(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つのパターン電極間に、該パターンに対応して発光層が挟持されたエレクトロルミネッセンス素子において、前記２つのパターン電極間に光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層が少なくとも一層配置され、光照射部位と光照射しない部位における表面濡れ性の相違を利用して、パターン露光された濡れ性変化成分層上に前記発光層が積層されたものであることを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子。
【請求項２】
２つのパターン電極間に、該パターンに対応して複数層の発光層が挟持されると共に、各発光層の境界部に位置して障壁層が挟持されるエレクトロルミネッセンス素子において、前記２つのパターン電極間に光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層が少なくとも一層積層され、光照射部位と光照射しない部位における表面濡れ性の相違を利用して、パターン露光された濡れ性変化成分層上に前記発光層および障壁層が積層されたものであることを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子。
【請求項３】
２つのパターン電極間に該パターンに対応して複数層の発光層が挟持されると共に各発光層の境界部に位置して障壁層が挟持され、また、該発光層および障壁層が挟持されるパターン電極の反対側の一面に光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層が配置されたエレクトロルミネッセンス素子において、前記複数層の発光層が、光照射されない状態での濡れ性変化成分層とパターン電極との積層材料に対する表面濡れ性の相違を利用してパターン電極上に積層され、また、パターン電極間の境界部における前記濡れ性変化成分層を光照射部とし、前記障壁層が積層されたものであることを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子。
【請求項４】
発光層が、電極上に、バッファー層、電荷輸送層の少なくとも１層を介して積層されたものである請求項１〜請求項３記載のいずれかであるエレクトロルミネッセンス素子。
【請求項５】
光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層において、光照射した部位は高親水性であり、光照射しない部位は撥水性であることを特徴とする請求項１〜請求項４記載のいずれかであるエレクトロルミネッセンス素子。
【請求項６】
光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層が、少なくとも光触媒とバインダーとからなる光触媒含有層であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかであるエレクトロルミネッセンス素子。
【請求項７】
光触媒含有層における光触媒が、二酸化チタンであることを特徴とする請求項６記載のエレクトロルミネッセンス素子。
【請求項８】
光触媒含有層におけるバインダーが、クロロ、またはアルコキシシランを加水分解、重縮合して得られるオルガノポリシロキサンであることを特徴とする請求項６記載のエレクトロルミネッセンス素子。
【請求項９】
光触媒含有層におけるバインダーが、反応性シリコーンを架橋して得られるオルガノポリシロキサンであることを特徴とする請求項６記載のエレクトロルミネッセンス素子。
【請求項１０】
光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層が、有機高分子樹脂からなることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかであるエレクトロルミネッセンス素子。
【請求項１１】
パターン電極上に、光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層を積層した後、前記電極パターンに応じてパターン露光する工程、
該濡れ性変化成分層の光照射部位と光照射しない部位におけるそれぞれの表面濡れ性の相違を利用して、前記電極パターン上部に発光層を積層する工程、
該積層上に対向パターン電極を積層する工程、
とからなることを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項１２】
パターン電極上に、光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層を積層した後、前記電極パターン間の境界部を電極パターンのネガパターンを使用してパターン露光する工程、
該濡れ性変化成分層の光照射部位と光照射しない部位におけるそれぞれの表面濡れ性の相違を利用して、前記電極パターン間の境界部に障壁層を積層する工程、
次いで、全面に光照射した後、障壁層間に発光層を積層する工程、
該発光層及び障壁層上に対向パターン電極を積層する工程、
とからなることを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項１３】
基板上に、光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層を積層した後、該濡れ性変化成分層上にパターン電極を形成する工程、
光照射されない状態での濡れ性変化成分層とパターン電極との積層材料に対する表面濡れ性の相違を利用して、前記パターン電極上に発光層を積層する工程、
ついで、パターン電極間の境界部分である、前記濡れ性変化成分層を光照射部位とした後、障壁層を積層する工程、
該発光層及び障壁層上に対向パターン電極を積層する工程、
とからなることを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項１４】
発光層が、バッファー層、電荷輸送層の少なくとも１層を介して積層されることを特徴とする請求項１１〜請求項１３のいずれかであるエレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項１５】
発光層、または障壁層の積層工程が、インクジェット法により行なわれることを特徴とする請求項１１〜請求項１４のいずれかであるエレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項１６】
発光層、または障壁層の積層工程が、均一塗布法により行なわれることを特徴とする請求項１１〜請求項１４のいずれかであるエレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項１７】
発光層、または障壁層の積層工程が、パターン印刷法により行なわれることを特徴とする請求項１１〜請求項１４のいずれかであるエレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項１８】
発光層、または障壁層の積層工程が、蒸着法により行なわれ、パターニング層の光照射しない部位における蒸着層を剥離することを特徴とする請求項１１〜請求項１４のいずれかであるエレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、構成層が高精度パターンで形成された、フルカラー表示が可能なエレクトロルミネッセンス素子、およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
エレクトロルミネッセンス素子（以下、ＥＬ素子）にあっては、発光性有機化合物を含む薄膜層を陰極と陽極で挟持した構造を有し、両電極間に１０Ｖ以下の低電圧を印加することにより、発光層にホールまたは電子を注入し、再結合させて励起させ、この励起が失活する際の光の放出（蛍光・燐光）を利用して１００〜１００，０００ｃｄ／ｍ2 程度の高輝度の面発光を可能とするものであり、発光物質の種類を選択することにより３原色の発光を可能とする素子である。
【０００３】
このようなＥＬ素子にあっては、発光層が薄膜状で強い蛍光を発するもので、また、ピンホール欠陥の少ないＥＬ素子とできる。しかし、フルカラー表示を可能とするには３原色を発光する発光層を画素毎に配置する必要があるが、表示性能にとっては、発光層のパターン精度が極めて重要であり、電極上に発光層が正確に配置される必要がある。
【０００４】
従来、発光層のパターニング方法としては、電極パターンのマスクを介して発光層を蒸着法により形成する方法、また、電極パターン上に発光層をインクジェト法により形成する方法等が知られているが、前者にあっては電極材の金属表面が不安定であり、発光層のパターニング精度としては不充分なものであり、また、後者にあっても、電極パターンに対応した量、範囲に正確に発光層を形成することはできなく、また、画素間の間隔も正確には制御できず、発光層のパターン精度としては不充分なものしか得られていないのが現状である。
【０００５】
また、発光層の膜厚は通常１００ｎｍ（０．１μｍ）程度であるのに対して、電極は５００ｎｍであり、発光層は電極に比して薄膜であり、電極表面の凹凸によっては電極間の導通現象が生じ、表示品質として問題となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、発光層、障壁層等の構成層の正確なパターン精度が得られると共に表示性能にすぐれ、電極間の導通といった問題のないＥＬ素子、およびその製造方法の提供を課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１のＥＬ素子は、２つのパターン電極間に、該パターンに対応して発光層が挟持されたエレクトロルミネッセンス素子において、前記２つのパターン電極間に「光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層」（以下、単に「濡れ性変化成分層」、「パターニング層」、また、「光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する層」ともいう）が少なくとも一層配置され、光照射部位と光照射しない部位における表面濡れ性の相違を利用して、パターン露光された濡れ性変化成分層上に前記発光層が積層されたものであることを特徴とする。
【０００８】
本発明の第２のＥＬ素子は、２つのパターン電極間に、該パターンに対応して複数層の発光層が挟持されると共に、各発光層の境界部に位置して障壁層が挟持されるエレクトロルミネッセンス素子において、前記２つのパターン電極間に光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層が少なくとも一層積層され、光照射部位と光照射しない部位における表面濡れ性の相違を利用して、パターン露光された濡れ性変化成分層上に前記発光層および障壁層が積層されたものであることを特徴とする。
また、本発明の第２のＥＬ素子における他の態様は、２つのパターン電極間に該パターンに対応して複数層の発光層が挟持されると共に各発光層の境界部に位置して障壁層が挟持され、また、該発光層および障壁層が挟持されるパターン電極の反対側の一面に光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層が配置されたエレクトロルミネッセンス素子において、前記複数層の発光層が、光照射されない状態での濡れ性変化成分層とパターン電極との積層材料に対する表面濡れ性の相違を利用してパターン電極上に積層され、また、パターン電極間の境界部における前記濡れ性変化成分層を光照射部とし、前記障壁層が積層されたものであることを特徴とする。
【０００９】
上記の発光層が、電極上に、バッファー層、電荷輸送層の少なくとも１層を介して積層されたものであることを特徴とする。
【００１０】
上記の光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層において、光照射した部位は高親水性であり、光照射しない部位は撥水性であることを特徴とする。
【００１１】
上記の光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層が、少なくとも光触媒とバインダーとからなる光触媒含有層であることを特徴とする。
【００１２】
上記の光触媒含有層における光触媒が、二酸化チタンであることを特徴とする。
【００１３】
上記の光触媒含有層におけるバインダーが、クロロ、またはアルコキシシランを加水分解、重縮合して得られるオルガノポリシロキサンであることを特徴とする。
【００１４】
上記の光触媒含有層におけるバインダーが、反応性シリコーンを架橋して得られるオルガノポリシロキサンであることを特徴とする。
【００１５】
上記の光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層が、有機高分子樹脂からなることを特徴とする。
【００１６】
本発明の第１のＥＬ素子の製造方法は、パターン電極上に、光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層を積層した後、前記電極パターンに応じてパターン露光する工程、該濡れ性変化成分層の光照射部位と光照射しない部位におけるそれぞれの表面濡れ性の相違を利用して、前記電極パターン上部に発光層を積層する工程、該積層上に対向パターン電極を積層する工程とからなることを特徴とする。
【００１７】
本発明の第２のＥＬ素子の製造方法は、パターン電極上に、光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層を積層した後、前記電極パターン間の境界部を電極パターンのネガパターンを使用してパターン露光する工程、該濡れ性変化成分層の光照射部位と光照射しない部位におけるそれぞれの表面濡れ性の相違を利用して、前記電極パターン間の境界部に障壁層を積層する工程、次いで、全面に光照射した後、障壁層間に発光層を積層する工程、該発光層及び障壁層上に対向パターン電極を積層する工程、とからなることを特徴とする。
【００１８】
本発明の第３のＥＬ素子の製造方法は、基板上に、光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上する濡れ性変化成分層を積層した後、該濡れ性変化成分層上にパターン電極を形成する工程、光照射されない状態での濡れ性変化成分層とパターン電極との積層材料に対する表面濡れ性の相違を利用して、前記パターン電極上に発光層を積層する工程、ついで、パターン電極間の境界部分である、前記濡れ性変化成分層を光照射部位とした後、障壁層を積層する工程、該発光層及び障壁層上に対向パターン電極を積層する工程、とからなることを特徴とする。
【００１９】
上記のＥＬ素子の製造方法における発光層が、バッファー層、電荷輸送層の少なくとも１層を介して積層されることを特徴とする。
【００２０】
上記のＥＬ素子の製造方法における発光層、または障壁層の積層工程が、インクジェット法により行なわれることを特徴とする。
【００２１】
上記のＥＬ素子の製造方法における発光層、または障壁層の積層工程が、均一塗布法により行なわれることを特徴とする。
【００２２】
上記のＥＬ素子の製造方法における発光層、または障壁層の積層工程が、パターン印刷法により行なわれることを特徴とする。
【００２３】
上記のＥＬ素子の製造方法における発光層、または障壁層の積層工程が蒸着法により行なわれ、パターニング層の光照射しない部位における蒸着層を剥離することを特徴とする。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明を詳細に説明する。図１は本発明の第１のＥＬ素子を説明するための断面図である。図中１、４はパターン電極、２はパターニング層、３は発光層、６は基板である。
【００２５】
図１に示すように、本発明の第１のＥＬ素子は、２つのパターン状電極１、４間に、該パターンに対応して発光層３が挟持された構造を有し、また、パターン電極１と発光層３の間に、パターニング層２が形成されたものである。
【００２６】
パターニング層２は、電極１を設けた基板６上に積層された後、その表面が電極１と同じパターンマスクを使用して光照射されてパターニングされたものであり、パターン電極１上に位置するパターニング層２の表面は光照射により積層材料に対する表面濡れ性が向上した光照射部位として、また、パターン電極１が設けられていない部位に位置するパターニング層２の表面は光照射されてない部位としてパターニングされたものである。そして、光照射部位と光照射しない部位における積層材料である発光層形成材料に対する表面濡れ性の相違を利用して、発光層３がパターン形成されたものである。
【００２７】
濡れ性変化成分層としては、光触媒含有層や有機高分子層等が例示される。光触媒含有層における光触媒としては、光半導体として知られる酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ2 ）、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ3 ）、酸化タングステン（ＷＯ3 ）、酸化ビスマス（Ｂｉ2 Ｏ 3）、酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）のような金属酸化物を挙げることができ、特に酸化チタンは、バンドギャップエネルギーが高く、化学的に安定で毒性もなく、入手も容易であることから好適に使用される。
【００２８】
酸化チタンとしては、アナターゼ型とルチル型のいずれも使用することができるが、アナターゼ型の酸化チタンが好ましい。アナターゼ型酸化チタンは励起波長が３８０ｎｍ以下にあり、このようなアナターゼ型酸化チタンとしては、例えば、塩酸解膠型のアナターゼ型チタニアゾル（石原産業（株）製ＳＴＳ−０２（平均粒径７ｎｍ）、石原産業（株）製ＳＴ−Ｋ０１）、硝酸解膠型のアナターゼ型チタニアゾル（日産化学（株）製ＴＡ−１５（平均粒径１２ｎｍ））等を挙げることができる。
【００２９】
光触媒の粒径は小さいほど光触媒反応が効果的に起こるので好ましく、平均粒径が５０ｎｍ以下、好ましくは２０ｎｍ以下の光触媒を使用するのが好ましい。また、光触媒の粒径が小さいほど、形成された光触媒含有層の表面粗さが小さくなるので好ましく、光触媒含有層の表面粗さが１０ｎｍを越えると、光触媒含有層の非光照射部の撥水性低下、光照射部の親水性発現が不十分となり好ましくない。
【００３０】
本発明において光触媒含有層に使用するバインダーは、主骨格が上記の光触媒の光励起により分解されないような高い結合エネルギーを有するものが好ましく、例えば、（１）ゾルゲル反応等によりクロロまたはアルコキシシラン等を加水分解、重縮合して大きな強度を発揮するオルガノポリシロキサン、（２）撥水性や撥油性に優れた反応性シリコーンを架橋したオルガノポリシロキサン等を挙げることができる。
【００３１】
上記の（１）の場合、一般式Ｙn ＳｉＸ4-n （ｎ＝１〜３）で表される珪素化合物の１種または２種以上の加水分解縮合物、共加水分解縮合物が主体となる。上記一般式でＹはアルキル基、フルオロアルキル基、ビニル基、アミノ基、または、エポキシ基を挙げることができ、Ｘはハロゲン、メトキシル基、エトキシル基、または、アセチル基を挙げることができる。
【００３２】
具体的には、メチルトリクロルシラン、メチルトリブロムシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、メチルトリｔ−ブトキシシラン；エチルトリクロルシラン、エチルトリブロムシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリイソプロポキシシラン、エチルトリｔ−ブトキシシラン；ｎ−プロピルトリクロルシラン、ｎ−ブロピルトリブロムシラン、ｎ−ブロピルトリメトキシシラン、ｎ−プロピルトリエトキシシラン、ｎ−プロピルトリイソプロポキシシラン、ｎ−プロピルトリｔ−ブトキシシラン；ｎ−ヘキシルトリクロルシラン、ｎ−ヘキシルトリブロムシラン、ｎ−ヘキシルトリメトキシシラン、ｎ−ヘキシルトリエトキシシラン、ｎ−ヘキシルトリイソプロポキシシラン、ｎ−ヘキシルトリｔ−ブトキシシラン；ｎ−デシルトリクロルシラン、ｎ−デシルトリブロムシラン、ｎ−デシルトリメトキシシラン、ｎ−デシルトリエトキシシラン、ｎ−デシルトリイソプロポキシシラン、ｎ−デシルトリｔ−ブトキシシラン；ｎ−オクタデシルトリクロルシラン、ｎ−オクタデシルトリブロムシラン、ｎ−オルタデシルトリメトキシシラン、ｎ−オクタデシルトリエトキシシラン、ｎ−オクタデシルトリイソプロポキシシラン、ｎ−オクタデシルトリｔ−ブトキシシラン；フェニルトリクロルシラン、フェニルトリブロムシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリイソプロポキシシラン、フェニルトリｔ−ブトキシシラン；テトラクロルシラン、テトラブロムシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラブトキシシラン、ジメトキシジエトキシシラン；ジメチルジクロルシラン、ジメチルジブロムシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン；ジフェニルジクロルシラン、ジフェニルジブロムシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン；フェニルメチルジクロルシラン、フェニルメチルジブロムシラン、フェニルメチルジメトキシシラン、フェニルメチルジエトキシシラン；トリクロルヒドロシラン、トリブロムヒドロシラン、トリメトキシヒドロシラン、トリエトキシヒドロシラン、トリイソプロポキシヒドロシラン、トリｔ−ブトキシヒトロシラン；ビニルトリクロルシラン、ビニルトリブロムシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビルニトリエトキシシラン、ビニルトリイソプロポキシシラン、ビニルトリｔ−ブトキシシラン；トリフルオロプロピルトリクロルシラン、トリフルオロプロピルトリブロムシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリエトキシシラン、トリフルオロプロピルトリイソプロポキシシラン、トリフルオロプロピルトリｔ−ブトキシシラン；γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリイソプロポキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリｔ−ブトキシシラン；γ−メタアクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタアクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン��γ−メタアクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタアクロヤキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタアクリロキシプロピルトリイソプロポキシシラン、γ−メタアクリロキシプロピルトリｔ−ブトキシシラン；γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリイソプロポキシシラン、γ−アミノプロピルトリｔ−ブトキシシラン；γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリイソプロポキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリｔ−ブトキシシラン；β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン；および、それらの部分加水分解物；および、それらの混合物を使用することができる。
【００３３】
また、バインダーとして、特にフルオロアルキル基を含有するポリシロキサンが好ましく用いることができ、具体的には、下記のフルオロアルキルシランの１種または２種以上の加水分解縮合物、共加水分解縮合物が挙げられ、一般にフッ素系シランカップリング剤として知られたものを使用することができる。
【００３４】
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）3 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）5 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）9 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3
（ＣＦ3 ）2 ＣＦ（ＣＦ2 ）4 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3
（ＣＦ3 ）2 ＣＦ（ＣＦ2 ）6 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3
（ＣＦ3 ）2 ＣＦ（ＣＦ2 ）8 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3
ＣＦ3 （Ｃ6 Ｈ4 ）Ｃ2 Ｈ4 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）3 （Ｃ6 Ｈ4 ）Ｃ2 Ｈ4 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）5 （Ｃ6 Ｈ4 ）Ｃ2 Ｈ4 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 （Ｃ6 Ｈ4 ）Ｃ2 Ｈ4 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）3 ＣＨ2 ＣＨ2 ＳｉＣＨ3 （ＯＣＨ3 ）2
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）5 ＣＨ2 ＣＨ2 ＳｉＣＨ3 （ＯＣＨ3 ）2
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 ＣＨ2 ＣＨ2 ＳｉＣＨ3 （ＯＣＨ3 ）2
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）9 ＣＨ2 ＣＨ2 ＳｉＣＨ3 （ＯＣＨ3 ）2
（ＣＦ3 ）2 ＣＦ（ＣＦ2 ）4 ＣＨ2 ＣＨ2 ＳｉＣＨ3 （ＯＣＨ3 ）2
（ＣＦ3 ）2 ＣＦ（ＣＦ2 ）6 ＣＨ2 ＣＨ2 ＳｉＣＨ3 （ＯＣＨ3 ）2
（ＣＦ3 ）2 ＣＦ（ＣＦ2 ）8 ＣＨ2 ＣＨ2 ＳｉＣＨ3 （ＯＣＨ3 ）2
ＣＦ3 （Ｃ6 Ｈ4 ）Ｃ2 Ｈ4 ＳｉＯＨ3 （ＯＣＨ3 ）2
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）3 （Ｃ6 Ｈ4 ）Ｃ2 Ｈ4 ＳｉＣＨ3 （ＯＣＨ3 ）2
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）5 （Ｃ6 Ｈ4 ）Ｃ2 Ｈ4 ＳｉＣＨ3 （ＯＣＨ3 ）2
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 （Ｃ6 Ｈ4 ）Ｃ2 Ｈ4 ＳｉＣＨ3 （ＯＣＨ3 ）2
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）3 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ2 ＣＨ3 ）3
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）5 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ2 ＣＨ3 ）3
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ2 ＣＨ3 ）3
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）9 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ2 ＣＨ3 ）3
ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 ＳＯ2 Ｎ（Ｃ2 Ｈ5 ）Ｃ2 Ｈ4 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 
上記のようなフロオロアルキル基を含有するポリシロキサンをバインダーとして用いることにより、光触媒含有層の非光照射部の撥水性が大きく向上し、積層材料の付着を妨げる機能を発現する。
【００３５】
また、上記の（２）の反応性シリコーンとしては、下記一般式１で表される骨格をもつ化合物を挙げることができる。
【００３６】
【化１】
0003635615.tif 000002
【００３７】
ただし、ｎは２以上の整数である。Ｒ1 ，Ｒ2 はそれぞれ炭素数１〜１０の置換もしくは非置換のアルキル、アルケニル、アリールあるいはシアノアルキル基である。モル比で全体の４０％以下がビニル、フェニル、ハロゲン化フェニルである。また、Ｒ1 ，Ｒ2 がメチル基のものが表面エネルギーが最も小さくなるので好ましく、モル比でメチル基が６０％以上であることが好ましい。また、鎖末端もしくは側鎖には、分子鎖中に少なくとも１個以上の水酸基等の反応性基を有する。
【００３８】
また、上記のオルガノポリシロキサンとともに、ジメチルポリシロキサンのような架橋反応をしない安定なオルガノシリコン化合物をバインダーに混合してもよい。
【００３９】
本発明において光触媒含有層には上記の光触媒、バインダーの他に、界面活性剤を含有させることができる。具体的には、日光ケミカルズ（株）製ＮＩＫＫＯＬ  ＢＬ、ＢＣ、ＢＯ、ＢＢの各シリーズ等の炭化水素系、デュポン社製ＺＯＮＹＬ  ＦＳＮ、ＦＳＯ、旭硝子（株）製サーフロンＳ−１４１、１４５、大日本インキ化学工業（株）製メガファックＦ−１４１、１４４、ネオス（株）製フタージェント  Ｆ−２００、Ｆ２５１、ダイキン工業（株）製ユニダインＤＳ−４０１、４０２、スリーエム（株）製フロラードＦＣ−１７０、１７６等のフッ素系あるいはシリコーン系の非イオン界面活性剤を挙げることができ、また、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、両性界面活性剤を用いることもできる。
【００４０】
また、光触媒含有層には上記の界面活性剤の他にも、ポリビニルアルコール、不飽和ポリエステル、アクリル樹脂、ポリエチレン、ジアリルフタレート、エチレンプロピレンジエンモノマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリウレタン、メラミン樹脂、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリアミド、ポリイミド、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ポリプロピレン、ポリブチレン、ポリスチレン、ポリ酢酸ビニル、ポリエステル、ポリブタジエン、ポリベンズイミダソール、ポリアクリルニトリル、エピクロルヒドリン、ポリサルファイド、ポリイソプレン等のオリゴマー、ポリマー等を含有させることができる。
【００４１】
光触媒含有層の形成は、光触媒とバインダーを必要に応じて他の添加剤とともに溶剤中に分散して塗布液を調製し、この塗布液を塗布することにより形成することができる。使用する溶剤としては、エタノール、イソプロパノール等のアルコール系の有機溶剤が好ましい。塗布はスピンコート、スプレーコート、ディップコート、ロールコート、ビードコート等の公知の塗布方法により行うことができ、バインダーとして紫外線硬化型の成分を含有している場合、紫外線を照射して硬化処理を行うこにより光触媒含有層を形成することができる。光触媒含有層中の光触媒の含有量は、５〜６０重量％、好ましくは２０〜４０重量％の範囲で設定することができる。
【００４２】
光触媒含有層の厚みは、１ｎｍ〜１０ｎｍの範囲とすることができるが、図１に示す第１のＥＬ素子においては、光触媒含有層２は発光層３のパターニング層として機能すると共に、その絶縁性を利用し、電極１、４間の導通を防止を防止する層としても機能する。一般に、ＥＬ素子においては、発光層の膜厚は電極層に比して極めて薄膜であり、例えば蒸着形成される電極層の凹凸により電極１、４間の導通が生じやすいという問題を有するが、濡れ性変化成分層を設けることによりそれを防止することができる。しかし、発光層３の発光効率を考慮すると、電圧印加時において電極１、４からの発光層３への電荷注入性を確保する必要があり、そのため、濡れ性変化成分層の膜厚は電荷注入を可能とする膜厚である５０ｎｍ以下とすることが望ましく、５ｎｍ〜５０ｎｍとするとよい。また、発光層を後述するようにバッファー層や電荷輸送層を介して電極上にパターン形成する場合には、バッファー層、電荷輸送層をそれぞれ濡れ性変化成分層をパターニングし、発光層と同様に形成するとよいが、その場合には、それぞれの濡れ性変化成分層のトータルの膜厚と、電極からの発光層への電荷移動性を考慮し設定されるとよい。
【００４３】
光触媒含有層における酸化チタンに代表される光触媒の作用機構は、必ずしも明確なものではないが、光の照射によって生成したキャリアが、近傍の化合物との直接反応、あるいは、酸化、水の存在下で生じた活性酸素種によって、有機物の化学構造に変化を及ぼすものと考えられる。このような光触媒の作用は、油性汚れを光照射によって分解し親水化して水により浄化可能なものとしたり、ガラス等の表面に親水性膜を形成して防曇性を付与したり、あるいは、タイル等の表面に光触媒の含有層を形成して空気中の浮遊菌の数の減少させるいわゆる抗菌タイル等に応用されている。本発明にあっては、濡れ性変化成分層として光触媒含有層を用いた場合、光触媒により、バインダーの一部である有機基や添加剤の酸化、分解等の作用を用いて、光照射部の濡れ性を変化させて高親水性とし、非光照射部との濡れ性に大きな差を生じさせ、積層材料との反撥性をそれ自体有する濡れ性変化成分層において、光照射部位において積層材料に対する親和性を高めることにより、積層材料である発光層や後述する障壁層等のパターニングを可能とする。
【００４４】
濡れ性変化成分層としては、上記のような光触媒含有層の他に、有機高分子樹脂層を用いることができる。ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、ポリスチレン等の有機高分子は、紫外線、特に２５０ｎｍ以下の低波長成分を多く含む紫外線を照射することにより、高分子鎖が切断されて低分子化し、その結果、表面粗化が生じて濡れ性を変化させて高親水性（積層材料との親和性）となる。これを利用し、光照射部と非光照射部との濡れ性に大きな差を生じさせ、積層材料との親和性を高めることができ、積層材料のパターニングを可能とできる。
【００４５】
ここで、高親水性とは、水との接触角が２０°以下となることを意味し、本発明ではマイクロシリンジから水滴を滴下して３０秒後に接触角測定器（協和界面科学（株）製ＣＡ−Ｚ型）を用いて測定されるものである。
【００４６】
次に、発光層３について説明する。図１における発光層３は、単色のパターニングされたものとでき、また、Ｒ、Ｇ、Ｂ各発光層を交互に順次配列し、それぞれパターニング層上に積層したフルカラー構造とできるが、それぞれの発光層毎に（１）カソード／パターニング層／ホール注入層（バッファー層）／ホール輸送層／発光層／電子輸送層／電子注入層（バッファー層）／アノード電極、（２）カソード／ホール注入層（バッファー層）／ホール輸送層／発光層／電子輸送層／電子注入層（バッファー層）／パターニング層／アノード電極の形態とすることができる。
【００４７】
発光層における発光材料としては、色素系としては、シクロペンタジエン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、シロール誘導体、チオフェン環誘導体、ピリジン環誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、トリフマニルアミン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマー等が例示される。
【００４８】
また、金属錯体系としては、アルミキノリール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾール亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロピウム錯体等であり、中心金属としてはＡｌ、Ｚｎ、Ｂｅ等、またはＴｂ、Ｅｕ、Ｄｙ等の希土類金属を有し、配位子にオキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造等を有する金属錯体が例示される。
【００４９】
また、高分子系にあっては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリビニルカルバゾール等、ポリフルオレノン誘導体等が例示される。
【００５０】
また、ドーピング材料としては、ペリレン誘導体、クマリン誘導体、ルブレン誘導体、キナクリドン誘導体、スクアリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、スチリル色素、テトラセン誘導体、ピラゾリン誘導体、デカシクレン、フェノキサゾン等が例示される。
【００５１】
また、ホール注入層（バッファー層）の形成材料としては、フェニルアミン系、スターバースト型アミン系、フタロシアニン系、酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、酸化アルミニウム等の酸化物、アモルファスカーボン、ポリアニリン、ポリチオフェン誘導体等が例示される。
【００５２】
また、電子注入層（バッファー層）の形成材料としては、アルミリチウム、フッ化リチウム、ストロンチウム、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、フッ化ストロンチウム、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、酸化アルミニウム、酸化ストロンチウム、カルシウム、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレンスルホン酸ナトリウム等が例示される。
【００５３】
これらの材料にあって、一般に、高分子材料系はインクジェット法、塗布法、パターン印刷法による塗布法、低分子材料は蒸着法により成膜されるが、低分子材料を樹脂等に分散させて高分子材料同様に塗布法によってもよいし、また、高分子材料系にあっても逆に蒸着法により積層してもよい。
【００５４】
また、上記（１）、（２）の形態で、電荷注入層、電荷輸送層、発光層の各層をそれぞれ別の層として設ける代わりに各機能を合わせ有する材料であれば兼ねたものとしてもよいし、また、それぞれの機能を有する材料の混合形態として兼ねたものとしてもよい。
【００５５】
パターニング層上への発光層の形成方法としては、上述したように、インクジエット方式、パターン印刷により発光材料をパターニング塗布する方法、蒸着法等が挙げられる。インクジエット方式、印刷方式による場合には、パターニング層として、単色やＲ、Ｇ、Ｂの各発光層の形成位置をパターン露光した後、そのパターンに応じて、各色のインクをインクジェット装置、印刷装置によりパターン塗布すると、パターニング層における、単色、またはＲ、Ｇ、Ｂ３色のパターンに応じて、光を照射しない部位にあってはインクを撥くために、パターン形状に正確に各色インキを付着させることができ、パターン精度の良好なＥＬ素子とできる。
【００５６】
また、単色、またはＲ、Ｇ、Ｂ３色を、パターニング層上に均一塗布することにより形成することもできる。Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の場合には、パターニング層として、Ｒ、Ｇ、Ｂにおけるいずれか１色の形成位置をパターン露光した後、いずれか１色のインクをディップコーティングし、光を照射しない部位にあってはインクを撥くことを利用して１色目のパターニングを行ない、次に、その上に、濡れ性変化成分層を均一塗布した後、２色目の形成位置をパターン露光し、同様に２色目のパターニングを行ない、最後に、さらに、濡れ性変化成分層を均一塗布した後、３色目の形成位置をパターン露光し、同様に３色目のパターニングを行なう。これにより、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の発光層を交互に配列させることができ、パターン精度の良好なＥＬ素子とできる。
【００５７】
また、単色、またはＲ、Ｇ、Ｂ３色を均一蒸着することにより形成することもできる。この場合には、濡れ性変化成分層のパターニングにより、光が照射した部位にあっては、蒸着層との結合性が高く、また、光が照射しない部分にあっては、蒸着層との結合性が低いことを利用し、光が照射しない部分の蒸着層を粘着テープ等を利用して容易に剥離除去できることを利用する。Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の形成方法の場合は、上述した均一塗布法での形成方法と同様にして形成でき、パターン精度の良好なＥＬ素子とできる。
【００５８】
発光層形成材料は、インクジェット方式、パターン印刷方式、均一塗布方式にあっては水溶性溶液、有機溶剤溶液等とされて形成される。また、蒸着に際しては、高分子材料も可能であるが低分子材料の殆どが例示され、発光層の膜厚としては１ｎｍ〜２μｍ、好ましくは１０ｎｍ〜２００ｎｍである。
【００５９】
本発明における電極１、４としては、陽極材料としては酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム、金、ポリアニリン等が例示され、また、陰極材料としては、ＭｇＡｇ等のマグネシウム合金、ＡｌＬｉ、ＡｌＣａ、ＡｌＭｇ等のアルミニウム合金等が例示され、電極１、４を透明電極とすると直視型ＥＬ素子とでき、また、いずれか一方を反射電極とすることにより反射型ＥＬ素子とすることができる。電極１、４は、電極パターンマスクを介して、相互に直交するパターンに電極材料を、通常１０ｎｍ〜１μｍの膜厚に蒸着することにより、単純マトリックス型のＥＬ素子に形成され、また、薄膜トランジスタを有する基板上に電極を設けてアクティブマトリックス型ＥＬ素子とされる。
【００６０】
基板６としては、ガラス板等が例示されるが、ＥＬ素子に支持性を付与することのできる材料であれば限定されない。
【００６１】
次に、図２、図３により、本発明の第２のＥＬ素子について説明する。図２に示すＥＬ素子は、第１のＥＬ素子における発光層３の境界部分に障壁層７を設けたものであり、これにより電極間の導通をより防止できる。障壁層形成材料は、１０7 Ω・ｃｍ以上の抵抗を有する有機高分子材料を使用するとよく、好ましくは紫外線硬化型樹脂が使用される。また、障壁層を黒色等の暗色に着色したものとすることにより、より鮮明な表示を可能とする。障壁層７の膜厚は、０．０１μｍ〜１０μｍ、好ましくは０．１μｍ〜１μｍとされるとよい。
【００６２】
図２に示すＥＬ素子は、電極１をパターン形成した後、濡れ性変化成分層２を形成する。ついで、電極パターンが形成されていない部位をパターン露光し、光照射部位とし、障壁形成材料を均一塗布等により塗布すると、光照射部位にのみ障壁形成材料を積層することができる。その後、障壁形成材料として紫外線硬化型樹脂を使用した場合、均一露光して、障壁形成材料を硬化させると共に電極パターン上の濡れ性変化成分層を光照射部位にかえる。ついで、発光層を図１同様にインクジェット方式等により塗布することにより、発光層を形成でき、図１同様にＥＬ素子とできる。なお、図２にあって、発光層３と電極４を離して模式的に図示しているが、電極４は、発光層３上にもパターン蒸着されるものであり、電極４からの電荷注入を可能とするものである。
【００６３】
図３に示すＥＬ素子は、基板６上に、濡れ性変化成分層２を均一に形成した後、電極材料をスパッタでパターン蒸着させる。ついで、発光層形成材料を均一塗布法により塗布すると、電極上にのみ発光層を形成することができる。その後、パターン露光して発光層間の境界部分を光照射部位にかえた後、インクジェット法等により障壁形成材料を塗布して障壁層を形成でき、図１同様にＥＬ素子とできる。図３に示すＥＬ素子にあっては、図１、図２に示すＥＬ素子と同様に、パターン精度が良好であると共に電極１、４からの発光層への電荷注入に優れ、発光効率の高いものとできる。なお、図３にあって、発光層３と電極４を離して模式的に図示しているが、電極４は、発光層上にパターン蒸着されるものであり、電極４からの電荷注入を可能とするものである。
【００６４】
なお、図１にあっては、パターニング層２は電極１上に設けたが、図３に示すように、パターニング層２を基板６上に設けてもよく、パターン精度に優れるものとできるが、電極間の導通の問題がある。また、パターニング層２を発光層３上に設けてもよく、パターニング層の配置に関しては、電荷注入性を阻害しない限り、その配置には限定されなく、また、１層でも多数層でもよい。
【００６５】
次に、本発明の第１のＥＬ素子の製造方法について、図４により説明する。第１のＥＬ素子は、まず、（ａ）に示すように、パターン電極１上に、濡れ性変化成分層を均一に塗布法により積層した後、（ｂ）に示すように、電極パターンと同一パターンのマスクを使用して紫外線照射し、電極上の濡れ性変化成分層表面を光照射部位とする。
【００６６】
次いで、電極パターン上部にインクジェット方式等により発光層を積層する。塗布液を使用して積層した場合には、パターニング層の光照射しない部位に塗布された発光層形成材料ははじかれ、電極上の光照射部位にのみ正確に発光層は積層される。蒸着により形成した場合には、光照射しない部位における発光層を粘着テープ等を利用して剥離・除去するとよい。最後に、図示は省略するが、対向パターン電極４を電極１と直交させてパターン蒸着して、第１のＥＬ素子は製造される。
【００６７】
第２のインクジェットの製造方法について、図５により説明する。第２のＥＬ素子は、（ｂ）に示すように電極パターンのネガパターンマスクを使用して紫外線照射し、電極間の境界部分における濡れ性変化成分層を光照射部位とする。
【００６８】
次いで、電極パターン間にインクジェット方式等を使用して障壁層を積層する。塗布方式により積層した場合には、パターニング層の光照射しない部位に塗布された障壁層形成材料ははじかれ、光照射部位にのみ正確にパターニングされる。なお、蒸着により形成した場合には、光照射しない部位における発光層を粘着テープ等を利用して剥離・除去するとよい。
【００６９】
さらに、（ｃ）に示すように、紫外線を照射し、電極上の濡れ性変化成分層を光照射部位とし、（ｄ）に示すように、障壁間であって、かつ電極上にインクジェット方式等を使用して発光層を積層する。
【００７０】
最後に、図示は省略するが、対向パターン電極４を電極１と直交させてパターン蒸着して、第２のＥＬ素子は製造される。
【００７１】
第３のＥＬ素子の製造方法について、図６により説明する。第３のＥＬ素子は、まず、（ａ）に示すように、基板６上に、濡れ性変化成分層２を塗布した後、パターン電極を形成する。ついで、（ｂ）に示すように、パターン電極上部に発光層をインクジェット方式等を使用して積層した後、（ｃ）に示すように、パターン電極間の境界部分である、濡れ性変化成分層をマスクを介して光照射部位とする。ついで、（ｄ）に示すように障壁層をインクジェット方式等を使用して積層する。最後に、図示は省略するが、対向パターン電極４を電極１と直交させてパターン蒸着して、第３のＥＬ素子は製造される。
【００７２】
【実施例】
以下、実施例により本発明を説明する。
【００７３】
0003635615.tif 000003
上記組成の光触媒含有層用の塗布液を、洗浄したガラス基板上にスピンコーター塗布し、１５０℃、１０分間の乾燥処理して加水分解、重縮合反応を進行させ、光触媒がオルガノシロキサン中に強固に固定された、膜厚２０ｎｍの透明な光触媒含有層を形成した。
【００７４】
得られた光触媒含有層に、マスクを介して、水銀灯（波長３６５ｎｍ）により７０ｍＷ／ｃｍ2 の照度で５０秒間パターン照射した。光照射部位と非照射部位との水に対する接触角を、接触角測定器（協和界面科学（株）製ＣＡ−Ｚ型）を用い、マイクロシリンジから水滴を滴下して３０秒後に測定した結果、非照射部位における水の接触角は１４２°であるのに対して、照射部位における水の接触角は１０°以下であり、照射部位と非照射部位との濡れ性の相違によるパターン形成が可能であることを確認した。
【００７５】
（有機ＥＬ層用塗布液の調製）
・  ポリビニルカルバゾール              ・・・    ７０重量部
・  クマリン６                          ・・・      １重量部
・  オキサジアゾール化合物              ・・・    ３０重量部
・  １，１，２−トリクロロエタン        ・・・  ６６３重量部
上記の各成分の構造式は下記の通りである。
【００７６】
【化２】
0003635615.tif 000004
【００７７】
（ＥＬ素子の作製）
２００μｍの間隔で、かつ２００μｍの線幅に膜厚０．１５μｍでパターニングされたＩＴＯ基板を洗浄した後、上記の光触媒含有層を２０ｎｍの膜厚で全面に上記と同様の方法で成膜した。次いで、電極パターンと同一パターンのマスクを使用して、水銀灯（波長３６５ｎｍ）により７０ｍＷ／ｃｍ2 の照度で５０秒間、ＩＴＯ線幅上の光触媒含有層部位のみパターン照射を行なった。
【００７８】
次いで、上記で作製した有機ＥＬ層用塗布液をディップコーターを使用して、パターン照射した光触媒含有層上に全面塗布すると、ＩＴＯ電極の線幅上の照射部位にのみ有機ＥＬ層が積層された。これを８０℃で乾燥することにより、膜厚１００ｎｍの発光層が照射部位にのみ形成された。
【００７９】
上記と同じマスクを用いて、ＩＴＯ電極及び有機ＥＬ層のパターンと直交するように、上部電極として、ＡｌＬｉ合金を１５０ｎｍの膜厚で蒸着し、ＥＬ素子を作製した。
【００８０】
ＩＴＯ電極と上部ＡｌＬｉ合金電極をアドレス電極として駆動させたところ、表示性能に優れた単純マトリックス型の単色ＥＬ素子が得られた。
【００８１】
（実施例２）
２００μｍのライン＆スペース、膜厚１５０ｎｍでパターニングされたＡｌＬｉ合金（陰極）を有する基板を洗浄した後、実施例１記載の光触媒含有層を２０ｎｍの膜厚で全面に実施例１と同様の方法で成膜した。次いで、電極パターンと同一パターンのマスクを使用して、水銀灯（波長３６５ｎｍ）により７０ｍＷ／ｃｍ2 の照度で５０秒間、ＡｌＬｉ合金線幅上の光触媒含有層部位のみパターン照射を行なった。
【００８２】
次いで、光触媒含有層上に、下記構造式
【００８３】
【化３】
0003635615.tif 000005
【００８４】
の発光材料を、電極パターンと同一パターンのマスクを使用し、成膜条件（真空度１×１０-6 torr 、成膜速度２  ／sec ）で真空蒸着により、陰極パターン上に膜厚５０ｎｍで積層した。
【００８５】
次いで、発光層がパターニングされた全面に、下記構造式
【００８６】
【化４】
0003635615.tif 000006
【００８７】
の正孔輸送材料を、成膜条件（真空度１×１０-6 torr 、成膜速度２  ／sec）で真空蒸着し、膜厚５０ｎｍで正孔輸送層を積層した。
【００８８】
次いで、正孔輸送層上に、陰極及び有機ＥＬ層のパターンと直交するように、同一マスクを使用し、上部電極としてＡｕ（陽極）を半透明の５０ｎｍの膜厚でパターン蒸着し、ＥＬ素子を作製した。
【００８９】
ＡｌＬｉ合金電極と上部Ａｕ電極をアドレス電極として駆動させたところ、Ｇｒｅｅｎに発光する表示性能に優れた単純マトリックス型の単色ＥＬ素子が得られた。
【００９０】
（実施例３）
実施例１において、その有機ＥＬ層用塗布液に代えて、下記の塗布液を調製した。
【００９１】
・緑色発光層用塗布液    ・・（実施例１と同じ有機ＥＬ層用塗布液）
・赤色発光層用塗布液    ・・（実施例１のクマリン６に代えてナイルレッドを使用）
・青色発光層用塗布液    ・・（実施例１のクマリン６に代えてペリレン化合物を使用）
上記の各成分の構造式は下記の通りである。
【００９２】
【化５】
0003635615.tif 000007
【００９３】
上記の各色の塗布液を、インクジェット装置を使用して、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の対応箇所にパターン照射したＩＴＯ電極の線幅上の光触媒含有層上に、交互に配列するように塗り分けたのち、８０℃、３０分間乾燥させ、それぞれ、膜厚１００ｎｍの３色の発光層を光照射部位にのみ交互に形成した。
【００９４】
さらに、実施例１同様に、マスクを用いて、ＩＴＯ電極及び有機ＥＬ層のパターンと直交するように、上部電極として、ＡｌＬｉ合金を１５０ｎｍの膜厚で蒸着し、ＥＬ素子を作製した。
【００９５】
ＩＴＯ電極と上部ＡｌＬｉ合金電極をアドレス電極として駆動させたところ、表示性能に優れた単純マトリックス型の３色ＥＬ素子が得られた。
【００９６】
（実施例４）
実施例３において、インクジェット装置にかえて、グラビア印刷を使用して、交互に塗り分けた以外は、実施例３同様にしてＥＬ素子を作製した。
【００９７】
ＩＴＯ電極と上部ＡｌＬｉ合金電極をアドレス電極として駆動させたところ、表示性能に優れた単純マトリックス型の３色ＥＬ素子が得られた。
【００９８】
（実施例５）
２００μｍの間隔で、かつ２００μｍの線幅に膜厚０．１５μｍでパターニングされたＩＴＯ基板を洗浄した後、上記の光触媒含有層を２０ｎｍの膜厚で全面に実施例１と同様の方法で成膜した。次いで、マスクを使用して、水銀灯（波長３６５ｎｍ）により７０ｍＷ／ｃｍ2 の照度で５０秒間、ＩＴＯ電極が成膜されていない線幅上の光触媒含有層部位のみパターン照射を行なった。
【００９９】
次に、ＵＶ硬化型樹脂（日本化薬（株）製ＰＥＧ４００ＤＡ）に対して、開始剤（チバスペシャリティケミカルズ（株）製ダロキュア１１７３）を５重量％添加したＵＶ硬化樹脂液をディップコーターで塗布したところ、光照射されたＩＴＯ電極が成膜されていない線幅上の光触媒含有層部位にのみ、ＵＶ硬化樹脂液が塗布積層された。
【０１００】
これに、水銀灯（波長３６５ｎｍ）により７０ｍＷ／ｃｍ2 の照度で全面に５０秒間照射することにより、ＵＶ硬化樹脂が硬化し、厚さ０．２μｍ、２００μｍ間隔の障壁層が形成され、また、同時に、ＩＴＯ電極が成膜された線幅上の光触媒含有層部位の濡れ性を向上させ、接触角を殆ど０°とした。
【０１０１】
この状態で、実施例３で使用した緑色、赤色、青色のそれぞれの有機ＥＬ層用塗布液を、インクジェット装置を使用して、ＩＴＯ電極線幅上の光触媒含有層上に交互に塗り分けた。これを８０℃で乾燥させ、膜厚１００ｎｍの有機ＥＬ層が障壁間に形成された。
【０１０２】
さらに、実施例１同様に、同一マスクを用いて、ＩＴＯ電極及び有機ＥＬ層のパターンと直交するように、上部電極としてＡｌＬｉ合金を２００μｍ線幅、２００μｍ間隔、１５０ｎｍの膜厚で蒸着し、ＥＬ素子を作製した。
【０１０３】
ＩＴＯ電極と上部ＡｌＬｉ合金電極をアドレス電極として駆動させたところ、表示性能に優れた単純マトリックス型の３色ＥＬ素子が得られた。
【０１０４】
（実施例６）
洗浄したガラス基板上に、実施例１で記載した光触媒含有層塗液をスピンコーターで塗布し、１５０℃、１０分間の乾燥処理して加水分解、重縮合反応を進行させ、光触媒がオルガノシロキサン中に強固に固定された、膜厚２０ｎｍの透明な光触媒含有層を形成した。この光触媒含有層上に、ＩＴＯを２００μｍ線幅、２００μｍ間隔、０．１５μｍの膜厚でスパッタした。
【０１０５】
次いで、実施例１の有機ＥＬ層用塗布液をビードコーターにより塗布すると、ＩＴＯ層上にのみ、有機ＥＬ層用塗布液が塗布積層された。これをオーブンで８０℃、３０分間乾燥させ、１００ｎｍの膜厚の有機ＥＬパターニング層が得られた。
【０１０６】
次に、有機ＥＬ層を形成した面側から、２００μｍ線幅のマスクパターンを介して、有機ＥＬ層が形成されていない部位の光触媒含有層に、水銀灯（波長３６５ｎｍ）により７０ｍＷ／ｃｍ2 の照度で５０秒間照射した後、インクジェット装置を使用して実施例５記載のＵＶ硬化樹脂液を塗布し、さらに、水銀灯（波長３６５ｎｍ）により７０ｍＷ／ｃｍ2 の照度で５０秒間、マスクを介してＵＶ硬化樹脂液塗布部のみ照射して０．２μｍの膜厚の障壁層を設けた。
【０１０７】
さらに、実施例１同様に、同一マスクを用いて、ＩＴＯ電極及び有機ＥＬ層のパターンと直交するように、上部電極としてＡｌＬｉ合金を２００μｍ線幅、２００μｍ間隔、１５０ｎｍの膜厚で蒸着し、ＥＬ素子を作製した。
【０１０８】
ＩＴＯ電極と上部ＡｌＬｉ合金電極をアドレス電極として駆動させたところ、表示性能に優れた単純マトリックス型の単色ＥＬ素子が得られた。
【０１０９】
（実施例７）
実施例６において、単色の有機ＥＬ層用塗布液にかえて、実施例３記載の緑色、赤色、青色の有機ＥＬ層用塗布液をインクジェット装置を使用して塗り分けた以外は、実施例６と同様にしてＥＬ素子を作製したところ、表示性能に優れた単純マトリックス型の３色ＥＬ素子が得られた。
【０１１０】
【発明の効果】
本発明のＥＬ素子は、発光層の正確なパターン精度が得られると共に表示性能にすぐれ、電極間の導通といった問題のないものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、本発明のＥＬ素子の断面模式図である。
【図２】  図２は、本発明の他のＥＬ素子の断面模式図である。
【図３】  図３は、本発明の他のＥＬ素子の断面模式図である。
【図４】  図４は、本発明のＥＬ素子の製造方法を説明するための図である。
【図５】  図５は、本発明の他のＥＬ素子の製造方法を説明するための図である。
【図６】  図６は、本発明の他のＥＬ素子の製造方法を説明するための図である。
【符号の説明】
１…電極、２…濡れ性変化成分層、３…発光層、４…電極、６…基板、７…障壁層、８…マスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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