(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧ヘッドで研磨テープを磁気ディスク表面に加圧して該磁気ディスク表面を加工する磁気ディスク表面加工装置において、前記加圧ヘッドの両側に配設され前記研磨テープをガイドする２個の第１のガイドローラと、この第１のガイドローラに対して前記磁気ディスクより離れかつ前記第１のガイドローラより内側の位置に配設され前記研磨テープをガイドする２個の第２のガイドローラとを備え、前記第１のガイドローラは、前記磁気ディスク表面に垂直な方向の位置が不動に設けられ、前記加圧ヘッドは、磁気ディスク表面に垂直な方向に移動可能に設けられ、前記第２のガイドローラは、前記加圧ヘッドと共に移動可能に設けられており、前記研磨テープが前記加圧ヘッドで前記磁気ディスクに圧接した時に、加圧ヘッドと第１のガイドローラとの研磨テープ部分の角度と、第１のガイドローラと第２のガイドローラとの研磨テープ部分の角度は、逆向きで同じ角度になるように、第１のガイドローラと第２のガイドローラとを設けたことを特徴とする磁気ディスク表面加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ディスク表面加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスクの表面加工には、磁性膜を所定の膜厚まで削ると共に、表面粗さを良くするためのポリッシュ工程と、このポリッシュ工程後に表面の磁性粉の凝集、磁性塗料の混錬中に混入するアルミナ粒、塵埃等による微小な突起を除去するためのバーニッシュ工程とがある。ポリッシュ工程及びバーニッシュ工程は、一般に加圧ヘッドで研磨テープを磁気ディスクに加圧させて行う表面加工装置によって行われる。
【０００３】
図７に示すように、図示しないスピンドルにチャックされて回転する磁気ディスク１に加圧ローラ（加圧ヘッド）６０によって研磨テープ６１を荷重Ｗで圧接させて磁気ディスク１の表面加工を行っている。加圧ローラ６０の両側にはガイドローラ６２、６３が配設されており、研磨テープ６１は、図示しない供給リールよりガイドローラ６２、加圧ローラ６０、ガイドローラ６３を経て巻取りリールに巻き取られる。なお、この磁気ディスク表面加工装置として、例えば特開昭６０−１０６０２９号公報、特公平２−１０４８６号公報公報等が挙げられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
研磨テープ６１には、巻取りリール側（ガイドローラ６３側）にテンションＴが掛けられ、供給リール側（ガイドローラ６２側）には研磨テープ６１の弛みを取るためにバックテンションＴが掛けられている。これらのテンションＴにより、ガイドローラ６２と加圧ローラ６０間及びガイドローラ６３と加圧ローラ６０間の研磨テープ６１部分には、加圧ローラ６０に掛けられた荷重Ｗと逆方向のテンションＴ１が生じる。このテンションＴ１によって荷重Ｗが変動し、加工精度が低下するという問題があった。
【０００５】
本発明の課題は、研磨テープのテンションによる加圧ヘッドの荷重の変動が生じなく、加工精度の向上が図れる磁気ディスク表面加工装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の手段は、加圧ヘッドで研磨テープを磁気ディスク表面に加圧して該磁気ディスク表面を加工する磁気ディスク表面加工装置において、前記加圧ヘッドの両側に配設され前記研磨テープをガイドする２個の第１のガイドローラと、この第１のガイドローラに対して前記磁気ディスクより離れかつ前記第１のガイドローラより内側の位置に配設され前記研磨テープをガイドする２個の第２のガイドローラとを備え、前記第１のガイドローラは、前記磁気ディスク表面に垂直な方向の位置が不動に設けられ、前記加圧ヘッドは、磁気ディスク表面に垂直な方向に移動可能に設けられ、前記第２のガイドローラは、前記加圧ヘッドと共に移動可能に設けられており、前記研磨テープが前記加圧ヘッドで前記磁気ディスクに圧接した時に、加圧ヘッドと第１のガイドローラとの研磨テープ部分の角度と、第１のガイドローラと第２のガイドローラとの研磨テープ部分の角度は、逆向きで同じ角度になるように、第１のガイドローラと第２のガイドローラとを設けたことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１乃至図６により説明する。図１及び図２に示すように、本装置は、磁気ディスク１の両面を同時に加工するようになっているので、磁気ディスク１の左右に加工装置２Ａと２Ｂが配設されている。加工装置２Ａと２Ｂは同じ構造よりなるので、加工装置２Ａの部材には番号の後に符号Ａを付し、加工装置２Ｂの部材には番号の後に符号Ｂを付して説明する。
【０００８】
図１に示すように、磁気ディスク１は、図示しないスピンドルにチャックされて回転する。磁気ディスク１の両面には、ゴム等の弾性体よりなる中実の加圧ヘッド３Ａ、３Ｂが相対向して配設されている。加圧ヘッド３Ａ、３Ｂは、それぞれヘッド支持板４Ａ、４Ｂの上端部に固定されており、ヘッド支持板４Ａ、４Ｂの下端は、それぞれ水平移動板５Ａ、５Ｂの上面に固定されている。水平移動板５Ａ、５Ｂの下面には、磁気ディスク１の加工面に直角な方向（矢印Ｃ、Ｃ’方向）に伸びたスライダ６Ａ、６Ｂがそれぞれ固定されており、スライダ６Ａ、６Ｂはそれぞれガイド７Ａ、７Ｂにガイドされて矢印Ｃ、Ｃ’方向に移動する。ガイド７Ａ、７Ｂは、それぞれガイド支持板８Ａ、８Ｂを介して上下移動板９に固定されており、上下移動板９は図示しない上下駆動手段により上下動（矢印Ｄ、Ｄ’方向に移動）させられる。
【０００９】
上下移動板９のガイド支持板８Ａ、８Ｂ間の上面には、図１の紙面に垂直な方向に伸びたガイド１０が固定されており、ガイド１０にはスライダ１１が摺動自在に嵌挿されている。スライダ１１には、テーパ板支持板１２が固定されており、テーパ板支持板１２にはクサビ形状に形成された両面テーパ板１３が固定されている。即ち、両面テーパ板１３は、小径部１３ａと大径部１３ｂ間がテーパ部１３ｃとなっている。前記水平移動板５Ａ、５Ｂの下面には、両面テーパ板１３に対向してローラ１４Ａ、１４Ｂが回転自在に支承されている。テーパ板支持板１２は、図示しないモータによって図１の紙面に垂直な方向に移動させられる。
【００１０】
前記水平移動板５Ａ、５Ｂの上面には、それぞれねじ支持板２０Ａ、２０Ｂが固定されており、ねじ支持板２０Ａ、２０Ｂには調整ねじ２１Ａ、２１Ｂがそれぞれ回転自在に支承されている。調整ねじ２１Ａ、２１Ｂのねじ部には雌ねじ２２Ａ、２２Ｂがそれぞれ螺合しており、雌ねじ２２Ａ、２２Ｂはそれぞれねじ支持板２０Ａ、２０Ｂに摺動可能でかつ回転しないように装着されている。前記上下移動板９の上面には、雌ねじ２２Ａ、２２Ｂにそれぞれ対向してばね受け２３Ａ、２３Ｂが固定されており、ばね受け２３Ａ、２３Ｂと雌ねじ２２Ａ、２２Ｂ間にはそれぞればね２４Ａ、２４Ｂが配設されている。従って、ばね２４Ａ、２４Ｂの付勢力により、雌ねじ２２Ａ、２２Ｂ、調整ねじ２１Ａ、２１Ｂ、ねじ支持板２０Ａ、２０Ｂ及び水平移動板５Ａ、５Ｂを介してローラ１４Ａ、１４Ｂは両面テーパ板１３に圧接している。
【００１１】
図１及び図２に示すように、水平移動板５Ａ、５Ｂには、ヘッド支持板４Ａ、４Ｂの両側にそれぞれローラ軸３０Ａ、３１Ａ及び３０Ｂ、３１Ｂが固定されている。上下移動板９には、前記加圧ヘッド３Ａ、３Ｂの両側でローラ軸３０Ａ、３１Ａ及び３０Ｂ、３１Ｂより外側に位置するようにローラ軸３２Ａ、３３Ａ及び３２Ｂ、３３Ｂと、ローラ軸３０Ａ、３１Ａ及び３０Ｂ、３１Ｂの外側部分にローラ軸３４Ａ、３５Ａ及び３４Ｂ、３５Ｂとがそれぞれ固定されている。ローラ軸３０Ａ乃至３５Ａ及び３０Ｂ乃至３５Ｂには、加圧ヘッド３Ａ、３Ｂに対応した部分にガイドローラ３６Ａ乃至４１Ａ及び３６Ｂ乃至４１Ｂがそれぞれ回転自在に支承されている。
【００１２】
加工装置２Ａ、２Ｂには、研磨テープ４５Ａ、４５Ｂ（なお、図１には研磨テープ４５Ａ、４５Ｂは図示せず）がそれぞれ巻回された図示しない供給リールと、研磨テープ４５Ａ、４５Ｂを巻き取る図示しない巻取りリールとが上下移動板９に配設されている。供給リールに巻回された研磨テープ４５Ａは、ガイドローラ４１Ａ、３７Ａ、３９Ａ、３８Ａ、３６Ａ、４０Ａを経て巻取りリールで巻き取られる。供給リールに巻回された研磨テープ４５Ｂも同様に、ガイドローラ４１Ｂ、３７Ｂ、３９Ｂ、３８Ｂ、３６Ｂ、４０Ｂを経て巻取りリールで巻き取られる。
【００１３】
次に作用について説明する。予め調整ねじ２１Ａ、２１Ｂを回して加圧ヘッド３Ａ、３Ｂが研磨テープ４５Ａ、４５Ｂを介して磁気ディスク１に圧接する加圧力を調整しておく。調整ねじ２１Ａ、２１Ｂを回すと、雌ねじ２２Ａ、２２Ｂがねじ支持板２０Ａ、２０Ｂに沿って移動し、ばね２４Ａ、２４Ｂの付勢力が変化する。ばね２４Ａ、２４Ｂの付勢力は、雌ねじ２２Ａ、２２Ｂ、調整ねじ２１Ａ、２１Ｂ、ねじ支持板２０Ａ、２０Ｂ、水平移動板５Ａ、５Ｂ、ヘッド支持板４Ａ、４Ｂを介して加圧ヘッド３Ａ、３Ｂに掛けられている。
【００１４】
そこで、磁気ディスク１を回転させ、図１及び図２の状態より、両面テーパ板１３を駆動させる図示しないモータを作動させ、両面テーパ板１３を図１の紙面に垂直で奥側に移動させる。これにより、ローラ１４Ａ、１４Ｂがばね２４Ａ、２４Ｂの付勢力により両面テーパ板１３のテーパ部１３ｃに追従して矢印Ｃ方向に移動し、水平移動板５Ａ、５Ｂと共にヘッド支持板４Ａ、４Ｂ及び加圧ヘッド３Ａ、３Ｂも矢印Ｃ方向に移動する。そして、図３及び図４に示すように、加圧ヘッド３Ａ、３Ｂによって研磨テープ４５Ａ、４５Ｂ（なお、図３には研磨テープ４５Ａ、４５Ｂは図示せず）が磁気ディスク１に加圧される。この状態で上下移動板９を矢印Ｄ及びＤ’方向に複数回往復移動させると、磁気ディスク１の両面は研磨テープ４５Ａ、４５Ｂによってポリッシュ又はバーニッシュされる。研磨テープ４５Ａ、４５Ｂが磁気ディスク１に圧接していない時、研磨テープ４５Ａ、４５Ｂの新しい部分が加圧ヘッド３Ａ、３Ｂの加圧面に位置するように、図示しない巻取りリールで研磨テープ４５Ａ、４５Ｂを巻き取り、該研磨テープ４５Ａ、４５Ｂを矢印Ｅ方向に送る。
【００１５】
本実施の形態においては、前記したように研磨テープ４５Ａ、４５Ｂが磁気ディスク１に圧接する時、研磨テープ４５Ａ、４５Ｂに掛けられた巻取りリール側のテンションと、弛みを防止するために研磨テープ４５Ａ、４５Ｂに掛けられた供給リール側のテンションによって加圧ヘッド３Ａ、３Ｂを矢印Ｃ’方向に押し戻すことがない構造となっている。このことを一方の加工装置２Ａについて図５により説明する。
【００１６】
前記したように、ローラ軸３０Ａ、３１Ａは水平移動板５Ａに固定されている。従って、加圧ヘッド３Ａの加圧面とガイドローラ３６Ａ、３７Ａの中心軸との距離Ｌは不変である。またローラ軸３２Ａ、３３Ａは上下移動板９に固定されている。従って、磁気ディスク１の加工面とガイドローラ３８Ａ、３９Ａの中心軸との距離Ｍは不変である。そこで、加圧ヘッド３Ａとガイドローラ３８Ａ、３９Ａとの研磨テープ部分４５Ａ１、４５Ａ２の傾きθと、ガイドローラ３６Ａ、３７Ａと３８Ａ、３９Ａとの研磨テープ部分４５Ａ３、４５Ａ４の傾きθが逆向きで同じになるように、ガイドローラ３６Ａ、３７Ａと３８Ａ、３９Ａとを設ける。
【００１７】
そこで、研磨テープ部分４５Ａ１と４５Ａ３について見ると、研磨テープ部分４５Ａ１には巻取りリール側のテンションＴが掛けられ、研磨テープ部分４５Ａ３には、弛みを防止するために供給リール側のバックテンションＴが掛けられている。前記したように、加圧ヘッド３Ａとガイドローラ３８Ａとの研磨テープ部分４５Ａ１の傾きと、ガイドローラ３６Ａと３８Ａとの研磨テープ部分４５Ａ３の傾きは、同じ傾きθであるので、加圧ヘッド３Ａには研磨テープ部分４５Ａ１による矢印Ｃ’方向のテンションは生じない。研磨テープ部分４５Ａ２と４５Ａ４においても同様に、研磨テープ部分４５Ａ１により矢印Ｃ’方向のテンションは生じない。従って、研磨テープ部分４５Ａ１、４５Ａ２のテンションによって加圧ヘッド３Ａが研磨テープ部分４５Ａを磁気ディスク１に圧接させる加圧力は変動しない。加工装置２Ｂについても同様であるので、その説明は省略する。
【００１８】
図６は加圧ヘッドの他の実施の形態を示す。前記実施の形態においては、加圧ヘッド３Ａ、３Ｂをゴム等の弾性体によって中実に形成した。本実施の形態の加圧ヘッド５０は、図６（ａ）（ｂ）に示すようにゴム等のなる弾性変形部５１と、この弾性変形部５１に空気を導入する空気導入部５２とからなっており、空気導入部５２はヘッド支持板４（４Ａ、４Ｂ）に固定されている。弾性変形部５１は、加圧部５１ａが変形し易いように薄肉に形成された中空部５１ｂを有し、加圧部５１ａの反対側が開放し、この開放部が空気導入部５２に固定されている。空気導入部５２には、中空部５１ｂに連通するように空気路５２ａが形成され、空気路５２ａに連通するようにホース継手５３が取付けられている。ホース継手５３には、図示しないホースの一端が接続され、ホースの他端は電磁弁、流量計等を介して空気供給源に接続されている。
【００１９】
そこで、ホース継手５３より空気を供給すると、空気は空気路５２ａを通して中空部５１ｂに供給され、図６（ｃ）（ｄ）に示すように加圧部５１ａが膨らむ。従って、図３及び図４に示す磁気ディスク１に磁気テープ４５Ａ、４５Ｂを圧接させる時、図６（ｃ）（ｄ）に示すように加圧部５１ａを膨らませると、中空部５１ｂに供給した空気量に応じた加圧力が得られる。このように、加圧力を空気供給量によって容易に可変することができる。
【００２０】
【発明の効果】
本発明は、加圧ヘッドの両側に配設され研磨テープをガイドする２個の第１のガイドローラと、この第１のガイドローラに対して前記磁気ディスクより離れかつ前記第１のガイドローラより内側の位置に配設され前記研磨テープをガイドする２個の第２のガイドローラとを備え、前記第１のガイドローラは、前記磁気ディスク表面に垂直な方向の位置が不動に設けられ、前記加圧ヘッドは、磁気ディスク表面に垂直な方向に移動可能に設けられ、前記第２のガイドローラは、前記加圧ヘッドと共に移動可能に設けられており、前記研磨テープが前記加圧ヘッドで前記磁気ディスクに圧接した時に、加圧ヘッドと第１のガイドローラとの研磨テープ部分の角度と、第１のガイドローラと第２のガイドローラとの研磨テープ部分の角度は、逆向きで同じ角度になるように、第１のガイドローラと第２のガイドローラとを設けたので、研磨テープのテンションによる加圧ヘッドの荷重の変動が生じなく、加工精度の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気ディスク表面加工装置の一実施の形態を示す側面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１と同じ側面図である。
【図４】図３の平面図である。
【図５】図３の状態の要部平面図である。
【図６】加圧ヘッドの他の実施の形態を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）（ｄ）は空気を供給した状態で、（ｃ）は側面図、（ｄ）は平面図である。
【図７】従来の一般的な磁気ディスク表面加工装置の概略説明図である。
【符号の説明】
１    磁気ディスク
２Ａ、２Ｂ    加工装置
３Ａ、３Ｂ    加圧ヘッド
４Ａ、４Ｂ    ヘッド支持板
５Ａ、５Ｂ    水平移動板
９    上下移動板
２１Ａ、２１Ｂ    調整ねじ
２２Ａ、２２Ｂ    雌ねじ
２４Ａ、２４Ｂ    ばね
３６Ａ乃至４１Ａ及び３６Ｂ乃至４１Ｂ    ガイドローラ
４５Ａ、４５Ｂ    研磨テープ
５０    加圧ヘッド
【図１】
0003706538.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003706538.tif 000008