(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉液圧シリンダのシリンダ液室内にピストンロッドのピストン部を密閉収納し、前記シリンダ液室に隣接配置された増圧制御部により前記シリンダ液室内の液圧を制御してピストンロッドから増圧した出力を得るように構成した密閉液圧式増圧装置において、
前記シリンダ液室と増圧制御部とを連通する液通路を設け、この液通路にサーボモータにより進退移動可能に構成した圧縮部材を挿通配置すると共に、前記シリンダ液室において発生する液圧またはピストンロッドより得られる出力を検出する圧力センサを設け、この圧力センサによって検出される圧力が予め設定した圧力を保持するように前記サーボモータを制御するように構成することを特徴とする密閉液圧式増圧装置。
【請求項２】
シリンダ液室と増圧制御部とを連通する液通路は、ピストンロッドの軸芯に平行に配置してなる請求項１記載の密閉液圧式増圧装置。
【請求項３】
シリンダ液室と増圧制御部とを連通する液通路は、ピストンロッドの軸芯に平行に配置された液通路に、これと垂直に交差して連通する直交液通路を延設した構成からなり、この直交液通路に対してサーボモータにより進退移動可能に構成した圧縮部材を挿通配置してなる請求項１記載の密閉液圧式増圧装置。
【請求項４】
増圧制御部は、サーボモータの回転駆動を連結部を介して回転ナットに伝達し、この回転ナットの回転によりこれと螺合する送りねじと共に圧縮部材を前進動作させて、シリンダ液室内を増圧してピストンロッドより所定の出力を得るように構成してなる請求項１記載の密閉液圧式増圧装置。
【請求項５】
増圧制御部は、圧縮部材と結合される送りねじを回転ナットにより螺合保持し、この回転ナットを回転自在に取付けると共にこの回転ナットの外周にサーボモータのロータコアを装着し、さらにこのロータコアを囲繞するようにサーボモータのステータコイルを配置して、前記回転ナットをサーボモータのロータコアと一体的に回転駆動して送りねじと共に圧縮部材を前進動作させるように構成してなる請求項１記載の密閉液圧式増圧装置。
【請求項６】
密閉液圧シリンダは、ピストンロッドおよびそのピストン部との接触部と、シリンダ液室と増圧制御部とを連通する液通路における圧縮部材との接触部とに、それぞれシール部材を設けてなる請求項１記載の密閉液圧式増圧装置。
【請求項７】
密閉液圧シリンダは、ピストンロッドとの接触部と、シリンダ液室と増圧制御部とを連通する液通路における圧縮部材との接触部とに、それぞれシール部材を設けると共に、ピストンロッドのピストン部にシリンダ液室の増圧室側と背圧室側とを連通する連通孔を設け、前記ピストンロッドからの増圧した出力は、当該ピストンロッドの断面積に対応する前記シリンダ液室の増圧室側と背圧室側の液圧作用面積の相違に基づいて得られるようにした請求項１記載の密閉液圧式増圧装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、密閉液圧式増圧装置に係り、特にサーボモータによって駆動制御され、射出成形機等の型締装置として有効に適用することができる密閉液圧式増圧装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、射出成形機等の型締装置においては、移動プレートを移動することにより、固定プレートとの間で金型の型開閉を行い、さらに射出樹脂圧に抗して金型を大きな力で型締めする機能が要求される。このような型締装置としては、従来より、型締シリンダに挿通配置した型締ラムの内部にブーストラムを挿入したブーストラム方式、型締シリンダとは別に複数のサイドシリンダを設置したサイドシリンダ方式、あるいは型締シリンダと増圧シリンダとを直列に配置した増圧シリンダ方式等の機構であって、高速で金型の型開閉を行うと共に、高圧で金型の型締めを行うように構成した直圧式型締装置が広範に使用されている。
【０００３】
しかるに、従来の直圧式型締装置は、金型の開閉を高速で行うと共に充分な型締力を得るために、複雑な油圧回路を設けることが必要であり、さらに型締シリンダ等に供給する圧油を貯留しておくための油タンク等を設ける必要があり、特に前述したブーストラム方式およびサイドシリンダ方式のものにおいては、高い型締力を得るために高圧ポンプを採用する必要があり、そして増圧シリンダ方式のものにおいては、装置の長さ寸法が大きくなるという難点があった。
【０００４】
このような観点から、複動ラムの移動に伴って容積が同じ量だけ増減する第１および第２の液圧室を備え、この複動ラムが移動プレートと共に移動する第１の複動シリンダを設け、第１の液圧室と第２の液圧室とを連結する圧液通路に第１の駆動装置によって回転駆動されるポンプを設け、ポンプと第１および第２の液圧室との間の圧液通路に介挿されて第１および第２の液圧室とポンプとを連通する連通状態と第１および第２の液圧室とポンプとの連通を遮断する遮断状態とに切り換える切換弁装置を設け、複動ピストンの移動に伴って容積が同じ量だけ増減しかつそれぞれ第１および第２の液圧室に連通する第１および第２の増圧室を備えた第２の複動シリンダを設け、さらにナット部材とこのナット部材に所定のネジ構造をもって組み合わされた雄ネジ部材とを備えると共にこれら部材のいずれか一方が複動ピストンに連結されて他方の部材が第２の駆動装置によって正逆両方向へ回転駆動することにより複動ピストンを往復移動させるネジ機構を設けた射出成形機における型締装置が提案されている（特公平１−１７８５１号公報）。
【０００５】
すなわち、前記構成からなる型締装置は、切換弁装置の連通状態におけるポンプの回転により、第１の複動シリンダを作動させて金型の型開閉を行う一方、切換弁装置の遮断状態におけるネジ機構の回転により、第２の複動シリンダを作動させて金型の型締めを行うように構成したものである。
【０００６】
従って、このように構成された型締装置は、金型の型開閉に際して、第１および第２の液圧室並びに圧液通路内に充填されている圧液を、ポンプによって流動させることにより、複動ラムを前進、後退させるように構成されているため、外部に圧液を貯留しておくためのタンク等を設ける必要がない等の利点が得られるものである。
【０００７】
また、従来より、例えば交流サーボモータで駆動するネジ送り機構により、移動プレートを往復駆動するように構成した型締装置も知られている。この種の型締装置においては、充分な型締力を得るためには、サーボモータを初めとして移動プレートに型締力を伝達するためのネジ送り機構等の大型化が避けられない。特に、サーボモータに油圧装置を併用した形式のものでは、大きな型締力を得ることができるが、油圧ポンプ等の機器や油圧回路等が必要となり、装置が複雑と成る難点があった。
【０００８】
そこで、このような観点から、サーボモータにより回転するナット部材の内孔に雄ネジ杆の一端を螺合し、このナット部材の回転により雄ネジ杆を直進移動可能にし、一方移動プレートの後部に隣接して移動プレートと隙間を生じさせ得るように係合してタイバーに案内されて移動する液圧作動盤を設け、雄ネジ杆の先端を液圧作動盤に係合させて移動プレートを移動させるようにし、移動プレートを前進させ金型を閉じたときに、液圧作動盤がタイバーの外周に設けた溝に係合して液圧作動盤を固定させる液圧作動盤位置固定手段を設け、液圧作動盤に液体を封入した密閉袋を内蔵させ、この密閉袋内の封入液の増圧により変位して移動プレートに型締力を生じさせるためのピストンを設け、そして液圧作動盤がタイバーに固定された後の雄ネジ杆の前進により、前記密閉袋が雄ネジ杆に押圧されてピストンに型締力を作用させるようにした緩衝部材を設けた構成からなる射出成形機の型締装置が提案されている（特開平６−２４６８０６号公報）。
【０００９】
すなわち、前記構成からなる型締装置は、雄ネジ杆により密閉袋内の封入液を押圧、圧縮し、これによって増加される封入液の圧力を型締力として作用させるものであり、封入液に僅かな押圧力を及ぼすだけで充分な型締力を得ることができ、駆動源としてのサーボモータやサーボモータの力を伝達するためのネジ送り機構等を小型化できるという利点が得られるものである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述した従来の型締装置の増圧機構においては、次に述べるような改善されるべき難点を有していた。
【００１１】
すなわち、前者のネジ機構の回転により複動シリンダを作動させて金型の型開閉および型締めを行うように構成した型締装置の増圧機構は、複動ラムの移動に伴って容積が同じ量だけ増減する２つの液圧室を設けるものであり、さらに２つの増圧室を設け、切換弁を切り換え操作することによって、ポンプによる圧液の流動で金型の型開閉を行うと共に、ネジ機構の回転で金型の型締めを行うものであり、構成並びに制御操作が複雑となり、製造コストも増大するばかりでなく、圧液の漏洩や騒音の発生等を生じる難点がある。
【００１２】
また、後者の液圧作動盤ににより液体を封入した密閉袋を押圧変位させることにより、密閉袋内の封入液の増圧により型締力を生じさせるように構成した型締装置の増圧機構は、装置の小型化に寄与する利点はあるが、液体を封入した密閉袋の製造並びに押圧力を十分に得るための変位伝達機構の製造に、多くの制約を受け、製造に手間が掛かると共に、製造コストも増大する難点がある。
【００１３】
そこで、本発明の目的は、簡単かつ小形に構成することができると共に液漏れや騒音の発生を防止し、各種の増圧装置として広範囲に応用することができる密封液圧式増圧装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明に係る密閉液圧式増圧装置は、密閉液圧シリンダのシリンダ液室内にピストンロッドのピストン部を密閉収納し、前記シリンダ液室に隣接配置された増圧制御部により前記シリンダ液室内の液圧を制御してピストンロッドから増圧した出力を得るように構成した密閉液圧式増圧装置において、
前記シリンダ液室と増圧制御部とを連通する液通路を設け、この液通路にサーボモータにより進退移動可能に構成した圧縮部材を挿通配置すると共に、前記シリンダ液室において発生する液圧またはピストンロッドより得られる出力を検出する圧力センサを設け、この圧力センサによって検出される圧力が予め設定した圧力を保持するように前記サーボモータを制御するように構成することを特徴とする。
【００１５】
この場合、前記シリンダ液室と増圧制御部とを連通する液通路は、ピストンロッドの軸芯に平行に配置した構成とすることができる。
【００１６】
また、前記シリンダ液室と増圧制御部とを連通する液通路は、ピストンロッドの軸芯に平行に配置された液通路に、これと垂直に交差して連通する直交液通路を延設した構成からなり、この直交液通路に対してサーボモータにより進退移動可能に構成した圧縮部材を挿通配置した構成とすることができる。
【００１７】
一方、前記増圧制御部は、サーボモータの回転駆動を連結部を介して回転ナットに伝達し、この回転ナットの回転によりこれと螺合する送りねじと共に圧縮部材を前進動作させて、シリンダ液室内を増圧してピストンロッドより所定の出力を得るように構成することができる。
【００１８】
また、前記増圧制御部は、圧縮部材と結合される送りねじを回転ナットにより螺合保持し、この回転ナットを回転自在に取付けると共にこの回転ナットの外周にサーボモータのロータコアを装着し、さらにこのロータコアを囲繞するようにサーボモータのステータコイルを配置して、前記回転ナットをサーボモータのロータコアと一体的に回転駆動して送りねじと共に圧縮部材を前進動作させるように構成することができる。
【００１９】
さらに、前記密閉液圧シリンダは、ピストンロッドおよびそのピストン部との接触部と、シリンダ液室と増圧制御部とを連通する液通路における圧縮部材との接触部とに、それぞれシール部材を設ることができる。
【００２０】
そして、密閉液圧シリンダは、ピストンロッドとの接触部と、シリンダ液室と増圧制御部とを連通する液通路における圧縮部材との接触部とに、それぞれシール部材を設けると共に、ピストンロッドのピストン部にシリンダ液室の増圧室側と背圧室側とを連通する連通孔を設け、前記ピストンロッドからの増圧した出力は、当該ピストンロッドの断面積に対応する前記シリンダ液室の増圧室側と背圧室側の液圧作用面積の相違に基づいて得られるようにすることもできる。
【００２１】
従って、本発明の密閉液圧式増圧装置によれば、その構成が簡単かつ小型化され、形状および容量等の設計自由度も拡大されると共に、圧液の漏洩や騒音の発生等も防止することができる。
【００２２】
【実施例】
次に、本発明に係る密閉液圧式増圧装置の実施例につき、添付図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００２３】
実施例１
図１は、本発明に係る密閉液圧式増圧装置の一実施例を示すものである。すなわち、図１に示す密閉液圧式増圧装置は、基本的には、密閉液圧シリンダ１０と増圧制御部１２とを備え、前記密閉液圧シリンダ１０のシリンダ液室１４内にピストンロッド１６のピストン部１６ａを密閉収納し、前記シリンダ液室１４に隣接配置された増圧制御部１２により前記シリンダ液室１４内の液圧を制御して、ピストンロッド１６から増圧した出力を得るように構成されている。
【００２４】
しかるに、前記シリンダ液室１４と増圧制御部１２との連通部には、前記ピストンロッド１６の軸芯と同軸に配置した液通路１８を設け、この液通路１８に後述するサーボモータ２０により進退移動可能に構成した圧縮部材２２を挿通配置する。この場合、前記圧縮部材２２は、回転駆動により進退移動する送りねじ２４と同軸に結合されると共に、前記送りねじ２４は、これを螺合保持する回転ナット２６を、連結部２８を介して前記サーボモータ２０の出力軸２１に結合した構成からなる。そして、連結部２８では、前記送りねじ２４と出力軸２１にスプライン溝を形成し、それに係合して回転力を前記送りねじ２４に伝える。さらに、前記送りねじ２４は、前記回転ナット２６と協動して進退移動する。
【００２５】
一方、前記前記シリンダ液室１４において、ピストン部１６ａの背圧側にピストンロッド１６からの増圧が消滅した後の復帰作用ばね部材３０を配置すると共に、前記シリンダ液室１４において発生する液圧Ｐｒまたはピストンロッド１６より得られる出力Ｐｆを間接的に検出するための圧力センサ３２を設ける。この圧力センサ３２は、例えば前記ばね部材３０の配置空間の空気圧力を検出する。そして、この圧力センサ３２により検出される圧力が、予め設定した圧力を保持するように前記サーボモータ２０を制御すべく、前記圧力センサ３２の検出信号をサーボモータ２０の駆動制御部３４へ送出するように構成する。
【００２６】
なお、図１において、参照符号３６は、前記シリンダ液室１４を液密に密閉保持するために、それぞれ適所に設けられたＯ−リング等からなるシール部材を示す。
【００２７】
また、前記圧力センサ３２は、前記ばね部材３０と一体化して、ばね変形分を荷重に変換する荷重計に代えることもできる。
【００２８】
従って、このように構成される本実施例の密閉液圧式増圧装置によれば、増圧制御部１２を専用のサーボモータ２０で駆動するように構成し、シリンダ液室１４はシール部材３６によって簡便に密閉された独立した構造とし、送りねじ２４の液通路１８への進退移動を行い、ピストンロッド１６より常に所定値に保持された出力を得ることができるため、簡単かつ小型化された構成により、形状および容量等の設計の自由度も拡大され、圧液の漏洩や騒音の発生等を可及的に抑制することができる。
【００２９】
本実施例では、液通路１８を、ピストンロッド１６の軸芯と平行に配置したが、増圧出力がピストンロッド１６全体に均等に得られるので、支障のない軸芯に平行な位置に配置することができる。
【００３０】
実施例２
図２は、本発明に係る密閉液圧式増圧装置の別の実施例を示すものである。本実施例における増圧装置は、図１に示す実施例において、液通路１８の構成を変更したものである。従って、図１に示す実施例の構成と同一の構成部分については、同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００３１】
すなわち、本実施例の増圧装置は、図１に示すピストンロッド１６と同軸的な液通路１８に対し、これと垂直に交差して連通する直交液通路１８ａを延設した構成からなり、この直交液通路１８ａに対してサーボモータ２０により進退移動可能に構成した圧縮部材２２を挿通配置したものである。
【００３２】
従って、このような構成からなる本実施例の増圧装置によれば、増圧制御部１２をピストンロッド１６に対し同軸に配置した前記実施例１と比較して、前記増圧制御部１２を密閉液圧シリンダ１０の側部に設けることができ、これにより増圧装置の変位方向の寸法Ｌを大幅に縮小することができ、各種装置への組込み設定を容易化することができる利点が得られる。
【００３３】
実施例３
図３および図４は、本発明に係る密閉液圧式増圧装置のさらに別の実施例を示すものである。本実施例における増圧装置は、図１に示す実施例１において、圧縮部材２２を駆動する増圧制御部１２において、サーボモータ２０をビルドイン方式として、増圧制御部１２の内部構造を変形した構成からなるものである。
【００３４】
すなわち、本実施例の増圧装置は、特に図４に示すように、増圧制御部１２の構成において、圧縮部材２２と同軸に結合される送りねじ２４とスプライン部材２３に対し、これを螺合保持する回転ナット２６を、それぞれベアリング２７を介して前記増圧制御部１２のケーシング内に回転自在に配置し、この回転ナット２６の外周にサーボモータ２０のロータコア２０ａを一体的に形成し、さらに前記ロータを囲繞するように、前記増圧制御部１２のケーシング内にサーボモータ２０のステータコイル２０ｂを設置して、前記回転ナット２６をサーボモータ２０のロータコア２０ａと一体的に回転駆動するように構成したものである。
【００３５】
従って、このような構成からなる本実施例の増圧装置によれば、図３に示すように、増圧装置の変位方向の寸法Ｌ′を大幅に縮小することができ、各種装置への組込み設定を容易化することができる利点が得られる。
【００３６】
実施例４
図５は、本発明に係る密閉液圧式増圧装置のさらに別の実施例を示すものである。本実施例における増圧装置は、図２に示す実施例２において、密閉液圧シリンダ１０のシリンダ液室１４内におけるピストンロッド１６の構成を変形したものである。
【００３７】
すなわち、本実施例の増圧装置は、ピストンロッド１６のピストン部１６ａに、シリンダ液室１４の増圧室側と背圧室側とを連通する連通孔３８と背圧室側に液圧Ｐｒを直接的に検出する圧力センサ３２を設けて、図２に示す実施例２と比較して、ばね部材３０を省略すると共にピストン部１６ａにおけるシール部材３６を省略して、簡略な構成としたものである。この場合は、図５に示されるように、シリンダ液室１４の左側の液通路１８と連通する増圧室と右側の背圧室とは連通孔３８により同圧となるが、その液圧の作用する面積は、ピストンロッド１６の断面積だけ左側の増圧室のほうが大きい。従って、ピストンロッド１６は、前記増圧室側に導入された液圧により同図の右方へ増圧駆動されるようになっている。
【００３８】
応用実施例の１
図６は、本発明に係る密閉液圧式増圧装置４０を射出成形機の型締装置４２に適用した応用実施例を示すものである。
【００３９】
すなわち、本実施例において、型締装置４２は、固定金型４４を取付けた固定プレート４６に対し、タイバー４８を介して移動金型５０を取付けた移動プレート５２を前進後退自在に対向配置し、さらに前記移動プレート５２の後方にタイバー４８を介して連結プレート５４を配置し、前記移動プレート５２と連結プレート５４との間に、前記増圧装置４０を取付けた構成からなる。この場合、前記増圧装置４０としては、例えば前述した実施例２の密閉液圧式増圧装置（図２）を好適に使用することができる。
【００４０】
前記連結プレート５４は、固定プレート４６に固定した移動シリンダ５６のピストンロッド５８を介して前進後退自在に構成されると共に、連結プレート５４の一側面には前記タイバー４８のねじ部４８ａと噛合するハーフナット６０およびこのハーフナット６０を駆動操作する操作シリンダ６２が適宜設けられている。なお、図６において、参照符号６４は射出成形機のノズル部を示す。
【００４１】
このように構成した本実施例の型締装置４２においては、最初、移動シリンダ５６により連結プレート５４と移動プレート５２とを固定プレート４６に対し前進移動させる。次いで、移動金型５０が固定金型４４に当接する直前位置で、操作シリンダ６２を駆動操作してハーフナット６０をタイバー４８のねじ部４８ａに噛合させて、連結プレート５４をタイバー４８に係合する。
【００４２】
これと同時に、前記増圧装置４０のサーボモータ２０を駆動して圧縮部材２２を変位させ、シリンダ液室１４内の液圧を増圧してピストンロッド１６から所要の型締力を出力させることができる（図２参照）。
【００４３】
なお、前記増圧装置４０による型締力の調整は、図２に示すように、圧力センサ３２による検出信号に基づいて、サーボモータ２０の駆動制御部３４により適正に行うことができることは、前述した通りである。
【００４４】
応用実施例の２
図７は、本発明に係る密閉液圧式増圧装置４０を射出成形機の型締装置４２に適用した別の応用実施例を示すものである。
【００４５】
本実施例においては、前述した応用実施例の１において、移動シリンダ５６に代えてサーボモータ６６を使用し、このサーボモータ６６の駆動軸６８のねじ部６８ａを、連結プレート５４に固定したナット部材７０に螺合させて、前記連結プレート５４を前進後退自在に構成すると共に、ハーフナット６０を駆動操作する操作シリンダ６２に代えてサーボモータ７２を使用した構成からなるものである。その他の構成は、前記図６に示す実施例と同一であり、従って同一の構成部分については、同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００４６】
本実施例によれば、型開閉操作および型締操作を、全てサーボモータ６６、７２、２０により制御することができる。
【００４７】
以上、本発明の好適な実施例について説明したが、本発明は前記実施例に限定されることなく、本発明の精神を逸脱しない範囲内において多くの設計変更が可能である。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る密閉液圧式増圧装置は、密閉液圧シリンダのシリンダ液室内にピストンロッドのピストン部を密閉収納し、前記シリンダ液室に隣接配置された増圧制御部により前記シリンダ液室内の液圧を制御してピストンロッドから増圧した出力を得るように構成した密閉液圧式増圧装置において、前記シリンダ液室と増圧制御部とを連通する液通路を設け、この液通路にサーボモータにより進退移動可能に構成した圧縮部材を挿通配置すると共に、前記シリンダ液室において発生する液圧またはピストンロッドより得られる出力を検出する圧力センサを設け、この圧力センサによって検出される圧力が予め設定した圧力を保持するように前記サーボモータを制御する構成としたことにより、その構成を簡単かつ小形化し、しかも形状および容量等の設計自由度を拡大することができると共に、シリンダ液室における圧液の漏洩や騒音の発生等を可及的に抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る密閉液圧式増圧装置の一実施例を示す概略断面図である。
【図２】本発明に係る密閉液圧式増圧装置の別の実施例を示す概略断面図である。
【図３】本発明に係る密閉液圧式増圧装置のさらに別の実施例を示す概略断面図である。
【図４】図３に示す密閉液圧式増圧装置の増圧制御部の詳細を示す要部拡大断面図である。
【図５】本発明に係る密閉液圧式増圧装置の他の実施例を示す概略断面図である。
【図６】図２に示す本発明に係る密閉液圧式増圧装置を射出成形機の型締装置に適用した第１の応用実施例を示す型締装置の概略側面図である。
【図７】図２に示す本発明に係る密閉液圧式増圧装置を射出成形機の型締装置に適用した第２の応用実施例を示す型締装置の概略側面図である。
【符号の説明】
１０  密閉液圧シリンダ
１２  増圧制御部
１４  シリンダ液室
１６  ピストンロッド
１６ａ  ピストン部
１８  液通路
１８ａ  直交液通路
２０  サーボモータ
２０ａ  ロータコア
２０ｂ  ステータコイル
２１  出力軸
２２  圧縮部材
２３  スプライン部材
２４  送りねじ
２６  回転ナット
２７  ベアリング
２８  連結部
３０  ばね部材
３２  圧力センサ
３４  駆動制御部
３６  シール部材
３８  連通孔
４０  密閉液圧式増圧装置
４２  型締装置
４４  固定金型
４６  固定プレート
４８  タイバー
４８ａ  ねじ部
５０  移動金型
５２  移動プレート
５４  連結プレート
５６  移動シリンダ
５８  ピストンロッド
６０  ハーフナット
６２  操作シリンダ
６４  射出成形機のノズル部
６６  サーボモータ
６８  駆動軸
６８ａ  ねじ部
７０  ナット部材
７２  サーボモータ
【図１】
0003655042.tif 000002
【図２】
0003655042.tif 000003
【図３】
0003655042.tif 000004
【図４】
0003655042.tif 000005
【図５】
0003655042.tif 000006
【図６】
0003655042.tif 000007
【図７】
0003655042.tif 000008