(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導体周囲に形成された絶縁層の表面に離型材としてプラスチック板を当てその上から熱収縮性テープを巻回してなるコイルを圧力容器内に配置し、該圧力容器内部の圧力を減圧すると同時に、前記コイルの一端部に接続された樹脂導入パイプを通して前記導体と前記絶縁層との間に含浸樹脂を加圧注入した後、該含浸樹脂を加熱硬化させることを特徴とする電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法。
【請求項２】
含浸樹脂が注入されるコイルの一端部と他端部に樹脂検知センサを配置し、該検知センサによる含浸樹脂の検知情報により含浸樹脂の注入を止めるようにしたことを特徴とする請求項１記載の電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法。
【請求項３】
コイルの周囲に導電体を巻き付けた複数個の電極を設け、これらの電極から樹脂の含浸状態を測定可能にしたことを特徴とする請求項１記載の電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法。
【請求項４】
含浸樹脂が注入されるコイルの一端部と樹脂導入パイプとの間を密閉構造に形成したことを特徴とする請求項１記載の電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法。
【請求項５】
導体に絶縁テープを巻回した絶縁層が形成され、さらにその上に離型テープを巻回してなるコイルを下金型内に隙間を持たせて配置した状態で圧力容器内に収容し、該圧力容器内部の圧力を減圧すると同時に、前記コイルの一端部に接続された樹脂導入パイプを通して前記導体と前記絶縁層との間に含浸樹脂を加圧注入した後、加熱硬化時に前記下金型と前記コイルとの隙間に上金型を挿入して加熱硬化が完了するまで前記金型を所定寸法に固定し締め付けた状態に維持することを特徴とする電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法。
【請求項６】
導体周囲に絶縁層を形成したコイルは、導体と絶縁層との間に樹脂浸透層を形成したものであることを特徴とする請求項１又は請求項５記載の電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法。
【請求項７】
コイルは、樹脂浸透層の上に半導電層を形成したものであることを特徴とする請求項６記載の電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水車発電機やタービン発電機などの大型回転電機に用いられる電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、水車発電機やタービン発電機などの大型回転電機などの大型コイルに対する樹脂含浸方法として、まず、コイルの回りに絶縁材としてマイカを主体とした複合絶縁テープを所定数巻回して圧力容器内に設置し、この後、減圧・加圧含浸（ＶＰＩ）を実施して、さらに金型などを当てて含浸した樹脂を硬化させる方法が一般に採用されている。
【０００３】
この方法では、第１段階の減圧含浸において、真空度を０．１Ｔｏｒｒ  程度まで減圧し、引き続いて樹脂を少しずつ注入してコイル中に満たしていく。そして、さらに減圧を続けることで、コイル絶縁物中の気体の排気と樹脂の置換・浸透を促進させて樹脂の含浸率を上昇させていく。
【０００４】
ところが、この方法では、コイル外部から樹脂を含浸していく方法なので、絶縁物中の気体を完全に排出して樹脂に置き換えることが難しい。
そこで、適度な減圧含浸の後、加圧に切り替えて残留気体を押し潰すことにより、絶縁物中に存在する気体（ボイド）を小さくして、さらに樹脂の含浸率を向上させることが行われている。
【０００５】
しかし、このようにしても、絶縁物中のボイドを完全に除去することができない。これは、コイル絶縁物中に気体が存在している時に、コイルが樹脂に包まれるためで、絶縁物中の微細な部分では、樹脂の粘性により気体との置換が十分に行われず、ボイドが残留する原因になっている。そして、絶縁物中にボイドが残留すると、高電圧の下で使用されるコイルのような場合、ボイドを起点とした部分放電が容易に発生してコイル寿命に大きく影響し、機器の信頼性を損なうことがあった。つまり、このような樹脂含浸の良否は、機器の性能や信頼性に大きな影響を与えている。
【０００６】
また、このようにして樹脂を含浸したコイルは、金型をセットして加熱硬化されるが、樹脂が付着した状態での作業になるため作業性が悪いという問題があった。
【０００７】
さらに、このようなＶＰＩ方式では、圧力容器中に注入される樹脂量は、コイルを十分に浸漬するため、コイル絶縁物中に含浸される樹脂量の数十倍にも達する。そして、この時の含浸処理で余った樹脂は、処理終了とともに、貯蔵タンクに戻されるようになり、含浸タンクと貯蔵タンクの間で循環される。
【０００８】
ところが、このように余剰樹脂を循環させることは、含浸タンクやコイル表面に付着した汚れや不純物が含浸樹脂中に混入し、特性の低下をきたすおそれがある。また、含浸樹脂を循環させることは、温度変化や不純物の影響で粘度上昇が比較的速くなり、このため新たな含浸樹脂を補充して粘度の維持を図ることになるが、これにも限界があり、本来の貯蔵寿命より短い時間でしか使用できなくなるという問題があり、さらに、この使用できなくなった含浸樹脂を廃棄するにも、環境的・コスト的に大きな問題になっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来のＶＰＩ方式では、残存ボイド、作業性および含浸樹脂の寿命、そして含浸樹脂の廃棄などに大きな問題を抱えていた。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、樹脂の含浸性および電気的特性の向上を図ることができ、しかも環境的・コスト的にも有利にできる電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に対応する発明は、導体周囲に形成された絶縁層の表面に離型材としてプラスチック板を当てその上から熱収縮性テープを巻回してなるコイルを圧力容器内に配置し、該圧力容器内部の圧力を減圧すると同時に、前記コイルの一端部に接続された樹脂導入パイプを通して前記導体と前記絶縁層との間に含浸樹脂を加圧注入した後、該含浸樹脂を加熱硬化させる。
【００１１】
このようにすれば、注入される含浸樹脂の流れ方向になるので、含浸時間が速く、しかもボイドも少なくできる。また、離型材としてプラスチック板を用いることで、成形性、離型性に優れた結果が得られる。
【００１２】
請求項２に対応する発明は、請求項１に対応する発明の電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法において、含浸樹脂が注入されるコイルの一端部と他端部に樹脂検知センサを配置し、該検知センサによる含浸樹脂の検知情報により含浸樹脂の注入を止める。
【００１３】
このようにすれば、無駄な樹脂の注入を止めることができ、コイル中に樹脂を無駄なく含浸させることができる。
【００１４】
請求項３に対応する発明は、請求項１に対応する発明の電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法において、コイルの周囲に導電体を巻き付けた複数個の電極を設け、これらの電極から樹脂の含浸状態を測定可能にする。
【００１５】
請求項４に対応する発明は、請求項１に対応する発明の電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法において、含浸樹脂が注入されるコイルの一端部と樹脂導入パイプとの間を密閉構造に形成する。
【００１６】
請求項５に対応する発明は、導体に絶縁テープを巻回した絶縁層が形成され、さらにその上に離型テープを巻回してなるコイルを下金型内に隙間を持たせて配置した状態で圧力容器内に収容し、該圧力容器内部の圧力を減圧すると同時に、前記コイルの一端部に接続された樹脂導入パイプを通して前記導体と前記絶縁層との間に含浸樹脂を加圧注入した後、加熱硬化時に前記下金型と前記コイルとの隙間に上金型を挿入して加熱硬化が完了するまで前記金型を所定寸法に固定し締め付けた状態に維持する。
【００１７】
このようにすれば、請求項１に対応する発明と同様の効果が得られることに加え、含浸樹脂の加熱硬化の際に金型による所定寸法が維持された精度の高いコイル成形が実現可能となる。
【００１８】
請求項６に対応する発明は、請求項１又は請求項５に対応する発明の電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法において、導体周囲に絶縁層を形成したコイルは、導体と絶縁層との間に樹脂浸透層を形成したものである。
【００１９】
このようにすれば、樹脂の浸透速度を大幅に向上させることができる。
請求項７に対応する発明は、請求項６に対応する発明の電気機器巻線の樹脂含浸・硬化方法において、コイルは、樹脂浸透層の上に半導電層を形成したものである。
このようにすれば、樹脂の浸透層での電界を緩和して耐電圧性を向上させることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の樹脂含浸・硬化方法が適用される含浸処理装置の概略構成を示している。図において、１は圧力容器で、この圧力容器１には、バルブ２を有する樹脂導入パイプ３を介して樹脂貯蔵タンク４を接続している。この樹脂貯蔵タンク４は、熱硬化性の含浸樹脂５を貯蔵したもので、外部より供給される気体６により含浸樹脂５面を加圧することで、貯蔵含浸樹脂５を樹脂導入パイプ３を介して樹脂貯蔵タンク４内部に所定圧力で供給するようにしている。この場合、ピストンなどを使用して気体６により含浸樹脂５面を加圧するようにしてもよい。
【００２１】
圧力容器１の中空部には、回転電機用コイル７を収容している。このコイル７は、導体７０１周囲に絶縁層７０２を形成したものである。そして、このようなコイル７端部に樹脂導入パイプ３を接続している。図示例では、コイル７の一方端部にのみ接続部８を介して樹脂導入パイプ３を接続し、他方端部は、キャップ１１を設け、この他方端部からの含浸樹脂５の流出を防止するようにしている。
【００２２】
なお、図面中９は、圧力容器１内部の圧力を表示する圧力計、１０は、圧力容器１内部の圧力を減圧するための減圧口である。
しかして、このような処理装置において、圧力容器１の中空部に樹脂含浸を行う回転電機用のコイル７を配置し、このコイル７端部に接続部８を介して樹脂導入パイプ３を接続する。
【００２３】
この状態から、圧力容器１内部の圧力を減圧口１０を介して減圧すると同時に、樹脂導入パイプ３を介してコイル７端から含浸樹脂を注入する。この場合、樹脂貯蔵タンク４の含浸樹脂５面を外部気体６により加圧し、樹脂導入パイプ３よりコイル７端部に注入される含浸樹脂５を加圧することで、コイル７内部から絶縁層７０２にかかる圧力差を大きくするようにしている。
【００２４】
図２は、コイル７端部から注入される含浸樹脂５の流れを説明するもので、この場合、樹脂導入パイプ３よりコイル７端部に注入される含浸樹脂５は、コイル７端部から導体７０１と絶縁層７０２との間に流入し、さらに絶縁層７０２中を外側に向かって押しながら浸透・含浸されるようになる。
【００２５】
しかして、このようにすると、コイル７端部から注入される含浸樹脂５の流れる方向は、一方向になるので、含浸時間が速く、しかも、ボイドも少なくでき、含浸性、電気特性に優れたコイルを製造することができる。
【００２６】
なお、コイル７として多く用いられる転移撚線の場合は、導体７０１と絶縁層７０２での含浸樹脂５の浸透性は比較的良好にできる。
（第２の実施の形態）
この第２の実施の形態は、加熱硬化の際のコイル成形に関するもので、この場合、図３に示すように導体１２０１に絶縁テープ１２０２を巻回してなるコイル１２表面に、離型のためのプラスチック板１３を当てがい、その上から加熱すると収縮する熱収縮性テープ１４を巻回し、上述した方法で樹脂を含浸した後、この含浸樹脂を加熱硬化させコイル成形を行う。この場合、プラスチック板１３としては、融点が２００℃以上で、板厚が０．２〜５．０ｍｍ程度のポリアミド  （ナイロン６６、４６など）が用いられる。
【００２７】
このようにすれば、離型材としてプラスチック板１３を用いることにより、鉄板などを用いた場合に比べ、成形性、離型性に優れた結果が得られる。
（第３の実施の形態）
この第３の実施の形態は、含浸樹脂の加熱硬化によるコイル成形に金型を使用する方法に関するもので、この場合も図４に示すように導体１２０１に絶縁テープ１２０２を巻回してなるコイル１２表面に、さらに図示しない離型テープを巻回したものを断面Ｕ字状の下金型１５内に隙間１６を持たせて配置し、上述した方法で樹脂を含浸する。つまり、この場合、樹脂含浸時に、コイル１２の絶縁テープ１２０２からなる絶縁層を締め付けないように保って、樹脂の含浸を容易にするとともに、絶縁層から滲み出した樹脂が垂れ落ちないような金型構造としている。そして、樹脂の含浸終了の後、図４（ａ）に示す断面Ｕ字状の上金型１７または図４（ｂ）に示す断面Ｌ字状の上金型１８を下金型１５内に隙間１６に挿入することで、金型を所定寸法に固定して締め付け、含浸樹脂の加熱硬化が完了するまで、この状態を維持する。
【００２８】
なお、断面Ｕ字状の上金型１７または断面Ｌ字状の上金型１８は、コイル１２の種類によって選択的に使用するようになる。
このようにすれば、含浸樹脂の加熱硬化の際に金型による所定寸法が維持されるので、精度の高いコイル成形が実現できる。また、この場合も、図４（ａ）  （ｂ）に示すようにコイル１２と上金型１７または１８の間に、離型のためのプラスチック板１３を使用することで、コイル１２表面の保護、離型性および作業性に優れたものが得られる。
（第４の実施の形態）
この第４の実施の形態は、含浸樹脂の加熱硬化によるコイル成形に熱収縮チューブを使用する方法に関するものである。
【００２９】
この場合、導体に絶縁テープを巻回してなるコイル表面に、融点２００℃以上の、例えばポリアミド（ナイロン６６、４６など）のプラスチック板またはシリコーンゴムあるいはＥＰＤＭ（エチレンプロピレンゴム）などのカマボコ状の耐熱性ゴムを当てがい、これを熱収縮チューブに挿入して樹脂の含浸硬化を行う。この場合、熱収縮チューブのコイル挿入部の上部には、気体透過用の穴を明けて、真空引きを容易にしている。
【００３０】
図５は、このような方法によるコイル成形の一例を示すもので、ここでは、コイル２１の直線部２１１は、第３の実施の形態で説明した金型を使用した方法を採用し、曲線部２１２のみに上述した熱収縮チューブを使用した方法を採用している。
【００３１】
このような熱収縮チューブを用いたコイル成形によれば、樹脂含浸時に、絶縁層を緩く保つことができるので、樹脂の含浸速度を速くでき、また、硬化時の加熱温度によりコイル締め付けながら、樹脂硬化を行うことができ、さらに取扱いが簡単で、離型性および作業性にも優れたものが得られる。
（第５の実施の形態）
この第５の実施の形態は、これまでの導体と絶縁層の界面での、導体の凹凸のみに期待した樹脂の浸透路でなく、積極的に樹脂の浸透層を設けて含浸速度を速めるようにしている。
【００３２】
この場合、導体にマイカなどの絶縁テープを巻回してなるコイルの、これら導体と絶縁テープ（絶縁層）の間に、不織布、ガラステープ、多孔質のプラスチック焼結体、エンボスあるいはメッシュのある有機フィルム、またはエンボスあるいはメッシュのある有機フィルムと不織布を張り合わせたテープなどの単独または適宜組み合わてなる浸透層を配置するようにしている。
【００３３】
このようにすれば、樹脂の浸透速度が大幅に向上することで、例えば長尺コイルのような場合にも、樹脂の含浸をコイル端部、中央部に時間差なく一様に行うことができる。
【００３４】
この場合、樹脂浸透層の上から、さらに半導電性テープを巻いて、半導電層を形成するようにしてもよい。こうすると、樹脂の浸透層での電界を緩和して耐電圧性を向上することができる。
（第６の実施の形態）
この第６の実施の形態は、樹脂をコイルの一方端から注入する樹脂含浸法で、他方端から不用意に樹脂が流れ出すのを防止するための方法である。
【００３５】
この場合、第１の実施の形態で述べたようにコイルの一方端から樹脂含浸を行い、さらにコイルの他方端に樹脂検知センサを有するシール機構を設けている。このようにすれば、コイルの一方端部から導体と絶縁層の間を含浸されてきた樹脂が、絶縁層に含浸される前にコイルの他方端に達すると、これを樹脂検知センサで検知してバルブを締めるなどして樹脂の注入を止めることにより、樹脂を無駄なく含浸させるようにできる。
（第７の実施の形態）
この第７の実施の形態は、導体に絶縁テープを巻回してなるコイルの周囲にアルミ泊などの導電体を部分的に複数箇所巻き付けて電極とし、これら電極から導体との間の電気抵抗あるいは静電容量を測定することで、樹脂含浸の程度を検出するようにしている。
【００３６】
このようにすれば、長尺コイルの場合、かかるコイル端部と中央部での樹脂含浸速度が異なることがあっても、コイル全体に含浸樹脂が行き渡ったことを検知できるようになる。
（第８の実施の形態）
この第８の実施の形態は、樹脂が注入されるコイル端をシールするようにしている。この場合、図６（ａ）に示すように導体３１１周囲に絶縁層３１２を形成したコイル３１端と図示しない樹脂導入パイプを接続する接続部３２ととの間にゴムパッキン３３を、または、同図（ｂ）に示すようにゴムシール３４をそれぞれ介在させて、この間を密閉状態に構成している。この場合、ゴムパッキン３３は、絶縁層３１２の外周に沿って押し込むことで密閉状態に装着でき、また、ゴムシール３４は、接続部３２とコイル３１との間の僅かなクリアランスの間に液状ゴムやパテ状ゴムを塗り込むことで密閉状態に装着できる。
【００３７】
このようにすれば、コイル３１端と接続部３２との間を密閉状態にできるので、コイル３１端より含浸樹脂を効率よく注入することができる。
（第９の実施の形態）
この第９の実施の形態も、樹脂が注入されるコイル端をシールするようにしている。この場合、図６と同一部分には同符号を付した図７に示すように導体３１１周囲に絶縁層３１２を形成したコイル３１と図示しない樹脂導入パイプを接続する接続部３２との間に熱収縮チューブ３５を被せて、この間を密閉状態に構成している。この場合、コイル３１端と接続部３２に予め熱収縮チューブ３５を被せておき、この間を接続した後に、ドライヤーなどの熱風で熱収縮チューブ３５を加熱し収縮させることで、密閉状態を得るようにしている。
このようにしても、コイル３１端と接続部３２との間を密閉状態にできるので、コイル３１端より含浸樹脂を効率よく注入することができる。
【００３８】
【実施例】
（実施例１）
転移した素線コイルを１．２ｍ用意し、この素線コイルにガラス裏打ちマイカテープを１／２重ね１０回巻き付けコイル絶縁層を形成してコイルとした。また、このコイル端部から１０ｃｍの位置と導体中心部にそれぞれ３０ｍｍ幅のアルミ泊を巻いて電極とし、さらに、これらの周囲にポリエステルの熱収縮テープを巻いた。
【００３９】
そして、このように構成したコイルを断面Ｕ字状の下金型に入れるとともに、コイルの両脇に１ｍｍ厚さのナイロン６６を挿入した。さらに圧力容器に入れて、コイル端を樹脂導入パイプに接続するとともに、これら接続部をゴム系パテでシールした。
【００４０】
この場合、含浸樹脂は、粘度が２５℃で１ポンズのエポキシ含浸樹脂を使用し、含浸条件は、圧力容器内の真空度０．３Ｔｏｒｒ以下に保持し、含浸樹脂の圧力は大気圧とした。そして、樹脂の含浸後、コイル端の樹脂導入パイプを外し、断面Ｕ字状の上金型を挿入して、所定寸法に固定して加熱硬化を行った。
（実施例２）
実施例１の素線コイルと絶縁層の間に、さらにポリエステル不繊布０．２ｍｍ厚さのテープを１／２重ね１回巻を加えた。
（実施例３）
実施例１の素線コイルと絶縁層の間に、さらに０．１８厚さのガラステープを１／２重ね１回巻を加えた。
（実施例４）
実施例１の素線コイルと絶縁層の間に、さらに三晶（株）のＤＥＬＮＥＴ・Ｘ２１５で０．２７厚さのテープを突き合わせ１回巻を挿入したものを用いた。
（実施例５）
実施例１の素線コイルと絶縁層の間に、さらに三晶（株）のＤＥＬＮＥＴ・Ｘ２１５とポリエステル不繊布０．２ｍｍ厚を張り合わせたテープを突き合わせ１回巻を挿入した。
【００４１】
このようにして樹脂含浸を実行した実施例１〜５の場合について、樹脂の含浸速度をコイルに設けた電極間の静電容量で検出したところ、図８（ａ）に示す結果が得られ、さらにＶ−ｔａｎ  δは、図９中Ａに示す結果が得られた。なお、図８（ａ）中のＡ〜Ｅは、上述した実施例１〜５に対応している。
【００４２】
しかして、これら実施例１〜５について、従来の真空・加圧含浸法によるものと比較した。ここでの従来例として、コイルを製作後、コイルの両端から樹脂が侵入しないように端末処理を行い、これを圧力容器に入れ、真空度０．３Ｔｏｒｒ以下に保持脱気後、含浸樹脂を注入し、真空で一定時間経過後、加圧に切り替え６Ｋｇ／ｃｍ２  で含浸を行った。
【００４３】
このようにして樹脂含浸を実行した従来例について、樹脂の含浸速度を静電容量から検出したところ、図８（ｂ）に示す結果が得られ、さらにＶ−ｔａｎ  δは、図９中Ｂに示す結果が得られた。
【００４４】
この結果、樹脂の含浸速度については、図８（ｂ）に示す従来例に比べ、同図（ａ）に示す実施例１〜５については、真空引きによる含浸樹脂の一方向のみの流れにより、差圧を大きく取れるため、含浸速度を速めることが可能となり、含浸処理時間の大幅な短縮が図れる。また、図９中のＡに示す実施例１〜５は、ｔａｎ  δ特性についても大幅な向上が確認でき、ボイドがさらに少なくなっていることが推定できる。
【００４５】
その他、実施例１〜５では、一度圧力容器に送り込まれた樹脂は、全てコイル中に送り込まれ、貯蔵槽に戻ることがないので、大きな貯蔵槽を不要にでき、しかも樹脂の使用可能時間の心配もなくなるので、廃棄樹脂もほとんど皆無にすることができる。
【００４６】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、コイルを配置した圧力容器内部の圧力を減圧しながら、コイル端部から含浸樹脂を注入し、含浸樹脂の流れ方向を一方向とすることにより、含浸時間を速く、しかもボイドを少なくでき、樹脂の含浸性とともに、電気特性の向上を図ることもできる。
また、コイルに注入される含浸樹脂は、再使用されることがなく、その結果、廃棄樹脂を皆無にできるので、環境的・コスト的にも有利にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用される含浸処理装置の概略構成を示す図。
【図２】本発明の第１の実施の形態のコイル端部から注入される含浸樹脂の流れを説明するための図。
【図３】本発明の第２の実施の形態を説明するための図。
【図４】本発明の第３の実施の形態を説明するための図。
【図５】本発明の第４の実施の形態を説明するための図。
【図６】本発明の第８の実施の形態を説明するための図。
【図７】本発明の第９の実施の形態を説明するための図。
【図８】本発明の樹脂含浸硬化法と従来の真空加圧含浸法とを比較説明するための図。
【図９】本発明の樹脂含浸硬化法と従来の真空加圧含浸法とを比較説明するための図。
【符号の説明】
１…圧力容器、
２…バルブ、
３…樹脂導入パイプ、
４…樹脂貯蔵タンク、
５…含浸樹脂、
６…気体、
７…コイル、
７０１…導体、
７０２…絶縁層、
８…接続部、
９…圧力計、
１０…減圧口、
１１…キャップ、
１２…コイル、
１２０１…導体、
１２０２…絶縁テープ、
１３…プラスチック板、
１４…テープ、
１５…下金型、
１６…隙間、
１７…断面Ｕ字状の上金型、
１８…断面Ｌ字状の上金型、
２１…コイル、
２１１…直線部、
２１２…曲線部、
３１…コイル、
３１１…導体、
３１２…絶縁層、
３２…接続部、
３３…ゴムパッキン、
３４…ゴムシール、
３５…熱収縮チューブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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