(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを１枚ずつ分離するフレーム分離手段を備えたリードフレームの分離搬送装置において、前記フレーム分離手段は、幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを支持するフレームガイドと、このフレームガイドに沿って送られるリードフレーム送り方向におけるフレームガイドの前方側の上方に配設され、リードフレームを吊り下げるように支持し、上方に傾斜した分離部を有するフレーム吊り下げガイドと、前記フレームガイドに整列されたリードフレームの前記リードフレーム送り方向の後方側を押圧するフレームプッシャと、このフレームプッシャを移動させる駆動手段とからなることを特徴とするリードフレームの分離搬送装置。
【請求項２】
幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを１枚ずつ分離するフレーム分離手段を備えたリードフレームの分離搬送装置において、前記フレーム分離手段は、幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを支持するフレームガイドと、このフレームガイドに沿って送られるリードフレーム送り方向におけるフレームガイドの前方側の上方に配設され、リードフレームを吊り下げるように支持し、上方に傾斜した分離部を有するフレーム吊り下げガイドと、前記フレームガイドに整列されたリードフレームの前記リードフレーム送り方向の後方側を押圧するフレームプッシャと、このフレームプッシャを移動させる駆動手段とからなり、前記フレーム分離手段のフレーム吊り下げガイドの分離部で分離されたリードフレームを１枚ずつチャックして搬送するクランプ搬送手段を備えたことを特徴とするリードフレームの分離搬送装置。
【請求項３】
幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを１枚ずつ分離するフレーム分離手段を備えたリードフレームの分離搬送装置において、前記フレーム分離手段は、幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを支持するフレームガイドと、このフレームガイドに沿って送られるリードフレーム送り方向におけるフレームガイドの前方側の上方に配設され、リードフレームを吊り下げるように支持し、上方に傾斜した分離部を有するフレーム吊り下げガイドと、前記フレームガイドに整列されたリードフレームの前記リードフレーム送り方向の後方側を押圧するフレームプッシャと、このフレームプッシャを移動させる駆動手段とからなり、リードフレームをボンディング位置に案内するガイドレールのレール支持台には、リードフレームを受け取って前記ガイドレールに載置する受渡し手段が設けられ、前記フレーム分離手段のフレーム吊り下げガイドの分離部で分離されたリードフレームを１枚ずつチャックして搬送し、前記受渡し手段に受け渡すクランプ搬送手段を備えたことを特徴とするリードフレームの分離搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置用リードフレームの分離搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
リードフレーム等の板状ワークを多数収納する方式として、次の２つの方式が知られている。
【０００３】
第１は、板状ワークを横にして積み重ねて収納する横置き方式（積み上げ方式）で、この方式には、また積み重ねられた板状ワークの最上位のものから分離する最上位分離方式と、積み重ねられた板状ワークの最下位のものから分離する最下位分離方式とが知られている。最上位分離方式としては、例えば実公昭６３−４２５２９号公報が挙げられ、最下位分離方式としては、例えば特公平６−７６１４６号公報が挙げられる。またこの方式においては、リードフレームを階段状にずれて重ねることにより、リードフレーム同志が離れずに繋がってしまうことを防止し、確実に１枚ずつ分離できるようにしている。
【０００４】
第２は、板状ワークの幅方向を垂直にして搬送方向に整列させる縦置き方式で、例えば実開昭５８−２０２３０号公報があげられる。この方式は、傾斜した台座に板状ワークをの幅方向を垂直にして搬送方向に整列させ、整列された板状ワークの後方側を傾斜スライダで押圧することにより、ベルトコンベア上に１枚ずつ落下させている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
横置き方式（積み上げ方式）は、積み重ねられた板状ワーク全体の重量が下方部に集中するので、板状ワークを支持する部品は強度のある部品を使用する必要があり、装置コストがアップする。またこの内で特に最下位分離方式は、爪等の部品が故障した時、また形状不良の板状ワークが混入していると、板状ワークを一度全部除去しなければならない。
【０００６】
この点、縦置き方式は、不良板状ワーク等の除去が容易である。しかし、傾斜した台座上を滑らすのみであるので、密着した板状ワーク同志が離れないことが生じる。また板状ワークを傾斜スライダで押す際、板状ワークの底面と台座の表面が擦れて摩擦抵抗が発生する。この摩擦抵抗と板状ワークの傾斜による重量を合わせた力以上の駆動力で板状ワークを押す駆動手段が必要であり、やはり装置コストがアップする。
【０００７】
また台座上の板状ワークをベルトコンベア上に落下させ、該板状ワークをベルトコンベアで搬送する際、該板状ワークの端部が台座上の板状ワークに接触しながらベルトコンベア上に落下されるので、板状ワークに傷が付く。また台座上の板状ワークは、傾斜スライダで押されてベルトコンベア上に落下するが、板状ワークの落下は該板状ワークの重量による自然落下であるので、板状ワークが２枚以上続けて落下する恐れがある。また前記したように重力による自然落下であるので、板状ワークの形状は平らで突起のないものに限られる。
【０００８】
本発明の第１の課題は、リードフレームを確実に１枚ずつ分離させることができ、またリードフレームを押す駆動力が小さくて装置コストの低減が図れるリードフレームの分離搬送装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の第２の課題は、平らで突起の無いリードフレームは勿論のこと、突起のある変形リードフレームも分離が容易に行なえるリードフレームの分離搬送装置を提供することにある。
【００１０】
本発明の第３の課題は、リードフレームの表面に傷を付けることがなく、またリードフレームを確実に１枚ずつ搬送できるリードフレームの分離搬送装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記第１及び第２の課題を解決するための本発明の第１の手段は、幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを１枚ずつ分離するフレーム分離手段を備えたリードフレームの分離搬送装置において、前記フレーム分離手段は、幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを支持するフレームガイドと、このフレームガイドに沿って送られるリードフレーム送り方向におけるフレームガイドの前方側の上方に配設され、リードフレームを吊り下げるように支持し、上方に傾斜した分離部を有するフレーム吊り下げガイドと、前記フレームガイドに整列されたリードフレームの前記リードフレーム送り方向の後方側を押圧するフレームプッシャと、このフレームプッシャを移動させる駆動手段とからなることを特徴とする。
【００１２】
上記第１乃至第３の課題を解決するための本発明の第２の手段は、幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを１枚ずつ分離するフレーム分離手段を備えたリードフレームの分離搬送装置において、前記フレーム分離手段は、幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを支持するフレームガイドと、このフレームガイドに沿って送られるリードフレーム送り方向におけるフレームガイドの前方側の上方に配設され、リードフレームを吊り下げるように支持し、上方に傾斜した分離部を有するフレーム吊り下げガイドと、前記フレームガイドに整列されたリードフレームの前記リードフレーム送り方向の後方側を押圧するフレームプッシャと、このフレームプッシャを移動させる駆動手段とからなり、前記フレーム分離手段のフレーム吊り下げガイドの分離部で分離されたリードフレームを１枚ずつチャックして搬送するクランプ搬送手段を備えたことを特徴とする。
【００１３】
上記第１乃至第３の課題を解決するための本発明の第３の手段は、幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを１枚ずつ分離するフレーム分離手段を備えたリードフレームの分離搬送装置において、前記フレーム分離手段は、幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを支持するフレームガイドと、このフレームガイドに沿って送られるリードフレーム送り方向におけるフレームガイドの前方側の上方に配設され、リードフレームを吊り下げるように支持し、上方に傾斜した分離部を有するフレーム吊り下げガイドと、前記フレームガイドに整列されたリードフレームの前記リードフレーム送り方向の後方側を押圧するフレームプッシャと、このフレームプッシャを移動させる駆動手段とからなり、リードフレームをボンディング位置に案内するガイドレールのレール支持台には、リードフレームを受け取って前記ガイドレールに載置する受渡し手段が設けられ、前記フレーム分離手段のフレーム吊り下げガイドの分離部で分離されたリードフレームを１枚ずつチャックして搬送し、前記受渡し手段に受け渡すクランプ搬送手段を備えたことを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１乃至図３により説明する。本実施の形態は、図１に示すように、リードフレーム１（１Ａ、１Ｂ・・・）を分離するフレーム分離手段１０と、リードフレーム１を図示しないボンディング位置へ案内するガイドレール２にリードフレーム１を載置する受渡し手段３５と、フレーム分離手段１０で分離されたリードフレーム１をクランプして受渡し手段３５に受け渡すクランプ搬送手段４０とから構成されている。リードフレーム１は、図３に示すように、複数個の溝１ａで分割されてアイランド部１ｂが形成され、また両側面の上方には突出部１ｃが形成されている。またアイランド部１ｂはベース部１ｄより突出している。
【００１５】
まず、フレーム分離手段１０の構造について説明する。フレーム分離手段１０は、ガイドレール２の側方に配設されており、相対向して配設された２個の支持板１１、１２上には、基板１３が固定されている。支持板１１、１２には雄ねじ軸１４が回転自在に支承され、雄ねじ軸１４にはプーリ１５が固定されている。また支持板１１に固定されたモータ取付け台１６には、モータ１７が固定されている。モータ１７の出力軸にはプーリ１８が固定され、プーリ１５、１８にはベルト１９が掛けられている。前記雄ねじ軸１４には雌ねじブロック２０が螺合している。基板１３上にはフレームプッシャ２１が配設され、フレームプッシャ２１の下端は、雄ねじ軸１４に対応して基板１３に設けられた長穴を通して下方に突出し、雌ねじブロック２０に固定されている。
【００１６】
基板１３上には、２個のフレームガイド２５が前記雄ねじ軸１４の軸方向と平行に配設されて基板１３に固定されており、フレームガイド２５は、アイランド部１ｂを下方にしてリードフレーム１を縦にした場合の該リードフレーム１の溝１ａの上面を支持する。フレームガイド２５に沿ってフレームプッシャ２１によって送られるリードフレーム１の送り方向（Ａ方向）の前方側の上方には、リードフレーム１の両側面の突出部１ｃの下面を支持する２個のフレーム吊り下げガイド２６が対向して配設され、フレーム吊り下げガイド２６は基板１３に固定された側板２７に固定されている。フレーム吊り下げガイド２６の上面は、リードフレーム１の送り方向から見て、上方に傾斜したガイド部２６ａ、水平部２６ｂ、上方に傾斜した分離部２６ｃ、水平部２６ｄとからなっている。
【００１７】
次に受渡し手段３５の構造について説明する。ガイドレール２のフレーム分離手段１０側には、クランプ搬送手段４０よりリードフレーム１を受け取ってガイドレール２に受渡しする受渡し台３６が支軸３７を介して回転自在に支承されている。ここで、ガイドレール２には、受渡し台３６のリードフレーム支持部がガイドレール２を通過できるように溝が形成されている。受渡し台３６の一端には、受渡し台用シリンダ３８の作動ロッドに回転自在に支承され、受渡し台用シリンダ３８は、ガイドレール２を支持するレール支持台３に回転自在に取付けられている。
【００１８】
最後にクランプ搬送手段４０の構造について説明する。ガイドレール２の上方には、装置の図示しない固定部に固定された２個のレール４１が平行に上下に配設されており、このレール４１に沿って水平移動可能に水平移動板４２が設けられている。水平移動板４２には第１の水平移動用シリンダ４３が固定され、第１の水平移動用シリンダ４３の作動ロッドには装置の固定部に固定された第２の水平移動用シリンダ４４の作動ロッドが連結されている。水平移動板４２には、クランプ台４５がやや垂直で下方がフレーム吊り下げガイド２６側に傾斜した状態で固定されている。クランプ台４５の上面には、上下動板４６がクランプ台４５に沿って上下動可能に配設されており、上下動板４６の下面には、クランプ台４５に上下に設けられた長穴を貫通した作動板４７が固定されている。作動板４７には、クランプ台４５の上方下面に固定された上下動用シリンダ４８の作動ロッドが連結されている。
【００１９】
上下動板４６の上面には、図２に示すように、中央上方部にホールド用シリンダ５０が固定され、ホールド用シリンダ５０の作動ロッドには、リードフレーム１の上端を押さえるホールド５１が取付けられている。ホールド用シリンダ５０の両側には、クランプ開閉用シリンダ５２が固定されている。クランプ開閉用シリンダ５２の作動ロッドには、一対のクランプアーム５３、５４に作用するローラ５５が回転自在に取付けられている。クランプアーム５３、５４は、上方が上下動板４６に支軸５６を介して回転自在に支承され、下端にはリードフレーム１のアイランド部１ｂの下端に係合する爪部アーム５３ａ、５４ａが形成されている。クランプアーム５３、５４はばね５７で閉じる方向に付勢され、クランプアーム５３、５４の開き量は偏心ストッパ５８で規制されている。
【００２０】
爪部アーム５３ａ、５４ａ付近にはリードフレーム１の下方部を感知する２個のセンサ６０と、リードフレーム１の上方部を感知する１個のセンサ６１とが配設されている。センサ６０、６１は前記上下動板４６の傾斜面に固定されている。
【００２１】
次に作動について説明する。水平移動板４２は実線で示すフレーム受け取り位置６５にある。フレームプッシャ２１とフレーム吊り下げガイド２６間のフレームガイド２５上に幅方向を垂直にして多数のリードフレーム１Ａを置く。そして、図示しないスタートボタンを押すと、モータ１７が回転し、プーリ１８、ベルト１９及びプーリ１５を介して雄ねじ軸１４が回転する。これにより雌ねじブロック２０及びフレームプッシャ２１が矢印Ａ方向に移動し、リードフレーム１Ａをフレーム吊り下げガイド２６の方向に押す。
【００２２】
フレーム吊り下げガイド２６のガイド部２６ａに送られたリードフレーム１Ｂは、ガイド部２６ａにガイドされて持ち上げられて水平部２６ｂに送られ、吊り下げられる。なお、ガイド部２６ａのリードフレーム１Ｂ及び水平部２６ｂのリードフレーム１Ｃは間隔を置いて図示したが、実際は密着した状態にある。水平部２６ｂに吊り下げられたリードフレーム１Ｃは、分離部２６ｃの上昇傾斜部分で１枚ずつに分離され、水平部２６ｄに送られた後に先頭のリードフレーム１Ｄがクランプアーム５３、５４に押し付けられてセンサ６０、６１が作動する。この時のセンサ６０、６１の信号により、モータ１７は停止すると同時に、クランプ開閉用シリンダ５２が作動し、続いてホールド用シリンダ５０が作動する。
【００２３】
クランプ開閉用シリンダ５２は、該クランプ開閉用シリンダ５２の作動ロッドが引っ込むように作動する。ホールド用シリンダ５０は、該ホールド用シリンダ５０の作動ロッドが突出するように作動する。クランプ開閉用シリンダ５２の作動ロッドが引っ込むと、クランプアーム５３、５４の爪部５３ａ、５４ａがばね５７の付勢力で閉じ、リードフレーム１Ｄのアイランド部１ｂを挟持する。ホールド用シリンダ５０の作動ロッドが突出すると、ホールド５１はリードフレーム１Ｄの頭頂部１ｅを押してリードフレーム１Ｄをクランプアーム５３、５４の爪部アーム５３ａ、５４ａに押し付けて保持する。即ち、クランプアーム５３、５４とホールド５１でリードフレーム１Ｄをクランプする。
【００２４】
その後、水平移動用シリンダ４４の作動ロッドが突出し、水平移動板４２はフレーム受け取り位置６５からフレーム渡し前位置６６に移動する。即ち、クランプアーム５３、５４及びホールド５１にクランプされているリードフレーム１Ｄは、立てられた状態の受渡し台３６の僅かに前方に位置する。続いてホールド用シリンダ５０の作動ロッドが引っ込み、クランプ開閉用シリンダ５２の作動ロッドが突出する。これにより、ホールド５１及びクランプアーム５３、５４はリードフレーム１Ｄを開放する。
【００２５】
続いて、水平移動用シリンダ４３の作動ロッドが突出し、水平移動板４２はフレーム渡し後位置６７に移動する。この時、リードフレーム１Ｄは受渡し台３６に渡される。次に受渡し台用シリンダ３８の作動ロッドが突出し、受渡し台３６は矢印Ｂ方向に回動してガイドレール２上にリードフレーム１Ｄを載置し、受渡し台３６はガイドレール２の溝部よりやや下方で停止する。これにより、リードフレーム１Ｄはガイドレール２に供給される。そして、ガイドレール２上のリードフレーム１Ｅが図示しない送り手段で送られた後、受渡し台用シリンダ３８の作動ロッドが引っ込み、受渡し台３６は元の図示の位置に戻る。
【００２６】
前記したようにフレーム渡し後位置６７に移動した水平移動板４２は、その後上下動用シリンダ４８の作動ロッドが引っ込み、上下動板４６、即ちホールド５１及びクランプアーム５３、５４は上昇する。続いて水平移動用シリンダ４３の作動ロッドと水平移動用シリンダ４４の作動ロッドが引っ込み、水平移動板４２は元の実線で示すフレーム受け取り位置６５に移動して戻る。その後、上下動用シリンダ４８の作動ロッドが突出して上下動板４６が下降し、ホールド５１及びクランプアーム５３、５４はフレーム吊り下げガイド２６の水平部２６ｄにある先頭のリードフレーム１をクランプする位置に位置する。次にモータ１７が回転してリードフレーム１をセンサ６０、６１に近接させる。以後、前記した動作を繰り返す。
【００２７】
このように、リードフレーム１をフレーム吊り下げガイド２６で吊り下げ、この吊り下げられた状態のリードフレーム１をフレーム吊り下げガイド２６の分離部２６ｃで分離するので、リードフレーム１を確実に１枚ずつ分離させることができ、またリードフレーム１を押す駆動力が小さくて装置コストの低減が図れる。また突起のある変形リードフレームについて説明したが、突起の無い平らなリードフレームの分離も容易に行なえることは勿論である。
【００２８】
更にフレーム吊り下げガイド２６の分離部２６ｃで分離されたリードフレーム１は、クランプ搬送手段４０で１枚ずつチャックして搬送するので、リードフレーム１の表面に傷を付けることがなく、またリードフレーム１を確実に１枚ずつ搬送できる。
【００２９】
【発明の効果】
本発明によれば、フレーム分離手段は、幅方向を垂直にして搬送方向に整列されたリードフレームを支持するフレームガイドと、このフレームガイドに沿って送られるリードフレーム送り方向におけるフレームガイドの前方側の上方に配設され、リードフレームを吊り下げるように支持し、上方に傾斜した分離部を有するフレーム吊り下げガイドと、前記フレームガイドに整列されたリードフレームの前記リードフレーム送り方向の後方側を押圧するフレームプッシャと、このフレームプッシャを移動させる駆動手段とからなるので、リードフレームを確実に１枚ずつ分離させることができ、またリードフレームを押す駆動力が小さくてすみ装置コストの低減が図れる。また突起のある変形リードフレームについても、突起の無い平らなリードフレームの分離も容易に行なえる。
【００３０】
またフレーム分離手段のフレーム吊り下げガイドの分離部で分離されたリードフレームをクランプ搬送手段でチャックして搬送するので、リードフレームの表面に傷を付けることがなく、またリードフレームを確実に１枚ずつ搬送できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のリードフレームの分離搬送装置の一実施の形態を示す正面図である。
【図２】図１のクランプ搬送手段部分の右側面図である。
【図３】リードフレームを示し、図１の装置から見た場合において、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
１、１Ａ〜１Ｅ  リードフレーム
２    ガイドレール
１０  フレーム分離手段
１４  雄ねじ軸
１５  プーリ
１６  駆動軸
１７  モータ
１８  プーリ
２０  雌ねじブロック
２１  フレームプッシャ
２５  フレームガイド
２６  フレーム吊り下げガイド
２６ａ  分離部
３５  受渡し手段
３６  受渡し台
４０  クランプ搬送手段
４５  クランプ台
５１  ホールド
５３、５４  クランプアーム
【図１】
0003710902.tif 000002
【図２】
0003710902.tif 000003
【図３】
0003710902.tif 000004