(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハニカム（１）が、隔壁（７）によって側方向に範囲が限定された隣接する空洞（５）で構成された空洞心材（３）を有し、前記心材（３）が、表皮（２）上に一方の側によって結合されるのに対して、他方の側はこの製造段階では、前記空洞（５）の開口部（６）に達する自由表面（４）を構成する、表皮上のハニカム構造の空洞心材の結合を検査する方法であって、
光源（１５）によって、ハニカム（１）の自由表面（４）上の照らされるゾーン（１７）を照らす作業と、
同じく前記自由表面（４）において、観察されるゾーン（２２）内で、空洞（５）から出る射出光（２１）を検出する作業とを含み、
前記照らされるゾーン（１７）と前記観察されるゾーン（２２）との間の最小距離が、Ｅで表されて方向Ｄを画定し、
距離Ｅは、開口部（６）の幅Ｌ１以上の大きさであり、前記幅Ｌ１が方向Ｄに沿って得られることを特徴とする方法。
【請求項２】
幅Ｅが隣接する２つの空洞（５）の開口部（６）の幅Ｌ２より小さく、前記幅Ｌ２は同じように方向Ｄに沿って得られることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
互いに向かい合った照らされるゾーンと観察されるゾーン（１７、２２）の境界線が、それぞれ照明境界線（１８）と観察境界線（２３）と呼ばれ、前記照明境界線（１８）と前記観察境界線（２３）との間の中間ゾーン（２５）は光を通さないマスク（２６）によって覆われ、前記マスク（２６）が、互いに向かい合った照明縁（２７）と観察縁（２８）によって側方向が縁取られ、前記照明縁（２７）は照明境界線（１８）と同じ形状を有し、その境界線の上方に位置づけられ、前記観察縁（２８）は観察境界線（２３）と同じ形状を有し、その境界線の上方に位置づけられ、入射光（１６）が前記照明縁（２７）に達することを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
光源（１５）によって与えられた入射光（１６）が、ハニカム（１）の自由表面（４）に対してほぼ垂直であることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
照明境界線及び観察境界線（１８、２３）が、連続するＮ個の空洞（５）上に延在し、Ｎは３以上の数であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
照明境界線及び観察境界線（１８、２３）が、ハニカム（１）の自由表面（４）における移動の幾何学線（３７）に沿って、いっしょに動かされることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
照明境界線及び観察境界線（１８、２３）が、連続するＮ個の空洞（５）上に延在し、Ｎは３以上の数であり、さらに前記照明境界線及び観察境界線（１８、２３）が、ハニカム（１）の自由表面（４）における移動の幾何学線（３７）に沿って、いっしょに動かされることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
観察されるゾーン（２２）の上方の空間（２２ａ）が開放され、射出光（２１）の検出が視覚的に行われることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
照明境界線及び観察境界線（１８、２３）が、連続するＮ個の空洞（５）上に延在し、Ｎは３以上の数であり、さらに前記照明境界線及び観察境界線（１８、２３）が、ハニカム（１）の自由表面（４）における移動の幾何学線（３７）に沿って、いっしょに動かされ、その結果、検査される幾何学表面（３８）が発生する方法において、
移動の幾何学線（３７）に沿って、照明境界線（１８）と観察境界線（２３）の共同の移動が測定され、
観察境界線（２３）に沿って発生する射出光（２１）の位置が特定され、
Ｘ、Ｙ座標系に、射出光（２１）の発生が示され、移動の測定値はＸ、Ｙ座標の一方に得られ、対応する射出光の位置は他方のＹ、Ｘ座標に得られることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
観察されるゾーン（２２）が連続し、レンズ（５１）を用いて観察されるゾーン（２２）の実像（５０）が構成され、さらに前記光学的実像（５０）に基づいて射出光（２１）が検出されることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
レンズ（５１）が空洞（５）の底部（８）で調節されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
観察されるゾーン（２２）それ自体が、第２の光源（５３）によって、しかも照らされるゾーン（１７）より小さい光度で照らされ、
レンズ（５１）が、底部（８）からの空洞（５）の高さの２０％から５０％の間に位置する調節点（５２）上で調節されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
第２の光源（５３）が、隔壁（７）に平行な方向に沿って、観察されるゾーン（２２）を照らすことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
表皮上のハニカムの空洞心材の結合を検査する方法を実施するために特別に設計された器械（６０）であって、
ａ）照明縁（２７）と、前記照明縁（２７）に向き合った観察縁（２８）とによって側方向に範囲が限定される光を通さないマスク（２６）と、
ｂ）マスク（２６）の後方に配置された光源（１５）であって、前記光源（１５）はマスク（２６）と連動し、マスク（２６）の後方からマスク（２６）の前方に向かう入射光束（１６）を発生し、前記入射光束（１６）はマスク（２６）と照明縁（２７）によって部分的にカットされ、このようにして、前記マスク（２６）が、観察縁（２８）の側から入射光束（１６）の外に部分的に延在し、前記観察縁（２８）それ自体が前記入射光束（１６）の外にくるような光源（１５）と、
ｃ）マスク（２６）の前方からマスクの後方に向かう万一の射出光（２１）を検出するための手段（２０）であって、マスク（２６）と連動し、前記射出光（２１）は、マスクの付近で、観察縁（２８）の前を通過するような手段（２０）とを有し、
さらに、照明縁（２７）上の連続するＭ個の幾何学点Ａと、観察縁（２８）上の連続するＭ個の幾何学点Ｂにおいて、Ｍは５以上の数であり、照明縁（２７）と観察縁（２８）との間の距離ＡＢが最小で、しかもＥに等しく、２つの幾何学点Ａ間の距離Ｄ１は０．５×Ｅ以上であり、２つの幾何学点Ｂ間の距離Ｄ２もまた０．５×Ｅ以上であり、Ｍ個の幾何学点Ａは、その先端に位置する２つの幾何学点Ａが互いに、幾何学点Ａのいかなるダブレットの距離よりも大きい距離にあるような、開放された線（２７ａ）を形成し、Ｍ個の幾何学点Ｂもまた、その先端に位置する２つの幾何学点Ｂが互いに、幾何学点Ｂのいかなるダブレットの距離よりも大きい距離にあるような、開放された線を形成することを特徴とする器械。
【請求項１５】
マスク（２６）の最小幅Ｅが３６ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１４に記載の器械。
【請求項１６】
入射光（１６）と、前記入射光（１６）の正面の射出光（２１）が１０°未満の角度αを作り出すことを特徴とする請求項１４または１５に記載の器械。
【請求項１７】
マスク（２６）が、前記マスク（２６）に対して垂直な方向に沿って柔軟であることを特徴とする請求項１６に記載の器械。
【請求項１８】
光源（１５）から出て、検出手段（２０）に到達するおそれのある、万一の漏光を妨げることができるように、光源（１５）と射出光（２１）の検出手段（２０）との間に配置された光を通さないスクリーン（２９）を有することを特徴とする請求項１４から１６のいずれか一項に記載の器械。
【請求項１９】
スクリーン（２９）が、マスク（２６）まで延在し、光源（１５）から出て、観察されるゾーン（２２）に到達するおそれのある万一の漏光を妨げることができるように、そのマスク（２６）上で後方から照明縁（２７）と観察縁（２８）との間に達することを特徴とする請求項１８に記載の器械。
【請求項２０】
マスク（２６）がスクリーン（２９）に組み込まれ、その側面を構成することを特徴とする請求項１９に記載の器械。
【請求項２１】
少なくとも５つの照らされる孔の列（７３）と、少なくとも５つの観察される孔の列（７４）によって、厚さ方向において穿孔された光を通さないソール（７２）であって、これらの観察される孔の列（７４）は照らされる孔の列（７３）に平行で、それぞれが前記ソール（７２）に組み込まれたマスク（２６）とスクリーン（２９）によって照らされる孔の列（７３）とは切り離されているようなソール（７２）と、
複数の基本的光源（１５ａ）に分割される光源（１５）であって、前記基本的光源（１５ａ）の各々は、照らされる孔（７３）の後方に配置され、前記照らされる孔（７３）を通して入射光（１６）を投影するような光源（１５）と、
光を電流に変換する基本的検出手段（２０ａ）であって、前記基本的検出手段（２０ａ）の各々は、観察される孔（７４）の後方に配置され、前記観察される穴（７４）を通して通過する射出光（２１）を受け取る基本的検出手段（２０ａ）と、
パイロットランプ（７５）と、
各々がバックグランド分離器（８３）に結合された複数の増幅器（８２）であって、バックグランド分離器（８３）と増幅器（８２）の集合体はＰ≧１の基本的検出器（２０ａ）とパイロットランプ（７５）に接続されるような増幅器（８２）とを備えることを特徴とする請求項１８に記載の器械。
【請求項２２】
パイロットランプ（７５）がマスク（２６）のほぼ後方に一列に配置されることを特徴とする請求項２１に記載の器械。
【請求項２３】
ａ）光電レセプタのバー（１０１）とレンズ（５１）を備えた写真タイプの少なくとも１つのチャンバ（１００）であって、前記チャンバ（１００）がこのように装備されることによって、射出光（２１）の検出手段（２０）を構成し、前記レンズ（５１）は、マスク（２６）の後方に位置し、ほぼ観察縁（２８）上に照準を合わせられ、前記レンズ（５１）の幾何学軸（５１ａ）は前記観察縁にほぼ直交し、スクリーン（２９）とともに、１０°未満の入射角βを形成し、前記レンズ（５１）はチャンバ（１００）内で、マスク（２６）の後方から見た観察縁（２８）の付近で空間の実像（５０）を形成し、前記実像（５０）は、同じくマスク（２６）の後方から見た観察縁（２８）の実像（１０３）と、同じくマスク（２６）の後方から見た観察縁（２８）の前の空間のマスク以外の実像（１０３）を含み、光電レセプタのバー（１０１）は、観察縁の実像（１０３）に平行して、マスク以外の実像（１０４）上に配置されるチャンバ（１００）と、
ｂ）入力が光電レセプタのバー（１０１）に接続され、出力が計算機（１１３）に接続されたサンプリング用アナログ−デジタル変換器（１１２）であって、前記変換器（１１２）が、光電レセプタ（１０１）を検査し、前記デジタル信号（１１４）は、各光電レセプタによって受け取られた信号の強さと、光電レセプタのバー（１０１）上の前記光電レセプタの位置を示すダブレットで構成される欠陥のデジタル信号（１１４）を発生する変換器（１１２）と、
ｃ）ハニカム（１）を位置づけし、互いに相対的にマスク（２６）に対してハニカム（１）を次々と並進させるための手段（１１６）と、
ｄ）マスク（２６）の前のハニカム（１）の相対的移動（３７）を測定するための手段（１１７）であって、同じように計算機（１１４）に接続され、移動のデジタル信号（１１８）を送る手段（１１７）と、
ｅ）計算機（１１３）に結合されたマッピングソフトウェアであって、欠陥のデジタル信号（１１４）及び移動のデジタル信号（１１８）から欠陥のマップ（４５）を構成するソフトウェアとを備えることを特徴とする請求項１８に記載の器械。
【請求項２４】
光源（１５）が、より遠く離れた光源に接続された光ファイバ層であって、前記光ファイバが、照明縁（２７）に向かい合ったマスク（２６）の後方に位置し、前記光ファイバの先端（１５ｂ）は照明縁（２７）より引っ込んでおり、前記光ファイバ層は、マスク（２６）に垂直に、しかも照明縁（２７）に平行に方向づけられることを特徴とする請求項２３に記載の器械。
【請求項２５】
平行に配置されたＮ＞１個のチャンバ（１００）に結合されたＮ＞１個のレンズ（５１）を備えることを特徴とする請求項２３または２４に記載の器械。
【請求項２６】
器械（６０）に連動した第２の光源（５３）を有し、前記第２光源（５３）は光源（１５）ほど強くはなく、前記第２の光源（５３）が、スクリーン（２９）のチャンバ（１００）と同じ側に配置され、前記第２の光源（５３）が、マスク（２６）の後方から前記マスク（２６）の前方に向かう第２の光（５４）を発生し、前記第２の光（５４）が、観察縁（２８）の前を通過し、少なくとも観察縁（２８）にすれすれに達することを特徴とする請求項２３から２５のいずれか一項に記載の器械。
【請求項２７】
第２の光（５４）が、スクリーン（２９）に平行で、しかも観察縁（２８）に垂直であることを特徴とする請求項２６に記載の器械。
【請求項２８】
位置決め及び並進手段（１１６）とマスク（２６）との間の相対的移動（３７）が、減速伝達装置（１３１）を介して作動するモータ（１３０）によって確保され、さらに相対的移動の測定手段（１１７）が、前記モータ（１３０）と前記減速伝達装置（１３１）との間に配置されることを特徴とする請求項２３から２７のいずれか一項に記載の器械。
【請求項２９】
位置決め及び並進手段（１１６）が、回転プレート（１３６）と円形取付台（１３７）を有し、前記円形取付台（１３７）が、回転プレート（１３６）上に配置され、前記回転プレート（１３６）に対する幾何学的回転軸（１３６ａ）に対してセンタリングされることを特徴とする請求項２３から２８のいずれか一項に記載の器械。
【請求項３０】
マスク（２６）と位置決め及び並進手段（１１６）が、マスク（２６）に垂直で、しかも照明及び観察縁（２７、２８）に平行な平面において、互いにスライドする器械であって、前記器械（６０）が、前記マスク（２６）と、前記位置決め及び並進手段（１１６）を互いに自動的に近づけることができる弾性戻り手段を有することを特徴とする請求項２３から２９のいずれか一項に記載の器械。
【請求項３１】
マスク（２６）とスクリーン（２９）の集合体（１３８）が、マスク（２６）に平行で、しかもスクリーン（２９）に垂直に配置された、平らな２つの前方板ばね（１４０）によって、前方に、すなわちマスク（２６）の近くに保持され、
マスクとスクリーンの集合体（１３８）が、前方ばね（１４０）に平行に配置された少なくとも１つの後方板ばね（１４１）によって後方に保持され、前記後方ばね（１４１）が少なくとも４分の１回転するようにねじられていることを特徴とする請求項３０に記載の器械。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、蜂の巣すなわちハニカム形の層状構造、とりわけ肌、表面あるいは表皮(peau)上のハニカム構造の巣房芯あるいは空洞心材(ame alveolee)の結合を検査する方法に関するものである。本発明は、このために、検査方法と、本発明を実施するために特別に設計された装置を提案する。
【０００２】
【従来の技術】
以下の説明において、蜂の巣形の層状構造は、単に「ハニカム(nid d'abeilles)」と呼ばれる。ハニカムは、工業、特に、とりわターボエンジンの密閉ライニングや音響パネルを製造するために、または、航空機の構造物またはノズルフラップのような薄く堅固なパネルを構成するために航空学において既知である。ハニカムは、通常、平面または成形プレートの形状、または、円錐台形の一体成形されたリングの形状、あるいはそれらのリングの扇形の形状である。一体成形という言葉は、一続きという意味である。ハニカムは、この製造段階では、表皮にその一方の側によって結合された空洞心材を有する。表皮は、空洞心材と同じ材質、または異なる材質とすることができる平面プレートまたは膨らみのあるプレートである。空洞心材は、ハニカムの厚みの方向に延在する隔壁によって隔てられた隣接する空洞の形をとり、空洞心材の片側の隔壁の端部は、表皮に結合し、空洞は反対側は開放され、それら空洞は、通常６角形であるが、長方形の場合もあり、それら隔壁は、通常、ハニカムの表面にほぼ垂直で、場合によっては傾斜していることもある。
【０００３】
ハニカムの作製は、繊細な作業、すなわち表皮と空洞心材との結合作業を含み、この結合は、たとえば接着またはろう付けによって行うことができる。表皮への隔壁の結合欠陥は、互いに隣接するいくつかの空洞をまとめた領域ごとに、または別々に現れる。これらの欠陥は、結合剤の局所的な不足または不十分が原因である場合もあるし、溶解点がハニカムを構成する金属合金の溶解点に近い強度の高いろう付けのような結合剤が使用される場合には、空洞の隔壁の溶解が始まってしまう場合もある。このような欠陥として、空洞の隔壁と表皮の間の空間が空洞の底部に現れ、それらの空間は、互いに空洞を連絡させてしまう。
【０００４】
６角形の空洞の場合には、空洞心材は、幅が空洞心材の厚さに等しいテープによって作製することができ、前記テープは、半６角形の連続を形成するために折り畳まれ、各折り目は６角形の角空洞の６つの平面のいずれか１つを構成し、次に、前記テープは、並んで配置され、互いに集められ、そのため、各空洞は、２つの向かい合った二重の壁面を有する。ろう付けされたハニカムの場合、表皮に空洞心材を結合するために使用されるろう付け部分は、二重の壁面を構成し、その結合を確立する。いずれにしても、使用される結合形態に関わらず、この二重壁面の互いの結合もまた検査されなければならない。
【０００５】
ろう付けの検査は、工業的に３種類の問題に直面する。
【０００６】
−  １つは、空洞の数が多いにもかかわらず、ハニカムを迅速に検査しなければならない。
【０００７】
−  前記空洞の深さが、多くの場合その平均直径の１０倍を超えるにもかかわらず、欠陥は主に空洞の底部に位置する。
【０００８】
−  空洞は、幅が１ミリメートル未満の小さいサイズとすることができる。
【０００９】
−  ２つの隣接する空洞のみを対象とする点的欠陥及び、複数の空洞上に延在する欠陥領域のみならず、さらに数多くの空洞を対象とした欠陥を検出できなければならない。
【００１０】
ターボエンジンにおいては、特に航空機用のターボエンジンでは、ハニカムは主に、回転部分と固定部分との間で摩耗可能な密閉ライニングとして使用される。空洞は、通常３ｍｍ未満、典型的には１．８ｍｍの大きな直径を有する６角形である。０．６ｍｍという小さい直径も考えられる。たとえば、４５×１４５ｍｍの円錐台の扇形は、１６分の１インチ、すなわちおよそ１．６ｍｍのおよそ３０００の空洞を有し、幅４５ｍｍで直径８００ｍｍの一体成形リングは、およそ５３０００の空洞を有する。航空機の構造及びナセルにおいては、空洞の直径は３６ｍｍに達することもあり、これはまた、１平方メートルあたりおよそ１２００の空洞の密度を表わしている。
【００１１】
表皮と向かい合ったハニカムの空洞心材の表面は「自由表面」と呼ばれる。言葉を簡略化するために、および正確さを期すために、自由表面の側のハニカムの外側に存在するものを明示するために「自由表面上」「上方」等々の形容詞を使用し、空間内で前記自由表面の実際の方向づけを妨げることなく、ハニカム内の深いところにあるものを明示するために「自由表面下」「下方」という形容詞を使用する。
【００１２】
いわゆる「毛管現象による」公知の検査方法は、タンクにハニカムの空洞を浸して、蛍石が添加されたトリクロロエチレンのような溶剤で満たし、ハニカムを傾け、さらに黒い光でその表面を視覚的に検査するというものである。空洞が結合欠陥によって連絡されている場合には、液体が１つの空洞から他の空洞に流れ込み、当該の空洞の開口部が異なる光度で見られる。この方法は迅速であるが、以下のような３つの不都合がある。
【００１３】
−  特に作業者にとって汚染蒸気を発散する。
【００１４】
−  検査されるパネルが大型なので、大きなタンクが必要である。
【００１５】
−  空洞の液体を排出する追加作業が必要である。その結果、ハニカムが小さいサイズである場合、あるいはまたハニカムが環状であり、空洞の開口部が内側にカーブしているときには、問題である。
【００１６】
さらに、パネルの側によってハニカムを熱し、他方の側から赤外線の放射を検査する方法が既知であり、この赤外線放射は、ろう付け欠陥を有する領域では、より弱い。なぜなら、ハニカムの厚さ方向への熱伝導率がここではより小さいからである。しかしながら、この方法は、縁の影響が大きいので、大型のハニカム用である。さらに、この縁の影響は点的な欠陥を隠してしまう。したがって、この方法によっては、数多くの空洞上に延在する検出領域の検出しか可能にならない。
【００１７】
さらに、アメリカ合衆国でＵＳ．５．５４８．４００として発行されたＦＲ．２．７１６．２６０によって、光源に接続された光ファイバをその開口部の前に持ってくることよって空洞を強く照らし、隣接する空洞の上方に、光電子検出手段に接続された光ファイバをもってくることによって前記隣接する空洞の結合欠陥を通る弱い光を検出するという検査方法が既知であり、光ファイバは、ハニカムの表面に設置された中実サポートによって保持され、このサポートは、隣接する空洞内に差し込まれた柱脚によって空洞の開口部に対して位置決めされる。しかしながら、この方法は非常に時間がかかるという欠点を有する。なぜなら、検査すべき各空洞上の前に連続的に器械を位置決めしなければならず、またアームロボットタイプの機器の使用は、その欠点を解消するのではなく、単に軽減させるだけだからである。その上、空洞の形状が不正確であることから、同時に複数の空洞を検査するために多数の器械を組み立てるができない。
【００１８】
さらに、専門ソフトウェアを用いて資料(document)を数値化することができる、マイクロコンピュータに接続可能なハンドスキャナが既知である。このようなスキャナは、資料上で一行を照らす光源と、照らされた行の実像を構成するレンズと、照られされた行の実像の上に配置された光電レセプタのバーと、各光電レセプタによって受信された信号の強度と、バー上のレセプタの位置を示す一列のダブレットで構成されたデジタル信号を発生するサンプリングによるアナログ−デジタル変換器と、資料の表面におけるスキャナの移動を測定し、移動を示すデジタル信号を発生させるための手段を有する。これら２つのデジタル信号は、特定のソフトウェアを備えたマイクロコンピュータに伝送され、前記ソフトウェアは、資料の画像を再構成し、その画像を選択された規格、たとえば「ｂｉｔｍａｐ」フォーマットまたはＢＭＰで記憶し、資料の前記画像をマイクロコンピュータの画面にディスプレイすることを可能にする。移動の測定は、資料と接触するホイールあるいはルーレット(roulette)によって行うことができ、前記ルーレットはその周辺に向かって、規則正しい間隔をあけ、光電レセプタの前に次々と現れる複数の孔を備え、前記光電レセプタは、電気パルスを生じ、このパルスは次に、そこから移動を導き出すためにカウンタによって総計される。孔は、磁化されたゾーンに置き換えることができ、光電レセプタは、磁気読取りヘッドに置き換えることができる。別の実施形態においては、スキャナの移動が機械化され、前述のルーレットは、モータに接続された機械的伝達装置上に配置される。レンズの調整を変更した場合でも、このようなスキャナは、ハニカムの空洞の底部に欠陥を生じさせることはない。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第１の目的は、迅速で時間がかからず、しかも汚染源とならないクリーンな、表皮上のハニカムの空洞心材の結合を検査する方法を提案することにある。
【００２０】
本発明の第２の目的は、結合欠陥マップを作成するための迅速な方法を提案することにある。
【００２１】
補助的に、本発明の第３の目的は、ハニカムの幾何学的な凸凹を許容する検査方法を提案することにある。
【００２２】
本発明の第４の目的は、結合欠陥の検査方法を実施するために特別に設計された器械を提案することにある。
【００２３】
本発明の第５の目的は、結合欠陥のマッピングを実施するために特別に設計された器械を提案することにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、第１の目的は、表皮上のハニカムの空洞心材の結合を検査する方法によって達成され、前記ハニカムは、隔壁によって側方向に範囲が限定された隣接する空洞で構成された心材を有し、前記心材は、片側によって表皮上に結合され、それに対して他の側は、製造段階で、前記空洞の開口部に達する自由表面を構成し、前記方法は、
−  いわゆる照らされるゾーンに通じる空洞の内部を明るくするために、ハニカムの自由表面における照らされるゾーンを光源によって照らす作業と、
−  同じくハニカムの自由表面におけるいわゆる観察されるゾーン内で、空洞から出るいわゆる「射出」光を検出する作業を含み、
前記照らされるゾーンと前記観察されるゾーンとの間の最小距離は、Ｅで表され、方向Ｄを画定する。いいかえれば、この最小距離Ｅは、照らされるゾーンの縁における幾何学点Ａと観察されるゾーンの縁における幾何学点Ｂとの間で得られ、方向Ｄは幾何学的セクタＡＢに平行である。
【００２５】
この方法は、距離Ｅが開口部の最大幅Ｌ１以上であり、前記最大幅Ｌ１は、方向Ｄに沿って測定されるという点において注目される。
【００２６】
このような配置は、同一の空洞の開口部の上方に照らされるゾーンと観察されるゾーンが同時に存在するのを妨げることがわかる。これはまた、空洞に対する前記照らされるゾーンと前記観察されるゾーンの相対的位置に関係なくいえることである。そのため、検査される隔壁の上方に照らされるゾーンと観察されるゾーンとを位置決めする必要がなく、「その上を通る」だけでよい。実際に、空洞は、照らされるゾーンと観察されるゾーンの下に同時には存在できないので、観察されるゾーン内への射出光は、照らされた空洞から直接出る入射光からではなく、欠陥を通過した入射光からしか生じない。このようにして、照らされるゾーンと観察されるゾーンは好ましい位置を取り、すなわち、欠陥を有する隔壁の両側で、入射光が観察されるゾーン内に発生し、この方法によって検出されることが可能である。他の場合には、このような入射光が発生することはない。単に「上を通りながら」ハニカムの自由表面の場所で検査を行うことができるので、前記自由表面の種々の場所で検査を迅速に行うことができる。
【００２７】
照らされるゾーンと観察されるゾーンに関する境界線を、照明境界線と観察境界線と呼ぶ。幾何学点Ａ及びＢは、明らかにそれぞれ前記照明境界線と前記観察境界線上に位置する。さらに、照らされるゾーンと観察されるゾーンは、非常に広い範囲である必要はない。実際には、せいぜいＥに等しい幅で十分であり、照明ゾーンの幅は、照明境界線から測定され、観察ゾーンの幅は観察境界線から測定される。
【００２８】
本発明の対象となる方法は、上述の特許ＦＲ．２．７１６．２６０によって提案された方法と混同してはならない。実際に、この特許では、光源及び光のレセプタは、各々が隣接する２つの空洞の正面に置かれるように、互いに空洞の幅より短い距離に置かれる。前記光の送信器と前記光のレセプタは、ハニカムの自由表面上で正確に位置決めされていないので、その結果同一空洞の上方に同時に再び存在することができ、空洞を照らす入射光は、観察されるゾーンによってこの同一空洞から出て、それによって、偽の欠陥信号を発生するおそれがある。そのために、柱脚のような正確な位置決め手段が必要不可欠になり、その結果、検査方法がかなり遅くなってしまう。
【００２９】
有利には、幅Ｅは結合した２つの隣接空洞の開口部の幅Ｌ２より小さく、前記幅Ｌ２はまた、方向Ｄに沿って測定される。このような配置は、第１の空洞の開口部の上方の照られるゾーンと、第１の空洞に隣接する第２の空洞の開口部の上方の観察されるゾーンとが同時に存在することを可能にし、その結果、これら２つの隣接する空洞間の隔壁に限定される欠陥を検出することが可能になる。「結合した２つの隣接空洞の開口部」とは、２つの開口部がハニカム内で占める位置に対して相対的な位置において、それら２つの開口部によって構成される集合体を意味する。実際に、当業者は、値ＥをできるだけＬ１近くに減少させようとするであろう。それによって、欠陥を検出している間、照らされる空洞のより大きな部分は、照らされるゾーンによって覆われ、その結果、照らされる前記空洞内により多くの光を投入し、反射によって、観察された光の強さを増大させることが可能である。同様に、観察される空洞のより大きな部分は、観察されるゾーンによって覆われ、その結果、場合によっては射出光の検出が容易になる。しかしながら、実際に、当業者は、空洞の寸法の公差を考慮に入れるために、十分な差Ｅ−Ｌ１を採用するであろう。
【００３０】
方向Ｄの変化に対するこの方法の公差は、形状が円に近い台形の空洞の場合には、すぐれている点が注目される。幅Ｅが空洞の大きな直径以上の場合には、どんな方向Ｄをとることもできる。
【００３１】
有利には、ハニカムの自由表面における照明境界線と観察境界線との間の中間ゾーンは、光を通さないマスク（遮蔽物）によって覆われ、前記マスクは、互いに向かい合った「照明」用と呼ばれる縁と、「観察」用と呼ばれる縁によって側方向に範囲が限定され、前記照明縁は前記照明境界線と同じ形をとり、その境界線の上方に位置決めされ、前記観察縁もまた、前記観察縁の境界と同じ形をとり、その境界線の上方に位置し、前記照明縁は、好ましくはその長さ全体にわたって、入射光が達する。
【００３２】
このようなマスクによって、中間ゾーンにおいて照らされる空洞から出る漏光を妨げ、反射によって、小さいサイズの欠陥を検出し、そのために弱い射出光しか発生しない。実際に、この射出光は、その出所である入射光と比べれば必然的に弱くなり、中間ゾーンにおいて照らされる空洞から直接出る漏光は、中間ゾーンが射出光の検出手段をまぶしく照らし、その結果、前記検出手段はもはや、結果的な欠陥から生じる射出光しか認めることができない。したがって、この漏光を妨げることによって、マスクは、より小さい欠陥から生じる弱い射出光を認識可能にすることができる。
【００３３】
マスクは、照明及び観察境界線をより鮮明にするために、照明縁と観察縁と協働し、そのことは、より小さいサイズの空洞を検査することを可能にすることがわかる。実際に、ハニカムの自由表面上の照明縁及びマスクの射影は中間ゾーンをつくりだし、照明境界線は、入射光によって照らされる照明縁の前記自由表面上への投影である。同様に、観察境界線は、観察されるゾーンの範囲を鮮明に限定し、それによって観察境界線をつくりだす。さらに、照明境界線と観察境界線の不明確さは、空洞の幅Ｌ１と比べれば小さくなければならない。したがって、このようにして、より鮮明な照明境界線と観察境界線は、より小さい幅をもつ空洞を検査することを可能にする。
【００３４】
当業者は、ハニカムの自由表面に対してまたはその自由表面の付近内で、照明縁と観察縁とを位置決めする。ハニカムの自由表面とマスクとの間の許容可能な距離は、光源の特性と射出光の検出手段とに応じて変化することがわかる。このようにして、光源と検出手段にほとんど指向性がない場合には、マスクは、実際にハニカムの自由表面と接触するはずである。反対に、光源と検出手段に指向性がある場合には、マスクを自由表面から遠ざけ、その結果、前記自由表面の凸凹に対するこの方法の公差を改善することが可能になる。実際には、マスクに十分な効力を保つことができるように、２×Ｅ以下の隔たり、すなわちゼロからマスクの幅Ｅの２倍の間の隔たりが採用されるであろう。
【００３５】
以下の説明においては、言葉を簡単にするために、マスクのハニカムと同じ側のものを「マスクの前」という言葉で形容し、反対側のものを「マスクの後ろ」と形容する。
【００３６】
有利には、光源によって与えられた入射角は、ハニカムの自由表面にほぼ垂直である。このような配置は、マスクに対して、ハニカムの自由表面上で照明境界線の位置をほぼ一定に保つことができる。これは、マスクと自由表面との間の距離が万一変化したとしても同じである。このような変化は前記自由表面の凸凹から生じる。このようにして、自由表面の幾何学的凸凹に対するこの方法の公差、ならびにこの方法がより小さい幅の空洞を検査する能力が改善される。
【００３７】
有利には、照明境界線と観察境界線は、連続するＮ個の空洞上に延在し、Ｎは３以上の数である。このような配置は、検査を、前記照明境界線と前記観察境界線との間の連続するＮ個の空洞にまで拡大し、Ｎ個の空洞の前記検査は同時のまま行われるので、ハニカムの検査を加速的に行うことができる。実際に、当業者は、より多数の空洞を同時に検査できるように、１５以上、さらには５０以上のＮの値を使用するだろう。この場合Ｎは、ハニカムの自由表面の凸凹と、使用される手段が前記凸凹を許容する能力によって限定される。
【００３８】
有利には、照明境界線及び観察境界線は、ハニカムの自由表面における移動の幾何学線に沿って、いっしょに動かされる。このような配置から、走査によって、移動の幾何学線に沿って位置する空洞を検査することができ、反射によって検査を加速させることができる。「いっしょに動かされる」という言葉は、それらが、運動中に互いに相対的な位置を保つということを意味する。実際に、移動の幾何学線に沿った空洞の隔壁の各々の両側に、照明境界線と観察境界線を位置決めする必要はもはやない。検査は、連続的走査によって行うことができ、その方法によって照明境界線と観察境界線が好ましい位置、すなわち壁面の両側に来る場合には万一の欠陥を検出することを可能にし、その方法が何も検出しない場合には、もはや偽の信号を発生しない。
【００３９】
本発明の好ましい実施形態においては、照明境界線及び観察境界線は、Ｎ個の連続する空洞上に延在する。Ｎは３以上の数であり、前記照明境界線と前記観察境界線は、ハニカムの自由表面における移動の幾何学線に沿っていっしょに動かされる。このような配置によって、唯一回の走査によって、その移動用の幾何学線に沿った照明境界線及び観察境界線の共同の移動によって発生する幾何学表面を検査し、したがってハニカムのろう付けの検査を加速させることができる。検査速度は、積Ｎ×Ｖ０に比例する。ここで、Ｖ０は移動の幾何学線に沿った移動速度である。
【００４０】
本発明の第１の実施形態では、観察されるゾーンの上方の空間が開放され、射出光の検出が視覚的に行われる。この方法は、簡単であるという利点があるが、別な観点からはオペレータに疲労を強いることから、臨時の検査用とされなければならない。オペレータは、特に空洞が小さい場合に、光学ルーペを通して射出光を観察することができる。中間ゾーンが、多数の空洞上に延在する場合には、ルーペは円筒形とすることができる。
【００４１】
本発明によれば、第２の目的は、表皮上のハニカムの空洞心材の結合を検査する方法によって達成され、照明境界線及び観察境界線は、Ｎ個の連続する空洞上に延在し、Ｎは３以上の数であり、前記照明境界線と観察境界線は、ハニカムの自由表面における移動の幾何学線に沿っていっしょに動かされる。このような方法は以下の点において注目される。
【００４２】
−  移動の幾何学的線に沿って照明境界線と観察境界線の共同の移動が測定され、
−  観察境界線に沿って出現する射出光の位置が特定され、
−  Ｘ、Ｙ座標系において、射出光の出現が示され、移動の測定値は、Ｘ、Ｙ座標の一方に得られ、対応する射出光は、他方のＹ、Ｘ座標上に得られる。
【００４３】
こうして、この方法は、ハニカムの関連欠陥マップのポイントごとの作成を可能にすることがわかる。
【００４４】
本発明によれば、第３の目的は、表皮上のハニカムの空洞心材の結合を検査する方法によって達成される。このような方法は、観察されるゾーンが連続的であり、レンズを用いて観察されるゾーンの光学的実像が構成され、前記光学的実像から射出光が検出されるという点が注目される。このような配置によって、万一の漏光と射出光を分離し、反射によって、ハニカムの自由表面の凸凹及び前記漏光に対するシバームの公差をかなり増大させることが可能である。実際に、光学的実像は、レンズの調整に応じて多かれ少なかれ鮮明な小さな光の斑点の形でろう付け欠陥を通る射出光を発生させ、前記斑点の光度は、レンズが必然的に射出光を集中させることから大きくなることがわかる。こうして実像においては、これらの光の斑点は、以下とは、より容易に区別される。
【００４５】
−  たとえばハニカムの自由表面とマスクとの間を通る、観察された表面を照らす漏光。これらの漏光は、実像の上に多かれ少なかれ鮮明に空洞の模様を再現する。
【００４６】
−  一般にレンズまで届き、欠陥を表わす光の斑点に対して実像においてわずかな光度の全体の陰影として分布する漏光。
【００４７】
ハニカムの自由表面に垂直な入射光と組み合わせ、この方法は、マスクの幅Ｅの２倍に達するハニカムの自由表面とマスクとの間の隔たりを問題なく許容することができる。したがって、マスクとハニカムの自由表面との間の物理的接触は必要ない。
【００４８】
この方法の特定の実施形態においては、レンズは、欠陥の鮮明な画像を与えることができるように、空洞の底部で調整される。
【００４９】
本発明によれば、第４の目的は、表皮上のハニカムの空洞心材の結合を検査する器械によって達成され、前記器械は本方法を実施するために特別に設計され、以下を含む。
【００５０】
ａ）照明縁と前記照明縁に向き合った観察縁によって側方向に範囲が限定された光を通さないマスク。
【００５１】
ｂ）マスクの後方に配置された光源。前記光源はマスクと連動し、前記光源は、マスクの後方からマスクの前方に向かう入射光束を発生し、このようにして、前記マスクは、観察縁の側から光束の外に部分的に延在し、前記観察縁はそれ自体が前記光束の外にある。
【００５２】
ｃ）マスクの前方からマスクの後方に向かう、したがって入射光とは逆方向の万一の射出光を検出するための手段。前記検出手段はマスクの後方に配置され、したがって光源と同じ側に配置され、前記検出手段はマスクと連動し、前記射出光は、マスクの近くで、観察縁の前を通る。
【００５３】
このような器械は、照明縁上の連続するＭ個の幾何学点Ａにおいて、また観察縁上の連続するＭ個の幾何学点Ｂにおいて、照明縁と観察縁との間の間隔ＡＢが最小となり、Ｅに等しくなり、２つの幾何学点Ａの間隔Ｄ１は、０．５×Ｅ以上になり、２つの幾何学点Ｂの間隔Ｄ２は、０．５×Ｅ以上になり、Ｍ個の幾何学点Ａは、その先端に位置する２つの幾何学点Ａが、互いに幾何学点Ａの他のいかなるダブレットの間隔より大きい距離をもつ、開放された線を形成し、Ｍ個の幾何学点Ｂがまた、その先端に位置する２つの幾何学点Ｂが互いに幾何学点Ｂの他のいかなるダブレットの間隔より大きい距離をもつ、開放された線を形成するという点で注目される。
【００５４】
光源の位置と万一の射出光の検出手段が、マスクのいわゆる「後方」側を画定し、前記光源及び前記検出手段はいずれもマスクの後方に位置し、検査されるハニカムは、マスクの「前」に配置され、しかしながら前記光源は、照明縁の側のマスクから側方向にはみ出すこともでき、前記検出手段はまた、観察縁の側のマスクから側方向にはみ出すこともできることがわかる。
【００５５】
マスクはマスクより大きい表面上に、またはその表面の近隣に平らに配置されることができ、前記表面はハニカムの自由表面となることがわかる。光源によって、いわゆる照らされたゾーン上で、マスクの後方から、この表面を照らすことができ、前記照らされたゾーンは、表面上の照明縁とマスクの射影によって生じる「照明境界線」または鮮明な縁によって範囲を限定されることがわかる。万一の射出光の検出手段によって、マスクの背後から、表面上のいわゆる観察ゾーンを観察することができ、前記観察ゾーンはマスク及び観察縁によって生じるいわゆる「観察境界線」の鮮明な縁によって画定される。マスクは、照明縁と観察縁との間を通ることができるあらゆる光を妨げる。それによって、観察縁の前を通る弱い射出光は、容易に検出することができる。
【００５６】
マスクと光源と万一の射出光の検出手段によって構成された集合体は、マスクが対して配置される表面に平行に移動することができることがわかる。それを可能にするために、マスクは前方に突出したあらゆる物体から明らかに解放され、前記物体は、このような移動を妨げる可能性がある。こうした移動は、手を含む何らかの手段によって行うことができる。
【００５７】
最後に、上記ｄ）による特徴から、マスクの幅Ｅ、つまり検査される可能性のある空洞のサイズを変えずに、その長さＤ２を伸ばすことが可能になる。このようにして、ハニカムに平行に、マスクと光源と検出手段全体を移動させる場合には、同時に、比例してより多くの空洞を有するより大きな面積において走査を行ない、そのことが検査速度を増大させる。さらに、この特徴は、より接近した幾何学点ＡまたはＢの存在を排除するものではない。
【００５８】
たとえば、照明縁及び観察縁が、平行な連続する２本の線である場合には、各々この特徴を満たす点の列の無限大が存在する。
【００５９】
実際に、マスク以上の幅Ｅの光源で十分であり、光源の前記幅は、照明縁から測定される。反対に、入射光束は、部分的にはマスクにカットされることができるように、照明縁に触れることが重要であり、その結果、ハニカムの自由表面上の投影によって鮮明な照明境界線を生じることがわかる。さらに、検出手段は、観察縁から非常に隔たった万一の射出光を検出する必要はない。これら検出手段は、マスクの幅Ｅ以下の距離で通過する万一の射出光を検出することができればよい。最後に、このように検出可能な射出光の実際の位置の調整は、ハニカム及び器械の特性に応じて異なることがわかる。
【００６０】
有利には、Ｍは１５以上、さらに、ハニカムの自由表面が規則正しい場合には、５０である。こうして、当業者は、マスクとハニカムの自由表面との間の可能な製造公差と最大距離を考慮して、空洞の最大幅Ｌ１よりほんのわずかに大きい値に幅Ｅを加え、この距離によって、前記自由表面の凸凹を吸収することができるだろう。
【００６１】
本発明は、ＦＲ．２．７１６．２６０の明細書と図４によって示された検査器械と混同してはならない。実際に
１．図４は、１本の照明用光ファイバ４０と、照明ファイバ４０の両側に配置された観察用の２本の光ファイバ４２を示している。そのことは、本発明によれば照明縁と観察縁に対応することができ、結果的に、幾何学点Ａ及びＢが各々少なくとも５個であるような本発明とは反対に、距離Ｅが最小になるような照明用光ファイバ４０上で直径方向に向き合った２つの幾何学点Ａと、観察用光ファイバ４２上の２つの幾何学点Ｂしか有さない。
【００６２】
２．２つの幾何学点Ａ間の距離Ｄ１が照明用光ファイバ４０の直径に等しく、図４においては、実際に０．５×Ｅより大きく見える。ただし、このことは偶然である。なぜなら、この光ファイバの大きさは、いかなる役目も果たさず、上述の特許明細書内でも触れられていないほどである。
【００６３】
３．ハニカムの空洞が３辺、４辺または６辺しか有することができないので、従来の技術として提案された器械は、１本の照明用ファイバ４０と６本までの観察用ファイバ４２、すなわち規則正しい２つの台形の頂点にしたがって６つまでの点Ａと６つまでの点Ｂをもつことができる。ただし、これらの６つのうち４つだけが、２つの端点が、幾何学点Ａのいかなるダブレットよりも大きい距離にある、開放された線を構成するのに対して、本発明によれば、少なくとも５つ存在する。
【００６４】
４．さらに、上述のこの特許は、より広い面積を操作することができるような、開放され、広げられたラインをまったく提案していない。なぜなら、６つの幾何学点ＡまたはＢがある場合には、それらの点が閉鎖されたラインしか形成することができず、さらに柱脚４５の存在によってこの走査が不可能になり、前記柱脚は、空洞の上方で光ファイバ４０、４２をセンタリングするための重要な手段を構成するからである。加えて、空洞の上方で光ファイバをセンタリングするというこの必要性は、空洞の寸法上の不可欠な製造公差が原因で、多数の空洞を同時に検査するために多数の光ファイバを使用することを不可能にしてしまう。本発明では、反対に、このような限界はない。さらに、これは、従来の技術においては、いかなる役割も果たさない照明縁と観察縁に対応する可能性がある点が注目される。
【００６５】
実際に、マスクの最小幅Ｅは、通常工場で製造されるハニカムを検査するため３６ｍｍ以下である。ターボエンジンにおける密閉ライニングの場合には、Ｅは３ｍｍ未満となる。この最小幅Ｅは、将来備えられるハニカムを検査することができるように０．６ｍｍから１ｍｍの間の値に下げることができる。
【００６６】
照明縁と観察縁は、後述する本発明の特定の実施形態が示すように、分割することも連続的にすることも可能である。
【００６７】
有利には、入射光と、前記入射光と向き合った射出光は、１０°未満の角度、好ましくは５°未満の角度を形成する。このような配置によって、マスクから遠ざかると、入射光と射出光との間の距離の変化を小さくすることができ、この距離はマスクに平行に測定される。またそれによって、この器械が押し付けられるハニカムの自由表面の凸凹に対する器械の公差がかなり増大する。実際に、マスクの最小幅に対応するセクタＡＢを考慮する場合、自由表面への入射光に沿った幾何学点Ａの投影と、射出光の方向に沿った幾何学点Ｂ’の投影との間の距離は、前記表面が有する製造上の凸凹が原因で、前記自由表面がマスクから少し遠ざかるとほんのわずかしか変化しない。
【００６８】
「前記入射光と向き合った射出光」という言葉は、射出光が、マスクに沿って地理的に入射光と同じレベルにあること、いいかれば射出光が前記入射光から生じる可能性があることを意味しなければならない。
【００６９】
実際に、入射光と射出光は、マスクにほぼ垂直で、前記マスクの前方で収束する。
【００７０】
特定の実施形態においては、マスクは、前記マスクに垂直な方向に沿って柔軟である。このような配置によって、マスクは自動的にマスクが押し当てられることができる表面の形状をとることができる。この配置は、とりわけ、ターボジェットを取り囲むナセルまたは逆転装置の構造のような、幅広い空洞とともに変化可能な湾曲した表面用である。
【００７１】
有利には、この器械は光を通さないスクリーン、たとえば、光源と射出光の検出手段との間に配置されたプレートを有する。このようなスクリーンによって、光源から発し、検出手段に達するおそれのある万一の漏光を妨げることが可能になり、そのことから場合によっては入射光よりはるかに弱い射出光の検出が容易になる。
【００７２】
有利には、このようなスクリーンは、光源から出て、観察されるゾーンに達するおそれがある万一の漏光を妨げることができるように、マスクまで延在し、照明縁と観察縁との間で後方からそのマスクに到達し、そのことから、場合によっては入射光よりはるかに弱い射出光の検出が容易になる。
【００７３】
とりわけ幅の狭い空洞の検査用の器械の特定の実施形態では、マスクはスクリーンに組み込まれ、それによって側面を構成する。こうして、照明縁と観察縁は、側面がスクリーンの各面と形成する角度によって構成される。実際に、空洞がハニカムの自由表面に垂直であるほとんどの場合、側面はスクリーンに垂直で、スクリーンは自由表面に垂直に空洞の上方に位置する。
【００７４】
本発明は、ハンドスキャナタイプの器械、すなわち走査によって検査を可能にし、手で保持することができる器械を提案する。このような器械は以下を有するという点で注目される。
【００７５】
−  照らされる少なくとも５つの孔の列と、観察される少なくとも５つの孔の列によって厚さ方向において穿孔された光を通さないソール。これらの観察孔の列は照明孔の列に平行で、それぞれ前記ソールに組み込まれたマスクとスクリーンによって照明孔の列とは切り離されている。
【００７６】
−  たとえばＬＥＤダイオードのような基本的な複数の光源に細分される光源。前記基本的光源の各々は、照明孔の後方に配置され、前記照明孔を通して入射光を投影する。
【００７７】
−  たとえばフォトダイオードまたはフォトトランジスタのような、光を電流に変換する基本的検出手段。前記基本的検出手段の各々は、観察孔の後方に配置され、前記観察孔を通して通過する射出光を受け取る。
【００７８】
−  スキャナの外側から見ることができるパイロットランプ。
【００７９】
−  各々連続するバックグランド分離器に結合された複数の増幅器。バックグランド分離器と増幅器の集合体はＰ≧１の基本的検出器とパイロットランプに接続される。
【００８０】
光を通さないソールは、ハニカムの自由表面でハンドスキャナを摩擦させることができ、このようなスキャナは、当然のことながら、ソールの前方に突出しているあらゆるエレメントから自由であり、検査されるハニカムの自由表面に平行な運動にしたがってスキャナの移動を阻止することができることがわかる。マスクは、照明孔と観察孔との間のソールの表面の部分によって構成され、スクリーンは、前記照明孔と前記孔との間のソールの容積によって構成されることがわかる。さらに、ソールは、基本的検出手段を周囲の光から光学的に遮断し、それはスキャナの使用中ずっと続けられることがわかる。
【００８１】
このような器械はまた、１つ、２つ、３つ、または４つの照明孔とともに、さらに１つ、２つ、３つまたは４つの観察孔とともに機能する。ただし、本発明者は、本発明の対象となる器械の一般的特徴と一貫性を保たせるために、特許請求の範囲を、５つまたはそれ以上の孔に限定することを認めている。
【００８２】
有利には、欠陥が検出される場所を直接的に示すために、パイロットランプが一列に、ほぼマスクの後方に来るように配置される。
【００８３】
本発明によれば、第５の目的は、表皮上のハニカムの空洞心材の結合を検査する器械によって達成され、前記器械は、本方法を実施するために特別に設計され、前記器械は以下を有するという点で注目される。
【００８４】
ａ）光電レセプタのバーとレンズを備えた写真タイプの少なくとも１つのチャンバ。前記チャンバは、射出光の検出手段を構成し、前記レンズは、マスクの後方に位置し、ほぼ観察縁上に照準を合わせられ、前記レンズの幾何学軸は前記観察縁にほぼ直交し、スクリーンとともに、１０°未満の入射角度βを形成し、前記レンズはチャンバ内で、マスクの後方から見た観察縁の付近で空間の実像を形成し、前記実像は、結果的に、マスクの後方から見た観察縁の実像と、同じくマスクの後方から見た観察縁の前の空間のマスク以外の実像を含み、光電レセプタバーは、観察縁の実像に平行して、実際には観察縁の前記実像の近くで、マスク以外の実像上に配置される。
【００８５】
ｂ）入力が光電レセプタのバーに接続され、出力が計算機に接続されたサンプリング用アナログ−デジタル変換器。前記変換器は、光電レセプタを検査し、欠陥のデジタル信号を発生し、前記デジタル信号は、各光電レセプタによって受け取られた信号の強さと、光電レセプタのバー上の前記光電レセプタの位置を示すダブレットで構成される。
【００８６】
ｃ）ハニカムを位置決めし、互いに相対的になるように、すなわちマスクにほぼ平行な、しかしながら必ずしも照明縁及び観察縁に垂直ではない相対移動方向に沿って、マスクに対してハニカムが次々と現れるようにするための手段。
【００８７】
ｄ）マスク前のハニカムの相対的移動を測定するための手段。前記移動測定手段はまた、計算機に接続され、移動のデジタル信号を供給する。
【００８８】
ｅ）計算機に結合されたマッピングソフトウェア。前記ソフトウェアは、欠陥のデジタル信号及び移動のデジタル信号から欠陥のマップを構成する。
【００８９】
写真タイプのチャンバとは、光学レンズを用いて表面に画像を形成することを可能にする、周囲の光から保護された空間を意味する。観察縁の実像に対する光電レセプタのバーの有効距離は、実際には、チャンバの向きをわずかに変更することで調整され、ｄを、観察縁と検出する射出光との間の距離とし、ｒを、観察縁とチャンバの奥でレンズによって与えられる、その実像との減少率とすると、この距離はｄ×ｒとならなければならない。
【００９０】
実際に、計算機はコンピュータであり、マッピングソフトウェアは、画像をスキャンするために通常使用されるソフトウェアである。このようにして、欠陥のマップは、コンピュータの画面上に瞬間的にディスプレイされ、プリントされ、および／または自動的にまたは要求に応じて磁気媒体に記憶することができる。このようにしてデジタル化された画像は、有利には、以下のために再処理することも可能である。
【００９１】
−  マップをより読みやすくするために、白いバックに黒く欠陥を表わすため。
【００９２】
−  欠陥の表示のみを保存し、その結果、欠陥のマップの視覚的検査を行いやすくするために、空洞の輪郭を消すため。
【００９３】
−  良質の部品と欠陥部品を自動的に識別するため。
【００９４】
添付の図面と詳細な説明によって、本発明とその利点がさらに明らかになるだろう。図面をわかりやすくするために、ハニカムの空洞は、概して、外部手段に比べると大きく拡大されている。
【００９５】
【発明の実施の形態】
まず第１に図１を参照する。ハニカム１は、この製造段階では、空洞心材３が押し付けられる表皮２を有する層状構造である。空洞心材３は、それ自体が、表皮２とは反対側の自由表面４と、さらに開口部６によって自由表面４上に各々が開放された複数の空洞５を有し、前記空洞５は、互いに隣接し、互いを隔てる隔壁７によって形成され、前記空洞５はまた各々表皮２によって形成される底部８を有する。隔壁７は、通常は溶接、ろう付けまたは接着剤９によって表皮２に結合される。この結合剤９は、隔壁７を通り、そのために前記空洞５の底部８において隣接する２つの空洞５をつなぐ通路１０の出現によって具体化される欠陥１０を局所的に表出させるおそれがある。通常、また空洞のサイズに対して限定された範囲において、表皮２及び自由表面４はほぼ平らで平行であり、隔壁７は、前記表皮２と前記自由表面４にほぼ垂直である。空洞５は、ほぼ同じで、図２、３、５、８に示されているように６角形である。この例においては、表皮２は、平らな金属鋼板であり、空洞心材３は金属製で、結合剤９はろう付けによるものである。
【００９６】
光源１５、たとえばここには図示されていない遠隔の光源に接続された光ファイバは、前記自由表面４のいわゆる照らされるゾーン１７上で、ハニカム１の自由表面４を照らす入射光１６を発生し、前記入射光１６は、開口部６ａが少なくとも部分的に前記照らされるゾーン１７の中にあるような、いわゆる照らされる空洞５ａの内側を照らし、前記照らされるゾーン１７は、「照明用」と呼ばれる境界線１８によって、少なくとも局所的に範囲を限定される。検出手段２０は、開口部６ｂが、少なくとも部分的に、ハニカム１の自由表面４におけるいわゆる「観察される」ゾーン２２の中にあるような、いわゆる「観察される」空洞５ｂの万一の射出光２１を検出し、前記観察されるゾーン２２は、いわゆる「観察用」境界線２３によって、少なくとも局所的に範囲を限定される。照明用及び観察境界線１８、２３は、互いに向かい合わせにあり、そのため、いわゆる「中間」ゾーン２５によって照らされるゾーン１７と観察されるゾーン２２が分離される。照らされるゾーン１７が、照らされる空洞５ａの上方にあり、観察されるゾーン２２が観察される空洞５ｂの上方にある場合、また、欠陥１０が照らされる空洞５ａと観察される空洞５ｂとを隔てる隔壁７の中に存在する場合、照らされる空洞５ａの中に入り込んだ入射光１６のわずかな部分が、欠陥１０によって観察される空洞５ｂ内をとおり、その開口部６ｂによって観察される空洞５ｂから連続的に出る弱い射出光２１を発生させ、観察されるゾーン２２を通り、その結果、検出手段２０によって検出される。
【００９７】
本発明によれば、照明境界線１８と観察境界線２３との間の最小距離Ｅは、空洞５の開口部６の幅Ｌ１以上である。そのような配置によって、同一の空洞５の開口部６の上方に照らされるゾーン１７と観察されるゾーン２２が同時に存在することは不可能であり、その結果、おおよその位置決めが可能になり、さらに照らされるゾーン１７と、観察されたゾーン２２のハニカム１の自由表面４上の移動が可能になる。そのことによって、存在しない欠陥１０の存在を信じ込ませてしまうような射出光２１の偶発的な放射を引き起こすことはない。
【００９８】
より詳しく見るために、ここで、図１及び２を参照してみる。照明境界線１８と観察境界線２３との間の最小距離Ｅは、方向Ｄを画定する。この最小距離Ｅは、方向Ｄに沿って測定される空洞の開口部６の幅Ｌ１以上でなければならない。そのことによって、同一空洞５の開口部６の上方で照らされるゾーン１８と観察されるゾーン２２が同時に存在することが不可能になる。方向Ｄの幾何学直線は、極値が対象となっていることから、その直線が、照明境界線及び観察境界線を切断する点において、照明境界線と観察境界線における法線である点が注目される。
【００９９】
照らされるゾーン１７と観察されるゾーン２２の下に同時に同一の空洞が存在するように、射出光２１は、隔壁７の中で欠陥１０を通過した入射光１６の部分のみから生じることができ、前記隔壁７は、好ましい位置、すなわち前記照らされるゾーン１７と観察されるゾーン２２との間にある。他の場合には、いかなる射出光２１も生じない。したがって、このようにして、存在しない欠陥を誤って知らせてしまうというおそれもなく、照らされるゾーン１７観察されるゾーン２２の特定の位置決めも必要なく、結合欠陥１０を検出することができる。つまり、欠陥１０の上方を通るだけでよい。結果的に、本発明の対象となる方法は非常に迅速である。
【０１００】
次に、図１と３を参照してみる。幅Ｅは有利には、隣接する２つの空洞５の開口部６の幅Ｌ２より小さく、前記幅Ｌ２はまた、方向Ｄに沿って測定される。このような配置は、照らされる空洞５ａの開口部６ａの上方の照らされるゾーン１７と、観察される空洞５ｂの開口部６ｂの上方の観察されるゾーン２２が同時に存在することを可能にし、観察される前記空洞５ｂは、照らされる空洞５ａに隣接し、その結果、この方法の分解能を空洞のサイズまで改良することができる。実際に、この方法は、こうして、隣接する空洞５ａと５ｂとの間の唯一の隔壁７に限定された、ろう付けの小さい欠陥１０を検出することを可能にする。こうした配置がなければ、この方法は、方向Ｄに沿って複数の隔壁７上に拡大された、より大きなろう付け欠陥９しか検出できず、その場合、光は、観察されるゾーン２２内に出る前に複数の連続する欠陥を通過しなければならない。欠陥が、たとえば結合剤の不足によって、複数の空洞をまとめる領域に延在する場合がこれに当たる。
【０１０１】
再び図１及び２を参照してみる。この方法の実施例においては、自由表面４の上方に厚さＥを有する平らで光を通さないスクリーン２９が備えられる。このスクリーン２９は、隔壁７に平行に、したがって自由表面４に垂直に配置される。スクリーン２９の側面(chant)２６は、自由表面４に平行で、前記自由表面４の近くに達する。この側面２６がマスク２６を構成し、前記スクリーン２９の側面２９ａと共通の「照明縁」と呼ばれる第１の稜２７によって側方向に範囲が限定される。光源１５は、この例においては、たとえば先端１５ｂが、この側面２９ａに対して、照明縁２７の十分後方に配置されている、すなわち光ファイバの前記先端１５ｂの直径の１０倍以上である光ファイバのクロスあるいは層(nappe)によって構成される。光源１５は、その先端１５ｂによって、自由表面４の方向で入射光１６の束を発生させ、そのようにして、前記自由表面４上で照らされるゾーン１７を発生させる。入射光の束１６は、自由表面４上への投影が、照らされるゾーン１７の照明境界線１８を構成する照明縁２７によって範囲が限定される。照明境界線１８は、光ファイバの先端１５ｂが照明縁２７から遠ざかれば遠ざかるほど鮮明になり、この照明縁２７は、自由表面４の近くになる。入射光束１６が、照明縁２７の近くで側面２９ａに平行になればなるほど、スクリーン２９は、自由表面４上で照明境界線１８の位置をかなり変更することなく、自由表面４から遠ざかるまたは近づくことができることがわかる。
【０１０２】
マスク２６はまた、「観察縁」と呼ばれる第２の稜２８によって側方向に範囲が限定され、前記観察縁２８は、照明縁２７に向かい合っている。この観察縁２８が、自由表面４上に観察境界線２３をつくりだす。実際に、観察縁２８は、あらゆる射出光２１が、照明縁１８と観察縁２３との間で観察ゾーン２２を超えるまで通過して、検出手段２０に達することを妨げるために、マスク２６と協働する。マスク２６は、観察手段２０の方向で照らされた空洞５ａから直接出る、ここには番号付けされていない光全体を妨げる。さらに、光を通さないスクリーン２９は、検出手段２０を妨害しないように、観察縁２８とマスク２６の後方と観察されるゾーン２２を保護する。最後に、スクリーン２９は、光源１５が、検出手段２０の方向で発生させることができる、あらゆる漏光を妨げるように、光源１５と検出手段２０との間に配置される。スクリーンのサイズは、光源１５と検出手段２０の設計に応じて異なることがわかる。この例においては、射出光の検出手段２０は、ここでは、空洞５ｂの底部８における欠陥１０の視覚検査を可能にするルーペ２０によって構成される。大きなサイズの空洞のための本発明のさらに単純な実施形態では、観察されるゾーン２２の上方の空間２２ａは開放され、その結果、観察者が、空洞５ｂの底部８を直接観察することが可能になる。
【０１０３】
ここで図４を参照してみる。照明境界線１８と観察境界線２３、さらに結果的に中間ゾーン２５は、Ｎ個という多数の空洞５上に延在し、ハニカム１の自由表面４に平行に移動の幾何学線３７に沿っていっしょに動かされる。そのことから、まず第１に、各空洞の上方で別々に照明ゾーン及び観察ゾーンを発生させることなく、Ｎ個の空洞を同時に検査することができる。このことから、第２に、唯一回の走査によって、移動ライン３７に沿って、幾何学表面３８を検査することが可能になる。この幾何学表面３８は、前記移動線３７に沿って、照らされるゾーン１７と観察されるゾーン２２の共同の移動によって発生する。Ｎという小さな値、たとえば３またはそれ以上の数は、たとえば、ハニカムの自由表面が階段状である場合に使用される。時には、ターボエンジンのスタータとロータとの間の密閉ライニングとして使用されるハニカムの場合に使用される。一方、１５以上の値Ｎについては、自由表面が規則正しい場合に、すでに実験が成功している。
【０１０４】
図５と６を同時に参照してみる。この実施例においては、照らされるゾーン１７は、基本的（単位）ゾーンに分割され、その各々は、たとえば光ファイバ、ＬＥＤダイオードまたはレーザダイオードによって照らすことができる。観察されるゾーン２２は、また、基本的ゾーンに分割され、その各々は、たとえばフォトダイオードまたはフォトトランジスタによって観察することができる。空洞５は台形なので、照らされる基本的ゾーン１７と観察される基本的ゾーン２２は、５点形であり、６角形の小さな直径に沿って小さな直径に等しいピッチで延在する。その場合、最小距離Ｅは、点状な照らされたゾーンと観察されたゾーンの直径に応じて変化する。実際に、Ｅは、６角形の空洞の小さな直径の１倍から２倍の間である。照らされる基本的ゾーン１７と観察される基本的ゾーン２２が互いに向かい合っている場合には、最小距離Ｅは、空洞の最大距離以上でなければならない点が注目される。
【０１０５】
次に、図７と８を同時に参照してみる。この例においては、ゾーン１７、２２は連続しており、空洞の小さい直径に沿って延在する。照明境界線１８と観察境界線２３は長方形で平行であり、それらの距離Ｅは６角形の空洞の大きな直径以上でなければならない。光源はたとえば、光ファイバの層によって、またはハロゲンの管状電球によって構成することができ、前記電球は、楕円柱ミラーの焦点に位置し、前記ミラーの他の焦点は照明境界線１８の近くに達する。図８は、斜視図によって、場合によっては観察者２０にとって欠陥１０がどのように映るかを示している。
【０１０６】
図９または１１によって表わされた本発明の好ましい実施形態では、射出光２１は、電気信号に変換され、その結果、光電子手段による信号の非常に迅速な再処理が可能になる。
【０１０７】
図１１によって表わされたこの方法の第１の実施形態においては、少なくとも１つの電気信号が、強制的ではないが好ましくは、その出所である射出光２１上方に置かれたパイロットランプ７５を作動する。その結果、欠陥１０を瞬間的に知らせ、位置を限定することができる。
【０１０８】
図４及び９によって表わされたこの方法の実施レベルにおいて好ましい形態においては、照明境界線１８と観察境界線２３は、連続するＮ個の空洞５上に延在し、Ｎは３以上の数であり、前記照明境界線１８と観察境界線２３は、ハニカム１の自由表面４における移動の幾何学線３７に沿って変化し、その結果検査された幾何学表面３８を発生し、以下が行われる。
【０１０９】
−  観察境界線２３に沿って電気信号の位置をマークする。
【０１１０】
−  移動の幾何学線３７に沿って、照明境界線１８及び観察境界線２３の移動を測定する。
【０１１１】
−  ＸまたはＹ座標が、観察境界線２３に沿って前記電気信号の位置に応じて変化し、他のＸまたはＹ座標は、移動の幾何学線３７に沿って移動の測定値に応じて変化するような、点の形で得られる各電気信号をＸ、Ｙ座標系に移す。
【０１１２】
このことから、このように検査された幾何学表面上で検出された電気信号のマップ４５が構成され、前記マップ４５は、検査された幾何学表面３８上に検出された欠陥１０の集合体を一挙にディスプレイすることができる。これらの欠陥１０は、別々に４６、または領域ごとに４７、マップ４５上に表わすことができることがわかる。
【０１１３】
有利には、照らされるゾーン１７と観察されるゾーン２２は、マップ４５の分解能を改良することができるように連続している。
【０１１４】
有利には、レンズ５１を用いて観察されるゾーン２２の光学的実像５０が構成され、さらに前記光学的実像５０から、射出光２１が検出される。実像という言葉は、幾何光学の意味においてとらえられ、像はスクリーン上に集められることを意味する。このような配置は、射出光２１を集中させ、万一の漏光から切り離すという効果を有し、漏光及びハニカムのゆがみに対するこの方法の公差をかなり改善するという結果を有する。実際に、射出光２１は、欠陥１０または隔壁７上の反射に続く欠陥１０の虚像から生じ、これらの欠陥は、観察されるゾーン２２の光学的実像５０の内部で、非常に明るい小さな画像の形で現れることがわかる。反対に、漏光は、光学的実像５０上に、減衰された全体の陰影を発生する、あるいはまた、結果的に欠陥１０の画像とは明確に区別される隔壁７の画像またはハニカム１の自由表面４の画像を発生させる。このようにして、空洞ごとに少なくとも８つの点の分解をともなう射出光２１の検出は、すぐれた分離を可能にし、適切な画像を与える。
【０１１５】
理論上は、レンズ５１は、その中心が観察されるゾーン２２の下であらゆる空洞５の底部８の正面に来るように、ハニカムから十分に隔てられていなければならず、この理論上の隔たりは、結果的に観察境界線２３の長さ及び空洞５の深さに比例し、この理論上の隔たりはまた、前記空洞５の幅に反比例しなければならない。しかしながら、実際に、当業者は、何回かの実験によって、かなり割合でこの距離を小さくすることが可能であろう。これらの試験から、実際に以下を確認することが可能である。
【０１１６】
−  レンズ５１はまた、、レンズの中心それ自体が、空洞５の底部８を見ることができなかったとしても、その周辺に達する射出光２１をキャッチすることができる。
【０１１７】
−  隔壁７上の反射は、各欠陥１０の複数の虚像をつくりだし、前記虚像の１つまたはいくつかは、空洞５の開口部６を通してレンズ５１によってキャッチすることができる。
【０１１８】
方法の第１の実施形態では、レンズ５１は、欠陥１０の鮮明な画像を発生することができるように、空洞５の底部８上で調節される。
【０１１９】
有利には：
−  観察されるゾーン２２は、それ自体が、第２の光源５３によって、しかし照らされるゾーン１７よりは弱い光度で照らされる。
【０１２０】
−  レンズ５１は、底部８からの空洞５の高さの２０％から５０％の間に位置する調節点５２において調節される。
【０１２１】
このような配置は、前記欠陥１０の鮮明さを優先させながら、欠陥のマップ４５において、欠陥１０の画像及びハニカム１の自由表面４における空洞５の画像を同時に出現させ、その結果、このようにして、方法を実施するために使用される手段のすぐれた作動を恒常的に検査することができる。実際に、欠陥１０がなければ、欠陥マップ４５は、もはや何も現わさないが、それはまた使用される前記手段が故障したときも同じであることがわかる。このようにして、欠陥マップ４５における空洞の画像の実際の存在は、使用された前記手段のすぐれた機能を証明している。実際に、第２の光源５３は、このようにして照らされたハニカム１の明るさが、光の陰影の中に前記欠陥１０を消滅させないように、欠陥１０の画像の明るさ以上になるように調整される。
【０１２２】
有利には、第２の光源５３は、隔壁７に平行な方向に沿って、観察されるゾーン２２を照らす。このような配置とともに、第２の光源５３から発生した光５４は、観察される空洞５ｂの底部８を照らし、それは、直接行われるかまたは、隔壁７上の反射によって行われる。その結果、隔壁７の部分的溶融による欠陥１０と、ろう付けの不足による欠陥１０とを区別することが可能にある。実際に、空洞５の底部８の組織もまた、欠陥マップ４５上に現れることがわかる。このようにして、この組織が、表皮２上に加工筋を示している場合には、表皮２がろう付けで覆われておらず、したがって、ろう付けの不足によって欠陥１０が存在することを意味する。
【０１２３】
次に図１０ａを参照してみる。検査器具あるいは器械６０は、幅Ｅのマスク２６を有し、前記マスク２６は、互いに連続し、平行な、しかも長方形の照明縁２７と観察縁２８によって側方向に範囲が限定される。幅Ｅは当然のことながら、照明縁２７と観察縁２８との間で測定される。照明縁２７は、５×Ｅ以上の長さをもち、結果的に、連続し、Ｅ以上の長さＤ１の間隔で、少なくとも５つの幾何学点Ａを有する。同様に、観察縁２８は、５×Ｅ以上の長さを有し、結果的に、Ｅ以上の長さＤ２の間隔で、連続する少なくとも５つの幾何学点Ｂを有する。光源１５は、前記マスク２６の後方に配置され、マスク２６の前方から後方に向かって、照明縁２７の近くで入射光１６を投影させる。万一の射出光２１の検出及び信号化手段２０は、マスク２６の後方に配置され、前記射出光２１は、観察縁２８の近くでマスク２６の前方から後方に向かって通過する。互いに向かい合っている入射光１６と射出光２１を考慮する場合、入射光１６は、照明縁２７の幾何学点Ａの付近を通り、射出光２１は、観察縁２８上の幾何学点Ｂの付近を通り、セクタＡＢはマスク２６の幅Ｅに対応し、入射光１６と射出光２１は、１０°未満、好ましくは５°未満の角度を形成する。光源１５は、たとえば、複数の基本的電球によってまたは、照明縁に平行に配置され、円筒形反射鏡に結合された管状電球によって構成することができる点が注目される。
【０１２４】
次に図１０ｂを参照してみる。本発明の他の実施形態においては、マスク２６は、たとえばＬＥＤダイオードから出た、ここに図示されていない入射光が各々を通る連続する円形の孔の第１のラインを有する。同様に、このマスク２６は、連続する円形の孔の第２のラインを有し、その孔の各々を通して、ここには図示されていない万一の射出光が検出され、検出は、たとえば、フォトダイオードまたはフォトトランジスタを使用して行われる。孔は、厚さ方向にマスク２６を横断し、孔の２つのラインは、真っ直ぐかつ平行である。第１のラインの孔の円周の集合体は、少なくとも第１のラインの方向に、断続的な観察縁２７を構成する。同様に、第２のラインの円周は、少なくとも第１のラインの方向に、断続的な観察孔２８を構成する。このマスクは、前記空洞の大きな直径に沿って、また孔のラインに垂直に、６角形空洞の走査を行うのにとりわけ適合する。そのために、各ラインの孔は、６角形の空洞の小さい直径に等しい距離Ｄ１、Ｄ２にあり、比Ｄ１／Ｅ及びＤ２／Ｅは、照らす孔と観察する孔が、十分な面積と隣接する２つの空洞をカバーできるように、孔があまりに隔てられすぎないように、０．５以上となる。実際に、当業者は、好ましくは、０．７から０．８の間の比Ｄ１／Ｅ及びＤ２／Ｅを採用するだろう。この例において、照明縁２７と観察縁２８は、要求される特性を遵守する幾何学点、すなわち、それぞれＡ、Ａ’及びＢ、Ｂ’の２つの列を有することが注目される。
【０１２５】
実際に、入射光１６は完璧ではなく、先の特性から逸脱する光線を有する場合もある。しかしながら、当業者は、その光源が、マスクの下に光線を通そうとしないように注意するであろう。
【０１２６】
次に、図１と１０ａを参照してみる。器械６０は、空洞５の開口部６がＥより小さい幅Ｌ１をもつのに対して、隣接する２つの空洞５の開口部６の幅Ｌ２がＥより大きい、ハニカム１の自由表面４上に設置することができ、前記開口部６の幅はマスク２６の幅の方向に測定され、前記器械は、空洞５ａのラインを照らすことができ、その開口部６ａは、照らされるゾーン１７の下にあり、入射光１６は、照明縁２７の前を通り、同様に、前記器械６０によって、放射された射出光２１のおかげで、観察されるゾーン２２の下に位置する開口部６ｂによって欠陥１０を同時に観察することが可能になり、前記射出光２１は、観察縁２８の前を通る。マスク２６は、円筒形のほぼ一部を形成するハニカム１を検査することができるように、長さ方向で湾曲することができる。一般に、ハニカムの自由表面は、母線と呼ばれる幾何学線の移動によって幾何学的に発生する場合に、前記マスク２６に前記母線の形状が与えられる。実際に、マスク２６は、ハニカム１の空洞５自体が自由表面４に垂直な場合には、スクリーン（遮蔽物）２９に対して垂直となるであろう。
【０１２７】
器械の特定の実施形態においては、マスク２６は、長さ方向において柔軟となる。このような配置から、マスク２６は、そのマスクが押し当てられるハニカム１の自由表面４の形状をもつことが可能である。このような器械は、自由表面４が湾曲しているとともに、調整されていないハニカム１の検査を可能にする。調整された表面とは、まっすぐなまたは規則正しいラインの移動によって発生する可能性のある表面を意味する。こうした配置は、とりわけ、たとえばナセルまたは推力逆転器の構造におけるように、空洞５が大きな幅を持つようなハニカム１のために行われる。その場合、光源１５は、照明縁２７のすぐ後ろに配置された電気発光ダイオードのような複数の基本的光源によって構成することができ、前記電気発光ダイオードのサポートもまた、柔軟なマスク２６の変形に従うために柔軟にすることができる。
【０１２８】
次に、図１１を参照してみる。とりわけ面積が大きく、大きな空洞を有するハニカムに適合した器械の特定の形態において、器械はハニカム１の自由表面４に対してスライドによる移動３７を引き起こすハンドスキャナ７０の形をとる。ハンドスキャナ７０は、ソール７２を備え、このソールによってスキャナ７０は自由表面４上に押し当てられる。ソール７２は、照らされる孔７３の列と、その照らされる孔の列７３にほぼ平行で、それぞれソール７３に組み込まれたマスク２６とスクリーン２９によって照らされる孔７４の列から分離された観察される孔７４の列の厚さ方向に穿孔される。ハンドスキャナ７０は、複数の基本的光源に分割された光源１５を有し、前記基本的光源１５ａの各々は、照らされる孔の後方に配置され、照らされる孔７３の前方及びソール７２と接触するあらゆる物体を鮮明な輪郭とともに照らすことができるように、照らされる各孔７３を通して入射光１６を投影する。基本的な各光源１５ａは、たとえば、ここには図示されていない遠隔の光源に接続された光ファイバ、またはＬＥＤダイオードまたはレーザダイオードによって構成することができる。ハンドスキャナ７０はまた、射出光２１の検出手段２０を有し、前記検出手段２０は、基本的な検出手段２０ａに分割され、前記基本的（単位）検出手段２０ａの各々は、観察される孔７４の後方に配置され、観察される孔７４を通って通過する射出光２１を受け取る。基本的な各検出手段２０ａは、光電子トランスデューサ、すなわち、フォトダイオードやフォトトランジスタのような、光を電流に変換するトランスデューサである。さらに、ここには図示されていないが隔てられた光電子トランスデューサに接続された光ファイバとすることができる。各基本的検出手段２０ａは、電子回路８０を介してパイロットランプ７５を起動する。有利には、パイロットランプ７５は、欠陥が検出された場所を直接的に知らせることができるように、基本的検出手段２０ａのほぼ後方に、一列に配置される。検出と信号化は瞬間的に行われることがわかる。ハニカム１の自由表面４に対するハンドスキャナ７０の移動中、パイロットランプ７５は、ハンドスキャナ７０が、欠陥１０の上を通るたびに点灯し、ハンドスキャナ７０が移動してしまうと消える。
【０１２９】
次に図１２を参照してみる。電子回路８０は、各光源１５、１５ａに接続され、電子回路に電流を供給する少なくとも１台のエネルギー発生器８１を有する。電子回路８０はまた、各々、バックグランド分離器８３に結合された増幅器８２を備えており、増幅器８２とバックグランド分離器８３の集合体は、隣接するＰ≧１の基本的検出器２０ａ及びパイロットランプ７５に接続される。増幅器によって、基本的検出機２０ａから送信された弱い信号を増幅することができ、バックグランド分離器８３によって、周囲の光の影響を排除することができる。この分離器は、たとえば、従来の技術として挙げた、特許ＦＲ．２．７１６．２６０またはＵＳ．５．５４８．４００で提案されているタイプのものとすることができる。その場合、エネルギー発生器８１は電流を供給され、バックグランド分離器８３は、前記エネルギー発生器８１から生じる信号に基づいて誘導される。
【０１３０】
再び、図１１を参照してみる。本発明の特定の実施形態において、スキャナ８０は、好ましくは取外し可能なフード８６が上に取り付けられた平らなベッドプレート８５を有する。ソール７２は、ベッドプレート８５の一端に固定され、ベッドプレート８５の他端にはすべり座８７が固定される。その結果、ハンドスキャナ７０を、ソール７２とすべり座８７上に押し当てながら、ハニカム１の自由表面４上で滑らせることができる。基本的光源１５ａと基本的検出手段２０ａは、それぞれ、照らされる孔７３と観察される孔７４の正面に、また前記孔の後方で、ベッドプレート８５内に配置される。基本的光源１５ａと基本的検出手段２０ａは、ヘッドのプリント回路８８に接続され、そのプリント回路自体が、層状の第１のケーブル９０と主要プリント回路８９上に配置された第１のコネクタ９１によって、主要プリント回路８９に接続される。主要プリント回路８９は、ベッドプレート８５に固定され、上述したように作動する電子回路８０を支持し、この電子回路８０は、複数のチャネルを有する。主要プリント回路８９は、第２のコネクタ９２と第２の層状ケーブル９３によって、第２のプリント回路９４に接続され、このプリント回路上に、台座９５を介してフード８６の上方に一列に配置されたパイロットランプ７５が接続される。
【０１３１】
幅１００ｍｍのハンドスキャナ７０の電子回路８０は、たとえば１２のチャネルを含むことができ、その結果、８ｍｍの１２の空洞の幅において走査によって表面を検査することが可能になる。空洞が異なるサイズであるハニカム１を検査するためには、光電子エレメントの数を変えたり、さらにソール７２、台座９５、ヘッドのプリント回路８８、第２のプリント回路９４を変えて、さらにそれらを、不変なままである同一主要プリント回路８９と同一電子回路８０に接続すればよい。たとえば、空洞が幅１２ｍｍとなる場合には、幅１００ｍｍのこのハンドスキャナ７０によって、幅が８つの空洞の面積を検査することができるようになり、こうして電子回路８０の４つのチャネルは無駄になる。
【０１３２】
再び、図９を参照してみる。好ましい実施形態においては、器械６０は、光源１５と、マスク２６と、平らなスクリーン２９を有し、そのうちの前記マスク２６は、スクリーン２９に対して垂直な側面を構成する。器械６０は、また、写真タイプの少なくとも１つのチャンバ１００を有し、前記チャンバは、レンズ５１と、光電レセプタのバー(barrette)１０１を備える。幾何学軸５１ａを有するこのレンズ５１は、マスク２６の後方に位置し、ほぼ、マスク２６の観察縁２８に照準を合わせ、幾何学軸５１ａは、この観察縁２８にほぼ直交し、スクリーン２９とともに、１０°未満の入射角βを形成する。レンズ５１は、チャンバ１００の中で、マスク２６の後方から見て、観察縁２８の付近に空間の実像５０を形成する。したがって、この実像５０は、３つの部分で構成される。すなわち、連続して、後方から見たマスク２６の実像１０２と、このマスク２６がスクリーン２９によって隠されていない場合には、同じくマスク２６の後方から見た観察縁２８の実像１０３と、同じくマスク２６の後方から見た観察縁２８の前の空間のマスク以外の実像１０４である。光電レセプタのバー１０１は、レンズ５１から来る光を受け取り、観察縁の実像１０３に平行に、前記観察縁の実像１０３の付近で、マスク以外の実像１０４上に配置される。光電レセプタのバー１０１は、レンズ５０の幾何学軸５１ａ上に来る必要はなく、正確な像を集めることができるように、遠ざかりすぎなければよい。当業者は、マップ４５上に欠陥１０をできるだけはっきりと表わすことができるように、チャンバ１００の位置を調整するであろう。
【０１３３】
光電レセプタのバー１０１は、出力自体は計算機１１３に接続されているアナログ−デジタル変換器１１２の入力に接続される。この変換器１１２は、光電レセプタ１０１を検査し、各光電レセプタによって受け取られる信号の強さと、光電レセプタのバー１０１上で前記光電レセプタの位置を示すダブレットで構成された欠陥のデジタル信号１１４を発生させる。
【０１３４】
器械６０はまた、マスク２６にほぼ平行な移動の方向３７に沿って、また強制的ではないが好ましくは、照明縁２７と観察縁２８に垂直に、マスク２６に対して、マスクと相対的に、ハニカム１を位置決めし、次々と表わすための手段１１６を備える。ハニカム１は、可動型とすることもでき、マスク２６は、たとえば固定型設備の場合には、固定型とすることができ、あるいは、ハンドスキャナタイプの器械の場合には逆にすることができる。
【０１３５】
実際に、マスク２６に対してハニカム１を位置決めし、次々と現わすための手段１１６は、自由表面４とマスク２６との間の距離を、マスクの幅Ｅ以下の距離に保つ。逆の場合には、前記自由表面４の凸凹の結果として偽の欠陥信号が発生する危険が大きくなる。
【０１３６】
器械６０は、また、マスク２６の前でハニカム１の移動３７を測定するための手段１１７を有し、前記移動測定手段１１７はまた、計算機１１４に接続され、移動のデジタル信号１１８を供給する。
【０１３７】
さらに、器械６０は、計算機１１３に結合されたマッピングソフトウェアを有し、前記ソフトウェアは、欠陥のデジタル信号１１４と移動のデジタル信号１１８に基づいて、欠陥マップ４５を構成する。
【０１３８】
オペレータは、何回かの実験によって、チャンバ１００の向きを調整し、マップ４５上の欠陥１０をできるだけはっきりと現わすことができるように、反射によって、観察縁２８の実像１０３の相対的位置を調整するであろう。
【０１３９】
計算機１１３は、市販のマイクロコンピュータとすることができ、マッピングソフトウェアは、このようなマイクロコンピュータと使用することができるスキャナとともに通常市販されている、いずれかのソフトウェアとすることができる。この解決策は経済的であるとともに、スクリーン１２０上に、直接的に、リアルタイムで、欠陥のマップ４５をディスプレイすることが可能である。このマップ４５はまた、マイクロコンピュータに接続されたプリンタ１２１上で要求に基づいてプリントアウトすることもできる。
【０１４０】
有利には、光源１５は、遠ざかった光源に接続された光ファイバ層であり、前記光ファイバは、照明縁２７に向かい合ったマスク２６の後方に位置し、前記光ファイバの先端１５ｂは、たとえば、前記光ファイバの直径の２０倍、照明縁２７から引っ込んだ位置にあり、前記光ファイバ層は、マスク２６に垂直に、照明縁２７に平行な向きである。マスク２６が、単にスクリーンの側面２９によって構成されている場合には、これらの光ファイバは、スクリーン２９の照らされる面２９ａに対して、すなわち光源１５の側から押し当てられる。こうした配置は、ほとんど場所を取らないという利点を有し、さらにハニカムの空洞に対して完全に方向づけられた非常に強い入射光１６を発生することができる。実際、この入射光１６は、マスク２６に完全に垂直な光の層を形成しながら、照明縁２７の前に到達する。ハニカム１の自由表面４の凸凹に対する公差は大きくなる。前記自由表面４から、マスクの幅Ｅの２倍に等しい距離まで、マスク２６を遠ざけることが可能である。このような結果は、理論上は、また点的な光源と集光鏡によって発生し、平行になる入射光を使用することで得られる点が留意できる。しかしながら、このような解決策は、光ファイバ層を実施する解決策とは反対に、光源と集光鏡の集合体が場所をとることから、実施が難しい。
【０１４１】
器械６０は、唯１つのレンズ５１と唯１つのチャンバ１００のみを備えることができる。こうした解決策は、十分な長さにわたって、空洞のラインを同時に観察するために、レンズ５１とマスク２６との間に十分な距離を可能にする固定設備の場合には最も簡単である。器械６０はまた、平行に配置されたＮ＞１個のチャンバ１００に結合したＮ＞１個のレンズ５１を有することができる。このような配置は、その効果として、観察縁２８と実像５０との間の距離をＮで割り、その結果、器械６０の場所をかなり減少させることができる。この後者の解決策は、とりわけ、たとえばハンドスキャナタイプの小さい場所しか必要としない器械６０に適合している。それはまた、発生した実像５０の非常に優れた分解能を保持しながらも、小さいサイズで低価格のレンズ、たとえば一般に市販されている非球面の鋳造レンズによる対物レンズを使用することを可能にする。いずれの場合にも、対物レンズ５１は、観察縁２８に近づくことができ、チャンバ１００は、鏡によって光束を妨げながら、短くすることができる。
【０１４２】
器械はまた、器械６０に連動する第２の光源５３を有し、しかしながら、前記第２の光源５３は、光源１５より弱く、前記第２の光源５３は、検出手段２０とスクリーン２９の同じ側に配置され、前記第２の光源５３は、マスク２６の後方から前記マスク２６の前方にいたる第２の光５４を発生し、前記第２の光５４は、観察縁２８の前を通り、少なくとも観察縁２８と同じ高さに達する。このような第２の光５４は、ハニカム１の自由表面４のような、マスク２６の前に位置する、または、観察縁２８側からマスクをはみ出してマスク２６の付近に位置する、あらゆる物体を照らし出すことができる。少なくとも観察縁２８のすれすれに達しながら、画像が、チャンバ１００によって捕らえられる自由表面４の部分が照らされる。実際に、第２の光５４は、入射光１６に比べ、少なくとも１０倍弱い。
【０１４３】
有利には、第２の光５４は、スクリーン２９に平行であり、観察縁２８に直交している。このことから、観察される空洞５ｂの底部８を照らすことが可能である。
【０１４４】
実際に、位置決め及び並進手段１１６とマスク２６との間の相対的移動３７は、前記減速伝達装置１３１を介して作動するモータ１３０によって行なわれる。有利には、相対的移動１１７の測定手段は、前記モータ１３０と前記原則伝達装置１３１との間に配置される。このような配置とともに、相対的移動の測定は、大きな長さにわたって、迅速に移動する機械的機構において行われ、その結果、測定可能な最小の移動を小さくし、反射によって、マップ４５上に現れることができる細かい精度を改善することができる。
【０１４５】
次に、図１３を参照してみる。しばしば、航空機用のターボエンジンに、ハニカム１のリング１３５が存在しており、前記リング１３５は円形及び円筒形、あるいはほとんどの場合、円錐台形であり、空洞の開口部は、内側に向かって湾曲し、前記リング１３５は、ターボエンジンのロータとスタータの羽根の間の密閉ライニングとして使用される。リング１３５が、この製造段階で一体成形されている場合は、従来の唯一の検査方法は、空洞を明るくし、隣接する空洞内のろう付け欠陥を通る光を検出するというものである。そのことは、従来の技術として挙げられた特許ＦＲ．２．７１６．２６０によって提案された器械を用いて、または内視鏡を用いて行うことができる。いずれの場合にも、この検査は大変時間がかかりで、サンプリングによってしか行うことができない。本発明は、このような検査を迅速にまた完全に、すなわちハニカムの自由表面の完全性のために徹底して行うことを可能にする。そのために、位置決め及び並進手段１１６は、マスク２６の前にハニカムのリング１３５を次々に出現させるための回転プレート１３６と、マスク２６の前にハニカム１３５の前記リングを位置決めさせるための円形取付台１３７を有し、前記円形取付台１３７は、回転プレート１３６上に配置され、前記回転プレート１３６の回転用幾何学軸１３６ａに対してセンタリングされる。この回転プレート１３６は、減速伝達装置１３１を介して、モータ１３０によって駆動され、相対的移動測定手段１１７は、モータ１３０と減速伝達装置１３１との間に配置される。
【０１４６】
リング１３５のテーパ比があまりに小さいまたはゼロである場合には、レンズ５１の幾何学軸５１ａは、前記リング１３５と衝突するので、レンズ５１は、リング１３５の上方に配置され、ここに図示されていない鏡を介して前記リング１３５の内側表面を眺める。
【０１４７】
このような器械によって、マスク２６にその厚さ方向において、リングの断面と相補的な断面を与えることによって、バーップがおよそ１０ｍｍの階段状の断面をともなうリング１３５を検査することが可能になった。
【０１４８】
リング１３５は、この製造段階では、ここには番号付けされていない独立したセクタの形で現れ、それらのセクタは有利には、ともに検査されるように、取付台１３７の中に並んで配置される。
【０１４９】
再び図９を参照してみる。有利には、マスク２６と、位置決め及び並進手段１１６は、照明縁２７と観察縁２８に垂直な方向に沿って互いにスライドし、前記方向はスクリーン２９に平行となり、器械６０はまた、前記マスク２６を互いに自動的に近づける弾性戻り手段と、前記位置決め及び並進手段１１６を有する。このような配置によって、マスク２６は、マスクの前に及びマスクの付近に配置されたあらゆる物体、とりわけハニカム１の自由表面４に対して自動的に接触し、その結果、自由表面４がより凸凹であるようなハニカム１の検査が可能になる。実際に、このようにしてマスク２６と自由表面４との間隔があまりにあいてしまうことによって偽の欠陥信号が発生するのをを防ぐことができる。特定の実施形態では、マスク２６は、ハニカム１が前記マスク２６の前に次々に現れる間中、常にハニカム１に押し当てられており、このことから、マスク２６とハニカム１との間に出現するおそれのある空間を最小限に保ち、結果的に、ハニカム１の形状の凸凹に対する器械の公差を増大させることが可能になる。本発明の他の実施形態においては、マスク２６は、たとえばストッパによって保持される。このストッパを、自由表面４の限られた距離に調整することで、前記自由表面４上のマスク２６の恒常的な接触及び摩擦を防ぐことができる。こうした摩擦は、マスクの摩耗を発生させ、定期的なマスクの交換を必要とする。ただし、自由表面４があまりに凸凹である場合には、その表面はマスク２６に接触してしまい、後方に向かって損傷することなくマスクを押戻すことになるだろう。
【０１５０】
次に、図１４を参照してみる。ここでは、マスク２６とスクリーン２９の集合体をマスク−スクリーン１３８と呼ぶ。マスク−スクリーン１３８は、マスク２６のほぼ平行に、すなわち、スクリーン２９にほぼ垂直に配置された２つの平らな前方板ばね１４０によって、前方に、すなわちマスク２６の近くで保持される。マスク−スクリーンの集合体１３８は、同様に、少なくとも１つの後方板ばね１４１によって後方で保持され、前記後方ばね１４１は、前方ばね１４０にほぼ平行に配置され、前記後方ばね１４１は、少なくとも４分の１回転するためにねじられている。このような配置によって、２種類の自由度、すなわちマスク２６にほぼ垂直な方向に沿った並進における自由度１４２と、前方ばね１４０のほぼ平行な幾何学軸１４３ａに沿って、前記前方ばね１４０のほぼ中間点に位置する回転１４３における自由度をともない、マスク−スクリーンの集合体１３８を遊びも摩擦もなく保持することが可能になる。回転における自由度は、後方ばね１４１のねじりによって得られることがわかる。マスク−スクリーンの集合体１３８がハニカム１の自由表面４に対して押し付けられる場合には、前記自由表面４の凸凹やゆがみにもかかわらず、マスク２６の前をハニカム１が相対的な移動３７を行う間中、前記自由表面４に押し付けられたままになる。
【０１５１】
こうした配置には複数の利点がある。
【０１５２】
−  マスク−スクリーンの集合体１３８が、遊びも摩擦もなく、すなわち摩耗することなく保持される。
【０１５３】
−  ２つの自由度１４２及び１４３にしたがってマスク−スクリーンの集合体１３８が移動している間中、実像５０の側方向の移動は、二次元のままであり、すなわち非常に小さく、そのことがマスク２６に対する検出手段２０の調整を損なうことはない。
【０１５４】
−  可動部品は非常に軽くすることもでき、その結果、マスク２６の前に非常に迅速にハニカム１が次々現れるようにすることができる。
【０１５５】
ここで図１４と１５を同時に参照してみる。有利には、スクリーン２９は、軽合金または補強ファイバ＋ポリマ含浸樹脂の複合材料でできた薄板である。マスク２６は、取り外しできるように、スクリーン２９に結合された摩耗部品またはマスクホルダ１４４の側面によって構成され、前記マスクホルダ１４４は、それ自体が、マスク２６を構成する長方形及び垂直な側面を有する金属プレートとすることができる。前記プレートは、その摩擦品質と摩耗耐性を改善するために、少なくともマスク２６のレベルで処理を受ける。この処理は、たとえば窒素処理とすることができる。後方ばね１４１の数は２つであり、おおよそ正方形の角度に沿って後方ばね１４０とともに配置される。前方及び後方ばね１４０、１４１は、それらの先端に、それぞれ垂直な脚１４０ａ、１４０ｂ及び１４１ａ、１４１ｂを有し、前記ばね１４０、１４１は、脚１４０ａ、１４０ｂによってマスク−スクリーンの集合体に結合され、前記ばね１４０、１４１は、他の脚１４０ｂ、１４１ｂによってここに図示されていないサポートに結合される。光源１５は、スクリーン２９の一面に押し当てられ、ばね１４０、１４１の間を通過する光ファイバ層である。スクリーン２６とマスクホルダ１４４は、不透明な黒い表面処理を受ける。
【図面の簡単な説明】
【図１】ハニカムの断面と、欠陥検出の一般的方法を示す図である。
【図２】ハニカムの表面における空洞の開口部と、前記開口部のサイズに応じた照らされるゾーンと観察されるゾーンを結び付ける条件を示す図である。
【図３】ハニカムの表面における空洞の開口部と、前記開口部のサイズに応じた照らされるゾーンと観察されるゾーンを結び付ける条件を示す図である。
【図４】空洞の２本のライン間の欠陥の同時検査と、走査による検査、さらにそれら２つの検査形態の組み合わせを示す図である。
【図５】ハニカムの表面における空洞の開口部と、照らされるゾーンと観察されるゾーンが、目立たない基本的ゾーンで構成されている場合における、前記開口部のサイズに応じて照らされるゾーンと観察されるゾーンとを結び付ける条件の適用を示す図である。
【図６】ハニカムの表面における空洞の開口部と、照らされるゾーンと観察されるゾーンが、目立たない基本的ゾーンで構成されている場合における、前記開口部のサイズに応じて照らされるゾーンと観察されるゾーンとを結び付ける条件の適用を示す図である。
【図７】ハニカムの表面における空洞の開口部と、照らされるゾーンと観察されるゾーンが連続している場合における、前記開口部のサイズに応じて照らされるゾーンと観察されるゾーンとを結び付ける条件の適用を示す図である。
【図８】ハニカムの表面における空洞の開口部と、照らされるゾーンと観察されるゾーンが連続している場合における、前記開口部のサイズに応じて照らされるゾーンと観察されるゾーンとを結び付ける条件の適用を示す図である。
【図９】光学画像の構成による方法、また、スキャナタイプの情報処理手段を用いた前記欠陥のマッピングによる方法の実施形態を示す図である。この図はまた、対応する器械も示している。
【図１０ａ】照明縁と観察縁が直線的かつ平行である場合の、特定の実施形態における検査器械の最小限の手段を示す図である。
【図１０ｂ】照明縁と観察縁が分割されている場合の、特定の実施形態における検査器械の最小限の手段を示す図である。
【図１１】瞬間的にディスプレイできるハンドスキャナタイプの器械を示す図である。
【図１２】図１１に示されたスキャナのために必要となるエレクトロニクス手段を示す図である。
【図１３】ハニカム状の円錐台形リングを検査するための器械を示す図である。
【図１４】前記板ばねの側から見た板ばね上のスクリーンの取付けを示す図である。
【図１５】板ばねと向かい合った側から見た同一スクリーンの取付けを示す図である。
【符号の説明】
１  ハニカム
２  表皮
３  空洞心材
４  自由表面
５  空洞
６  開口部
７  隔壁
８  底部
１５  光源
１５ａ  基本的光源
１５ｂ  光ファイバの先端
１６  入射光
１７  照らされるゾーン
１８  照明境界線
２０  検出手段
２０ａ  基本的検出手段
２１  射出光
２２  観察されるゾーン
２２ａ  上方の空間
２３  観察境界線
２５  中間ゾーン
２６  マスク
２７  照明縁
２７ａ  開放された線
２８  観察縁
２９、１２０  スクリーン
３７  移動
３８  幾何学表面
５０  実像
５１  レンズ
５１ａ  幾何学軸
５２  調節点
５３  第２の光源
５４  第２の光
６０  器械
７２  ソール
７３、７４  孔の列
７５  パイロットランプ
８２  増幅器
８３  バックグランド分離器
１００  チャンバ
１０１光電レセプタのバー
１０３  観察縁の実像
１０４  マスク以外の実像
１１２  サンプリング用アナログ−デジタル変換器
１１３  計算機
１１４  デジタル信号
１１６  並進手段
１１７  移動測定手段
１１８  移動のデジタル信号
１３０  モータ
１３１  減速伝達装置
１３６  回転プレート
１３６ａ  回転用幾何学軸
１３７  円形取付台
１３８  マスク−スクリーン
１４０  前方ばね
１４１  後方ばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０ａ】
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【図１０ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
0003710971.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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