(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電体層と複数の内部電極層とを交互に積層してなり、前記内部電極層が交互に第１内部電極層または第２内部電極層とされ、該第１内部電極層、第２内部電極層の端部がそれぞれ異なる側面に露出する多角柱状のアクチュエータ本体と、該アクチュエータ本体の第１または第２内部電極層の端部が露出した側面にそれぞれ形成された外部電極とを具備するとともに、前記アクチュエータ本体の側面に露出した第１または第２内部電極層の端部間に、該第１または第２内部電極層間に位置する第２または第１内部電極層の端部が底面に露出する凹溝を形成し、該凹溝に絶縁体を充填してなる積層型圧電アクチュエータにおいて、前記アクチュエータ本体が、四角柱の側面角部を面取りして形成された、他の側面よりも面積が狭い２つの外部電極形成用側面を有するとともに、前記凹溝が前記圧電体層の積層方向に平行な平坦状底面を有しており、該平坦状底面の積層方向における長さをＬ、前記内部電極層の厚みをｔ１、前記圧電体層の厚みをｔ２とした時、０．２≦（Ｌ−ｔ１）／ｔ２＜１の関係を満足することを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
【請求項２】
圧電体層の分極方向誘電率ε１と絶縁体の誘電率ε２との比が、ε２／ε１＜１の関係を満足することを特徴とする請求項１記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項３】
凹溝の底面隅部の曲率半径Ｒが、０．０５ｔ２≦Ｒ≦０．３ｔ２の関係を満足することを特徴とする請求項１又は２記載の積層型圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層型圧電アクチュエータに係わり、例えば、光学装置等の精密位置決め装置や振動防止用の駆動素子、自動車エンジンの燃料噴射用の駆動素子等に使用される積層型圧電アクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来技術】
従来から、圧電体層と内部電極層を交互に複数枚積層し、各圧電体層を挟む電極間に電圧を印加し、圧電体層に生じる逆圧電効果を利用して、大きな変位を得る積層型圧電アクチュエータが提案され、アクチュエータとして利用されている。
【０００３】
積層型圧電アクチュエータを作製する方法としては、同時焼成による方法がある。この同時焼成による方法では、圧電体層の厚みを薄くすることが比較的容易であり、低電圧で印加電界を高くできるため、大きな変位量が得られる。
【０００４】
このような積層型圧電アクチュエータの構造としては、内部電極層が圧電体層の面積より小さい、部分電極構造の積層型圧電アクチュエータが知られている。
【０００５】
図７は、このような部分電極構造の積層型圧電アクチュエータを示すもので、複数の圧電体層１と内部電極層２とを交互に積層してアクチュエータ本体３が形成され、その側面には一対の外部電極４が形成されている。
【０００６】
即ち、内部電極層２は交互に第１内部電極層２ａまたは第２内部電極層２ｂとされ、該第１内部電極層２ａ、第２内部電極層２ｂの端部がそれぞれアクチュエータ本体３の異なる側面に露出しており、第１内部電極層２ａおよび第２内部電極層２ｂの端部が露出した側面には、それぞれ外部電極４ａ、４ｂが形成され、電気的に接続されている。圧電体層１は、それぞれ図示の矢印の方向に分極処理されている。
【０００７】
また、他の積層型圧電アクチュエータとして、例えば、特開平１−１４７８８０号公報に開示されたものがある。この積層型圧電アクチュエータでは、圧電アクチュエータ本体の異なる側面に外部電極を形成して構成されている。
【０００８】
アクチュエータ本体は、複数の圧電体層と複数の内部電極層とを交互に積層して構成され、内部電極層が交互に第１内部電極層または第２内部電極層とされ、第１内部電極層、第２内部電極層の端部が異なる側面に露出し、外部電極とそれぞれ接続されている。
【０００９】
そして、アクチュエータ本体の側面に露出した内部電極層の端部間に凹溝が形成されており、該凹溝には絶縁体が充填されている。この凹溝の断面形状は、矩形又は、底部が円弧状など形状は問わないとされている。
【００１０】
このような積層型圧電アクチュエータでは、凹溝に絶縁体を充填することにより、アクチュエータ本体の側面に露出した内部電極層と、凹溝の底面に露出した内部電極層との導通を防止することができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図７に示したような部分電極構造の積層型圧電アクチュエータにおいては、第１内部電極層２ａと第２内部電極層２ｂが相互に重なり合う部分（圧電体層１が内部電極層２により挟持された部分）では逆圧電効果によって歪みが発生するが、アクチュエータ本体の側面近傍では、圧電体層１が内部電極層２により挟持されていないため逆圧電効果が発生せず、積層型圧電アクチュエータ全体としての変位量が低いという問題があった。
【００１２】
さらに、同一圧電体層１中にて、逆圧電効果によって発生する歪みが不均一になることより、内部電極層２の先端付近に大きな応力集中が発生する。このような応力集中により、内部電極層２先端から圧電体層１にクラックが進展して、圧電体層１の破壊に至るという問題があった（例えば、Destruction Mechanisms in Ceramic Multilayer Actuators(Japan Journal Appl. Physics Vol.33(1994) pp.3091-3094) 。
【００１３】
また、特開平１−１４７８８０号公報に開示された圧電アクチュエータでは、溝の形状、寸法の効果により生じる圧電体層内での電界集中、および応力集中が定量的に測定または評価されていなかったため、溝の形状、寸法が最適なものとされておらず、電界集中に起因する応力集中、および形状に起因する応力集中を充分に低く抑えることができない。
【００１４】
特に、外部電極と凹溝内の絶縁体で絶縁されている内部電極層先端付近では電界分布が大きく集中し、圧電体層や圧電体層と内部電極層との界面で応力集中が発生し機械的破壊が生じたり、凹溝内の絶縁体が絶縁破壊し、寿命が短くなるという問題があった。
【００１５】
本発明は、絶縁破壊、機械的破壊が生じにくく高信頼性で寿命が長い、積層型圧電アクチュエータを提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の積層型圧電アクチュエータでは、複数の圧電体層と複数の内部電極層とを交互に積層してなり、前記内部電極層が交互に第１内部電極層または第２内部電極層とされ、該第１内部電極層、第２内部電極層の端部がそれぞれ異なる側面に露出する多角柱状のアクチュエータ本体と、該アクチュエータ本体の第１または第２内部電極層の端部が露出した側面にそれぞれ形成された外部電極とを具備するとともに、前記アクチュエータ本体の側面に露出した第１または第２内部電極層の端部間に、該第１または第２内部電極層間に位置する第２または第１内部電極層の端部が底面に露出する凹溝を形成し、該凹溝に絶縁体を充填してなる積層型圧電アクチュエータにおいて、前記アクチュエータ本体が、四角柱の側面角部を面取りして形成された、他の側面よりも面積が狭い２つの外部電極形成用側面を有するとともに、前記凹溝が前記圧電体層の積層方向に平行な平坦状底面を有しており、該平坦状底面の積層方向における長さをＬ、前記内部電極層の厚みをｔ１、前記圧電体層の厚みをｔ２とした時、０．２≦（Ｌ−ｔ１）／ｔ２＜１の関係を満足するものである。
【００１７】
このような構成を採用することにより、凹溝内の絶縁体で外部電極と絶縁された内部電極層の先端付近の圧電体層内での電界集中の度合いが低下し、その圧電体層内および凹溝内の絶縁体の絶縁破壊を防止できるとともに、内部電極層先端付近での電界集中に起因する圧電体層および内部電極層における応力集中を抑制することができ、機械的破壊を防止して積層型圧電アクチュエータの信頼性を高め、長寿命化を図ることができる。
また、アクチュエータ本体が、四角柱の側面角部を面取りして形成された、他の側面よりも面積が狭い２つの外部電極形成用側面を有するため、一対の外部電極が形成される部分を、四角柱状のアクチュエータ本体の側面の角部を面取りすることにより形成でき、その面に凹溝を形成することにより、外部電極の形成面積に応じて外部電極形成用側面の面積を増減することができるとともに、他の側面の面積より充分に小さい最小限の外部電極形成用側面とすることができ、加工が容易になり加工コストが低減されるのみならず、内部電極層先端付近で発生する応力集中を低下することができ、寿命の向上に寄与する。
【００１８】
ここで、圧電体層の分極方向誘電率ε1 と絶縁体の誘電率ε2 との比が、ε2 ／ε1 ＜１の関係を満足することが望ましい。このような構成を採用することにより、凹溝内の絶縁体で外部電極と絶縁された内部電極層先端付近での電界集中をさらに抑制できる。
【００２０】
さらに、凹溝の底面隅部の曲率半径Ｒが、０．０５ｔ2 ≦Ｒ≦０．３ｔ2 の関係を満足することが望ましい。このような構成を採用することにより、凹溝の底面隅部付近での電界集中を低くでき、圧電体層の絶縁破壊を防止でき、凹溝の平坦状底面の長さも充分に確保できる。
【００２１】
また、凹溝に充填される絶縁体の縦弾性率Ｙ2 が、圧電体層の分極方向縦弾性率Ｙ1 に対して、Ｙ2 ／Ｙ1 ＜１であることが望ましい。このような構成を採用することにより、内部電極層先端付近および凹溝の底面隅部付近での応力集中を更に抑制できる。
【００２２】
凹溝の深さＤを圧電体層の厚みｔ2 よりも深く形成すれば、内部電極層先端と外部電極との間隔が隣り合う内部電極層の間隔よりも大きくなり、電気的絶縁性を向上することができ、絶縁体の絶縁破壊を防止できる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の積層型圧電アクチュエータを示すもので、（ａ）が平面図を示し、（ｂ）が（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面の一部を示す図である。
【００２４】
図において、符号１１は六角柱状のアクチュエータ本体を示すもので、このアクチュエータ本体１１は、複数の圧電体層１３と複数の内部電極層１５を交互に積層して構成されている。
【００２５】
内部電極層１５の端部はアクチュエータ本体１１の六側面に露出しており、また、内部電極層１５の上下両側に位置する圧電体層１３は、向きが反対となるように分極処理され、図２（ｂ）に示す矢印の方向に分極処理されている。
【００２６】
内部電極層１５は積層順に交互に第１内部電極層１５ａまたは第２内部電極層１５ｂとされ、第１内部電極層１５ａと第２内部電極層１５ｂに異なる電位を与えることによって、圧電体層１３に厚さ方向の電界を印加できる。
【００２７】
アクチュエータ本体１１は、四角柱の２つの側面角部を面取りして、他の側面よりも面積が狭い２つの対向する外部電極形成用側面１６ａ、１６ｂを有する六角柱とされており、これらの外部電極形成用側面１６ａ、１６ｂに外部電極１７ａ、１７ｂがそれぞれ形成されている。外部電極１７ａには第１内部電極層１５ａの端部が接続され、第２内部電極層１５ｂの端部とは絶縁され、また外部電極１７ｂには第２内部電極層１５ｂが接続され、第１内部電極層１５ａの端部とは絶縁されている。
【００２８】
即ち、第１内部電極層１５ａの端部は外部電極形成用側面１６ａに露出し、第２内部電極層１５ｂの端部は、凹溝１９内に充填された絶縁体２１により、外部電極形成用側面１６ａには露出していない。このため、外部電極形成用側面１６ａに外部電極１７ａを形成した際には、第１内部電極層１５ａの端部のみが外部電極１７ａと接続されることになる。
【００２９】
一方、第２内部電極層１５ｂの端部は外部電極形成用側面１６ｂに露出し、第１内部電極層１５ａの端部は、凹溝１９内に充填された絶縁体２１により、外部電極形成用側面１６ｂには露出していない。このため、外部電極形成用側面１６ｂに外部電極１７ｂを形成した際には、第２内部電極層１５ｂの端部のみが外部電極１７ｂと接続されることになる。
【００３０】
即ち、外部電極形成用側面１６ａに形成された凹溝１９の平坦状底面２３の中央部には、第２内部電極層１５ｂの端部が露出し、外部電極１７ａとは絶縁体２１により絶縁され、外部電極形成用側面１６ｂに形成された凹溝１９の平坦状底面２３の中央部には、第１内部電極層１５ａの端部が露出し、外部電極１７ｂとは絶縁体２１を介して絶縁されている。
【００３１】
そして、本発明の積層型圧電アクチュエータでは、図２に示すように、凹溝１９が圧電体層１３の積層方向に平行な平坦状底面２３を有しており、平坦状底面２３の積層方向における長さをＬ、内部電極層１５の厚みをｔ1 、圧電体層１３の厚みをｔ2 とした時、０．２≦（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 ＜１を満足している。
【００３２】
このように０．２≦（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 ＜１を満足せしめたのは、（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 の値が０．２よりも小さい場合には、凹溝１９の平坦状底面２３に露出する内部電極層１５先端部近傍の圧電体層１３に応力が集中し、この部分にクラック等が入り、破損し易くなるからである。
【００３３】
一方、凹溝１９の開口部の積層方向長さＫと内部電極層の厚さｔ1 の差Ｋ−ｔ1 が圧電体層１３の厚さｔ2 以上であると、圧電体層１３の側面において、凹溝加工により除去される部分の方が残される部分より大きくなり、強度が低くなり、凹溝加工の際に破壊し易くなるため、Ｋ−ｔ1 ＜ｔ2 である必要がある。従って、凹溝１９の平坦状底面２３の長さＬは凹溝１９の開口部の積層方向の長さＫ以下であるので、Ｌ−ｔ1 ＜ｔ2 となる。
【００３４】
（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 の値は、応力集中を抑制するという点から、０．４以上、特には０．６以上であることが望ましい。
【００３５】
また、圧電体層１３の分極方向の誘電率ε1 と絶縁体２１の誘電率ε2 との比は、ε2 ／ε1 ＜１とされており、これにより、凹溝１９の平坦状底面２３に露出した内部電極層先端付近の圧電体層１３における集中電界値を低下させることができる。内部電極層の電界集中を防止するという点から、ε2 ／ε1 ≦０．１であることが望ましい。
【００３６】
さらに、凹溝１９の底面隅部の曲率半径Ｒは、０．０５ｔ2 ≦Ｒ≦０．３ｔ2 を満足することが望ましい。これは、この範囲では、圧電体層に凹溝の底面隅部からクラックが発生し難くなり、また凹溝の平坦状底面２３の長さＬを０．４ｔ2 以上にできるからである。
【００３７】
絶縁体２１は、例えばシリコンゴムなどの弾性部材からなり、絶縁体２１の剛性による圧電体層１３の変形の拘束を小さくするためには、この絶縁体２１の縦弾性率Ｙ2 は圧電体層１３の縦弾性率Ｙ1 より極めて低いものがよく、Ｙ2 ／Ｙ1 ＜１、特には、Ｙ2 ／Ｙ1 ≦０．１となることが望ましい。
【００３８】
このような積層型圧電アクチュエータは、例えば、Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3 等の圧電セラミックスの仮焼粉末と、所定のバインダーと、可塑剤とを混合したスラリーを作製し、ドクターブレード方により、厚み７０〜３００μｍのセラミックシートを作製する。
【００３９】
このグリーンシートの片面に内部電極となる銀、銀−白金、銀−パラジウム等を主成分とする導電性ペーストをスクリーン印刷に印刷し、導電性ペーストが塗布されたグリーンシートを金型内に積層し、加熱加圧して積層一体化する。
これを所定の寸法に切断した後、所定温度で脱バインダー、焼成を行い、アクチュエータ本体１１となる四角柱状の積層焼結体を作製する。この積層焼結体の４つの側面には内部電極１５の端部が露出している。
【００４０】
この後、積層焼結体の外周加工を行い、対角線上に位置する２つの側面角部を面取りし、六角柱形状とした。面取りした外部電極形成用側面１６において、内部電極端部を含む圧電体を、対向する外部電極形成用側面１６で互い違いになるように、一層おきに深さ２５０μｍの凹溝１１９を形成し、該溝部にシリコンゴム等の絶縁体２１を充填する。
【００４１】
次に、これらの外部電極形成用側面１６に導電性樹脂を塗布することにより外部電極１７を形成する。そして、外部電極１７に所定の電圧を印加し、分極処理することにより、本発明の積層型圧電アクチュエータを作製する。
【００４２】
尚、凹溝１９の加工は、ダイヤモンド円板砥石やレーザー等を用いれば良く、各圧電体層１３と内部電極層１５の厚さのばらつきを小さくしておけば、予め多数のダイヤモンド砥石などを所望の間隔でセットして、同時に多数の凹溝１９を加工することが可能となるので望ましい。そして、本発明では、平坦状底面が上記した関係式を満足するように、例えば、ダイヤモンド円板砥石を用いる場合には砥石の状態を調製する必要がある。
【００４３】
図３は、凹溝１９の平坦状底面２３の長さＬと内部電極層１５の厚さｔ1 の差Ｌ−ｔ1 を圧電体層１３の厚さｔ2 で規格化した値と、発生する最大主応力を圧電材料の静的強度で規格化した値の関係を解析した結果である。解析は、有限要素法による圧電振動解析であり、振動の周波数は６０Ｈｚである。また、用いた物性値は、圧電体層がＰＺＴ、内部電極が銀、絶縁体がシリコンゴムである。また圧電体層の厚みｔ2 は１００μｍ、内部電極層の厚みｔ1 は３μｍとした。
【００４４】
図３によると、（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 が０．２未満のとき、急激に最大主応力値が上昇している。（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 が０．２０以上の範囲においては、緩やかに最大主応力値は減少し、しかも最大主応力の圧電体層強度に対する比率が３０％以下となっており、繰り返し駆動を行うアクチュエータの疲労寿命を長くできることが判る。
【００４５】
特に、（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 が０．４０以上であれば、最大主応力の圧電体強度に対する比率が２５％以下になり、疲労寿命を向上できるため望ましい。
【００４６】
更に、（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 が０．６以上であれば、凹溝１９の形成位置と絶縁すべき内部電極層１５の積層方向の位置が、０．１ｔ2 だけずれても最大主応力の圧電体強度に対する比率が２５％以下にすることができ、凹溝１９の位置が積層方向に少々ずれても所望の機能が得られるので、加工が容易になり望ましい。
【００４７】
同時に（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 が０．９未満であれば、凹溝の底面隅部に曲率半径０．０５ｔ2 以上のＲを設けることができるので、凹溝の底面隅部での応力集中の緩和が期待できることが判る。
【００４８】
図４はε2 ／ε1 と内部電極層先端付近の圧電体層１３において発生する大きな電界値の、アクチュエータ本体の側面より充分内部の圧電体層１３に発生する一様な電界値に対する比を、上記と同様の条件で解析して得た結果であり、内部電極層先端で生じる電界集中はε2 ／ε1 ＝０．１を境に急激に上昇することから、ε2 ／ε1 ≦０．１であることが望ましいことが判る。
【００４９】
図５は凹溝底面隅部のＲ半径の圧電体層厚さｔ2 に対する比率を横軸に、圧電体層１３に発生する最大電界値をＲが０であるときの最大電界値にて規格化した値を縦軸にとったグラフである。図５より、Ｒが大きくなるにつれて、最大電界値が低下する傾向が見られ、Ｒが圧電体層厚さｔ2 の５％以上であるとき、最大電界値はＲ＝０の場合の値の９５％以下に低下する。
【００５０】
一方、Ｒが０．３ｔ2 以上になると、最大電界値の低下の度合いは緩やかになり、またＲが０．３ｔ2 以上よりも大きくなると凹溝１９の平坦状底面２３の長さＬが十分にとれなくなることから、Ｒ≦０．３ｔ2 であることが望ましい。更にＲ≧０．１ｔ2 であれば、最大電界値がＲ＝０の場合の９０％以下となり、Ｒ≦０．２ｔ2 であれば凹溝の平坦状底面２３の長さＬと内部電極層の厚さｔ1 の差Ｌ−ｔ1 がｔ2 の６０％以上にすることが可能となるので、一層望ましい。
【００５１】
図２（ｂ）には、理想的な凹溝の平坦状底面２３の断面形状を実線で示し、凹溝加工によって得られる実際の凹溝の底面の断面形状の例を破線で示した。そして、図２（ｂ）の凹溝の底部拡大図において、実線で示した凹溝の平坦状底面の設計値と、破線で示した実際の凹溝の底面形状との誤差をＥとし、Ｅは溝が設計値より深く加工される場合が正値であると定め、上記と同様の条件で解析を行った。図６に示す解析結果より、凹溝の平坦状底面長さＬに対する加工誤差Ｅの相対値Ｅ／Ｌが±１７％に収まっていれば、溝の底部が理想的に平坦である場合と比べて電界集中は２０％悪化するに過ぎないことから、加工誤差Ｅ／Ｌ≦±１７％であれば、凹溝底部の平坦部が充分に平坦であると見なしてよいことが判る。
【００５２】
さらにＥ／Ｌ≦±８％とすれば、電界集中の悪化は１０％以下にできるので一層望ましいことが判る。
【００５３】
尚、外部電極は、四角柱状アクチュエータ本体の側面角部を、積層方向に面取りして形成された対向する面上に配置されることが望ましいが、アクチュエータ本体の形状は円柱状、多角柱状など任意の柱状でもよく、外部電極は対向する面に形成する必要はない。また図１（ａ）に示すように、面取り長さＣは、４角柱状アクチュエータ本体の一辺の長さＷよりも充分小さく、かつ外部電極の形成に支障が無い程度に大きいことが望ましい。
【００５４】
また、圧電体層１３の厚さｔ2 は、同時焼成法を採用すれば１００μｍ前後と非常に薄くできるが、予め焼結された圧電材料板を一層毎に電極板や電極ペーストなどを介して積層してアクチュエータ本体としてもよい。
【００５５】
以上のように、本発明の積層型圧電アクチュエータでは、内部電極の端部が露出する凹溝の形状、寸法、凹溝に充填する絶縁体の誘電率と圧電体層の誘電率の比を最適化することにより、圧電体層に発生する電界集中、および電界集中と構造に起因して発生する応力集中を低減し、最大主応力値を材料の静的強度に対して３０％以下に抑制することができ、機械的疲労破壊が発生し難くできる。
【００５６】
また、積層体側面より充分内部で発生する一様な電界に対して、内部電極層先端付近および凹溝の底面隅部で電界集中が生じることは避け難いが、凹溝を本発明の形状の範囲にすることにより、電界集中を少なくできることより、絶縁破壊が生じ難くなり、かつ、電界集中に起因する応力集中も抑制できる。
【００５７】
【発明の効果】
本発明の積層型圧電アクチュエータでは、アクチュエータ本体の側面に形成された凹溝が、圧電体層の積層方向に平行な平坦状底面を有しており、該平坦状底面の積層方向における長さをＬ、内部電極層の厚みをｔ1 、圧電体層の厚みをｔ2 とした時、０．２≦（Ｌ−ｔ1 ）／ｔ2 ＜１を満足するため、内部電極層先端付近の圧電体層内での電界集中の度合いが低下し、内部電極層先端付近での電界集中に起因する応力集中を抑制することができ、機械的破壊を防止して積層型圧電アクチュエータの信頼性を高め、長寿命化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の積層型圧電アクチュエータを示すもので、（ａ）平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面の一部を示す図である。
【図２】図１の凹溝およびその近傍を拡大して示す断面図である。
【図３】凹溝の平坦状底面の長さと、発生する最大主応力の圧電体層強度との比の関係を示すグラフである。
【図４】絶縁体の誘電率ε2 と圧電体層の分極方向誘電率ε1 の比ε2 ／ε1 と、アクチュエータ側面より充分内部で発生する一様な電界値に対する内部電極層先端付近にて集中する電界の値との比の関係を示すグラフである。
【図５】凹溝の底面隅部のＲ寸法と、Ｒ＝０の場合の最大電界値で規格化した最大電界値の関係を示すグラフである。
【図６】凹溝の平坦状底面の相対的な加工誤差Ｅ／Ｌと理想的な形状の最大電界値を基準とした最大電界値の増大量の関係を示すグラフである。
【図７】従来の積層型圧電アクチュエータの一部の断面図である。
【符号の説明】
１１・・・アクチュエータ本体
１３・・・圧電体層
１５ａ、１５ｂ・・・内部電極層
１６ａ、１６ｂ・・・外部電極形成用側面
１７ａ、１７ｂ・・・外部電極
１９・・・凹溝
２１・・・絶縁体
２３・・・平坦状底面
ｔ1 ・・・内部電極層の厚さ
ｔ2 ・・・圧電体層の厚さ
Ｒ・・・凹溝の底面隅部のＲ半径
Ｌ・・・凹溝の平坦状底面の長さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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