(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め指定された生産処理工程順に投入することによって生産物を生産するために、各工程に配設された処理装置及び生産物を前記各処理装置へ搬送する生産物搬送機器に指示を出す生産指示システムにおいて、
フロー識別情報が割り当てられた生産処理工程順を定義したフロー定義情報を格納するフロー定義情報記憶手段と、
生産処理対象となる生産物毎に、当該生産物を生産する際に使用する生産処理工程順のフロー識別情報と、当該生産処理工程順において通過した工程を認識するための処理進捗情報とを記憶する生産物情報記憶手段と、
フロー定義情報に従うと生産物に対して処理を施すことになる工程のうち生産物に実際に処理を施さずにスキップさせたい工程に対して、生産物をスキップさせるためのスキップ条件及びスキップの処理内容を含むスキップ指示情報を記憶するスキップ工程情報記憶手段と、
前記各記憶手段に設定された各情報に基づいて前記処理装置及び前記生産物搬送機器へ生産指示を出すとともに、生産物が生産処理工程順に従い通過する各工程においてスキップ指示情報に基づき当該生産物の当該工程への投入の是非を判定する生産指示制御処理手段と、
を有し、
前記生産指示制御処理手段は、スキップ指示情報が前記スキップ工程情報記憶手段に設定されている工程を生産物が通過する際に、当該工程に対してスキップ条件が設定されていないときにはスキップの内容に従ったスキップを実施し、スキップ条件が設定されているときには、そのスキップ条件に合致した情報が設定されている生産物のみ当該工程をスキップさせることを特徴とする生産指示システム。
【請求項２】
前記スキップ工程情報記憶手段の設定内容を更新するスキップ工程情報管理手段を有することを特徴とする請求項１記載の生産指示システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は生産指示システム、特に複数の工程に投入されることによって生産物を生産する場合において、予め決められた生産処理工程を柔軟に変更するための手法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体生産工場において生産物となる半導体（以下、「ロット」という）は、成膜、露光、エッチング、検査などの複数の生産工程を介して製造される。ただし、全てのロットが同一の順番に同一の工程を通過するのではなくロットの種類によっては異なる工程の流れ（以下、「フロー」という）に沿って製造されることになる。
【０００３】
図５は、このフローを説明するための概念図である。各ロットは、通常、生産工程に投入されると、図５（ａ）に示したように所定の工程を順次通過して処理される。なお、これをロット単位でなく工程単位に見たときのロットの流れを図６に示す。ただ、上記のように全てのロットが同一の順番に同一の工程を通過するとは限らず、図５（ｂ），（ｃ）に示したように、ロットの種類によって異なるフローで処理される。そのため、従来ではフローを定義したフロー定義情報を予め登録しておき、各ロットに対して適切なフロー定義情報を割り当てて、そのフロー定義情報に従った処理を各ロットに施すようにしている。この詳細について図を用いて説明する。
【０００４】
図７は、従来の生産指示システムを示した概略的な構成図である。従来における生産指示システム１は、上位コンピュータ２から送られてくる生産指示等の情報をフローテーブル３又はロット情報テーブル４に格納する生産指示受付処理部５と、各テーブル３，４の設定内容に従い、ロットに対して所定の処理を施す各処理装置６及び各処理装置６までロットを搬送する搬送機器７に対して指示を出す生産指示制御処理部８とを有している。
【０００５】
図８は、フローテーブル３の設定内容例を示した図である。フローテーブル３には、上位コンピュータ２から送られてくるフロー定義情報が予め登録されている。フロー定義情報は、ロットに対して施される処理の手順等が定義される。例えば、図８に示した例によると、フローＮＯ“Ｆ００１”に従って処理されるロットは、「工程コード」がＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄである４つの工程を「連番」で指定された昇順、すなわちＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの順に処理されて生産される。また、フローＮＯ“Ｆ００３”に従って処理されるロットは、「工程コード」がＢ，Ｆである２つの工程を「連番」で指定された昇順、すなわちＢ，Ｆの順に処理されて生産される。また、「処理装置等」には、当該工程における処理に使用される処理装置６、処理条件等の付加情報が設定される。「フローＮＯ」は、工程コード及び連番で特定される工程の流れ（生産処理工程順）を識別するための情報である。
【０００６】
図９は、ロット情報テーブル４のデータ構成例を示した図である。ロット情報テーブル４に登録される各ロットに関する情報は、ロットＮＯ、フローＮＯ、連番、工程コード及びその他の管理情報で構成され、処理対象となるロット数分のレコードが格納される。このうち、ロットＮＯ、フローＮＯ及びその他の管理情報は予め設定されており、その他は初期化されている。ロットＮＯは、処理対象となるロットを識別するための識別情報である。フローＮＯは、当該ロットがどのフローに従って処理されるかを特定するための情報であり、図８に定義されたフローＮＯのいずれかが選択され設定登録される。工程コードには、当該フローにおいて処理が完了した工程を把握するために、これから処理を行う工程の直前の工程コード、すなわち、処理が完了した最後尾の工程コードが保持される。その他の管理情報には、当該ロットの製造方式やチップ名等が格納される。ロット情報テーブル４のうち工程コードのみが生産指示制御処理部８によって逐次更新される。
【０００７】
次に、従来における動作について説明する。
【０００８】
生産指示制御処理部８は、前述したとおりロット情報テーブル４に設定された情報に基づき各ロットに対する生産指示を処理装置６又は搬送機器７へ出す。処理対象となる工程は、ロット情報テーブル４に設定された当該ロットのフローＮＯとフローテーブル３に定義されたフローＮＯとで関連づけをしながら各テーブル３，４の工程コード及び連番に基づき特定される。ロット情報テーブル４においていずれの処理工程も経ていないロットの連番及び工程コードは初期化された状態のままなので、生産指示制御処理部８は、当該ロットのフローＮＯに基づきフローテーブル３における工程コードと連番を取得し、当該ロットを投入すべき最初の工程を特定する。そして、工程コードと連番をロット情報テーブル４に書き込むとともにその先頭の工程にロットを投入するよう搬送機器７へ要求を発行する。生産指示制御処理部８は、搬送機器７から所定の工程へロットを投入したという搬送完了報告を受信すると、当該工程に設置の処理装置６へ処理開始要求を発行する。
【０００９】
生産指示制御処理部８は、処理装置６から処理完了報告を受信すると、その報告に含まれているロットＮＯをキーにしてロット情報テーブル４を検索して当該ロットのフローＮＯと連番を取得する。そして、フローＮＯと連番をキーにしてフローテーブル３を検索することで次に処理すべき工程の連番及び工程コードを取得する。その後は、上述したように取得した工程コードと連番をロット情報テーブル４へ書き込み、更にその工程にロットを投入するよう搬送機器７へ要求を発行する。当該ロットに対する前述した処理を当該フローにおける最後の工程が完了するまで以上の処理を繰り返し行う。
【００１０】
生産指示制御処理部８は、以上のようにフローテーブル３及びロット情報テーブル４の設定内容を参照しながら、更にロット情報テーブル４の連番、工程コードを逐次更新しながら各ロットの生産が行われるよう制御する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述した生産指示システムでは、各ロットに対してフローテーブル３に定義したいずれかのフロー定義情報を割り当てて、各フロー定義情報により定義された処理工程手順に従い処理を施すようにしている。ここで、何らかの理由により工程手順を変更して処理を施したい場合がある。
【００１２】
例えば、今まである製造工程を実施した後には必ずその検査処理を実施するようにしていたところを、過去の実績を分析した結果、その製造工程における製造技術が向上して製造誤差がほとんど発生しなくなったためその検査工程の実施を省略できると判断したとする。具体例をあげると、あるロットの種別に対しては、工程Ａ〜工程Ｎから構成されるフローａのうち製造工程Ｊの検査工程Ｋを通過させなくてよいとした場合、従来においては、工程Ａ〜工程Ｊ，工程Ｌ〜工程Ｎから構成されるフローｂを別途定義してフローテーブル３に登録し、更に、ロット情報テーブル４において該当するロットのフローＮＯをフローａからフローｂに変更しなければならなかった。なお、精度の許容範囲の関係上、検査工程Ｋを通過させる必要がある他のロット種別が存在する場合があるので、フローａから検査工程Ｋを削除することはできない。
【００１３】
更に、例えば、今まである製造工程を実施した後には必ずその検査処理を実施するようにしていたところを、過去の実績を分析した結果、その製造工程ではエラーがほとんど発生しないためその検査工程を抜き取り的に実施する程度でよいと判断したとする。この場合は、上記例においてフローｂを別途定義してフローテーブル３に登録し、更に、ロット情報テーブル４においてフローａを採用したロットのうち抜き取り的に検査工程Ｋを実施させる以外のロットのフローＮＯだけをフローｂに変更しなければならなかった。
【００１４】
このように、従来においては、ある工程をスキップさせたいときや抜き取り的にスキップさせたいときは、フロー定義情報を新規に作成し、必要に応じてロット情報テーブルの設定内容を変更しなくてはならず、このようなフローの変更に対応するのは非常に面倒であり手間がかかっていた。
【００１５】
本発明は以上のような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、工程をスキップさせるなど生産処理工程の流れの変更にも柔軟に対応することのできる生産指示システムを提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
以上のような目的を達成するために、本発明に係る生産指示システムは、予め指定された生産処理工程順に投入することによって生産物を生産するために、各工程に配設された処理装置及び生産物を前記各処理装置へ搬送する生産物搬送機器に指示を出す生産指示システムにおいて、フロー識別情報が割り当てられた生産処理工程順を定義したフロー定義情報を格納するフロー定義情報記憶手段と、生産処理対象となる生産物毎に、当該生産物を生産する際に使用する生産処理工程順のフロー識別情報と、当該生産処理工程順において通過した工程を認識するための処理進捗情報とを記憶する生産物情報記憶手段と、フロー定義情報に従うと生産物に対して処理を施すことになる工程のうち生産物に実際に処理を施さずにスキップさせたい工程に対して、生産物をスキップさせるためのスキップ条件及びスキップの処理内容を含むスキップ指示情報を記憶するスキップ工程情報記憶手段と、前記各記憶手段に設定された各情報に基づいて前記処理装置及び前記生産物搬送機器へ生産指示を出すとともに、生産物が生産処理工程順に従い通過する各工程においてスキップ指示情報に基づき当該生産物の当該工程への投入の是非を判定する生産指示制御処理手段とを有し、前記生産指示制御処理手段は、スキップ指示情報が前記スキップ工程情報記憶手段に設定されている工程を生産物が通過する際に、当該工程に対してスキップ条件が設定されていないときにはスキップの内容に従ったスキップを実施し、スキップ条件が設定されているときには、そのスキップ条件に合致した情報が設定されている生産物のみ当該工程をスキップさせるものである。
【００１７】
また、前記スキップ工程情報記憶手段の設定内容を更新するスキップ工程情報管理手段を有するものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、従来例と同様の構成要素には同じ符号を付ける。
【００１９】
図１は、本発明に係る生産指示システムの一実施の形態を示した概略的な構成図である。本実施の形態における生産指示システム１０は、生産指示受付処理部５、生産指示制御処理部１１及びスキップ工程テーブル管理部１２と、フローテーブル３、ロット情報テーブル４及びスキップ工程テーブル１３の３つのテーブルを有している。生産指示受付処理部５は、上位コンピュータ２から送られてくる生産指示等の情報をフローテーブル３又はロット情報テーブル４に格納する。生産指示制御処理部１１は、各テーブル３，４，１３の設定内容に従い、ロットに対して所定の処理を施す各処理装置６及び各処理装置６までロットを搬送する搬送機器７に対して指示を出す。スキップ工程テーブル管理部１２は、スキップ工程テーブル１３の設定内容の更新など保守管理を行う。
【００２０】
図２は、本実施の形態におけるスキップ工程テーブル１３の設定内容例を示した図である。本実施の形態においてスキップ工程テーブル１３は、スキップ対象とされた工程に対するスキップ指示情報が設定されたスキップ工程情報記憶手段として設けられており、スキップ対象とされる工程毎に、工程コード、スキップ条件、スキップ間隔、スキップ数及び通過ロット数カウンタを記憶するための領域が設けられている。工程コードは、スキップ対象とされる工程の工程コードである。スキップ条件には、当該スキップ指示情報の設定に従う条件が設定される。例えば、図２には、工程Ｅのスキップ条件として“製造方式＝"ＢＢＢ"”と設定されたスキップ指示情報の例が示されているが、これは、"ＢＢＢ"という製造方式に基づき製造されるロットのみが工程Ｅをスキップするということを表している。各ロットがどのような製造方式に従うかは、ロット情報テーブル４のその他の管理情報に格納されている。スキップ間隔及びスキップ数に関しては、図３を用いて説明する。
【００２１】
図３には、図２に示した工程Ｄのスキップ指示情報の例を模式した図が示されている。工程Ｄにおけるスキップ指示情報としてスキップ間隔が３、スキップ数が２と設定されているが、これは、図３に示されているように各ロットに割り当てたフロー定義情報に従うことにより工程Ｄに順次投入されるはずのロットのうち３つのロット間隔毎に工程Ｄにおける処理を施し、２つのロットをスキップするということを示している。図３に示した例に基づくと、工程Ｄでは、ステップ間隔が３なのでロット３，６，９とロットを２つずつとばして処理が施されることになり、スキップされるロット１，２，４，５，７，８は、生産指示制御処理部１１による搬送制御によって工程Ｂに搬送されず、スキップ対象とされない次の工程へ搬送されることになる。
【００２２】
なお、本実施の形態において例示したように（スキップ間隔−スキップ数）が１のときにはスキップ間隔毎にロットに対して処理を施すことになる。つまり、スキップ間隔さえ設定しておけばスキップ数の設定は不要である。ただ、本実施の形態ではスキップ数をあえて設定できるようにした。（スキップ間隔−スキップ数）が１でないとき、例えば、スキップ間隔が３、スキップ数が１、すなわち（スキップ間隔−スキップ数）が２のときには、上記スキップ間隔に設定された数での等間隔でスキップできない。このような場合を含めて考慮すると、本実施の形態では、工程Ｂに投入されるべきロットをスキップ間隔ずつのグループに分け、そのうちいくつのロットをスキップさせるかをスキップ数で指定すると表現する方が適切である。つまり、図３において、スキップ間隔が３、スキップ数が１と設定されていた場合は、３つずつのロット１〜３、ロット４〜６、ロット７〜９から構成される各グループにおいて１つのロットのみをスキップするということができる。通常は、ロット１，４，７、ロット２，５，８あるいはロット３，６，９と規則的にスキップされることになる。
【００２３】
通過ロット数カウンタは、上記スキップ間隔を求めるために各工程を通過したロットの数を保持するためのカウンタである。なお、「通過」としたのは、工程に投入され処理が実際に施されたか否か、すなわちスキップするしないにかかわらず、フロー定義情報には当該工程に投入されるように指定されているロットの数もカウントするためにこのような表現とした。
【００２４】
本実施の形態におけるフローテーブル３は、フロー定義情報記憶手段として設けられており、図８に示した従来例と同じテーブル構成で形成でき、また同じデータ構成のフロー定義情報を記憶することができる。
【００２５】
本実施の形態におけるロット情報テーブル４は、生産物情報記憶手段として設けられており、図９に示した従来例と同じテーブル構成で形成でき、また同じデータ構成のロットに関する情報を記憶することができる。
【００２６】
本実施の形態において特徴的なことは、工程をスキップさせるための条件を登録できるスキップ工程テーブル１３を設けるようにしたので、設定変更に手間のかかる既存のフローテーブル３及びロット情報テーブル４の設定内容を変更することなく工程をスキップさせることができるようにしたことである。
【００２７】
次に、本実施の形態における生産指示制御処理部１１の動作について図４に示したフローチャートを用いて説明する。
【００２８】
生産指示制御処理部１１が行う制御処理は、従来例と同様な基本動作に加えて本実施の形態において特徴とする工程スキップ処理を組み込んだ流れとなる。
【００２９】
生産指示制御処理部１１は、最初にロット情報テーブル４においていずれの処理工程も経ていないロットのフローＮＯと連番を取得する（ステップ１０１）。いずれの処理工程も経ていないロットの連番及び工程コードは初期化された状態のままなので、該当するロットを容易に見つけることができる。生産指示制御処理部１１は、当該ロットのフローＮＯに基づきフローテーブル３における連番により次の工程、すなわち処理されていない工程のうちの先頭の工程を特定し、その工程の工程コード及び連番を取得する（ステップ１０２）。図８に示した設定例に基づくと、フローＮＯ“Ｆ００１”に従い処理されるロットであれば、先頭の連番“１０”の工程コード“Ａ”を特定できる。そして、生産指示制御処理部１１は、特定した工程コードと連番をロット情報テーブル４に書き込み、更に取得した工程コードをキーにしてスキップ工程テーブル１３を検索する。検索した結果、当該工程に対するスキップ指示情報が登録されていないときには、当該工程はいかなる場合もスキップされないということであり、ステップ１０７以降の処理に移行する（ステップ１０４）。
【００３０】
一方、取得した工程コードに基づくスキップ指示情報が登録されている場合、スキップ工程テーブル１３において当該工程コードに対応する通過ロット数カウンタに１を加算することで更新する（ステップ１０５）。そして、当該ロットが投入されようとする工程においてスキップ対象とされるか否かについて以下のように判定する。これを図２に基づき説明する。
【００３１】
例えば、工程Ｄは、スキップ間隔が３、スキップ数が２なので、図３に示したように３の倍数の位置に投入されるロットにのみ処理が施され、他はスキップされることになる。図２の例によると、工程Ｄの通過ロット数カウンタは３０であり３の倍数なので、当該ロットは工程Ｄにおいてスキップ対象とはならず実際に処理されることになる。一方、工程Ｂは、スキップ間隔が２、スキップ数が１なので、２の倍数の位置に投入されるロットにのみ処理が施され、他はスキップされることになる。図２の例によると、工程Ｂの通過ロット数カウンタは１５であり２の倍数ではないので、当該ロットは工程Ｂにおいてスキップ対象となる。なお、通過ロット数カウンタの値を、本実施の形態における工程スキップ処理だけで用いるのであれば、通過ロット数の累計とはせずにスキップ間隔の倍数になる度に初期化するようにしてもよい。
【００３２】
このように、スキップ間隔、スキップ数及び通過ロット数カウンタの値の関係によって当該工程をスキップするか否かについて判定する。もし、スキップ対象とされたロットに対しては、当該工程において実際に処理を施すことなく次の工程に処理を移行する（ステップ１０６，１０１）。スキップ対象とされなかったロットに対しては、当該工程において実際に処理を施すことになる。すなわち、生産指示制御処理部１１は、搬送機器７へ搬送開始要求を送信することによって搬送指示を出す（ステップ１０７）。そして、生産指示制御処理部１１は、搬送機器７から当該工程へロットを投入したという搬送完了報告を受信すると（ステップ１０８）、その報告に含まれているロットＮＯをキーにしてロット情報テーブル４から特定される工程コードに該当する処理装置６へロットＮＯ、工程コード、処理条件を含む処理開始要求を送信することで処理指示を出す（ステップ１０９）。そして、生産指示制御処理部１１は、処理装置６から処理完了報告を受信すると（ステップ１１０）、その報告に含まれているロットＮＯでロット情報テーブル４を検索し、当該ロットのフローＮＯと連番を取得する（ステップ１０１）。そして、次の工程の工程コード及び連番を取得し（ステップ１０２）、上述した処理を次の工程コードが存在しなくなるまで繰り返し行う（ステップ１０３）。次の工程コードが存在しないときに当該ロットへ対する生産処理は完了したことになる。
【００３３】
以上のようにして、各ロットは、投入される各工程においてスキップ対象とされるかどうかということを判定されながらフローＮＯによって特定されたフローに沿って順番に各工程を流れることになる。
【００３４】
また、本実施の形態では、所定のスキップ間隔でスキップさせるだけでなく所定の条件を満たしたもののみをスキップさせることもできる。例えば、図２には、工程Ｅのスキップ条件として“製造方式＝"ＢＢＢ"”と設定されたスキップ指示情報の例が示されているが、これは、"ＢＢＢ"という製造方式に基づき製造されるロットのみが工程Ｅをスキップするということを表している。つまり、生産指示制御処理部１１は、ステップ１０２において取得した工程コードにより特定されたスキップ指示情報の「スキップ条件」に製造方式が設定されている場合は、ステップ１０６において上述した計算を行うのではなくスキップ工程テーブル１３に登録されている当該スキップ指示情報の「スキップ条件」に設定されている製造方式と、処理対象としているロットのロット情報テーブル４の「その他の管理情報」に設定されている製造方式とを比較して一致した場合には当該工程をスキップすることになる。
【００３５】
本実施の形態によれば、品質管理上あまり高精度が要求されない製造処理に対する検査工程や過去の実績からほとんどエラーが生じない製造処理に対する検査工程等、抜き取り的に検査処理を行う程度でいいような工程に対してスキップ指示情報を生成してスキップ工程テーブル１３に設定登録さえしておけば、スキップを反映させたフロー定義情報を新たに生成しなくても当該工程における処理をスキップさせることができる。また、スキップ工程テーブル管理部１２を介して設定登録したスキップ指示情報を変更するだけでそのスキップのさせ方を容易に変更することができる。更に、フローの変更に伴って生産指示制御処理部１１の機能を発揮させるプログラムを変更する必要もない。
【００３６】
また、数工程しか違わないフローでロットを生産しなくてはならないときでもスキップ指示情報の設定内容を操作するだけで同一のフローを用いて異なるフローを実現することができる。このように、生産に伴うフローの生成／更新やロットの進捗管理など生産管理や保守を容易に行うことができる。
【００３７】
なお、本実施の形態では、「スキップ条件」として製造方式を例にしたが、その他にもチップ種別などでもよいし、あるいはスキップ条件として複数の設定をするようにしてもよい。スキップ指示情報に設定するスキップ条件は、生産物の種類によって適切な条件を設定すればよい。また、「スキップ条件」と「スキップ間隔」とを組み合わせて設定してもよい。この場合は、ある製造方式のロットの中において設定された間隔で工程をスキップし、指定以外の製造方式のロットはスキップ対象外となる。もちろん、本発明は、スキップ工程テーブル１３を設けて、このテーブル１３にスキップ指示情報を設定し、あるいは変更することだけでフロー定義情報を変更することなく工程をスキップさせることができるということを特徴としており、本実施の形態において例示した以外の設定方法としてもよいことはいうまでもない。
【００３８】
また、本実施の形態では、スキップ工程情報管理手段としてスキップ工程テーブル管理部１２を生産指示システム１０の内部に搭載した構成としたが、これは、上位コンピュータ２や接続したその他の装置で実現するようにしてもよい。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、スキップさせたい工程に対してそのスキップさせるための条件が指定されたスキップ指示情報を記憶するスキップ工程情報記憶手段を設けたので、設定変更に手間のかかるフロー定義情報の新規生成／更新を行うことなく工程をスキップさせることができる。これにより、生産処理工程順の変更にも多大な負荷をかけることなく柔軟に対応することができる。
【００４０】
また、スキップ工程情報管理手段を設けたので、スキップのさせ方を容易に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る生産指示システムの一実施の形態を示した概略的な構成図である。
【図２】  本実施の形態におけるスキップ工程テーブルの設定内容例を示した図である。
【図３】  図２に示した工程Ｄのスキップ指示情報の設定内容を模式した図である。
【図４】  本実施の形態における生産指示制御処理部の動作を示したフローチャートである。
【図５】  ロットにおける工程の流れを説明するための概念図である。
【図６】  各工程におけるロットの流れを説明するための概念図である。
【図７】  従来の生産指示システムの一実施の形態を示した概略的な構成図である。
【図８】  フローテーブルの設定内容例を示した図である。
【図９】  ロット情報テーブルのデータ構成例を示した図である。
【符号の説明】
２  上位コンピュータ、３  フローテーブル、４  ロット情報テーブル、５  生産指示受付処理部、６  処理装置、７  搬送機器、１０  生産指示システム、１１  生産指示制御処理部、１２  スキップ工程テーブル管理部、１３  スキップ工程テーブル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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