(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸性電解水供給パイプ及びアルカリ電解水供給パイプがそれぞれバルブを介して接続され、有機化合物を含有する汚染液に強アルカリ電解水及び強酸性電解水が添加される電解水添加槽と、該電解水添加槽の下流に接続され、波長１８５nmの紫外線を照射して前記有機化合物を分解する紫外線分解ユニットと、該紫外線分解ユニットの下流に接続されると共に、前記酸性電解水供給パイプ及び前記アルカリ電解水供給パイプのそれぞれにバルブを介して接続され、前記有機化合物が分解されて生成された中間生成物を含む汚染液に、強アルカリ電解水及び強酸性電解水を選択的に添加して、前記中間生成物を中和し分解する中間生成物処理装置とを備えたことを特徴とする液状有機化合物の分解装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液状有機化合物の分解装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
トリクロロエチレン、テトラクロロエチレンなどの有機化合物はその優れた溶解力により、半導体関連分野、金属油分洗浄分野や、ドライクリーニング分野などで洗浄剤、溶剤として長年にわたり使用されてきた。
しかし、近年、これら塩素系有機化合物の中に発ガン性物質が存在することが分かり、その有害性が社会的に問題視され、排出規制されるに至っている。従って、これら塩素系有機化合物を過去に多量に使用・排出してきた事業所においては、敷地内及び周辺の土壌汚染・地下水汚染が深刻な問題になっている。
【０００３】
通常、地下水を浄化するには、揚水ポンプで汚染された地下水を汲み上げ、これに含有される有機化合物を活性炭で吸着除去するか、或いは、汚染地下水中の有機化合物を暴気装置を用いて排ガスとして分離してから、活性炭などで吸着分離して回収していた。このため、高濃度且つ広範囲に汚染された場所では、大がかりな活性炭による吸着装置が必要になり、設備コスト負担とランニングコストが問題になっている。
また、土壌ガスに含有される有機化合物を活性炭のみにより吸着・除去しようとすると、活性炭を頻繁に交換する必要があり、活性炭の交換作業、再生処理、廃棄などに係わる手間と費用が莫大になって、土壌浄化を行う上での企業負担が非常に大きくなっている。
【０００４】
ところで、紫外線を照射して有機化合物を分解する技術が従来公知であり、例えば、半導体ウェハの表面洗浄では、エキシマランプなどにより高エネルギーの紫外線（波長１７２nm）を照射して表面の有機化合物を分解している。このような高エネルギーの紫外線を照射すると、有機化合物はきわめて短時間で分解される。ところが、エキシマランプはけた外れに高価であって、設備コストが莫大となり、電力消費量もきわめて多いので、土壌ガスの浄化に利用するのは実用的でない。
【０００５】
また、廉価な低圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、高圧水銀ランプから紫外線を照射して有機化合物を分解しようとすると、中間生成物として塩化水素、ハロ酢酸など反応性の不安定な物質が発生し、これを安定した物質まで分解するのに非常に時間がかかる。
そこで、有機塩素化合物を含有するガスに、波長３００nm以下の紫外線を含む紫外線を照射して塩素原子を有する反応中間体まで分解し、さらに微生物処理を施して反応中間体を分解する有機塩素化合物の分解方法が特開平８−２４３３５号公報に開示されている。
しかし、微生物処理は環境に優しいという点では優れているが、管理が難しく、分解速度が非常に遅いので処理に時間がかかり、特に、高濃度汚染には対応できないという問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、有機化合物を含む汚染液を効率よく短時間で分解することができ、紫外線分解によって発生する中間生成物の処理が容易であり、最終的な排水処理に使用する浄化装置が小型化されて、設備コスト及びランニングコストが低廉で済む液状有機化合物の分解装置を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の液状有機化合物の分解装置は、酸性電解水供給パイプ及びアルカリ電解水供給パイプがそれぞれバルブを介して接続され、有機化合物を含有する汚染液に強アルカリ電解水及び強酸性電解水が添加される電解水添加槽と、該電解水添加槽の下流に接続され、波長１８５nmの紫外線を照射して前記有機化合物を分解する紫外線分解ユニットと、該紫外線分解ユニットの下流に接続されると共に、前記酸性電解水供給パイプ及び前記アルカリ電解水供給パイプのそれぞれにバルブを介して接続され、前記有機化合物が分解されて生成された中間生成物を含む汚染液に、強アルカリ電解水及び強酸性電解水を選択的に添加して、前記中間生成物を中和し分解する中間生成物処理装置とを備える。
【０００８】
汚染液に含有される有機化合物は、紫外線照射によりその化学結合が分断されて分解され、また有機化合物が分解した結果生成する中間生成物は、紫外線照射により不安定なラジカル状態で混在すると考えられる。これらの不安定な中間生成物は、強アルカリ電解水又は強酸性電解水と接触することにより中和或いは分解され、より安定した無害な物質に変化させることができる。また汚染液に添加される強アルカリ電解水や強酸性電解水は人体に無害であり、環境を汚染する心配がない。
【０００９】
中間生成物処理装置を紫外線分解ユニットの下流に接続して、該紫外線分解ユニットを通過した汚染液に強アルカリ電解水及び強酸性電解水を選択的に添加しても、中間生成物処理装置を紫外線分解ユニットの中間部に設けて、該紫外線分解ユニット内の汚染液に強アルカリ電解水及び強酸性電解水を選択的に添加しても良い。
また、紫外線分解ユニットの上流において、汚染液に強アルカリ電解水及び／又は強酸性電解水を添加することもある。
この構成によって、紫外線による有機化合物の分解が促進され、処理時間が短縮される。紫外線分解ユニット内に添加される強アルカリ電解水及び強酸性電解水は、中間生成物処理装置において噴霧される強アルカリ電解水及び強酸性電解水と同時に生成されるので、コスト増大は抑えられる。
【００１０】
紫外線分解ユニットは、汚染液が通過する透明管の周囲に、複数の紫外線照射ランプを配置すると共に、該紫外線照射ランプの背後にそれぞれ反射板を設置した反応槽から構成することができる。
これにより、汚染液に複数の紫外線照射ランプから紫外線の照射されるので、分解効率が向上する。
なお、紫外線照射ランプとしては、低圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、アマルガムランプ、ハロゲンランプ、エキシマランプなどを使用できる。
【００１１】
また、この場合、複数の反応槽を直列に接続すると、高濃度の有機化合物でも効率よく分解して濃度が低下し、複数の反応槽を並列に接続すると、処理量が増加する。
さらに、比較的短波長の紫外線が減衰するのを防ぐために、透明管は、波長１７２nm以上の紫外線を８０％以上透過する合成石英ガラスを素材としたものであることが望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
液状有機化合物の分解装置は、汚染土壌から有機化合物を含む汚染液を汲み上げる揚水装置に連結され、図１に示すように、揚水装置から汚染液が導入される電解水添加槽１と、電解水添加槽１の下流に接続された紫外線分解ユニット２と、紫外線分解ユニット２の下流に接続された中間生成物処理装置３と、中間生成物処理装置３の下流に接続された活性炭吸着ユニット４と、電解水生成装置５とを備える。
【００１３】
電解水生成装置５は、オキシライザーメディカＣＬ（商品名、株式会社三浦電子製）を使用し、電解水生成装置５によって、塩化ナトリウム、塩化カリウム、塩化マグネシウム等の水溶性電解質を含む水を電気分解すると、陽極側からは強酸性電解水が、陰極側からは強アルカリ電解水がそれぞれ取り出される。
このようにして得られた強酸性電解水及び強アルカリ電解水は、人体に無害なので、機能水として汚染液に接触させても環境を汚染する心配はない。
【００１４】
そして、電解水生成装置５の陽極側と電解水添加槽１とは酸性電解水供給パイプ６で接続され、電解水添加槽１と酸性電解水供給パイプ６との接続部分に設置されたバルブを開くと、電解水添加槽１中の汚染液に強酸性電解水が添加されるようになっている。
また、電解水生成装置５の陰極側と電解水添加槽１とはアルカリ電解水供給パイプ７で接続され、電解水添加槽１とアルカリ電解水供給パイプ７との接続部分に設置されたバルブを開くと、電解水添加槽１中の汚染液に強アルカリ電解水が添加されるようになっている。
【００１５】
紫外線分解ユニット２は、遮光外箱１４の中央部に電解水添加槽１と接続された透明管８を配置すると共に、その周囲に４灯の紫外線照射ランプ９を等間隔で設置し、紫外線照射ランプ９の背後にそれぞれ反射板１０を設置した反応槽１１（図２）を、２個直列に接続して構成される。
透明管８は、波長１７２nm以上の紫外線を８０％以上透過する合成石英ガラスを素材とし、その内部を、電解水添加槽１において強酸性電解水及び／又は強アルカリ電解水を添加した汚染液が通過するようになっている。
紫外線照射ランプ９としては、波長３００nm未満の紫外線を照射する低圧水銀ランプ等を用いるが、紫外線の波長を２５４nm以下、望ましくは１８５nmにすると、有機化合物の分解効率が高まる。
【００１６】
中間生成物処理装置３の上下部には、ポンプ１２を有する循環パイプ１３の両端が接続され、紫外線分解ユニット１を通過して中間生成物処理装置３に流入した汚染液は、ポンプ１２で循環パイプ１３内を押し上げられて、中間生成物処理装置３の上部に戻され、中間生成物処理装置３内を循環するようになっている。また、中間生成物処理装置３にはｐＨ測定装置２３が設けられ、中間生成物処理装置３内に流入した汚染液のｐＨを測定できるようになっている。
さらに、循環パイプ１３には、アルカリ電解水供給パイプ７及び酸性電解水供給パイプ６がそれぞれバルブを介して接続され、ｐＨ測定装置２３で測定された汚染液のｐＨに応じてバルブを開けると、中間生成物処理装置３中を循環する汚染液に強アルカリ電解水及び強酸性電解水が選択的に添加されるようになっている。
【００１７】
活性炭吸着ユニット４には活性炭フィルタが内蔵され、中間生成物処理装置３を通過した液体に含有される微少な残留化合物はここで吸着除去される。
また、活性炭吸着ユニット４には、ポンプ１６を有する配水管１７が接続され、活性炭フィルタを通過した清浄な液体が排出される。
【００１８】
この液状有機化合物の分解装置は次のように使用される。
汚染土壌から汲み上げられた有機化合物を含む汚染液を電解水添加槽１へ導入し、電解水生成装置４で生成された強酸性電解水、強アルカリ電解水のいずれか、又は両方を電解水添加槽１内の汚染液に添加する。
電解水添加装置１において電解水が添加された汚染液は、紫外線分解ユニット２を構成する２個の反応槽１１の透明管８内を順次通過し、その間に周囲に設置された紫外線照射ランプ９から汚染液へ紫外線を照射する。
すると、汚染液に含有される有機化合物が紫外線照射によって分解され、強酸性電解水及び／又は強アルカリ電解水により、分解反応が促進される。
【００１９】
紫外線分解ユニット２を通過した汚染液中には、有機化合物が分解された結果発生する中間生成物が含有されており、この中間生成物を含む汚染液が中間生成物処理装置３へ流入する。
中間生成物処理装置３へ流入した汚染液は、ｐＨ測定装置２３によりｐＨが測定され、循環パイプ１３を通って一定時間中間生成物処理装置３内を循環する。そして、循環パイプ１３を通過する際に、汚染液にそのｐＨに応じて強アルカリ電解水又は強酸性電解水が添加され、汚染液に含有される中間生成物が中和される。
【００２０】
勿論、汚染液に含有される有機化合物によっては、中間生成物を含む汚染液が中性を示すこともあり、この場合、強アルカリ電解水及び強酸性電解水を同時に添加して、中間生成物を分解する。
また、紫外線分解ユニット２を通過した後に僅かに残っている有機化合物も、強アルカリ電解水や強酸性電解水を添加することによって、さらに分解が進む。中間生成物処理装置３内を一定時間循環した液体は、活性炭吸着ユニット４へ流入し、僅かに残留している中間生成物及び有機化合物を活性炭フィルタで吸着除去した後、外界へ排出される。
【００２１】
なお、図１の破線で示すように、各反応槽１１にも酸性電解水供給パイプ６及びアルカリ電解水供給パイプ７をそれぞれバルブを介して接続し、紫外線分解ユニット２を中間生成物処理装置として利用することもできる。
この場合、反応槽１１にそれぞれｐＨ測定装置２３が設けられ、測定された汚染液のｐＨに応じてバルブを開閉することにより、反応槽１１内の汚染液に強酸性電解水及び強アルカリ性電解水が選択的に添加されて、中間生成物が中和され分解される。そして、中間生成物の処理のために添加した強酸性電解水や強アルカリ電解水が、汚染液に含有される有機化合物を分解することにもなる。
この時、紫外線分解ユニット２の下流には、中間生成物処理装置３を設置してもしなくても良い。
【００２２】
また、紫外線分解ユニット２の上流側に電解水添加槽１を設けず、紫外線のみによって紫外線分解ユニット２中の汚染液に含有される有機化合物を分解し、その後、中間生成物処理装置３内の汚染液に強アルカリ電解水又は強酸性電解水を添加しても良い。
さらに、汚染液を貯留する水槽の内部に複数の紫外線照射ランプを設置して成る紫外線分解ユニットを用いることも可能である。
【００２３】
（実施例）
試験１として、トリクロロエチレン（以下、ＴＣＥと称する）を７ｍｇ／ｌの濃度で含有する汚染液を、図３に示すように、ガラス瓶１８に５００ｍｌ入れて、強酸性電解水又は蒸留水を５％添加し、それぞれについて、ガラス瓶１８の内部に、波長２５４nmの紫外線を照射する紫外線照射ランプ９を石英管１９で保護して設置したものと、波長１８５nmの紫外線を照射する紫外線照射ランプ９を石英管１９で保護して設置したものとを用意し、ＴＣＥ濃度の変化を２０分に亘って観察した。
図４の（イ）、（ロ）に、各試験体のＴＣＥ濃度の変化を示す。
【００２４】
試験２では、ＴＣＥに代えて１，１−ジクロロエタン（以下、１，１−ＤＣＥと称する）を用い、試験１と同様にして１，１−ＤＣＥ濃度を計測し、その結果を図５の（イ）、（ロ）に示す。
試験３は、ＴＣＥに代えてｔｒａｎｓ−１，２−ジクロロエタン（以下、ｔｒａｎｓ−１，２−ＤＣＥと称する）を用いた以外は試験１と同様にして、ｔｒａｎｓ−１，２−ＤＣＥ濃度を測定した結果を図６の（イ）、（ロ）に示す。
試験４では、ＴＣＥに代えてｃｉｓ−１，２−ジクロロエタン（以下、ｃｉｓ−１，２−ＤＣＥと称する）を用いた以外は、試験１と同様にして実験を行い、ｃｉｓ−１，２−ＤＣＥ濃度を測定した結果を図７の（イ）、（ロ）に示す。
試験１乃至試験４から、有機化合物は紫外線を照射することにより分解されて濃度が低下し、特に紫外線の波長が長い場合は、強酸性電解水を添加することにより、分解効率が向上することがわかった。
【００２５】
試験５では、試験１で用いた試験装置と同様の装置に、１，１−ＤＣＥを１４．２ｍｇ／ｌ含有した汚染液、ｔｒａｎｓ−１，２−ＤＣＥを１６．５ｍｇ／ｌ含有した汚染液、ｃｉｓ−１，２−ＤＣＥを１４．２ｍｇ／ｌ含有した汚染液、ＴＣＥを１０．８ｍｇ／ｌ含有した汚染液、テトラクロロエチレン（ＰＣＥ）を９．８ｍｇ／ｌ含有した汚染液をそれぞれ５００ｍｌ入れて強酸性電解水を５％添加し、波長２５４nmの紫外線を照射した場合と、波長１８５nmの紫外線を称した場合について、２０分後の濃度を調べ、その結果を図８に示す。
試験５の結果から、塩素数の多い有機化合物ほど分解されやすいことがわかった。
【００２６】
試験６では、ＴＣＥを含有する汚染液に、ｐＨ２．５３、導電率０．２３６ｍＳ／ｍ、酸化還元電位１０４６ｍＶの強酸性電解水を５％添加したものを石英製試験管に８ｍｌ採取し、殺菌灯により３００nm未満の短波長紫外線を照射した場合と、特開２００１−１７０６６６号に記載のように、ブラックライトで３００nm以上の長波長紫外線を照射した場合について、照射前後のＴＣＥ濃度を計測すると共に、分解率を求め、その結果を図９に示す。ＴＣＥ濃度は、ヘキサン抽出した後、ガスクロマトグラフで測定した。
試験６から、３００nm未満の短波長の紫外線を照射すると、３００nm以上の長波長紫外線を照射した時に比べて圧倒的に分解効率が良く、５分間照射した場合には、３倍近い分解率となることがわかった。
【００２７】
試験７では、試験６と同様にして、石英製試験管内のＴＣＥ汚染液に殺菌灯から紫外線を３０秒間照射し、強酸性電解水濃度を１，３，５，１０％に変化させると共に、石英製試験管と殺菌灯との距離を調節して光強度を１．０，０．４，０．２ｍＷ/ｃｍ２に変化させ、ＴＣＥ濃度を測定してＴＣＥ分解率を求めた。図１０にＴＣＥ濃度を、図１１にＴＣＥ分解率を示す。
試験７の結果から、強酸性電解水の濃度は５％の時が最も分解率が高く、５％を越えてもほとんど分解効率への影響はないことがわかった。
【００２８】
試験８は、図１２に示すように、水槽２０の下流にポンプ２１及び流量計２２を介して反応槽１１を接続した試験装置を用いる。反応槽１１は、内径３２ｍｍの石英製透明管８の両側に、それぞれ殺菌灯より成る紫外線照射ランプ９及び反射板１０を配置したものであり、水槽２０には、ＴＣＥ濃度０．３ｍｇ／ｌの汚染液に、ｐＨ２．５３、導電率０．２３６ｍＳ／ｍ、酸化還元電位１０４６ｍＶの強酸性電解水を５％添加したものを貯留し、処理流量を変化させてＴＣＥ濃度を測定し、分解率を求めた。
【００２９】
図１３には、流量を８ｍｌ／ｍｉｎから１ｍｌ／ｍｉｎまで低下させて計測した結果を、図１４には、流量を２ｍｌ／ｍｉｎから８ｍｌ／ｍｉｎまで上昇させて計測した結果をそれぞれ示す。
試験８の結果によれば、流量が少なくすると分解率が高くなり、従って、分解効率を落とさずに処理量を多くするためには、多数の反応槽を並列に接続し、各反応槽に少ない流量で汚染液を流せば良いことがわかった。
【００３０】
試験９では、図１５に示すような試験装置を用いる。この試験装置は、水槽２０の下流に、ポンプ２１を介して、第１の反応槽１１ａと第２の反応槽１１ｂを直列に接続してある。反応槽１１ａ，１１ｂは、内径１０．５ｍｍ、有効長さ６０ｃｍの石英製試験管８の周囲に、４灯の２０Ｗ殺菌灯より成る紫外線照射ランプ９及び反射板１０を設置したものを用い、水槽２０には、ｐＨ２．５３、導電率０．２３６ｍＳ／ｍ、酸化還元電位１０４６ｍＶの強酸性電解水を５％添加したＴＣＥ汚染液を貯留する。
【００３１】
そして、条件１として、ＴＣＥ濃度０．０５ｍｇ／ｌの汚染液を流量８００ｍｌ／ｍｉｎで流した場合、条件２として、ＴＣＥ濃度０．０３ｍｇ／ｌの汚染液を流量１０００ｍｌ／ｍｉｎで流した場合、条件３として、ＴＣＥ濃度０．３ｍｇ／ｌの汚染液を流量１０００ｍｌ／ｍｉｎで流した場合、条件４として、ＴＣＥ濃度３．０ｍｇ／ｌの汚染液を流量１０００ｍｌ／ｍｉｎで流した場合について、それぞれ紫外線照射ランプ９を全て消した時、第１の反応槽１１ａの紫外線照射ランプ９のみを点灯した時、第２の反応槽１１ｂの紫外線照射ランプ９のみを点灯した時、第１の反応槽１１ａ及び第２の紫外線照射ランプ１１ｂの紫外線照射ランプ９を点灯した時の排水側のＴＣＥ濃度を測定すると共に、ＴＣＥ分解率を求め、条件１の場合を図１６に、条件２の場合を図１７に、条件３の場合を図１８に、条件４の場合を図１９に示す。
【００３２】
なお、図１５乃至図１８中、理論値とは、第１の反応槽１１ａの分解率と第２の反応槽１１ｂの分解率を単独で求めた結果から、両方を通過した後の分解率を計算して求めた値である。
試験９の結果から、複数の反応槽１１を直列に接続すると有機化合物の分解率が上昇し、その値が理論値とよく合致していることが確認された。また、有機化合物の濃度が高くなると、分解効率が低下することもわかった。
【００３３】
【発明の効果】
請求項１に係る発明によれば、汚染液に含まれる有害な有機化合物を、波長１８５nmの比較的高エネルギーの紫外線と強アルカリ電解水及び強酸性電解水とで分解し、その結果発生する不安定な中間生成物を強アルカリ電解水や強酸性電解水で中和し分解するので、処理時間が短くて済み、それほど大がかりな装置も必要としない。
また、紫外線照射では分解しきれない有機化合物も、強アルカリ電解水や強酸性電解水を噴霧することによって、より低レベルまで分解することができる。
さらに、中間生成物の中和に用いる強アルカリ電解水や強酸性電解水は人体に無害なので、環境を汚染する心配がない。また、紫外線分解ユニットの上流の電解水添加槽において、汚染液に強アルカリ電解水及び強酸性電解水が添加されるので、紫外線分解ユニットにおける有機化合物の分解効率が向上して、いっそう処理時間を短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を示す液状有機化合物の分解装置の概略図
【図２】反応槽の断面図
【図３】試験１乃至試験５に用いた試験装置の概略図
【図４】試験１におけるＴＣＥ濃度の測定結果を示す図
【図５】試験２における１，１−ＤＣＥ濃度の測定結果を示す図
【図６】試験３におけるｔｒａｎｓ−１，２−ＤＣＥ濃度の測定結果を示す図
【図７】試験４におけるｃｉｓ−１，２−ＤＣＥ濃度の測定結果を示す図
【図８】試験５における１，１−ＤＣＥ濃度、ｔｒａｎｓ−１，２−ＤＣＥ濃度、ｃｉｓ−１，２−ＤＣＥ濃度、ＴＣＥ濃度、ＰＣＥ濃度の測定結果を示す図
【図９】試験６におけるＴＣＥ濃度の測定結果及び分解率を示す図
【図１０】試験７におけるＴＣＥ濃度の測定結果を示す図
【図１１】試験７におけるＴＣＥ分解率の計算結果を示す図
【図１２】試験８に使用した試験装置の概略図
【図１３】試験８において、流量を次第に低下させた場合のＴＣＥ濃度及びＴＣＥ分解率の変化を示す図
【図１４】試験８において、流量を次第に上昇させた場合のＴＣＥ濃度及びＴＣＥ分解率の変化を示す図
【図１５】試験９に使用した試験装置の概略図
【図１６】試験９において条件１のＴＣＥ濃度及びＴＣＥ分解率を示す図
【図１７】試験９において条件２のＴＣＥ濃度及びＴＣＥ分解率を示す図
【図１８】試験９において条件３のＴＣＥ濃度及びＴＣＥ分解率を示す図
【図１９】試験９において条件４のＴＣＥ濃度及びＴＣＥ分解率を示す図
【符号の説明】
１  電解水添加槽
２  紫外線分解ユニット
３  中間生成物処理装置
４  活性炭吸着ユニット
５  電解水生成装置
６  酸性電解水供給パイプ
７  アルカリ電解水供給パイプ
８  透明管
９  紫外線照射ランプ
１０  反射板
１１  反応槽
１２  ポンプ
１３  循環パイプ
１４  遮光外箱
１６  ポンプ
１７  配水管
１８  ガラス瓶
１９  石英管
２０  水槽
２１  ポンプ
２２  流量計
２３  ｐＨ測定装置
【図１】
0003688651.tif 000002
【図２】
0003688651.tif 000003
【図３】
0003688651.tif 000004
【図４】
0003688651.tif 000005
【図５】
0003688651.tif 000006
【図６】
0003688651.tif 000007
【図７】
0003688651.tif 000008
【図８】
0003688651.tif 000009
【図９】
0003688651.tif 000010
【図１０】
0003688651.tif 000011
【図１１】
0003688651.tif 000012
【図１２】
0003688651.tif 000013
【図１３】
0003688651.tif 000014
【図１４】
0003688651.tif 000015
【図１５】
0003688651.tif 000016
【図１６】
0003688651.tif 000017
【図１７】
0003688651.tif 000018
【図１８】
0003688651.tif 000019
【図１９】
0003688651.tif 000020