(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管を通じて真空発生源に接続された電子部品吸着用ノズルの真空圧測定方法であって、ノズルの真空圧の下限値と上限値を記憶部に記憶しておき、ノズルを圧力測定器に装着して真空発生源によりノズルの内部を真空吸引しながら下限値到達時間から上限値到達時間に到達するのに要した時間を制御部により演算し、この時間と測定された上限値からノズルの真空圧の合否を判定することを特徴とする電子部品吸着用ノズルの真空圧測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品実装装置に用いられる電子部品吸着用ノズルの真空圧測定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品実装装置は、移載ヘッドのノズルで電子部品供給部に備えられた電子部品を真空吸着してピックアップし、プリント基板やリードフレームなどの基板に実装するようになっている。ノズルで電子部品を真空吸着してピックアップする場合、真空圧が小さいと、電子部品を確実にピックアップすることはできない。そこで従来より、ノズルの真空圧の測定検査が行われている。
【０００３】
図５は従来のノズルの真空圧の測定方法の説明図、図６は同ノズルの真空圧の測定データ図である。図５において、移載ヘッド１は電子部品を真空吸着するノズル２を有している。ノズル２は、配管３、バルブ４、配管５を通して真空ポンプなどの真空発生源６に接続されている。
【０００４】
圧力測定器１０’は、本体ケース１１の上面にノズル２の下端部を抜き差し自在に装着するためのパイプ状の装着部１２を有している。また本体ケース１１の主面には圧力表示部１３とキャンセルボタン１４が設けられている。
【０００５】
次にノズルの真空圧の測定方法を説明する。図５に示すように、ノズル２の下端部を装着部１２に挿入する。次にバルブ４をＯＮにし、真空発生源６によりノズル２の内部を真空吸引しながら、真空圧を測定する。
【０００６】
図６はこのようにしてノズル２の内部の真空圧を測定した測定データを示している。縦軸は真空圧（−ｍｍＨｇ）、横軸は時間（ｓｅｃ）である。測定例（１）の場合、バルブＯＮと同時に真空圧は速かに低下し、１．０ｓｅｃで上限値（−５８０ｍｍＨｇ）に到達している。また測定例（２）の場合は、真空圧の低下は比較的緩やかであり、１．６ｓｅｃ後に上限値（−５８０ｍｍＨｇ）に到達している。測定例（２）は、配管３，５内の詰りなどにより圧力低下が遅れたものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来方法の場合、測定例（１）および測定例（２）の何れの場合も、表示部１３には上限値−５８０ｍｍＨｇが表示される。オペレータは表示部１３の数値を読んで合否判定をするが、測定例（１）および測定例（２）の何れの場合も電子部品の真空吸着に必要な真空圧（例えば−５５０ｍｍＨｇ）を有しているので「合格」と判定される。
【０００８】
しかしながら移載ヘッドのノズルは、高速度で下降・上昇動作を行って電子部品供給部に備えられた電子部品を真空吸着してピックアップするものであるから、上限値に速かに到達する必要がある。この上限値の大きさや、上限値に到達するのに要する時間は、ノズルの孔径やピックアップする電子部品の品種などによって若干異るが、ここでは上限値には１．２ｓｅｃ以内に到達する必要があり、それ以上の時間がかかるとピックアップミスを生じるものとする。この場合、測定例（１）は１．２ｓｅｃ以内に上限値に到達しているので合格であるが、測定例（２）は上限値に到達するのに１．６ｓｅｃを要しており、１．２ｓｅｃでは−４３０ｍｍＨｇであって−５５０ｍｍＨｇ以下であるので不合格である。
【０００９】
しかしながら上記従来方法は、単に真空圧のみを測定しており、上限値に到達するのに要した時間は測定・表示していなかったため、測定例（２）の場合も合格と誤判定されてしまう。そしてこの誤判定されたノズルを用いて電子部品の実装を行うと、電子部品のピックアップミスが多発することとなる。
【００１０】
したがって本発明は、ノズルの内部が上限値に到達するのに要した時間を加味してノズルの真空圧の合否を的確に判定できる電子部品吸着用ノズルの真空圧測定方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の電子部品吸着用ノズルの真空圧測定方法は、配管を通じて真空発生源に接続された電子部品吸着用ノズルの真空圧測定方法であって、ノズルの真空圧の下限値と上限値を記憶部に記憶しておき、ノズルを圧力測定器に装着して真空発生源によりノズルの内部を真空吸引しながら下限値到達時間から上限値到達時間に到達するのに要した時間を制御部により演算し、この時間と測定された上限値からノズルの真空圧の合否を判定する。
【００１２】
この方法によれば、下限値到達時間から上限値到達時間に到達するのに要した時間並びに測定された上限値からノズルの真空圧の合否を的確に判定することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のノズルの真空圧の測定方法の説明図、図２は同圧力測定器のブロック図、図３は同ノズルの真空圧測定のフローチャート、図４は同ノズルの真空圧の測定データ図である。
【００１４】
図１において、移載ヘッド１は電子部品を真空吸着するノズル２を有している。ノズル２は、配管３、バルブ４、配管５を通して真空ポンプなどの真空発生源６に接続されている。
【００１５】
圧力測定器１０は、本体ケース１１の上面にノズル２の下端部を抜き差し自在に装着するためのパイプ状の装着部１２を有している。また本体ケース１１の主面には圧力表示部１３とキャンセルボタン１４が設けられている。以上の構成は図５に示す従来例と同じである。この圧力測定器１０は、時間表示部１５を有している。
【００１６】
図２において、制御部２０には時間測定部２１を介して時間表示部１５が接続されており、また圧力測定部２２を介して圧力表示部１３が接続されている。また圧力の上限値を記憶する上限値記憶部２３と、圧力の下限値を記憶する下限値記憶部２４が接続されている。
【００１７】
次に、図３のフローチャートおよび図４の測定データ図を参照しながらノズルの真空圧の測定方法を説明する。図１において、真空発生源６を駆動し、バルブ４をＯＮにして圧力測定を開始する（ステップ１）。するとノズル２の内部は真空吸引され、圧力は次第に低下する。圧力が予め設定された下限値になると（ステップ２）、時間測定を開始する（ステップ３）。圧力は更に低下を続け、上限値になると（ステップ４）、時間測定を終了する（ステップ５）。
【００１８】
図４はこのようにして行われた測定例（１）と測定例（２）の測定データを示している。測定例（１）はバルブＯＮと同時に圧力は速かに低下し、１．０ｓｅｃ後に上限値（−５８０ｍｍＨｇ）に到達している。また測定例（２）は、１．６ｓｅｃ後に上限値（−５８０ｍｍＨｇ）に到達している。本例では、下限値は−１０ｍｍＨｇに設定している。制御部２０は下限値到達時間から上限値到達時間に到達するのに要した時間を演算し、時間表示部１５に表示する。測定例（１）の下限値到達時間は０．１ｓｅｃ、測定例（２）の下限値到達時間は０．２ｓｅｃである。したがって測定例（１）の下限値到達時間から上限値到達時間に要した時間は（１．０−０．１＝０．９ｓｅｃ）であり、また測定例（２）の同時間は（１．６−０．２＝１．４ｓｅｃ）である。
【００１９】
図１において、圧力表示部１３には上限値（−５８０ｍｍＨｇ）と上記時間（０．９ｓｅｃ，１．４ｓｅｃ）が表示される。上限値がいくらであればＯＫか、および時間が何ｓｅｃ以内であればＯＫかは実験的あるいは経験的に既知である。そこでオペレータは、圧力表示部１３と時間表示部１５の数値を視認し、合否の判定をする。ここで、上限値のスレッシュ値を−５５０ｍｍＨｇ、時間を１．２ｓｅｃとした場合、測定例（１）は上限値および時間は共にＯＫであるから合格、判定例（２）は上限値はＯＫであるが時間はＮＧであるため不合格と判定する。なお本実施の形態では、下限値到達時間から上限値到達時間に要した時間を時間表示部１５に表示しているが、下限値到達時間は測定せずに、バルブＯＮから上限値到達時間までの時間を測定して表示するようにしてもよい。この場合、下限値は０ｍｍＨｇとなる。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、下限値到達時間から上限値到達時間に到達するのに要した時間並びに測定された上限値からノズルの真空圧の合否を的確に判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のノズルの真空圧の測定方法の説明図
【図２】本発明の一実施の形態の圧力測定器のブロック図
【図３】本発明の一実施の形態のノズルの真空圧測定のフローチャート
【図４】本発明の一実施の形態のノズルの真空圧の測定データ図
【図５】従来のノズルの真空圧の測定方法の説明図
【図６】従来のノズルの真空圧の測定データ図
【符号の説明】
２  ノズル
３，５  配管
４  バルブ
６  真空発生源
１０  圧力測定器
１３  圧力表示部
１５  時間表示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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