【００３０】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成されたので、第一の発明によれば、リング状の発光体から照射される照明光は、第一のレンチキュラーレンズと第二のレンチキュラーレンズとを透過して散乱された光を、さらにプラス焦点のフレネルレンズを透過して後方へ導くことにより、図８に示すようなフラットな線像強度分布を持つものとなり、照射対象面で均一な輝度分布を形成することができる。これにより、対象部品に照射する照明光を均一化することができる。また、従来のような光拡散用のスモーク板を用いないので、高透過率を維持した状態で均一な照明光を得ることができる。したがって、装置のコンパクト性を保ちつつ、対象物に照射する光の透過性が高く且つ高効率で拡散すると共に中心部から周辺部まで照明光を均一化することができる。
【００３１】
また、第二の発明によれば、第二のフレネルレンズの透過光は総て中心部に向けて平行に屈折されるので、図１３に示すように、プリント基板上に実装された個々の対象部品に入射する光は、その入射角α，βがそれぞれ等しくなる（α＝β）と共に、それに至る光路長ｌ，ｓもそれぞれ等しくなる（ｌ＝ｓ）。これにより、図９に示す対象部品に照射する照明光を十分に均一化することができると共に、照明光の照射位置によらず照射角度を略一定に保つことができる。
【００３２】
さらに、第三の発明によれば、上記第二の発明による微細領域の照明装置とほとんど同様に、対象部品に対する照明光の照射角度と光量の均一化の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第一の発明による微細領域の照明装置の実施の形態を示す断面説明図である。
【図２】取付部材に対する発光体の取付状態を示す底面図である。
【図３】第一のレンチキュラーレンズによる光の散乱状態を示す説明図である。
【図４】上記第一のレンチキュラーレンズと第二のレンチキュラーレンズとを組み合わせたものによる光の透過状態を示す説明図である。
【図５】上記のように組み合わされた第一のレンチキュラーレンズと第二のレンチキュラーレンズとを透過した光のオブジェクト面上での強度分布を示すグラフである。
【図６】上記のように組み合わされた第一のレンチキュラーレンズと第二のレンチキュラーレンズとを透過した光のオブジェクト面上での線像強度分布を示すグラフである。
【図７】第一の発明におけるフレネルレンズの構造及び光の屈折状態を示す説明図である。
【図８】上記フレネルレンズを透過した光のオブジェクト面上での線像強度分布を示すグラフである。
【図９】第二の発明による微細領域の照明装置の実施の形態を示す断面説明図である。
【図１０】第二の発明における第一のフレネルレンズの構造及び光の屈折状態を示す説明図である。
【図１１】第二の発明における第二のフレネルレンズの構造及び光の屈折状態を示す説明図である。
【図１２】上記第一及び第二のフレネルレンズを組み合わせたものを透過した光のオブジェクト面上での線像強度分布を示すグラフである。
【図１３】上記第二のフレネルレンズにより対象部品に対し照射角度と光路長が略一定になることを示す説明図である。
【図１４】第三の発明による微細領域の照明装置の実施の形態を示す断面説明図である。
【図１５】第三の発明におけるシリンドリカルレンズとフレネルレンズとの組合せの変形例を示す断面説明図である。
【図１６】第三の発明におけるシリンドリカルレンズの構造の変形例を示す平面図である。
【図１７】従来例における直接照射の照明光で微細領域を照明した場合のオブジェクト面上での強度分布又は線像強度分布を示すグラフである。
【符号の説明】
１…プリント基板
２…対象部品
３…取付部材
４…発光体
５ａ…第一のレンチキュラーレンズ
５ｂ…第二のレンチキュラーレンズ
６…第一の発明におけるフレネルレンズ
７，１１，１４，１６，１８，１９，２２…透孔
８…撮像装置
９…レンズ
１７ａ…第二の発明における第一のフレネルレンズ
１７ｂ…第二の発明における第二のフレネルレンズ
２０，２０′…第三の発明におけるシリンドリカルレンズ
２１…第三の発明におけるフレネルレンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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