(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線状に配設した複数個の下型２…と、下型２に対して昇降する１個の上型１を有するプレス金型部３と、該下型２に設置された金属材料７を溶解可能な高エネルギー熱源部４とを備え、該高エネルギー熱源部４のエネルギー放射部５にて上記金属材料７を溶解し、得られた溶融金属38を上記上型１と下型２にて押圧して所定形状に変形し、かつ、臨界冷却速度以上で急冷して非晶質合金を製造する装置であって、上記上型１と複数個の上記下型２…と上記エネルギー放射部５とが内設された本体チャンバー６と、該本体チャンバー６と連通・遮断可能かつ外部と連通・遮断可能な材料供給チャンバー８と、上記本体チャンバー６と連通・遮断可能かつ外部と連通・遮断可能な製品取出しチャンバー９と、上記本体チャンバー６の内部、材料供給チャンバー８の内部及び製品取出しチャンバー９の内部を夫々独立に真空可能とする真空手段10と、を備え、さらに、上記本体チャンバー６内に、上記材料供給チャンバー８側から移動してきた金属材料７を下型２に運び移す材料供給位置、上記高エネルギー熱源部４にて下型２上の金属材料７を溶解させる材料溶解位置、上記上型１が配設され各下型２に対して降下して溶融金属38をプレス成形するプレス成形位置、成形された製品を製品取出しチャンバー９へ取上げる製品取上げ位置が、直線的に配設され、また、複数個の上記下型２…を該材料供給位置、材料溶解位置、プレス成形位置、製品取上げ位置に間欠的に順次直線移動させる下型移動手段Ｅが設けられ、上記材料供給位置、材料溶解位置、プレス成形位置、製品取上げ位置の直線的配設間隔が、該下型移動手段Ｅにて上記下型２を間欠移動させる１ピッチ寸法と等しくされたことを特徴とする非晶質合金の製造装置。
【請求項２】
本体チャンバー６の内部、材料供給チャンバー８の内部及び製品取出しチャンバー９の内部に夫々独立に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段11を設けた請求項１記載の非晶質合金の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、非晶質合金の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【０００３】
非晶質合金は一般に溶融金属の合金を急冷することにより得られることが知られており、従来の非晶質合金の製造装置としては、薄帯を得るもの（単ロール法や双ロール法）、細線を得るもの（回転液中紡糸法）、粉末を得るもの（アトマイズ法やキャビテーション法）が公知である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらの製造装置によって得られる非晶質合金は、小さい質量のものがほとんどであり、バルク材を得ることは困難であった。そのため、大型のバルク材を得るものとして、過冷却液体領域を有する非晶質粉末を押出し加工して製造する装置や、銅鋳型を有する製造装置も試作されているが、押出し加工する製造装置では、一気に作製される薄帯の強度を得るところには至っていないことや、製造工程が多いため作業能率が悪く、製造装置が大規模である等の欠点があった。また、銅鋳型を有する製造装置では、溶融金属を銅鋳型に順次流し込むことになり、結果として溶融金属の融点以下の冷却界面どうしを重ね合わせることになって、湯境が生じたり、非晶質の領域が後に供給される溶湯の熱によって結晶化してしまい、多くの欠陥を含有するという欠点があり、この欠陥に大きく依存する強度の点で問題があってバルク材として利用することができなかった。
【０００５】
そこで、本発明は、強度特性に優れたバルク材を容易、かつ、能率良く作製することができる非晶質合金の製造装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明に係る非晶質合金の製造装置は、直線状に配設した複数個の下型と、下型に対して昇降する１個の上型を有するプレス金型部と、該下型に設置された金属材料を溶解可能な高エネルギー熱源部とを備え、該高エネルギー熱源部のエネルギー放射部にて上記金属材料を溶解し、得られた溶融金属を上記上型と下型にて押圧して所定形状に変形し、かつ、臨界冷却速度以上で急冷して非晶質合金を製造する装置であって、上記上型と複数個の上記下型と上記エネルギー放射部とが内設された本体チャンバーと、該本体チャンバーと連通・遮断可能かつ外部と連通・遮断可能な材料供給チャンバーと、上記本体チャンバーと連通・遮断可能かつ外部と連通・遮断可能な製品取出しチャンバーと、上記本体チャンバーの内部、材料供給チャンバーの内部及び製品取出しチャンバーの内部を夫々独立に真空可能とする真空手段と、を備え、さらに、上記本体チャンバー内に、上記材料供給チャンバー側から移動してきた金属材料を下型に運び移す材料供給位置、上記高エネルギー熱源部にて下型上の金属材料を溶解させる材料溶解位置、上記上型が配設され各下型に対して降下して溶融金属をプレス成形するプレス成形位置、成形された製品を製品取出しチャンバーへ取上げる製品取上げ位置が、直線的に配設され、また、複数個の上記下型を該材料供給位置、材料溶解位置、プレス成形位置、製品取上げ位置に間欠的に順次直線移動させる下型移動手段が設けられ、上記材料供給位置、材料溶解位置、プレス成形位置、製品取上げ位置の直線的配設間隔が、該下型移動手段にて上記下型を間欠移動させる１ピッチ寸法と等しくされたものである。
【０００７】
また、本体チャンバーの内部、材料供給チャンバーの内部及び製品取出しチャンバーの内部に夫々独立に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段を設けたものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態を示す図面に基づき、本発明を詳説する。
【０００９】
図１〜図３は、本発明の非晶質合金の製造装置の実施の一形態（第１の実施の形態）を示し、この製造装置は、上型１と複数個の下型２…を有するプレス金型部３と、下型２に設置された金属材料７を溶解可能な高エネルギー熱源部４と、上型１と複数個の下型２…と高エネルギー熱源部４のエネルギー放射部５とが内設された本体チャンバー６と、材料供給チャンバー８と、製品取出しチャンバー９とを備え、さらに、複数個の下型２…を本体チャンバー６内の材料供給位置、材料溶解位置、プレス成形位置、製品取上げ位置に間欠的に順次移動させる下型移動手段Ｅが設けられている。
【００１０】
具体的に説明すると、下型移動手段Ｅは、本体チャンバー６内に水平状に設けられた左右一対のガイドレール12，12と、一対のガイドレール12，12の間に回転自在に設けられたスクリューシャフト13と、本体チャンバー６の外部に設けられると共にスクリューシャフト13を回転駆動するモータＭと、スクリューシャフト13の雄ネジ13ａに螺合したナット部材14と、下面がナット部材14に連結されると共に一対のガイドレール12，12にスライド自在に保持された連結部15，15を有する移動板16と、を備えている。なお図１では、モータＭからの回転駆動力をスクリューシャフト13に伝達する駆動力伝達系17の一部は本体チャンバー６の外部に設けられているが、この駆動力伝達系17と本体チャンバー６との間は密閉状とされている。
【００１１】
プレス金型部３は、上型１・下型２と、上型１を昇降させる昇降機構Ｋを有している。この昇降機構Ｋは、例えば伸縮シリンダ18であって、本体チャンバー６内のプレス成形位置に対応する位置に設けられている。そして、本体チャンバー６の外部上方から伸縮シリンダ18のロッド部18ａが本体チャンバー６の内部に密閉状として挿通されると共に、ロッド部18ａ下端に上型１が設けられている。
【００１２】
また、下型２…（２ａ，２ｂ，２ｃ）は３個設けられており、各下型２…は上記下型移動手段Ｅの移動板16の上にかつ移動方向（前後方向）に所定ピッチで取付けられている。なお、図１と図２では、移動板16が後方へ移動した待機状態を示しており、このときの１番目（最前）の下型２ａは、本体チャンバー６内の材料供給位置に配置されている。
【００１３】
また、図４に示すように、上型１と下型２は嵌合部を有さない形状である。つまり、上型１は、その下面が平面状に形成されると共に、キャビティ部28を有する下型２は、そのパーティング面29が平面状に形成されている。また、下型２のパーティング面29とキャビティ部28との間には、型閉め状態にて隙間が形成されるように空隙部19が設けられており、成形時の余分な溶融金属をこの空隙部19に逃がすようにしている。なお、図２に示す如く、キャビティ部28は平面視楕円形状とされている。
【００１４】
図１〜図３にもどって、高エネルギー熱源部４は、本体チャンバー６の外部に設けられたアーク電源４ａと、本体チャンバー６内の材料溶解位置に設けられたエネルギー放射部５とを有しており、本体チャンバー６の内部に挿通状とされたエネルギー放射部５と本体チャンバー６との間は密閉状とされている。
【００１５】
なお、本体チャンバー６の外部には（図示省略の）冷却水供給部が設けられており、エネルギー放射部５と上型１及び各下型２…に冷水を循環供給するようにしている（冷却水以外に他の冷却媒体でも良い）。
【００１６】
しかして、（上述した）材料供給チャンバー８は、本体チャンバー６と連通・遮断可能かつ外部と連通・遮断可能に設けられている。詳しく説明すると、材料供給チャンバー８は、本体チャンバー６の材料供給位置よりも少し後方位置に設けられており、本体チャンバー６の側壁に設けられた筒壁部20に遮断手段21を介して連結されている。
【００１７】
この遮断手段21は、例えば、筒壁部20の軸心方向と直交する方向に移動する扉部を有し、扉部が開くことによって本体チャンバー６と材料供給チャンバー８とが連通し、扉部が閉じることによって材料供給チャンバー８が本体チャンバー６から遮断される。
【００１８】
また、材料供給チャンバー８は、例えば、その外周壁の一部に（図示省略の）揺動開閉可能な遮断手段が設けられており、この遮断手段を開けて材料供給チャンバー８を外部と連通させ、計量した金属材料７…をセットするためのバスケット22の出し入れを行う。さらに、材料供給チャンバー８の後部には別の遮断手段24が設けられており、材料供給チャンバー８内のバスケット22を本体チャンバー６側へ移動させる往復動シリンダ23がこの遮断手段24に取付けられると共に、そのロッドが遮断手段24を貫通して材料供給チャンバー８の内部に挿通している。
【００１９】
また、本体チャンバー６の筒壁部20から内方へ向かって一対のガイド杆25，25が設けられており、往復動シリンダ23にて押圧された材料供給チャンバー８内のバスケット22がガイド杆25，25にて本体チャンバー６内の所定位置に案内されるようにしている。即ち、待機位置にある下型移動手段Ｅの上方にバスケット22が案内される。
【００２０】
ところで、本体チャンバー６内の所定位置に案内されたバスケット22の近傍位置には、バスケット22内の金属材料７を材料供給位置に待機している下型２ａに運び移すための金属材料移送手段Ｆが設けられている。この金属材料移送手段Ｆは、例えば、本体チャンバー６の一部に取付けられた上下・前後・左右への動作可能なバキュームハンド26と、バキュームハンド駆動機構48と、バキュームハンド26に連結されたロータリポンプ27と、を有している。なお、バキュームハンド26と本体チャンバー６との間は密閉状とされている。
【００２１】
また、製品取上げ位置の本体チャンバー６の側壁には、本体チャンバー６内部と連通するＬ字状の筒壁部30が設けられており、本体チャンバー６の下方に設けられた（上述の）製品取出しチャンバー９は遮断手段31を介して筒壁部30に連結されている。なお、遮断手段31は、例えば、筒壁部30の軸心方向と直交する方向に移動する扉部を有し、扉部が開くことによって本体チャンバー６と製品取出しチャンバー９とが連通し、扉部が閉じることによって製品取出しチャンバー９が本体チャンバー６から遮断される。
【００２２】
また、製品取出しチャンバー９の外周壁の一部には、開閉可能な別の遮断手段32が設けられており、この遮断手段32を開けることによって製品取出しチャンバー９内に送られた製品（成形品）を外部へ取出すことができる。即ち、製品取出しチャンバー９は、本体チャンバー６と連通・遮断可能かつ外部と連通・遮断可能に設けられている。
【００２３】
ところで、本体チャンバー６内の製品取上げ位置に対応する位置で、かつ、筒壁部30の反対側には、下型２から製品（成形品）を取上げる製品取上げ手段Ｇが設けられている。この製品取上げ手段Ｇは、例えば、本体チャンバー６に取付けられた上下・前後・左右への動作が自在なバキュームハンド33と、バキュームハンド駆動機構49と、バキュームハンド33に連結されたロータリポンプ27と、を有しており、バキュームハンド33と本体チャンバー６との間は密閉状とされている。なお、ロータリポンプ27は材料供給用のバキュームハンド26と共用である（図５参照）。
【００２４】
しかして、本発明の非晶質合金の製造装置は、図５に示すように、本体チャンバー６の内部と材料供給チャンバー８の内部と製品取出しチャンバー９の内部を夫々独立に真空可能とする真空手段10と、本体チャンバー６の内部と材料供給チャンバー８の内部と製品取出しチャンバー９の内部に夫々独立に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段11と、を備えている。
【００２５】
即ち、本体チャンバー６と材料供給チャンバー８と製品取出しチャンバー９は、真空引きするための排気管を介して真空手段10のディフュージョンポンプ34（油拡散真空ポンプ）及びロータリポンプ35（油回転真空ポンプ）と連結され、真空引後、不活性ガスによる置換が可能なように不活性ガス導入管を介して不活性ガス供給手段11のガスボンベ36（例えばアルゴンガス）と連結されている。なお、排気管及び不活性ガス導入管の所定箇所には電磁弁が設けられている。
【００２６】
次に、本発明の製造装置による非晶質合金の製造工程を説明する。図１と図２と図５に示すように、先ず、外部に取出したバスケット22に、計量した金属材料７をセットする。なお、バスケット22の収納部は三つに区画されており、各々の収納部に計量した金属材料７…をセットする。
【００２７】
そして、材料供給チャンバー８内にバスケット22をセットし、全ての遮断手段を閉じて本体チャンバー６内、材料供給チャンバー８内及び製品取出しチャンバー９内を夫々独立に真空化し、その後、各チャンバー６，８，９内に不活性ガスを供給して同圧にする。なお、本発明に於て真空とは、所定圧力以下に減圧された状態をいう。
【００２８】
次に、遮断手段21を開放して材料供給チャンバー８内のバスケット22を往復動シリンダ23にて本体チャンバー６内の所定位置まで移動させる。そして、図６に示す如く、金属材料移送手段Ｆのロータリポンプ27を駆動すると共に、バキュームハンド26を動かしてバスケット22の所定の収納部───例えば、１番目（最前）の収納部───の金属材料７を吸込み、１番目の下型２ａのキャビティ部28内に金属材料７を吐出してセットする。
【００２９】
その後、下型移動手段Ｅを駆動させて、移動板16及び各下型２…を１ピッチ移動（前進）させる。すると、図７に示すように、１番目の下型２ａが高エネルギー熱源部４のエネルギー放射部５下方の材料溶解位置に配置されると共に、２番目の下型２ｂが材料供給位置に配置される。
【００３０】
そして、高エネルギー熱源部４のアーク電源４ａをＯＮにして、エネルギー放射部５（アーク電極）の先端と（下型２ａにセットされた）金属材料７との間にプラズマアーク37を発生させ、金属材料７を完全に溶解して溶融金属38を形成させる。この間、材料供給位置では、バキュームハンド26によって（上述と同様に）バスケット22の２番目の収納部にセットされた金属材料７が２番目の下型２ｂに移される。
【００３１】
１番目の下型２ａ上の金属材料７が完全に溶解したところで、アーク電源４ａをＯＦＦにしてプラズマアーク37を消し、図８に示すように、下型移動手段Ｅにて移動板16及び各下型２…を１ピッチ前進させ、１番目の下型２ａをプレス成形位置に、２番目の下型２ｂを材料溶解位置に、３番目の下型２ｃを材料供給位置に夫々配置させる。
【００３２】
その後、プレス成形位置に於て、昇降機構Ｋにて上型１を下降させて、１番目の下型２ａ上に得られた融点以上の溶融金属38を上型１・下型２ａにて押圧して所定形状に変形し、かつ、変形と同時にもしくは変形後に、冷却されている上型１・下型２ａにて溶融金属38を臨界冷却速度以上で急冷する。これによって非晶質合金から成る（楕円板形状の）製品39が形成される。
【００３３】
また、材料溶解位置に於ては、２番目の下型２ｂ上にセットされた金属材料７を（上述と同様に）エネルギー放射部５からのプラズマアーク37にて完全に溶解して溶融金属38を形成する。また、材料供給位置に於ては、バキュームハンド26によってバスケット22の３番目の収納部にセットされた金属材料７が３番目の下型２ｂに移される。
【００３４】
次に、図９に示すように、下型移動手段Ｅにて移動板16及び各下型２…を１ピッチ前進させ、１番目の下型２ａを製品取上げ位置に、２番目の下型２ｂをプレス成形位置に、３番目の下型２ｃを材料溶解位置に夫々配置させる。
【００３５】
そして、図９と図10に示す如く、製品取上げ位置に於て、製品取上げ手段Ｇのバキュームハンド33にて１番目の下型２ａ上の製品39を吸着して取上げ、製品39を本体チャンバー６の筒壁部30内に運ぶ。そして、バキュームハンド33による吸着を止めて製品39を製品取出しチャンバー９内へ落下させる。このとき、遮断手段31は開放状態となっている。
【００３６】
また、プレス成形位置に於ては、２番目の下型２ｂ上の溶融金属38をプレス成形して非晶質合金から成る製品39を形成し、材料溶解位置に於ては、３番目の下型２ｃ上にセットされた金属材料７を完全に溶解して溶融金属38を形成する。
【００３７】
その後、下型移動手段Ｅにて移動板16及び各下型２…を１ピッチ前進させ、２番目の下型２ｂを製品取上げ位置に配置させて製品39を（上述と同様に）バキュームハンド33にて取上げて製品取出しチャンバー９側へ運び、かつ、３番目の下型２ｃをプレス成形位置に配置させてプレス成形を行う。
【００３８】
そして、下型移動手段Ｅにて移動板16及び各下型２…を１ピッチ前進させ、３番目の下型２ｃを製品取上げ位置に配置させて製品39をバキュームハンド33にて取上げて製品取出しチャンバー９側へ運ぶ。すると、図１と図２に示す如く、下型移動手段ＥのモータＭが逆回転して移動板16が後退し、一番目の下型２ａが材料供給位置まで戻される。ここまでが、材料供給工程から製品取上げ工程までの１サイクルである。
【００３９】
なお、上記１サイクルの間にバスケット22内の金属材料７が空になると、往復動シリンダ23が短縮してバスケット22が材料供給チャンバー８内に戻されると共に、遮断手段21が閉じて本体チャンバー６を遮断し、バスケット22を外部に取出して新たに計量した金属材料７をセットし、再び材料供給チャンバー８内に戻す。そして、材料供給チャンバー８内を再度真空化し、本体チャンバー６内と同圧に不活性ガスにて置換しておく。
【００４０】
しかして、材料供給工程から製品取上げ工程までの１サイクル完了後は、２サイクル、３サイクルというように繰り返して製品39…を製造し、所定サイクル完了すると、遮断手段31を閉じて製品取出しチャンバー９を本体チャンバー６から遮断し、製品取出し用の遮断手段32を開けて製品取出しチャンバー９内の製品39…を外部から取出す。なお、製品取出し後に再び製造する際は、製品取出しチャンバー９内を真空化し、本体チャンバー６内と同圧に不活性ガスにて置換しておく。
【００４１】
このように、本発明の非晶質合金の製造装置は、外部から金属材料７を供給する際、及び、製品を外部へ取出す際に、本体チャンバー６内が不活性ガスにて所定圧に置換された状態を維持することができるので、空間容積の大きい本体チャンバー６を再度真空引きし、不活性ガスにて置換する必要が無く、さらに、プレス成形工程と材料溶解工程と材料設置工程とを同時に進行させ、１サイクルで複数個の製品を作製することができるので、作業性に優れたものである。
【００４２】
図11は、本発明の非晶質合金の製造装置の第２の実施の形態を示し、このものは、プレス金型部３が嵌合部を有さない上型１と下型２を有するものであって、下型２のキャビティ部28に複数の凹部50…（又は凹溝）を設けたものである。この場合、下型２のパーティング面29は平面状であり、平面状の下面を有する（上述の）上型１と型閉めすることができる。即ち、この製造装置では、キャビティ部28の形状が異なる複数種類の下型２…を移動板16に取付け、上型１を共用することができる（図１参照）。従って、１サイクルで複数種類の製品を得ることができる。
【００４３】
図12は第３の実施の形態を示し、このものは、上型１の下面に平滑な凸曲面部が設けられる共に、下型２のキャビティ部28が凹曲面状に形成されており、平面部と曲面部から成るパーティング面を有している。
【００４４】
また、図13は第４の実施の形態を示し、このものは、上型１が凹曲面状の下面を有すると共に、下型２のキャビティ部28が凸曲面状に形成されており、曲面状のパーティング面を有している。なお、キャビティ部28には、溶融金属を中央に集めるようにする浅い凹部が設けられている。
【００４５】
また、図14は第５の実施の形態を示している。このプレス金型部３は、上型１が下型２に対して傾斜状に下降して型閉めするように構成している。詳しく説明すると、上型１は平滑な平面を有すると共に、パーティング面の平面部の一部に一対のテーパノックピン40，40が下方突出状に付設されている。そして、昇降機構Ｋ（伸縮シリンダ18）のロッドの下端に設けられた水平取付部材41に、テーパノックピン40，40と反対側の上型１の端部が一対の揺動片42，42及び支軸43…を介して連結されていると共に、テーパノックピン40，40側の端部が弾発部材44にて連結されており、上型１は水平取付部材41（下型２）に対して１°〜15°の傾斜角度θで保持されている（上型１は０°〜15°の傾斜角度θに調整可能とされている）。
【００４６】
下型２は、第１凹部45と第２凹部46とを有するキャビティ部28が設けられていると共に、パーティング面の平面部の一部には上型１のテーパノックピン40，40を挿入位置決めするためのブッシュ47，47が設けられている。
【００４７】
しかして、プレス成形時に於て、図14（イ）（ロ）に示すように、上型１が傾斜状のまま下降すると、テーパノックピン40，40がブッシュ47，47に嵌まって位置決めされ、同図（ハ）に示す如く、弾発部材44を圧縮しつつ上型１は揺動して下型２に重なる。このとき、キャビティ部28の第１凹部45にある溶融金属38を上型１と下型２にて一気に圧延状に押圧し、溶融金属38を第２凹部46へ流し込み、急冷して非晶質合金（製品39）を形成する。
【００４８】
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されず、例えば、製品取上げ手段Ｇはバキュームハンド33以外にも、引掛棒にて下型２から製品39を起こし、はさみ治具にて製品39を掴んで製品取出しチャンバー９側へ運ぶようにするも良い。また、移動板16上に取付けられる下型２は４個以上とするも自由である。
【００４９】
【発明の効果】
本発明は上述の如く構成されるので、次に記載する効果を奏する。
【００５０】
（請求項１によれば）材料供給チャンバー８内への材料供給作業時、及び、製品取出しチャンバー９内の製品の取出し作業時に、本体チャンバー６を外部から遮断しておく（気密性を保つ）ことができるので、本体チャンバー６内の真空状態を維持しておくことができる。また、各チャンバー６，８，９を独立に真空化することができるので、材料供給チャンバー８及び／又は製品取出しチャンバー９が本体チャンバー６に対して連通しても、本体チャンバー６内の真空状態が崩されない。つまり、空間容積の大きい本体チャンバー６を何度も真空引きする必要が無く、作業性（生産性）に優れている。
【００５１】
さらに、材料供給工程から製品取上げ工程までの１サイクルで複数個の成形品（製品）を作製することができるので、より作業能率が向上する。
【００５２】
（請求項２によれば）各チャンバー６，８，９を独立に不活性ガスにて置換することができるので、材料供給チャンバー８及び／又は製品取出しチャンバー９が本体チャンバー６に対して連通しても、本体チャンバー６内の不活性ガス置換状態が崩されない（変化しない）。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態を示す側面側から見た構成説明図である。
【図２】平面側から見た構成説明図である。
【図３】正面側から見た構成説明図である。
【図４】上型と下型を示す断面側面図である。
【図５】真空手段と不活性ガス供給手段の経路を示す説明図である。
【図６】材料供給工程を示す説明図である。
【図７】材料溶解工程及び材料供給工程を示す説明図である。
【図８】プレス成形工程及び材料溶解工程及び材料供給工程を示す説明図である。
【図９】製品取上げ工程及びプレス成形工程及び材料溶解工程を示す説明図である。
【図10】バキュームハンドによる製品の運搬状態を示す説明図である。
【図11】第２の実施の形態を示す要部断面側面図である。
【図12】第３の実施の形態を示す要部断面側面図である。
【図13】第４の実施の形態を示す要部断面側面図である。
【図14】第５の実施の形態のプレス成形工程を示す作用説明図である。
【符号の説明】
１  上型
２  下型
３  プレス金型部
４  高エネルギー熱源部
５  エネルギー放射部
６  本体チャンバー
７  金属材料
８  材料供給チャンバー
９  製品取上げチャンバー
10  真空手段
11  不活性ガス供給手段
38  溶融金属
Ｅ  下型移動手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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