(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバに接続するための第１のポート（３）と、
真空ポンプに接続するための第２のポート（４）と、
上記第１および第２のポート（３，４）を結ぶ主流路（Ｂ）を全開閉する主弁（５）と、
上記第１および第２のポート（３，４）を結び上記主流路（Ｂ）より開口面積の小さい副流路（Ａ）を制限的に開閉する副弁（３６）と、
上記主弁（５）に第１のシャフト（１０）を介して連結された第１のピストン（９）および圧力流体が供給される主圧力作用室（２０）を有し、流体圧による上記第１のピストン（９）の往復動によって上記主弁（５）を駆動させる主弁駆動部と、
上記第１のシャフト（１０）を上記主弁（５）が閉じる方向に付勢する主弁用弾性部材（２３）と、
上記副弁（３６）に第２のシャフト（３８）を介して連結された第２のピストン（３７）および上記圧力流体が供給される副圧力作用室（４８）を有し、流体圧による上記第２のピストン（３７）の往復動によって上記副弁（３６）を駆動させる副弁駆動部と、
螺回により進退自在の調節棒（６０）と上記第２のピストン（３７）との間に装填され、上記第２のシャフト（３８）を上記副弁（３６）が閉じる方向に上記弾性部材（２３）より小さな付勢力で付勢する副弁復帰用調整スプリング（５４）と、
上記調節棒（６０）に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒（６０）を移動させて、上記副弁復帰用調整スプリング（５４）を変位させ、その弾発力を調節する操作部材（５６）と、
上記主圧力作用室（２０）と上記副圧力作用室（４８）とを連通する導通孔（４９）と、
上記主圧力作用室（２０）および上記副圧力作用室（４８）に上記圧力流体を導入する操作ポート（２１）と、
を具備したことを特徴とするスムース排気弁。
【請求項２】
真空チャンバに接続するための第１のポート（３）と、
真空ポンプに接続するための第２のポート（４）と、
上記第１および第２のポート（３，４）を結ぶ主流路（Ｂ）を全開閉する主弁（５）と、
上記第１および第２のポート（３，４）を結び上記主流路（Ｂ）より開口面積の小さい副流路（Ａ）を制限的に開閉する副弁（３６）と、
上記主弁（５）に第１のシャフト（１０）を介して連結された第１のピストン（９）および圧力流体が供給される主圧力作用室（２０）を有し、流体圧による上記第１のピストン（９）の往復動によって上記主弁（５）を駆動させる主弁駆動部と、
上記第１のシャフト（１０）を上記主弁（５）が閉じる方向に付勢する主弁用弾性部材（２３）と、
上記副弁（３６）に第２のシャフト（３８）を介して連結された第２のピストン（３７）および上記圧力流体が供給される副圧力作用室（４８）を有し、流体圧による上記第２のピストン（３７）の往復動によって上記副弁（３６）を駆動させる副弁駆動部と、
螺回により進退自在の調節棒（６０）と上記第２のピストン（３７）との間に装填され、上記第２のシャフト（３８）を上記副弁（３６）が閉じる方向に上記弾性部材（２３）より小さな付勢力で付勢する副弁復帰用調整スプリング（５４）と、
上記副弁（３６）に装着され、上記副弁（３６）を閉じる方向に上記弾性部材（２３）より小さな付勢力で付勢する副弁復帰用スプリング（４０）と、
上記調節棒（６０）に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒（６０）を移動させて、上記副弁復帰用調整スプリング（５４）を変位させ、その弾発力を調節する操作部材（５６）と、
上記主圧力作用室（２０）と上記副圧力作用室（４８）とを連通する導通孔（４９）と、
上記主圧力作用室（２０）および上記副圧力作用室（４８）に上記圧力流体を導入する操作ポート（２１）と、
を具備したことを特徴とするスムース排気弁。
【請求項３】
真空チャンバに接続するための第１のポート（３）と、
真空ポンプに接続するための第２のポート（４）と、
上記第１および第２のポート（３，４）を結ぶ主流路（Ｂ）を全開閉する主弁（５）と、
上記第１および第２のポート（３，４）を結び上記主流路（Ｂ）より開口面積の小さい副流路（Ａ）を制限的に開閉する副弁（３６）と、
上記主弁（５）に第１のシャフト（１０）を介して連結された第１のピストン（９）および圧力流体が供給される主圧力作用室（２０）を有し、流体圧による上記第１のピストン（９）の往復動によって上記主弁（５）を駆動させる主弁駆動部と、
上記第１のシャフト（１０）を上記主弁（５）が閉じる方向に付勢する主弁用弾性部材（２３）と、
上記副弁（３６）に第２のシャフト（３８）を介して連結された第２のピストン（３７）および上記圧力流体が供給される副圧力作用室（４８）を有し、流体圧による上記第２のピストン（３７）の往復動によって上記副弁（３６）を駆動させる副弁駆動部と、
螺回により進退自在の調節棒（６０）と上記第２のピストン（３７）との間に装填され、上記第２のシャフト（３８）を上記副弁（３６）が閉じる方向に上記弾性部材（２３）より小さな付勢力で付勢する副弁復帰用調整スプリング（５４）と、
上記副弁（３６）に装着され、上記副弁（３６）を閉じる方向に上記弾性部材（２３）より小さな付勢力で付勢する副弁復帰用スプリング（４０）と、
上記調節棒（６０）に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒（６０）を移動させて、上記副弁復帰用調整スプリング（５４）を変位させ、その弾発力を調節する操作部材（５６）と、
上記主圧力作用室（２０）に上記圧力流体を導入する第１の操作ポート（２１）と、
上記副圧力作用室（４８）に上記圧力流体を導入する第２の操作ポート（７０）と、
を具備したことを特徴とするスムース排気弁。
【請求項４】
上記副弁（３６）は、ニードル弁であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のスムース排気弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空チャンバと真空ポンプとの間に接続して真空チャンバ内を真空圧に徐々に減圧するために使用されるスムース排気弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、真空チャンバの内圧を真空ポンプで真空圧に下げる場合、大気圧や高圧の状態にある真空チャンバ内の気体を急激に排気すると、一時的に大量の気体が流動するので、真空チャンバ内で気体の乱流が生じ、真空チャンバ内壁等に付着したパーティクルが巻き上げられてワークに付着する恐れがある。
そこで、真空チャンバと真空ポンプとを結ぶ流路に、流体圧によって駆動する大小の主弁と副弁をそれぞれ有する真空バルブを設置し、まず、小さい方の副弁を開け初期排気を行った後、大きな主弁を開けることにより、気体の吸引量を段階的に変化させるものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記の如き真空バルブでは、初期排気時の副弁の弁開度が、真空チャンバ内の気体の乱流を回避する上で極めて重要であり、当該弁開度の精密な制御が要求される。
ところが、副弁の復帰用スプリングには製品ばらつきがあることから、真空バルブに装填された復帰用スプリングが規格通りのばね力を有しない場合、真空バルブの弁開度の制御曲線にずれを生じることがある。
そこで、復帰用スプリングを交換する必要が生じるが、復帰用スプリングは真空バルブの内部に取付けられているため、交換作業が非常に煩雑化し、交換後は流体圧と副弁の復帰力との関係を調節する必要があるので、真空バルブを稼働するまでに多大の労力および時間を要し、コスト高になるという問題点がある。
【０００４】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、副弁の復帰用スプリングのばね力を外部より簡便な操作で調節することができ、副弁の弁開度を精度よく安定的に得ることができるスムース排気弁を提供することにある。
本発明の上記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明に係るスムース排気弁は、真空チャンバに接続するための第１のポートと、
真空ポンプに接続するための第２のポートと、
上記第１および第２のポートを結ぶ主流路を全開閉する主弁と、
上記第１および第２のポートを結び上記主流路より開口面積の小さい副流路を制限的に開閉する副弁と、
上記主弁に第１のシャフトを介して連結された第１のピストンおよび圧力流体が供給される主圧力作用室を有し、流体圧による上記第１のピストンの往復動によって上記主弁を駆動させる主弁駆動部と、
上記第１のシャフトを上記主弁が閉じる方向に付勢する主弁用弾性部材と、
上記副弁に第２のシャフトを介して連結された第２のピストンおよび上記圧力流体が供給される副圧力作用室を有し、流体圧による上記第２のピストンの往復動によって上記副弁を駆動させる副弁駆動部と、
螺回により進退自在の調節棒と上記第２のピストンとの間に装填され、上記第２のシャフトを上記副弁が閉じる方向に上記弾性部材より小さな付勢力で付勢する副弁復帰用調整スプリングと、
上記調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒を移動させて、上記副弁復帰用調整スプリングを変位させ、その弾発力を調節する操作部材と、
上記主圧力作用室と上記副圧力作用室とを連通する導通孔と、
上記主圧力作用室および上記副圧力作用室に上記圧力流体を導入する操作ポートと、
を具備したことを特徴としている。
【０００６】
また、真空チャンバに接続するための第１のポートと、
真空ポンプに接続するための第２のポートと、
上記第１および第２のポートを結ぶ主流路を全開閉する主弁と、
上記第１および第２のポートを結び上記主流路より開口面積の小さい副流路を制限的に開閉する副弁と、
上記主弁に第１のシャフトを介して連結された第１のピストンおよび圧力流体が供給される主圧力作用室を有し、流体圧による上記第１のピストンの往復動によって上記主弁を駆動させる主弁駆動部と、
上記第１のシャフトを上記主弁が閉じる方向に付勢する主弁用弾性部材と、
上記副弁に第２のシャフトを介して連結された第２のピストンおよび上記圧力流体が供給される副圧力作用室を有し、流体圧による上記第２のピストンの往復動によって上記副弁を駆動させる副弁駆動部と、
螺回により進退自在の調節棒と上記第２のピストンとの間に装填され、上記第２のシャフトを上記副弁が閉じる方向に上記弾性部材より小さな付勢力で付勢する副弁復帰用調整スプリングと、
上記副弁に装着され、上記副弁を閉じる方向に上記弾性部材より小さな付勢力で付勢する副弁復帰用スプリングと、
上記調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒を移動させて、上記副弁復帰用調整スプリングを変位させ、その弾発力を調節する操作部材と、
上記主圧力作用室と上記副圧力作用室とを連通する導通孔と、
上記主圧力作用室および上記副圧力作用室に上記圧力流体を導入する操作ポートと、
を具備したことを特徴としている。
【０００７】
また、真空チャンバに接続するための第１のポートと、
真空ポンプに接続するための第２のポートと、
上記第１および第２のポートを結ぶ主流路を全開閉する主弁と、
上記第１および第２のポートを結び上記主流路より開口面積の小さい副流路を制限的に開閉する副弁と、
上記主弁に第１のシャフトを介して連結された第１のピストンおよび圧力流体が供給される主圧力作用室を有し、流体圧による上記第１のピストンの往復動によって上記主弁を駆動させる主弁駆動部と、
上記第１のシャフトを上記主弁が閉じる方向に付勢する主弁用弾性部材と、
上記副弁に第２のシャフトを介して連結された第２のピストンおよび上記圧力流体が供給される副圧力作用室を有し、流体圧による上記第２のピストンの往復動によって上記副弁を駆動させる副弁駆動部と、
螺回により進退自在の調節棒と上記第２のピストンとの間に装填され、上記第２のシャフトを上記副弁が閉じる方向に上記弾性部材より小さな付勢力で付勢する副弁復帰用調整スプリングと、
上記副弁に装着され、上記副弁を閉じる方向に上記弾性部材より小さな付勢力で付勢する副弁復帰用スプリングと、
上記調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒を移動させて、上記副弁復帰用調整スプリングを変位させ、その弾発力を調節する操作部材と、
上記主圧力作用室に上記圧力流体を導入する第１の操作ポートと、
上記副圧力作用室に上記圧力流体を導入する第２の操作ポートと、
を具備したことを特徴としている。
さらに、上記副弁は、ニードル弁であることを特徴としている。
【０００８】
従って、本発明では、操作部材の回動を以て調節棒を進退させることにより、副弁復帰用調整スプリングの変位量が変更され弾発力が調節される。このように、副弁復帰用調整スプリングの弾発力の調節は外部からの簡便な方法で行われる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。実施の形態を説明するに当たって、同一機能を奏するものは同じ符号を付して説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係るスムース排気弁における副弁の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面図、図２は、本発明の一実施の形態に係るスムース排気弁における副弁の復帰力調節部を示す側面図、図３〜図５は、本発明の他の実施の形態に係るスムース排気弁における副弁の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面図である。
【００１０】
図１、２に示すスムース排気弁は、略円筒状の弁ボディ１を有し、この弁ボディ１の軸線方向後端部にはこれを塞ぐようにカバー２が固着され、先端部には真空チャンバ（図示略す）に接続するための第１のポート３が形成され、弁ボディ１の軸線方向と直交する方向には真空ポンプ（図示略す）に接続するための第２のポート４が開設され、弁ボディ１の内部には、第１と第２のポート３，４を結ぶ副流路Ａを制限的に開閉する副弁機構と、両ポート３，４を結ぶ主流路Ｂを全開閉する主弁機構とがそれぞれ設けられている。
【００１１】
主弁機構は、中央部を開口した第１の弁ホルダ６の周縁部に弁体８を保持することにより構成され、両ポート３，４を結ぶ主流路Ｂ中の弁座部７を開閉する主弁５と、圧縮空気等の圧力流体の作用により作動して該主弁５を駆動する第１のピストン９と、該主弁５および第１のピストン９を相互に連結する第１のシャフト１０とを有しており、第１の弁ホルダ６の上記開口部は、第２のポート４に連通し、第１のシャフト１０の先端部は、第１の弁ホルダ６の中央部に嵌入され、止め輪１１によって抜脱しないように固定されている。なお、図中、１２は、第１のシャフト１０と第１の弁ホルダ６との間の気密を保つシール部材である。
【００１２】
第１のシャフト１０の後端部は、弁ボディ１において、カバー２よりに形成されたシリンダ１５の隔壁部である台座１３を、ガイドブッシュ１４を介して気密かつ摺動自在に貫通し、シリンダ１５内の第１のピストン室１６の内壁に摺動自在に配設された第１のピストン９に固定ナット１７によって気密に連結されている。
【００１３】
第１のピストン９は、その外周に第１のピストン室１６の内壁に気密に摺接するパッキン１８およびガイドリング１９を有しており、第１のピストン９と台座１３との間に区画形成された主圧力作用室２０は、シリンダ１５の上壁に開設された操作ポート２１に連通している。
操作ポート２１から主圧力作用室２０に圧力流体が供給されると、第１のピストン９がカバー２側に移動し、主弁５が開くようになっている。
【００１４】
弁ボディ１の内部には、第１の弁ホルダ６に装着されたバネ受け２２と台座１３との間に、主弁５を閉鎖方向に付勢する主弁用弾性部材２３としての第１および第２のスプリング２３ａ，２３ｂが縮設されると共に、弁ボディ１の内壁片と台座１３間に挟着されたベローズホルダ２５と第１の弁ホルダ６との間に第１のシャフト１０、第１および第２のスプリング２３ａ，２３ｂを内包するベローズ２７が設けられている。なお、図中、２８は、弁ボディ１とベローズホルダ２５との間の気密を保つシール部材であり、３０は、第１のシャフト１０と台座１３との間の気密を保つパッキンである。また、３１は、ベローズ２７内を外部に連通する呼吸ポート、３２は第１のピストン室１６を外部に連通する呼吸孔である。
【００１５】
副弁機構は、中央部が開口され第１の弁ホルダ６に固定ボルト３３によって同軸状に固定された第２の弁ホルダ３４と、弁座部７より開口面積が小さく第２の弁ホルダ３４の開口縁部に保持された弁座体３５と、この弁座体３５を開閉する副弁３６と、流体圧の作用により作動して副弁３６を駆動する第２のピストン３７と、副弁３６と第２のピストン３７とを連結する第２のシャフト３８とを有し、第２の弁ホルダ３４および弁座部７を除く部分が主弁機構内に完全に内蔵された形で組み込まれている。上記副弁３６は、ニードル弁によって構成されている。
【００１６】
副弁３６の外周部には弁シール部４１が形成され、閉弁時には弁シール部４１が弁座体３５に密着するようになっており、第１のシャフト１０には、副弁３６の背室を外部に連通させるための呼吸孔６７が開設され、第２のシャフト３８は、副弁３６の背室の近傍でブッシュ６６を介して第１のシャフト１０に摺動自在に貫通され、第２のシャフト３８の振れを抑制している。なお、図中、４３は、第１のシャフト１０と副弁３６との間の気密を保つＯリングであり、４５は、第２のシャフト３８と第１のシャフト１０との間の気密を保つＯリングである。
【００１７】
第２のシャフト３８の後端部は、第１のシャフト１０の内部を気密且つ摺動自在に貫通して第１のピストン９内の第２のピストン室４４内に突出し、第２のピストン室４４内に摺動自在に配設された第２のピストン３７に気密に連結されている。なお、図中、４６は、第２のシャフト３８と第２のピストン３７との間の気密を保つシール部材である。
【００１８】
第２のピストン３７は、その外周に第２のピストン室４４の内壁に気密に摺接するパッキン４７を有しており、後端部には凹部５２が周方向に形成されている。第２のピストン３７と第１のピストン９との間には副圧力作用室４８が区画形成され、副圧力作用室４８と主圧力作用室２０とが第１のピストン９に形成された導通孔４９によって相互に連通している。
第１のピストン９の後端部には断面略コ字形のピストンカバー５０の両端が固着され、第２のピストン３７は、ピストンカバー５０の肩部５１に当接することで、そのストローク端が規定されるようになっている。
【００１９】
カバー２の中央部には、外周にローレット加工が施されたダイヤル状の操作部材５６が止め輪５７によって不用意に抜脱しないように組み込まれ、ピストンカバー５０の中央部にはネジ部５８を有するリティナ５９が固定されている。
調節棒６０は、リティナ５９のネジ部５８に螺回により進退自在にねじ付けられており、調節棒６０の先端部には、バネ座５３がピストンカバー５０内の凹室５５において固定され、後端部が回転方向にのみ結合するように操作部材５６に挿入されている。
【００２０】
バネ座５３と第２のピストン３７の凹部５２との間には副弁復帰用調整スプリング５４が縮設され、副弁３６は副弁復帰用調整スプリング５４によって第２のピストン３７，第２のシャフト３８を順次介して閉じる方向に付勢されている。なお、図中、６１は、ピストンカバー５０に形成され、第２のピストン室４４を凹室５５を通して第１のピストン室１６に連通する呼吸孔であり、６２は、調節棒６０のリティナ５９からの抜脱を防止する止め輪である。
【００２１】
カバー２の上部にはスプリング６３によって一方向に付勢するニードル６４が挿入され、ニードル６４をスプリング６３の付勢力に抗して操作部材５６に押し付け、止めネジ６５で固定することで操作部材５６の不本意な自然回転を阻止するようになっており、調節棒６０と操作部材５６とが回転方向にのみ結合するように、調節棒６０を６角形状の角軸とし、操作部材５６に６角穴が形成されている。
【００２２】
スムース排気弁は、以上の如く構成されているので、通常、副弁３６および主弁５は、副流路Ａおよび主流路Ｂをそれぞれ閉鎖しており、この状態では真空ポンプを運転しても真空チャンバ内の気体は第１のポート３から第２のポート４へと排出されない。
ここで、操作ポート２１から主圧力作用室２０に圧縮空気等の圧力流体が徐々に加圧されながら供給されると、まず、圧力流体は導通孔４９を通して副圧力作用室４８に導入される。
【００２３】
その後、第２のピストン３７は、副圧力作用室４８の流体圧の上昇に伴って副弁復帰用調整スプリング５４の弾発力に抗してピストンカバー５０の肩部５１に当接する位置まで移動し、第２のシャフト３８を介して副弁３６を制限的に開く。
従って、真空チャンバ内の気体は制限的に開口する副流路Ａを通って第２のポート４へと徐々に流れ込み、真空チャンバは緩速で排気される。
このため、真空チャンバ内で急速排気を行う場合のような気体の乱流が発生せず、乱流に伴うパーティクルの巻き上げが生じない。また、真空ポンプが一時的に大量の空気を吸引することにより過負荷になることもない。
このとき、副弁３６の弁開度は、副弁復帰用調整スプリング５４の弾発力と圧力流体の流体圧との関係で決定されるが、操作部材５６を回動させ調節棒６０を介してバネ座５３を第２のピストン３７に対して進退させることで、副弁復帰用調整スプリング５４の変位量を変え、副弁復帰用調整スプリング５４の弾発力を微妙に調節することができるので、副弁復帰用調整スプリング５４の製品ばらつきによりばね力が規格通りになっていなくとも、副弁復帰用調整スプリング５４は外部より所望のばね力に簡単に微調節され、副弁３６の弁開度を精度よく安定的に得ることができる。
【００２４】
その後、操作ポート２１からさらに高圧の圧力流体が主圧力作用室２０に供給されることで、主圧力作用室２０内の流体圧が上昇し、第１のピストン９は第１および第２のスプリング２３ａ，２３ｂおよびベローズ２７の弾発力に抗してピストンカバー５０がカバー２に当接する位置まで移動する。
これにより、主弁５は徐々に全開し、残りの排気が行われる。このときの空気の密度は低いため、それがある程度の速度で吸引されても乱流は発生せず、パーティクルの巻き上げは起こらない。勿論、真空ポンプの過負荷も生じない。
【００２５】
上記真空チャンバが所要の真空度になると、主圧力作用室２０および副圧力作用室４８内の圧力流体が操作ポート２１から排出され、主弁５が第１および第２のスプリング２３ａ，２３ｂ、ベローズ２７の付勢力で復帰した後、副弁３６が副弁復帰用調整スプリング５４の付勢力で復帰するため、副弁３６および主弁５により副流路Ａおよび主流路Ｂがそれぞれ閉鎖される。
【００２６】
図３に示すスムース排気弁は、第１のシャフト１０の内部のバネ座３９と副弁３６との間に副弁３６を副弁復帰用調整スプリング５４と共に閉弁方向に付勢する副弁復帰用スプリング４０が縮設され、第１のシャフト１０の上部には副弁復帰用スプリング４０が配設された副弁３６の背室を外部に連通させるための呼吸孔４２が開設され、副弁３６の背室に近接する位置には、第２のシャフト３８と第１のシャフト１０との間の気密を保つＯリング４５が装着されたものであり、その他の構成および作用は、図１、２に示すスムース排気弁と同様なので、同一構成部分には同一符号を付してその説明を割愛する。
【００２７】
図４に示すスムース排気弁は、図１に示すＯリング４３に代えてベローズ６９を縮設し、ヒステリシスおよびダストの発生を抑制するものであり、その他の構成および作用は、図１、２に示すスムース排気弁と同様なので、同一構成部分には同一符号を付してその説明を割愛する。なお、図中、６８は、ベローズ６９内を外部に連通させるための呼吸孔である。
【００２８】
図５に示すスムース排気弁は、２つの第１、第２の操作ポート２１，７０を有し、圧力流体を操作ポート７０より副圧力作用室４８に導入した後、操作ポート２１より主圧力作用室２０に導入するようにしたものであり、その他の構成および作用は、図３に示すスムース排気弁と同様なので、同一構成部分には同一符号を付してその説明を割愛する。
【００２９】
このように、本実施の形態のスムース排気弁では、外部より操作部材５６を回転させることにより調節棒６０を進退させ、副弁復帰用調整スプリング５４の変位量が変更されることにより、副弁復帰用調整スプリング５４の弾発力が容易に調節される。
従って、副弁復帰用調整スプリング５４に製品ばらつきが存在しても、外部より所望のばね力に調節され、副弁３６の弁開度が精密に制御されるので、真空チャンバの排気量が簡単かつ安定性よく高精度に調節される。
これにより、真空チャンバ内のパーティクルの巻き上げを確実に防止することができ、副弁復帰用調整スプリング５４や副弁復帰用スプリング４０を交換する必要がなく、メンテナンスの向上と経済性および作業性の向上が図られる。
【００３０】
以上、本発明の実施の形態のスムース排気弁について詳述したが、本発明は、上記実施の形態記載のスムース排気弁に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲に記載されている発明の精神を逸脱しない範囲で、設計において種々の変更ができるものである。
たとえば、調節棒６０と操作部材５６とを回転方向にのみ結合する方法としては、調節棒６０と操作部材５６に４角形状および５角形状などの角軸と角穴を形成したり、側面の一部を平面化した丸軸と丸穴を形成したり、回転方向にのみ相互に係合し合う溝と突起を備えた適宜断面形状の軸と穴を形成するなどの方法があるが、その他の適当な結合機構を用いることもできる。
【００３１】
【発明の効果】
以上の説明から理解されるように、本発明のスムース排気弁によれば、外部より操作部材を回動することのみの簡便な操作で、副弁復帰用調整スプリングの弾発力が精密に調節されるので、副弁の弁開度を精度よく安定的に得ることができ、従来のようなばね交換を不要とするので、スムース排気弁を稼働するまでの労力、時間およびコストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態であるスムース排気弁における副弁の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面図。
【図２】本発明の一実施の形態であるスムース排気弁における副弁の復帰力調節部を示す側面図。
【図３】本発明の他の実施の形態であるスムース排気弁における副弁の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面図。
【図４】本発明の他の実施の形態であるスムース排気弁における副弁の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面図。
【図５】本発明の他の実施の形態であるスムース排気弁における副弁の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面図。
【符号の説明】
１  弁ボディ
２  カバー
３  第１のポート
４  第２のポート
５  主弁
８  弁体
９  第１のピストン
１０  第１のシャフト
１５  シリンダ
１６  第１のピストン室
２０  主圧力作用室
２１  第１の操作ポート
２３  主弁用弾性部材
２３ａ  第１のスプリング
２３ｂ  第２のスプリング
２７，６９  ベローズ
３４  第２の弁ホルダ
３５  弁座体
３６  副弁
３７  第２のピストン
３８  第２のシャフト
４０  副弁復帰用スプリング
４４  第２のピストン室
４８  副圧力作用室
４９  導通孔
５０  ピストンカバー
５１  肩部
５３  バネ座
５４  副弁復帰用調整スプリング
５６  操作部材
５８  ネジ部
７０  第２の操作ポート
Ａ    副流路
Ｂ    主流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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