(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上流側から下流側に延びる高電圧正負交代電極を保持する高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置において、
リング状の絶縁性の間隔保持板を上流側に配置される第１の絶縁性の電極支持板と下流側に配置される第２の絶縁性の電極支持板により挟着し、前記第１の絶縁性の電極支持板には径の大きい第１の穴と径の小さい第２の穴とを形成し、該径の小さい第２の穴に第１の極性の電極を貫通固定するとともに、前記径の大きい第１の穴には間隔をとって第２の極性の電極を貫通し、前記第２の絶縁性の電極支持板には径の大きい第３の穴と径の小さい第４の穴とを形成し、該径の小さい第４の穴に前記第２の極性の電極を貫通固定するとともに、前記径の大きい第３の穴には間隔をとって前記第１の電極を貫通するように支持するとともに、前記電極は六角形が組み合わされた複数の六極電極であることを特徴とする高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置。
【請求項２】
請求項１記載の高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置において、前記電極は複数組所定間隔をとって配置することを特徴とする高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置。
【請求項３】
請求項２記載の高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置において、前記複数組は３組であることを特徴とする高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置。
【請求項４】
請求項１、２又は３記載の高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置において、前記電極は六極電場を生成することを特徴とする高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置。
【請求項５】
請求項１、２又は３記載の高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置において、前記電極支持板はポリアセタール製であることを特徴とする高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高真空下で使用する高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
高真空下で用いる高電圧電場発生装置で正負電極が交互に隣接する構造のものは、正負電極間の放電破壊に耐える高耐電圧材質を用いて電気的に絶縁性の高い保持装置を作る必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来は、多くの場合、マコール（デュポン社商品名）などに代表されるような、切削加工に対して強固で、しかも、もろいセラミック材料を使用しなければならなくなり、高精度の機械加工と長い工作時間を要している。
【０００４】
さらに、多電極の高電圧電場発生装置を真空下で使用すると、正負電極が接近しているので、セラミック自体の理論的な絶縁力は充分であっても、表面に吸着した水分など避けることのできない表面よごれのため、保持材表面上を伝わる電気漏洩による放電の防止は極めて難しい。
【０００５】
本発明は、上記状況に鑑みて、高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極間の確実な電気的絶縁を図り得る高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔１〕上流側から下流側に延びる高電圧正負交代電極を保持する高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置において、リング状の絶縁性の間隔保持板を上流側に配置される第１の絶縁性の電極支持板と下流側に配置される第２の絶縁性の電極支持板により挟着し、前記第１の絶縁性の電極支持板には径の大きい第１の穴と径の小さい第２の穴とを形成し、この径の小さい第２の穴に第１の極性の電極を貫通固定するとともに、前記径の大きい第１の穴には間隔をとって第２の極性の電極を貫通し、前記第２の絶縁性の電極支持板には径の大きい第３の穴と径の小さい第４の穴とを形成し、この径の小さい第４の穴に前記第２の極性の電極を貫通固定するとともに、前記径の大きい第３の穴には間隔をとって前記第１の電極を貫通するように支持するとともに、前記電極は六角形が組み合わされた複数の六極電極であることを特徴とする。
【０００７】
〔２〕上記〔１〕記載の高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置において、前記電極は複数組所定間隔をとって配置することを特徴とする。
【０００８】
〔３〕上記〔２〕記載の高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置において、前記複数組は３組であることを特徴とする。
【０００９】
〔４〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載の高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置において、前記電極は六極電場を生成することを特徴とする。
【００１０】
〔５〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載の高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極の保持装置において、前記電極支持板はポリアセタール製であることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１２】
図１は本発明の実施例を示す高電圧正負交代電極を有する高電圧電場発生装置の模式図であり、図１（ａ）はその正面図、図１（ｂ）はその側面図、図２はそのハニカム型円錐電極の断面図、図３はそのハニカム型円錐電極の第１の上流電極支持板の構成図であり、図３（ａ）はその正面図、図３（ｂ）はその側面図、図４はそのハニカム型円錐電極の第１の下流電極支持板の構成図であり、図４（ａ）はその正面図、図４（ｂ）はその側面図、図５はそのハニカム型円錐電極の第２の上流電極支持板の構成図であり、図５（ａ）はその正面図、図５（ｂ）はその側面図、図６はそのハニカム型円錐電極の第２の下流電極支持板の構成図であり、図６（ａ）はその正面図、図６（ｂ）はその側面図、図７はそのハニカム型円錐電極の第３の上流電極支持板の構成図であり、図７（ａ）はその正面図、図７（ｂ）はその側面図、図８はそのハニカム型円錐電極の第３の下流電極支持板の構成図であり、図８（ａ）はその正面図、図８（ｂ）はその側面図、図９はそれらの上流電極支持板と下流電極支持板に挟着される絶縁性の間隔保持板の構成図であり、図９（ａ）はその正面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のＡ−Ａ線断面図、図９（ｃ）はその側面図、図１０はそのハニカム型円錐電極の支持板の斜視図である。
【００１３】
まず、図１に示すように、１はパルスバルブ、２はそのパルスバルブ１の支持板、３はビームスキマー、４はビームスキマー３の支持板、５はビームコリメーター、６はそのビームコリメーター５の支持板、７は固定外枠部材（棒状体）、８は高電圧正負交代電極を有するハニカム型円錐電極（２４本）、９はハニカム型円錐電極８の上流端、１０はハニカム型円錐電極８の下流端、１１はハニカム型円錐電極８の第１の支持部、１１Ａはそのハニカム型円錐電極８の第１の上流電極支持板、１１Ｂはそのハニカム型円錐電極８の第１の下流電極支持板、１１Ｃは絶縁性の間隔保持板、２１はハニカム型円錐電極８の第２の支持部、２１Ａはそのハニカム型円錐電極８の第２の上流電極支持板、２１Ｂはそのハニカム型円錐電極８の第２の下流電極支持板、２１Ｃは絶縁性の間隔保持板、３１はハニカム型円錐電極８の第３の支持部、３１Ａはハニカム型円錐電極の第３の上流電極支持板、３１Ｂはハニカム型円錐電極の第３の下流電極支持板、３１Ｃは絶縁性の間隔保持板である。
【００１４】
この実施例の高電圧電場発生装置は、図２に示すように、正電極８ａ（８ａ1 〜８ａ12）と負電極８ｂ（８ｂ1 〜８ｂ12）を備えた高電圧正負交代電極を有するハニカム型円錐電極（２４本）８からなる。
【００１５】
以下、その高電圧電場発生装置の電極保持装置について詳細に説明する。
【００１６】
図１に示すように、高電圧正負交代電極を有するハニカム型円錐電極（２４本）８を支持するハニカム型円錐電極の第１の支持部１１は、その第１の上流電極支持板１１Ａと、第１の下流電極支持板１１Ｂと、これらの支持板１１Ａと１１Ｂに挟着される絶縁性の間隔保持板１１Ｃからなる。
【００１７】
（１）第１の上流電極支持板１１Ａは、図３に示すように、小径の穴１２−１〜１２−１２（略１５ｍｍφ）と大径の穴１３−１〜１３−１２：１４−１−１４−７からなる。
【００１８】
ここで、小径の穴１２−１〜１２−２には、図２に示す最上段の正電極８ａ1 ，８ａ2 が強嵌合する。小径の穴１２−３〜１２−５には、図２に示す第２段の正電極８ａ3 ，８ａ4 ，８ａ5 が強嵌合する。小径の穴１２−６〜１２−９には、図２に示す第３段の正電極８ａ6 ，８ａ7 ，８ａ8 ，８ａ9 が強嵌合する。小径の穴１２−１０〜１２−１２には、図２に示す最下段の正電極８ａ10，８ａ11，８ａ12がそれぞれ強嵌合して、それぞれ貫通し固定される。
【００１９】
また、最上段（第１段）の大径の穴１３−１〜１３−３には、図２に示す最上段の負電極８ｂ1 ，８ｂ2 ，８ｂ3 が間隔を有して貫通する。第３段の大径の穴１３−４〜１３−７には、図２に示す第２段の負電極８ｂ4 ，８ｂ5 ，８ｂ6 ，８ｂ7 が、間隔を有して貫通する。第５段の大径の穴１３−８〜１３−１０には、図２に示す第３段の負電極８ｂ8 ，８ｂ9 ，８ｂ10が、間隔を有して貫通する。最下段（第７段）の大径の穴１３−１１〜１３−１２には、図２に示す第４段の負電極８ｂ11，８ｂ12が間隔を有してそれぞれ貫通する。
【００２０】
更に、電極８ａ1 と８ｂ1 と８ａ3 と８ｂ5 と８ａ4 と８ｂ2 で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−１が、電極８ａ2 と８ｂ2 と８ａ4 と８ｂ6 と８ａ5 と８ｂ3 で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−２が、電極８ａ3 と８ｂ4 と８ａ6 と８ｂ8 と８ａ7 と８ｂ5 で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−３が、電極８ａ5 と８ｂ6 と８ａ8 と８ｂ10と８ａ9 と８ｂ7 で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−４が、電極８ａ7 と８ｂ8 と８ａ10と８ｂ11と８ａ11と８ｂ9 で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−５が、電極８ａ8 と８ｂ9 と８ａ11と８ｂ12と８ａ12と８ｂ10で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−６が、電極８ａ4 と８ｂ5 と８ａ7 と８ｂ9 と８ａ8 と８ｂ6 で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−７が設けられる。
【００２１】
一方、第１の下流電極支持板１１Ｂは、図４に示す大径の穴１２−１′〜１２−１２′：１４−１′−１４−７′と小径の穴１３−１′〜１３−１２′からなる。ここで、大径の穴１２−１′〜１２−２′には、図２に示す最上段の正電極８ａ1 ，８ａ2 が間隔を有して貫通する。大径の穴１２−３′〜１２−５′には、図２に示す第２段目の正電極８ａ3 ，８ａ4 ，８ａ5 が間隔を有して貫通する。大径の穴１２−６′〜１２−９′には、図２に示す第３段目の正電極８ａ6 ，８ａ7 ，８ａ8 ，８ａ9 が間隔を有して貫通する。大径の穴１２−１０′〜１２−１２′には、図２に示す最下段の正電極８ａ10，８ａ11，８ａ12が間隔を有して貫通する。
【００２２】
さらに、小径の穴１３−１′〜１３−３′には、図２に示す最上段の負電極８ｂ1 ，８ｂ2 ，８ｂ3 が強嵌合で貫通し固定される。小径の穴１３−４′〜１３−７′には、図２に示す第２段目の負電極８ｂ4 ，８ｂ5 ，８ｂ6 ，８ｂ7 が強嵌合で貫通し固定される。小径の穴１３−８′〜１３−１０′には、図２に示す第３段目の負電極８ｂ8 ，８ｂ9 ，８ｂ10が強嵌合で貫通し固定される。小径の穴１３−１１′〜１３−１２′には、図２に示す最下段の負電極８ｂ11，８ｂ12が強嵌合で貫通し固定される。
【００２３】
なお、上記した上流電極支持板１１Ａと同様に、電極８ａ1 と８ｂ1 と８ａ3 と８ｂ5 と８ａ4 と８ｂ2 で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−１′が、電極８ａ2 と８ｂ2 と８ａ4 と８ｂ6 と８ａ5 と８ｂ3 で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−２′が、電極８ａ3 と８ｂ4 と８ａ6 と８ｂ8 と８ａ7 と８ｂ5 で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−３′が、電極８ａ5 と８ｂ6 と８ａ8 と８ｂ10と８ａ9 と８ｂ7 で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−４′が、電極８ａ7 と８ｂ8 と８ａ10と８ｂ11と８ａ11と８ｂ9 で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−５′が、電極８ａ8 と８ｂ9 と８ａ11と８ｂ12と８ａ12と８ｂ10で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−６′が、電極８ａ4 と８ｂ5 と８ａ7 と８ｂ9 と８ａ8 と８ｂ6 で囲まれる中央部にはガスの流通穴１４−７′が設けられる。
【００２４】
このように、正電極８ａの保持は、上流電極支持板１１Ａで、負電極８ｂの保持は下流電極支持板１１Ｂでそれぞれ行われることになり、同じ支持板に正電極８ａと負電極８ｂが接することはないように固定される。つまり、両者の電極は互いに絶縁性の間隔保持板１１Ｃを介することにより絶縁距離を長くすることができて、絶縁耐力を高めることができる。
【００２５】
因みに、図３及び図４に示された寸法、直径Ｄ0 は２０８ｍｍ、Ｌ6 は１９．５４７ｍｍ、Ｌ7 は３９．０９４ｍｍ、Ｌ8 は５８．６４１ｍｍ、Ｌ9 は１１．２８６ｍｍ、Ｌ10は２２．５７１ｍｍ、Ｌ11は３３．８５７ｍｍ、Ｌ12は４５．１４２ｍｍ、Ｌ13は５６．４２８ｍｍ、Ｌ14は３５ｍｍ、Ｌ15は８５ｍｍ、Ｌ16は５ｍｍ、Ｌ17は１９．３３７ｍｍ、Ｌ18は３８．６７３ｍｍ、Ｌ19は５８．０１ｍｍ、Ｌ20は１１．１６４ｍｍ、Ｌ21は２２．３２８ｍｍ、Ｌ22は３３．４９２ｍｍ、Ｌ23は４４．６５６ｍｍ、Ｌ24は５５．８２ｍｍ、固定外枠部材（棒状体）７が貫通し固定される固定穴１５の直径は１５ｍｍである。
【００２６】
第２の上流電極支持板２１Ａは図５に、第２の下流電極支持板２１Ｂは図６に示される。ここでは、各支持板に形成される穴の径は、第１の上流電極支持板１１Ａ及び第１の下流電極支持板１１Ｂの径に比べて細くはなる（例えば、小径の穴の直径は略１１．５ｍｍφ）が、それらの支持板による電極の支持の仕方は、上記と同様である。
【００２７】
因みに、図５及び図６に示された寸法Ｌ25は１４．８１３ｍｍ、Ｌ26は２９．６２７ｍｍ、Ｌ27は４４．４４ｍｍ、Ｌ28は１７．１０５ｍｍ、Ｌ29は２５．６５８ｍｍ、Ｌ30は３４．２１ｍｍ、Ｌ31は４２．７６３ｍｍ、Ｌ32は８．５５３ｍｍ、Ｌ33は１４．６４５ｍｍ、Ｌ34は２９．２９１ｍｍ、Ｌ35は４３．９３６ｍｍ、Ｌ36は１６．９１１ｍｍ、Ｌ37は２５．３６７ｍｍ、Ｌ38は３３．８２２ｍｍ、Ｌ39は４２．２７８ｍｍ、Ｌ40は８．４５６ｍｍである。
【００２８】
第３の上流電極支持板３１Ａは図７に、第３の下流電極支持板３１Ｂは図８に示される。ここでは、各支持板に形成される穴の径は、第２の上流電極支持板２１Ａ及び第２の下流電極支持板２１Ｂの径に比べて細くはなる（例えば、小径の穴の直径は略７．８ｍｍφ）が、それらの支持板による電極の支持の仕方は、上記と同様である。
【００２９】
因みに、図７及び図８に示された寸法Ｌ41は９．８９３ｍｍ、Ｌ42は１９．７８７ｍｍ、Ｌ43は２９．６８ｍｍ、Ｌ44は１１．４２４ｍｍ、Ｌ45は１７．１３６ｍｍ、Ｌ46は２２．８４８ｍｍ、Ｌ47は２８．５６ｍｍ、Ｌ48は５．７１２ｍｍ、Ｌ49は９．７４４ｍｍ、Ｌ50は１９．４８７ｍｍ、Ｌ51は２９．２３１ｍｍ、Ｌ52は１１．２５１ｍｍ、Ｌ53は１６．８７７ｍｍ、Ｌ54は２２．５０２ｍｍ、Ｌ55は２８．１２８ｍｍ、Ｌ56は５．６２６ｍｍである。
【００３０】
なお、上流電極支持板と下流電極支持板に挟着される絶縁性の間隔保持板（例えば、ジュラコン製）は、図９に示すように、絶縁性のリング形状をなし、固定外枠部材（棒状体）７（図１参照）が貫通し固定される固定用穴１５が４箇所に形成されている。また、その外径Ｄ1 は２０８ｍｍφ、内径は１５０ｍｍφであり、Ｌ57は５ｍｍ、Ｌ58は１０ｍｍ、固定用穴１５に固定される固定外枠部材（棒状体）７は径方向に形成されている螺子孔１９に螺合される螺子（図１０参照）によって強固に固定される。
【００３１】
また、図３を例に挙げて説明すると、電極支持板１１Ａの４箇所に固定外枠部材（棒状体）７が貫通し固定される固定穴１５が形成され、更に、４箇所に、上流電極支持板１１Ａと絶縁性の間隔保持板１１Ｃと下流電極支持板１１Ｂとを予め固定するための螺子１８（後述）が貫通する、より径の小さい締結用穴１６とが形成される。また、電極支持板１１Ａの下部には２個の半円形状の切欠部１７が形成されているが、これは図示されていない固定基台に形成される断面が半円形状のレールに対応して、固定基台に電極支持板を正確に位置決めするために用いられる。
【００３２】
図１０に内側側の電極支持板の斜視図が示されている。なお、図１０における１８は締結用穴１６に締結される螺子、２０Ａは保持穴、２０Ｂは固定部に設けられるレール４１にハニカム型円錐電極の第２の支持部２１を保持する保持部材、２０Ｃは保持部材２０Ｂを保持する締結用螺子を示している。
【００３３】
上記したように、本発明の高電圧電場発生装置は、長尺方向に複数本の円錐電極を有するとともに、その長尺方向の断面方向にハニカム形状を有する電極による電場を用いている。より具体的には、２４本の高電圧正負交代電極を有するハニカム型円錐電極８による六極電場を用いるようにしている。
【００３４】
以下、具体例について説明すると、図１の上流側（左側）から、７本の分子ビームを同時に発生させ、各々分子ビームが２３４０ｍｍ前方で一点に集束するように７個のパルスバルブ１、ビームスキマー３、ビームコリメーター５が扇状に並べられている。ハニカム型円錐電極８による六極電場が、７本の六回対称軸がそれぞれ各分子ビーム軸に一致するように固定されている。
【００３５】
本発明の実施例の３組の高電圧正負交代電極保持板は、市販のポリアセタール（ＰＯＭ）、すなわちポリジオキサンジイルの体積抵抗率は、常温で１０14Ω・ｃｍで良好な電気的絶縁性を有している。ポリアセタールの電気的な絶縁力は３３ＭＶ／ｍｍである。また、機械的性質の表面硬さの指標であるロックウェル硬さは８０Ｍスケール／１２．７ｍｍ（規格幅）で、ここではポリプラ社製の商品名ジュラコンを使用した。
【００３６】
各組のポリアセタール製電極保持装置は電極の内径穴が、それぞれ１５．１〜１５．２ｍｍ，１１．５〜１１．６ｍｍ，７．７〜７．８ｍｍと異なる以外は、全く同じ構造設計に基づいている。すなわち、図３〜図８に示すように肉厚が５ｍｍのポリアセタール２枚の間に、図９に示す肉厚１０ｍｍの金属板（ポリアセタール板でも可）を間隔保持板１１Ｃ，２１Ｃ，３１Ｃとして挿入した絶縁性の高電圧正負交代電極保持板板２枚の合計三重構造である。
【００３７】
そこで、この高電圧電場発生装置は、分子ターボポンプにより、１×１０-5Ｐａまで高真空とし、図２に示すように、２４本の正負交代電極に正負１０ｋＶ以上、従って正負極電位差は２０ｋＶ以上、電圧を印加してもポリアセタール製電極保持装置によって保持され、正負電極間における電流漏洩や放電は観測されなかった。
【００３８】
上記したように、本発明の高電圧正負交代電極保持装置は、リング状の絶縁性の間隔保持板を上流側に配置される第１の絶縁性の電極支持板と下流側に配置される第２の絶縁性の電極支持板で挟着し、前記第１の絶縁性の電極支持板には径の大きい第１の穴と径の小さい第２の穴とを形成し、その径の小さい第２の穴に第１の極性（例えば、正極性）の電極を貫通固定するとともに、径の大きい第１の穴には間隔をとって第２の極性の電極（例えば、負極性）を貫通し、前記第２の絶縁性の電極保持板には径の大きい第３の穴と径の小さい第４の穴とを形成し、その径の小さい第４の穴に第２の極性の電極を貫通固定するとともに、径の大きい第３の穴には間隔をとって第１の電極を貫通するようにしたので、ポリアセタール製電極保持装置により、絶縁板１枚を使った従来の方法では実際上製作が可能であったハニカム電極に見られるように複雑でしかも隣接する正負電極スペースが充分確保できない構造の正負交代電極からなる多極高電圧電場発生装置の作製が、はじめて可能となった。
【００３９】
このように、真空下で用いる高電圧電場発生装置で正負電極が交互に隣接する構造のものは、正負電極間放電破壊に耐えるセラミック材料などの高耐電圧材質を用いて電気的に絶縁性の高い保持装置を作る必要があるが、ハニカム型２４電極など電極構造が複雑な電場発生装置の作製においては、絶縁保持装置の製作は実際上不可能であった。
【００４０】
本発明では、このような正負電極が接近しているために生じる保持材表面上を伝わる電気漏洩による放電を防止するため、従来のものと全く設計思想の異なるポリアセタール製耐電圧保持装置を作製し、１メートル長×２４円錐電極からなるハニカム型六極電場発生装置に適用し、この方法が有効であることが検証された。
【００４１】
そのキーポイントとなった技術がポリアセタール製耐電圧保持装置である。その他、従来作製が困難であった正負交代電極からなる多極高電圧電場発生装置の作製も可能となることが期待される。
【００４２】
本発明は、高真空下で使用するあらゆる高電圧多極正負交代電場発生装置の正負電極保持装置に適用することができる。
【００４３】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００４４】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。
【００４５】
（Ａ）高電圧電場発生装置の高電圧正負交代電極間の放電破壊に耐え、確実な電気的絶縁を図ることができる。
【００４６】
（Ｂ）高電圧正負交代電極の保持装置は、ポリアセタールを用いると電気的絶縁力が高く安価で機械加工が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す高電圧正負交代電極を有する高電圧電場発生装置の模式図である。
【図２】本発明の実施例を示すハニカム型円錐電極の断面図である。
【図３】本発明の実施例を示すハニカム型円錐電極の第１の上流電極支持板の構成図である。
【図４】本発明の実施例を示すハニカム型円錐電極の第１の下流電極支持板の構成図である。
【図５】本発明の実施例を示すハニカム型円錐電極の第２の上流電極支持板の構成図である。
【図６】本発明の実施例を示すハニカム型円錐電極の第２の下流電極支持板の構成図である。
【図７】本発明の実施例を示すハニカム型円錐電極の第３の上流電極支持板の構成図である。
【図８】本発明の実施例を示すハニカム型円錐電極の第３の下流電極支持板の構成図である。
【図９】本発明の実施例を示す上流電極支持板と下流電極支持板に挟着される絶縁性の間隔保持板の構成図である。
【図１０】本発明の実施例を示すハニカム型円錐電極の支持板の斜視図である。
【符号の説明】
１    パルスバルブ
２    パルスバルブの支持板
３    ビームスキマー
４    ビームスキマーの支持板
５    ビームコリメーター
６    ビームコリメーターの支持板
７    固定外枠部材（棒状体）
８    高電圧正負交代電極を有するハニカム型円錐電極（２４本）
８ａ（８ａ1 〜８ａ12）    正電極
８ｂ（８ｂ1 〜８ｂ12）    負電極
９    ハニカム型円錐電極の上流端
１０    ハニカム型円錐電極の下流端
１１    ハニカム型円錐電極の第１の支持部
１１Ａ    ハニカム型円錐電極の第１の上流電極支持板
１１Ｂ    ハニカム型円錐電極の第１の下流電極支持板
１１Ｃ，２１Ｃ，３１Ｃ    絶縁性の間隔保持板
１２−１〜１２−１２    小径の穴（第１の上流電極支持板に形成）
１２−１′〜１２−１２′  大径の穴（第１の下流電極支持板に形成）
１３−１〜１３−１２    大径の穴（第１の上流電極支持板に形成）
１３−１′〜１３−１２′  小径の穴（第１の下流電極支持板に形成）
１４−１〜１４−７，１４−１′〜１４−７′    ガスの流通穴（大径の穴）
１５    固定穴
１６    締結用穴
１７    半円形状の切欠部
１８    螺子
１９    螺子孔
２０Ａ    保持穴
２０Ｂ    保持部材
２０Ｃ    締結用螺子
２１    ハニカム型円錐電極の第２の支持部
２１Ａ    ハニカム型円錐電極の第２の上流電極支持板
２１Ｂ    ハニカム型円錐電極の第２の下流電極支持板
３１    ハニカム型円錐電極の第３の支持部
３１Ａ    ハニカム型円錐電極の第３の上流電極支持板
３１Ｂ    ハニカム型円錐電極の第３の下流電極支持板
４１    レール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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