(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央に開口部を有するペリクル枠の一方の端面にペリクル膜が張設され、他方の端面に粘着層が設けられ、前記粘着層上に少なくとも２枚以上のライナーが貼着され、前記少なくとも２枚以上のライナーは、前記粘着層から遠いライナーの一部がそのライナーよりも前記粘着層に近いライナーから露出して積層された構造を有し、前記粘着層に一番近いライナーは前記粘着層に直接貼着されると共に、前記粘着層に一番近いライナーよりも前記粘着層から遠いライナーも前記露出する一部において前記粘着層にそれぞれ直接貼着され、前記少なくとも２枚以上のライナーは前記粘着層からそれぞれ剥離可能であって、前記少なくとも２枚以上のライナーを前記粘着層からそれぞれ剥離することによって各ライナーが前記粘着層に貼着されていた部分の前記粘着層が露出することを特徴とするペリクル。
【請求項２】
中央に開口部を有するペリクル枠の一方の端面にペリクル膜が張設され、他方の端面に粘着層が設けられ、前記粘着層上に少なくとも２枚以上のライナーが貼着されたペリクルを準備し、
前記少なくとも２枚以上のライナーのうち少なくとも一つのライナーを前記ペリクル枠から除去して前記粘着層の一部を露出させ前記露出した粘着層を介して前記ペリクルをマスクに仮接着し、
残りのライナーのうち少なくとも一つのライナーを除去することにより前記ペリクルを前記マスクに本接着することを特徴とするペリクル付きマスクの製造方法。
【請求項３】
中央に開口部を有するペリクル枠の一方の端面にペリクル膜が張設され、他方の端面に粘着層が設けられ、メインライナーとサブライナーとが前記メインライナーの一部が前記サブライナーから露出して積層され、前記サブライナーは前記粘着層に直接貼着すると共に、前記メインライナーも前記サブライナーから露出する前記一部において前記粘着層に直接貼着し、かつ前記メインライナーおよび前記サブライナーは、前記粘着層から別々に剥離可能であるペリクルを準備し、  前記メインライナーを前記粘着層から剥離し、前記サブライナーから露出する前記粘着層によって前記ペリクルをマスクに仮接着し、
その後、前記仮接着した状態で前記サブライナーを前記粘着層から剥離し、前記ペリクルを前記マスクに前記粘着層によって本接着することを特徴とするペリクル付きマスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ペリクルおよびペリクルをマスクあるいはレチクル（以下、マスクおよびレチクルを総称して単に「マスク」という。）等の基板に貼付したペリクル付きマスクの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フォトリソグラフィ工程では、ガラス板表面にクロム等の蒸着膜で回路パターンを形成したフォトマスクやレチクルを使用し、レジストを塗布したシリコンウエハー上にその回路パターンを露光により転写する作業が行われる。この工程ではマスク上の回路パターンに塵埃等の異物が付着した状態で露光が行われると、ウエハー上にも上記異物が転写されて不良製品のウエハーとなってしまう。特に、露光をステッパーで行う場合には、ウエハー上に形成される全てのチップが不良となる可能性が高くなり、マスクの回路パターンへの異物の付着は大きな問題となる。そこで、露光用の光をよく通過させるペリクルをマスクに装着し、マスクに塵埃が付着するのを防止している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
通常、マスクの製造は以下のように行われている。
（１）マスクの洗浄が行われる工程
（２）マスクの検査を行う工程、すなわち、設計通りの回路ができているかどうかというほかに、異物の付着はないかを検査する工程、
（３）ペリクルを貼り付ける工程、
（４）ペリクル付きマスクを検査する工程、
（５）出荷する工程、
の５段階で行われる。通常、工程（２）においては、マスクが設計通りに出来ているのかどうか、異物が付着していないかどうかについて検査される。そして、検査に合格したものだけが工程（３）に進む。その後工程（４）においては、ペリクルを貼り付けた後に、マスクに欠陥が発生していないかどうか、異物が混入していないかどうか、について検査され、合格したものが出荷の工程に回される。一方、不合格品については、マスクからペリクルを剥離して、マスクは工程（１）に戻して再使用されるが、ペリクルは剥離時の力によって破損する場合があり廃棄されている。
【０００４】
しかしながら、検査にはコンピュータによるシステムが用いられるものの、最終的には人によって判断せざるを得ず、しかも、出荷までに同様の検査を２回も行うことは、工業的にコスト高となる。また、工程（４）の検査で不合格となったペリクル付きマスクは、ペリクルを剥離した後、マスクは洗浄工程（１）に戻されるがペリクルは再利用できないため廃棄せざるを得ないのが実状である。
【０００５】
特開平７−１２０９３１号公報には、ペリクルをレチクルに固定する粘着層に加熱および／または光照射により粘着力が減少する粘着剤を用い、ペリクルをこの種の粘着層でレチクルに接着し、この粘着層を加熱するか、これに光照射をすると粘着層の粘着力が低下するのでペリクルをレチクルから容易に剥離することができる旨が開示されている。しかしながら、この技術では、ペリクルをレチクルから剥離するためには、マスク付きペリクルの環境条件を変えるなどの操作を施すことが必要である。
【０００６】
本発明の主な目的は、検査回数を減ずることができ、かつ、ペリクルをマスクに貼付した後に、それを剥離して再び使用することができるペリクルおよびペリクル付きマスクの製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の態様によれば、
中央に開口部を有するペリクル枠の一方の端面にペリクル膜が張設され、他方の端面に粘着層が設けられ、前記粘着層上に少なくとも２枚以上のライナーが貼着され、前記少なくとも２枚以上のライナーは、前記粘着層から遠いライナーの一部がそのライナーよりも前記粘着層に近いライナーから露出して積層された構造を有し、前記粘着層に一番近いライナーは前記粘着層に直接貼着されると共に、前記粘着層に一番近いライナーよりも前記粘着層から遠いライナーも前記露出する一部において前記粘着層にそれぞれ直接貼着され、前記少なくとも２枚以上のライナーは前記粘着層からそれぞれ剥離可能であって、前記少なくとも２枚以上のライナーを前記粘着層からそれぞれ剥離することによって各ライナーが前記粘着層に貼着されていた部分の前記粘着層が露出することを特徴とするペリクルが提供される。
【０００９】
また、好ましくは、前記少なくとも２枚のライナーがメインライナーとサブライナーとからなり、前記メインライナーの一部が前記サブライナーから露出し、前記サブライナーは前記粘着層に直接貼着すると共に、前記メインライナーも前記サブライナーから露出する前記一部において前記粘着層に直接貼着し、かつ前記メインライナーおよび前記サブライナーは、前記粘着層からそれぞれ剥離可能である。
【００１０】
また、好ましくは、前記粘着層から遠いライナーの前記露出する一部が、前記開口部をそれぞれ囲繞する形状である。
【００１１】
また、好ましくは、前記少なくとも２枚以上のライナーは互いに大きさが異なる。
【００１２】
また、好ましくは、前記積層された少なくとも２枚以上のライナーは、前記粘着層に近づくに従って各ライナーの大きさが順次小さくなっている。
【００１４】
本発明の第２の態様によれば、
中央に開口部を有するペリクル枠の一方の端面にペリクル膜が張設され、他方の端面に粘着層が設けられ、前記粘着層上に少なくとも２枚以上のライナーが貼着されたペリクルを準備し、
前記少なくとも２枚以上のライナーのうち少なくとも一つのライナーを前記ペリクル枠から除去して前記粘着層の一部を露出させ前記露出した粘着層を介して前記ペリクルをマスクに仮接着し、
残りのライナーのうち少なくとも一つのライナーを除去することにより前記ペリクルを前記マスクに本接着することを特徴とするペリクル付きマスクの製造方法が提供される。
【００１５】
好ましくは、前記少なくとも２枚以上のライナーのうち一つのライナーを前記ペリクル枠から除去して前記粘着層の一部を露出させ前記露出した粘着層を介して前記ペリクルをマスクに仮接着し、
残りのライナーをすべて除去することにより前記ペリクルを前記マスクに本接着する。
【００１６】
また、好ましくは、前記仮接着した状態で前記マスクの検査を行い、検査が合格であれば、前記ペリクルを前記マスクに本接着してペリクル付きマスクを製造し、前記仮接着した状態で前記マスクの検査を行い、検査が不合格であれば、前記ペリクルを前記マスクから剥離し、その後、前記ペリクルを他のマスクに用いて、ペリクル付きマスクを製造する。
【００１７】
また、好ましくは、前記仮接着前に露出している前記粘着層の一部が、前記開口部の周囲を囲繞する形状である。
【００１８】
本発明の第３の態様によれば、
中央に開口部を有するペリクル枠の一方の端面にペリクル膜が張設され、他方の端面に粘着層が設けられ、メインライナーとサブライナーとが前記メインライナーの一部が前記サブライナーから露出して積層され、前記サブライナーは前記粘着層に直接貼着すると共に、前記メインライナーも前記サブライナーから露出する前記一部において前記粘着層に直接貼着し、かつ前記メインライナーおよび前記サブライナーは、前記粘着層から別々に剥離可能であるペリクルを準備し、
前記メインライナーを前記粘着層から剥離し、前記サブライナーから露出する前記粘着層によって前記ペリクルをマスクに仮接着し、
その後、前記仮接着した状態で前記サブライナーを前記粘着層から剥離し、前記ペリクルを前記マスクに前記粘着層によって本接着することを特徴とするペリクル付きマスクの製造方法が提供される。
【００１９】
好ましくは、前記仮接着した状態で前記マスクの検査を行い、検査が合格であれば、前記仮接着した状態で前記サブライナーを前記粘着層から剥離し、前記ペリクルを前記マスクに前記粘着層によって接着してペリクル付きマスクを製造し、前記仮接着した状態で前記マスクの検査を行い、検査が不合格であれば、前記ペリクルを前記マスクから剥離し、その後、前記ペリクルを他のマスクに用いて、ペリクル付きマスクを製造する。
【００２０】
また、好ましくは、前記メインライナーの前記サブライナーから露出する前記一部が、前記開口部の周囲を囲繞する形状である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の一実施の形態のペリクルを説明するための図であり、図１（Ａ）は、本発明の一実施の形態のペリクルの概略部分縦断面図、図１（Ｂ）は、本発明の一実施の形態のペリクルのライナーの概略平面図、図１（Ｃ）は、本発明の一実施の形態のペリクルのライナーの概略側面図である。図２は、本発明の一実施の形態および従来のペリクルのマスクからの剥離力を測定する方法を説明するための概略側面図である。図３は、従来のペリクルを説明するための図であり、図３（Ａ）は従来のペリクルの概略部分縦断面図、図３（Ｂ）は、従来のペリクルのライナーの概略平面図、図３（Ｃ）は、従来のペリクルのライナーの概略側面図である。図４は、本発明の他の実施の形態のペリクルライナーの概略斜視図である。
【００２２】
図１に示すように、本発明のペリクル１は、ペリクル枠１０の開口部１６を覆ってペリクル枠１０の端面１１にペリクル膜１２が張設される。本発明に用いられるペリクル枠１０は、ペリクル枠として通常用いられているもので良い。ペリクル枠１０としては、アルミニウム合金、ステンレス、ポリエチレン、アルマイト処理した黒色アルミニウム等からなるペリクル枠が挙げられる。また、これらのペリクル枠の表面全体を非晶系フッ素ポリマー等でコーティングしたものを用いても良い。これらの中でも好ましくは、アルミニウム合金、アルマイト処理した黒色アルミニウム等からなるペリクル枠が挙げられる。
【００２３】
本発明においてペリクル膜１２として用いられる薄膜は、ペリクル膜として通常用いられているもので良い。例えば、ペリクル膜１２として用いられる薄膜としては、ニトロセルロース、酢酸セルロース、非晶性フッ素系重合体等が挙げられる。薄膜がペリクル枠１０の一方の端面１１に張設されて、ペリクル膜１２が形成される。ペリクル膜１２は、例えば膜接着材によりペリクル枠１０に固定することができる。
【００２４】
本発明の一実施の形態のペリクル１においては、端面１１とは反対側の端面１３に粘着層１４が設けられ、粘着層１４には、サブライナー２２とメインライナー２１とを積層したライナーを、メインライナー２１がペリクル膜１２と反対側になるように積層する。すなわち、ペリクル膜１２／ペリクル枠１０／粘着層１４／サブライナー２２／メインライナー２１の順に設けられている。サブライナー２２はメインライナー２１よりも小さく、メインライナー２１の一部２３がサブライナー２２から露出して積層されている。サブライナー２２は直接粘着層１４に貼着されていると共に、メインライナー２１もサブライナー２２から露出した部分２３で直接粘着層１４に接着されている。このサブライナー２２から露出した部分２３は、ペリクル枠の開口部１６を囲繞する形状となっている。メインライナー２１の厚みは通常、５０〜３００μｍ、好ましくは５０〜１５０μｍである。また、サブライナー２２の厚みは、通常１０〜３００μｍであり、好ましくは１５〜１５０μｍである。なお、メインライナー２１にはタブ２１２が設けられ、サブライナー２２には、タブ２２１を設けると共に、切り込み２２２が設けられている。
【００２５】
このようにサブライナー２２とメインライナー２１とが積層されて接着層１４に貼着されたペリクル１をマスクに接着してペリクル付きマスクを製造するには、まず、メインライナー２１を接着層１４から剥離し、サブライナー２２から露出する粘着層１４によってペリクル１をマスクに仮接着する。仮接着した状態で検査を行い、検査が合格であれば、仮接着した状態でサブライナー２２を粘着層１４から剥離し、ペリクル１をマスクに粘着層１４によって本接着する。検査が不合格であれば、ペリクル１をマスクから剥離し、その後、ペリクル１を他のマスクに用いて、ペリクル付きマスクを製造する。
【００２６】
これにより、従来のように、ペリクルを貼り付ける前とペリクルを貼り付けた後との２回にわたってマスクの検査を行う必要がなくなって、ペリクルを貼り付けた後の検査だけでよくなり、また、検査で不合格となった場合でも、ペリクル１をマスクから剥離し、その後、ペリクル１を他のマスクに再利用して、ペリクル付きマスクを製造することができるようになった。
【００２７】
また、図４に示すように、サブライナーがサブライナー２２３およびサブライナー２２４のように分割されていても良い。この場合は、まずメインライナー２１を剥離した後は上記と同様な操作によりペリクル付きマスクを製造することができる。すなわち、サブライナー２２３を剥離し、露出する粘着層によってペリクルをマスクに仮接着し、仮接着した状態で検査を行い、検査が合格であればサブライナー２２４を剥離して本接着をすることによりペリクル付きマスクを製造する。
【００２８】
粘着層１４は、ペリクル膜１２が張設された端面１１とは反対側のペリクル枠３の端面１３に設けられている。粘着層１４はペリクル１をマスクに固着することができる手段であればよく、例えば粘着材料を塗布してペリクル枠１０に粘着層１４を形成してもよいし、また、粘着材料をポリエステル製フィルム等に塗布して粘着テープとしペリクル枠１０に備え付けて接着させても良い。粘着材料は、粘着性のある合成樹脂（以下「ベースポリマー」という）を含むものが好ましい。ベースポリマーとして好ましくは、エチレン酢酸ビニル共重合体、ブチルメタクリル樹脂、ポリスチレン、スチレン−ブチレン共重合体、ポリイソブチレン等が挙げられ、特に好ましくはスチレン−ブチレン共重合体等が挙げられる。
【００２９】
粘着手段を制電性材料からなるものとする場合は、制電性を有する粘着材料（以下「制電性接着材料」という）を用いればよく、例えば上記ベースポリマーを含む粘着材料に帯電防止剤を配合して制電性粘着材料とすること等が好ましい。ベースポリマーに配合する帯電防止剤としては、合成樹脂などの高分子化合物に混合するのに適した練込型帯電防止剤が好適であり、具体的には、カーボンブラック、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、Ｎ，Ｎ−ビス（２−ヒドロキシエチル）アルキルアミン、Ｎ−２−ヒドロキシエチル−Ｎ−２−ヒドロキシアルキルアミン、ポリオキシエチレンアルキルアミン、ポリオキシエチレンアルキルアミン脂肪酸エステル、アルキルジエタノールアミン、アルキルスルホン酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルホスフェート等が好ましく例示される。
【００３０】
また、一般的に親水性ポリマーは制電性を有しており、制電性を有する親水性ポリマーも上記練込型帯電防止剤に含まれる。さらに、親水性ポリマーの中には帯電防止効果の持続性が特に優れたものがあり、例えば、ポリエチレングリコール系ポリマー等が挙げられ、具体的に好ましくは、ポリエチレングリコール、ポリエチレングリコールメタクリレート共重合体、ポリ（エチレンオキシド・プロピレンオキシド）共重合体、ポリエチレングリコール系ポリエステルアミド、ポリ（エピクロルヒドリン・エチレンオキシド）共重合体等が挙げられる。
【００３１】
練込型帯電防止剤は２種以上を混合して用いてもよく、アルキルジエタノールアミンとグリセリン脂肪酸エステルとの混合物、アルキルベンゼンスルホン酸塩とポリエチレングリコール又は高級アルコールとの混合物は練込型帯電防止剤として特に好ましく用いることができる。
【００３２】
また、練込型帯電防止剤はベースポリマーの種類等に応じて選択してもよい。練込型帯電防止剤は、制電性粘着材料中の含有量が好ましくは０．０５〜１０重量％、特に好ましくは０．１〜５重量％となるように配合することが好適である。
【００３３】
【実施例】
（実施例１）
厚さ１００μｍ・幅２．６ｍｍのＰＥＴ樹脂からなるメインライナー２１と厚さ２５μｍ・幅１．０ｍｍのＰＥＴ樹脂からなるサブライナー２２を貼り合わせ、１２２ｘ１４９ｍｍの２層構造ライナーを作成した（図１（Ｂ）、（Ｃ）参照）。その後、直交ロボット（松下電器  ＦＲ−Ａ１０２Ｘ）を用いて、２００℃に溶解したＳＥＢＳ系粘着剤（旭化学合成  Ａ１３１）を高さ５．８ｍｍ・幅２ｍｍのアルミ枠１０の端面１３に塗布し、作成した２層構造ライナーのサブライナー面と粘着材層が向かい合う様に２層構造ライナーを粘着材１４の上に載せた。２層構造ライナーの上から、温度１００〜１１０度の板で押しつけ、２５℃の冷却板で強制冷却して、全体を６．３ｍｍの高さに成形した（図１（Ａ）参照）。
【００３４】
作業としては、まず、メインライナー２１のみをタブ２１２（図１（Ｂ）参照）を把持して剥離し、サブライナー２２を粘着材１４の表面に残した状態で粘着材露出部を制限しながら、４００ｇ・３０秒の力でペリクル１をマスクに貼り付けた（仮貼した）。ペリクル粘着材露出部とマスクの密着幅は、０．３〜０．５ｍｍであった。また、図２に示すように、ペリクル１の治具穴１５に一末端４２を差し込んで取り付けられた剥離治具４４の他の末端４３を５０ｍｍ／ｍｉｎの速度で押し下げながら、その時のペリクル１とマスク３０の剥離力をロードセル４１（オリエンテック製／ＢＴ−２Ｌ−Ｂ）で測定した。その結果、剥離力は３０〜１００ｇ程度であった。また、その時のペリクル１のマスク３０からの剥離状態は５枚中５枚とも粘着剤の形状は崩れる事なく、マスク３０を殆ど汚さないきれいな剥離ができた。またその剥離力は、剥離治具を用いなくても、人手により、十分剥離できるものであった。
【００３５】
（実施例２）
実施例１と同様にしてペリクル１をマスク３０に貼り付けた。露出した粘着剤とマスク間は全周にわたり、空気等が混入しない状態（完全密着）を確認した後、サブライナー２２のタブ２２１（図１（Ｂ）参照）を把持して、ライナー剥離方向３０〜６０度、マスク表面から１０〜２０度の傾斜を持たせ、アルミ枠外周に沿って、サブライナー２２を引き抜いた。その時、完全密着部の貼り付け状態に影響を及ぼす事なく、粘着剤に引っかかる事なく、５枚中５枚とも全周にわたりスムーズにサブライナー２２を引き抜くことができた。その後、３０ｋｇ・３分の荷重を全周にかけて、通常のペリクル貼り付け（本貼り）を実施した。その結果、現行ペリクルと変わらない貼り付け状態（全周完全密着）を確認した。
【００３６】
〈比較例〉
図３（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、厚さ１２５μｍ・幅２．６ｍｍの１層構造ライナー２０を用いて、ライナーが異なる以外は全て実施例１の通り、ＳＥＢＳ系粘着剤（旭化学合成  Ａ１３１）をアルミ枠１０に塗布、ライナー２０を貼り付け成形した（図３（Ａ）参照）。次に、ライナー２０のタブ２０１（図３（Ｂ）参照）を把持して剥離し、仮貼り、剥離力の測定を行った。この時のペリクル粘着材露出部とマスクの密着幅は、０．８〜０．９ｍｍで、マスクからの剥離力は２５０ｇ程度と大きく、２層構造ライナーを用いた場合と比較し、２．５〜８．３倍の値を示した。マスクからは、剥離治具なしではペリクル剥離は出来なかった。また、剥離治具を用いたペリクル剥離を試みたが、５枚中５枚とも剥離部分の粘着剤が伸びてその形状は崩れ、ペリクルが再使用できる状態での剥離は出来なかった。
【００３７】
以上の様に、１層構造ライナーでは仮貼りを行っても、マスクとペリクルの密着力が強く、きれいにペリクルを剥離する事は困難であるが、サブライナーとメインライナーの２層構造ライナーを用いる事により、粘着材の露出面積を制限した仮貼り、及び軽いペリクル剥離が可能となり、剥離後、ペリクルを再使用出来るようになった。
【００３８】
本発明のペリクルを用いると、２段階で貼り合わせることが出来、合格であった場合は、ペリクルとマスクを密着させたまま２段目のライナーのみを剥がすことができるので、異物混入の心配なく本貼りをすることが出来る。さらに、ペリクル付きマスクの異物等の検査において不合格であった場合には両者を剥がしてマスクとペリクルを再利用することが可能である。また、合格であった場合は、２段目のライナーをマスクと密着させたまま１段目のペリクルのみを剥がすことができるので、異物混入の心配なく本貼りをすることが出来る。さらに、本発明のペリクルにより、マスクのみの異物検査は不要となり、ペリクル付きマスクの製造工程において、異物検査を１回で済ませることが出来る。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、検査回数を減ずることができ、かつ、ペリクルをマスクに貼付した後に、それを剥離して再び使用することができるペリクルおよびペリクル付きマスクの製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のペリクルを説明するための図であり、図１（Ａ）は、本発明の一実施の形態のペリクルの概略部分縦断面図、図１（Ｂ）は、本発明の一実施の形態のペリクルのライナーの概略平面図、図１（Ｃ）は、本発明の一実施の形態のペリクルのライナーの概略側面図である。
【図２】本発明の一実施の形態および従来のペリクルのマスクからの剥離力を測定する方法を説明するための概略側面図である。
【図３】従来のペリクルを説明するための図であり、図３（Ａ）は従来のペリクルの概略部分縦断面図、図３（Ｂ）は、従来のペリクルのライナーの概略平面図、図３（Ｃ）は、従来のペリクルのライナーの概略側面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態のペリクルのライナーの概略斜視図である。
【符号の説明】
１…ペリクル
１０…ペリクル枠
１１、１３…端面
１２…ペリクル膜
１４…粘着層
１５…治具穴
１６…開口部
２０…ライナー
２１…メインライナー
２２、２２３、２２４…サブライナー
２０１、２１１、２２１…タブ
２２２…切り込み
３０…石英（マスク）
４１ロードセル
４２、４３…末端
４４…剥離治具
【図１】
0003667728.tif 000002
【図２】
0003667728.tif 000003
【図３】
0003667728.tif 000004
【図４】
0003667728.tif 000005