(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁膜材料が塗布された基板を一枚ずつ加熱する枚葉式の熱処理装置において，基板を熱処理する熱処理方法であって，
基板を熱板上に載置して，基板を所定温度に加熱する工程と，
前記所定温度に加熱された基板に対して放射線を照射して，基板を段階的に昇温する工程とを有し，
前記放射線は，赤外線と紫外線であり，
前記基板を段階的に昇温する工程は，赤外線と紫外線の照射を切り替えることにより行われることを特徴とする，熱処理方法。
【請求項２】
前記基板を段階的に昇温する工程は，
基板を所定の中間温度まで昇温し，当該中間温度で所定時間維持する工程と，
その後，基板を目標温度まで昇温する工程とを有することを特徴する，請求項１に記載の熱処理方法。
【請求項３】
前記中間温度は，前記基板上の絶縁膜材料内に形成された粒子状物が当該絶縁膜材料内から放出される温度であることを特徴とする，請求項２に記載の熱処理方法。
【請求項４】
前記放射線の照射によって基板の温度が熱板の温度よりも高くなった時に，当該基板を前記熱板から離す工程を有することを特徴とする，請求項１，２又は３のいずれかに記載の熱処理方法。
【請求項５】
前記絶縁膜材料は，多孔質膜材料であることを特徴とする，請求項１，２，３又は４のいずれかに記載の熱処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，基板の熱処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造工程においては，例えば，SOD（Spin  on  Dielectric）膜形成システムにより層間絶縁膜を形成している。このSOD膜形成システムでは，半導体ウェハ（以下「ウェハ」という）上に絶縁膜材料を主成分とする塗布液を塗布する塗布処理，塗布液中の溶剤を蒸発させる加熱処理，塗布膜を硬化させる硬化処理等が行われている。
【０００３】
上記塗布膜の硬化処理では，従来から例えば５０〜１００枚程度のウェハをまとめて加熱炉に搬入し，当該ウェハを例えば４００℃程度の高温に約２時間かけてゆっくり昇温していた。その後ウェハを４００℃で所定時間，例えば１時間程度加熱し，当該加熱が終了すると，ウェハを加熱炉内で約２時間かけてゆっくり降温し，その後加熱炉から搬出していた。このように硬化処理には，ウェハの昇温，加熱及び降温を併せて５時間〜６時間程度の時間を要していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，上述したようなバッチ式の硬化処理では，時間がかかり過ぎる。特に，製品の多種多様化に伴い，少枚数単位でのウェハ製造が行われており，硬化処理もより少ない単位での処理が必要になってきている。上記バッチ式の硬化処理は，ウェハの変量生産に対応できないため，少ない枚数にもかかわらず，長時間の硬化処理が必要になる。このため，ウェハを少枚数単位で処理をすればするほど，ウェハの処理効率が低下する結果となっていた。
【０００５】
そこで，例えば目標温度である４００℃に維持された熱板上にウェハを載置して，ウェハを一枚ずつ処理する枚葉式の硬化処理が提案できる。この硬化処理では，一枚当たりのウェハの処理時間を短縮することができ，ウェハの少枚数での処理には適している。しかしながら，目標温度まで一気に昇温するこの枚葉式の硬化処理では，加熱炉の場合に比べて処理後の誘電率，硬さ等の絶縁膜の膜質が劣る傾向にあることが，発明者の実験等により確認されている。
【０００６】
本発明は，かかる点に鑑みてなされたものであり，少枚数単位の処理を短時間で行うことのできる枚葉式の硬化処理においても，従来の加熱炉と同等の膜質が得られるような硬化処理等の熱処理方法を提供することをその目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明によれば，絶縁膜材料が塗布された基板を一枚ずつ加熱する枚葉式の熱処理装置において，基板を熱処理する熱処理方法であって，基板を熱板上に載置して，基板を所定温度に加熱する工程と，前記所定温度に加熱された基板に対して放射線を照射して，基板を段階的に昇温する工程とを有し，前記放射線は，赤外線と紫外線であり，前記基板を段階的に昇温する工程は，赤外線と紫外線の照射を切り替えることにより行われることを特徴とする熱処理方法が提供される。
【０００８】
基板上の塗布膜が硬化されるまでには，例えば絶縁膜材料がポーラス材料の場合，先ず膜の骨格が形成され，塗布膜内に粒子状物が形成される。その後その粒子状物が膜内から飛び出して空孔が形成され，さらにその空孔が形成された膜が焼き固められている。発明者の知見によると，膜の骨格が形成され，当該膜内に粒子状物が形成される温度，膜内から粒子状物が放出され空孔が形成される温度，膜が焼き固まる温度がそれぞれ存在し，膜が焼き固まる温度は，粒子状物が膜内から放出される温度より高く，粒子状物が膜内から放出される温度は，膜の骨格と粒子状物が形成される温度よりも高い。また，この粒子状物が膜内から完全に飛び出すには，十分な時間が必要である。そして，上述した枚葉式の硬化処理では，基板が一気に昇温されるので，例えば粒子状物が十分に形成される前に，粒子状物が膜内から放出される温度に達し，不完全な粒子状物が膜内から飛び出していると推測できる。また，総ての粒子状物が放出される前に，膜が焼き固まる温度に到達し，膜が固まり始めていると推測できる。つまり，上記枚葉式の硬化処理の膜質が上記加熱炉に比べて劣るのは，絶縁膜材料の化学的な反応が順序よく行われていないことに起因すると考えられる。本発明によれば，放射線を用いて，基板を段階的に昇温するので，例えば基板を，粒子状物が形成される所定温度で加熱し，膜の骨格と粒子状物が完全に形成された後に，基板を昇温し，粒子状物を適切に膜内から放出することができる。また，総ての粒子状物が膜から飛び出た後に，基板をさらに昇温し，基板上の塗布膜を焼き固めることができる。このように，硬化処理の膜内の反応を順を追って行うことができるので，従来の加熱炉と同等の膜質が得られる。また，放射線による照射は，基板を迅速に昇温することができるので，その分硬化処理にかかる時間を短縮することもできる。
また，前記放射線は，紫外線と赤外線であり，前記基板を段階的に昇温する工程は，紫外線と赤外線の照射を切り替えることによって行われるので，基板の段階的な昇温を実現でき，照射源の出力を制御する必要がない。
【０００９】
前記基板を段階的に昇温する工程は，基板を所定の中間温度まで昇温し，当該中間温度で所定時間維持する工程と，その後，基板を目標温度まで昇温する工程とを有するようにしてもよい。また，前記中間温度は，前記基板上の絶縁膜材料内に形成された粒子状物が当該絶縁膜材料内から放出される温度であってもよい。かかる場合，基板を一旦中間温度に維持するので，例えば上述したように絶縁膜内から，後にポーラスとなる粒子状物が適切に放出される。したがって，総ての粒子状物が膜内から飛び出る前に絶縁膜が焼き固まることがなく，基板上の絶縁膜材料の化学的な反応が順序よく行われる。したがって，基板上に形成される絶縁膜の膜質を高いレベルに維持できる。
【００１０】
なお，参考までに，放射線は，複数の照射源から放射されており，前記基板を段階的に昇温する工程は，放射線を放射している照射源の数を増やすことにより行われてもよく，この場合，放射源の出力を一定にした状態でも，基板を昇温できるので，照射源の制御がより簡単になる。なお，さらに参考までに，複数の照射源は，赤外線を照射する照射源と紫外線を照射する照射源を備えていてもよい。
【００１２】
前記熱処理方法は，前記放射線の照射によって基板の温度が熱板の温度よりも高くなった時に，当該基板を前記熱板から離す工程を有していてもよい。基板の温度が熱板の温度よりも高くなった後に，基板を熱板に載置しておくと，基板の熱が逆に熱板に奪われ，基板の昇温速度が低下する。この熱処理方法によれば，基板の熱が熱板に奪われることがないので，基板の昇温をより短時間で行うことができる。
【００１３】
前記絶縁膜材料は，多孔質膜材料であってもよい。かかる場合，上述したように膜の骨格と粒子状物が形成される過程と，粒子状物が放出され空孔が形成される過程，絶縁膜が焼き固められる過程があり，基板を段階的に昇温することによって，粒子状物が十分に形成されてから空孔が形成され，空孔が十分に形成されてから絶縁膜が焼き固められる。この結果上述の加熱炉と同様の絶縁膜の膜質が得られる。なお，多孔質膜材料には，有機又は無機のポーラス系の樹脂（ポーラス材料），例えばシロキサン系ポリマー，有機ポリマー等が含まれる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は，本実施の形態にかかる熱処理方法が実施されるＳＯＤ膜形成システム１の構成の概略を示す平面図であり，図２は，ＳＯＤ膜形成システム１の正面図であり，図３は，ＳＯＤ膜形成システム１の背面図である。このＳＯＤ膜形成システム１は，例えばウェハＷ上に低誘電率の層間絶縁膜（Ｌｏｗ―Ｋ膜）を形成するための処理システムである。
【００１５】
ＳＯＤ膜形成システム１は，図１に示すように，例えば２５枚のウェハＷをカセット単位で外部からＳＯＤ膜形成システム１に対して搬入出したり，カセットＣに対してウェハＷを搬入出したりするカセットステーション２と，ＳＯＤ膜形成工程の中で枚葉式に所定の処理を施す各種処理装置を多段配置してなる処理ステーション３とを一体に接続した構成を有している。
【００１６】
カセットステーション２では，載置部となるカセット載置台１０上の所定の位置に，複数のカセットＣをＸ方向（図１中の上下方向）に一列に載置自在となっている。そして，このカセット配列方向（Ｘ方向）とカセットＣに収容されたウェハＷのウェハ配列方向（Ｚ方向；鉛直方向）に対して移送可能なウェハ搬送体１１が搬送路１２に沿って移動自在に設けられており，各カセットＣに対して選択的にアクセスできるようになっている。
【００１７】
ウェハ搬送体１１は，ウェハＷの位置合わせを行うアライメント機能を備えている。このウェハ搬送体１１は後述するように処理ステーション３側の第３の処理装置群G３に属するエクステンション装置３１に対してもアクセスできるように構成されている。
【００１８】
処理ステーション３では，その中心部に主搬送装置１３が設けられており，この主搬送装置１３の周辺には各種処理装置が多段に配置されて処理装置群を構成している。このＳＯＤ膜形成システム１においては，４つの処理装置群G1，G2，G3，G4が配置されており，第１及び第２の処理装置群G1，G2はＳＯＤ膜形成システム１の正面側に配置され，第３の処理装置群G3は，カセットステーション２に隣接して配置され，第４の処理装置群G4は，主搬送装置１３は挟んで，第３の処理装置群G3の反対側に配置されている。主搬送装置１３は，これらの処理装置群G1，G2，G3及びG4内に配置されている後述する各種処理装置に対して，ウェハＷを搬入出可能である。なお，処理装置群の数や配置は，ウェハＷに施される処理の種類によって異なり，任意に選択可能である。
【００１９】
第１の処理装置群G1では，例えば図２に示すように絶縁膜材料を含む塗布液をウェハＷに塗布する塗布処理装置１７，１８が下から順に２段に配置されている。第２の処理装置群G2には，例えば塗布処理装置１７等で用いられる塗布液等が貯蔵され，当該塗布液等の供給源となる処理液キャビネット１９と，塗布処理装置２０とが下から順に２段に配置されている。
【００２０】
第３の処理装置群G3では，例えば図３に示すように，ウェハＷを冷却処理するクーリング装置３０，ウェハＷの受け渡しを行うためのエクステンション装置３１，ウェハＷを低温で加熱処理する低温加熱処理装置３２，ウェハＷを硬化処理する熱処理装置としてのＤＣＣ（Dielectric  Cure  and  Cooling−off）装置３３，３４，が下から順に例えば５段に積み重ねられている。
【００２１】
第４の処理装置群G4では，例えばクーリング装置４０，４１，低温加熱処理装置４２，ウェハＷを低酸素雰囲気に維持して加熱処理する低酸素加熱処理装置４３，４４が下から順に例えば５段に積み重ねられている。
【００２２】
次に，上述のＤＣＣ装置３３，３４の詳しい構成を，ＤＣＣ装置３３を例に採って説明する。図４は，ＤＣＣ装置３３の構成の概略を示す縦断面の説明図であり，図５は，ＤＣＣ装置３３の構成の概略を示す横断面の説明図である。
【００２３】
ＤＣＣ装置３３は，図４，図５に示すように全体がケーシング３３ａで覆われており，そのケーシング３３ａ内には，ケーシング３３ａ内を二分割する仕切板５０が設けられている。この仕切板５０によって加熱処理室Ｓ１，冷却処理室Ｓ２が形成されている。これらの各処理室Ｓ１，Ｓ２は，ケーシング３３ａ，仕切板５０によって密閉可能であり，各処理室Ｓ１，Ｓ２内の雰囲気を所定の雰囲気に維持できる。
【００２４】
加熱処理室Ｓ１の中央部には，ウェハＷを載置し加熱する熱板６０が設けられている。熱板６０は，例えば厚みのある円盤状に形成されており，その材質には，熱伝導性の優れたもの，例えばセラミックスである炭化ケイ素や窒化アルミニウム等が用いられている。
【００２５】
熱板６０には，例えば給電により発熱するヒータ６１が内蔵されている。ヒータ６１は，例えばその電源６２の出力がコントローラ６３によって制御されており，熱板６０の温度を所定温度に維持できるようになっている。
【００２６】
熱板６０には，図５に示すように例えば３つの貫通孔６４が形成されている。各貫通孔６４には，図４に示すようにウェハＷの裏面を支持して昇降する昇降ピン６５がそれぞれ挿入されている。昇降ピン６５は，例えばシリンダ等を備えた昇降機構６６により上下動する。したがって，昇降ピン６５に支持されたウェハＷを熱板６０上に載置したり，熱板６０上のウェハＷを持ち上げたりすることができる。また，昇降機構６６は，例えばコントローラ６３によりその動作が制御されており，昇降ピン６５は，ウェハＷを所定のタイミング，所定の高さに昇降することができる。
【００２７】
例えば加熱処理室Ｓ１の上部には，赤外線照射装置６７が設置されている。赤外線照射装置６７は，下方に向けて赤外線を照射する照射源としての赤外線ランプ６８を備えている。赤外線ランプ６８の照射量は，例えば赤外線ランプ６８に印加する電圧により可変であり，赤外線ランプ６８の電源６９は，例えばコントローラ６３により制御されている。つまり，コントローラ６３は，赤外線ランプ６８の照射量を調整できる。
【００２８】
例えば熱板６０上には，温度センサである熱電対Ｋが取り付けられている。この熱電対Ｋは，赤外線の照射される位置に設けられており，熱板６０と赤外線によって加熱されるウェハＷの温度を疑似的に検出できる。熱電対Ｋで検出される温度データは，コントローラ６３に出力可能であり，コントローラ６３は，当該温度データに基づいて赤外線ランプ６８の出力を調整できる。したがって，コントローラ６３は，赤外線ランプ６８の出力を調整し，熱板６０上のウェハＷの温度を所定の温度に調整できる。
【００２９】
加熱処理室Ｓ１のケーシング３３ａの側面には，図示しない供給源から硬化処理ユニット６５内に気体，例えば不活性気体，ヘリウムガス，窒素ガス等を供給する第１の気体供給管７０が接続されている。ケーシング３３ａの下面には，加熱処理室Ｓ１内の雰囲気を排気するための第１の排気管７１が設けられている。かかる構成から，第１の気体供給管７０から加熱処理室Ｓ１内に所定の気体を供給し，第１の排気管７１から排気することによって，ケーシング３３ａ内を所定の雰囲気に維持することができる。
【００３０】
一方，冷却処理室Ｓ２側には，図５に示すように略方形の板状の冷却板８０が設けられている。冷却板８０は，ウェハＷよりも大きい形状を有し，ウェハＷが冷却板８０上に置かれると，ウェハＷの裏面全面が冷却板８０に接する。冷却板８０内には，図４に示すように例えば所定温度に調整された流体が通過する流路８０ａが形成されており，当該流体によって冷却板８０は，所定の温度に維持される。したがって，冷却板８０に載置されたウェハＷは，所定温度に冷却される。冷却板８０は，例えばシャフト８１を介して，モータ等を備えた水平駆動部８２に取り付けられている。水平駆動部８２は，冷却板８０の下方に敷設されたレール８３に移動自在に取り付けられている。レール８３は，Ｘ方向（冷却処理室Ｓ２側から加熱処理室Ｓ１側に向かう方向）に延びており，冷却板８０は，レール８３に沿って加熱処理室Ｓ１内の熱板６０上まで移動できる。
【００３１】
冷却板８０には，図５に示すようにスリット状の切り欠き８０ｂ，８０ｃが形成されている。切り欠き８０ｂ，８０ｃは，冷却板８０の加熱処理室Ｓ１側の端部から冷却板８０中央部に向けて形成されており，冷却板８０と加熱処理室Ｓ２の昇降ピン６５とが干渉しないようになっている。したがって，冷却板８０が熱板６０上まで移動した際に，昇降ピン６５が上下動して，冷却板８０と昇降ピン６５との間でウェハＷの受け渡しができる。昇降ピン６５は，上述したようにウェハＷを熱板６０上に載置自在であるので，冷却板８０は，昇降ピン６５を介して熱板６０との間でウェハＷの受け渡しができる。
【００３２】
例えば冷却処理室Ｓ２のケーシング３３ａの側面には，図示しない供給源から冷却処理室Ｓ２内に，窒素ガス等の気体を供給する第２の気体供給管８４が接続されている。ケーシング３３ａの下面には，冷却処理室Ｓ２内の雰囲気を排気するための第２の排気管８５が設けられている。したがって，冷却処理室Ｓ２においても，第２の気体供給管８４から所定の気体を導入し，第２の排気管８５から排気することによって，冷却処理室Ｓ２内を所定の雰囲気に維持することができる。
【００３３】
また，冷却処理室Ｓ２側のケーシング３３ａの主搬送装置１３側の側面には，図５に示すようにウェハＷをＤＣＣ装置３３に対して搬入出するための搬送口８６が設けられている。搬送口８６には，シャッタ８７が設けられており，ウェハＷの搬入出時以外は，シャッタ８７が閉鎖され，ケーシング３３ａ内を密閉できる。
【００３４】
また，仕切板５０には，冷却板８０が通過する通過口９０が形成されており，当該通過口９０には，例えば上下動するシャッタ９１が設けられている。これにより，加熱処理室Ｓ１，冷却処理室Ｓ２間でウェハＷを搬送する時以外は，シャッタ９１を閉じて，各処理室Ｓ１，Ｓ２の雰囲気を維持できる。
【００３５】
次に，以上のように構成されているＤＣＣ装置３３の作用について，ＳＯＤ膜形成システム１で行われるＳＯＤ膜形成工程のプロセスと共に説明する。
【００３６】
先ず，ウェハ搬送体１１によりカセットＣから未処理のウェハＷが１枚取り出され，第３の処理装置群G3に属するエクステンション装置３１に搬送される。次いで，ウェハＷは主搬送装置１３によってクーリング装置３０に搬送され，所定の温度に冷却される。所定温度に冷却されたウェハＷは，主搬送装置１３によって，塗布処理装置１７に搬送される。この塗布処理装置１７では，絶縁膜材料で多孔質膜材料であるＭＳＱ（アルキルシルセスキオキサンポリマー）を含んだ塗布液がウェハＷ上に塗布され，塗布膜が形成される。なお，多孔質膜材料として，ＭＳＱの他，例えばダウケミカル社製のポーラスＳＩＬＫ等が用いられる。
【００３７】
塗布処理装置１７において塗布膜が形成されたウェハＷは，主搬送装置１３によって低温加熱処理装置３２又は４２，低酸素加熱処理装置４３又は４４に順次搬送され，塗布液内の溶剤を蒸発した後に，ＤＣＣ装置３３に搬送される。
【００３８】
ＤＣＣ装置３３で所定の処理が施されたウェハＷは，クーリング装置３０に搬送され，冷却され，その後エクステンション装置３１に戻される。エクステンション装置３１に戻されたウェハＷは，ウェハ搬送体１１によってカセットＣに搬送されて，一連のＳＯＤ膜形成工程が終了する。
【００３９】
次に，上述のＤＣＣ装置３３で行われる，参考例としての硬化処理プロセスについて説明する。先ず，ウェハＷがＤＣＣ装置３３内に搬入される前に，第１の気体供給管７０から加熱処理室Ｓ１内に，例えば窒素ガスが供給され始め，加熱処理室Ｓ１内の雰囲気が第１の排気管７１から排気される。また，第２の気体供給管８４から冷却処理室Ｓ２内に窒素ガスが供給され，第２の排気管８５から排気される。これにより，加熱処理室Ｓ１及び冷却処理室Ｓ２内が所定の窒素雰囲気に維持される。熱板６０は，例えば前記低酸素加熱処理装置４３の加熱温度よりも高い所定温度，例えば初期温度Ｌである２５０℃に維持される。冷却板８０は，常温，例えば２３℃に維持される。
【００４０】
そして，前記低酸素加熱処理装置４３におけるウェハ処理が終了すると，主搬送装置１３によって，搬送口８６からＤＣＣ装置３３の冷却処理室Ｓ２内にウェハＷが搬入される。搬入されたウェハＷは，冷却板８０上に載置される。そして，シャッタ９１が開放され，冷却板８０が熱板６０上まで移動する。冷却板８０が熱板６０上まで移動すると，昇降ピン６５が上昇し，ウェハＷを持ち上げる。昇降ピン６５がウェハＷを持ち上げている間に，冷却板８０が冷却処理室Ｓ２に退避し，シャッタ９１が閉鎖される。その後，昇降ピン６５が下降し，ウェハＷが熱板６０上に載置される。
【００４１】
熱板６０に載置されたウェハＷは，図６に示すように熱板６０の温度である２５０℃に急速に昇温される。その後，赤外線ランプ６８が点灯し，熱板６０上のウェハＷに赤外線が照射され始める。先ず，赤外線ランプ６８の照射により，ウェハＷが中間温度Ｍである３５０℃に昇温される。このとき，例えばコントローラ６３は，熱電対Ｋの温度データに基づいて，赤外線ランプ６８の出力を制御して，ウェハＷ温度を調整する。また，コントローラ６３は，例えばウェハＷの３５０℃まで昇温するまでの時間が，所定時間ｔ１，例えば３分以下になるように赤外線ランプ６８の出力を制御する。これまでに，図７に示すようにウェハＷ上の塗布膜Ｒ内にポーラスとなる粒子状物Ｊが形成され，塗布膜Ｒの骨格が形成される。
【００４２】
３５０℃に昇温したウェハＷは，所定時間ｔ２，例えば３分間その温度に維持される。この間に，図８に示すように粒子状物Ｊが塗布膜Ｒ内から飛び出し，塗布膜Ｒ内にポーラスである空孔Ｕが形成される。
【００４３】
所定時間ｔ２が経過すると，ウェハＷは，図６に示すように目標温度Ｈである，例えば４００℃に昇温される。このときも，コントローラ６３により，４００℃に昇温するまでの時間が，所定時間ｔ３，例えば３分以下になるように赤外線ランプ６８の出力が制御される。
【００４４】
ウェハＷが４００℃になると，ウェハＷは，所定時間ｔ４，例えば３分間その温度で維持される。この４００℃の加熱によって，ウェハＷ上の塗布膜が焼き固められる。所定時間ｔ４が経過すると，赤外線ランプ６８が消灯され，赤外線の照射が終了する。
【００４５】
その後，昇降ピン６５によりウェハＷが上昇するとともに，シャッタ９１が開放され，上昇したウェハＷと熱板６０との間に冷却板８０が進入する。昇降ピン６５が下降し，ウェハＷが冷却板８０上に載置されると，冷却板８０が冷却処理室Ｓ２側に移動し，冷却処理室Ｓ２においてウェハＷが所定時間冷却される。その後，ウェハＷは，搬送口８６から進入した主搬送装置１３に受け渡され，当該ウェハＷは，次工程の行われる装置に搬送される。
【００４６】
以上の実施の形態によれば，一枚当たりの硬化処理の所要時間が，例えば１５分程度しかかからないので，処理枚数が少ない場合，従来のバッチ式に比べてウェハＷのトータルの硬化処理時間を短縮することができる。ウェハＷを段階的に昇温したので，ウェハＷの温度が中間温度Ｍに達するまでに，塗布膜Ｒ内の粒子状物Ｊが十分に形成される。その後ウェハＷの温度を中間温度Ｍに維持した時に，総ての粒子状物Ｊが膜内から飛び出て膜内に所望の空孔Ｕが形成される。そして，ウェハＷを目標温度Ｈに昇温し，維持した時に，塗布膜Ｒが焼き固められる。このように硬化処理における塗布膜の化学的な反応が正しい順序で確実に行われるので，迅速な昇温を行ってもウェハＷの膜質が維持される。
【００４７】
なお，以上の実施の形態では，ウェハＷの温度を上げるための放射線として赤外線を用いたが，他の放射線，例えば紫外線やレーザ等を用いてもよい。
【００４８】
以上の実施の形態では，ウェハＷの段階的な昇温を，赤外線ランプ６８の出力を制御することによって行っていたが，参考例として，図９に示すように赤外線照射装置１００に複数，例えば２つの赤外線ランプ１０１，１０２を取付け，放射している赤外線ランプの数を増やすことによって行ってもよい。例えば，ウェハＷが中間温度Ｍで維持されるまでは，赤外線ランプ１０１のみを点灯する。その後，目標温度Ｈに昇温する際に，赤外線ランプ１０１に加えて赤外線ランプ１０２を点灯する。これにより，ウェハＷに対する赤外線の照射量が増大し，ウェハ温度が上昇する。かかる場合，赤外線ランプ１０１，１０２の出力を制御せずに，赤外線ランプ１０１，１０２のＯＮ・ＯＦＦのみでウェハＷの段階的な昇温を行うことができる。なお，赤外線ランプの数は，任意に選択できる。また，赤外線ランプが複数の場合，ウェハ面内に斑なく赤外線を照射できるように，各赤外線ランプを配置する。
【００４９】
さらに，複数の放射線のランプを用いてウェハＷを昇温する場合，赤外線ランプと紫外線ランプを併用してもよい。紫外線ランプの照射は，塗布膜を改質する効果，例えば塗布膜表面の接触角を小さくするという効果もあり，後に塗布される上層膜が凹凸なく平坦に形成される。
【００５０】
また，赤外線ランプと紫外線ランプを併用する場合，本発明のように赤外線ランプと紫外線ランプとの照射を切り替えることによってウェハＷの段階的な昇温を実現してもよい。例えば，ウェハＷを中間温度Ｍまで昇温し，維持するまでは，比較的昇温能力の低い紫外線ランプを点灯させ，紫外線をウェハＷに照射する。その後，紫外線ランプを消灯し，比較的昇温能力の高い赤外線ランプを点灯して，ウェハＷに赤外線を照射する。こうすることによって，ウェハＷが段階的に昇温する。この場合，紫外線ランプと赤外線ランプの出力を制御する必要がないので，より簡単にウェハＷの段階的な昇温を実現できる。
【００５１】
また，参考例として，ウェハＷの加熱中に，ウェハＷと赤外線ランプ６８を近づけることによって，ウェハＷを段階的に昇温させてもよい。かかる場合，例えばウェハＷを中間温度Ｍから目標温度Ｈに昇温する際に，昇降ピン６５の昇降機構６６を作動させ，昇降ピン６５によってウェハＷを上昇させる。こうすることにより，ウェハＷが赤外線ランプ６８に近づいて，ウェハＷへの赤外線の照射量が増大する。それ故，赤外線ランプ６８の出力を変更しなくても，ウェハＷを目標温度Ｈまで昇温できる。さらに，赤外線照射装置６７に，赤外線ランプ６８の取り付けられた基台を回転させる回転機構を設けて，赤外線ランプ６８を回転させてもよい。これによりウェハＷへ照射される放射線量のばらつきを抑え，ウェハＷ全面に均一に放射線を照射できる。
【００５２】
以上の実施の形態では，ウェハＷを熱板６０上に載置したまま，ウェハＷの加熱を行っていたが，ウェハＷの温度が熱板６０の温度を超えた後は，昇降ピン６５によってウェハＷを熱板６０から離すようにしてもよい。かかる場合，例えば温度センサである熱電対Ｋが，ウェハＷの温度を逐次検出し，熱電対Ｋの温度データは，コントローラ６３に出力される。そして，ウェハＷ温度が，熱板６０の温度である２５０℃に到達した時に，コントローラ６３によって昇降ピン６５が上昇され，ウェハＷが熱板６０から離される。この場合，温度の低い熱板６０によりウェハＷの熱が奪われることがないので，その後のウェハＷの昇温をより速く行うことができる。したがって，硬化処理全体をより短時間で行うことができる。なお，上述の温度センサは，サーモビュワー等の非接触式の温度センサを用いてもよい。
【００５３】
以上，本発明の実施の形態の一例について説明したが，本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。例えば前記実施の形態では，ウェハＷの昇温が２段階であったが，その数は，絶縁膜材料の種類に応じて適宜変更できる。また，絶縁膜材料として多孔質膜材料を用いたが，他の絶縁膜材料を用いてもよい。さらに，前記実施の形態では，本発明をＳＯＤ膜形成における硬化処理に適用したが，本発明は他の層間膜，例えばＳＯＧ（ｓｐｉｎ  ｏｎ  ｇｌａｓｓ）等の熱処理にも適用できる。また，基板を上記ウェハＷに限定せず，方形の他の基板，たとえばＬＣＤ基板の熱処理方法に対しても適用可能である。
【００５４】
【発明の効果】
本発明によれば，枚葉式に硬化処理が行えるので，各基板の処理時間が短く，少枚数単位での処理時間が短縮できる。したがって，少枚数単位で行われる基板処理のスループットが向上される。また，硬化処理における絶縁膜内の化学的な反応が正しい順で確実に行われるので，基板上に高品質の絶縁膜が形成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態にかかる熱処理方法が実施されるＳＯＤ膜形成システムの構成の概略を示す平面図である。
【図２】図１のＳＯＤ膜形成システムの正面図である。
【図３】図１のＳＯＤ膜形成システムの背面図である。
【図４】ＤＣＣ装置の構成の概略を示す縦断面の説明図である。
【図５】ＤＣＣ装置の構成の概略を示す横断面の説明図である。
【図６】硬化処理時のウェハ温度の時間変化を示すグラフである。
【図７】塗布膜に粒子状物が形成された様子を示したウェハの縦断面の説明図である。
【図８】塗布膜に空孔が形成された様子を示したウェハの縦断面の説明図である。
【図９】複数の赤外線ランプを備えたＤＣＣ装置の構成の概略を示す縦断面の説明図である。
【符号の説明】
１    ＳＯＤ膜形成システム
３３    ＤＣＣ装置
６０    熱板
６８    赤外線ランプ
Ｓ１    加熱処理室
Ｓ２    冷却処理室
Ｗ    ウェハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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