(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の導電性ボールの各々を吸着治具に設けられた複数の吸着穴毎に吸着する第１工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる第２工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールの各々の位置を電子部品に設けられた複数のパッド毎に合わせ、該導電性ボールの各々を該電子部品のこれに対応する該パッドの一つに押し付ける第３工程と、
前記電子部品に加熱処理を加えて、前記複数の導電性ボールの各々をこれに対応する前記一つのパッド毎に付着させることにより、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する第４工程とをこの順に行い、
前記第３工程において、前記吸着治具における前記複数の吸着穴の位置を前記前記電子部品の前記複数のパッドの形成されている面の反りに対応して夫々変えて、前記導電性ボールの各々をこれに対応する該複数のパッドの一つに押し付けることを特徴とするバンプ形成方法。
【請求項２】
複数の導電性ボールの各々を吸着治具に設けられた複数の吸着穴毎に吸着する第１工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる第２工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールの各々の位置を電子部品に設けられた複数のパッド毎に合わせ、該導電性ボールの各々を該電子部品のこれに対応する該パッドの一つに押し付ける第３工程と、
前記電子部品に加熱処理を加えて、前記複数の導電性ボールの各々をこれに対応する前記一つのパッド毎に付着させることにより、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する第４工程とをこの順に行い、
前記第２工程において、前記粘着液は前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールの各々に対して複数の凹みが形成された抵抗板の該凹みの各々に充填され、該複数の導電性ボールの各々に該複数の凹みに充填された該粘着液に接触させて該粘着液を付着させることを特徴とするバンプ形成方法。
【請求項３】
複数の導電性ボールの各々を吸着治具に設けられた複数の吸着穴毎に吸着する第１工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる第２工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールの各々の位置を電子部品に設けられた複数のパッド毎に合わせ、該導電性ボールの各々を該電子部品のこれに対応する該パッドの一つに押し付ける第３工程と、
前記電子部品に加熱処理を加えて、前記複数の導電性ボールの各々をこれに対応する前記一つのパッド毎に付着させることにより、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する第４工程とをこの順に行い、
前記第２工程において、前記粘着液を収容する液槽に複数の貫通穴が形成された抵抗板を該粘着液の液面に近づけて該粘着液に浸し、前記複数の導電性ボールの各々を該抵抗板の該複数の貫通穴に近づけて該粘着液に接触させることにより、該導電性ボールの各々に粘着液を付着させることを特徴とするバンプ形成方法。
【請求項４】
複数の導電性ボールの各々を吸着治具に設けられた複数の吸着穴毎に吸着する第１工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる第２工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールの各々の位置を電子部品に設けられた複数のパッド毎に合わせ、該導電性ボールの各々を該電子部品のこれに対応する該パッドの一つに押し付ける第３工程と、
前記電子部品に加熱処理を加えて、前記複数の導電性ボールの各々をこれに対応する前記一つのパッド毎に付着させることにより、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する第４工程とをこの順に行い、
前記吸着治具は、その各々が前記第３工程において該吸着治具の該複数の吸着穴の対応する一つから突き出して該一つの吸着穴に吸着された前記導電性ボールの一つを前記電子部品の前記パッドの対応する一つに押し付ける複数のピンを有し、
前記第３工程において、前記複数のピンが前記吸着治具の前記複数の吸着穴から夫々突出する長さは、前記電子部品の前記複数のパッドの形成されている面の反りに対応して変えられていることを特徴とするバンプ形成方法。
【請求項５】
前記複数のピンは、前記吸着治具内にて剣山状に互いに接続されていることを特徴とする請求項４に記載のバンプ形成方法。
【請求項６】
複数の導電性ボールの各々を吸着治具に設けられた複数の吸着穴毎に吸着する第１工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる第２工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールの各々の位置を電子部品に設けられた複数のパッド毎に合わせ、該導電性ボールの各々を該電子部品のこれに対応する該パッドの一つに押し付ける第３工程と、
前記電子部品に加熱処理を加えて、前記複数の導電性ボールの各々をこれに対応する前記一つのパッド毎に付着させることにより、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する第４工程とをこの順に行い、
前記第１工程において、前記吸着治具の前記複数の吸着穴が設けられた吸着面に対向する気体ノズルにより、該吸着治具の該吸着面に対する該気体ノズルの相対位置を変えながら、該吸着面に前記複数の導電性ボールを吹き付けることを特徴とするバンプ形成方法。
【請求項７】
前記気体ノズルは、スリット形状の吹き出し口を有し、該吹き出し口から排出されるスリットエアにより前記吸着治具の前記吸着面に前記複数の導電性ボールを吹き付けることを特徴とする請求項６に記載のバンプ形成方法。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載のバンプ形成方法により形成された前記バンプを有することを特徴とする電子部品。
【請求項９】
複数の導電性ボールを吸着する吸着手段、
前記吸着手段に前記導電性ボールを供給する供給手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる粘着液付着手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの各々と電子部品に設けられた複数のパッドとの位置を合わせる位置合わせ手段、
前記電子部品の前記複数のパッドに前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの夫々を押し付けて搭載させる搭載手段、及び
前記電子部品に加熱処理を加えて前記複数のパッドに搭載された前記複数の導電性ボールを該複数のパッドに付着させて、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する加熱手段とを備え、
前記搭載手段は、前記複数の導電性ボールの前記電子部品に対する位置を、該電子部品の前記複数のパッドが形成された面の反りに対応させて変えながら、該複数の導電性ボールを該複数のパッドの夫々に押し付ける機能を有することを特徴とするバンプ形成装置。
【請求項１０】
前記搭載手段は、前記吸着手段に形成された弾性体からなる吸着面であり、
前記吸着面には、その各々に前記複数の導電性ボールが一つづつ吸着される複数の吸着穴が形成されることを特徴とする請求項９に記載のバンプ形成装置。
【請求項１１】
前記弾性体からなる前記吸着面の前記電子装置に対向する側には樹脂フィルムが貼られていることを特徴とする請求項１０に記載のバンプ形成装置。
【請求項１２】
前記搭載手段は、前記電子部品の前記複数のパッドが形成された面に対向する前記吸着手段の吸着面に設けられた複数の吸着穴の夫々から該吸着手段の外側に突き出る複数のピンであり、
前記複数のピンは前記吸着手段の内部で互いに結合された剣山状の機構をなし、且つ前記複数の吸着穴の夫々から前記吸着手段の外側に突き出る長さは前記電子部品の前記複数のパッドが形成された面の反りに対応して変わることを特徴とする請求項９に記載のバンプ形成装置。
【請求項１３】
前記複数のピンの各々は弾性材で構成され、前記吸着手段の内部で変形可能なことを特徴とする請求項１２に記載のバンプ形成装置。
【請求項１４】
前記吸着手段の内部には、複数の前記剣山状の機構が設けられていることを特徴とする請求項１２に記載のバンプ形成装置。
【請求項１５】
前記搭載手段は、前記電子部品の前記複数のパッドが形成された面に対向する前記吸着手段の面に設けられた複数の開口の夫々から該吸着手段の外側に突き出る複数のピンであり、
前記複数のピンは前記吸着手段の内部で剣山状に互いに結合され、且つ前記複数の開口の夫々から前記吸着手段の外側に突き出る長さは前記電子部品の前記複数のパッドが形成された面の反りに対応して変わり、
前記複数のピンの各々はパイプ状の部材で構成され、該パイプ状部材の先端にて前記複数の導電性ボールを一つづつ吸着する前記吸着手段の内部で変形可能なことを特徴とする請求項９に記載のバンプ形成装置。
【請求項１６】
複数の導電性ボールを吸着する吸着手段、
前記吸着手段に前記導電性ボールを供給する供給手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる粘着液付着手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの各々と電子部品に設けられた複数のパッドとの位置を合わせる位置合わせ手段、
前記電子部品の前記複数のパッドに前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの夫々を押し付けて搭載させる搭載手段、及び
前記電子部品に加熱処理を加えて前記複数のパッドに搭載された前記複数の導電性ボールを該複数のパッドに付着させて、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する加熱手段とを備え、
前記粘着液付着手段は、前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの各々に対して複数の凹みが形成された抵抗板を有し、該凹みの各々には前記粘着液が充填され、
前記粘着液付着手段は、前記複数の導電性ボールの各々を前記抵抗板の前記複数の凹みの各々に充填された前記粘着液に接触させることにより、該導電性ボールの各々に該粘着液を付着させることを特徴とするバンプ形成装置。
【請求項１７】
複数の導電性ボールを吸着する吸着手段、
前記吸着手段に前記導電性ボールを供給する供給手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる粘着液付着手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの各々と電子部品に設けられた複数のパッドとの位置を合わせる位置合わせ手段、
前記電子部品の前記複数のパッドに前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの夫々を押し付けて搭載させる搭載手段、及び
前記電子部品に加熱処理を加えて前記複数のパッドに搭載された前記複数の導電性ボールを該複数のパッドに付着させて、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する加熱手段とを備え、
前記粘着液付着手段は、前記粘着液を収容する液槽と、該液槽内に配置され且つ該粘着液の液面に近づけて該粘着液に浸され且つ複数の貫通穴が形成された抵抗板とを有し、
前記粘着液付着手段は、前記複数の導電性ボールの各々を前記抵抗板の前記複数の貫通穴に近づかせながら該粘着液に接触させることにより、該導電性ボールの各々に該粘着液を付着させることを特徴とするバンプ形成装置。
【請求項１８】
複数の導電性ボールを吸着する吸着手段、
前記吸着手段に前記導電性ボールを供給する供給手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる粘着液付着手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの各々と電子部品に設けられた複数のパッドとの位置を合わせる位置合わせ手段、
前記電子部品の前記複数のパッドに前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの夫々を押し付けて搭載させる搭載手段、及び
前記電子部品に加熱処理を加えて前記複数のパッドに搭載された前記複数の導電性ボールを該複数のパッドに付着させて、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する加熱手段とを備え、
前記供給手段は、前記吸着手段の前記複数の導電性ボールを吸着する吸着面に対向した吹き出し口を備え且つ該吹き出し口から該吸着面に向けて気体を吹き付ける気体ノズルを有し、
前記気体ノズルは、前記吸着手段の前記吸着面に対する相対位置を変えながら、該気体ノズルと該吸着面との間に存在する前記複数の導電性ボールを該吸着面に吹き付けることを特徴とするバンプ形成装置。
【請求項１９】
前記気体ノズルの前記吹き出し口はスリット状に成形されていることを特徴とする請求項１８に記載のバンプ形成装置。
【請求項２０】
請求項９乃至１９のいずれかに記載のバンプ形成装置を用いて前記複数の導電性ボールからなる複数のバンプが形成されたことを特徴とする電子部品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体のパッケージ形態の中で、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）パッケージ、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  ＰａｃｋａｇｅもしくはＣｈｉｐ  Ｓｃａｌｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）など、はんだボールを実装基板との接続材として用いるパッケージ（以下、単にパッケージと言う）に、はんだボールや金ボールに代表される導電性ボールを搭載しバンプを形成するためのバンプの形成方法とその装置および形成された電子部品に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＢＧＡなどのパッケージは、図６５に示すように、基板２００１の一面にＬＳＩチップ２００５を搭載し、金あるいは金めっきされたアルミニウムなどのリード線２００６でＬＳＩチップ２００５端子と基板２００１の端子とを接続し、封止樹脂２００２でＬＳＩチップ２００５を基板２００１に封止した後、基板２００１の他面に形成されレジスト膜２００４の間から露出するパッド２００３上にはんだバンプ２０００を形成した構造になっている。
【０００３】
このはんだバンプ２０００を形成する方法としては、ＵＳＰ５，２８４，２８７に開示されたものがある。この米国特許には、吸着治具に真空吸引されたはんだボールをフラックス液槽に浸漬することによりはんだボールにフラックスを供給し、このはんだボールを電子回路基板に形成されたパッド（接続端子）上に転写し、フラックスの粘着力によりはんだボールを粘着保持した電子回路基板を加熱（リフロー）することにより、はんだバンプを形成する技術が開示されている。
【０００４】
また、ＵＳＰ５，２７９，０４５にもはんだバンプの形成方法が開示されている。この米国特許には、気体流によりはんだボールを吸着治具に供給し、半導体素子上にそれを搭載後、加熱することによりバンプを形成する技術が開示されている。
【０００５】
図６６ないし図６８は、従来のはんだボール搭載装置の一例を示すもので、同図において、１はベース。２はブロックでベース１上に平行に固定されている。３は直線案内装置で、ブロック２上に平行に固定されている。４はビームで、直線案内装置３に移動可能に支持されている。５は送りねじで、ブロック２上に回転可能に支持され、ビーム４に固定されたナット（図示せず）に螺合している。６はモータで、ベース１に支持され、送りねじ５に結合されている。したがって、モータ６が作動すると、ビーム４がＹ方向（図６６では上下方向）に移動する。
【０００６】
７は直線案内装置で、ビーム４に平行に固定されている。８はスライダで、直線案内装置７に移動可能に支持されている。９は送りねじで、ビーム４に回転可能に支持され、スライダ８に固定されたナット（図示ぜず）に螺合している。１０はモータで、ビーム４に支持され、送りねじ９に結合されている。したがって、モータ１０が作動すると、スライダ８がＸ方向（図６６では左右方向）に移動する。
【０００７】
１１は直線案内装置で、スライダ８に平行に固定されている。１２はサドルで、直線案内装置１１に移動可能に支持されている。１３は送りねじで、スライダ８に回転可能に支持され、サドル１２に固定されたナット（図示せず）に螺合している。１４はモータで、スライダ８に固定され、送りねじ１３に結合されている。したがって、モータ１４が作動すると、サドル１２がＸ方向（図６７では上下方向）に移動する。
【０００８】
１５は吸着治具で、サドル１２に固定されている。この吸着治具１５は、箱状に形成され、図６８に示すように、下面には、パッケージに搭載するはんだボールの配列と同じ配列ではんだボール１６を吸着保持するための複数の穴１７が形成されている。
【０００９】
１９ははんだボール供給装置で、ベース１上に固定され、はんだボール１６を収容している。このはんだボール供給装置１９は、上面が開口する箱形に形成され、底面には、はんだボール１６の直径より小さな複数の穴が形成されている。
【００１０】
２０はフラックス供給装置で、ベース１上に固定され、フラックス溜まりの中にはんだボール１６を所定深さ浸漬させてフラックス２１を塗布している。
【００１１】
２２は搬送用のベルトで、ベース１に支持されている。２３はストッパで、ベース１に固定されている。２４ははんだボール１６を搭載するパッケージで、ベルト２２で搬送され、ストッパ２３に当接して位置決めされる。
【００１２】
このような構成で、モータ６とモータ１０を作動させ、吸着治具１５をはんだボール供給装置１９の上方に位置決めする。そして、モータ１４を作動させ、吸着治具１５を、その下端がはんだボール供給装置１９の開口部を覆う位置まで移動させる。すると、はんだボール供給装置１９の底面から圧縮空気が噴出して、吸着治具１５とはんだボール供給装置１９の底面との間ではんだボール１６を浮遊させる。同時に、吸着治具１５に真空圧が供給され、穴１７を通して吸引することにより、吸着治具１５の穴１７にはんだボール１６を吸着する。
【００１３】
予め設定された時間が経過すると、はんだボール供給装置１９の底面から噴出していた圧縮空気が遮断され、モータ１４が作動して、はんだボール１６を吸着した吸着治具１５を上昇させる。
【００１４】
すると、モータ６とモータ１０が作動して、はんだボール１６を吸着した吸着治具１５を、フラックス供給装置２０の上方へ移動させる。そして、モータ１４を作動させ、吸着治具１５を、下面に吸着したはんだボール１６の下端（はんだボールの直径の１／４〜１／３程度）がフラックスに浸漬される位置まで下降させ、はんだボール１６にフラックス２１を供給する。はんだボール１６にフラックス２１が供給されると、モータ１４が作動して、吸着治具１５を上昇させる。
【００１５】
モータ６とモータ１０が作動して、下端にフラックスが供給されたはんだボール１６を吸着した吸着治具１５を、パッケージ２４への搭載位置の上方に移動させる。この時、予めベルト２２上に載置され、ベルト２２で搬送されて、ストッパ２３に当接して位置決めされたパッケージ２４が待機している。そして、吸着治具１５がパッケージ２４の上方の所定の位置に位置決めされると、モータ１４が作動して、吸着治具１５を下降させ、はんだボール１６をパッケージ２４に近接させる。
【００１６】
この時、配管１８を通して吸着治具１５に圧縮空気が供給される。この空気を穴１７から噴出させることにより、吸着していたはんだボール１６を開放し、パッケージ２４上に搭載する。パッケージ２４に搭載されたはんだボール１６は、その下端に供給されたフラックスの粘性によってパッケージ２４に保持される。すると、モータ１４の作動により、吸着治具１５が上昇し次のはんだボール１６の吸着に向かう。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来方法には下記の問題がある。
上記のようなはんだボール搭載装置においては、各動作が順次に行われるため、１サイクルに要する時間が長く（約１５秒程度）なり、はんだボール搭載装置の生産能力が低いものになっている。
【００１８】
また、パッケージの品種が変わると吸着治具を交換しなければならず、高価な吸着治具を多種準備する費用、交換の手間が問題であった。また、各工程において、はんだボールの抜けがあったりパッケージと吸着治具の位置合わせが不完全であるといったことから、はんだボールの抜けやパッケージへの搭載におけるパッドとの位置ずれなどが生じ不良品を発生させている。
【００１９】
はんだボールの吸着に際しては、吸着治具が有する多数個の吸着孔の内、一つでも吸着抜けが発生すると、抜けのあるはんだボールをパッケージ上に搭載しても不良となるため、抜けのないはんだボールの吸着が不可欠である。このため、抜けがある場合には、はんだボールの吸着を再度繰り返し、抜けた吸着孔にはんだボールを吸着させる必要がある。この再度の繰り返しを最小限とする確実なはんだボールの吸着のためには、全吸着孔に対し、エア吹き上げによって一様にはんだボール供給する必要があるが、平面上に配置された吸着孔に対し、これを実現することが難しいという問題がある。
【００２０】
さらに、吸着治具の面積が大きくなればなるほどはんだボールを容器面内を均一に吹き上げて、吸着治具の吸着孔近傍にまで供給することが難しくなるため、場合によってははんだボール吸着抜けが頻繁に発生するという問題もある。
【００２１】
また、図６９示すように、吸着治具１５で吸引したはんだボール１６の下端部を、フラックス２１に浸漬してフラックス２１の供給を行う際、濡れ性の良いフラックス２１を使用すると、はんだボール１６を覆うようにフラックス２１が濡れあがり、吸着治具１５を汚染することがある。一度、フラックス２１が吸着治具１５を汚染すると、フラックス２１の粘着力により吸着治具１５から基板へのはんだボール１６の搭載が不確実となるため、その都度、吸着治具１５の清掃作業が必要となるという問題が発生する。
【００２２】
また、パッケージが反っている場合には、はんだボールがパッドに接触した部分は確実に搭載できるが、接触しない部分ではパッドに落下する形になり、搭載位置ずれを起こすことがある。さらに、図７０に示すように、はんだボール１３０２を基板１３１１に搭載する際に、はんだボール１３０２に作用する押しつけ力１３１４が、基板鉛直方向分力１３１３と基板面方向分力１３１２として作用する。このうち、基板面方向分力１３１２は、はんだボール１３０２をパッド１３０９上からずらす方向に作用する力であり、この力のために、はんだボール１３０２がパッド１３０９上からずれることがある。この場合も良品バンプは形成されないこととなる。
【００２３】
また、図７１に示すように、フラックス１３１９が偏った形で付着した場合、破線で示したはんだボール搭載位置に搭載したはんだボール１３０２でも、フラックス１３１９の表面張力などの流体力の作用により実線で示す位置までずれることが観察されることがある。この状態では、リフローによりはんだボールを再溶融してもパッド１３０９とはんだボール１３０２は接触していないので、はんだボール１３０２は容易に移動し、他のはんだボールと合体したり、流失してしまったりする。このため、パッド１３０９上に良品バンプが形成されず、不良となる。
【００２４】
さらに、図７２に示すように、リフロー時に、はんだボール１３０２の酸化膜１３１５が破れ始める個所に異物１３１６が存在すると、はんだがパッド１３０９上を濡れ広がらないため、はんだボール１３０２の酸化膜１３１５が十分に取り除けず、はんだボール１３０２とパッド１３０９の接合が不十分な不良はんだバンプが形成されてしまう。
【００２５】
本発明の目的は、上記した従来の問題点を解決し、信頼性が高く、かつ、生産能力の高いはんだバンプ形成方法と装置およびこの方法および装置で形成された電子部品を提供することにある。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、請求項１に係る発明方法の構成は、
複数の導電性ボールの各々を吸着治具に設けられた複数の吸着穴毎に吸着する第１工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる第２工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールの各々の位置を電子部品に設けられた複数のパッド毎に合わせ、該導電性ボールの各々を該電子部品のこれに対応する該パッドの一つに押し付ける第３工程と、
前記電子部品に加熱処理を加えて、前記複数の導電性ボールの各々をこれに対応する前記一つのパッド毎に付着させることにより、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する第４工程とをこの順に行い、
かつ、前記第３工程において、前記吸着治具における前記複数の吸着穴の位置を前記前記電子部品の前記複数のパッドの形成されている面の反りに対応して夫々変えて、前記導電性ボールの各々をこれに対応する該複数のパッドの一つに押し付ける。
【００２７】
請求項２に係る発明方法は、
複数の導電性ボールの各々を吸着治具に設けられた複数の吸着穴毎に吸着する第１工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる第２工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールの各々の位置を電子部品に設けられた複数のパッド毎に合わせ、該導電性ボールの各々を該電子部品のこれに対応する該パッドの一つに押し付ける第３工程と、
前記電子部品に加熱処理を加えて、前記複数の導電性ボールの各々をこれに対応する前記一つのパッド毎に付着させることにより、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する第４工程とをこの順に行い、
かつ、前記第２工程において、前記粘着液は前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールの各々に対して複数の凹みが形成された抵抗板の該凹みの各々に充填され、該複数の導電性ボールの各々に該複数の凹みに充填された該粘着液に接触させて該粘着液を付着させる。
【００２８】
請求項３に係る発明方法の構成は、
複数の導電性ボールの各々を吸着治具に設けられた複数の吸着穴毎に吸着する第１工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる第２工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールの各々の位置を電子部品に設けられた複数のパッド毎に合わせ、該導電性ボールの各々を該電子部品のこれに対応する該パッドの一つに押し付ける第３工程と、
前記電子部品に加熱処理を加えて、前記複数の導電性ボールの各々をこれに対応する前記一つのパッド毎に付着させることにより、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する第４工程とをこの順に行い、
かつ、前記第２工程において、前記粘着液を収容する液槽に複数の貫通穴が形成された抵抗板を該粘着液の液面に近づけて該粘着液に浸し、前記複数の導電性ボールの各々を該抵抗板の該複数の貫通穴に近づけて該粘着液に接触させることにより、該導電性ボールの各々に粘着液を付着させる。
【００２９】
請求項４に係る発明方法の構成は、
複数の導電性ボールの各々を吸着治具に設けられた複数の吸着穴毎に吸着する第１工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる第２工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールの各々の位置を電子部品に設けられた複数のパッド毎に合わせ、該導電性ボールの各々を該電子部品のこれに対応する該パッドの一つに押し付ける第３工程と、
前記電子部品に加熱処理を加えて、前記複数の導電性ボールの各々をこれに対応する前記一つのパッド毎に付着させることにより、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する第４工程とをこの順に行い、
かつ、前記吸着治具は、その各々が前記第３工程において該吸着治具の該複数の吸着穴の対応する一つから突き出して該一つの吸着穴に吸着された前記導電性ボールの一つを前記電子部品の前記パッドの対応する一つに押し付ける複数のピンを有するものとし、該第３工程において、前記複数のピンが前記吸着治具の前記複数の吸着穴から夫々突出する長さを、前記電子部品の前記複数のパッドの形成されている面の反りに対応して設定する。
【００３０】
請求項６に係る発明方法の構成は、
複数の導電性ボールの各々を吸着治具に設けられた複数の吸着穴毎に吸着する第１工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる第２工程と、
前記吸着治具に吸着された前記複数の導電性ボールの各々の位置を電子部品に設けられた複数のパッド毎に合わせ、該導電性ボールの各々を該電子部品のこれに対応する該パッドの一つに押し付ける第３工程と、
前記電子部品に加熱処理を加えて、前記複数の導電性ボールの各々をこれに対応する前記一つのパッド毎に付着させることにより、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する第４工程とをこの順に行い、
前記第１工程において、前記吸着治具の前記複数の吸着穴が設けられた吸着面に対向する気体ノズルにより、該吸着治具の該吸着面に対する該気体ノズルの相対位置を変えながら、該吸着面に前記複数の導電性ボールを吹き付ける。
【００３１】
請求項９に係る発明装置の構成は、
複数の導電性ボールを吸着する吸着手段、
前記吸着手段に前記導電性ボールを供給する供給手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる粘着液付着手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの各々と電子部品に設けられた複数のパッドとの位置を合わせる位置合わせ手段、
前記電子部品の前記複数のパッドに前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの夫々を押し付けて搭載させる搭載手段、及び
前記電子部品に加熱処理を加えて前記複数のパッドに搭載された前記複数の導電性ボールを該複数のパッドに付着させて、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する加熱手段とを備え、
前記搭載手段は、前記複数の導電性ボールの前記電子部品に対する位置を、該電子部品の前記複数のパッドが形成された面の反りに対応させて変えながら、該複数の導電性ボールを該複数のパッドの夫々に押し付ける機能を有している。
【００３２】
請求項１６に係る発明装置の構成は、
複数の導電性ボールを吸着する吸着手段、
前記吸着手段に前記導電性ボールを供給する供給手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる粘着液付着手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの各々と電子部品に設けられた複数のパッドとの位置を合わせる位置合わせ手段、
前記電子部品の前記複数のパッドに前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの夫々を押し付けて搭載させる搭載手段、及び
前記電子部品に加熱処理を加えて前記複数のパッドに搭載された前記複数の導電性ボールを該複数のパッドに付着させて、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する加熱手段とを備え、
前記粘着液付着手段は、前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの各々に対して複数の凹みが形成された抵抗板を有していて、該凹みの各々に、前記粘着液が充填されるようになっており、かつ、前記粘着液付着手段は、前記複数の導電性ボールの各々を前記抵抗板の前記複数の凹みの各々に充填された前記粘着液に接触させることにより、該導電性ボールの各々に該粘着液を付着させるようになっている。
【００３３】
請求項１７に係る発明装置の構成は、
複数の導電性ボールを吸着する吸着手段、
前記吸着手段に前記導電性ボールを供給する供給手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる粘着液付着手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの各々と電子部品に設けられた複数のパッドとの位置を合わせる位置合わせ手段、
前記電子部品の前記複数のパッドに前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの夫々を押し付けて搭載させる搭載手段、及び
前記電子部品に加熱処理を加えて前記複数のパッドに搭載された前記複数の導電性ボールを該複数のパッドに付着させて、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する加熱手段とを備え、
かつ、前記粘着液付着手段は、前記粘着液を収容する液槽と、該液槽内に配置され且つ該粘着液の液面に近づけて該粘着液に浸され且つ複数の貫通穴が形成された抵抗板とを有し、
該粘着液付着手段は、前記複数の導電性ボールの各々を前記抵抗板の前記複数の貫通穴に近づかせながら該粘着液に接触させることにより、該導電性ボールの各々に該粘着液を付着させるようになっている。
【００３４】
請求項１８に係る発明装置の構成は、
複数の導電性ボールを吸着する吸着手段、
前記吸着手段に前記導電性ボールを供給する供給手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールにフラックス、はんだペースト、又は導電性粒子が配合された接着剤などの粘着液を付着させる粘着液付着手段、
前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの各々と電子部品に設けられた複数のパッドとの位置を合わせる位置合わせ手段、
前記電子部品の前記複数のパッドに前記吸着手段に吸着された前記複数の導電性ボールの夫々を押し付けて搭載させる搭載手段、及び
前記電子部品に加熱処理を加えて前記複数のパッドに搭載された前記複数の導電性ボールを該複数のパッドに付着させて、該電子部品に該複数の導電性ボールからなる複数のバンプを形成する加熱手段とを備え、
前記供給手段は、前記吸着手段の前記複数の導電性ボールを吸着する吸着面に対向した吹き出し口を備え且つ該吹き出し口から該吸着面に向けて気体を吹き付ける気体ノズルを有し、
かつ、前記気体ノズルは、前記吸着手段の前記吸着面に対する相対位置を変えることができ、該気体ノズルと該吸着面との間に存在する前記複数の導電性ボールを該吸着面に吹き付け得るようになっている。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の第１の形態を図面にしたがって説明する。
図１は、本発明のはんだバンプ形成方法のフローチャート、図２ないし図６は、図１のフローチャートに対応する工程図である。
【００３７】
同図に示すように、本発明ではまず、図２に示すように、吸着治具５０ではんだボール６１を吸着し、整列させる（ステップＡ−１）。次に、その整列の良否を検査する（ステップＡ−２）。次に、図３（ａ）または（ｂ）に示すように、はんだボール６１にフラックス７０ａ（または７０ｂ）を供給する（ステップＡ−３）。次に、フラックス供給時にはんだボール６１が吸着治具５０から離脱し整列抜けが発生しなかったか否かを検査する（ステップＡ−４）。ここまでで、フラックス７０（ａまたはｂ）が供給された整列済みはんだボール６１が用意される。
【００３８】
一方、必要によりバンプ形成面を清掃（ステップＡ−５）した基板を、はんだボール搭載装置に供給し、次に、基板上のバンプ形成位置であるパッドをはんだボールの搭載位置に位置決めする（ステップＡ−６）。そして、図４に示すように、この位置決めされたパッケージ７５上にはんだボール６１を搭載する（ステップＡ−７）。次に、はんだボール６１の整列に使用した吸着治具５０の吸着面にはんだボール６１が残っていないかの検査（ステップＡ−８）、およびパッケージ７５のパッド３０７上のはんだボール６１の数や位置ずれを調べる検査を行い（ステップＡ−９）、正しく正確にはんだボール６１の搭載が行われた否かを確認する。
【００３９】
このようにして、図５に示すように、はんだボール６１が搭載されたパッケージ７５は、高温環境下に置かれることで、はんだボールが溶融して基板のパッドに接合され、その後冷却され（ステップＡ−１０）、図６に示すように、パッケージ７５のパッド３０７上にはんだバンプ３１１が形成される。
【００４０】
次に、本発明の実施の第２の形態を図面にしたがって説明する。
図７ないし図１２は本発明の実施の第２の形態を示すもので、図７は、はんだボール搭載装置の平面図、図８は、図７におけるはんだボール搭載装置の正面断面図、図９は、図７における吸着治具の断面図、図１０は、図７における搭載部の正面断面図、図１１は、図７における搭載部の側面断面図、図１２は、図７におけるはんだボール検出時のテーブルの停止位置を示す平面図である。
【００４１】
（図８参照）１はベースである。２７はシャフトで、ベアリング２６を介してベース１に取り付けたハウジング２５に回転可能に支持されている。２９はサーボモータで、ハウジング２５の下端に固定したプレート２８に支持されている。サーボモータ２９によりタイミングプーリ３０、３１、タイミングベルト３２を介してシャフト２７を任意の角度で割り出し回転させることができる。
【００４２】
３３は給、排気路で、シャフト２７に形成されている。３４は回転継手で、プレート２８にブラケット３５を介して固定され、シャフト２７の外周面に形成された給、排気路３３の開口部と対向するように、シャフト２７に回転可能に嵌合している。３６はスリップリングで、回転継手３４にブラケット３７を介して固定され、シャフト２７の下端に対向している。３８はディスクで、シャフト２７と一体に形成されている。
【００４３】
３９はエアシリンダで、ディスク３８の中心に固定されている。このエアシリンダ３９が作動すると、テーブル４１が上下に移動する。
【００４４】
５０は吸着治具で、プレート５１を介してテーブル４１に所定の間隔（この実施形態では、１２０度間隔）で固定されている。この吸着治具５０は、図９に示すように構成されている。吸着治具５０は箱状に形成され、その下面には、はんだボール６１を吸着するための穴５２が、所要の配列パターンにしたがって形成されている。５３は配管で、シャフト２７に形成された給、排気路３３と吸着治具５０を接続し、吸着治具５０に真空圧を供給する。
【００４５】
プレート５６には剣山ピン５７が、吸着治具５０の下面に形成された穴５２の直径より細く形成され、穴５２を貫通し得るように、穴５２と同じ配列でプレート５６に配列されている。５８は配管で、シャフト２７に形成された給、排気路３３とシリンダ５５を接続している。
【００４６】
したがって、はんだボール６１を吸着する際には、シリンダ５５を作動させてプレート５６を上昇させ、剣山ピン５７を穴５２の上方に移動させる。また、吸着したはんだボール６１をパッケージに搭載する際には、シリンダ５５を作動させ、プレート５６を下降させることにより、穴５２を貫通させて剣山ピン５７ではんだボール６１をパッケージ側へ押しつけることにより、吸着治具５０からパッケージにはんだボール６１を、より確実に搭載することができる。
【００４７】
はんだボール供給装置２００では、はんだボールホッパ５９に、図８に示すように上面に開口部が形成され、内部にはんだボール６１を収容し、底面にははんだボール６１より小径の複数の穴５４が形成され、ベース１上に固定されている。上部の開口部を吸着治具５０で覆い、底面の穴５４を通してエア配管６０からの圧縮空気を供給することにより、吸着治具５０と底面の間にはんだボール６１を浮遊させ吸着治具５０の真空吸引管５３から吸引することにより吸着治具５０の穴５２にはんだボール６１を吸着することができる。
【００４８】
フラックス供給装置２０１は、図７および図８に示すような構成になっている。６２はハウジングで、下部の外周面にねじ１０４が形成され、上端に形成されたフランジ１０２が、ベース１に固定されたガイドピン１０１に移動可能に嵌合して、ベース１に上下方向に移動可能に支持されている。６３はシャフトで、ハウジング６２にベアリング６４を介して回転可能に支持されている。
【００４９】
６５はモータで、ハウジング６２の下端に支持されたハウジング１０３に支持され、その出力軸がカップリング６６を介してシャフト６３に結合されている。
【００５０】
１０７はハウジングで、スタッドボルト１１３を介してハウジング６２と同心円上に位置するようにベース１の下面に支持されている。１０５はナットで、ハウジング６２のねじ１０４に螺合し、軸受１０６を介して、ハウジング１０７に回転可能に支持されている。１０８はステッピングモータで、ハウジング１０７に支持されている。１０９はタイミングプーリで、ステッピングモータ１０８の回転軸に固定されている。１１１はタイミングプーリで、ナット１０５に固定されている。１１０はタイミングベルトで、タイミングプーリ１０９、１１１の間に掛け渡されている。
【００５１】
したがって、ステッピングモータ１０８が作動すると、タイミングプーリ１０９、タイミングベルト１１０、タイミングプーリ１１１を介してナット１０５が回転する。すると、ねじ１０４を介してハウジング６２と、このハウジング６２に支持されたシャフト６３がその軸方向に移動する。また、モータ６５が作動すると、シャフト６３が回転する。
【００５２】
６７は液槽で、シャフト６３の上端に固定されている。この液槽６７の底面には、ゴムあるいは弾性プラスチック等弾性材等で形成されたシートが配置されている。６８はスタンドで、ベース１に固定されている。６９はスキージで、液槽６７の底面に配置されたシートと所要の間隔で対向し、スタンド６８に高さ方向の位置は、図示されていない上下駆動手段によって調整可能となっている。
【００５３】
７０はフラックスで、液槽６７のシート上に供給されている。はんだボール６１の大きさに合わせて、フラックス供給装置２０１のステッピングモータ１０８を作動させ、シャフト６３を移動させて、液槽６７の高さを調整するとともに、スキージ６９の位置を調整し、ステッピングモータ６５を作動させて、液槽６７を回転させることにより、スキージ６９でフラックス７０をシート上に延ばすことができ、フラックス７０を所要の厚さ（液槽６７の底面に配置されたシートとスキージ６９の間隔に相当する厚さ）の液膜状にすることができる。このフラックス７０の厚さを制御することにより、はんだボール６１に対するフラックス７０の供給量を調整することができる。
【００５４】
８０、８１、８２はそれぞれＣＣＤカメラで、はんだボール供給装置２００とフラックス供給装置２０１の間、フラックス供給装置と位置決め装置２０２の間、および位置決め装置２０２とはんだボール供給装置２００の間に、吸着治具５０の下面と対向するように所定の間隔で配置されている。８３はＣＣＤカメラで、搭載位置の上方に、パッケージ７５と対向するように配置されている。８４は画像処理装置で、各ＣＣＤカメラ８０、８１、８２、８３に接続されている。８５は制御装置で、画像処理装置８４に接続されている。
【００５５】
位置決め装置２０２は、図７、図１０および図１１に示すような構成になっている。７１はローラで、ベース１に回転可能に支持されている。７２はモータで、ベース１に支持され、その出力軸がローラ７１に結合されている。７３はベルトで、ローラ７１の間に掛け渡されている。７４はキャリアで、パッケージ７５の載置位置に貫通穴が形成され、ベルト７３上に載置されている。
【００５６】
８６はＹステージで、ベース１に支持されている。８７はＸステージで、Ｙステージ８６に移動可能に支持されている。８８はθステージで、Ｘステージ８７に回転可能に支持されている。このθステージ８８の上にシリンダ７６を介して真空源につながる配管７８を持つリフトノズル７７が取り付けられている。これらＹステージ８６、Ｘステージ８７、およびθステージ８８は制御装置８５に接続され、制御装置８５からの指令により移動するようになっている。
【００５７】
したがって、パッケージ７５を載置したキャリア７４がベルト７３上に載置されると、モータ７２が作動してキャリア７４を所定の位置まで搬送する。そして、キャリア７４は、図示しないストッパなどの位置決め手段で所定の位置に停止させられる。すると、シリンダ７６が作動して、リフトノズル７７が上昇し、真空吸引力によりパッケージ７５を吸着し、キャリア７４からはんだボールの載置位置へ上昇移動させる。
【００５８】
そして、ＣＣＤカメラ８３で、パッケージ７５のパッドの位置を画像処理装置８４で認識し、制御装置８５を介してＹステージ８１、Ｘステージ８２、およびθステージ８３を駆動し、パッケージ７５のパッドと吸着治具５０に吸着されたはんだボールの位置合わせをすることにより、はんだボール６１をより正確にパッケージ７５のパッドに搭載することができる。
【００５９】
以上の構成により、以下述べるようにはんだボール６１をパッケージ７５のパッド上に搭載する。
【００６０】
（図８参照）サーボモータ２９の作動により、テーブル４１の割り出し回転を行う。この割り出し回転により、吸着治具５０が位置決めされると、Ａの位置に位置決めされた吸着治具５０は、はんだボール供給装置２００と対向し、Ｂの位置に位置決めされた吸着治具５０は、フラックス供給装置２０１の液槽６７に液膜状に形成されたフラックス７０と対向し、Ｃの位置に位置決めされた吸着治具５０は、位置決め装置２０２によって位置決めされたパッケージ７５と対向する。ついで、シリンダ３９が作動して、テーブル４１を下降させ、吸着治具５０を所要の位置へ下降させる。
【００６１】
図７に示したＡの位置にある吸着治具（プレート５１に装着されている）は、はんだボールホッパ５９の上端の開口部を覆う。すると、はんだボールホッパ５９の底面から圧縮空気が供給され、同時に、前記吸着治具に真空圧が供給される。圧縮空気によって吹き上げられたはんだボール６１が吸着治具に吸着保持される。
【００６２】
また、Ｂの位置にある吸着治具は、該吸着治具に保持されたはんだボール６１が液槽６７のシートに接触するまで下降する。すると、はんだボール６１の下端が、液膜状に形成されたフラックス７０に浸漬され、はんだボール６１にフラックス７０が付着し供給される。
【００６３】
また、Ｃの位置にある吸着治具は、吸着保持したはんだボール６１を、パッケージ７５に接触するまで下降する。すると、吸着治具内に供給されていた真空圧が大気圧に開放され、はんだボール６１の吸着を開放する。同時に、シリンダ５５が作動してプレート５６を下降させ、剣山ピン５７を吸着治具の穴５２からパッケージ７５側へ突出させて、強制的にはんだボール６１を吸着治具からパッケージ７５へ搭載する。パッケージ７５に搭載されたはんだボール６１は、その下端に供給されたフラックス７０の粘性によりパッケージ７５に粘着保持される。
【００６４】
上記のように、吸着治具の割り出し位置Ａ、Ｂ、Ｃで、はんだボール６１の吸着、はんだボール６１へのフラックス７０の供給、およびパッケージ７５へのはんだボール６１の搭載を同時に行う。そして、シリンダ３９が作動して、テーブル４１を上昇させ、サーボモータ２９が作動して、テーブル４１を割り出し回転させ、図１２に示すように、ＣＣＤカメラと対向する位置で、テーブル４１を一旦停止させ、はんだボール６１の吸着後、フラックス供給後、パッケージ７５へのはんだボール６１の搭載後の吸着治具（プレート５１に装着されている）の下面を、それぞれＣＣＤカメラ８０、８１、８２で撮像する。
【００６５】
この撮像結果は、（図１１参照）画像処理装置８４に送られ、撮像データを処理することにより、はんだボール６１の吸着漏れ、脱落、搭載漏れ等を検出することができる。このようにして、確認を行なった後、再びテーブル４１を割り出し回転させ、図７に示すように、各吸着治具５０を割り出し位置Ａ、Ｂ、Ｃ（図７参照）へ移動させる。
【００６６】
また、はんだボール６１を搭載した後でパッケージ７５上のはんだボール６１の配列を見ることにより、搭載時におけるはんだボール６１の位置ずれ、搭載ミスをチェックすることもできる。
【００６７】
（図１０参照）次いで、位置決め装置２０２は、リフトノズル７７に供給されていた真空圧を大気圧に開放するとともに、シリンダ７６を作動させて、リフトノズル７７を下降させ、はんだボールが搭載されたパッケージ７５をキャリア７４上に載置させる。そして、キャリア７４を移動させ、次のパッケージ７５を搭載位置の下方に位置決めする。シリンダ７６を作動させ、真空圧が供給されたリフトノズル７７を上昇させ、リフトノズル７７でパッケージ７５を吸着保持し、パッケージ７５を所定の搭載位置へ上昇させて待機する。また、フラックス供給装置２０１は、ステッピングモータ６５を作動させ、液槽６７を所要の角度回転させ、液膜状に形成したフラックス７０をＢの位置へ移動させて待機する。
【００６８】
上記の実施に形態によれば、はんだボール６１の吸着と、フラックス７０の供給およびパッケージ７５に対する搭載を同時に行うことができるので、１サイクルに要する時間を短く（約６秒程度）することができ、はんだボール搭載作業の高速化を図れ且つ、各工程をチェックすることにより不良を検出し高信頼性を確保できる。
【００６９】
なお、図７に示すように、廃棄ボックス９０を適宜配置し、フラックス供給時におけるはんだボール６１の脱落などが発生したとき、吸着治具５０に吸着されていたはんだボール６１を廃棄ボックス９０に廃棄し、再度やりなおすようにしてもよい。
【００７０】
また、サンプル製作など、数の少ないものに適用する場合には、吸着治具５０を１個だけ使用するようにしても良い。また、３種類の吸着治具５０を装着し、必要に応じて選定した吸着治具５０のみを使っても良い。
【００７１】
次に、吸着治具５０の他の実施例について、図１３から図２８を用いて説明をする。
図１３は、吸着治具５０に関する第２の実施例を示す断面図、図１４ないし図１９は、図１３に示す吸着治具を使用した場合の工程図である。
【００７２】
吸着治具５０は、はんだボールを吸着する吸着部６００と、はんだボールを押し出す剣山部６０１からなる。
【００７３】
前記吸着部６００は、図１３に示したように、はんだボールを吸着するゴムなどの弾性体からなるマスク６０２と、これを接着保持する吸着プレート６０３とを吸着ブロック６０４に固定したものである。剣山部６０１は、剣山ピン６０５とこれを加圧保持する加圧ゴム６０６と、これらを保持するための剣山プレート６０７と、剣山ブロック６０８とからなる。
【００７４】
吸着部６００には、真空吸引するための吸引口６１２と、剣山部６０１の上下方向の摺動をガイドするガイド穴６１０と、真空度を維持するためのＯリング６１１とがある。先に図７に示したはんだボール供給装置２００で、吸引口６１２（図１３）からの真空吸引により吸着孔６０９にはんだボール６１を吸着する。
【００７５】
先に図７に示したフラックス供給装置２０１においてフラックス７０にはんだボールを浸漬し、はんだボール６１にフラックス７０を付着させる（図１４）。つぎに、図１５に示すように、パッケージ７５のパッド３０７にはんだボール６１を接近させる。このときパッケージ７５が反っているとはんだボール６１は、パッケージ７５の凸になった部分のパッド３０７から接触し始める。さらに、はんだボール６１をパッケージ７５に接近させて行くと、図１６に示すように、マスク６０２が変形しパッケージ７５の反りに倣って、はんだボール６１を押しつけた状態となる。
【００７６】
ついで、剣山部６０１を下降させ、図１７に示すように、剣山ピン６０５ではんだボール６１を押す。このとき、はんだボール６１からの反力により加圧ゴム６０６は変形する。ついで、図１８に示すように、吸着部６００を上昇させ、マスク６０２からはんだボール６１を離間させる。最後に、図１９に示すように、剣山部６０１を上昇させ、はんだボール６１をフラックス７０の粘着力でパッケージ７５に付着させる。
【００７７】
以上の方法により反りの有るパッケージ７５のパッド３０７にも確実にはんだボール６１を搭載できる。ここで、図１７に示すように、はんだボール６１をパッケージ７５に押しつける際に、はんだボール６１に剣山ピン６０５の圧痕が残る程度に押しつけると、はんだボール６１とパッド３０７の接触部が若干つぶれて接触面が広くなるので、はんだボール６１とパッド３０７の密着が良くなり、搬送中のずれを防止できる。また、リフロー時のパッド３０７への濡れが良くなりバンプ形成の信頼性が高くなる。また、パッド３０７の面に汚れが点在するような場合にも、接触面が広いことにより、パッド３０７の汚れのない部分と溶融はんだが接触できる機会が増え、パッド３０７との金属接合が確実に行われる。
【００７８】
図２０は、吸着治具５０に関する第３の実施例を示す断面図である。
吸着治具５０は、はんだボールを吸着する吸着部６００と、はんだボールを押し出す複数の剣山部６０１からなる。
【００７９】
吸着部６００に複数の剣山部６０１を内蔵し、複数のパッケージ７５に同時にあるいは順次、はんだボール６１を搭載する例を示す。この例では、吸着部６００内に２個の剣山部６０１を内蔵しており、同時に２個のパッケージ７５にはんだボール６１を搭載することができる。また、パッケージ７５が大型、かつ、反りが大きい場合は、１個のパッケージ７５に対して複数の剣山部６０１を配置して、グループごとに搭載することもできる。
【００８０】
図２１は、吸着治具５０に関する第４の実施例を示す断面図である。
この例では、弾性体で構成した剣山ピン６０５が剣山ブロック６０８に埋め込まれており、剣山部６０１を下降させはんだボール６１をパッド３０７に押しつけたとき、剣山ピン６０５が変形してパッケージ７５の反りを吸収するようにしている。
【００８１】
図２２は、吸着治具５０に関する第５の実施例を示す断面図である。
同図において、吸着治具５０は、はんだボール６１を吸着する吸着部６００と、ゴムなどの弾性体で形成され、吸着ブロック６０４の下面に固定されたマスク６０２で構成されている。
【００８２】
そして、マスク６０２にはんだボール６１を吸着し、フラックスを供給した状態で、はんだボール６１をパッケージ７５のパッド３０７に押し付ける。この場合、マスク６０２が弾性変形して、パッケージ７５に倣いはんだボール６１は、それぞれ対応するパッド３０７に供給される。
【００８３】
この時、パッケージ７５の凹部のパッド３０７に対応したはんだボール６１が、パッド３０７に接触しない状態でマスク６０２から落下しても、はんだボール６１の下面とパッド３０７間の距離はわずかであり、はんだボール６１下面のフラックス７０がパッド３０７に接触するので大きく位置ずれすることはない。
【００８４】
したがって、パッケージ７５のパッド３０７の寸法が大きく、搭載精度があまり問題にならない場合に有効である。
【００８５】
図２３は、吸着治具５０に関する第６の実施例を示す断面図である。
同図において、吸着治具５０は、はんだボール６１を吸着する吸着部６００の吸着ブロック６０４と、加工精度は悪いが安価なゴム６１４に穴明けした物に、レーザ加工などで高精度に穴明けした樹脂フィルム６１５を張ることにより構成された、安価で高精度、かつ、耐溶剤性の高いマスク６０２とで構成している。
【００８６】
図２４は、吸着治具５０に関する第７の実施例を示す断面図、図２５は、動作説明図である。
同図において、吸着部６００はパイプ状のピン６１６をもつ剣山部６０１と、ピン６１６の外径およびはんだボール６１の外径より若干大きい穴を明けたマスク６０２と、吸着ブロック６０４からなる。剣山部６０１は鍔のあるピン６１６をゴム６１７をはさんで、プレート６１８とプレート６１９で剛性を持たせて、剣山ブロック６０８に固定している。このとき、ピン６１６の先端は、マスク６０２の下面よりはんだボール６１の直径の半分程度引っ込んでいる。
【００８７】
この実施例では、はんだボール供給装置２００ではんだボール６１を吸着する際、はんだボール６１がマスク６０２内に引っ込んだピン６１６に吸着されるため、図２４に示すように、マスク６０２の開口部に複数個のはんだボール６１が吸引される確率が低くなる。
【００８８】
また、複数個のはんだボール６１が吸着されても、複数個吸着されたはんだボール６１は後続して吹き上げられてくるはんだボール６１が衝突することによって除去され、速やかにピン６１６に一個づつのはんだボール６１が吸着される。このようにして吸着したはんだボール６１を反りのあるパッケージ７５のパッド３０７に搭載すると、図２５に示すように、反りに対応してゴム６１７が変形し、剣山６１６に吸着したはんだボール６１をすべてパッド６１３に押しつけることができ、確実な搭載が行える。
【００８９】
図２６は、吸着治具５０に関する第８の実施例を示す断面図、図２７は、動作説明図である。
同図において、吸着治具５０は、吸着ブロック６０４の下面に固定された吸着プレート６０３と、この吸着プレート６０３の下面に固定されたマスク６０２との間に、所要のパターンで貫通穴が形成された遮蔽プレート６２２を着脱可能に設けている。
【００９０】
このような構成で、吸着プレート６０３とマスク６０２の間に遮蔽プレート６２２を挿入することにより、はんだボール６１を吸着する際、遮蔽プレート６２２の貫通穴によって連通されたマスク６０２の穴のみにはんだボール６１を吸着させることができる。
【００９１】
また、図２７に示すように、はんだボール６１を基板７５に搭載する場合、遮蔽プレート６２２の穴６２３のない部分の剣山ピン６０５は、遮蔽プレート６２２に当たってマスク６０２側にはでてこない。
【００９２】
このように遮蔽プレート６２２を用いることにより吸着部６００と剣山部６０１を交換することなく、遮蔽プレート６２２の交換だけで種々のパッド数のパッケージ７５に対応することができる。
【００９３】
以上述べたように吸着治具５０により反りのあるパッケージ７５にも確実にはんだボール６１を搭載するここができ、パッド３０７との密着も良いのでリフロー時の濡れ不良を低減できる。また、スクリーン６２０の使用によりマスク６０２に複数のはんだボール６１を吸着することもない。さらに、遮蔽プレート６２２の使用により品種の異なるパッケージ７５への対応も容易となる。
【００９４】
図２８は、はんだボール供給装置２００に関する第２の実施例を示す断面図である。
同図において、はんだボールホッパ５９には、その上端開口部に、所要のパターンで、はんだボール６１の直径より大きく、かつその２倍より小さい貫通穴が形成されたスクリーン６２０が設けられている。
【００９５】
このような構成で、エア配管６２１からの空気流で吹き上げられたはんだボール６１は、スクリーン６２０の貫通穴に侵入してマスク６０２に吸着される。この時、一つの貫通穴に複数のはんだボール６１が侵入することがないので、確実にはんだボール６１を吸着させることができる。また、一度吸着されたはんだボール６１は、その半径以上がスクリーン６２０の貫通穴の中に入り込むため、後から吹き上げられたはんだボール６１が衝突しても脱落することがない。
【００９６】
スクリーン６２０の貫通穴を２個のはんだボール６１が同時に吸引された場合でも、その吸引力は小さいので、後から吹き上げられたはんだボール６１が衝突することにより容易に吸引状態を解除させることができる。
【００９７】
図２９ないし図３２は、吸着治具に吸着されたはんだボールを整列させるための方法を示す説明図である。
図２９において、５０は吸着治具。６１ははんだボール。５０３はブラシである。
【００９８】
吸着治具５０ではんだボール６１を吸着した状態で、吸着治具５０の下面と所定の間隔で配置されたブラシ５０３を移動させる。すると、１個の吸着穴に、２個のはんだボール６１が吸引されている場合、それらのはんだボール６１の吸着治具５０の下面からの突出量が、他のはんだボール６１より大きいため、ブラシ５０３の先端によって押され、同時に吸引されている他のはんだボール６１を押し退けて、吸着治具５０の吸着穴に吸着される。このようにして、吸着治具５０にはんだボール６１を整列させることができる。
【００９９】
図３０において、５０は吸着治具。６１ははんだボール。５０４はブレードである。
このような構成にしても、図２９の場合と同様にして、吸着治具５０にはんだボール６１を整列させることができる。
【０１００】
図３１において、５０は吸着治具。６１ははんだボール。５０５はエアノズルで、吸着治具５０とほぼ同じ幅のエア吹き出し口が形成されている。
このような構成で、吸着治具５０にはんだボール６１を吸着させた状態で、エアノズル５０５からはんだボール６１にエアを吹き付けながら、エアノズル５０５を移動させることにより、吸着治具５０にはんだボール６１を整列させることができる。
【０１０１】
図３２において、５０は吸着治具。６１ははんだボール。５０１ははんだボール容器で、底面ははんだボール６１の直径より小さな目をもつ網５０２で形成されている。５０５はエアノズルで、吸着治具５０とほぼ同じ幅のエア吹き出し口が形成されている。
【０１０２】
このような構成で、吹き出し口からエアを吹き出しながら、エアノズル５０５を移動させることにより、吸着治具５０の各はんだボール吸着孔へ、端から順にはんだボール６１を吹き上げるため、面状にはんだボール６１を吹き上げる場合と比べ、吹き上げ調整が容易となり、吸着治具５０への確実なはんだボール６１の供給と吸着を行わせることができる。
【０１０３】
次に、フラックス供給装置の他の実施例について、図３３から図４２を用いて説明をする。
図３３は、フラックス供給装置の第２の実施例を示す斜視図、図３４ないし図３６は、図３３に示すフラックス供給装置を使用した場合の工程図である。
【０１０４】
図３３において、３１４はモータ。３０８は円盤で、モータ３１４の回転軸に支持されている。６８はスタンド。３３１は軸受で、スタンド６８に支持されている。３３２は軸で、軸受３３１に移動可能に支持されている。３１２は移動機構で、例えばマイクロメータヘッドなどで形成され、スタンド６８に固定されている。３３３はブラケットで、移動機構３１２の可動部と軸３３２を結合している。６９はスキージで、軸３３２に固定されている。７０はフラックス。３０５はフラックスを塗広げて形成した液膜である。
【０１０５】
このような構成で、移動機構３１２を介して、円盤３０８とスキージ６９の間隔を所定の値に設定し、スキージ６９と円盤３０８の間にフラックス７０を供給する。そしてモータ３１４を作動させ、円盤３０８を回転させると、図３４に示すように、フラックス７０が円盤３０８上に塗広げられ、円盤３０８上に、円盤３０８とスキージ６９の間隔に相当する厚さのフラックス７０の液膜３０５が形成される。所要の液膜３０５が形成されると、円盤３０８は停止する。
【０１０６】
ついで、図３５に示すように、この液膜３０５に吸着治具５０に吸着されたはんだボール６１（ａ〜ｆ）を浸漬させ、はんだボール６１（ａ〜ｆ）にフラックス７０を供給する。すると、はんだボール６１に付着してフラックス７０が取り出された液膜３０５の表面には、凹凸が形成される。
【０１０７】
このため、図３６に示すように、再び円盤３０８を回転させ、液膜３０５の表面の凹凸を修復する。
【０１０８】
本実施の形態によれば、フラックス７０が塗り広げられている円盤３０８が、フラックス７０に流動抵抗を与える抵抗板を兼ねることとなる。これによりフラックス供給装置のフラックス７０が溜まっている部分の構造がプレート状となり、簡単なものになる。このため、フラックスの交換や装置の保守が容易になる。
【０１０９】
図３７は、フラックス供給装置の第３の実施例を示す側面図、図３８ないし図３９は、図３７に示すフラックス供給装置を使用した場合の工程図である。
【０１１０】
同図において、３１８はフラックス槽。３１６は凹みで、フラックス槽３１８に所定の間隔で形成されている。７０はフラックス、６９はスキージである。
【０１１１】
このような構成で、図３７に示すように、フラックス槽３１８上に供給されたフラックス７０をスキージ６９で伸ばし、凹み３１６内にフラックス７０を充填する。
【０１１２】
そして、図３８に示すように、吸着治具５０に吸着されたはんだボール６１を凹み３１６に充填されたフラックス７０の中に所定の深さまで浸漬する。
【０１１３】
また、図３９に示すように、はんだボール６１を凹み３１６の底面に接触させるようにしてもよい。この時、接触によるはんだボールの落下や損傷が懸念される場合には、はんだボール６１の接触する面をシリコンゴムなどの弾性体で形成することでこれを防止することが出来る。
【０１１４】
このような構成にすることで、はんだボール６１に対するフラックス７０の供給量を均一化することができる。
なお、図４０に示すように、凹み３１６一つに対し、はんだボール６１が複数個対応させることもできる。また、図４１に示すように、１個のはんだボール６１に対して複数の凹み３１６が対応するようにしてもよい。このように必ずしもはんだボール６１と凹み３１６が一対一に対応する必要はない。
【０１１５】
図４２は、フラックス供給装置の第４の実施例を示す側面図である。
同図において、３３５はプレートで、所定の間隔で貫通穴３３６が形成されている。７０はフラックス、６９はスキージである。
【０１１６】
このような構成で、プレート３３５を挾むように配置されたスキージ６９を移動させることにより、貫通穴３３６内にフラックス７０を充填し、この貫通穴３３６に吸着治具５０に吸着されたはんだボール６１を浸漬して、はんだボール６１にフラックス７０を供給する。
【０１１７】
図４３は、フラックス供給装置の第５の実施例を示す側面図である。
同図において、７０はフラックス、３１８はフラックス液槽、３１６は濡れ上がり防止用の抵抗板、３１０は弾性体である。弾性体３１０は、はんだボール６１をフラックス７０に浸漬する際に、はんだボール６１が抵抗板３１６に接触したりすることにより、はんだボール６１に荷重が加わり、はんだボール６１が吸着治具５０から離脱することを防ぐためのクッション材となる。
【０１１８】
このような構成で、吸着治具５０に吸着されたはんだボール６１の下端部をフラックス７０内に浸漬させることにより、はんだボール６１にフラックス７０を供給する。この時、抵抗板３１６により、フラックス７０の濡れ上がりを防止する。
【０１１９】
この実施例によれば、濡れ上がり防止用の抵抗板３１６をフラックス供給部に設けたことで、フラックス７０をはんだボール６１に供給する際に、フラックス７０が吸着治具５０にまで濡れ上がることを制限することができ、従来と同じフラックスを使用しても、吸着治具５０を汚染することがなくなる。このため、吸着治具５０は清浄に保たれ、はんだバンプ形成装置の安定稼働が可能となるという効果がある。
【０１２０】
図４４は、抵抗板３１６の濡れ上がり防止効果を示すものである。
なお、本データは、直径０．７６ｍｍ共晶はんだボールに、千住金属工業株式会社製フラックスであるデルタラックス５２７（商品名）（粘度は８０００ｃＰ）を使用して計測した。また、吸着治具５０はステンレス鋼製で、はんだボール吸着部が突起状となったものを使用し、抵抗板３１６もステンレス鋼製のものを使用した。
【０１２１】
フラックス液面から抵抗板３１６上面までの距離を６ｍｍとした場合、はんだボール６１がフラックス液面に軽く触れただけで、フラックス７０は、吸着治具５０へ濡れ上がり、吸着治具５０を汚染してしまう。
【０１２２】
しかし、フラックス液面から抵抗板３１６の上面かでの距離を０．４ｍｍとした場合、フラックス５０の濡れ上がりは吸着治具５０にわずかに届かない範囲にとどまる。
【０１２３】
さらに、フラックス液面から抵抗板３１６の上面までの距離を０．２ｍｍとした場合、フラックス７０の濡れ上がりは更に減少し、吸着治具５０の汚染の心配のない安全な範囲にとどまる。そして、吸着治具５０へのフラックス７０の付着による汚染が原因となる各種の不具合を解消することができる。
【０１２４】
この様に、抵抗板３１６を使用する場合、フラックス液面から抵抗板までの距離を、はんだボール６１の直径の５０％以下に抑えることで、吸着治具５０の汚染を防止することが出来る。
【０１２５】
また、はんだボール６１をフラックス７０に浸漬した状態で、フラックス７０がはんだボール６１に対し形成するメニスカスの上端の位置を、各はんだボール６１の下端より直径の５０％以下に抑える様にフラックス液面から抵抗板３１６までの距離を設定すると、吸着治具５０の汚染のないより安全な設定となる。
【０１２６】
図４５は、フラックス供給装置の第６の実施例を示す断面図である。
同図において、３１８はフラックス液槽、７０はフラックス、３１９は網状の抵抗板、５０は吸着治具、６１ははんだボール、３１０は弾性体である。
【０１２７】
このような構成にしても、フラックス７０の液面から抵抗板３１９の上面までの距離を、メニスカスの上端の位置を、各はんだボール６１の下端より直径の５０％以下に抑える様に設定することにより、上記と同様の効果を得ることができる。
【０１２８】
図４６は、フラックス供給装置の第７の実施例を示す側面図である。
同図において、３１８はフラックス液槽、７０はフラックス、３１６は抵抗板、３１０は弾性体で、抵抗板３１６の上面に固定されている。５０は吸着治具、６１ははんだボールである。
【０１２９】
このような構成で、フラックス７０の液面から弾性体３１０の上面までの距離を、メニスカスの上端の位置を、各はんだボール６１の下端より直径の５０％以下に抑える様に設定することにより、上記と同様の効果を得ることができる。また、はんだボール６１が弾性体３１９に衝突しても、はんだボール６１が吸着治具５０から脱落するのを防止することができる。
【０１３０】
図４７は、フラックス供給装置の第８の実施例を示す側面図である。
同図において、３１８はフラックス液槽、７０はフラックス、３２０は多孔質材で形成された抵抗板で、その上面には、はんだボールと対向する凹部が形成され、かつ、フラックス７０の液面から突出するように設置されている。５０は吸着治具、６１ははんだボール、６９はスキージで、抵抗板３２０の上面に接するように移動可能に配置されている。
【０１３１】
このような構成で、抵抗板３２０をスポンジ状の軟質材、あるいはセラミックスなどで形成することにより、フラックス７０が浸透圧や毛細管現象によってその表面に滲みだす。したがって、吸着治具５０に吸着されたはんだボール６１を抵抗板３２０の凹部に接触もしくは押し込むことにより、はんだボール６１にフラックス７０を供給することができる。
【０１３２】
抵抗板３２０の表面がフラックス７０から露出しているため、抵抗板３２０の表面に滲み出したフラックス７０の乾燥、酸化などにより、その特性が劣化した場合、スキージ６９を移動させ、抵抗板３２０の表面のフラックス７０を掻き落し、新しいフラックス７０を表面に滲み出させる。
【０１３３】
なお、上記の各実施の形態においては、はんだボールを使用した場合について説明したが、それ以外の導電性ボールや導電性の円柱など、更には導電性を必要としない場合、たとえば、液晶ガラスの間隔設定に用いるガラス球、プラスチック球などのような非導電性のボールの場合でも、その接着剤の供給に関し、同等の効果が得られる。
【０１３４】
また、本実施例では、はんだボールを基板に付着させるための粘着液としてフラックスを使用することで説明したが、粘着液として、はんだペーストや導電性粒子配合の接着剤などを使用した場合も同等の効果が得られる。
【０１３５】
図４８は、はんだボールの整列検査方法を示す概略図、図４９は、図４８におけるはんだボール近傍の拡大図、図５０は、図４９におけるはんだボールの底面図である。
【０１３６】
同図において、５０は吸着治具、６１ははんだボール、１３０３は照明用光源、８０は撮像用カメラ、８４は画像処理装置、１３０６ははんだボール６１の暗い部分であり、１３０７ははんだボール６１の明るい部分である。
【０１３７】
このような構成で、吸着治具５０に整列吸着したはんだボール６１の整列検査は、照明用光源１３０３からの光線に照らされているはんだボール６１の下方より撮像用カメラ８０が取り込んだ撮像画像をもとに画像処理装置８４にて画像処理し、撮像画像中のはんだボール６１の明るい部分１３０７の位置計測および数を数えることにより行われる。
【０１３８】
図５１は、はんだボールを基板のパッド上に搭載する状態を示す側面図である。
【０１３９】
同図において、３０２はパッケージの基板。３０７はパッドで、基板３０２に形成されている。１３１０はレジスト膜で、パッド３０７を除く基板３０２の全面に塗布されている。５０は吸着治具。５７は剣山ピンで、吸着治具５０内に移動可能に配置されている。６１ははんだボール。７０はフラックスで、はんだボール６１に供給されている。
【０１４０】
このような構成で、吸着治具５０は、はんだボール６１を真空吸着した状態で下降し、最終的に真空を大気開放し、同時に剣山ピン５７ではんだボール６１をパッド３０７に向けて押し出すことで、はんだボール６１をパッド３０７上に搭載する。はんだボール６１は、パッド３０７の上にフラックス７０の粘着力により固定される。
【０１４１】
図５２は、基板のパッド上に搭載したはんだボールをリフローした際の濡れ拡がりを示す拡大図である。
【０１４２】
同図において、６１ははんだボール、１３１５は酸化膜、７０はフラックス、３０７はパッドである。
【０１４３】
一般にはんだボール６１の表面は、酸化膜１３１５により覆われている。リフロー時にはフラックス７０の還元作用により、はんだボール６１を覆っている酸化膜１３１５が破れ、そこから溶融したはんだがパッド３０７上を濡れ広がる。このメカニズムにより、はんだバンプが形成される。
【０１４４】
図５３は、バンプ形成方法を実現するはんだバンプ形成装置の第３の実施の形態を示す全体構成図、図５４は、バンプ形成方法のフローチャートである。
【０１４５】
同図において、はんだバンプ形成装置は、数個のはんだボール６１を収容するはんだボール収容部４０１と、このはんだボール収容部４０１内のはんだボール６１を吸着・整列するための治具である吸着治具５０と、吸着治具５０に吸着されているはんだボール６１にフラックス７０を供給するフラックス供給装置４０２と、吸着治具５０に吸着されているはんだボール６１を基板上に搭載する搭載部４０３の３つのステーション、および吸着治具５０を各ステーション間で移動させたり、各ステーションにおいて上下方向に移動させるのに使われる搬送手段（ロボット）４０４と、図示されていないリフロー炉から構成される。以下、特に断らない限り、吸着治具５０の移動はロボット４０４によって行われる。
【０１４６】
上記の構成で、図５４に示すように、吸着治具５０を、はんだボール収容部４０１に移動し、はんだボール６１を吸着治具５０に必要数だけ整列した状態で真空吸着する（ステップＢ−１）。次に、吸着治具５０を、フラックス供給部４０２に移動させ、吸着治具５０は下降し、フラックス７０にはんだボール６１を浸漬することで、はんだボール６１にフラックス７０を供給する（ステップＢ−２）。はんだボール６１にフラックス７０が供給された後、吸着治具５０は上昇する。
【０１４７】
次に、吸着治具５０は、搭載部４０３に移動し、はんだボール６１を搭載する基板上方に位置決めされる。そして吸着治具５０を下降させ、基板のパッド上にはんだボール６１を搭載する（ステップＢ−３）。なお、はんだボール６１はフラックス７０の粘着力によりパッド上に仮固定される。その後、はんだボール６１が搭載された基板は、コンベア等によりリフロー炉内に搬送される。はんだボール６１は、リフロー炉において加熱、溶融し、その後冷却されることによりはんだバンプが形成される（ステップＢ−４）。
【０１４８】
なお、この実施例における吸着治具、はんだボール供給部、フラックス供給部、検出部、搭載部等は、上記各実施例に示したものを適宜組み合わせることにより構成することができる。また、図示は省略しているが、各部間にはＣＣＤカメラを配置する。このような構成としても、上記の各実施例と同様の効果を得ることができる。
【０１４９】
図５５は、本発明のはんだバンプ形成方法の第４の実施の形態を示すフローチャートである。
【０１５０】
同図に示すように、吸着治具ではんだボールを吸着し、整列させる（ステップＣ−１）。次に、はんだボールの下面を平坦化させる（ステップＣ−２）。次に、その整列の良否を検査する（ステップＣ−３）。次に、はんだボールにフラックスを供給する（ステップＣ−４）。次に、フラックス供給時にはんだボールが吸着治具から離脱し整列抜けが発生しなかったか否かを検査する（ステップＣ−５）。ここまでで、フラックスが供給された整列済みはんだボールが用意される。
【０１５１】
一方、必要により炭酸ガスレーザのパルス照射などにより、バンプ形成面を清掃（ステップＣ−６）した基板を、はんだボール搭載装置に供給し、次に、基板上のバンプ形成位置であるパッドをはんだボールの搭載位置に位置決めする（ステップＣ−７）。そして、この位置決めされた基板上にはんだボールを搭載する（ステップＣ−８）。
【０１５２】
次に、はんだボールの整列に使用した吸着治具の吸着面にはんだボールが残っていないかの検査（ステップＣ−９）、および基板のパッド上のはんだボールの数や位置ずれを調べる検査を行い（ステップＣ−１０）、正しく正確にはんだボールの搭載が行われた否かを確認する。
【０１５３】
このようにして、はんだボールが搭載された基板は、高温環境下に置かれることで、はんだボールが溶融して基板のパッドに接合され、その後冷却され（ステップＣ−１１）、基板のパッド上にはんだバンプが形成される。
【０１５４】
この実施の形態のように、はんだボールの平坦化を行うことで、はんだボールの検出を容易にすることができる。また、はんだボールを基板に搭載する際に、はんだボールと基板のパッドの接触面積が大きくなるので、フラックスの表面力によるはんだボール移動を防止して、より安定した作業を行うことができる。さらに、基板のパッドが有機物の付着により汚染されていても、リフローによるパッドとはんだの確実な接合を確保することができる。
【０１５５】
図５６は、はんだボールの平坦化工程の第１の形態を示す工程図である。
同図において、５０は吸着治具、６１ははんだボール、１３０８は剛体板である。なお、この剛体板１３０８は、たとえば、図７のはんだボール供給装置２００とＣＣＤカメラ８０の間に配置される。
【０１５６】
このような構成で、吸着治具５０に整列吸着しているはんだボール６１を剛体板１３０８に押しつけ加圧することにより、はんだボール６１を塑性変形させ、その底面を平坦化する。
【０１５７】
図５７および図５８は、底面が平坦化されたはんだボールの検出方法を示す側面図と底面図である。
【０１５８】
同図に示すように、吸着治具５０に整列吸着され、その底面を平坦化したはんだボール６１の場合は、カメラ方向に光源からの照明光を反射する面１３０６のうち、正反射する面１３０７の面積が、図４９に示した場合と比べ、はるかに大きい。このように、大きい部分を認識すれば良いため、整列検査の際の画像処理においては、はんだボール６１の認識が容易となる。これにより、整列検査時の誤認識を少なくできるほか、高速な整列検査が実現できる。
【０１５９】
図５９は、はんだボールを基板に搭載した状態を示す拡大図である。
【０１６０】
同図に示すように、はんだボール６１の底面を平坦化することにより、基板３０２のパッド３０７とはんだボール６１の接触面積が大きくなるので、はんだボール６１を基板３０２のパッド３０７に搭載したとき、はんだボール６１の安定性が増し、フラックス７０の表面力によるはんだボール６１の移動を防止することができる。
【０１６１】
図６０および図６１は、はんだボールのリフロー時の状態を示す拡大図およびリフロー後の状態を示す拡大図である。
【０１６２】
同図に示すように、基板のパッド３０７上に、異物１３１６が存在しても、リフロー時にフラックス７０の還元作用によりはんだボール６１を覆っている酸化膜１３１５が破られる位置が複数個所発生するため、はんだはパッド３０７上を濡れ広がりることができる。したがって、図６１に示すように、正しく接続されたはんだバンプ１３１７を形成することができる。
【０１６３】
図６２は、はんだボールの底面の平坦化工程の第２の形態を示す工程図である。
同図において、５０は吸着治具、６１ははんだボール、１３０８は剛体板、３０５はフラックス液膜、７０はフラックスである。
【０１６４】
このように、フラックス供給装置の抵抗板を剛体板１３０８で構成し、はんだボール６１にフラックス７０を供給する際に、はんだボール６１を剛体板１３０８に押しつけて平坦化させてもよい。
【０１６５】
図６３および図６４は、はんだボールの底面の平坦化工程の第３の形態を示す工程図である。
同図において、５０は吸着治具、６１ははんだボール、１３０８は剛体板、７０はフラックス、１３２０は電子部品である。
【０１６６】
このように、電子部品１３２０を剛体板１３０８上に載置し、はんだボール６１を電子部品１３２０に搭載する際に、はんだボール６１を剣山ピン５７で電子部品１３２０に強く押しつけて平坦化させてもよい。
【０１６７】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、吸着治具によるはんだボールの吸着と、ハンダボールに対するフラックスの供給、およびパッケージに対するはんだボールの搭載を同時に行うようにする装置構成の採用が可能となるので、装置サイクルタイムが短縮され、稼働効率の高いはんだボール搭載装置を提供することができる。
【０１６８】
また、ＣＣＤカメラを配置し、吸着治具の下面を監視することにより、不具合の発生をチェックでき不良品の発生を防止できる。
【０１６９】
さらに、パッケージの位置合わせマークまたはパッドなどの基準となるものを検出する１台のＣＣＤカメラと、パッケージの位置補正を行う機構および制御装置とを設け、はんだボールの搭載前に、吸着治具とパッケージの位置合わせをするとともに、はんだボール搭載後のパッケージのパッド上へのはんだボールの搭載状態の確認も行うようにした。
【０１７０】
以上のチェック機能によりはんだボールの搭載を高信頼度にできるとともに不良品のチェックもできるので、生産性を良くできる。
【０１７１】
さらに、フラックス供給装置のフラックス表面近傍に、フラックスに対して流動抵抗を与える抵抗板を設け、上記はんだボールのフラックスへの浸漬時にフラックスの濡れ上がりによる吸着治具へのフラックスの付着を防止するようにしたので、濡れ性の良いフラックスを簡単な機構で継続的にはんだボールに対して供給することが可能となるとともに吸着治具へのフラックス付着による吸着ミスや搭載ミスを防止できる。
【０１７２】
また、基板の反りには、吸着治具の吸着面及び、剣山を基板の反りに倣う構造とするとともに、複数のはんだボールの吸着を防止するスクリーンを設け短時間で吸着できるようにすると共に、パッケージの品種交換を容易にするためパッケージに対応した着脱容易な遮蔽プレートを備えた。これにより、反りのある基板に対しても確実にはんだボールを搭載でき、かつ吸着に要する時間も短縮でき、さらに品種交換に対応したマスクや剣山の交換をしないで済むようにできる。
【０１７３】
また、パッケージのパッドの汚れに対してはパッド面をはんだボールの搭載直前に搭載装置内で清掃するようにした。これにより、パッドへのはんだの濡れ不良がなくなり、信頼性の高いバンプ形成が可能となった。
【０１７４】
また、はんだボールの一部を平坦化するようにしたので、はんだボールの整列検査を容易にし、搭載後のずれを防止し、且つ若干のパッドの汚れがあってもはんだ濡れ不良の発生を防止できるようにした。
【０１７５】
また、フラックスのはんだボールへの供給に際し、凹みが形成されたフラックス供給プレートを使用することで、はんだボール間でばらつきの少ない高精度フラックス供給が可能となる。このため、各はんだボールに供給されるフラックス量に過不足がなくなり、これに起因する不良の発生が抑えられるため、バンプ形成が安定して継続的に行える。
【０１７６】
また、はんだボールの吸着治具への供給を、真空吸引とエア吹き上げの他に、エア吹き上げのノズルをはんだボールを収納した容器の下側を移動させたため、はんだボールの吹き上げムラが問題とならなくなり、高信頼度なはんだボール供給が可能となる。
【０１７７】
また、吸着治具の一つの吸着孔に対し、複数のはんだボールが吸着してしまった場合も、各吸着孔への複数のはんだボール吸着を防止するマスク板を使用する、もしくは、ブラシによる払い落とし、ブレードによる掻き落とし、エアの吹き付けにより、余剰はんだボールを取り除くことが出来る。
【０１７８】
以上より、高信頼度のバンプ形成が実現でき、低価格でバンプを有する電子部品を市場に供給することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明におけるはんだバンプ形成工程を示すフローチャート図。
【図２】図１における工程を示す工程図。
【図３】図１における工程を示す工程図。
【図４】図１における工程を示す工程図。
【図５】図１における工程を示す工程図。
【図６】図１における工程を示す工程図。
【図７】本発明におけるはんだボール搭載装置の平面図。
【図８】図７のはんだボール搭載装置の正面図。
【図９】図７における吸着治具の断面図。
【図１０】図７における搭載部の側面図。
【図１１】図７における搭載部の正面断面図。
【図１２】図７におけるはんだボール検出時のテーブルの停止位置を示す平面図。
【図１３】吸着治具の第２の実施例を示す断面図。
【図１４】図１３の吸着治具を使用した場合の搭載工程を示す工程図。
【図１５】図１３の吸着治具を使用した場合の搭載工程を示す工程図。
【図１６】図１３の吸着治具を使用した場合の搭載工程を示す工程図。
【図１７】図１３の吸着治具を使用した場合の搭載工程を示す工程図。
【図１８】図１３の吸着治具を使用した場合の搭載工程を示す工程図。
【図１９】図１３の吸着治具を使用した場合の搭載工程を示す工程図。
【図２０】吸着治具の第３の実施例を示す断面図。
【図２１】吸着治具の第４の実施例を示す断面図。
【図２２】吸着治具の第５の実施例を示す断面図。
【図２３】吸着治具の第６の実施例を示す断面図。
【図２４】吸着治具の第７の実施例を示す断面図。
【図２５】図２４に示す吸着治具の動作説明図。
【図２６】吸着治具の第８の実施例を示す断面図。
【図２７】図２６に示す吸着治具の動作説明図。
【図２８】はんだボール供給装置の第２の実施例を示す断面図。
【図２９】吸着治具に対するはんだボールの整列方法を示す説明図。
【図３０】吸着治具に対するはんだボールの整列方法を示す説明図。
【図３１】吸着治具に対するはんだボールの整列方法を示す説明図。
【図３２】吸着治具に対するはんだボールの整列方法を示す説明図。
【図３３】フラックス供給装置の第２の実施例を示す斜視図。
【図３４】図３３に示すフラックス供給装置を使用した場合の工程図。
【図３５】図３３に示すフラックス供給装置を使用した場合の工程図。
【図３６】図３３に示すフラックス供給装置を使用した場合の工程図。
【図３７】フラックス供給装置の第３の実施例を示す断面図。
【図３８】図３７に示すフラックス供給装置を使用した場合の工程図。
【図３９】図３７に示すフラックス供給装置を使用した場合の工程図。
【図４０】フラックス供給装置の第３の実施例の変形例を示す断面図。
【図４１】フラックス供給装置の第３の実施例の変形例を示す断面図。
【図４２】フラックス供給装置の第４の実施例を示す断面図。
【図４３】フラックス供給装置の第５の実施例を示す断面図。
【図４４】抵抗板のフラックスの濡れ上がり防止効果を示す特性図。
【図４５】フラックス供給装置の第６の実施例を示す断面図。
【図４６】フラックス供給装置の第７の実施例を示す断面図。
【図４７】フラックス供給装置の第８の実施例を示す断面図。
【図４８】はんだボールの整列検査方法を示す概略図。
【図４９】図４８におけるはんだボール付近の拡大図。
【図５０】図４８におけるはんだボールの底面図。
【図５１】はんだボールを基板のパッド上に搭載する状態を示す側面図。
【図５２】はんだの濡れ拡がりを示す拡大図。
【図５３】はんだバンプ形成装置の第３の実施の形態を示す全体構成図。
【図５４】図５３における工程のフローチャート図。
【図５５】はんだバンプ形成方法の第４の実施の形態を示すフローチャート図。
【図５６】はんだボールの平坦化工程の第１の形態を示す工程図。
【図５７】底面が平坦化されたはんだボールの検出方法を示す側面図。
【図５８】底面が平坦化されたはんだボールの検出方法を示す底面図。
【図５９】平坦化されたはんだボールを基板に搭載した状態を示す拡大図。
【図６０】はんだボールのリフロー時の状態を示す拡大図。
【図６１】はんだボールのリフロー後の状態を示す拡大図。
【図６２】はんだボールの平坦化工程の第２の形態を示す工程図。
【図６３】はんだボールの平坦化工程の第３の形態を示す工程図。
【図６４】図６３の断面図。
【図６５】本発明を適用する電子部品の一例を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図。
【図６６】従来のはんだボール搭載装置の平面図。
【図６７】図６６の正面図。
【図６８】図６６における吸着治具の断面図。
【図６９】はんだボールに対するフラックスの濡れ上がり状態を示す拡大図。
【図７０】基板が傾いている場合に発生するはんだボールのずれを示す拡大図。
【図７１】フラックス偏りによるはんだボールの位置ずれを示す拡大図。
【図７２】はんだボールのリフロー時の状態を示す拡大図。
【符号の説明】
１  …ベース、  ４１  …テーブル、  ５０  …吸着治具、
５５  …シリンダ、  ５６  …プレート、  ５９  …はんだボールホッパ、
６１  …はんだボール、  ６９  …スキージ、  ７０  …フラックス、
７５  …パッケージ、  ８０、８１、８２、８３  …ＣＣＤカメラ、
８４  …画像処理装置、  ８５  …制御装置、
１０１  …はんだボール収容部、  １０２  …フラックス供給部、
１０３  …転写搭載部、  １０４  …搬送手段（ロボット）、
２００  …はんだボール供給装置、  ２０１  …フラックス供給装置、
２０２  …位置決め装置、  ３０２  …基板、  ３０５  …液膜、
３０７  …パッド、  ３０８  …円盤、  ３１０  …弾性体、
３１１  …はんだバンプ、３１２  …スキージ上下機構、  ３１４  …モータ
、  ３１６  …抵抗板、３１７  …フラックスの液槽の底部、
３１８  …フラックス槽、３１９  …抵抗板、
３２０  …多孔質材料製抵抗板、３２１  …凹み、  ３２２  …貫通孔、
４０１  …はんだボール収容部、  ４０２  …フラックス供給部、
４０３  …搭載部、４０４  …ロボット、５０１  …はんだボール容器、
５０２  …ノズル、５０３  …ブラシ、５０４  …ブレード、
５０５  …スリットエア、５０６  …吸着孔、６００  …吸着部、
６０１  …剣山部、  ６０２  …マスク、  ６０５  …剣山ピン、
６０６  …加圧ゴム、  ６０９  …吸着孔、  ６１２  …吸引口、
６１４  …ゴム、  ６１５  …樹脂フィルム、  ６１６  …パイプ剣山、
６１７  …ゴム、  ６２０  …スクリーン、  ６２２  …遮蔽プレート、
６２３  …穴、  １３０３  …照明用光源、
１３０６  …はんだボールの暗部分、  １３０７  …はんだボールの明部分、
１３０８  …剛体板、  １３１０  …レジスト膜、
１３１２  …押しつけ力の基板面方向分力、
１３１３  …押しつけ力の基板鉛直方向分力、
１３１４  …押しつけ力、  １３１５  …酸化膜、  １３１６  …異物、
１３２０  …電子部品、  ２０００  …バンプ、
２００１  …基板、  ２００２  …封止樹脂、
２００３  …パッド、  ２００４  …レジスト膜、
２００５  …ＬＳＩチップ、  ２００６  …金ワイヤ、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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【図５７】
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【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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【図６３】
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【図６４】
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【図６５】
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【図６６】
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【図６７】
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【図６８】
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【図６９】
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【図７０】
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【図７１】
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【図７２】
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