(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズを保持した可動部と、固定部と、前記可動部と前記固定部とを接続し、前記可動部を少なくともフォーカス方向に変位可能に弾性的に支持する複数の弾性支持部材とを有し、フォーカス方向に並んで位置する前記弾性支持部材の長手方向の伸縮率を互いに異ならせることにより前記可動部の傾斜を軽減する、光ディスク用対物レンズ駆動装置であって、
前記複数の弾性支持部材は、
前記可動部側から伸びる第１直線部と、
前記固定部側から伸びる第２直線部と、
略フォーカス方向の直線部を含む２つの屈曲部と、
前記屈曲部を相互に連結する連結直線部とを有し、
前記２つの屈曲部は、前記弾性支持部材の長手方向の中央部を境にして、固定部側に偏って配置されるとともに、フォーカス方向に並んで位置する前記屈曲部が、互いに離間する方向に突出して配置されていることを特徴とする、光ディスク用対物レンズ駆動装置。
【請求項２】
対物レンズを保持した可動部と、固定部と、前記可動部と前記固定部とを接続し、前記可動部を少なくともフォーカス方向に変位可能に弾性的に支持する複数の弾性支持部材とを有し、フォーカス方向に並んで位置する前記弾性支持部材の長手方向の伸縮率を互いに異ならせることにより前記可動部の傾斜を軽減する、光ディスク用対物レンズ駆動装置であって、
前記複数の弾性支持部材は、
前記可動部側から伸びる第１直線部と、
前記固定部側から伸びる第２直線部と、
略フォーカス方向の直線部を含む２つの屈曲部と、
前記屈曲部を相互に連結する連結直線部とを有し、
前記２つの屈曲部は、前記弾性支持部材の長手方向の中央部を境にして、可動部側に偏って配置されるとともに、フォーカス方向に並んで位置する前記屈曲部が、互いに近接する方向に突出して配置されていることを特徴とする、光ディスク用対物レンズ駆動装置。
【請求項３】
前記２つの屈曲部は、前記可動部がフォーカス方向変位時に、前記屈曲部が互いに接触しない間隔で、かつ、最も小さい間隔が選択されることを特徴とする、請求項１または２に記載の光ディスク用対物レンズ駆動装置。
【請求項４】
フォーカス方向に並んで対向配置された２つの前記弾性支持部材は、フォーカス方向に垂直な面に対して対称形状となるように配置される、請求項１から３のいずれかに記載の光ディスク用対物レンズ駆動装置。
【請求項５】
前記弾性支持部材は、
前記固定部側に最も近接する前記屈曲部付近において、前記弾性支持部材から分岐して前記固定部側へ向かって伸びるように設けられる分岐腕部と、
前記固定部側から、前記屈曲部に向かって張出す固定張出部とを有し、
少なくとも、前記分岐腕部と、前記固定張出部とがダンパ部材で橋渡しされていること
を特徴とする、請求項１に記載の光ディスク用対物レンズ駆動装置。
【請求項６】
前記分岐腕部は、前記連結直線部を、前記固定部側へ向かって伸びるように、かつ、前記第２直線部と平行となるように延長して設けたことを特徴とする、請求項５に記載の光ディスク用対物レンズ駆動装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の光ディスク用対物レンズ駆動装置において、光源に青紫あるいは青色の短波長光源を用いて、光学式情報の記録、再生、消去を行なうことを特徴とする、光記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク用対物レンズユニット、および光記録再生装置に関し、より特定的には、ＭＤ、ＣＤ−ＲＯＭ、およびＤＶＤなどの光情報記録媒体である光ディスクに対して情報の記録再生を行なう光ディスク用ピックアップ光学系の対物レンズユニットおよび光記録再生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光記録再生装置は、光ディスクの情報記録トラックに光ビームを微小なスポットとして集光・走査して情報の記録、および消去を行ない、また、情報記録面に照射された光ビームの反射光を読取って情報の再生を行なうという装置である。
【０００３】
このような光記録再生装置が情報の記録などを行なう場合には、高速回転する光ディスクに、面振れ偏心が伴う場合がある。したがって、光ディスクに対して確実な記録、消去、および再生を行なうためには、所定のトラックの面振れ等に対して、正確に光ビームのスポットを追従させる必要がある。
【０００４】
このため、従来から、光記録再生装置の光ディスク用対物レンズは、ディスク面に垂直方向（光軸方向）に微少に移動するフォーカスサーボ機構と、ディスク面に半径方向（記録トラックに対して直交方向）に微少に移動するトラッキングサーボ機構とを備えた駆動制御機構により、絶えずその位置制御が行なわれていた。
【０００５】
以下、図を参照しながら、従来技術における、駆動制御機構を備えた光ディスク用対物レンズ駆動装置について簡単に説明する。図１５は、従来技術における光ディスク用対物レンズ駆動装置１０１と光ディスク１０との位置関係を説明するための光ディスク用対物レンズ駆動装置１０１の側面図で、図１６は、光ディスク用対物レンズ駆動装置１０１の平面図である。
【０００６】
図１５に示すように、光ディスク用対物レンズ駆動装置１０１は光ディスク１０の下方に配置される。以下、光ディスク１０面に垂直な方向（光軸方向）をフォーカス方向Ｆｏ（矢印Ｆｏ）とし、光ディスク１０面に平行でトラック方向に垂直な方向（光ディスク１０の半径方向）をトラッキング方向Ｔｒ（矢印Ｔｒ）、さらに、ディスクの接線方向のタンジェンシャル方向Ｔａ（矢印Ｔａ）とする。
【０００７】
光ディスク用対物レンズ駆動装置１０１は、光学ベース上に対物レンズ１にレーザ光を導くための反射ミラー９とを備える。光ディスク用ピックアップ光学系の対物レンズ１と、対物レンズ１を略中央に保持するための対物レンズホルダ２と、対物レンズホルダ２の側壁に設置された１対の中空のフォーカスコイル６と、各フォーカスコイル６に固定されているトラッキングコイル７とから可動部が構成されている。
【０００８】
この可動部は、４本の平行な金属線からなる弾性支持部材３に支持されている。この弾性支持部材３により、可動部は弾性支持部材３の長手方向に対して交差する方向であるフォーカス方向Ｆｏおよびトラッキング方向Ｔｒに微少移動が可能な状態で支持されている。
【０００９】
弾性支持部材３は、その一端が対物レンズホルダ２のトラッキング方向Ｔｒと直交する側面に固定された取付部材８に取付けられ、他端が固定部１１に取付けられる。また、弾性支持部材３の片面または両面に、ダンパ材１２が設置された構造を有している。なお、取付部材８は、弾性支持部材３を取付けるとともに、フォーカスコイルおよびトラッキングコイル７（以下、両コイルを「駆動用コイル」と総称することがある）と、金属の弾性支持部材３とを導通させる役割も果たす。
【００１０】
光ディスク用対物レンズ駆動装置１０１は、さらに、対物レンズホルダ２をフォーカス方向Ｆｏおよびトラッキング方向Ｔｒに駆動させるために磁石４およびヨーク５からなる磁気回路を備えている。このヨーク５は光軸方向に垂直な、内ヨーク５ａと外ヨーク５ｂとがそれぞれ２枚ずつ含まれている。そして、２枚の外ヨーク５ｂの内ヨーク５ａに対向する面に、２つの磁石４がそれぞれ取付けられている。
【００１１】
この内ヨーク５ａは、それぞれフォーカスコイル６内の空隙に挿入されているため、駆動用コイルに流れる電流を制御することにより、駆動用コイルに固定された対物レンズホルダ２を駆動させることが可能となっている。すなわち、磁石４とヨーク５とによって構成される磁気回路と、この磁気回路の空隙中に位置するフォーカスコイル６とによって、フォーカス方向Ｆｏに駆動可能な導電型変換器が構成される。したがって、フォーカスコイル６の電流を制御することによってフォーカス方向Ｆｏに生じる駆動力を変化させることができる。その結果、対物レンズ１を取付けたレンズホルダ２を、弾性支持部材３の弾性力に抗してフォーカス方向Ｆｏに並進運動させることができる。
【００１２】
磁石４とヨーク５とによって構成される磁気回路と、この磁気回路の空隙中に位置するトラッキングコイル７とによって、トラッキング方向Ｔｒに駆動可能な導電型変換器が構成される。したがって、トラッキングコイル７の電流を制御することによってトラッキング方向Ｔｒに生じる駆動力を変化させることができる。その結果、対物レンズ１を取付けたレンズホルダ２を、弾性支持部材３の弾性力に抗してトラッキング方向Ｔｒに並進運動させることができる。
【００１３】
次に、弾性支持部材３の詳細を述べる。弾性支持部材３の詳細は、図１６の光ディスク用対物レンズ駆動装置１０１の平面図に示すように平ばね状であり、トラッキング方向Ｔｒに屈曲した屈曲部を有し、屈曲部付近には、弾性支持部材３から分岐した自由端である分岐腕部と、固定部張出部があり、ダンパ材１２へ橋渡しするように固着されている。このように弾性支持部材に設けられた屈曲部とダンパ材の働きにより、可動部のフォーカシング方向Ｆｏおよびトラッキング方向Ｔｒの振動に対して、および長手方向の伸び縮みまたは捩じれ振動に対しても抑制されるので、共振ピークを小さく抑えることができ、安定した駆動制御特性が得られるようになっている。
【００１４】
図１７は、ストレート形状もしくはラジアル方向に屈曲した屈曲部を有する弾性支持部材３を用いた場合に生じる対物レンズ１の傾きについて説明するための図を示す。図１７は、可動部１３がフォーカス方向ＦｏにＬ５だけ移動した状態を示す。このとき、弾性支持部材３のたわみにより、可動部１３に図中矢印方向のモーメントＭが生じ、可動部１３は移動前の状態に対してモーメントＭ方向にθ′だけ傾く。つまり光軸１４がθ′だけ傾くことになる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、近年の背景技術として、光記録再生装置を扱う情報の大容量化が急速に進み、これに伴い、光記録における記録面密度を大幅に向上することが望まれている。記録面密度の高密度化の手段としては、光源の短波長化や対物レンズの高開口数化などが挙げられる。前者の、光記録再生装置における光源の波長化に関しては、現状は、波長７８０ｎｍあるいは６５０ｎｍ付近の光源を用いることが主流となっているが、波長４００ｎｍ付近の青紫もしくは青色光源へと移行しつつある。ここで、コマ収差は、光源波長に反比例するので、このような光源の短波長化に伴い、コマ収差が増加することになる。よってコマ収差を低減するためには、メカ側で発生するチルト量を現状の５０〜６０％以下にする必要がある。メカ側でチルト量を低減する必要性が増す中で、アクチュエータに許容されるチルト量は、少なくとも現状の５０％以下が望まれるため、従来技術の構成では、対応できない状況が生じてきた。
【００１６】
そこで、上記したようなチルト量を抑制する弾性支持部材の構成に関する技術として、本願と同一出願人によってなされた「特願２０００−１７８４２８」に、弾性支持部にフォーカス方向に屈曲した屈曲部を設けることによって、可動部の傾斜を補正方法およびこれを用いた対物レンズ駆動装置が開示されている。
【００１７】
図１８に、フォーカス方向に屈曲した屈曲部を設ける構成として一例を示す。図１８に示す弾性支持部材３は、各々の弾性支持部材３に屈曲部３ｄ，３ｅを２個所有し、可動部１３側から屈曲部３ｄまでの直線部３ａの長さは固定部１１側から屈曲部３ｅまでの直線部３ｃの長さよりも長く設定されている。
【００１８】
ここで、図１９に、弾性支持部材の全長が、１１．２２ｍｍの略ストレート形状のばねにおいて、可動部の側端部がフォーカス方向（図中の上側）に０．４ｍｍ撓んだときの、ばね長手方向の位置（可動部側端部を０ｍｍ）と、撓み角（ｒａｄ）の関係を示す。図１９に示すように、弾性支持部材が撓んだとき、弾性支持部材の両端側の撓み角は０となり、弾性支持部材の長手方向中央部（５．６１ｍｍ）で最大となる。
【００１９】
そこで、図１９中のポイントａとポイントｂにおいて、撓み角がより大きい位置であるポイントａの部分に、可動部側の屈曲部を設け、撓み角が小さい位置であるポイントｂの部分に、固定部側の屈曲部を設けることにより、対物レンズに近い方（上方）側の弾性支持部材が伸び、対物レンズから遠い方（下側）側の弾性支持部材３が縮むように作用し、本来の撓みから生じるモーメントを打消す方向にばねの伸縮を作用させて、傾きを補正するように設計している。
【００２０】
具体的には、図１８に示すように、可動部１３がフォーカス方向ＦｏにＬ５だけ移動したとき、各々の弾性支持部材３は撓み、各屈曲部３ｄ，３ｅは、撓み角に沿ってθ１、θ２、θ３、θ４だけ傾く。このとき、屈曲部３ｅよりも屈曲部３ｄの方が、撓み角が大きい位置に設置されているので、屈曲部の傾きはθ１＞θ２、θ３＞θ４となる。その結果、対物レンズ１に近い側の上方に位置する弾性支持部材３については、屈曲長さをａとすると、ａ・ｓｉｎ（θ１−θ２）だけ矢印に示す長手方向に伸び、逆に対物レンズ１に遠い側の下方に位置する弾性支持部材については、ａ・ｓｉｎ（θ３−θ４）だけ矢印に示す長手方向に縮むことになる。この弾性支持部材３の伸縮作用は、図１７に示すモーメントＭの向きと逆方向、つまり打消す方向に働くため、この図１７に示すモーメントＭと、屈曲部におけるモーメントＭの打消し作用がうまく釣り合うように設定することで、対物レンズ１の傾きをゼロに抑制することが可能となる。
【００２１】
しかしながら、この背景技術における光ディスク用対物レンズ駆動装置では、以下に示す問題が生じることが考えられる。
【００２２】
たとえば、具体的に図２０に示すような、フォーカス方向Ｆｏに屈曲した屈曲部を有する４本の弾性支持部材３において、各弾性支持部材３の材質はベリリウム銅である。各弾性支持部材３の形状は、厚み０．１ｍｍ、幅０．１１ｍｍの板材を、エッチングにより形成したものであり、可動部１３側の端部から屈曲部までの長さが２．６ｍｍ、固定部１１側から屈曲部までの長さが１．２８ｍｍ、屈曲部間隔が６．９ｍｍ、屈曲長さは０．６ｍｍ、フォーカス方向Ｆｏに並ぶ支持間隔が３．０ｍｍである。また、図示していないが、ラジアル方向Ｔｒに並ぶ支持間隔は９．０ｍｍと設定した。弾性支持部材に設けられた２つの屈曲部は、弾性支持部材３の長手方向の中央部１５に対して両側にそれぞれが配置されている。
【００２３】
図２１は、図２０の弾性支持部材３を用いて、光ディスク用対物レンズ駆動装置を設計し、それに基づいて、対物レンズ１がフォーカス方向Ｆｏ（上方）に０．４ｍｍ移動したときの対物レンズ１のタンジェンシャル方向Ｔａへの傾きについて計算した結果と、実際に光ディスク用対物レンズ駆動装置を試作して実測した結果とを示す。図２１において、横軸は、固定部側端部付近のエッチング幅（フォーカス方向Ｆｏのばね厚み）を示す。このばね厚みの設計値は０．１１（較差は±０．０１ｍｍ）であったが、実際はエッチング等の成形方法で量産した場合、条件によってエッチング幅（ばね幅）に局所的にばらつきが生じた。このエッチング幅ばらつきにより、対物レンズの傾斜補正効果は減少し、図２１に示すように、設計公差内でも＋８〜−６分程度の傾きが生じてしまう課題が発生した。
【００２４】
また図２２に、図１８に示す弾性支持部材３の固定部１１側の屈曲部３ｅ付近にダンパ材１２を設置した場合の、可動部１３がフォーカス方向ＦｏにＬ５だけ移動したときの撓みの状態を示す。弾性支持部材３の振動を抑制するために、固定部付近の屈曲部３ｅのダンパ材１２を設置すると、ダンパ材１２の影響で固定部１１付近の屈曲部３ｅの傾斜が小さくなる。つまりθ２、θ４が小さくなる。このためダンパ材１２のない状態で対物レンズ１の傾きがゼロになるように設計した状態に対して、屈曲部３ｅの傾きが小さくなることで、もう一方の屈曲部３ｄの作用が大きくなることから、可動部１３に図中の矢印方向のモーメントＭが生じ、可動部１３は移動前の状態に対してモーメントＭ方向にθ"だけ傾く、つまり光軸１４がθ"だけ傾いてしまうことになる。
【００２５】
実際に、図２０に示す弾性支持部材３の、固定部１１付近の屈曲部３ｅのダンパ材１２を設置し、フォーカス方向に０．４ｍｍ移動したときの可動部の傾きを測定した結果、図２２の矢印方向に１１．６分程度の傾きが生じた。
【００２６】
したがって、本発明は、係る実情に鑑みて発明されたものであり、その第１の目的は、可動部が移動したときの傾きを補正するように支持部材を構成し、量産時にも安定した傾斜補正効果が得られる、対物レンズ駆動装置および光記録再生装置を提供することにある。
【００２７】
また、第２の目的として、またダンパ材を設置しても、支持部材による傾斜補正効果が減少することなく、弾性支持部材の共振ピークを小さく抑えられ、対物レンズ駆動装置の安定した駆動制御特性が得られるようにした、対物レンズ駆動装置および光記録再生装置を提供することにある。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願発明に基づいた対物レンズ駆動装置においては、対物レンズを保持した可動部と、固定部と、上記可動部と上記固定部とを接続し、上記可動部を少なくともフォーカス方向に変位可能に弾性的に支持する複数の弾性支持部材とを有し、フォーカス方向に並んで位置する上記弾性支持部材の長手方向の伸縮率を互いに異ならせることにより上記可動部の傾斜を軽減する、光ディスク用対物レンズ駆動装置であって、上記複数の弾性支持部材は、上記可動部側から伸びる第１直線部と、上記固定部側から伸びる第２直線部と、２以上のフォーカス方向に屈曲した屈曲部と、上記屈曲部を相互に連結する連結直線部とを有し、上記複数の屈曲部は、上記弾性支持部材の長手方向の中央部を境にして、いずれか一方の側に偏って配置されていることを特徴とする。
【００２９】
上記構成によれば、可動部の略フォーカス方向への移動時に、弾性支持部材の撓みにより可動部に働くモーメントによって可動部に傾きが生じていたが、可動部の略フォーカス方向に向かって屈曲した複数の屈曲部およびその屈曲部を連結する連結直線部を有することにより、モーメントに対して逆方向つまり打消す方向に、弾性支持部材の伸び縮みが作用することで、可動部の傾きを極力小さく抑えることが可能に傾斜補正効果が得られる。さらに、弾性支持部材の量産時にばね幅の局所的なばらつきが生じても安定した傾斜補正効果を得ることが可能になる。
【００３０】
また、上記発明において好ましくは、２以上の上記屈曲部は、固定部側に偏って配置されるとともに、フォーカス方向に並んで位置する前記屈曲部が、互いに離間する方向に突出して配置されていることを特徴とする。また、上記発明において好ましくは、２以上の上記屈曲部は、可動部側に偏って配置されるとともに、フォーカス方向に並んで位置する上記屈曲部が、互いに近接する方向に突出して配置されていることを特徴とする。また、上記発明において好ましくは、上記複数の屈曲部は、上記可動部がフォーカス方向変位時に、上記屈曲部が互いに接触しない間隔で、かつ、最も小さい間隔が選択される。
【００３１】
また、上記発明において好ましくは、フォーカス方向に並んで対向配置された２つの上記弾性支持部材は、フォーカス方向に垂直な面に対して対称形状となるように配置される。この構成によれば、光軸方向に並んで位置する弾性支持部材について、両支持中心に対して対称形状であるために、トラッキング方向に移動したときの対物レンズの光軸傾きも極力小さく抑えることが可能となる。
【００３２】
また、上記発明において好ましくは、上記弾性支持部材は、上記固定部側に最も近接する上記屈曲部付近において、上記弾性支持部材から分岐して上記固定部側へ向かって伸びるように設けられる分岐腕部と、上記固定部側から、上記屈曲部に向かって張出す固定張出部とを有し、少なくとも、上記分岐腕部と、上記固定張出部とがダンパ部材で橋渡しされている。
【００３３】
上記構成によれば、さらにダンパ部材を設置しても、上記傾斜補正効果が減少することなく、弾性支持部材の共振ピークを小さく抑えられ、対物レンズ駆動装置の安定した駆動制御特性が得られる。
【００３４】
また、上記発明において好ましくは、上記分岐腕部は、上記連結直線部を、上記固定部側へ向かって伸びるように、かつ、上記第２直線部と平行となるように延長して設けられている。この構成によれば、弾性支持部材の厚み方向の上端および下端を超えることなく、分岐腕部を設置できることから、対物レンズ駆動装置の薄型化が可能となる。
【００３５】
この発明に基いた光記録再生装置においては、上記光ディスク用対物レンズ駆動装置において、光源に青紫あるいは青色の短波長光源を用いて、光学式情報の記録、再生、消去を行なう。この構成によれば、対物レンズがフォーカシング方向に移動するときに光軸の傾きを極力小さく抑えることから、ディスク上の光スポットが良好で正確な記録再生ができ、光源に波長４００ｎｍ付近の短波長光源を用いた場合にも、ディスク上の光スポットが良好で正確な記録再生ができ、また装置全体の薄型化も可能となる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
次に、本願発明に基づいた各実施の形態について、図面に基づいて説明する。
【００３７】
（実施の形態１）
図１を参照して、本発明に基いた実施の形態１における光ディスク用対物レンズ駆動装置１００の構成について説明する。なお、図１は、本願発明に基づいた実施の形態１における光ディスク用対物レンズ駆動装置１００の概略を示した側面図である。また、光ディスクとの位置関係を説明するために、光ディスク１０を図中に示している。
【００３８】
（光ディスク用対物レンズ駆動装置１００の全体構成）
本実施の形態における光ディスク用対物レンズ駆動装置１００は、光ディスク用ピックアップ光学系の対物レンズ１と、対物レンズ１にレーザ光を導くための反射ミラー９と、対物レンズ１を略中央に保持するための対物レンズホルダ２と、対物レンズホルダ２の側壁に設置された１対の中空のフォーカスコイル（図示省略・なお構成は従来と同様）と、各フォーカスコイルに固定されているトラッキングコイル７と、対物レンズホルダ２をフォーカス方向Ｆｏおよびトラッキング方向Ｔｒに微少移動が可能な状態で支持する４本の平行な金属線からなる弾性支持部材３を有する。この弾性支持部材３により、対物レンズホルダ２等の可動部が、弾性支持部材３の長手方向に対して交差する方向であるフォーカス方向Ｆｏおよびトラッキング方向Ｔｒに微少移動が可能な状態に支持されている。
【００３９】
弾性支持部材３の一端を対物レンズホルダ２に取付け、他端は固定部１１に取付けるとともに、駆動コイル（フォーカスコイル６およびトラッキングコイル７）に電流を導通させるための取付部材８と、対物レンズホルダ２をフォーカス方向Ｆｏおよびトラッキング方向Ｔｒに駆動させるために磁石４およびヨーク５からなる磁気回路とを備えている。
【００４０】
このように光ディスク用対物レンズ駆動装置１００は全体の構成回路および駆動原理は、従来技術における光ディスク用対物レンズ駆動装置と同様であるため、ここでは重複する部分の詳細な説明は省略する。
【００４１】
（弾性支持部材３の構成）
次に、本実施の形態のポイントとなる弾性支持部材３の構成について詳細に説明する。図２は、本実施の形態における弾性支持部材３を示す光ディスク用対物レンズ駆動装置１００の側面図である。図２には、対物レンズ１と対物レンズホルダおよび図示しない駆動コイルなどから構成される可動部１３と、固定部１１と、それらを接続する弾性支持部材３とが図示されている。
【００４２】
弾性支持部材３は、可動部１３側から伸びた第１直線部３ａと、固定部側から伸びた第２直線部３ｃとが同一直線上にあり、途中の領域に屈曲部３ｄと屈曲部３ｅとを有し、屈曲部３ｄと屈曲部３ｅとは、連結直線部３ｂで連結され、外方に向かって凸となる形状を有している。可動部１３の側端部から固定部１１の端部側までの長さをＬ１とし、各直線部の長さを３ａ＝Ｌ４，３ｂ＝Ｌ３，３ｃ＝Ｌ２とする。屈曲部３ｄおよび屈曲部３ｅは、弾性支持部材３の長手方向中央部（Ｌ１の中心）１５を境として、一方の側に偏って配置された形状とする。
【００４３】
図３に弾性支持部材３の斜視図を示す。図３に示す形態は一例である。弾性支持部材３の一端は固定部１１に固定され、可動部１３の中心を囲むように可動部１３の両側面に固定される。光軸１４方向（フォーカス方向Ｆｏ）に並んで設置される弾性支持部材３は、フォーカス方向Ｆｏに垂直な面に対して対称形状となるように配置され、また、トラッキング方向Ｔｒに並んで設置される弾性支持部材３についても、トラッキング方向に垂直な面に対して対称形状となるように配置されることが望ましい。
【００４４】
（弾性支持部材３の撓み）
次に、図４を参照して、可動部１３に設けられた対物レンズ１がフォーカス方向Ｆｏに移動したときの、弾性支持部材３の撓みについて説明する。図４は、図２に示す弾性支持部材３において、可動部１３がフォーカス方向Ｆｏ（上方）にＬ５だけ移動したときの、弾性支持部材３の撓みを側面図で示したものである。図示するように可動部１３がフォーカス方向ＦｏにＬ５だけ移動したとき、各々の弾性支持部材３は撓み、そして屈曲部３ｄおよび屈曲部３ｅは、弾性支持部材３の撓み角に沿って、θ１、θ２、θ３、θ４だけ傾く。このとき、屈曲部３ｅよりも屈曲部３ｄの方が、撓み角が大きい位置（中央寄り）に設置されているので、屈曲部の傾きはθ１＞θ２、θ３＞θ４となる。
【００４５】
その結果、対物レンズ１に近い側の上方に位置する弾性支持部材３については、（θ１−θ２）の傾き分だけ矢印に示す長手方向（可動部側）に伸び、逆に対物レンズ１に遠い側の上方に位置する弾性支持部材３については、（θ３−θ４）の傾き分だけ矢印に示す長手方向（固定部側）に縮むことになる。この弾性支持部材３の伸縮作用は、図１６に示すモーメントＭの向きと逆方向、つまり打消す方向に働くため、この図１６に示すモーメントＭと、屈曲部によるモーメントＭの打消し作用がうまく釣り合うように設定することで、対物レンズ１の傾きをゼロに抑制することが可能となる。
【００４６】
（作用）
上記したように可動部１３に対するモーメントＭを打消して、対物レンズ１の傾きをゼロの抑えるためには、弾性支持部材３の全長、屈曲部長さ、屈曲部位置（固定部部からの位置および各屈曲部の間隔）、支持間隔など、さまざまなパラメータの影響を考慮して、弾性支持部材３の最適な形状を設計する必要がある。図２および図３に示すように、フォーカス方向Ｆｏに屈曲した屈曲部を有する４本の弾性支持部材３において、各弾性支持部材３の材質はベリリウム銅で形成される。各弾性支持部材３の形状は、全長Ｌ１が１１．２２ｍｍ、板厚み（ラジアル方向の高さに相当）０．１ｍｍ、幅（フォーカス方向の高さに相当）０．１１ｍｍ、屈曲長さは０．６ｍｍである。各弾性支持部材３のフォーカス方向Ｆｏに並ぶ支持間隔が３．０ｍｍ、また図示しないがラジアル方向に並ぶ支持間隔は９．０ｍｍである。可動部１３がフォーカス方向Ｆｏに０．４ｍｍ移動したときの、対物レンズ１の傾きについて、屈曲間隔Ｌ３（ｍｍ）と傾き（分）の関係を図５に示す。図５中の◇は、固定部側端部から屈曲部３ｅまでの距離Ｌ２が１．２８ｍｍ、また図５中の□は、Ｌ２が３．００ｍｍの場合のである。図５から、Ｌ２の長さにより、対物レンズ１の傾きをゼロ付近に補正するために設定するＬ３の長さは異なり、図５中に破線で囲む領域のポイントについて示すと、Ｌ２＝１．２８ｍｍの場合は、Ｌ３＝６．９ｍｍ付近（従来形状）、Ｌ２＝３．００ｍｍの場合は、Ｌ３＝１．０ｍｍ付近（本実施の形態）であることがわかる。
【００４７】
このように、１つの弾性支持部材３の形状は、屈曲部位置（固定部部からの位置および各屈曲部の間隔）などのパラメータを変えることで、複数の形状が設計できることがわかる。また、Ｌ３の長さがゼロに近づくと、対物レンズ１の傾きもゼロに近づく傾向にあるが、Ｌ３の長さが小さすぎると、可動部１３のフォーカス方向変位時に屈曲部が互いに干渉してしまう（詳細は後述）ため、使用不可能となる。たとえば、上記弾性支持部材の形状でＬ３の最小許容値を０．２ｍｍとすると、図５中の斜線部分の領域は使用範囲外となる。
【００４８】
弾性支持部材３は、ベリリウム銅などの板材をエッチングなどにより形成して量産される。このとき、エッチング条件により、弾性支持部材３におけるエッチング幅（つまり、フォーカス方向Ｆｏに変位する場合は厚み方向に相当）に、局所的なばらつきが生じてしまう。図２の第２直線部３ｃのエッチング幅が局所的にばらついた場合、弾性支持部材３全体の撓みのバランスがずれて、屈曲部の傾斜角度に影響を与えることから、対物レンズ１の傾斜補正効果にもばらつきが生じる結果となる。
【００４９】
図６に、固定部付近の直線部３ｅのエッチング幅（ｍｍ）と対物レンズ１の傾き（分）との関係を示す。図中の記号◇（白抜き）が従来の弾性支持部材（屈曲部間隔が６．９ｍｍ）の実測値を示し、図中の記号△（白抜き）が、本実施の形態における弾性支持部材（屈曲間隔が１ｍｍ）の実測値である。従来の構造に対し、本実施の形態のように、屈曲部を弾性支持部材の長手方向の中央部をにしていずれか一方の片側に隣接して偏るように設けることによって、エッチング幅のばらつきが生じた場合においても、傾斜補正効果に与える影響が抑制されていることがわかる。
【００５０】
これは、弾性支持部材３においてエッチング幅が局所的にばらついた場合、弾性支持部材３全体の撓みのバランスがずれて、屈曲部の傾斜角度に影響を与えてしまうが、弾性支持部材３の複数の屈曲部が近接して片側に設置されていることで、各屈曲部に与える影響の大きさのばらつきが抑制される、つまり同程度になり、傾斜補正効果のばらつきが小さくなるためである。よって、弾性支持部材３の複数の屈曲部は、全長の中間部を挟んで離間して設ける従来形状に対し、複数の屈曲部の各々の間隔が近接して配置している方を用いる方が、エッチング幅のばらつきが、傾斜補正効果に与える影響を極力抑えることが可能になる。
【００５１】
（効果）
上記したように、従来は、可動部の略フォーカス方向への移動時に、弾性支持部材３の撓みにより可動部１３に働くモーメントによって可動部１３に傾きが生じていたが、可動部１３の略フォーカス方向に向かって凸となる、屈曲した屈曲部を有することにより、モーメントに対して逆方向つまり打消す方向に、弾性支持部材３の伸び縮みが作用することで、可動部１３の傾きを極力小さく抑えることが可能となるという傾斜補正効果が得られる。また、弾性支持部材１３の量産時にばね幅の局所的なばらつきが生じても、安定した傾斜補正効果を得ることを、可能としている。
【００５２】
（変形例１）
（構成）
図７に、上記光ディスク用対物レンズ駆動装置１００における、弾性支持部材３の変形例１の側面図を示す。上記したように、可動部１３の略フォーカス方向Ｆｏに向かって屈曲した屈曲部３ｄ，３ｅを有することにより、本来の弾性支持部材の撓みにより可動部に働くモーメントＭ（図１６の矢印）に対して逆方向つまり打消す方向に、弾性支持部材３の伸び縮みが作用することで、可動部１３の傾きを極力小さく抑えることが可能となるという傾斜補正効果を得るように、上記図２の弾性支持部材３の屈曲部３ｄ，３ｅは、弾性支持部材３の全長に対して固定部１１側に設けられ、またフォーカス方向Ｆｏに並んで位置する上下弾性支持部材の支持重心に対して、反対側（それぞれ外方側）に突設するように設けられている。一方、図７に示すように、弾性支持部材３の屈曲部３ｄ，３ｅは、弾性支持部材３の全長に対して可動部１３側（図２の構造とは反対側に偏って配置する）に設けられ、フォーカス方向Ｆｏに並んで位置する上下弾性支持部材の支持中心に向かって（互いに対向する方向）突設するように、かつ、フォーカス方向Ｆｏに垂直な面に対して対称形状となるように設けても、同様の作用効果を得ることが可能である。
【００５３】
（変形例２）
また、図８に、上記光ディスク用対物レンズ駆動装置１００における、弾性支持部材３の変形例２の側面図を示す。弾性支持部材３の屈曲部３ｄ，３ｅの間隔Ｌ３を、屈曲部３ｄ，３ｅが互いに接触しない間隔で、かつ、最も小さい間隔が選択された形状である。前述した図５に示すように、Ｌ２の長さを３．００ｍｍに設定したとき、Ｌ３の長さを１ｍｍ以下に設定しても、傾きをゼロ付近に抑制することが可能であり、Ｌ３が１ｍｍ以下では、この傾斜補正効果はほとんど変化がない。
【００５４】
ここで、図９に、弾性支持部材３の屈曲付近の変形例を示す。図９（ａ）は、弾性支持部材の変形がない状態を示し、図９（ｂ）は、可動部側の端部が矢印のフォーカス方向に変位したときの撓み状態を示す。屈曲部付近は、端部の変位による変形に加えて、弾性支持部材３の長手方向の伸縮力も加わることから、変形前の屈曲間隔Ｌ３は、変形後にＬ３１の長さが変化する。特に縮む方向に作用した場合、このＬ３１の長さがゼロ以下にならないよう、つまり屈曲部３ｄ，３ｅが互いに接触しないようにマージンも含めた間隔Ｌ３を設定した上で、可能な限り狭めて設定することが望ましい。
【００５５】
図１０に、固定部付近の第２直線部３ｃのエッチング幅（ｍｍ）と対物レンズ傾き（分）との関係について示す。図中の記号△は、弾性支持部材の屈曲間隔が１ｍｍの場合の実測値（本発明１）を示し、図中の記号〇は、弾性支持部材の屈曲間隔が０．２ｍｍ）の場合の実測値（本発明２）を示す。本発明１に対し、本発明２は、エッチング幅のばらつきが、傾斜補正効果に与える影響がより抑制されていることがわかる。
【００５６】
（効果）
上記したように、略フォーカス方向に向かって屈曲した屈曲部を有することにより、モーメントに対して逆方向つまり打消す方向に、弾性支持部材の伸び縮みが作用することで、可動部の傾きを極力小さく抑えることが可能となるという傾斜補正効果について、弾性支持部材の量産時にばね幅の局所的なばらつきが生じても、より安定した傾斜補正効果が得られる。
【００５７】
（実施の形態２）
次に、図１１を参照して、本発明に基いた実施の形態２における光ディスク用対物レンズ駆動装置について説明する。図１１（ａ）、（ｂ）を参照して、本実施の形態における弾性支持部材３は、屈曲部３ｄおよび屈曲部３ｅの近傍に、弾性支持部材から分岐した自由端である分岐腕部３ｆと固定張出部３ｇとを有し、ダンパ材１２で橋渡しされている。図１１（ａ）は、分岐腕部３ｆが屈曲部３ｄ，３ｅに対して弾性支持部材３の中央寄りから分岐して設置されている。この構造に対し図１１（ｂ）は、分岐腕部３ｆが、固定部１１側に最も近接する屈曲部３ｅ側において連結直線部３ｂを固定部１１側に延長するように設けられている。また、図１１（ａ）（ｂ）ともに、ハッチング部に示すように、直線部３Ｃ、分岐腕部３ｆ、および、固定張出部３ｇを橋渡しするようにダンパ材１２を設置する構成となっている。
【００５８】
ここで、図１１（ａ）および図１１（ｂ）に示す弾性支持部材３を用いて、可動部材１３がフォーカス方向Ｆｏに０．４ｍｍ移動したときの、対物レンズ１の傾きについて実測した結果を図１２に示す。それぞれの弾性支持部材３について、ダンパ材１２なしの条件とダンパ材１２を設置した条件とで測定を行なった。ダンパ材１２なしの条件では、図１１（ａ）に示す構造と図１１（ｂ）に示す構造とでは傾きの差はあまりないが、ダンパ材１２を設置することで、図１１（ａ）に示す構造の方が傾きが大きくなり、逆に図１１（ｂ）に示す構造は傾きが抑制されていることがわかる。これは、図１１（ａ）に示す構造の方は、ダンパ材１２が直線部３Ｃ、分岐腕部３ｆ、および、固定張出部３ｇを橋渡しするように設置されているが、分岐腕部３ｆが屈曲部３ｄ，３ｅに対して弾性支持部材の中央寄りから分岐して設置されているので、ダンパ材１２の影響が屈曲部３ｄ，３ｅの両方におよび、傾斜補正効果がうまく機能せず、従来の弾性支持部材の撓みによるモーメントが可動部に働いてしまったためである。しかし図１１（ｂ）に示す構造の場合は、固定部側の屈曲部３ｅのみにダンパ材１２の影響が作用するように分岐腕部３ｆおよびダンパ材１２を設置することで、屈曲部３ｄにおいては従来どおりに傾斜補正効果が得られることから、結果として、ダンパ材１２の設置後も傾斜補正効果が機能する。
【００５９】
また、分岐腕部３ｆについては固定部側の屈曲部３ｅのみにダンパ材１２がかかるように設置できればよく、図１１（ｂ）に示す構造の構成に限定されるものではないが、図１１（ｂ）に示す構造のように、分岐腕部３ｆは、屈曲部３ｄ，３ｅを連結する部分である連結直線部３ｂを延長して設けることが好ましい。
【００６０】
この構成によると、図１１中で、連結直線部３ｂおよび固定張出部３ｇの上端部が、設計によっては光ディスク用対物レンズ駆動装置全体の高さ方向に影響を与える可能性があるので、分岐腕部３ｆを連結直線部３ｂの延長部に設けることで、光ディスク用対物レンズ駆動装置の薄型化も可能となる。
【００６１】
また、図１１（ｂ）に示す構造のダンピング性能をＱ値であらわすと、ダンピングなしの状態でフォーカス方向Ｆｏ、ラジアル方向Ｔｒともに約４０ｄＢ程度であるの対し、ダンパ材１２の設置によって、フォーカス方向Ｆｏで１６．５ｄＢ、ラジアル方向Ｔｒで２９．５ｄＢに抑えることが可能となる。
【００６２】
（作用・効果）
以上、本実施の形態によれば、弾性支持部材３にダンパ材１２を設置した後も、傾斜補正効果が得られ、さらに、弾性支持部材３の共振ピークを小さく抑えられるので、光ディスク用対物レンズ駆動装置の安定した駆動制御特性が得られる。
【００６３】
（実施の形態３）
次に、図１３を参照して、本発明に基づいた実施の形態３における光ディスク用対物レンズ駆動装置について説明する。図１３は、本実施の形態における光ディスク用対物レンズ駆動装置を示す平面図であり、対物レンズ１と対物レンズホルダおよびフォーカスコイル６、ラジアルコイル７、取付部材８などから構成される可動部１３と、固定部１１と、それらを接続する弾性支持部材３とが図示されている。弾性支持部材３は、固定部１１側から可動部１３側に向かうにしたがって、徐々に互いに内方へ角度を持たせて、近接するように設けられている。このように配置された弾性支持部材３に対して、上記本各本実施の形態における弾性支持部材３を適用することも可能である。
【００６４】
（作用・効果）
上記構成にすることで、フォーカス方向Ｆｏへの駆動時は前述したのと同様に傾斜補正効果が得られる。また、ラジアル方向Ｔｒへの駆動は、回転力により得られるので、ラジアル方向Ｔｒとフォーカス方向Ｆｏとへ同時に移動した際に、フォーカス方向Ｆｏの駆動力の力点と、重心点との位置ずれがなくなり、その力点と重心点との位置ずれに伴うモーメントの発生により、対物レンズ１に傾きが生じることはなくなる。その結果、フォーカス方向Ｆｏへの駆動時およびラジアル方向Ｔｒへの駆動時はもちろん、フォーカス方向Ｆｏとラジアル方向Ｔｒとへ同時に移動したときも、対物レンズ１の傾きを極力小さく抑えることが可能となる。
【００６５】
（実施の形態４）
次に、図１４を参照して、本発明に基づいた実施の形態４における光記録再生装置２００について説明する。図１４は、上記実施の形態１〜３における光ディスク用対物レンズユニット１００を組込んだ光記録再生装置２００の概略を示す平面図である。
【００６６】
図１４を参照して、光記録再生装置２００は、光ディスク１０を回転させるためのスピンドルモータ１６と、光ディスク用対物レンズ駆動装置１７と、レーザユニットや各種レンズ、プリズム等の光学部品１８とを搭載した光学ユニット１９と、光学ユニット１９を移動可能にするための送り機構２０とを備えている。
【００６７】
上記光記録再生装置２００においては、送り機構２０により光学ユニット１９を移動させるとともに、光ディスク用対物レンズユニット１００の可動部を高速に微小移動させることにより、レーザ光の照射スポットを高速回転する光ディスク１０の所定のトラックに追従させることが可能となっている。
【００６８】
なお、ここでは、光ディスク用対物レンズ駆動装置として上記実施の形態１〜３における光ディスク用対物レンズユニット１００を用いているがこれに限られるものではない。
【００６９】
（作用・効果）
以上より、上記対物レンズ駆動装置を用いた光記録再生装置においては、対物レンズ移動時に光軸の傾きが極力小さく抑えることができ、その傾斜補正効果は、量産時において、ばね幅の局所的なばらつきが生じても、より安定した傾斜補正効果が得られることから、安定してディスクへの光スポットが良好で正確な記録再生ができる。
【００７０】
また、光記録再生装置において、光源に青紫あるいは青色の短波長光源を用いて、光学式情報の記録、再生、消去を行なう。たとえば、光源に４００ｎｍ付近の短波長光源を用いた場合については、コマ収差は光源波長に反比例関係にあるので、短波長化に伴ってコマ収差が増加する。たとえば光源波長７８０ｎｍと光源波長４１０ｎｍとを比較した場合、コマ収差は約１．９倍となるため、コマ収差を低減するには、メカ側のチルト量を１５０％低減させる必要があるので、アクチュエータに許容されるチルト量についても、少なくとも現状の約５０％以下が望まれるが、上記各実施の形に開示した弾性支持部材を用いることでチルト量はゼロ分近傍まで抑えることが可能となり、他のメカのチルト許容量も吸収することが可能となる。
【００７１】
その結果、対物レンズ移動時に光軸の傾きを極力小さく抑えることができ、さらに量産時にも安定して、ディスク上の光スポットが良好で正確な記録再生ができ、光源に波長４００ｎｍ付近の短波長光源を用いた場合にも、ディスク上の光スポットが良好で正確な記録再生が可能となる。
【００７２】
なお、上記各実施の形態においては、弾性支持部材の形状、大きさ、材質について、例を示したが、各実施の形態に示す形状、大きさ、材質に限定されるものではなく、また対物レンズ駆動装置についても、このような形状に限定されるものではない。
【００７３】
また、上記各実施の形態においては、本願発明の本質である可動部傾斜機能を有する弾性支持部材を光ディスク用対物レンズ駆動装置に適用した場合について説明しているが、光ディスク用対物レンズ駆動装置にのみ限定されるものではなく、可動部と固定部とが複数の弾性支持部材によって接続され、弾性支持部材の長手方向に対して交差する方向（以下、交差方向と称する）に可動部が変位可能に設けられて、可動部を交差方向に移動させるときに生じる可動部の傾斜の補正が必要とされる装置に対して本願発明を適用することが可能である。
【００７４】
したがって、今回開示した実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられる。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００７５】
【発明の効果】
この発明に基づいた対物レンズ駆動装置および光記録再生装置によれば、弾性支持部材においてほぼフォーカス方向に向かって屈曲した凸形状の屈曲部を有することにより、モーメントに対して逆方向つまり打消す方向に、弾性支持部材の伸び縮みが作用することで、可動部の傾きを極力小さく抑えることが可能となる傾斜補正効果が得られる。
【００７６】
また、この傾斜補正効果において、弾性支持部材の量産時にエッチング幅（ばね幅）に局所的なばらつきが生じても、より安定した傾斜補正効果が得られる。さらにダンピング材を設置しても、最適な傾斜補正効果が得られる結果、弾性支持部材の共振ピークは小さく抑えられ、対物レンズ部駆動装置の安定した駆動制御特性の実現が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本願発明に基づいた実施の形態１における光ディスク用対物レンズ駆動装置１００の概略を示した側面図である。
【図２】  本願発明に基づいた実施の形態１における光ディスク用対物レンズ駆動装置１００の弾性支持部材３の側面図である。
【図３】  本願発明に基づいた実施の形態１における光ディスク対物レンズ駆動装置１００の弾性支持部材３の斜視図である。
【図４】  本願発明に基づいた実施の形態１における光ディスク対物レンズ駆動装置１００の弾性支持部材３の撓みを示す側面図である。
【図５】  弾性支持部材３における屈曲間長さＬ３と対物レンズ１の傾きとの関係を示す図である。
【図６】  本願発明に基づいた実施の形態１における光ディスク対物レンズ駆動装置１００の弾性支持部材３と従来の弾性支持部材における、固定部付近のエッチング幅と対物レンズ１の傾きとの関係を示す図である。
【図７】  本願発明に基づいた実施の形態１における光ディスク用対物レンズ駆動装置１００の弾性支持部材３の変形例１を示す側面図である。
【図８】  本願発明に基づいた実施の形態１における光ディスク用対物レンズ駆動装置１００の弾性支持部材３の変形例２を示す側面図である。
【図９】  （ａ）および（ｂ）は、図７に示す弾性支持部材３の屈曲部付近の変形例を示す側面図である。
【図１０】  本願発明に基づいた実施の形態１における光ディスク用対物レンズ駆動装置１００の弾性支持部材３と変形例２における、固定部付近のエッチング幅と対物レンズ１の傾きとの関係を示す図である。
【図１１】  本願発明に基づいた実施の形態２における光ディスク用対物レンズ駆動装置１００の弾性支持部材３を示す側面図である。
【図１２】  図１１に示す弾性支持部材のダンパ材の有無の条件における、対物レンズ１の傾きの比較を示す図である。
【図１３】  本願発明に基づいた実施の形態３における光ディスク用対物レンズ駆動装置の弾性支持部材３を示す平面図である。
【図１４】  本願発明に基づいた実施の形態１〜３における光ディスク用対物レンズ駆動装置１００を組込んだ、光記録再生装置の概略を示す平面図である。
【図１５】  従来の技術における光ディスク用対物レンズ駆動装置１００の側面図である。
【図１６】  従来の技術における光ディスク用駆動装置１００の平面図である。
【図１７】  従来の技術における光ディスク用対物レンズ駆動装置１０１の、対物レンズ移動時の側面図である。
【図１８】  背景の技術における弾性支持部材３を用いた光ディスク用対物レンズ駆動装置１０１の、対物レンズ移動時の側面図である。
【図１９】  直線形状の両持ち梁における、長手方向位置と撓み角の関係を示す図である。
【図２０】  背景の技術における弾性支持部材３のスペックを示す側面図である。
【図２１】  背景の技術における弾性支持部材３を用いた光ディスク用対物レンズ駆動装置１０１の、対物レンズ移動時の固定部付近のエッチング幅と対物レンズ傾きとの関係を示す図である。
【図２２】  背景の技術における弾性支持部材３を用いた光ディスク用対物レンズ駆動装置１０１の、ダンパ材を設置した場合の対物レンズ移動時の側面図である。
【符号の説明】
１  対物レンズ、２  対物レンズホルダ、３  弾性支持部材、３ａ  第１直線部、３ｂ  連結直線部、３ｃ  第２直線部、３ｄ，３ｅ  屈曲部、３ｆ  分岐腕部、３ｇ  固定張出部、４  磁石、５  ヨーク、５ａ  内ヨーク、５ｂ  外ヨーク、６  フォーカスコイル、７  トラッキングコイル、８  取付部材、９  反射ミラー、１０  光ディスク、１１  固定部、１２  ダンパ材、１３  可動部、１４  光軸、１６  スピンドルモータ、１７  光ディスク用対物レンズ駆動装置、１８  光学部品、１９  光学ユニット、２０  送り機構、１００，１０１  光ディスク用対物レンズ駆動装置、２００  光記録再生装置。
【図１】
0003683809.tif 000002
【図２】
0003683809.tif 000003
【図３】
0003683809.tif 000004
【図４】
0003683809.tif 000005
【図５】
0003683809.tif 000006
【図６】
0003683809.tif 000007
【図７】
0003683809.tif 000008
【図８】
0003683809.tif 000009
【図９】
0003683809.tif 000010
【図１０】
0003683809.tif 000011
【図１１】
0003683809.tif 000012
【図１２】
0003683809.tif 000013
【図１３】
0003683809.tif 000014
【図１４】
0003683809.tif 000015
【図１５】
0003683809.tif 000016
【図１６】
0003683809.tif 000017
【図１７】
0003683809.tif 000018
【図１８】
0003683809.tif 000019
【図１９】
0003683809.tif 000020
【図２０】
0003683809.tif 000021
【図２１】
0003683809.tif 000022
【図２２】
0003683809.tif 000023