(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨装置から取り外され且つ一面が粘着面である研磨パッドが貼りつけられる板状のベルトを載置する作業面を有するステージと、
前記ステージ上に設けられ、前記ベルトに前記研磨パッドを貼り付ける一対の回転部と、
前記ステージ上に設けられ、前記ステージ上における前記ベルトの位置ずれを防止するベルト規制部と、
前記ステージ上に設けられ、前記ステージ上における前記研磨パッドの位置ずれを防止するパッド規制部とを備え、
前記一対の回転部のうちの下部に位置する下部ローラは、その頂部が前記ステージの表面と面一になるように設けられており、
前記ベルト及び前記研磨パッドは、前記研磨パッドの前記一面が前記ベルトと向き合う状態で前記一対の回転部の間に挿入され、それによって前記研磨パッドは前記ベルトに貼り付けられることを特徴とする研磨パッドの装着装置。
【請求項２】
前記一対の回転部は前記ステージの一端側に設けられており、
前記ステージの他端側に、前記ベルトを前記ステージの前記他端側から前記一端側に向けて送り出すベルト送り回転部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の研磨パッドの装着装置。
【請求項３】
前記ステージは装置本体の上部であり、
前記装置本体における前記ベルトが延びる方向において向かい合う一対の側面のそれぞれに、前記ベルトを張るベルト張り付け部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の研磨パッドの装着装置。
【請求項４】
前記ベルト張り付け部は、伸縮可能なアームを介して前記装置本体に取り付けられていることを特徴とする請求項３に記載の研磨パッドの装着装置。
【請求項５】
前記パッド規制部は、前記ステージ上における前記一対の回転部の近傍に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の研磨パッドの装着装置。
【請求項６】
前記ステージは方形状であり、
前記ベルト規制部は、前記ステージ上における４つのコーナー部のそれぞれに設けられていることを特徴とする請求項１に記載の研磨パッドの装着装置。
【請求項７】
研磨装置から取り外され且つ一面が粘着面である研磨パッドが貼りつけられる板状のベルトを作業面を有するステージ上に載置すると共に前記ベルト及び前記研磨パッドを前記研磨パッドの前記一面が前記ベルトと向き合う状態で一対の回転部の間に挿入することにより、前記ベルトに前記研磨パッドを貼り付ける工程を備え、
前記一対の回転部のうちの下部に位置する下部ローラは、その頂部が前記ステージの表面と面一になるように設けられており、
前記工程において、前記ステージ上における前記ベルトの位置ずれをベルト規制部によって防止すると共に前記ステージ上における前記研磨パッドの位置ずれをパッド規制部によって防止することを特徴とする研磨パッドの装着方法。
【請求項８】
一面が粘着面である研磨パッドの前記一面が貼りつけられたベルトを載置するステージと、
前記ステージ上に設けられ、前記ベルトから前記研磨パッドをはがして巻き取る巻き取りローラと、
前記ステージ上に設けられ、前記ベルトからはがされた前記研磨パッドの前記一面にフィルムを供給するフィルムローラと、
前記ステージ上に設けられ、前記ステージ上における前記ベルトの位置ずれを防止するベルト規制部とを備え、
前記フィルムは、前記巻き取りローラによって前記研磨パッドが巻き取られる前に前記研磨パッドの前記一面に供給されることを特徴とする研磨パッドのはがし装置。
【請求項９】
前記ステージは方形状であり、
前記ベルト規制部は、前記ステージ上における４つのコーナー部のそれぞれに設けられていることを特徴とする請求項８に記載の研磨パッドのはがし装置。
【請求項１０】
一面が粘着面である研磨パッドの前記一面が貼りつけられたベルトをステージ上に載置すると共に前記ベルトから前記研磨パッドを巻き取りローラによってはがして巻き取る工程を備え、
前記工程において、前記ステージ上における前記ベルトの位置ずれをベルト規制部によって防止すると共に、前記巻き取りローラによって前記研磨パッドが巻き取られる前に前記研磨パッドの前記一面にフィルムをフィルムローラによって供給することを特徴とする研磨パッドのはがし方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨装置の回転ベルトに研磨パッドを貼り付ける装置及び方法、並びに回転ベルトに貼り付けられた研磨パッドをはがす装置及び方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造において絶縁膜等を平坦化するために化学的機械研磨装置（ＣＭＰ装置）が用いられている。ＣＭＰ装置として、例えば、研磨パッドが貼り付けられたベルトを回転させるタイプの装置が用いられている（例えば非特許文献１参照）。このタイプのＣＭＰ装置（以下、ベルト回転式ＣＭＰ装置と称する）の研磨パッドには、ベルト回転方向と平行に延びる溝が形成されており、それによって絶縁膜等の研磨が行なわれる。このため、ベルト回転式ＣＭＰ装置を用いて研磨を繰り返すと、研磨パッドが徐々に磨り減ってくるため、研磨レートも徐々に小さくなってくる。従って、ベルト回転式ＣＭＰ装置においては、例えばウェハを数百枚研磨した時点で、研磨パッドを新しいものに取り替える必要がある。この場合、従来、ＣＭＰ装置から回転ベルトを外して作業台まで移動した後、手作業により回転ベルトから研磨パッドをはがし、その後、回転ベルトに新しい研磨パッドを貼り付けていた。
【０００３】
図１０（ａ）は従来の研磨パッドの装着方法又ははがし方法に用いられる作業台の斜視図であり、図１０（ｂ）及び（ｃ）は（ａ）に示す作業台における回転ベルトを設置する前及び設置した後の様子をそれぞれ示す図である。
【０００４】
図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように、作業台１０の上部は、回転ベルト２０が載置されるステージ１１となっている。ステージ１１上には、回転ベルト２０を固定するための一対の押さえアーム１２が設けられている。押さえアーム１２は可動式になっている。具体的には、図１０（ｂ）に示すように、ステージ１１上に回転ベルト２０を設置する前においては押さえアーム１２はステージ１１上で鉛直方向に立てられる。また、図１０（ｃ）に示すように、ステージ１１上に回転ベルト２０を設置した後においては、押さえアーム１２は回転ベルト２０を押さえるようにステージ１１上で倒される。このとき、回転ベルト２０における一対の押さえアーム１２の間のスペース（押さえスペース）において、研磨パッドの装着又ははがしが手作業により行なわれる。
【０００５】
【非特許文献１】
電子材料２０００年１１月号別冊、１１３ページ
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述の研磨パッドの装着方法又ははがし方法においては次のような問題点がある。
【０００７】
（１）裏面が粘着面となっている研磨パッドを板状のベルト（回転ベルト）に貼り付けるときに、板状ベルトに対して研磨パッドを均等に貼り付けることが困難である。具体的には、図１１に示すように、溝２１ａを有する複数枚の研磨パッド２１を板状ベルト２０に貼り付ける必要があるが、このとき、研磨パッド２１が板状ベルト２０の幅方向に位置ずれをしたり又は研磨パッド２１が板状ベルト２０の延びる方向（図中の一点鎖線）に対して傾いて配置されたりする可能性がある。その場合、板状ベルト２０の位置（場所）によって研磨レートに差が生じる結果、研磨工程において搬送トラブル又はウェハ割れ等の問題が起こる。すなわち、板状ベルトに対して研磨パッドを均等に貼り付けなければならない。
【０００８】
（２）板状ベルトに研磨パッドの粘着面を貼り付けるときに、板状ベルトと研磨パッドとの間に空気が巻き込まれる可能性がある。その場合、研磨パッドにおける板状ベルトとの間に空気が存在する部分が浮き上がり、その結果、板状ベルト２０の各場所の研磨レートを均一にすることができなくなる。
【０００９】
（３）従来の作業台（図１０（ａ）〜（ｃ）参照）を用いて研磨パッドの装着を行なった場合、板状ベルトにおける研磨パッドの貼り付け面（つまり作業面となる押さえスペース（図１０（ｃ）参照））が狭いため、１回の作業により、板状ベルトに複数枚の研磨パッドを貼り付けることができない。従って、研磨パッドを複数回に分けて板状ベルトに貼り付けなければならない。
【００１０】
（４）板状ベルト（回転ベルト）に貼り付けられた研磨パッドは、研磨中にウェハが研磨パッドに押しつけられていることによって、より強固に回転ベルトに密着してしまう。その結果、回転ベルトから研磨パッドをはがす作業が煩雑となる。例えば、はがし治具により研磨パッドを回転ベルトからはがそうとした場合、はがし治具に研磨パッドの粘着面が貼り付いてしまうので、はがし治具から研磨パッドをはがす作業が新たに必要になる。
【００１１】
前記に鑑み、本発明は、研磨装置の板状回転ベルトに研磨パッドを均等に貼り付けることができるようにすると共に、研磨パッドの装着又ははがしを容易に行なえるようにすることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明に係る研磨パッドの装着装置は、一面が粘着面である研磨パッドが貼りつけられるベルトを載置するステージと、ステージ上に設けられ、ベルトに研磨パッドを貼り付ける一対の回転部と、ステージ上に設けられ、ステージ上におけるベルトの位置ずれを防止するベルト規制部と、ステージ上に設けられ、ステージ上における研磨パッドの位置ずれを防止するパッド規制部とを備え、ベルト及び研磨パッドは、研磨パッドの一面がベルトと向き合う状態で一対の回転部の間に挿入される。
【００１３】
本発明の研磨パッドの装着装置によると、ステージ上におけるベルトの位置ずれを防止するベルト規制部を備えているため、ステージ上におけるベルトの載置位置を容易に固定できるので、ベルトに対する研磨パッドの貼りつけを安定して行なうことができる。そして、この状態において、ステージ上における研磨パッドの位置ずれを防止するパッド規制部を備えているため、ベルトに研磨パッドを均等に貼り付けることができる。また、研磨パッドの粘着面がベルトと向き合う状態で両者を一対の回転部（ローラ）によって挟み込むことにより、ベルトに研磨パッドを貼り付けるため、ベルトと研磨パッドとの間に空気が巻き込まれることを防止でき、それにより研磨パッドをベルトに確実に密着させることができる。すなわち、ベルトに研磨パッドを均等に且つ密着性良く貼り付けることができるため、研磨パッドが装着されたベルトを用いて研磨を行なう際にベルトの各場所の研磨レートを均一にできるので、ウェハ割れ等の問題を確実に防止できる。
【００１４】
本発明の研磨パッドの装着装置において、一対の回転部のうちの一の回転部は、ステージ上に取り付け部を介して設けられており、一対の回転部のうちの他の回転部は、ステージの内部に設けられていることが好ましい。
【００１５】
このようにすると、ステージ上において、ベルト及び研磨パッドを一対の回転部の間に挿入することが容易になる。
【００１６】
本発明の研磨パッドの装着装置において、一対の回転部はステージの一端側に設けられており、ステージの他端側に、ベルトをステージの他端側から一端側に向けて送り出すベルト送り回転部が設けられていることが好ましい。
【００１７】
このようにすると、ベルトを回転させながら、ベルトに研磨パッドを貼り付けることができるため、複数枚の研磨パッドの装着を容易に行なうことができるので、研磨パッド装着作業のスループットが向上する。
【００１８】
本発明の研磨パッドの装着装置において、ステージは装置本体の上部であり、装置本体におけるベルトが延びる方向において向かい合う一対の側面のそれぞれに、ベルトを張るベルト張り付け部が設けられていることが好ましい。
【００１９】
このようにすると、ステージ上にベルトをたわみなく載置できるので、ベルトに対する研磨パッドの貼り付けを正確に行なうことができる。また、この場合、ベルト貼り付け部が、伸縮可能なアームを介して装置本体に取り付けられていると、アームを伸ばすことによって回転ベルトを容易に張ることができる。
【００２０】
本発明の研磨パッドの装着装置において、パッド規制部は、ステージ上における一対の回転部の近傍に設けられていることが好ましい。
【００２１】
このようにすると、ベルトに研磨パッドを貼り付ける際に研磨パッドの位置ずれを確実に防止できる。
【００２２】
本発明の研磨パッドの装着装置において、ステージは方形状であり、ベルト規制部は、ステージ上における４つのコーナー部のそれぞれに設けられていることが好ましい。
【００２３】
このようにすると、ステージ上でのベルトの位置ずれを確実に防止できる。
【００２４】
本発明に係る研磨パッドの装着方法は、一面が粘着面である研磨パッドが貼りつけられるベルトをステージ上に載置すると共にベルト及び研磨パッドを研磨パッドの一面がベルトと向き合う状態で一対の回転部の間に挿入することにより、ベルトに研磨パッドを貼り付ける工程を備え、該工程において、ステージ上におけるベルトの位置ずれをベルト規制部によって防止すると共にステージ上における研磨パッドの位置ずれをパッド規制部によって防止する。
【００２５】
本発明の研磨パッドの装着方法によると、本発明の研磨パッドの装着装置を用いた研磨パッドの装着方法であるので、本発明の研磨パッドの装着装置と同様の効果が得られる。
【００２６】
本発明に係る研磨パッドのはがし装置は、一面が粘着面である研磨パッドの該一面が貼りつけられたベルトを載置するステージと、ステージ上に設けられ、ベルトから研磨パッドをはがして巻き取る巻き取りローラと、ステージ上に設けられ、ベルトからはがされた研磨パッドの一面にフィルムを供給するフィルムローラと、ステージ上に設けられ、ステージ上におけるベルトの位置ずれを防止するベルト規制部とを備え、フィルムは、巻き取りローラによって研磨パッドが巻き取られる前に研磨パッドの一面に供給される。
【００２７】
本発明の研磨パッドのはがし装置によると、ステージ上におけるベルトの位置ずれを防止するベルト規制部を備えているため、ステージ上におけるベルトの載置位置を容易に固定できるので、ベルトからの研磨パッドのはがし作業を安定して行なうことができる。また、ベルトから研磨パッドを巻き取りローラによってはがして巻き取ると共に、該巻き取り時に研磨パッドの粘着面にフィルムをフィルムローラによって供給する。このため、研磨パッドの粘着面にフィルムが貼りつくので、研磨パッドの粘着面が巻き取りローラに再付着することを防止できる。従って、研磨パッドの巻き取り終了後に巻き取りローラから研磨パッドを簡単に取り外すことができるので、研磨パッドのはがし作業のスループットが向上する。
【００２８】
本発明の研磨パッドのはがし装置において、ステージは方形状であり、パッド規制部は、ステージ上における４つのコーナー部のそれぞれに設けられていることが好ましい。
【００２９】
このようにすると、ステージ上でのベルトの位置ずれを確実に防止できる。
【００３０】
本発明に係る研磨パッドのはがし方法は、一面が粘着面である研磨パッドの該一面が貼りつけられたベルトをステージ上に載置すると共にベルトから研磨パッドを巻き取りローラによってはがして巻き取る工程を備え、該工程において、ステージ上におけるベルトの位置ずれをベルト規制部によって防止すると共に、巻き取りローラによって研磨パッドが巻き取られる前に研磨パッドの一面にフィルムをフィルムローラによって供給する。
【００３１】
本発明の研磨パッドのはがし方法によると、本発明の研磨パッドのはがし装置を用いた研磨パッドのはがし方法であるので、本発明の研磨パッドのはがし装置と同様の効果が得られる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態に係る研磨パッドの装着装置及び装着方法について図面を参照しながら説明する。尚、本実施形態においては、ベルト回転式ＣＭＰ装置等の研磨装置から取り外された回転ベルトに対して研磨パッドの装着を行なう。
【００３３】
図１は、第１の実施形態に係る研磨パッドの装着装置、具体的には、研磨パッドを板状の回転ベルトに貼り付けるための装置の構造を模式的に示した斜視図である。尚、図１において、一部の構成要素を透視的に示している。
【００３４】
図１に示すように、装置本体（土台）１００の上部は、回転ベルト（図示省略）が載置されるステージ１０１となっている。ステージ１０１上の一端側には、研磨パッド（図示省略）を回転ベルトに貼り付けるための一対の回転部、例えば、それぞれシリコンからなる上部ゴムローラ１０２ａ及び下部ゴムローラ１０２ｂが設けられている。具体的には、上部ゴムローラ１０２ａは、ステージ１０１上に取り付け部１０２を介して設けられている。一方、下部ゴムローラ１０２ｂは、その頂部がステージ１０１の表面と面一になるようにステージ１０１の内部に設けられている。図２は、上部ゴムローラ１０２ａ及び下部ゴムローラ１０２ｂによって、回転ベルトと研磨パッドとを挟み込んで研磨パッドを回転ベルトに貼りつけている様子を示している。図２に示すように、上部ゴムローラ１０２ａ及び下部ゴムローラ１０２ｂは、回転ベルト２００及び研磨パッド２０１が所定の進行方向（図面の左側から右側へ向かう方向）に送り出されるように回転している。
【００３５】
尚、取り付け部１０２は可動式になっており、研磨パッドの装着作業を行なうとき以外は、ステージ１０１上で鉛直方向に立てられている（図６（ａ）参照）。また、取り付け部１０２における上部ゴムローラ１０２ａが延びる方向において向かい合う一対の側面のそれぞれに、第１のパッド規制部１０３ａ及び第２のパッド規制部１０３ｂが設けられている。パッド規制部１０３ａ及び１０３ｂは、ステージ１０１上に載置されたベルト上において研磨パッドが進行方向（図面の左側から右側へ向かう方向）に対して垂直な方向に位置ずれを起こさないように研磨パッドのぶれを規制する。
【００３６】
また、図１に示すように、ステージ１０１上の他端側には、回転ベルトを所定の進行方向に送り出すベルト送り回転部、例えばパッド規制ローラ１０４が設けられている。具体的には、パッド規制ローラ１０４が上部ゴムローラ１０２ａ及び下部ゴムローラ１０２ｂと共に回転することによって、研磨パッドが貼りつけられる回転ベルトが、ステージ１０１の他端側（図面の左側）から一端側（図面の右側）に向けて動く。また、パッド規制ローラ１０４の両端には、ステージ１０１上における研磨パッドの位置ずれを防止する第３のパッド規制部１０４ａ及び第４のパッド規制部１０４ｂが設けられている。但し、図１において、第４のパッド規制部１０４ｂは見えない場所に位置している。
【００３７】
また、図１に示すように、方形状のステージ１０１上における４つのコーナー部のそれぞれには、回転ベルトの位置ずれを防止する第１の回転ベルト規制部１０５ａ、第２の回転ベルト規制部１０５ｂ、第３の回転ベルト規制部１０５ｃ、及び第４の回転ベルト規制部１０５ｄが設けられている。これにより、回転ベルトは各回転ベルト規制部１０５ａ〜１０５ｄの間を通ってステージ１０１（つまり装置本体の作業面）上に導かれるため、該作業面上で回転ベルトが位置ずれを生じることがない。尚、ステージ１０１上における回転ベルトの載置位置を固定できなければ、回転ベルトに対する研磨パッドの貼りつけを安定して行なうことができない。それに対して、本実施形態では、回転ベルト規制部１０５ａ〜１０５ｄを用いて、ステージ１０１上における回転ベルトの載置位置を固定することができる。
【００３８】
また、図１に示すように、土台１００における回転ベルトが延びる方向（図面の左右方向）において向かい合う一対の側面のそれぞれには、回転ベルトを張るためのベルト張り付け部、例えば第１のローラ１０６ａ及び第２のローラ１０６ｂが第１のアーム１０７ａ及び第２のアーム１０７ｂを介して設けられている。第１のローラ１０６ａ及び第２のローラ１０６ｂによって回転ベルトを張ることにより、ステージ１０１上において回転ベルトをたわみなく移動させることができる。ここで、第１のアーム１０７ａ及び第２のアーム１０７ｂは伸縮可能である（図６（ａ）及び（ｂ）参照）。
【００３９】
図３は、本実施形態の研磨パッドの装着装置を用いて回転ベルトに研磨パッドを貼り付けている様子を模式的に示す斜視図である。尚、図３において、図１に示す本実施形態の研磨パッドの装着装置と同一の構成要素には同一の符号を付すことにより説明を省略する。また、図３において、一部の構成要素を透視的に示している。
【００４０】
図３に示すように、例えばステンレス材からなる回転ベルト（ＳＵＳベルト）２００は、それを挟む上部ゴムローラ１０２ａ及び下部ゴムローラ（図示省略）の回転によってステージ１０１上を所定の方向へ（図面の左側から右側へ）移動する。また、パッド規制ローラ１０４も回転ベルト２００を所定の方向へ移動させている。ここで、前述のように、回転ベルト規制部１０５ａ〜１０５ｄによって、回転ベルト２００がステージ１０１上を移動する際のぶれ（例えば所定の方向に対して垂直な方向における位置ずれ）が防止されている。
【００４１】
また、図３に示すように、回転ベルト２００に貼り付けられる研磨パッド２０１も、上部ゴムローラ１０２ａ及び下部ゴムローラに挟まれながらステージ１０１上を所定の方向へ送り出される。このとき、研磨パッド２０１は回転ベルト２００に貼り付けられる。また、回転ベルト２００に対して１枚の研磨パッド２０１の貼り付けが終了すると、引き続き、回転ベルト２００に対して次の研磨パッド２０１の貼り付けが行なわれる。ここで、前述のように、パッド規制ローラ１０４に設けられたパッド規制部１０４ａ及び１０４ｂ、並びに取り付け部１０２に設けられたパッド規制部１０３ａ及び１０３ｂによって、回転ベルト２００上における研磨パッド２０１の位置ずれを防止できる。
【００４２】
図４（ａ）は、本実施形態の研磨パッドの装着装置を用いて回転ベルトに研磨パッドを貼り付けている様子を装置の上方から見た模式図であり、図４（ｂ）は、その様子を装置の側方から見た模式図である。尚、図４（ａ）及び（ｂ）において、図１又は図３に示す本実施形態の研磨パッドの装着装置と同一の構成要素には同一の符号を付すことにより説明を省略する。また、図４（ａ）及び（ｂ）において、一部の構成要素を透視的に示している。
【００４３】
図４（ａ）に示すように、取りつけ部１０２に設けられた上部ゴムローラ１０２ａと、上部ゴムローラ１０２ａの下側にある下部ゴムローラ１０２ｂ（図４（ａ）においては図示省略）との間に、研磨パッド２０１が回転ベルト２００と共に挿入され、それによって研磨パッド２０１が回転ベルト２００に貼り付けられる。ここで、研磨パッド２０１がその進行方向（図面の左右方向）に対して垂直な方向（回転ベルト２００の幅方向）にずれないように、パッド規制部１０３ａ、１０３ｂ、１０４ａ及び１０４ｂによって研磨パッド２０１の動きが規制されている。ここで、パッド規制部１０３ａは例えば回転式の円形ローラであり、パッド規制部１０３ｂ、１０４ａ及び１０４ｂは例えばベアリング等の固定部材である。一方、回転ベルト規制部１０５ａ〜１０５ｄは例えば回転式の円形ローラであり、それによってステージ１０１上における回転ベルト２００の移動が容易になる。尚、回転ベルト規制部１０５ａ〜１０５ｄは、取り付け部（図１で仮想線で表されている部分）を介してステージ１０１における４つのコーナー部に設けられている。
【００４４】
また、図４（ｂ）に示すように、土台１００の上部であるステージ１０１上において、回転ベルト２００及び研磨パッド２０１が、上部ゴムローラ１０２ａと下部ゴムローラ１０２ｂとの間に挟み込まれ、それによって研磨パッド２０１が回転ベルト２００に貼り付けられる。ここで、上部ゴムローラ１０２ａは、ステージ１０１上に取り付け部１０２を介して設けられている一方、下部ゴムローラ１０２ｂはステージ１０１の内部に設けられている。また、上部ゴムローラ１０２ａと下部ゴムローラ１０２ｂとは、ステージ１０１の上方から見て２次元的に完全に重なるように配置されている。
【００４５】
以下、第１の実施形態の効果について説明する。
【００４６】
まず、回転ベルトに研磨パッドを貼り付ける際には、研磨パッドと回転ベルトとの間に空気が混入することに注意する必要がある。その理由は、回転ベルトと研磨パッドとの間に空気が混入すると、ＣＭＰ等の研磨を行なう際に回転ベルトの各場所によって研磨レートに差異が生じてしまうからである。それに対して、第１の実施形態によると、この「空気の混入」を容易に防止することができる。すなわち、第１の実施形態においては、回転ベルト２００に研磨パッド２０１を貼り付けるときに、一対の回転部、具体的にはシリコンからなる上部ゴムローラ１０２ａ及び下部ゴムローラ１０２ｂを利用する。詳しくは、研磨パッド２０１の粘着面が回転ベルト２００と向き合う状態で両者を、上部ゴムローラ１０２ａと下部ゴムローラ１０２ｂとの間に挿入する。このため、回転ベルト２００と研磨パッド２０１との間に空気が巻き込まれることを防止できるので、研磨パッド２０１を回転ベルト２００に確実に密着させながら貼り付けることができる。
【００４７】
また、第１の実施形態によると、回転ベルト規制部１０５ａ〜１０５ｄによって、ステージ１０１上における回転ベルト２００の動きを規制しながら、回転ベルト２００をゴムローラ１０２ａ及び１０２ｂの間に挿入する。このため、ステージ１０１上における回転ベルト２００の載置位置を容易に固定できるので、回転ベルト２００に対する研磨パッド２０１の貼りつけを安定して行なうことができる。そして、この状態において、パッド規制部１０３ａ、１０３ｂ、１０４ａ及び１０４ｂによって、ステージ１０１上における研磨パッド２０１の動きを規制しながら、研磨パッド２０１をゴムローラ１０２ａ及び１０２ｂの間に挿入する。従って、例えば回転ベルト２００の幅方向における研磨パッド２０１の位置ずれを防止できるので、回転ベルト２００に研磨パッド２０１を均等に貼り付けることができる。
【００４８】
以上のように、第１の実施形態においては、回転ベルト２００に研磨パッド２０１を均等に且つ密着性良く貼り付けることができるため、研磨パッド２０１が装着された回転ベルト２００を用いて研磨を行なう際に回転ベルト２００の各場所の研磨レートを均一にできるので、ウェハ割れ等の問題を確実に防止できる。
【００４９】
図５は、本実施形態の研磨パッドの装着装置を用いて回転ベルトに貼り付けられた研磨パッドの様子を示している。図５に示すように、複数の研磨パッド２０１が、研磨パッド２０１同士が互いに平行になるように回転ベルト２００の延びる方向（図中の一点鎖線）に沿って均等に配置されている。尚、各研磨パッド２０１には、回転ベルト２００の延びる方向、つまりベルト回転方向と平行に溝２０１ａが形成されている。
【００５０】
また、第１の実施形態によると、上部ゴムローラ１０２ａが、ステージ１０１上に取り付け部１０２を介して設けられている一方、下部ゴムローラ１０２ｂがステージ１０１の内部に設けられている。このため、ステージ１０１上において、回転ベルト２００及び研磨パッド２０１を上部ゴムローラ１０２ａと下部ゴムローラ１０２ｂとの間に挿入することが容易になる。
【００５１】
また、第１の実施形態によると、パッド規制部１０３ａ及び１０３ｂが、ステージ１０１上におけるゴムローラ１０２ａ及び１０２ｂの近傍に設けられているため、回転ベルト２００に研磨パッド２０１を貼り付ける際に研磨パッド２０１の位置ずれを確実に防止できる。
【００５２】
また、第１の実施形態によると、方形状のステージ１０１上における４つのコーナー部のそれぞれに、回転ベルト規制部１０５ａ〜１０５ｄが設けられているため、ステージ１０１上における回転ベルト２００の位置ずれを確実に防止できる。
【００５３】
また、第１の実施形態によると、ステージ１０１の一端側に上部ゴムローラ１０２ａ及び下部ゴムローラ１０２ｂが設けられていると共に、ステージ１０１の他端側に、回転ベルト２００をステージ１０１の他端側から一端側に向けて送り出すパッド規制ローラ１０４が設けられている。このため、回転ベルト２００を回転させながら、回転ベルト２００に研磨パッド２０１を貼り付けることができる結果、複数枚の研磨パッド２０１の装着を容易に行なうことができるので、研磨パッド装着作業のスループットが向上する。
【００５４】
また、第１の実施形態によると、土台１００における回転ベルト２００が延びる方向において向かい合う一対の側面のそれぞれに、回転ベルト２００を張るためのベルト張り付け部として、第１のローラ１０６ａ及び第２のローラ１０６ｂが設けられている。このため、ステージ１０１上に回転ベルト２００をたわみなく載置できるので、回転ベルト２００に対する研磨パッド２０１の貼り付けを正確に行なうことができる。また、第１のローラ１０６ａ及び第２のローラ１０６ｂはそれぞれ、伸縮可能な第１のアーム１０７ａ及び第２のアーム１０７ｂを介して土台１００に取り付けられているため、アーム１０７ａ及び１０７ｂを伸ばすことによって回転ベルト２００を容易に張ることができる。
【００５５】
図６（ａ）は、本実施形態の研磨パッドの装着装置における、ベルト張り付け部であるローラ１０６ａ及び１０６ｂによって回転ベルト２００を張る前の様子を装置側方から見た模式図である。また、図６（ｂ）は、本実施形態の研磨パッドの装着装置における、ローラ１０６ａ及び１０６ｂによって回転ベルト２００を張りながら一対のゴムローラ１０２ａ及び１０２ｂ並びにパッド規制ローラ１０４によって回転ベルト２００を回転させている様子を装置側方から見た模式図である。尚、図６（ａ）及び（ｂ）において、図１又は図３に示す本実施形態の研磨パッドの装着装置と同一の構成要素には同一の符号を付すことにより説明を省略する。また、図６（ｂ）において、一部の構成要素を透視的に示している。
【００５６】
まず、図６（ａ）に示すように、ステージ１０１上に回転ベルト２００を載置する前の時点では、上部ゴムローラ１０２ａが設けられた取り付け部１０２は、回転ベルト２００の載置を妨害しないように、ステージ１０１上で鉛直方向に立てられている。また、このとき、伸縮可能なアーム１０７ａ及び１０７ｂは共に縮められている。
【００５７】
次に、図６（ｂ）に示すように、ステージ１０１上に回転ベルト２００を載置する際には、土台１００に取り付けられたアーム１０７ａ及び１０７ｂを伸ばすことにより、回転ベルト２００をステージ１０１上にたわみなく載置する。すなわち、回転ベルト２００は元来たわみやすいので、アーム１０７ａ及び１０７ｂを伸ばして回転ベルト２００を張る必要がある。さらに、取りつけ部１０２をステージ１０１上で倒すことにより一対のゴムローラ１０２ａ及び１０２ｂによって回転ベルト２００を挟むと共に、ステージ１０１上でパッド規制ローラ１０４並びに一対のゴムローラ１０２ａ及び１０２ｂによって回転ベルト２００を押さえる。この状態において、パッド規制ローラ１０４並びに一対のゴムローラ１０２ａ及び１０２ｂをそれぞれ回転させることにより、回転ベルト２００を所定の方向（図面の左側から右側へ向かう方向）に移動させることが可能になる。
【００５８】
尚、第１の実施形態において、研磨パッドを回転ベルトに貼り付けるための一対の回転部として、シリコンからなる上部ゴムローラ１０２ａ及び下部ゴムローラ１０２ｂを用いたが、一対の回転部として用いる部材は特に限定されるものではない。
【００５９】
また、第１の実施形態において、パッド規制部１０３ａとして回転式の円形ローラを用いると共にパッド規制部１０３ｂ、１０４ａ及び１０４ｂとしてベアリング等の固定部材を用いたが、各パッド規制部として用いる部材は特に限定されるものではない。
【００６０】
また、第１の実施形態において、回転ベルトをステージ１０１上の所定の方向に送り出すベルト送り回転部として、パッド規制ローラ１０４を用いたが、ベルト送り回転部として用いる部材は特に限定されるものではない。
【００６１】
また、第１の実施形態において、回転ベルト規制部１０５ａ〜１０５ｄとして回転式の円形ローラを用いたが、各回転ベルト規制部として用いる部材は特に限定されるものではない。
【００６２】
また、第１の実施形態において、回転ベルトを張るためのベルト張り付け部として、第１のローラ１０６ａ及び第２のローラ１０６ｂを用いたが、ベルト張り付け部として用いる部材は特に限定されるものではない。
【００６３】
（第２の実施形態）
以下、本発明の第２の実施形態に係る研磨パッドのはがし装置及びはがし方法について図面を参照しながら説明する。尚、本実施形態においては、ベルト回転式ＣＭＰ装置等の研磨装置から回転ベルトを取り外し、該回転ベルトに対して研磨パッドのはがしを行なう。すなわち、研磨パッドが貼り付けられた回転ベルトを用いてＣＭＰ等の研磨を繰り返し行なうと、研磨パッドが徐々に摩耗してくるので、研磨パッドを取り替える必要が生じる。ここで、回転ベルトに貼り付けられた研磨パッドは、研磨中にウェハが研磨パッドに押しつけられていることによって、より強固に回転ベルトに密着している。本実施形態においては、そのように回転ベルトに強固に密着した研磨パッドをはがすために考案された装置及び方法について説明する。
【００６４】
図７は、第２の実施形態に係る研磨パッドのはがし装置、具体的には、板状の回転ベルトから研磨パッドをはがすための装置の構造を模式的に示した斜視図である。尚、図７において、図１に示す本実施形態の研磨パッドの装着装置と同一の構成要素には同一の符号を付すことにより説明を省略する場合がある。また、図７において、一部の構成要素を透視的に示している。
【００６５】
図７に示すように、装置本体（土台）１００の上部は、回転ベルト（図示省略）が載置されるステージ１０１となっている。ステージ１０１上の一端側には、研磨パッド（図示省略）を回転ベルトに貼り付けるための上部ゴムローラ１０２ａ及び下部ゴムローラ１０２ｂが設けられている。ここで、上部ゴムローラ１０２ａは、ステージ１０１上に取り付け部１０２を介して設けられている。この取り付け部１０２は可動式になっており、研磨パッドの装着作業を行なうとき以外は、ステージ１０１上で鉛直方向に立てられる。すなわち、本実施形態のように研磨パッドのはがし作業を行なう場合には、上部ゴムローラ１０２ａ及び下部ゴムローラ１０２ｂは必要ないので、取り付け部１０２はステージ１０１の面上から離れた所に位置している。
【００６６】
本実施形態の第１の特徴は、図７に示すように、ステージ１０１上の他端側に、回転ベルトから研磨パッドをはがして巻き取る巻き取りローラ１０８が設けられていることである。具体的には、ステージ１０１上を所定の方向（図面の左側から右側へ向かう方向）に動く回転ベルトに対して巻き取りローラ１０８が所定の回転方向（図面の反時計回り方向）に回転することにより、回転ベルトから研磨パッドをはがすことができる。ここで、巻き取りローラ１０８には、研磨パッドの先端を挟むための切り欠き部１０８ａが設けられている。また、巻き取りローラ１０８を回転させるために、巻き取りローラ１０８の下側のステージ１０１の内部には回転歯車１０９が設けられている。すなわち、回転歯車１０９を回転させることにより、巻き取りローラ１０８が回転する。
【００６７】
本実施形態の第２の特徴は、図７に示すように、ステージ１０１上の中央部に、回転ベルトからはがされた研磨パッドの粘着面にフィルムを供給するフィルムローラ１１０が設けられていることである。ここで、フィルムローラ１１０によるフィルムの供給は、巻き取りローラ１０８によって研磨パッドが巻き取られる前に行なう。これにより、回転ベルトからはがされた研磨パッドの粘着面が巻き取りローラ１０８に再付着することを防止できる。
【００６８】
尚、本実施形態においても第１の実施形態と同様に、方形状のステージ１０１上における４つのコーナー部のそれぞれに、回転ベルトの位置ずれを防止する第１の回転ベルト規制部１０５ａ、第２の回転ベルト規制部１０５ｂ、第３の回転ベルト規制部１０５ｃ、及び第４の回転ベルト規制部１０５ｄが設けられている。これにより、回転ベルトは各回転ベルト規制部１０５ａ〜１０５ｄの間を通ってステージ１０１（つまり装置本体の作業面）上に導かれるため、該作業面上で回転ベルトが位置ずれを生じることがない。尚、ステージ１０１上における回転ベルトの載置位置を固定できなければ、回転ベルトから研磨パッドをはがす作業を安定して行なうことができない。それに対して、本実施形態では、回転ベルト規制部１０５ａ〜１０５ｄを用いて、ステージ１０１上における回転ベルトの載置位置を固定することができる。
【００６９】
また、本実施形態においても第１の実施形態と同様に、土台１００における回転ベルトが延びる方向（図面の左右方向）において向かい合う一対の側面のそれぞれに、回転ベルトを張るためのローラ１０６ａ及び１０６ｂがアーム１０７ａ及びアーム１０７ｂを介して設けられている。ローラ１０６ａ及びローラ１０６ｂによって回転ベルトを張ることにより、ステージ１０１上において回転ベルトをたわみなく移動させることができる。ここで、アーム１０７ａ及び１０７ｂは伸縮可能である（図６（ａ）及び（ｂ）参照）。
【００７０】
図８は、本実施形態の研磨パッドのはがし装置を用いて回転ベルトから研磨パッドをはがしている様子を装置側方から見た模式図である。尚、図８において、図７に示す本実施形態の研磨パッドの装着装置と同一の構成要素には同一の符号を付すことにより説明を省略する。また、図８において、一部の構成要素を透視的に示している。
【００７１】
図８に示すように、研磨パッド２０１を巻き取るための巻き取りローラ１０８は、ステージ１０１の内部に設けられた回転歯車１０９を回転させることによって回転する。ここで、ステージ１０１上を所定の方向（図面の左側から右側へ向かう方向）に動く回転ベルト２００に対応して、巻き取りローラ１０８は所定の回転方向（図面の反時計回り方向）に回転する。また、巻き取りローラ１０８に設けられた切り欠き部１０８ａに研磨パッド２０１の先端を挟んだ状態で巻き取りローラ１０８を回転させることにより、研磨パッド２０１は巻き取りローラ１０８に巻き取られていく。このとき、研磨パッド２０１の裏面（回転ベルト２００との接着面となる粘着面）に、フィルムローラ１１０からフィルム２０２が供給される。これにより、研磨パッド２０１の粘着面にフィルム２０２が貼りつくため、該粘着面が再度巻き取りローラ１０８や研磨パッド２０１自体に付着することを防止できる。従って、研磨パッド２０１が巻き取りローラ１０８に巻き取られた後において、巻き取りローラ１０８から研磨パッド２０１を容易に取り外すことができる。図９は、研磨パッド２０１の粘着面にフィルム２０２が貼り付けられた状態で巻き取りローラ１０８によって巻き取られた研磨パッド２０１の様子を示している。
【００７２】
以上に説明したように、第２の実施形態によると、回転ベルト２００から研磨パッド２０１を巻き取りローラ１０８によってはがして巻き取ると共に、該巻き取り時に研磨パッド２０１の粘着面にフィルム２０２をフィルムローラ１１０によって供給する。このため、研磨パッド２０１の粘着面にフィルム２０２が貼りつくので、研磨パッド２０１の粘着面が巻き取りローラ１０８に再付着することを防止できる。従って、研磨パッド２０１の巻き取り終了後に巻き取りローラ１０８から研磨パッド２０１を簡単に取り外すことができるので、研磨パッドはがし作業のスループットが向上する。
【００７３】
また、第２の実施形態によると、回転ベルト規制部１０５ａ〜１０５ｄによって、ステージ１０１上における回転ベルト２００の動きを規制するため、ステージ１０１上における回転ベルト２００の載置位置を容易に固定できる。従って、回転ベルト２００から研磨パッド２０１をはがす作業を安定して行なうことができる。
【００７４】
尚、第２の実施形態において、回転ベルト２００から研磨パッド２０１をはがす際に、ステージ１０１上に回転ベルト２００がたわみなく載置されるように、土台１００に取り付けられたアーム１０７ａ及び１０７ｂを伸ばすことが好ましい。
【００７５】
また、第２の実施形態において、回転ベルト規制部１０５ａ〜１０５ｄとして用いる部材は特に限定されるものではない。
【００７６】
また、第２の実施形態において、回転ベルトを張るためのベルト張り付け部としてローラ１０６ａ及び１０６ｂを用いたが、ベルト張り付け部として用いる部材は特に限定されるものではない。
【００７７】
【発明の効果】
本発明によると、ベルトの位置ずれを防止するベルト規制部によってステージ上におけるベルトの載置位置を容易に固定できるため、研磨パッドの位置ずれを防止するパッド規制部を併用することによってベルトに研磨パッドを均等に貼り付けることができる。また、一対の回転部によってベルトに研磨パッドを貼り付けるため、ベルトと研磨パッドとの間に空気が巻き込まれることを防止できるので、研磨パッドをベルトに確実に密着させることができる。従って、研磨パッドが装着されたベルトを用いて研磨を行なう際にベルトの各場所の研磨レートを均一にできるので、ウェハ割れ等の問題を確実に防止できる。
【００７８】
また、本発明によると、ベルトから研磨パッドを巻き取りローラによってはがして巻き取ると共に、該巻き取り時に研磨パッドの粘着面にフィルムをフィルムローラによって供給する。このため、研磨パッドの粘着面にフィルムが貼りつくので、研磨パッドの粘着面が巻き取りローラに再付着することを防止できる。従って、研磨パッドの巻き取り終了後に巻き取りローラから研磨パッドを簡単に取り外すことができるので、研磨パッドのはがし作業のスループットが向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る研磨パッドの装着装置の構造を模式的に示した斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る研磨パッドの装着装置における一対のゴムローラによって回転ベルトと研磨パッドとを挟み込んで回転ベルトに研磨パッドを貼りつけている様子を示す図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る研磨パッドの装着装置を用いて回転ベルトに研磨パッドを貼り付けている様子を模式的に示す斜視図である。
【図４】（ａ）は本発明の第１の実施形態に係る研磨パッドの装着装置を用いて回転ベルトに研磨パッドを貼り付けている様子を装置の上方から見た模式図であり、（ｂ）はその様子を装置の側方から見た模式図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る研磨パッドの装着装置を用いて回転ベルトに貼り付けられた研磨パッドの様子を示す図である。
【図６】（ａ）は本発明の第１の実施形態に係る研磨パッドの装着装置におけるベルト張り付け部によって回転ベルトを張る前の様子を装置側方から見た模式図であり、（ｂ）は本発明の第１の実施形態に係る研磨パッドの装着装置におけるベルト張り付け部によって回転ベルトを張りながら回転ベルトを回転させている様子を装置側方から見た模式図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係る研磨パッドのはがし装置の構造を模式的に示した斜視図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る研磨パッドのはがし装置を用いて回転ベルトから研磨パッドをはがしている様子を装置側方から見た模式図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る研磨パッドのはがし装置における巻き取りローラによって巻き取られた研磨パッドの様子を示す図である。
【図１０】（ａ）は従来の研磨パッドの装着方法又ははがし方法に用いられる作業台の斜視図であり、（ｂ）及び（ｃ）は（ａ）に示す作業台における回転ベルトを設置する前及び設置した後の様子をそれぞれ示す図である。
【図１１】従来の研磨パッドの装着方法における問題点を説明するための図である。
【符号の説明】
１００      土台
１０１      ステージ
１０２      ゴムローラ取りつけ部
１０２ａ    上部ゴムローラ
１０２ｂ    下部ゴムローラ
１０３ａ    第１のパッド規制部
１０３ｂ    第２のパッド規制部
１０４      パッド規制ローラ
１０４ａ    第３のパッド規制部
１０４ｂ    第４のパッド規制部
１０５ａ    第１の回転ベルト規制部
１０５ｂ    第２の回転ベルト規制部
１０５ｃ    第３の回転ベルト規制部
１０５ｄ    第４の回転ベルト規制部
１０６ａ    第１のローラ
１０６ｂ    第２のローラ
１０７ａ    第１のアーム
１０７ｂ    第２のアーム
１０８      巻き取りローラ
１０８ａ    切り欠き部
１０９      回転歯車
１１０      フィルムローラ
２００      回転ベルト
２０１      研磨パッド
２０１ａ    溝
２０２      フィルム
【図１】
0003696198.tif 000002
【図２】
0003696198.tif 000003
【図３】
0003696198.tif 000004
【図４】
0003696198.tif 000005
【図５】
0003696198.tif 000006
【図６】
0003696198.tif 000007
【図７】
0003696198.tif 000008
【図８】
0003696198.tif 000009
【図９】
0003696198.tif 000010
【図１０】
0003696198.tif 000011
【図１１】
0003696198.tif 000012