(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端にヘッドスライダを支持するためのシート状のヘッドスライダ支持体であって、
前記ヘッドスライダを固定するためのヘッドスライダ固定部と、
前記ヘッドスライダ固定部の幅より狭く、前記ヘッドスライダ支持体の長手方向の中心線上を通って前記ヘッドスライダ固定部よりさらに先端側に延びる第一の梁部と、前記ヘッドスライダ固定部の幅より狭く、前記第一の梁部より両側に別れて延在し前記ヘッドスライダ固定部の両側を通り前記ヘッドスライダ支持体の本体部にそれぞれ連結する第二及び第三の梁部とから構成された梁部と、
前記ヘッドスライダ固定部の先端側に形成され、前記ヘッドスライダ支持体の幅方向に沿って一列に、且つ、前記ヘッドスライダ支持体の長手方向の中心線に対して対称に配列されてなる複数の端子部と、
前記ヘッドスライダが搭載される側に形成され、前記複数の端子部から前記ヘッドスライダ支持体の長手方向の中心線に対して対称に前記梁部を通り、前記ヘッドスライダ支持体の本体部に延びる複数の配線パターンとを有し、
前記ヘッドスライダ固定部及び前記第一、第二及び第三の梁部は、前記ヘッドスライダ支持体の長手方向の中心線に対して対称に形成されてなることを特徴とするヘッドスライダ支持体。
【請求項２】
前記ヘッドスライダ固定部の端子部は４個であることを特徴とする請求項１記載のヘッドスライダ支持体。
【請求項３】
前記配線パターンは４本であり、２本が前記第二の梁部を経由し、残り２本が第三の梁部を経由してなることを特徴とする請求項１又は２記載のヘッドスライダ支持体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は磁気ディスク装置内の磁気ヘッド支持機構の一部を構成するヘッドスライダ支持体に関する。
【０００２】
磁気ヘッドを搭載した磁気ヘッドスライダはロードビームの先端に取り付けられ、記録再生時には磁気ディスクに対して浮上した状態とされる。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置の信頼性の一種であるＨＤＩ（Ｈｅａｄ  Ｄｉｓｃ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）特性の向上が求められている。
【０００４】
このためには、磁気ヘッドスライダを小型化することや、該スライダを磁気ディスクの方向に付勢するためのバネ荷重を軽減することが有効である。
【０００５】
磁気ヘッドスライダを小型化すると、以下の事柄が発生する。
【０００６】
▲１▼スライダの小型化に伴い、それを保持する支持バネのサイズも小さくしなくてはならない。これは、ディスクのうねりに対するヘッドの追従特性を維持し、ひいてはヘッドの浮上安定性を維持するためである。
【０００７】
バネ荷重を軽減すると、以下の事項が発生する。
【０００８】
▲２▼バネ荷重の軽減によりヘッドの浮上剛性が低下する。
【０００９】
また、スライダや支持バネ等の部品が小さくなることにより、組立誤差が大きくなる。
【００１０】
このため、磁気ヘッド支持機構の一部をなして磁気ヘッドスライダを支持するヘッドスライダ支持体は、磁気ヘッドスライダの浮上の安定性を十分に保証しうる構成であることが必要とされる。
【００１１】
【従来の技術】
一般には、磁気ヘッド支持機構は、ロードビーム、ロードビームに固定したジンバル、このジンバルに固定された磁気ヘッドスライダからなる構成である。
【００１２】
この構成では、部品サイズの縮小化に伴い、組立（位置合せ）が困難となる。組立誤差があると、磁気ヘッドスライダがアンバランス浮上（斜めに傾いて浮上すること）してしまう。これにより、浮上ヘッドの信頼性が損なわれるだけでなくＲ／Ｗ特性にも悪影響を与え、ひいては磁気ディスク装置の信頼性の低下をきたしてしまう。
【００１３】
そこで、ヘッド支持機構の組立（位置合わせ）精度不良によるスライダのアンバランス浮上の要因をなくすため、支持バネ（従来のロードビームとジンバル）を一体化し、組立を不要にした構成が、特開平３−１８９９７６号公報に示されている。
【００１４】
図３３は上記公報に示されている磁気ヘッド支持機構１を示す。
【００１５】
２は磁気ディスク、３はアクチュエータ部、４はロードビーム（フレクシャともいう）である。
【００１６】
５はジンバル部であり、ロードビーム４に略コ字状の開口（貫通孔）６，７を形成することにより、ロードビーム４自体に残置形成してある。
【００１７】
ジンバル部５は、ロードビーム４を横切る方向に延出する両持ち状の梁８と、この梁８の中央より両側に舌状に張り出している舌部９，１０とよりなる。
【００１８】
磁気ヘッドスライダ１１の背面はロードビームの幅方向に溝加工されており、舌部９，１０にまたがって固定してある。
【００１９】
磁気ヘッドスライダ１１は、梁８のねじれを伴って、矢印１２で示すようにピッチング方向に回動し、梁８の曲がりを伴って、矢印１３で示すようにローリング方向に回動する。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
小型の磁気ヘッドスライダの浮上の安定性を確保するには、ジンバル部の回転剛性を低くする必要がある。
【００２１】
また、ロードビーム４は剛性を必要とするため、ロードビーム４の厚さｔを薄くすることはできない。
【００２２】
ロードビーム４の厚さｔを薄くせずに、上記構造のジンバル部５の回転剛性を低くするには、梁８の長さｌを長くせざるを得ない。
【００２３】
梁８の長さｌを長くすると、以下の問題点が生ずる。
【００２４】
▲１▼  梁８の曲げ及び捩じれの振動の共振点が大幅に下がってしまう。これにより、磁気ヘッドスライダ１１の浮上量が変動し易くなる。
【００２５】
▲２▼  ロードビーム４の幅Ｗが広くなり、ロードビーム４自体の振動の共振点が下がってしまう。これにより、磁気ヘッドスライダ１１の浮上が不安定となり易くなる。
【００２６】
即ち、従来のロードビーム、ジンバルを一体化した支持バネ構造の場合、ジンバル部の共振点を落とさず、回転剛性だけを小さくする構造を実現するのは非常に困難であった。
【００２７】
また、スライダの小型化やバネ荷重の軽減に伴う浮上剛性の低下により、ヘッドにつながっているリード線の剛性の影響が無視できなくなってくる。つまり、リード線の剛性がスライダに及ぼす影響により、剛性のかかり方次第ではスライダが傾いて浮上する。特に再生用ヘッドに磁気抵抗効果型ヘッド（ＭＲヘッド）を用いた場合、記録用のインダクティブ型ヘッドと組合わされるために記録／再生兼用のヘッドの２倍の４本のリード線が必要となり、余計にリード線の剛性の影響を受けやすくなる。これにより、浮上ヘッドの信頼性が損なわれるだけでなくＲ／Ｗ特性にも悪影響を与え、磁気ディスク装置の信頼性の低下をきたす。
【００２８】
そこで、本発明は、磁気ヘッドスライダの浮上の安定性の向上を実現したヘッドスライダ支持体を提供することを目的とする。
【００２９】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、先端にヘッドスライダを支持するためのシート状のヘッドスライダ支持体であって、
前記ヘッドスライダを固定するためのヘッドスライダ固定部と、
前記ヘッドスライダ固定部の幅より狭く、前記ヘッドスライダ支持体の長手方向の中心線上を通って前記ヘッドスライダ固定部よりさらに先端側に延びる第一の梁部と、前記ヘッドスライダ固定部の幅より狭く、前記第一の梁部より両側に別れて延在し前記ヘッドスライダ固定部の両側を通り前記ヘッドスライダ支持体の本体部にそれぞれ連結する第二及び第三の梁部とから構成された梁部と、
前記ヘッドスライダ固定部の先端側に形成され、前記ヘッドスライダ支持体の幅方向に沿って一列に、且つ、前記ヘッドスライダ支持体の長手方向の中心線に対して対称に配列されてなる複数の端子部と、
前記ヘッドスライダが搭載される側に形成され、前記複数の端子部から前記ヘッドスライダ支持体の長手方向の中心線に対して対称に前記梁部を通り、前記ヘッドスライダ支持体の本体部に延びる複数の配線パターンとを有し、
前記ヘッドスライダ固定部及び前記第一、第二及び第三の梁部は、前記ヘッドスライダ支持体の長手方向の中心線に対して対称に形成されてなる構成としたものである。
請求項２の発明は、請求項１載のヘッドスライダ支持体において、前記ヘッドスライダ固定部の端子部は４個である構成としたものである。
請求項３の発明は、請求項１または２記載のヘッドスライダ支持体において、前記配線パターンは４本であり、２本が前記第二の梁部を経由し、残り２本が第三の梁部を経由してなる構成としたものである。
【００３４】
【作用】
請求項１において、第１、第２の梁部及び第３の梁部が共に磁気ヘッド支持体の長手方向に延在する構成は、ロードビームの幅が狭いにも拘わらずロードビーム自体にジンバル部を形成することを可能とし、上記ロードビームの幅が狭い構成は、磁気ヘッドスライダが固定されたロードビームの共振点を高く保つように作用する。配線パターンをロードビームに設けた構成は、ロードビームの機械的特性が損なわれないように作用する。
【００４２】
【実施例】
〔第１実施例〕
図１は、磁気ヘッド支持機構２０を表裏反転した状態で示す。磁気ヘッド支持機構２０は本発明の第１実施例になるロードビーム２１を有する。
【００４３】
この磁気ヘッド支持機構２０を、３．５インチタイプの磁気ディスク装置２２０に適用した例を図２に示す。
【００４４】
磁気ディスク装置２２０は、エンクロージャ２２１内に、径が３．５インチの磁気ディスク２２２、及びヘッド位置決め用アクチュエータ２２３等が組込まれた構造を有する。
【００４５】
２１はステンレス製のロードビームであり、アクチュエータのアーム部２２に固定してある。
【００４６】
ロードビーム２１の基部側はＲ曲げされている弾性部２３であり、弾性部２３より先端側が剛性部２４である。弾性部２３が後述する磁気ヘッドスライダ３５に、磁気ディスク２２１に当接する方向の荷重を付与する。このロードビームの厚みは、全体が均一でかつ汎用の３３８０タイプ（ＩＢＭ）のヘッド支持機構のロードビームの約１／３、例えば２５μｍ程度である。
【００４７】
ここで、ロードビーム２１の幅Ｗ1 は、出来るだけ小としてある（４ｍｍ以下が望ましい）。その理由は、ロードビーム２１の振動の共振点を不要に低下させないためである。
【００４８】
２５はジンバル部であり、ロードビーム２１自体に形成してある。
【００４９】
ジンバル部２５は、ロードビーム２１に、一対のコ字形状開口２６，２７を、ロードビーム２１の長手方向上向き合う配置で形成し、且つ、ロードビーム２１の両側に沿ってスリット状の開口２８，２９を形成することにより残置形成してある。
【００５０】
ジンバル部２５は、磁気ヘッドスライダ固定部３０と、一対の第１の梁部３１，３２と、一対の第２の梁部３３，３４とを有する。
【００５１】
磁気ヘッドスライダ固定部３０は、磁気ヘッドスライダ３５を固定するのに十分な程度の大きさ、例えば、磁気ヘッドスライダ３５の平面外形寸法（ａ＝２ｍｍ、ｂ＝１．６ｍｍ）と対応する寸法ａ×ｂを有する。但し、接着強度があれば、これ以下の寸法でも何ら差し支えない。
【００５２】
磁気ヘッドスライダ３５は、軽荷重構造のスライダ、例えば本出願人による特開平４−２２８１５７号に示されたスライダを使用するのが望ましい。このスライダの浮上面と反対側の背面は平坦面となっており、その背面を前記固定部３０に接着剤により接着固定する。この場合、スライダと固定部の各中心を一致させる。
【００５３】
第１の梁部３１，３２は、上記固定部３０の中心（スライダの中心でもある）３６を通り、ロードビーム長手方向中心線３７に直交して固定部３０を横切る線３８（ロードビーム幅方向線）に沿って、固定部３０の両側より外方に延出している。
【００５４】
第１の梁部３１，３２の長さは、ｌ１である。
【００５５】
第２の梁部３３，３４は夫々上記第１の梁部３１，３２の先端より、第１の梁部３１，３２と直交して両側に、上記線３７と平行に延出しており、先端側は、点４０，４１，４２，４３で、ロードビーム２１のうちジンバル部２５の周囲の部分と連結してある。なお、見方を変えれば、第２の梁部３３，３４は、ロードビーム２１のうちジンバル部２５の周囲の部分４０〜４３より延出している。
【００５６】
この第２の梁部３３，３４は、両持ち梁状であり、第１の梁部３１，３２の先端がつながっている中央部から両端までの長さは、ｌ２である。
【００５７】
第２の梁部３３と第１の梁部３１とが、Ｔ字状梁３９Ａを構成する。同じく、第２の梁部３４と第１の梁部３２とが、Ｔ字状梁３９Ｂを構成する。そして全体ではＨ字状梁を構成する。
【００５８】
固定部３０、第１の梁部３１，３２及び第２の梁部３３，３４は、共にロードビーム２１の一部によって形成してある。
【００５９】
ここで、上記第１の梁部３１，３２の長さｌ１はロードビーム２１の幅Ｗ１により制約を受ける。ここで、幅Ｗ１を大きくすると、ロードビーム２１の曲げやねじり共振点が下がり、スライダの浮上特性を悪化させてしまうため、幅Ｗ１を大きくすることはできない。しかし、本実施例では、第２の梁部３３，３４の長さ２×ｌ２は、ロードビーム２１の幅Ｗ１による制約を受けず、長くできる。
【００６０】
そこで、第２の梁部３３，３４は長く形成してあり、寸法ｌ２とｌ１との関係は、ｌ２＞ｌ１となっている。
【００６１】
上記Ｔ字は、脚部の長さに比べて、腕部の長さの長い偏平な形状となっている。
【００６２】
回転中の磁気ディスクにうねりが発生したり、ゴミが付着した場合を考えると、磁気ヘッドスライダ３５は、Ｔ字状をなす第１の梁部３１，３２及び第２の梁部３３，３４の撓みを伴って矢印４４で示すようにピッチング方向に回動する。この時、ジンバルの第１の梁部３１，３２はねじりの変形を伴い、さらに第２の梁部３３，３４は曲の変形を伴う。
【００６３】
又矢印４５で示すようにローリング方向にも回動する。この時ジンバルの第１の梁部３１，３２はお互いに逆向きに曲げの変形を伴い、さらに第２の梁部３３，３４はこれも又、逆向きに曲げの変形を伴う。
【００６４】
一次曲げの共振モードを図３に示す。ロードビーム根元部の弾性部での変形が見られると同時にジンバル部の第１の梁部３１，３２、第２の梁部３３，３４が共に同じ方向の曲げの変形を伴って変形しているのがわかる。
【００６５】
一次ねじりの共振モードを図４に示す。ロードビーム根元部の弾性部では左右の高さが異なってねじられて変形している。ジンバル部は、図の右側の梁は上側に凸になるように変形しており、その反対側の梁は、下側に凸になるように変形し、ねじりモードを示している。ここで例えば上記寸法ｌ２とｌ１との関係をｌ２／ｌ１が３〜４倍に設計すると、スライダのピッチング、ローリングの両方向の回転剛性は同じ程度に十分軟くなる。
【００６６】
磁気ヘッドスライダ３５には、磁気ディスク２２１に対する相対的走査方向４６上、後側の端面４７に、再生用のＭＲヘッドと記録用のインダクティブ型ヘッドとを一体化した複合型の磁気ヘッド４８、及び４つの端子部１００Ａ〜１００Ｄが形成してある。
【００６７】
図５及び図６に示すように、直径が３０μｍのリード線１５Ａ〜１５Ｄの一端が上記端子部１００Ａ〜１００Ｄに接続してある。
【００６８】
端子部１００Ａ〜１００Ｄに接続された４本のリード線１５Ａ〜１５Ｄは、磁気ヘッドスライダ３５が固定されている側とは反対側に引き回され、最初に、上記固定部３０の中心３６の個所で、接着剤１６により固定されている。
【００６９】
その後、リード線１５Ａ〜１５Ｄは、ロードビーム２１の長手方向中心線３７に沿ってロードビーム２１の基部側に向かって延在し、ロードビーム２１上二個所で接着剤１６により固定されている。
【００７０】
１７−１は第１の固定点、１７−２は第２の固定点、１７−３は第３の固定点である。
【００７１】
第１の固定点１７−１は磁気ヘッドスライダ３５と一体に動くため、端子部１００Ａ〜１００Ｄから引き出されて第１の固定点１７−１に到る間のリード線の剛性は考慮する必要がなく、リード線に余長は実質上不要であり、特別に余長は設けていない。
【００７２】
また、第１の固定点１７−１から第２の固定点１７−２までの距離は長く、この部分のリード線の剛性がジンバルの回転剛性に影響を与えることは殆ど無い。
【００７３】
上記構成の磁気ヘッド支持機構２０は、以下に挙げる特長を有する。
【００７４】
▲１▼  特に、Ｔ字形状の梁部を有し、その梁形状の特性により、ジンバル部２５の回転剛性は相当に小さい。
【００７５】
▲２▼  ジンバル部２５は４個所４０〜４３で支持されているため、第２の梁部３３，３４が長くても、ジンバル部２５の振動の共振点は高い。
【００７６】
▲３▼  ロードビーム２１の先端の幅Ｗ１を小さくすることができるため、ロードビーム２１の振動の共振点は高い。
【００７７】
▲４▼  上記▲１▼，▲２▼，▲３▼により、磁気ヘッドスライダ３５の浮上安定性が良い。
【００７８】
▲５▼  第１の梁部３１，３２の長さｌ１が短く、同一平面内に形成されているため、コンタクトスタートストップ時に受ける力に対する強度が強く、第１の梁部３１，３２は剪断破壊しにくい。
【００７９】
▲６▼  リード線１５Ａ〜１５Ｄの剛性が、ジンバル部２５の回転剛性に影響を及ぼさない。
【００８０】
上記のように、ジンバル部２５がスライダ固定部の中心に対して対称に１対のＴ字型の梁（全体Ｈ字型の梁）を有する一体型ジンバル構造であることにより、低回転剛性及び高共振点を実現する。具体的には回転剛性は例えば前述した３３８０タイプのヘッド支持機構の約１／３以下になるが、共振点は同ヘッド支持機構と同程度となる。
【００８１】
このことにより、小型で浮上剛性の低いスライダを搭載する場合でも、このスライダを安定に浮上させることを可能にする。
【００８２】
【表１】
0003667354.tif 000002
【００８３】
【表２】
0003667354.tif 000003
表１，表２は２ｍｍの長さのスライダを搭載した本実施例のヘッド支持機構と、従来から用いられている３３８０タイプのヘッド支持機構（３．２ｍｍの長さのスライダを搭載）との特性比較を示す。
【００８４】
等価質量比（支持バネ等価質量／スライダ質量）を合わせるため、本実施例の支持機構の全長は短く（１０ｍｍ）されており、３３８０タイプのほぼ１／２以下となっている。また、ロードビームの厚み（２５μｍ）は３３８０タイプのほぼ１／３である。
【００８５】
表１は本実施例におけるジンバル部のピッチとロール剛性、ロードビームの上下剛性と、３３８０タイプのジンバルのピッチ剛性とロール剛性、ロードビームの上下剛性をコンピュータによりシミュレーションした比較データを示す。
【００８６】
この表からジンバル部の溝の幅、長さを最適に設計することにより、従来の３３８０タイプのジンバルの１／３以下の回転剛性が得られることがわかる。
【００８７】
又、表２は両者の共振周波数の比較をコンピュータでシミュレーション化したもので、類似したデータが得られている。
【００８８】
このように本実施例の磁気ヘッド支持機構は低剛性でかつ高共振周波数を持つ特性が得られていることがわかる。
【００８９】
次に、他の実施例について説明するに、各図中、図１に示す構成部分と対応する部分には同一符号を付す。
〔第２実施例〕
図７の磁気ヘッド支持機構５０は、ジンバル部５１を有する。
【００９０】
ジンバル部５１は、図１のジンバル部２５を、中心３６に関して９０度回転した向きとしたものである。
【００９１】
Ｔ字状梁５２，５３が、ロードビーム２１の長手方向に並んでいる。
〔第３実施例〕
図８の磁気ヘッド支持機構６０は、ジンバル部６１を有する。
【００９２】
第２の梁部３３Ａ，３４Ａの第１の梁部３１，３２に対する角度αを鋭角としてある。
【００９３】
これにより、ロードビーム２１の幅Ｗ１を大きくせずに、第２の梁部３３Ａ，３４Ａの長さ２×ｌ２ａは、図１の第２の梁部３３，３４の長さ２×ｌ２より長い。
【００９４】
また、ロードビーム部の先端の幅が狭くできる。
【００９５】
これにより、ジンバル部６１の回転剛性は、図１のジンバル部２５に比べて低い。
【００９６】
従って、磁気ヘッドスライダ３５は、図１の装置に比べて、より安定に浮上する。
〔第４実施例〕
図９の磁気ヘッド支持機構７０は、ジンバル部７１を有する。
【００９７】
磁気ヘッドスライダ３５Ａは、両側に鍔部７２，７３を有する。
【００９８】
ジンバル部７１の磁気ヘッドスライダ固定部３０Ａは、磁気ヘッドスライダ３５Ａに対応する大きさの開口７４を有し、枠形状である。７６は枠部である。
【００９９】
磁気ヘッドスライダ３５Ａは、図９に示すように、開口７４に嵌合されて、且つ鍔部７２，７３を枠部７６に接着されて（７５は接着部を示す）、固定部３０Ａに固定してある。
【０１００】
磁気ヘッドスライダ３５Ａの重心Ｇは、図１０に示すように高さ方向上、大略ロードビーム２１の面上に位置している。
【０１０１】
このため、シーク時に、磁気ヘッドスライダ３５Ａは重心Ｇの位置に力を加えられて動かされる。このため、磁気ヘッドスライダ３５Ａに重心Ｇ回りの不要な回動力は発生せず、即ち、磁気ヘッドスライダ３５Ａのマスアンバランスが小さくなり、シーク動作時などにおいて磁気ヘッドスライダ３５Ａの安定な浮上を保つ。
【０１０２】
また、磁気ヘッド組立体の高さ寸法が小さくなる。これにより、磁気ディスクの積層間隔が小さくでき、単位高さあたりにより多くのディスクを実装できるため、装置の体積記憶密度ひいては記憶容量を増大できる。
〔第５実施例〕
図１１の磁気ヘッド支持機構８０において、磁気ヘッドスライダ３５Ｂは、全周に亘って鍔部８１を有する。
【０１０３】
この磁気ヘッドスライダ３５Ｂは、開口７４に嵌合させて、且つ鍔部８１を磁気ヘッドスライダ固定部３０Ａに接着されて固定してある。
【０１０４】
即ち、前記の第４実施例と異なり、磁気ヘッドスライダ３５Ｂは、全周を固定部３０Ａに接着固定してある。このため、接着力が増し、信頼性が向上する。
〔第６実施例〕
図１２は磁気ヘッド支持機構９０を示す。
【０１０５】
図１３に併せて示すように、この機構９０は、低浮上剛性のスライダの浮上に影響を与えるリード線の剛性の影響を無くするようにしたものである。例えば、４本のリード線がスライダとロードビームとの間に接続されている場合（図５参照）で、各リード線の直径が３０μｍ、リード線余長部（自由長）が１ｍｍとすると、ジンバル部の回転剛性はリード線が配線されていない場合に比べ約５倍となり、これはスライダの浮上安定性を損なうものである。
【０１０６】
９１，９２，９３，９４は、例えばメッキで形成された銅薄膜をフォトリソグラフィーによりパターニングした銅製の配線パターンであり、ロードビーム２１の下面の中央をロードビーム２１の長手方向に延在しており、厚さは約５μｍ、幅は約５０μｍである。この厚み及び幅は導体パターンの抵抗値及びロードビームの容量により決定される。
【０１０７】
９５Ａ〜９５Ｄは銅製の端子部であり、ロードビーム２１の基部側に設けてある。
【０１０８】
９６Ａ〜９６Ｄは銅製の端子部であり、ジンバル部２５の磁気ヘッドスライダ固定部３０の端部３０ａに設けてある。
【０１０９】
端子部９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄには、例えばＡｕメッキが施されており、Ｃｕの露出を防ぐと共に、ボンディング特性を上げている。
【０１１０】
配線パターン９１，９２，９３，９４の一端は、夫々端子部９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃ，９５Ｄにまで延在している。
【０１１１】
４本の配線パターン９１〜９４のうちの半分の２本の配線パターン９１，９２の他端側は、第２の梁部３３Ａ、第１の梁部３１に沿って延在しており、端子９６Ａ，９６Ｂに到っている。
【０１１２】
残りの２本の配線パターン９３，９４の他端側は、第２の梁部３４Ａ、第１の梁部３２に沿って延在しており、端子９６Ｃ，９６Ｄに到っている。
【０１１３】
配線パターン９１，９２，９３，９４は、図１４に示すように、ロードビーム２１に対しては、絶縁膜９７により絶縁されており、且つ表面を保護膜９８で覆われている。
【０１１４】
絶縁膜９７及び保護膜９８は、共に、感光性ポリイミド製であり、コーティングにより成膜され厚さは約５μｍ程度で十分である。この絶縁膜９７及び保護膜９８はフォトリソグラフィー技術によってパターニングされている。この絶縁膜の厚みは導体パターン（Ｃｕ製）とロードビーム（Ａｌ製）間の容量によって決定される。
【０１１５】
ポリイミドは後述する焼鈍に耐えうる耐熱性を有する。また、ポリイミドは、感光性を有するものである故、パターニングが容易である。更に、ポリイミド膜９７，９８は耐食性を有するため非常に信頼性が高い。
【０１１６】
各端子部９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄは、保護膜９８で覆われていず腐食し易い。そこで、腐食を防止するため、各端子９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄの表面は、メッキまたは蒸着により成膜された約１μｍの厚さのＡｕ製の膜（図示せず）により覆われている。
【０１１７】
図１５に示すように、磁気ヘッドスライダ３５は、固定部３０に接着剤により接着固定してあり、上記端子部９６Ａ〜９６Ｄと磁気ヘッドスライダ３５の端面４７上に形成された磁気ヘッド４８の端子部１００Ａ〜１００Ｄとが、９０°の角度をもって配設されており、夫々Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄによって接続されている。
【０１１８】
Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄは、例えば金ボールボンダ装置により形成される。
【０１１９】
また端子部９６Ａ〜９６Ｄと端子部１００Ａ〜１００ＤとはＡｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄで接続され易いように、図１５に示すように位置している。
【０１２０】
Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄが圧接し易いように、端子部１００Ａ〜１００Ｄは、ヘッドスライダ３５の高さ方向に細長の形状を有し、且つ、ヘッドスライダ３５と固定部３０に固定した状態で、端子部９６Ａ〜９６Ｄに対向するように配置してある。
【０１２１】
なお、配線パターン９１〜９４についてみると、ロードビームをアーム部２２に螺子止めする時に使用する固定用孔１０２Ｃと治具取付け用孔１０２Ｂ，１０２Ｂとをそれぞれ迂回しながらヘッドスライダ３５のきわまで延在している。
【０１２２】
図１２及び図１３中、１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄは、ダミーパターンであり、配線パターン９１〜９４のうち、治具取付け用孔１０２Ａ，１０２Ｂの外周に形成されている迂回部分と対称に形成してある。
【０１２３】
このダミーパターン１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄの部分にも配線パターン９１〜９４の部分と同じく、絶縁膜９７及び保護膜９８が設けてある。
【０１２４】
このダミーパターン１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄは、ロードビーム２１の幅方向上の機械的強度のバランスをとるために設けてある。
【０１２５】
１０６，１０７は補助膜であり、ロードビーム２１の左右端に沿って帯状に形成してある。
【０１２６】
この補助膜１０６，１０７は、後述する曲げ加工時に、ロードビーム２１をクランプするときに、クランプ力をこの部分と配線パターン９１〜９４の部分とで受けるようにするために設けてある。即ち、クランプ力が配線パターン９１〜９４の部分にだけかかって、配線パターン９１〜９４を傷めてしまうことのないように設けてある。
【０１２７】
図１２及び図１３中、１０８は凸状パターンであり、スライダを接着するときの接着剤が固定部外に流出しないようにする機能と、その接着の際にスライダが配線パターンの厚みによって傾かないようにする、つまり上記ダミーパターンと同様な機能をもたすために設けてあり、該配線パターンと同じメッキ銅薄膜により構成される。この凸状パターン１０８上にも保護膜９８が設けられている。なお、接着剤は配線パターンと凸状パターンとの間の段差部上に塗布される。
【０１２８】
上記のロードビーム２１は、図１６に示す工程によって製造される。
【０１２９】
まず、パターン形成工程１１０を行う。
【０１３０】
ここでは、ステンレス板上に、感光性ポリイミドを塗布し、フォトリソグラフィ技術によって絶縁膜９７を形成し、その上にメッキ等により銅薄膜を形成し、この銅薄膜をフォトリソグラフィ技術によって例えば銅製の配線パターン９１〜９４を形成し、更には、再び感光性ポリイミドを塗布し、フォトリソグラフィ技術によって保護膜９８及び補助膜１０６，１０７を形成する。Ｃｕ膜は、メッキ法のほかに蒸着によって形成することも可能である。ポリイミドは、塗布によるスピンコートで形成した後、パターニングし、エッチングする。絶縁膜とＣｕ膜、Ｃｕ膜と保護膜との間には密着性、信頼性を向上させるためにＣｒ膜等の薄膜を介在させることも可能である。
【０１３１】
次に、エッチング工程１１１を行い、ステンレス板に開口２６〜２９及び孔１０２Ａ〜１０２Ｃをあけ、ジンバル部２５とロードビーム２１の外形を形成する。
【０１３２】
以上の結果、図１７に示すように、ステンレス板２０１上に、打ち抜き前のロードビーム２０２がマトリクス状に並んだ状態となる。
【０１３３】
次に曲げ工程１１２を行い、ステンレス板の両側を曲げて、リブ２１ａを形成する。この作業はプレスで行い、ステンレス板ごとにまとめて行うこともできる。
【０１３４】
最後に、焼鈍工程１１３を行い、約４００℃に加熱して、内部応力を除く。
【０１３５】
更に、スライダ接着と、Ａｕボンディングもこの状態で行うことにより、完全自動化が可能で、工程、コストとも大幅に低減できる。
【０１３６】
ロードビーム２１は焼鈍工程がなくても製造しうる。
【０１３７】
この場合には、図１８に示すように、パターン形成工程１１０及びエッチング工程１１１を行った後、この状態でスライダ接着と、Ａｕボンディングを行い、その後に曲げ工程１１２を行ってリブ２１ａを形成する。
【０１３８】
なお、図１９に示すように磁気ヘッドとして記録／再生兼用のインダクティブ型ヘッド４８Ａ，４８Ｂを使用した場合、磁気ヘッドスライダ３５は二つの端子部１００Ａ，１００Ｂを有する。ジンバル部２５についてみると、２本の配線パターン９１Ａ，９２Ａはジンバル部の片側の梁部３２，３４Ａにだけ延在するように設けられ、反対側のもう一方の梁部３１，３３Ａには２本のダミーパターン２１０，２１１が形成されて、ジンバル部の左右の機械的強度のバランスをとるように構成される。
【０１３９】
上記構成の磁気ヘッド支持機構９０は以下に挙げる特長を有する。
【０１４０】
▲１▼  ロードビーム２１上に直接配設パターン９１〜９４が形成してあるため、リード線の引き廻しが無く、ロードビーム２１にリード線を通すためのチューブが固着されていず、リード線及びチューブの剛性によるアンバランス力がスライダに働くことが完全に無くなっている。従って、磁気ヘッドスライダ３５の浮上は安定する。
【０１４１】
▲２▼  ダミーパターン１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄを設けたことにより、ロードビーム２１の回転剛性は方向性を有しない。これにより、磁気ヘッドスライダ３５の浮上は安定する。
【０１４２】
▲３▼  Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄを使用した圧着接続は、組立の自動化を可能とする。
【０１４３】
なお、前記各実施例において、梁部は曲線状でもよい。
【０１４４】
さて次に、より小型の磁気ディスク装置に適用して有効なヘッド支持機構の実施例について述べる。
〔第７実施例〕
図２０は磁気ヘッド支持機構２３０を表裏反転した状態を示す。磁気ヘッド支持機構２３０は本発明の第７実施例になるロードビーム２３５を有する。この磁気ヘッド支持機構２３０を、１．８インチタイプの磁気ディスク装置２３１に適用した例を図２１に示す。
【０１４５】
磁気ディスク装置２３１は、ＩＣメモリカードと外形寸法同一のエンクロージャ２３２内に、１枚の径が１．８インチの磁気ディスク２３３、及び２組の磁気ヘッド支持機構を取付けたヘッド位置決め用アクチュエータ２３４等が組込まれた構造を有し、図２の磁気ディスク装置２２０に比べて相当に小型である。
【０１４６】
磁気ディスク装置２３１の小型化に伴って、磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、小型となっており、その平面外形寸法ａ×ｂが１．０ｍｍ×０．８ｍｍと、図１の磁気ヘッドスライダ３５の体積で約１／４と小さい。
【０１４７】
このように、磁気ヘッドスライダ３５Ｃが小サイズとなると、これを安定に浮上させるには、磁気ヘッド支持機構は、図１の磁気ヘッド支持機構３０に比べて、共振周波数は低下せずに、剛性が相当に小さい特性を有することが必要とされる。
【０１４８】
図２０中、ロードビーム２３５は、ステンレス製であり、基部側をアクチュエータ２３４のアーム部２３６に固定してある（図２１参照）。
【０１４９】
ロードビーム２３５は、幅Ｗ２が約２ｍｍ、長さＬが約９ｍｍ、厚さｔが約２５μｍであり、図１中のロードビーム２１に比べて、体積で約１／２と小さい。
【０１５０】
ロードビーム２３５のサイズが小さいため、後述する曲げ等の共振周波数は高い。
【０１５１】
ロードビーム２３５は、シート状片であり、曲げ加工を全く施していないフラットな薄板片からなる。このため、磁気ヘッドスライダの浮上の安定性を害する曲げ加工誤差の問題もない。
【０１５２】
ロードビーム２３５は、ロードビーム本体部２３７と、先端側のジンバル部２３８とよりなる。
【０１５３】
ジンバル部２３８は、ロードビーム２３５に、略Ｕ字状の開口部（貫通孔）２３９を設けることによって、ロードビーム２３５自体に残置形成されている。
【０１５４】
このジンバル部２３８は、磁気ヘッドスライダ固定部２４０と、第２の梁部２４１と、第３の梁部２４２と、つなぎ部２４３と、第１の梁部２４４とを有する。
【０１５５】
磁気ヘッドスライダ固定部２４０は、磁気ヘッドスライダ３５Ｃに対応する大きさを有する。
【０１５６】
第２及び第３の梁部２４１，２４２は、ロードビーム本体部２３７の先端の幅方向上両端から延出しており、磁気ヘッドスライダ固定部２４０の両側を、ロードビームの先端方向に延在している。
【０１５７】
つなぎ部２４３は、ロードビーム２３５の幅方向に延在しており、上記第１の梁部２４１の先端側と上記第１の梁部２４２の先端側とをつないでいる。
【０１５８】
第１の梁部２４４は、つなぎ部２４３の中央からより上記ロードビーム本体部２３７の方向に延在しており、先端に磁気ヘッドスライダ固定部２４０を有する。このように、磁気ヘッドスライダ固定部は第１の梁部、つなぎ部、第２，第３の梁部を介してロードビーム本体部に連結されるため、それら梁部の撓みによって回転剛性が小さい。
【０１５９】
ロードビーム本体部２３７には、治具取付用の孔２４５，２４６，２４７及び一対のスリット２４８，２４９が形成してある。
【０１６０】
上記開孔２３９、孔２４５，２４６，２４７及びスリット２４８，２４９は、エッチングにより形成される。
【０１６１】
ロードビーム２３５には、図１２に示すと略同様に、端子部９５Ａ〜９５Ｄ、９６Ａ〜９６Ｄ、及び配線パターン９１〜９４が、ロードビーム２３５の長手方向中心に対して左右対称に形成してある。
【０１６２】
磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、固定部２４０に接着固定され、端子部９６Ａ〜９６Ｄと端子部１００Ａ〜１００Ｄとが、図１５に示すと同様に、Ａｕボールによって接続される。
【０１６３】
図２２（Ａ），（Ｂ）に示すように、アーム部２３６の先端側は、一度上がって下がるように、逆Ｖ字状に折り曲げてあり、斜上向き部分２３６ａと斜下向き部分２３６ｂとを有する。
【０１６４】
ロードビーム２３５は、アーム部２３６の斜下向き部分２３６ｂの下面に固定してあり、斜下方向に延在しており、水平に対して角度θ傾斜している。
【０１６５】
磁気ディスク装置２３１においては、２組の磁気ヘッド支持機構２３０が１枚の磁気ディスク２３３を挟むように配置されており、磁気ヘッド支持機構２３５は磁気ディスク２３３の非回転時には図２３に示すように、磁気ヘッドスライダ３５Ｃを磁気ディスク２３３に接触させており、このときロードビーム本体部２３７が強制的に湾曲して弾性変形せしめられており、ロードビーム本体部２３７に蓄積された弾性力によって磁気ヘッドスライダを、磁気ディスク２３３側に付勢する荷重Ｆ１を得ている。
【０１６６】
アーム部２３６は逆Ｖ字状に折り曲げられてあるため、図２３中、二点鎖線で示すように単に斜め下方に折曲した場合に比べて、アーム部２３６の先端２３６ｃ、磁気ディスク２３３との間に広い隙間２５０を確保することが出来る。
【０１６７】
次に、ロードビーム２３５が磁気ヘッドスライダ３５Ｃに作用するモーメントについて考察する。
【０１６８】
図２４に示すように、ロードビーム本体部２３７及び第３の梁部２４４が撓むため、磁気ヘッドスライダ３５Ｃには、浮上力が作用する中心２５１に関して、モーメントが作用する。
【０１６９】
ロードビーム本体部２３７及び第２，第３の梁部２４１，２４２は、反時計方向のモーメントＭ１を作用する。
【０１７０】
第１の梁部２４４は、時計方向のモーメントＭ２を作用する。
【０１７１】
ロードビーム２３５の各部の寸法は適宜定めてあり（例えば全長９ｍｍ、ジンバル部の長さ２．５ｍｍ、ロードビーム本体部５．７ｍｍ、幅２ｍｍである）、上記のモーメントＭ１，Ｍ２とは釣り合っている。
【０１７２】
このことによっても、磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、安定に浮上する。
【０１７３】
次に、磁気ヘッドスライダ３５Ｃのピッチング及びローリングについて、図２０を参照して説明する。
【０１７４】
▲１▼ピッチング
磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、第１の梁部２４４及び第２，第３の梁部２４１，２４２、更にはロードビーム本体部２３７の撓みを伴って、矢印４４で示すピッチング方向に回動する。このとき全ての梁は円弧状にそり、ジンバル部２３８の撓みに加えて、ロードビーム本体部２３７が撓む。
【０１７５】
このため、ピッチ剛性は十分に小さくなる。
【０１７６】
▲２▼ローリング
磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、主に第２，第３の梁部２４１，２４２が上下方向に互いに逆方向の撓み、及びロードビーム本体部２３７のねじれを伴って、矢印４５で示すローリング方向に回動する。
【０１７７】
このときにも、ジンバル部２３８の撓みに加えて、ロードビーム本体部２３７がねじれる。
【０１７８】
このため、ロール剛性も十分に小さい。
【０１７９】
次に、回転中の磁気ディスクにうねりが発生したり、ゴミが付着した際における磁気ヘッド支持機構２３０のロードビーム２３５の一次曲げ及び一次ねじりについて説明する。
【０１８０】
▲１▼一次曲げ
ロードビーム２３５は、図２５に示すように、曲がり変形する。
【０１８１】
即ち、ロードビーム本体部２３７と、ジンバル部２３８の第３，第１，第２の梁部２４１，２４２，２４４が撓んで、図２３に示す状態となる。
【０１８２】
ロードビーム２３５は、このように全体がフレキシブルに造られているが一次曲げの共振周波数はその剛性の低さに反して高い。
【０１８３】
▲２▼一次ねじり
ロードビーム２３５は、図２６に示すようにねじり変形する。
【０１８４】
即ち、ジンバル部２３８に加えて、ロードビーム本体部２３７が変形する。
【０１８５】
従って、ロードビーム２３５は、このように全体がフレキシブルに造られているが一次ねじりの共振周波数はその剛性の低さに反して高い。
【０１８６】
【表３】
0003667354.tif 000004
【０１８７】
【表４】
0003667354.tif 000005
表３，表４は、本実施例の磁気ヘッド支持機構２３０と、図１の第１実施例の磁気ヘッド支持機構３０との特性比較を示す。
【０１８８】
表３は、コンピュータによるシミュレーションによって得た、本実施例におけるロードビーム２３５のピッチ剛性、ロール剛性及び上下剛性を、第１実施例のものと比較して示す。
【０１８９】
この表３から、ピッチ剛性及びロール剛性が第１実施例のものの１／４程度と低いことが分かる。
【０１９０】
表４は、コンピュータによるシミュレーションによって得た、本実施例における共振周波数を、第１実施例のものと比較して示す。
【０１９１】
この表４から、一次曲げ共振周波数、一次ねじり共振周波数、面内共振周波数が依然として十分に高いことが分かる。
【０１９２】
表３及び表４から、本実施例の磁気ヘッド支持機構２３０は、第１実施例の磁気ヘッド支持機構３０と同じく高い共振周波数を有し、且つ機構３０と比べて、格段に低い剛性を有する特性が得られていることがわかる。
【０１９３】
従って、小サイズの磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、浮上状態を十分に安定に保たれる。
【０１９４】
なお、ロードビームの変形例としてロードビーム本体２３７の基部側を曲げることによって、ロードビームを図１と同様に支持して、図２３中の荷重Ｆ1 を付与することもできる。
【０１９５】
この場合、スリット２４８，２４９の外側の部分２５５，２５６だけを曲げる。このため、スリット２４８，２４９の間に位置する配線パターン９１〜９４に不要な応力が作用しない。
【０１９６】
次に、ロードビーム２３５のジンバル部２３８の変形例について説明する。
【０１９７】
図２７のジンバル部２３８−１は、幅Ａの広い第１の梁部２４４−１を有し、且つ寸法Ｂの広い開口２３９−１を有する。
【０１９８】
第２，第３の梁部２４１−１，２４２−１の長さは長い。
【０１９９】
図２８のジンバル部２３８-2は、幅寸法Ｃの小さい第２，第３の梁部２４１−２，２４２−２を有する。
【０２００】
図２９のジンバル部２３８−３は、幅寸法Ｄの大きい第２，第３の梁部２４１−３，２４２−３を有する。
【０２０１】
図３０のジンバル部２３８−４は、磁気ヘッドスライダ固定部２４０の先端の中央と、ロードビーム本体部２３７の先端との間を、第４の梁部２６０で連結した構成である。
【０２０２】
第４の梁によって磁気ヘッドスライダ固定部の変屈を防止できるが、回転剛性も大きくなるので、この第４の梁は幅を小さくすると、長さを長くすることが望ましい。
【０２０３】
図３１のジンバル部２３８−５は、円弧状の第２，第３の梁部２４１−５，２４２−５を有する。
【０２０４】
また、図３２に示すように、曲げ加工したコネクティングプレート２６１を用意し、これをアーム部２３６Ａに固定し、ロードビーム２３５をコネクティングプレート２６１に固定した構成としてもよい。
【０２０５】
この構成によれば、アーム部２３６Ａに曲げ加工を不要とし得る。
【０２０６】
なお、第１〜第６実施例では、ロードビームのバネ部にＲ曲げを設けて磁気ヘッドスライダの荷重を得たが、第７実施例のようにこのバネ部を平坦なままにしてアーム部の取付け構造を採用しても良い。
【０２０７】
【発明の効果】
以上説明した様に、請求項１の発明によれば、曲げ、ねじりの共振点を高く保って、剛性を低くすることが出来、磁気ヘッドスライダが幅が１ｍｍ程度と従来に比べて小さくなって、浮上が不安定となり易くなっているにも拘わらず、従来と同様の浮上安定性を確保出来る。更に、リード線及びチューブが無いため、リード線及びチューブの剛性によるアンバランス力がスライダに働くことを完全に無くすることが出来、これによって磁気ヘッドスライダの浮上剛性が低い場合であっても、その磁気ヘッドスライダの浮上安定性を良好とし得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例になるロードビームを有する磁気ヘッド支持機構を下面側からみた図である。
【図２】図１の磁気ヘッド支持機構を適用してなる３．５インチ磁気ディスク装置の平面図である。
【図３】ロードビームの一次曲げ状態を示す図である。
【図４】ロードビームの一次ねじり状態を示す図である。
【図５】図１の磁気ヘッド支持機構を上面側からみた斜視図である。
【図６】図２の磁気ヘッド支持機構の側面図である。
【図７】本発明の第２実施例になるロードビームを有する磁気ヘッド支持機構を示す図である。
【図８】本発明の第３実施例になるロードビームを有する磁気ヘッド支持機構を示す図である。
【図９】本発明の第４実施例になるロードビームを有する磁気ヘッド支持機構を示す図である。
【図１０】図９の機構の側面図である。
【図１１】本発明の第５実施例になるロードビームを有する磁気ヘッド支持機構を示す図である。
【図１２】本発明の第６実施例になるロードビームを有する磁気ヘッド支持機構を示す図である。
【図１３】図１２中、ロードビームの先端側の部分を拡大して示す図である。
【図１４】図１２中、XIV-XIV 線に沿う断面図である。
【図１５】磁気ヘッドスライダの端子部と固定部上の端子部との接続状態を示す図である。
【図１６】図１２中のロードビームの製造工程を示す図である。
【図１７】図１６中、エッチング工程が完了したときの状態を示す図である。
【図１８】ロードビームの別の製造工程を示す図である。
【図１９】本発明の変形例を示す図である。
【図２０】本発明の第７実施例になるロードビームを有する磁気ヘッド支持機構を示す図である。
【図２１】図２０の磁気ヘッド支持機構を適用してなる１．８インチ磁気ディスク装置の平面図である。
【図２２】図２０の磁気ヘッド支持機構を示す図である。
【図２３】磁気ヘッド支持機構が磁気ディスク装置に組込まれたときの状態を示す図である。
【図２４】図２３の状態を誇張して示す図である。
【図２５】ロードビームの一次曲げの状態を示す図である。
【図２６】ロードゲームの一次ねじりの状態を示す図である。
【図２７】ロードビームのジンバル部の第１の変形例を示す図である。
【図２８】ロードビームのジンバル部の第２の変形例を示す図である。
【図２９】ロードビームのジンバル部の第３の変形例を示す図である。
【図３０】ロードビームのジンバル部の第４の変形例を示す図である。
【図３１】ロードビームのジンバル部の第５の変形例を示す図である。
【図３２】本発明の第７実施例の変形例を示す図である。
【図３３】従来の磁気ヘッド支持機構の１例を示す図である。
【符号の説明】
１５Ａ〜１５Ｄ  リード線
１６  接着剤
１７Ａ  第１の固定点
１７Ｂ  第２の固定点
１７Ｃ  第３の固定点
２０，５０，６０，８０，９０  磁気ヘッド支持装置
２１  ロードビーム
２２  アクチュエータのアーム部
２３  弾性部
２４  剛性部
２５，５１，６１，７１  ジンバル部
２６，２７  コ字形開口
２８，２９  スリット状開口
３０，３０Ａ  磁気ヘッドスライダ固定部
３１，３２  第１の梁部
３３，３４  第２の梁部
３５，３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃ  磁気ヘッドスライダ
３６  磁気ヘッドスライダ固定部の中心
３７  ロードビーム長手方向中心線
３８  横切る線
３９Ａ，３９Ｂ，５２，５３  Ｔ字状梁
４０〜４３  連結点
４４，４５  矢印
４７  端面
４８  磁気ヘッド
７２，７３，８１  鍔部
７４  開口
７５  接着部
７６  枠部
９１，９２，９３，９４  配線パターン
９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄ，１００Ａ〜１００Ｄ  端子部
９７  絶縁膜
９８  保護膜
１０１Ａ〜１０１Ｄ  Ａｕボール
１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃ  孔
１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄ  ダミーパターン
１０６，１０７  補助膜
１０８  凸状パターン
２０１  ステンレス板
２０２  打ち抜き前のアーム
２１０，２１１  ダミーパターン
２２０  ３．５インチ磁気ディスク装置
２２１  ３．５インチ磁気ディスク
２２３  ヘッド位置決め用アクチュエータ
２３０  磁気ヘッド支持機構
２３１  磁気ディスク装置
２３２  エンクロージャ
２３３  １．８インチの磁気ディスク
２３４  ヘッド位置決め用アクチュエータ
２３５  ロードビーム
２３６  アーム部
２３６ａ  斜上向き部分
２３６ｂ  斜下向き部分
２３６ｃ  先端部
２３７  ロードビーム本体部
２３８  ジンバル部
２３９  Ｕ字状開口
２４０  磁気ヘッドスライダ固定部
２４１  第２の梁部
２４２  第３の梁部
２４３  つなぎ部
２４４  第１の梁部
２４５，２４６，２４７  孔
２４８，２４９  スリット
２５０  隙間
２５１  浮上力作用中心
２５５，２５６  スリット２４８，２４９の外側の部分
２６０  第４の梁部
２６１  コネクティングプレート
【図１】
0003667354.tif 000006
【図２】
0003667354.tif 000007
【図３】
0003667354.tif 000008
【図４】
0003667354.tif 000009
【図５】
0003667354.tif 000010
【図６】
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【図７】
0003667354.tif 000012
【図８】
0003667354.tif 000013
【図９】
0003667354.tif 000014
【図１０】
0003667354.tif 000015
【図１１】
0003667354.tif 000016
【図１２】
0003667354.tif 000017
【図１３】
0003667354.tif 000018
【図１４】
0003667354.tif 000019
【図１５】
0003667354.tif 000020
【図１６】
0003667354.tif 000021
【図１７】
0003667354.tif 000022
【図１８】
0003667354.tif 000023
【図１９】
0003667354.tif 000024
【図２０】
0003667354.tif 000025
【図２１】
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【図２２】
0003667354.tif 000027
【図２３】
0003667354.tif 000028
【図２４】
0003667354.tif 000029
【図２５】
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【図２６】
0003667354.tif 000031
【図２７】
0003667354.tif 000032
【図２８】
0003667354.tif 000033
【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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