(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、
前記基板上を移動可能な現像液吐出ノズルと、
前記基板保持手段に保持された基板の表面に前記現像液吐出ノズルの前記スリット状吐出口から現像液が供給されるように前記現像液吐出ノズルを前記基板に対して相対的に移動させる移動手段とを備え、
前記現像液吐出ノズルは、
現像液が供給される液溜り空間を有する液溜り部と現像液を吐出するスリット状吐出口を有する液吐出部とを備え、
前記液吐出部には、
前記スリット状吐出口の長手方向に平行な一方向に沿って配列されかつ一端が前記液溜り空間に連通する複数の管状流路と、
前記一方向に沿って配列されかつそれぞれ前記複数の管状流路の他端から漸次幅広となりつつ下方へ延びて前記スリット状吐出口に至る複数のテーパ状流路とが形成され、
前記複数の管状流路は、それぞれ前記複数のテーパ状流路に対して直角または傾斜するように設けられ、
前記複数のテーパ状流路は、前記複数の管状流路から導入される現像液が衝突する平面状の内壁をそれぞれの頂部近傍に有し、前記内壁に衝突した現像液が前記複数のテーパ状流路を流動して前記スリット状吐出口から吐出されることを特徴とする現像液供給装置。
【請求項２】
前記液吐出部は、前記スリット状吐出口が設けられた底面を有し、前記液吐出部の前記底面が親水性を有し、移動方向において前記液吐出部の前記底面の前方および後方の外壁面が撥水性を有することを特徴とする請求項１記載の現像液供給装置。
【請求項３】
前記液吐出部は、第１の接合面を有する第１の部材と、前記第１の接合面に接合される第２の接合面を有する第２の部材とを備え、
前記第１の部材の前記第１の接合面に前記複数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成され、前記第２の部材の前記第２の接合面に前記複数の管状流路の前記他端が開口されたことを特徴とする請求項１または２記載の現像液供給装置。
【請求項４】
前記液吐出部は、第１の接合面を有する第１の部材と、前記第１の接合面に接合される第２の接合面を有する第２の部材とを備え、
前記第２の部材の前記第２の接合面に前記複数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成され、前記テーパ状凹部に前記複数の管状流路の前記他端が開口されたことを特徴とする請求項１または２記載の現像液供給装置。
【請求項５】
前記液吐出部は、前記第１の部材の前記第１の接合面と前記第２の部材の前記第２の接合面との間の前記複数のテーパ状凹部を除く領域に挟み込まれたシート状シール部材をさらに備えたことを特徴とする請求項３または４記載の現像液供給装置。
【請求項６】
基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、
前記基板上を移動可能な現像液吐出ノズルと、
前記基板保持手段に保持された基板の表面に前記現像液吐出ノズルの前記スリット状吐出口から現像液が供給されるように前記現像液吐出ノズルを前記基板に対して相対的に移動させる移動手段とを備え、
前記現像液吐出ノズルは、
現像液が供給される液溜り空間を有する液溜り部と現像液を吐出するスリット状吐出口を有する液吐出部とを備え、
前記液吐出部には、
前記スリット状吐出口の長手方向に平行な一方向に沿って配列されかつ一端が前記液溜り空間に連通する複数の管状流路と、
前記一方向に沿って配列されかつそれぞれ前記複数の管状流路の他端から漸次幅広となりつつ下方へ延びて前記スリット状吐出口に至る複数のテーパ状流路とが形成され、
前記複数の管状流路は、それぞれ前記複数のテーパ状流路に対して直角または傾斜するように設けられ、
前記液吐出部は、第１の接合面を有しかつ撥水性材料からなる第１の部材と、第２の接合面を有しかつ撥水性材料からなる第２の部材と、前記第１の接合面に接合される一面および前記第２の接合面に接合される他面を有しかつ親水性材料からなる第３の部材とを備え、
前記第２の部材の前記第２の接合面に前記複数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成され、前記テーパ状凹部に前記複数の管状流路の前記他端が開口され、
前記第３の部材の前記一面に前記第１の部材が接合され、前記第３の部材の前記他面に前記第２の部材が接合されることにより、
前記第１の部材および前記第２の部材が、移動方向において前記液吐出部の前方および後方の外壁面を形成し、前記第３の部材が前記液吐出部の底面を形成し、
前記複数のテーパ状流路は、前記テーパ状凹部に形成され、前記複数の管状流路から導入される現像液が衝突する平面状の内壁をそれぞれの頂部近傍に有し、前記内壁に衝突した現像液が前記複数のテーパ状流路を流動して前記スリット状吐出口から吐出されることを特徴とする現像液供給装置。
【請求項７】
基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、
前記基板上を移動可能な現像液吐出ノズルと、
前記基板保持手段に保持された基板の表面に前記現像液吐出ノズルの前記スリット状吐出口から現像液が供給されるように前記現像液吐出ノズルを前記基板に対して相対的に移動させる移動手段とを備え、
前記現像液吐出ノズルは、
現像液が供給される液溜り空間を有する液溜り部と、現像液を吐出するスリット状吐出口を有する液吐出部とを備え、
前記液吐出部には、
前記スリット状吐出口の長手方向に平行な一方向に沿って配列されかつ一端が前記液溜り空間に連通する複数の管状流路と、
前記一方向に沿って配列されかつそれぞれ前記複数の管状流路の他端から漸次幅広となりつつ下方へ延びて前記スリット状吐出口に至る複数のテーパ状流路とが形成され、
前記複数の管状流路は、それぞれ前記複数のテーパ状流路に対して直角または傾斜するように設けられ、
前記液吐出部は、第１の接合面を有しかつ撥水性材料からなる第１の部材と、第２の接合面を有しかつ撥水性材料からなる第２の部材と、前記第１の接合面に接合される一面および前記第２の接合面に接合される他面を有しかつ親水性材料からなる第３の部材とを備え、
前記第１の部材の前記第１の接合面に前記複数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成され、前記第３の部材の前記一面に前記複数の管状流路の前記他端が開口され、
前記第３の部材の前記一面に前記第１の部材が接合され、前記第３の部材の前記他面に前記第２の部材が接合されることにより、
前記第１の部材および前記第２の部材が、移動方向において前記液吐出部の前方および後方の外壁面を形成し、前記第３の部材が前記液吐出部の底面を形成し、
前記複数のテーパ状流路は、前記第３の部材の前記一面に形成され、前記複数の管状流路から導入される現像液が衝突する平面状の内壁をそれぞれの頂部近傍に有し、前記内壁に衝突した現像液が前記複数のテーパ状流路を流動して前記スリット状吐出口から吐出されることを特徴とする現像液供給装置。
【請求項８】
前記複数のテーパ状流路は、前記複数の管状流路から前記スリット状吐出口に至るまでの位置またはスリット状吐出口の位置で相互に結合して一体化することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の現像液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、現像液を吐出する現像液吐出ノズルおよびそれを備えた現像液供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の基板上に処理液を供給するために処理液供給装置が用いられる。処理液供給装置としては、現像装置、塗布装置等がある。
【０００３】
現像装置では、基板上に形成された感光性膜に処理液として現像液を供給することにより現像処理を行う。また、塗布装置では、基板の表面に処理液としてフォトレジスト液等の塗布液を供給することにより塗布処理を行う。
【０００４】
例えば、回転式現像装置は、基板を水平に保持して鉛直軸の周りで回転させる回転保持部と、基板の表面に現像液を供給する現像液吐出ノズルとを備える。現像液吐出ノズルは、水平面内で回動自在に設けられたノズルアームの先端に取り付けられており、基板の上方位置と待機位置との間を移動することができる。
【０００５】
現像処理時には、現像液吐出ノズルが待機位置から基板の上方に移動した後、基板上の感光性膜に現像液を供給する。供給された現像液は、基板の回転によって基板の全面に塗り広げられ、感光性膜と接触する。表面張力により基板上に現像液を保持した状態（液盛り）で一定時間基板を静止させることにより感光性膜の現像が行われる。現像液の供給が終了すると、現像液吐出ノズルはノズルアームの回動により基板の上方から退いた待機位置に移動する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来の回転式現像装置では、回転する基板に吐出開始時の現像液が当たることにより基板上の感光性膜が大きな衝撃を受ける。その衝撃で現像液中に気泡が生じ、感光性膜の表面に残留する微小な気泡が現像欠陥となる場合がある。また、吐出開始時の現像液による衝撃で感光性膜が損傷するおそれもある。
【０００７】
そこで、スリット状吐出口を有する現像液吐出ノズルから現像液を吐出しながら基板上の一端から他端へ現像液吐出ノズルを直線状に移動させることにより、基板上に現像液を供給する現像装置が提案されている。この現像装置によれば、基板上の感光性膜に衝撃が加わらず、基板上に現像液が均一に供給される。
【０００８】
図１４はスリット状吐出口を有する従来の現像液吐出ノズルのスリット状吐出口に沿った縦断面図、図１５は図１４の現像液吐出ノズルのスリット状吐出口に垂直な方向に沿った縦断面図である。
【０００９】
図１４および図１５に示すように、現像液吐出ノズル５０の上面には現像液供給口５１が設けられ、底面にはスリット状吐出口５４が設けられている。この現像液吐出ノズル５０の内部には、現像液供給口５１に連通する液溜り空間５２が設けられるとともに、液溜り空間５２からスリット状吐出口５４に至る現像液流路５３が形成されている。現像液流路５３は、スリット状吐出口５４と同一の断面形状を有する。
【００１０】
現像液供給系（図示せず）から圧送されてきた現像液は、現像液供給口５１から液溜り空間５２に一旦貯留された後に、現像液流路５３を通ってスリット状吐出口５４から吐出される。これにより、スリット状吐出口５４の全域から基板の表面に現像液を供給することができる。
【００１１】
しかし、圧送されてきた現像液をスリット状吐出口５４から吐出する場合、スリット状吐出口５４での現像液の流速分布は、液溜り空間５２からスリット状吐出口５４に至る現像液流路５３の寸法誤差により大きな影響を受ける。機械的な加工精度の限界からスリット長手方向ＳＬの全体にわたって現像液流路５３の幅のばらつきをなくすことは難しい。特に、スリット状吐出口５４のスリット幅ｔが狭い場合には、スリット幅ｔに対する現像液流路５３の幅のばらつきの割合が大きくなる。それにより、スリット状吐出口５４の全域にわたって現像液の流速分布を均一にすることが困難となる。
【００１２】
現像液の流速分布が十分に均一でない状態で基板上に現像液を吐出すると、基板の表面に均一に現像液を供給することができない。それにより、基板面内で現像均一性が悪くなり、現像後のパターン線幅の均一性が低下したり、現像不良が生じることがある。
【００１３】
スリット状吐出口を有する処理液吐出ノズルを他の処理液供給装置に用いた場合にも、同様に、スリット状吐出口の全域にわたって処理液の流速分布を均一にすることが困難となる。
【００１４】
また、現像液吐出ノズル５０を用いて基板上に現像液を供給する際には、基板の一部領域に液切れ現象により現像液の存在しない部分が発生することを防止する必要がある。
【００１５】
一方、スリット状吐出口５４から吐出される現像液が現像液吐出ノズル５０の外壁面に這い上がると、現像液の付着により現像液吐出ノズル５０の先端部が汚染される。このような現像液吐出ノズル５０の先端部の汚染を防止する必要もある。
【００１６】
スリット状吐出口を有する処理液吐出ノズルを他の処理液供給装置に用いた場合にも、基板の一部領域に液切れ現象により処理液の存在しない部分が発生することを防止する必要があり、処理液の付着による処理液吐出ノズルの汚染を防止する必要もある。
【００１７】
本発明の目的は、スリット状吐出口から均一な流速分布で現像液を吐出することができる現像液吐出ノズルを提供することである。
【００１８】
本発明の他の目的は、スリット状吐出口から均一な流速分布で現像液を吐出することができ、かつ液切れ現象および外壁面への現像液の付着が防止された現像液吐出ノズルを提供することである。
【００１９】
本発明のさらに他の目的は、スリット状吐出口から均一な流速分布で基板上に現像液を供給することができる現像液供給装置を提供することである。
【００２０】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
第１の発明に係る現像液供給装置は、基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、基板上を移動可能な現像液吐出ノズルと、基板保持手段に保持された基板の表面に現像液吐出ノズルのスリット状吐出口から現像液が供給されるように現像液吐出ノズルを基板に対して相対的に移動させる移動手段とを備え、現像液吐出ノズルは、現像液が供給される液溜り空間を有する液溜り部と現像液を吐出するスリット状吐出口を有する液吐出部とを備え、液吐出部には、スリット状吐出口の長手方向に平行な一方向に沿って配列されかつ一端が液溜り空間に連通する複数の管状流路と、一方向に沿って配列されかつそれぞれ複数の管状流路の他端から漸次幅広となりつつ下方へ延びてスリット状吐出口に至る複数のテーパ状流路とが形成され、複数の管状流路は、それぞれ複数のテーパ状流路に対して直角または傾斜するように設けられ、複数のテーパ状流路は、複数の管状流路から導入される現像液が衝突する平面状の内壁をそれぞれの頂部近傍に有し、内壁に衝突した現像液が複数のテーパ状流路を流動してスリット状吐出口から吐出されるものである。
【００２１】
第１の発明に係る現像液供給装置においては、基板保持手段に保持された基板の表面に現像液吐出ノズルのスリット状出口から現像液が供給されるように移動手段により現像液吐出ノズルが基板に対して相対的に移動させられる。
【００２２】
第１の発明に係る現像液供給装置の現像液吐出ノズルにおいては、液溜り部の液溜り空間に供給された現像液が、複数の管状流路を通って複数のテーパ状流路に導入され、スリット状吐出口の長手方向に拡散されてスリット状吐出口から吐出される。
【００２３】
管状流路は高い加工精度で形成されるので、複数の管状流路の径を等しくすることが可能となる。そのため、液溜り空間の現像液の静圧が複数の管状流路で均一な動圧に変換される。それにより、複数の管状流路から複数のテーパ状流路に導入される現像液の流速または流量は複数の管状流路の各開口で等しくなる。複数の管状流路から複数のテーパ状流路に等しい流速または流量で導入された現像液がスリット状吐出口の長手方向に拡散されて相互に合流するので、スリット状吐出口から均一な流速分布で現像液を吐出することが可能となる。その結果、基板の表面に現像液を均一に供給することができる。
【００２４】
また、複数の管状流路から複数のテーパ状流路に導入された現像液がテーパ状流路の平面状の内壁に衝突することにより現像液の流れの方向が変えられた後、テーパ状流路で拡散される。それにより、複数のテーパ状流路による現像液の拡散の効果が高くなるとともに、複数の管状流路を流れる現像液が重力によりテーパ状流路を通してスリット状吐出口から液滴として落下することが防止され、また液滴の落下に起因してスリット状吐出口からテーパ状流路および管状流路を通して液溜り空間に空気が逆流して現像液中に気泡が生じることも防止される。
【００２５】
第２の発明に係る現像液供給装置は、第１の発明に係る現像液供給装置の構成において、液吐出部は、スリット状吐出口が設けられた底面を有し、液吐出部の底面が親水性を有し、移動方向において液吐出部の底面の前方および後方の外壁面が撥水性を有するものである。
【００２６】
この場合、液吐出部の底面が親水性を有するので、液吐出部の底面で保液性が良好となり、液吐出部の底面と基板の表面との間に十分な液溜りが形成される。それにより、液吐出部の底面と基板の表面との間で液切れ現象が起こりにくくなる。
【００２７】
また、液吐出部の底面の前方および後方の外壁面が撥水性を有するので、液吐出部の前方および後方の外壁面に現像液が這い上がる現象が抑制される。それにより、前方および後方の外壁面への現像液の付着による液吐出部の汚染が防止される。
【００２８】
第３の発明に係る現像液供給装置は、第１または第２の発明に係る現像液供給装置の構成において、液吐出部は、第１の接合面を有する第１の部材と、第１の接合面に接合される第２の接合面を有する第２の部材とを備え、第１の部材の第１の接合面に複数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成され、第２の部材の第２の接合面に複数の管状流路の上記他端が開口されたものである。
【００２９】
この場合、第１の部材の第１の接合面と第２の部材の第２の接合面とを接合することにより液吐出部が構成されるとともに、複数のテーパ状凹部により複数のテーパ状流路が形成され、複数の管状流路が複数のテーパ状流路内に開口する。
【００３０】
第４の発明に係る現像液供給装置は、第１または第２の発明に係る現像液供給装置の構成において、液吐出部は、第１の接合面を有する第１の部材と、第１の接合面に接合される第２の接合面を有する第２の部材とを備え、第２の部材の第２の接合面に複数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成され、テーパ状凹部に複数の管状流路の上記他端が開口されたものである。
【００３１】
この場合、第１の部材の第１の接合面と第２の部材の第２の接合面とを接合することにより液吐出部が構成されるとともに、複数のテーパ状凹部により複数のテーパ状流路が形成され、複数の管状流路が複数のテーパ状流路内に開口する。
【００３２】
第５の発明に係る現像液供給装置は、第３または第４の発明に係る現像液供給装置の構成において、液吐出部は、第１の部材の第１の接合面と第２の部材の第２の接合面との間の複数のテーパ状凹部を除く領域に挟み込まれたシート状シール部材をさらに備えたものである。
【００３３】
この場合、第１の部材の第１の接合面と第２の部材の第２の接合面との間にシート状シール部材を挟み込んで第１の部材と第２の部材とを接合することにより、接着剤を用いることなく液吐出部を構成することが可能となる。したがって、現像液と接着剤の反応の問題が回避される。
【００３４】
第６の発明に係る現像液供給装置は、基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、基板上を移動可能な現像液吐出ノズルと、基板保持手段に保持された基板の表面に現像液吐出ノズルのスリット状吐出口から現像液が供給されるように現像液吐出ノズルを基板に対して相対的に移動させる移動手段とを備え、現像液吐出ノズルは、現像液が供給される液溜り空間を有する液溜り部と現像液を吐出するスリット状吐出口を有する液吐出部とを備え、液吐出部には、スリット状吐出口の長手方向に平行な一方向に沿って配列されかつ一端が液溜り空間に連通する複数の管状流路と、一方向に沿って配列されかつそれぞれ複数の管状流路の他端から漸次幅広となりつつ下方へ延びてスリット状吐出口に至る複数のテーパ状流路とが形成され、複数の管状流路は、それぞれ複数のテーパ状流路に対して直角または傾斜するように設けられ、液吐出部は、第１の接合面を有しかつ撥水性材料からなる第１の部材と、第２の接合面を有しかつ撥水性材料からなる第２の部材と、第１の接合面に接合される一面および第２の接合面に接合される他面を有しかつ親水性材料からなる第３の部材とを備え、第２の部材の第２の接合面に複数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成され、テーパ状凹部に複数の管状流路の他端が開口され、第３の部材の一面に第１の部材が接合され、第３の部材の他面に第２の部材が接合されることにより、第１の部材および第２の部材が、移動方向において液吐出部の前方および後方の外壁面を形成し、第３の部材が液吐出部の底面を形成し、複数のテーパ状流路は、テーパ状凹部に形成され、複数の管状流路から導入される現像液が衝突する平面状の内壁をそれぞれの頂部近傍に有し、内壁に衝突した現像液が複数のテーパ状流路を流動してスリット状吐出口から吐出されるものである。
【００３５】
第６の発明に係る現像液供給装置においては、基板保持手段に保持された基板の表面に現像液吐出ノズルのスリット状出口から現像液が供給されるように移動手段により現像液吐出ノズルが基板に対して相対的に移動させられる。
【００３６】
第６の発明に係る現像液供給装置の現像液吐出ノズルにおいては、現像液吐出ノズルの液溜り空間に供給された現像液が、複数の管状流路を通って複数のテーパ状流路に導入され、スリット状吐出口の長手方向に拡散されてスリット状吐出口から吐出される。
【００３７】
管状流路は高い加工精度で形成されるので、複数の管状流路の径を等しくすることが可能となる。そのため、液溜り空間の現像液の静圧が複数の管状流路で均一な動圧に変換される。それにより、複数の管状流路から複数のテーパ状流路に導入される現像液の流速または流量は複数の管状流路の各開口で等しくなる。複数の管状流路から複数のテーパ状流路に等しい流速または流量で導入された現像液がスリット状吐出口の長手方向に拡散されて相互に合流するので、スリット状吐出口から均一な流速分布で現像液を吐出することが可能となる。その結果、基板の表面に現像液を均一に供給することができる。
【００３８】
また、複数の管状流路から複数のテーパ状流路に導入された現像液がテーパ状流路の内壁に衝突することにより現像液の流れの方向が変えられた後、テーパ状流路で拡散される。それにより、複数のテーパ状流路による現像液の拡散の効果が高くなるとともに、複数の管状流路を流れる現像液が重力によりテーパ状流路を通してスリット状吐出口から液滴として落下することが防止され、また液滴の落下に起因してスリット状吐出口からテーパ状流路および管状流路を通して液溜り空間に空気が逆流して現像液中に気泡が生じることも防止される。
【００３９】
また、第１の部材の第１の接合面と第３の部材の一面とを接合しかつ第２の部材の第２の接合面と第３の部材の他面とを接合することにより液吐出部が構成されるとともに、複数のテーパ状凹部により複数のテーパ状流路が形成され、複数の管状流路が複数のテーパ状流路内に開口する。
【００４０】
さらに、第１の部材の第１の接合面と第３の部材の一面とが接合され、かつ第２の部材の第２の接合面と親水性材料からなる第３の部材の他面とが接合される場合に、撥水性材料からなる第１の部材および第２の部材により移動方向における液吐出部の前方および後方の外壁面が形成され、親水性の第３の部材により液吐出部の底面が形成される。
【００４１】
この場合、第１の部材および第２の部材が撥水性材料からなるので、液吐出部の前方の外壁面および後方の外壁面が撥水性を有する。それにより、液吐出部の前方の外壁面および後方の外壁面に現像液が這い上がる現象が抑制される。したって、液吐出部の前方の外壁面および後方の外壁面への現像液の付着による液吐出部の汚染が防止される。
【００４２】
また、第３の部材が親水性材料からなるので、液吐出部の底面が親水性を有する。それにより、液吐出部の底面で保液性が良好となり、液吐出部の底面と基板の表面との間に十分な液溜りが形成される。したがって、液吐出部の底面と基板の表面との間で液切れ現象が起こりにくくなる。
【００４３】
第７の発明に係る現像液供給装置は、基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、基板上を移動可能な現像液吐出ノズルと、基板保持手段に保持された基板の表面に現像液吐出ノズルのスリット状吐出口から現像液が供給されるように現像液吐出ノズルを基板に対して相対的に移動させる移動手段とを備え、現像液吐出ノズルは、現像液が供給される液溜り空間を有する液溜り部と、現像液を吐出するスリット状吐出口を有する液吐出部とを備え、液吐出部には、スリット状吐出口の長手方向に平行な一方向に沿って配列されかつ一端が液溜り空間に連通する複数の管状流路と、一方向に沿って配列されかつそれぞれ複数の管状流路の他端から漸次幅広となりつつ下方へ延びてスリット状吐出口に至る複数のテーパ状流路とが形成され、複数の管状流路は、それぞれ複数のテーパ状流路に対して直角または傾斜するように設けられ、液吐出部は、第１の接合面を有しかつ撥水性材料からなる第１の部材と、第２の接合面を有しかつ撥水性材料からなる第２の部材と、第１の接合面に接合される一面および第２の接合面に接合される他面を有しかつ親水性材料からなる第３の部材とを備え、第１の部材の第１の接合面に複数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成され、第３の部材の一面に複数の管状流路の他端が開口され、第３の部材の一面に第１の部材が接合され、第３の部材の他面に第２の部材が接合されることにより、第１の部材および第２の部材が、移動方向において液吐出部の前方および後方の外壁面を形成し、第３の部材が液吐出部の底面を形成し、複数のテーパ状流路は、第３の部材の一面に形成され、複数の管状流路から導入される現像液が衝突する平面状の内壁をそれぞれの頂部近傍に有し、内壁に衝突した現像液が複数のテーパ状流路を流動してスリット状吐出口から吐出されるものである。
【００４４】
第７の発明に係る現像液供給装置においては、基板保持手段に保持された基板の表面に現像液吐出ノズルのスリット状出口から現像液が供給されるように移動手段により現像液吐出ノズルが基板に対して相対的に移動させられる。
第７の発明に係る現像液供給装置の現像液吐出ノズルにおいては、現像液吐出ノズルの液溜り空間に供給された現像液が、複数の管状流路を通って複数のテーパ状流路に導入され、スリット状吐出口の長手方向に拡散されてスリット状吐出口から吐出される。
【００４５】
管状流路は高い加工精度で形成されるので、複数の管状流路の径を等しくすることが可能となる。そのため、液溜り空間の現像液の静圧が複数の管状流路で均一な動圧に変換される。それにより、複数の管状流路から複数のテーパ状流路に導入される現像液の流速または流量は複数の管状流路の各開口で等しくなる。複数の管状流路から複数のテーパ状流路に等しい流速または流量で導入された現像液がスリット状吐出口の長手方向に拡散されて相互に合流するので、スリット状吐出口から均一な流速分布で現像液を吐出することが可能となる。その結果、基板の表面に現像液を均一に供給することができる。
【００４６】
また、複数の管状流路から複数のテーパ状流路に導入された現像液がテーパ状流路の内壁に衝突することにより現像液の流れの方向が変えられた後、テーパ状流路で拡散される。それにより、複数のテーパ状流路による現像液の拡散の効果が高くなるとともに、複数の管状流路を流れる現像液が重力によりテーパ状流路を通してスリット状吐出口から液滴として落下することが防止され、また液滴の落下に起因してスリット状吐出口からテーパ状流路および管状流路を通して液溜り空間に空気が逆流して現像液中に気泡が生じることも防止される。
【００４７】
また、第１の部材の第１の接合面と第３の部材の一面とを接合しかつ第２の部材の第２の接合面と第３の部材の他面とを接合することにより液吐出部が構成されるとともに、複数のテーパ状凹部により複数のテーパ状流路が形成され、複数の管状流路が複数のテーパ状流路内に開口する。
【００４８】
さらに、第１の部材の第１の接合面と第３の部材の一面とが接合され、かつ第２の部材の第２の接合面と親水性材料からなる第３の部材の他面とが接合される場合に、撥水性材料からなる第１の部材および第２の部材により移動方向における液吐出部の前方および後方の外壁面が形成され、親水性の第３の部材により液吐出部の底面が形成される。
【００４９】
この場合、第１の部材および第２の部材が撥水性材料からなるので、液吐出部の前方の外壁面および後方の外壁面が撥水性を有する。それにより、液吐出部の前方の外壁面および後方の外壁面に現像液が這い上がる現象が抑制される。したって、液吐出部の前方の外壁面および後方の外壁面への現像液の付着による液吐出部の汚染が防止される。
【００５０】
また、第３の部材が親水性材料からなるので、液吐出部の底面が親水性を有する。それにより、液吐出部の底面で保液性が良好となり、液吐出部の底面と基板の表面との間に十分な液溜りが形成される。したがって、液吐出部の底面と基板の表面との間で液切れ現象が起こりにくくなる。
【００５１】
第８の発明に係る現像液供給装置は、第１〜第７のいずれかの発明に係る現像液供給装置の構成において、複数のテーパ状流路は、複数の管状流路からスリット状吐出口に至るまでの位置またはスリット状吐出口の位置で相互に結合して一体化するものである。
【００５２】
これにより、複数のテーパ状流路でそれぞれ拡散される現像液がスリット状吐出口に至るまでの位置またはスリット状吐出口の位置で合流し、スリット状吐出口の全域から均一に吐出される。
【００５３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る現像液吐出ノズルおよび現像液供給装置の一例として現像液吐出ノズルおよびそれを用いた現像装置について説明する。
【００５４】
図１は本発明の一実施例における現像装置の平面図、図２は図１の現像装置の主要部のＸ−Ｘ線断面図、図３は図１の現像装置の主要部のＹ−Ｙ線断面図である。
【００５５】
図２および図３に示すように、現像装置は、基板１００を水平姿勢で吸引保持する基板保持部１を備える。基板保持部１は、モータ２の回転軸３の先端部に固定され、鉛直方向の軸の周りで回転可能に構成されている。基板保持部１の周囲には、基板１００を取り囲むように円形の内側カップ４が上下動自在に設けられている。また、内側カップ４の周囲には、正方形の外側カップ５が設けられている。
【００５６】
図１に示すように、外側カップ５の両側にはそれぞれ待機ポット６，７が配置され、外側カップ５の一方の側部側にはガイドレール８が配設されている。また、ノズルアーム９がアーム駆動部１０によりガイドレール８に沿って走査方向Ａおよびその逆方向に移動可能に設けられている。外側カップ５の他方の側部側には、純水を吐出する純水吐出ノズル１２が矢印Ｒの方向に回転可能に設けられている。
【００５７】
ノズルアーム９には、現像液吐出ノズル１１がガイドレール８と垂直に取り付けられている。これにより、現像液吐出ノズル１１は、待機ポット６の位置から基板１００上を通過して待機ポット７の位置まで走査方向Ａに沿って直線状に平行移動可能となっている。後述するように、現像液吐出ノズル１１は液溜り部２０および液吐出部３０からなり、液吐出部３０の底面にスリット状吐出口１５が形成されている。
【００５８】
図２に示すように、現像液吐出ノズル１１には、現像液供給系１４により現像液が供給される。制御部１３は、モータ２の回転動作、アーム駆動部１０による現像液吐出ノズル１１の走査および現像液吐出ノズル１１からの現像液の吐出を制御する。
【００５９】
本実施例では、基板保持部１が基板保持手段に相当し、アーム駆動部１０が移動手段に相当し、現像液吐出ノズル１１が現像液吐出ノズルに相当する。
【００６０】
図４は現像液吐出ノズル１１のスリット状吐出口１５に沿った縦断面図、図５は図４の現像液吐出ノズル１１のＺ−Ｚ線断面図である。
【００６１】
図５に示すように、現像液吐出ノズル１１は、液溜り部２０および液吐出部３０からなり、液吐出部３０は液溜り部２０の一方の側面に接合されている。
【００６２】
液溜り部２０の内部には液溜り空間２２と、この液溜り空間２２内の現像液の温度を調節するために温水を流す温水用配管２４とが設けられ、上端部に液溜り空間２２に連通する現像液供給口２１が設けられ、一方の側面の下端近傍に現像液出口２３が設けられている。また、現像液供給口２１に至る現像液用配管２６の周囲には、現像液用配管２６に流れる現像液の温度を調節するために温水を流す温水用配管２５が設けられている。
【００６３】
液吐出部３０は板状の第１の部材３１および板状の第２の部材３２を備え、第１の部材３１と第２の部材３２とがシート状パッキン３３を挟んで接合されている。液吐出部３０の底面には、スリット状吐出口１５が形成されている。
【００６４】
液吐出部３０には、液溜り部２０の現像液出口２３に連通して水平方向に延びる複数の管状流路３６が形成されている。図４に示すように、複数の管状流路３６は、スリット長手方向ＳＬに沿って等間隔に配列されている。管状流路３６は高い加工精度で形成することができるので、複数の管状流路３６の寸法誤差はほとんどない。そのため、複数の管状流路３６は等しい径を有する。
【００６５】
また、この液吐出部３０には、スリット長手方向ＳＬに漸次幅広となりつつ下方に延びてスリット状吐出口１５に至る複数のテーパ状流路３４が形成されている。複数のテーパ状流路３４も、スリット長手方向ＳＬに沿って等間隔に配列されている。複数の管状流路３６は、それぞれ複数のテーパ状流路３４の頂部近傍に連通している。
【００６６】
複数のテーパ状流路３４は、液吐出部３０の底面のスリット状吐出口１５から一定の高さＨの位置で相互に結合して一体化している。それにより、複数のテーパ状流路３４の下端に一定幅の結合領域３５が形成されている。なお、複数のテーパ状流路３４が液吐出部３０の底面のスリット状吐出口１５の位置で相互に結合してもよい。この場合、Ｈ＝０となる。
【００６７】
液溜り部２０、第１の部材３１および第２の部材３２は、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、純石英、高純度アルミナ等により形成される。また、シート状パッキン３３としては、フッ素系樹脂からなるシート、ガラス繊維からなるシート、石英からなるシート等が用いられる。
【００６８】
図６（ａ）は現像液吐出ノズル１１の液吐出部３０の分解正面図、図６（ｂ）は現像液吐出ノズル１１の液吐出部３０の分解側面図である。
【００６９】
図６に示すように、第１の部材３１の第１の接合面ＰＡには、複数のテーパ状流路３４を構成する複数のテーパ状凹部３４ａが形成されている。複数のテーパ状凹部３４ａは、底面から一定の高さＨの位置で相互に結合して一定幅の結合領域３５ａを形成している。
【００７０】
一方、第２の部材３２の第２の接合面ＰＢには、複数の管状流路３６が開口している。シート状パッキン３３は、第１の部材３１の第１の接合面ＰＡの複数のテーパ状凹部３４ａを除く領域と同じ形状をなし、複数のテーパ状凹部３４ａに対応する複数のテーパ状切欠き部３７を有する。
【００７１】
第１の部材３１、第２の部材３２およびシート状パッキン３３の上辺および両側辺に沿って複数のねじ孔３８，３９，４０がそれぞれ設けられている。
【００７２】
第１の部材３１の第１の接合面ＰＡと第２の部材３２の第２の接合面ＰＢとの間にシート状パッキン３３を挟み込んでねじ孔３８，３９，４０にねじ（図示せず）を通して第１の部材３１と第２の部材３２とをねじで連結することにより、図４および図５に示した液吐出部３０が構成されるとともに、第１の部材３１の複数のテーパ状凹部３４ａ、シート状パッキン３３の複数のテーパ状切欠き部３７および第２の部材３２の第２の接合面ＰＢにより複数の管状流路３６に連通する複数のテーパ状流路３４が形成される。
【００７３】
本実施例の現像液吐出ノズル１１においては、現像液供給系１４（図２参照）から液溜り部２０の現像液供給口２１を通して液溜り空間２２に現像液が供給される。液溜り空間２２の現像液は、現像液出口２３から液吐出部３０の複数の管状流路３６を通って複数のテーパ状流路３４に導入される。このとき、複数の管状流路３６の径が等しく形成されているので、液溜り空間２２の現像液の静圧が複数の管状流路３６で均一な動圧に変換される。それにより、複数の管状流路３６から複数のテーパ状流路３４に導入される現像液の流速または流量は複数の管状流路３６の各出口で等しくなる。また、複数の管状流路３６から複数のテーパ状流路３４に等しい流速または流量で導入された現像液は、下降するに従ってスリット長手方向ＳＬに拡散されてスリット状吐出口１５の近傍で相互に合流する。それにより、スリット状吐出口１５から均一な流速分布で現像液が吐出される。
【００７４】
特に、複数の管状流路３６が複数のテーパ状流路３４に対して垂直に設けられているので、複数の管状流路３６から複数のテーパ状流路３４に導入された現像液がテーパ状流路３４の内壁に衝突することにより現像液の流れの方向が変えられた後、拡散される。それにより、複数のテーパ状流路３４による現像液の拡散の効果が高くなるとともに、複数の管状流路３６を流れる現像液が重力によりテーパ状流路３４を通してぼた落ちすることが防止され、また現像液のぼた落ちに起因してスリット状吐出口１５からテーパ状流路３４および管状流路３６を通して液溜り空間２２に空気が逆流して現像液中に気泡が生じることも防止される。
【００７５】
本実施例の現像液吐出ノズル１１においては、シート状パッキン３３を挟み込んで第１の部材３１と第２の部材３２とをねじで接合することにより接着剤を用いることなく液吐出部３０が構成されるので、現像液が接着剤と反応するという問題が生じない。
【００７６】
なお、現像液が接着剤と反応しない場合には、シート状パッキン３３を用いずに、第１の部材３１の第１の接合面ＰＡと第２の部材３２の第２の接合面ＰＢとを接着剤で接合してもよい。
【００７７】
また、本実施例では第１の部材３１の第１の接合面ＰＡに、複数のテーパ状流路３４を構成する複数のテーパ状凹部３４ａが形成されているが、複数の管状流路３６が開口されている第２の部材３２の第２の接合面ＰＢに、複数のテーパ状流路３４を構成する複数のテーパ状凹部３４ａを形成してもよい。
【００７８】
図７に示すように、スリット状吐出口１５は現像液吐出ノズル１１の走査方向Ａと垂直に配置される。スリット状吐出口１５のスリット幅ｔは０．０５〜１．０ｍｍであり、本実施例では０．１ｍｍである。また、スリット状吐出口１５の吐出幅Ｌは、現像対象となる基板１００の直径と同じかまたはそれよりも大きく設定され、直径８インチの基板１００を現像する場合には、本実施例では２１０ｍｍに設定される。
【００７９】
現像液吐出ノズル１１は、底面が基板１００の表面に対して平行な状態を保つように走査方向Ａに走査される。スリット状吐出口１５と基板１００の表面との間隔は、０．２〜５ｍｍ、より好ましくは０．５〜２ｍｍであり、本実施例では１ｍｍである。
【００８０】
次に図８および図９を参照しながら図１の現像装置の動作を説明する。現像処理時には、基板１００は基板保持部１により静止状態で保持されている。
【００８１】
待機時には、現像液吐出ノズル１１は、待機ポット６内の位置Ｐ０に待機している。現像処理時には、現像液吐出ノズル１１が上昇した後、走査方向Ａに移動し、外側カップ５内の走査開始位置Ｐ１で下降する。
【００８２】
その後、現像液吐出ノズル１１は、走査開始位置Ｐ１から所定の走査速度で走査を開始する。この時点では、現像液吐出ノズル１１からまだ現像液の吐出は行わない。本実施例では、走査速度は１０〜５００ｍｍ／秒とする。
【００８３】
現像液吐出ノズル１１の走査開始後、現像液吐出ノズル１１のスリット状吐出口１５が基板１００上に到達する前に、吐出開始位置Ｐ２にて所定の流量で現像液吐出ノズル１１による現像液の吐出を開始する。本実施例では、現像液の流量は１．５Ｌ／分とする。
【００８４】
現像液吐出ノズル１１は、現像液を吐出しながら吐出開始位置Ｐ２から基板１００上を走査方向Ａに直線状に移動する（図９参照）。これにより、基板１００の全面に現像液が連続的に供給される。供給された現像液は、表面張力により基板１００上に保持される。
【００８５】
現像液吐出ノズル１１が基板１００上を通過した後、基板１００上から外れた吐出停止位置Ｐ３で現像液吐出ノズル１１による現像液の吐出を停止させる。そして、現像液吐出ノズル１１が外側カップ５内の走査停止位置Ｐ４に到達した時点で現像液吐出ノズル１１の走査を停止させる。
【００８６】
その後、現像液吐出ノズル１１は、走査停止位置Ｐ４で上昇した後、他方の待機ポット７の位置Ｐ５まで移動し、待機ポット７内に下降する。
【００８７】
基板１００上に現像液が供給された状態を一定時間維持し、現像を進行させる。このとき、モータ２により基板保持部１を回転駆動し、基板１００を回転させてもよい。その後、純水吐出ノズル１２により純水を基板１００上に供給しながら基板１００を高速回転させることにより基板１００上の現像液を振り切り、基板１００を乾燥させて現像処理を終了する。
【００８８】
本実施例の現像装置では、現像液吐出ノズル１１のスリット状吐出口１５の全域から均一な流速分布で現像液が吐出されるので、基板上に均一に現像液が供給される。したがって、基板面内での現像均一性が良好となり、現像後のパターン線幅の均一性が向上するとともに、現像不良の発生が回避される。
【００８９】
また、本実施例の現像装置では、現像液吐出ノズル１１が静止した基板１００上に到達する前に現像液の吐出が開始されるので、吐出開始時の現像液が基板１００に衝撃を与えることが回避される。それにより、現像液中の気泡の発生が抑制され、現像欠陥の発生が防止される。
【００９０】
さらに、現像液吐出ノズル１１が静止した基板１００上をスリット状吐出口１５と基板１００の上面とが近接した状態で水平方向に直線状に平行移動し、スリット状吐出口１５に形成された帯状の現像液が基板１００の表面に連続的に接触するので、基板１００の表面に衝撃が加わることなく基板１００の全面に現像液が均一に供給される。
【００９１】
また、現像液吐出ノズル１１が基板１００上を通過するまで現像液の供給が続けられるので、吐出停止時の衝撃による液盛り中の現像液への悪影響が防止される。その結果、現像欠陥の発生が抑制されるとともに、現像後の感光性膜パターンの線幅均一性が向上する。
【００９２】
また、現像液吐出ノズル１１が基板１００上を通り過ぎた後に現像液の吐出が停止されるので、吐出停止時の現像液の液だれにより基板１００上の感光性膜に衝撃が加わることが防止される。したがって、現像欠陥の発生や感光性膜パターンの線幅均一性の劣化が防止される。
【００９３】
なお、上記実施例の現像液吐出ノズル１１では、液吐出部３０の複数の管状流路３６が複数のテーパ状流路３４に対して直角に設けられているが、複数の管状流路３６が複数のテーパ状流路３４に対して０度よりも大きく１８０度よりも小さい角度で傾斜するように設けられてもよい。
【００９４】
図１０は図１〜図３の現像装置に用いられる現像液吐出ノズルの他の例を示すスリット状吐出口に沿った縦断面図、図１１は図１０の現像液吐出ノズルのＢ−Ｂ線断面図である。
【００９５】
図１１に示すように、現像液吐出ノズル１１ａは、液溜り部２０および液吐出部６０からなり、液吐出部３０は液溜り部２０の一方の側面に接合されている。現像液吐出ノズル１１ａの液溜り部２０の構成は、図５に示した現像液吐出ノズル１１の液溜り部２０の構成と同様である。
【００９６】
液吐出部６０は、板状の第１の部材６１、板状の第２の部材６２および板状の第３の部材６３を備え、第３の部材６３の一面および他面にそれぞれ第１の部材６１および第２の部材６２が接合されている。液吐出部６０の底面には、スリット状吐出口１５ａが形成されている。
【００９７】
第１の部材６１および第２の部材６２は、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等の撥水性材料により形成され、第３の部材６３は、例えば石英等の親水性材料により形成される。それにより、液吐出部６０の底面７１は親水性を有し、液吐出部６０の前方の外壁面７２および後方の外壁面７３は撥水性を有する。
【００９８】
液吐出部６０には、液溜り部２０の現像液出口２３に連通して水平方向に延びる複数の管状流路６６が形成されている。図１０に示すように、複数の管状流路６６はスリット長手方向をＳＬに沿って等間隔に配列されている。管状流路６６は高い加工精度で形成することができるので、複数の管状流路６６の寸法誤差はほとんどない。そのため、複数の管状流路６６は等しい径を有する。
【００９９】
また、この液吐出部６０には、スリット長手方向ＳＬに漸次幅広となりつつ下方に延びてスリット状吐出口１５ａに至る複数のテーパ状流路６４が形成されている。複数のテーパ状流路６４も、スリット長手方向ＳＬに沿って等間隔に配列されている。複数の管状流路６６は、それぞれ複数のテーパ状流路６４の頂部近傍に連通している。
【０１００】
複数のテーパ状流路６４は、液吐出部６０の底面のスリット状吐出口１５ａから一定の高さＨの位置で相互に結合して一体化している。それにより、複数のテーパ状流路６４の下端に一定幅の結合領域６５が形成されている。なお、複数のテーパ状流路６４が液吐出部６０の底面のスリット状吐出口１５ａの位置で相互に結合してもよい。この場合、Ｈ＝０となる。
【０１０１】
図１２（ａ）は図１０および図１１の現像液吐出ノズル１１ａの液吐出部６０の分解正面図、図１２（ｂ）は図１０および図１１の現像液吐出ノズル１１ａの液吐出部６０の分解側面図である。
【０１０２】
図１２に示すように、第１の部材６１の第１の接合面Ｐａは平坦な平面となっている。第２の部材６２の第２の接合面Ｐｂには、複数のテーパ状流路６４を構成する複数のテーパ状凹部６４ａが形成されている。複数のテーパ状凹部６４ａは、底面から一定の高さＨの位置で相互に結合して一定幅の結合領域６５ａを形成している。また、この第２の部材６２の各テーパ状凹部６４ａ内の頂部近傍にそれぞれ管状流路６６が開口している。第３の部材６３の一面および他面は平坦な平面となっている。
【０１０３】
第１の部材６１、第２の部材６２および第３の部材６３の上辺および両側辺に沿って複数のねじ孔６８，６９，７０がそれぞれ設けられている。
【０１０４】
第１の部材６１の第１の接合面Ｐａと第２の部材６２の第２の接合面Ｐｂとの間に第３の部材６３を挟み込んでねじ孔６８，６９，７０にねじ（図示せず）を通して第１の部材６１、第３の部材６３および第２の部材６２をねじで連結することにより、図１０および図１１に示した液吐出部６０が構成されるとともに、第２の部材６２の複数のテーパ状凹部６４ａおよび第３の部材６３の他面により複数の管状流路６６に連通する複数のテーパ状流路６４が形成される。
【０１０５】
図１３は図１０および図１１の現像液吐出ノズル１１ａの液吐出部６０の底面図である。
【０１０６】
図１３に示すように、スリット状吐出口１５ａは現像液吐出ノズル１１ａの走査方向Ａと垂直に配置される。スリット状吐出口１５ａの寸法は、図７に示したスリット状吐出口１５と同様である。
【０１０７】
現像液吐出ノズル１１ａは、底面７１が基板の表面に対して平行な状態を保つように走査方向Ａに走査される。
【０１０８】
この現像液吐出ノズル１１ａにおいては、現像液供給系１４（図２参照）から液溜り部２０の現像液供給口２１を通して液溜り空間２２に現像液が供給される。液溜り空間２２の現像液は、現像液出口２３から液吐出部６０の複数の管状流路６６を通って複数のテーパ状流路６４に導入される。このとき、複数の管状流路６６の径が等しく形成されているので、液溜り空間２２の現像液の静圧が複数の管状流路６６で均一な動圧に変換される。それにより、複数の管状流路６６から複数のテーパ状流路６４に導入される現像液の流速または流量は複数の管状流路６６の各出口で等しくなる。また、複数の管状流路６６から複数のテーパ状流路６４に等しい流速または流量で導入された現像液は、下降するに従ってスリット長手方向ＳＬに拡散されてスリット状吐出口１５ａの近傍で相互に合流する。それにより、スリット状吐出口１５ａから均一な流速分布で現像液が吐出される。
【０１０９】
特に、複数の管状流路６６が複数のテーパ状流路６４に対して垂直に設けられているので、複数の管状流路６６から複数のテーパ状流路６４に導入された現像液がテーパ状流路６４の内壁に衝突することにより現像液の流れの方向が変えられた後、拡散される。それにより、複数のテーパ状流路６４による現像液の拡散の効果が高くなるとともに、複数の管状流路６６を流れる現像液が重力によりテーパ状流路６４を通してぼた落ちすることが防止され、また現像液のぼた落ちに起因してスリット状吐出口１５ａからテーパ状流路６４および管状流路６６を通して液溜り空間２２に空気が逆流して現像液中に気泡が生じることも防止される。
【０１１０】
また、液吐出部６０の底面７１が親水性を有するので、液吐出部６０の底面７１における保液性が良好となり、液吐出部６０の底面７１と基板の表面との間に十分な液溜りが形成される。それにより、液吐出部６０の底面７１と基板の表面との間で液切れ現象が発生することがない。したがって、基板上の一部領域に液切れ現象により現像液のない部分が発生することが防止される。
【０１１１】
また、液吐出部６０の前方および後方の外壁面７２，７３が撥水性を有するので、液吐出部６０の外壁面７２，７３に現像液が這い上がる現象が抑制される。したがって、液吐出部６０の外壁面７２，７２に現像液が付着することによる液吐出部６０の汚染が防止される。
【０１１２】
なお、本例では、第２の部材６２の第２の接合面Ｐｂに複数のテーパ状流路６４を構成する複数のテーパ状凹部６４ａが形成され、各テーパ状凹部６４ａ内に管状流路６６が開口しているが、第１の部材６１の第１の接合面Ｐａに複数のテーパ状流路６４を構成する複数のテーパ状凹部６４ａが形成され、複数の管状流路６６が第２の部材６２および第３の部材６３に設けられ、管状流路６６の端部が第１の部材６１の第１の接合面Ｐａに接合される第３の部材６３の一面に開口してもよい。
【０１１３】
上記実施例では、本発明を現像液吐出ノズルおよび現像装置に適用した場合を説明したが、本発明は、例えばレジスト液等の塗布液を吐出する塗布液吐出ノズルおよびそれを用いた塗布装置など、他の現像液吐出ノズルおよびそれを用いた現像液供給装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例における現像装置の平面図である。
【図２】図１の現像装置の主要部のＸ−Ｘ線断面図である。
【図３】図１の現像装置の主要部のＹ−Ｙ線断面図である。
【図４】図１の現像装置に用いられる現像液吐出ノズルのスリット状吐出口に沿った縦断面図である。
【図５】図４の現像液吐出ノズルのＺ−Ｚ線断面図である。
【図６】図４の現像液吐出ノズルの分解正面図および分解側面図である。
【図７】図４の現像液吐出ノズルの液溜り部の底面図である。
【図８】図１の現像装置の動作を説明するための図である。
【図９】基板上での現像液吐出ノズルの走査を示す平面図である。
【図１０】図１の現像装置に用いられる現像液吐出ノズルの他の例を示すスリット状吐出口に沿った縦断面図である。
【図１１】図１０の現像液吐出ノズルのＢ−Ｂ線断面図である。
【図１２】図１０および図１１の現像液吐出ノズル分解正面図および分解側面図である。
【図１３】図１０および図１１の現像液吐出ノズルの液溜り部の底面図である。
【図１４】スリット状吐出口を有する従来の現像液吐出ノズルのスリット状吐出口に沿った縦断面図である。
【図１５】図１４の現像液吐出ノズルのスリット状吐出口に垂直な方向に沿った縦断面図である。
【符号の説明】
１  基板保持部
８  ガイドレール
９  ノズルアーム
１０  ノズル駆動部
１１，１１ａ  現像液吐出ノズル
１３  制御部
１４  現像液供給系
１５，１５ａ  スリット状吐出口
２０  液溜り部
２２  液溜り空間
２３  現像液出口
３０，６０  液吐出部
３１，６１  第１の部材
３２，６２  第２の部材
３３  シート状パッキン
３４，６４  テーパ状流路
３４ａ，６４ａ  テーパ状凹部
３５，６５  結合領域
３６，６６  管状流路
３７  テーパ状切欠き部
６３  第３の部材
ＰＡ，Ｐａ  第１の接合面
ＰＢ，Ｐｂ  第２の接合面
【図１】
0003722629.tif 000002
【図２】
0003722629.tif 000003
【図３】
0003722629.tif 000004
【図４】
0003722629.tif 000005
【図５】
0003722629.tif 000006
【図６】
0003722629.tif 000007
【図７】
0003722629.tif 000008
【図８】
0003722629.tif 000009
【図９】
0003722629.tif 000010
【図１０】
0003722629.tif 000011
【図１１】
0003722629.tif 000012
【図１２】
0003722629.tif 000013
【図１３】
0003722629.tif 000014
【図１４】
0003722629.tif 000015
【図１５】
0003722629.tif 000016