(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査前ＩＣが収納された検査前トレイが載置される検査前ステージと、
検査前ＩＣが搬入されて所定の検査がされる検査ステージと、
検査済ＩＣが収納された検査済トレイが載置される検査後ステージと、
検査前ステージから検査ステージに検査前ＩＣを搬送し、さらに検査ステージから検査後ステージに検査済ＩＣを搬送する１または２以上の吸着ハンドと、
検査前ＩＣまたは検査済ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段を有し、
該静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に対応して前記検査前ＩＣまたは前記検査済ＩＣが収納される分類トレイを具備することを特徴とするＩＣテストハンドラ。
【請求項２】
前記検査ステージにおいて、検査済ＩＣを検査済トレイに収納する際に、前記静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に対応して前記検査済ＩＣを、前記検査済トレイから該分類に対応した分類トレイに搬送することを特徴とする請求項１記載のＩＣテストハンドラ。
【請求項３】
前記静電気放電検知手段が検知した検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電気の放電の強度と、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電破壊の関係があらかじめ整理され、静電気破壊が発生する静電気の放電の強度を閾値とし、該閾値に基づいて前記分類をすることを特徴とする請求項１または２記載のＩＣテストハンドラ。
【請求項４】
ＩＣを吸着自在な吸着パッドと、下端部に該吸着パッドを具備する昇降軸と、該昇降軸を昇降させる昇降機構と、該昇降機構を水平面内で移動させる水平移動機構と、該水平移動機構を支持する本体部と、前記昇降軸、前記昇降機構、前記水平移動機構または前記本体部のいずれかに、ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段を設置した吸着ハンドの制御方法であって、
前記昇降軸を吸着するＩＣの位置に水平移動させる吸着位置移動工程と、
前記静電気放電検知手段が検知を開始する静電気放電検知開始工程と、
前記吸着パッドの下降を開始する吸着パッド下降工程と、
前記吸着パッドが前記ＩＣに当接した際、前記吸着パッドの下降を停止して、前記ＩＣを吸着するＩＣ吸着工程と、
前記ＩＣを吸着した状態で、前記吸着パッドを上昇する吸着パッド上昇工程と、
該吸着パッド上昇工程と並行してまたは該吸着パッド上昇工程が完了した後  前記静電気放電検知手段の検知を終了する静電気放電検知終了工程と、
前記静電気放電検知手段の検知結果を出力する検知結果出力工程
を有することを特徴とする吸着ハンドの制御方法。
【請求項５】
前記出力された検知結果に基づいて、前記吸着しているＩＣを離脱する位置に移動させる離脱位置移動工程を有することを特徴とする請求項４記載の吸着ハンドの制御方法。
【請求項６】
前記静電気放電検知手段が検知した検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電気の放電の強度と、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電破壊の関係があらかじめ整理され、静電気破壊が発生する静電気の放電の強度を閾値とし、該閾値に基づいて前記検知結果が出力されることを特徴とする請求項４または５記載の吸着ハンドの制御方法。
【請求項７】
ＩＣを吸着自在な吸着パッドと、下端部に該吸着パッドを具備する昇降軸と、該昇降軸を昇降させる昇降機構と、該昇降機構を水平面内で移動させる水平移動機構と、該水平移動機構を支持する本体部と、前記昇降軸、前記昇降機構、前記水平移動機構または前記本体部のいずれかに、ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段を設置した吸着ハンドの制御方法であって、
吸着しているＩＣを離脱する位置に移動させる離脱位置移動工程と、
前記静電気放電検知手段が検知を開始する静電気放電検知開始工程と、
前記吸着パッドの下降を開始する吸着パッド下降工程と、
前記吸着パッドが所定の高さに下降した際、前記吸着パッドの下降を停止して、前記ＩＣを吸着を停止するＩＣ離脱工程と、
前記吸着パッドを上昇する吸着パッド上昇工程と、
該吸着パッド上昇工程と並行してまたは該吸着パッド上昇工程が完了した後、前記静電気放電検知手段の検知を終了する静電気放電検知終了工程と、
静電気放電検知手段の検知結果を出力する検知結果出力工程
を有することを特徴とする吸着ハンドの制御方法。
【請求項８】
前記出力された検知結果に基づいて、
前記吸着パッドの下降を再度開始する吸着パッド再下降工程と、
前記吸着パッドが前記ＩＣに当接した際、前記吸着パッドの下降を停止して、前記ＩＣを再度吸着するＩＣ再吸着工程と、
前記ＩＣを吸着した状態で、前記吸着パッドを再度上昇する吸着パッド再上昇工程と、
前記出力された検知結果に基づいて、前記再度吸着しているＩＣを離脱する位置に移動させる離脱位置移動工程を有することを特徴とする請求項７記載の吸着ハンドの制御方法。
【請求項９】
前記静電気放電検知手段が検知した検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電気の放電の強度と、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電破壊の関係があらかじめ整理され、静電気破壊が発生する静電気の放電の強度を閾値とし、該閾値に基づいて前記検知結果が出力されることを特徴とする請求項７または８記載の吸着ハンドの制御方法。
【請求項１０】
検査前ＩＣが収納された検査前トレイが載置される検査前ステージと、検査前ＩＣが搬入されて所定の検査がされる検査ステージと、検査済ＩＣが収納された検査済トレイが載置される検査後ステージと、検査前ステージから検査ステージに検査前ＩＣを搬送し、さらに検査ステージから検査後ステージに検査済ＩＣを搬送する１または２以上の吸着ハンドと、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段を有するＩＣテストハンドラの制御方法であって、
検査前ＩＣを前記検査前ステージから前記検査ステージに搬送する検査前搬送工程と、
該検査前ＩＣを前記検査ステージにおいて検査する検査工程と、
検査済ＩＣを前記検査ステージから前記検査後ステージに搬送する検査後搬送工程を有し、
前記検査前搬送工程において、前記静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に基づいて、検査ステージにおける検査を変更する検査変更工程
を有することを特徴とする、ＩＣテストハンドラの制御方法。
【請求項１１】
検査前ＩＣが収納された検査前トレイが載置される検査前ステージと、検査前ＩＣが搬入されて所定の検査がされる検査ステージと、検査済ＩＣが収納された検査済トレイが載置される検査後ステージと、検査前ステージから検査ステージに検査前ＩＣを搬送し、さらに検査ステージから検査後ステージに検査済ＩＣを搬送する１または２以上の吸着ハンドと、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段を有するＩＣテストハンドラの制御方法であって、
検査前ＩＣを前記検査前ステージから前記検査ステージに搬送する検査前搬送工程と、
該検査前ＩＣを前記検査ステージにおいて検査する検査工程と、
検査済ＩＣを前記検査ステージから前記検査後ステージに搬送する検査後搬送工程を有し、
前記検査前搬送工程の途中において、前記静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に基づいて、当該検査前ＩＣの検査ステージへの搬送を中止する搬送変更工程
を有することを特徴とする、ＩＣテストハンドラの制御方法。
【請求項１２】
検査前ＩＣが収納された検査前トレイが載置される検査前ステージと、検査前ＩＣが搬入されて所定の検査がされる検査ステージと、検査済ＩＣが収納された検査済トレイが載置される検査後ステージと、検査前ステージから検査ステージに検査前ＩＣを搬送し、さらに検査ステージから検査後ステージに検査済ＩＣを搬送する１または２以上の吸着ハンドと、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段と、
該静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に対応して前記検査前ＩＣまたは前記検査済ＩＣが収納される分類トレイを有するＩＣテストハンドラの制御方法であって、
検査前ＩＣを前記検査前ステージから前記検査ステージに搬送する検査前搬送工程と、
該検査前ＩＣを前記検査ステージにおいて検査する検査工程と、
検査済ＩＣを前記検査ステージから前記検査後ステージに搬送する検査後搬送工程を有し、
前記検査前搬送工程または前記検査後搬送工程において、前記静電気放電検知手段が検知した検知結果に基づいて、前記検査前ＩＣまたは前記検査後ＩＣを前記分類トレイに搬送する分類搬送工程
を有することを特徴とする、ＩＣテストハンドラの制御方法。
【請求項１３】
検査前ＩＣが収納された検査前トレイが載置される検査前ステージと、検査前ＩＣが搬入されて所定の検査がされる検査ステージと、検査済ＩＣが収納された検査済トレイが載置される検査後ステージと、検査前ステージから検査ステージに検査前ＩＣを搬送し、さらに検査ステージから検査後ステージに検査済ＩＣを搬送する１または２以上の吸着ハンドと、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段と、
該静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に対応して前記検査前ＩＣまたは前記検査済ＩＣが収納される分類トレイを有するＩＣテストハンドラの制御方法であって、
検査前ＩＣを前記検査前ステージから前記検査ステージに搬送する検査前搬送工程と、
該検査前ＩＣを前記検査ステージにおいて検査する検査工程と、
検査済ＩＣを前記検査ステージから前記検査後ステージに搬送する検査後搬送工程を有し、
該検査済ＩＣを前記検査済トレイに収納する際に、前記静電気放電検知手段が検知した検知結果に基づいて、該検査済ＩＣを前記検査済トレイから前記分類トレイに搬送する再搬送工程
を有することを特徴とするＩＣテストハンドラの制御方法。
【請求項１４】
前記静電気放電検知手段が検知した検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電気の放電の強度と、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電破壊の関係があらかじめ整理され、静電気破壊が発生する静電気の放電の強度を閾値とし、該閾値に基づいて前記分類をすることを特徴とする請求項１０乃至１３のいずれかに記載のＩＣテストハンドラの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣテストハンドラおよび吸着ハンド並びにその制御方法に関し、特に、ＩＣに印加した静電気の放電を非接触により検知し、所定の処置を可能とするＩＣテストハンドラおよび吸着ハンド並びにその制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
（ＩＣテストハンドラ）
図１１は、特開２０００−１１７６７６公報に開示されている従来の水平搬送式テストハンドラの構成を示す平面図である。図１１において、１Ａは供給部、１Ｂはプレヒート部、１Ｃは測定部、１Ｄは収容部である。また、１Ｅは供給ハンド、１Ｆは収容ハンド、１Ｇはローダ、１Ｈはアンローダである。水平搬送式テストハンドラ１は、ＩＣ搬送器（図示省略）を水平移動させることによりＩＣを搬送する。供給ハンド１Ｅは、後述する供給用の吸着ユニット２（ＩＣの吸着機構）を複数備える。収容ハンド１Ｆは、収容用の吸着ユニットを複数備える。ローダ１Ｇは、被試験のＩＣ５を収容したトレイを積載している。アンローダ１Ｈは、空のトレイを積載している。
【０００３】
図１２は、図１１のローダ１Ｇ、アンローダ１Ｈで使用されるトレイの斜視図である。図１１に示されるように、トレイ４には、ＩＣ５を収容する凹部４ａが、縦横に複数（ここでは、縦方向が５、横方向が４）形成されている。
次に、図１１の水平搬送式テストハンドラ１の動作を説明する。未試験のＩＣ５を積んだトレイ４は、作業者によりローダ１Ｇに載置される。供給ハンド１Ｅは、ローダ１Ｇの最上段のトレイ４から供給部１Ａに位置するＩＣ搬送器にＩＣ５を逐次移載する。所定数のＩＣ５を収容したＩＣ搬送器は、供給部１Ａからプレヒート部１Ｂに移動する。プレヒート部１ＢでＩＣ５が一定温度に到達すると、ＩＣ搬送器は測定部１Ｃに移動する。
【０００４】
測定部１ＣでＩＣ５が試験された後、ＩＣ搬送器は収容部１Ｄに移動する。収容部１Ｄでは、測定結果に基づき、収容ハンド１ＦがＩＣ５をアンローダ１Ｈのトレイ４に分類移載する。収容部１Ｆで空になったＩＣ搬送器は、供給部１Ａに戻る。このように、ＩＣ搬送器は、供給部１Ａ→プレヒート部１Ｂ→測定部１Ｃ→収容部１Ｄ→供給部１Ａの順にテストハンドラ１内を循環する。
【０００５】
図１３は、特開２０００−１１７６７６公報に開示されている従来のＩＣの吸着機構を示すもので、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。図１３において、６はＩＣの吸着機構、６Ａは吸着パッド、６Ｂはシャフト（中空シャフト）、６Ｃは圧縮コイルばね、６Ｄは直動ベアリング、６Ｅは保持具、６Ｆはストッパである。ＩＣの吸着機構６は、図１１の水平搬送式テストハンドラ１の供給ハンド１Ｅに設けられている。
【０００６】
中空のシャフト６Ｂの下端部には、ゴムなどの弾性体で形成された中空円錐体の吸着パッド６Ａが取り付けられている。吸着パッド６Ａの側方を覆う形で下向きに突出する段部６Ｔをもつストッパ６Ｆがシャフト６Ｂの下端部に取り付けられている。保持具６Ｅに内包された直動ベアリング６Ｄで、シャフト６Ｂの軸部が摺動自在に保持されている。シャフト６Ｂの軸部に巻装された圧縮コイルばね６Ｃはストッパ６Ｆと保持具６Ｅ間に配置され、ストッパ６Ｆと保持具６Ｅが離反する力を付勢している。シャフト６Ｂの上端部は鍔６Ｕが形成され、シャフト６Ｂの運動を規制している。
【０００７】
また、ストッパ６Ｆの下面６Ｓは、トレイ４の凹部４ａ（図１２）に埋没しない幅を少なくとも有しており、このストッパ６Ｆの下面６Ｓから吸着パッド６Ａの吸着面（ＩＣ当接面）までの距離は、トレイ４の凹部４ａの深さより短くなっている。また、ストッパ６Ｆの段部の下端６Ｔは、吸着パッド６Ａの吸着面（ＩＣ当接面）より上方に位置していて、段部の下端６ＴがＩＣ５に当接しないよう構成されている。
シャフト６Ｂには、その中空部６Ｗに連通した状態でチューブ（図示省略）が取り付けられ、チューブの終端には、吸引手段として図示しない真空ポンプが接続されている。即ち、吸着パッド６ＡをＩＣ５に当接させた状態で、真空ポンプが吸着パッド６Ａ内を減圧することにより、ＩＣ５が吸着パッド６Ａに吸着される。
【０００８】
さらに、真空ポンプ（吸引手段）の吸入路（例えば、シャフト６Ｂの中空部６Ｗ、チューブなど）における空気圧の高低を検知可能な圧力センサと、圧力センサの検知に基づきトレイ４の凹部４ａにおけるＩＣ５の有無を検知するＩＣ検
知手段を設けている。圧力センサは、真空ポンプの前記吸入路における空気圧の高低を検知できる位置に設置され、圧力センサは、検知結果をＩＣ検知手段に出力する。
【０００９】
したがって、トレイの凹部にＩＣが無い状態で保持具が下降した場合に、中空シャフトに取り付けられているストッパがトレイの上端面に当接して、中空シャフトの下方向への摺動が停止するから、吸着パッドがトレイの凹部底面に接触することが防止される。よって、トレイの凹部にＩＣが無い状態で保持具が下降した場合でも、吸着パッドがトレイの凹部底面に接触することはなく、吸着パッドがトレイを吸着することが無くなる。
【００１０】
よって、吸着パッドがトレイを吸着することにより生じる誤認識等の不具合をなくすことができ、テストハンドラの稼働の効率が向上する。さらに、吸引手段の吸入路における空気圧の高低を検知する圧力センサを設けたため、圧力センサの検知に基づき、トレイの凹部におけるＩＣの有無を検知できる。
【００１１】
（静電気放電検知手段）
図１４は、実開平５−８８９６３号公報に開示されている従来の静電気放電検知手段の回路部分の構成図である。図１４において、静電気放電検知手段部１２は、フェライトコアに２本のリード線（１本は金属部ＭＴからのアース線、他の１本はオペアンプＯＰに通ずる）を巻き付けて成る放電電流検知回路１２−１と、オペアンプＯＰで構成された電圧検知回路１２−２と、この電圧検知回路１２−２からの検知信号をラッチするラッチ回路１２−３を有する構成となっている。
【００１２】
ここで、電圧検知回路１２−２は放電電流検知回路１２−１からの検知信号を増幅してロジックレベルに変換出力するもので、その出力は図示しないＣＰＵに割込信号Ａとして入力されると共にラッチ回路１２−３に与えられる。ラッチ回路１２−３はＤ型フリップフロップによって構成され、そのＤ入力端子には電圧Ｖｃｃが印加され、またそのＣＫ入力端子にはオペアンプＯＰの出力がクロック信号として印加され、更にそのＣＬ入力端子にはＣＰＵからのリセット信号が入力されている。また、このフリップフロップのＱ出力は対応するＬＥＤ４−１の点灯用の信号となる。
【００１３】
いま、金属部ＭＴにおいて静電気の放電が発生したものとすると、その放電電流は金属部ＭＴから放電電流検知回路１２−１を通って電源プラグＢＰに流れ、接地される。この際、放電電流検知回路１２−１においては電磁誘導作用により放電電流に応じた起電力が生じ、電圧検知回路１２−２を構成するオペアンプＯＰに入力される。すると、オペアンプＯＰは放電電流検知回路１２−１からの電圧を増幅してロジックレベルに変換し、その出力はラッチ回路１２−３に与えられると共にＣＰＵに割込信号Ａとして与えられる。ここで、ラッチ回路１２−３はオペアンプＯＰの出力に応答してそのＱ出力を反転し、対応するＬＥＤ４−１を点灯させる。
したがって、電磁誘導作用という簡単な構成で静電気の放電を検知できるので、機器本体内に静電気放電検知部を組み込むことが可能となり、コスト的にも有利なものとなる。
【００１４】
図１５は、従来の非接触方式の静電気放電検知手段の構成図である。図１５において、静電気の放電が予測される検査個所にアンテナ１５ａが設置され、アンテナ１５ａとアンテナケーブル１５ｂにより接続された静電気放電検知部１５ｃが、該検査個所における静電気の放電を検知する。なお、アンテナ１５ａと静電気放電検知部１５ｃは複数個所に設置され、それぞれの検知信号が信号処理部１５ｄに入力されている。したがって、信号処理部１５ｄにおいて、該検知信号が処理され、所定の表示や、アラームライトの点滅ないしアラームサイレンの発音等が可能になる。さらに、複数個所からの検知信号を解析することにより、静電気の放電が発生した個所を推定することができるものである。
したがって、接触式静電気放電検知手段における接触子が不要になるため、前記水平搬送式テストハンドラへの設置が容易になり、さらに、該接触子がＩＣに当接する際に発生するＩＣの外面傷の問題点を解消することができるものである。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の水平搬送式テストハンドラは、トレイの凹部に収納したＩＣを吸引して持ち上げたり、吸引を停止して載置したりする（以下、ハンドリングと総称する）から、この時、ＩＣの一部（たとえば、リードフレームの先端等）がトレイの凹部側壁と摺動して静電気が印加する。そして、再度、ＩＣをハンドリングする際、印加した静電気の放電が起こり、ＩＣが破壊することがある（以下、静電破壊と称す）。
【００１６】
そのため、かかる静電気の印加を防止する目的で、水平搬送式テストハンドラの移動範囲内（ＩＣを吸引して持ち上げたり、吸引を停止して載置したりする範囲内）の、温度・湿度を一定に保つ考案（たとえば、実開平５−７７８９７号公報）が開示されている。しかし、当該範囲にトレイ等を搬入したり、当該範囲からトレイ等を搬出する際に、かかる温度・湿度が変動して、静電気の印加を完全に防止することができないという問題点があった。
【００１７】
また、水平搬送式テストハンドラに非接触方式の静電気放電検知手段を設置して、ハンドリングに際して発生する静電気の放電を検知しようとする提案がなされている。しかしながら、該提案は静電気の放電を検知することに止まり、それを利用したテストハンドラの操作等については具体的な開発がなされていない状況である。
【００１８】
このため、以下のような問題点があった。
▲１▼検査前のハンドリングにおいて、静電気の放電が検知され、ＩＣの静電破壊が発生したことが予測される場合でも、他のＩＣと同様に検査が実施されるため、無駄な検査による検査能率の低下が発生するという問題点。
▲２▼検査合格ＩＣのハンドリングにおいて、静電気の放電が検知され、ＩＣの静電破壊が発生したことが予測される場合でも、作業者または別途設置したマニュプレータにより当該ＩＣが撤去されない限り、他の検査合格ＩＣと同様に検査済トレイ（合格品トレイ）に収納されるため、静電破壊が起こっているＩＣが検査合格ＩＣと同一トレイ内に混在するという問題点。
【００１９】
▲３▼検査合格ＩＣが、検査済トレイ（合格品トレイ）に載置される際、すなわち最終ハンドリングの際、静電気の放電を検知したような場合でも、作業者または別途設置したマニュプレータにより当該ＩＣが撤去されない限り、当該ＩＣが処置されないまま検査済トレイ（合格品トレイ）に載置されたままになり、静電破壊が起こっているＩＣが検査合格ＩＣと同一トレイ内に混在するという問題点。▲４▼さらに、２以上の水平搬送式テストハンドラにより、複数個所において静電気の放電が発生する場合、発生個所の特定が困難であるという問題点。
【００２０】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、ＩＣに印加した静電気を非接触で検知し、さらに、該検知結果に対応して所定の処置を取って、検査の質と効率を向上させた、ＩＣテストハンドラおよび吸着ハンド並びにその制御方法を得ることを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るＩＣテストハンドラは、以下のとおりである。
（１）検査前ＩＣが収納された検査前トレイが載置される検査前ステージと、
検査前ＩＣが搬入されて所定の検査がされる検査ステージと、
検査済ＩＣが収納された検査済トレイが載置される検査後ステージと、
検査前ステージから検査ステージに検査前ＩＣを搬送し、さらに検査ステージから検査後ステージに検査済ＩＣを搬送する１または２以上の吸着ハンドと、
検査前ＩＣまたは検査済ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段を有し、
該静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に対応して前記検査前ＩＣまたは前記検査済ＩＣが収納される分類トレイを具備することを特徴とするものである。
【００２２】
したがって、静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に対応して前記検査前ＩＣまたは前記検査済ＩＣが収納される分類トレイに収納することができるから、検査合格ＩＣと、静電破壊したおそれがあるＩＣを別個のトレイに分離して収納することが可能になる。
【００２３】
（２）前記（１）の前記検査ステージにおいて、検査済ＩＣを検査済トレイに収納する際に、前記静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に対応して前記検査済ＩＣを、前記検査済トレイから該分類に対応した分類トレイに搬送することを特徴とするものである。
【００２４】
したがって、検査済ＩＣ（検査合格品）であっても、最終ハンドリングである検査済トレイに収納する際に静電破壊が発生したものは、検査済トレイから撤去されるから、検査合格ＩＣと、静電破壊したおそれがあるＩＣを別個のトレイに分離して収納することが可能になる。
【００２５】
（３）前記（１）または（２）において、前記静電気放電検知手段が検知した検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電気の放電の強度と、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電破壊の関係があらかじめ整理され、静電気破壊が発生する静電気の放電の強度を閾値とし、該閾値に基づいて前記分類をすることを特徴とするものである。
【００２６】
したがって、あらかじめＩＣの種類毎に、検知した電磁的ノイズの値とＩＣの静電破壊（静電気の放電に伴うＩＣ機能の破壊等）の関係を調査し、該破壊が発生する電磁的ノイズの値を閾値と設定しておけば、検知した静電気の放電の強度を該閾値と比較することにより、ＩＣが静電破壊されたことを知ることが可能になる。また、静電破壊したＩＣのみを所定の分類トレイ（静電破壊トレイ）に収納することができる。
【００２７】
さらに、本発明に係る吸着ハンドの制御方法は、以下のとおりである。
（４）ＩＣを吸着自在な吸着パッドと、下端部に該吸着パッドを具備する昇降軸と、該昇降軸を昇降させる昇降機構と、該昇降機構を水平面内で移動させる水平移動機構と、該水平移動機構を支持する本体部と、前記昇降軸、前記昇降機構、前記水平移動機構または前記本体部のいずれかに、ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段を設置した吸着ハンドの制御方法であって、
前記昇降軸を吸着するＩＣの位置に水平移動させる吸着位置移動工程と、
前記静電気放電検知手段が検知を開始する静電気放電検知開始工程と、
前記吸着パッドの下降を開始する吸着パッド下降工程と、
前記吸着パッドが前記ＩＣに当接した際、前記吸着パッドの下降を停止して、前記ＩＣを吸着するＩＣ吸着工程と、
前記ＩＣを吸着した状態で、前記吸着パッドを上昇する吸着パッド上昇工程と、
該吸着パッド上昇工程と並行してまたは該吸着パッド上昇工程が完了した後  前記静電気放電検知手段の検知を終了する静電気放電検知終了工程と、
前記静電気放電検知手段の検知結果を出力する検知結果出力工程
を有することを特徴とするものである。
【００２８】
したがって、ＩＣを吸着して持ち上げる際に限定して、静電気の放電現象を検知するから、常時検知状態にしておく必要がなくなる。
さらに、静電気放電検知手段を、静電気の放電にともなう電磁ノイズを受信するアンテナと該受信した電磁ノイズを検出する検出部から構成しておけば、２以上の吸着ハンドが、近接して時間差を設けて同様の作業をする場合、該吸着ハンドにはアンテナのみ設置し（吸着ハンド毎に１台のアンテナ）、２以上のアンテナを同一の検出部に接続しておくだけで、前記電磁ノイズを受信したアンテナ（電磁ノイズが発生した吸着ハンドに同じ）を特定することが容易にできる。すなわち、アンテナ毎に検出部を設ける必要がなくなる。
なお、吸着パッドが下降を開始した後に、吸着パッド下降工程と並行して、静電気放電検知手段が検知を開始してもよい。
【００２９】
（５）前記（４）において、前記出力された検知結果に基づいて、前記吸着しているＩＣを離脱する位置に移動させる離脱位置移動工程を有することを特徴とするものである。
【００３０】
したがって、検知結果に基づいて、吸着しているＩＣを所定の離脱する位置（たとえば、分類トレイないし静電破壊トレイ）に搬送することができるから、分類されるべきＩＣを検査済トレイ（合格品トレイ）とは分離して収納することができる。
【００３１】
（６）前記（４）または（５）において、前記静電気放電検知手段が検知した検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電気の放電の強度と、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電破壊の関係があらかじめ整理され、静電気破壊が発生する静電気の放電の強度を閾値とし、該閾値に基づいて前記検知結果が出力されることを特徴とするものである。
【００３２】
したがって、検知結果に基づいて、静電破壊の発生の有無を知ることができるから、吸着しているＩＣを静電破壊トレイに搬送することができ、静電破壊が発生したＩＣを検査済トレイ（合格品トレイあるいは他の分類トレイ）とは分離して収納することができる。
【００３３】
（７）ＩＣを吸着自在な吸着パッドと、下端部に該吸着パッドを具備する昇降軸と、該昇降軸を昇降させる昇降機構と、該昇降機構を水平面内で移動させる水平移動機構と、該水平移動機構を支持する本体部と、前記昇降軸、前記昇降機構、前記水平移動機構または前記本体部のいずれかに、ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段を設置した吸着ハンドの制御方法であって、
吸着しているＩＣを離脱する位置に移動させる離脱位置移動工程と、
前記静電気放電検知手段が検知を開始する静電気放電検知開始工程と、
前記吸着パッドの下降を開始する吸着パッド下降工程と、
前記吸着パッドが所定の高さに下降した際、前記吸着パッドの下降を停止して、前記ＩＣを吸着を停止するＩＣ離脱工程と、
前記吸着パッドを上昇する吸着パッド上昇工程と、
該吸着パッド上昇工程と並行してまたは該吸着パッド上昇工程が完了した後、前記静電気放電検知手段の検知を終了する静電気放電検知終了工程と、
静電気放電検知手段の検知結果を出力する検知結果出力工程
を有することを特徴とするものである。
【００３４】
したがって、ＩＣを載置する際に限定して、静電気の放電現象を検知するから、常時検知状態にしておく必要がなくなる。
さらに、静電気放電検知手段を、静電気の放電にともなう電磁ノイズを受信するアンテナと該受信した電磁ノイズを検出する検出部から構成しておけば、２以上の吸着ハンドが、近接して時間差を設けて同様の作業をする場合、該吸着ハンドにはアンテナのみ設置し（吸着ハンド毎に１台のアンテナ）、２以上のアンテナを同一の検出部に接続しておくだけで、前記電磁ノイズを受信したアンテナ（電磁ノイズが発生した吸着ハンドに同じ）を特定することが容易にできる。すなわち、アンテナ毎に検出部を設ける必要がなくなる。
なお、吸着パッドが下降を開始した後に、吸着パッド下降工程と並行して、静電気放電検知手段が検知を開始してもよい。
【００３５】
（８）前記（７）において、前記出力された検知結果に基づいて、
前記吸着パッドの下降を再度開始する吸着パッド再下降工程と、
前記吸着パッドが前記ＩＣに当接した際、前記吸着パッドの下降を停止して、前記ＩＣを再度吸着するＩＣ再吸着工程と、
前記ＩＣを吸着した状態で、前記吸着パッドを再度上昇する吸着パッド再上昇工程と、
前記出力された検知結果に基づいて、前記再度吸着しているＩＣを離脱する位置に移動させる離脱位置移動工程を有することを特徴とするものである。
【００３６】
したがって、検査済ＩＣ（検査合格品）であっても、検査後ステージにおいて検査済トレイ（合格品トレイ）に収納する際に、検知結果（たとえば、分類信号）に対応して、再度、吸着パッドが下降して当該ＩＣ（分類されるべきＩＣ）を検査済トレイ（合格品トレイ）から撤去するから、かかるＩＣが検査合格ＩＣと同一トレイ内に混在することが無くなる。
【００３７】
（９）前記（７）または（８）において、前記静電気放電検知手段が検知した検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電気の放電の強度と、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電破壊の関係があらかじめ整理され、静電気破壊が発生する静電気の放電の強度を閾値とし、該閾値に基づいて前記検知結果が出力されることを特徴とするものである。
【００３８】
したがって、検査済ＩＣ（検査合格品）であっても、検査後ステージにおいて検査済トレイに収納する際に、検知結果（たとえば、静電気破壊が発生したという信号等）に対応して、再度、吸着パッドが下降して当該ＩＣ（静電破壊したＩＣ）を検査済トレイ（合格品トレイ）から撤去するから、検査合格ＩＣと同一トレイ内に混在することが無くなる。
【００３９】
さらに、本発明に係るＩＣテストハンドラの制御方法は、以下のとおりである。
（１０）検査前ＩＣが収納された検査前トレイが載置される検査前ステージと、検査前ＩＣが搬入されて所定の検査がされる検査ステージと、検査済ＩＣが収納された検査済トレイが載置される検査後ステージと、検査前ステージから検査ステージに検査前ＩＣを搬送し、さらに検査ステージから検査後ステージに検査済ＩＣを搬送する１または２以上の吸着ハンドと、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段を有するＩＣテストハンドラの制御方法であって、
検査前ＩＣを前記検査前ステージから前記検査ステージに搬送する検査前搬送工程と、
該検査前ＩＣを前記検査ステージにおいて検査する検査工程と、
検査済ＩＣを前記検査ステージから前記検査後ステージに搬送する検査後搬送工程を有し、
前記検査前搬送工程において、前記静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に基づいて、検査ステージにおける検査を変更する検査変更工程
を有することを特徴とするものである。
【００４０】
したがって、検査前にＩＣの状況（たとえば、静電破壊の発生等）を知ることができるから、かかる状況に対応して検査を中止あるいは簡素化することが可能になり、検査の無駄が防止され、検査能率が向上する。
【００４１】
（１１）検査前ＩＣが収納された検査前トレイが載置される検査前ステージと、検査前ＩＣが搬入されて所定の検査がされる検査ステージと、検査済ＩＣが収納された検査済トレイが載置される検査後ステージと、検査前ステージから検査ステージに検査前ＩＣを搬送し、さらに検査ステージから検査後ステージに検査済ＩＣを搬送する１または２以上の吸着ハンドと、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段を有するＩＣテストハンドラの制御方法であって、
検査前ＩＣを前記検査前ステージから前記検査ステージに搬送する検査前搬送工程と、
該検査前ＩＣを前記検査ステージにおいて検査する検査工程と、
検査済ＩＣを前記検査ステージから前記検査後ステージに搬送する検査後搬送工程を有し、
前記検査前搬送工程の途中において、前記静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に基づいて、当該検査前ＩＣの検査ステージへの搬送を中止する搬送変更工程
を有することを特徴とするものである。
【００４２】
したがって、検査前にＩＣの状況（たとえば、静電破壊の発生等）を知ることができるから、かかる状況に対応して当該検査前ＩＣ（静電破壊している）の検査ステージへの搬送を中止して分類トレイないし静電破壊トレイに直接搬送することが可能になり、搬送の無駄が防止され、検査能率が増大する。
【００４３】
（１２）検査前ＩＣが収納された検査前トレイが載置される検査前ステージと、検査前ＩＣが搬入されて所定の検査がされる検査ステージと、検査済ＩＣが収納された検査済トレイが載置される検査後ステージと、検査前ステージから検査ステージに検査前ＩＣを搬送し、さらに検査ステージから検査後ステージに検査済ＩＣを搬送する１または２以上の吸着ハンドと、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段と、
該静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に対応して前記検査前ＩＣまたは前記検査済ＩＣが収納される分類トレイを有するＩＣテストハンドラの制御方法であって、
検査前ＩＣを前記検査前ステージから前記検査ステージに搬送する検査前搬送工程と、
該検査前ＩＣを前記検査ステージにおいて検査する検査工程と、
検査済ＩＣを前記検査ステージから前記検査後ステージに搬送する検査後搬送工程を有し、
前記検査前搬送工程または前記検査後搬送工程において、前記静電気放電検知手段が検知した検知結果に基づいて、前記検査前ＩＣまたは前記検査後ＩＣを前記分類トレイに搬送する分類搬送工程
を有することを特徴とするものである。
【００４４】
したがって、前記検査前ステージまたは検査後ステージのいずれにおいても、前記検知結果に対応して、当該ＩＣを分類トレイに直接搬送するから、該分類されるべきＩＣが検査済トレイ（合格品トレイ）に収納されることがない。
【００４５】
（１３）  検査前ＩＣが収納された検査前トレイが載置される検査前ステージと、検査前ＩＣが搬入されて所定の検査がされる検査ステージと、検査済ＩＣが収納された検査済トレイが載置される検査後ステージと、検査前ステージから検査ステージに検査前ＩＣを搬送し、さらに検査ステージから検査後ステージに検査済ＩＣを搬送する１または２以上の吸着ハンドと、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段と、
該静電気放電検知手段が検知した静電気の放電の強度を分類し、該分類に対応して前記検査前ＩＣまたは前記検査済ＩＣが収納される分類トレイを有するＩＣテストハンドラの制御方法であって、
検査前ＩＣを前記検査前ステージから前記検査ステージに搬送する検査前搬送工程と、
該検査前ＩＣを前記検査ステージにおいて検査する検査工程と、
検査済ＩＣを前記検査ステージから前記検査後ステージに搬送する検査後搬送工程を有し、
該検査済ＩＣを前記検査済トレイに収納する際に、前記静電気放電検知手段が検知した検知結果に基づいて、該検査済ＩＣを前記検査済トレイから前記分類トレイに搬送する再搬送工程
を有することを特徴とするものである。
【００４６】
したがって、検査済ＩＣ（検査合格品）であっても、検査後ステージにおいて、検査済トレイに収納する際に電磁ノイズが検知され、検知結果が出力された場合には、該検知結果に基づいて、再度、吸着パッドが下降して当該ＩＣを検査済トレイから撤去して分類トレイに収納するから、かかるＩＣが検査合格ＩＣと同一トレイ内に混在することが無くなる。
【００４７】
（１４）  前記（１０）乃至（１３）のいずれかにおいて、前記静電気放電検知手段が検知した検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電気の放電の強度と、検査前ＩＣまたは検査済ＩＣの静電破壊の関係があらかじめ整理され、静電気破壊が発生する静電気の放電の強度を閾値とし、該閾値に基づいて前記分類をすることを特徴とするものである。
【００４８】
したがって、静電気破壊が発生したＩＣは静電破壊トレイに収納され、検査合格ＩＣと同一トレイ内に混在することが無くなる。
【００４９】
【発明の実施の形態】
［実施形態１］
（吸着ハンド）
図１は本発明の一実施形態に係る吸着ハンドの構成を示す正面図である。図１において、１０は略リング状のＩＣの吸着パッド、２０は中空軸、３０は中空軸２０に接続されたエアーホース、４０は中空軸２０を保持する昇降軸、５０は昇降軸４０を昇降する昇降機構、６０は昇降機構５０が設置された横行部、７０は横行部６０を横行自在に支持する走行部、８０は走行部７０を走行自在に支持する本体部、９０は静電気の放電に伴う電磁ノイズを検知する放電検知センサ（アンテナ）である。
【００５０】
吸着パッド１０は、ゴムまたは合成樹脂により成形され、その下端面１１（環状縁）をＩＣの上面に当接し、軽く押しつけた状態においてエアーホース３０内を減圧することで、ＩＣを吸着する。このとき、吸着パッド１０は可撓性を具備しているから、下端面１１はＩＣの上面に密着し、エアーがエアーホース３０内に浸入することがない。一方、吸着したＩＣを所定の位置（たとえば、トレイのポケット等）に載置する際は、該位置に軽く押しつけた状態においてエアーホース３０内を加圧または常圧に戻しながら、吸着パッド１０を離していく。
【００５１】
中空軸２０は、昇降軸４０に上下方向で摺動自在に保持されている。中空軸２０の上部に設置された上フランジ２１は、昇降軸４０の上端面４１に当接し、一方、中空軸２０の下部に設置された下フランジ２２と昇降軸４０の下端面４２の間に、圧縮ばね４５が装入されている。したがって、通常時は、圧縮ばね４５の反発力により、上フランジ２１は上端面４１に押し付けられている。
しかし、中空軸２０に該反発力より大きな押し上げ力が作用した場合には、圧縮ばね４５が収縮し、上フランジ２１は上端面４１から離れて浮き上がる構造になっている。このため、吸着パッド１０がＩＣを吸着する際、過大な力でＩＣを押し付け、これを破損することがない。
【００５２】
エアーホース３０は、その内部が大気に対してマイナス（負圧）になった際も、扁平にならないだけの剛性と、中空軸２０の移動（昇降および水平面内移動）に追従自在な可撓性を具備している。また、エアーホース３０の一端は、図示しないエアー分配弁に接続され、さらに、減圧手段および加圧手段に接続されている。さらに、エアーホース３０内の圧力を検知するための図示しない圧力計が設置されている。
【００５３】
昇降軸４０は、昇降機構５０に昇降自在に保持され、横行部６０に設置されたピニオンにかみ合うラックが設置されている。
【００５４】
昇降機構５０は、ピニオン・ラック構造であって、横行部６０に設置されたピニオンの回転により、昇降軸４０に設置されたラック（該ピニオンにかみ合ってている）が昇降するものである。なお、ピニオン・ラック構造に替えて、エアーシリンダ機構、滑車・ワイヤ機構あるいは、回転リンク機構等いずれであってもよい。
【００５５】
横行部６０は、昇降機構５０が設置され、走行部７０に馬乗り状に載置されている。また、図示しない横行手段により走行部７０上を横行するものである。
【００５６】
走行部７０は、本体部８０に走行自在に載置され、図示しない走行手段により本体部８０上を走行するものである。
【００５７】
本体部８０は、走行部７０を走行自在に支持するものであって、一対の平行する走行路８１を具備している。
【００５８】
放電検知センサ９０は、横行部６０に設置され、ＩＣのハンドリング時に発生する静電気の放電に伴う電磁ノイズを検知するものである。
さらに、放電検知センサ９０の検知信号はコントロールユニット９１に出力される。コントロールユニット９１において、検知信号は増幅および所定の演算処理をされ、演算結果がデスプレー９２に表示され、さらに、所定の警報がパトライト９３の点灯により報知される。
【００５９】
なお、放電検知センサ９０およびコントロールユニット９１の設置位置は、横行部６０に限定するものではなく、それぞれ別々に昇降部４０，走行部７０あるいは本体部８０のいずれであってもよい。また、デスプレー９２およびパトライト９３の設置は、当該吸着パッドが設置されているＩＣテストハンドラのチャンバーの外面、該検査装置の周囲あるいは、該検査装置の集中操作室等いずれであってもよい。
【００６０】
図２は本発明の他の実施形態に係るＩＣテストハンドラの放電検知手段のコントロールユニットの構成を示すブロック図である。図２において、９１１は検知信号増幅部、９１２は演算処理部、９１３は表示制御部、９１４はアラーム制御部、９１５は吸着ハンド制御部、９１６はＩＣ検査制御部である。
【００６１】
検知信号増幅部９１１は、放電検知センサ９０が検知した検知信号を受け取り、所定の大きさに増幅する。
【００６２】
演算処理部９１２は、該増幅された検知信号に対し所定の処理をする。すなわち、電磁的ノイズの大きさに対応した分類をしておき、検知した電磁的ノイズがどの分類に属するかを判断して分類信号を発する。あるいは、あらかじめ、ＩＣの種類毎に、検知した電磁的ノイズの値とＩＣの破壊状況（静電気の放電に伴うＩＣ機能の破壊等）の関係を調査し、該破壊が発生する電磁的ノイズの値を閾値と設定しておき、検知した電磁的ノイズが閾値を超えているか否かを判断し、超えている場合にアラーム信号を発する。
【００６３】
表示制御部９１３は、デスプレー９２を制御するものであって、前記分類信号を分かり易い形にして表示させたり、前記判断した分類を文字、図形あるいは色彩等にして表示させるものである。
【００６４】
アラーム制御部９１４は、前記アラーム信号に対応して、パトライト９３を起動させるものである。
【００６５】
吸着ハンド制御部９１５は、前記分類信号または前記アラーム信号の一方または両方に対応して、吸着パッド９０を制御（昇降部４０の昇降制御、横行部６０の横行制御、走行部７０の走行制御を含む）するものである。すなわち、かかる信号に対応して、たとえば、当該ＩＣを図示しない分類トレイや静電破壊トレイに搬送したり、ＩＣの検査を省略したり、搬送経路や搬送速度を変更したり、待機時間を変更したりする。
【００６６】
ＩＣ検査制御部９１６は、前記分類信号または前記アラーム信号の一方または両方に対応して、所定の判断に基づいてＩＣの検査を省略すること等をＩＣテストハンドラに指令する。
【００６７】
［実施形態２］
（ＩＣテストハンドラ）
図３、図４および図５は、本発明の他の実施形態に係るＩＣテストハンドラの構成を示す平面図、正面図および側面図である。図３、図４および図５において、ＩＣテストハンドラ４００は、検査前ステージ５００、予熱ステージ５５０、検査ステージ７００および検査後ステージ８００が略Ｕ字状に配置され、この間で、第一の吸着ハンド１００、第二の吸着ハンド２００、第三の吸着ハンド３００、第一のキャリア６１０および第二のキャリア６２０がＩＣを搬送するものである。
【００６８】
すなわち、検査前ステージ５００に積層された検査前トレイ５０１に収納された検査前ＩＣ（ｎ番目ＩＣと仮称する）は、第一の吸着ハンド１００により第一のキャリア６１０（受取位置Ｅに停止している）に載置され、つぎに、第一のキャリア６１０の移動により検査待機位置Ｆまで搬送され、そして、第二の吸着ハンド２００により検査位置Ｔに載置される。
【００６９】
所定の検査が終了した後、検査済ｎ番目ＩＣは、第二の吸着ハンド２００により第一のキャリア６１０（検査待機位置Ｆに待機している）に載置され、第一のキャリア６１０の移動により払出位置Ｇまで搬送され、そして、第三の吸着ハンド３００により検査後ステージ８００に積層された検査済トレイに収納される。
【００７０】
さらに、第一のキャリア６１０への搬送を終えた第一の吸着ハンド１００は、前記検査と並行して、検査前ステージ５００に引き返し、先と同様に、積層された検査前トレイ５０１に収納された検査前ＩＣ（ｎ＋１番目ＩＣと仮称する）を第二のキャリア６２０（受取位置Ｈに停止している）に載置する。そして、第二のキャリア６２０は検査待機位置Ｉまで移動して、先行して実施されているｎ番目ＩＣの検査の終了を待つ。すなわち、第二の吸着ハンド２００が検査済ｎ番目ＩＣを検査位置Ｔから検査待機位置Ｆへ搬送した後、引き続き、この第二の吸着ハンド２００が検査前ｎ＋１番目ＩＣを検査待機位置Ｉから検査位置Ｔに搬送する。
【００７１】
そして、所定の検査が終了した後、検査済ｎ＋１番目ＩＣは、第二の吸着ハンド２００により第二のキャリア６２０（検査待機位置Ｉに待機している）に載置され、第二のキャリア６２０の移動により払出位置Ｊまで搬送され、そして、第三の吸着ハンド３００より検査後ステージ８００に積層された検査済トレイに収納される。
【００７２】
なお、検査済ｎ番目ＩＣの払出が終了した第一のキャリア６１０（払出位置Ｇに停止している）は受取位置Ｅに戻り、引き続き検査前ｎ＋２番目ＩＣが載置されるのを待機する。同様に、検査済ｎ＋１番目ＩＣの払出が終了した第二のキャリア６２０（払出位置Ｊに停止している）は受取位置Ｈに戻り、引き続き検査前ｎ＋３番目ＩＣが載置されるのを待機する。
【００７３】
以上のように、検査前ＩＣは、往復する第１のキャリア６１０および第二のキャリア６２０に交互に載置され、かかる作業を繰り返すことにより検査が継続して実施されるものである。
なお、検査前ステージ５００における検査前トレイ５０１の段積みや撤去、および検査後ステージ８００における検査済トレイの段積みや撤去は、図示しないマニュプレータにより実施してもよいし、作業員による手動作業で実施してもよい。また、検査済トレイとは、合格品トレイ８０２、分類トレイ８０３（静電破壊トレイを含む）、および図示しない検査不合格品トレイである。
【００７４】
（吸着ハンド）
第一の吸着ハンド１００は、ＩＣを吸着する略リング状の第一の吸着パッド１１０、下端に第一の吸着パッド１１０が設置された第一の中空軸１２０、第一の中空軸１２０に接続された図示しない第一のエアーホース、第一の中空軸１２０を保持する第一の昇降軸１４０、第一の昇降軸１４０を昇降する第一の昇降機構１５０、第一の昇降機構１５０が設置された第一の横行部１６０、第一の横行部１６０を横行自在に支持する第一の走行部１７０、第一の走行部１７０を走行自在に支持する図示しない第一の本体部、および静電気の放電に伴う電磁ノイズを検知する第一の放電検知センサ１９０を有している。
【００７５】
なお、第一の放電検知センサ１９０は第一の横行部１６０に設置するものに限定するものではなく、第一の昇降軸１４０、第一の走行部１７０または第一の本体部のいずれの位置に設置してもよい。
そして、第一の吸着パッド１１０は、位置Ａ、位置Ｂ、位置Ｃおよび位置Ｅで囲まれた範囲内を移動自在である。
【００７６】
第二の吸着ハンド２００は、ＩＣを吸着する略リング状の第二の吸着パッド２１０、下端に第二の吸着パッド２１０が設置された第二の中空軸２２０、第二の中空軸２２０に接続された図示しない第二のエアーホース、第二の中空軸２２０を保持する第二の昇降軸２４０、第二の昇降軸２４０を昇降する第二の昇降機構２５０、第二の昇降機構２５０が設置された第二の横行部２６０、第二の横行部２６０を横行自在に支持する第二の走行部２７０、第二の走行部２７０を走行自在に支持する図示しない第二の本体部、および静電気の放電に伴う電磁ノイズを検知する第二の放電検知センサ２９０を有している。
【００７７】
なお、第二の放電検知センサ２９０は第二の本体部に設置するものに限定するものではなく、第二の昇降軸２４０、第二の横行部２６０または第二の走行部２７０のいずれの位置に設置してもよい。
そして、第二の吸着パッド２１０は、略検査待機位置Ｆと略検査待機位置Ｉの間を移動自在である。
【００７８】
第三の吸着ハンド３００は、ＩＣを吸着する略リング状の第三の吸着パッド３１０、下端に第三の吸着パッド３１０が設置された第三の中空軸３２０、第三の中空軸３２０に接続された図示しない第三のエアーホース、第三の中空軸３２０を保持する第三の昇降軸３４０、第三の昇降軸３４０を昇降する第三の昇降機構３５０、第三の昇降機構３５０が設置された第三の横行部３６０、第三の横行部３６０を横行自在に支持する第三の走行部３７０、第三の走行部３７０を走行自在に支持する図示しない第三の本体部、および静電気の放電に伴う電磁ノイズを検知する第三の放電検知センサ３９０を有している。
【００７９】
なお、第三の放電検知センサ３９０は第三の昇降軸３４０に設置するものに限定するものではなく、第三の横行部３６０または第三の走行部３７０または第三の本体部のいずれの位置に設置してもよい。
そして、第三の吸着パッド３１０は、位置Ｋ、位置Ｌ、位置Ｍおよび位置Ｎで囲まれた範囲内を移動自在である。
【００８０】
なお、第一の放電検知センサ１９０、第二の放電検知センサ２９０および第三の放電検知センサ３９０の設置位置は、図示するものに限定するものではない。
【００８１】
（ディスプレー等）
ＩＣテストハンドラ４００は、検査前ステージ５００、予熱ステージ５５０、検査ステージ７００、検査後ステージ８００、第一の吸着ハンド１００、第二の吸着ハンド２００、第三の吸着ハンド３００、第一のキャリア６１０および第二のキャリア６２０が、設置された装置基盤４０１と、これらを収納するチャンバー４０２を有している。そして、チャンバー４０２の上面には、ディスプレー４９２とパトライト４９３が設置されている。
【００８２】
第一の放電検知センサ１９０、第二の放電検知センサ２９０または第三の放電検知センサ３９０がそれぞれ検知した電磁ノイズは、図示しないコントロールユニット（検知信号増幅部、演算処理部等を具備する）に入力され、所定の演算処理、たとえば、検知した電磁ノイズが所定の閾値を超えている（静電破壊が発生した）かの判断等をする。
【００８３】
ディスプレー４９２は、コントロールユニットにおける演算処理の結果を表示し、また、パトライト４９３は、コントロールユニットが静電破壊が発生したという判断をした場合に、所定の警報を点灯するものである。
なお、ディスプレー４９２、パトライト４９３およびコントロールユニットの設置位置は限定するものではなく、当該ＩＣテストハンドラの周囲や当該ＩＣテストハンドラを遠隔制御する制御室等いずれであってもよい。
【００８４】
［実施形態３］
（吸着ハンドの制御方法）
図６および図７は、本発明の他の実施形態に係る吸着ハンドの制御方法を説明するフローチャートである。
【００８５】
（ＩＣ吸着動作）
図６において、ＩＣを吸着自在な吸着パッドと、下端部に該吸着パッドを具備する昇降軸と、該昇降軸を昇降させる昇降機構と、該昇降機構を水平面内で移動させる水平移動機構と、該水平移動機構を支持する本体部と、前記昇降軸、前記昇降機構、前記水平移動機構または前記本体部のいずれかに、ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段を設置した吸着ハンドにおいて、
前記昇降軸を吸着するＩＣの位置に水平移動させる吸着位置移動工程（ステップ１）と、
前記静電気放電検知手段が検知を開始する静電気放電検知開始工程（ステップ２）と、
前記吸着パッドの下降を開始する吸着パッド下降工程（ステップ３）と、
前記吸着パッドが前記ＩＣに当接した際、前記吸着パッドの下降を停止して、前記ＩＣを吸着するＩＣ吸着動作工程（ステップ４）と、
前記ＩＣを吸着した状態で、前記吸着パッドを上昇する吸着パッド上昇工程（ステップ５）と、
該吸着パッド上昇工程と並行してまたは該吸着パッド上昇工程が完了した後
前記静電気放電検知手段の検知を終了する静電気放電検知終了工程（ステップ６）と、
前記ＩＣが吸着されていることを確認するＩＣ吸着確認工程（ステップ７）と、
前記静電気放電検知手段の検知結果に基づいて、ＩＣが静電破壊されているか否かを判断するＩＣ静電破壊判断工程（ステップ８）と、
ＩＣが静電破壊されていると判断した場合に、当該ＩＣを標準工程以外の位置に搬送するＩＣ異常位置搬送工程（ステップ９）と、
ＩＣが静電破壊されていない（電磁ノイズが検知されていない場合等）と判断した場合に、当該ＩＣを標準工程の位置に搬送するＩＣ正常位置搬送工程（ステップ１０）
により前記ＩＣの吸着を終了するものである。
【００８６】
なお、静電気放電検知手段が検知したＩＣの静電気の放電の強度（電磁ノイズの強さ）と、該ＩＣの静電破壊の関係は、あらかじめ整理されていて、静電気破壊が発生する静電気の放電の強度を閾値としている。そして、検知した静電気の放電の強度（電磁ノイズの強さ）が該閾値を超え場合、静電破壊が発生したと判断している。
【００８７】
したがって、ＩＣを持ち上げる際に限定して、静電気の放電現象を検知するから、常時検知状態にしておく必要がなくなる。さらに、２以上の吸着ハンドが、近接して時間差を設けて同様の作業をする場合、１台の放電検知手段の静電検知ユニットに対し、２以上の放電検知センサを接続しても、電磁ノイズを検知した放電検知センサを容易に特定すことができる。
【００８８】
（ＩＣ離脱動作）
図７において、ＩＣを吸着自在な吸着パッドと、下端部に該吸着パッドを具備する昇降軸と、該昇降軸を昇降させる昇降機構と、該昇降機構を水平面内で移動させる水平移動機構と、該水平移動機構を支持する本体部と、前記昇降軸、前記昇降機構、前記水平移動機構または前記本体部のいずれかに、ＩＣに印加した静電気の放電を検知する静電気放電検知手段を設置した吸着ハンドにおいて、
吸着しているＩＣを離脱する位置に移動させる離脱位置移動工程（ステップ１１）と、
前記静電気放電検知手段が検知を開始する静電気放電検知開始工程（ステップ１２）と、
前記吸着パッドの下降を開始する吸着パッド下降工程（ステップ１３）と、
前記吸着パッドが所定の高さに下降した際、前記吸着パッドの下降を停止して、前記ＩＣを吸着を停止するＩＣ離脱工程（ステップ１４）と、
前記吸着パッドを上昇する吸着パッド上昇工程（ステップ１５）と、
該吸着パッド上昇工程と並行してまたは該吸着パッド上昇工程が完了した後、前記静電気放電検知手段の検知を終了する静電気放電検知終了工程（ステップ１６）と、
前記静電気放電検知手段の検知結果に基づいて、ＩＣが静電破壊されているか否かを判断するＩＣ静電破壊判断工程（ステップ１７）と、
ＩＣが静電破壊されていると判断した場合に、当該ＩＣを再度吸着するＩＣ再吸着動作工程（ステップ１８）と、
該再吸着したＩＣを標準工程以外の位置に搬送するＩＣ異常位置搬送工程（ステップ１９）と、
前記吸着パッドの下降を再度開始する吸着パッド再下降工程（ステップ２０）と、
前記吸着パッドが所定の高さに下降した際、前記吸着パッドの下降を停止して、前記再吸着されたＩＣの吸着を停止するＩＣ再離脱工程（ステップ２１）と、
前記吸着パッドを上昇する吸着パッド再上昇工程（ステップ２２）
により前記ＩＣの離脱−再吸着−再離脱によりＩＣ離脱動作終了するもの、およびステップ１７において、ＩＣが静電破壊されていないと判断した場合に、その時点でＩＣ離脱動作を終了するもののいずれかである。
【００８９】
なお、吸着パッドが下降を開始した後に、吸着パッド下降工程と並行して、静電気放電検知手段が検知を開始してもよい。
【００９０】
したがって、ＩＣを載置する際に限定して、静電気の放電現象を検知するから、常時検知状態にしておく必要がなくなる。
【００９１】
さらに、静電気放電検知手段を、静電気の放電にともなう電磁ノイズを受信するアンテナと該受信した電磁ノイズを検出する検出部から構成しておけば、２以上の吸着ハンドが、近接して時間差を設けて同様の作業をする場合、該吸着ハンドにはアンテナのみ設置し（吸着ハンド毎に１台のアンテナ）、２以上のアンテナを同一の検出部に接続しておくだけで、前記電磁ノイズを受信したアンテナ（電磁ノイズが発生した吸着ハンドに同じ）を特定することが容易にできる。すなわち、アンテナ毎に検出部を設ける必要がなくなる。
【００９２】
また、検査済ＩＣ（検査合格品）であっても、検査後ステージにおいて、最後のハンドリングである検査済トレイに収納する際に、検知結果（たとえば、静電気破壊が発生したという判断）に対応して、再度、吸着パッドを下降して当該ＩＣ（静電破壊したＩＣ）を検査済トレイ（合格品トレイ）から撤去するから、かかるＩＣが検査合格ＩＣと同一トレイ内に混在することが無くなる。
【００９３】
［実施形態４］
（搬送経路）
図８乃至図１０は本発明の他の実施形態に係るＩＣテストハンドラの制御方法を説明する平面図であって、ＩＣの搬送経路を模式的に記載したものである。なお、実施の形態３（図３乃至図５）と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。なお、予熱ステージ５５０におけるＩＣの予熱工程が無い場合について説明する。
【００９４】
（標準経路）
図８は、標準工程、すなわち電磁ノイズが検知されない場合のＩＣの搬送経路を矢印で示している。
すなわち、検査前ステージ５００に積層された検査前トレイ５０１に収納された検査前ＩＣは、第一の吸着ハンド１００により第一のキャリア６１０（受取位置Ｅに停止している）に載置され（図中、Ｐ１→Ｅ）、
つぎに、第一のキャリア６１０の移動により検査待機位置Ｆまで搬送され（図中、Ｅ→Ｆ）、
そして、第二の吸着ハンド２００により検査位置Ｔに載置される（図中、Ｆ→Ｔ）。
所定の検査が終了した後、検査済ＩＣは、第二の吸着ハンド２００により第一のキャリア６１０（検査待機位置Ｆに待機している）に載置され（図中、Ｔ→Ｆ）、
第一のキャリア６１０の移動により払出位置Ｇまで搬送され（図中、Ｆ→Ｇ）、
そして、第三の吸着ハンド３００により検査後ステージ８００に積層された合格品トレイ８０２に収納される（図中、Ｇ→Ｑ１）。
【００９５】
さらに、前記搬送の後を追いかけるように、第一のキャリア６１０への搬送を終えた第一の吸着ハンド１００は、前記検査と並行して、検査前ステージ５００に引き返し、先と同様に、積層された検査前トレイ５０１に収納された検査前ＩＣを第二のキャリア６２０（受取位置Ｈに停止している）に載置する（図中、Ｐ２→Ｈ）。
そして、第二のキャリア６２０は検査待機位置Ｉまで移動して（図中、Ｈ→Ｉ）、先行して実施されている検査の終了を待つ。
すなわち、第二の吸着ハンド２００が検査済ＩＣを検査位置Ｔから検査待機位置Ｆへ搬送した後、引き続き、この第二の吸着ハンド２００が検査前ＩＣを検査待機位置Ｉから検査位置Ｔに搬送する（図中、Ｉ→Ｔ）。
そして、所定の検査が終了した後、検査済ＩＣは、第二の吸着ハンド２００により第二のキャリア６２０（検査待機位置Ｉに待機している）に載置され（図中、Ｔ→Ｉ）、
第二のキャリア６２０の移動により払出位置Ｊまで搬送され（図中、Ｉ→Ｊ）、
そして、第三の吸着ハンド３００により検査後ステージ８００に積層された合格品トレイ８０２に収納される（図中、Ｊ→Ｑ２）。
【００９６】
なお、前記搬送の後を追いかけるように、第一のキャリア６１０への搬送を終えた第一の吸着ハンド１００は、前記検査と並行して、検査前ステージ５００に引き返し、先と同様に、積層された検査前トレイ５０１に収納された検査前ＩＣを第一のキャリア６１０（受取位置Ｅに停止している）に載置することを繰り返す。
以上のように、検査前ＩＣは、往復する第１のキャリア６１０および第二のキャリア６２０に交互に載置され、図８において略時計周りの搬送を繰り返すことにより検査が継続して実施されるものである。
【００９７】
（搬送中異常経路）
図９は、搬送中異常工程、すなわち、検査前搬送工程または検査後搬送工程において、電磁ノイズが検知された場合のＩＣの搬送経路を矢印で示している。
すなわち、検査前ステージ５００に積層された検査前トレイ５０１に収納された検査前ＩＣが、検査ステージ７００を経由して  第一のキャリア６１０の移動により払出位置Ｇまで搬送される間（図中、Ｐ３→Ｇ）に、電磁ノイズが検知された場合、当該ＩＣは、静電破壊トレイ８０３に収納される（図中、Ｇ→Ｗ３）。
さらに、検査前ステージ５００に積層された検査前トレイ５０１に収納された検査前ＩＣが、検査ステージ７００に設置される前（図中、Ｐ３→Ｔ）に、電磁ノイズが検知された場合、検査を中止して、未検査の当該ＩＣ（静電破壊している）は、静電破壊トレイ８０３に収納される（図中、Ｔ→Ｗ３）。
【００９８】
したがって、静電破壊したＩＣが検査済トレイ（合格品トレイ）と隔離した別のトレイに収納されるから、標準工程（検査合格ＩＣの工程）に静電破壊したＩＣが混入することが無くなる。さらに、検査の無駄が防止されるから、検査能率が増大する。
【００９９】
（検査前異常経路）
さらに、検査前ステージ５００に積層された検査前トレイ５０１に収納された検査前ＩＣが、第二のキャリア６２０の検査待機位置Ｉにおいて、第二の吸着ハンド２００による吸引が終了するまでの間（図中、Ｐ４→Ｉ）に、電磁ノイズが検知された場合、検査ステージ７００への搬送を中止して、その位置（検査待機位置Ｉに停止したまま）で再度第二のキャリア６２０に載置され、未検査のまま当該ＩＣ（静電破壊している）は、静電破壊トレイ８０３に収納される（図中、Ｉ→Ｗ４）。
【０１００】
したがって、静電破壊したＩＣが検査済トレイ（合格品トレイ）と隔離した別のトレイに収納されるから、標準工程（検査合格ＩＣの工程）に静電破壊したＩＣが混入することが無くなる。さらに、無駄な搬送が防止されるから、検査能率が増大する。
【０１０１】
なお、この場合においても、前記と同様、一旦検査ステージ７００にまで搬送した上で、検査を中止し、さらに第二のキャリア６２０に再度載置して、静電破壊トレイ８０３に収納（図中、Ｉ→Ｗ４）してもよい。よって、無駄な検査（静電破しているＩＣについての検査）時間がなくなるから、検査の能率が向上する。
【０１０２】
（搬送終了時異常経路）
図１０は、搬送終了時異常工程、すなわち、検査合格品であって、搬送中に電磁ノイズが検知されなかったものの、最終ハンドリングにおいて電磁ノイズが検知された場合のＩＣの搬送経路を矢印で示している。
すなわち、前記標準工程（図中、Ｐ５→Ｑ５）により、検査合格品が合格品トレイ８０２に収納される際（ポケットに載置する際）、電磁ノイズが検知された場合、当該ＩＣ（最後のハンドリングで静電破壊した）は、再度吸着されて、合格品トレイ８０２から静電破壊トレイ８０３に収納される（図中、Ｑ５→Ｗ５）。
【０１０３】
したがって、最終ハンドリングまで健全（検査合格品であって、静電破壊していない）であったＩＣであっても、最終ハンドリングにおいて静電破壊すれば、合格品トレイから静電破壊トレイに収納されるから、標準工程（検査合格ＩＣの工程）に静電破壊したＩＣが混入することが無くなる。
【０１０４】
（予熱ステージ）
あらかじめ所定の温度に予熱されたＩＣを検査する場合には、検査前ステージ５００に積層された検査前トレイ５０１に収納された検査前ＩＣは、第一の吸着ハンド１００により、予熱ステージ５５０に設置されたプレヒートプレートに一旦載置され、所定の時間加熱された後、再度第一の吸着ハンド１００により、第一のキャリア６１０または第二のキャリア６２０に搬送される。そして、これ以降の搬送経路は前記標準経路または異常経路に同じである。
【０１０５】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、以下のような顕著な効果がある。
１）ＩＣのハンドリングにおいて、静電気の放電が検知され、ＩＣの静電破壊が発生したことが予測された場合、当該ＩＣを合格品トレイとは別個に設けた静電破壊トレイに収納するから、検査合格ＩＣと、静電破壊ＩＣが、同一トレイ内に混在することが無くなる。
【０１０６】
２）検査前のハンドリングにおいて、静電気の放電が検知され、ＩＣの静電破壊が発生したことが予測された場合、検査を中止するから、無駄な検査による検査能率の低下が無くなる。
【０１０７】
３）検査前のハンドリングにおいて、静電気の放電が検知され、ＩＣの静電破壊が発生したことが予測された場合、検査ステージへの搬送を中止するから、無駄な搬送による検査能率の低下が無くなる。
【０１０８】
４）検査合格ＩＣの最終ハンドリングにおいて、静電気の放電が検知され、ＩＣの静電破壊が発生したことが予測された場合、作業者または別途設置したマニュプレータに依存することなく、当該ＩＣが静電破壊トレイに収納されるから、静電破壊ＩＣが検査合格ＩＣと同一トレイ内に混在することがなくなる。
【０１０９】
５）さらに、ＩＣを吸着または離脱する動作の期間に限定して、静電気の放電を検知するため、２以上の吸着ハンドのそれぞれに放電検知センサを設置し、これらを１台のコントロールユニットに接続しても、該放電の発生個所の特定が容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る吸着ハンドの構成を示す正面図である。
【図２】本発明の他の実施形態に係る吸着ハンドの放電検知手段のコントロールユニットの構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の他の実施形態に係るＩＣテストハンドラの構成を示す平面図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係るＩＣテストハンドラの構成を示す正面図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係るＩＣテストハンドラの構成を示す側面図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係る吸着ハンドの制御方法を説明するフローチャートであって、ＩＣ吸着動作を示す。
【図７】本発明の他の実施形態に係る吸着ハンドの制御方法を説明するフローチャートであって、ＩＣ離脱動作を示す。
【図８】本発明の他の実施形態に係るＩＣテストハンドラの制御方法を説明する平面図であって、ＩＣの標準経路を模式的に示す。
【図９】本発明の他の実施形態に係るＩＣテストハンドラの制御方法を説明する平面図であって、ＩＣの搬送中異常経路を模式的に示す。
【図１０】本発明の他の実施形態に係るＩＣテストハンドラの制御方法を説明する平面図であって、ＩＣの搬送終了時異常経路を模式的に示す。
【図１１】従来の水平搬送式テストハンドラの構成を示す平面図である。
【図１２】従来の水平搬送式テストハンドラで使用されるトレイの斜視図である。
【図１３】従来のＩＣの吸着機構を示すもので、（ａ）はその正面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図１４】従来の静電気放電検知手段の回路部分の構成図である。
【図１５】従来の非接触方式の静電気放電検知手段の構成図である。
【符号の説明】
１０  吸着パッド    ２０  中空軸    ３０  エアーホース    ４０  昇降軸
５０  昇降機構      ６０  横行部    ７０  走行部          ８０  本体部
９０  放電検知センサ（アンテナ）  １００  第一の吸着ハンド
１１０  第一の吸着パッド    １２０  第一の中空軸    １４０  第一の昇降軸
１５０  第一の昇降機構      １６０  第一の横行部    １７０  第一の走行部
１９０  第一の放電検知センサ        ２００  第二の吸着ハンド
２９０  第二の放電検知センサ        ３００  第三の吸着ハンド
３９０  第三の放電検知センサ        ４００  ＩＣテストハンドラ
４９２  ディスプレー      ４９３  パトライト      ５００  検査前ステージ
５０１  検査前トレイ      ５５０  予熱ステージ    ６１０  第一のキャリア
６２０  第二のキャリア    ７００  検査ステージ    ８００  検査後ステージ
８０２  合格品トレイ      ８０３  静電破壊トレイ
【図１】
0003726744.tif 000002
【図２】
0003726744.tif 000003
【図３】
0003726744.tif 000004
【図４】
0003726744.tif 000005
【図５】
0003726744.tif 000006
【図６】
0003726744.tif 000007
【図７】
0003726744.tif 000008
【図８】
0003726744.tif 000009
【図９】
0003726744.tif 000010
【図１０】
0003726744.tif 000011
【図１１】
0003726744.tif 000012
【図１２】
0003726744.tif 000013
【図１３】
0003726744.tif 000014
【図１４】
0003726744.tif 000015
【図１５】
0003726744.tif 000016