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(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＣＰＵ等の主要な電気部品が搭載された樹脂製回路基板と、該樹脂製回路基板に設けられたシールドケースと、該シールドケースとリアケースとの間に配設されたフレキシブルプリント基板とを具備し、内蔵アンテナとして誘電体積層型のチップアンテナを用いる携帯無線機において、前記チップアンテナをフレキシブルプリント基板に設けると共に、該フレキシブルプリント基板を前記シールドケースに固定したことを特徴とする携帯無線機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は内蔵型アンテナとして誘電体積層チップアンテナを用いる携帯無線機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、内蔵型アンテナとして誘電体積層チップアンテナを用いる携帯無線機は、「特開平０７−１１１４１１」に記載されるような構成の携帯無線機であった。これを従来例として図３に示す。図３は携帯無線機の側面断面図である。図３において、１が樹脂製回路基板（ガラスエポキシ樹脂、ＡＬＩＶＨ樹脂など）、２が回路基板を遮蔽する為のシールドケース、３がフロントケース、４がリヤケース、５がチップアンテナ、６が伸長収納可能なホイップアンテナ、７がＬＣＤ、８がスピーカ、９がマイク、１０が入力キー、１１がＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）、１２がリンガー、１３がイヤホンジャック、１４が振動モータ、１５がバッテリーである。チップアンテナ５は、樹脂製回路基板１に実装、固定されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
図３に示す従来例において、チップアンテナ５は樹脂製回路基板１に実装されている。ところが近年、携帯無線機の小型・軽量・薄型化により樹脂製回路基板１とフロントケース３の間隔が著しく小さくなり、携帯無線機通話時に耳に当てた場合、アンテナ放射特性が劣化することが問題となっている。また、基板１の面積自体も徐々に縮小されており、チップアンテナ５を実装するスペースが取れない、あるいは取れた場合でも周囲に配置された部品の影響を受けて特性が劣化することが問題となっている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明はこれらの課題を解決するためのものであり、ＣＰＵ等の主要な電気部品が搭載されている樹脂製回路基板と、この樹脂製回路基板をシールドするためのシールドケースと、このシールドケースとリアケースとの間に配設されたフレキシブルプリント基板とを具備し、内蔵型アンテナとして誘電体積層型チップアンテナを用いる携帯無線機において、チップアンテナをフレキシブルプリント基板に設け、さらにこのフレキシブルプリント基板をシールドケースに固定するようにした携帯無線機を提供する。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明について、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明の第１実施例である。本図は携帯無線機の側面断面図である。図１において、１が樹脂製回路基板、２が回路基板を遮蔽する為のシールドケース、３がフロントケース、４がリヤケース、５がチップアンテナ、６が伸長収納可能なホイップアンテナ、７がＬＣＤ、８がスピーカ、９がマイク、１０が入力キー、１１がＦＰＣ、１２がリンガー、１３がイヤホンジャック、１４が振動モータ、１５がバッテリーである。
【０００６】
チップアンテナ５は、ＦＰＣ１１に実装されている。またチップアンテナ５が実装されたＦＰＣは、シールドケース上に固定されている。この構成だと、チップアンテナ５をフロントケース３から遠ざけることができ、携帯無線機通話時に耳に当てた場合、アンテナ放射特性の劣化を抑制することができる。また、チップアンテナ５を実装するスペースが樹脂製回路基板１上に取る必要が無いので、回路基板のレイアウトが楽になり基板の小型化が実現できる。さらに、樹脂製回路基板に実装される場合のように、周囲に配置された部品の影響を受けて特性が劣化することが無い。
【０００７】
また、図２は本発明の第２実施例である。本図は携帯無線機の側面断面図である。図２において、１が樹脂製回路基板、２が回路基板を遮蔽する為のシールドケース、３がフロントケース、４がリヤケース、５がチップアンテナ、６が伸長収納可能なホイップアンテナ、７がＬＣＤ、８がスピーカ、９がマイク、１０が入力キー、１１がＦＰＣ、１２がリンガー、１３がイヤホンジャック、１４が振動モータ、１５がバッテリーである。チップアンテナ５は、ＦＰＣ１１に実装されている。
【０００８】
また、チップアンテナ５が実装されたＦＰＣは、リヤケース内壁２１に固定されている。この構成だと、チップアンテナ５をフロントケース３から遠ざけることができ、携帯無線機通話時に耳に当てた場合、アンテナ放射特性の劣化を抑制することができる。また、チップアンテナ５を実装するスペースが樹脂製回路基板１上に取る必要が無いので、回路基板のレイアウトが楽になり基板の小型化が実現できる。さらに、樹脂製回路基板に実装される場合のように、周囲に配置された部品の影響を受けて特性が劣化することが無い。また、リヤケースの極力上側２２に固定すれば、基板グランドからアンテナが上側に顔を出す位置関係とすることが出来るため、アンテナの相対利得が上昇するという効果もある。
【０００９】
【発明の効果】
以上のとおり、本発明はフレキシブルプリント基板にチップアンテナを装着し、さらにこのフレキシブルプリント基板をシールドケースに固定するような構成としたことによりチップアンテナをフロントケースから遠ざけることができ、携帯無線機通話時に耳に当てた場合、アンテナ放射特性の劣化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す図。
【図２】本発明の第２実施例を示す図。
【図３】従来例を示す図。
【符号の説明】
１        樹脂製回路基板
２        シールドケース
３        フロントケース
４        リヤケース
５        チップアンテナ
６        伸長収納可能なホイップアンテナ
７        ＬＣＤ
８        スピーカ
９        マイク
１０    入力キー
１１    ＦＰＣ
１２    リンガー
１３    イヤホンジャック
１４    振動モータ
１５    バッテリー
２１    リヤケース内壁
２２    リヤケースの極力上側
【図１】
0003618052.tif 000002
【図２】
0003618052.tif 000003
【図３】
0003618052.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
球状化焼鈍後の硬さが９０ＨＲＢを超える特殊鋼からなる素材リングの表面層を深さ０．４０ｍｍ以上脱炭した後に冷間転造することを特徴とする特殊鋼冷間転造リングの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法により製造の球状化焼鈍後の硬さが９０ＨＲＢを超える特殊鋼素材リングから冷間転造してなることを特徴とする微細クラックおよび割れの無い特殊鋼冷間転造リング。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
難加工性の特殊鋼素材の冷間転造技術によるリング状製品の製造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ベアリングレースなどのリング状製品は、従来は熱間圧延鋼管を焼鈍したものを切断してリング素材とし、これを旋削することにより製造するか、あるいは鍛造によりリング素材に形成した後、さらにこのリング素材を旋削によりリング状製品に仕上げている。しかし、省コストが強く求められている昨今では、上記の工程をさらに短縮するものとして材料歩留がよく生産効率の良好な冷間転造（以下、「ＣＲＦ」という。）によりニアネットシェイプ化することが行われている。ところで、このニアネットシェイプ化を目的として、球状化焼鈍後の硬さが９０ＨＲＢを超える特殊鋼を素材としたブランクをＣＲＦする場合、加工硬化により脆化するので製品にクラックが発生する。このためＣＲＦによりリング状製品とすることは不可能で、ニアネットシェイプ化することは出来なかった。
【０００３】
そこで、従来は上記のとおり熱延鋼管を切断して旋削するか、またはリング状に鍛造してから旋削して仕上ていた。ところでリング状製品においてベアリングレースは特に軌道溝の旋削代が多いため、歩留が悪く、生産性が悪い問題があった。さらに、ベアリングレースの製造方法としてクラックを発生させずにＣＲＦする方法として、リング素材に予め軌道部の類似形状を切削加工してからＣＲＦを行う方法が特開平３−９０２３８号公報に開示されているが、この方法は素材を切削加工するので歩留の悪い問題は依然としてあった。
【０００４】
さらにマンドレル径や平均圧下量を適正な値にしてＣＲＦを行う方法が特開平５−６９０７５号公報に開示されている。しかし、難加工性の特殊鋼の場合では割れが発生するため、この方法を難加工性の特殊鋼からなるブランクの加工に応用することはできなかった。さらに寸法精度の良好な脱炭層を０．０５〜０．１５ｍｍとしたリング素材を使用してＣＲＦを行い仕上げは研磨のみで良いとする方法が特開平３−２８５０４１号公報に開示されているが、球状化焼鈍後の硬さが９０ＨＲＢ以上になる特殊鋼、例えばＳＵＪでＳｉ≧０．５０％の鋼、はＣＲＦ時に割れが発生することが判明し、このような特殊鋼への応用はできない。
【０００５】
一方、出願人はＣＲＦにより球状化焼鈍後の硬さが９０ＨＲＢ以下の軸受用鋼をリング素材としてリング状製品を製造している。この軸受用鋼からの製造では、熱間圧延した鋼管を焼鈍して素材リングを得ているが、その寸法精度は外径で≦±０．３５〜０．５０ｍｍで、脱炭深さは≦０．２５ｍｍである。このためにこの鋼による上記の製造方法では、素材リングの寸法精度が悪い上に、脱炭層が厚いため、ＣＲＦ後の研磨だけではＣＲＦで発生した微細割れや≦０．１５ｍｍの脱炭層は取りきれない。そこで、ＣＲＦ後の仕上として片側０．５ｍｍ以上の旋削をした上で０．０６〜０．１５ｍｍの研磨を行っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
難加工性の特殊鋼をＣＲＦする時に発生するリング製品の溝部・溝肩部等の割れを防止し、歩留の高い、高品質なＣＲＦリング状製品を製造する方法およびリング状製品の溝部・溝肩部等に割れが無く、かつ高品質なＣＲＦリング状製品を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するための本発明の手段は、請求項１の発明では、球状化焼鈍後の硬さが９０ＨＲＢを超える特殊鋼、例えばＳｉ：０．５０％以上を含有するＳＵＪ鋼、からなる素材リングの表面層を深さ０．４０ｍｍ以上脱炭した後に冷間転造することを特徴とする特殊鋼冷間転造リングの製造方法である。
【０００８】
請求項２の発明では、請求項１における手段により製造の球状化焼鈍後の硬さが９０ＨＲＢを超える特殊鋼の素材リングから冷間転造してなることを特徴とする微細クラックおよび割れの無い特殊鋼冷間転造リングである。
【０００９】
発明者らは割れ発生原因について考究したところ、割れ発生原因はＣＲＦ中に加工硬化によって靭性が失われ、結果として図１に示すようにブランク１を成形ロール１とマンドレル３を矢印の方向に回転してＣＲＦするとき、マンドレル３と素材リングであるブランク１との間の接触面に水平方向の引張り応力が発生することにより割れが発生するものであることが判明した。
【００１０】
一方、図２に示すように表面脱炭材は通常材に比べて変形抵抗が小さい。そのためマンドレル３とブランク１の接触面に発生する水平方向の応力が図３に見られるように軽減される。従ってブランク１である素材リングを表面脱炭させることによって割れ発生を押さえることが出来る。
【００１１】
【発明の実施の形態】
重量％で、Ｓｉ：１．０％を含有する難加工性軸受用鋼をアッセルミルで熱間圧延し、外径φ８９．２ｍｍ、肉厚６．３ｍｍの鋼管を製造した。これを球状化焼鈍を実施し、雰囲気調整で鋼管表面に脱炭層を０．４５ｍｍの深さで生成させた。この素材寸法の精度は、≦±０．３５〜０．５０ｍｍであった。この場合の内部硬さは９８．８ＨＲＢであった。この得られた鋼管を突切切断機で幅１３．８ｍｍに切断し、環状素材にして素材リングとした。この素材リングであるブランク１を図１に示すように成形ロール２とマンドレル３の間に挟持して、矢印方向に回転してＣＲＦにより外径φ１１６ｍｍ、内径φ１０６．７ｍｍ、軌道径１０８．５ｍｍ、幅１４．０ｍｍに成形した。内部硬さは３２．７ＨＲＣに達したが、割れの発生無しに成形できた。ＣＲＦ後の寸法精度は良好で、その脱炭層の深さは≧０．２０ｍｍであった。得られたベアリングレース材を旋削、研磨することにより、高品質のベアリングレースが高歩留りで製造することができた。
【００１２】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明により高寿命な難加工性特殊鋼を素材としたニアネットシェイプのベアリングレース用素材を冷間転造するとき、歩留の良い、旋削コストの低減した高品質な冷間転造リングが供給することができ、低コストでベアリングレースなどのリングが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】素材リングの冷間転造を模式的に示す図である。
【図２】通常材と表面脱炭材との変形抵抗の比較を示すグラフである。
【図３】マンドレルとブランク間の水平方向にかかる横領区と肉厚圧下率との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１  ブランク
２  マンドレル
３  成形ロール
【図１】
0003618587.tif 000002
【図２】
0003618587.tif 000003
【図３】
0003618587.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マグネット付き歯車におけるマグネット取付方法において、
マグネット歯車形成部材のマグネット受面の一部に切り欠きを設け、
マグネットを装着し、切り欠きの下方から受治具でマグネットを保持し、
マグネットの磁化面にかしめリブを押し付けながら熱を加えてリブをかしめることを特徴とするマグネット付き歯車におけるマグネット取付方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、乾式タイプの水道メータの積算機構部に使用されるマグネット付き歯車におけるマグネットの取付方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
最近使用されている水道メータにおいては、流量を積算する積算機構の事故を防止するために積算機構部と、水道水が流れて羽根を回転させている計量室とは完全に分離して積算機構部に水道水が入らないようにした乾式タイプが多用されている。そして計量室の羽根の回転と積算機構部の歯車の回転とはマグネットカップリングで連動されている。
【０００３】
図５はこのような水道メータなどに使用されるマグネット付き歯車の従来の構成を示す側断面図、図６は図５をＲ方向からみた底面図をそれぞれ示している。
【０００４】
図５、図６に示す従来のマグネット付き歯車のマグネット取付方法においては、マグネット付き歯車形成部材１にマグネット２を装着後、マグネット２の内側の孔２１の４ヶ所の隅角部２２のところに位置するリブ３の先端部３１の部分を熱かしめによってつぶしマグネットを保持していた。６はマグネットの磁化面を示している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
図５、図６に示す従来の取付方法によって保持されているマグネットは、計量作動中に上下振動することにより、マグネット２の内部の孔２１のエッジがかしめリブ３を削ってしまい、やがてマグネットの脱落を引き起こす可能性があるという欠点を免れない。
【０００６】
またマグネット付歯車形成部材の寸法やマグネットの厚みにバラツキがあり、さらにかしめリブを熱でつぶした後の浮き上がり等の原因でマグネットの磁化面の位置が一定しないなどの不具合もある。
【０００７】
そこでマグネットの脱落を確実に防止するためにリブをマグネットの内側の孔の隅角部のみで熱かしめによってつぶしマグネットを保持するのではなく、マグネット付き歯車形成部材の内側全周に位置するリブを熱かしめによりつぶし、マグネットを保持することが考えられたが、これはマグネットを装着して全周に熱かしめを施すのは困難であるという欠点がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明は前記の課題を解決するために、マグネット付き歯車のマグネット取付方法において、マグネット付き歯車形成部材のマグネット受け面の一部に切り欠きを設け、装着したマグネットを切り欠きの下方から受治具で保持し、マグネットの磁化面にかしめリブを押しつけながら熱を加えてリブをかしめる方法を得たものである。
【０００９】
この発明のマグネット付き歯車のマグネット取付方法は前記の如き構成であって、マグネットが脱落のおそれがなく確実に保持され、またマグネットの磁化面の位置を安定させることのできる取付方法を得たものである。
【００１０】
【実施例】
図１はこの発明を施したマグネット付き歯車の側断面図であって、図２は図１をＰ方向からみた上面図、図３は図１をＲ方向からみた底面図をそれぞれ示したもので、図４はこの発明の取付方法を実施中の状態を示している。
【００１１】
マグネット付き歯車形成体１のマグネット受面１１の一部に切り欠き４を設ける。（図示の例では３ヶ所）図４に示すようにマグネット２を装着してこの切り欠き４の下方から受治具５によりマグネット２を保持し、（図示の例では受治具５のピン５１によってマグネットを保持している。）マグネット付歯車形成体１の内側に位置するかしめリブ３をマグネット２の磁化面６に押し付けながら熱かしめ端子７によりつぶし、マグネット２を保持する。５２は受治具５をセットするステーである。このような方法でマグネット２を取り付けることにより、マグネット２の磁化面６の位置を安定させることができる。
【００１２】
【発明の効果】
マグネット２を支える受治具はピン形状以外でも可能であり、また支える個所も３ヶ所以外でもよく、かしめリブ３の形状も任意である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるマグネット付き歯車の側断面図
【図２】図１をＰ方向から見た上面図
【図３】図１をＲ方向から見た底面図
【図４】この発明の実施態様の説明図
【図５】従来の取付方法によるマグネット付き歯車の側断面図
【図６】図５をＲ方向から見た底面図
【符号の説明】
１  マグネット付き歯車形成部材
２  マグネット
３  かしめリブ
４  切り欠き
５  受治具
６  磁化面
７  熱かしめ端子
１０  マグネット付歯車
１１  受け面
２１  内部の孔
２２  マグネット内側の隅部
３１  リブ先端部
５１  ピン
５２  ステー
【図１】
0003618334.tif 000002
【図２】
0003618334.tif 000003
【図３】
0003618334.tif 000004
【図４】
0003618334.tif 000005
【図５】
0003618334.tif 000006
【図６】
0003618334.tif 000007
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶引上装置に使用される単結晶引上装置用ヒーターにおいて、
前記ヒーターは、発熱する本体部と、前記本体部に給電するためのターミナル部とが接合されたものであり、
前記接合部の上部にあたる前記本体部に回流部を設けた
ことを特徴とする単結晶引上装置用ヒーター。
【請求項２】
前記回流部は、フィン又は溝である請求項１記載の単結晶引上装置用ヒーター。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、単結晶引上装置に使用するヒーターに関する。
【０００２】
【従来の技術】
シリコン等の単結晶は、通常、チョクラルスキー（Ｃｚｏｃｈｒａｌｓｋｉ）法による単結晶引上装置によって製造される。
この単結晶引上装置においては、例えば、図２に示すように、減圧状態の容器２１内の中央部にルツボ２２を置いてここにシリコン等の原料を収容し、このルツボの周囲にヒーター２３を配してこのルツボを加熱し、このヒーター２３の周囲に断熱材２４を配して外部への熱の拡散を防止し、全体を減圧状態に保ちつつ、ルツボ内で加熱熔融されたシリコン等の上方から、吊下する種結晶を浸漬してこれを回転させながら引き上げて単結晶を取得する方法が採られている。
【０００３】
上記のヒーターは、通常、耐熱性の高い黒鉛材で構成されているが、図３に示すように、このヒーター２３は発熱する本体部１３と本体部に給電するためのターミナル部１１とを有するものであり、従来は、これらを黒鉛材料から一体加工することにより製造されていた。
【０００４】
しかしながら、図３に示すように、このヒーターのターミナル部１１は、容器あるいは給電部材に堅固に固定するために本体部１３から突出して形成されており、一体加工により製造する場合には、加工後に残る部分の数倍の量にものぼる多量の黒鉛材料を捨てる必要があった。このため、貴重な黒鉛材を廃棄することに伴いコストが高くなるとともに、産業廃棄物の増大、加工粉塵の処理装置の必要性等の問題点が生じていた。
【０００５】
そこで、図４に示すように、本体部１３とターミナル部１１とを別々に加工成形し、これらを接合する方法が採られた。これにより、上記のコスト高等の諸問題を解決することができた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、動作時の単結晶引上装置の内部においては、ルツボにおいて加熱熔融したシリコン等の蒸気が飛散し、これらの一部は、ヒーターの本体部に付着する。ヒーターの本体部に付着したシリコン等は、繰り返し使用をすることにより蓄積し、下部へ垂れ、接合部にも達することとなり、ヒーターの本体部１３とターミナル部１１との接合部に浸入する。
【０００７】
シリコン等は冷却により体積膨張する性質を有しており、繰り返し使用により接合部に浸入したシリコン等が膨張することにより、接合が緩んでヒーターの本体部の固定状態を悪化させたり、浸入したシリコン等により本体部１３とターミナル部１１との接合部の電気抵抗値が高くなる原因となっていた。
【０００８】
上記に鑑み、本発明の目的は、ヒーターの本体部とターミナル部との接合部にシリコン等が侵入することを防止することができる単結晶引上装置用ヒーターを提供しようとするところにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明の構成は、単結晶引上装置に使用される単結晶引上装置用ヒーターにおいて、前記ヒーターは、発熱する本体部と、前記本体部に給電するためのターミナル部とが接合されたものであり、前記接合部の上部にあたる前記本体部に回流部を設けたことをその特徴とするものである。
【００１０】
【作用】
本発明によれば、ヒーターの本体部に付着したシリコン等が、単結晶引上装置の繰り返し使用によりその量が増えて垂れを生じ、ヒーターのターミナル部に伝い下がることがあったとしても、上記接合部の上部にあたる本体部に回流部を設けているので、上記回流部がひさしの役割を果し、この部分においてシリコン等の伝い下がりは止まり、本体部とターミナル部との接合部にシリコン等が侵入することを防止することができる。
【００１１】
また、仮に上記回流部で止まったシリコン等の量が増えてきたとしても、溜まったシリコン等は、上記回流部の先端から真下に落下するので、シリコン等が上記接合部に侵入することがない。
これにより、接合部が侵入するシリコン等の膨張により破損することを未然に防止することができる。
【００１２】
【実施例】
以下に実施例を図面を参照しながら本発明を説明する。
図１は、本発明の単結晶引上装置用ヒーターの断面図である。図１においてヒーターのターミナル部１１は、ボルト１２を介して、ヒーターの本体部１３と接合されている。本体部１３の接合部上部には、回流部１４が設けられている。図１における回流部はフィン状を有している。
飛散したシリコン等がヒーターの本体部１３を伝い下がり、回流部１４に達したとしても、本体部１３とターミナル部１１との接合部１５に達することはない。また、回流部１４に止まったシリコン等が溜まったとしても、回流部１４の先端部から真下方向に滴下するので、接合部１５に侵入することはない。
【００１３】
上記において、回流部はフィン状をしていることが好ましいが、接合部にシリコン等が侵入することを防止することができればこれに限定されず、下方向に広がる傘状であってもよく、上方向に広がる傘状であってもよく、またその両方が混合した形を有していてもよい。
【００１４】
更に、回流部１４は本体部１３から突起している必要はなく、シリコン等が落下して接合部１５に達することを防ぐことができれば、溝のように凹んだ状態であってもよい。
【００１５】
【発明の効果】
本発明の構成は上記の通りであるので、ターミナル部と本体部との接合部が緩むことがなく、ヒーターの本体部の固定状態の悪化や接合部の電気抵抗値の変動を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の単結晶引上装置用ヒーターの部分断面図。
【図２】単結晶引上装置全体の断面図。
【図３】単結晶引上装置のヒーターを示す図。
【図４】ヒーターの本体部とターミナル部との接合部の断面を示す図。
【符号の説明】
１１    ヒーターのターミナル部
１２    ボルト
１３    ヒーターの本体部
１４    回流部
１５    接合部
【図１】
0003618395.tif 000002
【図２】
0003618395.tif 000003
【図３】
0003618395.tif 000004
【図４】
0003618395.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置の電源線構造であって、
第１の電源線及び第２の電源線を備え、
前記第１の電源線は、第１の層に配置された第１の導電体と、第２の層に配置され前記第１の導電体と接続された第２の導電体とを有し、
前記第２の電源線は、前記第１の層に配置された第３の導電体と、前記第２の層に配置され前記第３の導電体と接続された第４の導電体とを有し、
前記第１の導電体と前記第２の導電体とが部分的にオーバーラップし、前記第２の導電体と前記第３の導電体とが部分的にオーバーラップし、前記第３の導電体と前記第４の導電体とが部分的にオーバーラップしていることを特徴とする電源線構造。
【請求項２】
前記第１乃至前記第４の導電体にスリットが形成されていないことを特徴とする請求項１に記載の電源線構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、メモリなどの半導体装置における配線構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体チップへ外部から提供される供給電源には電源電圧ＶＣＣと接地電圧ＶＳＳがあり、チップ内部でこれを基に各種電圧を生成して使用している。そして、これら外部供給の電源や内部で生成した電源は、電源線を通して各回路へ供給されていく。通常、これら電源線の配線形態は、第１の電源線は第１導電体、第２の電源線は第２導電体、第３の電源線は再び第１導電体というように分け、第１導電体と第２導電体とは絶縁層を間において異なる層に配線するようにしている。
【０００３】
このような電源線は、抵抗成分を小さくするためにできるだけ幅広く形成されるが、線幅が広いほど過多電流時のエレクトロマイグレーション(Electromigration)によるクラックが発生しやすい。そこで、電源線に多角形のスリットを形成してそのクラックを防止するようにしている。即ち、図１に示すように、異なる層に配線されたＡｌなどの金属からなる第１導電体の電源線１及び第２導電体の電源線２のそれぞれに、長方形のスリット５０，６０が多数設けられる。例えば、電源線１は電源電圧ＶＣＣの送電用、電源線２は接地電圧ＶＳＳの送電用である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようにクラック防止のために設けられるスリット５０，６０は多角形とされるものであるが、製造工程においてそのスリットの角にストレスが集中してしまい、今度はそこからクラックが発生してしまうという別の問題を引き起こしている。
【０００５】
従って、本発明の目的は、電源線の抵抗を小さくしつつもスリットを形成せずにすませられるような電源線の構造を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この目的のために本発明による半導体装置の電源線構造は、異なる層に配線した複数の導電体を電気的に接続し、これら導電体の各線幅を加算することで所望の線幅を得ることを特徴とする。
【０００７】
即ち、外部からの供給電源を各回路へ送電する２本の電源線を少なくとももつ半導体装置の電源線構造において、前記電源線中の第１の電源線は、第１導電体と、この第１導電体の上層に配線された第２導電体と、から構成され、前記電源線中の第２の電源線は、第１導電体と、この第１導電体の上層に配線された第２導電体と、から構成されることを特徴とする。
【０００８】
各電源線を構成する第１導電体及び第２導電体はそれぞれビアコンタクトにより複数箇所で接続するとよく、この場合、各電源線を構成する第１導電体と第２導電体とは、ビアコンタクト部分で部分的にオーバーラップするものとするとよい。また、各電源線の第１導電体は同層に互いに隣接させて配線され、各電源線の第２導電体も同層に互いに隣接させて配線されているものとするのがよい。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態につき添付図面を参照して説明する。
【００１０】
図２にチップ上の電源線の配線形態を示してある。即ち、第１の電源線は、第１導電体３とこれとは別の層に形成した第２導電体５とを、ビアホール（Via Hole＝スルーホール）によるビアコンタクト１００で層間接続することで構成されている。また、第２の電源線も同様に、第１導電体７とこれとは別の層に形成した第２導電体９とをビアコンタクト２００で層間接続することで構成されている。
【００１１】
第１の電源線をなす第１導電体３と第２の電源線をなす第１導電体７は同じ層で隣接させた配線層であり、また、第１の電源線をなす第２導電体５と第２の電源線をなす第２導電体９も同じ層で隣接させた配線層である。そして、第１導電体３と第２導電体５とは、互いにずらしてビアコンタクト１００の部分でオーバーラップするようにしてあり、第１導電体７と第２導電体９とは、互いにずらしてビアコンタクト２００の部分でオーバーラップするようにしてある。このようにずらしておくと、寄生容量やクラック発生の抑止により良い。尚、第１導電体３，７と第２導電体５，９とは同じ材質でも異なる材質でもどちらでもよい。
【００１２】
第１の電源線をなす第１導電体３及び第２導電体５の各線幅は、図１の従来例における電源線１の半分とする。しかしながら、第１導電体３及び第２導電体５はビアコンタクト１００で互いに電気的接続を得ているので、第１の電源線の線幅は、結果的に第１導電体３＋第２導電体５の線幅をもつことになる。第２の電源線をなす第１導電体７及び第２導電体９の各線幅も同様で、図１の従来例における電源線２の半分とするが、ビアコンタクト２００で電気的接続を得ているので第２の電源線の線幅に減少はない。従って、各導電体の線幅は狭くしてスリットを設けることなくクラックを防止する一方で同時に、電源線としての線幅は従来以上にして抵抗を小さくすることが可能である。
【００１３】
以上、図面を中心に実施形態を説明したが、これに限られるものではないことは勿論である。
【００１４】
【発明の効果】
本発明によれば、電源線の線幅を広くして抵抗を小さくしつつもスリットを形成することなくクラックを防ぐことが可能になり、製造工程における問題も解決され、歩留り向上や信頼性の向上に貢献する。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来における電源線構造を示した説明図。
【図２】本発明による電源線構造を示した説明図。
【符号の説明】
３，７  第１導電体
５，９  第２導電体
１００，２００  ビアコンタクト
【図１】
0003696706.tif 000002
【図２】
0003696706.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料流体を流通させることのできる毛細管状に形成されたガラスファイバーを複数本束ね、その一部を電極応答部としてあることを特徴とするガラスファイバー電極。
【請求項２】
試料流体を流通させることのできる毛細管状に形成されたガラスファイバーを複数本束ね、その一部を電極応答部とし、かつ、ガラスファイバーの先端部を保持部材によって保護してあることを特徴とするガラスファイバー電極。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はｐＨや各種イオンを測定するための測定電極の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
ｐＨの測定には、例えば図４に示されるような、ガラス電極ａと比較電極ｂとが対となったものが使用される。なお、図４中、符号ｃは内部電極、ｄは内部液、ｅは電極応答部、ｆは比較電極内極、ｇは比較電極内部液、ｈは液絡部である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のガラス電極ａにおける電極応答部ｅはガラス薄膜（１００〜１５０μｍ）よりなり、インピーダンスが高い（通常、１００ＭΩ程度）ため、起電力を測定するためには、１０12Ω以上の高入力絶縁回路が必要とされ電気回路が複雑になっていた。
【０００４】
本発明はこのような実情に鑑みてなされ、高入力絶縁回路が不要なインピーダンスの低い電極応答部を有する流体測定電極を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述の課題を解決するための手段を以下のように構成している。
すなわち、試料流体を流通させることのできる毛細管状に形成されたガラスファイバーを複数本束ね、これに電極応答部を形成してなることを特徴としている（請求項１）。
あるいは、試料流体を流通させることのできる毛細管状に形成されたガラスファイバーを複数本束ね、その一部を電極応答部とし、かつ、ガラスファイバーの先端部を保持部材によって保護してあることを特徴としている（請求項２）。
【０００６】
毛細管状に形成されたガラスファイバーにより、接液面積を従来よりも格段に広くとれるため、インピーダンスを大幅に低下させることが可能となり（従来の１／１００以下）、通常のｐＨ計のような高入力絶縁用ＡＭＰが不要となり、例えばデジボル等のｍＶ計でｐＨ測定が可能となる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明のガラスファイバー電極の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１はガラスファイバー電極の要部拡大図、図２はその外形図で、符号１は試料流体を流通させることのできる毛細管状に形成されたガラスファイバー１ａを数十ないし数百本束ねてなるガラスファイバー束、１１はその一部に形成された電極応答部、２は内部電極、３は内部液、４は試料液の流路を形成する絶縁ガラス管、５は液絡部、６は比較電極内極、７は比較電極内部液、８，９はパッキン、１０は合成樹脂材よりなる外筒である。
【０００８】
上述のガラスファイバー束１は、その下部と上部を筒状の保持部材１３，１４内に挿通させて絶縁性のゴム材等１５でモールドし（図３（Ｂ）参照）、その保持部材１３，１４をそれぞれパッキン８，９で外筒に支持させている。そして、その上部の保持部材１４はＯリング１６を介して絶縁ガラス管４と水密状態に接続されている。
【０００９】
上述の電極応答部１１を構成するガラスファイバー１ａは、例えば金型成形により得た１０〜２０φμｍ程度のｐＨ応答ガラス管を素材として、これをリドロー機によって引き伸し、その内径、肉厚を正確にコントロールして毛細管状のものとして得ることができる。このようなガラスファイバー１ａを数十〜数百本束ねることにより流通型の電極応答部１１を形成することができる。その電極応答部１１（図３（Ａ）参照）はきわめて広い接液面積を有しており、インピーダンスがきわめて低く、従来のｐＨ計に必要とされた高入力絶縁用ＡＭＰは不要となり、デジボル等のｍＶ計でｐＨの測定が可能となる。
【００１０】
このような構成により、その下部の保持部材１３と絶縁ガラス管４の上端部とに試料流体の給排用チューブ（図示省略）をそれぞれ接続して、いわゆるフロースルータイプのガラスファイバー電極として使用することができるが、図２に示すように、絶縁ガラス管４の上端部にベローズ１６またはスポイト（図示省略）を接続して吸引測定をおこなうこともできる。そのガラスファイバー束１の先端部は、保持部材１３によって保護されているので、この破損を回避することができ、取り扱い作業性が格段に向上されたものとなっている。なお、ｐＨ以外にも例えばＮａ+ 等各種イオンの測定も可能であることはいうまでもない。
【００１１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のガラスファイバー電極によれば、試料流体を流通させることのできる毛細管状に形成されたガラスファイバーを複数本束ねて電極応答部を形成したので、接液面積をきわめて広くとれ、インピーダンスを格段に低く抑えることができ、高入力絶縁用のＡＭＰが不要となり、例えばデジボル等のｍＶ計でｐＨ測定が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のガラスファイバー電極の一実施形態を示す要部縦断面図である。
【図２】  同ガラスファイバー電極の斜視図である。
【図３】  （Ａ）は同ガラスファイバー束の電極応答部の断面を示す図１のＸ−Ｘ線矢視図、（Ｂ）はその下部の保持部材を含むガラスファイバー束の断面図である。
【図４】  従来のガラス電極および比較電極の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
１ａ…ガラスファイバー、１１…電極応答部。
【図１】
0003696988.tif 000002
【図２】
0003696988.tif 000003
【図３】
0003696988.tif 000004
【図４】
0003696988.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンクリートダムを施工するに当たって河川を切り替るための暗渠状の仮排水路を備え、この仮排水路は上方に多数の通水孔を配設した上流側部分と、堤体のコンクリート打設に伴い堤内仮排水路として当該堤体に包含される下流側部分とに区分され、前記通水孔に対する目詰り防止手段を介在させて前記上流側部分を盛土に埋設することによって仮設備用地を造成するようにしてなることを特徴とするコンクリートダムの施工における転流構造。
【請求項２】
前記仮排水路がプレキャスト部材からなる請求項１に記載のコンクリートダムの施工における転流構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はコンクリートダムの施工における転流構造、特にコンクリートダムを施工するに当たり、河川を切り替えてダムサイトをドライにする転流工に供する構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンクリートダムを施工するに当たっては、河川を切り替えてダムサイトをドライにするための転流工が必要であり、その方式としては、イ）半川締切方式、ロ）仮排水開渠方式、及び、ハ）仮排水トンネル方式があるものの、上記イ）及びロ）はいずれも幅広の河川を対象とするものであるため、ダムサイトが一般に狭い日本においては専ら（９０％以上）上記ハ）が採用されているのが実状である。
【０００３】
しかしながら、上記ハ）の場合、トンネルの掘削・コンクリート覆工等のコストが多大であったり、トンネルの施工に工期が１年程度必要であるといった問題がある。
【０００４】
また、近年、環境問題がクローズアップされ、従来、ダムサイトの周辺地山を切り開いて設置していた骨材プラントやコンクリートプラント等の仮設備をダムサイトの上流側に設け、将来的に湛水池内に水没させる例が多くなってきている。
【０００５】
しかしながら、その場合、仮設備中に左右両岸から集まる雨水の処理が難しく、ポンプアップしたり別途トンネルを設ける等して雨水を下流側へ排出しており、余計なコストや手間が掛かっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、仮排水トンネル方式に比べコスト的にも施工性においても有利で、ダムサイトの上流側に設ける仮設備用地の雨水処理対策を兼任し得る、コンクリートダムの施工における転流構造を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る転流構造は、コンクリートダムを施工するに当たって河川を切り替るための暗渠状の仮排水路を備え、この仮排水路は上方に多数の通水孔を配設した上流側部分と、堤体のコンクリート打設に伴い堤内仮排水路として当該堤体に包含される下流側部分とに区分され、前記通水孔に対する目詰り防止手段を介在させて前記上流側部分を盛土に埋設することによって仮設備用地を造成するようにしてなることを特徴とする。
【０００８】
なお、仮設備用地に左右両岸から集まる雨水は盛土中を浸透して元河床上に溜り、その水位が仮排水路の上流側部分を上回ると、そこに配設された各通水孔を介して仮排水路内に入り、河川水と同様に仮排水路を通って下流側に排出される。
【０００９】
また、堤体が完成した後、仮排水路の下流側部分はコンクリートによって閉塞される。
【００１０】
仮排水路は、現地でコンクリートを打設して得ることもできるが、プレキャスト製のボックスカルバート、アーチカルバート、鉄筋コンクリート管等で築造する方が工期短縮が可能となるため望ましい。なお、プレキャスト部材を用いる場合、仮排水路の上流側部分とするものには事前に通水孔を付設しておく。
【００１１】
また、通水孔に対する目詰り防止手段としては、ドレーンマット、砕石等を好ましく挙げることができる。
【００１２】
【実施例】
以下、本発明に係るコンクリートダムの施工における転流構造（以下、本欄において「本構造」という。）の実施例を添付図面に基づいて説明する。
【００１３】
図１は、本構造における仮排水路１０を示すダムサイトの概略平面図であり、仮排水路１０の上流側部分１１は便宜的に表す仮設備用地１に埋設されており（図２参照）、水路１０の露出状態にある下流側部分１２は堤内仮排水路としてこれからコンクリート打設される堤体２に将来的に包含される。
【００１４】
仮排水路１０はプレキャスト製のボックスカルバート１１’，１２’を連設してなり、各カルバート１１’，１２’間は図３に示すように止水板１５及びシール材１６によって水密とされる。
【００１５】
なお、上流側部分１１をなすカルバート１１’は上面に通水孔１３を備え、その点を除き下流側カルバート１２’と全く同様のものである。
【００１６】
図２は図１のＡ−Ａ断面を、図３はＢ−Ｂ断面をそれぞれ示す。
【００１７】
上流側カルバート１１’は元河床２０に打設したレベルコンクリート２１上に配置され、その上面に通水孔１３に対する目詰り防止手段であるドレーンマット１４（商品名「ヘチマロン」，新光ナイロン株式会社製造）あるいは砕石が敷設された後、盛土１’によって埋め戻され、これによって土棄場を含む仮設備用地１が造成される。
【００１８】
一方、下流側カルバート１２’は、図４に示すように、岩盤３０に先行打設したベースコンクリート３１上に架台３２を介して配置された後、更にコンリート３３が打設されて固定される。
【００１９】
なお、仮排水路１０の築造中は、河川水は堤体内で切廻しされ、仮排水路１０の上流側に開放させる取水口は仮締切される（図１参照）。
【００２０】
以上のように構成した本構造においては、河川水を仮排水路１０を介して下流側へと放流することができる。
【００２１】
また、仮設備用地１にその左右両岸から集まる雨水は、図２に示すように盛土１’中を浸透して元河底２０上に溜り、その水位がカルバート１１’の高さを上回ると、通水孔１３を通って仮排水路１０に入り、河川水と同様に下流側へと放流される。
【００２２】
なお、堤体２が完成した後は、上流側部分１１と下流側部分１２との境目を角落しし、下流側部分１２’をコンクリートで閉塞させ、上流側部分１１は湛水池内に水没させる。
【００２３】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明では、仮排水路によって河川を切り替えるようにしたため、従来の仮排水トンネル方式に比べコスト的にも施工性においても有利で、仮排水路の上流側部分に設けた通水孔によって仮設備用地の雨水をも河川水と同様に排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の転流構造における仮排水路を示すダムサイトの概略平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】下流側のボックスカルバートの設置状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１  仮設備用地
１’  盛土
２  堤体
１０  仮排水路
１１  上流側部分
１２  下流側部分
１１’，１２’  ボックスカルバート
１３  通水孔
１４  ドレーンマット（又は砕石）
【図１】
0003696963.tif 000002
【図２】
0003696963.tif 000003
【図３】
0003696963.tif 000004
【図４】
0003696963.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧空気源を備えた搬送管と撒布ホースを接続すると共に給液管接続口を備えた混合噴射ノズルの前記搬送管に、マルチ主材となる木材チップと粒状配合剤を設定流量で供給すると共に複数の液状配合剤タンクからの薬液を夫々専用ポンプから一本の混合給液管を介して前記ノズルの給液管接続口に加圧供給することによって前記ノズル内において固液の強制混合と増速を行い、更に前記散布ホース内において管内撹拌による混合を生起せしめて散布することを特徴とする配合マルチ材の撒布方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
この発明は、公園、法面、運動場などに適用する緑化用マルチや一般土壌、飛行場などの施設用マルチの混合調整と撒布を同時に行う方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
緑化や土壌浸食の予防、歩行滑り止めなど種々な目的で土壌表面に木材チップ等のマルチ材を撒布形成することが行われている。
木材チップを主材とし、これに目的に応じて草花の種子や肥料、殺虫剤、着色顔料その他の配合剤を混合調整して各種のマルチ材を撒布する場合、従来は配合機と撒布機を個別に用意していたから作業が不便である上、工事仕様の切替えや撒布土壌の情況に即した配合設定が即時且容易にできなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、撒布土壌や工事仕様に臨機に対応して、撒布途中において顆粒状（固体）配合剤及び液状配合材の種類及び割合を変更できる混合撒布方法を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、木材チップの搬送管路に設けた粒状配合剤収容ホッパから配合剤を管路内に供給して搬送中に混合させると共に複数の液状配合剤収容タンクから所要の配合剤を夫々専用ポンプによって混合給液管に加圧供給して混合させ、前記各混合物を撒布ホースを接続した放出噴射ノズル内に供給し、撒布ホース内の高速放出気流によって固液攪拌混合を生じさせて配合マルチ材を撒布する方法である。
本発明において粒状配合剤及び液状配合剤の数に制限はなく、粒状配合剤収容ホッパと液状配合物収容タンクの数も任意である。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明方法は、図に示す装置によって実施される。
図中、１はコンプレッサ（圧力０．６Ｋｇ／ｃｍ２Ｇ〜１．５Ｋｇ／ｃｍ２Ｇ）、２は搬送管（直径約１０〜１６ｃｍ）、３はチップ収容室、４は排出ロータであってカッターを備えることもできる。５Ａ、５Ｂは種子、顆粒状肥料等の粒状配合剤のホッパ、６はその排出ロータであって、それぞれ搬送管に接続されている。
７は混合放出噴射ノズル、８はホースカプラ、９は数１０ｍ〜２００ｍの放出撒布ホース（直径８〜１２ｃｍ）である。
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄは、水、液状殺虫剤、或は難燃剤等の液状配合剤を個別に収容するタンクであって、夫々の専用ポンプ１１Ａ、１１Ｂ、・・・１１Ｄを介して混合給液管１４に接続され、混合給液管は噴射ノズルの給液口１５に接続している。
【０００６】
噴射ノズルの構造は、特に限定はないが例えば図２のようなノズルが使用できる。
チップ材と種子その他の固体配合剤は、搬送管に所定の設定量で放出され、混合されながらノズル室内２０に導入されて撹乱される。液剤はポンプから所定圧力で送出され、混合給液管を流れる間に一部が混合されて一以上の液体霧化ノズル２１からノズル室内２０に噴射される。固体配合剤は液剤幕２２を通過する間にチップ表面に付着し、この結果、チップ材は固・液配合剤が共に付着した濡れ材となってホース内に送出される。
更に、ホース内では高速気流によって管内攪拌されるから個体配合剤の嵩密度や液剤の比重が異なっても実質的に均等混合されたマルチングが可能になる。
【０００７】
マルチ用チップ材は、図３のように準備される。
即ち、伐採材を破砕機でチップ化すると共に１８ｍｍメッシュによって選別し、マルチ材としてはオーバーサイズのものを使用し、アンダーサイズのものは堆肥用材として使用する。
マルチ用チップ材の利用例は、図４乃至図６に示すようであって、粒状配合剤としては、芝などの種子、肥料及び殺虫剤などが要求されるのでその数だけホッパ５Ａ、５Ｂを用意する。液状配合剤としては、水、水性着色顔料、液肥、水溶性殺虫剤、液状難燃剤などがあり、夫々専用タンクを必要とするが、液量が少なくて済む殺虫剤等は図１のように、例えば切替え弁１２Ｃ、１２Ｄと連絡管１３を設けてポンプ１１Ｄを節約できる。なお、図６に示す緑化マルチの場合は、堆肥化させたチップに客土・砂などを予め混合しておく必要がある。
【０００８】
【発明の効果】
マルチ材の配合割合を変更する場合は排出ロータ６又はポンプ１１Ａなどの回転数を調節すればよく、マルチ材の配合種を変更する場合も排出ロータ６又はポンプ１１Ａなどを開閉するだけで対応できる。
上記実施例装置は、大型自走車輌に装備したり、固形物の輸送系だけを大型車輌に設置し、タンク系を牽引車輌に搭載させるなどして移動性を向上できる。
また、ホース長は２００ｍ以上にもできるから車輛が進入できない林間や傾斜地のマルチングが可能になる他、飛行場や公園などの広大な施工地の緑化マルチングやカラーマルチングを短期間に施工できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明実施装置の配管系統図。
【図２】  ノズルの一例を示す断面図。
【図３】  マルチ材の調整系統図。
【図４】  一般マルチ材の調整配合系統図。
【図５】  カラーマルチ材の調整配合系統図。
【図６】  緑化マルチ材の調整配合系統図。
【符号の説明】
１  コンプレッサ
２  搬送管
３  チップ収容室
４、６  排出ロータ
５Ａ、５Ｂ  粒状配合剤ホッパ
７  混合放出噴射ノズル
８  ホースカプラ
９  ホース
１０Ａ、１０Ｂ・・・  液状配合剤タンク
１１Ａ、１１Ｂ・・・  ポンプ
１４  混合給液管
１５  給液管接続口
２０  ノズル室
２１  液剤噴射ノズル
２２  液剤膜
【図１】
0003696167.tif 000002
【図２】
0003696167.tif 000003
【図３】
0003696167.tif 000004
【図４】
0003696167.tif 000005
【図５】
0003696167.tif 000006
【図６】
0003696167.tif 000007