(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、光ファイバコイルと、光源からの光を右回り光と左回り光に分岐して光ファイバコイルの両端から入射し、その後光ファイバコイルを伝播して戻ってきた右回り光と左回り光を結合する光分配結合手段と、光ファイバコイルの片端と光分配結合手段光との間に配置された右回り光と左回り光に変調信号発生回路からの変調信号により位相変調を与える位相変調器と、光分配結合手段で結合された干渉光を光電変換する第１受光器と、干渉光の光電変換信号の内、変調周波数に関連した周波数で同期検波して変調周波数成分を取り出す第１同期検波回路と、第１受光器に到達する光量の平均値又は最大値をモニタする第１光量モニタ回路と、光源からの光の一部を受光する第２受光器と、第２受光器に到達する光量をモニタする第２光量モニタ回路と、第２受光器からの光電変換信号を同期検波する第２同期検波回路と、第１光量モニタ回路からの出力を第２光量モニタ回路からの出力で除算する除算器と、第２同期検波回路の出力を除算器の出力で利得調整する利得調整手段と、第１同期検波回路の出力から利得制御手段の出力を減算して角速度信号を出力する減算手段と、
を備えたことを特徴とする光源の相対強度雑音成分を除去する光干渉角速度計。
【請求項２】
光源と、光ファイバコイルと、光源からの光を右回り光と左回り光に分岐して光ファイバコイルの両端から入射し、その後光ファイバコイルを伝播して戻ってきた右回り光と左回り光を結合する光分配結合手段と、光ファイバコイルの片端と光分配結合手段との間に配置された右回り光と左回り光に変調信号発生回路からの変調信号により位相変調を与える第１位相変調器と、光ファイバコイルの他方の片端と光分配結合手段との間に配置された右回り光と左回り光に位相変調を与える第２位相変調器と、光分配結合手段で結合された干渉光を光電変換する第１受光器と、干渉光の光電変換信号の内、変調周波数に関連した周波数で同期検波して変調周波数成分を取り出す第１同期検波回路と、第１受光器に到達する光量の平均値又は最大値をモニタする第１光量モニタ回路と、光源からの光の一部を受光する第２受光器と、第２受光器に到達する光量をモニタする第２光量モニタ回路と、第２受光器からの光電変換信号を同期検波する第２同期検波回路と、第１光量モニタ回路の出力を第２光量モニタ回路の出力で除算する除算器と、第２同期検波回路の出力を除算器の出力で利得調整する利得調整手段と、第１同期検波回路の出力から利得制御手段の出力を減算する減算手段と、減算手段の出力に基づいて鋸歯状波信号を発生して第２位相変調器を駆動し減算手段の出力を実質的にゼロに制御するフィードバック信号発生手段と、フィードバック信号発生手段の発生する鋸歯状波信号の周波数を測定し、角速度信号を出力する角速度信号出力手段と、
を備えたことを特徴とする光源の相対強度雑音成分を除去する光干渉角速度計。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光干渉角速度計において、
第１及び第２同期検波回路の参照信号は、クロック発生回路からの同じタイミングのクロックを用いること
を特徴とする光源の相対強度雑音成分を除去する光干渉角速度計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光干渉角速度計に関し、特に光源の相対強度雑音の影響を小さく抑え、バイアス安定性性能を改善した光干渉角速度計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図３に、従来のクローズドループ方式光干渉角速度計（以下、「ＦＯＧ」という）の構成を示す。
光源駆動回路１１で駆動される光源１からの出射光Ｉは、光カプラ２を経て光集積回路４に投入され、光分配結合手段５によりＣＷ光、ＣＣＷ光に分配され、光ファイバコイル８の両端から入射される。
光ファイバコイル８を伝播するＣＷ光、ＣＣＷ光は、光ファイバコイル両端と光分配結合手段との間にそれぞれ配置された矩形波位相変調信号で変調される第１位相変調器６と鋸歯状波信号で変調される第２位相変調器７により位相変調される。
【０００３】
また、矩形波位相変調信号は、水晶発振回路１５、クロック発生回路１６、位相変調信号発生回路１９により生成される。
位相変調を受けたＣＷ光、ＣＣＷ光は、光分配結合手段５で結合され干渉し、干渉光Ｉoは光カプラ２により分岐され受光器３で光電変換される。
受光器３からの光電変換信号はＡ／Ｄ変換器１２によりデジタル信号とされ、復調器１３で復調（同期検波）される。復調された信号は積分器１４を介してディジタルフェーズランプ発生ロジック回路１７に入力される。
ディジタルフェーズランプ発生ロジック回路は、鋸歯状波信号を生成するためのフィードバック信号とジャイロ出力信号（角速度信号）を出力する。
Ｄ／Ａ変換器１８はフィードバック信号に基づき鋸歯状波信号を生成し、この信号は第２位相変調器７に入力される。
【０００４】
オープンループ方式ＦＯＧは、ディジタルフェーズランプ発生ロジック回路１７、Ｄ／Ａ変換器１８、第２位相変調器７とから構成される自動制御ループを備えていない。
【０００５】
▲１▼図４を参照してオープンループ方式ＦＯＧの動作を説明する。
（ｂ）に示すように矩形波位相変調信号は、光ファイバコイルを伝搬する光の通過時間τと実質的に等しいパルス幅の矩形波電圧で光ファイバコイル８の片端と光分配結合手段５の間に配置した位相変調器６に印加し光ファイバコイルを伝搬するＣＷ、ＣＣＷ両光間に±π／２（rad）の位相差を交番に付与する。位相差Δφによる干渉光Ｉoの強度特性が（ａ）に示すものとすると、その結果、受光器３に到達する干渉光Ｉoは、（ｃ）に示ものとなる。
位相変調Iの期間は、ＣＷ、ＣＣＷ両光間の位相差Δφが“０”の状態を示し、位相変調IIの期間は、角速度Ωが印加されサニャック位相差Δφが生じた状態を示す。
位相差Δφは、Δφ＝４πＲＬΩ／（ｃλ）で表される。（ここでＲは光ファイバコイルの半径、Ｌは光ファイバコイルの長さ、λは光源の光の波長、ｃは光の速度を示す。）
【０００６】
（ｄ）に示すように位相変調Iの期間（Δφ＝０）のφ1〜φ4に相当する干渉光の出力（受光光量）Ｉo1〜Ｉo2は、同レベルとなり干渉光の強度の差異は生じないが、位相変調IIの期間（Δφ＞０、あるいはΔφ＜０）は、φ5,φ7に対応する受光光量Ｉo5,Ｉo7とφ6,φ8に対応する受光光量Ｉo6,Ｉo8の干渉光に差異が生じる。その差異ΔＩは次式で表される。
ΔＩo＝ＰsinΔφ／２                                （１）
（Ｐ：最大光量）
（１）式に示すようにφ5,φ7に対応するＩo5,Ｉo7とφ6,φ8に対応するＩo6,Ｉo8の干渉光強度の差異ΔＩoを検出すれば光ファイバコイルに印加される角速度Ωによって生じるサニャック位相差Δφsを得ることができる。
続いて干渉光出力Ｉo1〜Ｉo8は、受光器３で光電変換された後、Ａ／Ｄ変換器１２によりクロック発生回路１６で生成された周期τのクロックによりＡ／Ｄ変換され、デジタル復調器（同期検波器）１３により上記（１）式に対応したデジタル量が演算される。即ち入力角速度Ωに対するΔφのsinに比例したデジタル量を求めることができる。
デジタル復調器の出力を積分器１４を介して出力することによりオープンループ方式ＦＯＧの角速度信号を得ることができる。
【０００７】
▲２▼次にクローズドループ方式ＦＯＧの動作を説明する。
クローズドループ制御を達成する方法として図３に示された積分器１４の出力をディジタルフェーズランプ発生ロジック回路１９に入力して階段状の鋸歯波信号（ディジタルフェーズランプ）を生成し、フィードバック信号として第２位相変調器７に印加する。
【０００８】
（１）式における位相Δφは、ＣＷ光、ＣＣＷ光両光間の位相差で、次式で表される。
Δφ＝Δφs−Δφf                                （２）
ここでΔφsは、光ファイバコイルに角速度Ωを印加した時に生じるサニャック位相差を示し、Δφfは、フィードバック信号により生じる位相差を示す。
デジタル復調機能により（１）式に対応するデジタル量をフィードバック回路に負帰還となるよう与えると積分器１４の入力、即ち復調器１３の出力は零となり、
Δφs＝−Δφf                                     （３）
の関係が成り立つ。
【０００９】
フィードバック位相差Δφfを発生させる方法は、光の光ファイバの伝搬時間τを一段の幅とする階段鋸歯状波信号を光集積回路４の第２位相変調器７に印加して達成することができる。
今光ファイバコイル８の片端に配置した第２位相変調器７に階段鋸歯状波信号を印加すると図５（ｂ）に示すようにＣＣＷ光は、光ファイバにおける光の伝搬時間τだけ遅れてＣＷ光と同様の位相シフトを受ける。その結果ＣＷ、ＣＣＷ両光間のフィードバック位相差は、図５（ｃ）に示すものとなる。
【００１０】
通常デジタルフェーズランプは、干渉光の周期性からフィードバック位相差が丁度２ｍπ(rad)（ｍ＝１,２,３，・・・）の時にリセット回路によりリセットされる。その結果フィードバック位相差Δφfが継続的に保証され精度の高いクローズドループ方式ＦＯＧが達成可能となる。
一般に階段の高さ、即ちフィードバック信号位相差Δφfは、図５（ｂ）より
Δφf＝τφR／Ｔ                                  （４）
ここでτ：光ファイバコイルにおける光の伝搬時間（τ＝ｎＬ／ｃ）
ｎ：光ファイバの屈折率
Ｌ：光ファイバ長
ｃ：光速
Ｔ：デジタルフェーズランプの周期（Ｔ＝１／ｆ）
ｆ：デジタルフェーズランプの繰り返し周波数
φR：デジタルフェーズランプの最大位相偏倚（φR＝２ｍπ）
で表される。
【００１１】
一方サニャック位相差Δφsは
Δφs＝（４πＲＬ・Ω）／（ｃλ）＝Ｋs・Ω         （５）
ここでＲ：光ファイバコイルの平均半径
λ：真空中における光の波長
Ω：入力角速度
Ｋs：サニャック係数
であるので周波数ｆは、ｍ＝１とすると（３）〜（５）式より
ｆ＝２ＲΩ／（ｎλ）                              （６）
となり、デジタルフェーズランプの周波数ｆを計測すれば与えられた入力角速度Ωを得ることができる。
【００１２】
従来、オープンループ方式及びクローズドループ方式ＦＯＧの出力には、現実問題としてノイズ要素があり、高精度化の妨げになっている。主要なノイズ要因は以下のものである。
▲１▼受光器のショットノイズ
▲２▼光ファイバコイル中の後方レイリ散乱
▲３▼光源の相対強度雑音
▲４▼電気的ノイズ（熱抵抗雑音や増幅器の雑音など）
【００１３】
図６は、受光器到達光量とランダムウォーク性能との関係を示す。
グラフは高精度のＦＯＧを想定した次の条件で作成されている。
サニャック係数Ｋs＝５
光ファイバ長Ｌ=３．７Km
光ファイバコイル半径Ｒ＝０．０５m
光源の光波長λ＝１．５５μm
光源の相対強度雑音（RIN）：RIN＝−１２０[dB／Hz]
【００１４】
図６の受光器到達光量とランダムウォーク性能との関係を示すグラフを参照すると、受光器の到達光量が７μW以上くらいになってくるとジャイロバイアスの不安定性の一つであるランダムウォークが受光器到達光量が増えているのに係わらず減少せず性能が改善されなくなる。
表１の受光器到達光量に対する各雑音要因のランダムウォークの例が示すように光源の相対強度雑音によるランダムウォークが受光器到達光量の増減に係わらず一定値を示すためである。したがって、ＦＯＧの高精度化を図るためにはこの相対強度雑音を減少させることが必要となる。
【００１５】
【表１】
0003635404.tif 000002
表１  受光器到達光量に対する各雑音要因のランダムウォーク
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように従来の光干渉角速度計は、Ｓ／Ｎ比を向上させるために光源の出射光を増やしても光源の相対強度雑音(RIN)のため頭打ちとなりＦＯＧ高精度化の阻害原因となっていた。
この発明は、この相対強度雑音を除去し、ジャイロバイアスのランダムウォーク性能を改善した光干渉角速度計を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、
請求項１の発明は、光干渉角速度計において、光源からの光を右回り、左回り光に分岐して光ファイバコイルの両端から入射し、その後光ファイバコイルを伝播して戻ってきた右回り光と左回り光を結合する光分配結合手段と、光ファイバコイルの片端と光分配結合手段との間に配置された右回り、左回り光に変調信号発生回路からの変調信号により位相変調を与える位相変調器と、光分配結合手段で結合された干渉光を光電変換する第１受光器と、変調周波数成分を取り出す第１同期検波回路と、第１受光器に到達する光量の平均値又は最大値をモニタする第１光量モニタ回路と、光源からの光の一部を受光する第２受光器と、第２受光器に到達する光量をモニタする第２光量モニタ回路と、第２受光器からの光電変換信号を同期検波する第２同期検波回路と、第１光量モニタ回路からの出力を第２光量モニタ回路からの出力で除算する除算器と、第２同期検波回路の出力を除算器の出力で利得調整する利得調整手段と、第１同期検波回路の出力から利得制御手段の出力を減算して角速度信号を出力する減算手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
請求項２の発明は、光源からの光を右回り、左回り光に分岐して光ファイバコイルの両端から入射し、その後光ファイバコイルを伝播して戻ってきた右回り光と左回り光を結合する光分配結合手段と、光ファイバコイルの両端と光分配結合手段との間にそれぞれ配置された右回り、左回り光に変調信号発生回路からの変調信号により位相変調を与える第１位相変調器と、右回り、左回り光に位相変調を与える第２位相変調器と、光分配結合手段で結合された干渉光を光電変換する第１受光器と、変調周波数成分を取り出す第１同期検波回路と、第１受光器に到達する光量の平均値又は最大値をモニタする第１光量モニタ回路と、光源からの光の一部を受光する第２受光器と、第２受光器に到達する光量をモニタする第２光量モニタ回路と、第２受光器からの光電変換信号を同期検波する第２同期検波回路と、第１光量モニタ回路の出力を第２光量モニタ回路の出力で除算する除算器と、第２同期検波回路の出力を除算器の出力で利得調整する利得調整手段と、第１同期検波回路の出力から利得制御手段の出力を減算する減算手段と、減算手段の出力に基づいて鋸歯状波信号を発生して第２位相変調器を駆動し減算手段の出力を実質的にゼロに制御するフィードバック信号発生手段と、フィードバック信号発生手段の発生する鋸歯状波信号の周波数を測定し、角速度信号を出力する角速度信号出力手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１に本発明の一実施例であるオープンループ方式ＦＯＧ、図２に本発明の他の実施例であるクローズドループ方式ＦＯＧの構成を示す。
光源１からの出射光Ｉは、光カプラ２を経て光集積回路４に投入され、光分配結合手段５によりＣＷ光、ＣＣＷ光に分配され、光ファイバコイル８の両端から入射される。
光ファイバコイル８を伝播するＣＷ光、ＣＣＷ光は、光ファイバコイルの片端と光分配結合手段との間に配置された位相変調器６により矩形波位相変調信号で変調される。矩形波位相変調信号は、クロック回路９のクロック（ＰＭ−ＣＬＫ）を基に位相変調器駆動回路１０で生成される。
【００２０】
位相変調を受けたＣＷ光、ＣＣＷ光は、光分配結合手段５で結合され干渉し、干渉光Ｉoは光カプラ２により第１受光器２１へ分岐され光電変換される。
（ａ）第１受光器２１に到達する光量Ｉo（ｔ）は図４のφ1タイミングに対応した次のようになる。
0003635404.tif 000003
（但しΔφs：サニャック位相差、フィードバック位相差Δφf＝０とす  る）
ここで受光器に到達する光量ＰをＰo（１＋Ｒ（ｔ−τ））とし、Ｒ（ｔ−τ）を相対強度雑音比とすると、（７）式は、
Ｉo（ｔ−τ）＝Ｐo（１＋Ｒ（ｔ−τ））・（１−sinΔφs）／２（８）
となる。
【００２１】
次にφ2 のタイミングでは光量Ｉo（ｔ）は、
Ｉo（ｔ）＝Ｐo（１＋Ｒ（ｔ））・（１＋sinΔφs）／２    （９）
となる。
これらの干渉光Ｉoは、第１受光器２１により光電変換信号に変換されＡ／Ｄ変換器２２でデジタル信号に変換される。
変換されたデジタル信号は、第１同期検波回路２４により
Ｄ1DEM（ｔ）＝K1（Ｉo（ｔ−τ）−Ｉo（ｔ））
ここでK1は、受光器２１から第１同期検波回路２４までの利得を示す。
（８）（９）式を代入すると、
Ｄ1DEM（ｔ）＝−K1・ＰosinΔφs＋K1・Ｐo（Ｒ（ｔ−τ）−Ｒ（ｔ））／２−K1・Ｐo（Ｒ（ｔ−τ）＋Ｒ（ｔ））sinΔφs／２  （１０）
図４のφ3のタイミング以降も同様に方法で求めることができる。
【００２２】
ここで図２に示されたクローズドループＦＯＧの場合は、Δφsは、ほぼ“０”であるので（（１０）式の第２項＞＞第３項）、上記（１０）式は次の式で表される。
Ｄ1DEM（ｔ）≒−K1・ＰosinΔφs                   ＋K1・Ｐo（Ｒ（ｔ−τ）−Ｒ（ｔ））／２   （１１）
（１１）式において、第１項は有用なジャイロ出力情報（角速度情報）で第２項は不要な相対強度雑音成分を示す。
（ｂ）続いて光源の出射光Ｉの一部Ｉsmを第２受光器４１よって光電変換する。
【００２３】
第２同期検波回路４４の動作を説明する。
第２同期検波回路４４は、入力されたデータに＋１,−１を交互に乗算し逐次加算していくものであるので、まず図４においてφ1のタイミング（クロック回路９のクロック（ＲＥＦ−ＣＬＫ）のタイミング）で＋１を乗算するとその出力Ｄ2（ｔ−τ）は、
Ｄ2（ｔ−τ）＝Ｋ2Ｐsm（１＋Ｒ（ｔ−τ））          （１２）
ここでＰsm ：Ｉsm の振幅、Ｋ2：定数
次にφ2のタイミングで−１を乗算するとその出力Ｄ2（ｔ）は、
Ｄ2（ｔ）＝−Ｋ2Ｐsm（１＋Ｒ（ｔ））                （１３）
となる。続いて第２同期検波回路４４の出力は、（１２）式と（１３）式を加算したものであるので、
0003635404.tif 000004
【００２４】
（ｃ）次に第１受光器２１に到達する最大光量Ｐを求める。
図４からも分る通り±π／２の矩形波状の位相変調信号を印加すると、干渉光の平均光量ＰAVEは、図４のIの期間（Δφ＝０）及びIIの期間（ＣＷ、ＣＣＷ両光間に位相差が発生している場合）共、ＰAVE＝Ｐ／２となり、光量モニタの出力Ｄm1は、次の式で表される。
Ｄm1＝Ｋm1・Ｐ／２                                   （１５）
ここでＫm1：定数
（ｄ）続いて第２受光器４１に到達する光量Ｐsmを求める。
光量Ｐsmは、もともと安定なものであるので第２受光器４１によって光電変換された信号をＡ／Ｄ変換器４３によってデジタル信号に変換し、第２光量モニタ回路４５によって適切なデジタル量に変換される。その時の出力をＤm2とすると、
Ｄm2＝Ｋm2・Ｐsm                                        （１６）
ここでＫm2：定数
【００２５】
（ｅ）補正データの利得計算
第１同期検波回路２４に含まれる光源１の相対強度雑音成分をキャンセルするための補正データＤcompの大きさを調整するために第１受光器２１に到達する光量と第２受光器４１に到達する光量から図１、２に示す乗除器５１によって補正データＤcompの利得Ｋcを求める。
Ｋc＝Ｋ・ Ｄm1／Ｄm2＝Ｋ・Ｋm1・Ｐo／２（Ｋm2・Ｐsm）  （１７）
ここでＫ：定数
（ｆ）光源の相対強度雑音成分補正データＤcompの計算
図１、２の乗算器５２によりＤcompを求める。
0003635404.tif 000005
ここで（１８）式のＫ・Ｋm1・Ｋ2・Ｐo／２Ｋm2の部分と（１１）式のＫ1・Ｐo（Ｒ（ｔ−τ）−Ｒ（ｔ））／２の部分と等しくなるようＫ,Ｋ1,Ｋm1,Ｋ2,Ｋm2,などの利得を調整する。
【００２６】
（ｇ）光源の相対強度雑音成分を除去した信号ＤOUTの出力
図１、２の減算手段５４によってＤOUTを演算する。
0003635404.tif 000006
ここで  Ｋ1・Ｐo／２＝Ｋ・Ｋm1・Ｋ2・Ｐo／２Ｋm2となるように利得を調整したので
ＤOUT＝−Ｋ1・Ｐo・sinΔφs                         （１９）
となり、光源の相対強度雑音成分が除去される。
【００２７】
図１に示されたオープンループ方式ＦＯＧの場合は、ＤOUT信号から角速度信号を得ることができ（（１９）式参照）、また要求に応じゲインアップしたり又リニアリティ補正することもできる。
図２に示されたクローズドループ方式ＦＯＧの場合は、ＤOUT信号を積分器６１とランプジェネレータ６２とＤ／Ａ変換器６３を有するフィードバック信号発生回路に入力し、ＤOUT信号が実質的にゼロとなるようなフィードバック信号（鋸歯状波信号）を発生させて第２位相変調器７に印加することにより、自動制御ループを構成する。
【００２８】
この場合は、従来例と同様にフィードバック信号発生回路で生成されるフィードバック信号の周波数を測定することにより角速度信号が得られる。
図１、２のディレイ調整回路５３は、第１同期検波回路２４の出力Ｄ1DEM（ｔ）が第２同期検波回路４４の出力Ｄ2DEM（ｔ）より光ファイバ中を光が伝播する時間τだけ遅れているのでその分を補正するためのものである。また他の回路を用いて進み遅れの任意の調整も可能である。ローパスフィルタ（ＬＰＦ）２６、４６は、不要な高周波成分を除去するためのもので必要に応じて任意に挿入する。
【００２９】
また、図１、２に記載の実施例では、第１、２受光器２１、４１からのアナログ信号をデジタル信号に変換し、デジタル的に処理する方法について示したがデジタルに変換しないでアナログ信号のまま処理することも可能である。さらに、本発明の実施例では、矩形波状の位相変調信号を用いる方法を示したが、正弦波の位相変調信号を使ったＦＯＧの適用についても同様に可能である。
【００３０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、光源の相対強度雑音成分を除去する回路を設けたことによりバイアス安定性の主要エラー要因であるランダムウォークを小さく抑えることができるようになった。これにより光源光量を増やしＳ／Ｎ比の向上を図って他のノイズ成分の影響を抑えつつ高精度化が図れるようになった。
表２に従来例と本発明のランダムウォークを示す。この表から分るように本発明を利用するとランダムウォークは大幅に改善されている。
【００３１】
【表２】
0003635404.tif 000007
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例であるオープンループ方式光干渉角速度計の構成図。
【図２】本発明の実施例であるクローズドループ方式光干渉角速度計の構成図。
【図３】従来のクローズドループ方式光干渉角速度計の構成図。
【図４】光干渉角速度計の矩形波位相変調信号と受光光量の関係を説明するための図。
【図５】クローズドループ方式光干渉角速度計のフィードバック信号を説明するための図。
【図６】受光器到達光量とランダムウォーク性能との関係を示す図。
【符号の説明】
１    光源
２    光カプラ
３    受光器
４    光集積回路
６    第１位相変調器
７    第２位相変調器
８    光ファイバコイル
１１    光源駆動回路
１２、２２、２３、４２、４３    Ａ／Ｄ変換器
１３    復調器
１４、６１    積分器
１５    水晶発振回路
１６    クロック発生回路
１７    ディジタルフェーズランプ発生ロジック回路
１８、６３    Ｄ／Ａ変換器
１９    位相変調信号発生回路
２１    第１受光器
２４    第１同期検波回路
２５    第１光量モニタ回路
２６、４６    ＬＰＦ
４１    第２受光器
４４    第２同期検波回路
４５    第２光量モニタ回路
５１    乗除器
５２    乗算器
５３    ディレイ調整回路
５４    減算手段
６２    ランプジェネレータ
【図１】
0003635404.tif 000008
【図２】
0003635404.tif 000009
【図３】
0003635404.tif 000010
【図４】
0003635404.tif 000011
【図５】
0003635404.tif 000012
【図６】
0003635404.tif 000013