(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプラズマディスプレイパネルを投入し加熱しながら前記パネル内部の真空排気を行なう加熱炉と、投入された前記パネルに接続される真空排気系と、この真空排気系に前記パネルに設けられた排気管を接続するための排気ポートとを有するプラズマディスプレイパネルの排気装置において、前記パネルを加熱炉に投入する際、前記パネルに設けられた排気管が加熱炉のパネル投入側とその反対側になるように前記パネルを交互に配列して投入台車に載せ、そのまま投入台車ごと加熱炉に投入して前記パネル内部の真空排気を行ない、
前記パネルの排気管を真空排気系に接続するための排気ポートは、加熱炉外に突出する排気管の配列に対応して加熱炉の前記パネル投入側及びその反対側の両方に設けられ、
加熱炉の前記パネル投入側に設けられた排気ポートは、投入台車の出入りを妨げないように下方に待避動作が可能である上下動機構を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【請求項２】
前記パネルを投入台車上に交互に配列させる際、前記パネルに設けられた排気管のピッチ間隔がａとなるように前記パネルのピッチ間隔をａ／２で配列させることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【請求項３】
加熱炉の容積はそのままとし、加熱炉への前記パネルの投入数を増加させることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【請求項４】
加熱炉に投入した前記パネルの排気管は、加熱炉の前記パネル投入側及びその反対側の両方から炉壁を貫通して加熱炉外に突出していることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネルを加熱炉内に投入し、加熱しながら前記パネルの真空排気を行なうプラズマディスプレイパネルの排気装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プラズマディスプレイパネル（以下、単にパネルと呼ぶ）の製造工程には、２枚のガラス基板を重ね合わせて封着し、この封着して気密容器状となったパネルを加熱炉に投入し、加熱しながら排気管を介してパネルの内部を真空排気する工程がある。排気管は直径６ｍｍ程度のガラス管からなり、あらかじめその一端がフリット材によってパネルに取り付けられている。そして、特開平１０−２１８３２号公報に示されているように、この排気管がそれぞれ設けられている複数のパネルを一括して加熱炉内に投入し、投入時に加熱炉外に突出する排気管の他端には真空排気系を接続して真空排気を行ない、排気が終了したのち真空排気系を放電ガス導入系に切り替えてパネル内に放電ガスを導入し、ガスバーナーを用いて排気管を封止切り（チップオフ）し、パネルを製造している。
【０００３】
上記した排気工程に使用する従来のパネルの排気装置の構成を、図３を用いて説明する。図３に示すように、従来の排気装置１０は、投入されたパネル２を加熱しながら排気を行なう加熱炉７と、あらかじめパネル２に設けられた排気管１に接続される真空排気系８を有し、真空排気系８にはパネル２の真空排気を行なうターボポンプ等と、真空排気後パネル２に放電ガスを導入する放電ガス導入系が設けられている。加熱炉７に投入されたパネル２にあらかじめ設けられている排気管１は、開閉扉６ｂに開けられた切欠きを通して加熱炉７外に突出し、排気ポート４ｂを介して真空排気系８に接続されている。
【０００４】
加熱炉７にパネル２を投入する際には、まず、図４の平面図に示すように、排気管１を有する複数のパネル２をピッチ間隔ａで垂直に立てて平行に配列し、排気管１がパネル２の投入方向（図３の矢印方向）を向くようにして投入台車３に載せて支持部材９で固定する。この投入台車３をリフター５で持ち上げ、リフター５を排気装置に接近させて開閉扉６ａを開き、パネル２を投入台車３ごと加熱炉７に投入する。この際、パネル２に設けられた排気管１の他端は、開閉扉６ｂを閉めた時に開閉扉６ｂに開けられている切欠きを貫通して加熱炉７の外に突出し、この突出した排気管１の他端を排気ポート４ｂに接続することによってパネル２が真空排気系８に接続される。
【０００５】
その後、加熱炉７を温度上昇させ、パネル２を加熱しながらパネル内部を真空排気し、排気が終了したのち真空排気系８を放電ガス導入系に切り替えてパネル内部に放電ガスを導入する。導入後、排気管１のチップオフを行なって排気作業を終了する。
【０００６】
このように構成されている従来の排気装置１０においては、加熱炉７に一度に投入できるパネル２の枚数は、排気管１のチップオフ作業を行なう時のガスバーナーの操作に要する作業空間を維持しなければならないため、加熱炉７の容積によってその枚数が決められてしまう。そこで、投入数を増やすためには加熱炉７を大型化するか、または、パネル２の配列ピッチ間隔を狭くして投入台車３に多くのパネル２を載せるかと言うことになるが、大型化は設備費用の増大となり、ピッチ間隔の狭小化はチップオフ時の作業空間が維持できなくなるため作業が困難になり、いずれも現実的ではない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
この従来のパネルの排気装置１０によれば、排気管１と排気ポート４ｂとの接続作業、あるいは排気管１のチップオフ作業など、加熱炉７を長時間停止させて行なう作業があり、また、加熱炉７の温度を下げるのに長時間を要することから加熱炉７の稼働率が悪く、その結果、パネルの生産性が上がらないと言う問題を抱えている。
【０００８】
そのためには、加熱炉へ一度に投入できるパネルの数を増やし、生産性を高めることが求められている。しかし、一度に投入する数を増やそうとすれば、上記したように加熱炉７を大型化するか、または、加熱炉７の大きさはそのままで投入パネルのピッチ間隔を詰めてチップオフ作業に必要な作業空間を狭めるしかない。その結果、新たな問題として、設備費用の増大あるいは作業効率の低下と言った問題が発生するに至っている。
【０００９】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、加熱炉は容積を大型化することなく従来と同じ大きさのものを使用し、加熱炉にパネルを投入する際のパネルの配列方法ならびに投入されたパネルの排気管に対応する排気ポートの配置に工夫を凝らすことによって、一度に投入するパネル数を増やすことができるパネルの排気装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数のパネルを投入し加熱しながらパネル内部の真空排気を行なう加熱炉と、投入されたパネルに接続される真空排気系と、この真空排気系にパネルに設けられた排気管を接続するための排気ポートとを有するパネルの排気装置において、パネルを加熱炉に投入する際、パネルに設けられた排気管が加熱炉のパネル投入側とその反対側になるようにパネルを交互に配列して投入台車に載せ、そのまま投入台車ごと加熱炉に投入してパネル内部の真空排気を行なうようにしたパネルの排気装置である。
【００１１】
また、本発明は、パネルを投入台車上に交互に配列させる際、パネルに設けられた排気管のピッチ間隔がａとなるようにパネルのピッチ間隔をａ／２で配列させることによって、加熱炉の容積はそのままとして加熱炉へのパネルの投入数を増加させるようにしている。
【００１２】
また、本発明は、加熱炉に投入したパネルの排気管が、加熱炉のパネル投入側及びその反対側の両方から炉壁を貫通して加熱炉外に突出するようにし、また、パネルの排気管を真空排気系に接続するための排気ポートは、加熱炉外に突出する排気管の配列に対応して加熱炉のパネル投入側及びその反対側の両方に設けられており、特に、加熱炉のパネル投入側に設けられた排気ポートは、投入台車の出入りを妨げないように下方に待避動作が可能である上下動機構を備えている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。図１は、本発明のパネルの排気装置における一実施の形態を示す構成図である。また、図２は、加熱炉に投入する時のパネルの配列状態を示す平面図である。なお、従来技術と同じ部品は、同じ符号を用いて説明する。
【００１４】
まず、本発明の特徴である加熱炉への投入時のパネルの配列状態は、図２に示すように、パネル２に設けられている排気管１が加熱炉７の投入側Ａとその反対側Ｂとなるように交互にパネル２の向きを変えて投入台車３上に垂直に立てて平行に配列されている。すなわち、パネル投入時に、排気管１が加熱炉７の両側（Ａ及びＢ側）から炉壁を貫通して炉外に突出するようにパネル２を配列させたことによって、排気管１のピッチ間隔ａを維持したままパネル同士のピッチ間隔をａ／２と半分にし、パネル２の投入数を増加させている。
【００１５】
このように配列したパネルを真空排気するための本発明の排気装置１０ａの構造について説明する。図１に示すように、本発明の排気装置１０ａは、投入されたパネル２を加熱しながらパネル内部の排気を行なう加熱炉７と、あらかじめパネル２に設けられた排気管１に接続される真空排気系８とを有し、真空排気系８は、この真空排気系８に切り替え可能に配管接続された放電ガス導入系（図示せず）を備え、パネル２の真空排気が終了した後、パネル内部に放電ガスを導入するようになっている。
【００１６】
加熱炉７のパネル投入側Ａ及びその反対側Ｂには、上下方向に開閉する開閉扉６ａ、６ｂが設けられ、扉を閉めた時に排気管１が当たらないようにそれぞれの扉には切欠きが設けられている。また、扉から炉外に突出する排気管１は、それぞれ排気ポート４ａ、４ｂを介して真空排気系８に接続される。各排気ポートの真空排気系８側にはフレキシブル配管が接続され、また、各排気ポートの排気管１側にはＯリングが設けられ、加熱時にガラス管である排気管１に加わる熱応力や接続時の位置ずれによる歪みを吸収できるようになっており、さらに各排気ポート自身も水平方向、上下方向に移動できる構造となっている。
【００１７】
ここで、加熱炉７のパネル投入側Ａに設置された排気ポート４ａは、パネル２を加熱炉７内に出し入れする時に投入台車３の妨げとなるため、パネル２の投入及び搬出時には下側に待避する手段が必要となる。そのため、排気ポート４ａの下部には上下動機構（図示せず）、例えばエアシリンダーを設置し、パネル２の投入及び搬出時には排気ポート４ａを降下させて投入台車３の出入りを妨げないようにし、真空排気時には上昇させてパネル２の排気管１との接続を可能にしている。
【００１８】
また、真空排気系８はターボポンプ等で構成され、この真空排気系８との間で配管が切替え可能に設けられている放電ガス導入系には、ネオン、キセノン等の放電ガス用ボンベが備えられている。この真空排気系８は、図１では２個所に設置されているが、１個所にまとめてもよい。
【００１９】
次に、上記した本発明の一実施の形態の動作について、図１を用いて説明する。図１に示すように、パネル２の内部を排気するために、あらかじめ２枚のガラス基板を封止してなる気密容器に排気管１を設けたパネル２が、投入台車３の上に排気管１を投入側Ａとその反対側Ｂになるように交互に配列して垂直かつ平行に立てて載せられ、支持部材９で固定されている。このパネル配列状態は図２で説明したとおりである。
【００２０】
次いで、このパネル２が載置された投入台車３をリフター５で持ち上げて排気装置に向けて移動（水平矢印方向）させ、開閉扉６ａを開いて投入台車３ごとパネル２を加熱炉７中に投入する。この時、排気ポート４ａは投入台車３と接触しないように下段に降下しており、投入台車３が通過した後上昇して元の位置に戻る。そして、パネル投入後は扉を降ろし、開閉扉６ａから加熱炉７外に突出した投入側Ａの排気管１は排気ポート４ａに接続され、また、開閉扉６ｂから加熱炉７外に突出した反対側Ｂの排気管１は排気ポート４ｂにそれぞれ接続される。
【００２１】
次いで、加熱炉７によりパネル２を加熱しながらパネル２内を真空排気系８のロータリーポンプ等で真空排気し、排気が終了した後、真空排気系８を放電ガス導入系に切り替えてパネル２内にアルゴンなどの放電ガスを導入し、その後、排気管１のチップオフを行なって真空排気作業を終了する。終了後は排気ポート４ａを降下させ、投入台車３ごとパネル２を搬出する。
【００２２】
このように、本発明は、パネル２を投入台車３に搭載する際、排気管１の向きが加熱炉７への投入側Ａとその反対側Ｂになるように交互に配列したことによって、例えば、図４に示したように、従来はピッチ間隔ａで５枚のパネル２を配列していたのに対し、本発明では、さらに５枚のパネル２を追加し、その際パネル２の向きを交互に反対にしてピッチ間隔ａ／２で配列し、排気管１が５本ずつ反対側を向くようにしたので合計１０枚のパネル２を搭載できるようになった。その結果、加熱炉７の大きさはそのままで排気ポート４ａをパネル投入側に増設するだけで済み、排気管１のピッチ間隔ａもそのまま維持できるのでチップオフ時の作業空間が得られ、作業の妨げにならない。また、同一容量の加熱炉に２倍のパネル数の投入が可能になり、加熱炉を大型化することなく生産性及び消費電力を改善することができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上述べてきたように、本発明によれば、加熱炉にパネルを投入する際、パネルの排気管がパネル投入側とその反対側となるようにパネルを交互に配列して加熱炉の両側に配置するようにしたので、排気管のピッチ間隔はそのままで、パネルのピッチ間隔を半分にすることによって一度に投入するパネル数を増やすことができる。
【００２４】
その結果、加熱炉は容積を大型化することなく従来と同じ大きさのものを使用でき、また、排気管のピッチ間隔も従来のままなのでチップオフ作業に必要な作業空間を狭めることなくパネルの投入量を増やすことができ、従って設備費用を増大させることもなく、かつ作業効率を低下させることもなくパネルの生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態を示す排気装置の構成図である。
【図２】本発明の排気装置に投入するパネルの配列状態を示す平面図である。
【図３】従来の排気装置の構成図である。
【図４】従来の排気装置に投入するパネルの配列状態を示す平面図である。
【符号の説明】
１    排気管
２    パネル
３    投入台車
４ａ、４ｂ    排気ポート
５    リフター
６ａ、６ｂ    開閉扉
７    加熱炉
８    真空排気系
９    支持部材
１０、１０ａ    排気装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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