(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを回転させ、回転中のワーク上に液状の塗布剤を滴下し拡散させて塗布する回転塗布装置において、
カップ状の形状を有し、ワークを収容して保持する状態で、ワークを回転させることが可能な回転カップを備える第１回転カップ部と、
第１回転カップ部の回転カップに収容して保持されるワーク上に塗布剤を滴下して供給する第１塗布剤供給手段と、
第１回転カップ部によって一方表面に塗布剤が塗布されたワークの非塗布面を保持して表裏を反転する反転手段と、
カップ状の形状を有し、反転手段によって表裏が反転されたワークを収容して保持する状態で、ワークを回転させることが可能な回転カップを備える第２回転カップ部と、
第２回転カップ部の回転カップに収容して保持されるワーク上に塗布剤を滴下して供給する第２塗布剤供給手段と、
ワークを第１回転カップ部に搬送する第１搬送手段と、
ワークを第１回転カップ部から反転手段に搬送する第２搬送手段と、
ワークを反転手段から第２回転カップ部に搬送する第３搬送手段と、
ワークを第２回転カップ部から排出する第４搬送手段とを含み、
制御手段は、
ワークを第１搬送手段によって第１回転カップ部に搬送させて回転カップに収容し保持させ、該回転カップを回転させながら回転するワーク上に第１塗布剤供給手段によって塗布剤を滴下して供給させ、さらに回転カップを回転させてワーク上に滴下して供給された塗布剤を拡散させ塗布させ、
第１回転カップ部によって一方表面に塗布剤が塗布されたワークを第２搬送手段によって反転手段に搬送させ、搬送されたワークの表裏を反転手段によって反転させ、
表裏が反転されたワークを第３搬送手段によって第２回転カップ部に搬送させて回転カップに収容し保持させ、該回転カップを回転させながら回転するワーク上に第２塗布剤供給手段によって塗布剤を滴下して供給させ、さらに回転カップを回転させてワーク上に滴下して供給された塗布剤を拡散させ塗布させ、
第２回転カップ部によって他方表面に塗布剤が塗布されたワークを第４搬送手段によって排出させるうえ、
前記制御手段は、回転開始時から塗布剤の飛散を低減し得る低速回転にし、ワークに塗布された塗布剤が拡散された後、該塗布剤を均一化すべく高速回転にすることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項２】
前記制御手段は、ワーク上に滴下して供給された塗布剤の塗布時において、回転カップの回転速度を低速から高速に切替えることを特徴とする請求項１記載の回転塗布装置。
【請求項３】
前記第１および第２回転カップ部はそれぞれ回転カップを複数備え、ワークは複数の回転カップに振り分けて与えられることを特徴とする請求項１記載の回転塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転力を利用して液状の塗布剤をワークに塗布する回転塗布装置および回転塗布方法に関し、特にワーク両面に塗布剤を塗布する回転塗布装置および回転塗布方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、たとえば半導体素子の製造工程では、大略的に円板状の半導体ウエハ表面にレジスト被膜などを形成するために、回転塗布装置が用いられている。回転塗布装置は、半導体素子の製造工程でのシリコンウエハやガリウムひ素ウエハに対して用いられるばかりではなく、広く、ディスクやセルなどの多くのワークに対して用いられる。このようなワークは、ガラス、セラミックスおよびプラスチックなどの材料から成る。
【０００３】
図３０は、従来の両面回転塗布装置の回転カップの一部を示す側面図である。回転カップ内には、回転台１０１が配置される。回転台１０１の上面には、複数の吸着孔が形成された吸着パット１０２が設けられ、これによってワーク１６の他方表面１６ｂである下面が吸着して保持される。回転台１０１は、回転モータによって、回転台１０１の中心を通る回転軸１０１ａを中心に回転し、これによって吸着パット１０２に吸着されるワーク１６が同時に回転する。
【０００４】
前記両面回転塗布装置では、１つの回転カップ内で、ワーク１６の一方表面１６ａと他方表面１６ｂとに塗布剤が塗布される。回転カップに収容されるワーク１６の一方表面１６ａの上方には第１塗布剤ノズル１０４が配置され、他方表面１６ｂの下方には第２塗布剤ノズル１０３が配置される。第１塗布剤ノズル１０４および第２塗布剤ノズル１０３から放出された塗布剤が、ワーク１６に供給される。ワーク１６に供給された塗布剤は、ワーク１６が回転することによって、拡散し塗布される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
図３１は、塗布剤が塗布されたワーク１６の他方表面１６ｂの平面図である。図３１では、ワーク１６の他方表面１６ｂの塗布剤が塗布されない領域を斜線で示す。前記回転カップでは、吸着パット１０２が障害となって、ワーク１６の他方表面１６ｂの吸着パット１０２と接する部分に塗布剤を塗布することができない。また、塗布剤をワーク１６の下方から供給するので、ワーク１６に到達できなかった塗布剤が落下する。さらに前記回転カップではワーク１６の下面である他方表面１６ｂに塗布するので、回転中に飛散る塗布剤がワーク上面に塗布する場合に比べて増える。したがって、塗布剤の廃液が増え、廃液を処理するメンテナンスの回数が多くなり、またそれに手間がかかる。
【０００６】
回転塗布装置に関する先行技術は、たとえば特開平７−３０８６２６号公報、特開平９−５７１７７号公報などに開示されている。しかし、これらの技術による回転塗布装置は、塗布剤がワークの片面だけに塗布される片面回転塗布装置である。
【０００７】
両面塗布装置に関する先行技術は、たとえば特開平５−３３７４１８号公報、特開平６−４１７７４号公報、特開平７−８８９１号公報および特開平９−２７１７０４号公報などに開示されている。しかし、これらの技術による両面塗布装置が塗布剤を塗布する対象物は、シート状のものに限られる。
【０００８】
本発明の目的は、ワークの両面全域に液状の塗布剤を塗布することができる回転塗布装置および回転塗布方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ワークを回転させ、回転中のワーク上に液状の塗布剤を滴下し拡散させて塗布する回転塗布装置において、
カップ状の形状を有し、ワークを収容して保持する状態で、ワークを回転させることが可能な回転カップを備える第１回転カップ部と、
第１回転カップ部の回転カップに収容して保持されるワーク上に塗布剤を滴下して供給する第１塗布剤供給手段と、
第１回転カップ部によって一方表面に塗布剤が塗布されたワークの非塗布面を保持して表裏を反転する反転手段と、
カップ状の形状を有し、反転手段によって表裏が反転されたワークを収容して保持する状態で、ワークを回転させることが可能な回転カップを備える第２回転カップ部と、
第２回転カップ部の回転カップに収容して保持されるワーク上に塗布剤を滴下して供給する第２塗布剤供給手段と、
ワークを第１回転カップ部に搬送する第１搬送手段と、
ワークを第１回転カップ部から反転手段に搬送する第２搬送手段と、
ワークを反転手段から第２回転カップ部に搬送する第３搬送手段と、
ワークを第２回転カップ部から排出する第４搬送手段とを含み、
制御手段は、
ワークを第１搬送手段によって第１回転カップ部に搬送させて回転カップに収容し保持させ、該回転カップを回転させながら回転するワーク上に第１塗布剤供給手段によって塗布剤を滴下して供給させ、さらに回転カップを回転させてワーク上に滴下して供給された塗布剤を拡散させ塗布させ、
第１回転カップ部によって一方表面に塗布剤が塗布されたワークを第２搬送手段によって反転手段に搬送させ、搬送されたワークの表裏を反転手段によって反転させ、
表裏が反転されたワークを第３搬送手段によって第２回転カップ部に搬送させて回転カップに収容し保持させ、該回転カップを回転させながら回転するワーク上に第２塗布剤供給手段によって塗布剤を滴下して供給させ、さらに回転カップを回転させてワーク上に滴下して供給された塗布剤を拡散させ塗布させ、
第２回転カップ部によって他方表面に塗布剤が塗布されたワークを第４搬送手段によって排出させるうえ、
前記制御手段は、回転開始時から塗布剤の飛散を低減し得る低速回転にし、ワークに塗布された塗布剤が拡散された後、該塗布剤を均一化すべく高速回転にすることを特徴とする回転塗布装置である。
【００１０】
本発明に従えば、第１回転カップ部および第１塗布剤供給手段によってワークの一方表面に塗布剤が回転塗布され、一方表面に塗布剤が塗布されたワークは反転手段によって非塗布面が保持されて表裏が反転され、表裏が反転されたワークの他方表面に、第２回転カップ部および第２塗布剤供給手段によって塗布剤が回転塗布される。
【００１１】
ワークの表裏が反転手段によって反転されるので、第２回転カップ部の回転カップは、塗布剤が塗布された一方表面を保持する。したがって、第２塗布剤供給手段は、ワークの上方から塗布剤を供給し、前記回転カップはワークの他方表面全域に、塗布剤を拡散することができる。つまり、第２回転カップ部および第２塗布剤供給手段は、一方表面に塗布を行う第１回転カップ部および第１塗布剤供給手段と同様に、他方表面に塗布を行うので、回転塗布装置はワークの両面全域に塗布剤を塗布することができる。
【００１２】
ワークの下方から塗布剤を供給すると、重力によって塗布剤の一部がワークに到達できずに落下し、また回転中に飛散る塗布剤が増し、廃液が増加して廃液処理のメンテナンス回数が多くなり、１回のメンテナンスに手間がかかる。本発明では、一方および他方表面ともにワークの上方から塗布剤を供給するので、塗布剤はワークに確実に供給され、廃液が減り、廃液を処理するメンテナンス回数を減らすことができる。また、１回のメンテナンスが容易となる。
【００１４】
そしてワークを第１搬送手段によって第１回転カップ部に搬送し、第１回転カップ部および第１塗布剤供給手段によって一方表面に塗布剤を塗布し、一方表面が塗布されたワークを第２搬送手段によって反転手段に搬送し、反転手段によって表裏を反転し、表裏が反転されたワークを第３搬送手段によって第２回転カップ部に搬送し、第２回転カップ部および第２塗布剤供給手段によって他方表面に塗布剤を塗布し、両面が塗布されたワークを第４搬送手段によって取出す。このように、回転塗布装置は、ワークの両面に塗布剤を回転塗布することができる。
【００１５】
制御手段は、ワークを第１搬送手段によって第１回転カップ部に搬送させて回転カップに収容し保持させ、該回転カップを回転させながら回転するワーク上に第１塗布剤供給手段によって塗布剤を滴下して供給させ、さらに回転カップを回転させてワーク上に滴下して供給された塗布剤を拡散させ塗布させ、第１回転カップ部によって一方表面に塗布剤が塗布されたワークを第２搬送手段によって反転手段に搬送させ、搬送されたワークの表裏を反転手段によって反転させ、表裏が反転されたワークを第３搬送手段によって第２回転カップ部に搬送させて回転カップに収容し保持させ、該回転カップを回転させながら回転するワーク上に第２塗布剤供給手段によって塗布剤を滴下して供給させ、さらに回転カップを回転させてワーク上に滴下して供給された塗布剤を拡散させ塗布させ、第２回転カップ部によって他方表面に塗布剤が塗布されたワークを第４搬送手段によって排出させるので、回転塗布装置は、前工程から供給されたワークを自動的に搬送し回転塗布することができる。
【００１７】
また、このように制御された回転塗布装置では、ワークの表裏が反転手段によって反転されるので、第２回転カップ部の回転カップは、塗布剤が塗布された一方表面を保持する。したがって、第２塗布剤供給手段は、ワークの上方から塗布剤を供給し、前記回転カップはワークの他方表面全域に、塗布剤を拡散することができる。つまり、第２回転カップ部および第２塗布剤供給手段は、一方表面に塗布を行う第１回転カップ部および第１塗布剤供給手段と同様に、他方表面に塗布を行うので、回転塗布装置はワークの両面全域に塗布剤を塗布することができる。
【００１８】
また、ワークの上方から塗布剤を供給するので、下方から塗布剤を供給する場合に比べて、塗布剤はワークに確実に供給され、廃液が減り、廃液を処理するメンテナンス回数を減らすことができ、また１回のメンテナンスを容易とすることができる。そして制御手段は、回転開始時から塗布剤の飛散を低減し得る低速回転にし、ワークに塗布された塗布剤が拡散された後、該塗布剤を均一化すべく高速回転にするので、制御手段が回転速度を低速から高速に切替えると、低速回転によって拡散された塗布剤がさらに拡散され、塗布剤を均一に塗布することができ、塗布剤の乾燥するまでの時間も短くすることができる。また、始め回転速度を低速にするので、液状の塗布剤がワークの回転によって飛散ることを低減することができる。制御手段がこのように回転速度を制御することによって、塗布剤の飛散りが少なく、かつ塗布剤を均一に塗布できる回転塗布装置が得られる。塗布剤の飛散りを低減できると、塗布剤の廃液が減り、廃液を処理するメンテナンス回数を減らすことができ、また１回のメンテナンスを容易とすることができる。
【００１９】
また本発明は、前記制御手段は、ワーク上に滴下して供給された塗布剤の塗布時において、回転カップの回転速度を低速から高速に切替えることを特徴とする。
【００２０】
本発明に従えば、制御手段が、回転カップの回転速度を、回転開始時から塗布剤がワークの上面ほぼ全域に拡散されるまでの間、低速に保ち、塗布剤が拡散されると低速から高速に切替える。
【００２１】
制御手段が回転速度を低速から高速に切替えると、低速回転によって拡散された塗布剤がさらに拡散され、塗布剤を均一に塗布することができ、塗布剤の乾燥するまでの時間も短くすることができる。また、始め回転速度を低速にするのは、液状の塗布剤がワークの回転によって飛散ることを低減するためである。制御手段がこのように回転速度を制御することによって、塗布剤の飛散りが少なく、かつ塗布剤を均一に塗布できる回転塗布装置が得られる。塗布剤の飛散りを低減できると、塗布剤の廃液が減り、廃液を処理するメンテナンス回数を減らすことができ、また１回のメンテナンスを容易とすることができる。
【００２２】
また本発明は、前記第１および第２回転カップ部はそれぞれ回転カップを複数備え、ワークは複数の回転カップに振り分けて与えられることを特徴とする。
【００２３】
本発明に従えば、第１回転カップ部および第２回転カップ部が複数の回転カップを備えるので、複数のワークに対する処理を分散して同時に行うことができる。
【００２４】
たとえば、第１回転カップ部が回転カップを２つ備え、第２回転カップ部が回転カップを２つ備える回転塗布装置について説明する。第１ワークが前工程の装置から供給されると、第１ワークは第１搬送手段によって第１回転カップ部の一方の回転カップに搬送され、一方の回転カップにおいて回転塗布処理が行われる。第１ワークの次に前工程から供給された第２ワークは、第１搬送手段によって第１回転カップ部の他方の回転カップに搬送され、他方の回転カップにおいて回転塗布処理が行われる。
【００２５】
このように、第１および第２回転カップ部の回転カップを複数備える場合、第１回転カップ部のある回転カップにおいてワークが回転塗布されている時に、次のワークが供給されても、前記回転カップの回転塗布処理が終わるまで待機することなく、ワークを第１回転カップ部の別の回転カップに搬送し、回転塗布処理を行うことができる。このことは、ワークの他方表面に塗布を行う第２回転カップ部についても同様である。したがって、塗布剤拡散のために長時間を要する場合には、回転塗布装置は第１回転カップ部および第２回転カップ部の回転カップを複数備えることによって、ワークを各回転カップに振り分け回転塗布処理を行うことができ、塗布処理の効率が高くなり、生産性が向上する。
【００３２】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施の一形態である回転塗布装置１の概略的な構成を示す平面図であり、図２はその側面図である。図３は、回転塗布装置１のブロック図である。
【００３３】
図１、図２および図３に示すように、回転塗布装置１は、第１位置決め機構２３を有する第１位置決め部４、第１モータ部７の昇降モータ７ｂおよび旋回モータ７ａによって上下および往復旋回運動可能な第１搬送部８、第２モータ部１４の昇降モータ１４ｂおよび回転モータ１４ａによって上下および回転運動可能な第１回転カップ部１０、第３モータ部２２の昇降モータ２２ｂおよび旋回モータ２２ａによって上下および往復旋回運動可能な、第１塗布剤供給機構１７を有する第１塗布剤供給部１８、第４モータ部２８の旋回モータ２８ａによって往復旋回運動可能な第２搬送部２５、第５モータ部３５の旋回モータ３５ａによって旋回運動可能な反転部３２、第６モータ部４２の昇降モータ４２ｂおよび直線モータ４２ａによって上下運動および水平方向に真っすぐ往復運動することが可能な中間移載部３９、第２位置決め機構２４を有する第２位置決め部４５、第７モータ部５２の昇降モータ５２ｂおよび旋回モータ５２ａによって上下および往復旋回運動可能な第３搬送部５０、第８モータ部６１の昇降モータ６１ｂおよび回転モータ６１ａによって上下および回転運動可能な第２回転カップ部５７、第９モータ部６９の昇降モータ６９ｂおよび旋回モータ６９ａによって上下および往復旋回運動可能な、第２塗布剤供給機構６４を有する第２塗布剤供給部６５、ならびに第１０モータ部７５の旋回モータ７５ａによって往復旋回運動可能な第４搬送部７２によって構成される。
【００３４】
第１位置決め部４、第１搬送部８、第１回転カップ部１０、第１塗布剤供給部１８、第２搬送部２５、反転部３２、中間移載部３９、第２位置決め部４５、第３搬送部５０、第２回転カップ部５７、第２塗布剤供給部６５および第４搬送部７２の各形状および各配置は、ワーク１６を図１および図２に示す受け渡し位置ｗ１，ｗ２，ｗ３，ｗ４，ｗ５，ｗ６に停止させて、ワーク１６の受け渡しができ、かつワーク１６への塗布剤供給が行えるように構成される。図１および図２に示す矢印は前述の各部４，８，１０，１８，２５，３２，３９，４５，５０，５７，６５，７２の運動方向を示している。図１および図２では、各部４，８，１０，１８，２５，３２，３９，４５，５０，５７，６５，７２の予め定められる待機位置でのワーク１６の供給を待機している状態を示す。
【００３５】
各部４，８，１０，１８，２５，３２，３９，４５，５０，５７，６５，７２のなかでワーク１６を保持する部４，８，１０，２５，３２，３９，４５，５０，５７，７２には、該部毎に対応して、ワーク１６を吸着するための吸着パットと真空吸着ポンプとが備えられる。吸着パットには複数の吸着孔が形成され、真空吸着ポンプをＯＮにすると吸着孔から空気が吸い上げられて吸着パットに接するワーク１６が吸着され、真空吸着ポンプをＯＦＦにするとワーク１６の吸着が解除される。
【００３６】
図３に示すように回転塗布装置１の制御部３８によって、第１〜第１０真空吸着ポンプＰ１〜Ｐ１０、第１〜第１０モータ部７，１４，２２，２８，３５，４２，５２，６１，６９，７５、第１塗布剤供給機構１７、第２塗布剤供給機構６４、第１位置決め機構２３および第２位置決め機構２４の動作が制御される。第１回転カップ部１０および第２回転カップ部５７の塗布剤およびワーク１６の種類によって異なる回転速度と回転時間とは、ワーク１６を供給する前に回転数および回転時間記憶部４４に記憶される。制御部３８は、第１回転カップ部１０あるいは第２回転カップ部５７の回転時間が変わっても、搬送動作および塗布動作を滞りなく行うことができるよう、記憶された回転時間に応じて、第１〜第１０真空吸着ポンプＰ１〜Ｐ１０、第１〜第１０モータ部７，１４，２２，２８，３５，４２，５２，６１，６９，７５、第１塗布剤供給機構１７、第２塗布剤供給機構６４、第１位置決め機構２３および第２位置決め機構２４の動作を制御する。
【００３７】
図４は、回転塗布装置１の一連の回転塗布工程を概略的に示すフローチャートである。図１、図２および図４に示すように、ステップａでは、第１位置決め部４に供給されたワーク１６を、第１搬送部８が第１位置決め部４から第１回転カップ部１０へ搬送する。ステップｂでは、第１回転カップ部１０においてワーク１６の一方表面１６ａの塗布処理が行われる。このとき、ワーク１６には第１塗布剤供給部１８から塗布剤が供給される。ステップｃでは、一方表面１６ａの塗布が終了したワーク１６を、第２搬送部２５が反転部３２に搬送する。ステップｄでは、反転部３２が、ワーク１６の表裏を反転し、塗布された一方表面１６ａが下方を向く状態となったワーク１６を中間移載部３９に載置し、中間移載部３９がワーク１６を第２位置決め部４５に供給する。ステップｅでは、他方表面１６ｂが上方を向いた状態で第２位置決め部４５に供給されたワーク１６を、第３搬送部５０が第２回転カップ部５７に搬送する。ステップｆでは、第２回転カップ部５７においてワーク１６の他方表面１６ｂの塗布処理が行われる。このとき、ワーク１６には第２塗布剤供給部６５から塗布剤が供給される。ステップｇでは、両面塗布が終了したワーク１６を、第４搬送部７２が取出す。次に各部の構成および各工程について詳しく説明する。
【００３８】
図５は、ワーク１６を、第１搬送部８が第１回転カップ部１０に搬送する動作を説明するための平面図であり、図６は、その側面図である。
【００３９】
第１位置決め部４は、第１位置決め機構２３、第１位置決めテーブル２、第１吸着パット３、第１真空吸着ポンプＰ１を含んで構成される。
【００４０】
第１位置決めテーブル２は、形状が円筒形状であり、たとえば回転塗布装置１内の所定の位置に固定的に設けられ、またその上面を覆って円板状の第１吸着パット３が取付けられる。ワーク１６が第１吸着パット３上に載置されるときに第１真空吸着ポンプＰ１をＯＮにすると、ワーク１６の他方表面１６ｂである下面が第１吸着パット３に吸着される。受け渡し位置ｗ１は、第１位置決め部４の載置面の中央部に設定される。第１位置決め機構２３は、ワーク１６を、受け渡し位置ｗ１に位置決めする。このとき、ワーク１６は第１吸着パット３に吸着されているので、位置ずれすることなく確実に受け渡し位置ｗ１に載置される。
【００４１】
第１搬送部８は、第１アーム支持部材６、前述の第１モータ部７、第１アーム５、吸着パット支持部９ａ、第２吸着パット９、第２真空吸着ポンプＰ２を含んで構成され、ワーク１６を前記受け渡し位置ｗ１から後述する受け渡し位置ｗ２まで搬送する。
【００４２】
第１アーム支持部材６には、第１アーム５が取付けられる。第１アーム支持部材６は、旋回モータ７ａの回転によって、その回転軸６ａを中心に回転し、第１アーム５を旋回させる。また昇降モータ７ｂは、第１アーム５を上昇および下降させる。
【００４３】
第１アーム５の先端には、吸着パット支持部９ａを介して、第２吸着パット９が取付けられる。第２吸着パット９は、形状が円板状であり、吸着面が下を向いている。該吸着面とワーク１６が接するときに、第２真空吸着ポンプＰ２をＯＮにすると、ワーク１６の一方表面１６ａである上面が第２吸着パット９に吸着される。
【００４４】
第１回転カップ部１０は回転カップ１０ａを備える。回転カップ１０ａは、第１回転台１２、第１カップ１１、前述の第２モータ部１４、第３吸着パット１５、第３真空吸着ポンプＰ３を含んで構成される。
【００４５】
第１回転台１２には、上面を覆って第３吸着パット１５が取付けられる。ワーク１６が第３吸着パット１５上に載置されるとき第３真空吸着ポンプＰ３をＯＮにすると、第３吸着パット１５にワーク１６の他方表面１６ｂである下面が吸着される。
【００４６】
また、第１回転台１２は、回転モータ１４ａによって、第１回転台１２の中心を通る回転軸１２ａを中心に回転し、これによって第１回転台１２上の第３吸着パット１５に吸着されるワーク１６が同時に回転する。このとき、ワーク１６は第３吸着パット１５に吸着されているので、第３吸着パット１５から離れないで回転することができる。昇降モータ１４ｂは、第１回転台１２を、上昇および下降させる。
【００４７】
第１回転台１２の周囲には、余剰塗布剤の飛散りを防ぐ第１カップ１１が設けられ、第１カップ１１の上壁には、開口部３０が設けられる。受け渡し位置ｗ２は、回転カップ１０ａの中央部の上方であり、第１カップ１１外に設定される。開口部３０を設けることによって、回転カップ１０ａは、ワーク１６を第１カップ１１外の受け渡し位置ｗ２から第１カップ１１内の回転塗布が行われる位置まで移動させることができ、さらに第１塗布剤供給部１８が第１カップ１１に収容されるワーク１６に接近し、塗布剤を供給することが可能になる。なお、第１塗布剤供給部１８については後に詳しく説明する。
【００４８】
図７は、ワーク１６を第１回転カップ部１０に搬送する工程を示すフローチャートである。ステップａ１では、第１位置決め部４の第１吸着パット３上にワーク１６が供給される。ステップａ２では、第１真空吸着ポンプＰ１がＯＮになり、ワーク１６の他方表面１６ｂである下面が第１吸着パット３に吸着される。ステップａ３では、第１位置決め機構２３がワーク１６を受け渡し位置ｗ１に位置決めする。
【００４９】
ステップａ４では、旋回モータ７ａが正方向に回転し、これによって第１アーム５が待機位置から第１位置決め部４側に旋回し始める。ステップａ５では、旋回モータ７ａが停止し、受け渡し位置ｗ１の上方で第１搬送部８の第２吸着パット９が停止する。その後、昇降モータ７ｂが負方向に回転し、これによって第１アーム５が垂直下方に下降する。ステップａ６では、昇降モータ７ｂが停止し、第１搬送部８の第２吸着パット９がワーク１６に接する位置で停止する。その後第１真空吸着ポンプＰ１がＯＦＦになり、ほぼ同時に第２真空吸着ポンプＰ２がＯＮになり、ワーク１６の一方表面１６ａである上面が第２吸着パット９に吸着される。
【００５０】
ステップａ７では、昇降モータ７ｂが正方向に回転し、これによってワーク１６を吸着する第１搬送部８の第１アーム５が、垂直上方に上昇する。ステップａ８では、昇降モータ７ｂが停止し、第１アーム５が、所定の位置で停止する。その後、旋回モータ７ａが負方向に回転し、これによって第１アーム５は、第１回転カップ部１０側に向かって旋回し始める。
【００５１】
ステップａ９では、昇降モータ１４ｂが正方向に回転し、これによって回転カップ１０ａの第１回転台１２が垂直上方に上昇する。その後昇降モータ１４ｂが停止し、これによって第１回転台１２が第１カップ１１外の所定の位で停止する。ステップａ１０では、第１搬送部８が、ワーク１６を受け渡し位置ｗ２の上方まで搬送すると、旋回モータ７ａが停止し、昇降モータ７ｂが負方向に回転する。これによって第１アーム５が一旦停止し、その後垂直下方に下降し、ワーク１６が回転カップ１０ａの第３吸着パット１５上に載置される。ステップａ１１では、昇降モータ７ｂが停止し、これによって第１アーム５が停止する。その後第２真空吸着ポンプＰ２がＯＦＦになり、ほぼ同時に回転カップ１０ａの第３真空吸着ポンプＰ３がＯＮになり、受け渡し位置ｗ２に置かれたワーク１６の他方表面１６ｂである下面が、第３吸着パット１５に吸着される。
【００５２】
ステップａ１２では、昇降モータ７ｂが正方向に回転し、これによってワーク１６を渡し終えた第１搬送部８の第１アーム５が、所定の位置まで垂直上方に上昇する。ステップａ１３では、昇降モータ７ｂが停止し、第１アーム５が所定の位置で停止すると、旋回モータ７ａが正方向に回転し、これによって第１アーム５が、第１位置決め部４側に旋回する。その後第１アーム５が待機位置まで旋回すると、旋回モータ７ａが停止し、第１搬送部８は、待機状態に戻る。
【００５３】
ステップａ１４では、昇降モータ１４ｂが負方向に回転し、これによってワーク１６を吸着保持する回転カップ１０ａの第１回転台１２が垂直下方に下降し始める。次に、第１回転カップ部１０での塗布処理を説明する。
【００５４】
図８は、第１回転カップ部１０および第１塗布剤供給部１８による回転塗布処理を説明するための平面図であり、図９はその側面図である。
【００５５】
第１塗布剤供給部１８は、第２アーム支持部材２１、第２アーム２０、前述の第３モータ部２２、第１塗布剤ノズル１９、第１塗布剤供給機構１７を含んで構成される。
【００５６】
第２アーム支持部材２１には、第２アーム２０が取付けられる。第２アーム支持部材２１はその回転軸２１ａを中心に、旋回モータ２２ａの回転によって回転し、第２アーム２０を旋回させる。昇降モータ２２ｂは、第２アーム２０を上昇および下降させる。
【００５７】
第２アーム２０の先端には、第１塗布剤ノズル１９が設けられる。第１塗布剤ノズル１９は第１塗布剤供給機構１７とつながっている。したがって、第１塗布剤供給機構１７が、液状の適量の塗布剤を送り出すと、第１塗布剤ノズル１９がその塗布剤をワーク１６に滴下する。なお、第１塗布剤供給機構１７は、制御部３８によって塗布剤の送出量および送出時間が制御される。
【００５８】
図１０は、第１回転塗布カップ部１０での塗布処理工程を示すフローチャートである。図１１は、回転塗布装置１における回転カップ１０ａ，５７ａの回転時間と回転数との関係を示したグラフである。
【００５９】
図１０のステップｂ１では、昇降モータ１４ｂが停止し、これによって第１回転台１２が回転塗布を行う所定の位置で停止し、ワーク１６が第１カップ１１内に収容される。ステップｂ２では、旋回モータ２２ａが正方向に回転し、これによって第２アーム２０が、第２アーム支持部材２１の回転軸２１ａを支点に、待機位置から回転カップ１０ａ側に旋回し始める。ステップｂ３では、旋回モータ２２ａが停止し、第１塗布剤ノズル１９がワーク１６の上方で停止する。その後、昇降モータ２２ｂが負方向に回転し、これによって第２アーム２０が、垂直下方に下降し始める。
【００６０】
ステップｂ４では、回転モータ１４ａが回転し、これによって第１回転台１２が回転し始める。ステップｂ５では、回転モータ１４ａが低速で回転し続け、第１回転台１２が低速で回転し続ける。ステップｂ６では、第１回転台１２の回転が低速に保たれ、かつ第１塗布剤ノズル１９が、塗布剤を供給できる位置に到達すると、昇降モータ２２ｂが停止し、これによって第２アーム２０が停止し、第１塗布剤供給機構１７が塗布剤を送り出し、第１塗布剤ノズル１９からワーク１６は、塗布剤が滴下される。図１１に示すように塗布剤の滴下は、第１回転台１２が回転数の少ない低速回転に保たれているときに行われる。
【００６１】
ステップｂ７では、ワーク１６に塗布された塗布剤が、第１回転台１２の回転によって拡散される。回転カップ１０ａでは、回転モータ１４ａの回転速度をしばらく低速に保つことによって、塗布剤の飛び散りを防ぐことができる。
【００６２】
ステップｂ８では、低速で回転することによってワーク１６の一方表面１６ａ上面のほぼ全域に塗布剤が拡散すると、回転モータ１４ａの回転速度が低速から高速になり、第１回転台１２は回転数を増して、回転数の多い高速で回転し始める。ステップｂ９では、回転モータ１４ａが高速で回転し続け、第１回転台１２が高速で回転し続ける。これによって、ワーク１６の一方表面１６ａ上の塗布剤が、さらに拡散し均一な厚みの膜になり、乾燥する。ステップｂ１０では、ワーク１６の一方表面１６ａに塗られた塗布剤が完全に乾燥すると、回転モータ１４ａの回転が停止し、これによって第１回転台１２の回転が停止する。
【００６３】
第１回転台１２の回転中に、塗布剤を滴下し終えた第１塗布剤供給部１８は、昇降モータ２２ｂが正方向に回転し、これによって第２アーム２０が上昇する。その後昇降モータ２２ｂが停止し、第２アーム２０が所定の位置で停止し、旋回モータ２２ａが負方向に回転し、これによって第２アーム２０が旋回する。その後旋回モータ２２ａが停止し、第１塗布剤供給部１８は、待機状態へ戻る。
【００６４】
図１０のステップｂ１〜ステップｂ１０のように第１回転カップ部１０では、ワーク１６の一方表面１６ａの塗布処理が行われる。次にワーク１６を第２搬送部２５が、第１回転カップ部１０から反転部３２に搬送する工程を説明する。
【００６５】
図１２は、ワーク１６を第２搬送部２５が、第１回転カップ部１０から反転部３２に搬送する動作を説明するための平面図であり、図１３は、その側面図である。
【００６６】
第２搬送部２５は、第３アーム支持部材２７、第３アーム２６、前述の第４モータ部２８、第４吸着パット２９、吸着パット支持部２９ａ、第４真空吸着ポンプＰ４を含んで構成され、ワーク１６を前記受け渡し位置ｗ２から後述する受け渡し位置ｗ３まで搬送する。
【００６７】
第３アーム支持部材２７には、第３アーム２６が取付けられる。第３アーム支持部材２７は、その回転軸２７ａを中心に、旋回モータ２８ａによって回転し第３アーム２６を旋回させる。
【００６８】
第３アーム２６の先端には、吸着パット支持部２９ａを介して第４吸着パット２９が取付けられる。第４吸着パット２９は、吸着面が上方を向いている。ワーク１６と該吸着面とが接するときに、第４真空吸着ポンプＰ４をＯＮにすると、第４吸着パット２９にワーク１６の他方表面１６ｂである下面が吸着される。
【００６９】
第４吸着パット２９および吸着パット支持部２９ａの上方から見た形状は、Ｌ字型形状である。このような形状にするのは、後述するワーク１６の受け渡しをする際に、第４吸着パット２９および吸着パット支持部２９ａが、回転カップ１０ａに接触することを防ぎ、さらに第４吸着パット２９および吸着パット支持部２９ａが、反転部３２に接触することを防ぐためである。
【００７０】
図１４は、ワーク１６を第１回転カップ部１０から反転部３２まで搬送する工程を示すフローチャートである。ステップｃ１では、昇降モータ１４ｂが正方向に回転し、これによってワーク１６の一方表面１６ａである上面の回転塗布を終えた第１回転台１２が、垂直上方に上昇する。その後昇降モータ１４ｂが停止し、ワーク１６が受け渡し位置ｗ２で停止する。
【００７１】
ステップｃ２では、旋回モータ２８ａが正方向に回転し、これによって第３アーム２６が第１回転カップ部１０側に向かって旋回し始める。ステップｃ３では、第３アーム２６の旋回運動によって、第３吸着パット２９が受け渡し位置ｗ２にあるワーク１６の他方表面１６ｂである下面を支える位置まで到達すると、旋回モータ２８ａが停止し、第２アーム２６が停止する。その後第４真空吸着ポンプＰ４がＯＮになり、回転カップ１０ａの第３真空吸着ポンプＰ３がＯＦＦになり、受け渡し位置ｗ２に置かれたワーク１６の他方表面１６ｂである下面が第４吸着パット２９に吸着される。このように、第２搬送部２５は、ワーク１６を受け取るときに、第１回転台１２に近づき、ワーク１６の他方表面１６ｂを支え、ワーク１６を吸着する。このとき第１回転台１２上の第３吸着パット１５にワーク１６の他方表面１６ｂの中央部が吸着されているので、第４吸着パット２９および吸着パット支持部２９ａは、形状をたとえばＬ字型にすると、第１回転台１２に接触しないでワーク１６の他方表面１６ｂを支えることができる。
【００７２】
ステップｃ４では、昇降モータ１４ｂが負方向に回転し、これによって第１回転台１２が垂直下方に下降する。その後、昇降モータ１４ｂが停止し、第１回転台１２が第１カップ１１内の待機位置に戻る。ステップｃ５では、旋回モータ２８ａが負方向に回転し、これによって第３アーム２６が、第３アーム支持部材２７の回転軸２７ａを支点に、反転部３２側に向かって旋回し始める。次に反転部３２がワーク１６を反転し、中間移載部３９が第２位置決め部４５に載置する工程を説明する。
【００７３】
図１５は、反転部３２がワーク１６を反転し、中間移載部３９が第２位置決め部４５にワーク１６を載置する動作を説明するための平面図であり、図１６はその側面図である。
【００７４】
反転部３２は、第４アーム支持部材３３、第４アーム３６、前述の第５モータ部３５、第５吸着パット３４、第５真空吸着ポンプＰ５を含んで構成される。
【００７５】
第４アーム支持部材３３には、連結部３７を介して第４アーム３６が取付けられる。第４アーム支持部材３３は、回転軸３３ａを中心に旋回モータ３５ａによって回転し、第４アーム３６を垂直方向の円を描くように旋回させる。
【００７６】
第４アーム３６の先端には、第５吸着パット３４が取付けられる。第５吸着パット３４は、形状が円板形状であり、吸着面が待機位置において上方を向いている。該吸着面とワーク１６が接するとき第５真空吸着ポンプＰ５をＯＮにすると、第５吸着パット３４にワーク１６の他方表面１６ｂである下面が吸着される。なお、第４アーム３６の旋回運動によって、反転部３２に吸着されるワーク１６は上面と下面とが反転され、第２搬送部２５から中間移載部３９まで搬送される。
【００７７】
中間移載部３９は、第５アーム支持部材４３、第５アーム４１、前述の第６モータ部４２、第６吸着パット４０、吸着パット支持部４０ａ、第６真空吸着ポンプＰ６を含んで構成され、ワーク１６を反転部３２から第２位置決め部４５まで搬送する。
【００７８】
第５アーム支持部材４３には、第５アーム４１が取付けられる。第５アーム４１は、直線モータ４２ａによって第５アーム支持部４３の水平で真っすぐな支軸４３ａに沿って往復移動する。また昇降モータ４２ａは、第５アーム支持部材４３を上昇および下降させる。
【００７９】
第５アーム４１の先端には、吸着パット支持部４０ａを介して第６吸着パット４０が取付けられる。第６吸着パット４０は、吸着面が上方を向いている。該吸着面上にワーク１６が載置されるとき、第６真空吸着ポンプＰ６をＯＮにすると、第６吸着パット４０にワーク１６の一方表面１６ａである下面が吸着される。
【００８０】
第６吸着パット４０および吸着パット支持部４０ａの上方から見た形状は、コの字型形状である。このような形状にするのは、中間移載部３９がワーク１６を第２位置決め部４５に渡す際に、第６吸着パット４０および吸着パット支持部４０ａが第２位置決め部４５に接触することを防止するためである。なお、中間移載部３９から第２位置決め部４５へのワーク１６の受け渡しについては、後に詳しく説明する。
【００８１】
図１７は、ワーク１６を反転し、第２位置決め部４５に載置する工程を示したフローチャートである。ステップｄ１では、第２搬送部２５の旋回運動によって、受け渡し位置ｗ３にワーク１６が到達すると、旋回モータ２８ａが停止し、反転部３２の旋回モータ３５ａが回転し、第４アーム３６が旋回する。その後旋回モータ３５ａが停止し、第４アーム３６の先端部に取付けられた第５吸着パット３４が、ワーク１６に接する位置で停止し、第２搬送部２５の第４真空吸着ポンプＰ４がＯＦＦになり、ほぼ同時に反転部３２の第５真空吸着ポンプＰ５がＯＮになり、ワーク１６の他方表面１６ｂである下面が反転部３２の第５吸着パット３４に吸着される。第２搬送部２５の第４吸着パット２９および吸着パット支持部２９ａは、形状を前述のようにＬ字型にすると、下からワーク１６を支え垂直方向に旋回する反転部３２との接触を防ぐことができる。
【００８２】
ステップｄ２では、ワーク１６を吸着した反転部３２の旋回モータ３５ａが再び回転し、第４アーム支持部３３がその回転軸３３ａを中心に回転し、第４アーム３６を旋回させる。これによってワーク１６は、上面と下面とが反転され、同時に受け渡し位置ｗ４に運ばれる。したがって、今後の動作では、ワーク１６は、他方表面１６ｂが上面である。
【００８３】
ステップｄ３では、旋回モータ３５ａの回転が停止し、第４アーム３６の旋回運動が停止し、中間移載部３９上の受け渡し位置ｗ４にワーク１６が載置される。その後、中間移載部３９の第６真空吸着ポンプＰ６がＯＮになり、ほぼ同時に反転部３２の第５真空吸着ポンプＰ５がＯＦＦになり、第６吸着パット４０にワーク１６の一方表面１６ａである下面が吸着される。
【００８４】
ステップｄ４では、中間移載部３９の直線モータ４２ａが正方向に回転し、これによって第５アーム４１が第２位置決め部４５に向かって水平方向に真っすぐ移動する。一方、反転部３２は旋回モータ３５ａが再び回転し、待機状態に戻る。
【００８５】
ステップｄ５では、ワーク１６が第２位置決め部４５上方に到達すると、直線モータ４２ａが停止し、これによって第５アーム４１が停止する。その後昇降モータ４２ｂが負方向に回転し、これによって第５アーム支持部材４３が垂直下方に下降する。このとき第２位置決め部４５の第７真空吸着ポンプＰ７がＯＮになり、ほぼ同時に中間移載部３９の第６真空吸着ポンプＰ６がＯＦＦになり、ワーク１６が第２位置決め部４５に吸着される。ステップｄ６では、ワーク１６を第２位置決め部４５へ載置し終えた中間移載部３９の昇降モータ４２が停止し、第５アーム支持部材４３が所定の位置で停止する。その後直線モータ４２ａが負方向に回転し、第５アーム４１が水平方向に真っすぐ待機位置下方に向かって移動する。その後、直線モータ４２ａが停止し、第５アーム４１が待機位置下方で停止し、昇降モータ４２ｂが正方向に回転し、これによって第５アーム支持部材４３が待機位置下方から垂直上方に上昇する。その後、昇降モータ４２ｂが停止し、中間移載部３９は待機状態に戻る。
【００８６】
ステップｄ３〜ステップｄ６に示すように、中間移載部３９は、反転部３２から第２位置決め部４５にワーク１６を搬送する。中間移載部３９を設けないで反転部３２から第２位置決め部４５へ直接ワークを載置するには、反転部３２および第２位置決め部４５の構成に反転部３２と第２位置決め部４５との接触を防ぐための工夫をしなければならないが、中間移載部３９を設けることによって、反転部３２を上述のように簡単な構成にすることができ、後述するように第２位置決め部４５を第１位置決め部４と同様に構成することができる。
【００８７】
また、中間移載部３９は、ステップｄ５に示すようにワーク１６を渡す際に、ワーク１６を第２位置決め部４５上方まで搬送し、その後下降する。これによってワーク１６の一方表面１６ａの中央部が第２位置決め部４５に支えられる。このとき第６吸着パット４０および吸着パット支持部４０ａの形状をたとえばコの字型にすると、中間移載部３９は、第２位置決め部４５に接触しないで、ワーク１６を渡すことができる。
【００８８】
図５〜図１７の動作に続いて、ワーク１６は、一方表面１６ａと同様に他方表面１６ｂに塗布剤が塗布される。
【００８９】
図１８は、ワーク１６を第３搬送部５０が、第２位置決め部４５から第２回転カップ部５７に搬送する動作を説明するための平面図であり、図１９は、その側面図である。
【００９０】
第２位置決め部４５は、第２位置決め機構２４、第２位置決めテーブル４６、第７吸着パット４７、第７真空吸着ポンプＰ７を含んで構成される。
【００９１】
第２位置決めテーブル４６は、形状が円筒形状であり、たとえば回転塗布装置１内の所定の位置に固定的に設けられ、その上面を覆って円板状の第７吸着パット４７が取付けられる。第７吸着パット４７上にワーク１６が載置されるときに第７真空吸着ポンプＰ７をＯＮにすると、ワーク１６の一方表面１６ａである下面が第７吸着パット４７に吸着される。受け渡し位置ｗ５は、第２位置決め部４５の載置面の中央部に設定される。第２位置決め機構２４は、中間移載部３９から供給されたワーク１６を、受け渡し位置ｗ５に位置決めする。
【００９２】
第３搬送部５０は、第６アーム支持部材５３、第６アーム５１、前述の第７モータ部５２、吸着パット支持部５４ａ、第８吸着パット５４、第８真空吸着ポンプＰ８を含んで構成され、ワーク１６を受け渡し位置ｗ５から受け渡し位置ｗ６まで搬送する。
【００９３】
第６アーム支持部材５３には、第６アーム５１が取付けられる。第６アーム支持部材５３は、旋回モータ５２ａの回転によって、その回転軸５３ａを中心に回転し、第６アーム５１を旋回させる。また昇降モータ５２ｂは、第６アーム５１を上昇および下降させる。
【００９４】
第６アーム５１の先端には、吸着パット支持部５４ａを介して、第８吸着パット５４が取付けられる。第８吸着パット５４は、形状が円板状であり、吸着面が下を向いている。該吸着面とワーク１６が接するときに第８真空吸着ポンプＰ８をＯＮにすると、第８吸着パット５４にワーク１６の他方表面１６ｂである上面が吸着される。
【００９５】
第２回転カップ部５７は回転カップ５７ａを備える。回転カップ５７ａは、第２回転台５９、第２カップ５８、前述の第８モータ部６１、第９吸着パット６２、第９真空吸着ポンプＰ９を含んで構成される。
【００９６】
第２回転台５９には、上面を覆って第９吸着パット６２が設けられる。第９吸着パット６２上にワーク１６が載置されるときに第９真空吸着ポンプＰ９をＯＮにすると、第９吸着パット６２にワーク１６の一方表面１６ａである下面が吸着される。
【００９７】
また、回転カップ５７ａの第２回転台５９は、回転モータ６１ａによって、第２回転台５９の中心を通る回転軸５９ａを中心に回転し、これによって第２回転台５９上の第９吸着パット６２に吸着されるワーク１６が同時に回転する。昇降モータ６１ｂは、第２回転台５９を、上昇および下降させる。
【００９８】
第２回転台５９の周囲には、余剰塗布剤の飛散りを防ぐ第２カップ５８が設けられ、第２カップ５８の上壁には、開口部３１が設けられる。受け渡し位置ｗ６は、回転カップ５７ａの中央部の上方であり、第２カップ５８外に設定される。開口部３１を設けることによって、回転カップ５７ａはワーク１６を第２カップ５８外の受け渡し位置ｗ６から第２カップ５８内の回転塗布が行われる位置まで移動させることができ、さらに第２塗布剤供給部６５が第２カップ５８に収容されるワーク１６に接近し、塗布剤を供給することが可能になる。なお、第２塗布剤供給部６５については、後に詳しく説明する。
【００９９】
このように、第２位置決め部４５は、第１位置決め部４と同様に構成され、第３搬送部５０は、第１搬送部８と同様に構成され、第２回転カップ部５７は、第１回転カップ部１０と同様に構成される。
【０１００】
図２０は、ワーク１６を第３搬送部５０が第２位置決め部４５から第２回転カップ部５７に搬送する工程を示すフローチャートである。ステップｅ１〜ステップｅ１２に示すこの工程は、前述のワーク１６を第１搬送部８が第１位置決め部４から第１回転カップ部１０に搬送する図７のステップａ３〜ステップａ１４に示す工程と同様である。
【０１０１】
図２１は、第２回転カップ部５７および第２塗布剤供給部６５による回転塗布処理を説明する平面図であり、図２２は、その側面図である。
【０１０２】
第２塗布剤供給部６５は、第７アーム支持部材６８、第７アーム６７、前述の第９モータ部６９、第２塗布剤ノズル６６、第２塗布剤供給機構６４を含んで構成される。
【０１０３】
第７アーム支持部材６８には、第７アーム６７が取付けられる。第７アーム支持部材６８は、その回転軸６８ａを中心に旋回モータ６９ａの回転によって回転し、第７アーム６７を旋回させる。また昇降モータ６９ｂは、第７アーム６７を上昇および下降させる。
【０１０４】
第７アーム６７の先端には、第２塗布剤ノズル６６が設けられる。第２塗布剤ノズル６６は、第２塗布剤供給機構６４とつながっている。したがって、第２塗布剤供給機構６４が液状の適量の塗布剤を送り出すと、第２塗布剤ノズル６６がその塗布剤をワーク１６に滴下する。なお第２塗布剤供給機構６４は、制御部３８によって塗布剤の送出量および送出時間が制御される。このように、第２塗布剤供給部６５は、第１塗布剤供給部１８と同様に構成される。
【０１０５】
図２３は、第２回転カップ部５７での回転塗布工程を示すフローチャートである。第２回転カップ部５７でのステップｆ１〜ステップｆ１０に示す回転塗布工程は、第１回転カップ部１０での図１０のステップｂ１〜ステップｂ１０に示す回転塗布工程と同様である。ただし第２回転カップ部５７では、ワーク１６の他方表面１６ｂに回転塗布処理を行う。
【０１０６】
図２４は、両面１６ａ，１６ｂに塗布剤が塗布されたワーク１６を第４搬送部７２が、第２回転カップ部５７から取出す動作を説明する平面図であり、図２５は、その側面図である。
【０１０７】
第４搬送部７２は、第８アーム支持部材７４、第８アーム７３、前述の第１０モータ部７５、第１０吸着パット７６、第１０真空吸着ポンプＰ１０、吸着パット支持部７６ａを含んで構成され、ワーク１６を第２回転カップ部５７から取出す。
【０１０８】
第８アーム支持部材７４には、第８アーム７３が取付けられる。第８アーム支持部材７４は、その回転軸７４ａを中心に、旋回モータ７５ａによって回転し第８アーム７３を旋回させる。
【０１０９】
第８アーム７３の先端には、吸着パット支持部７６ａを介して第１０吸着パット７６が取付けられる。第１０吸着パット７６は、吸着面が上方を向いている。ワーク１６を該吸着面が支えるときに第１０真空吸着ポンプＰ１０をＯＮにすると、第１０吸着パット７６にワーク１６の一方表面１６ａである下面が吸着される。
【０１１０】
第１０吸着パット７６および吸着パット支持部７６ａの形状は、Ｌ字型形状である。このような形状にするのは、ワーク１６の受け渡しをする際に、第２回転台５９との接触を防ぐためである。
【０１１１】
図２６は、ワーク１６を第４搬送部７２が、第２回転カップ部５７から取出す工程を示すフローチャートである。ステップｇ１〜ステップｇ５に示す工程は、前述の第２搬送部２５が第１回転カップ部１０からワーク１６を取出し、反転部３２へワーク１６を搬送する図１４のステップｃ１〜ステップｃ５に示す工程と同様である。
【０１１２】
図１〜図２６に示すように回転塗布装置１は構成され、ワーク１６の両面１６ａ，１６ｂに塗布剤を塗布する。
【０１１３】
図２７は、回転カップ５７ａの一部分を概略的に示す側面図である。図２８は、回転カップ５７ａにおいて回転塗布処理されたワーク１６の他方表面１６ｂの平面図である。前述のように回転カップ５７ａの第９吸着パット６２に、ワーク１６は他方表面１６ｂが上向きで吸着され、ワーク１６の上方に配置される第２塗布剤ノズル６６から塗布剤が供給される。したがって、図２８に示すように、ワーク１６の他方表面１６ｂの全域に塗布剤は拡散される。以上のように回転塗布装置１は、ワーク１６の両面１６ａ，１６ｂ全域に塗布剤を塗布することができる。
【０１１４】
また回転塗布装置１では、ワーク１６が第１位置決め部４に供給されるとすぐに次のワークＢが第１位置決め部４に供給される。以下にワーク１６およびワークＢが第１回転カップ部１０に搬送される工程について簡単に説明する。まずワーク１６が第１位置決め部４に供給され、第１位置決め部４によって位置決めされる。次に第１搬送部８が、位置決めされたワーク１６を吸着し、第１位置決め部４から取出す。次にワーク１６が取出された第１位置決め部４にワークＢが供給され、ワークＢは第１位置決め部４によって受け渡し位置Ｗ１に位置決めされ始める。ワークＢが受け渡し位置ｗ１に位置決めされている間、第１搬送部８はワーク１６を第１回転カップ部１０へ搬送し、搬送後待機状態へ戻る。ワーク１６が第１回転カップ部１０から取出され、ワークＢが受け渡し位置Ｗ１に載置されると、第１搬送部８は、ワークＢを、第１回転カップ部１０へ搬送する。
【０１１５】
この後の工程においても回転塗布装置１はワークＢに対してワーク１６と同様な動作を行う。またワークＢの後にも次々とワークが供給され、それらのワークに対してもワーク１６と同様な動作を繰り返す。このように、回転塗布装置１は、塗布処理効率を上げるために次々と供給されるワークの回転塗布処理を行う。
【０１１６】
回転塗布装置１では、第１位置決め部４および第２位置決め部４５が、ワークを受け渡し位置ｗ１，ｗ５に移動させるために時間を要するので、装置全体の処理時間を短縮するには、第２位置決め部４５がワークを持たずに待機する時間を短くする必要がある。このため、中間移載部３９は、第２位置決め部４５がワーク１６を受け渡し位置Ｗ５に位置決めしている間に、反転部３２から供給されるワークＢを第２位置決め部４５付近まで搬送し、第２位置決め部４５からワーク１６が取出されるとすぐにワークＢを第２位置決め部４５に供給する。こうすることによって、第２位置決め部４５がワークを持たずに待機する時間を短くすることができ、回転塗布装置１の塗布処理効率を向上することができる。
【０１１７】
図２９は、本発明の実施のさらに他の形態である回転塗布装置８０の概略的な構成を示す平面図である。回転塗布装置８０において、回転塗布装置１に対応する部分には同一の参照符を付す。回転塗布装置８０は、第１位置決め部４、第１搬送部８、第１回転カップ部１０、第１塗布剤供給部１８、第２搬送部２５、反転部３２、中間移載部３９、第２位置決め部４５、第３搬送部５０、第２回転カップ部５７、第２塗布剤供給部６５、第４搬送部７２から構成される。第１位置決め部４、第２位置決め部４５および中間移載部３９は、回転塗布装置１と同様に構成される。図２９に示す矢印は、各部４，８，１０，１８，２５，３２，３９，４５，５０，５７，６５，７２の動作方向を示している。
【０１１８】
第１回転カップ部１０は、２つの回転カップ１０ａ，１０ｂを備え、第２回転カップ部５７は、２つの回転カップ５７ａ，５７ｂを備える。４つの回転カップ１０ａ，１０ｂ，５７ａ，５７ｂは同様に構成される。第１位置決め部４および第２位置決め部４５の中心を通る回転塗布装置８０の中心線８０ａを挟んで、回転カップ１０ａと対称となる位置に回転カップ１０ｂを配置し、回転塗布装置８０の中心線８０ａを挟んで、回転カップ５７ａと対称となる位置に回転カップ５７ｂを配置する。第１回転カップ部１０では、ワークの一方表面の塗布が行われ、第２回転カップ部５７では、ワークの他方表面の塗布が行われる。
【０１１９】
第１搬送部８は、第１アーム５と同様に構成される２つのアーム８３ａ，８３ｂを備える。一方アーム８３ａは、第１位置決め部４から回転カップ部１０ａまでワークを搬送する。他方アーム８３ｂは、第１位置決め部４から回転カップ１０ｂまでワークを搬送する。第２搬送部２５は、第３アーム２６と同様に構成される２つのアーム８５ａ，８５ｂを備える。一方アーム８５ａは、回転カップ１０ａから反転部３２までワークを搬送する。他方アーム８５ｂは、回転カップ１０ｂから反転部３２までワークを搬送する。反転部３２は、第４アーム３６と同様に構成される２つのアーム８６ａ，８６ｂを備える。第３搬送部５０は、第６アーム５１と同様に構成される２つのアーム８７ａ，８７ｂを備える。一方アーム８７ａは、第２位置決め部４５から回転カップ部５７ａまでワークを搬送する。他方アーム８７ｂは、第２位置決め部４５から回転カップ５７ｂまでワークを搬送する。第４搬送部７２は、第８アーム７３と同様に構成される２つのアーム８９ａ，８９ｂを備える。一方アーム８９ａは、回転カップ５７ａからワークを取出す。他方アーム８９ｂは、回転カップ５７ｂからワークを取出す。
【０１２０】
第１塗布剤供給部１８の第２アーム８４が回転カップ１０ａ側および回転カップ１０ｂ側に旋回することができるので、第１塗布剤供給部１８は時間をずらして両回転カップ１０ａ，１０ｂに収容されるワークに塗布剤を供給することができる。また第２塗布剤供給部６５の第７アーム８８が回転カップ５７ａ側および回転カップ５７ｂ側に旋回することができるので、第２塗布剤供給部６５は時間をずらして両回転カップ５７ａ，５７ｂに収容されるワークに塗布剤を供給することができる。次に回転塗布装置８０の一連の回転塗布工程を簡単に説明する。
【０１２１】
第１位置決め部４に供給されたワークＡは、位置決めされ、第１搬送部８の一方アーム８３ａによって第１回転カップ部１０の回転カップ１０ａに搬送される。次にワークＡは、回転カップ１０ａに収容され、第１塗布剤供給部１８から塗布剤の供給を受け回転塗布処理が行われる。一方、ワークＡの次に第１位置決め部４に供給されたワークＢは、位置決めされ、第１搬送部８の他方アーム８３ｂによって第１位置決め部４から第１回転カップ部１０の回転カップ１０ｂに搬送される。次にワークＢは、回転カップ１０ｂに収容され、ワークＡへの塗布剤の供給を終えた第１塗布剤供給部１８から塗布剤の供給を受け、回転塗布処理が行われる。その間、一方表面の回転塗布が終了したワークＡは、第２搬送部２５の一方アーム８５ａによって回転カップ１０ａから反転部３２の一方アーム８６ａまで搬送される。
【０１２２】
ワークＡが回転カップ１０ａから取出されると、ワークＢの次に第１位置決め部４に供給されるワークＣは、ワークＡと同様に回転カップ１０ａに搬送され、回転カップ１０ａにおいて塗布処理が行われる。ワークＣは、塗布処理後の工程でも、ワークＡと同様な処理がワークＡに続いて行われる。ワークＣの供給後も次々とワークは供給され、各ワークは、交互に回転カップ１０ａまたは回転カップ１０ｂに振り分けられ塗布処理および搬送処理が行われる。
【０１２３】
反転部３２に搬送されたワークＡは、反転部３２によって表裏が反転され、中間移載部３９に載置される。中間移載部３９は、ワークＡを第２位置決め部４５へ搬送し、待機位置に戻り、ワークＢの供給を待つ。一方、一方表面の回転塗布が終了したワークＢは、第２搬送部２５の他方アーム８５ｂによって回転カップ１０ｂから反転部３２の他方アーム８６ｂまで搬送される。反転部３２によってワークＢは、表裏が反転され、中間移載部３９に載置される。
【０１２４】
一方、第２位置決め部４５に搬送されたワークＡは、第２位置決め部４５によって位置決めされ、第３搬送部５０の一方アーム８７ａによって第２回転カップ部５７の回転カップ５７ａに搬送される。次にワークＡは、回転カップ５７ａに収容され、第２塗布剤供給部６５から塗布剤の供給を受け、回転塗布処理が行われる。一方、ワークＢはワークＡの次に中間移載部３９によって第２位置決め部４５に搬送され、第２位置決め部４５によって位置決めされ、第３搬送部５０の他方アーム８７ｂによって第２位置決め部４５から第２回転カップ部５７の回転カップ５７ｂに搬送される。次にワークＢは、回転カップ５７ｂに収容され、ワークＡへの塗布剤の供給を終えた第２塗布剤供給部６５から塗布剤の供給を受け、回転塗布処理が行われる。
【０１２５】
他方表面の回転塗布が終了したワークＡは、第４搬送部７２の一方アーム８９ａによって回転カップ５７ａから取出される。その後他方表面の回転塗布が終了したワークＢは、第４搬送部７２の他方アーム８９ｂによって回転カップ５７ｂから取出される。
【０１２６】
以上のように、第１搬送部８、第２搬送部２５、第３搬送部５０、第４搬送部７２、反転部３２がそれぞれ２つのアームを備えることによって、一方アーム８３ａ，８５ａ，８６ａ，８７ａ，８９ａがワークを搬送しているときでも、他方アーム８３ｂ，８５ｂ，８６ｂ，８７ｂ，８９ｂが他のワークを搬送することができる。さらに、一方表面を塗布する第１回転カップ部１０が２つの回転カップ１０ａ，１０ｂを設け、他方表面を塗布する第２回転カップ部５７が２つの回転カップ５７ａ，５７ｂを設けることによって、第１搬送部８、第３搬送部５０のアーム８３ａ，８３ｂ，８７ａ，８７ｂが、それぞれの回転カップ部１０ａ，１０ｂ，５７ａ，５７ｂにワークを振り分けて与えることができる。たとえば、第１回転カップ部１０がワークを１つ収容しているとき、回転塗布装置１であれば、回転カップ１０ａの回転が停止し、ワークが取出されるまで、次のワークは第１回転カップ部１０に供給できないが、回転塗布装置８０では、第１回転カップ部１０の回転カップ１０ａおよび回転カップ１０ｂに振り分けて供給することができる。したがって、塗布剤の拡散および乾燥のために長時間を要する場合には、ワークの回転塗布処理効率が高くなり、ワークの生産性が向上する。
【０１２７】
回転塗布装置８０では、第１回転カップ部１０および第２回転カップ部５７の回転カップをそれぞれ２つ設けているが、塗布剤の拡散および乾燥のためにさらに長時間を要する場合には、回転カップをさらに増やすことによって、処理効率を高めることができ、生産性を向上することが可能である。
【０１２８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、ワークの表裏が反転手段によって非塗布面が保持されて反転されるので、第２回転カップ部および第２塗布剤供給手段は、一方表面に塗布を行う第１回転カップ部および第１塗布剤供給手段と同様に、他方表面に塗布を行うので、回転塗布装置はワークの両面全域に塗布剤を塗布することができる。回転塗布装置は、ワークを第１搬送手段によって第１回転カップ部に搬送し、第１回転カップ部および第１塗布剤供給手段によって一方表面に塗布剤を塗布し、一方表面が塗布されたワークを第２搬送手段によって反転手段に搬送し、反転手段によって表裏を反転し、表裏が反転されたワークを第３搬送手段によって第２回転カップ部に搬送し、第２回転カップ部および第２塗布剤供給手段によって他方表面に塗布剤を塗布し、両面が塗布されたワークを第４搬送手段によって取出すことができる。制御手段によって制御された回転塗布装置は、前工程から供給されたワークを自動的に搬送し回転塗布することができる。前記回転塗布装置では、ワークの表裏が反転手段によって反転されるので、第２回転カップ部および第２塗布剤供給手段は、一方表面に塗布を行う第１回転カップ部および第１塗布剤供給手段と同様に、他方表面に塗布を行うことができ、ワークの両面全域に塗布剤を塗布することができる。そして制御手段は、回転開始時から塗布剤の飛散を低減し得る低速回転にし、ワークに塗布された塗布剤が拡散された後、該塗布剤を均一化すべく高速回転にするので、制御手段が回転速度を低速から高速に切替えると、低速回転によって拡散された塗布剤がさらに拡散され、塗布剤を均一に塗布することができ、塗布剤の乾燥するまでの時間も短くすることができる。また、始め回転速度を低速にするので、液状の塗布剤がワークの回転によって飛散ることを低減することができる。制御手段がこのように回転速度を制御することによって、塗布剤の飛散りが少なく、かつ塗布剤を均一に塗布できる回転塗布装置が得られる。塗布剤の飛散りを低減できると、塗布剤の廃液が減り、廃液を処理するメンテナンス回数を減らすことができ、また１回のメンテナンスを容易とすることができる。
【０１３１】
また本発明によれば、制御手段が回転速度を低速から高速に切替えると、低速回転によって拡散された塗布剤がさらに拡散され、塗布剤を均一に塗布することができ、塗布剤の乾燥するまでの時間も短くすることができる。また、始め回転速度を低速にするのは、液状の塗布剤がワークの回転によって飛散ることを低減するためである。制御手段がこのように回転速度を制御することによって、塗布剤の飛散りが少なく、かつ塗布剤を均一に塗布できる回転塗布装置が得られる。
【０１３２】
また本発明によれば、第１回転カップ部および第２回転カップ部が複数の回転カップを備えるので、複数のワークに対する処理を分散して同時に行うことができる。したがって、塗布剤拡散のために長時間を要する場合には、回転塗布装置は第１回転カップ部および第２回転カップ部が複数の回転カップを備えることによって、ワークを各回転カップに振り分け回転塗布処理を行うことができ、塗布処理の効率が高くなり、生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態である回転塗布装置１の概略的な構成を示す平面図である。
【図２】本発明の実施の一形態である回転塗布装置１の概略的な構成を示す側面図である。
【図３】回転塗布装置１のブロック図である。
【図４】回転塗布装置１の一連の回転塗布工程を概略的に示すフローチャートである。
【図５】ワーク１６を、第１搬送部８が第１回転カップ部１０に搬送する動作を説明するための平面図である。
【図６】ワーク１６を、第１搬送部８が第１回転カップ部１０に搬送する動作を説明するための側面図である。
【図７】ワーク１６を第１回転カップ部１０に搬送する工程を示すフローチャートである。
【図８】第１回転カップ部１０および第１塗布剤供給部１８による回転塗布処理を説明するための平面図である。
【図９】第１回転カップ部１０および第１塗布剤供給部１８による回転塗布処理を説明するための側面図である。
【図１０】第１回転塗布カップ部１０での塗布処理工程を示すフローチャートである。
【図１１】回転塗布装置１における回転カップ１０ａ，５７ａの回転時間と回転数との関係を示したグラフである。
【図１２】ワーク１６を第２搬送部２５が、第１回転カップ部１０から反転部３２に搬送する動作を説明するための平面図である。
【図１３】ワーク１６を第２搬送部２５が、第１回転カップ部１０から反転部３２に搬送する動作を説明するための側面図である。
【図１４】ワーク１６を第１回転カップ部１０から反転部３２まで搬送する工程を示すフローチャートである。
【図１５】反転部３２がワーク１６を反転し、中間移載部３９が第２位置決め部４５にワーク１６を載置する動作を説明するための平面図である。
【図１６】反転部３２がワーク１６を反転し、中間移載部３９が第２位置決め部４５にワーク１６を載置する動作を説明するための側面図である。
【図１７】ワーク１６を反転し、第２位置決め部４５に載置する工程を示したフローチャートである。
【図１８】ワーク１６を第３搬送部５０が、第２位置決め部４５から第２回転カップ部５７に搬送する動作を説明するための平面図である。
【図１９】ワーク１６を第３搬送部５０が、第２位置決め部４５から第２回転カップ部５７に搬送する動作を説明するための側面図である。
【図２０】ワーク１６を第３搬送部５０が第２位置決め部４５から第２回転カップ部５７に搬送する工程を示すフローチャートである。
【図２１】第２回転カップ部５７および第２塗布剤供給部６５による回転塗布処理を説明する平面図である。
【図２２】第２回転カップ部５７および第２塗布剤供給部６５による回転塗布処理を説明する側面図である。
【図２３】第２回転カップ部５７での回転塗布工程を示すフローチャートである。
【図２４】両面１６ａ，１６ｂに塗布剤が塗布されたワーク１６を第４搬送部７２が、第２回転カップ部５７から取出す動作を説明する平面図である。
【図２５】両面１６ａ，１６ｂに塗布剤が塗布されたワーク１６を第４搬送部７２が、第２回転カップ部５７から取出す動作を説明する側面図である。
【図２６】ワーク１６を第４搬送部７２が、第２回転カップ部５７から取出す工程を示すフローチャートである。
【図２７】回転カップ５７ａの一部分を概略的に示す側面図である。
【図２８】回転カップ５７ａにおいて回転塗布処理されたワーク１６の他方表面１６ｂの平面図である。
【図２９】本発明の実施のさらに他の形態である回転塗布装置８０の概略的な構成を示す平面図である。
【図３０】従来の両面回転塗布装置の回転カップの一部を示す側面図である。
【図３１】塗布剤が塗布されたワーク１６の他方表面１６ｂの平面図である。
【符号の説明】
１，８０  回転塗布装置
４  第１位置決め部
８  第１搬送部
１０  第１回転カップ部
１０ａ  回転カップ
１０ｂ  回転カップ
１６  ワーク
１６ａ  ワークの一方表面
１６ｂ  ワークの他方表面
１８  第１塗布剤供給部
１７  第１塗布剤供給機構
２５  第２搬送部
３２  反転部
３８  制御部
３９  中間移載部
４４  回転数および回転時間記憶部
５０  第３搬送部
５７  第２回転カップ部
５７ａ  回転カップ
５７ｂ  回転カップ
６４  第２塗布剤供給機構
６５  第２塗布剤供給部
７２  第４搬送部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0003658248.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0003658248.tif 000013
【図１３】
0003658248.tif 000014
【図１４】
0003658248.tif 000015
【図１５】
0003658248.tif 000016
【図１６】
0003658248.tif 000017
【図１７】
0003658248.tif 000018
【図１８】
0003658248.tif 000019
【図１９】
0003658248.tif 000020
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
0003658248.tif 000023
【図２３】
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【図２４】
0003658248.tif 000025
【図２５】
0003658248.tif 000026
【図２６】
0003658248.tif 000027
【図２７】
0003658248.tif 000028
【図２８】
0003658248.tif 000029
【図２９】
0003658248.tif 000030
【図３０】
0003658248.tif 000031
【図３１】
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