(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ表面を化学的に鏡面としてミラーエッチドウェーハとしたシリコンウェーハの評価方法であって、エッチング液中のフッ酸、硝酸、酢酸及び水の容量比が（４００）：（２〜４）：（１０〜５０）：（８０）であり（但し、フッ酸が５０重量％、硝酸が６１重量％、酢酸が９９．７重量％のときであり、硝酸が４である場合を除く）且つヨウ素又はヨウ化物を含有するエッチング液に、シリコンウェーハを浸漬して結晶欠陥部分を選択的にエッチングし、前記シリコンウェーハの表面に現れたさざ波模様を検出することを特徴とするシリコンウェーハの評価方法。
【請求項２】
前記エッチング液中のヨウ素又はヨウ化物の含有量は、前記エッチング液の総液量１リットル当たり０．０３ｇ以上であることを特徴とする請求項１記載のシリコンウェーハの評価方法。
【請求項３】
前記エッチングによるシリコンウェーハのエッチオフ量は両面で３〜５０μｍであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシリコンウェーハの評価方法。
【請求項４】
前記エッチング液の浸漬開始温度を１０〜３０℃でエッチングを行うことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のシリコンウェーハの評価方法。
【請求項５】
前記エッチング液中でシリコンウェーハを撹拌しないで放置してエッチングすることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のシリコンウェーハの評価方法。
【請求項６】
ウェーハ表面を化学的に鏡面としてミラーエッチドウェーハとしたシリコンウェーハの結晶欠陥を検出するために用いられるエッチング液であって、前記エッチング液はその液中のフッ酸、硝酸、酢酸及び水が（４００）：（２〜４）：（１０〜５０）：（８０）の容量比（但し、フッ酸が５０重量％、硝酸が６１重量％、酢酸が９９．７重量％のときであり、硝酸が４である場合を除く）を有し、且つヨウ素又はヨウ化物が前記エッチング液の総液量１リットル当たり０．０３ｇ以上含有していることを特徴とするエッチング液。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンウェーハの評価方法及びそのエッチング液に関し、さらに詳しくはシリコンウェーハの表面を選択的にエッチングすることにより半導体デバイスの電気特性を劣化させるような結晶欠陥を検出するための評価方法及びそのエッチング液に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体集積回路はその集積度を著しく増し、性能・信頼性・歩留まりの高い集積回路を得る為には、機械的な精度だけではなく、電気的な特性についても高いことが要請されるようになってきた。それに伴い半導体集積回路に使用されるシリコンウェーハの結晶品質に対し、より厳しい条件が課されるようになった。シリコンウェーハの結晶品質の一例については、シリコン単結晶育成時に導入される、いわゆるフローパターン欠陥（Flow Pattern Defect；以下、ＦＰＤと呼ぶことがある）やＣＯＰ（Crystal Originated Particle）と呼ばれるＧｒｏｗｎ−ｉｎ欠陥がシリコンウェーハの酸化膜耐圧特性などを劣化させるということがあり、このようなＧｒｏｗｎ−ｉｎ欠陥を低減したシリコンウェーハやＧｒｏｗｎ−ｉｎ欠陥が実質的に存在しないシリコンウェーハが重要視されてきている。
このＦＰＤやＣＯＰは、近年の研究では、同じＧｒｏｗｎ−ｉｎ欠陥であり、シリコン単結晶育成時の熱履歴に起因して発生することが明らかにされてきた。
【０００３】
さて、このようにシリコンウェーハの電気特性を劣化させるＧｒｏｗｎ−ｉｎ欠陥を検出する方法として、従来、ＦＰＤを検出する方法としては、シリコンウェーハの表面をエッチング液でエッチングし、結晶欠陥のあるところとないところの被エッチング速度の差を利用した選択エッチング法があった。例えば特公平６−１０３７１４号公報に開示されるように、シリコンウェーハを重クロム酸カリウムを含有するセコ（ＳＥＣＣＯ）液や、特開平１１−２３８７７３に開示される重クロム酸カリウムを含まない（以下、クロムレスと呼ぶことがある）エッチング液に浸漬して結晶欠陥部分を選択的にエッチングして、シリコンウェーハの表面に現れた結晶欠陥を検出する方法である。この時、欠陥部分がさざ波模様で観察されるため、フローパターン欠陥と呼ばれた。このような欠陥評価により、電気的特性である酸化膜耐圧特性の評価を簡易的に行うことが知られている。
【０００４】
一方、ＣＯＰを検出する方法としては、特開平３−２３３９５５号公報に開示されるようなアンモニア過水系の洗浄液を用いることによって、結晶欠陥部分を微小ピットにし、そのピットをパーティクルカウンタで測定することにより検出する方法もある。この微小ピットはパーティクルカウンタにより検出され、結晶品種に依存していることが判ったことから結晶起因のパーティクル、すなわちＣＯＰと呼ばれた。この欠陥評価もまた、前述の選択エッチング法と同様に電気的特性である酸化膜耐圧特性の評価を簡易的に行うことが知られている。
【０００５】
ここで、被検体となるシリコンウェーハについて、代表的な製造工程を例にあげて説明する。
シリコン単結晶インゴットは、予め所定の導電型と抵抗率と面方位となるようチョクラルスキー（ＣＺ）法またはフローティングゾーン（ＦＺ）法等により育成される。育成されたシリコン単結晶インゴットは、切断され、直径を揃えるために丸め加工（円筒研磨工程）が施される。このシリコン単結晶インゴットからウェーハ状のシリコンウェーハが切り出され（スライス加工工程）、切り出されたシリコンウェーハの周辺部の角を落とすために面取りが施される（ベベリング加工工程）。さらに、このシリコンウェーハ表面の凹凸を無くし、平坦度を高め、表面の傷を最小にする為に機械研磨が施され（ラッピング加工工程；この段階でラップドウェーハと呼ぶことがある）、機械研磨時にシリコンウェーハの表面層に形成された研磨歪み層が混酸エッチングにより除去され、化学的に平坦度を向上させたシリコンウェーハが得られる（ケミカルエッチング加工工程；この段階でケミカルエッチドウェーハ（ＣＷ）と呼ぶことがある）。
【０００６】
次いで、シリコンウェーハ表面の平坦度をさらに上げ面粗さを小さくするために、前記エッチドウェーハの研磨面に対して遊離砥粒による機械的作用と、化学物質によるエッチング作用とを重複させながら研磨するメカノケミカル研磨法が採用されており、この研磨法は通常、２〜３段階に分けた工程で構成されている。すなわち、その工程順に１次研磨、２次研磨（場合によっては３次研磨もある）、仕上げ研磨と称し、この研磨の回を重ねる毎に、研磨砥粒の粒度を細かくしたり、研磨布の硬度を下げる等、研磨条件を緩和させたりしながら、その段階毎に研磨される鏡面部の平坦度や面粗さ等を低い値となるように条件を設定して研磨している。
以上のような工程を経てポリッシュドウェーハ（ＰＷ）が製造されている。
【０００７】
前述した特公平６−１０３７１４号公報に開示された結晶欠陥を検出する方法では、スライス加工した後、研磨歪みを取るためのケミカルエッチング加工工程の替わりに、エッチングレートの高い混酸を用いてウェーハ表面の光沢度を向上させるエッチングを施し（以下、ミラーエッチングと呼ぶ）てウェーハ表面を化学的に鏡面（以下、ミラーエッチドウェーハと呼ぶ）とし、セコ液による選択エッチングを施すことによりＦＰＤの評価が行われている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、セコ液を使った手法ではミラーエッチドウェーハの段階でウェーハ面内全面の結晶欠陥を簡便に観察できるものの、有害な物質である重クロム酸カリウムを含有する液を使用しなければならず、地球環境や人体に及ぼす影響や廃液処理を配慮しないといけないという問題があった。
【０００９】
また、特開平１１−２３８７７３に開示されたクロムレスエッチング液を使った手法では、地球環境や人体に影響の強い重クロム酸カリウムを含まず、ポリッシュドウェーハの段階まで進めたシリコンウェーハに対してはセコ液との相関が得られたが、ミラーエッチドウェーハの段階ではエッチングしてもフローパターンの形状が丸くなって見えづらくなったり、従来とは形状が異なるフローパターンが観察されたり、フローパターンがセコ液より高密度で群集して発生したりして、相関が得られないという問題があることが判った。
【００１０】
さらに、ＣＯＰを検出する方法にあっては、アンモニア過水系の洗浄を行った後パーティクルカウンタを用いて測定されるが、前記測定器は通常レーザー光の散乱を利用して欠陥をカウントする関係から、シリコンウェーハの表面は平滑で平坦でなければならず、必然的に機械的化学的に研磨されたポリッシュドウェーハの段階まで進めたシリコンウェーハでないと正確な評価ができないという問題があった。
【００１１】
本発明は上記の問題点を解決しようとするもので、シリコンウェーハの評価を安全、迅速且つ安価に正確に行うことができる方法とそのエッチング液を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のシリコンウェーハの評価方法は、エッチング液中のフッ酸、硝酸、酢酸及び水の容量比が（４００）：（２〜４）：（１０〜５０）：（８０）であり且つヨウ素又はヨウ化物を含有するエッチング液に、シリコンウェーハを浸漬して結晶欠陥部分を選択的にエッチングし、前記シリコンウェーハの表面に現れたさざ波模様を検出することを特徴とする。
【００１３】
前記エッチング液の組成について、フッ酸、硝酸、酢酸及び水の容量比を（４００）：（２〜４）：（１０〜５０）：（８０）とし且つヨウ素又はヨウ化物を含有させる（但し、フッ酸が５０重量％、硝酸が６１重量％、酢酸が９９．７重量％のとき）。こうすることにより、重クロム酸カリウムのような地球環境や人体に影響の強いクロムを含まないエッチング液を用いてシリコンウェーハを評価することができる。
【００１４】
特に硝酸の容量比は２〜４とする。硝酸の容量比が２未満の場合、フローパターンの形状がはっきりしないことがある。また、硝酸の容量比が増加するに従い鮮明度は向上するが、硝酸の容量比が４を越えると、ウェーハ表面の面荒れが発生したり、フローパターンが連続的に発生したりしてしまう場合がある。従って、硝酸の容量比を２〜４とすることにより、従来のセコ液と最もよい相関が得られかつフローパターンの形状も比較的はっきりと鮮明に観察される。
従って、本発明の評価方法によりシリコンウェーハ表層の結晶欠陥部分に形のよいフローパターンを鮮明に形成させることができ、高感度にＦＰＤを検出できるようになる。
【００１５】
この場合、前記エッチング液中のヨウ素又はヨウ化物の含有量は、前記エッチング液の総液量１リットル当たり０．０３ｇ以上であることが好ましい。
【００１６】
このように前記エッチング液にヨウ素又はヨウ化物を添加するのは、ウェーハ表面に付着するしみ（ステイン膜）の発生を防止するのに効果があるためである。ステイン膜の発生を防止することで、フローパターンを明瞭且つ安定して確認できるとともに、反応開始時間の短縮、エッチング代の均一化につながり、評価精度が向上する。ヨウ化物としては例えばヨウ化カリウムなどが挙げられ、水溶液として添加しても良い。ヨウ素又はヨウ化物の添加量は、エッチング液の総液量１リットルに対して０．０３ｇ以上の比率で添加するのが望ましい。
尚、ヨウ素又はヨウ化物を添加しない場合は欠陥の検出が安定しない。一方、添加量が多いと泡切れが悪くなり、フローパターンが丸くなってカウントし辛くなるので、０．１５ｇを超えないようにするのが好ましい。
【００１７】
そしてこの場合、前記シリコンウェーハはシリコン単結晶インゴットからスライスして得られた化学鏡面研磨後のウェーハであることが好ましい。
【００１８】
本発明で用いる前記エッチング液は、化学鏡面研磨後のウェーハ、すなわちミラーエッチドウェーハの段階でも形のよいフローパターンを形成させることができる。被検体がミラーエッチドウェーハの段階ということは、その後の機械的化学的研磨工程が不要となり、評価用サンプルの作製に費やす時間や費用を節約することができるので、効率的であり検出感度もよい。また、育成されたシリコン単結晶インゴットの円筒研磨工程をも省略してスライスし、研磨歪みを取るエッチングをも省略してミラーエッチングを施して評価可能なので、非常に短い工程で評価用サンプルを得てシリコンウェーハを評価することができる。
【００１９】
また、この場合、前記エッチングによるシリコンウェーハのエッチオフ量は両面で３〜５０μｍであることが好ましい。
【００２０】
通常ＦＰＤは、シリコン単結晶を育成する際にシリコン単結晶中に均一に生じ、ウェーハ表面に対する深さ方向に均一に存在することになる。シリコンウェーハを前記エッチング液に浸漬すると、ウェーハ表層部分がエッチング除去され、除去されるに従い深さ方向に分布しているＦＰＤが検出され、エッチングされたウェーハ表面にＦＰＤの個数が累積していくことになる。エッチオフ量、すなわちエッチングによって除去されるシリコンウェーハの厚さは３〜５０μｍが好ましい。エッチオフ量が３μｍ未満だとＦＰＤの密度が低すぎて正確な評価が行えない。一方、エッチオフ量が５０μｍを越えると、エッチング初期のＦＰＤの形が崩れることもあり、またＦＰＤの密度も高すぎて正確な評価が行えない場合もある。
【００２１】
この場合、前記エッチング液の浸漬開始温度を１０〜３０℃でエッチングを行うことが好ましい。
【００２２】
前記エッチング液にシリコンウェーハを浸漬してエッチングがはじまると、前記エッチング液の温度が上昇し、エッチング速度が速くなってしまう。安定した反応を得て均一なエッチング量とするためには浸漬開始温度を１０〜３０℃とすることが好ましい。浸漬開始温度が１０℃未満ではエッチングの進行が遅く検出感度が低下し、一方、浸漬開始温度が３０℃を越えるとエッチング速度が速く、それに伴い液温上昇も早くなり、エッチングの進行が著しくなってフローパターンの形状が崩れたり密度が高すぎたりして検出不能になってしまうこともある。
【００２３】
そしてまた、この場合、前記エッチング液中でシリコンウェーハを撹拌しないで放置してエッチングすることが好ましい。
【００２４】
ＦＰＤは、前記エッチング液にシリコンウェーハを浸漬すると、シリコンウェーハ表面の欠陥部分に気泡が付き、その気泡がある程度の時間を経て離脱して液中を上昇し、その気泡の流れによって生じるエッチング液の上昇流により、欠陥部分に付いた気泡周辺部分にフローパターンを形成させることによって検出されるものである。従って、意図的にあるいは故意にシリコンウェーハを揺動あるいは攪拌させて強制的に気泡を離脱させると、フローパターンが形成し辛くなるので、前記エッチング液中にシリコンウェーハを静止放置させることが好ましい。
【００２５】
また、本発明のエッチング液は、シリコンウェーハの結晶欠陥を検出するために用いられるエッチング液であって、前記エッチング液はその液中のフッ酸、硝酸、酢酸及び水が（４００）：（２〜４）：（１０〜５０）：（８０）の容量比を有し、且つヨウ素又はヨウ化物が前記エッチング液の総液量１リットル当たり０．０３ｇ以上含有していることを特徴とする。
【００２６】
このようなエッチング液とすることにより、重クロム酸カリウムのような地球環境や人体に影響の強いクロムを含まないエッチング液となり、廃液の処理が簡単になる。また、選択エッチング液は、フッ酸、硝酸、酢酸及び水が（４００）：（２〜４）：（１０〜５０）：（８０）の容量比を有し、且つヨウ素又はヨウ化物が含有しているので、ステイン膜の発生を防止することができ、フローパターンを明瞭且つ安定して確認できるようになるとともに、反応開始時間の短縮、エッチング代の均一化につながり、評価精度が向上したエッチング液となる（但し、フッ酸が５０重量％、硝酸が６１重量％、酢酸が９９．７重量％のとき）。
【００２７】
本発明のエッチング液は、特に硝酸の容量比を２〜４とすることにより、化学鏡面研磨後のウェーハ、すなわちミラーエッチドウェーハの段階でも形のよいフローパターンを形成させることができるので、検出感度が高い。ミラーエッチドウェーハの段階ということは、評価用サンプルを作製する際に、ケミカルエッチング加工工程及びその後の機械的化学的研磨工程が不要となり、評価用サンプルの作製に費やす時間や費用を節約することができる。また、育成されたシリコン単結晶インゴットの円筒研磨工程をも省略してスライスし、化学的鏡面研磨、すなわちミラーエッチングを施した段階であっても評価可能なので、非常に効率よくシリコンウェーハを評価できるエッチング液である。さらに、ＦＰＤ密度の低いシリコン単結晶を得るために、シリコン単結晶の製造条件の可否を早い内にフィードバックできるので合理的でもある。
【００２８】
また、ヨウ素又はヨウ化物の添加量は、エッチング液の総液量１リットルに対して０．０３ｇ以上の比率で添加することで、ウェーハ表面に付着するしみ（ステイン膜）の発生を防止し、欠陥の検出が安定する。一方、添加量が多いと泡切れが悪くなり、フローパターンが丸くなってカウントし辛くなるので、０．１５ｇを超えないようにするのが好ましい。
尚、ヨウ化物としては例えばヨウ化カリウムなどが挙げられ、ヨウ化カリウムなどを水溶液として添加しても良い。
【００２９】
以下、本発明についてさらに詳しく説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明者らは、シリコンウェーハの結晶欠陥を評価するにあたり、いかに効率よく安価に安全にかつ正確に評価するかにつき鋭意研究し、実験を繰り返した結果、本発明を完成させたものである。このような評価方法及びそのエッチング液は、例えばシリコンウェーハを製造する段階の比較的早い時期にクロムレスエッチング液にウェーハを浸漬して評価することが望ましいが、セコ液の場合との相関を取ることが困難であった。そこで、本発明者らはクロムレスエッチング液を用いてシリコンウェーハを製造する段階の比較的早い時期に、フローパターンの形状がはっきりと観察され尚且つセコ液の場合との相関が取れるようにするにはどのようにすればよいかについて考察した。
【００３０】
即ち、従来、シリコンをエッチングする際にフッ酸と硝酸の混合液が用いられるが、この混合液中でシリコンは硝酸により酸化され、形成された酸化膜がフッ酸により溶解されてエッチングが進んでいる。そして、シリコンウェーハの面状態の違い、ここではポリッシュドウェーハとミラーエッチドウェーハの面状態の違いであるが、面状態が違うことによってフローパターンの形成状態が変わってしまうという事実があった。また、シリコンウェーハをエッチングする際に、ポリッシュドウェーハの面状態は非常に平坦で滑らかであるのに反してミラーエッチドウェーハの面状態はある程度の凹凸を有しているので、ミラーエッチドウェーハの方が表面積が大きいことによりエッチングが比較的早く進み、ウェーハ表面の面荒れが発生し且つフローパターンが連続的に発生してしまう場合があることがわかった。そこで、例え面状態が変わってもフローパターンの形状がはっきりと観察され尚且つセコ液の場合との相関が取れるようにするという観点に着目した。
【００３１】
すなわち本発明は、硝酸の容量比とフローパターンの形状がはっきりと観察される鮮明度とに関係があることを発見し、シリコンウェーハを評価する際のエッチング液中の硝酸の容量比を調整することにより、ウェーハ表面の面荒れの発生やフローパターンの連続的な発生を防止できることを確認した。これにより、シリコンウェーハを製造する段階の比較的早い時期、すなわちミラーエッチドウェーハの段階で、従来のセコ液と最もよい相関が得られかつフローパターンの形状も比較的はっきりと鮮明に観察することが可能となった。
【００３２】
また、本発明の評価方法及びエッチング液によりＦＰＤ密度の少ないシリコン単結晶の製造条件を早く見出すことが可能となり、効率よく安価に安全にかつ正確に評価できる。その結果、地球環境や人体に及ぼす影響や廃液処理、コスト問題の解決に寄与するところが大となった。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明のシリコンウェーハを評価するにあたり、まず、用いるシリコンウェーハの作製方法は、公知のシリコン単結晶基板作製方法で良い。例えば、チョクラルスキー法により引き上げたシリコン単結晶インゴットからスライスしたシリコンウェーハを用いることができる。
【００３４】
但し、ＦＰＤ密度の低いシリコン単結晶を得るために、公知のシリコン単結晶の製造条件を変更して未知の条件にしたとしても、得られたシリコン単結晶インゴットからスライスしたシリコンウェーハを用いることも可能である。
【００３５】
ここで、評価用サンプルとして、スライスしたシリコンウェーハの表面及び表面から深さ方向の数μｍ程度はスライス等による加工歪みが残留していない状態が必要であるため、化学研磨液、例えばフッ酸と硝酸の比率が１：３程度の混酸でエッチングすることにより、シリコンウェーハ表面の加工歪みを除去するとともに化学的に鏡面状にしたミラーエッチドウェーハを準備することができる。
【００３６】
また、ミラーエッチドウェーハの結晶欠陥を検出するために用いられるエッチング液として、前記エッチング液中のフッ酸、硝酸、酢酸及び水が（４００）：（２〜４）：（１０〜５０）：（８０）の容量比を有し、且つヨウ素又はヨウ化物が前記エッチング液の総液量１リットルに対し０．０３〜０．１５ｇ含有している。ここで、エッチング液については、市販されている半導体グレードの薬液を用いることができ、例えば、フッ酸（５０重量％）はダイキン工業株式会社の半導体用を、硝酸（６１重量％）は関東化学株式会社のＥＬ級を、酢酸（９９．７重量％）は関東化学株式会社の特級をそのまま前記容量比で混合して作製できる。また、水については、エッチング処理時にゴミや汚れなどのウェーハへの付着を考慮すると半導体工業で使われている超純水を用いることが好ましい。
【００３７】
前述したようにして得られたミラーエッチドウェーハを、液温が１０〜３０℃の本発明の前記エッチング液に、エッチオフ量がミラーエッチドウェーハの両面で３〜５０μｍになる時間、攪拌せずに放置して浸漬し、結晶欠陥部分を選択的にエッチングして、ミラーエッチドウェーハの表面に現れたフローパターンの数を結晶欠陥の密度として計測する。
【００３８】
以下、本発明の実施例および比較例を挙げて具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
評価用のシリコンウェーハとして、種々の製造条件により育成された直径が６インチ（１５０ｍｍ）、導電型がＰ型、抵抗率が約１０Ω・ｃｍのシリコン単結晶インゴットからスライスした後、化学鏡面研磨（ミラーエッチング）液により鏡面状態となったウェーハ（ミラーエッチドウェーハ）を用いた。これらのサンプルウェーハを４分割し、各ウェーハについて実施例及び比較例の各々の条件に従ってＦＰＤを評価した。
【００３９】
（実施例１）
５０重量％フッ酸６０００ｍｌ、６１重量％硝酸４５ｍｌ、９９．７重量％酢酸５００ｍｌ、水１２００ｍｌ及び０．１モル／リットルのヨウ化カリウム水溶液４０ｍｌを全て混合してエッチング液を調製した。ここで前記エッチング液の容量比は、フッ酸４００、硝酸３、酢酸３３、水８０となる。このエッチング液の組成及び温度を安定させる為、エッチング液を１日放置した後、浸漬開始温度２６℃にて分割後の各サンプルウェーハを垂直に立てた状態で浸漬し、撹拌しないで２７分間放置した。この時のエッチオフ量は、両面で約２６μｍであった。
なお、エッチング液の総量を７７８５ｍｌ、ウェーハの仕込み総枚数を４０枚とし、１５バッチ実施した。
【００４０】
（比較例１）
特開平１１−２３８７７３に示される酢酸を含まないエッチング液の例として、５０重量％フッ酸４０００ｍｌ、６１重量％硝酸５０ｍｌ、水８００ｍｌ及び０．１モル／リットルのヨウ化カリウム水溶液３０ｍｌを全て混合してエッチング液を調製した。液の組成及び温度を安定化させる為、このエッチング液を１日放置した後、浸漬開始温度２４℃にて撹拌しないで１２分間サンプルウェーハを放置した。この時のエッチオフ量は、両面で約３８μｍであった。
【００４１】
（比較例２）
特開平１１−２３８７７３に示される酢酸を含むエッチング液の例として、５０重量％フッ酸４０００ｍｌ、６１重量％硝酸５０ｍｌ、９９．８重量％酢酸３００ｍｌ、水８００ｍｌ及び０．１モル／リットルのヨウ化カリウム水溶液４０ｍｌを全て混合してエッチング液を調製した。液の組成及び温度を安定化させる為、このエッチング液を１日放置した後、浸漬開始温度２４℃にて分割後の各サンプルウェーハを垂直に立てた状態で浸漬し、撹拌しないで１０分間放置した。この時のエッチオフ量は、両面で約２８μｍであった。
【００４２】
（比較例３）
実施例１において、エッチング液をセコ液（ＨＦ１００ｃｍ３＋Ｋ２Ｃｒ２Ｏ７（０．１５Ｍ）５０ｃｍ３の混合比で調製）に替えた以外はエッチオフ量が実施例１と同等となるような条件でエッチングを行った。
【００４３】
（比較例４）
比較例２において、エッチング液をセコ液（ＨＦ１００ｃｍ３＋Ｋ２Ｃｒ２Ｏ７（０．１５Ｍ）５０ｃｍ３の混合比で調製）に替えた以外はエッチオフ量が比較例２と同等となるような条件でエッチングを行った。
【００４４】
上記各条件でエッチングを行った各サンプルウェーハについて、形成されたフローパターンを観察した。図１（ａ）は本発明のエッチング液によりサンプルウェーハをエッチングした結果、現れたフローパターンを示す（実施例１）。フローパターン先端部にピットが観察でき、フローパターン自体は安定して観察できることがわかる。
【００４５】
また、図１（ｂ）は比較例１のエッチングにより現れたフローパターンを、図１（ｃ）は比較例２のエッチングにより現れたフローパターンを、図１（ｄ）比較例３のエッチングにより現れたフローパターンを示す。比較例１では丸い形状のフローパターンや短いフローパターンが観察され、比較例２では連続的なフローパターンが観察された。これら比較例１、２の結果からはフローパターンがカウントし辛く正確な評価が行えないことがわかる。
尚、比較例３では綺麗なフローパターンがくっきりと鮮明に観察されるが、地球環境や人体に影響の強い重クロム酸カリウムのようなクロムを含むエッチング液を用いているため、このようなエッチング液は近い将来使用禁止となる方向なので使えなくなる。
【００４６】
一方、上記各条件でエッチングを行った各サンプルウェーハについて、形成されたフローパターンを測定してその密度を求めた。図２は、実施例１で得られた本発明のエッチング液によるＦＰＤの単位体積当たりの密度と比較例３で得られたセコエッチングによるＦＰＤの単位体積当たりの密度との相関を示す。図から分かるように、本発明によるＦＰＤ密度はセコエッチングによるＦＰＤ密度とほぼ１：１の相関関係にあった。
【００４７】
また、図３は、比較例２と比較例４で得られたフローパターン欠陥の単位体積当たりの密度の相関を示す。図から分かるように、従来のクロムレスエッチング液を用いてミラーエッチドウェーハの段階にあるシリコンウェーハをエッチングして求めたＦＰＤ密度はセコエッチングにより求めたＦＰＤ密度との相関関係が得られなかった。
したがって、本発明の方法によれば、ミラーエッチドウェーハの段階にあるシリコンウェーハであってもセコエッチングと同等の結果を得られることが分かった。
【００４８】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００４９】
例えば、本発明においては、主にミラーエッチドウェーハを評価する場合につき説明したが、本発明は例えば製品として出荷する段階のポリッシュドシリコンウェーハを評価する場合であっても有効であることは言うまでもない。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明した通り本発明によれば、地球環境や人体に有害な物質である重クロム酸カリウムを使用せずに、シリコンウェーハの電気特性を劣化させるフローパターン欠陥をウェーハ面内全面に渡って簡便に観察でき、しかもミラーエッチドウェーハの段階であっても高感度にフローパターン欠陥を検出でき、シリコン単結晶製造条件に迅速にフィードバックできるので、効率よく安価に安全にかつ正確に評価可能なシリコンウェーハの評価方法及びそのエッチング液を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  （ａ）は実施例１における、（ｂ）は比較例１における、（ｃ）は比較例２における、（ｄ）は比較例３における評価結果の代表的なフローパターン形状を示す図である。
【図２】  実施例１によるフローパターン欠陥の単位体積当たりの密度と比較例３によるフローパターン欠陥の単位体積当たりの密度との相関を示すグラフである。
【図３】  比較例２によるフローパターン欠陥の単位体積当たりの密度と比較例４によるフローパターン欠陥の単位体積当たりの密度との相関を示すグラフである。
【図１】
0003651440.tif 000002
【図２】
0003651440.tif 000003
【図３】
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