(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一般式Ｌａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは０＜ｘ＜１を示す）で表されるペロブスカイト型複合酸化物を有する受光素子と、
室温での近赤外光の照射において前記受光素子の複合酸化物における磁化の増大を測定するための磁化測定手段と
を具備したことを特徴とする近赤外光の検出装置。
【請求項２】
前記一般式のｘが０．５以下であることを特徴とする請求項１記載の近赤外光の検出装置。
【請求項３】
前記受光素子は、基板上に形成された前記ペロブスカイト型複合酸化物からなる薄膜であることを特徴とする請求項１記載の近赤外光の検出装置。
【請求項４】
前記磁化測定手段は、前記受光素子に磁場を印加、掃引するための磁場印加手段を有する電子スピン共鳴測定器であることを特徴とする請求項１記載の近赤外光の検出装置。
【請求項５】
前記磁化測定手段は、前記受光素子の磁化の増大を測定するためのインダクタンスコイルであることを特徴とする請求項１記載の近赤外光の検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、近赤外光の検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近赤外光の検出は、例えば大気中の水滴、塵の測定等の環境計測、各種工業分野におけるガス検出および微量物質の分析に適用され、さらに将来的には医療診断などへの適用も考えられている。
【０００３】
具体的には、赤外線レーザを用いた大気中での散乱による微粒子の測定（雲、霧などの分布状況による気象観測や大気汚染の観測）が行なわれている。この測定において、観測できる微粒子の粒径は赤外線レーザの波長に依存しているため、測定対象を広げ、詳細な観測を行なうには大気を通過後の近赤外光を高感度で検出し得る装置が不可欠である。
【０００４】
また、近赤外光は動植物の体に対して透過し易く、水素を含む官能基（ＯＨ、ＮＨ，ＣＨ等）を有する分子の吸収体が近赤外域に存在することを利用して微量物質の分析が可能になる。このため、同様に高感度な近赤外光の検出装置の開発が望まれている。
【０００５】
ところで、微弱光の検出は一般に光電子増倍管等の光検出装置が用いられている。しかしながら、近赤外域の光においてはこれまでに高感度な検出装置が少なく、新たに高感度な近赤外光の検出装置の開発が求められている。
【０００６】
近赤外光の検出装置としては、発光ダイオード（アバランシェ・フォット・ダイオード）を受光素子として用い、ダイオード内部の電子増倍作用を応用し、近赤外光の光子数を計測するものが知られている。しかしながら、この検出装置はノイズを低減させて高Ｓ／Ｎ比で増幅するために受光素子を冷却する必要があり、構造が複雑になる問題があった。
【０００７】
一方、特許文献１には高周波発振器と、空洞共振器と、磁場変調用マグネットと、光検出部を備え、前記光検出部が（Ｐｒ，Ｃａ）ＭｎＯ3材料からなり、一定周波数を印加しながら磁場を掃引することにより（Ｐｒ，Ｃａ）ＭｎＯ3材料での電子スピンの変化をＥＳＲ（電子スピン共鳴）測定器で微小な光（例えば近赤外光）を検出する光検出器が記載されている。
【０００８】
【特許文献１】
特開２０００−７４７３７
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に記載の光検出装置は動作温度が５０〜８０Ｋの液体窒素温度であるため、冷却器が必要になる。その結果、装置構造が複雑かつ大型化してコストが高くなるばかりか、用途が制限される問題があった。
【００１０】
本発明は、近赤外線を室温下にて高感度で検出することが可能な近赤外光の検出装置を提供しようとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る近赤外光の検出装置は、一般式Ｌａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは０＜ｘ＜１を示す）で表されるペロブスカイト型複合酸化物を有する受光素子と、
室温での近赤外光の照射において前記受光素子の複合酸化物における磁化の増大を測定するための磁化測定手段と
と具備したことを特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る近赤外光の検出装置を詳細に説明する。
【００１３】
受光素子は、一般式Ｌａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは０＜ｘ＜１を示す）で表されるペロブスカイト型複合酸化物を有する。磁化測定手段は、室温での近赤外光の照射において前記受光素子の複合酸化物における磁化の増大を測定する。
【００１４】
前記ペロブスカイト型複合酸化物のうち、一般式のｘが０．５以下（特にｘが０．０５〜０．３）のものは、近赤外光に対してより高い感度を有する。
【００１５】
前記ペロブスカイト型複合酸化物は、例えば次のような方法により製造される。
【００１６】
まず、Ｌａ2Ｏ3、Ｐｒ6Ｏ11およびＣｒ2Ｏ3の粉末を一般式Ｌａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは０＜ｘ＜１を示す）の組成になるように秤量、混合して混合酸化物粉末を調製する。つづいて、この混合酸化物粉末を４００〜６００ｋｇ／ｃｍ2の圧力で錠剤状に成形した後、大気中、１１００℃で仮焼成する。次いで、この仮焼体を粉砕し、再度、錠剤状に成形した後、大気中、前記仮焼体の焼成温度より高い１３５０〜１５００℃で本焼成することにより一般式で表されるペロブスカイト型複合酸化物を製造する。
【００１７】
前記受光素子は、例えば次に説明する３つの形態を有する。
【００１８】
（１）透明なカプセルに封入されたペロブスカイト型複合酸化物の粉末
この透明なカプセルは、例えば石英から作られている。
【００１９】
前記粉末は、前記焼結体を粉砕することにより作られる。
【００２０】
前記粉末は、３〜５μｍの平均粒径を有することが好ましい。
【００２１】
（２）基板に成膜されたペロブスカイト型複合酸化物の薄膜
この基板は、前記ペロブスカイト型複合酸化物の薄膜の磁化測定に影響の少ない半磁性または非磁性の材料、例えばＭｇＯやＳｒＴｉＯ3から作られることが好ましい。
【００２２】
前記薄膜は、基板上に前記焼結対をターゲットとするスッパタ法により成膜することにより形成される。
【００２３】
前記薄膜は、０．１〜０．５μｍの厚さを有することが好ましい。この薄膜の厚さを０．１μｍ未満にすると近赤外光を高感度で検出することが困難になる。一方、前記薄膜の厚さが０．５μｍを超えると、近赤外光の侵入深さに比べて薄すぎ、受光素子として機能しなくなる虞がある。
【００２４】
（３）ペロブスカイト型複合酸化物が含有、希釈されたペレット
このペレットは、前述した焼結体を粉砕した粉末と希釈材料である非磁性で透明な材料、例えばＳｉＯ2とを混合し、ペレット状に成形し、焼成することにより製造される。
【００２５】
前記ペレットは、１００〜５００μｍの厚さを有することが好ましい。
【００２６】
前記磁化測定手段としては、例えば前記受光素子に磁場を印加、掃引するための磁場印加手段を有する電子スピン共鳴測定器、または前記受光素子の磁化増大を測定するための交流インダクタンスコイル、静磁化測定器等を挙げることができる。
【００２７】
次に、本発明に係る近赤外光の検出装置を図面を参照して説明する。
【００２８】
図１は、受光素子および磁場を印加、掃引するための磁場印加手段を有する電子スピン共鳴測定器を備えた近赤外光の検出装置を示す概略図である。
【００２９】
３つの導波管１1〜１3は、サーキュレータ２を中心にして結合されている。このサーキュレータ２から左側に延びる第１導波管１1には、マイクロ波が導入される。前記サーキュレータ２から下方に延びる第２導波管１2の下端には、透明な空洞共振器３が取り付けられている。前記一般式で表されるペロブスカイト型複合酸化物の粉末が封入された透明なカプセル４（受光素子）は、前記空洞共振器３内に配置されている。前記サーキュレータ２から右側に延びる第３導波管１3には、前記ペロブスカイト型複合酸化物の粉末で吸収されて減衰されたマイクロ波出力を検出する例えばＰＩＮダイオード５が配置されている。電磁石６は、前記空洞共振器３を囲むように配置されている。
【００３０】
なお、前記空洞共振器３内にはペロブスカイト型複合酸化物の粉末が封入された透明なカプセルに代わって、前記（２）で説明したペロブスカイト型複合酸化物の薄膜が成膜された基板、または前記（３）で説明したペロブスカイト型複合酸化物が含有、希釈されたペレットを用いることができる。
【００３１】
次に、前述した図１に示す検出装置の動作を説明する。
【００３２】
マイクロ波を第１導波管１1、サーキュレータ２および第２導波管１2を通して空洞共振器３内に導入する。室温下で近赤外光を前記空洞共振器３内の受光素子であるカプセル４に封入されたペロブスカイト型複合酸化物の粉末に照射する。この時、前記粉末は近赤外光の強度に応じて磁化が大きく増大する。つづいて、電磁石６から磁場を発生すると共に、掃引して適切な磁場に設定することにより共振が生じ、前記ペロブスカイト型複合酸化物の粉末の磁化増加に伴う前記マイクロ波の吸収、その出力の減衰が起こる。この減衰されたマイクロ波は、前記空洞共振器３から第２導波管１2およびサーキュレータ２を通して第３導波管１3に導出され、ここに配置されたＰＩＮダイオード５で電流値（マイクロ波の減衰分、低下した電流値）、つまり電子スピン共鳴（ＥＳＲ）強度を測定する。
【００３３】
このようにＰＩＮダイオード５で測定された電流値（ＥＳＲ強度）は、ペロブスカイト型複合酸化物の粉末への近赤外光の照射に伴う磁化の増加に相関し、この磁化増加は近赤外光の強度に相関するため、前記電流値の測定により前記粉末に照射された近赤外光の強度（室温下での近赤外光の強度）を検出することができる。
【００３４】
図２は、受光素子および交流インダクタンスコイルを備えた近赤外光の検出装置を示す概略図である。
【００３５】
図中の１１は、両端に端子１２ａ、１２ｂを持つ交流インダクタンスコイル（ヘルムホルツ型コイル）である。前記一般式で表されるペロブスカイト型複合酸化物の粉末が封入された透明なカプセル１３は、石英管シールド１４内に収納して受光素子を構成している。このシールド１４は、前記交流インダクタンスコイル１１に挿入される。
【００３６】
なお、受光素子として前記交流インダクタンスコイル１１に挿入されるカプセル収納シールドに代わって、前記（２）で説明したペロブスカイト型複合酸化物の薄膜が成膜された基板、または前記（３）で説明したペロブスカイト型複合酸化物が含有、希釈されたペレットを用いることができる。
【００３７】
次に、前述した図２に示す検出装置の動作を説明する。
【００３８】
カプセル１３が収納されたシールド１４（受光素子）を交流インダクタンスコイル１１の中央部に挿入し、暗状態で前記インダクタンスコイル１１の端子１２ａ、１２ｂ間のインダクタンスがゼロになるように調節する。この後、室温下で近赤外光を前記シールド１４内のカプセル１３に封入されたペロブスカイト型複合酸化物の粉末に照射する。この時、前記粉末は近赤外光の強度に応じて磁化が大きく増大する。このため、前記インダクタンスコイル１１の端子１２ａ、１２ｂ間に前記磁化増大に応じたインダクタンスが生じる。
【００３９】
このように交流インダクタンスコイル１１で測定されたインダクタンスは、ペロブスカイト型複合酸化物の粉末への近赤外光の照射に伴う磁化の増加に相関し、この磁化増加は近赤外光の強度に相関するため、前記インダクタンスの測定により前記粉末に照射された近赤外光の強度（室温下での近赤外光の強度）を検出することができる。
【００４０】
なお、前記インダクタンスコイルは交流の他に、直流インダクタンスコイルを用いてもよい。
【００４１】
以上説明したように本発明の近赤外光の検出装置は、一般式Ｌａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは０＜ｘ＜１を示す）で表されるペロブスカイト型複合酸化物を有する受光素子と、室温での近赤外光の照射において前記受光素子の複合酸化物における磁化の増大を測定するための磁化測定手段とを備える。
【００４２】
このような構成の検出装置は、
（１）前記受光素子が室温下で近赤外光（フォトンエネルギー：１．１７ｅＶ，波長：１．０６μｍ）に対して選択的に磁化増加を生じ、前記磁化測定手段により近赤外光の強度を検出する、室温動作性、近赤外光の波長選択性を有する、（２）近赤外光の強度の増加に対応して光誘起される磁化、つまり光検出信号強度が増大して優れた線形性（リニアリティ）を有する、
（３）近赤外光の照射のオン・オフの繰り返しに対して磁化が可逆的に応答する、優れた可逆的応答性を有する。
【００４３】
したがって、本発明によれば従来の動作温度が５０〜８０Ｋの液体窒素温度である光検出装置のような冷却器が不要になるため、構造が簡素かつ小型で、用途の拡大が可能な低コストの近赤外光の検出装置を実現することができる。
【００４４】
また、高感度、高精度の近赤外光の強度の検出が可能で、さらに信頼性、耐久性の高い近赤外光の検出装置を実現することができる。
【００４５】
【実施例】
以下、本発明の実施例を説明する。
【００４６】
＜Ｌａ0.5Ｐｒ0.5ＣｒＯ3の製造＞
まず、純度がそれぞれ９９．９％以上のＬａ2Ｏ3、Ｐｒ6Ｏ11およびＣｒ2Ｏ3の粉末をＬａ0.5Ｐｒ0.5ＣｒＯ3の組成になるように秤量、混合して混合酸化物粉末を調製する。つづいて、この混合酸化物粉末を４００ｋｇ／ｃｍ2の圧力で直径３．３ｃｍの錠剤状に成形した後、大気中、１１００℃で２４時間仮焼成した。次いで、この仮焼体を粉砕し、再度、直径３．３ｃｍの錠剤状に成形した後、大気中、１３５０℃で２４時間本焼成することにより錠剤状の焼結体を製造した。
【００４７】
得られた焼結体は、Ｘ線回折法によりＬａ0.5Ｐｒ0.5ＣｒＯ3で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物であることが確認された。
【００４８】
（実施例１；ＥＳＲ強度の測定）
Ｘバンドスペクトロメータとしては、ＪＥＯＬ社製商品名のＪＥＳ−ＲＥ−１Ｘを使用した。
【００４９】
近赤外光源としては、アムコ社のレーザモデルＤ−５００のＮｄ−ＹＡＧレーザ（ｈν；１．１７ｅＶ，波長；１．０６μｍ、出力；１３０ｍｅＶ）を使用し、この光路にカプトンフィルタを配置した。
【００５０】
前記焼結体を粉砕した平均粒径５０μｍの粉末４ｍｇをＨｅ流通型クライオスタットに取り付けられた２重の石英チューブシールドを通して空洞共振器内に装填した。
【００５１】
このような構成の装置を用いてＮｄ−ＹＡＧレーザ光（ｈν；１．１７ｅＶ，波長；１．０６μｍ、出力；１３０ｍｅＶ）を１ｍｍ2のフォカスサイズで２１０Ｋ〜室温下にて前記空洞共振器内に装填したＬａ0.5Ｐｒ0.5ＣｒＯ3で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物の粉末に照射すると共に、Ｘバンドスペクトロメータを磁場の変調周波数１００ｋＨｚ、マイクロ波の振幅９．０ＧＨｚの条件で操作し、１００〜５００ｍＴの磁場下でのＥＳＲ強度を測定した。その結果を、図３、図４に示す。なお、図３は磁場とＥＳＲ強度の関係を示し、破線は非照射時、実線は照射時の特性線を示す。図４は、照射雰囲気温度とＥＳＲ強度の関係を示す。
【００５２】
図３、図４から明らかなように本発明の受光素子に用いられるＬａ0.5Ｐｒ0.5ＣｒＯ3で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物は、室温下でのＮｄ−ＹＡＧレーザ光の照射において大きなＥＲＳ強度を取り出せることがわかる。
【００５３】
（実施例２；レーザ光出力変化に対するＥＳＲ強度の変化）
室温の照射雰囲気にてＮｄ−ＹＡＧレーザ光の出力を変化させた以外、前記実施例１と同様な装置、方法によりＥＳＲ強度を測定した。その結果を、図５、図６に示す。なお、図５は磁場とＥＳＲ強度の関係を示し、図６はレーザ出力とＥＳＲ強度の関係を示す。
【００５４】
図５、図６から明らかなように本発明の受光素子に用いられるＬａ0.5Ｐｒ0.5ＣｒＯ3で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物は、室温下でのＮｄ−ＹＡＧレーザ光の照射においてそのレーザ光の出力増加に比例してＥＲＳ強度が大きく増大し、レーザ光（近赤外光）に対して高い線形性（リニアリティ）を有することがわかる。
【００５５】
（実施例３；レーザ光に対する可逆応答性）
＜Ｌａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは０．５≦ｘ≦０．９５を示す）の製造＞まず、純度がそれぞれ９９．９％以上のＬａ2Ｏ3、Ｐｒ6Ｏ11およびＣｒ2Ｏ3の粉末をＬａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは０．５≦ｘ≦０．９５を示す）の組成になるように秤量、混合して５種の混合酸化物粉末を調製する。つづいて、これらの混合酸化物粉末を４００ｋｇ／ｃｍ2の圧力で直径３．３ｃｍの錠剤状に成形した後、大気中、１１００℃で２４時間仮焼成した。次いで、この仮焼体を粉砕し、再度、直径３．３ｃｍの錠剤状に成形した後、大気中、１３５０℃で２４時間本焼成することにより５種の錠剤状の焼結体を製造した。
【００５６】
得られた５種の焼結体は、Ｘ線回折法によりそれぞれＬａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは０．５，０．７，０．７５，０．９，０．９５を示す）で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物であることが確認された。
【００５７】
前記各焼結体を粉砕した平均粒径５０μｍの粉末４ｍｇをＨｅ流通型クライオスタットに取り付けられた２重の石英チューブシールドを通して空洞共振器内に装填し、室温雰囲気にてＮｄ−ＹＡＧレーザ光を５分間オン、２分間オフする間欠的な照射を行なった以外、前記実施例１と同様な装置、方法によりＥＳＲ強度を測定した。その結果を、図７に示す。なお、図７の最下段の波形はＮｄ−ＹＡＧレーザ光の間オン・オフタイミングを示す。
【００５８】
図７から明らかなように本発明の受光素子に用いられる５種のＬａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは、０．５，０．７，０．７５，０．９，０．９５を示す）で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物は、室温下でのＮｄ−ＹＡＧレーザ光の照射時にＥＲＳ強度が増大し、非照射にＥＲＳ強度がゼロになり、高いレーザ光（近赤外光）に対して優れた可逆応答性を示すことがわかる。特に、Ｌａ0.95Ｐｒ0.05ＣｒＯ3で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物は、室温下でのＮｄ−ＹＡＧレーザ光の間欠的な照射においてより一層優れた可逆応答性を示すことがわかる。
【００５９】
＜Ｌａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは０≦ｘ≦１を示す）の製造＞
まず、純度がそれぞれ９９．９％以上のＬａ2Ｏ3、Ｐｒ6Ｏ11およびＣｒ2Ｏ3の粉末をＬａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは０≦ｘ≦１を示す）の組成になるように秤量、混合して１０種の混合酸化物粉末を調製する。つづいて、これらの混合酸化物粉末を４００ｋｇ／ｃｍ2の圧力で直径３．３ｃｍの錠剤状に成形した後、大気中、１１００℃で２４時間仮焼成した。次いで、この仮焼体を粉砕し、再度、直径３．３ｃｍの錠剤状に成形した後、大気中、１３５０℃で２４時間本焼成することにより１０種の錠剤状の焼結体を製造した。
【００６０】
得られた１０種の焼結体は、Ｘ線回折法によりそれぞれＬａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは、０，０．０５、０．１，０．２５，０．３、０．５，０．７，０．７５，０．９，１を示す）で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物であることが確認された。
【００６１】
（実施例４；一般式のｘに依存するＥＳＲ強度の変化）
前記各焼結体を粉砕した平均粒径５０μｍの粉末４ｍｇをＨｅ流通型クライオスタットに取り付けられた２重の石英チューブシールドを通して空洞共振器内に装填し、Ｎｄ−ＹＡＧレーザ光の照射雰囲気を室温にした以外、前記実施例１と同様な装置、方法によりＥＳＲ強度を測定した。その結果を、図８に示す。
【００６２】
図８から明らかなように本発明の受光素子に用いられる一般式Ｌａ1-xＰｒxＣｒＯ3で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物のうちｘが０．５以下（特にｘが０．０５〜０．３）の複合酸化物は、室温下でのＮｄ−ＹＡＧレーザ光の照射においてより大きなＥＲＳ強度を取り出せることがわかる。
【００６３】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、近赤外線を室温下にて高感度、高精度で検出することができ、構造が簡素かつ小型で、さらに高い信頼性、耐久性を有し、以下のような用途に適用可能な低コストの近赤外光の検出装置を提供することができる。
【００６４】
（１）環境計測赤外線域の光を用いる大気・環境計測：地上から近赤外レーザ光を大気に照射し、大気中に存在する微細粒子（雲、霧、大気汚塵）で散乱して戻る光の強度を本発明の検出装置で測定することにより、大気中でのそれら微細粒子の分布状況を観測することができる。
【００６５】
同様に、地上から近赤外レーザ光を大気に照射し、地球温暖化ガスで吸収された後の光の強度を本発明の検出装置で測定することにより、ガス濃度分布を調査することができる。
【００６６】
（２）生命科学、医療・診断、生体計測：近赤外光は動植物の体を透過し易いため、近赤外光を人体等に照射し、透過近赤外光の強度を本発明の検出装置で測定することにより、非侵襲での血液中のヘモクロビン、グルコースの濃度計測や人体の光透視画像を診断することができる。
【００６７】
（３）その他、軍事、防衛等の近赤外線ノセンシングを必要とする分野に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る近赤外光の検出装置を示す概略図。
【図２】  本発明に係る別の近赤外光の検出装置を示す概略図。
【図３】  本発明の実施例１の受光素子に用いられるＬａ0.5Ｐｒ0.5ＣｒＯ3で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物における磁場とＥＳＲ強度の関係を示す特性図。
【図４】  本発明の実施例１の受光素子に用いられるＬａ0.5Ｐｒ0.5ＣｒＯ3で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物における照射雰囲気温度とＥＳＲ強度の関係を示す特性図。
【図５】  本発明の実施例２の受光素子に用いられるＬａ0.5Ｐｒ0.5ＣｒＯ3で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物における磁場とＥＳＲ強度の関係を示す特性図。
【図６】  本発明の実施例２の受光素子に用いられるＬａ0.5Ｐｒ0.5ＣｒＯ3で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物におけるレーザ出力とＥＳＲ強度の関係を示す特性図。
【図７】  本発明の実施例３の受光素子に用いられる５種のＬａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘ＝０．５，０．７，０．７５，０．９，０．９５を示す）で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物におけるＮｄ−ＹＡＧレーザ光に対する応答性を示す特性図。
【図８】  本発明の実施例４のＬａ1-xＰｒxＣｒＯ3（ただしｘは０≦ｘ≦１を示す）で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物における組成とＥＳＲ強度の関係を示す特性図。
【符号の説明】
１1〜１3…導波管、２…サーキュレータ、３…空洞共振器、４…カプセル（受光素子）、５…ＰＩＮダイオード、６…電磁石、１１…交流インダクタンスコイル、１３…カプセル、１４…石英管シールド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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