(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空と背圧の切換自在な吸着ノズルを複数配設し、前記吸着ノズルによりチップ部品の側面を吸着して回転搬送する間欠回転自在な第１テーブルと、真空と背圧とを切替自在で所定角度ずつ自転可能な吸着ノズルを複数配設し、前記自転可能な吸着ノズルにより前記チップ部品の上面を吸着して回転搬送するべく間欠回転自在で、かつ前記第１テーブルから前記チップ部品を移し替え可能なように前記第１テーブルに対し結合した第２テーブルと、前記第１テーブルに前記チップ部品を供給する供給ユニットと、前記第１テーブルおよび前記第２テーブルの外円周近傍であり、前記第１テーブルおよび前記第２テーブルの間欠回転に対応する所定の位置に各々配設した複数の外観検査ユニットより構成された前記チップ部品の全面を外観検査する検査手段と、前記外観検査ユニットで外観検査された前記チップ部品の検査不良品および検査良品を分別取出す取出ユニットとを備え、前記第１テーブルに設けた前記吸着ノズルの吸着面は、前記第１テーブルの最外周より突出させて設け、前記第２テーブルに設けた吸着ノズルは、前記第２テーブルの間欠回転に対応して、吸着ノズル自身の自転を行うことを特徴とする電子部品製造装置。
【請求項２】
第１テーブルあるいは第２テーブルの近傍で、前記第１テーブルあるいは前記第２テーブルの間欠回転に対応する位置に、チップ部品の電気的特性を測定する接点ユニットを設けた請求項１に記載の電子部品製造装置。
【請求項３】
第２テーブルの近傍で、前記第２テーブルの間欠回転に対応する位置にチップ部品のθ方向の位置を補正する位置決ユニットと、チップ部品をテーピング包装するテーピングユニットとを付加してなる請求項２に記載の電子部品製造装置。
【請求項４】
外観検査時に取込んだチップ部品下面のデータにより、チップ部品のＸ、Ｙおよびθ方向のズレ量を認識し、テーピング時のキャビティ位置によりＸ、Ｙ方向の補正を行うテーピングユニットと、第２テーブルに配設した吸着ノズルの回転によりθ方向の前記ズレ量を補正する位置決ユニットとを備えた請求項３に記載の電子部品製造装置。
【請求項５】
チップ部品のズレ量を認識し、あらかじめ設定した量より前記ズレ量が大きい場合、テープのキャビティにチップ部品を挿入しないテーピングユニットであることを特徴とする請求項４に記載の電子部品製造装置。
【請求項６】
テープ長手方向のＸ方向はテープの移送機構の送り量で、またテープ長手方向に垂直で、テープ平面と水平なＹ方向はテープ送行ライン上に回転中心を有する揺動メカニズムによりキャビティ位置の補正を行うテーピングユニットであることを特徴とする請求項４に記載の電子部品製造装置。
【請求項７】
第２テーブルに配設した吸着ノズルの回転軸に固着された歯車と、前記歯車に係合する歯車を有し第２テーブルに回転可能に支持された第１のタイミングプーリと、第２テーブルの回転軸に設けた第２のタイミングプーリと、前記第１のタイミングプーリとを自転させる構成とする請求項１に記載の電子部品製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はチップ型電子部品における外観検査、特性検査およびテーピングのユニットを備えた電子部品製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のチップ型電子部品における外観検査、特性検査およびテーピングのユニットを備えた電子部品製造装置について図面を用いて説明する。
【０００３】
図７は従来における六面外観検査機構の要部平面図、図８は同ディスクの要部構造断面図、そして図９は同特性検査テーピング機構の要部平面図である。
【０００４】
図７において、パーツフィーダ４０により表裏面を整列して供出されるチップ部品２７は、外周にチップ部品２７が収納できる切欠きを有する回転自在な第１ディスク４２に対し、供給部４１により供給される。なお、チップ部品２７は、表裏面、２つの側面および２つの端面の六面を有した電子部品である。
【０００５】
前記第１ディスク４２は図８（ａ）に示す断面構造となっており、その外周および上下面はチップ部品２７の逸脱を防止するために、固定ガイド４３、４４、４５が配設されている。
【０００６】
第１ディスク４２の上部でカメラおよび照明機構より構成される外観検査部４６により、上下よりチップ部品２７の表裏面、そして外側より一方の端面の外観検査を行う。なお、前記の検査位置において固定ガイド４５ａは、図８（ｂ）に示すようにチップ部品２７を吸着する吸引孔４５ｂを有し、前記固定ガイド４４は、チップ部品２７の位置に一部切欠きを有する構造であるか、あるいは透明の材料より成るもので、外観検査の妨げにならない様に配慮されている。
【０００７】
次に、エアー吹き付けによりチップ部品２７を第１ディスク４２より取出し、反転部４７に移動させ投入する。この部分を通過する際チップ部品２７は姿勢が端面に垂直な軸回りに９０度反転し表裏面が横に、側面が上下になるように設定する。
【０００８】
その後、第１ディスク４２と同じ構造の第２ディスク４８に、同じ機構の供給部により供給され、同じく外観検査部４６で今度は上下より両側面、外側より残り一方の端面の外観検査を行う。そして最後に、良品と不良品を分別して取出部４９にてチップ部品２７を１個ずつ個別（バラバラ）に取出す構成のものである。
【０００９】
また、図９において、前記外観検査機構と同じくパーツフィーダ４０、供給部４１によりチップ部品２７は、表裏面を整列した状態で回転自在なディスク５０に供給される。
【００１０】
そして、前記ディスク５０上で接点および接点とチップ部品を当接させる駆動機構よりなる特性検査部５１で、所定の特性値を測定する。
【００１１】
次に、不良排出部５３で特性不良のチップ部品２７を排出した後、特性が良品のチップ部品２７だけを、テーピング部５２においてテープ５４のキャビティに収納しカバーテープを装着してテーピングによる包装を行うものである。
【００１２】
なお、前記両機構ともディスクの割出し数や、外観検査部、特性検査部、不良排出部の配置や個数は、対象とするチップ部品２７により適宜設定され、また、これら第１、第２ディスク４２、４８は通常直径７０〜１５０ｍｍ程度のものが多用されている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、チップ部品の外観検査においては、検出しようとする部分と反れ以外の部分を精度良く分離して検出部分を認識する必要があり、従来の外観検査ユニットでは検査対象のチップ部品がディスクや固定ガイドに囲まれ沈んでおり、照明のための光源を照射する方向に制約がでたり、ディスクの構成部品の陰にチップ部品が入ってしまったり、あるいはディスクの軸受の構成部品により照明機構の配置に制約が生じるという問題点を有していた。
【００１４】
また、最終の包装形態にかかわらずチップ部品の製造において不可欠な外観検査工程と特性検査工程が分離しているため、一度整列させて検査したチップ部品を１個ずつ個別（バラバラ）に取出し、再度次の工程ユニットに投入しなければならない。
【００１５】
さらに、近年チップ部品は１００５型、さらには０６０３型と小型化が急速に進む中、テーピング時のキャビティとチップ部品とのクリアランスも、例えば０．１ｍｍ以下が要求されるなか、テーピング方法としてディスクの切欠き部でチップ部品を搬送しキャビティに移し替える方法では、チップ部品をディスクの切欠きに供給するために必要となる切欠きの寸法と、チップ部品の製品寸法との差であるクリアランスをさらに小さくする必要がある。
【００１６】
すなわち、従来の機構で構成された電子部品製造装置では、検査用の照明機構自体の選択設定に制約があり、チップ部品のエッジが精度良く検出できず、工程間での仕掛かり在庫の発生、生産リードタイムの遅延の発生、ディスクにおけるチップ部品の供給部、搬送部およびテーピング部における円滑動作が困難で、設備稼動に支障をきたすという課題を有していた。
【００１７】
本発明は前記課題を解決しようとするものであり、チップ部品の高精度な外観検査、特性検査および円滑で高精度なテーピングの動作が可能となり、さらに装置がコンパクトかつ安価に実現できる電子部品製造装置を提供することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の電子部品製造装置は、真空と背圧の切換自在な吸着ノズルを第１テーブルの最外周より突出させて複数配設し、前記吸着ノズルによりチップ部品の側面を吸着して回転搬送する間欠回転自在な第１テーブルと、真空と背圧とを切替自在で所定角度ずつ自転可能な吸着ノズルを複数配設し、前記自転可能な吸着ノズルにより前記チップ部品の上面を吸着して回転搬送するべく間欠回転自在で、かつ前記第１テーブルから前記チップ部品を移し替え可能なように前記第１テーブルに対し結合した第２テーブルと、前記第１テーブルに前記チップ部品を供給する供給ユニットと、前記第１テーブルおよび前記第２テーブルの外円周近傍であり、前記第１テーブルおよび前記第２テーブルの間欠回転に対応する所定の位置に各々配設した複数の外観検査ユニットより構成された前記チップ部品の全面を外観検査する検査手段と、前記外観検査ユニットで外観検査された前記チップ部品の検査不良品および検査良品を分別取出す取出ユニットとを備えた電子部品製造装置としたものであり、確実なチップ部品の検査、テーピングが可能となる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、真空と背圧の切換自在な吸着ノズルを複数配設し、前記吸着ノズルによりチップ部品の側面を吸着して回転搬送する間欠回転自在な第１テーブルと、真空と背圧とを切替自在で所定角度ずつ自転可能な吸着ノズルを複数配設し、前記自転可能な吸着ノズルにより前記チップ部品の上面を吸着して回転搬送するべく間欠回転自在で、かつ前記第１テーブルから前記チップ部品を移し替え可能なように前記第１テーブルに対し結合した第２テーブルと、前記第１テーブルに前記チップ部品を供給する供給ユニットと、前記第１テーブルおよび前記第２テーブルの外円周近傍であり、前記第１テーブルおよび前記第２テーブルの間欠回転に対応する所定の位置に各々配設した複数の外観検査ユニットより構成された前記チップ部品の全面を外観検査する検査手段と、前記外観検査ユニットで外観検査された前記チップ部品の検査不良品および検査良品を分別取出す取出ユニットとを備え、前記第１テーブルに設けた前記吸着ノズルの吸着面は、前記第１テーブルの最外周より突出させて設け、前記第２テーブルに設けた吸着ノズルは、前記第２テーブルの間欠回転に対応して、吸着ノズル自身の自転を行うことを特徴とする電子部品製造装置としたものであり、真空吸着ノズルによるチップ部品の搬送により、チップ部品の周辺にガイドの構成部品が不要でチップ部品を安定に搬送でき、外観検査時の照明機構の最適化ができ、吸着ノズルの所定角度の自転によりチップ部品の外観検査面を常にテーブルの外側に向けることができ、外観検査ユニットをスペース的に有利なテーブルの外円周近傍に放射状にて配置でき、精度良い外観検査が可能になるとともに、安定した設備稼働が実現できるという作用を有する。
【００２０】
請求項２に記載の発明は、第１テーブルあるいは第２テーブルの近傍で、前記第１テーブルあるいは前記第２テーブルの間欠回転に対応する位置に、チップ部品の電気的特性を測定する接点ユニットを設けた請求項１に記載の電子部品製造装置としたものであり、外観検査ユニットのスペースを大幅に削減して、特性検査機構の配設が可能となり、外観検査と特性検査の工程を連結することができるという作用を有する。
【００２１】
請求項３に記載の発明は、第２テーブルの近傍で、前記第２テーブルの間欠回転に対応する位置にチップ部品のθ方向の位置を補正する位置決ユニットと、チップ部品をテーピング包装するテーピングユニットとを付加してなる請求項２に記載の電子部品製造装置としたものであり、θ方向（テープ平面に垂直な軸まわりの回転方向）に位置補正することにより、請求項２に記載の作用に加えてテーピングユニットの配設も可能で、テーピング工程まで連結が可能になるという作用を有する。
【００２２】
請求項４に記載の発明は、外観検査時に取込んだチップ部品下面のデータにより、チップ部品のＸ、Ｙおよびθ方向のズレ量を認識し、テーピング時のキャビティ位置によりＸ、Ｙ方向の補正を行うテーピングユニットと、第２テーブルに配設した吸着ノズルの回転によりθ方向の前記ズレ量を補正する位置決ユニットとを備えた請求項３に記載の電子部品製造装置としたものであり、チップ部品を非接触にて位置決めでき、微小チップ部品に対しても安定してテーピングが可能になるという作用を有する。
【００２３】
請求項５に記載の発明は、チップ部品のズレ量を認識し、あらかじめ設定した量より前記ズレ量が大きい場合、テープのキャビティにチップ部品を挿入しないテーピングユニットであることを特徴とする請求項４に記載の電子部品製造装置としたものであり、搬送されたチップ部品の位置がキャビティのクリアランスよりズレていても、安定したテーピングが可能になるという作用を有する。
【００２４】
請求項６に記載の発明は、テープ長手方向のＸ方向はテープの移送機構の送り量で、またテープ長手方向に垂直で、テープ平面と水平なＹ方向はテープ送行ライン上に回転中心を有する揺動メカニズムによりキャビティ位置の補正を行うテーピングユニットであることを特徴とする請求項４に記載の電子部品製造装置としたものであり、別途補正機構を必要とせずにチップ部品の位置補正を行うことができるという作用を有する。
【００２５】
請求項７に記載の発明は、第２テーブルに配設した吸着ノズルの回転軸に固着された歯車と、前記歯車に係合する歯車を有し第２テーブルに回転可能に支持された第１のタイミングプーリと、第２テーブルの回転軸に設けた第２のタイミングプーリを、前記第１のタイミングプーリと前記第２のタイミングプーリとの間を懸架するタイミングベルトとを備え、前記吸着ノズルを自転させる構成とする請求項１に記載の電子部品製造装置であり、動作が確実でコンパクトな構成にできるという作用を有する。
【００２６】
以下、本発明の実施の形態における電子部品製造装置について図面を用いて説明する。図１は本発明における電子部品製造装置の要部構成平面図、図２は同第１および第２テーブルの要部断面図、図３は同第２テーブルの吸着ノズル自転機構部の要部構成平面図、図４は同チップ部品と吸着ノズルの拡大斜視図、図５は同位置決ユニットの要部断面図、そして図６は同テーピングユニットの要部構成平面図である。
【００２７】
図１において、１は例えば直径１２０ｍｍの金属体で１２分割された回転自在な第１テーブル、２は第１テーブル１と外円周同士で接し、直径１５０ｍｍで第１テーブルと同じく１２分割された回転自在な第２テーブルである。３は供給ユニットであり、パーツフィーダ４により整列され一列にて搬送されてきた前記従来の技術で説明したチップ部品２７を、第１テーブル１に所定間隔で１個毎に吸着して載置させる。
【００２８】
５はチップ部品２７の側面あるいは端面を外観検査するために、カメラおよび照明機構を１枚のプレートに設置した検査手段となる外観検査ユニットであり、複数個の外観検査ユニット５が各テーブルの中心より放射状の外円周近傍に配設されている。
【００２９】
６はチップ部品２７の下面を外観検査する検査手段となる外観検査ユニットであり、外観検査ユニット６もプリズムを用いる構成にて、側面あるいは端面を検査する前記外観検査ユニット５と同じく、スペース的に有利な各テーブルの外円周近傍に配設してある。
【００３０】
７はチップ部品２７の上面を外観検査する検査手段となる外観検査ユニットであり、外観検査ユニット７はチップ部品２７の移動軌跡における上方部に配設されている。
【００３１】
８は第１テーブル１から第２テーブル２にチップ部品２７を移し替える移替ユニット部、９はチップ部品２７の諸特性を測定するための検針である接点ユニット、そして１０は位置決ユニットであり、チップ部品２７をテーピングする際、従来の技術で説明したテープ５４のキャビティへ挿入するために位置決めを行うのである。
【００３２】
１１，１１ａは検査不良となったチップ部品２７を排出する複数あるいは１個の不良排出口であり、検査不良および検査良品を分別し検査不良品を取出す取出ユニットを構成している。
【００３３】
１２は検査良品のチップ部品２７をテープ５４のキャビティに収納しカバーテープを熱圧着により装着するテーピングユニットである。
【００３４】
また、図２において、１３はチップ部品２７を吸着保持するセラミック材よりなる吸着ノズルであり、必要に応じて真空と背圧の切替をするための分配器１４に、第１テーブル１を介して配管連結自在となっている。
この吸着ノズル１３の吸着面は、第１テーブル１の最外周より突出して設けてあり、その吸着面で、チップ部品２７を吸着保持する。
【００３５】
１３ａは吸着ノズル１３と同様の第２テーブル２に配設された吸着ノズルであり、配管についても前記第１テーブル１と同様の構成を成している。１５は吸着ノズル１３ａを下方向に付勢する圧縮バネ、１６は吸着ノズル１３ａを固定する上下および回転方向に移動自在なシャフト、そして１７は自転用歯車でありシャフト１６を挿通させてその中間部に固定されている。
【００３６】
１８は吸着ノズル１３ａを上下移動させるアタッチメントであり、本装置では移替ユニット部８、位置決ユニット１０、テーピングユニット１２の３ヶ所に配置されている。また、１９は上下移動用の駆動軸であり、中空シャフト構造である回転軸２０の軸芯に挿入され、一端をアタッチメント１８に、他端を間欠駆動源または上下駆動源に結合させている。
【００３７】
２１は第２テーブル２の上面に配置され、自転用歯車１７とかみ合う歯車であり、本装置では２個の吸着ノズルに１個の割合で配置してある。
【００３８】
２２は前記歯車２１と連結一体となって回転する第１のタイミングプーリ、２３は固定テーブルであり、前記で説明した上下駆動の必要な３個所（移替ユニット部８、位置決ユニット１０、テーピングユニット１２）以外の部分において吸着ノズル１３ａの下方向に対するストッパーとなっている。
【００３９】
また、この固定テーブル２３は上下移動用のアタッチメント１８に対して、例えば第２テーブル２の外周近傍の固定部に連結された廻り止め（図示せず）により回転方向が規制されている。
【００４０】
２４は固定テーブル２３の下部に固着された第２のタイミングプーリ、２５は第１のタイミングプーリ２２および第２のタイミングプーリ２４間に懸架された両歯のタイミングベルトである。そして、第１テーブル１、第２テーブル２に対する間欠駆動源、第２テーブル２に対する上下駆動源は軸受２８ａ、２８ｂおよび本体フレーム２８の下部に配置し、それぞれの軸と結合させている。
【００４１】
なお、図３において２６はタイミングベルト２５を確実かつ適切に第１のタイミングプーリ２２および第２のタイミングプーリ２４間に懸架して、円滑な動作を行うためのテンションプーリである。
【００４２】
次に、以上のように構成された装置における動作について説明する。ここで検査する第１テーブル１に吸着し載置されたチップ部品２７の姿勢と面を、図４に示すようにａ面〜ｆ面と定める。
【００４３】
第１テーブル１でチップ部品２７は図４に示すｂ面を吸着ノズル１３により吸着され、１サイクルに１インデックスずつ、反時計回りにその姿勢を保持しながら回転搬送される。すなわち、１サイクルに３０°（＝３６０°÷１２分割）ずつ回転するのである。
【００４４】
前記第１テーブル１の上でａ面（チップ部品２７の上面）およびｄ面（同じく側面）の外観検査と特性検査を行い、チップ部品２７が良品の場合、２個所の不良排出口１１のステーションを順次通過する。不良のチップ部品２７が検出された場合は、不良排出口１１へ排出される。
【００４５】
なお、本実施の形態の特性検査は接点ユニット９を第１テーブル１の外周よりｄ面に当接して行う（図示せず）。
【００４６】
次にチップ部品２７は移替ユニット部８により、チップ部品２７のａ面を吸着面とする第２テーブル２に移し替えられる。なお、この第１テーブル１から第２テーブル２へのチップ部品２７の移し替えは、本実施の形態のように第１テーブル１に配設された吸着ノズル１３から第２テーブル２に配設された吸着ノズル１３ａに直接行ってもよいが、一旦チップ部品を別部材にあずけて、間接的に移し替えを行ってもかまわない。次に、第２テーブル２は１サイクルに１インデックスずつ時計回りに回転して行くが、それと同時に各チップ部品２７を保持した各吸着ノズル１３ａ自身も１インデックス毎に反時計回りに自転する。
【００４７】
そのため、移替ユニット部８から２インデックス目には、第２テーブル２の外周側にｄ面（チップ部品２７の側面）が位置し、次いで１インデックス毎にｆ面（チップ部品２７の端面）、ｂ面（チップ部品２７の側面）、そしてｅ面（チップ部品２７の端面）の順に位置していく。この順に第２テーブル２の外周側において外観検査ユニット５により外観検査を行う。
【００４８】
但し、ｄ面はすでに第１テーブル１において検査済みであるため、このｄ面が外周側に位置するステーションではｃ面（チップ部品２７の下面）を第２テーブル２の外周側において外観検査ユニット６により外観検査を行うのである。
【００４９】
次にテーピングをするためのチップ部品２７が不良排出口１１ａのステーションを通過した後、位置決ユニット１０でテーピングにおけるテープ５４のキャビティに挿入できるように、チップ部品２７の位置を修正設定し（図示せず）、テーピングユニット１２においてテープ５４のキャビティの所定個所にチップ部品２７を収納し、その後、カバーテープが熱圧着により装着されてテーピングが完了する。
【００５０】
また、チップ部品２７が、あらかじめ規定したズレ量より大きく位置ズレしているときは、位置修正を行わず不良排出のステーションでチップ部品２７を不良排出口１１ａに排出し、テープ５４のキャビティに挿入しない様にしている。
【００５１】
なお、本装置における吸着ノズル１３ａの自転構造において考えられる通常最も簡単な機構は、吸着ノズル１３ａを連結したシャフト１６に固定された自転用歯車１７を、第２テーブル２の中心部における固定の歯車（太陽歯車）にかみ合わせる構成である。しかしながら本装置の場合１インデックスで９０度自転とした関係から、自転歯車：太陽歯車＝１：３の歯数比とする必要があり、そうすると、自転用歯車１７の径が大きくなりすぎて隣接する歯車同士が干渉してしまうことになる。
【００５２】
従って、太陽歯車と自転歯車との間を２段で変速する必要があり、その方法として、前記両歯車（太陽歯車と自転歯車）の間にもう１つアイドラ用の歯車を介在させることによって構成することができるが、そのような歯車のみで多段に変速する構造では歯車によるガタが大きく精度が良くない。さらに、またその構造では、歯車間のバックラッシュ調整が難しく、本発明の装置は歯車とタイミングベルトを組合わせた機構とし、テンションプーリ２６によりタイミングベルト２５にテンションを付加することで容易にガタを無くし、精度の良い自転構造を実現しているのである。
【００５３】
次に、図１におけるチップ部品２７の位置決ユニット１０について説明する。図５に示すように、第２テーブル２の吸着ノズル１３ａの構造は、シャフト１６と自転用歯車１７を固定せずに圧縮バネ２９の付勢力で加圧し、シャフト１６に固定されているカラー３０との摩擦力により、自転時の回転トルクを伝達させる。しかしながら、チップ部品２７のθ方向の位置を補正するときには、このカラー３０への回転トルク伝達による自転とは関係なく、図１における位置決ユニット１０において、上部よりアタッチメント３１を下降させ、吸着ノズル１３ａの上部における切欠きと嵌め合せて、必要量パルスモータにより回転させることにより行っている。
【００５４】
また、図６に示すように、３２はテープ５４を定ピッチ送りするためのピンプーリ、３３はピンプーリ３２を回転駆動するパルスモータ、３４はテンション用のピンプーリであり、テープ５４を常に下流方向へ一定のテンションで引張する構造となっている（図示せず）。
【００５５】
３５は本テーピングユニット１２全体の揺動支点、３６はテーピングユニット１２に固定されたカムフォロア、３７は変位を付加するカムでありパルスモータ３８により回転駆動される。
【００５６】
本装置において、Ｘ方向（テープ５４長手方向）のチップ部品２７の位置補正は、テープ５４の移送に使用しているパルスモータ３３の送り量を定量にするのではなく、補正量を加味し送り量を変化させて移送することにより補正を行う。また、Ｙ方向（テープ５４幅方向）の位置補正は、テーピングユニット１２全体がチップ部品２７のテーピング位置３９からテープ５４が走行する方向に十分離れ、かつテープ走行ライン上を回転中心とし、パルスモータ３８に取付けられたカム３７を必要量回転させることにより補正値分移動させて補正を行うのである。
【００５７】
以上の構成による機構により、図１における第２テーブル２上のチップ部品２７のｃ面（下面）外観検査ユニット６により取込んだ画像データをもとに、Ｘ、Ｙおよびθ方向の補正を行い円滑で高精度なテーピングを行っているのである。
【００５８】
また、言うまでもなく本装置において、θ方向に補正された吸着ノズル１３ａはチップ部品２７をテーピングした後、次のチップ部品２７を吸着する移替ユニット部８までの間に初期位置に戻す機構ユニット（図示せず）が設置されており、吸着ノズル１３ａは、初期位置に戻って次のチップ部品２７を吸着するのである。
【００５９】
【発明の効果】
以上のように本発明の電子部品製造装置によれば、第１テーブルに設けた吸着ノズルの吸着面は、第１テーブルの最外周より突出させて設け、第２テーブルに設けた吸着ノズルは、第２テーブルの間欠回転に対応して、吸着ノズル自身の自転を行うことにより、チップ部品の高精度な外観検査、特性検査およびテーピングを、コンパクトで、安価な装置により実現できるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における電子部品製造装置の要部構成平面図
【図２】同第１および第２テーブルの要部断面図
【図３】同第２テーブルの吸着ノズル自転機構部の要部構成平面図
【図４】同チップ部品と吸着ノズルの拡大斜視図
【図５】同位置決ユニットの要部断面図
【図６】同テーピングユニットの要部構成平面図
【図７】従来における六面外観検査機構の要部平面図
【図８】同ディスクの要部構造断面図
【図９】同特性検査テーピング機構の要部平面図
【符号の説明】
１  第１テーブル
２  第２テーブル
３  供給ユニット
４、４０  パーツフィーダ
５、６、７  外観検査ユニット（検査手段）
８  移替ユニット部
９  接点ユニット
１０  位置決ユニット
１１、１１ａ  不良排出口
１２  テーピングユニット
１３、１３ａ  吸着ノズル
１４  分配器
１５、２９  圧縮バネ
１６  シャフト
１７  自転用歯車
１８、３１  アタッチメント
１９  駆動軸
２０  回転軸
２１  歯車
２２  第１のタイミングプーリ
２３  固定テーブル
２４  第２のタイミングプーリ
２５  タイミングベルト
２６  テンションプーリ
２７  チップ部品
２８  本体フレーム
２８ａ、２８ｂ  軸受
３０  カラー
３２、３４  ピンプーリ
３３、３８  パルスモータ
３５  揺動支点
３６  カムフォロア
３７  カム
３９  テーピング位置
４１  供給部
４２  第１ディスク
４３、４４、４５、４５ａ  固定ガイド
４５ｂ  吸引孔
４６  外観検査部
４７  反転部
４８  第２ディスク
４９  取出部
５０  ディスク
５１  特性検査部
５２  テーピング部
５３  不良排出部
５４  テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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