(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を支持する支持部材と、該支持部材に対し被処理物を挿入出する移載装置とを有し、被処理物を支持した該支持部材を反応管内に挿入して処理する半導体製造装置における被処理物移載方法において、
前記移載装置の所定の位置にセンサを設け、該センサにより前記支持部材の少なくとも上、下部に載置した治具と前記センサとの間の距離をそれぞれ検出し、該検出した各値に基づき、前記支持部材の正位置に対する前後の傾き量を算出して、前記移載装置による前記支持部材への移動量を補正し、被処理物の載置位置を調整するようにしたことを特徴とする半導体製造装置における被処理物移載方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は縦型拡散・ＣＶＤ装置等の半導体製造装置における被処理物移載方法に係り、特に被処理物を支持部材へ移載する場合に、支持部材の正位置よりずれている量を検出し、支持部材への被処理物の載置位置をこのずれた量に基づいて自動補正することができる半導体製造装置における被処理物移載方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来方法を図１を参照して説明すると、移載機５を手動操作してそのチャック部４によりカセット収納棚８のカセット３からウェハ１を取り出し、移載機５のＡ点を中心にチャック部４をカセット３側からボート２側に回転させ、チャック部４によりウェハ１をボート２に挿入しセットする。以下、移載機５を搬送するウェハの枚数分のピッチずつ上動または下動し、上記と同様にチャック部４によりカセット３内のウェハ１を順次取り出し、回転してチャック部４によりボート２にウェハ１を順次挿入しセットする。
【０００３】
この時、ボート２側に回転したチャック部４に保持されたウェハ１のボートへの移載位置は予め定められた位置であるが、図２に示すようにボート２が左，右方向に傾いている場合、図４に示すようにボート２が前，後方向に傾いている場合、又は図６に示すようにボート２が左，右方向に位置ずれしている場合がある。
【０００４】
又、ウェハ１をチャック部４によりカセット収納棚８のカセット３内より順次取出し又は収納する時、図８に示すようにカセット収納棚８が左，右方向、例えば右方向に傾いている場合、図１０に示すようにカセット収納棚８が前，後方向、例えば後方向に傾いている場合、あるいは図１３に示すようにカセット収納棚８内の各列毎の各段のカセット３のセンターｌ11〜ｌ13，ｌ21〜ｌ23が各列のセンターｌ1 ，ｌ2 より左，右方向に位置ずれしている場合がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ボート２が左，右方向に傾いている場合は、セットされるウェハ１とボート２との隙間が上，下方部でバラツキができるため、ウェハのボート２への載置位置を手動で調整する必要がある。
ボート２が前，後方向に傾いている場合は、ウェハ１の挿入ストロークが上，下方部で異なるため、チャック部４を手動操作してウェハ１を挿入するストローク量を決定しなければならない。
又、ボート２が左，右方向に位置ずれしている場合は、ボート側に回転したチャック部４に保持されたウェハ１の位置が定位置であるため、ウェハ１とボート２の隙間ｄ1 , ｄ2 が左, 右部で均等になるように目視で調整する必要がある。
【０００６】
又、カセット収納棚８が左，右方向に傾いている場合は、図８に示すようにチャック部４にダイヤルゲージ９を取付け、カセット収納棚８を左，右方向に移動し、カセット収納棚８の左，右端部面にゲージ先端を押し当てて目盛を読むことにより、例えばカセット収納棚８内のカセット３の右方向の傾き量Ｄ3 を測定している。
カセット収納棚８が前，後方向に傾いている場合は、図１０に示すようにチャック部４にダイヤルゲージ９を取付け、移載機５を上，下方向に移動し、カセット収納棚８の上，下端部面にゲージ先端を押し当てて目盛を読むことにより、例えばカセット収納棚８内のカセット３の後方向の傾き量Ｄ6 を測定している。
更に、カセット収納棚８内の各列毎の各段のカセット３のセンターｌ11〜ｌ13，ｌ21〜ｌ23が図１３に示すように各列のセンターｌ1 ，ｌ2 より左，右方向に位置ずれしている場合は、例えば第１列第１段〜第３段のカセット内のウェハ１11〜１13をチャック部４でホールドして取り出し、ボート２に載置すると、各棚段毎のウェハの位置ずれが図１４に示すようにボート２に載置されたウェハにそのまま生じ、ウェハ位置ずれを手動で補正する必要がある。
いずれの従来例にあっても、ウェハ位置の調整に多くの時間と熟練を必要とし、位置調整を迅速に行うことができない等の課題がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の課題を解決するため、被処理物を支持する支持部材と、該支持部材に対し被処理物を挿入出する移載装置とを有し、被処理物を支持した該支持部材を反応管内に挿入して処理する半導体製造装置における被処理物移載方法において、
前記移載装置の所定の位置にセンサを設け、該センサにより前記支持部材の少なくとも上、下部に載置した治具と前記センサとの間の距離をそれぞれ検出し、該検出した各値に基づき、前記支持部材の正位置に対する前後の傾き量を算出して、前記移載装置による前記支持部材への移動量を補正し、被処理物の載置位置を調整するようにしたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】
本発明はこのような構成であるから、支持部材が左，右方向、前，後方向に傾いていても、又、支持部材が左、右方向に位置ずれしていても被処理物の支持部材への載置位置を高精度で自動的に補正でき、位置調整時間を大幅に短縮できることになる。
【０００９】
【実施例】
図１は本発明に係る半導体製造装置における被処理物移載方法を示すための移載装置の構成を示す説明用平面図である。その構成及び動作の説明は従来の技術の項で概略説明したので省略する。
図５（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明方法の第１実施例の構成と動作を説明するための平面図及び側面図である。
本実施例は、図１に示した構成において、ウェハ１を載置するボート２の正位置よりずれた量を検出するセンサ６を移載装置を構成する移載機５のチャック部４に取付け、このセンサ６によりボート２の正位置よりずれた量を検出し、このセンサ６より得られる検出信号を入力してボート２へのウェハ１の載置位置を自動補正する制御手段（図示せず）を設ける。この制御手段は、センサによりボート２の少なくとも上、下部に載置した治具とセンサ６との間の距離をそれぞれ検出し、該検出した各値に基づき、ボート２の正位置に対する前後の傾き量を算出して、移載機５によるボート２へのウェハ１の載置位置を補正するようにしたものである。
【００１０】
〈本発明におけるボートが前，後方向に傾いている場合〉
図４はボートが後方向に傾いている状態を示す正面図、図５（Ａ），（Ｂ）はそれぞれボートが前，後方向に傾いている場合の動作を説明するための平面図及び側面図である。
予めボート２に治具７をセットし、移載機５を中心点Ａを中心に回転させ、チャック部４に取付けたセンサ６をボート側の所定位置に向かせ、移載機５を下動して予めボート２に載せてある治具７をボート２の下部Ｄ位置で検出する。又、移載機５を上動させ、ボート２の上部Ｅ位置についても同様に検出する。前方向に傾いている場合も同様である。
これらの検出信号を制御手段に入力してボート２の前，後方向の傾き量（治具７とセンサ６間の距離をＤ，Ｅ点で測定した測定値の差）を算出することができる。制御手段は、この傾き量に基づいて、移載機による移動量をボート２の正位置に対して補正して移載機を制御してウェハ１をボート２に載置する。
これにより、人手がかからず、前，後方向の傾き量を正確に検出することができるので、ボート２へのウェハ載置位置を高精度で自動的に補正することができ、位置調整時間を大幅に短縮することができ、当然熟練も必要としない。又、傾き量を基に機械組立精度の自己自動検査も行なえるものである。
【００１１】
〈ボートが左，右方向に傾いている場合〉
図２はボートが左方向に傾いている状態を示す簡略正面図である。
移載機５を中心点Ａを中心に回転させ、チャック部４に取付けたセンサ６を図３（Ａ）に示すようにボート側の所定位置に向かせ、移載機５を下動してボート２の下部Ｄ位置で、ボート２の左右２位置Ｂ，Ｃを検出する。又，移載機５を上動させ、ボート２の上部Ｅ位置についても同様に左右２位置Ｂ，Ｃを検出する。
これらの検出信号を制御手段に入力してボート２の左方向の傾き量（Ｄ，Ｅ位置で検出したＢ，Ｃ位置の差）を算出することができる。右方向に傾いている場合も同様である。
この実施例によれば、人手がかからず、左，右方向の傾き量を正確に検出することができるので、ボート２へのウェハ載置位置を高精度で自動的に補正することができ、位置調整時間を大幅に短縮することができ、当然熟練も必要としない。又、傾き量を基に機械組立精度の自己自動検査も行なえるものである。
【００１２】
〈ボートが左，右方向に位置ずれしている場合〉
図６は本実施例においてボートが右方向に位置ずれしている状態を示す平面図、図７は本実施例においてボートが右方向に位置ずれしている場合の動作を説明するための平面図である。
移載機５を中心点Ａを中心に回転させ、チャック部４に取付けたセンサ６をボート側の所定位置に向かせ、ボート２の同一水平面内の位置Ｂ，Ｃを検出し、これらの検出信号を制御手段に入力してボート２の右方向の位置ずれをボートとウェハ間の右側での隙間ｄ1 と右側での隙間ｄ2 より算出することができ、かつセンターラインＦを算出することができる。左方向の位置ずれについても同様である。
この実施例によれば、人手がかからず、熟練を要さず、左，右方向の位置ずれを正確に検出することができるので、ボート２へのウェハ載置位置を高精度で自動的に補正することができ、位置調整時間を大幅に短縮することができ、又、センターラインＦを求めることができるばかりでなく、ボート２の有無検知も行うことができる。
【００１３】
図９（Ａ），（Ｂ）はそれぞれカセット収納棚が左，右方向に傾いている場合の動作を説明するための平面図及び側面図である。
図９の場合、センサ６はカセット収納棚８又はカセット３の正位置よりずれた量を検出する機能も兼ねており、かつ制御手段（図示せず）は検出信号を入力してカセット収納棚８の位置、換言すればカセット３の収納位置、延いてはウェハの収納位置を自動補正する機能も兼ねている。
【００１４】
〈カセット収納棚が左，右方向に傾いている場合〉
移載機５を中心点Ａを中心に回転させ、チャック部４に取付けたセンサ６を図９に示すように収納棚８側の所定位置に向かせ、収納棚８を左，右方向に移動させて収納棚８の左，右端部位置で、距離Ｄ1 ，Ｄ2 を検出し、これらの検出信号を制御手段に入力して、例えばその差Ｄ2 −Ｄ1 より右方向の傾き量Ｄ3 を算出することができる。左方向に傾いている場合も同様である。
この実施例によれば、人手がかからず、左，右方向の傾き量を正確に検出することができるので、収納棚８のカセット３内のウェハ収納位置を高精度で自動的に補正することができ、位置調整時間を大幅に短縮することができ、当然熟練も必要としない。又、傾き量を基に機械組立精度の自己自動検査も行なえるものである。
【００１５】
〈カセット収納棚が前，後方向に傾いている場合〉
図１１（Ａ），（Ｂ）はそれぞれカセット収納棚が前，後方向に傾いている場合の動作を説明するための平面図及び側面図である。
センサ６を図１１に示すように収納棚８の所定位置に向かせ、移載機５を上，下方向に移動させて収納棚８の上，下端部位置で、距離Ｄ4 ，Ｄ5 を検出し、これらの検出信号を制御手段に入力して例えばその差Ｄ5 −Ｄ4 より後方向の傾き量Ｄ6 を算出することができる。前方向に傾いている場合も同様である。
この実施例によれば、人手がかからず、前，後方向の傾き量を正確に検出することができるので、収納棚８のカセット３内のウェハ収納位置を高精度で自動的に補正することができ、位置調整時間を大幅に短縮することができ、当然熟練も必要としない。又、傾き量を基に機械組立精度の自己自動検査も行なえるものである。
【００１６】
〈カセット収納棚内のカセットが左，右方向に位置ずれしている場合〉
図１２はカセット収納棚内の各列毎の各段のカセットが左，右方向に位置ずれしている場合に適用した構成例を示す平面図である。
ウェハ１を収納したカセット３又は治具を載せたカセット収納棚８を左，右方向に移動させ、各列毎に移載機５を上下方向に移動して例えば図１３に示すように２列，３段の収納部にカセット又は治具が収められている場合、各列センターｌ1 ，ｌ2 毎の各段のカセット又は治具の端面を検出し、これらの検出信号を制御手段に入力してカセット収納棚８における各列センターｌ1 ，ｌ2 と、各列毎の各段のカセット又は治具のセンター，即ちウェハ１11〜１13，１21〜１23のセンターｌ11〜ｌ13，ｌ21〜ｌ23を算出することができる。
この実施例によれば、人手がかからず、各列、各段毎のカセット、ウェハの左，右方向の位置ずれを正確に検出することができるので、カセットのウェハ載置位置を高精度で自動的に補正することができ、位置調整時間を大幅に短縮することができ、当然熟練も必要としない。
【００１７】
【発明の効果】
上述のように本発明によれば、支持部材が左，右方向、前，後方向に傾いていても、又、支持部材が左，右方向に位置ずれしていても被処理物の支持部材への載置位置を高精度で自動的に補正でき、位置調整時間を大幅に短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る半導体製造装置における被処理物移載方法を示すための移載装置の構成を示す説明用平面図である。
【図２】ボートが左方向に傾いている状態を示す簡略正面図である。
【図３】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれボートが左，右方向に傾いている場合の動作を説明するための平面図及び側面図である。
【図４】ボートが後方向に傾いている状態を示す正面図である。
【図５】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本実施例においてボートが前，後方向に傾いている場合の動作を説明するための平面図及び側面図である。
【図６】本実施例においてボートが右方向に位置ずれしている状態を示す平面図である。
【図７】本実施例においてボートが右方向に位置ずれしている場合の動作を説明するための平面図である。
【図８】（Ａ），（Ｂ）は従来装置においてカセット収納棚の右方向に傾いている状態を示す平面図及び側面図である。
【図９】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本実施例においてカセット収納棚が左，右方向に傾いている場合の動作を説明するための平面図及び側面図である。
【図１０】従来装置においてカセット収納棚の後方向に傾いている状態を示す側面図である。
【図１１】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれカセット収納棚が前，後方向に傾いている場合の動作を説明するための平面図及び側面図である。
【図１２】カセット収納棚内の各列毎の各段のカセットが左，右方向に位置ずれしている場合を示す平面図である。
【図１３】カセット収納棚の２列、３段の収納部にカセット又は治具が収められている場合の１例を示すカセット収納棚の正面図である。
【図１４】図１３に示すカセット収納棚の第１列、第１〜第３段の収納部のカセットよりウェハをボートに載置した状態の１例を示すボートの正面図である。
【符号の説明】
１    被処理物（ウェハ）
２    支持部材（ボート）
３    カセット
４    被処理物載置部（チャック部）
５    移載機
６    センサ
７    治具
８    （カセット）収納棚
【図１】
0003623522.tif 000002
【図２】
0003623522.tif 000003
【図３】
0003623522.tif 000004
【図４】
0003623522.tif 000005
【図５】
0003623522.tif 000006
【図６】
0003623522.tif 000007
【図７】
0003623522.tif 000008
【図８】
0003623522.tif 000009
【図９】
0003623522.tif 000010
【図１０】
0003623522.tif 000011
【図１１】
0003623522.tif 000012
【図１２】
0003623522.tif 000013
【図１３】
0003623522.tif 000014
【図１４】
0003623522.tif 000015