(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を定量的に制御する弁開度調整自在の制御バルブとを有する材料加工機用流体圧装置において、
一つの加工ストロークにおける前記制御バルブの複数個の切換ポイントにおいて流量を制限する方向へ切り換える切換ポイントにおける前記制御バルブのスプールの移動速度を、流量が増大する方向へ切り換える他の切り換えポイントにおけるスプール移動速度よりも遅くするスプール移動速度可変制御手段を有していることを特徴とする材料加工機用流体圧装置。
【請求項２】
金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を定量的に制御する弁開度調整自在の制御バルブとを有する材料加工機用流体圧装置において、
前記工具が被加工物に当接する直前にて前記流体圧アクチュエータに供給する流体圧の流量を大流量より小流量へ切り換える切り換え時と、加工ストローク下降端における切り換え時と、加工ストローク上昇端における切り換え時の少なくとも一つの切り換えポイントにおける前記制御バルブのスプールの移動速度を、加工ストロークの上昇端からの下降開始時、または、被加工物のせん断終了点で前記流体圧アクチュエータに供給する流体圧の流量を小流量より大流量へ切り換える切り換え時である他の切換ポイントでのスプール移動速度よりも遅くするスプール移動速度可変制御手段を有していることを特徴とする材料加工機用流体圧装置。
【請求項３】
前記スプール移動速度可変制御手段は前記制御バルブのスプール移動速度を前記他の切換ポイントにおけるスプール移動速度よりも遅くする切換ポイントに到達する直前にてスプール変位指令のゲインを他の状態下におけるスプール変位指令のゲインより小さくすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の材料加工機用流体圧装置。
【請求項４】
前記制御バルブは前記流体圧アクチュエータに対する油圧の供給を停止する全閉位置と前記流体圧アクチュエータに第一の方向をもって油圧を供給する第一の開弁位置と前記流体圧アクチュエータに第一の方向と反対の方向をもって油圧を供給する第二の開弁位置との間に切り換わり、前記スプール移動速度可変制御手段は前記制御バルブのスプール変位量情報とスプール移動方向情報とを入力し、スプールが第一の開弁位置にあってスプールの移動方向が第二の開弁位置へ向かう移動方向、あるいはスプールが第二の開弁位置にあってスプールの移動方向が第一の開弁位置へ向かう移動方向である時のスプール変位指令のゲインを他の状況下におけるスプール変位指令のゲインより小さくすることを特徴とする請求項２に記載の材料加工機用流体圧装置。
【請求項５】
前記制御バルブは前記流体式アクチュエータのピストン変位指令に従って動作し、前記スプール移動速度可変制御手段は前記流体式アクチュエータのピストン変位指令の波形を予め設定し、この波形設定によって前記制御バルブの特定の切換ポイントにおけるスプール移動速度を前記他の切換ポイントにおけるスプール移動速度より遅くすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の材料加工機用流体圧装置。
【請求項６】
前記スプール移動速度可変制御手段はスプール変位指令の波形を予め設定し、この波形設定によって前記制御バルブの特定の切換ポイントにおけるスプール移動速度を他の前記切換ポイントにおけるスプール移動速度より遅くすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の材料加工機用流体圧装置。
【請求項７】
金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を定量的に制御する弁開度調整自在の制御バルブと、予め設定された前記流体圧アクチュエータのピストン変位指令に基づいて前記制御バルブの弁開度を調整する制御手段とを有する材料加工機用流体圧装置において、
前記制御手段に設定される前記ピストン変位指令の波形は、一つの加工ストロークにおける前記制御バルブの複数個の切換ポイントのうち、流量を制限する方向へ切り換える切換ポイントに相当する部分の二直線の接続角部が、平滑的な曲線により形成されていることを特徴とする材料加工機用流体圧装置。
【請求項８】
金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を定量的に制御する弁開度調整自在の制御バルブと、予め設定された前記流体式アクチュエータのピストン変位指令に基づいて前記制御バルブの弁開度を調整する制御手段とを有する材料加工機用流体圧装置において、
前記制御手段に設定される前記ピストン変位指令の波形は、一つの加工ストロークにおける前記制御バルブの複数個の切換ポイントのうち、前記工具が被加工物に当接する直前にて前記流体圧アクチュエータに供給する流体圧の流量を大流量より小流量へ切り換える切換時と、加工ストローク下降端における切換時と、加工ストローク上降端における切換時の少なくとも一つの切換ポイントに相当する部分の二直線の接続角部が、平滑的な曲線により形成されていることを特徴とする材料加工機用流体圧装置。
【請求項９】
金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を制御する弁開度調整自在の制御バルブとを有する材料加工機用流体圧装置の制御方法において、
前記制御バルブの複数個の切換ポイントにおいて流量を制限する方向へ切り換える切換ポイントにおける前記制御バルブのスプール移動速度を、流量が増大する方向へ切り換える他の切換ポイントにおけるスプール移動速度よりも遅くすることを特徴とする材料加工機用流体圧装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、材料加工機用油圧装置および制御方法に関し、更に詳細には弁開度調整自在の制御バルブにより流体圧供給を定量的に制御される流体圧アクチュエータによって金型などの工具が駆動される形式のパンチプレスマシン、ベンディングマシン、シャーリングマシンなどの材料加工機における流体圧装置および制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
パンチプレスマシン、ベンディングマシン、シャーリングマシンなどの材料加工機においては、金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流体圧アクチュエータ、例えば油圧シリンダ装置を使用し、加工ストロークにて流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給方向、流量を弁開度調整自在の制御バルブにより制御し、所定の加工パターンにて前記工具を駆動することが行われている。この種の加工ストローク制御法は、例えば特開昭６２−１８３９１９号，特開平７−１４８４９８号等の公報に示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような材料加工機において、所定の加工パターンを得るべく、加工ストロークの途中で制御バルブによって流体圧アクチュエータに与える流体圧の流量を低減（制限）したり、流体圧の供給方向を切り換えたりすると、流体の慣性によってオイルハンマー現象、ウォータハンマー現象と呼ばれるフルードハンマー現象が発生する。フルードハンマー現象は、流体の流れを抑えたり遮断する場合、運動エネルギーの持つ慣性力によって流路配管、バルブ、流体圧アクチュエータなどを振動させ、これらの耐久性を低下させる原因になり、また騒音を発生し、静粛性を阻害する。
【０００４】
このことに対する一つの対策として、スプール変位指令のゲイン設定によって切換ポイントにおける制御バルブのスプール移動速度を全体的に遅い値に設定することがある。
【０００５】
制御バルブのスプール移動速度が遅いと、動作速度が低下し、フルードハンマー現象の発生度合いが低減する効果が得られるが、しかしスプール変位指令全体のゲインを小さくすることで指令値全体の制御目標値に対する偏差が同時に大きくなり、この結果、バルブ応答性が低下し、ヒットレートの低下が生じる。
【０００６】
制御バルブのスプール移動速度が全体的に遅いと、全体の応答性の低下によって加工時間（タクトタイム）が長くなるばかりでなく、制御目標値に対する実際値の偏差が大きくなり、このため制御目標値と実際の切り換え値とが大きく異なった加工ストローク位置にて切り換えが行われる可能性が高く、加工精度の低下を生じる。
【０００７】
例えば、板金の剪断穴明け加工においては、制御バルブのスプール変位指令全体のゲインが小さいと、材料材質によって変化する剪断終了点（破断開始点）など、加工精度に係わる制御バルブの切換ポイントが大きくずれ、剪断が終了していないのに流体圧アクチュエータに供給する流体圧の流量が大流量（低圧）になることが起こり、完全な剪断が行われないことにより製品精度が低下する。またこれとは逆に剪断が終了しているにも拘らず流体圧アクチュエータに供給する流体圧の流量がすぐに大流量にならないことがあり、この場合は加工時間が不要に長くなる。
【０００８】
また制御バルブのスプール変位指令全体のゲインが小さいとストローク下降端での制御バルブの切換ポイントも大きくずれ、金型の最下降位置が上側にずれてワークに対する金型の突抜け量が充分でないと、打ち抜き片が打ち抜き穴内に残ったままになり、作業効率が低下する。
【０００９】
またストローク下降端にて工具の移動方向を反転する際には、打ち抜き片が工具に付着して持ち上げられて打ち抜き穴にはまらないよう、工具が勢いよく反転上昇することがよいが、しかし制御バルブのスプール移動速度が遅いから、工具の反転上昇が緩慢に行われ、打ち抜き片が打ち抜き穴にはまることがある。
【００１０】
またスプール変位指令全体のゲインが小さい状態ではその切換ポイント自体のばらつきも大きくなり、工具の移動速度、加圧力を切り換えるポイントが変動し、制御目標値に対する繰り返し精度が低下するから、剪断面の精度のばらつきが大きくなる。
【００１１】
このようなことから、単純に制御バルブのスプール移動速度を遅くすることは、板金の剪断穴明け加工の場合に限らず得策ではない。
【００１２】
本発明は、上述の如き問題点に着目してなされたものであり、応答性の低下、制御目標値に対する偏差の低減とフルードハンマー現象の低減とを両立し、加工時間、加工精度、流体圧回路機器の耐久性、静粛性を満足する材料加工機用流体圧装置および制御方法を提供することを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を定量的に制御する弁開度調整自在の制御バルブとを有する材料加工機用流体圧装置において、一つの加工ストロークにおける前記制御バルブの複数個の切換ポイントにおいて流量を制限する方向へ切り換える切換ポイントにおける前記制御バルブのスプールの移動速度を、流量が増大する方向へ切り換える他の切り換えポイントにおけるスプール移動速度よりも遅くするスプール移動速度可変制御手段を有していることを特徴とする材料加工機用流体圧装置である。
【００１４】
請求項１による材料加工機用流体圧装置によれば、流量を制限する方向へ切り換える切換ポイントにおいて制御バルブのスプール移動速度が他の切換ポイントにおけるスプール移動速度より遅くなり、ゆっくりと流量制限が行われてフルードハンマー現象の発生が抑制される。他の切換ポイントにおいては制御バルブのスプール移動速度は遅くならないから、時間遅れが少ない応答性のよい動作が行われる。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を定量的に制御する弁開度調整自在の制御バルブとを有する材料加工機用流体圧装置において、前記工具が被加工物に当接する直前にて前記流体圧アクチュエータに供給する流体圧の流量を大流量より小流量へ切り換える切り換え時と、加工ストローク下降端における切り換え時と、加工ストローク上昇端における切り換え時の少なくとも一つの切り換えポイントにおける前記制御バルブのスプールの移動速度を、加工ストロークの上昇端からの下降開始時、または、被加工物のせん断終了点で前記流体圧アクチュエータに供給する流体圧の流量を小流量より大流量へ切り換える切り換え時である他の切換ポイントでのスプール移動速度よりも遅くするスプール移動速度可変制御手段を有していることを特徴とする材料加工機用流体圧装置である。
【００１６】
請求項２による本発明の材料加工機用流体圧装置によれば、工具が被加工物に当接する直前にて前記流体圧アクチュエータに供給する流体圧の流量を大流量より小流量へ切り換える切換時と、加工ストローク下降端における切換時と、加工ストローク上昇端における切換時の少なくとも一つの切換ポイントにおいて、制御バルブのスプール移動速度が他の切換ポイントにおけるスプール移動速度より遅くなり、これらの特定された切換ポイントにおいては、流量制限、流体圧の供給方向切換、流体圧供給停止などがゆっくりと行われ、フルードハンマー現象の発生が抑制される。この場合も他の切換ポイントにおいては制御バルブのスプール移動速度は遅くならないから、時間遅れが少ない応答性のよい動作が行われる。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、前記スプール移動速度可変制御手段は前記制御バルブのスプール移動速度を前記他の切換ポイントにおけるスプール移動速度よりも遅くする切換ポイントに到達する直前にてスプール変位指令のゲインを他の状態下におけるスプール変位指令のゲインより小さくすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の材料加工機用流体圧装置である。
【００１８】
請求項４に記載の発明は、前記制御バルブは前記流体圧アクチュエータに対する油圧の供給を停止する全閉位置と前記流体圧アクチュエータに第一の方向をもって油圧を供給する第一の開弁位置と前記流体圧アクチュエータに第一の方向と反対の方向をもって油圧を供給する第二の開弁位置との間に切り換わり、前記スプール移動速度可変制御手段は前記制御バルブのスプール変位量情報とスプール移動方向情報とを入力し、スプールが第一の開弁位置にあってスプールの移動方向が第二の開弁位置へ向かう移動方向、あるいはスプールが第二の開弁位置にあってスプールの移動方向が第一の開弁位置へ向かう移動方向である時のスプール変位指令のゲインを他の状況下におけるスプール変位指令のゲインより小さくすることを特徴とする請求項２に記載の材料加工機用流体圧装置である。
【００１９】
請求項３または４による本発明の材料加工機用流体圧装置によれば、スプールの移動速度を遅くすることが制御バルブに対するスプール変位指令のゲインを小さくすることにより実行される。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、前記制御バルブは前記流体式アクチュエータのピストン変位指令に従って動作し、前記スプール移動速度可変制御手段は前記流体式アクチュエータのピストン変位指令の波形を予め設定し、この波形設定によって前記制御バルブの特定の切換ポイントにおけるスプール移動速度を前記他の切換ポイントにおけるスプール移動速度より遅くすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の材料加工機用流体圧装置である。
【００２１】
請求項６に記載の発明は、前記スプール移動速度可変制御手段はスプール変位指令の波形を予め設定し、この波形設定によって前記制御バルブの特定の切換ポイントにおけるスプール移動速度を他の前記切換ポイントにおけるスプール移動速度より遅くすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の材料加工機用流体圧装置である。
【００２２】
請求項５，６による本発明の材料加工機用流体圧装置によれば、ピストン変位指令あるいはスプール変位指令自体の波形設定によって特定の切換ポイントにおけるスプール移動速度が他の切換ポイントにおけるスプール移動速度より遅くなる。
【００２３】
請求項７に記載の発明は、金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を定量的に制御する弁開度調整自在の制御バルブと、予め設定された前記流体圧アクチュエータのピストン変位指令に基づいて前記制御バルブの弁開度を調整する制御手段とを有する材料加工機用流体圧装置において、前記制御手段に設定される前記ピストン変位指令の波形は、一つの加工ストロークにおける前記制御バルブの複数個の切換ポイントのうち、流量を制限する方向へ切り換える切換ポイントに相当する部分の二直線の接続角部が、平滑的な曲線により形成されていることを特徴とする材料加工機用流体圧装置である。
【００２４】
請求項７による材料加工機用流体圧装置によれば、流量を制限する方向へ切り換える切換ポイントにおいてピストン変位指令の波形が直線に比べ時間的に遅れる曲線により形成されていることにより、この切換ポイントにおいては制御バルブの開度調整動作が他の切換ポイントにおける場合よりも遅くなり、この結果、ゆっくりと流量制限が行われてフルードハンマー現象の発生が抑制される。
【００２５】
請求項８に記載の発明は、金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を定量的に制御する弁開度調整自在の制御バルブと、予め設定された前記流体式アクチュエータのピストン変位指令に基づいて前記制御バルブの弁開度を調整する制御手段とを有する材料加工機用流体圧装置において、前記制御手段に設定される前記ピストン変位指令の波形は、一つの加工ストロークにおける前記制御バルブの複数個の切換ポイントのうち、前記工具が被加工物に当接する直前にて前記流体圧アクチュエータに供給する流体圧の流量を大流量より小流量へ切り換える切換時と、加工ストローク下降端における切換時と、加工ストローク上降端における切換時の少なくとも一つの切換ポイントに相当する部分の二直線の接続角部が、平滑的な曲線により形成されていることを特徴とする材料加工機用流体圧装置である。
【００２６】
請求項８による本発明の材料加工機用流体圧装置によれば、工具が被加工物に当接する直前にて前記流体圧アクチュエータに供給する流体圧の流量を大流量より小流量へ切り換える切換時と、加工ストローク下降端における切換時と、加工ストローク上昇端における切換時の少なくとも一つの切換ポイントにおいて、ピストン変位指令の波形設定によって制御バルブの開度調整動作が他の切換ポイントにおける場合よりも遅くなり、これらの特定された切換ポイントにおいては、流量制限、流体圧の供給方向切換、流体圧供給停止などがゆっくりと行われ、フルードハンマー現象の発生が抑制される。
【００２７】
請求項９に記載の発明は、金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を制御する弁開度調整自在の制御バルブとを有する材料加工機用流体圧装置の制御方法において、前記制御バルブの複数個の切換ポイントにおいて流量を制限する方向へ切り換える切換ポイントにおける前記制御バルブのスプール移動速度を、流量が増大する方向へ切り換える他の切換ポイントにおけるスプール移動速度よりも遅くすることを特徴とする材料加工機用流体圧装置の制御方法である。
【００２８】
請求項９による本発明の材料加工機用流体圧装置の制御方法によれば、流量を制限する方向へ切り換える切換ポイントにおいて制御バルブのスプール移動速度が他の切換ポイントにおけるスプール移動速度より遅くなり、ゆっくりと流量制限が行われてフルードハンマー現象の発生が抑制され、他の切換ポイントにおいては制御バルブのスプール移動速度は遅くならないから、時間遅れが少ない応答性のよい動作が行われ、繰り返し精度低下、制御目標値と実際値の偏差の拡大を最少にくい止めることができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態の例を図面を用いて詳細に説明する。
【００３０】
図１は本発明による材料加工機用流体圧装置をパンチプレス機械の油圧装置として適用した一実施の形態の例を示している。この油圧装置は流体圧アクチュエータとして油圧シリンダ装置１を有しており、油圧シリンダ装置１のピスントロッド３に工具である金型５が接続されている。油圧シリンダ装置１は、シリンダ室７に油圧を供給されることにより金型５を降下駆動し、シリンダ室９に油圧を供給されることにより金型５を上昇駆動する。
【００３１】
シリンダ室７の油圧値は圧力センサ１１により検出され、ピスントロッド３の移動位置（位置制御量）は差動トランスなどにより線形位置検出器１３により検出される。
【００３２】
シリンダ室７と９は制御バルブ１５により油圧供給通路１７とドレン通路１９とに選択的に接続される。制御バルブ１５は、サーボバルブであり、ａファンクション（第一の開弁位置）においてはシリンダ室７に油圧を供給し、ｂファンクション（全閉位置）においてはシリンダ室７、９を各々密封状態にし、ｃファンクション（第二の開弁位置）においてはシリンダ室９に油圧を供給し、ａファンクション、ｃファンクションの各々においてソレノイド２１、２３に対する通電制御により弁開度調整自在で、シリンダ室７あるいは９へ供給する油圧の流量を定量的に制御する。
【００３３】
油圧供給通路１７は油圧ポンプ２５に接続され、油圧ポンプ２５より所定の油圧を与えられる。
【００３４】
油圧ポンプ２５はポンプ駆動モータ２７により駆動され、この油圧ポンプ２５の吐出油圧値は圧力センサ２９により検出される。油圧供給通路１７にはアキュームレータ３１が接続されている。圧力センサ１１、２９が出力する油圧値信号と線形位置検出器１３が出力する移動位置信号はコンピュータ３３に入力される。
【００３５】
コンピュータ３３は、油圧ポンプ２５の吐出油圧値が所定の規制値内におさまるよう、圧力センサ２９により検出される油圧ポンプ２５の吐出油圧値をもって駆動回路３５によるポンプ駆動モータ２７の回転数をフィードバック補償制御する。
【００３６】
コンピュータ３３は、圧力センサ１１により検出されるシリンダ室７の油圧値（シリンダ内圧）より、例えば試し加工などにて金型５が被加工物に当接した際の圧力上昇や、剪断終了点でこれより破断に入るなどの加工終了点での圧力降下を予め認識し、線形位置検出器１３により検出されるピスントロッド３の移動位置よりそれら圧力変化点のストローク位置を認識し、加工形態（加工パターン）に応じて制御バルブ１５のバルブ制御アンプ３７へスプール変位指令を出力する。
【００３７】
バルブ制御アンプ３７はゲインを可変設定される可変ゲイン式の増幅器であり、コンピュータ３３が有しているスプール移動速度可変制御部３９よりゲイン設定指令信号を入力する。
【００３８】
スプール移動速度可変制御部３９は、区間毎に設定された速度にて形成された加工ストロークパターンにおける複数ヶ所のバルブ切換ポイントの内、基本的にはシリンダ室７に供給する油圧流量を制限（低減）する方向へ制御バルブ１５を切り換える切換ポイント、例えば金型５が被加工物に当接する直前にてシリンダ室７に供給する油圧の流量を大流量より小流量へ切り換える切換時と、加工ストローク下降端における切換時と、加工ストローク上昇端における切換時の少なくとも一つのバルブ切換ポイントにてバルブ制御アンプ３７によるスプール変位指令信号のゲインを他の時に比して小さい値にするゲイン設定指令信号をバルブ制御アンプ３７へ出力する。
【００３９】
これにより金型５が被加工物に当接する直前にてシリンダ室７に供給する油圧の流量を大流量より小流量へ切り換える切換時と、加工ストローク下降端における切換時と、加工ストローク上昇端における切換時の少なくとも一つのバルブ切換ポイントにてバルブ制御アンプ３７によるスプール変位指令信号のゲインが他の時に比して小さい値になり、これに応じて制御バルブ１５のスプール移動速度が上述のバルブ切換ポイントにおいては他のバルブ切換ポイントにおけるスプール移動速度より遅くなる。
【００４０】
このバルブ切換制御をパンチング（剪断）加工パターン（不等速加工パターン）を例にとって図２を参照して説明する。図２に示されたパンチング加工パターンにおいて、区間Ａはピストン停止時であり、加工開始時点▲１▼にて制御バルブ１５がｂファンクションよりａファンクションへ大きい弁開度をもって切り換えられる。これにより油圧シリンダ装置１のシリンダ室７に油圧が低圧大流量をもって供給され、金型５が加工時間の短縮のために無負荷に近い状態にて区間Ｂを高速降下する。
【００４１】
金型５が被加工物Ｗに当接する位置より少し手前のストローク位置▲２▼に位置すると、制御バルブ１５のａファンクションにおける弁開度が低減される。これにより金型５は高圧少流量の区間Ｃに移行する。その後、被加工物Ｗに当接し、被加工物Ｗの剪断加工を行う。
【００４２】
金型５が被加工物Ｗの下面に達する前の剪断終了点▲３▼に到達すると、制御バルブ１５のａファンクションにおける弁開度が増大される。これによりシリンダ室７に供給する油圧の流量が増加し、金型５が区間Ｄを下死点位置まで高速降下する。剪断終了点▲３▼は破断開始点であり、この剪断終了点▲３▼は圧力センサ１１による検出されるシリンダ内圧の変化より特定できる。
【００４３】
この後に金型５が下死点位置（加工ストローク下降端）▲４▼に到達すると、制御バルブ１５がａファンクションよりｃファンクションへ大きい弁開度をもって切り換えられる。これにより油圧シリンダ装置１のシリンダ室７に代えてシリンダ室９に油圧が大流量をもって供給され、金型５が区間Ｅを高速上昇する。
【００４４】
金型５が元の位置に戻る上死点位置（加工ストローク上昇端）▲５▼にて制御バルブ１５がｃファンクションよりｂファンクションへ切り換えられ、シリンダ室９に対する油圧の供給が停止される。これにより金型５の移動が停止し、区間Ｆ（停止区間）へ移行する。
【００４５】
上述の例はパンチングの打ち抜き加工の例であるが、ベンディング加工、シャーリング加工においても、ストローク方向、ストローク速度を変更するためのバルブ切換ポイントは打ち抜き加工の場合と実質的に同じである。
【００４６】
シャーリング加工の場合、カッタブレードが長く、しかも通常、レーキ角が付いているため、ストローク時間の短縮と高精度加工を行うためには、カッタブレードが被加工物に接触する付近から被加工物の長さによって異なる加工終了点までが、上述の打ち抜き加工における区間Ｃに相当し、穴明でないのでＤ区間を省略し、他はパンチング同様の剪断である。
【００４７】
バルブ切換ポイントは、被加工物の板厚、材質、長さなどに基づいて入力設定されても、試し打ち時に圧力センサ１１により検出されるシリンダ内圧と線形位置検出器１３により検出されるピスントロッド３の移動位置に基づいて学習により設定されてもよい。
【００４８】
上述のような加工パターンによる加工ストロークにおいて、オイルハンマー現象が発生するのは、減速のために制御バルブ１５のａファンクションにおける弁開度が低減されるストローク位置▲２▼と、制御バルブ１５の切換動作によって油圧シリンダ装置１に供給する油圧の供給方向が反転する下死点位置▲４▼と、制御バルブ１５の切換動作によって油圧シリンダ装置１に対する大流量の油圧供給が停止される上死点位置▲５▼であり、これらのバルブ切換ポイントではコンピュータ３３のスプール移動速度可変制御部３９が出力するゲイン設定指令によりバルブ制御アンプ３７によるバルブ開度指令（スプール変位指令）信号のゲインを比較的小さい値に設定し、▲１▼、▲３▼などのその他のバルブ切換ポイントではゲインを大きい値に設定する。
【００４９】
これにより▲２▼、▲４▼、▲５▼の各々のバルブ切換ポイントでは制御バルブ１５のスプール移動速度が遅くなり、バルブは徐々に絞られることになり、オイルの慣性力を逃がす結果、オイルハンマー現象の発生が抑制される。
【００５０】
なお、▲１▼のバルブ切換ポイントでは、油圧シリンダ装置１に対する油圧の供給開始時であって、油圧シリンダ装置１に対する油圧の流量を増大するから、当初の運動エネルギーはゼロに近いので大きいオイルハンマー現象は生じない。また▲３▼のバルブ切換ポイントも、油圧シリンダ装置１に対する油圧の流量の増大であり、運動エネルギー抑制の作用はないので、オイルハンマー現象はほとんど生じない。
【００５１】
図３は上述のようにゲイン制御を行った場合の加工パターン（ピストン変位パターン）と、それと同じ時間軸をもってバルブ開度指令（スプール変位指令）信号とゲイン設定値とスプールの変位量、位置、移動速度の時系列変化を示している。なお、ゲイン設定値は実際には細かく変化するが、図３では分かり易く表現するために、大小２段階に変化するとした。
【００５２】
またここでは、制御バルブ１５のスプールの変位量はｂファンクションによる全閉位置（中立位置）よりｃファンクション（第二の開弁位置）側をプラスエリア、全閉位置よりａファンクション（第一の開弁位置）側をマイナスエリアとし、またｃファンクション側へのスプール移動方向をプラス方向、ａファンクション側へのスプール移動方向をマイナス方向とした。
【００５３】
図３より、ゲインを小さくするのは、スプールの変位量と移動方向との組み合わせがマイナスエリアとプラス方向あるいはプラスエリアとマイナス方向である時であることが解る。
【００５４】
このことから、スプール移動速度可変制御部３９は、スプール変位量情報とスプール移動方向情報とを入力し、制御バルブ１５のスプールがマイナスエリアにあってスプール移動方向がプラス方向であること、あるいはスプールがプラスエリアにあってスプール移動方向がマイナス方向であることをスプール位置認識部（スプール位置アンプ７９）、スプール移動方向認識部（スプール速度アンプ８５）によって識別し、これらの時にゲインを比較的小さい値に設定する指令信号をバルブ制御アンプ３７へ出力すればよい。
【００５５】
なお、この場合、スプール変位量情報は制御バルブ１５に設けられてスプール変位量を検出する線形位置検出器１３により取得し、スプール移動方向情報はコンピュータ３３がバルブ制御アンプ３７へ出力するバルブ開度指令信号の内容より判断してもよい。
【００５６】
なお、図３において、破線は、ゲインを大きい値に固定した場合の特性を示している。
【００５７】
図４はニブリング加工などで使用されるＶパターンにより等速加工パターンにおいてゲイン制御を行った場合の加工パターンと、それと同じ時間軸をもってバルブ開度指令信号とゲイン設定値とスプールの変位量、位置、移動速度の時系列変化を示している。
【００５８】
この場合には、金型５の移動方向が反転する下死点位置▲４▼と、大流量の油圧供給が停止される上死点位置▲５▼を含む領域にてゲインを比較的小さい値に設定してスプール移動速度を遅くし、その他の領域ではゲインを比較的大きい値に設定してスプール移動速度を遅くしない。
【００５９】
図５はベンディング加工を含むプレス成形加工の加工パターンとゲイン設定特性とを示している。ベンディング加工を含むプレス成形においては、剪断加工とは異なり、金型５の降下端の位置精度は成形加工精度に直接に大きい影響与えるから、プレス成形加工の加工パターンは、加工精度を維持するために、また塑性変形の安定のために、金型５を降下端位置に保持する時間を与えることが特徴となる。
【００６０】
この加工パターンにおいても、金型５が被加工物Ｗに当接する位置より少し手前のストローク位置▲２▼にてシリンダ室７に供給する油圧の流量を大流量より小流量に切り換えるバルブ切換ポイントでバルブ開度指令信号のゲインを小さくしてスプール移動速度を遅くするならば、上述の剪断加工と同じである。金型５を降下端位置にて停止させるための、バルブ切換ポイント▲４▼ａにおいて大流量の油圧の流れを停止する場合や比較的小流量でも高い圧力の場合、慣性エネルギーが大きいことから、大きいオイルハンマー現象が発生するから、このバルブ切換ポイント▲４▼ａにおいてもバルブ開度指令信号のゲインを小さくし、スプール移動速度を遅くする。しかし、この場合には、スプールの移動完了後には素早くゲインを最大値にして降下端保持時間を充分に取らねばならない。
【００６１】
金型５の上昇を開始するためのバルブ切換ポイント▲４▼ｂにおいては、▲１▼のバルブ切換ポイントにおける場合と同様に、油圧の供給が停止されている状態より油圧供給を開始するから、大きいオイルハンマー現象が発生することがなく、このバルブ切換ポイント▲４▼ｂにおいてバルブ開度指令信号のゲインを小さくする必要はない。
【００６２】
大流量の油圧供給が停止される上死点位置▲５▼を含む領域においては、この場合もオイルハンマー現象の発生を抑制するために、バルブ開度指令信号のゲインを比較的小さい値に設定してスプール移動速度を遅くする。
【００６３】
なお、ストローク位置▲２▼にてシリンダ室７に供給する油圧の流量を大流量より小流量に切り換えることがない等速パターンの場合には、ストローク位置▲２▼にてバルブ切換ポイントが発生しないから、この場合には▲５▼のバルブ切換ポイントにてバルブ開度指令信号のゲインを小さくし、スプール移動速度を遅くすればよい。
【００６４】
シャーリング加工においてバルブ開度指令信号のゲインを小さくし、スプール移動速度を遅くするバルブ切換ポイントは、上述のパンチングにおける場合と基本的には同じであり、図６に示されているように、レーキ角θを設定されたカッタブレード５１の切り始め側５１ａが被加工物Ｗに当接する直前における減速のためのバルブ切換ポイント、カッタブレード５１の切り終わり端側５１ｂが剪断終了点Ｓに到達した時点あるいは切り終わり端側５１ｂが剪断終了点Ｓに到達する直前または到達した時点でカッタブレード５１を上昇移動させるためのバルブ切換ポイント、あるいはカッタブレード５１が下死点にまで降下したのちにカッタブレード５１を上昇移動させるためのバルブ切換ポイントと、カッタブレード５１が上死点に戻ってカッタブレード５１の上昇移動を停止するためのバルブ切換ポイントである。
【００６５】
切り終わり端側５１ｂが剪断終了点Ｓに到達すると、荷重が一瞬にして解放され、フレーム等が撓み騒音を伴うブレークスルー現象が発生するから、その直前の時点でカッタブレード５１を上昇移動させるためのバルブ切換ポイントを設けることが望ましい。この場合、油圧の流量が比較的少流量でも、圧縮エネルギーが大きいと、やはりオイルハンマー現象が発生するから、その対策として効果がある。
【００６６】
図７は本発明による材料加工機用流体圧装置の制御系のブロック図を示している。本ブロック図中のマイクロコンピュータは説明の便宜上、ピストン位置アンプ６７及びピストン速度アンプ７３を除いて説明してある。図１のコンピュータ３３に相等するのはこれらを含めた場合である。又、図１バルブ制御アンプ３７は、図７のスプール位置アンプ７９から電流アンプ８７までの総称である。この実施の形態の例では、油圧シリンダ装置１のシリンダ室７に供給する油圧の流量を定量的に制御する弁開度調整自在の制御バルブとしてリニアサーボバルブ６１が使用されている。
【００６７】
リニアサーボバルブ６１は、電磁作動式のリニアサーボバルブであり、リニアドライブマグネットに与えられる電流に応じてスプール変位量を定量的に変化する。
【００６８】
マイクロコンピュータ６３は、予め波形設定された油圧シリンダ装置１のピストン変位指令信号を加え合わせ点６５へ出力し、加え合わせ点６５はピストン変位指令信号と線形位置検出器１３が出力するピストン位置フィードバック信号との差によるピストン位置制御偏差をピストン位置アンプ６７へ出力する。
【００６９】
ピストン位置アンプ６７は、ゲイン可変型の増幅器であり、マイクロコンピュータ６３より入力したゲイン設定指令信号に応じてゲインを設定し、そのゲインをもってピストン位置制御偏差を増幅し、これをピストン速度指令信号として加え合わせ点６９へ出力する。
【００７０】
加え合わせ点６９はピストン速度指令信号と線形位置検出器１３が出力するピストン位置フィードバック信号を微分器７１が微分することにより得られるピストン速度フィードバック信号との差によるピストン速度制御偏差をピストン速度アンプ７３へ出力する。ピストン速度アンプ７３は、所定のゲインをもってピストン速度制御偏差を増幅し、これをスプール変位指令信号として加え合わせ点７５へ出力する。
【００７１】
加え合わせ点７５はスプール変位指令信号と線形位置検出器７７が出力するリニアサーボバルブ６１のスプール位置フィードバック信号との差によるスプール位置制御偏差をスプール位置アンプ７９へ出力する。
【００７２】
スプール位置アンプ７９は、ゲイン可変型の増幅器であり、マイクロコンピュータ６３より入力したゲイン設定指令信号に応じてゲインを設定し、そのゲインをもってスプール位置制御偏差を増幅し、これをスプール速度指令信号として加え合わせ点８１へ出力する。
【００７３】
加え合わせ点８１はスプール速度指令信号と線形位置検出器７７が出力するスプール位置フィードバック信号を微分器８３が微分することにより得られるスプール速度フィードバック信号との差よるスプール速度制御偏差をスプール速度アンプ８５へ出力する。スプール速度アンプ８５は、所定のゲインをもってスプール速度制御偏差を増幅し、これを電流アンプ８７へ出力する。
【００７４】
電流アンプ８７はリニアサーボバルブ６１のリニアドライブマグネットに電流を与える。
【００７５】
マイクロコンピュータ６３は、線形位置検出器１３が出力するピストン位置信号を入力して油圧シリンダ装置１のピストン位置（ピストン変位量）を認識し、ゲイン設定指令信号を出力し、ピストン位置アンプ６７のゲイン、即ち油圧シリンダ装置１の位置フィードバック制御のループゲインとスプール位置アンプ７９のゲイン、即ちサーボバルブの位置フィードバック制御のループゲインの少なくとも何れか一方を、上述の実施の形態の例と同様に、大きいオイルハンマー現象が発生する虞れがあるバルブ切換ポイントにて比較的小さい値に設定し、他のバルブ切換ポイントにおいては比較的大きい値に設定する。
【００７６】
従って、この実施の形態の例においても、上述の実施の形態の例と同様の作用効果が得られる。
【００７７】
本発明による材料加工機用流体圧装置の制御系の他の実施の形態の例として図８，９，１０，１１に基づき説明する。尚、図８及び図９に於いて、図７及び図３に対応する部分は図７及び図３に付した符号と同一の符号により示されている。
【００７８】
この実施の形態の例では、マイクロコンピュータ６３が加え合わせ点６５へ出力するピストン変位指令信号の波形のうち、図９に例示されているように、上述の▲２▼、▲４▼、▲５▼の各々の同等のバルブ切換ポイントに相当する部分の二直線の接続角部を曲線により形成されている。この時間的に遅れる曲線は、加工の種類、バルブ切換ポイントに応じて指数関数あるいは三角関数により表現されるような曲線を適宜に選択しても良い。
【００７９】
このピストン変位指令信号の波形はピストン変位量と時間の相関データとしてマイクロコンピュータ６３のメモリに予め格納されている。マイクロコンピュータ６３は、線形位置検出器１３よりのピストン位置信号を入力してその時のピストン位置（ピストン変位量）に応じたピストン変位指令信号を加え合わせ点６５へ出力する方法も考えられるが、線形位置検出器１３からのピストン位置信号を見なくとも、コンピュータの内部のメモリや演算部の処理によって、上述の曲線波形を予め取り込んで、再生成したピストン変位指令信号を加え合わせ点６５へ出力しても良い。以下は後者の場合の実施の形態の例についての詳細説明である。
【００８０】
この実施の形態の例では、マイクロコンピュータ６３は、上述の▲２▼、▲４▼、▲５▼の各々の同等のバルブ切換ポイント以外においては、予め波形設定されたピストン変位指令信号に相等するものを上述の▲２▼、▲４▼、▲５▼の各々の同等のバルブ切換ポイント、換言すれば大きいオイルハンマー現象が発生する虞れがあるバルブ切換ポイントにおいては、予め波形設定された経時的傾きをもった波形であるバルブ開度指令（スプール変位指令）信号に相等するものを加え合わせ点６５へ出力する。これにより、大きいオイルハンマー現象が発生する虞れがあるバルブ切換ポイントにてスプール移動速度が他の切換ポイントにおけるスプール移動速度より遅くなる。
【００８１】
この場合は、金型寸法、被加工材の板厚、材質、ピストン上昇端位置、ピストン降下端位置、ピストン移動速度などに関する情報をマイクロコンピュータ６３に入力し、マイクロコンピュータ６３による演算により開度指令信号の波形を生成し、ゲイン調整に関するデータをメモリより取り込んだり、予め実験によって得られた値により開度指令信号の波形を再生成すればよい。
【００８２】
次に本実施の形態の例において、コンピュータ６３内部における開度指令信号（変位指令信号）波形が再生成される過程について説明する。図１０はコンピュータ６３の内部の波形生成に関する関連図で、図１１はその生成順序を示すフロー図である。
【００８３】
図１０を以下に説明する。図１０の内容を大別すると演算部８９，各種メモリ部と演算部入力部，信号出力部６４より構成されている。信号出力部６４から出力された変位指令信号は図８の加え合わせ点６５に出力される。
【００８４】
基本変位指令パターンメモリ部９１には、不等速パンチングパターン（図２参照）及び等速パンチングパターン（図４参照）の２つの基本パターンがメモリされている。
【００８５】
基本パターンのストローク工程の内、剪断区間Ｃは加工条件によって選択可能な複数の剪断区間速度データＶ１，Ｖ２，Ｖ３…が、その他の非剪断区間Ｂ，Ｄ，Ｅ各区間は各々所定の区間速度データＶｂ，Ｖｄ，Ｖｅが、それぞれ剪断区間速度データテーブル９３及び非剪断区間速度データテーブル９５に予め記憶されている。本実施の形態の例においては各々の非剪断区間速度は一定である。一方、剪断区間速度は加工条件、または加工環境などによって選択可能となっている。図１０に示す剪断区間速度データテーブル９３には板厚及び材質が剪断区間速度を決定する加工条件として記載されているが、これに限定されるものではなく、剪断時の加圧トン数を検出するラムシリンダ内の圧力値を考慮に入れて剪断区間速度を決定してもよいし、更には工場近隣への環境を考え、騒音値を加味して最終的に剪断区間速度を決定してもよい。
【００８６】
また、曲線波形データテーブル９７には、複数の剪断区間速度及び非剪断区間速度データに対応した曲線波形が記憶されている。本実施の形態の例においては非剪断区間及びピストン停止区間は所定の速度または速度ゼロとなっており、図９におけるそれぞれの区間の変位指令を表す直線Ａ，Ｂ，Ｄ，Ｅ，Ｆの傾斜は一定で当然その交差角度も一定である。従って、オイルハンマーが発生するバルブ切換ポイント▲２▼，▲４▼，▲５▼の内、区間Ａ，Ｂ，Ｄ，Ｅ，Ｆのみに隣接するバルブ切換ポイント、即ち▲４▼，▲５▼については２直線を平滑的に結ぶ各々特定の曲線波形Ｒ４，Ｒ５が記憶されている。一方、剪断区間Ｃに隣接し、オイルハンマーが発生するバルブ切換ポイント▲２▼は選択された剪断区間速度Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３…のそれぞれの傾斜に対応し、２直線を平滑的に結ぶ曲線波形Ｒ２１，Ｒ２２，Ｒ２３…が選択可能に記憶されている。もし、平滑的に２直線を結ぶことをせずに結合部が段差上になっていたりするとバルブスプールをその瞬間急激に作動させることになり、オイルハンマー低減を目的とした本発明の主旨に反することになるからである。
【００８７】
次に、曲線区間指定値メモリ９９は、曲線波形を基本変位指令パターンのどの位置に挿入するかのパラメータが予め記憶されている。このパラメータとしては、時間、指令を形成するパルス数、波形に見るストローク位置の何れであっても構わない。時間パラメータを例にとると、コンピュータ内部では通常時計を持っており、区間速度、板厚等が決まれば、区間Ｂがスタートしてからいつ切換ポイント▲２▼，▲４▼，▲５▼に到達するかは認識可能である。基本変位指令パターンに加工諸条件を加味し演算生成された第２次基本変位指令波形内の、目的の接続角部を基点として所定時間手前の位置をコンピュータが持つ座標系内においてパラメータとして予め指定してやれば、そこからの第２次基本変位指令パターンのデータを所定の曲線波形データに更新することが可能である。この更新によって再生成されて信号出力部６４を介し加え合わせ点６５に出力される。前記基点の手前位置を指定するパラメータとしては所定時間でなく、所定パルス数、座標系内の所定ストローク位置であっても同様である。これらを認識する手段としてタイム（又はパルス数）カウント手段１０１がある。ここでいう所定パラメータはゼロであっても構わない。即ち前記基点を曲線波形の開始点としても理論上の差異は生じないからである。
【００８８】
基本変位指令入力手段１０３は、基本変位指令パターンメモリ部９１に記憶されている不等速パンチングパターン、等速パンチングパターンの２つの基本パターンの何れを選択するか入力するものである。
【００８９】
板厚・材質（剪断圧力）加工情報入力手段１０５は、基本変位指令パターンの剪断区間速度、切換ポイント位置を決定し、第２次基本変位指令パターンを生成するための必要な加工条件を入力する手段である。
【００９０】
次に図１１に従って変位指令波形生成の過程を順次説明する。
【００９１】
ステップＳ１で板厚、材質、剪断圧力、騒音規制値等を入力する。ステップＳ２で不等速パンチングパターン、等速パンチングパターンの何れかを選択するかの情報を与える。この時点でステップＳ１の加工条件を加味した第２次基本変位指令波形を生成する。
【００９２】
ステップＳ３ではステップＳ２で不等速パンチングパターンが選択された場合、ステップＳ１の加工条件に基づき決定された剪断区間速度（傾斜）に対応した切換ポイント▲２▼における曲線波形Ｒ２１，Ｒ２２，Ｒ２３…を演算選択する。つまり区間Ｃの傾斜に一番近い最終傾斜をもつ曲線波形を抽出してやればよい（各々の剪断区間速度と対応曲線波形を一義的に固定関係を持たせてもよい）。
【００９３】
ステップＳ４で切換ポイント▲２▼，▲４▼，▲５▼の、所定時間手前地点または同時の地点からの第２次基本変位指令値テーブルデータを、ステップＳ３で選択された曲線波形データに塗り替え更新する。
【００９４】
ステップＳ５では以上で変位指令信号の波形生成が終了し、信号出力部６４から当該ピストン変位指令信号を加え合わせ点６５へ出力する。
【００９５】
ステップＳ６で変位指令信号に従ってリニアサーボバルブを制御し、金型５の装着されたラムシリンダをストローク制御しながら、加工を行う。ステップＳ７において加工終了する。
【００９６】
また上述の如き加工情報を入力する以外に、試し打ちを行い、この時に圧力センサ１１、線形位置検出器１３が出力する検出値より同等の情報を学習により得ることも可能であるし、騒音規制値等は、入力せずに別途メモリ内にデータとして記憶されていても当然よい。
【００９７】
尚、本明細書では、工具が下降することにより加工が行われるものとして、加工ストローク下降端にて工具の運動方向が反転し、加工ストローク上昇端をホームポジョンとしたが、これは相対的なものであり、工具が上昇することにより加工が行われるものでは、本明細書が云う加工ストローク下降端は加工ストローク上昇端に、加工ストローク上昇端は加工ストローク下降端に置き換えられる。
【００９８】
更にいえば、加工ストローク上昇端と下降端の上下位置関係は材料加工機のそれと同一である必要はない。
【００９９】
また、工具が水平方向へ移動することにより加工が行われるものでは、加工ストローク下降端、加工ストローク上昇端が各々左端、右端になる。
【０１００】
以上に於ては、本発明を特定の実施の形態の例について詳細に説明したが、本発明は、これらに限定されるものではなく、本発明の範囲内にて種々の実施の形態の例が可能であることは当業者にとって明らかであろう。
【０１０１】
【発明の効果】
以上の説明から理解される如く、本発明による材料加工機用流体圧装置および制御方法によれば、加工ストロークにおいて流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給状態の変化に起因してフルードハンマー現象の発生する虞れがあるバルブ切換ポイントにおいてのみ制御バルブのスプール移動速度が他のバルブ切換ポイントにおけるそれより遅くなり、流体圧アクチュエータに対する流体圧の供給状態の変化がゆっくりと行われ、フルードハンマー現象の発生が低減する。
【０１０２】
他のバルブ切換ポイントにおいては制御バルブのスプール移動速度が遅くなることがないから、大きいフルードハンマー現象が発生することがない加工ストローク領域では、応答遅れ、制御目標値に対する偏差が最低限に抑えられる。
【０１０３】
この結果、フルードハンマー現象による流体圧回路機器の耐久性および静粛性の低下を回避した上で、能率よく高精度の加工が行われる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による材料加工機用流体圧装置をパンチプレス機械の油圧装置として適用した一実施の形態の例をブロック線図である。
【図２】不等速パンチング加工パターンを示す説明図である。
【図３】ゲイン制御を行った場合の不等速パンチング加工におけるピストン変位パターンと、それと同じ時間軸をもってバルブ開度指令信号とゲイン設定値とスプールの変位量、位置、移動速度の時系列変化を示すタイムチャートである。
【図４】等速加工パターンにおいてゲイン制御を行った場合の加工パターンと、それと同じ時間軸をもってバルブ開度指令信号とゲイン設定値とスプールの変位量、位置、移動速度の時系列変化を示すタイムチャートである。
【図５】プレス成形加工の加工パターンとゲイン設定特性と示すタイムチャートである。
【図６】シャーリング加工状態を示す説明図である。
【図７】本発明による材料加工機用流体圧装置の制御系の一実施の形態の例を示すブロック図である。
【図８】本発明による材料加工機用流体圧装置の制御系の他の実施の形態の例を示すブロック図である。
【図９】図８に示されて実施の形態の例におけるピストン変位パターンと、それと同じ時間軸をもってピストン変位指令信号とスプールの変位量の時系列変化を示すタイムチャートである。
【図１０】コンピュータにおいて波形生成するための構成ブロック図である。
【図１１】図１０において波形を生成するためのフローチャートである。
【符号の説明】
１  油圧シリンダ装置
５  金型
１１  圧力センサ
１３  線形位置検出器
１５  流路切換サーボバルブ
２５  油圧ポンプ
３３  コンピュータ
３７  バルブ制御アンプ
３９  スプール移動速度可変制御部
４１  線形位置検出器
５１  カッタブレード
６１  リニアサーボバルブ
６３  マイクロコンピュータ
６４  信号出力部
６７  ピストン位置アンプ
７３  ピストン速度アンプ
７７  線形位置検出器
７９  スプール位置アンプ
８５  スプール速度アンプ
８７  電流アンプ
８９  演算部
９１  基本変位指令パターンメモリ部
９３  剪断区間速度データテーブル
９５  非剪断区間速度データテーブル
９７  曲線波形データテーブル
９９  曲線区間指定値メモリ
１０１  タイム（又はパルス数）カウント手段
１０３  基本変位指令パターン入力手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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