(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
管軸方向に延びる光入射窓を有する管状の真空容器と、
前記光入射窓の内面に形成されて、外部からの光の入射を受けて電子を放出させる光電面と、
前記真空容器に収容されて、前記光電面から放出された電子を収束させるフォーカスディスクと、
前記真空容器に収容されて、前記フォーカスディスクで収束された電子を増倍させる電子増倍手段と、
前記真空容器に収容されると共に前記光電面と前記フォーカスディスクとの間に配置され、前記光電面の両端にわたって前記管軸方向に延びており、前記光電面の形成前においては前記光電面と対向する面に蒸着物質が堆積されており前記光電面の形成時においては通電加熱によってこの蒸着物質を蒸発させる蒸着棒と、
前記フォーカスディスクに固定され、前記蒸着棒の端部を支持すると共に前記蒸着棒を通電加熱した際に生じる前記蒸着棒の線膨張による伸びを吸収する線膨張吸収手段とを備えたことを特徴とした光電子増倍管。
【請求項２】
前記線膨張吸収手段は、前記フォーカスディスクに固定された起立部と、この起立部に設けられると共に前記蒸着棒の端部に向けて延びて前記蒸着棒の端部の開口に摺動可能に挿入される挿入部とを備えていることを特徴とした請求項１記載の光電子増倍管。
【請求項３】
前記蒸着棒は円筒形状又は中空の角柱形状を有していることを特徴とした請求項２記載の光電子増倍管。
【請求項４】
前記線膨張吸収手段は、前記フォーカスディスクに固定されると共に前記蒸着棒と対向する面にガイド孔が形成されており、このガイド孔に前記蒸着棒の端部が摺動可能に挿入されていることを特徴とした請求項１記載の光電子増倍管。
【請求項５】
前記蒸着棒は断面Ｕ字形状又は断面Ｖ字形状を有していることを特徴とした請求項４記載の光電子増倍管。
【請求項６】
前記蒸着棒は中実の角柱形状を有していることを特徴とした請求項４又は請求項５に記載の光電子増倍管。
【請求項７】
前記蒸着棒の両端部にそれぞれ前記線膨張吸収手段が設けられていることを特徴とした請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の光電子増倍管。
【請求項８】
前記蒸着棒の一方の端部に前記線膨張吸収手段が設けられて、前記蒸着棒の他方の端部に前記蒸着棒を前記フォーカスディスクに固定させる端部固定片が設けられていることを特徴とした請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の光電子増倍管。
【請求項９】
前記蒸着棒の両端部にそれぞれ前記線膨張吸収手段が設けられて、前記蒸着棒の中央部に前記蒸着棒を前記フォーカスディスクに固定させる中央部固定片が設けられていることを特徴とした請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の光電子増倍管。
【請求項１０】
管軸方向に延びる光入射窓を有する管状の真空容器と、
前記光入射窓の内面に形成されて、外部からの光の入射を受けて電子を放出させる光電面と、
前記真空容器に収容されて、前記光電面から放出された電子を収束させるフォーカスディスクと、
前記真空容器に収容されて、前記フォーカスディスクで収束された電子を増倍させる電子増倍手段と、
前記真空容器に収容されると共に前記光電面と前記フォーカスディスクとの間に前記管軸方向に延ばして配置されて、前記光電面の形成前においては蒸着物質を保持すると共に前記光電面の形成時においては通電加熱によってこの蒸着物質を蒸発させる蒸着棒と、
前記蒸着棒の端部を支持すると共に前記蒸着棒を通電加熱した際に生じる前記蒸着棒の線膨張による伸びを吸収する線膨張吸収手段と、
前記蒸着棒と前記フォーカスディスクとの間に設けられて、基端が前記フォーカスディスクに固定されると共に先端部分に挿入部を有して、この挿入部で前記蒸着棒を支持することによって前記蒸着棒と前記光電面との間隔を一定に保つ蒸着棒支持台と
を備えることを特徴とした光電子増倍管。
【請求項１１】
前記挿入部の内面には、前記蒸着棒に向けて突出させて頂部を前記蒸着棒と点接触させることにより、前記蒸着棒に堆積された前記蒸着物質が前記挿入部の内面と接触するのを抑制させる支持台側支持片が設けられていることを特徴とした請求項１０に記載の光電子増倍管。
【請求項１２】
前記蒸着棒の外面には、前記挿入部の内面に向けて突出させて頂部を前記挿入部の内面と点接触させることにより、前記蒸着棒に堆積された前記蒸着物質が前記挿入部の内面と接触するのを抑制させる蒸着棒側支持片が設けられていることを特徴とした請求項１０に記載の光電子増倍管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、安定したカソードユニフォミティが得られる光電子増倍管に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、このような分野の技術としては、特開昭６３−２００４５７号公報のものが知られている。この公報に記載された従来の光電子増倍管は、図１５に示すように、第１段ダイノード２００の入射開口にメッシュ電極２０１が取り付けられ、このメッシュ電極２０１の表面に一定の膜厚で蒸着物質が堆積されている。そして、真空容器２０２の外側から高周波加熱することにより、メッシュ電極２０１上の蒸着物質を真空容器２０２の内面に蒸着させて、光電面２０３を形成する。
【０００３】
なお、その他の光電子増倍管の従来技術としては、特開平６−２９５７０３号公報、特公平５−３６８９８号公報、及び特開昭５５−９００３４号公報などに記載されたものが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の光電子増倍管は、高周波加熱時に、管軸方向の両端部で高周波がかかり難いため、管軸方向の両端部での光電面の膜厚が不均一になった。このため、光電面２０３の両端部でのカソードユニフォミティが悪化してしまい問題であった。
【０００５】
また、高周波加熱によってメッシュ電極２０１が管軸方向に膨脹して、メッシュ電極２０１が弓状に曲がる恐れがあった。メッシュ電極２０１が弓状に曲がると、メッシュ電極２０１と真空容器２０２の内面との間隔が一定でなくなり、真空容器２０２の内面に形成される光電面２０３の膜厚にばらつきが生じる。このため、カソードユニフォミティが悪化し問題であった。
【０００６】
本発明は、このような問題を解決し、カソードユニフォミティが優れた光電子増倍管を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の光電子増倍管は、管軸方向に延びる光入射窓を有する管状の真空容器と、光入射窓の内面に形成されて、外部からの光の入射を受けて電子を放出させる光電面と、真空容器に収容されて、光電面から放出された電子を収束させるフォーカスディスクと、真空容器に収容されて、フォーカスディスクで収束された電子を増倍させる電子増倍手段と、真空容器に収容されると共に光電面とフォーカスディスクとの間に配置され、光電面の両端にわたって管軸方向に延びており、光電面の形成前においては光入射窓と対向する面上に蒸着物質が蒸着されており光電面の形成時においては通電加熱によってこの蒸着物質を蒸発させる蒸着棒と、フォーカスディスクに固定され、蒸着棒の端部を支持すると共に蒸着棒を通電加熱した際に生じる蒸着棒の線膨張による伸びを吸収する線膨張吸収手段とを備えたことを特徴としている。
【０００８】
このように、光電面の形成時に蒸着棒を通電加熱すると蒸着棒は線膨脹するが、この線膨脹による蒸着棒の端部の伸びは線膨張吸収手段によって吸収される。このため、蒸着棒が加熱されても蒸着棒が弓状に曲がることはなく、蒸着棒と光入射窓の内壁との間隔はいずれの部分も一定である。よって、光入射窓の内壁に形成される光電面の膜厚はいずれの部分も一定となり、カソードユニフォミティが良くなる。
【０００９】
また、蒸着棒を通電加熱して蒸着物質を蒸発させているので、高周波加熱の課題であった光電面の両端部の膜厚が不均一になるといった問題は生じない。
【００１０】
ここで、線膨張吸収手段は、フォーカスディスクに固定された起立部と、この起立部に設けられると共に蒸着棒の端部に向けて延びて蒸着棒の端部の開口に摺動可能に挿入される挿入部とを備えていることが好ましい。
【００１１】
また、蒸着棒は円筒形状又は中空の角柱形状を有していることが好ましい。
【００１２】
さらに、線膨張吸収手段は、フォーカスディスクに固定されると共に蒸着棒と対向する面にガイド孔が形成されており、このガイド孔に蒸着棒の端部が摺動可能に挿入されていることが好ましい。
【００１３】
さらにまた、蒸着棒は断面Ｕ字形状又は断面Ｖ字形状を有していることが好ましい。
【００１４】
さらにまた、蒸着棒は中実の角柱形状を有していることが好ましい。
【００１５】
さらにまた、蒸着棒の両端部にそれぞれ線膨張吸収手段が設けられていることが好ましい。
【００１６】
さらにまた、蒸着棒の一方の端部に線膨張吸収手段が設けられて、蒸着棒の他方の端部に蒸着棒を前記フォーカスディスクに固定させる端部固定片が設けられていることが好ましい。
【００１７】
さらにまた、蒸着棒の両端部にそれぞれ線膨張吸収手段が設けられて、蒸着棒の中央部に蒸着棒をフォーカスディスクに固定させる中央部固定片が設けられていることが好ましい。
【００１８】
本発明の別の光電子増倍管は、管軸方向に延びる光入射窓を有する管状の真空容器と、光入射窓の内面に形成されて、外部からの光の入射を受けて電子を放出させる光電面と、真空容器に収容されて、光電面から放出された電子を収束させるフォーカスディスクと、真空容器に収容されて、フォーカスディスクで収束された電子を増倍させる電子増倍手段と、真空容器に収容されると共に光電面とフォーカスディスクとの間に管軸方向に延ばして配置されて、光電面の形成前においては蒸着物質を保持すると共に光電面の形成時においては通電加熱によってこの蒸着物質を蒸発させる蒸着棒と、蒸着棒の端部を支持すると共に蒸着棒を通電加熱した際に生じる蒸着棒の線膨張による伸びを吸収する線膨張吸収手段と、蒸着棒とフォーカスディスクとの間に設けられて、基端がフォーカスディスクに固定されると共に先端部分に挿入部を有して、この挿入部で蒸着棒を支持することによって蒸着棒と光電面との間隔を一定に保つ蒸着棒支持台とを備えたことを特徴としている。
【００１９】
さらにまた、挿入部の内面には、蒸着棒に向けて突出させて頂部を蒸着棒と点接触させることにより、蒸着棒に堆積された蒸着物質が挿入部の内面と接触するのを抑制させる支持台側支持片が設けられていることが好ましい。
【００２０】
さらにまた、蒸着棒の外面には、挿入部の内面に向けて突出させて頂部を挿入部の内面と点接触させることにより、蒸着棒に堆積された蒸着物質が挿入部の内面と接触するのを抑制させる蒸着棒側支持片が設けられていることが好ましい。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施形態について添付図面を参照して説明する。
【００２２】
図１は本発明の実施形態に係る光電子増倍管１を示す正面図であり、図２は光電子増倍管１の要部拡大斜視図である。図１に示すように、光電子増倍管１は管状の真空容器１０を備えており、真空容器１０の上面には管軸Ａの方向に延びる光入射窓１１が設けられている。そして、この光入射窓１１の内面１１ａには、外部からの光の入射を受けて電子を放出させる光電面２０が形成されている。真空容器１０の内部には、光電面２０から放出された電子を増倍させる電子増倍手段３０が管軸Ａの方向に延ばして配置されている。
【００２３】
図２に示すように、電子増倍手段３０の上部には、管軸Ａの方向に延びる長方形形状のフォーカスディスク３１が設けられており、フォーカスディスク３１は上面３１ａと光電面２０とが対向するように配置されている。このフォーカスディスク３１の中央部には、管軸Ａの方向に延びる長方形形状の入射開口３１ｂが設けられ、フォーカスディスク３１は光電面２０から放出された電子を入射開口３１ｂに収束させるように機能する。そして、入射開口３１ｂには、フォーカスディスク３１で収束された電子を加速するメッシュ電極３２が固定されている。さらに、フォーカスディスク３１の下方には、入射開口３１ｂを通過した電子を順次増倍する複数段のダイノード３３と、ダイノード３３で増倍された電子を捕捉するアノード３４とが設けられている。
【００２４】
フォーカスディスク３１と光電面２０との間には、入射開口３１ｂの両側に配置されると共に管軸Ａの方向に延びる一対の蒸着棒４０が設けられている。各蒸着棒４０は、外径約１．５ｍｍ、内径約１．０ｍｍ、全長約４００ｍｍで抵抗値が約１．０Ωの円筒形状のステンレスパイプである。そして、蒸着棒４０の各端部４０ａの外側には、蒸着棒４０の端部４０ａを支持すると共に蒸着棒４０を通電加熱した際に発生する線膨張による伸びを吸収する線膨張吸収手段４１が設けられている。線膨張吸収手段４１は、フォーカスディスク３１の上面３１ａに固定された起立部４２と、この起立部４２に設けられると共に蒸着棒４０の端部４０ａに向けて延びて蒸着棒４０の端部４０ａの開口に摺動可能に挿入される挿入部４３とを備えている。
【００２５】
ここで、起立部４２とフォーカスディスク３１との間にはリング状の絶縁体４４が介在されており、この絶縁体４４によって線膨張吸収手段４１とフォーカスディスク３１とは電気的に絶縁されている。また、挿入部４３と蒸着棒４０との間には幅約１ｍｍの金属リボン４５が架け渡されている。即ち、金属リボン４５の一端が挿入部４３に溶接されると共に、金属リボン４５の他端が蒸着棒４０の端部４０ａに溶接されており、この金属リボン４５によって線膨張吸収手段４１と蒸着棒４０とは電気的に接続される。
【００２６】
各蒸着棒４０とフォーカスディスク３１との間には複数の蒸着棒支持台５０が設けられており、これらの蒸着棒支持台５０によって各蒸着棒４０はフォーカスディスク３１の上方に支持される。図３に示すように、各蒸着棒支持台５０は、基端５０ａがフォーカスディスク３１の上面３１ａに固定されて、先端部分５０ｂに挿入部５０ｃが設けられている。挿入部５０ｃは一部に切り欠きを有する断面円形の貫通孔であり、この挿入部５０ｃに蒸着棒４０が摺動可能に挿入されている。
【００２７】
なお、蒸着棒支持台５０には種々の形状のものを用いることができる。例えば、図４（ａ）に示すように挿入部５０ｃが溝状であってもよく、また図４（ｂ）に示すように挿入部５０ｃが切り欠きのない貫通孔であってもよい。即ち、図４（ａ）に示す蒸着棒支持台５０は、基端５０ａがフォーカスディスク３１の上面３１ａに固定されて、先端部分５０ｂが斜めに切断されている。そして、この切断部分に溝状の挿入部５０ｃが形成されて、この挿入部５０ｃに蒸着棒４０が載置されている。また、図４（ｂ）に示す蒸着棒支持台５０は、基端５０ａがフォーカスディスク３１の上面３１ａに固定されて、先端部分５０ｂに断面円形の貫通孔である挿入部５０ｃが形成されている。そして、この挿入部５０ｃに蒸着棒４０が摺動可能に挿入されている。
【００２８】
さらに、図５（ａ）（ｂ）に示すように、蒸着棒支持台５０の挿入部５０ｃの内径を蒸着棒４０の外径より大きくしてもよい。このように挿入部５０ｃの内径が大きければ、挿入部５０ｃに蒸着棒４０を挿入する際に、蒸着棒４０に蒸着されているＳｂ（アンチモン）蒸着膜が傷付くことが少ない。ここで、図５（ａ）に示すように、蒸着棒支持台５０の挿入部５０ｃに３個の支持台側支持片５０ｄを設けるとよい。これらの支持台側支持片５０ｄによって蒸着棒４０は３点で支持されて、蒸着棒４０は挿入部５０ｃ内に固定される。また、図５（ｂ）に示すように、蒸着棒４０に３個の蒸着棒側支持片４０ｃを設けてもよい。これらの蒸着棒側支持片４０ｃによっても蒸着棒４０は３点で支持されて、蒸着棒４０は挿入部５０ｃ内に固定される。
【００２９】
次に、光電面２０を形成する際の手順について説明する。
【００３０】
まず、蒸着マスクを用いて蒸着棒４０の一方の面４０ｂに蒸着物質であるＳｂを一定の膜厚で蒸着させる。この処理は蒸着棒４０を真空容器１０に装着させる前に行う。次に、Ｓｂが蒸着された蒸着棒４０を真空容器１０に装着させる。この処理では、図６に示すように、Ｓｂが蒸着された面４０ｂと光入射窓１１の内面１１ａとが対向するように蒸着棒４０を配置させる。
【００３１】
次に、図７に示すように、蒸着棒４０の各端部４０ａの外側にそれぞれ設けられた一対の線膨脹吸収手段４１の間に電圧を印加して、金属リボン４５を介して蒸着棒４０に約５Ａ（アンペア）の電流を流す。２〜３分間の通電で蒸着棒４０は発熱し、蒸着棒４０に蒸着されたＳｂは全て蒸発する。そして、図６に示すように、蒸発したＳｂは光入射窓１１の内面１１ａに蒸着して、一定の膜厚の光電面２０が形成される。
【００３２】
ところで、蒸着棒４０を通電加熱する工程において蒸着棒４０は軸方向に約４ｍｍ線膨脹するが、この線膨脹による伸びは蒸着棒４０の各端部４０ａに設けられた線膨脹吸収手段４１によって吸収される。このため、蒸着棒４０が弓状に曲がるといった事態が発生することはない。
【００３３】
なお、図７に示す例では、蒸着棒４０の両端部４０ａに一対の線膨脹吸収手段４１を設けているが、いずれか一方の端部４０ａに線膨脹吸収手段４１を設ければ、蒸着棒４０の線膨脹による伸びを吸収することができる。即ち、図８に示すように、蒸着棒４０の一方の端部４０ａの外側に線膨脹吸収手段４１を設けると共に、蒸着棒４０の他方の端部４０ａの外側に四角柱状の端部固定片５１を設けて、この端部固定片５１で蒸着棒４０の他方の端部４０ａを固定してもよい。
【００３４】
この場合、端部固定片５１はフォーカスディスク３１の上面３１ａに固定されているので、線膨脹吸収手段４１とフォーカスディスク３１との間に電圧を印加すると、蒸着棒４０に電流が流れて、蒸着棒４０は通電加熱される。この通電加熱によって蒸着棒４０は線膨脹し、蒸着棒４０の一方の端部４０ａのみが摺動する。
【００３５】
また、図９に示すように、蒸着棒４０の各端部４０ａの外側にそれぞれ線膨脹吸収手段４１を設けると共に、蒸着棒４０の中央部に四角柱状の中央部固定片５２を設けて、中央部固定片５２で蒸着棒４０の中央部を固定してもよい。この場合、一対の線膨脹吸収手段４１に電圧を印加することにより、蒸着棒４０に電流が流れて、蒸着棒４０は通電加熱される。この通電加熱によって蒸着棒４０は線膨脹し、蒸着棒４０の各端部４０ａが摺動する。このときの蒸着棒４０の各端部４０ａの摺動量はほぼ均等になる。
【００３６】
次に、蒸着棒及び線膨脹吸収手段の他の例について図１０〜図１４を用いて説明する。図１０に示す蒸着棒６０は延在方向に沿った開口部６０ａを有する断面Ｕ字形状のステンレス製で、この蒸着棒６０の両端部６０ｂに一対の線膨脹吸収手段６１が設けられている。蒸着棒６０の開口部６０ａは、光入射窓１１と対向して配置されており、光入射窓１１と対向する蒸着棒６０の内面６０ｃがＳｂの蒸着面となっている。さらに、蒸着棒６０の各端部６０ｂには、蒸着棒６０を通電させるための金属線６２がそれぞれ取り付けられている。このため、光電面２０の形成時に蒸着棒６０が通電加熱されることによって、蒸着棒６０の内面６０ｃに蒸着されたＳｂが蒸発して、光入射窓１１の内面１１ａに光電面２０が形成される。
【００３７】
一対の線膨脹吸収手段６１の相対する面にはそれぞれ断面Ｄ字形状のガイド孔６１ａが形成されており、これらのガイド孔６１ａに蒸着棒６０の各端部６０ｂがそれぞれ摺動可能に挿入されている。このため、蒸着棒６０が通電加熱された際の線膨脹による伸びは、蒸着棒６０の各端部６０ｂがガイド孔６１ａ内を摺動することによって吸収される。
【００３８】
図１１に示す蒸着棒７０は延在方向に沿った開口部７０ａを有する断面Ｖ字形状のステンレス製で、この蒸着棒７０の両端部７０ｂに一対の線膨脹吸収手段７１が設けられている。蒸着棒７０の開口部７０ａは、光入射窓１１と対向して配置されており、光入射窓１１と対向する蒸着棒７０の内面７０ｃがＳｂの蒸着面となっている。さらに、蒸着棒７０の各端部７０ｂには、蒸着棒７０を通電させるための金属線７２がそれぞれ取り付けられている。このため、光電面２０の形成時に蒸着棒７０が通電加熱されることによって、蒸着棒７０の内面７０ｃに蒸着されたＳｂが蒸発して、光入射窓１１の内面１１ａに光電面２０が形成される。
【００３９】
一対の線膨脹吸収手段７１の相対する面にはそれぞれ断面三角形状のガイド孔７１ａが形成されており、これらのガイド孔７１ａに蒸着棒７０の各端部７０ｂがそれぞれ摺動可能に挿入されている。このため、蒸着棒７０が通電加熱された際の線膨脹による伸びは、蒸着棒７０の各端部７０ｂがガイド孔７１ａ内を摺動することによって吸収される。
【００４０】
図１２に示す蒸着棒８０は四角柱形状のステンレス製で、この蒸着棒８０の両端部８０ａに一対の線膨脹吸収手段８１が設けられている。そして、光入射窓１１と対向する蒸着棒８０の上面８０ｂがＳｂの蒸着面となっている。さらに、蒸着棒８０の各端部８０ａには、蒸着棒８０を通電させるための金属線８２がそれぞれ取り付けられている。このため、光電面２０の形成時に蒸着棒８０が通電加熱されることによって、蒸着棒８０の上面８０ｂに蒸着されたＳｂが蒸発して、光入射窓１１の内面１１ａに光電面２０が形成される。
【００４１】
一対の線膨脹吸収手段８１の相対する面にはそれぞれ断面四角形状のガイド孔８１ａが形成されており、これらのガイド孔８１ａに蒸着棒８０の各端部８０ａがそれぞれ摺動可能に挿入されている。このため、蒸着棒８０が通電加熱された際の線膨脹による伸びは、蒸着棒８０の各端部８０ａがガイド孔８１ａ内を摺動することによって吸収される。
【００４２】
図１３に示す蒸着棒９０は中空の四角柱形状を有するステンレス製で、この蒸着棒９０の両端部９０ａの外側に一対の線膨脹吸収手段９１が設けられている。そして、光入射窓１１と対向する蒸着棒９０の上面９０ｂがＳｂの蒸着面となっている。さらに、蒸着棒９０の各端部９０ａと線膨脹吸収手段９１との間には、蒸着棒９０を通電させるための金属リボン９２が架け渡されている。このため、光電面２０の形成時に蒸着棒９０が通電加熱されることによって、蒸着棒９０の上面９０ｂに蒸着されたＳｂが蒸発して、光入射窓１１の内面１１ａに光電面２０が形成される。
【００４３】
線膨脹吸収手段９１は、フォーカスディスク３１の上面３１ａに固定された起立部９１ａと、この起立部９１ａの上端から蒸着棒９０に向けて延びる挿入部９１ｂとから構成されている。そして、挿入部９１ｂは蒸着棒９０の端部９０ａの開口に摺動可能に挿入されている。このため、蒸着棒９０が通電加熱された際の線膨脹による伸びは、蒸着棒９０の各端部９０ａの開口内を挿入部９１ｂが摺動することによって吸収される。
【００４４】
図１４に示す蒸着棒１００は円柱形状のステンレス製で、この蒸着棒１００の両端部１００ａに一対の線膨脹吸収手段１０１が設けられている。そして、光入射窓１１と対向する蒸着棒１００の上面１００ｂがＳｂの蒸着面となっている。さらに、蒸着棒１００の各端部１００ａには、蒸着棒１００を通電させるための金属線１０２がそれぞれ取り付けられている。このため、光電面２０の形成時に蒸着棒１００が通電加熱されることによって、蒸着棒１００の上面１００ｂに蒸着されたＳｂが蒸発して、光入射窓１１の内面１１ａに光電面２０が形成される。
【００４５】
一対の線膨脹吸収手段１０１の相対する面にはそれぞれ断面円形状のガイド孔１０１ａが形成されており、これらのガイド孔１０１ａに蒸着棒１００の各端部１００ａがそれぞれ摺動可能に挿入されている。このため、蒸着棒１００が通電加熱された際の線膨脹による伸びは、蒸着棒１００の各端部１００ａがガイド孔１０１ａ内を摺動することによって吸収される。
【００４６】
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく、種々の変形が可能である。例えば、蒸着棒４０，６０〜１００はステンレス製のものが用いられているが、鉄やニクロムなどの他の材質のものを用いてもよい。また、蒸着棒４０〜１００の断面形状は、３角形或いは５角形以上の多角形であってもよい。
【００４７】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明の光電子増倍管であれば、管状の真空容器と、外部からの光の入射を受けて電子を放出させる光電面と、光電面から放出された電子を増倍させる電子増倍手段と、光電面と電子増倍手段との間に配置されて、光電面の形成前においては蒸着物質を保持し、光電面の形成時においては通電加熱によってこの蒸着物質を蒸発させる蒸着棒と、蒸着棒の端部を支持すると共に蒸着棒を通電加熱した際に発生する蒸着棒の線膨張による伸びを吸収する線膨張吸収手段とを備えている。
【００４８】
このように、線膨脹による蒸着棒の伸びは線膨張吸収手段によって吸収されるので、蒸着棒が加熱されても蒸着棒が弓状に曲がることはない。このため、蒸着棒と光入射窓の内面との間隔はいずれの部分も一定である。よって、光入射窓の内面に形成される光電面の膜厚はいずれの部分も一定となり、カソードユニフォミティが良くなる。
【００４９】
特に、高いカソード感度（Ｓｋ）と高いカソード青感度（Ｓｋｂ）が安定して得られるようになった。具体的には、カソード感度は８０〜１００［μＡ／ｌｍ］となり、従来に比べてカソード感度が約１５％向上した。また、カソード青感度は９〜１１［μＡ／ｌｍ］となり、従来に比べてカソード青感度が約２０％向上した。
【００５０】
また、本発明の光電子増倍管では、蒸着棒を通電加熱して蒸着物質を蒸発させているので、高周波加熱の課題であった光電面の両端部の膜厚が不均一になるといった問題は生じない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る光電子増倍管を示す正面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る光電子増倍管の要部拡大斜視図である。
【図３】蒸着棒支持台の外観を示す斜視図である。
【図４】（ａ）（ｂ）は、その他の蒸着棒支持台の外観を示す斜視図である。
【図５】（ａ）（ｂ）は、蒸着棒支持台の挿入部に蒸着棒が挿入された状態を示す平面図である。
【図６】光電面を形成する過程を示す断面図である。
【図７】両端に線膨張吸収手段を有する蒸着棒の通電方式を示す斜視図である。
【図８】一端に線膨張吸収手段を有すると共に他端が端部固定片で固定された蒸着棒の通電方式を示す斜視図である。
【図９】中央が中央部固定片で固定された蒸着棒の通電方式を示す斜視図である。
【図１０】断面Ｕ字形状の蒸着棒及び線膨張吸収手段を示す斜視図である。
【図１１】断面Ｖ字形状の蒸着棒及び線膨張吸収手段を示す斜視図である。
【図１２】四角柱形状の蒸着棒及び線膨張吸収手段を示す斜視図である。
【図１３】中空の四角柱形状の蒸着棒及び線膨張吸収手段を示す斜視図である。
【図１４】円柱形状の蒸着棒及び線膨張吸収手段を示す斜視図である。
【図１５】従来の光電子増倍管を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０…真空容器、１１…光入射窓、１１ａ…内面、２０…光電面、３０…電子増倍手段、４０，６０，７０，８０，９０，１００…蒸着棒、４０ａ，６０ｂ，７０ｂ，８０ａ，９０ａ，１００ａ…端部、４０ｃ…蒸着棒側支持片、４１，６１，７１，８１，９１，１０１…線膨張吸収手段、４２…起立部、４３…挿入部、５０…蒸着棒支持台、５０ａ…基端、５０ｂ…先端部分、５０ｃ…挿入部、５０ｄ…支持台側支持片、５１…端部固定片、５２…中央部固定片、６１ａ，７１ａ，８１ａ，１０１ａ…ガイド孔、Ａ…管軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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