(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
機器を３点支持する支持台の運動を３つのセンサのそれぞれで検出し、前記センサの検出出力に基づいてアクチュエータを制御することにより前記支持台の除振を行うアクティブ除振装置において、前記除振台のＸＹ平面に関する運動の内、Ｘ方向の運動パラメータをＰｘ、Ｙ方向の運動パラメータをＰｙ、前記ＸＹ平面上の回転方向であるθ方向の運動パラメータをＰθｚとし、前記センサのそれぞれの出力信号をＳ１，Ｓ２，Ｓ３とするとき、前記センサのそれぞれの幾何学的な配置からベクトル〔Ｐｘ，Ｐｙ，Ｐθｚ〕とベクトル〔Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３〕の間に成り立つ
【外１】
0003696926.tif 000007
で示される連立方程式の係数行列Ａの条件数が最小となるように前記センサのそれぞれの計測方向を決定することを特徴とするアクティブ除振装置。
【請求項２】
前記運動パラメータＰｘ，Ｐｙ，Ｐθｚのそれぞれに重み付けする際、前記係数行列Ａに重み行列Ｗをかけた係数行列ＡＷの条件数が最小となるように前記センサのそれぞれの計測方向を決定することを特徴とする請求項１に記載のアクティブ除振装置。
【請求項３】
前記センサと前記除振台の重心位置を結ぶ直線と前記センサの運動検出方向に実質的に一致する直線とが前記ＸＹ平面上でなす角度が、前記センサのそれぞれにおいて実質的に同一となるように前記センサのそれぞれの計測方向を決定することを特徴とする請求項１に記載のアクティブ除振装置。
【請求項４】
前記センサのそれぞれは実質的に正３角形の各頂点近傍に配置されることを特徴とする請求項３に記載のアクティブ除振装置。
【請求項５】
前記除振台は実質的に正３角形構造を有し、前記センサのそれぞれは前記除振台の各頂点近傍に配置されることを特徴とする請求項３に記載のアクティブ除振装置。
【請求項６】
前記アクチュエータのそれぞれは前記センサに対応するように前記除振台の各頂点近傍に配置されることを特徴とする請求項５に記載のアクティブ除振装置。
【請求項７】
機器を３点支持する支持台の運動を３つのセンサのそれぞれで検出し、前記センサの検出出力に基づいてアクチュエータを制御することにより前記支持台の除振を行うアクティブ除振装置のセンサ配置方法において、前記除振台のＸＹ平面に関する運動の内、Ｘ方向の運動パラメータをＰｘ、Ｙ方向の運動パラメータをＰｙ、前記ＸＹ平面上の回転方向であるθ方向の運動パラメータをＰθｚとし、前記センサのそれぞれの出力信号をＳ１，Ｓ２，Ｓ３とするとき、前記センサのそれぞれの幾何学的な配置からベクトル〔Ｐｘ，Ｐｙ，Ｐθｚ〕とベクトル〔Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３〕の間に成り立つ
【外２】
0003696926.tif 000008
で示される連立方程式の係数行列Ａの条件数が最小となるように前記センサのそれぞれの計測方向を決定することを特徴とするアクティブ除振装置のセンサ配置方法。
【請求項８】
前記運動パラメータＰｘ，Ｐｙ，Ｐθｚのそれぞれに重み付けする際、前記係数行列Ａに重み行列Ｗをかけた係数行列ＡＷの条件数が最小となるように前記センサのそれぞれの計測方向を決定することを特徴とする請求項７に記載のアクティブ除振装置のセンサ配置方法。
【請求項９】
前記センサと前記除振台の重心位置を結ぶ直線と前記センサの運動検出方向に実質的に一致する直線とが前記ＸＹ平面上でなす角度が、前記センサのそれぞれにおいて実質的に同一となるように前記センサのそれぞれの計測方向を決定することを特徴とする請求項７に記載のアクティブ除振装置のセンサ配置方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はアクティブ除振装置及び該装置のセンサ配置方法、特には半導体露光装置に代表される精密機器等のあらゆる機械システムにおいて支持機構となるアクティブ除振装置及び該装置のセンサ配置方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子顕微鏡、ステップアンドリピート（スキャン）タイプやそれ以外の半導体露光装置等の精密機器の高精度化にともない、それらを搭載する精密除振装置の高性能化が求められている。
【０００３】
特に半導体露光装置においては適切かつ迅速な露光を行なわせるために、設置床の振動等の外部から伝達する振動を極力除去する除振台が必要とされる。これは、半導体ウエハ上の各ショット領域を露光する際には、半導体ウエハをＸＹ平面に沿って移動するＸＹステージが完全停止の状態になければならないからである。また、ＸＹステージはステップアンドリピートという間欠動作を特徴とし、これによる繰り返しのステップ振動が機器を支持している支持台（除振台）自身の振動を励起する。
【０００４】
従って除振台には、外部振動に対する除振性能と、機器自身の動作により発生する振動に対する制振性能とをバランスよく実現することが求められる。このような要求に対しては、除振台の振動を振動センサで検出し、その出力信号を補償してアクチュエータにフィードバックすることにより能動的に振動制御を行なうアクティブ除振装置が実用化されている。アクティブ除振装置は、バネ及びダンパ特性を有する支持機構だけで構成された従来からの受動的な除振装置では困難な、除振性能と制振性能のバランスのとれた実現を可能にする。
【０００５】
アクティブ除振装置の一例は、例えば特開平６−１６７４１４号公報に示されている。この従来例では除振台の６自由度に対する並進及び回転運動を算出するために計７個のセンサを配置している。センサ配置の内訳は、長方形除振台の長辺方向とＸ軸、鉛直方向とＺ軸を一致させた直交座標系からみて、Ｘ軸方向に１個、Ｙ軸方向に２個、そしてＺ軸方向に４個である。
【０００６】
【発明が解決しようとしている課題】
ところで、上述のようにアクティブ除振装置による除振台の制御では、センサの出力信号から剛体運動としての除振台の並進及び回転方向の運動を算出し、運動方向ごとにフィードバックループを構成することが行われている。従って、センサは除振台の剛体運動としての並進及び回転方向運動が検出可能であるように配置されなければならず、且つセンサ出力信号に含まれる観測ノイズやセンサ位置の公称値と真値との差などによって生じる算出結果の誤差を最小に抑えるように配置することが望ましい。
【０００７】
上述の特開平６−１６７４１４号公報のセンサ配置では、除振台の６自由度に対する並進及び回転運動を算出することは可能であるが、センサ出力信号に含まれる観測ノイズやセンサ位置の公称値と真値との差などが算出結果に与える影響については何の考察もされていない。また、除振台の６自由度に対する並進及び回転運動を精度よく算出するためセンサ配置については、明確な定量的指標は示されていない。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、その目的は、除振台の剛体運動としての並進及び回転運動を観測ノイズなど誤差要因の影響を最小限に抑えて精度よく算出し高精度な除振を可能にするアクティブ除振装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、除振台の剛体運動としての並進及び回転運動を観測ノイズなど誤差要因の影響を最小限に抑えて精度よく算出することを可能にするアクティブ除振装置のセンサ配置方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明は、機器を３点支持する支持台の運動を３つのセンサのそれぞれで検出し、前記センサの検出出力に基づいてアクチュエータを制御することにより前記支持台の除振を行うアクティブ除振装置において、前記除振台のＸＹ平面に関する運動の内、Ｘ方向の運動パラメータをＰｘ、Ｙ方向の運動パラメータをＰｙ、前記ＸＹ平面上の回転方向であるθ方向の運動パラメータをＰθｚとし、前記センサのそれぞれの出力信号をＳ１，Ｓ２，Ｓ３とするとき、前記センサのそれぞれの幾何学的な配置からベクトル〔Ｐｘ，Ｐｙ，Ｐθｚ〕とベクトル〔Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３〕の間に成り立つ
【００１１】
【外３】
0003696926.tif 000002
で示される連立方程式の係数行列Ａの条件数が最小となるように前記センサのそれぞれの計測方向を決定することを特徴としている。
【００１２】
本発明のアクティブ除振装置は、前記運動パラメータＰｘ，Ｐｙ，Ｐθｚのそれぞれに重み付けする際、前記係数行列Ａに重み行列Ｗをかけた係数行列ＡＷの条件数が最小となるように前記センサのそれぞれの計測方向を決定したり、前記センサと前記除振台の重心位置を結ぶ直線と前記センサの運動検出方向に実質的に一致する直線とが前記ＸＹ平面上でなす角度が、前記センサのそれぞれにおいて実質的に同一となるように前記センサのそれぞれの計測方向を決定したりしても良い。
【００１３】
またこの場合、前記センサのそれぞれは実質的に正３角形の各頂点近傍に配置されたり、前記除振台は実質的に正３角形構造を有し、前記センサのそれぞれは前記除振台の各頂点近傍に配置されたり、更に前記アクチュエータのそれぞれは前記センサに対応するように前記除振台の各頂点近傍に配置されても良い。
【００１４】
また、本発明は、機器を３点支持する支持台の運動を３つのセンサのそれぞれで検出し、前記センサの検出出力に基づいてアクチュエータを制御することにより前記支持台の除振を行うアクティブ除振装置のセンサ配置方法において、前記除振台のＸＹ平面に関する運動の内、Ｘ方向の運動パラメータをＰｘ、Ｙ方向の運動パラメータをＰｙ、前記ＸＹ平面上の回転方向であるθ方向の運動パラメータをＰθｚとし、前記センサのそれぞれの出力信号をＳ１，Ｓ２，Ｓ３とするとき、前記センサのそれぞれの幾何学的な配置からベクトル〔Ｐｘ，Ｐｙ，Ｐθｚ〕とベクトル〔Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３〕の間に成り立つ
【００１５】
【外４】
0003696926.tif 000003
で示される連立方程式の係数行列Ａの条件数が最小となるように前記センサのそれぞれの計測方向を決定することを特徴としている。
【００１６】
本発明のアクティブ除振装置のセンサ配置方法では、前記運動パラメータＰｘ，Ｐｙ，Ｐθｚのそれぞれに重み付けする際、前記係数行列Ａに重み行列Ｗをかけた係数行列ＡＷの条件数が最小となるように前記センサのそれぞれの計測方向を決定したり、前記センサと前記除振台の重心位置を結ぶ直線と前記センサの運動検出方向に実質的に一致する直線とが前記ＸＹ平面上でなす角度が、前記センサのそれぞれにおいて実質的に同一となるように前記センサのそれぞれの計測方向を決定しても良い。
【００１７】
【作用】
このように本発明は、センサの配置から定まるセンサ出力信号と除振台の運動としての並進及び回転運動との間に成り立つ連立方程式において、解である除振台の並進及び回転運動が方程式中の誤差によって受ける影響の大きさを示す尺度である係数行列の条件数に着目し、この条件数をセンサ配置のための定量的指標としている。そして、条件数を最小にするようなセンサ配置を行なうことによって、除振台の並進及び回転運動を観測ノイズの影響を最小限に抑えて精度よく算出することを可能にしている。
【００１８】
また、除振台の剛体運動としての並進及び回転方向運動に重みを付け、上記係数行列と重み行列の積である行列の条件数を最小とするようにセンサを配置することによって、並進運動と回転運動との間の物理的次元の違いを考慮に入れた、または特定の運動の算出精度を重視した、観測ノイズの影響を最小限に抑えた精度よい除振台の並進及び回転運動の算出を可能にする。
【００１９】
本発明によれば、係数行列の条件数が最小となるようにセンサを配置しているから、求めた除振台の並進および回転運動は、センサ出力信号に含まれる観測ノイズやセンサ位置の公称値と真値との差など誤差要因の影響を最小に抑えた、精度の最も高いものである。
【００２０】
【実施例】
図１は本発明によるアクティブ除振装置、及びそれに内蔵するセンサの配置の代表的な実施例を示す図面である。図１はアクティブ除振装置の上面図であり、その上部に半導体製造用露光装置のＸＹステージ等の精密機器が載置される正三角形構造の支持台（以降除振台と呼ぶ）４は、その各頂点部を支持機構である除振装置１ａ，１ｂ，１ｃによって支持されている。除振装置１ａ，１ｂ，１ｃにはそれぞれ加速度、速度、及び移動量といった除振台４の運動を計測するセンサ２ａ，２ｂ，２ｃと、除振台４へ力を作用させるアクチュエータ３ａ，３ｂ，３ｃが備えられている。
【００２１】
以下に、除振台４の水平方向振動を精度良く計測するためのセンサ２ａ，２ｂ，２ｃとの最適配置について説明する。除振台４は剛体であるとすると、その水平方向の運動は水平面内における重心点の並進運動２自由度と重心点を通る鉛直軸回りの回転運動１自由度との合計３自由度に分類される。
【００２２】
除振台４の重心点をＧとして、原点がＧであるＸＹＺ直交座標系を除振台に固定する。ＸＹ平面は水平面と一致させる。すると除振台４の水平方向運動はＸ，Ｙ方向の並進運動及びＧを通る鉛直軸（Ｚ）回りのθz方向の回転運動で代表できる。これら運動方向のことを除振台４の運動モード、そして運動モードごとの除振台の変位や加速度といった運動を表すパラメータを運動パラメータと定義する。除振台４の水平方向の運動モードはＸ、Ｙ、θZであり、そして各モードごとの運動パラメータはＰx，Ｐy，Ｐθzと表記することにする。
【００２３】
ここでいうセンサ２ａ，２ｂ，２ｃとは加速度、速度、及び移動位置など機械的な１軸直線運動が計測可能なものである。各センサ２ａ，２ｂ，２ｃの計測点は除振台４の頂点位置にあり、且つ各センサ２ａ，２ｂ，２ｃの計測方向ベクトルと各アクチュエータ３ａ，３ｂ，３ｃの発生力の作用方向ベクトルは重心Ｇを通る水平面（ＸＹ平面）内にあるものとする。すると、各センサ２ａ，２ｂ，２ｃの配置の自由度は、除振台４の各頂点を通る鉛直軸回りの回転１自由度である。除振台４は正三角形構造であるから重心Ｇから除振台４の各頂点までの距離、即ち重心Ｇから各センサ２ａ，２ｂ，２ｃまでの距離は等しくｒである。
【００２４】
図１に示すように、重心Ｇに固定したＸＹ座標系からみたセンサ２ａの座標を（ｘa，ｙa）とし、またこのセンサ２ａの座標点から計測方向に沿って正の向きに向かうベクトルとＸ軸とがなす角度をθ2axとする。除振台４が運動パラメータＰx，Ｐy，Ｐθzで表される運動をしているときのセンサ２ａの出力信号をｓaとすると、運動パラメータとセンサ出力信号ｓaは下記の(3)式のような関係にある。
【００２５】
【外５】
0003696926.tif 000004
【００２６】
センサ２ｂ，２ｃについても同様に、重心Ｇに固定したＸＹ座標系からみたセンサ２ｂ，２ｃの座標をそれぞれ（ｘb，ｙb）、及び（ｘc，ｙc）とし、これら座標点から計測方向に沿って正の向きに向かうベクトルとＸ軸とがなす角度をθ2bx、θ2cxとすると、３つのセンサ出力信号ｓa，ｓb，ｓcと前記運動パラメータＰx、Ｐy、Ｐθzは下記の(4)式の線形方程式で結び付けられる。
【００２７】
ここで、(4)式、(5)式のＡはセンサ２ａ，２ｂ，２ｃの位置と計測向きによって決まる係数行列である。センサ２ａ，２ｂ，２ｃの座標は下記の(6)式に示すように除振台４の３つの頂点を通る円の半径ｒから定まる。よって係数行列Ａは半径ｒとセンサ計測向き（θ2ax，θ2bx，θ2cx）の関数として表される。(4)式の線形方程式を利用すれば、除振台４の運動パラメータＰx，Ｐy，Ｐθzは３つのセンサ出力信号から求められることがわかる。
【００２８】
【外６】
0003696926.tif 000005
【００２９】
アクティブ除振装置の制御方法としては、それぞれの除振装置１ａ，１ｂ，１ｃに内蔵されたセンサ２ａ，２ｂ，２ｃとアクチュエータ３ａ，３ｂ，３ｃとで制御ループを閉じて各除振装置独立に制御をするほかに、除振台４の運動モードごとに制御ループを構成することが行なわれている。この場合はセンサ情報から除振台４の運動パラメータを測定して、運動モード別に除振台４に加える操作力を決定し、その運動モード別の操作力を実現するようにアクチュエータ３ａ，３ｂ，３ｃを駆動する。
【００３０】
センサ情報から除振台４の運動パラメータを測定するためには上記（４）式を利用する。（４）式に示す線形一次の連立方程式を解けば運動パラメータＰｘ，Ｐｙ，Ｐθｚが求められる。ところで、（４）式の左辺は各センサ２ａ，２ｂ，２ｃの出力信号であるから測定ノイズが含まれる。また、センサ配置で定まる係数行列Ａにも誤差が混在する可能性がある。
【００３１】
このような観測データ中に含まれる誤差によって解である運動パラメータが受ける影響を定量的に評価するには、係数行列Ａの条件数（Condition Number）を調べればよい。条件数は最小値が１の正の数である。条件数が大きい（悪い）と、センサ出力信号のわずかな差によって解である運動パラメータが大きく変化する。あるいはセンサの位置と方向の実測値と真値とのわずかなずれが解である運動パラメータの信頼性を大きく損ねてしまう。条件数が無限大になると、係数行列Ａにランク落ちが発生する。即ち、運動パラメータを解くことができなくなる。
【００３２】
条件数が最も１に近く（最も良く）なるようなセンサ２ａ，２ｂ，２ｃの配置が、運動パラメータを測定するために最適なセンサ配置である。これはまた、除振台４の水平３自由度運動を最も計測しやすいセンサ配置であるということもできる。よって、運動モードごとに除振台４を制御する場合の運動パラメータ測定にとって最適なセンサ配置であることは、各除振装置独立に制御をする場合でもまた最適なセンサ配置となる。
【００３３】
以上より、(5)式に示した係数行列Ａの条件数が最小となるようにセンサ２ａ，２ｂ，２ｃの計測方向を決定すれば、それが最適なセンサ配置である。条件数をセンサ配置のための定量的指標とすることができる。
【００３４】
図１は条件数を最小とするセンサ配置を示している。各センサ２ａ，２ｂ，２ｃはそのセンサ計測方向の直線と、センサの位置する除振台４の各頂点と重心Ｇとを結ぶ線とがなす鋭角が全て同一の角度θとなり、且つその鋭角θは鋭角をなす除振台４の各頂点と重心Ｇとを結ぶ線の左側にくるように配置される。
【００３５】
また、図２に示すように、同じ鋭角θが鋭角をなす除振台４の各頂点と重心Ｇとを結ぶ線の右側にくるようなセンサ配置でも条件数は最小となる。(5)式に示した係数行列Ａの条件数が最小となるセンサ配置は、図１と図２に示した配置のみである。センサ角度θは除振台４の半径ｒの大きさによって０度から９０度の範囲に一意的に決まる。図１、図２の矢線はセンサ測定方向の正の向きをあらわす。センサ２ａ，２ｂ，２ｃごとに矢線は同一方向反対の向きである。つまり測定の正の向きは問題とならない。
【００３６】
センサ角度θは半径ｒが小さいほど大きくなる。これは理にかなったことである。θZ方向の回転運動を最も検出しやすいセンサ配置は、図３に示すような重心と頂点を結ぶ線に対して直角方向（円周方向）である。これに対してＸ，Ｙ方向の並進運動を最も検出しやすいセンサ配置は、図４に示すような重心Ｇを向く方向（半径方向）である。除振台４の半径ｒが小さいほどθZ方向の回転運動は検出しづらくなるから、センサ２ａ，２ｂ，２ｃはより円周方向に向けなくてはならない。すなわち、センサ角度θは大きくなる。このように、半径ｒによって係数行列Ａの条件数を最小にするセンサ配置は異なってくる。
【００３７】
例として、半径ｒ＝１の場合はセンサ角度θ＝４５度で(4)式の行列Ａの条件数は最小となる。これは、円周方向と半径方向の中間の方向である。最小値は１である。
【００３８】
図１、図２に示した実施例では、アクチュエータ３ａ，３ｂ，３ｃをセンサ２ａ，２ｂ，２ｃと同一方向に配置している。これによってアクティブ除振装置の制御方法としては、除振台４の運動モードごとに制御ループを構成する方法と、各除振台毎に閉じた制御ループを構成する方法の双方を実現することができる。
【００３９】
先の実施例において、センサ最適配置を導くための基礎式となった(4)式では、運動パラメータＰx，Ｐy，Ｐθzの物理的次元は同一ではない。並進パラメータＰx，Ｐyと回転パラメータＰθzでは次元が異なるので、先の実施例では物理的に次元が違う量を同列に扱ってセンサの最適配置を導出していることになる。長さの単位を〔ｍ〕、回転量の単位を〔ｒａｄ〕として運動パラメータをあらわした場合に、実際の除振台４の運動が並進パラメータＰx、Ｐyと回転パラメータＰθzとで、そのとる値が同等であるようなときは、(4)式を基礎式としてよい。
【００４０】
それ以外のときには、並進パラメータと回転パラメータとの間に重み付けをする必要がある。また、特定の運動パラメータを精度良く測定するために他の運動パラメータの測定精度をある程度犠牲にする場合にも、運動パラメータに重みをつける。運動パラメータ間の重みを考慮したセンサの最適配置のための基礎式は下記の(7)式、(8)式のようになる。
【００４１】
【外７】
0003696926.tif 000006
【００４２】
この(7)式、(8)式で示された線形連立方程式の係数行列ＡＷの条件数を最小にするセンサの配置が、最適なセンサ配置である。重みの付け方は、精度よく測定したい運動モードの重みｗi（ｉ＝ｘ，ｙ，θz）を大きく設定すればよい。また除振台４の運動を運動モード別にあらわしたときに各運動パラメータＰx，Ｐy，Ｐθzのとる値が同等であり、且つどの運動パラメータも同等の精度で測定するのならば、重みは同一となる（ｗx＝ｗy＝ｗθz＝１）。
【００４３】
並進方向運動パラメータＰx，Ｐyの重み値ｗx，ｗyが同値である場合には、先の実施例と同様に３つのセンサ２ａ，２ｂ，２ｃは、センサ２ａ，２ｂ，２ｃの位置する除振台４の各頂点と重心Ｇとを結ぶ線に対して同一の角度θの方向を向く。
【００４４】
センサ角度θの値は重みｗx（＝ｗy）とｗθzの比、そして除振台４の半径ｒによって変化する。重みｗx，ｗyが異なる場合には、センサ角度は３つのセンサ２ａ，２ｂ，２ｃについて同一とはならない。例として、Ｙ方向並進運動パラメータＰyの精度を重視したセンサの最適配置を示す。重みはｗy＝２、ｗx＝ｗθz＝１、そして除振台４の半径ｒ＝１として計算したものである。係数行列ＡＷの条件数を最小とするセンサ配置は図５の（ａ），（ｂ）に示す２通りである。Ｙ方向の測定精度を重視したため、センサ測定方向はＹ方向に近づいている。
【００４５】
なお、以上の実施例は３点支持機構の除振台の水平３自由度の除振を対象として説明しているが、運動パラメータとセンサ信号出力とを結びつける連立方程式の係数行列の条件数を最小とする本発明は、３点支持機構の除振台だけを対象とするものではなく、また水平３自由度のみを対象としているものでもない。本発明は算出を行なう運動パラメータと同数のセンサの配置に関して、あらゆる場合に適用することができる。
【００４６】
【発明の効果】
以上に説明したとおり、本発明によれば、除振台の例えば水平方向３自由度の振動を支持機構である除振台に内蔵する振動センサで、観測ノイズの影響を最小限に抑えて精度よく算出することができる。また、センサ配置の定量的指標を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のアクティブ除振装置の最も代表的な一実施例を示す図。
【図２】図１に示した実施例の変形例を示す図。
【図３】回転運動を最も測定しやすい状態にしたセンサ配置を示す図。
【図４】並進運動を最も測定しやすい状態にしたセンサ配置を示す図。
【図５】ｙ方向並進運動の測定精度を重視した本発明の他の実施例を示す図。
【符号の説明】
１ａ，１ｂ，１ｃ  除振装置
２ａ，２ｂ，２ｃ  振動センサ
３ａ，３ｂ，３ｃ  アクチュエータ
４  除振台
【図１】
0003696926.tif 000009
【図２】
0003696926.tif 000010
【図３】
0003696926.tif 000011
【図４】
0003696926.tif 000012
【図５】
0003696926.tif 000013