(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
昇降自在に支持され、パレットを上下複数段収納するマガジンと、前記パレット上に載置され、かつ電子部品を収納するトレイと、前記パレット上に載置され、かつ仕切がなく底面上の任意の位置に不良部品を載置できるように形成された回収ボックスと、前記マガジンからパレットを引出すと共に、パレットを前記マガジンに戻す引出部と、前記引出部によって引出されたパレットを下受するテーブルと、基板を前記テーブルから離れた位置に位置決めする位置決め部と、前記テーブル上にあるパレットに載置されたトレイから電子部品をピックアップして基板に移載し、かつ前記テーブル上にあるパレットに載置された前記回収ボックスに不良部品を載置する移載ヘッドと、前記移載ヘッドにピックアップされた電子部品の良／不良を検出する検査手段と、前記回収ボックスの底面のうち未だ不良部品が載置されていない未使用領域と未使用領域以外の既使用領域に関する回収情報を記憶する回収情報記憶部とを備え、前記既使用領域は、不良部品を囲み不良部品のサイズに応じて大小設定される部品用矩形を前記回収ボックスの底面の辺に沿って既使用領域に重ならないように配置した領域であることを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
前記回収ボックスは、上端が開放され矩形の箱状をなすボックス本体と、前記ボックス本体の底面上に載置され、かつ導電性を有する素材から構成され、かつ上面が高摩擦係数を有し、かつ上面全体が上方に露呈するシートとを備えていることを特徴とする請求項１記載の部品実装装置。
【請求項３】
移載ヘッドを用いて不良部品を回収ボックスの底面上に回収する不良部品回収方法であって、前記底面上には仕切がなく前記回収ボックスは前記底面上の任意の位置に不良部品を載置できるように形成されており、
遅くとも不良部品の検出後に前記底面のうち未だ不良部品が載置されていない未使用領域についての回収情報を取得するステップと、前記移載ヘッドに保持されている不良部品についてこの不良部品を囲みこの不良部品のサイズに応じて大小設定される部品用矩形の情報を取得するステップと、前記部品用矩形を現在の未使用領域に収容可能かどうか判断するステップと、判断の結果、収容可能であれば未使用領域に不良部品を載置して未使用領域を少なくとも部品用矩形相当分だけ削減するように前記回収情報を変更するステップとを含むことを特徴とする不良部品回収方法。
【請求項４】
前記回収情報は、不良部品収納基準点の座標を含むことを特徴とする請求項３記載の不良部品回収方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品実装装置、回収ボックス及び不良部品回収方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
部品実装装置を用いて基板に電子部品を自動実装しようとするとき、一部に変形や欠けなどの問題がある不良部品が、発見されることがある。このような不良部品は、そのまま基板に実装すると、基板によって構成される回路モジュールの信頼性が低下する。また、不良部品を手作業で取り除くまで移載ヘッドに保持していたのでは、他の電子部品の実装を妨害することになり、生産性が大幅にダウンする。
【０００３】
したがって、従来より、不良部品が発見されたら、直ちにこれを回収ボックスに廃棄又は収納することが行われている。そして、この回収ボックスには、ランダムに投入する筒状のものから構成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようにすると、再利用したい高価な電子部品についても他の電子部品と一緒に、しかも乱雑に投入されることになり、好ましくない。即ち、電子部品の再利用等を考えると、電子部品を平面的に整然と回収することが望ましい。
【０００５】
ここで、不良部品を整然と回収するために、回収ボックスとして、格子状の仕切を備えた回収トレイを用い、仕切によって区画されたポケットに不良部品を収納することも考えられる。
【０００６】
しかしながら、どの品種の電子部品が不良部品になるかを予め知ることはできない。また、電子部品のサイズは、１ｍｍ角以下のものから数ｃｍ角以上のものまである。したがって、区画されたポケットに収納するようにすると、ポケットの１つのサイズを、最大のサイズの電子部品であっても収納できるように、大きく設定せざるを得ない。
【０００７】
しかし、最小のサイズの電子部品ばかりが不良であった場合を考えてみると明らかなように、大きなポケットに極小の不良部品が１個づつ収納される場合も多く、このような固定的なポケットを採用すると、回収ボックスの単位面積当たりの効率が非常に低い。
【０００８】
そこで本発明は、不良部品を整然と、しかも効率的に回収できる部品実装装置、回収ボックス及び不良部品回収方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の部品実装装置は、昇降自在に支持され、パレットを上下複数段収納するマガジンと、パレット上に載置され、かつ電子部品を収納するトレイと、パレット上に載置され、かつ仕切がなく底面上の任意の位置に不良部品を載置できるように形成された回収ボックスと、マガジンからパレットを引出すと共に、パレットをマガジンに戻す引出部と、引出部によって引出されたパレットを下受するテーブルと、基板をテーブルから離れた位置に位置決めする位置決め部と、テーブル上にあるパレットに載置されたトレイから電子部品をピックアップして基板に移載し、かつテーブル上にあるパレットに載置された回収ボックスに不良部品を載置する移載ヘッドと、移載ヘッドにピックアップされた電子部品の良／不良を検出する検査手段と、回収ボックスの底面のうち未だ不良部品が載置されていない未使用領域と未使用領域以外の既使用領域に関する回収情報を記憶する回収情報記憶部とを備え、既使用領域は、不良部品を囲み不良部品のサイズに応じて大小設定される部品用矩形を回収ボックスの底面の辺に沿って既使用領域に重ならないように配置した領域である。
【００１０】
またこの部品実装装置の回収ボックスを、上端が開放され矩形の箱状をなすボックス本体と、ボックス本体の底面上に載置され、かつ導電性を有する素材から構成され、かつ上面が高摩擦係数を有し、かつ上面全体が上方に露呈するシートとを備えて構成した。
【００１１】
さらに本発明の不良部品回収方法は、遅くとも不良部品の検出後に底面のうち未だ不良部品が載置されていない未使用領域についての回収情報を取得するステップと、移載ヘッドに保持されている不良部品についてこの不良部品を囲みこの不良部品のサイズに応じて大小設定される部品用矩形の情報を取得するステップと、部品用矩形を現在の未使用領域に収容可能かどうか判断するステップと、判断の結果、収容可能であれば未使用領域に不良部品を載置して未使用領域を部品用矩形相当分だけ削減するように回収情報を変更するステップとを含む。
【００１２】
【発明の実施の形態】
請求項１記載の部品実装装置は、昇降自在に支持され、パレットを上下複数段収納するマガジンと、パレット上に載置され、かつ電子部品を収納するトレイと、パレット上に載置され、かつ仕切がなく底面上の任意の位置に不良部品を載置できるように形成された回収ボックスと、マガジンからパレットを引出すと共に、パレットをマガジンに戻す引出部と、引出部によって引出されたパレットを下受するテーブルと、基板をテーブルから離れた位置に位置決めする位置決め部と、テーブル上にあるパレットに載置されたトレイから電子部品をピックアップして基板に移載し、かつテーブル上にあるパレットに載置された回収ボックスに不良部品を載置する移載ヘッドと、移載ヘッドにピックアップされた電子部品の良／不良を検出する検査手段と、回収ボックスの底面のうち未だ不良部品が載置されていない未使用領域と未使用領域以外の既使用領域に関する回収情報を記憶する回収情報記憶部とを備え、既使用領域は、不良部品を囲み不良部品のサイズに応じて大小設定される部品用矩形を回収ボックスの底面の辺に沿って既使用領域に重ならないように配置した領域である。
【００１３】
したがって、通常、テーブル上にトレイを載置したパレットが引出され、移載ヘッドがこのトレイから電子部品をピックアップし、基板へ電子部品を移載することにより、実装が行われる。
【００１４】
そして、不良部品が検出されると、テーブル上のパレットは、回収ボックスを載置したパレットに交換され、この回収ボックスに不良部品が収納される。さらに、テーブル上のパレットを再度トレイを載置したパレットに交換して実装が行われる。
【００１５】
ここで、回収ボックスには仕切がなく不良部品は、大きなポケット等のような既定のエリアに載置する必要がない。そして、不良部品のサイズに応じて部品用矩形が大小設定される。即ち、極小の不良部品であれば極小の部品用矩形が設定される。そして、回収情報を参照して、未使用領域に既使用領域に重ならないように部品用矩形が詰めて設けられこの部品用矩形内に不良部品が載置される。
【００１６】
このため、不良部品は、回収ボックスの底面に無駄なく詰めて載置され、回収ボックスを効率良く使用できる。
【００１７】
請求項２記載の回収ボックスは、上端が開放され矩形の箱状をなすボックス本体と、ボックス本体の底面上に載置され、かつ導電性を有する素材から構成され、かつ上面が高摩擦係数を有し、かつ上面全体が上方に露呈するシートとを備える。
【００１８】
したがって、仕切なしでも不良部品を安定した状態で保持できるし、静電気が発生して不良部品を破損する心配がない。
【００１９】
請求項３記載の不良部品回収方法は、遅くとも不良部品の発生後に底面のうち未だ不良部品が載置されていない未使用領域についての回収情報を取得するステップと、移載ヘッドに保持されている不良部品についてこの不良部品を囲みこの不良部品のサイズに応じて大小設定される部品用矩形の情報を取得するステップと、部品用矩形を現在の未使用領域に収容可能かどうか判断するステップと、判断の結果、収容可能であれば未使用領域に不良部品を載置して未使用領域を部品用矩形相当分だけ削減するように回収情報を変更するステップとを含む。
【００２０】
したがって、不良部品のサイズにあわせた部品用矩形を用いて、仕切のない回収ボックスの底面に、不良部品を無駄なく合理的に収納できる。
【００２１】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
図１に示すように、内部が空洞の縦長箱状をなすケース１には、垂直な送りねじ２が回転自在に軸支されている。そして、送りねじ２はケース１の上部に設けられた昇降モータ３により回転する。
【００２２】
送りねじ２には、マガジン５の下部に取付けられた送りナット４が螺合しており、昇降モータ３を駆動すると、マガジン５全体を昇降させることができる。
【００２３】
マガジン５には、水平な段が複数形成され、それぞれの段には、パレット６がスライド自在に収納されている。そして、本形態では、上部のほとんどの段のパレット６に、電子部品１６をマトリックス状に収納するトレイ７が載置されているが、最下段のパレット６には後に詳述する回収ボックス８が載置されている。
【００２４】
ケース１の前面の中段には、パレット６を出入れできるようにパレット６よりも一回り大きな出入口９が開けてあり、出入口９の下縁から水平なテーブル１０が前方に突設されている。
【００２５】
テーブル１０は、出入口９と同じ高さにある段から引出部１１によって、矢印Ｎ１方向に引出されたパレット６を水平に、かつスライド自在に下受けするものである。なお、引出部１１は、パレット６の前縁からＬ字状に起立する起立部６ａに係合して、パレット６を保持すると共に、矢印Ｎ１又はその逆方向に移動する。
【００２６】
レーザユニット１２は、テーブル１０に隣接して設けられ、レーザ光を用いてレーザユニット１２上を通過する電子部品１６から延出する複数のリードに向かって計測用のレーザ光を照射し、リードで反射した光を受光して電気信号を出力する。そして、レーザユニット１２に隣接して、基板１３が位置決め部１４によって水平に位置決めされる。
【００２７】
そして、移載ヘッド１５はテーブル１０上のトレイ７から電子部品１６をピックアップし（矢印Ｎ１）、水平に移送して（矢印Ｎ３）、レーザユニット１２上へ移動させ、電子部品１６の複数のリードにレーザユニット１２が照射するレーザ光が当るように移動した後、破線で示すように、基板１３に電子部品１６を搭載する（矢印Ｎ４）。
【００２８】
次に、図２を用いて回収ボックス８について説明する。
上述したように、本形態では、最下段のパレット６に回収ボックス８を載置している。これは、通常不良部品は頻繁に発生するものではなく、トレイ７を出入口９から近くに置いて、トレイ７の切換時にマガジン５の昇降に要する時間を短縮するためである。
【００２９】
さて回収ボックス８は、上端が開放され矩形の薄箱状をなすボックス本体１７（底面１７ａは水平）と、底面１７ａ上に載置され、導電性を有する素材からなり上面の摩擦係数が大きいシート１８とからなる。
【００３０】
シート１８をボックス本体１７に載置すると、シート１８の上面（底面１７ａと同形状）全体が上方に露呈する。また、シート１８上に格子状の仕切等は設けない。このため、シート１８の上面（底面１７ａ上）全体の任意の位置に不良部品を載置できる。
【００３１】
そして、シート１８は導電性を有するので、シート１８上の不良部品に静電気が発生することはなく部品破損を防止できる。
【００３２】
又、シート１８の摩擦係数が高いので、パレット６の出入れ時等においても、シート１８上の不良部品が横スベリを起こさず、安定した状態で保持できる。シート１８の摩擦係数を高くするには、シート１８自体に摩擦係数が高いものを用いてもよいし粗面加工等を施してもよい。
【００３３】
さらに、シート１８としては、柔らかい素材を用いることが望ましい。これは、高価な電子部品には、極細のリード等変形しやすい部品があることが多いので、収納時のショックを弱くするためである。
【００３４】
次に図３を用いて、部品実装装置の制御ブロックを説明する。
上述した昇降モータ３、移載ヘッド１５、引出部１１は、それぞれ昇降モータ駆動部１９、移載ヘッド駆動部２０、引出部駆動部２１によって駆動される。又、レーザユニット１２の出力は、高さ計測部２２へ入力され高さ情報に変換される。
【００３５】
ＲＯＭ２３は、後述する図４のフローチャートに沿ったモジュールの他、昇降モータ駆動部１９から高さ計測部２２等を制御するための制御プログラム及び高さ計測部２２で得たリードの高さ情報に基づいて電子部品のリードの曲がりすぎ等の不良がないかを検出するための検査プログラム等を記憶している。ＣＰＵ２４は、ＲＯＭ２３のプログラムを実行し、他の構成要素を制御すると共に、図４のフローチャートに沿って不良部品回収方法を実現する。
【００３６】
なお本実施の形態では、レーザユニット１２、高さ計測部２２、ＣＰＵ２４によって電子部品の検査手段を構成している。
【００３７】
配膳データ記憶部２５には、マガジン５のどの段にどの品種の電子部品１６があるかという情報が記憶されている。
【００３８】
部品データ記憶部２６には、各種の電子部品１６のサイズ、リード本数、リード寸法、等の他、後述する部品用矩形Ｒ（図４（ｂ））の横幅ＣＸ、縦幅ＣＹという部品用矩形情報が記憶されている。
【００３９】
そして、回収情報記憶部２７には、シート１８の横辺長ＬＸ、縦辺長ＬＹ（以上は一定値）、注目点Ｐの座標（Ａ，Ｂ）、最大縦幅Ｍ（以上は可変値）（いずれも後述）からなる回収情報が記憶されている。
【００４０】
なお、配膳データ記憶部２５、部品データ記憶部２６、回収情報記憶部２７は、ハードディスク装置又はＲＡＭ等の一領域として設けられる。
【００４１】
次に、図４を用いて、不良部品回収方法における要点を一般化して説明する。
さて図４（ａ）に示すように、シート１８（底面１７ａも同じ）は、横辺長ＬＸ、縦辺長ＬＹの矩形をなす。そして、シート１８の右上角点を原点０とし、左向きにＸ軸、下向きにＹ軸をとる。
【００４２】
一方、図４（ｂ）に示すように、部品用矩形Ｒを考える。即ち、全品種の電子部品１６について、部品データ記憶部２６からサイズ等の形状の特性を知ることができるから、電子部品１６を囲む最小限度（又は若干の余白を付けて）の矩形を求めることができる。そして、この矩形を部品用矩形Ｒと呼び、その右上角点を基準点Ｑという。部品用矩形Ｒの横幅ＣＸ、縦幅ＣＹを決めたら、実装する以前に部品データ記憶部２６に記憶させておく。
【００４３】
ここで、本形態では、原点０、基準点Ｑのいずれについても、右上角点を用いた。そこで、図４（ａ）に示すように、基本的に、原点０から各不良部品の部品用矩形Ｒの基準点Ｑを、Ｘ軸（底面１７ａの辺）に平行な整列ラインに沿って各部品用矩形Ｒが重ならないように間隔を詰めて直列に並べてゆくこととし、Ｘ軸と平行な１行ができたらこの１行に並べられた不良部品の縦幅ＣＹのうち最も大きな縦幅ＣＹ分だけ整列ラインＡＬをＹ軸にずらして再度同様に並べる要領を採用している。
【００４４】
図４（ａ）では５個の不良電子部品によって形成された５つの部品用矩形Ｒ１〜Ｒ５によって最初の１行が形成され３個の不良電子部品によって形成された３つの部品用矩形Ｒ６〜Ｒ８によって次の１行が形成されている。
【００４５】
そして、これらの８つの部品用矩形Ｒ１〜Ｒ８によって、新たに発見した不良部品の搭載ができない使用領域Ｔ（ハッチング部）と、未だ不良部品が搭載されておらず、新たに発見した不良部品を搭載することができる未使用領域Ｓとに分けることができる。ここで、Ｑ１〜Ｑ８は各部品用矩形、Ｒ１〜Ｒ８の基準点である。
【００４６】
そして、本形態では、未使用領域Ｓ、使用領域Ｔを分割する回収情報として、注目点Ｐと最大縦幅Ｍを導入する。このうち注目点Ｐは、整列ラインＡＬに並んだ部品用矩形領域の横幅ＣＸの合計寸法で決まるＸ座標Ａと整列ラインＡＬが通るＹ座標Ｂを、それぞれＸ，Ｙ座標とする点である。また最大縦幅Ｍは、整列ラインＡＬに並べられた部品用矩形Ｒの縦幅ＣＹの最大値である。
【００４７】
ここで、注目点ＰのＸＹ座標と最大縦幅Ｍを用いれば、図４（ａ）に示すように、任意の場合の未使用領域Ｓ、使用領域Ｔを一義的に決定できる。
【００４８】
以上をふまえて、ある時点において、図４（ｂ）に示す部品用矩形Ｒを有する不良部品が発生し、これを図４（ａ）の状態にあるシート１８に搭載する場合を考える。
【００４９】
未使用領域Ｓを無駄なく使用するには、基準点Ｑが注目点Ｐに一致するように電子部品１６を搭載すればよい。
【００５０】
ここで、注目点Ｐに基準点Ｑを一致させることができるには、少なくとも注目点Ｐから左側にある矩形の領域（横辺長ＬＸ−Ａ、縦辺長ＬＸ−Ｂ）か又は使用領域Ｔより下方の矩形の領域（横辺長ＬＸ、縦辺長ＬＹ−Ｂ−Ｍ）に、部品用矩形Ｒがすっぽり入らなければならない。但し、実際には、横辺長ＬＸより横幅ＣＸが大きいことはないので、横辺長ＬＸと横幅ＣＸとの比較は省略する。
【００５１】
もし、このようにすっぽり入らないのであれば、未使用領域Ｓが絶対的に不足しているのであるから、回収ボックス８自体を交換しなければならない。
【００５２】
一方、そうでなければ、以下３つの場合がある。
（１）図４（ａ）の鎖線で示しているように、部品用矩形ＲａのサイズがＣＸ≦ＬＸ−ＡかつＣＹ≦Ｍのとき
この場合は、注目点Ｐに部品用矩形Ｒａの基準点を注目点Ｐに一致させて並べるだけでよい。また第２既使用領域Ｕの最大縦幅Ｍは変化がない。そして、並べたら、注目点Ｐを点Ｐ２へ移せばよい。
【００５３】
（２）鎖線で示すように、部品用矩形ＲｂのサイズがＣＸ≦ＬＸ−ＡかつＣＹ＞Ｍのとき
この場合は、（１）と同様に並べることができるが、最大縦幅Ｍが新たに並べた部品用矩形Ｒｂの縦幅ＣＹの値となる。そして、並べたら注目点Ｐを点Ｐ３へ移す。
【００５４】
（３）部品用矩形ＲｃのサイズがＣＸ＞ＬＸ−Ａのとき
この場合は、注目点Ｐに部品用矩形Ｒｃを並べることはできない。したがって、整列ラインＡＬを最大縦幅ＭだけＹ方向へずらし、この整列ラインＡＬ１（２点鎖）とＹ軸の交点に注目点Ｐ３に基準点Ｑを合わせて部品用矩形Ｒｃを並べる。そして並べたら、注目点Ｐを点Ｐ４へ移せばよい。
【００５５】
すると、最大縦幅Ｍは部品用矩形Ｒｃの縦幅ＣＹとなる。
次に図５を用いて、以上の検討を具体化した流れを説明する。
【００５６】
まず、新しい回収ボックス８がセットされたら、ＣＰＵ２４は、回収情報記憶部２７にアクセスして、注目点Ｐを原点０と一致させ（Ａ＝Ｂ＝０）、最大縦幅Ｍを０に初期化する（ステップ１）。即ち、このとき図６（ａ）に示すように、シート１８全部が未使用領域Ｓである。
【００５７】
次に、不良部品が発生し、不良部品の回収が始まるまで待機する（ステップ２）。
【００５８】
検査手段が不良電子部品を検出したら、回収情報記憶部２７から現在の注目点Ｐの座標と最大縦幅Ｍを読出す（ステップ３）。又、部品データ記憶部２６を参照して、この不良部品の品種における横幅ＣＸ、縦幅ＣＹを読出す（ステップ４）。
【００５９】
次に、ＣＹ≦ＬＹ−Ｂの是否を検討する（ステップ５）。これが否であれば、上述したように未使用領域Ｓが絶対的に不足しているから、回収ボックス８を交換するよう指示する（ステップ６）。そうでなければ、ステップ７へ移る。
【００６０】
ステップ７では、ＣＸ≦ＬＸ−Ａを検討する。是であれば、整列ラインＡＬを移動せずに部品用矩形Ｒを並べられるので、シート搭載の方へ進む（ステップ１０）。否であれば、整列ラインＡＬの移動を行うべく、まず注目点ＰのＸ座標Ａを０にしてＹ軸上へ移すと共に、Ｙ座標Ｂを最大縦幅Ｍだけ進める（ステップ８）。そして、最大縦幅Ｍを０に戻して（ステップ９）、再度ステップ５の検討を行う。
【００６１】
一方、ステップ１０では、最大縦幅Ｍを変更する必要があるかどうか検討している。もし必要なら、今の部品用矩形Ｒの縦幅ＣＹを最大縦幅Ｍに代入する（ステップ１１）。そして、ステップ１２へ移る。
【００６２】
ステップ１２では、現在の注目点Ｐに、今の部品用矩形Ｒの基準点Ｑを合わせて搭載してよいから、そのようにシート１８に搭載し、並べた部品用矩形Ｒ分だけ注目点ＰのＸ座標Ａを進めて（ステップ１３）、回収発生の待機状態へ戻る（ステップ２）。
【００６３】
以上の処理を、未使用領域Ｓが不足するまで（ステップ５からステップ６へのルート）、くり返し行う。
【００６４】
なお請求項３にいう、未使用領域Ｓに収容可能かどうかの判断は、ステップ５，７，８，９，１０，１１の組合せにより、簡単な数値演算と比較で実現でき、判断時間はほとんどかからない。
【００６５】
このような処理を行うと、概ね図６（ａ）の状態から順に図６（ｄ）に至るような過程を経る。
【００６６】
図６（ｂ）の状態では、３つの不良部品の部品用矩形Ｒで使用領域Ｔが構成されている。
【００６７】
また図６（ｃ）では、１行の使用領域Ｔが出来あがり、注目点Ｐ（整列ラインＡＬ）が次の行を並べるべくＹ方向にシフトしている。そして、図６（ｄ）では、整列ラインＡＬ上に次の行が出来つつあるが、この行の不良部品が図示したもののより小さいものならば、この行の最大高さＭも図示より小さくなり、未使用領域Ｓを効率的に使用できるようになっている。
【００６８】
【発明の効果】
本発明は、以上のように構成したので、不良部品を効率的かつ整然と回収できる。また、請求項２記載の構成によれば、不良部品を安定にかつ安全に回収できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態における部品実装装置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態における回収ボックスの斜視図
【図３】本発明の一実施の形態における部品実装装置のブロック図
【図４】（ａ）本発明の一実施の形態における未使用／既使用領域の説明図
（ｂ）本発明の一実施の形態における部品用矩形の説明図
【図５】本発明の一実施の形態における不良部品回収方法のフローチャート
【図６】（ａ）本発明の一実施の形態における不良部品回収方法の工程説明図
（ｂ）本発明の一実施の形態における不良部品回収方法の工程説明図
（ｃ）本発明の一実施の形態における不良部品回収方法の工程説明図
（ｄ）本発明の一実施の形態における不良部品回収方法の工程説明図
【符号の説明】
５  マガジン
６  パレット
７  トレイ
８  回収ボックス
１０  テーブル
１１  引出部
１３  基板
１４  位置決め部
１５  移載ヘッド
１６  電子部品
Ｓ  未使用領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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