(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに並設されたローラの外周面に所定の巻回ピッチでワイヤの嵌込み溝を形成すると共に、これらローラの嵌込み溝間に巻付けられたワイヤを前記ローラの正逆回転により所定範囲内で往復動させ、該ワイヤの往復部分に切削材を含むスラリーを供給しながら半導体インゴットを押付けてスライス切断する半導体スライス装置の運転方法において、
予め前記各ローラの軸受ハウンジングその他のローラ支持部内に、熱膨張抑制用の低温の熱交換媒体と、熱収縮抑制用の高温の熱交換媒体を切替弁により選択的に導入する通路を形成しておき、
通常のインゴット切断時には、前記通路に熱膨張を規制する低温の熱交換媒体を供給しながら前記ローラの正逆回転及びスラリー供給により半導体インゴットスライス切断が行われ、
一方前記ワイヤの切断時には、前記ローラの正逆転及びスラリーの供給を停止すると共に、前記切替弁を切り換えて前記通路に熱収縮を規制する高温の熱交換媒体を導入し、前記ワイヤの一対の切断箇所を前記半導体インゴットの切断に直接使用されない位置まで引出して接続し、
前記接続終了後に前記切替弁を切り換えて前記通路に前記低温の熱交換媒体を導入し、この状態で前記半導体インゴットの切込みを前記ワイヤに押し付け、前記スラリーの供給及び前記ローラの正逆回転を再開することを特徴とする半導体スライス装置のワイヤ切断時の運転再開方法。
【請求項２】
互いに並設されたローラの外周面に所定の巻回ピッチでワイヤの嵌込み溝を形成すると共に、これらローラの嵌込み溝間に巻付けられたワイヤを前記ローラの正逆回転により所定範囲内で往復動させ、該ワイヤの往復部分に切削材を含むスラリーを供給しながら半導体インゴットを押付けてスライス切断する半導体スライス装置において、
前記各ローラの軸受ハウンジングその他のローラ支持部内に、熱膨張抑制用の低温の熱交換媒体と、熱収縮抑制用の高温の熱交換媒体を切替弁により選択的に導入する通路と、
前記ローラの端面を被検出面としてローラの熱変位を検出する測拒センサの出力に基づいて前記ワイヤの切断時を判定する手段とを具え、
通常のインゴット切断時には、前記通路に熱膨張を規制する低温の熱交換媒体を供給しながら前記ローラに正逆の回転駆動力を伝達して正逆回転及びスラリー供給により半導体インゴットスライス切断が行われ、
上記判定手段による判定結果に基づいてワイヤ切断された時点で、前記ローラの正逆転及びスラリーの供給を停止すると共に、前記切替弁を切り換えて前記通路に熱収縮を規制する高温の熱交換媒体を導入し、前記ワイヤの一対の切断箇所を前記半導体インゴットの切断に直接使用されない位置まで引出して接続し、
前記接続終了後に前記切替弁を切り換えて前記通路に前記低温の熱交換媒体を導入し、この状態で前記半導体インゴットの切込みを前記ワイヤに押し付け、前記スラリーの供給及び前記ローラに正逆の回転駆動力を伝達して正逆回転を再開するように構成したコントローラを具えたことを特徴とする半導体スライス装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はワイヤにスラリーを供給しながら半導体インゴットを押し付けて切断する半導体スライス装置に係り、特に、ワイヤ切断時における半導体スライス装置の運転再開方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
単結晶インゴットのスライス装置としては、内周刃に対して単結晶インゴットのワークbを軸直角方向へ移動させてスライスする周知の内周刃スライサーと、図５に示すように、外周面にワイヤａの嵌込み溝（図３参照）を螺旋状に形成したローラｂ，ｃ，ｄを逆三角形の頂点位置にそれぞれ配設して、これらローラｂ，ｃ，ｄの各嵌込み溝間にワイヤ列ｅを形成し、これらワイヤ列ｅにスラリー供給ノズルｆから切削材の砥粒を含むスラリーｇを供給しながら、半導体インゴットｈを押付けて砥粒のラッピング作用により半導体インゴットをスライス切断するもの（ワイヤソー）が用いられているが、前者の内周刃スライサーは、後者のワイヤソーと比べて材料のロスが少なく、且つ高精度にスライス切断することができる利点を有するものの、構造上、ウェーハを一枚ずつ切出していかなくてはならず、量産性に乏しく大口径の半導体インゴットの切断には不向きであるという弱点があった。そこで近年では、特に大口径の半導体インゴットのスライス装置としてワイヤソー形式が採用されつつある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで前記ワイヤソーのワイヤには、耐摩耗、耐張力性に富み、しかも高硬度の線材、例えば、特殊ピアノ線等が用いられ、また、ローラには、ワイヤの損傷を防ぐため所定硬度の樹脂ローラが使用されているが、ワイヤの経時的な摩耗や、疲労によって半導体インゴットのスライス切断時にワイヤが切断して前記ローラに絡みついたしまったり、その切断部によってローラ外周の嵌込み溝に損傷を生じてしまい、ウェーハの切断を継続することができない場合がある。
【０００４】
このような場合、従来は、ワイヤから半導体インゴットの切込みを離脱させる離脱作業を行った後、ワイヤを手動又引き出したり、又はローラ駆装置をマニュアルで操作してワイヤの切断箇所を一方のローラの適宜外側まで引出して、その切断部同士を連結し、その後、ワイヤ同士の接続部が半導体インゴットの切断に直接関与しない位置に再度引き出したりする引き出し作業を行ったり、使用不能な状態ではワイヤを新規なものに交換するという交換作業がなされていた。そして、このようなワイヤ補修処理の後、ワイヤの各列に対して半導体インゴットの各切込みを対応させて係合させる復帰作業を行い、半導体インゴットの切断を再開することにより、半導体インゴットのスライス切断を完了するという復旧作業が行われていた。
【０００５】
しかし、前記ワイヤ復旧開始から半導体インゴットの切断再開までの所要時間が極めて短い場合、例えば、ワイヤの切断がローラと嵌合していないところで起きた場合のように、単にワイヤ同士の接続のみでワイヤ処理を完了できる場合を除き、ワイヤ補修処理に長時間（１〜３時間）を要してしまう場合には、上記ローラの軸受部やワイヤとの摩擦熱によって熱膨張をしていたローラが冷えて、ワイヤを嵌込む上記ワイヤ嵌込み溝のピッチが狭くなってしまうため、この状態で半導体インゴットの切断を再開すると、切出すウェーハ及び半導体インゴットの切断面の双方に修正不能な段差が生じてしまう問題があった。
【０００６】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、ワイヤソー形式の半導体スライス装置において、ワイヤ切断直後のローラの熱収縮を規制してワイヤの接続乃至交換を行えるようにした新規な半導体スライス装置のワイヤの接続乃至交換方法及びその装置を提供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、互いに並設されたローラの外周面に所定の巻回ピッチでワイヤの嵌込み溝を形成すると共に、これらローラの嵌込み溝間に巻付けられたワイヤを前記ローラの正逆回転により所定範囲内で往復動させ、該ワイヤの往復部分に切削材を含むスラリーを供給しながら半導体インゴットを押付けてスライス切断する半導体スライス装置の運転方法において、
予め前記各ローラの軸受ハウンジングその他のローラ支持部内に、熱膨張抑制用の低温の熱交換媒体と、熱収縮抑制用の高温の熱交換媒体を切替弁により選択的に導入する通路を形成しておき、
通常のインゴット切断時には、前記通路に熱膨張を規制する低温の熱交換媒体を供給しながら前記ローラの正逆回転及びスラリー供給により半導体インゴットスライス切断が行われ、
一方前記ワイヤの切断時には、前記ローラの正逆転及びスラリーの供給を停止すると共に、前記切替弁を切り換えて前記通路に熱収縮を規制する高温の熱交換媒体を導入し、前記ワイヤの一対の切断箇所を前記半導体インゴットの切断に直接使用されない位置まで引出して接続し、
前記接続終了後に前記切替弁を切り換えて前記通路に前記低温の熱交換媒体を導入し、この状態で前記半導体インゴットの切込みを前記ワイヤに押し付け、前記スラリーの供給及び前記ローラの正逆回転を再開することを特徴とする。
【０００８】
つまり、ワイヤ切断直後に、ローラの正逆転を停止、スラリーの供給を停止することにより、ワイヤの絡み付きの悪化と、ワイヤの切断部によるローラの損傷を防止し、さらに、熱交換媒体の通路に熱収縮を規制する熱交換媒体、例えば水，油等を供給することにより、軸受ハウジングの熱収縮に起因するローラの熱収縮を抑えてワイヤ嵌込み溝のピッチを一定に維持するのである。
【０００９】
そして、ワイヤの一対の切断部を半導体インゴットの切断に直接関与することがない位置まで繰り出し接続し、この状態でこの状態で前記半導体インゴットの切込みを前記ワイヤに押し付けて、前記スラリーの供給及び前記ローラの正逆回転を再開することにより、段差のないスライス切断を可能にする。
【００１０】
請求項２記載の発明は、互いに並設されたローラの外周面に所定の巻回ピッチでワイヤの嵌込み溝を形成すると共に、これらローラの嵌込み溝間に巻付けられたワイヤを前記ローラの正逆回転により所定範囲内で往復動させ、該ワイヤの往復部分に切削材を含むスラリーを供給しながら半導体インゴットを押付けてスライス切断する半導体スライス装置において、
前記各ローラの軸受ハウンジングその他のローラ支持部内に、熱膨張抑制用の低温の熱交換媒体と、熱収縮抑制用の高温の熱交換媒体を切替弁により選択的に導入する通路と、
前記ローラの端面を被検出面としてローラの熱変位を検出する測拒センサの出力に基づいて前記ワイヤの切断時を判定する手段とを具え、
通常のインゴット切断時には、前記通路に熱膨張を規制する低温の熱交換媒体を供給しながら前記ローラに正逆の回転駆動力を伝達して正逆回転及びスラリー供給により半導体インゴットスライス切断が行われ、
上記判定手段による判定結果に基づいてワイヤ切断された時点で、前記ローラの正逆転及びスラリーの供給を停止すると共に、前記切替弁を切り換えて前記通路に熱収縮を規制する高温の熱交換媒体を導入し、前記ワイヤの一対の切断箇所を前記半導体インゴットの切断に直接使用されない位置まで引出して接続し、
前記接続終了後に前記切替弁を切り換えて前記通路に前記低温の熱交換媒体を導入し、この状態で前記半導体インゴットの切込みを前記ワイヤに押し付け、前記スラリーの供給及び前記ローラに正逆の回転駆動力を伝達して正逆回転を再開するように構成したコントローラを具えたことを特徴とする。
すなわち、ワイヤ切断時、コントローラが検知手段による熱膨張・熱収縮に応じて切換弁の切換えを行うため、軸受ハウジングの熱収縮に起因するローラの熱収縮は切断直後の状態に維持される。
このため、請求項１に係る発明のように、ワイヤの接続、交換を行えば、切断を再開してもワイヤのピッチずれを抑制でき、切断不良のないウェーハが得られる。
又前記半導体スライス装置は、前記検知手段を、固定系に配設されその検知面から前記ローラの検出面までの距離の変化を前記熱膨張・熱収縮の変化量として検出してこれを前記コントローラに入力する非接触センサから構成するのがよい。
【００１１】
このように非接触でローラの熱膨張・熱収縮を検知するようにすると、センシングの信頼性を維持でき、ローラの熱膨張・収縮に対する正しい制御を行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。但し、この実施の形態に記載されている構成部材の寸法、材質、形状、その相対的配置等は特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
【００１３】
図１に本発明の一形態に係る半導体スライス装置の構造図を、図２にローラの熱膨張を制御する制御系統のブロック図を、図３に半導体インゴットの切断招待とスラリー供給装置との関係を示す概略構成を示す。
【００１４】
まず、図１、図２を参照してスライス装置の主要構成について詳述する。
固定系たる本体基板１の上部には、ヘッドローラ２とテールローラ３とが軸受部４を介して回転自在にかつ、互いに間隔を隔てて軸支されると共に、これらローラ２，３間ほぼ中央下部には、上記ヘッドローラ２及びテールローラ３と並行に駆動ローラ５が軸支されている。これらローラ２，３，５は、その外周面に、一端から他端へ所定螺旋ピッチで嵌込み溝７が形成されていて、これらローラ２，３，５の嵌込み溝７に１本のワイヤ６が巻き付けられており、このワイヤ６を介して上記ヘッドローラ２及びテールローラ３が同時に同一回転方向に回転するようになっている。
【００１５】
前記ワイヤ６は、図２に示すように、研削材を含むスラリーと協同して、これに押し付けられた半導体インゴット１２を砥粒のラッピング作用によって切断するものであり、耐摩耗、耐張力性に富み、しかも高硬度の線材、例えば、特殊ピアノ線によって構成されている。そしてこのワイヤ６の両端部は、それぞれヘッドローラ２，テールローラ３の外側へ延へ延びて固定系に支持された定滑車８及び動滑車９により一旦上方へ案内された後、別の定滑車（図示せず）で再び下方に折返され、その先端部と後端部とに取り付けられたウエイト（図示せず）の重さにより、ワイヤ６に不変の張力を作用させるようになっている。
【００１６】
前記ワイヤ６の走行は、例えば、駆動ローラ５に正逆の回転駆動力を伝達してこれを所定範囲往復道させる駆動装置１１によりなされ、また、前記ワイヤ６に対する半導体インゴット１２の押付けは、ワイヤ６の上方に配設された半導体インゴット１２の送り出し装置１３によりなされるようになっている。
【００１７】
さて、本発明の目的は、上記ワイヤ６が切断してから再開時までの間、ローラ２，３，５の熱収縮によるワイヤ６のピッチ狂いをなくし、これに起因したウェーハの段差発生を抑制することにある。
【００１８】
そこでこの実施形態にあっては、前記ヘッドローラ２、テールローラ３及び駆動ローラ５の熱膨張・熱収縮に直接関与する部分、すなわち、図１に示すように、これらローラ２，３，５と熱伝達可能に接触する軸受部４内の軸受ハンジング４ａ内に、熱交換媒体、例えば水，油等の供給通路１５ａ及び排出通路１５ｂを形成し、この供給通路１５ａ及び排出通路１５ｂに対してそれぞれ切換弁（二方切換え弁）１６，１７を介して低温の熱交換媒体の供給通路１８ａ及び排出通路１８ｂと高温の熱交換媒体通路の供給通路１９ａ及び排出通路１９ｂとを切換え自在に連通して、通常時、すなわち、ワイヤ切断の生じない正常なインゴット切断時には、スラリーノズル２０によるスラリーの供給とともに、各ローラ２，３，５の供給通路１５ａ及び排出通路１５ｂに対して低温の熱交換媒体の供給通路１８ａ及び排出通路１８ｂを連通するよう切換弁１６，１７を切換えてその熱膨張を規制するように構成され、また、異常時、すなわち、ワイヤ６の切断時は、各ローラ２，３，５の熱交換媒体の供給通路１５ａ及び排出通路１５ｂに対する低温の熱交換媒体の供給通路１８ａの連通を遮断して高温の熱交換媒体通路の供給通路１９ａ及び排出通路１９ｂを連通するよう切換弁１６，１７を切換えて各ローラ２，３，５熱収縮を規制するように構成される。
【００１９】
この場合、上記正常時と異常時の切換えを正しく行い、かつ、切換え時、熱交換媒体の温度、流量を正しく設定するためには、切換弁１６，１７の切換え時期を正確に判定すると同時に、供給すべき熱交換媒体の温度を正確に検出し、流量を正確に設定する方が好ましい。
【００２０】
このためこの発明の実施の形態にあっては、図１に示すように前記各ローラ２，３，５と一体の端面板２１の端面２１ａを非検出面として固定系、例えば、前記基板１にその端面２１ａとの間の距離を各ローラ２，３，５の熱膨張又は、熱収縮時の変位として捉えることができるよう測距センサ２２を取付け、この測距センサ２２の出力をコントローラ（ＣＰＵ等）２３に入力するように構成すると共に、図３のブロック図に示すように低温の熱交換媒体の排出通路１８ｂに対して出口温度を検出する温度センサ２４を、高温の熱交換媒体の排出通路１９ｂに対して出口温度を検出する温度センサ２５を介設している。そして上記コントローラ２３は、通常の半導体インゴット１２の切断時において検出される端面板２１の端面２１ａまでの距離Ｓを基準値（例えば０）として記憶するように構成すると共に、演算処理部を、その基準値と、現在、測距センサ２２で検出された距離Ｓ１との＋側の差が所定値を越えたときをワイヤ切断時と判定するように、また、基準値Ｓと、現在、測距センサ２２で検出された距離Ｓ１との−側の差が所定値を未満のときを正常なインゴット切断時と判定するように構成され、さらに、上記各温度センサ２４，２５の検出する出口温度に基づいて各ローラ２，３，５の熱負荷を演算した後、その熱負荷に対する冷却装置２６及び加熱装置２７の能力を調節すると共に、各能力に応じた流量を演算して低温の熱交換媒体の供給装置２８及び高温の熱交換媒体の供給装置２９の供給量をそれぞれ調節するようになっている。なお、この場合、上記測距センサ２２に光式のものを使用する場合は、端面２１ａに対してリフレクタ（反射板）を設け、また、制御精度及び省エネルギのためには、熱膨張・熱収縮規制のための熱交換媒体の供給量及び温度の制御は徐々に増加させる方が好ましい。
【００２１】
本実施形態に係るワイヤ補修方法は、ワイヤ切断時、上記測距センサ２２の検出値Ｓの変化に基づいて、上記コントローラ２３により、前記ローラ駆動装置１１を停止して半導体インゴット１２の切り込みからワイヤ６を抜取ると共に、前記切換弁１６，１７の切換えを行って、各ローラ２，３，５の軸受部４の熱交換媒体の通路１５に熱収縮を規制すべく高温の熱交換媒体を供給し、各ローラ２，３，５の熱膨張をワイヤ切断時の状態に規制しながら、手動又は前記ローラ駆動装置１１の手動制御により、ワイヤ６を巻取ってワイヤ６の一対の切断箇所を、例えば、テールローラ３の外に引出して連結する。そして、その接続部の位置を半導体インゴット１２の切断に直接使用されない位置まで引出した後、切断完了前の半導体インゴット１２の各切込みを各ワイヤ列１０に係合させて押付ける。その後、この状態でローラ駆動装置１１によるワイヤ６の走行と、スラリー供給ノズル２０によるスラリーの供給を行いつつ、ローラ駆動装置１１によるワイヤ６の正逆転走行を行い、半導体インゴット１２のスライス切断を完了する。
この場合、切断箇所が半導体インゴット１２の切断に直接関与しない場所においてワイヤの損傷が発生したときは、ワイヤ６の切断部の引出しのため、特に、ワイヤ６を巻取る必要はないが、ワイヤ６の絡み付き等によりその状態が悪いときはワイヤ６交換し、また、各ローラ２，３，５の嵌込み溝７の状態が悪く、半導体インゴット１２の切断に悪影響を与えてしまう虞の強い場合は、上記低温・高温の熱交換媒体通路１８ａ，１８ｂ，１９ａ，１９ｂの全てを一旦遮断して、ローラ交換後、各ローラ２，３，５に対し高温の熱交換媒体の供給を行って切断直後の状態に戻すようにする。
【００２２】
なお、上記コントローラで制御する場合は、上記測距センサ２２からの信号を処理してワイヤ切断を判定したときに、ローラ駆動装置１１を自動停止し、かつ、スラリー供給ノズル２０にスラリーを供給するポンプ（図示せず）に対して停止信号を出力すると共に、手動ボタン等により半導体インゴットの切断が再開されたときには、ローラ駆動装置１１及び上記スラリー供給ノズルへのスラリー供給ポンプを駆動するように、そして、半導体インゴット１２の送り出し装置１３を緩速起動して半導体インゴット１２をワイヤ６に押圧するように構成すれば、一層、省力化を推進することが可能となる。
【００２３】
よって本実施形態に係る方法及びその装置によれば、通常のインゴット切断時には、各ローラ２，３，５の熱交換媒体の供給通路１５ａ，１５ｂに熱膨張を規制する低温の熱交換媒体が供給されてワイヤ６のピッチが一定に維持され、通常運転時の半導体インゴット１３のスライスは、さらに正確で品質の高いものとすることができ、また、ワイヤ切断時には、前記測距センサ２２による熱収縮に応じて切換弁１６，１７の切換え、すなわち、熱収縮を規制する高温の熱交換媒体が供給されるので、ワイヤ１０のピッチが切断前の状態と殆ど同じ状態に設定され、半導体インゴット１２の切断を再開してもワイヤ６のピッチずれに起因したウェーハの段差形成が抑制されたものとなり、通常の半導体インゴット１２の切断で得るウェーハと比べ遜色のないウェーハを得ることができる。
なお、この実施形態の説明にあって、軸受ハウジング４ａに熱交換媒体の供給通路１５ａ及び排出通路１５ｂを形成したのは、これを熱源として各ローラ２，３，５が熱膨張するためである。従って、熱交換媒体の流量が大きく、充分である場合は、このような構成とせずに各ローラ２，３，５内に上記直接熱交換媒体の供給通路１５ａ及び排出通路１５ｂを形成し、これらに上記切換弁１６，１７を接続するように構成して構わない 。
【００２４】
（実施例）
図４に本発明に係る半導体スライス装置の実施例を示す。
図示されるように前記各ローラ２，３，５と一体の端面板２１の端面２１ａを非検出面として固定系、例えば、前記基板１にその端面２１ａとの間の距離を各ローラ２，３，５の熱膨張又は、熱収縮時の変位として捉えることができるよう測距センサ２２を取付け、この測距センサ２２の出力を上記コントローラ２３に入力するように構成した。
この場合、前記軸受部４は、上記ローラ２，３，５の芯体３０と内軸３１とを連結して内軸３１に内輪３２を嵌合させて軸受３３を多列配置すると共に、各軸受３３の外輪３４を筒状の外軸３５の内面に嵌合し、外軸３５を軸受ハウジング４ａの内面に嵌合した。そして、軸受ハウジング４ａの内面を径方向外側に窪ませて螺旋溝３６を形成し、螺旋溝３６に軸受ハンジング４ａ内に形成した２つのポート３７，３８にそれぞれ接続してこれを上記水，油等の熱交換媒体の供給路１５ａ及び排出通路１５ｂとし、この熱交換媒体の供給通路１５ａ及び排出通路１５ｂに対して上記切換弁（二方切換え弁）１６，１７を介して低温の熱交換媒体の供給通路１８ａ及び排出通路１８ｂと高温の熱交換媒体通路の供給通路１９ａ及び排出通路１９ｂとを切換え自在に連通した。
そして、コントローラ２３により、ワイヤ切断時の制御を行い、ワイヤ６の切断後、上記方法により、半導体インゴットの切断を再開し、得られたウェーハの段差を測定したところ、段差は従来の０〜１／４まで減少し、不良率は０％となった。
【００２５】
【発明の効果】
以上、説明したことから明かなように本発明によれば、ワイヤ切断後、半導体インゴットの切断を再開してもワイヤのピッチずれに起因したウェーハの段差形成を抑制することができ、通常の半導体インゴットの切断で得るウェーハと比べて遜色のない品質のウェーハを得ることができる、という優れた効果が発揮される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る半導体スライス装置の一実施形態を示す要部詳細図である。
【図２】本発明に係る半導体スライス装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る半導体スライス装置の一実施形態を示すブロック図である。
【図４】本発明の一実施例を示す要部詳細断面図である。
【図５】従来のスライス装置の構成を説明するための概略図である。
【符号の説明】
２，３，５        ローラ
４                軸受部
６                ワイヤ
７                嵌込み溝
１０              ワイヤ列
１５ａ            熱交換媒体の供給通路
１５ｂ            熱交換媒体の排出通路
１６，１７        切換弁
１８ａ            低温の熱交換媒体の供給通路
１８ｂ            低温の熱交換媒体の排出通路
１９ａ            高温の熱交換媒体通路の供給通路
１９ｂ            低温の熱交換媒体の排出通路
２２              測距センサ
２３              コントローラ
【図１】
0003658907.tif 000002
【図２】
0003658907.tif 000003
【図３】
0003658907.tif 000004
【図４】
0003658907.tif 000005
【図５】
0003658907.tif 000006