(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
修正対象物のパターンを検査し、パターン欠陥を抽出画像として抽出するパターン検査装置に接続され、
該修正対象物の所望の部分のパターンを検出画像として検出する画像検出機構、および、該修正対象物のパターン欠陥を修正するパターン修正機構を備えたパターン欠陥修正装置において、
パターン検査装置から入力される抽出画像と、画像検出機構によって検出した検出画像とを比較する比較機構を具備し、
上記比較機構によって、上記抽出画像と上記検出画像との不一致が認められた場合には、上記抽出画像と上記検出画像とが一致するように、上記画像検出機構と上記修正対象物との相対位置を変更させることを特徴とするパターン欠陥修正装置。
【請求項２】
パターン検査装置から入力される抽出画像と、基準画像とを比較することによって、修正対象物のパターン欠陥がパターン修正機構によって修正必要か否かを判定するパターン判定機構をさらに備えていることを特徴とする請求項１記載のパターン欠陥修正装置。
【請求項３】
パターン修正機構が、パターン欠陥を修正するための数種類のパターン修正治具を有し、これらパターン修正治具が、パターン検査装置から入力される抽出画像に基づいて選択されることを特徴とする請求項１または２記載のパターン欠陥修正装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、液晶パネルの基板等の修正対象物のパターン欠陥を修正するのに好適に用いられるパターン欠陥修正装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、液晶パネルの表示品位の高精細化が進むに伴い、該液晶パネルの基板の配線パターンや回路パターンの欠陥（パターン欠陥）の発生率が高くなってきている。市場においては欠陥の無い液晶パネルが求められているので、この要望を満たし、かつ、液晶パネルを安定して供給するためには、液晶パネルの製造時に、パターン欠陥のある基板を修正する必要がある。
【０００３】
液晶パネルの基板を修正する従来の修正装置は、パターン欠陥を検査する検査装置によって該パターン欠陥の位置座標を読み取った作業者が、パターン欠陥を検出した検出画像を見ながら、欠陥内容を認識すると共に修正方法等を判断して、操作するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、液晶パネルの基板のパターン欠陥は様々な種類（タイプ）があり、上記従来の修正装置では、これら様々な種類のパターン欠陥に対して、修正の種類や位置、幅、大きさ等を作業者が個々に判断して対応する必要がある。従って、該修正装置は、その操作に熟練を要すると共に、作業者によって作業時間（作業効率）がまちまちとなってしまう。このため、作業者に関わりなく安定的に稼働させることができるパターン欠陥修正装置が求められている。
【０００５】
例えば特開平７−８６７２２号公報には、作業者による作業時間のばらつきを無くし、製造工程を安定化させることができるパターン欠陥自動修正装置が開示されている。ところが、該パターン欠陥自動修正装置は、パターン面積の過不足を検出することによってパターン欠陥を判別する構成となっている（同公報の段落番号〔００２０〕の欄等）。このため、上記従来のパターン欠陥自動修正装置では、様々な種類のパターン欠陥を正確に判別することができないので、これらパターン欠陥に適切に対応することができないという問題点を有している。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、作業者に関わりなく安定的に稼働させることができ、工程の安定化並びに省人化を図ることができ、かつ、修正品位を向上させることができるパターン欠陥修正装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明のパターン欠陥修正装置は、上記の課題を解決するために、修正対象物のパターンを検査し、パターン欠陥を抽出画像として抽出するパターン検査装置に接続され、該修正対象物の所望の部分のパターンを検出画像として検出する画像検出機構、および、該修正対象物のパターン欠陥を修正するパターン修正機構を備えたパターン欠陥修正装置において、パターン検査装置から入力される抽出画像と、画像検出機構によって検出した検出画像とを比較する比較機構を具備し、上記比較機構によって、上記抽出画像と上記検出画像との不一致が認められた場合には、上記抽出画像と上記検出画像とが一致するように、上記画像検出機構と上記修正対象物との相対位置を変更させることを特徴としている。
【０００８】
請求項１記載の構成によれば、比較機構によって、パターン検査装置から入力される抽出画像と、画像検出機構によって検出した検出画像とを比較するので、両画像の一致・不一致を判定することによって、修正すべき様々な種類のパターン欠陥の位置および内容を正確に識別することができる。従って、これら様々な種類のパターン欠陥に対して、修正の種類や位置、幅、大きさ等を正確に認識することができるので、これらパターン欠陥の修正に適切にかつ自動的に対応することができる。これにより、作業者に関わりなく安定的に稼働させることができ、工程の安定化並びに省人化を図ることができ、かつ、修正品位を向上させることができるパターン欠陥修正装置を提供することができる。
【０００９】
請求項２記載の発明のパターン欠陥修正装置は、上記の課題を解決するために、請求項１記載のパターン欠陥修正装置において、パターン検査装置から入力される抽出画像と、基準画像とを比較することによって、修正対象物のパターン欠陥がパターン修正機構によって修正必要か否かを判定するパターン判定機構をさらに備えていることを特徴としている。
【００１０】
請求項２記載の構成によれば、パターン判定機構によって、修正対象物のパターン欠陥がパターン修正機構によって修正必要か否かを判定するので、該パターン欠陥が修正不必要である場合には、該パターン欠陥のある修正対象物を修正しないで、該修正対象物を次の製造工程に向けて送り出すことができる。従って、修正必要なパターン欠陥だけを修正することができるので、処理時間を短縮することができ、パターン欠陥修正装置の処理能力をより一層向上させることができる。
【００１１】
請求項３記載の発明のパターン欠陥修正装置は、上記の課題を解決するために、請求項１または２記載のパターン欠陥修正装置において、パターン修正機構が、パターン欠陥を修正するための数種類のパターン修正治具を有し、これらパターン修正治具が、パターン検査装置から入力される抽出画像に基づいて選択されることを特徴としている。
【００１２】
請求項３記載の構成によれば、パターン欠陥に応じて適切なパターン修正治具を選択することができるので、パターン欠陥修正装置の修正品位をより一層向上させることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
〔実施の形態１〕
本発明の実施の一形態について図１ないし図５に基づいて説明すれば、以下の通りである。尚、以下の説明においては、パターン欠陥修正装置として、液晶パネルのガラス基板（修正対象物）のパターン欠陥を修正するのに好適に用いられるパターン欠陥修正装置を例に挙げることとする。
【００１４】
図１に示すように、本実施の形態にかかるパターン欠陥修正装置（以下、修正装置と記す）１は、ガラス基板（図示せず）のパターンを検査し、パターン欠陥を抽出画像として抽出するパターン検査装置（以下、検査装置と記す）２１に接続されている。
【００１５】
検査装置２１は、隣接パターン検出回路２２と、基準パターン記憶部２３と、切り出し回路２４と、パターン比較回路２５と、不一致指摘回路２６と、抽出画像作成機構２７と、上記各構成を統括制御する統括制御部（図示せず）とを備えている。
【００１６】
隣接パターン検出回路２２は、ガラス基板の所望の部分のパターンを、検出画像として順次検出し、その情報を切り出し回路２４に送出する。これら検出画像は、互いに隣接して検出されるようになっており、従って、隣接パターン検出回路２２は、ガラス基板全面のパターンを検出する。
【００１７】
基準パターン記憶部２３には、隣接パターン検出回路２２において検出した検出画像におけるパターン欠陥の有無を判定するための判断基準として、欠陥の無い数種類のパターンが、基準パターンとして予め記憶（登録）されている。
【００１８】
切り出し回路２４は、基準パターンに対応するパターンを、隣接パターン検出回路２２から入力された検出画像から切り出し（抽出し）、該パターンの情報（信号）をパターン比較回路２５に送出する。
【００１９】
パターン比較回路２５は、切り出し回路２４にて切り出されたパターンと、基準パターンとを比較して、その情報を不一致指摘回路２６に送出する。
【００２０】
不一致指摘回路２６は、修正装置１にて修正すべき部分を有するガラス基板を検出する回路であり、パターン比較回路２５から入力された情報に基づき、切り出し回路２４にて切り出されたパターンと、基準パターンとに不一致が認められる場合に、ガラス基板にパターン欠陥が存在すると指摘（判定）し、その情報を抽出画像作成機構２７に送出する。
【００２１】
抽出画像作成機構２７は、不一致指摘回路２６から入力された情報に基づき、パターン欠陥抽出画像（抽出画像）２７ａを作成すると共に、修正を行う際に必要な情報であるパターン欠陥位置情報２７ｂやパターン欠陥サイズ情報２７ｃ、パターン欠陥分類情報２７ｄ等を作成し、これら情報を修正装置１に対して出力する。
【００２２】
上記の修正装置１は、パターン修正機構２と、画像検出機構３と、ガラス基板を載置するテーブル４と、駆動部６とを装置本体５に備えると共に、駆動部制御部７と、基準画像記憶部１０と、欠陥選別回路（パターン判定機構）１１と、パターン比較回路（比較機構）１２と、一致指摘回路（比較機構）１３と、修正パターン制御回路１４と、上記各構成を統括制御する統括制御部（図示せず）とをさらに備えている。
【００２３】
テーブル４は、パターン欠陥を修正すべきガラス基板を着脱自在に保持するようになっており、パターン欠陥修正時においては該ガラス基板を固定する。
【００２４】
パターン修正機構２は、ガラス基板のパターン欠陥を修正するための数種類のパターン修正治具（図示せず）を有しており、検査装置２１から入力されるパターン欠陥抽出画像２７ａに基づいて、適切なパターン修正治具を選択する。そして、パターン修正機構２は、ガラス基板のパターン欠陥を自動的に修正するようになっている。上記のパターン修正治具としては、具体的には、例えば、パターン欠陥が短絡である場合に該短絡部分を切除するレーザカッター等の切除治具、パターン欠陥が断線である場合に該断線部分を接続する接続治具等が挙げられるが、特に限定されるものではない。
【００２５】
画像検出機構３は、ガラス基板の所望の部分のパターンを検出画像として検出するようになっている。画像検出機構３は、パターン修正機構２と一体的に構成されており、従って、両機構２・３は直結されている。
【００２６】
上記のパターン修正機構２および画像検出機構３と、テーブル４とは、駆動部６による駆動によって、相対的な位置関係を任意に変更可能となっている。つまり、パターン修正機構２、画像検出機構３およびテーブル４は、駆動部６によって駆動されるようになっている。これにより、テーブル４上に載置されたガラス基板に対して、パターン修正機構２および画像検出機構３を、それぞれ任意に位置決め可能となっている。
【００２７】
駆動部６は、装置本体５に設けられており、Ｘ軸方向駆動部６ａ、Ｙ軸方向駆動部６ｂ、およびＺ軸方向駆動部６ｃで構成されている。これら軸方向駆動部６ａ・６ｂ・６ｃは、例えば分解能が１μｍ／パルス〜１０μｍ／パルス程度の高精度の制御が可能なパルスモータからなっている。Ｘ軸方向駆動部６ａは、パターン修正機構２、画像検出機構３およびテーブル４をＸ軸方向（テーブル４上面を基準として水平方向）に移動させる。Ｙ軸方向駆動部６ｂは、パターン修正機構２、画像検出機構３およびテーブル４をＹ軸方向（Ｘ軸方向と直交し、かつ、テーブル４上面を基準として水平方向）に移動させる。Ｚ軸方向駆動部６ｃは、パターン修正機構２、画像検出機構３およびテーブル４をＺ軸方向（テーブル４上面を基準として垂直方向）に移動させる。つまり、Ｚ軸方向駆動部６ｃは、例えば両機構２・３をテーブル４上に載置されたガラス基板に対して垂直方向に上昇・下降させるようになっている。また、Ｚ軸方向駆動部６ｃには、ガラス基板表面を基準位置として両機構２・３の高さを検出する高さ検出部（図示せず）が設けられている。
【００２８】
基準画像記憶部１０には、ガラス基板のパターン欠陥が修正必要か否かを判定するための判断基準として、修正必要な数種類のパターン、並びに、修正不必要な数種類のパターンが、基準画像として予め記憶（登録）されている。基準画像記憶部１０に記憶されている基準画像としては、具体的には、例えば、図２に示すような、並行に設けられた複数本の信号線のパターン、櫛形状に形成されたＴＦＴ部のパターン、複数個の絵素のパターン等が挙げられるが、特に限定されるものではない。
【００２９】
欠陥選別回路１１は、検査装置２１から入力されるパターン欠陥抽出画像２７ａ並びに各種情報２７ｂ・２７ｃ・２７ｄに基づき、該パターン欠陥抽出画像２７ａと、基準画像とを比較することによって、ガラス基板のパターン欠陥が修正必要か否かを判定し、その結果を画像検出機構３並びにパターン比較回路１２に送出する。また、欠陥選別回路１１は、パターン欠陥の修正を行わせるべく、上記の情報を駆動部制御部７に送出する。従って、修正装置１は、修正必要なパターン欠陥であると判定した場合には、該パターン欠陥のあるガラス基板を修正する一方、修正不必要なパターン欠陥であると判定した場合には、該パターン欠陥のあるガラス基板を修正しないで、該ガラス基板を次の製造工程に向けて送り出すようになっている。
【００３０】
パターン比較回路１２は、画像認識機能を備え、欠陥選別回路１１を介して入力されたパターン欠陥抽出画像２７ａと、画像検出機構３によって検出した検出画像とを比較して、その情報を一致指摘回路１３並びに修正パターン制御回路１４に送出する。パターン比較回路１２は、ガラス基板全面のパターンを順次比較するようになっている。尚、例えば、パターン欠陥位置情報２７ｂにおけるパターン欠陥の位置座標を（ｘ1 ，ｙ1 ）とし、基準画像の画面サイズを〔（ａ×ｎ）×（ｂ×ｍ）〕画素とし、検出画像の画面サイズを（ａ×ｂ）画素とし、該検出画像にパターン欠陥が存在すると仮定すると、基準画像における上記位置座標（ｘ1 ，ｙ1 ）に対応する位置座標を（ｘ2 ，ｙ2 ）とすることにより、検出画像と同じパターンを有する基準画像を得ることができる。
【００３１】
一致指摘回路１３は、画像検出機構３によって検出した検出画像が、検査装置２１から入力されたパターン欠陥抽出画像２７ａと一致しているか否か、つまり、検出画像が修正を行うべき目的のパターン欠陥抽出画像であるか否かを検出する回路であり、パターン比較回路１２から入力された情報に基づき、パターン欠陥抽出画像２７ａと、検出画像とが一致している場合に、検出画像が目的の画像であると指摘（判定）し、その情報を修正パターン制御回路１４に送出する。また、該情報を、パターン欠陥位置情報２７ｂや前記各種情報２７ｃ・２７ｄと共に、駆動部制御部７を介してパターン修正機構２に送出する。一方、一致指摘回路１３は、両画像に不一致が認められる場合には、検出画像が目的の画像でないと指摘し、その情報を駆動部制御部７に送出して、目的の画像を画像検出機構３によって捉えることができるように、駆動部６を駆動させる。
【００３２】
修正パターン制御回路１４は、数種類の修正モデルパターンを格納しており、パターン比較回路１２並びに一致指摘回路１３からの情報に基づいて、パターン欠陥が存在する検出画像のパターンと、該修正モデルパターンとを比較する。従って、この比較によって、修正すべきパターンの種類や位置、幅、大きさ等を正確に認識することができるようになっている。そして、修正パターン制御回路１４は、上記検出画像のパターンが修正モデルパターンと一致するように、即ち、修正が正しく行われるように、パターン修正機構２および画像検出機構３の動作を制御すべく、駆動部制御部７に情報を送出する。また、修正パターン制御回路１４は、パターン欠陥が正しく修正されたか否か、即ち、パターン欠陥の修正が終了したか否かを、検出画像のパターンと、修正モデルパターンとが一致したか否かで判定することができるようになっている。尚、修正パターン制御回路１４は、修正を施すことができないパターン欠陥の位置情報を記録する記録部（図示せず）を備えている。また、修正装置１は、該記録部に記録された情報を作業者に報知する報知部（図示せず）を備えている。
【００３３】
駆動部制御部７は、検査装置２１から入力されるパターン欠陥位置情報２７ｂ、並びに、欠陥選別回路１１、一致指摘回路１３および修正パターン制御回路１４から入力される情報に基づいて、パターン欠陥の修正が正しく行われるように、駆動部６の駆動を制御することによって、パターン修正機構２および画像検出機構３の動作を制御する。また、駆動部制御部７は、パターン修正機構２が有するパターン修正治具の選択を適切に行うと共に、その動作も制御するようになっている。
【００３４】
上記の構成において、修正装置１によるガラス基板のパターン欠陥の修正動作について、以下に説明する。
【００３５】
先ず、欠陥選別回路１１は、検査装置２１からパターン欠陥抽出画像２７ａやパターン欠陥位置情報２７ｂ、パターン欠陥サイズ情報２７ｃ、パターン欠陥分類情報２７ｄ等の情報が入力されると、該パターン欠陥抽出画像２７ａと、基準画像記憶部１０に格納されている基準画像とを比較することによって、ガラス基板のパターン欠陥が修正必要か否かを判定する。そして、欠陥選別回路１１は、修正必要なパターン欠陥であると判定した場合には、該パターン欠陥のあるガラス基板を修正するように、その結果を画像検出機構３、パターン比較回路１２並びに駆動部制御部７に送出する。一方、欠陥選別回路１１は、修正不必要なパターン欠陥であると判定した場合には、該パターン欠陥のあるガラス基板の修正を行わずに、該ガラス基板を次の製造工程に向けて送り出す。
【００３６】
より具体的には、欠陥選別回路１１は、図３（ａ）〜（ｅ）に示すパターン欠陥抽出画像を修正必要なパターン欠陥が存在する抽出画像であると判定する一方、同図（ｆ）・（ｇ）に示すパターン欠陥抽出画像を修正不必要なパターン欠陥が存在する抽出画像であると判定する。但し、図３（ａ）に示すパターン欠陥抽出画像は、２本の信号線の間にパターン欠陥がある（短絡している）場合を表している。同図（ｂ）に示すパターン欠陥抽出画像は、３本の信号線の間にパターン欠陥がある（短絡している）場合を表している。同図（ｃ）に示すパターン欠陥抽出画像は、２個の絵素の間にパターン欠陥がある（短絡している）場合を表している。同図（ｄ）に示すパターン欠陥抽出画像は、ＴＦＴ部にパターン欠陥がある（短絡している）場合を表している。同図（ｅ）に示すパターン欠陥抽出画像は、信号線にパターン欠陥がある（断線している）場合を表している。また、同図（ｆ）に示すパターン欠陥抽出画像は、信号線に修正不必要なパターン欠陥がある（短絡や断線等していない）場合を表している。同図（ｇ）に示すパターン欠陥抽出画像は、パターンと直接関係の無い部分に、修正不必要な欠陥がある場合を表している。尚、図３においては、便宜上、パターン欠陥にハッチングを施している。
【００３７】
次に、駆動部制御部７は、欠陥選別回路１１から情報が入力されると、該情報に基づいて、より具体的には、パターン欠陥位置情報２７ｂの位置座標に基づいて駆動部６の駆動を制御することによって、画像検出機構３でパターン欠陥を検出画像として検出することができるように、テーブル４をＸ−Ｙ軸方向に移動させる。そして、画像検出機構３は、上記パターン欠陥を検出画像として検出して、その情報をパターン比較回路１２に送出する。
【００３８】
次いで、パターン比較回路１２は、図４に示すように、欠陥選別回路１１を介して入力されたパターン欠陥抽出画像２７ａと、画像検出機構３によって検出したパターン欠陥を含む検出画像とを、例えば、両画像を重ね合わせることにより比較する。このとき、修正装置１は、パターン欠陥抽出画像２７ａと検出画像とを重ね合わせる際には、両者の位置ずれが無くなるように、駆動部６によってテーブル４をＸ−Ｙ軸方法に適宜移動させることによって検出画像を移動させるようになっている。そして、パターン比較回路１２は、その情報を一致指摘回路１３並びに修正パターン制御回路１４に送出する。尚、図４においては、便宜上、パターン欠陥にハッチングを施している。
【００３９】
一致指摘回路１３は、上記の情報に基づき、検出画像とパターン欠陥抽出画像２７ａとが一致している（重なり合う）場合には、パターン欠陥の修正を行うべく、その情報（パターン欠陥の中心位置座標、およびパターン欠陥の内容等）を、パターン欠陥位置情報２７ｂや前記各種情報２７ｃ・２７ｄと共に、駆動部制御部７を介してパターン修正機構２に送出する。また、上記の情報を修正パターン制御回路１４に送出する。
【００４０】
修正パターン制御回路１４は、パターン比較回路１２並びに一致指摘回路１３から入力された情報に基づいて、検出画像のパターンと、修正モデルパターンとを比較して、修正すべきパターンの種類や位置、幅、大きさ等を正確に認識する。そして、修正パターン制御回路１４は、パターン欠陥の修正が正しく行われるように、駆動部制御部７に情報を送出し、駆動部６を駆動させることによってパターン修正機構２および画像検出機構３の動作を制御する。
【００４１】
駆動部制御部７は、欠陥選別回路１１、一致指摘回路１３および修正パターン制御回路１４等から情報が入力されると、これら情報に基づいて駆動部６の駆動を制御することによって、パターン修正機構２および画像検出機構３を例えばＺ軸方向に移動させる等の両機構２・３の動作を制御する。また、駆動部制御部７は、パターン修正機構２が有するパターン修正治具から適切な修正治具を選択すると共に、その動作も制御する。
【００４２】
パターン修正機構２は、駆動部６の駆動によって位置決めがなされると、選択された適切なパターン修正治具を用いて、ガラス基板のパターン欠陥を修正する。一方、画像検出機構３は、駆動部６の駆動によって位置決めがなされると、パターン修正機構２によって修正が行われているパターン欠陥を検出画像として検出して、その情報をパターン比較回路１２に送出する。
【００４３】
これにより、ガラス基板のパターン欠陥が自動的に修正される。パターン欠陥の修正が終了したか否かは、修正パターン制御回路１４において、検出画像のパターンと、修正モデルパターンとが一致したか否かで判定される。
【００４４】
次に、パターン修正機構２が有するパターン修正治具によるガラス基板のパターン欠陥のより具体的な修正動作について、以下に説明する。
【００４５】
先ず、修正パターン制御回路１４には、下記表１に一例を示すように、例えば、パターン欠陥の内容が短絡欠陥である場合等に対応した、数種類の修正モデルパターンが格納されている。
【表１】
0003696426.tif 000002
【００４６】
上記修正モデルパターンは、パターン欠陥の種類や幅、大きさ等に応じて準備されている。例えば、表１においては、４種類の修正モデルパターンを、記号Ａ，Ｂ，Ａ’，Ｂ’で示される修正データによって規定している。該修正データには、修正治具の選択や、開始点ｓの位置座標（検出画像における座標）、曲点ｔ1 ，ｔ2 の位置座標（同上）、終了点ｅの位置座標（同上）、切除幅α等のデータ内容が必要に応じて含まれている。修正パターン制御回路１４は、認識した修正すべきパターンの種類や位置、幅、大きさ等に基づいて、どの修正データを用いてパターン欠陥を修正するかを自動的に選択する。そして、修正パターン制御回路１４は、選択した修正データに基づいて、駆動部制御部７を介して駆動部６の駆動を制御することによって、パターン修正機構２が有するパターン修正治具に、切除に関する連続動作指示を行う。
【００４７】
記号Ａ，Ｂで示される修正データは、切除方向が互いに直交する方向に設定されており、パターン欠陥を直線的に切除する。また、記号Ａ’，Ｂ’で示される修正データは、パターン欠陥を「コ」の字状に切除することによって切除幅を広くする場合に適用される。従って、修正モデルパターン、即ち、修正データを各種準備しておくことによって、あらゆるパターン欠陥の修正に対応することができる。
【００４８】
ここで、修正パターン制御回路１４における修正モデルパターン、即ち、パターン欠陥の修正に用いるべき修正データの選択基準について説明する。検出画像におけるパターンが直線および矩形のみで形成されている場合には、記号Ａ，Ｂで示される修正データから選択し、一方、検出画像におけるパターンが直線および矩形のみで形成されていない場合には、記号Ａ，Ｂ，Ａ’，Ｂ’で示される修正データから選択する。
【００４９】
より具体的には、例えば、検出画像におけるパターンが直線および矩形のみで形成されている場合には、図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、記号Ａ（またはＢ）で示される修正データを選択し、開始点ｓおよび終了点ｅの位置座標を設定して、パターン欠陥を直線的に切除する。
【００５０】
また、例えば、検出画像におけるパターンが直線および矩形のみで形成されていない場合には、図５（ａ）に示すように、該検出画像におけるＴＦＴ部のパターンとパターン欠陥との間に一部分隙間があるときには、記号Ａ（またはＢ）で示される修正データを選択し、開始点ｓおよび終了点ｅの位置座標を設定して、パターン欠陥を直線的に切除する。一方、図５（ｂ）に示すように、検出画像におけるＴＦＴ部のパターンとパターン欠陥との間に隙間が無いときには、記号Ａ’（またはＢ’）で示される修正データを選択し、開始点ｓ、曲点ｔ1 ，ｔ2 および終了点ｅの位置座標を設定して、図３（ｄ）に示すように、パターン欠陥を「コ」の字状に切除する。
【００５１】
さらに、図５（ｃ）に示すように、検出画像における２本の信号線の間にパターン欠陥があり、しかも、両信号線の間隔ｗが広いときには、記号Ａ（またはＢ）で示される修正データを選択し、かつ、該パターン欠陥を両信号線に沿った二箇所で切除するようにすることもできる。これにより、修正品位をより一層向上させることができる。尚、図５においては、便宜上、パターン欠陥にハッチングを施している。また、図３（ａ）〜（ｄ）並びに図５（ｃ）においては、便宜上、切除箇所を点線で示している。
【００５２】
上記のように修正モデルパターンを選択することにより、ガラス基板のパターン欠陥の修正動作が自動的に行われる。但し、修正パターン制御回路１４は、例えばパターン欠陥が複雑な場合や非常に大きい場合等、特殊な場合において、適切な修正モデルパターンを選択することができないとき、即ち、修正動作を自動的に行うことができないときには、警報を発して作業者に報知するか、または、修正を施すことができないパターン欠陥の位置情報を記録部に記録しておき、一定の修正動作が終了した（修正動作が一区切りした）時点で、表示等によって作業者に報知するようになっている。このように、修正装置１は、修正動作を自動的に行うことができないときには、作業者に修正方法の判断を委ねることになっているので、不適切な修正を施すこと、並びに、修正を施さないでガラス基板を次の製造工程に向けて送り出すことを防止できるようになっている。
【００５３】
以上のように、本実施の形態にかかる修正装置１は、検査装置２１から入力されるパターン欠陥抽出画像２７ａと、画像検出機構３によって検出した検出画像とを比較するパターン比較回路１２並びに一致指摘回路１３を具備しているので、パターン欠陥抽出画像２７ａおよび検出画像の一致・不一致を判定することによって、修正すべき様々な種類のパターン欠陥の位置および内容を正確に識別することができる。従って、これら様々な種類のパターン欠陥に対して、修正の種類や位置、幅、大きさ等を正確に認識することができるので、これらパターン欠陥の修正に適切にかつ自動的に対応することができる。これにより、作業者に関わりなく安定的に稼働させることができ、工程の安定化並びに省人化を図ることができ、かつ、修正品位を向上させることができる修正装置１を提供することができる。
【００５４】
また、本実施の形態にかかる修正装置１は、パターン欠陥抽出画像２７ａと基準画像とを比較することによって、ガラス基板のパターン欠陥がパターン修正機構２によって修正必要か否かを判定する欠陥選別回路１１をさらに備えているので、該パターン欠陥が修正不必要である場合には、該パターン欠陥のあるガラス基板を修正しないで、該ガラス基板を次の製造工程に向けて送り出すことができる。従って、修正必要なパターン欠陥だけを修正することができるので、処理時間を短縮することができ、修正装置１の処理能力をより一層向上させることができる。
【００５５】
さらに、本実施の形態にかかる修正装置１は、パターン修正機構２が、パターン欠陥を修正するための数種類のパターン修正治具を有し、これらパターン修正治具が、検査装置２１から入力されるパターン欠陥抽出画像２７ａに基づいて選択されるので、パターン欠陥に応じて適切なパターン修正治具を選択することができる。従って、修正装置１の修正品位をより一層向上させることができる。
【００５６】
【発明の効果】
本発明の請求項１記載のパターン欠陥修正装置は、以上のように、パターン検査装置から入力される抽出画像と、画像検出機構によって検出した検出画像とを比較する比較機構を具備し、上記比較機構によって、上記抽出画像と上記検出画像との不一致が認められた場合には、上記抽出画像と上記検出画像とが一致するように、上記画像検出機構と上記修正対象物との相対位置を変更させる構成である。
【００５７】
これにより、作業者に関わりなく安定的に稼働させることができ、工程の安定化並びに省人化を図ることができ、かつ、修正品位を向上させることができるパターン欠陥修正装置を提供することができるという効果を奏する。
【００５８】
本発明の請求項２記載のパターン欠陥修正装置は、以上のように、パターン検査装置から入力される抽出画像と、基準画像とを比較することによって、修正対象物のパターン欠陥がパターン修正機構によって修正必要か否かを判定するパターン判定機構をさらに備えている構成である。
【００５９】
これにより、修正必要なパターン欠陥だけを修正することができるので、パターン欠陥修正装置の処理能力をより一層向上させることができるという効果を奏する。
【００６０】
本発明の請求項３記載のパターン欠陥修正装置は、以上のように、パターン修正機構が、パターン欠陥を修正するための数種類のパターン修正治具を有し、これらパターン修正治具が、パターン検査装置から入力される抽出画像に基づいて選択される構成である。
【００６１】
これにより、パターン欠陥修正装置の修正品位をより一層向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の一形態にかかるパターン欠陥修正装置の構成を、パターン検査装置の構成と共に示す概略のブロック図である。
【図２】  上記パターン欠陥修正装置が備える基準画像記憶部に記憶されている基準画像のパターンを示す説明図である。
【図３】  （ａ）〜（ｇ）は、パターン欠陥の種類およびその修正方法を説明する説明図である。
【図４】  上記パターン欠陥修正装置が備えるパターン比較回路並びに一致指摘回路の動作を説明する説明図である。
【図５】  （ａ）〜（ｃ）は、パターン欠陥の修正方法を説明する説明図である。
【符号の説明】
１    パターン欠陥修正装置
２    パターン修正機構
３    画像検出機構
４    テーブル
６    駆動部
６ａ  Ｘ軸方向駆動部
６ｂ  Ｙ軸方向駆動部
６ｃ  Ｚ軸方向駆動部
７    駆動部制御部
１０    基準画像記憶部
１１    欠陥選別回路（パターン判定機構）
１２    パターン比較回路（比較機構）
１３    一致指摘回路（比較機構）
１４    修正パターン制御回路
２１    パターン検査装置
２２    隣接パターン検出回路
２３    基準パターン記憶部
２４    切り出し回路
２５    パターン比較回路
２６    不一致指摘回路
２７    抽出画像作成機構
２７ａ  パターン欠陥抽出画像（抽出画像）
２７ｂ  パターン欠陥位置情報
２７ｃ  パターン欠陥サイズ情報
２７ｄ  パターン欠陥分類情報
【図１】
0003696426.tif 000003
【図２】
0003696426.tif 000004
【図３】
0003696426.tif 000005
【図４】
0003696426.tif 000006
【図５】
0003696426.tif 000007