(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラッピングフィルムおよびカバーフィルムにより長手方向の端面形状を略Ｔ形に形成して樹脂を密封したラッピング樹脂をモールド金型のポット配置に合わせて供給する樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置において、
前記ラッピング樹脂を収納したマガジンをセットするセット部と、
該セット部の下方に配置されて前記マガジンに収納されたラッピング樹脂を押し上げるプッシャを有するプッシャ機構部と、
前記マガジンの上方に位置し、前記プッシャによって押し上げられたラッピング樹脂を保持する反転ブロックを有する反転チャック部と、
前記反転ブロックを上向きに反転させた状態で反転ブロックと協動してラッピング樹脂のカバーフィルムを平らに修整するカバーフィルムの修整機構部と、
カバーフィルムを修整した後のラッピング樹脂を搬送ヘッドへ移載する移載部まで移送する送り機構部とを有することを特徴とする樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項２】
マガジンがラッピング樹脂を同じ向きに積み上げるようにして収納する収納穴を貫通させて設けたものであることを特徴とする請求項１記載の樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項３】
マガジンが収納穴に収納されたラッピング樹脂のカバーフィルムが下向きになる配置で前記セット部にセットされることを特徴とする請求項２記載の樹脂モータ装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項４】
収納穴が所定間隔をあけて複数個並設されたものであることを特徴とする請求項２または３記載の樹脂モールド装置のおけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項５】
マガジンのセット部が、制御機構によりマガジンに設けた収納穴のピッチごとマガジンを横移動して支持するものであることを特徴とする請求項４記載のラッピング樹脂の供給装置。
【請求項６】
プッシャ機構部が、マガジンの収納穴内に進入可能に設けられたプッシャを上下動可能に支持し、プッシャの基部側に設けたラックとモータの出力軸に設けたピニオンとを噛合させ、モータの正逆回転および回転量を制御して前記プッシャの移動方向および移動量を制御可能としたものであることを特徴とする請求項１、２、３、４または５記載の樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項７】
反転チャック部が、前記マガジンから押し上げられたラッピング樹脂を保持する反転ブロックと、該反転ブロックを反転させる反転用モータと、反転ブロックを前記ラッピング樹脂を受ける位置から反転中心位置まで上動させる上下動シリンダとを有することを特徴とする請求項１、２、３、４、５または６記載の樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項８】
反転ブロックは、ラッピング樹脂を収納して保持する収納溝を有することを特徴とする請求項７記載の樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項９】
反転ブロックは、前記収納溝内に収納されたラッピング樹脂のカバーフィルムに対向する端面上に前記カバーフィルムをエア吸着して支持する吸着穴を有することを特徴とする請求項８記載の樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項１０】
反転ブロックは、前記収納溝の一方の内側面から該収納溝内に収納されたラッピング樹脂を他方の内側面に押接して保持する保持機構を有することを特徴とする請求項８または９記載の樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項１１】
カバーフィルムの修整機構部は、反転ブロックに支持されたラッピング樹脂との間で接離してカバーフィルムを弾性的に押さえる押さえブロックを有することを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９または１０記載の樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項１２】
押さえブロックは前記反転ブロックとの間でラッピング樹脂のカバーフィルムを押さえて広げるための押さえ突起を有し、前記反転ブロックの前記押さえブロックに対向する上面には前記押さえブロックにより広げられた前記カバーフィルムをエア吸引して平らに修整するためのエア吸引機構に連絡する吸着穴が設けられたことを特徴とする請求項１１記載の樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項１３】
押さえブロックはラッピング樹脂の長手方向に所定間隔をあけて複数個設置され、ラッピング樹脂の中央部を押さえる押さえブロックをラッピング樹脂の端部側を押さえる押さえブロックよりも突出させることにより、ラッピング樹脂の中央部から端部側に向けて徐々にカバーフィルムを広げて修整可能としたことを特徴とする請求項１２記載の樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項１４】
送り機構部は、反転チャック部でカバーフィルムを修整したラッピング樹脂を保持したまま、搬送ヘッドの下方位置まで移送する移送機構を有することを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２または１３記載の樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項１５】
移送機構部は、反転チャック部で支持されたラッピング樹脂の樹脂部分を検知し、樹脂部分を搬送ヘッドの中心位置に位置合わせして供給する制御機構を有することを特徴とする請求項１４記載の樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【請求項１６】
ラッピング樹脂の樹脂部分を搬送ヘッドの中心位置に位置合わせする機構として、反転チャック部の反転ブロックの両端面に該反転ブロックに保持されたラッピング樹脂の樹脂部分の端面位置を視認するための溝部を設け、該溝部位置において前記樹脂の端面位置を検知するセンサを設け、該センサによる検知結果に基づき前記反転ブロックの移送位置を制御する制御機構を設けたことを特徴とする請求項１５記載の樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
トランスファモールド装置は樹脂モールドタイプの半導体装置の製造に広く用いられている。このトランスファモールド装置ではモールド金型のポットに樹脂タブレットを供給して樹脂モールドするが、最近、モールド金型の樹脂成形面をリリースフィルムで被覆し、モールド金型の金型面にじかに樹脂が接しないようにして樹脂モールドするいわゆるリリースフィルムを用いる樹脂モールド方法が検討されている。
【０００３】
図１０はリリースフィルムを用いる樹脂モールド方法の一例を示す説明図である。同図で１０は上型１２ａおよび下型１２ｂの樹脂成形面を被覆するリリースフィルムであり、図では中心線の左半部に被成形品１４を上型１２ａおよび下型１２ｂでクランプした状態、右半部にキャビティ１６内に樹脂１８を充填した状態を示す。リリースフィルム１０は所要の柔軟性および耐熱性を有するフィルムであり、図のように樹脂成形部等の内面形状にならって金型面を被覆することにより所定形状に樹脂モールドする。
【０００４】
リリースフィルム１０は上記のように樹脂モールド時に金型面を被覆することにより金型に樹脂が付着しないようにして樹脂モールドするが、図１０に示す例ではラッピング樹脂２０をポット２２に供給して樹脂モールドしている。図１１は図示例のモールド金型で使用するラッピング樹脂２０の外形形状を示す。図示例のモールド金型ではポット２２を平面形状で細長の溝状に形成したものを使用し、ラッピング樹脂２０として細長いスティック状に成形した樹脂２４をラッピングフィルム２６で密封したものを使用する。
【０００５】
ラッピング樹脂２０は樹脂２４の上部から両側にカバーフィルム２６ａが延出して端面形状がＴ字状をなす。カバーフィルム２６ａはラッピングフィルム２６を２枚合わせにしてシールして成る。図１１に示すようにカバーフィルム２６ａはポット２２にラッピング樹脂２０をセットした際、ポット２２の外側に延出し上型１２ａと下型１２ｂでクランプされる部位となる。カバーフィルム２６ａは被成形品１４上でリリースフィルム１０の側縁と重複する位置まで延出させるが、これはポット２２からプランジャ２４で樹脂１８を圧送する際に金型の樹脂路部分でも樹脂１８がじかに接しないようにするためである。
【０００６】
プランジャ２４でポット２２から圧送された樹脂１８は樹脂路部分でカバーフィルム２６ａを押し広げるようにしてキャビティ１６内に充填される。
ラッピング樹脂２０はこのように樹脂モールドした際にポット２２部分およびモールド金型の樹脂路部分で樹脂が金型に付着しないようにするという作用を有するが、同時にラッピングフィルム２６で樹脂２４を密封できることから貯蔵時に樹脂２４が吸湿したりすることを防止することができ、樹脂モールド時のボイドの発生を抑えて好適な樹脂モールドを可能にするという効果も有する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記例はリリースフィルムを用いる樹脂モールド方法でラッピング樹脂を使用した例であったが、ラッピング樹脂はリリースフィルムを用いない通常の樹脂モールド方法においても使用することができる。
しかしながら、上記のスティック状のラッピング樹脂を樹脂モールド装置でポット２２に自動的に供給するようにするには、ラッピング樹脂２０の向きを揃えたり、ラッピングフィルム２６のカバーフィルム２６ａがめくれたりしないようにしなければならない。
【０００８】
本発明は、このようにラッピングフィルム２６で樹脂２４を密封したラッピング樹脂２０を使用する樹脂モールド装置で、ラッピング樹脂２４を好適に整列させてモールド金型に供給することができるラッピング樹脂の供給装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、ラッピングフィルムおよびカバーフィルムにより長手方向の端面形状を略Ｔ形に形成して樹脂を密封したラッピング樹脂をモールド金型のポット配置に合わせて供給する樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置において、前記ラッピング樹脂を収納したマガジンをセットするセット部と、該セット部の下方に配置されて前記マガジンに収納されたラッピング樹脂を押し上げるプッシャを有するプッシャ機構部と、前記マガジンの上方に位置し、前記プッシャによって押し上げられたラッピング樹脂を保持する反転ブロックを有する反転チャック部と、前記反転ブロックを上向きに反転させた状態で反転ブロックと協動してラッピング樹脂のカバーフィルムを平らに修整するカバーフィルムの修整機構部と、カバーフィルムを修整した後のラッピング樹脂を搬送ヘッドへ移載する移載部まで移送する送り機構部とを有することを特徴とする。
また、前記マガジンがラッピング樹脂を同じ向きに積み上げるようにして収納する収納穴を貫通させて設けたものであることを特徴とする。これによってラッピング樹脂をコンパクトにかつ整理した形で収納でき、ラッピング樹脂の自動供給に好適に用いることができる。
また、前記マガジンが収納穴に収納されたラッピング樹脂のカバーフィルムが下向きになる配置で前記セット部にセットされることを特徴とする。これによってマガジンからのラッピング樹脂の供給が容易にできる。
また、前記収納穴が所定間隔をあけて複数個並設されたものであることを特徴とする。
また、前記マガジンのセット部が、制御機構によりマガジンに設けた収納穴のピッチごとマガジンを横移動して支持するものであることを特徴とする。
また、前記プッシャ機構部が、マガジンの収納穴内に進入可能に設けられたプッシャを上下動可能に支持し、プッシャの基部側に設けたラックとモータの出力軸に設けたピニオンとを噛合させ、モータの正逆回転および回転量を制御して前記プッシャの移動方向および移動量を制御可能としたものであることを特徴とする。
また、前記反転チャック部が、前記マガジンから押し上げられたラッピング樹脂を保持する反転ブロックと、該反転ブロックを反転させる反転用モータと、反転ブロックを前記ラッピング樹脂を受ける位置から反転中心位置まで上動させる上下動シリンダとを有することを特徴とする。
また、前記反転ブロックは、ラッピング樹脂を収納して保持する収納溝を有することを特徴とする。
また、前記反転ブロックは、前記収納溝内に収納されたラッピング樹脂のカバーフィルムに対向する端面上に前記カバーフィルムをエア吸着して支持する吸着穴を有することを特徴とする。
また、前記反転ブロックは、前記収納溝の一方の内側面から該収納溝内に収納されたラッピング樹脂を他方の内側面に押接して保持する保持機構を有することを特徴とする。
また、前記カバーフィルムの修整機構部は、反転ブロックに支持されたラッピング樹脂との間で接離してカバーフィルムを弾性的に押さえる押さえブロックを有することを特徴とする。
また、前記押さえブロックは前記反転ブロックとの間でラッピング樹脂のカバーフィルムを押さえて広げるための押さえ突起を有し、前記反転ブロックの前記押さえブロックに対向する上面には前記押さえブロックにより広げられた前記カバーフィルムをエア吸引して平らに修整するためのエア吸引機構に連絡する吸着穴が設けられたことを特徴とする。
また、前記押さえブロックはラッピング樹脂の長手方向に所定間隔をあけて複数個設置され、ラッピング樹脂の中央部を押さえる押さえブロックをラッピング樹脂の端部側を押さえる押さえブロックよりも突出させることにより、ラッピング樹脂の中央部から端部側に向けて徐々にカバーフィルムを広げて修整可能としたことを特徴とする。
また、前記送り機構部は、反転チャック部でカバーフィルムを修整したラッピング樹脂を保持したまま、搬送ヘッドの下方位置まで移送する移送機構を有することを特徴とする。
また、前記移送機構部は、反転チャック部で支持されたラッピング樹脂の樹脂部分を検知し、樹脂部分を搬送ヘッドの中心位置に位置合わせして供給する制御機構を有することを特徴とする。
また、前記ラッピング樹脂の樹脂部分を搬送ヘッドの中心位置に位置合わせする機構として、反転チャック部の反転ブロックの両端面に該反転ブロックに保持されたラッピング樹脂の樹脂部分の端面位置を視認するための溝部を設け、該溝部位置において前記樹脂の端面位置を検知するセンサを設け、該センサによる検知結果に基づき前記反転ブロックの移送位置を制御する制御機構を設けたことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面に基づいて説明する。
図１および図２はスティック状に形成されたラッピング樹脂２０をモールド金型へ自動供給するための供給装置の全体構成を示す側面図および正面図である。この供給装置はマガジン３０に収納したラッピング樹脂２０を一つずつマガジン３０から取り出し、モールド金型にラッピング樹脂２０を供給する搬送ヘッドにラッピング樹脂２０を受け渡しするものである。
【００１１】
供給装置はマガジン３０からラッピング樹脂２０を押し上げるプッシャ機構部Ａ、マガジン３０のセット部Ｂ、ラッピング樹脂２０をチャックして反転させる反転チャック部Ｃ、カバーフィルムの修整機構部Ｄ、カバーフィルムを修整した後のラッピング樹脂を搬送ヘッドに移載する送り機構部Ｅを有する。
【００１２】
図３(a) にマガジン３０の平面図を示す。図のようにマガジン３０はラッピング樹脂２０が収納できる大きさの細長の開口部を有する収納穴３０ａを上下に貫通させて複数個並列に設けたものである。ラッピング樹脂２０は各収納穴３０ａ内に同じ向きで順に挿入するようにして収納する。こうして、各々の収納穴３０ａ内にラッピング樹脂２０が積み重なるようにして収納される。
図３(b) はマガジン３０の他の形態として、収納穴３０ａの仕切りを枠体との連結部の近傍に設けた例を示す。ラッピング樹脂２０がスティック状に形成されているからこのようなマガジン３０の形態であってもラッピング樹脂２０が収納できる。
【００１３】
マガジン３０に設ける収納穴３０ａはラッピング樹脂２０の樹脂の大きさに若干ばらつきがあったり、樹脂を密封しているラッピングフィルム２６のシール部分の形状等にばらつきがあることからある程度余裕をもって形成する。上記のように収納穴３０に樹脂２４側からラッピング樹脂２０を押し込むと、平らであったラッピングフィルム２６のカバーフィルム２６ａが収納穴３０ａの縁部でＵ字状に折り曲げられる。次に挿入するラッピング樹脂２０はその前に挿入したラッピング樹脂２０のＵ字状に折り曲げられた延出片部３０ａの中に入り込んで次々と収納される。
【００１４】
ラッピング樹脂２０を収納したマガジン３０を供給装置にセットする場合は、図１に示すようにラッピング樹脂２０のカバーフィルム２６ａが下向きになるようにマガジン３０の上下向きを合わせてセットする。これは、プッシャ機構部Ａのプッシャ３２でラッピング樹脂２０を収納穴３０ａからスムーズに押し上げることができるようにするためである。
【００１５】
プッシャ機構部Ａはマガジン３０の収納穴３０ａ内に下方からプッシャ３２を差し入れ、プッシャ３２で収納穴３０ａの下側からラッピング樹脂２０を押し上げるようにして反転チャック部Ｃにラッピング樹脂２０を受け渡しする。プッシャ機構部Ａはスライドガイド３４により上下方向にガイド支持されたプッシャ３２と、プッシャ３２を上下方向に移動させるためのモータ３６を有する。モータ３６の出力軸にはピニオン３８が固定され、このピニオン３８とプッシャ３２の基端側に設けたラック４０とが噛合し、モータ３６の正逆回転に応じてプッシャ３２が上下動する。
【００１６】
なお、ラッピング樹脂２０の種類によって樹脂２４部分の寸法が異なることに対応できるように、サーボモータ等を使用してプッシャ３２の押し上げ量を調節する制御機構を設ける。
図２に示すようにプッシャ３２はマガジン３０の収納穴３０ａ内に挿入可能な幅広の板状に形成し、その上端でラッピング樹脂２０を支持してラッピング樹脂２０を平行に押し上げることができるようにしている。
【００１７】
マガジン３０のセット部Ｂはマガジン３０を横方向に移動可能に支持し、制御機構によりプッシャ３２の押し上げ位置に収納穴３０ａを位置合わせするようにマガジン３０を支持するものである。収納穴３０ａ内のラッピング樹脂２０をすべて受け渡しした後は、収納穴３０ａから下側にプッシャ３２を引き抜き、収納穴３０ａのピッチ分だけマガジン３０を横移動させ同様の押し上げ操作により反転チャック部Ｃにラッピング樹脂２０を受け渡しする。こうして、マガジン３０内のラッピング樹脂２０をすべて反転チャック部Ｃに受け渡しすることができる。
【００１８】
反転チャック部Ｃはプッシャ３２によってマガジン３０から押し上げられたラッピング樹脂２０を下向きから上向きに反転し、カバーフィルムの修整機構部Ｄと協動してカバーフィルム２６ａを平らに修整する作用をなす。
図４に反転チャック部Ｃの構成を拡大して示す。反転チャック部Ｃはマガジン３０から押し上げられたラッピング樹脂２０を受ける反転ブロック５０と、反転ブロック５０を反転駆動する反転用モータ５２と、反転ブロック５０をラッピング樹脂２０を受け取る位置から反転中心位置まで上動させる上下動シリンダ５４とを有する。
【００１９】
反転ブロック５０はその基部位置で反転用モータ５２の出力軸に固定されており、反転用モータ５２の駆動により軸５２ａを中心として180 °反転する。反転ブロック５０にはラッピング樹脂２０を収容する収納溝５６と、ラッピング樹脂２０を収納溝５６内で保持するための保持機構５８を設け、さらに反転ブロック５０の端面にはカバーフィルム２６ａをエア吸着するための吸着穴６０を設ける。吸着穴６０は外部のエア機構に連絡してエア吸引が制御される。
保持機構５８は収納溝５６の一方の内側面から収納溝５６内に突出入可能にエアシリンダ５８ａによって駆動される押接体５８ｂを設け、押接体５８ｂによりラッピング樹脂２０を収納溝５６の他方の内側面に押接して保持する。
【００２０】
６２はラッピング樹脂２０がプッシャ３２によって押し上げられ、収納溝５６の所定位置まで収納されたことを検知するためのセンサである。センサ６２は光透過によりラッピング樹脂２０が収納溝５６の所定位置まで挿入されたことを検知する。センサ６２によってラッピング樹脂２０が収納溝５６内に収納されたことが検知されると、プッシャ３２の押し上げ操作が停止され、保持機構５８によって収納溝５６内でラッピング樹脂２０が保持される。
【００２１】
ラッピング樹脂２０を収納溝５６に保持した後、上下動シリンダ５４により反転ブロック５０および反転用モータ５２全体が反転位置まで持ち上げられる。図４のＰ位置が反転ブロック５０を反転させる際の軸５２ａの中心高さ位置である。すなわち、反転ブロック５０は下向きのままこの反転中心位置まで持ち上げられた後、この反転中心位置で180 °反転される。
【００２２】
反転ブロック５０を反転することにより反転ブロック５０は鉛直上向きに支持され、これによりラッピング樹脂２０が上向きになる。図４では反転ブロック５０が反転してラッピング樹脂２０が上向きに支持される様子を想像線によって示す。ラッピング樹脂２０を上向きに支持した状態でカバーフィルム２６ａは上にめくられた状態にあるから、ラッピング樹脂２０をモールド金型に移載するにはカバーフィルム２６ａを平らに修整してから移載する必要がある。
【００２３】
カバーフィルムの修整機構部Ｄはカバーフィルム２６ａを平らに修整するためのものである。図２に示すように、カバーフィルムの修整機構部Ｄではカバーフィルム２６ａを平らに押さえるための押さえブロック７０をラッピング樹脂２０の長手方向に所定間隔をおいて複数個配置している。
押さえブロック７０によりラッピング樹脂２０を弾性的に押さえるため、枠体８０に上下動可能に第１の可動プレート７４と第２の可動プレート７６を取り付ける。第１の可動プレート７４はエアシリンダ８２の駆動ロッドに連結され、エアシリンダ８２により昇降駆動される。第２の可動プレート７６は吊りボルト７７により第１の可動プレート７４に支持され、吊りボルト７７に外挿して第２の可動プレート７６と第１の可動プレート７４との間を弾発するスプリングを装着する。
【００２４】
押さえブロック７０は図２に示すように、吊りボルト７８を介して第１の可動プレート７４に支持し、吊りボルト７８に外挿して押さえブロック７０と第１の可動プレート７４との間を弾発するスプリングを装着する。７９は吊りボルト７７、７８を挿通して支持する支持プレートである。
図２に示すように、押さえブロック７０は長手方向の中央部のものを最も突出させ、端部側になるにしたがって突出量が小さくなるようにしている。これは、押さえブロック７０を下降させてラッピング樹脂２０を押さえる際に、まずラッピング樹脂２０の中央部から押さえて次第に外側を押さえるようにするためである。
【００２５】
カバーフィルム２６ａを上向きに支持した際には中央部付近がもっとも開いており端部側になるにつれて開きが小さくなるから、まず押さえやすい中央部付近で押さえ、徐々にカバーフィルム２６ａを開くようにして端部まで押さえるようにする。図１に示すように、押さえブロック７０の中央部にはラッピング樹脂２０を押さえるため押さえ突起７０ａを設ける。押さえ突起７０ａは中央部の押さえブロック７０については尖った形状とし、外側の押さえブロック７０についてはなだらかな突起状にする。こうすることによって、外側のカバーフィルム２６ａを押し広げやすくし、カバーフィルム２６ａを平らにしやすくすることができる。
【００２６】
図１で７０ｂは押さえブロック７０の端部に設けたストッパである。エアシリンダ８２によって第１の可動プレート７４を押し下げ、押さえブロック７０の押さえ突起７０ａがラッピング樹脂２０の上面に当接すると、押さえブロック７０は第２の可動プレート７６に対して上動するが、この時ストッパ７０ｂが固定アーム８４に当接し、押さえブロック７０が過度にラッピング樹脂２４を押圧することを防止する。このように、各押さえブロック７０にストッパ７０ｂを設けて押さえ突起７０ａが過度にラッピング樹脂２０を押圧しないようにしている。また、ストッパ７０ｂは中央の押さえブロック７０から順に固定アーム８４に当接し、中央から順に外側にカバーフィルム２６を広げ、最後に第２の可動プレート７６が当接してカバーフィルム２６ａをたいらに広げる。
【００２７】
押さえブロック７０および第２の可動プレート７６によってカバーフィルム２６ａを押し広げたところで反転ブロック５０の吸着穴６０からエア吸引し、押さえブロック７０によって押し広げられたカバーフィルム２６ａを反転ブロック５０の上面で吸着支持する。こうして、カバーフィルム２６ａが反転ブロック５０の上面に平らに修整されて支持される。
【００２８】
反転ブロック５０に支持されたラッピング樹脂２０は反転ブロック５０に支持されたまま送り機構部Ｅによりモールド金型にラッピング樹脂２０を供給する搬送ヘッドの下方位置まで搬送される。
図５は送り機構部Ｅにより搬送ヘッド９０の下方位置までラッピング樹脂２０を移送した状態の側面図、図６は搬送ヘッド９０への移載位置におけるラッピング樹脂２０及び反転ブロック５０等を示す平面図、図７は搬送ヘッド９０への移載位置における反転ブロック５０等の正面図である。
【００２９】
図５に示すように搬送ヘッド９０の下面にはエア吸着溝９１が設けられ、ラッピング樹脂２０はエア吸着溝９１によりカバーフィルム２６ａがエア吸着され反転ブロック５０から搬送ヘッド９０に移載される。
図６では搬送レール９２上をスライド移動するスライドアーム９３に支持アーム９４を介して反転ブロック５０が支持される構成を示す。反転用モータ５２は支持アーム９４に取り付けられ、反転用モータ５２の軸は継手５３を介して反転ブロック５０に連繋する。反転ブロック５０は支持アーム９４に回転自在に支持され、反転用モータ５２により反転駆動される。
【００３０】
図６のＱ位置が搬送ヘッド９０へラッピング樹脂２０を移載する基準点位置を示す。ラッピング樹脂２０はこの基準点位置Ｑに正確に位置合わせして搬送ヘッド９０に受け渡しする必要がある。ラッピング樹脂２０は反転ブロック５０に支持され、搬送レール９２上でスライドアーム９３を移動させることにより搬送ヘッド９０への移載位置まで移動される。ラッピング樹脂２０はラッピングフィルム２６で樹脂２４を密封した際に両端部の形状が不正確になるため、ラッピング樹脂２０内の樹脂２４が長手方向に若干位置ずれする。
【００３１】
モールド金型にラッピング樹脂２０を供給する際は、樹脂２４部分をポット位置に位置合わせして供給する必要がある。すなわち、送り機構部Ｅにより搬送ヘッド９０への移載位置までラッピング樹脂２０を移送した際に、樹脂２４の長手方向の位置を検知して樹脂２４の中心点を基準点位置Ｑに位置合わせするようにする。図７は搬送ヘッド９０への移載位置まで移送したラッピング樹脂２０の樹脂２４位置を検知する方法を示す。すなわち、反転ブロック５０の長手方向の両端には、反転ブロック５０に支持したラッピング樹脂２０の樹脂２４の端部位置を検出するための溝５０ａを設け、この溝５０ａから樹脂２４の端部を視認して樹脂２４の位置が検知できるようにしている。
【００３２】
図６、７で９６はラッピング樹脂２０の樹脂２４の端面位置を検知するためのセンサである。センサ９６は図７に示すように反転ブロック５０に設けた溝５０ａと同一の高さ位置にセットし、反転ブロック５０が移動した際に溝５０ａの位置で樹脂２４の端面を検知する。このため、溝５０ａは樹脂２４の端部よりも内側に入り込む深さに形成しておく必要がある。
【００３３】
センサ９６によってラッピング樹脂２０の樹脂２４の端面を検知してラッピング樹脂２０の中心を基準点位置Ｑに正確に位置合わせする方法としては、センサ９６を基準点位置Ｑよりも前にセットしておき、ラッピング樹脂２０の樹脂２４の端面が通過した位置をセンサ９６に検知してからエンコーダ等で正確に所定距離前進させ樹脂２４の中心を基準点位置Ｑに一致させる方法、またはセンサ９６のセット位置を基準点位置Ｑに樹脂２４をセットした場合の端面位置に合致させておき、樹脂２４の端面がセンサ９６の位置まできたときにスライドアーム９３の移動を停止させるといった方法がある。
【００３４】
図６で９７はラッピング樹脂２０の樹脂２４の前側の端面を検知するためのセンサである。このセンサ９７は樹脂２４の中心位置を基準点位置Ｑに一致させた際の樹脂の端面位置に合致させて設置し、送り機構部Ｅにより反転ブロック５０が移送された際、センサ９７に樹脂２４の端面が到達した際に送り移動を停止させてラッピング樹脂２０を正確に基準点位置Ｑに位置合わせするものである。
【００３５】
なお、ラッピング樹脂２０によっては樹脂２４の長さ寸法が若干異なったりすることがあり得るから、樹脂２４の中心を正確に基準点位置Ｑに位置合わせする方法として、樹脂２４の前側の端面と後側の端面位置をともに検知し、その検知結果から樹脂２４の中心点を求め、その結果から反転ブロック５０の移動量を決めて正確に基準点位置Ｑに位置合わせする方法も可能である。
【００３６】
このように正確にラッピング樹脂２０を搬送ヘッド９０に移載する基準点位置Ｑに移送した後、図５に示すように搬送ヘッド９０にラッピング樹脂２０を移載する。なお、搬送ヘッド９０にラッピング樹脂２０を移載する際には、搬送ヘッド９０が反転ブロック５０の上面位置まで降下し、反転ブロック５０での吸着穴６０によるエア吸引を解除し、搬送ブロック５０のエア吸着溝９１でラッピング樹脂２０を吸着支持して受け渡しする。
【００３７】
ラッピング樹脂２０を搬送ヘッド９０に受け渡しした後は、反転ブロック５０は搬送レール９２によりガイド移動されてマガジン３０の上方位置まで戻り、反転用モータ５２により上向きから下向きに反転された後、上下動シリンダ５４によりマガジン３０の直上まで下降する。こうして、マガジン３０から反転ブロック５０へラッピング樹脂２０を受渡しする次回の準備がなされる。
【００３８】
以上説明したように、ラッピング樹脂の供給装置はラッピング樹脂を収納したマガジンからラッピング樹脂を順にピックアップし、カバーフィルム２６ａを平らに修整した後、モールド金型にラッピング樹脂２０を供給する搬送ヘッド９０にラッピング樹脂２０を正確に位置合わせして移載するまでの操作を自動で行う装置である。
なお、上記例の装置は搬送ヘッドに一個のラッピング樹脂を供給するものであるが、搬送ヘッドに複数個のラッピング樹脂を移載する場合も同様な構成とすることができる。
【００３９】
図８、９はリリースフィルムを用いる樹脂モールド装置に上記ラッピング樹脂の供給装置を設けた例を示す。図８は樹脂モールド装置の正面図、図９は平面図である。この樹脂モールド装置はモールド金型１００を装着したプレス装置１０２を挟む両側にリリースフィルム１０４の供給部１０６とリリースフィルム１０４の回収部１０８を設け、プレス装置１０２の樹脂モールド操作ごとリリースフィルム１０４を新たに供給するとともに被成形品と樹脂モールド用のラッピング樹脂を供給して樹脂モールドするように構成されている。なお、リリースフィルム１０４は上型と下型の各々に供給される。
【００４０】
１１０は樹脂モールド製品の搬出と被成形品およびラッピング樹脂の供給を行う搬送ヘッドである。図９で１１２は搬送ヘッド１１０をガイド移動するガイドレールであり、搬送ヘッド１１０はリリースフィルム１０４の搬送方向と直交方向に進退動して所要の搬送操作を行う。１１４は被成形品の供給部、１１６は樹脂モールド製品の収納部、１１８は不要樹脂の収納部、１２０はラッピング樹脂の供給部である。搬送ヘッド１１２は型開き時にプレス装置１０２に進入し樹脂モールド製品をピックアップしてプレス装置１０２の外部に取り出した後、ディゲートする。不要樹脂は不要樹脂の収納部１１８に排出され、樹脂モールド製品は樹脂モールド製品の収納部１１６に収納される。
【００４１】
モールド金型１００への被成形品およびラッピング樹脂の供給は、被成形品の供給部１１４から被成形品を搬送ヘッド１１０に移載し、またラッピング樹脂の供給部１２０から搬送ヘッド１１０にラッピング樹脂を移載して、被成形品１２２とラッピング樹脂１２４とを同時にモールド金型１００に移載するようにする。この例ではラッピング樹脂１２４を挟んで２つの被成形品１２２をモールド金型１００上にセットする。
【００４２】
前述したラッピング樹脂の供給装置は、マガジン３０からラッピング樹脂２０をピックアップし、搬送ヘッド１１０にラッピング樹脂１２４を移載する供給装置として使用される。すなわち、マガジン３０からピックアップされたラッピング樹脂１２４は上記のラッピング樹脂の供給装置によりカバーフィルムが平らに修整され、搬送ヘッド１１０の下方位置まで移送され、搬送ヘッド１１０に正確に位置合わせして受け渡される。ラッピング樹脂１２４はモールド金型１００のポット位置に位置合わせして保持されているから搬送ヘッド１１０をプレス装置１０２のモールド金型１００上に移送して確実にポットに供給することができる。なお、図８、９に示す樹脂モールド装置はリリースフィルム１０４を用いて樹脂モールドする装置であるが、リリースフィルムを使用しない樹脂モールド装置についても同様に適用することができる。
【００４３】
【発明の効果】
本発明に係る樹脂モールド装置におけるラッピング樹脂の供給装置によれば、上述したように、ラッピング樹脂のカバーフィルムを修整して自動的に搬送ヘッドに移載することができ、搬送ヘッドからモールド金型のポットにラッピング樹脂を供給することによってラッピング樹脂を用いる樹脂モールド操作を確実に自動化することを可能にする等の著効を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】ラッピング樹脂の供給装置の全体構成を示す側面図である。
【図２】ラッピング樹脂の供給装置の全体構成を示す正面図である。
【図３】マガジンの平面図である。
【図４】反転チャック部の構成を拡大して示す説明図である。
【図５】ラッピング樹脂を搬送ヘッドの下方に移送した状態の側面図である。
【図６】ラッピング樹脂を搬送ヘッドへの移載位置まで移送した状態の平面図である。
【図７】ラッピング樹脂を搬送ヘッドへの移載位置まで移送した状態の正面図である。
【図８】樹脂モールド装置の正面図である。
【図９】樹脂モールド装置の平面図である。
【図１０】リリースフィルムを用いる樹脂モールド方法を示す説明図である。
【図１１】スティック状のラッピング樹脂の斜視図である。
【符号の説明】
１０  リリースフィルム
２０  ラッピング樹脂
２２  ポット
２４  樹脂
２６  ラッピングフィルム
２６ａ  カバーフィルム
３０  マガジン
３０ａ  収納穴
３２  プッシャ
３６  モータ
３８  ピニオン
４０  ラック
５０  反転ブロック
５０ａ  溝
５２  反転用モータ
５２ａ  軸
５４  上下動シリンダ
５６  収納溝
５８  保持機構
５８ａ  エアシリンダ
５８ｂ  押接体
６０  吸着穴
６２  センサ
７０  押さえブロック
７０ａ  押さえ突起
７０ｂ  ストッパ
７４  第１の可動プレート
７６  第２の可動プレート
８２  エアシリンダ
９０  搬送ヘッド
９１  エア吸着溝
９２  搬送レール
９３  スライドアーム
９４  支持アーム
９６、９７  センサ
１００  モールド金型
１０２  プレス装置
１０４  リリースフィルム
１１０  搬送ヘッド
１２０  ラッピング樹脂の供給部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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