(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体面におけるビーム像を所定の倍率により結像面に結像するアフォーカル結像光学系において、
前記ビーム像の一断面方向とこの断面方向に対して垂直な他の断面方向とに対してそれぞれ独立に同一の前記物体面と前記結像面とに対して各結像条件を満足し、かつ同一光軸上で少なくとも一部を重複させて配置された各レンズ対を有する光学レンズ系と、
この光学レンズ系における前記一断面方向と前記他の断面方向との各焦点面上にそれぞれ配置され、前記ビーム像中に存在する高空間周波数の変調成分を低減する各空間フィルタと、
を具備したことを特徴とするアフォーカル結像光学系。
【請求項２】
前記光学レンズ系は、前記ビーム像の前記一断面方向に対して前記結像条件を満足する如く配置された第１のシリンドリカルレンズ対と、
前記ビーム像の前記他の断面方向に対して前記結像条件を満足する如く配置された第２のシリンドリカルレンズ対と、
を配置したことを特徴とする請求項１記載のアフォーカル結像光学系。
【請求項３】
前記光学レンズ系は、前記一断面方向に作用する前記第１のシリンドリカルレンズ対の各焦点距離をｆ1 ，ｆ2 、前記他の断面方向に作用する第２のシリンドリカルレンズ対の各焦点距離をｆ1'，ｆ2'、前記物体側の前記第１及び前記第２のシリンドリカルレンズ対に対する各作動距離をａ、ａ´とした場合、前記物体面と前記結像面との距離Ｌ、
Ｌ＝（１−Ｍ2 ）ａ＋（１−Ｍ）2 ・ｆ1
＝（１−Ｍ´2 ）ａ´＋（１−Ｍ´）2 ・ｆ1'
但し、Ｍ＝−ｆ2 ／ｆ1 、Ｍ´＝−ｆ2'／ｆ1'
を満足するように前記第１及び前記第２のシリンドリカルレンズ対を配置することを特徴とする請求項２記載のアフォーカル結像光学系。
【請求項４】
前記各空間フィルタは、前記光学レンズ系による前記一断面方向と前記他の断面方向の前記各焦点面上に沿って配置されたスリット状の各有限開口であることを特徴とする請求項１記載のアフォーカル結像光学系。
【請求項５】
少なくともレーザ発振器から出力されるレーザビーム光路上にアフォーカル結像光学系を配置したレーザ装置において、
前記アフォーカル結像光学系は、前記レーザビームの一断面方向とこの断面方向に対して垂直な他の断面方向とに対してそれぞれ独立に同一の前記物体面と前記結像面とに対して各結像条件を満足し、かつ同一光軸上で少なくとも一部を重複させて配置された各レンズ対を有する光学レンズ系と、この光学レンズ系における前記一断面方向と前記他の断面方向との各焦点面上に配置され、前記レーサビーム中に存在する高空間周波数の変調成分を低減する各空間フィルタと、により形成したことを特徴とするレーザ装置。
【請求項６】
レーザ発振器から出力されたレーザビームをレーザ増幅器により増幅出力するレーザ装置において、
少なくとも前記レーザ発振器から出力された前記レーザビームを前記レーザ増幅器に伝送するアフォーカル結像光学系を備え、
このアフォーカル結像光学系は、前記レーザビームの一断面方向とこの断面方向に対して垂直な他の断面方向とに対してそれぞれ独立に同一の前記物体面と前記結像面とに対して各結像条件を満足し、かつ同一光軸上で少なくとも一部を重複させて配置された各レンズ対を有する光学レンズ系と、この光学レンズ系における前記一断面方向と前記他の断面方向との各焦点面上に配置され、前記レーサビーム中に存在する高空間周波数の変調成分を低減する各空間フィルタと、により形成したことを特徴とするレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザビーム空間強度分布の高品質を保ってレーザビームを伝送するアフォーカル結像光学系及びこれを適用して多段増幅を行うレーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５はアフォーカル結像光学系の構成図である。
このアフォーカル結像光学系は、２枚の球面レンズ１、２を配置したもので、一方の球面レンズ１が入射側レンズ、他方の球面レンズ２が出射側レンズである。このうち入射側の球面レンズ１の焦点面３には、円形開口より成る空間フィルタ４が配置されている。
【０００３】
このような構成であれば、２枚の球面レンズ１、２は、物体面Ｏにおけるレーザビーム像５の径φinを、これら球面レンズ１、２による倍率Ｍにより口径変換し、レーザビーム像の径φout として結像面Ｉに転送する。
【０００４】
このとき、空間フィルタ４は、入射されたレーザビーム像５に存在する高空間周波数の変調成分を低減する。
これにより、レーザビーム伝搬時に生じる回折の影響に起因するビームブレークアップを抑制し、これと同時にビーム強度分布の平坦化を実現し、高ビーム品質のレーザビームを発生できる。
【０００５】
ここで、このような高ビーム品質のレーザビームを発生するためには、２枚の球面レンズ１、２の各焦点距離をｆ1 、ｆ2 としたとき、物体面Ｏと結像面Ｉとの距離Ｌを次式が満足するようにする必要がある。
【０００６】
Ｌ＝（１−Ｍ2 ）・ｆ1 ＋（１−Ｍ）2 ・ａ                      …(1)
Ｍ＝−ｆ2 ／ｆ1                                               …(2)
なお、ａは物体側の作動距離である。
【０００７】
２枚の球面レンズ１、２のレンズ間隔は、アフォーカル条件によりｆ1 ＋ｆ2 であり、結像面側の作動距離ｂは、
ｂ＝（１−Ｍ）・ｆ2 −Ｍ2 ・ａ                                …(3)
となる。
【０００８】
しかしながら、このようなアフォーカル結像光学系を高出力のレーザビームに適用すると、焦点面３でのエネルギー密度が過大となり、しばしば空間フィルタ４に損失が生じることがある。
【０００９】
このような空間フィルタ４の損失を避ける手段として、レーザビーム像５をシリンドリカルレンズのようなアナモルフィックに光学系によりラインフォーカスすることが行われている。
【００１０】
図６はかかるシリンドリカルレンズを用いたアフォーカル結像光学系の構成図である。
このアフォーカル結像光学系は、２枚のシリンドリカルレンズ６、７を配置し、このうち入射側のシリンドリカルレンズ６の焦点面８には、スリット状の有限開口より成る空間フィルタ９が配置されている。
【００１１】
このような構成であれば、２枚のシリンドリカルレンズ６、７は、物体面Ｏにおけるレーザビーム像５を焦点面８において線状にラインフォーカスし、空間フィルタ９を通過し、再び円形に戻して倍率Ｍにより口径変換して結像面Ｉに転送する。
【００１２】
このような構成であれば、焦点面８におけるエネルギー密度は、球面レンズ１、２により集光した場合と比較して大幅に低減されるので、空間フィルタ９の耐久性を高くできる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、２枚のシリンドリカルレンズ６、７を用いた場合、その結像条件は、これらレンズ６、７の作用する方向にのみ成立するため、この方向と垂直な断面方向では、回折によるビームブレークアップが生じる。
【００１４】
又、空間フィルタ９が作用するのも、レーザビーム像５の一断面方向のみに限定される。
そこで本発明は、高出力レーザビームに対する空間フィルタの耐久性を高め、かつ回折によるビームブレークアップの抑制を図ることができるアフォーカル結像光学系を提供することを目的とする。
【００１５】
又、本発明は、高出力レーザビームに対する空間フィルタの耐久性を高め、かつ回折によるビームブレークアップの抑制を図ることができるアフォーカル結像光学系を用いてレーザビームを伝送し、高品質のレーザビームを出力できるレーザ装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
請求項１によれば、物体面におけるビーム像を所定の倍率により結像面に結像するアフォーカル結像光学系において、
ビーム像の一断面方向とこの断面方向に対して垂直な他の断面方向とに対してそれぞれ独立に同一の物体面と結像面とに対して各結像条件を満足し、かつ同一光軸上で少なくとも一部を重複させて配置された各レンズ対を有する光学レンズ系と、
この光学レンズ系における一断面方向と他の断面方向との各焦点面上にそれぞれ配置され、ビーム像中に存在する高空間周波数の変調成分を低減する各空間フィルタと、
を備えて上記目的を達成しようとするアフォーカル結像光学系である。
【００１７】
このような構成であれば、ビーム像の一断面方向とこの断面方向に対して垂直な他の断面方向とに対してそれぞれ独立に同一の物体面と結像面とに対して各結像条件を満足し、かつ同一光軸上で少なくとも一部を重複させて配置された各レンズ対を有する光学レンズ系を配置し、これら一断面方向と他の断面方向との各焦点面上にそれぞれ空間フィルタを配置することにより、ビーム像の一断面方向に対してラインフォーカスされて空間フィルタを通過し再び円形のビーム像に戻り、これと同時にビーム像の他の断面方向に対してラインフォーカスされて空間フィルタを通過し再び円形のビーム像に戻され、このビーム像が結像面に結像される。
【００１８】
従って、高出力レーザビームに対する空間フィルタの耐久性が高めれ、かつ回折によるビームブレークアップが抑制される。
請求項２によれば、光学レンズ系は、ビーム像の一断面方向に対して結像条件を満足する如く配置された第１のシリンドリカルレンズ対と、
ビーム像の他の断面方向に対して結像条件を満足する如く配置された第２のシリンドリカルレンズ対と、
を配置している。
【００１９】
このような構成であれば、第１のシリンドリカルレンズ対によりビーム像の一断面方向に対してラインフォーカスされて空間フィルタを通過し再び円形のビーム像に戻り、これと同時に第２のシリンドリカルレンズ対によりビーム像の他の断面方向に対してラインフォーカスされて空間フィルタを通過し再び円形のビーム像に戻される。
【００２０】
請求項３によれば、光学レンズ系は、一断面方向に作用する第１のシリンドリカルレンズ対の各焦点距離をｆ1 ，ｆ2 、他の断面方向に作用する第２のシリンドリカルレンズ対の各焦点距離をｆ1'，ｆ2'、物体側の第１及び第２のシリンドリカルレンズ対に対する各作動距離をａ、ａ´とした場合、物体面と結像面との距離Ｌ、
0003655086.tif 000002
を満足するように第１及び第２のシリンドリカルレンズ対を配置している。
【００２１】
このような構成であれば、第１のシリンドリカルレンズ対の焦点距離をｆ1 ，ｆ2 、第２のシリンドリカルレンズ対の焦点距離をｆ1'，ｆ2'、物体側の第１及び第２のシリンドリカルレンズ対に対する各作動距離をａ、ａ´とした場合、物体面と結像面との距離Ｌを、
0003655086.tif 000003
を満足するように第１及び第２のシリンドリカルレンズ対を配置することにより、それぞれの結像条件が満たされる。
【００２２】
請求項４によれば、各空間フィルタは、光学レンズ系による一断面方向と他の断面方向の各焦点面上に沿って配置されたスリット状の各有限開口である。このような構成であれば、スリット状の有限開口から成る空間フィルタを一断面方向と他の断面方向との各焦点面上に沿って配置し、一断面方向と他の断面方向とにおけるビーム像中に存在する高空間周波数の変調成分を低減する。
【００２３】
請求項５によれば、少なくともレーザ発振器から出力されるレーザビーム光路上にアフォーカル結像光学系を配置したレーザ装置において、
このアフォーカル結像光学系は、レーザビームの一断面方向とこの断面方向に対して垂直な他の断面方向とに対してそれぞれ独立に同一の物体面と結像面とに対して各結像条件を満足し、かつ同一光軸上で少なくとも一部を重複させて配置された各レンズ対を有する光学レンズ系と、この光学レンズ系における一断面方向と他の断面方向との各焦点面上に配置され、レーサビーム中に存在する高空間周波数の変調成分を低減する各空間フィルタと、により形成して上記目的を達成しようとするレーザ装置である。
【００２４】
このような構成であれば、レーザ発振器から出力されたレーザビームは、アフォーカル結像光学系に入射し、ここで、レーサビームの一断面方向に対してラインフォーカスされて空間フィルタを通過し再び円形のビーム像に戻り、これと同時にレーザビームの他の断面方向に対してラインフォーカスされて空間フィルタを通過し再び円形のビーム像に戻されて出射される。
【００２５】
請求項６によれば、レーザ発振器から出力されたレーザビームをレーザ増幅器により増幅出力するレーザ装置において、
少なくともレーザ発振器から出力されたレーザビームをレーザ増幅器に伝送するアフォーカル結像光学系を備え、
このアフォーカル結像光学系は、レーザビームの一断面方向とこの断面方向に対して垂直な他の断面方向とに対してそれぞれ独立に同一の物体面と結像面とに対して各結像条件を満足し、かつ同一光軸上で少なくとも一部を重複させて配置された各レンズ対を有する光学レンズ系と、この光学レンズ系における一断面方向と他の断面方向との各焦点面上に配置され、レーサビーム中に存在する高空間周波数の変調成分を低減する各空間フィルタと、により形成により形成して上記目的を達成しようとするレーザ装置である。
【００２６】
このような構成であれば、レーザ発振器から出力されたレーザビームは、アフォーカル結像光学系に入射し、ここで、レーサビームの一断面方向に対してラインフォーカスされて空間フィルタを通過し再び円形のビーム像に戻り、これと同時にレーザビームの他の断面方向に対してラインフォーカスされて空間フィルタを通過し再び円形のビーム像に戻され、この出射されたレーサビームがレーザ増幅器に伝送されて増幅出力される。
【００２７】
【発明の実施の形態】
(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１はアフォーカル結像光学系の構成図である。
このアフォーカル結像光学系には、４枚のシリンドリカルレンズ１０、１１、１２、１３が同一光軸上に配置されている。
【００２８】
このうち第１のシリンドリカルレンズ対１０、１１は、レーザビーム像５の一断面方向（以下、縦方向と称する）に対して作用するようにシリンドリカル面を配置している。
【００２９】
第２のシリンドリカルレンズ対１２、１３は、レーザビーム像５の一断面方向に対して垂直方向の他の断面方向（以下、横方向と称する）に対して作用するようにシリンドリカル面を配置している。
【００３０】
これら第１及び第２のシリンドリカルレンズ対１０、１１及び１２、１３は、それぞれアフォーカルの結像条件を満足する如く配置されている。
すなわち、第１のシリンドリカルレンズ対１０、１１の各焦点距離をｆ1 ，ｆ2 、第２のシリンドリカルレンズ対１２、１３の各焦点距離をｆ1'，ｆ2'、物体側の第１及び第２のシリンドリカルレンズ対に対する各作動距離をａ、ａ´とした場合、物体面Ｏと結像面Ｉとの距離Ｌ、
0003655086.tif 000004
を満足するように第１及び第２のシリンドリカルレンズ対１０、１１及び１２、１３は配置されている。
【００３１】
これにより、縦及び横方向共に同一の物体面Ｏ、結像面Ｉに対して結像条件が成立する。
具体的な一例を挙げると、図２に示すように第１のシリンドリカルレンズ対１０、１１の各レンズの焦点距離ｆ1 、ｆ2 を４５０ｍｍ、３６０ｍｍ、第２のシリンドリカルレンズ対１２、１３の各レンズの焦点距離ｆ1'、ｆ2'を４３７ｍｍ、３５０ｍｍとし、第１及び第２のシリンドリカルレンズ対に対する各作動距離ａ、ａ´を４００ｍｍ、５２０ｍｍ、縦横方向の各結像倍率Ｍ、Ｍ´を共に０．８倍とすると、物体面Ｏと結像面Ｉとの距離Ｌは、１６０２ｍｍとなる。
【００３２】
又、第１のシリンドリカルレンズ対１０、１１の入射側のレンズ１０の焦点面１４には第１の空間フィルタ１５が配置され、第２のシリンドリカルレンズ対１２、１３の入射側のレンズ１２の焦点面１６には第２の空間フィルタ１７が配置されている。
【００３３】
これら第１及び第２の空間フィルタ１５、１６は、それぞれスリット状の有限開口に形成されており、そのスリット幅は５００μｍに形成され、回折限界集光径の約５倍となっている。
【００３４】
このうち第１の空間フィルタ１５は、第１のシリンドリカルレンズ対１０、１１による縦方向のラインフォーカスに対してスリットを平行になるように配置されている。
【００３５】
第２の空間フィルタ１７は、第２のシリンドリカルレンズ対１２、１３による横方向のラインフォーカスに対してスリットを平行になるように配置されている。
【００３６】
次に上記の如く構成されたアフォーカル結像光学系の作用について図３に示す模式図を参照して説明する。
第１のシリンドリカルレンズ対１０、１１は、物体面Ｏにおけるレーザビーム像５を焦点距離ｆ1 の焦点面１４において縦方向のラインフォーカスとし、空間フィルタ１５においてビーム縦方向の変調成分を低減し、再び円形に戻して倍率Ｍにより口径変換して結像面Ｉに転送する。
【００３７】
これと共に、第２のシリンドリカルレンズ対１２、１３は、物体面Ｏにおけるレーザビーム像５を焦点距離ｆ1'の焦点面１６において横方向のラインフォーカスとし、空間フィルタ１７においてビーム横方向の変調成分を低減し、再び円形に戻して倍率Ｍにより口径変換して結像面Ｉに転送する。
【００３８】
このように上記第１の実施の形態においては、第１のシリンドリカルレンズ対１０、１１をレーザビーム像５の縦方向に対して結像条件を満足する如く配置し、第２のシリンドリカルレンズ対１２、１３をレーザビーム像５の横方向に対して結像条件を満足する如く配置し、かつこれらレンズ対の各焦点面１４、１６にそれぞれスリット状の空間フィルタ１５、１７を配置したので、レーザビームの縦横方向の各変調成分が低減され、出射されるレーザビーム像の空間強度分布を平坦化できる。
【００３９】
又、各空間フィルタ１５、１７上で縦横方向共にそれぞれラインフォーカスが形成されるので、エネルギー密度は球面レンズを用いた場合よりも大幅に低減でき、各空間フィルタ１５、１７の耐久性を向上できる。
【００４０】
さらに、縦横方向共に同一の物体面Ｏ、結像面Ｉに対して結像条件が成立しているので、縦横方向においてそれぞれ回折によるビームブレークアップが抑制できる。
(2) 次に本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００４１】
図４はアフォーカル結像光学系を適用したＹＡＧレーザ装置の構成図である。
ＹＡＧレーザ発振器２０から出力されるレーザビームの光路上には、１台の増幅器２１が配置されている。これらＹＡＧレーザ発振器２０及び増幅器２１は、それぞれコントローラ２２、２３によりＹＡＧレーザ媒質を励起するフラッシュランプを点灯して発振制御されるものとなっている。
【００４２】
主コントローラ２４は、これらＹＡＧレーザ発振器２０及び増幅器２１の発振タイミングを制御するタイミング制御信号を各コントローラ２２、２３に送出する機能を有している。
【００４３】
ＹＡＧレーザ発振器２０と増幅器２１との間のレーザビーム光路上、及び増幅器２１の出力光路上には、それぞれ各アフォーカル結像光学系２５、２６が配置されている。
【００４４】
これらアフォーカル結像光学系２５、２６は、それぞれ図１に示すアフォーカル結像光学系と同一構成となっている。すなわち、４枚のシリンドリカルレンズ１０、１１、１２、１３が同一光軸上に配置され、このうち第１のシリンドリカルレンズ対１０、１１が、ＹＡＧのレーザビームの縦方向に対して作用するようにシリンドリカル面を配置し、かつ第２のシリンドリカルレンズ対１２、１３が、ＹＡＧのレーザビームの横方向に対して作用するようにシリンドリカル面を配置している。
【００４５】
これら第１及び第２のシリンドリカルレンズ対１０、１１及び１２、１３は、それぞれ上記式(4) 及び(5) のアフォーカルの結像条件を満足する如く配置されている。
【００４６】
このような構成であれば、ＹＡＧレーザ発振器２０からレーザビームが出力されると、このレーザビームはアフォーカル結像光学系２５により伝送されて増幅器２１に入射する。
【００４７】
このとき、アフォーカル結像光学系２５は、第１のシリンドリカルレンズ対１０、１１によりレーザビームを縦方向のラインフォーカスとし、空間フィルタ１５においてビーム縦方向の変調成分を低減し、再び円形に戻して倍率Ｍにより口径変換して転送し、これと共に第２のシリンドリカルレンズ対１２、１３によりレーザビームを横方向のラインフォーカスとし、空間フィルタ１７においてビーム横方向の変調成分を低減し、再び円形に戻して倍率Ｍにより口径変換して転送する。
【００４８】
このようにして伝送されたＹＡＧのレーザビームは、増幅器２１において増幅出力され、この後、アフォーカル結像光学系２６により所望の空間に伝送される。なお、アフォーカル結像光学系２６の作用は、アフォーカル結像光学系２５と同様である。
【００４９】
このように上記第２の実施の形態においては、ＹＡＧレーザ装置にアフォーカル結像光学系２５、２６を適用したので、ＹＡＧレーザ発振器２０から出力されたレーザビームの空間強度分布を平坦化しかつ回折によるビームブレークアップを抑制して増幅器２１に伝送でき、さらに増幅器２１から増幅出力されたレーザビームの空間強度分布を平坦化しかつ回折によるビームブレークアップを抑制し、高品質のＹＡＧレーザを所望の空間に伝送できる。
【００５０】
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよい。
例えば、アフォーカル結像光学系を適用するレーザ装置は、ＹＡＧレーザ装置に限らず、ＣＯ2 、エキシマ等の気体レーザ装置、色素レーザ等の液体レーザ装置に適用してもよい。
【００５１】
又、多段増幅のレーザ装置における各増幅器間にそれぞれアフォーカル結像光学系を配置し、高品質のレーザビームを所望の空間に伝送するようにしてもよい。
【００５２】
さらに、多段増幅のレーザ装置に限らず、ＹＡＧレーザ発振器２０から出力されるレーザビーム光路上にアフォーカル結像光学系を配置し、ＹＡＧレーザ発振器２０から出力されたレーザビームの空間強度分布を平坦化しかつ回折によるビームブレークアップを抑制し、高品質のＹＡＧレーザとして所望の空間に伝送するに適用してもよい。
又、レーザ装置の適用に限らず、各種ビーム像の伝送にも適用できる。
【００５３】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、ビーム像の一断面方向とこの断面方向に対して垂直な他の断面方向とに対してそれぞれ独立に同一の物体面と結像面とに対して各結像条件を満足し、かつ同一光軸上で少なくとも一部を重複させて配置された各レンズ対を有する光学レンズ系と、この光学レンズ系における一断面方向と他の断面方向との各焦点面上にそれぞれ配置され、ビーム像中に存在する高空間周波数の変調成分を低減する各空間フィルタとを備えたことによって、高出力レーザビームに対する空間フィルタの耐久性を高め、かつ回折によるビームブレークアップの抑制を図ることができるアフォーカル結像光学系を提供できる。
【００５４】
又、本発明は、レーザビームの一断面方向とこの断面方向に対して垂直な他の断面方向とに対してそれぞれ独立に同一の物体面と結像面とに対して各結像条件を満足し、かつ同一光軸上で少なくとも一部を重複させて配置された各レンズ対を有する光学レンズ系と、この光学レンズ系における一断面方向と他の断面方向との各焦点面上に配置され、レーサビーム中に存在する高空間周波数の変調成分を低減する各空間フィルタとによりアフォーカル結像光学系を形成したことによって、高出力レーザビームに対する空間フィルタの耐久性を高め、かつ回折によるビームブレークアップの抑制を図ることができるアフォーカル結像光学系を用いてレーザビームを伝送し、高品質のレーザビームを出力できるレーザ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる第１の実施の形態のアフォーカル結像光学系の構成図。
【図２】アフォーカル結像光学系の具体的な配置の一例を示す図。
【図３】アフォーカル結像光学系の作用を示す模式図。
【図４】アフォーカル結像光学系を適用したＹＡＧレーザ装置の構成図。
【図５】従来の球面レンズを用いたアフォーカル結像光学系の構成図。
【図６】従来のシリンドリカルレンズを用いたアフォーカル結像光学系の構成図。
【符号の説明】
５…レーザビーム、
１０，１１…第１のシリンドリカルレンズ対、
１２，１３…第２のシリンドリカルレンズ対、
１５…第１の空間フィルタ、
１７…第２の空間フィルタ、
２０…ＹＡＧレーザ発振器、
２１…増幅器、
２２，２３…コントローラ、
２４…主コントローラ、
２５，２６…アフォーカル結像光学系。
【図１】
0003655086.tif 000005
【図２】
0003655086.tif 000006
【図３】
0003655086.tif 000007
【図４】
0003655086.tif 000008
【図５】
0003655086.tif 000009
【図６】
0003655086.tif 000010