(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１凹部の対向面に第１軌道溝を備えたスライダ、該スライダの前記第１凹部に挿通して直線的に相対移動する長手方向両側面に第１軌道溝を形成した第１軌道体、該第１軌道体の長手方向壁面に形成された第２凹部で構成され且つ該第２凹部の対向面に前記第１軌道溝が延びる方向に交差して延びる第２軌道溝が形成されているガイド部、該ガイド部に挿通されて前記第１軌道体に対して直線的に相対移動する長手方向両側面に第２軌道溝を形成した第２軌道体、及び前記第１軌道溝間と前記第２軌道溝間とをそれぞれ転走する転動体、を有することを特徴とする複合型転がり案内ユニット。
【請求項２】
前記ガイド部は前記第１軌道体に一体構造に構成され、前記ガイド部の前記第２軌道溝と前記第１軌道体の前記第１軌道溝とは予め設定された角度に交差して前記第１軌道体自体に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の複合型転がり案内ユニット。
【請求項３】
前記スライダは、前記第１凹部が形成されたケーシングと、該ケーシングの両端面にそれぞれ配置された第１エンドキャップとを有することを特徴とする請求項１に記載の複合型転がり案内ユニット。
【請求項４】
前記ガイド部を設けた前記第１軌道体に形成された前記第２凹部の終端の対向面には第２エンドキャップがそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１に記載の複合型転がり案内ユニット。
【請求項５】
前記第１軌道体の前記第２凹部が形成された前記長手方向壁面は、前記第１軌道体の上面、下面及び側面のいずれかの壁面であることを特徴とする請求項１に記載の複合型転がり案内ユニット。
【請求項６】
一対の前記第２軌道体を取付体に固定し、前記第２軌道体上を一対の前記第１軌道体がそれぞれ独立して相対移動し、前記第１軌道体上を一対の前記スライダがそれぞれ独立して相対移動し、前記スライダにそれぞれ支持部材を固定したことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の複合型転がり案内ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、スライダの凹部に挿通して相対移動可能な第１軌道体と、該第１軌道体の壁面に設けられたガイド部に沿って相対移動可能な第２軌道体とを有する複合型転がり案内ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、メカトロ技術の発展がめざましく、転がり案内ユニットに対しては高精度、高速化、小型化等が要求され、しかも技術の発展と共にその用途は拡大しているのが現状である。転がり案内ユニットは、半導体製造装置、検査装置、産業用ロボット等の技術分野に組み込まれて使用されている。例えば、組立ロボットは、用途の拡大が求められ、大型のものから小型のものまで作製されている。これらの組立ロボットに組み込まれる転がり案内ユニットとしては、特に、高精度、高速化、小型化に対応できることが要求されている。
【０００３】
従来の直動転がり案内ユニットとして、図８、図９及び図１０に示すものが知られている。該直動転がり案内ユニットは、スライダ１をトラックレール即ち軌道体２に跨架した状態で載置し、軌道体２の軌道溝４に沿って循環する転動体７の介在で自在に摺動する。軌道体２の長手方向両側面３には軌道溝４が形成されている。軌道体２には、長手方向上面１４に隔置して複数個の取付孔１５が形成されている。軌道体２は、ベッド、機台、加工台等の取付体２０に固定されている。軌道体２に形成されている取付孔１５には、ボルト１６が挿通され、ボルト１６を取付体２０に形成されたねじ穴２１に螺入することによって軌道体２を取付体２０に固定している。また、取付孔１５の上部には、ボルト１６を挿入した後に塵、水分等が侵入しないように埋栓１３が嵌入されている。スライダ１は、軌道体２に対して相対移動可能なケーシング５、及びケーシング５の両端にそれぞれ取り付けたエンドキャップ６を有している。ケーシング５の上部には、他の機器、部品等を取り付けるためのねじ穴１９が形成されている。ケーシング５及びエンドキャップ６の各下面には、ケーシング５及びエンドキャップ６とが軌道体２に跨がって移動するように凹部１０が各々形成され、軌道体２の各軌道溝４に対向する位置における凹部１０の対向面にそれぞれ軌道溝９が形成されている。対向する軌道溝４，９で構成される軌道路にはボール等の転動体７が転走するように組み込まれている。また、ケーシング５から転動体７が脱落するのを防止するために、保持バンド１８が多数の転動体７を囲むようにケーシング５に取り付けられている。軌道体２とスライダ１との間のシールを達成するために、下面シール８がスライダ１の下面に設けられている。
【０００４】
エンドキャップ６には、転動体７が軌道体２との負荷軌道である軌道溝４からすくわれる爪２２、及び転動体７の循環のために転動体７を方向転換させる方向転換路１１が両側に形成されている。また、エンドキャップ６には、軌道体２とスライダ１の長手方向両端部との間のシールを達成する側面シール１７が取り付けられ、軌道体２とスライダ１間の摺動面に潤滑剤を供給するためのグリースニップル２３が取り付けられている。エンドキャップ６は、複数の取付孔２４に貫通させたねじ２５等によりケーシング５の両端面に取り付けられる。軌道体２の軌道溝４を転走する負荷域の転動体７は、エンドキャップ６内に形成された方向転換路１１に導かれ、次いで、ケーシング５の上部に軌道溝９と平行して形成されたリターン通路孔１２に移動し、転動体７は無限循環路内を転走する。スライダ１に形成した軌道溝９と軌道体２に形成した軌道溝４との間を転走する負荷された転動体７の転動により、軌道体２とスライダ１とがスムースに相対移動することができる。
【０００５】
また、複合型転がり案内ユニットとしては、従来の中間部材を用いるものを利用すれば、図７に示すようなものが考えられる。該複合型転がり案内ユニットは、例えば、取付体２０に一対の軌道体２Ｂ，２Ｂが固定され、軌道体２Ｂ，２Ｂ上を一対のスライダ１Ｂ，１Ｂがそれぞれ摺動移動する。スライダ１Ｂ，１Ｂには一対の中間テーブル２６，２６が固定され、中間テーブル２６，２６上には別の軌道体２Ａ，２Ａがそれぞれ取り付けられ、別の軌道体２Ａ，２Ａに対して別のスライダ１Ａ，１Ａが摺動移動できるようにそれぞれ設けられている。別のスライダ１Ａ，１Ａには、チャック等の支持部材２７がそれぞれ固定されている。両支持部材２７は、共働して工作物等の被処理物に対して加工等の処理やベース上の物体を別の場所に搬送する処理を行うように構成されている。
【０００６】
また、例えば、特公昭５４−３２８８８号公報に開示されたものがある。該公報に開示されたクロス直線ベアリングは、ベアリング本体の上面と下面に軌導台が嵌装される軌導溝を互いに交差する方向に設け、軌導溝の内側面上には１つの軌導台の削設した負荷ボールの転動溝と互いに補い合って４条の負荷軌導を形成する溝を削設し、該溝の両側には無負荷ボールの帰還軌導を形成する溝を削設して４つの無限軌導を形成せしめこれらの溝内に位置するボールをリテーナで軌導溝内に支架させ、４条の負荷軌導内に位置する負荷ボールによってあらゆる方向の荷重を支承できるものである。同様に、ＸＹ方向のクロス直線ベアリングで構成されるＸＹテーブルが特公平４−７２０８４号公報に開示されている。
【０００７】
また、特公昭５７−４０３７２号公報には、クロス直線ベアリングユニットが開示されている。該クロス直線ベアリングユニットは、被摺動体を縦方向及び横方向に直線的に摺動させて被摺動体の正確な位置決めを行うものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のクロス直線ベアリングユニットでは、二次元的な平面上の動きをさせるには、例えば、図７に示すように、軌道体２Ｂ，２Ｂ上を摺動する一方のスライダ１Ｂ，１Ｂ上にブラケットや中間テーブル２６を取り付け、中間テーブル２６に別の軌道体２Ａ，２Ａを固定し、軌道体２Ａ，２Ａ上を摺動する別のスライダ１Ａ，１Ａを設けて構成されている。このように、従来のクロス直線ベアリングユニットでは、中間テーブル２６、ブラケット等の中間部材を必要とし、そのため、中間部材を介在させることによる累積誤差が発生し、高精度な取り付けが困難であったり、部品点数が増加し、移動体の重量が重くなって慣性力が大きくなり、レスポンスも低下する。また、二軸即ち２つの軌道体２Ａ，２Ｂを直交させる場合に、一方の軌道体２Ａに対して他方の軌道体２Ｂを如何にすれば直角に設定固定することができるかである。また、中間部材等の取付部材をボルト等で他部品に固着する場合、装置の高速運転によって発生する振動等で固着部分に緩みが発生するという問題もある。
【０００９】
また、テーブル又はブラケットを使用しないクロス直線ベアリングとしては、上記各公報に開示されたものが知られているが、これらのクロス直線ベアリングは、１つのベアリング本体（スライダ）に互いに交差して延びる軌導台（トラックレール）を設けたものであり、水平方向即ちＸＹ方向の相対移動に関するものである（前掲特公昭５４−３２８８８号公報、前掲特公平４−７２０８４号公報参照）。しかしながら、これらのクロス直線ベアリングは、スライダの上下側に軌導溝を形成したものであるので、固定したトラックレールに対して別のトラックレールを二次元的に平面移動させることができるが、トラックレール上を摺動するケーシングを二次元的に平面移動させる構造ではなく、ケーシング自体にチャック等の支持部材を設けることができないものである。即ち、上記のクロス直線ベアリングは、一対の軌条上に被摺動台が固定されているものであり、一方の軌条上を他方の一対の軌条は一体となって移動する構造である。従って、他方の各軌条は独立的に移動できない構成であり、例えば、他方の各軌条に支持部材等をそれぞれ設けたとしても、各支持部材が共働して物品の把持等を行うことはできない構造である。
【００１０】
この発明の目的は、組立ロボット、産業用ロボット、半導体製造装置、検査装置、工作機械等の比較的に小型の装置に適用して好ましいものであり、物体をある位置から二次元的に移動させるに当たって、従来の用いたような中間テーブル、ブラケット等を不要にし、少なくとも一対の軌道体と１個のスライダから構成して部品点数を低減して複数部品間の累積誤差を最小限に低減すると共に、移動体の重量を低減して軽量化し、慣性力を小さくして一対の軌道体が互いに交差する面上で高精度な相対移動を可能にし、軌道体間での直交９０°等の所定の角度を高精度に設定でき、高精度化、高速化、小型化、軽量化に対応できる複合型転がり案内ユニットを提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記の目的を達成するために、次のように構成されている。即ち、この発明は、第１凹部の対向面に第１軌道溝を備えたスライダ、該スライダの前記第１凹部に挿通して直線的に相対移動する長手方向両側面に第１軌道溝を形成した第１軌道体、該第１軌道体の長手方向壁面に形成された第２凹部で構成され且つ該第２凹部の対向面に前記第１軌道溝が延びる方向に交差して延びる第２軌道溝が形成されているガイド部、該ガイド部に挿通されて前記第１軌道体に対して直線的に相対移動する長手方向両側面に第２軌道溝を形成した第２軌道体、及び前記第１軌道溝間と前記第２軌道溝間とをそれぞれ転走する転動体、を有することを特徴とする複合型転がり案内ユニットに関する。
【００１２】
また、前記ガイド部は前記第１軌道体に一体構造に構成され、前記ガイド部の前記第２軌道溝と前記第１軌道体の前記第１軌道溝とは予め設定された角度に交差して前記第１軌道体自体に形成されている。
【００１３】
また、前記スライダは、前記第１凹部が形成されたケーシングと、該ケーシングの両端面にそれぞれ配置された第１エンドキャップとを有するものである。
【００１４】
また、前記ガイド部を設けた前記第１軌道体に形成された前記第２凹部の終端の対向面には第２エンドキャップがそれぞれ配置されている。
【００１５】
また、前記第１軌道体の前記第２凹部が形成された前記長手方向壁面は、前記第１軌道体の上面、下面及び側面のいずれかの壁面である。
【００１６】
また、この複合型転がり案内ユニットは、一対の前記第２軌道体を取付体上に固定し、前記第２軌道体上を一対の前記第１軌道体がそれぞれ独立して相対移動し、前記第１軌道体上を一対の前記スライダがそれぞれ独立して相対移動し、前記スライダにそれぞれ支持部材を固定したものである。
【００１７】
【作用】
この発明による複合型転がり案内ユニットは、上記のように構成されており、次のような作用をする。即ち、この複合型転がり案内ユニットは、第１凹部の対向面に第１軌道溝を備えたスライダに長手方向両側面に第１軌道溝を形成した第１軌道体を一平面上で相対移動可能に挿通し、前記第１軌道体の上面、下面及び側面のいずれかの面にガイド部を形成し、前記ガイド部の第２凹部の対向面に第２軌道溝を前記第１軌道溝が延びる平面に対して交差方向に延びるように形成し、前記ガイド部に長手方向両側面に第２軌道溝を形成した第２軌道体を挿通して前記第１軌道体に対して相対移動可能に構成したので、前記第１軌道体と前記第２軌道体とが延びる平面が互いに交差した平面上で相対移動が可能になり、強度上、極めて安定した堅固な構造に構成でき、高精度化、高速化、小型軽量化に対応できる。
【００１８】
この複合型転がり案内ユニットにおいて、前記ガイド部を前記第１軌道体の上面に形成した場合には、前記第２軌道体をその上面を取付体の下面に固定する背面取り付けができる。また、前記ガイド部を前記第１軌道体の下面に形成した場合には、前記第２軌道体をその下面を取付体の上面に固定する安定した載置状態の取り付けができる。或いは、前記ガイド部を前記第１軌道体の側面に形成した場合には、前記第２軌道体を、取付体の鉛直な壁面に固定でき、前記スライダは上下方向に移動できることになる。
【００１９】
この複合型転がり案内ユニットは、前記第１軌道体に形成した前記第１軌道溝と前記第２軌道溝との交差角度を直交（９０°）等の所望の角度に容易に且つ正確に高精度に設定できる。しかも、この複合型転がり案内ユニットは、前記スライダ、前記第１軌道体及び前記第２軌道体のそれぞれの相対移動に対して部品点数を低減して複数部品間の累積誤差を最小限に低減でき、特に複雑な組立調整を不要にすることができ、従来のもののような中間テーブルやブラケットを不要にして装置全体として軽量に、コンパクトに且つ小型に構成でき、移動体としての慣性力を低減でき、軽快でスムースな移動を可能にして高速化に対応できる。
【００２０】
また、この複合型転がり案内ユニットは、一対の前記第２軌道体を取付台上に固定し、前記第２軌道体上を一対の前記第１軌道体がそれぞれ独立して相対移動し、前記第１軌道体上を一対の前記スライダがそれぞれ独立して相対移動し、前記スライダにそれぞれ支持部材を固定したので、前記支持部材は共働して搬送品、工作物等の物品を把持することができ、物品の搬送、位置決め等の処理を正確に且つ高精度に、高速に行うことができ、例えば、産業用ロボット等に適用して、高速化、高精度化、小型化、軽量化、応答性に応えることができる。
【００２１】
【実施例】
以下、図面を参照して、この発明による複合型転がり案内ユニットの実施例を説明する。この複合型転がり案内ユニットの各実施例を各図面を参照して説明する場合に、各実施例を説明するための各図面では、図８〜図１０に示す従来の装置の部品と基本的に対応する部品には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。この複合型転がり案内ユニットについては、図を参照して説明した実施例は複合型直動転がり案内ユニットについて示されている。
【００２２】
図１を参照して、この発明による複合型転がり案内ユニットの一実施例を説明する。図１はこの発明による複合型転がり案内ユニットの一実施例を示す斜視図である。この複合型転がり案内ユニットは、図８に示すような直動転がり案内ユニットを利用しており、少なくとも一対の軌道体２Ａ，２Ｂ及び１個のスライダ１で構成され、取付ベース、取付プレート、取付台等の取付体２０に固定された軌道体２Ｂに対して軌道体２Ａを介在してスライダ１が二次元的な平面移動を行うか、又は取付ベース（図示せず）に固定されたスライダ１に対して軌道体２Ａを介在して軌道体２Ｂが二次元的な平面移動を行うことができるものである。この実施例では、軌道体２Ａ，２Ｂとしてトラックレールを使用し、軌道体２Ｂを取付体２０に固定してスライダ１を軌道体２Ｂに対して二次元的移動をさせ、スライダ１が他の機器、部品が固定される場合について説明する。場合によっては、軌道体２Ｂに換えてボールスプライン軸を使用することもできる。
【００２３】
この複合型転がり案内ユニットは、凹部１０Ａの対向面に軌道溝を備えたスライダ１、スライダ１の凹部１０Ａに挿通して一平面上で相対移動する長手方向両側面３Ａに軌道溝４Ａを形成した軌道体２Ａ、軌道体２Ａの下面２９Ａに軌道溝４Ａが延びる平面に対して交差方向に延びる凹部１０Ｂの対向面に軌道溝を備えたガイド部３５、ガイド部３０に挿通されて軌道体２Ａに対して相対移動する長手方向両側面３Ｂに軌道溝４Ｂを形成した軌道体２Ｂ、及び軌道溝４Ａとスライダ１の軌道溝との間、及び軌道溝４Ｂとガイド部３５の軌道溝との間とをそれぞれ転走する転動体を有している。
【００２４】
また、軌道体２Ａに設けたガイド部３０は軌道体２Ａに一体構造に構成され、ガイド部３０の軌道体と軌道体２Ａの軌道溝４Ａとは予め設定された角度（９０°）に交差して軌道体２Ａ自体に形成されている。スライダ１は、長手方向に凹部１０Ａが形成されたケーシング５、ケーシング５の両端面にそれぞれ配置された凹部１０Ａが形成されたエンドキャップ６Ａ、及びエンドキャップ６Ａの端面に配置された側面シール１７を有している。勿論、エンドキャップ６Ａでシールを達成できる場合には、側面シールを設ける必要がない場合もある。ケーシング５に形成した凹部１０Ａの対向面には、軌道溝がそれぞれ形成されている。更に、ガイド部３５を設けた軌道体２Ａの対向面即ち両側面３Ａには、エンドキャップ６Ｂがそれぞれ配置されている。ケーシング５には、バイト、治具、搬送用把持具等の部品を取り付ける取付手段を設けることができる。エンドキャップ６Ａとエンドキャップ６Ｂとは、図示していないが、転動体の転走方向を転換させる方向転換路が形成されている。また、エンドキャップ６Ｂの各端面には、図示していないが、側面シールをそれぞれ配置することもできる。
【００２５】
スライダ１の凹部１０Ａには、軌道体２Ａが嵌合して相対的に直線的に摺動移動する。ケーシング５には、軌道溝４Ａに対向する位置に対応する部分に軌道溝（図示せず）が形成されている。軌道体２Ａの軌道溝４Ａとケーシング５の軌道溝とで構成される軌道路には、転動体（図示せず）が転走するように組み込まれている。軌道体２Ａの所定の位置の下面には凹部１０Ｂが形成され、該凹部１０Ｂにガイド部３０が設けられている。ガイド部３０には、軌道溝４Ａが延びる平面と同一平面において交差方向に延びる軌道溝が形成されている。ガイド部３５には、長手方向両側面３Ｂに軌道溝４Ｂを形成した軌道体２Ｂが挿通されて相対移動するように組み込まれている。軌道体２Ｂの軌道溝４Ｂとガイド部３０の軌道溝とで構成される軌道路には、転動体（図示せず）が転走するように組み込まれている。
【００２６】
この複合型直動転がり案内ユニットは、上記のように構成されているので、軌道体２Ｂは、軌道体２Ａが移動する平面に対して同一方向の平面に延び、第１軌道溝と第２軌道溝とが交差する方向に延びており、軌道体２Ａは、平面上で軌道体２Ｂに対して直線的に相対移動する。従って、軌道体２Ａは、固定された軌道体２Ｂに対して同一平面上で互いに直線的に相対移動でき、また、スライダ１は、軌道体２Ａに対して同一平面上で直線的に相対移動できる。それ故、スライダ１は、固定された軌道体２Ｂに対して二次元的に平面移動を行うことができる。しかも、この複合型直動転がり案内ユニットは、互いに相対移動するスライダ１、軌道体２Ａ，２Ｂの３つの部品から構成されているので、部品間で発生する誤差を可及的に小さく調整しておけば、累積誤差を低減することができる。軌道体２Ａの側面３Ａに形成した軌道溝４Ａとガイド部３０に形成した軌道溝とを、例えば、直交（９０°）する角度に設定しておけば、軌道体２Ｂに対するスライダ１の平面上の相対移動を極めて正確に且つ安定して高精度に行うことができ、例えば、産業用ロボット、工作機械、組立装置等に組み込んだ場合には、高精度の加工や高精度の搬送すべき位置への位置決めを達成できる。
【００２７】
次に、図２を参照して、この発明による複合型転がり案内ユニットの別の実施例を説明する。この実施例は、上記実施例と比較すると、ガイド部を軌道体２Ａの上面１４Ａに設けた以外は、同一の構成及び同一の機能を有するので、重複する説明は省略する。この実施例では、軌道体２Ｂの図２の面２９Ｂ（図１では下面に相当）を取付体２０の下面に固定することができる。従って、スライダ１は、取付体２０に固定された軌道体２Ｂに対して二次元的な平面移動を行うことができる。
【００２８】
次に、図３を参照して、この発明による複合型転がり案内ユニットの更に別の実施例を説明する。この実施例は、上記実施例と比較すると、ガイド部を軌道体２Ａの側面３Ａに設けた以外は、同一の構成及び同一の機能を有するので、重複する説明は省略する。この実施例では、軌道体２Ｂの下面２９Ｂ側を鉛直等の立設した壁面から成る取付体２０に固定することができる。従って、スライダ１は、取付体２０に固定された軌道体２Ｂに対して鉛直平面等で二次元的な平面移動を行うことができる。
【００２９】
次に、図４を参照して、この発明による複合型転がり案内ユニットを適用して装置を説明する。この実施例は、図１に示す複合型転がり案内ユニットを一対用いた搬送装置、位置決め装置等に利用できる装置である。この実施例の装置は、一対の軌道体２Ｂ，２Ｂの下面２９Ｂ，２９Ｂが取付体２０に固定され、軌道体２Ｂ，２Ｂ上に一対の軌道体２Ａ，２Ａがそれぞれ独立して相対移動でき、軌道体２Ａ，２Ａ上に一対のスライダ１，１がそれぞれ独立して相対移動でき、スライダ１，１にはそれぞれチャック等の支持部材２７が固定されている。この装置では、各々のスライダ１，１は、取付体２０に対してそれぞれ独立して二次元的な平面移動を行うことができる。従って、この装置を産業用ロボット等に適用すれば、スライダ１，１にそれぞれ固定されている支持部材２７は、例えば、物品２８を共働して把持し、物品２８を別の場所に搬送することができ、物品の組立、位置決め等の処理を行うことができる。
【００３０】
次に、図５を参照して、この発明による複合型転がり案内ユニットを適用して装置を説明する。この実施例は、図２に示す複合型転がり案内ユニットを一対用いた搬送装置、位置決め装置等に利用できる装置である。この実施例では、一対の軌道体２Ｂの上面２９Ｂを取付体２０の下面に固定したものである。この実施例は、スライダ１を取付体２０に対して二次元的な平面運動させることができ、スライダ１に工作物、或いはチャック等を設ければ、種々の処理を行わせることができる。或いは、図示していないが、この実施例において、一対の軌道体２Ａ，２Ａとそれぞれ上を摺動するスライダ１，１とを設ければ、図４に示す装置と同様な機能を達成させることもできる。
【００３１】
次に、図６を参照して、この発明による複合型転がり案内ユニットを説明する。この実施例は、図３に示す複合型転がり案内ユニットを利用した装置である。この実施例では、軌道体２Ｂの下面２９Ｂ（図２の上面２９Ｂに対応）側を鉛直状の壁面である取付体２０に固定したものである。この実施例は、スライダ１を取付体２０に対して二次元的な上下運動させることができ、スライダ１に工作物、或いはチャック等を設ければ、物品を上下方向に移動させる種々の処理を行わせることができる。或いは、図示していないが、この実施例において、一対の軌道体２Ａ，２Ａとそれぞれ上を摺動するスライダ１，１とを設ければ、図４に示す装置と同様な機能を達成させることもできる。
【００３２】
この発明による複合型転がり案内ユニットについて、上記のように、種々の実施例を説明したが、上記各実施例に限定されるものではない。また、この複合型転がり案内ユニットは、上記各実施例で説明したような直動転がり案内ユニットのみでなく、曲動転がり案内ユニットにも適用できるものである。
【００３３】
【発明の効果】
この発明による複合型転がり案内ユニットは、上記のように構成されており、次のような効果を有する。即ち、この複合型転がり案内ユニットは、スライダの第１凹部に第１軌道体を挿通、前記第１軌道体の上面、下面及び側面のいずれかの面にガイド部を形成し、前記ガイド部の第２凹部に第２軌道体を挿通して前記第１軌道体に対して相対移動可能に構成したので、取付体に固定した前記第２軌道体に対して前記スライダが二次元的な相対移動が可能になり、前記第１軌道体の側面と前記ガイド部とに形成した軌道溝の交差角度を、例えば、直交する角度に容易に、正確に設定することができ、しかも前記第１軌道体と前記第２軌道体との強固な組み立てができ、組立調整も容易に行うことができ、例えば、ＸＹ方向のテーブル、或いはＸＺ方向のテーブルに容易に適用できる。また、この複合型転がり案内ユニットでは、前記第１軌道体に形成した前記ガイド部を、前記第１軌道体の長手方向の所望の位置に形成することができるので、適用する装置に適合するように前記ガイド部の形成位置を選定すれば良い。
【００３４】
この複合型直動転がり案内ユニットは、前記第２軌道体を前記取付体に安定して固定して支持することができると共に、二次元的な移動に対して部品点数を低減して複数部品間の累積誤差を最小限に低減でき、前記スライダ及び前記第１軌道体の各移動体を装置全体として小型に構成でき、該移動体の慣性力を低減でき、レスポンスの良好な二次元的移動を可能にする。即ち、この複合型転がり案内ユニットは、従来のような中間部材、ブラケット等の部品を必要とせず、固定される前記第２軌道体、移動する前記第１軌道体及び前記スライダの３種の部品のみで、前記第２軌道体に対して前記スライダを二次元的な平面移動を可能にし、装置全体を軽量で、コンパクトに且つ堅牢な構造に構成できる。前記第１軌道体及び前記スライダの移動体が軽量になれば、慣性重量が小さくなり、高速な移動をスムースにでき、レスポンスを向上させることができる。特に、前記スライダには、チャック、工具、治具等の支持部材を取り付けて種々の処理を行わせることができる。
【００３５】
従って、この複合型転がり案内ユニットを、産業用ロボット、組立ロボット、検査装置、半導体製造装置等に適用すれば、これらの装置が要求する高速化、小型化、高精度化、応答性等の種々の条件を満足させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による複合型転がり案内ユニットの一実施例を示す斜視図である。
【図２】この発明による複合型転がり案内ユニットの別の実施例を示す斜視図である。
【図３】この発明による複合型転がり案内ユニットの更に別の実施例を示す斜視図である。
【図４】図１の複合型転がり案内ユニットを搬送装置や位置決め装置の装置に適用した一実施例を示す斜視図である。
【図５】図２の複合型転がり案内ユニットを搬送装置や位置決め装置の装置に適用した別の実施例を示す斜視図である。
【図６】図３の複合型転がり案内ユニットを搬送装置や位置決め装置の装置に適用した更に別の実施例を示す斜視図である。
【図７】従来の複合型転がり案内ユニットを適用した部品の搬送や位置決め装置の一例を示す斜視図である。
【図８】従来の直動転がり案内ユニットの一例を示す一部破断の斜視図である。
【図９】図８の直動転がり案内ユニットのエンドキャップの正面図である。
【図１０】図８の直動転がり案内ユニットにおける軌道体と取付体との取付構造の断面図である。
【符号の説明】
１    スライダ
２Ａ，２Ｂ  軌道体
３Ａ  側面
４Ａ，４Ｂ，９  軌道溝
５    ケーシング
６Ａ，６Ｂ  エンドキャップ
７    転動体
１０Ａ，１０Ｂ  凹部
１４Ａ  上面
２０  取付体
２７  支持部材
２９Ａ  下面
３０  ガイド部
【図１】
0003618388.tif 000002
【図２】
0003618388.tif 000003
【図３】
0003618388.tif 000004
【図４】
0003618388.tif 000005
【図５】
0003618388.tif 000006
【図６】
0003618388.tif 000007
【図７】
0003618388.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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