(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直流電流を容器内の溶融金属に通電し、Ａｒプラズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型プラズマトーチであって、内部水冷構造を有する導電性金属からなる陽極と、前記陽極の外側に一定の間隔を設け内部水冷構造を有する金属製保護体と、前記陽極と前記保護体の間隙にＡｒを含有する気体を供給する気体供給手段を有し、前記陽極先端外表面の中心部が内側に凹んでいることを特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。
【請求項２】
直流電流を容器内の溶融金属に通電し、Ａｒプラズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型プラズマトーチであって、内部水冷構造を有する導電性金属からなる陽極と、前記陽極の外側に一定の間隔を設け内部水冷構造を有する金属製保護体と、前記陽極と前記保護体の間隙にＡｒを含有する気体を供給する気体供給手段を有し、前記陽極先端外表面の全体が内側に凹んでいることを特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。
【請求項３】
直流電流を容器内の溶融金属に通電し、Ａｒプラズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型プラズマトーチであって、内部水冷構造を有する導電性金属からなる陽極と、前記陽極の外側に一定の間隔を設け内部水冷構造を有する金属製保護体と、前記陽極と前記保護体の間隙にＡｒを含有する気体を供給する気体供給手段を有し、前記陽極先端冷却面にリブを有することを特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。
【請求項４】
直流電流を容器内の溶融金属に通電し、Ａｒプラズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型プラズマトーチであって、内部水冷構造を有する導電性金属からなる陽極と、前記陽極の外側に一定の間隔を設け内部水冷構造を有する金属製保護体と、前記陽極と前記保護体の間隙にＡｒを含有する気体を供給する第１の気体供給手段を有し、前記陽極内部に第２の気体供給手段を有し、前記第２の気体供給手段は陽極先端外表面より気体を吹き出す機能を有することを特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。
【請求項５】
陽極先端外表面の中心部及び全体が内側に凹んでいることを特徴とする請求項１に記載の移行型プラズマ加熱用陽極。
【請求項６】
陽極先端冷却面にリブを有することを特徴とする請求項１，２又は５のいずれか１項に記載の移行型プラズマ加熱用陽極。
【請求項７】
陽極内部に第２の気体供給手段を有し、前記第２の気体供給手段は陽極先端外表面より気体を吹き出す機能を有することを特徴とする請求項１，２，３，５又は６のいずれか１項に記載の移行型プラズマ加熱用陽極。
【請求項８】
陽極先端外表面の全体及び／又は中心部が凹んでおり、かつ、前記陽極先端の内側に円周方向に回転自在な１又は２以上の永久磁石を有することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の移行型プラズマ加熱用陽極。
【請求項９】
少なくとも陽極先端材質をＣｒ又はＺｒを含む銅合金とする請求項１から８のいずれかに記載の移行型プラズマ加熱用陽極。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は移行型プラズマ用陽極の改良に係り、特にタンディッシュ内溶鋼加熱用として適用するのが好適な移行型プラズマ加熱用陽極に関する。
【０００２】
【従来の技術】
タンディッシュ内溶鋼を加熱するための直流電流ツイントーチ型プラズマ加熱装置の概要は図１の様になっている。タンディッシュカバー２にはそれぞれ陽極３と陰極４である２本のプラズマトーチが挿入されており、それぞれのトーチ３，４と溶鋼５との間にプラズマアーク６を発生させ、溶鋼を加熱するものである。このとき電子の流れ７は、陰極４から溶鋼５を通り陽極３に向かう。
【０００３】
上記陽極プラズマトーチの1例を図２に示す。同図は上記陽極トーチの先端部断面を示す。陽極３の材質として、例えば無酸素銅が用いられる。上記陽極トーチは外側を覆うステンレス又は銅製の外筒ノズル８と、内側の銅製の陽極本体３からなる。陽極３の先端部は平らな円盤状であり、陽極３及びノズル８はいずれも冷却構造となっており、冷却水入側と出側水路はそれぞれ円筒形の仕切版９，１１で仕切られている（図中、１０及び１２は冷却水の流れを示す）。また、ノズル８と陽極３の間は隙間１３があり、その隙間１３からプラズマガスを吹き出す構造となっている。
【０００４】
【本発明が解決しようとする課題】
上記直流電流陽極プラズマトーチの問題点の１つに、陽極先端が損傷し寿命が短いということがある。陽極はプラズマ加熱稼働時においては、電子の受け手となるために電子が陽極先端外表面に衝突し、先端外表面にかかる熱負荷が大きい。また、陽極先端外表面中心部には熱が集中しやすく、陽極が寿命に至る場合の殆どは先端中心部における穴あきによるものである。更に、陽極表面に一旦電流の集中ヶ所（アノードスポット）が形成されると、そのアノードスポットに更に電流が集中する性質がある。つまり、陽極先端外表面において、溶解によって損傷し始めると更に損傷が促進し、最終的に冷却水側まで溶損し寿命に至る。
【０００５】
図３はプラズマにかかるピンチ効果を説明したものである。ノズルと陽極との隙間１３から吹き出るプラズマに比べて十分温度の低いガスの流れ１４により、プラズマ１５は中心方向に集中しやすい性質（サーマルピンチ効果）をもっている。プラズマ中の電流密度は一般に温度に対する増加関数であり、プラズマ中心部１６の電流密度は全体の平均に比べ大きいと言えるので、陽極先端外表面中心部１７に入射する電流密度は大きくなる。従って、陽極先端外表面中心部１７は先端外表面外周部１８に比べ損傷の度合いが大きい。また、プラズマ中を流れる電流１９が作り出す回転磁場２０との相互作用によりプラズマ中を陽極に向かって運動する電子２１は中心方向に向かう力２２を受ける（磁気的ピンチ効果）。
【０００６】
また、図４に示す様に、内部を流れる冷却水水圧、熱応力やクリープにより陽極先端は外側に凸型に変形をおこす。この凸型変形は陽極先端外表面中心部１７に突起２３を形成することとなり、電場３２は前記突起部２３へ集中する。プラズマ中を運動する電子２１は電場３２の方向に加速されるので、電流１９は突起部２３に集中しやすいことから、更に陽極先端外表面中心部への電流集中を招くことになる。つまり、陽極先端外表面中心部１７は更に損傷を受けやすくなる。陽極先端外表面中心部１７の損傷が進行すると、最終的に、陽極先端外表面中心部１７において冷却水路２５が破れ操業不能状態に陥る。このように、陽極先端外表面中心部への電流集中により陽極の耐用時間は著しく短縮されてしまう。
【０００７】
図５ａから図５ｄはアノードスポットへの電流集中について説明したものである。陽極先端外表面表面の清浄性が良好な初期状態（図５ａ）において、電子２１は陽極先端外表面２６に対しほぼ垂直に入射する。しかし、前述した様に、図４に示した陽極先端外表面中心部１７には電流が集中しやすく、陽極先端外表面が高温になることで銅が融解・蒸発し外表面中心近傍に銅蒸気の雲２７を形成する（図５ｂ）。
電子２１の衝突により、蒸発した銅原子２８の中の電子は励起し、電離する。この時、銅原子より電離した電子２９は質量が小さく移動度が大きいため、すぐに陽極先端外表面に入射する。しかし、銅イオン３０は移動度が小さく蒸気雲２７中に停滞するので、蒸気雲は正に帯電する（図５ｃ）。
この蒸気雲２７の正電荷ポテンシャルにより、プラズマアーク中の電子２１は蒸気雲２７へ向かう加速度を受ける（図５ｄ）。
結果として、アノードスポット３１が生じると、プラズマアーク中の電子は陽極先端外表面近傍において陽極先端外表面中心部に加速度的に集中する。このような機構により、陽極先端の損傷は加速度的に進行する。
本発明は、プラズマ加熱用陽極における上記のような陽極先端の損傷速度を遅延させ、寿命を延長させるための、上記陽極先端形状及び材質に関するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、本発明の要旨とするところは、
（１）直流電流を容器内の溶融金属に通電し、Ａｒプラズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型プラズマトーチであって、内部水冷構造を有する導電性金属からなる陽極と、前記陽極の外側に一定の間隔を設け内部水冷構造を有する金属製保護体と、前記陽極と前記保護体の間隙にＡｒを含有する気体を供給する気体供給手段を有し、前記陽極先端外表面の中心部が内側に凹んでいることを特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。
（２）直流電流を容器内の溶融金属に通電し、Ａｒプラズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型プラズマトーチであって、内部水冷構造を有する導電性金属からなる陽極と、前記陽極の外側に一定の間隔を設け内部水冷構造を有する金属製保護体と、前記陽極と前記保護体の間隙にＡｒを含有する気体を供給する気体供給手段を有し、前記陽極先端外表面の全体が内側に凹んでいることを特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。
（３）直流電流を容器内の溶融金属に通電し、Ａｒプラズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型プラズマトーチであって、内部水冷構造を有する導電性金属からなる陽極と、前記陽極の外側に一定の間隔を設け内部水冷構造を有する金属製保護体と、前記陽極と前記保護体の間隙にＡｒを含有する気体を供給する気体供給手段を有し、前記陽極先端冷却面にリブを有することを特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。
（４）直流電流を容器内の溶融金属に通電し、Ａｒプラズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型プラズマトーチであって、内部水冷構造を有する導電性金属からなる陽極と、前記陽極の外側に一定の間隔を設け内部水冷構造を有する金属製保護体と、前記陽極と前記保護体の間隙にＡｒを含有する気体を供給する第１の気体供給手段を有し、前記陽極内部に第２の気体供給手段を有し、前記第２の気体供給手段は陽極先端外表面より気体を吹き出す機能を有することを特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。
（５）陽極先端外表面の中心部及び全体が内側に凹んでいることを特徴とする（１）に記載の移行型プラズマ加熱用陽極。
（６）陽極先端冷却面にリブを有することを特徴とする（１），（２）又は（５）のいずれか１項に記載の移行型プラズマ加熱用陽極。
（７）陽極内部に第２の気体供給手段を有し、前記第２の気体供給手段は陽極先端外表面より気体を吹き出す機能を有することを特徴とする（１），（２），（３），（５）又は（６）のいずれか１項に記載の移行型プラズマ加熱用陽極。
（８）陽極先端外表面の全体及び／又は中心部が凹んでおり、かつ、前記陽極先端の内側に円周方向に回転自在な１又は２以上の永久磁石を有することを特徴とする（１）から（７）のいずれか１項に記載の移行型プラズマ加熱用陽極。
（９）陽極先端材質をＣｒ又はＺｒを含む銅合金とする（１）から（８）のいずれかに記載の移行型プラズマ加熱用陽極。
である。
【０００９】
【発明の実施の形態】
前述した様に、陽極先端中心部損傷を引き起こすものは、プラズマにかかるピンチ効果による電流集中、電流集中を加速させる陽極先端の凸変形やアノードスポットの形成である。本発明では、この様な電流集中、凸変形やアノードスポットの形成を防止するために、陽極先端形状を変更し、陽極先端に高強度合金を適用し、アノードスポット形成防止のための外乱発生装置を設置する。
プラズマのピンチ効果から生じる陽極先端外表面中心部への電流集中を防止するためには、陽極の有効面積を大きくすることが考えられる。しかし、設備の取り合い上の問題や、陽極を大きくすることでトーチの質量が増加するのでトーチ保持設備限界の問題等、陽極の有効面積を十分大きくできない場合がある。そのため、陽極部を適当な形状とすることで陽極先端外表面中心部への電流集中を防止する必要がある。そのような形状の前記（１）に係る本発明例を図６に示す。図６において、陽極先端外表面中心部１７を凹ませる。図７において、電場３２は導体表面に対して垂直に入射するので、図１６に示す比較例に比べ陽極先端外表面中心部を凹ませることにより陽極先端外表面中心部の電束密度を低下させ電流集中を防ぐことができる。
【００１０】
凹部の領域は、電流集中防止領域を確保するため、陽極先端中心から陽極先端半径Ｒａの１／５〜３／４を半径とする円であることが望ましい。また、凹部の中心高さＨｄは、電流拡散効果を確保するため、凹部領域半径Ｒｄの１／３〜２／１とすることが望ましい。また、本発明において、気体供給手段から供給する気体は、Ａｒ１００％でも良いし、Ａｒ７５％以上で電圧上昇のためＮ2０．１〜２５％を含有し、残部不可避的不純物としても良い。
【００１１】
前記（２）に係る本発明において、陽極先端の凸型変形を防止するための陽極先端外表部形状の１例を図８に示す。図８において、陽極先端にかかる水圧と熱応力による凸変形をキャンセルするために陽極先端外表面全体３３に内側に凹み（クラウン）を形成する。クラウンの高さＨｃは、プラズマ加熱時において陽極先端外表面が変形により水平面を保持するため、１００〜５００μｍとすることが望ましい。
【００１２】
前記（５）に係る本発明では、（１）と（２）に係る本発明を組み合わせることにより、更に電流集中を防ぐことができる。
【００１３】
陽極先端の凸変形を防止するために、陽極先端に高温状態においても陽極先端の剛性を高く保つ必要がある。前記（３）又は（６）に係る本発明として、高剛性を保持するための手法の１つとして、陽極先端冷却面側においてリブを設置する。図９は、陽極先端冷却面側の外周部にリブ３４を設置した陽極の断面図を表す。リブは円周方向に１枚以上、好ましくは等間隔に４枚以上設置する。
リブの高さＨｒ、半径方向の長さＬｒ及び幅Ｄｒはそれぞれ、高剛性を保ちかつ冷却水の流れを妨げないようにするため、陽極先端半径Ｒａの１／５〜２／３、陽極先端半径Ｒａの１／５〜２／３及び陽極先端冷却水路幅Ｄｃの１／４〜１／１とするのが好ましい。しかし、冷却面内にリブを設置する場合、冷却水路や仕切版の形状を変更する必要があるので、高剛性を保持するためにはＣｒ−Ｃｕ、Ｚｒ−Ｃｕ又はＣｒ−Ｚｒ−Ｃｕ等の高強度材を適用することが望ましい。
【００１４】
以上のことから、陽極先端外表面中心部への電流集中を防止できるが、前述したように、アノードスポットが形成されるとそのアノードスポットに更に電流集中が生じるので、陽極先端外表面中心部以外にアノードスポットが形成されてもそのアノードスポットにやはり電流集中を生じる虞がある。そこで、アノードスポット形成防止用外乱発生装置の例を図１０と図１１に示す。
【００１５】
前記（４）に係る本発明例を示す図１０において、プラズマ作動ガスを陽極先端外表面２６から吹き出し、陽極先端外表面近傍においてガス流れに擾乱や旋回を引き起こすための第２の気体供給手段４３を設けることで、アノードスポット３１を移動させることができる。第２の気体供給手段４３は陽極先端外表面を貫通する円筒管とすることが好ましく、前記円筒管の外径は冷却水の流れを妨げることなく確実に気体を供給できるように１ｍｍ〜５ｍｍとし、材質は腐食防止のためステンレス、銅又は腐食防止メッキを施した銅が好ましい。また、効果は１本でも得ることができ、好ましくは図１０に示すように、陽極中心部に１本と陽極内部に設置された冷却水路仕切版９の内部に円周方向に等間隔に４〜１０本設置することが好ましい。
【００１６】
前記（８）に係る本発明例を示す図１１において、陽極内部に永久磁石３６を埋め込み、その永久磁石を回転させることで時間的に変動する外部磁場３８（図１９）を形成し、アノードスポットを移動させることができる。図１３に示すように、永久磁石に繋がる羽を冷却水路内に有し冷却水の流れにより永久磁石の回転を実施できる。
【００１７】
高剛性を保持するための手段の１つとして、前記（９）に係る本発明では、高強度を保てる銅合金を陽極先端に適用する。但し、陽極先端外表面温度を低く保つために、前記銅合金の熱伝導率は従来材質である無酸素銅と同程度、若しくは、それ以上である必要がある。この様な条件を満たす銅合金の例として、Ｃｒ−Ｃｕ、Ｚｒ−ＣｕとＣｒ−Ｚｒ−Ｃｕがある。例えば、Ｃｒ−Ｚｒ−Ｃｕでは、市販されているＣｒ０．５〜１．５％、Ｚｒ０．０８〜０．３０％、残部銅がある。
【００１８】
【実施例】
以下に本発明の実施例について説明する。
図１２、図１３、図１７及び図１８はそれぞれ本発明の一実施例を示す断面図である。
図１２及び図１７で示される陽極の特徴は以下の（１）〜（５）の通りであり、図１２は本発明の垂直断面図、図１７は本発明の水平断面図を示す。
（１）陽極先端半径Ｒａ＝２５ｍｍ、陽極先端厚みＤａ＝３ｍｍである。
（２）陽極先端外表面全体の凹み（クラウン）は曲率Ｒｃ＝１０４１ｍｍの球面であり先端中心における高さはＨｃ＝３００μｍである。このクラウンにより、プラズマ加熱操業時における陽極先端外表面は熱応力変形によりほぼ平面となる。
【００１９】
（３）陽極先端外表面中心部１７に形成した半径ｒｄ＝１０ｍｍの範囲における曲率Ｒｄ＝１５ｍｍの球面状の凹部４０を設置する。先端中心における凹部４０の高さはＨｄ＝４ｍｍである。図１６に示すように凹部４０がない従来型にくらべ陽極先端外表面中心部１７に入射する電場３２は分散し、電流密度は低下する。但し、陽極先端外表面の凹部とその外側との境界４１は大きな凸部を形成しないように滑らかに繋げる必要がある。その境界４１の曲率はＲｂ＝３０ｍｍ以上が望ましく、本実施例の場合、Ｒｂ＝５０ｍｍとした。
【００２０】
（４）陽極先端外表面は５００度以上の高温に曝されるので、従来の無酸素銅を用いた陽極ではクリープによる変形の虞がある。特に、陽極先端外表面の損傷が進行し先端厚みが減少すると、クリープ変形は大きくなり陽極先端は凸型に変形してしまう。そこで、陽極の材質にＣｒ０．０８％、Ｚｒ０．１５％を含む銅合金を適用した。図１４は、半径２５ｍｍの銅（又は銅合金）円盤の板厚に対する中心のクリープ変形変形量（図１５で示されるｈｃ［ｍｍ］）を示したものである。図中◇直線４９で示される無酸素銅に対して、図中○直線５０で示されるＣｒ−Ｚｒ−Ｃｕはクリープ変形が小さく、特に、陽極先端厚み１．５ｍｍにおいては３桁小さい。つまり、Ｃｒ−Ｚｒ−Ｃｕは無酸素銅に比べクリープ変形しにくく、陽極先端の凸型変形を抑えることができる。
【００２１】
（５ａ）陽極先端外表面に作動ガスを吹き出すための８個の吹き出し口４２ａ〜４２ｈを陽極先端外表面において円周上に、更に１個の吹き出し口４２ｉ（図示しない）を陽極先端外表面中心部に設置し、更に、吹き出し口４２ａ〜４２ｈに繋がる作動ガスを通すための内管４３ａ〜４３ｈを仕切版９の内部に、吹き出し口４２ｉ（図示しない）に繋がる内管を陽極中心軸上に有する。また、作動ガスの旋回を引き起こすために、内管４２ａ〜４２ｈは陽極下方において斜めになっている。吹き出し口４２ａ〜４２ｉから吹き出される作動ガスにより、陽極先端外表面近傍における作動ガスの流れに旋回をおこさせることで、アノードスポットを移動させることができる。
図２に示す従来の移行型プラズマ加熱用陽極に比べ、本発明による移行型プラズマ加熱用陽極の寿命は１．５〜２倍に増加した。
図１３及び図１８は図１２及び図１７で示される陽極の（１）〜（４）と同じ特徴を有し、更に５つめの特徴として以下の特徴を有し、更に５つめの特徴として以下の特徴を有し、図１３は本発明の垂直断面図、図１８は本発明の水平断面図を示す。
【００２２】
（５ｂ）陽極内部の仕切版９の中に永久磁石３６を２個有する。この２個の永久磁石３６ａ、３６ｂは陽極対称軸に対して対称な位置に設置され、連結棒４４によって繋がっており、連結棒４４は陽極先端冷却側中心から垂直上方５ｍｍに設置された回転軸４５と連結しており、永久磁石３６ａ、３６ｂは回転軸を中心に円周方向に回転可能である。また、連結棒４４に固定された羽４６を冷却水路４７内に設置することで、冷却水の流れ４８により永久磁石３６ａ、３６ｂは円周方向に回転する。陽極先端外表面近傍において、永久磁石３６ａ、３６ｂによって形成される磁場３８（図１９参照）は永久磁石３６ａ、３６ｂが回転することで時間に対して周期的に変動する。磁場と運動する荷電粒子は相互作用するので、時間的に変動する磁場３８によりプラズマ中のイオンや電子の運動も変動の影響を受ける。そのため、陽極先端外表面においてアノードスポットが形成されても時間的に変動する磁場により荷電粒子は外乱を受けアノードスポットを移動することができる。
図２に示す従来の移行型プラズマ加熱用陽極に比べ、本発明による移行型プラズマ加熱用陽極の寿命は１．５〜２倍に増加した。
【００２３】
【発明の効果】
本発明により、直流電流ツイントーチ型プラズマ加熱装置の陽極先端の損傷速度を遅延させ、寿命を延長させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】タンディッシュとプラズマトーチの概略図。
【図２】従来技術によるタンディッシュ内溶鋼加熱用移行型プラズマ陽極の概略図。
【図３】プラズマのピンチ効果の説明図。
【図４】陽極先端凸型変形による電流集中の説明図。
【図５】アノードスポット形成による電流集中の説明図。
【図６】本発明に係る移行型プラズマ加熱用陽極の１例の垂直断面図。
【図７】図６で示す移行型プラズマ加熱用陽極の１例の先端から出る電場の概略図。
【図８】本発明に係る移行型プラズマ加熱用陽極の１例の垂直断面図。
【図９】本発明に係る移行型プラズマ加熱用陽極の１例の垂直断面図。
【図１０】本発明に係る移行型プラズマ加熱用陽極の１例の垂直断面図。
【図１１】本発明に係る移行型プラズマ加熱用陽極の１例の垂直断面図。
【図１２】本発明に係る移行型プラズマ加熱用陽極の１例の垂直断面図。
【図１３】本発明に係る移行型プラズマ加熱用陽極の１例の垂直断面図。
【図１４】クリープ変形量の材質比較。
【図１５】図１４で示されるグラフの説明図。
【図１６】図２で示される従来技術による移行型プラズマ加熱用陽極の先端から出る電場の概略図。
【図１７】図１２で示される移行型プラズマ加熱用陽極の水平断面図。
【図１８】図１３で示される移行型プラズマ加熱用陽極の水平断面図。
【図１９】図１３で示される本発明における、磁場の概略図。
【図２０】図１０で示される移行型プラズマ加熱用陽極の水平断面図。
【符号の説明】
１  タンディッシュ
３  陽極
５  溶鋼
６  プラズマアーク
７  電子の流れ
９  仕切版
１７  陽極先端外表面中心部
１９  電流
２１  プラズマ中の電子
２３  陽極先端凸変形部
２６  陽極先端外表面
３１  アノードスポット
２９  陽極先端外表面クラウン
３２  電場
３４  リブ
３６，３６ａ，３６ｂ  永久磁石
３８  磁場
４０  陽極先端凹部
４２  作動ガス吹き出し口
４３  第２の気体供給手段（作動ガス吹き出し用小管）
【図１】
0003682192.tif 000002
【図２】
0003682192.tif 000003
【図３】
0003682192.tif 000004
【図４】
0003682192.tif 000005
【図５】
0003682192.tif 000006
【図６】
0003682192.tif 000007
【図７】
0003682192.tif 000008
【図８】
0003682192.tif 000009
【図９】
0003682192.tif 000010
【図１０】
0003682192.tif 000011
【図１１】
0003682192.tif 000012
【図１２】
0003682192.tif 000013
【図１３】
0003682192.tif 000014
【図１４】
0003682192.tif 000015
【図１５】
0003682192.tif 000016
【図１６】
0003682192.tif 000017
【図１７】
0003682192.tif 000018
【図１８】
0003682192.tif 000019
【図１９】
0003682192.tif 000020
【図２０】
0003682192.tif 000021