(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の基板を収容可能な基板収容器から１枚の基板を取り出して所定の処理を行う処理ユニットに向けて搬出するとともに、処理ユニットにおいて処理が終了した基板を処理ユニットから搬入して基板収容器に収容する基板搬入搬出装置において、
基板収容器が載置される載置台と、
前記基板収容器が載置された載置台を昇降させることにより、前記基板収容器を外部雰囲気から遮蔽するように収納する遮蔽容器から前記基板搬入搬出装置の内部へ、前記基板収容器を外部雰囲気に晒すことなく搬送する昇降手段と、
昇降手段による基板収容器の昇降中に、その基板収容器に収容されている基板の位置を認識する収容位置認識手段と、
収容位置認識手段によって認識された基板の位置に関する位置情報を記憶する記憶手段と、
基板収容器と処理ユニットとの間で基板の搬送を行う基板搬送手段と、
記憶手段に記憶された位置情報に基づいて、基板搬送手段の動作を制御する制御手段と、
フィルタによって清浄化された空気を前記基板搬入搬出装置の内部へ吹き出して、前記基板収容器が載置された載置台の近傍に、上方向への清浄な空気流を形成する清浄化手段と、
を備えることを特徴とする基板搬入搬出装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板搬入搬出装置において、複数の基板収容器が収容可能なように、
複数の載置台と、
各載置台を昇降させる複数の昇降手段と、
昇降手段による基板収容器の昇降中にその基板収容器に収容されている基板の位置を認識する複数の収容位置認識手段と、
を備えることを特徴とする基板搬入搬出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板を複数枚収容することが可能な基板収容器から、前記基板を取り出して処理ユニットに搬出し、前記処理ユニットにおいて処理が終了した前記基板を処理ユニットから搬入して前記基板収容器に収容する基板搬入搬出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体基板や液晶ガラス基板などの基板の製造において、クリーンルームは不可欠な生産空間である。従来は製造用各種装置をすべてクリーンルーム内に設置し、基板をクリーンルーム内の雰囲気に晒した状態で装置間の基板の搬送などが行われていた。そして近年では配線パターンの微細化に伴い、クリーンルームのクリーン度をより高めることが要求されるようになった。しかし、クリーンルームのクリーン度を高めるためには、設備が大掛かりとなり、膨大な費用が発生する。
【０００３】
この問題を解決するために、基板の装置間の搬送時などの際には、基板を外部雰囲気に晒すことなく搬送するために、基板を収容しているカセットを予め内部を高い清浄雰囲気にしたケースに納めて搬送し、各装置においてケース内のカセットに納められた基板に処理を施す際も、外部雰囲気には晒さない装置が考えられている。これらの具体的構成を図９，図１０に示す。
【０００４】
＜第１の従来の技術＞
図９は、第１の従来の技術を示す基板搬入搬出装置の側面図である。当該基板搬入搬出装置は、基板搬入搬出部６０と、この基板搬入搬出部６０に対して清浄な雰囲気下でカセットの受け渡しをするためのカセット移載装置５０とが着設されている。また基板搬入搬出部６０の右側には図示しない基板処理ユニットが存在し、基板搬入搬出部６０はカセット内の基板をその基板処理ユニットに渡し、そして基板処理ユニットにおいて所定の処理が終了した基板を受け取り再びカセット内に基板を納める。
【０００５】
カセット移載部５０は載置台５１と昇降台５２およびその他の機構から成り、昇降台５２は、はじめ図の点線で示す位置にあり、カセットを移載する際に、矢印Ｆ１の方向に上昇する構成となっている。カセットが納められたケース５３は、図の点線で示すように載置台５１上（図のＡの位置）に載置される。このときのカセットの位置はＣ１である。そしてカセット移載部５０は、ケース５３が載置されたことを認識すると、昇降台５２を上昇させる。これに対し載置台５１及びケース５３の底部は移動しない。このときケース５３はその底部が切り離され、図の実線で示すようにケース部分のみが上昇し（図のＢの位置）、ケースの底部は上昇しない。したがって、カセットも元の位置（図のＣ１の位置）に留まっている。ここまでの動作でカセットはケース５３から取り出されたことになる。そしてロボットアームなどのカセット移載手段によって矢印Ｆ２に示されるようにカセットをＣ１の位置からＣ２の位置に移載すれば基板搬入搬出部６０にカセットが移載されたことになる。ここで基板搬入搬出部６０には装置内部を清浄雰囲気とするための機構６１が設けられており、矢印Ｆ３のように清浄空気のダウンフローが形成されている。なお、図中の符号Ｗは基板を示す。
【０００６】
このように図９に示す装置は、ケース内を清浄雰囲気とし、その中にカセットを収納することによって、処理対象である基板を装置外部に晒すことがないため、クリーンルーム全体のクリーン度を高くする必要がなくなっている。
【０００７】
＜第２の従来の技術＞
図１０は、第２の従来の技術を示す基板移載装置の側面図である。図１０に示すように、この装置は所定の処理を行う処理ユニットとの間で基板Ｗの搬入搬出を行う。清浄雰囲気に保たれたケース１内に、基板収容用のカセットが入れられている。まず、当該ケース１を載置台６の上に置く。そしてコントローラ１５にケース１が置かれたことが伝わると、コントローラ１５は載置台６に設置されたロック解除機構を駆動することによってケース１とケースの底部５を固定しているロックを解除し、それぞれを切り離す。
【０００８】
その後図示のようにボールネジ２をモータなどの回転駆動機構（図示せず）によって回転させることによって載置台６を下降させる。ここで載置台６の大きさはケース１の底面積よりも小さいので、ケース１は下降しない。載置台６が下降することによってケース１の底部５が載置台６と共に降下するため、カセットＣも同様に下降させられる。また、この下降時にテーブルに設置されたセンサ３，４によって基板の有無を検出するように構成されている。したがって、カセットＣを下降させていって、基板ＷがカセットＣの棚に収容されていることを検出すれば、移載アーム１２によってその棚から基板Ｗを取り出し、処理ユニットに搬送する。また、カセットＣの棚に基板が収容されていない場合は移載アーム１２の移載動作は行なわれず、つぎの棚を調べる。以下同様の動作を継続する。
【０００９】
移載アーム１２の移載動作は、アーム軸１３の回転運動，アーム台１１のＸ軸方向への伸縮運動によって実現されている。また当該装置内部を清浄にするためのＵＬＰＡ(Ultra Low Penetration Air)フィルタ７，８およびファン９，１０を備えている。また制御装置としてコントローラ１５が設けられている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の技術において、つぎのような課題がある。
【００１１】
第１の従来の技術については、従来の基板搬入搬出部６０のカセット搬出入口にカセット移載部５０を設置したものであるため、処理ユニットまで含めた装置全体の設置面積が大きくなるという課題がある。
【００１２】
第２の従来の技術については、カセットＣを下降させる際に、まずカセットの最下段の棚に基板が収容されているか否かをセンサ３，４によって識別し、収容されていれば移載アーム１２によって基板移載動作が行われる。この当該基板移載動作においてカセットＣから基板を取り出した後は、移載アーム１２の動作とカセットＣの下降の処理の２つが同時に動作することになる。そしてカセットＣの棚の１段分だけ下降させ、再びセンサ３，４によって基板が収容されているか否かを識別する。収容されていれば、その棚に収容されている基板を移載アーム１２によって受け取ることができる位置まで移載アーム１２を下降（−Ｚ方向）させる。ここで移載アーム１２のＺ軸方向の可動幅は、基板１枚をカセットの棚から受け取り、または載置するために必要かつ十分な範囲である。したがって、基板を取り出す棚、または、処理が終了した基板を収容する棚は、カセットＣをＺ軸方向に移動（降下または上昇）させることによって、移載アーム１２の移載処理が行える位置に移動されるような構成となっている。すなわち、基板の収容位置が連続的でなく不規則であり、カセットの一部に基板の収容されていない棚がある場合には、センサ３，４によって基板の有無を検出した後、移載アーム１２の駆動をすることができず、基板を感知するまで再びカセットＣを移動させることが必要になる。すなわち、その間は移載アーム１２に休止時間が発生する問題がある。
【００１３】
また、コントローラ１５からの動作命令により、カセットＣを下降させて、センサ３，４により基板の存在を検出すればカセットＣを所望の高さで停止させて移載アーム１２が基板の移載動作を行うという動作を繰り返し行う。このような装置構成での問題点は、基板のカセットＣからの取り出し、またはカセットＣへの収容の動作ごとに、カセット内の棚における基板の有無を検出して移載アーム１２とボールネジ２などの昇降手段の２系統を動作させねばならず、カセットＣに対する基板の出し入れに時間を要して装置のスループットを低下させるとともに制御が複雑となっている。
【００１４】
この発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、装置全体の設置面積を大きくすることなく、そして移載アームを休止させることがなく、さらに基板１枚に対する動作の度に基板の有無を検出する必要がなく、かつ、装置のスループットを向上させることができる基板移載装置を提供し、これを利用することによってクリーンルームのクリーン度を高めることなく基板を外部雰囲気に晒すことのない基板搬入搬出装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、複数枚の基板を収容可能な基板収容器から１枚の基板を取り出して所定の処理を行う処理ユニットに向けて搬出するとともに、処理ユニットにおいて処理が終了した基板を処理ユニットから搬入して基板収容器に収容する基板搬入搬出装置において、基板収容器が載置される載置台と、前記基板収容器が載置された載置台を昇降させることにより、前記基板収容器を外部雰囲気から遮蔽するように収納する遮蔽容器から前記基板搬入搬出装置の内部へ、前記基板収容器を外部雰囲気に晒すことなく搬送する昇降手段と、昇降手段による基板収容器の昇降中に、その基板収容器に収容されている基板の位置を認識する収容位置認識手段と、収容位置認識手段によって認識された基板の位置に関する位置情報を記憶する記憶手段と、基板収容器と処理ユニットとの間で基板の搬送を行う基板搬送手段と、記憶手段に記憶された位置情報に基づいて、基板搬送手段の動作を制御する制御手段と、フィルタによって清浄化された空気を前記基板搬入搬出装置の内部へ吹き出して、前記基板収容器が載置された載置台の近傍に、上方向への清浄な空気流を形成する清浄化手段とを備えている。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、請求項１記載の基板搬入搬出装置において、複数の基板収容器が収容可能なように、複数の載置台と、各載置台を昇降させる複数の昇降手段と、昇降手段による基板収容器の昇降中にその基板収容器に収容されている基板の位置を認識する複数の収容位置認識手段とを備えている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の実施の形態の基板搬入搬出装置の側面図であり、図２はその概念的平面図である。図に示すように、清浄雰囲気下で処理を行うために、基板Ｗは装置外の雰囲気に晒されることがない構造となっている。すなわち、基板Ｗが収容されたカセットＣは、ケース１に底部５が取り付けられ、清浄な雰囲気の中に収容されており、この状態で搬送され、載置台６の上に載置される。ケース１と底部５の切り離しにおいても、装置外雰囲気は遮蔽された状態となっており、カセットＣは清浄な雰囲気の下で装置内に搬入され、基板Ｗを個別に処理ユニット３０に搬送する構成となっている。
【００１９】
底部５と載置台６との接合面は略合致するような構成となっており、ケース１の下部はテーブル２１によって支持される。そしてコントローラ１５からの命令により載置台６に設けられたロック解除ピンを作動させることによって、連結されているケース１と底部５を切り離し、それぞれが分離できるようになる。この状態で、コントローラ１５が図示しないモータに対して駆動信号を与え、モータを駆動させ、ボールネジ２を回転させることによって、載置台６を昇降させることができる。そして、ケース１と底部５は切り離されているため、カセットＣは載置台６の下降とともに、ケース１内から取り出される。このときも、カセットＣは装置外部の雰囲気と接触することがないため、基板Ｗは清浄に保たれている。ここで、ケース１とテーブル２１の接触箇所は、装置外部雰囲気を装置内部に混入させないために、密着することが必要である。
【００２０】
最初にカセットＣをケース１内から取り出す際に、載置台６は停止することなく最下位置まで移動する（図１参照）。この移動中にセンサ３，４は、カセットＣの各棚に基板Ｗが収容されているか否かを認識し、基板Ｗが収容されていればその収容位置を記憶部に記憶する。すなわち、ケース１が載置された後、載置台６が最下位置まで降下するまでの間にカセットＣに収容されている基板Ｗの収容位置を記憶することができる。
【００２１】
そして載置台６が最下位置まで降下すると、コントローラ１５は、記憶部に記憶された基板Ｗの収容位置情報を読み出し、移載アーム駆動部に駆動命令を出力する。移載アーム駆動部は、Ｚ軸方向に伸縮可能であり、さらにＸＹ平面内において回転可能であるアーム軸１３と、アーム台１１と、基板Ｗを載せて搬送するためのＸ軸方向に伸縮可能な移載アーム１２を有している。なお、アーム台１１には、基板Ｗを処理ユニット３０に搬送する際には移載アーム１２上から基板Ｗを持ち上げて、図２に示す処理ユニット３０の基板搬送路３２に設けられた搬送ロボットＴＲに基板Ｗを渡し、また逆に基板Ｗを処理ユニット３０から搬入する際には搬送ロボットＴＲから基板Ｗを受け取った後に下降して移載アーム１２に基板Ｗを移載する３本の昇降ピン７０が設けられている。この昇降ピン７０は、図示しないシリンダ等の昇降手段により駆動される。さらに、載置台６がＹ軸方向に複数並設されている場合には、当該移載アーム駆動部にはＹ軸方向の移動成分が設けられる。移載アーム駆動部のその他の構成の形態としては、アーム台１１のＺ軸方向にボールネジが挿通されており、当該ボールネジを回転させることによって、アーム台１１がＺ軸方向に移動（昇降）する構成であり、また、アーム台１１による移載アーム１２のＸ軸方向の移動も、アーム台１１に設けられたボールネジの回転によって移載アーム１２が移動する構成とすることができる。カセットＣに、または処理ユニット３０の基板受け渡し位置に基板Ｗを搬送する際に必要な移載アーム１２の上下動は、アーム軸１３のＺ軸方向の移動によって行っても良いし、またアーム台１１に設けられた基板の受け取りおよび載置のためのＺ軸駆動手段を有しても良い。
【００２２】
例えば、図１に示すように、カセットＣに収容されている基板Ｗを処理ユニット３０に搬出する場合を考える。載置台６は既に最下位置まで降下しているため、コントローラ１５はカセットＣのどの位置に基板が収容されているか認識している。そしてコントローラ１５の命令により、移載アーム１２，アーム台１１，アーム軸１３から成る移載アーム駆動部を動作させ、基板Ｗを受け取る。このとき記憶部に記憶されている基板の収容位置情報を更新する。そして、移載アーム１２を収縮させる。その後、アーム軸１３を回転させながら、基板入出口２０を介して処理ユニット３０との基板Ｗの受け渡しができる基板受け渡し位置までアーム台１１を上昇させる。そして、昇降ピン７０を上昇させて基板Ｗを持ち上げて保持し、処理ユニット３０側の基板受け取り準備が整っていれば、処理ユニット３０の基板搬送路３２に設けられた搬送ロボットＴＲを、前記基板受け渡し位置まで移動させて昇降ピン７０上の基板Ｗを受け取らせることで、基板Ｗを処理ユニット３０に搬出する。
【００２３】
逆に、処理ユニット３０において所定の処理が終了した基板Ｗは、処理ユニット３０の基板搬送路３２に設けられた搬送ロボットＴＲから昇降ピン７０に渡され、その後、昇降ピン７０が下降することで基板Ｗが移載アーム１２によって受け取られる。そして、アーム軸１３が回転しながら、アーム台１１は下降し、カセットＣの所定の棚に基板Ｗを収納できる位置で停止する。そして、移載アーム１２がカセットＣに向かって伸び、基板Ｗを載置する。
【００２４】
カセットＣに処理済みの基板Ｗがすべて収容されると、コントローラ１５の命令により載置台６が上昇し、ケース１内にカセットＣが納めされる。そして、ロック解除ピンを動作させ、ケース１と底部５とを止着する。
【００２５】
通常、移載アーム駆動部は高速動作が可能であり、載置台６の昇降動作は低速動作である。カセットＣには、複数枚の基板Ｗが収容されているため、高速に動作させると、基板Ｗへのパーティクル汚染が懸念されるためである。したがって、基板Ｗの移載動作に関しては、低速の載置台６を昇降させることなく、高速の移載アーム駆動部のみを駆動させるため効率が上がる。
【００２６】
なお、当該基板搬入搬出装置内は清浄雰囲気に保つ必要があるため、ファン９，１０およびＵＬＰＡフィルタ７，８が設けられている。
【００２７】
図２において、先に説明したように、Ｙ軸方向に複数のケース１が載置できるような構成となっている。したがって、アーム台１１を含む移載アーム駆動部はＹ軸方向に移動できるように移載スペース３４が設けられている。移載アーム駆動部のアーム軸がθ方向に回転することにより、アーム台１１もθ方向に回動する。
【００２８】
なお、処理ユニット３０には加熱処理，冷却処理およびその他の所定の処理などを行う処理部群３１，３３が設置されており、処理ユニット３０の搬送ロボットＴＲはこれら処理部群３１，３３との基板Ｗの受け渡しを行う。
【００２９】
つぎに、図１において載置台６が降下する際に基板Ｗの有無を検出するセンサ３，４について説明する。図３は、基板Ｗの有無を認識するセンサ３，４を示す図である。当該センサ３，４は１組の光電式センサであり、センサ３が投光部であり、センサ４が受光部である。したがって、載置台６が降下することによって、基板Ｗも降下し、センサ３，４の間を通過する。はじめ、センサ３から出射した光は受光部であるセンサ４に受光されているが、基板Ｗ３がセンサ３，４の光路中を通過するときは、基板Ｗ３によって遮光されるためセンサ４には光が届かない。そして、基板Ｗ３がさらに降下すると、再びセンサ４は、センサ３からの光を受光する。しかし、つぎに基板Ｗ２が光路を遮るため、センサ４は再びセンサ３の光を受光することができなくなる。以下同様の動作をくり返し、センサ４の出力を監視することによって基板Ｗの存在が認識できる。また、基板ＷがカセットＣのどの棚に収納されているかについては、ボールネジを回転駆動させるモータをどれだけ回転させたかを記憶しておけば良い。
【００３０】
さらに、別の方法としては、基板Ｗの有無を検出するセンサ３，４だけでなく、カセットに形成された基板収容のための棚を検出する棚検出用センサを設け、棚検出用センサの出力信号とセンサ４の出力信号（基板Ｗの有無の検出結果）とを対応付けて記憶することにより、基板Ｗがどの位置の棚に収容されているかを認識することができる。また、センサ３，４は光電式センサに限らず、非接触式磁気センサなどのような非接触で基板Ｗの存在を認識できるものであれば良い。
【００３１】
つぎに、この発明の基板搬入搬出装置の制御機構について説明する。図４は、この発明の基板搬入搬出装置の制御機構を示すブロック図である。図において、点線で囲まれた部分はコントローラ１５（図１参照）の内部に位置し、ＣＰＵ４０とメモリや磁気ディスク等の電気的または磁気的に記憶可能な記憶部４１が設けられている。基板の有無を認識するセンサ４の出力はコントローラ１５内のＣＰＵ４０に接続されており、基板の有無を伝えることができる。なお、図示していないが先に述べたようなカセットに形成された棚を検出するセンサが他に設けられている場合には、そのセンサの出力もＣＰＵ４０に接続されることになる。そしてＣＰＵ４０には、記憶部４１が接続されるとともに、載置台を昇降させるためのモータ４３および基板を処理ユニット３０に搬出するための移載アーム駆動部４４に接続されている。
【００３２】
このような制御機構により、実現されている処理シーケンスについて説明する。図５および図６は、この発明の基板搬入搬出装置の処理シーケンスを示すフローチャートである。カセットＣが納められたケース１が載置台６に載置されたことをＣＰＵ４０が認識すると、ケース１と底部５とが切り離される。ＣＰＵ４０は、モータ４３に対して駆動信号を出力し、載置台６を降下させ、センサ４からの出力を監視しておき、カセットＣにおいて基板Ｗの収容されている位置およびその枚数を記憶部４１に記憶する（ステップＳ１）。そして載置台６が最下位置まで降下すると、ＣＰＵ４０は、ステップＳ１で記憶した基板Ｗの収容位置と収容枚数を記憶部４１より読み出す（ステップＳ２）。そしてステップＳ２より読み出した基板収容位置と基板収容枚数に基づいて、ＣＰＵ４０は移載アーム駆動部４４に対して駆動信号を出力し、移載アームを動作させることによって処理ユニット３０に基板Ｗを搬出するとともに、基板Ｗの収容枚数を更新する（ステップＳ３）。そして、はじめにカセットＣに収容されていた基板Ｗの搬出をすべて完了すると処理は終了する。
【００３３】
なお、処理ユニット３０において基板の処理が終了した際に、処理済みの基板を処理ユニット３０からカセットに搬入する処理は、図５の処理に割り込み処理が行われる。処理ユニット３０において基板の処理が終了し、基板搬入搬出装置に対して当該処理済みの基板を渡す準備が整ったことをＣＰＵ４０が認識すると、図５の処理に割り込みが発生する。
【００３４】
図５におけるステップＳ１の処理を図６により詳しく説明する。カセットＣが納められたケース１が載置台６に載置されたことをＣＰＵ４０が認識すると、ケース１と底部５とが切り離される（ステップＳ１１）。そしてＣＰＵ４０がモータ４３を駆動する（ステップＳ１２）。このステップＳ１２により、載置台６が降下するため、同時にカセットＣも降下する。そして、カセットＣが降下し始めると、ＣＰＵ４０は、基板の有無を検出するセンサ３，４からの検出結果を監視する（ステップＳ１３）。なお、先に説明しているように、この実施の形態においては、センサ３が投光側、センサ４が受光側であるため、基板の有無の検出はセンサ４の出力を監視することによって行われる。この監視の結果、基板が存在するか否かが判断され（ステップＳ１４）、基板が存在している場合は、基板の収容位置と基板の収容枚数が記憶される（ステップＳ１５）。基板が存在しなかった場合は、ステップＳ１５の処理は行われない。そして、載置台６が最下位置まで降下し、モータが停止したか否かを判断し、まだ載置台６が降下途中であれば、再びセンサからの出力を監視するステップＳ１３に処理は戻される（ステップＳ１６）。ここでモータが停止していれば、図５のステップＳ１の処理は終了する。
【００３５】
なお、図２に示すようにＹ軸方向に複数のケース１が載置できるような構成となっている場合には、移載アーム駆動部４４は複数のカセットに対して移載動作を行うため、移載動作に関しては、優先順位を設けた割り込み処理などが行われる。
【００３６】
ここで、図４に示した制御機構と異なる制御機構を構成した場合を図７に示し、説明する。図７は、この発明の基板搬入搬出装置の制御機構を示すブロック図であり、図４とは異なる構成となっている。図７に示す構成の場合は、ＣＰＵを複数個備えている。すなわち、センサ４２，モータ４３，記憶部４６，ＣＰＵ４５は、１つの載置台６を昇降させ、そのカセットＣに収容された基板Ｗを検出するための昇降制御機構となっている。したがって、図２に示すように、複数個のケース１を設置するために、載置台６が複数個設けられている場合には、それぞれに当該昇降制御機構が設けられている。ここでは説明を簡単にするために、当該昇降制御機構が１つ設置されている例について述べる。
【００３７】
まず、センサ４２は、基板の有無を認識するためのセンサである。センサ４２の出力信号はＣＰＵ４５に送られ、ＣＰＵ４５は基板の有無を検出することができる。また、モータ４３は、載置台６を昇降をさせるための駆動装置であり、記憶部４６は、基板の収容されている位置および収容枚数などを記憶しておく。載置台６が最下位置まで降下完了し、記憶部４６に基板の収容位置などが記憶されると、ＣＰＵ４５は記憶部４６に記憶されている内容をコントローラ１５の内部に設けられたＣＰＵ４０に転送する。ＣＰＵ４０は、ＣＰＵ４５から送られてきた内容をコントローラ１５内に設けられた記憶部４１に記憶させる。したがって、基板を移載する際に、ＣＰＵ４０は、記憶部４１に記憶された内容から基板収容位置情報などを読み出し、その情報に基づいて、移載アーム駆動部４４を駆動する。
【００３８】
このように、図７のような構成であると、ＣＰＵ４０は、載置台６の昇降および基板の有無の監視をする必要がないため、処理部の制御や、基板の搬入搬出処理のみを行え、効率的に処理ができる。また、複数個の載置台６が設けられている場合には、それぞれのカセットの基板検出は、個別に設けられたＣＰＵが処理するため、ＣＰＵ４０による基板の搬入搬出動作を止めることなく、処理できる。なお、１つのカセットについて基板処理を行う場合、ＣＰＵ４０とＣＰＵ４５間の通信は、基板収容位置情報を送受信するときと、処理済み基板をカセットに収容完了したときの２回である。ＣＰＵ４５は、ＣＰＵ４０から処理済み基板の収容完了の信号を受信すると、モータ４３に駆動信号を出力し、載置台６を上昇させ、カセットをケース１内に収納する。
【００３９】
この発明の基板搬入搬出装置は、基板を装置外雰囲気に晒すことなく所定の処理を行う処理ユニットに基板を搬出するための装置であるため、当該装置内は清浄な雰囲気を保つ必要がある。この清浄化の手段について図８に基づき説明する。図８は、この発明の基板搬入搬出装置の内部雰囲気の清浄化装置を示す側面図である。図に示すように、載置台６の下方と、移載アーム１２の上方に、ＵＬＰＡフィルタ７，８とファン９，１０が設けられている。まず載置台６下方における清浄化については、上方向に清浄な空気流が形成されている。そして、装置内の空気は装置側面より吸収され、再びファン９によって上昇流となる。そして、装置内部に吹き出す際には、ＵＬＰＡフィルタ７によって、清浄化される。つぎに移載アーム１２上方における清浄化については、ファン１０によって下降流が形成され、装置内部に吹き出す前に、ＵＬＰＡフィルタ８によって清浄化される。そして、移載アーム１２下方から吸い込まれている。以上のような構成により装置内は、清浄に保たれている。
【００４０】
そして、他の装置間の基板の搬送は、基板が収容されたカセットが納められたケースをＡＧＶ（自走型搬送車）が行うことができる構成となっている。なお、人が装置間の基板の搬送を行っても良い。このときも基板がケース内に納められているため、外部雰囲気に晒されることはない。したがって、この発明の基板搬入搬出装置を利用すれば、クリーンルーム全体のクリーン度を高める必要がない。
【００４１】
これまで説明した実施の形態においては、図１に示すように遮蔽容器はケース１と底部５からなり、載置台６を降下させることによって底部５を降下させ、カセットＣをケース１内から取り出していたが、別の実施の形態として、つぎのようなものが考えられる。載置台が固定された状態であり、ケースを支持しているテーブルが上昇することによって、カセットをケース内部から取り出すことができる。この際もテーブルにセンサを設けておけば、テーブルが上昇している間にカセットのどの位置に基板Ｗが収容されているかが認識できる。すなわち、遮蔽容器内からカセットを取り出し、基板の収容位置を認識する方法は、載置台を降下させることのみではなく、ケースが支持されているテーブル部分を上昇させることによっても実現可能である。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の基板搬入搬出装置においては、カセット移載部を併設する必要がないので、装置全体の設置面積は大きくはならない。
【００４３】
請求項１に記載の発明によれば、基板の収容位置は基板収容器をはじめに昇降させる間に認識するため、基板の搬入もしくは搬出処理中に、基板認識のためにアームを停止させる必要がなく、効率的な搬入搬出処理が行える。また、基板搬送手段が動作中は、カセットを昇降させる必要がないので、煩雑な処理がないため、ＣＰＵによる制御対象が少なくなり、効率的な処理が可能となる。さらに、基板収容器からの基板の取り出しにあたっては、その都度基板の有無を調べて基板搬送手段の動作と基板収納容器の昇降動作とを交互に行う必要が無いため、基板の搬出動作を迅速に行え、スループットの向上に寄与することができる。さらに、基板を清浄な雰囲気の中で処理でき、装置外部の雰囲気に晒されることがないため、当該装置を設置するクリーンルーム全体をクリーン度の高い清浄な雰囲気とする必要がなく設備投資額が少なくなる。
【００４５】
請求項２に記載の発明によれば、複数個のカセットに対して、基板の搬入搬出処理が行えるため、装置全体の処理能力が上がる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態の基板搬入搬出装置の側面図である。
【図２】この発明の実施の形態の基板搬入搬出装置の概念的平面図である。
【図３】この発明の基板搬入搬出装置の基板の収容位置を認識する手段を示す図である。
【図４】この発明の基板搬入搬出装置の制御機構を示す機能ブロック図である。
【図５】この発明の基板搬入搬出装置の処理シーケンスを示すフローチャートである。
【図６】この発明の基板搬入搬出装置の処理シーケンスを示すフローチャートである。
【図７】この発明の基板搬入搬出装置の制御機構を示す機能ブロック図である。
【図８】この発明の基板搬入搬出装置の内部雰囲気の清浄化装置を示す側面図である。
【図９】第１の従来の技術を示す基板搬入搬出装置の側面図である。
【図１０】第２の従来の技術を示す基板搬入搬出装置の側面図である。
【符号の説明】
１  ケース
２  ボールネジ
３，４  センサ
５  底部
６  載置台
７，８  ＵＬＰＡフィルタ
９，１０  ファン
１１  アーム台
１２  移載アーム
１３  アーム軸
１５  コントローラ
３０  処理部
４０  ＣＰＵ
４１  記憶部
４３  モータ
４４  移載アーム駆動部
Ｃ  カセット
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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