(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダチューブ（２，５０，６０，７０，８０，９１，９７）に複数のピストン孔（３，４、９８）を互いに平行に設け、各ピストン孔にピストン（３３，３８）をそれぞれ配設し、各ピストンに固定したピストンロッド（３４，３９）同士を、前記各ピストン孔の上端部側又は下端部側で互いに連結するとともに、前記各ピストン孔の上端部間及び下端部間のうち少なくともいずれか一方を連通する連通流路を設けた流体圧シリンダ装置において、
前記連通流路を、前記シリンダチューブの端面と、同端面に直接対応して前記ピストン孔を閉塞する弾性密封部材の内面との間に、同シリンダチューブ及び弾性密封部材によって形成した流体圧シリンダ装置。
【請求項２】
前記連通流路を、前記各ピストン孔の上端部側及び下端部側のうち少なくともいずれか一方において各ピストン孔同士を連絡するように前記シリンダチューブ（２）の端面に設けた凹部によって形成した請求項１に記載の流体圧シリンダ装置。
【請求項３】
前記連通流路を、前記各ピストン孔の上端部側及び下端部側のうち少なくともいずれか一方において各ピストン孔同士を連絡するように前記弾性密封部材の内面に設けた凹部によって形成した請求項１に記載の流体圧シリンダ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数のピストン孔が設けられた流体圧シリンダ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、流体圧シリンダには、シリンダチューブに互いに平行な複数のピストン孔を設け、このシリンダチューブの両端をシリンダカバーにて封止することにより、各ピストン孔をピストン室とするものがある。
【０００３】
例えば、図１４に示すエアシリンダ１００では、シリンダチューブ１０１に設けられた各ピストン孔１０２，１０３は、シリンダチューブ１０１のヘッド側の端面に固着されるヘッドカバー１０４、及び、シリンダチューブ１０１のロッド側の端面に固着されるロッドカバー１０５にて封止されている。これにより、ピストン孔１０２には、ピストン１０６にて区画されるヘッド側ピストン室１０７及びロッド側ピストン室１０８が形成されている。又、ピストン孔１０３には、ピストン１０９にて区画されるヘッド側ピストン室１１０及びロッド側ピストン室１１１が形成されている。
【０００４】
このエアシリンダ１００では、ヘッド側ポート１１２は、ヘッド側ピストン室１０７に連通するように設けられ、ヘッド側ピストン室１０７とヘッド側ピストン室１１０とは、シリンダチューブ１０１の中央部のヘッド側端部に設けられる連通流路１１３にて連通されている。そして、ヘッド側ポート１１２に供給されるエアは、先ず、ヘッド側ピストン室１０７に導入され、ヘッド側ピストン室１０８から連通流路１１３を通ってヘッド側ピストン室１１０に導入される。従って、ヘッド側ポート１１２にエアが供給されると、両ヘッド側ピストン室１０７，１１０に対してエアが導入され、両ピストン１０６，１０９が同時的にロッド側に駆動される。
【０００５】
同様に、ロッド側ポート１１４は、ロッド側ピストン室１０８に連通するように設けられ、両ロッド側ピストン室１０８，１１１は、シリンダチューブ１０１の中央部のロッド側端部に設けられる連通流路１１５にて連通されている。
【０００６】
この各連通流路１１３，１１５は、押し出し成形等で形成されたシリンダチューブ１０１に、フライス加工等の二次加工により形成されている。
又、各連通流路１１３，１１５はシリンダチューブ１０１の両端部に設けられるが、ストロークエンドに移動した各ピストン１０６，１０９にて各連通流路１１３，１１５が塞がれないように、各ピストン１０６，１０９の外周面の各端部には、各連通流路１１３，１１５を避けるための段差部１１６，１１７が形成されている。
【０００７】
この他、エアシリンダには、流路１１３，１１５をシリンダチューブ１０１に設ける代わりに、ヘッドカバー１０４、ロッドカバー１０５の内部に連通流路を形成したタイプの流体圧シリンダもある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、エアシリンダ１００では、ポート１１２から供給されるエアが両ロッド側ピストン室１０７，１１０に同じ量だけ導入されるように、又、ポート１１４供給されるエアが両ヘッド側ピストン室１０８，１１１に同じ量だけ導入されるように、各連通流路１１３，１１５の流路断面積をできるだけ大きくすることが望ましい。何故なら、両ヘッド側ピストン室１０７，１１０、又は、両ロッド側ピストン室１０８，１１１に導入されるエアの量に大きな差があると、両方のピストン１０６，１０９が同時的に駆動されないため、連結された両ピストンロッド１１８，１１９がスムーズに駆動されなくなるからである。
【０００９】
ところが、流路断面積を大きくするために各連通流路１１３，１１５の内径を大きく形成すると、各ピストン１０６，１０９の各段差部１１６，１１７の軸線方向の長さを大きくする必要がある。すると、各ピストン１０６，１０９の軸線方向の長さが長くなるため、所定のピストンストロークを得るために必要なシリンダチューブ１０１の長さが長くなる。このため、エアシリンダ１００が大型化する問題がある。
【００１０】
従って、各連通流路１１３，１１５は、内径を小さく、深い孔加工により形成しなければならないため、加工が難しく長い加工時間を必要としている。
各シリンダカバー１０４，１０５に連通流路を設けるタイプのエアシリンダにおいても、各シリンダカバー１０４，１０５の内部に連通流路を孔あけ加工により形成するため、やはり加工が困難であった。
【００１１】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、連通流路の加工が容易な流体圧シリンダ装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため、請求項１に記載の発明は、シリンダチューブに複数のピストン孔を互いに平行に設け、各ピストン孔にピストンをそれぞれ配設し、各ピストンに固定したピストンロッド同士を、前記各ピストン孔の上端部側又は下端部側で互いに連結するとともに、前記各ピストン孔の上端部間及び下端部間のうち少なくともいずれか一方を連通する連通流路を設けた流体圧シリンダ装置において、前記連通流路を、前記シリンダチューブの端面と、同端面に直接対応して前記ピストン孔を閉塞する弾性密封部材の内面との間に、同シリンダチューブ及び弾性密封部材によって形成した。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記連通流路を、前記各ピストン孔の上端部側及び下端部側のうち少なくともいずれか一方において各ピストン孔同士を連絡するように前記シリンダチューブの端面に設けた凹部によって形成した。
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記連通流路を、前記各ピストン孔の上端部側及び下端部側のうち少なくともいずれか一方において各ピストン孔同士を連絡するように前記端面部材の内面に設けた凹部によって形成した。
【００１５】
従って、請求項１に記載の発明によれば、シリンダチューブの端面、及びシリンダチューブ端面に直接対応する弾性密封部材の内面のうち少なくともいずれか一方に対して、複数のピストン孔の上端部間及び下端部間のうち少なくともいずれか一方を連通する連通流路を形成するための加工を施すことにより、同連通流路が形成される。従って、より簡単な加工により、連通流路を形成することができる。
【００１６】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明の作用に加えて、シリンダチューブの端面に各ピストン孔同士を連絡する凹部を形成することにより、連通流路を形成することができる。
請求項３に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明の作用に加えて、シリンダチューブの端面に対して直接対応する端面部材の内面に各ピストン孔同士を連絡するための凹部を形成することにより、連通流路を形成することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
〔第１の実施の形態〕
以下、本発明をエアシリンダに実施した第１の実施の形態を図１及び図２に従って説明する。
【００１９】
図１に示すように、エアシリンダ１は、シリンダチューブ２を備えている。シリンダチューブ２には、互いに平行な一対のピストン孔３，４が貫通形成されている。図２に示すように、シリンダチューブ２のロッド側（端面）には、両ピストン孔３，４を連絡するように凹部５が形成されている。この凹部５の底面には、両ピストン孔３，４を連絡するように、凹部５よりも幅の狭い連通流路としての凹部６が形成されている。尚、この凹部６は、前記凹部５の幅一杯まで拡張可能である。シリンダチューブ２のヘッド側（端面）にも、同様に、凹部７が形成され、凹部７の底面には連通流路としての凹部８が形成されている。
【００２０】
シリンダチューブ２のヘッド側の端部には、ウレタンゴムにて形成される端面部材及び弾性密封部材としてのヘッド側シール部材９が配設されている。ヘッド側シール部材９は、前記凹部７内に嵌合する嵌合部１０と、嵌合部１０にフランジ状に形成され、シリンダチューブ２のヘッド側の端面に沿って配設されるシール部１１とから構成されている。ヘッド側シール部材９には、ピストン孔３に連通する流路１２が貫通形成されている。
【００２１】
シリンダチューブ２のヘッド側の端面には、ヘッドカバー１３が固着されている。このヘッドカバー１３には、前記ヘッド側シール部材９のシール部１１を収容する凹部１４が形成されている。ヘッドカバー１３にはヘッド側ポート１５が設けられ、このヘッド側ポート１５にはヘッド側シール部材９の流路１２に連通する流路１６が形成されている。
【００２２】
又、シリンダチューブ２のロッド側の端部には、ウレタンゴムにて形成される端面部材及び弾性密封部材としてのロッド側シール部材１７が配設されている。ロッド側シール部材７は、凹部５に嵌合する嵌合部１８と、この嵌合部１８にフランジ状に形成され、シリンダチューブ２のロッド側の端面に沿って配設されるシール部１９とから構成されている。ロッド側シール部材１７には一対のロッド孔２０，２１が形成されている。又、ロッド側シール部材１７には、ピストン孔３に連通する流路２２が形成されている。
【００２３】
シリンダチューブ２のロッド側の端面には、ロッドカバー２３が固着されている。このロッドカバー２３には、前記ロッド側シール部材１７のシール部１９を収容する凹部２４（図１に図示）が形成されている。ロッドカバー２３には、一対のロッド孔２５，２６が形成されている。又、ロッドカバー２３には、ロッド側ポート２７が設けられ、このロッド側ポート２７にはロッド側シール部材１７の流路２２に連通する流路２８が形成されている。
【００２４】
前記シリンダチューブ２、ヘッドカバー１３及びロッドカバー２３にて、ピストン孔３にピストン室２９が、ピストン孔４にピストン室３０がそれぞれ形成されている。
【００２５】
図１に示すように、ピストン室２９には、ピストン室２９をヘッド側ピストン室３１及びロッド側ピストン室３２に区分するピストン３３が配設されている。このピストン３３には、前記各ロッド孔２０，２５を挿通して外部に延出するピストンロッド３４が固着されている。又、ピストン３３の外周面両端には、各凹部６，８を封止しないための段差部３５が形成されている。同様に、ピストン室３０には、ピストン室３０をへッド側ピストン室３６及びロッド側ピストン室３７に区分するピストン３８が配設されている。このピストン３８には前記各ロッド孔２１，２６を挿通して外部に延出するピストンロッド３９が固着されている。又、ピストン３８の外周面両端には、各凹部６，８を封止しないための段差部４０が形成されている。各ピストンロッド３４，３９の先端には、各ピストンロッド３４，３９の各先端部を連結する連結部材４１が設けられている。
【００２６】
従って、各ヘッド側ピストン室３１，３６の間には、凹部８及びヘッド側シール部材９にて連通流路が構成されている。同様に、各ロッド側ピストン室３２，３７の間には、凹部６及びロッド側シール部材１７にて連通流路が構成されている。本実施の形態では、各ヘッド側ピストン室３１，３６にて第１のピストン室が構成され、各ロッド側ピストン室３２，３７にて第２のピストン室が構成されている。
【００２７】
次に、以上のように構成されたエアシリンダ１の作用について説明する。
各ヘッド側ピストン室３１，３６間の連通流路を形成するには、押し出し成形にて形成されたシリンダチューブ２のヘッド側の端面に凹部８を切削加工にて形成する。又、各ロッド側ピストン室３２，３７間の連通流路を形成するには、シリンダチューブ２のロッド側の端面に凹部６を切削加工にて形成する。従って、シリンダチューブ２又はシリンダカバー１３，２３に対して径が小さい孔からなる流路を孔あけ加工により形成する場合に比較して、容易に加工形成することが可能になる。又、ピストン孔３，４の軸線に対して垂直方向に拡がるように凹部６，８を形成することができるため、軸線方向の長さが大きくなく流路断面積の大きな連通流路を形成することができる。
【００２８】
さて、エアシリンダ１が、図１に示す状態にあるときに、ヘッド側ポート１５にエアを供給すると、エアは流路１６からヘッド側ピストン室３１に導入される。さらに、ヘッド側ピストン室３１に導入されたエアは、凹部８及びヘッド側シール部材９にて形成される連通流路を通ってヘッド側ピストン室３６に導入される。このとき、連通流路の流路断面積が大きいため、エアが効率良くヘッド側ピストン室３６に導入される。
【００２９】
その結果、両ヘッド側ピストン室３１，３６に導入されるエアの量の差が小さくなるため、両ピストン３３，３８に作用するエアの圧力差が小さくなる。このため、各ピストン３３，３８に対してヘッド側方向に作用する力の差が小さくなる。
【００３０】
両ピストン３３，３８がヘッド側に駆動されると、ロッド側ピストン室３２のエアがロッド側ポート２７から排気される。同時に、ロッド側ピストン室３７のエアが凹部６及びロッド側シール部材１７にて形成される連通流路を通ってヘッド側ピストン室３２に排気される。このとき、この連通流路の流路断面積が大きいため、エアが効率良くヘッド側ピストン室３２に排気される。
【００３１】
その結果、両ヘッド側ピストン室３２，３７から排気されるエア量の差が小さくなるため、両ピストン３３，３８に作用するエアの圧力差が小さくなる。このため、各ピストン３３，３８に対してロッド側方向に作用する力の差が小さくなる。従って、各ピストン３３，３８に作用する駆動力の差が小さいため、両ピストン３３，３８は同時的にロッド側に駆動される。その結果、連結部材４１にて連結された両ピストンロッド３４，３９がスムーズにロッド側に駆動される。
【００３２】
反対に、両ピストン３３，３８が各ピストン室２９，３０のロッド側の端部にある状態で、ロッド側ポート２７にエアが供給されると、ロッド側ピストン室３２に導入されたエアが凹部６とロッド側シール部材１７にて構成される連通流路を通ってロッド側ピストン室３７に効率良く導入される。一方、ヘッド側ピストン室３６のエアが凹部８とヘッド側シール部材９にて構成される連通流路を通ってヘッド側ピストン室３１に効率良く排気される。その結果、上記の場合と同様に、両ピストン３３，３８が同時的にヘッド側に駆動されるため、両ピストンロッド３４，３９がスムーズにヘッド側に駆動される。
【００３３】
以上詳述したように、本実施の形態のエアシリンダ１によれば、以下の効果を得ることができる。
（ａ）  ヘッド側ピストン室３１，３６間の連通流路を、ヘッド側の端面に形成した凹部８にて構成した。従って、シリンダチューブ２のヘッド側の端面を切削加工するだけで、両ヘッド側ピストン室３１，３６の連通流路を形成することができる。同様に、ロッド側ピストン室３２，３７間の連通流路を、ロッド側の端面に形成した凹部６にて構成した。従って、シリンダチューブ２のロッド側の端面を切削加工するだけで、両ロッド側ピストン室３２，３７間の連通流路を形成することができる。その結果、各ヘッド側ピストン室３１，３６間、及び、各ロッド側ピストン室３２，３７間の各連通流路を容易な加工で形成することができる。
【００３４】
（ｂ）  各凹部６，８を、各ピストン孔３，４に対して垂直方向に拡がるように容易に加工することができるため、流路断面積の大きい連通流路を各ピストン孔３，４の軸線方向に拡大することなく形成することができる。その結果、各連通流路の流路断面積を大きくしても、各ピストン３３，３８の段差部３５，４０の軸線方向の長さを大きくする必要がない。従って、シリンダチューブ２ひいてはエアシリンダ１の軸線方向の長さを拡大することなく、流路断面積の大きな連通流路を容易に加工形成することができる。
【００３５】
（ｃ）  エアシリンダ１のヘッド側及びロッド側に、それぞれ流路断面積の大きな連通流路を設けたので、両ピストン３３，３８をヘッド側からロッド側に、あるいは、ロッド側からヘッド側に駆動する際に、各ピストン３３，３８に作用する駆動力を一層均等にすることができる。
【００３６】
（ｄ）  従来のエアシリンダのように、各ヘッド側ピストン室３１，３６間、又は、各ロッド側ピストン室３２，３７間の連通流路を、シリンダチューブ２への孔あけ加工により形成しないので、シリンダチューブ２の外周側に不要な孔が形成されることはない。このため、孔あけ加工後に、その不要な孔に鋼球を圧入してその孔を封止する必要がなくなる。従って、鋼球の圧入作業を廃止することができるとともに、鋼球を不要にすることができる。
【００３７】
〔第２の実施の形態）
次に、本発明の参考例としてのエアシリンダを図３及び図７（ａ）に従って説明する。尚、本参考例のエアシリンダ１は、前記第１の実施の形態のエアシリンダ１において、シリンダチューブ２をシリンダチューブ５０に、シール部材１３，１７をＯリング５１，５４に、及び、シリンダカバー１３，２３をシリンダカバー５２，５５にそれぞれ変更したことのみが、第１の実施の形態と異なる。従って、シリンダチューブ５０、Ｏリング５１，５４、ヘッドカバー５２及びロッドカバー５５のみを詳述し、同一の構成についてはその符号を同じにして説明を省略する。
【００３８】
図３に示すように、シリンダチューブ５０には、ピストン孔３，４のみが形成されている。
図７（ａ）に示すように、シリンダチューブ５０のヘッド側の端面には、ヘッド側Ｏリング５１を介在して、端面部材及びシリンダカバーとしてのヘッドカバー５２が固着されている。このヘッドカバー５２（内面）には、各ヘッド側ピストン室３１，３６を連通する連通流路としての凹部５３が形成されている。
【００３９】
同様に、シリンダチューブ５０のロッド側の端面には、ロッド側Ｏリング５４を介在して、端面部材及びシリンダカバーとしてのロッドカバー５５が固着されている。このロッドカバー５５（内面）には、各ロッド側ピストン室３２，３７を連通する連通流路としての凹部５６が形成されている。
【００４０】
さて、このエアシリンダ１において、各ヘッド側ピストン室３１，３６間の連通流路を形成するには、ヘッドカバー５２の端面に凹部５３を切削加工にて形成する。同様に、各ロッド側ピストン室３２，３７間の連通流路を形成するには、ロッドカバー５５の端面に凹部５６を切削加工にて形成する。従って、シリンダチューブ２又はシリンダカバー５２，５５に対して連通流路を孔あけ加工にて形成する場合に比較して、容易に加工形成することが可能になる。又、各ピストン孔３，４の軸線に対して垂直方向に拡がるように凹部５３，５６を形成することができるため、軸線方向の長さが大きくなく流路断面積の大きな連通流路を形成することができる。
【００４１】
ヘッド側ポート１５にエアを供給すると、エアはヘッド側ピストン室３１から凹部５３及びシリンダチューブ５０にて形成される連通流路を通ってヘッド側ピストン室３６に効率良く導入される。一方、ロッド側ピストン室３７のエアが凹部５６及びシリンダチューブ５０にて形成される連通流路を通ってロッド側ピストン室３２に効率良く排気される。その結果、両ピストン３３，３８が同時的にロッド側に駆動される。
【００４２】
又、ロッド側ポート２７にエアを供給すると、エアはロッド側ピストン室３２から凹部５６及びシリンダチューブ５０にて形成される連通流路を通ってロッド側ピストン室３７に効率良く導入される。一方、ヘッド側ピストン室３６のエアが凹部５３及びシリンダチューブ５０にて形成される連通流路を通ってヘッド側ピストン室３１に効率良く排気される。その結果、両ピストン３３，３８が同時的にヘッド側に駆動される。
【００４３】
以上詳述したように、本参考例のエアシリンダ１によれば、第１の実施の形態の効果（ｃ），（ｄ）の他に、以下の効果を得ることができる。
（ａ）  ヘッド側ピストン室３１，３６間の連通流路を、ヘッドカバー５２に形成した凹部５３にて構成した。従って、ヘッドカバー５２の端面を切削加工するだけで、両ヘッド側ピストン室３１，３６間の連通流路を形成することができる。同様に、ロッド側ピストン室３２，３７間の連通流路を、ロッドカバー５５に形成した凹部５６にて構成した。従って、ロッドカバー５５の端面を切削加工するだけで、両ロッド側ピストン室３２，３７間の連通流路を形成することができる。その結果、各ヘッド側ピストン室３１，３６間、及び、各ロッド側ピストン室３２，３７間の各連通流路を容易な加工で形成することができる。
【００４４】
（ｂ）  各凹部５３，５６を、各ピストン孔３，４の軸線に対して垂直方向に拡がるように容易に加工することができるため、流路断面積の大きい連通流路を各ピストン孔３，４の軸線方向に拡大することなく形成することができる。従って、エアシリンダ１の軸線方向の長さを拡大することなく、流路断面積の大きな連通流路を容易に加工形成することができる。
【００４５】
〔第２の実施の形態）
次に、本発明を具体化した第２の実施の形態を図４及び図７（ｂ）に従って説明する。尚、本実施の形態のエアシリンダは、前記第１の実施の形態のエアシリンダ１において、シリンダチューブ２をシリンダチューブ６０に変更し、ヘッド側シール部材９及びロッド側シール部材１７の一部を変更したことのみが、第１の実施の形態と異なる。従って、シリンダチューブ６０、ヘッド側シール部材９及びロッド側シール部材１７のみを詳述し、同一の構成についてはその符号を同じにして説明を省略する。
【００４６】
図４に示すように、シリンダチューブ６０のヘッド側の端面には、凹部７のみが形成されている。同様に、シリンダチューブ６０のロッド側端面には、凹部５のみが形成されている。
【００４７】
図７（ｂ）に示すように、ヘッド側シール部材９の嵌合部１０（内面）には、ヘッド側ピストン室３１とヘッド側ピストン室３６とを連通する連通流路としての凹部６１が形成されている。
【００４８】
同様に、ロッド側シール部材１７の嵌合部１８（内面）には、ロッド側ピストン室３２とロッド側ピストン室３７とを連通する連通流路としての凹部６２が形成されている。
【００４９】
さて、このエアシリンダ１において、各ヘッド側ピストン室３１，３６間の連通流路を形成するには、ヘッド側シール部材９を成形加工する際に、凹部６１を同時に成形する。同様に、各ロッド側ピストン室３２，３７間の連通流路を形成するには、ロッド側シール部材１７を成形加工する際に、凹部６２を同時に成形する。従って、シリンダチューブ６０又は各シリンダカバー１３，２３への二次加工が不要になる。
【００５０】
このエアシリンダ１においては、ヘッド側ピストン室３１とヘッド側ピストン室３６との間におけるエアの給排気が、凹部６１及びシリンダチューブ６０にて形成される連通流路を介して効率良く行われる。又、ロッド側ピストン室３２とロッド側ピストン室３７との間におけるエアの給排気が、凹部６２及びシリンダチューブ６０にて形成される連通流路を介して効率良く行われる。
【００５１】
以上詳述したように、本実施の形態のエアシリンダ１によれば、第１の実施の形態の効果（ｃ），（ｄ）の他に、以下の効果を得ることができる。
（ａ）  ヘッド側ピストン室３１，３６間の連通流路を、シリンダチューブ６０とヘッドカバー１３との間に介在されるヘッド側シール部材９に形成した凹部６１にて構成した。従って、ヘッド側シール部材９の成形時に、凹部６１を同時に成形するだけで、両ヘッド側ピストン室３１，３６間の連通流路を形成することができる。同様に、ロッド側ピストン室３２，３７間の連通流路を、シリンダチューブ６０とロッドカバー２３との間に介在されるロッド側シール部材１７に形成した凹部６２にて構成した。従って、ヘッド側シール部材１７の成形時に、凹部６２を同時に成形することにより、両ヘッド側ピストン室３２，３７間の連通流路を形成することができる。その結果、シリンダチューブ６０又は各シリンダカバー１３，２３に切削等の二次加工を行うことなく、各ヘッド側ピストン室３１，３６間、及び、各ロッド側ピストン室３２，３７間を連通する流路を形成することができる。
【００５２】
（ｂ）  各凹部６１，６２を、各ピストン孔３，４の軸線に対して垂直方向に拡がるように容易に加工することができるため、流路断面積の大きい連通流路を各ピストン孔３，４の軸線方向に拡大することなく形成することができる。従って、エアシリンダ１の軸線方向の長さを拡大することなく、流路断面積の大きな連通流路を容易に加工形成することができる。
【００５３】
尚、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、以下のように構成することもできる。
（１）  図５に示すように、シリンダチューブ７０には、そのロッド側の端面及びヘッド側の端面に、両ピストン孔３，４を連絡するようにそれぞれ溝７１，７２（凹部）を設ける。ロッド側シール部材７３には、各ピストン孔３，４及び溝７１に嵌合する嵌合部７４を設ける。同様に、ヘッド側シール部材７５には、各ピストン孔３，４及び溝７２に嵌合する嵌合部７６を設ける。但し、嵌合部７４の厚さは溝７１の深さよりも短くし、嵌合部７６の厚さは溝７２の深さよりも短くする。
【００５４】
図８（ａ）に示すように、このヘッド側シール部材７５を、シリンダチューブ７０とヘッドカバー７８との間に介在させてシリンダチューブ７０とヘッドカバー７８とを固着することにより、溝７２の底部及びヘッド側シール部材７５にて構成される連通流路を形成する。同様に、ロッド側シール部材７３を、シリンダチューブ７０とロッドカバー７７との間に介在させてシリンダチューブ７０とロッドカバー７７とを固着することにより、溝７１の底部及びロッド側シール部材７３にて構成される連通流路を形成するようにしてもよい。
【００５５】
（２）  図６に示すように、シリンダチューブ８０には、そのロッド側の端面及びヘッド側に端面に、両ピストン孔３，４を連絡するようにそれぞれ溝８１，８２（凹部）を設ける。ロッド側シール部材８３（端面部材及び弾性密封部材）には、各ピストン孔３，４及び溝８１に嵌合する嵌合部８４を設ける。但し、嵌合部８４の溝８１に相対向する部分には、厚さが他の部分よりも薄い肉薄部８５（凹部）を形成する。同様に、ヘッド側シール部材８６（端面部材及び弾性密封部材）には、各ピストン孔３，４及び溝８２に嵌合する嵌合部８７を設ける。但し、嵌合部８７の溝８２に相対向する部分には、厚さが他の部分よりも薄い肉薄部８８（凹部）を形成する。
【００５６】
図８（ｂ）に示すように、このヘッド側シール部材８６を、シリンダチューブ８０とヘッドカバー９０との間に介在させてシリンダチューブ８０とヘッドカバー９０とを固着することにより、溝８２とヘッド側シール部材８６にて構成される連通流路を形成する。同様に、ロッド側シール部材８３を、シリンダチューブ８０とロッドカバー８９との間に介在させてシリンダチューブ８０とロッドカバー８９とを固着することにより、溝８１とロッド側シール部材８３にて構成される連通流路を形成するようにしてもよい。
【００５７】
（３）  参考例で、シリンダカバー５２，５５に凹部５３，５６を設ける代わりに、シリンダチューブ５０の各端面に、各ピストン孔３，４を連絡する溝を設け、この溝にて連通流路を構成してもよい。
【００５８】
又、凹部５３，５６と上記溝とを双方共に設け、各凹部５３，５６と各溝とにより連通流路を構成してもよい。
（４）  図９に示すように、シリンダチューブ９１のロッド側の端面にロッドカバー９２をスタッドボルト９３にて固定する場合、シリンダチューブ９１のロッド側の端面に、ロッドシール部材７３の嵌合部７４が嵌合する溝９４を形成する。この溝９４は、嵌合部７４の底面７４ａが溝９４の底面９４ａに押圧されるように形成する。そして、溝９４の底面９４ａには、スタッドボルト９３の雌ねじ孔９５の両側に両ピストン孔３，４を連絡する溝９６（凹部）を形成する。従って、図１０，１１に示すように、一対の溝９６にて、両ヘッド側ピストン室３２，３７間の連通流路が形成される。
【００５９】
（５）  図１２に示すように、シリンダチューブ９７に３つのピストン孔９８が形成される流体圧シリンダにおいて、隣合うピストン孔９８に形成される各ピストン室間の連通流路に実施してもよい。この場合には、各連通流路の流路断面積を大きくすることにより、ポートから最も離れたピストン室に対する流体の給排気を効率良く行うことができる。
【００６０】
又、４つ以上のピストン孔が形成される流体圧シリンダに実施してもよい。
（６）  シリンダチューブのヘッド側ピストン室３１，３６及びロッド側ピストン室３２，３７に対して流体の給排気を行うタイプの流体圧シリンダに限らず、例えば、図１３に示すように、各ロッド側ピストン室３２，３７に復帰用圧縮コイルばね９９を配設し、ヘッド側ピストン室３１，３６に対してのみ流体の給排気を行い、ロッド側ピストン室３２，３７を大気に開放したタイプの流体圧シリンダに実施してもよい。この構成では、各ロッド側ピストン室３２，３７間に連通流路を設けず、各ピストン室３２，３７をそれぞれ大気に開放するように構成してもよい。
【００６１】
（７）  上記各実施の形態では、ヘッド側ポート１５はヘッド側ピストン室３１に連通され、ヘッド側ピストン室３６には連通流路を介して連通されるようにした。同様に、ロッド側ポート２７はロッド側ピストン室３２に連通され、ロッド側ピストン室３７には連通流路を介して連通されるようにした。これを、例えば、図１のエアシリンダ１において、ヘッドカバー１３の中央に、凹部８にて形成される連通流路に直接連通するようにヘッド側ポート１５を設ける。同様に、ロッドカバー２３の中央に、凹部６にて形成される連通流路に直接連通するようにロッド側ポート２７を設けるようにしてもよい。この構成によれば、両ヘッド側ピストン室３１，３６又は両ロッド側ピストン室３２，３７に対して、同じ量のエアの給排気を行うことができるため、両ピストン３３，３８を高い精度で同時的に駆動することができる。
【００６２】
（８）  上記各実施の形態では、シリンダチューブ２，５０，６０のヘッド側及びロッド側の両端に、それぞれ凹部６，８、５３，５６、６１，６２にて連通流路を形成した。これを、ヘッド側又はロッド側のいずれか一方のピストン室間に設け、他方のピストン室にはそれぞれポートを設けた構成としてもよい。
【００６３】
（９）  エアシリンダ１に実施したが、エア以外の気体にて駆動される流体圧シリンダに実施してもよい。又、油等の液体にて駆動される流体圧シリンダに実施してもよい。
【００６４】
前記実施の形態から把握できる技術的思想について、以下にその効果とともに記載する。
（１）  流体圧シリンダ装置において、シリンダカバー１３，２３には、前記連通流路に連通するようにポート１５，２７を設ける。この構成によれば、各ピストン室３１，３２，３６，３７に対する流体の給排気量を一層同等にすることができる。
【００６５】
（２）  流体圧シリンダ装置において、ヘッド側又はロッド側のいずれか一方のピストン室３１，３６間に連通流路を設け、他方の各ピストン室３２，３７には、各ピストン３３，３８を連通流路にて連通される各ピストン室３１，３６側に付勢する復帰用圧縮コイルばね９５を設ける。この構成は、連通流路をシリンダチューブの一方の各ピストン室３１，３６間に設けただけで、両ピストン３３，３８を同時的に駆動する場合に効果的なものとなる。
【００６６】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１〜請求項３に記載の発明によれば、ピストン室間の連通流路の加工を容易にすることができる。
【００６７】
請求項２に記載の発明によれば、上記効果に加えて、シリンダチューブの端面に凹部を切削加工することによって連通流路を形成することができる。
請求項３に記載の発明は、上記効果に加えて、弾性密封部材の内面に凹部を切削加工することによって連通流路を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１の実施の形態のエアシリンダの断面図。
【図２】  エアシリンダの分解斜視図。
【図３】  参考例のエアシリンダの分解斜視図。
【図４】  第２の実施の形態のエアシリンダの分解斜視図。
【図５】  別例のエアシリンダの分解斜視図。
【図６】  同じくエアシリンダの分解斜視図。
【図７】  （ａ）エアシリンダの一部の断面図、（ｂ）エアシリンダの一部の断面図。
【図８】  （ａ）エアシリンダの一部の断面図、（ｂ）エアシリンダの一部の断面図。
【図９】  同じくエアシリンダの分解斜視図。
【図１０】  エアシリンダの縦断面図。
【図１１】  エアシリンダの平断面図。
【図１２】  同じくエアシリンダの分解斜視図。
【図１３】  同じくエアシリンダの断面図。
【図１４】  従来例のエアシリンダの断面図。
【符号の説明】
２，５０，６０，７０，８０，９１，９７…シリンダチューブ、３，４…ピストン孔、６，８…連通流路としての凹部、９…端面部材及び弾性密封部材としてのヘッド側シール部材、１７…端面部材及び弾性密封部材としてのロッド側シール部材、３１，３６…第１のピストン室としてのヘッド側ピストン室、３２，３７…第２のピストン室としてのロッド側ピストン室、３３，３８…ピストン、５２…端面部材及びシリンダカバーとしてのヘッドカバー、５３，５６…連通流路としての凹部、５５…端面部材及びシリンダカバーとしてのロッドカバー、６１，６２…連通流路としての凹部、７１，７２…連通流路及び凹部としての溝、８１，８２…連通流路及び凹部としての溝、８３…端面部材及び弾性密封部材としてのロッド側シール部材、８５，８８…連通流路及び凹部としての肉薄部、８６…端面部材及び弾性密封部材としてのヘッド側シール部材、９６…連通流路及び凹部としての溝、９８…ピストン孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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