(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状ワークの未露光領域を間欠的に露光部に搬送してワーク上に露光処理する露光装置において、上記露光部の上流側と下流側に夫々固定グリップ部と送りグリップ部から成る第1及び第2グリップフィード機構を配設し、
前記露光部の上流側にある第1グリップフィード機構の送りグリップ部は、前記露光部の上流側にある帯状ワークの垂下部分の立ち上がりに沿って縦に配設された第1リニアガイドと、この第1リニアガイドに沿って移動する第1スライド片とから構成され、
前記露光部の下流側にある第2グリップフィード機構の送りグリップ部は、前記露光部の下流側にある帯状ワークの垂下部分の立ち下がりに沿って縦に配設された第2リニアガイドと、この第2リニアガイドに沿って移動する第2スライド片とから構成され、
前記両グリップフィード機構に夫々備わる駆動モータが、前記両グリップフィード機構の夫々の送りグリップ部を同速で所定量移動させることにより、帯状ワークを帯状ワークが伸張しない程度の張力で搬送することを特徴とする帯状ワークの露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、帯状ワークの露光装置に関し、更に詳しくは、帯状ワークへのマスクパターンの露光等に使用される帯状ワークの露光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
帯状ワーク上へのマスクパターンの露光には、生産効率の高い設備とするためにリール・ツウ・リール方式が採用されている。かかるリール・ツウ・リール方式では、ロール巻きした帯状ワークを巻き出し、露光工程を経て、巻き取りリールに巻き取られるが、露光工程においては帯状ワークの厳しい位置決め精度が必要であるため、帯状ワークの搬送に十分配慮しなければならない。
【０００３】
従来、一般的に用いられるスプロケット方式による帯状ワークの搬送では、帯状ワークが薄い場合にスプロケット孔が張力により拡大し正確に搬送できないといった問題があるため、近時、グリップフィード方式が採用されるようになってきている。例えば、特開２０００−９５４０２号公報にはその一例が開示されている。
【０００４】
当該公報に開示されている露光装置における搬送機構は、露光部の上流側には固定グリップ部から成る第１ワーク固定機構が、また、下流側には固定グリップ部及び送りグリップ部から成る第２ワーク固定機構が夫々設けられた構成であり、露光処理が終わった後次回の露光処理のために、第２ワーク固定機構の送りグリップ部で帯状ワークの周辺部を挟持して所定量搬送方向下流側に搬送後、第１ワーク固定機構の固定グリップ部で帯状ワークを固定し、その後、帯状ワークをテンションによる伸び分だけ上流側に戻し、次いで、第２ワーク固定機構の固定グリップ部で帯状ワークを固定し、ワークステージに保持するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述の従来例によれば、帯状ワークがワークステージに吸着保持される寸前まで帯状ワークにテンションがかかった状態であるので、帯状ワークに波打ち・しわが発生することがなく、また、露光処理時、帯状ワークにテンションがかからず、帯状ワークが伸びた状態で露光を行うことがないので、極めて有効な技術であるが、帯状ワークの厚みが２５μｍ〜５０μｍといった薄物ワークの場合には、ワークの伸びの関係でかけられるテンションには限界がある。このため、このような薄物の帯状ワークの場合にはかかる搬送機構は採用し得ない。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、グリップフィード方式で帯状ワークの未露光領域を間欠的に露光位置に搬送し、帯状ワークにテンションをかけずに露光し得る露光装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の帯状ワークの露光装置は、帯状ワークの未露光領域を間欠的に露光部に搬送してワーク上に露光処理する露光装置において、上記露光部の上流側と下流側に夫々固定グリップ部と送りグリップ部から成る第1及び第2グリップフィード機構を配設し、前記露光部の上流側にある第1グリップフィード機構の送りグリップ部は、前記露光部の上流側にある帯状ワークの垂下部分の立ち上がりに沿って縦に配設された第1リニアガイドと、この第1リニアガイドに沿って移動する第1スライド片とから構成され、前記露光部の下流側にある第2グリップフィード機構の送りグリップ部は、前記露光部の下流側にある帯状ワークの垂下部分の立ち下がりに沿って縦に配設された第2リニアガイドと、この第2リニアガイドに沿って移動する第2スライド片とから構成され、前記両グリップフィード機構に夫々備わる駆動モータが、前記両グリップフィード機構の夫々の送りグリップ部を同速で所定量移動させることにより、帯状ワークを帯状ワークが伸張しない程度の張力で搬送することを特徴とするものである。
【０００８】
かかる構成により、２５μｍ〜５０μｍといった薄物の帯状ワークであっても、帯状ワークにテンションをかけずに露光部へ搬送することができ、露光精度向上に寄与すると共に、露光パターンの微細化にも対応し得る。
【０００９】
なお、グリップフィード機構は、固定グリップ部と送りグリップ部からなり、送りグリップ部の構成は特に限定はしないが、送りねじ機構やリニアガイド機構を用いることができる。また、上流側下流側各グリップフィード機構は一般的には水平方式が用いられるが、縦型に配置することで装置スペースを少なくすることもできる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００１１】
本発明の帯状ワークの露光装置は、図１に示す如く、帯状ワーク１の搬送方向に沿って、帯状ワーク１の巻出しロール２、第１エアダンサー１０、第１グリップフィード機構２０、露光ユニット３０、第２グリップフィード機構４０、第２エアダンサー５０及び巻取りロール３を配設したものである。
【００１２】
第１エアダンサー１０の入口部及び出口部には夫々ガイドローラ１１、１１′が設けられており、また、下部には吸引配管１２を介して吸引ブロア１３が接続されている。更に、側部には帯状ワーク１の垂下部分の下端位置を一定の範囲にコントロールするための上限レベルセンサ１４、及び下限レベルセンサ１５が設けられている。
【００１３】
第１グリップフィード機構２０は、固定グリップ部２１と送りグリップ部２２とから構成され、送りグリップ部２２は駆動モータ２３に接続された送り螺子２４で左右動する。なお、詳細は特公平６−４２５０４号公報に開示されている通りである。
【００１４】
露光ユニット３０は、露光照明部３１と、マスク３２と、露光時に帯状ワーク１を所定位置に固定する吸着ステージ３４と、一対の昇降ローラ３３、３３′と、吸着ステージアライメント機構３５とから構成されている。
【００１５】
第２グリップフィード機構４０は、第１グリップフィード機構２０と同一であり、固定グリップ部４１と送りグリップ部４２とから構成され、送りグリップ部４２は駆動モータ４３に接続された送り螺子４４で左右動する。第１グリップフィード機構２０における駆動モータ２３と、第２グリップフィード機構４０における駆動モータ４３は不図示の制御装置により同速で駆動される。
【００１６】
第２エアダンサー５０は、第１エアダンサー１０と同一であり、入口部及び出口部には夫々ガイドローラ５１、５１′が設けられており、また、下部には吸引配管５２を介して吸引ブロア５３が接続されている。更に、側部には帯状ワーク１の垂下部分の下端位置を一定の範囲にコントロールするための上限レベルセンサ５４、及び下限レベルセンサ５５が設けられている。
【００１７】
次に、上述の帯状ワークの露光装置を用いて帯状ワーク上に所定のマスクパターンを露光する方法を説明する。
【００１８】
先ず、巻出しロール２から引出した帯状ワーク１の始端部のリードテープを第１エアダンサー１０、第１グリップフィード機構２０、露光ユニット３０、第２グリップフィード機構４０、第２エアダンサー５０を通して巻取りロール３に巻き付ける。
【００１９】
次いで、蛇行修正を行うと共に、帯状ワーク１の露光すべき領域とマスク３２との位置合わせを行った後、昇降ローラ３３、３３′を下降させ、吸着ステージ３４を作動させて、帯状ワーク１を吸着ステージ３４に固定した後、第１及び第２グリップフィード機構２０、４０の固定グリップ部２１、４１を閉とし、露光を行う。そして、露光中に第１及び第２グリップフィード機構２０、４０の送りグリップ部２２、４２を元の位置に戻す。
【００２０】
次いで、次回の露光時には、第１及び第２グリップフィード機構２０、４０の固定グリップ部２１、４１を開にすると共に、送りグリップ部２２、４２を閉にし、吸着ステージ３４の吸引状態を解除し、昇降ローラ３３、３３′を上昇させる。次いで、第１グリップフィード機構２０における送りグリップ部２２の駆動モータ２３と第２グリップフィード機構４０の送りグリップ部４２の駆動モータ４３を同速で駆動させることにより、送りグリップ部２２及び４２を所定量移動させて、帯状ワーク１の次の露光領域が露光ユニット３０の吸着ステージの所定個所に来るよう搬送する。その後、マスク３２と帯状ワーク１の露光領域の位置合わせを行い、昇降ローラ３３、３３′を下降させ、固定グリップ部２１、４１を閉にし、送りグリップ部２２、４２を開にすると共に、吸着ステージ３２を吸引状態にする。そして、露光処理を行うが、その間に送りグリップ部２２、４２は元の位置に戻しておく。
かかる搬送の結果、第２エアダンサー５０において、帯状ワーク１の垂下部分の下端が下限レベルセンサ５５で検知されると巻取りロール３を駆動し、上限レベルセンサ５４で検知されると巻取りロール３の駆動は停止される。一方、第１エアダンサー１０において、帯状ワーク１の垂下部分の下端が上限レベルセンサ１４で検知されると巻出しロール２を駆動し、下限レベルセンサ１５で検知されると巻出しロール２の駆動は停止される。
【００２１】
以上の作業を繰り返して、帯状ワーク１に所定の露光を行うことになる。
【００２２】
図２は本発明の他の実施形態であり、省スペース化のために、上流側下流側各水平方式の第１及び第２グリップフィード機構を縦型に配置した点に特徴がある。なお、送りグリップ部２２及び４２は、夫々スライド片２５とリニアガイド２６、及びスライド片４５とリニアガイド４６との組合せから構成されている。他の構成は図１の実施態様と同一であり、説明は省略する。
【００２３】
また、図３はグリップフィード機構の固定グリップ部の一実施態様を示すものであり、第１グリップフィード機構２０における固定グリップ部２１、２１′、及び第２グリップフィード機構４０における固定グリップ部４１、４１′は、それぞれ独立しており、帯状ワーク１の奥側の固定グリップ部２１、４１は、Ｘ方向（帯状ワークの搬送方向）及びＹ方向（帯状ワークの搬送方向と直交する方向）の位置を固定とし、帯状ワーク１の手前側の固定グリップ部２１′、４１′はＸ方向に関しては位置固定であるが、Ｙ方向に関しては、リニアガイド２７、２７′上を移動し得ると共に、エアシリンダー２８、２８′の引張り力により、帯状ワーク１のＹ方向（帯状ワークの搬送方向と直交する方向）の変形を矯正することができる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明の帯状ワークの露光装置は、帯状ワークの未露光領域を間欠的に露光部に搬送してワーク上に露光処理する露光装置において、上記露光部の上流側と下流側に夫々グリップフィード機構を配設すると共に、両グリップフィード機構により帯状ワークを帯状ワークが伸張しない程度の張力で搬送することを特徴とするものであり、薄物の帯状ワークであっても、帯状ワークにテンションをかけずに露光部へ搬送することができ、露光精度向上に寄与すると共に、露光パターンの微細化にも対応し得るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の帯状ワークの露光装置の一実施形態を示す正面図である。
【図２】本発明の帯状ワークの露光装置の他の実施形態を示す正面図である。
【図３】本発明の帯状ワークの露光装置におけるグリップフィード機構の固定グリップ部の一実施態様を示す平面図である。
【符号の説明】
１  帯状ワーク
２  巻出しロール
３  巻取りロール
１０  第１エアダンサー
２０  第１グリップフィード機構
３０  露光ユニット
４０  第２グリップフィード機構
５０  第２エアダンサー
【図１】
0003672028.tif 000002
【図２】
0003672028.tif 000003
【図３】
0003672028.tif 000004