(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多段状に積層された複数個の収納棚を有するバッファ部と、該バッファ部の有する任意の収納棚に対してそれぞれアクセスすることが可能な第１及び第２のロボットと、該第１及び第２のロボットをそれぞれ独立して制御する第１及び第２のコントローラと、を備えたロボットアクセスシステムであって、
前記第２のコントローラは、前記第２のロボットを前記バッファ部における或る収納棚にアクセスさせる際に、前記第１のコントローラに対し、アクセスさせようとしている前記収納棚であるアクセス対象収納棚へのアクセス許可を要請するアクセス要請信号と前記バッファ部における前記アクセス対象収納棚の位置を示す位置情報とを出力し、その後、前記第１のコントローラから、前記アクセス対象収納棚へのアクセスを許可をするアクセス許可信号が入力されるまでの間、前記第２のロボットを前記アクセス対象収納棚へアクセスさせず、前記アクセス許可信号が入力されたら、前記第２のロボットを前記アクセス対象収納棚へアクセスさせると共に、
前記第１のコントローラは、前記第２のコントローラから、前記アクセス要請信号と前記位置情報とが入力されたら、前記位置情報を基にして、前記バッファ部における前記アクセス対象収納棚の位置を特定し、前記アクセス対象収納棚が、前記第１のロボットがアクセスしているまたはアクセスしようとしている収納棚及びその上下の収納棚の何れかであるか否かを判定し、何れでもない場合には、前記第１のロボットと前記第２のロボットとの間で相互干渉の生じる可能性がないとして、前記第２のコントローラに対し、前記アクセス許可信号を出力し、何れかである場合には、前記相互干渉の生じる可能性があるとして、前記第２のコントローラに対し、前記アクセス許可信号を出力せず、その後、前記相互干渉の生じる可能性がなくなったら、前記アクセス許可信号を出力し、該アクセス許可信号を出力した場合には、前記第２のロボットによるアクセスが完了するまでの間、前記第１のロボットを、前記相互干渉が生じる可能性がある収納棚へはアクセスさせないようにすることを特徴とするロボットアクセスシステム。
【請求項２】
多段状に積層された複数個の収納棚を有するバッファ部と、該バッファ部の有する任意の収納棚に対してそれぞれアクセスすることが可能な複数のロボットと、各ロボットをそれぞれ独立して制御する複数のコントローラと、を備えたロボットアクセスシステムであって、
前記複数のコントローラが共通して、前記バッファ部における各収納棚に対応したフラグをそれぞれ設定することが可能なフラグ設定手段をさらに備え、
前記複数のコントローラは、それぞれ、制御対象であるロボットを前記バッファ部における或る収納棚にアクセスさせる際に、前記フラグ設定手段において、アクセスさせようとしている前記収納棚であるアクセス対象収納棚及びその上下の収納棚の何れかに対応したフラグが設定されているか否かを判定し、前記アクセス対象収納棚及びその上下の収納棚の何れかに対応したフラグが設定されていない場合には、前記フラグ設定手段に、前記アクセス対象収納棚に対応したフラグを設定した後、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象収納棚にアクセスさせ、前記アクセス対象収納棚及びその上下の収納棚の何れかに対応したフラグが設定されている場合には、該フラグの設定が解除されるまでの間、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象収納棚にアクセスさせず、その後、前記フラグの設定が解除されたら、前記フラグ設定手段に前記アクセス対象収納棚に対応したフラグを設定した後、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象収納棚にアクセスさせると共に、
その後、前記制御対象ロボットによる前記アクセス対象収納棚へのアクセスが完了したら、前記フラグ設定手段に設定した前記フラグを解除することを特徴とするロボットアクセスシステム。
【請求項３】
多段状に積層された複数個の収納棚を有するバッファ部と、該バッファ部の有する任意の収納棚に対してそれぞれアクセスすることが可能な第１及び第２のロボットと、該第１及び第２のロボットをそれぞれ独立して制御する第１及び第２のコントローラと、を備えたロボットアクセスシステムを制御するための制御方法であって、
（ａ）前記第２のコントローラが、前記第２のロボットを前記バッファ部における或る収納棚にアクセスさせる際に、前記第２のコントローラが、前記第１のコントローラに対し、アクセスさせようとしている前記収納棚であるアクセス対象収納棚へのアクセス許可を要請するアクセス要請信号と前記バッファ部における前記アクセス対象収納棚の位置を示す位置情報とを出力する工程と、
（ｂ）前記第２のコントローラが、前記第１のコントローラから、前記アクセス対象収納棚へのアクセスを許可をするアクセス許可信号を入力されるまでの間、前記第２のコントローラが、前記第２のロボットを前記アクセス対象収納棚へアクセスさせず、前記第１のコントローラから、前記アクセス許可信号を入力されたら、前記第２のロボットを前記アクセス対象収納棚へアクセスさせる工程と、
（ｃ）前記第１のコントローラが、前記第２のコントローラから、前記アクセス要請信号と前記位置情報とを入力された場合に、前記第１のコントローラが、前記位置情報を基にして、前記バッファ部における前記アクセス対象収納棚の位置を特定し、前記アクセス対象収納棚が、前記第１のロボットがアクセスしているまたはアクセスしようとしている収納棚及びその上下の収納棚の何れかであるか否かを判定する工程と、
（ｄ）判定の結果、何れでもない場合には、前記第１のロボットと前記第２のロボットとの間で相互干渉の生じる可能性がないとして、前記第１のコントローラが、前記第２のコントローラに対し、前記アクセス許可信号を出力する工程と、
（ｅ）判定の結果、何れかである場合には、前記相互干渉の生じる可能性があるとして、前記第１のコントローラが、前記第２のコントローラに対し、前記アクセス許可信号を出力せず、その後、前記相互干渉の生じる可能性がなくなったら、前記アクセス許可信号を出力する工程と、
（ｆ）前記第１のコントローラが、前記第２のコントローラに対し、前記アクセス許可信号を出力した場合には、前記第２のロボットによるアクセスが完了するまでの間、前記第１のコントローラが、前記第１のロボットを、前記相互干渉が生じる可能性がある収納棚へアクセスさせないようにする工程と、
を備える制御方法。
【請求項４】
多段状に積層された複数個の収納棚を有するバッファ部と、該バッファ部の有する任意の収納棚に対してそれぞれアクセスすることが可能な複数のロボットと、各ロボットをそれぞれ独立して制御する複数のコントローラと、該複数のコントローラが共通して、前記バッファ部における各収納棚に対応したフラグをそれぞれ設定することが可能なフラグ設定手段と、を備えたロボットアクセスシステムを制御するための制御方法であって、
（ａ）前記コントローラが、制御対象であるロボットを前記バッファ部における或る収納棚にアクセスさせる際に、前記フラグ設定手段において、アクセスさせようとしている前記収納棚であるアクセス対象収納棚及びその上下の収納棚の何れかに対応したフラグが設定されているか否かを判定する工程と、
（ｂ）判定の結果、前記アクセス対象収納棚及びその上下の収納棚の何れかに対応したフラグが設定されていない場合には、前記コントローラが、前記フラグ設定手段に、前記アクセス対象収納棚に対応したフラグを設定した後、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象収納棚にアクセスさせる工程と、
（ｃ）判定の結果、前記アクセス対象収納棚及びその上下の収納棚の何れかに対応したフラグが設定されている場合には、前記コントローラが、前記フラグの設定が解除されるまでの間、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象収納棚にアクセスさせず、その後、前記フラグの設定が解除されたら、前記フラグ設定手段に前記アクセス対象収納棚に対応したフラグを設定した後、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象収納棚にアクセスさせる工程と、
（ｄ）前記制御対象ロボットによる前記アクセス対象収納棚へのアクセスが完了したら、前記コントローラが、前記フラグ設定手段に設定した前記フラグを解除する工程と、
を備える制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有効範囲内における何れの領域にもそれぞれアクセスすることが可能な複数のロボットを制御する技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、或る領域にそれぞれアクセスすることが可能な２台のロボットと、各ロボットをそれぞれ独立して制御する２つのコントローラと、を備えた従来のロボットアクセスシステムにおいては、コントローラは、その制御対象であるロボットを上記領域にアクセスさせた場合、他方のコントローラに対し、アクセスさせている間、継続して告知信号を出力するようにしていた。また、これに対し、他方のコントローラは、上記告知信号が入力されている間、そのコントローラの制御対象ロボットを上記領域にアクセスさせないようにしていた。
【０００３】
しかし、このようなロボットアクセスシステムにおいては、コントローラは、その制御対象ロボットを上記領域にアクセスさせようとしている場合、相手のコントローラから告知信号が入力されない限り、そのままアクセスさせてしまう。そのため、両方のコントローラがそれぞれの制御対象ロボットを上記領域に同時にアクセスさせようとしている場合には、何れのコントローラも、相手のコントローラから告知信号が入力されてこないので、そのまま、それぞれの制御対象ロボットを上記領域に同時にアクセスさせてしまい、上記領域において、相互干渉を生じる恐れがあった。
【０００４】
そこで、これを回避するために、従来の改良されたロボットアクセスシステムにおいては、制御対象であるロボットを上記領域にアクセスさせようとする場合、そのコントローラは、相手のコントローラに対し告知信号を出力し、その後、一定時間、相手のコントローラから告知信号が入力されるかどうかを見極め、告知信号が入力されなければ、その制御対象ロボットを上記領域にアクセスさせ、告知信号が入力されたら、制御対象ロボットを上記領域にアクセスさせないようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のロボットアクセスシステムにおいては、ロボットがアクセスする領域は常に同じ領域であり、その領域が変わることはなかった。従って、例えば、予め定められた有効範囲内において、ロボットが何れの領域にもアクセスすることができ、ロボットのアクセスする領域が常に変わるような場合において、アクセス時のロボット間の相互干渉を回避することについては、特に考慮されていなかった。
【０００６】
また、従来のロボットアクセスシステムにおいては、コントローラは告知信号を出力した後、相手のコントローラから告知信号が入力されるかどうかを、告知信号が実際に入力されても入力されなくても常に一定の時間、見極める必要があるので、ロボットの平均アクセス速度が遅くなってしまうという問題があった。
【０００７】
従って、本発明の目的は、上記した従来技術の問題点を解決し、ロボットのアクセスする領域が常に変わるような場合でも、アクセス時のロボット間の相互干渉を回避でき、また、ロボットの平均アクセス速度を向上させることができるロボットアクセスシステム及びロボットアクセス方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】
上記した目的の少なくとも一部を達成するために、本発明の第１のロボットアクセスシステムは、多段状に積層された複数個の収納棚を有するバッファ部と、該バッファ部の有する任意の収納棚に対してそれぞれアクセスすることが可能な第１及び第２のロボットと、該第１及び第２のロボットをそれぞれ独立して制御する第１及び第２のコントローラと、を備えたロボットアクセスシステムであって、
前記第２のコントローラは、前記第２のロボットを前記バッファ部における或る収納棚にアクセスさせる際に、前記第１のコントローラに対し、アクセスさせようとしている前記収納棚であるアクセス対象収納棚へのアクセス許可を要請するアクセス要請信号と前記バッファ部における前記アクセス対象収納棚の位置を示す位置情報とを出力し、その後、前記第１のコントローラから、前記アクセス対象収納棚へのアクセスを許可をするアクセス許可信号が入力されるまでの間、前記第２のロボットを前記アクセス対象収納棚へアクセスさせず、前記アクセス許可信号が入力されたら、前記第２のロボットを前記アクセス対象収納棚へアクセスさせると共に、
前記第１のコントローラは、前記第２のコントローラから、前記アクセス要請信号と前記位置情報とが入力されたら、前記位置情報を基にして、前記バッファ部における前記アクセス対象収納棚の位置を特定し、前記アクセス対象収納棚が、前記第１のロボットがアクセスしているまたはアクセスしようとしている収納棚及びその上下の収納棚の何れかであるか否かを判定し、何れでもない場合には、前記第１のロボットと前記第２のロボットとの間で相互干渉の生じる可能性がないとして、前記第２のコントローラに対し、前記アクセス許可信号を出力し、何れかである場合には、前記相互干渉の生じる可能性があるとして、前記第２のコントローラに対し、前記アクセス許可信号を出力せず、その後、前記相互干渉の生じる可能性がなくなったら、前記アクセス許可信号を出力し、該アクセス許可信号を出力した場合には、前記第２のロボットによるアクセスが完了するまでの間、前記第１のロボットを、前記相互干渉が生じる可能性がある収納棚へはアクセスさせないようにすることを要旨とする。
【０００９】
また、本発明の第１のロボットアクセスシステム制御方法は、多段状に積層された複数個の収納棚を有するバッファ部と、該バッファ部の有する任意の収納棚に対してそれぞれアクセスすることが可能な第１及び第２のロボットと、該第１及び第２のロボットをそれぞれ独立して制御する第１及び第２のコントローラと、を備えたロボットアクセスシステムを制御するための制御方法であって、
（ａ）前記第２のコントローラが、前記第２のロボットを前記バッファ部における或る収納棚にアクセスさせる際に、前記第２のコントローラが、前記第１のコントローラに対し、アクセスさせようとしている前記収納棚であるアクセス対象収納棚へのアクセス許可を要請するアクセス要請信号と前記バッファ部における前記アクセス対象収納棚の位置を示す位置情報とを出力する工程と、
（ｂ）前記第２のコントローラが、前記第１のコントローラから、前記アクセス対象収納棚へのアクセスを許可をするアクセス許可信号を入力されるまでの間、前記第２のコントローラが、前記第２のロボットを前記アクセス対象収納棚へアクセスさせず、前記第１のコントローラから、前記アクセス許可信号を入力されたら、前記第２のロボットを前記アクセス対象収納棚へアクセスさせる工程と、
（ｃ）前記第１のコントローラが、前記第２のコントローラから、前記アクセス要請信号と前記位置情報とを入力された場合に、前記第１のコントローラが、前記位置情報を基にして、前記バッファ部における前記アクセス対象収納棚の位置を特定し、前記アクセス対象収納棚が、前記第１のロボットがアクセスしているまたはアクセスしようとしている収納棚及びその上下の収納棚の何れかであるか否かを判定する工程と、
（ｄ）判定の結果、何れでもない場合には、前記第１のロボットと前記第２のロボットとの間で相互干渉の生じる可能性がないとして、前記第１のコントローラが、前記第２のコントローラに対し、前記アクセス許可信号を出力する工程と、
（ｅ）判定の結果、何れかである場合には、前記相互干渉の生じる可能性があるとして、前記第１のコントローラが、前記第２のコントローラに対し、前記アクセス許可信号を出力せず、その後、前記相互干渉の生じる可能性がなくなったら、前記アクセス許可信号を出力する工程と、
（ｆ）前記第１のコントローラが、前記第２のコントローラに対し、前記アクセス許可信号を出力した場合には、前記第２のロボットによるアクセスが完了するまでの間、前記第１のコントローラが、前記第１のロボットを、前記相互干渉が生じる可能性がある収納棚へアクセスさせないようにする工程と、
を備えることを要旨とする。
【００１４】
従って、本発明の第１のロボットアクセスシステム及びロボットアクセスシステム制御方法によれば、ロボットのアクセスする領域が変化するような場合であっても、アクセス時にロボット間の相互干渉を生じることがない。
また、本発明の第１のロボットアクセスシステムまたはロボットアクセスシステム制御方法によれば、第２のロボットは、バッファ部における或る収納棚にアクセスする場合、第２のコントローラにアクセス許可信号が入力されるまで待機していなければいけないが、第１のコントローラは第１のロボットが特定の収納棚にアクセスしていない限り、直ちにアクセス許可信号を出力するので、第２のロボットは、従来のように常に一定の時間、待機している必要はない。また、第１のロボットは、バッファ部における或る収納棚にアクセスする場合、第１のコントローラが第２のコントローラに対しアクセス許可信号を出力していないか、或いは出力していても、第２のロボットとの間で相互干渉が生じる可能性がない限り、待機することなく、その収納棚に直ちにアクセスすることができる。よって、全体的にロボットの平均アクセス速度を向上させることができるので、ロボットのアクセス頻度が高いような場合にも十分対応することができる。
また、第２のコントローラ自体は第２のロボットをどの収納棚にアクセスさせようとしているか認識しているので、その収納棚の位置を示す情報を第１のコントローラに送ることによって、第１のコントローラでは、第２のロボットのアクセス対象収納棚を正確に特定することができる。
【００１７】
本発明の第２のロボットアクセスシステムは、多段状に積層された複数個の収納棚を有するバッファ部と、該バッファ部の有する任意の収納棚に対してそれぞれアクセスすることが可能な複数のロボットと、各ロボットをそれぞれ独立して制御する複数のコントローラと、を備えたロボットアクセスシステムであって、
前記複数のコントローラが共通して、前記バッファ部における各収納棚に対応したフラグをそれぞれ設定することが可能なフラグ設定手段をさらに備え、
前記複数のコントローラは、それぞれ、制御対象であるロボットを前記バッファ部における或る収納棚にアクセスさせる際に、前記フラグ設定手段において、アクセスさせようとしている前記収納棚であるアクセス対象収納棚及びその上下の収納棚の何れかに対応したフラグが設定されているか否かを判定し、前記アクセス対象収納棚及びその上下の収納棚の何れかに対応したフラグが設定されていない場合には、前記フラグ設定手段に、前記アクセス対象収納棚に対応したフラグを設定した後、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象収納棚にアクセスさせ、前記アクセス対象収納棚及びその上下の収納棚の何れかに対応したフラグが設定されている場合には、該フラグの設定が解除されるまでの間、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象収納棚にアクセスさせず、その後、前記フラグの設定が解除されたら、前記フラグ設定手段に前記アクセス対象収納棚に対応したフラグを設定した後、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象収納棚にアクセスさせると共に、
その後、前記制御対象ロボットによる前記アクセス対象収納棚へのアクセスが完了したら、前記フラグ設定手段に設定した前記フラグを解除することを要旨とする。
【００１８】
また、本発明の第２のロボットアクセスシステム制御方法は、多段状に積層された複数個の収納棚を有するバッファ部と、該バッファ部の有する任意の収納棚に対してそれぞれアクセスすることが可能な複数のロボットと、各ロボットをそれぞれ独立して制御する複数のコントローラと、該複数のコントローラが共通して、前記バッファ部における各収納棚に対応したフラグをそれぞれ設定することが可能なフラグ設定手段と、を備えたロボットアクセスシステムを制御するための制御方法であって、
（ａ）前記コントローラが、制御対象であるロボットを前記バッファ部における或る収納棚にアクセスさせる際に、前記フラグ設定手段において、アクセスさせようとしている前記収納棚であるアクセス対象収納棚及びその上下の収納棚の何れかに対応したフラグが設定されているか否かを判定する工程と、
（ｂ）判定の結果、前記アクセス対象収納棚及びその上下の収納棚の何れかに対応したフラグが設定されていない場合には、前記コントローラが、前記フラグ設定手段に、前記アクセス対象収納棚に対応したフラグを設定した後、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象収納棚にアクセスさせる工程と、
（ｃ）判定の結果、前記アクセス対象収納棚及びその上下の収納棚の何れかに対応したフラグが設定されている場合には、前記コントローラが、前記フラグの設定が解除されるまでの間、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象収納棚にアクセスさせず、その後、前記フラグの設定が解除されたら、前記フラグ設定手段に前記アクセス対象収納棚に対応したフラグを設定した後、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象収納棚にアクセスさせる工程と、
（ｄ）前記制御対象ロボットによる前記アクセス対象収納棚へのアクセスが完了したら、前記コントローラが、前記フラグ設定手段に設定した前記フラグを解除する工程と、
を備えることを要旨とする。
【００１９】
従って、本発明の第２のロボットアクセスシステム及びロボットアクセスシステム制御方法によれば、ロボットのアクセスする領域が変化するような場合であっても、アクセス時にロボット間の相互干渉を生じることがない。
また、本発明の第２のロボットアクセスシステム及びロボットアクセスシステム制御方法によれば、ロボットは、或る収納棚にアクセスする場合、フラグ設定手段に特定の収納棚に対応したフラグが設定されていなければ、アクセス対象収納棚に直ちにアクセスすることができるので、従来のように常に一定の時間、待機している必要はない。よって、全体的にロボットの平均アクセス速度を向上させることができるので、ロボットのアクセス頻度が高いような場合にも十分対応することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を実施例に基づいて説明する。図１は本発明の第１の実施例としてのロボットアクセスシステムの構成を示すブロック図であり、図２は図１のロボットアクセスシステムを適用した基板処理装置の全体構成を示す平面図であり、図３は図２におけるインタフェースユニットを露光ユニット側から見た正面図である。図２，図３には、位置関係を明確にするためにＸＹＺ直交座標系を付している。
【００２３】
図１に示すロボットアクセスシステムについて説明する前に、このロボットアクセスシステムが適用される基板処理装置について説明する。
【００２４】
図２に示す基板処理装置は、半導体ウエハ（基板）に対してフォトリソグラフィ工程の各基板処理を行なうための基板処理装置であって、インデクサ１、処理ユニット２、インタフェースユニット（ＩＦユニット）３、露光ユニット４などを備えている。
【００２５】
インデクサ１は、キャリア自動搬送装置５との間でキャリアＣの受け渡しを行なうための搬入出テーブル１１や、搬入出テーブル１１に載置されているキャリアＣと後述する処理ユニット２内の基板搬送ロボット２３との間で基板Ｗの受け渡しを行なうための基板搬入出ロボット１２などを備えている。
【００２６】
処理ユニット２は、第１の装置配置部２１と第２の装置配置部２２と基板搬送ロボット２３の搬送経路２４とを備えている。第１の装置配置部２１には、図２のＸ軸方向に沿って、レジスト塗布を行なうためのスピンコーターＳＣや、現像を行なうためのスピンディベロッパーＳＤなどがそれぞれ複数台配設されている。また、第２の装置配置部２２には、プリベークやポストベークなどを行なうためのベークユニットＢＵや、複数台のエッジ露光部ＥＥＷなどが配設されている。また、第２の装置配置部２２のＩＦユニット３側の端部付近には、ＩＦユニット３内の後述する第１の基板搬送ロボット３１との間で基板Ｗの受け渡しを行なうための基板受け渡し台２５が設けられている。基板受け渡し台２５には、複数本の基板支持ピン２５ａが鉛直方向に立設されており、これら基板支持ピン２５ａに基板Ｗが載置されて基板Ｗの受け渡しが行なわれる。
【００２７】
基板搬送ロボット２３の搬送経路２４は、第１，第２の装置配置部２１，２２の間に設けられている。基板搬送ロボット２３は、基板Ｗを載置支持する複数の突起２３ａを備えた馬蹄型のハンド２３ｂと、ハンド２３ｂを水平方向（Ｘ−Ｙ平面）に伸縮させる伸縮部２３ｃと、伸縮部２３ｃを介してハンド２３ｂをＺ軸周りに回転させる回転部（図示せず）と、伸縮部２３ｃ，回転部を介してハンド２３ｂをＺ軸方向に移動させるＺ方向移動部２３ｅと、伸縮部２３ｃ，回転部，Ｚ方向移動部２３ｅを介してハンド２３ｂをＸ軸方向に移動させるＸ方向移動部２３ｆと、を備えている。このうち、伸縮部２３ｃやＺ方向移動部２３ｅやＸ方向移動部２３ｆは、ネジ軸２３ｇ、モータ２３ｈ、ガイド軸２３ｉからなる周知の１軸方向移動機構で構成されている。
【００２８】
以上のような構成によって、基板搬送ロボット２３は、ハンド２３ｂのＺ軸周りの回転やＸ，Ｚ軸方向の移動，伸縮を適宜組み合わせて、スピンコーターＳＣ、スピンディベロッパーＳＤ、ベークユニットＢＵ、冷却装置、エッジ露光部ＥＥＷなどの処理装置に対するアクセス（各装置に対する基板Ｗの搬入／搬出動作）や、基板受け渡し台２５に対する基板Ｗの載置／取り出しや、処理ユニット２内の各装置の間における基板Ｗの搬送を行なう。
【００２９】
ＩＦユニット３は、本発明のロボットアクセスシステムが適用される部分であって、図２，図３に示すように、第１の基板搬送ロボット３１とバッファ部３２と第２の基板搬送ロボット３３と基板搬入台３４と基板搬出台３５とを一体的にユニット化して構成されている。また、ＩＦユニット３は、さらに、第１，第２のカセット３６ａ，３６ｂをそれぞれセットしておくための２個のテーブル台３７ａ，３７ｂも備えている。
【００３０】
第１の基板搬送ロボット３１は、Ｚ方向駆動部３１ａ、連結部材３１ｂ、回転駆動部３１ｃ、伸縮駆動部３１ｄ、基板支持部３１ｅなどで構成されている。Ｚ方向駆動部３１ａは、ＩＦユニット３の下面に固定されており、その内部に、Ｚ軸方向に沿って回転自在に立設されているネジ軸３１ａａと、ネジ軸３１ａａと平行に配されたガイド軸（図示せず）と、ネジ軸３１ａａを正逆方向に回転させるモータ３１ａｂと、を備えている。連結部材３１ｂは、その基端部がＺ方向駆動部３１ａ内のネジ軸３１ａａに螺合され、ガイド軸に摺動自在に嵌め付けられていて、ネジ軸３１ａａが正逆方向に回転することによって、Ｚ軸方向に移動できるようになっている。また、連結部材３１ｂの先端部には、回転駆動部３１ｃが固定されている。
【００３１】
回転駆動部３１ｃは、その内部に、Ｚ軸方向に回転自在に立設されている回転軸３１ｃａと、回転軸３１ｃａを正逆方向に回転させるモータ３１ｃｂと、を備えている。また、回転軸３１ｃａの先端部には、伸縮駆動部３１ｄが固定されている。伸縮駆動部３１ｄは、その内部に、モータ３１ｄａと、そのモータ３１ｄａによって駆動されるタイミングベルト３１ｄｂと、を備えている。このタイミングベルト３１ｄｂの一部には基板支持部３１ｅの基端部が連結されていて、タイミングベルト３１ｄｂを駆動させることによって、伸縮駆動部３１ｄに対し基板支持部３１ｅが伸縮するようになっている。また、回転駆動部３１ｃの回転軸３１ｃａを正逆方向に回転させることによって、伸縮駆動部３１ｄ及び基板支持部３１ｅをＺ軸周りに回転させて、Ｘ−Ｙ平面（水平面）内の任意の方向に基板支持部３１ｅを伸縮できるようにしている。さらにまた、Ｚ方向駆動部３１ａのネジ軸３１ａａを正逆方向に回転させることによって、連結部材３１ｂ，回転駆動部３１ｃ，伸縮駆動部３１ｄを介して、基板支持部３１ｅのＺ軸方向の高さを調整できるようにしている。
【００３２】
以上のような構成によって、第１の基板搬送ロボット３１は、処理ユニット２内の基板受け渡し台２５に対する基板Ｗの載置／取り出しや、後述するバッファ部３２の任意の収納棚３２ａに対する基板Ｗの収納／取り出しを行なう。即ち、基板受け渡し台２５に対する基板Ｗの載置／取り出しは、基板支持部３１ｅの正面が基板受け渡し台２５の方に向くように伸縮駆動部３１ｄ等を移動させ、基板支持部３１ｅをＸ軸方向に伸縮することによって行い、バッファ部３２に対する基板Ｗの収納／取り出しは、基板支持部３１ｅの正面がバッファ部３２の方に向くように伸縮駆動部３１ｄ等を移動させ、基板支持部３１ｅをＹ軸方向に伸縮することによって行なう。
【００３３】
なお、図３において、開口部２ａは、処理ユニット２とＩＦユニット３との間で基板Ｗを受け渡すときに、基板Ｗを支持した第１の基板搬送ロボット３１を通過させるために開いている。
【００３４】
第２の基板搬送ロボット３３は、Ｙ方向駆動部３３ａ、第１の連結部材３３ｂ、Ｚ方向駆動部３３ｃ、第２の連結部材３３ｄ、回転駆動部３３ｅ、伸縮駆動部３３ｆ、基板支持部３３ｇなどで構成されている。Ｙ方向駆動部３３ａは、ＩＦユニット３の内側面に固定されており、その内部に、Ｙ軸方向に沿って回転自在に立設されているネジ軸３３ａａと、ネジ軸３３ａａと平行に配されたガイド軸３３ａｂと、ネジ軸３３ａａを正逆方向に回転させるモータ３３ａｃと、を備えている。第１の連結部材３３ｂは、Ｙ方向駆動部３３ａ内のネジ軸３３ａａに螺合され、ガイド軸３３ａｂに摺動自在に嵌め付けられていて、ネジ軸３３ａａが正逆方向に回転することによって、Ｙ軸方向に移動できるようになっている。また、第１の連結部材３３ｂの上部には、Ｚ方向駆動部３３ｃが固定されている。
【００３５】
第２の基板搬送ロボット３３において、Ｚ方向駆動部３３ｃ、第２の連結部材３３ｄ、回転駆動部３３ｅ、伸縮駆動部３３ｆ、基板支持部３３ｇは、それぞれ、第１の基板搬送ロボット３１におけるＺ方向駆動部３１ａ、連結部材３１ｂ、回転駆動部３１ｃ、伸縮駆動部３１ｄ、基板支持部３１ｅと同様の構成を成しており、同様の動作を行なうことができる。即ち、第２の基板搬送ロボット３３においても、伸縮駆動部３３ｆに対して基板支持部３３ｇが伸縮するようになっており、また、回転駆動部３３ｅによって伸縮駆動部３３ｆ及び基板支持部３３ｇをＺ軸周りに回転させて、Ｘ−Ｙ平面（水平面）内の任意の方向に基板支持部３３ｇを伸縮できるようになっている。また、Ｚ方向駆動部３３ｃによって、第２の連結部材３３ｄ，回転駆動部３３ｅ，伸縮駆動部３３ｆを介して、基板支持部３３ｇのＺ軸方向の高さを調整できるようになっている。
【００３６】
また、その他、第２の基板搬送ロボット３３においては、Ｙ方向駆動部３３ａのネジ軸３３ａａを正逆方向に回転させることによって、第１の連結部材３３ｂ，Ｚ方向駆動部３３ｃ，第２の連結部材３３ｄ，回転駆動部３３ｅを介して、伸縮駆動部３３ｆ及び基板支持部３３ｇのＹ軸方向の位置を変え得るようにしている。
【００３７】
以上のような構成によって、第２の基板搬送ロボット３３は、バッファ部３２の任意の収納棚３２ａに対する基板Ｗの収納／取り出しや、基板搬入台３４への基板Ｗの載置や、基板搬出台３５からの基板Ｗの取り出しや、後述するカセット３６ａ，３６ｂに対する基板Ｗの収納／取り出しを行なう。即ち、バッファ部３２に対する基板Ｗの収納／取り出しは、基板支持部３３ｇの正面がバッファ部３２の方に向くように伸縮駆動部３３ｆ等を移動させ、基板支持部３３ｇをＹ軸方向に伸縮することによって行ない、基板搬入台３４や基板搬出台３５に対する基板Ｗの載置や取り出しは、伸縮駆動部３３ｆ等を、基板搬入台３４や基板搬出台３５の前まで移動させると共に、基板支持部３３ｇの正面が基板搬入台３４や基板搬出台３５の方に向くように移動させて、基板支持部３１ｅをＸ軸方向に伸縮することによって行なう。
【００３８】
図４は図２におけるバッファ部付近の概略構成を示す斜視図である。バッファ部３２は、上記した第１の基板搬送ロボット３１と第２の基板搬送ロボット３３と間に配置されており、ＩＦユニット３の内側面に支持されている。このバッファ部３２には、図４に示すように、複数個（例えば、５０個）の収納棚３２ａがＺ方向に多段状に積層されている。また、各収納棚３２ａは、第１の基板搬送ロボット３１及び第２の基板搬送ロボット３３に面した部分が開口されており、上述したように、第１，第２の基板搬送ロボット３１，３３によって基板Ｗの収納／取り出しが行えるようになっている。なお、各収納棚３２ａには下から順番に番号が付されており、従って、その棚番号を指定することによって、複数の収納棚から、任意の棚を特定することができる。
【００３９】
図５は図４における第１の基板搬送ロボットによって基板の収納を行なう際の動作を説明するための説明図である。第１の基板搬送ロボット３１がバッファ部３２の任意の収納棚３２ａへ基板Ｗを収納する場合、図５に示すように、まず、回転駆動部３１ｃによって、基板支持部３１ｅの正面をバッファ部３２の開口部に向けると共に、Ｚ方向駆動部３１ａによって、基板支持部３１ｅの高さを、基板Ｗを収納しようとする収納棚３２ａの高さに合わせる。次に、伸縮駆動部３１ｄによって基板支持部３１ｅを伸張させて、支持している基板Ｗを収納すべき収納棚３２ａに挿入した後、Ｚ方向駆動部３１ａによって基板支持部３１ｅを微少量降下させて、基板Ｗをその収納棚３２ａに載置収納し、その後、収納した基板Ｗの裏面から離れた位置で基板支持部３１ｅを停止させる。そして、伸縮駆動部３１ｄによって基板支持部３１ｅを収縮させて、基板支持部３１ｅを収納棚３２ａから退出させ、任意の収納棚３２ａへの基板Ｗの収納を終了する。
【００４０】
一方、バッファ部３２の任意の収納棚３２ａからの基板Ｗの取り出しは、上述した基板Ｗの収納動作と逆の動作によって行なわれ、即ち、基板支持部３１ｅによって、収納されている基板Ｗを下方から持ち上げるようにして行なわれる。
【００４１】
なお、第２の基板搬送ロボット３３によるバッファ部３２の任意の収納棚３２ａに対する基板Ｗの収納／取り出しも、第１の基板搬送ロボット３１による収納／取り出しと同様の動作によって行なわれる。
【００４２】
また、図２，図３に示すように、基板搬入台３４，基板搬出台３５は、前述した処理ユニット２内の基板受け渡し台２５と同様に、複数本の基板支持ピン３４ａ，３５ａが鉛直方向に立設されており、これら基板支持ピン３４ａ，３５ａに基板Ｗが載置されて、露光ユニット４との間で基板Ｗの受け渡しが行なわれる。
【００４３】
第１，第２のカセット３６ａ，３６ｂは、それぞれ、テーブル台３７ａ，３７ｂにセットされており、それらの内部には、複数枚の基板Ｗを水平姿勢で収納しておくための複数個の収納棚（図示せず）が配置されている。これらカセット３６ａ，３６ｂは、パイロット基板を収納して露光テストをする場合などに用いられ、使用する際には、ＩＦユニット３の一側面に設けられた扉３８を開いて、テーブル台３７ａ，３７ｂにセットされる。
【００４４】
さて、以上説明した基板処理装置におけるＩＦユニット３においては、第１の基板搬送ロボット３１と第２の基板搬送ロボット３３が、同一のバッファ部３２に対してアクセス（即ち、基板Ｗの収納／取り出し）を行なっている。第１の基板搬送ロボット３１及び第２の基板搬送ロボット３３は、図１に示すようなロボットアクセスシステムにおいて、第１のコントローラ１００及び第２のコントローラ２００によってそれぞれ独立に制御されて、バッファ部３２に対するアクセスを行なっている。
【００４５】
図１において、第１のコントローラ１００は、プログラムに従って各種処理や制御を行なうためのＣＰＵ１１０と、上記プログラムや処理中に生じたデータなどを格納するための内部メモリ１２０と、第１の基板搬送ロボット３１や第２のコントローラ２００との間で種々の信号をやり取りするための入出力回路１３０と、を備えており、各構成要素はバス１４０によって接続されている。また、第２のコントローラ２００も、第１のコントローラ１００と同様の構成となっており、ＣＰＵ２１０と、内部メモリ２２０と、第２の基板搬送ロボット３３や第１のコントローラ１００との間で種々の信号をやり取りするための入出力回路２３０と、バス２４０と、を備えている。
【００４６】
なお、各入出力回路１３０，２３０からは、基板搬送ロボット３１，３３に対して基板搬送ロボット３１，３３をそれぞれ制御するための制御信号１５０，２５０が出力されており、逆に、基板搬送ロボット３１，３３からは、入出力回路１３０，２３０に対して、基板搬送ロボット３１，３３の動作状態などを表す検出信号１６０，２６０が出力されている。また、入出力回路１３０，２３０同士の間では後述するような特定の信号がやり取りされている。
【００４７】
さて、バッファ部３２には、前述したように複数個の収納棚３２ａがあるが、第１の基板搬送ロボット３１及び第２の基板搬送ロボット３３共、何れの収納棚３２ａに対してもアクセスを行なうことができるため、第１の基板搬送ロボット３１及び第２の基板搬送ロボット３３が、ほぼ同時に同一の収納棚３２ａに対してアクセスを行なうとすると、両者の間に相互干渉が生じる。また、同一の収納棚３２ａにアクセスしなくても、上下に隣接した２個の収納棚３２ａにほぼ同時にそれぞれアクセスしたとしても、同様に相互干渉が生じる。何故なら、図５において説明したように、或る収納棚３２ａに対して基板Ｗの収納／取り出しを行なう際には、基板支持部は必ずその収納棚のすぐ下の収納棚の部分を通過するため、仮に、下の収納棚に対して他方の基板支持部が基板Ｗの収納／取り出しを行なっていると、その収納棚において基板支持部同士がぶつかり合うからである。
【００４８】
そこで、本実施例においては、第１の基板搬送ロボット３１及び第１のコントローラ１００をメインとし、第２の基板搬送ロボット３３及び第２のコントローラ２００をスレーブとして、第１及び第２のコントローラ間で特定の信号のやり取りを行ないながら、第１の基板搬送ロボット３１と第２の基板搬送ロボット３３との間で相互干渉が生じないようにしている。
【００４９】
図６は図１の第２のコントローラ２００における処理手順を示すフローチャートであり、図７及び図８は図１の第１のコントローラ１００における処理手順を示すフローチャートである。
【００５０】
まず、スレーブ側である第２のコントローラ２００及び第２の基板搬送ロボット３３の動作について、図６を用いて説明する。
【００５１】
第２のコントローラ２００において、図６に示すように、処理が開始されると、まず、ＣＰＵ２１０が処理コマンドを受け付け（ステップＳ２０）、その処理コマンドが、第２の基板搬送ロボット３３によるバッファ部３２内の収納棚３２ａに対するアクセス（即ち、基板Ｗの収納／取り出し）の実行であるか否かを判定する（ステップＳ２２）。アクセスの実行以外の処理コマンドである場合には、その処理コマンドに対応した処理を行なう（ステップＳ３８）。しかし、処理コマンドがアクセスの実行である場合には、ＣＰＵ２１０は、入出力回路２３０を介して第１のコントローラ１００に対し棚番号信号２８０を出力する（ステップＳ２４）。出力された棚番号信号２８０は、第１のコントローラ１００において、入出力回路１３０を介してＣＰＵ１１０に入力される。この棚番号信号２８０は、第２の基板搬送ロボット３３をアクセスさせようとしている収納棚３２ａの番号を表す信号である。なお、この棚番号信号２８０は、後述するステップＳ３６において出力停止がなされるまで、継続して出力される。
【００５２】
次に、ＣＰＵ２１０は、入出力回路２３０を介して第２の基板搬送ロボット３３を制御して、第２の基板搬送ロボット３３を、アクセスさせるべき収納棚３２ａの前まで移動させる（ステップＳ２６）と共に、入出力回路２３０を介して第１のコントローラ１００に対しアクセス要請信号２７０を出力する（ステップＳ２８）。出力された対しアクセス要請信号２７０は、第１のコントローラ１００において、入出力回路１３０を介してＣＰＵ１１０に入力される。このアクセス要請信号２７０は、第１のコントローラ１００に対して、第２のコントローラ２００が、第２の基板搬送ロボット３３の上記収納棚（即ち、アクセスさせるべき収納棚）３２ａに対するアクセスの許可を要請するための信号である。なお、このアクセス要請信号２７０も、後述するステップＳ３６において出力停止がなされるまで、継続して出力される。
【００５３】
続いて、ＣＰＵ２１０は、第１のコントローラ１００からアクセス許可信号１７０が入出力回路２３０に入力されるかどうかを検知しながら、入力されるまで待機する。このアクセス許可信号１７０は、第２のコントローラ２００に対して、第１のコントローラ１００が、第２の基板搬送ロボット３３の上記収納棚（即ち、アクセスさせるべき収納棚）３２ａに対するアクセスを許可する信号である。
【００５４】
その後、第１のコントローラ１００から第２のコントローラ２００にアクセス許可信号が入力され、ＣＰＵ２１０がそれを検知したら、ＣＰＵ２１０は、入出力回路２３０を介して第２の基板搬送ロボット３３を制御して、第２の基板搬送ロボット３３に、アクセスさせるべき収納棚３２ａへのアクセスを開始させる（ステップＳ３２）。そして、第２の基板搬送ロボット３３がその収納棚３２ａに対し基板Ｗの収納／取り出しを行なって後、ＣＰＵ２１０がそのアクセスの完了を検知したら（ステップＳ３４）、ＣＰＵ２１０は、第１のコントローラ１００に対して行なっていた棚番号信号２８０及びアクセス要請信号２７０の出力を停止させる（ステップＳ３６）。
【００５５】
こうして、第２の基板搬送ロボット３３に関する一連のアクセス処理が完了したら、再び、ステップＳ２０に戻り同様の動作が繰り返される。
【００５６】
次に、メイン側である第１のコントローラ１００及び第１の基板搬送ロボット３１の動作について、図７及び図８を用いて説明する。なお、第１のコントローラ１００の処理には、図７に示すメイン処理と図８に示すサブ処理とがあり、両方の処理は並列して行なわれる。まず、図８に示すサブ処理について説明する。
【００５７】
第１のコントローラ１００において、図８に示すように、サブ処理が開始されると、まず、ＣＰＵ１１０は、第２のコントローラ２００から前述したアクセス要請信号２７０が入出力回路１３０に入力されたかどうかを判定する（ステップＳ６０）。そして、アクセス要請信号２７０が入力された場合には、ＣＰＵ１１０は、第１のコントローラ１００の制御対象である第１の基板搬送ロボット３１を、バッファ部３２の何れかの収納棚３２ａにアクセスさせているか（またはアクセスさせようとしているか）どうかを判定する（ステップＳ６２）。その結果、アクセスさせている（またはアクセスさせようとしている）場合には、ＣＰＵ１１０は、先に、第２のコントローラ２００から入力されている棚番号信号２８０に基づいて、第２のコントローラ２００の制御対象である第２の基板搬送ロボット３３がアクセスしようとしている収納棚３２ａの棚番号を検出する（ステップＳ６４）。ＣＰＵ１１０は、その検出結果に基づいて、第２のコントローラ２００に対しアクセスを許可した場合に、第２のコントローラ２００の制御対象である第２の基板搬送ロボット３３によるアクセスによって、アクセスさせている（またはアクセスさせようとしている）第１の基板搬送ロボット３１との間で相互干渉を生じるか否かを判定する（ステップＳ６６）。前述したように、相互干渉は、第１及び第２の基板搬送ロボット３１，３３が、同一の収納棚３２ａにほぼ同時にアクセスする場合のみならず、上下に隣接した２個の収納棚３２ａにほぼ同時にアクセスする場合にも、生じる。従って、ステップＳ６６では、ＣＰＵ１１０は、第１の基板搬送ロボット３１をアクセスさせている（またはアクセスさせようとしている）収納棚及びその上下の収納棚の何れかに、第２の基板搬送ロボット３３がアクセスしようとしているか否かを判定する。具体的には、第１の基板搬送ロボット３１をアクセスさせている（またはアクセスさせようとしている）収納棚の棚番号をＡとし、第２の基板搬送ロボット３３がアクセスしようとしている収納棚の棚番号をＢとした場合に、ＢがＡ，Ａ＋１及びＡ−１の何れかと一致するか否かを判定している。
【００５８】
さて、ステップＳ６６において、相互干渉が生じると判定した場合には、ステップＳ６２に戻って、再び、同様の処理が繰り返される。しかし、ステップＳ６６において、相互干渉が生じないと判定した場合には、ＣＰＵ１１０は、入出力回路１３０を介して、第２のコントローラ２００に対しアクセス許可信号１７０を出力する（ステップＳ６８）。なお、このアクセス許可信号１７０も、後述するステップＳ７０において出力停止がなされるまで、継続して出力される。
【００５９】
また、ステップＳ６２において、第１の基板搬送ロボット３１を何れの収納棚３２ａにもアクセスさせていない（またはアクセスさせようとしていない）と判定した場合には、第２のコントローラ２００に対しアクセスを許可しても、第２のコントローラ２００の制御対象である第２の基板搬送ロボット３３によるアクセスによって相互干渉は生じないので、この場合も、第２のコントローラ２００に対しアクセス許可信号１７０を出力する（ステップＳ６８）。
【００６０】
こうして、第２のコントローラ２００に対するアクセス許可についての一連の処理が完了したら、ステップＳ６０に戻り、再び、ＣＰＵ１１０は、第２のコントローラ２００からアクセス要請信号２７０が入力されたかどうかを判定する（ステップＳ６０）。その際、第２の基板搬送ロボット３３によるアクセスが完了して、第２のコントローラ２００からアクセス要請信号２７０が入力されなくなっていたら、ＣＰＵ１１０は、第２のコントローラ２００に対するアクセス許可信号１７０の出力を停止する（ステップＳ７０）。
【００６１】
次に、図７に示すメイン処理について説明する。第１のコントローラ１００において、メイン処理が開始されると、まず、第２のコントローラ２００の場合と同様に、ＣＰＵ１１０が処理コマンドを受け付け（ステップＳ４０）、その処理コマンドが、第１の基板搬送ロボット３１によるバッファ部３２内の収納棚３２ａに対するアクセス（即ち、基板Ｗの収納／取り出し）の実行であるか否かを判定する（ステップＳ４２）。アクセスの実行以外の処理コマンドである場合には、その処理コマンドに対応した処理を行なう（ステップＳ５２）。しかし、処理コマンドがアクセスの実行である場合には、ＣＰＵ１１０は、第２のコントローラ２００に対しアクセス許可信号１７０を出力中であるか否かを検知する（ステップＳ４４）。アクセス許可信号１７０を出力中である場合には、第２のコントローラ２００によってその制御対象である第２の基板搬送ロボット３３はアクセスを実行中であるので、ＣＰＵ１１０は、制御対象である第１の基板搬送ロボット３１にアクセスを実行させた場合に、そのアクセスによって、既にアクセスしている第２の基板搬送ロボット３３との間で相互干渉を生じるか否かを判定する（ステップＳ４６）。即ち、ステップＳ４６では、ＣＰＵ１１０は、第２の基板搬送ロボット３３がアクセスしている収納棚及びその上下の収納棚の何れかに、第１の基板搬送ロボット３１をアクセスさせようとしているか否かを判定する。
【００６２】
ステップＳ４６において、相互干渉が生じる判定した場合には、ステップＳ４４に戻って、再び、同様の処理が繰り返される。しかし、ステップＳ４６において、相互干渉が生じないと判定した場合には、ＣＰＵ１１０は、入出力回路１３０を介して第１の基板搬送ロボット３１を制御して、第１の基板搬送ロボット３１に、アクセスさせるべき収納棚３２ａへのアクセスを開始させる（ステップＳ４８）。そして、第１の基板搬送ロボット３１がその収納棚３２ａに対し基板Ｗの収納／取り出しを行なって後、ＣＰＵ１１０がそのアクセスの完了を検知したら（ステップＳ５０）、第１の基板搬送ロボット３１に関する一連のアクセス処理が完了するので、再び、ステップＳ４０に戻り同様の動作が繰り返される。
【００６３】
以上説明したように、本実施例では、第１及び第２の基板搬送ロボット３１，３３はバッファ部３２における何れの収納棚３２ａに対してもアクセスすることができ、各々の基板搬送ロボット３１，３３のアクセスする収納棚３２ａは常に変化しているが、そのような場合であっても、アクセス時に、第１及び第２の基板搬送ロボット３１，３３の間で相互干渉を生じることがない。
【００６４】
また、スレーブ側である第２の基板搬送ロボット３３は、バッファ部３２における或る収納棚３２ａにアクセスしようとする場合、第１のコントローラ１００から第２のコントローラ２００にアクセス許可信号１７０が入力されるまで待機していなければいけないが、第１のコントローラ１００は第１の基板搬送ロボット３１が収納棚３２ａにアクセス中でないか、アクセス中であっても、そのアクセス中の第１の基板搬送ロボット３１との間で、アクセスしようとする第２の基板搬送ロボット３３が相互干渉を生じない限り、直ちにアクセス許可信号を出力するので、第２の基板搬送ロボット３３は、従来のように常に一定の時間、待機している必要はない。また、メイン側である第１の基板搬送ロボット３１は、バッファ部３２における或る収納棚３２ａにアクセスしようとする場合、第１のコントローラ１００が第２のコントローラ２００に対しアクセス許可信号１７０を出力していないか、或いは出力していても、アクセス中の第２の基板搬送ロボット３３との間で、アクセスしようとする第１の基板搬送ロボット３１が相互干渉を生じない限り、待機することなく、その収納棚３２ａにアクセスすることができる。よって、全体的に基板搬送ロボットの平均アクセス速度を向上させることができるので、基板搬送ロボットのアクセス頻度が高いような場合にも十分対応することができる。
【００６５】
また、本実施例においては、前述したように、スレーブ側である第２の基板搬送ロボット３３は、アクセスしようとする場合に、第２のコントローラ２００にアクセス許可信号１７０が入力されるまでの間、必ず待機していなければいけないので、その分、メイン側である第１の基板搬送ロボット３１に比べて平均アクセス速度が遅くなる。しかし、露光ユニット４における処理時間は、処理ユニット２における処理時間よりも長いので、第２の基板搬送ロボット３３のバッファ部３２に対するアクセス頻度は、第１の基板搬送ロボット３１のそれと比べて低くなる。従って、スレーブ側である第２の基板搬送ロボット３３の平均アクセス速度が遅くても、何ら問題は生じない。
【００６６】
図９は本発明の第２の実施例としてのロボットアクセスシステムの構成を示すブロック図である。本実施例においても、図１に示すロボットアクセスシステムの場合と同様に、図９に示すロボットアクセスシステムを図２に示した基板処理装置におけるＩＦユニット３に適用する場合について説明する。
【００６７】
図９に示すように、本実施例のロボットアクセスシステムは、第１及び第２の基板搬送ロボット３１，３３と、それらをそれぞれ独立に制御する第１及び第２のコントローラ３００，４００と、を備える他、さらに、第１及び第２のコントローラ３００，４００から共通してアクセスされ得る共通メモリ５００を備えている。
【００６８】
図９において、第１のコントローラ３００は、図１に示した第１及び第２のコントローラ１００，２００と同様に、ＣＰＵ３１０と、内部メモリ３２０と、第１の基板搬送ロボット３１や共通メモリ５００との間で種々の信号をやり取りするための入出力回路３３０と、バス３４０と、を備えている。また、第２のコントローラ４００も、同様に、ＣＰＵ４１０と、内部メモリ４２０と、第２の基板搬送ロボット３３や共通メモリ５００との間で種々の信号をやり取りするための入出力回路４３０と、バス４４０と、を備えている。また、共通メモリ５００は、バッファ部３２における各収納棚３２ａに対応して後述するようなフラグを設定するためのフラグ設定テーブル５１０を備えている。フラグ設定テーブル５１０には、バッファ部３２における各収納棚３２ａの棚番号と、各収納棚についてそれぞれ設定されるフラグと、が格納されている。
【００６９】
なお、各入出力回路３３０，４３０からは、基板搬送ロボット３１，３３に対して基板搬送ロボット３１，３３をそれぞれ制御するための制御信号３５０，４５０が出力されており、逆に、基板搬送ロボット３１，３３からは、入出力回路３３０，４３０に対して、基板搬送ロボット３１，３３の動作状態などを表す検出信号３６０，４６０が出力されている。また、その他、各入出力回路１３０，２３０からは、共通メモリ５００に対して、共通メモリ５００に各種指示を出すための指示信号３７０，４７０や、共通メモリ５００に書き込むべき書き込みデータ３９０，４９０が出力され、共通メモリ５００からは、入出力回路１３０，２３０に対し、共通メモリ５００から読み出された読み出しデータ３８０，４８０が出力される。
【００７０】
さて、図１に示した実施例においては、第１の基板搬送ロボット３１及び第１のコントローラ１００をメインとし、第２の基板搬送ロボット３３及び第２のコントローラ２００をスレーブとして、両者の間に主従関係を持たせていたが、本実施例では、第１の基板搬送ロボット３１及び第１のコントローラ３００と、第２の基板搬送ロボット３３及び第２のコントローラ４００とは同格であり、第１及び第２のコントローラ３００，４００が共通して共通メモリ５００にアクセスし、フラグ設定テーブル５１０にフラグを設定／解除することよって、第１の基板搬送ロボット３１と第２の基板搬送ロボット３３との間で相互干渉が生じないようにしている。
【００７１】
図１０は図９の第１及び第２のコントローラ３００，４００における処理手順を示すフローチャートである。第１のコントローラ３００及び第１の基板搬送ロボット３１と、第２のコントローラ４００及び第２の基板搬送ロボット３３とは、互いに、動作タイミングが異なるだけで、動作内容は同じであるので、主として、第１のコントローラ３００及び第１の基板搬送ロボット３１の動作について、図１０を用いて説明する。
【００７２】
第１のコントローラ３００において、図１０に示すように、ＣＰＵ３１０が処理コマンドを受け付け（ステップＳ８０）、その処理コマンドが、第１の基板搬送ロボット３１によるバッファ部３２内の収納棚３２ａに対するアクセス（即ち、基板Ｗの収納／取り出し）の実行であるか否かを判定する（ステップＳ８２）。アクセスの実行以外の処理コマンドである場合には、その処理コマンドに対応した処理を行なう（ステップＳ９４）。
【００７３】
しかし、処理コマンドがアクセスの実行である場合には、ＣＰＵ３１０は、共通メモリ５００において、バッファ部３２における収納棚３２ａのうち、干渉領域に対応する収納棚についてフラグが設定されているかどうかを検知する（ステップＳ８４）。このフラグは、基板搬送ロボットがバッファ部３２におけるどの収納棚３２ａにアクセスしているかを示すものであり、何れかの基板搬送ロボットがアクセス中であれば、そのアクセスしている収納棚についてフラグは設定されるようになっている。
【００７４】
また、前述したように、相互干渉は、第１及び第２の基板搬送ロボット３１，３３が、同一の収納棚または上下に隣接した２個の収納棚３２ａにほぼ同時にアクセスする場合に生じる。そこで、一方の基板搬送ロボットが或る収納棚にアクセスしようとしている場合に、その収納棚とその上下の収納棚の計３個の収納棚は、それら収納棚に他方の基板搬送ロボットがアクセスしている（またはアクセスしようとしている）と、相互干渉を起こす恐れがあるので、相互干渉を生じる可能性がある領域であるとして、干渉領域と呼ぶことにする。
【００７５】
図１１及び図１２はそれぞれ図９に示すフラグ設定テーブル５１０の内容の時間的推移の一例を示す説明図である。図１１及び図１２においては、バッファ部３２における収納棚３２ａの個数を５０個としており、棚番号としては、「１」から「５０」まで付されている。また、フラグについては、フラグが設定されている場合を「１」とし、フラグが解除されている場合を「０」としている。従って、第１のコントローラ３００が制御対象である第１の基板搬送ロボット３１をアクセスさせているときには、そのアクセスさせている収納棚の棚番号にフラグ「１」が設定され、また、第１の基板搬送ロボット３１以外の基板搬送ロボット（本実施例では、第２の基板搬送ロボット３３）がアクセスしているときには、そのアクセスしている収納棚の棚番号にフラグ「１」が設定されることになる。
【００７６】
それでは、今、第１のコントローラ３００が第１の基板搬送ロボット３１を棚番号「２４」の収納棚にアクセスさせようとしているものとして、ステップＳ８４の動作を具体的に説明する。
【００７７】
ＣＰＵ３１０は、まず、第１の基板搬送ロボット３１をアクセスさせようとしている収納棚は棚番号「２４」の収納棚であるので、その棚番号「２４」の収納棚と、その上下の収納棚である棚番号「２３」，「２５」の収納棚を、上記した干渉領域にある収納棚であると認定する。そして、ＣＰＵ３１０は、入出力回路３３０を介して共通メモリ５００に対し指示信号３７０を出力して、干渉領域にある収納棚の棚番号「２３」〜「２５」についてのフラグの設定内容の読み出しを指示する。それによって、共通メモリ５００から読み出しデータ３８０としてフラグの設定内容が入力されたら、その設定内容に基づいて、棚番号「２３」〜「２５」の収納棚についてフラグが設定されているかどうかを判定する。
【００７８】
判定の結果、干渉領域にある収納棚についてフラグが設定されている場合には、ＣＰＵ３１０は、ステップＳ８４の処理を繰り返して、その設定が解除されるまで待機する。例えば、図１１（ａ）では、干渉領域にある棚番号「２５」の収納棚についてフラグが設定（「１」）されているので、図１１（ｂ）に示すように、その設定が解除（「０」）されるまで、ＣＰＵ３１０は待機することになる。また、判定の結果、干渉領域にある収納棚についてフラグが設定されていない場合（即ち、フラグが解除されている場合）には、ＣＰＵ３１０は、次のステップＳ８６の処理に移る。例えば、図１２（ｄ）では、棚番号「２６」の収納棚についてフラグが設定されているが、干渉領域にある棚番号「２３」〜「２５」の収納棚についてはフラグが設定されていないので、ＣＰＵ３１０はステップＳ８６の処理に移ることになる。また、図１１（ｂ）では、棚番号「２５」の収納棚について設定されていたフラグが解除されたので、この場合も、ステップＳ８６の処理に移る。
【００７９】
ステップＳ８６では、ＣＰＵ３１０は、共通メモリ５００に対し、第１の基板搬送ロボット３１をアクセスさせようとしている収納棚についてフラグを設定する。具体的には、ＣＰＵ３１０は、入出力回路３３０を介して共通メモリ５００に対し指示信号３７０と書き込みデータ３９０を出力して、棚番号「２４」の収納棚についてフラグを設定する。その結果、図１１（ｃ）または図１２（ｅ）に示すように、棚番号「２４」にはフラグが設定される。
【００８０】
次に、ＣＰＵ３１０は、入出力回路３３０を介して第１の基板搬送ロボット３１を制御して、第１の基板搬送ロボット３１に、アクセスさせるべき収納棚（即ち、棚番号「２４」の収納棚）へのアクセスを開始させる（ステップＳ８８）。そして、第１の基板搬送ロボット３１がその棚番号「２４」の収納棚に対し基板Ｗの収納／取り出しを行なった後、ＣＰＵ３１０がそのアクセスの完了を検知したら（ステップＳ９０）、ＣＰＵ３１０は、共通メモリ５００に対し、ステップＳ８６で設定したフラグを解除する（ステップＳ９２）。具体的には、ＣＰＵ３１０は、入出力回路３３０を介して共通メモリ５００に対し指示信号３７０と書き込みデータ３９０を出力して、棚番号「２４」の収納棚について設定していたフラグを解除する（フラグを「１」から「０」に書き換える）。
【００８１】
こうして、第１の基板搬送ロボット３１に関する一連のアクセス処理が完了したら、再び、ステップＳ８０に戻り同様の動作が繰り返される。
【００８２】
なお、以上の説明においては、第１のコントローラ３００及び第１の基板搬送ロボット３１の動作について述べたが、前述したように、他方の第２のコントローラ４００及び第２の基板搬送ロボット３３の動作についても、第１のコントローラ３００及び第１の基板搬送ロボット３１の動作と同様の内容となる。
【００８３】
従って、本実施例によれば、一方の基板搬送ロボットがバッファ部３２における或る収納棚３２ａにアクセスしようとするとき、共通メモリ５００において、干渉領域にある収納棚についてフラグが設定されている場合には、目的の収納棚にはアクセスせず待機しているので、他方の基板搬送ロボットとの間で相互干渉を生じる恐れがない。
【００８４】
また、一方の基板搬送ロボットが或る収納棚３２ａにアクセスしようとするときに、干渉領域にある収納棚についてフラグが設定されていなければ、目的の収納棚に直ちにアクセスすることができるので、従来のように常に一定の時間、待機している必要はない。よって、全体的に基板搬送ロボットの平均アクセス速度を向上させることができるので、基板搬送ロボットのアクセス頻度が高いような場合にも十分対応することができる。
【００８５】
また、本実施例においては、基板搬送ロボット及びコントローラの各組をそれぞれ同格に扱っているので、基板搬送ロボット及びコントローラの組が３組以上であっても、支障なく動作させることができる。従って、例えば、バッファ部３２に３台以上の基板搬送ロボットをアクセスさせようとする場合にも十分対応することができる。
【００８６】
なお、本発明は上記した実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様にて実施することが可能である。
【００８７】
上記した実施例においては、制御対象であるロボットは基板搬送ロボットであり、アクセス対象は収納棚であり、アクセス内容は基板Ｗの収納／取り出しであったが、本発明は、これらに限定されるものではなく、アクセス対象としては、或る有効範囲内において複数の領域が設定されているようなものであれば良く、また、ロボットとしても、その有効範囲内の何れの領域にもアクセスすることができるようなロボットであれば良く、アクセス内容としても、上記領域を上記ロボットの一部が占有するような動作内容であれば良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例としてのロボットアクセスシステムの構成を示すブロック図である。
【図２】図１のロボットアクセスシステムを適用した基板処理装置の全体構成を示す平面図である。
【図３】図２におけるインタフェースユニットを露光ユニット側から見た正面図である。
【図４】図２におけるバッファ部付近の概略構成を示す斜視図である。
【図５】図４における第１の基板搬送ロボットによって基板の収納を行なう際の動作を説明するための説明図である。
【図６】図１の第２のコントローラ２００における処理手順を示すフローチャートである。
【図７】図１の第１のコントローラ１００におけるメイン処理の処理手順を示すフローチャートである。
【図８】図１の第１のコントローラ１００におけるサブ処理の処理手順を示すフローチャートである。
【図９】本発明の第２の実施例としてのロボットアクセスシステムの構成を示すブロック図である。
【図１０】図９の第１及び第２のコントローラ３００，４００における処理手順を示すフローチャートである。
【図１１】図９に示すフラグ設定テーブル５１０の内容の時間的推移の一例を示す説明図である。
【図１２】図９に示すフラグ設定テーブル５１０の内容の時間的推移の他の例を示す説明図である。
【符号の説明】
１…インデクサ
２…処理ユニット
２ａ…開口部
３…ＩＦユニット
４…露光ユニット
５…キャリア自動搬送装置
１１…搬入出テーブル
１２…基板搬入出ロボット
２１…第１の装置配置部
２２…第２の装置配置部
２３…基板搬送ロボット
２３ａ…突起
２３ｂ…ハンド
２３ｃ…伸縮部
２３ｅ…Ｚ方向移動部
２３ｆ…Ｘ方向移動部
２３ｇ…ネジ軸
２３ｈ…モータ
２３ｉ…ガイド軸
２４…搬送経路
２５…基板受け渡し台
２５ａ…基板支持ピン
３１…第１の基板搬送ロボット
３１ａ…Ｚ方向駆動部
３１ａａ…ネジ軸
３１ａｂ…モータ
３１ｂ…連結部材
３１ｃ…回転駆動部
３１ｃａ…回転軸
３１ｃｂ…モータ
３１ｄ…伸縮駆動部
３１ｄａ…モータ
３１ｄｂ…タイミングベルト
３１ｅ…基板支持部
３２…バッファ部
３２ａ…収納棚
３３…第２の基板搬送ロボット
３３ａ…Ｙ方向駆動部
３３ａａ…ネジ軸
３３ａｂ…ガイド軸
３３ａｃ…モータ
３３ｂ…第１の連結部材
３３ｃ…Ｚ方向駆動部
３３ｄ…第２の連結部材
３３ｅ…回転駆動部
３３ｆ…伸縮駆動部
３３ｇ…基板支持部
３４…基板搬入台
３４ａ，３５ａ…基板支持ピン
３５…基板搬出台
３６ａ，３６ｂ…カセット
３７ａ，３７ｂ…テーブル台
３８…扉
１００…第１のコントローラ
１１０…ＣＰＵ
１２０…内部メモリ
１３０…入出力回路
１４０…バス
１５０…制御信号
１６０…検出信号
１７０…アクセス許可信号
２００…第２のコントローラ
２１０…ＣＰＵ
２２０…内部メモリ
２３０…入出力回路
２４０…バス
２５０…制御信号
２６０…検出信号
２７０…アクセス要請信号
２８０…棚番号信号
３００…第１のコントローラ
３１０…ＣＰＵ
３２０…内部メモリ
３３０…入出力回路
３４０…バス
３５０…制御信号
３６０…検出信号
３７０…指示信号
３８０…読み出しデータ
３９０…書き込みデータ
４００…第２のコントローラ
４１０…ＣＰＵ
４２０…内部メモリ
４３０…入出力回路
４４０…バス
４５０…制御信号
４６０…検出信号
４７０…指示信号
４８０…読み出しデータ
４９０…書き込みデータ
５００…共通メモリ
５１０…フラグ設定テーブル
ＢＵ…ベークユニット
Ｃ…キャリア
ＥＥＷ…エッジ露光部
ＳＣ…スピンコーター
ＳＤ…スピンディベロッパー
Ｗ…基板
【図１】
0003671387.tif 000002
【図２】
0003671387.tif 000003
【図３】
0003671387.tif 000004
【図４】
0003671387.tif 000005
【図５】
0003671387.tif 000006
【図６】
0003671387.tif 000007
【図７】
0003671387.tif 000008
【図８】
0003671387.tif 000009
【図９】
0003671387.tif 000010
【図１０】
0003671387.tif 000011
【図１１】
0003671387.tif 000012
【図１２】
0003671387.tif 000013