(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
輻射シールド（２３）をリフターシャフト（２１）に取付けるためのシールド取付治具において、リフターシャフト（２１）に対して着脱自在にロッド（１３）を設け、そのロッド（１３）に輻射シールド（２３）を支持するためのワイヤー（１４）を取り付け、リフターシャフト（２１）の端部にクランプブロック（１１）を取付け、クランプ部材（１２）をクランプブロック（１１）に着脱自在にクランプして、クランプブロック（１１）をリフターシャフト（２１）に固定し、クランプブロック（１１）にロッド（１３）を取り付けたことを特徴とするシールド取付治具。
【請求項２】
リフターシャフト（２１）の端部に拡径部（２１ａ）を形成し、この拡径部（２１ａ）をクランプブロック（１１）とクランプ部材（１２）で支持することを特徴とする請求項１に記載のシールド取付治具。
【請求項３】
ワイヤー（１４）の自由端部にフック部（１４ａ）を設けて輻射シールド（２３）を支持する構成にしたことを特徴とする請求項１に記載のシールド取付治具。
【請求項４】
クランプブロック（１１）に複数の穴（１１ｂ）を形成し、複数の穴（１１ｂ）にそれぞれロッド（１３）を挿入し、挿入したロッド（１３）にピンを（１６）差し込んで回り止めとすることを特徴とする請求項１に記載のシールド取付治具。
【請求項５】
輻射シールド（２３）をリフターシャフト（２１）に取付けるためのシールド取付治具において、リフターシャフト（２１）に対して着脱自在にロッド（１３）を設け、そのロッド（１３）に輻射シールド（２３）を支持するためのワイヤー（１４）を取り付け、リフターシャフト（２１）の端部に拡径部（２１ａ）を形成し、この拡径部（２１ａ）をクランプブロック（１１）とクランプ部材（１２）で支持することを特徴とするシールド取付治具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、輻射シールドをリフターシャフトに取付けるためのシールド取付治具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
チョクラルスキー法では、Ａｒガスの流れを良好に保つと共に、引上中のシリコンインゴットに悪影響を与える輻射熱をシールドするために、ルツボの上部に輻射シールドが配置される。
【０００３】
輻射シールドは、シールドリフターのリフターシャフトによって支持され、リフターシャフトと共に上下に移動する。輻射シールドは、メタルの溶融中はチャンバー内の上部へ上げておき、溶解後にルツボ近傍に下降させる。
【０００４】
従来は、輻射シールドをリフターシャフトに支持するための好適な治具がなく、例えば特開平１−１６０８９１号公報の引上装置では、シールドとシャフトを棒材で直に接続していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、そのような支持形態では、片持ち式の棒材が劣化してシールドが傾いた場合に、大掛かりな補修作業が必要となり、コスト高の一因となっていた。また、シールドを交換する時も同様であった。
【０００６】
そこで、本発明は、シンプルな構成を有し、フレキシビリティーに優れ、組み立てや部品交換が容易にでき、安価に製造できるシールド取付治具を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決手段の１つは、輻射シールドをリフターシャフトに取付けるためのシールド取付治具において、リフターシャフトに対して着脱自在にロッドを設け、そのロッドに輻射シールドを支持するためのワイヤーを取り付け、リフターシャフトの端部にクランプブロックを取付け、クランプ部材をクランプブロックに着脱自在にクランプして、クランプブロックをリフターシャフトに固定し、クランプブロックにロッドを取り付けるシールド取付治具である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明のシールド取付治具は、好ましい形態においては、リフターシャフトの端部にクランプブロックを取付け、クランプ部材をクランプブロックに着脱自在にクランプして、クランプブロックをリフターシャフトに固定し、クランプブロックにロッドを取り付ける。そして、そのロッドに輻射シールドを支持するためのワイヤーを取り付ける。
【０００９】
さらに、リフターシャフトの端部に拡径部を形成し、この拡径部をクランプブロックとクランプ部材で支持することが好ましい。
【００１０】
ワイヤーの自由端部にフック部を設けて輻射シールドを支持することが可能である。
【００１１】
クランプブロックに複数の穴を形成し、複数の穴にそれぞれロッドを挿入し、挿入したロッドにピンを差し込んで回り止めとすることができる。
【００１２】
【実施例】
以下、図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
【００１３】
図１は、本発明のシールド取付治具の使用状態を示す概略図である。図２はシールド取付治具の上面図、図３はリフターシャフトとその近辺を示す図、図４はシールド取付治具の組立図である。
【００１４】
シールド取付治具１０は、単結晶引上装置において、チャンバ２０の上部から挿入されるリフターシャフト２１に、輻射シールド２３を取付けるために使用される。
【００１５】
輻射シールド２３は、リフターシャフト２１の昇降によって、メタルの溶融中はチャンバー内の上部へ上げておき、溶解後にルツボ２２の近傍に下ろされる。シリコン単結晶の引上げは、シールド２３を下降させた状態で行われる。
【００１６】
リフターシャフト２１は、図３に示すように駆動部２４によって上下に駆動される。リフターシャフト２１の駆動部寄りの外側部分には、べローズ２５が配置されている。べローズ２５は、引上装置内の雰囲気を外気と遮断するために設けられる。
【００１７】
シールド取付治具１０は、クランプブロック１１、クランプ部材１２、３本のロッド１３、３本のワイヤー１４を用いて組み立てられる。
【００１８】
クランプブロック１１は、図４に示すようにリフターシャフト２１の下端部に取付けられる。リフターシャフト２１の下端部は拡径部２１ａを有し、段付き構造となっている。
【００１９】
クランプブロック１１は全体的に平板状であり、その上面に突出部１１ａが設けてある。突出部１１ａは、リフターシャフト２１の下端部の半円周部分をガイドする形状になっている。クランプブロック１１の側面には、ロッド１３を取付けるための３つの挿入穴１１ｂが形成されている。
【００２０】
クランプブロック１１は、蓄熱防止及び軽量化のために、平板部に穴を開ける等して肉を取っておくことが好ましい。
【００２１】
クランプブロック１１には、クランプ部材１２が着脱容易にクランプされる。クランプは、例えばボルト１５によって行うことができる。クランプ部材１２をクランプブロック１１にボルト締めすることによって、クランプブロック１１をリフターシャフト２１に着脱可能に固定できる。
【００２２】
クランプ部材１２は、クランプブロック１１の突出部１１ａと対になる形状をしており、リフターシャフト２１の下端部の残りの半円周部分をガイドする。
【００２３】
クランプブロック１１とクランプ部材１２は、熱に強い材料、例えばステンレス鋼、Ｍｏ、Ｗ、Ｔｉ等で形成することができる。
【００２４】
クランプブロック１１の３つの挿入穴１１ｂには、それぞれ丸棒状のロッド１３が挿入される。真中のロッド１３は、両側のロッド１３よりも短い。
【００２５】
ロッド１３の先端部には、ワイヤー１４を取付けるための取付穴１３ａが形成されている。ロッド１３の挿入部分の上側には、回り止め用のピン１６を差し込むための穴１３ｂが開けてある。
【００２６】
ロッド１３に取付けるワイヤー１４は、両端にフック部１４ａ、１４ｂを有している。ワイヤー１４は、一方のフック部１４ｂを利用してロッド１３に支持される。他方のフック部１４ａは輻射シールド２３を支持するのに用いられる。
【００２７】
ワイヤーのフック部１４ａによる３カ所の支持ポイントは、輻射シールド２３の円周上で均等な間隔で配置される。
【００２８】
ロッド１３は、耐熱性および加工性から例えばモリブデン（Ｍｏ）で形成することができる。
【００２９】
一方、ワイヤー１４は、耐熱性および引張強度から例えばタングステン（Ｗ）で形成することができる。
【００３０】
これらの材質以外でも、炉内を汚染せず且つ熱に強いものであれば、ワイヤーの材料として使用可能である。
【００３１】
なお、本発明は前述の実施例に限定されない。例えば、ロッドは加工が容易な丸棒としたが、ロッドは角棒その他の形状のものであっても良い。また、ロッドの取付形態は種々のものが採用できる。たとえば、ロッドを２本のみとし、１本のロッドに２本のワイヤーを支持取り付けて、輻射シールドを４点（３点）で支持することもできる。
【００３２】
【発明の効果】
本発明のシールド支持治具は、ワイヤーの長さを調整するだけで、輻射シールドの水平を保つことができるので、フレキシビリティーに優れている。
【００３３】
また、本発明のシールド支持治具はシンプルな構成しやすいため、加工や取り付けが容易であり、安価に製造できる。また、単結晶の直径制御用のＣＣＤカメラや作業者のメタル監視を阻害することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のシールド支持治具の１つの実施例を単結晶引上げ装置で使用している状態を示す概略図。
【図２】図１のシールド取付治具の上面図。
【図３】図１のシールド取付治具のリフターシャフトとその近辺を示す図。
【図４】図１のシールド取付治具の組立図
【符号の説明】
１０    シールド取付治具
１１    クランプブロック
１２    クランプ部材
１３    ロッド
１３ａ  貫通穴
１４    ワイヤー
１４ａ，１４ｂ  フック部
１５    ボルト
２１    リフターシャフト
２１ａ  拡径部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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