(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースに対して平行なＶ字溝を有するブロックの該Ｖ字溝に配置された光ファイバを有し、前記ベースと平行に光を出す入射部と、
前記入射部と対向して配置され、前記ベースに対して平行なＶ字溝を有するブロックの該Ｖ字溝に配置された光ファイバを有し、前記入射部側からの光を入光する光ファイバを有する出射部と、
前記入射部と前記出射部との間の側方に配置され、回動自在のチルトミラーを含むミラーユニットと、
前記ミラーユニットのチルトミラーのチルト角を連続的に変化させるチルトミラー制御部と、
前記入射部と前記出射部との間に配置され、前記入射部からの光を前記チルトミラーに反射する第１の反射面、及び前記チルトミラーで反射された光を前記出射部に向けて反射する第２の反射面を有する反射ユニットと、を具備し、
前記ミラーユニットは、
上面に反射面が形成された可動部の一部がヒンジ部でミラー基板と接続され、そのヒンジを中心に回転するチルトミラーと、前記ミラー基板上に形成された電極とを有するものであり、
前記チルトミラー制御部は、前記チルトミラーと前記ミラー基板上の電極との間に電圧を印加する可変電圧源であり、印加電圧を変化することによって、前記チルトミラーを回転させるものであることを特徴とする光アッテネータ。
【請求項２】
ベースに対して平行なＶ字溝を有するブロックの該Ｖ字溝に配置された光ファイバを有し、前記ベースと平行に光を出す入射部と、
前記入射部と対向して配置され、前記ベースに対して平行なＶ字溝を有するブロックの該Ｖ字溝に配置された光ファイバを有し、前記入射部側からの光を入光する光ファイバを有する出射部と、
前記入射部と前記出射部との間の側方に配置され、前記入射部及び出射部との間隔を変化させるシフトミラーを含むミラーユニットと、
前記ミラーユニットのシフトミラーの位置を変化させるシフトミラー制御部と、
前記入射部と前記出射部との間に配置され、前記入射部からの光を前記シフトミラーに反射する第１の反射面、及び前記シフトミラーで反射された光を前記出射部に向けて反射する第２の反射面を有する反射ユニットと、を具備し、
前記ミラーユニットは、
上面に反射面が形成された可動部の外周部がミラー基板に上下動自在に保持されたシフトミラーと、前記ミラー基板上に形成された電極とを有するものであり、
前記シフトミラー制御部は、前記シフトミラーと前記ミラー基板上の電極との間に電圧を印加する可変電圧源であり、印加電圧を変化することによって、前記シフトミラーを回転させるものであることを特徴とする光アッテネータ。
【請求項３】
ベースに対して平行なＶ字溝を有するブロックの該Ｖ字溝に配置された光ファイバを有し、前記ベースと平行に光を出す入射部と、
前記入射部と対向して配置され、前記ベースに対して平行なＶ字溝を有するブロックの該Ｖ字溝に配置された光ファイバを有し、前記入射部側からの光を入光する光ファイバを有する出射部と、
前記入射部と前記出射部との間の側方に配置され、前記入射部及び出射部との間隔を変化させるシフトミラーを含むミラーユニットと、
前記ミラーユニットのシフトミラーの位置を変化させるシフトミラー制御部と、
前記入射部と前記出射部との間に配置され、前記入射部からの光を前記シフトミラーに反射する第１の反射面、及び前記シフトミラーで反射された光を前記出射部に向けて反射する第２の反射面を有する反射ユニットと、を具備し、
前記ミラーユニットは、
基板の上部に配置され、上面に反射面を有するシフトミラーと、
前記シフトミラーと基板との間に保持され、前記シフトミラーを上下動させる圧電アクチュエータと、具備するものであり、
前記シフトミラー制御部は、
前記圧電アクチュエータに電圧を加えることによって前記シフトミラーをその面に平行に上下動させることを特徴とする光アッテネータ。
【請求項４】
前記入射部及び前記出射部は、光ファイバと、その先端に設けられ光ファイバからの出射光をコリメートするレンズ部であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の光アッテネータ。
【請求項５】
前記レンズ部は、ボールレンズであり、前記各光ファイバの先端に取付けられていることを特徴とする請求項４記載の光アッテネータ。
【請求項６】
前記反射ユニットは、その下面に断面Ｖ字形状の前記第１，第２の反射面を有する反射ユニットであり、
前記第１の反射面は前記入射部に向けて形成され、前記第２の反射面は前記出射部に向けて形成されたものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の光アッテネータ。
【請求項７】
前記反射ユニットは、その上面に断面Ｖ字形状の前記第１，第２の反射面を有するガラスブロックから成る反射ユニットであり、
前記第１の反射面は前記入射部に向けて形成され、前記第２の反射面は前記出射部に向けて形成されたものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の光アッテネータ。
【請求項８】
前記ベースに請求項１〜７のいずれか１項記載の光アッテネータを複数並列に配置したことを特徴とする光アッテネータアレー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光ネットワークシステムの分岐ノード等に用いられ、光信号のレベルを調整するための光アッテネータ及び光アッテネータアレーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光通信システムにおいて、光波長多重分割及び伝送技術の進展に伴い多様で柔軟な光伝送システムが要求されている。光伝送システムにおいては、任意のノードで波長多重された光信号のレベルを調整したり、波長多重光の光レベルを揃えることが求められている。このような用途に減衰率が可変できる光アッテネータが用いられる。従来の光アッテネータとしては、例えばＵＳＰ6,137,941 に示されるように、投光用の光ガイドと受光用の光ガイドとをレンズに向けて保持し、その焦点位置に設けられたミラーの角度を変えて、投光した光が受光用光ガイドに加わる光軸を変化させ、減衰率を変化させるようにしたものが知られている。
【０００３】
又従来の他の光アッテネータとして、分布型のＮＤフィルタを用いた光アッテネータが知られている。分布型ＮＤフィルタは透明のガラス基板にクロムやインコネルといった光吸収率の大きい金属膜を長手方向に分布を持たせて蒸着したものである。この光アッテネータはＮＤフィルタを光軸に対して略垂直に配置し、分布方向にＮＤフィルタを移動させ、光が通過する金属膜の厚みの変化によって光透過率を可変して減衰率を変化させるようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
最近の波長多重伝送技術の進歩に伴い光ファイバを伝送されてくる情報が各波長の信号として分配（クロスコネクト）されたり、選択され、又は新たな信号がアドドロップされたりして必要な経路に伝送されていく。このようなノードでは、合分波器や光スイッチ，光アッテネータ等の光部品が用いられる。これらの部品は極めて低損失であることが求められている。又これに加えて小型であり、且つ多チャンネル化も容易にできる安価な光部品が求められている。
【０００５】
しかしながら光軸をずらせて結合率を調整することによって減衰率を調整する従来の方法によれば、小型の光アッテネータを製造することが難しい。又光アッテネータを多数配列した光アッテネータアレーを構成することが難しいという欠点があった。又金属膜を分布したＮＤフィルタをその分布方向にスライドさせて減衰率を変化させる光アッテネータの場合には、ＮＤフィルタやそれを駆動するモータの大きさにより素子の大きさが制限され、小型化が難しいという欠点があった。又モータを利用して移動させているため、可変速度に制限があるという欠点があった。
【０００６】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、小型で量産性に優れた光アッテネータ及び光アッテネータアレーを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本願の請求項１の光アッテネータは、ベースに対して平行なＶ字溝を有するブロックの該Ｖ字溝に配置された光ファイバを有し、前記ベースと平行に光を出す入射部と、前記入射部と対向して配置され、前記ベースに対して平行なＶ字溝を有するブロックの該Ｖ字溝に配置された光ファイバを有し、前記入射部側からの光を入光する光ファイバを有する出射部と、前記入射部と前記出射部との間の側方に配置され、回動自在のチルトミラーを含むミラーユニットと、前記ミラーユニットのチルトミラーのチルト角を連続的に変化させるチルトミラー制御部と、前記入射部と前記出射部との間に配置され、前記入射部からの光を前記チルトミラーに反射する第１の反射面、及び前記チルトミラーで反射された光を前記出射部に向けて反射する第２の反射面を有する反射ユニットと、を具備し、前記ミラーユニットは、上面に反射面が形成された可動部の一部がヒンジ部でミラー基板と接続され、そのヒンジを中心に回転するチルトミラーと、前記ミラー基板上に形成された電極とを有するものであり、前記チルトミラー制御部は、前記チルトミラーと前記ミラー基板上の電極との間に電圧を印加する可変電圧源であり、印加電圧を変化することによって、前記チルトミラーを回転させるものであることを特徴とするものである。
【０００８】
本願の請求項２の光アッテネータは、ベースに対して平行なＶ字溝を有するブロックの該Ｖ字溝に配置された光ファイバを有し、前記ベースと平行に光を出す入射部と、前記入射部と対向して配置され、前記ベースに対して平行なＶ字溝を有するブロックの該Ｖ字溝に配置された光ファイバを有し、前記入射部側からの光を入光する光ファイバを有する出射部と、前記入射部と前記出射部との間の側方に配置され、前記入射部及び出射部との間隔を変化させるシフトミラーを含むミラーユニットと、前記ミラーユニットのシフトミラーの位置を変化させるシフトミラー制御部と、前記入射部と前記出射部との間に配置され、前記入射部からの光を前記シフトミラーに反射する第１の反射面、及び前記シフトミラーで反射された光を前記出射部に向けて反射する第２の反射面を有する反射ユニットと、を具備し、前記ミラーユニットは、上面に反射面が形成された可動部の外周部がミラー基板に上下動自在に保持されたシフトミラーと、前記ミラー基板上に形成された電極とを有するものであり、前記シフトミラー制御部は、前記シフトミラーと前記ミラー基板上の電極との間に電圧を印加する可変電圧源であり、印加電圧を変化することによって、前記シフトミラーを回転させることを特徴とするものである。
【０００９】
本願の請求項３の光アッテネータは、ベースに対して平行なＶ字溝を有するブロックの該Ｖ字溝に配置された光ファイバを有し、前記ベースと平行に光を出す入射部と、前記入射部と対向して配置され、前記ベースに対して平行なＶ字溝を有するブロックの該Ｖ字溝に配置された光ファイバを有し、前記入射部側からの光を入光する光ファイバを有する出射部と、前記入射部と前記出射部との間の側方に配置され、前記入射部及び出射部との間隔を変化させるシフトミラーを含むミラーユニットと、前記ミラーユニットのシフトミラーの位置を変化させるシフトミラー制御部と、前記入射部と前記出射部との間に配置され、前記入射部からの光を前記シフトミラーに反射する第１の反射面、及び前記シフトミラーで反射された光を前記出射部に向けて反射する第２の反射面を有する反射ユニットと、を具備し、前記ミラーユニットは、基板の上部に配置され、上面に反射面を有するシフトミラーと、前記シフトミラーと基板との間に保持され、前記シフトミラーを上下動させる圧電アクチュエータと、具備するものであり、前記シフトミラー制御部は、前記圧電アクチュエータに電圧を加えることによって前記シフトミラーをその面に平行に上下動させることを特徴とするものである。
【００１２】
本願の請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか１項の光アッテネータにおいて、前記入射部及び前記出射部は、光ファイバと、その先端に設けられ光ファイバからの出射光をコリメートするレンズ部であることを特徴とするものである。
【００１３】
本願の請求項５の発明は、請求項４項の光アッテネータにおいて、前記レンズ部は、ボールレンズであり、前記各光ファイバの先端に取付けられていることを特徴とするものである。
【００１５】
本願の請求項６の発明は、請求項１〜３のいずれか１項の光アッテネータにおいて、前記反射ユニットは、その下面に断面Ｖ字形状の前記第１，第２の反射面を有する反射ユニットであり、前記第１の反射面は前記入射部に向けて形成され、前記第２の反射面は前記出射部に向けて形成されたことを特徴とするものである。
【００１６】
本願の請求項７の発明は、請求項１〜３のいずれか１項の光アッテネータにおいて、前記反射ユニットは、その上面に断面Ｖ字形状の前記第１，第２の反射面を有するガラスブロックから成る反射ユニットであり、前記第１の反射面は前記入射部に向けて形成され、前記第２の反射面は前記出射部に向けて形成されたことを特徴とするものである。
【００１７】
本願の請求項８の発明は、前記ベースに請求項１〜７のいずれかの光アッテネータを複数並列に配置した光アッテネータアレーである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の実施の形態１による光アッテネータ部を４つ並列に配置した４チャンネルの光アッテネータアレーを示す斜視図であり、図２はその断面図である。これらの図に示すように、本実施の形態による光アッテネータアレーはベース１上に重ねてプリント基板２、ミラー基板３が固定されており、この上面の左右にスペーサ４，５が設けられる。以後の説明を容易にするため、ベース１、プリント基板２、ミラー基板３はＸ−Ｙ平面に平行な面に配置されているものとする。スペーサ４の上部には図３に断面図を示すように、複数のＶ字形の溝を有するブロック６ａが配置されている。又スペーサ５の上部には図４に断面図を示すように、ブロック６ａと対応する位置にＶ字形の溝を有するブロック６ｂが配置されている。ブロック６ａにはＸ軸方向に向いたＶ字形の溝７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ・・・がＹ軸に沿って並列に形成されている。ブロック６ｂにも同様にＸ軸方向に向いたＶ字形溝８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ・・・が設けられる。
【００１９】
さてブロック６ａのＶ字形溝７ａ，７ｂ・・・にちょうど高さが一致する光ファイバ１１ａ，１１ｂ・・・が入射用の光ファイバとして平行に配置されており、この先端部分にはコリメートレンズ１２ａ，１２ｂ・・・が一体に形成されている。又これと対称な位置にあるブロック６ｂのＶ字形溝８ａ，８ｂ・・・内に、ちょうど高さが一致する光ファイバ１３ａ，１３ｂ・・・が出射用の光ファイバとして平行に配置されており、この先端部分にはコリメートレンズ１４ａ，１４ｂ・・・が一体に形成されている。光ファイバ１１ａ，１１ｂ・・・とその先端のコリメートレンズ１２ａ，１２ｂ・・・とは入射部を構成しており、光ファイバ１３ａ，１３ｂ・・・とその先端のコリメートレンズ１４ａ，１４ｂ・・・とは出射部を構成している。
【００２０】
ここで光ファイバ１１ａ, １３ａとコリメートレンズ１２ａ，１４ａは、ベース１に垂直なＸ−Ｚ平面と平行な面内に形成された第１チャンネルの光アッテネータの入出射部を構成している。又光ファイバ１１ｂ, １３ｂとコリメートレンズ１２ｂ，１４ｂは、第２チャンネルの光アッテネータの入出射部を構成しており、以下同様である。このように入出射部をブロック６ａ，６ｂのＶ字形溝に挿入して固定しておくことによって、光軸の位置決めを微調整することなく正確に行うことができる。
【００２１】
そしてブロック６ａ，６ｄの上部にはスペーサ９ａ，９ｂを介してこれらのブロックに跨るように反射ユニット２０が設けられる。反射ユニット２０は図１，図２に示すように、直方体状の部材であり、下面にＶ字形の反射面が設けられる。反射ユニット２０は、図５に示すように、光ファイバ１１、コリメートレンズ１２からの光が入射される第１の反射面Ｍ１と、これと対称な第２の反射面Ｍ２が設けられる。ここで第１の反射面Ｍ１は入射部の光を反射する入射側の反射面であり、第２の反射面Ｍ２は後述するチルトミラーからの光を反射する出射側の反射面である。そしてベースと平行な水平線と反射面Ｍ１及びＭ２との成す角をθとする。
【００２２】
又ミラー基板３の上面には光軸Ｌ１ａ, Ｌ２ａを含むベースに垂直な面と交わる位置、及び光軸Ｌ１ｂ, Ｌ２ｂを含むベースに垂直な面と交わる位置・・・にミラーユニット２１ａ，２１ｂ・・・が配置される。以下第１の例によるミラーユニット２１の周辺部分について図６に基づいて説明する。ミラーユニット２１はミラー基板３の上面に、図示のように対称に第１, 第２の電極２２ａ，２２ｂが形成されている。又その側方にはスペーサ２３ａ，２３ｂを介してチルトミラーの保持部となる第３, 第４の電極２４ａ，２４ｂが配置されている。これらの電極からヒンジ２５を介してチルトミラー２６が回動自在に保持されている。ヒンジ２５とチルトミラー２６の中心を貫くラインは回動軸となっており、この回動軸に沿ってミラー基板３の第１, 第２の電極２２ａ，２２ｂが分断されるようになっている。この回動軸はＹ軸に平行な軸とする。チルトミラー２６は例えば直径約９０μｍの円形又は六角形状の部材であり、その表面はミラーであり、且つ電極ともなっている。そして図７に示すように、チルトミラー２６に電気的に接続されている電極２４ａ，２４ｂと電極２２ａ，２２ｂの一方との間に、可変電圧源２７を介して電圧が印加できるように構成される。尚電極２４ａ，２４ｂはチルトミラー２６を保持しつつ電圧を供給するためのものであり、一方のみを電極としてもよい。
【００２３】
図７（ａ）は電圧を印加しない状態であり、（ｂ）はある電圧を印加した状態である。図７（ｂ）に示すように電圧を印加することによって静電気力がチルトミラー２６と一方の電極２２ａとの間に働き、チルトミラー２６をヒンジ２５に沿って回動させることができる。そしてこの電圧を変化させることによってチルト角φを外部の電圧で設定することができる。ここで可変電圧源２７は、チルトミラーのチルト角φを連続的に変化させるチルトミラー制御部を構成している。
【００２４】
更に回動可能なミラーユニットとして、例えばＭＥＭＳオプティカル社のＳＥＲＩＥＳ８００１を用いてもよい。
【００２５】
次に本実施の形態の動作原理について、図５及び図８を用いて説明する。以下では第１チャンネルについて説明するが、他のチャンネルについても同様である。まず反射基板２０の下方の回動自在のチルトミラー２６ａは、図５に示すようにベース１と平行な状態にあるとする。このとき光ファイバ１１ａからの光は、コリメートレンズ１２ａより光軸Ｌ１ａを通って反射ユニット２０の第１の反射面Ｍ１に入射する。この反射面Ｍ１とベースに平行な光軸Ｌ１ａとの角度はθであり、反射面Ｍ１で反射されてチルトミラー２６ａに加わる。ここでチルトミラー２６ａに対する入射角度は９０°−２θとなり、この光はチルトミラー２６ａで反射される。この反射光の光軸は水平面に対して２θ傾いており、反射ユニット２０の反射面Ｍ２に反射される。この反射面Ｍ２の水平面との角度も反射面Ｍ１と同じくθであるため、反射面Ｍ２への入射角は９０°−θとなる。従って反射面Ｍ２で反射された光は図示のように水平となって、出射部であるコリメートレンズ１４ａ，光ファイバ１３ａに加わることとなる。
【００２６】
さて図８に示すように、チルトミラー２６ａをチルト角φ傾けた第２の状態について説明する。この場合には、光ファイバ１１ａからの光は反射面Ｍ１で反射した後、チルトミラー２６ａに加わる。このときベース１に対して垂直なＺ軸とその反射光との角度は９０°−２θであり、チルトミラー２６ａへの入射角は９０°−２θ＋φとなる。この光はチルトミラー２６ａによって再び反射される。従ってＺ軸とその反射光との間の角度は９０°−２θ＋２φとなる。この反射光は第２の反射面Ｍ２に入射される。従って反射面Ｍ２で再び反射されるが、元の光軸Ｌ２ａよりわずかに上方にずれるため、光ファイバ１３ａに入射する光の光量が減少する。従ってチルトミラー２６ａのチルト角φを連続的に変化させることによって、減衰率を可変することができる。
【００２７】
ここで例えば反射面Ｍ１，Ｍ２の水平面の傾き角θを２２．５°、コリメートレンズ１２ａと反射ユニット２０の反射点までの間隔Ｘ１を０．７ｍｍ、又第２の反射面Ｍ２の光軸Ｌ２ａ上での反射点からコリメートレンズ１４ａまでの間隔Ｘ２を０．７ｍｍ、光軸Ｌ１ａ，Ｌ２ａとチルトミラーの入射点までの間隔Ｈを１ｍｍとする。図９はこの場合のチルト角φに対する減衰率の変化を示すグラフである。
【００２８】
この場合は光が入射してから出射するまでの間隔（ワーキングディスタンス）は約４．２ｍｍとなる。従って光の空間での進行距離であるワーキングディスタンスを極めて小さくすることができる。このためレンズファイバやボールレンズファイバ等を採用することができ、減衰率を小さくすることができる。このためチルトミラーとして直径の小さい小型のミラーを使用することができる。チルトミラーが小型であれば低電圧駆動で高速に回動を行うことができるため、減衰率の調整速度を高速にすることができる。
【００２９】
尚、上記の説明は２本の光ファイバ１１ａ，１３ａの間の１チャンネル分の光アッテネータについてのものである。図１, 図２に示すように光ファイバの対が横方向に多数配列されているアレー型の光アッテネータにあっては、各チルトミラー２６ａ, ２６ｂ, ２６ｃ，２６ｄを用いることによって４チャンネルの光アッテネータアレーを実現することができる。又４チャンネルに限らず、任意の自然数をｎとすると、ｎ×２の光ファイバを並列に配列することにより、ｎチャンネルの光アッテネータアレーを実現することができる。
【００３０】
尚前述した反射ユニット２０は対となる光ファイバの光軸の上部に配置されており、その下面が反射面Ｍ１，Ｍ２となっているが、図１０に示すように反射ユニット４０を光軸Ｌ１，Ｌ２の間に配置するようにしてもよい。この場合には反射ユニット４０はガラスブロックとし、その上面を第１，第２の反射面Ｍ１，Ｍ２とする。反射ユニット４０の光ファイバ１１ａに対向する面は垂直面として無反射コーティングを施しておき、同様に光ファイバ１３ａに対向する面も垂直面として無反射コーティングを施しておく。更に反射ユニット４０の下面にも無反射コーティングを施しておく。この場合にも反射ユニット４０の下方にチルトミラーを配置することによって同様の機能を達成することができる。この場合には光ファイバ１１ａから反射ユニット４０への入射、及び反射ユニット４０から光ファイバ１３ａへの出射は垂直な入出射となるが、チルトミラーへの入射及びチルトミラーからの反射については、光軸が直角でないため屈折する。従って反射ユニットの反射面Ｍ１，Ｍ２の角度θは屈折率を考慮した角度とする必要がある。
【００３１】
次に本発明の実施の形態２について説明する。この実施の形態では図１１に示すようにチルトミラーに代えて、シフトミラー５１を用いたものであり、その他の構成については前述した実施の形態１と同様であるので詳細な説明を省略する。この実施の形態では、実施の形態１のミラーユニット２１ａ，２１ｂ・・・が配置される位置にミラーユニット５１ａ，５１ｂ・・・を配置している。ミラーユニット５１ａ，５１ｂ・・・はＸＹ平面に平行にシフトミラーを上下動させるようにしたものであり、そのシフト量は外部からの電圧で制御可能としている。図１１に示すようにミラーユニット５１ａのミラーを上下動させることができれば反射光の位置は基準の位置に比べて平行にシフトし、コリメートレンズ１４ａに入射する光の光軸が変化する。
【００３２】
ミラーユニット５１ａ，５１ｂ・・・は同一の構造であるので、マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）を用いたミラーユニット５１ａの一例について図１２、図１３を用いて説明する。ミラーユニット５１ａにおいては、ミラー基板３の上面の中心位置に、電極５２が形成されている。その側方には四隅のスペーサ５３ａ, ５３ｃにヒンジ５５が保持される。中央位置形成されたミラー５６の下方には前述した電極５２が形成されている。シフトミラーは直径が入射光のビームサイズより若干大きな円形または多角形状の部材であり、その表面はミラーであり、且つ電極ともなっている。そして図１３に示すように、シフトミラー５６と基板上の電極５２との間に可変電圧源５７を介して電圧が印加できるように構成される。ここで電圧を印加することによって電圧に応じて中央部のシフトミラー５６が基板に平行に上下動する。この上下動のシフト量をΔとすると、図１１に示されるように同一の寸法の場合にはシフト量Δに応じて光ファイバ１３ａへの入射量が変化することとなる。そしてシフト量Δを電圧に応じて変化させれば、光軸の軸ずれ量も変化し、連続的に減衰量を変化させることができる。図１４は図５と同一の寸法のミラーユニットの場合に、シフト量Δに対する減衰量の変化を示すものである。このように電圧によってシフト量Δを変化させることにより、減衰量を連続して変化させることができる。
【００３３】
又このＭＥＭＳミラーに代えて、ミラー基板に圧電アクチュエータを設け、その上部にシフトミラーを設けてもよい。この場合にも圧電アクチュエータに加える電圧を変化させることによって、ＸＹ平面に平行にミラー面を上下動させることができる。従って印加電圧によりシフト量を変化させて、減衰率を変化させることができる。
【００３４】
又前述の実施の形態では図１５（ａ）に示すように、各光ファイバの先端にレンズファイバをコリメートレンズとして取り付けたものについて説明している。これに代えて図１５（ｂ）に示すように、光ファイバの先端に小型ボールレンズのコリメータ６１ａ, ６２ａをつけた光ファイバとしてよい。この場合にはワーキングディスタンスはレンズファイバより比べて長くすることができる。又通常の非球面レンズ、ＧＲＩＮレンズ、あるいはマイクロレンズアレーなどをコリメートレンズとして各光ファイバを接続したコリメータを採用しても良い。
【００３５】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本願の請求項１〜８の発明によれば、入出力光を短距離で結合することができ、小型で安価の光アッテネータを実現することができる。又光軸合わせが容易で信頼性の高い光アッテネータとすることができる。更に入出射部をＶ字形溝を有するブロック内で保持することによって、入出射部の位置決めを容易に行うことができる。又この光アッテネータをアレー状に形成することによって、ｎチャンネルの光アッテネータアレーを容易に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１による光アッテネータの全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１による光アッテネータの主要部の構成を示す断面図である。
【図３】本実施の形態の一方のブロックとその上部に配置される光ファイバを示す断面図である。
【図４】本実施の形態の他方のブロックとその上部に配置される光ファイバを示す断面図である。
【図５】本実施の形態による光ファイバと反射ユニットの関係及び光の経路を示す側面図である。
【図６】本実施の形態の第１の例によるミラーユニットの構造を示す斜視図である。
【図７】本実施の形態によるミラーユニットの電圧を印加しない状態、及び印加した状態の回動を示す断面図である。
【図８】実施の形態１によるチルトミラーを回動させた状態での反射面と光の経路を示す図である。
【図９】チルト角φに対する減衰率の変化を示すグラフである。
【図１０】実施の形態による他の反射ブロックの例と光の経路を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態２によるシフトミラーの移動とその光の経路を示す図である。
【図１２】本実施の形態によるミラーユニットの構造を示す斜視図である。
【図１３】本実施の形態によるミラーユニットの構造を示す断面図である。
【図１４】本実施の形態のシフト量Δに対する減衰率の変化を示すグラフである。
【図１５】本発明の各実施の形態による光ファイバとその先端のコリメートレンズを示す概略図である。
【符号の説明】
１  ベース
２  プリント基板
３  ミラー基板
４，５  スペーサ
６ａ，６ｂ  ブロック
７ａ，７ｂ・・８ａ，８ｂ・・  Ｖ字形溝
１１ａ，１１ｂ・・１３ａ，１３ｂ・・  光ファイバ
１２ａ，１２ｂ・・１４ａ，１４ｂ・・  コリメートレンズ
２０，４０  反射ユニット
Ｍ１，Ｍ２  反射面
２１ａ，２１ｂ・・  ミラーユニット
２２ａ，２２ｂ, ２４ａ，２４ｂ・・  電極
２３ａ，２３ｂ  スペーサ
２５，５５  ヒンジ
２６，２６ａ，２６ｂ・・  チルトミラー
２７，５７  可変電圧源
５６  シフトミラー
６１ａ，６１ｂ  コリメータ
【図１】
0003672897.tif 000002
【図２】
0003672897.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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