(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
出力パワーが一定にコントロールされた光源と、該光源から出射された光を、そのパワーを一定に保ちつつ伝送する第１の光ファイバに入力する第１の光部品と、前記第１の光ファイバから出射された光をコリメートして空間へ放射する第２の光部品と、外環境の化学物質との相互作用により物理的変化を生じる検知面を有する検知素子と、該検知素子の前記検知面からの反射光を、そのパワーを一定に保ちつつ伝送する第２の光ファイバに入力する第３の光部品と、前記第２の光ファイバから出射された光の強度を検出する第１の光検出器とを備えた光反射型センサであって、
前記光源と前記第１の光検出器とが、第１の筐体に所定の位置関係で保持され、
前記第１の光ファイバと前記第２の光部品との接続部、前記第２の光ファイバと前記第３の光部品との接続部、前記第２の光部品及び前記第３の光部品が、第２の筐体に所定の位置関係で保持され、
前記検知素子が、前記第２の光部品から入射された光を前記第３の光部品へ向かって反射させる光反射手段として機能し、且つ、前記第２の筐体と所定の位置関係に保持された第３の筐体に固定されてなり、
前記第３の筐体が、前記第２の筐体から取り外し自在であり、
前記第２の光部品から前記検知素子へ入射される光の進行方向と、前記検知素子から前記第３の光部品へ反射される光の進行方向とが平行であり、前記第１の光ファイバと前記第２の光部品との光軸、及び、前記第２の光ファイバと前記第３の光部品との光軸が平行となるように構成され、
前記検知素子の物理的変化をＩＥＲ法、ＳＰＲ法、ＯＷＧ法、屈折率測定法、光散乱強度測定による濁度測定法のうちのいずれか１つの光学的手法によって測定することを特徴とする光反射型センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の光反射型センサであって、前記第１の光部品、前記第２の光部品及び前記第３の光部品のうちの少なくとも１つの光部品が省略され、省略された光部品の側の光ファイバが直接に前記第１の筐体及び／又は前記第２の筐体に固定されていることを特徴とする光反射型センサ。
【請求項３】
請求項１〜２のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、前記検知素子の物理的変化を光学的手法によって測定した結果として出力されるアナログ信号をアナログ／ディジタル変換し、化学物質の存在やその種類及び濃度、密度、比重、濁度等の特性を出力表示する第４の筐体を具備することを特徴とする光反射型センサ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、前記検知素子が、高反射性基板と該高反射性基板に対して所定の角度で保持されるミラー板とを備え、前記検知面が化学物質検出用の薄膜がコーティングされて化学物質検出面として機能することを特徴とする光反射型センサ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、前記検知素子が、光透過性媒体で作成され且つ１つの角度が９０°の角度構成を持つプリズムを備え、前記プリズムの第１の面が光の入射面及び出射面として機能し、第２の面が光反射ミラーが直接コーティングされた、又は、ミラー板が固定された光反射面として機能し、第３の面が化学物質検出用の薄膜がコーティングされた化学物質検出面として機能することを特徴とする光反射型センサ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、前記検知素子の前記プリズムの角度構成が、４５°、４５°、９０°の角度構成を持つ直角プリズム、又は、３０°、６０°、９０°の角度構成を持つリトロープリズムであることを特徴とする光反射型センサ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、前記検知素子の前記化学物質検出面に、化学物質検出用の前記薄膜が直接コーティングされた平板状の透明基板が固定されていることを特徴とする光反射型センサ。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、化学物質検出用の前記薄膜が、高分子薄膜、又は、抗体やＤＮＡ等が固定化されたバイオセンサ膜であることを特徴とする光反射型センサ。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、前記第２の筐体が外環境の温度を測定するための温度センサを更に具備することを特徴とする光反射型センサ。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、前記第２の筐体が外環境の湿度を測定するための湿度センサを更に具備することを特徴とする光反射型センサ。
【請求項１１】
請求項１０に記載の光反射型センサであって、前記検知素子の物理的変化を光学的手法によって測定した結果として出力される前記アナログ信号を、前記温度センサからの温度出力信号と前記湿度センサからの湿度出力信号とのうちの少なくとも一方に基づいて補償して、化学物質の存在やその種類、濃度、密度、比重、濁度等の特性を表す信号を出力することを特徴とする光反射型センサ。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、前記光源からの光を直接受光する第２の光検出器と、該第２の光検出器からの出力信号が一定となるように前記光源を駆動するための自動出力安定化回路とを更に備え、前記光源の出力パワーを一定にコントロールすることを特徴とする光反射型センサ。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、前記光源をパルス駆動する発振回路と、該発振回路からの発振パルスと同期して前記第１の光検出器に受光動作させる同期回路とを更に備えることを特徴とする光反射型センサ。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、前記発振回路の発振周波数が１００Ｈｚ以上であり、前記発振回路の１パルス周期内での前記光源の点灯時間が３０％以下であることを特徴とする光反射型センサ。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、前記第１の光ファイバと前記第２の光ファイバのうちの少なくとも１つが、グレーデッドインデックス型ガラスファイバ、ステップインデックス型ガラスファイバ、多成分ガラスファイバ、ハードプラスチッククラッドガラスファイバ、プラスチック光ファイバのうちのいずれか１つであることを特徴とする光反射型センサ。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、前記第１の光ファイバと前記第２の光ファイバのうちの少なくとも１つが、直径１０００ミクロン以下の細径ファイバが多数束ねられた多芯バンドル光ファイバであることを特徴とする光反射型センサ。
【請求項１７】
請求項１〜１６のいずれか１つに記載の光反射型センサであって、第１の筐体〜前記第３のうちの少なくとも１つの筐体の一部の面又は全ての面に、撥水性、撥油性、防汚性及び抗菌性の薄膜、又は光触媒を含んだ薄膜がコーティングされていることを特徴とする光反射型センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検知素子を用いて干渉増幅反射法、表面プラズマ共鳴法、光導波路法等の光学的な検出方法により，空気中に存在する、及び／又は水等の液体の中に溶存又は分散する化学物質を直接検出するための光反射型センサとその構造、光透過性媒体の光反射面に接する液体物質の屈折率の差異により入射光線の反射率が変化することを利用した光反射型屈折率センサとその構造、及び、光透過性媒体の光反射面に接する液体物質中の濁度の差異により入射光線の散乱反射率が変化することを利用した光反射型濁度センサとその構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
化学センサ又はバイオセンサ用に開発された検知素子は、空気中や水等の液体の中での化学反応、抗原-抗体反応、ＤＮＡやＲＮＡの相互作用、化学物質の吸収或いは吸着によって、タンパクや種々の無機物質、有機物質等の化学物質と相互作用する。その結果、化学物質の濃度に依存して検知素子の厚さ及び／又は屈折率が変化するので、こうした物理的変化を光学的な方法によって測定することにより、化学物質の存在やその種類及び濃度、密度、比重等の特性を決定することが可能となる。
【０００３】
検知素子の物理的変化としては、該検知素子が化学物質と反応することによって生じるか、又は該検知素子が化学物質を吸収若しくは吸着して生ずるものが利用されている。そのような物理変化の結果、検知素子の厚みが変化し、又は屈折率が変化する。そのような検知素子の膜厚や屈折率の変化を測定する光学的方法として、干渉増幅反射法（Interference Enhanced Reflection；ＩＥＲ法）、表面プラズモン共鳴法（Surface Plasmon Resonance；ＳＰＲ法）又は光導波路法（Optical Wave-Guide；ＯＷＧ法）等が知られている。
【０００４】
検知素子を用いてＩＥＲ法、ＳＰＲ法、ＯＷＧ法等の光学的な検出方法により空気中に存在する、又は水等の液体中に溶存又は分散する化学物質を直接検出するための光反射型化学センサやバイオセンサの構成例は、特許第3001357号、特許第3032677号、特許第3157952号、特開平8-114547号公報、特開平8-184560号公報、特開平9-96605号公報、特開平9-329553号公報、特開平10-104163号公報、特開平11-183372号公報等に開示されている。
【０００５】
ＩＥＲ法は、高反射性基板上の高分子薄膜の反射特性を利用した方法であり、例えば特許第3001357号に開示されているとおり、高分子薄膜の物理的変化として、その厚み及び屈折率の変化を利用する。
【０００６】
ＳＰＲ法においては、金属−高分子薄膜の界面での光子の運動量及びエネルギーが表面プラズモンのそれと一致するような光を特定の角度で入射させることによって金属−高分子薄膜の界面を光学的に励起せしめ、その結果として光子のエネルギーが表面プラズモンとカップリングし、反射光の鋭敏な強度低下が観察される。そのようなカップリングは、例えば特開平9-96605号公報に開示されているとおり、金属薄膜の厚み及び金属薄膜上の高分子薄膜の物理特性から大きく影響を受ける。つまり、ＳＰＲ法では、高分子薄膜の物理的変化として、その厚み及び屈折率の変化を利用する。
【０００７】
ＯＷＧ法はＳＰＲ法と類似した方法であって、ＯＷＧ法においては、基板（又はクラッド）−高分子薄膜の界面での光子の運動量及びエネルギーが高分子薄膜内を全反射の原理で伝播できるような特定のモードのそれと一致するような光を特定の角度で入射させることによって基板（又はクラッド）−高分子薄膜の界面を光学的に励起せしめ、その結果として光子のエネルギーが導波モードとカップリングし、反射光の鋭敏な強度低下が観察される。そのようなカップリングは、例えば特開平9-329553に開示されているとおり、基板として用いられている金属膜上の高分子薄膜の物理特性から大きく影響を受ける。つまり、ＷＧ法では高分子薄膜の物理的変化として、その厚み及び屈折率の変化を利用する。
【０００８】
光の反射特性を利用して液体の屈折率を直接計測するセンサの構成例は、特開昭61-11635号公報、特開昭61-11636号公報、特開昭61-11637号公報、特開平5-203567号公報、特公平6-52237号公報、特公平6-52238号公報、特開平10-38801号公報、特開平11-166892号公報等の公報や、計測自動制御学会論文集Vol.21,No.8,p.93「光ファイバを用いた液体識別センサの試作」、Proceedings of 1st Meeting on Lightwave Sensing Technology LST1-17 「光ファイバ式屈折率センサ」等の文献に種々開示されている。これらの公知文献には、屈折率の測定方法として、全反射の臨界角を計測するタイプや反射率を計測するタイプが開示されている。
【０００９】
これらの公知の資料に開示されているセンサ及びその構造は、光源や光検知器が検知素子を固定する筐体と一体化されていたり、隣り合ったパーツとして接続されており、角度検出のために回転駆動軸を設けたり、光検出にＣＣＤ素子や光ファイバアレイなどを利用しているものが多く、その構成やデザインが複雑なものばかりである。つまり、これまでは、持ち運びが容易で、被測定液体中に投げ込んで使用することができ、検知素子のメンテナンスが容易であり、新規の素子への交換が容易な方法は提案されていない。
【００１０】
本願の出願人は、平成１２年２月２５日に、液体を検知又は識別する方法として、反射率を計測する簡易且つ小型の屈折率センサに関する発明を出願した（特開2001-242079号公報参照）。この出願において、出願人は、検知素子部分を主体として発明を具現化・商品化するための周辺の装置や構造に関して構成概念まで言及したが、具体的に小型且つ簡易でポータブル化が容易なセンサ装置における光源や光検知器の配置及び構成並びに検知素子交換の方法などは開示していなかった。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、上記のような課題を克服するために過去の開示に鑑みて提案されたものであり、この発明の目的は、構成が簡単且つ小型で、検知素子の交換が容易且つ安価であり、製作が容易で設計の自由度が高く、ＩＥＲ、ＳＰＲ、ＯＷＧ法をベースとするセンサや、屈折率センサ及び濁度センサに最適な、ポータブルな光反射型センサを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
こうした目的を達成するために、本発明は、出力パワーが一定にコントロールされた光源と、該光源から出射された光を、そのパワーを一定に保ちつつ伝送する第１の光ファイバに入力する第１の光部品と、前記第１の光ファイバから出射された光をコリメートして空間へ放射する第２の光部品と、外環境の化学物質との相互作用により物理的変化を生じる検知面を有する検知素子と、前記検知素子の前記検知面からの反射光を、そのパワーを一定に保ちつつ伝送する第２の光ファイバに入力する第３の光部品と、前記第２の光ファイバから出射された光の強度を検出する第１の光検出器を備えた光反射型センサであって、
前記光源と前記第１の光検出器とが、第１の筐体に所定の位置関係で保持され、
前記第１の光ファイバと前記第２の光部品との接続部、前記第２の光ファイバと前記第３の光部品の接続部、前記第２の光部品及び前記第３の光部品が、第２の筐体に所定の位置関係で保持され、
前記検知素子が、前記第２の光部品から入射された光を前記第３の光部品へ向かって反射させる光反射手段として機能し、且つ、前記第２の筐体と所定の位置関係に保持された第３の筐体に固定されてなり、
前記第３の筐体が、前記第２の筐体から取り外し自在であり、
前記第２の光部品から前記検知素子へ入射される光の進行方向と、前記検知素子から前記第３の光部品へ反射される光の進行方向とが平行であり、前記第１の光ファイバと前記第２の光部品との光軸、及び、前記第２の光ファイバと前記第３の光部品との光軸が平行となるように構成され、
前記検知素子の物理的変化をＩＥＲ法、ＳＰＲ法、ＯＷＧ法、屈折率測定法、光散乱強度測定による濁度測定法のうちのいずれか１つの光学的手法によって測定することを特徴とする光反射型センサを提供する。
【００１３】
この発明の一つの実施の形態においては、上記の光反射型センサの構成要素が複数組み合わされ、前記第１の筐体〜前記第３の筐体の内部に、それぞれ複数組の構成要素が形成された多チャンネル光反射型センサを構成し、複数個の前記検知素子の物理的変化をＩＥＲ法、ＳＰＲ法、ＯＷＧ法、屈折率測定法、光散乱強度測定による濁度測定法のうちの少なくとも２つ以上の光学的手法を組み合わせることによって測定することを特徴とする光反射型センサを提供する。
【００１４】
前記光学的手法によって測定されたセンサのアナログ出力は、アナログ／ディジタル変換する電子回路と、論理回路又はマイクロコンピューターとを利用することによって、化学物質の存在やその種類、及び濃度、密度、比重、濁度等の特性を計算して、第４の筐体に出力表示することができる。
【００１５】
前記検知素子の第１の例は、高反射性基板と該高反射性基板に対して所定の角度で保持されるミラー板とを備えている。さらに、前記検知面は、化学物質検出用の薄膜がコーティングされて化学物質検出面として機能する。
【００１６】
前記検知素子の第２の例は、光透過性媒体で作成され且つ１つの角度が９０°の角度構成を持つプリズムを備え、前記プリズムの第１の面が光の入射面及び出射面として機能し、第２の面が光反射ミラーが直接コーティングされた、又は、ミラー板が固定された光反射面として機能し、第３の面が化学物質検出用の薄膜がコーティングされた化学物質検出面として機能する。
【００１７】
前記プリズムは、使用する光の波長に対して充分透明な材質から作成されることが望ましく、前記プリズムは、その３つの角度構成のうち、９０°ではない残りの２つの角度はその合計が９０°となるように任意に選定することができる。好ましくは、角度構成が、４５°、４５°、９０°の角度構成を持つ直角プリズム、又は、３０°、６０°、９０°の角度構成を持つリトロープリズムを用いることが望ましい。
【００１８】
前記検知素子の化学物質検出面は、化学物質検出用の薄膜が直接コーティングされた平板状の透明基板を前記第３の面に固定することによって構成することができる。この構成において、化学物質検出用の薄膜は、高分子薄膜や、抗体やＤＮＡ等が固定化されたバイオセンサ膜を利用することができる。
【００１９】
化学物質検出用の薄膜は温度や湿度によって影響されて、膜厚が変わってしまう。そこで、こうした変動を補償するため、本発明の光反射型センサにおいては、必要であれば、前記第２の筐体に、外環境の温度を測定するための温度センサや、外環境の湿度を測定するための湿度センサを設けることができる。これにより、前記検知素子の物理的変化を光学的手法によって測定した結果として出力されるアナログ信号を、前記温度センサからの温度出力信号と前記湿度センサからの湿度出力信号とのうちの少なくとも一方に基づいて補償して、化学物質の存在やその種類、及び濃度、密度、比重、濁度等の特性を計算して前記第４の筐体に出力表示させることができる。これら温度センサ及び湿度センサを単なる温度計及び湿度計としても使用可能である。
【００２０】
前記光源の出力パワーは、前記光源からの光を直接受光する第２の光検出器と、該第２の光検出器からの出力信号が一定となるように前記光源を駆動するための自動出力安定化回路とを設けることによって一定にコントロールすることができる。
【００２１】
この発明の光反射型センサは、前記光源からの光をパルス駆動する発振回路と、該発振回路からの発振パルスと同期して前記第１の光検出器に受光動作させる同期回路とを更に備えることができる。この構成においては、前記発振回路の発振周波数は１００Ｈｚ以上がよく、好ましくは、５００Ｈｚ以上、更に好ましくは１ｋＨｚ以上に選ぶことがよい。また、１パルス周期内での点灯時間は３０％以下がよく、好ましくは１０％以下、更に好ましくは５％以下であることが好ましい。
【００２２】
前記第１の光ファイバと前記第２の光ファイバとのうちの少なくとも一方は、グレーデッドインデックス型ガラスファイバ、ステップインデックス型ガラスファイバ、多成分ガラスファイバ、ハードプラスチッククラッドガラスファイバ、プラスチック光ファイバのうちのいずれか１つであってよい。この構成においては、前記第１の光部品〜第３の光部品は、光ファイバコリメータ、ＦＣコリメータ、コリメーティングレンズユニットなどで構成することができる。さらに、この構成においては、前記第１の光部品〜第３の光部品のうちの少なくとも１つの光部品を省略し、省略された側の光ファイバを直接に前記第１の筐体及び／又は前記第２の筐体に固定してもよい。
【００２３】
また、前記第１の光ファイバと前記第２の光ファイバのうちの少なくとも一方を、直径１０００ミクロン以下の細径ファイバを多数束ねた多芯バンドル光ファイバとしてもよい。この構成においては、細径ファイバの直径は、好ましくは５００ミクロン以下、より好ましくは３００ミクロン以下であるのがよい。さらに、多芯バンドルされている細径ファイバの数は５本以上がよく、好ましくは１０本以上、更に好ましくは１００本以上がよい。
【００２４】
本発明における光反射型センサにおいては、前記第２の筐体と前記第３の筐体のうちの少なくとも一方の筐体の一部の面又は全ての面に、撥水性、撥油性、防汚性、抗菌性の薄膜、又は光触媒を含んだ薄膜をコーティングすることが望ましい。
【００２５】
【作用】
本発明に係る光反射型センサによれば、種々の化学物質を検出するための薄膜コーティングが施された検知素子が固定された第３の筐体は、入出力用の光ファイバ２本を備えた第２の筐体から容易に取り外しができるので、メンテナンスや素子の交換が簡単にできる。また、第２の筐体は、光ファイバを２本備え、必要に応じて温度センサや湿度センサを追加して備えるだけであり、第３の筐体は、光を第２の光ファイバへ反射させる機能を有する検知素子を固定して構成されるだけなので、各筐体は極めて小型化にできる。
【００２６】
特に、第１の光ファイバと第２の光部品との光軸、及び、第２の光ファイバと第３の光部品との光軸が平行となるように構成した場合には、例えば、第２の筐体を細長い円筒状のプローブとして形成することができるので、非常にコンパクトで使い易い光反射型センサを提供することができる。従って、光学的手法としてＩＥＲ法、ＳＰＲ法、ＯＷＧ法、屈折率測定法、光散乱濁度測定法などを利用した場合、過去に例を見ない程構造がシンプルかつ小型で、測定サンプルに直接投入でき、安価且つ検知素子の交換が容易な光プローブを構成することが可能となる。
【００２７】
光学的手法としてＩＥＲ法、ＳＰＲ法、ＯＷＧ法、屈折率測定法などを利用し、化学物質を検出する機能を有する検知素子がプリズムで構成される従来の方法にあっては、プリズムの第１の面から光を入射し、第２の面が化学物質検出面且つ光反射面として機能し、第３の面から光を出射して光検出器で受光するという構成であるため、角度設計に精密さが要求されるうえ、角度検出機能が必要となる場合があり、全体の構成が複雑で大きくなっていたが、本発明のプリズムを利用した構成では、プリズムの第１の面が光の入射面及び出射面として機能し、第２の面がミラーをコーティングした光反射面として機能し、第３の面が化学物質検出面として機能するので、安価で小型化することができ、検知素子が固定された第３の筐体を、光軸のぶれやずれを気にすることなく簡単に取り外して交換することができる。
【００２８】
さらに、光源をパルス駆動し、それに同期した信号を受光器で受光する構成とすると、光源点灯時の受光信号と光源消灯時の受光信号との差分を取ることで太陽光や屋内光などの外乱光の影響を除去することができる。また、光源点灯時間を短くする、すなわちデュティー比を小さくすることにより、消費電流を低減し、バッテリー駆動時でのバッテリーの長寿命化を実現することができる。
【００２９】
この発明の光反射型センサは光ファイバを利用しているので、遠隔でのモニタリングや多地点の同時モニタリングが可能となり、さらに防爆構造を導入することなく危険区域でのセンシングを低コストで実施することが可能となる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
この本発明は、検知素子を用いてＩＥＲ法、ＳＰＲ法、ＯＷＧ法等の光学的な検出方法により、空気中に存在する、及び／又は水等の液体中に溶存又は分散する化学物質を直接検出するための光反射型センサとその構造、液体の屈折率の差異により入射光線の反射率が変化することを利用した光反射型屈折率センサとその構造、及び、液体中の濁度の差異により入射光線の散乱反射率が変化することを利用した光反射型濁度センサとその構造に関するものである。
【００３１】
以下、図面を参照しながら、この発明に係る光反射型センサの若干の実施の形態を詳細に説明する。なお、図１〜図５において、同一の又は同様の構成要素は同じ参照数字で指し示すこととし、重複した説明は省略する。
【００３２】
図１の（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明に係る光反射型センサの第１の実施の形態の構成を概略的に示す図であり、この実施の形態においては、特開平9-329553号公報における開示に準ずるＳＰＲ法とＯＷＧ法を利用する。図１の（Ａ）において、光反射型センサ１は、第１の筐体２と第２の筐体３と第３の筐体４とを備える。
【００３３】
第１の筐体２は、光源５と、光源５を安定化して駆動する機能部品６と、光源５からの出射光を第１の光ファイバ８に入力する第１の光部品７と、第２の光ファイバ１０からの出射光を受光する光検知器９とを備えている。光源５、機能部品６、第１の光部品７、光検出器９及び光ファイバ８、１０を第１の筐体２に固定する方法としては、ネジ止めや接着などが利用される。光源５は、例えば、レーザー・ダイオード（ＬＤ）又は発光ダイオード（ＬＥＤ）であり、可視光又は赤外線を放射する。また、光検出器９としては、例えばフォトダイオードやフォトトランジスタを用いることができる。
【００３４】
第２の筐体３は、第１の光ファイバ８からの出射光をコリメートして検知素子１３を照射させる第２の光部品１２と、この照射により検知素子１３から生じた反射光を第２の光ファイバ１０へ結合する第３の光部品１４と、温度センサ１５とを備えている。第１の光ファイバ８及び第２の光ファイバ１０は保護チューブ１１の内部を通される。
【００３５】
第３の筐体４には検知素子１３が固定され、また、第３の筐体４の中央部分は光が通過できる構成とされている。これにより、第１の光ファイバ８から出射された光は検知素子１３を照射し、検知素子１３で反射された光は第２の光ファイバ１０に入射する。検知素子１３には、一端が開口した筒状の保護キャップ１６が設けられ、これにより、検知素子１３と水等の液体との接触を確保するとともに検知素子１３を保護する。温度センサ１５から出力される信号を伝達する電線も保護チューブ１１の中を通されることが好ましい。
【００３６】
検知素子１３からの反射光は第２の光ファイバ１０を介して光検知器９で受光されてアナログの電気信号へ変換される。光検出器９からのアナログの電気信号Ｓｏｕｔは、第２の保護チューブ１１’の内部を通る電線を介して、光反射型センサ１の外部に設けられた第４の筐体（図６参照）へ伝送されて処理される。この第４の筐体は、アナログ／ディジタル変換回路と論理回路又はマイクロコンピューターとを備えた電子回路ユニットを有する。検知素子１３の出力である電気信号Ｓｏｕｔは、検知素子１３が接触する液体の温度によって影響される。つまり、電気信号Ｓｏｕｔは、検知素子１３が接触する液体に含まれる化学物質に起因する要素と液体の温度に起因する要素とを含む。そこで、第４の筐体内の電子回路ユニットは、検知素子１３の物理的変化を光学的手法によって測定した結果として出力される電気信号Ｓｏｕｔ及び温度センサ１５からの温度出力信号を受け取り、電気信号Ｓｏｕｔを温度出力信号に基づいて補償して、化学物質の存在やその種類、濃度、密度、比重、濁度等の特性を出力表示する。
【００３７】
光部品７、光部品１２及び光部品１４は、光ファイバコリメータ、ＦＣコリメータ又は適当な焦点距離を持つレンズと偏光素子とを組み合わせたもので、ｓ偏光とｐ偏光とのいずれかの偏光状態を選択することができる。
【００３８】
第１の筐体２と第２の筐体３との間に接続された２本の光ファイバ８、１０は、グレーデッドインデックス型ガラスファイバ、ステップインデックス型ガラスファイバ、多成分ガラスファイバ、ハードプラスチッククラッドガラスファイバ、プラスチック光ファイバなどの種々の光ファイバの中から任意に選択されたものであってよい。また、防水防塵の目的で、ケーブルグランド１１’’により保護チューブ１１、１１’の端部を筐体２、３に固定することが好ましい。
【００３９】
図１（Ｂ）は、図１の（Ａ）に示す検出素子１３の構造を拡大して示す図であり、検知素子１３は、３つの角度構成が４５°、４５°、９０°の直角プリズムＰを備える。直角プリズムＰは、適切な屈折率を有するガラス、プラスチック、サファイアなどの無機単結晶材質の中から選択された材質で形成されており、直角プリズムＰの３つの対向する面のうち最も広い面である第１の面１７は光の入射面及び出射面として機能する。また、第２の面１８は、光反射ミラー１９が直接コーティングされた光反射面として機能し、第３の面２０の表面には金属薄膜２１が堆積され、この金属薄膜２１の上に、化学物質検出用の薄膜２２がコーティングされて化学物質検出面として機能する。この場合、直角プリズムＰは、第２の光部品１２から検知素子１３へ入射される光の進行方向と、検知素子１３から第３の光部品１４へ反射される光の進行方向が平行となるように配置されることが望ましい。なお、光反射ミラー１９は、光源５から放射される光の波長以下の厚みを有し、金、銀、クローム、シリコン或いはゲルマニウムで構成されることが好ましい。
【００４０】
検知素子１３は、第２の光部品１２からの偏光された光が、直角プリズムＰの内部全反射角より大きい角度で、化学物質検出用の薄膜２２が形成された第３の面２０に入射されるように、所定の角度で第３の筐体４に接着などによって固定される。第３の筐体４は第２の筐体３に対してネジ止めなどによって固定されることが好ましい。
【００４１】
第１の実施の形態は上記のとおりに構成されているので、検知素子１３への光の入射角度を適切に設定するとともに、化学物質検出用の薄膜２２の材質を適切に選択することにより、ＳＰＲ法及びＯＷＧ法に基づく、簡易且つ低コストで小型の光反射型化学センサやバイオセンサを実現することができる。
【００４２】
なお、第１の筐体２、第２の筐体及び第３の筐体４は、ステンレス、真鍮、アルミなどの金属、又は、ポリカーボネート、エポキシ、デルリン、ＰＯＭ、ポリプロピレンなどの樹脂から形成することが望ましい。また、化学物質検出用の薄膜２２以外の表面には、撥水、撥油、抗菌及び／又は防汚性のコーティングを施して検知素子１３の表面を清浄に保つことが好ましい。かかるコーティングとしては、各種フッ素系コーティング剤や表面改質剤、光触媒性薄膜等が使用でき、信越化学工業株式会社製のフッ素シリコーンコーティング剤ＫＰ−８０１Ｍや、旭硝子株式会社製のサイトップＣＴＸ−８０９Ａ、酸化チタン触媒を含有する石原産業株式会社製のＳＴ−Ｋ０３や、テイカ株式会社製のＴＫＣ−３０１、東陶機器株式会社製のハイドロテクト技術による超親水性薄膜などを利用することが有効である。
【００４３】
図２の（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明に係る光反射型センサの第２の実施の形態の構成を概略的に示す図であり、この第２の実施の形態は、特開平10-104163号公報の開示に準ずるバックサイドＩＥＲ法を利用する点で、図１の第１の実施の形態と相違する。
【００４４】
図２（Ａ）において、第１の筐体２は、光源５からの光を直接受光する光検出器２５と、この光検出器２５からの出力信号が一定となるように光源５を駆動するための自動出力安定化回路を内蔵した機能部品６とを備え、これにより光源５の出力パワーは一定にコントロールされる。この実施の形態においては、光源５は例えばＬＥＤであり、２本の光ファイバ８、１０としてはプラスチック光ファイバが用いられ、光源５からの出射光を第１の光ファイバ８に入力するための第１の光部品７は省かれている。
【００４５】
機能部品６は、上記自動出力安定化回路に加えて、光源５をパルス点灯させるためのパルス出力を提供する発振回路と、該発振回路のパルス出力と同期して光検知器９が第２の光ファイバ１０からの光を受光させるための同期回路とを更に備えている。こうした構成により、光源５が点灯している期間のうちに適切な時点に上記同期回路が光検知器９に第２の光ファイバ１０からの光を受光させる。これにより、光源５が点灯していない期間での外乱光による影響を排除することができる。
【００４６】
上記の構成において、光源５をパルス点灯させるための発振回路の発振周波数は１００Ｈｚ以上であればよく、好ましくは５００Ｈｚ以上、更に好ましくは１ｋＨｚ以上である。また、光源５の点灯時間は１パルス周期の３０％以下がよく、好ましくは１０％以下、更に好ましくは５％以下であるのがよい。
【００４７】
第３の筐体４には検知素子２４が固定され、図２の（Ｂ）は検出素子２４の構造を拡大して示す図である。検知素子２４は、３つの角度構成が３０°、６０°、９０°のリトロープリズムＰ’を備え、リトロープリズムＰ’の第１の面１７は光の入射面及び出射面として機能し、第２の面１８は光反射ミラー１９が直接コーティングされた光反射面として機能する。また、第３の面２０には、化学物質検出用の薄膜２２が直接コーティングされた平板状の透明基板２３が固定され、第３の面２０は化学物質検出面として機能する。第３の筐体４の中央部分は光が通過できる構成とされており、第１の光ファイバ８から出射された光は検知素子２４を照射し、検知素子２４で反射された光は第２の光ファイバ１０に入射する。この場合、第２の光部品１２から検知素子２４へ入射される光の進行方向と、検知素子２４から第３の光部品１４へ反射される光の進行方向とが平行となることが望ましい。
【００４８】
検知素子２４は、第２の光部品１２から出射された偏光された光が光反射ミラー１９で反射された後、透明基板２３の内部全反射臨界角に近い角度で化学物質検出用の薄膜２２に入射されるように、所定の角度で第３の筐体４に接着などによって固定される。
【００４９】
平板状の透明基板２３としては、種々の透明基板、例えば、高屈折率ガラス基板、サファイア基板、光源５から放射される光の波長以下の厚みを有する金、銀、アルミ、クローム、シリコン或いはゲルマニウム等の金属薄膜がコーティングされたガラス又はプラスチック基板、酸化チタンや五酸化タンタルなどを含む高屈折率誘電体薄膜がコーティングされたガラス又はプラスチック基板を用いることができる。
【００５０】
第２の実施の形態は上記のとおりの構成を有するので、検知素子２４への光の入射角度を適切に選定するとともに、化学物質検出用の薄膜２２の材質を適切に選択することにより、バックサイドＩＥＲ法に基づく簡易且つ低コストで小型の光反射型化学センサやバイオセンサを実現することができる。
【００５１】
図３の（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明に係る光反射型センサの第３の実施の形態の構成を概略的に示す図であり、この第３の実施の形態は、特開平8-184560号公報の開示に準ずるフロントサイドＩＥＲ法を利用する点で、図２の第２の実施の形態と相違する。このため、図３（Ａ）に示すように、第３の筐体４には、検知素子２６と、第３の筐体４を貫通する空気孔２７と、大気中の湿度を計測するための湿度センサ２８とが設けられる。検知素子２６及び湿度センサ２８は、温度センサ１５の横に且つ空気穴２７の近くに設置される。温度センサ１５に加えて湿度センサ２８を設けたのは、検知素子２６が空気との接触によって空気の温度及び湿度の影響を受けるため、その影響分を補償する必要があるからである。つまり、検知素子２６の物理的変化を光学的手法によって測定した結果として出力される電気信号Ｓｏｕｔは、温度センサ１５からの温度出力信号と湿度センサ２８からの湿度出力信号とのうちの少なくとも一方に基づいて補償され、第４の筐体は化学物質の存在やその種類、濃度、密度、比重、濁度等の特性を温度や湿度に無関係に出力することができる。
【００５２】
図３の（Ｂ）は、検知素子２６の構造を拡大して示す図で、検知素子２６は、光反射ミラー１９が形成された基板１８’と、化学物質検出用の薄膜２２が直接コーティングされた平板状の高反射性基板２１’とを所定の角度で交差させた構造を有する。第２の光部品１２から投光された光は、光反射ミラー１９で反射された後、薄膜２２で反射されて第３の光部品１４へ反射される。第３の筐体４の中央部分は光が通過できる構成とされており、第１の光ファイバ８から出射された光は検知素子２６を照射し、検知素子２６で反射された光は第２の光ファイバ１０に入射する。この場合、第２の光部品１２から検知素子２６の光反射ミラー１９へ入射される光の進行方向と、検知素子２６の薄膜２２から第３の光部品１４へ反射される光の進行方向とが実質的に平行となることが望ましい。
【００５３】
高反射性基板２１’としては、シリコンウェハー、高屈折率ガラス基板、サファイア基板、金、銀、アルミ、クローム、シリコン或いはゲルマニウム等の金属薄膜がコーティングされたガラス又はプラスチック基板、酸化チタンや五酸化タンタルなどの高屈折率誘電体薄膜がコーティングされたガラス又はプラスチック基板等を用いることができる。
【００５４】
また、検知素子２６は、図３の（Ｃ）に示すように、第２の光部品１２からの光が薄膜２２で１度反射され、光反射ミラー１９で正反射された後、薄膜２２で２度目の反射をされて、所定の角度で第３の筐体４に固定される構成としてもよい。
【００５５】
第３の実施の形態は上記のとおりに構成されているので、検知素子２６への光の入射角度を適切に設定するとともに薄膜２２の材質を適切に選択することにより、フロントサイドＩＥＲ法に基づく簡易且つ低コストで小型の光反射型化学センサやバイオセンサを実現することができる。
【００５６】
図４の（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明に係る光反射型センサの第４の実施の形態の構成を概略的に示す図であり、この第４の実施の形態は、特開平2001-242079号公報の開示に準ずる多入射角反射型屈折率測定法を利用する点で、第１〜第３の実施の形態と相違する。
【００５７】
図４の（Ａ）から理解されるように、第２の筐体３からは、第１の光ファイバ８からの出射光をコリメートする第２の光部品１２と、検知素子２９からの反射光を第２の光ファイバ１０へ結合する第３の光部品１４が省かれており、２本の光ファイバ８、１０は隣り合うように密着されて直接に第２の筐体３に固定される。この構成によると、第１の光ファイバ８からの光は放射状に拡がって検知素子２６に投光され、検知素子２９からの反射光も放射状に拡がって第２の光ファイバに受光されるので、多入射角反射型のセンサを構成することができる。
【００５８】
第３の筐体４には、図４の（Ｂ）に構造を拡大して示す検知素子２９が固定されている。第３の筐体４の中央部分は光が通過できる構成とされているので、第１の光ファイバ８から出射された光は検知素子２９を照射し、検知素子２９で反射された光は第２の光ファイバ１０に入射する。
【００５９】
検知素子２９は、３つの角度構成が４５°、４５°、９０°の直角プリズムＰ’’を備え、直角プリズムＰ’’の第１の面１７は光の入射面及び出射面として機能し、第２の面１８は光反射ミラー１９が直接コーティングされた光反射面として機能する。また、第３の面２０はその表面に化学物質検出用の薄膜２２がコートされ、化学物質検出面として機能する。検知素子２９は、所定の角度で第３の筐体４に接着などにより固定される。
【００６０】
薄膜２２は、撥水性、撥油性、防汚性及び抗菌性の薄膜、又は光触媒を含んだコーティングなどから適宜に用途や仕様に合わせて選択されればよい。しかし、必要によっては薄膜２２を省略してもよい。これは、この第４の実施の形態は検知素子２９に接触する液体の屈折率を測定するものであり、薄膜２２の有無に無関係に、第３の面２０と液体との接触により面２０での反射率が変化するからである。
【００６１】
第４の実施の形態は上記のように構成されているので、光ファイバ８、１０から検知素子２９への光の入射角度をを適切に選択することにより、簡易且つ低コストで小型の多入射角反射型屈折率センサを実現することができる。
【００６２】
なお、第１の実施の形態及び第４の実施の形態において、検知素子１３、２９は、図２の検知素子２４の場合と同様に、光が入射面及び出射面に垂直に入射し且つ垂直に出射するように第１の面１７を光に垂直に配するとともに、直角プリズムの残りの２つの角度を任意に選択するようにしてもよい。そうすると、図４の（Ｂ）に示すように第３の筐体４を斜面状に加工する必要がなくなる。
【００６３】
図５は、本発明に係る光反射型センサの第５の実施の形態の構成を概略的に示す図であり、この第５の実施の形態においては、光散乱強度測定による濁度測定法を利用する点で第１〜第４の実施の形態と相違する。
【００６４】
この第５の実施の形態においては、第２の筐体３の内部には、図５の（Ｂ）に示すように、第１の光ファイバ８は、直径５０ミクロンのプラスチックファイバを１００本以上バンドルしたマルチコアファイバから成り、第１の光ファイバ８の周囲に、直径３００ミクロンのプラスチックファイバを９本束ねた第２の光ファイバ１０が配置されて直接に第２の筐体３に固定される。
【００６５】
第３の筐体４の中央部分は光が通過できる構成とされ、筐体４の底面には検知素子３０が固定される。図５の（Ｃ）は検知素子３０の構造を拡大して示す図であり、検知素子３０はガラス基板、サファイア基板、プラスチック基板などの材質から適宜選択される。第１の光ファイバ８から出射された光は、検知素子３０を介して水中などへ投光され、例えば水中の濁度成分である散乱微粒子等で散乱され、散乱光の一部が９本の第２の光ファイバ１０で受光され、濁度信号として処理される。
【００６６】
第５の実施の形態は上記のように構成されているので、光ファイバ８、１０と検知素子３０への光の入射角度を適切に選択することにより、簡易且つ低コストで小型の光反射型濁度センサを実現することができる。
【００６７】
なお、図１〜図５に示す第１の筐体２として、第１の筐体２の内部の基本機能を奏する光源と、２本の光ファイバをワンタッチロックレバーで固定する機構と、光検知用のフォトダイオードと、パルス発振回路からの同期信号を取り込んでアナログ出力するアンプ回路とをワンパッケージにした市販の投光・受光ユニットを適用することもできる。
【００６８】
以下、本発明に係る第１〜第５の実施の形態における光反射型センサを用いて、種々の水中溶存有機物質（Dissolved Organic Compound；ＤＯＣ）、揮発性有機物質（Volatile Organic Compound；ＶＯＣ）、砂糖水、有機溶媒、ガソリン、灯油、軽油、濁度成分を含んだ水、抗原−抗体反応を測定した結果を説明する。
【００６９】
実施例１
図７の（Ａ）は、図１の（Ｂ）に示す構成の検知素子において、ＳＦ１１ガラス製の直角プリズムの斜面に厚さ５０ｎｍに蒸着された金の上にスピンコートした、厚さ２μｍのポリ（ＯＤＭＡ−ｃｏ−ＧＬＭＡ）薄膜に光を入射させた場合の、入射角に対する高分子膜の反射率の変化を、実験用回転ステージにて測定した実験値を示しており、ＳＰＲと４つの導波路モードが確認された。光源は波長６７０ｎｍのＬＤであり、検知素子への投光は偏光板を通してｐ偏光として直角プリズムの底面へ入射させた。
【００７０】
図７の（Ｂ）は、検知素子が１０ｐｐｍのトルエン水に応答したときの導波モードＴＭ4の共振角度のシフトを示している。なお、点線は浄水における入射角と反射率との関係を、実線は１０ｐｐｍのトルエン水に応答した時の入射角と反射率との関係を示している。この結果に基づき、図１の（Ｂ）の第３の筐体４への検知素子の固定角度を、ＴＭ4導波モードの共振の低い方の角度に設定し、図１の（Ａ）に示すような構成の光反射型ＳＰＲ・ＯＷＧセンサを構成した。その結果、図７の（Ｃ）に示すとおり、０〜２０ｐｐｍのトルエン水に対して、光反射型ＳＰＲ・ＯＷＧセンサの信号は水中のトルエン濃度にほぼ比例して直線的に変化することが分かった。以上の結果から、本発明により、簡易で小型の光反射型ＳＰＲ・ＯＷＧセンサを構成できることが分かった。
【００７１】
実施例２
図８の（Ａ）は、図２に示す構成のバックサイドＩＥＲ法による光反射型ＤＯＣセンサを用いて、水中のトルエン濃度０〜２００ｐｐｍのサンプルを測定したときの反射信号を、水中のトルエン濃度の函数としてプロットした結果である。検知素子は、サファイア基板上にコートされた厚さ１．５μｍのポリ（ＯＤＭＡ−ｃｏ−ＧＬＭＡ）の層を有しており、図２の（Ｂ）に示すようにサファイア基板をＢＫ７ガラス製リトロープリズムに接着した後、第３の筐体４に接着固定した。光源は中心波長６６０ｎｍのパルス光を発するＬＥＤであり、検知素子への投光は、偏光板によって直線偏光されたｓ偏光とし、サファイア基板から高分子膜への入射角を４８度と設定した。
【００７２】
図８の（Ｂ）は、水中に１０〜１００ｐｐｍのトルエンが溶存するときの光反射型センサの反射信号を時間の関数としてプロットした結果である。以上の測定の結果、光反射型ＤＯＣセンサの応答は、水中のトルエンの場合、濃度０〜２００ｐｐｍの範囲では線形ではなく、９０％応答時間は１分以内であることがわかった。
【００７３】
表１は、この光反射型ＤＯＣセンサを用いて、水中の種々のＤＯＣ成分に対する感度と検知下限濃度、及び９０％応答時間を測定した結果をまとめたものである。
【００７４】
【表１】
0003655904.tif 000002
【００７５】
以上の結果から、本発明により、簡易で小型の光反射型ＤＯＣセンサを構成できることが分かった。
実施例３
図９の（Ａ）は、図３の（Ａ）に示す構成のフロントサイドＩＥＲ法による光反射型ＶＯＣセンサを用いて、空気中のトルエンベーパに対する応答を時間の関数としてプロットした結果である。検知素子は、シリコン基板上にスピンコートされた厚さ４５８ｎｍのポリ（ＥＨＭＡ−ｃｏ−ＢＺＭＡ）の層を有し、中心波長６６０ｎｍのパルス光を発するＬＥＤの投光が、高分子膜へ入射角８０度で入射するように、図３の（Ｂ）に示す第３の筐体４に固定された。ガスバッグ内に調整されたトルエンベーパはポンプで吸引され、第３の筐体４の空気孔２７から検知素子へ導入された。その結果、トルエンベーパへの９０％応答は５秒以内であった。
【００７６】
図９の（Ｂ）は、濃度０〜１２０００ｐｐｍのトルエンベーパを測定した反射信号を、トルエンベーパ濃度の関数としてプロットした結果であり、表２は、種々のＶＯＣに対する感度と検知下限ベーパ濃度、及び９０％応答時間を測定した結果をまとめたものである。
【００７７】
【表２】
0003655904.tif 000003
【００７８】
以上の結果から、本発明により、簡易で小型の光反射型ＶＯＣセンサを構成できることが分かった。
実施例４
図１０の（Ａ）は、図４の（Ａ）に示す構成の光反射型屈折率センサを用いて、水、有機溶剤、砂糖水などに対する光反射型センサの出力信号を、屈折率の関数としてプロットした結果である。検知素子として、ＢＫ７ガラス製直角プリズムを、斜面２０度に加工した第３の筐体４に接着固定したものを用いた。
【００７９】
図１０の（Ｂ）は、図５の（Ａ）に示す構成の光反射型センサのうち、第１の筐体２と第２の筐体３と図４の（Ｂ）に示す構成の第３の筐体の検知素子とを用いて、有機溶剤、燃料油類などに対する光反射型センサの出力信号を、屈折率の関数としてプロットした結果である。検知素子として、サファイア製直角プリズムを、斜面２５度に加工した第３の筐体４に接着固定したものを用いた。
【００８０】
以上の測定の結果、本発明により、簡易で小型の光反射型屈折率センサを構成できることが分かった。また、種々の有機溶剤の種類や燃料油の識別が容易に可能であることが判明した。
【００８１】
実施例５
図１１は、図５の（Ａ）に示す構成の光散乱測定法に基づく光反射型濁度センサを用いて、水中の濁度成分に対する光反射型センサの出力信号を、濁度濃度の関数としてプロットした結果である。濁度指標として、ホルマジン溶液を調整して用いた。その結果、この光反射型センサの出力は水中の濁度成分濃度にほぼ比例して直線的に変化することが分かった。以上の結果から、本発明により、簡易で小型の光反射型濁度センサを構成できることが分かった。
【００８２】
実施例６
図２の（Ａ）に示す構成のバックサイドＩＥＲ法による光反射型バイオセンサを用いて、抗原-抗体反応の様子をモニタリングした。検知素子は、ＳＦ１１基板をシランカップリング法によりエポキシ表面処理した後、アミノカップリング法によりストレプトアビジンを固定化したものを、ＢＫ７ガラス製リトロープリズムに接着した後、筐体４に接着固定した。図１２は、この反射型バイオセンサの、ビオチンを含んだサンプル水に対する応答を時間の関数としてプロットした結果である。以上の結果から、本発明により、簡易で小型の光反射型バイオセンサを構成できることが分かった。
【００８３】
【発明の効果】
以上、この発明を若干の実施の形態を用いて詳細に説明したところから理解されるとおり、この発明は、従来のセンサに比べて、
構成が簡単でコンパクト且つ安価であり、被検液体の測定方法に合わせた最適な設計・製作が容易にできる、
最適な検知素子を設計し及び／又は検知素子を交換するだけで、同じ構造の投光・受光ユニットとセンサプローブを、ＩＥＲ法、ＳＰＲ法、ＯＷＧ法、屈折率測定法、光散乱強度測定による濁度測定法に適用することができる、
部品点数を減らすことが可能であり、製造工程を簡略化、省力化することができ、製造コストの削減が可能である、
保守メンテナンスが容易且つ低コストで実施できる、
という格別の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は本発明に係る光反射型センサの第１の実施の形態の構成を概略的に示す断面図であり、（Ｂ）は検知素子の構成を概略的に示す図である。
【図２】（Ａ）は本発明に係る光反射型センサの第２の実施の形態の構成を概略的に示す断面図であり、（Ｂ）は検知素子の構成を概略的に示す図である。
【図３】（Ａ）は本発明に係る光反射型センサの第３の実施の形態の構成を概略的に示す断面図であり、（Ｂ）は検知素子の構成を概略的に示す図であり、（Ｃ）は、（Ｂ）に示す検知素子の変形例を示す図である。
【図４】（Ａ）は本発明に係る反射型センサの第４の実施の形態の構成を概略的に示す断面図であり、（Ｂ）は検知素子の構成を概略的に示す図である。
【図５】（Ａ）は本発明に係る光反射型センサの第５の実施の形態の構成を概略的に示す断面図であり、（Ｂ）は投光／受光用マルチコアファイバの構成を示す断面図であり、（Ｃ）は検知素子の構成を概略的に示す図である。
【図６】本発明に係る光反射型センサから測定値を処理して表示するユニットを概略的に示す図である。
【図７】（Ａ）は図１の光反射型ＳＰＲ・ＯＷＧセンサにおける高分子膜に入射する光の入射角と反射率の関係を表す曲線を示す図であり、（Ｂ）は高分子膜を１０ｐｐｍのトルエン水に応答させた時の入射角と反射率との関係、及び、導波モードＴＭ4の共振結合角のシフトを示す図であり、（Ｃ）は光反射型ＳＰＲ・ＯＷＧセンサの信号が水中のトルエン濃度に対してどのように変化するかを示す図である。
【図８】（Ａ）は図２の光反射型ＤＯＣセンサの信号が水中のトルエン濃度に対してどのように変化するかを示す図であり、（Ｂ）は光反射型ＤＯＣセンサの信号が水中のトルエン０〜１００ｐｐｍの濃度に対して時間的にどのように応答するかを示す図である。
【図９】（Ａ）は図３の光反射型ＶＯＣセンサの信号が空気中のトルエンベーパ濃度に対して時間的にどのように変化するかを示す図であり、（Ｂ）は光反射型ＶＯＣセンサの信号が空気中のトルエンベーパ濃度０〜１２０００ｐｐｍに対してどのように変化するかを示す図である。
【図１０】（Ａ）は図４の光反射型屈折率センサの信号が、水、有機溶剤、砂糖水などに対してどのように変化するかを示す図であり、屈折率の関数としてプロットした結果であり、（Ｂ）は、図５の（Ａ）に示す構成の光反射型センサ、及び図４の（Ｂ）に示す検出素子を用いた光反射型屈折率センサの信号が、有機溶剤、燃料油類などに対してどのように変化するかを示す図であり、屈折率の関数としてプロットした結果である。
【図１１】図５の光反射型濁度センサの信号が水中の濁度成分濃度にほぼ比例して直線的に変化することを示す図である。
【図１２】図２の光反射型バイオセンサにより、ストレプトアビジン−ビオチンの抗原抗体反応をモニタリングした様子を示す図である。
【符号の説明】
１：光反射型センサ、  ２：第１の筐体、  ３：第２の筐体、  ４：第３の筐体、  ５：光源、  ６：光出力安定化部品、  ７：第１の光部品、  ８：第１の光ファイバ、  ９：光検知器、  １０：第２の光ファイバ、  １１、１１’：保護チューブ、１１’’：ケーブルグランド、  １２：第２の光部品、  １３：検知素子、  １４：第３の光部品、  １５：温度センサ、  １６：キャップ、  １７：第１の面（入射・出射面）、  １８：第２の面（反射面）、１８’：基板、  １９：光反射ミラー、  ２０：第３の面（化学物質検出面）、  ２１：金属薄膜、  ２１’：高反射性基板、  ２２：化学物質検出用の薄膜、  ２３：透明基板、  ２４：検知素子、２５：光検出器、  ２６：検知素子、  ２７：空気孔、  ２８：湿度センサ、  ２９：検知素子、  ３０：検知素子、  Ｐ、Ｐ’’：直角プリズム、  Ｐ’：リトロープリズム、
【図１】
0003655904.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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