(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コリメータレンズを介して射出された出射平行光束を検査対象面に照射し、当該検査対象面で反射された戻り平行光束を前記コリメータレンズを介して結像させ、この結像点位置に基づき、前記戻り平行光束の前記コリメータレンズに対する入射角度を検出可能な光学式測定装置において、
前記コリメータレンズに入射する戻り平行光束の一部を分離するビームスプリッタと、このビームスプリッタにより分離された戻り平行光束を受光する戻り光側受光素子とを有し、この受光素子は、前記戻り平行光束の重心位置を検出する二次元位置検出素子であり、検出された重心位置に基づき戻り平行光束の前記コリメータレンズに対する入射位置を検出可能であることを特徴とする光学式測定装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記コリメータレンズから出射する前記出射平行光束の一部を分離する前記ビームスプリッタと、分離された出射平行光束を受光する出射光側受光素子とを有し、
前記出射光側受光素子は、前記出射平行光束の重心位置を検出する二次元位置検出素子であり、
前記戻り光側受光素子および前記出射光側受光素子により検出された重心位置に基づき、前記戻り平行光束の前記出射平行光束に対する位置ずれを検出可能であることを特徴とする光学式測定装置。
【請求項３】
平行光束をコリメータレンズを介して結像させ、この結像点位置に基づき、前記平行光束の前記コリメータレンズに対する入射角度を検出可能な光学式測定装置において、
前記コリメータレンズに入射する平行光束の一部を分離するビームスプリッタと、このビームスプリッタにより分離された平行光束を受光する受光素子とを有し、この受光素子は、前記平行光束の重心位置を検出する二次元位置検出素子であり、検出された重心位置に基づき平行光束の前記コリメータレンズに対する入射位置を検出可能であることを特徴とする光学式測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象面で反射した平行光束をコリメータレンズを介して結像させ、その結像点位置に基づき検査対象面の傾き等を検出する光学式検出装置に関するものである。さらに詳しくは、コリメータレンズに対する平行光束の入射位置に基づき検査対象面の位置ずれ等も検出可能な光学式測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
検査対象面の平行度や傾きを測定するための装置としてオートコリメータが用いられている。オートコリメータは、例えば、図５に示すように、レーザ光源等の光源１０１を備え、ここからの射出光を、集光レンズ１０２およびピンホール１０３を介してビームスプリッタ１０４に導き、このビームスプリッタ１０４によってコリメータレンズ１０５に導いて所定の径の平行光束として、検査対象面である反射面１０６を照射するようになっている。反射面１０６で反射された平行光束は、再度コリメータレンズ１０５に入射した後は、ビームスプリッタ１０４によって焦点板あるいは受光素子の受光面１０７に結像するようになっている。
【０００３】
受光面１０７での結像点位置は、反射面１０６で反射した平行光束のコリメータレンズ１０５に対する入射角に応じて、光軸１００ａに垂直な方向にずれる。すなわち、コリメータレンズ１０５に戻る平行光束が光軸１００ａに平行な場合には図５（ｂ）に示すように、結像点位置は中心Ａに位置するが、光軸１００ａに対して傾斜している場合には、結像点位置は例えば点Ｂのように中心Ａからずれる。従って、このずれに基づき、コリメータレンズ１０５に戻る平行光束の入射角を検出でき、この結果、反射面１０６の傾き等を検出できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
オートコリメータに入射する平行光束は、コリメータレンズの有効径内ならば、どの位置に入射しても、その入射角に応じた結像点位置に結像する。例えば、図５（ａ）に示すように、異なる位置にある反射面１０６、１０６Ａで反射された平行光束が共に光軸１００ａに平行である場合には、それらの平行光束はコリメータレンズ１０６を介して受光面１０７上における同一位置に結像する。従って、オートコリメータは、平行光束の入射角度を検出することができるが、平行光束の入射位置を検出することができない。
【０００５】
本発明の課題は、この点に鑑みて、コリメータレンズに入射する平行光束の入射角度および入射位置の双方を検出可能な光学式測定装置を提案することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、コリメータレンズを介して射出された出射平行光束を検査対象面に照射し、当該検査対象面で反射された戻り平行光束を前記コリメータレンズを介して結像させ、この結像点位置に基づき、前記戻り平行光束の前記コリメータレンズに対する入射角度を検出可能な光学式測定装置において、前記コリメータレンズに入射する戻り平行光束の一部を分離するビームスプリッタと、このビームスプリッタにより分離された戻り平行光束を受光する戻り光受光素子とを有し、この受光素子は、前記戻り平行光束の重心位置を検出する二次元位置検出素子であり、検出された重心位置に基づき戻り平行光束の前記コリメータレンズに対する入射位置を検出可能であることを特徴としている。
【０００７】
ここで、出射側平行光束の重心を検出できるようにすれば、当該重心位置を基準として、反射側平行光束の位置ずれを検出できる。このために、本発明の光学式測定装置は、上記の構成に加えて、前記コリメータレンズから出射する前記出射平行光束の一部を分離する前記ビームスプリッタと、分離された出射平行光束を受光する出射光側受光素子とを有し、この出射光側受光素子として、前記出射側平行光束の重心位置を検出可能な二次元位置検出素子を採用すればよい。
【０００８】
次に、本発明は、直接にコリメータレンズに入射する平行光束の入射角度および入射位置を検出可能な光学式測定装置に関するものであり、当該光学式測定装置は、平行光束をコリメータレンズを介して結像させ、この結像点位置に基づき、前記平行光束の前記コリメータレンズに対する入射角度を検出可能であると共に、前記コリメータレンズに入射する平行光束の一部を分離するビームスプリッタと、このビームスプリッタにより分離された平行光束を受光する受光素子とを有し、この受光素子が、前記平行光束の重心位置を検出する二次元位置検出素子であり、検出された重心位置に基づき平行光束の前記コリメータレンズに対する入射位置を検出可能であることを特徴としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した光学式測定装置の実施例を説明する。
【００１０】
（第１の実施例）
図１は本発明を適用した第１の実施例に係る光学式測定装置の光学系を示す構成図である。本例の光学式測定装置１は、レーザダイオード２を備え、ここから射出されたレーザ光は集光レンズ３を介して、プリズム合成体からなるビームスプリッタ４に導かれる。ビームスプリッタ４は射出レーザ光の一部を直角に反射して、当該射出レーザ光をコリメータレンズ５に導く。コリメータレンズ５を介して形成された所定の径の射出レーザ平行光束Ｌは、プリズム合成体からなるビームスプリッタ６を介して外部に射出される。
【００１１】
射出されたレーザ平行光束Ｌは検査対象面７に照射され、ここで反射された戻りレーザ平行光束Ｌｒは、ビームスプリッタ６を介してコリメータレンズ５に戻り、このコリメータレンズ５を介してビームスプリッタ４に入射し、その一部が当該ビームスプリッタ４を透過してＣＣＤ等の受光素子８の受光面に結像する。図においては、射出レーザ光を点線で示し、戻りレーザ光を実線で示してある。
【００１２】
ここで、ビームスプリッタ６における光軸１ａに対して４５度傾斜している分離膜６ａを挟み、両側にそれぞれ半導体位置検出素子（ＰＳＤ）９、１０が配置されている。これらの位置検出素子９、１０は共に二次元半導体位置検出素子であり、その受光面に照射した光の重心位置を検出可能な受光素子である。本例では、位置検出素子９には、分離膜６ａで反射された射出レーザ平行光束Ｌが入射し、他方の位置検出素子１０には、戻りレーザ平行光束Ｌｒが入射する。
【００１３】
この構成の光学式測定装置１では、一般的なオートコリメータと同様に、戻りレーザ平行光束Ｌｒのコリメータレンズ５に対する入射角に応じて、受光素子８の受光面上での結像点位置が光軸１ａに垂直な方向にずれる。よって、この結像点位置に基づき、入射角度を検出できる。この結果、検査対象面７の光軸１ａに垂直な基準面に対する傾き等を検出できる。
【００１４】
ここで、射出レーザ平行光束Ｌの光重心位置が位置検出素子９によって検出され、この重心位置が基準位置とされる。また、戻りレーザ平行光束Ｌｒの重心位置も位置検出素子１０によって検出される。図示の例では、射出レーザ平行光束Ｌの重心位置はコリメータレンズ有効径Ｄの中心位置Ｐであるが、戻りレーザ平行光束Ｌｒの重心位置Ｐｒは中心位置Ｐから一方の側に片寄った位置となっている。従って、予め位置検出素子９、１０の位置合わせを行なっておけば、基準点である位置Ｐに対する戻りレーザ平行光束Ｌｒの位置ずれを検出できる。すなわち、光軸１ａに垂直な面内において、検査対象面７の基準位置に対する位置ずれを検出できる。
【００１５】
以上のように、本例の光学式測定装置１によれば、戻りレーザ平行光束の入射角度および入射位置の双方を同時に測定あるいは検出できる。
【００１６】
図２には光学式測定装置１の光学系の変形例を示してある。図１の例と異なる点は、集光レンズ３を省略し、レーザダイオード２からの発散光を直接にビームスプリッタ４を介してコリメータレンズ５に導いている点である。これ以外の構成は同一である。この光学系を用いた場合においても、図１の場合と同様な作用効果を得ることができる。
【００１７】
次に、図３には光学式測定装置１の光学系の更に別の例を示してある。この図に示す光学系は、図１の光学系における位置検出素子９が省略されたものであり、それ以外の構成は図１の光学系と同一である。射出レーザ平行光束Ｌの重心位置（基準位置）が予め分かっている場合には、位置検出素子９を省略可能である。
【００１８】
（第２の実施例）
図４には、本発明を適用した第２の実施例に係る光学式測定装置の光学系を示してある。本例の光学式測定装置２１は直接入射光の入射角および入射位置を測定するためのものであり、ＣＣＤ等の受光素子２２と、コリメータレンズ２３と、ビームスプリッタ２４と、位置検出素子２５とを備えている。外部から直接入射する平行光束Ｌ１は、ビームスプリッタ２４によって一部が分離されて位置検出素子２５に入射する。位置検出素子２５は二次元半導体位置検出素子（ＰＳＤ）であり、入射した平行光束Ｌ１の重心位置Ｐ１を検出する。この重心位置の基準位置が予め設定されていれば、平行光束Ｌ１の入射位置を測定できる。例えば、基準位置Ｐを光軸２１ａとしておけば、平行光束Ｌ１の光軸２１ａに対する位置ずれ量を測定できる。
【００１９】
ビームスプリッタ２４を透過した平行光束Ｌ１はコリメータレンズ２３によって受光素子２１の受光面上に結像する。この結像点位置に基づき、平行光束Ｌ１の入射角度を測定できる。
【００２０】
なお、上述した各実施例の光学式測定装置は、光ピックアップ装置における対物レンズの位置決め調整用の測定器等として利用できる。また、精密な位置合わせが必要な干渉計等にも応用することが可能である。
【００２１】
一方、上記の各実施例では、プリズム合成体からなるビームスプリッタ６、２４を用いているが、この代わりに、透明プレートの表面に分離膜が形成された構成のプレートビームスプリッタを光軸に対して４５度傾斜配置した構成とすることも可能である。
【００２２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光学式測定装置は、コリメータレンズに入射する平行光束の重心位置を半導体位置検出素子を用いて検出するようにしている。従って、平行光束のコリメータレンズに対する入射角度の測定は勿論のこと、その入射位置も測定可能である。
【００２３】
また、本発明の光学式測定装置は、平行光束を射出すると共に、射出される平行光束の重心も半導体位置検出素子で検出する構成を採用している。よって、この重心位置を基準としてコリメータレンズに戻る平行光束の位置ずれを測定できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した第１の実施例に係る光学式測定装置の光学系を示す構成図である。
【図２】図１の光学系の変形例を示す構成図である。
【図３】図１の光学系の更に別の変形例を示す構成図である。
【図４】本発明を適用した第２の実施例に係る光学式測定装置の光学系を示す構成図である。
【図５】従来のオートコリメータの例を示す構成図である。
【符号の説明】
１、２０  光学式測定装置
２  レーザダイオード
３  集光レンズ
４  ビームスプリッタ
５、２２  コリメータレンズ
６、２３  ビームスプリッタ
７  検査対象面
８、２１  受光素子
９、１０、２４  半導体位置検出素子
Ｌ  射出レーザ平行光束
Ｌｒ  戻りレーザ平行光束
Ｌ１  平行光束
Ｐ  射出レーザ平行光束の重心（基準位置）
Ｐｒ  戻りレーザ平行光束の重心
Ｐ１  平行光束の重心
【図１】
0003688560.tif 000002
【図２】
0003688560.tif 000003
【図３】
0003688560.tif 000004
【図４】
0003688560.tif 000005
【図５】
0003688560.tif 000006