(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸心の回りに回転しつつあるターゲットの外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナを各トラバース機構によって前記ターゲットの長手方向に沿ってそれぞれトラバースさせて前記ターゲットの外周に前記各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置において、
前記ターゲットと前記各バーナとを収容する反応室から独立させて前記各トラバース機構を収容するトラバース機構収容室が設けられていることを特徴とする光ファイバ母材製造装置。
【請求項２】
軸心の回りに回転しつつあるターゲットの外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナを各トラバース機構によって前記ターゲットの長手方向に沿ってそれぞれトラバースさせて前記ターゲットの外周に前記各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置において、
前記ターゲットと前記各バーナとを収容する反応室から独立させて前記各トラバース機構を収容するトラバース機構収容室が設けられ、
前記反応室内で前記各バーナは前記ターゲットの外周に対して一方側から対向され、
前記反応室には前記各バーナが配置されている側に対して前記ターゲットを間にして反対側に反応室用排気ダクトが接続され、
前記反応室を形成する反応容器と前記トラバース機構収容室を形成する隔壁との対向部分には前記各トラバース機構がトラバースする前記バーナの支持体であるバーナ支持体を貫通させるためのトラバース用スリットがトラバース方向に沿ってそれぞれ設けられ、
前記各トラバース用スリットの箇所には清浄化された空気を吹出してこの空気で該スリットを仕切ると共に前記反応室と前記トラバース機構収容室とに供給する空気吹出し口がそれぞれ設けられ、
前記トラバース機構収容室にはトラバース機構収容室用排気ダクトが接続されていることを特徴とする光ファイバ母材製造装置。
【請求項３】
大気圧をＰ0 、前記空気吹出し口の吹出し圧力をＰ1 、前記トラバース機構収容室内の圧力をＰ2 、前記反応室内の圧力をＰ3 、前記各排気ダクトの排気圧をＰ4 としたとき、これらの圧力関係が
Ｐ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4
に設定されていることを特徴とする請求項２に記載の光ファイバ母材製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、軸心の回りに回転しつつあるターゲットの外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナの火炎中で形成したガラス微粒子をターゲットの外周に堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種の光ファイバ母材製造装置は、図５に示すように、コアプリフォームよりなるターゲット１をその軸心の回りに回転させるターゲット支持機構２を備えている。該ターゲット支持機構２はＵ型フレーム３を有し、該Ｕ型フレーム３の両対向端にはターゲット１を支持するチャック４ａ，４ｂが回転自在に支持されている。一方のチャック４ａはモータ５で回転されるようになっており、このチャック４ａの回転によりターゲット１がその軸心の回りに回転されるようになっている。
【０００３】
このようにして回転するターゲット１の外周には、複数のバーナ６ａ，６ｂが一方の側から対向されている。
【０００４】
これらバーナ６ａ，６ｂは、各トラバース機構７ａ，７ｂによってターゲット１の長手方向に沿ってそれぞれトラバースされるようになっている。各トラバース機構７ａ，７ｂは、ターゲット１に対して平行する向きでそれぞれ配置されたスクリュー軸８ａ，８ｂと、これらスクリュー軸８ａ，８ｂを回転自在に支持するＵ型フレーム９ａ，９ｂと、各スクリュー軸８ａ，８ｂを回転するモータ１０ａ，１０ｂと、対応するバーナ６ａ，６ｂを支持した状態で各スクリュー軸８ａ，８ｂに螺合されていてこれらスクリュー軸８ａ，８ｂの回転により各バーナ６ａ，６ｂをターゲット１の長手方向に沿ってそれぞれトラバースさせるトラバースブロック１１ａ，１１ｂとを有して構成されている。
【０００５】
各バーナ６ａ，６ｂには、ガス供給装置１２からフレキシブルなガス供給管１３ａ，１３ｂを経て原料ガス，可燃ガス，助燃ガス等が供給されるようになっている。
【０００６】
このような光ファイバ母材製造装置では、ターゲット支持機構２により軸心の回りに回転させつつあるターゲット１の外周に各バーナ６ａ，６ｂを対向させ、これらバーナ６ａ，６ｂの火炎中で形成したガラス微粒子をターゲット１の外周に堆積させて多孔質の光ファイバ母材１４を製造する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の光ファイバ母材製造装置では、トラバース機構７ａ，７ｂの可動部から出るダストが多孔質の光ファイバ母材１４内に混入され、光ファイバ母材１４の品質が低下する問題点があった。
【０００８】
また、バーナ６ａ，６ｂから噴出される塩素系ガスでトラバース機構７ａ，７ｂ等が腐食される問題点があった。
【０００９】
特に、これらの影響は、光ファイバ母材１４の外径が太くなり、バーナの個数が増え、トラバース機構の個数が増えるにつれてますます大きくなる問題点があった。
【００１０】
本発明の目的は、バーナの個数が増え、トラバース機構の個数が増えても、相互に悪影響を及ぼさない光ファイバ母材製造装置を提供することにある。
【００１１】
本発明の他の目的は、各バーナと各トラバース機構とを独立した部屋に収容した際に相互の部屋を仕切る隔壁に設けられていて各トラバース機構のバーナ支持体を貫通させるトラバース用スリットを利用して反応室とトラバース機構収容室との相互の悪影響防止と各部屋に対する清浄空気の供給とを行える光ファイバ母材製造装置を提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、反応室とトラバース機構収容室とのガスの流通による悪影響の防止を容易に確実に行える光ファイバ母材製造装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、軸心の回りに回転しつつあるターゲットの外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナを各トラバース機構によってターゲットの長手方向に沿ってそれぞれトラバースさせてターゲットの外周に各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置を改良するものである。
【００１４】
本発明に係る光ファイバ母材製造装置においては、ターゲットと各バーナとを収容する反応室から独立させて各トラバース機構を収容するトラバース機構収容室が設けられていることを特徴とする。
【００１５】
このようにターゲットと各バーナとを反応室内に収容し、各トラバース機構を反応室から独立したトラバース機構収容室内に収容すると、バーナの個数が増え、トラバース機構の個数が増えても、各部屋が独立しているので相互に悪影響を及ぼさないようになる。
【００１６】
従って、光ファイバ母材の外径の大径化を、光ファイバ母材の品質を低下させないで容易に行うことができる。
【００１７】
このような光ファイバ母材製造装置の具体化は、ターゲットを収容する反応室から独立させてトラバース機構を収容するトラバース機構収容室を設け、反応室内で各バーナはターゲットの外周に対して一方側から対向させ、反応室には各バーナが配置されている側に対してターゲットを間にして反対側に反応室用排気ダクトを接続し、反応室を形成する反応容器とトラバース機構収容室を形成する隔壁都の対向部分には各トラバース機構がトラバースするバーナの支持体であるバーナ支持体を貫通させるためのトラバース用スリットをトラバース方向に沿ってそれぞれ設け、各トラバース用スリットの箇所には清浄化された空気を吹出してこの空気で該スリットを仕切ると共に反応室とトラバース機構収容室とに供給する空気吹出し口をそれぞれ設け、トラバース機構収容室にはトラバース機構収容室用排気ダクトを接続することにより行うことができる。
【００１８】
このようにターゲットと各バーナとを反応室内に収容し、各トラバース機構を反応室から独立したトラバース機構収容室内に収容すると、前述したようにバーナの個数が増え、トラバース機構の個数が増えても、各部屋が独立しているので相互に悪影響を及ぼさないようになる。
【００１９】
特に、トラバース用スリットの箇所に空気吹出し口を設け、該空気吹出し口から清浄化された空気を吹出してこの空気で該スリットを仕切ると共に反応室とトラバース機構収容室とに該空気を供給すると、トラバース用スリットがあってもエアカーテン作用により反応室とトラバース機構収容室との空気が相互に流通することがなくなり、またこの清浄な吹出し空気を利用して反応室とトラバース機構収容室とに清浄な空気を供給することができる。
【００２０】
このような光ファイバ母材製造装置では、大気圧をＰ0 、空気吹出し口の吹出し圧力をＰ1 、トラバース機構収容室内の圧力をＰ2 、反応室内の圧力をＰ3 、各排気ダクトの排気圧をＰ4 としたとき、これらの圧力関係がＰ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4 となるように設定することが好ましい。
【００２１】
このような圧力に設定すると、空気吹出し口から反応室内とトラバース機構収容室内とに支障なく清浄な空気を供給することができると共に反応室内のガスがトラバース機構収容室内に漏れるのを防止でき、且つ反応室内やトラバース機構収容室内のガスを良好に各排気ダクトに排気させることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１乃至図３は、本発明に係る光ファイバ母材製造装置における実施の形態の第１例を示したものである。
【００２３】
本例の光ファイバ母材製造装置においては、従来の200 〜400 kmの光ファイバ母材より大サイズの1500kmの光ファイバ母材を、３本のバーナ６ａ，６ｂ，６ｃと、これらバーナ６ａ〜６ｃを個々にトラバースする３つのトラバース機構７ａ，７ｂ，７ｃとを用いて製造する縦型の装置に適用したものである。
【００２４】
この光ファイバ母材製造装置においては、ターゲット１と各バーナ６ａ〜６ｃとを収容する反応室１５が反応容器１６により縦向きに形成されている。
【００２５】
この反応室１５から独立させて各トラバース機構７ａ〜７ｃを個々に収容するトラバース機構収容室１７ａ，１７ｂ，１７ｃが、隔壁１８ａ〜１８ｃにより縦向きに形成されている。各隔壁１８ａ〜１８ｃは、共通の外壁１８内に収容されている。本例では、反応容器１６と各隔壁１８ａ〜１８ｃが対向する部分では、外壁１８が省略されている。
【００２６】
反応室１５内で各バーナ６ａ〜６ｃは、ターゲット１の外周に対して一方側から対向されている。反応室１５には、各バーナ６ａ〜６ｃが配置されている側に対してターゲット１を間にして反対側に反応室用排気ダクト１９が接続されている。この排気ダクト１９の下流には、図示しないが吸引用ブロアと排気ガスを無害化処理するガス処理装置が接続されている。反応室１５内には、反応室用排気ダクト１９につながるテーパ型の排気フード２０が設けられている。
【００２７】
反応室１５を形成する反応容器１６と各トラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃを形成する各隔壁１８ａ〜１８ｃとの対向部分には、各トラバース機構７ａ〜７ｃがトラバースするバーナ６ａ〜６ｃの支持体であるバーナ支持体２１ａ，２１ｂ，２１ｃを貫通させるためのトラバース用スリット２２ａ，２２ｂ，２２ｃが上下向きのトラバース方向に沿ってそれぞれ設けられている。
【００２８】
これらトラバース用スリット２２ａ〜２２ｃの箇所には、清浄化された空気を吹出してこの空気で該スリットを仕切ると共に反応室１５とトラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃとに供給する空気吹出し口２３ａ，２３ｂ，２３ｃが各トラバース用スリット２２ａ〜２２ｃの長手方向に沿った対向面にそれぞれ対向口部を開口させて設けられている。
【００２９】
この装置は、エアフィルタ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄを備えた空気清浄化装置２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄを外壁１８の上部に備えている。これら空気清浄化装置２５ａ〜２５ｄで得られたパーティクルのほとんどない清浄な空気は、外壁１８と各隔壁１８ａ〜１８ｃとの間に形成された第１〜第４の空気供給通路２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄを経て各空気吹出し口２３ａ〜２３ｃの長手方向に沿った両対向口部から逆向きで吹出すように供給されるようになっている。
【００３０】
各トラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃには、トラバース機構収容室用排気ダクト２７ａ，２７ｂ，２７ｃが接続されている。これら排気ダクト２７ａ〜２７ｃは反応室用排気ダクト１９に接続されている。また各排気ダクト２７ａ〜２７ｃには、各トラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃ内の圧力を調整するダンパ２８ａ，２８ｂ，２８ｃが接続されている。
【００３１】
このような光ファイバ母材製造装置では、使用に際し、大気圧をＰ0 、空気吹出し口２３ａ〜２３ｃの吹出し圧力をＰ1 、トラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃ内の圧力をＰ2 、反応室１５内の圧力をＰ3 、各排気ダクト１９，２７ａ〜２７ｃの排気圧をＰ4 としたとき、これらの圧力関係を
Ｐ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4
に設定する。このような圧力設定は、各排気ダクト２７ａ〜２７ｃのダンパ２８ａ〜２８ｃの開度を調整することにより行う。
【００３２】
また、各トラバース用スリット２２ａ〜２２ｃの長手方向に沿った対向面にそれぞれ対向口部を開口させて設けられている各空気吹出し口２３ａ〜２３ｃから前述した圧力Ｐ1 で清浄空気を互いに逆向きで該スリット内に噴出させる。これにより各トラバース用スリット２２ａ〜２２ｃが清浄空気のエアカーテン作用により仕切られて、反応室１５内と各トラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃ内との空気の相互流通がなくなり、またこの清浄空気が反応室１５と各トラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃとに供給される。この清浄空気は、前述した空気清浄化装置２５ａ〜２５ｄでパーティクルをほとんど含まないようにして形成し、第１〜第４の空気供給通路２６ａ〜２６ｄを経て各空気吹出し口２３ａ〜２３ｃに供給する。
【００３３】
かかる状態で、ターゲット１を図示しないターゲット支持機構によって軸心の回りに所定速度で回転させつつ、各バーナ６ａ〜６ｃを各トラバース機構７ａ〜７ｃにより相互間に所定間隔をあけて同方向にトラバースさせ、ターゲット１のトラバース端部に達したら反対方向にトラバースさせて、各バーナ６ａ〜６ｃをターゲット１の長手方向に往復させる。
【００３４】
各バーナ６ａ〜６ｃには、支燃ガスとしての酸素と、可燃ガスとしての水素と、ガラス原料としての四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ4 ）を供給し、バーナ先端の酸水素火炎中で酸化反応を起こさせてガラス微粒子（ＳｉＯ2 微粒子）を形成し、このガラス微粒子をターゲット１に堆積させ、多孔質の光ファイバ母材１４を形成する。
【００３５】
この際に、各バーナ６ａ〜６ｃは上りは低速で上昇させてターゲット１に対する堆積を行い、下りは高速で下降させて出発位置に速やかに戻すようにし、一方向からのみガラス微粒子の堆積を行わせる。
【００３６】
この光ファイバ母材製造装置では、ターゲット１と各バーナ６ａ〜６ｃとを反応室１５内に収容し、各トラバース機構７ａ〜７ｃを反応室１５から独立したトラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃ内に収容しているので、バーナの個数が増え、トラバース機構の個数が増えても、各部屋が独立しているので相互に悪影響を及ぼさないようになる。即ち、各トラバース機構７ａ〜７ｃの可動部から出るダストが多孔質の光ファイバ母材１４内に混入されて光ファイバ母材１４の品質が低下するのを防止でき、また各バーナ６ａ〜６ｃから噴出される塩素系ガスで各トラバース機構７ａ〜７ｃ等が腐食されるのを防止できる。従って、光ファイバ母材１４の外径の大径化を、光ファイバ母材１４の品質を低下させないで容易に行うことができる。
【００３７】
また、本例では、各部の圧力関係をＰ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4 に設定しているので、各空気吹出し口２３ａ〜２３ｃから反応室１５内と各トラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃ内とに支障なく清浄な空気を供給することができると共に反応室１５内のガスが各トラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃ内に漏れるのを防止でき、且つ反応室１５内や各トラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃ内のガスを良好に各排気ダクト１９，１７ａ〜１７ｃに排気させることができる。
【００３８】
また、トラバース用スリット２２ａ〜２２ｃの空気吹出し口２３ａ〜２３ｃに外壁１８と各隔壁１８〜１８ｃとの間の第１〜第４の空気供給通路２６ａ〜２６ｄを経て供給すると、空気吹出し口２３ａ〜２３ｃがトラバース方向に長くてもその長手方向に容易に一様に空気を供給することができる。
【００３９】
図４は、本発明に係る光ファイバ母材製造装置における実施の形態の第２例を示したものである。
【００４０】
本例の光ファイバ母材製造装置においては、各ダンパ２８ａ〜２８ｃより下流側で各トラバース機構収容室用排気ダクト２７ａ〜２７ｃに吸引用ブロア２９ａ，２９ｂ，２９ｃがそれぞれ接続されている。その他の構成及び条件等は、前述した第１例と同様である。
【００４１】
このように各トラバース機構収容室用排気ダクト２７ａ〜２７ｃに吸引用ブロア２９ａ〜２９ｃをそれぞれ設けると、圧力の調整範囲が広くなり、前述した圧力設定（Ｐ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4 ）をこれら吸引用ブロア２９ａ〜２９ｃの調整により一層容易に行うことができる。
【００４２】
なお、この第２例の場合、吸引用ブロア２９ａ〜２９ｃで回転数制御を行なうようにすれば、ダンパ２８ａ〜２８ｃを省略することができる。
【００４３】
【実施例】
図１に示す光ファイバ母材製造装置の実施例について、以下に説明する。空気清浄化装置２５ａ〜２５ｄから清浄化空気を20〜30ｍ3 ／min の割合で各空気吹出し口２３ａ〜２３ｃに供給する。各トラバース機構７ａ〜７ｃが各バーナ６ａ〜６ｃをトラバースする最高速度は0.8 〜1.5 ｍ／sec である。各バーナ６ａ〜６ｃへのＳｉＣｌ4 の供給量は、最高35ｇ／min としている。光ファイバ母材１４の長さは1500mm、光ファイバ母材１４の仕上り外径はφ250mm である。各排気ダクト１９，１７ａ〜１７ｃの排気圧Ｐ4 は−80〜−150 mmＨ2 ０、トラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃ内の圧力Ｐ2 は排気圧Ｐ4 より数mmＨ2 ０高い。各バーナ６ａ〜６ｃに供給する原料ガス量は、光ファイバ母材１４のサイズが大きくなるに従って多くしているが、排気圧Ｐ4 の負圧が大きいので、この量の変化は無視できる。
【００４４】
上記例では、各トラバース機構７ａ〜７ｃ毎に独立したトラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃを設けたが、各トラバース機構７ａ〜７ｃは共通のトラバース機構収容室に収容することもできる。
【００４５】
このようにすると、光ファイバ母材製造装置の構造をより簡略化することができる。
【００４６】
以下、本明細書に開示した複数の発明の内のいくつかについて、その構成要件を記載する。
【００４７】
（１）  軸心の回りに回転しつつあるターゲットの外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナを各トラバース機構によって前記ターゲットの長手方向に沿ってそれぞれトラバースさせて前記ターゲットの外周に前記各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置において、
前記ターゲットと前記各バーナとを収容する反応室から独立させて前記各トラバース機構を収容するトラバース機構収容室が設けられていることを特徴とする光ファイバ母材製造装置。
【００４８】
（２）  前記トラバース機構収容室が前記各トラバース機構毎に独立させて設けられていることを特徴とする前記（１）に記載の光ファイバ母材製造装置。
【００４９】
（３）  軸心の回りに回転しつつあるターゲットの外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナを各トラバース機構によって前記ターゲットの長手方向に沿ってそれぞれトラバースさせて前記ターゲットの外周に前記各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造方法において、
前記ターゲットと前記各バーナとを収容する反応室から独立させて前記各トラバース機構を収容するトラバース機構収容室を設け、
前記反応室内の圧力を前記トラバース機構収容室内の圧力より低くした状態で前記反応室内で前記光ファイバ母材の製造を行なうことを特徴とする光ファイバ母材製造方法。
【００５０】
（４）  前記トラバース機構収容室を前記各トラバース機構毎に独立させて設けていることを特徴とする前記（３）に記載の光ファイバ母材製造方法。
【００５１】
（５）  軸心の回りに回転しつつあるターゲットの外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナを各トラバース機構によって前記ターゲットの長手方向に沿ってそれぞれトラバースさせて前記ターゲットの外周に前記各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造装置において、
前記ターゲットと前記各バーナとを収容する反応室から独立させて前記各トラバース機構を収容するトラバース機構収容室が設けられ、
前記反応室内で前記各バーナは前記ターゲットの外周に対して一方側から対向され、
前記反応室には前記各バーナが配置されている側に対して前記ターゲットを間にして反対側に反応室用排気ダクトが接続され、
前記反応室を形成する反応容器と前記トラバース機構収容室を形成する隔壁との対向部分には前記各トラバース機構がトラバースする前記バーナの支持体であるバーナ支持体を貫通させるためのトラバース用スリットがトラバース方向に沿ってそれぞれ設けられ、
前記各トラバース用スリットの箇所には清浄化された空気を吹出してこの空気で該スリットを仕切ると共に前記反応室と前記トラバース機構収容室とに供給する空気吹出し口がそれぞれ設けられ、
前記トラバース機構収容室にはトラバース機構収容室用排気ダクトが接続されていることを特徴とする光ファイバ母材製造装置。
【００５２】
（６）  前記トラバース機構収容室が前記各トラバース機構毎に独立させて設けられていることを特徴とする前記（５）に記載の光ファイバ母材製造装置。
【００５３】
（７）  前記隔壁を収容する外壁と前記隔壁との間には、前記空気吹出し口に清浄化された空気を供給する空気供給通路が設けられていることを特徴とする前記（５）または（６）に記載の光ファイバ母材製造装置。
【００５４】
（８）  軸心の回りに回転しつつあるターゲットの外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナを各トラバース機構によって前記ターゲットの長手方向に沿ってそれぞれトラバースさせて前記ターゲットの外周に前記各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製造方法において、
前記ターゲットと前記各バーナとを収容する反応室から独立させて前記各トラバース機構を収容するトラバース機構収容室を設け、
前記反応室内で前記各バーナは前記ターゲットの外周に対して一方側から対向させ、
前記反応室には前記各バーナが配置されている側に対して前記ターゲットを間にして反対側に反応室用排気ダクトを接続し、
前記反応室を形成する反応容器と前記トラバース機構収容室を形成する隔壁との対向部分には前記各トラバース機構がトラバースする前記バーナの支持体であるバーナ支持体を貫通させるためのトラバース用スリットをトラバース方向に沿ってそれぞれ設け、
前記各トラバース用スリットの箇所には清浄化された空気を吹出してこの空気で該スリットを仕切ると共に前記反応室と前記トラバース機構収容室とに供給する空気吹出し口をそれぞれ設け、
前記トラバース機構収容室にはトラバース機構収容室用排気ダクトを接続し、
大気圧をＰ0 、前記空気吹出し口の吹出し圧力をＰ1 、前記トラバース機構収容室内の圧力をＰ2 、前記反応室内の圧力をＰ3 、前記各排気ダクトの排気圧をＰ4 としたとき、これらの圧力関係を
Ｐ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4
に設定して前記反応室内で前記光ファイバ母材の製造を行なうことを特徴とする光ファイバ母材製造方法。
【００５５】
（９）  前記トラバース機構収容室は前記各トラバース機構毎に独立させて設けていることを特徴とする前記（８）に記載の光ファイバ母材製造方法。
【００５６】
【発明の効果】
本発明に係る光ファイバ母材製造装置においては、ターゲットと各バーナとを反応室内に収容し、各トラバース機構を反応室から独立したトラバース機構収容室内に収容しているので、バーナの個数が増え、トラバース機構の個数が増えても、各部屋が独立しているので相互に悪影響を及ぼさないようにすることができる。従って、光ファイバ母材の外径の大径化を、光ファイバ母材の品質を低下させないで容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光ファイバ母材製造装置における実施の形態の第１例を示した横断面図である。
【図２】図１に示す装置の要部斜視図である。
【図３】図１のＸ−Ｘ線断面図である。
【図４】本発明に係る光ファイバ母材製造装置における実施の形態の第２例の要部構成を示した横断面図である。
【図５】従来の光ファイバ母材製造装置の斜視図である。
【符号の説明】
１  ターゲット
２  ターゲット支持機構
３  Ｕ型フレーム
４ａ，４ｂ  チャック
５  モータ
６ａ〜６ｃ  バーナ
７ａ〜７ｃ  トラバース機構
８ａ，８ｂ  スクリュー軸
９ａ，９ｂ  Ｕ型フレーム
１０ａ，１０ｂ  モータ
１１ａ，１１ｂ  トラバースブロック
１２  ガス供給装置
１３ａ，１３ｂ  ガス供給管
１４  光ファイバ母材
１５  反応室
１６  反応容器
１７ａ〜１７ｃ  トラバース機構収容室
１８  外壁
１８ａ〜１８ｃ  隔壁
１９  反応室用排気ダクト
２０  排気フード
２１ａ〜２１ｃ  バーナ支持体
２２ａ〜２２ｃ  トラバース用スリット
２３ａ〜２３ｃ  空気吹出し口
２４ａ〜２４ｄ  エアフィルタ
２５ａ〜２５ｄ  空気清浄化装置
２６ａ〜２６ｄ  第１〜第４の空気供給通路
２７ａ〜２７ｃ  トラバース機構収容室用排気ダクト
２８ａ〜２８ｃ  ダンパ
２９ａ〜２９ｃ  吸引用ブロア
【図１】
0003691600.tif 000002
【図２】
0003691600.tif 000003
【図３】
0003691600.tif 000004
【図４】
0003691600.tif 000005
【図５】
0003691600.tif 000006