(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定空間に存在する気体をイオン化し、イオン化された気体をその質量電荷比によって分離して検出部に入射させて検出部に流れるイオン電流に従って測定空間の気体の種類及び量を分析する質量分析計のデータ処理方法であって、
検出部のイオン電流の信号を一次サンプリングするステップと、一次サンプリングされたデータを所定数の分割範囲に分割するステップと、各分割範囲からデータを二次サンプリングして質量スペクトルを表示するステップとを含む質量分析計のデータ処理方法において、
前記二次サンプリングは、抽出対象である分割範囲におけるデータの最大値を（Ｎ）ＭＡＸ、最小値を（Ｎ）ＭＩＮ、質量が増加する向き又は減少する向きの次の分割範囲におけるデータの最大値を（Ｎ＋１）ＭＡＸ、最小値を（Ｎ＋１）ＭＩＮとしたとき、（Ｎ）ＭＡＸ≧（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＭＡＸを当該抽出対象である分割範囲の二次サンプリングデータとし、（Ｎ）ＭＡＸ＜（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＭＩＮを二次サンプリングデータとして、質量が増加する向き又は減少する向きに各分割範囲から順次二次サンプリングデータを抽出するものであることを特徴とする質量分析計のデータ処理方法。
【請求項２】
測定空間に存在する気体をイオン化するイオン化部と、イオン化部でイオン化された気体をその質量電荷比によって分離する分離部と、分離部で分離された特定のイオンが入射する検出部と、検出部で検出されたイオン電流のデータを処理して所定の質量スペクトルを得るデータ処理部と、データ処理部で得られた質量スペクトルを表示する表示部とを備えた質量分析計において、
前記データ処理部は、検出部のイオン電流の信号を一次サンプリングするとともに、一次サンプリングされたデータを所定数の分割範囲に分割し、各分割範囲からデータを二次サンプリングして質量スペクトルを表示するよう構成されており、さらに、この二次サンプリングは、抽出対象である分割範囲におけるデータの最大値を（Ｎ）ＭＡＸ、最小値を（Ｎ）ＭＩＮ、質量が増加する向き又は減少する向きの次の分割範囲におけるデータの最大値を（Ｎ＋１）ＭＡＸ、最小値を（Ｎ＋１）ＭＩＮとしたとき、（Ｎ）ＭＡＸ≧（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＭＡＸを当該抽出対象である分割範囲の二次サンプリングデータとし、（Ｎ）ＭＡＸ＜（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＭＩＮを二次サンプリングデータとして、質量が増加する向き又は減少する向きに各分割範囲から順次二次サンプリングデータを抽出するものであることを特徴とする質量分析計。
【請求項３】
測定空間に存在する気体をイオン化し、イオン化された気体をその質量電荷比によって分離して検出部に入射させて検出部に流れるイオン電流に従って測定空間の気体の種類及び量を分析する質量分析計のデータ処理プログラムを記録した記録媒体であって、
当該データ処理プログラムは、検出部のイオン電流の信号を一次サンプリングするステップと、一次サンプリングされたデータを所定数の分割範囲に分割するステップと、各分割範囲からデータを二次サンプリングして質量スペクトルを表示するステップとを含み、
前記二次サンプリングは、抽出対象である分割範囲におけるデータの最大値を（Ｎ）ＭＡＸ、最小値を（Ｎ）ＭＩＮ、質量が増加する向き又は減少する向きの次の分割範囲におけるデータの最大値を（Ｎ＋１）ＭＡＸ、最小値を（Ｎ＋１）ＭＩＮとしたとき、（Ｎ）ＭＡＸ≧（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＭＡＸを当該抽出対象である分割範囲の二次サンプリングデータとし、（Ｎ）ＭＡＸ＜（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＭＩＮを二次サンプリングデータとして、質量が増加する向き又は減少する向きに各分割範囲から順次二次サンプリングデータを抽出するものであることを特徴とする記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願の発明は、真空容器内の分圧の測定等に使用される質量分析計に関し、特にそのデータ処理に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体プロセス等で重要な要素技術になっている真空技術の分野では、真空容器内の分圧の測定や残留ガスの分析等の目的で、質量分析計が盛んに使用されている。
質量分析計は、真空容器内の各元素のガスをイオン化し、それらイオンを質量電荷単比によって分離して、どの元素のガスがどの程度存在しているかを分析するものである。質量分析計は、質量分離の方式によって偏向型と非偏向型に分けられるが、近年、非偏向型の一種である四重極質量分析計が目覚ましい特性の進歩を遂げて多用されている。
【０００３】
図５は、従来の四重極質量分析計の概略図である。
図５に示す四重極質量分析計は、検出するガスをイオン化するイオン化部１と、イオン化部１によってイオン化されたイオンが入射する分離部２と、分離部２で分離された特定のイオンが入射する検出部３と、検出部３からの信号を処理して分析結果を表示するデータ処理部４とから主に構成されている。
【０００４】
イオン化部１は、熱電子を放出するフィラメント等によって構成されている。測定空間に存在する気体は、質量分析計が接続された場所まで移動して熱電子の照射を受けイオン化される。
【０００５】
分離部２は、四重極即ち四本の円柱状の電極２１，２２を図５に示すように上下左右に並べた構成である。そして、例えば上下の電極２１に−（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）の電圧を、左右の電極２２に＋（Ｕ＋Ｖｃｏｓωｔ）の電圧をそれぞれ印加するようにする。分離部２に入射したイオンの多くは、各電極２１，２２が作る電界によって振動しながらいずれかの電極２１，２２に引き寄せられ電極２１，２２に捉えられる。しかし、特定の質量電荷比を持ったイオンは、いずれの電極２１，２２にも捉えられず各電極２１，２２の間を通り抜け、検出部３に到達する。
【０００６】
どの程度の質量電荷比を持ったイオンが各電極２１，２２の間を通り抜けられるかは、詳しく調べられており、安定線図として知られている。図６は、四重極質量分析計の安定線図である。図６の安定線図の横軸は４ｅＶ／（ｍｒ０２ω２）、縦軸は８ｅＵ／（ｍｒ０２ω２  ）である。尚、ｍはイオンの質量、ｒ０
は図６に示す中心軸から電極までの最短距離である。
【０００７】
図６に「ｘ不安定」と表記した領域は、図５に示す左右の電極２２に捉えられる領域であり、「ｙ不安定」と表記した領域は、図５に示す上下の電極２１に捉えられる領域である。また、「ｘｙ不安定」はｘ方向にもｙ方向にも不安定であり、上下左右のいずれかの電極２１，２２に捉えられる領域である。そして、二つの線で囲まれた略三角形状の領域がｘｙ安定領域であり、いずれの電極２１，２２にも捉えられずに検出部３に達する領域である。
【０００８】
通常は、ｘｙ安定領域の頂点の部分において測定を行うようにする。この部分において安定な（各電極の間を通り抜けられる）イオンの質量電荷比は、
ｍ／（ｚｅ）＝４Ｖ／（０．７０６ｒ０２ω２  ）
で表される。尚、ｚは何価のイオンであるかを示す定数である。
上式から分かるように、質量電荷比は電圧Ｖと直線関係にあるので、各電極２１，２２に与える交番電界の周波数ωを一定にして電圧Ｖを掃引し、検出部がイオンを検出した際のＶの値によって質量電荷比を求め、どの種類のイオンであるかを知ることになる。
【０００９】
図７は、上述のような四重極質量分析計によって得られた質量スペクトルの図である。図７の横軸は原子質量単位（以下、ａｍｕ）で表したイオンの質量、縦軸は検出部で検出されたイオン強度を示す。
【００１０】
図８は、図５に示すデータ処理部４の構成の詳細を示す図である。
データ処理部４は、分析部を構成するイオン化部１、四重極及び検出部３等と信号のやり取りをしている。即ち、データ処理部４は、外部制御用パソコン４０が接続された主演算部４１と、イオン化部１を制御するイオン化部制御回路４２と、四重極を制御する直流電圧発生回路４３及び交流電圧発生回路４４と、検出部３が検出したイオン電流を増幅するイオン電流増幅回路４５と、四重極の動作をモニタする四重極監視モニタ回路４６と、イオン化部１の動作をモニタするイオン化部監視モニタ回路４７とから主に構成されている。
【００１１】
主演算部４１は、マイコン、ＲＯＭ、ＲＡＭ及びその他のデジタル回路から構成されている。主演算部４１は、外部制御用パソコン４０から送られたプログラムをダウンロードしてプログラムを実行し、検出部３から送られたデータを処理して外部制御用パソコン４０に表示用データとして送るようになっている。外部制御用パソコン４０は、ＣＲＴディスプレイ等の表示部を備え、表示用データに従って分析結果を表示する。
【００１２】
また、イオン化部１や四重極の動作条件は予め定められ、外部制御用パソコン４０から主演算部４１に送られる。主演算部４１は、イオン化部制御回路４２、直流電圧発生回路４３及び交流電圧発生回路４４にＤ／Ａコンバータ４８を介してそれぞれ制御信号を送り、イオン化部１や四重極の動作を設定する。
【００１３】
一方、検出部３で検出されたイオン電流は、イオン電流増幅回路４５で増幅され、Ａ／Ｄコンバータ４９でデジタル化されて主演算部４１に送られる。主演算部４１では、外部制御用パソコン４０からダウンロードされたプログラムに従い、Ａ／Ｄコンバータ４９からのデータを処理して質量分析データを算出し、表示用データとして外部制御用パソコン４０に送る。
【００１４】
また、四重極に与えられている電圧は四重極監視モニタ回路４６によって常時モニタされており、検出部３が検出したイオン電流のデータとともにＡ／Ｄコンバータ４９を介して主演算部４０に送られる。このデータは、質量分析データを算出する際のパラメーター（前述のＶ，Ｕ，ω）として利用される。また、イオン化部１の動作状態（フィラメントのエミッション電流、イオン加速用の制御電極の電圧）もイオン化部監視モニタ回路４７によって常時モニタされており、常に一定のイオン化効率になるようにフィードバック制御される。
【００１５】
さて、本願発明の特徴点は、データ処理部４におけるデータ処理にある。電圧Ｖを掃引しながら検出部３で得られるイオン電流の値はアナログ信号である。しかしながら、デジタル方式の表示部を用いる等のため、上述の通り、このアナログ信号はデジタル変換されてデータ処理される。即ち、データ処理部４は検出部３からのアナログ信号を所定周期でサンプリングし、その際の電圧Ｖ，角周波数ωに従って求めたａｍｕとともに表示部に送り、図７に示す質量スペクトルを表示部５に表示するようにする。
【００１６】
上記データ処理部４の構成において、検出部３が検出したアナログ信号をより正確に再現するためには、サンプリング周期を短くし、データ数を多くすることが好ましい。しかし一方、表示可能なデータの数は、表示部５の画面の画素数や表示用のプログラムソフトが定めている表示範囲等によって制限されている。従って、データ処理部４がサンプリングしたデータの全てが表示部に表示されることは少ない。
【００１７】
このような場合、サンプリングした全データと表示可能なデータとの比を求め、その比によってサンプリングデータをさらにサンプリングしてデータの数を減らして表示するようにしている。従来、このような二次サンプリングのアルゴリズムは、ピークトップ法という手法で行われる。具体的な手順は、以下の通りである。
▲１▼検出部３から送られるアナログデータを一次サンプリングし、得られた全てのデータをメモリ上にストアする。
▲２▼ストアされた全てのデータの数と表示可能なデータの数の比（縮小比）を計算する。
▲３▼縮小比から二次サンプリングするデータの数を計算する。
▲４▼計算された二次サンプリングのデータ数に従い、一次サンプリングデータを所定のデータ数ごとに分割する範囲（以下、分割範囲）を決定する。
▲５▼分割範囲に属する一次サンプリングデータのうちの最大値を求め、二次サンプリングデータとして抽出する。
▲６▼抽出された二次サンプリングデータを表示部に送って表示する。
▲７▼▲４▼から▲６▼を二次サンプリング数の分だけ繰り返す。
このようなサンプリングのアルゴリズムをまとめて表示すると、図９に示すようなものとなる。図９は、従来のデータ処理方法のアルゴリズムを示した図である。
【００１８】
このようにしてサンプリングして得られる質量スペクトルの波形の例を図１０及び図１１に示す。図１０は、１ａｍｕ当たり１８ポイント（１８のデータ数）で表示した３ａｍｕ分の質量スペクトルの波形を示しており、検出部３から送られるアナログデータを一次サンプリングして得られる波形に相当している。また、図１１は、図１０に示すデータを二次サンプリングし、データ数を１／３に減らし１ａｍｕ当たり６ポイントにした質量スペクトルの波形を示しており、実際に表示部に表示される波形を相当している。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のアルゴリズムでは以下のような問題点があった。
まず、第１の問題点は、測定のＳ／Ｎ比の問題である。即ち、分割範囲で最大値をとるデータを単純に抽出するピークトップ法による場合、実際に表示部に表示される波形は図１１に示すように最下点が横軸に達せず、ベースラインが持ち上がってしまう。質量分析計では、このベースラインの下側はノイズ信号とみなされ、従って、従来の質量分析計では見かけ上Ｓ／Ｎ比を悪化させてしまっている。
【００２０】
第２の問題点は、測定の分解能の問題である。即ち、図１０に示す１次サンプリングの波形では、（ｘ）ａｍｕのデータと（ｘ＋１）ａｍｕのデータとの境界部分は、データの谷の部分がベースラインに達している。しかしながら、図１１に示す表示部上の出力では、（ｘ）ａｍｕと（ｘ＋１）ａｍｕの間の谷の部分がベースラインに達していない。これは、質量分析計の性能パラメータである分解能（隣り合うピーク波形の分かれ具合）を忠実に再現していないことになる。
【００２１】
このような問題は、分割範囲内で常に最大値を抽出するピークトップ法をとることと、前後の分割範囲にデータの関連性が無いことが原因している。
これらの問題から、従来の質量分析計では、質量分析計本来の性能とは別に、データ処理上の問題から、Ｓ／Ｎ比の悪化や分解能の劣化等の課題を有していた。本願の発明は、このような課題を解決するためになされたものである。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本願の請求項１の発明は、測定空間に存在する気体をイオン化し、イオン化された気体をその質量電荷比によって分離して検出部に入射させて検出部に流れるイオン電流に従って測定空間の気体の種類及び量を分析する質量分析計のデータ処理方法であって、
検出部のイオン電流の信号を一次サンプリングするステップと、一次サンプリングされたデータを所定数の分割範囲に分割するステップと、各分割範囲からデータを二次サンプリングして質量スペクトルを表示するステップとを含む質量分析計のデータ処理方法において、
前記二次サンプリングは、抽出対象である分割範囲におけるデータの最大値を（Ｎ）ＭＡＸ、最小値を（Ｎ）ＭＩＮ、質量が増加する向き又は減少する向きの次の分割範囲におけるデータの最大値を（Ｎ＋１）ＭＡＸ、最小値を（Ｎ＋１）ＭＩＮとしたとき、（Ｎ）ＭＡＸ≧（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＭＡＸを当該抽出対象である分割範囲の二次サンプリングデータとし、（Ｎ）ＭＡＸ＜（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＭＩＮを二次サンプリングデータとして、質量が増加する向き又は減少する向きに各分割範囲から順次二次サンプリングデータを抽出するものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項２記載の発明は、測定空間に存在する気体をイオン化するイオン化部と、イオン化部でイオン化された気体をその質量電荷比によって分離する分離部と、分離部で分離された特定のイオンが入射する検出部と、検出部で検出されたイオン電流のデータを処理して所定の質量スペクトルを得るデータ処理部と、データ処理部で得られた質量スペクトルを表示する表示部とを備えた質量分析計において、
前記データ処理部は、検出部のイオン電流の信号を一次サンプリングするとともに、一次サンプリングされたデータを所定数の分割範囲に分割し、各分割範囲からデータを二次サンプリングして質量スペクトルを表示するよう構成されており、さらに、この二次サンプリングは、抽出対象である分割範囲におけるデータの最大値を（Ｎ）ＭＡＸ、最小値を（Ｎ）ＭＩＮ、質量が増加する向き又は減少する向きの次の分割範囲におけるデータの最大値を（Ｎ＋１）ＭＡＸ、最小値を（Ｎ＋１）ＭＩＮとしたとき、（Ｎ）ＭＡＸ≧（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＭＡＸを当該抽出対象である分割範囲の二次サンプリングデータとし、（Ｎ）ＭＡＸ＜（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＭＩＮを二次サンプリングデータとして、質量が増加する向き又は減少する向きに各分割範囲から順次二次サンプリングデータを抽出するものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項３記載の発明は、測定空間に存在する気体をイオン化し、イオン化された気体をその質量電荷比によって分離して検出部に入射させて検出部に流れるイオン電流に従って測定空間の気体の種類及び量を分析する質量分析計のデータ処理プログラムを記録した記録媒体であって、
当該データ処理プログラムは、検出部のイオン電流の信号を一次サンプリングするステップと、一次サンプリングされたデータを所定数の分割範囲に分割するステップと、各分割範囲からデータを二次サンプリングして質量スペクトルを表示するステップとを含み、
前記二次サンプリングは、抽出対象である分割範囲におけるデータの最大値を（Ｎ）ＭＡＸ、最小値を（Ｎ）ＭＩＮ、質量が増加する向き又は減少する向きの次の分割範囲におけるデータの最大値を（Ｎ＋１）ＭＡＸ、最小値を（Ｎ＋１）ＭＩＮとしたとき、（Ｎ）ＭＡＸ≧（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＭＡＸを当該抽出対象である分割範囲の二次サンプリングデータとし、（Ｎ）ＭＡＸ＜（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＭＩＮを二次サンプリングデータとして、質量が増加する向き又は減少する向きに各分割範囲から順次二次サンプリングデータを抽出するものであることを特徴とする記録媒体。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の実施の形態について説明する。
まず、データ処理方法の発明の実施形態について説明する。
本実施形態のデータ処理方法の特徴点は、分割範囲ごとのデータの最大値及び最小値に着目し、さらに前後の分割範囲との関連性を考慮に入れたことである。具体的には、次のような手順で行われる。
▲１▼検出部から送られるアナログデータを一次サンプリングし、得られた全てのデータをメモリ上にストアする。
▲２▼ストアされた全てのデータの数と表示可能なデータの数の比（縮小比）を計算する。
▲３▼縮小比から二次サンプリングするデータの数を計算する。
▲４▼計算された二次サンプリングのデータ数に従い、一次サンプリングデータを所定のデータ数ごとに分割する範囲（以下、分割範囲）を決定する。
▲５▼抽出対象となっている一つの分割範囲（以下、抽出対象範囲）に属する一次サンプリングデータのうちの最大値及び最小値を求める。
▲６▼求めた最大値及び最小値について、抽出対象範囲に対して質量が増加する向き又は減少する向きの次の分割範囲（以下参照範囲）における最大値及び最小値との関係（以下、二次サンプリング条件）を判断し、抽出対象範囲の最大値又は最小値を二次サンプリングデータとして抽出する。
▲７▼抽出された二次サンプリングデータを表示部に送って表示する。
▲８▼▲５▼から▲７▼を二次サンプリング数の分だけ繰り返す。
上記手順において、質量が増加する向きの次の分割範囲を参照範囲とするのか、減少する向きの次に分割範囲を参照範囲とするのかは予め決定され、全ての二次サンプリングデータの抽出において同じ向きとされる。
【００２４】
次に、上記▲６▼における二次サンプリング条件について、図１を使用して説明する。図１は、二次サンプリング条件についての説明図である。
本実施形態では、抽出対象範囲の最大値及び最小値と参照範囲の最大値及び最小値との関係について、以下の表１に示す６つの場合に分けて条件を設定する。
【表１】
0003706711.tif 000002
表１において、（Ｎ）ＭＡＸとはＮ番目の分割範囲における最大値、（Ｎ）ＭＩＮとはＮ番目の分割範囲における最小値を意味し、（Ｎ＋１）ＭＡＸとはＮ＋１番目の分割範囲における最大値、（Ｎ＋１）ＭＩＮとはＮ＋１番目の分割範囲における最小値を意味する。
【００２５】
本実施形態の二次サンプリング条件では、ケース１〜３では（Ｎ）ＭＩＮを二次サンプリングデータとして抽出し、ケース４〜６では（Ｎ）ＭＡＸを二次サンプリングデータとして抽出する。このような二次サンプリング条件は、以下のように単純化できる。
（１）（Ｎ）ＭＡＸ≧（Ｎ＋１）ＭＡＸならば最大値を抽出する。
（２）（Ｎ）ＭＡＸ＜（Ｎ＋１）ＭＡＸならば最小値を抽出する。
【００２６】
図２は、上述した本実施形態に係るデータ処理方法の手順をまとめたフローチャートである。また、図３は、図１のフローチャート中の破線で囲まれた部分の詳細を示したフローチャートである。
図２に示すフローチャートに従い、二次サンプリングの手順を実際のプログラムに即してより詳細に説明する。
【００２７】
まず、一次サンプリングされたデータは、所定の分割範囲に分割されてメモリにストアされている。そして、各分割範囲には質量が増加する順に０、１、２、……の番号が付されている。
▲１▼変数として、Ｎ、（Ｎ）ＭＡＸ、（Ｎ）ＭＩＮ、（Ｎ＋１）ＭＡＸ、（Ｎ＋１）ＭＩＮを宣言し、それぞれの変数の初期値に０を与える。
▲２▼分割範囲ごとに分割された一次サンプリングデータが保存されているファイルをオープンする。
▲３▼Ｎ番目の分割範囲の一次サンプリングデータを読み込み、逐次比較法によって最大値を求め、（Ｎ）ＭＡＸに代入する。
▲４▼同様に逐次比較法によって最小値を求め、（Ｎ）ＭＩＮに代入する。
▲５▼Ｎ＋１番目の分割範囲の一次サンプリングデータを読み込み、逐次比較法によって最大値を求め、（Ｎ＋１）ＭＡＸに代入する。
▲６▼同様に逐次比較法によって最小値を求め、（Ｎ＋１）ＭＩＮに代入する。
▲７▼Ｎ番目の分割範囲における二次サンプリングデータ（Ｎ）ＤＡＴＡを、以下のようにして判断する。
（Ｎ）ＭＡＸ≧（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＤＡＴＡ＝Ｎ（ＭＡＸ）
（Ｎ）ＭＡＸ＜（Ｎ＋１）ＭＡＸならば（Ｎ）ＤＡＴＡ＝Ｎ（ＭＩＮ）
▲８▼（Ｎ）ＤＡＴＡを表示部に送って表示する。
▲９▼Ｎが（二次サンプリングデータ数−１）ならば処理を終了する。そうでないならば、Ｎ（ＭＡＸ）＝Ｎ＋１（ＭＡＸ）、及び、（Ｎ）ＭＩＮ＝（Ｎ＋１）ＭＩＮを実行した上で、Ｎ＝Ｎ＋１とし、▲５▼に戻って処理を繰り返す。
【００２８】
尚、一番最後の分割範囲については参照範囲が存在しないので、常に最大値をサンプリングするようプログラミングされる。
以上の例は、質量が増加する向きに順次二次サンプリングデータを抽出するものであったが、質量が減少する向きに抽出するようにしてもよい。この場合には、各分割範囲に質量が最も大きいものから減少する順に０、１、２、……と番号を付しておき、同様にプログラムを実行するようにする。
【００２９】
図４は、上記実施形態のデータ処理方法によって得られた質量スペクトルを示す図である。一次サンプリングデータとしては、図１１に示すものを使用しており、１ａｍｕ当たり１８ポイントの一次サンプリングデータを使用している。
図１２と図４とを比較すると分かる通り、本実施形態のデータ処理方法によれば、ベースラインの上昇は見られず、また、谷の部分も横軸に達していて分解能も十分再現されている。この効果は、上述したように、隣接する分割範囲のデータとの関係を考慮に入れて最大値を取るか最小値を取るかを判断している構成によって得られるものである。
【００３０】
次に、質量分析計の発明の実施形態について説明する。
実施形態に係る質量分析計のハードウェア上の構成は図５及び図８に示すものとほぼ同様である。実施形態の質量分析計は、データ処理部４が上記実施形態のデータ処理方法を行うよう構成されている。即ち、データ処理部４を構成する外部制御用パソコン４０を経由して、主演算部４１内のＲＯＭ又はＲＡＭには、上記データ処理方法のプログラムが記憶されている。そして、このプログラムを読み出して主演算部４１のマイコンが質量分析データを算出するようになっている。
【００３１】
上記以外の質量分析計の構成は、図１に示す従来のものと基本的に同様である。尚、外部制御用パソコン４０が備える表示部としては、ＣＲＴディスプレイや液晶ディスプレイ等の表示装置の他、プリンターのような紙に表示するものも含まれる。
また、記録媒体の発明の実施形態として、上述したプログラムを記録したフレキシブルディスクが上記質量分析計に使用される。フレキシブルディスクは、外部制御用パソコン４０のディスクドライブに装着されてプログラムが読み出され、主演算部に送られるようになっている。
【００３２】
尚、記録媒体の発明の実施形態としては、ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリ、ＣＲ−ＲＯＭや光磁気ディスク等の記録ディスク等でも良いことは勿論である。
また、以上の説明では、質量分析計の例として四重極質量分析計を採り挙げたが、磁場偏向型の質量分析計やオメガトロン等の他の非偏向型の質量分析計についても、本願発明の内容は同様に適用可能である。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明した通り、本願発明によれば、Ｓ／Ｎ比の悪化や分解能の劣化等を招くことない高性能の測定が行える効果がある。特に、挿引範囲の広くて一次サンプリング数の多い測定や、ウインドウ形式のデータ表示のように表示図形の拡大縮小を任意に行うシステムの場合に大きな効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】二次サンプリング条件についての説明図である。
【図２】実施形態に係るデータ処理方法の手順をまとめたフローチャートである。
【図３】図１のフローチャート中の破線で囲まれた部分の詳細を示したフローチャート
である。
【図４】実施形態のデータ処理方法によって得られた質量スペクトルを示す図である。
【図５】従来の四重極質量分析計の概略図である。
【図６】四重極質量分析計の安定線図である。
【図７】四重極質量分析計によって得られた質量スペクトルの図である。
【図８】図６に示すデータ処理部４の構成の詳細を示す図である。
【図９】従来のデータ処理方法のアルゴリズムを示した図である。
【図１０】従来のデータ処理方法において一次サンプリングされたデータによる質量スペクトルの波形の図であり、１ａｍｕ当たり１８ポイント（１８のデータ数）で表示した３ａｍｕ分の質量スペクトルの波形の図である。
【図１１】図１０に示すデータを二次サンプリングし、データ数を１／３に減らして１ａｍｕ当たり６ポイントにした質量スペクトルの波形の図である。
【符号の説明】
１  イオン化部
２  分離部
３  検出部
４  データ処理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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