(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液を循環させる液循環回路において液中に混入された気泡を除去するための液循環回路用エアートラップであって、
液循環回路内に配置され、略円筒形状の内周面を有するとともに、頂部に内部に液を導入するための液注入口と液中に混入した気泡を外部に排出するためのエアー抜き口と備え、底部に内部に導入された液を排出するための液排出口を備え、前記液注入口から液が導入されるとともに前記液排出口から導入された液が排出され、前記エアー抜き口から内部に導入された液中に混入した気泡が外部に排出されるチャンバーと、
前記チャンバー内において前記液注入口と連通して配設されるとともに、前記チャンバー内に開口した排出口を備えた液注入管と、
前記チャンバー内の下部に配設された整流板と
を有し、
前記液注入管の前記排出口は、前記排出口の近傍に位置する前記チャンバーの内周面の円周方向に沿って向けられて配置されており、
前記整流板は、複数の貫通孔を形成した略平板状よりなり、
前記液循環回路内の液は、前記液注入口から前記液注入管内に導入され、前記液注入管の前記排出口から前記チャンバーの前記内周面の円周方向に沿って前記チャンバー内に流し入れられて、前記チャンバーの前記内周面の円周方向に渦流れを発生し、前記整流板に形成された前記貫通孔を通過して前記チャンバーの前記液排出口へ移動し、液を排出する際の液の巻き込みを抑止する
ことを特徴とする液循環回路用エアートラップ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液循環回路用エアートラップに関し、さらに詳細には、洗浄槽へ注入する洗浄液などを循環させて使用する液循環回路において、液中の気泡を除去するための液循環回路用エアートラップに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体ウエハや磁気ディスクなどのような電子部品を洗浄槽において洗浄する際には、当該洗浄槽に注入する洗浄液を循環させて使用するようにしていた。
【０００３】
即ち、洗浄液を循環させる液循環回路内に洗浄槽を組み込み、洗浄液をリサイクルして使用するようになされていた。
【０００４】
ところで、こうした液循環回路においては、洗浄液などの液（以下、単に「液」と称する。）の循環に伴い発生される気泡の存在が問題となっており、こうした液循環回路内に発生した気泡を除去する必要があり、この種の液循環回路として、例えば、図１に示すような液循環回路が提案されている。
【０００５】
図１には、液循環回路内に発生した気泡を、フィルター・ハウジングのエアー抜き口を用いて除去するようにした液循環回路が示されている。
【０００６】
この液循環回路は、液循環回路内に、液を循環させるためのポンプ１０と、フィルター・ユニット１２と、洗浄槽１４とを有して構成されており、液はポンプ１０の作用により、ポンプ１０→フィルター・ユニット１２→洗浄槽１４→ポンプ１０・・・というような順番で循環するようになされている。
【０００７】
ここで、フィルター・ユニット１２は、内部に濾過フィルター１６を収容したフィルター・ハウジング１８を備えており、このフィルター・ハウジング１８には、フィルター・ハウジング１８内に液を導入して当該液を濾過フィルター１６に通過させるための液注入口２０と、濾過フィルター１６を通過して濾過された液をフィルター・ハウジング１８から外部へ排出するための液排出口２２と、液循環回路内で発生した気泡を外部へ排出するためのエアー抜き口２４とが形成されている。
【０００８】
以上の構成において、ポンプ１０の作用により液注入口２０からフィルター・ハウジング１８内に導入された液は、濾過フィルター１６を通過した後に、液排出口２２から排出される。
【０００９】
このとき、液中に混入している気泡は、エアー抜き口２４から液循環回路の外部に排出されることになる。
【００１０】
しかしながら、図１に示す液循環回路にあっては、液中に混入している気泡が、エアー抜き口２４に到達する前に濾過フィルター１６に取り込まれると、濾過フィルター１６の内部に気泡が堆積し、濾過フィルター１６の目詰まりを生じさせるという問題点があった。
【００１１】
即ち、図１に示す液循環回路においては、液循環回路内の気泡の除去は、フィルター・ハウジング１８のエアー抜き口２４で行うようになされている。
【００１２】
ところが、フィルター・ハウジング１８内に配設される濾過フィルター１６としては、現在は一般的にフッ素樹脂製のものが用いられており、フッ素樹脂製の濾過フィルターは、空気に触れると乾燥して目詰まりを起こして液を通さなくなるため、液循環回路内に気泡が存在すると徐々に目詰まりが進行し、液循環回路内の流量が低下したり、濾過フィルターの寿命が短くなるという問題点があった。
【００１３】
このため、液が濾過フィルターに導入される前に気泡を除去することが必要になり、液が濾過フィルターに導入される前に気泡を除去するための液循環回路として、例えば、図２に示す液循環回路が提案されている。
【００１４】
図２に示す液循環回路は、液循環回路内に濾過フィルターとは別途に気泡除去用のフィルター・ハウジングを設けるようにしたものである。
【００１５】
なお、図２において、図１に示す構成と同一あるいは相当する構成には、図１において用いた符号と同一の符号を付して示すことにより、その詳細な説明は省略する。
【００１６】
図２に示す液循環回路は、液循環回路内に、ポンプ１０と、気泡除去用フィルター・ハウジング１８’と、フィルター・ユニット１２と、洗浄槽１４とを有して構成されており、液はポンプ１０の作用により、ポンプ１０→気泡除去用フィルター・ハウジング１８’→フィルター・ユニット１２→洗浄槽１４→ポンプ１０・・・という順番で循環するようになされている。
【００１７】
ここで、気泡除去用フィルター・ハウジング１８’には、上記したフィルター・ハウジング１８と同様に、気泡除去用フィルター・ハウジング１８’内に液を導入するための液注入口２０’と、気泡除去用フィルター・ハウジング１８’内の液を気泡除去用フィルター・ハウジング１８’から外部へ排出するための液排出口２２’と、液循環回路内で発生した気泡を外部へ排出するためのエアー抜き口２４’とが形成されている
以上の構成において、ポンプ１０の作用により液循環回路内を循環している液は、フィルター・ユニット１２内へ導入される前に気泡除去用フィルター・ハウジング１８’内へ導入されることになり、液注入口２０’から気泡除去用フィルター・ハウジング１８’内に導入された液中に混入している気泡は、エアー抜き口２４’から液循環回路の外部に排出されることになる。
【００１８】
従って、液循環回路内の気泡は、濾過フィルター（図２おいては図示を省略した。詳細については、図１を参照する。）を備えたフィルター・ユニット１２に到達する前に、液循環回路の外部に排出されることになる。
【００１９】
ここで、液注入口２０’から気泡除去用フィルター・ハウジング１８’内に入った液は、液注入口２０’の近傍に位置する液排出口２２’から排出されることになる。
【００２０】
しかしながら、気泡除去用フィルター・ハウジング１８’においては、液注入口２０’と液排出口２２’とが隣接して配置されるため、液排出口近傍での液の巻き込みが生じて気泡を再混入しやすいという問題点を生じさせるとともに、気泡除去用フィルター・ハウジング１８’は大型のために、不要な液溜まりが形成されるという問題点も生じさせるものであった。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記したような従来の技術の有する種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、液循環回路内において濾過フィルターとは別体として構成されていて、液が濾過フィルターに導入される前に液中に混入された気泡を除去することを可能にした液循環回路用エアートラップを提供しようとするものである。
【００２２】
また、本発明の目的とするところは、液の巻き込みによる気泡の再混入を防止するようにした液循環回路用エアートラップを提供しようとするものである。
【００２３】
さらに、本発明の目的とするところは、不要な液溜まりを形成する必要のない液循環回路用エアートラップを提供しようとするものである。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、液を循環させる液循環回路において液中に混入された気泡を除去するための液循環回路用エアートラップであって、液循環回路内に配置され、略円筒形状の内周面を有するとともに、頂部に内部に液を導入するための液注入口と液中に混入した気泡を外部に排出するためのエアー抜き口と備え、底部に内部に導入された液を排出するための液排出口を備え、上記液注入口から液が導入されるとともに上記液排出口から導入された液が排出され、上記エアー抜き口から内部に導入された液中に混入した気泡が外部に排出されるチャンバーと、上記チャンバー内において上記液注入口と連通して配設されるとともに、上記チャンバー内に開口した排出口を備えた液注入管と、上記チャンバー内の下部に配設された整流板とを有し、上記液注入管の上記排出口は、上記排出口の近傍に位置する上記チャンバーの内周面の円周方向に沿って向けられて配置されており、上記整流板は、複数の貫通孔を形成した略平板状よりなり、上記液循環回路内の液は、上記液注入口から上記液注入管内に導入され、上記液注入管の上記排出口から上記チャンバーの上記内周面の円周方向に沿って上記チャンバー内に流し入れられて、上記チャンバーの上記内周面の円周方向に渦流れを発生し、上記整流板に形成された上記貫通孔を通過して上記チャンバーの上記液排出口へ移動し、液を排出する際の液の巻き込みを抑止するようにしたものである。
【００２５】
従って、本発明によれば、液循環回路用エアートラップは濾過フィルターとは別体として構成することができ、液が濾過フィルターに導入される前に液循環回路用エアートラップによって液中に混入された気泡を除去することが可能となる。また、チャンバー内において液の渦流れが効率よく確実に発生されるので、チャンバーを大型化することなしに、液がチャンバー内を通過する通過時間、即ち、液中に混入している気泡を除去可能な時間を長くすることが可能となるので、不要な液溜まりを設ける必要なしに、液中に混入している気泡をより一層確実に除去することができるようになる。
【００２９】
また、本発明によれば、チャンバー内に液を導入するための液注入口はチャンバーの頂部に形成され、一方、チャンバー内の液を排出するための液排出口はチャンバーの底部に形成され、液注入口と液排出口とが離隔して形成されているため、液排出口近傍での液の巻き込みが防止されて、液排出口近傍での液の巻き込みによる気泡の再混入を防止することができる。
【００３１】
また、本発明によれば、整流板によって、液排出口近傍での液の巻き込みによる気泡の再混入を一層確実に防止することができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて、本発明による液循環回路用エアートラップの実施の形態の一例を詳細に説明するものとする。
【００３３】
図３には本発明による液循環回路用エアートラップの実施の形態の一例の概略断面構成説明図が示されており、図４には液循環回路内に本発明による液循環回路用エアートラップを組み込んだ図１ならびに図２に対応する液循環回路図が示されている。
【００３４】
なお、図４において、図１または図２に示す構成と同一あるいは相当する構成には、図１または図２において用いた符号と同一の符号を付して示すことにより、その詳細な説明は省略する
ここで、図３ならびに図４に示す本発明による液循環回路用エアートラップ１００は、図３ならびに図４から明らかなように、フィルター・ユニット１２とは別体に構成されている。従って、液循環回路用エアートラップ１００は液循環回路内のいずれの位置にも配設することができるものであり、当然のことながら液が濾過フィルターに導入される前の位置、即ち、液循環路内における濾過フィルターを備えたフィルター・ユニット１２の前に配設することができる。
【００３５】
以下に、図３ならびに図４を参照しながら、本発明による液循環回路用エアートラップ１００を詳細に説明すると、液循環回路用エアートラップ１００は、上面１０２ａおよび底面１０２ｂが閉塞された略円筒形状の本体１０２を備えており、この本体１０２の内周面１０２ｃも略円筒形状に形成されていて、本体１０２内には略円筒形状の内周面１０２ｃにより囲まれた小型のチャンバー１０４が形成されることになる。
【００３６】
そして、本体１０２の上面１０２ａには、チャンバー１０４内に液を導入するための液注入口１０６が形成されているとともに、液注入口１０６のチャンバー１０４側には液注入管１０８が取り付けられている。
【００３７】
従って、液注入口１０６および液注入管１０８を介して、チャンバー１０４は外部と連通されることになる。
【００３８】
また、本体１０２の上面１０２ａには、チャンバー１０４と外部と連通するエアー抜き口１１０も形成されている。
【００３９】
さらに、本体１０２の底面１０２ｂには、チャンバー１０４から液を排出するための液排出口１１２が形成されている。
【００４０】
さらにまた、チャンバー１０４内の下方部位には、略平板状の整流板１１４が形成されている。この整流板１１４には、複数の貫通孔１１４ａが形成されており、液が貫通孔１１４ａを介して整流板１１２を通過することができるようになされている。
【００４１】
ここで、液注入管１０８は、液注入口１０６から垂設された第一部材１０８ａと、第一部材から略９０度屈曲された第二部材１０８ｂとより構成されており、第二部材１０８ｂの排出口１０８ｃは、近傍の内周面１０２ｃに向けられている。
【００４２】
従って、液注入口１０４から導入された液は、液注入管１０８の第二部材１０８ｂの排出口１０８ｃを介して、本体１０２の内周面１０２ｃの円周方向に沿ってチャンバー１０４内に流し入れられることになる。
【００４３】
以上の構成において、図４に示すように液循環回路用エアートラップ１００を液循環回路内に組み込むと、ポンプ１０の作用により液循環回路内を循環している液は、ポンプ１０→液循環回路用エアートラップ１００→フィルター・ユニット１２→洗浄槽１４→ポンプ１０・・・という順番で循環するようになされている。即ち、液循環回路内を循環している液は、フィルター・ユニット１２内へ導入される前に液循環回路用エアートラップ１００内へ導入されることになる。
【００４４】
ここで、液注入口１０６に到達した液は、液注入口１０６から液注入管１０８の第一部材１０８ａ内に導入され、さらに第二部材１０８ｂの排出口１０８ｃを介して本体１０２の内周面１０２ｃの円周方向に沿ってチャンバー１０４内に流し入れられることになる。このため、チャンバー１０４内に流し入れられた液は、内周面１０２ｃの円周方向に渦流れを形成し、徐々に重力方向、即ち、チャンバー１０４の下方へ淀みなく流れていくものである。この際に、チャンバー１０４内に導入された液中に混入している気泡は、チャンバー１０４の上部に溜まり、エアー抜き口１１０から液循環回路の外部に排出されることになる。
【００４５】
このように、液循環回路用エアートラップ１００においては、チャンバー１０４内に流し入れられた液は渦流れを形成し、徐々にチャンバー１０４の下方へ流れていくものであるので、チャンバー１０４を大型化することなく液がチャンバー１０４内を通過する通過時間、即ち、液中に混入している気泡を除去可能な時間を長くすることが可能となる。
【００４６】
従って、不要な液溜まりを形成することなしに、液がフィルター・ユニット１２の濾過フィルターに導入される前に、液中に混入している気泡をより一層確実に除去することができるようになり、液中の気泡を除去された液がフィルター・ユニット１２へ導入されることになる。
【００４７】
さらに、液がチャンバー１０４の下方へ流れていく際に整流板１１４の貫通孔１１４ａを通過することになるが、液が整流板１１４の貫通孔１１４ａを通過することにより、液排出口１１２近傍での液の巻き込みが押さえられ、気泡の再混入を防止することができる。
【００４８】
即ち、液循環回路用エアートラップ１００によれば、液循環回路用エアートラップ１００は濾過フィルターとは別体として構成されているので、液が濾過フィルターに導入される前に液循環回路用エアートラップ１００によって液中に混入された気泡を除去することができ、気泡による濾過フィルターの短寿命化を防止することができる。
【００４９】
さらには、チャンバー１０４内において液の渦流れを生成するようにして、チャンバー１０４を大型化することなしに、液がチャンバー１０４内を通過する通過時間、即ち、液中に混入している気泡を除去可能な時間を長くすることが可能となるので、不要な液溜まりを設ける必要なしに、液中に混入している気泡をより一層確実に除去することができるようになる。
【００５０】
また、チャンバー１０４内に液を導入するための液注入口１０６は本体１０２の上面１０２ａに設けられ、チャンバー１０４内の液を排出するための液排出口１１２は本体１０２の底面１０２ｂに設けられいて、液注入口１０６と液排出口１１２とが離隔して設けられているため、液排出口１１２近傍での液の巻き込みが防止されて、液排出口１１２近傍での液の巻き込みによる気泡の再混入を防止することができるものである。
【００５１】
さらにチャンバー１０４内に整流板１１４が設けられているので、整流板１１４によって、液排出口１１２近傍での液の巻き込みによる気泡の再混入を一層確実に防止することができるものである。
【００５２】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、液循環回路内において濾過フィルターとは別体として構成することができ、液が濾過フィルターに導入される前に液中に混入された気泡を除去することを可能になるという優れた効果を奏する。
【００５３】
また、本発明は、以上説明したように構成されているので、液の巻き込みによる気泡の再混入を防止することが可能となるという優れた効果を奏する。
【００５４】
また、本発明は、以上説明したように構成されているので、不要な液溜まりを形成する必要がないという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の液循環回路における液中に混入した気泡の除去方法を示す概念構成説明図である。
【図２】従来の液循環回路における液中に混入した気泡の除去方法を示す概念構成説明図である。
【図３】本発明による液循環回路用エアートラップの実施の形態の一例の概略断面構成説明図である。
【図４】液循環回路中に本発明による液循環回路用エアートラップを組み込んだ図１ならびに図２に対応する液循環回路の概念構成説明図である。
【符号の説明】
１０                ポンプ
１２                フィルター・ユニット
１４                洗浄槽
１００                液循環回路用エアートラップ
１０２                本体
１０２ａ              上面
１０２ｂ              底面
１０２ｃ              内周面
１０４                チャンバー
１０６                液注入口
１０８                液注入管
１０８ａ              第一部材
１０８ｂ              第二部材
１０８ｃ              排出口
１１０                エアー抜き口
１１２                液排出口
１１４                整流板
１１４ａ              貫通孔
【図１】
0003607081.tif 000002
【図２】
0003607081.tif 000003
【図３】
0003607081.tif 000004
【図４】
0003607081.tif 000005