(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
励起光が試料に照射されて形成される熱レンズに検出光を入射させ、前記検出光が前記熱レンズにより発散または偏向されて出力された信号光に基づいて、前記試料の分光分析を行う光熱変換分光分析装置であって、
互いに平行な第１平板部および第２平板部を壁面に有する試料セルと、
前記励起光を出力する励起光源と、
前記検出光を出力する検出光源と、
前記励起光源から出力された前記励起光を前記試料セルの前記第１平板部に垂直入射させて、該励起光を前記試料セル内の前記試料に入射させる励起光照射光学系と、
前記励起光の前記試料への入射光路と略対向する入射光路で、前記検出光源から出力された前記検出光を前記試料セルの前記第２平板部に垂直入射させて、該検出光を前記試料セル内の前記試料に入射させる検出光照射光学系と、
前記検出光の前記試料への入射に伴って発生する前記信号光を検出する検出器と、
を備えることを特徴とする光熱変換分光分析装置。
【請求項２】
前記試料セル内に前記試料を導入または排出するための試料口が前記試料セルに設けられている、ことを特徴とする請求項１記載の光熱変換分光分析装置。
【請求項３】
前記励起光が前記試料に照射される位置および径の双方または何れか一方を調整する励起光照射調整手段を更に備える、ことを特徴とする請求項１記載の光熱変換分光分析装置。
【請求項４】
前記検出光が前記試料に照射される位置および径の双方または何れか一方を調整する検出光照射調整手段を更に備える、ことを特徴とする請求項１記載の光熱変換分光分析装置。
【請求項５】
前記励起光および前記検出光それぞれが前記試料に照射される位置および集光状態を観察する観察手段を更に備える、ことを特徴とする請求項１記載の光熱変換分光分析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、励起光を試料に照射することにより生じる光熱効果を利用し、検出光を試料に照射して生じた信号光を検出して、これにより試料を分析する光熱変換分光分析技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
試料に光を集光照射すると、その試料は、光吸収により局所的に温度上昇し、この温度上昇に応じて屈折率が変化し、熱レンズが形成される。これを光熱効果という。多くの物質では、温度上昇に伴い屈折率は小さくなるので、熱レンズとして凹レンズが形成される。したがって、この凹レンズの中央およびその周辺に光を入射させると、その光は発散する。また、この凹レンズの中央以外の部分に光を入射させると、その光は偏向する。
【０００３】
従来より、この光熱効果を利用して試料を分光分析することが行われており、この分析方法を光熱変換分光法という。従来の入射光と透過光との比に基づいて試料分析する吸光法とは異なり、この光熱変換分光法は、熱の拡散すなわち屈折率変化を観察するものであるので、吸光法に比べて極微量な試料濃度を検出することができる。それ故、光熱変換分光分析技術は、キャピラリー電気泳動装置用の高感度分析装置としての利用や、従来の吸光法の適用が困難な細胞等の生体試料への応用が提案されている。
【０００４】
図４は、従来の光熱変換分光分析装置の構成図である。この光熱変換分光分析装置では、励起光源１１０から出力された励起光は、チョッパ１１１により変調され、ダイクロイックミラー１１２を透過し、レンズ１１３により集光される。集光された励起光は、試料１３０に照射され吸収されて、その照射位置を中心として熱レンズが形成される。試料１３０に照射された励起光のうち試料１３０により吸収されなかった光は、試料１３０を透過するが、フィルタ１４１により吸収され、検出器１４２には入射しない。
【０００５】
一方、検出光源１２０から出力された検出光は、反射鏡１２１およびダイクロイックミラー１１２それぞれにより順次反射され、レンズ１１３により集光される。集光された励起光は、励起光により試料１３０に形成された熱レンズに集光照射され、試料１３０を透過して発散する。この試料１３０から発散して出射された信号光のうち、ピンホール１４０の開口部を通過した光はフィルタ１４１を通過して、検出器１４２により検出される。この検出器１４２により検出された信号光の強度は、試料１３０において形成された熱レンズに応じたものであり、また、チョッパ１１１による励起光変調周期に同期して変化するものである。そこで、この検出器１４２からの出力信号は、ロックインアンプ１５０により、チョッパ１１１による励起光変調周期に同期して検波され、そのロックインアンプ１５０からの出力信号に基づいて試料１３０の分析がなされる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように光熱変換分光法は、従来の吸光法に比べれば検出感度が優れている。しかしながら、上記従来例では、励起光が試料１３０に到るまでの光学系において信号光と同種のバックグラウンドノイズ光が発生する。例えば、図４に示した従来の光熱変換分光分析装置の光学系では、集光レンズ１１３においても、励起光の照射による温度上昇に伴い屈折率変化や膨張が起こるので、検出光がこれらを経る際にバックグラウンドノイズ光が生じる。そして、このようなバックグラウンドノイズ光は、検出器１４２により検出されるため、信号光の検出感度が低下するという問題点がある。
【０００７】
また、励起光および検出光それぞれが試料１３０に照射される位置および照射径は固定されており、その為に、試料１３０に依って、或いは、試料１３０を容れる試料セルの形状や材質に依っては、検出光がこの熱レンズにより発散されて出射された信号光の信号強度は弱く、したがって、検出感度が充分ではない場合があるという問題点がある。
【０００８】
特に、試料１３０が生体試料である場合等においては、従来の光熱変換分光分析装置では検出感度が充分ではなく、検出感度の更なる向上が望まれているところである。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、更なる高感度検出が可能な光熱変換分光分析装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光熱変換分光分析装置は、励起光が試料に照射されて形成される熱レンズに検出光を入射させ、検出光が熱レンズにより発散または偏向されて出力された信号光に基づいて、試料の分光分析を行う光熱変換分光分析装置であって、(1) 互いに平行な第１平板部および第２平板部を壁面に有する試料セルと、(2) 励起光を出力する励起光源と、(3) 検出光を出力する検出光源と、(4) 励起光源から出力された励起光を試料セルの第１平板部に垂直入射させて、該励起光を試料セル内の試料に入射させる励起光照射光学系と、(5) 励起光の試料への入射光路と略対向する入射光路で、検出光源から出力された検出光を試料セルの第２平板部に垂直入射させて、該検出光を試料セル内の試料に入射させる検出光照射光学系と、(6) 検出光の試料への入射に伴って発生する信号光を検出する検出器と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
この光熱変換分光分析装置によれば、励起光源から出力された励起光は、励起光照射光学系により、試料セルの第１平板部に垂直入射され、試料セル内の試料に入射されて、試料に熱レンズを生じせしめる。一方、検出光源から出力された検出光は、検出光照射光学系により、励起光の試料への入射光路と略対向する入射光路で、試料セルの第２平板部に垂直入射され、試料セル内の試料に入射される。そして、検出光の試料への入射に伴って発生する信号光は、検出器により検出される。したがって、励起光照射光学系において信号光と同種のバックグラウンドノイズ光が発生したとしても、そのバックグラウンドノイズ光は検出器により検出されることはないので、信号光は高感度に検出される。
【００１２】
また、励起光および検出光それぞれの試料への入射方向は互いに略対向するので、光学系の調整が容易となる。さらに、試料を容れる試料セルの壁面の一部である第１平板部および第２平板部が互いに平行であって、第１平板部に励起光が垂直入射されるとともに、第２平板部に検出光が垂直入射されるので、励起光または検出光の入射位置が変更されたとしても、その入射位置に依らず同一条件で光熱変換分光分析を行うことができる。
また、試料セル内に試料を導入または排出するための試料口が試料セルに設けられているのが好適であり、この場合には、試料セル内で電気泳動されている試料を分析すること等が可能となる。
【００１３】
また、励起光が試料に照射される位置および径の双方または何れか一方を調整する励起光照射調整手段を更に備えてもよいし、検出光が試料に照射される位置および径の双方または何れか一方を調整する検出光照射調整手段を更に備えてもよい。これらの場合には、信号光の検出感度が最大となるように、励起光および照射光それぞれの試料への照射位置または照射径を調整することができる。
【００１４】
また、励起光および検出光それぞれが試料に照射される位置および集光状態を観察する観察手段を更に備えるのが好適である。この場合には、励起光および検出光それぞれの試料への照射位置および集光状態を確認しながら、光熱変換分光分析を行うことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。尚、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図１は、本発明に係る光熱変換分光分析装置の構成図である。
【００１６】
励起光源１０は、試料３０に熱レンズを形成するための励起光Ａを出力するものである。励起光源１０として、指向性に優れるレーザ光源が好適に用いられる。そして、チョッパ１１、集光レンズ１２およびダイクロイックミラー１３からなる励起光照射光学系は、この励起光源１０から出力された励起光Ａを試料３０に照射する。すなわち、チョッパ１１は、励起光源１０から出力された励起光Ａを周期的に透過／遮断の変調をし、集光レンズ１２は、チョッパ１１により変調された励起光Ａを集光し、そして、ダイクロイックミラー１３は、その集光された励起光Ａを透過させる。
【００１７】
その集光された励起光Ａが試料３０に照射されると、その一部は試料３０により吸収され、残部は透過する。試料３０では、励起光吸収に伴い、励起光Ａが照射された位置を中心に温度上昇し熱レンズが形成される。励起光Ａがチョッパ１１により変調されているので、この熱レンズも励起光Ａの変調周期と同一周期で変調されたものとなる。また、試料３０により吸収されることなく試料３０を透過した励起光Ａは、ダイクロイックミラー２２を透過し、ライトトラップ２４に入射する。ライトトラップ２４は、その入射した励起光Ａを吸収するものである。
【００１８】
一方、検出光源２０は、試料３０に形成された熱レンズに照射すべき検出光Ｂを出力するものである。検出光源２０として、同様にレーザ光源が好適に用いられる。そして、ビームスプリッタ２１、集光レンズ２３およびダイクロイックミラー２２からなる検出光照射光学系は、この検出光源２０から出力された検出光Ｂを試料３０に照射する。すなわち、ビームスプリッタ２１は、検出光源２０から出力された検出光Ｂの殆どを透過させ、集光レンズ２３は、その検出光Ｂを、ダイクロイックミラー２２で反射させ試料３０に集光照射する。そして、その集光された検出光Ｂは、試料３０に形成された熱レンズに入射する。このように、検出光Ｂの試料３０への入射光路を、励起光Ａの試料３０への入射光路と異なるものとする。また、この図に示すように、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれの試料３０への入射方向を互いに対向させてもよい。
【００１９】
検出光Ｂが試料３０に入射すると、試料３０に形成された熱レンズにより検出光Ｂは発散または偏向し信号光Ｃとして出射する。この信号光Ｃの強度は、その発散または偏向の度合い、即ち、熱レンズの形成度合いを示すものであり、更には試料３０の濃度等を示すものである。ダイクロイックミラー１３はその信号光Ｃを反射させ、集光レンズ４０は信号光Ｃを集光し、フィルタ４１は信号光Ｃを透過させ、そして、検出器４２は、信号光Ｃを検出して信号光強度に応じた電流信号を出力する。なお、検出器４２の受光面の前面にピンホールを設けてもよい。
【００２０】
ここで、ダイクロイックミラー１３および２２それぞれは、励起光Ａを透過させるが、検出光Ｂおよび信号光Ｃを反射させるものである。また、フィルタ４１は、信号光Ｃの波長成分を透過させるが、励起光Ａの波長成分を遮断するものである。
【００２１】
検出器４２から出力された電流信号を入力するアンプ４３は、その電流信号を電圧信号に変換し増幅して出力する。そして、ロックインアンプ５０は、アンプ４３から出力された電圧信号を入力するとともに、チョッパ１１による励起光変調の同期信号を入力して、アンプ４３からの電圧信号を同期検波する。ロックインアンプ５０からの出力信号を入力するコンピュータ６０は、その出力信号に基づいて試料３０の分析を行う。
【００２２】
また、集光レンズステージ（励起光照射調整手段）７１は、その上に集光レンズ１２を固定配置するものであり、試料ステージ（検出光照射調整手段）７２は、その上に試料３０を固定配置するものである。これら集光レンズステージ７１および試料ステージ７２それぞれは、ステージ７０の上に置かれており、ステージ７０に対して互いに直交する３軸方向の何れの方向にも相対的に移動可能である。また、ステージ７０は、その他の光学系（励起光源１０、チョッパ１１、ダイクロイックミラー１３、検出光源２０からダイクロイックミラー２２に到るまでの光学系、ならびに、ダイクロイックミラー１３から検出器４２に到るまでの光学系）に対して、互いに直交する３軸方向の何れの方向にも移動可能である。
【００２３】
これらのうち、ステージ７０は、集光レンズ１２および試料３０の概略位置を決めるものである。集光レンズステージ７１は、集光レンズ１２を微動させることにより励起光Ａの試料３０への照射位置を変更するものである。また、試料ステージ７２は、試料３０を微動させることにより、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれの照射位置を変更するものである。
【００２４】
なお、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれの試料３０上の照射径の変更は、集光レンズ１２および集光レンズ２３それぞれを焦点距離の異なるものに交換するか、あるいは、これらに替えて励起光源１０と集光レンズ１２との間または検出光源２０と集光レンズ２３との間にビームエクスパンダを設けることにより、行ってもよい。
【００２５】
また、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれの試料３０上の照射位置および集光状態は、カメラ（観察手段）２６により確認することができる。すなわち、カメラ２６は、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれが照射された試料３０を、ダイクロイックミラー２２、集光レンズ２３、ビームスプリッタ２１および結像レンズ２５を介して撮像し、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれが試料３０に照射された位置および集光状態を観察する。ここで、励起光Ａは、ダイクロイックミラー２２を透過するため、カメラ２６に殆ど到達しないので、観察時（調整時）にはダイクロイックミラー２２を反射鏡に交換することとしてもよい。励起光Ａの試料３０への照射位置や集光状態の観察・調整は、実際の分光分析を行う前に行われればよいからである。
【００２６】
以上のように、本発明に係る光熱変換分光分析装置では、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれの試料３０への入射光路を互いに異なるものとしたので、励起光Ａが試料３０に到るまでの光学系において信号光Ｃと同種のバックグラウンドノイズ光が発生したとしても、そのバックグラウンドノイズ光は、検出器４２により検出されることはなく、したがって、信号光Ｃを高感度に検出することができる。特に、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれの試料３０への入射方向を互いに対向させたので、光学系の調整が容易である。また、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれが試料３０に照射される位置および照射径を調整できる構成としたので、信号光Ｃの検出感度が最大となるように励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれを試料３０に照射することができ、この点でも信号光Ｃの検出感度を向上させることができる。さらに、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれが試料３０に照射される位置および照射径を観察するためのカメラ２６を設けたので、照射位置および照射径を確認しながら光熱変換分光分析を行うことができる。
【００２７】
次に、本発明に係る光熱変換分光分析装置の使用方法の１例について説明する。初めに、分析しようとする試料３０を試料ステージ７２の上に載置し、ステージ７０を移動させて分光分析に好適な位置に試料３０を概略配置する。そして、検出光源２０から出射された検出光Ｂを、ビームスプリッタ２１、集光レンズ２３およびダイクロイックミラー２２を経て試料３０に照射させるとともに、カメラ２６により試料３０上の検出光の照射位置および照射径を観察しながら、試料３０上の分析すべき位置に検出光Ｂが適切な照射径で照射されるように、試料ステージ７２を移動させて試料３０の配置を決める。
【００２８】
その後、励起光源１０から出射された励起光Ａを、チョッパ１１、集光レンズ１２およびダイクロイックミラー１３を経て試料３０に照射させるとともに、カメラ２６により試料３０上の励起光の照射位置および照射径を観察する。また、検出光Ｂの試料３０への照射に伴って生じた信号光Ｃを、ダイクロイックミラー１３、集光レンズ４０およびフィルタ４１を経て、検出器４２により検出し、その検出器４２から出力された電流信号をアンプ４３により電圧信号に変換し、その電圧信号をロックインアンプ５０によりチョッパ１１の変調周期に同期して検波し、そのロックインアンプ５０からの出力信号をモニタする。そして、ロックインアンプ５０からの出力信号が最大になるように、集光レンズステージ７１を移動させて集光レンズ１２の配置を決め、これにより、励起光Ａが試料３０に照射される位置および照射径を決定する。
【００２９】
以上のようにして試料３０に照射される励起光Ａおよび検出光Ｂの相対的位置関係および照射径が決まると、例えば、検出光Ｂの入射方向と垂直な方向に試料ステージ７２により試料３０を２次元走査しながら、試料３０の位置とともにロックインアンプ５０からの出力信号をコンピュータ６０に取り込んで、コンピュータ６０における演算により試料３０の２次元分析を行う。また、例えば、試料３０が電気泳動しているものであれば、各時刻におけるロックインアンプ５０からの出力信号をコンピュータ６０に取り込んで、コンピュータ６０における演算により試料３０の分析を行う。
【００３０】
次に、本発明に係る光熱変換分光分析装置とともに用いるのに好適な試料セルについて説明する。
【００３１】
試料３０を容れる試料セルとしてキャピラリー管を用い、このキャピラリー管内で試料３０を電気泳動させながら光熱変換分光分析することも考えられるが、キャピラリー管は、細いために折れ易く取り扱いが困難であり、また、管形状であるために励起光および検出光が散乱し易く照射位置が少しでも動くと信号光検出への影響が大きいという問題点がある。したがって、本発明に係る光熱変換分光分析装置においては、集光レンズステージ７１により試料３０への励起光照射位置を移動させるだけでなく、試料ステージ７２により試料３０を移動させるので、このような問題点のあるキャピラリー管を用いるのは適当ではない。そこで、以下に示すようなキャピラリー基板（図２）や試料チャンバ（図３）を用いるのが好適である。
【００３２】
図２は、本発明に係る光熱変換分光分析装置とともに用いるのに好適なキャピラリー基板の斜視図である。このキャピラリー基板８０は、直方体の石英ガラス等の透明材料からなる２枚の透明平板８１および８２からなる。一方の透明平板８１の１面には、断面形状が５０μｍ角程度の細溝８１Ａがリソグラフィ技術により形成されており、その上に他方の透明平板８２が貼り合わされている。また、透明平板８２には、試料導入口８２Ａおよび８２Ｂが適当な距離を隔てて設けられており、透明平板８１および８２が貼り合わされたときには、これら試料導入口８２Ａおよび８２Ｂは、細溝８１Ａへ試料３０を導入するための口となる。
【００３３】
このキャピラリー基板８０が、本発明に係る光熱変換分光分析装置とともに用いられるときには、このキャピラリー基板８０が試料ステージ７２に載置された後、試料３０は、試料導入口８２Ａまたは８２Ｂから細溝８１Ａに導入され、細溝８１Ａ内で電気泳動され、そして、励起光Ａはキャピラリー基板８０の或る一面に垂直に入射し、検出光Ｂはその反対側の面に垂直に入射する。したがって、集光レンズステージ７１および試料ステージ７２それぞれの移動により、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれがキャピラリー基板８０に入射する位置が移動したとしても、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれは細溝８１Ａに垂直に入射するので、入射位置に依らず同一条件で光熱変換分光分析を行うことができる。
【００３４】
図３は、本発明に係る光熱変換分光分析装置とともに用いるのに好適な試料チャンバの説明図であり、図３（ａ）は、その試料チャンバの斜視図であり、図３（ｂ）は、その試料チャンバの一部品であるスペーサの斜視図である。この試料チャンバ９０は、スライドガラス９１と、中央部に孔９３Ａが設けられ且つ適当な距離を隔てて試料口９３Ｂおよび９３Ｃが設けられた上板９３とが、スペーサ９２を挟んで貼り合わされていて、この上板９３の上には孔９３Ａを覆うようにカバーガラス９４が貼られている。スペーサ９２は、中央部に円形状の孔９２Ａが設けられ、さらに、その孔９２Ａにつながって帯形状の孔９２Ｂおよび９２Ｃが設けられている。そして、スライドガラス９１、スペーサ９２、上板９３、およびカバーガラス９４が貼り合わされたときには、上板９３の試料口９３Ｂ、スペーサ９２の孔９２Ｂ，９２Ａおよび９２Ｃ、ならびに、上板９３の試料口９３Ｃは、この順につながって試料環流経路となる。
【００３５】
この試料チャンバ９０が、本発明に係る光熱変換分光分析装置とともに用いられるときには、試料チャンバ９０が試料ステージ７２に載置された後、試料３０は、試料口９３Ｂまたは９３Ｃから試料環流経路中に導入され、そして、例えば、励起光Ａは試料チャンバ９０のスライドガラス９１の側から垂直に入射し、検出光Ｂはカバーガラス９４の側から垂直に入射する。したがって、集光レンズステージ７１および試料ステージ７２それぞれの移動により、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれが試料チャンバ９０に入射する位置が移動したとしても、励起光Ａおよび検出光Ｂそれぞれは試料チャンバ９０の孔９３Ａの領域にある観察窓に垂直に入射するので、同一条件で光熱変換分光分析を行うことができる。また、この試料チャンバ９０に導入される試料３０が細胞等の生体試料である場合には、その試料３０はカバーガラス９４の内面に付着するので、試料３０をその付近で培養しながら光熱変換分光分析を行うこともできる。
【００３６】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、励起光および検出光それぞれの試料への入射方向を互いに対向させるのが光学系調整の観点からは好適ではあるが、本発明は、これに限られるものではなく、励起光および検出光を互いに任意の角度で試料に入射してもよい。
【００３７】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したとおり本発明によれば、励起光源から出力された励起光は、励起光照射光学系により試料に入射されて、試料に熱レンズを生じせしめ、一方、検出光源から出力された検出光は、検出光照射光学系により、励起光の試料への入射光路と略対向する入射光路で試料に入射される。そして、検出光の試料への入射に伴って発生する信号光は、検出器により検出される。したがって、励起光照射光学系において信号光と同種のバックグラウンドノイズ光が発生したとしても、そのバックグラウンドノイズ光は検出器により検出されることはないので、信号光は高感度に検出される。
【００３８】
また、励起光および検出光それぞれの試料への入射方向を互いに略対向させたことにより、光学系の調整が容易となる。さらに、試料を容れる試料セルの壁面の一部である第１平板部および第２平板部が互いに平行であって、第１平板部に励起光が垂直入射されるとともに、第２平板部に検出光が垂直入射されるので、励起光または検出光の入射位置が変更されたとしても、その入射位置に依らず同一条件で光熱変換分光分析を行うことができる。また、試料セル内に試料を導入または排出するための試料口が試料セルに設けられている場合には、試料セル内で電気泳動されている試料を分析すること等が可能となる。
【００３９】
また、励起光が試料に照射される位置および径の双方または何れか一方を調整する励起光照射調整手段を更に備え、また、検出光が試料に照射される位置および径の双方または何れか一方を調整する検出光照射調整手段を更に備える場合には、励起光および照射光それぞれの試料への照射位置または照射径を調整することができるので、信号光の検出感度が最大となるように光学系を容易に調整することができる。
【００４０】
また、励起光および検出光それぞれが試料に照射される位置および径を観察する観察手段を更に備える場合には、実際の分光分析に先立って励起光の試料への照射位置および照射径を調整することができ、また、検出光の試料への照射位置および照射径を確認しながら光熱変換分光分析を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光熱変換分光分析装置の構成図である。
【図２】本発明に係る光熱変換分光分析装置とともに用いるのに好適なキャピラリー基板の斜視図である。
【図３】本発明に係る光熱変換分光分析装置とともに用いるのに好適な試料チャンバの説明図である。
【図４】従来の光熱変換分光分析装置の構成図である。
【符号の説明】
１０…励起光源、１１…チョッパ、１２…集光レンズ、１３…ダイクロイックミラー、２０…検出光源、２１…ビームスプリッタ、２２…ダイクロイックミラー、２３…集光レンズ、２４…ライトトラップ、２５…結像レンズ、２６…カメラ、３０…試料、４０…集光レンズ、４１…フィルタ、４２…検出器、４３…アンプ、５０…ロックインアンプ、６０…コンピュータ、７０…ステージ、７１…集光レンズステージ、７２…試料ステージ、８０…キャピラリー基板、９０…試料チャンバ、Ａ…励起光、Ｂ…検出光、Ｃ…信号光。
【図１】
0003677691.tif 000002
【図２】
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【図３】
0003677691.tif 000004
【図４】
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