(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に１次Ｘ線を照射して発生する２次Ｘ線の強度を測定する蛍光Ｘ線分析装置であって、
試料ホルダに装着された試料に１次Ｘ線が照射される照射位置と、試料ホルダの交換が行われる投入位置との間で、ｒ駆動軸を回転させることにより試料ホルダを前記ｒ駆動軸を中心とする円周方向に搬送し、かつ、前記照射位置で前記ｒ駆動軸を回転させることにより試料の測定部分を前記円周方向に位置決めするｒ駆動手段と、
θ駆動軸を回転させることにより試料ホルダをその中心軸まわりに回転させる機能を有して、前記照射位置で前記θ駆動軸を回転させることにより試料の測定部分を前記中心軸まわりに位置決めするθ駆動手段とを備え、
前記ｒ駆動軸およびθ駆動軸が同心の２重軸を構成し、
試料の測定部分の指定が行われる指定位置が前記照射位置とは異なる位置であり、
試料ホルダが前記ｒ駆動手段により搬送されてｒ駆動軸まわりに公転する際に自転しないように、前記θ駆動軸を回転させる制御手段を備えた蛍光Ｘ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、１次Ｘ線が照射される照射位置に試料を搬送し、照射位置で試料の測定部分を位置決めして分析を行う蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、試料ホルダに装着され、ターレット（板状の回転体）に載せられた試料を、試料ホルダの交換が行われる投入位置から、１次Ｘ線を照射する照射位置のｒθステージへ、ターレットを回転させることにより搬送し、その照射位置でｒθステージを適切に駆動して試料の測定部分を位置決めし、任意の微小部分の分析を行う蛍光Ｘ線分析装置がある。このような装置では、位置決めと測定を繰り返して複数の測定部分について分析することにより、マッピング分析（分布分析）を行うことができる。測定部分の指定は、例えば、投入位置と照射位置の間の適切な位置にＣＣＤカメラなどの撮像手段を設置してその位置を指定位置とし、搬送中に試料ホルダを指定位置で一旦停止させ、撮像手段で撮像した試料表面を見ながら画面上で行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、試料ホルダがターレットの回転により搬送される際、つまりターレットの回転軸まわりに公転する際、試料ホルダはターレットに対しては静止しているため、搬送の回転角と同じだけ、同時に自転（円筒状である試料ホルダ自身の中心軸まわりの回転）もすることになる。ターレット１５の回転で搬送される試料ホルダにおける試料３の方向３ｄを、試料３の上面に矢印を付すことにより、搬送の回転角９０度ごとに例示すると、図７のようになる。したがって、指定位置と照射位置とにおいても、試料の方向が変わってしまう。かといって、指定位置と照射位置を同じ位置にすること、つまり、照射位置においてＸ線管などに干渉しないようにＣＣＤカメラなどを設けることは困難である。
【０００４】
この不具合を解消するために、例えば下記特許文献１に記載の蛍光Ｘ線分析装置において、以下のような工夫がなされている。試料ホルダ（試料）Ｓに基準マークＭを設けておき、指定位置（画像測定部）においてθステージなどの回転機構で試料ホルダＳを回転させて、レーザー変位計などの検出器５ｂで基準マークＭの回転方向の位置を検出し、基準マークＭが３時の方向にくるようにθステージを停止させて試料Ｓの方向を初期化してから、測定部分ｐの指定を行う。次に、試料ホルダＳを照射位置（蛍光Ｘ線測定部）に搬送し、同様に回転機構および検出器５Ｂを用いて試料Ｓの方向を初期化してから、試料Ｓの測定部分Ｐの位置決めを行う。つまり、照射位置と指定位置の両方において、試料の方向の初期化のために、回転機構および検出器が必要で装置の構成が複雑になり、また時間もかかる。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−３９９７２号公報（段落００１５〜００１８、図２）
【０００６】
本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、試料ホルダを円周経路で搬送する際に試料の方向を維持して、照射位置および指定位置における試料の方向の初期化を不要にできる蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明の装置は、試料に１次Ｘ線を照射して発生する２次Ｘ線の強度を測定する蛍光Ｘ線分析装置であって、以下のｒ駆動手段とθ駆動手段とを備える。ｒ駆動手段は、試料ホルダに装着された試料に１次Ｘ線が照射される照射位置と、試料ホルダの交換が行われる投入位置との間で、ｒ駆動軸を回転させることにより試料ホルダを前記ｒ駆動軸を中心とする円周方向に搬送し、かつ、前記照射位置で前記ｒ駆動軸を回転させることにより試料の測定部分を前記円周方向に位置決めする。θ駆動手段は、θ駆動軸を回転させることにより試料ホルダをその中心軸まわりに回転させる機能を有して、前記照射位置で前記θ駆動軸を回転させることにより試料の測定部分を前記中心軸まわりに位置決めする。そして、前記ｒ駆動軸およびθ駆動軸が同心の２重軸を構成する。
【０００８】
ここで、試料の測定部分の指定が行われる指定位置が前記照射位置とは異なる位置であり、この蛍光Ｘ線分析装置は、試料ホルダが前記ｒ駆動手段により搬送されてｒ駆動軸まわりに公転する際に自転しないように、前記θ駆動軸を回転させる制御手段をさらに備える。
【０００９】
本発明の装置によれば、試料ホルダがｒ駆動軸まわりに搬送されて公転する際に自転しないように、制御手段がθ駆動軸を適切に回転させるので、試料の方向が維持され、照射位置および指定位置における試料の方向の初期化を不要にできる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態の装置について、構成から説明する。図１の縦断面図に示すように、この装置は、まず、真空引きされるチャンバ３９内で試料３にＸ線管などのＸ線源１から１次Ｘ線２を下方から照射して、発生する２次Ｘ線５の強度を検出手段６で測定する下面照射型蛍光Ｘ線分析装置である。検出手段６は、発散ソーラースリット、分光素子、受光ソーラースリット、検出器などを含むが、ここでは、発散ソーラースリットのみを図示している。なお、ＳＳＤのようにエネルギー分解能の高い検出器を用いる場合には、分光素子を備える必要はない。また、本発明は、下面照射型に限定されず、試料に上方から１次Ｘ線を照射する上面照射型でもよい。
【００１１】
この装置は、以下のｒ駆動手段３７とθ駆動手段３８とを備える。ｒ駆動手段３７は、チャンバ３９を除去した斜視図である図２に示すように、試料ホルダ３４Ａに装着された試料３ＡにＸ線源１から１次Ｘ線２（図１）が照射される照射位置（図１、図２での右側）と、試料ホルダ３４Ｂの交換が行われる投入位置（図１、図２での左側）との間で、ｒ駆動軸４３（図１）を回転させることにより試料ホルダ３４Ａ，３４Ｂをｒ駆動軸４３を中心とする円周方向ｒに搬送し、かつ、前記照射位置でｒ駆動軸４３を回転させることにより試料３Ａの測定部分を円周方向ｒに位置決めする。図２で左側の投入位置から手前側を経て右側の照射位置へ至る半円周を搬送往路とし、右側の照射位置から奥側を経て左側の投入位置へ戻る半円周を搬送復路とし、円周全体を搬送経路とする。
【００１２】
より具体的には、図１に示すように、ｒ駆動手段３７は、ステッピングモータであるｒ駆動モータ４０、そのｒ駆動モータ４０の回転軸に伝達部４９を介して連結された円柱状のｒ駆動体４１、そのｒ駆動体４１の円筒状の下端部で直径方向（図１では紙面垂直方向）に連結されたピン４２、そのピン４２が係合する溝を上端部に有する円柱状のｒ駆動軸４３、そのｒ駆動軸４３の下端部に連結された水平の円板状のステージ４５、そのステージ４５にそれぞれ軸受け４７Ａ，４７Ｂを介して取り付けられ、試料ホルダ３４Ａ，３４Ｂがそれぞれ載置される２つのホルダ受け４８Ａ，４８Ｂなどを含む。２つのホルダ受け４８Ａ，４８Ｂは、前記円周方向ｒ（図２）に１８０度離れた位置に設けられている。伝達部４９は、ｒ駆動モータ４０の回転軸に連結されたプーリ６３、ｒ駆動体４１を回転軸として連結されたプーリ６５、および両プーリ６３，６５に掛けられたベルト６４からなる。
【００１３】
ホルダ受け４８Ａ，４８Ｂは、ステージ４５に軸受け４７Ａ，４７Ｂを介して取り付けられる輪状歯車６１Ａ，６１Ｂと、それに載置されるカップ状のホルダ受け本体６２Ａ，６２Ｂとからなる。ホルダ受け本体６２Ａ，６２Ｂの上端部外周には段部（つば）が形成され、輪状歯車６１Ａ，６１Ｂの上部内周側に、ホルダ受け本体６２Ａ，６２Ｂの上部外周側が嵌入、係合する。ホルダ受け本体６２Ａ，６２Ｂの底部（下部）は底板の周縁部を残して開口しており、その底部内側に、試料ホルダ３４Ａ，３４Ｂの下部外周に形成された下側段部が嵌入、係合するように載置される。試料ホルダ３４Ａ，３４Ｂは底付き円筒状であるが、底部は底板の周縁部を残して開口しており、その底部内側に、円板状の試料３Ａ，３Ｂの外周部が嵌入、係合するように装着され、試料ホルダ３４Ａ，３４Ｂの底部の開口を通って１次Ｘ線２が試料３Ａの下面に照射される。また、試料ホルダ３４Ａ，３４Ｂの上端部外周には上側段部が形成されている。
【００１４】
ステージ４５には、図２のように上面外周部３箇所において、車輪状のベアリング４６Ｄ，４６Ｅ，４６Ｆの軸がねじ込まれて取り付けられ、図１のチャンバ３９の円筒状の壁の内面に対しベアリング４６Ｄ，４６Ｅ，４６Ｆの外周がころがる。また、ステージ４５の下面外周部に対しベアリング４６Ｇ，４６Ｈ，４６Ｉ（図１に４６Ｇ，４６Ｈを示し、図２に４６Ｉを示す）の外周がころがるように、ベアリング４６Ｇ，４６Ｈ，４６Ｉの軸が、水平に設定され、チャンバ３９に固定されている（固定の様子については図示を省略している）。これらのベアリング４６Ｄ，４６Ｅ，４６Ｆ，４６Ｇ，４６Ｈ，４６Ｉを用いた支持構造により、ステージ４５は、ｒ駆動軸４３を中心として円周方向ｒに回転自在である。
【００１５】
θ駆動手段３８は、図２に示すように、θ駆動軸５３を回転させることにより試料ホルダ３４Ａ，３４Ｂを各中心軸ＣA ，ＣB まわり（θA ，ＣB 方向）に回転させる機能を有して、前記照射位置でθ駆動軸５３を回転させることにより試料３Ａの測定部分を前記中心軸ＣA まわり（θA 方向）に位置決めする。
【００１６】
より具体的には、図１に示すように、θ駆動手段３８は、ステッピングモータであるθ駆動モータ５０、そのθ駆動モータ５０の回転軸に伝達部５９を介して連結され、中間部において軸受け５５を介して内側のｒ駆動体４１と相対回転自在な段付き円筒状のθ駆動体５２、そのθ駆動体５２の下端部の溝が係合する突起を上端部に有し、下端部において軸受け５４を介して内側のｒ駆動軸４３と相対回転自在な円筒状のθ駆動軸５３、そのθ駆動軸５３の下端部外周に設けられた歯車に外周が噛み合う前記ホルダ受け４８Ａ，４８Ｂなどを含む。チャンバ３９の上部（天板）には、円筒状のカバー８０が取り付けられており、その内側に位置するθ駆動体５２は、中間部において軸受け８１を介してカバー８０と相対回転自在である。ｒ駆動軸４３はθ駆動軸５３を貫通し、両者は同心の２重軸を構成している。伝達部５９は、θ駆動モータ５０の回転軸に連結されたプーリ７３、θ駆動体５２を回転軸として連結されたプーリ７５、および両プーリ７３，７５に掛けられたベルト７４からなる。
【００１７】
ｒ，θ駆動モータ４０，５０は、回転位置が検出できるものであればよく、ステッピングモータ以外に、サーボモータを用いてもよく、また、回転位置検出をしないモータと回転位置検出のためのエンコーダとを組み合わせたものを用いてもよい。また、ｒ駆動体４１とθ駆動体５２との間、θ駆動体５２とカバー８０との間、カバー８０とチャンバ３９の上部（天板）との間は、いずれも適切にシールされる。なお、図１は、図２の縦断面図であるが、ステージ４５およびチャンバ３９の外周部においては、ベアリング４６Ｄ，４６Ｅ，４６Ｇ，４６Ｈの軸を通る断面を示す。
【００１８】
また、この実施形態の装置は、図１に示すように、前記投入位置で試料ホルダ３４Ｂの交換つまり試料３Ｂの交換を行うための以下のような試料交換手段９０を備えている。まず、投入位置にある試料ホルダ３４Ｂおよびホルダ受け本体６２Ｂが、図３に示すように上方へ移動できるように、チャンバ３９の上部には開口３９ａが設けられており、その開口３９ａを介してチャンバ３９内と連通する円筒状の交換筒９１がチャンバ３９の上面に取り付けられている。その交換筒９１の上部を密閉する蓋体９２は、一対のステー９３ａ，９３ｂを介して図示しない移動機構により水平方向および上下方向に移動される。蓋体９２の内部には、試料ホルダ３４Ｂを把持、解放するための一対の爪９４ａ，９４ｂを有する把持部９４が設けられている。
【００１９】
また、交換筒９１の中心軸に沿って上下動する円柱状の交換軸９５が設けられ、その先端部には、試料ホルダ３４Ｂを載置する円板状のホルダ台９６が取り付けられている。交換軸９５の外側には摺動自在の２重軸を構成するホルダ受け台９７が設けられており、ホルダ受け台９７の上部は底付き円筒状に形成され、上端部にホルダ受け本体６２Ｂの底部が嵌入するように載置される。ホルダ受け台９７の下方で、交換軸９５には段付き円筒状のばね止め９８が取り付けられ、交換軸９５の溝に嵌め込まれたリング９９により下方向への移動を規制されている。そして、ホルダ受け台９７とばね止め９８との間に挿入されたコイルばね１００の伸長力により、ホルダ受け台９７は、交換軸９５に対し上方に押し上げられ、ホルダ受け台９７の底の内面にはホルダ台９６の下面が当接する。
【００２０】
なお、交換筒９１の内側には、ホルダ受け台９７に載置されたホルダ受け本体６２Ｂの上端が下から当接する段部９１ａが形成されている。また、蓋体９２と交換筒９１との間、交換筒９１とチャンバ３９との間、交換筒９１の段部とホルダ受け本体６２Ｂとの間、ホルダ受け本体６２Ｂとホルダ受け台９７との間、ホルダ受け台９７と交換軸９５との間は、いずれも適切にシールされる。
【００２１】
また、この実施形態の装置では、図２に示すように、左側の投入位置から手前側を経て右側の照射位置へ至る前記搬送往路の中間に、下方から試料表面を見上げるＣＣＤカメラなどの撮像手段１１０を設置し、搬送経路におけるその位置を指定位置としている。測定部分の指定は、往路搬送中に試料ホルダ３４を指定位置で一旦停止させ、撮像手段１１０で撮像した試料表面を操作者が見ながら画面上で行う。搬送経路において指定位置を照射位置や投入位置とは異なる位置とするのは、照射位置のＸ線源１や投入位置の試料交換手段９０（図３）などに干渉しないように撮像手段１１０を設置するのが困難だからである。さらに、この実施形態の装置は、図１に示すように、試料ホルダ３４がｒ駆動手段３７により搬送されてｒ駆動軸４３まわりに公転する際に自転しないように、θ駆動軸５３を回転させる制御手段１１１を備える。この装置の他の構成については、次述の動作の説明とともに説明する。
【００２２】
次に、この実施形態の装置の動作について説明する。全体の動作も制御手段１１１により自動的になされる。今、図１において、照射位置にある試料ホルダ３４Ａは、搬送された直後で、試料３Ａの測定部分の位置決め前である。ここで、照射位置とは、試料ホルダ３４Ａに装着された試料３ＡにＸ線源１から１次Ｘ線２が照射される位置をいい、ある程度の範囲を有する。搬送された直後の位置は、そのうちの所定の基準となる位置である。このとき、もう一方の試料ホルダ３４Ｂは、装着した試料３Ｂについてすでに照射位置での強度測定を終えて、投入位置にある。この段階で、図３に示すように、投入位置にある試料ホルダ３４Ｂおよびホルダ受け本体６２Ｂの下方から、交換軸９５と一体となったホルダ台９６およびホルダ受け台９７が上昇してきて、試料ホルダ３４Ｂおよびホルダ受け本体６２Ｂを載置して押し上げ、ホルダ受け本体６２Ｂの上端が、交換筒９１の段部９１ａの下面に当接する。その結果、蓋体９２および交換筒９１の内部でホルダ受け本体６２Ｂおよびホルダ受け台９７よりも上側の空間ＳU は、チャンバ３９内と連通しない密閉空間となる。
【００２３】
そこで、この上側空間ＳU に空気が導入され大気圧にされるとともに、図４に示すように、試料ホルダ３４Ｂを載置したホルダ台９６および交換軸９５が、コイルばね１００の伸長力に打ち勝って、さらに上昇する。そして、爪９４ａ，９４ｂを開いて待機していた把持部９４（図３）が、爪９４ａ，９４ｂを閉じて試料ホルダ３４Ｂの上側段部に係合させ、試料ホルダ３４Ｂを把持する。把持部９４が試料ホルダ３４Ｂを把持した状態で、蓋体９２が移動機構により上下方向および水平方向に移動され、把持部９４の爪９４ａ，９４ｂが開くことにより、試料ホルダ３４Ｂは、もともと待機していた位置（図示せず）に戻される。
【００２４】
さらに、試料ホルダ３４Ｂを待機位置に戻したのと逆の手順によって、現在照射位置にある試料３Ａ（図１）の次に分析すべき試料３Ｃを装着した試料ホルダ３４Ｃが、待機位置から図３の試料ホルダ３４Ｂの位置まで移動される。その際、蓋体９２が交換筒９１の上部を密閉した後、上側空間ＳU が真空引きされる。
【００２５】
さて、以上の試料交換作業の間、チャンバ３９内の真空は維持されており、また、ステージ４５は、輪状歯車６１Ｂが交換軸９５およびばね止め９８に干渉しない範囲で、前記円周方向ｒに回転できる。つまり、投入位置で試料交換をしながら、並行して以下のように照射位置で分析ができる。まず、図１の制御手段１１１が、ｒ駆動手段３７のｒ駆動モータ４０およびθ駆動手段３８のθ駆動モータ５０を適切に回転させ、試料３Ａの指定された測定部分（測定部分の指定については後述する）にＸ線源１から１次Ｘ線２が照射されそこから発生した２次Ｘ線５が検出手段６に入射するように、測定部分を前記円周方向ｒおよびθA 方向に位置決めする。そして、その測定部分に１次Ｘ線２が照射され発生する２次Ｘ線５の強度が検出手段６で測定され、蛍光Ｘ線分析がなされる。複数の測定部分が指定された場合は、位置決めおよび強度測定が順次行われ、分布分析がなされる。
【００２６】
また、試料３Ａにおける不均一性の問題を回避して平均化したデータを得たい場合には、上述のような位置決めを行わずに、θ駆動手段３８のいわゆるスピン機能を利用して、照射位置で試料ホルダ３４Ａを連続回転させながら測定することにより、円状または輪状の広い測定部分について分析することもできる。なお、θ駆動軸５３を回転させることにより照射位置でホルダ受け４８Ａを回転させると、同時に図３に示すような状態で投入位置側の輪状歯車６１Ｂが空回りするが、問題はない。
【００２７】
試料３Ａについての強度測定がすべて終了すると、図１の制御手段１１１が、ｒ駆動手段３７のｒ駆動モータ４０を適切に回転させ、試料ホルダ３４Ａを、位置決め前の位置、つまり照射位置のうちの前記所定の基準となる位置に戻す。これにより、図３に示すように、輪状歯車６１Ｂが、厳密に試料ホルダ３４Ｃおよびホルダ受け本体６２Ｂの直下に位置する。そして、試料ホルダ３４Ｃおよびホルダ受け本体６２Ｂを載置したホルダ台９６、ホルダ受け台９７および交換軸９５が下降し、試料ホルダ３４Ｃは、図１に示す投入位置にくる。これで、投入位置における試料３Ｂから試料３Ｃへの交換作業が完了する。
【００２８】
次に、制御手段１１１が、ｒ駆動手段３７のｒ駆動モータ４０を適切に（この実施形態の装置では上から見て左回りに９０度）回転させ、投入位置の試料ホルダ３４Ｃを指定位置に移動させると、撮像手段１１０（図２）で撮像された試料３Ｃの表面の画像が、ＣＲＴなどの表示手段１１２の画面１１２ａに表示される。このとき、試料３Ｃ表面の中心が画面１１２ａの中心にくるように、撮像手段１１０（図２）が設置されている。
【００２９】
そして、操作者により、表示手段１１２の画面１１２ａに表示された試料３Ｃ表面の画像に基づいて、試料３Ｃの測定部分（複数でもよい）が指定される。この指定は、制御手段１１１含まれる指定手段１１３を用いて、例えばマウス１１３ａで画面上１１２ａのポインタ１１３ｂを所望の測定すべき部分まで移動させ、そこでクリックすることにより行われる。指定された測定部分のデータは、試料３Ｃ表面の中心（画面１１２ａの中心でもある）を原点とする座標値（ｒθ座標値やＸＹ座標値）として指定手段１１３に記憶される。
【００３０】
試料３Ｃについて操作者による測定部分の指定が終了すると、その測定のため、制御手段１１１が、ｒ駆動手段３７のｒ駆動モータ４０を適切に（この実施形態の装置では上から見て左回りに９０度）回転させ、指定位置の試料ホルダ３４Ｃを照射位置に移動させる。さて、このように試料ホルダ３４Ｃがｒ駆動軸４３まわりに搬送されて公転する際、前述したように、従来は、試料ホルダが搬送の回転角と同じだけ、同時に自転もして（図７）、指定位置と照射位置とで試料の方向が変わってしまうという問題があった。
【００３１】
この実施形態の装置においても、もし、搬送の際、θ軸駆動５３を回転させずにｒ駆動軸４３のみを回転させると、静止したθ駆動軸５３まわりに、ステージ４５とともにホルダ受け４８Ａ，４８Ｂも回転し、ホルダ受け４８Ａ，４８Ｂの輪状歯車６１Ａ，６１Ｂは、θ駆動軸５３の下端部外周に設けられた歯車に噛み合っているので、ホルダ受け４８Ａ，４８Ｂとそこに載置された試料ホルダ３４Ａ，３４Ｃは、自転することになる。例えば、この実施形態の装置において輪状歯車６１Ａ，６１Ｂとθ駆動軸５３の歯車の直径、歯数が共通であるとすると、搬送の回転角の２倍分、試料ホルダ３４が自転することになる。ステージ４５の回転で搬送される試料ホルダ３４における試料３の方向３ｄを、試料３の上面に矢印を付すことにより、搬送の回転角９０度ごとに例示すると、図６のようになる。このように従来よりも大きい角速度で自転すると、自転の慣性力により、図１の試料ホルダ３４がホルダ受け４８に対してスリップして、その分さらに指定位置と照射位置とで試料の方向が変わってしまうなどのおそれも生じる。
【００３２】
そこで、本発明の装置においては、制御手段１１１により、試料ホルダ３４がｒ駆動手段３７により搬送されてｒ駆動軸４３まわりに公転する際に自転しないように、θ駆動軸５３を回転させる。例えば、この実施形態の装置では、搬送の回転角の２倍分、θ駆動手段３８のθ駆動モータ５０をｒ駆動モータ４０とは逆向きに回転させて、試料ホルダ３４の自転運動を打ち消す。この動作は、搬送経路全体においてなされる。ステージ４５の回転で搬送される試料ホルダ３４における試料３の方向３ｄを、試料３の上面に矢印を付すことにより、搬送の回転角９０度ごとに例示すると、図５のようになる。本発明においては、搬送経路のどこにおいても、試料の方向は変わらない。
【００３３】
このようにして、図１の制御手段１１１は、試料３Ｃの測定のため、ｒ駆動手段３７のｒ駆動モータ４０およびθ駆動手段３８のθ駆動モータ５０を適切に回転させ、指定位置の試料ホルダ３４Ｃを自転させずに照射位置に移動させる。したがって、この実施形態の装置によれば、試料ホルダ３４Ｃがｒ駆動軸４３まわりに搬送される際、試料３Ｃの方向が維持され、照射位置および指定位置における試料３Ｃの方向の初期化を不要にできる。
【００３４】
指定位置の試料ホルダ３４Ｃを照射位置に移動させると同時に、もう一方の試料ホルダ３４Ａを投入位置に移動させ、以上の手順を繰り返す。続けて分析する試料３Ｃがない場合には、分析済みの試料３Ａを装着した試料ホルダ３４Ａを、前述したように待機位置に戻して、分析作業を終了する。
【００３５】
なお、指定位置はステージ４５の回転による搬送経路外でもよい。例えば、蛍光Ｘ線分析装置本体の外に撮像手段１１０を設置し、前述したのと同様に試料ホルダ３４に装着した試料３について測定部分を指定した後、試料ホルダ３４をそれぞれの前記待機位置に載置し（載置にあたり、操作者から見た試料３の方向を指定時と同じ向きにする）、前記試料交換手段９０による待機位置から投入位置までの移動において、操作者から見た試料３の方向を維持するようにしておけば、投入位置以降のステージ４５の回転による搬送経路においては、前述したように試料３の方向は維持されるので、やはり、照射位置および指定位置における試料３の方向の初期化を不要にできる。
【００３６】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の蛍光Ｘ線分析装置によれば、試料ホルダがｒ駆動軸まわりに搬送されて公転する際に自転しないように、制御手段がθ駆動軸を適切に回転させるので、試料の方向が維持され、照射位置および指定位置における試料の方向の初期化を不要にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である下面照射型蛍光Ｘ線分析装置を示す縦断面図である。
【図２】同装置のチャンバを除去した斜視図である。
【図３】同装置の試料交換機構を示す縦断面図である。
【図４】同装置の試料交換機構の別の状態を示す縦断面図である。
【図５】同装置においてステージの回転で搬送される試料の方向を、搬送の回転角９０度ごとに例示した図である。
【図６】同装置において仮にθ軸駆動を停止したままでステージを回転させた場合に搬送される試料の方向を、搬送の回転角９０度ごとに例示した図である。
【図７】従来の蛍光Ｘ線分析装置においてターレットの回転で搬送される試料の方向を、搬送の回転角９０度ごとに例示した図である。
【符号の説明】
２…１次Ｘ線、３…試料、５…２次Ｘ線、３４…試料ホルダ、３７…ｒ駆動手段、３８…θ駆動手段、４３…ｒ駆動軸、５３…θ駆動軸、１１１…制御手段、Ｃ…試料ホルダの中心軸、ｒ…円周方向、θ…中心軸まわり。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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