(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定ヘッドの外殻部を形成するケーシングと、
同ケーシングの上端部に設けられた案内軸により上端部が上下方向に摺動可能に支持されるとともに、下端部が上記ケーシングの下端よりも下方に延出する長さを有していて、その下端部に参照片が取り付けられる中間筒と、
下端部に圧子が取り付けられた圧子軸とを、備え、
上記圧子軸が、その上端部が上記中間筒の上端部付近において上下方向に摺動可能に支持されるとともに、その下端部が上記中間筒の下端よりも下方に延出するようにして、上記中間筒の内部に配設されており、
上記ケーシング内の、上記圧子軸の上端面よりも下方の位置に、上記ケーシングとの間に介装される試験荷重ばねを受けて上記圧子軸に試験荷重を付与するばね受けが、上下方向に摺動可能に設けられ、
同ばね受けに、上方に向けて突出する筒状の支持部材が一体に設けられていて、同支持部材の内部に、上記中間筒及び圧子軸の各上端がそれぞれ位置するように配設されていることを特徴とする、侵入深さ式硬さ測定装置用測定ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料に圧子を押し込んで該試料の硬さを測定する硬さ測定装置に用いられる測定ヘッドに関し、特に、硬さの自動測定を可能にした、侵入深さ式硬さ測定装置用の測定ヘッドの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、硬さの自動測定に用いられる硬度計として、例えば特開平７−１２８２０８号公報に記載されているようなものが提案されている。
これを図８により説明すると、図８において符号60は測定ヘッドを示しており、その測定ヘッド60は、試験荷重ユニットＡと初荷重ユニットＢとからなっている。そして、その測定ヘッド60は、全体が円筒状に形成されている。
【０００３】
符号５は初荷重ユニットＢの外枠部材としての押し付け筒を示しており、この押し付け筒５の上部に、試験荷重ユニットＡの外枠部材としての試験荷重ケース３がネジ接続により交換可能に接続されるようになっている。なお、押し付け筒５と試験荷重ケース３とは同一外径に形成されていて、両者はネジ接続により一体化されるようになっている。
【０００４】
押し付け筒５には、絶縁片11を介して電気的に絶縁されるとともに円錐状の受け面10ａが形成された導電体製の受座10が設けられている。また、その押し付け筒５の内部には、中間筒７が上下動可能に配設されている。その中間筒７は、下端部に形成された円錐面状の当接面で受座10の円錐状の受け面10ａに当接することにより、下方への移動が制限されるようになっている。
符号９は受座10の支持リングを示している。
【０００５】
中間筒７は、その上部に取り付けられた滑り片４に案内されて押し付け筒５の内部を上下動するようにされている。さらに、中間筒７の下端には、接続筒12が取り付けられるとともに、その接続筒12を介して円筒状の参照片27が取り付けられている。この参照片27は、試料台ｃ上に載置された試料14の表面に対向するように配設されており、中間筒７の下降により、その参照片27の下端面が試料14の表面に当接するようになっている。中間筒７には、押し付け筒５に上端部を支持され、その中間筒７にｆcなる押し付け力を付与可能な押し付けばね24の下端部が係着されている。
【０００６】
中間筒７の内部には、その鉛直中心軸線に沿うようにして、圧子軸８が配設されている。
圧子軸８の下方部分には、参照片27の円錐状受部27ａに当接可能なばね受け26が取り付けられている。さらに、その圧子軸８の下端部には、圧子13が取り付けられている。圧子軸８には、中間筒７に上端部を支持され、圧子13にｆ１なる初荷重を付与可能な初荷重ばね25の下端部が係着されている。
また、圧子軸８の上端部には、中間筒７の鉛直中心軸線に沿うように配設された中間軸21の下端部がネジ接続されている。
【０００７】
中間軸21は、滑り片４の中心部開口に移動可能に嵌合されている。したがって、圧子軸８は中間軸21と一体となって中間筒７内を鉛直方向に移動可能となっている。
符号20は中間軸21の頂面に取り付けられた荷重受面を示している。
また、中間軸21の中間部には、軸長方向に長穴21ａが形成されており、この長穴21ａ内には、中間筒７に突設された支持金具６が配設されている。そして、この支持金具６に、変位センサとしての差動トランスを構成するコイル22が取り付けられている。
【０００８】
一方、圧子軸８にはコア軸23が突設されており、このコア軸23の上端部がコイル22内に延設されて、上記コイル22とともに、参照片27と圧子13との相対変位を測定するための変位計としての差動トランスを構成している。
なお、変位センサとしては、差動トランスに代えてリニヤスケールなどを用いてもよい。
このようにして初荷重ユニットＢが構成されている。
【０００９】
一方、試験荷重ケース３には、下端が中間軸21の上端面の荷重受面20と対向するようにして、荷重軸16が配設されている。この荷重軸16は、その上部が、試験荷重ケース３に螺合されたばね受け１により、上下方向に摺動可能に案内されている。また、その下部は、荷重軸16に取り付けられたばね受け17を介して受座18に支持されている。その受座１８は、円錐状の受部18ａを有するもので、試験荷重ケース３に絶縁片19を介して支持されている。
さらに、ばね受け17とばね受け１との間には、荷重軸16を介して圧子軸８に試験荷重を付与し得る試験荷重ばね２が介装されている。
このようにして試験荷重ユニットＡが構成されている。
【００１０】
そして、受座10および受座18が、いずれもその支持部材に対して電気的に絶縁されていることから、それら受座10, 18と中間筒７あるいはばね受け17とによってそれぞれ初荷重検出用スイッチＳ１，試験荷重検出用スイッチＳ２が構成され、また、スイッチＳ１とＳ２とによって初荷重負荷状態および試験荷重負荷状態をそれぞれ検出し得る負荷状態検出機構が構成されている。なお、スイッチＳ１，Ｓ２のオン−オフは、表示器のパイロットランプに表示されるようになっている。
【００１１】
上述の構成の測定ヘッド60は、硬さ測定の際、図７に示すような機枠120に装着され、油圧シリンダ102によりレバー101を介して押し下げられる。
なお、圧子軸８は、その無負荷時に円錐状の受面27ａに当接している状態では、圧子13が参照片27の下端よりも若干（寸法ａで示す）突出するように、その長さが設定されている。また、その状態にあるときには、荷重受面20と荷重軸16の下端面との間に、圧子13の突出量ａより大きい間隙ｂが保たれるようにされている。
【００１２】
測定ヘッド60が押し下げられると、まず圧子13が試料14に当接し、圧子軸８のばね受け26から参照片27の円錐受部27ａが相対的に下方へ離脱する。したがって、圧子13には、初荷重ばね25による初荷重ｆ１が加えられる。
測定ヘッド60がさらに押し下げられると、参照片27が試料14に当接し、さらに測定ヘッド60が押し下げられると、中間筒７の下端部が受座10から離れてスイッチＳ１がＯＦＦとなる。
【００１３】
そして、参照片27にｆc の押し付け力が、また圧子13に初荷重ｆ１が加えられた状態になる。
なお、この時点では、荷重受面20と荷重軸16の下端面との間には間隔が保たれている。この初荷重状態のときの参照片27に対する圧子13の突出量Ｈ１に対応した起電力が差動トランスのコイル22に発生し、その値が表示器に内蔵されたコンピュータに記憶される。
【００１４】
測定ユニット60がさらに押し下げられると、荷重軸16の下端面が荷重受面20に当接し、荷重軸16のばね受け17が受座18の円錐状の受面18ａから離れる。すると、試験荷重ばね２による試験荷重ｆ２が圧子13に追加される。なお、ばね受け17の受面18ａからの離脱により、スイッチＳ２がＯＦＦとなり、この状態になったことがパイロットランプに表示される。
【００１５】
そして、この状態（圧子13に「ｆ１(初荷重)＋ｆ２(試験荷重)」が負荷された状態，試験荷重状態）になった後に、測定ヘッド60を上昇運動に変える。測定ヘッド60の上昇過程においては、再度初荷重の状態になる。そこで、このときの圧子13の参照片27からの突出量Ｈ２が計測され、そのＨ２と上記のＨ１との差Ｈ０＝Ｈ２−Ｈ１が表示器内のコンピュータで演算される。さらに、これ（Ｈ０）が、予め入力されている計算式に基づいて硬さに換算され、測定値表示パネルに硬さとして表示される。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
このように、上述のような従来の硬度計においては、圧子13を初荷重ｆ１で試料14の表面に押し付ける（この状態を「初荷重状態」という）とともに、参照片27を押し付け荷重ｆcで試料14の表面に押し付ける。そして、このときの参照片27を基準とした圧子13の変位（試料への侵入深さ）Ｈ１を、変位センサにより計測する。次いで、圧子13に試験荷重ｆ２を付加（この状態を「試験荷重状態」といい、圧子13には荷重「ｆ１＋ｆ２」が負荷される）した後、試験荷重ｆ２を取り去って初荷重状態に戻し、そのときの参照片27を基準とした圧子の変位（試料への侵入深さ）Ｈ２を変位センサによって計測する。そして、Ｈ０＝Ｈ２−Ｈ１をコンピュータで演算して、Ｈ０と硬さＫとの予め算出（実験を含む）された関係から、試料の硬さの測定を行なっている。
【００１７】
ところで、上述のような従来の硬度計では、測定ヘッド60が、それぞれ別個に組立てられた試験荷重ユニットＡと初荷重ユニットＢとの結合体として構成されるため、測定ヘッド60の組付けを容易に行なえるというメリットがあるものの、圧子軸８が試験荷重ユニットＡよりも上方へ延出しない構成とせざるを得ず、その結果、圧子軸８，中間筒７などの主要部品の長さが短くなって、姿勢の安定性が悪くなり、硬さ試験中、圧子軸８の軸心を試験荷重の負荷方向に常に整合させるのが難しく、測定誤差が生じ易いという問題点がある。
【００１８】
本発明は、このような問題点を解消した侵入深さ式硬さ測定装置用測定ヘッドを提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、本発明は、侵入深さ式硬さ測定装置における測定ヘッドにおいて、同測定ヘッドの外殻部を形成するケーシングと、同ケーシングの上端部に設けられた案内軸により上端部が上下方向に摺動可能に支持されるとともに、下端部が上記ケーシングの下端よりも下方に延出する長さを有していて、その下端部に参照片が取り付けられる中間筒と、下端部に圧子が取り付けられた圧子軸とを、備え、上記圧子軸が、その上端部が上記中間筒の上端部付近において上下方向に摺動可能に支持されるとともに、その下端部が上記中間筒の下端よりも下方に延出するようにして、上記中間筒の内部に配設されており、上記ケーシング内の、上記圧子軸の上端面よりも下方の位置に、上記ケーシングとの間に介装される試験荷重ばねを受けて上記圧子軸に試験荷重を付与するばね受けが、上下方向に摺動可能に設けられ、同ばね受けに、上方に向けて突出する筒状の支持部材が一体に設けられていて、同支持部材の内部に、上記中間筒及び圧子軸の各上端がそれぞれ位置するように配設されていることを特徴としている。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面により本発明の一実施形態としての侵入深さ式硬さ測定装置用測定ヘッドについて説明する。図中、図１はその測定ヘッドの正断面図、図２は図１のイ矢部の側断面図、図３(ａ)は図１のイ矢部の分解斜視図，(ｂ)は図２のロ−ロ矢視断面図、図４はその圧子軸下端部付近の拡大正断面図、図５(ａ)はその試料センサの正断面図，(ｂ)は同底面図、図６(ａ)はその参照片の正断面図、(ｂ)は同底面図、図７はその測定装置の全体の模式正面図である。
なお、図１〜７において、図８と同じ符号はほぼ同一の部材を示している。
【００２１】
図１に示すように、この実施形態の場合、測定ヘッド100の外殻は、円筒状の上部ケーシング103と、これに一体に結合される下部ケーシング105とにより形成されている。その下部ケーシング105の中心部には、圧子軸８が配設されている。
圧子軸８は、後述するように他の部品と結合されて全体として測定ヘッド100のほぼ全長に延在する長さを有している。
【００２２】
下部ケーシング105には、絶縁片11を介して電気的に絶縁されるとともに円錐状の受け面が形成された受座10が設けられている。また、下部ケーシング105の内部には、中間筒７が上下動可能に配設されている。そして、その下部フランジ部７ｃに押し付けばね24のばね受け７ａがおかれ、ばね受け７ａの周縁部に形成された円錐面状の当接面７ｂで受座10の円錐状の受け面に当接して、下方への移動が制限されるようになっている。
符号105ａは受座10の取付けリングを示している。
【００２３】
中間筒７は、その上端部に上部中間筒７Ａが接続されることにより上部ケーシング103の内部にまで延設されている。さらに、上部中間筒７Ａの上端部には、上部圧子軸８Ａを摺動支持する案内部７Ｂが設けられており、その案内部７Ｂの上部に、ボルト７Ｅを介して案内軸15Ａを案内する案内片７Ｄが取り付けられている。この構成により、中間筒７は、両ケーシング100，105の内部を上下動可能とされている。さらに、中間筒７の下端に接続筒12が取り付けられ、この接続筒12の下端部に円筒状の参照片27が取り付けられている。この参照片27は、試料台113上に載置された試料14の表面に対向するように配設されており、中間筒７の下降により、参照片27の下端面が試料14の表面に当接するようになっている。中間筒７の下部フランジ部７ｃにおかれたばね受け７ａには、下部ケーシング105に上端部が支持され、ｆcなる押し付け力を付与可能な押し付けばね24の下端部が係着されている。そして、中間筒７の鉛直中心軸線に沿うように、圧子軸８が配設されている。圧子軸８は、その上方に中間軸21Ａ，上部圧子軸８Ａが順次接続されていて、中間筒７とほぼ同長の長さを有し、測定ヘッド100のほぼ全長にわたって延在するようにされている。
符号21Ｄは、中間軸21Ａと上部圧子軸８Ａとを接続する接続体を示している。その接続体21Ｄは、回転止め21Ｃを有している。
【００２４】
圧子軸８の下方には、参照片27と一体の円錐状受部27ａに当接可能な円錐状のストッパ８ａが取り付けられている。さらに、圧子軸８の下端部には、圧子ホルダ49が取り付けられ、その圧子ホルダ49に圧子としてのボール47が取り付けられている。圧子軸８には、中間筒７に上端部が支持されていて、圧子47にｆ１なる初荷重を付与可能な初荷重ばね25の下端部が係着されている。符号26は圧子軸８に一体的に設けられた初荷重ばね25のばね座を示している。
【００２５】
圧子軸８は、その上端部が上部圧子軸８Ａにより中間筒７の上方部としての案内部７Ｂに摺動可能に嵌合されている（符号Ｘがその摺動案内部を示す）。したがって、圧子軸８は、その上端部が中間筒７の上方部において摺動可能に案内されて中間筒７内を鉛直方向に移動可能となっている。
符号20は圧子軸８の荷重受面を示している。
【００２６】
また、中間軸21Ａには、図２および図３(ａ),(ｂ)に示すように、軸長方向に長穴21ａが形成されており、この長穴21ａ内には、中間筒７に突設された支持金具６が配設され、この支持金具６に変位センサ30が取り付けられている。変位センサ30は、そのスピンドル（測定子）31を圧子軸８の上端部に接触させることによって参照片27と圧子47との相対変位を測定するものである。
符号30ａは変位センサ30の信号取出し用ケーブルを示している。
なお、変位センサとしては、リニアスケールや差動トランスなどを用いてもよい。
【００２７】
一方、上部ケーシング103の内部には、荷重軸16が、下端を圧子軸８の荷重受面20に対向させるようにして配設されている。この荷重軸16は、上部ケーシング103内に上下方向に摺動可能に案内されたばね受け17と一体の支持部材17ａのフランジ部17ｂに取り付けられている。支持部材17ａは、上部ケーシング103に絶縁片19を介して支持されていて円錐状の受部18ａを有する受座18に支持されている。なお、ボルト７Ｅは支持部材17ａのフランジ部17ｂを貫通して配設されている。
【００２８】
さらに、ばね受け17と上部ケーシング103の蓋部材15との間には、荷重軸16を介して圧子軸８へ試験荷重を付与しうる試験荷重ばね２が介装されている。符号15ｂは試験荷重ばね２のばね受け２ａに係合して試験荷重を調節するための調節ネジを示している。
【００２９】
蓋部材15の中心部には、レバー101先端のローラ101ａ（図７参照）に当接して、そのレバー101を介して油圧シリンダ102の作動力を受け、それを測定ヘッド100に伝える案内軸15Ａが螺合している。
案内軸15Ａの下端部には、中間筒７の上方部材としての案内片７Ｄに摺接して案内面を構成する面Ｚが形成されており、さらに荷重軸16の周面も中間筒７の上方部材としての案内部７Ｂに摺接する案内面Ｙを構成している。
圧子軸８の下端部には、図４に示すように、圧子（ボール）47が、ボール保持体71により回転可能に支持されている。
【００３０】
さらに参照片27の外周に、筒状の試料センサ72が上下方向に移動可能に嵌合されている。試料センサ72の下端部は90° 間隔の４枚の舌片72ａに形成され（図５(ａ),(ｂ)参照）ている。一方参照片27の下端皿形部27ｃには、舌片72ａが下方から嵌入しうる嵌入スペース27ｂが90° 間隔に凹設され（図６(ａ),(ｂ)参照）ており、試料センサ72の上動時に舌片72ａがその嵌入スペース27ｂに下方から嵌入することにより、参照片27の下端皿形部27ｃが試料14の表面に直接接触するのを試料センサ72（の先端部の舌片72ａ）が阻害することがないようになっている。
符号76は、試料センサ72を軽く下方に押圧する試料センサばねを示している。
【００３１】
中間筒12の最下端部には、絶縁体73を介して試料センサスイッチＳ３の接点を形成する導電体製の受座77が取り付けられている。
符号77ａはスイッチＳ３のリード線の端子を示している。
試料センサ72の外周にはリング75が取り付けられている。そして、その試料センサ72は、ばね76によりリング75が受座77に当接する位置まで下方に押動されるようになっている。
【００３２】
一方、受座10および受座18が、いずれもその支持部材に対して電気的に絶縁されていることから、それら受座10, 18と中間筒７あるいはばね受け17とによってそれぞれ初荷重検出用スイッチＳ１，試験荷重検出用スイッチＳ２が構成され、また、スイッチＳ１とＳ２とによって初荷重負荷状態および試験荷重負荷状態をそれぞれ検出し得る負荷状態検出機構が構成されている。なお、スイッチＳ１，Ｓ２，Ｓ３のオン−オフは、表示器55のパイロットランプ56ａ，56ｂ，56ｃに表示されるようになっている。符号10ａはスイッチＳ１のリード線，18ａはスイッチＳ２のリード線をそれぞれ示している。
また、符号107,108は、上部ケーシング103および下部ケーシング105の周囲に転動してこれらの上下方向移動を案内するガイドローラを示している。
【００３３】
図７に示すように、この測定ヘッド100は、試験装置の機枠120上のガイドローラ107,108により上下動可能に配設される。その機枠120には測定ヘッド100と同軸上に試料支持台110が配設されている。また、その試料支持台110には、試料テーブル113がねじ軸111により上下動可能に設けられており、さらに、駆動源（図示せず）により試料テーブル113を上下動させる歯車装置112が設けられている。
【００３４】
レバー101は、その中間部が試験装置の機枠120に支軸101ｂで枢着されるとともに、左端部に測定ヘッド100の案内軸15Ａに当接するローラ101ａをそなえている。また、その右端部には、油圧シリンダ102のロッド102ａが係合している。符号102ｂは油圧ユニットを示している。
【００３５】
上述の構成において、硬さの自動測定が次の手順で行なわれる。
まず、試料テーブル113上に試料14を載置（固定）する（ステップＡ１）。次いで、モータ駆動によりねじ軸111を回転して試料テーブル113を上昇させる（ステップＡ２）。試料テーブル113が上昇すると、試料14が測定ヘッド100の試料センサ72の舌片体72ａに接触して試料センサ72が押し上げられる。
【００３６】
なお、舌片体72ａは圧子47よりも若干（図４における寸法ｂ：例えば0.5mm）下方に突出しているため、試料テーブル113の上昇時に舌片体72ａがまず試料14に接触する。
【００３７】
試料センサ72が押し上げられると、試料センサ72のリング75がスイッチＳ３の接点としての受座77から離れ、スイッチＳ３がオフとなり、これにより測定の予備状態が検出される（ステップＡ３）。
【００３８】
スイッチＳ３のオフ信号により、ねじ軸111の上昇が止まり、試料テーブル113の上昇が停止する（ステップＡ４）。
【００３９】
次いで、油圧シリンダ102が作動して測定ヘッド100を下降させ、圧子47および参照片27を試料14に押し付ける。
圧子軸８は、その無負荷時に、円錐面８ａが円錐状の受面27ａに当接し、圧子47が参照片27下端の皿形部27ａよりも若干（図４における寸法ａ：例えば2.5mm）突出するようになっている。
また、この状態では、荷重受面20と荷重軸16の下端面との間に圧子の突出量ａより大きい間隙（図示せず）が保たれている。
【００４０】
測定ヘッド100がさらに押し下げられると、圧子47が試料14に当接して圧子軸８のばね受８ａから参照片27の円錐受部27ａが下方へ離脱し、初荷重ばね25による初荷重ｆ１が圧子47に加えられる。
【００４１】
測定ヘッド100がさらに押し下げられると、参照片27が試料14に当接し、さらに測定ヘッド100が押し下げられると、中間筒７の下端部が受座10から離れて押し付けばね24による押付け力ｆc で参照片27が押し下げられるとともに、スイッチＳ１がＯＦＦとなる（ステップＡ５）。
【００４２】
このようにして、参照片27に押し付けばね24によるｆc の押し付け力が、また、圧子47に初荷重ばね25による初荷重ｆ１が加えられた状態（基準荷重状態という）となる。この状態で変位計を０セットする。
【００４３】
測定ヘッド100がさらに押し下げられると、荷重軸16の下端部が荷重受面20に当接し、荷重軸16と一体のばね受け17が受座18の円錐面状の受面18ａから離れるので、試験荷重ばね２により試験荷重ｆ２が圧子47に追加されて試験荷重状態となる（ステップＡ６）。なお、ばね受け17が受座18から離脱することによりスイッチＳ２がＯＦＦとなり、この状態になったことがパイロットランプ56に表示される。
【００４４】
そして、この状態（試験荷重状態）から測定ヘッド100を上昇させて試験荷重ｆ２を除去する（ステップＡ７）と、スイッチＳ２がＯＦＦからＯＮに切り換わった状態となり、そのときの変位センサ30の指示値がコンピュータに入力され（ステップＡ８）る。そして、これが予め入力されている計算式に基づいて硬さに換算され、表示器55の測定値表示パネルに硬さとして表示される（ステップＡ９）。
【００４５】
その後、油圧シリンダ102が原状に復帰すると、それに伴って測定ヘッド100も原状に戻る。さらに試料の取出が行なわれ、試料テーブル113が次回試料装填可能位置まで降下して自動停止する（ステップＡ１０）。
【００４６】
このように、この実施形態の侵入深さ式硬さ測定装置用測定ヘッドでは、測定ヘッド側に設けた試料センサで測定ヘッドに対する試料の接近動作を終了させた後、測定ヘッドが駆動されて一連の硬さ測定のための動作を自動化することができる。
【００４７】
そして硬さ測定の際、この実施形態の測定ヘッドでは、圧子軸８はその全長を測定ヘッド100のケーシングとほぼ同じ程度の長さに形成されるとともに、上端部で中間筒７の上端部付近に摺動支持されるようになっているから、圧子47を取り付けられた下端部から摺動支持部としての上端部までの距離（寸法）を、図８に示した従来のものよりもはるかに長く設定することができる。その結果、硬さ試験中に圧子47の（試料に対する）加圧点が圧子軸８の中心軸から若干変位しても、この変位による圧子軸８の傾き角を小さく抑えることができ、これにより、圧子軸８や中間筒の姿勢が安定し、その結果、圧子軸８の軸心と試験荷重の負荷方向との整合度を高めることができるので、測定誤差を小さく抑えることができる。
【００４８】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の侵入深さ式硬さ測定装置用測定ヘッドによれば、硬さ試験中、圧子軸と試験荷重の負荷方向との整合度を高めることができ、これにより計測誤差を小さくすることができるという利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態としての侵入深さ式硬さ測定装置用ヘッドの正断面図。
【図２】  図１のイ矢部の側断面図。
【図３】  (ａ)は図１のイ矢部の分解斜視図。
(ｂ)は図２のロ−ロ矢視断面図。
【図４】  同圧子軸下端部付近の拡大正断面図。
【図５】  (ａ)は同試料センサの正断面図。
(ｂ)は同底面図。
【図６】  (ａ)は同参照片の正断面図。
(ｂ)は同底面図。
【図７】  同測定装置全体の模式正面図。
【図８】  従来の侵入深さ式硬さ測定装置の測定ヘッドの正面図。
【符号の説明】
１  ばね受け
２  試験荷重ばね
３  試験荷重ケース
４  滑り片
５  押し付け筒
６  支持金具
７  中間筒
７Ａ  上部中間筒
７Ｂ  案内部
７Ｃ  下部フランジ
８  圧子軸
８Ａ  上部圧子軸
９  支持リング
10  受座
10ａ  円錐面状の受面
11  絶縁片
12  接続筒
13  圧子
14  試料
15  蓋
15Ａ  案内軸
16  荷重軸
17  ばね受け
18  受座
18ａ  円錐面状の受面
19  絶縁片
20  荷重受面
21Ａ  中間軸
22  コイル
23  コア軸
24  押しつけばね
25  初荷重ばね
26  ばね受け
27  参照片
27ａ  円錐面状の受面
27ｂ  嵌入スペース
27ｃ  皿形部
30  変位センサ
31  スピンドル
47  圧子としてのボール
49  圧子ホルダ
55  表示器
56ａ，56ｂ，56ｃ  パイロットランプ
60  測定ヘッド
72  試料センサ
72ａ  舌片
73  絶縁体
75  リング
76  試料センサばね
77  導電体製の受座
100  測定ヘッド
101  レバー
101ａ  ローラ
101ｂ  支軸
102  油圧シリンダ
103  上部ケーシング
105  下部ケーシング
107, 108  ガイドローラ
110  試料支持台
111  ねじ軸
112  試料テーブル回転用歯車装置
113  試料テーブル
120 機枠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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