(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数種の流体をプランジャの往復運動で順次吸引しシリンダ内で混合し送出する複数種流体混合ポンプ装置において、
前記プランジャの駆動に、パルスモータを用い、
前記シリンダへ吸引される複数種流体を切り替える切替手段と、
前記プランジャの特定位置に対応する吐出開始位置を検出し、該特定位置検出信号を出力する検出手段と、
前記検出手段からの特定位置検出信号を基準にパルスモータに送られたパルス数をカウントするカウンタと、
前記カウンタによりカウントされたパルス数に基づき、前記複数種流体の切替位置を検出して前記ポンプへ吸引される複数種流体が設定混合比となるように前記切替手段に切替指令を与える制御手段と、
を備えたことを特徴とする複数種流体混合ポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は複数種流体混合ポンプ装置、特に溶媒組成管理機構の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に高圧液体クロマトグラフィーでは、使用する溶離液（移動相）を送出するため、ポンプ装置が用いられる。
ところで、前記高圧液体クロマトグラフィーでは単一溶媒を使用する場合と、複数種の溶媒を混合して使用する場合がある。また、複数種の溶媒を混合して使用するには、一定の組成比にて混合して使用する場合と、時間的に組成比を変化させて使用する場合があるが、いずれの場合も複数種溶媒の適切な組成比での混合を行う必要がある。
【０００３】
一般的に溶媒の混合を行う場合には、二種類の方法が用いられ得る。
一つは、複数種の溶媒に対応した複数の送液ポンプを使用し、それぞれの送液ポンプの流量を制御することで所定の混合比を得る方法（高圧混合方式）である。この場合には、それぞれのポンプは単一の溶媒を送液させる。
今一つの方法は、特にプランジャーポンプの場合に多く用いられる方式であり、一台のポンプを使用してポンプが吸引する溶媒を複数のバルブで時間的に切り替えて所定の混合比を得る方式（低圧混合方式）である。この低圧混合方式は、前記高圧混合方式に比較し、ポンプが一台で足りるため比較的簡易な構成で流体混合を行うことができる。
【０００４】
すなわち、一のプランジャーポンプが吸引、吐出を行うシングルヘッドポンプの場合、吸引工程と吐出工程が時間的に交互に行われる。このため、吸引工程にて複数種の溶媒を混合しようとする低圧混合では、吸引区間の開始を検出して溶媒混合用のバルブ（電磁弁）制御を行う必要がある。
具体的には、吸引区間の開始を検出して、そこから完了までの時間を設定混合比で分割してバルブ制御を行う方法がある（特公平６−７７００４号等）。
しかしながら、このような方法では、バルブ制御を単なる時間の経過のみで行っていたため、種々の原因により、理論的なカムの動きと実際のカムの動きにずれが生じると、カムのプロフィールに従う送液パターンも理論上のものと実際のものとの間でずれが生じてしまい、高精度の溶媒組成管理を行うことは極めて困難であった。
そこで、従来、このような不具合を解消するため、カムの位置情報を得て、得られたカムの位置情報に基づきバルブ制御を行う技術も考えられる（特開平７−７７５２１号、特開平５−１６２９６号等）。
具体的には、これらの装置では、カムの位置情報を得るための位置センサ、ロータリエンコーダなどの位置検出手段を設けていた。
【０００５】
しかしながら、前記従来の装置のように、カムの位置情報を得るためだけに位置検出手段を設けていたのでは、部品点数が多くなってしまう。
【０００６】
すなわち、ＨＰＬＣ用ポンプは大気圧下にある溶媒をカラム圧（一般に５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２）まで昇圧して溶媒を送る必要があるため、ポンプヘッド内での昇圧のための吐出遅れ、ポンプヘッド内のチェック弁の遅れなどにより、理論的な送液プロフィールに従わない。つまり、プランジャーの往復運動は、プランジャーを駆動するカムのプロフィールに一致しても、実際の送液パターンは、そのカムプロフィールに一致しないという現象が起きる。
【０００７】
このため、この種の分野では、簡易な構成で、カムの位置情報を得ることのできる技術の開発が強く望まれていたものの、これを解決するための適切な技術が未だ存在しなかった。
【０００８】
本発明は、前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、構成の簡易化を図ることのできる複数種流体混合ポンプ装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために本発明にかかる複数種流体混合ポンプ装置は、切替手段と、検出手段と、カウンタと、制御手段と、を備えたことを特徴とする。
ここで、前記プランジャの駆動に、パルスモータを用いる。
また前記切替手段は、前記シリンダへ吸引される複数種流体を切り替える。
前記検出手段は、前記プランジャの特定位置に対応する吐出開始位置を検出し、該特定位置検出信号を出力する。
前記カウンタは、前記検出手段からの特定位置検出信号を基準にパルスモータに送られたパルス数をカウントする。
前記制御手段は、前記カウンタによりカウントされたパルス数に基づき、前記複数種流体の切替位置を検出して前記ポンプへ吸引される複数種流体が設定混合比となるように前記切替手段に切替指令を与える。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明者らが複数種流体混合ポンプ装置の高精度化について各種検討したところ、パルスモータは、その特性上、入力されたパルス数に従って駆動軸の回転角度が変化するので、パルスモータに送られたパルス数より、カムの位置を算出できることが見い出された。
そこで、本発明においては、プランジャの駆動に、パルスモータを用い、パルスモータの駆動に用いられているパルス数に基づき、シリンダへ吸引される複数種の流体を切り替えることとしたのである。
この結果、カムの位置情報を得るための部品を、別個に設けたものに比較し、簡単な構成で、組成比の正確な制御が可能となる。
【００１１】
さらに、本発明者らが低圧混合方式の複数種流体混合ポンプ装置の高精度化について各種検討したところ、複数種流体の内、組成比の小さい流体の吸引量に問題を生じる結果、組成比精度の低下を招く場合が多く、特にその原因としてポンプによる流体の吸引開始、吸引完了前後における吸引の乱れが挙げられることが解明された。
そこで、本発明のポンプ装置は、発明の要旨の範囲内であれば、つぎのように使用してもよい。たとえば、複数種流体の内、組成比の小さい流体の吸引を、ポンプによる流体の吸引開始、完了時を避けて行ってもよい。この場合には組成比の大きな流体の吸引が、ポンプによる吸引開始、完了前後に行われることとなるが、組成比の大きな流体の吸引量に多少の変動があっても、組成比に与える影響は小さい。
【００１２】
また、本実施例において、設定流量に対するパルス数を変更するパルス数変更手段を設けることにより、例えばポンプによる流体の吸引開始、完了前後における吸引乱れ、ポンプ圧力変動、流体特性による変動等を補正することができる。
【００１３】
また、本実施例において、ポンプは複数種流体切替時にその導入路がすべて閉状態となる区間を設けることでバルブ開閉時間のばらつきに起因する混合精度低下を防止し、パルス数変更手段は該区間長に応じて単位濃度当たりのパルス数を変更可能とすることで前記全閉状態の発生に伴う組成比変化を補償することができる。
又、本実施例においてポンプヘッドの加減速区間はプランジャーの移動速度が一定でない区間を意味している。
【００１４】
以下、図面に基づき本発明の好適な実施形態を説明する。
図１には本発明の一実施形態にかかる複数種流体混合ポンプ装置の概念構成図が示されている。
同図に示すポンプ装置１０は、プランジャーポンプ１２と、該ポンプ１２に吸引される流体を切り替える切替手段１４と、前記ポンプ１２の作動状態を検出する検出手段１６と、前記切替手段１４に切替指令を与える制御手段１８と、前記ポンプ１２の駆動を行う駆動手段２０とを含む。
【００１５】
そして、前記プランジャーポンプ１２は、ヘッド２１に設けられたシリンダー部２２と、該シリンダー部２２の二本のシリンダー２２ａ，２２ｂにそれぞれ摺動可能に嵌合されたデリバリーヘッド用プランジャー２４およびモディファイヤヘッド用プランジャー２６と、前記プランジャー２４，２６とそれぞれ当接するカム２８ａ，２８ｂを備えたカム部２８とを有する。そして、該カム部２８のカム２８ａ，２８ｂが、カム軸３０とともに回転すると、前記カム２８ａ，２８ｂとそれぞれ当接するプランジャー２４，２６がシリンダー２２ａ，２２ｂに対して相対的に上下する。そして、図２に示すようにデリバリーヘッド用プランジャー２４が上昇した場合にはモディファイヤヘッド用プランジャー２６が下降し、デリバリーヘッド２１ａからの吐出量とモディファイヤヘッド２１ｂの吸引量の差分がポンプ１２からの吐出量として吐出口３２よりカラムに送出される。一方、デリバリーヘッド用プランジャー２４が下降した場合には吸引口３４より流体を吸引するが、デリバリーヘッド２１ａのシリンダー２２ａとモディファイヤヘッド２１ｂのシリンダー２２ｂの間及び吸引口３４には逆止弁３５ａ，３５ｂが設けられているため、逆流は生じない。そして、この間モディファイヤヘッド用プランジャー２４は上昇し、吐出口３２からの流体の吐出は継続され、該吐出口３２の流体吐出速度は常に一定となる。
【００１６】
また、図１に示す切替手段１４は、それぞれ吸引口３４に接続された第一バルブ４０と第二バルブ４２、および各ドライバー４４，４６より構成される。そして、第一バルブ４０が導通された場合には図示を省略した第一溶媒タンクより組成比の大きな第一溶媒がポンプ１２に導入される。また、第二バルブ４２が導通された場合には図示を省略した第二溶媒タンクより組成比の小さな第二溶媒がポンプ１２に導入される。
【００１７】
また、検出手段１６は、ディスク５０と、該ディスク５０の外周部に設けられた開口５２を検出するフォトインタラプタ５４を備える。そして、前記ディスク５０は前記カム軸３０と連結され、デリバリーヘッド用プランジャー２４の下死点すなわち溶媒の吐出開始点を検出する。
また、制御手段１８は、ＣＰＵ６０と、前記フォトインタラプタ５４からの吐出開始検出信号を受けて前記ＣＰＵ６０に割込信号を送出する割込信号発生回路６２と、該ＣＰＵ６０の指令に基づき前記バルブドライバー４４，４６にバルブ制御信号を供給するインターフェース６４と、カウンター回路６６およびモータクロック発生回路６８を備える。
【００１８】
駆動手段２０は、パルスモータ７０およびそのドライブ回路７２を備えている。そして、パルスモータ７０の駆動軸が前記カム軸３０と連結されている。ドライブ回路７２は制御手段１８のモータクロック発生回路６８の発生するモータークロックに基づき駆動指令をモータ７０に与え、該モータクロックは同時にカウンター回路６６によりカウントされて各バルブの閉時間、開時間の管理を行う。
【００１９】
本実施例にかかる複数種流体混合ポンプ１０は概略以上のように構成され、次にその作用について説明する。
本発明において特徴的なことは、溶媒組成管理を行うための構成を簡易化するために、ポンプの駆動に用いられるパルスモータに送られたパルス数に基づきバルブ制御を行ったことである。
このために本実施例においては、バルブ４０，４２の開時間の制御は、パルスモータであるステッピングモータ７０の駆動に用いられているパルス数をカウンター回路６６によりカウントし、カムの位置を算出する。つまり、第一溶媒および第二溶媒の要求される混合比をパルス数に変換し、この値をカウンタにセットし、このカウント時間分だけそのバルブを開けるのである。
また、本実施例においては、ポンプによる吸引開始後、吸引完了前のプランジャー又はカムの加減速区間を除いた区間で、複数種の溶媒の内、組成比の小さい溶媒の吸引を行っている。すなわち、本実施例においてポンプ装置１０はデリバリーヘッド２１ａとモディファイヤヘッド２１ｂの二つの送液ヘッドを持っているが、このうち溶媒の吸引を行うのはデリバリーヘッド２１ａだけである。このため、図３に示すように、溶媒の吸引は間欠的に行われており、低圧混合を行うには吸引区間を検出してそれに同期して混合用バルブ４０，４２を制御する必要がある。
【００２０】
本実施例にかかる装置のデリバリーヘッド用プランジャー２４のカムプロフィールは、図３に示すようにデリバリーヘッド２１ａが吐出を開始する位置を０度とすると吐出完了地点は１５０度になっている。つまり吸引区間は２１０度あることになる。しかし、プランジャーを長期間安定して駆動するためには、急激にプランジャーの移動方向を逆転することはできないので、吸引開始後１５度、吸引完了前１５度は加減速区間となっている。
【００２１】
すなわち、本実施例にかかる装置は、吸引工程についてのみ着目するとシングルヘッドポンプである。このため、間欠的に溶媒の吸引を行うことを考慮すれば、カムの位置検出を行い吸引区間をあらかじめ検出しておき、その区間でのみ各溶媒に対応したバルブ４０，４２を切り替えて所定の混合比を得るという制御が必要となる。
【００２２】
そこで、本実施例においてはカム軸３０に位置検出用のディスク５０を設置し、そのディスク５０に開口５２を設けている。この開口５２をフォトインタラプタ５４にて検出し、この信号により割込信号発生回路６２がＣＰＵ６０に割り込みを行う。このディスク５０に設けられた開口５２は吐出開始位置にあわせるようになっている。このように吸引開始位置ではなく吐出開始位置を基準に用いたのは、吐出開始位置でカムの回転を一瞬早くして脈動を小さくするためである。そして、ＣＰＵ６０は、カウンター回路６６を用いて吐出開始位置から１５０度後の吸引開始位置までパルスモータ７０のパルス数をカウントすることで吸引開始位置を検出している。
【００２３】
本実施例においては第一溶媒および第二溶媒の混合比にあわせてバルブ４０，４２の開時間を制御して所定の混合比を得るが、この開時間の制御はパルスモータ７０の駆動に用いられているパルス数をカウンター回路６６によりカウントすることで行っている。パルスモータ７０は、その特性上、入力されたパルス数に従って駆動軸の回転角度が変化するので、パルスモータ７０に送られたパルス数をカウンター回路６６によりカウントし、カムの位置を算出する。つまり、第一溶媒および第二溶媒の要求される混合比をパルス数に変換し、この値をカウンタにセットしこのカウント時間分だけそのバルブを開けるのである。
このように本実施形態にかかるポンプ装置によれば、バルブ制御に、ポンプの駆動に用いられるパルスモータに送られたパルス数を用いている。
すなわち、パルスモータに送られたパルス数は、即カムの位置に対応しているので、例えばパルスモータ１回転分のパルス数、カム軸一回転のパルス数、吸引区間のパルス数などが判ると、パルスモータに送られたパルス数をカウンタでカウントすることによりカムの位置が判る。カムの位置が判ると、現在の送液プロフィールが判る。
一方、流量はカムの回転速度に比例するので、流量を変更するにはパルスレート（単位時間当たりのパルス数）のみを変更すればよい。
すなわち、流量を変更しても、前記パルスモータ１回転分のパルス数、カム軸一回転のパルス数、吸引区間のパルス数などは変わらず、例えば流量が大きくなれば、パルスレートも大きくなるが、パルス数とカム位置との関係は不変だからである。
具体的には、流量と組成比が同時に時間的に変化する場合でも、流量変化に従ってパルスレートさえ変えれば、パルスモータに送られたパルス数をカウントすることによりカムの位置が判るので、新しい処理は不要となり、処理の軽減を図ることができる。
【００２４】
なお、本実施例においては、パルス数変更手段８０を備えており、以下に詳述するパルス数補正を可能としている。
低圧混合方法
ここで、２溶媒の混合を行う場合を例に説明する。
（１）第一溶媒および第二溶媒の混合プログラムの設定値に基づき混合比を求める。混合比は、初期値と時間プログラムによって設定されており、時間プログラム実行時は一定時間間隔で演算を行い、溶媒の所定の混合比を求める。
（２）求められた混合比からバルブ４０，４２の必要開時間すなわちパルス数を算出する。
【００２５】
（３）前記溶媒の内、組成比の大きい溶媒のバルブの導通を吸引区間の開始、終了区間に２分して割り当て、組成比の小さい溶媒のバルブの導通が中間となるように、バルブ開閉の順番を予め決めておく。
（４）位置検出により割込信号発生回路６２より割り込みがあったときには、吸引区間の開始位置を見つめるためのカウント作動を行う。
（５）吸引区間が開始されると、組成比の大きい第一溶媒のバルブ４０の必要開パルス数の１／２（吸引区間開始時と完了時に分割するため）を設定し、同時にインターフェース６４に該当するバルブ４０の開信号を出力する。
【００２６】
（６）カウントが完了したら、ＣＰＵ６０はインターフェイス６４を介してバルブ４０の閉信号を出力する。そして、組成比の小さい第二溶媒のバルブ４２の開パルス数をカウンタにセットし、同時にインターフェース６４を介してバルブ４２の開信号を出力する。
（７）組成比の小さい第二溶媒の吸引が終了したら、前記（５）と同様にして再度組成比の大きい第一溶媒の、残り半分の吸引を行う。
以上で一吸引区間での制御が終了する。
【００２７】
パルス数の算出
ところで、デリバリーヘッド用プランジャー２４のカム２８ａは２１０度の吸引区間を有しているが、開始、終了の１５度は加減速区間となっており、一定に吸引する区間と比べて吸引の量は少ない上にチェック弁の遅れもあり、低圧混合を行う区間として考えるには安定性に欠けるといえる。このため、バルブ開時間を決定するパルス数の算出にあたり、この区間は混合の対象となる吸引区間から半分の１５度だけ除外してある。つまり、吸引区間は１９５度として考えている。
【００２８】
ここで、カムが１９５度回転する間にパルスモータドライブ回路７２に与えるパルス数を求めると、
パルスモータ１回転のパルス数：
３６０／１．８×１６＝３２００
（ここで、１６：マイクロステップ数、１．８：パルスモータの分解能）
カム軸一回転のパルス数：
３２００×３．１４＝１００４８
（ここで、３．１４：ギア比）
吸引区間のパルス数：
１００４８×１９５／３６０＝５４４２
（ここで、１９５：吸引区間角度）
つまり、一回の吸引工程でのパルス数は５４４２パルスであり、これが１００％に相当する。従って、１％あたりのパルス数は５４．４２パルスである。本実施例ではこの数字を元にパルス数を求め、以下の補正を行う。
【００２９】
圧力によるパルス数補正
一般にプランジャーポンプでは圧力が上昇すると流量が低下するという現象が生じる。これは、圧力の上昇により、デリバリーヘッド２１ａ内で吸引から吐出に変わるとき、ヘッド内での予圧区間が生じること（吸引は大気圧、吐出はカラム圧）、また、チェック弁の切り替わり時の漏れが圧力が大きくなると増加することに起因する。これは、実質的な吸引区間の減少を意味し、低圧混合時の濃度を制御する上で同じパルス数を与えて同じ時間バルブを開閉しても、圧力が高くなると濃度は濃い方に変化することになる。
【００３０】
以上の点を考慮すると、圧力上昇に従って濃度対パルス数の関係を変えること、つまり圧力上昇の度合いによりパルス数を減少させる補正が必要となる。
このため、本実施例では以下に示す圧力補正を行っている。
すなわち、圧力上昇による流量の低下は、本実施例では「ＰＲＥＳＳ  ＣＯＭＰ」という設定値にて補正を行っている。この値は圧力が１００ｋｇ／ｃｍ２上昇したときに、何％流量（モータ駆動パルス数）を増加させるかという数値である。
【００３１】
吐出する量（流量）とは、すなわち吸引する量であり、低圧混合でもこの圧力補正値はそのまま使用できる。しかし、実測すると、ＰＲＥＳＳ  ＣＯＭＰの値をそのまま用いたのでは補正量が大きすぎるという結果から、ＰＲＥＳＳ  ＣＯＭＰの４２％の値を採用した。
補正計算式：
パルス数×｛１−（ＰＲＥＳＳ  ＣＯＭＰ  ×  ＰＲＥＳＳ  ×  ０．４２）／１００｝
（ここで、ＰＲＥＳＳ  ＝  １０秒間の平均圧力、ＰＲＥＳＳ  ＣＯＭＰ：１００ｋｇ／ｃｍ２圧力上昇したときの流量増加係数（％））
【００３２】
ポンプ差によるパルス補正
前記「パルス数の算出」で求めた１％当たりのパルス数は、ポンプ間の特性のばらつきによりすべての装置に共通では使えない場合がある。これはチェック弁の性能にばらつきがあるためと考えられる。また、使用する溶媒の粘性によりチェック弁の作動スピードが変わり、且つ圧縮率の差により吐出から吸引への切り替わり時に吸引される溶媒量が変化する。このため、単位濃度当たりのパルス数を固定して使用していると、ポンプ間や使用する溶媒によって混合濃度精度が変化してくる。この結果、０−１００％のリニアグラジェント実行時に５０％付近にて段差が生じるという現象が生じる（図４参照）。
【００３３】
そこで、単位濃度当たりのパルス数を補正するために、最終的に求まったパルス数（圧力補正実施後の値）に対し、０．１％単位で補正できる係数ＬＰＧ  ＣＯＭＰを設定可能としている。この数値は１．５００〜０．５００までの範囲で設定可能であり、この値がパルス数に直接掛けられる。この補正結果が図５に示されており、図４では５０％付近で混合比が直線的に変化していないが、図５ではこの点が大幅に改善されている。
【００３４】
バルブ差によるパルス数補正
例えば、閉じるときのスピードが比較的遅いバルブと、開くスピードが比較的早いバルブとの間で、混合を行う場合には、遅い方のバルブの溶媒が早い方のバルブ側に流れ込む現象を生じ、これが混合精度低下を引き起こす。この影響は組成比の小さい時、例えば組成比の低い溶媒が１−５％程度となるような時に顕著に現れる。
この現象を防ぐため本実施例においては、制御手段１８によるバルブ切り替わり時の制御で、開いているバルブが閉じ、閉じていたバルブが開くときの時間差を電気回路にて強制的に１６ｍｓｅｃ程度ずらすようにしている（図６参照）。この結果、バルブ開閉時間のばらつきにより期待される混合精度が得られない現象を改善することができる。
【００３５】
しかし、本実施例では両バルブを閉じる時間を設けることにより、次に開くバルブの開時間がそれ時間分だけ短くなり、実質的に所定の開時間だけバルブが開けなくなる。本実施例ではこの減少分を補正するためにＶＡＬＶＥ  ＣＯＭＰという補正値を使用する。
設定値は０．１％単位で変更可能であり、０．１％につき５．４パルス（パルス数の算出で求めた１％当たりのパルス数５４．４２の１／１０）が最終的に求めた濃度に対応したパルス数に加算される。
この結果、図７に示すように１％での混合比が所定の値よりも低かった現象が図８に示すように解消され、１％の混合比の精度が高くなる。
【００３６】
図９には本発明の第二実施例にかかるポンプ装置のデリバリーヘッド用プランジャーのプロフィールと吸引溶媒切替状態が示されている。
同図に示すように組成比の小さい溶媒の設定濃度が１０％以下の場合には、一吸引工程につき毎回１０％以下の吸引時間を設けるのではなく、複数吸引に一度組成比の小さい溶媒の吸引を行うことが好適である。すなわち、組成比が１０％以下程度の溶媒をポンプの毎回の吸引工程で吸引すると、バルブ切替に伴う乱流の発生等が頻繁に生じ、該組成比の小さい溶媒の吸引量に与える影響が大きくなる。そこで本実施例においては、組成比が１０％以下の溶媒については複数吸引に一度吸引を行うこととしているのである。
【００３７】
また、組成比が１０％以下程度ではなくても、流量が大きくなると同様の状況になる場合がある。例えば、流量が３ｍｌ／ｍｉｎ以上になると、組成比が１０％以下ではなくても複数吸引に一度吸引を行う場合がある。
なお、前記各実施例においては、本発明にかかるポンプ装置をＨＰＬＣ用ポンプ装置として用いた例について説明したが、これに限られるものではなく、各種用途に用いることができる。
【００３８】
また、前記各実施例においては、吸引対象となる溶媒が二種類の場合について説明したが、これに限られるものではなく、三種類以上の溶媒についても同様に組成比の大きな溶媒をポンプによる吸引開始、完了前後に対応させることで、同様の効果を得ることができる。例えば組成比の順に溶媒Ａ＜Ｂ＜Ｃ…とすると、Ａの吸引区間を中央へ、Ｂをその前後に、ＣをＢのその前後に…という順に割り振ることが好適である。
また、本発明は複数のポンプヘッドを並列配置し、交互に吸引・吐出する方式のポンプ装置にも適用可能である。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように本発明にかかる複数種流体混合ポンプ装置によれば、プランジャの駆動に、パルスモータを用い、パルスモータの駆動に用いられているパルス数に基づき、シリンダへ吸引される複数種流体の切り替えを行うようにしたので、カムの位置情報を得るための部品を、別個に設けたものに比較し、簡単な構成で、組成比の正確な制御ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施例にかかる複数種流体混合ポンプ装置の概略構成の説明図である。
【図２】第一実施例にかかるポンプ装置のデリバリーヘッド用プランジャーとモディファイヤヘッド用プランジャーの作動プロフィールの説明図である。
【図３】第一実施例にかかるポンプ装置のデリバリーヘッド用プランジャーのプロフィールおよび溶媒切替状態の説明図である。
【図４】第一実施例にかかるポンプ装置の単位濃度当たりのパルス数を補正する前の組成比の変化を示す説明図である
【図５】第一実施例にかかるポンプ装置の単位濃度当たりのパルス数を補正した後の図４相当図である。
【図６】第一実施例においてバルブ全閉状態の説明図である。
【図７】第一実施例においてバルブ全閉状態の補正をする前の組成比の変化を示す図である。
【図８】第一実施例においてバルブ全閉状態の補正した後の図７相当図である。
【図９】第二実施例にかかるポンプ装置のデリバリーヘッド用プランジャーのプロフィールおよび溶媒切替状態の説明図である。
【符号の説明】
１０    ポンプ装置
１４    切替手段
１６    検出手段
１８    制御手段
６６    カウンター回路（カウンタ）
７０    パルスモータ
【図１】
0003621829.tif 000002
【図２】
0003621829.tif 000003
【図３】
0003621829.tif 000004
【図４】
0003621829.tif 000005
【図５】
0003621829.tif 000006
【図６】
0003621829.tif 000007
【図７】
0003621829.tif 000008
【図８】
0003621829.tif 000009
【図９】
0003621829.tif 000010