(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下端にノズルが装着されエアー配管を介して供給された圧縮空気により内部に充填した高粘性流体を吐出し基板に塗布するシリンジと、当該シリンジのエアー配管側の端部を閉塞するキャップと、当該キャップと前記エアー配管とを接続する継手部材とを備え、
前記継手部材と前記エアー配管とは、相互に摺動自在かつ気密に接続されると共に、前記継手部材と前記キャップとは、ねじ接合により相互に気密に接続され、かつ、前記摺動は、前記継手部材を前記キャップに締め付けるときの前記継手部材の下方への移動を許容すると共に、前記ノズルが前記基板に突き当たったときの前記シリンジの上方への移動を許容することを特徴とする高粘性流体の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品の基板への実装に先立ち、基板に接着材やクリーム半田などの高粘性流体を塗布する塗布装置において、特に、高粘性流体を充填したシリンジとエアー供給系との接続部分の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図５は、従来の高粘性流体の塗布装置におけるシリンジ廻りの側面図である。シリンジ１０１の先端には、接着剤を基板に塗布するためのノズル１０２が取り付けられており、シリンジ１０１はノズル１０２を介してホルダ１０３に着脱自在に取り付けられている。シリンジ１０１の基端にはキャップ１０４が装着されており、キャップ１０４にはエアーホース１０５が接続されている。キャップ１０４の中央には、シリンジ１０１の内部に連通する接続管１０６が取り付けられており、この接続管１０６に締付け金具１０７で押さえるようにしてエアーホース１０５が接続されている。また、キャップ１０４の下部は、シリンジ１０１内に気密に嵌挿されている。この場合、シリンジ１０１の基端には  点対称位置にフランジ状に張り出した一対の係止部１０１ａが一体に形成されており、これに対応してキャップ１０４にはこの係止部１０１ａを抱え込むように係止する一対の掛止め部１０４ａが形成されている。キャップ１０４をシリンジ１０１に装着する場合には、係止部１０１ａから掛止め部１０４ａが逃げた状態で、キャップ１０４の下部をシリンジ１０１に嵌挿した後、キャップ１０４を回転させて係止部１０１ａに掛止め部１０４ａを合致させるようにして、抜止め状態とする。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の高粘性流体の塗布装置では、キャップ１０４がエアーホース１０５に固定的に接続されているため、ノズル１０２を装着したシリンジ１０１をホルダ１０３にセットした後、キャップ１０４をシリンジ１０１に装着することにより、エアーホース１０５とシリンジ１０１との接続が行われる。また、この接続は装置の構造上狭いスペースで行われる。すなわち、複雑で且つ力を要す作業を狭い場所で行う必要があるため、シリンジ１０１の交換作業が極めて煩雑となる不具合があった。しかも、その際にシリンジ１０１に無理な力がかかったり、エアーホース１０５が捻られた状態で取り付けられたりする場合があり、ホルダ１０３の損傷やエアーホース１０５の耐久性が悪化する問題もあった。
【０００４】
本発明は、シリンジの交換作業を無理なく、極めて簡単に行うことができる高粘性流体の塗布装置を提供することをその目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の高粘性流体の塗布装置は、下端にノズルが装着されエアー配管を介して供給された圧縮空気により内部に充填した高粘性流体を吐出し基板に塗布するシリンジと、シリンジのエアー配管側の端部を閉塞するキャップと、キャップとエアー配管とを接続する継手部材とを備え、継手部材とエアー配管とは、相互に摺動自在かつ気密に接続されると共に、継手部材とキャップとは、ねじ接合により相互に気密に接続され、かつ、摺動は、継手部材をキャップに締め付けるときの継手部材の下方への移動を許容すると共に、ノズルが基板に突き当たったときのシリンジの上方への移動を許容することを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、エアー配管に、継手部材を差し込むようにして装着しておき、これに予めキャップを装着したシリンジを装着し、最後に継手部材を引き下げ、キャップに押し当てると共に継手部材とエアー配管との相互の摺動による継手部材の下方への移動の許容により継手部材をねじ込んで、継手部材とキャップとを気密に接続する。このように、キャップをシリンジに装着するなどの、力を必要とすると共に複雑な動作を強いられる作業を装置の外部で行うことができるため、シリンジの交換作業を単純化することができると共に、エアー配管などに無理な力が加わることがない。また、高粘性流体を塗布するためにノズルが基板に突き当たると、シリンジは衝撃を受けるが、この衝撃は、エアー配管に対して継手部材が摺動することによるシリンジの上方への移動の許容により吸収されるため、エアー配管側および基板側への衝撃の影響が抑制される。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る高粘性流体の塗布装置について説明する。この塗布装置は、電子部品を接着するための接着剤を、基板上に塗布するものであり、図１はその側面図である。同図に示すようにこの塗布装置１は、接着剤Ａを基板Ｂ上に塗布する塗布ユニット２と、塗布ユニット２を昇降させるユニット昇降装置３とで構成されている。図示では省略されているが、このユニット昇降装置３は、ＸＹテーブルに取り付けられており、塗布装置１全体として水平面内で移動可能に構成されている。すなわち、ＸＹテーブルは、塗布ユニット２をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させ、ユニット昇降装置３は塗布ユニット２をＺ軸方向に移動させる。
【０００８】
ユニット昇降装置３は、ＸＹテーブルに取り付けたベース１１と、ベース１１の上端に下向きに取り付けた昇降モータ１２と、塗布ユニット２に係合してこれを昇降させるボールねじ１３とを有している。ボールねじ１３は、上下両端部をベース１１から延びる一対の軸受部１４ａ，１４ｂに回転自在に支持されると共に、上端でカップリング１５を介して昇降モータ１２に連結されている。ボールねじ１３には、後述する塗布ユニット２の取付板３１のナット部４１が螺合し、またベース１１の下部に形成したガイド部１６には、取付板３１のガイド受け部４２が上下方向に摺動自在に係合している。
【０００９】
昇降モータ１２は正逆回転可能なステッピングモータやサーボモータなどで構成されている。昇降モータ１２が回転すると、ボールねじ１３が回転して、ガイド部１６に案内された取付板３１が上下方向に移動し、塗布ユニット２が昇降するようになっている。
【００１０】
取付板３１の上側には、圧縮空気の吐出バルブ２１が取り付けられており、吐出バルブ２１の流入側には、コンプレッサ（図示せず）などの供給源に連なる圧縮空気の供給配管２２が連結されている。吐出バルブ２１は電磁三方弁などで構成されており、塗布ユニット２に圧縮空気を供給する場合と、塗布ユニット２に供給した圧縮空気を大気中に開放する場合とに、切り替え得るようになっている。この場合、吐出バルブ２１は、後述する塗布ユニット２のシリンジ３４に圧縮空気を供給するものであり、圧縮空気を供給することによりシリンジ３４内の接着剤Ａを吐出させ、圧縮空気を大気に開放することによりシリンジ３４内を減圧して接着剤Ａの吐出を停止させる。
【００１１】
塗布ユニット２は、ユニット昇降装置３に取り付けた取付板３１と、背面を取付板３１に固定したブラケット３２と、ブラケット３２に上下動自在かつ回転自在に支持された昇降軸３３と、昇降軸３３の下端に取り付けたシリンジ３４とを備えており、シリンジ３４の下端には接着剤Ａを直接吐出するノズル３５が装着されている。また、ブラケット３２には、シリンジ昇降装置３６が取り付けられている。すなわち、シリンジ３４、厳密にはシリンジ３４、ノズル３５および昇降軸３３は、ユニット昇降装置３により塗布ユニット２全体として昇降されると共に、このシリンジ昇降装置３６によっても昇降されるようになっている。
【００１２】
この場合、ユニット昇降装置３は、先ず、基板Ｂに対してその基板厚に対応した下降端位置にノズル（シリンジ３４）３５が位置するように、塗布ユニット２を下降または上昇させる。次に、シリンジ昇降装置３６は、この位置から接着剤Ａを基板Ｂに塗布する位置までノズル（シリンジ３４）３５を下降させる。
【００１３】
取付板３１には、中間部にユニット昇降装置３のボールねじ１３に螺合するナット部４１が形成され、下部にユニット昇降装置３のガイド部１６に摺動自在に係合するガイド受け部４２が形成されている。また、取付板３１の上部には、吐出バルブ２１と昇降軸３３とを連結する継手形成部４３が形成されている。
【００１４】
昇降軸３３は、外周面において軸方向の必要箇所に断続的にスプラインが形成されると共に、軸心部分が中空に形成され、この中空部分に圧縮空気のエアー通路３３ａが構成されている。昇降軸３３の上端部は取付板３１の継手形成部４３に差し込まれるようにして接合しており、この継手形成部４３には、上側から吐出バルブ２１の吐出管２３が連結されている。継手形成部４３には、下側から接合溝４４が形成され、この接合溝４４に上側から継手形成部４３を貫通して吐出バルブ２１の吐出管２３が連通している。また、接合溝４４の内周面にはブッシュ４５およびシールドリング４６が挿入されており、このブッシュ４５およびシールドリング４６の内側に昇降軸３３の上端部が嵌挿されている。すなわち、昇降軸３３の上端部は、その外周面においてシールドリング４６に気密に接触すると共に、軸方向（上下方向）に摺動自在かつ回転自在に接合されている。これにより、固定側の吐出バルブ２１と可動側の昇降軸３３との間で、相互のエアー通路３３ａが気密に連通されている。
【００１５】
上記の継手形成部４３とブラケット３２の上ブラケット部３２ａとの間に位置して、昇降軸３３にはプーリ５１が装着されている。プーリ５１は、上ブラケット部３２ａを貫通する上ナット部材５２に固定されており、この上ナット部材５２は、上ブラケット部３２ａに回転自在に支持されると共に、昇降軸３３に対しスプライン係合している。すなわち、昇降軸３３は、プーリ５１および上ナット部材５２に対して回止め状態で軸方向に摺動自在に係合し、プーリ５１および上ナット部材５２は、上ブラケット部３２ａに対して上下動不能でかつ回転自在に係合している。一方、プーリ５１には、図外のタイミングベルトとこのタイミングベルトを走行させるモータとが連結されており、プーリ５１は、タイミングベルトの走行に伴って、昇降軸３３を上下動可能な状態で正逆回転させる。そして、この昇降軸３３の正逆回転により、シリンジ３４およびノズル３５が回転し、ノズル３５を構成する一対のノズル本体（後述）３５ａをノズル３５の軸心廻りに基準線から角度θ回転させる。
【００１６】
シリンジ昇降装置３６は、ブラケット３２の上ブラケット部３２ａおよび下ブラケット部３２ｂ間に渡すように取り付けた支持フレーム６１と、支持フレーム６１に組み込んだモータなどの駆動源６２と、駆動源６２の出力軸６３に固定された板カム６４と、板カム６４に係合するカムフォロア６６を組み込んだ「Ｔ」字状の回動アーム６５とを備えている。この板カム６４とカムフォロア６６とはカム機構を構成するものであり、またこの板カム６４は、駆動源６２の正逆回転により所定の角度範囲内において回動されるようになっている。したがって、板カム６４が回動すると、回動アーム６５がこれに追従して回動する。板カム６４には、いわゆる異形の偏心円板カムなどが用いられ、その変位曲線が、例えばサインカーブ（変形正弦、ユニバーサル曲線などのカム曲線）を描くように形成されている。カムフォロア６６は、ローラフォロアで構成されており、回動アーム６５の１のアーム端に回転自在に取り付けられている。
【００１７】
回動アーム６５は、支持フレーム６１の下部に回動自在に軸支されており、他の１のアーム端にはローラ６７が回転自在に取り付けられている。ローラ６７は、上記の昇降軸３３に固定したフランジ状の当て板５３に下側から当接されている。一方、この当て板５３と、上記の上ナット部材５２の下側に配設したスペーサ５４との間には、昇降軸３３に巻回するようにコイルばね５５が取り付けられている。すなわち、コイルばね５５は、スペーサ５４および上ナット部材５２を受けとし、当て板５３を介して昇降軸３３およびローラ６７を下側に付勢している。したがって、ローラ６７が上方に回動するときには、コイルばね５５に抗して昇降軸３３が上動され、下方に回動するときには、コイルばね５５により昇降軸３３が下動される。
【００１８】
下ブラケット部３２ｂには、これを貫通するように下ナット部材５６が配設されている。下ナット部材５６は、下ブラケット部３２ｂに回転自在に支持されると共に、昇降軸３３に対しスプライン係合している。すなわち、昇降軸３３は、下ナット部材５６に対して回止め状態で軸方向に摺動自在に係合し、下ナット部材５６は、下ブラケット部３２ｂに対して上下動不能でかつ回転自在に係合している。すなわち、上記の上ナット部材５２および昇降軸３３に対する上部ブラケット部３２ａ、そしてこの下ナット部材５６および昇降軸３３に対する下部ブラケット部３２ｂは、それぞれロータリースプラインを構成している。
【００１９】
また、下ブラケット部３２ｂの下側には、昇降軸３３に取り付けたスリップリング３７が配設されている。スリップリング３７は、図２に示すように、内輪７１および外輪７２と、内輪７１および外輪７２の間の上下２箇所にそれぞれ介在させた一対の軸受７３，７３とで構成されている。内輪７１と外輪７２とは、一対の軸受７３，７３を介して相互に回転自在に係合しており、外輪７２にはユニット昇降装置３側から延びる複数本の第１配線７４が導入され、各配線７４の先端にはブラシ７５が設けられている。これに対応して、内輪７１にはブラシ７５に摺接する電極７６と、電極７６からシリンジホルダ（後述）３８側に延びる複数本の第２配線７７が接続されている。これにより、外輪７２に対し内輪７１が回転し、第１配線７４に対し第２配線７７が可動状態となっても、第１、第２両配線７４，７７の導通状態が保持される。
【００２０】
内輪７１の内側には昇降軸３３が貫通し、内輪７１は昇降軸３３に固定され昇降軸３３と共に回転かつ昇降する。一方、外輪７２は、その周面に取り付けたピン７８を介して、取付板３１の下部から延びる回止め片４７に係合している。回止め片４７には、これに形成した上下方向の長孔に上記のピン７８が差し込まれており、これにより回止め片４７は、外輪７２の回転を阻止すると共に、外輪７２の上下方向の移動を許容する。したがって、第１、第２両配線７４，７７の導通状態が保持されると共に、第１、第２両配線７４，７７が昇降軸３３の回転に伴って捻れたり、スリップリング３７に巻き付いたりすることがなくなる。
【００２１】
スリップリング３７の下側には、シリンジ３４を抱え込むようにシリンジホルダ３８が配設されている。シリンジホルダ３８は、昇降軸３３に固定された第１ホルダ８１と、第１ホルダ８１の下部に取り付けられ、シリンジ３４を保持する第２ホルダ８２とを有している。第２ホルダ８２は、第１ホルダ８１に対して上下方向に摺動自在に取り付けられており、また第１ホルダ８１と第２ホルダ８２との間には圧縮ばね８３が介在している。この場合、第２ホルダ８２は、図外のストッパにより下動端位置が規制された状態で、圧縮ばね８３により下方に付勢されている。この圧縮ばね８３により、ノズル３５を基板Ｂに突き当てたときに、圧縮ばね８３がわずかに収縮して基板Ｂへのノズル３５の突当て衝撃を吸収できるようになっている。
【００２２】
第２ホルダ８２の下部には、ノズル３５を挟持固定するホルダ部８４が形成されており、このホルダ部８４により、シリンジ３４がノズル３５を介して着脱可能に保持されている。また、ホルダ部８４にはヒータ８５と温度センサ８６とが埋め込まれており、ノズル３５から吐出する接着剤Ａを、塗布に適した温度になるように制御している。この場合、ヒータ８５および温度センサ８６は、上記の第２配線７７に接続されている。
【００２３】
ノズル３５は、一対のノズル本体３５ａと、一対のストッパピン（一方のみ図示）３５ｂと、これらノズル本体３５ａおよびストッパピン３５ｂを保持する保持部３５ｃとで構成されており、保持部３５ｃでシリンジ３４の下端部に取り付けらている。一対のノズル本体３５ａは、保持部３５ｃの中心に対して１８０度点対称位置に配設され、また一対のストッパピン３５ｂは、ノズル本体３５ａから９０度角度をずらし、保持部３５ｃの中心に対して１８０度点対称位置に配設されている。すなわち、ノズル本体３５ａとストッパピン３５ｂとは十字状に配設されている。この場合、一対のノズル本体３５ａは、１個の電子部品のための接着剤Ａを同時に２箇所塗布するものであり、ストッパピン３５ｂは、接着剤Ａを基板Ｂに塗布する際に、ノズル本体３５ａの先端と基板Ｂとの間に接着剤Ａの吐出空間を構成するものである。したがって、ストッパピン３５ｂはノズル本体３５ａよりその突出長さが、わずかに長くなっている。
【００２４】
一方、基板Ｂには多数の電子部品が装着され、且つそれらの電子部品は同一部品であっても、異なる向きに装着される場合がある。したがって、２箇所同時に行う接着剤Ａの塗布も、縦に並べて２箇所、横に並べて２箇所、斜めに並べて２箇所等、角度を変更できるようにする必要がある。そこで、本実施形態では、上述したように、上記のプーリ５１の回転を、昇降軸３３、シリンジホルダ３８、ノズル３５の順に伝達して、適宜ノズル３５の角度を変更することができるようになっている。
【００２５】
シリンジ３４は、接着剤Ａを充填する使い捨て形式の容器であり、上部にはキャップ９１が装着されると共に、キャップ９１と昇降軸（エアー配管）３３とを接続する継手部材９２が設けられている。図３および図４に示すように、シリンジ３４は、１８０度点対称位置にフランジ状に形成した一対の係止片３４ａ，３４ａを有しており、係止片３４ａにはキャップ９１が抜止め状態で係止されている。キャップ９１は、中心部が圧縮空気の通路となっており、下部をシリンジ３４に差し込むようにして装着されている。この差込み部分の外周面にはＯリング９３が取り付けられており、キャップ９１はシリンジ３４に気密に装着されている。また、キャップ９１の上部には、上記の係止片３４ａと同様に、一対の掛止め片９１ａ，９１ａがこの係止片３４ａを抱え込むように配設されている。キャップ９１をシリンジ３４に装着する場合には、先ず係止片３４ａと掛止め片９１ａとを周方向に位置ずれさせておき、差込み部分をシリンジ３４内に押し入れてから、掛止め片９１ａを回転させ、掛止め片９１ａと係止片３４ａの周方向の位置を合致させるようにする。
【００２６】
一方、キャップ９１の中心部に形成した圧縮空気の通路には、雌ねじ９１ｂが螺設されており、この雌ねじ９１ｂに継手部材９２が螺合されるようになっている。このため、継手部材９２の下部には雄ねじ９２ａが形成されると共に、継手部材９２の外周面にはローレット加工が施されている。また、継手部材９２とキャップ９１との間には、Ｏリング９４が介在し、継手部材９２とキャップ９１とが気密に接合されている。キャップ９１と同様に継手部材９２にも、その中心部に圧縮空気の通路が形成されており、この通路には昇降軸３３の下端部が挿入されている。すなわち、昇降軸３３に形成したエアー通路３３ａが、これらの通路を介してシリンジ３４の内部と連通している。
【００２７】
継手部材９２とこれに挿入された昇降軸３３の下端部とは、軸方向に相互に摺動自在に構成されている。また、継手部材９２と昇降軸３３の下端部との間には、シール部材９５が介在され、継手部材９２と昇降軸３３の下端部とは気密に接合されている。この場合、継手部材９２の摺動は、継手部材９２をキャップ９１に締め付けるときの継手部材９２の下方への移動を許容すると共に、ノズル３５が基板Ｂに突き当たったときのシリンジ３４の逃げ（上方への移動）を許容する。なお、図中の符号９６は抜止めリングであり、この抜止めリング９６により、継手部材９２は昇降軸３３側に抜止め状態で保持されている。すなわち、シリンジ３４の交換の際には、昇降軸３３側とシリンジ３４側とは、キャップ９１と継手部材９２とのねじ接合の部分で切り離される。
【００２８】
ここで、図１を参照して、塗布装置１の一連の作動およびシリンジ３４の交換手順について、簡単に説明する。塗布装置１の下方に基板Ｂが導入されると、ＸＹテーブルにより、塗布装置１は、基板Ｂに対するホームポジションにリセットされる。次に、入力された基板Ｂの基板厚に基づいて、ユニット昇降装置３が作動し、塗布ユニット２をノズル３５の下降端位置が適切な位置になるように下降または上昇させる。次に、ＸＹテーブルが作動して、ノズル３５が塗布位置の直上に達するように塗布装置１を移動させる。さらに、入力された電子部品の向きに合わせて、プーリ５１を介して昇降軸３３が回転し、ノズル３５を適合する角度に回転させる。
【００２９】
続いて、シリンジ昇降装置３６が作動し、シリンジ３４およびノズル３５を基板Ｂに向かって下降させてゆく。この時、ノズル３５は、基板Ｂの近傍において、極めて低速で基板Ｂに突き当たり且つこの状態から極めて低速で上昇して行く。実際には、ノズル３５が基板Ｂに突き当たったところで、圧縮ばね８３がわずかに収縮し、その間シリンジ昇降装置３６は作動を続行するが、ノズル３５は停止した状態になる。このノズル３５が停止した状態を含む前後において、吐出バルブ２１を介してシリンジ３４内に圧宿空気が導入され、ノズル３５から基板Ｂ上に接着剤Ａが塗布される。さらにシリンジ昇降装置３６は、ノズル３５が上昇端位置に復帰するまで、そのまま作動を続行する。
【００３０】
この時点で、１つの電子部品に対する接着剤Ａの塗布が完了し、続いて上記と同様に、ＸＹテーブルが作動して、ノズル（塗布装置１）３５を次の塗布位置に移動させる。ここで、ノズル３５の角度を変更する必要がある場合にはノズル３５を回転させるが、その必要がない場合には、シリンジ昇降装置３６を作動し、上記と同様の塗布動作を行う。このようにして、塗布動作を繰り返すが、例えば、１の基板Ｂに段差がある場合には、段差に差し掛かったときに、ユニット昇降装置３により塗布ユニット２の位置が再調節される。そして、１の基板Ｂに対する接着剤Ａの塗布が完了したら、塗布装置１をホームポジションに戻して、作業を完了する。
【００３１】
次に、シリンジ３４の交換について説明するが、シリンジ３４を塗布装置１から取り外す場合と、塗布装置１に取り付ける場合とは逆の手順となるため、ここでは取り付ける場合についてのみ説明する。予めシリンジ３４にノズル３５とキャップ９１を装着しておくが、その際、キャップ９１の装着は、キャップ９１の下部をシリンジ３４に押し込んだ後、更にキャップ９１を所定の位置まで回転させる（この動作はかなりの力を要する）。一方、継手部材９２は昇降軸３３に装着されており、ここでノズル３５およびキャップ９１を取り付けたシリンジ３４を装着するが、先ず継手部材９２の下側にキャップ９１を押し当てシリンジ３４をわずかに持ち上げるようにし、ノズル３５をホルダ部８４に押し込む。次に、ホルダ部８４でノズル３５を係止して、シリンジ３４を固定する。そして最後に、継手部材９２を回転させ、キャップ９１に螺合する。
【００３２】
以上のように本実施形態によれば、昇降軸３３側とシリンジ３４側とを、キャップ９１と継手部材９２とのねじ接合の部分で接合または取り外すようにしているため、シリンジ３４の着脱作業が簡単かつ迅速に行えると共に、複雑な動作と強い力とを必要とするキャップ９１とシリンジ３４との接続作業を、装置外で行うことができる。このため、シリンジ３４の交換作業を、ホルダ部８４などに無理な力を加えることなく、簡単にかつ円滑に行うことができる。
【００３３】
なお、本実施形態では、キャップに雌ねじが形成され、継手部材に雄ねじが形成されているが、逆にキャップに雄ねじを、継手部材に雌ねじを形成するようにしてもよい。
【００３４】
【発明の効果】
以上のように本発明の高粘性流体の塗布装置によれば、エアー配管側とシリンジ側とを、キャップと継手部材との間のねじ接合の部分で離接することができるため、この離接作業を単に継手部材を回転させるだけで行うことができる。このため、シリンジの交換作業を無理なく、かつ極めて簡単に行うことができる。
また、高粘性流体を塗布するためにノズルが基板に突き当たると、シリンジは衝撃を受けるが、この衝撃は、エアー配管に対して継手部材が摺動することによるシリンジの上方への移動の許容により吸収されるため、エアー配管側および基板側への衝撃の影響を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る塗布装置の側面図である。
【図２】塗布装置に搭載したスリップリングの構造図である。
【図３】シリンジ廻りの拡大側面図である。
【図４】シリンジ廻りの拡大断面図である。
【図５】従来の塗布装置におけるシリンジ廻りの拡大側面図である。
【符号の説明】
１  塗布装置
２  塗布ユニット
３３  昇降軸
３４  シリンジ
３５  ノズル
９１  キャップ
９１ａ  雌ねじ
９２  継手部材
９２ａ  雄ねじ
Ａ  接着剤
【図１】
0003688045.tif 000002
【図２】
0003688045.tif 000003
【図３】
0003688045.tif 000004
【図４】
0003688045.tif 000005
【図５】
0003688045.tif 000006