(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリッジの取付孔にボス部の嵌合及び塑性変形を介して取り付けられる平面度のあるプレートと、
剛体部及びばね部を含み前記プレートに支持されて先端部のスライダに負荷荷重を与えるロードビームとを備え、
前記ボス部は、前記プレートに対し別体に形成されて該プレートに固着され端面が平面であると共に前記プレートの一側面に平行である基部及び前記キャリッジの取付孔に嵌合して取り付けられる取付嵌合部を有し、
前記プレートに、前記ボス部を配置する支持穴を貫通形成し、
前記ボス部を、前記支持穴に配置し、前記基部を前記プレートに固着し、前記ボス部の取付嵌合部を前記プレートの一側面に突出させると共に前記ボス部の基部の端面を前記プレートの他側面に突出させて当接面としたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項２】
請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記ボス部の基部に、支持嵌合部を周回状に形成し、
前記支持嵌合部を、前記プレートの支持穴に嵌合させると共に該支持嵌合部で前記固着を行ったことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項３】
請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記ボス部の基部に、結合フランジを周回状に設け、
前記プレートの支持穴に、該プレートの他側面に開放された凹部を周回状に設け、
前記結合フランジを、前記凹部に嵌合させると共に該結合フランジで前記固着を行ったことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項４】
請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記ボス部の基部に、結合フランジを周回状に設け、
前記結合フランジを、前記プレートの他側面に突き当てると共に該結合フランジで前記固着を行ったことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項５】
請求項１〜４記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記ロードビームの剛体部とばね部とを別体に形成し、
前記ばね部の一側に、前記剛体部を結合すると共に、前記ばね部の他側に、前記プレートを結合したことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項６】
請求項１〜５記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記ロードビーム先端側を前記プレート側に対し前記キャリッジとは別に変位可能とする変位許容部及び前記変位を行わせるアクチュエータ素子を設けたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばパーソナルコンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるディスクドライブ用サスペンションに関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転する磁気ディスクあるいは光磁気ディスク等に情報を記録し再生するためのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、軸を中心に旋回可能なキャリッジを有している。このキャリッジによる旋回は、ポジショニング用モータにより前記軸を中心として駆動される。
【０００３】
例えば米国特許（ＵＳＰ）第４，１６７，７６５号明細書に記載されているように、前記キャリッジは、キャリッジアームと、該キャリッジアームの先端部に設けたディスクドライブ用サスペンション（以下、単に「サスペンション」と称する）と、該サスペンションに取付けたスライダを含むヘッド部などとを備えている。そして、ディスクが高速回転することによってスライダがディスクから僅かに浮上するとともに、ディスクとスライダとの間にエアベアリングが形成されるようになっている。
【０００４】
前記サスペンションは、精密な薄板ばねからなるロードビーム（load beam）と、該ロードビームの先端部にレーザ溶接等によって固定された極薄い板ばねからなるフレキシャ（flexure）と、前記ロードビームの基部にレーザ溶接等によって固定されたプレートなどからなっている。前記プレートは、前記キャリッジアームのサスペンション取付面に固定される。
【０００５】
図２１は、前記キャリッジアームにサスペンションを固定する従来の構造を示したものである（特開２００１−１７６２２４）。この図２１において、ボス部１０１はプレート１０３に対し別体に形成されている。尚、前記ボス部１０１をフランジ部及びボス部から成るベースプレートと称し、プレート１０３を基部と称する場合もある。
【０００６】
前記ボス部１０１は、基部１０５及び取付嵌合部１０７を有している。前記基部１０５は、前記プレート１０３に貫通形成された支持穴１０９に配置されている。前記基部１０５には、支持嵌合部１１５が周回状に形成されている。この支持嵌合部１１５周面の支持嵌合面１１７がプレート１０３の支持穴１０９に嵌合し、ボス部１０１がプレート１０３にレーザ溶接等によって固着されている。この場合、ボス部１０１の基部１０５の端面１２４はプレート１０３の一側面１２１と略面一となる。前記取付嵌合部１０７は、キャリッジのキャリッジアーム１１１に設けられた取付孔１１３に取り付けられるものである。この取付嵌合部１０７の外周面は、取付嵌合面１１９となっている。前記プレート１０３の一側面１２１には、ばね部材１２３の基部側がレーザ溶接等によって固着されている。
【０００７】
前記プレート１０３を前記キャリッジアーム１１１に取り付けるには、前記プレート１０３の他側面１２５をキャリッジアーム１１１の一側面１２７に合わせるようにして取付嵌合部１０７を取付孔１１３に嵌合させる。
【０００８】
次に、治具１２９をボス部１０１の基部１０５側に当ててキャリッジアーム１１１に対しボス部１０１側を保持する。矢印の方向からボス部１０１のボール挿通孔１３１にスチールボールを通してボール挿通孔１３１を押し拡げ、取付嵌合部１０７を塑性変形させる。この取付嵌合部１０７の塑性変形により取付嵌合部１０７の取付嵌合面１１９がキャリッジアーム１１１の取付孔１１３に圧接し、ボス部１０１を介してプレート１０３をキャリッジアーム１１１に固定することができる。
【０００９】
前記ボス部１０１は前記塑性変形のために適度な柔らかさが要求され、プレート１０３はキャリッジ１１１への接合精度向上と、接合強度向上との観点から平面度と高硬度とが要求される。従って、仮にボス部１０１とプレート１０３とを一体で形成すると両者に要求される性質を両立させることが困難になる。
【００１０】
また、近年では、軽量化の観点からプレート１０３の薄板化が、例えば３００μｍから１５０μｍ等へと進み、仮にボス部１０１とプレート１０３とを一体で形成する場合には、ボス部１０１の成形上、所定の厚みを有する板材をプレスしてボス部１０１を成形すると共にプレート１０３を要求される薄い板厚とする。しかし、プレート１０３の板厚をプレスにより薄くすると平面度の確保が困難になるという問題を招く。また、プレート１０３の板厚が１５０μｍ等と薄くなると、原材料の板厚も薄くなり、ボス部１０１の肉厚が十分に取れないという問題を招く。
【００１１】
これらに対して、図２１のボス部１０１とプレート１０３とは、上記のように別体に形成されているため、ボス部１０１をプレート１０３よりも柔らかい金属で形成して塑性変形を行い易くし、ボス部１０１を塑性変形させて行うキャリッジアーム１１１への固定を容易にすることができる。また、プレート１０３はプレスで板厚を調整する必要がなくなりその平面度を高くすることができると共に、硬度の高い金属で形成して高硬度にすることにより、キャリッジアーム１１１に対する接合精度を向上させることができると共に接合強度も向上させることができる。さらに、ボス部１０１の形状設定をプレート１０３の板厚に影響を受けることなく自由に行うことができ、且つプレート１０３もさらなる薄板化を図ることができ、全体として軽量化等も可能であるという利点がある。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の構造では、ボス部１０１の基部１０５の端面１２４とプレート１０３の一側面１２１とが面一となっているため、治具１２９による支持反力がプレート１０３側にも伝達されることになる。このため、治具１２９によるボス部１０１の支持が不十分となり、ボール挿通孔１３１にスチールボールを通して基部１０７を塑性変形させるときにボス部１０１がキャリッジアーム１１１に対して僅かではあるが傾く虞れがある。
【００１３】
このようにボス部１０１がキャリッジアーム１１１に対し傾いた状態で、前記取付嵌合面１１９が取付孔１１３に圧接されると、プレート１０３がキャリッジアーム１１１に対して傾いて取り付けられることになり、キャリッジアーム１１１に対するプレート１０３の接合精度は低下し、ディスクに対するスライダの高精度な位置決めや振動特性に大きく影響する虞がある。
【００１４】
また、キャリッジアーム１１１の取付孔１１３に対するボス部１０１の取り付けが不正確になるため、接合強度も低下するという問題があった。
【００１５】
本発明は、キャリッジに対するプレートの接合精度向上、接合強度向上を図ることのできるディスクドライブ用サスペンションの提供を課題とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、キャリッジの取付孔にボス部の嵌合及び塑性変形を介して取り付けられる平面度のあるプレートと、剛体部及びばね部を含み前記ベースプレートに支持されて先端部のスライダに負荷荷重を与えるロードビームとを備え、前記ボス部は、前記プレートに対し別体に形成されて該プレートに固着され端面が平面であると共に前記プレートの一側面に平行である基部及び前記キャリッジの取付孔に嵌合して取り付けられる取付嵌合部を有し、前記プレートに、前記ボス部を配置する支持穴を貫通形成し、前記ボス部を、前記支持穴に配置し、前記基部を前記プレートに固着し、前記ボス部の取付嵌合部を前記プレートの一側面に突出させると共に前記ボス部の基部の端面を前記プレートの他側面に突出させて当接面としたことを特徴とする。
【００１７】
請求項２の発明は、請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記ボス部の基部に、支持嵌合部を周回状に形成し、前記支持嵌合部を、前記プレートの支持穴に嵌合させると共に該支持嵌合部で前記固着を行ったことを特徴とする。
【００１８】
請求項３の発明は、請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記ボス部の基部に、結合フランジを周回状に設け、前記プレートの支持穴に、該プレートの他側面に開放された凹部を周回状に設け、前記結合フランジを、前記凹部に嵌合させると共に該結合フランジで前記固着を行ったことを特徴とする。
【００１９】
請求項４の発明は、請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記ボス部の基部に、結合フランジを周回状に設け、前記結合フランジを、前記プレートの他側面に突き当てると共に該結合フランジで前記固着を行ったことを特徴とする。
【００２０】
請求項５の発明は、請求項１〜４記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記ロードビームの剛体部とばね部とを別体に形成し、前記ばね部の一側に、前記剛体部を結合すると共に、前記ばね部の他側に、前記プレートを結合したことを特徴とする。
【００２１】
請求項６の発明は、請求項１〜５記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記ロードビーム先端側を前記プレート側に対し前記キャリッジとは別に変位可能とする変位許容部及び前記変位を行わせるアクチュエータ素子を設けたことを特徴とする
【００２２】
【発明の効果】
請求項１の発明では、プレートは、キャリッジの取付孔にボス部の嵌合及び塑性変形を介して取り付けられ、剛体部及びばね部を含み前記プレートに支持されたロードビームによって先端部のスライダに負荷荷重を与えることができる。
【００２３】
そして、前記ボス部は、前記プレートに対し別体に形成されて該プレートに固定される基部及び前記キャリッジの取付孔に嵌合して取り付けられる嵌合部を有し、前記プレートに前記ボス部を配置する支持穴を貫通形成し、前記ボス部を前記支持穴に嵌合させて前記基部を前記プレートに固着し、前記ボス部の嵌合部を前記プレートの一側面に突出させると共に前記ボス部の基部を前記プレートの他側面に突出させ、前記基部の端面を治具の当接面としたため、ボス部の取付嵌合部をキャリッジの取付孔に嵌合して取り付けるに際して、治具の支持反力をプレートの他側面に突出した当接面からボス部にのみ作用させることができる。
【００２４】
従って、キャリッジの取付孔に対しボス部を正確に保持することができ、キャリッジに対するプレートの接合精度を向上させ、正確な取付けを行うことができる。このため、ディスクに対するスライダの高精度な位置決め及び優れた振動特性等を正確に維持することができる。また、ボス部をキャリッジの取付孔に正確に取り付けることができるため、接合強度も向上することができる。
【００２５】
さらに、前記ボス部は、プレートに対し別体に形成されているため、例えばボス部の剛性をプレートよりも低くして塑性変形を行い易くすることもでき、ボス部の塑性変形による取付けを容易にすることも可能である。
【００２６】
また、プレートは、プレスで板厚を調整する必要がなくなりその平面度を高くすることができると共に、硬度の高い金属で形成して高硬度にすることにより、キャリッジに対する接合精度を向上させることができると共に接合強度も向上させることができる。さらに、ボス部の形状設定をプレートの板厚に影響を受けることなく自由に行うことができ、且つプレートもさらなる薄板化を図ることができ、全体として軽量化等も可能である。
【００２７】
請求項２の発明では、請求項１の発明の効果に加え、前記ボス部の基部に支持嵌合部を周回状に形成し、前記支持嵌合部を前記プレートの支持穴に嵌合させると共に、該支持嵌合部で前記固着を行ったため、ボス部の塑性変形による取付けの際に治具の支持反力をボス部にのみ確実に作用させることができ、接合精度の向上及び接合強度の向上をより確実に奏することができる。
【００２８】
また、ボス部の支持嵌合部をプレートの支持穴に嵌合させることによって、ボス部をプレートに対し位置決めることもでき、プレートに対するボス部の正確な固着を容易に行うことができる。
【００２９】
請求項３の発明では、請求項１の発明の効果に加え、前記ボス部の基部に結合フランジを周回状に設け、前記プレートの支持穴に該プレートの他側面に開放された凹部を周回状に設け、前記結合フランジを前記凹部に嵌合させると共に、該結合フランジで前記固着を行ったため、前記ボス部の結合フランジをプレートの凹部に嵌合させて、サスペンション全体の厚み増大を抑制することができる。
【００３０】
請求項４の発明では、請求項１の発明の効果に加え、前記ボス部の基部に結合フランジを周回状に設け、前記結合フランジを前記プレートの他側面に突き当てると共に該結合フランジで前記固着を行ったため、該結合フランジによってボス部をプレートに対し容易に固着することができる。
【００３１】
請求項５の発明では、請求項１〜４のいずれかの発明の効果に加え、前記ロードビームの剛体部とばね部とを別体に形成し、前記ばね部の一側に前記剛体部を結合すると共に前記ばね部の他側に前記プレートを結合したため、ロードビームを構成する剛体部の材質や板厚がばね部に制約を受けることがなくなり、それぞれの要求に応じた適正材質及び板厚の選択が可能となり、サスペンションに要求される性能を的確に満足することができる。例えばロードビームの剛体部に板厚の大きなプレートを採用すれば、曲げ縁やリブ等を形成するための曲げ加工を行う必要がないものでありながら、より剛性を高めることが可能になると共に、剛体部の空気抵抗を減少させることができる。このためディスク高速回転時の風乱の影響が減少し、サスペンションフラッタ（風によるサスペンションのばたつき）の発生を抑制することができる。
【００３２】
請求項６の発明では、請求項１〜５のいずれかの発明の効果に加え、前記ロードビーム先端側を前記プレート側に対し前記キャリッジとは別に変位可能とする変位許容部及び前記変位を行わせるアクチュエータ素子を設けたため、スライダの位置決め精度をより向上することができる。すなわち、アクチュエータ素子による駆動部は、シングルアクチュエータ方式による駆動部などに比較して軽量であるため、スライダを高い周波数帯域で制御することができる。このためスライダの位置制御を行うサーボのバンド幅をボイスコイルモータによる駆動部などと比較して数倍高くすることができ、その分トラックミスを少なくすることができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態を適用したサスペンションを有するハードディスクドライブの一部断面図を示している。この図１のように、ハードディスクドライブ１は、軸３を中心に旋回可能なキャリッジ５を有している。
【００３４】
前記キャリッジ５はボイスコイルモータ等のポジショニング用モータ７によって軸３を中心に旋回駆動される。前記キャリッジ５は、複数のキャリッジアーム９（図１では４個）と、各キャリッジアーム９の先端部に取り付けられたサスペンション１１と、各サスペンション１１の先端部に設けられたヘッド部１３等を備えている。
【００３５】
前記キャリッジ５が前記軸３を中心に旋回することによって、前記ヘッド部１３がディスク１５の所望トラックまで移動する。前記ヘッド部１３は、前記ディスク１５のトラックと対向可能な位置に設けられたスライダ１７と、該スライダ１７に保持されたトランスジューサ（図示せず）等を含んでいる。前記スライダ１７は、前記ディスク１５が高速回転したとき、該ディスク１５と前記スライダ１７との間に空気が入り込むことによってディスク１５から僅かに浮上すると共に、ディスク１５及びスライダ１７間にエアベアリングが形成される。
【００３６】
前記サスペンション１１は、例えば図２，図３，図４のようになっている。図２は本実施形態のサスペンション１１の一部を断面にした側面図、図３は同平面図、図４は同底面図を示している。このサスペンション１１は、プレート１９とロードビーム２１とを備えている。
【００３７】
前記プレート１９は、前記図１のキャリッジアーム９に取り付けられる。このプレート１９は、例えばステンレス鋼板等で形成され、プレス等の機械加工を入れずにその厚みを本実施形態において２００μｍに設定している。このプレート１９に対しボス部２３が別体に形成され、該ボス部２３はプレート１９に固着されている。このボス部２３の材質は、取付時の塑性変形を容易にするため、前記プレート１９よりも柔らかい金属が用いられ、プレート１９は、薄板で平面度を確保し、接合精度向上、接合強度向上のため、硬い金属が用いられている。例えば、ボス部２３の硬さをビッカース硬さで最大Ｈｖ＝１８０とし、プレート１９の硬さをＨｖ＝３００〜３５０としている。
【００３８】
前記ロードビーム２１は、先端部のスライダ１７に負荷荷重を与えるものである。このロードビーム２１は、剛体部２５と、ばね部２７とからなっている。このばね部２７は、前記剛体部２５とは別体のばね部材２９によって構成されている。
【００３９】
前記剛体部２５は、例えばステンレス鋼で形成されている。但し、剛体部２５は、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）等の軽金属（Ｆｅよりも軽い金属）の合金もしくは合成樹脂等によって形成することもできる。これにより、サスペンション１１の、より軽量化と高剛性化とを両立させることもできる。また剛体部２５を、アルミニウムやチタン等の軽金属もしくはこれらを主体とする合金とそれ以外の金属（例えばステンレス鋼）とを積層した２種類以上の材料からなる複合材（クラッド材）によって形成することもできる。
【００４０】
前記ばね部材２９は、前記プレート１９上から剛体部２５側へ伸びた略矩形の板状に形成されている。このばね部材２９は、例えば、ばね性のある薄いステンレス鋼等からなっており、前記剛体部２５よりもそのばね定数が低く、精度の高い低ばね定数を有している。
【００４１】
前記ばね部材２９には、エッチングあるいは精密プレス加工等によって開口部３１が形成されている。この開口部３１によって部分的に曲げ剛性（ばね定数）を小さくし、前記プレート１９と剛体部２５との間にヒンジ部として前記ばね部２７を構成している。すなわち、前記ばね部材２９の一側２９ａに、前記剛体部２５の端部が重ね合わされてレーザ溶接等による溶着あるいは接着剤による接着等によって固着されている。前記ばね部材２９の他側２９ｂは、前記プレート１９の端部に重ね合わされてレーザ溶接による溶着あるいは接着剤による接着等によって固着されている。
【００４２】
前記剛体部２５にはフレキシャ３３が取り付けられている。このフレキシャ３３の取付は、レーザ溶接による溶着あるいは接着剤による接着等によって行われている。前記フレキシャ３３は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板等の金属基板の表面に、電気絶縁層を介して導電路を形成したものである。導電路の一端は、ヘッド部１３の端子に導通し、他端は信号取り出し側の端子に導通している。前記フレキシャ３３のタング部３５には、前記ヘッド部１３のスライダ１７（図１）が装着されている。
【００４３】
このような構成のサスペンション１１のキャリッジアーム９に対する取付けは、図５のようになっている。
【００４４】
図５はキャリッジアーム９に対するサスペンション１１の取付構造を示す要部拡大断面図である。この図５のように、前記プレート１９は、キャリッジ５の取付孔であるキャリッジアーム９の円形の取付孔３７にボス部２３の嵌合及び塑性変形を介して取り付けられている。
【００４５】
前記ボス部２３は、前記のように前記プレート１９に対し別体に形成されている。このボス部２３は、ステンレス鋼のプレス成形等により略中空筒状に形成され、基部３９及び取付嵌合部４１を有している。
【００４６】
前記基部３９には、支持嵌合部４３が周回状に形成され、前記プレート１９に固定されている。前記支持嵌合部４３の周面には、支持嵌合面４５が形成されている。この支持嵌合面４５の外径は、前記取付嵌合部４１の外径よりも若干大きく形成され、取付嵌合部４１と基部３９との間に段部４７が形成されている。前記基部３９の端面は、治具４９の当接面５１として構成されている。
【００４７】
前記取付嵌合部４１の外周面は、取付嵌合面５３として構成されている。この取付嵌合面５３は、前記取付嵌合部４１の塑性変形によってキャリッジアーム９の取付孔３７に圧接される構成となっている。この取付嵌合面５３に対応して、取付嵌合部４１の内周側には、ボール挿通孔５５が設けられている。
【００４８】
前記プレート１９には、前記ボス部２３を配置する支持穴５７が貫通形成されている。この支持穴５７の内径は、組込み前において前記支持嵌合面４５の外径よりも僅かに小さく形成されている。これによりボス部２３は、支持嵌合面４５においてプレート１９の支持穴５７に所定の圧入代で圧入嵌合される。この圧入代は、例えば１０μｍに設定されている。この圧入状態で、ボス部２３は、基部３９においてプレート１９に対しレーザ溶接による溶着部５９によって固着されている。
【００４９】
そして、前記ボス部２３の取付嵌合部４１を前記プレート１９の一側面６１に突出させると共に、前記ボス部２３の基部３９を前記プレート１９の他側面６３に突出させている。これにより前記基部３９の当接面５１は、プレート１９の他側面６３よりも突出している。前記ボス部２３は、前記プレート１９に対して別体に形成され、その形状が前記プレート１９の板厚に影響を受けないため、当接面５１をプレート１９の他側面６３より突出させる形状を容易に形成することができる。前記ボス部２３の段部４７とプレート１９の一側面６１とは面一となっている。但し、段部４７を一側面６１よりも若干引っ込んだ形態に形成することもできる。
【００５０】
前記ばね部材２９には、エッチングあるいは精密プレス加工等によって窓部６５が貫通形成されている。この窓部６５は、前記プレート１９の支持穴５７よりもさらに大径に形成され、前記溶着部５９の外周側に位置する構成となっている。
【００５１】
次に、前記プレート１９に対するボス部２３の組み付け、前記サスペンション１１のキャリッジアーム９に対する取付けを説明する。
【００５２】
前記プレート１９に対するボス部２３の組み付けに際しては、プレート１９の支持穴５７にボス部２３の基部３９を支持嵌合面４５において圧入し、治具を用いてプレート１９に対するボス部２３の高さを固定する。この状態で、当接面５１がプレート１９の他側面６３から図５のように突出した状態となる。次いで、支持穴５７及び支持嵌合面４５間をレーザ溶接して、溶着部５９を形成する。
【００５３】
前記サスペンション１１のキャリッジアーム９に対する取付けに際しては、ボス部２３の塑性変形前の状態で、プレート１９の一側面６１をキャリッジアーム９の取付面６７に突き合わせる。この状態で、段部４７とプレート１９の一側面６１とは面一となっているため、段部４７及び一側面６１をキャリッジアーム９の取付面６７に精度良く接合させることができる。
【００５４】
前記ボス部２３の取付嵌合部４１は、前記キャリッジアーム９の取付孔３７に嵌合する。この状態では、取付孔３７に対し取付嵌合面５３が遊嵌状態で嵌合している。
【００５５】
次に、治具４９を当接面５１に当てて、ボス部２３をキャリッジアーム９に対し保持する。前記治具４９は、図１の複数のサスペンションに対応して例えば全体的に櫛歯状を呈し、その各歯部が横方向から各サスペンション１１間に挿入され、図５のように対応するボス部２３を保持する。この状態で、矢印の方向からスチールボールを押し込み、ボール挿通孔５５を通過させる。この通過で、ボール挿通孔５５は外周側へ押し拡げられ、取付嵌合部４１が塑性変形する。この取付嵌合部４１の塑性変形によって、取付嵌合面５３が取付孔３７に圧接され、プレート１９がボス部２３を介してキャリッジアーム９に取り付けられる。
【００５６】
このような取付けに際して、前記当接面５１は、前記プレート１９の他側面６３よりも突出して位置しているため、治具４９の支持反力をボス部２３の基部３９に確実に作用させることができる。従って、キャリッジアーム９に対し治具４９によってボス部２３を精度良く位置決めることができる。
【００５７】
前記ボス部２３のキャリッジアーム９に対する精度良い位置決め状態において、前記取付嵌合部４１の塑性変形を行わせるから、ボス部２３をキャリッジアーム９の取付孔３７に正確に取り付けることができる。このためプレート１９のキャリッジアーム９に対する接合精度を向上することができる。この接合精度の向上によって、スライダ１７の高精度な位置決め及び優れた振動特性等を正確に維持することができる。また、ボス部２３をキャリッジアーム９の取付孔３７に正確に取り付けることができるため、接合強度を向上することができる。
【００５８】
前記ボス部２３を、プレート１９に対し別体に形成し、ボス部２３をプレート１９よりも柔らかい金属を用いて形成しているため、キャリッジアーム９に取り付けるときのボス部２３の塑性変形が行い易く、ボス部２３の塑性変形による取付けを容易且つ正確に行うことができる。
【００５９】
前記ボス部２３は、プレート１９の板厚に影響を受けることなくその形状を設定することができ、ボス部２３の肉厚を十分に確保してキャリッジアーム９への取付を確実に行わせることができる。
【００６０】
前記プレート１９は、プレスで板厚を調整する必要がなくなり、その平面度を数μｍ等と高くすることができ、且つ硬度の高い金属で形成して高硬度にすることができる。従って、キャリッジアーム９に対する接合精度を向上させることができると共に接合強度も向上させることができる。
【００６１】
前記プレート１９の支持穴５７にボス部２３の支持嵌合面４５を圧入するから、ボス部２３をプレート１９に対し平面から見てＸＹ方向に正確に位置決めることができ、サスペンション１１のキャリッジアーム９に対する取付精度を容易に向上することができる。
【００６２】
前記サスペンション１１は、前記ロードビーム２１を構成する剛体部２５とばね部材２９とが別体で構成され、それぞれに適した材料と板厚を選定することができる。このため、剛体部２５に要求される性能（例えば高剛性）とばね部２７に要求される性能（例えば低ばね定数）とを容易に両立させることができる。前記ばね部２７に、精度の高い圧延材を使用することで安定した低ばね定数のばね部２７を得ることができる。
【００６３】
尚、前記支持嵌合面４５は基部３９の当接面５１に至っているが、当接面５１と支持嵌合面４５との間に段部４７と同様な段部を形成することも可能である。
【００６４】
図６，図７は、第１実施形態の変形例に係る実施形態を示し、図６はサスペンション１１Ａの一部を断面にした側面図、図７はキャリッジアーム９に対するサスペンション１１Ａの取付構造を示す要部拡大断面図である。尚、上記実施形態と対応する構成部分には同符号を付している。
【００６５】
本実施形態では、上記実施形態のばね部材２９をばね部材２９Ａに変えたものである。このばね部材２９Ａは、上記ばね部材２９と基本的には同様な構成であり、プレート１９と剛体部２５との間にヒンジ部として前記ばね部２７を構成している。すなわち、前記ばね部材２９Ａの一側２９Ａａ端部に、前記剛体部２５の端部が重ね合わされてレーザ溶接等による溶着あるいは接着剤による接着等によって固着されている。前記ばね部材２９Ａの他側２９Ａｂは、前記プレート１９上に延長形成されており、該プレート１９に全体的に重ね合わされてレーザ溶接による溶着あるいは接着剤による接着等によって固着されている。
【００６６】
前記ばね部材２９Ａには、エッチングあるいは精密プレス加工等によって窓部６５が貫通形成されている。この窓部６５は、前記プレート１９の支持穴５７よりもさらに大径に形成され、前記溶着部５９の外周側に位置する構成となっている。
【００６７】
本実施形態では、治具４９Ａを当接面５１に当てて、ボス部２３をキャリッジアーム９に対し保持する。従って、第１実施形態と同様な効果を得ることができる。又、本実施形態では、前記ばね部材２９Ａの他側２９Ａｂが、前記プレート１９上に延長形成され、該プレート１９に全体的に重ねて固着されているため、ばね部材２９Ａの取付強度等を向上させることができる。
（第２実施形態）
図８〜図１１は本発明の第２実施形態に係り、図８はサスペンション１１Ｂの一部を断面にした側面図、図９は同平面図、図１０は同底面図、図１１はキャリッジアーム９に対するサスペンション１１Ｂの取付構造を示す要部拡大断面図である。尚、本実施形態も第１実施形態と基本的には同様な構成であり、第１実施形態と対応する構成部分には同符号を付している。
【００６８】
一方、本実施形態においては、ボス部２３Ａの基部３９に、結合フランジ６９が周回状に設けられている。この結合フランジ６９の径方向への突出幅は、例えば３００μｍ程度に設定されている。プレート１９Ａの板厚は、例えば２００μｍ程度に設定されている。
【００６９】
前記プレート１９Ａの支持穴５７には、該プレート１９Ａの他側面６３に開放された凹部７１がハーフエッチング等によって周回状に設けられている。前記結合フランジ６９の外周面７３と、前記凹部７１の内周面７５との間には僅かな隙間が設定されている。
【００７０】
そして、前記結合フランジ６９が前記凹部７１に嵌合されると共に、該結合フランジ６９がレーザ溶接による溶着部５９Ａによってプレート１９Ａに固着されている。この状態で、ボス部２３Ａの当接面５１Ａは、プレート１９Ａの他側面６３よりも突出している。
【００７１】
以上の構成により、本実施形態においても、治具４９の支持反力をボス部２３Ａに確実に作用させることができ、第１実施形態とほぼ同様な効果を奏することができる。
【００７２】
また、本実施形態においては、ボス部２３Ａの結合フランジ６９をプレート１９Ａの凹部７１に嵌合させているので、全体として板厚増大を防ぐことができ、コンパクト化及び重量増大を抑制することができる。
【００７３】
図１２，図１３は、第２実施形態の変形例に係る実施形態を示し、図１２はサスペンション１１Ｃの一部を断面にした側面図、図１３はキャリッジアーム９に対するサスペンション１１Ｃの取付構造を示す要部拡大断面図である。尚、上記実施形態と対応する構成部分には同符号を付している。
【００７４】
本実施形態では、上記実施形態のばね部材２９をばね部材２９Ａに変えたものである。このばね部材２９Ａは、上記ばね部材２９と基本的には同様な構成であり、プレート１９Ａと剛体部２５との間にヒンジ部として前記ばね部２７を構成している。すなわち、前記ばね部材２９Ａの一側２９Ａａ端部に、前記剛体部２５の端部が重ね合わされてレーザ溶接等による溶着あるいは接着剤による接着等によって固着されている。前記ばね部材２９Ａの他側２９Ａｂは、前記プレート１９Ａ上に延長形成されており、該プレート１９Ａに重ね合わされてレーザ溶接による溶着あるいは接着剤による接着等によって固着されている。
【００７５】
本実施形態では、治具４９Ａを当接面５１に当てて、ボス部２３Ａをキャリッジアーム９に対し保持する。従って、第２実施形態と同様な効果を得ることができる。又、本実施形態では、前記ばね部材２９Ａの他側２９Ａｂが、前記プレート１９Ａ上に延長形成され、該プレート１９Ａに全体的に重ねて固着されているため、ばね部材２９Ａの取付強度等を向上させることができる。
【００７６】
尚、前記溶着部５９Ａは、図１４，図１５のように行うこともできる。すなわち凹部７１において、プレート１９Ａにφ０．１５程度の小孔７７を形成し（図１４）、該小孔７７の部分においてレーザ溶接によって溶着部５９Ａを形成する（図１５）。これによって、溶着部５９Ａの表面７９が若干凹むことになる。従って、溶着部５９Ａの表面７９がキャリッジアーム９の取付面６７に対して隙間を有することになり、プレート１９Ａの取付面６７に対する接合精度をより向上することができる。
【００７７】
前記溶着部５９Ａを形成するレーザ溶接の方向は、プレート１９Ａ側から行っているが、これとは逆に結合フランジ６９側から行うこともできる。
（第３実施形態）
図１６は本発明の第３実施形態に係り、キャリッジアーム９に対するサスペンション１１Ｄの取付構造を示すの要部拡大断面図である。尚、本実施形態においても、全体的な構成は第１実施形態と同様であり、対応する構成部分には同符号を付している。
【００７８】
本実施形態においては、ボス部２３Ｂの基部３９に結合フランジ６９Ｂを周回状に設けている。前記プレート１９Ｂとボス部２３Ｂの基部３９との間には隙間が形成されている。
【００７９】
前記結合フランジ６９Ｂは、前記プレート１９Ｂの他側面６３に突き当てられている。該結合フランジ６９Ｂでレーザ溶接による溶着部５９Ｂが形成され、ボス部２３Ｂがプレート１９Ｂに固着されている。尚、溶着部５９Ｂを形成するレーザ溶接の方向は、結合フランジ６９Ｂ側から行っているが、これとは逆にプレート１９Ｂ側から行うこともできる。本実施形態のサスペンション１１Ｄに用いられているばね部材は、前記第１，第２実施形態のばね部材２９と同一構成のものである。
【００８０】
そして、本実施形態においても、第２実施形態とほぼ同様な作用効果を奏することができる。また本実施形態においては、プレート１９Ｂにハーフエッチングを施さないので、製造がより簡単になる。また結合フランジ６９Ｂの厚みをばね部材２９の板厚と同程度に設定することにより、全体の板厚増は抑制することができる。
【００８１】
図１７は、第３実施形態の変形例に係る実施形態を示し、図１７はキャリッジアーム９に対するサスペンション１１Ｅの取付構造を示す要部拡大断面図である。尚、上記実施形態と対応する構成部分には同符号を付している。
【００８２】
本実施形態では、上記実施形態のばね部材２９をばね部材２９Ａに変えたものである。このばね部材２９Ａは、上記ばね部材２９と基本的には同様な構成であり、前記プレート１９Ｂ上に延長形成されており、該プレート１９Ｂに重ね合わされてレーザ溶接による溶着あるいは接着剤による接着等によって固着されている。
【００８３】
本実施形態では、治具４９Ａを当接面５１Ｂに当てて、ボス部２３Ｂをキャリッジアーム９に対し保持する。従って、第２実施形態と同様な効果を得ることができる。又、本実施形態では、前記ばね部材２９Ａが、前記プレート１９Ｂ上に延長形成され、該プレート１９Ｂに全体的に重ねて固着されているため、ばね部材２９Ａの取付強度等を向上させることができる。
（第４実施形態）
図１８〜図２０は本発明の第４実施形態に係り、図１８はサスペンションの平面図、図１９は側面図、図２０はプレートの平面図である。上記第１〜第３実施形態は、ポジショニング用モータ７（図１）のみによってサスペンション１１，１１Ａ，１１Ｂを駆動するシングルアクチュエータ方式であったが、本実施形態はポジショニング用モータ７以外に第２のアクチュエータとしてピエゾ素子等のアクチュエータ素子を備えたデュアルアクチュエータ方式としたものである。
【００８４】
図１８，図１９のように、本実施形態においてもサスペンション１１Ｆはプレート１９Ｃとロードビーム２１Ｃとを備え、さらにピエゾ素子等のアクチュエータ素子８１ａ，８１ｂを備えている。
【００８５】
前記プレート１９は、図２０のように支持穴５７Ｃのほか、素子収容部８３ａ，８３ｂを備えている。この素子収容部８３ａ，８３ｂには、それぞれ素子保持部８５が設けられている。
【００８６】
そして、前記支持穴５７Ｃにボス部２３Ｃが配置され、該ボス部２３Ｃがプレート１９Ｃに固着されている。このプレート１９Ｃとボス部２３Ｃの関係及びボス部２３Ｃの構造は、前記第１〜第３実施形態のものを適用している。
【００８７】
前記素子収容部８３ａ，８３ｂ間は、前記スライダ１７を前記キャリッジ５とは別に変位可能とする変位許容部８７として構成されている。この変位許容部８７は、その変形によりプレート１９Ｃの先端部１９Ｃａが基部１９Ｃｂに対し図１８の矢印Ｓのスウェイ方向へ変位するのを許容する。すなわち、前記変位許容部８７、前記ロードビーム２１Ｃ先端側を前記プレート１９Ｃ側に対し前記キャリッジとは別に変位可能とする構成となっている。
【００８８】
前記プレート１９Ｃの基部１９Ｃｂ側には、補強プレート８９がレーザ溶接等の溶着あるいは接着剤による接着等によって固着されている。前記ロードビーム２１Ｃは、剛体部２５Ｃとばね部２７Ｃとからなり、ばね部２７Ｃは剛体部２５Ｃと別体のばね部材２９Ｃで構成されている。前記ばね部材２９Ｃには、開口部３１Ｃがエッチングあるいは精密プレス加工等によって形成されている。
【００８９】
前記ばね部材２９Ｃの一側に前記剛体部２５Ｃの基端部が重ね合わされ、レーザ溶接等の溶着あるいは接着剤による接着等によって固着されている。前記ばね部材２９Ｃの他側には、前記プレート１９Ｃの先端部１９Ｃａがレーザ溶接等の溶着あるいは接着剤による接着等によって固着されている。
【００９０】
前記剛体部２５Ｃに取り付けられたフレキシャ３３Ｃの導電路９１の一端は、ヘッド部１３Ｃの端子９３に導通され、他端は前記補強プレート８９側に設けられた端子９５に導通接続されている。補強プレート８９側には、さらに前記アクチュエータ素子８１ａ，８１ｂ用の端子９７が設けられている。この端子９７には前記アクチュエータ素子８１ａ，８１ｂに一端が導通された導電路９９の他端が導通接続されている。
【００９１】
そして、本実施形態においても、前記キャリッジアーム９の取付孔３７にボス部２３Ｃの嵌合及び塑性変形を介してプレート１９Ｃがキャリッジアーム９に取り付けられ、前記第１〜第３実施形態とほぼ同様な作用効果を奏することができる。
【００９２】
さらに本実施形態においては、前記アクチュエータ素子８１ａ，８１ｂへの通電により、例えばアクチュエータ素子８１ａを伸長させ、アクチュエータ素子８１ｂを収縮させると、変位許容部８７の変形を介してヘッド部１３Ｃのスライダをスウェイ方向、例えば図１８の矢印Ｓ上方に変位させることができる。逆にアクチュエータ素子８１ａを収縮させ、アクチュエータ素子８１ｂを伸長させると、同様にヘッド部１３Ｃのスライダを図１８の矢印Ｓ下方へ変位させることができる。
【００９３】
このアクチュエータ素子８１ａ，８１ｂによる駆動部は、シングルアクチュエータ方式に比べてかなり軽量であるため、スライダを高い周波数帯域で制御することができる。このためスライダの位置制御を行うサーボのバンド幅をシングルアクチュエータ方式と比較して数倍高くすることができ、その分トラックミスを少なくすることができる。
【００９４】
この場合、プレート１９Ｃのキャリッジアーム９に対する接合精度向上、接合強度向上によって、アクチュエータ素子８１ａ，８１ｂによる駆動特性をより正確に引き出すことができる。
【００９５】
尚、前記デュアルアクチュエータ方式に用いるサスペンションは、剛体部２５Ｃとばね部２７Ｃとが一体に形成された構造のものにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係るサスペンションを備えたハードディスクドライブの一部断面図である。
【図２】第１実施形態に係り、サスペンションの一部を断面にした側面図である。
【図３】第１実施形態に係り、サスペンションの平面図である。
【図４】第１実施形態に係り、サスペンションの底面図である。
【図５】第１実施形態に係り、キャリッジアームに対するサスペンションの取付け構造を示す要部拡大断面図である。
【図６】第１実施形態の変形例に係るサスペンションの一部を断面にした側面図である。
【図７】第１実施形態の変形例に係り、キャリッジアームに対するサスペンションの取付け構造を示す要部拡大断面図である。
【図８】第２実施形態に係り、サスペンションの平面図である。
【図９】第２実施形態に係り、サスペンションの底面図である。
【図１０】第２実施形態に係り、キャリッジアームに対するプレートの取付け構造を示す要部拡大断面図である。
【図１１】第２実施形態に係り、キャリッジアームに対するサスペンションの取付け構造を示す要部拡大断面図である。
【図１２】第２実施形態の変形例に係るサスペンションの一部を断面にした側面図である。
【図１３】第２実施形態の変形例に係り、キャリッジアームに対するサスペンションの取付け構造を示す要部拡大断面図である。
【図１４】第２実施形態に係り、溶接前に穴を形成する状態を示す要部拡大断面図である。
【図１５】第２実施形態に係り、溶接構造の変形例に係る要部拡大断面図である。
【図１６】本発明の第３実施形態に係り、キャリッジアームに対するサスペンションの取付け構造を示す要部拡大断面図である。
【図１７】本発明の第３実施形態の変形例に係り、キャリッジアームに対するサスペンションの取付け構造を示す要部拡大断面図である。
【図１８】本発明の第４実施形態に係るサスペンションの平面図である。
【図１９】第４実施形態に係り、サスペンションの側面図である。
【図２０】第４実施形態に係り、プレートの平面図である。
【図２１】従来例に係り、キャリッジアームに対するサスペンションの取付け構造を示す要部拡大断面図である。
【符号の説明】
５  キャリッジ
９  キャリッジアーム
１１，１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ，１１Ｅ，１１Ｆ  サスペンション
１７  スライダ
１９，１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃ  プレート
２５，２５Ｃ  剛体部
２７，２７Ｃ  ばね部
３７  取付孔
３９  基部
４１  取付嵌合部
４３  支持嵌合部
４９  治具
５１，５１Ａ，５１Ｂ  当接面
５７，５７Ｃ  支持穴
６１  一側面
６３  他側面
６９，６９Ｂ  結合フランジ
７１  凹部
８１ａ，８１ｂ  アクチュエータ素子
８７  変位許容部
【図１】
0003650754.tif 000002
【図２】
0003650754.tif 000003
【図３】
0003650754.tif 000004
【図４】
0003650754.tif 000005
【図５】
0003650754.tif 000006
【図６】
0003650754.tif 000007
【図７】
0003650754.tif 000008
【図８】
0003650754.tif 000009
【図９】
0003650754.tif 000010
【図１０】
0003650754.tif 000011
【図１１】
0003650754.tif 000012
【図１２】
0003650754.tif 000013
【図１３】
0003650754.tif 000014
【図１４】
0003650754.tif 000015
【図１５】
0003650754.tif 000016
【図１６】
0003650754.tif 000017
【図１７】
0003650754.tif 000018
【図１８】
0003650754.tif 000019
【図１９】
0003650754.tif 000020
【図２０】
0003650754.tif 000021
【図２１】
0003650754.tif 000022