(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁部材と、可撓に支持されて平行に並置された複数のピエゾ積層体を有し電源に接続された少なくとも１つの圧電素子からなる弁駆動装置とを設けたハウジングを有し、弁駆動装置を、少なくとも間接的に、弁部材に作用させる形式の、流動媒体を配量供給するコーチングヘッドにおいて、
ハウジング（11）が、２つのハウジング部分（12，13）から構成され、
２つのハウジング部分（12，13）の間には、弁部材（19）のみが貫通する熱分離層（14）が設けられ、
２つのハウジング部分の一方（13）が、流動媒体の温調されたチャンネル（22）と、弁体（42）によって閉鎖される弁開口とを有し、
弁駆動装置（15）が、ヒンジ（26）の領域に旋回可能に軸支した揺れ腕（25）と、２つのピエゾ積層体（23ａ，23ｂ）からなる圧電素子（24）とを有し、
揺れ腕（25）の自由端領域（28）が、弁部材（19）に結合され、
揺れ腕（25）のヒンジ側端部領域（33）には、ヒンジ（26）に垂直に延びる軸線（Ｇ）の両側に夫々等しい間隔（ｄ）を置いて２つのピエゾ積層体（23ａ，23ｂ）が配設され、
弁部材（19）が、揺れ腕（25）の長手方向に対して直角に延びるカルダン継手（39）を有し、
２つのピエゾ積層体（23ａ，23ｂ）が揺れ腕（25）に交互に作用する、
ことを特徴とするコーチングヘッド。
【請求項２】
揺れ腕（25）が、可撓性の細い材料ブリッジとして構成されたヒンジ（26）を介して、定置のベース部材（27）に物質結合され、
揺れ腕（25）及びベース部材（27）が、ヒンジ（26）の両側で、連続の間隙（32）によって相互に離されている、
ことを特徴とする請求項１のコーチングヘッド。
【請求項３】
各ピエゾ積層体（23ａ，23ｂ）が、可撓性の細い材料ブリッジによって揺れ腕（25）に物質結合された結合部材（31）に接着されている、
ことを特徴とする請求項１又は２のコーチングヘッド。
【請求項４】
ピエゾ積層体（23ａ，23ｂ）の揺れ腕（25）と反対側の端部領域には、可撓性カバープレート（17）が当接する、
ことを特徴とする請求項１から３迄の１つに記載のコーチングヘッド。
【請求項５】
電源とピエゾ積層体（23ａ，23ｂ）との間には、チャージ交換を実施できエネルギ消費を節減するチャージポンプユニット（49）が設けてある、
ことを特徴とする請求項１から４迄の１つに記載のコーチングヘッド。
【請求項６】
チャージポンプユニット（49）が、コイル（52）及びコンデンサ（53）からなる中間蓄勢器（50）と、中間蓄勢器（50）及びピエゾ積層体（23ａ，23ｂ）に作用するトランジスタ（51）と、チャージ切換操作を決定するプログラミング可能な制御系（54）とを有する、
ことを特徴とする請求項５に記載のコーチングヘッド。
【請求項７】
弁駆動装置（15）が、定置の導体板（63）と、導体板（63）上に離隔して固定した２つの通電コイル（64）とからなり、且つその２つの通電コイル（64）の間に揺れ腕（25）のトング状突起（66）が突き出ているストローク測定装置（62）を有する、
ことを特徴とする請求項１から６迄の１つに記載のコーチングヘッド。
【請求項８】
導体板（63）が、ベース部材（27）に設けた凹み（65）に配設されている、
ことを特徴とする請求項７のコーチングヘッド。
【請求項９】
弁部材（19）の自由端に設けた弁体（42）が、揺れ腕（25）の休止位置では閉鎖状態にある、
ことを特徴とする請求項１から８迄の１つに記載のコーチングヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、弁部材と、可撓に支持して平行に並置された複数のピエゾ積層体を有し電源に接続された少なくとも１つの圧電素子からなる弁駆動装置とを設けたハウジングを有し、弁駆動装置を、少なくとも間接的に、弁部材に作用させる形式の、流動媒体、例えば溶融接着剤、潤滑剤、インキ等を配量供給するコーチングヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のコーチングヘッドは、厚紙、紙、織物、羊毛などに、例えば、熱溶融型接着剤を塗布するのに役立つ。この場合、不動のコーチングヘッドに沿ってリボン状基体を通過させる。コーチングヘッドは、圧電素子からなる弁駆動装置を有し、圧電素子は、直接、弁部材に作用する。圧電的に駆動されるコーチングヘッドには、その最大周波数が、電磁作動式又は空気圧作動式コーチングヘッドのそれよりも大きいという利点がある。更に、この公知技術によって、本質的により大きい弁力を形成できる。更に、圧電駆動式コーチングヘッドは、電動式又は空気圧駆動式コーチングヘッドよりも本質的に小さく構成される。
【０００３】
しかしながら、圧電式駆動装置によって形成される弁ストロークは、不利なことには、極めて小さい。何故ならば、圧電素子は、電圧印加時、その全長の約１．４〜１．７％の最大ストロークを示すに過ぎないからである。
【０００４】
圧電素子は、基本的に、加熱時、明らかに膨張するので、温度補償の理由から、圧電素子は、煩瑣な態様で弾性的に支持して平行に並置された３つのピエゾ積層体から構成される。この場合、もっぱら、中央のピエゾ積層体が、弁を作動する。この種の温度補償は、コーチングヘッドの製造コストを著しく高くする。
【０００５】
更に、公知のコーチングヘッドの場合、１５０〜２００℃の温度を示す熱溶融型接着剤を使用する際に特に、圧電素子が、１００〜１３０℃の温度限界を越えて加熱され、かくして、破壊されるという危険性がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の課題は、低温範囲においても高温範囲においても使用できる圧電駆動式コーチングヘッドを簡単に且つ安価に製造することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この課題は、請求項１の特徴部分によって、すなわち、ハウジングが、２つのハウジング部分から構成され、２つのハウジング部分の間には、弁部材のみが貫通する熱分離層が設けられ、２つのハウジング部分の一方が、流動媒体の温調されたチャンネルと、弁体によって閉鎖される弁開口とを有し、弁駆動装置が、ヒンジの領域に旋回可能に軸支した揺れ腕と、２つのピエゾ積層体からなる圧電素子とを有し、揺れ腕の自由端領域が、弁部材に結合され、揺れ腕のヒンジ側端部領域には、ヒンジに垂直に延びる軸線の両側に夫々等しい間隔を置いて２つのピエゾ積層体が配設され、弁部材が、揺れ腕の長手方向に対して直角に延びるカルダン継手を有し、２つのピエゾ積層体が揺れ腕に交互に作用するという特徴部分によって解決される。
【０００８】
【作用】
本発明に係るコーチングヘッドには、基本的に、自動温度補償系が存在する場合、圧電式弁駆動装置は２つのピエゾ積層体のみから構成され、２つのピエゾ積層体による運動を揺れ腕構造体によって伝達することによって、各ピエゾ積層体の僅かな長さ増分が比較的大きい弁ストロークに変換されるという利点がある。更に、本発明に係る弁駆動装置によって、約３０００Ｎの大きい弁力が得られ、開閉サイクルの時間は、０．８〜０．２５ｍｓに過ぎない。
【０００９】
更に、本発明における弁駆動装置は、少数の部材から簡単に構成され、従って、一方では、安価に製造でき、他方では、全体として構造寸法は小さい。即ち、本発明に係るコーチングヘッドの幅は、２０ｍｍよりも小さい。
【００１０】
本発明におけるハウジングは、ロッド状弁部材のみによって中断される熱的分離層を相互間に配置した２つのハウジング部分から構成される。第１ハウジング部分は、圧電素子及び揺れ腕からなる弁駆動部材を含み、第２ハウジング部分は、媒体の温調されたチャンネルと、弁体で閉鎖される弁開口とを有する。
【００１１】
本発明に係るコーチングヘッドは、高温媒体（特に、熱溶融型接着剤）の配量供給にも有利に使用できる。ハウジングの２分割構造及びその中間に配置された熱分離層によって、すでに、双方の部材の顕著な熱的分離が達成される。更に、本発明における弁駆動装置の構造によって、弁部材の通過に必要な開口とピエゾ積層体からなる駆動装置とを空間的に分離できる。かくして、双方のハウジング部分の熱的分離に関して必然的に存在する脆弱ゾーンは、ピエゾ積層体から大きく離される。即ち、双方のハウジング部分を結合する結合部材の領域の阻止不完全な熱損失によって、局部的な加熱が誘起されるが、この加熱は、ピエゾ積層体の損傷を招くほど大きくない。
【００１２】
上述の弁部材は、揺れ腕の長手方向に対して垂直に延びるカルダン継手を有する。第１ハウジング部分の領域の弁部材に配設されたこのカルダン継手は、先ず、第１に、揺れ腕の円形旋回を補償する機能を有する。しかしながら、カルダン継手は、更に、高い熱抵抗を有し、即ち、弁ロッドを介して極く僅かな熱が伝達されるに過ぎないという利点を有する。
【００１３】
本発明の実施例の揺れ腕は、可撓性の細い材料ブリッジとして構成されたヒンジを介して位置不動のベース部材に物質結合され、揺れ腕及びベース部材は、ヒンジの両側で、連続の間隙によって相互に離隔される。
【００１４】
弁駆動装置の本発明に係るこの構造には、公知の放電侵食法によって揺れ腕及びベース部材を１つの材料から製造できるという利点がある。かくして、極めて小さいコンパクトな駆動部材が得られる。この場合、揺れ腕とベース部材との間の間隙は、コーチングヘッドの運転中に揺れ腕が自由に運動できるような大きさである。
【００１５】
本発明の別の実施例は、各ピエゾ積層体が、可撓性の細い材料ブリッジによって揺れ腕に結合された結合部材に接着されていることを特徴とする。
【００１６】
揺れ腕の運動中、ピエゾ積層体に特に有害な横方向応力を避けるため、ピエゾ積層体は、同じく揺れ腕に樞動可能に結合された結合部材に接着する。この樞動結合も、上述の放電侵食法によって簡単に且つ安価に作成できる。これは、製造技術的な簡単化を意味する。この揺れ腕構造には、サイクルが２億５０００万回を越える極めて長い寿命が得られる。
【００１７】
圧電駆動部材のある程度の加熱、及びこれに伴う膨張は不可避であるので、別の有利な実施例の場合、ピエゾ積層体の揺れ腕側とは反対の端部領域に可撓性カバープレートを設ける。この可撓性カバープレートによって、昇温に基づく圧電素子の熱的長さ変化のために、簡単にスペースが得られる。双方の圧電素子は、均一に加熱され、この場合、ハウジングに対して垂直に延びる軸線から夫々等間隔にピエゾ積層体を揺れ腕に配置することによって、自動温度補償が行われる。
【００１８】
本発明の特に好ましい実施例の場合、電源と圧電素子との間には、本質的に完全なチャージ交換を実施できエネルギ消費を節減するチャージポンプユニットが設けてある。
【００１９】
圧電素子のエネルギ消費の節減によって、特に有利な態様で、電子系の熱損失も減少され、従って、ピエゾ積層体の加熱は僅かである。更に、勿論、コーチングヘッドの運転費も全体として節減される。
【００２０】
チャージポンプユニットは、有利な態様で、コイル及びコンデンサからなる中間蓄勢器と、中間蓄勢器及びピエゾ積層体に作用する多数のトランジスタと、チャージ切換操作を決定するプログラミング可能な制御系とを有することができる。この電子装置によって、電荷を１つのピエゾ積層体から別のピエゾ積層体に本質的に完全に移行でき、従って、コンデンサの運転中、熱損失と熱的エネルギから機械的エネルギへの変換に基づく損失とをカバーするだけのエネルギを供給すればよい。
【００２１】
更に、特に好ましい実施例の場合、弁駆動装置は、定置の導体板と、上記導体板上に離隔して固定した２つの通電コイルとからなり、上記コイルの間に揺れ腕のトング状突起を突出させたストローク測定装置を有する。
【００２２】
このストローク測定装置によって、所定の弁曲線が得られるよう弁を調節できる。即ち、トング状突起の運動によって、通電コイルのインダクタンスは揺れ腕運動に平行に変化される。トング状突起を下降すると、下部コイルのインダクタンスが大きくなり、上部コイルのインダクタンスが小さくなる。このインダクタンス変化は、測定すれば、弁位置の直接的尺度となる。
本発明の別の利点は、従属請求項及び実施例の説明から明らかであろう。
【００２３】
【実施例】
コーチングヘッドは、ハウジング部分１２，１３に分割されたハウジング１１を有する。螺着されたハウジング部分１２，１３の間には、熱分離層１４が設けてある。多数のコーチングヘッド１０は、固定装置４０によって、接着剤塗付装置（図示してない）に並置される。
【００２４】
ハウジング部分１２には、本質的に、弁駆動装置１５、電子コンポーネント（図示してない）のチャンバ１６及び給電・制御管路１８が設けてある。ハウジング部分１３は、弁体２０内に突出するロッド状弁部材１９と、加熱装置２１と、熱接着剤チャンネル２２とを有する。
【００２５】
弁駆動装置１５は、２つのピエゾ積層体２３からなり、ネジＳで固定された可撓性カバープレート１７に片側で当接する圧電素子２４を介して作用する。ピエゾ積層体２３は、夫々、相互に接着された厚さ０．１ｍｍの約２００個のセラミックディスクから構成される。
【００２６】
更に、弁駆動装置１５は、ヒンジ２６を介してベース部材２７に結合された揺れ腕２５を有する。弁部材１９は、ネジ結合２９によって揺れ腕２５の自由端２８に固定されており、他方、揺れ腕２５のヒンジ側の端部領域３０には、双方のピエゾ積層体２３が、以下に述べる態様で、樞動可能に設けてある。
【００２７】
揺れ腕２５、ヒンジ２６及びベース部材２７のみならず、揺れ腕２５にピエゾ積層体２３ａ，２３ｂを樞着する結合部材３１も、相互に物質結合されている。これら部材は、いずれも、放電浸食法によって唯一つの構造部材から作製される。即ち、揺れ腕２５をベース部材２７に結合するヒンジ２６は、ベース部材２７に対して揺れ腕２５を相対運動するための間隙３２によって両側から限定された可撓性の細い材料ブリッジから構成される。同じく、ピエゾ積層体２３に接着された結合部材３１も、夫々、ヒンジ３３を介して揺れ腕２５に物質結合される。
【００２８】
ピエゾ積層体２３ａ，２３ｂは、ヒンジに対して垂直に延びる軸線Ｇの両側で、間隔ｄを置いてヒンジ３３を介して揺れ腕２５に結合されている。かくして、カバープレート１７によるピエゾ積層体２３ａ，２３ｂの可撓性支持と組合せて、自動温度補償が行われる。
【００２９】
ピエゾ積層体２３ａ，２３ｂは、電源に接続されているので、結合部材３１に隣接するピエゾ積層体２３ａ，２３ｂの下部ディスク（図示してない）は、揺れ腕２５及びピエゾ積層体２３ａ，２３ｂを電気的に分離する絶縁層（図示してない）として構成されている。
【００３０】
揺れ腕２５の自由端領域２８に結合されたロッド状弁部材１９は、開口３４の領域において、ハウジング部分１２，１３の間の熱分離層１４を貫通する。開口３４の下方には、密封系を受容する黄銅スリーブ３５が設けてある。黄銅スリーブ３５は、弁部材１９に対して直角に延びるリークボア３６を有する。黄銅スリーブ３５の下部領域に設けたテフロン充填リングパッキン３７に漏れがある場合、リークボア３６から熱接着剤が流出する。しかしながら、リークボア３６は、同時に、ハウジング部分１３に黄銅スリーブ３５に隣接させて設けた加熱パトローネ２１の取付ボアとして設けてある。
【００３１】
図１に、加熱パトローネ２１の上方に、破線で温度センサ３８を示した。熱接着剤は、高圧を受けて加熱パトローネ２１の下方の熱接着剤チャンネル２２内で溶融装置（図示してない）及び加熱されたホース路から弁ヘッド２０へ移送される。熱接着剤チャンネル２２は、弁部材１９を囲む環状チャンバ４１に開口する。弁部材１９の自由端には、弁部材を回転調整するための作動ミゾＮを備えた弁体４２が設けてある。弁体４２によって、弁ヘッド２０の弁開口を閉鎖できる。
【００３２】
図１に示した状態では、弁体４２の密封面４３は、焼入れ鋼からなる弁座４４に当接する。弁体４２の近傍には、ノズルプレート４５によって、ノズルボデー４６が弁ヘッド２０に螺着されている。ノズルボデー４６には、中心に、基体（図示してない）上に熱接着剤を配量供給するための細いノズルチャンネル４７が設けてある。
【００３３】
図２，３に、コーチングヘッド１０の側面図を示した。図２に、図１のＩＩ矢視側面図を示した。図面から明らかな如く、コーチングヘッド１０の幅ｃは、極めて小さく、図示の実施例の場合、僅か１２ｍｍである。かくして、接着剤塗布装置に、固定装置４０によって多数のコーチングヘッド１０を並置できる。
【００３４】
ハウジング部分１２，１３の間には、熱分離層１４が設けてある。側面図において、ハウジング部分１２の上方には、ネジＳで固定されたカバープレート１７が示してあり、更に、リークボア３６及びネジ（図示してない）で弁ヘッド２０に固定されノズル部材４６を固定するノズルプレート４５が示してある。
【００３５】
図３には、更に、図１にＩＩＩで示した矢視図が示してある。この側面図には、更に、給電・制御管路１８及び熱接着剤チャンネル２２が示してある。
【００３６】
休止位置において密封面４３に当接する弁体４２の運動は、ピエゾ積層体２３ａ，２３ｂが交互に電位の印加を受けて膨張することによって行われる。
【００３７】
例えば、ピエゾ積層体２３ｂが、電圧印加によって膨張した場合、揺れ腕２５は、時計方向へ作用するトルクを受け、かくして、揺れ腕２５及び揺れ腕に結合された弁部材１９がｘ−方向へ駆動される。弁部材１９の約０．１５〜０．１７ｍｍのストロークによって、弁体４２は、ノズルチャンネル４７の方向へ駆動され、かくして、熱接着剤は、高圧を受けて、生じた弁開口を通過する。
【００３８】
揺れ腕２５の自由端領域２８の円運動の補償のため、弁ロッド１９は、揺れ腕２５の長手方向に対して直角に配置された０．１〜０．４ｍｍの厚さｂのカルダン継手３９を有する。更に、カルダン継手３９の横断面積は小さいので、ハウジング部分１３からハウジング部分１２への熱伝導は減少される。
【００３９】
さて、ピエゾ積層体２３ｂへの給電を遮断し、ピエゾ積層体２３ａに電圧を印加すれば、対応して、ヒンジ２６のまわりに逆時計方向へ作用するトルクが生ずる。かくして、揺れ腕２５及び弁部材１９は、ｙ−方向へ上昇される。この場合、弁体４２も、熱接着剤の流動方向とは逆方向へ弁座４４の方向へ駆動され、従って、いわゆるネガティブ・シールー、従って、得られる流動横断面積が漸減される。熱接着剤の流動及び高圧に抗する弁体４２のこの運動によって、弁体４２の下方に且つ熱接着剤チャンネル内にある熱接着剤が逆吸引され、かくして、基体（図示してない）上に配置された接着剤スポットの輪郭が鮮明となる。
【００４０】
弁の開閉操作に必要な時間は、０．８〜０．２５ｍｓに過ぎない。この短いサイクル時間は、ピエゾ積層体２３の大きい応答性によって達成される。
【００４１】
２つのピエゾ積層体２３ａ，２３ｂからなる圧電素子２４の制御・調節は、本質的に図１のチャンバ１６に設けた特殊な弁電子系４８（図４）によって行う。図４の方式構成図に示した弁電子系４８によって、一方では、双方のピエゾ積層体２３ａ，２３ｂに電圧を交互に印加でき、他方では、コーチングヘッド１０の運転を省エネルギ・少熱損失状態で実施できる。
【００４２】
特に省エネルギのため、弁電子系４８は、基本的に図４に示した、いわゆる、チャージポンプユニット４９を有する。チャージポンプユニット４９は、本質的に、中間蓄勢器５０及び複数の電界効果トランジスタ５１を有し、中間蓄勢器５０及び電界効果トランジスタ５１は、夫々、双方のピエゾ積層体２３ａ，２３ｂに結合されている。中間蓄勢器５０は、コイル５２及びコンデンサ５３を有する。圧電素子２４の運転時、ピエゾ積層体２３ａ，２３ｂの、いわゆる、プッシュプル配置に使用できるチャージ切換方式によって省エネルギを達成できる。
【００４３】
このチャージ切換方式の場合、基本的に１つのピエゾ積層体２３ａ又は２３ｂに夫々蓄積されたエネルギ（チャージ）を別のピエゾ積層体２３ａ又は２３ｂに“部分的”に移行する。これは、基本的に、チャージポンプユニット４９内で、一方では、ピエゾ積層体２３ａ，２３ｂのチャージを中間蓄勢器５０に一時的に蓄積し、他方では、各回路網の適切な作動によって電界効果トランジスタ５１から別のピエゾ積層体２３ａ又は２３ｂに蓄積エネルギを段階的に移行することによって、行う。チャージ切換操作の時間的推移及び電界効果トランジスタ５１の当該の切換状態は、プログラミング可能な制御系５４によって決定される。しかしながら、プログラミング可能な制御系５４には、更に、各ピエゾ積層体２３ａ，２３ｂの電圧状態の目標値・実際値比較を定常的に照会する調節回路５５が作用する。
【００４４】
このチャージ切換方式によって、ピエゾ積層体２３ａ又は２３ｂに含まれたエネルギを１次回路に逆蓄積し、次いで、別のピエゾ積層体２３ａ又は２３ｂの励起によって使用できる。
【００４５】
しかしながら、この電子的操作において、エネルギの一部が熱に変換され、更に、電気エネルギの大半が機械的エネルギに変換されるので、常に、上記のエネルギ不足を補償する必要がある。これは、切換調節器５７及び内部電源５６から供給されるエネルギによって行われる。
【００４６】
更に、弁電子系４８は、コーチングヘッド１０外に設けられたクロック発生器５８及び状態指示装置５９を有する。クロック発生器５８は、その名の如く、電子プロセスの推移のためのクロックを与え、他方、状態指示装置５９は、オペレータのためのディスプレイである。
【００４７】
弁電子系４８は、更に、目標値ポテンショメータ６１に設定した温度に弁温度を調節する温度調節器６０を有する。即ち、加熱パトローネ２１の上方に設けた温度センサ３８が、定常的に、弁温度を測定する。この温度が、目標値ポテンショメータ６１に設定された温度と一致し、即ち、作業温度が存在する場合に限り、弁が、プログラミング可能な制御系５４から解放される。
【００４８】
更に、コーチングヘッド１０には、ベース部材２７と揺れ腕２５との間の領域に、ストローク測定装置６２が設けてある。ストローク測定装置６２は、導体板６３と、導体板上の２つのコイル６４とからなる。導体板６３は、ベース部材２７の対応する凹み６５に固定されている。導体板６３に固定された双方のコイル６４の間には、揺れ腕２５に物質結合されたトング状突起６６が突出する。さて、ピエゾ積層体２３ａ，２３ｂによって駆動されて、揺れ腕２５が移動すると、トング状突起６６の位置が、突起６６の上下に設けた双方のコイル６４まで変化する。突起６６のこの位置変化によって、通電コイル６４のインダクタンスも変化される。このインダクタンス変化は、弁ヘッド２０内の弁体４２の位置の直接的尺度である。この測定法によって、所定の弁曲線が達成されるよう、コーチングヘッド１０の運転推移に介入することができる。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明に依れば低温範囲でも高温範囲でも使用できる寿命の長いコーチングヘッドを、少数の部品から小型に簡単且つ安価に製造できる。更に運転は省エネルギ少熱損失状態で実施できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】コーチングヘッドの縦断面図である。
【図２】コーチングヘッドの図１のＩＩ矢視側面図である。
【図３】コーチングヘッドの図１のＩＩＩ矢視側面図である。
【図４】弁電子系の略方式構成図である。
【符号の説明】
１５    弁駆動装置
１９    弁部材
２３ａ  ピエゾ積層体
２３ｂ  ピエゾ積層体
２６    ヒンジ
３３    ヒンジ側部領域
【図１】
0003628062.tif 000002
【図２】
0003628062.tif 000003
【図３】
0003628062.tif 000004
【図４】
0003628062.tif 000005