(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工が施される対象物を保持し、前記対象物に加工を施す加工装置に対して固定される加工用治具であって、
前記加工装置は、前記加工用治具が固定される１つの治具固定箇所を有し、
前記加工用治具は、
前記治具固定箇所に向けられる面と前記対象物を保持するための保持部を有する治具本体と、
前記治具本体における１箇所にのみ設けられ、前記治具本体を前記加工装置の前記治具固定箇所に対して固定するための固定部と、
前記治具本体に設けられ、前記固定部を中心にして前記治具本体が回転するのを防止するための回転防止部とを備え、
前記加工用治具は、前記固定部が設けられた１箇所のみで前記加工装置に対して固定されることを特徴とする加工用治具。
【請求項２】
前記固定部は、前記治具本体の長手方向の中央の位置に設けられていることを特徴とする請求項１記載の加工用治具。
【請求項３】
前記固定部は、前記治具本体を前記加工装置の前記治具固定箇所に対して固定するための固定具が挿通される孔であることを特徴とする請求項１または２記載の加工用治具。
【請求項４】
前記回転防止部は、加工装置側に設けられた１以上の回転防止用部材が係合する１以上の係合部を有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の加工用治具。
【請求項５】
前記固定部は、前記治具本体の長手方向の中央の位置に設けられ、前記係合部は、前記治具本体の長手方向の中央の位置に対して対称な複数箇所に設けられていることを特徴とする請求項４記載の加工用治具。
【請求項６】
前記加工装置は、更に、前記加工用治具に対して互いに独立に力を加えるための複数の押圧ピンを有し、前記加工用治具は、更に、前記各押圧ピンが挿入される複数の押圧用孔を備えていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の加工用治具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工装置によって加工が施される対象物を保持するための加工用治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ハードディスク装置用の磁気ヘッドとしては、薄膜ヘッドやＭＲヘッドが広く使用されている。薄膜ヘッドは、磁性薄膜と平面コイルとを組み合わせた磁気ヘッドである。ＭＲヘッドは、磁気抵抗素子（以下、ＭＲ素子と言う。）を使用した磁気ヘッドである。ＭＲヘッドは、再生専用であり、通常は、記録用の薄膜ヘッドと一体化された複合ヘッドの形で使用される。
【０００３】
また、ハードディスク装置用の磁気ヘッドは、ハードディスク回転時にハードディスクの表面よりわずかに浮上するスライダの後端部に磁気ヘッド素子を設けた構成になっている。
【０００４】
上述の薄膜ヘッドやＭＲヘッドのような磁気ヘッドは、一般に、半導体製造技術を利用して製造される。磁気ヘッドの製造工程は、通常、ウェハ工程、加工工程および組立工程を含む。ウェハ工程は、薄膜が形成される基板としてのウェハを作製し、このウェハ上に磁極、コイル、絶縁層、保護膜等の薄膜を形成する工程である。加工工程は、薄膜が形成されたウェハを切断して磁気ヘッド用素材を形成し、この磁気ヘッド用素材を研削、研磨して、磁気ヘッド素子を含むスライダを作製する工程である。組立工程は、スライダをサスペンションに取り付ける工程である。
【０００５】
ここで、加工工程の一例について説明する。この加工工程では、薄膜が形成されたウェハを一方向に切断して棒状の磁気ヘッド用素材を形成し、この棒状の磁気ヘッド用素材を治具に固定し、研磨等の加工を行う。ここで、棒状の磁気ヘッド用素材は、一列に配列された複数の磁気ヘッド素子を含んでいる。そして、この棒状の磁気ヘッド用素材は、研磨等の加工が施された後に、個々のスライダに分割される。このような加工工程では、棒状の磁気ヘッド用素材に含まれる各磁気ヘッド素子におけるスロート（ｔｈｒｏａｔ；のど）高さおよびＭＲ素子高さを全て許容誤差の範囲内に収める必要があると共に、被加工面の面精度を所定の許容範囲内に収める必要がある。
【０００６】
米国特許第５，６２０，３５６号には、上述のような加工工程を行うための加工装置が示されている。また、米国特許第５，６０７，３４０号には、磁気ヘッド加工用の治具が示されている。また、特開平２−９５５７２号公報には、ＭＲ素子の抵抗値を監視してスロート高さを制御する研磨制御装置が示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、例えば前出の米国特許第５，６２０，３５６号や、米国特許第５，６０７，３４０号に示されるように、従来の磁気ヘッド加工用の治具は、水平方向の２箇所で、加工装置に対して固定されるようになっていた。ところが、治具が固定される加工装置側の２箇所間では、段差があったり、平行度が悪かったりする場合がある。このような段差や平行度の悪さは、例え微小であっても、加工装置によって加工される磁気ヘッド用素材の被加工面に要求される面精度に比べると極めて大きなものとなり易い。そのため、従来の治具では、治具が固定される加工装置側の２箇所間の段差や平行度の悪さが、治具に固定されて加工される磁気ヘッド用素材の被加工面の面精度、特に平面度を悪くし、その結果、磁気ヘッドの歩留りを悪くしたり、磁気ヘッドの検査工数を多くする必要が生じたりするといった問題点があった。
【０００８】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、加工装置によって加工が施される対象物の被加工面の面精度を向上でき、対象物の歩留りの向上や対象物の検査工数の削減を可能にする加工用治具を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の加工用治具は、加工が施される対象物を保持し、対象物に加工を施す加工装置に対して固定される加工用治具であって、対象物を保持するための保持部を有する治具本体と、治具本体における１箇所にのみ設けられ、治具本体を加工装置に対して固定するための固定部とを備えたものである。固定部は、例えば、治具本体の長手方向の中央の位置に設けられている。また、固定部は、例えば、治具本体を加工装置に対して固定するための固定具が挿通される孔である。
【００１０】
本発明の加工用治具は、好ましくは、更に、治具本体に設けられ、固定部を中心にして治具本体が回転するのを防止するための回転防止手段または回転防止部を備えている。回転防止手段または回転防止部は、例えば、加工装置側に設けられた１以上の回転防止用部材が係合する１以上の係合部を有する。また、例えば、固定部は、治具本体の長手方向の中央の位置に設けられ、係合部は、治具本体の長手方向の中央の位置に対して対称な複数箇所に設けられている。
【００１１】
本発明の加工用治具では、治具本体における１箇所にのみ設けられた固定部によって、治具本体が加工装置に対して固定される。また、本発明の加工用治具では、回転防止手段または回転防止部を備えている場合には、この回転防止手段または回転防止部によって、固定部を中心にして治具本体が回転するのが防止される。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、本発明の第１の実施の形態に係る加工用治具が使用される加工装置の一例について説明する。図３は、加工装置の概略の構成を示す斜視図である。この加工装置１は、磁気ヘッド用素材をラッピングする装置である。加工装置１は、テーブル１０と、このテーブル１０上に設けられた回転ラッピングテーブル１１と、この回転ラッピングテーブル１１の側方において、テーブル１０上に設けられた支柱１２と、この支柱１２に対してアーム１３を介して取り付けられた素材支持部２０とを備えている。回転ラッピングテーブル１１は、磁気ヘッド用素材に当接する研磨面１１ａを有している。
【００１３】
図４は、図３に示した加工装置１における素材支持部２０を拡大して示す斜視図である。素材支持部２０は、アーム１３に連結された支持部本体２７と、この支持部本体２７の前方に配設され、且つ支持部本体２７に設けられたアクチュエータにアームを介して連結されたベース部材２２と、このベース部材２２の前面に配設された治具固定板２３と、この治具固定板２３の前方位置に等間隔に配設され、ベース部材２２に固定されたアクチュエータにアームを介して連結された３本の押圧棒２４，２５，２６とを備えている。支持部本体２７、ベース部材２２および押圧棒２４，２５，２６の上部は、カバー２１によって覆われている。ベース部材２２は、図示しないアームを介して、支持部本体２７内に設けられたアクチュエータに連結されており、アクチュエータを駆動することにより、上下動可能となっている。治具固定板２３の下端部は、板ばね２８を介して支持部本体２７の下端部と連結され、これにより、治具固定板２３が傾くのが防止されるようになっている。
【００１４】
押圧棒２４は、ベース部材２２に固定されたアクチュエータ３５に対して、アーム３４等を介して連結されており、アクチュエータ３５を駆動することにより、上下動可能となっている。他の押圧棒２５，２６も、同様の機構により、上下動可能となっている。
【００１５】
押圧棒２４，２５，２６の下端部には、それぞれ押圧部材３１，３２，３３が連結されている。本実施の形態に係る加工用治具（以下、単に治具と言う。）４０は、横長の板状をなし、押圧部材３１，３２，３３の前方に配置され、固定具としてのボルト６０によって、長手方向の中央の１箇所で、後述する治具固定用ピン６１を介して治具固定板２３に固定されるようになっている。治具４０は、長手方向に沿って配列され、それぞれ押圧部材３１，３２，３３に対応する位置に形成された３つの押圧用孔４４，４５，４６を有している。この押圧用孔４４，４５，４６には、押圧部材３１，３２，３３の前端部にそれぞれ設けられた押圧ピンが挿入されるようになっている。そして、押圧棒２４，２５，２６を上下動させることにより、各押圧ピンを介して、各押圧用孔４４，４５，４６の位置において、互いに独立に治具４０に対して力を加えることができるようになっている。
【００１６】
次に、本実施の形態に係る治具４０の構成について説明する。図１は治具４０の正面図、図２は治具４０の斜視図である。これらの図に示したように、治具４０は、磁気ヘッド用素材７０を保持するための素材保持部４２を下端面に有する治具本体４１を備えている。素材保持部４２には、例えば接着により、磁気ヘッド用素材７０が固定されるようになっている。治具本体４１には、長手方向の中央で、且つ上下方向の中央よりも上側の位置に、治具本体４１を加工装置１の治具固定板２３に対して固定するためのボルト６０が挿通される固定用孔４３が形成されている。治具本体４１には、更に、固定用孔４３の中央よりもやや下側の位置に、長手方向に沿って配列された前述の押圧用孔４４，４５，４６が形成されている。
【００１７】
治具本体４１には、更に、上下方向の中央部から下端部にかけて、複数の変形用孔５１〜５９が形成されている。これらの変形用孔５１〜５９および各孔間に形成される肉厚の薄い部分は、前述のように各押圧用孔４４，４５，４６の位置に独立に力が加えられたときに、各力の大きさに応じて適宜に変形すると共に圧力を吸収して、治具４０が屈曲することを可能とする機能を有する。
【００１８】
治具本体４１は、例えば、ステンレス鋼や、ジルコニア（ＺｒＯ2 ），アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）等のセラミックによって形成される。
【００１９】
次に、図３に示した加工装置１に対する治具４０の固定方法について説明する。図５は、加工装置１に固定した状態の治具４０を示す正面図、図６は、図５におけるＡ−Ａ′線断面図である。これらの図に示したように、治具４０は、押圧部材３１，３２，３３の前方に配置される。治具固定板２３の前面には、治具４０の固定用孔４３に対応する位置に、治具固定用ピン６１が設けられている。押圧部材３２には、治具固定用ピン６１に対応する位置に、この押圧部材３２が上下方向に所定の距離だけ移動可能なように、治具固定用ピン６１が挿通される縦長の長孔６２が形成されている。治具固定用ピン６１は、この長孔６２を通って、先端側が治具４０の固定用孔４３内に挿入されるようになっている。治具固定用ピン６１は、基部側が大径に、先端側が小径に形成され、その間の段差部が治具本体４１における固定用孔４３の周囲に当接するようになっている。治具固定用ピン６１内には、先端側より、雌ねじが形成されている。そして、治具４０の前面側より、固定用孔４３内に、ワッシャ６３を介して、ボルト６０を挿入し、このボルト６０を治具固定用ピン６１の雌ねじに螺合させることによって、治具４０が治具固定板２３に固定されるようになっている。
【００２０】
また、押圧部材３１，３２，３３の前端部には、治具４０の押圧用孔４４，４５，４６に対応する位置に、それぞれ、押圧ピン６４，６５，６６が設けられている。この押圧ピン６４，６５，６６は、それぞれ、押圧用孔４４，４５，４６に挿入されるようになっている。
【００２１】
磁気ヘッド用素材７０を保持した治具４０は、上述のようにして加工装置１に対して固定されると、磁気ヘッド用素材７０の被加工面が回転ラッピングテーブル１１の研磨面１１ａに当接するように配置される。この状態で、押圧棒２４，２５，２６を上下動させることにより、各押圧ピン６４，６５，６６を介して、各押圧用孔４４，４５，４６の位置において、互いに独立に治具４０に対して力を加えて、治具４０を屈曲させることができ、これにより、ラッピング時における磁気ヘッド用素材７０の湾曲を補正することが可能となる。
【００２２】
磁気ヘッド用素材７０は、薄膜が形成されたウェハを一方向に切断して形成されたものである。この磁気ヘッド用素材７０は、一列に配列された複数の磁気ヘッド素子を含んでいる。ここで、図７に、磁気ヘッド素子の構成の一例として、ＭＲヘッドと記録用の薄膜ヘッドとを一体化した複合ヘッドの例を挙げる。この例における磁気ヘッド素子７１は、基板（ウェハ）７２上に、下地膜７３、下部シールド膜７４、下部絶縁膜７５、ＭＲ素子７６および上部絶縁膜７７、上部シールド兼下部磁極７８、ギャップ層７９、絶縁層８０およびコイル８１、上部磁極８２、保護膜８３を形成して構成されている。
【００２３】
基板７２は、例えばアルティック（Ａｌ2 Ｏ3 ・ＴｉＣ）によって形成される。下地膜７３、下部絶縁膜７５、上部絶縁膜７７、保護膜８３およびギャップ層７９は、例えばＡｌ2 Ｏ3 によって形成される。下部シールド膜７４、上部シールド兼下部磁極７８および上部磁極８２は、例えばＮｉＦｅによって形成される。絶縁層８０は、例えばフォトレジストによって形成される。コイル８１は、例えばＣｕによって形成される。
【００２４】
図７における磁気ヘッド素子７１の下面が、図３に示した加工装置１によってラッピングされる面である。ラッピングの際、加工装置１は、磁気ヘッド用素材７０に含まれる各磁気ヘッド素子７１におけるスロート高さＴＨおよびＭＲ素子高さＭＲ−ｈが全て許容誤差の範囲内となるように制御を行う。このような制御は、例えば、特開平２−９５５７２号公報に示されるように、電気的ラッピングガイド（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ  Ｌａｐｐｉｎｇ  Ｇｕｉｄｅ：ＥＬＧ）とＭＲ素子７６の抵抗値を監視することによって行われる。電気的ラッピングガイドは、例えば、磁気ヘッド用素材７０の長手方向の両端部に配置されるように、磁気ヘッド素子７１の形成の際に、基板７２上に形成される。
【００２５】
図８は、上述のように、電気的ラッピングガイドとＭＲ素子の抵抗値を監視してラッピングを制御する加工装置における回路構成の一例を示すブロック図である。この例の加工装置は、磁気ヘッド用素材７０内の電気的ラッピングガイド（図では、ＥＬＧと記す。）８５とＭＲ素子７６の抵抗値を監視して、押圧棒２４，２５，２６を駆動するアクチュエータ３５，３６，３７を制御する制御装置８６と、図示しないコネクタを介して、磁気ヘッド用素材７０内の複数の電気的ラッピングガイド８５および複数のＭＲ素子７６に接続され、これらの電気的ラッピングガイド８５およびＭＲ素子７６のいずれかを選択的に制御装置８６に接続するマルチプレクサ８７とを備えている。
【００２６】
この加工装置では、制御装置８６は、マルチプレクサ８７を介して、磁気ヘッド用素材７０内の電気的ラッピングガイド８５の抵抗値を監視して、アクチュエータ３５，３６，３７を制御する。制御装置８６は、始めは、電気的ラッピングガイド８５の抵抗値を監視することによって、粗仕上げを行い、その後、各ＭＲ素子７６の抵抗値を監視することによって、各磁気ヘッド素子７１におけるスロート高さＴＨおよびＭＲ素子高さＭＲ−ｈが全て許容誤差の範囲内となるように制御を行う。
【００２７】
以上説明したように、本実施の形態に係る治具４０は、治具本体４１の長手方向の中央の１箇所に、治具本体４１を加工装置１の治具固定板２３に対して固定するためのボルト６０が挿通される固定用孔４３を有し、この固定用孔４３に挿通されるボルト６０によって、長手方向の中央の１箇所のみで、加工装置１の治具固定板２３に対して固定される。そのため、本実施の形態に係る治具４０によれば、加工装置に対して２箇所で固定される従来の治具のように、治具が固定される加工装置側の固定部の２箇所間の段差や平行度の悪さが、治具に固定されて加工される磁気ヘッド用素材の被加工面の面精度に影響することがなくなる。その結果、本実施の形態に係る治具４０によれば、加工装置１によって加工される磁気ヘッド用素材７０の被加工面の面精度、特に平面度を向上でき、磁気ヘッドの歩留りの向上や磁気ヘッドの検査工数の削減を可能とする。
【００２８】
磁気ヘッド（スライダ）の平面度を表すパラメータには、例えば米国特許第５，１３６，４４５号に示されるように、クラウン、キャンバ、ツイスト量等、種々あるが、本実施の形態に係る治具４０を用いて磁気ヘッド用素材７０を加工した場合と、従来の治具を用いて磁気ヘッド用素材７０を加工した場合とを比較した測定の結果、本実施の形態に係る治具４０を用いた場合、特に、ツイスト量に関して、顕著な改善効果が見られた。
【００２９】
ここで、図９を参照して、ツイスト量について簡単に説明する。図９（ａ）は、スライダの２本のレール９１，９２を簡単に示したものである。ツイスト量は、次のようにして求める。すなわち、まず、各レール９１，９２毎に最小自乗平面を算出し、図９（ａ）示したように、４点Ａ〜Ｄを決定する。点Ａ，Ｂは、レール９１の最小自乗平面の両端部近傍の所定の点であり、点Ｃ，Ｄは、レール９２の最小自乗平面の両端部近傍の所定の点である。次に、図９（ｂ）に示したように、３点Ａ，Ｃ，Ｄによって形成される平面９３と点Ｂとの距離をツイスト量ＴＷとして求める。なお、ツイスト量の符号は、点Ｂが平面９３に対し、Ｚ軸方向の上側にある場合を正とする。
【００３０】
ツイスト量の測定は、図１０に示したように、１本の磁気ヘッド用素材７０について、被加工面７０ａ上の一端側、中央部および他端側の３箇所の測定エリア９５，９６，９７について行った。測定機は、東京精密株式会社製の「Ｌ−ＦＴ−１０Ｂ」を用いた。なお、図１０において、符号７０ｂは、磁気ヘッド素子７１が形成された集積面を示している。
【００３１】
上述のような方法による測定を、本実施の形態に係る治具４０を用いた場合と従来の治具を用いた場合について、それぞれ、４０本の磁気ヘッド用素材７０について行った。これにより得られた１２０点ずつのツイスト量のデータの平均値と標準偏差は、以下のようになった。すなわち、従来の治具を用いた場合には、平均値は３．３ｎｍ、標準偏差は６．１２ｎｍとなり、本実施の形態に係る治具４０を用いた場合には、平均値は０．４ｎｍ、標準偏差は１．４４ｎｍとなった。この結果から、本実施の形態に係る治具４０を用いた場合、従来の治具を用いる場合に比べて、ツイスト量が顕著に減少することが分かる。
【００３２】
ところで、従来より、治具において加工装置と接触する面に傷や欠損等の不具合が生じることがあった。このような不具合は、治具に固定されて加工される磁気ヘッドの品質を低下させてしまう。本実施の形態に係る治具４０は、治具本体４１の外形が左右対称な形状であると共に、治具本体４１に形成された種々の孔４３〜４６，５１〜５９も左右対称に配置されている。従って、本実施の形態に係る治具４０には、裏表の区別がない。そのため、本実施の形態に係る治具４０では、治具本体４１の片面側に不具合が生じた場合には、反対側の面を加工装置側にして使用することができ、磁気ヘッドの品質、歩留りを向上させることが可能となると共に、治具４０の耐用期間を延長させることが可能となる。
【００３３】
なお、本実施の形態において、図１１に示したように、治具固定板２３の前面に、治具４０の例えば上端部が当接するガイドピン１００を設けてもよい。このガイドピン１００は、図１１に示したように、左右対称な２箇所に設けるのが好ましい。このようなガイドピン１００を設けることにより、治具４０には特に変更を加えることなく、ガイドピン１００が治具４０の例えば上端部が当接することによって、固定用孔４３を中心にして治具本体４１が回転するのを防止することができる。
【００３４】
図１２ないし図１４は本発明の第２の実施の形態に係り、図１２は本実施の形態に係る治具の斜視図、図１３は加工装置に固定した状態の治具を示す正面図、図１４は、図１３におけるＢ−Ｂ′線断面図である。
【００３５】
図１２に示したように、本実施の形態に係る治具１１０では、治具本体４１における押圧用孔４４の上方の位置に、固定用孔４３を中心にして治具本体４１が回転するのを防止するための回転防止手段または回転防止部の係合部として、ガイドピン用孔１１１が形成されている。このガイドピン用孔１１１は、固定用孔４３よりも小径になっている。本実施の形態に係る治具１１０のその他の構成は、第１の実施の形態に係る治具４０と同様である。
【００３６】
一方、本実施の形態に係る治具１１０が使用される加工装置１では、図１３および図１４に示したように、治具固定板２３の前面において、治具１１０のガイドピン用孔１１１に対応する位置に、ガイドピン用孔１１１に対応する径のガイドピン１１２が設けられている。また、押圧部材３１には、ガイドピン１１２に対応する位置に、この押圧部材３１が上下方向に所定の距離だけ移動可能なように、ガイドピン１１２が挿通される孔１１３が形成されている。ガイドピン１１２は、この孔１１３を通って、先端側が治具１１０のガイドピン用孔１１１内に挿入されるようになっている。
【００３７】
本実施の形態に係る治具１１０によれば、ガイドピン用孔１１１に、加工装置１のガイドピン１１２が係合することにより、固定用孔４３を中心にして治具本体４１が回転するのを防止することができる。
【００３８】
本実施の形態に係る治具１１０では、ガイドピン用孔１１１とガイドピン１１２は、ガイドピン用孔１１１の内周面とガイドピン１１２の外周面とで接触するだけであり、治具本体４１を加工装置１に完全に固定するものではない。従って、ガイドピン用孔１１１とガイドピン１１２が、治具１１０に固定されて加工される磁気ヘッド用素材７０の被加工面の面精度に影響することはない。
【００３９】
なお、本実施の形態に係る治具１１０では、左右非対称となるため、第１の実施の形態に係る治具４０のように裏表の区別なく使用することはできない。本実施の形態におけるその他の作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。
【００４０】
図１５は、本発明の第３の実施の形態に係る治具の斜視図である。本実施の形態に係る治具１２０は、第２の実施の形態と同様に、治具本体４１における押圧用孔４４の上方の位置にガイドピン用孔１１１を形成すると共に、治具本体４１における押圧用孔４６の上方の位置に、ガイドピン用孔１１１と同じ大きさのガイドピン用孔１２１を形成したものである。本実施の形態に係る治具１２０のその他の構成は、第１の実施の形態に係る治具４０と同様である。
【００４１】
一方、本実施の形態に係る治具１２０が使用される加工装置１では、第２の実施の形態と同様に、治具固定板２３の前面において、治具１２０のガイドピン用孔１１１に対応する位置に、ガイドピン１１２が設けられていると共に、図示しないが、治具固定板２３の前面において、治具１２０のガイドピン用孔１２１に対応する位置に、ガイドピン用孔１２１に対応する大きさの新たなガイドピンが設けられている。また、押圧部材３３には、新たなガイドピンに対応する位置に、この押圧部材３３が上下方向に所定の距離だけ移動可能なように、ガイドピンが挿通される孔が形成されている。新たなガイドピンは、この孔を通って、先端側が治具１２０のガイドピン用孔１２１内に挿入されるようになっている。なお、ガイドピンは一つ、すなわちガイドピン用孔１１１とガイドピン用孔１２１の一方に挿入されるもののみでも構わない。治具１２０の加工装置１との結合部分におけるガイドピン用孔１２１を含む断面の構造は、図１４と同様になる。
【００４２】
本実施の形態に係る治具１２０によれば、左右対称となるため、第１の実施の形態と同様に、裏表の区別なく使用でき、治具本体４１の片面側に不具合が生じた場合には、反対側の面を加工装置側にして使用することができ、磁気ヘッドの品質、歩留りを向上させることが可能となると共に、治具１２０の耐用期間を延長させることが可能となる。本実施の形態におけるその他の作用および効果は、第２の実施の形態と同様である。
【００４３】
図１６は、本発明の第４の実施の形態に係る治具の斜視図である。本実施の形態に係る治具１３０は、第３の実施の形態におけるガイドピン用孔１１１，１２１と同じ位置に、これらの代わりに、固定用孔４３と同じ径のガイドピン用孔１３１，１３２を設けたものである。本実施の形態に係る治具１３０のその他の構成は、第１の実施の形態に係る治具４０と同様である。
【００４４】
一方、本実施の形態に係る治具１３０が使用される加工装置１では、図示しないが、治具固定板２３の前面において、治具１３０のガイドピン用孔１３１，１３２に対応する位置に、それぞれ、ガイドピン用孔１３１，１３２に対応する大きさのガイドピンが設けられている。また、押圧部材３１，３３には、各ガイドピンに対応する位置に、各押圧部材３１，３３が上下方向に所定の距離だけ移動可能なように、各ガイドピンが挿通される孔が形成されている。各ガイドピンは、この各孔を通って、先端側が治具１３０のガイドピン用孔１３１，１３２内に挿入されるようになっている。
【００４５】
本実施の形態におけるその他の作用および効果は、第３の実施の形態と同様である。
【００４６】
図１７は、本発明の第５の実施の形態に係る治具の斜視図である。本実施の形態に係る治具１４０は、治具本体４１における上端近傍の左右各端部に、ガイドピン係合部１４１，１４２を設けたものである。ガイドピン係合部１４１，１４２は、それぞれ、下方に向いた円弧状の凹部によって形成されている。本実施の形態に係る治具１４０のその他の構成は、第１の実施の形態に係る治具４０と同様である。
【００４７】
図１８は、加工装置に固定した状態の治具１４０を示す正面図である。この図に示したように、本実施の形態に係る治具１４０が使用される加工装置１では、治具固定板２３の前面において、治具１４０のガイドピン係合部１４１，１４２に対応する位置に、それぞれ、ガイドピン係合部１４１，１４２に対応する大きさのガイドピン１４３，１４４が設けられている。各ガイドピン１４３，１４４は、先端側が治具１４０のガイドピン係合部１４１，１４２に係合するようになっている。なお、本実施の形態では、ガイドピン１４３，１４４が押圧部材３１，３３を貫通しないため、押圧部材３１，３３にはガイドピン１４３，１４４挿通用の孔は設けられていない。
【００４８】
本実施の形態に係る治具１４０によれば、加工装置１における押圧部材３１，３３に、ガイドピン１４３，１４４挿通用の孔を設ける必要がなくなるため、加工装置１の構成を簡単にすることができる。本実施の形態におけるその他の作用および効果は、第３の実施の形態と同様である。
【００４９】
図１９は、加工装置に固定した状態における本発明の第６の実施の形態に係る治具を示す断面図である。なお、この断面図は、図１４と同じ位置の断面を表している。本実施の形態に係る治具１５０では、回転防止手段または回転防止部の係合部として、第２の実施の形態におけるガイドピン用孔１１１の代わりに、治具固定板２３側でのみ開口するガイドピン用凹部１５１が形成されている。
【００５０】
一方、本実施の形態に係る治具１５０が使用される加工装置１では、治具固定板２３の前面において、第２の実施の形態におけるガイドピン１１２の代わりに、治具１５０のガイドピン用凹部１５１に対応する位置に、ガイドピン用凹部１５１に対応する径のガイドピン１５２が設けられている。ガイドピン１５２は、押圧部材３１に形成された孔１１３を通って、先端側が治具１５０のガイドピン用凹部１５１内に挿入されるようになっている。
【００５１】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第２の実施の形態と同様である。
【００５２】
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、例えば、回転防止手段または回転防止部としてのガイドピン用孔等の係合部は、１箇所や２箇所だけではなく、３箇所以上設けてもよい。また、実施の形態では、ＭＲヘッドと薄膜ヘッドとを一体化した複合ヘッドの加工の場合について説明したが、本発明は、薄膜ヘッドの加工の場合にも適用することができる。
【００５３】
また、本発明は、加工として、ラッピング以外の加工、例えばポリシングや、グラインディングを行う場合にも適用することができる。
【００５４】
また、本発明は、加工が施される対象物が磁気ヘッド以外の場合にも適用することができる。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１ないし６のいずれかに記載の加工用治具によれば、治具本体における１箇所にのみ設けられた固定部によって、治具本体が加工装置に対して固定されるので、加工装置に対して２箇所で固定される治具のように、治具が固定される加工装置側の固定部の２箇所間の段差や平行度の差が、治具に固定されて加工される対象物の被加工面の面精度に影響することがなくなり、加工装置によって加工される対象物の被加工面の面精度を向上でき、対象物の歩留りの向上や対象物の検査工数の削減が可能になるという効果を奏する。
【００５６】
また、請求項２記載の加工用治具によれば、固定部を、治具本体の長手方向の中央の位置に設けたので、更に、左右対称な形状にして裏表の区別なく使用可能とすることで、治具の対応期間を延長させることができると共に、対象物の歩留りを向上させることが可能となるという効果を奏する。
【００５７】
また、本発明の加工用治具によれば、固定部を中心にして治具本体が回転するのを防止するための回転防止部を備えたので、更に、固定部を中心にして治具本体が回転するのを防止することができるという効果を奏する。
【００５８】
また、請求項５記載の加工用治具によれば、固定部を、治具本体の長手方向の中央の位置に設け、回転防止部としての係合部を、治具本体の長手方向の中央の位置に対して対称な複数箇所に設けたので、更に、左右対称な形状にして裏表の区別なく使用可能とすることで、治具の対応期間を延長させることができると共に、磁気ヘッドの品質や歩留りを向上させることが可能となるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る治具の正面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る治具の斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る治具が使用される加工装置の概略の構成を示す斜視図である。
【図４】図３に示した加工装置における素材支持部を拡大して示す斜視図である。
【図５】加工装置に固定した状態における本発明の第１の実施の形態に係る治具を示す正面図である。
【図６】図５におけるＡ−Ａ′線断面図である。
【図７】磁気ヘッド素子の構成の一例を示す断面図である。
【図８】加工装置における回路構成の一例を示すブロック図である。
【図９】ツイスト量について説明するための説明図である。
【図１０】ツイスト角の測定エリアの例を示す説明図である。
【図１１】ガイドピンを有する加工装置に固定した状態における本発明の第１の実施の形態に係る治具を示す正面図である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態に係る治具の斜視図である。
【図１３】加工装置に固定した状態における本発明の第２の実施の形態に係る治具を示す正面図である。
【図１４】図１３におけるＢ−Ｂ′線断面図である。
【図１５】本発明の第３の実施の形態に係る治具の斜視図である。
【図１６】本発明の第４の実施の形態に係る治具の斜視図である。
【図１７】本発明の第５の実施の形態に係る治具の斜視図である。
【図１８】加工装置に固定した状態における本発明の第５の実施の形態に係る治具を示す正面図である。
【図１９】加工装置に固定した状態における本発明の第６の実施の形態に係る治具を示す断面図である。
【符号の説明】
１…加工装置、１１…回転ラッピングテーブル、２０…素材支持部、４０…治具、４１…治具本体、４２…素材保持部、４３…固定用孔、４４〜４６…押圧用孔、５１〜５９…変形用孔、７０…磁気ヘッド用素材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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