(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の連続する（イ）工程、（ロ）工程および（ハ）工程、
（イ）鉄化合物、バリウム化合物およびアルカリ性物質の各水溶液を１０〜６０℃にて均一に混合して反応液を調製する工程、次いで、
（ロ）流通型反応管内にて２０〜５０ＭＰａ  の一定圧力で該反応液を５  秒以内で２５０  〜３００  ℃に急速昇温させる工程、次いで、および、
（ハ）５秒以内で３５０  〜４５０  ℃に急速昇温させ該温度にて１０〜１０００秒の滞留時間で該反応液を流通させる工程、
からなることを特徴とするバリウムフェライト微粒子の製造方法。
【請求項２】
鉄化合物が硝酸鉄である請求項１記載のバリウムフェライト微粒子の製造方法。
【請求項３】
バリウム化合物が硝酸バリウムである請求項１または請求項２記載のバリウムフェライト微粒子の製造方法。
【請求項４】
アルカリ性物質が水酸化カリウムおよび／または水酸化ナトリウムである請求項１〜３のいずれか１項に記載のバリウムフェライト微粒子の製造方法。
【請求項５】
鉄化合物とバリウム化合物の合計の陰イオンに対するアルカリ性物質の水酸化物イオンのモル比が１〜４となる水溶液を用いる請求項１〜４のいずれか１項に記載のバリウムフェライト微粒子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、磁気記録材料として有用なバリウムフェライト微粒子の連続製造方法に関する。さらに詳しくは、水の亜臨界ないしは臨界状態で、鉄化合物、バリウム化合物及びアルカリ性物質の水溶液を流通型反応管を用いて反応させるバリウムフェライト微粒子の連続製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、磁気記録の高密度化の要求にともない、六方晶のバリウムフェライト（ＢａＯ・６Ｆｅ２Ｏ３）微粒子による垂直磁気記録媒体の開発が進められている。製造方法としては、主にガラス結晶化法と水熱合成法が知られている。
例えば、特開昭５６−６０００２号には、第２鉄塩とバリウム塩を含む水溶液にアルカリ及びアルカリ炭酸塩を撹拌しながら混合して、水酸化第２鉄と炭酸バリウムの共沈物を得た後、濾過、水洗、乾燥した後、熱処理してバリウムフェライト粒子を得る方法が開示されている。特開昭５６−１６０３２８  号には、第２鉄塩とバリウム塩とを溶解したアルカリ性溶液を、オートクレーブ中で１５０  〜２５０  ℃で処理してバリウムフェライト前駆体の沈澱物を生成させた後、８００  ℃以上の温度で焼成してバリウムフェライト粉末を得る方法が開示されている。特開昭５６−６７９０４号には、酸化バリウムと酸化鉄などのバリウムフェライトを構成する成分と酸化硼素などのガラスを形成する成分とを混合し、溶融したものを急冷固化した後、熱処理してガラス中にバリウムフェライトを析出させた後、得られた微粉末を希酸で処理して、ガラス成分を溶解除去することによってバリウムフェライト粒子を抽出し、水洗、乾燥する方法が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
特開昭５６−６０００２号の方法は簡単な工程であるが、単分散の微粒子を得ることが困難で、また共沈物の濾過性が悪いという問題がある。特開昭５６−１６０３２８  号の方法は共沈物の濾過の問題を解決することができるが、反応時間が長く、またオートクレーブを用いる回分型水熱処理であるために生産性が悪く、経済性に欠けるという問題がある。特開昭５６−６７９０４号の方法は、粒度分布がシャープな微粉末を得ることができるが、原料を溶融するために高温が必要であり、また再度熱処理が必要となるため、複雑な製造工程となり生産性が極めて低い。
【０００４】
本発明者らは、先に流通型反応管を用い金属塩水溶液を水の亜臨界ないしは超臨界状態で金属酸化物微粒子を連続的に製造する方法を特開平４−５０１０５  号にて提案した。この方法をバリウムフェライトの製造に応用した。すなわち、鉄化合物、バリウム化合物及びアルカリ性物質からなる混合水溶液を流通型反応管に通液することにより、上記の諸問題点を克服でき、しかもバリウムフェライト微粒子が選択的かつ効率的に製造できることを見出し特願平５−１１５４２５号として出願した。しかし、得られたバリウムフェライト微粒子の磁気特性は、必ずしも満足できるものではなかった。そこで、流通型反応装置の昇温方式の変更も含めてバリウムフェライトの結晶生成条件を詳細に検討した。その結果、原料水溶液の混合した時の温度は、室温付近であること、そこから二段階で急速昇温することがバリウムフェライト微粒子の磁気特性の向上に顕著に有効であることを発見し本発明を完成した。
【０００５】
【発明を解決するための手段】
すなわち、本発明は、下記の連続する（イ）工程、（ロ）工程および（ハ）工程、
（イ）鉄化合物、バリウム化合物およびアルカリ性物質の各水溶液を１０〜６０℃にて均一に混合して反応液を調製する工程、次いで、
（ロ）流通型反応管内にて２０〜５０ＭＰａ  の一定圧力で該反応液を５  秒以内で２５０  〜３００  ℃に急速昇温させる工程、次いで、および、
（ハ）５秒以内で３５０  〜４５０  ℃に急速昇温させ該温度にて１０〜１０００秒の滞留時間で該反応液を流通させる工程、
からなることを特徴とするバリウムフェライト微粒子の製造方法である。
【０００６】
以下、本発明をさらに詳細に説明する。（  イ）  工程にて、原料の各水溶液を均一に混合した時の温度は、１０〜６０℃であること、特に、１０〜３０℃の低温が好ましい。また、鉄化合物、バリウム化合物およびアルカリ性物質を水に直接溶解させて反応液として使用することもできることはいうまでもないが、その時の温度も６０℃を越さないことが重要である。次いで（  ロ）  工程では、熱水を流通型反応管の該反応液に供給して、および／または外部から該反応液を加熱して、５  秒以下、望ましくは  １秒以下で瞬時に２５０  〜３００  ℃、望ましくは２６０  〜２９０  ℃へ該反応液を急速昇温させてることによって、均一なバリウムフェライトの結晶核を発生させ、（  ハ）  工程へと導く。（  ハ）  工程では、バリウムフェライトの結晶核を生成した２５０  〜３００  ℃の該反応液に超臨界水を供給して、および／または外部から該反応液を加熱して、５秒以下、望ましくは１秒以下で瞬時に３５０  〜４５０  ℃、望ましくは３８０  〜４２０  ℃へ該反応液を急速昇温させ、該温度にて１０〜１０００秒の滞留時間となるように流通させてバリウムフェライトの結晶成長を行わせる。（  ハ）  工程を経た後は、該反応液を冷却・濾過し、フィルター上にバリウムフェライト微粒子を捕集する。本発明の本質は、（  イ）  工程から（  ロ）  工程と（  ハ  ）工程へと二段階で瞬時に急速昇温させることにある。
【０００７】
本発明で使用する原料を説明すると、鉄化合物は、塩化物、臭化物、沃化物、硝酸塩、硫酸塩、炭酸塩、有機酸塩および錯塩が挙げられ、例えば、塩化第１鉄、塩化第２鉄、臭化第１鉄、臭化第２鉄、沃化第１鉄、硝酸第１鉄、硝酸第２鉄、硫酸第１鉄、硫酸第２鉄および炭酸第１鉄がある。さらに、しゅう酸、酢酸、グリコール酸、グリセリン酸、乳酸、りんご酸、酒石酸、くえん酸、マンデル酸およびサリチル酸の鉄塩や鉄キレート錯体が挙げられる。これら鉄化合物は１種または２種類以上用いることができる。これら鉄化合物の中で、水への溶解性や装置の腐食性や経済性の観点から、硝酸第２鉄が最も好ましい。これら鉄化合物の濃度は、０．０００１〜１．０ｍｏｌ／リットル、好ましくは０．００１  〜０．２ｍｏｌ／リットルである。
【０００８】
本発明に使用するバリウム化合物は、ハロゲン化物、硝酸塩、炭酸塩、有機酸塩および錯塩が挙げられ、例えば、塩化バリウム、臭化バリウム、沃化バリウム、硝酸バリウムおよび炭酸バリウムがある。さらに、しゅう酸バリウム等の有機酸塩や分子内に水酸基やカルボキシル基を持った有機物とのキレート錯体が挙げられる。これらバリウム化合物は１種または２種以上用いることができる。これらバリウム化合物の中で、硝酸バリウムと沃化バリウムが、水への溶解性や装置の腐食性や経済性の観点からより好ましい。これらバリウム化合物の濃度は、０．０００１〜１．０ｍｏｌ／リットル、好ましくは０．００１  〜０．２ｍｏｌ／リットルである。
【０００９】
本発明に使用するアルカリ性物質は、アルカリ金属水酸化物、アルカリ土類水酸化物および第４級アンモニウム水酸化物が挙げられ、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化マグネシウム、水酸化バリウム、アンモニアおよび水酸化テトラメチルアンモニウムがある。これらアルカリ性物質は１種または２種以上用いることができる。前記のアルカリ性物質の中で水酸化カリウムと水酸化ナトリウムが好ましい。これらアルカリ性物質の濃度は、０．０００１〜１．０ｍｏｌ／リットル、好ましくは０．０１〜２．０  ｍｏｌ／リットルである。
【００１０】
本発明に使用する水溶液中の鉄化合物とバリウム化合物の比率としては、Ｆｅ／Ｂａ  の  ｍｏｌ比表示にて５／１  〜１／２  の範囲でバリウムフェライトが生成可能であるが、選択的にバリウムフェライト微粒子を生成させ、生成したバリウムフェライトの磁気特性のパラメータである飽和磁化σｓ  と保磁力Ｈｃ  の値を大きくするためにはＦｅ／Ｂａ  のモル比を２／１  〜１／２  とすることがが好ましい。
【００１１】
本発明に使用する水溶液としては、鉄化合物とバリウム化合物の合計の陰イオンの  ｍｏｌ数に対するアルカリ性物質の水酸化物イオンのｍｏｌ  数の比すなわちアルカリｍｏｌ  比（Ｒ）は、１以上で好ましくは１〜４である。
さらに、本発明に使用する代表的な反応装置を図１に従って説明する。ステンレス製の円管を流通型反応管とし、該反応管への送液は脈流のない高圧ポンプによる。系内の圧力は背圧弁１８により制御することができる。また、送液ライン及び反応管は、シースヒーターで加熱し、それらの温度はＰＩＤにて制御する。
（  イ）  工程にて、タンク１に入っている鉄化合物とバリウム化合物の混合水溶液をポンプ４により送液する。タンク２に入っているアルカリ性物質の水溶液はポンプ５により送液し、上記の混合水溶液と混合し反応液とする。この時の温度は温度計１０にて測定し１０〜６０℃にする。一方、（  ロ）  工程にて、タンク３からの純水は、ポンプ６により送液しシースヒータ８にて加熱して熱水とし（  イ）  工程の反応液に供給・混合する。この時の温度は温度計１１にて測定して２５０  〜３００  ℃にする。この温度がバリウムフェライトの結晶核発生温度である。その後直ちに（  ハ）  工程にて、タンク３の純水をポンプ７により送液しシースヒータ９にて加熱し熱水とし（  ロ）  工程の反応液に供給・混合する。この時の温度は温度計１２にて測定し３５０  〜４５０  ℃にする。反応管出口の温度は温度計１５にて測定し、その温度は、通常、温度計１２での温度になるように設定する。（  イ）  、（  ロ）  および（  ハ）  の工程を経て生成したバリウムフェライトを含有する水溶液は冷却器１６にて常温まで冷却後、フィルター１７で捕集する。バリウムフェライトを捕集後の水溶液は、背圧弁１８で常圧に戻し、容器１９に入る。
【００１２】
【作用】
（  イ）  工程にて１０〜３０℃の常温付近で充分混合することで不純物の生成を抑え、後続の（  ロ）  工程にて２５０  〜３００  ℃に急速に昇温させてバリウムフェライトの均質な結晶核を生成させ、さらに後続の（  ハ）  工程にて３５０  〜４５０  ℃に急速に昇温させた後、該温度でバリウムフェライトを結晶成長させるが、これら（  イ）  、（  ロ）  および（ハ）工程を連続して行うことにより粒度分布が小さく磁気特性の優れたバリウムフェライト粒子が得られる。
【００１３】
（イ）  工程にて、混合溶液の温度が６０℃を越えるとヘマタイトなどの不純物が生成し、バリウムフェライト以外の非晶質微粒子が生成する副反応が進行し、生成したバリウムフェライトの飽和磁化が低下する。１０℃未満へ混合溶液を冷却することも可能であるが、生成したバリウムフェライトの飽和磁化がさらに上昇することはない。  （ロ）  工程にて、５  秒を越す長い時間で２５０  〜３００  ℃へ昇温すると、バリウムフェライトの結晶核が不均質となりやすい。５  秒以下で急速に昇温しても２５０  ℃以下では、バリウムフェライトの結晶核の生成が充分でない。また３００  ℃を越すと、一部結晶化が進みバリウムフェライトの微細な結晶粒子が析出してくる。（  ハ）  工程にて、５  秒を越す長い時間で３５０  〜４５０  ℃へ昇温すると、バリウムフェライトの粒子径が不揃いとなる。５  秒以下で急速に昇温しても２５０  ℃以下では結晶成長が充分に進行しない。４５０  ℃を越すことも可能ではあるが加熱装置と反応装置の負担が大きくなり実用性に乏しくなる。滞留時間が１０秒未満では結晶成長が充分に進行せず、１０００秒を越す滞留時間を採用すると反応管が必要以上に長くなり効率的でない。
【００１４】
原料の反応水溶液のＦｅ／Ｂａ  の  ｍｏｌ比が５を越えるとヘマタイトが生成しやすくく、生成するバリウムフェライトの平均粒子径は約１μ以上にも達し好ましくない。Ｆｅ／Ｂａ  の  ｍｏｌ比が１／２  未満であるとＢａＯ  ・６Ｆｅ２Ｏ３からＢａＯ  ・２Ｆｅ２Ｏ３への相変化が進行しやすくなるので好ましくない。
原料の反応水溶液のアルカリのｍｏｌ  比Ｒが１未満の場合、バリウムフェライトはほとんど生成しない。また、Ｒが大きくなる程、生成する粒子数は増大し、生成するバリウムフェライトの平均粒径は小さくなる。Ｒは４を越えることも可能であるが、それ以上アルカリ性物質を増加してもバリウムフェライトの平均粒径は小さくはならない。
【００１５】
なお、水熱合成法は、加水分解などによって生成した金属水酸化物の沈澱を水あるいは水溶液と共に高温高圧処理することにより酸化物微粒子を生成する手法であるが、高温高圧の溶液を用いているので、常温常圧より反応が速く、生成物の結晶性および均一性が優れている。本発明の方法は、水熱合成法の一般的な特徴に加えて、▲１▼連続プロセスであり滞留時間が非常に短く生産効率が高い、▲２▼管型反応器であり外熱式加熱が可能であり装置がコンパクトになる、▲３▼反応温度、圧力、金属塩濃度、滞留時間、アニオン種などにより生成粒子の粒径や形状を変えることができる、▲４▼超臨界水は他のガスと均一な混合ができるので、原料水溶液と共に反応性のガスを反応管に導入して反応雰囲気の制御ができるなどの利点を持っている。
【００１６】
【実施例】
実施例１
図１に従って説明する。濃度０．０１ｍｏｌ／リットルの硝酸第２鉄水溶液と濃度０．００５ｍｏｌ／  リットルの硝酸バリウム水溶液からなる混合液（タンク１）を３．０  ｍｌ／  分の流量でポンプ４より３０ＭＰａ  に加圧・送液した。一方、ポンプ５  より０．１６ｍｏｌ／リットルの水酸化カリウム水溶液（  タンク２）を３．０ｍｌ／分の流量でポンプ５  より３０ＭＰａ  に加圧・送液し、両者の水溶液を混合した。混合直後の水溶液の温度を温度計１０で測定したところ２５℃であった。なお、混合水溶液のＦｅ／Ｂａ  の  ｍｏｌ比は２であり、硝酸第２鉄と硝酸バリウムに含まれる硝酸イオンの合計量に対する水酸化カリウム中の水酸化物の  ｍｏｌ比（Ｒ）  は４であった。
【００１７】
ポンプ６  より３０ＭＰａ  に加圧した純水を６．０ｍｌ  ／  分の流量で送液し、送液ラインのヒーター８  にて加熱調節して、温度計１１が  ２８０℃（  バリウムフェライトの結晶核発生温度に対応）を示すようにした。一方、ポンプ  ７より３０ＭＰａ  に加圧した純水を水６．０ｍｌ  ／  分の流量で送液し、送液ラインのシースヒーター９  にて加熱調節して、温度計１２が  ３８０℃を示すようにし、反応液と混合される。これら混合された反応液は、ＳＵＳ３１６製の円管（外形  ３／８インチ、厚さ１．６５ｍｍ）  に連続供給される。純水の送液ラインおよび流通型反応器はシースヒーター（外形１．６ｍｍ）により加熱し、その温度は  ＰＩＤ制御した。流通型反応管内では、圧力３０ＭＰａ  、温度３８０  ℃および滞留時間５３秒の条件にて反応させた。流通型反応管からの流出液は、２  重管型の冷却管１６を通して常温まで冷却し、背圧弁１８の前に設置してあるインラインフィルター１７（  孔径０．１  μｍ）にて生成粒子を捕集した。これらの実験条件は、後述の実施例２および比較例  １〜３  も含めて一括して第１表に示した。なお、第１表にて、核発生温度は、バリウムフェライトの結晶核発生温度の略称である。
【００１８】
実施例２
図  １の温度計１１が３００  ℃（バリウムフェライトの結晶核発生温度に対応）を示すように昇温させた以外は実施例１と同様な方法で行った。
比較例１
実施例と同様に図１に従って説明する。濃度０．０１ｍｏｌ／リットルの硝酸第２鉄水溶液と濃度０．００５ｍｏｌ／  リットルの硝酸バリウム水溶液からなる混合液（タンク１）を３．０  ｍｌ／  分の流量でポンプ４  より３０ＭＰａ  に加圧・送液した。一方、ポンプ５  より０．１６ｍｏｌ／リットルの水酸化カリウム水溶液（  タンク２）を３．０ｍｌ／分の流量でポンプ５  より３０ＭＰａ  に加圧・送液し、両者の水溶液を混合した。混合直後の水溶液の温度を温度計１０で測定したところ２５℃であった。なお、混合水溶液のＦｅ／Ｂａ  の  ｍｏｌ比および硝酸第２鉄と硝酸バリウムに含まれる硝酸イオンの合計量に対する水酸化カリウム中の水酸化物の  ｍｏｌ比は実施例１  と同一である。ポンプ  ６は停止したままで、ポンプ７  より３０ＭＰａ  に加圧した純水を水６．０ｍｌ  ／  分の流量で送液し、送液ラインのシースヒーター９  にて加熱調節して、温度計１２が  ３８０℃を示すようにして反応液と混合し、流通型反応管に送液した。流通型反応管内では、実施例１  と同一条件で反応させ、実施例１と同様に生成粒子を捕集した。
【００１９】
比較例２
図１に従って説明する。濃度０．０１ｍｏｌ／リットルの硝酸第２鉄水溶液と濃度０．００５ｍｏｌ／  リットルの硝酸バリウム水溶液からなる混合液（タンク１）を３．０  ｍｌ／  分の流量でポンプ４  より３０ＭＰａ  に加圧・送液した。一方、ポンプ５  より０．１６ｍｏｌ／リットルの水酸化カリウム水溶液（  タンク２）を３．０ｍｌ／分の流量でポンプ５  より３０ＭＰａ  に加圧・送液し、両者の水溶液を混合した。ただし、水酸化カリウム水溶液の送液ラインをシースヒーター（  図１  には図示せず）にて加熱し、混合直後の水溶液の温度を温度計１０で測定して２００  ℃とした。なお、混合水溶液のＦｅ／Ｂａ  の  ｍｏｌ比および硝酸第２鉄と硝酸バリウムに含まれる硝酸イオンの合計量に対する水酸化カリウム中の水酸化物の  ｍｏｌ比は実施例１と同一である。
【００２０】
続いてポンプ  ６は停止したままで、ポンプ  ７より３０ＭＰａ  に加圧した純水を６．０ｍｌ  ／  分の流量で送液し、送液ラインのシースヒーター９  にて加熱調節して、温度計１２が３８０  ℃を示すようにして反応液と混合し、流通型反応管に送液した。流通型反応管内では、実施例１と同一条件で反応させ、実施例１と同様に生成粒子を捕集した。
【００２１】
比較例３
濃度０．０１ｍｏｌ／リットルの硝酸第２鉄水溶液と濃度０．００５ｍｏｌ／  リットルの硝酸バリウム水溶液からなる混合液  ２０ｍｌ  と０．１６ｍｏｌ／リットルの水酸化カリウム水溶液  ２０  ｍｌを２５℃にて混合した。この混合水溶液  ９ｍｌを実効内容積９ｍｌ  のＳＵＳ３０４製反応器に充填・密栓した後、３８０  ℃に加熱した金属塩浴に浸漬した。１４５  秒で３８０  ℃に到達したが、そのまま６０秒間金属塩浴に浸漬した後、その反応器を取り出し、水冷して生成粒子を捕集した。
【００２２】
評価方法
実施例と比較例で得られた粒子の粒子径は、透過型電子顕微鏡の写真撮影により測定した。同時に粒度分布も観察した。また、粉末の磁気特性は、磁気天秤により、保磁力Ｈｃと飽和磁化σｓを測定した。なお、粉末Ｘ線回折法では、いずれの粒子もバリウムフェライト（ＢａＯ・６Ｆｅ２Ｏ３）  の結晶のピークしか検出されなかった。以上の測定結果とまとめて第２表に示した。
【００２３】
【表１】
0003628354.tif 000002
【００２４】
【表２】
0003628354.tif 000003
第２表から次のことがわかる。すなわち、実施例１及び実施例２では、粒子の粒度分布が小さく、しかも高い保磁力と高い飽和磁化を持ち、優れたバリウムフェライト粒子であることがわかる。一方、２５℃から一段階で急速昇温した比較例１（  核発生温度  ３８０  ℃）では、飽和磁化は高いが、大きい粒子と小さい粒子が混在し粒度分布が大きい。また、比較例２及び比較例３では、ヘマタイトと推定される５０ｎｍの球状粒子が混在しており、粒度分布が大きい。混合温度が２００  ℃である比較例２では、飽和磁化が低くしかも粒度分布が大きくなることがわかる。混合温度が２５℃であっても、３８０  ℃に到達する時間が１４５  秒と長い比較例３では、飽和磁化が低くしかも粒度分布が大きくなり、急速昇温により均質な結晶核を生成させることが重要であることがわかる。
【００２５】
【発明の効果】
本発明は、流通型反応管を用いて、反応水溶液を室温付近から水の亜臨界温度ないしは超臨界温度に二段階で瞬間的に急速昇温することにより、六方晶のバリウムフェライト（ＢａＯ  ・６Ｆｅ２Ｏ３）微粒子を連続的に製造する方法である。本発明の方法によれば、非平衡状態から短時間に加水分解と晶析が同時に起こり、均質な微粒子が得られるので、磁性特性の優れたバリウムフェライト微粒子が製造できる。六方晶のバリウムフェライト微粒子は、その形状が六角板状で板面に対し垂直な方向に磁化容易軸を持つので、この粒子の板面を基体面と平行に並べると、垂直磁気記録媒体を作ることができる。また、塗布媒体であるため量産に適するほか、耐久性など信頼性確保の面でも従来の技術が応用できる。従って、本発明の工業的意義は極めて大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】流通型反応管を用いた本発明の装置概略図である。
【図２】実施例１で得られたバリウムフェライト（ＢａＯ・６Ｆｅ２  Ｏ３  ）の粒子構造を示す電子顕微鏡写真。倍率は８万倍。
【図３】実施例２で得られたバリウムフェライト（ＢａＯ・６Ｆｅ２  Ｏ３  ）の粒子構造を示す電子顕微鏡写真。倍率は８万倍。
【図４】比較例１で得られたバリウムフェライト（ＢａＯ・６Ｆｅ２  Ｏ３  ）の粒子構造を示す電子顕微鏡写真。倍率は８万倍。
【図５】比較例２で得られたバリウムフェライト（ＢａＯ・６Ｆｅ２  Ｏ３  ）の粒子構造を示す電子顕微鏡写真。倍率は８万倍。
【図６】比較例３で得られたバリウムフェライト（ＢａＯ・６Ｆｅ２  Ｏ３  ）の粒子構造を示す電子顕微鏡写真。倍率は８万倍。
【符号の説明】
１    鉄化合物とバリウム化合物の混合水溶液が入っているタンク
２    アルカリ性物質の水溶液が入っているタンク
３    純水タンク
４    高圧無脈流ポンプ
５    高圧無脈流ポンプ
６    高圧無脈流ポンプ
７    高圧無脈流ポンプ
８    送液ラインのシースヒーター
９    送液ラインのシースヒーター
１０        反応液混合部の温度計
１１      第１段目急速昇温部の温度計
１２      第２段目急速昇温部の温度計
１３        反応管のシースヒーター
１４    反応管
１５      反応管出口部の温度計
１６      外部水冷型冷却器
１７      フィルター（２個を切り換える）
１８        背圧弁
１９      生成物を捕集した後の水溶液をうける容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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