(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤により貼り合わされたディスク基板と被剥離部材との間をそれらの中央開口側から、前記ディスク基板と前記被剥離部材との間に圧搾気体を供給して前記ディスク基板から前記被剥離部材を剥離する工程を備えた光ディスクの製作方法において、
前記ディスク基板と前記被剥離部材との間が剥離されるのに伴い、一旦剥離した前記被剥離部材が前記ディスク基板に密着するのを防ぐため、前記圧搾気体から、前記ディスク基板と前記被剥離部材とが密着しない程度の流速以上の流速で、かつ前記ディスク基板と前記被剥離部材との双方又は一方がバタつかない流速以下の流速の密着防止用気体に切り換えることを特徴とする光ディスクの製作方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記密着防止用気体は、前記圧搾気体を供給開始してから前記ディスク基板と前記被剥離部材とが剥離されるまでの所定時間が経過するときに、供給開始されることを特徴とする光ディスクの製作方法。
【請求項３】
請求項１において、
前記被剥離部材が前記ディスク基板から剥離されたのが検出されるときに、前記圧搾気体の供給が停止されることを特徴とする光ディスクの製作方法。
【請求項４】
請求項１において、
前記被剥離部材の前記ディスク基板からの剥離が検出されるときに、前記密着防止用気体の供給が開始されることを特徴とする光ディスクの製作方法。
【請求項５】
接着剤により貼り合わされたディスク基板と被剥離部材との間をそれらの中央開口側から前記ディスク基板と被剥離部材との間に圧搾気体を供給して前記ディスク基板と前記被剥離部材との間を剥離する引き剥がし手段を備えた光ディスクの製作装置において、
前記引き剥がし手段が前記圧搾気体を供給開始してから時間設定手段に設定された時間が経過するときに、第１の開閉弁を閉じて前記圧搾気体の供給を停止すると共に、第２の開閉弁を開いて、前記ディスク基板と前記被剥離部材とが密着しない程度の流速以上の流速で、かつ前記ディスク基板と前記被剥離部材との双方又は一方がバタつかない流速以下の流速の密着防止用気体の供給を開始させる弁制御・駆動部を備えることを特徴とする光ディスクの製作装置。
【請求項６】
接着剤により貼り合わされたディスク基板と被剥離部材との間をそれらの中央開口側から前記ディスク基板と被剥離部材との間に圧搾気体を供給して前記ディスク基板と前記被剥離部材との間を剥離する引き剥がし手段を備えた光ディスクの製作装置において、
前記被剥離部材が前記ディスク基板から剥離されたのを検出するセンサを備え、該センサが前記剥離を検出するときに、前記引き剥がし手段は前記圧搾気体の供給を停止すると共に、前記ディスク基板と前記被剥離部材とが密着しない程度の流速以上の流速で、かつ前記ディスク基板と前記被剥離部材との双方又は一方がバタつかない流速以下の流速の密着防止用気体の供給を開始することを特徴とする光ディスクの製作装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の記録面を有する光ディスクの製作方法及び光ディスクの製作装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスクにより記録容量を増大させる技術が発展普及してきており、さらにその記録容量をより高密度化する傾向にある。例えば、４層の構造で、両面から２層づつ記録している光ディスクでＤＶＤ−１８と称する１７ＧＢの記録容量のものがある。この種の光ディスクの製造方法としては、例えば下記に示した公報がある。
〔特許文献１〕  特開平１０−２８３６８２号公報
〔特許文献２〕  特公平８−２３９４１号公報
これらに示される光ディスクの製造方法においては、いずれかの記録面の製造工程において、各層ごとにスタンパを用い、このスタンパと接着層との界面を剥離してその接着層にピット列による情報を転写し、そのピットの形成された接着層面に反射膜を形成している。
【０００３】
このような製造方法では、複数回のスタンパによる工程を順次行わなければならないため、全製造工程の長さがそれだけ長くなる。また、スタンパによる工程は、クリーンルームにおいて厳重な管理を行う必要があり、工程の性質の異なる貼り合わせの工程と交互にこのスタンパによる工程を設けることは効率的ではない。
【０００４】
このような問題を解決するために、次のようなディスクの製造方法が提案されている。この製造方法は、図９にディスクの断面を示すように、最終的に光ディスクの一方側となるディスク基板１と後の工程で引き剥がされて除去されるダミーディスク２’とを用いる。ディスク基板１は通常のものと同じであり、ポリカーボネイトのような透明性のあるプラスチック材料からなり、一方の面に情報を記録するピット１ａなどと金を薄く蒸着してなる光半透過性の反射膜１ｂを備える。
【０００５】
ダミーディスク２’は、ポリメチル・メタクリレート樹脂のような材料を成型したものからなり、その片面には情報を記録するピット２’ａなどとアルミニウムを薄く蒸着してなる反射膜２’ｂを備える。このダミーディスク２’は、ディスク基板１とほぼ同様な形状、大きさ、厚みを有する。
【０００６】
これらディスク基板１とダミーディスク２’は、それぞれの反射膜１ｂと２’ｂ面が紫外線硬化型の接着剤からなる接着層３を介して接着されている。この場合、ディスク基板１と反射膜１ｂとの界面の接着強度は、ダミーディスク２’が反射膜２’ｂに対して剥がれ易いポリメチル・メタクリレート樹脂のような材質でできているので、ダミーディスク２’とその反射膜２’ｂとの境界の接着強度、接着層３とディスク基板１の反射膜１ｂとの界面の接着強度、接着層３と反射膜２’ｂとの境界の接着強度のいずれよりも小さく、剥がれ易くなっている。なお、４はディスク基板１とダミーディスク２’の中央穴を示す。
【０００７】
このようにディスク基板１とダミーディスク２’とを貼り合わせた後、これらの間に引き剥がし力を加えて、ダミーディスク２’とその反射膜２’ｂとの間でダミーディスク２’を引き剥がし、除去する。この状態では、ディスク基板１の一方の面に順に、ピットなどの記録層１ａ、反射膜１ｂ、接着層３、記録層２’ａ、及び反射膜２’ｂが備えられる。このような構造のディスク基板を２枚、記録層や反射膜が内側に位置するよう貼り合わせることにより、冒頭で述べたようなＤＶＤ−１８と称する１７ＧＢの記録容量のＤＶＤを得ることができる。
【０００８】
しかしながら、ダミーディスク２’と反射膜２’ｂとの界面の接着強度を十分に小さくすることは現実問題として不可能であるので、ある程度以上の大きさの引き剥がし外力との間に加えなければならない。この際、ダミーディスク２’の引き剥がし時にディスク基板１に悪影響を与えず、しかも量産に適した引き剥がし方法でなければならない。また、必要に応じてダミーディスクと接着剤又は反射膜と接着剤との間で引き剥がす場合も同様である。このような課題を解決した技術として、下記に示すような特許文献がある。
〔特許文献３〕  特開２００１−５２３７８号公報
〔特許文献４〕  特開２００２−１９７７３１号公報
これら特許文献で開示された技術の概略を説明すると、接着剤により貼り合わされたディスク基板と被剥離部材（前記ダミーディスクに対応するもの）との間を、それらの中央開口側から押し開いてディスク基板から被剥離部材の一部分を剥離する予備剥離工程と、その予備剥離工程で部分的に剥離され拡げられたディスク基板と被剥離部材との間に圧搾気体を供給してディスク基板から被剥離部材を剥離する剥離工程とからなるのが大きな特徴である。これら特許文献に記載されている技術によれば、短時間で確実に、しかも接着剤に転写される情報と反射膜、又は情報を傷付けることなく、ディスク基板から被剥離部材を剥離することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ディスク基板から一旦完全に剥離された被剥離部材も、剥離した状態で直ぐに圧搾気体を止めてしまうと、被剥離部材はディスク基板に密着してしまい、折角、剥離したにもかかわらず剥がれ難くなる場合の多いことが確認された。
本発明はこのような問題点を解決するものであり、ディスク基板と被剥離部材の剥離後もそれらの間に気流を流す、好ましくは被剥離部材がディスク基板から除去されるまで気流を流すことを特徴としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、第１の発明は、接着剤により貼り合わされたディスク基板と被剥離部材との間をそれらの中央開口側から、前記ディスク基板と前記被剥離部材との間に圧搾気体を供給して前記ディスク基板から前記被剥離部材を剥離する工程を備えた光ディスクの製作方法において、前記ディスク基板と前記被剥離部材との間が剥離されるのに伴い、一旦剥離した前記被剥離部材が前記ディスク基板に密着するのを防ぐため、前記圧搾気体から、前記ディスク基板と前記被剥離部材とが密着しない程度の流速以上の流速で、かつ前記ディスク基板と前記被剥離部材との双方又は一方がバタつかない流速以下の流速の密着防止用気体に切り換えることを特徴とする光ディスクの製作方法を提供する。
【００１１】
第２の発明は、前記第１の発明において、前記密着防止用気体は、前記圧搾気体を供給開始してから前記ディスク基板と前記被剥離部材とが剥離されるまでの所定時間が経過するときに、供給開始されることを特徴とする光ディスクの製作方法を提供する。
【００１２】
第３の発明は、前記第１の発明において、前記被剥離部材が前記ディスク基板から剥離されたのが検出されるときに、前記圧搾気体の供給が停止されることを特徴とする光ディスクの製作方法を提供する。
【００１３】
第４の発明は、前記第１の発明において、前記被剥離部材の前記ディスク基板からの剥離が検出されるときに、前記密着防止用気体の供給が開始されることを特徴とする光ディスクの製作方法を提供する。
【００１４】
前記課題を解決するため、第５の発明は、接着剤により貼り合わされたディスク基板と被剥離部材との間をそれらの中央開口側から前記ディスク基板と被剥離部材との間に圧搾気体を供給して前記ディスク基板と前記被剥離部材との間を剥離する引き剥がし手段を備えた光ディスクの製作装置において、前記引き剥がし手段が前記圧搾気体を供給開始してから時間設定手段に設定された時間が経過するときに、第１の開閉弁を閉じて前記圧搾気体の供給を停止すると共に、第２の開閉弁を開いて、前記ディスク基板と前記被剥離部材とが密着しない程度の流速以上の流速で、かつ前記ディスク基板と前記被剥離部材との双方又は一方がバタつかない流速以下の流速の密着防止用気体の供給を開始させる弁制御・駆動部を備えることを特徴とする光ディスクの製作装置を提供する。
【００１５】
前記課題を解決するため、第６の発明は、接着剤により貼り合わされたディスク基板と被剥離部材との間をそれらの中央開口側から前記ディスク基板と被剥離部材との間に圧搾気体を供給して前記ディスク基板と前記被剥離部材との間を剥離する引き剥がし手段を備えた光ディスクの製作装置において、前記被剥離部材が前記ディスク基板から剥離されたのを検出するセンサを備え、そのセンサが前記剥離を検出するときに、前記引き剥がし手段は前記圧搾気体の供給を停止すると共に、前記ディスク基板と前記被剥離部材とが密着しない程度の流速以上の流速で、かつ前記ディスク基板と前記被剥離部材との双方又は一方がバタつかない流速以下の流速の密着防止用気体の供給を開始することを特徴とする光ディスクの製作装置を提供する。
【００２３】
【発明の実施の形態】
図１から図６は、前記特許文献４（特開２００２−１９７７３１号公報）に示された図面であり、これら図面を用いて本発明に係る光ディスクの製造時におけるディスク基板と被剥離部材との剥離の例について説明する。
【００２４】
先ず、図１は剥離装置が用いられる製造装置の全体図の概略を示すものであり、１０は図９に示したように、ディスク基板１と被剥離部材２とを接着層３で貼り合わせる通常の貼り合わせ装置、１１はこれから述べる複数の機能ポジションを有するターンテーブル、１２は貼り合わされたディスク基板１と被剥離部材２を貼り合わせ装置１０からターンテーブル１１のディスク受領ポジション１１ａに移載するディスク移載機構、１３は、ターンテーブル１１の回転に伴ってディスクが受領ポジション１１ａから接着剤除去ポジション１１ｂにきたとき、ディスク基板１と被剥離部材２との間からはみ出している接着剤を除去する接着剤除去機構、１４はクリーニングポジション１１ｃでディスクに付着したホコリなどを除去する除電・クリーニング機構、１５はディスクがターンテーブル１１上を受領ポジション１１ａから反転ポジション１１ｄに至るまでに損傷を受けないよう被剥離部材２を下側に、ディスク基板１を上側にして搬送するため、これらを反転ポジション１１ｄで反転して被剥離部材２を上側にする反転機構である。
【００２５】
次に、１６は機械的予備剥離機構であり、後で詳述するように予備剥離ポジション１１ｅでディスク基板１と被剥離部材２との間に機械的に力を加えてそれらの内周部を部分的に剥離させる。１７はディスク基板１と被剥離部材２との間に、圧搾気体を吹き込んで完全にそれらを剥離させると共に、この発明にかかる後述する密着防止用気体を供給し、剥離された被剥離部材２を剥離ポジション１１ｆからリサイクルボックス１８に排出する気体圧剥離機構、１９はディスクの帯電電荷やホコリを除電ポジション１１ｇで除去するための除電・クリーニング機構、２０はディスク基板１の内周部、外周部の接着剤を処理して、前述のように２枚のディスク基板１を貼り合わせたときＤＶＤとして支障ないようにする接着剤処理機構である。
【００２６】
特許文献４で説明しているが、以下に図２ないし図６により機械的予備剥離機構１６の具体的な構成と予備剥離方法について説明する。図２は予備剥離ポジション１１ｅの状態を示し、ターンテーブル１１が予備剥離ポジション１１ｅで停止したとき、ターンテーブル１１の開口（図示せず）を通してディスク受台２１と機械的予備剥離機構１６が上昇し、ターンテーブル上の貼り合わされたディスク基板１と被剥離部材２とがディスク受台２１に支承される。この状態では、機械的予備剥離機構１６の頭部である楔部分１６ａがディスク基板１と被剥離部材２の中央穴４内に位置するようになっている。機械的予備剥離機構１６の楔部分１６ａの先端部１６ａ’レベルはディスク基板１と被剥離部材２の中央穴４内においてそれらの間隙の範囲にあるように設定される。
【００２７】
機械的予備剥離機構１６の主要部分を構成する三つの拡縮動作可能な楔部分１６ａ１，１６ａ２，１６ａ３は、それぞれ１２０度の角度で広がる扇形となる平面図形をもつ。これら三つの楔部分はそれぞれ対応する支柱部分１６ｂと一体的に構成されて支承される。そして、三つの支柱部分１６ｂは図示していない通常の駆動機構に結合され、拡縮動作と上昇・下降動作を行えるようになっている。また、三つの楔部分１６ａ１，１６ａ２、１６ａ３が縮径、つまり互いに当接している状態ではそれら楔部分の最大径はディスク基板１と被剥離部材２の中央穴４及びディスク受台２１の開口の内径よりも小さくなるように製作されている。なお、ここで図３、図４で示される三つの楔部分１６ａ１，１６ａ２，１６ａ３は同一構成であり、等しい動作を行うので、説明の都合上、他の図面では楔部分１６ａとして扱う。
【００２８】
ターンテーブル１１が予備剥離ポジション１１ｅで停止したとき、図示していないが、縮径状態の三つの楔部分１６ａはターンテーブル１１とディスク受台２１の開口を通して上昇し、各楔部分１６ａの先端１６ａ’がディスク基板１と被剥離部材２の内周面１ａ、２ａに接触することなく、図２に示すようにターンテーブル上のディスク受台２１に支承された、貼り合わされたディスク基板１と被剥離部材２との間の空隙Ｘに楔部分の先端１６ａ’が位置するレベルで停止する。この状態では、ディスク受台２１に設けられた吸引通路２２を通して吸引が行われているので、ディスク基板１はディスク受台２１に吸着され、安定に位置している。
【００２９】
次に、図示されていない駆動装置により、三つの楔部分１６ａは、拡径動作、つまり放射外方向に動作を行い、それぞれの楔部分の先端１６ａ’がディスク基板１と被剥離部材２との間の空隙Ｘに入り込み、押し広げる力を与える。この結果、図５の左側だけを拡大した図６で示すように、ディスク基板１とその反射膜１ｂとの境界の接着強度、接着層３とディスク基板１の反射膜１ｂとの界面の接着強度、接着層３と反射膜２ｂとの境界の接着強度のいずれよりも接着強度の小さい被剥離部材２と反射膜２ｂとの界面の内周部分で剥がれＹが生じる。
【００３０】
次に、前述のように機械的に予備引き剥がしされたディスク基板１と被剥離部材２は、図７に示すような装置により完全に引き剥がされる。図７はその断面図である。この引き剥がし装置２５は、大別して、ディスク基板１と被剥離部材２を載せるヘッド２６とヘッドピン２７とから構成される。ヘッド２６は、いわゆるレコード用のターンテーブルに似た円盤状の上面構造を有する金属性の短円筒型物体であり、中央上部に加圧チャンバ２６Ａが設けられている。この加圧チャンバ２６Ａに接続されて空気圧を与えるための空気通路として作用するインレット２６Ｂを設ける。ヘッド２６の上面には、加圧チャンバ２６Ａを囲む環状のリム２６Ｃがあり、このリム２６Ｃの外円周は、ディスク基板１の中心穴４が内接する。そして、リム２６Ｃの外周には環状の逃げ溝２６Ｄが設けられる。逃げ溝２６Ｄのさらに外側の円盤部には、例えば前記中心穴と同心円状の４５°間隔の位置に吸着穴２６Ｅが垂直に貫通している。このヘッド２６の底部は、真空チャンバ２８を形成しながら、相互の嵌合部２９において図示しないボルトにて締め付けられて、ベースブロック３０と気密嵌合している。
【００３１】
ヘッドピン２７は、金属性のコマ状の物体で、直径がディスク基板１と被剥離部材２の中央穴４の径よりも若干だけ小さい頭部２７Ａと，頭部２７Ａを軸承する軸部２７Ｂと、軸部２７Ｂをヘッド２６の加圧チャンバ２６Ａの底部に、図示しないネジ部により固定する固定部２７Ｃとからなる。軸部２７Ｂは、ディスク基板１と被剥離部材２の中央穴４の径よりも小さな直径の円柱状で、ヘッド２６の垂直内壁との間に加圧チャンバ２６Ａを形成する。
【００３２】
また、頭部２７Ａは、ディスク基板１と被剥離部材２の中央穴４の内周壁に対して、滑動できる寸法とする。したがって、ヘッドピン２７の上方からディスク基板１と被剥離部材２の中央穴４を通してヘッド２６の上に載置することができ、このとき頭部２７Ａがガイドとして役割をするとともに、被剥離部材２の中心穴の縁が頭部２７Ａと接しているため、加圧チャンバ２６Ａはほぼ気密室を構成する。
【００３３】
このように構成された引き剥がし装置２５を用いて被剥離部材２を引き剥がすに当たり、ディスク基板１と被剥離部材２は各吸着穴２６Ｅにより吸引され、ヘッド２６の上面に吸着固定される。しかる後、不図示の第１の圧縮空気源からインレット２６Ｂを通して、例えば３ｋｇ／平方センチメートルの空気圧が印加されると、この圧縮空気は矢印の経路を通って加圧チャンバ２６Ａの中に供給される。図７からも分かるように、ディスク基板１と被剥離部材２の中心穴４側には、その中心穴から所定寸法だけ情報記録層及び接着層が形成されていないために、双方のディスク間に空間が存在し、加圧チャンバ２６Ａからの圧縮空気はその空間に入ってディスク基板１と被剥離部材２との間を中心穴側から拡げるように作用する。
【００３４】
そして、前述したように機械的な予備剥離により、ディスク基板１と被剥離部材２の中心穴４側の間隙Ｙは、既に被剥離部材２そのものの面と反射膜２ｂとの界面の内周部分で部分的に剥がれているから、そこに圧搾空気を供給すれば、その圧縮空気の押し拡げる力により被剥離部材２は反射膜２ｂから容易に剥がれる。この界面剥離は、まず加圧チャンバ２６Ａの接する付近の剥離している界面から剥離して、順次ほぼ同心円状に放射外方向に急速に広がる。この剥離は空気圧により行われるため、界面の反射膜２ｂに損傷を与える可能性は、極めて小さい。以上述べた剥離に関しては、前述の特許文献４に開示されているが、ディスク基板１と被剥離部材２との間が剥離し易い場合には、機械的な予備剥離は不要であり、機械的な力による剥離、又は圧搾気体による剥離だけを行っても良い。
【００３５】
空気のような圧搾気体は、図８に示す共通の圧搾気体源Ａから第１の気体流路Ｂ１の途中に設けられた第１の圧力調整弁Ｃ１と第１の開閉弁Ｄ１の他に、第１の流量調整弁Ｆ１、第１のフィルタＧ１を通してインレット２６Ｂに供給される。そして、この発明の実施例では、共通の圧搾気体源Ａから第２の気体流路Ｂ２の途中に設けられた第２の圧力調整弁Ｃ２と第２の開閉弁Ｄ２の他に、第２の流量調整弁Ｆ２、第２のフィルタＧ２を通して、密着防止用気体がインレット２６Ｂに供給できるようになっている。第１の開閉弁Ｄ１と、第２の開閉弁Ｄ２は弁制御・駆動部Ｅからの信号で開閉制御が行われる。第１の圧力調整弁Ｃ１と流量調整弁Ｆ１、第２の圧力調整弁Ｃ２と流量調整弁Ｆ２は手動で調整される。第１の気体流路Ｂ１を通して供給される圧搾気体の気圧に比べて、第２の気体流路Ｂ２を通してインレット２６Ｂに供給される密着防止用気体の気圧は、通常低くなるように、圧力計Ｈ１、Ｈ２の目盛りを見ながら圧力調整弁Ｃ１、Ｃ２で調整される。密着防止用気体は通常は空気であるが、窒素ガスなどでもよい。
【００３６】
次にその動作について説明する。弁制御・駆動部Ｅからの信号により、第１の開閉弁Ｄ１が開いて圧搾気体源Ａから第１の圧力調整弁Ｃ１により圧力の調整された圧搾気体がインレット２６Ｂに供給されると、弁制御・駆動部Ｅに内蔵されたタイマのような不図示の時間設定手段により、第１の開閉弁Ｄ１が開いた時点、つまり圧搾気体の供給開始時点から所定時間（例えば、１秒程度）が経過するとき、第１の開閉弁Ｄ１は閉じ、圧搾気体が加圧チャンバ２６Ａに供給されなくなる。この所定時間Ｋ（例えば、１秒程度）は、圧搾気体によって被剥離部材２がディスク基板１から剥離される時間であり、予め実験により設定される時間である。したがって、所定時間Ｋが経過すると、被剥離部材２がディスク基板１から剥離され、圧搾気体はディスク基板１と被剥離部材２との間に供給されなくなる。
【００３７】
他方、弁制御・駆動部Ｅはその内蔵した不図示の時間設定手段の時間の計数により、前記所定の時間Ｋが経過すると同時に信号を第２の開閉弁Ｄ２に与えてその弁を開き、密着防止用気体をインレット２６Ｂに供給するように働く。第２の開閉弁Ｄ２が開かれるときには、前もって第２の圧力調整弁Ｃ２は適当な圧力の気体を供給できるよう調整されている。ここで、第２の圧力調整弁Ｃ２と流量調整弁Ｆ２の調整は、ディスク基板１から剥離された被剥離部材２がディスク基板１に密着しない程度以上の密着防止用気体をディスク基板１と被剥離部材２との間に流すことができ、また密着防止用気体の流量が多く、流速が大き過ぎると、ディスク基板１と被剥離部材２の双方又は一方がバタ付いてしまうので、このようなバタ付きが生じないような流量以下の密着防止用気体を流すことができるように、行われる。つまり、ディスク基板１と被剥離部材２間を流れる密着防止用気体の流速は、ディスク基板１から剥離された被剥離部材２がディスク基板１に密着しない程度以上で、ディスク基板１と被剥離部材２の双方又は一方がバタ付かない程度以下に調整される。なお、このようなバタ付きが発生すると、反射膜又は情報層に傷がつくことがあり、好ましくない。
【００３８】
したがって、この実施例では、圧搾気体が供給された後、所定時間Ｋが経過するとき、これよりも流量が少なく、流速の遅い密着防止用気体に切り換えられる。しかし、ディスク基板１と被剥離部材２との間が剥離し易い場合には、圧搾気体の圧力は弱く調整されており、ディスク基板１と被剥離部材２との間を流れる圧搾気体の量は少なく、その流速も当然に低いので、ディスク基板１から被剥離部材２を取り去るまで、第１の開閉弁Ｄ１を閉じることなく圧搾気体を流し続けていても、ディスク基板１と被剥離部材２の双方又は一方がバタ付かない場合には前述のように、必ずしも第１の開閉弁Ｄ１を閉じると同時に第２の開閉弁Ｄ２を開くという操作を行う必要はなく、圧搾気体から密着防止用気体に切り換える必要は無い。
【００３９】
しかる後、図示していない駆動機構によりベースブロック３０及びヘッド２６が降下し、その降下過程でディスク基板１と被剥離部材２をターンテーブル１１上に載置する。そして、引き剥がされた被剥離部材２はリサイクルボックス１８に排出される。この時点で、弁制御・駆動部Ｅは第２の開閉弁Ｄ２を閉じて、圧搾気体源Ａからのディスク基板１と被剥離部材２間に流れていた密着防止用気体を止めるか、あるいは密着防止用気体への切替えが行われていない場合には、第１の開閉弁Ｄ１を閉じて、圧搾気体源Ａからディスク基板１と被剥離部材２間に流れていた圧力の低い圧搾気体を止める。これにより、反射膜１ｂと接着剤３の表面に残された反射膜２ｂを有するディスク基板１がターンテーブル１１上に残され、次の除電・クリーニングポジション１１ｇに送られる。
【００４０】
また、前記実施例は前述の機械的な予備剥離と流体による剥離を同一ポジションで行い、機械的な力による部分剥離によってディスク基板１と被剥離部材２の中央開口周辺を機械的な力で拡げた状態で、圧搾気体をディスク基板１と被剥離部材２との間に吹き込むことにより、被剥離部材２を引き剥がす場合にもまったく同様に適用できる。
【００４１】
以上の実施例では、圧搾気体から密着防止用気体への切替えを予め決めた時間の経過に従って行ったが、加圧チャンバ２６Ａ内、又はインレット２６Ｂ近傍などに不図示の圧力センサを設け、その圧力センサが圧力の瞬間的低下を検出したとき、弁制御・駆動部Ｅにその信号を供給し、その信号により弁制御・駆動部Ｅが第１、第２の開閉弁Ｄ１、Ｄ２に信号を送り、その第１の開閉弁Ｄ１は閉じて前記圧搾気体の供給を停止し、第２の第２の開閉弁Ｄ２は開いて前記密着防止用気体をディスク基板１と被剥離部材２との間に供給して、一旦剥離された被剥離部材２がディスク基板１に付着しないようにしても良い。ここで、被剥離部材２がディスク基板１から剥離されると、気体抵抗が急激に小さくなるので、インレット２６Ｂ近傍、又は加圧チャンバ２６Ａ内の気圧は急激に低下する。前記不図示の圧力センサは、この気圧の急激な低下を検出し、前記信号を発生する。この実施例においても、前記圧搾気体の気圧が低く、その流速がディスク基板１と被剥離部材２の双方又は一方がバタ付かせない程度ならば、圧搾気体から密着防止用気体に切り換えずに、そのまま圧搾気体を流していても良い。
【００４２】
また、以上の実施例では、被剥離部材２とその反射膜２ｂとの境界の接着強度が、接着層３とディスク基板１の反射膜１ｂとの界面の接着強度、接着層３と反射膜２ｂとの境界の接着強度のいずれよりも小さく、剥がれ易くなっている例について述べたが、被剥離部材２は可撓性のある材料からなるスタンパなどであっても良い。この場合には、不図示のスタンパには反射膜は形成されておらず、情報を記録するピットが形成されており、スタンパを剥離した後の接着剤には前記ピットが転写されることになる。その接着剤の面には、必要に応じてその後の工程で反射層、あるいは１層以上の記録層などが形成される。
【００４３】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、光ディスクなどの製作工程における被剥離部材の引き剥がしの際に、ディスク基板の記録膜や反射膜に実質的に悪影響を与えずに自動的に、且つ短時間で確実に引き剥がすことができので、量産に適した光ディスクの製作を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る光ディスクの予備剥離機構を含む光ディスクの製造装置を説明するための図である。
【図２】  本発明に係る光ディスクの予備剥離機構の実施の形態を説明するための一部断面図（縮径状態）である。
【図３】  本発明に係る光ディスクの予備剥離機構の実施の形態を説明するための上面図（縮径状態）である。
【図４】  本発明に係る光ディスクの予備剥離機構の実施の形態を説明するための上面図（拡径状態）である。
【図５】  本発明に係る光ディスクの予備剥離機構の実施の形態を説明するための一部断面図（拡径状態）である。
【図６】  本発明に係る光ディスクの予備剥離機構の実施の形態を説明するための一部拡大断面図（拡径状態）である。
【図７】  本発明を説明するための気体による引き剥がし機構の一部断面を示す図である。
【図８】  本発明を説明するための気体供給機構を示す図である。
【図９】  光ディスクの断面を示す図である。
【符号の説明】
１・・・ディスク基板                  ２・・・被剥離部材
３・・・接着剤                        ４・・・デイスクの中央穴
１０・・・貼り合わせ装置              １１・・・ターンテーブル
１２・・・ディスク移載機構            １３・・・接着剤除去機構
１４・・・除電・クリーニング機構      １５・・・反転機構
１６・・・機械的予備剥離機構          １６’・・機械的部分剥離機構
１６ａ・・楔部分                      １６ｂ・・支柱部分
１７・・・気体圧剥離機構              １８・・・リサイクルボックス
１９・・・除電・クリーニング機構      ２０・・・接着剤処理機構
２１・・・ディスク受台                ２２・・・吸引通路
２５・・・引き剥がし装置              ２６・・・ヘッド
２６Ａ・・加圧チャンバ２６Ａ          ２６Ｂ・・インレット
２６Ｃ・・リム                        ２６Ｄ・・逃げ溝
２６Ｅ・・吸着穴
２７・・・ヘッドピン                  ２８・・・真空チャンバ
２９・・・嵌合部                      ３０・・・ベースブロック
Ａ１・・・圧搾気体源
Ｂ１、Ｂ２・・・第１、第２の気体流路
Ｃ１、Ｃ２・・・第１、第２の圧力調整弁
Ｄ１、Ｄ２・・・第１、第２の開閉弁
Ｅ・・・弁制御・駆動部
Ｆ１、Ｆ２・・・流速調整弁
Ｇ１、Ｇ２・・・フィルタ
Ｈ１、Ｈ２・・・圧力計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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