(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水溶性酸性ガスを含有する第１のガスと、水溶性塩基性ガスを含有する第２のガスとを合流させる際に、
第１のガス及び第２のガスの少なくともいずれか一方に洗浄水を注入して同伴させ、
次いで、第１のガスと第２のガスとを合流させ、合流したガスから洗浄水を分離し、
洗浄水を分離した合流ガス中の酸性ガスと塩基性ガスとの中和塩の含有率を小さくすることを特徴とするガスの洗浄方法。
【請求項２】
洗浄水が注入された第１のガス及び／又は第２のガスがラインミキサーを通過するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のガスの洗浄方法。
【請求項３】
水溶性酸性ガスを含有する第１のガスと、水溶性塩基性ガスを含有する第２のガスとを合流させる際に、合流ガス中の水溶性酸性ガスと水溶性塩基性ガスとの中和塩の含有率を小さくする装置であって、
第１の配管と、
第２の配管と、
第１の配管と第２の配管とを合流させる合流部と、
合流部の上流で第１の配管に設けられた第１の洗浄水注入口と、
合流部の上流で第２の配管に設けられた第２の洗浄水注入口と、
合流部の下流に設けられた気液分離器とを備え、
第１のガス及び第２のガスをそれぞれ第１の配管及び第２の配管に流し、第１及び第２の洗浄水注入口の少なくともいずれか一方から洗浄水を注入し、次いで気液分離器で洗浄水を分離することにより、気液分離器から流出する合流ガス中の中和塩の含有率を小さくすることを特徴とするガス洗浄装置。
【請求項４】
第１の配管及び第２の配管には、それぞれ第１の洗浄水注入口及び第２の洗浄水注入口の後にラインミキサーが設けてあることを特徴とする請求項３に記載のガス洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、ガスの洗浄方法及びその装置に関し、更に詳細には、水溶性酸性ガスを含有する第１のガスと、水溶性塩基性ガスを含有する第２のガスとを合流させる際に、合流ガス中の酸性ガスと塩基性ガスとの中和塩の含有率を小さくするためにガスを洗浄する方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
石油精製工場或いは石油化学工場等の工場では、物質をガス状で工程に従って順次処理することが多い。そのようなガスの処理工程では、第１のガスと同じような成分を主成分とする第２のガスがある場合、第１のガスと第２のガスとを合流させ、合流したガスを処理工程で処理する方が第１のガスと第２のガスとを別々に処理するより経済的である。
しかし、その際、第１のガスが酸性ガスを含有し、第２のガスが塩基性ガスを含有する時、合流ガス中で酸性ガスと塩基性ガスとが中和して中和塩を生成し、その中和塩が、合流ガスの処理工程で処理の障害になる。
【０００３】
例えば、石油精製工場或いは石油化学工場では、水素を比較的高い含有率で含有するガスを水素回収装置に送り、そこで水素を回収して、回収した水素を再びプロセスで使用することが通常行われている。水素回収装置としては、例えば膜分離装置及び吸着分離装置が従来から多用されている。
水素を比較的高い含有率で含有するガスは、その出所により、塩素ガスを含む系統のものと、アンモニアを含む系統のものとがある。塩素ガスを含む系統のガスは、例えばガソリンのオクタン価を高める接触改質装置等から発生し、アンモニアを含む系統のガスは、水素化脱硫装置等から発生するオフガスをアミン洗浄して得られる。
【０００４】
ところで、塩素ガスを含む系統のガスと、アンモニアを含む系統のガスとから別々に水素を回収するのは、別々に水素回収装置を必要とし、それだけ回収コストが嵩むので、塩素ガスを含む系統のガスとアンモニアを含む系統のガスとを合流させ、一つの水素回収装置で水素を回収するのが望ましい。
しかし、塩素ガスを含む系統のガスとアンモニアを含む系統のガスとを合流させると、塩化アンモニウムが生じ、水素回収装置に送る途中で、或いは水素回収装置でトラブルが発生するので、従来、図５に示すようなフローの装置で塩化アンモニウムを洗浄、除去していた。
【０００５】
以下に簡単に従来の塩化アンモニウム除去装置（以下、簡単に除去装置と言う）の構成を説明する。
除去装置１０は、充填材を充填してなる充填層１２を有する洗浄塔１４と、洗浄水循環ポンプ１６と、フィルタ１８とを備えている。
微量の塩素を含む水素リッチガス及び微量のアンモニアを含む水素リッチガスは、それぞれ第１の配管２０及び第２のは配管２２を経て合流した後、ガス送入管２４を通って洗浄塔１４の下部から洗浄塔１４に流入する。
一方、洗浄水は、洗浄水循環ポンプ１６により循環ライン２６を経由して、洗浄塔１４の塔内上部に設けられたノズルから流下し、充填層１２でガスと気液接触してガスを洗浄しつつ塩化アンモニウムを溶解する。塩化アンモニウムを溶解した洗浄水は、抜き出しライン２８により一部が抜き出され、残りの大部分が再び洗浄塔１４に送られる。また、抜き出された洗浄水の量に見合う量の新しい洗浄水が循環ライン２６にチャージされる。
洗浄されたガスは、フィルタ１８で異物が除去され、水素を回収するために、水素回収装置に送られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述の従来の除去装置では、短時間でフィルタ１８が目詰まりする問題が生じていた。フィルタ１８が目詰まりを起こすと、フィルタ１８での圧力損失が上昇して、高い送入ガス圧力が必要となる。
ところが、送入ガス圧力は、除去装置より上流の装置で制御されていて、除去装置で送入圧力を上げるわけにはいかない。そのため、送入ガス圧力が不足して、必要な量のガスを除去装置から次の水素回収装置に送ることが出来ない。その結果、工場全体の水素の需給バランスが崩れ、工場の生産計画に支障を来すことがしばしばあった。
【０００７】
そこで、本発明者は、フィルタ１８の目詰まりの原因を調べたところ、塩化アンモニウムの結晶がフィルタ１８のフィルタエレメントに堆積するために、フィルタ１８が目詰まりすることが判った。即ち、従来の除去装置は、フィルタ１８を目詰まりさせないような程度まで塩化アンモニウムを十分に除去することができないことが判った。しかも、塩素の含有量が１PPM （mol 基準）前後で、アンモニアの含有率が数十PPM （mol 基準）前後であっても、塩化アンモニウムが生成することが判った。従って、オフガス等から得られるガスには一般にアンモニアが存在する以上、極く微量の塩素を含むガスが、そのガスに合流しても、塩化アンモニウムが生成すると考える必要がある。
塩化アンモニウムを除去する方法は、従来から多くの異なる方法が提案され、また実施されているが、石油精製工場等の生産現場では、生産現場に適用できるような簡単なプロセスで、かつ確実に塩化アンモニウムを除去できる実用的な方法が必要である。
【０００８】
以上の説明では、塩素ガスを含有する水素リッチガスとアンモニアガスを含有する水素リッチガスとを合流させた際に生じる塩化アンモニウムを例にして説明したが、塩素ガス以外の酸性ガス或いはアンモニアガス以外の塩基性ガスを含む場合であっても、同じ問題が生じる。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、水溶性酸性ガスを含有する第１のガスと、水溶性塩基性ガスを含有する第２のガスとを合流させる際に、合流ガス中の酸性ガスと塩基性ガスとの中和塩の含有率を簡単なプロセスで確実に小さくするような方法を提供し、かつその実施装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前述の塩化アンモニウムの場合を例にすると、従来の方法は、第１の配管を流れるガス中の塩素と第２の配管を流れるガス中のアンモニアから生成した塩化アンモニウムを同伴するガスを洗浄塔で洗浄し、塩化アンモニウムを溶解、除去している。
本発明者は、それよりは寧ろ、塩素を含むガス及びアンモニアを含むガスを別々に洗浄水と気液接触させて塩素及びアンモニアをそれぞれ洗浄水に溶解させ、溶解した洗浄水をガスから分離する方法の方が、塩化アンモニウムを確実に除去できるのではないかと考え、また、塩素を含むガス及びアンモニアを含むガスのいずれか一方に洗浄水を注入しても合流ガスの塩化アンモニウムの含有率を低減できるのではないかと考え、実装置を使用して、種々実験した結果、本発明を完成するに至った。
【００１１】
上記目的を達成するために、上述の知見に基づき、本発明に係るガスの洗浄方法は、水溶性酸性ガスを含有する第１のガスと、水溶性塩基性ガスを含有する第２のガスとを合流させる際に、
第１のガス及び第２のガスの少なくともいずれか一方に洗浄水を注入して同伴させ、
次いで、第１のガスと第２のガスとを合流させ、合流したガスから洗浄水を分離し、
洗浄水を分離した合流ガス中の酸性ガスと塩基性ガスとの中和塩の含有率を小さくすることを特徴としている。
【００１２】
本発明方法が適用できる水溶性酸性ガスとは、例えば塩化水素、二酸化イオウであり、水溶性塩基性ガスとは、例えばアンモニアガス、メチルアミンガスである。
本発明方法で使用する洗浄水は、水道水等の清浄な水、望ましくはボイラー給水用の水である。洗浄水の注入量は、水溶性酸性ガス及び水溶性塩基性ガスの種類、性状により異なり、実験等にて予め決定する。水溶性酸性ガス又は水溶性塩基性ガスは第１又は第２のガスに同伴された洗浄水に溶解し、合流した際に中和塩を生成しない。
合流ガスから洗浄水を分離するには、既知の気液分離器を使用する。気液分離器として、例えば横型又は縦型の槽に洗浄水を同伴するガスを導入し、重力により比重差で液とガスとに分離する槽、或いはサイクロン等の遠心分離式のものでも良い。
【００１３】
本発明の実施態様は、洗浄水が注入された第１のガス及び／又は第２のガスがラインミキサーを通過するようにしたことを特徴としている。
ラインミキサーを通過することにより、第１のガス又は第２のガスと洗浄水とが十分に攪拌、混合され、それだけ多量に水溶性酸性ガス又は水溶性塩基性ガスが洗浄水中に溶解する。
尚、ラインミキサーとは、例えばスイング式逆止弁、オリフィス、渦巻き式ミキサー等の既知のラインミキサーである。
【００１４】
本発明方法の好適な実施態様は、第１のガスが微量の塩素を含有する水素リッチガスで、第２のガスが微量のアンモニアを含有する水素リッチガスであって、第１のガスと第２のガスとを合流させた際に、合流ガス中の塩化アンモニウムの含有率を小さくするようにガスを洗浄する方法である。
本実施態様では、第１の配管内を流れる第１のガスに１：１から  ５００：１の気液比率（Ｎｍ3 ：リットル) で洗浄水を注入し、または第２の配管内を流れる第２のガスに１：１から５００：１の気液比率（Ｎｍ3 ：リットル) で洗浄水を注入し、第１の配管の注入点から第１の配管に沿って相当長さ２０Ｄ1 （Ｄ1 は第１の配管の内径である。）以上の下流位置であって、または第２の配管の注入点から第２の配管に沿って相当長さ５Ｄ2 （Ｄ2 は第２の配管の内径である。）以上の下流位置で、洗浄水を注入した後の第１のガスと第２のガスを合流させ、
次いで、合流したガスから気液分離器により洗浄水を分離することにより、気液分離器から流出する合流ガス中に含まれる塩化アンモニウムの含有率を低下させる。
【００１５】
本実施態様において、微量の塩素とは、塩素含有量が１００PPM （mol 基準）以下を意味し、また、微量のアンモニアとは、アンモニア含有量が１００PPM （mol 基準）以下を意味する。
塩素含有量及びアンモニア含有量を１００PPM （mol 基準）以下としたのは、石油精製工場及び石油化学工場を含む化学工場では、水素を回収するガスの発生源を考慮すると、水素を主成分とするガス中の塩素又はアンモニアの含有量が１００PPM （mol 基準）以上になるのは極めて稀であるからである。
【００１６】
また、上述の実施態様において、第１のガスに注入する洗浄水の注入量を気液比率（Ｎｍ3 ：リットル) で言って１：１から５００：１の範囲に限定したのは、５００：１以下では、塩素を溶解させるのが難しく、１：１以上にしても効果がそれほど上がらないからである。
また、第２のガスに注入する洗浄水の注入量を気液比率（Ｎｍ3 ：リットル) で言って１：１から５００：１の範囲に限定したのは、５００：１以下では、アンモニアを溶解させるのが難しく、１：１以上にしても効果がそれほど上がらないからである。
【００１７】
更に、上述の実施態様において、第１の配管の注入点から第１の配管に沿って相当長さ２０Ｄ1 （Ｄ1 は第１の配管の内径である。）以上の下流位置であって、または第２の配管の注入点から第２の配管に沿って相当長さ５Ｄ2 （Ｄ2 は第２の配管の内径である。）以上の下流位置で、洗浄水を注入した後の第１のガスと第２のガスを合流させたのは、それ以下の相当長さでは、第１のガス又は第２のガスと洗浄水とが気液接触する接触長さが不足して、洗浄水が第１のガス中の塩素又は第２のガス中のアンモニアを所定の通り溶解することができないからである。
尚、本明細書で、相当長さとは、エルボ、ティー、異径継ぎ手、弁等の配管を構成する配管部品の圧力損失をそれと等価の圧力損失を与える同一内径の直管の長さに換算して、配管自体の長さに加えたものである。
【００１８】
上述の発明方法を実施する本発明に係る装置は、水溶性酸性ガスを含有する第１のガスと、水溶性塩基性ガスを含有する第２のガスとを合流させる際に、合流ガス中の水溶性酸性ガスと水溶性塩基性ガスとの中和塩の含有率を小さくする装置であって、
第１の配管と、
第２の配管と、
第１の配管と第２の配管とを合流させる合流部と、
合流部の上流で第１の配管に設けられた第１の洗浄水注入口と、
合流部の上流で第２の配管に設けられた第２の洗浄水注入口と、
合流部の下流に設けられた気液分離器とを備え、
第１のガス及び第２のガスをそれぞれ第１の配管及び第２の配管に流し、第１及び第２の洗浄水注入口の少なくともいずれか一方から洗浄水を注入し、次いで気液分離器で洗浄水を分離することにより、気液分離器から流出する合流ガス中の中和塩の含有率を小さくすることを特徴としている。
【００１９】
本発明の好適な実施態様は、第１の配管及び第２の配管には、それぞれ第１の洗浄水注入口及び第２の洗浄水注入口の後にラインミキサーが設けてあることを特徴としている。
本実施態様で使用するラインミキサーは、例えばスイング式逆止弁、オリフィス、渦巻き式ミキサー等の既知のラインミキサーである。
【００２０】
【作用】
本発明装置では、第１の配管又は第２の配管内でそれぞれ水溶性酸性ガスを含む第１のガス又は水溶性塩基性ガスを含む第２のガスと洗浄水とを気液接触させて、第１のガス中の水溶性酸性ガス又は第２のガス中の水溶性塩基性ガスをそれぞれ溶解し、水溶性酸性ガス又は水溶性塩基性ガスを溶解した洗浄水とガスとを気液分離することにより、合流ガス中の中和塩の含有率を小さくすることができる。
【００２１】
【実施例】
以下、添付図面を参照し、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明する。
本実施例は、塩素ガスを含有する水素リッチガスとアンモニアガスを含有する水素リッチガスとを合流させる際に、合流ガス中の塩化アンモニウムの含有率を小さくするために本発明に係るガスの洗浄方法を適用した例である。図１は本実施例方法を実施するための本発明に係るガス洗浄装置の実施例の構成を示すフローシートである。
本実施例のガス洗浄装置３０は、図５に示す従来の除去装置１０を改造した装置であって、第１のガスを流す第１の配管３２（従来の配管２０の転用、管径（呼び径）６インチ）と、第２のガスを流す第２の配管３４（従来の配管２２の転用、管径（呼び径）４インチ））と、元の洗浄塔１４（塔径：８５０mm、塔高：７，７００mm）を転用し、内部の充填層１２を撤去して構成した気液分離器３６と、フィルタ１８とを備えている。
【００２２】
更に、第１の配管３２には、第１の配管３２と第２の配管３４との合流点３８から上流に向け第１の配管３２に沿って相当長さ６０Ｄ1 （Ｄ1 は第１の配管の内径）の位置に第１洗浄水注入口４０が設けてある。同様に、第２の配管３４には、合流点３８から上流に向け第２の配管３４に沿って相当長さ８０Ｄ2 （Ｄ2 は第２の配管の内径）の位置に第２洗浄水注入口４２が設けてある。第１及び第２洗浄水注入口４０及び４２では、それぞれ第１及び第２洗浄水供給管４４及び４６が、図２に示すように、ピトー管状に接続されている。合流点３８から気液分離器３６までの配管は、管径（呼び径）６インチであって、その相当長さは３０Ｄ（Ｄは配管の内径）である。
気液分離器３６の底部には、分離した洗浄水を排出する排出管４８が設けてある。
【００２３】
改変例
本改変例のガス洗浄装置５０は、実施例装置３０の改変例であって、図３に示すように、第１および第２の洗浄水注入口４０及び４２の直後に、ラインミキサーとして配管と同径の市販のスィング式逆止弁５２及び５４が設けてある。これにより、一層、ガスと洗浄水との気液接触が効率的に行われ、塩素ガス及びアンモニアをそれだけ多量に溶解することができる。
図４は、改変例のガス洗浄装置５０の鳥瞰図である。
【００２４】
次に、本ガス洗浄装置３０の運転方法を説明する。水素を主成分とし、塩素を１００PPM （mol 基準）以下の含有率で含有する第１のガスを第１の配管３２に流し、アンモニアを１００PPM （mol 基準）以下の含有率で含有する第２のガスを第２の配管３４に流す。
次いで、第１及び第２洗浄水注入口の少なくともいずれか一方から洗浄水を第１又は第２のガスに注入する。第１及び第２のガスは、合流点３８で合流した後、気液分離器３６に入り、そこで気液分離され、洗浄水は底部の排出管４８から排出される。一方、ガスは、低い塩化アンモニウムの含有率で気液分離器３８の上部から流出してフィルタ１８を通って、次の水素回収装置（図示せず）に入る。
【００２５】
実験例１
本発明方法を評価するために、改変例のガス洗浄装置５０（図３参照）を使用し、石油精製工場で実際に発生するガスを試料ガスとして使って、以下の条件で実験例１を実施した。
ガス洗浄装置５０の系内圧力及び温度をそれぞれ２５．２kg/cm2G 及び３８°C に保持した。第１の配管３２には、水素を主成分とし、１PPM （mol 基準）の塩素を含み、残部がＣ1 からＣ5 の軽質炭化水素ガスであって、平均分子量が５．５のリホーマーガスを１７，０００Ｎｍ3 ／Ｈｒの流量で流した。一方、第２の配管３４には、水素を主成分とし、７０PPM （mol 基準）のアンモニアを含み、残部がＣ1 からＣ4 の軽質炭化水素ガスであって、平均分子量が１１．８のオフガスを６，０００Ｎｍ3 ／Ｈｒの流量で流した。
本実験例では、第１洗浄水注入口４０からボイラ給水用の水（以下、単に洗浄水と言う）を３Ｔ／Ｈｒの流量で注入した。よって、気液比率（Ｎｍ3 ：リットル) は５．７：１であった。
【００２６】
気液分離器３６でガスから洗浄水を分離した後、気液分離器３６から流出するガスに含まれる塩化アンモニウムの絶対的含有率を測定しようとたが、塩化アンモニウムの含有量が微量のため測定出来なかった。そこで、塩化アンモニウムの含有量が多ければ、フィルタ１８の目詰まりが進行し、そのためフィルタ１８の圧力損失が高くなることに注目し、フィルタ１８の圧力損失が０．１kg/cm2上昇するのに要する時間を測定することにした。
実験例１では、フィルタ１８の圧力損失が０．１kg/cm2上昇するのに要する時間（以下、簡単に０．１kg/cm2上昇時間と言う）は、表１に示す通り、１，４４０時間であった。
【表１】
0003710847.tif 000002
【００２７】
実験例２
本実験例は、第１洗浄水注入口４０からの洗浄水注入に代えて、第２洗浄水注入口４２から洗浄水を３Ｔ／Ｈｒの流量で、従って、２．７：１の気液比率（Ｎｍ3 ：リットル) で注入したことを除いて、実験例１と同じ条件で同じようにしてガスの洗浄方法を実施した。
その結果、表１に示す通り、０．１kg/cm2上昇時間は、表１に示す通り、２，１６０時間であった。
【００２８】
実験例３
本実験例では、第１洗浄水注入口４０及び第２洗浄水注入口４２から洗浄水を実験例１及び２の条件で注入したことを除いて実験例１と同様にしてガスの洗浄方法を実施した。
その結果、表１に示す通り、０．１kg/cm2上昇時間は、表１に示す通り、４，３２０時間であった。
【００２９】
実験例４
洗浄水注入口の直後に逆止弁を設けていないガス洗浄装置３０（図１参照）を使用して、実験例１と同じ条件で流入するガスに実験例１と同じ洗浄水注入条件で洗浄水を注入し、ガスの洗浄方法を実施した。
その結果、表１に示す通り、０．１kg/cm2上昇時間は、表１に示す通り、２８０時間であった。
【００３０】
実験例５
実験例４と同様にガス洗浄装置３０（図１参照）を使用して、実験例１と同じ条件で流入するガスに実験例２と同じ洗浄水注入条件で洗浄水を注入し、ガスの洗浄方法を実施した。
その結果、表１に示す通り、０．１kg/cm2上昇時間は、表１に示す通り、３６０時間であった。
【００３１】
実験例６
実験例４と同様にガス洗浄装置３０（図１参照）を使用して、実験例１と同じ条件で流入するガスに実験例３と同じ洗浄水注入条件で洗浄水を注入し、ガスの洗浄方法を実施した。
その結果、表１に示す通り、０．１kg/cm2上昇時間は、表１に示す通り、９６０時間であった。
【００３２】
従来例
従来の除去装置１０を使用し、実験例１と同じ条件で流入するガスから前述した従来の方法に従って塩化アンモニウムを除去した。
その結果、表１に示す通り、０．１kg/cm2上昇時間は、表１に示す通り、２４時間であった。
【００３３】
実験例１から実験例６の実験例と従来例との比較は、実験例の０．１kg/cm2上昇時間が、従来例に比べて格段に、具体的には最低でも１２倍、最長では１８０倍に長くなっていることを示す。よって、実験例は、従来例に比べて合流ガス中の塩化アンモニウムの含有率が遙かに小さいことが実証された。しかも、実験例１から実験例６の０．１kg/cm2上昇時間は、実用上で十分満足できる程度に長い。よって、実験例１から実験例６は、本発明方法の効果が顕著であることを実証している。
【００３４】
【発明の効果】
本発明方法によれば、水溶性酸性ガスを含む第１のガス及び水溶性塩基性ガスを含む第２のガスの少なくともいずれか一方に洗浄水を注入し、第１のガスと第２のガスとを合流させ、合流したガスから洗浄水を分離することにより、洗浄水を分離した合流ガス中に含まれる中和塩の含有率を従来の方法に比べて大幅に低下させることができる。これにより、生産現場に即座に適用できるような簡単で実用的なガスの洗浄方法を実現している。
本発明方法は、第１のガスが微量の塩素を含有する水素リッチガスで、第２のガスが微量のアンモニアを含有する水素リッチガスである場合に、合流ガス中の塩化アンモニウムの含有率を低下させるのに最適である。
本発明装置は、本発明方法を実施する経済的な装置を実現している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るガス洗浄装置の実施例であって、合流ガス中の塩化アンモニウムの含有率を低下させるのに適用した実施例の構成を示すフローシートである。
【図２】洗浄水注入口付近の拡大断面図である。
【図３】ガス洗浄装置の改変例の構成を示すフローシートである。
【図４】改変例の構成を示す鳥瞰図である。
【図５】従来の塩化アンモニウム除去装置の構成を示すフローシートである。
【符号の説明】
１０  従来の塩化アンモニウム除去装置
１２  充填層
１４  洗浄塔
１６  洗浄水循環ポンプ
１８  フィルタ
２０  第１の配管
２２  第２のは配管
２４  ガス送入管
２６  循環ライン
２８  抜き出しライン
３０  本発明に係る塩化アンモニウム除去装置
３２  第１の配管
３４  第２の配管
３６  気液分離器
３８  合流点
４０  第１洗浄水注入口
４２  第２洗浄水注入口
４４  第１洗浄水供給管
４６  第２洗浄水供給管
４８  排出管
５０  塩化アンモニウム除去装置の改変例
５２、５４  スィング式逆止弁
【図１】
0003710847.tif 000003
【図２】
0003710847.tif 000004
【図３】
0003710847.tif 000005
【図４】
0003710847.tif 000006
【図５】
0003710847.tif 000007