(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に配置された基板から他端に配置されたインクを吐出するノズルプレートまで連通し、それぞれの間に側壁を挟んで形成された複数の溝と、前記複数の溝の前記一端側に位置して前記基板に接続される導電性部材と、前記溝の長手方向に沿って前記側壁に位置し、前記導電性部材を介して前記基板に接続された金属電極と、を有する圧電プレートと、
前記溝に対向して前記圧電プレートに接着されたカバープレートであって、前記長手方向における前記導電性部材側の一端に位置するインク供給口と、前記導電性部材及び前記溝の一部に対向し、前記インク供給口と前記溝とを連通する凹状のインク供給部と、を有するカバープレートと、を備え、
前記長手方向における前記導電性部材の幅（Ｗ）が、１００μｍ以上２０００μｍ以下の範囲に設定されていることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項２】
一端に配置された基板から他端に配置されたインクを吐出するノズルプレートまで連通し、それぞれの間に側壁を挟んで形成された複数の溝と、前記複数の溝の前記一端側に位置して前記基板に接続される導電性部材と、前記溝の長手方向に沿って前記側壁に位置し、前記導電性部材を介して前記基板に接続された金属電極と、を有する圧電プレートと、
前記溝に対向して前記圧電プレートに接着されたカバープレートであって、前記長手方向における前記導電性部材側の一端に位置するインク供給口と、前記導電性部材及び前記溝の一部に対向し、前記インク供給口と前記溝とを連通する凹状のインク供給部と、を有するカバープレートと、を備え、
前記長手方向における前記インク供給部の前記溝の一部に対向する開口長さ（Ｌ）と前記長手方向における前記導電性部材の幅（Ｗ）との比（Ｗ／Ｌ）が１／５から２／３の範囲に設定されていることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項３】
前記インク供給部の深さ（ｈＡ）が、少なくとも前記溝の深さ（ｈＢ）以上であることを特徴とする請求項１または２記載の液滴噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電部材に形成されたインク流路の容積を変化させることにより、インクを噴射するようにした液滴噴射装置の改良技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の液滴噴射装置としては、例えば持開昭６３−２５２７５０号公報あるいは持開平２−１５０３５５号公報に記載されているものがある。以下、その概略構成を図面を参照して説明する。図１０に示すように、インクジェットプリンタヘッド１は、圧電プレート２とカバープレート３とノズルプレート３１と基板４１とから構成されている。
【０００３】
圧電プレート２は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料によって形成されている。そして、その圧電プレート２は分極方向５の方向に分極処理されている。次に、圧電プレート２は、ダイヤモンドカッティング円盤の回転によって溝８が形成される。続いて切削加工の深さが変化されて浅溝１６が形成される。
【０００４】
図１０に示すように、このように切削加工された圧電プレート２には、複数の溝８及び浅溝１６が形成されている。それらの溝８は同じ深さであり、かつ平行である。それら浅溝１６は圧電プレート２の一端面１５付近に形成されている。また、その溝８の側面となる側壁１１は前記分極処理により矢印５の方向に分極されている。
【０００５】
また、溝８の側面及び浅溝１６の内面に金属電極１３，９が蒸着法により形成されている。図１１に示すように、金属電極１３，９の形成時には、圧電プレート２は図示しない蒸着源からの蒸気放出方向に対して傾斜される。そして、蒸気が放出されると側壁１１のシャドー効果により、溝８の側面の上半分、浅溝１６の内面及び側壁１１の上面に金属電極１３，９，１０が形成される。
【０００６】
次に、圧電プレート２が１８０度回転されて、同様にして金属電極１３，９，１０が形成される。この後、側壁１１の上面に形成された不要な金属電極１０がラッピング等により除去される。このようにして、溝８の両側面に形成された金属電極１３は浅溝１６の内面に形成された金属電極９により電気的に接続されている。
【０００７】
次に、図１０に示すカバープレート３は、セラミックス材料または樹脂材料等から形成されている。そして、カバープレート３には、研削または切削加工等によって、インク導入口２１及びマニホールド２２が形成されている。そして、圧電プレート２の溝８加工側の面とカバープレート３のマニホールド２２加工側の面とがエポキシ系等の接着剤によって接着される。
【０００８】
従って、インクジェットプリンタヘッド１には、溝８の上面が覆われて、横方向に互いに間隔を有する複数のインク流路が構成される。そして、全てのインク流路内には、インクが充填される。
【０００９】
圧電プレート２及びカバープレート３の端面に、各インク流路の位置に対応した位置にノズル３２が設けられたノズルプレート３１が接着されている。そして、圧電プレート２の溝８の加工側に対して反対側の面には、基板４１が、エポキシ系接着剤等によって接着されている。
【００１０】
その基板４１には各インク流路の位置に対応した位置に導電層のパターン４２が形成されている。その導電層のパターン４２と浅溝１６の底面の金属電極９とは、周知のワイヤボンディング等によって導線４３で接続されている。
【００１１】
このように、インク滴を噴出するために、溝８の両側面となる側壁１１の中央部分を溝８の内部方向に同時に変形させる。このため、金属電極１３が側壁１１の上半分に形成され、且つ溝８の両側面となる側壁１１が同時に変形される。溝８の両側面となる側壁１１を同時に変形させるために、溝８の両側面の金属電極１３を電気的に接続する金属電極９を設けて、その金属電極９に電圧が印加される。従って、溝８の両側面の上半分に形成された金属電極１３を電気的に接続するための金属電極９を形成するために浅溝１６が形成されている。
【００１２】
上記に示す従来技術は、比較的簡単な構造で高密度のノズルを持つインクジェットプリンタヘッドが実現できる点で優れた技術であるが、多数の溝からなる流路に深さの異なる浅溝を高密度に形成し、それぞれの溝から電気的配線を行う必要から、実用的には特に製造上の問題点を有していた。
【００１３】
また、溝からなる流路に深さの異なる浅溝を形成するために、インク流路としてダイヤモンドカッティング円盤の円周に沿った形状が必要となり、インク流路長が長くなりインクジェットプリンタヘッドの小型化及び高速駆動化が困難であった。
【００１４】
これらを解決する方法として、持開平４−３０７２５４号公報あるいは持開平６−２１８９１８号公報又は特開平６−２１８９３４号公報に記載されているように、溝からなる流路の一方の端部をハンダ材、メッキもしくは導電性部材により封止し、該封止部材を用いて電気的配線を行う方法が提案されている。
【００１５】
これらの従来技術について、図１２乃至図１４を用いて説明する。
図１２に示すように、インクジェットプリンタヘッド１は、圧電プレート２７とカバープレート３とノズルプレート３１と基板４１とから構成されている。圧電プレート２７は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料によって形成されている。そして、その圧電プレート２７は分極方向５の方向に分極処理されている。
【００１６】
また、圧電プレート２７には、ダイヤモンドカッティング円盤の回転による切削加工等によって、図８に示すように溝８が複数形成されている。それらの溝８は同じ深さであり、かつ平行である。また、その溝８の側面となる側壁１１は前記分極処理により矢印５の方向に分極されている。
【００１７】
そして、溝８の両側面の上半分及び側壁１１の上面に金属電極１３、１０が形成される。次に、図９に示すように、導電性部材２６がディスペンサー２５により溝８に埋め込まれる。その後、導電性部材２６には、図示しない装置により熱が加えられ、その熱により固化する。その導電性部材２６は圧電プレート２７の端部１５付近に形成される。また、導電性部材２６は溝８の深さ全部を満たしている。その後、導電性部材２６の余剰部分及び側壁１１の上面の金属電極１０がラッピング等によって取り除かれる。
【００１８】
次に、図１２に示すカバープレート３は、研削または切削加工等によって、インク導入口２１及びマニホールド２２が形成されている。そして、図１３の溝１１部での断面形状に示すように、圧電プレート２７の溝８加工側の面とカバープレート３のマニホールド２２加工側の面とがエポキシ系等の接着剤４によって接着される。従って、インクジェットプリンタヘッド１には、溝８の上面が覆われて、横方向に互いに間隔を有する複数のインク流路１２が構成される。そして、全てのインク流路内１２には、インクが充填される。
【００１９】
圧電プレート２及びカバープレート３の端面に、各インク流路の位置に対応した位置にノズル３２が設けられたノズルプレート３１が接着されている。このノズルプレート３１は、ポリアルキン（例えば、エチレン）、テレフタレート、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネイト、酢酸セルロース等のプラスチックによって形成されている。
【００２０】
そして、圧電プレート２７の溝８の加工側に対して反対側の面には、基板４１が、エポキシ系接着剤等によって接着されている。その基板４１には各インク流路の位置に対応した位置に導電層のパターン４２が形成されている。その導電層のパターン４２と導電性部材２６とは、ワイヤボンディング等によって電気的に接続される。
【００２１】
従って、溝８の一側面の金属電極１３と他側面の金属電極１３とが導電性部材２６によって電気的に接続される。このため、導電性部材２６に電圧が印加されると、導電性部材２６を通して溝８の両側面の金属電極１３に電圧が同時に印加され、同時に溝８の両側面である側壁１１が溝８の内部方向に変形してインク滴が噴出される。
【００２２】
次いで、図１３，図１４によって、インクジェットプリンタヘッド１の動作を説明する。図示しない駆動制御回路が、所要のデータに従って、インクジェットプリンタヘッド１のインク流路１２ｂからインクの噴出を行なうと判断する。すると、そのインク流路１２ｂに対応する導電層パターン４２及び導電性部材２６を介して金属電極１３ｅと１３ｆとに正の駆動電圧Ｖが印加され、金属電極１３ｄと１３ｇとが接地される。
【００２３】
図１４に示すように、側壁１１ｂには矢印１４ｂの方向の駆動電界が発生し、側壁１１ｃには矢印１４ｃの方向の駆動電界が発生する。すると、駆動電界方向１４ｂ及び１４ｃは分極方向５とが直交しているため、側壁１１ｂ及び１１ｃは、圧電厚みすべり効果により、この場合、インク流路１２ｂの内部方向に急速に変形する。この変形によって、インク流路１２ｂの容積が減少してインク圧力が急速に増大し、圧力波が発生して、インク流路１２ｂに連通するノズル３２からインク滴が噴射される。
【００２４】
また、駆動電圧Ｖの印加が停止されると、側壁１１ｂ及び１１ｃが変形前の位置に徐々に戻るためインク流路１２ｂ内のインク圧力が徐々に低下する。すると、インク導入口２１からマニホールド２２を通してインク流路１２ｂ内にインクが供給される。
【００２５】
このように、インク滴を噴出するために、溝８の両側面となる２つの側壁１１の中央部分を溝８の内部方向に同時に変形させる。
【００２６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したインクジェットプリンタヘッド１では、端部１５を塞いでいる導電性部材２６が実際にインク滴の噴射に影響する側壁１１の剪断変形部分（側壁１１の上面がカバープレート３と接着されている部分）と近くなると共に、導電性部材２６の剛性が側壁１１を形成する圧電部材に比べ低いため、該導電性部材２６、インク供給口及びインク供給部の形状寸法が該側壁１１の変形効率に影響を及ぼしていた。
【００２７】
特にインク供給口が前記導電性部材が設けられた端部側の面に配設されている場合、導電性部材のカバープレートと対向する面は完全に解放されているため、側壁の剪断変形により影響を及ぼすことになっていた。
【００２８】
また、導電性部材２６は、形成過程で液相状態から固相状態への移行が必要であり、該過程での体積変化及び揮発成分の蒸発等によるボイドの発生等により、金属電極１３との安定した接続性に問題があった。
【００２９】
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、効率良く安定したインク滴の噴射が可能な液滴噴射装置を提供することを目的とする。
【００３０】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために本発明は、以下のように構成している。
【００３１】
（１）一端に配置された基板から他端に配置されたインクを吐出するノズルプレートまで連通し、それぞれの間に側壁を挟んで形成された複数の溝と、前記複数の溝の前記一端側に位置して前記基板に接続される導電性部材と、前記溝の長手方向に沿って前記側壁に位置し、前記導電性部材を介して前記基板に接続された金属電極と、を有する圧電プレートと、
前記溝に対向して前記圧電プレートに接着されたカバープレートであって、前記長手方向における前記導電性部材側の一端に位置するインク供給口と、前記導電性部材及び前記溝の一部に対向し、前記インク供給口と前記溝とを連通する凹状のインク供給部と、を有するカバープレートと、を備え、
前記長手方向における前記導電性部材の幅（Ｗ）が、１００μｍ以上２０００μｍ以下の範囲に設定されていることを特徴とする。
【００３２】
この構成によれば、複数の溝の一端側において基板に接続された導電性部材が配置された圧電プレートと、この圧電プレートに接着され、導電性部材及び圧電プレートに形成された溝の一部に対向したインク供給部を有するカバープレートとが備えられている。また、インク供給口からインク供給部を介してインク流路となる溝にインクが供給される。
さらに、長手方向における導電性部材の幅（Ｗ）が、１００μｍ以上２０００μｍ以下の範囲に設定されている。したがって、導電性部材と金属電極とを、信頼性が高く、均一に接続することができ、安定したインク滴の噴射を行うことができた。
【００３３】
（２）一端に配置された基板から他端に配置されたインクを吐出するノズルプレートまで連通し、それぞれの間に側壁を挟んで形成された複数の溝と、前記複数の溝の前記一端側に位置して前記基板に接続される導電性部材と、前記溝の長手方向に沿って前記側壁に位置し、前記導電性部材を介して前記基板に接続された金属電極と、を有する圧電プレートと、
前記溝に対向して前記圧電プレートに接着されたカバープレートであって、前記長手方向における前記導電性部材側の一端に位置するインク供給口と、前記導電性部材及び前記溝の一部に対向し、前記インク供給口と前記溝とを連通する凹状のインク供給部と、を有するカバープレートと、を備え、
前記長手方向における前記インク供給部の前記溝の一部に対向する開口長さ（Ｌ）と前記長手方向における前記導電性部材の幅（Ｗ）との比（Ｗ／Ｌ）が１／５から２／３の範囲に設定されていることを特徴とする。
【００３４】
この構成によれば、溝の長手方向において、インク供給部の溝の一部に対向する開口長さ（Ｌ）と導電性部材の幅（Ｗ）との比を１／５以上２／３以下の範囲とすることにより、側壁の効率良い駆動が可能となった。
【００３５】
（３）前記インク供給部の深さ（ｈＡ）が、少なくとも前記溝の深さ（ｈＢ）以上であることを特徴とする。
【００３６】
この構成によれば、カバープレートのインク供給部の深さ（ｈＡ）が溝の深さ（ｈＢ）より高くなるので、安定したインク滴の噴射ができた。特に、上記条件を組み合わせることにより、効率よく安定したインク滴の噴射が可能となった。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。なお従来例と同一部材（同一部位）及び均等部材（均等部位）には同一符号を付してその説明は省略する。
【００３８】
図２に示すように、インクジェットプリンタヘッド１は、圧電プレート２７とカバープレート３とノズルプレート３１と基板４１とから構成されている。図８に示す圧電プレート２７は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料で製造されている。
【００３９】
その圧電プレート２７は、矢印５の方向に分極処理が施された厚さ約１ｍｍ程度の板である。また、圧電プレート２７には、ダイヤモンドカッティング円盤の回転による切削加工によって、溝８が複数形成されている。それら溝８は平行、且つ同じ深さである。
【００４０】
そして、溝８の両側面の上半分及び側壁１１の上面に金属電極１３、１０が形成される。その金属電極１３、１０には、アルミニウム、ニッケル、銅、金等が用いられる。そして、図９に示すように、導電性部材２６がデイスペンサー２５によりほぼ溝８の深さ全部を満たしている。その後、導電性部材２６には、図示しない装置により熱が加えられ、その熱により固化する。
【００４１】
尚、導電性部材２６としては、エポキシ系の樹脂成分を含有した金ペースト  銀ペースト，銅ペーストもしくはメッキ液をべースとした金メッキ、ニッケルメッキなどが用いられる。
【００４２】
図３に示すように、その導電性部材２６は圧電プレート２７の端部１５付近に形成される。その後、導電性部材２６の余剰部分及び側壁１１の上面の金属電極１０がラッピング等によって取り除かれる。
【００４３】
次に、図４に示すカバープレート３は、厚さ３ｍｍのセラミックス材料または樹脂材料等から形成されている。そして、カバープレート３には、研削または切削加工等によって、導電性部材２６に対向する面に凹部（インク供給部）６６が形成されている。該インク供給部６６は少なくとも全ての溝８をカバーできる幅で形成されている。
【００４４】
そして、圧電プレート２７の溝８加工側の面とカバープレート３とがエポキシ系等の接着剤によって接着される。
【００４５】
図４に示しているインクジェットプリンタヘッド１のインク流路１２に沿った断面図のように、インクジェットプリンタヘッド１には、溝８の上面が覆われて横方向に互いに間隔を有する複数のインク流路１２が構成され、インク充填時には、全てのインク流路１２内に導電性部材２６の上部空間を通りインクが充填される。
【００４６】
次に、各インク流路の位置に対応した位置に導電層のパターン４２が形成されている基板４１を圧電プレート２７の端部１５に形成された導電性部材２６に接続する。その導電層のパターン４２と導電性部材２６とは、異方導電性接着剤もしくはパターン４２上にバンプ（図示せず）を形成し該バンプを導電性部材に挿入することによって接続される。
【００４７】
この後、導電性インクを用いる場合には、ポリパラキシリレン（商標名：パリレン）等の有機保護膜により上記接合部を絶縁保護する。但し、使用するインク及び異方導電性接着剤を含む該インクジェットプリンタヘッドを作成するために使用した接着剤の特性によっては保護膜は必要ない。
【００４８】
次に、圧電プレート２７及びカバーブレート３からなり導電性部材２６が設けられていない端面に、各インク流路１２の位置に対応した位置にノズル３２が設けられたノズルプレート３１が接着される。
【００４９】
上記構成により、溝８の一側面の金属電極１３と他側面の金属電極１３とが導電性部材２６によって電気的に接続される。このため、導電性部材２６に電圧が印加されると、導電性部材２６を通して溝８の両側面の金属電極１３に電圧が同時に印加され、同時に溝８の両側面である側壁１１が溝８の内部方向に変形してインク滴が噴出される。
【００５０】
上記構成において、図１を参照し、カバープレート３のインク供給部６６の深さ（ｈＡ）を４５０μｍとし、圧電プレート２７の溝８の深さ（ｈＢ）を３００μｍ、幅を約８０μｍ、ピッチを１６９μｍとした場合において、溝８の長手方向の導電性部材２６の幅（Ｗ）を５０，１００，３００，５００，１０００，２０００，３０００，４０００μｍに設定した場合の各々の溝８での導電性部材２６と金属電極１３との接続抵抗値の初期バラツキと、金属電極１３に電圧を印加して側壁１１を２４時間連続駆動させた後でのバラツキとを図６に示す。
【００５１】
上記溝８の寸法を変えたどちらの場合も、図６に示したように、導電性部材２６の幅（Ｗ）が５０μｍでは初期の段階で接続抵抗値のバラツキが大きく、３０００μｍ以上では連続駆動後の接続抵抗値のバラツキが大きいことから、安定したインク滴の噴射を行うには、導電性部材２６の幅を１００μｍ以上２０００μｍ以下の範囲にする必要があることが判った。
【００５２】
ここで、導電性部材２６の材料を金ペースト及び銀ペーストの２種類、また樹脂成分と導電成分の比を４：６及び３：７の２種類の計４種類にて行ったが、上記傾向に差はなかった。
【００５３】
次に、図７にカバープレート３のインク供給部６６の深さ（ｈＡ）を４５０μｍとし、圧電プレート２７の溝８の深さ（ｈＢ）を３００μｍ、幅を約７０μｍ、ピッチを１４０μｍ、導電性部材２６の幅（Ｗ）を１００，３００，５００，１０００，２０００μｍとし、各々について、溝８の長手方向におけるインク供給部６６の溝８の一部に対向する開口長さ（Ｌ）と導電性部材２６の幅（Ｗ）との比（Ｗ／Ｌ）を１／１０，１／５，１／３，１／２，２／３，１／１とした場合に、側壁１１に２４Ｖの電圧を印加したときのインク滴の飛翔速度との関係を示した。図７に示すように、該インク供給部６６の開口長さ（Ｌ）と導電性部材２６の幅（Ｗ）との比（Ｗ／Ｌ）が１／５以上２／３以下でないと、インク滴の飛翔速度が極端に悪くなる。
【００５４】
これは、インク供給部６６の開口長さ（Ｌ）と導電性部材２６の幅（Ｗ）との比（Ｗ／Ｌ）が高い（１／１）場合には、実際にインク滴の噴射に影響する側壁１１の変形部分（側壁１１の上面がカバープレート３と接着されている部分）と導電性部材２６により埋めこまれている部分の距離が近いため、該側壁１１の変形効率に影響がでていると考えられる。
【００５５】
反対に、インク供給部６６の開口長さ（Ｌ）と導電性部材２６の幅（Ｗ）との比（Ｗ／Ｌ）が低い（１／１０）場合には、溝８が形成するインク流路が長くなることにより、インク流路内のインクの圧力伝播に時間がかかると共に、金属電極１３の長さが長くなるため、インク流路のコンプライアンスが増加することによる相乗の影響により効率がわるくなっていると考えられる。
【００５６】
よって、インク供給部６６の開口長さ（Ｌ）と導電性部材２６の幅（Ｗ）との比（Ｗ／Ｌ）が１／１０及び１／１のように飛翔速度が５ｍ／ｓより遅い場合、飛翔中の空気抵抗等の外乱によりインク滴の着弾精度が悪くなり、印字画質の劣化につながってしまう。
【００５７】
また、飛翔速度を早くするために、印加電圧を高く設定すると、駆動回路上への負荷が増加するだけでなく、インクジェットプリンタヘッド１自体の発熱が増加し、インクの粘度、表面張力等の物性値が変動するため、インク滴の噴射量及び飛翔速度がばらつく。
【００５８】
また、圧電プレート２７の溝８の深さ（ｈＢ）を３００μｍ、幅を約７０μｍ、ピッチを１４０μｍとした場合と、溝８の深さ（ｈＢ）を３５０μｍ、幅を約８０μｍ、ピッチを１６９μｍとした場合との２つの場合において、カバープレート３のインク供給部６６の深さ（ｈＡ）を２００、３００、４００、５００μｍと設定した場合について、表１にインク滴の連続噴射での安定性を示す。
【００５９】
【表１】
0003682218.tif 000002
【００６０】
表１に示すように、カバープレート３のインク供給部６６の深さ（ｈＡ）が溝８の深さ（ｈＢ）より低い（浅い）場合には、インク滴の連続噴射において、数分程度で噴射ができなくなる。
【００６１】
以上説明したように、導電性部材２６の幅（Ｗ）を１００μｍ以上２０００μｍ以下の範囲とすることにより、該導電性部材２６と金属電極１３を信頼性が高く、均一に接続することができ安定したインク滴の噴射を行うことができた。
【００６２】
また、インク供給部６６の開口長さ（Ｌ）と導電性部材２６の幅（Ｗ）との比（Ｗ／Ｌ）を１／５以上２／３以下の範囲とすることにより、側壁１１の効率良い駆動が可能となる。また、カバープレート３のインク供給部６６の深さ（ｈＡ）を溝８の深さ（ｈＢ）より高くすることにより、安定したインク滴の噴射ができた。
【００６３】
ここで、本実施形態においては、側壁１１に形成する金属電極１３を側面の上半分に行ったが、流路全面に金属メッキ等で形成した後、レーザ光を上半分に照射する事により該金属メッキを除去し、下半分及び底面に金属電極１３を形成した構成でも構わない。
【００６４】
この場合、金属電極１３の形成は複雑となるが、導電性部材２６と金属電極１３との密着面積が大きいため、導電性部材２６と金属電極１３との接続部の電気抵抗を押さえることができると共に、信頼性が向上する。また、導電性部材２６の充填量を溝深さの半分以下に押さえることができるため、インク供給口６７での流路抵抗を軽減することができ、インク供給及び吐出駆動が安定する。
【００６５】
同様に、図５に示すように圧電プレート２７を上部圧電部材６１と下部圧電部材６２の２枚構成として、各々の圧電プレート２７の分極方向が各々矢印６３，６４に示すように厚さ方向に反対向きに接着し、溝８を高さの約半分の位置で分極方向が反対となるように形成した後、溝８の全面に電極６５を形成しても上記と同様の効果が得られる。
【００６６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明は、以下のような効果を奏する。
請求項１によれば、導電性部材の幅（Ｗ）を１００μｍ以上２０００μｍ以下の範囲とすることにより、該導電性部材と金属電極とを信頼性が高く、均一に接続することができ、安定したインク滴の噴射を行うことができる。
【００６７】
請求項２によれば、インク供給部の開口長さ（Ｌ）と導電性部材の幅（Ｗ）との比（Ｗ／Ｌ）を１／５以上２／３以下の範囲とすることにより、側壁の効率良い駆動が可能となる。
【００６８】
請求項３によれば、カバープレートのインク供給部の深さ（ｈＡ）を溝の深さ（ｈＢ）より高くすることにより、安定したインク滴の噴射ができる。特に、上記条件を組み合わせることにより、効率よく安定したインク滴の噴射が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの構成を示す断面図である。
【図２】同斜視図である。
【図３】同圧電プレートの導電性部材形成後を示す斜視図である。
【図４】同カバープレートの構成を示す斜視図である。
【図５】同圧電プレートの他の構成例を示す断面図である。
【図６】同導電性部材の幅と該導電性部材と金属電極との接続抵抗値バラツキの関係を示したグラフである。
【図７】同導電性部材の幅とインクインク供給部の開口長さとインク滴飛翔速度の関係を示したグラフである。
【図８】従来技術の圧電プレートの形成過程を示す説明図である。
【図９】同導電性部材塗布工程を示す断面図である。
【図１０】同インクジェットプリンタヘッドの構成を示す斜視図である。
【図１１】同圧電プレートの電極形成工程を示す説明図である。
【図１２】同インクジェットプリンタヘッドの他の構成を示す斜視図である。
【図１３】同インクジェットプリンタヘッドの断面図である。
【図１４】同インクジェットプリンタヘッドの作動状態を示す説明図である。
【符号の説明】
３−カバープレート
８−溝
１２−インク流路
２６−導電性部材
２７−圧電部材（圧電プレート）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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