(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の透明基板を有する第１の光ディスク、および前記第１の透明基板よりも厚い第２の透明基板を有する第２の光ディスクの記録および／または再生を行なう光ピックアップ装置であって、
前記第１または第２の光ディスクに対向して配置された対物レンズと、
第１の波長を持つ第１のレーザビーム、および前記第１の波長と異なる第２の波長を持つ第２のレーザビームを選択的に生成するレーザビーム生成手段と、
前記対物レンズと前記レーザビーム生成手段との間に配置され、前記第１のレーザビームをそのまま透過させ、前記第２のレーザビームを回折により拡径させる中央領域と、前記第１のレーザビームをそのまま透過させ、前記第２のレーザビームを回折により実質的に遮断する周辺領域とを有する光学素子とを備え、
前記光学素子の中央領域にはホログラムが形成され、
前記光学素子の周辺領域には不均一な格子定数を有する回折格子が形成される、光ピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は光ピックアップ装置に関し、さらに詳しくはデジタルビデオディスク（ＤＶＤ）およびコンパクトディスク（ＣＤ）の記録および／または再生を行なう光ピックアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disk-Read Only Memory）のように、半導体レーザを用いて情報を読出す約１．２ｍｍ厚の光ディスクが提供されている。この種の光ディスクでは、ピックアップ用対物レンズにフォーカスサーボおよびトラッキングサーボを行なうことにより、信号記録面のピット列にレーザビームを照射して信号を再生している。また、最近では長時間の動画を記録するために高密度化が進んでいる。
【０００３】
たとえば、ＣＤ−ＲＯＭと同じ直径１２ｃｍ光ディスクに片面で４．７Ｇバイトの情報を記録するＤＶＤ規格が提案されている。ＤＶＤの透明基板の厚さは約０．６ｍｍである。このような2枚の透明基板を互いにその背面で貼り合わせた1枚のＤＶＤは、９．４Ｇバイトの情報を記録することができる。また、直径、基板厚、記録密度がＣＤ−ＲＯＭと同じである追記可能な光ディスクとしてＣＤ−Ｒ（Compact Disk-Recordable）もある。
【０００４】
今後、ＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭおよびＣＤ−Ｒという3種類の光ディスクの併存が考えられるため、３種類の光ディスクを互換再生できる装置が必要である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＤＶＤとＣＤ−ＲＯＭまたはＣＤ−Ｒとでは、透明基板の厚さが異なるため、１つの光ピックアップ装置では両者を再生することができない。
【０００６】
そこで、特開平５−３０３７６６号公報には、厚さ０．６ｍｍの薄い透明基板を有する高密度の光ディスクと、厚さ１．２ｍｍの標準透明基板を有する標準密度の光ディスクとを１つの光ピックアップ装置を用いて再生することができる装置が提案されている。この装置は、短波長のレーザビームによって高密度の光ディスクを再生するように設計された開口数０．６の対物レンズを用いている。標準密度の光ディスクを再生する場合、レーザビームの外周部を遮光して対物レンズの実効開口数を減少させるアパーチャが形成された非球面光学素子が対物レンズの光源側に挿入される。
【０００７】
また、半導体レーザから出射されるレーザビームの外周部を選択的に遮光してレーザビームを集光する対物レンズの実効開口数を変更するために、特開平８−３２１０６５号公報には、レーザビームの偏光面を選択的に回転させる液晶と、特定方向に偏光するレーザビームのみを透過させる偏光板とを備え、基板厚の異なる光ディスクを互換再生することができる装置が開示されている。この装置は、基板厚の異なるＤＶＤとＣＤ−ＲＯＭとを互換再生することが可能であるが、波長６３５ｎｍのレーザビームを用いているため、ＣＤ−Ｒを再生することができない。以下に、その理由を説明する。
【０００８】
図１は、ピット深さと反射光強度との関係をレーザビームの波長毎に示す図である。図１に示されるように、波長６３５ｎｍのレーザビームを用いた場合、ピット深さが１０５ｎｍ程度のとき、反射光強度は最大になる。また、波長７８０ｎｍのレーザビームを用いた場合、ピット深さが１２５ｎｍ程度のとき、反射光強度が最大になる。ＣＤ−Ｒの場合、記録膜に有機系色素を用いているためレーザビームの波長により反射率が大きく変化し、波長６３５ｎｍの単一波長レーザでは十分な反射光強度が得られないためにＣＤ−Ｒを適切に再生することができない。したがって、ＤＶＤとＣＤ−ＲまたはＣＤ−ＲＯＭとの互換再生が可能な光ピックアップ装置には２波長レーザが必要である。さらに、今後の短波長化の傾向に従って波長４３０ｎｍのレーザビームを用いる場合、その必要性はより高くなる。
【０００９】
それゆえに、この発明の目的は、２種類の波長のレーザビームを用い、基板厚の異なる光ディスクの記録および／または再生が可能な光ピックアップ装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明に従うと、第１の透明基板を有する第１の光ディスク、および第１の透明基板よりも厚い第２の透明基板を有する第２の光ディスクの記録および／または再生を行なう光ピックアップ装置は、第１または第２の光ディスクに対向して配置された対物レンズと、第１の波長を持つ第１のレーザビーム、および第１の波長と異なる第２の波長を持つ第２のレーザビームを選択的に生成するレーザビーム生成手段と、対物レンズとレーザビーム生成手段との間に配置され、第１のレーザビームをそのまま透過させ、第２のレーザビームを回折により拡径させる中央領域と、第１のレーザビームをそのまま透過させ、第２のレーザビームを回折により実質的に遮断する周辺領域とを有する光学素子とを備え、光学素子の中央領域にはホログラムが形成され、光学素子の周辺領域には不均一な格子定数を有する回折格子が形成される。
【００１６】
したがって、第１の光ディスクの記録および／または再生時において、第１のレーザビームは光学素子をそのまま透過し、対物レンズによって第１の光ディスクの信号記録面に合焦される。他方、第２の光ディスクの記録および／または再生時においては、第２のレーザビームの外周部が光学素子の周辺領域によって実質的に遮断され、第２のレーザビームの中央部が光学素子の中央領域によって拡径され、これにより第２のレーザビームは対物レンズによって第２の光ディスクの信号記録面に合焦される。そのため、この光ピックアップ装置は基板厚の異なる第１および第２の光ディスクの記録および／または再生が可能である。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付し、その説明は繰返さない。
【００１８】
[対象光ディスクの規格および再生条件]
次の表は、この発明の実施の形態による光ピックアップ装置が互換再生の対象とする、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、およびＤＶＤの定格値および再生条件を示す。
【００１９】
【表１】
0003696153.tif 000002
【００２０】
この表に示されるように、ＣＤ−ＲＯＭの基板厚は１．２（許容誤差±０．１）ｍｍ、最短ピット長は０．９０（許容誤差±０．１）μｍ、トラックピッチは１．６（許容誤差±０．１）μｍ、反射率は波長７８０ｎｍのレーザビームに対して６０〜７０％以上である。また、再生時のレーザビームのスポット径は１．５（許容誤差±０．１）μｍ、対物レンズの開口数は０．４５（許容誤差±０．０５）、レーザビームの波長は７８０（許容誤差±１５）ｎｍである。ＣＤ−Ｒの基板厚、最短ピット長、トラックピッチ、反射率、再生時のスポット径、対物レンズの開口数、およびレーザビームの波長は、上述したＣＤ−ＲＯＭのそれらと同じである。
【００２１】
一方、ＤＶＤの基板厚は０．６（許容誤差±０．０５）ｍｍ、最短ピット長は０．４０（許容誤差±０．１）μｍ、トラックピッチは０．７４（許容誤差±０．０１）μｍ、反射率は波長６３５ｎｍのレーザビームに対して７０％以上（１層ＤＶＤの場合）または２０〜４０％（２層ＤＶＤの場合）である。また、再生時のレーザビームのスポット径は０．９（許容誤差±０．５）μｍ、対物レンズの開口数は０．６０（許容誤差±０．０５）、レーザビームの波長は６３５（許容範囲６２０〜６８０）ｎｍである。
【００２２】
[光ピックアップ装置の構成]
図２を参照して、この発明の実施の形態による光ピックアップ装置１０は、光ディスクに対向して配置された対物レンズ７と、波長６３５（許容誤差±１５）ｎｍおよび波長７８０（許容誤差±１５）ｎｍのレーザビームを選択的に生成する半導体レーザ１と、対物レンズ７の直下に配置された光学素子５と、対物レンズ７および光学素子５を共通に保持するアクチュエータ６と、対物レンズ７および光学素子５の直下に配置され、半導体レーザ１から光ディスクの主面に対して平行な方向に照射されたレーザビームを光ディスクの主面に対して垂直な方向に反射させる立ち上げミラー４と、半導体レーザ１から照射されたレーザビームを立ち上げミラー４に向けて垂直に反射させるハーフミラー２と、立ち上げミラー４とハーフミラー２との間に配置され、半導体レーザ１から照射されたレーザビームを平行にするコリメータレンズ３と、光ディスクから反射されたレーザビームを受ける光検出器８とを備える。
【００２３】
したがって、半導体レーザ１から出射されたレーザビームはハーフミラー２でその半分が反射されてコリメータレンズ３に入射し、そのコリメータレンズ３で平行にされ、立ち上げミラー４で立ち上げられる。この立ち上げられたレーザビームは、光学素子５を通って対物レンズ７で集光され、ポリカーボネイトなどからなるＤＶＤの透明基板９またはＣＤの透明基板９９を通ってその信号記録面９ａまたは９９ａに合焦される。信号記録面９ａまたは９９ａで反射されたレーザビームは、透明基板９または９９、対物レンズ７、光学素子５、立ち上げミラー４、コリメータレンズ３を介してハーフミラー２まで戻り、ハーフミラー２でその半分が透過し、光検出器８で検出される。
【００２４】
ここで、対物レンズ７はＤＶＤに適合するように設計され、かつ０．６０（許容誤差±０．０５）の開口数を有する。すなわち、対物レンズ７は、波長６３５ｎｍの平行なレーザビームをＤＶＤの信号記録面９ａ上に合焦するよう設計されている。
【００２５】
また、半導体レーザ１は、波長６３５ｎｍのレーザビームを発振するレーザチップ１ａと、波長７８０ｎｍのレーザビームを発振するレーザチップ１ｂとを含む。ＤＶＤの再生時には半導体レーザ駆動回路１８によって、レーザチップ１ａが活性化される。ＣＤ−ＲＯＭまたはＣＤ−Ｒの再生時には半導体レーザ駆動回路１８によってレーザチップ１ｂが活性化される。
【００２６】
この光ピックアップ装置１０はさらに、図３に示されるように、対物レンズ７のフォーカシング制御およびトラッキング制御を行なうサーボ機構１３を備える。フォーカシング制御により、レーザビームが信号記録面９ａまたは９９ａに常に合焦するよう対物レンズ７が光ディスクの主面に対して垂直方向に移動される。また、トラッキング制御により、レーザビームが常にトラック上に照射されるように対物レンズ７はトラックの走行方向に対して垂直方向に移動される。
【００２７】
上記のような光ピックアップ装置１０を用いた光ディスク再生装置は、プリアンプ１１、サーボ回路１２、判別回路１４、指令回路１５、ＲＦ復調回路１６、特性切換回路１７、半導体レーザ駆動回路１８、および制御回路１９を備える。
【００２８】
光検出器８は信号記録面９ａまたは９９ａで反射されたレーザビームを検出して再生信号を生成し、プリアンプ１１に与える。この再生信号はプリアンプ１１で増幅された後、判別回路１４、ＲＦ復調回路、およびサーボ回路１２に与えられる。サーボ回路１２は与えられた再生信号１０のフォーカスエラー信号およびトラッキングエラー信号に応答してサーボ機構１３を制御する。一方、判別回路１４は与えられた再生信号に応答してこの装置に装着された光ディスクの種類（ＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭ、またはＣＤ−Ｒ）を識別し、その識別結果を指令回路１５に与える。指令回路１５は、その識別された光ディスクに適合するように半導体レーザ１のレーザチップ１ａ，１ｂを切換えるため、その与えられた識別結果に基づいて制御回路１９に指令を与える。また、指令回路１５は、その識別された光ディスクの再生に適合するようにＲＦ復調回路１６を切換えるため、その与えられた識別結果に基づいて特性切換回路１７にも指令を与える。制御回路１９は、指令回路１５からの指令に基づいてレーザチップ１ａ，１ｂを切換えるよう半導体レーザ駆動回路１８を制御する。特性切換回路１７は、指令回路１５からの指令に基づいてこの装置に装着された光ディスクに適した再生を行なうようＲＦ復調回路１６の特性を切換える。
【００２９】
図４を参照して、半導体レーザ１は、レーザチップ１ａ，１ｂの他、これらチップ１ａ，１ｂがマウントされる基台１ｃと、レーザチップ１ａ，１ｂ、および基台１ｃを収容するためのパッケージ１ｄとを備える。パッケージ１ｄには３つの切込みｋ１，ｋ２，ｋ３が形成され、レーザチップ１ａ，１ｂはそれらの出射口ＰＡ，ＰＢが切込みｋ２およびｋ３を結ぶ線上に位置するようにマウントされている。レーザチップ１ａ，１ｂからのレーザビームが信号記録面９ａまたは９９ａ上に形成するスポットがトラックの両側に線対称に位置するように半導体レーザ１は配置される。すなわち、ｋ２−ｋ３方向が光ディスクのトラッキング方向（半径方向）と一致するように半導体レーザ１は配置されている。この配置は後に詳述する。
【００３０】
なお、上記レーザチップ１ａ，１ｂは別々に作製され、基台１ｃ上にマウントされているが、１つの半導体基板上で結晶成長を行なうことにより２つのレーザチップを一緒に作製してもよい。また、レーザチップ１ａ，１ｂの出射口ＰＡとＰＢとの間隔Ｌはたとえば１００〜５００μｍの範囲内である。
【００３１】
図５〜図７を参照して、光学素子５は、円形の中央領域５ｂと、その周辺領域５ａとを有する。中央領域５ｂは、波長６３５ｎｍのレーザビームをそのまま透過させ、波長７８０ｎｍのレーザビームを回折により拡径させる。そのため、中央領域５ｂにはホログラム２０が形成されている。一方、周辺領域５ａは、波長６３５ｎｍのレーザビームをそのまま透過させ、波長７８０ｎｍのレーザビームを回折により実質的に遮断する。そのため、周辺領域５ａには回折格子２１が形成されている。
【００３２】
光学素子５の中央領域５ｂの断面は図６に示されるように概略三角形状の凹凸構造を有し、周辺領域５ａの断面は四角形状の凹凸構造を有する。より具体的には、中央領域５ｂのホログラム２０は同心円上に形成された複数の環状凸部２２からなる。各環状凸部２２は４つの段２２ａを有する。環状凸部２２のピッチＰ１は、このホログラム２０がレンズ効果を有するように内側から外側に向かって徐々に狭くなっている。各段２２ａの高さは、波長７８０ｎｍのレーザビームに対してのみホログラム２０がレンズとして機能するように決定される。各段２２ａの高さについては、後に詳述する。一方、周辺領域５ａの回折格子２１は、同一方向に形成された複数の縞状凸部２３からなる。縞状凸部２３は一定のピッチＰ２(好ましくは８〜１２μｍ)で形成され、そのため回折格子２１は一定の格子定数を有する。この回折格子２１もまた波長７８０ｎｍのレーザビームに対してのみ機能するように縞状凸部２３の高さが決定される。この縞状凸部２３の高さについても後に詳述する。なお、このような構造を有する光学素子５は、ガラス２４をエッチングすることにより容易に作製することができる。
【００３３】
ここで、光学素子５の機能を図７〜図１２を参照して説明する。
図７に示されるように、波長６３５ｎｍの平行なレーザビーム２５が光学素子５に入射すると、光学素子５は波長６３５ｎｍのレーザビーム２５に対して全く機能しないため、その入射したレーザビーム２５は回折することなくそのまま光学素子５を透過する。この透過したレーザビーム２５は対物レンズ７に入射し、対物レンズ７によって集光され、ＤＶＤ２６の信号記録面９ａ上に合焦される。
なお、図７では光学素子５の断面の一部が拡大して示されている。
【００３４】
一方、図８〜図９に示されるように、波長７８０ｎｍの平行なレーザビーム２７が光学素子５に入射すると、レーザビーム２７のうち光学素子５を通ったレーザビーム２８は拡径しながら進行する。また、光学素子５に入射するレーザビーム２７の径は中央領域５ｂの径よりも大きいため、レーザビーム２７は周辺領域５ａにも入射する。この周辺領域５ａには回折格子２１が形成されているため、レーザビーム２７の外周部はレーザビーム２８を中心として左右両側に大きく回折する。より具体的には、回折格子２１による＋１次の回折ビーム２９はレーザビーム２８に対して図上左側方向に進行する。また、回折格子２１による−１次の回折ビーム３０はレーザビーム２８に対して図上右側方向に進行する。したがって、光学素子５の中央領域５ｂを透過したレーザビーム２８のみが対物レンズ７に入射し、対物レンズ７によって集光され、ＣＤ−ＲＯＭの信号記録面９９ａ上に合焦される。他方、光学素子５の周辺領域５ａを透過したレーザビーム２９，３０は周辺領域５ａに形成された回折格子２１によって大きく回折するため、対物レンズ７に入射しない。すなわち、光学素子５に入射した波長７８０ｎｍのレーザビーム２７のうち外周部は光学素子５の周辺領域５ａによって実質的に遮断される。
【００３５】
ここで、光学素子５を透過して拡径しながら進行するレーザビーム２８は−１次の回折ビームＬＢ−１である。厳密には、この−１次の回折ビームＬＢ−１の他、０次の回折ビームＬＢ０、＋１次の回折ビーム(図示せず)などがあるが、このような回折ビームの強度は可能な限り低く抑えられている。拡径しながら進行する−１次の回折ビームＬＢ１が用いられているのは、波長７８０ｎｍのレーザビーム２７の外周部を遮断しただけでは、対物レンズ７がＤＶＤ２６用に設計されているため、対物レンズ７に平行に入射したレーザビームはＣＤ−ＲＯＭ３１の信号記録面９９ａ上に正確に合焦せず、収差が発生するからである。したがって、０次の回折ビームＬＢ０および−１次の回折ビームＬＢ−１による対物レンズ７の実効開口数が０．４５になるように、光学素子５の中央領域５ｂの直径、およびその中央領域５ｂに形成されるホログラム２０の形状が決定される。なお、図８では光学素子５の断面の一部が拡大して示されている。
【００３６】
上記では光学素子５の周辺領域５ａを透過したレーザビーム２９および３０が対物レンズ７に入射しないように回折されるが、図１１および図１２に示されるようにそれらのレーザビーム２９および３０が対物レンズ７に入射したとしても合焦することはない。
【００３７】
また、光学素子５は、図２に示されるように対物レンズ７を保持するためのアクチュエータ６に固定される。このアクチュエータ６は図３に示されたサーボ機構１３に結合される。このサーボ機構１３は光検出器８からのフォーカスエラー信号に応答してアクチュエータ６を光軸方向に移動するとともに、光検出器２８からのトラッキングエラー信号に応答してアクチュエータ６を光ディスクの半径方向に移動する。このように光学素子５は対物レンズ７に固定されるため、光学素子５は対物レンズ７と一緒に移動する。
【００３８】
上記のように、光学素子５は波長７８０ｎｍのレーザビーム２７の外周部を実質的に遮断し、その中央部を拡径するように回折させ、これによりＣＤ−ＲＯＭ３１の信号記録面９９ａ上にレーザビーム２７を合焦させる。また、光学素子５は波長６３５ｎｍのレーザビームを何ら回折させることなくそのまま透過させ、これによりＤＶＤ２６の信号記録面９ａ上にレーザビーム２５を合焦させる。
【００３９】
ここで、図１３に示されるように４つの段を有する環状凸部２２の各段２２ａの高さｈ１の決定方法について説明する。
【００４０】
まず、図１４に示されるような位相差関数φ（ｘ）を想定する。位相差関数の周期Ｔがレーザビームの波長λや回折領域の厚さに比較してはるかに大きい場合、ｍ次の回折効率ηｍは一般に次の式（１）により表わされる。
【００４１】
【数１】
0003696153.tif 000003
【００４２】
ここで、Ａ（ｘ）はｘにおける透過率である。以下では、Ａ（ｘ）＝１とする。
【００４３】
図１４に示された位相差関数φ（ｘ）は次の式（２）により表わされる。
【００４４】
【数２】
0003696153.tif 000004
【００４５】
ここで、ｎはホログラム２０における環状凸部２２の材質の屈折率、ｎ０は環状凸部２２周辺（通常は空気）の屈折率である。
【００４６】
ｍ＝０、ｍ＝±１の場合について回折効率を求めると以下のようになる。
【００４７】
【数３】
0003696153.tif 000005
【００４８】
【数４】
0003696153.tif 000006
【００４９】
【数５】
0003696153.tif 000007
【００５０】
図１５は、λ＝６３５ｎｍ、ｎ＝２．３３６８、ｎ０＝１の場合における各段２２ａの高さｈ１と回折効率ηｍとの関係を示す図である。図１５から明らかなように、ｈ＝０．４７５μｍのとき、波長６３５ｎｍのレーザビームの０次の回折効率η０は最大になり、−１次の回折効率η−１および＋１次の回折効率η１は最小になる。
【００５１】
図１６は、λ＝７８０ｎｍ、ｎ＝２．３３６８、ｎ０＝１の場合における各段２２ａの高さｈ１と回折効率ηｍとの関係を示す図である。図１６から明らかなように、ｈ＝０．４５５μｍのとき、波長７８０ｎｍのレーザビームの−１次の回折効率η−１は最大になり、０次の回折効率η０および＋１次の回折効率η１は最小になる。
【００５２】
上述したように波長６３５ｎｍのレーザビームの０次の回折ビームが大きく、かつ、波長７８０ｎｍのレーザビームの−１次の回折ビームが大きくなるように、高さｈ１が決定される。たとえば図１７に示されるように、波長６３５ｎｍの０次の回折効率η０が９０％以上であり、かつ、波長７８０ｎｍの−１次の回折効率η−１が７０％以上であるためには、高さｈ１は０．４４８〜０．４８２μｍの範囲内でなければならない。
【００５３】
次に、光学素子５の周辺領域５ａに形成される回折格子２１における縞状凸部２３の高さｈ２の決定方法について説明する。この高さｈ２は次の式（６）により決定される。ここで、ｍは整数、λは回折させることなくそのまま透過させるレーザビームの波長、ｎは回折格子２１の縞状凸部２３の材質の屈折率、ｎ０は縞状凸部２３周辺（通常は空気）の屈折率である。
【００５４】
【数６】
0003696153.tif 000008
【００５５】
ｍ＝１、λ＝６３５ｎｍ、ｎ＝２．３３６８、ｎ０＝１とすると、ｈ２＝０．４７５μｍとなる。
【００５６】
上記のように高さｈ２を決定することにより波長６３５ｎｍのレーザビームを回折させることなくそのまま透過させ、波長７８０ｎｍのレーザビームを回折させる波長選択性の回折格子２１が作成される。
【００５７】
なお、回折格子２１上に波長に応じて変化する屈折率を持つシアニン系色素などの膜を形成することにより、回折格子２１に波長選択性を持たせてもよい。シアニン系色素は波長６３５ｎｍのレーザビームに対して１．５０の屈折率を持ち、波長７８０ｎｍのレーザビームに対して１．６５の屈折率を持つ。他方、ガラスからなる回折格子２１は波長６３５ｎｍまたは７８０ｎｍいずれかのレーザビームに対しても１．５０の屈折率を持つ。そのため、波長６３５ｎｍのレーザビームに対して回折格子は機能しない。したがって、波長７８０ｎｍのレーザビームを回折させるが、波長６３５ｎｍのレーザビームを回折させない波長選択性の回折格子が作成される。
【００５８】
[光ピックアップ装置の動作]
次に、上記のように構成された光ピックアップ装置の動作を説明する。
【００５９】
ＤＶＤの再生時には、図１８に示されるように、半導体レーザ駆動回路１８によってレーザチップ１ａが活性化される。したがって、半導体レーザ１から出射された波長６３５ｎｍのレーザビームはハーフミラー２でその半分が反射され、コリメータレンズ３で平行にされ、立ち上げミラー４で立ち上げられ、光学素子５で回折されることなくそのまま透過する。その透過したレーザビームは対物レンズ７に入射し、対物レンズ７によって集光され、ＤＶＤの透明基板９を通って信号記録面９ａ上に合焦される。信号記録面上におけるレーザビームのスポット径は０．９（許容誤差±０．１）μｍである。
【００６０】
一方、ＣＤ−ＲまたはＣＤ−ＲＯＭの再生時には、図１９に示されるように、半導体レーザ駆動回路１８によってレーザチップ１ｂが活性化される。したがって、半導体レーザ１から出射された波長７８０ｎｍのレーザビームはハーフミラー２でその半分が反射され、コリメータレンズ３で平行にされ、立ち上げミラー４で立ち上げられ、光学素子５でその外周部が実質的に遮断され、その中央部のみが回折により拡径される。この光学素子５の中央領域５ｂを透過したレーザビームは拡径されながら対物レンズ７に入射し、その入射したレーザビームは対物レンズ７によって集光され、ＣＤ−ＲまたはＣＤ−ＲＯＭの透明基板９９を通ってその信号記録面９９ａ上に合焦される。信号記録面９９ａ上におけるレーザビームのスポット径は１．５（許容誤差±０．１）μｍである。
【００６１】
以上のようにこの発明の実施の形態によれば、対物レンズ７の直下に配置された光学素子５の中央領域に波長６３５ｎｍのレーザビームをそのまま透過させ、波長７８０ｎｍのレーザビームを回折により拡径させるホログラム２０が形成され、かつ、光学素子５の周辺領域５ａに波長６３５ｎｍのレーザビームをそのまま透過させ、波長７８０ｎｍのレーザビームを回折により実質的に遮断する回折格子２１が形成されているため、波長６３５ｎｍのレーザビームは対物レンズ７によってＤＶＤの信号記録面９ａ上に合焦されるとともに、波長７８０ｎｍのレーザビームは対物レンズ７によってＣＤ−ＲまたはＣＤ−ＲＯＭ３１の信号記録面９９ａ上に合焦される。その結果、この実施の形態による光ピックアップ装置は、ＤＶＤ、ＣＤ−ＲおよびＣＤ−ＲＯＭの互換再生が可能である。
【００６２】
また、この光ピックアップ装置はＤＶＤに最適な波長６３５ｎｍのレーザビームと、ＣＤ−ＲまたはＣＤ−ＲＯＭに最適な波長７８０ｎｍのレーザビームとを用いているため、ＤＶＤ、ＣＤ−ＲおよびＣＤ−ＲＯＭのいずれも適切に再生することができる。
【００６３】
また、従来の光ピックアップ装置にホログラム２０および回折格子２１が一緒に形成された１つの光学素子５を追加しただけであるため、この光ピックアップ装置のサイズは従来とほとんど同じにすることが可能である。
【００６４】
また、光学素子５が対物レンズ７に固定されているため、フォーカシングおよびトラッキングのために対物レンズ７が移動してもレーザビームを正確に信号記録面上に合焦させることができる。また、この光学素子５は電気的または機械的に変動する部分がないため、故障が起きにくい。
【００６５】
[光学素子の変形例]
上記光学素子５の中央領域５ｂに形成されたホログラム２０の環状凸部２２は図６に示されるようにその内側に段差を有しているが、図２０に示されるように外側に段差を有していてもよい。
【００６６】
また、上記ホログラム２０の環状凸部２２は図６に示されるように４つの段２２ａを有しているが、図２１に示されるように７つの段を有していてもよく、その段の数は特に限定されるものではない。
【００６７】
また、上記ホログラム２０の環状凸部２２は複数の段を有しているが、段の代わりに斜面３２ａを有する環状凸部３２が形成されていてもよい。
【００６８】
また、上記光学素子５においてはホログラム２０および回折格子２１が同一面上に形成されているが、図２３および図２４に示されるように互いに対向する面上に形成されていてもよい。この場合、図２３に示されるように対物レンズ７側の面に回折格子が形成され、その反対側の面にホログラム２０が形成されてもよく、図２４に示されるように対物レンズ７側の面にホログラム２０が形成され、その反対側の面に回折格子２１が形成されてもよい。ホログラム２０および回折格子２１をエッチングにより形成する場合において、ホログラム２０および回折格子２１の凸部２２および２３の高さが互いに異なるときは、このようにホログラム２０および回折格子２１を互いに異なる面上に形成する方がこの光学素子５を容易に作成することができる。
【００６９】
また、斜面３２ａを有する環状凸部３２からなるホログラム２０の場合も同様に、図２５および図２６に示されるようにホログラム２０および回折格子２１は互いに異なる面上に形成されていてもよい。
【００７０】
上記光学素子では周辺領域５ａには回折格子２１が形成されているが、それに代えて図２７に示されるように周辺領域５ａにもホログラム３３が形成されていてもよい。周辺領域５ａにおけるホログラム３３の環状凸部２２は中央領域５ｂにおけるホログラム２０の環状凸部２２と同様に同心円上に形成されるが、中央領域５ｂにおける環状凸部２２と異なり一定のピッチＰ３で形成される。この図２７に示された光学素子５によれば、周辺領域５ａにもホログラム３３が形成されるため、周辺領域５ａに入射したレーザビームはすべて外側に回折し、内側に回折して対物レンズ７に入射することはない。その結果、内側に回折したレーザビームに起因するノイズが低減され得る。
【００７１】
なお、図２７に示された環状凸部２２はその内側に段差を有するが、図２８に示されるように外側に段差を有していてもよい。
【００７２】
また、上記光学素子５の回折格子２１は一定の格子定数を有するが、図２９に示されるように不均一な格子定数を有していてもよい。より具体的には、この光学素子５の周辺領域５ａに形成された回折格子の縞状凸部のピッチは図上右側から左側に向かって徐々に狭くされている。
【００７３】
ここで、この光学素子５の回折作用を図３０〜図３３を参照して説明する。
波長７８０ｎｍのレーザビーム２７が光学素子５に入射すると、レーザビーム２７のうちホログラムに入射した中央部は上記と同様に徐々に拡径するレーザビーム２８になる。また、レーザビーム２７のうち回折格子に入射した外周部はレーザビーム２８を中心として左右に大きく回折する。ただし、左側の＋１次の回折ビーム２９は縮径しながら進行し、右側の−１次の回折ビーム３０は拡径しながら進行する。
【００７４】
この光学素子５の周辺領域５ａに形成された回折格子の格子定数は不均一であるため、＋１次の回折ビーム２９および−１次の回折ビーム３０が往路と同じ経路を通って光学素子５に戻ることはない。そのため、回折ビーム２９および３０に起因するノイズが低減され得る。
【００７５】
また、光学素子５の周辺領域５ａは波長７８０ｎｍのレーザビームを実質的に遮断すればよく、図３４に示されるように光学素子３４の周辺領域３４ａに偏光フィルタが形成されていてもよい。この光学素子３４の中央領域３４ｂには上記と同様にホログラムが形成されている。周辺領域３４ａに形成された偏光フィルタは図３５に示されるように図上縦方向の偏光方向を有する。したがって、この周辺領域３４ａは図上縦方向に偏光するレーザビームをそのまま透過させるが、図上横方向に偏光するレーザビームを吸収により遮断する。このような光学素子３４を用いた光ピックアップ装置においては、半導体レーザ１は、波長６３５ｎｍのレーザビームを図上縦方向に偏光させ、波長７８０ｎｍのレーザビームを図上水平方向に偏光させる必要がある。したがって、波長６３５ｎｍのレーザビームはすべて光学素子３４を透過するが、波長７８０ｎｍのレーザビームはその外周部が周辺領域３４ａによって遮断され、その中央部のみがホログラムによって回折され、拡径されながら対物レンズ７に到達する。
【００７６】
また、図３６に示されるように光学素子３５の周辺領域３５ａには偏光ガラスが形成されていてもよい。この光学素子３５の中央領域３５ｂには上記と同様にホログラムが形成されている。この偏光ガラスは波長７８０ｎｍのレーザビームを吸収するために、図３７に示されるようにガラス表面に銀原子を長く引き延ばして焼成したものである。この引き延ばされた銀原子のアスペクト比Ｒ１／Ｒ２は１〜５の範囲内である。この光学素子３５では、波長７８０ｎｍのレーザビームのみを吸収するようにアスペクト比Ｒ１／Ｒ２が設定される。したがって、このような光学素子３５を用いた場合にも、波長６３５ｎｍのレーザビームはすべて光学素子３５を透過し、波長７８０ｎｍのレーザビームはその外周部が偏光ガラスによって遮断され、その中央部が回折され、拡径されながら対物レンズ７に到達する。
【００７７】
なお、波長７８０ｎｍのレーザビームの吸収により遮断すればよいので、このような偏光ガラスに代えて波長７８０ｎｍのレーザビームを吸収する色ガラスを用いてもよい。
【００７８】
また、上記においては光学素子の中央領域はレーザビームの波長に応じて選択的に回折現象を起こしているが、これに限定されるものではなく、レーザビームの偏光面に応じて選択的に回折現象を起こすものであってもよい。すなわち、光学素子の中央領域は図上縦方向に偏光するレーザビームを回折させず、図上横方向に偏光するレーザビームのみを回折させるものであってもよい。
【００７９】
［半導体レーザの変形例］
図３８に示されるようにレーザチップ１ａおよび１ｂが光軸に対して垂直な同一平面内に配置されていると、単一の材質を用いたコリメータレンズ３はレーザビームの波長に応じて異なった焦点距離を有する。すなわち、図３９に示されるように波長７８０ｎｍに対するコリメータレンズ３の焦点距離は波長６３５ｎｍに対する焦点距離よりも０．１５ｍｍだけ長くなる。このような焦点距離の差に起因して色収差が生じ得る。
【００８０】
たとえば波長６３５ｎｍのレーザビームに対するコリメータレンズ３の焦点にレーザチップ１ａおよび１ｂを配置すると、図４０の（ａ）に示されるようにレーザチップ１ａから出射された波長６３５ｎｍのレーザビーム２５はコリメータレンズ３を透過して平行になるが、図４０の（ｂ）に示されるようにレーザチップ１ｂから出射された波長７８０ｎｍのレーザビーム２７はコリメータレンズ３を透過しても平行にならない。このため、波長７８０ｎｍのレーザビーム２７は対物レンズ７によってＣＤ−ＲまたはＣＤ−ＲＯＭの信号記録面上に正確に合焦されず、色収差が生じることになる。
【００８１】
そこで、このような色収差をなくすために、コリメータレンズ３を透過した波長６３５ｎｍのレーザビーム２５が平行になるようにレーザチップ１ａはコリメータレンズから第１の焦点距離Ｆ１だけ離れて配置され、図４１の（ｂ）に示されるようにコリメータレンズ３を透過した波長７８０ｎｍのレーザビームが平行になるようにレーザチップ１ｂはコリメータレンズ３から第１の焦点距離Ｆ１よりも０．１５ｍｍだけ長い第２の焦点距離Ｆ２だけ離れて配置されるのが好ましい。
【００８２】
なお、図３８ではハーフミラー２に代えてビームスプリッタ３６が光学素子５とコリメータレンズ３との間に配置されている。そのため、ビームスプリッタ３６と光検出器８との間にはビームスプリッタ３６からのレーザビームを光検出器８に集光するための集光レンズ３７が配置されている。
【００８３】
また、光軸ずれをなくすために、波長６３５ｎｍおよび波長７８０ｎｍのレーザビームの出射口を１つにまとめてもよい。たとえば図４２に示されるようにこの半導体レーザ３８は波長６３５ｎｍのレーザビームを波長７８０ｎｍのレーザビームと合成するための光導波路３９を含む。光導波路３９は、図４３に示されるようにＹ字形状をなし、レーザチップ１ａおよび１ｂの出射口にそれぞれ面する２つの入射口と、それら２つの入射口に連通する１つの出射口とを有する。このような半導体レーザ３８によれば、波長６３５ｎｍのレーザビームの発光点と波長７８０ｎｍのレーザビームの発光点とが擬似的に１つになるため、光軸ずれをなくすことができる。
【００８４】
図４４の（ａ）および（ｂ）に示されるようにレーザチップ１ａおよび１ｂは互いに隣接して基台１ｃ上にマウントされるが、図４５に示されるようにそれらの出射口ＰＡおよびＰＢの間には所定の間隔ＰＬ１がある。一般にレーザチップ１ａ，１ｂの幅は３００〜３５０μｍであるから、この間隔ＰＬ１もそれと同じ程度になる。このような出射口ＰＡ，ＰＢのずれは収差の原因となるから、間隔ＰＬ１は可能な限り短くするのが望ましい。
【００８５】
そこで、図４６に示されるように出射口ＰＡおよびＰＢをレーザチップ１ａおよび１ｂの中心ではなくそれらの間隔ＰＬ２が短くなるようにオフセットさせて形成するのが望ましい。あるいは、図４７に示されるように、出射口ＰＡおよびＰＢをレーザチップ１ａおよび１ｂの中心に形成した後、それらの互いに隣接する側を切断することにより出射口ＰＡおよびＰＢの間隔ＰＬ３を短くしてもよい。
【００８６】
上記のようにレーザチップ１ａおよび１ｂは互いにその一方の側面を隣接させて配置され、それらの出射口ＰＡおよびＰＢとその一方の側面との距離はその一方の側面に対向する当該他方の側面との間の距離よりもそれぞれ短い。
【００８７】
また、半導体レーザ１にはそこから放射されるレーザビームをモニタするための受光素子を設ける必要がある。上記のように２つのレーザチップ１ａ，１ｂを設ける場合、それぞれのレーザチップ１ａ，１ｂに対応するように２つの受光素子を設けてもよいが、図４８に示されるようにレーザチップ１ａおよび１ｂの背後から漏れる波長６３５ｎｍおよび７８０ｎｍのレーザビームを共通にモニタするための単一の受光素子４４を設けるのが望ましい。
【００８８】
また、この半導体レーザ１は４つの端子４５〜４８を有する。端子４５は、図４９の（ａ）に示されるようにレーザチップ１ａのアノード電極、レーザチップ１ｂのアノード電極、受光素子４４のカソード電極に共通に接続されている。端子４６はレーザチップ１ａのカソード電極に接続されている。端子４７はレーザチップ１ｂのカソード電極に接続されている。端子４８は受光素子４４のアノード電極に接続されている。このように端子４５がレーザチップ１ａ，１ｂおよび受光素子４４の一方の電極に共通に接続されているため、半導体レーザ１の端子の数が削減される。
【００８９】
また、図４９の（ｂ）に示されるように端子４５が受光素子４４のアノード電極に接続され、端子４８が受光素子４４のカソード電極に接続されていてもよい。
【００９０】
また、図４９の（ｃ）に示されるように端子４５がレーザチップ１ａ，１ｂのカソード電極および受光素子４４のカソード電極に共通に接続され、端子４６がレーザチップ１ａのアノード電極に接続され、端子４７がレーザチップ１ｂのアノード電極に接続され、端子４８が受光素子４４のアノード電極に接続されていてもよい。
【００９１】
また、図４９の（ｄ）に示されるように端子４５がレーザチップ１ａおよび１ｂのカソード電極ならびに受光素子４４のアノード電極に共通に接続され、端子４６がレーザチップ１ａのアノード電極に接続され、端子４７がレーザチップ１ｂのアノード電極に接続され、端子４８が受光素子４４のカソード電極に接続されていてもよい。
【００９２】
［光学系の配置］
図５０は、上記光ピックアップ装置の光学系のみを平面的に示す図である。なお、この図５０では３ビーム方式のための回折格子４０が半導体レーザ１とハーフミラー２との間に配置されている。また、波長６３５ｎｍまたは７８０ｎｍのレーザビームを光検出器８上の所定の位置に集光するためのウォラストンプリズム４１がハーフミラー２と光検出器８との間に配置されている。
【００９３】
ここで、対物レンズ７および光学素子５は図５０において立ち上げミラー４の上側に示されているが、対物レンズ７および光学素子５は立ち上げミラー４の真上に配置される。すなわち、対物レンズ７の光軸は半導体レーザ１の光軸と平行ではなく垂直をなしている。
【００９４】
図５０に示された光学系は図５１の（ａ）に示されるように筺体４２に収容される。このような筺体４２は２つのガイドシャフト４３および４３の間に支持される。ガイドシャフト４３は光ディスクの半径方向に架け渡されているため、このような光学系および筺体４２を含む光ピックアップ装置はガイドシャフト４３に沿って光ディスクの半径方向に走行する。したがって、対物レンズ７はスピンドルモータ４４の駆動軸（光ディスクの中心）に向かって近づく方向またはその駆動軸から離れる方向に移動する。
【００９５】
この図５１の（ａ）に示された光ピックアップ装置では立ち上げミラー４に入射されるレーザビームの光軸ＬＮ１が２つのガイドシャフト４３を通る垂線ＬＮ２と一致しているため、ガイドシャフト４３および４３の間隔ＧＬ１は比較的広くなる。
【００９６】
したがって、図５２の（ａ）に示されるように立ち上げミラー４に入射するレーザビームの光軸ＬＮ１が２つのガイドシャフト４３を通る垂線ＬＮ２に対して鋭角θ （たとえば３０〜４５°）をなすように光学系を配置するのが望ましい。このように配置すると、ガイドシャフト４３および４３の間隔ＧＬ２は上記間隔ＧＬ１よりも狭くなる。
【００９７】
図５１の（ａ）のような配置の場合、図５１の（ｂ）に示されるようにレーザチップ１ａの出射口およびレーザチップ１ｂの出射口を通る線ＬＮ３が光ディスクの主面に平行になるように半導体レーザ１を配置すれば、レーザチップ１ａおよび１ｂからの波長６３５ｎｍおよび７８０ｎｍのレーザビームはそれぞれ光ディスクのトラックの両側に線対称にビームスポットを形成することができる。
【００９８】
一方、図５２の（ａ）のような配置の場合、レーザチップ１ａの出射口およびレーザチップ１ｂの出射口を通る線ＬＮ３が光ディスクの主面に平行になるように半導体レーザ１を配置すると、それらレーザビームはトラックの両側に非対称にビームスポットを形成することになる。したがって、図５２の（ｂ）に示されるように、レーザチップ１ａの出射口およびレーザチップ１ｂの出射口を通る線ＬＮ３は光ディスクの主面に対して図５２の（ａ）に示された鋭角θに等しい鋭角θをなすように半導体レーザ１を配置するのが望ましい。
【００９９】
また、図５２の（ｂ）に示された半導体レーザ１のパッケージ１ｄは筺体４２の上面および下面に対して平行な切欠き１ｅを有する。このように、半導体レーザ１のパッケージ１ｄに切欠き１ｅを形成することによって、筺体４２の厚さＴ２を図５１の（ｂ）に示された筺体４２の厚さＴ１よりも薄くすることができる。
【０１００】
上記光ピックアップ装置は主として再生を行なうものであるが、記録を行なうものであってもよく、また、記録および再生を行なうものであってもよい。
【０１０１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  光ディスクのピット深さとそこからの反射光強度との関係をレーザビームの波長毎に示す図である。
【図２】  この発明の実施の形態による光ピックアップ装置の構成を示す図である。
【図３】  図１に示された光ピックアップ装置を含む光ディスク再生装置の全体構成を示すブロック図である。
【図４】  図２に示された半導体レーザの構成を示す平面図である。
【図５】  図２に示された光学素子の平面図である。
【図６】  図５に示された光学素子の断面図である。
【図７】  波長６３５ｎｍのレーザビームが図５および図６に示された光学素子に入射した場合における光路を示す図である。
【図８】  波長７８０ｎｍのレーザビームが図５および図６に示された光学素子に入射した場合における光路を示す図である。
【図９】  波長７８０ｎｍのレーザビームが図５および図６に示された光学素子に入射した場合における光路を示す図である。
【図１０】  波長７８０ｎｍのレーザビームが図５および図６に示された光学素子に入射した場合における光路を示す図である。
【図１１】  波長７８０ｎｍのレーザビームが図５および図６に示された光学素子に入射した場合における光路を示す図である。
【図１２】  波長７８０ｎｍのレーザビームが図５および図６に示された光学素子に入射した場合における光路を示す図である。
【図１３】  図６に示された光学素子の中央領域の拡大断面図である。
【図１４】  図１３に示されたホログラムにおける環状凸部の各段の高さを決定するために用いられる位相差関数を示す図である。
【図１５】  波長６３５ｎｍのレーザビームに対するホログラムにおける環状凸部の各段の高さと０，±１次の回折効率との関係を示す図である。
【図１６】  波長７８０ｎｍのレーザビームに対するホログラムにおける環状凸部の各段の高さと０，±１次の回折効率との関係を示す図である。
【図１７】  環状凸部の各段の高さを決定するために、図１５および図１６に示された回折効率を併せて示す図である。
【図１８】  図２に示された光ピックアップ装置によるＤＶＤの再生時における波長６３５ｎｍのレーザビームの光路を示す図である。
【図１９】  図２に示された光ピックアップ装置によるＣＤ−ＲまたはＣＤ−ＲＯＭの再生時における波長７８０ｎｍのレーザビームの光路を示す図である。
【図２０】  図６に示された光学素子の１つの変形例を示す図である。
【図２１】  光学素子の他の変形例を示す断面図である。
【図２２】  光学素子の他の変形例を示す断面図である。
【図２３】  光学素子の他の変形例を示す断面図である。
【図２４】  光学素子の他の変形例を示す断面図である。
【図２５】  光学素子の他の変形例を示す断面図である。
【図２６】  光学素子の他の変形例を示す断面図である。
【図２７】  光学素子の他の変形例を示す断面図である。
【図２８】  光学素子の他の変形例を示す断面図である。
【図２９】  光学素子のさらに他の変形例を示す平面図である。
【図３０】  図２９に示された光学素子に波長７８０ｎｍのレーザビームが入射した場合における光路を示す図である。
【図３１】  図２９に示された光学素子に波長７８０ｎｍのレーザビームが入射した場合における光路を示す図である。
【図３２】  図２９に示された光学素子に波長７８０ｎｍのレーザビームが入射した場合における光路を示す図である。
【図３３】  図２９に示された光学素子に波長７８０ｎｍのレーザビームが入射した場合における光路を示す図である。
【図３４】  光学素子のさらに他の変形例を示す平面図である。
【図３５】  図３４に示された周辺領域に形成された偏光フィルタの偏光方向を示す図である。
【図３６】  光学素子のさらに他の変形例を示す平面図である。
【図３７】  図３６に示された光学素子の周辺領域に形成された偏光ガラスの部分拡大図である。
【図３８】  この発明の実施の形態による光ピックアップ装置の光学系を示す図である。
【図３９】  図３８に示されたコリメータレンズの焦点距離と波長との関係を示す図である。
【図４０】  波長６３５ｎｍのレーザビームがコリメータレンズに入射した場合における光路と、波長７８０ｎｍのレーザビームがコリメータレンズに入射した場合における光路とを示す図である。
【図４１】  波長６３５ｎｍのレーザビームがコリメータレンズに入射した場合における光路とともに示された半導体レーザの変形例と、半導体レーザから波長７８０ｎｍのレーザビームがコリメータレンズに入射した場合における光路とを示す図である。
【図４２】  半導体レーザの変形例を光ピックアップ装置の光学系とともに示す図である。
【図４３】  図４２に示された半導体レーザの構成を示す図である。
【図４４】  半導体レーザの変形例を示す側面図および平面図である。
【図４５】  半導体レーザにおける２つのレーザチップの配置を示す図である。
【図４６】  半導体レーザにおける２つのレーザチップの変形例を示す図である。
【図４７】  半導体レーザにおける２つのレーザチップの他の変形例を示す図である。
【図４８】  半導体レーザのさらに他の変形例を示す一部破断斜視図である。
【図４９】  図４８に示された半導体レーザの回路図、および半導体レーザのその他の回路図である。
【図５０】  この発明の実施の形態による光ピックアップ装置の光学系を示す図である。
【図５１】  光ピックアップ装置の平面図および断面図である。
【図５２】  光ピックアップ装置の変形例を示す平面図および断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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