(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも第１基板と第２基板を備えた気密容器、その気密容器の内部に配設した陰極、アノード電極を備えた蛍光発光管において、線状部材を所定の高さに保持しその線状部材の両端を固定する金属ワイヤー及びその金属ワイヤーを固定する一対の金属層を備え、その金属層は気密容器内に形成してあり、前記金属層に前記線状部材の両端と前記金属ワイヤーを超音波ボンディングしてあることを特徴とする蛍光発光管。
【請求項２】
請求項１に記載の蛍光発光管において、前記金属ワイヤーは溝を有し、その溝に前記線状部材の両端をはめ込んであることを特徴とする蛍光発光管。
【請求項３】
請求項１に記載の蛍光発光管において、前記金属ワイヤーと前記線状部材はそれらの軸が平行になるように配置してあることを特徴とする蛍光発光管。
【請求項４】
請求項１に記載の蛍光発光管において、前記線状部材の両端は、前記金属ワイヤーに埋め込まれていることを特徴とする蛍光発光管。
【請求項５】
請求項１に記載の蛍光発光管において、前記線状部材は、陰極用のフィラメント、ワイヤー状ダンパー、ワイヤー状スペーサー、ワイヤー状グリッド、又はワイヤー状ゲッターであることを特徴とする蛍光発光管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、熱陰極用フィラメント、ワイヤー状グリッド、フィラメント又はワイヤー状グリッドのワイヤー状ダンパー、フィラメント又はワイヤー状グリッドのワイヤー状スペーサー等の線状部材を備えた蛍光表示管等の蛍光発光管に関し、特にその線状部材の固定構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】
特開２００２−２４５９２５号公報
図９により従来の蛍光表示管について説明する。
図９（ａ）は、図９（ｂ）のＸ２−Ｘ２部分の矢印方向の断面図、図９（ｂ）は、図９（ａ）のＸ１−Ｘ１部分の矢印方向の断面図である。
蛍光表示管は、対向する基板１１１，１１２と、側面板１２１〜１２４とからなる気密容器を備え、その気密容器内に、熱陰極用のフィラメント２３、グリッド４３、蛍光体３２を塗布したアノード電極３１等を備えている。蛍光体３２は、フィラメント２３から放出される電子によって発光し、フィラメント２３から放出される電子は、グリッド４３によって制御される。
【０００３】
基板１１１には、１対のカソード電極用のＡｌ薄膜２１１，２１２を形成してある。フィラメント２３の両端は、Ａｌ薄膜２１１，２１２とＡｌワイヤー２５１，２５２との間に挟持した状態で、Ａｌワイヤー２５１，２５２をＡｌ薄膜２１１，２１２に超音波ボンディングにより固定してある。フィラメント２３は、スペーサー２６１，２６２によって所定の高さに保持されている。
【０００４】
また基板１１１には、１対のダンパー固定用のＡｌ薄膜６１１，６１２を形成してある。ワイヤー状ダンパー６３は、その両端をＡｌ薄膜６１１，６１２とＡｌワイヤー６２１，６２２との間に挟持した状態で、Ａｌワイヤー６２１，６２２をＡｌ薄膜６１１，６１２に超音波ボンディングにより固定してある。ワイヤー状ダンパー６３は、スペーサー６４１，６４２によって所定の高さに保持されている。ワイヤー状ダンパー６３は、図９（ｂ）のようにフィラメント２３と接触しないようにフィラメント２３から離して配置し、フィラメント２３が振動したときフィラメント２３と接触してその振動を阻止し、フィラメント２３が他の電極等に接触するのを防止している。
なお図９の蛍光表示管と同様の構造の蛍光表示管は、【特許文献１】に開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
図９の従来の蛍光表示管は、例えばフィラメント２３を固定する場合、フィラメント２３の両端をＡｌワイヤー２５１，２５２によってＡｌ薄膜２１１，２１２に固定するとともに、フィラメント２３を所定の高さに保持するためにスペーサー２６１，２６２を設置する必要がある。そのため蛍光表示管のデッドスペースが大きくなり、蛍光表示管の小型化の障害になっている。
【０００６】
このデッドスペースは、図９のようにワイヤー状ダンパーも設ける場合には、さらに大きくなる。またこのデッドスペースは、ワイヤー状グリッドやフィラメントのワイヤー状スペーサー等の線状部材も設置する場合には、さらに一層大きくなる。
本願発明は、これらの問題点に鑑み、フィラメント等の線状部材の両端の固定手段とスペーサーとを一体構造にしてデッドスペースの小さい蛍光表示管等の蛍光発光管を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本願発明は、前記目的を達成するため、請求項１に記載の蛍光発光管は、少なくとも第１基板と第２基板を備えた気密容器、その気密容器の内部に配設した陰極、アノード電極を備えた蛍光発光管において、線状部材を所定の高さに保持しその線状部材の両端を固定する金属ワイヤー及びその金属ワイヤーを固定する一対の金属層を備え、その金属層は気密容器内に形成してあり、前記金属層に前記線状部材の両端と前記金属ワイヤーを超音波ボンディングしてあることを特徴とする。
請求項２に記載の蛍光発光管は、請求項１に記載の蛍光発光管において、前記金属ワイヤーは溝を有し、その溝に前記線状部材の両端をはめ込んであることを特徴とする。
請求項３に記載の蛍光発光管は、請求項１に記載の蛍光発光管において、前記金属ワイヤーと前記線状部材はそれらの軸が平行になるように配置してあることを特徴とする。
請求項４に記載の蛍光発光管は、請求項１に記載の蛍光発光管において、前記線状部材の両端は、前記金属ワイヤーに埋め込まれていることを特徴とする。
請求項５に記載の蛍光発光管は、請求項１に記載の蛍光発光管において、前記線状部材は、陰極用のフィラメント、ワイヤー状ダンパー、ワイヤー状スペーサー、ワイヤー状グリッド、又はワイヤー状ゲッターであることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１〜図８により本願発明の実施の形態に係る、蛍光発光管の一種である蛍光表示管を説明する。なお各図に共通の部分は、同じ符号を使用している。また同じ構成要素が複数存在する場合には、その中の１つにのみ符号を付してある。
【０００９】
図１は、本願発明の第１実施の形態に係る蛍光表示管の断面図で、図１（ａ）は、図１（ｂ）のＹ２−Ｙ２部分の矢印方向の断面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＹ１−Ｙ１部分の矢印方向の断面図である。
【００１０】
蛍光表示管は、気密容器を備え、その気密容器は、少なくとも対向するガラス等の絶縁材からなる複数基板（第１基板、第２基板）１１１，１１２を備えている。各基板１１１，１１２は、ガラス等の絶縁材からなる側面板１２１〜１２４とフリットガラス（図示せず）により封止して気密容器を形成している。なお側面板１２１〜１２４を用いずに、フリットガラスのみで両基板１１１，１１２を封止して気密容器を形成することもできる。そこでこれらの側面板１２１〜１２４、フリットガラスを側面部材と呼ぶ。
気密容器内には、熱陰極用のフィラメント２３、金属メッシュ等からなるグリッド４３、金属からなり表面に蛍光体３２を塗布したアノード電極３１等を備えている。蛍光体３２は、フィラメント２３から放出される電子によって発光し、フィラメント２３から放出される電子は、グリッド４３によって制御される。
なお基板１１１，１１２の内、少なくとも蛍光体３２の発光を観察する側の基板は、透明のガラスを使用している。
【００１１】
基板１１１には、４本のフィラメント２３に対して１対のカソード電極用のＡｌ薄膜２１１，２１２を形成してある。１対のカソード電極用のＡｌ薄膜２１１，２１２は、１本のフィラメント毎に独立して形成してもよい。Ａｌ薄膜２１１，２１２には、Ａｌワイヤー２２１，２２２とフィラメント２３の両端を超音波ボンディングにより固定してある。その際Ａｌワイヤー２２１，２２２とフィラメント２３は、それらの長手方向を通る軸が同方向になるように（平行になるように）配置してある。
フィラメント２３を固定するときは、冶具の枠(図示せず)に張架したフィラメント２３を、Ａｌワイヤー２２１，２２２に載置し、フィラメント２３とＡｌワイヤー２２１，２２２を同時にＡｌ薄膜２１１，２１２に固定する。
なおフィラメント２３は、図示しない中間基板を気密容器内に設けて、その中間基板に固定することもできる。
【００１２】
ここで、Ａｌ薄膜２１１，２１２は、スパッタリング等によって膜厚０．１μｍ以上に形成した。Ａｌワイヤー２２１，２２２は、直径０．１ｍｍ〜１．０ｍｍ程度のものを使用できるが、本実施の形態は、０．５ｍｍのものを使用した。フィラメント２３は、Ｗ線の芯線に三元炭酸塩（Ｂａ，Ｓｒ，Ｃａ）の電子放出材料をコーティングしたものを用いた。Ｗ線の芯線は、太さ０．３ＭＧ（直径約１０μｍ）〜７．５３ＭＧ（直径約５０μｍ）程度のものを使用できるが、本実施の形態は、太さ１．０５ＭＧ（直径約１８μｍ）のものを使用し、電子放出材料のコーティング後の直径が３０μｍのものを使用した。フィラメント２３の芯線とＡｌワイヤー２２１，２２２との太さの比は、１：４程度に選定するのが望ましい。
フィラメント２３と基板１１１との間隔は、０．３ｍｍ程度に設定した。また各フィラメント２３の間隔は、０．８〜３ｍｍ程度に設定した。
なおＡｌ薄膜２１１，２１２は、薄膜に代えて、膜厚１０μｍ以上の厚膜を印刷等によって形成してもよい。
【００１３】
Ａｌワイヤー２２１，２２２は、フィラメント２３の固定部材であるとともに、フィラメント２３を所定の高さに保持するためのスペーサーの機能も兼ね備えている。したがって従来のフィラメントの両端に設置するスペーサーの設置スペースが不要になり、その分蛍光表示管のデッドスペースを小さくすることができ、蛍光表示管を小型にすることができる。また従来のスペーサーの固定工程が不要になるから、製造工程が簡単になり、かつ部品点数が少なくなるから蛍光表示管の製造コストを低減することができる。
【００１４】
図１の場合、Ａｌワイヤー２２１，２２２とフィラメント２３は、それらの軸が同方向になるように（平行になるように）配置してあるから、Ａｌワイヤー２２１，２２２と隣接するＡｌワイヤーとの間隔を狭くすることができる。したがって図１の場合には、フィラメント２３を微細ピッチで配置することができる。またＡｌワイヤー２２１と側面板１２２の間隔、及びＡｌワイヤー２２２と側面板１２４の間隔は、１ｍｍ程度あればよいから、デッドスペースを小さくできる。
【００１５】
図２は、図１のフィラメントの超音波ボンディングを説明する図で、溝を形成したＡｌワイヤーを用いた場合の例である。
基板１１１のＡｌ薄膜２１１に溝２２１１を形成したＡｌワイヤー２２１を仮止めし（図２（ａ））、その溝２２１１にフィラメント２３の端部をはめ込み（図２（ｂ））、超音波ボンディングツール（ウエッジツール）８０を矢印方向からＡｌワイヤー２２１に押し付け、超音波ボンディングツールに超音波を印加して（図２（ｃ））、Ａｌワイヤー２２１とフィラメント２３をＡｌ薄膜２１１にボンディングする（図２（ｄ））。図２の場合、超音波ボンディングツール８０は、フィラメント２３毎に順次移動して駆動するが、複数のフィラメントを同時にボンディングする構造のものを用いることもできる。
なおＡｌワイヤー２２１は、必ずしもＡｌ薄膜２１１に仮止めする必要はないが、仮止めするとＡｌワイヤー２２１が安定しているから、作業が容易になる。またフィラメント２３は、芯線に三元炭酸塩をコーティングしてあるが、ボンディング部分の三元炭酸塩は、ボンディングの際簡単にはがれるから、事前に除去しておいてもよいし、除去しなくてもよい。
【００１６】
ここで超音波ボンディング装置の超音波出力は１５Ｗ、超音波ボンディングツールの荷重は１，１００ｇ、接合時間は２５０ｍ秒に設定した。
図２の場合、Ａｌ薄膜２１１とＡｌワイヤー２２１との接合強度は２０Ｎ、フィラメント２３の断線強度は０．５Ｎとなり、フィラメント２３の断線強度よりも大きい接合強度が得られる。
【００１７】
図３は、図２においてＡｌワイヤー２２１の溝２２１１の方向を種々変えた場合の例である。図３（ａ）〜図３（ｃ）の左側は、超音波ボンディングツール８０をＡｌワイヤー２２１に押し付け、超音波ボンディングツールに超音波を印加する状態を示し、右側は、ボンディングが完了した状態を示す。
【００１８】
図３（ａ）は、Ａｌワイヤー２２１の溝２２１１をＡｌ薄膜２１１側に向けた例である。Ａｌワイヤー２２１は、予めフィラメント２３の端部に取付けておき、両者を同時にＡｌ薄膜２１１にボンディングしてもよいし、或いはＡｌワイヤー２２１をＡｌ薄膜２１１に仮止めし、その仮止めしたＡｌワイヤー２２１の溝２２１１にフィラメント２３の端部をはめ込むようにしてもよい。図３（ｂ）及び図３（ｃ）は、Ａｌワイヤー２２１の溝２２１１を横向き（Ａｌ薄膜２１１と並行する方向）にした例で、Ａｌワイヤー２２１は、予めフィラメント２３の端部に取付けておき、両者を同時にＡｌ薄膜２１１にボンディングする。
【００１９】
図４は、図１のフィラメントの超音波ボンディングを説明する図で、溝を形成してないＡｌワイヤーを用いた場合の例である。
基板１１１のＡｌ薄膜２１１にＡｌワイヤー２２１を仮止めし（図４（ａ））、その仮止めしたＡｌワイヤー２２１にフィラメント２３の端部を載置し（図４（ｂ））、超音波ボンディングツール８０を矢印方向からＡｌワイヤー２２１とフィラメント２３に押し付け、超音波ボンディングツール８０に超音波を印加して（図４（ｃ））、両者を同時にＡｌ薄膜２１１にボンディングする（図４（ｄ）又は図４（ｅ））。
【００２０】
図４（ｄ）は、フィラメント２３の一部がＡｌワイヤー２２１の表面に現れている例であり、図４（ｅ）は、フィラメント２３がＡｌワイヤー２２１内に完全に埋め込まれた例である。フィラメント２３がＡｌワイヤー２２１に埋め込まれる程度は、超音波ボンディング装置の超音波の出力や接合時間や加重によって変わり、その出力や接合時間や加重の違いにより図４（ｄ）又は図４（ｅ）の例のようになる。
なおＡｌワイヤー２２１は、必ずしもＡｌ薄膜２１１に仮止めする必要はないが、仮止めするとＡｌワイヤー２２１が安定しているから、フィラメント２３の固定作業が容易になる。
図４の場合は、Ａｌワイヤー２２１に溝を形成しないから、Ａｌワイヤー２２１の構造が簡単になり、Ａｌワイヤー２２１の製造コストを低減できる。
【００２１】
図２〜図４の超音波ボンディングにおいて、基板１１１（或いはＡｌ薄膜２１１）とフィラメント２３との間隔（距離）は、同じ太さのＡｌワイヤー２２１を使用した場合、超音波ボンディングツール８０の押圧面の形状や凹部の深さ、及び超音波ボンディング装置の超音波出力、超音波ボンディングツールの荷重、接合時間等のボンディング条件によって決まる。例えば、基板１１１とフィラメント２３との間隔は、ボンディング条件が同じ場合には、超音波ボンディングツール８０の押圧面の形状や凹部の深さ、特にその凹部の深さによって決まる。この場合、Ａｌワイヤー２２１はその凹部に広がって凸部を形成し、その凸部の高さは、凹部の深さによって決まる。また基板１１１とフィラメント２３との間隔は、超音波ボンディングツール８０の押圧面の形状や凹部の深さが同じ場合には、ボンディング条件によって決まる。この場合、Ａｌワイヤー２２１は、ボンディング条件の違いによって基板１１１上の広がりの大きさが変わり、その広がりの大きさが変わると厚みも変わる。
【００２２】
図５は、本願発明の第２実施の形態に係る蛍光表示管の断面図で、図５（ａ）は、図５（ｂ）のＹ４−Ｙ４部分の矢印方向の断面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＹ３−Ｙ３部分の矢印方向の断面図である。
【００２３】
図５の蛍光表示管は、Ａｌワイヤー２２１，２２２の軸とフィラメント２３の軸とが交差するように、Ａｌワイヤー２２１，２２２を配置してある。そのためフィラメント２３の両端をＡｌワイヤー２２１，２２２に固定する際、フィラメント２３は、Ａｌワイヤー２２１，２２２に安定した状態で載置できるから、フィラメント２３の固定作業が容易になる。
【００２４】
図６は、図１、図２の蛍光表示管のフィラメント２３の詳細例な構造を示す。図６（ａ）のフィラメント２３は、フィラメント全体がコイル状で、全体が同一ピッチで構成されている。図６（ｂ）のフィラメント２３は、フィラメント全体がコイル状で、部分的に異なるピッチで構成されている。図６（ｃ）のフィラメント２３は、コイル状部分と直線状部分とによって構成されている。図６（ｄ）のフィラメント２３は、全体が直線状に構成されている。
なおフィラメント２３は、Ｗ線、Ｗ合金線（Ｗ，Ｒｅ）等の芯線に三元炭酸塩（Ｂａ，Ｓｒ，Ｃａ）等の電子放出材料をコーティングしたものを用いることができる。
このように線状部材にコイル状部を形成することにより、線状部材にテンションを付与する。このテンションにより線状部材を陰極用フィラメントして用いる場合には、通電加熱時にフィラメントが熱膨張してグリッド等の部品に接触するのを防止する。これは、線状部材をグリッド（ワイヤー状グリッド）として用いる場合についても同様である。また線状部材をフィラメントダンパー等として用いる場合には、通電加熱する必要がないため、必ずしもコイル状部を形成する必要はない。
【００２５】
図７は、本願発明の第３実施の形態に係る蛍光表示管の断面図で、図７（ａ）は、図７（ｂ）のＹ６−Ｙ６部分の矢印方向の断面図、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＹ５−Ｙ５部分の矢印方向の断面図である。
【００２６】
図７の蛍光表示管は、グリッドをワイヤー状グリッド４３で構成している。フィラメント２３は、図１或いは図５と同様に基板１１１（図示せず）に固定してある。
ワイヤー状グリッド４３の両端は、Ａｌワイヤー４２１，４２２とともに、一対のグリッド電極用のＡｌ薄膜４１１，４１２に超音波ボンディングにより固定してある。Ａｌワイヤー４２１，４２２とワイヤー状グリッド４３は、それらの軸が同方向になるように（平行になるように）配置してある。ワイヤー状グリッド４３は、Ｗ線、Ｍｏ線、ステンレス線、ＳＵＳ４３０合金線、４２６合金（Ｎｉ４２％、Ｃｒ６％，残部Ｆｅからなる）線等を使用できる。
【００２７】
Ａｌワイヤー４２１，４２２は、ワイヤー状グリッド４３の固定部材であるとともに、ワイヤー状グリッド４３を所定の高さに保持するためのスペーサーの機能も兼ね備えている。したがって従来のワイヤー状グリッドの両端に設置するスペーサーの設置スペースが不要になり、その分蛍光表示管のデッドスペースを小さくし、蛍光表示菅を小型にすることができる。また従来のスペーサーを固定する工程が不要になるから、製造工程が簡単になり、かつ部品点数が少なくなるから蛍光表示管の製造コストを低減することができる。
【００２８】
図７の場合、Ａｌワイヤー４２１，４２２とワイヤー状グリッド４３は、それらの軸が同方向になるように（平行になるように）配置してあるから、Ａｌワイヤー４２１，４２２の隣接するＡｌワイヤーの間隔を狭くすることができる。したがって図７の場合には、ワイヤー状グリッド４３を微細ピッチで配置することができる。またＡｌワイヤー４２１と側面板１２１の間隔、及びＡｌワイヤー４２２と側面板１２３の間隔は、１ｍｍ程度あればよいから、デッドスペースを小さくできる。
【００２９】
図８は、本願発明の第４実施の形態に係る蛍光表示管の断面図で、図８（ａ）は、図８（ｂ）のＹ８−Ｙ８部分の矢印方向の断面図、図８（ｂ）は、図８（ａ）のＹ７−Ｙ７部分の矢印方向の断面図である。
【００３０】
図８の蛍光表示管は、フィラメント２３のワイヤー状スペーサー５３、フィラメント２３のワイヤー状ダンパー６３、ワイヤー状ゲッター７３等を備えている。
フィラメント２３は、ワイヤー状スペーサー５３に接して所定の高さに保持されている。フィラメント２３の近傍に設けた１組のワイヤー状スペーサー５３の間には、フィラメント５３が振動して基板１１１上の他の部品と接触するのを防止するため、ワイヤー状ダンパー６３が設けてある。
ワイヤー状スペーサー５３の両端は、Ａｌワイヤー５２１，５２２とともに、一対のスペーサー固定用のＡｌ薄膜５１１，５１２に超音波ボンディングにより固定してある。同様にワイヤー状ダンパー６３は、Ａｌワイヤー６２１，６２２とともに、一対のスペーサー固定用のＡｌ薄膜６１１，６１２に超音波ボンディングにより固定してある。またワイヤー状ゲッター７３は、Ａｌワイヤー７２１，７２２とともに、一対のゲッター固定用のＡｌ薄膜７１１，７１２に超音波ボンディングにより固定してある。
ここでワイヤー状ダンパー６３は、直径４０μｍ程度のものを、１０〜２０ｍｍ間隔で配置してある。
【００３１】
図８の場合、Ａｌワイヤー５２１，５２２及びＡｌワイヤー６２１，６２２は、ワイヤー状スペーサー５３及びワイヤー状ダンパー６３を、Ａｌ薄膜５１１，５１２及びＡｌ薄膜６１１，６１２に固定するとともに、そのワイヤー状スペーサー５３及びワイヤー状ダンパー６３を所定の高さに保持する機能も兼ね備えている。したがって従来のワイヤー状スペーサー及びワイヤー状ダンパーの両端に設置するスペーサーの設置スペースが不要になり、その分蛍光表示管のデッドスペースを小さくし、蛍光表示菅を小型にすることができる。また従来のスペーサーを固定する工程が不要になるから、製造工程が簡単になり、かつ部品点数が少なくなるから蛍光表示管の製造コストを低減することができる。
【００３２】
同様にワイヤー状ゲッター７３も、そのスペーサーの設置スペースが不要になる。かつワイヤー状ゲッター７３は、ワイヤー状であるから、蛍光表示管内の狭い細長いスペースにゲッターミラーを形成することができ、蛍光表示管内の空きスペースを有効に利用することができる。
【００３３】
ここで、ワイヤー状ゲッター７３には、蒸発型ワイヤーゲッターと非蒸発型ワイヤーゲッターがある。
蒸発型ワイヤーゲッターは、金属の線状部材の表面にゲッター材を被覆したものか、或いは金属の線状部材に設けた溝にゲッター材を充填したものを用いる。蒸発型ワイヤーゲッターは、レーザー光や赤外線を照射して加熱し、ゲッター材を蒸発する。或いはワイヤー状ゲッター７３の固定用のＡｌ薄膜７１１、７１２に電圧を印加して、抵抗加熱によってゲッター材を蒸発する。
非蒸発型ワイヤーゲッターは、Ｚｒ，Ｔｉ，Ｔａを主成分とするものがある。非蒸発型ワイヤーゲッターは、ゲッター材自体を線状部材にしたものか、或いは金属の線状部材の表面にゲッター材を被覆したものを用いる。非蒸発型ワイヤーゲッターは、前記蒸発型ワイヤーゲッターと同様に、レーザー光や赤外線の照射、或いは抵抗加熱によって加熱し、ゲッター材を活性化してガスを吸着する。
【００３４】
また図８のワイヤー状スペーサー５３、ワイヤー状ダンパー６３、ワイヤー状ゲッター７３等の線状部材の固定は、同じ工程で、同じ超音波ボンディング装置によって行うことができるから、線状部材の固定作業を効率的に容易に行うことができる。
なおワイヤー状スペーサー及びワイヤー状ダンパーについては、陰極用フィラメントのスペーサー及びダンパーとして使用した例について説明したが、ワイヤー状グリッドのスペーサー及びダンパーとしても同様に使用することができる。
【００３５】
前記各実施の形態において、線状部材とその線状部材を固定するＡｌワイヤーは、線状部材とＡｌワイヤーとの太さの比が１：４程度に選定するのが望ましい。
前記各実施の形態は、フィラメント、ワイヤー状グリッド、ワイヤー状スペーサー、ワイヤー状ダンパー、ワイヤー状ゲッター等の線状部材の両端を、ＡｌワイヤーによりＡｌ薄膜に固定する例について説明したが、Ａｌワイヤー及びＡｌ薄膜は、Ａｌに限らず、Ｃｕ，Ａｕ，Ａｇ等の金属であればよい。
またＡｌワイヤー（ボンディングワイヤー）は、ワイヤーに限らず、線状部材を所定の高さに保持できる金属ブロックであればよいから、本願発明は、Ａｌワイヤーを含めて金属スペーサーと呼ぶ。またＡｌ薄膜は、薄膜に限らず、厚膜等の金属層であればよいから、本願発明は、Ａｌ薄膜を含めて金属層と呼ぶ。
【００３６】
前記各実施の形態は、超音波ボンディングによる固定方法について説明したが、レーザーによる固定方法等の他の固定方法であってもよい。
前記各実施の形態の蛍光表示管は、グリッドを備えている、いわゆる３極管型のものについて説明したが、グリッドを備えていない、いわゆる２極管型のものであってもよい。
【００３７】
前記各実施の形態は、蛍光表示管を例に説明したが、フィラメント、ワイヤー状グリッド、ワイヤー状スペーサー、ワイヤー状ダンパー、ワイヤー状ゲッター等の線状部材を所定の高さに保持して固定する蛍光発光管、例えば、陰極線管等の表示管、熱陰極放電管等の表示管であってもよい。
【００３８】
【発明の効果】
本願発明は、蛍光発光管において、フィラメント、ワイヤー状グリッド、ワイヤー状スペーサー、ワイヤー状ダンパー、ワイヤー状ゲッター等の線状部材を金属ワイヤーによって所定の高さに保持した状態で、その線状部材の両端と金属ワイヤーをＡｌ薄膜等の金属層に固定するから、従来のように高さ保持部材と固定部材を別々に設置することなく、一個の金属ワイヤーで実現できるから、高さ保持部材と固定部材の設置スペースを小さくすることができ、蛍光発光管を小型にすることができる。
また本願発明は、高さ保持部材と固定部材を一個の金属ワイヤーで実現でき、線状部材の両端と金属ワイヤーを同時に金属層に固定できるから、固定工程数を少なくすることができ、かつ部品点数を少なくすることができるから、蛍光発光管の製造コストを低減することができる。
【００３９】
本願発明は、複数種類の線状部材を固定する場合、同一工程で同一の超音波ボンディング装置によって行うことができるから、線状部材の固定作業が効率的で容易になり、固定作業時間を短縮できる。
【００４０】
本願発明は、Ａｌワイヤー等の金属ワイヤーに溝を形成してあるから、線状部材の端部をその溝にはめ込むことにより、金属ワイヤーと線状部材とを確実に結合させた状態でＡｌ薄膜等の金属層に固定することができるから、線状部材の固定作業が容易になり、かつ線状部材の固定位置のずれを小さくすることができる。
【００４１】
本願発明は、Ａｌワイヤー等の金属ワイヤーと線状部材は、それらの軸が同方向になるように（平行になるように）配置することにより、隣接する金属ワイヤーの間隔を狭くすることができるから、フィラメントやワイヤー状グリッド等の線状部材を微細ピッチで配置することができる。
本願発明は、金属ワイヤーを超音波ボンディングによって固定するから、その固定の際熱を発生しない。したがって固定時の発熱によって他の部品等に損傷を与えることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の第１実施の形態に係る蛍光表示管の断面図である。
【図２】図１のフィラメントの超音波ボンディングを説明する図で、溝を形成したＡｌワイヤーを用いた場合の例である。
【図３】図２においてＡｌワイヤーの溝の方向を種々変えた場合の例である。
【図４】図１のフィラメントの超音波ボンディングを説明する図で、溝を形成してないＡｌワイヤーを用いた場合の例である。
【図５】本願発明の第２実施の形態に係る蛍光表示管の断面図である。
【図６】図１、図５の蛍光表示管のフィラメントの詳細な構造例を示す図である。
【図７】本願発明の第３実施の形態に係る蛍光表示管の断面図である。
【図８】本願発明の第４実施の形態に係る蛍光表示管の断面図である。
【図９】従来の蛍光表示管の断面図である。
【符号の説明】
１１１，１１２    ガラス等の基板
１２１〜１２４    ガラス等の側面板（側面部材）
２１１，２１２    カソード電極用のＡｌ薄膜
２２１，２２２    Ａｌワイヤー
２３    フィラメント
３１    アノード電極
３２    蛍光体
４１１，４１２    ワイヤー状グリッド固定用のＡｌ薄膜
４２１，４２２    Ａｌワイヤー
４３    ワイヤー状グリッド
５１１，５１２    ワイヤー状スペーサー固定用のＡｌ薄膜
５２１，５２２    Ａｌワイヤー
５３    ワイヤー状スペーサー
６１１，６１２    ワイヤー状ダンパー固定用のＡｌ薄膜
６２１，６２２    Ａｌワイヤー
６３    ワイヤー状ダンパー
７１１，７１２    ワイヤー状ゲッター固定用のＡｌ薄膜
７２１，７２２    Ａｌワイヤー
７３    ワイヤー状ゲッター
８０    超音波ボンディングツール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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