(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク回転時に前記ディスク面上の空気流を受けてリーディング側が前記ディスク面から持ち上がる傾斜姿勢となり停止時に前記ディスク面に着地するスライダと、前記スライダのトレーリング側に設けられた記録および／または再生磁気機能部を有する磁気ヘッド装置において、
前記スライダのディスクとの対向面に、ディスク面側に隆起するリーディング側ＡＢＳ面および前記リーディング側ＡＢＳ面の幅方向の両側からトレーリング側へ延びるレール面が段差を有して設けられ、
前記リーディング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部と、前記対向面との間には、前記リーディング側ＡＢＳ面よりも一段低いステップ面が前記対向面から隆起形成されており、前記ステップ面は、前記レール面の幅方向外側の縁部と前記対向面との間、及び前記レール面のトレーリング側縁部と対向面との間にも形成されており、
前記リーディング側ＡＢＳ面と前記レール面とで囲まれた部分では、前記リーディング側ＡＢＳ面の縁部およびレール面の縁部と、前記対向面との間に、前記ステップ面が形成されていないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが低い段差面が設けられていることを特徴とする磁気ヘッド装置。
【請求項２】
前記対向面には、トレーリング側ＡＢＳ面が段差を有して隆起形成されており、前記トレーリング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部と、前記対向面との間には、前記トレーリング側ＡＢＳ面よりも一段低いステップ面が前記対向面から隆起形成されており、
前記トレーリング側ＡＢＳ面のトレーリング側縁部と前記対向面との間には、前記ステップ面が形成されていないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが低い段差面が設けられている請求項１記載の磁気ヘッド装置。
【請求項３】
前記トレーリング側ＡＢＳ面の幅方向の縁部と、前記対向面との間には、前記ステップ面が形成されていないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが低い段差面が設けられている請求項２記載の磁気ヘッド装置。
【請求項４】
前記ステップ面と、前記リーディング側ＡＢＳ面、レール面およびトレーリング側ＡＢＳ面のいずれかとの間の段差量が、０．１〜０．４μｍである請求項１ないし３のいずれかに記載の磁気ヘッド装置。
【請求項５】
前記対向面からの前記段差面の隆起高さが、リーディング側ＡＢＳ面、レール面およびトレーリング側ＡＢＳ面のいずれかの隆起高さの１／５以下である請求項１ないし４のいずれかに記載の磁気ヘッド装置。
【請求項６】
（ａ）トレーリング側に記録および／または再生磁気機能部を有するスライダにおけるディスクとの対向面を、レジストフォトリソグラフィー及びエッチングによってパターン形成し、リーディング側ＡＢＳ面およびリーディング側ＡＢＳ面の幅方向の両側からトレーリング側に延びるレール面を形成する工程と、
（ｂ）前記リーディング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部、前記レール面の幅方向外側の縁部、及び前記レール面のトレーリング側縁部から所定寸法はみ出すように、且つ少なくとも前記リーディング側ＡＢＳ面とレール面とで囲まれる部分（溝部）で、前記リーディング側ＡＢＳ面およびレール面からはみ出さないように、前記リーディング側ＡＢＳ面および前記レール面の上をマスキングする工程と、
（ｃ）前記（ｂ）の工程でマスキングされていない部分をエッチングし、マスキングで覆われている前記リーディング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部、前記レール面の幅方向外側の縁部、及び前記レール面のトレーリング側縁部に、前記リーディング側ＡＢＳ面及びレール面よりも一段低いステップ面を残すとともに、少なくとも前記溝部で、前記リーディング側ＡＢＳ面およびレール面の縁部と、前記対向面との間に、前記ステップ面を残さないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが低い段差面を残す工程と、
を有することを特徴とする磁気ヘッド装置の製造方法。
【請求項７】
前記（ａ）の工程で、前記対向面に、トレーリング側ＡＢＳ面を段差を有して隆起形成し、前記（ｂ）の工程で、前記トレーリング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部から所定寸法はみ出し、少なくともトレーリング側縁部からはみ出さないようにマスキングし、前記（ｃ）の工程で、前記トレーリング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部と、前記対向面との間に、前記トレーリング側ＡＢＳ面よりも一段低いステップ面を残すとともに、前記トレーリング側ＡＢＳ面のトレーリング側縁部と前記対向面との間には、前記ステップ面を残さず、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが低い段差面を残す請求項６記載の磁気ヘッド装置の製造方法。
【請求項８】
（ｄ）トレーリング側に記録および／または再生磁気機能部を有するスライダにおけるディスクとの対向面を、レジストフォトリソグラフィー及びエッチングによってパターン形成し、リーディング側ＡＢＳ面、およびリーディング側ＡＢＳ面の幅方向の両側からトレーリング側に延びるレール面、を形成する工程と、
（ｅ）前記リーディング側ＡＢＳ面上及びレール面上のステップ面となる領域を露出させるように、且つ少なくとも前記リーディング側ＡＢＳ面とレール面とで囲まれる部分（溝部）で、前記リーディング側ＡＢＳ面およびレール面からはみ出すように、前記リーディング側ＡＢＳ面および前記レール面の上をマスキングする工程と、
（ｆ）前記（ｅ）の工程でマスキングされていない部分をエッチングし、マスキングで覆われていない前記リーディング側ＡＢＳ面のリーディング側の領域、前記レール面の幅方向外側の縁部、及び前記レール面のトレーリング側縁部に、前記リーディング側ＡＢＳ面及びレール面よりも一段低いステップ面を形成するとともに、少なくとも前記溝部で、前記リーディング側ＡＢＳ面およびレール面の縁部と、前記対向面との間に、前記ステップ面を形成しないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが低い段差面を形成する工程と、
を有することを特徴とする磁気ヘッド装置の製造方法。
【請求項９】
前記（ｄ）の工程で、前記対向面に、トレーリング側ＡＢＳ面を段差を有して隆起形成し、前記（ｅ）の工程で、前記トレーリング側ＡＢＳ面上のステップ面となる領域を露出させるように、且つ少なくともトレーリング側縁部からはみ出すようにマスキングし、前記（ｆ）の工程で、マスキングで覆われていない前記トレーリング側ＡＢＳ面のリーディング側の領域に、前記トレーリング側ＡＢＳ面よりも一段低いステップ面を形成するとともに、前記トレーリング側ＡＢＳ面のトレーリング側縁部と前記対向面との間には、前記ステップ面を形成せず、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが低い段差面を形成する請求項８記載の磁気ヘッド装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスク装置などに搭載されてディスクの記録面をＣＳＳ（Contact  Start  Stop）方式などで走査するスライダを有する磁気ヘッド装置及びその製造方法に係り、特に、スライダにディスク表面の潤滑剤やスピンドルモータの回転軸油などが付着した時に、スライダがディスク表面に吸着することを防止できる磁気ヘッド装置及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図８は従来の磁気ヘッド装置のスライダＳ１の、ディスクとの対向面１０を上向きにして示した斜視図である。スライダＳ１のトレーリング側端部Ｔに磁気機能部である磁気抵抗効果を利用した薄膜再生素子及びインダクティブ型の薄膜記録素子が設けられている（図示せず）。
【０００３】
スライダＳ１の前記対向面１０には、ディスク面側に隆起するリーディング側ＡＢＳ面１１および前記リーディング側ＡＢＳ面の幅方向の両側からトレーリング側へ延びるレール面１２，１２が段差を有して設けられている。
【０００４】
さらに、前記リーディング側ＡＢＳ面１１および前記レール面１２，１２の縁部と前記対向面１０との間に、前記リーディング側ＡＢＳ面１１および前記レール面１２，１２よりも一段低いステップ面１３が、前記対向面１０から隆起形成されている。前記ステップ面１３は、前記リーディング側ＡＢＳ面１１および前記レール面１２，１２を取り囲んでいる。
【０００５】
さらに、前記対向面１０のトレーリング側端部Ｔ付近には、トレーリング側ＡＢＳ面１４，１５が段差を有して隆起形成されており、前記トレーリング側ＡＢＳ面１４，１５の縁部と前記対向面１０との間に、前記トレーリング側ＡＢＳ面１４，１５よりも一段低いステップ面１６，１７が、前記対向面１０から隆起形成されている。前記ステップ面１６，１７は、それぞれ前記トレーリング側ＡＢＳ面１４，１５を取り囲んでいる。
【０００６】
なお、一方のトレーリング側ＡＢＳ面１４上に、前記薄膜再生素子および薄膜記録素子のギャップ部Ｇが現れている。
【０００７】
ディスクが回転したときのディスク面上の空気流は、リーディング側端部Ｌからステップ面１３を経てディスクとスライダＳ１との間に流入する。この空気流により、リーディング側ＡＢＳ面１１とトレーリング側ＡＢＳ面１４，１５に対してはスライダＳ１を浮上させる方向への正圧が作用する。
【０００８】
一方、前記対向面１０上の前記リーディング側ＡＢＳ面１１と前記レール面１２，１２で囲まれた部分には、スライダＳ１をディスクに吸着させようとする負圧が作用する。
【０００９】
前記リーディング側ＡＢＳ面１１、トレーリング側ＡＢＳ面１４，１５、ステップ面１３、およびステップ面１６，１７と、前記リーディング側ＡＢＳ面１１と前記レール面１２，１２で囲まれた前記対向面１０上の部分との面積比や、それぞれの形状により、ディスク上でのスライダＳ１の浮上距離および浮上姿勢が制御される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
図９は、図８のスライダＳ１が支持部材２１によって支持され、ディスクＤ上に浮上している状態を示す側面図である。
【００１１】
支持部材２１は、ロードビーム２２とフレキシャ２３とから構成されている。ロードビーム２２はステンレスなどの板ばね材料により形成され、先端側には両側部に折り曲げ部２２ａが形成され、この部分が剛性を有する構造となっており、折り曲げ部２２ａが形成されていないロードビーム２２の基端部（図示せず）にて所定の弾性押圧力を発揮できるものとなっている。ロードビーム２２の先端に薄い板ばね材料で形成されたフレキシャ２３が取付けられ、スライダＳ１はフレキシャ２３に接着されている。
【００１２】
またロードビーム２２の先端部付近には、図示下方向に突き出した球面状のピボット２２ｂが形成されており、このピボット２２ｂにフレキシャ２３を介してスライダＳ１が当接する。
【００１３】
スライダＳ１は、支持部材２１によりディスクの記録面に対して弱い弾性力で付勢されている。ＣＳＳ方式では、スタート時にスライダＳ１がディスクＤに接触しており、ディスクＤの始動と同時にディスクＤ表面に生じる空気流によりスライダＳ１に浮上力が作用し、スライダＳ１はリーディング側端部Ｌがディスクから持ち上げられた傾斜姿勢で浮上し、スライダＳ１のトレーリング側端部ＴがディスクＤからわずかに浮上した姿勢でディスクＤ表面を走査する。
【００１４】
近年、ディスクＤの記録密度の向上に伴って、スライダＳ１の浮上量Ｘを狭小化させることが要求されている。スライダＳ１の浮上量Ｘを狭小化させたときには、製造される一つ一つの製品において、浮上量Ｘを、正確かつ一定に保つことが要求される。
【００１５】
製品ごとの浮上量Ｘにバラつきが生じる原因として、ロードビーム２２の弾性力が、製品ごとにばらつきやすいということがあげられる。ロードビーム２２の弾性力のバラつきによる浮上量Ｘの変動を防ぐためには、浮上量Ｘを決定する３つの要素、負圧Ｎ、正圧Ｐ、及び弾性力Ｆの内、負圧Ｎと正圧Ｐを大きくして、弾性力Ｆの寄与の程度を相対的に低下させればよい。
【００１６】
負圧Ｎと正圧Ｐを大きくするためには、スライダＳ１のリーディング側端部ＬからディスクＤとスライダＳ１の間に流入する空気流の量を多くする必要がある。図８及び図９のスライダＳ１では、ステップ面１３及びステップ面１６，１７によって、空気流を導きやすくして、スライダＳ１のリーディング側端部ＬからディスクＤとスライダＳ１の間に流入する空気流の量を多くしている。
【００１７】
しかし、図８に示されたスライダＳ１を用いて構成された磁気ヘッド装置は、スライダＳ１が、ディスクＤ上に着地した時に、ディスクＤの表面に吸着してしまうという問題が生じていた。その主な理由は、リーディング側ＡＢＳ面１１とレール面１２，１２、およびトレーリング側ＡＢＳ面１４，１５の周囲全周に渡ってステップ面１３およびステップ面１６，１７が形成されていることにある。
【００１８】
スライダＳ１が、ディスクＤの表面に吸着すると、ディスクＤを再駆動させる時に必要なトルクが大きくなり、磁気ヘッド装置の故障あるいは破損を引き起こす。
【００１９】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、磁気ヘッド装置の停止時に、スライダがディスク表面に吸着することを防ぎ、磁気ヘッド装置の故障あるいは破損を防止することの出来る磁気ヘッド装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気ヘッド装置は、ディスク回転時に前記ディスク面上の空気流を受けてリーディング側が前記ディスク面から持ち上がる傾斜姿勢となり停止時に前記ディスク面に着地するスライダと、前記スライダのトレーリング側に設けられた記録および／または再生磁気機能部を有する磁気ヘッド装置において、
前記スライダのディスクとの対向面に、ディスク面側に隆起するリーディング側ＡＢＳ面および前記リーディング側ＡＢＳ面の幅方向の両側からトレーリング側へ延びるレール面が段差を有して設けられ、
前記リーディング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部と、前記対向面との間には、前記リーディング側ＡＢＳ面よりも一段低いステップ面が前記対向面から隆起形成されており、前記ステップ面は、前記レール面の幅方向外側の縁部と前記対向面との間、及び前記レール面のトレーリング側縁部と対向面との間にも形成されており、
前記リーディング側ＡＢＳ面と前記レール面とで囲まれた部分では、前記リーディング側ＡＢＳ面の縁部およびレール面の縁部と、前記対向面との間に、前記ステップ面が形成されていないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが低い段差面が設けられていることを特徴とするものである。
【００２１】
図８に示された従来のスライダＳ１を用いて構成された磁気ヘッド装置で、スライダＳ１が、ディスクＤ上に着地した時に、ディスクＤの表面に吸着されてしまうプロセスは、以下に示す通りであることが、本発明の発明者によって見い出された。
【００２２】
スライダＳ１がディスク上に浮上している時、負圧の強い部分、特に、リーディング側ＡＢＳ面１１の前記リーディング側ＡＢＳ面と前記レール面とで囲まれた部分（溝部）側の縁部１１ａおよびレール面１２，１２の前記溝部側の縁部１２ａ，１２ａと対向面１０との間に隆起形成されたステップ面１３の溝部側１３ａに、ディスク表面の潤滑剤やスピンドルモータの回転軸油などが吸い込まれて付着する。
【００２３】
ステップ面１３と、リーディング側ＡＢＳ面１１およびレール面１２，１２との段差量は、例えば、０．１〜０．４μｍと浅いものである。スライダＳ１がディスク上に着地すると、ディスク表面とステップ面１３との間に、０．１〜０．４μｍの隙間が生じる。ステップ面１３の溝部側１３ａに付着した前記潤滑剤や回転軸油は、毛細管現象によって、ディスク表面とステップ面１３との間に生じた隙間を伝わって、レール面１２，１２およびリーディング側ＡＢＳ面１１の縁に沿って回り込む。レール面１２，１２およびリーディング側ＡＢＳ面１１の縁に沿って回り込んだ前記潤滑剤や回転軸油の表面張力によって、スライダＳ１がディスク表面に吸着される。
【００２４】
従って、スライダＳ１が、ディスク表面に吸着されないようにするためには、スライダが、ディスク上に着地した時に、スライダＳ１に付着した前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象によって広がっていく通り路となるディスク表面とステップ面１３との間に生じる隙間を広くすればよいことがわかった。
【００２５】
本発明では、前記ディスクの駆動時に、最も負圧が高くなる領域であり、前記潤滑剤や回転軸油が最も付着しやすい領域である、前記リーディング側ＡＢＳ面の前記溝部側の縁部およびレール面の前記溝部側の縁部と、前記対向面との間に、前記ステップ面が形成されていないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられている。
【００２６】
従って、前記スライダがディスク上に着地した時に、ディスク表面と、前記溝部に囲まれた前記対向面との間に、前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象で広がっていくほど狭い隙間がなくなる。すなわち、前記スライダが、前記潤滑剤や回転軸油の表面張力によって、ディスク表面上に吸着されることを防ぐことが出来る。
【００２７】
つまり、ディスクを再駆動させる時に必要なトルクを小さく保つことが出来、磁気ヘッド装置の故障あるいは破損を防止できる。
【００３１】
また、前記対向面には、トレーリング側ＡＢＳ面が段差を有して隆起形成されており、前記トレーリング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部と、前記対向面との間には、前記トレーリング側ＡＢＳ面よりも一段低いステップ面が前記対向面から隆起形成されており、
前記トレーリング側ＡＢＳ面のトレーリング側縁部と前記対向面との間には、前記ステップ面が形成されていないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが低い段差面が設けられていることが好ましい。
【００３２】
このとき、前記正圧の調整を容易にするために、前記トレーリング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部と、前記対向面との間に、前記トレーリング側ＡＢＳ面よりも一段低いステップ面が前記対向面から隆起形成されていることが好ましい。
【００３３】
ただし、前記トレーリング側ＡＢＳ面のトレーリング側縁部と前記対向面との間は、負圧を発生させる領域にあり、前記潤滑剤や回転軸油が付着しやすいので、この部分には前記ステップ面が形成されないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられるようにして、付着した前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象によって広がらないようにすることが好ましい。
【００３４】
さらに、前記トレーリング側ＡＢＳ面の幅方向の縁部と、前記対向面との間にも、前記ステップ面が形成されていないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられているようにすると、付着した前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象によって広がるための通路となる部分を全て除去できるのでより好ましい。
【００３５】
なお、前記スライダの形成寸法が小さくなるにつれて、前記ステップ面と、前記リーディング側ＡＢＳ面やトレーリング側ＡＢＳ面との間の段差量の具体的大きさは小さくなっていく。近年では、前記段差量を、例えば、０．１〜０．４μｍで形成することが要求されるようになってきている。
【００３６】
前記段差量が、０．１〜０．４μｍ程度に浅くなると、従来のスライダで生じていた問題、すなわち、前記ステップ面の前記溝部側に付着した前記潤滑剤や回転軸油が、スライダの着地時に毛細管現象によって広がってしまうという問題が、特に発生しやすくなる。
【００３７】
本発明では、前記ステップ面と、前記リーディング側ＡＢＳ面およびトレーリング側ＡＢＳ面のいずれかとの間の段差量が、０．１〜０．４μｍであるように形成されることが要求されても、前記潤滑剤や回転軸油が付着しやすい領域には、前記ステップ面が形成されていないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられているだけなので、前記スライダがディスク上に着地した時に、ディスク表面と、前記対向面との間に、前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象で広がっていくほど狭い隙間は存在させないようにできる。
【００３８】
すなわち、前記スライダが、前記潤滑剤や回転軸油の表面張力によって、ディスク表面上に吸着されることを防ぐことが出来る。
【００３９】
また、前記リーディング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部以外の縁部、および前記レール面の縁部と、前記対向面との間に、または、前記トレーリング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部以外の縁部と、前記対向面との間に、前記ステップ面よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられる場合には、前記対向面からの前記段差面の隆起高さが、リーディング側ＡＢＳ面、レール面およびトレーリング側ＡＢＳ面のいずれかの隆起高さの１／５以下であるように形成されることが好ましい。
【００４０】
前記対向面からの前記段差面の隆起高さが、リーディング側ＡＢＳ面、レール面およびトレーリング側ＡＢＳ面のいずれかの隆起高さの１／５以下程度であると、前記段差面に前記潤滑剤や回転軸油が付着した場合でも、前記スライダがディスク面上に着地したときに、前記潤滑剤や回転軸油が、前記段差面と前記ディスク面との間に形成された隙間を、毛細管現象によって広がることが抑えられ、前記スライダが、前記潤滑剤や回転軸油の表面張力によって、ディスク表面上に吸着されることを防ぐことが出来る。
【００４１】
また、本発明の磁気ヘッド装置の製造方法は、
（ａ）トレーリング側に記録および／または再生磁気機能部を有するスライダにおけるディスクとの対向面を、レジストフォトリソグラフィー及びエッチングによってパターン形成し、リーディング側ＡＢＳ面およびリーディング側ＡＢＳ面の幅方向の両側からトレーリング側に延びるレール面を形成する工程と、
（ｂ）前記リーディング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部、前記レール面の幅方向外側の縁部、及び前記レール面のトレーリング側縁部から所定寸法はみ出すように、且つ少なくとも前記リーディング側ＡＢＳ面とレール面とで囲まれる部分（溝部）で、前記リーディング側ＡＢＳ面およびレール面からはみ出さないように、前記リーディング側ＡＢＳ面および前記レール面の上をマスキングする工程と、
（ｃ）前記（ｂ）の工程でマスキングされていない部分をエッチングし、マスキングで覆われている前記リーディング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部、前記レール面の幅方向外側の縁部、及び前記レール面のトレーリング側縁部に、前記リーディング側ＡＢＳ面及びレール面よりも一段低いステップ面を残すとともに、少なくとも前記溝部で、前記リーディング側ＡＢＳ面およびレール面の縁部と、前記対向面との間に、前記ステップ面を残さないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが低い段差面を残す工程と、
を有することを特徴とするものである。
【００４２】
本発明では、前記（ｂ）の工程で、少なくとも前記リーディング側ＡＢＳ面とレール面とで囲まれる部分（溝部）で、前記リーディング側ＡＢＳ面およびレール面からはみ出さないように、前記リーディング側ＡＢＳ面および前記レール面の上をマスキングする。
【００４３】
すると、次の（ｃ）の工程のエッチングによって、前記（ａ）の工程において形成された前記溝部で、前記リーディング側ＡＢＳ面および前記レール面の縁部の周辺部が削り残されることがない。
【００４４】
従って、前記リーディング側ＡＢＳ面およびレール面の前記溝部側の縁部と、前記対向面との間に、前記ステップ面を残さないか、少なくとも前記ステップ面よりも隆起高さが十分に低い段差面を残すだけにすることができる。
【００４５】
すなわち、前記スライダがディスク上に着地した時に、ディスク表面と、前記対向面との間に、前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象で広がっていくほど狭い隙間は存在させないようにできる。
【００４６】
つまり、前記スライダが、前記潤滑剤や回転軸油の表面張力によって、ディスク表面上に吸着されることを防ぐことの出来る磁気ヘッド装置を製造することが出きる。
【００４８】
さらに、前記（ａ）の工程で、前記対向面に、トレーリング側ＡＢＳ面を段差を有して隆起形成する場合には、前記（ｂ）の工程で、前記トレーリング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部から所定寸法はみ出し、少なくともトレーリング側からはみ出さないようにマスキングし、前記（ｃ）の工程で、前記トレーリング側ＡＢＳ面のリーディング側縁部と、前記対向面との間に、前記トレーリング側ＡＢＳ面よりも一段低いステップ面を残すとともに、前記トレーリング側ＡＢＳ面のトレーリング側縁部と前記対向面との間には、前記ステップ面を残さず、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが十分に低い段差面を残すようにすることにより、前記トレーリング側ＡＢＳ面のトレーリング側縁部付近に付着した前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象によって広がることを防ぐことが出来る磁気ヘッド装置を製造できるので好ましい。
【００４９】
或いは本発明の磁気ヘッド装置の製造方法は、
（ｄ）トレーリング側に記録および／または再生磁気機能部を有するスライダにおけるディスクとの対向面を、レジストフォトリソグラフィー及びエッチングによってパターン形成し、リーディング側ＡＢＳ面、およびリーディング側ＡＢＳ面の幅方向の両側からトレーリング側に延びるレール面、を形成する工程と、
（ｅ）前記リーディング側ＡＢＳ面上及びレール面上のステップ面となる領域を露出させるように、且つ少なくとも前記リーディング側ＡＢＳ面とレール面とで囲まれる部分（溝部）で、前記リーディング側ＡＢＳ面およびレール面からはみ出すように、前記リーディング側ＡＢＳ面および前記レール面の上をマスキングする工程と、
（ｆ）前記（ｅ）の工程でマスキングされていない部分をエッチングし、マスキングで覆われていない前記リーディング側ＡＢＳ面のリーディング側の領域、前記レール面の幅方向外側の縁部、及び前記レール面のトレーリング側縁部に、前記リーディング側ＡＢＳ面及びレール面よりも一段低いステップ面を形成するとともに、少なくとも前記溝部で、前記リーディング側ＡＢＳ面およびレール面の縁部と、前記対向面との間に、前記ステップ面を形成しないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが低い段差面を形成する工程と、
を有することを特徴とするものである。
【００５０】
本発明の磁気ヘッド装置製造方法では、前記リーデング側ＡＢＳ面、および前記レール面を形成した後、前記リーデング側ＡＢＳ面のリーディング側の領域を一部分エッチングすることによって、ステップ面を形成する。
【００５１】
また、前記（ｅ）の工程で、少なくとも前記リーディング側ＡＢＳ面とレール面とで囲まれる部分（溝部）で、前記リーディング側ＡＢＳ面およびレール面からはみ出すように、前記リーディング側ＡＢＳ面および前記レール面の上をマスキングする。
【００５２】
すると、次の（ｆ）の工程のエッチングによって、前記（ｄ）の工程において形成された前記溝部で、前記リーディング側ＡＢＳ面および前記レール面の縁部の周辺部は削られない。従って、前記リーディング側ＡＢＳ面およびレール面の前記溝部側の縁部と、前記対向面との間に、前記ステップ面は形成されないか、少なくとも前記ステップ面よりも隆起高さが十分に低い段差面が形成されるだけにすることができる。
【００５３】
従って、上述の製造方法によっても、前記スライダが、前記潤滑剤や回転軸油の表面張力によって、ディスク表面上に吸着されることを防ぐことの出来る磁気ヘッド装置を製造することが出きる。
【００５４】
また、前記（ｅ）の工程で、前記レール面のトレーリング側縁部及び幅方向外側の縁部からはみ出すようにマスキングし、前記（ｆ）の工程で、前記レール面のトレーリング側縁部及び幅方向外側の縁部と、前記対向面との間に、前記ステップ面を形成しないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが十分に低い段差面を形成することが好ましい。
【００５５】
さらに、前記（ｄ）の工程で、前記対向面に、トレーリング側ＡＢＳ面を段差を有して隆起形成し、前記（ｅ）の工程で、前記トレーリング側ＡＢＳ面上のステップ面となる領域を露出させるように、且つ少なくともトレーリング側縁部からはみ出すようにマスキングし、前記（ｆ）の工程で、マスキングで覆われていない前記トレーリング側ＡＢＳ面のリーディング側の領域に、前記トレーリング側ＡＢＳ面よりも一段低いステップ面を形成するとともに、前記トレーリング側ＡＢＳ面のトレーリング側縁部と前記対向面との間には、前記ステップ面を形成せず、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが低い段差面を形成することがより好ましい。
【００５６】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の第１の実施の形態の、磁気ヘッド装置のスライダＳ２を、ディスクとの対向面３０を上向きにして示した斜視図である。
【００５７】
スライダＳ２のトレーリング側端部Ｔ１には、再生磁気機能部である磁気抵抗効果を利用した薄膜再生素子、及び記録磁気機能部であるインダクティブ型の薄膜記録素子を有するヘッド素子（図示せず）と電極Ｅが設けられている。
【００５８】
スライダＳ２の対向面３０に、ディスク面側に隆起するリーディング側ＡＢＳ面３１およびリーディング側ＡＢＳ面３１の幅方向の両側からトレーリング側へ延びるレール面３２，３２が段差を有して設けられている。
【００５９】
また、リーディング側ＡＢＳ面３１のリーディング側縁部３１ａと、対向面３０との間には、リーディング側ＡＢＳ面３１よりも一段低いステップ面３３が対向面３０から隆起形成されている。
【００６０】
また、リーディング側ＡＢＳ面３１とレール面３２，３２とで囲まれた部分（溝部）では、リーディング側ＡＢＳ面３１の縁部３１ｂおよびレール面３２、３２の縁部３２ａ，３２ａと、対向面３０との間に、ステップ面は形成されていない。ただし、リーディング側ＡＢＳ面３１の縁部３１ｂおよびレール面３２、３２の縁部３２ａ，３２ａと、対向面３０との間に、ステップ面３３よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられていてもよい。
【００６１】
また、レール面３２，３２のトレーリング側縁部３２ｂ，３２ｂおよび幅方向外側の縁部３２ｃ，３２ｃと対向面３０との間に、ステップ面は形成されていない。ただし、レール面３２，３２のトレーリング側縁部３２ｂ，３２ｂおよび幅方向外側の縁部３２ｃ，３２ｃと対向面３０との間に、ステップ面３３よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられていてもよい。
【００６２】
トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５は、スライダＳ２を浮上させるための正圧の調整を容易にし、また、スライダＳ２がディスク上に着地する時の、接地面積を小さくして、再駆動時に必要なトルクを小さくさせる効果を有する。なお、一方のトレーリング側ＡＢＳ面３４上に、前記薄膜再生素子および薄膜記録素子のギャップ部Ｇ１が現れている。
【００６３】
図１では、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のリーディング側縁部３４ａ、３５ａと、対向面３０との間に、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５よりも一段低いステップ面３６，３７が対向面３０から隆起形成されている。
【００６４】
また、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のトレーリング側縁部３４ｂ，３５ｂと、対向面３０との間には、ステップ面は形成されていない。
【００６５】
さらに、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５の幅方向の縁部３４ｃ，３４ｃ，３５ｃ，３５ｃと、対向面３０との間にも、ステップ面は形成されていない。
【００６６】
ただし、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のトレーリング側縁部３４ｂ，３５ｂと対向面３０との間、あるいはトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５の幅方向の縁部３４ｃ，３４ｃ，３５ｃ，３５ｃと対向面３０との間には、ステップ面３６，３７よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられていてもよい。
【００６７】
スライダＳ２がディスク上に浮上している時、最も負圧が高くなる領域であるリーディング側ＡＢＳ面３１とレール面３２，３２とで囲まれた部分（溝部）において、リーディング側ＡＢＳ面３１の縁部およびレール面３２，３２の縁部と、対向面３０との間に、ディスク表面の潤滑剤やスピンドルモータの回転軸油などが吸い込まれて付着することがある。
【００６８】
本実施の形態のスライダＳ２のリーディング側ＡＢＳ面３１の、対向面３０からの隆起高さは、例えば、２．０μｍである。
【００６９】
したがって、前記溝部において、リーディング側ＡＢＳ面３１の縁部３１ｂおよびレール面３２、３２の縁部３２ａ，３２ａと、対向面３０との間に、ステップ面が形成されていないとき、スライダＳ２がディスク上に着地したときの、前記溝部に囲まれた対向面３０上の部分と、ディスク表面との間に生じる隙間は、約２．０μｍである。
【００７０】
対向面３０上の前記溝部に囲まれた部分と、ディスク表面との間に生じる隙間が２．０μｍ程度あると、スライダＳ２に付着した前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象によって広がることを防ぐことができる。従って、スライダＳ２が、ディスク表面に吸着されることを防ぐことが出来る。つまり、ディスクを再駆動させる時に必要なトルクを小さく保つことが出来、磁気ヘッド装置の故障あるいは破損を防止できる。
【００７１】
さらに、本実施の形態では、レール面３２，３２のトレーリング側縁部３２ｂ，３２ｂおよび幅方向外側の縁部３２ｃ，３２ｃと対向面３０との間にも、ステップ面は形成されていないので、スライダＳ２に付着した前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象によって広がることを効果的に防ぐことができる。
【００７２】
また、本実施の形態では、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５の、対向面３０からの隆起高さは、リーディング側ＡＢＳ面と同じく２．０μｍである。
【００７３】
また、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のトレーリング側縁部３４ｂ，３５ｂと、対向面３０との間も負圧を発生させる領域ではあるが、この領域には、ステップ面は形成されていないか、ステップ面３６，３７よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられているのみである。
【００７４】
さらに、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５の幅方向の縁部３４ｃ，３４ｃ，３５ｃ，３５ｃと、対向面３０との間にも、ステップ面は形成されていないか、ステップ面３６，３７よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられているのみである。
【００７５】
したがって、スライダＳ２がディスク上に着地したとき、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のトレーリング側縁部３４ｂ，３５ｂと幅方向の縁部３４ｃ，３４ｃ，３５ｃ，３５ｃとがディスク表面に接触している部分において、ディスク表面と、スライダＳ２のディスク面との対向面３０との間に生じる隙間は、約２．０μｍである。
【００７６】
したがって、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のトレーリング側縁部３４ｂ，３５ｂと対向面３０との間に付着した前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象によって広がることを防ぐことができる。
【００７７】
本実施の形態では、ステップ面３３と、リーディング側ＡＢＳ面３１との間の段差量が、０．１〜０．４μｍと、非常に小さく形成されている。また、ステップ面３６，３７とトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５との間の段差量も、０．１〜０．４μｍであるように形成されている。
【００７８】
しかし、前記潤滑剤や回転軸油が付着しやすい領域には、ステップ面３３およびステップ面３６，３７が形成されていないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられているだけなので、スライダＳ２がディスク上に着地した時に、ディスク表面と、対向面３０との間に、前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象で広がっていくほど狭い隙間は存在させないようにできる。
【００７９】
すなわち、スライダＳ２が、前記潤滑剤や回転軸油の表面張力によって、ディスク表面上に吸着されることを防ぐことが出来る。
【００８０】
なお、後述する製造方法を用いてスライダＳ２を製造した場合には、リーディング側ＡＢＳ面３１のリーディング側縁部３１ａ以外の縁部およびレール面３２，３２の縁部と、対向面３０との間に、ステップ面３３よりも隆起高さが十分に低い段差面が、さらに、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のリーディング側縁部３４ａ，３５ａ以外の縁部と、対向面３０との間に、ステップ面３６，３７よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられる。
【００８１】
このとき、対向面３０からの前記段差面の隆起高さは、ステップ面３３とリーディング側ＡＢＳ面３１との間の段差量、または、ステップ面３６，３７とトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５との間の段差量に等しくなる。すなわち、前記段差量は、０．１〜０．４μｍであったので、前記段差面の、対向面３０からの隆起高さも０．１〜０．４μｍになる。
【００８２】
従って、前記段差面の対向面３０からの隆起高さは、リーディング側ＡＢＳ面３１、レール面３２，３２およびトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のいずれかの隆起高さの１／５以下になり、前記段差面に前記潤滑剤や回転軸油が付着した場合でも、スライダＳ２がディスク面上に着地したときに、前記潤滑剤や回転軸油が、前記段差面と前記ディスク面との間に形成された隙間を、毛細管現象によって広がることが抑えられ、スライダＳ２が、前記潤滑剤や回転軸油の表面張力によって、ディスク表面上に吸着されることを防ぐことが出来る。
【００８３】
なお、ステップ面３３は、ディスク駆動時に、スライダＳ２とディスクとの間に空気流を導きやすくするために形成されている。空気流は、スライダＳ２のリーディング側端部Ｌ１から流れ込むので、ステップ面３３は、リーディング側ＡＢＳ面３１のリーディング側縁部３１ａと対向面３０との間にのみ形成されていればよい。
【００８４】
図１のスライダＳ２が、ディスク上に浮上している時、負圧が発生するのは、リーディング側ＡＢＳ面３１とレール面３２，３２とで囲まれる部分（溝部）の内部である。従って、ディスク表面の潤滑剤やスピンドルモータの回転軸油は、最初に、リーディング側ＡＢＳ面３１の前記溝部側の縁部３１ｂと対向面３０との間や、レール面３２，３２の前記溝部側の縁部３２ａ,３２ａと対向面３０との間に付着する可能性が高い。
【００８５】
そこで、図２のスライダＳ３のように、リーディング側ＡＢＳ面４１とレール面４２，４２とで囲まれる部分（溝部）において、リーディング側ＡＢＳ面４１の縁部４１ａと対向面４０との間や、レール面４２，４２の縁部４２ａ,４２ａと対向面４０との間でだけ、ステップ面４３を形成しないようにするか、あるいはステップ面４３よりも対向面４０からの隆起高さが十分に低い段差面を設けるようにしても、スライダＳ３がディスク表面に付着することを防ぐことが出来る。
【００８６】
図３は、本発明の磁気ヘッド装置の第１の製造方法における、記録／再生用磁気ヘッド（図示せず）及び電極Ｅが形成されたスライダＳ２のディスクとの対向面３０が、レジストフォトリソグラフィー及びエッチングによってパターン形成され、リーディング側ＡＢＳ面３１、リーディング側ＡＢＳ面３１の幅方向の両側からトレーリング側へ延びるレール面３２，３２およびトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５とが形成された状態を示す斜視図である。
【００８７】
この工程におけるエッチングでは、エッチングの削り量δ１を、０．２μｍに設定している。
【００８８】
図４は、リーディング側ＡＢＳ面３１のリーディング側縁部３１ａから所定寸法はみ出すように、且つリーディング側ＡＢＳ面３１の前記溝部側の縁部３１ｂ及びレール面３２，３２の全ての縁部からはみ出さないように、リーディング側ＡＢＳ面３１およびレール面３２，３２の上を、レジストＲ１によってマスキングした状態を示す平面図である。
【００８９】
さらに、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のリーディング側縁部３４ａ，３５ａから所定寸法はみ出し、トレーリング側縁部３４ｂ，３５ｂおよび幅方向の縁部３４ｃ，３４ｃ，３５ｃ，３５ｃからはみ出さないように、レジストＲ２およびＲ３によって、マスキングしている。
【００９０】
次に、レジストＲ１、Ｒ２、およびＲ３によってマスキングされていない部分を、エッチングする。
【００９１】
エッチングの結果、レジストＲ１、Ｒ２、およびＲ３によってマスキングされていたリーディング側ＡＢＳ面３１のリーディング側縁部３１ａ側、およびトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のリーディング側縁部３４ａ，３５ａ側にリーディング側ＡＢＳ面３１およびトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５よりも一段低いステップ面３３およびステップ面３６，３７が形成される。
【００９２】
また、リーディングＡＢＳ面３１の前記溝部側の縁部３１ｂ、ならびにレール面３２，３２の前記溝部側の縁部３２ａ，３２ａ、トレーリング側縁部３２ｂ，３２ｂ、および幅方向外側の縁部３２ｃ，３２ｃは露出されているので、エッチングによって、リーディングＡＢＳ面３１の前記溝部側の縁部３１ｂ、ならびにレール面３２，３２の前記溝部側の縁部３２ａ，３２ａ、トレーリング側縁部３２ｂ，３２ｂ、および幅方向外側の縁部３２ｃ，３２ｃは、確実に削られる。
【００９３】
さらに、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のトレーリング側縁部３４ｂ，３５ｂおよび幅方向の縁部３４ｃ，３４ｃ，３５ｃ，３５ｃも確実に削られる。
【００９４】
この２回目のエッチング工程における削り量は、エッチング終了後に、リーディング側ＡＢＳ面３１及びトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５の、対向面３０からの隆起高さが２．０μｍとなるように設定する。一回目のエッチング工程での削り量が０．２μｍの場合は、２回目のエッチングの削り量を１．８μｍとする。
【００９５】
上述した製造方法を用いると、図１のスライダＳ２では図示されていないが、リーディングＡＢＳ面３１の前記溝部側の縁部３１ｂ、ならびにレール面３２，３２の前記溝部側の縁部３２ａ，３２ａ、トレーリング側縁部３２ｂ，３２ｂ、および幅方向外側の縁部３２ｃ，３２ｃと、対向面３０との間に、ステップ面３３よりも隆起高さが十分に低い段差面が残される。
【００９６】
また、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のトレーリング側縁部３４ｂ，３５ｂおよび幅方向の縁部３４ｃ，３４ｃ，３５ｃ，３５ｃと、対向面３０との間にも、ステップ面３６，３７よりも隆起高さが十分に低い段差面が残される。
【００９７】
図５は、上述した磁気ヘッド装置の製造方法を用いて形成された、図１のスライダＳ２の、リーディング側ＡＢＳ面３１を、５−５線に沿って切断した時の縦断面図である。
【００９８】
図５では、リーディング側ＡＢＳ面３１のリーディング側縁部３１ａ側に形成されたステップ面３３と、溝部側に残された段差面３８が示されている。ステップ面３３は、ステップ面３３を形成するエッチング工程時には、マスキングされている。従って、リーディング側ＡＢＳ面３１とステップ面３３との間の段差量Ａは、一回目のエッチングの削り量に等しく、０．２μｍである。
【００９９】
また、リーディング側ＡＢＳ面３１の、対向面３０からの隆起高さＢは、２．０μｍである。
【０１００】
一方、リーディング側ＡＢＳ面３１の溝部側に残された段差面３８は、ステップ面３３を形成するエッチング工程において、対向面３０と共に削られていく。従って、段差面３８の、対向面３０からの隆起高さＣは、一回目のエッチングの削り量に等しく、０．２μｍである。また、段差面３８と、リーディング側ＡＢＳ面３１との間の段差量Ｄは、１．８μｍである。
【０１０１】
なお、図４において、リーディング側ＡＢＳ面３１、レール面３２，３２、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５をマスキングするとき、リーディングＡＢＳ面３１の前記溝部側の縁部３１ｂ、ならびにレール面３２，３２の前記溝部側の縁部３２ａ，３２ａ、トレーリング側縁部３２ｂ，３２ｂ、および幅方向外側の縁部３２ｃ，３２ｃ、ならびにトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のトレーリング側縁部３４ｂ，３５ｂおよび幅方向の縁部３４ｃ，３４ｃ，３５ｃ，３５ｃとレジストＲ１、Ｒ２、Ｒ３の縁部とを完全に重ね合わせると、これらの縁部と対向面３０との間に、前記段差面は形成されない。
【０１０２】
すなわち、本発明の磁気ヘッド装置の製造方法を用いて形成されたスライダＳ２は、ディスク上に着地したときに、ディスク表面と、リーディング側ＡＢＳ面３１の溝部側に残された段差面３８との間に生じる隙間が、１．８μｍとなり、段差面３８上に付着した潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象によって広がることがなくなる程度の大きさになる。従って、スライダＳ２が、ディスク表面に吸着されることを防ぐことが出来る。
【０１０３】
図６は、本発明の磁気ヘッド装置の第２の製造方法における、記録／再生用磁気ヘッド（図示せず）及び電極Ｅが形成されたスライダＳ２のディスクとの対向面３０が、レジストフォトリソグラフィー及びエッチングによってパターン形成され、リーディング側ＡＢＳ面３１、リーディング側ＡＢＳ面３１の幅方向の両側からトレーリング側へ延びるレール面３２，３２およびトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５とが形成された状態を示す斜視図である。
【０１０４】
この工程におけるエッチングでは、エッチングの削り量δ２を、１．８μｍに設定している。
【０１０５】
図７は、リーディング側ＡＢＳ面３１のステップ面となる領域を露出させるように、且つリーディング側ＡＢＳ面３１の前記溝部側の縁部３１ｂ及びレール面３２，３２の全ての縁部からはみ出すように、リーディング側ＡＢＳ面３１およびレール面３２，３２の上を、レジストＲ４によってマスキングした状態を示す平面図である。
【０１０６】
さらに、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のステップ面となる領域を露出させるように、且つトレーリング側縁部３４ｂ，３５ｂおよび幅方向の縁部３４ｃ，３４ｃ，３５ｃ，３５ｃからはみ出すように、レジストＲ５およびＲ６によって、マスキングしている。
【０１０７】
次に、レジストＲ４、Ｒ５、およびＲ６によってマスキングされていない部分を、エッチングする。
【０１０８】
エッチングの結果、レジストＲ４、Ｒ５、およびＲ６によってマスキングされていないリーディング側ＡＢＳ面３１のリーディング側の領域、およびトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のリーディング側の領域にリーディング側ＡＢＳ面３１およびトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５よりも一段低いステップ面３３およびステップ面３６，３７が形成される。
【０１０９】
また、リーディングＡＢＳ面３１の前記溝部側の縁部３１ｂ、ならびにレール面３２，３２の前記溝部側の縁部３２ａ，３２ａ、トレーリング側縁部３２ｂ，３２ｂ、および幅方向外側の縁部３２ｃ，３２ｃはマスキングされているので、エッチングによって削られることはない。
【０１１０】
さらに、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のトレーリング側縁部３４ｂ，３５ｂおよび幅方向の縁部３４ｃ，３４ｃ，３５ｃ，３５ｃも削られない。
【０１１１】
この２回目のエッチング工程において、ステップ面３３とリーディング側ＡＢＳ面３１との間の段差量分及びステップ面３６，３７とトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５と間の段差量分だけ削る。本実施の形態では、２回目のエッチング工程の削り量は０．２μｍである。
【０１１２】
従って、エッチング終了後に、リーディング側ＡＢＳ面３１及びトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５の、対向面３０からの隆起高さは、２．０μｍとなる。
【０１１３】
上述した製造方法を用いた場合、リーディングＡＢＳ面３１の前記溝部側の縁部３１ｂ、ならびにレール面３２，３２の前記溝部側の縁部３２ａ，３２ａ、トレーリング側縁部３２ｂ，３２ｂ、および幅方向外側の縁部３２ｃ，３２ｃと、対向面３０との間に、ステップ面３３よりも隆起高さが十分に低い、本実施の形態の場合は隆起高さ０．２μｍの、段差面が形成される。
【０１１４】
また、トレーリング側ＡＢＳ面３４，３５のトレーリング側縁部３４ｂ，３５ｂおよび幅方向の縁部３４ｃ，３４ｃ，３５ｃ，３５ｃと、対向面３０との間にも、ステップ面３６，３７よりも隆起高さが十分に低い、本実施の形態の場合は隆起高さ０．２μｍの、段差面が形成される。
【０１１５】
ただし、本発明の磁気ヘッド装置の第２の製造方法では、図７で示されたレジストＲ４、Ｒ５、Ｒ６を除去するときに、リーディングＡＢＳ面３１及びレール面３２，３２と対向面３０との間の段差部分、並びにトレーリング側ＡＢＳ面３４，３５と対向面３０との間の段差部分に、レジストＲ４、Ｒ５、Ｒ６が残りやすくなるので、第１の製造方法のほうが好ましい。
【０１１６】
【実施例】
ディスク対向面上の形状を、図８に示された形状に加工されたスライダＳ１を用いて構成された従来の磁気ヘッド装置と、図１に示された形状に加工されたスライダＳ２を用いて構成された本発明の磁気ヘッド装置を用いて、ディスク駆動−停止−再駆動のプロセスをくり返しおこない、再駆動時に必要な起動トルクを測定し、その平均値を比較した。
【０１１７】
なお、従来の磁気ヘッド装置のスライダＳ１は、スライダＳ２に合わせて、リーディングＡＢＳ面１１、およびトレーリング側ＡＢＳ面１４，１５の、対向面１０からの隆起高さを２．０μｍとし、リーディングＡＢＳ面１１とステップ面１３との間の段差量およびトレーリング側ＡＢＳ面１４，１５とステップ面１６，１７との間の段差量を０．２μｍとしている。
結果を（表１）に示す。
【０１１８】
【表１】
0003657827.tif 000002
本実施例では、起動トルクを、ｓｏａｋ値として求めた。この結果から、本発明の磁気ヘッド装置は、従来の磁気ヘッド装置と比較して、起動トルクを２分の１以下にすることが出来ることが確かめられた。
【０１１９】
従って、本発明は、スライダがディスク上に着地した時に、ディスク表面に吸着されることを防ぐことが出来、故障の発生率の小さい磁気ヘッド装置を提供できることが確認された。
【０１２０】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明では、前記ディスクの駆動時に、最も負圧が高くなる領域であり、前記潤滑剤や回転軸油が最も付着しやすい領域である、前記リーディング側ＡＢＳ面の前記溝部側の縁部およびレール面の前記溝部側の縁部と前記対向面との間に、前記ステップ面が形成されていないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられている。
【０１２１】
従って、前記スライダがディスク上に着地した時に、ディスク表面と、前記溝部で囲まれた部分の前記対向面との間に、前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象で広がっていくほど狭い隙間がなくなる。すなわち、前記スライダが、前記潤滑剤や回転軸油の表面張力によって、ディスク表面上に吸着されることを防ぐことが出来る。
【０１２２】
つまり、ディスクを再駆動させる時に必要なトルクを小さく保つことが出来、磁気ヘッド装置の故障あるいは破損を防止できる。
【０１２３】
また、前記レール面のトレーリング側縁部及び幅方向外側の縁部と、前記対向面との間に、前記ステップ面が形成されていないか、あるいは前記ステップ面よりも隆起高さが十分に低い段差面が設けられていることにより、付着した前記潤滑剤や回転軸油が、毛細管現象によって広がることをより効果的に防ぐことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の磁気ヘッド装置のスライダを、ディスクとの対向面を上向きにして示した斜視図
【図２】本発明の第２の実施の形態の磁気ヘッド装置のスライダを、ディスクとの対向面を上向きにして示した斜視図
【図３】本発明の磁気ヘッド装置の製造方法において、スライダのディスクとの対向面に、リーディング側ＡＢＳ面、レール面、及びトレーリング側ＡＢＳ面が形成された状態を示す斜視図
【図４】本発明の磁気ヘッド装置の第１の製造方法において、スライダのディスクとの対向面に形成されたリーディング側ＡＢＳ面、レール面、及びトレーリング側ＡＢＳ面上に、レジストが積層された状態を示す平面図
【図５】本発明の磁気ヘッド装置の第１の製造方法によって製造された磁気ヘッド装置のスライダのリーディング側ＡＢＳ面及びステップ面周辺の縦断面図
【図６】本発明の磁気ヘッド装置の第２の製造方法において、スライダのディスクとの対向面に、リーディング側ＡＢＳ面、レール面、及びトレーリング側ＡＢＳ面が形成された状態を示す斜視図
【図７】本発明の磁気ヘッド装置の第２の製造方法において、スライダのディスクとの対向面に形成されたリーディング側ＡＢＳ面、レール面、及びトレーリング側ＡＢＳ面上に、レジストが積層された状態を示す平面図
【図８】従来の磁気ヘッド装置のスライダを、ディスクとの対向面を上向きにして示した斜視図
【図９】ディスク上を、スライダが浮上している状態を示す側面図
【符号の説明】
３０  対向面
３１  リーディング側ＡＢＳ面
３２  レール面
３３、３６，３７  ステップ面
３４、３５  トレーリング側ＡＢＳ面
Ｔ１  トレーリング側端部
Ｌ１  リーディング側端部
Ｓ２  スライダ
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６  レジスト
【図１】
0003657827.tif 000003
【図２】
0003657827.tif 000004
【図３】
0003657827.tif 000005
【図４】
0003657827.tif 000006
【図５】
0003657827.tif 000007
【図６】
0003657827.tif 000008
【図７】
0003657827.tif 000009
【図８】
0003657827.tif 000010
【図９】
0003657827.tif 000011