(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体の流量又は流速を測定する流量計において、被測定流体が流通する流管の絞り部の上流側と、下流側との温度差又は温度比を検出する温度差検出手段と、該温度差検出手段の出力に基づいて被測定流体の臨界状態を検出する臨界状態検出手段と、該臨界状態検出手段により検出された臨界状態を使用者に通知する通知手段とを備えることを特徴とする流量計。
【請求項２】
前記温度差検出手段は、前記上流側に設けた第１の温度センサと、前記下流側に設けた第２の温度センサと、前記第１の温度センサが検出した温度に対する前記第２の温度センサが検出した温度の差又は比を算出する手段とを有し、前記臨界状態検出手段は前記差又は比が所定の値より大きい場合に臨界状態として検出することを特徴とする請求項１記載の流量計。
【請求項３】
測定流体の流量又は流速を測定する流量計において、被測定流体が流通する流管の絞り部の下流側近傍と、該下流側近傍より下流側との温度差又は温度比を検出する温度差検出手段と、該温度差検出手段の出力に基づいて被測定流体の臨界状態を検出する臨界状態検出手段と、該臨界状態検出手段により検出された臨界状態を使用者に通知する通知手段とを備えることを特徴とする流量計。
【請求項４】
前記温度差検出手段は、前記下流側近傍に設けた第１の温度センサと、該下流側近傍より下流側に設けた第２の温度センサと、前記第１の温度センサが検出した温度に対する前記第２の温度センサが検出した温度の差又は比を算出する手段とを有し、前記臨界状態検出手段は前記差又は比が所定の値より大きい場合に臨界状態として検出することを特徴とする請求項３記載の流量計。
【請求項５】
前記絞り部は、流管の形状及び／又は動作状態に応じて閉塞状態となり得る位置であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１記載の流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流量計に関し、より詳細には、被測定流体の臨界状態を検出することが可能な流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
流体の流量又は流速を測定する流量計としては様々な種類のものがあるが、特に流体を絞る機構をもつ流量計においては、高速に流動する気体はその絞り機構により臨界状態となる場合がある。気体を徐々に膨張させていくと、速度は増加し、温度は低下し、したがって局所音速も低下する。このため、局所マッハ数Ｍは、速度の増加よりも急激に増加し、Ｍ＝１の状態に達する。この状態を臨界状態と呼ぶ。また、このときの圧力を臨界圧力と呼ぶ。なお、液体は例外なく非圧縮性（マッハ数が０．３未満）として取り扱えるものとしても差し支えない。臨界状態では、流管の内部で衝撃波が生じることがあり、被測定流体の流れを検出するセンサ（ピックアップ）信号が乱れ、正確な測定ができなくなる。衝撃波が生じなくても、測定管内の温度が一定に分布しているとはいえず、温度補正を行って流量を測定する流量計においては正確な測定値が得られない。
【０００３】
流体を絞る機構をもった流量計は、ノズル，ベンチュリ管，オリフィス流量計が代表的な例であるが、コリオリ質量流量計においてもその流量検出能力を上げるため、多くの場合、薄肉の細い良く曲がる測定管を用いており、またコリオリ力を検出しやすい様に構造的に捩れ易い湾曲構造を選んでいる場合が多い。そのため、細管によって流れが絞られたり、曲がりによって流れが絞られたりする場合がある。センサが影響を受けない場所にこのような絞られた部分が在ればよいが、コリオリ質量流量計では測定管自体が絞られた箇所をもっており、上述のように測定管で衝撃波が生じた場合など、測定結果への影響が大きい。さらに、センサの上下流で流れが絞られていない場合でも、センサ自体の絞りがラインの臨界流量を決定する要素となることがある。
【０００４】
従来のコリオリ流量計やその他の流量計においては、ガス計測での臨界状態を検出する手段が無く、実験から臨界流速を求めたり、使用条件下での温度，圧力から求めた音速から概算で使用条件下における臨界流速（流量）を求めたりしていた。しかしながら、使用者（ユーザ）が計測する流体の音速が不明であったり、予め臨界流速を求めても、ユーザから得た温度，圧力，流体の物性等の情報も正確でない場合が多く、実際に設置した際に臨界状態となってしまう可能性があった。
【０００５】
流量計における計測時に臨界状態に達する際、その流量計が瞬時流量を計測するタイプの流量計であれば、流管（フローチューブ）内及びその近傍で生じる衝撃波による振動や温度勾配による異常出力によりその状態に気づき易いが、積算流量を計測するタイプの流量計の場合には見逃してしまうことが多かった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述のごとき実状に鑑みてなされたものであり、臨界状態を検知することが可能な流量計を提供することをその目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の技術手段は、被測定流体の流量又は流速を測定する流量計において、被測定流体が流通する流管の絞り部の上流側と、下流側との温度差又は温度比を検出する温度差検出手段と、該温度差検出手段の出力に基づいて被測定流体の臨界状態を検出する臨界状態検出手段と、該臨界状態検出手段により検出された臨界状態を使用者に通知する通知手段とを備えることを特徴としたものである。
【０００８】
第２の技術手段は、第１の技術手段において、前記温度差検出手段は、前記上流側に設けた第１の温度センサと、前記下流側に設けた第２の温度センサと、前記第１の温度センサが検出した温度に対する前記第２の温度センサが検出した温度の差又は比を算出する手段とを有し、前記臨界状態検出手段は前記差又は比が所定の値より大きい場合に臨界状態として検出することを特徴としたものである。
【０００９】
第３の技術手段は、測定流体の流量又は流速を測定する流量計において、被測定流体が流通する流管の絞り部の下流側近傍と、該下流側近傍より下流側との温度差又は温度比を検出する温度差検出手段と、該温度差検出手段の出力に基づいて被測定流体の臨界状態を検出する臨界状態検出手段と、該臨界状態検出手段により検出された臨界状態を使用者に通知する通知手段とを備えることを特徴としたものである。
【００１０】
第４の技術手段は、第３の技術手段において、前記温度差検出手段は、前記下流側近傍に設けた第１の温度センサと、該下流側近傍より下流側に設けた第２の温度センサと、前記第１の温度センサが検出した温度に対する前記第２の温度センサが検出した温度の差又は比を算出する手段とを有し、前記臨界状態検出手段は前記差又は比が所定の値より大きい場合に臨界状態として検出することを特徴としたものである。
【００１１】
第５の技術手段は、第１乃至４のいずれか１の技術手段において、前記絞り部は、流管の形状及び／又は動作状態に応じて閉塞状態となり得る位置であることを特徴としたものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明は、ノズル，オリフィス，ベンチュリ管等の絞り機構を用いた流量計、コリオリ流量計、或いはその他の流量計において、臨界状態を検知する手段を備えたものである。以下、その実施形態としてコリオリ式質量流量計、ベンチュリ管、オリフィス流量計を例示して詳細を説明するが、それらの流量計の他の構成例でも、その他の流量計においても本発明は適用可能であり、少なくとも被測定流体を流通させることにより被測定流体が臨界状態になる可能性のある流管の位置の、上流側近傍と下流側近傍と（或いは下流側近傍とその下流側と）の温度差（又は温度比）を検出し、検出したデータを所定値と比較して、比較結果に基づいて臨界状態を検出し、ユーザに知らせるよう構成された流量計であればよい。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態に係る流量計の構成を示す図で、コリオリ式質量流量計の一実施例を説明するための斜視図である。図中、１は支持管、２，３はフランジ、４，５は支切板、６，７はＵ字形流管、８はコイル、９はコアー、１０，１２は磁石、１１，１３はコイル、１４，１５は支持板、２１，２２は温度センサである。
【００１５】
コリオリ式質量流量計は、被測定流体の流通する流管の一端又は両端を支持し、流管内を流れる流体の流れ方向と垂直な方向に流管を支持点回りに振動させ、そのとき流管の加振部と両端支持部間にコリオリの力に比例する位相差が生じ、コリオリの力が質量流量に比例することから位相差を検出することにより質量流量を求める流量計である。流管（チューブ）は、チューブの本数により単一チューブ方式と複数チューブ方式（主として２本のチューブ）とに分類され、チューブ形状により直管形，ベンディング形，ループ形などに分類される。図１においては、２本のベンディング形チューブ（Ｕ字形等）を使用した流管６，７を測定管としたコリオリ式質量流量計を例示している。
【００１６】
本実施例のコリオリ式質量流量計は、支持管１と、支持管１に開口する平行したＵ字形流管６，７と、コイル８とコアー９とからなる駆動手段と、磁石１０とコイル１１とからなるセンサ（磁石１２とコイル１３とからなるセンサ）と、支持体としての支持板（振動支点板）１４，１５とを備え、また被測定流体が流通する流管の絞り部の上流側と下流側と（或いは下流側近傍とその下流側と）の温度差又は温度比を検出する温度差検出手段として、２つの温度センサ２１，２２と、温度センサ２１，２２間の温度差又は温度比を算出する手段（図示せず）とを備え、さらに温度差又は温度比が所定の値以上であれば流量計の使用者にアラームや表示により知らせる通知手段（図示せず）とを備えるものとする。支持管１の両端にはフランジ２，３が取り付けられ内部には支切板４，５が支持管１の軸Ｍ−Ｍに各々傾斜して固着されている。Ｕ字形流管６，７は同形等寸の円管からなっており、各々は両端が支持管１内に開口して平行に固着されている。このときＵ字形流管６，７の各々の対称軸Ｏａ−Ｏａ及びＯｂ−Ｏｂは支持管１の軸Ｍ−Ｍに対し直角になっている。Ｕ字形流管６，７の対称軸、例えばＵ字形流管６，７の先端には、Ｕ字形流管６，７を近接離間するように駆動するコイル８とコアー９とからなる駆動手段が配設されている。駆動手段は、Ｕ字形流管６，７に取り付けられた基台上に固定され、共振周波数で励磁されるコイル８と、コイル８内に挿通するコアー９とからなり、Ｕ字形流管６，７は駆動手段の電磁力により駆動される。センサは１つが磁石１０とコイル１１、もう１つが磁石１２とコイル１３とからなり、各々はＵ字形流管６，７の先端近傍で、軸Ｏａ−Ｏａ（Ｏｂ−Ｏｂ）の対称位置に配設されている。ここでは磁石１０（１２）はＵ字形流管６にコイル１１（１３）はＵ字形流管７に装着されている。
【００１７】
以上のごとく構成されたコリオリ式質量流量計は、測定される流体が流れる流管（図示せず）に支持管１のフランジ２，３で介装される。流体は支持管１に流入して支切板５に遮ぎられてＵ字形流管６，７に等流量流れる。コイル８に加振のための共振周波数の交流電流が印加されると、コアー９を吸引反撥してＵ字形流管６，７を音叉状に加振する。磁石１０とコイル１１、磁石１２とコイル１３からなる位相差検出センサにより、流入側と流出側とでコリオリの力に比例する位相差を有する正弦波信号が出力される。この位相を検知して質量流量が求められる。
【００１８】
図２は、本発明の一実施形態に係る流量計におけるデータ処理部の構成を示す図で、図１のコリオリ式質量流量計を補足して説明するための図である。
本実施形態に係る流量計は、そのデータ処理に関し、少なくとも所定の条件を満たす流管上の２箇所の温度差（又は温度比）を検出する温度差検出手段と、検出した温度差（又は温度比）を算出する手段と、算出した値を所定値と比較して臨界状態を検出する臨界状態検出手段とを備えるものとする。ここでの所定値は、流管上の２箇所の位置と、それらの間の形状・動作（どういった運動をする部分なのか等）などにより予め定められた値とする。さらに、臨界状態検出手段で検出された臨界状態をユーザに警報，表示などして通知する通知手段を備えるものとする。この通知手段としては、被測定流体の流量を減じるためにバルブを絞るための通知信号を発信する手段であってもよい。図１の実施例に関連させて説明すると、温度差検出手段としては、例えば温度センサ２１，２２と、温度センサ２１，２２の温度差又は温度比を算出する手段を備えればよく、臨界状態検出手段としては、算出した値を所定の値と比較して臨界状態を検出する臨界状態検出器２３を備えればよい。温度差検出手段としては、直接２箇所の温度差（又は温度比）取り出し部から温度差（又は温度比）を検出する手段であってもよい。通知手段として、図２においては臨界状態検出器２３で検出した臨界状態をユーザに検知させるインジケータ２４を設けている。なお、位相差検出センサからの出力信号を増幅・フィルタリングなどの処理を施す変換器２５や、変換器２５からの出力信号により流量又は流速を演算するための流量演算器２６、さらにはコイル８及びコアー９を駆動する電源、コイル１１，１３及び磁石１０，１２などからなる位相差検出センサの電源など、様々な機器が例えば支持管１を介して接続されているものとする。なお、図２においては、インジケータ２４を、流量演算器２６からの出力を臨界状態の通知とともに表示するものとして示している。
【００１９】
図３及び図４は、本発明に係る流量計における温度センサの設置位置の原理を説明するための図で、図３（Ａ），（Ｂ）は図１のコリオリ式質量流量計における温度センサの位置を示す図、図４はノズルのスロート部での流れが十分臨界に達している場合のノズルの内部流動の様子を示す図である。
【００２０】
図３は図１のコリオリ式質量流量計における測定管のうち１本の流管（フローチューブ）６の断面の概要を示しているが、この流管６は領域Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４で曲がっており、領域Ｒ１から領域Ｒ４の手前の間で被測定流体が臨界状態となる可能性を秘めている。なお、流管６は支持管１での流れを狭めて流す管ともいえるので、断面積が減少する部分をノズル、増大する部分をディフューザ、ノズルからディフューザ又はディフューザからノズルに移る部分をスロートとすると、領域Ｒ１はノズルとなっており、領域Ｒ４はディフューザとなっている。以下に、臨界状態となる可能性について図４を参照して説明する。
【００２１】
一般に亜音速（Ｍ＜１）のときは、ノズルで気体は膨張・減温・増速し、ディフューザで気体は圧縮・増温・減速する。逆に超音速（Ｍ＞１）のときは、ノズルで気体は圧縮・増温・減速し、ディフューザで気体は膨張・減温・増速する。亜音速から超音速に流れを増速するには、必ずスロートが必要であり、スロートではＭ＝１となっている。逆に超音速から亜音速に流れを減速するときもスロートが必要であるが、減速の場合に限り不連続的な圧力上昇を伴う衝撃波が発生し、スロートなしに超音速から亜音速まで減速することもできる。垂直衝撃波によって、流れは必ず超音速から亜音速に減速される。なお、衝撃波が発生すると、もはや等エントロピ流れではない。理論的にはスロートでＭ＝１に達したスロートに接続したディフューザでは、圧縮／膨張のいずれでも起こりうる。もし、圧縮が起これば流速は再び亜音速となって減少し、スロートより上流での流速値に近づいていく。逆に膨張が起これば流速はさらに増速し、流れは超音速のままである。実際には、ディフューザ以降の背圧により圧縮／膨張が決まる。図４はノズルにディフューザを取り付けたラバール管３０に矢印方向の気流がある場合の模式図であり、図中、３１はスロート部、３２は亜音速域、３３は音速面、３４は超音速域、３５は衝撃波面、３６は亜音速域を示している。ノズルのスロート部３１での流れが十分臨界に達している場合のノズルの内部流動として、亜音速域３２の気流がスロート部３１で超音速域３４で超音速となり、ディフューザ部で衝撃波（波面３５）が発生し、亜音速域３６で亜音速となるといった様子を示している。
【００２２】
一方、質量流量は、圧力比に対し、圧力比の増加とともに増加し、臨界状態で最大値に達し、さらなる圧力比の増加に伴い減少していくという関係をもっている。また、質量流量は被測定流体の温度に依存するので、流量計は通常、温度による補正を行っているが、臨界状態に達するか達しないかという状態の被測定流体に対してはこの温度補正を行っても、実際の正確な質量流量が測定値として出力されているとは言い切れず、裏を返せば被測定流体が臨界状態に達しているかいないかを判断することもできない。また、質量流量は上流側圧力を上げることで際限なく増加するので、臨界状態になっていることに気づかない。例えば、常に臨界状態で使用される音速ノズルでは、質量流量を増加させるために上流圧を上げることは日常的に行われている。臨界状態となっていると、質量流量は多くの誤差をもって出力される。質量流量，容積流量いずれの流量を求める場合でも、積算流量を測定する流量計の場合、特にこの判断が困難となる。本発明は、臨界状態前後で温度差が生ずる、すなわち被測定流体が亜音速から超音速になったとき超音速域での温度が亜音速域での温度より低くなることを利用して、この判断を流管上の所定の２箇所の温度差（又は温度比）により行うことを特徴としている。
【００２３】
流れの絞り部（スロート部３１）から衝撃波発生位置（波面３５）までは気体の流れが加速されて熱エネルギが運動エネルギに変換される為、気体の温度及び圧力が下がる。参考までに衝撃波が生じないものとすると、流動する気体の状態は等エントロピ的に変化し、Ｔ０，ｐ０を静止状態（よどみ点）での温度，圧力、Ｔ，ｐをその状態から等エントロピ的に変化した後の温度，圧力とすると、Ｔ／Ｔ０＝（ｐ／ｐ０）＾（（κ−１）／κ）の関係が成立する。例えば２５℃、１気圧の大気を吸い込む場合、絞り部で音速になればその点の温度と圧力は比熱比κ＝１．４とすると約−２５℃及び０．５気圧となる。一般に絞りの後が急拡大であれば運動エネルギが再び熱エネルギに変換され流体温度は流れが絞られる前の状態まで回復するが、コリオリ流量計のフローチューブの様に絞られた部分が長い場合、複数のチョーキング（閉塞）や、場合によっては上流側と下流側のチョーキング間で圧力回復することの無いいわゆる超音速風洞の様な状態になることもありうる。何れにしても、非圧縮流として扱えるＭ＝０．３未満の流れでは見られない流れ方向に温度分布が生じる現象が生じる。本発明は、チョーキング位置の上流と下流に温度センサを設置し、測定された温度差により臨界状態を検知するものである。
【００２４】
図３（Ａ）を参照すると、本実施例のコリオリ式質量流量計においては、支切板５からＵ字形流管６，７に流入する領域Ｒ１では縮流となる。また、領域Ｒ１に加え、Ｒ２，Ｒ３で示す湾曲部には、垂直衝撃波又は擬似衝撃波を生ずる可能性があり、さらにａ〜ｂで示す区間では速度境界層の発達により図示したように尖った速度分布となることがあり結果として擬似的なスロートが生ずる可能性がある。このように、いずれの場所でも超音速となり温度が低下する可能性がある。図３（Ａ）では、ａ〜ｂ区間の前に温度センサ２１を、区間内に温度センサ２２を設置した場合を例示しているが、これは流管６の振動により非圧縮流れから徐々に尖った速度分布（図示）をしてくることによる擬似スロート状態の発生をも前提とした設置位置である。なお、この場合、領域Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３やその間の区間で超音速領域となる場合にも温度センサ２２における温度Ｔ２と温度センサ２１における温度Ｔ１との差が生じるので、温度センサ２１，２２の設置位置はそのままで問題ない。
【００２５】
図３（Ｂ）ではａ〜ｃの区間が超音速域となりうるときの、２つの温度センサの設置場所の例を示している。第１の温度センサ２１は領域Ｒ１の後に、第２の温度センサ２２′はＲ３の後に設置し、それらの温度差Ｔ１−Ｔ２′を求めるようにしている。ただし、領域Ｒ２手前で冷えていた被測定流体が、領域Ｒ５などでなじみ温度センサ２１における温度と同程度になってしまわないような測定管、すなわち領域Ｒ１以降で臨界状態が発生するとｃまでが超音速領域となるような構造をもつ測定管が必要である。
【００２６】
また、図示しないが、領域Ｒ１内がスロート部となる流れも考えられるので、Ｒ１手前と、Ｒ１後にそれぞれ温度センサを設置してもよい。実際には図１における支持管１に１箇所と、流管６に１箇所温度センサを配設しておけばよい。勿論、２つの温度センサの差が臨界状態において明確に出る方が好ましいため、以上の記述では超音速領域の手前の亜音速領域と、超音速領域とに温度センサを設置した例を示したが、超音速領域内に２箇所設置してもよいし、超音速領域内とその超音速領域の後の亜音速領域内とに２箇所設置してもよい。実際には、流管６においてどこの絞りが臨界状態を決める要素となるかを見極めた上で温度センサ２１，２２の位置を決定した方がよい。なお、温度センサ２１，２２は複数チューブ方式の流量計の場合でも、少なくとも１組設置しておけば臨界状態の検出は可能であり、流管６のみに設置した例を示しているが、流管６，７両方に設置しておいてもよい。
【００２７】
図５は、本発明の一実施形態に係る流量計の構成を示す図で、円錐形ベンチュリ管を用いた差圧流量計の一実施例を説明するための断面図である。図中、４０は円錐形ベンチュリ管、４１は入口円筒部、４２は入口円錐部、４３はスロート部、４４は出口円錐部、４５は出口円筒部、４６，４７は差圧取り出し部、４８，４９は温度センサである。図５においては、入口円筒部４１及び出口円筒部４５の直径をＤ、スロート部４３の直径をｄ（＜Ｄ）とし、差圧取り出し部４６を入口円錐部４１にもう１つの差圧取り出し部４７をスロート部４３に設け、その差圧から流量又は流速を求めるものとしている。温度センサ４８，４９もそれぞれ差圧取り出し部４６，４７と同様の場所に設置している。その他、流量演算、温度センサ、及び臨界状態に関する説明は省略する。
【００２８】
図６は、本発明の一実施形態に係る流量計の構成を示す図で、オリフィスを用いた差圧流量計の一実施例を説明するための断面図である。図中、５０はオリフィス流量計、５１は測定管、５２はオリフィスプレート、５３は絞り孔、５４，５５は差圧取り出し部、５６，５７は温度センサである。差圧取り出し部５４をオリフィスプレート５２の手前に、もう１つの差圧取り出し部５５をオリフィスプレート５２の後に設け、その差圧から流量又は流速を求めるものとしている。温度センサ５６，５７もそれぞれ差圧取り出し部５４，５５と同様の場所に設置している。その他、流量演算、温度センサ、及び臨界状態に関する説明は省略する。
【００２９】
また、温度センサのプローブは、速度境界層と温度境界層を考慮して設置するとよい。すなわち、絞りの上流側にプローブを設置する際には絞り部でのフローパタンに影響を与えず且つ温度境界層厚さ以上の高さが必要である。また絞りの下流側では例えば図５のベンチュリ管の場合では温度、速度の境界層が薄いので中心部までプローブを延ばして設置する必要がなく、プローブを管壁内側に付けてもよい。但し、図６のオリフィスの場合では絞り部からの噴流が直接プローブに当たる位置に設置するのが良い。
【００３０】
なお、２つのうちの１つの温度センサの出力を利用して、或いは２つの温度センサの平均値を利用して、流量測定用センサの温度補正を行うようにしてもよい。コリオリ式質量流量計では、従来からフローチューブのバネ乗数の補正のために設置されている温度センサと、臨界状態検出に係わる温度センサとを併用してもよく、さらに臨界状態検出に係わる下流側温度センサとの平均値をバネ乗数の補正のために利用してもよい。なお、図６においてはこのことを意識して温度センサを流管の中心まで延ばして設置した例を示している。これは、以下のケースに有効となる。特に温度が変化している場合、熱容量の小さいガス計測で且つ、流速が低いと、温度境界層が厚いのでフローチューブの温度と流体温度が異なる時間が長く存在する。この場合、上流側の管壁にある温度センサだけでフローチューブの代表温度とするよりも下流側にある温度センサとの平均値を使用したり、複数の温度センサによる温度計測値に重みを付けた関数により算出した代表温度により温度補正を行った方がより正しい計測結果が得られる。
【００３１】
【発明の効果】
本発明によれば、流量計において臨界状態を検知することが可能となる。本発明によれば、さらに、この検知により誤った測定結果を採用することがなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る流量計の構成を示す図で、コリオリ式質量流量計の一実施例を説明するための斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る流量計におけるデータ処理部の構成を示す図で、図１のコリオリ式質量流量計を補足して説明するための図である。
【図３】本発明に係る流量計における温度センサの設置位置の原理を説明するための図で、図１のコリオリ式質量流量計における温度センサの位置を示す図である。
【図４】本発明に係る流量計における温度センサの設置位置の原理を説明するための図で、ノズルのスロート部での流れが十分臨界に達している場合のノズルの内部流動の様子を示す図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る流量計の構成を示す図で、円錐形ベンチュリ管を用いた差圧流量計の一実施例を説明するための断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る流量計の構成を示す図で、オリフィスを用いた差圧流量計の一実施例を説明するための断面図である。
【符号の説明】
１…支持管、２，３…フランジ、４，５…支切板、６，７…Ｕ字形流管、８…コイル、９…コアー、１０，１２…磁石、１１，１３…コイル、１４，１５…支持板、２１，２２，４８，４９，５６，５７…温度センサ、２３…臨界状態検出器、２４…インジケータ、２５…変換器、２６…流量演算器、３１，４３…スロート部、３２…亜音速域、３３…音速面、３４…超音速域、３５…衝撃波面、３６…亜音速域、４０…円錐形ベンチュリ管、４１…入口円筒部、４２…入口円錐部、４４…出口円錐部、４５…出口円筒部、４６，４７，５４，５５…差圧取り出し部、５０…オリフィス流量計、５１…測定管、５２…オリフィスプレート、５３…絞り孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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