(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上面に、上面側にフィルムを有する接着層を貼付する第１の工程と、次に前記フィルムを剥離し、その後前記接着層上に、上面側に第１のキャリアフィルムを有し、下面側に内部電極を設けた第１のグリーンシートを貼付し、次に前記第１のキャリアフィルムを介して前記第１のグリーンシートを前記基板側に熱プレスを行い、その後前記第１のキャリアフィルムの上から冷却を行い、次に前記第１のキャリアフィルムを前記第１のグリーンシート上から剥離する第２の工程と、その後前記第１のグリーンシート上に、上面側に第２のキャリアフィルムを有し、下面側に内部電極を設けた第２のグリーンシートの外方四ヶ所を押圧し、部分的な仮圧着を行い、前記第２のキャリアフィルム下のエア抜き後、前記第２のグリーンシートを基板側に熱プレスを行い、前記第１、第２のグリーンシートを強固に接着する第３の工程と、その後前記第２のキャリアフィルムの上から冷却を行い、次に前記第２のキャリアフィルムを前記第２のグリーンシートから剥離する第４の工程と、その後積層された前記第１、第２のグリーンシートを切断して個片を得る第５の工程とを備えた積層型電子部品の製造方法。
【請求項２】
第１、または第２のキャリアフィルムの上面側の一端部に、表面が接着面となったローラを当接させ、次にこのローラを回転させて第１、または第２のキャリアフィルムの端部をローラに接着させて剥離させ、その後このローラに接着した第１、または第２のキャリアフィルムの端部をローラとフィルム押えで挟持し、次にローラを第１、または第２のキャリアフィルムの他端部側へ移動させて、これらの第１、または第２のキャリアフィルムを第１、または第２のグリーンシート上面から剥離させる請求項１に記載の積層型電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えばセラミックコンデンサ等の積層型電子部品の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種積層型電子部品の製造方法は、基板の上面に、上面側にフィルムを有する接着層を貼付し、次にこのフィルムを剥離し、その後前記接着層上に、上面側に第１のキャリアフィルムを有する第１のグリーンシートを貼付し、次に前記第１のキャリアフィルムを介して第１のグリーンシートを基板側に熱プレスを行い、その後第１のキャリアフィルムを第１のグリーンシート上から剥離し、次に第１のグリーンシート上に、上面側に第２のキャリアフィルムを有する第２のグリーンシートを貼付し、その後前記第２のキャリアフィルムを介して第２のグリーンシートを基板側に熱プレスを行い、次に第２のキャリアフィルムを第２のグリーンシートから剥離し、その後積層された第１、第２のグリーンシートを切断して個片を得るようになっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例で問題となるのは、第１、第２のキャリアフィルムを剥離する際に、下方の第１、第２のグリーンシートまでも共に剥離させてしまい、以後の積層が行えなくなるということであった。
【０００４】
すなわち、第１、第２のキャリアフィルムは剥離工程の前に熱プレスを行っており、これが第１、第２のキャリアフィルムとその下方の第１、第２のグリーンシートとの接着力をきわめて高いものにし、これが結果的に第１、第２のグリーンシートまでも剥離させてしまうことになるのであった。
【０００５】
そこで本発明は第１、第２のキャリアフィルムの剥離の際に第１、第２のグリーンシートが剥離されず、これにより積層が正しく行える様にすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そして、この目的を達成するために本発明は、第１のグリーンシート上に上面側に第２のキャリアフィルムを有し、下面側に内部電極を設けた第２のグリーンシートの外方四ヶ所を押圧し、部分的な仮圧着を行い、前記第２のキャリアフィルム下のエア抜き後、前記第２のグリーンシートの熱プレスを行い、前記第１のグリーンシートと前記第２のグリーンシートを強固に接着した後、熱プレス後に一旦冷却を行い、その後第１、第２のキャリアフィルムを剥離するものであり、冷却を行うことにより第１、第２のキャリアフィルムと第１、第２のグリーンシートの接着力が低下することにより、これらの第１、第２のキャリアフィルムを剥離する際に、下面の第１、第２のグリーンシートまでも剥離させてしまうことはなくなり、この結果として積層が正しく行えることになるのである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１の発明は、基板の上面に、上面側にフィルムを有する接着層を貼付する第１の工程と、次に前記フィルムを剥離し、その後前記接着層上に、上面側に第１のキャリアフィルムを有し、下面側に内部電極を設けた第１のグリーンシートを貼付し、次に前記第１のキャリアフィルムを介して前記第１のグリーンシートを前記基板側に熱プレスを行い、その後前記第１のキャリアフィルムの上から冷却を行い、次に前記第１のキャリアフィルムを前記第１のグリーンシート上から剥離する第２の工程と、その後前記第１のグリーンシート上に、上面側に第２のキャリアフィルムを有し、下面側に内部電極を設けた第２のグリーンシートの外方四ヶ所を押圧し、部分的な仮圧着を行い、前記第２のキャリアフィルム下のエア抜き後、前記第２のグリーンシートを基板側に熱プレスを行い、前記第１のグリーンシートと前記第２のグリーンシートを強固に接着する第３の工程と、その後前記第２のキャリアフィルムの上から冷却を行い、次に前記第２のキャリアフィルムを前記第２のグリーンシートから剥離する第４の工程と、その後積層された前記第１、第２のグリーンシートを切断して個片を得る第５の工程とを備えた積層型電子部品の製造方法であって、熱プレス後に一旦冷却を行い、その後第１、第２のキャリアフィルムを剥離するものであり、冷却を行うことにより第１、第２のキャリアフィルムと第１、第２のグリーンシートの接着力が低下することにより、これらの第１、第２のキャリアフィルムを剥離する際に、下面の第１、第２のグリーンシートまでも剥離させてしまうことはなくなり、この結果として積層が正しく行えることになるのである。
【０００８】
また本発明の請求項２の発明は、第１、または第２のキャリアフィルムの上面側の一端部に、表面が接着面となったローラを当接させ、次にこのローラを回転させて第１、または第２のキャリアフィルムの端部をローラに接着させて剥離させ、その後このローラに接着した第１、または第２のキャリアフィルムの端部をローラとフィルム押えで挟持し、次にローラを第１、または第２のキャリアフィルムの他端部側へ移動させて、これらの第１、または第２のキャリアフィルムを第１、または第２のグリーンシート上面から剥離させる請求項１に記載の積層型電子部品の製造方法であって、第１、または第２のキャリアフィルムを容易に第１、または第２のグリーンシート上から剥離させることができるものとなる。
【００２２】
以下、本発明の一実施形態を図を用いて説明する。
図１は全体の平面図であり、先ず上面に図９の発泡接着層１が設けられたステンレス製の基板２が冷却手段３に供給される。次にこの基板２は剥離手段４へと供給され、発泡接着層１上を覆っていたフィルムがこの剥離手段４で剥離され、次に積層手段５、プレス手段６、その後再び冷却手段３、剥離手段４、積層手段５、プレス手段６と必要回数回動し、これによって図９の積層体７が形成される。この積層体７はストッカー８に収納され、他の工程で切断して個片が得られ、次に両端面に外部電極が設けられ、積層セラミックコンデンサが得られる様になっている。
【００２３】
なお図９の１Ａは発泡接着層１上にあらかじめ設けられた無効層であって、グリーンシートを多数積層することによって形成され、図示していないがこの無効層は上面側にも形成される。剥離手段４と、積層手段５と、プレス手段６と、冷却手段３を等間隔でロの字型に環状連結した製造装置であって、各手段間３〜６が等間隔となっていることから、一つのモータで図２に示す各手段間に設けた四つの搬送手段９を駆動することができるものとなる。
【００２４】
各手段は図２に示すごとく基板２が置かれるステージ３ａ，４ａ，５ａ，６ａが設けられており、各ステージ３ａ〜６ａの外方にはレール９ａ上を次の手段へと移動する保持指９ｂが設けられている。
【００２５】
つまり各ステージ３ａ〜６ａの保持指９ｂの初期位置と移動後の最終位置に対向する部分には、上下の保持指９ｂで基板２を保持するため、および保持を解除するための切欠が設けられており、各手段３〜６での処理が完了した基板２は同時に次の手段へと保持指９ｂで保持されて搬送され、同時に保持解除が行われ、その後は直ちに保持指９ｂは初期位置へと戻る様になっている。
【００２６】
またステージ３ａ〜６ａの内方には、基板２の内方を支持するためのローラ９ｃが設けられており、これらの結果として基板２は次の手段へとスムーズに搬送される様になっている。
【００２７】
さて上述のごとく上面のフィルムが剥離された基板２は次に積層手段５へと搬送され、先ずこの積層手段５においては基板２の正確な位置決めが行われる。
【００２８】
図３に示すごとく積層手段５においては三本の位置決めピン５ｂに、基板２の隣接する二辺が押込ピン５ｃで当接され、これによって基板２の正確な位置決めが行われ、支持手段ともなるステージ５ａの図４に示す吸着手段５ｄで、その状態での保持がなされている。
【００２９】
その後図１、図２のシート供給手段１０から、図９に示す上面側にキャリアフィルム１１、下面側に内部電極１２が設けられたグリーンシート１３が基板２上に搬送、積層されるようになっており、次にこれらの搬送、積層について図４を用いて説明する。
【００３０】
図９のキャリアフィルム１１、グリーンシート１３、内部電極１２の三層体は、内部電極１２が表面側となるべくロール状に巻かれており、それがローラ１４，１５で所定寸法引出され、カッター１６で切断される。この時ベルト１７上には所定寸法の上記三層体が設けられており、これが内部電極１２側を上面として吸着パッド１８で吸着され、図４の左方へと搬送される。
【００３１】
搬送された左方の下面にはシート貼付ヘッド１９が設けられており、同図４に示すごとく上記三層体は内部電極１２を上面側にして吸着保持される。
【００３２】
シート貼付ヘッド１９は、四角筒形状の本体２０と、この本体２０の対向する一つの面にそれぞれ設けられた吸着手段２１と、この本体２０の、基板２の支持手段として設けたステージ５ａ側に設けられた圧着手段２２とを有し、吸着手段２１で吸着されたキャリアフィルム１１を、本体２０をモータ２３によって１８０度回転させた後に圧着手段２２によってその外方四ヶ所を基板２側に押圧し、部分的な仮圧着を行うものである。
【００３３】
なおモータ２３による１８０度の回動の前に図１０に示すグリーンシート１３の内部電極１２の外方四ヶ所に設けたマーカ２４の位置をカメラ２５で確認し、そのデータにもとづきステージ５ａをＸ−Ｙ−θテーブル２６によって左右、前後、円周方向に移動させ、１８０度回動後にステージ５ａを上下シリンダー２７によって上昇させ、上述のごとくシート貼付ヘッド１９からグリーンシート１３を含む三層体を基板２の発泡接着層１上の無効層１Ａ上へと重合接着させる。
【００３４】
なおこの様にシート貼付ヘッド１９が１８０度回動した時には上方の部分には次の三層体が吸着され、以後この様な繰り返しによって、次に搬送されてきた基板２への重合接着が行われるようになっている。
【００３５】
次に基板２は保持指９ｂによって図２のプレス手段６のステージ６ａ上へと搬送される。
【００３６】
プレス手段６は、図５に示すごとくプレスヘッド２８と、このプレスヘッド２８の下方に設けられるとともに、その中央部が下方に突出した湾曲形状のエア抜きヘッド２９とヒータ３０と上下シリンダー３１とを有し、エア抜きヘッド２９はバネ性を有する金属板で形成されるとともに、このエア抜きヘッド２９の両端は、外方に可動可能な状態でピン３２により支持されている。
【００３７】
このため上下シリンダー３１を図６のごとく下降させると、先ずエア抜きヘッド２９の突出部がキャリアフィルム１１の中央部に当接し、その後この当接部の両側方が徐々に当接することでキャリアフィルム１１下のエア抜きが行われる。
【００３８】
そしてこのエア抜きが終了すると今度は図６のごとくプレスヘッド２８による本格的な押圧プレスが行われ、これによって上記グリーンシート１３を含む三層体は無効層１Ａに対し、強固に重合、接着されることになる。
【００３９】
上下シリンダー３１が上昇すると基板２は図２の冷却手段３へと保持指９ｂによって搬送される。
【００４０】
冷却手段３は、上下シリンダー３３と冷却ヘッド３４を有し、上下シリンダー３３によって冷却ヘッド３４をキャリアフィルム１１上へと当接させて冷却を行い、その後冷却ヘッド３４を上昇させる。
【００４１】
そしてこの様に冷却が行われた基板２は次に保持指９ｂによって剥離手段４へと搬送される。
【００４２】
キャリアフィルム１１の剥離手段４は、図８のごとく可動体３５と、この可動体３５に軸支されるとともに、その表面が接着面となったローラ３６と、このローラ３６の表面側に移動させられるフィルム押え３７とを有し、可動体３５、上下シリンダー３８によって上下動する構成となっている。
【００４３】
先ず上下シリンダー３８によってローラ３６を下降させてキャリアフィルム１１の右端に押圧し、その表面の接着面によりこれと接着させる。
【００４４】
この状態で可動体３５を左方に移動させると、キャリアフィルム１１の右端がめくれることとなり、このめくれ部をフィルム押え３７とローラ３６とで挟持し、この状態で上下シリンダー３８によってローラ３６を上昇させるとともに左方に移動させる。
【００４５】
この時キャリアフィルム１１等は冷却されているので容易に剥離することとなり、ローラ３６の左方への移動によってグリーンシート１３上から確実に剥離させられることになる。その後キャリアフィルム１１の下端はチャック体３９に保持されるので、フィルム押え３７を解除するとともにローラ３６を右方へ移動させれば、キャリアフィルム１１はゴミ箱４０内に廃棄される。
【００４６】
次からは上述と同じ手順で次のグリーンシート１３を含む三層体が積層手段５で積層され、プレス手段６でプレスされ、冷却手段３で冷却されることによって図９に示す積層化が行われ、最後には無効層１Ａが積層され、それが図１に示したストッカー８に入庫されるようになっている。
【００４７】
【発明の効果】
以上のように本発明は、熱プレス後に一旦冷却を行い、その後第１、第２のキャリアフィルムを剥離するものであり、冷却を行うことにより第１、第２のキャリアフィルムと第１、第２のグリーンシートの接着力が低下することにより、これらの第１、第２のキャリアフィルムを剥離する際に、下面の第１、第２のグリーンシートまでも剥離させてしまうことはなくなり、この結果として積層が正しく行えることになるのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の平面図
【図２】同平面図
【図３】同積層手段の要部平面図
【図４】同積層手段の一部分を断面で示した正面図
【図５】同プレス手段の正面図
【図６】同プレス手段の正面図
【図７】同冷却手段の正面図
【図８】同剥離手段の正面図
【図９】同基板の正面図
【図１０】同グリーンシートの平面図
【符号の説明】
２  基板
３  冷却手段
４  剥離手段
５  積層手段
６  プレス手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003667026.tif 000008
【図８】
0003667026.tif 000009
【図９】
0003667026.tif 000010
【図１０】
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