(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外筒と、
その外筒の内側に配置された主体金具と、
その主体金具の挿通孔において該主体金具の内側に配置され、測定対象となるガス中の被検出成分を検出する検出素子と、
その検出素子の外面と前記挿通孔の内面との間を封着する封着材層とを備え、
前記挿通孔の内面と前記外筒の内面との間に、前記封着材層の周囲を取り囲む空隙部が、前記主体金具の一部を切り欠く形態で形成されており、
前記空隙部は、前記挿通孔の周方向において連続的又は断続的な形態をなし、かつ前記主体金具の肉厚方向中間部において前記挿通孔の形成方向に延びる溝部であることを特徴とするガスセンサ。
【請求項２】
前記検出素子は先端部に検出部が形成された長尺形態をなし、その検出部を突出させる形で前記主体金具の挿通孔内に挿通されるとともに、
前記溝部は、前記主体金具の前記検出部が突出しているのとは反対側の端面に開口する有底形状をなすものである請求項１記載のガスセンサ。
【請求項３】
前記外筒は、前記主体金具に対し周方向に環状に形成された溶接部により結合され、
前記溝部の底面は、前記検出素子の軸線方向において前記溶接部よりも前記検出部寄りに位置する請求項２記載のガスセンサ。
【請求項４】
前記主体金具は、所定の取付部への取り付け操作を行なうための操作部が、前記挿通孔の軸線方向においてその中間部に所定幅で、かつ外周面から突出する形態で形成され、
前記溝部の底面は、前記検出素子の軸線方向において前記操作部の該溝部開口側の端縁よりも、前記検出素子の先端側に位置するものである請求項２又は３に記載のガスセンサ。
【請求項５】
前記溝部の底面は、前記検出素子の軸線方向において前記封着材層の対応する端面よりも先端側に位置する請求項２ないし４のいずれかに記載のガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、酸素センサ、ＨＣセンサ、ＮＯXセンサなど、測定対象となるガス中の被検出成分を検出するためのガスセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、上述のようなガスセンサとして、外筒の内側に主体金具を配し、その外筒の内側に測定対象となるガス中の被検出成分を検出する検出素子を配置するとともに、検出素子の外面と主体金具の内面との間をガラス等の封着材層で封着した構造を有するものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
例えば自動車用の酸素センサ等の場合、センサの取り付け位置はエキゾーストマニホルドや車両の足周り部分に近い排気管等、高温や、あるいは高温状態で水しぶき等がかかることによる熱衝撃、さらには跳ね上がった小石等による機械的衝撃など、厳しい環境にさらされる場所であることが多い。そして、上記センサ構造の場合、検出素子と主体金具との間を封着する封着材層は上述のような熱衝撃や機械的衝撃に弱く、従来はそれによる封着材層の破損等が問題になることもあった。また、センサ製造時においても、主体金具と外筒とを溶接により接合する場合の熱応力、あるいはかしめ接合する際の機械的応力により封着材層が損傷することもありうる。
【０００４】
本発明の課題は、主体金具と検出素子との間の封着材層が熱衝撃あるいは機械的衝撃の影響を受けにくく、耐久性に優れたガスセンサを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】
本発明のガスセンサは、外筒と、その外筒の内側に配置された主体金具と、その主体金具の挿通孔において該主体金具の内側に配置され、測定対象となるガス中の被検出成分を検出する検出素子と、その検出素子の外面と挿通孔の内面との間を封着する封着材層とを備え、上記課題を解決するために、挿通孔の内面と外筒の内面との間に、封着材層の周囲を取り囲む空隙部が、主体金具の一部を切り欠く形態で形成されており、前記空隙部は、前記挿通孔の周方向において連続的又は断続的な形態をなし、かつ前記主体金具の肉厚方向中間部において前記挿通孔の形成方向に延びる溝部であることを特徴とする。
【０００６】
上記構成においては、主体金具の挿通孔の内面と外筒の内面との間に空隙部を封着材層の周囲を取り囲む形態で形成することで、例えば加熱状態において水しぶきがかかった場合など、急激な温度変化等を受けた場合でも該空隙部が断熱層の役割を果たし、その熱衝撃の影響が封着材層に及びにくくなる。また、小石等の異物の衝突による機械的撃力や熱衝撃による撃力等が作用した場合、空隙部の外側壁部を形成する外筒ないし主体金具部分が、自身の変形により衝撃を吸収する緩衝部として作用しうるので、封着材層への影響を緩和することができる。これにより、外力あるいは熱衝撃による封着材層の損傷を防止することができ、ひいてはガスセンサの耐久性を向上させることができる。
【０００７】
さらに、空隙部は、主体金具の挿通孔の周方向において連続的又は断続的な形態をなし、かつ主体金具の肉厚方向中間部において挿通孔の形成方向に延びる溝部とすることで、その断熱効果を一層顕著なものとすることができ、また主体金具の溝部外側に位置する薄肉部分が前述の緩衝部の役割を果たすので、衝撃吸収作用も向上する。
【０００８】
検出素子は、先端部に検出部が形成された長尺形態とすることができる。この場合、その検出部を突出させる形で主体金具の挿通孔内に挿通される。そして、溝部は、主体金具の検出部が突出しているのとは反対側の端面に開口する有底形状をなすものとして形成できる。溝部をこのような形態とすることにより、例えば主体金具端面側からの冷間鍛造、あるいは金属射出成形法の場合はコア配置により、該形状の溝部を有する主体金具を比較的効率よく製造することができる。
【０００９】
外筒は、主体金具に対し周方向に環状に形成された溶接部により結合することができる。この場合、上記有底の溝部は、その底面が検出素子の軸線方向において溶接部よりも検出部側に位置するように形成することで、溶接部と封着材層との間に空隙部としての溝部を介在させることができる。これにより、ガスセンサの製造工程において溶接による熱衝撃等が封着材層に及びにくくなり、ひいては封着材層の欠陥発生率が減少してその製造歩留まりを向上させることができる。
【００１０】
また、主体金具には、所定の取付部への取り付け操作を行なうための操作部（例えば六角断面形状のもの）を、挿通孔の軸線方向においてその中間部に所定幅で、かつ外周面から突出する形態で形成することができる。この場合、上記溝部の底面は、検出素子の軸線方向において操作部の該溝部開口側の端縁よりも、検出素子の先端側に位置するものとすることができる。すなわち、主体金具においては、操作部の形成されない肉薄部分において、熱衝撃あるいは機械的衝撃の封着材層への影響が特に生じやすい。しかしながら、上記構成によれば、主体金具に形成される溝部は、挿通孔の軸線方向においてその底面位置が操作部の幅内に入り込むように形成される、すなわち主体金具におけるその開口端面側において上記肉薄部分の全長に渡るように形成されるので、該肉薄部分において封着材層への熱衝撃あるいは機械的衝撃等の影響を効果的に防止ないし抑制することができる。
【００１１】
また、上記溝部の底面は、検出素子の軸線方向において封着材層の対応する端面よりも先端側に位置するように構成することができる。こうすれば、検出素子の軸線方向において溝部が封着材層の全長に渡って形成されるので、封着材層への熱衝撃あるいは機械的衝撃等の影響を、さらに効果的に防止ないし抑制することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面に示す実施例を参照して説明する。
図１には、この発明のガスセンサの一実施例として、自動車等の排気ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサ１を示している。この酸素センサ１は通称λセンサあるいはＯ2センサと呼ばれるもので、長尺のセラミック素子２（検出素子）を備え、その先端側が排気管内を流れる高温の排気ガスに晒される。
【００１４】
セラミック素子２は方形状断面を有して細長い板状の外形を有し、図２（ａ）に示すように、それぞれ横長板状に形成された酸素濃淡電池素子２１と、該酸素濃淡電池素子２１を所定の活性化温度に加熱するヒータ２２とが積層されたものとして構成されている。酸素濃淡電池素子２１は、酸素イオン伝導性を有する固体電解質により構成されている。そのような固体電解質としては、Ｙ2Ｏ3ないしＣａＯを固溶させたＺｒＯ2が代表的なものであるが、それ以外のアルカリ土類金属ないし希土類金属の酸化物とＺｒＯ2との固溶体を使用してもよい。また、ベースとなるＺｒＯ2にはＨｆＯ2が含有されていてもよい。一方、ヒータ２２は、高融点金属あるいは導電性セラミックで構成された抵抗発熱体パターン２３をセラミック基体中に埋設した公知のセラミックヒータで構成されている。
【００１５】
酸素濃淡電池素子２１には、その長手方向における一方の端部（主体金具３の先端より突出する部分）寄りにおいてその両面に、酸素分子解離能を有した多孔質電極２５，２６が形成されており、それら電極２５，２６及びそれらの間に挟まれる固体電解質部分とが検出部Ｄを形成することとなる。
【００１６】
各多孔質電極２５，２６からは、該酸素濃淡電池素子２１の長手方向に沿って酸素センサ１の取付基端側に向けて延びる電極リード部２５ａ，２６ａがそれぞれ一体に形成されている。このうち、ヒータ２２と対向しない側の電極２５からの電極リード部２５ａは、その末端が電極端子部７として使用される。一方、ヒータ２２に対向する側の電極２６の電極リード部２６ａは、図２（ｃ）に示すように、酸素濃淡電池素子２１を厚さ方向に横切るビア２６ｂにより反対側の素子面に形成された電極端子部７と接続されている。すなわち、酸素濃淡電池素子２１は、両多孔質電極２５，２６の電極端子部７が電極２５側の板面末端に並んで形成される形となっている。上記各電極、電極端子部及びビアは、Ｐｔ又はＰｔ合金など、酸素分子解離反応の触媒活性を有した金属粉末のペーストを用いてスクリーン印刷等によりパターン形成し、これを焼成することにより得られるものである。
【００１７】
一方、ヒータ２２の抵抗発熱体パターン２３に通電するためのリード部２３ａ，２３ｂも、図２（ｄ）に示すように、ヒータ２２の酸素濃淡電池素子２１と対向しない側の板面末端に形成された電極端子部７，７に、それぞれビア２３ｂを介して接続されている。
【００１８】
図２（ｂ）に示すように、酸素濃淡電池素子２１とヒータ２２とはガラス層２７を介して互いに接合される。そして、その接合側の多孔質電極２６には、電極リード部２６ａ（これも多孔質である）のセラミック素子２の端面への露出部分から、該電極リード部２６ａを経て大気が導入され、酸素基準電極として機能することとなる。一方、反対側の多孔質電極２５は排気ガスと接触する検出側電極となる。
【００１９】
このようなセラミック素子２が、図１に示すように、主体金具３に形成された挿通孔３１に挿通されるとともに、挿通孔３１の内面とセラミック素子２の外面との間には両者の間を気密状態に封着するガラス等の封着材層３２が形成される。そして、セラミック素子２は、上記封着材層３２や外筒金具５等により、先端の検出部Ｄが、排気管に固定される主体金具３の先端より突出した状態で該主体金具３内に固定される。主体金具３の先端外周には、セラミック素子２の突出部分を覆う金属製のプロテクトカバー６がレーザー溶接あるいは抵抗溶接（例えばスポット溶接）等によって固着されている。このカバー６は、キャップ状を呈するもので、その先端や周囲に、排気管内を流れる高温の排気ガスをカバー６内に導く開口６ａが形成されている。
【００２０】
また、挿通孔３１の内面と外筒１８の内面との間には、封着材層３２の周囲を取り囲む空隙部３３が、主体金具３の一部を切り欠く形態で形成されている。上記空隙部３３は、主体金具３の挿通孔３１の周方向に形成された環状形態をなし、かつ主体金具３の肉厚方向中間部において挿通孔３１の形成方向に延びる溝部とされている（以下、溝部３３という）。主体金具３の後端部は外筒１８の先端部内側に挿入され、その重なり部において周方向に環状に形成された結合部としての溶接部（例えばレーザー溶接部）３５により互いに気密状態で接合されている。なお、結合部として、溶接部３５の代わりに環状のかしめ部を形成してもよい。
【００２１】
主体金具３はねじ部３ａにおいて、図示しない車両の排気管（取付部）にシール部材３ｂを介して取り付けられるが、その取り付け操作を行なうための六角断面形状の操作部３ｄが、挿通孔３１の軸線方向においてその中間部に所定幅で、かつ外周面から突出する形態で形成されている。そして、上記溝部３３の底面３３ａは、セラミック素子２の軸線方向において操作部３ｄの該溝部開口側の端縁３ｅよりも先端側に延びて形成されている。これにより溝部３３は、主体金具３の後端側（溝部３３の開口端面側）の、外筒１８が接合される肉薄部分３ｆの全長に渡るように形成されることとなる。この場合、溝部３３の底面３３ａは、セラミック素子２の軸線方向において溶接部３５よりも先端側に位置するものとなる。
【００２２】
上述のような溝部３３を有する主体金具３は、例えば鍛造及び切削を主体とした機械加工を組み合わせることにより製造することができる。図３は、その工程の一例を示している。まず、図３（ａ）に示すように、所定の素材を鍛造（冷間又は熱間）あるいは切削加工することにより予備体４０を作る。予備体４０は、図１の主体金具３の薄肉部３ｆ及び操作部３ｄとなるべき薄肉部／操作部予定部４２、ねじ部３ａとなるべきねじ部予定部４３、さらにプロテクトカバー装着部３ｈとなるべきプロテクトカバー装着部予定部４４を備え、主体金具３の概略の外形形状を有するものであるが、図１の溝部３３、ねじ部３ａ、及び挿通孔３１が未形成状態である。
【００２３】
次に、図３（ｂ）に示すように、筒状の鍛造パンチＰを用いて予備体４０に、その後方端面側から軸線Ｏ方向に溝部３３を鍛造により形成し、その溝部３３の外側において薄肉部／操作部予定部４２の周縁を切削することにより、薄肉部３ｆを形成する。続いて、同図（ｃ）に示すように、予備体４０の中央部軸線方向にドリルＫを用いて２段階の孔あけ加工を行なうことにより、段付きの挿通孔３１を穿設する。そして、薄肉部／操作部予定部４２に所定の面取加工を施して操作部３ｄを形成し、ねじ部予定部４３にねじ切り加工を施してねじ部３ａを形成することで、同図（ｄ）に示すように主体金具３が完成する。
【００２４】
一方、主体金具３は、以下に説明するように、金属射出成形体を焼成することにより製造することもできる。まず、原料金属粉末と、ポリプロピレンや各種ワックス類等の樹脂バインダとを混練し、これをペレットないしフレーク状に成形したコンパウンドを用意する。一方、図４（ａ）に示すように射出成形用金型５０としては、主体金具３の外形に対応した内面形状を有するキャビティ５１が形成された例えば２分割の成形型５２，５２と、そのキャビティ５１に対し軸線方向に出入り可能に設けられて、射出成形体に溝部３３（図１）となるべき空間部を形成するための溝部形成部５３ａと、同じく挿通孔３１となるべき空間部を形成するための挿通孔形成部５３ｂとが同心的に一体形成されたコア部材５３とを備えたものを用いる。
【００２５】
まず、成形型５２，５２を型合わせし、そのキャビティ５１にコア部材５３を挿入して図４（ａ）の状態とする。次に、そのキャビティ５１内に加熱軟化させたコンパウンドを図示しないランナより射出し、これを固化させることにより、図４（ｂ）に示すように、射出成形体Ｉが形成される。なお、射出成形体Ｉには、溝部形成部５３ａに対応する形状の溝部Ｇと、挿通孔形成部５３ｂに対応する形状の挿通孔Ｔとが形成される。そして、コア部材５３を抜き取り、さらに図４（ｃ）に示すように成形型５２，５２を型開きすることにより射出成形体Ｉを取り出す。
【００２６】
回収された成形体Ｉは、所定の脱バインダ炉において、真空ないし所定の減圧雰囲気下で焼結温度よりも低温で加熱され、樹脂バインダを蒸発ないし分解させることにより、そのバインダ成分が除去される。ここで、その加熱温度は、バインダ成分の残留が少なく、しかもバインダ成分の分解ないし蒸発の速度が小さくなり過ぎない範囲で設定される。バインダ成分が除去された成形体Ｉは、図５に示すように、焼結炉Ｆ内で真空ないし所定の減圧雰囲気において焼結することにより、図４（ｄ）に示す主体金具３となる。なお、射出成形体Ｉの溝部Ｇと挿通孔Ｔとは、それぞれ溝部３３及び挿通孔３１となる。
【００２７】
なお、主体金具３の素材としては、一定レベル以上の耐食性を備え、さらにはセラミック素子２の酸素濃淡電池素子２１を構成するＺｒＯ2系固体電解質との線膨張係数の差が比較的小さい材質を用いることが望ましい。また、図３に示すように、冷間鍛造により主体金具３を製造する場合は、加工硬化を比較的起こしにくい材質を選定することが望ましい。
【００２８】
例えばステンレス鋼系の材質で代表的なものとしては、ＳＵＳ４３０（概略組成：Ｆｅ−１６〜１８重量％Ｃｒ−０．１重量％Ｃ）等のフェライト系ステンレス鋼を使用することができる（特に冷間加工用に好適である）。また、Ｎｂ、ＴｉあるいはＭｏを含有したフェライト系あるいはオーステナイト系ステンレス鋼も、主体金具３の材質として好適に使用できる。例えば、前述の封着材層３２は、セラミック素子２の外側に予め圧粉成形したガラス粉末をはめ込んで、それらを挿通孔３１内に挿入し、その状態で大気中あるいは窒素雰囲気等の不活性ガス雰囲気中で８００〜９００℃に加熱してガラス粉末を焼結することにより形成できる。この場合、上記材質の採用により、加熱処理時の主体金具３の変色を防止ないし抑制できる利点がある。Ｍｏ含有のステンレス鋼の具体的な材質として、フェライト系のＳＵＳ４３４（概略組成：Ｆｅ−１６〜１８重量％Ｃｒ−１重量％Ｍｏ−０．１重量％Ｃ）、オーステナイト系のＳＵＳ３１６（概略組成：Ｆｅ−１６〜１８重量％Ｃｒ−１０〜１４重量％Ｎｉ−２．５重量％Ｍｏ）、ＳＵＳ３１７（概略組成：Ｆｅ−１８〜２０重量％Ｃｒ−１１〜１５重量％Ｎｉ−３．５重量％Ｍｏ）等を、Ｔｉ含有のステンレス鋼としてオーステナイト系のＳＵＳ３２１（概略組成：Ｆｅ−１７〜１９重量％Ｃｒ−９〜１３重量％Ｎｉ−炭素含有量（重量％）の５倍以上のＴｉ）等を、Ｎｂ含有のステンレス鋼としてオーステナイト系のＳＵＳ３４７（概略組成：Ｆｅ−１７〜１９重量％Ｃｒ−９〜１３重量％Ｎｉ−炭素含有量（重量％）の１０倍以上のＮｂ）等をそれぞれ例示できる。
【００２９】
図１に戻り、セラミック素子２の各電極端子部７（４極を総称する）には、導線部材としてそれぞれ裸の導線（長手状金属薄板）８が第一コネクタＡにより電気的に接続され、それらの導線８はさらに第二コネクタ部１３を介して、樹脂被覆されたリード線１４に電気的に接続されている。都合４本のリード線１４は外筒１８の末端内側に嵌め込まれたグロメット１５を貫通して外部に延び、それらの先端にコネクタプラグ１６が連結され、各リード線１４の外部に延びる部分には、これらを収束して保護する保護チューブ１７が被せられている。
【００３０】
以下、酸素センサ１の作動について説明する。
すなわち、酸素センサ１は、前述の通り主体金具３のねじ部３ａにおいて車両の排気管等に固定され、またコネクタプラグ１６が図示しないコントローラに接続されて使用に供される。そして、その検出部Ｄが排気ガスに晒されると、酸素濃淡電池素子２１の多孔質電極２５（図２）が排気ガスと接触し、酸素濃淡電池素子２１には該排気ガス中の酸素濃度に応じた酸素濃淡電池起電力が生じる。この起電力が、電極リード部２５ａ及び２６ａを経て電極端子部７，７、さらにはリード線１４，１４を介してセンサ出力として取り出される。この種の酸素センサ１は、排気ガス組成が理論空燃比となる近傍で濃淡電池起電力が急激に変化する特性を示すことから、空燃比検出用に広く使用されるものである。
【００３１】
ここで、酸素センサ１の、例えば自動車における取り付け位置は、エキゾーストマニホルドや車両の足周り部分に近い排気管等であり、管外に露出する主体金具３のねじ部３ａよりも後端部分（図１参照）には、高温状態で水しぶき等がかかったり、あるいは跳ね上がった小石等が衝突するなど、熱衝撃あるいは機械的衝撃が加わりやすい。そして、上記本発明の酸素センサ１の構成によれば、主体金具３とセラミック素子２とを封着する封着材層３２の周囲に、環状の溝部（空隙部）３３が形成されており、急激な温度変化等を受けた場合でも該溝部３３が断熱層の役割を果たし、その熱衝撃の影響が封着材層３２に及びにくくなる。また、溝部３３の外側壁部を形成する主体金具部分３ｇが、自身の変形により衝撃を吸収する緩衝部として作用しうるので、封着材層３２への影響を緩和することができる。これにより、外力あるいは熱衝撃による封着材層３２の損傷を防止することができる。
【００３２】
なお、図６に示すように、空隙部（溝部）３３は、挿通孔３１の周囲において断続的に設けることも可能である。同図では、空隙部３３は、ほぼ円形断面を有してセラミック素子２の軸線方向に延びる複数の有底の孔部を、挿通孔３１の周方向において所定の間隔で形成したものとなっている。
【００３４】
なお、上記実施例は検出素子（セラミック素子）として酸素濃淡電池素子のみを用いるλセンサに本発明を適用した例であったが、他のタイプのガスセンサに適用することももちろん可能である。以下、いくつかの例を示す。まず、図７は検出素子を全領域酸素センサ素子とした場合の概念図である。この場合、セラミック素子６０は、それぞれ酸素イオン伝導性固体電解質で構成される酸素ポンプ素子６１と酸素濃淡電池素子６２とが測定室６５を挟んで対向配置された構造を有し、排気ガスは多孔質セラミック等で構成された拡散孔６７を通って測定室６５に導入される。そして、酸素濃淡電池素子６２は、素子内に埋設された電極６３を酸素基準電極として、測定室６５側の電極６４との間に生ずる濃淡電池起電力により、測定室６５内の酸素濃度を測定する。一方、酸素ポンプ素子６１には電極６６及び６８を介して図示しない外部電源により電圧が印加され、その電圧の向きと大きさにより定まる速度で、測定室６５に対し酸素を汲み込む又は汲み出すようになっている。そして、該酸素ポンプ素子６１の作動は、酸素濃淡電池素子６２が検知する測定室６５内の酸素濃度に基づいて図示しない制御部により、該測定室６５内の酸素濃度が一定に保持されるように制御され、このときの酸素ポンプ素子６１のポンプ電流に基づいて排気ガスの酸素濃度を検出する。
【００３５】
また、図８は、セラミック素子を２チャンバー方式のＮＯＸセンサ素子とした場合の例を示している。セラミック素子７０はＺｒＯ２等の酸素イオン伝導性固体電解質で構成され、その内部には第一及び第二の測定室７１，７２が隔壁７１ａを挟んで形成されるとともに、上記隔壁７１ａには多孔質セラミック等で構成されてそれらを互いに連通させる第二拡散孔７３が形成されている。また、第一測定室７１は第一拡散孔７４により周囲雰囲気と連通している。そして、第一測定室７１に対しては電極７６及び７７を有する第一酸素ポンプ素子７５が、また、第二測定室７２に対しては電極７９及び８０を有する第二酸素ポンプ素子７８が、それぞれ壁部７１ａに関して反対側に位置している。また、隔壁７１ａには、第一測定室７１内の酸素濃度を検出する酸素濃淡電池素子８３（隔壁７１ａ内の酸素基準電極８１と、第一測定室７１に面する対向電極８２を有する）が形成されている。
【００３６】
その作動であるが、まず第一測定室７１内に周囲雰囲気のガスが第一拡散孔７４を通って導入される。そして、その導入されたガスから酸素が第一酸素ポンプ素子７５により汲み出される。なお、測定室内の酸素濃度は酸素濃淡電池素子８３により検出され、その検出値に基づいて図示しない制御部により第一の酸素ポンプ素子７５は、第一測定室７１内のガス中の酸素濃度が、ＮＯXの分解を起こさない程度の一定値となるように、その酸素汲み出しのための作動が制御される。このようにして酸素が減じたガスは第二測定室７２へ第二拡散孔７３を通って移動し、そこでガス中のＮＯXと酸素とが完全に分解するように、第二酸素ポンプ素子７８により酸素が汲み出される。このときの第二酸素ポンプ素子７８のポンプ電流に基づいてガス中のＮＯXの濃度を検出する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のガスセンサの一例を示す酸素センサの縦断面図及びＡ−Ａ断面図。
【図２】  その検出素子としてのセラミック素子の構造を示す説明図。
【図３】  主体金具の製造工程の説明図。
【図４】  同じく別の製造工程説明図。
【図５】  図４に続く製造工程説明図。
【図６】  主体金具に形成する空隙部の変形例を示す軸断面図。
【図７】  セラミック素子が全領域酸素センサ素子で構成される例を示す断面模式図。
【図８】  同じくＮＯＸセンサ素子で構成される例を示す断面模式図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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