(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の極となるセグメント内部電極と他方の極となる共通内部電極とにより圧電体を挟んで構成した圧電振動子を櫛歯状に形成すると共に圧電振動子の一方の側面にフレキシブルテープとの接続部を設け、該接続部にはセグメント内部電極に導通させたセグメント外部電極を配置して、半田付けによりフレキシブルテープの導電パターンとセグメント外部電極とを接合するように構成した圧電振動子ユニットにおいて、
前記導電パターンのパターン幅を圧電振動子のセグメント外部電極の幅以下とし、その一部が圧電振動子からはみ出すように導電パターンを幅方向に曲げることにより、導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電振動子の接続部に非重合領域を形成し、
導電パターンの接合時に熔けた半田の余剰分を非重合領域に逃がすように構成したことを特徴とする圧電振動子ユニット。
【請求項２】
一方の極となるセグメント内部電極と他方の極となる共通内部電極とにより圧電体を挟んで構成した圧電振動子を櫛歯状に形成すると共に圧電振動子の一方の側面にフレキシブルテープとの接続部を設け、該接続部にはセグメント内部電極に導通させたセグメント外部電極を配置して、半田付けによりフレキシブルテープの導電パターンとセグメント外部電極とを接合するように構成した圧電振動子ユニットにおいて、
前記導電パターンのパターン幅を圧電振動子のセグメント外部電極の幅以下とし、導電パターンの一側の縁が圧電振動子の一側の縁に対して斜めに交差する傾斜部分を導電パターンに含ませることにより、導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電振動子の接続部に非重合領域を形成し、
導電パターンの接合時に熔けた半田の余剰分を非重合領域に逃がすように構成したことを特徴とする圧電振動子ユニット。
【請求項３】
一方の極となるセグメント内部電極と他方の極となる共通内部電極とにより圧電体を挟んで構成した圧電振動子を櫛歯状に形成すると共に圧電振動子の一方の側面にフレキシブルテープとの接続部を設け、該接続部にはセグメント内部電極に導通させたセグメント外部電極を配置して、半田付けによりフレキシブルテープの導電パターンとセグメント外部電極とを接合するように構成した圧電振動子ユニットにおいて、
前記圧電振動子の幅よりも大きな振幅となるように導電パターンを蛇行させることにより、
導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電振動子の接続部に非重合領域を形成し、
導電パターンの接合時に熔けた半田の余剰分を非重合領域に逃がすように構成したことを特徴とする圧電振動子ユニット。
【請求項４】
前記圧電振動子の幅よりも大きな振幅のうねりとなるように導電パターンを蛇行させたことを特徴とする請求項３に記載の圧電振動子ユニット。
【請求項５】
前記圧電振動子の幅よりも大きな振幅となるように導電パターンをクランク状に蛇行させたことを特徴とする請求項３に記載の圧電振動子ユニット。
【請求項６】
一方の極となるセグメント内部電極と他方の極となる共通内部電極とにより圧電体を挟んで構成した圧電振動子を櫛歯状に形成すると共に圧電振動子の一方の側面にフレキシブルテープとの接続部を設け、該接続部にはセグメント内部電極に導通させたセグメント外部電極を配置して、半田付けによりフレキシブルテープの導電パターンとセグメント外部電極とを接合するように構成した圧電振動子ユニットにおいて、
圧電振動子の幅よりも広幅の膨出部分と、圧電振動子の幅よりも狭い狭幅部分とを前記導電パターンに含ませることにより、
導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電振動子の接続部に非重合領域を形成し、
導電パターンの接合時に熔けた半田の余剰分を非重合領域に逃がすように構成したことを特徴とする圧電振動子ユニット。
【請求項７】
膨出部分の幅方向中央と狭幅部分の幅方向中央とを同列上に配置した状態で膨出部分と狭幅部分とを交互に配置したことを特徴とする請求項６に記載の圧電振動子ユニット。
【請求項８】
隣り合う膨出部分同士の幅方向一端部を狭幅部分で電気的に接続して櫛歯状部分を構成したことを特徴とする請求項６に記載の圧電振動子ユニット。
【請求項９】
狭幅部分の幅方向他端縁から膨出部分の幅方向他端縁までの長さを圧電振動子の幅よりも長く設定し、
狭幅部分の他端縁から膨出部分の他端縁までの範囲に存在する膨出部分の歯状部にて圧電振動子の接続部と導電パターンとを接合可能に構成したことを特徴とする請求項８に記載の圧電振動子ユニット。
【請求項１０】
前記圧電振動子を、セグメント内部電極と共通内部電極とを圧電体を挟んで交互に積層することにより構成したことを特徴とする請求項１から請求項９の何れかに記載の圧電振動子ユニット。
【請求項１１】
一部が弾性シートによって区画されると共にノズル開口に連通した圧力室と、
該弾性シートに当接した請求項１から請求項１０の何れかに記載の圧電振動子ユニットとを備え、
圧電振動子ユニットを構成する圧電振動子の変形を弾性シートに伝えることにより、圧力室内に充填されたインク圧力を変化させ、
このインク圧力の変化を利用してノズル開口からインク滴を吐出させるように構成したことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動子の変形によりノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）、及び、この記録ヘッドに使用される圧電振動子ユニットに関し、特に、圧電振動子にフレキシブルテープを接続する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット式記録ヘッドに用いられている圧電振動子は、例えば、一方の極となるセグメント内部電極と他方の極となる共通内部電極とを圧電体を挟んで交互に積層して構成した振動子板を櫛歯状に切り分けることにより形成する。この櫛歯状振動子群の一方の側面には、セグメント内部電極に導通させたセグメント外部電極を圧電振動子毎に形成し、このセグメント外部電極が含まれるようにして駆動信号供給用のフレキシブルテープを接合する接合部を設けてある。
【０００３】
そして、この接合部にて、フレキシブルテープの導電パターンの１本１本を、各圧電振動子の１本１本と重ね合わさるように整合（アライメント）させ、整合状態で半田を熔かしてフレキシブルテープの導体パターンと圧電振動子に設けたセグメント外部電極とを電気的に接続する。
【０００４】
このセグメント外部電極と各導電パターンとの接続には、通常、クリーム半田による半田付けの手法が用いられている。これは、圧電振動子の幅が例えば８０μｍ、導電パターンのパターン幅が例えば５０μｍと非常に狭く、尚且つ、このような圧電振動子を高密度で列設しているからである。
【０００５】
ところで、この種の記録ヘッドにおいては消費電力を少なくすることが求められており、この流れから圧電振動子の幅を狭くする試みがなされている。
【０００６】
例えば、圧電振動子の幅（セグメント電極の幅に相当）を８０μｍから５０μｍに狭くすることができると、圧電振動子の変位量はそのままで圧電振動子の容量を４０％近く低減することができる。
【０００７】
しかし、次のような問題がある。即ち、上記の整合作業は、通常、セグメント外部電極における一側端の電極と他側端の電極とを、それぞれフレキシブルテープの導電パターンにおける一側端のパターンと他側端のパターンとに合わせることで行っている。しかも、この作業は、フレキシブルテープの材料が透明なポリイミド樹脂であることを利用し、上から透して目視により位置合わせするという手法によっている。
【０００８】
このため、上記のように圧電振動子の幅を狭くすると、フレキシブルテープの部品公差、圧電振動子のカット位置公差等に起因して、フレキシブルテープと圧電振動子とを整合させた際に、多数並んでいるセグメント電極（圧電振動子）の幾つかに位置的誤差が生じる虞があり、この位置的誤差が大きくなってしまうと、セグメント外部電極上に乗らずに非導通状態となる導電パターンが生じてしまう場合がある。
【０００９】
この点に鑑み、位置ずれを補正するために、図１３に示すように、圧電振動子１の幅（セグメント外部電極２の幅に相当）Ｘ１に対して、フレキシブルテープの導電パターン３のパターン幅Ｘ２を十分広くすることを試みた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このようにフレキシブルテープの導電パターン３のパターン幅Ｘ２を、圧電振動子１の幅Ｘ１よりも単に広くした場合には、整合についての位置ずれが吸収されて確実に導通させられる反面、今度は、余剰分の半田４が圧電振動子１のセグメント外部電極２の側縁から圧電振動子１の側面（隣り合う振動子に対向する側面）に流れ出し、圧電振動子１のセグメント内部電極５と共通内部電極６との間を短絡させてしまうことが判った。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、圧電振動子の幅を例えば５０μｍと狭くした場合でも、圧電振動子側の電極とフレキシブルテープの導電パターンとの導通が確実にとれ、かつ余剰分の半田が圧電振動子の側面に流れ出さず、圧電振動子の短絡が生じない圧電振動子ユニットを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するためのものであり、一方の極となるセグメント内部電極と他方の極となる共通内部電極とにより圧電体を挟んで構成した圧電振動子を櫛歯状に形成すると共に圧電振動子の一方の側面にフレキシブルテープとの接続部を設け、該接続部にはセグメント内部電極に導通させたセグメント外部電極を配置して、半田付けによりフレキシブルテープの導電パターンとセグメント外部電極とを接合するように構成した圧電振動子ユニットにおいて、導電パターンのパターン幅を圧電振動子のセグメント外部電極の幅以下とし、その一部が圧電振動子からはみ出すように導電パターンを幅方向に曲げることにより、導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電振動子の接続部に非重合領域を形成し、導電パターンの接合時に熔けた半田の余剰分を非重合領域に逃がすように構成したことを特徴とする。
ここで、「圧電振動子を櫛歯状に形成する」とは、一枚の圧電振動子板を基端側に切り残し部を設けて櫛歯状に切り分けることと、基端部分を基台（例えば、固定板）に接合した一枚の圧電振動子板を隣り合う圧電振動子同士の縁が切れるように切り分ける等して、基台を含めて櫛歯状に形成することの両方を含む。
また、「導通有効幅」とは、接続部分に対して導通し得る導電パターンの有効な幅を意味する。例えば、接続部分において導電パターンを圧電振動子の幅方向に蛇行させた場合には、蛇行した左右の端部の間隔が導電パターンの導通有効幅に該当する。
さらに、「導電パターンのパターン幅」とは、導電パターンの条の幅を意味する。
また、本発明の圧電振動子ユニットは、一方の極となるセグメント内部電極と他方の極となる共通内部電極とにより圧電体を挟んで構成した圧電振動子を櫛歯状に形成すると共に圧電振動子の一方の側面にフレキシブルテープとの接続部を設け、該接続部にはセグメント内部電極に導通させたセグメント外部電極を配置して、半田付けによりフレキシブルテープの導電パターンとセグメント外部電極とを接合するように構成した圧電振動子ユニットにおいて、導電パターンのパターン幅を圧電振動子のセグメント外部電極の幅以下とし、導電パターンの一側の縁が圧電振動子の一側の縁に対して斜めに交差する傾斜部分を導電パターンに含ませることにより、導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電振動子の接続部に非重合領域を形成し、導電パターンの接合時に熔けた半田の余剰分を非重合領域に逃がすように構成したことを特徴とする。
また、本発明の圧電振動子ユニットは、一方の極となるセグメント内部電極と他方の極となる共通内部電極とにより圧電体を挟んで構成した圧電振動子を櫛歯状に形成すると共に圧電振動子の一方の側面にフレキシブルテープとの接続部を設け、該接続部にはセグメント内部電極に導通させたセグメント外部電極を配置して、半田付けによりフレキシブルテープの導電パターンとセグメント外部電極とを接合するように構成した圧電振動子ユニットにおいて、圧電振動子の幅よりも大きな振幅となるように導電パターンを蛇行させることにより、導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電振動子の接続部に非重合領域を形成し、導電パターンの接合時に熔けた半田の余剰分を非重合領域に逃がすように構成したことを特徴とする。
ここで、「蛇行」とは、左右方向に交互に曲げることを意味する。従って、Ｓ字をつなぎ合わせてうねらせたものの他にも、クランク状に屈曲させたものや、鋸歯状に屈曲させたものも含まれる。
また、係る圧電振動子ユニットにおいて、圧電振動子の幅よりも大きな振幅のうねりとなるように導電パターンを蛇行させたことを特徴とする。
また、係る圧電振動子ユニットにおいて、圧電振動子の幅よりも大きな振幅となるように導電パターンをクランク状に蛇行させたことを特徴とする。
また、本発明の圧電振動子ユニットは、一方の極となるセグメント内部電極と他方の極となる共通内部電極とにより圧電体を挟んで構成した圧電振動子を櫛歯状に形成すると共に圧電振動子の一方の側面にフレキシブルテープとの接続部を設け、該接続部にはセグメント内部電極に導通させたセグメント外部電極を配置して、半田付けによりフレキシブルテープの導電パターンとセグメント外部電極とを接合するように構成した圧電振動子ユニットにおいて、圧電振動子の幅よりも広幅の膨出部分と、圧電振動子の幅よりも狭い狭幅部分とを導電パターンに含ませることにより、導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広くすると共に圧電振動子の接続部に非重合領域を形成し、導電パターンの接合時に熔けた半田の余剰分を非重合領域に逃がすように構成したことを特徴とする。
また、係る圧電振動子ユニットにおいて、膨出部分の幅方向中央と狭幅部分の幅方向中央とを同列上に配置した状態で膨出部分と狭幅部分とを交互に配置したことを特徴とする。
また、係る圧電振動子ユニットにおいて、隣り合う膨出部分同士の幅方向一端部を狭幅部分で電気的に接続して櫛歯状部分を構成したことを特徴とする。
また、係る圧電振動子ユニットにおいて、狭幅部分の幅方向他端縁から膨出部分の幅方向他端縁までの長さを圧電振動子の幅よりも長く設定し、狭幅部分の他端縁から膨出部分の他端縁までの範囲に存在する膨出部分の歯状部にて圧電振動子の接続部と導電パターンとを接合可能に構成したことを特徴とする。
また、係る圧電振動子ユニットにおいて、圧電振動子を、セグメント内部電極と共通内部電極とを圧電体を挟んで交互に積層することにより構成したことを特徴とする。
また、一部が弾性シートによって区画されると共にノズル開口に連通した圧力室と、該弾性シートに当接した上記圧電振動子ユニットとを備えたインクジェット式記録ヘッドであって、圧電振動子ユニットを構成する圧電振動子の変形を弾性シートに伝えることにより、圧力室内に充填されたインク圧力を変化させ、このインク圧力の変化を利用してノズル開口からインク滴を吐出させるように構成したことを特徴とする。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。ここで、図１（ａ）は圧電振動子ユニット１０の斜視図であり、図２は圧電振動子ユニット１０の全体構成を説明する図である。
【００２９】
例示した圧電振動子ユニット１０は、圧電振動子１１、固定板１２、フレキシブルテープ１３から概略構成されている。
【００３０】
圧電振動子１１は、各圧電振動子１１の幅が５０μｍ程度となるように振動子板を櫛歯状に歯割りすることにより形成されている。この圧電振動子１１は、両端に位置するダミー振動子１４，１４の間に多数列設されて振動子群１５を構成する。
【００３１】
そして、各圧電振動子１１は、図１中に断面を拡大して示すように、一方の極となるセグメント内部電極２１と他方の極となる共通内部電極２２とを圧電体２３を挟んで交互に積層させて構成してある。また、この圧電振動子１１の一方の表面（拡大図における上面）にはセグメント外部電極２４を設け、他方の表面（同じく下面）には共通外部電極２５を設ける。セグメント外部電極２４はセグメント内部電極２１に導通させた電極であり、共通外部電極２５は共通内部電極２２に導通させた電極である。これらのセグメント外部電極２４及び共通外部電極２５は、フレキシブルテープ１３の導電パターン２６からの駆動信号を、セグメント内部電極２１及び共通内部電極２２に供給するために設けた電極である。
【００３２】
そして、本実施形態の圧電振動子１１は、電極の積層方向を圧電振動子１１の伸縮方向に対して直交させたいわゆる縦振動モードの圧電振動子１１によって構成してある。このような縦振動モードの圧電振動子１１をインクジェット式記録ヘッドの駆動に使用すると、圧電振動子１１と振動板との当接面積を極めて小さくできるため、高解像度の実現と高速駆動が可能となる。
【００３３】
なお、ダミー振動子１４は、インク滴の吐出に関与しない振動子であり、圧電振動子１１よりも広幅に設けられている。そして、このダミー振動子１４の表面には共通外部電極２５を設けてある。この共通外部電極２５は、圧電振動子１１の他方の表面に設けた共通外部電極２５と一連に設けてあり、互いに導通されている。
【００３４】
固定板１２は、圧電振動子ユニット１０を記録ヘッドのケースに固定するための部材であり、例えば、板状のステンレス材によって構成されている。この固定板１２は、圧電振動子１１における共通外部電極２５の形成面側に、圧電振動子１１の自由端部分を残すようにして接合される。なお、この固定板１２は歯割りする前の状態で振動子板に接合されており、固定板１２に接合された状態で振動子板は櫛歯状に切り分けられる。
【００３５】
フレキシブルテープ１３は、図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、ポリイミド樹脂等の可撓性フィルムをベース材１３ａとし、その表面に銅箔等をエッチングすることにより導電パターン２６を形成してある。この導電パターン２６は、図２（ａ）に示すように、セグメント電極接続用の導電パターン２６ａと共通電極接続用の導電パターン２６ｂとから構成されている。
【００３６】
セグメント電極接続用の導電パターン２６ａは、圧電振動子１１のセグメント外部電極２４のピッチに略一致するピッチで形成してあり、各パターン幅は、圧電振動子１１の幅である各セグメント外部電極２４の幅と同じか若干狭い幅に形成してある。本実施形態では、セグメント外部電極２４の幅５０μｍに対して５０μｍの幅に形成してある。
【００３７】
この導電パターン２６ａの先端部分は、半田めっき層２７を備えた接続部分２６ａ´として形成してある。この導電パターン２６ａの接続部分２６ａ´は、圧電振動子１１側の接続部１１ａ、即ち、セグメント外部電極２４の形成面における基端部分に接続される部分であり、導電パターン２６ａの接続部分２６ａ´を圧電振動子１１側の接続部１１ａに重合させた状態で、半田めっき層２７をリフローすることにより、導電パターン２６ａとセグメント外部電極２４とが導通状態で接合される。
【００３８】
なお、この接続部分２６ａ´よりも基端側の導電パターン２６ａは、短絡防止用のレジスト層１３ｂによって被覆されている。
【００３９】
そして、導電パターン２６ａの接続部分２６ａ´における導通有効幅は、圧電振動子１１の幅よりも広く設定してあり、尚且つ、圧電振動子１１の接続部に導電パターン２６ａと重合しない非重合領域が形成されるように導電パターン２６ａの方向やパターン幅の寸法を選択してある。この非重合領域は、導電パターン２６ａの接合時において熔けた半田の余剰分を逃がすための領域である。なお、この部分の具体的構成については、後で詳細に説明する。
【００４０】
一方、共通電極接続用の導電パターン２６ｂは、ダミー振動子１４の幅と略同じ幅に形成され、その先端部分には半田めっき層を設けてある。そして、ダミー振動子１４の共通外部電極２５上に共通電極接続用の導電パターン２６ｂの先端部分を重合し、この重合状態で半田めっき層をリフローすることにより、共通外部電極２５と導電パターン２６ｂとが導通状態で接合される。
【００４１】
このような構成を備えた圧電振動子ユニット１０では、フレキシブルテープ１３のセグメント電極接続用の導電パターン２６ａからは各圧電振動子１１毎の駆動信号が供給され、共通電極接続用の導電パターン２６ｂはグラウンド（ＧＮＤ）電位に設定される。従って、各圧電振動子１１…の内部では、駆動信号の供給によってセグメント内部電極２１と共通内部電極２２との間で電位差が生じ、この電位差に応じて圧電振動子１１は振動子長手方向に伸縮する。そして、この振動子長手方向の伸縮を利用してインク滴を吐出させる。
【００４２】
即ち、記録ヘッドに纏められた状態では、図１（ｂ）に示すように、圧電振動子１１は、圧力室２８Ａの一部を区画する弾性シート２９に先端１１ｂを当接させている。そして、圧電振動子１１の振動子長手方向への伸縮に伴って弾性シート２９が変形し、圧力室２８Ａ内に充填されたインクの圧力を変化させる。そして、このインク圧力の変化により、圧力室２８Ａに連通したノズル開口３０ａからインク滴を吐出させる。
【００４３】
なお、この圧力室２８Ａは、スペーサ部材２８、弾性シート２９及びノズルプレート３０によって構成される。即ち、スペーサ部材２８には圧力室２８Ａとなる開口を開設し、このスペーサ部材２８の前面にはノズル開口３０ａを開設したノズルプレート３０を配置し、スペーサ部材２８の裏面には圧電振動子１１の先端１１ｂが当接する島部２９ａを設けた弾性シート２９を配置して、これらの各部材を接着等によって一体化することにより、弾性シート２９及びノズルプレート３０によって区画された圧力室２８Ａが構成される。
【００４４】
次に、本実施形態における圧電振動子１１の接続部１１ａ、及びセグメント電極接続用の導電パターン２６ａ（以下、単に導電パターン２６ａという）の接続部分２６ａ´についての具体的構成について詳細に説明する。
【００４５】
図３は圧電振動子１１のセグメント外部電極２４にフレキシブルテープ１３の導電パターン２６ａを重ねた状態を説明する図であり、図４はその部分拡大図であり、図５はセグメント外部電極２４と導電パターン２６ａとの接合部分を説明する図である。
【００４６】
本実施形態では、接続される部分において導電パターン２６ａ（接続部分２６ａ´）の一部が圧電振動子１１からはみ出すように、導電パターン２６ａを幅方向に曲げている。具体的には、導電パターン２６ａのパターン幅ＰＷを、圧電振動子１１の幅Ｗ（即ち、セグメント外部電極２４の幅Ｗ）と同じかそれよりも少し小さくし、この導電パターン２６ａの接続部分２６ａ´に長さがＬで振れ幅がＤである比較的長い直線的な傾斜部分３１を含ませて構成している。この傾斜部分３１により、導電パターン２６ａの一側の縁が圧電振動子１１の一側の縁に対して斜めに交差した状態となる。
【００４７】
このような傾斜部分３１を設けたことにより、導電パターン２６ａ（即ち、接続部分２６ａ´）の振れ幅Ｄはセグメント外部電極２４の幅Ｗよりも大きくなる。このため、セグメント外部電極２４の長手方向に見て、導電パターン２６ａにセグメント外部電極２４の縁から幅方向にはみ出す部分が形成される。換言すれば、セグメント外部電極２４の長手方向に見た場合における導電パターン２６ａの配設領域がセグメント外部電極２４の幅方向に拡張される。そして、このはみ出した部分により、導電パターン２６ａとセグメント外部電極２４とが導通し得る幅、即ち、導通有効幅（振れ幅Ｄに相当）を広げることができる。
【００４８】
そして、導通有効幅が拡張されたことにより、この構成では、両端部の導電パターン２６ａ，２６ａと両端のセグメント外部電極２４，２４を合わせて重ねるだけで、その間に存在する全ての導電パターン２６ａ…とセグメント外部電極２４…とを確実に導通させることができる。換言すれば、導電パターン２６ａとセグメント外部電極２４との整合の精度をラフにしても（寸法公差をラフにしても）、導電パターン２６ａとセグメント外部電極２４とを確実に導通させることができる。
【００４９】
さらに、不透明なフレキシブルテープ１３を用いた場合であっても、図２に鎖線で示すように、フレキシブルテープ１３の両端に視認窓部３２，３２を設け、これらの視認窓部３２，３２を通じて両端の導電パターン２６ａ，２６ａとセグメント外部電極２４，２４とを位置合わせするだけで、簡単にその間の全てのセグメント導電パターン２６ａ…とセグメント外部電極２４…とを確実に導通させることができる。
【００５０】
また、図４及び図５に示すように、セグメント外部電極２４の幅方向の一側からはみ出す部分が導電パターン２６ａに形成されることで、同時に、セグメント外部電極２４の幅方向の他側には導電パターン２６ａで覆われていない非重合領域３３が形成される。
【００５１】
この非重合領域３３は、導電パターン２６ａ（接続部分２６ａ´）の溶けた半田３４の余剰分が逃げて行く領域として機能する。そして、この非重合領域３３上に溶けた半田３４の余剰分が逃げて行く結果、表面張力の作用により、非重合領域３３上に逃げた半田３４の余剰分は、この非重合領域３３上、即ち、セグメント外部電極２４上に留まる。
【００５２】
よって、導電パターン２６ａとセグメント外部電極２４との間から流出した半田により、圧電振動子１１のセグメント内部電極２１と共通内部電極２２が短絡されてしまう事故を確実に防止することができ、生産歩留りの向上を図ることができる。
【００５３】
なお、上記した傾斜部分３１に関し、更に傾斜を大きくして、導電パターン２６ａの両側の縁が斜めにセグメント外部電極２４の一側の縁と交差するように設けてもよい。
【００５４】
ところで、上記した実施形態は、その一部が圧電振動子１１からはみ出すように曲げた傾斜部分３１を、導電パターン２６ａの接続部分２６ａ´に含ませて構成したものを例示したが、本発明は、この構成に限定されるものではない。
【００５５】
例えば、導電パターン２６ａの接続部分２６ａ´を、圧電振動子１１の幅Ｗよりも大きな振幅となるように蛇行させ、この蛇行によって導通有効幅を圧電振動子１１の幅Ｗよりも広くし、また、非重合領域３３を形成することもできる。
【００５６】
以下、導電パターン２６ａを蛇行させた実施形態について説明する。
【００５７】
ここで、図６はこの実施形態において、セグメント外部電極２４にフレキシブルテープ１３の導電パターン２６ａを重ねた状態を説明する図であり、図７はその部分拡大図である。
【００５８】
これらの図に示すように、本実施形態では、導電パターン２６ａのパターン幅ＰＷを、圧電振動子１１のセグメント外部電極２４の幅と同じかそれよりも小さくし、そのセグメント接続用導電パターン２６ａの一部、即ち、接続部分２６ａ´の先端側部分３５を、セグメント外部電極２４の幅Ｗよりも大きな振れ幅Ｄのうねりとなるように略Ｓ字状に蛇行させている。
【００５９】
より具体的には、圧電振動子１１のセグメント外部電極２４の一側縁と他側縁から導電パターン２６ａが部分的に交互に且つセグメント外部電極２４の縁と平行にはみ出すように、導電パターン２６ａの先端側部分３５を幅方向に蛇行させている。
【００６０】
この実施形態でも、先に説明した第１実施形態と同様に、導電パターン２６ａにおける蛇行した左右の端部の間隔である振れ幅（導通有効幅）Ｄが、セグメント外部電極２４の幅Ｗよりも広くなる。これにより、導通に使用できる幅が広くなるので、整合の精度をラフにしても、導電パターン２６ａとセグメント外部電極２４とを確実に導通させることができる。
【００６１】
また、導電パターン２６ａの振れ幅Ｄ内で導電パターン２６ａとセグメント外部電極２４と接合させると、セグメント外部電極２４上には、導電パターン２６ａで覆われている領域（重合領域）３６と、導電パターン２６ａで覆われていない領域（非重合領域）３３とが形成される。このため、導電パターン２６ａで覆われていない非重合領域３３には、導電パターン２６ａを接合する際に熔けた半田３４の余剰分が逃げる。そして、この逃げた余剰の半田３４は、表面張力により非重合領域３３上（即ち、セグメント外部電極２４上）に留まる。従って、圧電振動子１１の側面（隣り合う振動子に対向する側面）への半田３４の流出が防止でき、セグメント内部電極２１と共通内部電極２２との短絡を確実に防止することができる。
【００６２】
なお、導電パターン２６ａの蛇行は、このＳ字状にうねらせるものに限定されるものではなく、例えば、クランク状に蛇行させてもよいし、鋸歯状に蛇行させてもよい。以下、クランク状に蛇行させた実施形態について説明する。
【００６３】
図８は、クランク状に蛇行させた実施形態を説明する図である。同図に示すように、例示した導電パターン２６ａ（接続部分２６ａ´）のクランク部３７は、その幅方向の端部が、セグメント外部電極２４の幅Ｗの一側縁と他側縁から交互に、且つ、セグメント外部電極２４の縁とほぼ平行にはみ出すように屈曲させている。
【００６４】
具体的には、このクランク部３７は、セグメント外部電極２４を幅方向に横断する横断部分３７ａと長手方向に沿った平行部分３７ｂとを備えており、平行部分３７ｂをセグメント外部電極２４の幅方向の一側部と他側部とに交互に配置すると共に、平行部分３７ｂの端部同士を横断部分３７ａで接続した一条のパターンである。
【００６５】
この実施形態でも、上記した実施形態と同様に、振れ幅（導通有効幅）Ｄが、セグメント外部電極２４の幅Ｗよりも広くなるので、セグメント外部電極２４と導電パターン２６ａの導通が確実に行える。また、セグメント外部電極２４の幅Ｗの領域内に、導電パターン２６ａで覆われている重合領域３６と、導電パターン２６ａで覆われていない非重合領域３３とが形成されるため、非重合領域３３に余剰な半田３４が逃げ、半田３４の振動子側面への流出が防止でき、セグメント内部電極２１と共通内部電極２２との短絡を確実に防止できる。
【００６６】
ところで、上記した各実施形態では、一条の導電パターン２６ａを斜め方向に曲げたり、蛇行させることにより、導通有効幅を広げると共に非重合領域３３を設けるようにしたものを例示したが、本発明は、これらの構成に限定されるものではない。
【００６７】
例えば、セグメント外部電極２４の幅（即ち、圧電振動子１１の幅）よりも広幅の膨出部分と、セグメント外部電極２４の幅よりも狭い狭幅部分とを導電パターン２６ａの接続部分２６ａ´に含ませることにより、導通有効幅を広げると共に非重合領域３３を設けるようにしてもよい。
【００６８】
以下、膨出部分と狭幅部分とを設けた実施形態について説明する。
【００６９】
最初に、膨出部分の幅方向中央と狭幅部分の幅方向中央とを同列上に配置した状態で膨出部分と狭幅部分とを交互に配置した実施形態について説明する。ここで、図９はセグメント外部電極２４にフレキシブルテープ１３の導電パターン２６ａを重ねた状態を説明する図、図１０はその部分拡大図である。
【００７０】
これらの図に示すように、本実施形態の導電パターン２６ａは、接続部分２６ａ´の先端側部分に、圧電振動子１１の幅Ｗよりも広い幅ＤＷに形成した膨出部分４０と圧電振動子１１の幅よりも狭い幅Ｔに形成した狭幅部分４１とを含ませている。
【００７１】
そして、膨出部分４０の幅方向中心ＤＷ／２と狭幅部分４１の幅方向中心Ｔ／２とを同列上に配置した状態、より詳しくは、幅方向中心同士をほぼ一致させた状態で、これらの膨出部分４０と狭幅部分４１とをセグメント外部電極２４の長手方向に沿って交互に配置してある。換言すれば、これらの膨出部分４０と狭幅部分４１は、幅方向中心を通る中心線ＣＬを境にして線対称の関係となるように、導電パターン２６ａの長手方向に沿って交互に配置してある。
【００７２】
この実施形態では、膨出部分４０の幅ＤＷが導通有効幅となり、この導通有効幅をセグメント外部電極２４（圧電振動子１１）の幅Ｗよりも広く設けてあるので、セグメント外部電極２４と導電パターン２６ａの導通が確実に行える。
【００７３】
また、狭幅部分４１の幅Ｔをセグメント外部電極２４の幅Ｗよりも狭く設けてあるので、この狭幅部分４１の側部には導電パターン２６ａで覆われていない非重合領域３３が形成される。このため、非重合領域３３に余剰な半田３４が逃げ、半田３４の振動子側面への流出が防止でき、セグメント内部電極２１と共通内部電極２２との短絡を確実に防止できる。
【００７４】
次に、膨出部分と狭幅部分とにより櫛歯状部分を構成するようにした実施形態について説明する。
【００７５】
図１１に示すように、この実施形態では、隣り合う膨出部分４０，４０同士の幅方向一端部、例えば、膨出部分４０，４０の左半部分同士を狭幅部分４１によって接合して、膨出部分４０と狭幅部分４１とを導電パターン２６ａの長手方向に沿って交互に配置し、櫛歯状部分を構成する。
【００７６】
この実施形態でも、膨出部分４０の幅ＤＷが導通有効幅となり、セグメント外部電極２４と導電パターン２６ａの導通が確実に行える。
【００７７】
また、狭幅部分４１の幅Ｔをセグメント外部電極２４の幅Ｗよりも狭く設けてあるので、この狭幅部分４１の側部には導電パターン２６ａで覆われていない非重合領域３３が形成され、この非重合領域３３に半田３４を逃がすことができ、半田３４の振動子側面への流出を防止できる。
【００７８】
さらに、膨出部分４０，４０の左半部分同士を接合するように狭幅部分４１を設けているので、形成される非重合領域３３の１つあたりの面積を広げることができ、非重合領域３３に半田３４を確実に逃がすことができる。
【００７９】
また、図１２に示す実施形態は、隣り合う膨出部分４０，４０同士の幅方向一端部を狭幅部分４１で電気的に接続して櫛歯状部分を構成したものにおいて、狭幅部分４１の幅方向他端縁から膨出部分４０の幅方向他端縁までの距離を圧電振動子の幅よりも長く設定したものである。
【００８０】
この実施形態では、同図に示すように、隣り合う膨出部分４０，４０同士の左端部分同士を狭幅部分４１によって接合して、膨出部分４０と狭幅部分４１とを導電パターン２６ａの長手方向に沿って交互に配置し、櫛歯状部分を構成する。そして、この櫛歯状部分において、狭幅部分４１の右側縁４１ａから膨出部分４０の右側縁４０ａまでの長さＳ、即ち、膨出部分４０の歯状部４０ｂの長さを、セグメント外部電極２４の幅Ｗよりも長く設定してある。
【００８１】
従って、この実施形態では、膨出部分４０の歯状部４０ｂにより、セグメント外部電極２４と導電パターン２６ａとの接合を行うことができる。即ち、狭幅部分４１をセグメント外部電極２４に接合させることなく、セグメント外部電極２４と導電パターン２６ａとを接合することができる。
【００８２】
そして、歯状部４０ｂで接合した場合には、歯状部４０ｂがセグメント外部電極２４上を横断した状態でセグメント外部電極２４と導電パターン２６ａとを接合することができ、非重合領域３３の面積を一層広げることが可能になる。従って、半田３４の振動子側面への流出を一層確実に防止することができる。
【００８３】
なお、この構成は、非重合領域３３を確実に形成できるので、セグメント外部電極２４（圧電振動子１１）の幅Ｗをさらに狭く設けた場合（例えば、幅Ｗを３０μｍ程度に形成した場合）において有用である。
【００８４】
なお、以上の説明では、セグメント内部電極２１と共通内部電極２２の積層方向が、圧電振動子１１の伸縮方向に垂直な縦振動モードの圧電振動子１１を例示したが、本発明は、セグメント内部電極と共通内部電極の積層方向が、圧電振動子の伸縮方向に平行なたわみ振動モードの圧電振動子にも用いることができる。
【００８５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は以下の効果を奏する。
【００８６】
即ち、導電パターンの導通有効幅を圧電振動子の幅よりも広く設けたので、圧電振動子の長手方向に見て、圧電振動子のセグメント外部電極と導電パターンとが重合可能な部分が広くなる。これにより、導電パターンとセグメント外部電極との整合の精度を多少ラフにしても両者を確実に導通させることができる。
【００８７】
これにより、両端部の導電パターンとセグメント外部電極とを位置合わせするだけで、その間に存在する全ての導電パターンとセグメント外部電極とを導通させることができ、圧電振動子のセグメント外部電極とフレキシブルテープの導電パターンとの接合作業が非常にやり易くなる。さらに、接合作業に熟練度を要さずに済むので、生産歩留まりの向上が図れる。
【００８８】
また、寸法公差を今までよりもラフにすることができるので、この点においても生産歩留まりの向上が図れる。
【００８９】
また、圧電振動子の接続部には導電パターンと重合しない非重合領域を設けたので、導電パターンとセグメント外部電極とを接合させる際に、溶けた半田の余剰部分がこの非重合領域内に逃げる。そして、この非重合領域内に逃げた余剰の半田には表面張力が働くので、この半田はセグメント外部電極上に留まる。従って、圧電振動子のセグメント内部電極と共通内部電極とが流出した半田によって短絡されてしまう事故が防止され、生産歩留りの向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は圧電振動子ユニットの斜視図、（ｂ）は記録ヘッドにおける圧力室付近の拡大図である。
【図２】（ａ）は圧電振動子ユニットの平面図、（ｂ）及び（ｃ）はフレキシブルテープの部分拡大図である。
【図３】導電パターンを幅方向に曲げた実施形態における圧電振動子とフレキシブルテープとの電気的接続部分を示す図である。
【図４】図３の部分拡大図である。
【図５】（ａ）は圧電振動子とフレキシブルテープとの電気的接続部分を示す部分拡大断面図であり、（ｂ）は非重合領域を説明する部分拡大図である。
【図６】導電パターンをＳ字状に蛇行させた実施形態における圧電振動子とフレキシブルテープとの電気的接続部分を示す図である。
【図７】図６の部分拡大図である。
【図８】導電パターンをクランク状に蛇行させた実施形態の部分拡大図である。
【図９】膨出部分と狭幅部分とを設けた実施形態における圧電振動子とフレキシブルテープとの電気的接続部分を示す図である。
【図１０】図９の部分拡大図である。
【図１１】膨出部分と狭幅部分とにより櫛歯状部分を形成した実施形態の部分拡大図である。
【図１２】櫛歯状部分を形成した他の実施形態の部分拡大図である。
【図１３】本発明の課題を説明する図であり、（ａ）は半田が流出した状態を説明する図、（ｂ）は圧電振動子の幅と導電パターンの幅との関係を説明する図である。
【符号の説明】
１０  圧電振動子ユニット
１１  圧電振動子
１１ａ  接続部
１２  固定板
１３  フレキシブルテープ
１４  ダミー振動子
１５  振動子群
２１  セグメント内部電極
２２  共通内部電極
２３  圧電体
２４  セグメント外部電極
２５  共通外部電極
２６  導電パターン
２６ａ  セグメント電極接続用の導電パターン
２６ａ´  接続部分
２７  半田めっき層
２８  スペーサ部材
２８Ａ  圧力室
２９  弾性シート
３０  ノズルプレート
３０ａ  ノズル開口
３１  傾斜部分
３２  視認窓部
３３  非重合領域
３４  余剰な半田
３５  導電パターンにおけるＳ字状に蛇行させた部分
３６  重合領域
３７  クランク部
４０  膨出部分
４１  狭幅部分
Ｗ    圧電振動子（セグメント外部電極）の幅
Ｄ，ＤＷ  導通有効幅（導電パターンの振れ幅，膨出部分の幅）
【図１】
0003651282.tif 000002
【図２】
0003651282.tif 000003
【図３】
0003651282.tif 000004
【図４】
0003651282.tif 000005
【図５】
0003651282.tif 000006
【図６】
0003651282.tif 000007
【図７】
0003651282.tif 000008
【図８】
0003651282.tif 000009
【図９】
0003651282.tif 000010
【図１０】
0003651282.tif 000011
【図１１】
0003651282.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
0003651282.tif 000014