(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
機器の保守管理サービスの対価の額を決定する機能を備える機器の保守管理方法であって、
保守管理サービスの対象となっている機器の稼働状況を示す物理量を示す稼働状況データをセンサにより取得する稼働状況データ取得工程と、
前記稼働状況データ取得工程で取得した稼働状況データが示す物理量と基準となる物理量とに基づいて、機器が正常か異常かをコンピュータが判別し、異常と判別した場合に出力手段により所定の警報を発する警報工程と、
所定のサービス期間において機器がオンとなっている時間を計測する計測手段により該機器の稼働時間を取得する稼働時間検出工程と、
前記稼働時間検出工程により検出された稼働時間と所定の稼働可能時間とに基づいて、所定のサービス期間における前記機器の定量化した生産性を示す指標値をコンピュータにより計算する定量化工程と、
前記定量化工程で定量化した前記機器の生産性を、予め定められた生産性基準と比較手段で比較して、その差をコンピュータにより算出する比較工程と、
課金基準値記憶手段から前記機器の生産性と生産性基準の差を課金額に変換するための課金用情報を読み出し、該課金用情報と前記比較手段が前記比較工程で算出した差に基づいて、前記サービス期間内の前記保守管理サービスに対する課金額をコンピュータにより決定する課金額決定工程と、
を備える、ことを特徴とする機器の保守管理方法。
【請求項２】
所定の予備期間に機器がオンとなっている時間を計測手段により計測することにより、予備期間における該機器の稼働時間を検出する予備期間稼働時間検出工程と、
前記稼働時間検出工程により検出された予備期間内の稼働時間と予備期間内の稼働可能時間とに基づいて、所定の予備期間における前記機器の定量化した生産性を示す指標値をコンピュータにより計算することにより、前記生産性基準を決定する生産性基準決定工程と、を備える、ことを特徴とする請求項１に記載の保守管理方法。
【請求項３】
機器の保守管理サービスの対価の額を決定する機能を備える機器の保守管理システムであって、
保守管理サービスの対象となっている機器の稼働状況を示す物理量を示す稼働状況データを取得する稼働状況データ取得手段と、
前記稼働状況データ取得手段が取得した稼働状況データが示す物理量と基準となる物理量とに基づいて、機器が正常か異常かを判別し、異常と判別した場合に所定の警報を出力手段から発する警報手段と、
所定のサービス期間における機器がオンとなっている時間を計測することにより、該機器の稼働時間を検出する稼働時間検出手段と、
前記稼働時間検出手段により検出された稼働時間と所定の稼働可能時間とに基づいて、所定のサービス期間における前記機器の定量化した生産性を示す指標値を計算する定量化手段と、
前記定量化手段が定量化した前記機器の生産性を、予め定められた生産性基準と比較して、その差を算出する比較手段と、
前記比較手段により算出された生産性の差を課金額に変換するための課金用情報を記憶する課金基準値記憶手段と、
前記課金基準値記憶手段に記憶されている課金用情報と前記比較手段が算出した差とに基づいて、前記サービス期間内の前記保守管理サービスに対する課金額を決定する課金額決定手段と、
を備える、ことを特徴とする機器の保守管理システム。
【請求項４】
所定の予備期間に機器がオンとなっている時間を計測することにより、予備期間における該機器の稼働時間を検出する予備期間稼働時間検出手段と、
前記稼働時間検出手段により検出された予備期間内の稼働時間と予備期間内の稼働可能時間とに基づいて、所定の予備期間における前記機器の定量化した生産性を示す指標値を計算することにより、前記生産性基準を決定する生産性基準決定手段を備える、ことを特徴とする請求項３に記載の機器の保守管理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生産用機器の保守管理方法及び保守管理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、技術の長足の進歩、メーカ間の開発競争の一段の激化などにより、メーカが生産する製品の種類は増加し、一方で、そのライフサイクルは短期化している。このような状況下では、メーカには、社会や顧客のニーズに即応して製品の生産が可能な、いわゆる多品種少量生産に対応可能な生産体制を確立することが求められる。
【０００３】
上記のような生産体制を確立するには、機器が正常に稼働可能な状態に維持された、稼働可能時間を長くして生産性を高く維持することが有効である。例えば、急な生産要求を受けたときに、すぐに対応して生産できれば、機会損失を回避し、顧客満足度を向上させることができる。このような機器の生産性の指標として、可動率（Availavility）を用いることができる。
【０００４】
可動率は、｛（稼働可能時間）−（停止時間）｝／（稼働可能時間）×１００で表される。稼働可能時間は、例えば、機器が配置された工場の操業時間から生産停止期間を除いた時間と一致する。また、停止時間は、定期点検等のための予定停止時間と、突発的な障害等による非予定停止時間と、から構成される。式より、高い可動率を達成するには、停止時間を短縮することが有効である。
【０００５】
機器の可動率を所定程度に維持するためには、保守管理が不可欠である。機器の保守管理は、機器を提供するベンダ、あるいは、ベンダより委託を受けた事業者（以下、事業者等）が、サービス業務として行う。このような場合、保守管理サービスは、機器が、メーカと事業者等との間で取り決めた可動率を満たすように行われる。従って、保守管理サービス期間中、機器は所定の可動率で稼働し、その生産性はほぼ一定であると言える。
【０００６】
しかし、近年、保守管理により、生産性の向上が可能なシステムが開発されている。このようなシステムでは、メーカ（機器のユーザ）とベンダとが共同して保守管理を行う。具体的には、ベンダが通信網を介して機器の稼働情報を遠隔から取得し、メーカと同様にリアルタイムで機器の稼働状況を把握し、ユーザと協働して必要な保守管理作業を行う。ユーザとベンダとが機器情報を共有し、情報に基づいて協働して保守管理作業をすることにより、作業は効率化する。これにより、障害復旧の迅速化により機器の非予定停止時間を短縮できるなど、機器の可動率の向上が可能となる。
【０００７】
また、上記システムでは、稼働情報とともに、ベンダは、部品の使用期間等の、機器の部品交換に関する情報を取得する。ベンダは、取得した情報に基づいて部品の最適な交換周期を算出し、算出した交換周期をユーザにフィードバックする。これにより、ユーザは効率よく部品交換を行うことができ、機器の予定停止時間を実質的に削減できるなど、可動率の向上が可能となる。
【０００８】
このように、上記方法では、保守管理期間中における機器の可動率の向上、すなわち、生産性の向上が可能であり、ときには、保守契約等で予め設定した値よりも高い生産性（可動率）が実現され得る。このような場合、ベンダは、「保守」作業だけでなく、さらに、「改善」作業を行っていると言える。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、事業者等が行う保守管理サービスは、通常無償ではなく、ユーザ（メーカ）に対価を要求する。例えば、事業者等は、所定の作業に対して一定の額、または、保守作業に要した時間に比例した額をユーザに課金する。また、下記特許文献１には、ウェハ処理枚数等の、機器の実際の稼働量に対して課金する方法が開示されている。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００２−１１７３３６号公報
【００１１】
しかし、これら従来の課金方法は、予め設定した可動率等を指標として、一定の生産性を実現するための保守管理サービスに適用されるものであり、上述した「改善」作業を、他の「保守」作業とを分けて課金できるものではない。このため、従来の課金方法を単純に適用して課金額を決定した場合には、以下のような理由から事業者等とユーザとの双方を満足させることができない。
【００１２】
まず、サービスを提供する事業者等にとって、上記したユーザとの協働作業は、リアルタイムの待機態勢が要求され、費用負担が増大する。従って、ベンダ等が保守管理の対価を求める際に、従来の「保守」作業への対価以外に、「改善」作業への対価を求めるのは当然である。
【００１３】
一方で、ユーザにとっても機器の生産性の向上により、製造コストの低減等の恩恵を受けられる。このため、事業者等の求めに応じて、「改善」作業への対価を支払うことには納得するであろう。しかし、ユーザにとって、自己の都合により稼働可能時間は生産時間と等しいものではなく、単純な課金額の増大は製造コストの増大をもたらすため受け入れがたい。
【００１４】
このようなことから、保守管理作業のうち、生産性の向上に寄与した分（改善作業分）に対して定量的に課金でき、ユーザと保守管理事業者との双方を満足させ得る課金方法が求められていたが、このような課金方法は従来なかった。
【００１５】
上記事情を鑑みて、本発明は、機器のユーザと保守管理事業者との双方を満足させ得る課金機能を有する保守管理方法および保守管理システムを提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る機器の保守管理方法は、
機器の保守管理サービスの対価の額を決定するための課金方法であって、
保守管理サービスの対象となっている機器の稼働状況を示す物理量を示す稼働状況データをセンサにより取得する稼働状況データ取得工程と、
前記稼働状況データ取得工程で取得した稼働状況データが示す物理量と基準となる物理量とに基づいて、機器が正常か異常かを判別し、異常と判別した場合に出力手段により所定の警報を発する警報工程と、
所定のサービス期間において機器がオンとなっている時間を計測する計測手段により該機器の稼働時間を取得する稼働時間検出工程と、
前記稼働時間検出工程により検出された稼働時間と所定の稼働可能時間とに基づいて、所定のサービス期間における前記機器の定量化した生産性を示す指標値をコンピュータにより計算する定量化工程と、
前記定量化工程で定量化した前記機器の生産性を、予め定められた生産性基準と比較手段で比較して、その差をコンピュータにより算出する比較工程と、
課金基準値記憶手段から前記機器の生産性と生産性基準の差を課金額に変換するための課金用情報を読み出し、該課金用情報と前記比較手段が前記比較工程で算出した差に基づいて、前記サービス期間内の前記保守管理サービスに対する課金額をコンピュータにより決定する課金額決定工程と、
を備える、ことを特徴とする。
【００１７】
所定の予備期間に機器がオンとなっている時間を計測手段により計測することにより、予備期間における該機器の稼働時間を検出する予備期間稼働時間検出工程と、
前記稼働時間検出工程により検出された予備期間内の稼働時間と予備期間内の稼働可能時間とに基づいて、所定の予備期間における前記機器の定量化した生産性を示す指標値をコンピュータにより計算することにより、前記生産性基準を決定する生産性基準決定工程と、を配置してもよい。
【００２０】
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係る機器の保守管理システムは、
機器の保守管理サービスの対価の額を決定するための課金システムであって、
保守管理サービスの対象となっている機器の稼働状況を示す物理量を示す稼働状況データを取得する稼働状況データ取得手段と、
前記稼働状況データ取得手段が取得した稼働状況データが示す物理量と基準となる物理量とに基づいて、機器が正常か異常かを判別し、異常と判別した場合に所定の警報を出力手段から発する警報手段と、
所定のサービス期間における機器がオンとなっている時間を計測することにより、該機器の稼働時間を検出する稼働時間検出手段と、
前記稼働時間検出手段により検出された稼働時間と所定の稼働可能時間とに基づいて、所定のサービス期間における前記機器の定量化した生産性を示す指標値を計算する定量化手段と、
前記定量化手段が定量化した前記機器の生産性を、予め定められた生産性基準と比較して、その差を算出する比較手段と、
前記比較手段により算出された生産性の差を課金額に変換するための課金用情報を記憶する課金基準値記憶手段と、
前記課金基準値記憶手段に記憶されている課金用情報と前記比較手段が算出した差とに基づいて、前記サービス期間内の前記保守管理サービスに対する課金額を決定する課金額決定手段と、
を備える、ことを特徴とする。
【００２１】
所定の予備期間に機器がオンとなっている時間を計測することにより、予備期間における該機器の稼働時間を検出する予備期間稼働時間検出手段と、前記稼働時間検出手段により検出された予備期間内の稼働時間と予備期間内の稼働可能時間とに基づいて、所定の予備期間における前記機器の定量化した生産性を示す指標値を計算することにより、前記生産性基準を決定する生産性基準決定手段を、配置してもよい。
【００２４】
【発明の実施の形態】
本実施の形態にかかる生産用機器の保守管理方法及び保守管理システムについて、以下、図面を参照して説明する。
【００２５】
本実施の形態において、生産用機器は半導体製造装置であり、ユーザである半導体デバイスメーカが工場において使用している。機器の保守管理サービスは、機器を提供したベンダあるいはベンダから委託を受けた事業者（以下、事業者）が行い、事業者は提供したサービスに対してユーザに課金する。
【００２６】
図１に、本実施の形態にかかる課金システム１１の構成を示す。
図１に示すように、本実施の形態の課金システム１１は、１または複数のユーザの１または複数の工場１２と、サービス事業者の事業所１３と、が通信回線１４で接続されて構成される。
【００２７】
通信回線１４は、例えば、インターネットから構成される。また、通信回線１４は、例えば、専用線、公衆回線網、ＩＳＤＮ網、有線放送網、無線通信網、衛星通信網などのいずれか、あるいはこれらの組み合わせから構成されてもよい。
【００２８】
工場１２には、１または複数の機器１５と、工場側コンピュータ１６と、が配備されている。機器１５と、工場側コンピュータ１６と、は、ＬＡＮ（Local Area Network）等の工場内配線網１７によって接続されている。工場側コンピュータ１６は、工場１２で使用されている機器１５を集中管理する。
【００２９】
機器１５は、半導体装置、液晶表示装置等の電子デバイスの製造に用いる装置であり、例えば、前工程用機器１５（成膜装置、熱処理装置等）や後工程用機器１５（実装装置、試験装置等）である。１つの工場１２内には、１または複数種の機器１５が配備されている。
【００３０】
図２に、機器１５の構成を示す。図２では、機器１５として、枚様式のプラズマＣＶＤ装置を用いる場合を例として説明する。
図２に示すように、機器１５は、円筒形状に成形されたチャンバ１１０を備える。
【００３１】
チャンバ１１０の側壁には排気口１１１が形成されている。排気口１１１にはＡＰＣ（自動圧力調節装置）１１２を介して真空ポンプ１１３が接続されている。真空ポンプ１１３はターボ分子ポンプ等から構成され、チャンバ１１０内を所定の減圧雰囲気まで真空引きする。また、チャンバ１１０の側壁にはゲートバルブ１１４が設けられており、ゲートバルブ１１４を開放した状態で、チャンバ１１０と外部との間でウェハＷが搬送される。
【００３２】
チャンバ１１０の略中央にはサセプタ１１５が設けられている。サセプタ１１５は、アルミニウム等の導体から構成され、平行平板電極の下部電極を構成する。サセプタ１１５の上面には、ウェハＷが載置される。
【００３３】
サセプタ１１５は、シャフト１１６に支持されたステージ１１７上に設けられている。シャフト１１６はチャンバ１１０の底面に開設された開口を貫通して配置されている。シャフト１１６は図示しない昇降機構に接続され、ステージ１１７とともにサセプタ１１５を昇降させる。シャフト１１６の内部は中空に構成され、内部には配線等が挿通される。
【００３４】
ステージ１１７の下部は、ステンレス鋼等からなるベローズ１１８で覆われている。ベローズ１１８は、その上端と下端とがそれぞれステージ１１７の下部およびチャンバ１１０の底面にねじ止めされている。ベローズ１１８は、ステージ１１７の昇降とともに伸縮し、チャンバ１１０内の気密状態を保持する。
【００３５】
サセプタ１１５には、第１の高周波電源１１９が接続されている。第１の高周波電源１１９は０．１〜１３ＭＨｚの範囲の周波数を有している。
【００３６】
サセプタ１１５の上方には、シャワーヘッド１２０が設けられている。シャワーヘッド１２０は、サセプタ１１５を平行に対向するように設けられ、そのサセプタ１１５との対向面に電極板１２１を有する。
【００３７】
電極板１２１は、導体から構成された円板状部材から構成され、その面全体に多数のガス穴１２１ａを有する。電極板１２１には、第２の高周波電源１２２が接続されている。第２の高周波電源１２２は、１３〜１５０ＭＨｚの範囲の周波数を有している。電極板１２１は、サセプタ１１５とともに、平行平板電極の一対の対向電極を構成する。
【００３８】
シャワーヘッド１２０は、電極板１２１のガス穴１２１ａと導通する中空部１２０ａを備える。また、シャワーヘッド１２０は、ガス供給管１２３に接続されている。ガス供給管１２３は、マスフローコントローラ（ＭＦＣ）１２４を介してガス源１２５に接続されている。ガス源１２５から供給されるガスは、ＭＦＣ１２４によって所定の流量に制御されてシャワーヘッド１２０の中空部１２０ａに供給され、ガス孔１２１ａからチャンバ１１０内部に噴出される。
【００３９】
ガス源１２５からは、プラズマＣＶＤ処理に必要なプロセスガスおよびキャリアガスが供給される。成膜動作時、サセプタ１１５および電極板１２１には、所定の高周波電圧が印加され、これらの２つの間の空間には、ガスのプラズマが生成する。プラズマ中の活性種により、ウェハＷの表面には所定のＣＶＤ膜が形成される。
【００４０】
また、機器１５は、タイムカウンタ１２６を備える。タイムカウンタ１２６は、機器１５がオンとなっている時間をカウントする。カウントされた時間は、後述するように稼働時間として機器状況ＤＢに蓄積される。
【００４１】
機器１５は、マイクロコンピュータ、メモリ等から構成される中央処理部１２７を備える。中央処理部１２７は、機器１５の全体の動作を制御する信号を送出する。
【００４２】
上記機器１５の動作において、中央処理部１２７は、ＡＰＣ１１２に接続されてチャンバ１１０の内部圧力を検知するとともに、圧力を所定範囲内に維持する。また、中央処理部１２７は、ＭＦＣ１２４に接続されて、チャンバ１１０に供給されるガスの流量を所定量に調節する。このように、中央処理部１２７は、ＡＰＣ１１２、ＭＦＣ１２４等を介して、反応を制御するとともに、チャンバ１１０内部の情報を取得する。
【００４３】
なお、機器１５は、さらに、ウェハＷの温度を検知するための温度センサ、ウェハＷの処理枚数をカウントするウェハカウンタ、チャンバ１１０内のパーティクル量をカウントするパーティクルカウンタ等を備え、中央処理部１２７は、他のデータを取得するようにしてもよい。
【００４４】
中央処理部１２７は、これらの機器１５の稼働状況に関する稼働状況データを記憶部１２８に格納するとともに、通信部１２９を介して工場側コンピュータ１６に送出する。なお、図では記憶部１２８が機器１５に設置されているが、記憶部１２８を機器１５から離して、例えば、図１のコンピュータ１６内に設けてもよい。
【００４５】
また、機器１５は、中央処理部１２７に接続された入出力制御部１３０を備える。入出力制御部１３０は、表示画面、キーボード等を備えた入出力装置１３１に接続されている。入出力装置１３１はヒューマンインタフェースとして機能する。工場１２内の作業員は、入出力装置１３１から設定条件等の所定の制御情報を入力し、そして、機器１５の状態を示す情報を出力として読みとる。
【００４６】
また、作業員は、入出力装置から機器１５について行ったメンテナンス作業に関するデータを入力する。例えば、作業員は、部品を故障によりまたは定期的に交換した時には、その日時、部品の種類、使用時間等の機器１５のメンテナンスに関する情報を入力する。入力された情報は、記憶部１２８にメンテナンスデータとして記憶される。
【００４７】
メンテナンスデータには、メンテナンスに関係しない他のログデータも含まれる。ログデータは、タイムスタンプとともに、その機器１５のあらゆる動作の履歴をデータ化したものであり、工場１２の作業者が機器１５にどんなオペレーションをしたか、機器１５のあるセンサがいつどのように動作したか、機器１５のソフトがいつどのようなルーチンに入ったか、記憶部１２８にいつどんなデータが入ったか、などを示す。
【００４８】
中央処理部１２７は、入出力装置１３１から入力された上記メンテナンスデータについても、記憶部１２８に格納するとともに、工場側コンピュータ１６に送出する。
【００４９】
図３に、工場側コンピュータ１６の構成を示す。図３に示すように、工場側コンピュータ１６は、中央処理部１８と、通信部１９と、記憶部２０と、入出力制御部２１と、を備える。
【００５０】
中央処理部１８は、マイクロコンピュータ、メモリ等から構成され、工場側コンピュータ１６の動作を制御する。
【００５１】
通信部１９は、工場内配線網１７及び通信回線１４の工場側コンピュータ１６のインタフェースとして機能する。中央処理部１８は、通信部１９を介して、工場１２内の機器１５等との間で情報の送受信を行う。
【００５２】
中央処理部１８は、機器１５から受け取った稼働状況データおよびメンテナンスデータを、通信部１９を介して後述する事業者側コンピュータに送出する。稼働状況データは事業者側コンピュータにほぼリアルタイムで送られ、メンテナンスデータは発生とともにあるいは所定間隔毎に送られる。
【００５３】
記憶部２０は、稼働状況データおよびメンテナンスデータを記憶する。中央処理部１８は、機器１５から工場内配線網１７を介して受信した上記データを記憶部２０に格納する。
【００５４】
なお、記憶部２０は、機器１５の記憶部１２８と同一の内容の上記データを格納してもよく、または、機器１５の記憶部１２８よりも長い期間のデータを蓄積するようにしてもよい。また、機器１５の記憶部１２８および工場側コンピュータ１６の記憶部２０のいずれか一方に、上記データを格納するようにしてもよい。
【００５５】
入出力制御部２１は、表示画面、キーボード等を備えた入出力装置２２に接続されている。入出力装置２２はヒューマンインタフェースとして機能する。工場１２内の作業員は、入出力装置２２から、工場側コンピュータ１６および機器１５の制御を行い、また、機器１５等に関する情報を取得する。
【００５６】
障害発生時には、例えば、ユーザ側作業員は、工場側コンピュータ１６の入出力装置２２を介して、事業者から障害対応に関する情報を受け取り、必要な処置を行う。
【００５７】
ここで、工場側コンピュータ１６は、障害の発生時等の非予定停止時間、および、定期点検時等の予定停止時間以外は、機器１５を常にオンとし、いつでも生産可能な状態であるようにしている。
【００５８】
工場側コンピュータ１６は、機器１５が、生産動作を行わない、待機状態にあるとき、機器１５に所定時間毎にテスト動作を行わせる。このとき、機器１５は、所定のテストプログラムに従って、ダミーウェハに対して通常の成膜動作を行う。工場側コンピュータ１６は、テスト動作において異常が検出されると、必要に応じて機器１５をオフとし、復旧処理を行う。なお、テスト動作の際も、後述する事業者側コンピュータは機器１５の稼働状況を監視し、異常を検出すればその旨をユーザ側に通知する。
【００５９】
上述したように、タイムカウンタ１２６は、機器１５がオンとなっている時間をカウントする。すなわち、タイムカウンタ１２６は、機器１５が実際に正常に稼働し、および、正常に稼働可能な状態にある時間をカウントする。本明細書では、機器１５が実際に正常に稼働し、および、正常に稼働可能な状態にある時間を、「稼働時間」として表す。
【００６０】
図１に戻り、サービス事業者の事業所１３には事業者側コンピュータ２３が配備されている。図４に、事業者側コンピュータ２３の構成を示す。図４に示すように、事業者側コンピュータ２３は、中央処理部２４と、通信部２５と、入出力制御部２６と、記憶部２７と、を備える。
【００６１】
中央処理部２４は、マイクロコンピュータ、メモリ等から構成され、事業者側コンピュータ２３の動作を制御する。
【００６２】
通信部２５は、事業者側コンピュータ２３側の外部インタフェースとして機能する。中央処理部２４は、通信部２５を介して、１または複数の工場側コンピュータ１６との間で情報の送受信を行う。
【００６３】
入出力制御部２６は、画面、キーボード等を備えた入出力装置２８に接続されている。入出力装置２８はヒューマンインタフェースとして機能する。事業者側のオペレータは、入出力装置２８から、所定の入力処理を行って事業者側コンピュータ２３を制御する。また、事業者の作業員は、入出力装置２８からユーザ側に電子メール等により対処情報を送信し、また、機器１５の稼働状況を確認する。
【００６４】
記憶部２７は、各種データベース（ＤＢ）を含んで構成される。記憶部２７は、機器情報ＤＢ２９と、プロファイル情報ＤＢ３０と、連絡先情報ＤＢ３１と、部品情報ＤＢ３２と、課金情報ＤＢ３３と、を備える。
【００６５】
機器情報ＤＢ２９には、保守管理サービスの対象である機器１５の、稼働状況データと、メンテナンスデータと、が、機器１５毎に蓄積されている。機器情報ＤＢ２９は、例えば、ユーザ、工場１２毎に分類されている。
【００６６】
図５に、機器情報ＤＢ２９に格納された稼働状況データの一例を示す。図５に示す例では、機器情報ＤＢ２９には、機器１５の稼働状況データが、図５中の＊１に示すような形で蓄積されている。
【００６７】
また、稼働状況データには、機器１５のタイムカウンタ１２６から取得した機器１５の稼働時間が含まれている。上述したように、稼働時間は機器１５がオンとなっている時間を示す。タイムカウンタ１２６は、例えば、後述する単位課金期間毎にリセットされ、タイムカウンタ１２６が示す値は単位課金期間内の稼働時間を示す。
【００６８】
稼働時間は、機器１５が実際に生産を行っている時間に限らず、生産はしていないが待機している時間も含む。工場１２の操業時間中に、機器１５は、常にオンとされており、生産を行っていない状態でも、顧客から急な受注に即応できるよう待機している。このように、稼働時間は、生産期間と待機期間とを含み、機器１５がオンとされている時間から構成されている。
【００６９】
図６に、機器情報ＤＢ２９に格納されたメンテナンスデータの一例を示す。図６に示す例では、機器情報ＤＢ２９には、部品交換に関するメンテナンスデータが種類毎に蓄積されている。メンテナンスデータは、部品毎の交換日（時）、通算使用時間等から構成されている。
【００７０】
プロファイル情報ＤＢ３０には、機器１５の動作のレシピとなる、各工程時のパラメータ（温度、圧力等）の標準プロファイルが記憶されている。
【００７１】
図７に、プロファイル情報ＤＢ３０に格納された、工程Ａ、Ｂ、…における各パラメータの標準プロファイルの一例を示す。図６に示す例では、工程Ａにおける変化パラメータとして、圧力、ガス流量等が、＊２および＊３に示すような形で格納されている。
【００７２】
また、プロファイル情報ＤＢ３０には、図８に示すように、各機器１５の所定の処理における工程表（レシピ）が格納されている。レシピは、予めユーザから事業者に通信回線１４を通じて自動的に、あるいは、人手を介して通知されている。レシピは、例えば、＊４に示すような形で格納されている。
【００７３】
プロファイル情報ＤＢ３０に格納されたレシピおよび基準プロファイルは、後述する工場側コンピュータ１６による機器１５の稼働状態の監視に用いられる。より詳細には、中央処理部２４は、図８に示すレシピに従って、図７に示す標準プロファイルを各パラメータについて読み出す。事業者側コンピュータ２３（中央処理部２４）は、機器１５から受信した実際の稼働状況データにおける各パラメータの変化プロファイルと、読み出した標準プロファイルとを比較して機器１５の状態を判別する。
【００７４】
事業者側コンピュータ２３は、各パラメータの実際の変化プロファイルと標準プロファイルとが、例えば、誤差５％の範囲内に無い場合に、機器１５が異常な状態にあると判断する。
【００７５】
連絡先情報ＤＢ３１には、ユーザ側作業員及び事業者側作業員の連絡先（メールアドレス等）が記憶されている。図９にその一例を示す。図９に示す連絡先情報ＤＢ３１においては、機器１５毎に、この機器１５の保守管理作業を担当する者（ユーザ側および事業者側）のメールアドレスがリンクされている。
【００７６】
部品情報ＤＢ３２には、機器１５を構成する各部品の最適交換周期が格納されている。図１０に、部品情報ＤＢ３２の一例を示す。図１０に示すように、部品情報ＤＢ３２には、機器１５の種類毎に、構成する部品の最適交換周期が格納されている。
【００７７】
最適交換周期は、事業者が推奨する、部品を安定に使用可能な期間である。最適交換周期は、実際の使用において発生する部品交換データに基づいて、最適化された値である。例えば、最適交換周期は、メンテナンスデータとして収集した、部品の使用期間の平均値あるいはこれに所定のマージンを加えた値である。なお、最適化方法はこれに限られない。
【００７８】
最適化は、データ量が多いほど信頼性の高いデータが得られる。従って、１または複数のユーザからデータを収集し、これに基づいて算出された最適交換周期は、例えばユーザが単独で算出するものよりも信頼性の高いものとなる。
【００７９】
課金情報ＤＢ３３には、保守管理サービスに対する課金額決定処理に使用される各種データが記憶されている。図１１に、課金情報ＤＢ３３に記憶されたデータの例を示す。図１１に示す例では、ユーザ毎に、使用する機器１５の種類、シリアル番号、使用開始日、予備期間、単位課金期間、稼働可能時間、生産性基準値および課金レートに関するデータが格納されている。
【００８０】
これらの情報は、ユーザと事業者との間の取り決めなどにより決定された既定値であり、事業者側コンピュータ２３に課金額の決定前に入力される。
【００８１】
使用開始日は、機器１５の実際の運用を開始した日時、あるいは、保守管理サービスを開始した日時を示す。使用開始日に基づいて、後述する予備期間および単位課金期間の期日の到来が判別される。
【００８２】
予備期間は、後述する生産性基準値を決定するための期間であり、保守管理サービスを開始する前の予備的期間である。予備期間は、例えば、機器１５の使用開始日後、あるいは、本格的な保守管理サービスの開始前の所定期間、例えば、３ヶ月間である。
【００８３】
予備期間において、機器１５の保守管理は基本的にユーザ自身が行い、障害発生時にはユーザからの連絡に応じて、事業者は作業を行う。事業者は、通信回線１４を介して機器１５の稼働情報を取得し、各種データを蓄積しているが、あえてユーザからの通報があってから対処する。このように、予備期間の保守管理は、主としてユーザによって行われ、事業者の寄与は最小限となるように行われる。
【００８４】
単位課金期間は、事業者が対価を要求する、すなわち、保守サービスに対する費用が発生する期間を示し、例えば、１年に設定されている。単位課金期間は、予備期間の終了後、あるいは、直前の単位課金期間の終了後に開始され、その終了の後に課金が発生する。
【００８５】
稼働可能時間は、ユーザの工場１２において、現在の単位課金期間内において機器１５が稼働可能であるべき時間である。稼働可能時間は、例えば、機器１５が配置されたユーザの工場１２の操業予定より予め決定された値であり、図に示す例では、８，４００時間（３５０日）とされている。
【００８６】
課金額は、単位課金期間における生産性を定量化した可動率を用いて決定される。可動率は、単位課金期間における、稼働時間の稼働可能時間に対する割合であり、（稼働時間）／（稼働可能時間）×１００（％）として算出される。稼働時間は、機器情報ＤＢ２９に記憶されたものである。
【００８７】
ここで、本明細書において、可動率とは、いわゆる稼働率（utilization）とは異なる。稼働率は、稼働可能時間における生産時間の割合を示す。一方、可動率の算出に用いられる上式中の稼働時間は、生産に寄与しない待機時間等を含むものである。従って、可動率とは、稼働可能時間中の、機器が「動き得る時間」の割合を示す。
【００８８】
生産性基準値は、課金額の算出基準として用いられる。生産性基準値は、上述した予備期間における機器１５の生産性を定量化することにより決定される。生産性基準値は、課金対象期間におけるのと同じ定量化手法を用いて決定され、可動率として決定される。可動率は、予備期間における稼働可能時間と、稼働時間と、から、上述した単位課金期間におけるのと同様の方法で算出される。
【００８９】
課金額は、単位課金期間における定量化された生産性（可動率）と、生産性基準値と、を比較して決定される。上述したように、予備期間において、保守管理は、ユーザが主として行い、事業者の寄与は最低限となるように行われる。一方で、課金対象期間においては、ユーザと事業者とが協働して行われる。
【００９０】
予備期間の生産性（基準値）と、課金対象期間の生産性（実測）と、を比較することにより、課金対象期間の保守管理における、事業者の寄与分に対応する生産性の変化を定量化することができる。本例において、事業者は生産性が向上した場合にのみ課金し、向上分に比例した額を課金する。
【００９１】
課金レートは、課金対象期間の実測生産性と、生産性基準と、の差分（向上分）を、課金額に換算するためのレートである。例えば、課金対象期間における可動率が５６％であり、基準値が５１％の場合、定量化された生産性の向上分を示すその差分は、５％である。課金レートが、例えば、３０，０００円／％である場合、該当機器１５に対する課金額はこれらを乗ずることにより、１５０、０００円と決定される。
【００９２】
課金レートは、事業者とユーザとの間で取り決められている。課金レートは、機種、使用年数、契約年数等により決定される。なお、図に示す例では、課金レートは機種毎に設定されている。
【００９３】
以下、上記課金システム１１の動作について図面を参照して説明する。図１２〜図１５に、事業者側コンピュータ２３（特に中央処理部２４）の動作のフローを示す。なお、図１２〜図１５に示すフローは一例であり、同様の効果を奏するものであれば、どのようなものも可能である。
【００９４】
まず、ユーザの工場１２に機器１５が納入され、立上げ作業が行われる。機器１５が所定の機能を示したところで、検収が行われる（ステップＳ１１）。検収後、機器１５の実際の運用が開始される。この日時が、使用開始日として課金情報ＤＢ３３に記憶される。
【００９５】
一方で、ユーザは、機器１５の保守管理サービスを提供する事業者と契約し、機器１５の運用開始とともに、保守管理サービスが開始される。このとき、ユーザと事業者との間で、課金額決定方法が取り決められる。すなわち、基準値の設定方法および設定用の予備期間、単位課金対象期間、課金レート等が決定される。これらの情報は、事業者側コンピュータ２３に入力され、課金情報ＤＢ３３に格納される。
【００９６】
事業者は、機器１５の運用開始から、所定期間、例えば、３ヶ月間を取り決めた予備期間として、保守管理作業を行う（ステップＳ１２）。この予備期間の間、保守管理は基本的にユーザ自身が行い、障害発生時にはユーザからの連絡に応じて、事業者は作業を行う。事業者は、通信回線１４を介して機器１５の稼働情報を取得し、各種データを蓄積しているが、あえてユーザからの通報があってから対処する。このように、予備期間においては、機器１５の生産性を所定程度に維持することを目標として保守管理が行われる。
【００９７】
予備期間の終了後（ステップＳ１３；Ｙｅｓ）、事業者はこの予備期間における可動率を算出する（ステップＳ１４）。可動率は、上述したように、予備期間内における機器１５の稼働時間を、稼働可能時間で除した割合（％）として求められる。算出した基準値は、生産性基準値として課金情報ＤＢ３３に格納される。
【００９８】
予備期間の終了後、事業者は、機器１５のリアルタイムでの監視を開始するなど、以下のように、「本来の」保守管理作業を開始する（ステップＳ１５）。図１３に監視動作のフローの一例を示す。
【００９９】
事業者側コンピュータ２３は、機器１５の稼働状況データをリアルタイムで受信している（ステップＳ２１）。事業者側コンピュータ２３は、受信した稼働状況データを機器情報ＤＢ２９に格納する（ステップＳ２２）。
【０１００】
事業者側コンピュータ２３は、機器情報ＤＢ２９から受信した稼働状況データの中で、所定のパラメータ、例えば、温度に基づく稼働状況データ（変化プロファイル）を読み出す（ステップＳ２３）。
【０１０１】
事業者側コンピュータ２３は、プロファイル情報ＤＢ３０に記憶された温度に関する標準プロファイルを参照し、稼働状況データのプロファイルと比較する（ステップＳ２４）。事業者側コンピュータ２３は、実測されたプロファイルと標準プロファイルとの差が所定の誤差範囲内（例えば、５％）にあるか否かを判別する（ステップＳ２５）。
【０１０２】
上記処理は、温度パラメータに限らず、機器１５から取得される圧力等の他のパラメータについても同時に行われている。
【０１０３】
実測されたプロファイルと標準プロファイルとの差が所定の誤差範囲内にあると判別した場合（ステップＳ２５；Ｙｅｓ）、事業者側コンピュータ２３は、稼働状況データを受信して機器１５の監視を続ける。
【０１０４】
一方、両者の差が上記範囲内にないと判別した場合（ステップＳ２５；Ｎｏ）、事業者側コンピュータ２３は機器１５に障害が発生したと判別する。このとき、事業者側コンピュータ２３は、ユーザ側に工場側コンピュータ１６の入出力装置を介して障害発生及びその状況を通知する（ステップＳ２６）。同時に、事業者側コンピュータ２３は、連絡先情報ＤＢ３１からメーカ側（ユーザ）の保守担当者のメールアドレス等の連絡先情報を読み込み、連絡先に障害発生を報知するメール等を送信する。
【０１０５】
事業者側コンピュータ２３は、稼働状況に異常を検出した場合、連絡先情報ＤＢ３１を参照して、ユーザ（工場１２）側及び事業者側に障害発生とその内容を報知する。ユーザ側の作業員は、報知に基づいて、機器１５の状況を確認し、必要な処置を行う。また、事業者側の担当作業員は、報知に基づいて、必要ならば交換部品を携えて障害の発生した機器１５が使用されている工場１２へ向かい、復旧作業を行う。
【０１０６】
また、事業者側コンピュータ２３は、事業者のオペレータ等に対しても事業者側コンピュータ２３の入出力装置を介して障害発生及びその状況を通知する。同時に、事業者側コンピュータ２３は、連絡先情報ＤＢ３１から事業者側の保守担当者のメールアドレス等の連絡先情報を読み込み、連絡先に障害発生を報知するメール等を送信する。
【０１０７】
ユーザ側及び事業者側の作業員は、事業者側コンピュータ２３からの通知をもとに、対処処理を行う。なお、ユーザ側及び事業者側保守担当者への通知手段は、メールに限らず、携帯電話、ポケットベル、ハンドヘルドコンピュータ等であってもよい。
【０１０８】
事業者側コンピュータ２３は、障害発生を通知するとともに、対処に必要な情報を関係者に送る（ステップＳ２７）。ユーザ側および事業者側の作業員は、受け取った対処情報に基づいて復旧処理を行う。
このとき、タイムカウンタ１２６は、機器１５が復旧処理のためにオフ状態となった時点でカウントを停止する。
【０１０９】
事業者側コンピュータ２３は、チャンバ１１０内の圧力に関するデータのプロファイルが異常であると判別した場合、ユーザ側作業員等にその旨を通知し、温度の修正を行うよう指示する。
【０１１０】
作業員の作業にも関わらず、異常が改善されない場合、事業者側コンピュータ２３は、作業員の報告等に基づいて原因を特定し、作業員に通知する。例えば、圧力がどうしても所定値に達しない場合には、ＡＰＣ１１２および真空ポンプ１１３の点検、交換を指示する。
【０１１１】
また、障害がソフトウェアの問題である場合には、事業者側コンピュータ２３は、例えば、所定のソフトウェアを工場側コンピュータ１６に送出し、工場側コンピュータ１６が自動的に復旧処理を行う。
【０１１２】
復旧処理の終了後、機器１５がオンとされると、タイムカウンタ１２６はカウントを開始する。このようにして、タイムカウンタ１２６は、機器１５の突発的（非予定）停止時間が除かれた稼働時間をカウントする。
【０１１３】
上記のように、ユーザと事業者とが協働して保守管理を行うことにより、作業の重複の排除、ユーザ側作業員の待ち時間の短縮などにより、障害発生時の機器１５の（非予定）停止時間を実質的に短縮できる。従って、機器１５の可動率（生産性）の向上が可能となる。
【０１１４】
上述したように稼働状況データを受信して機器１５の監視を行う一方で、事業者側コンピュータ２３はメンテナンスデータを受信して、以下に示すように部品の最適交換周期を算出し、部品情報ＤＢ３２に格納する。
【０１１５】
以下、事業者側コンピュータ２３がメンテナンスデータを処理する動作について、図１４に示すフローを参照して説明する。
【０１１６】
メンテナンスデータに含まれる、機器１５の部品交換に関するデータは、機器１５の定期点検時に交換し、あるいは、部品を原因とする障害が発生し、修理交換したときに発生する。すなわち、部品交換を行った作業員が、機器１５の入出力装置から、交換した部品の種類、日時、使用期間等のメンテナンスデータを入力することによりデータが発生する。発生したデータは、工場側コンピュータ１６によって、即時にあるいは定期的に送出され、事業者側コンピュータ２３がこれを受信する（ステップＳ３１）。
【０１１７】
ここで、突発的な故障による部品交換および定期交換のために機器１５が停止したとき、タイムカウンタ１２６はカウントを停止する。従って、タイムカウンタ１２６は予定停止時間および非予定停止時間を除いた、機器１５の稼働時間をカウントする。
【０１１８】
事業者側コンピュータ２３の中央処理部１２７は、受信したメンテナンスデータを機器情報ＤＢ２９に格納する（ステップＳ３２）。次いで、事業者側コンピュータ２３は、機器情報ＤＢ２９のメンテナンスデータから交換した部品の種類を参照し、該当する部品の最適交換周期を算出する（ステップＳ３３）。
【０１１９】
最適交換周期は、例えば、収集した部品の使用期間の平均値あるいはこれに所定のマージンや重みを加えた値である。すなわち、交換された部品について平均使用時間を算出し、所定のマージンを付加して、最適交換周期を導出する。この処理は、新たなメンテナンスデータ（部品交換データ）が発生するごとに行われ、導出された最適交換周期は、部品情報ＤＢ３２に更新記憶される。
【０１２０】
このように、多数の機器１５に関して部品交換が行われ、新たなメンテナンスデータが取得される毎に、部品情報ＤＢ３２に記憶されている部品の交換周期は最適化される。
【０１２１】
事業者側コンピュータ２３は、１または複数のユーザの保有する機器１５からメンテナンスデータを収集している。従って、部品の交換周期は、豊富なデータに基づいた、信頼性の高いものである。
【０１２２】
上記のようにして得られた各種部品の最適交換周期は、定期的に、例えば、１〜２週間おきに、全てのユーザに送られる（ステップＳ３５）。ユーザは、受け取った交換周期情報を参照して、より効率的な機器１５及び工場１２等の稼働を可能とする新たな計画を策定することができる。この結果、定期点検周期の最適化が図れ、機器１５の稼働可能時間の増大（予定停止時間の減少）が図れるなど、機器１５の生産性の向上が図れる。
【０１２３】
図１２に戻り、事業者側コンピュータ２３は、上記のようにして監視動作等を行っている。このような保守管理サービスへの対価として、事業者側コンピュータ２３は、単位課金対象期間毎に、その期間内の生産性の向上に応じた課金額を決定し、ユーザに請求する。
【０１２４】
事業者側コンピュータ２３は、課金情報ＤＢ３３に記憶された機器１５の使用開始日、単位課金期間および／または予備期間に基づいて、課金発生日が到来したかどうかを判別する（ステップＳ１６）。課金発生日は、予備期間が３ヶ月で、単位課金期間が１年の場合、使用開始日から１年３ヶ月後となる。なお、予め、課金情報ＤＢ３３に使用開始日に予備期間を加えた期日をサービス開始日として記憶させ、このサービス開始日から単位期間毎に課金発生を判別するようにしてもよい。
【０１２５】
なお、図１２に示すフローでは、監視処理と課金額決定処理とは別々に行われるものとなっているが、監視処理と課金額決定処理とは実質的に並列に行われる。
【０１２６】
課金発生日が到来すると、事業者側コンピュータ２３は、経過した直前の単位課金期間における課金額を決定する（ステップＳ１７）。図１５に、課金額の決定動作を示すフローの例を示す。
【０１２７】
まず、事業者側コンピュータ２３は、機器情報ＤＢ２９から、課金期間中の機器１５の稼働時間を読み込み、一方で、プロファイル情報ＤＢ３０から機器１５の稼働可能時間を読み込む（ステップＳ４１）。機器情報ＤＢ２９の稼働時間と、プロファイル情報ＤＢ３０の稼働可能時間は、課金額が決定された後、それぞれリセットされる。
【０１２８】
事業者側コンピュータ２３は、読み出した稼働時間と稼働可能時間とに基づいて、可動率を算出する（ステップＳ４２）。具体的には、事業者側コンピュータ２３は、稼働時間を稼働可能時間で除す。得られた値に１００を乗ずることにより、可動率（％）が導かれる。
【０１２９】
次いで、事業者側コンピュータ２３は、課金情報ＤＢ３３の生産性基準値（可動率）を参照し、算出した可動率と比較する（ステップＳ４３）。すなわち、算出値と基準値との差分をとる。得られた差分が、課金対象期間における機器１５の生産性向上分が定量化されたものであり、これに対して課金される。
【０１３０】
次に、事業者側コンピュータ２３は、課金情報ＤＢ３３の課金レートを参照し、定量化された生産性向上分に課金レートを乗じて換算する（ステップＳ４４）。この結果、対象期間内の機器１５の保守サービスに対する、生産性の向上に応じた課金額が決定される（ステップＳ４５）。
なお、生産性に向上が見られない場合、課金は発生しない。すなわち、差分が負の値をとる場合には、例えば、課金は発生しない。
【０１３１】
事業者側コンピュータ２３は、機器情報ＤＢ２９の使用開始日に基づいて、使用開始から所定の課金対象期間が経過した機器１５に関して、上記と同様の処理を行う。
【０１３２】
事業者側コンピュータ２３は、上述のようにして得られた結果を請求額としてユーザに通知する（図１２、ステップＳ１８）。通知は、結果の発生毎に、あるいは、期末毎にユーザに通知される。通知方法は、メール、ＦＡＸ等の手段で、例えば、図１６に示すようなフォームでユーザに通知される。
【０１３３】
図に示すような請求書を受け取ったユーザは、保守管理サービスにより機器１５の生産性が向上し、その向上分に対して課金されていることを明確に理解できる。生産性の向上に応じて課金が発生していることから、サービスへの対価の支払いによるコストのいたずらな増大は回避され、よって、ユーザは対価の請求に対して納得することができる。
【０１３４】
以上説明したように、本実施の形態では、保守管理サービスにより、機器１５の生産性が向上した部分に対して選択的に課金する。また、課金額は、生産性の向上度に応じた額である。このように、一般的な、保守管理サービスに対するのとは別に、生産性の向上分に対して課金できることから、ユーザと事業者との双方にとって、満足度の高い課金方法である。
【０１３５】
すなわち、ユーザにとっては、生産性の向上分に応じて保守管理サービスへの対価を支払うのであり、従って、保守費用の増大による生産コストの上昇は抑えられる。
【０１３６】
事業者にとっても、上述したような質の高い保守管理サービスを行うための費用をユーザが納得できる形で、顧客満足度を下げることなく徴収することができる。
【０１３７】
本発明は、上記実施の形態に限られず、種々の変形、応用が可能である。以下、本発明に適用可能な上記実施の形態の変形態様について、説明する。
【０１３８】
上記実施の形態では、課金情報ＤＢ３３に格納される生産性基準値、単位課金期間、生産性基準値、課金レート等は一定であるとした。しかし、これらのデータは、勿論、ユーザと事業者との取り決め等に応じて随時変更可能である。例えば、機器１５の使用年数が長大化するとともに、生産性基準値、課金レート等を逓減させるようにしてもよい。
【０１３９】
上記実施の形態では、生産性基準値は、予備期間を設けて、その間の生産性を定量化して決定するものとした。しかし、基準値の設定方法は、これに限られない。例えば、ユーザと事業者とが予めとり決めた値を用いてもよい。
【０１４０】
上記実施の形態では、生産性は、可動率に基づいて定量化するものとした。しかし、定量化手法は、可動率、稼働時間、単位期間当たりの処理量等あるいはこれらの組み合わせを用いることができる。
【０１４１】
上記実施の形態では、タイムカウンタ１２６は、機器１５に設けられる構成とした。しかし、タイムカウンタ１２６は、工場側コンピュータ１６に設けられ、あるいは、工場側コンピュータ１６が内蔵するソフトウェアタイマから構成されていてもよい。
【０１４２】
上記実施の形態では、稼働時間として、機器１５がオン状態にある時間をカウントするものとした。しかし、稼働時間の設定方法は、これに限られず、例えば、機器１５が処理動作を実質的に終了した時間を除いてカウントするようにしてもよい。また、機器１５のオン状態にある時間ではなく、オフ状態にある時間をカウントし、稼働可能時間から減じて稼働時間を算出するようにしてもよい。
【０１４３】
また、上記例では、生産稼働していない時間でも、機器１５は常にオン状態にあり、所定時間毎にテスト動作を行うものとした。しかし、これに限らず、生産稼働していないときには基本的に機器１５はオフとされ、所定時間毎にテスト動作のためにオンとされるようにしてもよい。この場合、タイムカウンタ１２６は、前の生産稼働時からオフ状態となっても引き続いてオン状態としてカウントし、例えば、テスト動作において異常が検出された時点でカウントを停止する。
【０１４４】
上記実施の形態では、部品交換に関するメンテナンスデータは、機器１５に設けられた入出力装置から入力されるものとした。しかし、これに限らず、メンテナンスデータを工場側コンピュータ１６から入力し、これを事業者側コンピュータ２３に送信するようにしてもよい。また、機器１５から送信される稼働状況データ及びメンテナンスデータは、工場内配線網１７を介して事業者側コンピュータ２３に送信されるが、機器１５を直接にインターネット等の通信回線１４に接続し、上記データを事業者側コンピュータ２３に直接送信するようにしてもよい。
【０１４５】
上記実施の形態では、事業者側コンピュータ２３は、収集したメンテナンスデータから部品の最適交換周期を導出してＤＢ化し、ユーザ側に定期的に送信するものである。このＤＢ化された部品の最適交換周期は、事業者側コンピュータ２３及び工場側コンピュータ１６に独自のブラウザを備えることにより、インターネット上で公開、検索可能な構成とすることもできる。
【０１４６】
また、上記例では、工場側コンピュータ１６が種々のデータを事業者側コンピュータ２３に送出するものとした。しかし、事業者側コンピュータ２３から工場側コンピュータ１６に接続して、稼働状況データやメンテナンスデータを入手してもよい。
【０１４７】
上記実施の形態では、ユーザは半導体装置メーカ等であり、ユーザが使用する機器１５は半導体装置、液晶表示装置等の製造装置とした。しかし、これに限らず、本発明は、ＣＣＤ、太陽電池等の他の電子デバイス、さらには、他の一般的な工業製品の製造機器に適用することも可能である。
【０１４８】
【発明の効果】
本発明によれば、機器の保守管理の課金について、ユーザとベンダ等との双方を満足させ得る方法およびシステムが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかる課金システムの構成を示す図である。
【図２】機器の構成例を示す図である。
【図３】工場側コンピュータの構成を示す図である。
【図４】事業者側コンピュータの構成を示す図である。
【図５】機器情報ＤＢに格納された稼働状況データの一例を示す図である。
【図６】機器情報ＤＢに格納されたメンテナンスデータの一例を示す図である。
【図７】プロファイル情報ＤＢに格納されたデータの一例を示す図である。
【図８】プロファイル情報ＤＢに格納されたデータの一例を示す図である。
【図９】連絡先情報ＤＢに格納されたデータの一例を示す図である。
【図１０】部品情報ＤＢに格納されたデータの一例を示す図である。
【図１１】課金情報ＤＢに格納されたデータの一例を示す図である。
【図１２】課金動作のフローの一例を示す図である。
【図１３】保守・監視動作のフローの一例を示す図である。
【図１４】交換周期算出動作のフローの一例を示す図である。
【図１５】課金額決定動作のフローの一例を示す図である。
【図１６】請求書の例を示す図である。
【符号の説明】
１１  課金システム
１２  工場
１３  事業所
１４  通信回線
１５  機器
１６  工場側コンピュータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
0003722790.tif 000012
【図１２】
0003722790.tif 000013
【図１３】
0003722790.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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