(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸を支持する磁気軸受部と回転軸を回転加減速する駆動部とを備えた磁気軸受装置において、
前記回転軸の変位変動量に基づいて回転軸を所定位置に保持するように磁気軸受部を制御するＰＩＤ制御の補償回路を備え、
該ＰＩＤ制御の補償回路は回転軸の設置方向に応じてＰＩＤ制御の補償回路内のＰＩＤ制御の制御定数を切換えることを特徴とする磁気軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気軸受装置に関し、特に、真空ポンプ等の高速回転機器に用いる磁気軸受装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ターボ分子ポンプをはじめとする真空ポンプ等の高速回転機器においては、良好な真空を得るためにオイルフリーであることが要求される。そこで、従来型の油潤滑を利用した軸受に代えて磁気軸受が開発されている。この磁気軸受は、真空空間に完全に無接触で浮上し回転するため、発生する振動が非常に小さいという特徴がある。そのため、電子顕微鏡やＸ線描画装置のように極度に振動を嫌う装置に適している。
【０００３】
従来、この磁気軸受として、回転軸回りの自由度を除く５自由度の運動（３自由度の重心の並進運動，２自由度の重心回りの回転運動）を能動的に制御する５軸制御形磁気軸受が知られている。この５軸制御形磁気軸受では、ラジアル磁気軸受として回転体の半径方向に８個の電磁石を備え、アキシャル磁気軸受として軸方向に２個の電磁石を備えている。そして、この電磁石とほぼ同位置に回転体の状態を検出する変位センサを設置してフィードバック制御系を構成し、各電磁石に流れる電流を調節して電磁石の吸引力を調節し、回転体を中心位置に支持している。
【０００４】
このフィードバック制御系として、例えば、１入力，１出力の古典的ＰＩＤ調節系、多入力、多出力である最適レギュレータ系、あるいは拡大最適レギュレータ系の３つの制御系が知られており、拡大最適レギュレータ系は比例，微分，積分要素によるＰＩＤ制御を行うことによって、歳差運動の制御を可能とするとともに定常外乱に対する定常偏差を減衰させることができる。
【０００５】
図９は、従来の磁気軸受における拡大最適レギュレータ系の制御系を説明するブロック図である。図９の制御系は、回転軸の半径方向の変位を検出する４つの変位センサＳxf，Ｓxr，Ｓyf，Ｓyr、及び軸方向の変位を検出する１つの変位センサＳz から検出される変位変動量をＰＩＤ制御し、回転体の半径方向に設けた８個の電磁石と軸方向に設けた２個の電磁石を駆動する制御系である。図９中の一点鎖線で囲まれる部分はＰＩＤ制御による補償回路であり、あらかじめ定めた制御定数（以下、制御定数Ａという）によって制御を行っている。
【０００６】
電磁石は、回転軸を挟んで対向して配置されており、各電磁石に前記ＰＩＤ制御により定められる励磁電流を励磁アンプを介して流すことによって、対向する電磁石どうしで回転軸を吸引しあい、回転軸を適当な位置に制御している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
磁気軸受装置の適用例として、例えばターボ分子ポンプにおける回転軸の軸受がある。このようなターボ分子ポンプを真空チャンバに設置する場合、その取付け方向は真空チャンバの構造や付属装置の設置位置等によって異なる。
そのため、ターボ分子ポンプは真空チャンバに対して任意の方向に取付け可能であることが求められている。図１０は、磁気軸受装置をターボ分子ポンプの真空チャンバに設置する設置位置の例を示している。図１０の設置位置例は、矢印の方向を重力方向とすると、磁気軸受装置は真空チャンバに対して、例えば垂直方向、垂直方向と１８０°逆方向の倒立方向、垂直方向から９０°傾いた水平方向、斜め方向に取付ける場合を示している。
【０００８】
したがって、磁気軸受装置の設置方向も、ターボ分子ポンプの取付け方向に応じて種々の方向となる場合がある。磁気軸受装置の設置方向により、ロータの回転軸の軸受に対する方向成分が異なってくる。図１１は、磁気軸受装置の設置方向によるスラスト軸受とラジアル軸受の受ける力成分を説明する図である。図１１（ａ）は回転軸が垂直方向の場合を示しており、この場合には回転軸の設置方向と重力方向が同方向であり、重力分はスラスト軸受部に加わる。また、図１１（ｃ）は回転軸が水平方向の場合を示しており、この場合には回転軸の設置方向と重力方向が直交し、重力分はラジアル軸受部に加わる。また、図１１（ｂ）は回転軸が斜め方向の場合を示しており、この場合には重力分は回転軸の傾斜方向に応じてスラスト軸受部とラジアル軸受部に分配される。このように、磁気軸受装置の設置方向に応じて、各軸受部への重力分の分配は変化する。磁気軸受装置は、このような異なる設置方向に対してロータを常に安定して浮上制御することが求められている。
【０００９】
従来の磁気軸受装置では、磁気軸受装置を重力方向に対して鉛直方向に設置した場合を基準位置として、ロータを浮上制御するフィードバック制御回路の制御定数を求め、この垂直方向設置時における制御定数を全方向に対する代表的な制御定数とし、磁気軸受装置の設置方向によらず同一の制御定数を用いて制御を行っている。
そのため、磁気軸受装置の設置方向によっては、最適な浮上制御を確保することが困難となり、突発的な外部振動に対して応答が最適とならないという問題点がある。
【００１０】
そこで、本発明は前記した従来の磁気軸受装置の問題点を解決し、磁気軸受装置の設置方向に対応した浮上制御を行うことができる磁気軸受装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、回転軸を支持する磁気軸受部と回転軸を回転加減速する駆動部とを備えた磁気軸受装置において、回転軸の変位変動量に基づいて回転軸を所定位置に保持するよう磁気軸受部を制御する補償回路を備え、この補償回路は回転軸の設置方向に応じて補償回路内の制御定数を切換えることによって、前記目的を達成する。
【００１２】
本発明の実施態様は、補償回路の制御定数を切換えを、磁気軸受部の電磁石に印加する電流量に基づいて行うものであり、これによって、磁気軸受装置の設置方向に応じて自動的に制御定数を変更することができる。
本発明の他の実施態様は、補償回路の制御定数の切換えの基となる磁気軸受部の電磁石への励磁電流を、スラスト磁気軸受部の電磁石への励磁電流、あるいはラジアル磁気軸受部の電磁石への励磁電流とするものである。
【００１３】
本発明の磁気軸受装置において、設置方向に応じた補償回路の制御定数を実験等によりあらかじめ求めておき、磁気軸受装置を設置する場合に求めておいた複数の制御定数の中から設置方向に応じた制御定数を選択し、補償回路の制御定数をこの選択した制御定数に切換える。これによって、補償回路中の制御定数は、磁気軸受装置の設置方向に対応した制御定数とすることができる。
【００１４】
制御定数の切換えは、例えば、磁気軸受装置の設置時に操作者等による補償回路に入力する切換え信号や、磁気軸受部の電磁石に印加する電流量に基づいて補償回路に入力する切換え信号を用いることができる。
操作者の操作による場合には、磁気軸受装置の設置時に補償回路に切換え信号を入力して、磁気軸受装置の設置方向に対応する補償回路の制御定数を設定する。
【００１５】
また、磁気軸受部の電磁石に印加する電流量は、磁気軸受装置の設置方向に応じて変化する。そこで、この電流量に応じた制御定数をあらかじめ設定し、電流量に応じて切換えることによって、設置方向に対応する制御定数を自動的に設定することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図２は、５自由度制御形磁気軸受の概略構造図である。図示する磁気軸受は、回転軸回りの自由度を除く５自由度の運動を能動的に制御する５軸制御形磁気軸受であり、回転軸Ｒの重心Ｇを原点とし、Ｚ軸を回転軸Ｒ上とするＸ，Ｙ，Ｚ座標を示している。この５軸制御形磁気軸受は、重心の並進運動について３つの自由度，重心回りの回転運動について２つの自由度の合計５つの自由度を有している。
【００１７】
そして、この５軸制御形磁気軸受では、回転軸の半径方向に８個の電磁石（Ｍxfp ，Ｍxfn ，Ｍxrp ，Ｍxrn ，Ｍyfp ，Ｍyfn ，Ｍyrp ，Ｍyrn ）を備えており、これらの電磁石によってラジアル磁気軸受を構成している。なお、ここで、Ｍは電磁石を示し、添字ｘはＸ座標軸方向を，添字ｙはＹ座標軸方向を，添字ｆは重心Ｇに対して回転軸Ｒの一方の側を，添字ｒは重心Ｇに対して回転軸Ｒの他方の側を，添字ｐは座標軸の正方向を，添字ｎは座標軸の負方向を示している。したがって、重心Ｇに対して回転軸Ｒの一方の側において、電磁石Ｍxfp と電磁石Ｍxfn は回転軸Ｒを挟んでＸ軸方向に対向して配置され、また、電磁石Ｍyfp と電磁石Ｍyfn は回転軸Ｒを挟んでＹ軸方向に対向して配置されている。また、電磁石Ｍxrp ，Ｍxrn ，Ｍyrp ，Ｍyrn についても、重心Ｇに対して回転軸Ｒの他方の側において同様に配置されている。
【００１８】
さらに、この５軸制御形磁気軸受は、回転軸Ｒの軸方向に２個の電磁石（Ｍzp，Ｍzn）を備えており、これらの電磁石によってスラスト磁気軸受を構成している。なお、添字ｚはＺ座標軸方向を示している。
また、この５軸制御形磁気軸受は、これら電磁石とほぼ同位置に回転軸Ｒの状態を検出する変位センサ（Ｓxf，Ｓyf，Ｓxr，Ｓyr，Ｓz ）を備えている。なお、変位センサＳの添字は電磁石で用いた添字を同様である。例えば、変位センサＳｘｆは、重心Ｇに対して回転軸Ｒの一方の側におけるＸ軸方向についての回転軸Ｒの変位を検出するセンサである。
【００１９】
さらに、この電磁石Ｍと変位センサＳはフィードバック制御系を構成しており、変位センサＳによって検出した変位変動量を用いて各電磁石に流れる電流を調節することで電磁石の吸引力を調節し、これによって回転軸が中心位置となるよう制御を行っている。そして、この回転軸Ｒは回転軸に取り付けられたモータｍによって駆動される。
【００２０】
なお、図中において、電磁石Ｍと回転軸Ｒとの変位変動量ｄは、変位の対象となっている電磁石Ｍの添字を付すことによって示している。例えば、電磁石Ｍxfp と電磁石Ｍxfn については、電磁石Ｍxfp と回転軸Ｒとの距離をｄMxf で示している。また、変位センサＳと回転軸Ｒとの変位変動量ｄは、検出を行っている変位センサＳの添字を付すことによって示している。例えば、変位センサＳxfについては、変位センサＳxfと回転軸Ｒとの距離をｄSxf で示している。また、重心Ｇから電磁石Ｍまでの軸方向の距離ｌはｌMf，ｌMrによって示し、重心Ｇから変位センサＳまでの軸方向の距離ｌはｌSf，ｌSrによって示している。さらに、モータｍについては、回転軸Ｒとの変位変動量をＸ軸方向ではｄmx，Ｙ軸方向ではｄmyで示し、重心Ｇからの軸方向距離をｌm によって示している。なお、前記の変位変動量，及び重心Ｇは平衡位置を原点としている。
【００２１】
図２の磁気軸受構成において、センサ位置における回転軸とセンサ間の浮上平衡位置からの変動量をｄs とし、電磁石Ｍと変位センサＳによってＰＩＤフィードバック制御系を構成すると、その運動方程式は例えば以下の式で表される。
0003651703.tif 000002
なお、「’」は微分を示し、Ｔs は重心とセンサ間の距離に係わる行列であり、Ｎは回転軸の質量および半径方向の慣性モーメントに係わる行列であり、Ｇy はロータのジャイロ効果に係わる行列であり、ＴM は重心と電磁石間のＺ軸方向距離に係わる行列であり、ＫMiは励磁電流に関する電磁石係数であり、ＫMsはギャップ変動に関する電磁石係数であり、ＫP は比例ゲイン（Ｐゲイン），ＫD は微分ゲイン（Ｄゲイン），ＫI は積分ゲイン（Ｉゲイン）である。
【００２２】
前記式（１）で表される磁気軸受装置のＰＩＤフィードバック制御系は、例えば図９に示す補償回路を含めた構成により実現することができ、回転軸の半径方向の変位を検出する４つの変位センサＳxf，Ｓxr，Ｓyf，Ｓyr、および軸方向の変位を検出する１つの変位センサＳz から検出される変位変動量をＰＩＤ制御し、回転体の半径方向に設けた８個の電磁石と軸方向に設けた２個の電磁石を駆動する制御系である。この制御系におけるＰＩＤの各係数の組を制御定数Ａとして表すことにする。
【００２３】
図１０，図１１で示したように、磁気軸受装置の設置方向が異なると、ロータ自身のロータ軸方向成分と半径方向線分の大きさが変化し、例えば、ロータ軸が重力と同方向の場合には重力をスラスト方向の磁気軸受で支持し、また、ロータ軸が重力と直角方向の場合には重力をラジアル方向の磁気軸受で支持する。重力をスラスト方向の磁気軸受で支持する場合には、スラスト方向の磁気軸受において重力と逆方向に設置された電磁石に大きな励磁電流が流れ、また、重力をラジアル方向の磁気軸受で支持する場合には、ラジアル方向の磁気軸受において重力と逆方向に設置された電磁石に大きな励磁電流が流れる。
【００２４】
したがって、磁気軸受装置の設置方向（ロータ磁気軸受の方向）に応じて浮上平衡状態での各電磁石に流れる励磁電流が変化することになる。平衡状態における励磁電流の大きさによって、磁気軸受装置のＰＩＤフィードバック制御系のゲインは変化する。したがって、磁気軸受装置の設置方向が変化する場合に安定した平衡状態を維持するためには、磁気軸受装置内の補償回路中の制御定数を設置方向に対応して変更する必要がある。
【００２５】
本発明の実施の第１の形態では、図１のブロック図に示すように、変位センサ２，補償回路３，反転器４，加算器５，励磁アンプ６，電磁石７を含む制御系１において、補償回路３内に磁気軸受装置の設置方向に対応して複数の制御定数（図１では２つ制御定数Ａ，制御定数Ｂを設ける場合を示している）、この制御定数Ａ，Ｂを切換スイッチ３１によって切換えて出力する。
なお、図示する制御系では、反転器４および加算器５の構成によって、対向して配置される各軸の電磁石に対して同じ大きさの一定電流がバイアス分としてあらかじめ設定し、このバイアス電流を同じ大きさの制御電流により増減するよう構成している。
【００２６】
補償回路１中の制御定数は、例えば、図１０に示すように、磁気軸受装置を垂直設置した設置方向からの角度θが角度区間Ａ１（０°≦θ≦４５°）と角度区間Ａ２（１３５°≦θ≦１８０°）にある場合には、切換スイッチ３１によって制御定数Ａを選択して出力し、角度θが角度区間Ｂ（４５°＜θ＜１３５°）にある場合には、切換スイッチ３１によって制御定数Ｂを選択して出力する。この各角度区間における制御定数は、該角度区間内において最適な浮上制御定数をあらかじめ求め、補償回路内に設定しておくことができる。
また、この切換スイッチ３１は、例えばリレー等により構成することができ、外部からのスイッチ切換信号により切換動作を行うことができ、このスイッチ切換信号は操作者により入力することができる。これによって、磁気軸受装置の設置方向に応じて、最適な制御定数を設定することができる。
【００２７】
次に、本発明の実施の第２の形態について説明する。図３は本発明の実施の第２の形態を説明するためのブロック図である。図３のブロック図においても、図１と同様に、変位センサ２，補償回路３，反転器４，加算器５，励磁アンプ６，電磁石７を含む制御系１において、補償回路３内に磁気軸受装置の設置方向に対応して複数の制御定数Ａ，制御定数Ｂを設け（図３では２つ制御定数の場合を示している）、この制御定数Ａ，Ｂを切換スイッチ３１およびウインドコンパレータ３２によって切換えて出力する。
磁気軸受装置の設置方向と、浮上平衡状態における電磁石の励磁電流の間には例えば図７，８に示すような関係がある。なお、図７，８は励磁電流に相当する値で示している。
【００２８】
以下、この関係を式を用いて説明する。図４は、回転軸Ｒと、この回転軸Ｒを挟んで対向して設置される電磁石Ｍの関係を概略した図であり、両電磁石Ｍに励磁電流ＩｎおよびＩｐが流れて、回転軸Ｒと電磁石Ｍとの間隔がそれぞれＤｎおよびＤｐである場合には、それぞれ次式に示すｆｎおよびｆｐの力が作用する。
【００２９】
ｆｎ＝ｋ（Ｉｎ／Ｄｎ）2                                     …（２）
ｆｐ＝ｋ（Ｉｐ／Ｄｐ）2                                     …（３）
なお、ｋは比例定数である。
【００３０】
ここで、図５に示すように回転軸およびロータが角度θだけ傾斜した場合において、スラスト方向の電磁石に流れる励磁電流Ｉｐとすると、以下の式が得られる。
ｍ・ｇ・ｃｏｓθ＝ｆｐ−ｆｎ                                …（４）
Ｉ（一定）＝Ｉｐ＋Ｉｎ                                      …（５）
Ｄ（一定）＝Ｄｐ＝Ｄｎ                                      …（６）
前記式（１）〜（５）より、スラスト方向の電磁石に流れる励磁電流Ｉｐは以下の式で表される。
Ｉｐ＝（Ｄ2 ・ｍ・ｇ・ｃｏｓθ）／（２・ｋ・Ｉ）＋Ｉ／２    …（７）
図７は、式（７）で表される関係を用いて、前記した実施の第１の形態と同様に、角度区間を角度区間Ａ１（０°≦θ≦４５°），角度区間Ａ２（１３５°≦θ≦１８０°）と、角度区間Ｂ（４５°＜θ＜１３５°）に分け、各角度区間で制御定数Ａ，制御定数Ｂを切換えるものであり、実施の第２の形態ではこの切換えを励磁電流の大きさに応じて行うものである。なお、図７の励磁電流相当値は、例えば図３中の励磁アンプからの出力信号とすることができる。
【００３１】
図７において、角度区間Ａ１（０°≦θ≦４５°）は励磁電流相当値がＩ２以上の場合に相当し、角度区間Ａ２（１３５°≦θ≦１８０°）は励磁電流相当値がＩ１以下の場合に相当し、また、角度区間Ｂ（４５°＜θ＜１３５°）は励磁電流相当値がＩ１とＩ２の間にある場合に相当している。
なお、角度区間（−４５°≦θ≦０°）は角度区間Ａ１と、角度区間（−１８０°≦θ≦−１３５°）は角度区間Ａ２と、また、角度区間（−１３５°＜θ＜−４５°）は角度区間Ｂと対応している。
【００３２】
そこで、図３に示す実施の第２の形態では、励磁アンプからの出力信号を励磁電流相当値として、図７中のＩ１およびＩ２に対応する値をしきい値するウインドコンパレータ３２に入力し、これによって磁気軸受装置の設置方向を判定してスイッチ切換信号を補償回路３内の切換スイッチ３１に出力する。切換スイッチ３１は、このスイッチ切換信号に基づいて制御定数Ａあるいは制御定数Ｂを選択して制御定数の切換えを行う。
【００３３】
ウインドコンパレータ３２のしきい値は、ロータが浮上し無回転状態においてあらかじめ求めておいて励磁電流相当値によって定めることができ、また、補償回路１中の制御定数は、実施の第１の形態と同様に設定することができる。
これによって、実施の第２の形態では、スラスト軸受における電磁石に供給される励磁電流を用いて、磁気軸受装置の設置方向に応じた制御定数の設定を自動的に行うことができる。
【００３４】
なお、実施の第２の形態による制御定数の自動設定は、通常、ポンプ用の制御電源を立ち上げる毎や、磁気軸受装置の設置変更時等に行い、ロータの回転駆動中には行わない。これによって、振動等の外乱による制御定数の切換を防止することができる。
【００３５】
次に、本発明の実施の第３の形態について説明する。実施の第２の形態は、スラスト方向の電磁石に流れる励磁電流Ｉｐを用いることにより、磁気軸受装置の設置方向を判定し、これによって、制御定数の切換を行うのに対して、実施の第３の形態は、ラジアル方向の電磁石に流れる励磁電流Ｉｐを用いることにより、磁気軸受装置の設置方向を判定し、これによって、制御定数の切換を行うものである。
【００３６】
図６は、回転軸を対向配置したラジアル方向の電磁石に対して、４５°の方向に傾けた場合を示しており、この場合について前記式（２）〜（６）と同様の関係式を求めて、ｆ側のラジアル方向の電磁石に流れる励磁電流Ｉｐを求めると以下の式で表すことができる。
Ｉｐ＝（ｌMr・Ｄ2 ・ｍ・ｇ・ｓｉｎθ）
／｛２・√２・ｋ・Ｉ・（ｌMf＋ｌMr）｝＋Ｉ／２        …（８）
式（８）は、ｆ側のラジアル方向の電磁石に流れる励磁電流Ｉｐが磁気軸受装置の設置方向θに応じて変化することを示しており、前記式（７）と同様に、この励磁電流の大きさに応じて制御定数の切換えを行うことができることを示している。
したがって、本発明の実施の第３の形態では、図３において、ウインドコンパレータ３２に入力する信号として、電磁石Ｍに代えてｆ側あるいはｒ側の電磁石Ｍｘあるいは電磁石Ｍｙを用て第２の形態と同様にして制御定数の切換えを行うよう構成することができる。
なお、回転軸の傾斜方向が４５°以外の場合には、式（８）中の√２の値が変化する。
【００３７】
次に、本発明の実施の第４の形態について説明する。実施の第１〜３の形態では、制御定数の個数が２つの場合について示しているが、制御定数の個数は２以上の複数とすることができ、例えば図８に示すように、角度区間を３６°毎に区分して制御定数Ａ〜制御定数Ｃの３つの制御定数を設定することができる。
さらに、角度区間を細かく区分してより多くの制御定数を設定することも可能である。
【００３８】
また、本発明の実施の第５の形態として、補償回路中の制御定数および切換スイッチをソフトウェアにより構成することも可能であり、例えば制御定数をメモリ内に格納しておき、スイッチ切換信号に基づいて対応する制御定数を読み出し出力する構成とすることもできる。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、磁気軸受装置の設置方向に対応した浮上制御を行うことができる磁気軸受装置を提供することができる。
また、この磁気軸受装置をポンプ等に用いることよって最適な浮上制御を確保することができ、突発的な外部振動に対しても安定性を向上させることができ、信頼性の高い運転が可能となる。また、浮上平衡状態における励磁電流によって、ポンプの設置補償回路を自動的に判定して切換動作を行うため、ポンプの設置方向を頻繁に変更する場合には、制御定数の変更の煩わしさを減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の第１の形態を説明するための制御系のブロック図である。
【図２】５自由度制御形磁気軸受の概略構造図である。
【図３】本発明の実施の第２の形態を説明するための制御系のブロック図である。
【図４】回転軸と電磁石の関係を説明するための概略図である。
【図５】スラスト方向の電磁石に流れる励磁電流を説明するための図である。
【図６】ラジアル方向の電磁石に流れる励磁電流を説明するための図である。
【図７】磁気軸受装置の設置方向と励磁電流相当値との関係を説明する図である。
【図８】磁気軸受装置の設置方向と励磁電流相当値との関係を説明する図である。
【図９】従来の磁気軸受における拡大最適レギュレータ系の制御系を説明するブロック図である。
【図１０】磁気軸受装置をターボ分子ポンプの真空チャンバに設置する設置位置の例を示す図である。
【図１１】磁気軸受装置の設置方向によるスラスト軸受とラジアル軸受の受ける力成分を説明する図である。
【符号の説明】
１…制御系、２，Ｓ…変位センサ、３…補償回路、４…反転器、５…加算器、６…励磁アンプ、７…電磁石、３１…切換スイッチ、３２…ウインドコンパレータ、Ｒ…回転軸、Ｍ…電磁石、ｍ…モータ、ＰＩＤ…ＰＩＤ制御部。
【図１】
0003651703.tif 000003
【図２】
0003651703.tif 000004
【図３】
0003651703.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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