(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
遅延時間τをパラメータとするデータとして、光ソリトンパルスの基本波光干渉信号強度波形データＩｆ（τ）及び二次高調波光干渉信号強度波形データＩＳＨ（τ）を測定し、
フーリエ変換を行うことによって周波数領域での基本波電場スペクトラム振幅｜Ｅ（ω）｜及び二次高調波光電場スペクトラム｜Ｕ（ω）｜を算出し、
基本波電場スペクトラム振幅｜Ｅ（ω）｜、強度スペクトラム振幅｜Ｉ（ω）｜及び二次高調波光電場スペクトラム｜Ｕ（ω）｜において離散的なピークをそれぞれ抽出し、
これらの｜Ｅ（ω）｜、｜Ｉ（ω）｜及び｜Ｕ（ω）｜を用いてスペクトラム振幅の規格化処理を行い、
基本波電場スペクトラムにおけるピークと二次高調波光電場スペクトラムにおけるピークとの間に成立する関係から、基本波電場スペクトラム振幅｜Ｅ（ω）｜におけるピークｋごとに周波数領域における位相φ（ｋ）を順次算出し、
算出した位相φ（ｋ）と基本波電場スペクトラム振幅でのピーク値｜Ｅ（ｋ）｜とから複素周波数スペクトラムＥ（ω）を決定してこれを逆フーリエ変換することにより光ソリトンパルスの時間波形を再生する、光ソリトンパルスの波形再生方法。
【請求項２】
マイケルソン干渉計と二次高調波発生素子とを備えた光パルスアナライザを使用し、遅延時間τを変えながら光パルスアナライザに光ソリトンパルスを繰返し入射させることによって基本波光干渉信号強度波形データＩｆ（τ）及び二次高調波光干渉信号強度波形データＩＳＨ（τ）を測定する、請求項１に記載の光ソリトンパルスの波形再生方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光パルスの波形測定に関し、特に光ソリトンパルスの波形再生方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信などへの光ソリトンパルスの適用の研究などが進むにつれて、光ソリトン波形を測定したいという要望が高まってきている。
【０００３】
従来、光ファイバなどを伝送する繰返し光パルスの波形観測は、光パルスアナライザを用いて行われている。図１は光パルスアナライザの構成を示すブロック図である。この光パルスアナライザは、大別して、光パルスが入射するマイケルソン（Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ）干渉計１０や光検出部を含むオプティカルユニット１と、オプティカルユニット１からの電気信号を処理して記憶する信号処理ユニット３と、信号処理ユニット３に接続され各種の計算を行う演算処理装置５とによって構成されている。演算処理装置５には、例えば、ワークステーションなどが用いられる。
【０００４】
マイケルソン干渉計１０は、ビームスプリッタ１１と固定ミラー１２と移動ミラー１３とからなっている。マイケルソン干渉計１０に外部から入射した光パルスは、ビームスプリッタ１１によって二分され、一方は固定ミラー１２で反射され、他方は移動ミラー１３で反射され、再びビームスプリッタ１１に到って合波されてマイケルソン干渉計１０から出射し、ビームスプリッタ１６で再び２つに分けられる。ビームスプリッタ１６で分けられた一方の光はフォトダイオードで構成された光検出器１７に入射し、他方の光は、二次高調波発生素子１９を経て二次高調波光成分のみを通すフィルタ２０を通過し、光電子増倍管（ＰＭＴ）によって構成された光検出器２１で検出されるようになっている。二次高調波発生素子１９としては、二次高調波発生（ＳＨＧ；  Ｓｅｃｏｎｄ  Ｈａｒｍｏｎｉｃ  Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ）結晶を用いるものが使用される。さらに、オプティカルユニット１には、基準信号発生用のＨｅ−Ｎｅレーザ（波長６３２．８ｎｍ）１４も設けられており、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１４からのレーザ光（図示破線）もマイケルソン干渉計１０に入射し、マイケルソン干渉計１０から出射したＨｅ−Ｎｅレーザ光は、フォトダイオードで構成された光検出器１５によって検出される。この光検出器１５の出力は、サンプリング信号発生回路１８に入力している。サンプリング信号発生回路１８は、マイケルソン干渉計１０によるＨｅ−Ｎｅレーザ光の干渉縞の周波数を２ｎ倍してサンプリング信号とするための回路である。
【０００５】
信号処理ユニット３には、サンプリング信号発生回路１８からのサンプリング信号に応じて、光検出器１７，２１からの検出信号をサンプリングしてアナログ／デジタル変換するためのＡ／Ｄ変換器３１，３２と、各Ａ／Ｄ変換器３１，３２からのサンプリングごとのデータを蓄積するデータメモリ３３とが設けられている。
【０００６】
次に、このような光パルスアナライザを用いた光パルス波形の測定について説明する。まず、光パルス波形Ｅ１（ｔ）を次式のように定義する。
【０００７】
【数１】
0003609191.tif 000002
ここで、ωｏは光の中心周波数を表わし、ｆ（ｔ）は徐々に変化する位相を含む振幅を表わす。ｊは虚数単位である。光の強度の時間変化をＩ（ｔ）、位相変化量をφ（ｔ）とした場合、式（１）は、
【０００８】
【数２】
0003609191.tif 000003
と表わされる。
【０００９】
移動ミラー１３が変位することによる遅延時間τが与えられたとき、マイケルソン干渉計１０による干渉電場の電界Ｅｆ（ｔ，τ）は２つのビーム（固定ミラー１２からのビームと移動ミラー１３からのビーム）の電界のベクトル和で表わされる。
【００１０】
【数３】
0003609191.tif 000004
上記の干渉電界と光検出器１５で検出したときの光強度は、光検出器１５の応答速度がキャリア周波数ωｏより十分に小さいことから、電界の絶対値の２乗の積分で表わすことができ、その計算結果は、
【００１１】
【数４】
0003609191.tif 000005
と表わされる。ここで積分区間は光検出器１５を含む検出系の時定数の程度である。ただし、式（４）では、
【００１２】
【数５】
0003609191.tif 000006
と規格化しており、さらに、
【００１３】
【数６】
0003609191.tif 000007
とおいている。上式において、Ｅ（ｔ）はｆ（ｔ）にある定数をかけたものである。
【００１４】
式（４）のＩｆ（τ）は、マイケルソン干渉計で得られる通常の干渉波形であり、Ｇ１（τ）を基本波電場相関という。上述の光パルスアナライザでは、光検出器１７によって、基本波光干渉信号強度波形データＩｆ（τ）が測定データとして取得される。
【００１５】
式（３）で表わされる干渉電場Ｅｆ（ｔ，τ）は、ビームスプリッタ１６を介して二次高調波発生素子１９にも入射し、下記の式で表わされる二次高調波光電界ＥＳＨ（ｔ，τ）を発生させる。
【００１６】
【数７】
0003609191.tif 000008
光検出器２１で検出される光干渉信号強度ＩＳＨ（τ）は、ＥＳＨ（ｔ，τ）の絶対値の２乗を光検出器１２の時定数の程度にわたって積分することによって求めることができ、
【００１７】
【数８】
0003609191.tif 000009
なる関係式により規格化すると、結果は次のようになる。
【００１８】
【数９】
0003609191.tif 000010
上式において、Ｇ２（τ），Ｆ１（τ），Ｆ２（τ）は、それぞれ次式のように与えられる。ここで、Ｇ２（τ）は強度相関、Ｆ２（τ）は二次高調波光電場相関を表わしている。
【００１９】
【数１０】
0003609191.tif 000011
式（７）より、Ｇ２（τ），Ｆ１（τ），Ｆ２（τ）は、それぞれ干渉周波数がωｏだけ異なっているので、これらは、フーリエ変換による分離が可能である。光パルスアナライザによって、この二次高調波光干渉信号強度波形データＩＳＨ（τ）も測定される。
【００２０】
上述した各データは、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１４からのレーザ光の干渉を観測しながらマイケルソン干渉計１０の移動ミラー１３を移動させ、背景光レベルを減算しながら、Ｈｅ−Ｎｅレーザ光の干渉周期の精度でサンプリングされる。高速フーリエ変換（ＦＦＴ）を利用する都合上、データのサンプリング数は１０２４×２ｎポイントとする。もしくは、ｍ回の干渉波形を測定して加算する。
【００２１】
全干渉信号強度波形を得たならば、基本波干渉信号強度波形データＩｆ（τ）に対しては、ωｏに対応する周波数を中心としてズーミングを行い、これに対して高速フーリエ変換を行って得られるパワースペクトラムの平方根を求めて｜Ｅ（ω）｜とする。同じように、二次高調波光干渉信号強度波形データＩＳＨ（τ）に対しては、０，２ωｏに対応する周波数を中心としてズーミングを行い、これらに対して高速フーリエ変換を施して得られるパワースペクトラムの値の平方根を求め、それぞれ、｜Ｉ（ω）｜，｜Ｕ（ω）｜とする。
【００２２】
全干渉波形の測定が終わったならば、周波数０，ωｏ，２ωｏに対応する周波数を中心としてズーミングを行い、これらに対して高速フーリエ変換演算を施して得られるパワースペクトラムの値の平方根を求め、それぞれ、｜Ｉ（ω）｜，｜Ｅ（ω）｜，｜Ｕ（ω）｜とする。
【００２３】
続いて、このようにして得られたスペクトラム｜Ｉ（ω）｜，｜Ｅ（ω）｜，｜Ｕ（ω）｜からパルス波形Ｅ（ｔ）を再現する手順について説明する。この手順の概要が図２に示されており、また、図３は、各データ間の関係を示す図である。｜Ｉ（ω）｜，｜Ｅ（ω）｜，｜Ｕ（ω）｜は振幅情報のみであって位相情報を含んでいない。そこで、Ｅ（ω）の位相φ（ω）を仮定してＵ（ω）を計算し、計算された｜Ｕ（ω）｜の値と実際の測定に基づく｜Ｕ（ω）｜の値との誤差が最小になるように位相φ（ω）を決定することによって、パルス波形Ｅ（ｔ）を再現する。具体的手順は以下の通りである。
【００２４】
なお、基本波光干渉強度波形データＩｆ（τ）と二次高調波光干渉強度波形データＩＳＨ（τ）とは、異なる測定系で観測されているので、波形再生を行うに先立って、測定感度の補償、すなわち、スペクトラム振幅の規格化を行わなければならない。｜Ｉ（ω）｜，｜Ｅ（ω）｜，｜Ｕ（ω）｜が、それぞれ、Ｎ点の高速フーリエ変換での離散的なデータ｜Ｉ（ｋ）｜，｜Ｅ（ｋ）｜，｜Ｕ（ｋ）｜で表わされるとして、振幅の補正が行われていれば、式（５），（８），（１０）より、
【００２５】
【数１１】
0003609191.tif 000012
が成立するはずなので、これら式（ａ１），（ａ２）が成立するように、スペクトラム振幅の規格化を行う。つまり、｜Ｉ（ω）｜を仲立ちとして、｜Ｅ（ω）｜と｜Ｕ（ω）｜の間の振幅の相対的関係を一意に決定すればよい。
【００２６】
波形再生計算では、まず、基本波電場スペクトラム振幅データ｜Ｅ（ω）｜に対し、任意の初期位相の値φＥ（ω）を与え、高速逆フーリエ変換（ＩＦＦＴ）を行って、仮定した位相φＥ（ω）に対応する時間波形Ｅ（ｔ）を得る。そして、
【００２７】
【数１２】
0003609191.tif 000013
の関係からＵ（ｔ）を求め、求めたＵ（ｔ）に対して高速フーリエ変換を行うことによって、二次高調波光電場スペクトラムの計算値である｜Ｕ（ω）｜’を算出する。この時、計算により得られる位相φｕ（ω）と二次高調波光電場スペクトラムの測定値｜Ｕ（ω）｜から、基本波電場スペクトラムデータの計算値｜Ｅ（ω）｜’を求める。
【００２８】
測定値｜Ｅ（ω）｜，｜Ｕ（ω）｜と、仮定した位相φＥ（ω）から得た計算値｜Ｅ（ω）｜’，｜Ｕ（ω）｜’との誤差ＳＥ，ＳＵを以下のように定義する。｜Ｅ（ω）｜や｜Ｅ（ω）｜’などはいずれも高速フーリエ変換や高速逆フーリエ変換によるデータであるから、離散的なデータである。したがって、式（１２），（１３）中のΣ記号は、一群の離散的データにわたっての総和を求めることを表わしている。
【００２９】
【数１３】
0003609191.tif 000014
そして誤差ＳＥ，ＳＵが小さくなるように、位相φＥ（ω）を徐々に変化させながら、上述の処理を繰り返す。なお、図２には誤差ＳＵに関する手順のみが示されている。
【００３０】
理論的には、誤差ＳＥ，ＳＵを０にするのがφＥ（ω）の解であるが、現実には、測定データに含まれるノイズのために、これら誤差ＳＥ，ＳＵを０にすることは不可能であり、そこで、ある有限値をもって解とする。すなわち、誤差ＳＥ，ＳＵが所定のスレッショルド値より小さくなったら上述の繰返し演算を終了し、このときの位相φＥ（ω）を位相スペクトルとする。この位相スペクトルφＥ（ω）と振幅スペクトルの測定値｜Ｅ（ω）｜から、複素周波数スペクトルＥ（ω）を求め、これを高速逆フーリエ変換することによって、真の光パルス波形Ｅ（ｔ）を求めることができる。
【００３１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上述した光パルス波形の測定方法には、以下のような問題点がある。▲１▼パルスの周期をＴとすると、周期の短い光ソリトンパルスの周波数スペクトラムは、周波数軸において間隔１／Ｔで数個の離散的なピークが並ぶ構造となり、このようなスペクトルデータを用いて光パルス波形を求めると明らかに元の波形とは異なる波形が再生されてしまう。すなわち、上述の方法が適用できるのは、連続的に変化するようなスペクトラムのデータに限られる。▲２▼また、周波数スペクトラムの離散的なピークの値のみを抽出して、この抽出したピーク値のみを用いて波形再生を行ったところで、測定誤差の見積りが全くできず、計算時間も予測できない。▲３▼さらに、非零のスペクトラムデータ点の数が少ないにも関わらず、計算時間が長いという問題点もある。
【００３２】
本発明の目的は、光ソリトンパルスの干渉信号強度波形データから求めた周波数スペクトラムの離散的なピーク値のデータのみを使用して、繰返しの高速フーリエ変換演算を行うことなく、光ソリトンパルスの波形を再生できる方法を提供することにある。
【００３３】
【課題を解決するための手段】
本発明の光ソリトンパルスの波形再生方法は、遅延時間τをパラメータとするデータとして、光ソリトンパルスの基本波光干渉信号強度波形データＩｆ（τ）及び二次高調波光干渉信号強度波形データＩＳＨ（τ）を測定し、フーリエ変換を行うことによって周波数領域での基本波電場スペクトラム振幅｜Ｅ（ω）｜及び二次高調波光電場スペクトラム｜Ｕ（ω）｜を算出し、基本波電場スペクトラム振幅｜Ｅ（ω）｜、強度スペクトラム振幅｜Ｉ（ω）｜及び二次高調波光電場スペクトラム｜Ｕ（ω）｜において離散的なピークをそれぞれ抽出し、これらの｜Ｅ（ω）｜、｜Ｉ（ω）｜及び｜Ｕ（ω）｜を用いて振幅の規格化処理を行い、基本波電場スペクトラムにおけるピークと二次高調波光電場スペクトラムにおけるピークとの間に成立する関係から、基本波電場スペクトラム振幅｜Ｅ（ω）｜におけるピークｋごとに周波数領域における位相φ（ｋ）を順次算出し、算出した位相φ（ｋ）と基本波電場スペクトラム振幅でのピーク値｜Ｅ（ｋ）｜とから複素周波数スペクトラムＥ（ω）を決定してこれを逆フーリエ変換することにより光ソリトンパルスの時間波形を再生する。
【００３４】
本発明において、基本波光干渉信号強度波形データＩｆ（τ）及び二次高調波光干渉信号強度波形データＩＳＨ（τ）は、マイケルソン干渉計と二次高調波発生素子とを備えた光パルスアナライザを使用し、遅延時間τを変えながらこの光パルスアナライザに光ソリトンパルスを繰返し入射させることによって測定することが好ましい。
【００３５】
一般に、光パルスアナライザで測定した基本波光干渉信号強度波形データ及び二次高調波光干渉信号強度波形データから求めた光ソリトンパルスの周波数スペクトラム｜Ｅ（ω）｜，｜Ｕ（ω）｜，｜Ｉ（ω）｜は、それぞれ、図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、離散的なピークを持つ。ここで、これら干渉波形の測定スパンを長くとると、スペクトラムにおける各ピークの裾の部分が小さくなりピーク構造がより鋭くなって、各々のピーク値は孤立波の包絡線に相当する位置に来る。そこで、周波数スペクトラム｜Ｅ（ω）｜，｜Ｕ（ω）｜，｜Ｉ（ω）｜でのピーク値のみを抽出して、この抽出したデータのみを使って波形再生を行うことが可能になる。本発明は、この着眼点から光ソリトンパルスの波形の再生を行おうとするものである。
【００３６】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について説明する。ここでは、図１を用いて説明した光パルスアナライザに光ソリトンパルスを入射させ、基本波光干渉信号強度波形データと二次高調波光干渉信号強度波形データとを取得したものとする。なお、従来の技術の場合と同様に、各スペクトラム振幅に対して規格化処理が行われるものとする。
【００３７】
高速フーリエ変換での点数すなわち離散スペクトラムにおけるデータ点数をＮとし（典型的にはＮ＝２５６）、基本波電場相関から得られる周波数スペクトラムＥ（ω）の複素数離散データをＥ（０），Ｅ（１），Ｅ（２），…，Ｅ（Ｎ−２），Ｅ（Ｎ−１）とし、二次高調波光電場相関から得られるスペクトラムＵ（ω）の複素数離散データをＵ（０），Ｕ（１），Ｕ（２），…，Ｕ（Ｎ−２），Ｕ（Ｎ−１）とする。すると、時間領域で式（１１）が成立することから、Ｕ（ｉ）とＥ（ｋ）の間には、次の関係式が成立することが導き出される。
【００３８】
【数１４】
0003609191.tif 000015
ただし、ｉ，ｋは０からＮ−１までの整数である。さらに、ｎを整数として、
【００３９】
【数１５】
Ｅ（ｋ）＝Ｅ（ｋ±ｎ・Ｎ）        …（１５）
Ｕ（ｋ）＝Ｕ（ｋ±ｎ・Ｎ）        …（１６）
が成り立つことが導き出される。なお、実際の測定から得られるスペクトラムデータは、複素数離散データの絶対値データである。
【００４０】
上述したように、干渉波形の測定スパンを長くするとスペクトラムにおいて各ピークが鋭くなり、ついには各ピークごとに１点のみが非零の値を有し他のデータ点は実質的に０になる。そこで、以下の説明においては、各スペクトラムＥ（ω），Ｕ（ω）における中心のピークのピーク値をそれぞれＥ（０），Ｕ（０）とし、中心のピークから高周波数側にあるピークを順番にＥ（１），Ｅ（２），…やＵ（１），Ｕ（２），…とし、中心のピークから低周波数側にあるピークを順番にＥ（−１），Ｅ（−２），…やＵ（−１），Ｕ（−２），…とする。すると式（１４）から、例えばＵ（２）は、Ｅ（ｋ）が０でない項のみを採用するとして、
【００４１】
【数１６】
0003609191.tif 000016
のように表わされる。
【００４２】
以下、周波数スペクトラムＥ（ω）でのピークの個数ｎが５である場合の光パルス波形再生を考える。ｎ＝５であるからＥ（−２）からＥ（２）のみが０でなく、したがって周波数スペクトラムＵ（ｉ）の値が０でないのは、式（１４）より、以下の９通りに限られる。
【００４３】
【数１７】
0003609191.tif 000017
式（１８−１）〜（１８−９）についてそれぞれ両辺の複素絶対値をとった式を考える。このとき、Ｕ（−２）からＵ（２）までの５つの式（式（１８−３）〜（１８−７））から、場合に、周波数領域での位相条件を決定できる。
【００４４】
【数１８】
0003609191.tif 000018
この連立方程式（１９−１）〜（１９−５）を満たす、周波数領域での位相値φ（−２）〜φ（２）を求める。まず、位相変数φ（−２），φ（−１），φ（０），φ（１），φ（２）の中で、周波数スペクトラムＥ（ｋ）の０でない値を持つ一番端のスペクトラムとその１つ方の前のスペクトラムとにそれぞれ対応する２つの位相変数φ（２），φ（１）をいずれも０とおく。すなわち、
【００４５】
【数１９】
φ（１）＝φ（２）＝０          …（２０）
とする。
【００４６】
なお、φ(１)＝φ(２)＝０とおいても、波形に関する一般性は失われない。このとき、式(19-1)から、
【００４７】
【数２０】
0003609191.tif 000019
となる。ただし、ａは絶対値の等しい異符号の２つの値をとり得る。同様に、式（１９−２）より、
【００４８】
【数２１】
0003609191.tif 000020
となる。ｂも絶対値の等しい異符号の２つの値をとり得る。
【００４９】
続いて、φ（−２）の値を求める。ここで、式（２０）よりφ（２）＝φ（１）＝０、式（２１）よりφ（０）＝ａ、式（２２）よりφ（−１）＝ｂ−ａであるので、これらを式（１９−３）に代入することにより、各々のａ，ｂの値に対して式（１９−３）を満たす位相変数φ（−２）を決定することができる。
【００５０】
ところで、上で求めたａ,ｂのペアのうちのある特定のａ,ｂに対してφ(−２)の解が存在するならば、その解の個数は一般に最大２個である。こうして式(19-1)〜(19-3)を同時に満たす位相変数の解の組｛φ(−２),φ(−１),φ(０),φ(１),φ(２)｝がいくつか求められるはずである。ただし、φ(１)＝φ(２)＝０である。
【００５１】
ここで式（１９−４），（１９−５）が残っているので、これらの２式を満たすような位相変数の解の組をすでに求めた解の組の中から選び出す。こうして選び出された解が、式（１９−１）〜（１９−５）を同時に満たす解である。このような手続きを行って、周波数領域での各々の位相変数の値φ（−２）からφ（２）を求めることができる。つまり、実際の測定から得られたスペクトラムデータでのピーク値｜Ｅ（−２）｜，…，｜Ｅ（２）｜，｜Ｕ（−４）｜，…，｜Ｕ（４）｜から、基本波電場スペクトラムのピークごとの位相φ（−２）〜φ（２）が決定されたことになる。
【００５２】
以上より、周波数スペクトラムでのピークごとにそのピークの振幅｜Ｅ（ｋ）｜と対応する位相φ（ｋ）が求められたので、高速逆フーリエ変換演算によって、光パルス波形を求めることができる。計算結果は次のようになる。
【００５３】
【数２２】
0003609191.tif 000021
上記手続きによって、従来のような繰返し高速フーリエ変換演算を行わなくても、ソリトン光パルス波形を再生することが可能になる。
【００５４】
以上の説明では、周波数スペクトラム｜Ｅ（ω）｜におけるピークの数ｎが５の場合を説明したが、ピークの数が５本以外の任意の場合についても、式（１８−１）〜（１８−９）に相当する式が式（１４）から直ちに導かれ、それによって、式（１９−１）〜（１９−５）に相当する式が簡単に得られるので、上述した手法を適用することによって、ソリトン光パルス波形を再現することが可能になる。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、光ソリトンパルスの自己相関関数から求めた周波数スペクトラムの離散的なピーク値のデータを使用し、基本波電場相関スペクトルのピークと二次高調波光電場スペクトルのピークとの関係に基づいてピークごとに位相を順次決定することにより、繰返しの高速フーリエ変換演算を行うことなく、光ソリトンパルスの波形を簡単かつ迅速に再生できるようになるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】光パルスアナライザの構成を示すブロック図である。
【図２】従来の光パルス波形測定の原理を示す図である。
【図３】従来の光パルス波形測定の原理を示す図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ周波数スペクトラム｜Ｅ（ω）｜，｜Ｕ（ω）｜，｜Ｉ（ω）｜を示す図である。
【符号の説明】
１    オプティカルユニット
３    信号処理ユニット
５    演算処理装置
１０    マイケルソン干渉計
１１，１６      ビームスプリッタ
１２    固定ミラー
１３    移動ミラー
１４    Ｈｅ−Ｎｅレーザ
１５，１７，２１    光検出器
１８    サンプリング信号発生回路
１９    二次高調波発生素子
２０    フィルタ
３１，３２      Ａ／Ｄ変換器
３３    データメモリ
【図１】
0003609191.tif 000022
【図２】
0003609191.tif 000023
【図３】
0003609191.tif 000024
【図４】
0003609191.tif 000025