(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムを積層して成る積層シートを加圧する装置であって、前記積層シートが配置されるシート配置部と、前記配置された積層シートにその端部を除くシート面に面接触する板状軟弾性部材を介して加圧力を加える加圧プレートとを備え、
前記加圧プレートの前記シート配置部と対向する面側に前記軟弾性部材を収容する収容凹所が形成され、
かつ該収容凹所の周縁壁部に前記軟弾性部材の端縁が固着され、
更に、加圧時に前記加圧プレートの周壁と摺接し、前記シート配置部上に配置された前記積層シートの縁部に食い込んで該積層シートの縁部の加圧時の変形を阻止するための切断刃を備えることを特徴とする積層シートの加圧装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層セラミックコンデンサ等を得るための積層シートを加圧する装置に関し、特に軟弾性部材を介して積層シートを加圧する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
積層セラミックコンデンサは、多数の電極を印刷等により設けたセラミックフィルムを整列させて重ね合わせて成る積層シート（グリーンシート）を、加圧、加熱して一体化し、その後に積層シートを切断してチップ化することにより製造されている。
ところで、従来のこの種の加圧装置は、上金型を下金型上に配置した積層シート上に押し付ける構成を有しているが、上金型の押圧面と積層シートの配置面との間で高精度の平行度が確保されていないと、積層シートに均等に加圧力を付与することができない。
しかし、実際には高精度の平行度を確保することは困難なため、上金型の下面にゴム材から成る板状の軟弾性部材を取り付け、この軟弾性部材を介して積層シートに厚さ方向への加圧力を付与するようにしている（特開２０００−７９６１１公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、軟弾性部材を介して単に積層シートを加圧しても積層シートの端部が大きく変形し、歩留まりが低い（約５０％〜６０％）欠点がある。
そこで、本発明者が積層シートの変形原因を調べたところ、加圧前において下金型の上面と軟弾性体の下面との間に積層シートの厚さ寸法だけ間隙が存在するため、積層シートの加圧時に軟弾性体がこの間隙に入り込むように変形し、この変形力が積層シートの端部に厚さ方向ではなく、斜め方向の引張力として作用し、これによって積層シート端部に変形が生じることが判明した。
【０００４】
また、上記した従来の装置では、軟弾性体の周囲を囲み、軟弾性体の板面方向への変形を阻止するサイド型を設けているが、軟弾性体を下動させるためにはサイド型との間に間隙が必要となる。このため、軟弾性体が加圧時にこの間隙に入り込むように変形し、同様に積層シートの端部に引張力が作用することが明らかになった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
このような欠点を防止するため、本発明者は、図３に示すように、上金型１の下面に積層シート５の板面寸法よりも僅かに小さな寸法の板面を有する軟弾性体２を取付けると共に、サイド型３に、下金型６上の積層シート５の縁部に沿って切り込みを入れ、かつ積層シートの切り込み端縁を押さえてその変形を防止する刃４を設け、積層シート５の変形を防止しながら加圧する試作機を製作した。
しかし、この試作機にて積層シート５を加圧しても積層シート５の切断した端部では変形が生じており、歩留まりが期待したほど向上せず、７０％〜７５％前後であった。
【０００６】
そこで、本発明者は、更に積層シートの変形原因を調べるため鋭意検討したところ次のことが判明した。即ち、ゴム材から成る軟弾性体２には、架橋後であっても上金型等から８０℃以上の加熱を受けると熱歪みが生じること、及びゴムの配合成分が徐々に飛散してゴムの縮みが生じることが判明した。このため、図４に示すように、軟弾性体２は押圧面側が収縮し、サイド型３との間に大きな間隙が生じていた。
このように収縮した軟弾性体２により積層シート５を加圧すると、サイド型３との間に間隙を有し、かつ軟弾性体２が加熱により膨張することから、軟弾性体２が間隙に入り込むように変形し、積層シート５に、図４の矢印で示すように、厚さ方向ではなく斜め方向の引張力が作用してしまう。
【０００７】
本発明は上記した各種の変形原因を見出したことに基づいて提案されており、以下の構成を有する。
即ち、本発明は、積層シートが配置されるシート配置部と、積層シートにその端部を除くシート面に面接触する板状軟弾性部材を介して加圧力を加える加圧プレートとを備え、この加圧プレートのシート配置部と対向する面側に、軟弾性部材を収容する収容凹所が形成され、この収容凹所の周縁壁部に軟弾性部材の端縁が固着されている。
そして、本発明では、更に、加圧時に加圧プレートの周壁と摺接し、シート配置部上に配置された積層シートの縁部に食い込んで積層シートの縁部の加圧時の変形を阻止するための切断刃を備えることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
図２は本発明に係る積層シートの加圧装置の断面図である。
この加圧装置は、上金型１０を備えている。この上金型１０は、上部の取付ベース１１と金型本体１２とを有している。取付ベース１１は断熱部１３を有し、その下面に取付ブロック２７を介して金型本体１２が取り付けられている。
金型本体１２には複数のカートリッジ式のヒータ１４が埋設され、又ヒータ１４，１４間に温度センサ１５が配されている。金型本体１２の下面には加圧プレート１６が固定され、加圧プレート１６には後述する軟弾性部材１７が収容されている。
【０００９】
金型本体１２は枠状のサイド型１８に上下動可能に嵌入されている。サイド型１８は取付ブロック２７にボルト１９を介して吊り下げられ、ボルト１９にはサイド型１８を下方へ弾性的に押圧するコイルスプリング２０が装着されている。サイド型１８の下部にはカット型２１が固定されている。カット型２１は矩形状に形成され、加圧プレート１６が上下動可能に嵌入されている。そして、カット型２１には内側面（加圧プレート１６）に沿って切断刃２２が形成されている。
サイド型１８の下方は真空保持カバー２３がＯリング２４を介して覆っている。この真空保持カバー２３は、取付ブロック２７に固定されているコイルスプリング２８を介して弾性的に吊り下げられている。尚、サイド型１８には図示しない真空引きポートが設けられ、該ポートはサイド型１８を通り、カット型２１の下面で開口する吸引路に連通されている。
【００１０】
また、本発明の加圧装置は下金型３０を備えている。
下金型３０は熱板３１を有し、熱板３１には複数のカートリッジ式ヒータ３２が埋設され、又断熱部３３を有している。
熱板３１上には金型本体３４が固定されている。金型本体３４には、積層シート４０を配置するプレート３５を浮上させて支持する複数の支持ピン３６が突出可能に埋設されている。
一方、各支持ピン３６の直上にはプレート３５を挟持するためのクランプピン２６が位置し、各クランプピン２６はカット型２１に取付けられている。
上記積層シート４０は、多数の電極が印刷されているセラミックフィルムが整列して積層されて形成されている。
【００１１】
次に、本発明の加圧装置の動作を説明する。
先ず、上金型１０と下金型３０の各ヒータ１４，３２を作動させ、金型本体１２，３４を予め加熱する。
次に、上金型１０の取付ベース１１が図示しない下動機構により下動し、真空保持カバー２３を下金型３０の金型本体３４に気密を保持して当接する。この状態で真空ポンプを作動させ、上金型１０と下金型３０間で真空引きする。
次いで、取付ベース１１を更に下動し、各クランプピン２６によりプレート３５を押圧しながら各支持ピン３６を後退させ、プレート３５を位置決め固定する。
【００１２】
取付ベース１１を更に下動し、カット型２１の切断刃２２を積層シート４０の縁部に喰い込ませて矩形状の切り込みを入れると共に、金型本体１２の下動により引き続き加圧プレート１６をカット型２１内壁に摺接させながら下動させ、軟弾性部材１７を積層シート４０上に押し付ける。これにより、積層シート４０を加熱加圧して一体化することができる。
【００１３】
ところで、図１に示すように、加圧プレート１６には、その下面側に収容凹所１６ａが形成されている。この凹所１６ａには板状の軟弾性部材１７が収容されている。そして、この軟弾性部材１７は、ゴム材を凹所１６ａに入れ、加硫処理することにより成形されている。そして、この加硫処理によって、軟弾性部材１７の端縁１７ａは凹所１６ａの周縁壁部に加硫接着する。尚、別体の軟弾性部材を収容凹所１６ａの壁面に接着剤を用いて固着するようにしてもよい。
このように軟弾性部材１７の端縁を接着すると、ゴム材から成る軟弾性体が熱を受けても熱歪みが生ぜず、かつゴム配合成分の飛散による熱収縮も生じない。従って、切断刃と軟弾性部材１７の端縁との間には殆ど間隙が生じることがない。
【００１４】
この結果、切断刃２２により積層シート４０の変形を防止することと相俟って軟弾性部材１７により積層シート４０の全面に亘って厚さ方向にのみ加圧することができるので、該シート４０に変形が生じることもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る加圧プレート及び軟弾性部材の断面図である。
【図２】本発明に係る加圧装置の断面図である。
【図３】試作機の概略断面図である。
【図４】試作機の部分拡大断面図である。
【符号の説明】
１６  加圧プレート
１６ａ  収容凹所
１７  軟弾性部材
１７ａ  周縁部
２２  切断刃
３４  金型本体
３５  プレート
４０  積層シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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