(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状に形成された合成樹脂成形品からなる複数のワークを接合し、その接合部を超音波溶着する超音波溶着方法において、
前記ワークの外周部をその軸心方向に押圧するとともに、前記ワークの軸方向にスライド自在に支持されたチャッキング機構によりワークのセンタリングを行うチャッキング工程と、
超音波溶着機の工具ホーンによってチャッキングされた前記ワークの接合部に圧接力を付与しながら溶着する際に前記チャッキング機構を前記ワークの溶着時のおけるワークの軸方向の移動に追従させながら溶着を行う溶着工程と、
を具備したことを特徴とする超音波溶着方法。
【請求項２】
前記ワークは、横流ファン構成部品であることを特徴とする請求項１記載の超音波溶着方法。
【請求項３】
円筒状に形成された合成樹脂成形品からなる複数のワークを接合し、その接合部を超音波溶着する超音波溶着装置において、
前記ワークの外周部をその周方向に等間隔に設けられた少なくとも３つのチャック片によってワークの軸心方向に押圧してワークのセンタリングを行うチャッキング機構と、
前記チャッキング機構をワークの軸方向にスライド自在に支持し、超音波溶着機の工具ホーンによって前記ワークの接合部に圧接力を付与しながら溶着する際に前記チャッキング機構をスライドさせるスライド機構と、
を具備したことを特徴とする超音波溶着装置。
【請求項４】
前記チャッキング機構は、下段のワークをチャッキングする下段チャッキング機構と、上段のワークをチャッキングする上段チャッキング機構とを有し、この上段チャッキング機構が前記スライド機構に支持されていることを特徴とする請求項３記載の超音波溶着装置。
【請求項５】
前記チャッキング機構は、水平面内で揺動自在な少なくとも３つのアームと、これらアームの一端部に設けられたチャック片と、前記アームの他端部相互を連結するリンクとを有することを特徴とする請求項３記載の超音波溶着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば空気調和機の室内ユニット等に組み込まれる横流ファン等の超音波溶着方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
空気調和機の室内ユニット等に組み込まれる横流ファンは、図７に示すように、熱可塑性樹脂によって成形された円板状の端板１に、その外周縁に沿って複数枚のフィン２が等間隔に配置されて円筒状に形成された複数の横流ファン構成部品３を製作し、この横流ファン構成部品３相互を超音波溶着することにより、軸方向に長い横流ファン４を構成している。
【０００３】
すなわち、５は最下段の端板であり、回転軸部５ａを有している。この端板５を回転軸部５ａが下向きとなるように、図８に示すテーブル６に支持し、横流ファン構成部品３の端板１を上にしてフィン２の端部を前記端板５に載置し、センタリングを行った後、横流ファン構成部品３の端板１の上面から超音波溶着機の工具ホーン８を押し当て、この工具ホーン８によって接合部７に加圧力しながら超音波振動を付与することにより溶着している。
【０００４】
端板５に対して最下段の横流ファン構成部品３を溶着した後、次の横流ファン構成部品３を重ね、同様な手段によって横流ファン構成部品３を溶着する工程を繰り返すことにより、軸方向に長い横流ファン４を組み立てている。
【０００５】
ところで、前述のように複数個の横流ファン構成部品３を結合して軸方向に長い横流ファン４を組み立てる際には、溶着しようとする横流ファン構成部品３のうち下段に位置する横流ファン構成部品３を固定し、工具ホーン８に接触する上段の横流ファン構成部品３は固定せず、接合部７を嵌合することにより相互の位置決めを行っていた。
【０００６】
また、上段に位置する横流ファン構成部品３をクランプによって位置決めする方法やクランプは片側が定位置で、この定位置のクランプに横流ファン構成部品３の一部を押し当てることにより位置決めしていた。
【０００７】
また、前記超音波溶着機の工具ホーン８はエアシリンダによって支持されており、エアシリンダによって工具ホーン８を下降することにより、横流ファン構成部品３相互の接合部７に加圧力を付与するようになっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したように横流ファン構成部品３相互の超音波溶着時に上段の横流ファン構成部品３を固定しないと上下の横流ファン構成部品３の軸心にずれが生じ、横流ファン４の重心と回転軸とがずれてしまい、横流ファン４をモータによって回転させた場合、振動が発生し、騒音の原因にもなる。
【０００９】
また、上段の横流ファン構成部品３をクランプする方法もあるが、溶着の進行に伴って接合部７が下方へ移動（約1mm 沈む）するため、横流ファン構成部品３とクランプとを摺動させる必要があり、確実な保持・位置決めができず、また、クランプの横流ファン構成部品３との接触面が摩耗し、高精度の溶着はできない。
【００１０】
さらに、片側を基準として位置決めを行う方法は、個々の横流ファン構成部品３の軸心が一致しにくく、外径の異なる横流ファン構成部品３には対応できない。確実な保持を行うためにクランプ力を強くすると、溶着時に横流ファン構成部品３が下降せず、超音波振動がクランプを通じて分散し、溶着不良を招く。
【００１１】
また、工具ホーン８をエアシリンダによって昇降させているため、エア圧の変動によって接合部７に加わる圧接力にバラツキができ、複数個の横流ファン構成部品３の接合部７を一様に溶着できないという問題がある。
【００１２】
さらに、横流ファン構成部品３の密度、気温などによって溶着部の溶け込み量に変化が生じ、一定の加圧力で加圧しても完成品にバラツキが生じる。横流ファン構成部品３は射出成形品であるため、１個の横流ファン構成部品３の長さは約70mmであるが、これを複数個連結することにより、軸方向に長い(500mmから1000mm程度) 横流ファン４となるため、複数回の超音波溶着を繰り返すために１回の溶け込み量のバラツキを極力抑える必要がある。
【００１３】
この発明は、前記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、溶着する複数個のワークのセンタリングが高精度に行える超音波溶着方法およびその装置を提供することにある。
【００１４】
もう一つ目的は、ワークの各接合部を確実かつ一様に溶着できる超音波溶着方法およびその装置を提供することにある。
もう一つの目的は、ワークのセンタリングがワークのクランピングと同時に行え、作業性の向上を図ることができる超音波溶着方法およびその装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この発明は前記目的を達成するために、請求項１は、円筒状に形成された合成樹脂成形品からなる複数のワークを接合し、その接合部を超音波溶着する超音波溶着方法において、前記ワークの外周部をその軸心方向に押圧するとともに、前記ワークの軸方向にスライド自在に支持されたチャッキング機構によりワークのセンタリングを行うチャッキング工程と、超音波溶着機の工具ホーンによってチャッキングされた前記ワークの接合部に圧接力を付与しながら溶着する際に前記チャッキング機構を前記ワークの溶着時のおけるワークの軸方向の移動に追従させながら溶着を行う溶着工程とを具備したことを特徴とする。
【００１６】
請求項２は、請求項１の前記ワークは、横流ファン構成部品であることを特徴とする。
請求項３は、円板状の端板に複数枚のフィンを設けて円筒状に形成された合成樹脂成形品からなる複数のワークを接合し、その接合部を超音波溶着する超音波溶着装置において、
前記ワークの外周部をその周方向に等間隔に設けられた少なくとも３つのチャック片によってワークの軸心方向に押圧してワークのセンタリングを行うチャッキング機構と、前記チャッキング機構をワークの軸方向にスライド自在に支持し、超音波溶着機の工具ホーンによって前記ワークの接合部に圧接力を付与しながら溶着する際に前記チャッキング機構をスライドさせるスライド機構とを具備したことを特徴とする。
【００１７】
請求項４は、請求項３の前記チャッキング機構は、下段のワークをチャッキングする下段チャッキング機構と、上段のワークをチャッキングする上段チャッキング機構とを有し、この上段チャッキング機構が前記スライド機構に支持されていることを特徴とする。
【００１８】
請求項５は、請求項３の前記チャッキング機構は、水平面内で揺動自在な少なくとも３つのアームと、これらアームの一端部に設けられたチャック片と、前記アームの他端部相互を連結するリンクとを有することを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の各実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図３は第１の実施形態を示し、図１は超音波溶着装置の全体構成を示す斜視図、図２はチャッキング機構の縦断正面図、図３は超音波溶着状態を示す正面図である。
【００２０】
まず、超音波溶着装置の構成を説明すると、図１に示すように、垂直方向に立設されたフレーム１１は横断面が略コ字状に形成されており、この開口縁部にはＬＭガイド１２（リニアモーションガイド［株  ＴＨＫ商品名］）によって昇降台１３が昇降自在に支持されている。フレーム１１の内部には上下両端部が軸受部材１４によって回転自在に軸支されたボールねじ１５が設けられている。
【００２１】
ボールねじ１５の下端部にはプーリ１６が嵌着されている。前記フレーム１１の外部には正逆回転可能なモータ１７が回転軸１８を下向きにした状態に固定されており、この回転軸１８にはプーリ１９が嵌着されている。そして、このプーリ１９と前記プーリ１６との間にはベルト２０が掛け渡され、モータ１７によってボールねじ１５を正逆回転できるようになっている。
【００２２】
前記昇降台１３の背面にはボールねじ１５に螺合するナット部材２１が取り付けられており、ボールねじ１５の回転運動を直線運動に変換し、昇降台１３を昇降できるようになっている。昇降台１３の前部には支持部材２２が突設されており、この支持部材２２にはワークとしての横流ファン構成部品３を支持する回転可能なテーブル２３が設けられている。
【００２３】
一方、前記フレーム１１の上方には横流ファン構成部品３のセンタリングを行うチャッキング機構２４が設けられている。このチャッキング機構２４は上段チャッキング機構２５と下段チャッキング機構２６とからなり、これらは基本的には同一構造であるため、上段チャッキング機構２５について説明する。
【００２４】
上段チャッキング機構２５のベース２７には前記横流ファン構成部品３の直径より広い間隔を存して一対の支軸２８が垂直に立設されている。これら支軸２８にはＬ字状のアーム２９がその折曲部に設けた嵌合孔３０を嵌合することにより、水平面内で回動自在に枢支されている。
【００２５】
前記一対のアーム２９の先端部はテーブル２３に載置された横流ファン構成部品３を挟むように前方に延出されており、基端部は接近する方向に延出している。また、前記ベース２７の上面にはアーム２９の基端部の延長方向と直角方向にエアシリンダ３１が取り付けられている。このエアシリンダ３１のロッド３２の先端部はアーム２９の基端部にジョイント３３を介して連結されており、一対のアーム２９を同時に回動操作できるようになっている。すなわち、ロッド３２が前進するとアーム２９が開き、後退するとアーム２９が閉じるようになっている。
【００２６】
さらに、一対のアーム２９の先端部における互いに対向する面、つまり横流ファン構成部品３の外周部に対向する面にはチャック片３４が設けられている。このチャック片３４は、図２に示すように、背面がアーム２９に設けられたスライド機構としての上下方向のＬＭガイド３５を介して上下動自在に支持されており、前面には横流ファン構成部品３の曲率に倣って円弧状に形成された接触部３６が設けられている。
【００２７】
したがって、一対のアーム２９が閉じると、チャック片３４の接触部３６が横流ファン構成部品３の外周部に接触して保持し、横流ファン構成部品３のセンタリングができるようになっている。さらに、この状態において、横流ファン構成部品３が軸方向に移動した場合にはチャック片３４が追従してスライドするようになっている。
【００２８】
また、一対のアーム２９が開くと、チャック片３４の接触部３６が横流ファン構成部品３の外周部から離間し、横流ファン構成部品３を一対のチャック片３４の間から前方へ引き出すことができるようになっている。
【００２９】
前述したように下段チャッキング機構２６は基本的には上段チャッキング機構２５と同一であるが、アーム２９に対してチャック片３４が固定的に設けられており、上下動はしないが、部品の共通化を図るために、上段チャッキング機構２５と全く同一に構成してもよい。
【００３０】
前記チャッキング機構２４の上方には超音波溶着機の振動子３７に固定された工具ホーン３８が前記テーブル２３に載置された横流ファン構成部品３の軸心と同心的に設けられている。この振動子３７は、図３に示すようにサーボモータ３９によって昇降するようになっており、横流ファン構成部品３の接合部７に対する加圧力を制御できるようになっている。
【００３１】
さらに、振動子３７には側方へ突出する突出片４０が設けられ、この突出片４０の下面には前記フレーム１１に固定されたリニアゲージ４１が当接している。そして、工具ホーン３８が横流ファン構成部品３に接触したときの工具ホーン３８の位置を基準として溶着開始後の工具ホーン３８の位置データをリアルタイムでセンシングするようになっており、リニアゲージ４１はコントローラ４２を介して振動子３７およびサーボモータ３９に接続されている。
【００３２】
次に、前述のように構成された超音波溶着装置によって複数個の横流ファン構成部品３を連結して横流ファン４を組み立てる方法について説明する。まず、モータ１７を駆動してボールねじ１５を回転させ、昇降台１３を最上位置に上昇させて停止させる。次に、テーブル２３に端板５を回転軸部５ａが下向きとなるように載置し、この端板５に連結しようとする第１段目の横流ファン構成部品３の端板１を上にしてフィン２の端部を前記端板５に接触させた状態で載置する。
【００３３】
次に、横流ファン構成部品３のセンタリングを行うが、下段チャッキング機構２６はテーブル２３との干渉を防止するためアーム２９を開いたまま使用せず、上段チャッキング機構２５によってセンタリングを行う。すなわち、エアシリンダ３１のロッド３２を後退させると、一対のアーム２９が同時に回動して閉じ、アーム２９の先端部に設けられたチャック片３４の接触部３６が横流ファン構成部品３の端板１近傍の外周部に接触してセンタリングを行うと同時にチャッキングを行う。
【００３４】
この状態で、超音波溶着機の振動子３７を下降させ、工具ホーン３８を横流ファン構成部品３の端板１に当接させて振動子３７を発振させると、工具ホーン３８の超音波振動が横流ファン構成部品３を介して端板５との接合部７に伝達される。このとき、サーボモータ３９によって振動子３７を介して工具ホーン３８が下降して接合部７に加圧力が付与されるため、接合部７において溶け込みが始まり、振動子３７および工具ホーン３８が横流ファン構成部品３とともに僅かに下降（沈む）する。
【００３５】
超音波溶着途中の横流ファン構成部品３は上段チャッキング機構２５によってチャッキングされているが、チャック片３４はアーム２９に設けられた上下方向のＬＭガイド３５を介して上下動自在に支持されているため、横流ファン構成部品３の下降に追従して下方へスライドする。
【００３６】
さらに、工具ホーン３８が横流ファン構成部品３に接触したときの工具ホーン３８の位置はリニアゲージ４１によってセンシングされており、工具ホーン３８が横流ファン構成部品３に接触したときの工具ホーン３８の位置を基準として溶着開始後の工具ホーン３８の位置データをリアルタイムでセンシングしている。そして、コントローラ４２によって予め設定された値と一致すると、コントローラ４２からの指令によって振動子３７の発振が停止する。
【００３７】
なお、振動子３７の発振停止直後は接合部７は固着していないが、工具ホーン３８はサーボモータ３９によって加圧されているため、実際の溶け込み量は設定された値よりも多くなる。その差は工具ホーン３８の加圧力によって左右されるので、希望する溶け込み量よりも少ない値を設定する必要がある。
【００３８】
１段目の横流ファン構成部品３の溶着が完了すると、サーボモータ３９は停止し、振動子３７と工具ホーン３８は上昇する。上段チャッキング機構３５のエアシリンダ３１のロッド３２は前進し、一対のアーム２９が同時に回動して開いてアーム２９の先端部に設けられたチャック片３４は横流ファン構成部品３から離れる。
【００３９】
次に、１段目の横流ファン構成部品３の上部に２段目の横流ファン構成部品３を載置する。そして、モータ１７が再び駆動してホールねじ１５を回転させ、昇降板１３を介してテーブル２３が横流ファン構成部品３の１個分の長さだけ下降する。このとき、テーブル２３は載置した横流ファン構成部品３の位相のずれを補正するために数度回転するが、これは複数個の横流ファン構成部品３を積み重ねて結合する際に、各段の横流ファン構成部品３のチャッキング位置を同じにして軸心のずれを抑えるためである。
【００４０】
次に、１段目と２段目の横流ファン構成部品３の接合部７における溶着を行うが、下段チャッキング機構２６は１段目の横流ファン構成部品３の外周部をチャッキングし、上段チャッキング機構２５は２段目の横流ファン構成部品３の外周部をチャッキングしてセンタリングを同時に行う。
【００４１】
この状態で、前述と同様に超音波溶着機の振動子３７を下降させ、工具ホーン３８を２段目の横流ファン構成部品３の端板１に当接させて振動子３７を発振させることにより、工具ホーン３８の超音波振動によって１段目と２段目の横流ファン構成部品３の接合部７における溶着を行う。
【００４２】
このような動作を繰り返し、３段目、４段目と横流ファン構成部品３を積み重ねることにより、１個の横流ファン構成部品３の長さは約70mmであるが、これを複数個連結することにより、軸方向に長い(500mmから1000mm程度) 横流ファン４が完成する。
【００４３】
図４〜図６は第２の実施形態を示し、第１の実施形態と異なる点はチャッキング機構で、その他の構成は第１の実施形態と同一であるため同一番号を付して説明を省略する。
【００４４】
図４および図５に示すように、チャッキング機構５０は、下段チャッキング機構５１、中段チャッキング機構５２および上段チャッキング機構５３とからなる。これらは基本的には同一構造であるため、上段チャッキング機構５３について説明する。
【００４５】
上段チャッキング機構５３は平面視で、略Ｙ字状の第１〜第３のアーム５４ａ〜５４ｃがチャッキングしようとする横流ファン構成部品３を囲むように等間隔に配置されている。第１〜第３のアーム５４ａ〜５４ｃの各交点には枢支軸５５が設けられ、第１〜第３のアーム５４ａ〜５４ｃは枢支軸５５を支点として水平面内で回動自在に枢支されている。
【００４６】
第２のアーム５４ｂの二股アーム部５６の端部はリンク５７を介して第１および第３のアーム５４ａ，５４ｃの二股アーム部５６の端部に連結されており、第１〜第３のアーム５４ａ〜５４ｃは同時に回動するようになっている。第１〜第３のアーム５４ａ〜５４ｃにはテーブル２３に載置された横流ファン構成部品３を３点で挟むように延出されており、横流ファン構成部品３の外周部に対向する面にはチャック片５８が設けられている。このチャック片５８は、第１の実施形態と同様に、背面が第１〜第３のアーム５４ａ〜５４ｃに設けられた上下方向のＬＭガイド５９を介して上下動自在に支持されている。
【００４７】
また、第１と第３のアーム５４ａ，５４ｃの二股アーム部５６は第１のエアシリンダ６１と第２のエアシリンダ６２のそれぞれのロッド６１ａ，６２ａと連結されており、第１〜第３のアーム５４ａ〜５４ｃを同時に回動操作できるようになっている。すなわち、第１のエアシリンダ６１のロッド６１ａが後退し、第２のエアシリンダ６２のロッド６２ａが前進すると、第１〜第３のアーム５４ａ〜５４ｃが回動して開き、逆に第１のエアシリンダ６１のロッド６１ａが前進し、第２のエアシリンダ６２のロッド６２ａが後退すると、第１〜第３のアーム５４ａ〜５４ｃが回動して閉じるようになっている。
【００４８】
さらに、第１〜第３のアーム５４ａ〜５４ｃが同時に回動して閉じると、チャック片５８が横流ファン構成部品３の外周部を等間隔に３点で接触して保持し、横流ファン構成部品３のセンタリングができるようになっている。さらに、この状態において、横流ファン構成部品３が軸方向に移動した場合にはチャック片５８が追従してスライドするようになっている。
【００４９】
また、第１〜第３のアーム５４ａ〜５４ｃが開くと、チャック片５８が横流ファン構成部品３の外周部から離間し、横流ファン構成部品３を第１と第３のアーム５４ａ，５４ｃの間から前方へ引き出すことができるようになっている。
【００５０】
前述したように下段チャッキング機構５１および中段チャッキング機構５２は基本的には上段チャッキング機構５３と同一であるが、チャック片５８が固定的に設けられており、上下動はしないが、部品の共通化を図るために、上段チャッキング機構５３と全く同一に構成してもよい。また、下段チャッキング機構５１はテーブル２３の近傍に設けられ、最下段の端板５をチャッキングするようになっており、中段チャッキング機構５２および上段チャッキング機構５３は第１の実施形態と同様に最上段とその直下の横流ファン構成部品３をチャッキングするようになっている。
【００５１】
次に、前述のように構成されたチャッキング機構５０の作用について説明する。まず、図６（ａ）に示すように、テーブル２３に載置された端板５に対して第１段目の横流ファン構成部品３を溶着する際には、中段チャッキング機構５２はテーブル２３との干渉を防止するため開いたまま使用せず、下段チャッキング機構５１によって端板５をチャッキングし、上段チャッキング機構５３は第１段目の横流ファン構成部品３の端板１近傍をチャッキングしてセンタリングを行う。
【００５２】
この場合、上段チャッキング機構５３の第１のエアシリンダ６１のロッド６１ａが前進し、第２のエアシリンダ６２のロッド６２ａが後退し、第１〜第３のアーム５４ａ〜５４ｃが回動して閉じ、横流ファン構成部品３の外周部を等間隔に３点で保持し、横流ファン構成部品３のセンタリングを行う。
【００５３】
横流ファン構成部品３のセンタリングを行った後、端板５と横流ファン構成部品３との接合部７における超音波溶着を行うが、第１の実施形態と同様であるため説明を省略するが、超音波溶着途中の横流ファン構成部品３は上段チャッキング機構５３によってチャッキングされているが、チャック片５８は上下方向のＬＭガイド５９を介して上下動自在に支持されているため、横流ファン構成部品３の下降（沈み）に追従して下方へスライドする。
【００５４】
また、図６（ｂ）は２段目の横流ファン構成部品３と３段目の横流ファン構成部品３との接合部７における超音波溶着を行う場合を示し、下段チャッキング機構５１によって端板５をチャッキングし、中段チャッキング機構５２によって２段目の横流ファン構成部品３をチャッキングし、上段チャッキング機構５３は第３段目の横流ファン構成部品３の端板１近傍をチャッキングしてセンタリングを行うことができる。
【００５５】
なお、前記実施形態においては、横流ファン構成部品を連結して横流ファンを組み立てる場合に説明したが、横流ファンに限定されず、２個以上の熱可塑性樹脂からなる筒状の部品を超音波溶着する場合などあらゆる分野に応用できる。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の請求項１によれば、ワークの外周部をその軸心方向に押圧してワークのセンタリングを行うチャッキング機構をワークの溶着方向に移動させながら溶着することにより、チャッキング機構によってワークを強固にチャッキングしてもワークの沈みに追従でき、高精度のセンタリングが可能な超音波溶着方法を提供できる。
【００５７】
請求項２によれば、横流ファン構成部品を連結して軸方向に長い横流ファンを組み立てる場合においても、ファンの重心と回転軸心とのずれを防止でき、回転時の振動を抑えることができる。
【００５８】
請求項３によれば、ワークの外周部をその軸心方向に押圧してワークのセンタリングを行うチャッキング機構を溶着方向にスライド自在とすることにより、ワークを強固にチャッキングしてもワークの沈みに追従でき、高精度のセンタリングが可能な超音波溶着装置を提供できる。
【００５９】
請求項４によれば、連結するワーク相互の軸心ずれを防止でき、接合部を確実に溶着できる。
請求項５によれば、チャッキング機構によって高精度のセンタリングができ、また構造的にも簡単で、開閉が容易に行えると共に、外径の異なるワークのチャッキングに対応できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施形態の超音波溶着装置の斜視図。
【図２】同実施形態の横流ファン構成部品をチャッキング機構によってチャッキングした状態を示す正面図。
【図３】同実施形態の超音波溶着状態を示す縦断正面図。
【図４】この発明の第２の実施形態のチャッキング機構の斜視図。
【図５】同実施形態のチャッキング機構の平面図。
【図６】同実施形態の超音波溶着状態を示す縦断正面図。
【図７】従来の横流ファン構成部品によって横流ファンを製作する手順を示す説明図。
【図８】従来の横流ファン構成部品によって横流ファンを製作する手順を示す説明図。
【符号の説明】
３…横流ファン構成部品
４…横流ファン
７…接合部
２４…チャッキング機構
３９…サーボモータ
【図１】
0003710870.tif 000002
【図２】
0003710870.tif 000003
【図３】
0003710870.tif 000004
【図４】
0003710870.tif 000005
【図５】
0003710870.tif 000006
【図６】
0003710870.tif 000007
【図７】
0003710870.tif 000008
【図８】
0003710870.tif 000009