(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列配置された多数個の検査対象光素子のうちの同時駆動される複数個のみを個別対応で検査する複数個の検査用光素子が検査対象光素子群とは対向して並列配置されており、かつ、これらの検査用光素子は、前記検査対象対象光素子の配置ピッチに対して、個別対応している検査対象光素子以外の同時駆動される検査対象光素子からの光干渉を受けない複数の配置ピッチ毎に離間配置され、前記複数個の検査用光素子に個別対応している複数個の検査対象光素子のみ同時駆動することを特徴とする光素子検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の光素子検査装置であって、
検査対象光素子は発光素子であり、検査用光素子は受光素子であることを特徴とする光素子検査装置。
【請求項３】
請求項１記載の光素子検査装置であって、
検査対象光素子は受光素子であり、検査用光素子は光源となる発光素子であることを特徴とする光素子検査装置。
【請求項４】
並列配置された多数個の検査対象光素子のうちの同時駆動される複数個のみを個別対応で検査する複数個の検査用光素子が検査対象光素子群とは対向して並列配置されており、かつ、これらの検査用光素子は個別対応している検査対象光素子以外の検査対象光素子からの光干渉を受けない位置毎に離間配置され、
多数個の検査対象光素子のうちの複数個を同時駆動し、離間配置された複数個の検査用光素子でもって同時駆動された検査対象光素子のそれぞれを個別対応で検査した後、検査用光素子群を並列方向に沿って移動させたうえ、同時駆動された検査対象光素子のそれぞれと隣接する位置毎に配置された複数個の検査対象素子を同時駆動し、離間配置された複数個の検査用光素子でもって同時駆動された検査対象素子群のそれぞれを個別対応で検査することを繰り返して行うことを特徴とする光素子検査方法。
【請求項５】
請求項４に記載の光素子検査方法であって、
検査対象光素子は発光素子であり、検査用光素子は受光素子であることを特徴とする光素子検査方法。
【請求項６】
請求項４に記載の光素子検査方法であって、
検査対象光素子は受光素子であり、検査用光素子は光源となる発光素子であることを特徴とする光素子検査方法。
【請求項７】
請求項４ないし６のいずれかに記載の光素子検査方法を用いた光素子検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、並列配置された多数個の検査対象光素子に対する検査の実行時に使用される光素子検査装置と、この光素子検査装置を使用して行われる光素子検査方法とに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、発光素子や受光素子の製造プロセスにおいては、これらの発光素子や受光素子が具備する電気光学的特性を検査によって確認する必要があるが、フレーム単位毎に並列配置された多数個の検査対象光素子、例えば、発光素子に対する検査を検査対象光素子のそれぞれと１対１の相対関係にある、つまり、個別対応した検査用光素子である受光素子でもって同時的に実行することはできないのが現状であった。
【０００３】
すなわち、互いに隣接配置された検査対象光素子としての発光素子を同時発光させた場合には、発光素子のそれぞれと個別対応した検査用光素子であるところの受光素子に対して検査対象以外の発光素子から出射された光までもが入射することになり、これら検査対象以外の発光素子からの入射光による光干渉を受ける結果として受光素子でもって個別対応している発光素子の検査を実行することが不可能となってしまう。また、検査対象光素子が受光素子である場合も発光素子と同様、受光素子のそれぞれと個別対応した検査用光素子であって光源となる発光素子でもって検査を実行することは不可能となる。
【０００４】
そこで、このような現状を改善すべく、互いに隣接配置された検査対象光素子同士間に隔壁を設けておき、隔壁を設けていることによって同時駆動された検査対象光素子のうちの個別対応した検査対象光素子のみを検査用素子でもって検査することが考えられている。しかしながら、隔壁を設けた場合には、隔壁の壁面による反射が生じ、反射の影響が検査結果に及ぶことが避けられないため、やはり精度の高い検査を実行することはできなかった。
【０００５】
したがって、従来の形態としては、以上のような事情に鑑みたうえ、多数個の検査対象光素子がフレーム単位毎に並列配置されているにも拘わらず、これら検査対象光素子のうちの１個ずつを単一個の検査用光素子でもって順次検査することが行われており、この際には、図４で示すような構成の光素子検査装置を使用するのが一般的となっている。以下、図４に基づき、従来の形態における光素子検査方法を説明する。なお、以下の説明では、検査対象光素子が発光素子であって検査用光素子が受光素子であるとしているが、検査対象光素子が受光素子であり、かつ、検査用光素子が光源となる発光素子である場合も同様であるから、このような場合についての説明は省略する。
【０００６】
図４で示すように、検査対象光素子である発光素子４１１〜ｎは、例えば、５０個というような多数個が一定ピッチを介して離間しながらリードフレーム４２に対して並列配置されたものであり、各発光素子４１１〜ｎのカソード端子４１ａはリードフレーム４２と連結される一方、アノード端子４１ｂはリードフレーム４２から切り離されている。そして、これらの発光素子４１１〜ｎは、光素子検査装置における所定位置にまでリードフレーム４２と共に搬送機構（図示省略）を用いることによって搬送されたうえ、位置決め支持されることになっている。
【０００７】
また、光素子検査装置は、検査用光素子である単一個の受光素子４３が配設された検査用ユニット４４と、位置決め支持された発光素子４１１〜ｎのカソード端子４１ａ及びアノード端子４１ｂそれぞれと各別に接触して導通する一対のコンタクトピン４５が配設されたコンタクトユニット４６とを備えている。そして、コンタクトユニット４６を保持した検査用ユニット４４は、ボールねじ４７を介して連結されたパルスモータ４８でもって発光素子４１１〜ｎ同士の離間ピッチに対応した距離ずつ発光素子４１１〜ｎの並列方向に沿って間欠的に移動するものとなっている。さらに、この際における光素子検査装置は検査対象光素子を駆動するためのテスタ４９をも具備しており、テスタ４９によってはコンタクトピン４５を通じたうえで発光素子４１１〜ｎのそれぞれを発光させることが行われている。なお、ここでの光素子検査装置を構成する各部品の動作が、制御手段として機能するマイクロ・コンピュータ（図示省略）によって統括的に制御されていることは勿論である。
【０００８】
以下、この光素子検査装置による発光素子４１１〜ｎの検査動作を説明する。まず、リードフレーム４２に並列配置された発光素子４１１〜ｎがリードフレーム４２と共に光素子検査装置の所定位置にまで搬送されたうえで位置決め支持されると、コンタクトユニット４６が動作し、リードフレーム４２における一端側（図４では、左端側）の第１番目に配置された発光素子４１１のカソード端子４１ａ及びアノード端子４１ｂに対してコンタクトピン４５のそれぞれが接触させられる。そして、テスタ４９によって発光素子４１１が発光させられることになり、この発光素子４１１と対向する位置に配置された検査用ユニット４４の受光素子４３でもって発光素子４１１が検査される。
【０００９】
つぎに、第１番目の発光素子４１１の検査が終了すると、検査用ユニット４４及びコンタクトユニット４６はパルスモータ４８でもって発光素子４１１〜ｎ同士の離間ピッチに対応した距離だけ発光素子４１１〜ｎの並列方向に沿って移動させられることになり、移動させられた検査用ユニット４４およびコンタクトユニット４６はリードフレーム４２における一端側の第２番目に配置された発光素子４１２と対向させられる。そして、コンタクトユニット４６が動作し、発光素子４１２のカソード端子４１ａ及びアノード端子４１ｂに対してコンタクトピン４５のそれぞれが接触させられた後、テスタ４９によって発光させられた発光素子４１２の検査が検査用ユニット４４の受光素子４３でもって実行される。
【００１０】
さらに、引き続き、以上と同様の動作を繰り返すことによって第ｎ番目の発光素子４１ｎまでの検査が実行されることになり、全ての発光素子４１１〜ｎに対する検査が終了したリードフレーム４２は搬送機構（図示省略）により、次の工程を行う分類機構部（図示省略）まで搬送される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の光素子検査装置には、光素子（上述して従来例では、発光素子）を一つずつしか検査することができず、検査に手間と時間がかかってしまい、このことが光素子を製造する上でのコストアップを招く要因となるという課題があった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１にかかる光素子検査方法は、並列配置された多数個の検査対象光素子のうちの同時駆動される複数個のみを個別対応で検査する複数個の検査用光素子が検査対象光素子群とは対向して並列配置されており、かつ、これらの検査用光素子は、前記検査対象光素子の配置ピッチに対して、個別対応している検査対象光素子以外の同時駆動される検査対象光素子からの光干渉を受けない複数の配置ピッチ毎に離間配置され、前記複数個の検査用光素子に個別対応している複数個の検査対象光素子のみ同時駆動することを特徴としている。そして、請求項２にかかる光素子検査装置は、検査対象光素子が発光素子であり、検査用光素子が受光素子であることを特徴とするものである一方、請求項３にかかる光素子検査装置は、検査対象光素子が受光素子であり、検査用光素子が光源となる発光素子であること特徴とするものである。
【００１３】
また、請求項４にかかる光素子検査方法は、並列配置された多数個の検査対象光素子のうちの同時駆動される複数個のみを個別対応で検査する複数個の検査用光素子が検査対象光素子群とは対向して並列配置されており、かつ、これらの検査用光素子は個別対応している検査対象光素子以外の検査対象光素子からの光干渉を受けない位置毎に離間配置され、多数個の検査対象光素子のうちの複数個を動じ駆動し、離間配置された複数個の検査用光素子でもって同時駆動された検査対象光素子のそれぞれを個別対応で検査した後、検査用光素子群を並列方向に沿って移動させたうえ、同時駆動された検査対象光素子のそれぞれと隣接する位置毎に配置された複数個の検査対象阻止を同時駆動し、離間配置された複数個の検査用光素子でもって同時駆動された検査対象素子群のそれぞれを個別対応で検査することを繰り返して行うことを特徴としている。請求項５にかかる光素子検査方法は、請求項４に記載の光素子検査方法であって、検査対象光素子は発光素子であり、検査用光素子は受光素子であることを特徴とする。請求項６にかかる光素子検査方法は、請求項４に記載の光素子検査方法であって、検査対象光素子は受光素子であり、検査用光素子は光源となる発光素子であることを特徴とする。請求項７にかかる光素子検査方法は、請求項４ないし６のいずれかに記載の光素子検査装置を用いたことを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１５】
第１の実施の形態
図１は本発明の第１の実施の形態である光素子検査装置の構成を示す概略斜視図である。この光素子検査装置は、従来例と同様、発光素子４１１〜ｎを検査対象光素子としており、図１中において、図４と同一ないし同様の部分（特に、発光素子４１１〜ｎに関する部分）には図４と同一の符号を付し、発光素子４１１〜ｎについての詳細な説明は省略する。
【００１６】
光素子検査装置は、検査用ユニット１と、コンタクトユニット２とを備えている。検査用ユニット１は検査用光素子である複数の受光素子３１〜ｍが、一列にかつ所定の間隔を開けて配設されている。受光素子３１〜ｍの並列間隔αは、例えば、発光素子４１１〜ｎの形成ピッチにして、１０ピッチが適当である。受光素子３１〜ｍの並列間隔αをこのように設定する理由は後述する。
【００１７】
コンタクトユニット２には、複数組のコンタクトピン４１〜ｍが一列に、かつ受光素子３１〜ｍと同一の並列間隔αを開けて立設されている。各コンタクトピン４１〜ｍは一対の導電ピンから構成されており、導電ピンそれぞれが、発光素子４１１〜ｎのカソード端子４１ａおよびアノード端子４１ｂに接触するようになっている。
【００１８】
コンタクトユニット２と検査用ユニット１とは連結板５により互いに連結されている。コンタクトユニット２と検査用ユニット１とは、コンタクトピン４１〜ｍと受光素子３１〜ｍとを一定の間隔（この間隔は発光素子４１１〜ｎの端子長さより若干長い）に離間したうえで、コンタクトピン並列方向β１と受光素子並列方向β２とを平行にして連結されている。また、コンタクトピン４１〜ｍと受光素子３１〜ｍとは、その並列方向β１，β２に沿って同一位置に配置されており、コンタクトピン４１〜ｍと受光素子３１〜ｍとは、並列方向β１，β２に直交する方向に沿って対向して配置されている。
【００１９】
検査用ユニット１とコンタクトユニット２とは、検査用ユニット１に螺合しているボールねじ６およびこのボールねじ６を回転駆動するパルスモータ７によって、並列方向β２，β１に沿って往復直線移動するようになっている。
【００２０】
また、この光素子検査装置は、各コンタクトピン４１〜ｍに検査用電流を供給するテスタ８と、検査用ユニット１とコンタクトユニット２とを、図中、上下方向に沿って反復移動させる昇降機構９とを備えている。また、光素子検査装置を構成する各部品の動作が、制御手段として機能するマイクロ・コンピュータ（図示省略）によって統括的に制御されていることは勿論である。
【００２１】
次に、受光素子３１〜ｍの並列間隔αを、発光素子４１１〜ｎの形成ピッチにして、１０ピッチ相当の距離にする理由を説明する。この光素子検査装置では、同時に複数の発光素子４１１〜ｎを発光させ、その光を受光素子３１〜ｍで精度よく検査できるように構成されている。そのため、発光した発光素子４１１〜ｎの光が、隣接して発光している発光素子４１１〜ｎを検査している受光素子３１〜ｍによって受光されると、その検査精度を低下させる要因となる。そのため、隣接して発光している発光素子４１１〜ｎの光干渉を受けない程度に、各受光素子３１〜ｍの間隔を離す必要がある。このような理由により、受光素子３１〜ｍの並列間隔αは、発光素子４１１〜ｎの形成ピッチにして、１０ピッチ相当の距離に設定されている。この程度の離間距離まで、受光素子３１〜ｍどうしを離間させると、隣接して発光している発光素子４１１〜ｎの光干渉を受けることはない。
【００２２】
しかしながら、発光素子４１１〜ｎの形成ピッチにして１０ピッチにした並列間隔αは、単に一例に過ぎず、隣接して発光している発光素子４１１〜ｎの光干渉を受けることのない距離であれば、他のどのような距離に並列間隔αを設定してもよく、本発明は上述した並列間隔αに限定されるものではないのはいうまでもない。
【００２３】
次に、この光素子検査装置の動作及び作用について説明する。まず、昇降機構９により、検査用ユニッ１とコンタクトユニット２とを待機位置まで下降させたうえで、リードフレーム４２に並列配置された発光素子４１１〜ｎをリードフレーム４２と共に光素子検査装置の所定位置にまで搬送して位置決め支持する。ここでいう所定位置とは、リードフレーム４２における一端側（図１では、左端側）の第１番目に配置された発光素子４１１のカソード端子４１ａおよびアノード端子４１ｂに対してコンタクトピン４１を構成する導電ピンのそれぞれが、図中上下方向に沿って対向する位置をいう。
【００２４】
このようにして、発光素子４１１〜ｎの位置決めが終了したのち、昇降機構９により、検査用ユニッ１とコンタクトユニット２とを検査位置まで上昇させる。すると、形成ピッチにして１０ピッチ互いに離間している発光素子４１１，４１１１，４１２１…のカソード端子４１ａおよびアノード端子４１ｂにコンタクトピン４１〜ｍが接触して両者は導通する。
【００２５】
このような導通状態になると、テスタ８によってコンタントピン４１〜ｍに検査用電流を供給して、発光素子４１１，４１１１，４１２１，…を発光させる。すると、発光素子４１１，４１１１，４１２１，…と対向する位置に配置された受光素子３１〜ｍによって発光素子４１１，４１１１，４１２１，…が検査される。このとき、隣接して発光している発光素子４１１，４１１１，４１２１，…の光干渉を受けない程度の距離に、各受光素子３１〜ｍの間隔が設定されている（具体的には、発光素子４１１〜ｎの形成ピッチにして１０ピッチ相当の距離）ので、隣接して発光している発光素子４１１，４１１１，４１２１，…の光を受光して、その検査精度を低下させるといったことはない。
【００２６】
発光素子４１１，４１１１，４１２１，…の検査が終了すると、昇降機構９により、検査用ユニッ１とコンタクトユニット２とを待機位置まで下降させる。そして、検査用ユニット１およびコンタクトユニット２を、パルスモータ７およびボードねじ６でもって発光素子４１１〜ｎの形成ピッチ１ピッチに対応した距離だけ並列方向β１，β２に沿って図中奥側に移動させる。この移動動作により、受光素子３１〜ｍおよびコンタクトピン４１〜ｍは発光素子４１２，４１１２，４１２２，…に対向する位置まで移動する。
【００２７】
そして、検査用ユニット１およびコンタクトユニット２の移動が終了したのち、昇降機構９により、検査用ユニッ１とコンタクトユニット２とを検査位置まで再度上昇させる。すると、各コンタクトピン４１〜ｍには、発光素子４１２，４１１２，４１２２…のカソード端子４１ａ及びアノード端子４１ｂが接触して両者は導通する。
【００２８】
このような導通状態になると、テスタ８によってコンタントピン４１〜ｍに検査用電流を供給して、発光素子４１２，４１１２，４１２２，…を発光させる。すると、発光素子４１２，４１１２，４１２２，…と対向する位置に配置された受光素子３１〜ｍによって発光素子４１２，４１１２，４１２２，…が検査される。
【００２９】
さらに、引き続き、以上と同様の検査動作を計１０回繰り返す（この検査回数は受光素子３１〜ｍの並列間隔を発光素子４１１〜ｎの形成ピッチの１０ピッチ相当の距離にしたことに起因して決定される）ことで、全ての発光素子４１１〜ｎの検査を行う。全ての発光素子４１１〜ｎに対する検査が終了したリードフレーム４２は搬送機構（図示省略）により、次の工程を行う分類機構部（図示省略）まで搬送される。
【００３０】
なお、本実施の形態では、受光素子３１〜ｍを検査用光素子として用いて、発光素子４１１〜ｎの検査を行ったが、反対に、発光素子を検査用素子として、検査用ユニット１に設けることで、受光素子の検査を行うように構成してもよく、この場合の検査動作も上述したのと同様に行うことができる。
【００３１】
第２の実施の形態
図２は本発明の第２の実施の形態である光素子検査装置の構成を示す概略斜視図である。この光素子検査装置は、第１の実施の形態と同様、発光素子４１１〜ｎを検査対象光素子としており、図２中において、図１または図４と同一ないし同様の部分（特に、発光素子４１１〜ｎに関する部分）には図１，図４と同一の符号を付し、発光素子４１１〜ｎについての詳細な説明は省略する。
【００３２】
光素子検査装置は、検査用ユニット２０と、コンタクトユニット２１とを備えている。検査用ユニット２０には検査用光素子である複数の受光素子２２１〜ｍが、一列にかつ所定の間隔を開けて配設されている。受光素子２２１〜ｍの並列間隔αは、第１の実施の形態と同様、発光素子４１１〜ｎの形成ピッチにして、１０ピッチ相当の距離が適当である。受光素子２２１〜ｍの並列間隔αをこのように設定する理由は第１の実施の形態で説明したのと同様であるので、その説明は省略する。
【００３３】
コンタクトユニット２１には、複数組のコンタクトピン２３１〜ｎが一列にかつ、発光素子４１１〜ｎの形成ピッチと同一の形成ピッチ毎に立設されている。各コンタクトピン２３１〜ｎは一対の導電ピンから構成されており、導電ピンそれぞれが、各発光素子４１１〜ｎのカソード端子４１ａおよびアノード端子４１ｂに接触するようになっている。
【００３４】
コンタクトユニット２１と検査用ユニット２０とは、コンタクトピン２３１〜ｎと受光素子２２１〜ｍとを一定の間隔（この間隔は発光素子４１１〜ｎの端子長さより若干長い）に離間したうえで、コンタクトピン並列方向γ１と受光素子並列方向γ２とを互いに平行にして配置されている。また、コンタクトピン２３１〜ｎと受光素子２２１〜ｍとは、その先頭位置（コンタクトピン２３１と受光素子２２１との位置）が一致するように配置されており、したがって、当初の配置位置では、コンタクトピン２３１，２３１１，２３２１，…と、受光素子２２１，２２１１，２２２１，…とは、並列方向γ１，γ２に直交する方向に沿って互いに対向して配置されている。
【００３５】
検査用ユニット２０は、検査用ユニット２０に螺合しているボールねじ２４およびボールねじ２４を回転駆動するパルスモータ２５によって、並列方向γ２に沿って往復直線移動されるようになっている。一方、コンタクトユニット２１は昇降機構２６により、図中、上下方向に沿って反復移動されるようになっている。
【００３６】
各コンタクトピン２３１〜ｎにはテスタ２７から検査用電流が供給されるようになっており、テスタ２７と各コンタクトピン２３１〜ｎとの間は、リレーボート２８が介装されている。リレーボード２８は、テスタ２７とコンタクトピン２３１〜ｎとの間のスイッチング制御を行うようになっている。
【００３７】
なお、この実施の形態においても、光素子検査装置を構成する各部品の動作が、制御手段として機能するマイクロ・コンピュータ（図示省略）によって統括的に制御されていることは勿論である。
【００３８】
次に、この光素子検査装置の動作及び作用について説明する。まず、昇降機構２６により、コンタクトユニット２１を待機位置まで下降させたうえで、リードフレーム４２に並列配置された発光素子４１１〜ｎをリードフレーム４２と共に光素子検査装置の所定位置にまで搬送して位置決め支持する。ここでいう所定位置とは、リードフレーム４２における一端側（図１では、左端側）の第１番目に配置された発光素子４１１のカソード端子４１ａ及びアノード端子４１ｂに対してコンタクトピン２３１を構成する導電ピンのそれぞれが、図中上下方向に沿って対向する位置をいう。
【００３９】
このようにして、発光素子４１１〜ｎの位置決めが終了したのち、昇降機構２６により、コンタクトユニット２１を検査位置まで上昇させる。すると、全ての発光素子４１１〜ｎのカソード端子４１ａ及びアノード端子４１ｂがコンタクトピン２３１〜ｎに接触して両者は導通する。このような導通状態になると、まず、リレーボード２８により、コンタクトピン２３１を先頭にして、受光素子２２１〜ｍの形成ピッチ毎のコンタクトピン２３１，２３１１，２３２１，…をテスタ２７に接続するようにスイッチング制御する。
【００４０】
この状態で、テスタ４９から検査用電流をコンタクトピン２３１，２３１１，２３２１，…に供給し、発光素子４１１，４１１１，４１２１，…を発光させる。すると、発光素子４１１，４１１１，４１２１，…と対向して配置された受光素子２２１〜ｍによって発光素子４１１，４１１１，４１２１，…が検査される。このとき、隣接して発光している発光素子４１１，４１１１，４１２１，…の光干渉を受けない程度に、各受光素子２２１〜ｍの間隔が設定されている（具体的には、発光素子４１１〜ｎの形成ピッチにして１０ピッチに相当する距離）ので、隣接して発光している発光素子４１１，４１１１，４１２１，…の光を受光素子２２１〜ｍが受光して、その検査精度を低下させるといったことはない。
【００４１】
発光素子４１１，４１１１，４１２１，…の検査が終了すると、パルスモータ２５およびボードねじ２４でもって、発光素子４１１〜ｎの形成ピッチ１ピッチに対応した距離だけ並列方向γ２に沿って検査用ユニット２０を図中奥側に移動させる。この移動動作により、受光素子２２１〜ｍは並列方向γ２に直交する方向に沿って発光素子４１２，４１１２，４１２２，…と対向する位置まで移動する。
【００４２】
検査用ユニット２０の移動が終了したのち、リレーボード２８により、コンタクトピン２３２を先頭にして、受光素子２２１〜ｍの形成ピッチ毎のコンタクトピン２３２，２３１２，２３２２，，…をテスタ２７に接続するようにスイッチング制御する。そして、この状態で、テスタ２７からコンタントピン２３２，２３１２，２３２２，…に検査用電流を供給して、発光素子４１２，４１１２，４１２２，…を発光させる。すると、発光素子４１２，４１１２，４１２２，…と対向する位置に配置された受光素子３１〜ｍによって発光素子４１２，４１１２，４１２２，…が検査される。
【００４３】
さらに、引き続き、上述したのと同様の検査動作を計１０回繰り返す（この検査回数は受光素子２２１〜ｍの並列間隔を発光素子４１１〜ｎの形成ピッチの１０ピッチにしたことに起因して決定される）ことで、全ての発光素子４１１〜ｎの検査を行う。全ての発光素子４１１〜ｎに対する検査が終了したリードフレーム４２は搬送機構（図示省略）により、次の工程を行う分類機構部（図示省略）まで搬送される。
【００４４】
以上のようにして、発光素子４１１〜ｎの検査を行うのであるが、その大まかな検査手順は図３を示した通りである。なお、図３では、第２の実施の形態の検査手順を示したが、図３の検査手順において、手順中程にある「ｎ回目の検査素子位置のリレー駆動」の操作を除けば、第１の実施の形態の検査手順となる。
【００４５】
なお、本実施の形態においても、受光素子２２１〜ｍを検査用光素子として用いて、発光素子４１１〜ｎの検査を行ったが、反対に、発光素子を検査用素子として、検査用ユニット２０に設けることで、受光素子の検査を行うように構成してもよく、この場合の検査動作も上述したのと同様に行うことができるのはいうまでもない。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、一度に複数の光素子を、しかも、互いに光干渉を起こすことなく、検査することが可能となった。そのため、検査精度を落とすことなく、検査速度を速めることが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる光素子検査装置の構成を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態にかかる光素子検査装置の構成を示す概略斜視図である。
【図３】第２の実施の形態にかかる光素子検査装置を用いた光素子（発光素子）の検査手順を示す図である。
【図４】従来例の光素子検査装置の構成を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
１              検査用ユニット                          ２              コンタクトユニット
３１〜ｍ        受光素子                                      ４１〜ｍ        コンタクトピン
２１            コンタクトユニット            ２２１〜ｍ        受光素子
２３１〜ｎ      コンタクトピン
【図１】
0003614574.tif 000002
【図２】
0003614574.tif 000003
【図３】
0003614574.tif 000004
【図４】
0003614574.tif 000005