(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ブロック背面（２０ｂ）に形成された第１流体のための第１流出入口（２２）と第１弁開口（２３）とを有する第１流体チャンバ（２１）と、前記第１弁開口（２３）を介して連通されブロック側面のいずれか（２０ｄ）に形成された主流体のための第１連通開口（２６）を有する第１主流体チャンバ（２５）と、前記第１弁開口（２３）を開閉する第１弁機構（Ｖ１）を備える第１弁ブロック（２０）と、
ブロック背面（３０ｂ）に形成された第２流体のための第２流出入口（３２）と第２弁開口（３３）とを有する第２流体チャンバ（３１）と、前記第２弁開口（３３）を介して連通されブロック側面のいずれか（３０ｃ）に形成された主流体のための第２連通開口（３６）を有する第２主流体チャンバ（３５）と、前記第２弁開口（３３）を開閉する第２弁機構（Ｖ２）を備える第２弁ブロック（３０）とからなり、
前記第１弁ブロックの第１主流体チャンバ（２５）または前記第２弁ブロックの第２主流体チャンバ（３５）の少なくとも一方の弁ブロック（２０，３０）の正面（２０ａ，３０ａ）に主流体流出入口（２７）が形成されるとともに、
前記第１弁ブロックの第１連通開口（２６）と前記第２弁ブロックの第２連通開口（３６）とが互いに連通して連結配置されている
ことを特徴とするマニホールド弁構造体（１０）。
【請求項２】
ブロック背面（２０ｂ）に形成された第１流体のための第１流出入口（２２）と第１弁開口（２３）とを有する第１流体チャンバ（２１）と、前記第１弁開口（２３）を介して連通されブロック側面のいずれか（２０ｄ）に形成された主流体のための第１連通開口（２６）を有する第１主流体チャンバ（２５）と、前記第１弁開口（２３）を開閉する第１弁機構（Ｖ１）を備える第１弁ブロック（２０）と、
ブロック背面（３０ｂ）に形成された第２流体のための第２流出入口（３２）と第２弁開口（３３）とを有する第２流体チャンバ（３１）と、前記第２弁開口（３３）を介して連通されブロック側面のいずれか（３０ｃ）に形成された主流体のための第２連通開口（３６）を有する第２主流体チャンバ（３５）と、前記第２弁開口（３３）を開閉する第２弁機構（Ｖ２）を備える第２弁ブロック（３０）と、
ブロック背面（４０ｂ）に形成された第３流体のための第３流出入口（４２）と第３弁開口（４３）とを有する第３流体チャンバ（４１）と、前記第３弁開口（４３）を介して連通されブロック側面の両側（４０ｃ，４０ｄ）に形成された主流体のための第３連通開口（４６）及び第４連通開口（４７）を有する第３主流体チャンバ（４５）と、前記第３弁開口（４３）を開閉する第３弁機構（Ｖ３）を備える第３弁ブロック（４０）とからなり、
前記第１弁ブロックの第１主流体チャンバ（２５）、前記第２弁ブロックの第２主流体チャンバ（３５）、前記第３弁ブロックの第３主流体チャンバ（４５）の少なくとも一つの弁ブロック（２０，３０，４０）の正面（２０ａ，３０ａ，４０ａ）に主流体流出入口（２７）が形成されるとともに、
前記第１弁ブロックの第１連通開口（２６）と前記第３弁ブロックの第３連通開口（４６）と、及び前記第２弁ブロックの第２連通開口（３６）と前記第３弁ブロックの第４連通開口（４７）とがそれぞれ連通して連結配置されている
ことを特徴とするマニホールド弁構造体（１０Ｂ）。
【請求項３】
請求項２において、前記第３弁ブロック（４０）を複数備え、隣接する第３弁ブロック（４０）の第３連通開口（４６）と第４連通開口（４７）とが連通して連結配置されているマニホールド弁構造体（１０Ｃ）。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、マニホールド弁構造体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、工場等で、配管に純水等の流体を流し、所定の作業場所へ供給する場合がある。その際、目的とする作業や製品に応じて、前記純水等の流体に必要となる薬品等を所定流量で混入して主流体として供給するため、あるいは前記主流体等の一の流体を複数の場所へ分配して供給するため、配管の途中に図１３及び図１４に示すようなマニホールド弁構造体５０を接続することがある。
【０００３】
前記マニホールド弁構造体５０は、略直方体の本体ブロック５１と弁機構６０を備える副ブロック５５よりなる。
前記本体ブロック５１には、その長手方向に所定間隔でもって複数の本体側連通開口５２が本体ブロック５１の上面から本体ブロック５１内に下向きに形成されている。該本体側連通開口５２の下端位置には本体ブロック５１の長手方向に沿う水平方向の主流体流路５３が形成されており、該主流体流路５３と本体側連通開口５２とが通じている。なお、前記主流体流路５３の両端の少なくとも一方（図示の例では片方）には配管等との接続口となる主流体流出入口５４が設けられ、該主流体流出入口５４は弁構造体５０外に開口している。
【０００４】
一方、副ブロック５５は、前記本体ブロック５１の上面に複数個（図示の例では３個）並設されている。それぞれの副ブロック５５の下部には、前記本体側連通開口５２の上端と一連に通じる副ブロック側連通開口５６が上下方向に形成されると共に、該副ブロック側連通開口５６の上端と弁機構６０の下部を介して通じる副流体（純水や薬品等）のための副流体流出入口５７が副ブロック５５の正面または背面から水平方向に形成されている。また、前記弁機構６０はエアーにより上昇しスプリング６５により下降する弁部６１を備える公知のもので、前記弁部６１が副ブロック側連通開口５６を開閉するように設けられている。符号６２はダイアフラムである。
【０００５】
前記構造のマニホールド弁構造体５０は、前記副流体流出入口５７に薬品等の供給装置が接続される。そして、必要に応じて副ブロック５５の弁機構６０を適宜作動させて前記副ブロック側連通開口５６を開放すれば、所定量の副流体を副ブロック側連通開口５６及び本体ブロック側連通開口５２を通して主流体流路５３内に供給できる。また、複数の副流体を切り替えて供給する場合には、該当する他の副ブロック側連通流路の上端をそれと対応する弁機構６０の作動によって開ければよい。
【０００６】
しかしながら、前記従来のマニホールド弁構造体５０にあっては、ユーザーのニーズに合わせて、供給する副流体の数等に対応できるように、言い換えれば、組み合わせる副ブロック５５（副流体流出入口５７）の数に合致するするように、その都度本体ブロック５１を設計しなければならず、汎用性に劣っていた。また、工場等へのマニホールド弁構造体の設置後、供給する副流体の数を増減させる必要が生じたときには、本体ブロック５１を新たに設計変更して取り替える必要が生じるので、手間がかかるとともにコスト的に不利であった。
【０００７】
加えて、前記従来構造では、配管等との接続口となる主流体流出入口５４と副流体流出入口５７は、図示の如く互いに直交する方向に形成されるのが一般的である。その結果、マニホールド弁構造体５０外における主流体の流れ方向と副流体の流れ方向とが平行になるようにマニホールド弁構造体５０を設置する場合には、当該マニホールド弁構造体５０の設置スペースを広くとる必要が生じる等、制約を受けることがあった。詳しくは、当該マニホールド弁構造体５０の主流体流出入口５７を、図１２の（Ｂ）のように、該弁構造体外の副流体の流れ方向に平行な、つまり前記主流体流路５３に直交する配管Ｐに接続する場合には、図示の如く継ぎ手Ｒ等により流体の流れを変換する必要が生じ、その継ぎ手Ｒ分無駄なスペースができてしまう。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記の点に鑑みて提案されたものであって、汎用性に優れるとともに、設置後において供給する副流体の数等を変更する場合にも簡単かつ迅速に対応でき、コスト的にも有利なマニホールド弁構造体を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
すなわち、請求項１の発明は、ブロック背面（２０ｂ）に形成された第１流体のための第１流出入口（２２）と第１弁開口（２３）とを有する第１流体チャンバ（２１）と、前記第１弁開口（２３）を介して連通されブロック側面のいずれか（２０ｄ）に形成された主流体のための第１連通開口（２６）を有する第１主流体チャンバ（２５）と、前記第１弁開口（２３）を開閉する第１弁機構（Ｖ１）を備える第１弁ブロック（２０）と、ブロック背面（３０ｂ）に形成された第２流体のための第２流出入口（３２）と第２弁開口（３３）とを有する第２流体チャンバ（３１）と、前記第２弁開口（３３）を介して連通されブロック側面のいずれか（３０ｃ）に形成された主流体のための第２連通開口（３６）を有する第２主流体チャンバ（３５）と、前記第２弁開口（３３）を開閉する第２弁機構（Ｖ２）を備える第２弁ブロック（３０）とからなり、前記第１弁ブロックの第１主流体チャンバ（２５）または前記第２弁ブロックの第２主流体チャンバ（３５）の少なくとも一方の弁ブロック（２０，３０）の正面（２０ａ，３０ａ）に主流体流出入口（２７）が形成されるとともに、前記第１弁ブロックの第１連通開口（２６）と前記第２弁ブロックの第２連通開口（３６）とが互いに連通して連結配置されていることを特徴とするマニホールド弁構造体（１０）に係る。
【００１０】
また、請求項２の発明は、ブロック背面（２０ｂ）に形成された第１流体のための第１流出入口（２２）と第１弁開口（２３）とを有する第１流体チャンバ（２１）と、前記第１弁開口（２３）を介して連通されブロック側面のいずれか（２０ｄ）に形成された主流体のための第１連通開口（２６）を有する第１主流体チャンバ（２５）と、前記第１弁開口（２３）を開閉する第１弁機構（Ｖ１）を備える第１弁ブロック（２０）と、ブロック背面（３０ｂ）に形成された第２流体のための第２流出入口（３２）と第２弁開口（３３）とを有する第２流体チャンバ（３１）と、前記第２弁開口（３３）を介して連通されブロック側面のいずれか（３０ｃ）に形成された主流体のための第２連通開口（３６）を有する第２主流体チャンバ（３５）と、前記第２弁開口（３３）を開閉する第２弁機構（Ｖ２）を備える第２弁ブロック（３０）と、ブロック背面（４０ｂ）に形成された第３流体のための第３流出入口（４２）と第３弁開口（４３）とを有する第３流体チャンバ（４１）と、前記第３弁開口（４３）を介して連通されブロック側面の両側（４０ｃ，４０ｄ）に形成された主流体のための第３連通開口（４６）及び第４連通開口（４７）を有する第３主流体チャンバ（４５）と、前記第３弁開口（４３）を開閉する第３弁機構（Ｖ３）を備える第３弁ブロック（４０）とからなり、前記第１弁ブロックの第１主流体チャンバ（２５）、前記第２弁ブロックの第２主流体チャンバ（３５）、前記第３弁ブロックの第３主流体チャンバ（４５）の少なくとも一つの弁ブロック（２０，３０，４０）の正面（２０ａ，３０ａ，４０ａ）に主流体流出入口（２７）が形成されるとともに、前記第１弁ブロックの第１連通開口（２６）と前記第３弁ブロックの第３連通開口（４６）と、及び前記第２弁ブロックの第２連通開口（３６）と前記第３弁ブロックの第４連通開口（４７）とがそれぞれ連通して連結配置されていることを特徴とするマニホールド弁構造体（１０Ｂ）に係る。
【００１１】
さらに、請求項３の発明は、請求項２において、前記第３弁ブロック（４０）を複数備え、隣接する第３弁ブロック（４０）の第３連通開口（４６）と第４連通開口（４７）とが連通して連結配置されているマニホールド弁構造体（１０Ｃ）に係る。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説明する。
図１は請求項１の発明の一実施例に係るマニホールド弁構造体を示す正面図、図２は図１の２−２断面図、図３は図１の３−３断面図、図４は同マニホールド弁構造体のブロック並設方向に沿って切断した断面図、図５は同マニホールド弁構造体におけるブロック連結部分の連通開口周辺を拡大して示す断面図、図６は請求項１に記載した発明の他の実施例に係るマニホールド弁構造体を示す正面図、図７は同マニホールド弁構造体のブロック並設方向に沿って切断した断面図、図８は請求項２の発明の一実施例に係るマニホールド弁構造体を示す正面図、図９は同マニホールド弁構造体のブロック並設方向に沿って切断した断面図、図１０は請求項３の発明の一実施例に係るマニホールド弁構造体を示す正面図、図１１は同マニホールド弁構造体のブロック並設方向に沿って切断した断面図、図１２は図８のマニホールド弁構造体の配管等との接続例を従来構造と比較して示した概略図である。
【００１３】
〔請求項１の発明〕
図１ないし図４に示すマニホールド弁構造体１０は、請求項１の発明の一実施例に係るものであり、第１弁ブロック２０と第２弁ブロック３０とからなる。このマニホールド弁構造体１０は、工場等で、純水等の流体を所定の作業場所へ供給する配管の途中等に接続され、前記純水等に薬品等を所定流量で混合して主流体として供給したり、あるいは所定流体を複数の場所へ分配して供給したりするのに使用される。なお、図２及び図３は図１の２−２線、３−３線でそれぞれ切断した断面図であるが、理解を容易にするために、各弁ブロック２０，３０を後述する作動流体流通口２８ａ，２８ｂ，３８ａ，３８ｂを通って切断している。
【００１４】
第１弁ブロック２０は、図のような略直方体に形成され、第１流体チャンバ２１と第１主流体チャンバ２５と第１弁機構Ｖ１を備えている。なお、この実施例では、図示から理解されるように、前記第１流体チャンバ２１は第１弁ブロック２０の略中央に位置し、該第１流体チャンバ２１の下方に前記第１主流体チャンバ２５が位置している。
【００１５】
前記第１流体チャンバ２１は、第１流体（純水や薬品等）のための第１流出入口２２と第１弁開口２３を有している。前記第１流出入口２２は、当該第１弁ブロック２０における第１流体が流出入する部分であり、第１弁ブロック２０の正面２０ａ，背面２０ｂ，第２弁ブロック３０の反対側の側面２０ｃ，下面２０ｅの何れか（図示の例では背面２０ｂ）から略水平方向に形成されている。また、前記第１弁開口２３は、第１主流体チャンバ２５に連通するように、前記第１流出入口２２と直交する略鉛直方向（上下方向）に形成されている。なお、この実施例では、前記第１流体チャンバ２１内には、後述するように第１弁機構Ｖ１の弁部Ｖａが配され、当該第１流体チャンバ２１は弁室を構成している。
【００１６】
第１主流体チャンバ２５は、前記第１弁開口２３を介して第１流体チャンバ２１と連通するように形成され、主流体のための第１連通開口２６と主流体流出入口２７を有している。前記第１連通開口２６は、後述する第２弁ブロック３０の第２連通開口３６と連通する部分であり、第１弁ブロック２０の第２弁ブロックに対向する側面（図の右側面）２０ｄから略水平方向に形成されている。また、前記主流体流出入口２７は、当該弁構造体１０における主流体が流出入する部分であり、第１弁ブロック２０の正面２０ａ，背面２０ｂ，第２弁ブロックの反対側の側面（図の左側面）２０ｃ，下面２０ｅの何れか（図示の例では前記第１流出入口２２とは反対側となる正面２０ａ）から略水平方向に形成されている。
【００１７】
また、前記第１流体チャンバ２１または第１主流体チャンバ２５の何れか、実施例では第１流体チャンバ２１には、前記第１弁開口２３を開閉する第１弁機構Ｖ１が配設されている。この第１弁機構Ｖ１としては、前記第１流体チャンバ２１内を適宜手段により上下動する弁部を備えたものが用いられる。
【００１８】
実施例では、前記第１弁機構Ｖ１は、第１流体チャンバ２１内を上下動する弁部Ｖａと、該弁部Ｖａの上部に固着され前記第１流体チャンバ２１上方の第１調圧室２８内を上下動するピストン部Ｖｂとを有し、そのピストン部Ｖｂ上面と第１調圧室２８の内壁間にはスプリングＳが介在され、当該ピストン部Ｖｂは下方向へ付勢されている。そして、前記第１調圧室２８のピストン部Ｖｂより下方の空間にエアー等の作動流体を流入させることにより前記ピストン部Ｖｂ及び弁部Ｖａが上昇し、反対に前記空間から作動流体を流出させると前記スプリングＳの弾性力により前記ピストン部Ｖｂ及び弁部Ｖａが下降する。また、実施例の第１弁機構Ｖ１においては、前記弁部Ｖａの上部にダイヤフラム部Ｖｃが設けられている。さらに、実施例では、第１弁ブロック２０の上面２０ｆに調節ネジ部材Ｎが螺着され、該調節ネジ部材Ｎの回動によりピストン部Ｖｂ上面と第１調圧室２８の内壁間の距離（ピストン部Ｖｂが上死点に位置する場合における距離）を変え、それにより前記弁部Ｖａと第１弁開口２３間の開度を微調整できるようになっている。なお、図中の符号２８ａ，２８ｂは前記第１弁機構Ｖ１を上下動させるエアー等の作動流体を第１調圧室２８内に流通させるための作動流体流通口である。
【００１９】
前記第１弁機構Ｖ１は、適当な制御装置（図示せず）と接続されており、第１流体あるいは主流体の所要供給量に合わせて前記弁部Ｖａが上下動することによって、前記第１弁開口２３を開閉し、第１流体チャンバ２１の第１流出入口２２から流入する第１流体を第１主流体チャンバ２５内へ供給しまたは供給を停止し、あるいは第１主流体チャンバ２５の主流体流出入口２７から流入する流体を第１流体チャンバ２１内へ供給しまたは供給を停止する。
【００２０】
第２弁ブロック３０は、前記第１弁ブロック２０と同様に、図のような略直方体に形成され、第２流体チャンバ３１と第２主流体チャンバ３５と第２弁機構Ｖ２を備えている。なお、この実施例では、図示から理解されるように、前記第２流体チャンバ３１は第２弁ブロック３０の略中央に位置し、該第２流体チャンバ３１の下方に前記第２主流体チャンバ３５が位置している。
【００２１】
前記第２流体チャンバ３１は、第２流体のための第２流出入口３２と第２弁開口３３を有している。前記第２流出入口３２は、当該第２弁ブロック３０における第２流体が流出入する部分であり、第２弁ブロック３０の正面３０ａ，背面３０ｂ，第１弁ブロックの反対側の側面（図の右側面）３０ｄ，下面３０ｅの何れか（図示の例では背面３０ｂ）から略水平方向に形成されている。また、前記第２弁開口３３は、第２主流体チャンバ３５に連通するように、前記第２流出入口３２と直交する略鉛直方向に形成されている。なお、この実施例では、前記第２流体チャンバ３１内には、後述する第２弁機構Ｖ２の弁部Ｖａが配され、当該第２流体チャンバ３１は弁室を構成している。
【００２２】
第２主流体チャンバ３５は、前記第２弁開口３３を介して第２流体チャンバ３１と連通するように形成され、主流体のための第２連通開口３６を有している。前記第２連通開口３６は、前記第１弁ブロック２０の第１連通開口２６と連通する部分であり、第２弁ブロック３０の第１弁ブロック２０に対向する側面（図の左側面）３０ｃから略水平方向に形成されている。
【００２３】
また、前記第２流体チャンバ３１または第２主流体チャンバ３５の何れか、実施例では第２流体チャンバ３１には、前記第２弁開口３３を開閉する第２弁機構Ｖ２が設けられている。この第２弁機構Ｖ２は前記第１弁機構Ｖ１と同じ構成のものが用いられるので、図示において前記第１弁機構Ｖ１の部材と同一部材については同一符号を付し、その説明を省略する。なお、図中の符号３８は第２弁ブロック３０の第２流体チャンバ３１上方に形成される第２調圧室、３８ａ，３８ｂは第２弁機構Ｖ２を上下動させるエアー等の作動流体を第２調圧室３８内に流通させるための作動流体流通口である。
【００２４】
ここで、前記第１弁機構Ｖ１と第２弁機構Ｖ２は、各流体毎に供給及び供給停止の切り替えや供給量の増減の調整を行えるよう互いに独立して作動できるようにしたり、あるいは各流体の同時供給や交互供給の場合等に対応できるよう各弁機構同士を関連させて作動できるようにしてもよい。このように各弁機構を関連させて作動させる一方法としては、図示しないコンピュータ制御装置等を介して作動流体供給装置を前記作動流体流通口２８ａ，２８ｂ，３８ａ，３８ｂと接続する方法がある。
【００２５】
前記各弁ブロック２０，３０及び弁機構Ｖ１，Ｖ２の弁部ＶａやダイヤフラムＶｃ等流体と接触する部分の材質は、主流体及び副流体の種類によって適宜選択されるが、酸やアルカリ等に対する耐性を有するＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等が好適である。
【００２６】
このマニホールド弁構造体１０においては、前記第１弁ブロック２０及び第２弁ブロック３０を、それらの連通開口２６，３６を有する側面２０ｄ，３０ｃが連結面となるように連結される。これにより、前記第１弁ブロック２０の第１連通開口２６と第２弁ブロック３０の第２連通開口３６とが互いに連通して連結配置され、第１弁ブロック２０の第１主流体チャンバ２５と第２弁ブロック３０の第２主流体チャンバ３５が一体になる。
【００２７】
前記各ブロック２０，３０の連結は、各ブロック側面から螺着されるボルト等の緊締部材（図示せず）を用いて行われるが、マニホールド弁構造体１０の使用に際して漏れのないよう当該連結を密に行う必要がある。この実施例では、図５の（Ａ）に示すように、前記第１弁ブロック２０の第２弁ブロック側側面２０ｄの第１連通開口２６外周には該第１連通開口２６を取り囲むように環状凹溝部２９ａが形成され、これに対して、前記第２弁ブロック３０の第１弁ブロック側側面３０ｃの第２連通開口３６周縁には環状突起３９ａが突設され、さらに環状突起３９ａの外周には前記環状凹溝部２９に収容される頭部３９ｃと前記環状凹溝部２９ａの内周縁部２９ｂに当接するテーパ面３９ｄとを有する環状突部３９ｂが形成されていて、当該両弁ブロック２０，３０の連結時、すなわち前記緊締部材の緊締時には、図５の（Ｂ）に示すように、前記第２弁ブロック３０の環状突起３９ａが前記第１弁ブロック２０の第１連通開口２６周縁に圧着されるとともに、前記第弁２ブロック３０の環状突部３９ｂが前記環状凹溝部２９ａに収容されかつ前記環状突部３９ｂのテーパ面３９ｄが前記環状凹溝部２９ａの内周縁部２９ｂに圧着されるようになっている。このようにすれば実に密に両弁ブロック２０，３０を連結できる。勿論、これに限らず、当該弁ブロックの連結に際して両弁ブロック間にシールパッキン等を介設する等してシール性を高めるシール構造を適用してもよい。
【００２８】
次に、かかる構造のマニホールド弁構造体１０の作動について説明する。なお、各流体供給時の異なる時点の作動を一度に視覚的に確認できるようにするため、図４ではマニホールド弁構造体１０の２つの弁機構Ｖ１，Ｖ２が第１流体あるいは第２流体供給時の異なった時点の位置を同時に示している。
【００２９】
まず、当該マニホールド弁構造体１０を、純水や薬品等の副流体（実施例では第１流体と第２流体に相当する。）を所定流量で混合して主流体として供給するために用いる場合における作動について述べる。最初に、前記第１流出入口２２または第２流出入口３２からマニホールド弁構造体１０内に入った第１流体または第２流体は、前記第１流体チャンバ２１または第２流体チャンバ３１を満たす。次いで、弁機構Ｖ１，Ｖ２の弁部Ｖａが上昇し、前記第１弁開口２３または第２弁開口３３が開くと所定流量の各流体が前記第１主流体チャンバ２５または第２主流体チャンバ３５内に供給される。ここで、前記第２主流体チャンバ３５内に供給された第２流体は前記第２連通開口３６，第１連通開口２６を介して第１主流体チャンバ２５内に流入し、該第１主流体チャンバ２５内で第１流体と第２流体とが混合される。そして、その混合流体が主流体として前記第１主流体チャンバ２５の第１主流体流出入口２７から排出される。これに対して、前記エアー等の作動流体の切換により第１弁機構Ｖ１または第２弁機構Ｖ２の両方または何れか一方の弁部ＶａがスプリングＳのバネ弾性によって下降すると、該弁部Ｖａに対応する第１弁開口２３または第２弁開口３３が閉じられ、第１流体または第２流体の第１主流体チャンバ２５または第２主流体チャンバ３５への供給が停止する。
【００３０】
次に、所定流体を複数の場所へ分配して供給するために、当該マニホールド弁構造体１０を用いる場合における作動について述べる。最初に、前記第１主流体流出入口２７からマニホールド弁構造体１０内に入った流体は、前記第１主流体チャンバ２５を満たすとともに、その流体は前記第１連通開口２６，第２連通開口３６を介して第２主流体チャンバ３５内に流入する。次いで、前記弁機構Ｖ１，Ｖ２の弁部Ｖａが上昇し、前記第１弁開口２３及び第２弁開口３３が開くと所定流量の流体が前記第１流体チャンバ２１及び第２流体チャンバ３１内に流入し、その後前記第１流出入口２２及び第２流出入口３２から弁構造体１０外へ流出される。一方、前記エアー等の作動流体の切換により第１弁機構Ｖ１または第２弁機構Ｖ２の両方または何れか一方の弁部ＶａがスプリングＳのバネ弾性によって下降すると、該弁部Ｖａに対応する第１弁開口２３または第２弁開口３３が閉じられ、流体の第１流体チャンバ２１または第２流体チャンバ３１への流入（供給）が停止する。
【００３１】
なお、上記実施例においては、各弁ブロック２０，３０の第１流体チャンバ２１及び第２流体チャンバ３１は各主流体チャンバ２５，３５の上方に位置し、該第１流体チャンバ２１及び第２流体チャンバ３１内に弁機構Ｖ１，Ｖ２の弁部Ｖａが配されているが、これに限らず、図６及び図７に示す他の実施例に係るマニホールド弁構造体１０Ａの如く、第１流体チャンバ２１Ａ及び第２流体チャンバ３１Ａを第１主流体チャンバ２５Ａ及び第２主流体チャンバ３５Ａの下方に形成し、前記第１主流体チャンバ２５Ａ内に第１流体チャンバ２１Ａの第１弁開口２３Ａを開閉する第１弁機構Ｖ１の弁部Ｖａを、第２主流体チャンバ３５Ａ内に第２流体チャンバ３１Ａの第２弁開口３３Ａを開閉する第２弁機構Ｖ２の弁部Ｖａをそれぞれ配してもよい。図示の符号２０Ａは第１弁ブロック、２２Ａは第１流体チャンバ２１Ａの第１流出入口、２６Ａは第１主流体チャンバ２５Ａの第１連通開口、２７Ａは第１主流体チャンバ２５Ａの主流体流出入口、３０Ａは第２弁ブロック、３２Ａは第２流体チャンバ３１Ａの第２流出入口、３６Ａは第２主流体チャンバ３５Ａの第２連通開口である。
【００３２】
〔請求項２の発明〕
次に、請求項２の発明について図８及び図９を用いて説明する。図示するマニホールド弁構造体１０Ｂは、請求項２の発明の一実施例に係るものであり、第１弁ブロック２０と第２弁ブロック３０と該両弁ブロック２０，３０間に挟まれる第３弁ブロック４０からなる。なお、このマニホールド弁構造体１０Ｂの第１弁ブロック２０及び第２弁ブロック３０の構成は、前記図１ないし図４に示したマニホールド弁構造体１０のものと同一であるため、図において同一符号を付し、それらの説明は便宜上省略するものとする。以下、第３弁ブロック４０について詳述する。図８中の符号４０ａは、第３弁ブロック４０の正面である。
【００３３】
第３弁ブロック４０は、前記第１弁ブロック２０及び第２弁ブロック３０と同様に、図のような略直方体に形成され、第３流体チャンバ４１と第３主流体チャンバ４５と第３弁機構Ｖ３を備えている。なお、この実施例では、図示から理解されるように、前記第３流体チャンバ４１は第３弁ブロック４０の略中央に位置し、該第３流体チャンバ４１の下方に前記第３主流体チャンバ４５が位置しているが、前述したマニホールド弁構造体１０Ａの各弁ブロック２０Ａ，３０Ａの如く、第３主流体チャンバが第３流体チャンバの上方に位置するように両チャンバを形成してもよい。
【００３４】
前記第３流体チャンバ４１は、第３流体のための第３流出入口４２と第３弁開口４３を有している。前記第３流出入口４２は、第３弁ブロック４０における第３流体が流出入する部分であり、第３弁ブロック４０の正面，背面，下面の何れか（図示の例では背面４０ｂ）から略水平方向に形成されている。前記第３弁開口４３は、第３主流体チャンバ４５に連通するように、前記第３流出入口４２と直交する略鉛直方向に形成されている。
【００３５】
第３主流体チャンバ４５は、前記第３弁開口４３を介して第３流体チャンバ４１と連通するように形成され、主流体のための第３連通開口４６及び第４連通開口４７を有している。前記第３連通開口４６は、第１弁ブロック２０の第１連通開口２６と連通する部分であり、第３弁ブロック４０の第１弁ブロック２０に対向する側面（図の左側面４０ｃ）から略水平方向に形成されている。一方、前記第４連通開口４７は、第２弁ブロック３０の第２連通開口３６と連通する部分であり、第３弁ブロック４０の第２弁ブロック３０に対向する側面（図の右側面４０ｄ）から略水平方向に形成されている。
【００３６】
また、前記第３流体チャンバ４１または第３主流体チャンバ４５の何れか、実施例では第３流体チャンバ４１には、前記第３弁開口４３を開閉する第３弁機構Ｖ３が配設されている。なお、前記したように第３主流体チャンバが第３流体チャンバの上方に位置する場合には、第３主流体チャンバに第３弁機構Ｖ３が配設されることになる。前記第３弁機構Ｖ３としては、前記第１弁機構Ｖ１と同じ構成のものが用いられるので、図示において前記第１弁機構Ｖ１の部材と同一部材については同一符号を付し、その説明を省略する。図中の符号４８は第３弁ブロック４０の第３流体チャンバ４１上方に形成される第３調圧室、４８ａ，４８ｂは第３弁機構Ｖ３を上下動させるエアー等の作動流体を第３調圧室４８内に流通させるための作動流体流通口である。
【００３７】
そして、このマニホールド弁構造体１０Ｂにおいては、第１弁ブロック２０及び第２弁ブロック３０とで第３弁ブロック４０を挟むようにボルト等の緊締部材により密に連結されることによって、前記第１弁ブロック２０の第１連通開口２６と前記第３弁ブロック４０の第３連通開口４６と、及び前記第２弁ブロック３０の第２連通開口３６と前記第３弁ブロック４０の第４連通開口４７とがそれぞれ連通して連結配置され、前記第１主流体チャンバ２５，第２主流体チャンバ３５，第３主流体チャンバ４５が一体となる。なお、この各ブロックを連結する際には、上記したマニホールド弁構造体１０のシール構造を適用するのが好ましい。また、このマニホールド弁構造体１０Ｂの作動については上記マニホールド弁構造体１０の作動と概ね同じであるので説明は省略する。
【００３８】
〔請求項３の発明〕
図１０及び図１１には、請求項３の発明の一実施例に係るマニホールド弁構造体１０Ｃが示されている。このマニホールド弁構造体１０Ｃは、前記第１弁ブロック２０と第２弁ブロック３０と複数（図示の例では２つ）の第３弁ブロック４０，４０からなる。なお、各弁ブロック２０，３０，４０の構成は、前記マニホールド弁構造体１０あるいは１０Ｂの構成と同一であるため、図において同一符号を付し、それらの説明は省略する。
【００３９】
そして、このマニホールド弁構造体１０Ｃにおいては、第１弁ブロック２０及び第２弁ブロック３０とで複数の第３弁ブロック４０，４０を挟むようにボルト等の緊締部材により連結される。これによって、第１弁ブロック２０の第１連通開口２６と最も第１弁ブロック寄りの第３弁ブロック４０の第３連通開口４６と、及び前記第２弁ブロック３０の第２連通開口３６と最も第２弁ブロック寄りの第３弁ブロック４０の第４連通開口４７と、並びに隣接する第３弁ブロック４０の第３連通開口４６と第４連通開口４７とがそれぞれ連通して連結配置され、前記第１主流体チャンバ２５，第２主流体チャンバ３５，第２主流体チャンバ４５，４５が一体となる。なお、このマニホールド弁構造体１０Ｃの作動については上記マニホールド弁構造体１０の作動と概ね同じであるので説明は省略する。
【００４０】
上で述べてきたように前記各弁ブロック２０，３０，４０をモジュール化すれば、前記第３弁ブロック４０の数を適宜選択することにより、様々なユーザーのニーズ、つまり多種多様な副流体の数（あるいは流体を分配供給する作業場所の数）に対応でき、汎用性に優れる。また、工場等におけるマニホールド弁構造体の設置後、前記副流体の数（あるいは流体を分配供給する作業場所の数）を変更する必要が生じても、それに簡単かつ迅速にしかも低コストで対応することができる。
【００４１】
図１２には、上で説明した実施例のマニホールド弁構造体を、該弁構造体外における主流体の流れ方向と副流体の流れ方向が平行となるように、配管等と接続する一例が従来構造の場合と対比して示されている。同図の（Ａ）では、上記請求項２の発明の一実施例に係るマニホールド弁構造体１０Ｂが該弁構造体１０Ｂ外における副流体（第１流体，第２流体，第３流体）の流れ方向に平行な主流体用配管Ｐに接続され、同図（Ｂ）では、先の従来技術の欄で説明したマニホールド弁構造体５０が該弁構造体５０外における副流体の流れ方向に平行な主流体用配管Ｐに接続されている。図からも理解されるように、従来のマニホールド弁構造体５０の場合には、主流体流出入口５４と副流体流出入口５７，５７，５７は互いに直交するように形成されるので、前記配管Ｐと主流体流出入口５４との接続に際して継ぎ手Ｒが必要となり無駄なスペースができてしまう。これに対して、前記マニホールド弁構造体１０Ｂの場合には、主流体流出入口２７と副流体流出入口２２，３２，４２は互いに平行に形成されているので、前記主流体流出入口２７に直接配管Ｐを接続でき、無駄なスペースが生じるのを避けることができる。
【００４２】
なお、本発明は上述した各実施例に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において構成の一部を適宜変更して実施することができる。例えば上記実施例のマニホールド弁構造体１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃにおいては、主流体流出入口は第１弁ブロックに１つ設けられているが、該主流体流出入口を第１弁ブロック，第２弁ブロック，第３弁ブロック中の適宜ブロックに適宜数設けることができる。このように、本発明のマニホールド弁構造体においては、ユーザーのニーズに応じて主流体流出入口の位置（主流体の流れ方向）および数を自由に設定することができる。
【００４３】
【発明の効果】
以上図示し説明したように、本発明に係るマニホールド弁構造体においては、副流体のためのチャンバと主流体のためのチャンバをそれぞれ有する各弁ブロックは互いに独立したモジュールとして構成されているので、該弁ブロックを様々な組合せで組み合わせることにより、ユーザーの多種多様なニーズ、つまり副流体の数（あるいは流体を分配供給する作業場所の数）に合致するマニホールド弁構造体を提供でき、極めて汎用性に優れる。また、当該マニホールド弁構造体は、工場等への設置後に副流体の数（あるいは流体を分配供給する作業場所の数）を変更する必要が生じても、それに簡単かつ迅速にしかも低コストで対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  請求項１の発明の一実施例に係るマニホールド弁構造体を示す正面図である。
【図２】  図１の２−２断面図である。
【図３】  図１の３−３断面図である。
【図４】  同マニホールド弁構造体のブロック並設方向に沿って切断した断面図である。
【図５】  同マニホールド弁構造体におけるブロック連結部分の連通開口周辺を拡大して示す断面図である。
【図６】  請求項１に記載した発明の他の実施例に係るマニホールド弁構造体を示す正面図である。
【図７】  同マニホールド弁構造体のブロック並設方向に沿って切断した断面図である。
【図８】  請求項２の発明の一実施例に係るマニホールド弁構造体を示す正面図である。
【図９】  同マニホールド弁構造体のブロック並設方向に沿って切断した断面図である。
【図１０】  請求項３の発明の一実施例に係るマニホールド弁構造体を示す正面図である。
【図１１】  同マニホールド弁構造体のブロック並設方向に沿って切断した断面図である。
【図１２】  図８のマニホールド弁構造体の配管等との接続例を従来構造と比較して示した概略図である。
【図１３】  従来のマニホールド弁構造体を示す正面図である。
【図１４】  同マニホールド弁構造体の断面図である。
【符号の説明】
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ：マニホールド弁構造体
２０：第１弁ブロック
２１：第１流体チャンバ
２２：第１流出入口
２３：第１弁開口
２５：第１主流体チャンバ
２６：第１連通開口
２７：主流体流出入口
３０：第２弁ブロック
３１：第２流体チャンバ
３２：第２流出入口
３３：第２弁開口
３５：第２主流体チャンバ
３６：第２連通開口
４０：第３弁ブロック
４１：第３流体チャンバ
４２：第３流出入口
４３：第３弁開口
４５：第３主流体チャンバ
４６：第３連通開口
４７：第４連通開口
Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３：弁機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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