(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の流入口（２１）と、流体の第１流路（２２）と、前記第１流路（２２）に開口する第１開口部（２３）と、前記第１開口部（２３）と連通して形成された第１弁室（２４）と、前記第１弁室（２４）に設けられ前記第１開口部（２３）を開閉する第１弁体（２５）とを有する第１弁部（２０）と、前記第１流路（２２）と連通する流体の第２流路（５１）と、前記第２流路（５１）の先端に開口する第２開口部（５２）と、前記第２開口部（５２）と連通して形成された第２弁室（５３）と、前記第２弁室（５３）に設けられ前記第２開口部（５２）を開閉する第２弁体（５４）と、前記第２弁室（５３）と前記第１弁室（２４）とを連通する連通部（５５）とを有する第２弁部（５０）とからなり、前記第１弁部（２０）又は第２弁部（５０）の何れか一方に流体の流出口（４６）を設け、流体の大流量を得るときには前記第１弁部（２０）の第１開口部（２３）及び第２弁部（５０）の第２開口部（５２）を開き、流体の小流量を得るときには前記第１弁部（２０）の第１開口部（２３）を閉じて第２弁部（５０）の第２開口部（５２）のみを開くようにした流量切替弁（１０）を用いた流量調整方法であって、
前記流量切替弁の第１弁部（２０）の流入口（２１）に定圧供給弁（Ｈ１）を接続して、第１弁部（２０）の第１開口部（２３）若しくは第２弁部（５０）の第２開口部（５２）を選択的に開くか、又は第１弁部（２０）の第１開口部（２３）及び第２弁部（５０）の第２開口部（５２）を同時に開き、前記定圧供給弁（Ｈ１）の設定値の調整を前記第１開口部（２３）及び前記第２開口部（５２）の開閉の切替と併せて行うことにより、流量を精度よく調整することを特徴とする流量切替弁を用いた流量調整方法。
【請求項２】
請求項１において、前記流量切替弁の第１弁部（２０）又は第２弁部（５０）がマニホールド弁構造体（Ｍ）として構成された流量切替弁を用いた流量調整方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流量切替弁を用いた流量調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、工場等で、配管に純水等の流体を流し、所定の作業場所へ供給する場合がある。その際、目的とする作業や製品に応じて、前記純水等の主成分に必要となる薬品等の副成分を所定流量で混入して混合流体として供給するため、配管の途中に図１１及び図１２に示すようなマニホールド弁構造体８０を接続することがある。
【０００３】
前記マニホールド弁構造体８０は、本体ブロック８１と副ブロック８５よりなる。前記本体ブロック８１には、その長手方向に所定間隔でもって複数の本体側連通開口部８２が本体ブロック８１の上面から本体ブロック８１内に下向きに形成されている。該本体側連通開口部８２の下端位置には本体ブロック８１の長手方向に沿う水平方向の主流路８３が形成されており、該主流路８３と本体側連通開口部８２とが通じている。なお、前記主流路８３の両端の少なくとも一方（図示の例では片方）には配管等との接続口となる流出口８４が設けられ、該流出口８４はマニホールド弁構造体８０外に開口している。
【０００４】
一方、副ブロック８５は、前記本体ブロック８１の上面に複数個（図示の例では３個）並設されている。それぞれの副ブロック８５の下部には、前記本体側連通開口部８２の上端と一連に通じる副ブロック側連通開口部８６が上下方向に形成されるとともに、該副ブロック側連通開口部８６と連通して弁室８７が形成され、該弁室８７には流体（純水や薬品等）のための流入口８８が副ブロック８５の正面又は背面から水平方向に形成されている。なお、図示の例では、一番右の副ブロック８５の流入口８８が純水等のための主成分用流入口となっているのに対し、他の副ブロック８５の流入口８８は薬品等のための副成分用流入口となっている。また、前記弁室８７内には前記副ブロック側連通開口部８６を開閉する弁体９０が配設されている。なお、前記弁体９０はエアーにより上昇しスプリング９１により下降する公知のものとされる。符号９２はダイアフラムである。
【０００５】
前記マニホールド弁構造体８０では、前記複数の流入口８８に純水等の主成分や薬品等の副成分を供給するための供給装置が接続される。そして、必要に応じて副ブロック８５の弁体９０を適宜作動させて前記副ブロック側連通開口部８６を開放すれば、所定量の流体（主成分及び副成分）を副ブロック側連通開口部８６及び本体ブロック側連通開口部８２を通して主流路８３内に供給できる。
【０００６】
ところで、前記マニホールド弁構造体を用いて主成分に副成分を混入して所定の作業場所へ供給する場合には、マニホールド弁構造体の二次側の流量（二次側の負荷）や各流体の混合割合を変更する等を目的として、一次側の流量、つまり各流入口から流入させる流体（特には主成分）の流量の変更（設定）が行われることがある。
【０００７】
しかしながら、上記従来のマニホールド弁構造体８０にあっては、弁体９０と副ブロック側連通開口部８６間の開口量を切り替えることにより、ある程度は流体が流出入する流量を変更できるのであるが、ユーザからは更に前記流量の可変範囲が広いものが強く望まれている。なお、前記流量の可変範囲を広くする手段として、前記副ブロック側連通開口部８６の開口面積及び弁体９０の有効面積を大きくすることが考えられるが、その場合には、前記流量を小さく設定することが困難になるといった不具合が新たに生じてしまう。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記の点に鑑みて提案されたものであって、マニホールド弁構造体等を用いて主成分に副成分を混入して所定の作業場所へ供給する場合等において、流出入させる流体の流量の可変範囲を広くすることができるとともに、前記流量を小さく設定する場合にもその設定が容易な流量切替弁を用いた流量調整方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
すなわち、請求項１の発明は、流体の流入口（２１）と、流体の第１流路（２２）と、前記第１流路（２２）に開口する第１開口部（２３）と、前記第１開口部（２３）と連通して形成された第１弁室（２４）と、前記第１弁室（２４）に設けられ前記第１開口部（２３）を開閉する第１弁体（２５）とを有する第１弁部（２０）と、前記第１流路（２２）と連通する流体の第２流路（５１）と、前記第２流路（５１）の先端に開口する第２開口部（５２）と、前記第２開口部（５２）と連通して形成された第２弁室（５３）と、前記第２弁室（５３）に設けられ前記第２開口部（５２）を開閉する第２弁体（５４）と、前記第２弁室（５３）と前記第１弁室（２４）とを連通する連通部（５５）とを有する第２弁部（５０）とからなり、前記第１弁部（２０）又は第２弁部（５０）の何れか一方に流体の流出口（４６）を設け、流体の大流量を得るときには前記第１弁部（２０）の第１開口部（２３）及び第２弁部（５０）の第２開口部（５２）を開き、流体の小流量を得るときには前記第１弁部（２０）の第１開口部（２３）を閉じて第２弁部（５０）の第２開口部（５２）のみを開くようにした流量切替弁（１０）を用いた流量調整方法であって、前記流量切替弁の第１弁部（２０）の流入口（２１）に定圧供給弁（Ｈ１）を接続して、第１弁部（２０）の第１開口部（２３）若しくは第２弁部（５０）の第２開口部（５２）を選択的に開くか、又は第１弁部（２０）の第１開口部（２３）及び第２弁部（５０）の第２開口部（５２）を同時に開き、前記定圧供給弁（Ｈ１）の設定値の調整を前記第１開口部（２３）及び前記第２開口部（５２）の開閉の切替と併せて行うことにより、流量を精度よく調整することを特徴とする流量切替弁を用いた流量調整方法に係る。
【００１０】
また、請求項２の発明は、請求項１において、前記流量切替弁の第１弁部（２０）又は第２弁部（５０）がマニホールド弁構造体（Ｍ）として構成された流量切替弁を用いた流量調整方法に係る。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下添付の図面に従って本発明を詳細に説明する。図１は本発明の一実施例に係る流量切替弁を示す正面図、図２は図１の２−２断面図、図３は図１の３−３断面図、図４は大流量を得る際の図１の流量切替弁を弁部並設方向に沿って切断した断面図、図５は小流量を得る際の図１の流量切替弁を弁部並設方向に沿って切断した断面図、図６は図１の流量切替弁の各開口部開放時における流量と定圧供給弁の設定値の関係を示すグラフ図、図７は図１の流量切替弁を用いて流量を切り替える方法の一例を示す概略図、図８は他の実施例に係る流量切替弁の断面図、図９はさらに他の実施例に係る流量切替弁の断面図、図１０はさらに他の実施例に係る流量切替弁の断面図である。
【００１２】
図１ないし図５に示す流量切替弁１０は、本発明の一実施例に係るものであり、第１弁部２０と第２弁部５０とからなる。なお、図２及び図３は図１の２−２線、３−３線でそれぞれ切断した断面図であるが、理解を容易にするために、各弁部２０，５０を後述する作動流体流通口２８，２８又は５７，５７を通って切断している。
【００１３】
実施例では、第１弁部２０は、純水等の主成分と薬品等の副成分とを所定流量で混合して、該混合流体を所定の作業場所に供給したりするのに使用されるマニホールド弁構造体Ｍとして構成されている。また、この実施例では、マニホールド弁構造体Ｍを構成する第１弁部２０は、本体ブロックＢ１と複数の副ブロックＢ２，Ｂ３，Ｂ４とで構成されている。
【００１４】
本体ブロックＢ１は、図のように略直方体に形成され、該本体ブロックＢ１の外面（図示の例では背面）から略水平方向に第１弁部２０の流入口（以下、主流入口という。）２１及び第１副流入口３１，第２副流入口４１がそれぞれ形成されている。これら流入口２１，３１，４１はマニホールド弁構造体Ｍ内に各流体が流入する部分であり、実施例では前記主流入口２１には純水等の主成分を供給するための主成分供給装置が接続され、前記各副流入口３１，４１には薬品等の副成分を供給するための副成分供給装置が接続される。
【００１５】
前記主流入口２１の上側には第１流路２２が形成されるとともに、前記各副流入口３１，４１の上側には副流路３２，４２がそれぞれ形成されている。前記第１流路２２の上端は第１開口部２３として開口しているとともに、該第１開口部２３を介して第１弁室２４が第１流路２２に連通形成されている。また、前記副流路３２，４２の上端は副開口部３３，４３としてそれぞれ開口しているとともに、該副開口部３３，４３を介して副弁室３４，４４が副流路３２，４２にそれぞれ連通形成されている。
【００１６】
前記第１弁室２４には、前記第１開口部２３を開閉する第１弁体２５が配設されるとともに、前記副弁室３４，４４には、前記副開口部３３，４３を開閉する副弁体３５，４５がそれぞれ配設される。また、各弁室２４，３４，４４は連通流路２６，３６を介して連通している。さらに、副弁室（図の左側の副弁室）４４の前記連通流路３６とは反対側には、マニホールド弁構造体Ｍ内の流体を該弁構造体Ｍ外へ流出させるための流出口４６が形成されている。
【００１７】
副ブロックＢ２，Ｂ３，Ｂ４は、本体ブロックＢ１と同様に略直方体に形成され、前記本体ブロックＢ１の上側に設けられている。なお、図示の例においては、副ブロックは各流入口２１，３１，４１毎に分かれた複数のブロックで構成されているが、勿論、当該副ブロックは一つのブロックで構成されてもよい。この副ブロックＢ２，Ｂ３，Ｂ４には、前記本体ブロックＢ１の各弁室２４，３４，４４に合致する第１調圧室２７及び副調圧室３７，４７がそれぞれ形成されている。
【００１８】
前記本体ブロックＢ１の各開口部２３，３３，４３を開閉する各弁体２５，３５，４５としては、適宜手段により上下動する公知の構造のものを制限なく用いることができる。実施例では、前記各弁体２５，３５，４５は、その上部に前記各調圧室２７，３７，４７内を上下動するピストン部２５ａ，３５ａ，４５ａが固着され、そのピストン部２５ａ，３５ａ，４５ａの上面と調圧室２７，３７，４７の内壁間にはスプリングＳが介在され、当該ピストン部２５ａ，３５ａ，４５ａは下方向へ付勢されている。これによって、前記各調圧室２７，３７，４７のピストン部２５ａ，３５ａ，４５ａより下方の空間にエアー等の作動流体を流入させることにより弁体２５，３５，４５が上昇し、反対に前記空間から作動流体を流出させると前記スプリングＳの弾性力により弁体２５，３５，４５が下降する。また、実施例においては、各弁体２５，３５，４５の上部にはダイヤフラム部２５ｂ，３５ｂ，４５ｂがそれぞれ設けられている。さらに、実施例では、前記各副ブロックＢ２，Ｂ３，Ｂ４上面に調節ネジ部材Ｎが螺着され、該調節ネジ部材Ｎの回動により各ピストン部２５ａ，３５ａ，４５ａ上面と各調圧室２７，３７，４７の内壁間の距離（ピストン部が上死点に位置する場合における距離）を変え、それにより前記各弁体２５，３５，４５と各開口部２３，３３，４３間の開度を微調整できるようになっている。なお、図中の符号２８，３８，４８は前記各弁体２５，３５，４５を上下動させるエアー等の作動流体を各調圧室２７，３７，４７内に流通させるための作動流体流通口である。
【００１９】
ここで、前記各弁体２５，３５，４５は、各流体毎に供給及び供給停止の切り替えや供給量の増減の調整を行えるよう互いに独立して作動できるようにしたり、あるいは各流体の同時供給や交互供給の場合等に対応できるよう各弁体同士を関連させて作動できるようにしてもよい。このように各弁体を関連させて作動させる一方法としては、図示しないコンピュータ制御装置等を介して作動流体供給装置を前記作動流体流通口２８，３８，４８と接続する方法がある。
【００２０】
第２弁部５０は、実施例では前記第１弁部２０と独立したブロック体よりなり、ボルト等の適宜緊締部材Ｋにより第１弁部２０に固着される。また、この実施例では、前記第２弁部は、本体ブロックＢ５と副ブロックＢ６とで構成されている。
【００２１】
前記第２弁部５０の本体ブロックＢ５は、図のように略直方体に形成されており、その略中央部に前記第１弁部２０の第１流路２２と連通する第２流路５１が形成されている。該第２流路５１の先端（前記第１流路２２の反対側の先端）は第２開口部５２として開口しているとともに、該第２開口部５２を介して第２弁室５３が第２流路５１に連通形成されている。また、前記第２弁室５３には、前記第２開口部５２を開閉する第２弁体５４が配設され、さらに、該第２弁室５３は連通部５５を介して前記第１弁部２０の第１弁室２４と連通している。ここで、前記第２開口部５２の開口面積及び第２弁体５４の有効面積は、図のように前記第１弁部２０の第１開口部２３の開口面積及び第１弁体２５の有効面積よりも小さくすることが好ましい。そうすれば、後述するように第２弁部５０の第２開口部５２のみを開くことにより、容易に流体の流量を小さくできるとともに、その際に液溜まり部等の不具合が発生するのを防ぐことができる。
【００２２】
前記第２弁部５０の副ブロックＢ６は、本体ブロックＢ５と同様に略直方体に形成され、前記本体ブロックＢ５の上側に設けられている。この副ブロックＢ６には、前記本体ブロックＢ５の第２弁室５３に合致する第２調圧室５６が形成されている。
【００２３】
前記本体ブロックＢ１の第２開口部５２を開閉する第２弁体５４としては、適宜手段により上下動する公知の構造のものを用いることができる。実施例の第２弁体５４は、前記第１弁体２５等と同様にエアー等の作動流体とスプリングＳを利用して上下動するようになっている。図中の符号５４ａは第２弁体５４上部に固着され前記第２調圧室５６内を上下動するピストン部、５４ｂは第２弁体５４上部に設けられたダイヤフラム部、５７は第２弁体５４を上下動させるエアー等の作動流体を第２調圧室５６内に流通させるための作動流体流通口である。また、実施例では、前記副ブロックＢ６上面に調節ネジ部材Ｎが螺着され、該調節ネジ部材Ｎの回動により前記第２弁体５４と第２開口部５２間の開度を微調整できるようになっている。
【００２４】
上記各ブロックＢ１〜Ｂ６及び各弁体（ダイヤフラム部を含む。）２５，３５，４５，５４等流体と接触する部分の材質は、流体の種類によって適宜選択されるが、酸やアルカリ等に対する耐性を有するＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等が好適である。
【００２５】
次に、かかる構造の流量切替弁１０の作動について説明する。まず、供給装置から前記主流入口２１を介して流量切替弁１０内に供給された流体（実施例では純水等の主成分）は、まず第１流路２２及び第２流路５１を満たす。それから、流体の大流量を得るときには、図４に示すように、前記第１弁体２５及び第２弁体５４を上昇させて前記第１開口部２３及び第２開口部５２が共に開かれ、該両開口部２３，５２を介して第１弁室２４及び第２弁室５３内に流体が同時に流入する。これに対して、流体の小流量を得るときには、図５に示すように、前記エアー等の作動流体の切換により第１弁体２５がスプリングＳのバネ弾性によって下降され、第１開口部２３が閉じて第２開口部５２のみ開かれることによって、第２開口部５２のみから第２弁室５３内に流体が流入する。前記第２弁部５０の第２弁室５３内に流入した流体（主成分）は、前記連通部５５を介して第１弁部２０の第１弁室２４内に流入する。
【００２６】
そして、前記第１弁室２４内に流入した流体（主成分）は、連通流路２６，３６を介して各副弁室３４，４４内に流入して、その弁室３４，４４内で各副流入口３１，４１から所定流量で供給された流体（副成分）と混合され、前記流出口４６から混合流体として弁外へ流出される。なお、この流量切替弁１０は、流体の小流量を得る際に第２弁部５０の第２開口部５２を閉じて第１弁部２０の第１開口部２３のみ開くこともできるが、前記のように第２弁部５０の第２開口部５２のみ開いて流体の小流量を得るようにすれば、その際当該弁１０内に生じる液溜まり部（流体の流れが止まる部分）を最小限にできる。また、前記副流入口３１，４１へ流す流体（副成分）を別のものに変更するために弁内を洗浄する際等には、前記副弁体３５，３６により前記副開口部３３，４３を共に閉じ、主流入口２１から供給された流体（主成分）を、他の流体（副成分）と混合せずにそのまま流出口４６から弁外へ流出させることもある。
【００２７】
上述したように流量切替弁１０においては、開く開口部２３，５２を選択することにより大流量から小流量への切り替えが可能となる。特に、請求項１の発明の如く、前記主流入口２１に、レギュレータや特許第２６７１１８３号に記載されている圧力調整弁等の定圧供給弁（定流量供給弁を含む。）を接続し、該定圧供給弁の設定値（定圧供給弁の二次側設定圧力）の調整を前記第１開口部２３及び第２開口部５２の開閉の切替と併せて行うことにより、広い範囲で流量の切り替え（調整）を良好に行うことができる。詳しくは、流量切替弁１０の各開口部開放時における流量と定圧供給弁の設定値（定圧供給弁の二次側設定圧力）の関係を示す図６のグラフからも分かるように、この流量切替弁１０では、第１開口部２３及び第２開口部５２を共に開いた場合における定圧供給弁の最大設定値（定圧供給弁の最大二次側設定圧力）ｐ1のときに最大流量Ｑ1となり、第２開口部５２のみ開いた場合における定圧供給弁の最小設定値（定圧供給弁の最小二次側設定圧力）ｐ2のときに最小流量Ｑ2となり、当該流量切替弁１０の流量可変範囲は［Ｑ1−Ｑ2］となる。これに対して、従来構造において定圧供給弁を接続して流量の切り替えを行う場合は、実施例の第１開口部２３のみを開いた場合に相当して、最大流量はＱ3（＜Ｑ1）となり、最小流量はＱ4（＞Ｑ2）となり、流量可変範囲は［Ｑ3−Ｑ4］（＜［Ｑ1−Ｑ2］）となる。
【００２８】
図７には、上記構造からなる流量切替弁１０の一使用例が示されている。この例においては、流量切替弁１０の前記主流入口２１には、圧力調整弁Ｈ１，ポンプＰ１を介して主成分用タンクＴ１に接続される。前記圧力調整弁Ｈ１には、減圧弁Ｄを介して空気圧源Ａ１が接続されている。また、前記第１副流入口３１には、オリフィス等の絞り機構Ｏ，流量計Ｆ，圧力調整弁Ｈ２，インジェクターＩを介して、ポンプＰ２及び第１副成分用タンクＴ２を有する工場内循環回路に接続される。前記圧力調整弁Ｈ２には、電空変換器Ｅを介して空気圧源Ａ２が接続されるとともに、該空気圧源Ａ２は前記電空変換器Ｅ，調節計Ｒを介して前記流量計Ｆとも接続されている。さらに、前記第２副流入口４１には、開度調節弁Ｖ，圧力調整弁Ｈ３を介して第２副成分用圧送タンクＴ３が接続されている。なお、図中の符号Ｕ１，Ｕ２は工場内循環回路内における第１副成分のユースポイント、Ｕ３は流量切替弁１０の流出口４６から流出した混合流体のユースポイントである。
【００２９】
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において構成の一部を適宜変更して実施することができる。例えば上記実施例では、前記第１弁部２０（マニホールド弁構造体Ｍ）の本体ブロックＢ１は、一つのブロックで構成されているが、図８に示す流量切替弁１０Ａのように、第１弁部の本体ブロックを前記各流入口２１，３１，４１毎に分割され互いに独立した複数のブロックＢ１ａ，Ｂ１ｂ，Ｂ１ｃを組み付けたもので構成されてもよい。このようにすれば、各流入口毎に分割されたブロックを互いに独立したモジュールとして構成できるので、各ブロックを様々な組合せで組み合わせることにより、ユーザーの多種多様なニーズ、つまり混合させる流体の数に応じたマニホールド弁構造体を提供でき、極めて汎用性に優れる。図８において、上記実施例の流量切替弁１０の部材と同一部材については同一符号が付し、その説明を省略する。
【００３０】
また、上記実施例の流量切替弁１０においては、第１弁部２０の第１弁体２５と第２弁部５０の第２弁体５４とが互いに平行となるように配設されているが、図９に示す流量切替弁１０Ｂの如く、第２弁部５０Ｂの第２弁体５４Ｂを第１弁部２０Ｂの第１弁体２５と略直交する方向に配設してもよい。さらに、この流量切替弁１０Ｂでは、第２弁部５０Ｂの第２流路５１Ｂ，第２開口部５２Ｂ，第２弁室５３Ｂ，連通部５５Ｂが形成されるブロック（前記実施例の第２弁部５０の本体ブロックＢ５に相当する。）は、第１弁部２０Ｂ（マニホールド弁構造体ＭＢ）の本体ブロックＢ７と一体に形成されている。図９において、上記実施例の流量切替弁１０の部材と同一部材については同一符号が付し、その説明を省略する。
【００３１】
図１０には、さらに本発明の他の実施例に係る流量切替弁１０Ｃが示されている。この流量切替弁１０Ｃにおいては、上記各実施例とは異なり、第２弁部５０Ｃがマニホールド弁構造体ＭＣとして構成されている。また、同実施例では、第２弁部５０Ｃ（マニホールド弁構造体ＭＣ）に流体のための流出口７７Ｃが設けられている。図中の第１弁部２０Ｃに関して、符号２１Ｃは主成分のための主流入口、２２Ｃは第１流路、２３Ｃは前記第１流路２２Ｃに開口する第１開口部、２４Ｃは前記第１開口部２３Ｃと連通して形成された第１弁室、２５Ｃは前記第１弁室２４Ｃに設けられ前記第１開口部２３Ｃを開閉する第１弁体、２６Ｃは第１調圧室である。また、図中の第２弁部５０Ｃに関して、符号５１Ｃは前記第１流路２２Ｃと連通する流体の第２流路、５２Ｃは前記第２流路５１Ｃの先端に開口する第２開口部、５３Ｃは前記第２開口部５２Ｃと連通して形成された第２弁室、５４Ｃは前記第２弁室５３Ｃに設けられ前記第２開口部５２Ｃを開閉する第２弁体、５５Ｃは前記第２弁室５３Ｃと前記第１弁室２４Ｃとを連通する連通部、５６Ｃは第２調圧室、６１Ｃは第１副流入口、６２Ｃは第１副流路、６３Ｃは第１副開口部、６４Ｃは第１副弁室、６５Ｃは第１副弁体、６６Ｃは第１副調圧室、７１Ｃは第２副流入口、７２Ｃは第２副流路、７３Ｃは第２副開口部、７４Ｃは第２副弁室、７５Ｃは第２副弁体、７６Ｃは第２副調圧室である。なお、図１０において、上記実施例の流量切替弁１０の部材と同一部材については同一符号が付し、その説明を省略する。
【００３２】
【発明の効果】
以上図示し説明したように、本発明によれば、第１弁部の第１開口部及び第２弁部の第２開口部を共に開くことによって流体の流量を大きくし、前記第１弁部の第１開口部を閉じて第２弁部の第２開口部のみを開くことによって流体の流量を小さくすることができるので、流量の可変範囲を大幅に広くすることができる。特に、前記第１弁部に設けられた流入口に定圧供給弁を接続して第１弁部の第１開口部及び第２弁部の第２開口部を開閉することによって流量を調整するようにすれば、流量の調整の精度が良好となる。
【００３３】
また、請求項２の発明のように前記第１弁部又は第２弁部をマニホールド弁構造体として構成すれば、純水等の主成分に薬品等の副成分を所定流量で混合して該混合流体を所定の作業場所に供給する場合、当該流量切替弁を用いた流量調整方法に好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る流量切替弁を示す正面図である。
【図２】図１の２−２断面図である。
【図３】図１の３−３断面図である。
【図４】大流量を得る際の図１の流量切替弁を弁部並設方向に沿って切断した断面図である。
【図５】小流量を得る際の図１の流量切替弁を弁部並設方向に沿って切断した断面図である。
【図６】図１の流量切替弁の各開口部開放時における流量と定圧供給弁の設定値の関係を示すグラフ図である。
【図７】図１の流量切替弁を用いて流量を調整する方法の一例を示す概略図である。
【図８】他の実施例に係る流量切替弁の断面図である。
【図９】さらに他の実施例に係る流量切替弁の断面図である。
【図１０】さらに他の実施例に係る流量切替弁の断面図である。
【図１１】従来使用されているマニホールド弁構造体の一例を示す正面図である。
【図１２】同マニホールド弁構造体の断面図である。
【符号の説明】
１０：流量切替弁
２０：第１弁部
２１：流入口
２２：第１流路
２３：第１開口部
２４：第１弁室
２５：第１弁体
４６：流出口
５０：第２弁部
５１：第２流路
５２：第２開口部
５３：第２弁室
５４：第２弁体
５５：連通部
Ｍ：マニホールド弁構造体
Ｈ１：定圧供給弁
【図１】
0003623143.tif 000002
【図２】
0003623143.tif 000003
【図３】
0003623143.tif 000004
【図４】
0003623143.tif 000005
【図５】
0003623143.tif 000006
【図６】
0003623143.tif 000007
【図７】
0003623143.tif 000008
【図８】
0003623143.tif 000009
【図９】
0003623143.tif 000010
【図１０】
0003623143.tif 000011
【図１１】
0003623143.tif 000012
【図１２】
0003623143.tif 000013