(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を供給する供給手段と、
前記供給手段からの塗布液の供給を受ける塗布器と、
前記塗布器の下面にて一方向に延び、塗布液を吐出する吐出口と、
前記塗布器または枚葉部材である被塗布部材のいずれか一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた塗布装置において、
前記吐出口からの塗布液の吐出域を前記吐出口の両端間にて規定される吐出幅内に制限する制御手段とを含み、
前記制限手段は、前記塗布器の前記下面に形成され、前記塗布器の下面中央部分を下方に向けて突出させた形状にすべく前記吐出口の両端にそれぞれ連なりかつ上方に向けて延びる一対の傾斜面を備え、
前記吐出口は０．０５ｍｍ以上かつ０．３ｍｍ以下の間隙幅を有する、
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記吐出口は、前記突出した下面中央部分の全域に亘って延びていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記一対の傾斜面は水平面に対して５〜３０°の傾斜角を有することを特徴とする請求項１または２に記載の塗布装置。
【請求項４】
カラーフィルタの製造に適用されることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の塗布装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかの塗布装置を用いてカラーフィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
【請求項６】
塗布器の下面に一方向に延びる吐出口を設けて、この吐出口から塗布液を一様に吐出しながら、前記塗布器または枚葉部材である被塗布部材のいずれか一方を相対的に移動させて前記被塗布部材表面に塗膜を形成する塗布方法において、
前記吐出口の間隙幅を０．０５ｍｍ以上かつ０．３ｍｍ以下にし、
前記一方向でみて前記吐出口の両側に位置しかつ前記吐出口の両端に連なる前記塗布器の前記下面と前記被塗布部材の表面との間を、前記吐出口と前記被塗布部材の表面との間のクリアランスよりも増加させたことを特徴とする塗布方法。
【請求項７】
前記塗布器における前記下面の中央部分は下方に向けて突出した形状をなし、この突出した中央部分全域に亘って延びる前記吐出口から塗布液を吐出させることを特徴とする請求項６に記載の塗布方法。
【請求項８】
請求項６または７に記載の塗布方法を用いてカラーフィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、被塗布部材の表面に塗布液を吐出しながら塗膜を形成するための塗布装置および塗布方法に係わり、特にカラー液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造に好適した塗布装置および塗布方法並びにこれら装置および方法を用いたカラーフィルタの製造装置及び製造方法に関する。
【０００２】
【関連する背景技術】
カラー液晶ディスプレイ用のカラーフィルタは、ガラス基板上に３原色の細かな格子模様を有しており、このような格子模様はガラス基板上に黒色の塗膜を形成した後、赤、青、緑の３原色に塗り分けて得られる。
それゆえ、カラーフィルタの製造には、ガラス基板上に黒、赤、青、緑の塗布液を塗布して塗膜を形成するための塗布工程が不可欠となる。この種の塗布工程には従来、塗布装置としてスピナー、バーコータあるいはロールコータが使用されていたが、塗布液の消費量を削減し、また、塗膜の物性を向上する上で、近年に至ってはダイコータの使用が検討されている。
【０００３】
ダイコータは塗布液を吐出する塗布器いわゆるスリットダイを備えており、このスリットダイはたとえば特開平6-170306号公報に開示されている。この公知のスリットダイは上方に向けて開口した吐出口を有し、この吐出口から塗布液がウエブに向けて吐出され、これにより、そのウエブ上に塗布液の塗膜が形成されることになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
公知のスリットダイは、バックロールに巻き付きながら走行するウエブに対して塗布液を吐出するものであるため、ガラス基板のような硬い枚葉部材にはそのままでは適用することができない。つまり、公知のスリットダイを単に下向きにして配置しても、ガラス基板上に形成される塗膜の膜厚をその幅方向に均一にし、また、その塗膜の幅を所望の幅寸法に制御することはできない。
【０００５】
より詳しくはスリットダイの吐出口の幅が、形成すべき塗膜の幅に合わせて設定されていても、ガラス基板上では吐出口の両端からはみ出るようにして塗膜が形成されてしまい、また、そのはみ出し部分すなわち塗膜の両側部分はその膜厚が許容範囲よりも薄くなってしまう。
このような不具合を検討すると、スリットダイの吐出口を有する下端面とガラス基板との間のクリアランスが非常に小さいため、吐出口から吐出された塗布液が毛細管現象により、その吐出口の両端から外側にはみ出すものと考えられる。
【０００６】
この発明は上述した事情に基づいてなされたもので、その目的とするところは、被塗布部材の表面に形成されるべき塗膜の幅と吐出口の幅寸法との間の差を許容範囲内に確実に収めることができ、しかも、形成された塗膜の膜厚をその両端部分に至るまで均一にすることができる塗布装置および塗布方法並びにこれら装置および方法を用いたカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的は、この発明によって達成され、請求項１の塗布装置は、塗布液を供給する供給手段と、この供給手段からの塗布液の供給を受ける塗布器と、この塗布器の下面にて一方向に延び、塗布液を吐出する吐出口と、塗布器または枚葉部材である被塗布部材のいずれか一方を相対的に移動させる移動手段と、吐出口からの塗布液の塗布域を吐出口の両端間にて規定される吐出幅内に制限する制限手段とを備え、
前記制限手段は、塗布器の下面に形成され、塗布器の下面中央部分を下方に向けて突出させた形状にすべく吐出口の両端に連なりかつ上方に向けて延びる一対の傾斜面を備え、さらに、吐出口は０．０５ｍｍ以上かつ０．３ｍｍ以下の間隙幅を有している。
【０００８】
請求項１の塗布装置によれば、塗布器の吐出口から被塗布部材に向けて塗布液が吐出されるとき、塗布液の吐出は一様となり、しかも、その塗布液の吐出域が制限手段により吐出口の吐出幅内に制限されながら、塗布部材の表面に塗膜が形成されていく。
具体的には、制限手段が塗布器の下面に形成した一対の傾斜面を備えていることで、吐出口と被塗布部材との間のクリアランスに比べて、傾斜面と被塗布部材との間の間隔が増加され、これにより、塗布液の吐出域が制限される。また、塗布液の一様な吐出は、吐出口の間隙幅が前記の範囲内に制限されていることで確保される。
【０００９】
より好ましくは、吐出口は塗布器にて、その突出状態の前記下面中央部分の全域に亘って延びており（請求項２）、前記一対の傾斜面は水平面に対して５〜３０°の傾斜角を有し（請求項３）、前述したクリアランスを確保している。
【００１２】
請求項１〜３の塗布装置はカラーフィルタの製造に使用でき（請求項４）、この場合、カラーフィルタのガラス基板の表面に塗膜が形成される結果、高品質なカラーフィルタが得られる。
この発明のカラーフィルタの製造装置（請求項５）は、請求項１〜４のいずれかの塗布装置を使用してカラーフィルタを製造するものとなっており、この場合にも同様にして高品質なカラーフィルタが得られる。
【００１３】
この発明は、塗布器の下面に一方向に延びる吐出口を設けて、この吐出口から塗布液を一様に塗布しながら、塗布器または枚葉部材である被塗布部材のいずれか一方を相対的に移動させて塗布部材表面に塗膜を形成する塗布方法において、吐出口の間隙幅を０．０５ｍｍ以上かつ０．３ｍｍ以下にし、前記一方向でみて吐出口の両側に位置しかつ吐出口の両端に連なる塗布器の前記下面と被塗布部材の表面との間を、吐出口と被塗布部材の表面との間のクリアランスよりも増加させた塗布方法が提供される（請求項６）。この場合、請求項６の塗布方法は請求項１の塗布装置と同様な作用を発揮する。
【００１４】
上述の塗布方法の場合、塗布器における前記下面の中央部分が下方に向けて突出した形状をなし、この突出した中央部分全域に亘って延びる吐出口から塗布液を吐出させるのが好ましい（請求項７）。
【００１５】
この発明のカラーフィルタの製造方法（請求項８）は、請求項６または７の塗布方法を用いてカラーフィルタを製造し、この場合、カラーフィルタのガラス基板の表面に塗膜が形成され、高品質なカラーフィルタが得られる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１を参照すると、カラーフィルタの製造に適用された塗布装置いわゆるダイコータが示されており、ダイコータは基台２を備えている。基台２上には一対のガイド溝レール４が設けられており、これらガイド溝レール４には、ステージ６が配置され、このステージ６の上面はサクション面として構成されている。ステージ６はガイド溝レール４上を水平方向に往復動自在となっている。詳しくはステージ６の下面からは一対のスライド脚８が突出されており、これらスライド脚８が対応するガイド溝レール４に摺動自在に嵌合されている。各ガイド溝レール４を構成する外側のプレート部材４ａは、その上端縁がほぼ直角にして内側に折り曲げられ、ステージ４のスライド脚８に形成したサイド溝１０にはめ込まれている。
【００１７】
一対のガイド溝レール４間には送り機構を内蔵したケーシング１２が配置されており、ケーシング１２はガイド溝レール４に沿って延びている。送り機構は、図２に示されているようにボールねじからなるフィードスクリュー１４を有しており、フィードスクリュー１４はステージ６の下面に固定されたナット状のコネクタ１６にねじ込まれ、このコネクタ１６を貫通して延びている。フィードスクリュー１４の両端部は図示しない軸受に回転自在に支持されており、その一端にはＡＣサーボモータ１８が連結されている。なお、ケーシング１２の上面にはコネクタ１６の移動を許容する開口が形成されているが、図１にはその開口が省略されている。
【００１８】
基台２の上面にはその一端側に位置してセンサ支柱２０が配置されている。センサ支柱２０は逆Ｌ字形をなし、その先端は一方のガイド溝レール４の上方まで延びている。センサ支柱２０の先端には電動型の昇降アクチュエータ２１が取り付けられており、この昇降アクチュエータ２１に厚みセンサ２２が下向きして取り付けられている。厚みセンサ２２としてはレーザ変位計、電子マイクロ変位計、超音波厚さ計などを使用することができる。
【００１９】
さらに、基台２の上面にはセンサ支柱２０よりも基台２の中央側に位置してダイ支柱２４が配置されており、このダイ支柱２４もまた逆Ｌ字形をなしている。ダイ支柱２４の先端には昇降機構２６が取り付けられており、昇降機構２６は図１には詳細に示されていないけれども、昇降ブラケットを備えており、この昇降ブラケットは一対のガイドロッドに昇降自在に取り付けられている。これらガイドロッド間にはボールねじからなるフィードスクリューが配置されており、このフィードスクリューは昇降ブラケットを貫通するようにして、この昇降ブラケットにねじ込まれている。フィードスクリューの上端部はガイドロッドおよびフィードスクリューを収容するケーシング２８に軸受を介して回転自在に支持されており、その上端にはＡＣサーボモータ３０が連結されている。
【００２０】
昇降ブラケットには、コ字形をなしたダイホルダ３２が垂直面内で回転自在に取り付けられており、このダイホルダ３２は一対のガイド溝レール４の上方をこれらガイド溝レール４間に亘って水平に延びている。さらに、昇降ブラケットには、ダイホルダ３２の上方に位置して水平バー３６が固定されており、この水平バー３６はダイホルダ３２に沿って延びている。水平バー３６の両端部には、空圧型の調整アクチュエータ３８がそれぞれ取り付けられている。これら調整アクチュエータ３８は水平バー３６の下面から突出する伸縮可能なロッドを有しており、これらロッドがダイホルダ３２の両端に当接されている。
【００２１】
ダイホルダ３２内には塗布器としてのスリットダイ４０が取り付けられている。図２に示されているようにスリットダイ４０からは塗布液の供給ホース４２が延びており、この供給ホース４２の先端はシリンジポンプ４４の電磁切換え弁４６の供給ポートに接続されている。電磁切換え弁４６の吸引ポートからは吸引ホース４８が延びており、この吸引ホース４８の先端部は、塗布液を蓄えたタンク５０内に挿入されている。
【００２２】
シリンジポンプ４４のポンプ本体５２は、電磁切換え弁４６の切換え作動により供給ホース４２および吸引ホース４８の一方に選択的に接続可能となっている。そして、これら電磁切換え弁４６およびポンプ本体５２はコンピュータ５４に電気的に接続され、このコンピュータ５４からの制御信号を受けて、それらの作動が制御されるようになっている。また、コンピュータ５４は前述した昇降アクチュエータ２１および厚みセンサ２２もまた電気的に接続されている。
【００２３】
さらに、シリンジポンプ４４の作動を制御するため、コンピュータ５４にはシーケンサ５６もまた電気的に接続されている。このシーケンサ５６は、ステージ６側のフィードスクリュー１４のＡＣサーボモータ１８や、昇降機構２６つまりそのＡＣサーボモータ３０の作動をシーケンス制御するものであり、そのシーケンス制御のために、シーケンサ５６にはＡＣサーボモータ１８，３０の作動状態を示す信号、ステージ６の移動位置を検出する位置センサ５８からの信号、スリットダイ４０の作動状態を検出するセンサ（図示しない）からの信号などが入力され、一方、シーケンサ５６からはシーケンス動作を示す信号がコンピュータ５４に出力されるようになっている。なお、位置センサ５８を使用する代わりに、ＡＣサーボモータ１８にエンコーダを組み込み、このエンコーダから出力されるパルス信号に基づき、シーケンサ５６にてステージ６の位置を検出することも可能である。
【００２４】
図示されていないが、ダイコータには、ステージ６上に枚葉部材としてカラーフィルタのためにガラス基板Ａを供給するためのローダや、ステージ６からガラス基板Ａを取り外すためのアンローダが備えられており、これらローダ、アンローダにはその主要構成部分にたとえば円筒座標系産業用ロボットを使用することができる。
【００２５】
図１から明らかなように前述したスリットダイ４０は、一対のガイド溝レール４間に亘り、ステージ６の往復動方向と直交する方向に水平に延びている。ここで、スリットダイ４０の水平調整は、水平バー３６の両端に設けた調整アクチュエータ３８の伸縮ロッドを進退させ、ダイホルダ３２をその回転軸線の回りに回転させることにより行うことができる。
【００２６】
図３〜図５を参照すれば、スリットダイ４０の第１実施例が示されており、このスリットダイ４０は長尺なブロック形状のフロントリップ５８およびリアリップ６０を備えている。これらリップ５８，６０はステージ６の往復動方向でみて前後に張り合わせられ、互いに一体的に結合されている。
フロントリップ５８の前面およびリアリップ６０の後面にはそれらの下部に傾斜面５９，６１が形成されており、これら傾斜面５９，６１はスリットダイ４０の下部を先細形状に形成している。
【００２７】
スリットダイ４０内の中央部分には図５に示されているようにマニホールド６２が形成されており、このマニホールド６２はスリットダイ４０の長手方向、すなわち、ステージ６の往復動方向と直交する方向に延びている。マニホールド６２は前述した塗布液の供給ホース４２に内部通路を介して常時接続されている。マニホールド６２からは下方に向けてスリット６４が垂直に延びており、このスリット６４はスリットダイ４０の下面に開口している。スリット６４の下端開口、つまり、吐出口６６はマニホールド６２と同様にステージ６の往復動方向と直交する方向に延びている。
【００２８】
具体的にはスリット６４は、フロントリップ５８とリアリップ６０との間にシム６８を介在させて形成されており、このシム６８の厚みにより、スリット６４および吐出口６６の隙間はたとえば０．０５mm以上、０．３mm以下に設定されている。
また、吐出口６６はスリットダイ４０の下面において、その両端部分を残して形成されており、その吐出幅はＷで示されている。
【００２９】
さらに、スリットダイ４０の下面は吐出口６６の両端に連なる上向きの傾斜面７０と、これら傾斜面７０の上端にそれぞれ連なる水平な逃げ面７２とを有している。したがって、スリットダイ４０はその下面中央部分が下方に向けて突出した形状となっており、その突出部の下面全域に吐出口６６が形成されている。
吐出口６６の両端側に位置した傾斜面７０において、水平面に対する傾斜角θは５〜３０°の範囲にあるのが好ましく、この実施例ではたとえば１５°に設定されている。
【００３０】
次に、カラーフィルタの製造に係わる一工程、つまり、上述したスリットダイ４０を有するダイコータを使用して行われる塗布方法を説明する。
まず、ダイコータにおける各作動部の原点復帰が行われると、ステージ６は厚みセンサ２２の下方に位置付けられ、また、タンク５０から吸引ホース４８および供給ホース４２を経て、スリットダイ４０内のマニホールド６２およびスリット６４内に至る経路内は塗布液で満たされている。
【００３１】
この状態で、図示しないローダからステージ６上にガラス基板Ａが供給され、このガラス基板Ａはステージ６上にサクション圧を受けて保持される。ここで、ガラス基板Ａは、スリットダイ４０における吐出口６６の吐出幅Ｗよりも広い幅寸法を有している。ガラス基板Ａのローディングが完了すると、厚みセンサ２２が所定の位置まで下降され、ガラス基板Ａの厚みが厚みセンサ２２により測定される。測定後、厚みセンサ２２は元の位置まで上昇される。
【００３２】
上述したガラス基板Ａのローディングの開始と同時に、シリンジポンプ４４の電磁切換え弁４６がポンプ本体５２と吸引ホース４８とを接続すべく切換え作動され、そして、ポンプ本体５２にタンク５０内の塗布液を吸引ホース４８を通じて吸引する吸引動作を行わせる。シリンジポンプ４４内に所定量の塗布液が吸引されると、シリンジポンプ４４の電磁切換弁４６はポンプ本体５２と供給ホース４２とを接続すべく切換え作動され、そして、ステージ６はスリットダイ４０に向けて往動され、スリットダイ４０の直前で停止される。この後、スリットダイ４０が下降され、スリットダイ４０の下面とガラス基板Ａの上面との間に所定のクリアランス、すなわち、形成すべき塗膜の厚さに対して数倍、たとえば０．１mmのクリアランスＨ（図５参照）が確保される。クリアランスＨは、厚みセンサ２２により測定したガラス基板Ａの厚さを考慮し、ステージ６とスリットダイ４０との間の距離を測定する距離センサ（図示しない）からの出力信号に基づき、スリットダイ４０の下降を制御することで正確に決定される。
【００３３】
次に、ステージ６をさらに往動させ、ガラス基板Ａの上面において、塗膜の開始すべきスタートラインをスリットダイ４０の吐出口６６の直下に位置付け、ステージ６を一旦停止させる。
このステージ６の一旦停止と実質的に同時に、シリンジポンプ４４に塗布液の吐出動作を開始させ、塗布液をスリットダイ４０に向けて供給する。したがって、スリットダイ４０の吐出口６６からガラス基板Ａ上に塗布液Ｌが吐出される。ここで、吐出口６６はその間隙がスリットダイ４０の長手方向、つまり、ステージ６の往復動方向に沿って一定であるから、吐出口６６からはガラス基板Ａのスタートラインに沿って一様に塗布液Ｌが吐出され、この結果、スリットダイ４０とガラス基板Ａとの間にはメニスカスを有する液溜まりＣ（図２参照）がスタートラインに沿って形成される。
【００３４】
このような液溜まりＣの形成と同時に、吐出口６からの塗布液Ｌの吐出を継続しながら、ステージ６を一定の速度で往動方向に進行させると、図２に示されているようにガイド基板Ａの上面に塗布液Ｌの塗膜Ｄが連続して形成される。
なお、塗膜Ｄの形成にあたっては、ステージ６の往動を一旦停止することなく、ガラス基板Ａのスタートラインがスリットダイ４０の吐出口６６を通過するタイミングにて、吐出口６６から塗布液Ｌを吐出するようにしてもよい。
【００３５】
ステージ６の進行に伴い、ガラス基板Ａ上にて塗膜Ｄの形成を終了すべきフィニッシュラインがスリットダイ４０の吐出口６６の直前位置に到達すると、この時点で、シリンジポンプ４４の吐出動作が停止される。このようにしてスリットダイ４０の吐出口６６からの塗布液Ｌの吐出が停止されても、ガラス基板Ａの上面の液溜まりＣの塗布液を消費（スキーズ）しながら、塗膜Ｄの形成がフィニッシュラインまで継続される。なお、ガラス基板Ａ上のフィニッシュラインがスリットダイ４０の吐出口６６を通過した時点で、シリンジポンプ４４の吐出動作を停止するようにしてもよい。
【００３６】
ガラス基板Ａ上のフィニッシュラインが吐出口６６を通過する時点または通過した時点で、シリンジポンプ４４の吸引動作がわずかに行われ、これにより、スリットダイ４０のスリット６４内の塗布液Ｌはマニホールド６２側に吸引される。
この後、スリットダイ４０は元の位置まで上昇され、スリットダイ４０からの塗布液Ｌの吐出工程が終了する。なお、スリットダイ４０の上昇位置にて、その下端面に付着している塗布液Ｌがクリーナ（図示しない）により拭き取られる。
【００３７】
一方、ステージ６の往動は、塗布液Ｌの吐出工程が終了しても継続されており、ステージ６がガイド溝レール４の終端に到達した時点で、その往動が停止される。この状態で、塗膜Ｄが形成されたガラス基板Ａはアンローダによりステージ６上から取り外される。この後、ステージ６は復動され、図１に示す初期位置に戻されて一連の塗布工程が終了する。初期位置にて、ステージ６は新たなガラス基板がローディングされるまで待機する。
【００３８】
ガラス基板Ａ上に塗膜Ｄが形成されるとき、スリットダイ４０の吐出口６６から塗布液Ｌの吐出域が吐出口６６の吐出幅Ｗに向けて制限される結果、図６中の２点鎖線で示されるように吐出口６６の両端、つまり、その吐出幅Ｗから大きくはみ出て、塗膜Ｄが形成されることはない。
この点に関して詳述すると、スリットダイ４０において、その吐出口６６の両側に水へな下面部分が連なっていると、その下面部分とガラス基板Ａとの間の間隔、つまり、クリアランスＨは非常に狭いため、塗布液Ｌは図６中破線で示すように毛細管現象に起因して吐出口６６の両端から大きく延び出してしまう。この結果、塗膜Ｄの形成幅は吐出口６６の両端からそれぞれ外側にＥだけ延出され、その延出部分Ｅにより形成される塗膜Ｄ（図６中の２点鎖線）の膜厚は規定の膜厚よりも大きく減少してしまう。
【００３９】
しかしながら、この実施例のように吐出口６６の両端に連なる面が傾斜面７０に形成されていると、傾斜面７０とガラス基板Ａとの間の間隔をクリアランスＨよりも十分に大きく確保できるので、これら傾斜面７０とガラス基板Ａとの間にて上述した毛細管現象の発生を制限することができる。この結果、ガラス基板Ａ上に形成された塗膜Ｄに関して、その一方の側縁と吐出口６６の端との間の差εを許容範囲内に抑え込むことが可能なり、また、塗膜Ｄの膜厚をその幅方向全域に亘って許容範囲内に収めること、つまり、その膜厚を一様に制御することが可能となる。
【００４０】
実施例のスリットダイ４０において、スリット６４の間隙が０．０５〜０．３mmの範囲に設定されているので、吐出口６６からの塗布液Ｌの吐出がより一様となる。すなわち、スリット６４の間隙が０．０５mm以上に確保されていると、スリット６４を規定するフロントリップ５８およびリアリップ６０の内面に関し、加工精度上、その平面性を十分に確保できる。一方、スリット６４の間隙が０．３mmを越えてしまうと、スリット６４およびマニホールド６２内の塗布液の吐出圧を十分に保持することが困難になり、吐出口６６から一様に塗布液Ｌを吐出することができない。
【００４１】
次に、図７を参照すると、第２実施例のスリットダイ４１が示されている。このスリットダイ４１の場合、その吐出口６６の両側に連なる下面部分が水平となっているが、その下面部分には吐出口６６の両端近傍に所定の間隔を存してエア噴出口７６がそれぞれ形成されている。これらエア噴出口７６は、スリットダイ４０内に形成されたエア通路７８の一端開口により構成されており、エア通路７８の他端はスリットダイ４１の応する側の端面に開口している。ここで、エア通路７６はフロントリップ５８とリアリップ６０との間のシム６８を分割し、これら分割シム間によって形成することができる。
【００４２】
各エア通路７８の他端は圧縮空気供給装置に接続されており、この供給装置は、各エア通路７８の他端にコネクタ８０を介して接続された分岐エアホース８２を有しており、これら分岐エアホース８２は１本のメインエアホース８４から分岐されている。メインエアホース８４は電磁弁８６を介して圧縮空気の供給源としてのエアコンプレッサ８８に接続されている。電磁弁８６は図２に示されているようにシーケンサ５６に電気的に接続され、このシーケンサ５６により、その作動が制御される。
【００４３】
上述した第２実施例のスリットダイ４１を使用してガラス基板Ａ上に塗膜Ｄを形成する場合、その吐出口６６からの塗布液Ｌの吐出と同期して、各エア噴出口７６から圧縮空気が下方に向けて噴出される。このような圧縮空気の噴出は、スリットダイ４１の下面とガラス基板Ａとの間における塗布液Ｌの毛細管現象を強制的に抑制し、吐出口６６からの塗布液Ｌの吐出域を吐出口６６の吐出幅Ｗに向けて制限することになる。この結果、第２実施例のスリットダイ４１を使用する塗布方法であっても、第１実施例の場合と同様な効果を得ることができる。
【００４４】
図８を参照すると、第３実施例のスリットダイ４３が示されている。このスリットダイ４３もまた第２実施例のスリットダイ４１と同様に、その吐出口６６の両側に連なる下面部分が水平になっており、これら下面部分には吐出口６６の対応する端から所定の間隔を存してエア噴出溝９０がそれぞれ形成されている。各エア噴出溝９０はスリットダイ４３の対応する端面まで延び、その端面に開口している。
【００４５】
各エア噴出溝９０もまた第２実施例と同様に圧縮空気供給装置に接続されており、この場合、各エア噴出溝９０は、圧縮空気供給装置の分岐エアホース８２からコネクタ８０を通じて圧縮空気の供給を受けることができる。
上述した第３実施例のスリットダイ４３を使用してガラス基板Ａ上に塗膜Ｄを形成する場合にも、その吐出口６６からの塗布液Ｌの吐出と同期して、各エア噴出溝９０に圧縮空気が供給される。供給された圧縮空気はそのエア噴出溝９０に沿って導かれながら、その下方に向けて噴出されることになり、この場合でも、塗布液Ｌの吐出域が吐出口６６の吐出幅Ｗに向けて同様に制限されることになる。
【００４６】
図９を参照すると、第４実施例のスリットダイ４５が示されている。このスリットダイ４５の場合、シム６８の一部が吐出口６６の両側からそれぞれ突出されており、その突出量は吐出口６６とガラス基板Ａとの間のクリアランスＨの２０〜８０％に設定されている。この場合、塗布液Ｌの吐出域はシム６８の突出部分間、すなわち、吐出口６６の吐出幅Ｗに強制的に制限されることになる。また、シム６８の突出量がクリアランスＨの２０〜８０％に規制されているので、シム６８の突出部分がガラス基板Ａ上への塗膜Ｄの形成に悪影響を与えることはない。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の請求項１〜４および６，７の塗布装置および塗布方法によれば、塗布器の吐出口から塗布液が吐出されるとき、その吐出域が吐出口の吐出幅内に制限されるから、被塗布部材の表面に形成された塗膜が吐出口の吐出幅から大きくはみ出すことはなく、また、塗膜の膜厚をその幅方向に均一にすることができる。
【００４８】
また、この発明の塗布装置および塗布方法によれば、塗布器の下面にその吐出口に連なる傾斜面を形成するだけの簡単な構成で、塗布液の吐出域を制限することができる。
【００５０】
さらに、この発明の塗布装置および塗布方法によれば、塗布器の吐出口から塗布液を一様に吐出することができ、膜厚の均一化に大きく貢献し、そして、枚葉部材の表面に塗膜が形成される結果、カラーフィルタの製造に好適し、また、その品質を高めることができる。
請求項５，８のカラーフィルタの製造装置および製造方法によれば、塗膜の厚さが均一となった品質のよいカラーフィルタを容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ダイコータを示した概略斜視図である。
【図２】図１のダイコータを塗布液の供給系をも含めて示した概略構成図である。
【図３】第１実施例におけるスリットダイの一部を示した斜視図である。
【図４】図３のスリットダイの背面図である。
【図５】図３のスリットダイの作用を説明するための図である。
【図６】図５の一部を示した拡大図である。
【図７】第２実施例におけるスリットダイの一部を示した斜視図である。
【図８】第３実施例におけるスリットダイの一部を示した斜視図である。
【図９】第４実施例におけるスリットダイの一部を示した斜視図である。
【符号の説明】
６  ステージ
１４  フィードスクリュー
４０，４１，４３  スリットダイ（塗布器）
４４  シリンジポンプ（供給手段）
５０  タンク
５８  フロントリップ
６０  リアリップ
６２  マニホールド
６４  スリット
６６  吐出口
７０  傾斜面
７６  エア噴出口
７８  エア通路
８２  分岐エアホース
８６  電磁弁
８８  エアコンプレッサ
９０  エア噴出溝
Ａ    ガラス基板（被塗布部材、枚葉部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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