(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状材の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって前記薄板状材を支持しながら搬送する搬送装置と、少なくとも昇降及び所定角度に回転し得るように装着された気体噴射用可動テーブルとを備え、かつ、前記気体噴射用可動テーブルが、前記搬送装置のワーク取出し側一端に搬送されて来た前記薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射する分散面を前記薄板状材の前進方向に上り状態に傾斜せしめて形成していると共に、かかる傾斜分散面に連なる水平分散面を形成している定点部に、そこに搬送されて来た前記薄板状材の移動を制限するストッパーを装着していることを特徴とする薄板状材の定点搬送装置。
【請求項２】
薄板状材がガラス基板であることを特徴とする請求項１に記載の薄板状材の定点搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄板状材の定点搬送装置、更に詳しくは、液晶表示パネルを製造する為に用いられるガラス基板や、金属箔に高分子フィルムをラミネートした積層材等のような変形し易い薄板状材の定点搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、周知のように、液晶表示パネルを製造する為にガラス基板が用いられているが、液晶表示用ディスプレーの大型化に伴って、ガラス基板のより一層の大形薄板化が推進されている。
【０００３】
例えば、幅（Ｗ）が６５０ｍｍ、長さ（Ｌ）が８３０ｍｍ、板厚（ｔ）が０．７ｍｍのガラス基板が用いられるようになって来たと共に更に薄いガラス基板を用いることが検討されつつある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、汚染や損傷等を防止しなければならないガラス基板の大形薄板化は、基板自体が変形し易くなる為にそれの搬送を困難化し、従来の一般的な搬送技術では対応できないようになって来た。
【０００５】
そこで、ガラス基板の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって前記ガラス基板を支持しながら搬送し得るように構成された搬送装置が用いられていたが、この搬送装置に対しては定点搬送手段の設置、すなわち、前記搬送装置のワーク取出し側一端からガラス基板を所定位置（以下、定点という。）に搬送する為の手段の設置が必要とされていた。
【０００６】
ところが、前記搬送装置によりガラス基板が自重によって湾曲した状態に搬送されて来る為に、かかるガラス基板を汚染や損傷させないように前記ワーク取出し側一端から定点に搬送することの困難があって未だ十分な定点搬送装置が開発されていないのが現状である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような背景下において発明されたものであって、その目的は、大形薄板化されたガラス基板等のような薄板状材を搬送して来る搬送装置から汚染や損傷等させないように前記薄板状材を受け取って定点に搬送することができる定点搬送装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明に係る薄板状材の定点搬送装置は、請求項１に記載するように、薄板状材の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって前記薄板状材を支持しながら搬送する搬送装置と、少なくとも昇降及び所定角度に回転し得るように装着された気体噴射用可動テーブルとを備え、かつ、前記気体噴射用可動テーブルが、前記搬送装置のワーク取出し側一端に搬送されて来た前記薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射する分散面を前記薄板状材の前進方向に上り状態に傾斜せしめて形成していると共に、かかる傾斜分散面に連なる水平分散面を形成している定点部に、そこに搬送されて来た前記薄板状材の移動を制限するストッパーを装着していることを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
正面図である図１において、無限軌道型搬送装置９の主要部が示されているが、この搬送装置９は、左側の駆動軸１０に装着された鎖車１１と、図示されていない右側（図７参照）に同様に設けられている駆動軸１０に装着された鎖車１１とに掛け渡された無端チェン１２にフィンガー１３ａを一定ピッチに装着している。
【００１０】
なお、同図においては、薄板状材１の一端をフィンガー１３ａで支持している姿が示されているにすぎないが、薄板状材１の他端も同様に、左側の駆動軸１０に装着された一方の鎖車１１と右側の駆動軸１０に装着された他方の鎖車１１とに掛け渡された無端チェンに１２に一定ピッチで装着されているフィンガー１３ｂ（図６参照）で支持されている。
【００１１】
より具体的には、図２において、薄板状材１の一端が右側のフィンガー１３ａで支持されていると共に他端が左側のフィンガー１３ｂで支持されている。なお、一方のフィンガー１３ａの上端は、左側から右側へ向って下り状態に傾斜され、また、他方のフィンガー１３ｂの上端は、右側から左側へ向って下り状態に傾斜されている。
【００１２】
その為、この搬送装置９によると、一対の無端チェン１２を所定方向へ回動させることにより薄板状材１を同方向へ搬送することができる。すなわち、薄板状材１の一端及び他端の下面に対してフィンガー１３ａ，１３ｂの上端を接触させて薄板状材１を支持し、図１において右側又は左側へ搬送することができる。
【００１３】
その際、薄板状材１の下方に配設されている気体噴射テーブル４から薄板状材１の下面に向って加圧気体が噴射され、従って、薄板状材１が大形のものであっても、その搬送中等において、薄板状材１が自重によって湾曲し撓みが過大になってずれ落ちしたり或いは破損したりするといったトラブルの発生を有効に防止することができると共に、かかる撓み量の変化を略一定に保つことができて振動やうねりの発生も有効に防止することができから、発塵や騒音が発生するといった問題も解消することができる。
【００１４】
なお、薄板状材１は、その例として、液晶表示パネルやプラズマ表示装置を製造する為に用いられるガラス基板、太陽電池を製造する為に用いられるアモルファスシリコン蒸着基板、回路基板を製造する為に用いられる高分子フィルム基板や金属箔に高分子フィルムをラミネートした積層材、又は塗装や洗浄等の処理をした未乾燥状態の金属薄板等が挙げられるが、これらは、汚染防止等の為に、その両端を支持して搬送することが必要とされる。
【００１５】
その為、例えば、図３において示されているように、幅（Ｗ）、長さ（Ｌ）の前記ガラス基板にあっては、一般に、その周縁部分（ｄが約５ｍｍ）を支持して搬送することが許容されている。
【００１６】
なお、気体噴射テーブル４に供給される気体は、一般には、浄化された空気が用いられるが、必要に応じて不活性ガス等を選択することができると共に気体噴射テーブル４に対する気体の供給は、圧縮機５を運転し管路６を経て加圧供給することができる。
【００１７】
その際、気体噴射テーブル４が薄板状材１の下面に対して接近離反せしめられて所定レベルに位置決めされると共に、薄板状材１の自重による撓みが過大にならないようにその噴射量が所定に制御される。
【００１８】
また、薄板状材１の下面に対する気体噴射テーブル４の接近離反は、圧縮機５等が装着されているベースプレート（図示されていない）を昇降手段（例えば、エアーシリンダー等）で水平に上下動させて行うことができる。
【００１９】
更に、図示のように、薄板状材１を略水平状態に保つように加圧気体を噴射してもよいと共に加圧気体の噴射に際しては、管路６に装着されている弁（図示されていない）が開口される。この弁は、薄板状材１の有無を感知するセンサー（図示されていない）からの信号によって開閉制御される。
【００２０】
なお、気体噴射テーブル４は、その延長方向に複数個が連結されているが、それらの気体噴射テーブル４からの加圧気体の噴射は、薄板状材１を略水平状態に保つように噴射することに限定されず、図４，５において示されているように、薄板状材１が湾曲した状態に保たれるように噴射してもよく、要するに、薄板状材１の自重による撓みが過大にならないように薄板状材１の下面に向って加圧気体を噴射すればよい。
【００２１】
また、図５において示されているように、気体噴射テーブル４を中央部から破線で示されている右側の位置へ移動せしめたり或いはそれと反対に左側へ移動せしめたりし得るように設けてもよいと共に、薄板状材１の有無を感知するセンサーを所定位置に設けてそこを通過する直前に気体噴射テーブル４から加圧気体を噴射すると共にその通過直後において噴射停止させるようにしてもよい。
【００２２】
このように、上述の搬送装置９によると、変形し易い薄板状材１を所定方向へ搬送することができるが、平面図である図６及び図６の正面図である図７において示されているように、搬送装置９のワーク取出し側一端に薄板状材１（破線で示されている）が搬送されて来ると、気体噴射用可動テーブル２０の傾斜分散面２０ａから噴射される気体（一般に、浄化された空気であって気体噴射テーブル４に供給される気体と同じもの）によって、その前進側先端部から次第に後端部に向って浮上状態にされる。
【００２３】
すなわち、図６のＡ−Ａ断面図である図８において示されているように、薄板状材１がフィンガー１３ａ，１３ｂで支持されて湾曲した姿のままに搬送されて来ると、気体噴射用可動テーブル２０の傾斜分散面２０ａから噴射される気体によって同図のＢ−Ｂ断面図である図９において示されているように、少し湾曲した状態（水平状態に近い状態）にされ、次いで、同図のＣ−Ｃ断面図である図１０において示されているように水平浮上状態にされる。
【００２４】
なお、傾斜分散面２０ａは、フィンガー１３ａが装着されている一方の無端チェン１２と、フィンガー１３ｂが装着されている他方の無端チェン１２との間に位置されていると共に薄板状材１の前進方向に上り状態に傾斜せしめられて形成されているが、その傾斜角度θは１５度以下に設けられている。
【００２５】
その為、傾斜分散面２０ａに連なった水平分散面２０ｂを形成している定点部２１へ薄板状材１を水平状態に浮上させて搬送することができると共に、定点部２１に装着されているストッパー２２群で薄板状材１の移動を制限することができる。図６においては、このようにして定点部２１に搬送された薄板状材１が破線で示されている。
【００２６】
なお、傾斜分散面２０ａと同様に、水平分散面２０ｂからも気体が噴射されるが、両分散面２０ａ，２０ｂには多数の噴射孔２０ｃが所定パターンに設けられている。また、傾斜分散面２０ａ及び水平分散面２０ｂを形成し、しかも、水平分散面２０ｂが形成されている定点部２１に複数のストッパー２２を装着した気体噴射用可動テーブル２０は、図示されていない機構によって所定角度に回転し得ると共に昇降（上下動）し得るように装着されている支柱２３に装着されている。
【００２７】
その為、定点部２１に薄板状材１が搬送されると、気体噴射用可動テーブル２０を上昇させてフィンガー１３ａ、１３ｂよりも高いレベルに移動させた後、回転させることにより所定方向へ薄板状材１を配向させることができ、そして、所定方向へ配向せしめられた薄板状材１を図示されていない他の搬送装置へ供給等することができる。その際、水平分散面２０ｂより上方のレベルに突出されているストッパー２２群のうち、必要箇所のストッパーが水平分散面２０ｂより下方のレベルへ没される。
【００２８】
しかし、例えば、薄板状材１を真空吸着し得る荷役装置を使用し、それによって、定点部２１において水平状態に浮上されている薄板状材１の所定箇所を吸着保持して移送する場合等においては、ストッパー２２群を固定ストッパーで構成してもよい。
【００２９】
また、気体噴射用可動テーブル２０を必要に応じて昇降及び回転に加えて水平移動、すなわち、Ｘ軸、Ｙ軸又はＸＹ両軸方向へ移動し得るように装着してもよい。なお、図示されていないが、気体噴射用可動テーブル２０に対して気体を供給する装置（例えば、上述の搬送装置９に装着されているような気体供給装置）が装着されている。
【００３０】
一方、上述の搬送装置９においては、気体噴射テーブル４を装着するか否かは必要に応じて選択される。一般には、装着するのが好ましいが、気体噴射テーブル４を装着しても、薄板状材１を略水平状態に保つように気体噴射することが煩わしいといった欠点を完全には解消し得ない。
【００３１】
しかし、本発明においては、薄板状材１の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって薄板状材１を支持しながら搬送する搬送装置９に対して気体噴射用可動テーブル２０を設けている為に、大形薄板化されたガラス基板等のような薄板状材１が湾曲した状態のままに搬送装置９のワーク取出し側一端に搬送されて来ても、かかる薄板状材１を汚染や損傷等させないように良好に定点に搬送することができる。
【００３２】
なお、薄板状材１の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって薄板状材１を支持しながら搬送する搬送装置は、上述の搬送装置９に限定されず他の型式のものであってもよい。
【００３３】
【発明の効果】
上述のように、本発明によると、大形薄板化されたガラス基板等のような薄板状材を搬送して来る搬送装置から汚染や損傷等させないように前記薄板状材を受け取って定点に搬送することができる搬送装置を得ることができる。特に、液晶表示パネルを製造する為に用いられるガラス基板の定点搬送に好適な搬送装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】無限軌道型搬送装置の正面図である。
【図２】薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射して薄板状材を略水平状態に保っている姿を示す図である。
【図３】ガラス基板の平面図である。
【図４】薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射して薄板状材を湾曲状態に保っている姿を示す図である。
【図５】気体噴射テーブルを薄板状材の下方で水平方向へ移動させる態様を示す図である。
【図６】無限軌道型搬送装置のワーク取出し側一端に搬送されて来た薄板状材を定点部へ搬送する態様を示す平面図である。
【図７】図６の正面図である。
【図８】図６のＡ−Ａ矢視図である。
【図９】図６のＢ−Ｂ矢視図である。
【図１０】図６のＣ−Ｃ矢視図である。
【符号の説明】
１：薄板状材
４：気体噴射テーブル
９：無限軌道型搬送装置
１１：鎖車
１２：無端チェン
１３ａ，１３ｂ：フィンガー
２０：気体噴射用可動テーブル
２０ａ：傾斜分散面
２０ｂ：水平分散面
２１：定点部
２２：ストッパー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003682396.tif 000009
【図９】
0003682396.tif 000010
【図１０】
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