(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動される透明体の一面側に対向配置されて前記透明体をその移動方向と直角に交差する方向に走査する検査カメラと、前記透明体の他面側に対向配置されて前記検査カメラの視野を照明する照明装置とからなる光学検査部を前記透明体の移動方向に位置をずらして２系統設けるとともに、
前記照明装置は、前記検査カメラの光軸上に配置された遮光体と、前記光軸上から外れて前記遮光体の側方に配置された光源とを有してなり、
かつ、前記２系統の光学検査部のうちの一方の光学検査部の照明装置の照明による前記視野での屈折光の屈折角よりも、他方の光学検査部の照明装置の照明による前記視野での屈折光の屈折角を小さくし、
前記両検査部の検査カメラの撮像により得た検査信号から明情報と暗情報とを弁別するとともに、その明情報同志を比較する信号処理部を備えたことを特徴とする透明体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばバックライト付きの液晶表示装置が備える透明ガラス基板、可撓性を有する合成樹脂基板等の透明体の欠点の有無を検査する透明体検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
バックライト付きの液晶表示装置が備える透明ガラス基板（以下液晶ガラスと略称する。）に、欠点、つまり、液晶ガラスの表面または裏面に生じた擦り傷（以下傷と略称する。）や泡またはカレット（泡の中での小さいもの）等があると、その欠点の部分でバックライトの光が屈折するので、カラー表示の場合には色むらとなってしまい、白黒表示の場合は黒っぽく見えてしまう等、液晶画面の発色阻害因子となることは知られている。
【０００３】
こうした点を回避するために液晶ガラスの欠点の有無を検査する必要がある。そのために、従来では一般的に、クリーンルーム内において人間が目視することによって検査を行っており、その検査結果に基づいて、液晶ガラスを再研磨したり、廃棄処分するようにしている。
【０００４】
また、液晶ガラスではないが透明フィルムの欠点の自動検査が次のように行われている。この自動検査は、透明体の検査位置において、透明体の一面と対向して検査カメラを設置するとともに、透明体の他面側に前記カメラの視野を照明する照明装置を設けている。照明装置の光源は前記カメラの光軸上に配置されていて、そこから発した光は透明体を屈折することなく透過して前記カメラに入射され、検査カメラはそれが有した一次元のＣＣＤイメージセンサで透明体の移動方向に直角に交差する幅方向に沿って視野を走査して、検査情報を得るようになっている。このような光学検査は直接透過法と称されている。そして、この検査法を前記液晶ガラスの検査に適用することが考えられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記液晶ガラスの欠点は最小２０μｍ相当と微小であり、それを拡大グラス等での視野拡大下において行うことを余儀なくされる目視検査では、その検査効率が非常に悪い。
【０００６】
また、前記直接透過法による自動検査を本出願人は試みたが、次のような問題があることが分かった。すなわち、液晶ガラスの製造はクリーンルームで行われ、このクリーンルーム内で直接透過法により検査を実施するといえどもそこに作業者が出入りすることが原因となって、液晶ガラスの欠点サイズ程度の埃の侵入は避けることができず、この埃は液晶ガラスに付着する。
【０００７】
こうして埃が付着した状態で前記自動検査がなされるから、検査カメラの走査においてガラス面に付着した埃は照明装置から検査カメラに入射しようとする透過光を遮って、液晶ガラス面の欠点とともに撮像される。そのため、検査カメラから出力される検査信号（検査情報）において前記欠点および埃についての信号成分は、欠点および埃がない正常な箇所についての信号成分のレベル（地合レベル）よりも電圧が低い、いわゆる暗情報となる。したがって、前記検査信号を電子回路で信号処理して欠点検出を自動的にしようとする場合、欠点と埃との弁別ができず、埃を欠点として誤って認識してしまうから、こうした直接透過法による自動検査は実用に適さないことが分かった。
【０００８】
また、前記の直接透過法による自動検査では、欠点が液晶ガラスの表面、または裏面、或いは内部にあっても、すべて暗情報として検出されるので、その情報をもとに欠点の厚み方向位置（液晶ガラスの表面、裏面、または内部）を知ることはできない。そのため、例えば、液晶ガラスを再研磨する場合に、どちらの面を再研磨してよいか分からないという問題がある。
【０００９】
したがって、本発明が解決しようとする課題は、透明体の欠点と透明体に付着した埃とを弁別して自動検出できるとともに、欠点の厚み方向位置も自動検出できる透明体検査装置を得ることにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
また、前記課題を解決するために、請求項１記載の透明体検査装置は、移動される透明体の一面側に対向配置されて前記透明体をその移動方向と直角に交差する方向に走査する検査カメラと、前記透明体の他面側に対向配置されて前記検査カメラの視野を照明する照明装置とからなる光学検査部を前記透明体の移動方向に位置をずらして２系統設けるとともに、前記照明装置は、前記検査カメラの光軸上に配置された遮光体と、前記光軸上から外れて前記遮光体の側方に配置された光源とを有してなり、かつ、前記２系統の光学検査部のうちの一方の光学検査部の照明装置の照明による前記視野での屈折光の屈折角よりも、他方の光学検査部の照明装置の照明による前記視野での屈折光の屈折角を小さくし、前記両検査部の検査カメラの撮像により得た検査信号から明情報と暗情報とを弁別するとともに、その明情報同志を比較する信号処理部を備えたことを特徴としている。
【００２１】
この請求項１記載の透明体検査装置において、透明体の移動方向に位置をずらして２系統設けられた光学検査部は、既述の間接透過法による検査を夫々行う。この場合、一方の光学検査部による視野での屈折光の屈折角は、他方の光学検査部による視野での屈折光の屈折角より小さい。それにより、屈折角が大きい方の屈折光を受光した検査カメラの検査信号に含まれる欠点についての明情報は、透明体表面（検査カメラ側）の欠点については高い電圧レベルの明情報としてとらえられ、かつ、透明体裏面（照明装置側）の欠点については低い電圧レベルの明情報としてとらえられる。この逆に、屈折角が小さい方の屈折光を受光した検査カメラでの欠点についての明情報は、透明体表面（検査カメラ側）の欠点については低い電圧レベルの明情報としてとらえられ、かつ、透明体裏面（照明装置側）の欠点については高い電圧レベルの明情報としてとらえられる。
【００２２】
そして、信号処理部は、両検査部の検査カメラから供給される検査信号を、そのアドレスを合わせて比較する。それによって、あるアドレスについて、両光学検査部からの検査信号が共に明情報である場合には欠点であると判定し、同様にあるアドレスについて、両光学検査部からの検査信号が共に暗情報である場合には埃であると判定する。
【００２３】
しかも、信号処理部は、前記のように屈折角によって透明体の表面と裏面とでは信号レベルが異なる特徴的な明情報同志を比較する（言い換えれば、その信号レベルの大きさを比較する）から、それによって、欠点の透明体に対する厚み方向の位置を判別する。
【００２４】
前記のように請求項１記載の透明体検査装置においては、間接透過法による検査をする２系統の光学検査部により欠点と埃について弁別可能な検査信号を得、それを信号処理部での回路処理により弁別し、かつ欠点についての明情報同志を比較するから、透明体の欠点と埃とを区別して自動検出できるとともに、こうして検出された欠点の透明体に対する厚み方向の位置も自動検出できる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図１および図２を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。
図１は第１の実施の形態に係る透明体検査装置の構成を示す図であって、透明な検査ガラス例えば液晶ガラス１の欠点検査に使用されるものである。液晶ガラス１の製造環境はクリーンルーム内であり、そして、液晶ガラス１はクリーンルーム内での検査区域に図示しない搬送手段により水平な姿勢を保って移動されて、前記検査区域に設置された本実施の形態に係る透明体検査装置で自動検査されるものである。なお、図４中矢印は液晶ガラス１の移動方向を示している。
【００２６】
なお、液晶ガラス１の欠点には、図１に誇張して描いたように液晶ガラス１の表面（検査姿勢において上面）に付いた擦り傷等の表傷２と、液晶ガラス１の裏面（検査姿勢において下面）に付いた擦り傷等の裏傷３と、液晶ガラス１の内部の泡（泡の程度が小さいカレットも含む）４とがある。
【００２７】
この検査装置は、第１〜第４の光学検査部と、ゲイン補正回路１１と、検出手段としての信号処理部１２とを備えている。
第１検査位置に設けられる第１光学検査部は、移動される液晶ガラス１の一面例えば表面に対向して配置された第１検査カメラ１５と、液晶ガラス１を間に置いて第１検査カメラ１５とは反対側に液晶ガラス１の他面に対向して配置された第１照明装置１６とを備えている。
【００２８】
第１検査カメラ１５には、受光部１５ａに光−電変換形の視角センサとして一次元ＣＣＤイメージセンサ（ＣＣＤラインメージセンサとも、ＣＣＤリニアアレーイメージセンサとも称される。）を有したＣＣＤカメラが採用されている。このカメラ１５は液晶ガラス１をその移動方向と直交する幅方向に沿って走査する。
【００２９】
第１照明装置１６は、反射鏡１６ａ内に一つの光源１６ｂを収容してなる。光源１６ｂには直管形の蛍光灯が使用され、この光源１６ｂは液晶ガラス１の幅方向に延びて設けられる。この第１照明装置１６は、その光源１６ｂを第１検査カメラ１５の光軸１５ｃ上に配置して設けられており、したがって、この光源１６ｂから投射されて第１検査カメラ１５の視野を照明する光は、検査ガラス１を屈折することなく厚み方向に直角に透過して第１検査カメラ１５に受光されるようになっている。
【００３０】
第１検査位置の例えば下流側の第２検査位置に設けられる第２光学検査部は、前記液晶ガラス１の一面例えば表面に対向して配置された第２検査カメラ１８と、液晶ガラス１を間に置いて第２検査カメラ１８とは反対側に液晶ガラス１の他面に対向して配置された第２照明装置１９とを備えている。なお、この第２光学検査部は第１検査位置の上流側に設けてもよい。
【００３１】
第２検査カメラ１８には、受光部１８ａに光−電変換形の視角センサとして一次元ＣＣＤイメージセンサを有したＣＣＤカメラが採用されている。このカメラ１８は液晶ガラス１をその移動方向と直交する幅方向に沿って走査する。
【００３２】
第２照明装置１９は、反射鏡１９ａ内に遮光体１９ｂと二つの光源１９ｃとを収容してなる。遮光体１９ｂには、例えば黒色系の遮光板が採用されるが、油汚れなどを欠点として検出する場合には白色系の遮光板を用いてもよいとともに、板に限らない。この遮光体１９ｂは第２検査カメラ１８の光軸上１８ｃに配置して設けられている。二つの光源１９ｃには直管形の蛍光灯が使用され、これら光源１９ｃは液晶ガラス１の幅方向に延びて設けられる。これら一対の光源１９ｃは遮光体１９ｂを間に置くようにしてその側方に夫々配置されている。したがって、これらの光源１９ｃから投射されて第２検査カメラ１８の視野を照明する光は、検査ガラス１内を屈折して厚み方向に透過して第２検査カメラ１８に受光されるようになっている。
【００３３】
第２検査位置の例えば下流側の第３検査位置に設けられる第３光学検査部は、第２光学検査部と同様に前記液晶ガラス１の一面例えば表面に対向して配置された第２検査カメラ２１と、液晶ガラス１を間に置いて第２検査カメラ２１とは反対側に液晶ガラス１の他面に対向して配置された第３照明装置２２とを備えている。なお、この第３光学検査部は第１検査位置または第２検査位置の上流側に設けてもよい。
【００３４】
第３検査カメラ２１には、受光部２１ａに光−電変換形の視角センサとして一次元ＣＣＤイメージセンサを有したＣＣＤカメラが採用されている。このカメラ２１は液晶ガラス１をその移動方向と直交する幅方向に沿って走査する。
【００３５】
第３照明装置２２は、反射鏡２２ａ内に遮光体２２ｂと二つの光源２２ｃとを収容してなる。遮光体２２ｂには、例えば黒色系の遮光板が採用されるが、油汚れなどを欠点として検出する場合には白色系の遮光板を用いてもよいとともに、板に限らない。この遮光体２２ｂは第３検査カメラ２１の光軸２１ｃ上に配置して設けられている。また、二つの光源２２ｃには直管形の蛍光灯が使用され、これら光源２２ｃは液晶ガラス１の幅方向に延びて設けられる。これら一対の光源２２ｃは遮光体２２ｂを間に置くようにしてその側方に夫々配置されている。したがって、これらの光源２２ｃから投射されて第３検査カメラ２１の視野を照明する光は、検査ガラス１内を屈折して厚み方向に透過して第３検査カメラ２１に受光されるようになっている。
【００３６】
この第３光学検査部での２本の光源２２ｃ間の間隔d2は、第２光学検査部での２本の光源１９ｃ間の間隔d1より小さく、それにより、第２光学検査部での液晶ガラス１内の屈折光の屈折角よりも第３光学検査部での液晶ガラス１内の屈折光の屈折角が小さくなるようにしてある。
【００３７】
前記第１〜第３の光学検査部よりも液晶ガラス１の移動方向下流側の第４検査位置に配置された第４光学検査部は、第１光学検査部と同じように、移動される液晶ガラス１の例えば表面に対向して配置された第４検査カメラ２４と、液晶ガラス１の他面に対向して配置された第４照明装置２５とを備えている。なお、本発明において第４光学検査部は省略してもよい。
【００３８】
第４検査カメラ２４には、受光部２４ａに光−電変換形の視角センサとして一次元ＣＣＤイメージセンサを有したＣＣＤカメラが採用されている。このカメラ２４は液晶ガラス１をその移動方向と直交する幅方向に沿って走査する。第４照明装置２５は、第１照明装置１６と同じ構成であって、反射鏡２５ａ内に一つの光源２５ｂを収容してなる。
【００３９】
光源２５ｂには直管形の蛍光灯が使用され、この光源２５ｂは液晶ガラス１の幅方向に延びて設けられる。この第４照明装置２５は、その光源２５ｂを第４検査カメラ２４の光軸２４ｃ上に配置して設けられており、したがって、この光源２５ｂから投射されて第４検査カメラ２４の視野を照明する光は、検査ガラス１を屈折することなく厚み方向に直角に透過して第４検査カメラ２４に受光されるようになっている。
【００４０】
前記のように液晶ガラス１の移動方向に位置をずらせて並設された第１〜第４の光学検査部において、その各受光部１５ａ、１８ａ、２１ａ、２４ａには、一次元ＣＣＤイメージセンサに代えてエリア形の一次元ＣＣＤイメージセンサを有したＣＣＤカメラを採用することもできる。なお、第１〜第４の光学検査部の各検査カメラ１５、１８、２１、２４は、夫々少なくとも一台使用されて液晶ガラス１の全幅についての必要な解像度を得るようになっている。また、図１に示されるように第１〜第４の光学検査部の各検査カメラ１５、１８、２１、２４を液晶ガラス１の一面側にまとめて配置することは、そのユニット化を図る上で有利であり、同様に各照明装置１６、１９、２２、２５を液晶ガラス１の他面側にまとめて配置することは、そのユニット化を図る上で有利であるが、これらの配置は本発明において制限されるものではない。
【００４１】
なお、図１中２８、２９は本発明において省略することもできるイオン式除塵器である。これらの除塵器２８、２９は、第４光学検査部とその上流側の例えば第３光学検査部との間に設けられ、一方の除塵器２８は液晶ガラス１の表面に近接して配置されるとともに、他方の除塵器２９は液晶ガラス１の裏面に近接して配置されている。これらの除塵器２８、２９は、本発明の検査装置に同期して使用されるものであって、液晶ガラス１の表裏面に付着した埃を取り除くために用いられる。こうした除塵器２８、２９を用いることは、クリーンルーム内での空気の流動を抑制するので、空気で埃を吹き飛ばす場合のように気流によってクリーンルーム内に浮遊している埃を吸い寄せて液晶ガラス１に付着させる恐れがない点で優れている。
【００４２】
前記各受光部１５ａ、１８ａ、２１ａ、２４ａは例えばモノクロの検査信号（撮像信号）を出力する。この検査信号は、前記ゲイン補正回路１１を介して信号処理部１２に供給され、この処理部１２が有する電子回路で信号処理される。正規化手段としてのゲイン補正回路１１は、撮像レベルの利得変動を相殺して検出信号のレベルを適正化する処理を行う。
【００４３】
図１に示されるように信号処理部１２は、信号変換手段としての信号変換回路３１と、メモリ手段としてのバッファメモリ３２と、タイミング補正手段としてのタイミング補正回路３３と、比較・判定手段としてのマッチング判定回路３４とを具備している。
【００４４】
信号変換回路３１は、ゲイン補正回路１１を通って供給された検査信号を２値化する回路であり、Ａ／Ｄ変換器、または微分回路が用いられる。この第１の実施の形態においては、検査信号のうち欠点などの信号成分（明情報および暗情報）について増幅機能を有し、したがって、微小な欠点でも確実に２値化して、その検出・判定の信頼性を高め得る微分回路を採用している。
【００４５】
この信号変換回路３３の出力端に接続されたバッファメモリ３２は、２値化された欠点等のアドレスを知るために用いられている。
このメモリ３２の出力端に接続されたタイミング補正回路３３は、前記各光学検査部が液晶ガラス１の移動方向にずれて（その位置ずれ距離を図１にL1、L2、L3で示す。）設置してあることに対応して、同じアドレスについて信号のマッチング判定ができるようにするタイミングをとるために設けられている。この補正回路３３には前記図示しない搬送手段に設けられたロータリーエンコーダ等の距離センサからの位置信号が供給されるようになっている。なお、液晶ガラス１の幅方向のアドレスは、液晶ガラスの幅方向走査にしたがって各検査信号において得ることができる。
【００４６】
タイミング補正回路３３の出力端に接続されたマッチング判定回路３４は、表１および表２のマッチング判定基準にしたがってタイミング補正された検査信号についてのマッチング判定を行うようになっている。
【００４７】
【表１】
0003677133.tif 000002
【００４８】
【表２】
0003677133.tif 000003
【００４９】
表１のマッチング判定基準は、第１光学検査部と第２光学検査部の検査信号同志を比較し、または第１光学検査部と第３光学検査部との検査信号同志をするものであって、それにより、欠点と埃とを弁別するようになっている。また、表２のマッチング判定基準は、第２、第３の光学検査部の検査信号同志を比較するとともに、その電圧レベル相互の関係を判定するものであって、それにより、欠点と埃とを弁別するとともに、検出された欠点の液晶ガラス１の厚み方向の位置を弁別するようになっている。
【００５０】
さらに、マッチング判定回路３４は、前記の基準によって検出された欠点情報について、その大きさを評価する欠点認識回路部を有しており、所定以上の大きさの欠点情報のみを欠点として判定して出力するようになっている。
【００５１】
また、マッチング判定回路３４は、第１、第４の光学検査部の検査信号同志をも比較するものであって、それによって、液晶ガラス１の表裏面の除塵が適正になされたかどうかを監視するようになっている。
【００５２】
前記構成の透明体検査装置は液晶ガラスの欠点を次のような手順したがって検査する。
図示しない搬送手段により移動される液晶ガラス１は、第１検査位置において第１光学検査部で直接透過法により撮像される。つまり、第１光学検査部を通過する際に、その第１照明装置１６から投射されて液晶ガラス１において屈折することなく、このガラス１を厚み方向に真っ直ぐ上方に透過した直接透過光が第１検査カメラ１５に入射するので、このカメラ１５が液晶ガラス１の幅方向に走査することにより、第１照明装置１６で照明された視野において液晶ガラス１が撮像される。
【００５３】
この第１光学検査部での撮像において、液晶ガラス１の表傷２、裏傷３、泡４、および表裏面に付着した埃はいずれも前記透過光を遮るため、第１検査カメラ１５から出力された第１検査信号は、図２（Ａ）に示されるように前記各欠点２〜４および埃（図示しない）に夫々対応した暗情報２ａ（表傷２に対応）、暗情報３ａ（裏傷３に対応）、暗情報４ａ（泡４に対応）、暗情報５ａ（埃に対応）を含んでいる。
【００５４】
次に、液晶ガラス１は第２検査位置において第２光学検査部で間接透過法により撮像される。つまり、第２光学検査部を通過する際に、その第２照明装置１９から投射されて液晶ガラス１内において屈折して、このガラス１を厚み方向に透過した屈折光が第２検査カメラ１８に入射するので、このカメラ１８が液晶ガラス１の幅方向に走査することにより、第２照明装置１９で照明された視野において液晶ガラス１が撮像される。
【００５５】
この第２光学検査部での撮像において、第２検査カメラ１８はその光軸１８ｃ上に傷が位置されない時には、遮光体１９ｂを撮像するので、地合の電圧レベルが低くなった状態の第２検査信号を出力する。そして、光軸１８ｃ上に傷が位置された時には、その傷によって前記屈折光が散乱されるにともない第２検査カメラ１８にとっては前記傷が光って見え、それを撮像するから、液晶ガラス１の表傷２、裏傷３、泡４についての情報は、いずれも図２に示されるように前記各地合レベルよりも電圧レベルが高い明情報となって第２検査信号に含まれる。図２中明情報２ｂは表傷２に対応し、明情報３ｂは裏傷３に対応し、明情報４ｂは泡４に対応している。また、液晶ガラス１の表裏面に付着した埃は前記屈折光を遮るため、第２検査カメラ１８から出力された第２検査信号は、図２に示されるように埃に対応した暗情報５ｂを含んでいる。
【００５６】
次に、液晶ガラス１は第３検査位置において第３光学検査部で間接透過法により撮像される。つまり、第３光学検査部を通過する際に、その第３照明装置２２から投射されて液晶ガラス１内において屈折して、このガラス１を厚み方向に透過した屈折光が第３検査カメラ２１に入射するので、このカメラ２１が液晶ガラス１の幅方向に走査することにより、第３照明装置２１で照明された視野において液晶ガラス１が撮像される。
【００５７】
この第３光学検査部での撮像において、第３検査カメラ２１はその光軸２１ｃ上に傷が位置されない時には、遮光体２１ｂを撮像するので、地合の電圧レベルが低くなった状態の第３検査信号を出力する。そして、光軸２１ｃ上に傷が位置された時には、その傷によって前記屈折光が散乱されるにともない第３検査カメラ２１にとっては前記傷が光って見え、それを撮像するから、液晶ガラス１の表傷２、裏傷３、泡４についての情報は、いずれも図２に示されるように前記各地合レベルよりも電圧レベルが高い明情報となって第２検査信号に含まれる。図２中明情報２ｃは表傷２に対応し、明情報３ｃは裏傷３に対応し、明情報４ｃは泡４に対応している。また、液晶ガラス１の表裏面に付着した埃は前記屈折光を遮るため、第３検査カメラ２１から出力された第３検査信号は、図２に示されるように埃に対応した暗情報５ｃを含んでいる。
【００５８】
ところで、こうした第２、第３の光学検査部においては、その照明装置１９、２２により液晶ガラス１内での屈折光の屈折角が第２光学検査部の方が大きく、第３光学検査部の方が小さく設定してあるから、傷に対する散乱の仕方が異なる。それによって、第２光学検査部での表傷２についての明情報２ｂはその電圧レベルが高く（例えば12Ｖ）、裏傷３についての明情報３ｂはその電圧レベルが低く（例えば 3.1Ｖ）検出されるとともに、第３光学検査部での表傷２についての明情報２ｃはその電圧レベルが低く（例えば 3.7Ｖ）、裏傷３についての明情報３ｃはその電圧レベルが高く（例えば11.5Ｖ）検出される。また、泡４については、その位置が液晶ガラス１の幅方向中央にあるので、図２に示されるように第２、第３光学検査部での泡４について明情報４ｂ、４ｃは、その電圧レベルに差がなく（例えば８Ｖ）検出される。
【００５９】
また、液晶ガラス１に付着した埃については、前記第１〜第３の各検査部での撮像にしたがって暗情報（その電圧値は例えば 8.0Ｖ）として検出される。なお、液晶ガラス１の表裏面の埃は、第３検査位置から第４検査位置に至る間に除塵器２８、２９により除塵される。また、第４検査位置においては前記第１検査位置での検査と同様に直接透過法による液晶ガラス１の検査が行われる。それにより、図２に示されるように各欠点２〜４の夫々に対応した暗情報２ｄ（表傷２に対応）、暗情報３ｄ（裏傷３に対応）、暗情報４ｄ（泡４に対応）を得る。
【００６０】
そして、以上のように各検査位置において夫々得た第１〜第４の検査信号は夫々、ゲイン補正回路１１を経て信号処理部１２に供給される。そのため、まず、検査信号は、信号変換回路３１での微分処理により２値化された後に、その明暗各情報についてバッファメモリ３２によりアドレスを付され、次にタイミング補正回路３３によりマッチング判定回路３４でのマッチング判定動作に適合するようにタイミングを補正されて、マッチング判定回路３４に供給される。
【００６１】
マッチング判定回路３４では、表１または表２に示された基準にしたがって検査信号についてマッチング判定をする。
この判定においては、第１、第２の検査カメラ１５、１８で得た第１、第２の検査信号が、そのアドレスを合わせて比較されるので、表１のように、あるアドレスの検出情報について、その第１検査信号が暗情報であるとともに第２検査信号が明情報である場合に、前記検出情報が欠点であると判定できる。また、同様にあるアドレスの検出情報について、その第１、第２の検査信号がいずれも暗情報である場合に、前記検出情報が埃であると判定できる。
【００６２】
このように前記直接透過法および間接透過法の組み合わせにより得た検査信号を比較するマッチング判定回路３４での判定動作によって、液晶ガラス１の欠点２〜４と埃５とを弁別して自動検出できる。
【００６３】
また、第２、第３の検査カメラ１８、２１から供給される検査信号を、そのアドレスを合わせて比較するマッチング判定回路３４の判定においては、表２のように、あるアドレスの検出情報について、両光学検査部からの検査信号が共に明情報である場合に、前記検出情報が欠点であると判定する。また、同様にあるアドレスの検出情報について、両光学検査部からの検査信号が共に暗情報である場合に、前記検出情報が埃であると判定する。
【００６４】
しかも、前記のように屈折角によって液晶ガラス１の表面と裏面とでは信号レベルが異なる特徴的な明情報同志を比較する（言い換えれば、その信号レベルの大きさを比較する）から、マッチング判定回路３４は、表２のように、欠点の液晶ガラス１に対する厚み方向の位置を判別することができる。
【００６５】
以上のように間接透過法による検査をする２系統の光学検査部により欠点と埃について弁別可能な検査信号を得、それを信号処理部１２のマッチング判定回路３４で比較するから、液晶ガラス１の欠点２〜４と埃５とを区別して自動検出できるとともに、こうして検出された欠点２〜４の液晶ガラス１に対する厚み方向の位置も自動検出できる。
【００６６】
また、この第１の実施の形態においては、第４光学検査部を備えているから、第４光学検査部の前段に設けた除塵器２８、２９の動作後に、第４光学検査部によって得た検査信号と第１光学検査部によって得た検査信号とを、信号処理部１２のマッチング判定回路３４で比較することにより、欠点２〜４の位置や状態を正しく認識させて、再研磨や廃棄処分等の必要な対策を取らせる判断に供することができる。しかも、この比較によって同じアドレスについての両検査信号が暗信号である場合には、その暗信号が埃であったと判定できるとともに、前記両検査信号の一方が暗信号で他方が明信号である場合には、その暗情報が泡（カレット）であると判定できる。
【００６７】
なお、本発明は、前記第１の実施の形態には制約されない。光学検査部は、例えば、第２、第３の光学検査部のみを備えて実施することもできる。
【００７０】
【発明の効果】
請求項１記載の透明体検査装置によれば、間接透過法による検査をする２系統の光学検査部により欠点と埃について弁別可能な検査信号を得、それを信号処理部での回路処理により弁別し比較するから、透明体の欠点と埃とを区別して自動検出できるとともに、こうして検出された欠点の透明体に対する厚み方向の位置も自動検出できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る透明体検査装置の構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態に係る透明体検査装置の各光学検査部で夫々得た検査信号の信号波形を示す図。
【符号の説明】
１…液晶ガラス（透明体）、
１２…信号処理部、
１８…第２検査カメラ（第２光学検査部）、
１９…第２照明装置（第２光学検査部）、
１９ｂ…第２照明装置の光源、
１９ｃ…第２照明装置の遮光体、
２１…第３検査カメラ（第３光学検査部）、
２２…第３照明装置（第３光学検査部）、
２１ｂ…第３照明装置の光源、
２１ｃ…第３照明装置の遮光体、
３５…マッチング判定回路、
１８ｃ、２１ｃ…光軸。
【図１】
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【図２】
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